(57)【要約】【課題】  ＣＡＤシステムとフォトツール作成装置の組み合わせにおいて、フォトツール作成における補正値の指示、フォトツールへの書き込み、及び実際のフォトツールへの補正の適用の３つの作業を一連の作業手順とプログラムで実現する。【解決手段】  （１Ａ）ＡＤデータを用意する。（１Ｂ）データの適当な位置、補正値等の内容を記述する場所に、各補正内容に対応して、予め決めた属性を持つデータ（制御データ）を配置する。ここで使用する属性は、以降の処理で、パターン等を構成する実際データと区別できるものとする。（１Ｃ）データ出力プログラムを起動する。プログラムは制御データを検出し、それに応じた補正内容をデータに書き込むと同時に、実際の補正を実行し、描画ファイルを作成する。（１Ｄ）（１Ｅ）こうして作成された描画データを、フォトツール作成装置に読み込んで描画し、フォトツールとする。【選択図】  図１
2006084849.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板の製造過程において使用されるフォトツール、及びプリント配線板製造過程において使用される加工ジグ・印刷用版等の作成に用いるフォトツールの作成過程において、フォトツール上に形成された画像内容に関する情報を記号または文字列にてフォトツール上に、フォトツール作成と同時に形成するとともに、ここに形成された内容に相当する加工をフォトツールに施すことを一連の作業として実行することを特徴とするプリント配線板製造用フォトツールの作成方法。
【請求項２】
前記請求項１に記載のプリント配線板製造用フォトツールの作成方法において、フォトツール上に形成する情報として、画像の設計寸法からの拡大・縮小率や量、膜面、ポジネガ、作成日時、管理用番号・記号を少なくとも１以上形成することを特徴とするプリント配線板製造用フォトツールの作成方法。
【請求項３】
前記請求項１または請求項２に記載のプリント配線板製造用フォトツールの作成方法において、フォトツール上に形成した画像内容を示す情報と当該フォトツールの前記情報に関する物理的な性状が必ず一致することを特徴とするプリント配線板製造用フォトツールの作成方法。
【請求項４】
前記請求項２に記載のプリント配線板製造用フォトツールの作成方法によって作成されたフォトツールを用いて、プリント配線板を加工する場合、またはプリント配線板加工ジグ類を作成する場合に、フォトツール上に形成された記号または文字列が、加工・作成されたプリント配線板や加工ワーク、加工ジグ上に少なくとも一定時間、または複数の加工工程をまたがって残っていることを特徴とするプリント配線板の加工方法。
【請求項５】
フォトツール作成用データを作成するシステム上で動作するプログラムであって、システムが出力するフォトツール作成用データが、フォトツール上に形成した画像内容を示す情報と当該フォトツールの前記情報に関する物理的な性状が必ず一致するように、システム端末上で指示することで、当該指示内容を実現するために必要なデータの加工と出力が一連のプロセスで実行されることを特徴とするフォトツール作成用プログラム。
【請求項６】
前記請求項５に記載のフォトツール作成用プログラムにおいて、システム端末上での前記内容の指示の内、少なくともその具体的内容の指示が、１回限りであることを特徴とするフォトツール作成用プログラム。
【請求項７】
前記請求項５に記載のフォトツール作成用プログラムで作成され出力されるフォトツール作成用データ内に、フォトツール上で表現される記号または文字列のすべてを具体的に記述し、かつ、実際にその内容に応じた画像データに対する加工のすべての処理を一括して行うことを特徴とするＣＡＤシステム用プログラム。
【請求項８】
前記請求項５に記載のフォトツール作成用プログラムで作成され出力されるフォトツール作成用データ内に、フォトツール上で表現される記号または文字列の一部を具体的に、残りを特定の記号やデータでフォトツール作成用データ内または別ファイルにパラメータとして記述し、かつ、実際にその内容に応じて画像データに対する加工の一部を行うことを特徴とするＣＡＤシステム用プログラム。
【請求項９】
フォトツール作成用データを作成するＣＡＤシステム上で動作するプログラムであって、ＣＡＤシステムが出力するフォトツール作成用データが、フォトツール上に形成した画像内容を示す情報と当該フォトツールの前記情報に関する物理的な性状が必ず一致するように、ＣＡＤ端末上で指示することで、当該指示内容を、フォトツールの作成装置上で実現するために必要な情報を記述した情報ファイルとして作成することを特徴とするＣＡＤシステム用プログラム。
【請求項１０】
前記請求項８に記載のＣＡＤシステム用プログラムによって作成されたフォトツール作成用データを使用し、または前記請求項９に記載のＣＡＤシステム用プログラムによって作成されたフォトツール作成用データと情報ファイルとを使用し、このファイル内に記述された内容に基づき、少なくとも前記ファイルに記述された内容については、新たな操作を必要とせず、フォトツールを作成するプロセスを実行できることを特徴とするフォトツール作成用プログラム。
【請求項１１】
前記請求項９に記載のＣＡＤシステム用プログラムによってＣＡＤ上で作成される情報ファイルの代わりに、フォトツール作成動作を行わせるに足るスクリプトファイル、またはバッチファイル、またはその他のフォトツール作成装置動作駆動用プログラムファイルであって、かつ、このプログラム中にフォトツール上に形成する画像内容に関する情報の記号または文字列を作成するプロセス、及び当該内容をフォトツールで実現させるプロセスを含むプログラムファイルを、フォトツール作成装置で生成することを特徴とするフォトツール作成用プログラム。
【請求項１２】
ＣＡＤシステムからのフォトツール作成用データを用いフォトツール作成装置上で動作してフォトツールを作成処理するフォトツール作成用プログラムであって、フォトツール作成装置の端末上で、当該フォトツールの画像に関する情報を入力することで、その内容が、適切な位置に適切な文字列または記号で作成されるフォトツール上に表現すると同時に、当該内容を作成するフォトツールに反映させることを特徴とするフォトツール作成用プログラム。
【請求項１３】
前記請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のプリント配線板製造用フォトツールの作成方法によって作成されたフォトツール、または前記請求項５、６、１０、１１、１２のいずれかに記載のフォトツール作成用プログラムによって作成されたフォトツール、または前記請求項７ないし請求項９のいずれかに記載のＣＡＤシステム用プログラムによって作成されたフォトツールに関する情報を収集し、収集した情報、またはこの情報とこれに付随する別の情報を統合して管理、データベース化することを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項１４】
前記請求項１３に記載のコンピュータプログラムによってデータベース化されたフォトツールに関する情報を利用した生産管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板の製造過程において使用されるプリント配線板製造用フォトツールの作成方法、プリント配線板の加工方法、フォトツール作成用プログラム、ＣＡＤシステム用プログラム、コンピュータプログラム、及び生産管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板を製造する際、いくつかの工程でフォトツールを使用する。
【０００３】
例えば、パターンをエッチングまたはメッキ形成により形成する際、基材銅箔面にフォトレジストを形成した後、フォトツールを用いて露光を行う。フォトツールは、一般にポリエステル、ポリカーボネート、ガラス等の透明材料に、銀塩や金属薄膜などで所望するパターンを、光を透過する部分と光を透過しない部分の組み合わせで表現したもので、いわゆる２階調の写真フィルムである。
【０００４】
この場合、例えば光を透過する部分を透過した光によって、フォトレジストの樹脂が光重合／架橋する。この露光後、現像処理を行うと、光が当たった部分は溶解せずに残り、エッチング液から銅箔を保護することで導体パターンが形成できる。
【０００５】
また、印刷用の版を作成する場合も同様で、感光性樹脂を塗布した合成樹脂製や金属製の紗にフォトツールを介して露光・現像を行い、印刷インクが通るところと通らないところを形成する。
【０００６】
上記の例以外にも、プリント配線板の製造工程では、同様の光重合プロセスを利用するものは多く、その場合に多くのフォトツールが使用されている。
【０００７】
プリント配線板は、主に樹脂材料をベースに作られ、加工工程中には、研磨など力がかかる工程、エッチングやメッキなど水や溶剤に濡れる工程、乾燥や積層接着のような熱がかかる工程があり、その都度、材料が伸び縮みする。あるいは、基材の製造時点で材料に加わった力が残留応力として材料内に残っていて、プリント配線板製造プロセス過程で応力開放が起こり、寸法変化や歪みが生ずる場合もある。さらには、フォトツール自体も樹脂材料ベースで作られていることが多く、前記のような寸法変化を生じる可能性がある。
【０００８】
このように、材料寸法は、加工工程中において常に変動しているため、加工を設計時の寸法で行うと、前工程と後工程とで位置関係が合わなくなり、完成時点では全く製品とならない。そのため、その工程の前後における寸法の変化や完成品で必要な寸法を勘案し、設計寸法を加味したサイズにフォトツールを拡大／縮小、あるいは歪ませておく必要がある。
【０００９】
一般に、このようなフォトツールの寸法を、設計寸法に対し拡大／縮小等補正することを「寸法補正」または「フォトツールのマイクロスケール」などと呼んでおり、このような補正作業については、プリント配線板製造においては日常的に行われていることである（例えば、特許文献１，２等参照）。
【００１０】
このような寸法補正は、配線板全体に対して、単純に一律または均一にスケーリングを行うだけでなく、材料の歪みや加工上の制約に伴い、部分部分によって拡大／縮小率を変化させる「アンリニアスケール」といったことも行われる。例えば、印刷用のスクリーン版を作成するためのフォトツールでは、印刷時にスキージが降りた当たりは、設計寸法に近いが、スキージが動いてゆくに従い、版の紗が伸びるため、順次縮小率を上げてゆくといった補正や、周辺部分は版枠に近く、紗が中央部分に比べて伸びにくいため、中央部分と周辺部分で縮小／拡大率を変えるといったことが行われる。
【００１１】
さらに、補正という内容には、上記の寸法補正だけでなく、線幅補正もある。
【００１２】
例えば、パターンの線幅に対する「エッチングファクタ補正」とは、パターン形成法として銅箔をエッチングする方法を採用した場合、エッチングが銅箔の平面方向と厚さ方向とでそれほど違わない速度で進むことから、どうしてもエッチングレジストの幅より狭いパターンが形成されることになる。そのため、完成パターン幅が、設計寸法通りになるためには、この「オーバーエッチ」分を含めたやや幅広のエッチングレジストを形成しておく必要がある。従って、フォトツール上で表現されたパターン幅を、設計値＋オーバーエッチ分とするのであるが、このような操作を「エッチングファクタ補正」と呼ぶ。
【００１３】
これは、パターンエッチングだけでなく、製版用フォトツールでも、インクの出方を制御し、文字等がつぶれないようにコントロールするために行われる。
【特許文献１】特許登録第３１４３４０８号公報
【特許文献２】特開平５−３４３８４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
ここで問題なのは、前述のような補正を行ったフォトツールの管理である。
【００１５】
寸法補正率は、およそ１０００分の数パーセントの率であり、エッチングファクタ補正も数から数十μｍの単位であるため、フォトツールを一見しただけでは、補正値が異なるフォトツールを区別することが困難である。
【００１６】
また、基材の寸法変化等が、材料ロットや加工ロット単位で微妙に変化するため、１つの配線板の製造用フォトツールといっても多くの異なる補正率のフォトツールを選択使用する必要がある。従って、管理する現場では、その管理が大きな問題であった。
【００１７】
さらに、生産現場では、量産のために同じ補正を施したフォトツールを何枚も使用するが、繰り返し使用による劣化やフォトツール個々の微妙な差異をカバーするため、作成日の異なる、ほとんど同じだが微妙に異なるツールが氾濫する状況になっている。
【００１８】
一方、フォトツールの管理という見地からは、フォトツールにバーコードや文字列で管理番号を記入し、データベースに登録したフォトツールに関するデータを参照する方法も考えられるが、実際に多数あるフォトツールから適切なものを選択し、使用し、その使用を確認するためには、作業者が直接に内容を確認できる表記方法とすることが望ましい。また、フォトツール作成時点での各種情報を記入した台帳をその都度更新するのは、手間もかかる作業であった。
【００１９】
そこで、本発明者らは、フォトツール個々に、直接、補正値を数字や記号で読めるように記入して、管理を行ってきた。これは、配線板等量産工程でシリアルに物が流れてゆく状態で、その数ある製品のロット等をバーコード等で管理する手法と事情が異なる部分である。これによって、種々の異なる補正値のフォトツールを使用する現場でも、誤りなく、適切なフォトツールを選択し、使用することができるようになった。
【００２０】
しかし、この方法では、フォトツールに書き込まれた補正値が、正しくフォトツールの作成過程で適用されているかが保証出来ないといった問題があった。
【００２１】
例えば、寸法補正を行う場合では、
（１）ＣＡＤシステムでフォトツール描画用のデータを作成する。
【００２２】
（２）ＣＡＤシステムで補正率を表す数字をデータに書き込む。
【００２３】
（３）ＣＡＤシステムの出力プログラムで寸法補正率を指定し、データにスケーリング        をかけながら描画用ファイルを作成する（多くの場合、通称「ガーバーフォーマ        ット」あるいはその類似フォーマットを使用する）。
【００２４】
（４）作成された描画用ファイルをフォトツール作成装置、フォトプロッタやレーザー        プロッタで描画する。
といった手順で寸法補正を行う。
【００２５】
一般に、ＣＡＤシステムのデータ出力プログラムには、このような寸法補正を行う機能が備わっているため、上記（１）〜（４）のような流れとなる。
【００２６】
また、フォトツール作成装置にも寸法補正を行う機能が備わっているのが普通であるので、ＣＡＤ上で寸法補正を行わず、描画用データは設計寸法のまま出力し、フォトツール作成装置上で寸法補正を行うことも多く行われている。
【００２７】
しかしながら、現実のプリント配線板の製造用フォトツールでは、量産のため、多数の製品が配置され、メッキリードや加工用ガイドも多数配置されている。そのため、ＣＡＤシステムから描画用データをフォトツール作成装置に渡す時点では、各構成要素毎の複数のファイルに分かれており、これらのファイルとその補正、合成手順を示した手順書が、フォトツール作成装置のオペレータに渡される。オペレータは、この手順書に従い、フォトツール作成装置の端末上で、補正作業やＡＮＤ／ＯＲ／ＮＯＲ／ＮＡＮＤ合成、ステップアンドリピートといった作業を行うことが必要で、特に補正値は、各構成要素毎に異なるのが普通であり、作業は複雑になる。
【００２８】
この様子を簡単な例で示したのが図８〜図１０であり、図８に示す製品基板データ１と、図９に示す枠データ２とを準備し、枠の中に製品を配列して、図１０に示すような加工ワーク３としていた。
【００２９】
また、エッチングファクタでは、線幅を変えるため、描画用データとは独立した線幅を示すアパーチャリストというファイルの数字を各構成要素毎に作成・編集し直したりすることが必要となる。
【００３０】
さらに、生産用として微妙に補正値の異なるフォトツールを多種作成する現場では、上記の作業をすべて間違いなくこなしたとしても、フォトツールの取り違いや勘違いで実際とは異なる補正値をフォトツールに記入したり、誤った補正を掛けてしまうといったミスも考えられる。
【００３１】
特に、ポリエステル等の樹脂をベースとするフォトツール、すなわち写真フィルムは、その現像過程において濡れるため、膨潤して寸法が変わっており、本来の寸法に戻るまでに数時間から十数時間を必要とするので、フォトツール作成現場で寸法補正値などの確認を行うことが難しかった。
【００３２】
本発明はかかる問題点を解決すべく創案されたもので、その目的は、ＣＡＤシステムとフォトツール作成装置の組み合わせにおいて、フォトツール作成における補正値の指示、フォトツールへの書き込み、及び実際のフォトツールへの補正の適用の３つの作業を一連の作業手順とプログラムで実現し、途中に操作者が介在しない一連のながれとして構成することで、上記３つの内容が原理的に必ず一致することを保証できるようにしたプリント配線板製造用フォトツールの作成方法、プリント配線板の加工方法、フォトツール作成用プログラム、ＣＡＤシステム用プログラム、コンピュータプログラム、及び生産管理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３３】
本発明のプリント配線板製造用フォトツールの作成方法は、プリント配線板の製造過程において使用されるフォトツール、及びプリント配線板製造過程において使用される加工ジグ・印刷用版等の作成に用いるフォトツールの作成過程において、フォトツール上に形成された画像内容に関する情報を記号または文字列にてフォトツール上に、フォトツール作成と同時に形成するとともに、ここに形成された内容に相当する加工をフォトツールに施すことを一連の作業として実行することを特徴とする。
【００３４】
この場合、フォトツール上に形成する情報としては、画像の設計寸法からの拡大・縮小率や量、膜面、ポジネガ、作成日時、管理用番号・記号を少なくとも１以上形成する。また、フォトツール上に形成した画像内容を示す情報と当該フォトツールの前記情報に関する物理的な性状が必ず一致するようにフォトツールを作成する。
【００３５】
このような特徴を有する本発明によれば、フォトツール作成における補正値の指示と、フォトツールへの書き込みと、実際のフォトツールへの補正の適用の３つの作業を、統合されたプログラムで途中に操作者が介在しない一連の処理として構成することで、３つの内容を相互に一致させることが可能となる。
【００３６】
また、本発明のプリント配線板の加工方法は、上記構成のプリント配線板製造用フォトツールの作成方法によって作成されたフォトツールを用いて、プリント配線板を加工する場合、またはプリント配線板加工ジグ類を作成する場合に、フォトツール上に形成された記号または文字列が、加工・作成されたプリント配線板や加工ワーク、加工ジグ上に少なくとも一定時間、または複数の加工工程をまたがって残っているようにして、プリント配線板の加工を行う。
【００３７】
また、本発明のフォトツール作成用プログラムは、フォトツール作成用データを作成するシステム上で動作するプログラムであって、システムが出力するフォトツール作成用データが、フォトツール上に形成した画像内容を示す情報と当該フォトツールの前記情報に関する物理的な性状が必ず一致するように、システム端末上で指示することで、当該指示内容を実現するために必要なデータの加工と出力が１つのプロセスで実行されることを特徴とする。この場合、システム端末上での前記内容の指示の内、少なくともその具体的内容の指示は１回限りとする。
【００３８】
また、本発明のＣＡＤシステム用プログラムは、上記のフォトツール作成用プログラムで作成され出力されるフォトツール作成用データ内に、フォトツール上で表現される記号または文字列のすべてを具体的に記述し、かつ、実際にその内容に応じた画像データに対する加工のすべての処理を一括して行うことを特徴とする。また、本発明のＣＡＤシステム用プログラムは、上記のフォトツール作成用プログラムで作成され出力されるフォトツール作成用データ内に、フォトツール上で表現される記号または文字列の一部を具体的に、残りを特定の記号やデータでフォトツール作成用データ内または別ファイルにパラメータとして記述し、かつ、実際にその内容に応じて画像データに対する加工の一部を行うことを特徴とする。さらに、本発明のＣＡＤシステム用プログラムは、フォトツール作成用データを作成するＣＡＤシステム上で動作するプログラムであって、ＣＡＤシステムが出力するフォトツール作成用データが、フォトツール上に形成した画像内容を示す情報と当該フォトツールの前記情報に関する物理的な性状が必ず一致するように、ＣＡＤ端末上で指示することで、当該指示内容を、フォトツールの作成装置上で実現するために必要な情報を記述した情報ファイルとして作成することを特徴とする。
【００３９】
さらに、本発明のフォトツール作成用プログラムは、上記のＣＡＤシステム用プログラムによって作成されたフォトツール作成用データを使用し、またはＣＡＤシステム用プログラムによって作成されたフォトツール作成用データと情報ファイルとを使用し、このファイル内に記述された内容に基づき、少なくとも前記ファイルに記述された内容については、新たな操作を必要とせず、フォトツールを作成するプロセスを実行できることを特徴とする。この場合に、上記のＣＡＤシステム用プログラムによってＣＡＤ上で作成される情報ファイルの代わりに、フォトツール作成動作を行わせるに足るスクリプトファイル、またはバッチファイル、またはその他のフォトツール作成装置動作駆動用プログラムファイルであって、かつ、このプログラム中にフォトツール上に形成する画像内容に関する情報の記号または文字列を作成するプロセス、及び当該内容をフォトツールで実現させるプロセスを含むプログラムファイルを、フォトツール作成装置で生成するように構成してもよい。
【００４０】
さらにまた、本発明のフォトツール作成用プログラムは、ＣＡＤシステムからのフォトツール作成用データを用いフォトツール作成装置上で動作してフォトツールを作成処理するフォトツール作成用プログラムであって、フォトツール作成装置の端末上で、当該フォトツールの画像に関する情報を入力することで、その内容が、適切な位置に適切な文字列または記号で作成されるフォトツール上に表現すると同時に、当該内容を作成するフォトツールに反映させることを特徴とする。
【００４１】
また、本発明のコンピュータプログラムは、上記のプリント配線板製造用フォトツールの作成方法によって作成されたフォトツール、または上記のフォトツール作成用プログラムによって作成されたフォトツール、または上記のＣＡＤシステム用プログラムによって作成されたフォトツールに関する情報を収集し、収集した情報、またはこの情報とこれに付随する別の情報を統合して管理、データベース化することを特徴とする。また、本発明の生産管理システムは、上記のコンピュータプログラムによってデータベース化されたフォトツールに関する情報を利用して生産管理を行うものである。
【発明の効果】
【００４２】
本発明によれば、フォトツール作成における補正値の指示と、フォトツールへの書き込みと、実際のフォトツールへの補正の適用の３つの作業を、統合されたプログラムで途中に操作者が介在しない一連の処理として構成することで、３つの内容が相互に一致しないケースが起こらなくなった結果、以下に示すような種々の効果を奏するものである。
（１）フォトツールの加工の際に行った補正作業内容がフォトツールに記入されていることで、フォトツールの管理が実施しやすい。（２）フォトツールに記入されている内容と、実際にフォトツール作成時に行われた補正等の作業が一致していることが保証される。（３）フォトツール上に補正値以外の管理情報も記入できる。（４）管理情報を使った製造工程の管理が可能となる。（５）フォトツール作成時の補正値などの入力が最低の回数で済むため、ミスの発生を低減することができる。（６）フォトツール作成時の補正値などの入力時に従来法より行き届いたチェックが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
＜実施形態１＞
本実施形態１は、最も簡単な実施形態を示している。すなわち、本実施形態１は、合成やステップアンドリピート等を行わず、ＣＡＤ上で作成したデータを直接描画すればよい例である。
【００４４】
従来法では、寸法補正やエッチングファクタの補正等は、フォトツール作成装置でフォトツールを作成するためのデータ（以降、「描画データ」と言う。）をＣＡＤデータ上で作成する前、または描画データを作成する時に同時に行うのが一般的である。また、ＣＡＤ側で補正をせず、設計寸法のまま描画用データを作成し、フォトツール作成装置上で補正を行い、フォトツールを作成することもある。従来は、フォトツール作成管理上、どのような補正を行ったかを明示したい場合には、フォトツール完成後にマジック等でフォトツールに記入するか、ＣＡＤデータ上あるいはフォトツール作成装置上で、文字記入等の機能を用いて書き込んでから、描画を行っていた。従来法での問題点で指摘した通り、このやり方では、フォトツール上に表記された補正内容と、実際に加工された内容が必ずしも一致するとは限らなかった。
【００４５】
そこで、本実施形態１では、この一連の作業において、確実に表記内容と加工内容が一致するように、図１に示す手順を採用した。
【００４６】
図１の□で囲った部分は、本実施形態１に係るＣＡＤ上で動作するコンピュータプログラムであり、本実施形態１の主要部分を成す部分である。
【００４７】
本実施形態１の作業フローとしては、
（１Ａ）ＣＡＤデータを用意する。
【００４８】
（１Ｂ）データの適当な位置、補正値等の内容を記述する場所に、各補正内容に対応して、予め決めた属性を持つデータを配置する。以後、このデータを制御データと呼ぶ。ここで使用する属性は、製品等、通常の用途で使用しているものとは異なるものとし、以降の処理で、パターン等を構成する実際データと区別できるものとする。
【００４９】
（１Ｃ）図１で示した本実施形態１の一部になるデータ出力プログラムを起動する。プログラムは、図１で示す動作を行い、制御データを検出し、それに応じた補正内容をデータに書き込むと同時に、実際の補正を実行し、描画ファイルを作成する。
【００５０】
（１Ｄ）（１Ｅ）こうして作成された描画データを、フォトツール作成装置に読み込んで描画し、フォトツールとする。
【００５１】
以上の処理により、目的のフォトツールを得ることができる
なお、図１に示した（１Ｃ）工程において、データに対する補正作業（１Ｃ５）と出力フォーマットへの変換の工程（１Ｃ６）をプログラム内で１度に行ってもよい。
【００５２】
また、図２に示すように、文字記入位置に特定属性をもつデータを置かず、すなわち、上記（１Ｂ）工程を行わず、無条件で、プログラム上でパラメータ設定用ダイアログを開き（１Ｃ１′）、そこで補正の要否と補正要の場合のパラメータ入力（１Ｃ２）を行ってもよい。
【００５３】
また、文字記入位置や文字サイズ等をプログラム上で固定したり、ダイアログＢＯＸ上で対話入力したり、あるいは対話入力を無くし、図３に示すように、補正情報や表記文字列等を記載したパラメータファイル（１Ｆ）を読み込んでプログラムを動作させてもよい。
【００５４】
また、説明やフロー図を簡単にするため、ここでは補正を行わない場合、文字等の記入を行わない場合の例を示したが、補正無しの場合でも、例えば補正値として「０」を表記したり、「補正無し」といった内容を表記するような処理フローとしてもよい。
【００５５】
本実施形態１の方法のメリットは、ＣＡＤデータ出力プログラムとして、通常市販のものに若干の機能を追加したものを用意するだけでよく、基本的にＣＡＤシステムやフォトツール作成装置は市販のものをそのまま使用できることである。
【００５６】
＜実施形態２＞
市販ＣＡＤシステムを使用する場合などでは、ユーザーが独自にＣＡＤの内部データを読み出し制御するようなプログラムを作成することは、メーカーサイドのシステム情報の開示が十分でなかったり、頻繁にＣＡＤシステムがバージョンアップされ、その対応に多くの手間がかかる等、困難な面がある。
【００５７】
このような理由から、図１で示すフローを持つデータ出力プログラムを作成しにくい場合は、上記実施形態１で述べたプログラムを用意する代わりに、図４に示すような手法も採ることができる。
【００５８】
本実施形態２の作業フローとしては、
（２Ａ）描画したいＣＡＤデータを用意する。
【００５９】
（２Ｂ）データの適当な位置、補正値等の内容を記述する場所に、各補正内容に対応して、予め決めた属性を持つデータを配置する。以後、このデータを制御データと呼ぶ。ここで使用する属性は、製品等、通常の用途で使用しているものとは異なるものとする。ここでは、通常製品内では使用しない属性ではあるが、ＣＡＤシステムの標準出力プログラムで正常に処理され、適切に実データと区別されるものとして出力されるようなもの、例えば、そのシステムで使用可能で、かつ実パターンデータ内で使用されていないアパーチャ番号を使用し、フラッシュデータを打つ。
【００６０】
（２Ｃ）次に、このデータを通常の手順で、描画データ形式に変換出力する。この状態で作成された描画データは、所望のフォトツール作成用データに、制御データとして、特定のアパーチャコードのフラッシュデータが文字を記入したい位置に打たれたものであり、形式上は、本来の描画データとどこも変わるところは無い。
【００６１】
（２Ｄ）次に、図４で示したフローを持つ処理プログラムを用意する。この処理プログラム（２Ｄ）は、図１で示したプログラム（１Ｃ）とほとんどおなじ処理を行うものであるが、読み込むデータがＣＡＤデータでなく、描画用データであるところが異なる。
【００６２】
本実施形態２では、描画用データとして、通称「ガーバーフォーマット」と呼ばれているデータフォーマットに類似のフォーマットを使用した。これは、プリント配線板業界で広くフォトツール作成用データとして利用されているものである。このデータは、通常、テキスト形式で、アパーチャコード（Ｄコードと呼ばれ、Ｄとそれに続く１〜３桁の数字）と１〜３組のＸＹ座標値を羅列した座業値、そのほか、描画制御コード（Ｄ０１，Ｄ０２，Ｄ０３，Ｇ０１，Ｇ０２，Ｇ０３、その他Ｍコードなど）からなる。
【００６３】
この形式でならフォーマットや記述方法が明らかになっており、非常に簡単に円弧や直線をデータに追加したり、データを拡大縮小したり、線幅を変更したりすることが容易に可能である他、ＣＡＤメーカーのソフトのバージョンアップ等にも影響を受けにくい。
【００６４】
さらに、ファイルが単純なテキスト形式であるため、簡単なプログラム言語やシェルスクリプトのようなもので、処理プログラム（２Ｄ）が作成可能である。
【００６５】
この処理プログラム（２Ｄ）で、ＣＡＤから出力されたガーバーデータを読み、制御データを読み出した場合には、それに対応した処理、例えば文字データを生成し描画データに追加するとか、寸法補正を実行するなどの処理を行う。なお、このプログラム処理（２Ｄ）の結果出力される描画データには、読み込んだファイルに入っていた制御データは入っていないことは言うまでもない。
【００６６】
こうして作成された描画データを、フォトツール作成装置で読み込んで描画し（２Ｅ）（２Ｆ）、フォトツールとする。これにより、目的のフォトツールを得ることができる。
【００６７】
本実施形態２の方法のメリットは、図４で示すプログラムをＣＡＤシステムとフォトツール作成装置との間に挟んで使うことで、どちらのシステムにも手を加えないため、非常に簡単、安価に本実施形態２の内容を実現できることである。
【００６８】
＜実施形態３＞
本実施形態３は、上記実施形態１に類似した処理であるが、上記実施形態１ではＣＡＤ上で行った文字列の記入や補正の実行を、本実施形態３ではフォトツール作成装置側で行う点が異なっている。
【００６９】
本実施形態３では、ＣＡＤ側で補正が必要な場合に、補正値を記入する位置に各補正内容に応じた特定属性を持ったデータ（制御データ）を設定するところまで（工程（３Ａ）（３Ｂ））は、上記実施形態１と同じ（工程（１Ａ）（１Ｂ））である。そして、それ以降を、すべてフォトツール作成装置上で行うようにすると、図５に示す作業フローとなる。
【００７０】
すなわち、制御データを書き込んだ後、そのまま、描画用データにデータを変換する（３Ｃ）。ここで使う出力プログラムは、制御属性を持つデータを見つけた場合に、その内容も含めてファイルとして出力するように作成されたものであり、本実施形態３に係るものである。それ以外の動作は、通常市販されているソフトウエアと同様のものである。
【００７１】
ここで、図５に示す作業フロー図では、描画データに補正内容が埋め込まれた形である場合を示しているが、もちろん別ファイルとして扱ってもかまわない。制御属性としてＣＡＤ固有の属性等を用いず、ストレートに描画ファイルに出力される属性、例えばアパーチャ番号を用い、そのアパーチャで描いた図形要素等の座標値等をパラメータに使えば、特別な出力プログラムを用意することなく、通常のＣＡＤシステムに付属する出力プログラムを使用して、描画データを作成することができる。あるいは、同時にパラメータを描画ファイルに埋め込んで、フォトツール作成装置に渡すことができる。
【００７２】
本実施形態３では、出力フォーマット、すなわちフォトツール作成装置にＣＡＤからデータを渡す際のファイルフォーマットとして、通称「ガーバーフォーマット」と呼ばれている形式に類似のフォーマットを採用した。このフォーマットを採用した場合、図形要素は、その位置や始終点を示す１組から３組のＸＹ座標データと図形要素の形や大きさを決めるアパーチャコードとから表現される。本実施形態３では、ガーバーフォーマットの範囲内で制御情報を記述した。すなわち、制御情報をＣＡＤデータ上で、予め決めたアパーチャコードとそれに付随するＸＹ座標フィールドとを使って制御内容を表現した。もちろん、ガーバーフォーマット以外の独自フォーマットを採用することに支障はない。
【００７３】
次に、図５で示した作業フロー（３Ｄ）〜（３Ｆ）を持つフォトツール作成装置用プログラムを使用して、フォトツールの作成を行う。
【００７４】
また、上記実施形態１でも述べたように、制御データの情報や補正等のパラメータ、あるいはフォトツールに記述する文字・記号列などを、ＣＡＤ上で入力しておき、これを描画データとは独立したファイルとしてフォトツール作成装置に渡し、これを使用してフォトツールを作成することもできる。さらに、補正処理とフォトツールの作成を同一プロセスで行ったり、専用のハードウエアで実現したりすることも可能である。
【００７５】
本実施形態３の手法が上記実施形態１の手法より優れている点は、補正内容をフォトツール作成の際に選べることである。
【００７６】
実際の量産過程では、材料ロットや加工ロットによってフォトツールに施す補正を変えなくてはならず、何種類もの異なった補正値で同じ機種のフォトツールを作成する必要がある。上記実施形態１のような手法を採る場合、補正値を変えたフォトツールを作成したい場合には、その都度ＣＡＤシステムに戻ってデータ出力プログラムを動かし、描画用データを作ることになる。これに対し、本実施形態３の手法によれば、ＣＡＤシステムからフォトツール作成装置に渡されたデータには、補正の要否と内容を文字・記号でフォトツールに表記する場合の場所を示すデータ等しか埋め込まれておらず、具体的な補正内容は、プロッタ上で指定するか、あるいは別のパラメータファイルとして供給されている。よって、異なる補正値でフォトツールを作成しようとした場合でも、フォトツール作成装置上で、図３に示すフローを持つプログラムを使用する、すなわち、単に同じフォトツールをもう一枚作成するのと同じ手間で済むことである。
【００７７】
＜実施形態４＞
本実施形態４は、上記実施形態１〜３より若干複雑な実施形態である。
【００７８】
一般に、製造用のフォトツールは、図８に示す製品を元に、これを図９で示すメッキリード枠や各種加工ガイド類に配列して作成する。その他にも、ファイルのＡＮＤあるいはＯＲ合成等を何回か行うこともある。そして、図１０で示すような最終のフォトツールのイメージと同じ状態まで、ＣＡＤ上で配列・合成等を実施すれば、上記実施形態１，２のような手法が採れるが、現実には、このような状態にすると描画データはかなり大きなサイズになってしまい、ＣＡＤ上やフォトツール作成装置への転送等の扱いが厄介になる。
【００７９】
一方、通常、フォトツール作成装置にもこのような合成や配列機能が備わっていることが多いため、普通は、フォトツール作成装置側で処理を行うことになる。この場合、注意しなくてはいけないのは、もし、寸法補正等の補正作業を行うのであれば、最終のフォトツールイメージを作成するのに必要なパーツすべてに間違いなく、補正をかけたり、文字や記号を書き込んだりする必要があること、さらには、配列等では、その配置位置にも必要であるならば補正を掛ける必要があることである。これを従来のように、一つ一つＣＡＤの通常の出力プログラムで補正しながら描画データを作り、フォトツール作成装置上で合成や配列をしながら作成することは、ミスを招きやすい作業である。この問題を避けるためには、上記実施形態１，２で述べたような手法、すなわち、プログラムを拡張して、複数ファイルを一括して補正処理するようにすれば、かなり確実性を向上させて処理を行うことができる。ただし、これでもまだ配列に伴うミスなどの可能性はぬぐい切れない。
また、複数ファイルを扱う際、その都度、補正値を入力すると間違いも起きやすい。
【００８０】
本実施形態４は、このような問題を解決した実施形態である。
【００８１】
全体の処理は、大きく分けて３つの手順からなり、そのうちの２つは、各々、主にＣＡＤシステム上及びフォトツール作成装置上の処理プログラムからなる。
【００８２】
図６に全体の作業フローを記述する。
【００８３】
図６の４Ａの部分は、ＣＡＤオペレータが対話的に処理を行う部分であり、上記実施形態１，２で説明した制御データの書き込み（１Ｂ）（２Ｂ）と類似したものである。ただし、上記実施形態１２では、合成や配列等の加工もなく、１ファイルのみの単独処理であったため、制御データは、完成フォトツール上で補正内容を文字や記号で表記する場合の表記位置を示す程度の使い方、あるいはそのデータの有無で補正の要否を示す程度の使い方であったのに対し、本実施形態４では、補正の要否、補正内容、文字・記号での表記の要否とその位置といった複数の情報を表現する必要がある。
【００８４】
例えば、図８ないし図１０で示したような合成と配列を行うケースで、寸法補正を掛ける場合を例に取ると、図８で示すような製品基板データ１には、寸法補正は行うが、その内容を製品内に文字や記号で表記する必要が無い。一方、図９で示す枠データ２には、寸法補正を行った上、その内容を表記する必要がある。さらに、多層板などのケースでは、積層ガイドと呼ばれるガイドマークをさらに合成するが、これには、一般に寸法補正を掛けない。あるいは、１つの製品内においても、エッチングファクタの補正値が異なる部分があれば、これは複数ファイルに分けておいて、異なる値を指定・補正を行い、最後に合成することになるからである。
【００８５】
本実施形態４では、これらを表現するため、製品や枠などの実際のデータでは使用されないアパーチャコードを制御用に割り当てている。例えば、Ｄ９９０のフラッシュデータは、寸法補正が必要であることを示すと同時に、そのＸＹ座標値が、寸法補正値を記入する位置を示し、Ｄ９９１のフラッシュデータは、寸法補正を実施することは必要だが、内容の表記は不要であることを示している。
【００８６】
次に、図６の４Ｂで示す本実施形態４に係るＣＡＤ用プログラムを起動する。
【００８７】
このプログラム（４Ｂ）は、ＣＡＤデータを処理してゆき、最終的にフォトツール作成装置に渡す描画用データと処理用のスクリプトを生成する。
【００８８】
描画データは、基本的には、各ＣＡＤデータを単純に描画用データにフォーマット変換したものである。また、スクリプトファイルは、フォトツール作成装置上で動作するプログラムであり、ＣＡＤから渡された描画データを読み込み、ＣＡＤ側プログラムで指定した合成、配列、寸法補正、エッチングファクタ補正、文字・記号の記入等の一連の作業を実行するもので、このプログラム終了時には、フォトツール作成装置上で、最終フォトツールのイメージが完成するものである。
【００８９】
ここで、一括して合成・配列手順や各ファイルに対する補正内容を入力するため、処理手順や補正値のミスを起こす可能性が少なくなる。また、この対話入力の際にダイアログを工夫することで、同じ補正を適用するファイルには、自動的に同じ値を適用する、あるいは、同じ数字は２度入力しないようにするなどの工夫をする。さらに、入力された各補正内容等について、相互の桁数や値の整合性、予想される値範囲とのチェックなど、汎用のＣＡＤやフォトツール作成装置のダイアログではチェック出来ない内容も細かくチェックすることができ、作業の正確さをより高めることができる。
【００９０】
後は、フォトツール作成装置でこのイメージを実際にフォトツールとして写真フィルムに描画を行う。
【００９１】
なお、本実施形態４では、描画ファイルの読み込みから、補正作業、文字・記号の記入、合成・配列処理までのすべての処理を、フォトツール作成装置上で走る１つのスクリプトで処理するようにしたが、この作業に使用する装置やシステムの機能、プログラム・スクリプト作成／実行環境等の制限や利便性から、スクリプトを複数にしたり、複数スクリプトを別のスクリプトから順次実行させることや、一部の処理、例えば描画ファイルを読み込んでフォトツール作成装置の内部データに変換する部分等、をスクリプト化せず、当該装置に備わっている機能を用いて対話的あるいは自動的な処理で行うようにしてもよいし、逆に、フォトツールの描画まで一括してスクリプトで実行するようにしてもよい。
【００９２】
また、上記実施形態１，２で示すように、ＣＡＤ側で先に、描画データに必要な文字・記号を書き込んだり、実際に寸法補正をしておくなど、処理を行うタイミングや方法については、いろいろなバリエーションが可能であり、実際に処理を行うハード、ソフト環境に応じて選択すればよい。
【００９３】
本実施形態４の方法を採るメリットは、複数のファイルを使って最終フォトツールを得る場合に有効であり、また、その合成・配列手順が複雑であったり、各種補正内容がファイル毎に異なるようなケースでも、ミスを極力排除できることにある。
【００９４】
＜実施形態５＞
本実施形態５は、実際には、上記実施形態４のバリエーションであり、上記実施形態１に対する実施形態２の関係に類似した関係のものである。
【００９５】
本実施形態４では、補正内容や文字・記号生成を含め、すべての処理を含めた処理スクリプトをＣＡＤ側で作成し、フォトツール作成装置で実行したのに対し、本実施形態５では、ＣＡＤ側で作成するスクリプトには具体的な補正内容、例えば寸法補正値を記入せず、補正を実行することのみを記述し、その具体的内容は、別に作成したパラメータファイルを読み出すようにしたものである。
【００９６】
上記他の実施形態にも共通するが、パラメータファイルには、ファイル毎の寸法補正の要否やその補正値、エッチングファクタ、ファイル合成・配列手順や配列ピッチなどを記述する。パラメータファイルは、ＣＡＤ、あるいはフォトツール作成装置上、あるいは他のシステム上で、あるいはエディタやその他のプログラムで、例えばテキストファイル形式など、スクリプトが読みやすいファイル形式で作成する。
【００９７】
＜実施形態６＞
これまでの実施形態では、補正についてはＣＡＤ上で行い、表記文字を書き込む位置を示す制御データ、あるいは補正の有無を示す制御データのみをデータに書き込み、補正パラメータ自体は、別ファイルにしたり、制御データ端末上から入力する方法を示した。しかし、制御データをより有効に活用し、補正パラメータを別ファイルや端末入力とせず、制御データとして描画ファイルに埋め込む方法も可能である。
【００９８】
また、原則として、埋め込まれたパラメータは、当該ファイルにのみ有効と考えるが、全ファイル共通や、特定ファイルに対し同じ内容を実施といったフラグ情報を埋め込むことも可能である。
【００９９】
埋め込む内容としては、例えば、寸法補正を記述する場合、Ｄ９９０のフラッシュデータがデータ中にあるときは、寸法補正が必要であることを示すと同時に、そのＸ座標値がＸ方向の補正値、Ｙ座標がＹ方向の補正値を示し、これと対になるＤ９９１のフラッシュデータがデータ中にあるときは、補正値をフォトツール上に文字で表現する必要性を示し、このＸＹ座標がその文字列の記述原点を示す、などである。
【０１００】
さらに、データを複合化することも可能である。
【０１０１】
例えば、ガーバーフォーマットでは、円弧を表現する形式では、始点ＸＹ、終点ＸＹ、中心相対位置ＸＹの合計６つの数字を記述することが可能なので、上記の例でも、Ｄ９９０で、始点Ｘ座標フィールドにＸ方向補正値、始点Ｙ座標フィールドにＹ方向補正値、終点Ｘ座標フィールドに文字記入原点Ｘ座標、終点Ｙ座標フィールドに文字記入原点Ｙ座標、中心相対位置Ｘ座標フィールドに文字サイズ、中心相対位置Ｙ座標フィールドに文字の方向、といった表現や、エッチングファクタ補正等でも、数値フィールドを２つ持つフラッシュデータの書式を使って、Ｘ座標フィールドにエッチングファクタ補正を行う対象のアパーチャコードを、Ｙ座標フィールドにエッチングファクタ補正値を記入する、といった使い方ができる。
【０１０２】
＜実施形態７＞
ここまでの実施形態では、主に、フォトツールに施す補正としては、寸法補正やエッチングファクタ等を例に述べてきた。しかし、フォトツールを作成、使用する際に重要となるフォトツールの属性としては、これ以外にも、膜面やポジネガといった属性があり、その他にも、管理用の情報としては、フォトツール作成に用いたデータの設計バージョンやフォトツール作成日時、管理番号などがある。
【０１０３】
例えば、フォトツールの膜面は、一見したところ上か下かは判別が付きにくいが、これを誤ると例えばパターンエッチングでは、パターン幅が変わったり、エッチングレジストの現像がうまくいかないなどの問題を起こす。また、フォトツールは、温度湿度変化に敏感であり、作成、保存の環境によって微妙に寸法が変わる他、その寸法挙動がヒステリシスを持つため、同じ補正率で作成した物でも、必ずしもすべて同じ状態にあるとは言えない。さらに、生産に使用すると、露光時の光によって劣化を起こし、寸法や光の透過率等が変わるため、いつ作成したものかも重要な情報となる。
【０１０４】
そこで、上記各実施形態で述べたのと同じプロセスでこれらの情報もフォトツール上に自動的に形成すると管理性が向上する。このような情報を含めて記入した例を図７に示す。記入した寸法補正と同じように、データ加工やフォトツール作成時に何らかの処理が必要な膜面設定やポジネガ設定、あるいはシステムから自動的に設定できる作成日時や一定ルールで作成する管理番号等、処理手法は各々若干異なるが、基本的には、これまでの実施形態で述べてきた手順がそのまま準用できる。
【０１０５】
＜実施形態８＞
本実施形態８は、これまでに説明した実施形態によって作成されたフォトツールの利用方法に関する実施形態である。
【０１０６】
上記実施形態１〜７で示したように、本発明では、フォトツールの管理用に補正内容をフォトツール上に書き込むことを１つの特徴としている。このような内容をフォトツール上に書き込むこと自体は、従来の方法でも述べたように特別な内容ではないが、製品自体には関係なく、また、専ら製造工程で多種用意されているフォトツールから、適切なフォトツールを間違いなく選択使用するための情報として使用されてきた。よって、通常は、フォトツールの隅等、製品や少なくとも加工ワークに関係ない余白部分に記入するのが常であった。
【０１０７】
しかし、例えば多層配線板で、各層の寸法が微妙に異なり、相互の合いが悪くなり、その原因を調査する場合、製造工程の作業記録からどのフォトツールを使ったかをトレースすることは面倒であり、同種のフォトツールが複数存在した場合などは、特定が困難になるケースもある。
【０１０８】
本実施形態８では、どのようなフォトツールを使ったかを表す文字・記号を意図的に製品加工ワーク内に残すことで、管理性を高めた実施形態である。
【０１０９】
図７は、製品加工ワークの周縁部に、寸法補正率(Ｘ=、Ｙ=で表記)、エッチングファクタ補正（ｅｔｆf=で表記）や膜面（ｅｍｕ=で表記）、ポジネガ（ｉｍｇ=で表記）、あるいは作成日（ｄａｔｅ=で表記）や管理番号(ｎｏ．で表記.)を記入した例である。これらの情報を、加工プロセスにおいて機械的な方法等で読み取ることによって、管理に利用することができる。
【０１１０】
この部分は、最終製品には残らないのが普通であるが、これらの情報を加工途中での管理や検査結果の集計等に用いるため、外形加工工程で最終製品として切り離されるまで、あるいは以降の工程で必要なくなる時点まで、積極的に加工ワーク上に残しておく。
【０１１１】
＜実施形態９＞
本実施形態９は、補正そのものには関係無いが、フォトツールの管理面を改善した事例である。
【０１１２】
フォトツール自体には、これまでの実施形態で説明した通り、管理に必要な情報を記入しているが、生産全体のシステムとして情報を管理し、トレーサビリティを確保するためには、これらの情報を何らかの形でデータベース化し、後日の検索・確認ができるようにしておく必要がある。
【０１１３】
これまでの実施形態から明らかなように、これらの情報は、完全にフォトツールの実際の補正・加工内容と一致した形で、既にＣＡＤシステムやフォトツール作成装置上にデータとして載っている。よって、これらの情報を取り出し、データベース化して、検索等が出来るシステムとして構築した。
【０１１４】
本発明者らが構築したシステムでは、ＣＡＤ上、フォトツール作成システム上に蓄えられた補正内容や記入文字列等に、当該フォトツールを使用して生産する配線板の機種名などの基本情報の追加や、フォトツール作成時の温湿度情報など、その他の情報を付加し、データベース化するコンピュータプログラムを作成、使用しているが、パラメータファイル等がテキストファイルになっていたりする場合、テキストエディタを使用したり、簡単なコピー貼り付け操作等や市販表計算ソフト等を利用することも可能である。さらに、このデータベースは、工程管理システム（ＣＩＭ）や品質管理システム等とリンクさせることでさらにその有用性が高まる。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】本発明の実施形態１に係る処理フロー図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る他の処理フロー図である。
【図３】本発明の実施形態１において補正パラメータファイルを利用した例を示す処理フロー図である。
【図４】本発明の実施形態２に係る処理フロー図である。
【図５】本発明の実施形態３に係る処理フロー図である。
【図６】本発明の実施形態４に係る処理フロー図である。
【図７】本発明によるプロセスで作成したフォトツールの完成イメージ図である。
【図８】配線板単体の説明図である。
【図９】ワーク枠の説明図である。
【図１０】従来のフォトツール完成イメージ図である。
【符号の説明】
【０１１６】
１  製品基板データ
２  枠データ
３  加工ワーク
【図１】
2006084849.tif 000003
【図２】
2006084849.tif 000004
【図３】
2006084849.tif 000005
【図４】
2006084849.tif 000006
【図５】
2006084849.tif 000007
【図６】
2006084849.tif 000008
【図７】
2006084849.tif 000009
【図８】
2006084849.tif 000010
【図９】
2006084849.tif 000011
【図１０】
2006084849.tif 000012