(57)【要約】【課題】  レンズの光軸と回転軸とのずれを無視できる程度に抑え、被検レンズの光軸に対する外周面の中心軸の横ずれ量を高精度に測定する。【解決手段】  偏心測定装置１は、スピンドル２にαβ調整ステージ３と、ＸＹステージ４とが順番に固定されており、ＸＹステージ４上のレンズホルダ固定部材５に固定されたレンズホルダ６に被検レンズＷが吸着等によって保持されている。偏心測定時には、被検レンズＷのレンズ面Ｗａの曲率中心と、αβ調整ステージ３の揺動中心とを一致させてから測定を開始する。【選択図】    図１
2006242680.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検レンズを保持するレンズ保持部材と、前記レンズ保持部材を回転させる回転駆動機構と、前記回転駆動機構の回転軸に対する前記レンズ保持部材の水平方向の位置を調整する移動機構と、前記回転駆動機構の回転軸に対する前記レンズ保持部材及び前記移動機構の水平方向のあおりを調整するあおり調整機構と、前記レンズ保持部材により保持された前記被検レンズ両面の前記回転駆動機構の前記回転軸に対する偏心を観察する偏心検出手段と、前記被検レンズの光軸に対する外周面の中心軸の横ずれ量を測定する外周振れ測定手段とを備え、前記偏心検出手段側の前記被検レンズのレンズ面の曲率中心は、前記あおり調整機構の揺動中心と一致するように前記レンズ保持部材の高さが設定されることを特徴とする偏心測定装置。
【請求項２】
前記レンズ保持部材は、前記移動機構に着脱可能に構成され、前記被検レンズの前記偏心検出手段側のレンズ面の曲率に対応するレンズ保持部材に変更可能であることを特徴とする請求項１記載の偏心測定装置。
【請求項３】
回転駆動機構の回転軸に対するレンズ保持部材の水平方向の位置を調整する移動機構と、前記回転駆動機構の前記回転軸に対する前記レンズ保持部材及び前記移動機構の水平方向のあおりを調整するあおり調整機構と、前記レンズ保持部材により保持された被検レンズ両面の偏心を観察する偏心検出手段により、前記被検レンズの光軸を前記回転駆動機構の前記回転軸と一致させて、前記被検レンズの光軸に対する外周面の中心軸の振れ量を測定することを特徴とする偏心測定方法。
【請求項４】
前記被検レンズの光軸を前記回転駆動機構の前記回転軸と一致させるに際し、前記被検レンズを水平移動させて一方のレンズ面の曲率中心と前記回転軸とを一致させる工程と、前記被検レンズのあおりを調整して他方のレンズ面の曲率中心と前記回転軸とを一致させる工程とを交互に実施することを特徴とする請求項３に記載の偏心測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズの光軸に対するレンズの外周面の中心軸の横ずれ量を測定する偏心測定装置及び偏心測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
球面レンズなどのレンズを製造する際には、研磨、心取りが行われるが、厳密にはレンズの光軸（レンズ両面の曲率中心を結ぶ軸）と、レンズの外周面の中心軸とが一致することはなく、わずかながら偏心と称される横ずれを生じることが多い。レンズは、その外周面をレンズ枠に嵌合させて固定するため、光軸と外周面の中心軸との間に生じる横ずれは、そのレンズを組み込む光学系の光学性能を悪化させる大きな要因となる。このため、レンズの横ずれ量を測定し、その値が光学系の光学性能を確保する上で許容できる範囲内のものであるかを把握する必要がある。
【０００３】
レンズの光軸に対するレンズの外周面の中心軸の横ずれ量を測定するためには、検査対象となるレンズ（以下、被検レンズとする）の光軸の傾きを除去し、被検レンズの光軸と被検レンズの回転軸とを一致させて、被検レンズの外周面の変位を読み取る方法が知られている。ここで、この方法では、最初に被検レンズの光軸と回転軸とを正確に一致させる必要がある。被検レンズの光軸と回転軸とを一致させる手段としては、例えば、図１０に示すような偏心測定装置１０１がある。この偏心測定装置１０１は、被検レンズ１０２を保持するレンズホルダ１０３と、レンズホルダ１０３を回転駆動するスピンドル１０４と、スピンドル１０４の回転軸１０４ａに対する被検レンズ１０２の光軸の傾きを測定する偏心測定部１０５とから構成されている。レンズホルダ１０３の中心軸は、スピンドル１０４の回転軸１０４ａに対して同軸加工されており、このレンズホルダ１０３に被検レンズ１０２を支持させると、レンズホルダ１０３側のレンズ面１０２ｂの曲率中心は、理論的には常に回転軸１０４ａの軸上にある。そして、レンズホルダ１０３を回転させて、偏心測定部１０５によって被検レンズ１０２のレンズ面１０２ａの曲率中心を観察しながら、作業者が被検レンズ１０２の傾きを調整し、レンズ面１０２ａの曲率中心が回転しないように合わせる。このようにして、被検レンズ１０２の光軸とスピンドル１０４の回転軸１０４ａとが一致させられる。
【０００４】
また、従来の偏心測定装置の他の構成を図１１に示す。この偏心測定装置１１１は、レンズホルダ１１３をスピンドル１０４の回転軸１０４ａに対して水平方向に移動させる移動機構１１５と、レンズホルダ１１３の水平方向に対するあおりを調整するあおり調整機構１１６とを備えるものである（例えば、特許文献１参照）。この偏心測定装置１１１では、レンズホルダ１１３の上面に平行平面板を置き、偏心測定部１０５で測定を行いながらあおり調整機構１１６であおりを調整し、レンズホルダ１１３の上面をスピンドル１０４の回転軸１０４ａに対して垂直にする。次に、レンズホルダ１１３に基準球面を置いて、偏心測定部１０５で測定を行いながら移動機構１１５によりレンズホルダ１１３の水平方向の位置を調整し、レンズホルダ１１３の中心軸をスピンドル１０４の回転軸１０４ａに一致させる。このようにすることで、レンズホルダ１１３を交換してもレンズホルダ１１３の中心軸をスピンドル１０４の回転軸１０４ａに対して直ちに同軸にすることができ、被検レンズ１０２のレンズホルダ１１３側のレンズ面１０２ｂの曲率中心を、理論的には回転軸１０４ａの軸上にある状態とすることができる。そして、この後に作業者が被検レンズ１０２の傾きを調整し、被検レンズ１０２の光軸をスピンドル１０４の回転軸１０４ａに一致させる。
【特許文献１】特開平９−２８８０４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の偏心測定装置１０１，１１１では、以下のような問題点を有していた。
スピンドル１０４の回転軸１０４ａに対して被検レンズ１０２の光軸を一致させるときに、レンズホルダ１０３，１１３側のレンズ面１０２ｂの曲率中心は理論的にはスピンドル１０４の回転軸１０４ａ上にあることを前提としているが、レンズ面１０２ｂを受けるレンズホルダ１０３，１１３の円形の縁部に傷が付いていたり、被検レンズ１０２をレンズホルダ１０３，１１３に保持させるときにゴミや塵などを挟み込んでしまったりした場合には、レンズ面１０２ｂの曲率中心と回転軸１０４ａとが一致しなくなることが多い。このような場合には、光軸が傾いた状態で被検レンズ１０２の光軸に対する被検レンズ１０２の外周面の中心軸の振れを測定していることになるので、正確な測定ができなくなる。このようなずれは、被検レンズ１０２の光軸に対する被検レンズ１０２の外周面の中心軸の横ずれ量の許容範囲が大きい場合には問題とならないが、高精度が要求される被検レンズにおいては大きな問題となる。
【０００６】
また、偏心測定部１０５では、レンズホルダ１０３，１１３側のレンズ面１０２ｂを観察しながら、レンズ面１０２ｂの曲率中心を回転軸１０４ａに一致させれば調整が済むと考えられるが、レンズホルダ１０３，１１３側のレンズ面１０２ｂは、レンズ面１０２ａの影響を受けた上での観察となるために、レンズ面１０２ａの曲率中心が回転軸１０４ａと一致していない限り、正しくレンズ面１０２ｂの曲率中心を回転軸１０４ａに一致させることができない。
このように、従来の偏心測定装置１０１，１１１では、被検レンズ１０２の光軸に対する被検レンズ１０２の外周面の中心軸の横ずれ量を容易に、かつ高精度に測定することができなかった。
【０００７】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その主な目的とするところは、レンズホルダに傷があったり、ゴミを挟み込んだりした状態で測定を行っても、被検レンズの光軸と回転軸とのずれを無視できる程度に抑え、被検レンズの光軸に対する外周面の中心軸の横ずれ量を高精度に測定することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決する本発明の請求項１に係る発明は、被検レンズを保持するレンズ保持部材と、前記レンズ保持部材を回転させる回転駆動機構と、前記回転駆動機構の回転軸に対する前記レンズ保持部材の水平方向の位置を調整する移動機構と、前記回転駆動機構の回転軸に対する前記レンズ保持部材及び前記移動機構の水平方向のあおりを調整するあおり調整機構と、前記レンズ保持部材により保持された前記被検レンズ両面の前記回転駆動機構の前記回転軸に対する偏心を観察する偏心検出手段と、前記被検レンズの光軸に対する外周面の中心軸の横ずれ量を測定する外周振れ測定手段とを備え、前記偏心検出手段側の前記被検レンズのレンズ面の曲率中心は、前記あおり調整機構の揺動中心と一致するように前記レンズ保持部材の高さが設定されることを特徴とする偏心測定装置とした。
この偏心測定装置では、被検レンズの偏心を測定する際に、レンズ偏心検出手段側のレンズ面の曲率中心をあおり調整機構の揺動中心に一致させてあるので、被検レンズの光軸と回転軸とのずれを無視できる程度に抑えた状態で、被検レンズを回転軸回りに回転させることができる。このため、被検レンズの外周面の中心軸の振れ量が精度良く測定される。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の偏心測定装置において、前記レンズ保持部材は、前記移動機構に着脱可能に構成され、前記被検レンズの前記偏心検出手段側のレンズ面の曲率に対応するレンズ保持部材に変更可能であることを特徴とする。
この偏心測定装置では、曲率が異なる被検レンズの偏心測定を行う際には、レンズ保持部材を交換する。レンズ保持部材を交換した場合でも移動機構及びあおり調整機構によって被検レンズの曲率中心をあおり調整機構の揺動中心と一致させた状態で測定を開始することで、偏心測定を精度良く行える。
【００１０】
請求項３に係る発明は、回転駆動機構の回転軸に対するレンズ保持部材の水平方向の位置を調整する移動機構と、前記回転駆動機構の前記回転軸に対する前記レンズ保持部材及び前記移動機構の水平方向のあおりを調整するあおり調整機構と、前記レンズ保持部材により保持された被検レンズ両面の偏心を観察する偏心検出手段により、前記被検レンズの光軸を前記回転駆動機構の前記回転軸と一致させて、前記被検レンズの光軸に対する外周面の中心軸の振れ量を測定することを特徴とする偏心測定方法とした。
この偏心測定方法では、最初に被検レンズの光軸を回転駆動機構の回転軸と一致させることで、被検レンズの回転時の振れを防止し、その後に被検レンズの外周面の中心軸の振れ量を測定するので、被検レンズの外周面の中心軸の振れ量が精度良く測定される。
【００１１】
請求項４に係る発明は、請求項３に記載の偏心測定方法において、前記被検レンズの光軸を前記回転駆動機構の前記回転軸と一致させるに際し、前記被検レンズを水平移動させて一方のレンズ面の曲率中心と前記回転軸とを一致させる工程と、前記被検レンズのあおりを調整して他方のレンズ面の曲率中心と前記回転軸とを一致させる工程とを交互に実施することを特徴とする。
この偏心測定方法では、被検レンズの水平移動と、被検レンズのあおりの調整とを少なくとも１回ずつ交互に行うことで、被検レンズの光軸が徐々に回転駆動機構の回転軸に近づき、光軸と回転軸とのずれを無視できる程度になる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、回転軸に対する被検レンズの光軸の傾き及び横ずれを、無視できる程度に小さく調整することが容易になるので、被検レンズの光軸に対する被検レンズの外周面の中心軸の横ずれ量の測定を高精度に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、図１は偏心測定装置の概略構成を示す斜視図であり、図２は側面図である。また、図３から図６は被検レンズの回転軸に対する傾きと横ずれが修正される過程を段階的に示す正面図である。
図１及び図２に示すように、偏心測定装置１は、不図示の駆動源と共に回転駆動機構を構成するスピンドル２を有し、スピンドル２の上部には、スピンドル２の回転軸２ａに直交する面（水平面）に対するあおり方向（図中のαβ方向）に移動可能なαβ揺動ステージ３（あおり調整機構）が固定されている。αβ揺動ステージ３は、α方向に移動自在なα軸方向テーブル３ａと、β方向に移動自在なβ軸方向テーブル３ｂとを上下に積層させて構成され、これら各テーブル３ａ，３ｂの揺動中心はスピンドル２の回転軸２ａ上で一致するように設置されている。αβ揺動ステージ３上には、水平方向（図中のＸＹ方向）に移動自在なＸＹステージ４が固定されている。ＸＹステージ４は、Ｘ軸方向に平行移動自在なＸ軸方向テーブル４ａと、Ｙ方向に平行移動自在なＹ軸方向テーブル４ｂとを積層させて構成された移動機構である。さらに、ＸＹステージ４上には、レンズホルダ固定部材５が固定されている。レンズホルダ固定部材５上には、円筒状のレンズホルダ６（レンズ保持部材）が着脱自在に固定されており、レンズホルダ６の中心の中空部分の上端部分には、被検レンズＷの下面（レンズ面Ｗｂ）を吸着保持する吸着手段（不図示）が設けられている。
【００１４】
ここで、レンズホルダ固定部材５にレンズホルダ６を固定する手段としては、例えば、レンズホルダ固定部材５の中央で、かつ回転軸２ａと一致する位置に雄ネジを設け、この雄ネジと同径及び同ピッチの雌ネジをレンズホルダ６の下部の内周部に設けることがあげられる。また、レンズホルダ６の高さは、レンズホルダ６に保持させた被検レンズＷと、レンズホルダ６のそれぞれの傾き及び横ずれがなく、被検レンズＷの光軸が回転軸２ａと一致したときに、被検レンズＷの上面（レンズ面Ｗａ）の曲率中心と、αβ揺動ステージ３の揺動中心とが一致するように定められている。
【００１５】
また、レンズホルダ６の上方、つまり被検レンズＷの上方には、スピンドル２の回転軸２ａに対する被検レンズＷの両レンズ面Ｗａ，Ｗｂの偏心を確認するために用いられる偏心検出手段７が設置されている。図２に示すように、偏心検出手段７は、測定用光源１１を備え、測定用光源１１から出射される光の光路上には、チャート（以下、ターゲットという）１２、採光レンズ１３、ハーフプリズム１４が順番に配置されており、測定用光源１１からの光をターゲット１２に照射することで得られる像（ターゲット像）を採光レンズ１３に入射させ、ハーフプリズム１４の反射によって被検レンズＷに入射させるようになっている。さらに、ハーフプリズム１４の上方には、被検レンズＷで反射する反射光であって、ハーフプリズム１４を透過する光を集光してターゲット像を結像させる結像レンズ１５と、結像されるターゲット像を拡大する拡大レンズ１６と、拡大して結像されるターゲット像を映すテレビカメラ１７とが順番に配置されている。このテレビカメラ１７の出力信号は、コンピュータ１８に接続されている。コンピュータ１８は、画像処理回路が組み込まれており、被検レンズＷで反射するターゲット像を画像処理することで反射したターゲット像の画像をモニタ１９に表示できるように構成されている。偏心検出手段７は、結像したターゲット像位置に物点位置を合わせられるように、図示しない手段で被検レンズＷに対して接近、又は離隔可能となっている。
【００１６】
さらに、図１に示すように、被検レンズＷの側方には、被検レンズＷの光軸に対する被検レンズＷの外周面Ｗｃの横ずれを測定する外周振れ測定手段８が設けられている。外周振れ測定手段８は、光源８ａと受光部８ｂとが被検レンズＷを側方から挟むように配設されている。光源８ａは、被検レンズＷの外周面Ｗｃによって光の一部が遮蔽されるように光を照射し、受光部８ｂは、この光を受光して光量に応じた信号を出力することで被検レンズＷの外周振れを非接触で測定可能になっている。また、外周振れ測定手段８は、被検レンズＷの位置に合わせて高さを調整できるように図示しない手段で、被検レンズＷの光軸に沿って上下移動可能になっている。
【００１７】
このような偏心測定装置１を用いて行われる被検レンズＷの光軸に対する外周面Ｗｃの中心軸の横ずれ量の測定方法について説明する。
まず、作業者が、測定したい被検レンズＷに対応するレンズホルダ６の雌ネジをレンズホルダ固定部材５の雄ネジにねじ込んで固定する。そして、固定したレンズホルダ６に被検レンズＷを吸着保持させる。このとき、被検レンズＷの光軸は、スピンドル２の回転軸２ａに対して傾きをもつと共に、レンズホルダ６の位置によっては、横方向にずれた状態となっている。ここで、図３に示すように、被検レンズＷのレンズ面Ｗｂの曲率中心とスピンドル２の回転軸２ａの間のずれ量であって、回転軸２ａと直交する方向のずれ量（以下、横ずれ量とする）をΔ、回転軸２ａに対する被検レンズＷの光軸の傾き角度をθ０と定義する。
【００１８】
次に、図４に示すように、被検レンズＷのレンズ面Ｗｂの曲率中心と回転軸２ａとが一致（Δ＝０）した状態において、被検レンズＷのレンズ面Ｗａ及びレンズ面Ｗｂの曲率中心間の距離をＬ、被検レンズＷのレンズ面Ｗａの曲率中心と回転軸２ａとの横ずれ量をＸ０と定義すると、次式が成り立つ。
Ｘ０＝Ｌ×ｓｉｎθ０      （１）
【００１９】
ここで、偏心検出手段７を被検レンズＷに対して近接又は離隔させて、被検レンズＷのレンズ面Ｗａで反射したターゲット像がモニタ１９で観察できるようにした後、スピンドル２を回転させると、Δ＋Ｘ０に比例した半径を有する円上をターゲット像が回転する。この状態では、ターゲット像は偏心した状態で観察される。そこで、モニタ１９に表示されるターゲット像を観ながら、ＸＹステージ４によって被検レンズＷをΔ＋Ｘ０分だけ水平に移動させると、被検レンズＷのレンズ面Ｗａの曲率中心はスピンドル２の回転軸２ａに一致するため、ターゲット像の回転振れを止めることができる。このとき、図５に示すように、被検レンズＷのレンズ面Ｗａ及びレンズ面Ｗｂの曲率中心とαβ揺動ステージ３の揺動中心との距離をそれぞれＲ１、Ｒ２とし、レンズ面Ｗｂの曲率中心とαβ揺動ステージ３の揺動中心とを結んだ線とスピンドル２の回転軸２ａとの間の傾き角度をφ１とすると、次式が成り立つ。
ｓｉｎφ１＝Ｘ０／Ｒ２      （２）
【００２０】
次に、偏心検出手段７を被検レンズＷに対して接近又は離隔させて、被検レンズＷのレンズ面Ｗｂで反射したターゲット像がモニタ１９で観察できるようにした後、スピンドル２を回転させると、被検レンズＷの光軸の傾きθ０に比例した半径を有する円上をターゲット像が回転する。そこで、モニタ１９に表示されるターゲット像を観ながら、αβ揺動ステージ３によって被検レンズＷをφ１だけ傾斜させると、被検レンズＷのレンズ面Ｗｂの曲率中心はスピンドル２の回転軸２ａに一致し、これによってターゲット像の回転振れを止めることができる。このとき、図６に示すように、被検レンズＷのレンズ面Ｗａの曲率中心と回転軸２ａとの横ずれ量をＸ１とすると、次式が成り立つ。
ｓｉｎφ１＝Ｘ１／Ｒ１      （３）
ここで、（２）式と（３）式から次式が成り立つ。
Ｘ１＝（Ｒ１／Ｒ２）×Ｘ０      （４）
【００２１】
（４）式からは、Ｒ１＜Ｒ２のとき、Ｘ１＜Ｘ０の関係が成り立つ。このため、被検レンズＷのレンズ面Ｗａが回転軸２ａと一致しているとき、被検レンズＷのレンズ面Ｗａ及びレンズ面Ｗｂの曲率中心と、αβ揺動ステージ３の揺動中心との距離の関係で、レンズ面Ｗａの距離の方が揺動中心に近いとき、αβ揺動ステージ３による被検レンズＷの角度修正後のレンズ面Ｗｂの曲率中心と回転軸２ａとの横ずれ量Ｘ１は、角度修正前の横ずれ量Ｘ０よりも小さくなる。また、αβ揺動ステージ３による被検レンズＷの角度修正後の光軸の傾き角度をθ１とすると、次式が成り立つ。
Ｘ１＝Ｌ×ｓｉｎθ１      （５）
【００２２】
（１）式及び（５）式と、Ｘ０＞Ｘ１とから、θ０＞θ１の関係が成り立つ。したがって、αβ揺動ステージ３による角度修正後の被検レンズＷの光軸の傾きθ１は、角度修正前の角度θ０よりも小さくなる。
また、（４）式からは、Ｒ１→０のとき、Ｘ１及びθ１は小さくなることがわかる。前記の通り、レンズホルダ６の高さは、被検レンズＷの光軸が回転軸２ａと一致したとき、被検レンズＷのレンズ面Ｗａの曲率中心と、αβ揺動ステージ３の揺動中心とが一致するように構成されているため、Ｒ１の値は被検レンズＷを最初にレンズホルダ６に保持した時の傾きで決まり、次式で表される。
Ｒ１＝Ｌ×（１−ｃｏｓθ０）      （６）
【００２３】
被検レンズＷをレンズホルダ６に保持するときには、作業者が被検レンズＷの傾きが小さくなるように設置すればＲ１を小さい値にすることができる。したがって、偏心検出手段７で観察しながらＸＹステージ４によるレンズ面Ｗａの曲率中心位置の修正と、αβ揺動ステージ３によるレンズ面Ｗｂの曲率中心位置の修正作業とを数回繰り返せば、スピンドル２の回転軸２ａに対する被検レンズＷの光軸の傾き及び横ずれは、無視できる値まで小さくすることができる。なお、被検レンズＷで反射するターゲット像を移動させる際の目標とする中心位置は、ターゲット像の軌跡をコンピュータ１８で画像処理し、演算することで求めても良い。
【００２４】
このようにして、被検レンズＷの光軸とスピンドル２の回転軸２ａとを一致させた後、外周振れ測定手段８を被検レンズＷの高さに合わせ、スピンドル２を回転させる。被検レンズＷの回転時に外周面Ｗｃの位置が変位する場合には、受光部８ｂに受光される光の光量が変化するので、外周振れ測定手段８の受光部８ｂで得られる光量から、被検レンズＷの光軸に対する外周面Ｗｃの中心軸の横ずれ量を測定することができる。そして、この外周面Ｗｃの横ずれ量が予め定められている許容範囲内であるか否かを確認する。
【００２５】
また、曲率の異なる被検レンズＷについて偏心測定を行う際には、その被検レンズＷの曲率に合わせたレンズホルダ６をレンズホルダ固定部材５に装着し、前記と同様の手順で測定を行う。
【００２６】
この実施の形態によれば、偏心検出手段７で被検レンズＷの光軸を実測しながら、αβ揺動ステージ３及びＸＹステージ４を操作して調整をすることで、被検レンズＷの光軸をスピンドル２の回転軸２ａに一致させることができる。したがって、被検レンズＷの光軸に対する外周面Ｗｃの中心軸の横ずれ量を高精度に測定することができる。
また、外周面Ｗｃの横ずれ量の測定に非接触の外周振れ測定手段８を用いているため、微小な被検レンズＷであっても、外周振れ測定時に被検レンズＷの光軸がずれてしまうことはない。
【００２７】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、図７は偏心測定装置の概略構成を示す斜視図であり、図８は側面図である。図９は被検レンズをレンズホルダに載せた状態を示す平面図である。図８中の断面は図９に示すＡＯＢ線に沿った断面である。この実施の形態において、第１の実施の形態と同じ構成要素には同一の符号を付してある。また、重複する説明は省略する。
【００２８】
図７から図９に示すように、偏心測定装置２０は、被検レンズＷを保持するレンズホルダ６を有し、レンズホルダ６の縮径された下部外周面に雄ねじが形成されている。この雄ねじは、同じ外径及び同じピッチの雌ねじを内周面に有する丸アリ２１に着脱可能となっている。丸アリ２１は、αβ揺動ステージ３の上面と、αβ揺動ステージ３に固定された円形部材２２とで形成される凹部内で、水平方向（図中のＸＹ方向）に移動可能に支持されており、２つの進退自在な移動つまみ２３と、１つの押圧部材２４により、傾斜面とされた外周面が挟持された状態で保管されている。移動つまみ２３は、円形部材２２に形成されたねじ部にねじ込まれており、回動によって丸アリ２１に対して進退自在となっている。押圧部材２４には、円形部材２２の外周側面に固定された筒部材２４ａ内の圧縮バネ２５により、丸アリ２１を常に２つの移動つまみ２３に押し付ける力が作用している。２つの移動つまみ２３と押圧部材２４とは、円形部材２２の中心に向かって１２０°の角度をなすように設けられており、２つの移動つまみ２３の操作により被検レンズＷを水平方向に移動可能となっている。
【００２９】
また、被検レンズＷの光軸に対する外周面の中心軸の横ずれ量を測定する外周振れ測定手段として、ピックテスタ２６が設けられている。ピックテスタ２６は、被検レンズＷの位置に合わせて、その高さを変えられるように図示しない手段で被検レンズＷの光軸方向に上下移動可能となっている。
【００３０】
次に、この実施の形態における被検レンズＷの光軸に対する外周面Ｗｃの中心軸の横ずれ量の測定方法について説明する。
第１の実施の形態のＸＹステージの代わりに、２つの移動つまみ２３を回して丸アリ２１の位置を移動させて、被検レンズＷを水平方向に移動させて位置を調整する。被検レンズＷの光軸をスピンドル２の回転軸２ａに一致させる工程は、第１の実施の形態と同様である。
また、第１の実施の形態と同様にして、被検レンズＷの光軸とスピンドル２の回転軸２ａとを一致させた後に、ピックテスタ２６の検出端子２６ａを被検レンズＷの外周面Ｗｃに接触させて、スピンドル２を回転させ、被検レンズＷの光軸に対する外周面Ｗｃの中心軸の横ずれ量を測定する。
【００３１】
この実施の形態によれば、被検レンズＷを水平移動させる移動機構の高さを薄くすることができ、αβ揺動ステージ３の揺動中心と丸アリ２１上面の間を広く取れることから、大きな曲率の凹部をもつ被検レンズＷの測定にも対応することができる。
【００３２】
なお、本発明は前記の実施の形態に限定されずに広く応用することができる。例えば、第１の実施の形態において、外周振れ測定手段８の代わりにピックテスタ２６を用いても良い。また、被検レンズＷの水平移動とあおりの調整とを行う機構は、実施の形態に限定されるものではない。さらに、コンピュータ１８の制御によってαβ揺動ステージ３及びＸＹステージ４、移動つまみ２３を駆動させても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態に係る偏心測定装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】偏心装置の概略構成を示す側面図である。
【図３】レンズホルダに被検レンズを保持させた状態を示す正面図である。
【図４】被検レンズの上側のレンズ面の曲率中心と回転軸とが一致するように被検レンズを水平移動させた状態を示す正面図である。
【図５】被検レンズの下側のレンズ面の曲率中心と回転軸とが一致するように被検レンズを水平移動させた状態を示す正面図である。
【図６】被検レンズの上側のレンズ面の曲率中心と回転軸とが一致するように被検レンズの角度調整をした状態を示す正面図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る偏心測定装置の概略構成を示す斜視図である。
【図８】偏心装置の概略構成を示す側面図である。
【図９】被検レンズをレンズホルダに載せた状態の平面図である。
【図１０】従来の偏心測定装置の概略構成図である。
【図１１】従来の偏心測定装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００３４】
１      偏心測定装置
２      スピンドル（回転駆動機構）
２ａ      回転軸
３      αβ揺動ステージ（あおり調整機構）
４      ＸＹステージ（移動機構）
６      レンズホルダ（レンズ保持部材）
７      偏心検出手段
８      外周振れ測定手段
Ｗ      被検レンズ
Ｗａ    レンズ面
Ｗｃ    外周面
【図１】
2006242680.tif 000003
【図２】
2006242680.tif 000004
【図３】
2006242680.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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