(57)【要約】【課題】フラットディスプレイパネルの塗布膜の表面形状を短時間かつ低コストで検査する。【解決手段】点光源２０と、点光源２０から発せられた光の光路に設けられたハーフミラー２１と、ハーフミラー２１を経由した光を平行光２３に変換して塗布膜１４に照射するとともに塗布膜１４からの反射光２４を集光するように配置されたフレネルレンズ２２と、フレネルレンズ２２により集光されハーフミラー２１により点光源２０とは別の光路に導かれた反射光２４、２４ａ、２４ｂを結像させるための結像レンズ２５と、結像レンズ２５により結像された光学像を観察するＣＣＤカメラ２６とを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
点光源と、前記点光源から発せられた光の光路に設けられたハーフミラーと、前記ハーフミラーを経由した前記光を平行光に変換して被検査物体表面に照射するとともに前記被検査物体表面からの反射光を集光するように配置されたフレネルレンズと、前記フレネルレンズにより集光され前記ハーフミラーにより前記点光源とは別の光路に導かれた前記反射光を結像させるための結像レンズと、前記結像レンズにより結像された光学像を観察する観察手段とを有する表面検査装置。
【請求項２】
フレネルレンズのレンズ凹凸形成面と反対側の面に、前記フレネルレンズより高い剛性を有する透明な補強平板を貼付したことを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
【請求項３】
被検査物体表面は基板上に形成された溶剤成分を含む塗布膜表面であり、フレネルレンズと前記塗布膜との間に、前記塗布膜に含有される溶剤に対して耐溶解膨潤の材質を有する透明な溶剤隔離平板を配したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の表面検査装置。
【請求項４】
溶剤隔離平板がガラス材であることを特徴とする請求項３に記載の表面検査装置。
【請求項５】
溶剤隔離平板の少なくとも片方の面に反射防止コーティングを施したことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の表面検査装置。
【請求項６】
フレネルレンズと、溶剤隔離平板との間隙に、空気またはガスを充填または送風することを特徴とする請求項３から５のいずれかに記載の表面検査装置。
【請求項７】
点光源から発せられた光を、ハーフミラーを経由してフレネルレンズによって平行光に変換して被検査物体表面に照射し、前記被検査物体表面からの反射光を前記フレネルレンズにて集光して前記ハーフミラーにより前記点光源とは別の光路に導き、前記反射光を結像レンズにより結像させて前記被検査物体表面を観察することを特徴とする表面検査方法。
【請求項８】
基板上に膜材料を塗布して塗布膜を形成した後、前記塗布膜を乾燥するまでの間に、反射光を結像して被検査物体表面として前記塗布膜表面を観察することを特徴とする請求項７に記載の表面検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面検査装置と表面検査方法に関し、特に基板上に形成されたフラットディスプレイパネル塗布膜の検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ装置ややプラズマディスプレイ装置などに用いるフラットディスプレイパネルでは、基板上に形成された塗布膜がパネルを構成する要素部材として各種の目的で使用されている。このような塗布膜の多くには、表面の平坦性、局所的な凹凸のないこと、膜厚が均一であることなどが要求される。
【０００３】
例えば、プラズマディスプレイパネルは、前面基板および背面基板の両ガラス基板を対向配置して放電空間を形成し、両ガラス基板の周囲を封着材で封着し、放電空間に放電ガスを封入することにより構成されている。前面基板上には誘電体層で覆われた複数の電極が形成され、背面基板上には複数の電極および隔壁が形成されるとともに隣接する隔壁間の溝に赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層が形成されている。このプラズマディスプレイパネルでは、前面基板上に形成された誘電体層や背面基板上に形成された隔壁は、いずれも高い厚み精度や表面の平坦性を要求されることが開示されている（例えば、特許文献１など）。
【０００４】
通常、基板上に形成された塗布膜の塗布状態は、それぞれの基板で微妙に異なる場合があり、塗布膜の性状を検査するときは全数の基板について基板全面の状態を検査できることが求められる。このような検査には、段差計または光学干渉式膜厚測定装置を用いた検査方法がある。この検査方法では、点あるいは微少エリアでの測定評価を積み重ねて基板全面を評価する。
【０００５】
また上記のような、点あるいは微少エリアで検査する検査方式以外に、ある面積について一括して面の反射光を解析して反射光の明暗から塗布膜表面の凹凸を検出する検査方式が開示されている（例えば、特許文献２など）。一般に魔鏡と呼ばれる方式がそれである。この方式では、高い平行度を持つ平行光を被評価膜面に照射すると、膜面の凹凸が反射光の方向を変えるために光束密度分布が生じて明暗の差として検出されるという原理が利用されている。この魔鏡方式は非常に検出感度が高く極微小な凹凸も明暗として検出でき、現在主として半導体分野のシリコンウェファの表面解析に適用されている。この方式は、検出の性能は高いが、非常に高い平行度を持つ平行光を生成するために高い精度の光学レンズが必要とされる。
【特許文献１】特開２０００−１６４１４５号公報
【特許文献２】特公昭６３−０１９００１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、段差計または光学干渉式膜厚測定装置を用いた検査方法では、点あるいは微少エリアでの測定評価を積み重ねて基板全面を評価することになるため、膜厚分布傾向の評価はできるが、局所的な膜厚ムラまで検出しようとすると測定ポイント数を非常に多くとらねばならないことになり、非現実的な検査タクトとなってしまう。例えば、１ｍ×１ｍの大きさの検査対象領域において１０ｍｍφの窪みを見つけるためには、少なくても検査対象領域を１００×１００の１００００ポイント（あるいは領域）に分割して各ポイント（あるいは各領域）について測定を行い、その測定値の比較分析で局所的な膜厚ムラの有無を判定することになる。各ポイントでの測定時間と測定ポイント間の移動時間を合わせて５秒と仮定すると５００００秒（約１４時間）の検査時間となってしまうものである。したがって、このような検査方法では、検査対象である塗布膜の全面について膜厚の異常な部分、あるいは表面の凹凸部分を現実的な検査時間で検出することは非常に困難である。
【０００７】
また魔鏡方式を用いた検査方法では、平行光を生成するための光学レンズは、評価対象膜面サイズと同等以上のサイズが必要である。この方式で大面積検査用の検査装置を実現しようとすると高精度に加工した大径の光学レンズが必要になり設備価格が極端に高額になってしまう。このため、魔鏡方式の検査装置は比較的面積が小さく面積当たりの付加価値の高い半導体ウェファの用途などにしか適用されておらず、大画面のフラットディスプレイパネル基板に適用できるような大面積検査用の検査装置は実現されていない。現在、実用化されている魔鏡検査装置としては、一括評価可能範囲が３００ｍｍφ程度のものが最大である。この検査装置で、一括評価可能範囲を越える大きな面積を検査するには、被測定範囲を分割して評価し、これを積み重ねて基板全面を評価する必要があり、検査タクトは遅くなるという課題があった。例えば、１ｍ×１ｍの大きさの検査対象領域において３００ｍｍφ視野の評価可能エリアとすると、方形基板での検査では最大でも一度に評価できる面積は２００ｍｍ×２００ｍｍ視野が限度であり、５×５＝２５視野に分割して各視野について解析する必要がある。仮に、各視野毎の移動と解析に１０秒かかるとすると１枚当たりの検査時間は２５０秒＋各視野間解析時間が必要とされ、さらなる時間短縮が求められていた。また、この装置では高精度加工した光学レンズを使用するため設備価格が非常に高いものになってしまうという課題も有している。
【０００８】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、フラットディスプレイパネルの塗布膜の表面形状を短時間で、かつ低コストに検査できるようにする表面検査方法と表面検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述したような課題を解決するために、本発明の表面検査装置は、点光源と、点光源から発せられた光の光路に設けられたハーフミラーと、ハーフミラーを経由した光を平行光に変換して被検査物体表面に照射するとともに被検査物体表面からの反射光を集光するように配置されたフレネルレンズと、フレネルレンズにより集光されハーフミラーにより点光源とは別の光路に導かれた反射光を結像させるための結像レンズと、結像レンズにより結像された光学像を観察する観察手段とを有している。
【００１０】
このような構成によれば、フラットディスプレイパネルのような大面積基板の塗布膜などの表面形状を短時間かつ低コストで検査することができる。
【００１１】
さらに、フレネルレンズのレンズ凹凸形成面と反対側の面に、フレネルレンズより高い剛性を有する透明な補強平板を貼付することが望ましい。このような構成によれば、大口径にしてもフレネルレンズのたわみ変形が少なくなり、高精度な平行光を生成することができ、正確な表面検査を行うことができる。
【００１２】
さらに、被検査物体表面は基板上に形成された溶剤成分を含む塗布膜表面であり、フレネルレンズと塗布膜との間に、塗布膜に含有される溶剤に対して耐溶解膨潤の材質を有する透明な溶剤隔離平板を配することが望ましい。このような構成によれば、塗布膜から発生する溶剤成分によりフレネルレンズが変質、変形することを防ぐことができる。
【００１３】
さらに、溶剤隔離平板をガラス材で構成してもよい。ガラス材は光学的に透明でかつ化学的な安定性も高く透明平板に最も適している。
【００１４】
さらに、溶剤隔離平板の少なくとも片方の面に反射防止コーティングを施してもよい。このような構成によれば、溶剤隔離平板の表面での反射光が低減され観察手段で観察される反射光の明暗コントラストが改善される。
【００１５】
さらに、フレネルレンズと溶剤隔離平板との間隙に、空気またはガスを充填または送風してもよい。このような構成によれば、塗布膜から発生する溶剤蒸気にフレネルレンズが触れることをより確実に防止することができる。
【００１６】
また、本発明の表面検査方法は、点光源から発せられた光を、ハーフミラーを経由してフレネルレンズによって平行光に変換して被検査物体表面に照射し、被検査物体表面からの反射光をフレネルレンズにて集光してハーフミラーにより点光源とは別の光路に導き、反射光を結像レンズにより結像させて被検査物体表面を観察するものである。
【００１７】
このような方法によれば、フラットディスプレイパネルのような大面積基板の塗布膜などの表面形状を短時間かつ低コストで検査することができる。
【００１８】
さらに、基板上に膜材料を塗布して塗布膜を形成した後、塗布膜を乾燥するまでの間に、反射光を結像して被検査物体表面として塗布膜表面を観察してもよい。このような方法によれば、塗布膜からの乱反射光が少ないので高いコントラストの観察画像を得ることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、フラットディスプレイパネルのような大面積基板の塗布膜などの表面形状を短時間かつ低コストで検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態による表面検査装置および表面検査方法について、フラットディスプレイパネルであるプラズマディスプレイパネルの塗布膜表面を被検査物体表面として検査する場合について図面を用いて説明する。
【００２１】
図１は、プラズマディスプレイパネルの構造を示す断面斜視図である。プラズマディスプレイパネルは、放電空間を形成するように対向して配置されたガラス製の前面基板１と背面基板２とを備えている。前面基板１上には２つの表示電極３、４から構成された表示電極対が複数配列されており、表示電極３、４を覆うように誘電体層５が形成され、誘電体層５上に酸化マグネシウムからなる保護層６が形成されている。背面基板２上には表示電極３、４と直交する方向に複数のアドレス電極７が形成され、アドレス電極７を覆うように誘電体層８が形成されている。誘電体層８上にはアドレス電極７の間に位置するように隔壁９が形成され、誘電体層８の表面および隔壁９の側面には蛍光体層１０が形成されている。放電空間には、例えばネオンとキセノンの混合ガスからなる放電ガスが４００〜６００Ｔｏｒｒの圧力で封入されている。表示電極対を構成する表示電極３および表示電極４の間で表示放電を起こさせたときに発生する紫外線によって、蛍光体層１０を発光させてカラー画像を表示している。ここに示した誘電体層５、保護層６、誘電体層８などは、基板に塗布材料を塗布した後、これを乾燥、焼成して形成した塗布膜である。これら塗布膜は、表面の平坦性、局所的な凹凸のないこと、膜厚が均一であることなどが要求される。本発明の表面検査装置および表面検査方法は、これら塗布膜を検査するのに用いられる。
【００２２】
（第１の実施の形態）
図２は本発明の第１の実施の形態における表面検査装置の概略を示す図であり、基板１３上に形成された塗布膜１４を検査するときの状態を示している。
【００２３】
点光源２０は、図示していないがピンホール板にハロゲンランプを照射する構成となっている。この場合はピンホールの位置が点光源の位置となる。点光源２０から発せられた光は、その光路上に設けられたハーフミラー２１により折り曲げられ、平行光生成用のフレネルレンズ２２によって平行光２３に変換され、塗布膜１４に照射される。塗布膜１４からの反射光２４は再びフレネルレンズ２２によって集光され、ハーフミラー２１を直進して結像レンズ２５によって観察手段であるＣＣＤカメラ２６に結像される。
【００２４】
ここで塗布膜１４に凹部１４ａがある場合、平行光２３は凹部１４ａで反射されると光路２４ａを通る収束光になり、収束面２７に収束する。同様に塗布膜１４に凸部１４ｂがある場合、平行光２３は凸部１４ｂで反射されると疑似収束面２８から発せられたような光路２４ｂを通る拡散光となる。このような反射光２４、２４ａ、２４ｂを、ＣＣＤカメラ２６で撮像し光束分布密度を解析する。
【００２５】
図３は、反射光２４をＣＣＤカメラ２６で撮像したときの撮像画像を模式的に表した図である。収束面２７を結像レンズ２５によってＣＣＤカメラ２６上に結像すると、凹部１４ａの位置では反射光２４ａが収束して光束密度が高く明るくなり、凸部１４ｂの位置では反射光２４ｂが拡散し光束密度が低く暗くなるので、図３（ａ）に示すような撮像画像となる。すなわち図３（ａ）において、破線３０ａで囲まれたＡ領域では周囲の領域に比べて明るくかつＡ領域の中心へ行くほど明るくなる画像が得られ、破線３０ｂで囲まれたＢ領域では周囲の領域に比べて暗くかつＢ領域の中心へ行くほど暗くなる画像が得られる。
【００２６】
また、疑似収束面２８を結像レンズ２５によってＣＣＤカメラ２６上に結像すると、凸部１４ｂの位置では反射光２４ｂが疑似収束し光束密度が高く明るくなり、凹部１４ａの位置では反射光２４ａが拡散して光束密度が低く暗くなるので、図３（ｂ）に示すような撮像画像となる。すなわち図３（ｂ）において、破線３１ａで囲まれたＡ領域では周囲の領域に比べて暗くかつＡ領域の中心へ行くほど暗くなる画像が得られ、破線３１ｂで囲まれたＢ領域では周囲の領域に比べて明るくかつＢ領域の中心へ行くほど明るくなる画像が得られる。
【００２７】
結像位置を変えるには、結像レンズ２５やＣＣＤカメラ２６の位置を光軸方向に適宜ずらせばよい。このように任意の位置の光束分布をＣＣＤカメラ２６に結像し、得られる画像の明暗状況を解析することによって塗布膜１４の表面形状を検査でき、特に検査の難しい局所的な表面の凹凸形状を検査できる。
【００２８】
比較例として、従来の半導体ウェファなどの検査に用いられる表面検査装置の例を図９に示す。半導体ウェファのような精密な凹凸を検出する必要のある検査には、高い平行度の平行光が必要とされるため、通常、平行光生成用のレンズ９０に高精度に研磨した球面レンズが使用されている。この平行光生成用のレンズ９０は検査範囲全面をカバーできる大きさが必要であり大口径のレンズが必要になる。この高精度研磨した大口径球面レンズを作成するのは非常に難しく設備コストが高くなる原因となっており、現在は３００ｍｍφサイズの検査用装置しか実用化されていない。
【００２９】
これに対して、大型ディスプレイ用基板の塗布膜検査では半導体ウェファのような微細な凹凸を検出する必要はなく、おおよそ１０ｍｍφ以上の広い面積に及ぶ高低差の小さな凹凸を検出することが求められる。このような検査では、半導体ウェファの検査に求められるような高い精度のレンズでなくても比較的精度の低いレンズを用いた平行光で充分な検査を行うことができる。本発明は平行光生成用のレンズに、従来の球面レンズに代わりフレネルレンズを用いたものである。フレネルレンズを用いることにより従来実現の難しかった大口径の平行光生成用のレンズを得ることができ、大型フラットディスプレイパネル用基板の塗布膜検査を一度の工程で行い、検査時間を大幅に短縮することができる。フレネルレンズは、レンズとしての精度は比較的低いが本発明の用途であるフラットディスプレイパネル用基板の塗布膜検査用途には充分な精度を持っている上に、大口径のレンズを安価に実現することができ、検査装置の設備価格を低くすることができる。
【００３０】
検査装置を用い塗布膜を検査したときの検査タクトについて、図８を用いて説明する。図８の（ａ）は従来の魔鏡検査装置を用いた場合の被検査面分割検査の状況を示す。従来の検査装置の１視野検査可能エリア８０は最大でも３００ｍｍφである。この場合、検査分割エリア８１は２００ｍｍ×２００ｍｍであるので、１ｍ×１ｍの基板１３は２５視野に分割して検査する必要がある。図８の（ｂ）は本発明の検査装置を用いた場合の一例を示している。フレネルレンズは樹脂成形で作成できるため１ｍ×１ｍの四角面全面にフレネルレンズを適用できる。この場合は、１視野検査可能エリア８２は基板１３と同一であり、塗布膜検査の工程は１回ですませられる。このように、本発明の装置を適用した場合、従来の装置を適用したときの１／２５以下の検査エリア数ですむことになり、検査時間を大幅に短縮できる。
【００３１】
また、魔鏡検査装置では検査装置の価格に占める大径高精度研磨レンズの価格の割合が非常に高いものであることはよく知られたことである。フレネルレンズは樹脂成形で作成できるため１枚当たりの価格を安くでき、これを適用する検査装置全体の価格も安くできる。このように、本発明の装置を用いることにより、価格の安い検査装置を用いて短時間で塗布膜の局部表面ムラを検査できるようになり、低コストの検査を実現できる。
【００３２】
また、表面粗さの粗い塗布膜１４の表面に平行光２３を当てた場合、その表面からの反射光２４は乱反射成分が多くなり、平行光として返ってくる反射光成分は少なくなる。図４は、表面粗さの粗い表面を有する塗布膜１４に平行光２３が入射したときの反射光２４の進行方向を模式的に示した図である。図４に示すように、乱反射光成分２４ｃが多く発生するため正反射する反射光２４はかなり弱くなってしまう。同様に、凹部１４ａで正反射する反射光２４ａ、および、凸部１４ｂで正反射する反射光２４ｂも弱くなり乱反射光成分２４ｃが主体となってしまうため、観察用受光ＣＣＤカメラ２６で撮像した画像は充分なコントラストの得られない薄い濃淡画像となってしまう。したがって、本発明の表面検査方法は、塗布形成した膜表面の反射光全量に対する正反射光の割合が高く維持されている状態の間に検査するのが望ましい。基板１３上に塗布膜１４を塗布した直後では正反射の割合が高く維持されているが、塗布膜１３を乾燥することにより正反射の割合が下がり、その後の工程で塗布膜１３を焼成することにより正反射の割合はさらに低下してしまう。したがって、反射光を観察して表面粗さを検査する工程は、塗布膜１４を基板１３に塗布して形成した後、塗布膜１４を乾燥するまでの間に行うことが最も望ましい。
【００３３】
（第２の実施の形態）
図５は本発明の第２の実施の形態における表面検査装置の概略を示す図である。図５において図２と同じ構成要素については同じ符号を用い説明を省略する。本発明による検査装置を用いて塗布膜を検査するのに最も望ましい方法は、塗布膜を乾燥する前に検査する方法である。この方法によれば反射光の正反射率の割合が最も高く精度の高い検査を行うことができる。この場合には、乾燥前の塗布膜が偏り偏肉することを避けるため検査する基板を水平においた状態で検査する必要がある。このとき、平行光生成用のフレネルレンズ２２が薄く大サイズであるとレンズのたわみが生じて、正常な平行光生成ができず、塗布膜検査が正常にできなくなってしまう場合がある。
【００３４】
図５に示す例では、平行光生成光学系に用いるフレネルレンズ２２の凹凸形成面と反対側の面に、光学的に高い透過率でかつフレネルレンズ２２より高い剛性を有する補強平板５０を貼付した一体構造としている。このことによりフレネルレンズのたわみ変形が少なくなり高精度な平行光生成ができるようになり正確な塗布膜検査ができるようになる。
【００３５】
（第３の実施の形態）
図６は本発明の第３の実施の形態における表面検査装置の概略を示す図である。図６において図５と同じ構成要素については同じ符号を用い説明を省略する。本発明の検査装置で、塗布膜を乾燥する前の正反射率の高い状態で塗布膜を検査する場合には、乾燥前の塗布膜から揮発する溶剤が検査用光学系に接することになる。溶剤としてはテルピネオールやＢＣＡ（ブチルカルビトールアセテート）が用いられる。フレネルレンズは通常、アクリル樹脂などを成型して製作するが、これら樹脂が溶剤蒸気に長期間さらされるとフレネルレンズ表面に曇りを生じたり変形を生じることがある。曇りや変形が生じると、均一な平行光を作り出せなくなり塗布膜面の検査性能に重大な障害を生じることになる。
【００３６】
本発明の第３の実施の形態では、図６に示すように塗布膜１４と平行光生成用光学系に用いられるフレネルレンズ２２との間に、光学的に高い透過率を有し、かつ、塗布膜１４に含有される溶剤に溶解膨潤されない材質の溶剤隔離平板６０を配した構成としている。これにより、被評価塗布膜から発生する溶剤成分からフレネルレンズ２２が隔離され、フレネルレンズ２２の溶剤成分による変質変形を防ぐことができる。溶剤隔離平板６０の材料の例としては、光学的に透明でかつ化学的な安定性も高い石英などがあるが、ガラス材がこれら特性を満たす上に入手も容易で価格的にも安く最も適している。
【００３７】
また一方で、塗布膜１４と平行光生成用光学系に用いられるフレネルレンズ２２との間に、溶剤隔離平板６０を配した構成とする場合、溶剤隔離平板６０と空気との界面で界面反射が発生する。この界面反射光は、平行光の一部を溶剤隔離平板６０の表面で反射して観察光学系へと導くことになり被評価塗布膜面からの反射光の集光コントラストを悪くする要因となる。これを解決するために、塗布膜１４と平行光生成用光学系に用いられるフレネルレンズ２２との間に配した、溶剤隔離平板６０の少なくとも片方の面に反射防止コーティングを施すようにしている。この反射防止コーティングにより、溶剤隔離平板６０の表面での反射光が低減され観察光学系で観察される反射光の明暗コントラストが改善される。
【００３８】
（第４の実施の形態）
図７は本発明の第４の実施の形態における表面検査装置の概略を示す図である。図７において図６と同じ構成要素については同じ符号を用い説明を省略する。溶剤隔離平板６０で、塗布膜１４と平行光生成用光学系に用いられるフレネルレンズ２２との間にしきりを設けて隔離する場合に、隔離構造の隙間から少量の溶剤蒸気がフレネルレンズ側に漏れ込みフレネルレンズ材料にダメージを与えることが発生することがある。
【００３９】
第４の実施の形態では、溶剤蒸気の漏れ込みを防ぐために平行光生成用光学系に用いられるフレネルレンズ２２と溶剤隔離平板６０との間に、フレネルレンズ２２の樹脂を溶解または膨潤させる溶剤蒸気を含まない空気またはガスを充填または送風する構成となっている。フレネルレンズ２２と溶剤隔離平板６０の側面に側壁７０を設け空気またはガスを充填できる空間を設け、側壁７０の一方に空気またはガスを流し込める注入口７１を設け、側壁７０の他方にこれら空気またはガスを排出するための排出口７２を設けている。この構成で、注入口７１から溶剤蒸気を含まない空気またはガスを流入させるとフレネルレンズ２２と溶剤隔離平板６０との間の空間が周囲よりも少しだけ高い陽圧になり、余分な空気やガスは排出口７２から少しずつ流出して空間の圧力を一定に保つ。このとき、空間内は周囲に対して陽圧となるので周囲からのガス流入は起こらず、したがって塗布膜１４からの溶剤蒸気が空間内に侵入することはない。このような構成とすることにより、平行光生成用光学系に用いられるフレネルレンズ２２が、塗布後乾燥前の被評価塗布膜から発生する溶剤蒸気に触れることがなく溶剤によるダメージを受けることを防止できる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明による表面検査装置および表面検査方法は、フラットディスプレイパネルなど大面積の塗布膜における表面形状の局所的な凹凸異常を速いタクトでかつ低コストで検出する用途に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】プラズマディスプレイパネルの構造を示す断面斜視図
【図２】本発明の第１の実施の形態における表面検査装置の概略を示す図
【図３】ＣＣＤカメラによる撮像画像を模式的に表した図
【図４】表面粗さの粗い塗布膜に平行光を当てた場合の光の進行方向を模式的に示した図
【図５】本発明の第２の実施の形態における表面検査装置の概略を示す図
【図６】本発明の第３の実施の形態における表面検査装置の概略を示す図
【図７】本発明の第４の実施の形態における表面検査装置の概略を示す図
【図８】複数の領域に分割して検査する場合の分割方法を比較説明するための図
【図９】従来の表面検査装置の概略図
【符号の説明】
【００４２】
１    前面基板
２    背面基板
３，４    表示電極
５，８    誘電体層
６    保護層
７    アドレス電極
９    隔壁
１０    蛍光体層
１３    基板
１４    塗布膜
１４ａ    （塗布膜の）凹部
１４ｂ    （塗布膜の）凸部
２０    点光源
２１    ハーフミラー
２２    フレネルレンズ
２３    平行光
２４    （塗布膜の）反射光
２４ａ    （塗布膜の凹部での）反射光
２４ｂ    （塗布膜の凸部での）反射光
２４ｃ    （塗布膜の）乱反射光成分
２５    結像レンズ
２６    ＣＣＤカメラ
２７    収束面
２８    疑似収束面
３０ａ    収束面での凹部の撮像画像（破線）
３０ｂ    収束面での凸部の撮像画像（破線）
３１ａ    疑似収束面での凹部の撮像画像（破線）
３１ｂ    疑似収束面での凸部の撮像画像（破線）
５０    補強平板
６０    溶剤隔離平板
７０    側壁
７１    注入口
７２    排出口
８０，８２    １視野検査可能エリア
８１    検査分割エリア
９０    レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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