(57)【要約】【課題】  小型化しても形状制御が容易で、加工後の形状や性能も良好であり、様々な形状を形成でき、少ない工数で安価に形成でき、駆動時の負荷が小さく、装置や工具に汎用性のあるものを使用することができることができる水晶振動子の製造方法、その装置及び水晶振動子を得る。【解決手段】  水晶チップ５の右上端部５ａに水晶に吸収されるレーザビーム４を照射して段階的に水晶チップ５の高さを変化させ、第１段部６1、第２段部６2、第３段部６3、第４段部６4をそれぞれ形成する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶チップの端部に水晶に吸収されるレーザを照射して段階的に前記水晶チップの高さを変化させることを特徴とする水晶振動子の製造方法。
【請求項２】
前記レーザは、強度を揃えて前記水晶チップの前記端部に照射することを特徴とする請求項１記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項３】
前記水晶チップは直方体状であり、前記レーザの照射パターンは矩形状であることを特徴とする請求項１又は２記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項４】
前記レーザを、前記水晶チップの中心側が凹部となる円弧状の辺が形成された透過部を有するマスクを介して前記水晶チップの前記端部に照射することを特徴とする請求項１又は２記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項５】
前記レーザ照射後の前記水晶振動子を腐食性を持つ液体に浸漬することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項６】
前記腐食性を持つ液体は、フッ化水素酸、フッ化アンモニウム、バッファードフッ酸、Ｍａｘ７０１１Ｇ、一水素二フッ化アンモニウム、又は水酸化カリウムを少なくとも含むアルカリ液であることを特徴とする請求項５記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項７】
水晶チップ内部に吸収されるレーザを出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器を所定ピッチで移動させる移動機構とを備え、
前記移動機構により前記レーザ発振器を前記水晶チップの端部近傍から前記端部に向かって前記所定ピッチで移動させつつ、前記水晶チップの前記端部に前記レーザを照射して複数の段部からなる階段部を形成することを特徴とする水晶振動子の製造装置。
【請求項８】
水晶に吸収されるレーザを出射するレーザ発振器と、
前記水晶チップを所定ピッチで移動させる移動機構とを備え、
前記移動機構により前記水晶チップを前記所定ピッチで移動させつつ、前記水晶チップの前記端部に前記レーザを照射して段階的に前記水晶チップの高さを変化させることを特徴とする水晶振動子の製造装置。
【請求項９】
請求項１乃至６のいずれかに記載の水晶振動子の製造方法により製造されたことを特徴とする水晶振動子。
【請求項１０】
請求項７又は８に記載の水晶振動子の製造装置を用いて製造されたことを特徴とする水晶振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶チップを加工して断面コンベックス形状のＡＴカット水晶振動子を製造する水晶振動子の製造方法、その装置及びこの製造方法又はこの製造装置により製造された水晶振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧電振動片の製造方法は、ＡＴカット水晶ウエハの一方の面又は両面を圧電素子片の外形線に沿ってその両側に所望の幅の狭い範囲を、口径の小さいノズルから微細砥粒を噴射してブラスト加工することにより、断面コンベックス形状の圧電素子片を製造している（例えば、特許文献１参照。）。以下、この技術を第１の従来例と呼ぶ。
【０００３】
また、従来の圧電素板の製造装置は、少なくとも一方の面にコンベックス形状部を備えた圧電素板の製造装置であり、未分離の状態にある複数の素板チップから成る大型素板を保持するベースと、このベース上に保持された大型素板の上面に昇降して回転する研磨部材とを備え、この研磨部材は各素板チップに一対一で対応するように複数設けられた円筒体であり、その下端面には凹状の研磨面が設けられており、各研磨部材は、各素板チップ上面に接触して回転しつつ、下降しながら素板チップ面を研磨することにより、各素板チップ上面をコンベックス形状に加工しているものもある（例えば、特許文献２参照。）。以下、この技術を第２の従来例と呼ぶ。
【０００４】
また、従来の水晶振動子の製造方法は、平板状のＡＴカット水晶素板の２つの主表面上に肉厚の大なる電極を形成した後、この電極をレーザトリミングを用いて削ることにより、頂部に向かうほど面積が同心円状、あるいはらせん状に狭くなる階段状かつ山型の構造とし、水晶振動子の全体形状をコンベックス状に構成している（例えば、特許文献３参照。）。以下、この技術を第３の従来例と呼ぶ。
【０００５】
また、従来の圧電振動素子の製造方法は、圧電結晶を任意の角度で切り出す切断工程と、任意の寸法の圧電体片へ加工する圧電体片形成工程と、少なくとも切断工程後に一方の主面の全面的又は部分を凸レンズ形状に加工する凸レンズ形状加工工程と、少なくとも凸レンズ形状である主面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、保護膜を形成してある保護膜形成部分を除いて加工するエッチング工程とからなっている（例えば、特許文献４参照。）。以下、この技術を第４の従来例と呼ぶ。
【０００６】
また、従来の水晶振動子の製造方法は、ポリシングした水晶ウエハにレーザ光を照射してこの水晶ウエハの厚さを薄くかつ一定に加工し、ガラス基板上に碁盤目に配置した多数の微小な測定電極を用いて加工した水晶ウエハ全面の微小部分毎に発振周波数を測定し、その結果に基づいて水晶ウエハの所定の厚さより厚い部分にレーザ光を照射して厚い部分の厚さを修正加工する。次に、水晶ウエハ全面に所定の寸法と間隔で多数の電極を形成した後、各電極部分ごとに水晶ウエハをダイシングして電極付きのチップの水晶振動子を製造している（例えば、特許文献５参照。）。以下、この技術を第５の従来例と呼ぶ。
【０００７】
また、従来の圧電素子の加工方法は、第１の加工補助具の上面に、リング形状又は４角形状又はその他の形状の溝又は段差を形成し、その溝又は段差の深さよりもやや高い円筒形状又はその他の形状の第２の加工補助具を溝又は段差にはめ込み、第２の加工補助具の、第１の加工補助具上面からの突出高さと同じか又は突出高さよりも少し低いか又は高い円板状又はその他の形状の圧電素子被研磨物を設置し、圧電素子被研磨物の上面にある上部ラッピングプレートと、第１の加工補助具の下にある下部ラッピングプレートの上下２枚のラッピングプレートを使用し、極く薄い加工物を研磨加工している（例えば、特許文献６参照。）。以下、この技術を第６の従来例と呼ぶ。
【０００８】
また、従来の水晶振動子の加工方法として、水晶チップと砥粒を混合して、バレルと呼ばれる容器に入れ、その容器を回転させて、この回転運動で容器内部の水晶チップを砥粒と容器壁面に接触させ、水晶チップのコンベックス加工をするようにした例がある。以下、この技術を第７の従来例と呼ぶ。
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−３７４６３号公報（第１頁，［００１９］〜［００２４］、図１〜図４）
【特許文献２】特開平１１−２９８２７８号公報（第１頁，請求項１，［０００５］〜［０００７］、図１，図２）
【特許文献３】特開平１０−３０８６４５号公報（第１頁，請求項４，［０００５］，［０００８］、図４）
【特許文献４】特開２００３−６０４８１号公報（第１頁，請求項９，［００２６］〜［００２９］、図７）
【特許文献５】特開２０００−２８６６５７号公報（請求項１，［０００５］，［００１０］〜［００１３］、図１，図２，図４，図５）
【特許文献６】特開２０００−３１７７８２号公報（請求項１，［０００５］，［０００９］〜［００１３］、図１，図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記した第１の従来例では、ＡＴカット水晶振動子が小型になればなるほど形状制御が難しいとともに、微細砥粒を噴射してＡＴカット水晶ウエハを破砕するブラスト加工を用いているため、ＡＴカット水晶ウエハ表面の面荒れと変質層が発生するという課題があった。また、上記した第２の従来例では、上記した第１の従来例と同様の課題があるとともに、円盤型のＡＴカット水晶振動子にしか適応できず、汎用性に乏しいという課題があった。さらに、上記した第３の従来例では、階段状かつ山型の構造を有する電極を形成するのに工数が多くかかり、コストアップの要因となるとともに、電極全体が厚くなり、ＡＴカット水晶振動子を駆動させた際の負荷になるという課題があった。
【００１１】
また、上記した第４の従来例では、水晶チップの片面にしかコンベックス形状を形成することができないため、十分な性能が得られないという課題があった。また、上記した第５及び第６の従来例では、ＡＴカット水晶ウエハを加工するための装置や工具に特殊なものを用いる必要があり、これがＡＴカット水晶振動子のコストアップの要因となるという課題があった。また、第７の従来例では処理時間が極めて長く（場合によっては１００時間単位）、形状の制御性も悪く、小型の水晶片は加工が難しいという課題があった。
【００１２】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、小型化しても形状制御が容易で、加工後の形状や性能も良好であり、様々な形状を形成でき、少ない工数で安価に形成でき、駆動時の負荷が小さく、装置や工具に汎用性のあるものを使用することができる水晶振動子の製造方法、その装置及び水晶振動子を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る水晶振動子の製造方法は、水晶チップの端部に水晶に吸収されるレーザを照射して段階的に水晶チップの高さを変化させるものである。本発明によれば、小型化しても形状制御が容易で、加工後の形状や性能も良好であり、様々な形状を形成でき、少ない工数で安価に形成でき、駆動時の負荷が小さく、装置や工具に汎用性のあるものを使用することができる。
【００１４】
また、上記の方法において、レーザは、強度を揃えて水晶チップの端部に照射するものである。これにより、強度分布が均一でないレーザビームを発振して出射するレーザ発振器をも用いることができる。
また、上記の方法において、水晶チップは直方体状であり、レーザの照射パターンは矩形状であるものである。これにより、直方体状の水晶チップから断面コンベックス形状の水晶振動子を製造することができる。
【００１５】
また、上記の方法において、レーザを、水晶チップの中心側が凹部となる円弧状の辺が形成された透過部を有するマスクを介して水晶チップの端部に照射するものである。これにより、その断面がよりコンベックス形状に近い水晶振動子を製造することができる。
また、上記の方法において、レーザ照射後の水晶振動子を腐食性を持つ液体に浸漬するものである。これにより、レーザの照射により水晶振動子の表面に付着した加工くずが除去されるので、水晶振動子の性能が向上する。上記の腐食性を持つ液体は、フッ化水素酸、フッ化アンモニウム、バッファードフッ酸、Ｍａｘ７０１１Ｇ、一水素二フッ化アンモニウム、又は水酸化カリウムを少なくとも含むアルカリ液である。
【００１６】
本発明に係る水晶振動子の製造装置は、水晶チップ内部に吸収されるレーザを出射するレーザ発振器と、レーザ発振器を所定ピッチで移動させる移動機構とを備え、移動機構によりレーザ発振器を水晶チップの端部近傍から端部に向かって所定ピッチで移動させつつ、水晶チップの端部にレーザを照射して複数の段部からなる階段部を形成するものである。本発明によれば、小型化しても形状制御が容易で、加工後の形状や性能も良好であり、様々な形状を形成でき、少ない工数で安価に形成でき、駆動時の負荷が小さく、装置や工具に汎用性のあるものを使用することができる。
【００１７】
本発明に係る水晶振動子の製造装置は、水晶に吸収されるレーザを出射するレーザ発振器と、水晶チップを所定ピッチで移動させる移動機構とを備え、移動機構により水晶チップを所定ピッチで移動させつつ、水晶チップの端部にレーザを照射して段階的に水晶チップの高さを変化させるものである。本発明によれば、小型化しても形状制御が容易で、加工後の形状や性能も良好であり、様々な形状を形成でき、少ない工数で安価に形成でき、駆動時の負荷が小さく、装置や工具に汎用性のあるものを使用することができる。
【００１８】
本発明に係る水晶振動子は、上記いずれかの水晶振動子の製造方法により製造されたものである。本発明によれば、昨今の各種モバイル機器を小型化するのに不可欠な高性能で小型の水晶振動子の要求に十分に応えることができる。
【００１９】
本発明に係る水晶振動子は、上記いずれかの水晶振動子の製造装置を用いて製造されたものである。本発明によれば、昨今の各種モバイル機器を小型化するのに不可欠な高性能で小型の水晶振動子の要求に十分に応えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１である水晶振動子の製造装置の構成を示す概略図である。この例の水晶振動子の製造装置は、レーザ発振器１と、移動機構２と、エアチャック３とから概略構成されている。レーザ発振器１は、例えば、Ｆ2レーザであり、波長が１５７ｎｍであって、強度分布が均一なレーザビーム４を発振して出射する。レーザビーム４の照射パターンは、図２に示すように、矩形状である。ここで、Ｆ2レーザを用いるのは、透明素材である水晶チップ５にレーザビームが吸収され、加工が可能となるからである。したがって、レーザ発振器１は、レーザビームが水晶チップ５に吸収され、加工が可能となるレーザであれば良い。Ｆ2レーザ以外のレーザとしては、例えば、水晶チップ５内部でレーザビームの多光子吸収が起こる超短パルスレーザも使用可能である。移動機構２は、レーザ発振器１を図中矢印方向へ所定ピッチで移動させる。エアチャック３は、内部の気圧を減圧することにより水晶チップ５を吸着して固定する。
【００２１】
次に、上記構成の水晶振動子の製造装置を用いた水晶振動子の製造方法について、図３を参照して説明する。なお、図３は、図４（ａ）と図３（ｈ）とを比較して分かるように、水晶振動子１１の４分の１、すなわち、右上部分の製造工程を示している。まず、図１に示すように、略直方体状の水晶チップ５をエアチャック３の上面に固定する。次に、図３（ａ）に示すように、水晶チップ５の右上端部５ａにレーザビーム４を所定時間照射する（第１ショット）。これにより、図３（ｂ）に示すように、水晶チップ５の右上端部５ａの一部が除去され、所定高さの第１段部６1が形成される。
【００２２】
次に、移動機構２を用いて、レーザ発振器１を図１に示す矢印方向に１ピッチだけ移動させた後、図３（ｃ）に示すように、水晶チップ５の右上端部５ａにレーザビーム４を所定時間照射する（第２ショット）。これにより、図３（ｄ）に示すように、水晶チップ５の右上端部５ａの一部が除去され、所定高さの第２段部６2が形成される。以下同様に、移動機構２によるレーザ発振器１の移動及びレーザビーム４の照射を繰り返す（第３ショット及び第４ショット：図３（ｅ）〜図３（ｇ）参照）ことにより、図３（ｈ）に示すように、水晶チップ５の右上端部５ａの一部が順次除去され、所定高さの第３段部６3及び第４段部６4が順次形成される。
【００２３】
次に、右上端部５ａに第１段部６1〜第４段部６4が形成された水晶チップ５をエアチャック３の上面から一旦取り除いた後、左上端部５ｃがレーザ発振器１の直下に位置するように、水平方向に１８０度回転させて、エアチャック３の上面に固定する。この後、上記した図３（ａ）〜図３（ｈ）を参照して説明した工程と同様の工程により、水晶チップ５の左上端部５ｃに図示せぬ所定高さの第１段部〜第４段部を形成する。
【００２４】
次に、右上端部５ａ及び左上端部５ｃにそれぞれ第１段部〜第４段部が形成された水晶チップ５をエアチャック３の上面から一旦取り除いた後、左下端部５ｄがレーザ発振器１の直下に位置するように、上下方向に１８０度回転させて、エアチャック３の上面に固定する。この後、上記した図３（ａ）〜図３（ｈ）を参照して説明した工程と同様の工程により、水晶チップ５の左下端部５ｄに図示せぬ所定高さの第１段部〜第４段部を形成する。次に、右上端部５ａ、左上端部５ｃ及び左下端部５ｄにそれぞれ第１段部〜第４段部が形成された水晶チップ５をエアチャック３の上面から一旦取り除いた後、右下端部５ｂがレーザ発振器１の直下に位置するように、水平方向に１８０度回転させて、エアチャック３の上面に固定する。この後、上記した図３（ａ）〜図３（ｈ）を参照して説明した工程と同様の工程により、水晶チップ５の右下端部５ｂに図示せぬ所定高さの第１段部〜第４段部を形成することにより、図４に示すように、右上端部１１ａ、右下端部１１ｂ、左上端部１１ｃ及び左下端部１１ｄにそれぞれ所定高さの第１段部〜第４段部が形成された水晶振動子１１を形成する。第１段部〜第４段部を総称するときは、階段部と呼ぶ。以下においても同様である。
【００２５】
図４（ａ）は水晶振動子１１の断面図、図４（ｂ）は水晶振動子１１の平面図である。以上においては、説明を分かりやすくするために、右上端部５ａ、左上端部５ｃ及び左下端部５ｄにそれぞれ所定高さの第１段部〜第４段部だけを形成する例を示している。しかし、レーザ発振器１は、実際上は、１秒間に２００ショット程度レーザビーム４を出射するので、より多くの段部を形成することができ、図４に示した形状よりもより滑らかな断面コンベックス形状のＡＴカット水晶振動子を製造することができる。水晶振動子の製造時間は、数秒である。この製造時間は、レーザビーム４のパワーに依存する。
【００２６】
次に、上記レーザビーム４の照射により加工くずが水晶振動子１１の表面に付着する場合があるので、必要に応じて、水晶振動子１１を、例えば、フッ化水素酸（ＨＦ）内に浸漬して、加工くずを除去する。これにより、加工くずが除去されるので、水晶振動子の性能が向上する。製造された断面コンベックス形状のＡＴカット水晶振動子の発振周波数は、１０ＭＨｚ前後から１００ＭＨｚ程度までである。なお、上記のフッ化水素酸（ＨＦ）に代えて、例えばフッ化アンモニウム、バッファードフッ酸、Ｍａｘ７０１１Ｇ、一水素二フッ化アンモニウム、又は水酸化カリウムを少なくとも含むアルカリ液を用いてもよい。
【００２７】
このように、この例の構成によれば、水晶に対して吸収性を有するレーザビーム４を用いて水晶チップ５の右上端部５ａ、右下端部５ｂ、左上端部５ｃ及び左下端部５ｄにそれぞれ複数の段部からなる階段部を形成している。したがって、小型化しても形状制御が容易で、またＡＴカット水晶チップ表面の面荒れや変質層が発生しにくい。また、この例の構成によれば、レーザビームの照射パターンやスキャン方法、あるいは照射タイミングを任意に変更することができるので、直方体状の水晶チップから図４に示す全体が略直方体状で断面コンベックス形状の水晶振動子だけでなく、円盤型その他の様々な形状を有する水晶振動子を製造することができる。
【００２８】
さらに、この例の構成によれば、１秒間に２００ショット程度のレーザビーム４を出射するレーザ発振器１を用いているので、少ない工数で水晶振動子を製造することができ、コストダウンを図ることができるとともに、電極形状は従来と変わらないので、駆動させた際の負荷が大きくなることはない。また、この例の構成によれば、水晶チップの両面にコンベックス形状を形成することができるので、十分な性能が得られる。また、この例の構成によれば、ＡＴカット水晶チップ５を加工するための特殊な装置や工具を用いる必要がないので、水晶振動子のコストダウンを図ることができる。この結果、昨今の各種モバイル機器を小型化するのに不可欠な高性能で小型の水晶振動子の要求に十分に応えることができる。
【００２９】
実施の形態２．
図５は、本発明の実施の形態２である水晶振動子の製造装置で用いるマスク２１の平面図である。なお、マスク２１以外の装置の構成は、図１に示す構成と同様である。マスク２１は、図５に示すように、その幅が加工対象である水晶チップ５の幅より若干広く、その長さは水晶チップ５の長さの約半分の略矩形状を有しており、ガラス板上に、４辺のうち、隣接する３辺が直線で形成され、残りの１辺、すなわち、水晶チップ５上に載置された際に水晶チップ５の中心側に位置する辺が当該中心側が凹部となる円弧状である透過部２１ｂを有する遮光膜２１ａが形成されて構成されている。遮光膜２１ａは、タングステン（Ｗ）やアルミニウム（Ａｌ）、あるいはクロム（Ｃｒ）等からなり、透過部２１ｂ以外の部分においてレーザビーム４を遮断する。
【００３０】
次に、上記構成の水晶振動子の製造装置を用いた水晶振動子の製造方法について説明する。まず、図１に示すように、略直方体状の水晶チップ５をエアチャック３の上面に固定した後、水晶チップ５の右上端部５ａの上面に、図６に示すように、マスク２１を載置し、この状態で、水晶チップ５の右上端部５ａにレーザビーム４を所定時間照射する（第１ショット）。これにより、図７に実線で示すように、水晶チップ５の右上端部５ａの一部が除去され、所定高さの第１段部３１1が形成される。
【００３１】
次に、移動機構２を用いて、レーザ発振器１を図１に示す矢印方向に１ピッチだけ移動させるとともに、移動機構２によるレーザ発振器１の移動に連動させてマスク２１を図６に示す矢印方向に１ピッチだけ移動させ後、水晶チップ５の右上端部５ａにレーザビーム４を所定時間照射する（第２ショット）。これにより、図７に実線で示すように、水晶チップ５の右上端部５ａの一部が除去され、所定高さの第２段部３１2が形成される。
【００３２】
以下同様に、移動機構２によるレーザ発振器１の移動、移動機構２によるレーザ発振器１の移動に連動させたマスク２１の移動及びレーザビーム４の照射を繰り返す（第３ショット及び第４ショット）ことにより、図７に示すように、水晶チップ５の右上端部５ａの一部が順次除去され、所定高さの第３段部３１3及び第４段部３１4が順次形成される。なお、図７に示す水晶チップ５の端部５ａ1及び５ａ2では、他の部分と比較して、レーザビーム４が照射される回数（ショット数）が多いので、最も深く加工され、球面形状となる。これ以降の製造方法については、水晶チップ５の加工位置が右下端部５ｂ、左上端部５ｃ及び左下端部５ｄとなる以外は、上記した場合と同様であるので、その説明を省略する。
【００３３】
このように、この例の構成によれば、一辺が円弧状を有するマスク２１を用いて水晶チップ５を加工しているので、上記した実施の形態１で得られる効果の他、その断面がよりコンベックス形状に近いＡＴカット水晶振動子を製造することができるという効果が得られる。
【００３４】
実施の形態３．
上述の各実施の形態では、水晶チップ５を固定し、レーザ発振器１又はレーザ発振器１及びマスク２１側を移動させる例を示したが、これに限定されない。例えば、レーザ発振器１側を固定し、水晶チップ５又はマスク２１が載置された水晶チップ５側をＸＹステージ等により図１に示す矢印方向とは反対方向に移動するように構成しても良い。
【００３５】
実施の形態４．
上述の各実施の形態では、略直方体状の水晶チップ５の４つの端部の１つずつについて複数の段部を形成する例を示したが、これに限定されない。例えば、図８に示すように、エアチャック３の上面に固定された水晶チップ５の右上端部５ａ及び左上端部５ｃの両方に図中２つの矢印で示すようにレーザビームを照射することによりそれぞれに同時に複数の段部を形成しても良い。また、図９に示すように、水晶チップ５の略中央をクランパ４１で上下に把持した状態において、水晶チップ５の右上端部５ａ及び左上端部５ｃの両方に図中２つの矢印で示すようにレーザビームを照射することによりそれぞれに同時に複数の段部を形成しても良い。さらに、図１０に示すように、水晶チップ５の左端部をクランパ４２で上下に把持した状態において、水晶チップ５の右上端部５ａ及び右下端部５ｂの両方に図中２つの矢印で示すようにレーザビームを照射することによりそれぞれに同時に複数の段部を形成しても良い。このように構成すれば、加工時間を半分以下に短縮することができる。
【００３６】
実施の形態５．
上述の各実施の形態では、強度分布が均一なレーザビーム４を発振して出射するレーザ発振器１を用いる例を示したが、これに限定されない。強度分布が均一でないレーザビームを発振して出射するレーザ発振器を用いる場合には、位相格子、回折格子、半導体装置製造等で用いられる露光用ステッパ、ビームホモジナイザ、フレネルレンズ等、レーザビームの波面を揃える素子を用いれば良い。
【００３７】
実施の形態６．
上述の各実施の形態では、この発明を水晶振動子を製造する場合に適用する例を示したが、これに限定されない。この発明は、例えば、水晶、石英、ガラス等の透明で純度が高く硬度が大きくて加工がしにくい材料の３次元形状加工して、各種のＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイス、例えば、マイクロ流路デバイスやインクジェットヘッドの３次元オリフィス等を製造する場合にも適用することができる。
【００３８】
実施の形態７．
上述の実施の形態２では、ガラス板上に透過部２１ｂを有する遮光膜２１ａが形成されて構成されたマスク２１を用いる例を示したが、これに限定されない。マスクとしては、例えば、タングステン（Ｗ）やアルミニウム（Ａｌ）、あるいはクロム（Ｃｒ）等からなる金属板に透過部２１ｂと同一形状の開口部を形成して構成しても良い。このように構成すれば、レーザビームのエネルギーが大きい場合でも、水晶振動子に所望の断面コンベックス形状を形成することができる。
【００３９】
以上、この実施の形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
例えば、上述の実施の形態１では、レーザビーム４の照射パターンが矩形状である例を示したが、これに限定されず、レーザビーム４の照射パターンが円形であっても、水晶チップ５に図２に示す照射パターンが照射されるような矩形状のマスクを用いれば良い。
また、上述の各実施の形態は、その目的及び構成等に特に矛盾や問題がない限り、互いの技術を流用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態１を示す水晶振動子の製造装置の概略図。
【図２】レーザビームの照射パターンを説明するための平面図。
【図３】実施の形態１の水晶振動子の製造工程図。
【図４】水晶振動子の断面図及び平面図。
【図５】実施の形態２を示す水晶振動子の製造方法で用いるマスクの平面図。
【図６】実施の形態２の水晶振動子の製造方法を説明するための概念図。
【図７】実施の形態２の水晶振動子の製造方法を説明するための概念図。
【図８】実施の形態４の水晶振動子の製造方法の第１例を説明するための概念図。
【図９】実施の形態４の水晶振動子の製造方法の第２例を説明するための概念図。
【図１０】実施の形態４の水晶振動子の製造方法の第３例を説明するための概念図。
【符号の説明】
【００４１】
１  レーザ発振器、２  移動機構、３  エアチャック、４  レーザビーム、５  水晶チップ、５ａ，１１ａ  右上端部、５ａ1，５ａ2  端部、５ｂ，１１ｂ  右下端部、５ｃ，１１ｃ  左上端部、５ｄ，１１ｄ  左下端部、６1，３１1  第１段部、６2，３１2  第２段部、６3，３１3  第３段部、６4，３１4  第４段部、１１  水晶振動子、２１  マスク、２１ａ  遮光膜、２１ｂ  透過部、４１，４２  クランパ。
【図１】
2006014270.tif 000003
【図２】
2006014270.tif 000004
【図３】
2006014270.tif 000005
【図４】
2006014270.tif 000006
【図５】
2006014270.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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