(57)【要約】【課題】有機電子材料層を備える有機電子素子をノズル塗布方式により歩留り良く低コストで製造することができる有機電子材料塗布装置とそれを用いる有機電子素子の製造方法を提供する。【解決手段】コントローラ６の良否判定部６６には、塗布ノズルをリニアサーボモータ２３とエンコーダ２４により走査ラインに沿ったＸ軸方向へ移動させるＸ軸ドライバ６１から塗布ノズルの速度情報が入力され、塗布ノズルのＹ軸方向における位置情報がＹ軸ドライバ６２から入力され、流量計５３により検出された有機ＥＬ材料液の塗布ノズルへの供給流量速度情報がポンプ制御回路６４から入力され、それぞれ予め設定されている各々の基準に基づいてこれら３情報の合否判定を行い、それらから得られる不良情報を全ラインの塗布が終了した時点で全体制御部６７に出力する。【選択図】    図３
2006305432.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機電子材料を基板の表面にノズルで塗布し有機電子材料層を形成する装置であって、
前記ノズル及び／又は前記基板を前記基板表面に平行な第１の方向に沿って所定速度で互いに相対移動させる第１の移動機構と、
前記ノズル及び／又は前記基板を前記基板表面に平行な前記第１の方向に直交する第２の方向に沿って所定速度で互いに相対移動させる第２の移動機構と、
前記ノズルに前記有機電子材料を所定の流量速度で供給する塗布材料供給機構と、
前記基板表面に所期の厚さの有機電子材料層を形成するように前記第１及び第２の移動機構並びに前記塗布材料供給機構を駆動制御するコントローラとを有し、
前記コントローラは、前記第１の移動機構から送られてくる前記ノズルの第１の方向への移動速度情報と、前記第２の移動機構から送られてくる前記ノズルの第２の方向における位置情報と前記塗布材料供給機構から送られてくる流量速度情報との少なくとも３種類の情報を収集し、これらの情報に応じて予め設定されている判定基準に基づき形成した有機電子材料層についての良否判定情報を出力する良否判定部を備えていることを特徴とする有機電子材料塗布装置。
【請求項２】
前記良否判定部は、入力される前記３種類の各情報について、それぞれ、予め設定されている各々の判定基準の合格範囲から外れているか否かの良否判定を行った不良情報を記憶しておき、前記有機電子材料層の塗布形成を終えた時点でそれら不良情報を前記良否判定情報として出力することを特徴とする請求項１に記載の有機電子材料塗布装置。
【請求項３】
前記良否判定部は、前記ノズルの第１の方向における移動速度情報と前記塗布材料供給機構から送られてくる流量速度情報とから塗布形成される有機電子材料層の層厚を算出し、この算出値に応じて予め設定されている判定基準に基づき前記有機電子材料層の良否判定情報を出力することを特徴とする請求項１に記載の有機電子材料塗布装置。
【請求項４】
前記良否判定部から出力される良否判定情報には、少なくとも判定対象部の良否情報と位置情報が含まれていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の有機電子材料塗布装置。
【請求項５】
前記有機電子材料は、エレクトロルミネッセンス材料であることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の有機電子材料塗布装置。
【請求項６】
有機電子材料を基板の表面にノズルで塗布して形成された有機電子材料層を備える有機電子素子を製造する方法であって、
前記ノズルに前記有機電子材料を所定の流量速度で供給し、
前記ノズル及び／又は前記基板を前記基板表面に平行な第１の方向に沿って所定速度で互いに相対移動させつつ前記ノズルで前記有機電子材料を前記基板表面に塗布し、
前記ノズルの前記第１の方向に沿った１ラインの塗布が終了する毎に前記ノズル及び／又は前記基板を前記基板表面に平行な前記第１の方向に直交する第２の方向に沿って所定距離だけ相対移動させ、
前記ノズルの前記第１の方向に沿った移動速度情報と、前記ノズルの前記第２の方向における位置情報と、前記有機電子材料を前記ノズルへ供給する際の流量速度情報との少なくとも３種類の情報を収集し、これらの情報に応じて予め設定されている判定基準に基づき、形成される有機電子材料層についての良否判定情報を取得し、
前記有機電子材料層の塗布形成が終了した後に、前記良否判定情報に基づき前記有機電子材料層の不良箇所を修復することを特徴とする有機電子素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機電子材料層をノズル塗布方式により形成するための装置と、これを用いた有機電子素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機エレクトロルミネッセンス素子、有機薄膜トランジスタ、或いは太陽電池等の有機電子材料を用いた有機電子素子を製造する方法として、特許文献１に示されるようなノズル塗布方式が知られている。
【特許文献１】特開２００４−３３５４９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記ノズル塗布方式による場合、ノズルに有機電子材料の例えば有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬという）材料を供給する際の流量速度やノズルの移動速度が変動すると、これに応じて塗布形成される有機ＥＬ層の層厚がばらつくという問題がある。有機ＥＬ層の層厚のばらつきは発光効率や輝度のバラツキの原因となるため、そのような有機ＥＬ素子は不良品として排除され、歩留りを低下させる。
【０００４】
有機ＥＬ素子の歩留りを向上させためには不良品を修復すればよいが、有機ＥＬ層の層厚が規格外となった不良品の場合、有機ＥＬ層を形成した後にさらにその上に電極や保護膜が蒸着法やスパッタ法により被着されているため、製品として完成した後の修復は略不可能である。
【０００５】
有機ＥＬ層の層厚がばらついた不良品の修復は、その電極や保護膜を被着する後工程を行う前、つまり有機ＥＬ層を形成した時点であれば可能であるが、半製品の状態であるから点灯試験を行うことができず、不良箇所の特定ができないという問題がある。不良箇所を特定するために形成した有機ＥＬ層の層厚を逐一測定する方法も考えられるが、これには膨大な測定器等の設備コストと検査時間を要し、極めて実用的ではない。
【０００６】
本発明の目的は、有機電子材料層がノズル塗布方式により形成された有機電子素子を歩留り良く低コストで製造することができる有機電子材料塗布装置とそれを用いる有機電子素子の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の有機電子材料塗布装置は、有機電子材料を基板の表面にノズルで塗布し有機電子材料層を形成する装置であって、前記ノズル及び／又は前記基板を前記基板表面に平行な第１の方向に沿って所定速度で互いに相対移動させる第１の移動機構と、前記ノズル及び／又は前記基板を前記基板表面に平行な前記第１の方向に直交する第２の方向に沿って所定速度で互いに相対移動させる第２の移動機構と、前記ノズルに前記有機電子材料を所定の流量速度で供給する塗布材料供給機構と、前記基板表面に所期の厚さの有機電子材料層を形成するように前記第１及び第２の移動機構並びに前記塗布材料供給機構を駆動制御するコントローラとを有し、前記コントローラは、前記第１の移動機構から送られてくる前記ノズルの第１の方向への移動速度情報と、前記第２の移動機構から送られてくる前記ノズルの第２の方向における位置情報と前記塗布材料供給機構から送られてくる流量速度情報との少なくとも３種類の情報を収集し、これらの情報に応じて予め設定されている判定基準に基づき形成した有機電子材料層についての良否判定情報を出力する良否判定部を備えていることを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の有機電子素子の製造方法は、有機電子材料を基板の表面にノズルで塗布して形成された有機電子材料層を備える有機電子素子を製造する方法であって、前記ノズルに前記有機電子材料を所定の流量速度で供給し、前記ノズル及び／又は前記基板を前記基板表面に平行な第１の方向に沿って所定速度で互いに相対移動させつつ前記ノズルで前記有機電子材料を前記基板表面に塗布し、前記ノズルの前記第１の方向に沿った１ラインの塗布が終了する毎に前記ノズル及び／又は前記基板を前記基板表面に平行な前記第１の方向に直交する第２の方向に沿って所定距離だけ相対移動させ、前記ノズルの前記第１の方向に沿った移動速度情報と、前記ノズルの前記第２の方向における位置情報と、前記有機電子材料を前記ノズルへ供給する際の流量速度情報との少なくとも３種類の情報を収集し、これらの情報に応じて予め設定されている判定基準に基づき、形成される有機電子材料層についての良否判定情報を取得し、前記有機電子材料層の塗布形成が終了した後に、前記良否判定情報に基づき前記有機電子材料層の不良箇所を修復することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の有機電子材料塗布装置とこれを用いる有機電子素子の製造方法によれば、ノズルの移動速度情報とその位置情報及びノズルに供給される有機電子材料の流量速度情報の少なくとも３種類の情報から、形成される有機電子材料層についての良否判定情報がリアルタイムに得られ、この良否判定情報に基づいて有機電子材料の塗布が終了し有機電子素子に完成させるための後工程を実施する前に有機電子材料層の不良箇所を修復できるから、有機電子素子を極めて歩留り良く低コストで製造することができる。
【００１０】
本発明の有機電子材料塗布装置では、良否判定部を、入力される前記３種類の各情報について、それぞれ、予め設定されている各々の判定基準の合格範囲から外れているか否かの良否判定を行った不良情報を記憶しておき、有機電子材料層の塗布形成を終えた時点でそれら不良情報を良否判定情報として出力する構成とすることが好ましく、これにより、不良箇所を漏らすことなくより確実に抽出することができる。
【００１１】
また、本発明の有機電子材料塗布装置では、良否判定部を、ノズルの第１の方向における移動速度情報と塗布材料供給機構から送られてくる流量速度情報とから塗布形成される有機電子材料層の層厚を算出し、この算出値に応じて予め設定されている判定基準に基づき前記有機電子材料層の良否判定情報を出力する構成とすることが好ましく、これにより、少ないノイズで効率良く不良箇所を抽出できる。
【００１２】
さらに、上述したそれぞれの有機電子材料塗布装置において良否判定部から出力される良否判定情報には、少なくとも判定対象部の良否情報と位置情報が含まれていることが好ましく、これにより、不良箇所をより正確に特定でき、その修復作業を能率良く実施することが可能となる。
【００１３】
そして、本発明の有機電子材料塗布装置は、有機ＥＬ材料を塗布して有機ＥＬ層を形成する場合により好適であり、その場合、形成された有機ＥＬ層における不良箇所が確実に且つ効率よく抽出される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は本発明の一実施形態としての有機ＥＬ材塗布装置を示す斜視図で、図２はその塗布装置により有機ＥＬ層が塗布形成された段階での半製品状態の有機ＥＬ表示素子中間品を示す模式的部分断面図、図３は本実施形態の有機ＥＬ材塗布装置の主要構成を示すブロック図である。
【００１５】
まず、図２に基づき、本実施形態の有機ＥＬ材塗布装置により製造される有機ＥＬ表示素子中間品の構造について説明する。
【００１６】
ガラス基板２０１の表面には、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等の透明導電膜からなる複数の第１の電極２０２が所定方向（本例では紙面左右方向）へ互いに平行に配設されている。
【００１７】
また、それら第１の電極２０２の延在方向に直交させて、複数のメタルバンク２０３が等間隔に互いに平行に配設されている。メタルバンク２０３は、金や銅等の金属からなり、画素列間に対応させて配設され、画素列を区画する土手（バンク）となる。また、本実施形態のメタルバンク２０３は、各画素エリア毎に対応させて設けられている薄膜トランジスタ（不図示）に電気接続されており、各画素毎に薄膜トランジスタを介して有機ＥＬ層を駆動するソース配線を兼ねている。なお、メタルバンク２０３の周表面には絶縁膜（不図示）がコーティングされており、これにより周囲に対する絶縁性が確保されている。
【００１８】
メタルバンク２０３で区画された各画素列には、まず有機ＥＬ層のうちの正孔注入層２０４が第１の電極２０２を覆ってノズル塗布方式により形成される。正孔注入層２０４を形成する有機電子材料としては、フェニルアミン系、或いはフタロシアニン系の酸化バナジウムや酸化モリブデン等が好適に用いられる。
【００１９】
正孔注入層２０４上には、インターレイヤ層２０５を介して発光層２０６がノズル塗布方式により積層される。発光層２０６を形成するための有機電子材料としては、シクロペンタジエン誘導体やトリフェニルアミン誘導体等の色素系発光材料、アルミキノリノール錯体等の金属錯体系発光材料、或いはポリパラフェニレンビニレン誘導体等の高分子系発光材料が、好適に用いられる。
【００２０】
なお、インターレイヤ層２０５は、発光層２０６の発光効率を高めるために設けられており、正孔注入層２０４や発光層２０６と同様に、有機電子材料を用いてノズル塗布方式により形成される。
【００２１】
上述した正孔注入層２０４と発光層２０６及びインターレイア層２０５は、それぞれ、上述した各材料をトルエンやテトラリン等の有機溶剤に溶かしてインク状に液状化し、本発明に係わる有機ＥＬ材塗布装置により塗布形成される。
【００２２】
本実施形態の有機ＥＬ材塗布装置は、図１に示されるように、大略、ノズル部１、ノズル部１を画素列に沿ったライン走査方向（以下、Ｘ軸方向という）に往復移動させるＸ軸移動機構部２、塗布対象ワークｗを保持するワーク保持機構部３、ワーク保持機構部３をＸ軸方向に直交するＹ軸方向へピッチ移動させるＹ軸移動機構４、ノズル部１に塗布材料液を供給する材料液供給部５、及び有機ＥＬ材塗布装置全体の駆動を制御するコントローラ６からなる。
【００２３】
ノズル部１は、塗布ノズル１１とこの塗布ノズル１１を保持する保持具１２からなる。本実施形態では、図２に示した正孔注入層２０４、発光層２０６及びインターレイア層２０５の３種類の有機ＥＬ層を塗布形成するためのそれぞれの専用ノズルを準備しておき、形成すべき有機ＥＬ層の種類が変わる都度交換する方式となっている。
【００２４】
塗布ノズル１１が保持具１２により保持されたノズル部１は、Ｘ軸移動機構部２のスライダ２１に固設され、スライダ２１と一体にＸ軸方向に往復移動される。
【００２５】
Ｘ軸移動機構部２では、上述のスライダ２１と細長直方体状の筐体２２内に収納されているステータ部（不図示）によりリニアサーボモータ２３（図３参照）が構成されている。したがって、筐体２２内には、複数の永久磁石（不図示）が個々のＮ極とＳ極を交互に隣接させ筐体の長手方向つまりＸ軸方向に沿って並設されている。また、このリニアサーボモータ２３にはエンコーダ２４（図３参照）が付設されている。
【００２６】
図３に示されるように、リニアサーボモータ２３は、コントローラ６内のＸ軸ドライバ６１により駆動制御される。Ｘ軸ドライバ６１は、エンコーダ２４から送られてくる移動情報に応じてリニアサーボモータ２３を駆動制御し、スライダ２１の移動速度が設定された規格範囲内に収まるようにフィードバック制御する。
【００２７】
Ｙ軸移動機構４は、Ｘ軸移動機構２と同様のリニアサーボモータによる移動機構であり、スライダ４１とステータ部（不図示）が収納された細長長方形をなす筐体４２を備えている。筐体４２は、その長手方向を前記Ｘ軸方向に同一平面上で直交するＹ軸方向に沿わせて設置されている。そして、筐体４２内には、複数の永久磁石（不図示）が個々のＮ極とＳ極を交互に隣接させ筐体の長手方向つまりＹ軸方向に沿って並設されている。また、図３に示されるように、リニアサーボモータ４３にはエンコーダ４４が付設され、リニアサーボモータ４３はコントローラ６内のＹ軸ドライバ６２により駆動制御される。なお、Ｙ軸移動機構４の駆動手段としては、リニアサーボモータに限らず、パルスモータによるボールネジ駆動方式やタイミングベルト駆動方式等も好適に利用できる。
【００２８】
Ｙ軸ドライバ６２は、スライダ４１が設定された規格範囲内の速度でピッチ移動するように、リニアサーボモータ４３をエンコーダ４４から送られてくる移動情報に応じてフィードバック制御する。ここで、スライダ４１の移動ピッチは、製造すべき有機ＥＬ表示素子におけるメタルバンク２０４（図２参照）の配設ピッチに対応したピッチである。
【００２９】
Ｙ軸移動機構４のスライダ４１上には、ワーク保持機構部３が設置されている。ワーク保持機構部３は、ターンテーブル３１と吸着ステージ３２を備え、ターンテーブル３１はスライダ４１に回転自在に軸支されている。吸着ステージ３２は、ワークｗを真空吸引により吸着保持するもので、ターンテーブル３１に一体回転可能に固設されている。本実施形態においては、ワークｗとして、前述した３種類の有機ＥＬ層が塗布形成される前の有機ＥＬ表示素子中間体が、吸着ステージ３１に吸着保持されている。
【００３０】
ターンテーブル３１は、図３に示されるサーボモータ３３により回転駆動され、サーボモータ３３にはエンコーダ３４が付設され、サーボモータ３３はコントローラ６内のθ軸ドライバ６３により駆動制御される。θ軸ドライバ６３は、ワークｗが規定の回転角度位置に保持されるようにサーボモータ３３をエンコーダ３３から送られてくる回転移動情報に応じてフィードバック制御する。
【００３１】
ノズル部１に有機ＥＬ材料液を供給する材料液供給部５は、材料液が貯溜されるタンク５１、タンク５１の材料液をノズル部１に圧送するためのポンプ５２、圧送される材料液の流量速度を検出する流量計５３、及び材料液に混入した狭雑物を除去するためのフィルタ５４が、チューブ５５を介し直列に連結されてなる。
【００３２】
流量計５３は、図３に示されるように、コントローラ６内のポンプ制御回路６４に検出した流量速度情報を出力し、ポンプ制御回路６４は、有機ＥＬ材料液の供給流量速度が設定された合格範囲内に収まるように、入力される流量速度情報に応じてポンプ５２をフィードバック制御する。
【００３３】
コントローラ６は、前述したＸ、Ｙ、θの各軸ドライバ６１、６２、６３とポンプ制御回路６４、各軸ドライバ６１、６２、６３を制御するＮＣ制御部６５、塗布形成される有機ＥＬ層の良否を判定する良否判定部６６、及び本実施形態の有機ＥＬ材料塗布装置全体の駆動を制御する全体制御部６７とからなる。
【００３４】
全体制御部６７は、予め導入されているプログラムに沿ってＮＣ制御回路６５とポンプ制御回路６４に制御信号を出力し、ＮＣ制御回路６５とポンプ制御回路６４は全体制御部６７から入力される制御信号に応じて、Ｘ、Ｙ、θの各軸ドライバ６１、６２、６３とポンプ５２に駆動信号をそれぞれ出力する。
【００３５】
ここで、良否判定部６６には、Ｘ軸ドライバ６１から塗布ノズル１１のＸ軸方向での移動速度情報が、Ｙ軸ドライバ６２からは塗布ノズル１１のＹ軸方向における位置情報が、ポンプ制御回路６４からは材料液の流量速度情報が、ＮＣ制御部からは塗布ノズル１１のＸ、Ｙ両軸方向における位置を指示する指示位置情報が、それぞれ入力される。そして、良否判定部６６は、それら入力情報が予め設定されている判定基準の許容範囲内に収まっているか否かを判定し、その良否判定結果を全体制御部６７に出力する。
【００３６】
本実施形態においては、良否判定部６６が、塗布ノズル１１のＸ軸方向での移動速度情報とＹ軸方向における位置情報及び材料液の流量速度情報の３種類の入力情報をそれぞれに判定基準として設定されている各合格範囲と対比し、外れていた場合にはその値と位置を不良情報として記憶しておき、１個の基板に対する全有機ＥＬ材料液の塗布が終了した時点で全ての不良情報を全体制御部６７に出力する。
【００３７】
次に、上述した良否判定部６６による判定動作を、図４のフローチャートに基づき詳細に説明する。
【００３８】
有機ＥＬ材料液の塗布動作が開始されたら、まず、塗布ノズルのＹ軸方向における位置を記憶し（Ｓ1 ）、次に塗布ノズルのＸ軸方向における位置が有効塗布位置か否かを判断する（Ｓ2 ）。ここで、有効塗布位置とは、図５に示される塗布ノズル１１のＸ軸方向における移動速度と位置との関係を示すグラフ図において、移動速度が合格範囲内で略一定に推移するように制御される範囲Ａe （以下、有効塗布エリアという）内の位置を言う。この有効塗布エリアＡe を示す情報は、ワークｗに応じて予め設定されて全体制御部内６７内に記憶されており、良否判定部６６は全体制御部６７にアクセスしてその有効塗布エリアＡe についての情報を読み取り、入力されている塗布ノズルのＸ軸方向における位置情報と対比することにより、塗布ノズルの位置が有効塗布エリアＡe 内の位置か否かを判断する。この判断処理は、塗布ノズルが有効塗布エリアＡe に至るまで繰り返し実施される。
【００３９】
塗布ノズルが有効塗布エリアＡe に進出したら、そのＸ軸方向移動速度が合格範囲内であるか否かの判断が行われ（Ｓ3 ）、合格範囲外（ＮＯ）の場合はそのときの塗布ノズルの移動速度値と位置を速度不良情報として記憶する（Ｓ4 ）。
【００４０】
次いで、塗布ノズルに供給される材料液の流量速度が設定されている合格範囲内か否かの判断が行われ（Ｓ5 ）、合格範囲外の場合はそのときの流量速度値と塗布ノズルの位置を流量不良情報として記憶する（Ｓ6 ）。
【００４１】
次いで、塗布ノズルのＹ軸方向の位置つまり走査するラインがステップＳ1 で記憶した塗布開始時におけるラインと同じであるかを判断し（Ｓ7 ）、ラインが変わっていた場合はそのときの塗布ノズルのＸ、Ｙ各軸方向の位置をＹ位置不良情報として記憶する（Ｓ8 ）。なお、塗布ノズルの走査ラインがずれた場合、Ｙ軸ドライバによるフィードバック制御により塗布ノズルが速やかに元の正規の位置に戻される。
【００４２】
次に、塗布ノズルのＸ軸方向の位置が有効塗布エリアＡe （図５参照）から外れたか否か、つまり１ラインの有効塗布が終了したか否か、を判断し（Ｓ9 ）、まだ有効塗布エリアＡe 内で有効塗布動作中の場合は、ステップＳ3 に戻り、再度、塗布ノズルのＸ軸方向への移動速度の合否判断を行う。すなわち、塗布ノズルが有効塗布エリアＡe を走査している間は、ステップＳ3 〜Ｓ9 の動作フローを短時間のサイクルで繰り返す。したがって、塗布ノズルについてのＸ軸方向速度（Ｓ3 ）、Ｙ軸方向位置（Ｓ7 ）及び供給材料の流量速度（Ｓ5 ）の３情報に関する合否判断が、１ラインの有効塗布時間内にあたかも併行処理されるように繰り返し実施される。
【００４３】
塗布ノズルが有効塗布エリアＡe 外に移動し１ラインの有効塗布が終了したら、１ワークにおける全ラインの有効塗布が終了したか否かを判断し（Ｓ10）、全ラインの塗布が終了していない場合（ＮＯ）は、塗布ノズルを次のラインの塗布開始位置へ移動させる（Ｓ11）。すなわち、塗布ノズルをＸ軸ドライバ５１（図３参照）を作動させて１ラインの塗布動作を開始するＸ軸方向におけるホームポジションに復帰させつつＹ軸ドライバ５２（図３参照）を作動させてＹ軸方向へ１ピッチだけ移動させる。塗布ノズルを次の塗布ラインのホームポジションに位置させた後は、Ｓ1 〜Ｓ10の処理ステップが再び実施され、この処理フローは全ラインの塗布が終了するまで繰り返される。
【００４４】
ステップＳ10において全ラインの塗布が終了していたら（ＹＥＳ）、これまでにステップＳ4 、Ｓ6 、Ｓ8 で記憶されていた不良情報を全体制御部６７（図３参照）に出力し（Ｓ12）、１層目の有機ＥＬ層の塗布動作が終了する。
【００４５】
次に、全体制御部６７は、１層目の全ラインにわたり材料液塗布が終了したワーク、つまり図２に示される３層の有機ＥＬ層の内の最下層の正孔注入層２０５の全ラインの塗布が終了した有機ＥＬ表示素子中間品について、良否判定部６６から全体制御部６７に出力され記憶されている不良情報と予め記憶されている合否判定基準とを比較し、合否判定を行う。そして、この合否判定結果を、例えばこの有機ＥＬ材料塗布装置に備え付けられたディスプレイに表示し、作業者に報知する。
【００４６】
不良品と判定された有機ＥＬ表示素子中間品は、リペア工程に移送され、塗布形成された正孔注入層の層厚が合格範囲から外れている欠陥箇所の修復が行われる。リペア工程に移送された有機ＥＬ表示素子中間品は、正孔注入層上に電極や保護膜が形成されていないため、有機溶剤を用いてその欠陥箇所を容易に修復することができる。
【００４７】
一方、全体制御部６７によりは良品と判定された有機ＥＬ表示素子中間品は、全体制御部６７の指示によりＮＣ制御部６５がＹ軸ドライバ５２を作動させ、吸着ステージ３２に保持されたままの状態でＹ軸方向における塗布開始位置までもどされる。この後は、上述した正孔注入層の塗布動作と同じ塗布動作が実施され、インターレイア層２０６と有機ＥＬ発光層２０７が順次塗布形成されるが、各層の塗布形成が終了した時点で上述した正孔注入層２０５について行った処理と同じ合否判定処理が実施され、不良品と判定されたワークについては、その都度同様のリペア工程が実施され、欠陥が修復される。
【００４８】
以上のように、本実施形態の有機ＥＬ材料液塗布装置は、材料液を塗布する際の塗布ノズルの走査ライン方向への移動速度情報、その走査ライン位置の確認情報、及び材料液を塗布ノズルへ供給する流量速度情報の３種類の情報をリアルタイムに収集し、これら３種類の情報について、それぞれの合否判定を予め設定されている各々の判定基準に基づいて行った位置情報を含むそれらの不良情報を逐一記憶しておき、その有機ＥＬ材料液の全ラインにわたる塗布が終了した時点でそれら記憶されている情報を塗布形成された有機ＥＬ材料層の不良情報として全体制御部に出力する良否判定部を備えているから、形成した有機ＥＬ材料層において層厚が合格範囲から外れている可能性のある箇所（以下、不良性箇所という）を、その有機ＥＬ材料層を形成した時点で把握でき、これに基づき、その上に他の有機ＥＬ材料層が積層される前に、実際に層厚が合格範囲から外れている不良箇所が特定されて修復されるから、有機ＥＬ表示素子の歩留りが大幅に向上する。またこの場合、良否判定部は収集した情報から層厚不良となる可能性が高い箇所も含めて不良情報として出力するから、不良箇所が洩れることなく確実に把握されて修復され、有機ＥＬ表示素子の歩留りがより一層向上する。
【００４９】
なお、上記実施形態においては、良否判定部が、収集した３種類の情報について、それぞれ、予め設定されている各々の判定基準の合格範囲から外れているか否かの合否判定を行い、得られたそれら３種類の不良情報を塗布形成された有機ＥＬ材料層の不良情報として全体制御部に出力する構成としたが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００５０】
例えば、塗布ノズルの走査移動速度（Ｘ軸方向移動速度）が合格範囲を超えていても、このときに塗布される材料液の量が合格範囲よりも適度に多ければ、得られる有機ＥＬ材料層のその位置における層厚が合格範囲内となることもある。すなわち、有機ＥＬ材料層の層厚ｔは、材料液の塗布ノズルへ供給される流量速度をＱ、塗布ノズルの走査移動速度をＶ、係数をＫとした場合、
ｔ＝Ｋ×Ｑ／Ｖ・・・（１）
となる。したがって、塗布ノズルの走査ライン方向への移動速度情報と材料液を塗布ノズルへ供給する流量速度情報から得られた各値Ｑ、Ｖから上記（１）式により有機ＥＬ材料層の層厚ｔをリアルタイムに算出し、この算出値について合否判定を行う構成とすれば、実際に層厚が合格範囲から外れている不良箇所をより高い精度で特定することができ、不良箇所の修復工程における作業能率が向上して製造工数が低減され、有機ＥＬ表示素子のコスト削減が促進される。
【００５１】
また、塗布ノズルとワークは相対移動すればよく、上述の実施形態のように一方を停止させて他方を移動させる方式に限られるものではなく、双方を移動させてもよく、或いは、Ｘ軸移動でワークを移動させ、Ｙ軸移動で塗布ノズルを移動させてもよい。
【００５２】
さらに、本発明は、有機ＥＬ材料液を塗布して有機ＥＬ表示素子を製造する場合に限らず、有機薄膜トランジスタ、或いは太陽電池等の有機電子材料を用いた他の有機電子素子を製造する場合に、広く適用できることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の一実施形態としての有機ＥＬ材塗布装置を示す斜視図である。
【図２】上記有機ＥＬ材塗布装置を用いて製造される有機ＥＬ表示素子中間品を示す模式的断面図である。
【図３】上記有機ＥＬ材塗布装置の主要構成を示すブロック図である。
【図４】上記有機ＥＬ材塗布装置の動作を示すフローチャート図である。
【図５】上記有機ＥＬ材塗布装置による塗布動作におけるノズルの移動速度と位置の関係を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【００５４】
１                        塗布ノズル部
１１                      塗布ノズル
２                        Ｘ軸移動機構
３                        ワーク保持機構
４                        Ｙ軸移動機構
５                        材料液供給機構
５２                      ポンプ
５３                      流量計
６                        コントローラ
６１                      Ｘ軸ドライバ
６２                      Ｙ軸ドライバ
６３                      θ軸ドライバ
６４                      ポンプ制御回路
６５                      ＮＣ制御回路
６６                      良否判定部
６７                      全体制御部
【図１】
2006305432.tif 000003
【図２】
2006305432.tif 000004
【図３】
2006305432.tif 000005
【図４】
2006305432.tif 000006
【図５】
2006305432.tif 000007