(57)【要約】【課題】  マスク露光面の照度分布の更なる向上を低コストで実現する。【解決手段】  ワークの被露光部位にマスク８のパターンを露光転写すべく前記マスク８に向かって露光光を照射するためのランプ１２を備えた露光装置用光源装置２０であって、前記ランプ１２の略中央部に、該ランプ１２から照射された光の内で前記マスク８の有効露光範囲外に向かう光を該有効露光範囲内の両側部に集める反射板２１を設ける。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの被露光部位にマスクのパターンを露光転写すべく前記マスクに向かって露光光を照射するためのランプを備えた露光装置用光源装置であって、
前記ランプの略中央部に、該ランプから照射された光の内で前記マスクの有効露光範囲外に向かう光を該有効露光範囲内の両側部に集める反射板を設けたことを特徴とする露光装置用光源装置。
【請求項２】
前記反射板の傾斜角度を調整可能に構成したことを特徴とする請求項１に記載した露光装置用光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの被露光部位にマスクのパターンを露光転写すべく前記マスクに向かって露光光を照射するためのランプを備えた露光装置用光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１３に両面露光装置の一例を示す。図において、符号１はフープ材等のワーク（被露光材）２をタクト送りで巻き出すための巻出し装置、３は露光後のワーク２を巻き取るための巻取り装置、４ａ，４ｂは露光位置Ｐにあるワーク２を固定すべく該ワーク２の送り方向の両側に配置された固定用クランプ、５は固定用クランプ４ａ，４ｂの巻出し装置１側に配置されて露光位置Ｐにあるワーク２に対してテンションを付与するバックテンションロール、６は固定用クランプ４ａ，４ｂの巻取り装置３側に配置されて露光後のワーク２をクランプした状態で巻取り装置３側に所定量送り、その後、クランプを解除して元の位置に戻るインデクサーであり、このインデクサー６の送り量に応じて巻出し装置１によるワーク２の巻出しと巻取り装置３によるワーク２の巻取りが行われる。なお、符号７は巻出し装置１側と巻取り装置３側に設けられたワーク送りのバッファ部分である。
【０００３】
また、露光位置Ｐでのワーク２の表裏面にはそれぞれ所定の転写パターンを有する表マスク８及び裏マスク９が配置されている。各マスク８，９は図示しないマスク保持フレームに真空吸着等により保持されている。そして、露光位置Ｐでワーク２及び各マスク８，９同士のアライメント（ずれ補正）が行われた後、各マスク８，９をワーク２の表裏面に密着させた状態で各マスク８，９に向けて光源装置１０から露光光を照射し、これにより、各マスク８，９のパターンがワーク２の表裏面に露光転写される。
【０００４】
この露光転写が行われた後、上述したインデクサー６でワーク２を巻取り装置３側に所定量送って新たな被露光部位を露光位置Ｐに配置し、上記同様の工程で新たな露光転写が行われる。なお、露光時（アライメント終了後）は、ワーク２はマスク（マスク保持フレーム）に保持されるため、固定用クランプ４ａ，４ｂによるワーク２のクランプ及びバックテンションロール５によるワーク２へのテンション力付与を解除してワーク２の伸びや変形を小さくすることで、製品精度を確保する。
【０００５】
ところで、図６〜図８は上記光源装置１０の要部を示したものであり、この光源装置１０は例えば長方形状のマスク８（又は９）と略同等か若干大きい開口面積を有する略四角錐状のランプハウス１１を備えており、該ランプハウス１１の頂部にはランプ管１２がマスク８（又は９）の中央部を長手方向に沿うように設けられている。
そして、露光時には、図９及び図１０に示すように、ランプ管１２からの光をランプハウス１１の内面の反射面１３で反射させてマスク８（又は９）の長手方向の両側部及び四隅に集め、これにより、マスク８（又は９）の露光面の照度分布を約８０％に確保している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の露光装置用光源装置においては、ランプ管１２の照度が長手方向の端部にいく程低下するため（図１２参照）、マスク８（又は９）の露光面の照度分布は、図１１に示すように、四隅が最も照度が弱く、次に照度の弱いところが長手方向の両側部となり、マスク８（又は９）の露光面の照度分布を更に向上させることが難しいという問題がある。
本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、マスク露光面の照度分布の更なる向上を低コストで実現することができる露光装置用光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、ワークの被露光部位にマスクのパターンを露光転写すべく前記マスクに向かって露光光を照射するためのランプを備えた露光装置用光源装置であって、
前記ランプの略中央部に、該ランプから照射された光の内で前記マスクの有効露光範囲外に向かう光を該有効露光範囲内の両側部に集める反射板を設けたことを特徴とする。
請求項２に係る発明は、請求項１において、前記反射板の傾斜角度を調整可能に構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１の発明によれば、ランプの略中央部に設けた反射板により、該ランプから照射された光の内でマスクの有効露光範囲外に向かう光を該有効露光範囲内の両側部に集めることで、マスク露光面の照度分布の更なる向上を低コストで実現することができる。
請求項２の発明では、請求項１の発明に加えて、ランプが焼ける等してマスク露光面の照度分布が変化した場合に、反射板の傾斜角度を変えることで、マスク露光面の照度分布を容易に調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態の一例を図を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態の一例である露光装置用光源装置を説明するための説明図、図２は図１の矢印Ａ方向から見た図、図３は図１の矢印Ｂ方向から見た図、図４は反射板の作用を説明するための説明図、図５は図４の矢印Ｃ方向から見た図である。なお、この実施の形態では、既に図６〜図８で説明した従来の露光装置用光源装置と重複する部分については各図に同一符号を付してその説明を省略する。
【００１０】
本発明の実施の形態の一例である露光装置用光源装置２０は、図１〜図３に示すように、ランプ管１２の長手方向の中央部に一対の円弧板状反射板２１が設けられている。この一対の円弧板状反射板２１は各外周側の周方向中央部をヒンジ２２等で結合して開閉動作が可能になっており、周方向の両端部の略中央には伸縮可能な連結部材２７が取り付けられており、該連結部材２７はランプハウス１１に形成されたスリット２３を貫通して該ランプハウス１１外に突出している。
【００１１】
ランプハウス１１外に突出した連結部材２７の突出端にはそれぞれスリーブ２４がヒンジ結合されており、このスリーブ２４はランプ管１２と平行に配置されたガイド棒２５に軸方向に移動可能に嵌め込まれている。従って、スリーブ２４をガイド棒２５に沿って所定量移動させることで各円弧板状反射板２１の傾斜角度が調整され、該調整後、スリーブ２４に螺合されたボルト２６の軸端をガイド棒２５に押し付けることで各円弧板状反射板２１の開閉動作が規制されるようになっている。
【００１２】
そして、露光時には、図４及び図５に示すように、ランプ管１２からの光をランプハウス１１の内面の反射面１３で反射させると共に、ランプ管１２の略中央部に設けた一対の円弧板状反射板２１により最も強い光を出すランプ管１２中央部の光をカットしつつマスク８（又は９）の有効露光範囲外に向かう光を該有効露光範囲内の長手方向の両側部に集め、これにより、マスク８（又は９）の長手方向の両側部の照度アップとマスク露光面の照度分布の更なる向上を低コストで実現することができる。
【００１３】
また、ランプ管１２が焼ける等してマスク露光面の照度分布が変化した場合には、上述したスリーブ２４をガイド棒２５に沿って移動させて一対の円弧板状反射板２１の傾斜角度を変えることで、マスク露光面の照度分布を容易に調整することができる。また、これにより、長期に渡って均一性の高い照度分布を得ることが可能となるので、露光品質を維持しつつ、ランプ管１２の交換頻度を減らすことができる。
なお、本発明のマスク、ランプ、反射板、反射板の傾斜角度調整機構等の構成は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
例えば、反射板の傾斜角度調整機構を省き、反射板をランプハウス内面に固定するようにしてもよい。  
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態の一例である露光装置用光源装置を説明するための説明図である。
【図２】図１の矢印Ａ方向から見た図である。
【図３】図１の矢印Ｂ方向から見た図である。
【図４】反射板の作用を説明するための説明図である。
【図５】図４の矢印Ｃ方向から見た図である。
【図６】従来の露光装置用光源装置を説明するための説明図である。
【図７】図６の矢印Ａ方向から見た図である。
【図８】図６の矢印Ｂ方向から見た図である。
【図９】図６の露光装置用光源装置を用いたマスク露光面への露光光の照射例を示す図である。
【図１０】図９の矢印Ｃ方向から見た図である。
【図１１】マスク露光面上の照度分布を説明するための図である。
【図１２】ランプ発光長さとランプ照度との関係を示すグラフ図である。
【図１３】両面露光装置を一例を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００１５】
８，９  マスク
１２  ランプ管
２０  光源装置
２１  反射板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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