(57)【要約】【課題】反転法の欠点を解消でき、かつ、既存の装置を改良することなく信頼性の高い測定データが得られる測定機の真直精度補正方法を提供する。【解決手段】直動機構を有する測定機の真直精度補正方法であって、測定機１の直動機構（４，５）を使って検出器７を移動させながら、予め形状データが値付けされたマスターワークＭＷを測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて直動機構の真直精度データを求める真直精度データ算出工程と、前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、ワークを測定し、そのワーク測定データを求めるワーク測定データ算出工程と、前記ワーク測定データから前記真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
直動機構を有する測定機の真直精度補正方法であって、
前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、予め形状データが高精度測定装置によって計測され値付けされたマスターワークを測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて直動機構の真直精度データを求める真直精度データ算出工程と、
前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、ワークを測定し、そのワーク測定データを求めるワーク測定データ算出工程と、
前記ワーク測定データから前記真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程とを備えることを特徴とする測定機の真直精度補正方法。
【請求項２】
直動機構を有する測定機の真直精度補正方法であって、
前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、予め形状データが高精度測定装置によって計測され値付けされたマスターワークを測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて直動機構の真直精度データを求める真直精度データ算出工程と、
この真直精度データ算出工程で求められた真直精度データを保存する真直精度データ保存工程と、
前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、ワークを測定し、そのワーク測定データを求めるワーク測定データ算出工程と、
このワーク測定データ算出工程で取り込まれたワーク測定データを保存するワーク測定データ保存工程と、
前記各保存工程で保存された前記ワーク測定データおよび真直精度データを読み出し、ワーク測定データから真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程とを備えることを特徴とする測定機の真直精度補正方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の測定機の真直精度補正方法において、
前記真直精度データ算出工程では、ワーク載置面を有する台座と、この台座またはマスターワークに一部が露出した状態で埋め込まれた原点設定用の基準球とを備えた測定用治具を用い、前記台座のワーク載置面に角柱状のマスターワークを載置し、この状態において、基準球の頂点に測定機の検出器を位置させて測定原点を設定したのち、検出器を直動機構によってマスターワークの一側面に沿って移動させながらマスターワークを測定することを特徴とする測定機の真直精度補正方法。
【請求項４】
請求項３に記載の測定機の真直精度補正方法において、
前記台座には前記ワーク載置面と直交する基準垂直面を有する半円柱状に形成され、その基準垂直面に前記基準球が一部露出した状態で埋め込まれていることを特徴とする測定機の真直精度補正方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載された測定機の真直精度補正方法によって直動機構の補正を行うことを特徴とする測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定機の真直精度補正方法および測定機に関する。たとえば、真円度測定機や粗さ測定機など、直動機構を有する測定機において、直動機構の真直精度を補正する測定機の真直精度補正方法および測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、真円度測定機や粗さ測定機など、直動機構をガイド（基準）として備えた測定機において、ワークを測定した際、その測定データは、ワークの形状データと直動機構の機械的精度（真直精度）が含まれたものであるから、真のワーク形状を抽出するためには、直動機構の真直精度を測定データから分離、除去する必要がある。
【０００３】
従来、直動機構の真直精度を測定データから分離、除去する方法として、特許文献１の「真直度測定機能付真円度測定装置」が提案されている。
これは、真直度チェックゲージを搭載する回転台と、前記真直度チェックゲージの一側面の表面位置を検出する検出器と、この検出器を真直チェックゲージの表面に沿って移動可能に保持するコラムと、前記検出器より得られたデータを第１のデータとして記憶する第１の記憶手段と、前記回転台の回転軸を中心に真直度チェックゲージを１８０°だけ回転し、検出器により真直度チェックゲージの一側面と同一面の表面位置を検出して得られたデータを第２のデータとして記憶する第２の記憶手段と、前記第１のデータと第２のデータとに基づいてコラムの真直度誤差補正量を演算する演算手段とを備える装置である。
【０００４】
【特許文献１】特許第２９３５６０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した特許文献１の「真直度測定機能付真円度測定装置」は、いわゆる、反転法といわれる測定法を採用したもので、最初の測定（第１の測定）と、回転台を１８０°回転して測定する第２の測定とが必要であり、しかも、その測定軌跡は対象ワーク面において全く同一でなければならないため、次のような課題がある。
即ち、測定におけるワークのセッティングは、非常に困難で熟練を必要とするうえ、２回の測定を行う際に検出器の位置を反転する必要があるなど、かなりの工数を要する。また、検出器のガイドにおいて、同一であるとは限らず（たとえば、真円度測定機でいえば、検出器を保持しているアームの出量が同一であるとは限らず）、総じて誤差を発生しやすいという課題がある。
【０００６】
本発明の目的は、上述した反転法の欠点を解消できるとともに、既存の装置などを改良することなく、信頼性の高い測定データが得られる測定機の真直精度補正方法および測定機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そのため、本発明の測定機の真直精度補正方法は、上記目的を達成するため、次の構成を採用する。
請求項１に記載の真直精度補正方法は、直動機構を有する測定機の真直精度補正方法であって、前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、予め形状データが高精度測定装置によって計測され値付けされたマスターワークを測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて直動機構の真直精度データを求める真直精度データ算出工程と、前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、ワークを測定し、そのワーク測定データを求めるワーク測定データ算出工程と、前記ワーク測定データから前記真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程とを備えることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、真直精度データ算出工程において、測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、予め形状データが値付けされたマスターワークを測定し、そのマスターワーク測定データから値付けされた形状データを差し引いて直動機構の真直精度データを求める。また、ワーク測定データ算出工程において、測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、ワークを測定し、そのワーク測定データを求める。ワーク形状演算工程においては、ワーク測定データから真直精度データを差し引いてワークの真値データを求める。
従って、真直精度データ算出工程においては、１回の測定でよいから、反転法の欠点、つまり、熟練や工数を要するという欠点を解消できる。しかも、検出器ガイドの同一の問題もなくなるから、より高精度な補正結果を得ることができる。また、ワーク測定データに対して処理する手法であるため、測定機に対して特別な細工を行うことなく、信頼性の高い測定データを得ることができる。更に、真直精度データの算出や、ワーク測定データに対する真直精度データの補正処理については、測定機とは独立したアプリケーションで行うことができるから、たとえば、マスターワーク測定データの平均化処理（同位置を同測定条件で繰り返し測定して得られた複数のマスターワーク測定データからその平均値を求める処理）などのデータ処理を施すことにより、電気的ノイズや測定環境による測定データのバラツキを低減し、より高精度な補正を実現できる。
【０００９】
請求項２に記載の真直精度補正方法は、直動機構を有する測定機の真直精度補正方法であって、前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、予め形状データが高精度測定装置によって計測され値付けされたマスターワークを測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて直動機構の真直精度データを求める真直精度データ算出工程と、この真直精度データ算出工程で求められた真直精度データを保存する真直精度データ保存工程と、前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、ワークを測定し、そのワーク測定データを求めるワーク測定データ算出工程と、このワーク測定データ算出工程で取り込まれたワーク測定データを保存するワーク測定データ保存工程と、前記各保存工程で保存された前記ワーク測定データおよび真直精度データを読み出し、ワーク測定データから真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程とを備えることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、請求項１に対して、真直精度データを保存する真直精度データ保存工程と、ワーク測定データを保存するワーク測定データ保存工程とが付加されているから、これらの真直精度データおよびワーク測定データを別々の時点で取得、保存しておき、任意時（必要時）に、ワーク測定データから真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めることも可能である。
【００１１】
請求項３に記載の真直精度補正方法は、請求項１または請求項２に記載の測定機の真直精度補正方法において、前記真直精度データ算出工程では、ワーク載置面を有する台座と、この台座またはマスターワークに一部が露出した状態で埋め込まれた原点設定用の基準球とを備えた測定用治具を用い、前記台座のワーク載置面に角柱状のマスターワークを載置し、この状態において、基準球の頂点に測定機の検出器を位置させて測定原点を設定したのち、検出器を直動機構によってマスターワークの一側面に沿って移動させながらマスターワークを測定することを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、台座および原点設定用の基準球を備えた測定用治具を用いて、マスターワークの測定を行うとともに、その測定に際して、原点設定用の基準球に測定機の検出器を位置させて測定原点を設定したのち、検出器を直動機構によってマスターワークの測定面に沿って移動させながら、マスターワークの測定を行うようにしたので、検出器を測定原点からマスターワークの決められた測定個所まで正確に移動させることができるため、マスターワークの測定を高精度に行うことができる。
【００１３】
請求項４に記載の真直精度補正方法は、請求項３に記載の測定機の真直精度補正方法において、前記台座には前記ワーク載置面と直交する基準垂直面を有する半円柱状に形成され、その基準垂直面に前記基準球が一部露出した状態で埋め込まれていることを特徴とする。
この構成によれば、真円度測定機の真直精度（検出器を上下方向へ昇降させるためのコラムやスライダの真直精度）を補正する際、真円度測定機の回転テーブルの中心に台座の基準垂直面が位置するように、台座を回転テーブル上にセットし、ついで、その台座の基準垂直面にマスターワークの一側面が一致するように、マスターワークを台座のワーク載置面上に載置したのち、まず、検出器の測定子を基準球に接触させ、測定子が上下および前後とも基準球の頂点を捕らえるように、検出器の位置を調整する。この状態を測定原点として設定してから、検出器の測定子を測定原点から一定量離れたマスターワークの表面上の一点に接触させ、この位置から検出器を上方（または下方）へ移動して、マスターワークの全長の上下真直度を測定することができる。
従って、マスターワークを測定用治具を用いて回転テーブル上に位置決めできるとともに、基準球に検出器の測定子を接触させて高さ方向の測定原点を設定できるから、常に、検出器の測定子をマスターワークの定位置に位置決めでき、マスターワークの決まった位置からの軌跡を測定することができる。
【００１４】
請求項５に記載の測定機は、請求項１から請求項４のいずれかに記載された測定機の真直精度補正方法によって直動機構の補正を行うことを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
本実施形態は、真円度測定機の真直精度補正方法に適用した例である。
図１は本実施形態の真円度測定機１を示している。同真円度測定機１は、ベース２と、このベース２の上面一側（左側）寄りに垂直な軸（Ｚ軸）を中心として回転可能に配置された回転テーブル３と、前記ベース２の上面他側（右側）寄りにＺ軸と平行に配置されたコラム４と、このコラム４に沿って上下方向（Ｚ軸方向）へ昇降可能に設けられたスライダ５と、このスライダ５に前記コラム４に対して直交する方向（Ｘ軸方向）へ進退可能に設けられたアーム６と、このアーム６の先端にＹ軸方向へ位置調整可能に取り付けられ先端に測定子７Ａを有する検出器７とから構成されている。
【００１６】
なお、回転テーブル３の回転角度データ、スライダ５の高さ位置（Ｚ軸方向の位置データ）、アーム６の進退量（Ｘ軸方向の位置データ）、検出器７の調整量（Ｙ軸方向の位置データ）などは、図示省略の検出手段によって検出できるようになっている。
また、コラム４とスライダ５とによって、検出器７を上下方向（Ｚ軸方向）へ昇降させる直動機構（ガイド）が構成されている。
【００１７】
図２は真円度測定機１からの測定データを取り込んで処理するデータ処理装置２１を示している。同データ処理装置２１は、制御装置２２と、記憶装置２３と、表示装置２４とから構成されている。
制御装置２２は、予め記憶された処理プログラムに従って、図３〜図５に示す各工程（処理）を実行する機能を備える。つまり、真円度測定機１において、予め形状データが値付けされたマスターワークが測定されたとき、そのマスターワーク測定データを取り込み、このマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて直動機構の真直精度データを求める真直精度データ算出工程と、この真直精度データ算出工程で求められた真直精度データを保存する真直精度データ保存工程（図３参照）と、真円度測定機１において、ワークが測定されたとき、そのワーク測定データを取り込むワーク測定データ算出工程と、このワーク測定データ算出工程で取り込まれたワーク測定データを保存するワーク測定データ保存工程（図４参照）と、保存された前記ワーク測定データおよび真直精度データを読み出し、ワーク測定データから真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程（図５参照）とを実行する機能を備える。
【００１８】
次に、本実施形態の測定方法を説明する。
（真直精度データ算出工程および真直精度データ保存工程）
真円度測定機１を使って、予め形状データが値付けされた角柱状のマスターワークＭＷ（たとえば、オプティカルフラット）を測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて、直動機構の真直精度データを求めたのち、その真直精度データを保存する。
具体的には、図３に示すように、ステップ（ＳＴ）１において、まず、マスターワークＭＷを測定する。マスターワークＭＷを回転テーブル３上に垂直に立てて載置したのち、検出器７の測定子７ＡをマスターワークＭＷの一側面（測定面）に接触させ、この状態において、スライダ５を上方へ移動させる（図６参照）。すると、マスターワークＭＷの形状と直動機構の真直度によって検出器７の測定子７Ａが変位するから、その変位量が各軸方向の位置データとともにデータ処理装置２１の制御装置２２に送られる。制御装置２２は、スライダ５のＺ軸方向位置、アーム６の進退量（Ｘ軸方向位置）、検出器７の調整量（Ｙ軸方向位置）および測定子７Ａの変位量から、マスターワークＭＷの測定面の位置を算出し、そのマスターワーク測定データを記憶装置２３に書き込む。
【００１９】
次に、ＳＴ２において、マスターワーク測定データから予め値付けされた形状データを差し引いて、真直精度データを求める。この際、マスターワークＭＷの形状データについては、別の高精度な測定装置によって計測され、予め、記憶装置２３に格納されている。従って、記憶装置２３からマスターワーク測定データとマスターワークＭＷの値付けされた形状データとを読み出し、マスターワーク測定データから形状データを差し引いて、真直精度データを求める。
次に、ＳＴ３において、求めた真直精度データを記憶装置２３に保存する。
【００２０】
（ワーク測定データ算出工程およびワーク測定データ保存工程）
真円度測定機１を使って、ワークＷを測定し、そのワーク測定データを求めたのち、そのワーク測定データを保存する。
具体的には、図４に示すように、ＳＴ１１において、まず、ワークＷを測定する。ワークＷを回転テーブル３上に垂直に立てて載置したのち、検出器７の測定子７ＡをワークＷの測定面に接触させて、測定を行う（図７参照）。この場合、真円度や、円筒度などの測定を行う。
次に、ＳＴ１２において、ワーク測定データを保存する。つまり、ＳＴ１１において測定されたワーク測定データがデータ処理装置２１へ送られてくるので、そのワーク測定データを記憶装置２３に保存する。
【００２１】
（ワーク形状演算工程）
各保存工程で保存されたワーク測定データおよび真直精度データを読み出し、ワーク測定データから真直度精度データを差し引いて、ワークの真値データを求める。
具体的には、図５に示すように、ＳＴ２１において、記憶装置２３からワーク測定データを読み出す。
次に、ＳＴ２２において、記憶装置２３から真直精度データを読み出す。
次に、ＳＴ２３において、読み出したワーク測定データから真直精度データを差し引いて、ワークの真値データを求める。
次に、ＳＴ２４において、求めたワークの真値データを記憶装置２３に保存する。つまり、記憶装置２３には、ワーク測定データ対して、直動機構の真直精度が補正処理されたワークの真値データが保存されるから、信頼性の高い測定データを得ることができる。
【００２２】
以上述べた実施形態によれば、真直精度データ算出工程において、真円度測定機１を使って、予め形状データが値付けされたマスターワークＭＷを測定し、そのマスターワーク測定データから値付けされた形状データを差し引いて真円度測定機の直動機構の真直精度データを求め、これとは別に、ワーク測定データ算出工程において、真円度測定機１を使って、ワークＷを測定し、そのワーク測定データを求め、これらの工程のあと、ワーク形状演算工程において、ワーク測定データから真直度精度データを差し引いて、ワークの真値データを求める。
【００２３】
従って、真直精度データ算出工程においては、１回の測定でよいから、反転法の欠点を解消できる。しかも、検出器ガイドの同一の問題もなくなるから、より高精度な補正結果を得ることができる。また、ワーク測定データに対して処理する手法であるため、測定機に対して特別な細工を行うことなく、信頼性の高い測定データを得ることができる。更に、真直精度データの算出や、ワーク測定データに対する真直精度データの補正処理については、測定機とは独立したアプリケーションで行うことができるから、たとえば、マスターワーク測定データの平均化処理（同位置を同測定条件で繰り返し測定して得られた複数のマスターワーク測定データからその平均値を求める処理）などのデータ処理を施すことにより、電気的ノイズや測定環境による測定データのバラツキを低減し、より高精度な補正を実現できる。
【００２４】
さらに、真直精度データおよびワーク測定データをそれぞれ別々に記憶装置２３に保存するようにしたから、これらの真直精度データおよびワーク測定データを別々の時点で取得、保存しておき、必要時に、ワーク測定データから真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めることができる。
【００２５】
なお、上記実施形態では、回転テーブル３の上にマスターワークＭＷあるいはワークＷを直接載置して測定するようにしたが、たとえば、図８に示すように、回転テーブル３の上に測定用治具１１を介して、マスターワークＭＷを載置するようにしてもよい。
この測定用治具１１は、台座１２を有する。台座１２は、短円柱を中心から半分に切断した半円柱状で、その上面にワーク載置面１３が形成され、切断された基準垂直面１４の中心位置に基準球１５が半分埋設された構成である。マスターワークＭＷは、ワーク載置面１３に密着（リンギング）によって固定されている。
【００２６】
マスターワークＭＷの測定にあたっては、マスターワークＭＷの一側面（測定面）が基準垂直面１４と一致するように、マスターワークＭＷを台座１２のワーク載置面１３上に載置したのち、まず、検出器７の測定子７Ａを基準球１５に接触させ、測定子７Ａが上下および前後とも基準球１５の頂点を捕らえるように、検出器７の位置を調整する。こののち、高さカウンタ（Ｚ軸方向の位置検出器）を「０」にセット（原点セット）してから、検出器７の測定子７Ａを測定原点から一定量離れたマスターワークＭＷの表面上の一点（たとえば、最下端位置）に接触させ、この位置から検出器７を上方へ移動して、マスターワークＭＷの全長の上下真直精度を測定する。
【００２７】
このような測定用治具１１を用いて、マスターワークＭＷの真直度を測定すれば、マスターワークＭＷの決まった位置からの軌跡を測定することができる。つまり、マスターワークＭＷを測定用治具１１を用いて回転テーブル３上に位置決めできるとともに、基準球１５に検出器７の測定子７Ａを接触させて高さ方向の原点を設定できるようにしたので、常に、検出器７の測定子７ＡをマスターワークＭＷの定位置に位置決めできるから、マスターワークＭＷの決まった位置からの軌跡を測定することができる。
【００２８】
また、この測定用治具１１を用いれば、真直精度データ算出工程で求めた真直精度データの検証を反転法で行う際にも、簡易に行うことができる。
たとえば、図９（Ａ）に示す状態（図８と同じ状態）において、マスターワークＭＷの一側面を測定し、その測定データを保存しておく。
次に、図９（Ｂ）に示すように、回転テーブル３を１８０度回転させたのち、前記と同様にして測定原点の設定、測定を行い、その測定データを保存する。回転テーブル３を１８０度回転させても、マスターワークＭＷの一側面は回転テーブル３の中心軸上に位置するから、熟練や工数などを必要とすることなく、マスターワークＭＷの一側面を回転テーブル３の中心軸上に位置させることができる。この場合、検出器７の測定子７Ａの向きを内向きにセットしておく。
最後に、最初に測定した１回目の測定データと次に測定した２回目の測定データとを演算して、マスターワークＭＷの真直度と、直動機構の真直度とを分離して求める。
【００２９】
なお、前述した実施形態において、真直精度データ算出工程とワーク測定データ算出工程とは、どちらを先に行ってもよい。たとえば、先にワークＷを測定してワーク測定データを求めて保存しておき、後で、マスターワークＭＷを測定して真直精度データを求め、任意時に、ワーク測定データを真直精度データで補正するようにしてもよい。
また、ワーク測定データに対して、真直精度データを補正した補正結果（ワークの真値データ）をワーク測定データとは別ファイルとして保存する場合に限らず、ワーク測定データに対して、真直精度データを補正した補正結果（ワークの真値データ）をワーク測定データとして置き換えて保存してもよい。
【００３０】
また、前述した測定用治具１１では、台座１２の基準垂直面１４に原点設定用の基準球１５を埋設したが、これに限らず、マスターワークＭＷに基準球を埋設するようにしても同様な効果が期待できる。
また、上述した実施形態は、真円度測定機について説明したが、これに限らず、粗さ測定機など、直動機構を有する測定機一般に本発明は適用できる。
【００３１】
更に、本発明は、次のような測定機の真直精度の経年変化の補正に応用することもできる。
一般に、マスターワークとして使用可能な真直精度基準（マスターワーク）は高価なため、測定機の校正用としてわざわざ備えておくことは、一般ユーザには困難である。とくに、ストロークの長い測定機の真直精度補正に使用できる大型の真直精度基準（本実施形態においては、オプティカルフラット）はきわめて高価である。
【００３２】
そこで、最初の１回のみは本実施形態で示すマスターワークによって真直精度データ（これを真直精度データ１とする）を作成し、その直後に、一般に入手容易な真直基準（精度任意で値付けは不要：準マスターワーク）を用意し、これを測定してワーク測定データ（これをワーク測定データ１とする）を求め、これから真直精度データ１を差し引いて、この真直基準（準マスターワーク）の真値データを求めて記憶装置２３に記憶しておく。つまり、
（ワーク測定データ１）−（真直精度データ１）＝真値データ
を求めて記憶装置２３に記憶しておく。
次に、一定期間（通常１年程度）経過後、前記真直基準（準マスターワーク）を再度測定し、このワーク測定データ（これをワーク測定データ２とする）から前記真値データを差し引いて、新たな真直精度データ（これを真直精度データ２とする）を求める。つまり、
（ワーク測定データ２）−（真値データ）＝真直精度データ２
を求める。
このようにして求められた真直精度データ２を記憶装置２３に記憶しておき、次回校正時点までの真直精度データとして使用する。
【００３３】
このような方法によれば、高精度な真直基準を使用したマスターワークの測定は、最初の１回のみでよく、その後は安価な真直基準（準マスターワーク）によって、高精度な真直精度データを随時得ることができるから、測定機の定期真直精度校正を安価に行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、たとえば、真円度測定機や粗さ測定機など、直動機構を有する測定機に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の一実施形態を示す真円度測定機の斜視図である。
【図２】同上実施形態のデータ処理装置を示すブロック図である。
【図３】同上実施形態における、真直精度データ算出工程および真直精度データ保存工程を示すフローチャートである。
【図４】同上実施形態における、ワーク測定データ算出工程およびワーク測定データ保存工程を示すフローチャートである。
【図５】同上実施形態における、ワーク形状演算工程を示すフローチャートである。
【図６】真直精度データ算出工程におけるマスターワークと検出器の測定子との関係を示す図である。
【図７】ワーク測定データ算出工程におけるにおけるマスターワークと検出器の測定子との関係を示す図である。
【図８】真直精度データ算出工程において、測定用治具を使用して測定を行う際の状態を示す斜視図である。
【図９】図８の測定用治具を用いて、真直精度データを検証する際の手順を示す図である。
【符号の説明】
【００３６】
１    真円度測定機
４    コラム（直動機構を構成する要素）
５    スライダ（直動機構を構成する要素）
７    検出器
１１  測定用治具
１２  台座
１３  ワーク載置面
１４  基準垂直面
１５  基準球
ＭＷ  マスターワーク
Ｗ    ワーク
【図１】
2006242969.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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