(57)【要約】【課題】  毎分ナノリットルレベルの極低流量から、毎分マイクロリットルレベルの低流量まで、広範囲な流量を１台のポンプシステムで信頼性よく送液する。【解決手段】  送液システムは、溶離液を圧送する２段のポンプユニット１００、２００と、このポンプユニットに配管接続された流路切り替え手段５を有する。流路切り替え手段の切り替え速度をコントローラ５０が送液流量に応じて変化させる。【選択図】  図１
2006292392.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶離液を加圧して送液する第１、第２のポンプと、この第１、第２のポンプに配管接続され流路切り替え速度が可変の流路切り替え手段と、この流路切り替え手段の流路切り替え速度を制御するコントローラとを有することを特徴とする送液システム。
【請求項２】
前記第１、第２のポンプは互いに協調動作をするものであり、前記コントローラは溶離液の流路を切り替える速度を送液流量に応じて変化させることを特徴とする請求項１に記載の送液システム。
【請求項３】
前記コントローラは、送液流量が所定流量より少ないときに流路切り替え手段の流路切り替え速度を遅くすることを特徴とする請求項１または２に記載の送液システム。
【請求項４】
前記所定流量を、送液システムを有する装置の分析時間または測定時間と吐出流量とに基づいて決定したことを特徴とする請求項３に記載の送液システム。
【請求項５】
前記流路切り替え手段は複数のポートを有するアクティブバルブであり、この複数のポートの接続を切り替えて流路を切り替えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の送液システム。
【請求項６】
送液流量の範囲が、概ね毎分１ナノリットル〜毎分２００マイクロリットルであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の送液システム。
【請求項７】
溶離液を加圧して送液し上流側に配置された第１のポンプと下流側に配置された第２のポンプと、この第１、第２のポンプに配管接続され溶離液の流路を変更可能な流路切り替え手段と、この流路切り替え手段を制御するコントローラとを有し、液体クロマトグラフシステムに組み込まれて使用されるものであって、前記流路切り替え手段は溶離液の流路を切り替える速度を送液流量に応じて変えるものであることを特徴とする送液システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は送液システムに係り、特に液体クロマトグラフシステムに好適な送液システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体クロマトグラフシステムに溶剤を連続的に送給するポンプ送り装置（液体クロマトグラフ用ポンプシステム）の例が、特許文献1に記載されている。この公報に記載のポンプシステムは、各々独立して駆動される複数のポンプユニットを備えている。各ポンプユニットは、出口側からポンプシリンダに流体が逆流するのを防止するため、およびシリンダからポンプユニットの入口側に流体が逆流するのを防止するために、弁を設けている。各ポンプユニットは圧力センサーを有し、この圧力センサーはオフライン状態で再充填されたシリンダ内の内容物を圧縮している。そして、圧縮が完了した後の流体の送給時期を圧力センサーが判定する。なお、上記弁は、ロータ（回転子）に形成した流体経路を切り替える滑りシール弁となっている。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−７２１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液体クロマトグラフ用ポンプシステムを運転する場合、先ず、ポンプ及び配管内に溶離液を充填し、気泡を排気する。この準備作業が終了したらポンプを起動し、吐出圧力が所定の目標値に到達したときに定常運転に切り替える。定常運転に移行したのを確認して、液体クロマトグラフにより計測を開始する。
【０００５】
この液体クロマトグラフ用ポンプシステムでは、毎分ナノリットル（ｎｌ）の極低流量から毎分マイクロリットル（μｌ）の低流量までの広い流量範囲での送液が要求されることがある。このような広い流量範囲での送液要求に応えるために、送液流量に応じたポンプを複数個準備し、送液流量が変化したら運転するポンプを変えていた。その結果、流量範囲の変更に多くの手間と時間を必要としていた。
【０００６】
また、上記特許文献１に記載のポンプユニットを用いて毎分ナノリットルレベルから毎分マイクロリットルレベルまでの広い流量範囲を送液しようとすると、流体経路を切り替える滑りシール弁が広い流量範囲で使用されることになる。このような、広範囲の流量で滑りシール弁を使用することはこれまで考慮されておらず、信頼性の向上が望まれている。
【０００７】
本発明は、上記従来技術の不具合に鑑みなされたものであり、その目的は、毎分ナノリットルレベルから毎分マイクロリットルレベルまでの広い流量範囲についての送液を１台のポンプで可能にすることにある。本発明の他の目的は、液体クロマトグラフシステムの信頼性を向上させることにある。本発明のさらに他の目的は、液体クロマトグラフシステムの送液システムを長寿命化することにある。そして本発明では、少なくともこれら目的のいずれかを達成することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成する本発明の特徴は、溶離液を加圧して送液する第１、第２のポンプと、この第１、第２のポンプに配管接続され流路切り替え速度が可変の流路切り替え手段と、この流路切り替え手段の流路切り替え速度を制御するコントローラとを有するものである。
【０００９】
そしてこの特徴において、第１、第２のポンプは互いに協調動作をするものであり、コントローラは溶離液の流路を切り替える速度を送液流量に応じて変化させるものが好ましい。またコントローラは、送液流量が所定流量より少ないときに流路切り替え手段の流路切り替え速度を遅くするのが望ましい。所定流量は、送液システムを有する装置の分析時間または測定時間と吐出流量とに基づいて決定するのがよい。
【００１０】
上記特徴において、流路切り替え手段は複数のポートを有するアクティブバルブであり、この複数のポートの接続を切り替えて流路を切り替えるのがよく、送液流量の範囲が、概ね毎分１ナノリットル〜毎分２００マイクロリットルであることが望ましい。
【００１１】
上記目的を達成する本発明の他の特徴は、送液システムが、溶離液を加圧して送液し上流側に配置された第１のポンプと下流側に配置された第２のポンプと、この第１、第２のポンプに配管接続され溶離液の流路を変更可能な流路切り替え手段と、この流路切り替え手段を制御するコントローラとを有し、液体クロマトグラフシステムに組み込まれて使用されるものであって、流路切り替え手段は溶離液の流路を切り替える速度を送液流量に応じて変えるものであることにある。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、流路切り替え手段の切り替え速度を変えることができるので、毎分ナノリットルレベルから毎分マイクロリットルレベルまでの広い流量範囲について１台のポンプシステムで信頼性よく送液できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る液体クロマトグラフシステムの送液システムの一実施例を、図１ないし図５を用いて説明する。図１から図３は、液体クロマトグラフ用ポンプが適用される液体クロマトグラフ装置の模式図であり、主要部だけを縦断面図で示している。図４及び図５に、図１ないし図３に示した液体クロマトグラフ用ポンプを駆動したときのタイムチャートの一例を示す。
【００１４】
図１を用いて、送液システム４００の具体的な構成を説明する。液体クロマトグラフ装置の送液システム４００は、図中断面図で示したプランジャポンプ１を有する。プランジャポンプ１は、２段のポンプユニット１００、２００を有しており、各ポンプユニット１００、２００では、加圧室１０２、２０２を形成する穴が共通のバルク２０に形成されている。この穴にプランジャ１０１、２０１が嵌合している。プランジャ１０１とプランジャ２０１の外形は同一である。プランジャ１０１、２０１には、直動機構(アクチュエータ)１２２、２２２が接続されている。直動機構１２２、２２２は、バルク２０の側面に取付けられており、バルク取付け端と反対端には、直動機構１２２、２２２を駆動するモータ１２１、２２１が接続されている。
【００１５】
プランジャ１０１、２０１は、モータ１２１、２２１側端部を軸受１２３、２２３で支持されており、中間部にはシール１２４、２２４が取付けられている。第１、第２加圧室１０２、２０２を形成する穴のモータ１２１、２２１寄りには吸込通路１０３、２０３が、反モータ側には吐出通路１０４、２０４が分岐して形成されている。吐出通路１０４、２０４はさらに分岐して形成されており、この分岐部に圧力センサ６０、６１が取付けられている。
【００１６】
バルク２０にはシール１２４、２２４が取付けられており、プランジャ１０１、２０１が直動する際に第１加圧室１０２および第２加圧室２０２から溶液が外部に漏れるのを防止する。プランジャ１０１、２０１はモータ１２１、２２１側端部でバルク２０に保持された軸受１２３、２２３で摺動可能に保持される。
【００１７】
吸込通路１０３は吸込配管１６により、吸込通路２０３は吸込配管１８により、吐出通路１０４は吐出配管１７によりアクティブバルブ５に接続されている。アクティブバルブ５には、これら配管１６〜１８を接続するためのポート５ａ〜５ｃと、貯蔵槽５１に脱気装置１４を介して接続する吸込配管１５を接続するためのポート５ｄとが設けられている。第２段側のポンプユニットの吐出通路２０４とインジェクタ５３とが吐出配管１９で接続されており、インジェクタ５３はさらにカラム５４に接続されており、カラム５４は検出器５５を介して貯蔵槽５６に連通している。吐出配管１９の途中には、ドレンバルブ９が取付けられている。
【００１８】
アクティブバルブ５は、外部の駆動部によって流路を切り替えるロータリーバルブである。このアクティブバルブ５には、第１段の吐出配管１７に連通するポート５ａを開閉する流路５ｅと、第１段の吸込配管に連通するポート５ｃおよび貯蔵槽５１に連通するポート５ｄを開閉する流路５ｆとが形成されている。この流路５ｅ、５ｆの体積は非常に小さい。流路５ｅ、５ｆの移動およびモータ１２１、２２１の運転を、コントローラ５０が制御する。コントローラ５０には第１段および第２段のポンプユニットに取付けた圧力センサ６０、６１が検出した各段の圧力が入力される。
【００１９】
このように構成した液体クロマトグラフ装置では、カラム５４に、例えば、１ｎＬ（ナノリットル）／ｍｉｎ〜２００μＬ（マイクロリットル）／ｍｉｎの流量範囲の流量を送液する。以下、この液体クロマトグラフ装置の動作を説明する。
【００２０】
図１は、第１段ポンプユニット１００がアクティブバルブ５により貯蔵槽５１に連通し、第２段ポンプユニット２００が第１段ポンプユニット１００との間が閉じられた状態を示している。すなわち、流路５ｆにより第３ポート５ｃと第４ポート５ｄが連通し、第１ポート５ａと第２ポート５ｂとの間が遮断されている。
【００２１】
同様に、図２は、アクティブバルブ５により第１段ポンプユニット１００と貯蔵槽５１との間が閉じられ、第１段ポンプユニット１００と第２段ポンプユニット２００とが遮断されている状態を示しており、２本の流路５ｅ、５ｆは、いずれののポート５ａ〜５ｄにも連通していない。図３は、アクティブバルブ５により、第１ポンプと貯蔵槽５１との間が閉じられ、第１段ポンプユニット１００と第２段ポンプユニットとが連通している状態である。流路５ｅにより第１ポート５ａと第２ポート５ｂが連通し、第３ポート５ｃと第４ポート５ｄとの間が遮断されている。
【００２２】
モータ１２１、２２１の回転は、直動機構１２２、２２２により直線運動に変換され、プランジャ１０１、２０１を往復運動させる。コントローラ５０は、圧力センサ６０、６１の出力信号に基づいてモータ１２１、２２１を駆動するとともに、アクティブバルブ５の開閉を制御する。
【００２３】
以下に、送液経路の概略を説明する。図１の状態では、流路５ｆが第３ポート５ｃと第４ポート５ｄとを連通する。貯蔵槽５１内の溶液は、脱気装置１４及び吸込配管１５を介してアクティブバルブ５の第４ポート５ｄに導かれる。そして、流路５ｆ、第３ポート５ｃ及び吸込配管１６を経由して第１段ポンプユニット１００に導かれる。第１段ポンプユニット１００の吸込通路１０３から吸込まれた溶液は、第１加圧室１０２で昇圧される。
【００２４】
アクティブバルブ５が切り替えられ、図３に示す状態になると、流路５ｅにより第１ポート５ａと第２ポート５ｂとが連通する。第１加圧室１０２内の溶液は、吐出通路１０４と中間吐出配管１７を経てアクティブバルブ５の第１ポート５ａに導かれる。そして、流路５ｅ、第２ポート５ｂ及び中間吸込配管１８を経由して、第２段ポンプユニット２００の吸込通路２０３に導かれる。第２段ポンプユニット２００に流れた溶液は、第２加圧室２０２、吐出通路２０４及び吐出配管１９を経てインジェクタ５３に到る。
【００２５】
インジェクタ５３では、分析対象の試料が注入され、溶液中に試料が混合される。試料を含む溶液は、カラム５４に導かれる。カラム５４では、試料に含まれる成分が互いに分離される。分離された各成分は、検出器５５を用いて成分分析される。ここで、カラム５４には微小なシリカゲル粒が充填されており、カラム５４を溶液が流れる際の流体抵抗によりプランジャポンプ装置１に１０ＭＰａ程度の負荷圧力が発生する。負荷圧力の大きさはカラム５４の径と通過流量により変化する。
【００２６】
図４を参照して、毎分ナノリットル（ｎＬ）レベルの極低流量を送液する場合のポンプ動作を説明する。同図（Ａ）は、ドレンバルブ９の開閉動作を示す図であり、同図（Ｂ）は、第１プランジャ１０１に対するアクティブバルブ５の開閉動作を示す図である。同図（Ｃ）は、第１プランジャ１０１の変位を示す図であり、同図（Ｄ）は、第２プランジャ２０１に対するアクティブバルブ５の開閉動作を示す図である。同図（Ｅ）は、第２プランジャ２０１の変位を示す図であり、同図（Ｆ）は、第１段ポンプユニット１００の流量変化を示す図である。同図（Ｇ）は、第２段ポンプユニット２００の流量変化を示す図であり、同図（Ｈ）は、圧力センサ６１が検出した第２段ポンプユニットの吐出圧力の変化を示す図である。各図とも、横軸は時間である。
【００２７】
なお、アクティブバルブ５の動作状態を、以下の（１）〜（３）のように、プランジャ１０１、２０１の動作状態を（４）〜（５）のように定める。  
（１）「開−閉」状態：
図１に示すようにアクティブバルブ５を切り替えると、流路５ｆにより第３ポート５ｃと第４ポート５ｄが連通し、第１ポート５ａと第２ポート５ｂが遮断される。このとき、第１加圧室１０２は、アクティブバルブ５を介して貯蔵槽５１内の溶液に連通するが、第１加圧室１０２と第２加圧室２０２とは連通しない。第１段ポンプユニット１００および第２段ポンプユニット２００の吸込み側の連通状態から、この状態を「開−閉」状態と呼ぶ。
（２）「閉−開」状態：
図３に示すようにアクティブバルブ５を切り替えると、流路５ｅにより第１ポート５ａと第２ポート５ａとが連通し、第３ポート５ｃと第４ポート５ｄが遮断される。このとき、第１加圧室１０２はアクティブバルブ５を介して第２加圧室２０２に連通するが、第１加圧室１０２は貯蔵槽５１に連通しない。この状態を、「閉−開」状態と呼ぶ。
（３）「閉−閉」状態：
図２に示すようにアクティブバルブ５を切り替えると、各ポート５ａ〜５ｄは、他のいずれのポート５ａ〜５ｄにも連通しない。第１段ポンプユニット１００および第２段ポンプユニット２００の吸込み側の連通状態から、この状態を「閉―閉」状態と呼ぶ。
（４）下死点
第１プランジャ１０１と第２プランジャ２０１の先端部が、図１ないし図３において最も左側にあるとき、すなわち、モータ１２１、２２１と直動機構１２２、２２２によりプランジャ１０１、２０１がモータ１２１、２２１側に最も引き込まれているときを、下死点にあると呼ぶ。
（５）上死点
第１プランジャ１０１と第２プランジャ２０１の先端部が、図１ないし図３において最も右側にあるとき、すなわちモータ１２１、２２１と直動機構１２２、２２２により最も反モータ側にあるときを、上死点にあると呼ぶ。
【００２８】
次に、本実施例で示す送液システムの各運転モードについて説明する。  
（１）気泡排出及び溶離液充填モード
気泡排出及び溶離液充填モードでは、送液システムが有するポンプユニット１００、２００、このポンプユニット１００、２００に接続される各流路やバルブ５、及び配管内１６〜１９の気泡を排出し、溶離液を充填する。この場合、図４（Ａ）に示すように、ドレンバルブ９を開放する。同図（Ｂ）、（Ｄ）を参照すると、アクティブバルブ５の第２プランジャ２０１に対する開閉動作は、第１プランジャ１０１に対する開閉動作よりも半周期遅れている。
【００２９】
同図（Ｃ）、（Ｅ）を参照すると、第２のプランジャ２０１の往復運動は、第１のプランジャ１０１の往復運動よりも半周期遅れている。第１プランジャ１０１が引き込まれ、上死点から下死点に移動するときに、第２プランジャ２０１は押し込まれ、下死点から上死点に移動する。つまり、第１段ポンプユニット１００が吸込行程のときには、第２段ポンプ２００は吐出行程となる。逆に、第１プランジャ１０１が押し込まれ、下死点から上死点に移動するときには、第２プランジャ２０１は引き込まれ、上死点から下死点に移動する。つまり、第１段ポンプユニット１００が吐出行程のときには、第２段ポンプユニット１００は吸込行程となる。
【００３０】
同図（Ｆ）、（Ｇ）を参照すると、第１段ポンプユニット１００が吸込行程のときには、第２段ポンプユニット２００は吐出行程にある。逆に、第１段ポンプユニット１００が吐出行程にあるときは、第２段ポンプユニット２００は吸込行程にある。ここで、第１プランジャの移動速度を第２プランジャの移動速度より大きくしているので、第１段ポンプユニット１００の流量は、第２段ポンプユニット２００の流量より多い。同図（Ｈ）を参照すると、プランジャポンプ装置１の吐出圧力は、第１段ポンプユニット１００と第２段ポンプユニット２００の流量変動の影響を含むが、略一定である。
【００３１】
気泡排出及び溶離液充填モードでは、第１プランジャ１０１と第２プランジャ２０１とを複数回往復運動させる。このとき、ドレンバルブ９から第１段ポンプユニット１００と第２段ポンプユニット２００の流量の差分と同時に気泡を排出する。したがって、下流側の第２加圧室２０２内に溜まった気泡が容易に排出され、短時間で試験準備が完了する。
（２）起動運転モードおよび定常運転への移行運転モード
気泡排出及び溶離液充填モードが終了すると、第１プランジャ１０１、第２プランジャ１０２、およびアクティブバルブ５を、ホームポジションに位置決めする。その後、プランジャポンプ装置１を起動する。ホームポジションでは、アクティブバルブ５は「開―閉」状態にある。第１、第２プランジャ１０１、２０１は、下死点に位置している。このとき、第１、第２加圧室１０２、２０２には、溶離液が満たされている。
【００３２】
図４（Ａ）に示すようにドレンバルブ９を閉じる。アクティブバルブ５を「開―閉」状態から「閉―開」状態にする（同図（Ｂ）、（Ｃ）参照）。プランジャポンプ装置１は、図３に示した状態であり、第１加圧室１０２は、アクティブバルブ５を介して第２加圧室２０２に連通する。第１プランジャ１０１を、下死点から上死点方向に所定の速度で移動させる。第１段ポンプユニット１００は、吐出行程にある。図４（Ｃ）に示した第１プランジャ１０１の変位の勾配から判るように、第１プランジャ１０１の移動速度は、起動運転時の方が気泡排出及び溶離液充填モードの場合より小さい。
【００３３】
図４（Ｅ）に示すように第２プランジャ２０１は下死点に位置しているから、第１加圧室１０２から吐出された溶離液は、アクティブバルブ５を経て第２加圧室２０２に導かれる。その後、吐出配管１９に吐出される。このとき、第２段ポンプユニット２００は、実質的には作動していない。したがって、第１段ポンプユニット１００の流量は、第１プランジャ１０１の移動速度に応じた所定値となるが、第２段ポンプユニット２００の流量はゼロである（同図（Ｇ）参照）。
（３）定常運転モード
起動運転時に、プランジャポンプ装置１の吐出圧力が目標圧力ＰsetよりΔＰsetだけ低い値（Ｐset−ΔＰset）に到達したら、定常運転に切り替える。定常運転を開始するときは、図４（Ｂ）、（Ｄ）に示すように、アクティブバルブ５を「閉―開」状態から「開―閉」状態に変更する。第１プランジャ１０１を、下死点と上死点の間の所定位置で停止させる（同図（Ｃ）参照）。第２加圧室２０２は、第１加圧室１０２から遮断される。第１段ポンプユニット１００の流量はゼロとなる。
【００３４】
図４（Ｅ）に示すように、第２プランジャ２０１を下死点から上死点へ低速で移動させる。第２段ポンプユニット２００は、低速で吐出行程を実行する。第２段ポンプユニット２００の流量は、目標流量Ｑsetに制御される。その際、第２プランジャ２０１を一定の低速度で押し込んで、吐出圧力を目標圧力Ｐsetに保持する。また、送液流量を目標流量Ｑsetに保持する。
【００３５】
なお、プランジャポンプ装置１の吐出圧力は、定常運転に移行してもしばらく（Δｔ）は上昇を続ける。そして、目標圧力Ｐsetに到達したら、その圧力を維持するように制御される。目標圧力Ｐsetは、カラム径と通過流量によって決定される。圧力センサ６１は、プランジャポンプ装置１の吐出圧力が目標圧力Ｐsetに到達したことを、コントローラ５０に通知する。コントローラ５０は、第１、第２段ポンプユニット１００、２００とアクティブバルブ５に、定常運転モードの命令を送信する。
【００３６】
定常運転モードでは、液クロマトグラフ装置による測定のために、第２段ポンプユニット２００から超低流量の溶液を送液している。測定が終了したら、第１プランジャ１０１、第２プランジャ２０１及びアクティブバルブ５を、ホームポジションの状態に戻す。そして、次の測定の待機状態になる。定常運転モードでは、インジェクタ５３に分析対象となる試料が注入されて溶液と混合する。混合溶液はカラム５４に導かれ，成分毎に分離された後に、検出器５５で成分分析される。
【００３７】
送液量の違いによる運転方法の違いを、以下に説明する。毎分ナノリットル（ｎＬ）レベルの極低流量を送液する場合は、プランジャポンプ装置１の２段のポンプユニット１００、２００の一方のみを運転する。すなわち、起動運転時には、第１段ポンプユニット１００のみを運転し、定常運転時には第２段ポンプユニット１００のみを運転する。第２段ポンプユニットを定常運転させる前に第１段ポンプユニット１００を起動運転して、目標圧力までの到達時間、つまり第２段ポンプユニット２００の起動時の立ち上がり時間を短縮させる。
【００３８】
図１から図３では、第１プランジャ１０１の径と第２プランジャ１０２の径を同一径としたが、第１プランジャ径１０１を第２プランジャ径２０１より大きくすれば、モータの回転速度を変えることなく、第１段ポンプユニット１００の流量を第２段ポンプユニットの流量より大きくすることができる。
【００３９】
毎分マイクロリットル（μＬ）レベルの低流量を送液する場合を、図５を用いて説明する。アクティブバルブ５は図２に示す状態にあり、第１加圧室１０２と第２加圧室２０２の双方と遮断した状態にある。事前に、上記気泡排出及び溶離液充填モードにより、第１段、第２段ポンプユニット１００、２００、通路及び配管１６〜１９内の気泡を排出して溶離液を充填する。定常運転前に、第１段ポンプユニット１００および第２段ポンプユニット２００を起動運転する必要はない。もし必要であれば、上記起動運転する。以下、定常運転モードについて説明する。
【００４０】
図５（Ａ）〜図５（Ｇ）は、図４（Ａ）〜（Ｇ）に対応する図であり、図５（Ｈ）は全流量の時間変化を示す図である。同図（Ａ）に示すように、ドレンバルブ９を閉じる。フェーズ１の行程では、アクティブバルブ５を「開―閉」にする（同図（Ｂ）、（Ｃ）参照）。図１に示す状態になる。アクティブバルブ５により、第２加圧室２０２と第１加圧室１０２とは遮断される。第１加圧室１０２はアクティブバルブ５を介して貯蔵槽５１内の溶液に接続される。
【００４１】
第１プランジャ１０１は、上死点から下死点方向に所定の速度で移動し、第１段ポンプユニットが吸込行程を実行する（同図（Ｃ）参照）。第２プランジャ２０１は、上死点方向に所定の速度で移動し、第２段ポンプユニットが吐出行程を実行する（同図（Ｅ）参照）。第２段ポンプユニット２００の流量は、第２プランジャ２０１の移動速度に対応した所定の値となる。第１段ポンプユニット１００の流量はゼロである。ここで、第１段ポンプユニット１００が吸込行程を実行していても、アクティブバルブ５が第２加圧室２０２と第１加圧室１０２とを遮断しているので、第２段ポンプユニット２００の流量に影響を与えない。
【００４２】
第１プランジャ１０１が下死点に達したら、アクティブバルブ５を「閉−開」にして、フェーズ２の行程を開始する。このとき図３に示すように、第１加圧室１０２はアクティブバルブ５を介して第２加圧室２０２に連通する。第２プランジャ２０１はフェーズ１のときの半分の速度で上死点まで移動する。上死点に達したら、第２段ポンプユニット２００の吐出行程が終了する（同図（Ｅ）参照）。第１プランジャ１０１は、第２プランジャ２０１と同じ速度で上死点方向に移動し、第１段ポンプユニット１００が吐出行程を実行する。
【００４３】
第２段ポンプユニット２００の流量は、フェーズ１のときの流量の半分になる（同図（Ｇ）参照）。しかし、図５Ｆに示すように、第１段ポンプユニット１００の流量は第２段ポンプユニット２００の流量と同一であるから、第１段ポンプユニット１００と第２段ポンプユニット２００がそれぞれ目標流量の半分づつ吐出するので、トータル流量は確保される（同図（Ｈ）参照）。
【００４４】
第２プランジャ２０１が上死点に達したら、フェーズ３の行程に移行する。アクティブバルブ５は「閉−開」のままである。第２プランジャ２０１は、上死点から下死点方向に移動し、第２段ポンプユニット２００は吸込行程を実行する。第１プランジャ１０１は、上死点まで移動し、第１段ポンプユニット１００は吐出行程を終了する。第２段ポンプユニット１００の流量は、負の流量（吸込流量）となる。図５（Ｈ）に示すように、第２段ポンプユニット２００の負の流量を第１段ポンプユニット１００の流量が補えるので目標のトータル流量Ｑｓｅｔが確保される。
【００４５】
プランジャポンプ装置１において、毎分ナノリットル（ｎＬ）レベルの極低流量を送液する動作と毎分マイクロリットル（μＬ）レベルの低流量を送液する動作を変えた理由は、以下のとおりである。プランジャポンプ装置１で、圧力脈動を伴わずに低流量だけ精度良く送液するためには、プランジャ１０１、２０１を一押しするのがよい。これは、シリンジ式ポンプの方法である。しかしながら、シリンジ式ポンプでは連続送液が出来ない。これに対してプランジャポンプ装置１でプランジャ１０１、２０１を繰返し運転（往復動運転）すれば、連続送液が可能になる。この場合、ポンプユニット１００、２００では、吸込行程を必ず伴い、多少の圧力脈動が生じる。
【００４６】
そこで本発明では、極低流量を送液する場合にはプランジャ１０１、２０１を一押し運転し、極低流量より流量が大きい低流量域では繰返し運転（往復動運転）している。その際、プランジャポンプ装置１が２個のポンプユニット１００、２００を有しているので、１台のプランジャポンプ装置１で極低流量運転と低流量運転の双方が可能になっている。
【００４７】
次に、極低流量運転から低流量運転に運転方法を切り替えるときの流量について説明する。プランジャポンプ装置１の吐出流量は、システム側あるいはユーザ側からの要求から決定される「分析時間」に、プランジャ１０１、２０１の「１ストローク当たりの流量あるいは流速」を乗じて決定される。ここで、プランジャ１０１、２０１の「１ストローク当たりの流量あるいは流速」は、プランジャ径とプランジャ１０１、２０１のストロークで決定される。プランジャ１０１、２０１の仕様が決まれば、システム側あるいはユーザ側からの要求から得られる「分析時間」や「測定時間」あるいは「吐出流量」に基づいて決定される。
【００４８】
例えば、プランジャ径がφ２ｍｍ、ストロークが８ｍｍであれば、プランジャの１ストローク当たりの流量は約２５μＬである。要求される吐出流量が５００ｎＬ／ｍｉｎであれば、プランジャが１ストロークするのに必要な時間は５０分となる。「分析時間」や「測定時間」に３０分必要とするのであれば、プランジャの１ストローク中に分析または測定が完了するので、ポンプユニットを一押し運転すればよい。
【００４９】
要求される吐出流量が１００μＬ／ｍｉｎと増加していれば、プランジャが１ストロークするのに必要な時間は０．２５分となる。「分析時間」や「測定時間」に同様に３０分必要とするのであれば、プランジャの１ストロークでは不足でありポンプユニットを繰返し運転（往復動運転）する。
【００５０】
本実施例で示した送液システムを有する液体クロマトグラフで溶液を分析する場合、予め目標流量あるいは測定時間とプランジャポンプ装置の運転方法との関係を定めたマップを作成すれば、このマップを利用した自動立ち上げが可能になる。例えば、ユーザが目標流量あるいは測定時間を入力すれば、送液システムは、マップから目標流量あるいは測定時間に対する最適なポンプ運転方法を読み取り、自動的にプランジャポンプ装置を立ち上げる。
【００５１】
図１に示した送液システムに用いるアクティブバルブ５の詳細を、図６の分解斜視図を用いて説明する。アクティブバルブ５には、図示を省略した４個のポートが設けられている。円筒形のバルブケース５１９に、バルブケースブッシュ５１８、ベアリングケース５１７、スラストベアリング５１５、および２段の皿ばね５１３、５１４が順に収容されており、ロータ軸５１２がそれらの中央部を貫通している。ベアリングケース５１７には、ロータ軸５１２を回動可能に支持するラジアルベアリング５１６が保持されている。
【００５２】
ロータ軸５１２の一方の端部は、円板状に形成されており、図示しない２つの流路が形成されたロータシール５１１が端面を覆っている。ステータ５１０がロータシール５１１およびロータ軸５１２を、バルブケース５１９に保持する。その際、皿ばね５１３、５１４が、ロータシール５１１に予圧を付与する。ステータ５１０は、ねじ５２１によりバルブケース５１９に固定されている。バルブケース５１９の反ステータ側には、アジャストスクリュー５２０が取り付けられている。アジャストスクリュー５２０は、手動で操作される。
【００５３】
２つの流路が形成されたロータシール５１１は、ロータ軸５１２とともに４個のポートが形成されたステータ５１０に対し自在に回転摺動する。皿ばね５１３、５１４がロータシール５１１をステータ５１０に押し付けているので、流路からの溶液の漏れが防止される。この皿ばね５１３、５１４の押し付け力を、アジャストスクリュー５２０により調整する。ステータ５１０の材料にはステンレス鋼材を、ロータシール５１１にはＰＥＥＫ材を用いている。
【００５４】
このように構成した本実施例のアクティブバルブ５では、ロータシール５１１がステータ５１０に押し付けられながら設定された応答速度で回転摺動する。そしてロータシール５１１が回転して流路が切り替えられるので、切り替え部で摩擦や摩耗が生じる。この摩擦や摩耗は、送液する流量範囲が広くなると顕著になる。そこで、以下の方法により、摩擦や摩耗を低減している。
【００５５】
送液システムにおける設定流量とアクティブバルブ５の切り替え速度（応答時間）とを変化させたときの実験結果を、図７〜図１０に示す。図７および図８は、設定流量を大流量にした場合であり、図７はアクティブバルブ５の切り替え速度が遅い場合であり、図８はアクティブバルブ５の切り替え速度が速い場合である。図９および図１０は、設定流量を小流量にした場合であり、図９はアクティブバルブ５の切り替え速度を遅くしたときの例であり、図１０はアクティブバルブの切り替え速度を速くした場合である。プランジャ１０１、２０１の変位、アクティブバルブ５の切り替え速度およびプランジャポンプ装置１の吐出圧力を示す。
【００５６】
これらの図において、プランジャ変位のグラフにおける実線は、第１プランジャ１０１の変位であり、破線は第２プランジャ２０１の変位である。アクティブバルブ５は、第１プランジャ１０１と第２プランジャ２０１に対して、図５に示したように動作している。ステータ５１０に形成された４個のポートの間隔は、６０度である。アクティブバルブ５が、「開―閉」状態から「閉―閉」状態を介して「閉―開」状態に切り替わる時は、ロータシール５１１の流路は、図１〜図３において６０度時計方向に回転する。反対に、「閉―開」状態から「開―閉」状態に切り替わる時は、ロータシール５１１の流路は、図１〜図３において６０度反時計方向に回転する。
【００５７】
図７のアクティブバルブ５の切り替え速度が遅い場合には、アクティブバルブ５が切り替わる際に圧力脈動が大きくなっている。これは、図５のフェーズ３からフェーズ１に切り替わるときと、フェーズ２からフェーズ３にへ切り替わる時に相当する。特に、フェーズ２からフェーズ３に切り替わる時の脈動が顕著になる。これに対して、図８の場合には、このような圧力脈動が観察されない。フェーズ２からフェーズ３に切り替わるときに、極く僅かな脈動が観察されるが、この程度であれば液体クロマトグラフには悪影響が及ばない。この実験結果によれば、設定流量を大流量にしたときには、アクティブバルブ５の切り替えに伴う圧力脈動を低減するために、アクティブバルブ５の切り替え速度を速くする必要がある。
【００５８】
図９および図１０の設定流量が小流量の場合には、アクティブバルブ５の切り替え速度を遅くしても速くしても、フェーズ２からフェーズ３に切り替わるときにはほとんど変わらない極く微小の圧力脈動しか観察されない。つまり、設定流量が小流量の場合には、アクティブバルブ５の切り替え速度を早くする必要がない。
【００５９】
ところで摺動する物体同士の特性を示すために、ＰＶ値（Ｐは荷重圧力、Ｖは速度）という指標が多用される。アクティブバルブ５のステータ５１０とロータシール５１１の摺動特性も、このＰＶ値を用いて表すことができる。ＰＶ値が大きくなりすぎると、材料の摺動表面が摩擦発熱し、変形または摩耗が著しく大きくなる。そして場合によっては固着するおそれもある。したがって、ＰＶ値を可能な限り小さくする必要がある。
【００６０】
Ｐはロータシール５１１をステータ５１０に押し付ける荷重圧力であるから、皿ばね５１３、５１４のばね荷重圧力である。一方、Ｖはアクティブバルブ５の切り替え速度、換言すれば、ロータシール５１１の回転速度である。ＰＶ値を下げるためには、皿ばね５１３、５１４のばね荷重圧力を下げるか、アクティブバルブ５の切り替え速度を下げる。そこで、本実施例では、アクティブバルブ５の切り替え速度を調整して、ＰＶ値を低減している。設定流量が小流量の場合には、アクティブバルブ５の切り替え速度は遅くてもよいので、設定流量に応じてアクティブバルブ５の切り替え速度を調整する。これにより、アクティブバルブ５の信頼性が向上する。
【００６１】
本実施例ではアクティブバルブ５の切り替え速度を調整してＰＶ値を低減しているが、皿ばね５１３、５１４のばね荷重圧力を下げてもＰＶ値を低減できることはいうまでもない。たとえば、ロータシール５１１の押し付け荷重を外部アクチュエータ等で制御すれば、ＰＶ値を低減できる。
【００６２】
本発明に係る送液システムの他の例を、図１１に主要部を断面図にして示す。図１１に示す送液システムはいわゆる高圧グラジエント運転システムで、２台の液体クロマトグラフ装置１０ａ、１０ｂを有している。各液体クロマトグラフ装置１０ａ、１０ｂのコントローラ５０ａ，５０ｂを、メインコントローラ７０が制御する。２台の液体クロマトグラフ装置１０ａ、１０ｂの第２段ポンプユニット２００ａ、２００ｂの吐出配管を、ミキサー６２で連結する。ミキサー６２の吐出側は、インジェクタ５３に接続されている。第２段ポンプユニット１００ａ、１００ｂの吐出通路には、第２の圧力センサ６１ａ、６１ｂが取り付けられており、第１加圧室１０２ｂ、２０２ｂに第１の圧力センサ６０ａ、６０ｂがそれぞれ取り付けられている。
【００６３】
このように構成した高圧グラジエント運転システムの動作を、図１２を用いて説明する。高圧グラジエント運転システムは、２種類の溶離液Ａ、Ｂの混合比を時間と共に階段状に変化させながら送液する。すなわち、総送液流量（Ｑｔ＝Ｑａ＋Ｑｂ）を一定に保持して、２つの送液流量Ｑａ、Ｑｂの比率を変化させる。図１２（Ａ）に示すように、第１の溶離液Ａの流量Ｑａは、時間とともに段階的に増加する。総液量に対する１００分比で、例えば、Ｑａ＝１から９９まで変化させる。このとき第２の溶離液Ｂの流量Ｑｂを時間とともに段階的に減少させる。同図（Ａ）で第１の溶離液Ａを段階的に増加させているので、総送液流量を一定に保つために、溶離液Ｂの流量をＱｂ＝９９から１まで段階的に変化させる(同図（Ｂ）、（Ｃ）参照)。総送液流量Ｑｔは、ミキサー６２の流量である。
【００６４】
ミキサー６２の吐出点Ｓにおける第１、第２の溶離液Ａ、Ｂの混合比を、同図（Ｄ）に示す。第１の溶離液Ａと第２の溶離液Ｂの混合比は、時間とともに段階的に増加する。本実施例では、Ｑｂ／Ｑａ＝１から９９まで段階的に変化する。したがって、本例は１００段階のグラジエントである。総送液流量Ｑｔが１μＬ／ｍｉｎであれば、最小流量及び分解能をその１／１００、すなわち、１０ｎＬ／ｍｉｎとすることができる。
【００６５】
プランジャポンプ装置１ａ、１ｂの吐出圧力を、同図（Ｅ）に示す。２台のプランジャポンプ装置１ａ、１ｂは、ミキサー６２部で吐出配管１９ａ、１９ｂが接続されているから、ミキサー６２による圧力低下または圧力損失を無視すると、２台のプランジャポンプ装置１ａ、１ｂの吐出圧力は同一である。第１プランジャポンプ装置１ａの第２の圧力センサ６１ａが検出する吐出圧力は、第２プランジャポンプ装置１ｂの第２の圧力センサ６１ｂが検出する吐出圧力に等しく、この値はミキサー６２の吐出圧力に等しい。
【００６６】
この結果、総送液流量Ｑｔを一定(図１２（Ｃ）参照)にしても、プランジャポンプ装置１ａ、１ｂの吐出圧力は、最大１．５〜２倍程度まで変化する（図１２(Ｅ)参照）。これは、２つの溶離液の混合比が変化すると、カラム５４を通過するときに流体抵抗が変化するためである。プランジャポンプ装置１ａ、１ｂの吐出圧力を一定に保持しようとすれば、総送液流量Ｑｔは一定にならない。
【００６７】
ところで、溶離液の混合比と送液システムの圧力変動との関係は、過去の実験データから既知であるから、総送液流量Ｑｔを一定としたときの圧力変動曲線を予測する（図１２（Ｅ）の破線）。そして、ミキサー６２の吐出圧力を測定し(同図の実線)、この測定した吐出圧力を圧力変動曲線の予測値と比較する。測定値と予測値との偏差を、プランジャポンプ装置１ａ、１ｂにフィードバックすれば、圧力変動を制御できる。図１０Ｅの実線の曲線は、ポンプの吐出圧力の測定値であり、破線の曲線は、過去の実験データより得られたポンプ吐出圧力の目標値である。
【００６８】
図１１に示す実施例では、第１のプランジャポンプ装置１ａの第２段ポンプユニット２００ａに取り付けた第２の圧力センサ６１ａの出力を、メインコントローラ７０にフィードバックしている。メインコントローラ７０は、第２の圧力センサ６１ａの検出値を目標圧力と比較し、両者の偏差を演算する。この偏差を、各プランジャポンプ装置１ａ、１ｂのコントローラ５０ａ、５０ｂに送信する。コントローラ５０ａ、５０ｂは、偏差に基づいて、各プランジャポンプ装置１ａ、１ｂのモータを制御する。
【００６９】
各プランジャポンプ装置１ａ、１ｂポンプの吐出圧力が目標圧力より低い場合、総送液流量（Ｑｔ＝Ｑａ＋Ｑｂ）が低下しているので、総送液流量を増加させる。しかしながら、２つのプランジャポンプ装置１ａ、１ｂの送液流量Ｑａ、Ｑｂのいずれがより大きく低下しているのかは不明である。第１のプランジャポンプ装置１ａの送液流量Ｑａが低下しているのに、誤って第２のプランジャポンプ装置１ｂの送液流量Ｑｂが低下していると判断して第２のプランジャポンプ装置１ｂの送液流量Ｑｂを増加させると、混合比の精度が悪化する相互干渉を引き起こす。
【００７０】
そこで、２つのプランジャポンプ装置１ａ、１ｂの送液流量Ｑａ、Ｑｂが、同一の割合で増加または減少すると仮定する。そして図１２（Ｆ）に示すように、２つの送液流量Ｑａ、Ｑｂに対して、流量比に比例したフィードバックゲインを与えて、比例制御する。２つのプランジャポンプ装置１ａ、１ｂ送液流量の比Ｑａ：Ｑｂが、２０：８０の場合、２つの送液流量Ｑａ、Ｑｂのフィードバックゲインは、それぞれ（２０／１００）×Ｋ、（８０／１００）×Ｋで与えられる。ここで、Ｋは定数である。仮に総送液流量Ｑｔが５だけ不足しているときには、２台のプランジャポンプ装置１ａ、１ｂへの指令値は、それぞれ２０＋（２０／１００）×Ｋ×５、８０＋（８０／１００）×Ｋ×５になる。Ｋを１とすると、プランジャポンプ装置１ａへは２１が、プランジャポンプ装置１ｂには８４が指令される。２台のプランジャポンプ装置１ａ、１ｂの固体差による混合比の精度の低下を回避することはできないが、上記相互干渉を回避できる。
【００７１】
図１３に本発明に係る送液システムを、２次元高性能液体クロマトグラフ装置および質量分析システム７０に用いた例を示す。２次元高性能液体クロマトグラフ装置および質量分析システム７０では、プロテオーム解析に伴い種々のたんぱく質の分離分析をする。この２次元高性能液体クロマトグラフ装置７０では、上記グラジエント送液手段７６ａ〜７６ｃで混合比を変化させた溶液が６方バルブ８０の１つのポートに送られる。６方バルブ８０は６個のポートを有しており、他の１つのポートには逆送カラム７７を介して質量分析部７８が接続されている。６方バルブ８０の他の２つのポートは、トラップカラム７５を介して連結されている。さらに残りのポートの一方は他の機器に接続可能に空いており、残りの１つはイオン交換カラム７３に接続されている。
【００７２】
イオン交換カラム７３には、オートサンプラ７２と液体クロマトグラフ用ポンプ７１が上流側に、下流側にポンプ７４が接続されている。さらに、各機器を制御するコンピュータ７９が備えられている。液体クロマトグラフ用ポンプ７１およびオートサンプラ７２、イオン交換カラム７３は前段分離部を構成する。ポンプ７４とトラップカラム７５は脱塩部を構成する。グラジエント送液手段７６と逆相カラム７７は後段分離部を構成する。各部の動作は以下のとおりである。
（１）前段分離部：
液体クロマトグラフ用ポンプ７１からイオン交換カラム７３へ、一定量のグラジエント溶離液を供給する。その際、コンピュータ７９が液体クロマトグラフ用ポンプ７１に指令して、溶離液量を制御する。一方、分析対象の試料を含む試料溶液を、オートサンプラ７２から導入する。オートサンプラ７２から導入された試料の一部は、イオン交換カラム７３で最初の溶離液により分離された後、このイオン交換カラム７３から流出する。そして６方バルブ８０を切り替えてトラップカラム７５に流入させ、トラップカラム７５で分離された状態でトラップされる。トラップカラム７５中の分離試料は、所定の手順を経た後に質量分析に供される。前段分離部の溶離液流量は、極微量試料でも高分離能で分離されるように２００μＬ／ｍｉｎ以下に設定するのがよい。
（２）脱塩部：
各分離成分をそのまま逆相分離系へ導入すると、その分離成分に含まれる塩が後続の質量分析部に混入して性能に悪影響を及ぼす。そこで、イオン交換カラム７３で分離された成分を、脱塩処理する。
（３）後段分離部：
６方バルブ８０を回転させて流路を切り替え、トラップカラム７５で脱塩処理した分離成分を逆相カラム７７に送る。逆送カラム７７では、逆相分離用の溶離液を用いてグラジエント分離する。グラジエント送液手段は、２つのポンプ７６ａ、７６ｂからそれぞれ異なる種類の溶離液を圧送し、圧送された２つの溶離液をミキサー７６ｃで混合する。これにより、溶離液成分を任意の組成比率で混合した溶離液が生成されて、逆相カラム７７に導かれる。溶離液の組成比率は、コンピュータ７９により段階的に調整される。各分離成分は、溶離液の溶出強度に基づいてさらに再分離される。後段分離部の溶離液流量は、極微量試料であっても高分離能で分離できるように、１００μＬ／ｍｉｎ以下とするのがよい。場合によっては、５０ｎＬ／ｍｉｎ以下とするのがよい。
（４）質量分析部：
後段分離部により２段階に分離された溶液は、単一成分まで分離される。その後、後段分離部に直結する質量分析部７８において、各成分の定性および／または定量分析される。高性能液体クロマトグラフと質量分析計のインターフェースには、ＥＳＩ（エレクトロスプレーイオン化）、ＡＰＣＩ（大気圧化学イオン化）等が用いられる。質量分析計には、飛行時間型やイオントラップ型が用いられる。
【００７３】
プロテオーム解析では、採取した細胞からたんぱく質を抽出して分析する。細胞に含まれるたんぱく質は極微量であり、増殖も不可能である。したがって、液体クロマトグラフ及び質量分析計システムの検出感度を向上させるためには、低流量でも液体クロマトグラフ分析を可能にする必要がある。現状のプロテオーム解析では、試料を投入してデータ処理するまでの分析時間に数時間を要する。本実施例による２次元高性能液体クロマトグラフ装置及び質量分析計システムでは、液体クロマトグラフに投入する分析試料の量を微量化することができるとともに、広範囲な流量を１台のポンプシステムで送液するのでポンプの切り替え時間を短縮し、分析時間を短縮できる。これにより、データの処理件数を増大できる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明に係る送液システムの一実施例の模式図であり、主要部を縦断面図で示した図である。
【図２】本発明に係る送液システムの一実施例の模式図であり、主要部を縦断面図で示した図である。
【図３】本発明に係る送液システムの一実施例の模式図であり、主要部を縦断面図で示した図である。
【図４】本発明に係る送液システムの駆動方法の一例を示すタイムチャートである。
【図５】本発明に係る送液システムの駆動方法の一例を示すタイムチャートである。
【図６】図１ないし図３に示した送液システムに用いるアクティブバルブの分解斜視図である。
【図７】本発明に係るアクティブバルブの動作を説明する図である。
【図８】本発明に係るアクティブバルブの動作を説明する図である。
【図９】本発明に係るアクティブバルブの動作を説明する図である。
【図１０】本発明に係るアクティブバルブの動作を説明する図である。
【図１１】本発明に係る送液システムの他の実施例の模式図であり、主要部を縦断面図で示した図である。
【図１２】図１１に示した送液システムの動作を説明する図である。
【図１３】本発明に係る２次元高性能液体クロマトグラフ及び質量分析計システムの一実施例の模式図である。
【符号の説明】
【００７５】
１…プランジャポンプ装置、５アクティブバルブ、５ａ〜５ｆ…ポート、５ｈ、５ｇ…流路、９…ドレンバルブ、１０…液体クロマトグラフ装置、１４…脱気装置（デガッサ）、１５、１６…吸込配管、１７…吐出配管、１８…吸込配管、１９…吐出配管、５０、５０ａ、５０ｂ…コントローラ、５１、５１ａ、５１ｂ…溶離液、５３…インジェクタ、５４…カラム、５５…検出器、５８…質量分析計、６０、６０ａ、６０ｂ、６１、６１ａ、６１ｂ…圧力センサ、６２…ミキサー、６３…圧力センサ、７０…メインコントローラ、７１…液体クロマトグラフ用ポンプ、７２…オートサンプラ、７３…イオン交換カラム、７４…ポンプ、７５…トラップカラム、７６…グラジエント送液手段、７７…逆相カラム、７８…質量分析部、７９…コンピュータ、８０…６方バルブ、１０１…第１プランジャ、１０２…第１加圧室、１０３…吸込通路、１０４…吐出通路、１０５…吸込チェック弁、１０６…吐出チェック弁、１２１…モータ、１２２…直動機構、１２３…軸受、１２４…シール、２０１…第２プランジャ、２０２…第２加圧室、２０３…吸込通路、２０４…吐出通路、２０５…吸込チェック弁、２０６…吐出チェック弁、２２１…モータ、２２２…直動機構、２２３…軸受、２２４…シール、５１０…ステータ、５１１…ロータシール、５１２…ロータ軸、５１３、５１４…皿ばね、５１５…スラストベアリング、５１６…ラジアルベアリング、５１７…ベアリングケース、５１８…バルブケースブッシュ、５１９…バルブケース、５２０…アジャストスクリュー、５２０…取り付けスクリュー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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