(57)【要約】【課題】ディスクの回転数変化に応じて浮上量が大きく変わり、ＲＰＭキャリブレーションが可能なヘッド浮上量測定装置および測定方法を得る。【解決手段】ディスクの回転中に生じる気体流を利用して浮上するヘッド本体の浮上量として、ディスクの表面と対向するヘッド本体の対向面との間隔を測定するヘッド浮上量測定装置であって、回転するガラスディスク４１と、ヘッド本体１１を上記ガラスディスク４１に対向させ、ガラスディスク４１の回転状態では、上記ヘッド本体１１が上記ガラスディスク４１の下表面４１ａ上に浮上するように上記ヘッド本体１１をフレキシャ３１を介して先端部に支持するロードビーム４１と、上記ロードビーム４１の他端部を、上記ヘッド本体１１が上記ガラスディスク４１の下表面４１ａから接離する方向に微動させるマイクロメータ４３とを備えた。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクの回転中に生じる気体流を利用して浮上するヘッド本体の浮上量として、ディスクの表面とこの表面に対向するヘッド本体の対向面との間隔を測定するヘッド浮上量測定装置であって、
ヘッド本体を上記ディスクに対向させ、透明ディスクの回転状態では、上記ヘッド本体が上記ディスクの表面上に浮上するように上記ヘッド本体を先端部に支持するヘッド支持部材と、
このヘッド支持部材の他端部を、上記ヘッド本体が上記ディスクの表面から接離する方向に微動させる微動機構とを備えたことを特徴とするヘッド浮上量測定装置。
【請求項２】
ディスクの回転中に生じる気体流を利用して浮上するヘッド本体の浮上量として、ディスクの表面とこの表面に対向するヘッド本体の対向面との間隔を測定するヘッド浮上量測定装置であって、
回転する透明ディスクと、
ヘッド本体を上記透明ディスクの表面に対向させ、透明ディスクの回転状態では、上記ヘッド本体が上記透明ディスクの表面上に浮上するように上記ヘッド本体を先端部に支持するヘッド支持部材と、
上記透明ディスクの表面およびヘッド本体の対向面で多重反射されるように、可干渉光を上記透明ディスクへ導く光学系と、
上記透明ディスクおよびヘッド本体からの反射光を受光して反射光強度データを出力する反射光検出手段と、
上記反射光強度データに基づいて上記ヘッド浮上量を演算する演算手段と、
上記ヘッド支持部材の他端部を、上記ヘッド本体が上記透明ディスクの表面から接離する方向に微動させてヘッド本体のロード圧を調整する微動機構とを備えたことを特徴とするヘッド浮上量測定装置。
【請求項３】
請求項２記載のヘッド浮上量測定装置において、上記ヘッド支持部材は、金属材料からなり透明ディスク上に延びるロードビームと、このロードビームの透明ディスク側に位置する弾性変位可能な舌片を有し該ロードビームに結合される金属材料からなるフレキシャと、上記舌片の透明ディスク側の面に固定されたヘッド本体とを備え、上記ロードビームの他端部を支持し、ヘッド本体を記録媒体の半径方向に移動させる揺動アクチュエータとを備え、上記微動機構は、この揺動アクチュエータを支持しかつ揺動アクチュエータを上記ヘッド本体が上記透明ディスクに対して接離する方向に微動させるヘッド浮上量測定装置。
【請求項４】
請求項２記載のヘッド浮上量測定装置において、上記微動機構は、上記透明ディスクの回動軸と平行に上記揺動アクチュエータを移動させるマイクロメータであるヘッド浮上量測定装置。
【請求項５】
請求項４記載のヘッド浮上量測定装置において、上記マイクロメータは、手動によりまたは電動手段によって予め設定された基準位置から範囲内において駆動されるヘッド浮上量測定装置。
【請求項６】
ヘッド支持部材の先端部に支持したヘッド本体を、回転する透明ディスクに対向させて上記ヘッド本体を上記透明ディスク上に浮上させ、
上記透明ディスクの表面および上記ヘッド本体の対向面で多重反射されるように、可干渉光を上記透明ディスクへ導き、
上記透明ディスクおよびヘッド本体からの多重反射光を受光し、
受光した反射光強度に基づいて上記ヘッド浮上量を演算するヘッド浮上量測定方法であって、
上記ヘッド支持部材の他端部を、上記ヘッド本体が上記透明ディスクの表面から接離する方向に微動させて上記ヘッド本体へのロード圧を調整すること、を特徴とするヘッド浮上量測定方法。
【請求項７】
請求項６記載のヘッド浮上量測定方法において、上記ヘッド支持部材の他端部を、上記ヘッド本体が上記透明ディスクの表面から離反する方向に微動させて上記ヘッド本体へのロード圧を下げた状態で、ＲＰＭキャリブレーションを実行するヘッド浮上量測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッド本体および透明ディスクとで反射された光の干渉光強度によりヘッド本体のヘッド浮上量を測定するヘッド浮上量測定装置および測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク記録再生装置の主要部品である磁気ヘッドは、磁気ディスク（記録媒体）が回転したときに磁気ディスク表面と磁気ヘッドの間に生じる気体流によって浮上し、その浮上姿勢を保った状態で、回転中の磁気ディスクにデータを書き込み、読み取る構成である。磁気ヘッドの浮上量（Flying Height）は、通常、ヘッドジンバルアッセンブリ（ＨＧＡ）の段階で浮上量測定装置（Flying Height Tester）により測定され、評価される。
【０００３】
ヘッド浮上量測定装置は種々開発されているが、磁気ディスクの替わりに、ガラス等で形成された透明ディスクを使用し、対向するヘッド本体表面および透明ディスクの表面での反射光の干渉を利用してヘッド浮上量を光学的に測定するタイプが広く用いられている。
【０００４】
従来の浮上量測定装置の概要を図６に示した。ヘッドジンバルアッセンブリは、薄膜磁気素子１１３がスライダ１１２とに形成されたヘッド本体１１１と、このヘッド本体１１１を弾性的に支持するフレキシャ１２１と、このフレキシャ１２１が先端部に装着されたロードビーム１３１とを備えている。ロードビーム１３１は、他端部が揺動アクチュエータ１４２に支持されていて、揺動アクチュエータ１４２の軸心を中心として、先端部のヘッド本体１１１をガラスディスク１４１の略半径方向に移動させる。ガラスディスク１４１は、スピンドルモータ１４３によって所定回転数（rpm）で回転駆動される。ヘッド本体１１１は、ロードビーム１３１の弾性応力によるロード圧と、ヘッド本体１１１と回転するガラスディスク１４１との間に生じる圧力とが均衡するように浮上し、フレキシャ１２１の弾性応力に抗してガラスディスク１４１に対する姿勢を変えてディスクの凹凸等に追従することができる。
【０００５】
光源１４４から射出された可干渉光は、ビームスプリッタ１４５でガラスディスク１４１に向かって反射され、ガラスディスク１４１に垂直に入射し、一部はガラスディスク１４１の裏面で反射してビームスプリッタ１４５に戻り、一部はガラスディスク１４１を透過してヘッド本体１１１の媒体対向面１１４で反射し、ガラスディスク１４１を透過してビームスプリッタ１４５に戻る。
【０００６】
ビームスプリッタ１４５に戻った光束は、ビームスプリッタ１４５を透過し、反射光学系１４６で反射されて撮像素子１４７に入射する。撮像素子１４７は、入射した干渉光強度に応じた映像信号をパーソナルコンピュータ１５１に出力する。パーソナルコンピュータ１５１は、入力した映像信号の干渉光強度（輝度）を解析して浮上量を演算する。
【０００７】
ここで、ヘッド本体１１１の媒体対向面１１４の形状、素材、反射率、浮上量は、ヘッド本体１１１の種類が異なれば異なる。そこで浮上量測定前に反射光の強度と浮上量との関係を求めるキャリブレーション処理を実行する。キャリブレーション方法としては、ガラスディスク１４１の回転数を変化させて浮上量を変化させるＲＰＭキャリブレーション法と、機械的にヘッド本体１１１をガラスディスク１４１から引き離して浮上量を変化させるRetractキャリブレーション法とがある。ＲＰＭキャリブレーション法の方がスムースかつ高精度の浮上量測定が可能であった。
【特許文献１】特開平５-３２２５２２号公報
【特許文献２】特開平９-２８０８２９号公報
【特許文献３】特開２００１-３５１１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、近年普及してきた低浮上化と負圧スライダは、ガラスディスクの回転数を変化させても浮上量の変化が少ないため、ＲＰＭキャリブレーション法では浮上量測定を行うことができないので、Retractキャリブレーション法により浮上量測定を行う必要があった。
【０００９】
従来のRetractキャリブレーション法では、ヘッド本体１１１を透明ディスクから引き離す方向にロードビーム１３１の略中間をロードバー１３３によって押圧していた（特許文献２）。
【００１０】
そのため、ヘッド本体１１１を支持するロードビーム１３１のばね性が損なわれてしまう。ヘッド本体１１１は、ロードビーム１３１の弾性応力と、ヘッド本体１１１とガラスディスク４１の間に作用する圧力とが均衡するように浮上し、フレキシャ１２１の弾性応力によって姿勢制御されているが、従来例ではフレキシャ１２１の弾性応力、弾性変位量にヘッド本体１１１の浮上量が依存してしまう。そのため、ロードバー１３３を徐々に下降させても、フレキシャ１２１の弾性応力が一定値を超えるまでは、ヘッド本体１１１は姿勢を変えるだけでガラスディスク１４１からの浮上量はほとんど変化しなかった（図７）。しかし、フレキシャ１２１の弾性応力が一定値を超えると、突然、ヘッド本体１１１がガラスディスク１４１から離反してしまい（図８）、ヘッド本体１１１をガラスディスク１４１から連続的に離反させることができない、という問題があった。
【００１１】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、ディスクの回転数変化に応じて浮上量が大きく変わり、ＲＰＭキャリブレーションが可能なヘッド浮上量測定装置および測定方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
かかる従来の問題を解決する本発明は、ディスクの回転中に生じる気体流を利用して浮上するヘッド本体の浮上量として、ディスクの表面とこの表面に対向するヘッド本体の対向面との間隔を測定するヘッド浮上量測定装置であって、ヘッド本体を上記ディスクに対向させ、透明ディスクの回転状態では、上記ヘッド本体が上記ディスクの表面上に浮上するように上記ヘッド本体を先端部に支持するヘッド支持部材と、このヘッド支持部材の他端部を、上記ヘッド本体が上記ディスクの表面から接離する方向に微動させる微動機構とを備えたことに特徴を有する。
【００１３】
別の観点に基づく本発明は、ディスクの回転中に生じる気体流を利用して浮上するヘッド本体の浮上量として、ディスクの表面とこの表面に対向するヘッド本体の対向面との間隔を測定するヘッド浮上量測定装置であって、回転する透明ディスクと、ヘッド本体を上記透明ディスクの表面に対向させ、透明ディスクの回転状態では、上記ヘッド本体が上記透明ディスクの表面上に浮上するように上記ヘッド本体を先端部に支持するヘッド支持部材と、上記透明ディスクの表面およびヘッド本体の対向面で多重反射されるように、可干渉光を上記透明ディスクへ導く光学系と、上記透明ディスクおよびヘッド本体からの反射光を受光して反射光強度データを出力する反射光検出手段と、上記反射光強度データに基づいて上記ヘッド浮上量を演算する演算手段と、上記ヘッド支持部材の他端部を、上記ヘッド本体が上記透明ディスクの表面から接離する方向に微動させてヘッド本体のロード圧を調整する微動機構とを備えたことに特徴を有する。
【００１４】
実際的には、上記ヘッド支持部材は、金属材料からなり透明ディスク上に延びるロードビームと、このロードビームの透明ディスク側に位置する弾性変位可能な舌片を有し該ロードビームに結合される金属材料からなるフレキシャと、上記舌片の透明ディスク側の面に固定されたヘッド本体とを備え、上記ロードビームの他端部を支持し、ヘッド本体を記録媒体の半径方向に移動させる揺動アクチュエータとを備え、上記微動機構は、この揺動アクチュエータを支持しかつ揺動アクチュエータを上記ヘッド本体が上記透明ディスクに対して接離する方向に微動させる。
【００１５】
上記微動機構は、上記透明ディスクの回転軸と平行に上記揺動アクチュエータを移動させるマイクロメータで構成できる。このマイクロメータは、手動によりまたは電動手段によって予め設定された基準位置から範囲内において駆動する。手動操作によれば、ヘッド本体または支持部材の種別にかかわらず調整が可能となり、想定外の調整も可能になる。電動手段によれば、予め調整量を設定することにより、自動制御が可能になる。
【００１６】
方法にかかる本発明は、ヘッド支持部材の先端部に支持したヘッド本体を、回転する透明ディスクに対向させて上記ヘッド本体を上記透明ディスク上に浮上させ、上記透明ディスクの表面および上記ヘッド本体の対向面で多重反射されるように、可干渉光を上記透明ディスクへ導き、上記透明ディスクおよびヘッド本体からの多重反射光を受光し、受光した反射光強度に基づいて上記ヘッド浮上量を演算するヘッド浮上量測定方法であって、上記ヘッド支持部材の他端部を、上記ヘッド本体が上記透明ディスクの表面から接離する方向に微動させて上記ヘッド本体へのロード圧を調整することに特徴を有する。
【００１７】
より実際的には、上記ヘッド支持部材の他端部を、上記ヘッド本体が上記透明ディスクの表面から離反する方向に微動させて上記ヘッド本体へのロード圧を下げた状態で、ＲＰＭキャリブレーションを実行する。ヘッド支持部材が全体的に透明ディスクの表面から離反してヘッド本体のロード圧が下がるので、ヘッド浮上量が透明ディスクの回転数に応じて滑らかに変化し、ＲＰＭキャリブレーションをスムースかつ高精度に実施できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のヘッド浮上量測定装置によれば、ディスクに対するヘッド本体の浮上量をディスクの回転数に応じて滑らかに変化させることが可能になり、スムースに正確なＲＰＭキャリブレーションができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は、本発明のヘッド浮上量測定装置で測定する、一般的なヘッドジンバルアッセンブリの主要構成部材を分解して示す斜視図である。ヘッド本体１１は、ハードディスクなどの記録ディスク（記録媒体）Ｄ（図１）に対向するスライダ１２を有し、このスライダ１２のトレーリング側端面に薄膜素子１３が設けられている。スライダ１２はセラミック材料などにより形成されている。薄膜素子１３は、磁気抵抗効果を利用して記録ディスクＤからの洩れ磁界を検出し磁気信号を読み取るＧＭＲヘッド（読み出しヘッド）と、コイルなどがパターン形成されたインダクティブヘッド（書き込みヘッド）とを有している。
【００２０】
ヘッドジンバルアッセンブリは、周知のように、回転駆動されるディスクＤ外に揺動支点を持ち、先端部（自由端部）がディスクＤ上に延びたロードビーム３１と、このロードビーム３１の先端部に結合されたフレキシャ２１を備えている。ロードビーム３１とフレキシャ２１はともに、板ばね材料（金属材料、一般的にステンレス）により形成される。ロードビーム３１は、大略先細の平板状をしており、その先端部付近には、媒体（ディスクＤ）側（図示下方向）に突出する半球状接触部（突起部）３３が形成されている。
【００２１】
フレキシャ２１は、固定部２２と、この固定部２２から前方（ロードビーム３１の自由端方向）に延びる左右一対のアウトリガー２３と、この一対のアウトリガー２３の先端から内方に延びる接続部２４と、この一対の接続部２４に接続された舌片２５とを備えている。舌片２５と、アウトリガー２３及び接続部２４の間にはＵ字形のスリット２６が形成されていて、舌片２５は接続部２４を中心にアウトリガー２３に対して弾性変形可能である。ヘッド本体１１は、舌片２５の媒体対向側の面に接着等によって固定される。
【００２２】
固定部２２には位置決め孔２２ａが形成されており、この位置決め孔２２ａと、ロードビーム３１に形成された位置決め孔３２ａとが位置合せされた後、固定部２２がロードビーム３１の下表面（ディスクＤ側の面）にレーザ溶接などの手段により固定される。固定点（機械的結合部分）２２ｂ、３１ｂは、図１では１箇所示しているが、ヘッド本体１１側にさらに図示しない複数の固定点を持っている。
【００２３】
舌片２５は、ヘッド本体１１を固定する側の面とは反対側の面がロードビーム３１の半球状接触部３３に突き当てられ、ヘッド本体１１を、半球状接触部３３の頂点を支点として姿勢を自由に変えることができるように弾性的に支持している。ロードビーム３１は、ヘッド本体１１をディスクＤに接離させる方向に弾性的に撓む。ロードビーム３１がヘッド本体１１をディスクＤに接触させる方向に作用する弾性応力をロード圧という。なお、ロードビーム３１及びフレキシャ２１の媒体対向側（ディスクＤ側の面）には、ヘッド本体１１（薄膜素子１３）に接続される配線パターンが設けられるが図示を省略している。以上のロードビーム３１およびフレキシャ２１がヘッド支持部材を構成している。
【００２４】
図２は、図１に示したヘッドジンバルアッセンブリのヘッド浮上量を測定する本発明の一実施形態であるヘッド浮上量測定装置４０の主要構成を示す概略構成図である。ヘッド浮上量測定装置４０は、磁気ディスクに代えて、透明ディスクとしてガラスディスク４１を備え、回転中のガラスディスク４１の下表面４１ａに対して下方から、ロードビーム３１およびフレキシャ２１の弾性応力により保持したヘッド本体１１の媒体対向面１４をロードし、ヘッド本体１１の浮上量Ｚ-ｈを測定する。ヘッド本体１１の浮上量Ｚ-ｈは、ガラスディスク４１の下表面４１ａからヘッド本体１１の媒体対向面１４（薄膜素子１３）までの距離とする。なお、媒体対向面１４は、鏡面研磨された特定の平面形状（パターン）を持つエアベアリング形成面（ＡＢＳ面）である。
【００２５】
ロードビーム３１は、他端部が揺動アクチュエータ４２に装着され、先端部のヘッド本体１１をガラスディスク４１の下表面４１ａに対向保持する。ロードビーム３１は、この揺動アクチュエータ４２の軸を中心として回動駆動され、ヘッド本体１１をガラスディスク４１の略半径方向に移動させる。ガラスディスク４１は、スピンドルモータ４３のスピンドルに固定され、このスピンドルモータ４３によって所定回転数（rpm）で回転駆動される。ヘッド本体１１は、ガラスディスク４１の下表面４１ａと媒体対向面１４との間を流れる空気流およびその粘性と、ロードビーム３１の弾性応力とが均衡した浮上状態に保持され、さらにフレキシャ２１の弾性応力に抗してガラスディスク４１に対する姿勢を変えてディスクの凹凸等に追従する。
【００２６】
光源４４から射出された測定光（可干渉光）は、ビームスプリッタ４５でガラスディスク４１に向かって反射され、ガラスディスク４１の上表面４１ｂに垂直に入射し、一部はガラスディスク４１の下表面４１ａ（空気層との境界面）で反射してビームスプリッタ４５方向に戻り、一部はガラスディスク４１の下表面４１ａを透過してスライダ１２の媒体対向面１４で反射し、再びガラスディスク４１の下表面４１ａから入射して上表面４１ｂから射出してビームスプリッタ４５に戻る。
【００２７】
下表面４１ａおよび媒体対向面１４で反射してビームスプリッタ４５に戻った光束は、ビームスプリッタ４５を透過し、反射光学系４６で反射して撮像素子４７に入射する。撮像素子４７は、入射した干渉縞の強度に応じた映像信号を、画像処理装置、例えばパーソナルコンピュータ５１に出力する。パーソナルコンピュータ５１は、入力した映像信号の干渉縞の強度（輝度）を、公知の方法、アルゴリズムで解析して浮上量を演算する。なお、干渉縞の強度は、波長および浮上量Ｚ-ｈ（媒体対向面１４と下表面４１ａとの間隔）に依存するので、光源４４からは複数の波長を含む測定光を射出し、撮像素子４７は各波長光に感度を有するものが使用される。
【００２８】
本実施形態では、揺動アクチュエータ４２をマイクロメータ５３で支持している。マイクロメータ５３は揺動アクチュエータ４２を、ガラスディスク４１の下表面４１ａと直交する方向（スピンドルモータ４３の軸と平行）となるＺ軸方向に微動させることができる。マイクロメータ５３を駆動して揺動アクチュエータ４２をＺ軸方向に微動させると、ロードビーム３１がガラスディスク４１の下表面４１ａに対して平行に接離移動する。つまり、ロードビーム３１の先端部に装着されたヘッド本体１１をガラスディスク４１の下表面４１ａに対して接離方向に微動させて、ヘッド本体１１を下表面４１ａに対して押圧するロード圧を変化させることができる。マイクロメータ５３は電動、機械式のいずれかまたは両方で駆動可能な構成でよいが、図示実施例は機械式であって、つまみ５４を回転させることで、揺動アクチュエータ４２を微動させることができるものとする。
【００２９】
図３および図４は、ガラスディスク４１に対してヘッド本体１１が浮上している様子を説明する側面図である。図３は、揺動アクチュエータ４２を初期位置に保持した通常作動状態を示している。図４には、揺動アクチュエータ４２をこの初期位置から僅かに下降させてロード圧を下げた状態で、ガラスディスク４１を高速回転させた状態を示した。
【００３０】
使用者がマイクロメータ５３のつまみ５４を回転操作すると、揺動アクチュエータ４２が上昇または下降して、ロードビーム３１（の軸部）が上昇または下降する。ロードビーム３１（の軸部）が上昇すると、ヘッド本体１１をガラスディスク４１の下表面４１ａに押圧することになり、ヘッド本体１１を下表面４１ａに押圧するロード圧が増加する。一方、揺動アクチュエータ４２を下降させると、ロードビーム３１（の軸部）が下降し、ヘッド本体１１を下表面４１ａ方向に押圧するロード圧が減少する。
【００３１】
図５には、ロード圧およびガラスディスク４１の回転数（rpm）と浮上量Ｚ-ｈとの関係をグラフにして示した。同図中、横軸は回転数（rpm）、縦軸は浮上量（nm）であって、菱形でプロットした折れ線グラフは通常使用状態における、ヘッド本体１１を下表面４１ａに押圧するロード圧の場合、正方形でプロットした折れ線グラフは同ロード圧を小さくした場合の状態を示している。図５のグラフよりこの実施例では、揺動アクチュエータ４２を下降させることでロード圧が小さくなり、ガラスディスク４１の回転数変化に応じてヘッド本体１１の浮上量Ｚ-ｈを５０nmから３５０nmを超えて変化可能なことが分かる。
【００３２】
このヘッド浮上量測定装置によるＲＰＭキャリブレーション操作について説明する。先ず、ガラスディスク４１を所定回転速度で回転させた状態で揺動アクチュエータ４２を駆動してヘッド本体１１をガラスディスク４１の下表面４１ａに対してロードさせ、光源４４から射出された測定光がヘッド本体１１の媒体対向面１４で反射して撮像素子４７で受光し、反射光の干渉縞の強度を測定できるように調整する。
【００３３】
次に、スピンドルモータ４３の回転数（rpm）を変動させてガラスディスク４１の回転数を変化させながら、干渉縞の強度変化を測定する。使用者は、干渉縞の強度変化を観察しながら、マイクロメータ５３のつまみ５４を回動操作、例えばロード圧が小さくなる下降方向に回動操作して揺動アクチュエータ４２を初期位置から下降させる。そうして、ガラスディスク４１の回転数変動に応じてヘッド本体１１の浮上量が、図５にロード圧小でプロットした折れ線グラフのように変動して干渉縞に強度変化が生じるように調整する。
【００３４】
このようにマイクロメータ５３を操作してヘッド本体１１のロード圧を小さくした状態で、ＲＰＭキャリブレーション法を実行してヘッド本体１１の浮上量Ｚ-ｈと干渉縞の強度との関係を設定する。ヘッド本体１１の浮上量と干渉縞の強度との関係を設定したら、マイクロメータ５３を操作して揺動アクチュエータ４２の位置を初期位置に戻し、干渉縞の強度からヘッド本体１１の浮上量Ｚ-ｈを求める。
【００３５】
図示形態では、ロードビーム３１を昇降させる微動機構としてマイクロメータ５３を使用したが、マイクロメータに代えて、マイクロアクチュエータ、マイクロステージ等を使用できる。本実施形態ではＲＰＭキャリブレーションの際にロードビーム３１を昇降させる操作を使用者が手動でするものとしたが、マイクロメータ５３を電動駆動として、ＲＰＭキャリブレーション開始の際および終了後に電動駆動する自動制御としてもよい。また、微動機構として連続的に微動可能なマイクロメータ５３を使用したが、微動機構の他の実施例では所定微細間隔でステップ移動可能なマイクロステップモータ等により駆動する構成とし、さらに他の実施例では初期位置とロード圧を軽減する位置の二位置間を移動する構成とする。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明のヘッド浮上量測定装置で測定するヘッド本体を備えたヘッドジンバルアッセンブリの主要構成を分解して示す図である。
【図２】本発明の一実施形態であるヘッド浮上量測定装置の主要構成図である。
【図３】同ヘッド浮上量測定装置において、揺動アクチュエータを初期位置に設定し、ガラスディスクを基準回転数で回転させた状態におけるヘッド本体の浮上状態の模式図である。
【図４】同状態から、揺動アクチュエータを僅かに下降させてガラスディスクの回転数を高くした場合のヘッド本体の浮上状態の模式図である。
【図５】同ヘッド浮上量測定装置において、ロード圧およびガラスディスクの回転数（rpm）と浮上量ｚとの関係をグラフで示した図である。
【図６】従来のヘッド浮上量測定装置の主要構成図である。
【図７】従来のヘッド浮上量測定装置において、ロードバーによってロードビームを押圧した場合のヘッド本体の浮上状態の模式図である。
【図８】図７の状態から、ロードバーによってロードビームをさらに押し下げた場合のヘッド本体の浮上状態の模式図である。
【符号の説明】
【００３７】
１１  ヘッド本体
１２  スライダ
１３  薄膜素子
１４  媒体対向面
２１  フレキシャ
２３  アウトリガー
２４  接続部
２５  舌片
２６  スリット
３１  ロードビーム
４１  ガラスディスク
４１ａ  下表面
４２  揺動アクチュエータ
４３  スピンドルモータ
４４  光源
４５  ビームスプリッタ
４６  反射光学系
４７  撮像素子
５３  マイクロメータ
５４  つまみ
【図１】
2006302360.tif 000003
【図２】
2006302360.tif 000004
【図３】
2006302360.tif 000005
【図４】
2006302360.tif 000006
【図５】
2006302360.tif 000007
【図６】
2006302360.tif 000008
【図７】
2006302360.tif 000009
【図８】
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