(57)【要約】【課題】電子部品の温度を低温、常温あるいは高温に維持した状態で、電子部品の姿勢を変えて傾斜角度に対する電気的特性を効率的に測ることを可能にする。【解決手段】調整検査装置によって、電子部品Ａの姿勢を所定角度に傾斜した状態で該電子部品の特性を調整検査する際に、電子部品Ａの姿勢を垂直方向に回転する角度制御ユニットにて傾斜させ、角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転する温度調節ユニットが配されるようにする。更に、温度調節ユニットの表面が電子部品Ａと直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触し、電子部品の温度を所定温度に維持する構造とする。【選択図】図８
2006292774.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の姿勢を所定角度に傾斜した状態で該電子部品の特性を調整検査する電子部品の調整検査装置において、前記電子部品の姿勢を垂直方向に回転する角度制御ユニットにて傾斜させ、
前記角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転する温度調節ユニットが配されており、該温度調節ユニットの表面が前記電子部品と直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触し、該電子部品の温度を所定温度に維持する構造となっていることを特徴とする電子部品の調整検査装置。
【請求項２】
前記角度制御ユニットの前記垂直回転軸には該垂直回転軸と同芯で回転するロータリー継ぎ手が連結されており、該ロータリー継ぎ手を介して前記温度調節ユニットの発熱を放熱するための冷却液を外部から供給、回収する構造となっていることを特徴とする請求項１に記載の電子部品の調整検査装置。
【請求項３】
前記角度制御ユニットが、ペルチェ素子を冷却源又は過熱源とした冷加熱プレート方式であり、前記冷加熱プレートの表面に前記電子部品が直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触する構造となっていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品の調整検査装置。
【請求項４】
前記温度調節ユニットを配した前記角度制御ユニットが密閉容器内に配されており、該密閉容器内に乾燥ガスが充填可能となっていることを特徴とする請求項１、２又は３に記載の電子部品の調整検査装置。
【請求項５】
前記温度調節ユニットを配した前記角度制御ユニットが複数の温度条件に対応して温度条件の数だけ配されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
【請求項６】
前記温度調節ユニットを配した前記角度制御ユニットの前工程には予備温度調節ユニットが配されており、該予備温度調節ユニットの表面が前記電子部品と直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触し、該電子部品の温度を前記温度調節ユニットの温度に近づける構造となっていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
【請求項７】
前記電子部品の搬送をキャリアにて行うことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
【請求項８】
前記キャリアが、複数の前記電子部品をまとめて搬送することで、単位キャリア毎に複数個まとめて調整検査を行う構造となっていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
【請求項９】
前記角度制御ユニットは垂直回転軸を中心に回転する構造になっており、該垂直回転軸を任意の角度に回転することにより、前記角度制御ユニット上に載置された前記電子部品の姿勢を任意の角度に傾斜する構造となっていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか記載の電子部品の調整検査装置。
【請求項１０】
前記角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転するコンタクトユニットが配されており、該コンタクトユニットが有する導電接触子を介して前記電子部品と計測器との間の電気的な接続を確保し、該電子部品の姿勢に対応する電気特性を測定する構造となっていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
【請求項１１】
前記導電接触子は、バネ性を有する導電体を有して構成されることを特徴とする請求項１０記載の電子部品の調整検査装置。
【請求項１２】
電子部品の姿勢を所定角度に傾斜した状態で該電子部品の特性を調整検査する電子部品の調整検査装置において、前記電子部品の姿勢を垂直方向に回転する角度制御ユニットにて傾斜させ、前記角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転する温度調節ユニットが配されており、該温度調節ユニットの表面が前記電子部品と直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触して、該電子部品の温度を所定温度に維持することを特徴とする電子部品の調整検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｇセンサーや傾斜センサーのように傾斜角度（垂直方向の回転角度）を検出する機能を持つ電子部品の調整検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｇセンサーは静止加速度を含む加速度に応じた電圧を出力するが、静止状態においては静止加速度に比例した電圧のみが出力される。この静止加速度はＧセンサーにかかる重力加速度のベルトル成分となるため、Ｇセンサーの出力電圧からＧセンサーの傾斜角度を換算することができる。
【０００３】
このようなＧセンサーの動作原理は、Ｇセンサー内部のセンサー素子（例えば、ピエゾ素子など）の作用によるものであるが、センサー素子自体は個体ごとの感度のばらつきや、実装状態のばらつき（角度ずれなど）、温度特性など様々な誤差要因を含むため、傾斜角度に対する理想的な電圧特性を得るためには、低温、常温、高温の環境下で、Ｇセンサーの姿勢を０°〜＋２７０°の範囲で２〜３点またはそれ以上の角度に傾斜した状態で電圧を測定し、その測定値を元にＧセンサーの出力電圧を制御するＩＣ素子の調整を行い、傾斜角度に対する電圧特性の誤差を補正する必要がある。
【０００４】
このように傾斜角度を検出する電子部品を常温または温度制御された環境下において調整検査するために、一般的に一括式調整検査方式が採用されている。以下にＧセンサーの一括式調整検査方式について一例を示す。
【０００５】
Ｇセンサーの一括式調整検査方式の一例を図１〜６に示す。まず、治具基板２に配列状に配置された複数個のソケット３にＧセンサー１を１個ずつ装填する。
【０００６】
次に、水平なテーブル７の上に設置された角柱状のスロット治具４のスロット４ｅに治具基板２を装着し、治具基板２と計測器５をケーブル６で結線する。このとき、スロット治具４の底面４ａおよび上面４ｃはスロット４ｅに対して平行になっており、側面４ｂおよび４ｄはスロット４ｅに対して垂直になっている。
【０００７】
次に、図２のようにスロット治具４の底面４ａが下側になるようにスロット治具４を設置し、この状態を０°の姿勢として各治具基板２のソケット３に装填されたＧセンサー１の電圧を計測器５にて測定する。
【０００８】
次に、図３のようにスロット治具４の側面４ｂが下側になるようにスロット治具４を設置し、この状態を９０°の姿勢として各治具基板２のソケット３に装填されたＧセンサー１の電圧を計測器５にて測定する。
【０００９】
同様に、図４、５のようにスロット治具４の上面４ｃおよび側面４ｄが下側になるようにスロット治具４を設置し、この状態を１８０°、２７０°の姿勢として各治具基板２のソケット３に装填されたＧセンサー１の電圧を計測器５にて測定する。
【００１０】
以上の作業により０°、９０°、１８０°、２７０°の４つの姿勢における傾斜角度に対する電圧特性を測定し、補正値を算出してＩＣ素子への書込みを行う。
【００１１】
なお、ＩＣ素子への書込み後は、再度０°、９０°、１８０°、２７０°の順にスロット治具４を設置し、各治具基板２のソケット３に装填されたＧセンサー１の電圧を測定して、補正された特性が検査規格の範囲内かどうかを確認する。
【００１２】
以上の調整検査は常温環境下において実施しているが、Ｇセンサーの温度特性も含めて調整検査を行う場合は図６のように恒温槽８の中に設置したテーブル７にスロット治具４を置いて、低温、常温、高温の環境下における段落「０００７」〜段落「０００９」の測定を行い、温度および傾斜角度に対する電圧特性より最適な補正値を算出してＩＣ素子への書込みを行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
一括式調整検査方式は、（１）スロット治具の外壁（底面、上面、両側面）とスロットの角度精度、スロットと治具基板のガタ、治具基板の反り、治具基板に対するソケットの傾きなど姿勢の誤差要因が多数存在し、個々の電子部品の傾斜角度の精度に欠ける。（２）傾斜角度はスロット治具の外壁（底面、上面、両側面）とスロットの角度によって決まってしまうため、別の角度（例えば４５°など）で測定する場合は、スロット治具を作り直さなければならない。（３）治具基板の傾斜角度の変更を手作業で行う必要がある。（４）仮に治具基板の傾斜角度の変更を自動にしたとしても、低、高温の環境下では回転機構を設置することが難しい。（５）低、高温の環境下での治具基板の傾斜角度の変更を手作業で行う場合は、治具基板の傾斜角度を変更するたびに恒温槽の扉を開ける必要があり、温度設定に膨大な時間がかかってしまう。（６）そのため生産能力を上げようとすると多数の恒温槽、スロット治具、治具基板、計測器が必要となる。（７）ソケットへの電子部品の出し入れに手間と時間がかかる。といった問題があり高精度化、省スペース化、生産性向上のネックになる方式であった。
【００１４】
本発明は、前述の課題を解決するものであり、高精度化、省スペース化、生産性向上がなされた電子部品の調整検査方法および装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的は以下の手段によって達成されるものである。
【００１６】
（１）電子部品の姿勢を所定角度に傾斜した状態で該電子部品の特性を調整検査する電子部品の調整検査装置において、前記電子部品の姿勢を垂直方向に回転する角度制御ユニットにて傾斜させ、前記角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転する温度調節ユニットが配されており、該温度調節ユニットの表面が前記電子部品と直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触し、該電子部品の温度を所定温度に維持する構造となっていることを特徴とする電子部品の調整検査装置。
【００１７】
（２）前記角度制御ユニットの前記垂直回転軸には該垂直回転軸と同芯で回転するロータリー継ぎ手が連結されており、該ロータリー継ぎ手を介して前記温度調節ユニットの発熱を放熱するための冷却液を外部から供給、回収する構造となっていることを特徴とする上記（１）に記載の電子部品の調整検査装置。
【００１８】
（３）前記角度制御ユニットが、ペルチェ素子を冷却源又は過熱源とした冷加熱プレート方式であり、前記冷加熱プレートの表面に前記電子部品が直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触する構造となっていることを特徴とする上記（１）又は（２）に記載の電子部品の調整検査装置。
【００１９】
（４）前記温度調節ユニットを配した前記角度制御ユニットが密閉容器内に配されており、該密閉容器内に乾燥ガスが充填可能となっていることを特徴とする上記（１）、（２）又は（３）に記載の電子部品の調整検査装置。
【００２０】
（５）前記温度調節ユニットを配した前記角度制御ユニットが複数の温度条件に対応して温度条件の数だけ配されていることを特徴とする上記（１）乃至（４）のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
【００２１】
（６）前記温度調節ユニットを配した前記角度制御ユニットの前工程には予備温度調節ユニットが配されており、該予備温度調節ユニットの表面が前記電子部品と直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触し、該電子部品の温度を前記温度調節ユニットの温度に近づける構造となっていることを特徴とする上記（１）乃至（５）のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
【００２２】
（７）前記電子部品の搬送をキャリアにて行うことを特徴とする上記（１）乃至（６）のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
【００２３】
（８）前記キャリアが、複数の前記電子部品をまとめて搬送することで、単位キャリア毎に複数個まとめて調整検査を行う構造となっていることを特徴とする上記（１）乃至（７）のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
【００２４】
（９）前記角度制御ユニットは垂直回転軸を中心に回転する構造になっており、該垂直回転軸を任意の角度に回転することにより、前記角度制御ユニット上に載置された前記電子部品の姿勢を任意の角度に傾斜する構造となっていることを特徴とする上記（１）乃至（８）のいずれか記載の電子部品の調整検査装置。
【００２５】
（１０）前記角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転するコンタクトユニットが配されており、該コンタクトユニットが有する導電接触子を介して前記電子部品と計測器との間の電気的な接続を確保し、該電子部品の姿勢に対応する電気特性を測定する構造となっていることを特徴とする上記（１）乃至（９）のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
【００２６】
（１１）前記導電接触子は、バネ性を有する導電体を有して構成されることを特徴とする上記（１０）記載の電子部品の調整検査装置。
【００２７】
（１２）電子部品の姿勢を所定角度に傾斜した状態で該電子部品の特性を調整検査する電子部品の調整検査装置において、前記電子部品の姿勢を垂直方向に回転する角度制御ユニットにて傾斜させ、前記角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転する温度調節ユニットが配されており、該温度調節ユニットの表面が前記電子部品と直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触して、該電子部品の温度を所定温度に維持することを特徴とする電子部品の調整検査方法。
【００２８】
上記（１）等によれば、角度制御ユニットの回転により電子部品の姿勢を任意の角度に傾斜することができるため、従来技術におけるスロット治具を転がすといった手作業が不要になり、スロット治具の構造上任意の角度に設定できないといった制約も解消できる。また、角度制御ユニットと電子部品の間には、スロット治具、治具基板、ソケットといった介在物がほとんど不要なため、角度制御ユニットの組み立て精度と、垂直回転軸の回転精度を確保すれば、従来技術に対して傾斜角度の高精度化をはかることができる。
【００２９】
更に上記（１）によれば、電子部品の温度を低温、常温あるいは高温に維持した状態で電子部品の姿勢を変えて傾斜角度に対する電気的特性を測ることができるため、従来技術のように電子部品の姿勢を変えるたびに恒温槽の扉を開けたり、再度温度設定したりする必要がないため、はるかに効率の良い作業が可能となる。
【００３０】
上記（２）によれば、ペルチェ素子の放熱効果を高めるための冷却液を供給、回収するための２本のホースを垂直回転軸とともに回転する温度調節ユニットで引っ張って回転する必要がなく、ホースが外れたり、損傷したりするトラブルを避けることができる。すなわち、ロータリー継ぎ手は回転側（内周側）と固定側（外周側）の間の冷却液の受け渡しを行う構造とし、温度調節ユニットに接続した２本のホースはロータリー継ぎ手の回転側に接続して回転側と一体となって回転し、冷却液の供給・回収装置側に接続した２本のホースはロータリー継ぎ手の固定側に接続して可動しないようにすることにより、ホース自体は引っ張られたり、捻れたりしない。
【００３１】
また、上記（３）のように、温度調節ユニットとは、ペルチェ素子を冷却源、加熱源とした冷加熱プレート式が好ましいが、高温側だけであれば、セラミックヒーターやカートリッジヒーターを加熱源とした加熱プレート式も好ましい。ここで、ペルチェ素子を冷却源、加熱源とする場合は、ペルチェ素子の放熱効果を高めるために冷却液による補助冷却を行うことが好ましい。
【００３２】
また、上記（４）によれば、温度調節ユニットを配した角度制御ユニットを密閉容器内に配し、その中に乾燥ガスを充填することにより温度調節ユニットを低温にしたときの温度調節ユニットおよびその周辺の結露を防止することができる。
【００３３】
上記（５）によれば、１台の温度調節ユニット付きの角度制御ユニットで温度設定と角度設定を順次繰り返すのではなく、設定温度の違う温度調節ユニット付きの角度制御ユニットを複数台（例えば、低温、常温、高温の３台）並べ、それぞれの工程で傾斜角度に対する電気的特性を測ることにより生産性を向上することができる。
【００３４】
上記（６）によれば、予備温度調節ユニットで電子部品の温度を測定温度に近づけておくことができるため、調整検査を行う温度調節ユニットに電子部品を載置したときに電子部品の温度が測定温度に到達するまでの時間が短縮できる。
【００３５】
また上記（７）によれば、電子部品をキャリアに載せて搬送するため、電子部品を単体で搬送したときに起こりやすい詰まりなどのトラブルが低減できる。また、姿勢を変えての調整検査はかなりの時間を要するため、上記（８）のように、複数個の電子部品をキャリアに載せて搬送し、１キャリア単位で複数個まとめて調整検査を行うようにすれば、１個あたりの所要時間を短縮することができる。
【００３６】
なお、上記キャリアとは、常温環境下の調整検査装置の場合はアルミニウムやステンレスなどの金属が好ましく、低温、常温、高温環境下の調整検査装置の場合は、熱伝導率が１００ｋｃａｌ／ｍ・ｈ・℃以上の素材が好ましく、アルミニウムや窒化アルミニウムなどが好ましい。アルミニウムについては搬送時の表面の磨耗等の問題があるため、無電解ニッケルメッキや硬質アルマイト、タフラムなどの表面処理を施しておくことが好ましい。
【００３７】
また上記（１０）によれば、電子部品の姿勢を傾斜した状態で電子部品の電気特性を測定することが可能となる。更に上記（１０）では、前記角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転するコンタクトユニットが配されており、該コンタクトユニットが有する導電接触子が前記電子部品を前記角度制御ユニットの該電子部品載置面に押し付けることで、前記電子部品の前記電子部品載置面に対する傾斜角度を規制する構造となっていることが好ましい。このようにすれば、電子部品を角度制御ユニットに載置したときの電子部品の浮きによる角度誤差を低減するとともに、傾斜時の電子部品の落下を防止することができる。
【００３８】
また、上記（１０）における導電接触子は、コンタクトプローブのようなバネ性を持つ導電体が好ましく、針状あるいは板バネ状のベリリウム銅片やＡＣＦ（異方性導電ゴム）なども好ましい。また、角度制御ユニットの電子部品載置面にソケットを並べ、ソケットの接触子により電子部品との接触をはかることもできる。
【００３９】
なお、上記角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転するセンタリングユニットが配されており、該センタリングユニットが有するセンタリング爪の当接面で前記電子部品の対向する側面を挟み込んで該電子部品の水平方向の角度を規制する構造とすることが望ましい。このようにすると、電子部品の水平方向の角度を規制することにより、電子部品を垂直方向に回転したときの電子部品の垂直軸に対する傾きによる電気特性の誤差を低減することができる。
【００４０】
また更に、上記手段では、前記角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転する角度センサーが配されており、該角度センサーの計測値より前記角度制御ユニットの設定角度と実際の角度の誤差を算出し、該角度制御ユニットの設定角度をフィードバック制御する構造となっていることが好ましい。このようにすると、角度制御ユニットの組み立て精度や剛性に起因する電子部品載置面の傾斜角の誤差や、垂直回転軸を回転するモーター等の位置決め誤差などを角度センサーの実測値をフィードバック制御することにより低減することができる。なお、この角度センサーとは、Ｇセンサーや傾斜センサーが好ましく、被対象物である電子部品より絶対精度の高いものが好ましい。このようなセンサーが高価である場合は、あらかじめ、温度、角度に対する電圧特性を測定した角度センサーを設置し、そのデータをもとに角度センサーの測定結果を補正し、絶対精度の向上をはかるという方法でも良い。
【００４１】
更にまた、上記手段では、前記角度制御ユニットの設置部には防振材が配されており、該角度制御ユニットの周辺に配された機構からの振動が伝わらない構造となっていることが好ましい。Ｇセンサーなどの加速度を検出するセンサーは、静的加速度のほかに動的加速度も検出してしまうため、電子部品に伝わる僅かな振動がノイズ成分となって出力されてしまう。従って、このようにすれば、電子部品の出力に影響を与える振動を低減することにより、より精度の高い調整検査が可能となる。
【発明の効果】
【００４２】
請求項１の発明によれば、角度制御ユニットの回転により電子部品の姿勢を任意の角度に傾斜することができるため、従来技術におけるスロット治具を転がすといった手作業が不要になり、スロット治具の構造上任意の角度に設定できないといった制約も解消できる。また、角度制御ユニットと電子部品の間には、スロット治具、治具基板、ソケットといった介在物がほとんど不要なため、角度制御ユニットの組み立て精度と、垂直回転軸の回転精度を確保すれば、従来技術に対して傾斜角度の高精度化をはかることができる。
【００４３】
更に請求項１の発明によれば、電子部品の温度を低温、常温あるいは高温に維持した状態で電子部品の姿勢を変えて傾斜角度に対する電気的特性を測ることができるため、従来技術のように電子部品の姿勢を変えるたびに恒温槽の扉を開けたり、再度温度設定したりする必要がないため、はるかに効率の良い作業が可能となる。
【００４４】
更に請求項２の発明によれば、ペルチェ素子の放熱効果を高めるための冷却液を供給、回収するための２本のホースを垂直回転軸とともに回転する温度調節ユニットで引っ張って回転する必要がなく、ホースが外れたり、損傷したりするトラブルを避けることができる。すなわち、ロータリー継ぎ手は回転側（内周側）と固定側（外周側）の間の冷却液の受け渡しを行う構造とし、温度調節ユニットに接続した２本のホースはロータリー継ぎ手の回転側に接続して回転側と一体となって回転し、冷却液の供給・回収装置側に接続した２本のホースはロータリー継ぎ手の固定側に接続して可動しないようにすることにより、ホース自体は引っ張られたり、捻れたりしない。
【００４５】
また請求項４の発明によれば、温度調節ユニットを配した角度制御ユニットを密閉容器内に配し、その中に乾燥ガスを充填することにより温度調節ユニットを低温にしたときの温度調節ユニットおよびその周辺の結露を防止することができる。
【００４６】
請求項５の発明によれば、１台の温度調節ユニット付きの角度制御ユニットで温度設定と角度設定を順次繰り返すのではなく、設定温度の違う温度調節ユニット付きの角度制御ユニットを複数台（例えば、低温、常温、高温の３台）並べ、それぞれの工程で傾斜角度に対する電気的特性を測ることにより生産性を向上することができる。
【００４７】
請求項６の発明によれば、予備温度調節ユニットで電子部品の温度を測定温度に近づけておくことができるため、調整検査を行う温度調節ユニットに電子部品を載置したときに電子部品の温度が測定温度に到達するまでの時間が短縮できる。
【００４８】
請求項７の発明によれば、電子部品をキャリアに載せて搬送するため、電子部品を単体で搬送したときに起こりやすい詰まりなどのトラブルが低減できる。また、姿勢を変えての調整検査はかなりの時間を要するため、複数個の電子部品をキャリアに載せて搬送し、１キャリア単位で複数個まとめて調整検査を行うことにより１個あたりの所要時間を短縮することができる。
【００４９】
また請求項８の発明によれば、電子部品の姿勢を傾斜した状態で電子部品の電気特性を測定することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５０】
次に、図面を参照して、本発明の実施の形態の例について詳細に説明する。
【００５１】
本発明の実施例１としてＧセンサーの温度角度特性調整検査装置を図７〜９に示す。図７〜９において、ステッピングモーター９によって回転する垂直回転軸１３の外周には、垂直回転軸１３によって任意の角度に傾斜する温度調節プレート１４が取り付けられている。ステッピングモーター９の回転出力はハーモニックギア１０によって１／５０に減速され、カップリング１１を介して垂直回転軸１３に連結されている。垂直回転軸１３は両端に設けられた軸受け１２をガイドにして回転する構造になっている。
【００５２】
温度調節プレート１４の下面にはペルチェ素子１５の上面が貼りつけられ、ペルチェ素子１５の下面は温度調節プレート１４の下側に設けられた冷却ユニット１６の上面に貼りつけられている。また、温度調節プレート１４の上側にはプローブ上下シリンダー１７が配され、コンタクトプローブ１９を埋め込んだプローブプレート１８を上下する構造になっている。なお、図中には記載されていないが、コンタクトプローブ１９にはＧセンサーＡに供給する直流電源、ＧセンサーＡの出力電圧を測定するための直流電圧計、ＧセンサーＡ内部のＩＣ素子にデータを書き込んで調整する書込みＩＦなどが結線されている。
【００５３】
冷却ユニット１６の下面には２本の回転側ホース２０が接続され、２本の回転側ホース２０の反対側は垂直回転軸１３の内周の空洞部を通ってロータリー継ぎ手内周側２３に接続されている。また、ロータリー継ぎ手外周側２２には２本の固定側ホース２１が接続されている。ロータリー継ぎ手内周側２３は垂直回転軸１３に連結されており、ロータリー継ぎ手外周側２２との中間に設けられた軸受け２４をガイドにして回転する構造になっている。ペルチェ素子１５は冷却ユニット１６に供給・回収される冷却液によって内部の蓄熱が放熱され、冷却効率が向上するようになっている。
【００５４】
ロータリー継ぎ手外周側２２に接続された２本の固定側ホース２１は、外部に設置された補助冷却装置（チラー装置）に接続され、補助冷却装置から供給・回収される冷却液は、固定側ホース２１→ロータリー継ぎ手外周側２２→冷却液通路２５→ロータリー継ぎ手内周側２３→回転側ホース２０→冷却ユニット１６の経路で供給され、逆のルートを通って回収される。
【００５５】
以上の回転測定部は上ユニットベース２６に設置され、ユニットベース２６は防振ゴム２８を介して下ユニットベース２７に設置されている。
【００５６】
次に、実施例１の動作について説明する。まず、温度調節プレート１４の表面温度が低温（例えば−３０℃）になるようにペルチェ素子１５の電流制御を行う。
【００５７】
次に、ステッピングモーター９の回転により垂直回転軸１３を回転し、温度調節プレート１４の上面が０°（水平で上向きの状態）の傾斜角になるようにする。ここで、ＧセンサーＡを端子面が上向きになるように温度調節プレート１４上に置き、プローブ上下シリンダー１７でプローブプレート１８を下降して、コンタクトプローブ１９をＧセンサーＡの端子に接続する。このとき、ＧセンサーＡはコンタクトプローブ１９のスプリング圧により、温度調節プレート１４の上面に押し付けられて固定される。以上の準備ができたらコンタクトプローブ１９を介してＧセンサーに直流電源を印加し、調整検査を開始する。
【００５８】
まず、０°（水平で上向きの状態）におけるＧセンサーＡの出力電圧を直流電圧計で測定する。次に、垂直回転軸１３を回転し、温度調節プレート１４の上面が９０°（垂直の状態）の傾斜角になるようにして、ＧセンサーＡの出力電圧を直流電圧計で測定する。次に、垂直回転軸１３を回転し、温度調節プレート１４の上面が１８０°（水平で下向き状態）の傾斜角になるようにして、ＧセンサーＡの出力電圧を直流電圧計で測定する。さらに、垂直回転軸１３を回転し、温度調節プレート１４の上面が２７０°（垂直で９０°と反対側の状態）の傾斜角になるようにして、ＧセンサーＡの出力電圧を直流電圧計で測定する。以上の測定が終了したら、温度調節プレート１４の上面を０°に戻す。
【００５９】
次に、温度調節プレート１４の表面温度が常温（２５℃付近）になるようにペルチェ素子１５の電流制御を行う。温度が安定したら、段落「００５８」の手順で、０°、９０°、１８０°、２７０°におけるＧセンサーＡの出力電圧を測定する。
【００６０】
次に、温度調節プレート１４の表面温度が高温（例えば＋８５℃）になるようにペルチェ素子１５の電流制御を行う。温度が安定したら、段落「００５８」の手順で、０°、９０°、１８０°、２７０°におけるＧセンサーＡの出力電圧を測定する。
【００６１】
以上の作業が終了したら、温度および角度に対する電圧特性より最適な補正値を算出してＧセンサーＡ内部のＩＣ素子への書込みを行う。
【００６２】
以上の一連の作業中において、ＧセンサーＡはコンタクトプローブ１９により温度調節プレートに押し付けられて固定された状態で、常時温度制御された環境下におかれ、かつ、傾斜するため、温度変更や角度変更の再に作業者の手を介在する必要はない。
【００６３】
次に実施例２として、Ｇセンサーの連続式温度角度特性調整検査装置を図１０〜１４に示す。図１０において密閉容器３７の内部には低温調整検査部２９、常温調整検査部３０、高温調整検査部３１が配されている。各調整検査部２９〜３１の回転測定ユニット３２の右側には予備温度調節ユニット３５が配されており、低温調整検査部２９の右側に配された予備温度調節ユニット３５のさらに右側には入口コンベア３３が配されており、高温調整検査部３１の回転測定ユニット３２の左側には出口コンベア３４が配されている。入口コンベア３３〜出口コンベア３４の間は右から左流れのインライン搬送の形態となっており、キャリアＢによってＧセンサーＡが供給・回収されるようになっている。また、搬送ラインの手前側には搬送ユニット３６が配されている。
【００６４】
密閉容器３７の出入り口にはキャリアＢが通る搬送窓が設けられており、シャッター３９を閉じることにより内部の気密性が保たれている。なお、密閉容器３７の内部には乾燥ガスを充填するための乾燥ガス導入口３８が設けられている。
【００６５】
各調整検査部２９〜３１は図７〜９と同様の構造になっており、図１３のように温度調節プレート１４の上面にはＧセンサーＡを搭載したキャリアＢが載置されるようになっている。さらに、温度調節プレート１４の上側には、シリンダーにて開閉するセンタリング爪４１が配され、キャリア上のＧセンサーＡの側面を前後から挟む構造となっている。尚、キャリアＢの両サイドにはセンタリング爪４１がＧセンサーＡの側面を挟ためのセンタリング爪逃げ溝４１の加工が施されている。
【００６６】
次に、実施例２の動作について説明する。まず、出入り口のシャッター３９を閉じた状態で、乾燥ガス導入口３８から密閉容器３７の内部に結露防止用の乾燥ガスを充填する。乾燥ガスが充填されたら、低温調整検査部２９の温度調節プレート１４の表面温度が低温（例えば−３０℃）になるようにペルチェ素子１５の電流制御を行う。同様に、常温調整検査部３０を常温（２５℃付近）に、高温調整検査部３１を高温（例えば＋８５℃）に設定する。また、各調整検査部２９〜３１の右側に配置された予備温度調節ユニット３５については、左側の調整検査部（搬送方向で言うと後側）と同じ温度に設定する。
【００６７】
次に、各調整検査部２９〜３０の温度調節プレート１４の上面が０°（水平で上向きの状態）の傾斜角になるようにして待機する。
【００６８】
以上の準備ができたら、入口コンベア３３にＧセンサーＡを端子面が上向きになるように５個搭載したキャリアＢを投入し、シャッター３９を開閉してキャリアＢを密閉容器３７の内部に搬入する。
【００６９】
次に、搬送ユニット３６を前後、スライドしてキャリアＢを右から左に順次送って行く。
【００７０】
予備温度調節プレート３５上には３枚のキャリアＢが載置されるようになっていて、調整検査部における３キャリア分の調整検査時間の間にキャリアＢおよびＧセンサーＡの温度は調整検査部の温度またはその近くの温度に到達する。
【００７１】
各調整検査部２９〜３１の回転測定部３２にキャリアＢが送られると、図１４のようにセンタリング爪４１を閉じてキャリアＢ上のＧセンサーＡの側面を挟んで、水平方向の角度が０°になるようにする。次に、プローブ上下シリンダー１７でプローブプレート１８を下降して、コンタクトプローブ１９をＧセンサーＡの端子に接続する。このとき、ＧセンサーＡは、コンタクトプローブ１９のスプリング圧により、キャリアＢに押し付けられて固定され、キャリアＢはコンタクトプローブ１９および位置決めピン４２により温度調節プレート１４の上面に押し付けられて固定される。以上の準備ができたらコンタクトプローブ１９を介して５個のＧセンサーに直流電源を印加し、調整検査を開始する。
【００７２】
まず、０°（水平で上向きの状態）における５個のＧセンサーＡの出力電圧を直流電圧計で測定する。次に、温度調節プレート１４の上面が９０°（垂直の状態）の傾斜角になるようにして、５個のＧセンサーＡの出力電圧を直流電圧計で測定する。次に、温度調節プレート１４の上面が１８０°（水平で下向き状態）の傾斜角になるようにして、５個のＧセンサーＡの出力電圧を直流電圧計で測定する。さらに、温度調節プレート１４の上面が２７０°（垂直で９０°と反対側の状態）の傾斜角になるようにして、５個のＧセンサーＡの出力電圧を直流電圧計で測定する。以上の測定が終了したら、温度調節プレート１４の上面を０°に戻す。
【００７３】
以上の段落「００７０」〜段落「００７２」の動作を繰り返し、低温、常温、高温における測定を行い、最後に高温調整検査部３１において温度および角度に対する電圧特性より最適な補正値を算出してＧセンサーＡ内部のＩＣ素子への書込みを行う。
【００７４】
高温調整検査部３１の作業が完了したら、出口側のシャッター３９を開閉して、出口コンベア３４でキャリアＢを搬出する。
【００７５】
以上のように、ＧセンサーＡの供給、温度設定、角度特性の測定、回収の各作業は並行して行われるため、Ｇセンサー１個あたりの調整検査時間（キャリアＢが搬出される時間間隔／５個）は測定温度の数（実施例では低温、常温、高温の３点）によらず短時間で処理できる。また、従来例のような効率の悪い手作業が不要なため、生産性が高く、同じ生産数を上げるための設置台数が削減できる。
【００７６】
なお、実施例２ではキャリアＢに５個のＧセンサーＡを搭載したが、この数を増やすとともに、電圧測定やＩＣ素子への書込みを並行して行うことにより、Ｇセンサー１個あたりの調整検査時間（キャリアＢが搬出される時間間隔／５個）をさらに短縮することが可能である。
【００７７】
また、実施例２において実施例１と同様に各調整検査部２９〜３１に防振ゴムによる振動対策を施すことにより、測定中に別の調整検査部で回転動作を行ったりしたときに発生する微振動による電圧ノイズを低減し、測定精度の向上を図ることができる。
【００７８】
次に、実施例３として、Ｇセンサーの常温角度特性検査装置を図１５に示す。図１５では、温度調節プレートではなく常温プレート４４の上面にＧセンサーＡを載置して測定を行っている。温度角度特性を調整した後の常温での最終検査においてはこのような簡易的な構成にすることができる。実施例３においては、常温プレート４４に埋設された角度センサー４３によって常温プレートの傾斜角度を測定し、設定角度との誤差をステッピングモーターの回転角度にフィードバックして角度補正する構造になっている。このような角度センサー４３は、実施例１および２のような温度角度調整検査装置においても適用可能で、傾斜角度の精度を向上するための手段として有効である。
【００７９】
次に、実施例４として、Ｇセンサーの常温角度特性検査装置を図１６に示す。図１６では、常温プレート４４の上に配置したソケット４５にＧセンサーＡを装填して測定を行っている。ＧセンサーＡはソケットにより傾斜中も把持されるため、落下することがなく測定が可能である。ソケットの傾き等若干傾斜角に対する誤差要因があるものの、プローブ式に比べて機構が簡単になるという利点がある。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明によれば、電子部品の温度を低温、常温あるいは高温に維持した状態で電子部品の姿勢を変えて傾斜角度に対する電気的特性を測ることができるため、従来のように電子部品の姿勢を変えるたびに恒温槽の扉を開けたり、再度温度設定したりする必要がないため、はるかに効率の良い作業が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】従来技術の構成を説明する一括式調整検査装置の斜視図
【図２】従来技術の構成を説明する一括式調整検査装置の動作説明図
【図３】従来技術の構成を説明する一括式調整検査装置の動作説明図
【図４】従来技術の構成を説明する一括式調整検査装置の動作説明図
【図５】従来技術の構成を説明する一括式調整検査装置の動作説明図
【図６】従来技術の構成を説明する一括式温度特性調整検査装置の斜視図
【図７】実施例１の構成を説明する上面断面図
【図８】実施例１の構成を説明する側面断面図
【図９】実施例１の構成を説明する測定部の正面断面図
【図１０】実施例２の構成を説明する上面断面図
【図１１】実施例２の構成を説明するキャリアＢの平面図
【図１２】実施例２の構成を説明するキャリアＢの断面図
【図１３】実施例２の構成を説明する測定部の側面断面図
【図１４】実施例２の構成を説明するセンタリング部の動作説明図
【図１５】実施例３の構成を説明する側面断面図
【図１６】実施例４の構成を説明する上面断面図
【符号の説明】
【００８２】
Ａ・・・Ｇセンサー
Ｂ・・・キャリア
１・・・Ｇセンサー
２・・・治具基板
３・・・ソケット
４・・・スロット治具
４ａ・・・スロット治具底面
４ｂ・・・スロット治具側面
４ｃ・・・スロット治具底上面
４ｄ・・・スロット治具側面
４ｅ・・・スロット
５・・・計測器
６・・・ケーブル
７・・・テーブル
８・・・恒温槽
９・・・ステッピングモーター
１０・・・ハーモニックギア
１１・・・カップリング
１２・・・軸受け
１３・・・垂直回転軸
１４・・・温度調節プレート
１５・・・ペルチェ素子
１６・・・冷却ユニット
１７・・・プローブ上下シリンダー
１８・・・プローブプレート
１９・・・コンタクトプローブ
２０・・・回転側ホース
２１・・・固定側ホース
２２・・・ロータリー継ぎ手外周側
２３・・・ロータリー継ぎ手内周側
２４・・・軸受け
２５・・・冷却液通路
２６・・・上ユニットベース
２７・・・下ユニットベース
２８・・・防振ゴム
２９・・・低温調整検査部
３０・・・常温調整検査部
３１・・・高温調整検査部
３２・・・回転測定ユニット
３３・・・入口コンベア
３４・・・出口コンベア
３５・・・予備温度調節ユニト
３６・・・搬送ユニット
３７・・・密閉容器
３８・・・乾燥ガス導入口
３９・・・シャッター
４０・・・センタリング爪逃げ溝
４１・・・センタリング爪
４２・・・位置決めピ
４３・・・角度センサー
４４・・・常温プレート
４５・・・ソケット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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