(57)【要約】【課題】積層工程の回数を減らすことができ、積層工程中に発生する不良を減らすことができるグリーンシート、グリーンシートの製造方法、及びＰＤＰの製造方法を提供する。【解決手段】ブラックマトリクス層と電極層が一体に形成されたフィルムを１回ラミネートして、ブラックマトリクス層と電極層を基板上に同時に形成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にブラックマトリクス層と電極層が順に積層されたフィルムをラミネーションする工程と、
前記電極層を第１のパターンに沿って第１の現像液で現像して電極を形成する工程と、
第２のパターンに沿って前記ブラックマトリクス層を露光する工程と、
前記ブラックマトリクス層を前記第２のパターンに沿って第２の現像液で現像してブラックマトリクスを形成する工程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記フィルムのブラックマトリクス層は、予め露光されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記フィルムのブラックマトリクス層に予め露光される量は、１００ｍＪ／ｃｍ２以上２００ｍＪ／ｃｍ２以下であり、
前記第２のパターンに沿って、前記ブラックマトリクス層が露光される量は、３００ｍＪ／ｃｍ２以上４００ｍＪ／ｃｍ２以下であることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記フィルムのブラックマトリクス層に予め露光される量は、全体露光量の２０％以上４０％以下であり、
前記第２のパターンに沿って、前記ブラックマトリクス層が露光される量は、全体露光量の６０％以上８０％以下であることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
前記第１の現像液と前記第２の現像液は炭酸ナトリウムであり、
前記第１の現像液の濃度は、前記第２の現像液の濃度の２倍以上３倍以下であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
前記ブラックマトリクス層に含まれたバインダの分子量は、５０，０００ｇ／ｍｏｌ以上２００，０００ｇ／ｍｏｌ以下であり、
前記第１の現像液と前記第２の現像液は炭酸ナトリウムであり、
前記第１の現像液の濃度は、０．３％以上１％以下であり、前記第２の現像液の濃度は、０．６％以上３％以下であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
前記ブラックマトリクス層と電極層が順に積層されたフィルムを保護するカバーフィルムとベースフィルムを除去する工程をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
第１のフィルムと、
前記第１のフィルム上に積層され、露光が行われた第１層と、
前記第１層上に積層された第２層と、
前記第２層上に積層された第２のフィルムとを備えることを特徴とするグリーンシート。
【請求項９】
前記第１層は、ブラックマトリクス層であることを特徴とする請求項８に記載のグリーンシート。
【請求項１０】
前記第２層は、電極層であることを特徴とする請求項８に記載のグリーンシート。
【請求項１１】
前記第１層に露光される露光量は、１００ｍＪ／ｃｍ２以上２００ｍＪ／ｃｍ２以下であることを特徴とする請求項８に記載のグリーンシート。
【請求項１２】
前記第１層に露光される露光量は、全体露光量の２０％以上４０％以下であることを特徴とする請求項８に記載のグリーンシート。
【請求項１３】
前記ブラックマトリクス層に含まれたバインダの分子量は、５０，０００ｇ／ｍｏｌ以上２００，０００ｇ／ｍｏｌ以下であることを特徴とする請求項９に記載のグリーンシート。
【請求項１４】
第１のフィルムを準備する工程と、
前記第１のフィルム上に積層された第１層を露光する工程と、
前記第１層上に第２層を積層する工程と、
前記第２層上に第２のフィルムを積層する工程とを含むことを特徴とするグリーンシートの製造方法。
【請求項１５】
前記第１層は、ブラックマトリクス層であることを特徴とする請求項１４に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項１６】
前記第２層は、電極層であることを特徴とする請求項１４に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項１７】
前記第１層に露光される露光量は、１００ｍＪ／ｃｍ２以上２００ｍＪ／ｃｍ２以下であることを特徴とする請求項１４に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項１８】
前記第１層に露光される露光量は、全体露光量の２０％以上４０％以下であることを特徴とする請求項１４に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項１９】
前記ブラックマトリクス層に含まれたバインダの分子量は、５０，０００ｇ／ｍｏｌ以上２００，０００ｇ／ｍｏｌ以下であることを特徴とする請求項１５に記載のグリーンシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンシート、グリーンシートの製造方法、及びプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のプラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」という）は、２枚のガラス基板間での電極間ガス放電現象を用いて画像を表示する発光型素子の一種である。一般のＰＤＰでは、各セルを駆動するためのアクティブ素子が必要ないので、ＰＤＰの製造工程が簡単であり、画面の大型化が容易であり、応答速度が速い。
【０００３】
従来のＰＤＰは、前面基板及び後面基板を備えている。前面基板には、維持放電のためのスキャン電極及び維持電極が形成され、後面基板には、アドレス放電のためのアドレス電極が形成される。従来のＰＤＰの作製過程において、前面基板または後面基板に電極を形成するために、スクリーン印刷法が多く用いられてきた。しかし、最近は、スクリーン印刷法の代わりに、ドライフィルムを用いて電極を形成する方法が提示されている。
【０００４】
ドライフィルムを用いる電極の形成方法では、電極厚さを均一に形成することができ、大型化が容易であるだけでなく、乾燥過程が必要ない。また、このドライフィルムを用いる電極の形成方法は、ラミネータを使用するので、工程コスト及び装備の維持コストが安価であるという利点がある。
【０００５】
図１は、従来のＰＤＰの製造方法を示す図である。図１に示すように、従来のＰＤＰの製造方法では、感光性フォトレジストを用いて、基板１００上に蒸着された透明電極材に所定のパターンを形成し、このパターンに沿って透明電極材がエッチングされて透明電極１０１が形成される。
【０００６】
ブラックマトリクス（以下、「ＢＭ」と称することもある）を形成するために、ＢＭフィルムや感光性ブラックペーストをラミネートし、またはスクリーン印刷することにより、ＢＭ層１０２が透明電極１０１上に形成される。この際、ＢＭフィルムがグリーンシートの一部分であれば、ＢＭフィルムのラミネーティングのために、グリーンシートのカバーフィルムとベースフィルムが除去される。
【０００７】
ＢＭマスク２０を用いて、ＢＭ層１０２が所定のパターンに沿って露光された後、電極フィルムや感光性電極ペーストをラミネートし、またはスクリーン印刷することにより、電極層１０３が露光されたＢＭ層１０２上に形成される。この際、電極フィルムがグリーンシートの一部分であれば、電極フィルムのラミネーティングのために、グリーンシートのカバーフィルムとベースフィルムが除去される。
【０００８】
その後、電極マスク３０を用いて電極層１０３が電極パターンに沿って露光されると、電極層１０３とＢＭ層１０２は、同一の現像液によって同時に現像されることにより、電極１０３’及びＢＭ１０２’が形成される。最後に、焼成炉において高温焼成が行われることにより、電極１０３’及びＢＭ１０２’が焼成される。
【０００９】
すなわち、透明電極上にＢＭフィルムや感光性ブラックペーストがラミネートされるか、またはスクリーン印刷によって塗布された後、所望のパターンに沿ってＢＭフィルムや感光性ブラックペーストが露光される。電極フィルムや感光性電極ペーストがＢＭフィルムや感光性ブラックペースト上にラミネートされるか、またはスクリーン印刷によって塗布された後、所望のパターンに沿って電極フィルムや感光性電極ペーストが露光される。その後、ＢＭフィルムや感光性ブラックペースト、または電極フィルムや感光性電極ペーストが同時に現像され、ＢＭ１０２’と電極１０３’が形成される。
【００１０】
しかしながら、電極やＢＭが電極フィルムやＢＭフィルムのような従来のドライフィルムで形成されると、ＢＭフィルムと電極フィルムのラミネーションのために、ラミネーション工程が２回行わなければならないので、製造工程数が増えてしまう。
【００１１】
また、２回のラミネーション工程が行われるので、各積層工程中に発生する不良率が増加する。
【００１２】
また、２回のラミネーション工程が行われるので、除去されるベースフィルムとカバーフィルムの量が増加して、製造コストが増加する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の目的は、ラミネーション工程の回数を減らすことができるグリーンシート、グリーンシートの製造方法、及びＰＤＰの製造方法を提供するところにある。
【００１４】
本発明の他の目的は、ラミネーション工程中に発生する不良を減らすことができるグリーンシート、グリーンシートの製造方法、及びＰＤＰの製造方法を提供するところにある。
【００１５】
本発明のまた他の目的は、ラミネーション工程中に消耗されるベースフィルムとカバーフィルムの量を減らすことができるグリーンシート、グリーンシートの製造方法、及びＰＤＰの製造方法を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記の目的を達成するために、本発明によるＰＤＰの製造方法は、基板上にブラックマトリクス層と電極層が順に積層されたフィルムをラミネーションする工程と、前記電極層を第１のパターンに沿って第１の現像液で現像して電極を形成する工程と、第２のパターンに沿って前記ブラックマトリクス層を露光する工程と、前記ブラックマトリクス層を前記第２のパターンに沿って第２の現像液で現像してブラックマトリクスを形成する工程とを含むことを特徴とする。
【００１７】
前記フィルムのブラックマトリクス層は、予め露光されることを特徴とする。
【００１８】
前記フィルムのブラックマトリクス層に予め露光される量は、１００ｍＪ／ｃｍ２以上２００ｍＪ／ｃｍ２以下であり、前記第２のパターンに沿って、前記ブラックマトリクス層が露光される量は、３００ｍＪ／ｃｍ２以上４００ｍＪ／ｃｍ２以下であることを特徴とする。
【００１９】
前記フィルムのブラックマトリクス層に予め露光される量は、全体露光量の２０％以上４０％以下であり、前記第２のパターンに沿って、前記ブラックマトリクス層が露光される量は、全体露光量の６０％以上８０％以下であることを特徴とする。
【００２０】
前記第１の現像液と前記第２の現像液は炭酸ナトリウムであり、前記第１の現像液の濃度は、前記第２の現像液の濃度の２倍以上３倍以下であることを特徴とする。
【００２１】
前記ブラックマトリクス層に含まれたバインダの分子量は、５０，０００ｇ／ｍｏｌ以上２００，０００ｇ／ｍｏｌ以下であり、前記第１の現像液と前記第２の現像液は炭酸ナトリウムであり、前記第１の現像液の濃度は、０．３％以上１％以下であり、前記第２の現像液の濃度は、０．６％以上３％以下であることを特徴とする。
【００２２】
前記ブラックマトリクス層と電極層が順に積層されたフィルムを保護するカバーフィルムとベースフィルムを除去する工程をさらに備えることを特徴とする。
【００２３】
本発明によるグリーンシートは、第１のフィルムと、前記第１のフィルム上に積層され、露光が行われた第１層と、前記第１層上に積層された第２層と、前記第２層上に積層された第２のフィルムとを備えることを特徴とする。
【００２４】
前記第１層は、ブラックマトリクス層であることを特徴とする。
【００２５】
前記第２層は、電極層であることを特徴とする。
【００２６】
前記第１層に露光される露光量は、１００ｍＪ／ｃｍ２以上２００ｍＪ／ｃｍ２以下であることを特徴とする。
【００２７】
前記第１層に露光される露光量は、全体露光量の２０％以上４０％以下であることを特徴とする。
【００２８】
前記ブラックマトリクス層に含まれたバインダの分子量は、５０，０００ｇ／ｍｏｌ以上２００，０００ｇ／ｍｏｌ以下であることを特徴とする。
【００２９】
本発明によるグリーンシートの製造方法は、第１のフィルムを準備する工程と、前記第１のフィルム上に積層された第１層を露光する工程と、前記第１層上に第２層を積層する工程と、前記第２層上に第２のフィルムを積層する工程とを含むことを特徴とする。
【００３０】
前記第１層は、ブラックマトリクス層であることを特徴とする。
【００３１】
前記第２層は、電極層であることを特徴とする。
【００３２】
前記第１層に露光される露光量は、１００ｍＪ／ｃｍ２以上２００ｍＪ／ｃｍ２以下であることを特徴とする。
【００３３】
前記第１層に露光される露光量は、全体露光量の２０％以上４０％以下である。
【００３４】
前記ブラックマトリクス層に含まれたバインダの分子量は、５０，０００ｇ／ｍｏｌ以上２００，０００ｇ／ｍｏｌ以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、ラミネーション工程の回数を減らすことができるという効果がある。
【００３６】
また、ラミネーション工程の回数を減らすことにより、ベースフィルムとカバーフィルムの消耗を減らすことができるという効果がある。
【００３７】
また、ラミネーション工程の回数を減らすことにより、ラミネーション工程中に発生する不良率を減らすことができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
前記の目的以外に本発明の他の目的及び特徴は、添付図面を参照した実施形態についての説明を通じて明白に表れる。
【００３９】
図２は、本発明の実施の形態によるＰＤＰの製造過程を示す図である。
【００４０】
第１のステップ（ＳＴ１）では、基板１０上に透明電極材が塗布された後、感光性レジストを用いて、透明電極材が透明電極パターンに沿って露光後、現像されて透明電極１が形成される。
【００４１】
第２のステップ（ＳＴ２）では、感光性バス電極層３と感光性ＢＭ層２が一体となるドライフィルム４が、１回のラミネーション工程を通じて、透明電極１上にラミネートされる。この過程で、ドライフィルム４を保護するためのカバーフィルムとベースフィルムが除去される。感光性ＢＭ層２が透明電極１と接触し、感光性バス電極層３は、感光性ＢＭ層２上に位置する。すなわち、従来のＰＤＰの製造方法では、電極フィルムとＢＭフィルムがそれぞれラミネートされなければならないので、２回のラミネーション工程が行われるのに対して、本発明のＰＤＰの製造方法では、感光性バス電極層３と感光性ＢＭ層２が一体となるドライフィルム４が用いられるので、１回のラミネーション工程が行われ、ＰＤＰの全体の製造工程数が減らすようになる。
【００４２】
第３のステップ（ＳＴ３）では、感光性バス電極層３が、電極マスク３０の電極パターンに沿って露光される。
【００４３】
第４のステップ（ＳＴ４）では、現像液を用いて感光性バス電極層３に対する現像工程が行われる。このような現像工程を通じて、所定のパターンをなすバス電極３’が感光性ＢＭ層２上に形成される。
【００４４】
第５のステップ（ＳＴ５）では、基板１０上に露出された感光性ＢＭ層２が、ＢＭマスク２０のＢＭパターンに沿って露光される。
【００４５】
第６のステップ（ＳＴ６）では、現像液を用いて感光性ＢＭ層２に対する現像工程が行われる。感光性ＢＭ層２に対する現像工程を通じて、所定のパターンをなすＢＭ２’が、バス電極３’とともに基板１０上に形成される。
【００４６】
第７のステップ（ＳＴ７）では、ＢＭ２’とバス電極３’が形成された基板１０が焼成炉に入れられて焼成される。
【００４７】
なお、第４のステップ（ＳＴ４）において、感光性バス電極層３と感光性ＢＭ層２が同時に現像されることを防止するために、二つの方法が考えられる。
【００４８】
第１の方法は、第４のステップ（ＳＴ４）で使用される電極現像液と、第６のステップ（ＳＴ６）で使用されるＢＭ現像液との濃度を異ならせることである。すなわち、大部分の電極現像液とＢＭ現像液は、炭酸ナトリウム（ＮａＣＯ３）を純粋に３％以下に溶解させた溶液であり、通常、０．３％以上１％以下の濃度の炭酸ナトリウム溶液が用いられる。したがって、電極現像液として使用される炭酸ナトリウムの濃度は０．３〜１％とし、ＢＭ現像液として使用される炭酸ナトリウムの濃度は、電極現像液として使用される炭酸ナトリウムの濃度の２倍以上３倍以下の水準である０．６％以上３％以下とする。
【００４９】
この際、一般的なＢＭ層をなしている無機物パウダー、バインダ、モノマー、光開始剤、溶媒、その他の添加物のうちバインダの分子量は、１０，０００乃至３０，０００の水準であるのに対して、本発明の実施の形態で使用される感光性ＢＭ層２のバインダの分子量は５０，０００ｇ／ｍｏｌ以上２００，０００ｇ／ｍｏｌ以下である。バインダの分子量が、５０，０００ｇ／ｍｏｌ以上２００，０００ｇ／ｍｏｌ以下であれば、濃度が０．３〜１％である炭酸ナトリウムによって現像されない。したがって、第４のステップ（ＳＴ４）において、バインダの分子量が、５０，０００ｇ／ｍｏｌ以上２００，０００ｇ／ｍｏｌ以下である感光性ＢＭ層２は、０．３％以上１％以下の濃度の炭酸ナトリウム溶液によって現像されず、感光性バス電極層３のみが現像される。
【００５０】
したがって、ドライフィルム４をなしている感光性バス電極層３と感光性ＢＭ層２の現像強度の調節をすることにより、上述した問題点を解決することができる。
【００５１】
感光性バス電極層３と感光性ＢＭ層２が同時に現像される問題を解決することができる第２の方法は、予め一定程度が露光された感光性ＢＭ層２を使用することである。
【００５２】
図３は、本発明の実施の形態によるグリーンシートの製造過程を示す図である。
【００５３】
図３の（ａ）に示すように、ベースフィルム上に感光性ＢＭ層２が形成される。
【００５４】
図３の（ｂ）に示すように、感光性ＢＭ層２上に感光性バス電極層３が形成される前に、感光性ＢＭ層２に対して予め一定程度の露光が行われる。これによって、感光性ＢＭ層２の内部物質の一部が露光過程で用いられる紫外線と反応する。
【００５５】
図３の（ｃ）に示すように、予め一定程度の露光が行われた感光性ＢＭ層２上に、感光性バス電極層３が形成され、感光性ＢＭ層２と感光性バス電極層３からなるドライフィルム４を保護するために感光性バス電極層３上にカバーフィルムが形成される。
【００５６】
これによって、図２の第４のステップ（ＳＴ４）において、現像液によって感光性バス電極層３が現像されるとき、予め一定程度が露光された感光性ＢＭ層２は現像液を耐えるようになる。
【００５７】
例えば、感光性ＢＭ層２の現像に必要な全体露光量が、５００ｍＪ／ｃｍ２である場合、ドライフィルムの製造過程において、全体露光量の２０％以上４０％以下である１００ｍＪ／ｃｍ２以上２００ｍＪ／ｃｍ２以下に該当する紫外線が、感光性ＢＭ層２の全体に照射されると、感光性ＢＭ層２の上部が予め露光されて、図２の第４のステップ（ＳＴ４）において、一定時間の間、現像液を耐えることができる。その後、感光性ＢＭ層２の露光ステップ（ＳＴ５）において、全体露光量の６０％以上８０％以下である３００ｍＪ／ｃｍ２以上４００ｍＪ／ｃｍ２以下に該当する紫外線が、感光性ＢＭ層２に照射されると、ＢＭマスク２０によって、露光が不足した感光性ＢＭ層２の一部分は、ＢＭ現像ステップ（ＳＴ６）で現像され、全体露光量が照射された感光性ＢＭ層２の他の部分は残るようになる。
【００５８】
従来のＰＤＰの製造方法では、ラミネーション工程が電極層とＢＭ層の形成のために２回行われるのに対して、本発明のＰＤＰの製造方法では、感光性バス電極層３と感光性ＢＭ層２が一体となるドライフィルム４を使用することにより、ラミネーション工程が１回行われる。
【００５９】
これによって、ラミネーション工程中に消耗されるベースフィルム及びカバーフィルムが半分に減少して、製造コストが節減される。
【００６０】
また、ラミネーション工程の回数が減らすことにより、ラミネーション工程中に発生する不良率が相対的に減少する。
【００６１】
以上説明した内容を通じて、当業者であれば、本発明の技術思想を逸脱しない範囲で多様な変更及び修正が可能であるということが分かる。したがって、本発明の技術的範囲は、明細書の詳細な説明に記載された内容に限定されるものではなく、特許請求の範囲により決まらねばならない。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、ＰＤＰ関連の技術分野に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】従来のＰＤＰの製造方法を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態によるＰＤＰの製造過程を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態によるグリーンシートの製造過程を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０ 基板
１ 透明電極
２ 感光性ＢＭ層
２’ ＢＭ
３ 感光性バス電極層
３’ バス電極
４ ドライフィルム
【図１】
2006164987.tif 000003
【図２】
2006164987.tif 000004
【図３】
2006164987.tif 000005