(57)【要約】  【課題】レチクルの検査を簡易に行えると共に納品用ケースから露光用ケースへの移し替えも一連に行える装置を提供する。  【手段】検査装置は、入庫部１２と、開蓋部１５と、検査ステージ部１０と、第１移載ユニット１６と、第２移載ユニット１７と、露光用ケースセット部１４とを備えている。検査ステージ部１０の検査テーブル２３は姿勢変更自在であり、目視で異物を発見できる。レチクルＲは、入庫部１２（納品用ケース１１）→第１移載ユニット１６→検査ステージ部１０→第１移載ユニット１６→第２移載ユニット１７→露光用ケースセット部１４（露光用ケース１３）、という経路で移動する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体の製造に使用されるレチクルに付着した異物を人が目視で発見して除去する装置であって、
検査用空間を外から見ることのできる覗き部が設けられている本体と、前記覗き部から人が視認できる状態でレチクルを本体の内部に保持する検査ステージ部と、前記検査ステージ部に保持されたレチクルから異物を除するためのガス噴出手段と、レチクルを露光装置に移行させるため使用される露光用ケースを装填し得るように本体に設けた露光用ケースセット部と、前記検査ステージ部で検査されたレチクルを露光用ケースセット部の露光用ケースに移し替ることができる移載手段とを備えており、
前記検査ステージ部は、レチクルを水平姿勢にしたり傾斜させたり姿勢変更させることができる姿勢変更機構を備えているか又は備えておらず、更に、前記本体の内部に、前記検査ステージ部に保持されているレチクルに光を照射するライトを備えているか又は備えていない、
レチクル検査装置。
【請求項２】
レチクルは製造されてから前記露光用ケースとは異なる納品用ケースに収納されて出荷されるようになっており、
前記露光用ケースセット部を、前記検査ステージ部に向いた人を基準にして検査ステージ部の右側又は左側に配置している一方、前記本体の内部のうち前記検査ステージ部を挟んで露光用ケースセット部と反対側の部位に、前記納品用ケースがセットされる入庫部を設けており、入庫部の納品用ケースから前記移載手段によってレチクルを取り出すことが可能になっている、
請求項１に記載したレチクル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、シリコンウエハー等の基板上に微細な回路を形成するための半導体製造用レチクル（マスクを含む）にゴミやホコリ等の異物が付着していないか検査して付着していたらこれを除去する検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レチクルを露光装置（ステッパー）に装填するに際しては、レチクルは専用の露光用ケースに格納されており、露光装置内において、レチクルは露光用ケースから自動的に取り出されて光学系の所定部位にセットされる（露光用ケースにつの構造については例えば特許文献１，２を、露光装置については例えば特許文献３，４を参照）。そして、レチクルの表面又は裏面にゴミやホコリ等の異物が付着していると製品（半導体）が不良品になる虞が高い。従って、異物はレチクルから完全に除去する必要がある。
【０００３】
そこで、例えば特許文献５では、大きさが１００ｎｍ以下の微小な異物の発見と除去とを目的として、レチクルに電子線を照射して投影することによって回路パターンの露光を行う露光装置の内部に、回路パターンの拡大像を可視化する可視光像形成部と、異物の除去部とを設けることが記載されている。
【特許文献１】特開平１０−１０７０５号公報
【特許文献２】特開平１０−１１６７８５号公報
【特許文献３】特開平０５−１３２９９号公報
【特許文献４】特開平１０−１６３０９４号公報
【特許文献５】特開平１１−４０４７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、レチクルでは、肉眼で見えない微小な異物の付着も問題であるが、肉眼で視認できる大きさの異物の付着は更に大きな問題である。前記特許文献５の装置は、人が肉眼で視認できる大きさの異物も発見して除去することは可能であるが、大きさの大きいゴミやホコリ類はレチクルから落ちやすいため、レチクルがケースから取り出されてから光学系にセットされるまでの間にゴミやホコリが落ちて露光装置内を浮遊し、そして再びレチクルやレンズ等に付着するといったことも考えられる。
【０００５】
従って、レチクルに付着した異物はケースに格納して露光装置に装填する前に可能な限り除去しておく必要がある。この点については、露光装置への装填前の処理として、例えば、露光装置が配置されている真空容器内でレチクルに高圧ガスを満遍なく吹き付けることによって異物を吹き飛ばしてから露光用ケースに自動的に格納するといったことや、レチクルの外面をカメラで撮影して異物があればこれをガスで吹き飛ばし、それから露光用ケースに自動的に格納するといったことが考えられる。すなわち、無人化された自動検出除去装置を設けることが考えられる。
【０００６】
しかし、これらの無人化された装置は大がかりでしかも複雑になるため、完全自動化された半導体製造設備には有効かもしれないが、多品種少量生産設備のように完全自動化しにくい設備には適用し難いという問題がある。また、１回だけのガスの噴出では異物が除去されない虞もある。
【０００７】
本願発明は、このような現状を改善すること主たる目的とするものである。ところで、レチクルは専用のケースに格納されて露光装置にセットされるが、製造されてから半導体メーカーに納品されるに際しては一般に簡易な納品用ケースに収納されており、半導体メーカーの工場において納品用ケースから露光用ケースに移し替えられている。しかし、移し替えを人手で行うのうは手間であり、また、移し替え作業のときに高価なレチクルを落として破損させることもあり、安全かつ確実に移し替る方法が要請されていた。本願発明はこの要請に応えることも目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願発明は、半導体の製造に使用されるレチクルに付着した異物を人が目視で発見して除去する検査装置に関する。
【０００９】
請求項１の検査装置は、検査用空間を外から見ることのできる覗き部が設けられている本体と、前記覗き部から人が視認できる状態でレチクルを本体の内部に保持する検査ステージ部と、前記検査ステージ部に保持されたレチクルから異物を除するためのガス噴出手段と、レチクルを露光装置に移行させるため使用される露光用ケースを装填し得るように本体に設けた露光用ケースセット部と、前記検査ステージ部で検査されたレチクルを露光用ケースセット部の露光用ケースに移し替ることができる移載手段とを備えている。
【００１０】
そして、前記検査ステージ部は、レチクルを水平姿勢にしたり傾斜させたり姿勢変更させることができる姿勢変更機構を備えているか又は備えておらず、更に、前記本体の内部に、前記検査ステージ部に保持されているレチクルに光を照射するライトを備えているか又は備えていない。
【００１１】
請求項２の検査装置は、レチクルは製造されてから前記露光用ケースとは異なる納品用ケースに収納されて出荷されるようになっているタイプに対応している。すなわち、請求項１において、前記露光用ケースセット部を、前記検査ステージ部に向いた人を基準にして検査ステージ部の右側又は左側に配置している一方、前記本体の内部のうち前記検査ステージ部を挟んで露光用ケースセット部と反対側の部位に、前記納品用ケースがセットされる入庫部を設けており、入庫部の納品用ケースから前記移載手段によってレチクルを取り出すことが可能になっている。
【発明の効果】
【００１２】
本願発明は人（作業者：オペレーター）が目視で異物を確認するものであるため、過度に自動化する必要はなく、このため製造コストの抑制や大型化回避に貢献できる。また、異物が落ちにくい場合は除去されるまでガスを噴射し続ければ良いため、異物除去の確実性も高い。
【００１３】
フラットな面に付着している異物は見る方向と異物への光の当たり方によって見えやすくなったり見えにくかったりするが、本願発明に、検査台のレチクルの姿勢を変えることとライトを設けることとを付加すると、異物を最も視認しやすい状態で満遍なく検査することができ、このため異物の発見・除去の確実性がより高くなる利点がある。更に、レチクルは露光用ケースに自動的に格納されるため、検査してから新たに異物が付着することはない。
【００１４】
請求項２のように構成すると、納品用ケースから露光用ケースへのレチクルの移し替えと異物の検査・除去とが一つの装置によってセットで行えるため、納品用ケースから露光用ケースへのレチクルの移し替えの手間を省くことができると共に、レチクルの落下事故を招来することなく安全かつ確実に移し替ることができる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本願発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１〜図８では第１実施形態を示し、図９〜図１０では第２実施形態を示している。まず、第１実施形態について説明する。
【００１６】
(1).概要
図１（Ａ）は検査装置の外観を示す斜視図であり、この図から理解できるように、検査装置は、周壁と天井部と底部（底部は図では表示されていない）とを有する立方体状の装置本体１を備えており、装置本体１の内部には検査用空間が広がっている。検査用空間は、図示していない吸塵手段（例えばフィルター付きの吸引ファン）によって異物が吸引除去されるクリーン状態に保持されている。
【００１７】
装置本体１の前面のうち、椅子に腰掛けた一般成人の顔と略同じ程度の高さ位置でかつ左右略中間部には、覗き部の一例として開閉自在な透明扉２が配置されており、透明扉２の左側には入庫口３が開口し、透明扉２の右側には出庫口４が開口している。また、透明扉２の下方には操作部５が前向き突出した状態に設けられており、操作部４に、タッチパネル付きのディスプレイ６と操作用ハンドル７と、緊急停止ボタン８とを設けている。
【００１８】
本実施形態の透明扉２は水平回動式になっているが、固定式の透明板としたり開口穴とすることも可能である。また、透明扉とする場合は、上下動するシャッター方式や左右にスライドする引き戸式などにすることができる。入庫口３と出庫口４とにこれを塞ぐ扉を設けることも可能である。本実施形態では、装置本体１の前面のうち透明扉２の上方部は透明板９で構成されている（不透明板で覆ってもよい）。
【００１９】
図１のうち（Ｂ）は装置本体１の内部に設けた装置類のレイアウトをごく大雑把に示す斜視図、図２のうち（Ａ）は装置本体１の内部の概略平面図、（Ｂ）は（Ａ）の B-B視断面図である。
【００２０】
装置本体１の内部の空間のうち透明扉２の後方には検査ステージ部（検査ユニット）１０が設けられており、検査ステージ部１０の左側には、入庫口３を介して納品用ケース１１を出し入れできる入庫部１２が配置され、検査ステージ部１０の右側には、出庫口４を介して露光用ケース１３を出し入れできる露光用ケースセット部１４が配置されている。入庫部１２は前後移動自在であり、後退しきった部位の上方には開蓋機構１５を配置している。
【００２１】
検査ステージ部１０の後方には第１移載ユニット１６が左右移動自在及び前後移動自在に配置されており、露光用ケースセット部１４の後方には第２移載ユニット１７が前後移動自在に配置されている。本実施形態では、第１移載ユニット１６と第２移載ユニット１７とが請求項に記載した移載手段を構成している。更に、検査ステージ部１０の斜め後方には、検査ステージ部１０に向けて光とガスとを照射する照射・除去ユニット１８が配置されている。
【００２２】
納品用ケース１１と露光用ケース１３とは平面視四角形に形成されており、いずれも本体１１ａ，１３ａと蓋１１ｂ，１３ｂとを有する。本実施形態では、露光用ケースセット部１４には構造が相違する２個の露光用ケース１３を上下に離反した状態でセットできるようになっている。これは、露光装置のメーカーによって露光用ケース１３の仕様が相違することに対処したものである。
【００２３】
本実施形態では、納品用ケース１１の内部のレチクルＲは納品用ケース１１と同じ姿勢になっており、レチクルＲ４つのコーナー部が受け部１１ｃで支持されている。受け部１１ｃは装置本体１の周壁よりも高い高さになっている。
【００２４】
レチクルＲを検査するに当たっては、準備として、露光用ケースセット部１４に露光用ケース１３をセットしておくと共に、入庫部１２に納品用ケース１１をセットする。そして処理システムは、制御装置に組み込まれているルーチンプロセスに従い、納品用ケース１１の開蓋→納品用ケース１１から第１移載ユニット１６へのレチクルＲの移し替え→第１移載ユニット１６から検査ステージ部１０へのレチクルＲの移し替え→オペレーターによる検査・異物除去→第１移載ユニット１６から第２移載ユニット１７へのレチクルＲの移し替え→第２移載ユニット１７から露光用ケース１３へのレチクルの移し替え、という手順で実行され、検査済レチクルＲが格納されている露光用ケース１３は手作業によって検査装置の外に取り出される。以下、各部位の詳細を説明する。
【００２５】
(2).納品用ケースセット部
入庫部１２は、エアシリンダ等の昇降機構（図示せず）で駆動される第１昇降台２０を備えており、第１昇降台２０には、納品用ケース１１の装置本体１の側面に向けて進退動する下クランプ体２１の群が配置されている。第１昇降台２０は前後動自在なベース（図示せず）に昇降自在に取り付けられている。納品用ケース１１は、第１昇降台２０に設けた受け突起（図示せず）で支持されているが、下クランプ体２１で支持することも可能である。
【００２６】
なお、図での表示は省略しているが、各下クランプ体２１は、シリンダや電磁ソレノイド等の一つのアクチェータで一斉に駆動されるようになっており、このため、第１昇降台２０には、アクチェータの動きを各下クランプ体２１の動きに変換する連動部材を備えている（勿論、各クランプ体２１を個別に駆動してもよい）。
【００２７】
開蓋部１５は、納品用ケース１１における蓋１１ａの外周面に向けて進退動する上クランプ体２２の群を備えており、上クランプ体２２の群は図示しない枠体に取り付けられている。上クランプ２２の群は、図示しない連動部材を介して一つのアクチェータで一斉に駆動される。なお、開蓋部１５を昇降式にすることも可能である。
【００２８】
納品用ケース１１の装置本体１をクランプした状態で第１昇降台２０が後退し、次いで、開蓋部１５の上クランプ体２２を後退動させた状態で第１昇降台２０を上昇させ、次いで、開蓋部１５の上クランプ体２２を前進動させてから第１昇降台２０を下降させるという動きにより、納品用ケース１１の装置本体１から蓋１１ｂが取り外される。
【００２９】
納品用ケース１１の蓋１１ｂを取り外したら、第１昇降台２０は前進動する。納品用ケース１１の本体１１ａからレチクルＲを取り外した後は、開蓋工程とは逆の動作によって納品用ケース１１の本体１１ａに蓋１１ｂが取り付けられ、空の納品用ケース１１は人手によって入庫口３から取り出される。なお、納品用ケース１１は蓋１１ｂを抜け不能に保持するラッチ装置（図示せず）が設けられており、開蓋工程で、上クランプ２２又は専用部材の押圧作用によってラッチが解除される。
【００３０】
(3).検査ステージ部
次に、図３，４も参照して検査ステージ部１０を説明する。図３はのうち（Ａ）は検査ステージ部１０の正面図、（Ｂ）は（Ａ）の部分拡大断面図である。
【００３１】
検査ステージ部１０は、レチクルＲが横ずれ不能に載る検査テーブル２３を備えており、レチクルＲは、検査テーブル２５に上向き突設したピン状の支持体２４の群により、平行に延びる２つの側縁部が支持されている。支持体２４の群は左右方向に並んでいる。また、検査テーブル２３には、レチクルＲの位置決め及びずれ防止のため、レチクルＲの４つの辺の中間部に密着又は密接する４つのストッパー２５を設けている。ストッパー２５は金属板からなっている。
【００３２】
前記検査テーブル２３は、第１ブラケット２６に水平旋回自在に取り付けられており、第１ブラケット２６に受けた第１モータ２７によって回転駆動される。第１モータ２７の動力伝導手段としてタイミングギア２８に噛合するタイミングベルト２９を利用しているが、ギアで動力伝達したり減速機付きモータで直接に駆動するといったことも可能である。
【００３３】
第１ブラケット２６は、水平状の軸心回りに自在に回動するように第２ブラケット３０に取り付けられており、更に、第２ブラケット３０は第２昇降台３１に水平旋回自在に取り付けられている。第１ブラケット２６は第２ブラケット３０に設けた第２モータ３２で駆動され、第２ブラケット３０は第２昇降台３１に設けた第３モータ３３で駆動される。本実施形態では、検査テーブル２３と第１ブラケット２６と第２ブラケット３０とが個別に又は協働して姿勢変更機構を構成している。
【００３４】
第２昇降台３１は図示しないガイド部材に昇降自在に取り付けられており、エアシリンダ等のアクチェータで昇降動される。第２モータ３２及び第２モータ３３の動力伝達手段としてタイミングベルト２９とタイミングギア２８を使用しているが、他の手段でも良いことは第１モータ２７の場合と同様である。また、各モータ２７，３２，３３に代えて別のタイプのアクチェータを使用しても良い。
【００３５】
既に理解できるように、検査テーブル２３と各ブラケット２６，３０を回動操作することにより、レチクルＲを様々の姿勢に変えることができる。また、第２ブラケット３０を水平旋回させることにより、レチクルＲを左右移動させたり前後に移動させたりすることができる。これらレチクルＲの姿勢と位置とを自在に変えることができるため、オペレータはレチクルＲを様々の方向から見ることができる。その結果、異物を明瞭に視認できる。
【００３６】
図３（Ｂ）に示すように、検査テーブル２３に設けた支持体２４には上向きに開口して吸引穴３４が空いており、吸引穴３４は通路を介して真空源に接続されている。このため、レチクルＲは支持体２４に吸着されていて、姿勢を大きく変えても脱落することはない。
【００３７】
(4).照射・除去ユニット
図４に示すように、照射・除去ユニット１８は、エアシリンダや電磁シリンダ等の昇降アクチェータ３６で駆動される昇降体３７を備えており、昇降体３７に、上から順に、イオンガス噴出ノズル３８と照明用ライト３９と除去用ガス噴出ノズル４０とを取り付けている。イオンガス噴出ノズル３８はレチクルＲがゴミやホコリが付着しにくい状態にするものである。異物除去用のガスとしては例えば窒素ガスが使用されているが、炭酸ガスや圧縮空気でも良い。
【００３８】
イオン噴出ノズル３８とライト３９は共通の第３ブラケット４１に取り付けられており、第３ブラケット４１は、装置本体の正面視で左右方向に延びる支軸４２を中心にして上下に首振り回動しうるように昇降体３７に取り付けられている。従って、イオンガスの噴出方向とライト３９の照射角度を変更できる。
【００３９】
ガス噴出ノズル４０は第４ブラケット４３を介して昇降体３７に取り付けられており、第４ブラケット４３も、装置本体１の正面視で左右方向に延びる支軸４４を中心にして上下に首振り回動するように昇降体３７に取り付けられている。従って、ガス噴出ノズル４０によるガスの噴出方向を独立して変更させることができる。第３ブラケット４１及び第４ブラケット４３はそれぞれモータやエアシリンダ等のアクチェータ（図示せず）で駆動される。
【００４０】
昇降体３７を昇降アクチェータ３６に回転自在に取り付けたり、或いは、昇降アクチータ３６をベース体に水平回動自在に取り付けるなどして、照射・除去ユニット１８の全体を水平旋回させ得るように構成することも可能である。また、各ノズル３８，４０とライト３９とを、首振り回動させることに加えて個別に水平旋回させ得るように昇降体３７に取り付けても良い。なお、図２（Ａ）に一点鎖線で示すように、検査ステージ部１０の後方に鏡４５を配置すると、レチクルＲに付着した異物を発見しやすい利点がある。
【００４１】
(5).第１移載ユニット
次に、図１，２に加えて図５も参照して第１移載ユニット１６について説明する。図５のうち（Ａ）は平面図、（Ｂ）は一部部材の分離平面図、（Ｃ）は（Ａ）のＣ−Ｃ視断面図である（但し、（Ｃ）は縦向きに表示している。）。
【００４２】
第１移載ユニット１６は、装置本体１の正面視で左右移動自在及び前後移動自在なベース４７を備えており、ベース４７に立設した前後２つの軸受け部材４８，４９に、クランプ機構５０が前後方向に延びる軸心回りに自在に回転し得るように取り付けられている。なお、図１（Ｂ）と図２（Ａ）では後部軸受部材４９しか表示していない。
【００４３】
本実施形態では、図２（Ｂ）に示すように、第１移載ユニット１６を前後移動させる手段としては、雄型レール５１に雌型スライダー５２が装着されたリニアレール装置を採用しており、また、第１移載ユニット１６を左右移動させる手段としては、雄型レール５１が取り付いた基体５３を複数本のガイド軸５４で移動自在に支持して、モータで駆動されるねじ軸５５を基体５３に螺合させている。ガイド手段及び駆動手段とも他の様々の機構を採用できる。
【００４４】
クランプ機構５０は、軸受部材４８，４９に回転自在に装着された筒状のロータ５６と、ロータ５６を回転させるため後部軸受部材４９にブラケット板を介して取り付けたモータ５７と、ロータ５６の内部に相対回転不能に装着されたエア式等のシリンダ５８と、ロータ５６の前部に相対回転不能に固定されたケーシング５９と、ケーシング５９の内部に配置されると共にエアシリンダ５８で前後動される作動体６０と、ケーシング５９の内部のうち作動体６０を挟んだ左右両側に左右接近離反自在に装着されたクランプベース６１とを備えている。
【００４５】
左右のクランプベース６１には、レチクルＲの左右外側に位置するクランプアーム６２が固定されている。シリンダ５８はロータ５６と一緒に回転するものであり、その後部は補強部材６３で回転自在に支持されている。
【００４６】
作動体６０と左右クランプベース６１とは平面視で傾斜した方向に相対動するようにピン等で連結されており、くさび作用により、作動体６０が前進動すると左右のクランプベース６１は互いに接近動し、作動体６０が後退動すると左右のクランプベース６１は互いに離反動する。
【００４７】
クランプアーム６２には、レチクルＲを挟持するため前後長手の爪体６４が前後複数本のピン６５によって若干の寸法だけ左右動するように取り付けられており、かつ、爪体６４はピン６５に被嵌したばね６６で前進方向に付勢されている。また、爪体６４には、レチクルＲに左右外側から被嵌するように正面視でコ字状に形成された前後２カ所の把持部６４ａを設けている。把持部６４ａは、納品用ケース１１の受け部１１ｃ及び検査ステージ部１０のストッパー２５と干渉しない位置に配置されている。
【００４８】
左右のクランプアーム６２が互いに接近し切った状態で、爪体６４はばね６６に抗して後退しており、かつ、若干の寸法は後退する余裕があるように設定している。すなわち、ばね６６の弾性力を利用してレチクルＲをクランプしているのであり、このためレチクルＲを破損することはない。あえて述べるまでもないが、クランプアーム６２の駆動手段やロータ５６の駆動手段は図示のものに限らず、電磁ソレノイド等の他の機構も採用できる。
【００４９】
図２（Ａ）に一点鎖線で示すように、レチクルＲを９０度旋回させた姿勢で納品用ケース１１に収納する場合がある。この点への対応については、入庫部１２を水平旋回できるように構成しておけばよい。
【００５０】
(6).第２移載ユニット
次に、主として図６に基づいて第２移載ユニット１７を説明する。図６のうち（Ａ）は後ろ側から見た斜視図、（Ｂ）は一部破断側面図である。第２移載ユニット１７は、エアシリンダ等の昇降アクチェータ（図示せず）で昇降駆動される板状の昇降体６８と、昇降体６８に固定した前後長手の固定レール６９と、固定レール６９に前後動自在に装着されたスライダー７０とを備えており、スライダー７０の側面に、スペーサ部７１を介して固定された受けアーム７２とを備えている。
【００５１】
受けアーム７２には、レチクルＲの左右側縁部が載る左右一対の支持バー７３を設けている。支持バー７３には、レチクルＲを支持する前後複数の突起部７３ａが形成されており、この突起部７３ａにはレチクルＲを真空吸着にて脱落不能に保持するための吸引穴７４が開口している。いうまでもないが、吸引穴７４は真空源に接続されている。
【００５２】
レチクルＲは、手前側にある程度の寸法だけはみ出た状態で支持バー７３に載るように設定されている。支持バー７３の突起部７３ａは、第１移載ユニット１６におけるクランプアーム６２の把持部６２ａと干渉しない位置に形成されている。このため、レチクルＲの移し替えに際してクランプアーム６２と支持バー７３とが干渉することはない。
【００５３】
昇降体６８は装置本体１の正面視で右側に寄せて配置されており、また、受けアーム７２は平面視でＬ字状に形成されている。このため、第１移載ユニット１６のケーシング５９と第２移載ユニット１７の受けアーム７２とが干渉することはない。第１移載ユニット１７が右側に移動し切った状態でクランプアーム６２を接近・離反動させることと、第２移載ユニット１７の昇降動との組み合わせにより、レチクルＲを第１移載ユニット１６から第２移載ユニット１７に移し替ることができる。なお、第２移載ユニット１７は必ずしも昇降式に構成する必要はない。
【００５４】
(7).露光用ケースセット部
次に、主として図７，８に基づいて露光用ケースセット部１４を説明する。図７のうち（Ａ）は正面図、（Ｂ）（Ｃ）は動きを示すための図で、（Ａ）をＢ−Ｂ視方向及びＣ−Ｃ視方向から見た図であり、図８は上部の斜視図である。
【００５５】
露光用ケースセット部１４は、ガイド部材７６にて上下動自在に取り付けられた第３昇降台７７を備えており、この第３昇降台７７に、左右のフレーム７８を介して上下２段のケース受け７９を設けると共に、支柱８０を介して仮置き台８１を設けている。仮置き台８０はケース受け７９の上方に配置されており、露光用ケースセット部１４の上面を構成している。
【００５６】
本実施形態では、上段のケース受け７９に、蓋１３ｂを本体１３ａから取り外しできる露光用ケース１３が装填され、下段のケース受け７９に、蓋１３ｂが本体１３ａに回動自在に取り付けられた露光用ケース１３（特許文献１のタイプ）が装填される。露光用ケース１３は、人が手作業で抜き差ししてケース受け７９に着脱することができ、また、装填した状態では、ばねを利用して保持手段によって所定位置に保持されるようになっている。
【００５７】
上段の露光用ケースは、エアシリンダ等のアクチェータ（図示せず）で駆動される蓋開閉装置８２により、蓋１３ｂが開閉される。また、下段の露光用ケース１３も、エアシリンダや電磁ソレノイド等のアクチェータで駆動される開閉装置（図示せず）によって蓋１３ｂが開閉される。いずれにしても、蓋１３ｂを開いた状態で、第２移載ユニット１７の前後動と露光用ケースセット部１４の昇降動とを組み合わせることにより、レチクルＲを第２移載ユニット１７から露光用ケース１３に移し替ることができる。
【００５８】
露光用ケース１３にも蓋１３ｂを閉じた状態に保持するラッチ装置が設けられており、蓋開閉装置８２の動きにより、ラッチ装置は自動的に解除・施錠される。露光用ケース１３の本体１３ａにはレチクルＲをずれ不能に保持する受け体１３ｃを設け、蓋１３ｂには押さえ１３ｄを設けている。
【００５９】
仮置き台８１は、露光用ケース１３が所定のものと相違する場合や、レチクルＲに何らかの問題があってそのまま露光用ケース１３に格納できない場合、或いは、露光用ケースセット部１４に露光用ケース１３がセットされていない場合等に使用される。
【００６０】
そして、仮置き台８１には、レチクルＲを前向き移動不能に保持する前部受け体８３と、レチクルＲを後部において支持する支持ピン８４と、レチクルＲを後ろ向き移動不能に保持する後部受け体８５と、レチクルＲを左右動不能に保持する左右受け体８５とを設けている。左右受け体８５は、レチクルＲの下降動をガイドする傾斜面を有している。いうまでもないが、各受け体は第２移載ユニット１７の支持バー７３と干渉しない位置に配置されている。
【００６１】
本実施形態では、露光用ケースセット部１４の高さを変えることにより、露光用ケース１３を仮置き台８１と上段の露光用ケース１３と下段の露光用ケース１３とに選択して移し替えできるようにしているが、露光用ケースセット部１４は昇降しない固定式として、第２移載ユニット１７のみを昇降させることによって移し替え高さ位置を選択することも可能である。また、露光用ケースセット部１４には１個の露光用ケース１３しかセットできないようにすることや、３個（３種類）以上の露光用ケース１３をセットできるようにすることも可能である。
【００６２】
(8).まとめ
既述のとおり、空の露光用ケース１３を露光用ケースセット部１４にセットすると共に、露光用ケース１３が収納された納品用ケース１１を入庫部１２にセットしてから、システムを稼働させることにより、レチクルＲの目視の検査・異物除去を経て、検査済のレチクルＲを露光用ケース１３に自動的に格納される。すなわち、レチクルＲの検査と納品用ケース１１から露光用ケース１３への移し替えとを一連の作業で行うことができる。
【００６３】
そして、レチクルＲの検査においては、レチクルＲの姿勢を自在に変更できることと、ライト３９及びノズル３８，４０の姿勢を自在に変更できることとが相まって、異物の発見と除去とを確実ならしめることができる。また、本実施形態では第１移載ユニット１６においてレチクルＲを１８０度反転させることができるため、レチクルＲは表面のみならず裏面も検査することができる。
【００６４】
検査テーブル２３の姿勢と照射・除去ユニット１８の姿勢変更とは、予め設定されたプログラムに従って順次変えていくように設定するのが好ましい。また、オペレータが異常を発見した場合は、自動制御を中断して、ハンドル７の操作で検査テーブル２３を姿勢変更できる手動モードに切り換えることもできる。全体のシステムを手動操作することも可能であり、この場合の操作はディスプレイの表示群をタッチすることで行われる。
【００６５】
納品用ケース１１をセットした場合において、レチクルＲが破損している場合のようにそもそも検査が不要である場合や、検査によって不良が発見された場合、或いは、半導体製造工程の変更によって検査時期を後にずらす必要が生じる場合がある。このような場合は、装置本体１の内部のレチクルＲを第１移載ユニット１６によって納品用ケース１１に戻すした良い。このように、納品用ケース１１から取り出したレチクルＲを再び納品用ケース１１に戻すことができるのも、本実施形態の利点である。
【００６６】
検査ステージ部１０においてレチクルＲが検査テーブル２３に正しく載っていない場合のように人手でしか直せない異常があった場合は、作業者は透明扉２を開いて異常を正すことができる。
【００６７】
場合によっては、検査工程は不要でレチクルの移し替えのみを欲する場合もあるが、この要請に対しては、制御態様に、検査工程を含んだ作業モードと検査工程がない作業モードとを用意しておいて、オペレータが選択できるようにしたよよい（その選択は操作部５で行う）。
【００６８】
(9).第２実施形態
次に、図９及び図１０に開示されている第２実施形態を説明する。図９は装置の概略斜視図、図１０は主要部材の配置を示す平面図である。本実施形態では、第１実施形態とは異なって納品用ケースセット部は備えておらず、従って、納品用ケース用の開蓋部も備えていない。
【００６９】
そして、装置本体１の内部のうち左右略中間部に露光用ケースセット部１４が配置されており、露光用ケースセット部１４の右側に第２移載ユニット１７が配置されており、平面視で露光用ケースセット部１４と重なる状態で検査ステージ部１０が設けられている。
【００７０】
本実施形態では、検査ステージ部１０は第１移載ユニット１６を兼用しており（すなわち、検査ステージ部１０が請求項に記載した移載手段の一部をなしており）、第１実施形態における第１移載ユニット１６と略同じ構造に構成されている。このため、第１実施形態と同じ符号で図示して説明は省略する。
【００７１】
検査ステージ部１０のクランプ機構部５０は露光用ケースセット部１４の上方に位置している。また、検査ステージ部１０は、露光用ケースセット部１４の中心部を中心にして周回りにある程度の角度（例えば３０度程度）だけ装置本体１の後ろ側に水平移動し得るようになっている。
【００７２】
他方、第２移載ユニット１７は第１実施形態の場合と同じ構造である。但し、本実施形態の第２移載ユニット１７は、その支持バー７３が左右方向に移動するように配置されており、このため、露光用ケース１３は、第１実施形態に比べて９０度水平旋回させた姿勢で露光用ケースセット部１４にセットされる。
【００７３】
装置本体１の後部にはライト３９が上下回動自在及び水平旋回自在に取り付けられている。また、本実施形態では、レチクルＲに付着した異物を除去するガス噴出手段としては手動式のガス噴出ガン８８が使用される。本実施形態では、検査用空間の前面は開放させておくか、又は、透明板で覆っており、このため、検査用空間の前面の全体が覗き部になっている。
【００７４】
検査用空間はその周囲の前部と上方とも開放させておくことも可能であり、左右側部と背部及び上部は非透明板で囲うことも可能である。装置本体１の前面板には、露光用ケース１３を出し入れするための切欠き部８９を設けている。装置本体の内部は吸塵装置によって負圧状態に保持されている。
【００７５】
本実施形態では、納品用ケースから取り出したレチクルＲは、露光用ケースセット部１４の仮置き台８１にセットされる。そして、仮置き台８１のレチクルＲを検査ステージ部１０のクランプ機構５０で把持して、傾斜させたり反転させたりして目視で検査する。検査が済むとレチクルＲは仮置き台８１に戻され、次いで、露光用ケースセット部１４を下降させて第２移載ユニット１７に移し替え、それから、露光用ケースセット部１４を上昇させて所定の露光用ケース１３に格納される。仮置き台８１にはレチクルＲに対する受け体９０を設けている。
【００７６】
本実施形態の装置の使用方法としては、納品用ケースから取り出されたレチクルをいったん露光用ケース１３に格納し、このレチクル入りの露光用ケース１３を露光用ケースセット部１４にセットして、第２移載ユニット１７でレチクルＲを取り出して仮置き台８１に移し替ることも可能である。本実施形態では移載手段の一部が検査ステージ部を兼用しているため、それだけ構造が簡単になる利点がある。
【００７７】
検査ステージ部のクランプ機構５０を昇降自在又は（及び）上下首振りする構成とすることも可能である。また、検査ステージ部によって露光用ケース１３にレチクルを移し替る構成とすることも可能であり（従って、この場合は第２移載ユニット１７は不要である）、この場合は、検査ステージ部と移載手段とが完全に共通化されることになる。
【００７８】
(10)．その他
本願発明は、上記の実施形態の他にも様々に具体化することができる。例えば、移載手段の具体的な構造は必要に応じて設計したらよいし、納品用ケースセット部及び露光用ケースセット部の具体的な構造もケースの様式に応じて設計できるものである。また、本願発明の装置を露光装置と一体化し、検査済レチクルが格納された露光用ケースを中継搬送装置によって露光装置に自動的に搬送することも可能である。
【００７９】
既述のように、第１実施形態では納品用ケースから露光用ケースへのレチクルの移し替えを検査工程と共に行えるが、本明細書は、検査のための装置を備えてておらずに納品用ケースから露光用ケースへの自動的な移し替えのみをできる構成、すなわち、納品ケースがセットされる入庫部と、露光用ケースがセットされる出庫部と、納品ケースから露光用ケースにレチクルを移し替る搬送装置とを備えた移し替え装置の構成も開示しており、この構成のみを独立した請求項とすることも可能である。この場合、両ケースの蓋の開閉は移載装置で行っててもよいし、別の開蓋機構を設けてももよい。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】第1 実施形態の斜視図である。
【図２】(A) は平面図、(B) は(A) の B-B視断面図である。
【図３】検査ステージ部を示す図である。
【図４】照射・除去ユニットの側面図である。
【図５】第１移載ユニットを示す図である。
【図６】第２移載ユニットを示す図である。
【図７】露光用ケースセット部を示す図である。
【図８】露光用ケースセット部の仮置き台の斜視図である。
【図９】第２実施形態の概略斜視図である。
【図１０】第２実施形態の概略平面図である。
【符号の説明】
【００８１】
Ｒ  レチクル
１  装置本体
２  覗き部の一例としての透明扉
５  操作部
１０  検査ステージ部
１１  納品用ケース
１２  納品用ケースセット部
１３  露光用ケース
１４  露光用ケースセット部
１６  第１移載ユニット
１７  第２移載ユニット
１８  照明・除去ユニット
２３  検査テーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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