(57)【要約】      （修正有）【課題】低圧中又は真空中で用いられ、記録媒体に対し安定した浮上を行うスライダーにより、電子線による安定した高密度記録が可能な情報記録装置を提供。【解決手段】情報記録装置は、記録媒体に対し電子線を照射する電子線源と、媒体の記録面と略平行に配置される静電極板とを有するスライダーと、大気圧より低圧力の雰囲気に保持されたスライダー周辺に、静電極板の略法線方向の電界を生じさせる機構と、スライダーを記録媒体方向に付勢する機構とを備え、スライダーは、静電極板に帯電する電荷が電界によって力を受けることにより、記録媒体に対して所定距離離れた位置に浮上する。これにより、スライダーは、付勢機構による付勢力によるバランスによって浮上するため、情報記録装置は安定した高密度記録を行うことができる。また、情報記録装置は、真空中又は低圧中で電子線の照射を行っているため、電子線源の酸化を防止することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に対して電子線を照射する電子線源と、前記記録媒体の記録面と略平行に配置される静電極板と、を有するスライダーと、
大気圧より低圧力の雰囲気に保持された前記スライダー周辺に、前記静電極板の略法線方向の電界を生じさせる電界発生機構と、
前記スライダーを前記記録媒体方向に付勢する付勢機構と、を備え、
前記スライダーは、前記静電極板に帯電する電荷が前記電界によって力を受けることにより、前記記録媒体に対して所定距離離れた位置に浮上することを特徴とする情報記録装置。
【請求項２】
前記電界発生機構は、前記記録媒体と、前記記録媒体に対向する位置に設けられた極板とに電圧を印加することによって前記電界を発生することを特徴とする請求項１に記載の情報記録装置。
【請求項３】
前記静電極板に帯電する前記電荷は、前記静電極板に接続された電圧印加手段から供給されることを特徴とする請求項１又は２に記載の情報記録装置。
【請求項４】
前記スライダーと前記記録媒体との距離を検出する検出手段と、
検出された前記距離に基づいて、前記電圧印加手段を制御する印加電圧制御手段を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の情報記録装置。
【請求項５】
前記スライダーと前記記録媒体との距離を検出する検出手段と、
検出された前記距離に基づいて、前記電界発生機構を制御する電界強度制御手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の情報記録装置。
【請求項６】
前記電子線源は、前記記録媒体に対して相変化を生じさせることによって情報を記録することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の情報記録装置。
【請求項７】
前記スライダーは、前記電子線源が設けられた位置の近傍に磁極を更に備え、
前記電子線が前記記録媒体の強磁性体層に対して作用した部分の磁化方向を、前記磁極で変えることによって情報の記録を行うことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の情報記録装置。
【請求項８】
前記スライダーは、前記電子線源が設けられた位置から離れるほど前記記録媒体に対する距離が大きくなるように、前記記録媒体の記録面に対して傾いて配置されることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の情報記録装置。
【請求項９】
前記静電極板は、前記電子線源が設けられた位置から離れるほど面積が広くなっていく形状を有していることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の情報記録装置。
【請求項１０】
前記静電極板はエレクトレット材料で構成され、前記静電極板に帯電する前記電荷は、前記エレクトレット材料に帯電している電荷であることを特徴とする請求項１又は２に記載の情報記録装置。
【請求項１１】
前記雰囲気は、真空雰囲気であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の情報記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体に対して情報の記録を行う情報記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、磁気ヘッドや電子線源などが設けられたスライダーを記録媒体に対して浮上させた状態で、情報の記録を行う情報記録装置が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、低圧雰囲気中で、静電反発力を用いてスライダーを浮上させる技術が記載されている。この場合、気体分子による動圧力での浮力が、距離安定性への障害になるという理由で低圧に設定している。
【０００４】
また、特許文献２及び３には、スライダーに静電極板とギャップセンサを設け、スライダーと記録媒体との距離を一定に保持して記録を行う技術が記載されている。この技術においては、大気流によってスライダーの浮上力を得ると共に、静電電極と記録媒体とが逆の極になるようにして発生した引力を用いて、スライダーと記録媒体との間隔を調整している。
【０００５】
一方、特許文献４には、スライダーに設けた電子線源が照射する電子線を用いて記録を行う技術が記載されている。この技術においては、大気中或いは所定のガス雰囲気中において、気体による動圧力によって記録媒体とスライダーとの距離が一定に保たれるようにしている。
【０００６】
【特許文献１】特開平５−２０８２４号公報
【特許文献２】特開平９−９７４８３号公報
【特許文献３】特開２００４−１１１０１９号公報
【特許文献４】特開２００１−２５０２０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載された技術では、単純な磁気記録で記録を行っているため記録密度に限界があった。更に、記録媒体とスライダーとを単に同極同圧で接続しているため、同極の電荷が十分に表面に発生せずに、浮上するための十分な反発力（斥力）を得ることができない場合があった。
【０００８】
また、特許文献２及び３に記載された技術では、スライダーを浮上させるために大気が必要であり、真空中で使用することはできなかった。更に、特許文献４に記載された技術では、大気などのガスによってスライダーを浮上させていたため、電子線源の表面においてガスが吸着／脱着するたびに放出電子電気量が不安定となり、記録信号が不安定になる場合があった。
【０００９】
本発明が解決しようとする課題は上記のようなものが例として挙げられる。本発明は、低圧中又は真空中で用いられ、記録媒体に対して安定した浮上を行うスライダーによって、電子線による安定した高密度記録が可能な情報記録装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、情報記録装置は、記録媒体に対して電子線を照射する電子線源と、前記記録媒体の記録面と略平行に配置される静電極板と、を有するスライダーと、大気圧より低圧力の雰囲気に保持された前記スライダー周辺に、前記静電極板の略法線方向の電界を生じさせる電界発生機構と、前記スライダーを前記記録媒体方向に付勢する付勢機構と、を備え、前記スライダーは、前記静電極板に帯電する電荷が前記電界によって力を受けることにより、前記記録媒体に対して所定距離離れた位置に浮上することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の好適な実施形態では、情報記録装置は、記録媒体に対して電子線を照射する電子線源と、前記記録媒体の記録面と略平行に配置される静電極板と、を有するスライダーと、大気圧より低圧力の雰囲気に保持された前記スライダー周辺に、前記静電極板の略法線方向の電界を生じさせる電界発生機構と、前記スライダーを前記記録媒体方向に付勢する付勢機構と、を備え、前記スライダーは、前記静電極板に帯電する電荷が前記電界によって力を受けることにより、前記記録媒体に対して所定距離離れた位置に浮上する。
【００１２】
上記の情報記録装置は、スライダーに設置された電子線源から放射される電子線のエネルギーによって、記録媒体に物理的変化を生じさせることで情報を記録する。スライダーは、記録媒体の記録面と略平行に配置される静電極板を備えており、電界発生機構は、低圧中又は真空雰囲気に保持されたスライダー周辺に、この静電極板の略法線方向の電界を生じさせる。電界発生機構が発生した電界によって静電極板に帯電する電荷が力を受けることにより、スライダーは記録媒体に対して所定距離離れた位置に浮上する。上記した情報記録装置によれば、スライダーは付勢機構による付勢力とのバランスで回転気流に影響を受けることなく浮上するため、安定した情報の記録ができる。また、情報記録装置は、低圧中又は真空中で電子線の照射を行っているため、電子線源の酸化を防止して、安定した記録を行うことができる。
【００１３】
上記の情報記録装置の一態様では、前記電界発生機構は、前記記録媒体と、前記記録媒体に対向する位置に設けられた極板とに電圧を印加することによって前記電界を発生する。更に、前記静電極板に帯電する前記電荷は、前記静電極板に接続された電圧印加手段から供給される。
【００１４】
この態様では、具体的には、電界発生機構は、記録媒体と、記録媒体に対向するように配置された極板と、に電圧を印加する。また、静電極板に接続された電圧印加手段によって、静電極板に電圧が印加される。この時、電圧印加手段は、前記極板の電位に対して、記録媒体と静電極板とが同極性になるように電圧を印加する。これにより、記録媒体に帯電する電荷と同極性の電荷がスライダーの静電極板に帯電する。このように、電界発生機構が、記録媒体に対向する位置にある極板と記録媒体とに電圧を印加するため、記録媒体の記録面上に電荷が集中する。そのため、静電極板は、浮上するのに十分な斥力を得ることができる。したがって、上記の情報記録装置によれば、スライダーを記録媒体方向に付勢する力とのバランスにより、回転気流によることなく確実にスライダーを浮上させることが可能となる。
【００１５】
上記の情報記録装置の他の一態様では、前記スライダーと前記記録媒体との距離を検出する検出手段と、検出された前記距離に基づいて前記電界発生機構を制御する電界強度制御手段、又は、検出された前記距離に基づいて前記電圧印加手段を制御する印加電圧制御手段を更に備える。
【００１６】
この態様では、電界強度制御手段、又は、印加電圧制御手段は、スライダーと記録媒体との距離が予め求められた所定の距離となるように、電界或いは静電極板に印加する電圧を制御する。これにより、情報記録装置は、スライダーと記録媒体との距離、即ちスライダーの浮上量を正確に維持することができるため、更に安定した高密度記録を行うことが可能となる。
【００１７】
好適な一つの例では、前記電子線源は、前記記録媒体に対して相変化を生じさせることによって情報を記録することができる。即ち、情報記録装置は、相変化記録を行う。これにより、情報記録装置は、記録媒体に対して高密度記録を行うことができる。
【００１８】
他の好適な例では、前記スライダーは、前記電子線源が設けられた位置の近傍に磁極を更に備え、前記電子線が前記記録媒体の強磁性体層に対して作用し、昇温した部分の磁化方向を、前記磁極で変えることによって情報の記録を行うことができる。これにより、情報記録装置は、保磁力の高い記録媒体に対して高密度記録を行うことができると共に、記録後の記録媒体に発生し得る熱揺らぎを抑制することが可能となる。
【００１９】
上記の情報記録装置の他の一態様では、前記スライダーは、前記電子線源が設けられた位置から離れるほど前記記録媒体に対する距離が大きくなるように、前記記録媒体の記録面に対して傾いて配置される。
【００２０】
この態様では、スライダーは、スライダーの構成要素の中で、電子線源が最も記録媒体に近づくように傾いて配置される。こうすることによって、電子線源から放射される電子線を小さい径のまま使用することができる。これにより、情報記録装置は、更に高密度に情報を記録することが可能となる。
【００２１】
上記の情報記録装置の他の一態様では、前記静電極板は、前記電子線源が設けられた位置から離れるほど面積が広くなっていく形状を有している。
【００２２】
この態様では、静電極板は、電子線源が設けられた位置から離れるほど面積が広くなっていく形状を有するため、電子線源が設けられた位置に近づくにしたがって、記録媒体に帯電した電荷から受ける斥力が小さくなる。スライダーが電界から受ける斥力によって回転可能なように構成した場合には、静電極板がこのような斥力を受けることよって、スライダーは記録媒体に対して傾く。即ち、スライダーは、電子線源が設けられた位置から離れるほど記録媒体に対する距離が大きくなるように、記録媒体に対して傾く。これによっても、電子線源から放射される電子線を小さい径のまま使用することが可能となる。
【００２３】
上記の情報記録装置の他の一態様では、前記静電極板は、電荷が帯電しているエレクトレット材料で構成される。
【００２４】
この態様では、静電極板は、記録媒体に帯電している電荷と同極の電荷によって予め帯電している、エレクトレット材料で構成される。このようなエレクトレット材料を用いることにより、静電極板を帯電させるために電圧を印加する必要がない。したがって、情報記録装置の構成を簡便にすることができる。
【００２５】
好適な１つの例では、前記雰囲気は、真空雰囲気とすることができる。これにより、電子線源の酸化を確実に防止することができる。
【実施例】
【００２６】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。
【００２７】
［第１実施例］
まず、本発明の第１実施例に係る情報記録再生装置の構成について、図１を用いて説明する。
【００２８】
図１（ａ）は、情報記録再生装置１００の概略構成を示す図である。情報記録再生装置１００は、主に、スライダー１と、対向静電極板６と、電子線供給電源７と、スライダー電源８と、電界生成電源９と、を備える。情報記録再生装置１００は、例えば磁気ディスクなどの記録媒体４に情報を記録し、記録媒体４に記録された情報を再生する装置である。また、第１実施例に係る情報記録再生装置１００では、記録媒体４と対向静電極板６との間の空間が、真空雰囲気に保持されている。
【００２９】
スライダー１は、支持体５に固定され、支持体５を介して図示しない可動部に接続されている。この可動部は、記録媒体４の記録面の水平方向にスライダー１を移動させることができる。具体的には、スライダー１は、記録ヘッド部２、及び静電極板３を有する。詳しくは、記録ヘッド部２は、記録媒体４に対して電子線を照射する電子線源２５を備えている。
【００３０】
また、スライダー１は、支持体５と、前記可動部の延長部分１８に設置されたバネ１７の付勢力により、記録媒体４の方向へ付勢される。なお、バネ１７は、図示されたようなコイルバネ以外に板バネを用いてもよく、また、スライダー１に直接係止されるものでもよく、更に、支持体５自身の弾性変形をもってこれに替えてもよい。
【００３１】
図１（ｂ）は、図１（ａ）の矢印Ａ方向からスライダー１を観察した底面図を示している。図示のように、静電極板３は、矩形形状を有する平板であり、スライダー１の底面部に配置される。また、電子線源２５は、記録ヘッド部２の端部に設けられている。
【００３２】
図１（ａ）に戻って説明を再開すると、スライダー１は、記録媒体４の記録面に対して所定距離離れた位置に浮上している。詳しくは、スライダー１は、電子線源２５が設けられた位置から離れるほど記録媒体４に対する距離が大きくなるように、記録媒体４の記録面に対して傾いて配置されている。この理由については後述する。
【００３３】
電子線供給電源７は、破線で示す配線１３を介して電子線源２５に負の電圧を印加する。これにより、電子線源２５から電子線が放射される。
【００３４】
また、電界生成電源９は、記録媒体４と、記録媒体４に対向するように配置された対向静電極板６と、に電圧を印加する。これにより、記録媒体４には正の電荷が帯電し、対向静電極板６には負の電荷が帯電する。したがって、記録媒体４と対向静電極板６との空間に、記録媒体４から対向静電極板６へ向かう電界が発生する。
【００３５】
一方、スライダー電源８は、一点鎖線で示す配線１２を介して静電極板３に対して電圧を印加する。この印加電圧は、対向静電極板６に対して、記録媒体４と静電極板３とが同極性になるようにする。これにより、静電極板３に正の電荷が帯電する。
【００３６】
ここで、スライダー１が記録媒体４に対して浮上する原理について、図２を用いて説明する。
【００３７】
スライダー１に設けられた静電極板３は、スライダー電源８から電圧を印加されることにより、正の電荷によって帯電する。一方、電界生成電源９によって電圧を印加されることにより、記録媒体４は正に帯電すると共に、対向静電極板６は負に帯電する。よって、記録媒体４と対向静電極板６の間の空間に、記録媒体４から対向静電極板６へ向かう電界が発生する。これにより、静電極板３は、この発生した電界から矢印Ｆで示すような力を受ける。具体的には、静電極板３は正に帯電しているため、対向静電極板６の方に引き寄せられる。言い換えると、静電極板３に帯電する電荷は、記録媒体４に帯電している正の電荷から斥力を受ける。以上により、スライダー１は、記録媒体４の記録面に対して浮上する。
【００３８】
このように、情報記録再生装置１００は、記録媒体４、対向静電極板６、及び静電極板３に電圧を印加しているため、対向静電極板６を具備せず、記録媒体４と静電極板３のみに電圧を印加する比較例に係る情報記録再生装置と比較して、記録媒体４の記録面上に電荷が帯電しやすくなる。この理由は、以下の通りである。なお、ここで比較例とは、例えば前述の特許文献１中の図１のような例を指す。
【００３９】
比較例に係る情報記録再生装置では、記録媒体に正電圧を印加しており、装置筐体は０電位である。一般に、電圧差を有している導電性部材があった場合、表面が互いに接近している部分に電荷が集中する。例えば、記録媒体４の回転軸を保持する軸受け又は軸受け固定部がそのような場所に相当し、この部分に、電荷が集中することが考えられる。その結果、記録媒体４の表面にはほとんど電荷が存在しないことになる。そのため、静電極板３は、浮上するのに十分な斥力を得ることができない。
【００４０】
一方、第１実施例に係る情報記録再生装置１００では、記録媒体４に対向する位置に対向静電極板６を設け、記録媒体４と対向静電極板６の両方に電圧を印加している。この場合、電荷は異極性の電荷がある部分に移動するため、記録媒体４と対向静電極板６に電荷が集中する。そのため、静電極板３は、浮上するのに十分な斥力を得ることができる。以上より、第１実施例に係る情報記録再生装置１００によれば、バネ１７による付勢力とのバランスにより回転気流によることなく、確実にスライダー１を浮上させることが可能となる。なお、記録媒体４と対向静電極板６の大きさは略同一であることが好ましく、そのように構成することにより、記録媒体４と対向静電極板６との間に形成される電界の向きと強度が均一になり、スライダー１の浮上状態が安定する。また、記録媒体４と対向静電極板６間の距離は、記録媒体４或いは対向静電極板６のさしわたしの１／５以下が好ましく、更に好ましくは１／１０以下である。これは、記録媒体４と対向静電極板６間に形成される電界の強度の均一性が高まり、例えば円盤状の媒体における内周と外周でのスライダー１の浮上状態の差異が低減されるからである。
【００４１】
また、スライダー１が記録媒体４の記録面から所定距離離れた位置に浮上するように、スライダー電源８及び電界生成電源９が印加する電圧が予め設定されている。更に、スライダー１の浮上量は、記録媒体４と対向静電極板６との間の電界の大きさと、静電極板３が保持する電荷との積と付勢力とのバランスになるため、印加電圧一定の条件下で浮上量を大きく設定する場合には、付勢力を小さくすることでも実現できるが、情報記録再生装置１００全体への外力に対する浮上量の安定化を考慮すると、記録媒体４と対向静電極板６との間隔が狭くなるように構成することが好ましい。
【００４２】
更に、第１実施例においては、電界生成電源９の印加電圧が固定値になるように構成することに限定はされず、電界生成電源９の印加電圧が変化するように構成してもよい。これにより、情報記録再生装置１００の姿勢などが変わってスライダー１にかかる重力の向きが変化しても、印加する電圧を変えることによってスライダー１の浮上量を一定に保つことができる。
【００４３】
次に、スライダー１の記録ヘッド部２の具体的な構成について、図３を用いて詳細に説明する。
【００４４】
図３は、図１（ｂ）中の切断線Ｂ１−Ｂ２に沿った記録ヘッド部２の断面図を示している。記録ヘッド部２は、磁気再生素子２０と、シールド部２１と、リターン磁極２２と、励磁コイル２３と、主磁極２４と、電子線源２５と、を有している。例えば、記録ヘッド部２は、ＧＭＲなどの磁気再生素子２０、シールド部２１、リターン磁極２２、励磁コイル２３、主磁極２４、電子線源２５の順で、シリコンウェハ上に薄膜プロセスで積層されて作成される。そして、記録ヘッド部２は、磁気再生素子２０が設けられた位置において、スライダー１のスライダー母材１１に固着される。
【００４５】
電子線源２５は、配線１３を介して電子線供給電源７から負の加速電圧が印加されることによって、記録媒体４の記録面に対して電子線を照射する。これにより、電子線が照射された記録媒体４の部分が加熱されて、この部分の磁化方向が反転し易くなる。
【００４６】
一方、励磁コイル２３は、配線１５を介して信号源１６から記録信号が供給されることにより、この記録信号に対応する磁界を発生する。そして、この励磁コイル２３で発生した磁界を主磁極２４とリターン磁極２２を通じて、電子線源で加熱された記録媒体４の部分を磁化反転することによって情報の記録を行う。具体的には、主磁極２４及びリターン磁極２２による磁界によって、電子線が照射された部分の磁化方向を所望の方向に変化させることで、記録すべき情報を記録媒体４に記録する。即ち、情報記録再生装置１００は、熱アシスト磁気記録を行う。
【００４７】
以上により、情報記録再生装置１００は、室温下では記録が難しいような、かなり保磁力の高い磁気記録媒体に対して記録を行うことができる。よって、情報記録再生装置１００によれば、記録媒体４に対して高密度記録を行うことできると共に、記録後の記録媒体４に発生し得る熱揺らぎを抑制することが可能となる。また、情報記録再生装置１００は、真空中で電子線の照射を行っているため、電子線源２５の酸化を防止して、安定した記録を行うことができる。
【００４８】
更に、磁気再生素子２０には、配線１４を介して電流が流されることにより、記録媒体４に記録された磁化変化に対応する出力信号が得られる。これにより、記録媒体４に記録された情報が再生される。
【００４９】
なお、記録ヘッド部２では、リターン磁極２２及び主磁極２４の磁極と、電子線源２５は、いずれも静電気との相互作用があるため、相互作用が生じないような距離を保持して配置されている。また、記録ヘッド部２に設けられたシールド部２１は、磁極間の磁気シールドであるとともに、このような相互作用を効果的に抑制するための静電シールドとして機能する。
【００５０】
ここで、スライダー１が、記録ヘッド部２が設けられた位置から離れるほど記録媒体４に対する距離が大きくなるように、記録媒体４の記録面に対して傾いて配置されている理由について説明する。図１（ａ）に示すように、スライダー１は、スライダー１の構成要素の中で、記録ヘッド部２が最も記録媒体４に近づくように傾いている。こうすることによって、電子線源２５から放射される電子線を小さい径のまま使用することができると共に、リターン磁極２２及び主磁極２４から出る磁界強度を強くすることができる。したがって、情報記録再生装置１００によれば、安定した高密度記録を行うことが可能となる。
【００５１】
［第２実施例］
次に、本発明の第２実施例について、図４を用いて説明する。
【００５２】
図４は、第２実施例に係る情報記録再生装置１０１の概略構成を示す図である。第２実施例に係る情報記録再生装置１０１は、第１実施例に係る情報記録再生装置１００とは、スライダー１が有する静電極板の構成が異なる。よって、上記した情報記録再生装置１００と同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００５３】
第２実施例に係る情報記録再生装置１０１では、静電極板３ｃが、予め正の電荷で帯電しているエレクトレット材料で構成される。例えば、エレクトレット材料としては、高分子材料を用いることができる。このようなエレクトレット材料を用いることにより、静電極板３ｃを帯電させるために電圧を印加する必要がない。したがって、前述したスライダー電源８や配線１２などが不要となるため、情報記録再生装置１０１は、構成を簡便にすることができる。
【００５４】
［第３実施例］
次に、本発明の第３実施例について、図５を用いて説明する。
【００５５】
図５は、第３実施例に係る情報記録再生装置１０２の概略構成を示す図である。第３実施例に係る情報記録再生装置１０２は、第１実施例に係る情報記録再生装置１００とは、主に、距離検出部３０と印加電圧制御部３１を有している点で異なる。よって、情報記録再生装置１００と同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００５６】
距離検出部３０は、スライダー１と記録媒体４との距離を検出する。例えば、距離検出部３０としては、スライダー１と記録媒体４間の静電容量を検知するギャップセンサなどを用いることができる。距離検出部３０が検出した距離に対応する信号Ｓは、印加電圧制御部３１に供給される。
【００５７】
印加電圧制御部３１は、距離検出部３０から供給される信号Ｓに基づいて、配線１９を介して静電極板３に電圧を印加する。詳しくは、印加電圧制御部３１は、スライダー１と記録媒体４との距離が予め求められた所定の距離となるように、静電極板３に印加する電圧を制御する。即ち、印加電圧制御部３１は、スライダー１と記録媒体４との距離をフィードバック制御する。
【００５８】
また、上記では、静電電極３に印加する電圧を制御する場合について説明したが、静電電極３に印加する電圧を制御する代わりに、電界発生機構（上記した電界生成電源９に対応する）の電圧を制御するものであってもよい。前述した第２実施例のように静電電極３をエレクトレット材料で構成した場合には、静電電極上の電荷を直接に制御することができないため、電界発生機構の電圧を制御することでスライダー１と記録媒体４との距離をフィードバック制御する方が好適である。
【００５９】
以上のように、第３実施例に係る情報記録再生装置１０２によれば、情報記録再生装置１０２の姿勢などに影響を受けることなく、スライダー１と記録媒体４との距離、即ちスライダーの浮上量を正確に維持することができる。そのため、情報記録再生装置１０２は、更に安定した高密度記録を行うことが可能となる。
【００６０】
［変形例］
本発明は、図１で示したように、静電極板３を矩形形状で構成することに限定はされない。例えば、矩形形状を有する静電極板３を有するスライダー１を用いる代わりに、図６に示すような静電極板３ａ、３ｂを有するスライダー１ａ、１ｂを用いることができる。図６も、図１（ａ）中の矢印Ａ方向からスライダー１を観察した図である。なお、スライダー１ａ、１ｂは、前述した情報記録再生装置１００、１０１、１０２のいずれかに、スライダー１の代わりに適用される。情報記録再生装置１０２に用いる場合には、静電極板３ａ、３ｂはエレクトレット材料で構成される。
【００６１】
図６（ａ）は、スライダー１ａの底面図を示しており、図６（ｂ）は、スライダー１ｂの底面図を示している。この場合、スライダー１ａ、１ｂは、スライダー１ａ、１ｂと支持体５との接続部分を中心にある程度回転可能なように構成されている。また、スライダー１ａに設けられた静電極板３ａは略三角形の形状で構成されており、スライダー１ｂに設けられた静電極板３ｂは略台形の形状で構成されている。即ち、これらの静電極板３ａ、３ｂは、電子線源２５が設けられた位置から離れるほど面積が広くなっていく形状を有している。これにより、記録ヘッド部２が設けられた位置に近づくにしたがって、帯電する電荷量が少なくなるため、記録媒体４に帯電した電荷から受ける斥力が小さくなる。
【００６２】
このように、静電極板３ａ、３ｂを適用し、且つ、スライダー１ａ、１ｂを支持体５に対して固定しないで、スライダー１ａ、１ｂが支持体５との接続部分を中心にある程度回転可能なように構成した場合、静電極板３ａ、３ｂは、記録ヘッド部２が設けられた位置に近づくにしたがって小さくなるような斥力を受けて、スライダー１ａ、１ｂは記録媒体４に対して傾く。即ち、スライダー１ａ、１ｂは、記録ヘッド部２が設けられた位置から離れるほど記録媒体４に対する距離が大きくなるように、記録媒体４に対して傾く。この場合、静電極板３ａ、３ｂなどに印加する電圧を固定すると、スライダー１ａ、１ｂが記録媒体４に対して傾く角度は一定になる。上記のようなスライダー１ａ、１ｂを用いることによっても、電子線源２５から放射される電子線を小さい径のまま使用することができると共に、リターン磁極２２及び主磁極２４から出る磁界強度を強くすることができる。
【００６３】
なお、上記では、記録媒体４に対して熱アシスト磁気記録方法によって情報の記録を行う例を示したが、本発明は、このような記録方法を行うことに限定されない。他の例では、情報記録再生装置は、相変化材料が塗布された記録媒体４に対して、電子線を照射して相変化を生じさせることによって情報を記録することができる。即ち、情報記録再生装置は、相変化記録を行うことができる。この場合には、情報記録再生装置の記録ヘッド部に、リターン磁極２２及び主磁極２４などの磁極を設ける必要はない。
【００６４】
更に他の例では、情報記録再生装置は、強誘電材料からなる記録媒体４に対して、電子線を照射して自発分極の方向を変えることによって情報を記録することができる。即ち、情報記録再生装置は、強誘電体記録を行うことができる。また、情報記録再生装置は、上記した相変化記録と強誘電体記録とを、記録媒体４の種類などに応じて切り替えて記録が行えるように構成してもよい。
【００６５】
また、本発明は、スライダー１の周辺に電界を発生させるために対向静電極板６を用いることに限定はされない。他の例では、対向静電極板６を用いる代わりに、情報記録再生装置内の他の記録媒体を対向静電極板として用いることができる。一般に、ハードディスク（ＨＤＤ）においては複数枚の記録媒体が所定の間隔で設置されることが多いため、記録対象となっている記録媒体に対向する位置にある、記録媒体を対向静電極板として用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の第１実施例に係る情報記録再生装置の概略構成を示す図である。
【図２】スライダーが記録媒体に対して浮上する原理を説明するための図である。
【図３】スライダーの記録ヘッド部の断面図を示す。
【図４】本発明の第２実施例に係る情報記録再生装置の概略構成を示す図である。
【図５】本発明の第３実施例に係る情報記録再生装置の概略構成を示す図である。
【図６】変形例に係るスライダーの底面図を示す。
【符号の説明】
【００６７】
１、１ａ、１ｂ  スライダー
２  記録ヘッド部
３、３ａ、３ｂ、３ｃ  静電極板
４  記録媒体
５  支持体
６  対向静電極板
７  電子線供給電源
８  スライダー電源
９  電界生成電源
１７  バネ
２２  リターン磁極
２３  励磁コイル
２４  主磁極
２５  電子線源
１００、１０１、１０２  情報記録再生装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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