(57)【要約】【課題】スペクトル多重化を可能にするバイオセンサを提供する。【解決手段】バイオセンサ１１０は、異なる共鳴周波数を有する少なくとも２つのセンサ１１２、１１４を含む。センサの異なる共鳴周波数は、高誘電率の領域１０２と低誘電率の領域１０４の空間分布が異なるセンサを作製することによって達成することができる。センサが異なる共鳴周波数を有するため、センサは、光学干渉をほとんど、又は、全く受けずに並列に監視することができる。センサは、掃引式光信号をセンサに対して同時に当てることによって並列に監視することができ、掃引式光信号の波長範囲は、両方のセンサの共鳴周波数を含む。センサは異なる共鳴周波数を有するため、２つのセンサの共鳴周波数の変化は、単一の検出器１４８を使用して並列に監視することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の共鳴周波数を生じる、高誘電率の領域及び低誘電率の領域の空間分布を有する第１のセンサと、
第２の共鳴周波数を生じる、高誘電率の領域及び低誘電率の領域の空間分布を有する第２のセンサと、
を備え、
前記第１の共鳴周波数は前記第２の共鳴周波数と異なる、バイオセンサ。
【請求項２】
前記第１のセンサ及び前記第２のセンサは、同じ基板上に作製される、請求項１に記載のバイオセンサ。
【請求項３】
前記第１のセンサ及び前記第２のセンサの前記空間分布は、低誘電率特徴部のパターンを含む、請求項１に記載のバイオセンサ。
【請求項４】
前記第１のセンサ及び前記第２のセンサの前記低誘電率特徴部は異なるピッチである、請求項３に記載のバイオセンサ。
【請求項５】
前記第１のセンサの空間分布の態様は、前記第２のセンサの空間分布の態様と異なる、請求項１に記載のバイオセンサ。
【請求項６】
前記第１のセンサ及び前記第２のセンサと相互作用した光信号の並列検出を可能にするように構成された、前記第１のセンサ及び前記第２のセンサと光通信するスペクトル多重化システムをさらに備えている、請求項１に記載のバイオセンサ。
【請求項７】
前記第１のセンサ及び前記第２のセンサと光通信するスペクトル多重化システムをさらに備え、該スペクトル多重化システムは、前記第１のセンサ及び前記第２のセンサに対して掃引式光信号を供給するように構成された該掃引式光信号の信号源、及び前記第１のセンサ及び前記第２のセンサと相互作用した前記光信号の一部を検出するように構成された検出器を有する、請求項１に記載のバイオセンサ。
【請求項８】
生体分子の結合を特徴付ける方法であって、
第１のセンサ及び第２のセンサに対して捕捉剤を塗布するステップであって、前記第１のセンサ及び前記第２のセンサは異なる共鳴周波数を有している、ステップと、
前記第１のセンサ及び前記第２のセンサを分析物に曝すステップと、
前記第１のセンサ及び前記第２のセンサに並列に光信号を当てるステップと、
前記光信号が前記第１のセンサ及び前記第２のセンサと相互作用した後に前記光信号を検出するステップと、
を含む、方法。
【請求項９】
前記第１のセンサ及び前記第２のセンサに関連する共鳴周波数の偏移を監視するステップをさらに含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記検出するステップが、前記第１のセンサ及び前記第２のセンサからの光信号を同じ光検出器で検出するステップを含む、請求項８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に、バイオセンサに関し、特に、スペクトル多重化を可能にするバイオセンサシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
表面プラズモン共鳴（ＳＰＲ）検知は、化学分子間又は生体分子間における結合（binding）を特徴付けるのに使用される。ＳＰＲ、すなわち、回折格子ＳＰＲの一実施態様では、センサは、高誘電率と低誘電率（ε）の周期的領域を有する回折格子構造を作製することによって確立される共鳴周波数を有する。
【０００３】
図１Ａは、回折格子ＳＰＲ検知で使用するための単一センサ１００の平面図を示す。センサ１００は、高誘電率の領域１０２及び低誘電率の領域１０４を含む空間分布（spatial profile）を有し、空間分布は、センサの上部表面の２次元分布である。低誘電率の領域は、低誘電率特徴部１０４と呼ばれ、センサの残りの部分は、高誘電率の領域１０２である。低誘電率特徴部１０４は、通常、各特徴部が実質的に同じサイズ及び形状を有する反復パターンでセンサ１００上に作製される。センサ１００は、ガラス基板などの基板１０６上に形成され、高誘電率の領域１０２は、金層によって形成される。低誘電率の領域１０４は、通常、金層内の四角形穴である。図１Ｂは、基板１０６ならびに高誘電率の領域１０２及び低誘電率の領域１０４を示すセンサの側面図である。図１Ａ及び図１Ｂに示す四角形穴は、長さ寸法ｄ及びピッチ（格子定数とも呼ばれる）ａによって規定され、ピッチは、隣接する特徴部（たとえば、四角形穴）の中心間の距離である。図１Ａ及び図１Ｂに示すようなバイオセンサは、光リソグラフィ、インプリントリソグラフィ、金属リフトオフ、及び金属エッチングなどの既知の半導体処理技法を含む種々の技法を使用して作製することができる。
【０００４】
ＳＰＲを利用する検知システムのスループットは、商業的に実行可能な製品を達成するのに重要である。
【発明の開示】
【０００５】
本発明によれば、バイオセンサは、異なる共鳴周波数を有する少なくとも２つのセンサを含む。センサの異なる共鳴周波数は、高誘電率と低誘電率の領域の空間分布が異なるセンサを作製することによって達成することができる。センサが異なる共鳴周波数を有するため、センサは、光学干渉をほとんど、又は、全く受けずに並列に監視することができる。異なる共鳴周波数を有する複数のセンサを並列に監視することは、本明細書では、「スペクトル多重化」と呼ばれる。センサは、掃引式光信号をセンサに対して同時に当てることによって並列に監視することができ、掃引式光信号の波長範囲は、両方のセンサの共鳴周波数を含む。センサは異なる共鳴周波数を有するため、２つのセンサの共鳴周波数の変化は、単一の検出器を使用して並列に監視することができる。
【０００６】
本発明の他の態様及び利点は、本発明の原理の例として示す、添付図面に関連して行う以下の詳細な説明から明らかになるであろう。
【０００７】
説明全体を通して、同じ参照符号は同じ要素を特定するのに使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
センサ設計の多くの態様は、センサの共鳴周波数に影響を与える。たとえば、センサの共鳴周波数は、基板の組成及び厚み、高誘電率領域の組成及び厚み、低誘電率領域の組成及び厚み、低誘電率特徴部のサイズ及び形状、低誘電率特徴部のパターン対称性（たとえば、四角形又は六角形）、ならびに、低誘電率特徴部のピッチによって影響を受ける可能性がある。センサの共鳴周波数は、高誘電率と低誘電率の領域の空間分布を変えることによって変えることができる。たとえば、低誘電率特徴部のサイズ又はピッチなどの、センサの空間分布の１つの面（aspect）のみを変えることによって、センサの共鳴周波数が変わることになる。
【０００９】
本発明によれば、バイオセンサは、異なる共鳴周波数を有する少なくとも２つのセンサを含む。センサの異なる共鳴周波数は、高誘電率と低誘電率の領域の空間分布が異なるセンサを作製することによって達成することができる。センサが異なる共鳴周波数を有するため、センサは、光学干渉をほとんど、又は、全く受けずに並列に監視されることができる。異なる共鳴周波数を有する複数のセンサを並列に監視することは、本明細書では、「スペクトル多重化」と呼ばれる。本発明による実施形態では、センサは、掃引式光信号の波長範囲が両方のセンサの共鳴周波数を含む掃引式光信号をセンサに同時に当て、掃引式光信号がセンサと相互作用した後に単一検出器によって掃引式光信号を検出することによって並列に監視される。バイオセンサ用途では、センサにおいて分子間の結合を特徴付けるために、２つのセンサの共鳴周波数の変化が監視される。
【００１０】
図２は、異なる共鳴周波数を有する２つのセンサ１１２及び１１４を有するバイオセンサ１１０の、本発明による実施形態を示す。第１のセンサＳ１  １１２は第１の共鳴周波数ＲＦλ1を有し、第２のセンサＳ２  １１４は第２の共鳴周波数ＲＦλ2を有する。図２の例では、２つのセンサ１１２及び１１４の共鳴周波数は、異なるピッチで四角形穴１０４を作製することによって異なるようにさせられる。たとえば、第１のセンサの四角形穴のピッチは１，０００ｎｍ（ａ＝１．００μｍ）であり、第２のセンサの四角形穴のピッチは１，０３０ｎｍ（ａ＝１．０３μｍ）である。図３は、図２の２つのセンサについての反射率対波長のグラフであり、２つのセンサの反射率は、波長可変レーザ源から掃引式光信号を同時に当てることによって並列に測定され、単一検出器によって掃引式光信号を検出することによって並列に測定される。図３に示すように、２つのセンサの反射スペクトル１２０は、２つのセンサの共鳴周波数が互いに容易に区別できるようにスペクトル上で離間する。２つのセンサの共鳴スペクトル１２０の間のスペクトル間隔は、共鳴周波数が区別できる限りにおいて狭くされることができる。
【００１１】
図２の実施形態では、低誘電率特徴部１０４は、通常、各特徴部が実質的に同じサイズ及び形状を有する反復パターンでセンサ１００上に作製される。低誘電率特徴部は、四角形、楕円、又は円形を含む任意の形状であることができる。特徴部の反復パターンは、たとえば、四角形マトリクス又は六角形マトリクスであることができる。低誘電率特徴部の反復パターンが本明細書で述べられるが、高誘電率と低誘電率のランダムパターンを有する空間分布も可能である。図２の例では、バイオセンサ１１０のセンサ１１２及び１１４は、ガラス基板などの単一基板１０６上に形成され、高誘電率の領域１０２は、金層、たとえば、２０〜２００ｎｍの範囲の厚みを有する金層によって形成される。図２に示す四角形穴は、長さ寸法ｄ及びピッチ（格子定数とも呼ばれる）ａによって規定され、ピッチは、隣接する特徴部（たとえば、四角形穴）の中心間の距離である。図２の例では、センサは、約３０μｍ×３０μｍであり、四角形穴の長さ寸法は、１００ｎｍ〜６００ｎｍの範囲であり、ピッチは１，０００〜１，１００ｎｍである。図２の例では、四角形穴１０４は空気で満たされる。すなわち、穴は金層１０２内の空隙であるに過ぎない。別法として、低誘電率特徴部は、空隙エリアを満たす、低誘電率を有する固体材料で構成されてもよい。代替の実施形態では、バイオセンサ１１０のセンサ１１２及び１１４は、分離した基板上に形成される。
【００１２】
図２を参照して述べるバイオセンサ１１０は、異なる共鳴周波数を有する２つのセンサ１１２及び１１４のみを有するが、異なる共鳴周波数を有する３つ以上のセンサを有するバイオセンサを、同じ基板上に作製することができる。図４は、それぞれが異なる共鳴周波数を有する、４つの別個のセンサＳ１  １３２、センサＳ２  １３４、センサＳ３  １３６、及びセンサＳ４  １３８を含むバイオセンサ１３０の、本発明による実施形態を示す。図４のバイオセンサでは、センサＳ１は共鳴周波数ＲＦλ1を有し、センサＳ２は共鳴周波数ＲＦλ2を有し、センサＳ３は共鳴周波数ＲＦλ3を有し、センサＳ４は共鳴周波数ＲＦλ4を有する。異なる共鳴周波数は、たとえば、異なるピッチでセンサの低誘電率特徴部１０４を作製することによって達成することができる。
【００１３】
一般に、図１Ａ〜図４を参照して述べたバイオセンサ１１０及び１３０は、反射式又は透過式で働くように設計されることができる。バイオセンサが反射式で働くように設計される場合、共鳴周波数は、反射スペクトルの降下部又は最小によって特定される。バイオセンサが透過式で働くように設計される場合、共鳴周波数は、透過スペクトルのピーク又は最大によって特定される。
【００１４】
図１Ａ〜図４を参照して上述したバイオセンサを使用してスペクトル多重化を達成するために、光信号、光信号をセンサに当てる方法、及び、反射されたか、又は、透過された光信号の一部を検出して、センサの共鳴周波数の変化を特定する方法が必要である。図５は、反射型バイオセンサ１３０及び反射用に構成されたスペクトル多重化システム１４２の高レベル図である。スペクトル多重化システムの基本機能は、１）センサの共鳴周波数を含む光信号を供給すること、２）光信号をセンサに送出すること、３）センサ１３２〜センサ１３８によって反射された光信号の一部を収集すること、及び、４）光信号の反射された一部を検出することを含む。上述した機能を提供するのに使用することができるスペクトル多重化システムの多くの構成が存在し、上述した機能が提供される限りにおいて、そっくりそのままの構成は、本発明にとって重要ではない。
【００１５】
反射型バイオセンサ１３０と共に使用するためのスペクトル多重化システム１４２の一例は図６に示される。図６のスペクトル多重化システム１４２は、波長可変レーザ源１４４、光ファイバベースの分配及び収集システム１４６、検出器１４８、及びプロセッサ１５０を含む。動作時、捕捉剤が、センサ１３２、１３４、１３６、及び１３８に塗布される。捕捉剤をセンサに塗布する技法は、当技術分野で知られており、本明細書ではさらには述べられない。捕捉剤がセンサに塗布されると、捕捉剤は１つ分析物（又は、複数の分析物）に曝される。捕捉剤を分析物に曝す技法は、当技術分野で知られており、本明細書ではさらには述べられない。捕捉剤と分析物の間の結合をセンサ１３２〜センサ１３８において監視するために、波長可変レーザ源１４４は、ある範囲の波長にわたって掃引される光信号を生成し、その範囲の波長は、４つのセンサの共鳴周波数を含む。掃引式光信号は、ファイバ１５２、１５４、１５６、１５８、１６０、１６２、１６４、１６６、１６８、及び１６９ならびにカプラ１７０、１７２、１７４、１７６、１７８、及び１８０を含む、光ファイバ分配及び収集システム１４６を介してセンサ１３２〜センサ１３８へ並列に分配される。図６の実施形態では、光信号は、センサ１３２〜センサ１３８に同時に提供される。光信号は、ある範囲の波長にわたって掃引するため、センサ１３２〜センサ１３８は、センサの共鳴周波数にある光エネルギーを吸収する。センサ１３２〜センサ１３８によって反射された掃引式光信号の一部は、ファイバ１６２、１６４、１６６、１６８、及び１６９ならびにカプラ１７２、１７４、１７６、１７８、及び１８０によって収集され、検出器１４８に送出される。検出器１４８は、収集された光信号の光強度を測定し、強度情報をプロセッサ１５０に送出する。プロセッサ１５０は、波長可変レーザ源１４４から波長情報を、検出器１４８から強度情報を受け取り、その情報を使用して、強度対波長情報を生成する。強度対波長情報を使用して、センサにおける分子の結合から生じる、センサ１３２〜センサ１３８の共鳴周波数の偏移が特定される。センサ１３２〜センサ１３８の共鳴周波数の偏移及びセンサ／共鳴周波数の関係の知識を使用して、センサにおける分子の結合が特定される。
【００１６】
図７は、透過型バイオセンサ１３０及び透過用に構成されたスペクトル多重化システム１８２の高レベル図である。スペクトル多重化システムの基本機能は、１）センサの共鳴周波数を含む光信号を供給すること、２）光信号をセンサ１３２〜センサ１３８に送出すること、３）センサを通過した光信号の一部を収集すること、及び、４）光信号の通過した一部を検出することを含む。上述した機能を提供するのに使用することができるスペクトル多重化システムの多くの構成が存在し、上述した機能が提供される限りにおいて、そっくりそのままの構成は、本発明にとって重要ではない。
【００１７】
透過型バイオセンサと共に使用するためのスペクトル多重化システム１８２の一例は図８に示される。図８のスペクトル多重化システム１８２は、波長可変レーザ源１４４、光ファイバベースの分配システム１８４、光ファイバベースの収集システム１８６、検出器１４８、及びプロセッサ１５０を含む。動作時、捕捉剤及び分析物は、センサ１３２〜センサ１３８において互いに曝される。結合をセンサ１３２〜センサ１３８において監視するために、波長可変レーザ源１４４は、ある範囲の波長にわたって掃引される光信号を生成し、その範囲の波長は、４つのセンサ１３２〜センサ１３８の共鳴周波数を含む。掃引式光信号は、ファイバ１５２、１５４、１５６、１５８、及び１６０ならびにカプラ１７０を含む、光ファイバベースの分配システム１８４を介してセンサ１３２〜センサ１３８へ並列に分配される。光信号は、ある範囲の波長にわたって掃引するため、センサ１３２〜センサ１３８は、センサの共鳴周波数にある光エネルギーを吸収する。センサ１３２〜センサ１３８を通過した掃引式光信号の一部は、ファイバ１６２、１６４、１６６、１６８、及び１６９ならびにカプラ１８０を含む光ファイバベースの収集システム１８６によって収集される。光信号の収集された一部は検出器１４８に送出される。検出器１４８は、収集された光信号の光強度を測定し、強度情報をプロセッサ１５０に送出する。プロセッサ１５０は、波長可変レーザ源１４４から波長情報を、検出器１４８から強度情報を受け取り、その情報を使用して、強度対波長情報を生成する。強度対波長情報を使用して、センサ１３２〜センサ１３８の共鳴周波数の偏移が特定され、センサの共鳴周波数の偏移及びセンサ／共鳴周波数の関係の知識を使用して、センサにおける分子の結合が特定される。
【００１８】
図９は、透過型バイオセンサ１３０と共に使用するためのスペクトル多重化システム１８２の別の例を示す。スペクトル多重化システム１８２は、波長可変レーザ源１４４、分配ファイバ１５２、分配レンズ１８６、収集レンズ１８８、収集ファイバ１６９、検出器１４８、及びプロセッサ１５０を含む。動作時、波長可変レーザ源１４４は、ある範囲の波長にわたって掃引される光信号を生成し、その範囲の波長は、４つのセンサ１３２〜センサ１３８の共鳴周波数を含む。掃引式光信号は、分配レンズ１８６上に入射する。分配レンズ１８６は、ビームがセンサ１３２〜センサ１３８の全てを一度で覆うように光信号ビーム１９０の断面を向ける。光信号は、ある範囲の波長にわたって掃引するため、センサ１３２〜センサ１３８は、センサの共鳴周波数にある光エネルギーを吸収する。センサ１３２〜センサ１３８を通過した掃引式光信号の一部は、収集レンズ１８８上に入射する。収集レンズ１８８は、ビーム１９０が光ファイバ１６９に結合し、検出器１４８へ送出されるように、ビーム１９０を収束させる。検出器は、収集された光信号の光強度を測定し、強度情報をプロセッサ１５０に送出する。プロセッサは、波長可変レーザ源１４４から波長情報を、検出器１４８から強度情報を受け取り、その情報を使用して、強度対波長情報を生成する。強度対波長情報を使用して、センサの共鳴周波数の偏移が特定され、センサの共鳴周波数の偏移及びセンサ／共鳴周波数の関係の知識を使用して、センサにおける分子の結合が特定される。
【００１９】
スペクトル多重化システムのいくつかの例が、図５〜図９を参照して述べられたが、他の構成が可能である。１つの代替の構成では、光源は、センサの全ての共鳴周波数における光エネルギーを含む広帯域光信号を供給し、検出器は光スペクトラムアナライザ（ＯＳＡ）である。別の代替の構成では、スペクトル多重化は、空間多重化と組み合わされて、利用可能な検出チャネルの数を増加することができる。図１０は、スペクトル多重化システム２００及び反射型バイオセンサ２０２の例であり、スペクトル多重化及び空間多重化を使用して１６チャネル多重化を達成する。図１０の例では、センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３、及びＳ４は、４×４マトリクスのセンサで構成され、各行のセンサは異なる共鳴周波数（ＲＦλ1、ＲＦλ2、ＲＦλ3、及びＲＦλ4）を有し、各列のセンサは同じ共鳴周波数（列１：ＲＦλ1、列２：ＲＦλ2、列３：ＲＦλ3、及び列４：ＲＦλ4）を有する。行２及び行３についての分配システム、収集システム、及び検出システムもまた存在するが、簡単にするために、図１０には示さない。図１０のスペクトル多重化システムは、それぞれがそれ自体の行固有の検出器（１４８−１…１４８−４）を有する３つの付加的な行センサを含むことを除いて、図６のスペクトル多重化システムと同じである。
【００２０】
図１１は、スペクトル多重化システム２１０及び透過型バイオセンサ２１２の例であり、スペクトル多重化及び空間多重化を使用して１６チャネル多重化を達成する。図１１のスペクトル多重化システムは、３つの付加的な行センサを含むことを除いて、図８のスペクトル多重化システムと同じである。やはり、図１１では、行２及び行３についての分配システム、収集システム、及び検出システムは、簡単にするために示さない。
【００２１】
図１２は、本発明による生体分子の結合を特徴付ける方法のプロセスフロー図を示す。ブロック３００にて、捕捉剤が第１のセンサ及び第２のセンサに塗布され、第１のセンサ及び第２のセンサは異なる共鳴周波数を有する。ブロック３０２にて、第１のセンサ及び第２のセンサは、分析物に曝される。ブロック３０４にて、光信号が第１のセンサ及び第２のセンサに並列に当てられる。ブロック３０６にて、光信号は、第１のセンサ及び第２のセンサと相互作用した後に検出される。
【００２２】
並列に使用することができる、異なる共鳴周波数を有するセンサの最大数を指示する、いくつかの制限要素は、光信号をセンサに供給する信号源の波長範囲及びセンサのＱ値を含み、Ｑ値は、共鳴波長を半値全幅（ＦＷＨＭ）における反射率で割ったものとして定義される。より高いＱ値（すなわち、より狭いスペクトル分布）をセンサに持たせることによって、より多くの識別可能チャネルを、利用可能な波長範囲内に組み込むことが可能になる。
【００２３】
異なる共鳴周波数を持つセンサを有するバイオセンサによってスペクトル多重化を実施することによって、単一バイオセンサ構造を使用して、複数の異なるセンサ位置において、結合イベントを監視することが可能になる。異なる共鳴周波数を有する複数のセンサは、既知の作製技法を使用して単一プロセスで同じ基板上に容易に作製することができる。
【００２４】
図６、図８、及び図９を参照して述べたスペクトル多重化システムの利点は、スペクトル多重化が、単一光信号源及び単一検出器によって達成されることである。図１０及び１１のスペクトル多重化システムは、複数の検出器を必要とするが、本明細書に開示するスペクトル多重化を使用すれば検出器の数が減少する。
【００２５】
各センサの共鳴周波数が知られているため、検出されるスペクトル情報は、センサ位置情報で実質的に符号化される。すなわち、センサ／共鳴周波数の関係を使用して、スペクトル情報を特定のセンサ位置に関係付けることができる。
【００２６】
本発明の特定の実施形態が述べられ、示されたが、本発明は、そのように述べられ、示される部品の、特定の形態又は配置構成に限定されない。本発明の範囲は、本発明に添付される特許請求の範囲及びその等価物によって規定される。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１Ａ】従来技術において既知のＳＰＲ検知で使用するための単一センサの平面図である。
【図１Ｂ】図１Ａのセンサの側面図である。
【図２】異なる共鳴周波数を持つ２つのセンサを有するバイオセンサの、本発明による実施形態を示す図である。
【図３】図２の２つのセンサについての反射率対波長のグラフを示す図であり、２つのセンサの反射率は、掃引式光信号を同時に当てることによって並列に測定される。
【図４】それぞれが異なる共鳴周波数を有する、４つの別個のセンサを含むバイオセンサの、本発明による実施形態を示す図である。
【図５】反射型バイオセンサ及び反射用に構成されたスペクトル多重化システムの高レベル図である。
【図６】反射型バイオセンサと共に使用するためのスペクトル多重化システムの例を示す図である。
【図７】透過型バイオセンサ及び透過用に構成されたスペクトル多重化システムの高レベル図である。
【図８】透過型バイオセンサと共に使用するためのスペクトル多重化システムの例を示す図である。
【図９】透過型バイオセンサと共に使用するためのスペクトル多重化システムの別の例を示す図である。
【図１０】スペクトル多重化及び空間多重化を使用して１６チャネル多重化を達成する、スペクトル多重化システム及び反射型バイオセンサの例を示す図である。
【図１１】スペクトル多重化及び空間多重化を使用して１６チャネル多重化を達成する、スペクトル多重化システム及び透過型バイオセンサの例を示す図である。
【図１２】本発明による生体分子の結合を特徴付ける方法のプロセスフロー図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０２：高誘電率の領域
１０４：低誘電率の領域
１０６：基板
１１０：バイオセンサ
１１２、１１４：センサ
【図１Ａ】
2006292744.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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