(57)【要約】【課題】  半導体チップを備えた半導体パッケージに使用するリードフレームにおいて、半導体パッケージと回路基板との電気的な接続の信頼性向上を図ることができるようにする。【解決手段】  半導体チップ３を配置するためのステージ部５と、その周囲に配される複数のリード７と、これらリード７を連結するリード連結部９とを有する金属製薄板からなるリードフレームであって、前記リード７には、リードフレームの厚さ方向の一端面７ａから窪んで凹部１３が形成されていることを特徴とするリードフレームを提供する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状に形成された樹脂モールド部の厚さ方向の一端面に露出する複数のリードを備えた半導体パッケージに適用し、
半導体チップを配置するためのステージ部と、その周囲に配される複数のリードと、これらリードを連結するリード連結部とを有する金属製薄板からなるリードフレームであって、
前記リードには、リードフレームの厚さ方向の一端面から窪んだ凹部が形成されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項２】
前記リードもしくはリード連結部には、リードフレームの厚さ方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記各リードを電気的に独立させるための切断線が、前記貫通孔を通過することを特徴とする請求項１に記載のリードフレーム。
【請求項３】
前記貫通孔が、リード連結部に形成されている場合には、前記リードの配列方向に沿って、かつ、複数のリードにわたって形成されていることを特徴とする請求項２に記載のリードフレーム。
【請求項４】
板状に形成された樹脂モールド部の厚さ方向の一端面に露出する複数のリードを備えた半導体パッケージであって、
前記樹脂モールド部の一端面から外方に露出する前記リードの一端面に、凹部が形成されていることを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項５】
前記リードが、前記樹脂モールド部の厚さ方向に沿う側面から外方に露出し、
前記凹部が、前記樹脂モールド部の側面から外方に開口することを特徴とする請求項４に記載の半導体パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体チップを備え、回路基板に実装する半導体パッケージ、および、これに使用するリードフレームに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体パッケージとしては、樹脂モールド部の厚さ方向の一端面、及び厚さ方向に沿う側面に露出する複数のリードを備えたＱＦＮ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｎｏｎ−Ｌｅａｄｅｄ  Ｐａｃｋａｇｅ）がある（例えば、特許文献１参照。）。ＱＦＮは、図１４に示すように、半導体チップ５３を配置するためのステージ部５５と、ステージ部５５の周囲に配された複数のリード５７と、各リード５７を連結するダムバー５９とを備えたリードフレーム５１を用いて製造されている。なお、このリードフレーム５１は、薄板状の金属板にプレス加工もしくはエッチング加工を施すことにより製造される。
【０００３】
このリードフレーム５１によりＱＦＮを製造する際には、はじめに、ステージ部５５の表面に半導体チップ５３を接着し、半導体チップ５３の各パッドと各リード５７とをボンディングワイヤにより電気的に接続する。次いで、図１５に示すように、半導体チップ５３、ステージ部５５、ボンディングワイヤ６１、およびリード５７のボンディング部分を樹脂により一体的に固定する樹脂モールド部６３を形成する。ここで、各リード５７の裏面５７ａは、樹脂モールド部６３の下面６３ａと共に同一平面を形成している。
【０００４】
そして、各リード５７のうち、樹脂モールド部６３の外方に露出している表面５７ｂおよび裏面５７ａにめっきを施して、半田用のめっき膜６５を形成する。このめっき膜６５は、リード５７に対する半田のぬれ性を向上させるものである。最後に、ダムバー５９、および各リード５７のうち樹脂モールド部６３の外方に突出する突出部５７ｃを切断線Ａにおいて切り落とし、各リード５７を互いに電気的に独立させてＱＦＮの製造が終了する。
【０００５】
このＱＦＮを回路基板に実装する際には、図１６に示すように、めっきを施したリード５７の裏面５７ａと回路基板７１のランド部７３とを半田６７により接着する。これにより、ＱＦＮ８０と回路基板７１とが電気的に接続されることになる。ここで、半田６７によるリード５７とランド部７３との接合力は、樹脂モールド部６３の下面６３ａに露出するリード５７の裏面５７ａの大きさに依存している。
【特許文献１】特開２００２−３１４０２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、このＱＦＮ８０においては、回路基板７１との電気的な接続の信頼性の向上が求められている。しかしながら、ＱＦＮ８０の場合には、樹脂モールド部６３の下面６３ａ側に露出するリード５７の裏面５７ａの大きさが規格等により定められているため、リード５７の裏面５７ａの面積を大きくして、リード５７とランド部７３との接合力を向上させることができない、すなわち、ＱＦＮ８０と回路基板７１との電気的な接続の信頼性向上を図ることができないという問題があった。
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、半導体パッケージと回路基板との電気的な接続の信頼性向上を図ることができる半導体パッケージ、および、これに使用するリードフレームを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、板状に形成された樹脂モールド部の厚さ方向の一端面に露出する複数のリードを備えた半導体パッケージに適用し、半導体チップを配置するためのステージ部と、その周囲に配される複数のリードと、これらリードを連結するリード連結部とを有する金属製薄板からなるリードフレームであって、前記リードには、リードフレームの厚さ方向の一端面から窪んだ凹部が形成されていることを特徴とするリードフレームを提案している。
【０００８】
この発明に係るリードフレームを用い、ステージ部、半導体チップ、および複数のリードを一体的に固定する樹脂モールド部を形成して半導体パッケージを製造する際には、回路基板の表面に対向させる樹脂モールド部の下面とリードの一端面とが同一平面をなすように、この一端面を外方に露出させる。
そして、各リードの一端面には凹部が形成されているため、この凹部表面にめっきを形成することにより、リードに対する半田の付着面積が増加する。したがって、樹脂モールド部の下面に露出するリードの一端面の面積を増加させることなく、リードと半田との接合力を向上させることができる。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載のリードフレームにおいて、前記リードもしくはリード連結部には、リードフレームの厚さ方向に貫通する貫通孔が形成され、前記各リードを電気的に独立させるための切断線が、前記貫通孔を通過することを特徴とするリードフレームを提案している。
【００１０】
この発明に係るリードフレームによれば、リードもしくはリード連結部にめっきを施した後に、リードもしくはリード連結部を切断しても、リードの厚さ方向に沿う側面を構成する貫通孔の内壁面にめっきが残るため、リードに付着する半田面積の増加を図って、リードと半田との接合力をさらに向上させることができる。
【００１１】
請求項３に係る発明は、請求項２に記載のリードフレームにおいて、前記貫通孔が、リード連結部に形成されている場合には、前記リードの配列方向に沿って、かつ、複数のリードにわたって形成されていることを特徴とするリードフレームを提案している。
【００１２】
この発明に係るリードフレームによれば、各リードに貫通孔を形成する場合と比較して、大きい貫通孔を形成できるため、リード連結部を切断した後に各リードの側面に残るめっき領域を容易に増やすことができる。したがって、リードに対する半田の付着面積の増加を容易に図ることができる。
【００１３】
また、請求項４に係る発明は、板状に形成された樹脂モールド部の厚さ方向の一端面に露出する複数のリードを備えた半導体パッケージであって、前記樹脂モールド部の一端面から外方に露出する前記リードの一端面に、凹部が形成されていることを特徴とする半導体パッケージを提案している。
【００１４】
この発明に係る半導体パッケージによれば、樹脂モールド部の一端面から露出するリードの一端面に凹部が形成されているため、各リードに対する半田の付着面積の増加を図って、リードと半田との接合力を向上させることができる。
【００１５】
また、請求項５に係る発明は、請求項４に記載の半導体パッケージにおいて、前記リードが、前記樹脂モールド部の厚さ方向に沿う側面から外方に露出し、前記凹部が、前記樹脂モールド部の側面から外方に開口することを特徴とする半導体パッケージを提案している。
この発明に係る半導体パッケージによれば、凹部が樹脂モールド部の一端面に隣接する側面側から外方に開口するため、目視検査により外方からリードと半田との接合状態を容易に判定できる。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、請求項１に係る発明によれば、樹脂モールド部の外方に露出するリードの一端面に凹部を形成しておくことにより、リードと半田との接合力を向上させることができるため、このリードフレームを利用した半導体パッケージを回路基板に実装する際には、リードと回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性向上を図ることができる。
【００１７】
また、請求項２に係る発明によれば、リードもしくはリード連結部に貫通孔を形成することにより、リードに対する半田の接合力をさらに向上させることができるため、このリードフレームを利用して半導体パッケージを製造し、この半導体パッケージを回路基板に実装する際には、リードと回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性の向上をさらに図ることができる。
【００１８】
また、請求項３に係る発明によれば、各リードに貫通孔を形成する場合と比較して、大きい貫通孔を形成するため、リードと半田との接合力の向上させることができ、リードと回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性を確実に向上させることができる。
【００１９】
また、請求項４に係る発明によれば、樹脂モールド部の一端面から露出するリードの一端面に凹部を形成することにより、リードと半田との接合力を向上させることができるため、この半導体パッケージを回路基板に実装する際には、リードと回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性の向上を図ることができる。
【００２０】
また、請求項５に係る発明によれば、リードの一端面に形成された凹部を樹脂モールド部の側面から外方に開口させることにより、目視検査によるリードと半田との接合状態の判定が容易となるため、この半導体パッケージを回路基板に実装する際には、リードと回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性の向上をさらに図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１から図４は、本発明の一実施形態を示しており、この実施の形態に係る半導体パッケージは、薄板状の銅材等からなる金属板にプレス加工もしくはエッチング加工、あるいはこの両方の加工を施して形成されるリードフレームを用いて製造される。
リードフレーム１は、図１に示すように、半導体チップ３を配置するためのステージ部５と、ステージ部５の周囲に配された複数のリード７と、これらリード７を連結するダムバー（リード連結部）９とを備えている。
各リード７には、リードフレーム１の厚さ方向に貫通する貫通孔１１が形成されており、これら貫通孔１１は、リード７の配列方向に並べて配されている。これら貫通孔１１は、プレス加工若しくはエッチング加工により形成されている。
また、図２に示すように、各リード７の厚さ方向の一端面７ａ（以下、裏面７ａと呼ぶ。）には、２つの凹部１３が形成されており、これら凹部１３は、貫通孔１１の形成位置よりもステージ部５側に近傍して配されている。また、各凹部１３は、エッチング加工により平面視円形状に形成されており、リード７の厚さ方向に沿う側面８側に開口しないように形成されている。
【００２２】
このリードフレーム１を用いて半導体パッケージを製造する方法について、以下に説明する。
はじめに、ステージ部５の表面５ａに半導体チップ３を接着すると共に、金属製のボンディングワイヤにより、半導体チップ３の各パッドとリード７とを電気的に接続する。なお、リード７にボンディングワイヤをボンディングする位置は、貫通孔１１の形成位置からステージ部５側にずれた表面７ｂとなっている。
そして、このリードフレーム１を所定の金型内に配置し、この金型内に溶融樹脂を射出することにより、図３に示すように、半導体チップ３、ステージ部５、ボンディングワイヤ１３、およびリード７のボンディング部分を一体的に固定する樹脂モールド部１５が形成される。
【００２３】
ここで、樹脂モールド部１５の下面（一端面）１５ａは、各リード７の裏面７ａと共に同一平面を形成している。また、樹脂モールド部１５の厚さ方向に沿う側面１５ｂは、後述するリード７の切断線Ａに位置している、すなわち、リード７の長手方向（ＣＤ方向）に関する貫通孔１１の長さ寸法が半分となる位置に形成されている。さらに、この樹脂モールド部１５は、貫通孔１１に樹脂が入り込まないように形成されている。
【００２４】
この樹脂モールド部１５の形成後に、各リード７のうち樹脂モールド部１５から外方に露出している表面７ｂ、裏面７ａ、貫通孔１１の内壁面１１ａ、および凹部１３の内壁面１３ａにめっきを施して、半田用のめっき膜１７を形成する。
最後に、各リード７のうち樹脂モールド部１５の側面から外方（Ｄ方向）に突出する突出部７ｃ、およびダムバー９を切断線Ａにおいて切り落とし、各リード７を互いに電気的に独立させて半導体パッケージの製造が終了する。
【００２５】
以上のように製造された半導体パッケージ３０は、図４に示すように、リード７が樹脂モールド部１５の側面１５ｂから突出しないＱＦＮである。この半導体パッケージ３０において、外方に露出するリード７の厚さ方向に沿う側面７ｄは、前述した切断線Ａにおいてリード７を切断して形成されるものである。この側面７ｄは、樹脂モールド部１５の側面１５ｂと同一平面を形成する切断面７ｅと、前述した貫通孔１１の内壁面１１ａの一部である窪み面（めっき面）７ｆとから構成されている。この窪み面７ｆには、めっき膜１７が形成されている。
【００２６】
この半導体パッケージ３０を回路基板２１に実装する際には、樹脂モールド部１５の下面１５ａを回路基板２１に対向させ、半田２５により各リード７と回路基板２１のランド部２３とを互いに電気的に接続する。この状態においては、半田２５が、リード７の裏面７ａ、窪み面７ｆ、および凹部１３の内壁面１３ａに接合する。
【００２７】
上記の半導体パッケージ３０によれば、リード７の裏面７ａの他に、側面７ｄの窪み面７ｆ、および凹部１３の内壁面１３ａにもめっき膜１７が形成されているため、ぬれ性が向上し、リード７に対する半田２５の付着面積が増加して、リード７と半田２５との接合力を向上させることができる。
また、半導体パッケージ３０を回路基板２１に配置した状態では、窪み面７ｆに形成されためっき膜１７が外方に露出しているため、目視検査によるリード７と半田２５との接合状態の判定が容易となる。
【００２８】
なお、上記の実施の形態においては、リード７の切断面７ｅが、樹脂モールド部１５の側面１５ｂと同一平面に位置するように形成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、図５に示すように、側面１５ｂから外方に突出した位置に形成されるとしてもよい。この場合には、リード７の表面７ｂが外方に露出するため、この表面７ｂにもめっき膜１７が残る。したがって、半導体パッケージ３０を回路基板２１に実装した際には、半田２５をリード７の裏面７ａ、窪み面７ｆおよび凹部１３の内壁面１３ａに加えて、リード７の表面７ｂにも接合させることができるため、リード７とランド部２３との電気的な接続の信頼性の向上をさらに図ることができる。
【００２９】
ただし、この場合には、図６に示すように、貫通孔１１を樹脂モールド部１５の側面１５ｂから外方に離れた位置に形成する、もしくは、側面１５ｂから離れる方向に拡大して形成する必要がある。
また、リード７の切断位置は、リード７の長手方向に関する貫通孔１１の長さ寸法の半分としたが、これに限ることはなく、貫通孔１１を通過していればよい。
【００３０】
さらに、貫通孔１１は、各リード７に形成されるとしたが、これに限ることはなく、各リード７を連結するダムバー９に形成されるとしてもよい。
この場合には、例えば、図７に示すように、リードフレームの形成時に、貫通孔１２をリード７の配列方向に沿って、かつ、複数のリード７わたって形成する。そして、貫通孔１２の内壁面（表面）１２ａを含むリード７およびダムバー９にめっきを施した後に、切断線Ｂにおいてダムバー９を切断する。以上により、図８に示すように、各リード７を互いに電気的に独立させた半導体パッケージ３１が製造される。
この半導体パッケージ３１では、リード７の厚さ方向に沿う側面７ｇは、めっき膜１７が形成されためっき面７ｈと、このめっき面７ｈに隣接した切断面７ｉとから構成されている。なお、このリード７の側面７ｇに隣接する表面７ｂにもめっきが施されている。
【００３１】
この場合には、各リード７に貫通孔１１を形成する場合と比較して大きい貫通孔１２が形成されるため、リード７のめっき面７ｈの面積を容易に増加できる。このため、リード７に対する半田の付着面積の増加をさらに図り、リード７と半田との接合力を確実に向上できる。
【００３２】
また、ダムバー９に複数のリード７にわたって１つの貫通孔１２を形成するとしたが、これに限ることはなく、少なくとも各リード７を互いに電気的に独立させる切断線が通過する位置に貫通孔が形成されていればよい。したがって、例えば、隣り合う各リード７の間を通過する切断線Ｂにそれぞれ貫通孔を形成するとしてもよい。
【００３３】
さらに、リード７若しくはダムバー９に貫通孔１１，１２を形成するとしたが、目視検査によるリード７と半田との接合状態の判定を行わない場合には、特に形成する必要はなく、少なくとも、樹脂モールド部１５の下面１５ａ側に露出するリード７の裏面７ａに凹部１３が形成されていればよい。
また、図９に示すように、各リード７を電気的に独立させる切断線Ａが通過する位置に、リード７の裏面７ａから窪む凹部４１を別途形成しても構わない。この凹部４１は、切断線Ａにおいてリード７を切断することにより、樹脂モールド部１５の側面１５ｂ側から外方に開口することになる。
【００３４】
さらに、リード７の裏面７ａに凹部１３を２つ形成するとしたが、これに限ることはなく、少なくとも１つ以上の凹部を形成すればよい。したがって、例えば、図１０に示すように、１つの凹部４２のみを形成するとしてもよい。なお、この凹部４２は、樹脂モールド部１５の下面１５ａ側から見て、リード７の裏面７ａの面積よりも小さければよい。
また、例えば、図１１に示すように、この凹部４２を樹脂モールド部１５の側面１５ｂ側から外方に開口させるように形成しても構わない。この構成の場合には、回路基板のランド部表面にリード７の裏面７ａを当接させても、凹部４２の内壁面４２ａを外方から視認できるため、目視検査により外方からリード７と半田との接合状態を容易に判定できる。したがって、リード７と回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性の向上を図ることができる。
【００３５】
また、凹部１３は、リード７の幅方向の２つの側面８に開口しないように形成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、図１２に示すように、リード７の２つの側面８のみに開口する凹部４３や、２つの側面８および樹脂モールド部１５の側面から開口する凹部４４や、一方の側面８および樹脂モールド部１５の側面から開口する凹部４５を形成するとしてもよい。この構成の場合には、樹脂モールド部１５を形成する際に、これら凹部４３〜４５に樹脂が入り込まないように、例えば、金型の形状を変えればよい。
【００３６】
さらに、このような凹部１３，４１〜４５を形成することに加えて、例えば、図１３に示すように、凹部４６の底面４６ａから突出する突起部４７を複数形成するとしてもよい。この構成の場合には、リード７に対するめっきの付着面積がさらに増加するため、リード７と半田との接合力がさらに増し、リード７とランド部２３との電気的な接続の信頼性向上をさらに図ることができる。
なお、これら突起部４７の先端部は、少なくともリード７の裏面７ａから突出していなければよく、また、突起部４７は少なくとも１つ以上形成されていればよい。
【００３７】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態に係るリードフレームを示す平面図である。
【図２】図１のリードフレームにおいて、（ａ）は、Ｅ−Ｅ矢視断面図であり、（ｂ）は、リードの裏面側を示す拡大平面図である。
【図３】図１のリードフレームを用いて、本発明の一実施形態に係る半導体パッケージを製造する途中段階を示しており、（ａ）は拡大断面図、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ矢視断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る半導体パッケージを回路基板に搭載した状態を示しており、（ａ）は拡大断面図、（ｂ）は拡大平面図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る半導体パッケージを回路基板に搭載した状態を示す拡大断面図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る半導体パッケージにおいて、リードを切断する前の状態を示す拡大断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る半導体パッケージにおいて、リード連結部を切断する前の状態を示す拡大平面図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係る半導体パッケージの要部を示す拡大平面図である。
【図９】本発明の他の実施形態に係る半導体パッケージを示しており、（ａ）は拡大断面図、（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ矢視断面図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る半導体パッケージを示しており、（ａ）は拡大断面図、（ｂ）は（ａ）のＨ−Ｈ矢視断面図である。
【図１１】本発明の他の実施形態に係る半導体パッケージを示しており、（ａ）は拡大断面図、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ矢視断面図である。
【図１２】本発明の他の実施形態に係る半導体パッケージを示す拡大断面図である。
【図１３】本発明の他の実施形態に係る半導体パッケージを示しており、（ａ）は拡大断面図、（ｂ）は（ａ）のＪ−Ｊ矢視断面図である。
【図１４】従来のリードフレームの一例を示す平面図である。
【図１５】従来の半導体パッケージの製造方法において、リードを切断する前の状態を示す拡大断面図である。
【図１６】この発明の他の実施形態に係る半導体パッケージを回路基板に搭載した状態を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１・・・リードフレーム、３・・・半導体チップ、５・・・ステージ部、７・・・リード、７ａ・・・裏面（一端面）、９・・・ダムバー（リード連結部）、１１，１２・・・貫通孔、１３，４１〜４６・・・凹部、１５・・・樹脂モールド部、１５ａ・・・下面（一端面）、１５ｂ・・・側面、３０・・・半導体パッケージ、Ａ，Ｂ・・・切断線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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