(57)【要約】【課題】  連続的に任意の形状に変形可能な形状記憶合金を用いたアクチュエータを提供する。【解決手段】  回復温度以上になると所定の記憶形状に戻る形状記憶材料から成る単一の記憶部材１２と、記憶部材を上記記憶形状とは異なる形状へと変形させる変形手段１３と、記憶部材を局所的に回復温度以上に加熱するレーザ１６と、レーザによって加熱される記憶部材の位置及び範囲を連続的に制御する加熱領域制御手段１８、２０とを具備するアクチュエータが提供される。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回復温度以上になると所定の記憶形状に戻る形状記憶材料から成る単一の記憶部材と、
上記記憶部材を上記記憶形状とは異なる形状へと変形させる変形手段と、
上記記憶部材を局所的に上記回復温度以上に加熱するレーザと、
上記レーザによって加熱される上記記憶部材の位置及び範囲の少なくともいずれか一方を連続的に制御する加熱領域制御手段とを具備するアクチュエータ。
【請求項２】
回復温度以上になると所定の記憶形状に戻る形状記憶材料から成る単一の記憶部材と、
上記記憶部材を上記記憶形状とは異なる形状へと変形させる変形手段と、
上記記憶部材の局所的な複数の部位を上記回復温度以上に加熱可能なレーザとを具備するアクチュエータ。
【請求項３】
上記記憶部材は薄膜状に形成されている請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
基準面から突出または陥没するように変位可能な部位を有し、これら変位可能な部位を変位させることにより触覚情報を凹凸で表示する触覚ディスプレイにおいて、
回復温度以上になると所定の記憶形状に戻る形状記憶材料から成る記憶部材と、
上記記憶部材を上記記憶形状から上記基準面に沿うような形状へと変形させる変形手段と、
上記記憶部材を局所的に上記回復温度以上にまで加熱することで、該加熱された部分を上記基準面から突出または陥没させる局所加熱手段と、
上記局所加熱手段によって加熱される上記記憶部材の位置、範囲、及び変形量のうちの少なくともいずれか一つを制御する加熱領域制御手段とを具備する触覚ディスプレイ。
【請求項５】
複数の短冊状の記憶部材が上記基準面上に互いに平行に並べられる請求項４に記載の触覚ディスプレイ。
【請求項６】
上記局所加熱手段はレーザである請求項４または５に記載の触覚ディスプレイ。
【請求項７】
基準面から突出または陥没するように変位可能な部位を有し、これら変位可能な部位を変位させることにより視覚情報を三次元的に表示する３Ｄディスプレイにおいて、
回復温度以上になると所定の記憶形状に戻る形状記憶材料から成る記憶部材と、
上記記憶部材を上記記憶形状から上記基準面に沿うような形状へと変形させる変形手段と、
上記記憶部材を局所的に上記回復温度以上にまで加熱することで、該加熱された部分を上記基準面から突出または陥没させる局所加熱手段と、
上記局所加熱手段によって加熱される上記記憶部材の位置、範囲、及び変形量のうちの少なくともいずれか一つを制御する加熱領域制御手段とを具備する３Ｄディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、形状記憶材料を利用したアクチュエータ、触覚ディスプレイ及び３Ｄディスプレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
外力等による変形後に或る一定の温度以上に加熱すると変形前の形状に戻る現象、すなわち形状記憶効果を示す形状記憶合金が知られている。形状記憶合金は、温度変化によって結晶構造が双晶マルテンサイト変態を起こすことで形状記憶効果を示す。斯かる形状記憶効果を利用して、様々なアクチュエータ等が開発されている。
【０００３】
斯かるアクチュエータの一態様として、特許文献１に記載のマニピュレータが挙げられる。このマニピュレータでは、形状記憶合金製プレート（以下、「ＳＭＡプレート」と称す）の表面上にヒータが接触せしめられ、このヒータに電力を供給してＳＭＡプレートを加熱することによりＳＭＡプレートを記憶されている湾曲形状へと変形させると共に、このヒータへの電力の供給を停止してＳＭＡプレートから自然放熱させることにより平面形状へと変形させるようにしている。
【０００４】
また、特許文献２には、形状記憶合金を用いたアクチュエータを利用した触覚ディスプレイが開示されている。斯かる触覚ディスプレイでは、触針に二つのＳＭＡ支持体が連結されており、一方の支持体を加熱するとこの支持体の形状記憶効果により触針が突出し、他方の支持体を加熱するとこの支持体の形状記憶効果により触針が陥没する。支持体の加熱はシャッタ及びスキャナを介してレーザにより行われる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２６００９３号公報
【特許文献２】特開昭５９−１９８４８３号公報
【特許文献３】特開２００４−３４１２５５号公報
【特許文献４】特開２００３−２１１３９５号公報
【特許文献５】特開平１０−１７３３０６号公報
【特許文献６】特開平８−３２７８８１号公報
【特許文献７】特開平１１−２０３０１９号公報
【特許文献８】特開平９−３２５６８８号公報
【特許文献９】特開２００２−３５１３０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、多くの形状記憶合金を用いたアクチュエータは、ＳＭＡ部材が形状記憶効果を示す温度（以下、「回復温度」と称す）よりも低い温度においてＳＭＡ部材全体を外力により変形させた形状（以下、「初期形状」と称す）と、ＳＭＡ部材全体の温度が回復温度以上となってＳＭＡ部材全体の形状が記憶形状に戻った形状（以下、「回復形状」と称す）との二つの形状のみの間で作動せしめられる。すなわち、斯かるアクチュエータは初期形状と回復形状との二値的な形状にしかならず、これら初期形状と回復形状との間の段階的な変形形状にすることができない。これは、斯かるアクチュエータの多くがＳＭＡ部材への通電によるジュール発熱や雰囲気からの熱伝達によってＳＭＡ部材全体を加熱していることによるものである。
【０００７】
また、特許文献１に記載のマニピュレータでは、ＳＭＡプレートの表面上に複数のヒータを接触させ、これらヒータに選択的に電力を供給することで、ＳＭＡプレートを局所的に加熱している。斯かる装置では、ＳＭＡプレートを初期形状と回復形状と間の段階的な変形形状、すなわちＳＭＡプレートの一部が初期形状となっていながら他の部分が記憶形状に戻っている変形形状（以下、「部分変形形状」と称す）とすることができる。しかしながら、斯かる装置であっても、ＳＭＡプレートを初期形状と回復形状と間で連続的に部分変形形状とすることはできず、また、部分変形形状における変形段階を細かくしようとするにつれて必要なヒータの数が多くなり、またこれらヒータの作動回路も複雑なものとなってしまう。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、連続的に任意の形状に変形可能な形状記憶合金を用いたアクチュエータ、及び斯かるアクチュエータを用いた触角ディスプレイを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、第１の発明では、回復温度以上になると所定の記憶形状に戻る形状記憶材料から成る単一の記憶部材と、上記記憶部材を上記記憶形状とは異なる形状へと変形させる変形手段と、上記記憶部材を局所的に上記回復温度以上に加熱するレーザと、上記レーザによって加熱される上記記憶部材の位置及び範囲の少なくともいずれか一方を連続的に制御する加熱領域制御手段とを具備するアクチュエータが提供される。
第１の発明によれば、レーザにより記憶部材が局所加熱される位置及び範囲の少なくともいずれか一方が連続的に制御されるため、記憶部材が記憶形状に戻る位置及び範囲を連続的に制御することができ、よって記憶部材の変位形状を連続的に制御することができる。
また、従来のヒータ等を用いた加熱では、アクチュエータ本体（すなわち記憶部材や変形手段）が大きくなると大きなまたは多数のヒータが必要となってコストが高くなり、逆に小さくなると非常に小さなヒータが必要となってしまう。第１の発明によれば、レーザによって局所加熱をすることで、広範囲または微小範囲のいずれについても記憶部材を容易に加熱することができる。このため、アクチュエータ本体が大型であろうと小型であろうと、任意のサイズのアクチュエータ本体を有するアクチュエータに本発明を適用することができる。
【００１０】
第２の発明では、第１の発明において、回復温度以上になると所定の記憶形状に戻る形状記憶材料から成る単一の記憶部材と、上記記憶部材を上記記憶形状とは異なる形状へと変形させる変形手段と、上記記憶部材の局所的な複数の部位を上記回復温度以上に加熱可能なレーザとを具備する。
【００１１】
第３の発明では、第１または第２の発明において、上記記憶部材は薄膜状に形成されている。
第３の発明によれば、記憶部材が薄膜状に形成されているため、記憶部材から放熱し易い。従って、記憶部材の局所加熱が中止された場合に、迅速に記憶部材の温度が低下するため、記憶部材を記憶形状から初期形状へと迅速に変形させることができる。
【００１２】
第４の発明では、基準面から突出または陥没するように変位可能な部位を有し、これら変位可能な部位を変位させることにより触覚情報を凹凸で表示する触覚ディスプレイにおいて、回復温度以上になると所定の記憶形状に戻る形状記憶材料から成る記憶部材と、上記記憶部材を上記記憶形状から上記基準面に沿うような形状へと変形させる変形手段と、上記記憶部材を局所的に上記回復温度以上にまで加熱することで、該加熱された部分を上記基準面から突出または陥没させる局所加熱手段と、上記局所加熱手段によって加熱される上記記憶部材の位置、範囲、及び変形量のうちの少なくともいずれか一つを制御する加熱領域制御手段とを具備する。
第４の発明によれば、局所加熱手段によって回復温度以上にまで加熱される記憶部材の位置、範囲、及び変形量のうちの少なくともいずれか一つを制御する加熱領域制御手段によって、記憶部材を基準面から突出または陥没させる位置、範囲、及び変形量（すなわち、突出量または陥没量）のうちの少なくともいずれか一つを容易に制御することができる。従って、部品点数が少なく構造が簡単な触覚ディスプレイが提供される。
【００１３】
第５の発明では、第４の発明において、複数の短冊状の記憶部材が上記基準面上に互いに平行に並べられる。
【００１４】
第６の発明では、第４または第５の発明において、上記局所加熱手段はレーザである。
第６の発明によれば、上述したようにレーザによって局所加熱をすることで、広範囲または微小範囲のいずれについても記憶部材を容易に加熱することができる。このため、触覚ディスプレイの表示面が大型であろうと小型であろうと、任意のサイズの表示面を有する触角ディスプレイに本発明を適用することができる。
【００１５】
第７の発明では、基準面から突出または陥没するように変位可能な部位を有し、これら変位可能な部位を変位させることにより視覚情報を三次元的に表示する３Ｄディスプレイにおいて、回復温度以上になると所定の記憶形状に戻る形状記憶材料から成る記憶部材と、上記記憶部材を上記記憶形状から上記基準面に沿うような形状へと変形させる変形手段と、上記記憶部材を局所的に上記回復温度以上にまで加熱することで、該加熱された部分を上記基準面から突出または陥没させる局所加熱手段と、上記局所加熱手段によって加熱される上記記憶部材の位置、範囲、及び変形量のうちの少なくともいずれか一つを制御する加熱領域制御手段とを具備する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、連続的に任意の形状に変形可能な形状記憶合金を用いたアクチュエータ、及び斯かるアクチュエータを用いた触角ディスプレイ及び３Ｄディスプレイが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明について詳細に説明する。図１は本発明における形状記憶合金製プレート（以下、「ＳＭＡプレート」と称す）の駆動原理を説明するための図であり、ＳＭＡプレート１の側面を示している。図１における斜線部分は後述する回復温度以上であるＳＭＡプレートの部分、非斜線部分は回復温度よりも低いＳＭＡプレートの部分をそれぞれ示している。
【００１８】
一般に、形状記憶合金は、一定の温度（以下、「回復温度」と称す）よりも低い温度において外力によって変形された後に上記回復温度以上に加熱すると変形前の形状に戻る現象、すなわち形状記憶効果を示す。この形状記憶効果は、温度変化によって結晶構造が双晶マルテンサイト変態を起こすことによって発揮される。
【００１９】
例えば、ＳＭＡプレート１に記憶された形状（以下、「記憶形状」と称す）が図１（ａ）に示したようなほぼ円形である場合について考える。ＳＭＡプレート１の温度が回復温度よりも低い温度であるとＳＭＡプレート１は容易に変形せしめられる。従って、ＳＭＡプレート１の温度が回復温度よりも低いときにＳＭＡプレート１を長手方向に延ばすようにＳＭＡプレート１に引張力を加えると、ＳＭＡプレート１は記憶形状から図１（ｂ）に示したように直線的に延びるように変形せしめられる。
【００２０】
その後、ＳＭＡプレート１を回復温度以上にまで加熱すると、ＳＭＡプレート１の形状は図１（ａ）に示したようなほぼ円形に、すなわち記憶形状に戻る。このＳＭＡプレート１の記憶形状へ戻ろうとする力は比較的大きいため、上述したようにＳＭＡプレート１に引張力が加えられたままの状態であっても、引張力の大きさによってはＳＭＡプレート１を記憶形状に戻すことができる。
【００２１】
一般に、ＳＭＡプレート１に対する斯かる加熱は、ＳＭＡプレート１に通電することによるジュール熱、またはＳＭＡプレート１周りの雰囲気からの熱伝達により行われる。このため、ＳＭＡプレート１の加熱はＳＭＡプレート１全体について行われ、ＳＭＡプレート１は、ＳＭＡプレート１全体が回復温度以上に加熱された場合における回復形状（図１（ａ））と、ＳＭＡプレート１全体が回復温度よりも低い温度である場合における引張力によって変形せしめられた形状（図１（ｂ）。以下、「初期形状」と称す）との二つの形状しか取り得なかった。
【００２２】
一方、形状記憶合金は熱伝導率が低い材料であり、また、ＳＭＡプレートを箔状に薄く形成すると単位体積あたりの表面積を大きくとることができ、よってＳＭＡプレートの放熱性を高いものとすることができる。このため、箔状のＳＭＡプレート１を局所的に加熱することにより、加熱された部分のみを回復温度以上の高温にすると共に、加熱されていない部分を回復温度よりも低いまま維持することができる。
【００２３】
図１（ｃ）及び図１（ｄ）は、図１（ｂ）の初期形状からＳＭＡプレート１が局所加熱された場合を示している。図１（ｃ）では、ＳＭＡプレート１の右端部のみが局所加熱されて斯かる部分（斜線部分）のみが回復温度以上となっており、従って斯かる部分のみにおいてＳＭＡプレート１の形状が初期形状から記憶形状へと変形されている。また、図１（ｄ）では、ＳＭＡプレート１の中央部のみが加熱されて斯かる部分のみが回復温度以上となっており、従って斯かる部分のみにおいてＳＭＡプレート１の形状が初期形状から記憶形状へと変形されている。
【００２４】
このようにＳＭＡプレート１の局所加熱を利用すると、局所加熱されるＳＭＡプレート１の位置及び範囲を段階的または連続的に変えることにより、ＳＭＡプレート１全体の形状を初期形状と回復形状との間で段階的または連続的に変形させることが可能である。
【００２５】
ＳＭＡプレート１を局所加熱する方法の一つとして、レーザによるものが挙げられる。レーザによれば、レーザ照射されているＳＭＡプレート１の部分のみを局所加熱することができる。また、ＳＭＡプレート１が局所加熱される位置及び範囲を容易に連続的に変えることが可能である。すなわち、ＳＭＡプレート１が局所加熱される位置は、例えば、走査装置、スプリッタ、シャッタ等を用いることにより容易に変更することができ、また、ＳＭＡプレート１が局所加熱される範囲は、主にレーザ照射出力を調整することによって変更可能である。ここで、ＳＭＡプレート１が局所加熱される範囲と、レーザ照射出力及びレーザビームのスポット径との関係について説明する。
【００２６】
図２（ａ）は、レーザ照射出力と回復温度にまで局所加熱された範囲の直径（以下、「被加熱範囲径」と称す）との関係を示す図であり、レーザビームのスポット径を２ｍｍに設定して測定されたものである。図２（ａ）に示したように、レーザ照射出力を高めることによって被加熱範囲径を大きくすることができる。
【００２７】
一方、図２（ｂ）は、レーザビームのスポット径と被加熱範囲径との関係を示す図であり、レーザ照射出力を１００ｍＷに設定して測定されたものである。図２（ｂ）に示したように、レーザビームのスポット径を変更しても被加熱範囲径はほとんど変化しない。以上のことから、ＳＭＡプレート１が局所加熱される範囲は、主にレーザ照射出力に依存し、レーザビームのスポット径にはほとんど依存しない。
【００２８】
レーザ照射によりＳＭＡプレート１の一部を回復温度以上にまで局所加熱した後にレーザ照射を中止すると、上述したようにＳＭＡプレート１の放熱性が高いことから上記局所加熱されていた部分は迅速に回復温度よりも低い温度にまで冷却せしめられ、記憶形状から初期形状へと変形せしめられる。従って、ＳＭＡプレート１はレーザ照射中に記憶形状となり、レーザ照射が中止せしめられると初期形状となる。
【００２９】
なお、本明細書では、形状記憶合金、及び形状記憶合金製プレートのみについて説明しているが、形状記憶効果を示す材料（形状記憶材料）であれば如何なる材料からなるプレートをＳＭＡプレートとして用いてもよく、例えば、形状記憶ポリマ等を用いてもよい。
【００３０】
次に、図３〜図６を参照して、上述したＳＭＡプレートの駆動原理を用いたアクチュエータについて説明する。
【００３１】
従来から、基板上に設置されると共に基板面外方向に駆動する面外変位アクチュエータが知られている。面外変位アクチュエータは、主にマイクロマシンやＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等において使用されている。後述する本発明のＳＭＡプレートを用いたアクチュエータは、例えば斯かる面外変位アクチュエータとして用いられる。
【００３２】
図３に示したように、本発明のアクチュエータ１０に用いられるアクチュエータ本体１１は、箔状のＳＭＡプレート１２とこのＳＭＡプレート１２に接着される弾性プレート１３とから構成される。ＳＭＡプレート１２には、図３（ａ）に示したように、ＳＭＡプレート１２の表面に対して垂直な方向に湾曲するような形状が記憶されている。一方、ＳＭＡプレート１２に接着される弾性プレート１３の形状は、図３（ａ）に示したように、弾性プレート１３の表面に対して垂直な方向であってＳＭＡプレート１２の湾曲方向とは反対方向に湾曲する形状である。従って、ＳＭＡプレート１２と弾性プレート１３とを接着することにより、ＳＭＡプレート１２全体の温度が回復温度よりも低い場合には、弾性プレート１３の付勢力によりアクチュエータ本体１１は図３（ｂ）に示したように平板状となっている。一方、ＳＭＡプレート１２全体の温度が回復温度以上である場合には、弾性プレート１３の付勢力に関わらずアクチュエータ本体１１はＳＭＡプレート１２の記憶形状となる。
【００３３】
なお、弾性プレートは、図３に示した実施形態ではＳＭＡプレート１２の湾曲方向とは反対方向に湾曲しているが、ＳＭＡプレート１２と接着することでＳＭＡプレート１２全体の温度が回復温度より低い場合にアクチュエータ本体１１が平板状となれば如何なる形状であってもよく、例えば平板状であってもよい。
【００３４】
図４は、本発明のアクチュエータ１０全体を示す図である。図示したように、アクチュエータ本体１１は基板１４上に配置される。アクチュエータ本体１１は、その一方の端部１５のみが基板に固定され、それ以外の部分は基板１４に対して移動可能である。また、アクチュエータ１０は、アクチュエータ本体１１にレーザビームを照射するためのレーザ発振装置１６を具備する。レーザ発振装置１６としては、そのレーザビーム１７がＳＭＡプレート１２に吸収されるようなレーザビームを発するものであれば如何なるレーザ発振装置が用いられてもよく、本実施形態では、アルゴンイオンレーザ発振装置が用いられる。
【００３５】
レーザ発振装置１６から発せられたレーザビーム１７は、図４に示したように、走査装置１８のミラー１９を介してアクチュエータ本体１１に照射される。ミラー１９は走査装置１８によりその角度が一定の角速度で変更せしめられ、これにより図４に破線で示した範囲内でアクチュエータ本体１１にレーザビーム１７を照射することができる。レーザ発振装置１６と走査装置１８のミラー１９との間にはシャッタ２０が配置され、このシャッタ２０によりレーザビーム１７を遮断することができる。従って、走査装置１８及びシャッタ２０を組み合わせて用いることにより、アクチュエータ本体１１の所望の位置にレーザビーム１７を照射することができ、すなわちアクチュエータ本体１１のＳＭＡプレート１２を回復温度以上にまで局所加熱する位置を任意に連続的に調整することができる。また、レーザ発振装置１６は、その照射出力を任意に連続的に調整することが可能であるため、アクチュエータ本体１１のＳＭＡプレート１２を回復温度以上にまで局所加熱する範囲を任意に連続的に調整することが可能である。
【００３６】
図５は、アクチュエータ本体１１の変形の様子を示しており、斜線部分はアクチュエータ本体１１の温度が回復温度以上となっている部分、非斜線部分はアクチュエータ本体１１の温度が回復温度よりも低い部分を示している。
【００３７】
図３（ｂ）に示したように、アクチュエータ本体１１は、全体の温度が回復温度よりも低い場合には平板状、すなわち初期形状となっている。一方、図５（ａ）に示したように、レーザビーム１７をアクチュエータ本体１１の一部に局所的に照射して、アクチュエータ本体１１の一部を回復温度以上に局所加熱した場合には、局所加熱された部分のみが弾性プレート１３の弾性力に抗して記憶形状に戻り、他の部分は弾性プレート１３の弾性力により初期形状となっている。従って、アクチュエータ本体１１は局所加熱された部分において基板１４から離れるように湾曲せしめられ、それ以外の部分では平板状となっている。
【００３８】
図５（ｂ）は、図５（ａ）に比べてレーザ発振装置１６の照射出力を上げた場合を示している。上述したように照射出力を上げると、アクチュエータ本体１１が局所加熱される範囲が広がる。従って、図５（ａ）に比べて局所加熱された部分の湾曲角度αが大きなものとなる。従って、アクチュエータ本体１１の基板１４に固定された側の端部１５とは反対側の端部Ａは、図５（ａ）に比べて基板１４から離間される距離が長く、また局所加熱された部分よりも端部Ａ側のアクチュエータ本体１１の部分は、図５（ａ）に比べて基板１４の表面に対して大きな角度で傾斜する。
【００３９】
図５（ｃ）は、図５（ａ）に比べてレーザビーム１７を端部１５側に照射した場合を示している。このように、レーザビーム１７の照射位置を変更すると、局所加熱されるアクチュエータ本体１１の部分の位置が変わる。これに伴って、アクチュエータ本体１１が湾曲せしめられる位置が変わる。図５（ｃ）に示したようにアクチュエータ本体１１の湾曲位置が端部１５側に移動すると、局所加熱された部分の湾曲角度が同じであっても端部Ａが基板１４から離間される距離が長いものとなる。
【００４０】
図５（ｄ）は、局所加熱されるアクチュエータ本体１１の位置が図５（ｃ）に示した場合と同様であり、局所加熱される範囲が図５（ｂ）に示した場合と同様な場合のアクチュエータ本体１１の様子を示している。この場合に端部Ａが最も基板１４から離間されることが分かる。
【００４１】
このように、本発明のアクチュエータ１０によれば、アクチュエータ本体１１の局所加熱される部分の位置及び範囲を変更することによって、アクチュエータ本体１１の端部Ａを様々な位置に移動させることができる。また、レーザによりアクチュエータ本体１１を局所加熱することから、アクチュエータ本体１１の局所加熱される部分の位置及び範囲はそれぞれ連続的に変更することが可能であり、よって端部Ａを連続的に様々な位置に移動させることができる。
【００４２】
図６は、本発明のアクチュエータ１０においてアクチュエータ本体１１の端部Ａの移動可能な範囲を示したものである。図中、ｘ軸は基板１４の表面上の軸、ｙ軸は基板１４に対して垂直な軸をそれぞれ表しており、直線Ｂは初期形状となっているアクチュエータ本体１１、曲線Ｃは全体が記憶形状となっているアクチュエータ本体１１をそれぞれ示している。図中の斜線部は、アクチュエータ本体１１の端部Ａが移動可能な範囲を示している。図から分かるように、アクチュエータ本体１１の端部Ａは、初期形状と記憶形状との間で連続的に移動可能であると共に、アクチュエータ本体１１の端部Ａはｙ軸方向のみならずｘ軸方向にも移動可能であることが分かる。すなわち、従来知られている形状記憶合金を用いた面外変位アクチュエータでは、ＳＭＡプレートの加熱をＳＭＡプレートへの通電やヒータによって行っているため、ＳＭＡプレートを二値的にまたは段階的にしか変形させることができなかったのに対して、本発明によればその変形自由度が大きくなっている。
【００４３】
なお、上述したように、アクチュエータ本体１１のＳＭＡプレートの代わりに、形状記憶効果を示す他の材料から成るプレートを用いてもよい。この場合、例えば、斯かるプレートと弾性プレートとは接着のみならず、溶接等別の方法によって結合してもよい。
【００４４】
また、上記説明では、走査装置１８によるレーザ照射位置の変更方向がアクチュエータ本体１１の長手方向のみであったが、アクチュエータ本体の長手方向に垂直な方向にもレーザ照射位置を変更することができるようにしてもよい。この場合、局所加熱部分を調整することによりアクチュエータ本体１１をねじるように変形させることも可能である。
【００４５】
次に、図７〜図９を参照して、上述したＳＭＡプレートの駆動原理を用いた触角ディスプレイについて説明する。触覚ディスプレイとは、基準面から突出または陥没するように変位可能な部位を有し、これら変位可能な部位を変位させることにより触覚情報を凹凸で表示するものであり、例えば視覚障害者に文字情報や映像情報を伝達するのに用いられる。
【００４６】
図７は、本発明の触覚ディスプレイ３０におけるＳＭＡプレート３１の作動原理を説明するための図である。本発明の触覚ディスプレイ３０では、図７（ａ）に示したように、ＳＭＡプレート３１には比較的直径Ｄの小さいロール形状が記憶せしめられる。そして、ＳＭＡプレート３１には、ＳＭＡプレート３１全体の温度が回復温度よりも低い状態でＳＭＡプレート３１を長手方向に延ばすようにＳＭＡプレート１に引張力が加えられ、よってＳＭＡプレート３１は記憶形状から図７（ｂ）に示したように直線的に延びる形状（初期形状）に変形せしめられる。
【００４７】
その後、レーザビームを照射することによりＳＭＡプレート３１の一部を局所加熱すると、局所加熱された部分のみが記憶形状に戻り、凸状（或いは凹状）に変形する。ここで、ＳＭＡプレート３１が凸状に変形する位置はＳＭＡプレート３１にレーザ照射位置を変えることで変更せしめられ、またＳＭＡプレートが凸状に突出する範囲及び高さはレーザ照射出力を変えることで変更せしめられる。
【００４８】
図８は、本発明の触覚ディスプレイ３０全体を示す図である。図示したように、短冊状で且つ箔状のＳＭＡプレート３１が、基準面３２上に互いに平行に並べられる。各ＳＭＡプレート３１は、その長手方向端部に取り付けられた弾性部材（図示せず）等によりＳＭＡプレート３１が長手方向に延びるように引っ張られる。また、触覚ディスプレイ３０は、ＳＭＡプレート３１にレーザビーム３４を照射するためのレーザ発振装置３３を具備する。レーザ発振装置３３としては、ＳＭＡプレート３１に吸収されるようなレーザビームを発するものであれば如何なるレーザ発振装置が用いられてもよく、本実施形態では、アルゴンイオンレーザ発振装置が用いられる。
【００４９】
レーザ発振装置３３から発せられたレーザビームは、図８に示したように、走査装置３５のミラー３６を介してＳＭＡプレート３１に照射される。ミラー３６は走査装置３５によりその角度が一定の角速度で変更せしめられ、これにより図８に破線で示した四角錐範囲内でＳＭＡプレート３１にレーザビーム３４を照射することができる。レーザ発振装置３３と走査装置３５のミラー３６との間にはシャッタ３７が配置され、このシャッタ３７によりレーザビーム３４を遮断することができる。従って、走査装置３５及びシャッタ３７を組み合わせて用いることにより、ＳＭＡプレート３１の所望の位置にレーザビーム３４を照射することができ、すなわちＳＭＡプレート３１を回復温度以上にまで局所加熱する位置を任意に連続的に調整することができる。また、レーザ発振装置３３は、その照射出力を任意に連続的に調整することが可能であるため、ＳＭＡプレート３１を回復温度以上にまで局所加熱する範囲を任意に連続的に調整することが可能である。
【００５０】
このように、ＳＭＡプレート３１を回復温度以上にまで局所加熱する位置及び範囲を任意に連続的に調整することが可能であるため、ＳＭＡプレート３１を凸状に突出させる位置及び範囲を任意に連続的に調整することができる。従って、ＳＭＡプレート３１を凸状に突出させる位置及び範囲を適切に制御することにより、触覚情報を凹凸で表示させることができる。
【００５１】
図９（ａ）は、本発明の触覚ディスプレイ３０を構成するＳＭＡプレート３１全てが回復温度よりも低い温度となっており、初期状態にある場合を示している。このとき基準面３２から突出している部分は無く、よって触覚ディスプレイ３０の基準面３２上には触覚情報が何も表示されていない。
【００５２】
図９（ｂ）は、ＳＭＡプレート３１が数箇所局所加熱されている場合を示している。局所加熱されたＳＭＡプレート３１の部分は凸状に突出せしめられる。図９（ｂ）に示した例では、触覚ディスプレイ３０の基準面３２上にＳＭＡプレート３１の突出部により文字「Ａ」が表示されている場合を示している。
【００５３】
このように、本発明の触覚ディスプレイ３０によれば、ＳＭＡプレート３１にレーザビームを照射する位置及び範囲を変更することにより、容易にＳＭＡプレート３１の突出部の位置及び突出高さを変更することができる。従って、本発明によれば、例えば引用文献２に示したように無数のピンをそれぞれ独立に駆動させることによって基準面上に立体形状を表示する従来のピンディスプレイと異なり、部品点数が少なく機構が簡単である触覚ディスプレイが提供される。
【００５４】
なお、上記実施形態では、短冊状で且つ箔状のＳＭＡプレート３１を基準面３２上に互いに平行に並べた場合を示しているが、例えば円筒形状を記憶させた一枚の平板等、他の形状のＳＭＡプレートを用いてもよい。
【００５５】
また、上記実施形態の触覚ディスプレイではレーザによりＳＭＡプレートの局所加熱を行っているが、レーザではなく多数のヒータによりＳＭＡプレートの局所加熱を行ってもよい。
【００５６】
さらに、上記実施形態では本発明に係るＳＭＡプレートの駆動原理を利用して触覚情報を凹凸で表示するように触覚ディスプレイにＳＭＡプレートを用いた例を示したが、上記駆動原理の利用対象は触覚ディスプレイに限られない。すなわち、ディスプレイ表面上に三次元的な表示を可能とする３Ｄディスプレイ等にも利用可能である。この場合、本発明によれば、レーザを用いることによりディスプレイ表面が大きい場合にも本発明を利用可能であり、例えば映画のスクリーンやアミューズメントパークの大型ゲーム等に上記３Ｄディスプレイを用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】形状記憶合金製プレートの駆動原理を説明するための図である。
【図２】レーザ照射出力及びスポット径と被加熱範囲径との関係を示す図である。
【図３】本発明のアクチュエータに用いられるアクチュエータ本体の構成を示す図である。
【図４】本発明のアクチュエータ全体を示す図である。
【図５】アクチュエータ本体の変形の様子を示す図である。
【図６】本発明のアクチュエータにおいてアクチュエータ本体の端部の移動可能な範囲を示す図である。
【図７】本発明の触覚ディスプレイにおけるＳＭＡプレートの作動原理を説明するための図である。
【図８】本発明の触覚ディスプレイ全体を示す図である。
【図９】本発明の触覚ディスプレイの作動状態を示す図である。
【符号の説明】
【００５８】
１    ＳＭＡプレート
１０    アクチュエータ
１１    アクチュエータ本体
１２    ＳＭＡプレート
１３    弾性プレート
１６    レーザ発振装置
１８    走査装置
１９    ミラー
２０    シャッタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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