(57)【要約】    【課題】  検査対象の基板処理室に製品用基板が投入されるのを防止すると共に、基板処理室の検査を所望のタイミングで行うことができる基板処理装置の検査方法を提供する。    【解決手段】  基板処理装置の制御部は、オペレータによる「ＱＣモード」の選択、又は、ホストによるプロセスユニットの検査の指示に応じて検査対象のプロセスユニットのモードを製品用ウエハＷの搬入を禁止するモードであるＱＣモードに移行し（ステップＳ３２）、ロードポート２４に接続されたキャリアに格納されたウエハがＱＣウエハである旨の連絡に応じて、対応するロードポート２４に接続されたＱＣキャリアから検査対象のプロセスユニットへのＱＣウエハの搬入を許可し（ステップＳ３４）、ＱＣジョブのスタートの指示に応じてＱＣキャリアから検査対象のプロセスユニットへのＱＣウエハの搬入を開始する（ステップＳ３６）。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法であって、
外部からの指示に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止ステップと、
前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可ステップとを有することを特徴とする基板処理装置の検査方法。
【請求項２】
外部からの指示に応じて前記検査用基板の搬入を開始する検査用基板搬入開始ステップを有することを特徴とする請求項１記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項３】
外部からの指示に応じて前記製品用基板の前記基板処理室への搬入禁止を解除する基板搬入禁止解除ステップを有することを特徴とする請求項１又は２記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項４】
前記基板処理装置は前記処理の開始を指示するためのボタンを表示する表示部を備え、前記表示部は、前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記基板処理室の検査の開始を指示するためのボタンを表示することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板処理装置の検査方法。
【請求項５】
製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法であって、
外部からの指示に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止ステップと、
前記投入口に接続された所定の容器に収容される検査用基板の搬送経路として、前記基板処理室を含む搬送経路が設定されたときに、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可ステップとを有することを特徴とする基板処理装置の検査方法。
【請求項６】
製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法であって、
前記処理が施された製品用基板を検査する基板検査ステップと、
前記製品用基板の検査の結果に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止ステップと、
前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可ステップとを有することを特徴とする基板処理装置の検査方法。
【請求項７】
製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法であって、
前記基板処理装置の管理項目を監視する管理項目監視ステップと、
前記管理項目の監視の結果に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止ステップと、
前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可ステップとを有することを特徴とする基板処理装置の検査方法。
【請求項８】
製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムであって、
外部からの指示に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止モジュールと、
前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可モジュールとを有することを特徴とする検査プログラム。
【請求項９】
製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムであって、
外部からの指示に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止モジュールと、
前記投入口に接続された所定の容器に収容される検査用基板の搬送経路として、前記基板処理室を含む搬送経路が設定されたときに、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可モジュールとを有することを特徴とする検査プログラム。
【請求項１０】
製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムであって、
前記処理が施された製品用基板を検査する基板検査モジュールと、
前記製品用基板の検査の結果に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止モジュールと、
前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可モジュールとを有することを特徴とする検査プログラム。
【請求項１１】
製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムであって、
前記基板処理装置の管理項目を監視する管理項目監視モジュールと、
前記管理項目の監視の結果に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止モジュールと、
前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可モジュールとを有することを特徴とする検査プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置の検査方法及び検査プログラムに関し、特に、搬送される基板によって検査を行う基板処理装置の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板に所定の処理を施す基板処理装置は、真空処理室としての複数のプロセスユニット（基板処理室）と、該プロセスユニットに接続され、且つ内部圧力が真空及び大気圧のいずれかに切り換わる搬送室としてのロードロックチャンバと、複数の基板を収容したキャリアボックスが載置されるキャリア載置台と、ロードロックチャンバ及びキャリア載置台の間に配置され、且つ内部圧力が大気圧に設定される搬送室としてのローダーユニットとを備える。
【０００３】
この基板処理装置では、基板がキャリアボックスからローダーユニット及びロードロックチャンバを経由してプロセスユニットへ搬送され、プロセスユニットにおいて基板にエッチング処理、例えば、エッチング処理等が施されるが、基板にパーティクルが付着し、又は基板のエッチングレートが所定の範囲から逸脱すると、基板から製造される半導体デバイスの歩留まりが悪化する。
【０００４】
パーティクルの付着量やエッチングレートは、基板処理装置、特にその構成要素であるプロセスユニットの状態に応じて変化するため、基板処理装置では、プロセスユニットの状態を定期的に検査する必要がある。
【０００５】
プロセスユニットの状態の定期的な検査方法としては、従来よりプロセスユニットの蓋を開けて内部を調査する方法が行われていたが、この方法は検査後にプロセスユニットの内部を真空に戻すために時間を要するため、検査を頻繁に行うことができなかった。
【０００６】
そこで、近年、基板処理装置において、製品用基板とは異なる検査用基板を搬送し且つ該検査用基板にエッチング処理を施して、検査用基板のパーティクルの付着量やエッチングレートを測定することにより、プロセスユニットの状態を検査する方法が開発された。この検査用基板を用いる方法によれば、プロセスユニットの蓋を開ける必要がないため、検査を頻繁に行うことができる。
【０００７】
検査用基板を用いる方法としては、オペレータが検査対象のプロセスユニットを指定し、検査用基板を収容したキャリアボックスをキャリア載置台に載置し、検査用基板を検査対象のプロセスユニットへ搬入して検査用基板に処理を施す方法や、予め装置に記憶された工程手順に応じて製品用基板が格納されたソーターに検査用基板を挿入し、該検査用基板を処理装置に搬入して検査用基板に処理を施す方法（例えば、特許文献１参照。）が知られている。
【特許文献１】特許第２７３０５３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、オペレータが検査対象のプロセスユニットを指定する方法では、オペレータのみが検査対象のプロセスユニットに投入する基板の種類を決定することができるため、オペレータが基板を投入しようとするプロセスユニットが検査対象であることを認識していないと、検査対象のプロセスユニットに誤って製品用基板が投入される虞があるという問題があった。
【０００９】
また、上述した予め装置に記憶された工程手順を活用する方法では、工程手順に応じて検査用基板がソーターに挿入され、さらに処理装置に搬入されるため、製品用基板の誤投入が発生する虞はないが、工程手順を予め準備する必要があり、プロセスユニットの状態の検査を所望のタイミングで行うことができないという問題がある。
【００１０】
本発明の目的は、検査対象の基板処理室に製品用基板が投入されるのを防止すると共に、基板処理室の検査を所望のタイミングで行うことができる基板処理装置の検査方法及び検査プログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項１記載の基板処理装置の検査方法は、製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法であって、外部からの指示に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止ステップと、前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可ステップとを有することを特徴とする。
【００１２】
請求項２記載の基板処理装置の検査方法は、請求項１記載の基板処理装置の検査方法において、外部からの指示に応じて前記検査用基板の搬入を開始する検査用基板搬入開始ステップを有することを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載の基板処理装置の検査方法は、請求項１又は２記載の基板処理装置の検査方法において、外部からの指示に応じて前記製品用基板の前記基板処理室への搬入禁止を解除する基板搬入禁止解除ステップを有することを特徴とする。
【００１４】
請求項４記載の基板処理装置の検査方法は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板処理装置の検査方法において、前記基板処理装置は前記処理の開始を指示するためのボタンを表示する表示部を備え、前記表示部は、前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記基板処理室の検査の開始を指示するためのボタンを表示することを特徴とする。
【００１５】
上記目的を達成するために、請求項５記載の基板処理装置の検査方法は、製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法であって、外部からの指示に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止ステップと、前記投入口に接続された所定の容器に収容される検査用基板の搬送経路として、前記基板処理室を含む搬送経路が設定されたときに、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可ステップとを有することを特徴とする。
【００１６】
上記目的を達成するために、請求項６記載の基板処理装置の検査方法は、製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法であって、前記処理が施された製品用基板を検査する基板検査ステップと、前記製品用基板の検査の結果に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止ステップと、前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可ステップとを有することを特徴とする基板処理装置の検査方法。
【００１７】
上記目的を達成するために、請求項７記載の基板処理装置の検査方法は、製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法であって、前記基板処理装置の管理項目を監視する管理項目監視ステップと、前記管理項目の監視の結果に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止ステップと、前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可ステップとを有することを特徴とする。
【００１８】
上記目的を達成するために、請求項８記載の検査プログラムは、製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムであって、外部からの指示に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止モジュールと、前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可モジュールとを有することを特徴とする。
【００１９】
上記目的を達成するために、請求項９記載の検査プログラムは、製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムであって、外部からの指示に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止モジュールと、前記投入口に接続された所定の容器に収容される検査用基板の搬送経路として、前記基板処理室を含む搬送経路が設定されたときに、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可モジュールとを有することを特徴とする。
【００２０】
上記目的を達成するために、請求項１０記載の検査プログラムは、製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムであって、前記処理が施された製品用基板を検査する基板検査モジュールと、前記製品用基板の検査の結果に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止モジュールと、前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可モジュールとを有することを特徴とする。
【００２１】
上記目的を達成するために、請求項１１記載の検査プログラムは、製品用基板に処理を施す基板処理室と、該基板処理室に接続され且つ前記製品用基板を搬送する基板搬送室とを備え、該基板搬送室は、前記製品用基板を収容した容器が接続され且つ該容器から前記製品用基板が投入される投入口を有する基板処理装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムであって、前記基板処理装置の管理項目を監視する管理項目監視モジュールと、前記管理項目の監視の結果に応じて前記基板処理室への前記製品用基板の搬入を禁止する基板搬入禁止モジュールと、前記投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、前記所定の容器から前記基板処理室への前記検査用基板の搬入を許可する検査用基板搬入許可モジュールとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１記載の基板処理装置の検査方法及び請求項８記載の検査プログラムによれば、外部からの指示に応じて基板処理室への製品用基板の搬入が禁止され、投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、所定の容器から基板処理室への検査用基板の搬入が許可される。したがって、検査対象の基板処理室に製品用基板が投入されるのを防止すると共に、上記連絡を所望のタイミングで行うことにより、基板処理室の検査を所望のタイミングで行うことができる。
【００２３】
請求項２記載の基板処理装置の検査方法によれば、外部からの指示に応じて検査用基板の搬入が開始されるので、検査対象の基板処理室に製品用基板が投入されるのを確実に防止することができる。
【００２４】
請求項３記載の基板処理装置の検査方法によれば、外部からの指示に応じて基板の基板処理室への搬入禁止が解除されるので、基板処理装置の検査後、円滑に製品用基板の処理を再開することができる。
【００２５】
請求項４記載の基板処理装置の検査方法によれば、基板処理装置は処理の開始を指示するためのボタンを表示する表示部を備え、表示部は、投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、基板処理室の検査の開始を指示するためのボタンを表示するので、オペレータは、検査用基板を投入しようとする基板処理室が検査対象の基板処理室であることを容易に認識できると共に、製品用基板の処理の開始時と同じ操作で基板処置室の検査を開始することができる。これにより、オペレータの負担を軽減することができる。
【００２６】
請求項５記載の基板処理装置の検査方法及び請求項９記載の検査プログラムによれば、外部からの指示に応じて基板処理室への製品用基板の搬入が禁止され、投入口に接続された所定の容器に収容された検査用基板の搬送経路として、基板処理室を含む搬送経路が設定されたときに、所定の容器から基板処理室への検査用基板の搬入が許可される。したがって、検査対象の基板処理室に製品用基板が投入されるのを防止すると共に、上記設定を所望のタイミングで行うことにより、基板処理室の検査を所望のタイミングで行うことができる。
【００２７】
請求項６記載の基板処理装置の検査方法及び請求項１０記載の検査プログラムによれば、処理が施された製品用基板が検査され、該製品用基板の検査の結果に応じて基板処理室への製品用基板の搬入が禁止され、投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、所定の容器から基板処理室への検査用基板の搬入が許可される。したがって、検査対象の基板処理室に製品用基板が投入されるのを防止すると共に、オペレータが基板処理室の検査を行う時期を設定する必要を無くすことができ、オペレータの負担を軽減することができる。
【００２８】
請求項７記載の基板処理装置の検査方法及び請求項１１記載の検査プログラムによれば、基板処理装置の管理項目が監視され、管理項目の監視の結果に応じて基板処理室への基板の搬入が禁止され、投入口に接続された所定の容器が検査用基板を収容することを示す連絡に応じて、所定の容器から基板処理室への検査用基板の搬入が許可される。したがって、検査対象の基板処理室に製品用基板が投入されるのを防止すると共に、オペレータが基板処理室の検査を行う時期を設定する必要を無くすことができ、オペレータの負担を軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３０】
まず、本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置の検査方法について説明する。
【００３１】
図１は、本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法が適用される基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【００３２】
図１において、エッチング処理装置としての基板処理装置１０は、半導体デバイス用のウエハ（以下、「製品用ウエハ」という。）Ｗに処理を施す２つのプロセスシップ１４と、キャリアボックス２３がそれぞれ載置される３つのキャリア載置台１５と、製品用ウエハＷの位置をプリアライメントするオリエンタ１６と、矩形状の共通搬送室としてのローダーユニット１８とを備える。
【００３３】
プロセスシップ１４は、製品用ウエハＷにエッチング処理を施す真空処理室としてのプロセスユニット１１と、該プロセスユニット１１に製品用ウエハＷを受け渡しするリンク型シングルピックタイプの搬送アーム１２を内蔵するロード・ロック室１３とを有し、製品用ウエハＷに１枚ずつエッチング処理を施す。
【００３４】
基板処理装置１０では、２つのプロセスシップ１４、３つのキャリア載置台１５及びオリエンタ１６がローダーユニット１８に着脱可能に接続されるが、プロセスシップ１４は、ローダーユニット１８を挟んでキャリア載置台１５と対向するように配置され、オリエンタ１６は、ローダーユニット１８の長手方向に関する一端に配置される。
【００３５】
ローダーユニット１８は、内部に配置された製品用ウエハＷを搬送するスカラ型デュアルアームタイプの搬送アーム機構１９と、各キャリア載置台１５に対応するように側壁に配置された製品用ウエハＷの投入口としての３つのロードポート２４とを有する。
【００３６】
キャリアボックス２３は２５枚の製品用ウエハＷを格納する容器であり、キャリアボックス２３がキャリア載置台１５に載置されたとき、搬送アーム機構１９は、キャリアボックス２３内の製品用ウエハＷをロードポート２４を経由して取り出す。また、搬送アーム機構１９は、取り出した製品用ウエハＷをプロセスシップ１４やオリエンタ１６に搬入する。
【００３７】
プロセスユニット１１は、円筒状の処理室容器（チャンバ）を有し、該チャンバは上部電極及び下部電極を有し、該上部電極及び下部電極の間の距離は製品用ウエハＷにエッチング処理を施すための適切な間隔に設定されている。また、下部電極は製品用ウエハＷをクーロン力等によってチャックするＥＳＣをその頂部に有する。
【００３８】
プロセスユニット１１では、チャンバ内部に処理ガスを導入し、上部電極及び下部電極間に電界を発生させることによって導入された処理ガスを活性化してプラズマを発生させ、該プラズマによって製品用ウエハＷにエッチング処理を施す。
【００３９】
ローダーユニット１８の内部圧力は大気圧に維持される一方、プロセスユニット１１の内部圧力は真空に維持される。そのため、ロード・ロック室１３は、プロセスユニット１１との連結部に真空ゲートバルブを備えると共に、ローダーユニット１８との連結部に大気ゲートバルブを備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成される。
【００４０】
ロード・ロック室１３の内部には、略中央部に搬送アーム１２が設置され、該搬送アーム１２よりプロセスユニット１１側に第１のバッファ２０が設置され、搬送アーム１２よりローダーユニット１８側には第２のバッファ２１が設置される。第１のバッファ２０及び第２のバッファ２１は、搬送アーム１２の先端部に配置された製品用ウエハＷを支持する支持部（ピック）１２ａが移動する軌道上に配置される。
【００４１】
また、基板処理装置１０は、各構成要素の動作を制御する制御部（図示しない）を備え、さらに、ローダーユニット１８の長手方向に関する一端に配置されたオペレーションコントローラ２２を備える。
【００４２】
制御部は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等からなるデバイスであり、ＨＤＤからＲＡＭに展開された制御プログラムに応じてＣＰＵが各構成要素に制御信号を送信することにより、各構成要素の動作を制御する。オペレーションコントローラ２２は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）からなる表示部を有し、該表示部は各構成要素の動作状況を表示する。
【００４３】
図２は、図１におけるオペレーションコントローラの表示部に表示される画面を示す図である。
【００４４】
図２において、オペレーションコントローラ２２の表示部２５は、模式的に現された基板処理装置１０のモデルを表示する。また、表示部２５はタッチパネル機能を有し、表示されたモデルの各構成要素に対応する部分がオペレータによって触れられると、当該部分に対応するサブウィンドウ、例えば、ポップアップウィンドウ２６，２７が表示される。サブウィンドウは、対応する構成要素の動作状況を表示すると共に、当該構成要素の操作に関するメニューを表示する。オペレータは、表示されたメニューから所望の操作方法を選択することによって、構成要素を操作することができる。例えば、ロードポート２４に対応するポップアップウィンドウ２７は、該ロードポート２４に接続されたキャリアボックス２３の製品用ウエハＷの処理内容（プロセスレシピ）のリストを表示し、オペレータは所望のプロセスレシピを選択することによって、製品用ウエハＷに所望の処理を施すことができる。
【００４５】
基板処理装置１０では、製品用ウエハＷにエッチング処理を施す場合、搬送アーム機構１９が１枚の製品用ウエハＷをキャリアボックス２３から取り出してオリエンタ１６に搬入し、オリエンタ１６は製品用ウエハＷの位置をプリアライメントし、搬送アーム機構１９がさらにオリエンタ１６からロード・ロック室１３内に製品用ウエハＷを搬入する。
【００４６】
次いで、搬送アーム１２は、ロード・ロック室１３に搬入された製品用ウエハＷを受け取ってプロセスユニット１１に搬入し、プロセスユニット１１は、搬入された製品用ウエハＷにエッチング処理を施し、搬送アーム１２が、エッチング処理が施された製品用ウエハＷをロード・ロック室１３に搬出して搬送アーム機構１９に受け渡す。エッチング処理が施された製品用ウエハＷを受け渡された搬送アーム機構１９は、製品用ウエハＷをキャリアボックス２３に搬入する。
【００４７】
先に述べたように、基板処理装置ではプロセスユニットの状態を検査する必要があるが、近年、半導体デバイスの多品種化に伴い、製品用ウエハＷに施す処理の種類も増加している。そのため、プロセスユニットの状態の検査も頻繁に行われるようになり、プロセスユニットの状態の検査をオペレータが所望のタイミングで行うことに対する要求が高まっている。
【００４８】
本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法は、これに対応してＱＣ（Quality Control）チェック機能と称する検査用機能を実現する。ＱＣチェック機能とは、検査対象のプロセスユニットへの製品用ウエハＷの搬入を禁止すると共に、検査用のウエハ（以下、「ＱＣウエハ」という。）を検査対象のプロセスユニットへ搬入する機能である。検査対象のプロセスユニットに搬入されたＱＣウエハには検査用の処理が施され、該検査用の処理が施されたＱＣウエハの状態、例えば、パーティクルの付着量やエッチングレートを測定することによって当該プロセスユニットの状態が検査される。
【００４９】
このＱＣチェック機能は以下に説明する４つの機能、すなわち、「ＱＣモード設定機能」、「ＱＣキャリア取り扱い機能」、「ＱＣジョブスタート機能」及び「ＱＣモード解除機能」からなる。これらの機能は、制御部がＲＡＭに展開された検査プログラムに応じて各構成要素の動作を制御することによって実現される。
【００５０】
ＱＣモード設定機能は、オペレータや基板処理装置１０に接続されたホストコンピュータ（以下、単に「ホスト」という。）からのプロセスユニットの検査の指示に応じて、オペレータ又はホストが指定するプロセスユニットへの製品用ウエハＷの搬入を禁止する機能である。
【００５１】
ＱＣキャリア取り扱い機能は、オペレータやホストからロードポート２４に接続されたキャリアボックス２３がＱＣウエハを格納するという内容の連絡に応じて、制御部が、当該ロードポート２４に接続されたキャリアボックス２３はＱＣウエハを格納するキャリアボックス（以下、「ＱＣキャリア」という。）であることを認識し、当該ロードポート２４に接続されたＱＣキャリアから検査対象のプロセスユニットへのＱＣウエハの搬入を許可する機能である。
【００５２】
ＱＣジョブスタート機能は、オペレータやホストからの検査開始の指示に応じて、制御部が、ＱＣキャリアから検査対象のプロセスユニットへのＱＣウエハの搬入を開始する機能である。
【００５３】
ＱＣモード解除機能は、オペレータやホストからの指示に応じて、制御部が検査対象のプロセスユニットへの製品用ウエハＷの搬入禁止を解除する機能である。
【００５４】
以下、これらの機能をフローチャートを使用して具体的に説明する。
【００５５】
図３は、本実施の形態におけるＱＣチェック機能を実現するために実行されるＱＣチェック処理のフローチャートである。
【００５６】
図３において、まず、オペレータが、所望のタイミング、例えば、プロセスユニットから異音が発生したとき等に、オペレータが、検査を所望するプロセスユニットに対応するポップアップウィンドウ２６において表示されたメニューから「ＱＣモード」を選択し、又は、ホストが制御部にプロセスユニットの検査を指示し（ステップＳ３１）、制御部は、オペレータによる「ＱＣモード」の選択、又は、ホストの指示に応じて検査対象のプロセスユニットのモードを製品用ウエハＷの搬入を禁止するモードであるＱＣモードに移行させる（ステップＳ３２）（基板搬入禁止ステップ）。
【００５７】
基板処理装置１０において、キャリアボックス２３は収容した全ての製品用ウエハＷの処理が終了するまでロードポート２４から離脱させることができない。もし、オペレータによって「ＱＣモード」の選択が行われたときやホストによる指示が行われたときに、制御部が直ちに検査対象のプロセスユニットのモードをＱＣモードに移行させると、製品用ウエハＷを収容するキャリアボックス２３をロードポート２４から離脱させることができなくなる虞がある。
【００５８】
これに対して、本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法では、当該プロセスユニットにおいて製品用ウエハＷに処理を施しているときには、該処理が施されている製品用ウエハＷが収容されていたキャリアボックス２３（以下、「処理中キャリアボックス」という。）に収容されている全ての製品用ウエハＷの処理が終了するまで、制御部は検査対象のプロセスユニットのモードをＱＣモードに移行させない。これにより、処理中キャリアボックスに収容されている全ての製品用ウエハＷの処理を行うことができ、検査対象のプロセスユニットの状態の検査を行う際に、処理中キャリアボックスをロードポート２４から離脱させることができる。
【００５９】
次いで、オペレータが、ＱＣキャリアを接続したロードポート２４に対応するポップアップウィンドウ２７において「ＱＣ」を選択し（特殊ポート宣言）、又は、ホストが制御部にどのロードポート２４にＱＣキャリアを接続したかを連絡することによってロードポート２４に接続されたキャリアに格納されたウエハの用途変更、すなわち、ロードポート２４に接続されたキャリアに格納されたウエハがＱＣウエハである旨を連絡し（ステップＳ３３）、制御部は、ウエハの用途変更の連絡に応じて、対応するロードポート２４に接続されたＱＣキャリアから検査対象のプロセスユニットへのＱＣウエハの搬入を許可する（ステップＳ３４）（検査用基板搬入許可ステップ）。したがって、検査対象のプロセスユニットがＱＣモードに移行した後であっても、ＱＣウエハの搬入が可能となる。
【００６０】
なお、ホストは、どのロードポート２４にＱＣキャリアを接続したかを連絡するのではなく、どのロードポート２４にＱＣキャリアを接続するのかを連絡してもよい、すなわち、ＱＣキャリアのロードポート２４への接続前に連絡を行ってもよい。
【００６１】
また、ステップＳ３３において、ＱＣキャリアを接続したロードポート２４に対応するポップアップウィンドウ２７において「ＱＣ」が選択されたときには、制御部が「ＱＣスタート」のボタン（図示しない）を当該ポップアップウィンドウ２７に表示する。
【００６２】
さらに、オペレータが、ＱＣキャリアを接続したロードポート２４に対応するポップアップウィンドウ２７において表示されたプロセスレシピのリストから検査用のレシピ、例えば、検査対象のプロセスユニットを搬送経路に含むレシピを選択し、或いは、表示された「ＱＣスタート」のボタンを押下し、又は、ホストが制御部に検査開始を指示することによって検査用レシピに応じたＱＣジョブのスタートを指示し（ステップＳ３５）、制御部が、ＱＣジョブのスタートの指示に応じて、ＱＣジョブに従いＱＣキャリアから検査対象のプロセスユニットへのＱＣウエハの搬入を開始し（ステップＳ３６）（検査用基板搬入開始ステップ）、搬入されたＱＣウエハに検査用の処理を施す。
【００６３】
そして、検査用の処理が施されたＱＣウエハの状態、例えば、パーティクルの付着量やエッチングレートを測定することによって当該プロセスユニットの状態が検査され、検査の結果に応じて、当該プロセスユニットにおいて継続して製品用ウエハＷを搬入してエッチング処理を施すか、当該プロセスユニットをメンテナンスするかが判断される。
【００６４】
次いで、プロセスユニットの状態の検査が終了した後、オペレータが、検査対象のプロセスユニットに対応するポップアップウィンドウ２６において、表示されたメニューから「通常モード」を選択し、又は、ホストが制御部に検査対象のプロセスユニットのＱＣモード解除を指示し（ステップＳ３７）、制御部は、オペレータによる「通常モード」の選択、又は、ホストの解除指示に応じて検査対象のプロセスユニットのモードを、ＱＣモードから製品用ウエハＷの搬入を許可するモードである通常モードに移行させ（ステップＳ３８）（基板搬入禁止解除ステップ）、本処理を終了する。
【００６５】
本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法によれば、オペレータによる「ＱＣモード」の選択、又は、ホストによるプロセスユニットの検査の指示に応じて検査対象のプロセスユニットのモードが製品用ウエハＷの搬入を禁止するモードであるＱＣモードに移行され（ステップＳ３２）、ウエハの用途変更の連絡に応じて、ロードポート２４に接続されたＱＣキャリアから検査対象のプロセスユニットへのＱＣウエハの搬入が許可され（ステップＳ３４）、ＱＣジョブのスタートの指示に応じてＱＣキャリアから検査対象のプロセスユニットへのＱＣウエハの搬入が開始される（ステップＳ３６）。したがって、検査対象のプロセスユニットに製品用ウエハＷが投入されるのを防止すると共に、ウエハの用途変更の連絡を所望のタイミングで行うことにより、プロセスユニットの状態の検査を所望のタイミングで行うことができる。さらに、本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法では、検査用ウエハを用いるため、プロセスユニットの蓋を開ける必要がない。これらにより、オペレータはプロセスユニットの状態の検査を気軽に行うことができる。
【００６６】
また、オペレータによる「通常モード」の選択、又は、ホストの解除指示に応じて検査対象のプロセスユニットのモードはＱＣモードから製品用ウエハＷの搬入を許可するモードである通常モードに移行されるので（ステップＳ３８）、プロセスユニットの状態の検査後、円滑に製品用ウエハＷの処理を再開することができる。
【００６７】
上述した本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法では、ＱＣキャリアを接続したロードポート２４に対応するポップアップウィンドウ２７において「ＱＣ」が選択されたときには、「ＱＣスタート」のボタンがポップアップウィンドウ２７に表示され、該「ＱＣスタート」のボタンが押下されたときに、ＱＣジョブの開始が基板処理装置１０の制御部に指示されるので、オペレータは、ＱＣウエハを投入しようとするプロセスユニットが検査対象のプロセスユニットであることを容易に認識できると共に、製品用ウエハＷの処理の開始時と同じ操作でプロセスユニットの状態の検査を開始することができる。これにより、オペレータの負担を軽減することができる。
【００６８】
また、上述した本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法では、ウエハの用途変更の連絡に応じて検査対象のプロセスユニットへのＱＣウエハの搬入が許可される。すなわち、ウエハの用途変更の連絡をＱＣウエハの搬入許可の判断材料とするが、ＱＣウエハの搬入許可の判断材料はこれに限られない。例えば、判断材料としては、ロードポート２４に接続されたキャリアボックス２３に収容されるウエハの搬送経路の設定であってもよい。具体的には、ウエハの用途変更の連絡がされることなく、ロードポート２４に接続されたキャリアボックス２３に収容されるウエハの搬送経路として、検査対象のプロセスユニットを含む搬送経路が設定されたときに、制御部が、ロードポート２４に接続されたキャリアボックス２３はＱＣキャリアであると認識し、当該キャリアボックス２３からの搬入されるウエハはＱＣウエハであると認識し、当該キャリアボックス２３から検査対象のプロセスユニットへのウエハの搬入を許可してもよい。このときも、オペレータは、搬送経路の設定を所望のタイミングで行うことにより、プロセスユニットの状態の検査を所望のタイミングで行うことができる。
【００６９】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る基板処理装置の検査方法について説明する。
【００７０】
本実施の形態は、その構成や作用が上述した第１の実施の形態と基本的に同じであり、ＱＣモード設定機能が異なるのみである。したがって、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
【００７１】
本実施の形態におけるＱＣモード設定機能は、処理が施された製品用ウエハＷの検査結果に応じて、検査対象のプロセスユニットへの製品用ウエハＷの搬入を禁止する機能である。
【００７２】
図４は、本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法が適用される基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【００７３】
図４において、基板処理装置４０は、図１の基板処理装置１０と同様の構成を有し、ローダーユニット１８の長手方向に関する他端に配置されるウエハ測定器１７を備える点で基板処理装置１０と異なる。ウエハ測定器１７は、プロセスユニット１１においてエッチング処理が施された製品用ウエハＷのパーティクル付着量やエッチングレートを測定することによって製品用ウエハＷを検査する。
【００７４】
ホストは、ウエハ測定器１７による製品用ウエハＷの検査結果に応じて、プロセスユニット１１のモードをＱＣモードに移行させるか否かを判定する。
【００７５】
図５は、本実施の形態におけるＱＣモード機能を実現するために実行される製品用ウエハチェック処理のフローチャートである。
【００７６】
図５において、まず、製品用ウエハＷを格納するキャリアボックス２３をロードポート２４に接続し、オペレータやホストの指示に応じて、制御部が製造ロットにおける製品用ウエハＷの処理を開始すると（ステップＳ５１）、ホストは、製品用ウエハＷの検査時期に該当するか否かを判別し（ステップＳ５２）、検査時期に該当しない場合には、ステップＳ５７に進み、検査時期に該当する場合には、キャリアボックス２３から１枚の製品用ウエハＷを測定用ウエハとしてプロセスユニット１１に搬入し（ステップＳ５３）、該搬入された測定用ウエハにエッチング処理を施す。
【００７７】
次いで、エッチング処理が施された測定用ウエハをウエハ測定器１７に搬入し、ウエハ測定器１７は該測定用ウエハのパーティクル付着量やエッチングレートを測定することによって測定用ウエハの検査を行い（ステップＳ５４）、検査結果をホストに連絡する。
【００７８】
ホストは、連絡された検査結果が予め設定された許容範囲内か否かを判別し（ステップＳ５５）、許容範囲内であれば、ステップＳ５７に進み、許容範囲内でなければ、プロセスユニット１１の状態を検査する必要があると判断し、制御部にプロセスユニットの検査を指示する（ステップＳ５６）。
【００７９】
続く、ステップＳ５７において、ホストは、製造ロットにおける全ての製品用ウエハＷの処理が終了したか否かを判別し、全ての製品用ウエハＷの処理が終了していなければ、ステップＳ５２に戻り、全ての製品用ウエハＷの処理が終了していれば、本処理を終了する。
【００８０】
また、本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法では、図５の処理の終了後、図３の処理におけるステップＳ３２〜Ｓ３８が実行される。
【００８１】
本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法によれば、エッチング処理が施された測定用ウエハが検査され、該測定用ウエハの検査の結果に応じて検査対象のプロセスユニットへの製品用ウエハＷの搬入が禁止され、ロードポート２４に接続されたＱＣキャリアがＱＣウエハを収容することを示す連絡に応じて、ＱＣキャリアから検査対象のプロセスユニットへのＱＣウエハの搬入が許可される。したがって、検査対象のプロセスユニットに製品用ウエハＷが投入されるのを防止すると共に、オペレータがプロセスユニットの検査を行う時期を設定する必要を無くすことができ、オペレータの負担を軽減することができる。
【００８２】
また、ＱＣチェック処理におけるＱＣウエハの状態の測定をウエハ測定器１７で行うことにより、プロセスユニットのメンテナンスが必要か否かを迅速に判定することができる。
【００８３】
本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法では、ウエハ測定器１７が測定用ウエハのパーティクル付着量やエッチングレートを測定したが、ウエハ測定器１７が測定する項目はこれに限られず、例えば、測定用ウエハ表面に形成された膜の厚み等であってもよい。
【００８４】
次に、本発明の第３の実施の形態に係る基板処理装置の検査方法について説明する。
【００８５】
本実施の形態も、その構成や作用が上述した第１の実施の形態と基本的に同じであり、ＱＣモード設定機能が異なるのみである。したがって、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
【００８６】
本実施の形態におけるＱＣモード設定機能は、基板処理装置の管理項目の監視結果に応じて、検査対象のプロセスユニットへの製品用ウエハＷの搬入を禁止する機能である。
【００８７】
本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法は、上述した図１の基板処理装置１０及び図４の基板処理装置４０のいずれに適用してもよいが、ホストは、基板処理装置の管理項目、例えば、エッチング処理の回数等の監視を行い、該管理項目の監視結果に応じて、プロセスユニット１１のモードをＱＣモードに移行させるか否かを判定する。
【００８８】
図６は、本実施の形態におけるＱＣモード機能を実現するために実行される管理項目監視処理のフローチャートである。
【００８９】
図６において、まず、製品用ウエハＷを格納するキャリアボックス２３をロードポート２４に接続し、オペレータやホストの指示に応じて、制御部が製造ロットにおける製品用ウエハＷの処理を開始すると（ステップＳ６１）、ホストは、基板処理装置の管理項目、例えば、エッチング処理の回数の監視を開始し、管理項目値が限界値に到達したか否か、例えば、エッチング処理回数が許容回数を超えたか否かを判別し（ステップＳ６２）、管理項目値が限界値に到達していない場合には、ステップＳ６４に進み、管理項目値が限界値に到達している場合には、プロセスユニット１１の状態を検査する必要があると判断し、制御部にプロセスユニットの検査を指示する（ステップＳ６３）。
【００９０】
続く、ステップＳ６４において、ホストは、製造ロットにおける全ての製品用ウエハＷの処理が終了したか否かを判別し、全ての製品用ウエハＷの処理が終了していなければ、ステップＳ６２に戻り、全ての製品用ウエハＷの処理が終了していれば、本処理を終了する。
【００９１】
また、本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法でも、図６の処理の終了後、図３の処理におけるステップＳ３２〜Ｓ３８が実行される。
【００９２】
本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法によれば、基板処理装置の管理項目が監視され、基板処理装置の管理項目の監視結果に応じて検査対象のプロセスユニットへの製品用ウエハＷの搬入が禁止され、ロードポート２４に接続されたＱＣキャリアがＱＣウエハを収容することを示す連絡に応じて、ＱＣキャリアから検査対象のプロセスユニットへのＱＣウエハの搬入が許可される。したがって、検査対象のプロセスユニットに製品用ウエハＷが投入されるのを防止すると共に、オペレータがプロセスユニットの検査を行う時期を設定する必要を無くすことができ、オペレータの負担を軽減することができる。
【００９３】
本実施の形態に係る基板処理装置の検査方法において、ホストは基板処理装置の管理項目としてエッチング処理の回数を監視したが、ホストが監視する項目はこれに限られず、例えば、プロセスユニット１１における放電時間やプロセスユニット１１の稼働時間、処理ガスの使用量等であってもよい。
【００９４】
上述した各実施の形態に係る基板処理装置の検査方法では、プロセスユニットの状態の検査を行ったが、ＱＣウエハをロード・ロック室１３やローダーユニット１８内のみにおいて搬送させ、ＱＣウエハのパーティクル付着量を測定することにより、ロード・ロック室１３及びローダーユニット１８からなる搬送系の状態の検査を行ってもよい。
【００９５】
また、各実施の形態に係る基板処理装置の検査方法では、ＱＣモードへの移行の指示が行われた場合、処理中キャリアボックスに収容されている全ての製品用ウエハＷの処理が終了するまで、制御部は検査対象のプロセスユニットのモードをＱＣモードに移行させないが、これとは異なり、制御部が検査対象のプロセスユニットのモードを直ちにＱＣモードに移行させてもよい。このとき、制御部は、検査対象のプロセスユニットにおける製品用ウエハＷの処理を強制的に終了してもよい。
【００９６】
上述した第２及び第３の実施の形態に係る基板処理装置の検査方法では、ホストが製品用ウエハＷの検査結果や基板処理装置の管理項目の監視結果に応じて、プロセスユニット１１のモードをＱＣモードに移行させるか否かを判定したが、基板処理装置の制御部が製品用ウエハＷの検査結果や基板処理装置の管理項目の監視結果に応じて、プロセスユニット１１のモードをＱＣモードに移行させるか否かを判定してもよい。
【００９７】
上述した各実施の形態に係る基板処理装置の検査方法が適用される基板処理装置は、エッチング処理装置であったが、該基板処理装置の検査方法が適用される基板処理装置はこれに限られず、例えば、塗布現像装置、基板洗浄装置、熱処理装置、蝕刻装置、成膜装置等であってもよい。
【００９８】
また、各実施の形態に係る基板処理装置の検査方法が適用される基板処理装置は、図１や図４に示すようなプロセスシップ１４を２つ備え、各プロセスシップ１４が互いに平行に配置されるパラレルタイプの基板処理装置に限られず、図７に示すように、製品用ウエハＷを搬送するフロッグレッグタイプの移載アームを有する搬送室のまわりに複数のプロセスユニットが略放射状に配置されたクラスタタイプの基板処理装置（図７（Ａ））や２つのスカラタイプの搬送アームからなるダブルアームタイプの移載アームを有する搬送室と、搬送室を囲むようにに配置された複数のプロセスユニットとを有する基板処理装置（図７（Ｂ））等であってもよい。なお、図７（Ａ）や図７（Ｂ）に示す基板処理装置は、図１や図４の基板処理装置と同様に、キャリア載置台１５、オリエンタ１６、ローダーユニット１８及びオペレーションコントローラ２２を備えることは言うまでもない。
【００９９】
さらに、上述した各実施の形態では、処理される基板が半導体ウエハであったが、処理される基板はこれに限られず、例えば、ＬＣＤやＦＰＤ（Flat Panel Display）等のガラス基板であってもよい。
【０１００】
本発明の目的は、上述した各実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録した記憶媒体を、制御部やホストに供給し、制御部又はホストのＣＰＵが記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行することによっても達成される。
【０１０１】
この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述した各実施の形態の機能を実現することになり、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
【０１０２】
また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、ＲＡＭ、ＮＶ−ＲＡＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ（ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ）、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、他のＲＯＭ等の上記プログラムコードを記憶できるものであればよい。或いは、上記プログラムコードは、インターネット、商用ネットワーク、若しくはローカルエリアネットワーク等に接続される不図示の他のコンピュータやデータベース等からダウンロードすることにより供給されてもよい。
【０１０３】
また、ＣＰＵが読み出したプログラムコードを実行することにより、上記実施の形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、ＣＰＵ上で稼動しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって上述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【０１０４】
更に、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、制御部又はホストに挿入された機能拡張ボードや制御部又はホストに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって上述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【０１０５】
上記プログラムコードの形態は、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラムコード、ＯＳに供給されるスクリプトデータ等の形態から成ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置の検査方法が適用される基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１におけるオペレーションコントローラの表示部に表示される画面を示す図である。
【図３】本実施の形態におけるＱＣチェック機能を実現するために実行されるＱＣチェック処理のフローチャートである。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る基板処理装置の検査方法が適用される基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図５】本実施の形態におけるＱＣモード機能を実現するために実行される製品用ウエハチェック処理のフローチャートである。
【図６】本発明の第３の実施の形態におけるＱＣモード機能を実現するために実行される管理項目監視処理のフローチャートである。
【図７】本発明の第１乃至３の実施の形態に係る基板処理装置の検査方法が適用される基板処理装置の概略構成を示す平面図であり、図７（Ａ）はクラスタタイプの基板処理装置を示す図であり、図７（Ｂ）はダブルアームタイプの移載アームを有する基板処理装置を示す図である。
【符号の説明】
【０１０７】
Ｗ  製品用ウエハ
１０，４０  基板処理装置
１１  プロセスユニット
１２  搬送アーム
１２ａ  支持部
１３  ロード・ロック室
１４  プロセスシップ
１５  キャリア載置台
１６  オリエンタ
１７  ウエハ測定器
１８  ローダーユニット
１９  搬送アーム機構
２０  第１のバッファ
２１  第２のバッファ
２２  オペレーションコントローラ
２３  キャリアボックス
２４  ロードポート
２５  表示部
２６，２７  ポップアップウィンドウ
【図１】
2006179528.tif 000003
【図２】
2006179528.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006179528.tif 000009