(57)【要約】【課題】電極構造を改善して放電効率及び発光効率を改善したプラズマディスプレイパネルに関する。【解決手段】互いに対向して配置される前面基板（２０）及び背面基板（１０）、前面基板（２０）と背面基板（１０）との間で複数の放電セル（１８）を画定する隔壁（１６）と、前面基板（２０）と背面基板（１０）との間で第１方向に延長され形成されるアドレス電極（１２）、各放電セル（１８）に対応しながら前記第１方向と交差する第２方向に延長され形成される第１電極（２１）及び第２電極（２３）と、放電セル（１８）内に形成される蛍光体層（１９）と、を備え、第１電極（２１）及び第２電極（２３）は、第２方向に延長して形成される金属電極と、前記金属電極から放電セル（１８）の中央部に向かって突出して形成される突出電極と、前記突出電極を囲むように形成されるフェンス電極と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向して配置される前面基板及び背面基板と、
前記前面基板と前記背面基板との間で複数の放電セルを画定する隔壁と、
前記前面基板と前記背面基板との間で、第１方向に延長して形成されるアドレス電極と、
各放電セルに対応しながら前記第１方向と交差する第２方向に延長して形成される第１電極と第２電極と、
前記放電セル内に形成される蛍光体層と、を備え、
前記第１電極及び第２電極は、
前記第２方向に延長して形成される金属電極と、
前記金属電極から前記放電セルの中央部に向かって突出して形成される突出電極と、
前記突出電極を囲むように形成されるフェンス電極と、
を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記フェンス電極は、前記金属電極から延長して形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記フェンス電極は、
前記第２方向に沿って隣接する一の前記突出電極と他の前記突出電極との間に位置し、前記金属電極から前記第１方向に延長して形成される第１ライン部と、
前記第１ライン部を連結しながら前記第２方向に延長して形成される第２ライン部と、
を備えることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記第１ライン部は、前記第２方向に沿って隣接する一の前記放電セルと他の前記放電セルとの間の境界部に形成されることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記第１電極が備えるフェンス電極の第２ライン部と前記第２電極が備えるフェンス電極の第２ライン部とは、放電セルの中央部で互いに対向して配置されることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記第１電極が備えるフェンス電極の第２ライン部と前記第２電極が備えるフェンス電極の第２ライン部との間隔は、前記第１電極が備える突出電極と前記第２電極が備える突出電極との間隔より短く形成されることを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記隔壁は、前記第１方向に延長されて形成される縦隔壁を備え、
前記フェンス電極の第１ライン部は前記縦隔壁の上部に沿って形成されることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記隔壁は、前記第１方向に延長して形成される縦隔壁と前記第２方向に延長して形成される横隔壁とを備え、
前記金属電極は、前記横隔壁に隣接するように配置されることを特徴する請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
前記フェンス電極は、前記突出電極から離隔して配置されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記突出電極及び前記フェンス電極は透明な導電性物質で形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１１】
前記突出電極及び前記フェンス電極は不透明な金属で形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１２】
前記突出電極の第２方向の幅は、前記金属電極の第１方向の幅と実質的に同一に形成されることを特徴とする請求項１１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１３】
前記突出電極は不透明な金属で形成され、前記フェンス電極は透明な導電性物質で形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１４】
前記突出電極は、
前記金属電極から放電セルの中央部に向かって突出して形成される第１突出部と、
前記第１突出部を囲むように形成される第２突出部と、
を備えることを特徴とする請求項１３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１５】
前記第２突出部は、前記第１突出部と前記フェンス電極との間に配置されることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１６】
前記第２突出部は、前記第１突出部及び前記フェンス電極のそれぞれから所定距離離隔して配置されることを特徴とする請求項１５に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１７】
前記金属電極に隣接した部分における前記突出電極の第２方向の幅は、前記放電セルの中央部に隣接した部分における前記突出電極の幅より短く形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１８】
前記突出電極には凹部が形成され、前記凹部は前記金属電極と隣接した部分に位置することを特徴とする請求項１７に記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルに係り、特に、電極の構造を改善して放電効率及び発光効率を向上させたプラズマディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、‘ＰＤＰ’という）は、通常、気体の放電により形成されたプラズマから放射される紫外線が蛍光体層を励起させることによって発生される可視光を利用して映像を実現するディスプレイ素子である。このようなＰＤＰは、高解像度の大画面構成が可能であるので、次世代の平板表示装置として脚光を浴びている。
【０００３】
ＰＤＰの一般的な構造は、３電極面放電型構造である。具体的には、一対の電極が前面基板上に形成されて面対向を成し、この前面基板と対向して配置される背面基板にはアドレス電極が形成されている。そして、一対の電極とアドレス電極とが交差する地点に複数の放電セルが形成されている。この複数の放電セルは、前面基板と背面基板との間に形成された隔壁によって画定される。この放電セルの内部には蛍光体層が形成され、放電ガスが注入される。
【０００４】
このように構成されるＰＤＰの内部には、数百万個以上の単位放電セルがマトリックス（Ｍａｔｒｉｘ）形態に配列されている。マトリックス形態に配列された放電セルを同時に駆動するためには記憶特性が利用される。
【０００５】
より詳しく説明すれば、壁電荷の記憶特性を利用して点灯しようとする放電セルが選択され、この選択した放電セルに対して維持放電が行われる。
【０００６】
つまり、放電セルを選択する場合、前面基板上に配置された電極のうち、走査電極にスキャンパルス電圧が印加され、アドレス電極に所定の電圧が印加される。そして、アドレス電極と走査電極との間に弱い放電が発生して放電セル内に壁電荷が蓄積される。これによって点灯される放電セルが選択され、前面基板上に配置された一対の電極に放電開始電圧が印加され、選択された放電セル内で維持放電が起こるようになる。
【０００７】
このように駆動するＰＤＰは、入力電力から画像を表示する可視光線を得るまでにいろいろな段階を経る。したがって、各々の段階でのエネルギー変換効率が悪く、発光効率（消費電力に対する輝度の比）が非常に低いという問題点がある。
【０００８】
また、前面基板上に配置される一対の電極は、各々放電セルの上部に形成される透明電極と、この透明電極による電圧降下を防止する金属電極とを備える。この時、透明電極は高い抵抗値、すなわち、低い導電性を有しているため、このような従来の電極構造は高い放電電流が要求される。これによって消費電力が増加し、発光輝度も低下するという問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、前記問題点を解決するために成されたものであり、電極構造を改善して放電効率及び発光効率を改善したプラズマディスプレイパネルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、互いに対向して配置される前面基板及び背面基板と、前記前面基板と前記背面基板との間で複数の放電セルを画定する隔壁と、前記前面基板と前記背面基板との間で、第１方向に延長して形成されるアドレス電極と、各放電セルに対応しながら前記第１方向と交差する第２方向に延長して形成される第１電極と第２電極と、前記放電セル内に形成される蛍光体層と、を備え、前記第１電極及び第２電極は、前記第２方向に延長して形成される金属電極と、前記金属電極から前記放電セルの中央部に向かって突出して形成される突出電極と、前記突出電極を囲むように形成されるフェンス電極と、を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【００１１】
また、前記第１ライン部は、第２方向に沿って隣接する一の前記放電セルと他の前記放電電極との間の境界部に対応するように形成される。
【００１２】
また、前記第１電極が備えるフェンス電極の第２ライン部と前記第２電極が備えるフェンス電極の第２ライン部は、放電セルの中央部に互いに対向して配置される。この場合、前記第１電極が備えるフェンス電極の第２ライン部と前記第２電極が備えるフェンス電極の第２ライン部との間の間隔は、前記第１電極が備える突出電極と前記第２電極備える突出電極との間の間隔より短く形成される。
【００１３】
また、前記隔壁は、前記第１方向に延長されて形成される縦隔壁と、前記第２方向に延びて形成される横隔壁とを備える。この場合、前記第１ライン部は前記縦隔壁の上部に沿って形成され、前記金属電極は前記横隔壁に隣接するように配置される。
【００１４】
また、前記フェンス電極は、前記突出電極から離隔して配置される。
【００１５】
前記突出電極及び前記フェンス電極は、透明な導電性物質で形成される。
【００１６】
また、前記突出電極及び前記フェンス電極は、不透明な金属で形成される。この場合、前記突出電極の第２方向の幅は、前記金属電極の第１方向の幅と実質的に同一に形成される。
【００１７】
また、前記突出電極は不透明な金属で形成され、前記フェンス電極は透明な導電性物質で形成される。この場合、前記突出電極は、前記金属電極から放電セルの中央部に向かって突出して形成される第１突出部と、前記第１突出部を囲むように形成される第２突出部と、を備える。
【００１８】
また、前記第２突出部は、前記第１突出部と前記フェンス電極との間に配置される。
【００１９】
また、前記第２突出部は、前記第１突出部及び前記フェンス電極のそれぞれから所定距離離隔して配置される。
【００２０】
また、前記突出電極に凹部が形成され、前記凹部は前記金属電極と隣接した部分に位置する。この場合、前記金属電極に隣接した部分における前記突出電極の第２方向の幅は、前記放電セルの中央部に隣接した部分における前記突出電極の幅より短く形成される。
【００２１】
また、前記凹部は前記金属電極と隣接した部分に位置する。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように構成された本発明に係るプラズマディスプレイパネルによれば、プラズマディスプレイパネルが備える表示電極に、突出電極及び前記突出電極を囲むフェンス電極を備えるように構成しているので、放電効率及び発光効率を向上させることができる。
【００２３】
また、本発明に係るプラズマディスプレイパネルによれば、プラズマディスプレイパネルが備える表示電極において、導電性の低い透明電極の面積を部分的に減らすことができるので、開口率及び透過率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、添付した図面を参照して、本発明のプラズマディスプレイパネルに係る実施形態について詳細に説明する。
【００２５】
図１は、本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの部分分解斜視図である。
【００２６】
図１を参照すれば、本実施形態に係るＰＤＰは、所定の間隔をおいて互いに対向して配置される背面基板１０及び前面基板２０を備える。そして、背面基板１０と前面基板２０との間には、隔壁１６により画定される放電セル１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）が備えられる。そして、放電セル１８内には、真空紫外線によって励起して可視光を放出する蛍光体層１９が形成される。この蛍光体層１９は、隔壁の側面及びその底面に沿って形成され、プラズマ放電を起こすことができるように、放電セル１８内に放電ガス（例えば、ゼノン（Ｘｅ）、ネオン（Ｎｅ）などを含む混合ガス）が充填される。
【００２７】
前面基板２０は、可視光線が透過して画像が表示されるようにガラスのような透明な材料で形成されることが好ましい。
【００２８】
前面基板２０と対向する背面基板１０上には、アドレス電極１２が第１方向（図面のｙ軸方向）に延長して形成される。これらアドレス電極１２は、互いに離隔して各放電セル１８に対応する形態に配列され、誘電体層１４によって覆われて埋設された構造からなる。そして、この誘電体層１４上には、隔壁１６が所定のパターンで形成されている。
【００２９】
隔壁１６は、放電が行われる放電空間である放電セル１８を画定して、互いに隣接した放電セル１８間のクロストーク（ｃｒｏｓｓ  ｔａｌｋ）を防止する。この隔壁１６は、縦隔壁１６ａ及び横隔壁１６ｂを備える。縦隔壁１６ａは、第１方向（図面のｙ軸方向）に沿って延長され、アドレス電極１２を挟むようにして互いに離隔して配置される。横隔壁１６ｂは、縦隔壁１６ａと同一平面上で縦隔壁１６ａと交差する第２方向（図面のｘ軸方向）に延長して形成される。そして、縦隔壁１６ａと横隔壁１６ｂによって閉鎖型構造の放電セル１８が形成される。
【００３０】
隔壁構造は、閉鎖型構造に限定されず、アドレス電極１２と平行方向に隔壁１６が形成されるような帯状隔壁構造のように、多様な他の形状の隔壁構造を有することも可能である。
【００３１】
そして、放電セル１８内には蛍光体層１９が形成される。この蛍光体層１９は、放電時に発生した紫外線によって励起して、可視光が発散される。この蛍光体層１９は、隔壁１６の側面と隔壁１６によって画定された底面とに形成される。この蛍光体層１９は色表現のために、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）蛍光体の中でいずれか一つの蛍光体として選択して形成することができる。したがって、赤、緑、青色の蛍光体層１８Ｒ、１８Ｇ、または１８Ｂに区分することができる。前記のように蛍光体層１９が配置された放電セル１８内部には、ネオン（Ｎｅ）、ゼノン（Ｘｅ）などが混合された放電ガスが充填される。
【００３２】
そして、前面基板２０の背面基板１０に対向する面には、第１方向と交差する第２方向（図面のｘ軸方向）に沿って表示電極２５が各放電セル１８に対応しながら配置される。これら表示電極２５は、その機能上、第１電極２１（以下、‘維持電極’とする）と第２電極２３（以下、‘走査電極’とする）とに区分される。走査電極２３はアドレス電極１２と作用して、点灯される放電セル１８を選択し、維持電極２１は走査電極２３と作用して、選択した放電セル１８に対して維持放電を起こす。
【００３３】
このように、走査電極２３及び維持電極２１で構成される表示電極２５は、各々金属電極、突出電極、及びフェンス電極を備える。表示電極２５に関する詳細な説明は後述する。
【００３４】
この表示電極２５は、例えば、ＰｂＯ、Ｂ２Ｏ３、ＳｉＯ２などのような誘電体物質で形成された誘電体層２８によって埋設されるように形成される。この誘電体層２８は、放電時に荷電粒子が表示電極２５に直接衝突してこの表示電極２５を損傷させるのを防止し、荷電粒子を誘導する役割を果たす。
【００３５】
そして、この誘電体層２８上には、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などで形成された保護膜２９が形成される。保護膜２９は、放電時に荷電粒子が誘電体層２８に直接衝突して誘電体層２８を損傷させるのを防止する。また、保護膜２９は、荷電粒子の衝突時に２次電子を放出させて、放電効率を上げる役割を果たすこともできる。
【００３６】
図２は、図１に示したプラズマディスプレイパネルの部分平面図であり、図３は、図２のIII−III線に沿って切開した部分断面図であり、図４は、本発明の第１実施形態に係る走査電極を示す部分斜視図である。
【００３７】
図２から図４を参照して、本実施形態の放電セルの構造を説明する。
【００３８】
図２及び図３を参照すれば、複数の横隔壁１６ｂが第２方向（図面のｘ軸方向）を沿って形成されている。この横隔壁１６ｂは、背面基板１０の誘電体層１４上で全体に亘って形成され、隣接した横隔壁１６ｂとは互いに一定の距離を維持しながら形成される。
【００３９】
そして、この横隔壁１６ｂと交差する方向に縦隔壁１６ａが形成されて、格子状の放電セル１８が画定される。
【００４０】
このように形成される放電セル１８は、縦長さが、横長さより長い矩形形状に形成され、赤色、緑色、青色の放電セルが集まって一つの画素が構成される。ここで、画素は、画像を表わす基本単位を意味する。そして、前面基板２０の背面基板１０対向面には表示電極２５が形成される。表示電極２５は、第２方向（図面のｘ軸方向）に延長され、表示電極２５を構成する走査電極２３と維持電極２１が、放電セル内部の上、下で互いに対向して配置される。
【００４１】
本実施形態において、走査電極２３と維持電極２１は同一な形状で形成されるので、以下では、維持電極２１の代わりに走査電極２３を中心に説明する。
【００４２】
本実施形態において、走査電極２３は、金属電極２３１、突出電極２３３、及びフェンス電極２３５を備える。
【００４３】
金属電極２３１は第２方向に延長して形成される。具体的には、金属電極２３１は、放電セル１８の内部で横隔壁１６ｂに隣接して配置される。この時、金属電極２３１はストリップ（ｓｔｒｉｐ）の薄膜で形成される。このように構成される走査電極２３及び維持電極２１の金属電極２３１、２１１は、放電セルの両周縁部（図面のｙ軸方向）に亘って形成される。また、突出電極２３３、２１３及びフェンス電極２３５、２１５の導電性を補完するために、金属電極２３１、２１１は導電性の良い物質（例えば、銀、クロムなど）で製作される。突出電極２３３は、金属電極２３１から放電セルの中央部に向かって突出して形成される。この突出電極２３３は所定の面積を有するように形成されて、壁電荷が十分に蓄積することができる。また、突出電極２３３は、放電セル内部で実質的な主放電を起こす役割を果たす。一方、突出電極は、開口率確保のために透明材料であるＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）のような透明な導電性物質から形成され、金属電極２３１はこのような突出電極２３３の高い抵抗値を補償する。
【００４４】
そして、この突出電極２３３を囲むように、放電セル１８の内部にフェンス電極２３５がさらに形成される。このフェンス電極２３５は突出電極２３３と離隔配置され、透明な導電性物質から形成される。
【００４５】
具体的には、フェンス電極２３５は、第２方向に沿って相互に隣接する突出電極２３３間で金属電極２３１から第１方向に延長して形成される第１ライン部２３５ａと、第１ライン部２３５ａを連結しながら第２方向に延長して形成される第２ライン部２３５ｂとを備える。より具体的には、第１ライン部２１５ａ、２３５ａは、第２方向に隣接する放電セル１８間の境界部分に位置する。そして、走査電極２３の第２ライン部２３５ｂと維持電極２１の第２ライン部２１５ｂは、放電セルの中央部を挟むように互いに対向して配置されて、放電ギャップを形成する。
【００４６】
つまり、走査電極２３の第２ライン部２３５ｂと維持電極２１の第２ライン部２１５ｂとの間の間隔（Ｇ１）は、走査電極２３の突出電極２３３と維持電極２１の突出電極２１３との間の間隔（Ｇ２）よりさらに短く形成される。したがって、放電の初期には、第２ライン部２３５ｂ、２１５ｂの間で初期放電が開始され、この初期放電はプライミング効果により突出電極２３３、２１３の間のロングギャップ放電に転移して、放電セル全体を利用する面放電形態に拡散する。
【００４７】
第１ライン部２３５ａはストリップの薄膜で形成され、縦隔壁１６ａの上に沿って形成される。図８は、一般的なプラズマディスプレイパネルの単位放電セルで輝度の分布を説明するグラフである。図８を参照すれば、電極１０１間の放電ギャップに近い部分で、そして隔壁２０１に隣接した部分で輝度が良好であることを確認できる。したがって、第１ライン部２３５ａが縦隔壁１６ａの上に沿って形成されることによって輝度がさらに向上されることができ、開口率及び透過率がさらに向上されることができる。
【００４８】
図５は、本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイの走査電極を示す部分斜視図である。
【００４９】
図５を参照すれば、本実施形態による走査電極４３の突出電極４３３は不透明な金属で形成される。また、突出電極４３３を囲むように形成されるフェンス電極４３５も不透明な金属で形成される。このように、走査電極４３が不透明な金属で形成されることにより、消費電力が低減される。
【００５０】
そして、突出電極４３３の第２方向の幅は、金属電極４３１の第１方向の幅と実質的に同一に形成される。このような構成により、消費電力が低減されながらも開口率は落ちないという利点がある。
【００５１】
図６は、本発明の第３実施形態に係るプラズマディスプレイの走査電極を示す部分斜視図である。
【００５２】
図６を参照すれば、本実施形態による走査電極５３は、金属電極５３１と、不透明な金属で形成される突出電極５３３と、透明な導電性物質で形成されるフェンス電極５３５とを備える。そして、突出電極５３３は、第１突出部５３３ａ及び第２突出部５３３ｂを備える。第１突出部５３３ａは、金属電極５３１から放電セルの中央部に向かって突出して形成される。第２突出部５３３ｂは第１突出部５３３ａを囲むように形成され、第１突出部５３３ａとフェンス電極５３５との間に配置される。そして、第２突出部５３３ｂは、第１突出部５３３ａ及びフェンス電極５３５のそれぞれから所定距離離隔して配置される。
【００５３】
以上のような構成により、消費電力が低減され透過率が落ちないという利点がある。
【００５４】
図７は、本発明の第４実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの部分平面図である。
【００５５】
図７を参照すれば、本実施形態に係る表示電極６５の維持電極６１及び走査電極６３には凹部（Ｓ）が形成される。具体的には、金属電極６３１と隣接した部分における突出電極６３３の第２方向（図面のｘ軸方向）の幅（Ｗ１）は、放電セルの中心に隣接した部分における突出電極６３３の第２方向の幅（Ｗ２）より短く形成される。このように形成する理由は、金属電極６３１と突出電極６３３とが隣接する部分では実質的に弱い放電が起こるためである。したがって、金属電極６３１と突出電極６３３とが隣接する部分に凹部（Ｓ）を形成することにより、消費電力を低減させながら放電効率を向上させることができる。
【００５６】
本発明は、図面に示した実施の形態を参考にして説明されたが、これは、例示的なものに過ぎず、当業者であれば、この実施の形態から多様な変形及び均等な他の実施の形態が可能であるという点を理解できる。したがって、本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲により決定されなければならない。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は、プラズマディスプレイの関連技術分野に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の第１実施例によるプラズマディスプレイパネルの部分分解斜視図である。
【図２】図１に示したプラズマディスプレイパネルの部分平面図である。
【図３】図２のIII-III線に沿って切開した部分断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係るプラズマディスプレイの走査電極を示す部分斜視図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るプラズマディスプレイの走査電極を示す部分斜視図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係るプラズマディスプレイの走査電極を示す部分斜視図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの部分平面図である。
【図８】単位放電セルにおける輝度の分布を説明するグラフである。
【符号の説明】
【００５９】
１０    背面基板、
１２    アドレス電極、
１４、２８    誘電体層、
１６、２０１    隔壁、
１６ａ    縦隔壁、
１６ｂ    横隔壁、
１８    放電セル、
１９    蛍光体層、
２０    前面基板、
２１、６１    維持電極、
２３、４３、５３、６３    走査電極、
２５、６５    表示電極、
２９    保護膜、
１０１    電極、
２１１、２３１、４３１、５３１、６３１    金属電極、
２１３、２３３、４３３、５３３、６３３    突出電極、
２１５ａ、２３５ａ    第１ライン部、
２１５ｂ、２３５ｂ    第２ライン部、
２３５、４３５、５３５    フェンス電極、
５３３ａ    第１突出部、
５３３ｂ    第２突出部。
【図１】
2006253133.tif 000003
【図２】
2006253133.tif 000004
【図３】
2006253133.tif 000005
【図４】
2006253133.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2006253133.tif 000009
【図８】
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