(57)【要約】【課題】  長い場合でも、反りの発生しない磁気スケールを提供すること。【解決手段】  磁気式リニアエンコーダなどの磁気センサ装置に用いる磁気スケール３は、長手方向に周期的に磁極が形成されたゴム磁石やプラスチック磁石等からなる可撓性磁石６０と、この可撓性磁石６０の裏面に取り付けたベース板３１と、可撓性磁石３０の表面側に取り付けた保護板３２とを有している。ベース板３１は、端部３１１、３１２が可撓性磁石６０の外周側面から突出している。保護板３２も端部が可撓性磁石３０よりも側方外側に突出しているが、かかる端部を可撓性磁石３０の外周側面に向けて略斜め４５°の角度で折り曲げてある。ベース板３１の端部と保護板３２の端部との間に常温硬化型の一液湿気硬化性接着剤からなる封止剤３４を充填する。【選択図】    図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に周期的に磁極が形成された長尺の可撓性磁石と、この可撓性磁石の裏面に取り付けた長尺のベース板と、前記可撓性磁石の表面に取り付けた長尺の金属製の保護板とを有する磁気スケールにおいて、
前記ベース板および前記保護板はそれぞれ、前記可撓性磁石の外周側面よりも側方外側に突出した端部を備えるとともに、
前記保護板の当該端部は、前記可撓性磁石の外周側面の側に向けて斜めに折り曲げられ、
前記ベース板の前記端部、前記保護板の前記端部および前記可撓性磁石の前記外周側面によって区画される隙間内に封止剤が充填されていることを特徴とする磁気スケール。
【請求項２】
請求項１において、前記保護板の前記端部は、前記可撓性磁石の外周側面の側に向けて略斜め４５°の角度で折り曲げられていることを特徴とする磁気スケール。
【請求項３】
請求項１または２において、前記保護板は、前記端部を折り曲げた状態での幅寸法が前記ベース板の幅寸法と比較して狭いことを特徴とする磁気スケール。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記封止剤は、常温硬化型接着剤であることを特徴とする磁気スケール。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかにおいて、前記封止剤は、硬化後に弾性を備えている接着剤であることを特徴とする磁気スケール。
【請求項６】
請求項４または５において、前記常温硬化樹脂は、一液湿気硬化型の弾性接着剤であることを特徴とする磁気スケール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械や実装装置において可動部等の移動位置などを検出するために用いられる磁気スケールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気スケールとしては、長手方向に周期的に磁極が形成された可撓性磁石の裏面側を金属製のベース板に固定したものがあるが、このような磁気スケールでは、潤滑油などが可撓性磁石に付着すると可撓性磁石が膨潤してしまうなどの問題点がある。そこで、可撓性磁石の表面を金属製の平板からなる保護板で覆い、ベース板の端部、保護板の端部および可撓性磁石の外周側面によって区画される溝に封止剤が充填することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、磁気スケールが１ｍを越えるほど長い場合には、可撓性磁石の表面を平板状の保護板で覆っただけでは、反ってしまうことがある。
【０００４】
一方、保護板において、可撓性磁石の外周側面よりも側方外側に突出した側端部を直角に折り曲げた磁気スケールも提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２０００−６５５９８号公報
【特許文献２】特開平６−２８１４０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、保護板において、可撓性磁石の外周側面よりも側方外側に突出した端部を直角に折り曲げた磁気スケールでは、保護板に大きな曲げ応力が残留し、かかる残留応力が原因で、磁気スケールが反るという問題点がある。
【０００６】
また、ベース板の端部、保護板の端部および可撓性磁石の外周側面によって区画される溝に熱硬化性の封止剤を充填した場合には、封止材の残留応力によって、磁気スケールが反るという問題点がある。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、長手方向に周期的に磁極が形成された可撓性磁石を両側からベース板と保護板とによって覆った磁気スケールにおいて、磁気スケールが長い場合でも、反りの発生しない構成を提供することにある。
【０００８】
また、本発明の課題は、ベース板の端部、保護板の端部および可撓性磁石の外周側面によって区画される溝に封止剤を充填しても、封止材の残留応力に起因する磁気スケールの反りを回避可能な構成を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明では、長手方向に周期的に磁極が形成された長尺の可撓性磁石と、この可撓性磁石の裏面に取り付けた長尺のベース板と、前記可撓性磁石の表面に取り付けた長尺の保護板とを有する磁気スケールにおいて、前記ベース板および前記保護板はそれぞれ、前記可撓性磁石の外周側面よりも側方外側に突出した端部を備えるとともに、前記保護板の当該端部は、前記可撓性磁石の外周側面の側に向けて斜めに折り曲げられ、前記ベース板の前記端部、前記保護板の前記端部および前記可撓性磁石の前記外周側面によって区画される隙間内には封止剤が充填されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明では、可撓性磁石がベース板および保護板で覆われ、かつ、ベース板の端部、保護板の端部および可撓性磁石の外周側面によって区画される溝に封止剤が充填されているため、可撓性磁石を油などから保護することができる。また、保護板の端部は、可撓性磁石の外周側面の側に向けて斜めに折り曲げられているので、平板状の保護板と比較して耐曲げ強度が強い。さらに、保護板の端部は、可撓性磁石の外周側面の側に向けて直角ではなく、斜めに折り曲げられているので、保護板に大きな曲げ応力が残留しない。従って、磁気スケールが反るのを防止することができる。
【００１１】
本発明において、前記保護板の前記端部は、前記可撓性磁石の外周側面の側に向けて略斜め４５°の角度で折り曲げられていることが好ましい。保護板の端部を略斜め４５°の角度で折り曲げれば、平板状の保護板と比較して強度が著しく強く、かつ、保護板に大きな曲げ応力が残留しない。従って、磁気スケールが反るのを確実に防止することができる。
【００１２】
本発明において、前記保護板の幅寸法は、例えば、前記ベース板の幅寸法と比較して狭い構成を採用することができる。
【００１３】
本発明において、前記封止剤は、常温硬化型接着剤であることが好ましい。このような接着剤を封止剤に用いれば、封止剤に熱硬化時の応力が残留しないので、封止剤の残留応力に起因する磁気スケールの反りを防止することができる。
【００１４】
本発明において、前記封止剤は、硬化後に弾性を備えている接着剤であることが好ましい。硬化後に弾性を備えた接着剤を封止剤に用いれば、封止剤の残留応力に起因する磁気スケールの反りを確実に防止することができる。
【００１５】
本発明において、前記封止剤としては、例えば一液湿気硬化型の弾性接着剤を用いればよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、可撓性磁石がベース板および保護板で覆われ、かつ、ベース板の端部、保護板の端部および可撓性磁石の外周側面によって区画される溝に封止剤が充填されているため、可撓性磁石を油や水分などから保護することができる。また、保護板の端部は、可撓性磁石の外周側面の側に向けて斜めに折り曲げられているので、平板状の保護板と比較して耐曲げ強度が強い。さらに、保護板の端部は、可撓性磁石の外周側面の側に向けて直角ではなく、斜めに折り曲げられているので、保護板に大きな曲げ応力が残留しない。従って、磁気スケールが反るのを防止することができるので、磁気式リニアエンコーダなどの検出精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００１８】
［磁気センサ装置の構成］
（全体構成）
図１は、本発明を適用した磁気センサ装置（磁気式リニアエンコーダ）の説明図である。図２（ａ）、（ｂ）は、図１に示す磁気センサ装置に用いたヘッドを、感磁面を備えた底面の側からみた説明図である。図３（ａ）、（ｂ）は、図１に示す磁気センサ装置におけるヘッドと磁気スケールとの位置関係を示す説明図、およびヘッドの右側面図である。図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はそれぞれ、本形態の磁気センサ装置のヘッドに搭載される磁気抵抗素子の説明図、磁気抵抗素子を回路基板に接続した状態を示す説明図、本形態の磁気センサ装置のヘッドに搭載された回路のブロック図、および従来のヘッドに搭載される回路のブロック図である。図５（ａ）、（ｂ）は、本形態の磁気センサ装置のヘッドに用いたセンサホルダの内部構造を示す説明図である。なお、以下の説明において、直交する３方向のうち、磁気スケールの幅方向をＸ方向、磁気スケールの長さ方向をＹ方向、高さ方向をＺ方向とする。
【００１９】
図１、図２（ａ）、（ｂ）、および図３（ａ）、（ｂ）において、本形態の磁気センサ装置１は、磁気式リニアエンコーダであり、磁気抵抗素子によって感磁面が底面に形成されたヘッド５と、このヘッド５の感磁面に対向する磁気スケール３とを有している。磁気スケール３には、Ａ相、Ｂ相、Ｚ相の着磁が施されており、長さ方向においてＮ極とＳ極が交互に配列されている。このような磁気センサ装置１では、移動テーブルなどの可動体の側に磁気スケール３を直線的に配置する一方、磁気スケール３に対向するようにヘッド５を配置しておき、ヘッド５からの出力信号に基づいて、移動テーブルの移動位置や移動速度などを検出する。
【００２０】
ヘッド５は、略直方体形状の枡状のアルミニウムダイカストからなるセンサホルダ６と、このセンサホルダ６の右側開口を覆う矩形のカバー６１と、センサホルダ６内から引き出されたケーブル７とを備えている。センサホルダ６には、その背面にケーブル挿入穴６７が形成され、正面にもケーブル挿入穴として利用可能な穴６８が形成されている。このため、センサホルダ６のいずれの側からケーブル７を引き出す場合でも、共通のセンサホルダ６を用いることができる。
【００２１】
センサホルダ６において、磁気スケール３と対向する底面５５には、開口５７が形成されており、この開口５７に磁気抵抗素子１０を配置することにより感磁部５０が構成される。また、センサホルダ６の底面５５では、感磁面５０が形成されている底面５５の中央領域がその周囲よりも０．２ｍｍ〜１．０ｍｍだけ突き出た平坦な基準面５６になっており、この基準面５６は、底面５５全体の面積の約１／２倍程度である。
【００２２】
図４（ａ）に示すように、磁気抵抗素子１０は、セラミックグレーズ基板からなる第１の基板上にＡＢＺ相磁気抵抗パターンが形成された第１の磁気抵抗素子基板１１と、透明なガラス基板からなる第２の基板上にＡＢＺ相磁気抵抗パターンが形成された第２の磁気抵抗素子基板１２とを面方向にずらした状態でＵＶ硬化接着剤によって貼り合せたものであり、各磁気抵抗素子基板の張り出し領域に可撓性基板１６、１７がそれぞれ接続されている。ここで、一対の可撓性基板１６、１７は各々、磁気抵抗素子１０からＹ方向における反対側に向けて延びている。また、一対の可撓性基板１６、１７は、磁気抵抗素子１０に接続した状態で、回路基板１９との接続端子１６１、１７１が互いに表裏反対側を向いている。従って、一対の可撓性基板１６、１７は、図４（ｂ）に示すように、一方の可撓性基板１６が回路基板１９の表面側に接続され、他方の可撓性基板１７が回路基板１９の裏面側に接続されている。
【００２３】
図５（ａ）、（ｂ）に示すように、回路基板１９および磁気抵抗素子１０をセンサホルダ６内に配置するために、センサホルダ６内には、開口５７から奥まった位置には開口５７と対向する枠状の素子支持部６５が形成され、その両側には可撓性基板１６、１７を内側に引き出すための隙間６２、６３が形成されている。
【００２４】
従って、ヘッド５を組み立てる際には、まず、一対の可撓性基板１６、１７が接続された磁気抵抗素子１０を、開口５７を通して外側に露出するように外側から配置するとともに、一対の可撓性基板１６、１７を隙間６２、６３からセンサホルダ６内に引き込む。次に、磁気抵抗素子１０の裏面側を素子支持部６５に接着剤で固定するとともに、開口５７において磁気抵抗素子１０の周りを接着剤９１で埋めて、磁気抵抗素子１０をセンサホルダ６に固定する。この状態で、磁気抵抗素子１０の外側の面は、開口５７で露出するとともに、センサホルダ６の基準面５６と同一の平面を形成することになる。次に、可撓性基板１６、１７の途中位置を直角に折り曲げて、一方の可撓性基板１６を回路基板１９の表面側に接続する一方、他方の可撓性基板１７を回路基板１９の裏面側に接続する。そして、回路基板１９をセンサホルダ６内部の左側内壁に沿うように配置すると、磁気抵抗素子１０および回路基板１９は、互いに直交した状態でセンサホルダ６内に収納される。次に、ケーブル７をケーブル挿入穴６７からセンサホルダ６内に挿入して、ケーブル７を回路基板１９に接続した後、センサホルダ６の開口を覆うようにカバー６１を取り付ける。このようにしてヘッド５が完成する。
【００２５】
ここで、回路基板１９には、図４（ｃ）に示すように、センサ回路１９１、およびこのセンサ回路１９１から出力された信号に温度補正などを施す付加回路１９２の双方が構成されている。このような付加回路１９２は、従来、図４（ｄ）に示すように、ヘッドとは別体のケース内に構成されていたものであるが、本形態では、この付加回路１９２も回路基板１９に構成し、ヘッド５に内蔵させてある。従って、本形態によれば、センサ回路１９１と付加回路１９２とを回路基板１９上で配線できるため、アナログ信号の状態で伝送される距離が短いので、ノイズの侵入や波形の歪みなどの発生を防止できる。
【００２６】
但し、回路基板１９にセンサ回路１９１および付加回路１９２の双方を構成すると、回路基板１９は、従来の回路基板よりも大きく、それ故、ヘッド５自身も従来のヘッドに比較してやや大きくなる。しかるに本形態では、回路基板１９をセンサホルダ６内部において左側内壁に沿うように直立姿勢で配置してあるので、ヘッド５が大型化しているといっても、感磁面５０が配置される底面５５の面積は狭く、かつ、その幅寸法については従来よりも狭くしてある。
【００２７】
従って、図１に示すように、ヘッド５と磁気スケール３とを配置した際、感磁面５０が形成された底面５５を磁気スケール３に対して正確に対向させることができる。すなわち、図１に示すようにヘッド５と磁気スケール３とを配置する際には、まず、ヘッド５の底面５５を磁気スケール３の上面に接触させて基準姿勢を決めた後、そのまま、ヘッド５を磁気スケール３からわずかに浮かせる。それ故、本形態のように、底面５５の面積を狭くしておけば、ヘッド５の底面５５全体を磁気スケール３の上面に確実に接触させることができるので、正確に基準姿勢を決めることができる。よって、ヘッド５を磁気スケール３から浮かせた状態において、ヘッド５の姿勢に高い精度を得ることができる。
【００２８】
また、本形態では、ヘッド５の底面５５では、感磁面５０が形成されている基準面５６がその周囲よりも０．２ｍｍ〜１．０ｍｍだけ突き出た面になっているため、感磁面５０と同一平面をなす面は、底面５５全体の面積の約１／２しかなく、狭い。従って、ヘッド５の底面５５を磁気スケール３の上面に接触させて基準姿勢を決める際、接触面積が狭い分、ヘッド５の感磁面５０全体を磁気スケール３の上面に確実に接触させることができるので、正確に基準姿勢を決めることができる。よって、ヘッド５を磁気スケール３から浮かせた状態においても、磁気スケール３からみたとき、感磁面５０が傾くようなことがない。
【００２９】
しかも、ヘッド５の底面５５は感磁面５０の基準面５６となるため、機械加工などを施して平滑な面とする必要があるが、本形態では、ヘッド５の底面５５のうち、感磁面５０が形成されている底面中央領域のみが基準面５６になっているので、機械加工などを施す領域が狭い。それ故、加工時間を短縮できるなど、製造コストの低減を図ることができる。
【００３０】
さらに、感磁面５０（基準面５６）がセンサホルダ６の底面５５から突き出た位置にあるため、ヘッド５を磁気スケール３に対向させた状態で、ヘッド５と磁気スケール３との隙間を覗き込んで、感磁面５０の状態を確認することもできる。
【００３１】
また、本形態の磁気抵抗素子１０からは可撓性基板１６、１７が反対側に延びるように接続されている。しかも、可撓性基板１６、１７は、磁気抵抗素子１０から磁気スケール３の長さ方向（Ｙ方向）に延びているので、センサホルダ６の底面５５の幅寸法が狭い場合でも、可撓性基板１６、１７も含めてセンサホルダ６に接着固定することができる。従って、磁気抵抗素子１０を両側で支持することができるので、耐振動性能に優れている。また、磁気抵抗素子１０の周りにおいて開口５７との隙間を接着剤９１で封止しているので、耐湿性能も優れている。
【００３２】
さらに、本形態の磁気抵抗素子１０には可撓性基板１６、１７が表裏反対で接続されるため、可撓性基板１６、１７の接続端子１６１、１７１は表裏反対側に向くことになる。しかるに本形態では、可撓性基板１６、１７を折り曲げて、一方の可撓性基板１６を回路基板１９の表面側に接続し、他方の可撓性基板１７を回路基板１９の裏面側に接続する構造を採用することにより、一対の可撓性基板１６、１７については同一構造の可撓性基板を表裏反対にして使うことを可能にしている。それ故、可撓性基板１６、１７については、１種類の可撓性基板を用いればよいので、コストの低減を図ることができる。
【００３３】
［ケーブル７の接続構造］
図６（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、本発明を適用した磁気センサ装置１に用いたヘッド５とケーブル７との接続構造の説明図、およびこの接続に用いたスリーブの斜視図である。図７（ａ）、（ｂ）は、図６（ｂ）に示すスリーブを用いてケーブル７をヘッド５内に接続した状態を示すために、図３（ａ）および図６（ｂ）のＸ１−Ｘ１′線に相当する位置でケーブル挿入穴付近を切断したときの断面図、および図３（ｂ）および図６（ｂ）のＺ１−Ｚ１′線に相当する位置でケーブル挿入穴付近を切断したときの断面図である。
【００３４】
図６（ａ）に示すように、ケーブル７をヘッド５内の回路基板１９と接続するために、センサホルダ６の背面には、ケーブル７の先端をセンサホルダ６内に挿入するためのケーブル挿入穴６７が形成されている。ケーブル７は、抜け防止用のスリーブ８が通された状態で先端がヘッド５内に挿入され、この状態で、スリーブ８はケーブル挿入穴６７に嵌る。
【００３５】
スリーブ８は、樹脂製あるいは金属製であり、図６（ｂ）に示すように、ケーブル７の外径寸法よりやや大きな内径寸法の円筒形状を備えている。スリーブ８において、その基端側にはやや大径の環状のフランジ部８６が形成されている。また、スリーブ８には、その先端縁から基端側に向けて切り込まれた４本のスリット８５により、４枚の爪状の弾性片部８１、８２、８３、８４が形成されている。ここで、弾性片部の数は、４つに限定されるものではなく、２つ以上あればよい。
【００３６】
ここで、４つの弾性片部８１、８２、８３、８４のうち、相対向する２つの第１の弾性片部８１、８３は、他の２つの第２の弾性板部８２、８４と比較して長く、外側には第１の係合突起８８を備えている。他の２つの第２の弾性片部８２、８４は、内側に第２の係合突起８９を備えており、その内側にケーブル７を通したとき、第２の係合突起８９の先端部はケーブル７の外周面に接する。
【００３７】
一方、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、センサホルダ６のケーブル挿入穴６７には、その内部に外側開口６７１よりも小さな開口６７２を構成する環状壁６７３が形成されている。また、図７（ｂ）に示すように、センサホルダ６のケーブル挿入穴６７には、環状壁６７３を貫通して開口６７２に到達するネジ穴６７４が形成されている。
【００３８】
このため、センサホルダ６からカバー６１を取り外した状態で、ケーブル７をスリーブ８とともにケーブル挿入穴６７に挿入すると、第１の弾性片部８１、８３の外側に形成されている第１の係合突起８８がそれぞれ、開口６７２を通過した後、環状壁６７３の奥側の開口縁に係合する。このため、スリーブ８は、ケーブル挿入穴６７から抜けることがない。また、ケーブル７をスリーブ８とともにケーブル挿入穴６７に挿入した後、環状壁６７３に形成されているネジ穴６７４にネジ７０を止めると、ネジ７０の先端部が第２の弾性片部８２、８４を内側に弾性変形させ、第２の弾性片部８２、８４の内側に形成されている第２の係合突起８９がケーブル７の被覆層に食い込む。このため、ケーブル７が抜けることがない。しかる後には、センサホルダ６にカバー６１を取り付ける。
【００３９】
以上説明したように、スリーブ８を用いてケーブル７をケーブル挿入穴６７に挿入すると、スリーブ８は第１の係合突起８８によって抜け止めされ、かつ、ケーブル７は、第２の係合突起８９によって抜け止めされる。従って、ケーブル７の抜去力として、例えば、２９．４Ｎ以上（３ｋｇｆ以上）を確保できる。また、スリーブ８は一体品であるため、ケーブル７への取り付け、ケーブル挿入穴６７、ネジ止めという作業のみでケーブル７の抜け対策を行うことができる。さらに本形態では、スリーブ８にネジなどを形成しないので、安価に製造できるという利点もある。
【００４０】
なお、センサホルダ６は、正面にもケーブル挿入穴６７と同形の穴６８が形成されており、正面および背面のいずれの側からケーブル７を接続することもできる。また、穴６８を利用しない場合には、この穴にスリーブ８あるいは別のキャップを装着しておけばよい。
【００４１】
［磁気スケール３の構成］
図８（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、本形態の磁気センサ装置１に用いた磁気スケール３の縦断面図、およびその内部構造を示す説明図である。
【００４２】
図８（ａ）、（ｂ）に示すように、本形態の磁気センサ装置１に用いた磁気スケール３は、長手方向に周期的に磁極が形成されたゴム磁石やプラスチック磁石等からなる長尺の可撓性磁石６０と、この可撓性磁石６０の裏面に取り付けた長尺のベース板３１と、可撓性磁石３０の表面側に取り付けた長尺の保護板３２とを有している。可撓性磁石３０は、例えば塩素化ポリエチレンからなるベース樹脂にフェライト粉末粒子を磁性粉として混ぜたプラスチック磁石であり、厚さ１ｍｍで一定幅の帯状をしている。
【００４３】
ベース板３１は、厚さ０．５ｍｍで一定幅の帯状をしており、その端部３１１、３１２は、可撓性磁石６０の外周側面から突出している。ベース板３１は、例えば、みがき特殊帯鋼からなり、その表面にはクロメート処理等の防錆メッキ処理が施されている。
【００４４】
これに対して、保護板３２は、厚さ５０μｍの薄いＳＵＳ板であり、左右の端部は、可撓性磁石３０の外周側面に向けて斜めに折り曲げられている。すなわち、保護板３２は、それを展開した状態で可撓性磁石３０に重ねると、端部が可撓性磁石３０の外周側面よりも側方外側に突出しているが、本形態では、かかる端部を可撓性磁石３０の外周側面に向けて斜めに折り曲げてある。このため、保護板３２は、ベース板３１と平行な上面部３２１と、その両側で斜め下方に延びた斜面部３２２、３２３（端部）とを備えている。本形態では、斜面部３２２、３２３は上面部３２１に対して約４５°の角度で折り曲げられている。
【００４５】
このような磁気スケール３を製造する際には、可撓性磁石３０をベース板３１の上に両面テープなどで固定した後、着磁し、次に、可撓性磁石３０を覆うように、端部を約４５°折り曲げた保護板３２を被せる。あるいは、可撓性磁石３０を覆うように、平板状の保護板３２を被せた後、可撓性磁石３０の外周側面よりも側方外側に突出した保護板３２の端部を約４５°折り曲げる。その際、保護板３２の幅寸法はベース板３１の幅寸法よりも狭く設定する。
【００４６】
このように可撓性磁石３０をベース板３１と保護板３２で覆った状態で、磁気スケール３には、ベース板３１の端部３１１、３１２、保護板３２の斜面部３２２、３２３（端部）、および可撓性磁石３０の外周側面によって隙間３６が区画され、かつ、この隙間３６は、ベース板３１の端部３１１、３１２と、保護板３２の端縁との間３５で溝状に開口している。従って、本形態では、ベース板３１の端部３１１、３１２と、保護板３２の端縁との間３５から隙間３６に向けて封止剤３４を注入し、硬化させる。
【００４７】
ここで、封止剤３４は、シリル基含有特殊ポリマーを主成分とする一液湿気硬化性接着剤であり、空気中の微量水分と反応して常温で硬化する。また、この封止剤３４は硬化後、弾性を備えているため、振動、衝撃などの応力緩和性に優れている。従って、可撓性磁石３０に大きな応力が加わらないという利点がある。
【００４８】
このように、本形態の磁気スケール３では、左右を斜めに折り曲げた保護板３２を用いているので、平板状の保護板や左右を直角に折り曲げた保護板を用いた場合と違って、磁気スケール３が１ｍを越えるほど長い場合でも、磁気スケール３が反ってしまうことがない。また、封止剤３４として、常温硬化性の接着剤を用い、かつ、硬化後、弾性を備えたものを用いたことも、封止剤３４の収縮により磁気スケール３が反ってしまうことを防止するのに効果的である。また、可撓性磁石３０が保護板３２、ベース板３１および封止剤３４で完全に封止されているので、可撓性磁石３０に潤滑油が付着して可撓性磁石３０が膨潤してしまうことを確実に回避できる。さらに、保護板３２の角が屈曲部分になっているので、保護板のエッジで作業者が傷つくこともない。
【００４９】
なお、上記では、保護板３２において幅方向の両端部を斜めに折り曲げる構成を説明したが、長さ方向においても同様な構成を有している。すなわち、ベース板３１は、長さ方向においても端部が可撓性磁石６０の外周側面から突出している。また、保護板３２は、長さ方向においても端部が可撓性磁石３０の外周側面よりも側方外側に突出しており、かかる端部は、可撓性磁石６０の外周側面に向けて略斜め４５°の角度で折り曲げられている。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明を適用した磁気センサ装置（磁気式リニアエンコーダ）の説明図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、図１に示す磁気センサ装置に用いたヘッドを、感磁面を備えた底面の側からみた説明図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、図１に示す磁気センサ装置におけるヘッドと磁気スケールとの位置関係を示す説明図、およびヘッドの右側面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はそれぞれ、図１に示す磁気センサ装置のヘッドに搭載される磁気抵抗素子の説明図、磁気抵抗素子を回路基板に接続した状態を示す説明図、本発明の磁気センサ装置のヘッドに搭載された回路のブロック図、および従来のヘッドに搭載される回路のブロック図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、図１に示す磁気センサ装置のヘッドに用いたセンサホルダの内部構造を示す説明図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、図１に示す磁気センサ装置に用いたヘッドとケーブルとの接続構造の説明図、およびこの接続に用いたスリーブの斜視図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）は、図３（ａ）および図６（ｂ）のＸ１−Ｘ１′線に相当する位置でケーブル挿入穴付近を切断したときの断面図、および図３（ｂ）および図６（ｂ）のＺ１−Ｚ１′線に相当する位置でケーブル挿入穴付近を切断したときの断面図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、図１に示す磁気センサ装置に用いた磁気スケールの縦断面図、およびその内部構造を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  磁気センサ装置（磁気式リニアエンコーダ）
３  磁気スケール
５  ヘッド
６  センサホルダ
７  ケーブル
８  スリーブ
１０  磁気抵抗素子
３１  ベース板
３２  保護板
３４  封止剤
５０  感磁面
５６  基準面
６０  可撓性磁石
【図１】
2006084408.tif 000003
【図２】
2006084408.tif 000004
【図３】
2006084408.tif 000005
【図４】
2006084408.tif 000006
【図５】
2006084408.tif 000007
【図６】
2006084408.tif 000008
【図７】
2006084408.tif 000009
【図８】
2006084408.tif 000010