(57)【要約】      （修正有）【課題】光ピックアップから出射される平行光及びスポット光の収差などの特性を容易に測定し、光ピックアップの出射光の波長の変化に対して簡易な操作で対処する。【解決手段】光ピックアップから出射される光ビームの特性を測定する光ピックアップの出射光測定装置は、光ピックアップから出射される、平行光である第１の光ビーム、又は第１の光ビームを集光した第２の光ビームが入射される入射部と、取り外し可能に構成され、第２の光ビームを平行光にして第３の光ビームとして出射する対物レンズと、対物レンズが取り外されている場合には第１の光ビームを集光して所定位置に第１のビームスポットを形成すると共に、対物レンズが取り付けられている場合には前記第３の光ビームを集光して前記所定位置に第２のビームスポットを形成する集光レンズと、前記集光レンズを光軸方向に移動させる移動手段と、を備える。【選択図】図４
2006164375.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ピックアップから出射される光ビームの特性を測定する光ピックアップの出射光測定装置であって、
前記光ピックアップから出射される、平行光である第１の光ビーム、又は前記第１の光ビームを集光した第２の光ビームが入射される入射部と、
取り外し可能に構成され、前記第２の光ビームを平行光にして第３の光ビームとして出射する対物レンズと、
前記対物レンズが取り外されている場合には前記第１の光ビームを集光して所定位置に第１のビームスポットを形成すると共に、前記対物レンズが取り付けられている場合には前記第３の光ビームを集光して前記所定位置に第２のビームスポットを形成する集光レンズと、
前記集光レンズを光軸方向に移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする光ピックアップの出射光測定装置。
【請求項２】
前記所定位置に配置され、前記集光レンズにより集光された前記第１のビームスポット又は前記第２のビームスポットを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した前記第１のビームスポット又は前記第２のビームスポットの画像に基づいて、非点隔差を検出する検出手段と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の光ピックアップの出射光測定装置。
【請求項３】
前記移動手段は、前記光ピックアップから出射される前記第１の光ビーム又は前記第２の光ビームの波長に応じて、前記所定位置に前記第１のビームスポット又は前記第２のビームスポットが形成されるように、前記集光レンズを自動的に光軸方向に移動させることを特徴とする請求項１又は２に記載の光ピックアップの出射光測定装置。
【請求項４】
前記移動手段は、機械式に前記集光レンズを移動させる移動機構であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光ピックアップの出射光測定装置。
【請求項５】
集光レンズ、撮像手段、移動手段及び脱着可能な対物レンズを備える測定装置を用いた光ピックアップの出射光測定方法であって、
光ピックアップから出射される平行光である第１の光ビームを測定する第１の測定工程と、前記第１の光ビームを集光した第２の光ビームを測定する第２の測定工程と、を備え、
前記第１の測定工程は、
前記第１の光ビームを前記集光レンズによって集光して前記撮像手段上に第１のビームスポットを形成する第１の集光工程と、
前記集光レンズを前記移動手段によって光軸方向に移動させつつ、前記撮像手段により撮像した前記第１のビームスポットの画像に基づいて、前記第１の光ビームの特性を評価する第１の評価工程と、を備え、
前記第２の測定工程は、
前記対物レンズを前記測定装置に取り付ける工程と、
前記第１の光ビームを前記対物レンズによって前記第３の光ビームにし、当該第３の光ビームを前記集光レンズによって集光して前記撮像手段上に第２のビームスポットを形成する第２の集光工程と、
前記集光レンズを前記移動手段によって光軸方向に移動させつつ、前記撮像手段により撮像した前記第２のビームスポットの画像に基づいて、前記第２の光ビームの特性を評価する第２の評価工程と、を備えることを特徴とする光ピックアップの出射光測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ピックアップからの出射光の非点収差などの特性を測定する出射光測定装置、及び測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクなどを記録・再生する情報記録再生装置は、光ディスクにレーザ光を照射することにより情報を記録し、その反射光を受光することにより光ディスクに記録された情報を再生する。このため、情報記録再生装置に設けられる光ピックアップは、光ディスクの情報記録面に光ビームを集光させる。このとき、光ビームに収差が生じることにより、光ディスク上に形成されるビームスポットが真円とならずに楕円などになってしまう場合がある。ここでの収差としては、例えばコマ収差や非点収差や球面収差などが挙げられる。特に、非点収差は、光学部品の精度や光学的な調整具合により発生し、光ディスクからの情報の読み取り精度や情報の書き込み精度を低下させる。
【０００３】
上記のような不具合を生じさせないために、通常は、光ピックアップの収差を測定して、光ピックアップ内の光学系を調整したり、検査の結果が悪いものを破棄したりしている。一般的には、コリメータレンズを通過しただけの平行光に対して収差の測定を行うと共に、この平行光を対物レンズなどで集光することによって作成されるスポット光に対して収差の測定を行っている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、光ピックアップから出射された、平行光である光ビームをオートコリメータ内に取り込み、この光ビームの位置や光ビームの径などを観察する技術が記載されている。また、特許文献２及び３には、光ピックアップが出射する光ビームの測定を、干渉計などを用いて行う技術が記載されている。更に、特許文献４及び５には、平行光を集光したスポット光を光学ヘッドなどを用いてデフォーカス等することによって、スポット光が形成するビームスポットの形状を測定して非点収差の評価などを行う技術が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特公昭５５−２５６０５号公報
【特許文献２】特開２００３−２７００９０号公報
【特許文献３】特開２００２−３２３４０６号公報
【特許文献４】特開２００２−９０６０５号公報
【特許文献５】特開２００３−２０７４３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記の開示技術に記載された測定装置おいては、光ピックアップから出射された平行光に対する測定及びスポット光に対する測定を同一の測定装置で行うことが困難であった。例えば、測定の対象に応じて、厳密に測定装置の調整を行う必要があった。したがって、光ピックアップの平行光及びスポット光に測定を行うのに、非常に手間がかかっていた。
【０００７】
ところで、光ピックアップは、光ビームを照射する対象となる記録媒体の種類、例えばＣＤ（Compact Disc）やＤＶＤ（Digital Versatile Disc）やＢＤ（Blu-ray Disc）などの記録媒体によって、出射する光ビームの波長が異なっている。通常は、測定の対象となる光ビームの波長に応じて、測定装置の設定を大きく変更したり、測定装置を別の装置に変えたりして、上記の測定を行っていた。そのため、測定を行う光ピックアップの種類を変更するたびに測定装置を変える必要があり、測定の手間がかかっていた。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は上記のようなものが例として挙げられる。本発明は、光ピックアップから出射される平行光及びスポット光の収差などの特性を容易に測定し、光ピックアップの出射光の波長の変化に対して簡易な操作で対処することが可能な光ピックアップの出射光測定装置、及び測定方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明では、光ピックアップから出射される光ビームの特性を測定する光ピックアップの出射光測定装置は、前記光ピックアップから出射される、平行光である第１の光ビーム、又は前記第１の光ビームを集光した第２の光ビームが入射される入射部と、取り外し可能に構成され、前記第２の光ビームを平行光にして第３の光ビームとして出射する対物レンズと、前記対物レンズが取り外されている場合には前記第１の光ビームを集光して所定位置に第１のビームスポットを形成すると共に、前記対物レンズが取り付けられている場合には前記第３の光ビームを集光して前記所定位置に第２のビームスポットを形成する集光レンズと、前記集光レンズを光軸方向に移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項５に記載の発明では、集光レンズ、撮像手段、移動手段及び脱着可能な対物レンズを備える測定装置を用いた光ピックアップの出射光測定方法は、光ピックアップから出射される平行光である第１の光ビームを測定する第１の測定工程と、前記第１の光ビームを集光した第２の光ビームを測定する第２の測定工程と、を有し、前記第１の測定工程は、前記第１の光ビームを前記集光レンズによって集光して前記撮像手段上に第１のビームスポットを形成する第１の集光工程と、前記集光レンズを前記移動手段によって光軸方向に移動させつつ、前記撮像手段により撮像した前記第１のビームスポットの画像に基づいて、前記第１の光ビームの特性を評価する第１の評価工程と、有し、前記第２の測定工程は、前記対物レンズを前記測定装置に取り付ける工程と、前記第１の光ビームを前記対物レンズによって前記第３の光ビームにし、当該第３の光ビームを前記集光レンズによって集光して前記撮像手段上に第２のビームスポットを形成する第２の集光工程と、前記集光レンズを前記移動手段によって光軸方向に移動させつつ、前記撮像手段により撮像した前記第２のビームスポットの画像に基づいて、前記第２の光ビームの特性を評価する第２の評価工程と、を有することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の好適な実施形態では、光ピックアップから出射される光ビームの特性を測定する光ピックアップの出射光測定装置は、前記光ピックアップから出射される、平行光である第１の光ビーム、又は前記第１の光ビームを集光した第２の光ビームが入射される入射部と、取り外し可能に構成され、前記第２の光ビームを平行光にして第３の光ビームとして出射する対物レンズと、前記対物レンズが取り外されている場合には前記第１の光ビームを集光して所定位置に第１のビームスポットを形成すると共に、前記対物レンズが取り付けられている場合には前記第３の光ビームを集光して前記所定位置に第２のビームスポットを形成する集光レンズと、前記集光レンズを光軸方向に移動させる移動手段と、を備える。
【００１２】
上記の光ピックアップの出射光測定装置は、光ピックアップから出射される出射光の非点収差などの収差を測定するために好適に使用される。出射光測定装置は、光ピックアップから出射される、平行光である第１の光ビーム、及び第１の光ビームを対物レンズによって集光された第２の光ビーム（即ち、スポット光）を測定する。この場合、出射光測定装置は、平行光である第１の光ビームを測定する場合には平行光に変換するための処理を行わず、平行光ではない第２の光ビームが入射される場合には平行光に変換するための処理を行う。詳しくは、出射光測定装置では、入射される第２の光ビームを平行光に変換するために対物レンズを用い、入射される光ビームの種類に応じて対物レンズの取り付け及び取り外しができるように構成されている。したがって、平行光である第１の光ビームを測定する場合には対物レンズが取り外され、平行光でないスポット光である第２の光ビームを測定する場合には対物レンズが取り付けられる。
【００１３】
また、第１の光ビームを測定する場合には、集光レンズには第１の光ビームが入射され、集光レンズは第１の光ビームを集光して所定位置に第１のビームスポットを形成する。一方、第２の光ビームを測定する場合には、集光レンズには対物レンズによって平行光にされた第３の光ビームが入射され、集光レンズは第３の光ビームを集光して所定位置に第２のビームスポットを形成する。そして、出射光測定装置は、集光レンズを光軸上で所定量ずつ移動させるなどして光ピックアップからの出射光をデフォーカスさせ、そのときの第１のビームスポット又は第２のビームスポットの形状などに基づいて収差等の特性を測定する。以上により、出射光測定装置は、光ピックアップから出射される平行光である第１の光ビーム、及びスポット光である第２の光ビームに対して、対物レンズの脱着のみを行うことによって簡便に測定を行うことができる。よって、出射光測定装置は、第１の光ビーム及び第２の光ビームに対して、１つの装置によって、その設定を大きく変更することなく測定を行うことができる。
【００１４】
上記の光ピックアップの出射光測定装置の一態様では、前記所定位置に配置され、前記集光レンズにより集光された前記第１のビームスポット又は前記第２のビームスポットを撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した前記第１のビームスポット又は前記第２のビームスポットの画像に基づいて、非点隔差を検出する検出手段と、を備える。
【００１５】
この態様では、出射光測定装置は、ビームスポットのデフォーカス状態を変化させて得た複数のビームスポット画像に基づいて、非点収差の度合いを示す非点隔差を検出することができる。また、検出されたビームスポットの非点隔差に基づいて、光ピックアップの評価を行うことができる。
【００１６】
上記の光ピックアップの出射光測定装置の他の一態様では、前記移動手段は、前記光ピックアップから出射される前記第１の光ビーム又は前記第２の光ビームの波長に応じて、前記所定位置に前記第１のビームスポット又は前記第２のビームスポットが形成されるように、前記集光レンズを自動的に光軸方向に移動させる。
【００１７】
この態様では、出射光測定装置は、測定の対象となる光ビームの波長に応じて集光レンズを移動させる（即ち、集光レンズと所定位置との距離を変化させる）ことによって、光ビームの波長の変化による集光レンズの焦点距離の変化に対して対処する。言い換えると、出射光測定装置は、対物レンズを移動させることによって、測定対象となる光ビームの波長が変化することによって生じる色収差を吸収することができる。この場合、出射光測定装置は、光ビームの波長の変化による集光レンズの焦点距離の変化を求め、この焦点距離の変化分に相当する量だけ集光レンズを移動させる。これにより、出射光測定装置は、光ビームの波長が変わっても、撮像手段上に適切に光ビームを集光させることができる。以上のように、出射光測定装置は、光ビームの波長の変化に対して簡便な操作によって対処することができる。したがって、出射光測定装置は、測定対象となる光ビームの波長が変わっても、装置を別のものに変更したり、装置の設定を大きく変更したりすることなく、簡便に測定を行うことができる。
【００１８】
１つの好適な例では、前記移動手段は、前記移動手段は、機械式に前記集光レンズを移動させる移動機構とすることができる。例えば、移動手段としては、モータとボールネジなどの機構により集光レンズを移動させる構造を採用することができる。これにより、装置を安価で構成することができると共に、移動手段の操作にもそれほど高い精度が要求されないため、作業を容易かつ迅速に行うことができる。
【００１９】
本発明の他の実施形態では、集光レンズ、撮像手段、移動手段及び脱着可能な対物レンズを備える測定装置を用いた光ピックアップの出射光測定方法は、光ピックアップから出射される平行光である第１の光ビームを測定する第１の測定工程と、前記第１の光ビームを集光した第２の光ビームを測定する第２の測定工程と、を有し、前記第１の測定工程は、前記第１の光ビームを前記集光レンズによって集光して前記撮像手段上に第１のビームスポットを形成する第１の集光工程と、前記集光レンズを前記移動手段によって光軸方向に移動させつつ、前記撮像手段により撮像した前記第１のビームスポットの画像に基づいて、前記第１の光ビームの特性を評価する第１の評価工程と、有し、前記第２の測定工程は、前記対物レンズを前記測定装置に取り付ける工程と、前記第１の光ビームを前記対物レンズによって前記第３の光ビームにし、当該第３の光ビームを前記集光レンズによって集光して前記撮像手段上に第２のビームスポットを形成する第２の集光工程と、前記集光レンズを前記移動手段によって光軸方向に移動させつつ、前記撮像手段により撮像した前記第２のビームスポットの画像に基づいて、前記第２の光ビームの特性を評価する第２の評価工程と、を有する。上記のような出射光測定方法によっても、対物レンズの脱着のみを行うことによって、光ピックアップから出射される平行光である第１の光ビーム、及びスポット光である第２の光ビームに対して簡便に測定を行うことが可能となる。
【実施例】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。
【００２１】
［光ピックアップの構成］
まず、本実施例に係る出射光測定装置１００によって測定が行われる、光ピックアップ１０の構成について図１を用いて説明する。図１は、光ピックアップ１０の構成を示す図である。
【００２２】
光ピックアップ１０は、レーザダイオード１と、コリメータレンズ２と、ハーフミラー３及び４と、ミラー５と、マルチレンズ６と、受光素子７と、対物レンズ８と、アクチュエータ９と、ケーシング１１と、を備える。
【００２３】
レーザダイオード１は、特定波長の光ビームｂ１を出射して、コリメータレンズ２に光ビームｂ１を入射させる。コリメータレンズ２は、光ビームｂ１を平行光にした光ビームｂ２（第１の光ビーム）を出射する。光ビームｂ２は、ハーフミラー３、４を通過してミラー５に入射して、対物レンズ８に入射する。
【００２４】
対物レンズ８は、アクチュエータ９上に固定されており、光ビームｂ２を集光して、スポット光である光ビームｂ２ｃ（第２の光ビーム）を出射する。アクチュエータ９は、移動可能にケーシング１１上に配置されており、矢印９ａで示すように対物レンズ８を光ディスクＤの半径方向に移動させることができる。これにより、対物レンズ８から出射される光ビームｂ２ｃのスポットを、記録媒体である光ディスクＤの目標トラック上に配置する、いわゆるトラッキングサーボを行うことが可能となる。
【００２５】
対物レンズ８から出射された光ビームｂ２ｃは光ディスクＤの情報記録面に照射される。このとき、光ディスクＤで反射された反射光ｂ３は対物レンズ８に入射する。この反射光ｂ３は、ミラー５にて反射されてハーフミラー４を通過し、マルチレンズ６に入射する。そして、反射光ｂ３は、マルチレンズ６により集光されて受光素子７によって受光される。これにより、光ディスクＤに記録された情報を読み取ることが可能となる。
【００２６】
ここで、光ピックアップ１０から出射された光ビームｂ２ｃにおいて発生する非点収差について、図２に示す具体例を用いて説明する。
【００２７】
例えば、対物レンズ８に光ビームｂ２ａが入射する場合、対物レンズ８から出射される光ビームｂ２ｂは非点収差を有しており、焦点位置によってその形状（断面形状）が異なる。具体的には、光ビームｂ２ｂの形状は、対物レンズ８側の焦点付近では符号５０で示すような一方向に伸びた楕円となり、対物レンズ８から離れた側の焦点付近では符号５２で示すような先の一方向と垂直方向に伸びた楕円となり、両焦点位置の概ね中間位置では符号５１で示すような真円となる。光ビームｂ２ｂの形状が真円となる位置５３を「合焦点」と呼ぶ。また、上記の焦点位置間の距離Ｅを「非点隔差」と呼ぶ。なお、光ピックアップは、この非点隔差Ｅが概ね１μｍ以下であることが好ましい。
【００２８】
本実施例に係る出射光測定装置１００は、光ピックアップ１０からの出射光のＣＣＤカメラ上における集光ポイントを変化させて（即ち、光ビームをデフォーカスさせて）、ＣＣＤカメラ上に形成されるビームスポットの形状を撮像し、このビームスポットの形状に基づいて非点隔差Ｅを測定する。得られた非点隔差Ｅに基づいて光ピックアップ１０の評価などが行われる。
【００２９】
［出射光測定装置の構成］
次に、本発明の実施例に係る出射光測定装置１００について説明する。まず、出射光測定装置１００の基本的な構成について説明する。
【００３０】
本実施例に係る出射光測定装置１００は、前述した光ピックアップ１０が出射する光ビームｂ２、ｂ２ｃに対して測定を行う。即ち、出射光測定装置１００は、平行光である光ビームｂ２と、スポット光である光ビームｂ２ｃに対して測定を行う。言い換えると、出射光測定装置１００は、コリメータレンズ２を通過しただけの対物レンズ８によって集光されていない光ビームｂ２に対しての測定、及び対物レンズ８によって光ビームｂ２を集光した光ビームｂ２ｃに対しての測定を行う。したがって、光ビームｂ２に対して測定を行う場合には光ピックアップ１０の対物レンズ８を取り外し、光ビームｂ２ｃに対して測定を行う場合には光ピックアップ１０の対物レンズ８を取り付ける。このように、２つの光ビームｂ２、ｂ２ｃに対して測定を行うのは、まず対物レンズ８によって集光する前の平行光の状態にある光ビームｂ２に対して測定を行い、この測定に基づいて光ピックアップ１０における平行度や光軸角度などの調整を行った後に、光ビームｂ２を対物レンズ８によって集光した光ビームｂ２ｃの測定に基づいて更に光ピックアップ１０の調整を行うことにより、最終的に光ピックアップ１０から出射される光ビームｂ２ｃの収差を効果的に低減することができるからである。
【００３１】
上記のような測定を行う場合、本実施例に係る出射光測定装置１００は、光ピックアップ１０から出射される光ビームｂ２、ｂ２ｃを取り込む際に、平行光である光ビームｂ２が入射される場合には平行光に変換するための処理を行わず、平行光ではない（具体的には、進行方向に向かって収束していく）光ビームｂ２ｃが入射される場合には、その光ビームｂ２ｃを平行光に変換するための処理を行う。詳しくは、出射光測定装置１００では、入射される光ビームｂ２ｃを平行光に変換するために対物レンズ２１を用い、入射される光ビームの種類に応じて対物レンズ２１の取り付け及び取り外しができるように構成されている。即ち、平行光である光ビームｂ２を入射させる場合には対物レンズ２１が取り外され、平行光でない光ビームｂ２ｃを入射させる場合には対物レンズ２１が取り付けられる。
【００３２】
ここで、本実施例に係る出射光測定装置１００の構成について、図３及び図４を用いて具体的に説明する。
【００３３】
図３は、光ピックアップ１０から出射される光ビームｂ２に対して測定を行う場合における出射光測定装置１００の構成を示した図であり、図４は、光ビームｂ２ｃに対して測定を行う場合における出射光測定装置１００の構成を示した図である。測定対象が光ビームｂ２或いは光ビームｂ２ｃであるかに関わらず、基本的には、出射光測定装置１００は、光学ヘッド２０と画像処理システム４０とを用いて測定を行う。
【００３４】
光学ヘッド２０は、詳細は後述するが、移動可能に構成された集光レンズ２３と、ＣＣＤカメラ２６などを備えている（図５参照）。光学ヘッド２０は、光ピックアップ１０から出射される光ビームｂ２又は光ビームｂ２ｃを取り込み、集光レンズ２３によって光ビームｂ２、ｂ２ｃをＣＣＤカメラ２６上に集光し、ＣＣＤカメラ２６上に形成されたビームスポットを撮像する。そして、光学ヘッド２０は、撮像した画像データＳ１を画像処理システム４０に供給する。画像処理システム４０は、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）４１とモニタ４２を備えており、ＰＣ４１は取得した画像データＳ１を画像処理し、モニタ４２に表示させる。更に、ＰＣ４１は、画像処理した画像データに基づいて、光学ヘッド２０内の集光レンズ２３を移動させるための制御信号Ｓ２を光学ヘッド２０に供給する。
【００３５】
図３に示すように、光ピックアップ１０から出射される光ビームｂ２に対して測定を行う場合には、光ピックアップ１０は、対物レンズ８が設けられたアクチュエータ９が取り外されている。したがって、光ピックアップ１０は、ケーシング１１に設けられた開口部１２から光ビームｂ２を光学ヘッド２０に対して出射する。この場合、光ビームｂ２は平行光であるので、光学ヘッド２０は光ビームｂ２を平行光に変換せず、光学ヘッド２０からは対物レンズ２１を保持する対物レンズ保持部２２（図４参照）が取り外されている。よって、光ピックアップ１０から出射された光ビームｂ２は、ケーシング２７に設けられた開口部２９から光学ヘッド２０の内部に入射する。
【００３６】
図４に示すように、光ピックアップ１０から出射される光ビームｂ２ｃに対して測定を行う場合には、光ピックアップ１０には、対物レンズ８が設けられたアクチュエータ９が矢印Ａ２で示す位置に取り付けられている。したがって、光ピックアップ１０は、対物レンズ８から光ビームｂ２ｃを光学ヘッド２０に対して出射する。この場合、光ビームｂ２ｃはスポット光であるので、対物レンズ２１によって光ビームｂ２ｂを平行光に変換するために、光学ヘッド２０には対物レンズ２１を保持する対物レンズ保持部２２が矢印Ａ１で示す位置に取り付けられている。よって、光ピックアップ１０から出射された光ビームｂ２ｃは、対物レンズ２１から光学ヘッド２０の内部に入射する。
【００３７】
このように、本実施例に係る出射光測定装置１００は、光ピックアップ１０からの光ビームｂ２ｃを平行光にするための対物レンズ２１が、容易に取り付け及び取り外しが可能なように構成されている。これにより、出射光測定装置１００は、光ピックアップ１０から出射される、平行光である光ビームｂ２及びスポット光である光ビームｂ２ｃに対して、１つの装置によって簡便な操作によって測定を行うことができる。
【００３８】
［光学ヘッドの構成］
以下では、本実施例に係る出射光測定装置１００の光学ヘッド２０の構成について説明する。図５、図６は、光学ヘッド２０の概略構成を示しており、光学ヘッド２０の光軸方向に平行な面に沿った断面図を示す。
【００３９】
図５は、光ピックアップ１０から出射される平行光である光ビームｂ２に対して測定を行う場合における、光学ヘッド２０の構成を示している。
【００４０】
光学ヘッド２０は、集光レンズ２３と、集光レンズ保持部２４と、アクチュエータ２５と、ＣＣＤカメラ２６と、ケーシング２７と、開口部２９と、を備えている。この場合は、平行光である光ビームｂ２が入射されるので、対物レンズ２１を保持する対物レンズ保持部２２が取り外されている。
【００４１】
光ピックアップ１０の開口部１２より出射された光ビームｂ２は、光学ヘッド２０のケーシング２７上に設けられた開口部２９から光学ヘッド２０内に入射する。そして、開口部２９より入射した光ビームｂ２は、ミラー２８によって集光レンズ２３方向に反射されて、集光レンズ２３に入射する。
【００４２】
集光レンズ２３は、光ビームｂ２の光軸に対して略垂直に配置され、集光レンズ保持部２４に固定されている。集光レンズ保持部２４は、アクチュエータ２５により移動可能に保持されている。アクチュエータ２５は、例えばモータとボールネジなどの機械式移動機構を備えて構成されており、矢印５５で示す方向、即ち光軸方向に集光レンズ保持部２４を移動させる。これにより、集光レンズ２３を移動させて、光ビームｂ２のデフォーカスの度合いを変化させることができる。なお、アクチュエータ２５は、ＰＣ４１から供給される制御信号Ｓ２によって移動方向や移動量などが制御され、移動手段として機能する。
【００４３】
集光レンズ２３は、光ビームｂ２を集光して、ＣＣＤカメラ２６上に光ビームｂ４ａを照射してビームスポット（第１のビームスポット）を形成する。ＣＣＤカメラ２６は、照射された光ビームｂ４ａのビームスポットを撮像し、撮像したビームスポットの画像データＳ１をＰＣ４１に供給する。
【００４４】
図６は、光ピックアップ１０から出射されるスポット光である光ビームｂ２ｃに対して測定を行う場合における、光学ヘッド２０の構成を示している。
【００４５】
光学ヘッド２０は、上記と同様の構成であるが、この場合にはスポット光である光ビームｂ２ｃが入射されるので、光ビームｂ２ｃを対物レンズ２１によって平行光にするために、対物レンズ２１を保持する対物レンズ保持部２２が取り付けられている。光ピックアップ１０の対物レンズ８から出射された光ビームｂ２ｃは、光学ヘッド２０の対物レンズ２１に入射する。対物レンズ２１は、光ビームｂ２ｃを集光して光ビームｂ４ｂ（第３の光ビーム）を出射する。そして、対物レンズ２１から出射された光ビームｂ４ｂは、ミラー２８によって集光レンズ２３の方向に反射されて、集光レンズ２３に入射する。
【００４６】
集光レンズ２３を保持する集光レンズ保持部２４は、アクチュエータ２５により移動可能に保持されており、アクチュエータ２５は矢印５５で示す方向に集光レンズ保持部２４を移動させる。これにより、集光レンズ２３を移動させて、集光レンズ２３に入射される光ビームｂ４ｂのデフォーカスの度合いを変化させることができる。なお、アクチュエータ２５は、ＰＣ４１から供給される制御信号Ｓ２によって制御される。
【００４７】
集光レンズ２３は、光ビームｂ４ｂを集光して、ＣＣＤカメラ２６上に光ビームｂ４ｃを照射してビームスポット（第２のビームスポット）を形成する。ＣＣＤカメラ２６は、照射された光ビームｂ４ｃのビームスポットを撮像し、撮像したビームスポットの画像データＳ１をＰＣ４１に供給する。
【００４８】
次に、本実施例に係る光学ヘッド２０を用いたビームスポット形状の測定例を、図７を用いて具体的に説明する。なお、図７では、光ピックアップ１０から出射される光ビームｂ２に対しての測定例を示している。よって、光学ヘッド２０は、対物レンズ２１が取り外されている。
【００４９】
図７（ａ）は、集光レンズ２３の移動方法を示している。ＰＣ４１は、集光レンズ２３が矢印６０で示す方向に移動するようにアクチュエータ２５を制御する。そして、集光レンズ２３が符号Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４、Ｋ５で示す位置に達したときに、ビームスポットの形状をＣＣＤカメラ２６によって撮像する。これらの位置で撮像された画像は、それぞれ図７（ｂ）〜（ｆ）に示すようにモニタ４２に表示される。なお、上記の撮像する位置は等間隔である。
【００５０】
図７（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）は、それぞれ集光レンズ２３を符号Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３、Ｋ４、Ｋ５で示す位置に配置した場合にＣＣＤカメラ２６により撮像されたビームスポットＳＰａ、ＳＰｂ、ＳＰｃ、ＳＰｄ、ＳＰｅ（以下、「ビームスポットＳＰ」と記した場合は、これら全てを含むものとする）の形状を示している。なお、ビームスポットＳＰは、レーザパワーに応じて色が段階的に変化するようにモニタ４２に表示される。ここで示す図７（ｂ）〜（ｆ）においては、ハッチングの濃淡によってレーザパワーの強弱を大まかに表現している。具体的には、図７（ｂ）に示すように、ビームスポットＳＰａの中心にある符号６１ａで示す領域は最もレーザパワーが強く、符号６１ｂで示す領域、符号６１ｃで示す領域へと中心から外周側に離れるにつれてレーザパワーは弱くなっていく。位置Ｋ１に対応するビームスポットＳＰａは、一方向に伸びた楕円の形状を有しており、上記のレーザパワーの分布が広がっている。
【００５１】
図７（ｃ）に示すように、位置Ｋ２に対応するビームスポットＳＰｂも、同一の方向に伸びた楕円の形状を有しており、レーザパワーの分布が広がっている。但し、その長辺はビームスポットＳＰａよりも緩やかであり、レーザパワーの分布の広がり具合は小さい。図７（ｄ）に示すように、位置Ｋ３に対応するビームスポットＳＰｃは、真円の形状を有しており、最もレーザパワーが強い領域が占める割合が大きいことがわかる。即ち、ビームスポットＳＰｃは、図３の合焦点の位置５３に相当する。
【００５２】
図７（ｅ）に示すように、位置Ｋ４に対応するビームスポットＳＰｄは、ビームスポットＳＰｂと概ね垂直な方向に伸びた楕円の形状を有しており、レーザパワーの分布が広がっている。また、図７（ｆ）に示すように、位置Ｋ５に対応するビームスポットＳＰｅは、ビームスポットＳＰａと概ね垂直方向に伸びた楕円の形状を有しており、レーザパワーの分布が広がっている。即ち、ビームスポットＳＰの形状及びレーザパワーの分布は、合焦点位置５３を挟んで概ね線対称になっていることがわかる。図７（ｂ）及び図７（ｆ）に対応する位置Ｋ１及びＫ５がそれぞれ焦点であるとすると、非点隔差Ｅは図７（ａ）におけるＫ１とＫ５の距離に相当する。従って、アクチュエータ２５の移動距離に基づいて位置Ｋ１〜Ｋ５の距離を算出することにより、非点隔差Ｅを求めることができる。このように、ビームスポットＳＰをモニタ４２に表示させることにより、非点隔差Ｅを測定して光ピックアップ１０の出射光の特性を評価することが可能となる。なお、上記の非点隔差Ｅは、撮像されたビームスポットの画像に基づいて、ＰＣ４１が自動的に検出することもできる。この場合、ＰＣ４１は、非点隔差Ｅを検出する検出手段として機能する。
【００５３】
なお、上記では、光学ヘッド２０による光ビームｂ２に対する測定結果を示したが、光学ヘッド２０に対物レンズ２１を取り付けて光ビームｂ２ｃに対して測定を行っても、図７に示したものと同様の結果が得られる。
【００５４】
以上のように、本実施例に係る光学ヘッド２０は、光ピックアップ１０が出射した光ビームｂ２、ｂ２ｃを集光レンズ２３にて集光し、この集光レンズ２３を移動させてデフォーカスの度合いを変化させることによって、非点隔差Ｅを画像処理システム４０において測定している。ここで、平行光である光ビームｂ２を測定する場合において、本実施例に係る出射光測定装置１００と、干渉計などを用いて測定を行う比較例の構成とを比較した場合、ビームスポットをＣＣＤカメラ２６上に位置させる際に要求される精度は、比較例における干渉計の光軸を調整する際に要求される精度に比べてかなり低くて済む。これにより、出射光測定装置１００は、比較例における干渉計を用いる構成と比較すると、光ピックアップ１０の光ビームｂ２の測定操作を容易に行うことができると共に、格段に安価に構成することができる。
【００５５】
また、スポット光である光ビームｂ２ｃを測定する場合において、集光レンズ２３を固定して対物レンズ２１を移動させる別の比較例の構成と比較した場合、上記の出射光測定装置１００における集光レンズ２３の移動精度は、上記の比較例において対物レンズ２１の移動に要求される精度に比べてかなり低くて済む。よって、出射光測定装置１００は、集光レンズ２３の移動手段としてピエゾ素子などの高精度の移動手段を用いる必要がなくなり、安価に構成することができると共に、測定操作も容易となる。
【００５６】
次に、本実施例に係る出射光測定装置１００の他の機能について説明する。
【００５７】
一般的に、光ピックアップは、光ビームを照射する記録媒体の種類によって出射する光ビームの波長が異なる。例えば、光ピックアップは、記録媒体がＣＤである場合には波長が７８５ｎｍの光ビームを出射し、記録媒体がＤＶＤである場合には波長が６６０ｎｍの光ビームを出射し、記録媒体がＢＤである場合には波長が４０５ｎｍである光ビームを出射する。このような光ビームを集光レンズに入射させた場合、それぞれの波長に応じて集光レンズの焦点距離が変わる、言い換えると集光ポイントが変わることが知られている。具体的には、光ビームの波長に応じて、集光レンズの焦点距離が長くなったり短くなったりする。通常は、測定対象となる光ビームの波長が変更されると、測定装置を別の装置に変更するか、或いは測定装置の設定を大きく変更して測定を行っていた。こうするのは、光ビームの波長が変わっても測定装置の設定などを変えないと、装置内部のＣＣＤカメラ上に照射される光ビームにおいて色収差が生じてしまうからである。
【００５８】
本実施例に係る出射測定装置１００では、測定対象となる光ビームの波長が変わっても、装置を別のものに変更せず、且つ装置の設定も大きく変更することなく、光ピックアップ１０の測定を行うことができる。具体的には、出射光測定装置１００の光学ヘッド２０は、測定の対象となる光ビームの波長に応じて集光レンズ２３を移動させる（即ち、集光レンズ２３とＣＣＤカメラ２６との距離を変化させる）ことによって、光ビームの波長の変化による集光レンズ２３の焦点距離の変化に対して対処する、言い換えると光ビームの波長の違いによって生じる色収差を吸収する。
【００５９】
具体的には、光ビームの波長の変化によって生じる集光レンズ２３の焦点距離の変化（以下、「焦点距離変化」とも呼ぶ。）、言い換えると光ビームの波長の変化によって生じる焦点距離の色収差は、以下のように導くことができる。まず、対物レンズ２３の焦点距離（対物レンズ２３から後ろ側（出射側）の焦点までの距離）ｆは、空気中における対物レンズ２３の屈折率ｎと、対物レンズ２３の両面の曲率半径Ｒ１、Ｒ２とを用いて、式（１）で表すことができる。なお、屈折率ｎは光ビームの波長に応じて変化する。
【００６０】
１／ｆ＝（ｎ−１）／（１／Ｒ１−１／Ｒ２）    式（１）
また、光ビームの波長の変化による焦点距離変化δｆは、上記した焦点距離ｆと、対物レンズ２３の屈折率ｎと、光ビームの波長の変化による屈折率変化δｎとを用いて、式（２）で表すことができる。なお、式（２）中の焦点距離ｆと屈折率ｎは、変更後の光ビームのものとする。
【００６１】
−δｆ／ｆ＝δｎ／（ｎ−１）    式（２）
したがって、測定対象となる光ビームの波長を変更した場合、上記の式（２）を用いて焦点距離変化δｆを求め、この焦点距離変化δｆに相当する量だけ、光学ヘッド２０内の集光レンズ２３を移動させればよい。
【００６２】
ここで、光ビームの波長に違いによって生じる色収差を吸収する方法について、具体的に図８を用いて説明する。なお、図８では、光ピックアップ１０から出射される平行光である光ビームに対して測定を行う場合の構成を示している。よって、光学ヘッド２０は、対物レンズ２１が取り外されている。
【００６３】
図８（ａ）は、ＤＶＤに対して用いられる光ビームＲＬ（即ち、赤色レーザ）を出射する光ピックアップ１０ａに対して測定を行う具体例を示しており、図８（ｂ）は、ＢＤに対して用いられる光ビームＢＬ（即ち、青色レーザ）を出射する光ピックアップ１０ｂに対して測定を行う具体例を示している。光ビームＲＬの波長は６６０ｎｍであり、光ビームＢＬの波長は４０５ｎｍであるので、光ビームＢＬは光ビームＲＬよりも波長が短いため、光ビームＢＬに対する集光レンズ２３の焦点距離は光ビームＲＬに対する集光レンズ２３の集光距離よりも短くなる。
【００６４】
具体的には、測定対象を光ビームＲＬから光ビームＢＬに変更する場合、２つの光ビームＲＬ、ＢＬにおける焦点距離変化δｆは、上記した式（２）を用いて求めることができる。この場合、焦点距離変化δｆは、予め求められており、ＰＣ４１内のメモリなどに記憶されている。よって、ＰＣ４１は、測定対象を光ビームＲＬから光ビームＢＬに変更する際に、記憶している焦点距離変化δｆを読み出して、焦点距離変化δｆに相当する移動量Ｘだけ集光レンズ２３を矢印５６で示す方向に移動させるように信号Ｓ２をアクチュエータ２５に供給する。これにより、測定対象を光ビームＲＬから光ビームＢＬに変更しても、変更後の光ビームＢＬを集光レンズ２３によってＣＣＤカメラ２６上に適切に集光させることができる。即ち、光ビームＢＬを適切にデフォーカスして、ＣＣＤカメラ２６上に形成されるビームスポットの形状に基づいて光ビームＢＬの特性を測定することが可能となる。
【００６５】
なお、上記では、平行光である光ビームＲＬ、ＢＬにおいて発生する色収差を吸収する方法について示したが、光学ヘッド２０は、光ビームＲＬ、ＢＬを対物レンズ８によって集光したスポット光である光ビームに対しても、上記と同様の方法で色収差を吸収することができる。
【００６６】
以上のように、本実施例に係る出射光測定装置１００は、測定対象となる光ビームの波長が変化することによって生じる色収差に対して、対物レンズ２３を移動させることによって吸収することができる。言い換えると、光ビームの波長が変化しても、出射光測定装置１００は、集光レンズ２３を移動させることによって、光ビームをＣＣＤカメラ２６上に適切に集光させることができる。したがって、出射光測定装置１００は、光ビームの波長の変化に対して簡便な操作によって対処することができる。これにより、出射光測定装置１００は、測定対象となる光ビームの波長が変わっても、装置を別のものに変更したり、装置の設定を大きく変更したりすることなく、簡便に測定を行うことができる。
【００６７】
なお、上記の実施例では、波長が異なる２種類の光ビームについて調整を行う場合を示したが、波長が異なる３種類以上の光ビームについても、同様に式（２）に基づいて焦点距離変化を算出し、集光レンズ２３を移動させることにより対応することができる。
【００６８】
［変形例］
次に、本発明の変形例に係る光学ヘッド２０ａについて、図９を用いて説明する。
【００６９】
図９は、変形例に係る光学ヘッド２０ａの概略構成を示しており、光学ヘッド２０ａの光軸方向に平行な面に沿った断面図を示す。なお、上記した光学ヘッド２０と同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明は省略する。また、図９では、光ピックアップ１０から出射される光ビームｂ２に対して測定を行う場合の構成を示している。よって、光学ヘッド２０ａは、対物レンズ２１が取り外されている。
【００７０】
光学ヘッド２０ａは、集光レンズ２３、３１、３６と、対物レンズ３０と、集光レンズ保持部２４と、アクチュエータ２５と、ＣＣＤカメラ２６、３７と、ケーシング２７と、開口部２９と、ハーフミラー３５と、を備えている。変形例に係る光学ヘッド２０ａは、入射される光ビームｂ２を分岐した光ビームを２つのＣＣＤカメラ２６、３７で撮像する点と、ＣＣＤカメラ２６に入射させる光ビームを更に対物レンズ３０及び集光レンズ３１に入射させている点で、上記した光学ヘッド２０と異なる。以下で、具体的に説明する。
【００７１】
光ピックアップ１０の開口部１２より出射され、光学ヘッド２０ａの開口部２９から入射した光ビームｂ２は、ハーフミラー３５にて光ビームｂ２１と光ビームｂ２２とに分岐される。光ビームｂ２１は、集光レンズ３６に入射する。なお、集光レンズ３６は、集光レンズ２３よりも低倍率なレンズを用いている。集光レンズ３６は、光ビームｂ２１を集光して、ＣＣＤカメラ３７に光ビームｂ７を照射してビームスポットを形成する。ＣＣＤカメラ３７は、供給される光ビームｂ７のビームスポットを撮像し、撮像したビームスポットの画像データＳ１ａをＰＣ４１に供給する。
【００７２】
一方、光ビームｂ２２は、移動可能に構成された集光レンズ２３に入射する。集光レンズ２３によって集光された光ビームｂ５は対物レンズ３０に入射し、対物レンズ３０から出射された光ビームｂ５ａは集光レンズ３１に入射する。そして、集光レンズ３１は、光ビームｂ５ａを集光して、ＣＣＤカメラ２６に光ビームｂ５ｂを照射してビームスポットを形成する。ＣＣＤカメラ２６は、照射された光ビームｂ５ｂのビームスポットを撮像し、撮像したビームスポットの画像データＳ１ｂをＰＣ４１に供給する。
【００７３】
なお、光学ヘッド２０ａに対物レンズ３０及び集光レンズ３１が設けられているのは、集光レンズ２３のみを通過してＣＣＤカメラ２６により撮像されるビームスポットは上下左右が逆転したものとなっているため、集光レンズ２３から出射した光ビームｂ５を更に対物レンズ３０と集光レンズ３１を通過させることにより上下左右の方向を再度逆転させる。これにより、光ピックアップ１０から出射した光ビームの移動方向と、ＣＣＤカメラ２６により撮像されるビームスポットの移動方向とを一致させることができ、ユーザはモニタ４２を目視しながら装置の調節を行いやすくなる。
【００７４】
このように光学ヘッド２０ａを構成することにより、効果的に光ピックアップ１０を調整（例えば、平行度や光軸角度などの調整）することができる。以下で、具体的に、変形例に係る光学ヘッド２０ａを用いた光ピックアップ１０の調整方法について説明する。
【００７５】
まず、ＣＣＤカメラ３７で撮像されるビームスポットに基づいて、光ピックアップ１０のレーザダイオード１から出射される光ビームの調整を行う。即ち、集光レンズ３６とＣＣＤカメラ３７とから構成される光学系（以下、「低倍率光学系２００」と称す）によって得られるビームスポットに基づいて、光ピックアップ１０の調整を行う。前述したように、集光レンズ３６は集光レンズ２３よりも低倍率であるので、低倍率光学系２００では低倍率のビームスポットが撮像される。これにより、低倍率光学系２００で得られたビームスポットにより光ピックアップ１０の大まかな調整（粗調整）を行うことができる。
【００７６】
上記の低倍率光学系２００を用いた光ピックアップ１０の調整の後、ＣＣＤカメラ２６で撮像されるビームスポットに基づいて、更に光ピックアップ１０のレーザダイオード１から出射される光ビームの平行度及び光軸角度の調整を行う。即ち、集光レンズ２３、３１及び対物レンズ３０とＣＣＤカメラ２６とから構成される光学系（以下、「高倍率光学系２０１」と称す）によって得られるビームスポットに基づいて、光ピックアップ１０の調整を行う。集光レンズ２３は集光レンズ３６よりも高倍率であるので、高倍率光学系２０１では高倍率のビームスポットが撮像される。これにより、高倍率光学系２０１にて得られたビームスポットに基づいて、光ピックアップ１０を厳密に調整することができる。
【００７７】
以上のように、変形例に係る光学ヘッド２０ａを用いて、低倍率光学系２００に基づいた粗調整と高倍率光学系２０１に基づいた微調整とに分けて光ピックアップ１０の調整が行われる。この理由は、以下の通りである。低倍率光学系２００で得られたビームスポットのみに基づいて調整を行うと、光ピックアップ１０の調整を厳密に行うことはできない。また、高倍率光学系２０１で得られたビームスポットのみに基づいて調整を行うと、光ピックアップ１０の調整を厳密に行うことはできるが、光ピックアップ１０の調整に対して撮像されるビームスポットの変化が大きいために最適なポイントに調整するまでに時間がかかってしまう。したがって、まず低倍率光学系２００にて撮像されるビームスポットに基づいて大まかに調整を行った後、この調整が行われた光ピックアップ１０に対して高倍率光学系２０１に基づいて厳密に調整すると、上記のような１つの工程による調整と比較して、光ピックアップ１０の調整にかかる時間を削減することができると共に、光ピックアップ１０の調整を厳密に行うことができる。
【００７８】
更に、変形例に係る光学ヘッド２０ａを用いた光ピックアップ１０の調整方法と、オートコリメータ及び干渉計を用いる比較例の調整方法とを比較すると、比較例の場合は調整の工程ごとに装置をセッティングする必要があるが、光学ヘッド２０ａでは粗調整と微調整を同一の装置によって行っているため、調整に対してセッティングは一度だけでよい。これにより、比較例の構成と比較して、変形例に係る光学ヘッド２０ａによる調整方法はセッティングに要する時間をかなり削減することができるため、迅速に光ピックアップ１０の調整を行うことが可能となる。
【００７９】
なお、図９に示す光学ヘッド２０ａでは、説明の単純化のために光ビームの経路を直線的に配置しているが、実際には、複数のミラーなどを用いて、光ビームの経路を光学ヘッド２０ａ内で迂回させることができる。光学的に同一の構成であっても、光学ヘッド２０ａに搭載される他の光学部品や移動機構などとの関係で、光ビームの経路を迂回させることにより、実際の光学ヘッドの長さを短くすることができ、光学ヘッドを小型化することが可能となる。
【００８０】
なお、本発明では、対物レンズ２１が手動で物理的に取り外せるように光学ヘッド２０を構成することに限定はされない。他の例では、対物レンズ２１が移動可能なように光学ヘッドを構成することができる。この場合には、対物レンズ２１は例えばアクチュエータなどを用いて自動で移動可能なように構成される。具体的には、測定対象が光ビームｂ２である場合には、光ビームｂ２が入射されないような位置に対物レンズ２１を移動させ、測定対象が光ビームｂ２ｃである場合には、光ビームｂ２ｃが入射されるような位置に対物レンズ２１を移動させる。これにより、平行光である光ビームｂ２が入射される場合には平行光に変換するための処理が行われ、スポット光である光ビームｂ２ｃが入射される場合には平行光に変換するための処理が行われる。
【００８１】
更に、他の例では、対物レンズ２１が固定され、且つ光ピックアップ１０から光学ヘッドに入射された光ビームの光路がミラーなどによって変更されるように光学ヘッドを構成することができる。具体的には、測定対象が光ビームｂ２であるか光ビームｂ２ｃであるかによって、光学ヘッドに入射された光ビームの光路が、移動可能に構成されたミラーによって切り替わるように光学ヘッドを構成することができる。この場合、光ビームｂ２である場合には、光ビームｂ２が対物レンズ２１に入射しないような光路を光ビームｂ２が進行するようにミラーを位置させ、測定対象が光ビームｂ２ｃである場合には、光ビームｂ２ｃが対物レンズ２１に入射するような光路を光ビームｂ２ｃが進行するようにミラーを位置させる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】光ピックアップの概略構成を示す斜視図である。
【図２】光ピックアップにて生じる非点収差を説明するための図である。
【図３】平行光である光ビームを測定する場合の、本発明の実施例に係る出射光測定装置の構成を示す図である。
【図４】スポット光である光ビームを測定する場合の、本発明の実施例に係る出射光測定装置の構成を示す図である。
【図５】平行光である光ビームを測定する場合の、光学ヘッドの構成を示す図である。
【図６】スポット光である光ビームを測定する場合の、光学ヘッドの構成を示す図である。
【図７】モニタに表示されるビームスポット形状の具体例を示す図である。
【図８】光ビームの波長を変更した場合に生じる色収差を吸収する方法について示した図である。
【図９】本発明の変形例に係る光学ヘッドの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００８３】
１  レーザダイオード
１０  光ピックアップ
２０、２０ａ  光学ヘッド
２１  対物レンズ
２３  集光レンズ
２５  アクチュエータ
４０  画像処理システム
４１  ＰＣ（パーソナルコンピュータ）
４２  モニタ
１００  出射光測定装置
【図１】
2006164375.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006164375.tif 000008
【図７】
2006164375.tif 000009
【図８】
2006164375.tif 000010
【図９】
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