(57)【要約】      （修正有）【課題】  ナノレベルの加工精度を実現する研磨装置を提供する。【解決手段】  被研磨物保持体２に保持されたアール状の被研磨部１ａを有する被研磨物１を揺動させながら研磨部３に当接させて該アール状の被研磨部１ａを研磨する研磨装置であって、前記被研磨物保持体２を揺動せしめる駆動源４の回転駆動軸18と前記被研磨物保持体２とを連設して前記駆動源４の回転駆動を前記被研磨物保持体２に伝達する動力伝達部５として、前記回転駆動軸18に連設され前記被研磨物保持体２に該被研磨物保持体２と非接触で連設される連設部５ａ，５ｂを有し、この連設部５ａ，５ｂにおける非接触部においては圧送気体が充填されて前記被研磨物保持体２と非接触状態で連設され、該連設部５ａ，５ｂにより前記回転駆動軸18を介しての前記駆動源４の回転駆動が前記被研磨物保持体２に伝達される構成の動力伝達部５を採用したものである。【選択図】      図２
2006305696.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨物保持体に保持されたアール状の被研磨部を有する被研磨物を揺動させながら研磨部に当接させて該アール状の被研磨部を研磨する研磨装置であって、前記被研磨物保持体を揺動せしめる駆動源の回転駆動軸と前記被研磨物保持体とを連設して前記駆動源の回転駆動を前記被研磨物保持体に伝達する動力伝達部として、前記回転駆動軸に連設され前記被研磨物保持体に該被研磨物保持体と非接触で連設される連設部を有し、この連設部における非接触部においては圧送気体が充填されて前記被研磨物保持体と非接触状態で連設され、該連設部により前記回転駆動軸を介しての前記駆動源の回転駆動が前記被研磨物保持体に伝達される構成の動力伝達部を採用したことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
請求項１記載の研磨装置において、前記動力伝達部として、前記回転駆動軸に連設され前記被研磨物保持体を該被研磨物保持体と非接触状態で挟み込む挟み込み部を有し、この挟み込み部は気体が圧送されて前記被研磨物保持体を非接触状態で挟み込み、該挟み込み部により前記回転駆動軸を介しての前記駆動源の回転駆動が前記被研磨物保持体に伝達される構成の動力伝達部を採用したことを特徴とする研磨装置。
【請求項３】
請求項２記載の研磨装置において、前記被研磨物保持体には被挟み込み部が設けられ、前記挟み込み部はこの被挟み込み部を非接触状態で挟み込む構成であることを特徴とする研磨装置。
【請求項４】
請求項３記載の研磨装置において、前記挟み込み部は前記被研磨物保持体の揺動軸芯位置と異なる位置において前記被挟み込み部を非接触状態で挟み込む構成であることを特徴とする研磨装置。
【請求項５】
請求項１記載の研磨装置において、前記動力伝達部として、前記回転駆動軸に連設され前記被研磨物保持体に該被研磨物保持体と非接触状態で挟み込まれて連設される連設部を有し、この連設部における非接触部においては圧送気体が充填されて前記被研磨物保持体と非接触状態で連設され、該連設部により前記回転駆動軸を介しての前記駆動源の回転駆動が前記被研磨物保持体に伝達される構成の動力伝達部を採用したことを特徴とする研磨装置。
【請求項６】
請求項１〜５いずれか１項に記載の研磨装置において、前記研磨部はスライド体のスライド移動によりスライド移動自在に設けられており、駆動源の駆動により移動する移動部材と前記スライド体とを連設して前記駆動源の駆動を前記スライド体に伝達する動力伝達部として、前記移動部材に連設され前記スライド体に該スライド体と非接触状態で連設される連設部を有し、この連設部における非接触部においては圧送気体が充填されて前記スライド体と非接触状態で連設され、該連設部により前記移動部材を介しての前記駆動源の駆動が前記スライド体に伝達される構成の動力伝達部を採用したことを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
請求項１〜６いずれか１項に記載の研磨装置において、前記動力伝達部として、前記移動部材に連設され前記スライド体を該スライド体と非接触状態で挟み込む挟み込み部を有し、この挟み込み部は気体が圧送されて前記スライド体を非接触状態で挟み込み、該挟み込み部により前記移動部材を介しての前記駆動源の駆動が前記スライド体に伝達される構成の動力伝達部を採用したことを特徴とする研磨装置。
【請求項８】
請求項１〜６いずれか１項に記載の研磨装置において、前記動力伝達部として、前記移動部材に連設され前記スライド体に該スライド体と非接触状態で挟み込まれて連設される連設部を有し、この連設部における非接触部においては圧送気体が充填されて前記スライド体と非接触状態で連設され、連設部により前記移動部材を介しての前記駆動源の駆動が前記スライド体に伝達される構成の動力伝達部を採用したことを特徴とする研磨装置。
【請求項９】
請求項１〜８いずれか１項に記載の研磨装置において、前記被研磨物として単結晶ダイヤモンド製のバイト用チップを採用したことを特徴とする研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、単結晶ダイヤモンドを使用した超精密微細加工の要求が高まっている。
【０００３】
具体的には、例えば近年注目される非球面レンズを成形する金型の加工に際してダイヤモンドバイトが使用されている。この非球面レンズを成形する金型（成形面となる凹部）には数十ナノレベルの加工精度が要求され、これに伴い、この金型の切削加工を行なうダイヤモンドバイトのアール状刃先は、ナノレベルでの加工精度が要求されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来、このダイヤモンドバイトにおけるアール状刃先の研磨は、回転する研磨盤に対してダイヤモンドバイトを当接させて手作業による研磨が行なわれていた。
【０００５】
従って、この作業には熟練の技が必要であり、コスト高で量産性が悪く、仮に熟練者であっても近年要求されるナノレベルでの加工精度を実現する為には限界があるなどの問題点があった。
【０００６】
また、ナノレベルの回転精度や真直度精度を実現する従来技術として、空気静圧軸受けを使用することが知られている。しかし、その軸受け単体では比較的容易にナノレベルの運動精度が得られるが、その軸受けに減速機や駆動モーターを連結すると運動精度が悪化していた。
【０００７】
本発明は、上述の問題点を解決するもので、軸受けに減速機や駆動モーターを連結しても回転精度を悪化させることのない構造を有する研磨装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【０００９】
被研磨物保持体２に保持されたアール状の被研磨部１ａを有する被研磨物１を揺動させながら研磨部３に当接させて該アール状の被研磨部１ａを研磨する研磨装置であって、前記被研磨物保持体２を揺動せしめる駆動源４の回転駆動軸18と前記被研磨物保持体２とを連設して前記駆動源４の回転駆動を前記被研磨物保持体２に伝達する動力伝達部５として、前記回転駆動軸18に連設され前記被研磨物保持体２に該被研磨物保持体２と非接触で連設される連設部５ａ，５ｂを有し、この連設部５ａ，５ｂにおける非接触部においては圧送気体が充填されて前記被研磨物保持体２と非接触状態で連設され、該連設部５ａ，５ｂにより前記回転駆動軸18を介しての前記駆動源４の回転駆動が前記被研磨物保持体２に伝達される構成の動力伝達部５を採用したことを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１０】
また、請求項１記載の研磨装置において、前記動力伝達部５として、前記回転駆動軸18に連設され前記被研磨物保持体２を該被研磨物保持体２と非接触状態で挟み込む挟み込み部５ａ，５ｂを有し、この挟み込み部５ａ，５ｂは気体が圧送されて前記被研磨物保持体２を非接触状態で挟み込み、該挟み込み部５ａ，５ｂにより前記回転駆動軸18を介しての前記駆動源４の回転駆動が前記被研磨物保持体２に伝達される構成の動力伝達部５を採用したことを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１１】
また、請求項２記載の研磨装置において、前記被研磨物保持体２には被挟み込み部16ｂが設けられ、前記挟み込み部５ａ，５ｂはこの被挟み込み部16ｂを非接触状態で挟み込む構成であることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１２】
また、請求項３記載の研磨装置において、前記挟み込み部５ａ，５ｂは前記被研磨物保持体２の揺動軸芯位置と異なる位置において前記被挟み込み部16ｂを非接触状態で挟み込む構成であることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１３】
また、請求項１記載の研磨装置において、前記動力伝達部５として、前記回転駆動軸18に連設され前記被研磨物保持体２に該被研磨物保持体２と非接触状態で挟み込まれて連設される連設部を有し、この連設部における非接触部においては圧送気体が充填されて前記被研磨物保持体２と非接触状態で連設され、該連設部により前記回転駆動軸18を介しての前記駆動源４の回転駆動が前記被研磨物保持体２に伝達される構成の動力伝達部５を採用したことを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１４】
また、請求項１〜５いずれか１項に記載の研磨装置において、前記研磨部３はスライド体６のスライド移動によりスライド移動自在に設けられており、駆動源７の駆動により移動する移動部材25と前記スライド体６とを連設して前記駆動源７の駆動を前記スライド体６に伝達する動力伝達部８として、前記移動部材25に連設され前記スライド体６に該スライド体６と非接触状態で連設される連設部８ａ，８ｂを有し、この連設部８ａ，８ｂにおける非接触部においては圧送気体が充填されて前記スライド体６と非接触状態で連設され、該連設部８ａ，８ｂにより前記移動部材25を介しての前記駆動源７の駆動が前記スライド体６に伝達される構成の動力伝達部８を採用したことを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１５】
また、請求項１〜６いずれか１項に記載の研磨装置において、前記動力伝達部８として、前記移動部材25に連設され前記スライド体６を該スライド体６と非接触状態で挟み込む挟み込み部８ａ，８ｂを有し、この挟み込み部８ａ，８ｂは気体が圧送されて前記スライド体６を非接触状態で挟み込み、該挟み込み部８ａ，８ｂにより前記移動部材25を介しての前記駆動源７の駆動が前記スライド体６に伝達される構成の動力伝達部８を採用したことを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１６】
また、請求項１〜６いずれか１項に記載の研磨装置において、前記動力伝達部８として、前記移動部材25に連設され前記スライド体６に該スライド体６と非接触状態で挟み込まれて連設される連設部を有し、この連設部における非接触部においては圧送気体が充填されて前記スライド体６と非接触状態で連設され、連設部により前記移動部材25を介しての前記駆動源７の駆動が前記スライド体６に伝達される構成の動力伝達部８を採用したことを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１７】
また、請求項１〜８いずれか１項に記載の研磨装置において、前記被研磨物１として単結晶ダイヤモンド製のバイト用チップを採用したことを特徴とする研磨装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は上述のように構成したから、極めて高精度の研磨が行なわれる従来にない画期的な研磨装置となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００２０】
被研磨物１を保持する被研磨物保持体２を揺動させながら研磨部３に当接させてアール状の被研磨部１ａを研磨する。
【００２１】
本発明は、被研磨物保持体２を揺動せしめる駆動源４の回転駆動軸18と被研磨物保持体２とを連設して駆動源４の回転駆動を被研磨物保持体２に伝達する動力伝達部５として、回転駆動軸18に連設され被研磨物保持体２を該被研磨物保持体２と非接触状態で挟み込む挟み込み部５ａ，５ｂを有し、この挟み込み部５ａ，５ｂは気体が圧送されて被研磨物保持体２を非接触状態で挟み込み、該挟み込み部５ａ，５ｂにより回転駆動軸18を介しての駆動源４の回転駆動が被研磨物保持体２に伝達される構成の動力伝達部５を採用しているから、極めて高精度な加工が実現し得ることになる。
【００２２】
具体的には、仮に被研磨物保持体２と接触状態で連結される動力伝達部５を採用した場合、駆動源４の振動が被研磨物保持体２に伝達されて該被研磨物保持体２にブレ（被研磨物保持体２の揺動軸芯のブレ）が生じてしまい、これが研磨の精度向上の障害となる。
【００２３】
この点、本発明は、動力伝達部５として気体を介しての非接触連設構造であるから、駆動源４の振動が被研磨物保持体２に伝達するのを可及的に防止し得ることができ、従って、極めて高精度な研磨が実現し得ることになる。
【実施例】
【００２４】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００２５】
本実施例は、被研磨物保持体２に保持されたアール状の被研磨部１ａを有する被研磨物１を揺動させながら研磨部３に当接させてアール状の被研磨部１ａを研磨するものである。
【００２６】
尚、本実施例では、被研磨物１としてダイヤモンドバイト９に付設される単結晶のダイヤモンド製のバイト用チップであるが、本実施例の特性を利用し得るものであればどのようなものでも採用し得るものである。
【００２７】
具体的には、図１に図示したように各作動部位を制御する制御部を内装した装置本体10に被研磨物１を保持して移動せしめる被研磨物移動部11と、該被研磨物移動部11で保持された被研磨物１を当接させて研磨する研磨部３とを有する装置である。符号12はＣＣＤカメラ、13はＣＣＤカメラ12で撮影された画像を表示するモニター、14は操作部である。
【００２８】
被研磨物移動部11は、装置本体10に適宜な昇降手段を介して昇降自在に設けられる筒状の昇降体15に被研磨物保持体２及び駆動源４を設けて構成されている。
【００２９】
被研磨物保持体２は、図２に図示したように昇降体15の先端側径大部15Ａに収納される軸状基部16の先端部に被研磨物保持部17を突設して構成されている。
【００３０】
この軸状基部16は、その周面に凹溝部16ａが形成され、この凹溝部16ａには昇降体15の先端開口縁部に内方へ向けて突設した係止突部15ａが嵌入係止されており、この凹溝部16ａと係止突部15ａとの間に図示省略のベアリング構造が具備せしめられている。
【００３１】
また、軸状基部16は、図５に図示したようにその基端部に後述する駆動源４の動力伝達部５に連設される連設部16ｂ（被挟み込み部）が突設されている。
【００３２】
被研磨物保持部17は、図２に図示したように軸状基部16の先端部にして軸芯位置と異なる周端位置に突設されるアーム部17ａの先端部に被研磨物１を着脱自在に保持するチャック部17ｂを設けて構成されている。
【００３３】
従って、被研磨物保持部17は、昇降体15を昇降することで上下方向（図３中矢印ａ方向）に移動自在となり、また、昇降体15に対して軸状基部16を左右方向（図３中矢印ｂ方向）に揺動されるものである。よって、被研磨物保持体２に被研磨物１を保持した状態で被研磨物保持体２を所定角度左右方向に揺動させて研磨部３に当接させることで、被研磨物１のアール状の被研磨部１ａを研磨することができる。
【００３４】
駆動源４は、図２，４に図示したように昇降体15の後端部に配設されるサーボモーターであり、この駆動源４の駆動先端部４ａには、昇降体15の後端側径小部15Ｂに収納される回転駆動軸18が付設され、この回転駆動軸18の先端部には前述した軸状基部16の基端部に突設した被挟み込み部16ｂに連設する動力伝達部５が設けられている。符号19は回転駆動軸18を軸受けするベアリング部である。
【００３５】
この動力伝達部５は、図４，５，６に図示したように、回転駆動軸18の先端部に軸状基部16の基端部に突設した被挟み込み部16ｂに対して非接触状態で挟み込む挟み込み部５ａ，５ｂを設け、この挟み込み部５ａ，５ｂは気体が圧送される構成であり、該挟み込み部５ａ，５ｂにより回転駆動軸18を介しての駆動源４の回転駆動を被研磨物保持体２に伝達するように構成されている。
【００３６】
具体的には、この挟み込み部５ａ，５ｂは、前記被挟み込み部16ｂと略同形の添設部材26の下端側に設けたもので、エアー供給装置20から延設されるエアー供給ホース21が接続されるエアー噴射ノズル22が設けられており、このエアー噴射ノズル22から噴射される圧送気体（圧送空気）により軸状基部16の基端部に突設した被挟み込み部16ｂを非接触状態で挟み込むものである。
【００３７】
従って、駆動源４を回転駆動させると、挟み込み部５ａ，５ｂが左右方向に揺動することで該挟み込み部５ａ，５ｂに挟み込まれる軸状基部16の基端部に突設した被挟み込み部16ｂは左右方向（図６中矢印ａ方向）に揺動することになり、よって、被研磨物保持体２も左右方向に揺動することになる。この際、駆動源４から被研磨物保持体２への動力の伝達は非接触状態にて行なわれている。
【００３８】
また、挟み込み部５ａ，５ｂは、被研磨物保持体２の被挟み込み部16ｂにして該被研磨物保持体２の揺動軸芯位置（図６中のＸ）と異なる位置において前記被挟み込み部16ｂを非接触にして挟み込むものである。
【００３９】
これは、仮に被挟み込み部16ｂの揺動軸芯位置で連設する構造とした場合、非接触にて揺動させる為には強い力（空気圧）が必要であり（強い力で空気を圧送すると振動が生じてしまう。）、しかも、被挟み込み部16ｂの揺動軸芯位置で連設する構造とした場合には、左右の空気圧が非均等になった場合、揺動軸芯がズレたりし、非接触を維持することが難しいなどの問題点が生じ得る。この点、本実施例は、挟み込み部５ａ，５ｂを被研磨物保持体２の被挟み込み部16ｂにして該被研磨物保持体２の揺動軸芯位置と異なる外側位置において連設する構造を採用したから、比較的弱い力の空気であっても揺動軸芯ズレを防止でき且つ確実に非接触状態を維持して被研磨物保持体２を揺動させることができることになる。尚、挟み込み部５ａ，５ｂにおける被挟み込み部16ｂに対する挟み込み位置は、駆動源４の軸芯位置（回転駆動軸18の軸芯位置）と異なる位置となるように設定するようにしても良い。
【００４０】
本実施例は、被挟み込み部16ｂを挟み込み部５ａ，５ｂにより挟み込む構造を採用したが、被挟み込み部16ｂが回転駆動軸18に固着された一枚の部材を挟み込む構造を採用しても良い。
【００４１】
また、本実施例は、挟み込み部５ａ，５ｂから圧送空気が噴出する構成を採用したが、被挟み込み部16ｂから圧送空気が噴出する構成を採用しても良い。
【００４２】
研磨部３は、図７に図示したように適宜な駆動源を介して回動自在となる平面視円形状の研磨板24を、ガイドレール23上をスライド移動するスライド体６の上面に設けられており、被研磨物保持体２に対して接離移動自在に設けられている。この研磨板24の表面にはダイヤモンドパウダーが散りばめられており、この研磨板24の表面に被研磨物１を擦り合わせることで被研磨部１ａを研磨する。
【００４３】
また、スライド体６は、駆動源７の駆動によりスライド移動自在に設けられている。
【００４４】
この駆動源７は、図７に図示したようにモーター７ａの駆動により螺子棒部７ｂを回動させ、該螺子棒部７ｂに螺合されるナット部を形成した移動部材25を該モーター７ａの駆動により進退移動させる構造であり（所謂ボールネジ構造）、この移動部材25には、該スライド体６に連設して動力を伝達する動力伝達部８が設けられている。
【００４５】
この動力伝達部８は、図７に図示したように移動部材25に突設した突設部材27の側部にスライド体６の側部に突設した突部６ａを非接触状態で挟み込む挟み込み部８ａ，８ｂを設け、この挟み込み部８ａ，８ｂは気体が圧送される構成であり、該挟み込み部８ａ，８ｂにより駆動源７の駆動をスライド体６に伝達するように構成されている。
【００４６】
具体的には、この挟み込み部位８ａ，８ｂには、図示省略のエアー供給装置から延設されるエアー供給ホース21が接続されるエアー噴射ノズル22が設けられており、このエアー噴射ノズル22から噴射される空気によりスライド体６の側部に突設した突部６ａを非接触状態で挟み込む構成である。
【００４７】
従って、駆動源７を駆動させると、挟み込み部８ａ，８ｂが左右方向に移動し、該挟み込み部８ａ，８ｂにスライド体６の側部に突設した突部６ａが挟み込まれているから、スライド体６も左右方向に移動することになり、この際、駆動源７からスライド体６への動力の伝達は非接触状態にて行なわれる。
【００４８】
本実施例は、突部６ａを挟み込み部８ａ，８ｂにより挟み込む構造を採用したが、突部６ａが移動部材25に固着された一枚の部材を挟み込む構造を採用しても良い。
【００４９】
また、本実施例は、挟み込み部８ａ，８ｂから圧送空気が噴出する構成を採用したが、突部６ａから圧送空気を噴出する構成を採用しても良い。
【００５０】
以上の構成からなる本実施例に係る研磨装置を使用した被研磨物１の研磨工程について説明する。
【００５１】
被研磨物保持体２に係るチャック部17ｂにダイヤモンドバイト９を装着した状態で昇降体15を降下し、回転する研磨板24の表面に当接させると共に、被研磨物保持体２を左右に揺動させると、被研磨物１のアール状の被研磨部１ａが研磨される（この際、研磨板24を適宜スライド移動させることで研磨する位置が適宜変更し得る。）。
【００５２】
研磨終了後、昇降体15を上昇させ研磨済みのダイヤモンドバイト９を取り外して他のダイヤモンドバイト９に取り替えて研磨作業を順次行う。
【００５３】
本実施例は上述のように構成したから、被研磨物保持体２に対する駆動源４の動力伝達部５として、空気を介しての非接触連設構造であるから、駆動源４の振動が被研磨物保持体２に伝達するのを可及的に防止し得ることができ（被研磨物保持体２の揺動軸芯のブレを可及的に防止することができ）、従って、極めて高精度な研磨が実現し得ることになる。
【００５４】
本出願人は、実際に本実施例を試したところ、被研磨物１の被研磨部１のアールを最小０．２マイクロメートルまでを正確に研磨し得ることを確認している（但し、バイトの素材などを適宜変更することにより、より一層、ナノレベルでの高精度な研磨が可能になると言える。）。
【００５５】
また、本実施例は、研磨部３はスライド体６のスライド移動によりスライド移動自在に設けられており、駆動源７の駆動により移動する移動部材25と前記スライド体６とを連設して前記駆動源７の駆動を前記スライド体６に伝達する動力伝達部８として、前記移動部材25に連設され前記スライド体６に該スライド体６と非接触状態で連設される連設部８ａ，８ｂを有し、この連設部８ａ，８ｂにおける非接触部においては圧送気体が充填されて前記スライド体６と非接触状態で連設され、該連設部８ａ，８ｂにより前記移動部材25を介しての前記駆動源７の駆動が前記スライド体６に伝達される構成の動力伝達部８を採用した、この研磨部３の移動においても駆動源７で生じる振動の伝わりを可及的に防止し得るから、より一層高精度な研磨が実現し得ることになる。
【００５６】
即ち、本実施例で駆動源７として採用したボールネジ構造は、その構造上、正確な直動性を実現することは困難とされ振動が生じる構造であり、仮に動力伝達部８を直接連設構造とした場合、この駆動源７で発生する振動がスライド体６を介して研磨部３に伝達してしまい、高精度な研磨の実現の障害となり得るが、この点、本実施例は、前述した構造から、駆動源７で生じる振動の伝わりを可及的に防止し、高精度な研磨を実現し得ることになる。
【００５７】
尚、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本実施例を示す正面図である。
【図２】本実施例に係る要部の動作説明図である。
【図３】本実施例に係る要部の動作説明図である。
【図４】本実施例に係る要部の説明断面図である。
【図５】本実施例に係る要部の説明図である。
【図６】本実施例に係る要部の動作説明図である。
【図７】本実施例に係る要部の説明図である。
【符号の説明】
【００５９】
１  被研磨物
１ａ  被研磨部
２  被研磨物保持体
３  研磨部
４  駆動源
５  動力伝達部
５ａ  連設部・挟み込み部
５ｂ  連設部・挟み込み部
６  スライド体
７  駆動源
８  動力伝達部
８ａ  連設部・挟み込み部
８ｂ  連設部・挟み込み部
16ｂ  被挟み込み部
18  回転駆動軸
25  移動部材
【図１】
2006305696.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2006305696.tif 000006
【図５】
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【図６】
2006305696.tif 000008
【図７】
2006305696.tif 000009