(57)【要約】【課題】  アクチュエータの製造上のばらつきや設計上の配置構造等に応じたインクの吐出特性のばらつきを調整することができるインクジェット記録装置を提供することを目的とする。【解決手段】  駆動回路１４に、各ノズルからのインク吐出を行うために各ノズルのアクチュエータ１２毎に対応して設けられたスイッチング素子１６を接続し、スイッチング素子１６とアクチュエータ１２間に、アクチュエータ１２の製造ばらつきやアクチュエータ１２の配置位置等によって発生するインク吐出特性のばらつきを調整するための特性変更素子１８を接続する。そして、記録ドットサイズ等に応じて特性変更素子１８をトリミングすることでインク吐出特性のばらつきを補正する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するための複数のアクチュエータを備えた記録ヘッドと、
前記複数のアクチュエータを駆動する駆動手段と、
前記アクチュエータに接続され、インクの吐出特性に応じてトリミングすることで前記アクチュエータの特性を変更可能な特性変更素子と、
を備えたインクジェット記録装置。
【請求項２】
前記特性変更素子は、抵抗、静電容量、及びインダクタンスの少なくとも１つの電気特性を含むことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録装置。
【請求項３】
前記特性変更素子は、少なくとも並列接続を含む接続により前記アクチュエータに接続された複数の電気素子からなることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のインクジェット記録装置。
【請求項４】
前記アクチュエータの動作をオンオフするスイッチング素子を更に備え、前記特性変更素子が前記スイッチング素子内に組み込まれることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載のインクジェット記録装置。
【請求項５】
前記複数のアクチュエータの各々に接続され、前記駆動手段からの駆動信号を増幅する増幅手段を更に備え、前記増幅手段内に前記特性変更素子が組み込まれることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載のインクジェット記録装置。
【請求項６】
前記トリミングは、レーザ光の照射により行うことを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載のインクジェット記録装置。
【請求項７】
前記記録ヘッドの設計上構造に応じて前記特性変更素子の電気特性が予め設定されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか１項に記載のインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録装置にかかり、特に、圧電素子や発熱素子等を用いてインクを吐出するインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インク吐出口からインクを吐出する、所謂インクジェット記録装置は、小型で、安価である等の特徴から、多くのプリンタに用いられている。これらのインクジェット記録装置は、発熱素子やピエゾ素子等のアクチュエータを利用してインクを吐出する。発熱素子を用いる場合には、発熱素子の発熱を用いてインクを吐出し、ピエゾ素子等の圧電素子を用いる場合には、圧電素子の振動によってインクを吐出する。
【０００３】
このようなインクジェット記録装置では、複数のノズルに対応してアクチュエータが設けられているが、アクチュエータの製造ばらつきによりインク滴の吐出特性が変化してしまう。また、ノズル配列やアクチュエータまでの配線長等によってもインク滴の吐出特性が変化してしまい、印字品質に影響を与えてしまう。
【０００４】
そこで、各ノズルからのインクの吐出特性のばらつきを揃える様々な方法が提案されている（例えば、特許文献１や特許文献２等）。
【０００５】
特許文献１に記載の技術では、圧電素子をアクチュエータとして用いてインクを吐出しており、圧電素子によって振動を加える圧力室の圧力変動特性を調整している。詳細には、圧力室の圧力変動特性を調整する補正用素子としてコンデンサを接続して、圧力変動特性を調整している。これによって、各ノズルからのインク滴の吐出特性のばらつきを抑制している。
【０００６】
また、特許文献２に記載の技術では、特許文献１に記載の技術と同様に、アクチュエータとして圧電素子を用いてインクを吐出している。特許文献２に記載の技術では、各ノズルからのインク滴の吐出特性のばらつきを抑えるために、アクチュエータ自体をトリミングして駆動する部分の体積を補正することによってインク滴の吐出特性のばらつきを抑制している。
【０００７】
一方、半導体の分野では、特許文献３に記載の技術のように、ＬＳＩ等に設ける抵抗体をレーザ光によってトリミングすることによって抵抗値を調整することが提案されている。
【特許文献１】特開２０００−３５１２０９号公報
【特許文献２】特開２００１−２７７５２５号公報
【特許文献３】特開平５−９４９０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、インク吐出特性に応じてアクチュエータに接続されたコンデンサのオンオフを行うが、当該オンオフのデータを保持するための記憶手段が必要となってしまう、という問題がある。
【０００９】
また、特許文献２に記載の技術では、アクチュエータ自体をトリミングするために、圧電素子がコンデンサと見なされるため静電容量を調整することができるが、他の電気的な特性を変化させることができない、という問題がある。
【００１０】
さらに、特許文献３に記載の技術では、インクを吐出するためのアクチュエータを考慮していないため、単純には特許文献３の技術をインクジェット記録装置に適用することができない、という問題がある。
【００１１】
本発明は、上記事実を考慮して成されたもので、アクチュエータの製造上のばらつきや設計上の配置構造等に応じたインクの吐出特性のばらつきを調整することができるインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために請求項１に記載の発明は、インクを吐出するための複数のアクチュエータを備えた記録ヘッドと、前記複数のアクチュエータを駆動する駆動手段と、前記アクチュエータに接続され、インクの吐出特性に応じてトリミングすることで前記アクチュエータの特性を変更可能な特性変更素子と、を備えることを特徴としている。
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、記録ヘッドは、複数のアクチュエータを備えており、複数のアクチュエータによってインクを吐出する。アクチュエータとしては、例えば、発熱素子を適用してもよいし、ピエゾ素子等の圧電素子を適用するようにしてもよい。
【００１４】
アクチュエータは、駆動手段によって駆動され、駆動手段がアクチュエータを駆動することでインクが吐出される。
【００１５】
また、アクチュエータには特性変更素子が接続されており、該特性変更素子は、インクの吐出特性（例えば、ドットサイズ等）に応じてトリミングすることでアクチュエータの特性が変更可能とされている。すなわち、特性変更素子をトリミングすることで、アクチュエータの製造上のばらつきや設計上の配置構造等に応じた吐出特性のばらつきを調整することができる。
【００１６】
特性変更素子としては、例えば、請求項２に記載の発明のように、抵抗、静電容量、及びインダクタンスの少なくとも１つの電気特性を含むようにしてもよい。例えば、抵抗を含むようにすることで、各アクチュエータに印加する電圧値を調整することが可能となり、静電容量を含むようにするうことで、各アクチュエータに印加する駆動波形の高周波成分を調整することが可能となり、インダクタンスを含むようにすることで、各アクチュエータに印加する駆動波形の立ち上がり立ち下がりの応答性を調整することが可能となる。
【００１７】
また、特性変更素子は、請求項３に記載の発明のように、少なくとも並列接続を含む接続によりアクチュエータに接続された複数の素子成分からなるようにすることで、複数の素子成分のうち何れかをトリミングしても断線することなく電気的特性を変化させることが可能となる。
【００１８】
また、特性変更素子は、請求項４に記載の発明のように、アクチュエータの動作をオンオフするスイッチング素子を更に備えて、該スイッチング素子内に組み込むようにしてもよい。
【００１９】
更に、特性変更素子は、請求項５に記載の発明のように、複数のアクチュエータの各々に接続され、駆動手段からの駆動信号を増幅する増幅手段を更に備えて、該増幅手段内に組み込むようにしてもよい。
【００２０】
一方、特性変更素子のトリミングは、請求項６に記載の発明のように、レーザ光の照射により行うことが可能である。すなわち、特性変更素子にレーザ光を照射することで一部の素子成分を焼き切ることで、アクチュエータの電気的特性を変更することが可能となる。
【００２１】
また、特性変更素子は、請求項７に記載の発明のように、記録ヘッドの設計構造（例えば、アクチュエータの配置構造や配線等）に応じて予め設定するようにしてもよい。このように、記録ヘッドの設計構造に応じて特性変更素子の電気特性を予め設定することで、トリミングによってインク吐出特性を変更する際の調整量を小さくすることが可能となる。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように本発明によれば、インクの吐出特性に応じてトリミングすることでアクチュエータの特性を変更可能な特性変更素子をアクチュエータに接続しているので、特性変更素子をトリミングすることでアクチュエータの製造上のばらつきや設計上の配置構造等に応じた吐出特性のばらつきを調整することができる、という効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の一例を詳細に説明する。
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係わるインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路構成を示す図である。
【００２４】
図１に示すように、本実施形態のインクジェット記録装置における記録ヘッド１０は、複数のノズルに対応してノズルからインクを吐出するためのアクチュエータ１２が複数設けられている。アクチュエータ１２としては、本実施形態では、発熱素子を適用するが、この他のアクチュエータも適用することも可能である。
【００２５】
記録ヘッド１０のインク吐出回路は、駆動回路１４から出力される駆動波形によってアクチュエータ１２が動作することでインクがノズルが吐出するようになっている。
【００２６】
駆動回路１４には、各ノズルからのインク吐出を行うために各ノズルのアクチュエータ１２毎に対応して設けられたスイッチング素子１６が接続されており、該スイッチング素子１６のオンオフに応じてスイッチング素子１６に対応するアクチュエータ１２が動作することでノズルからのインク吐出が行われる。
【００２７】
スイッチング素子１６とアクチュエータ１２間には、アクチュエータ１２の製造ばらつきやアクチュエータ１２のや配線によって発生するインク吐出特性のばらつきを調整するための特性変更素子１８が接続されている。
【００２８】
特性変更素子１８は、レーザ光を照射することで行うトリミングによって素子の特性が変更可能なようになっている。すなわち、トリミングを行うことにより、アクチュエータ１２の製造ばらつきやアクチュエータ１２のや配線によって発生するインク吐出特性のばらつきを補正することが可能とされている。
【００２９】
ここで、第１実施形態に係わる特性変更素子１８の一例について説明する。
【００３０】
本実施形態の特性変更素子１８は、図２に示すように抵抗素子Ｒで構成されている。図２（Ａ）では、複数の抵抗素子Ｒが並列に接続されて構成されており、図Ｒ（Ｂ）では、複数の抵抗素子Ｒが並列に接続されると共に直列にも接続されて構成されており、図２（Ｃ）では、抵抗体２０を適用した例を示す。
【００３１】
このように、特性変更素子１８は、図２（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、並列接続を含んで構成されているので、トリミングを行っても断線することなく電気的特性を変化させることができる構成とされている。
【００３２】
なお、図２（Ｃ）の抵抗体２０を特性変更素子１８として適用した場合には、抵抗体２０の幅方向のサイズは、トリミングを行うレーザ光のスポットサイズよりも十分に大きいサイズとされており、レーザ光によるトリミングによって抵抗体２０が断線しないサイズとされている。換言すれば、トリミングを行う際のレーザ光のスポットサイズは、抵抗体２０の幅方向よりも十分に小さいスポットサイズのレーザ光でトリミングが行われる。また、図２（Ａ）、（Ｂ）における抵抗素子Ｒの抵抗値は、同一の値の抵抗素子を適用するようにしてもよいし、それぞれ異なる値の抵抗素子を適用するようにしてもよい。
【００３３】
また、特性変更素子１８の抵抗値は、予め設計時に予測されるばらつきについては考慮した抵抗値を適用する。例えば、アクチュエータ１２のや配線に応じて予め設定した値の抵抗値となる特性変更素子１８とする。
【００３４】
続いて、上述のように構成されたインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路を用いて各ノズルのインク滴の吐出ばらつきの調整方法について説明する。
【００３５】
まず始めに、駆動回路１４からアクチュエータ１２を駆動する駆動波形を入力する。例えば、駆動波形としては一例として矩形波の駆動波形を入力するが、アナログ波形等の他の波形を適用するようにしてもよい。
【００３６】
本実施の形態では、アクチュエータ１２として発熱素子を適用しているので、駆動回路１４から入力される駆動波形の電圧をＶ０、アクチュエータ１２の抵抗値をＲ１、特性変更素子１８の抵抗値をｒとすると、アクチュエータ１２に印加される電圧Ｖは、Ｖ＝Ｒ１×Ｖ０／（Ｒ１＋ｒ）となり、特性変更素子１８の抵抗値ｒとアクチュエータ１２の抵抗値Ｒ１の分圧波形がアクチュエータ１２に印加されることになる。
【００３７】
そこで、本実施形態では、特性変更素子１８をトリミングすることで特性変更素子１８の抵抗値を可変することによって、アクチュエータ１２に印加される電圧を調整するようになっている。例えば、図３に示すように、駆動回路１４の出力電圧に対して、２つの特性変更素子１８直後の電圧がＶ１、Ｖ２（Ｖ１＞Ｖ２）のようになっていた場合には、電圧Ｖ１となっている特性変更素子１８をトリミングすることによって電圧Ｖ２に揃えることができる。
【００３８】
具体的には、図２（Ａ）、（Ｂ）においては、特性変更素子１８を構成する複数の抵抗素子Ｒをレーザ光を照射して焼き切ることでトリミングを行う。これによって、アクチュエータ１２に印加される電圧が変化するので、インクの吐出特性が変化することになる。また、図２（Ｃ）の場合には、抵抗体２０の一部をレーザ光によってトリミングして、抵抗体２０の抵抗値を変化させることで、アクチュエータ１２に印加される電圧が変化し、インクの吐出特性が変化することになる。
【００３９】
詳細には、駆動回路１４から全ノズルに対応するアクチュエータ１２に対して同一の駆動波形を入力することによって、インクを吐出し、記録媒体にドットを形成させる。この時の各ノズルのドットサイズを測定して、測定結果に応じて特性変更素子１８のトリミングを行う。
【００４０】
特性変更素子１８のトリミングは、本実施形態では、最小のドットサイズを基準として最小ドットサイズに合わせるように、各ドットに対応するアクチュエータ１２に接続された特性変更素子１８のトリミングを行う。これによって、各ノズルのインク吐出特性を揃えることができる。
【００４１】
また、本実施形態では、特性変更素子１８の抵抗値が、予め設計時に予測されるばらつき（例えば、アクチュエータ１２の配置や配線等）に応じて予め設定した値の抵抗値に設定されているので、特性変更素子１８のトリミングを行う際のトリミング量を最小にすることができ、調整量を少なくすることができる。
［第２実施形態］
図４は、本発明の第２実施形態に係わるインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路構成を示す図である。なお、第１実施形態と同一構成については同一符号を付して説明する。
【００４２】
図４に示すように、本実施形態のインクジェット記録装置における記録ヘッド１０は、第１実施形態と同様に、複数のノズルに対応してノズルからインクを吐出するためのアクチュエータ１２が複数設けられてる。本実施形態では、アクチュエータ１２としては、ピエゾ素子等の圧電素子を適用するが、第１実施形態と同様に発熱素子を適用するようにしてもよい。
【００４３】
記録ヘッド１０のインク吐出回路は、第１実施形態と同様に、駆動回路１４から出力される駆動波形によってアクチュエータ１２が動作することでインクがノズルから吐出するようになっている。
【００４４】
駆動回路１４には、各ノズルからのインク吐出を行うために各ノズルのアクチュエータ１２毎に対応して設けられたスイッチング素子１６が接続されており、該スイッチング素子１６のオンオフに応じてスイッチング素子１６に対応するアクチュエータ１２が動作することでノズルからインク吐出が行われる。
【００４５】
スイッチング素子１６とアクチュエータ１２間には、第１実施形態と同様にアクチュエータ１２の製造ばらつきやアクチュエータ１１２のや配線によって発生するインク吐出特性のばらつきを調整するための特性変更素子２２が接続されている。
【００４６】
特性変更素子２２は、第１実施形態と同様に、レーザ光を照射することで行うトリミングによって素子の特性が変更可能なようになっている。すなわち、トリミングを行うことにより、アクチュエータ１２の製造ばらつきやアクチュエータ１２のや配線によって発生するインク吐出特性のばらつきを補正することが可能とされている。
【００４７】
ここで、第２実施形態に係わる特性変更素子２２の一例について説明する。
【００４８】
第１実施形態では、特性変更素子２２が抵抗成分で構成されていたが、第２実施形態では、インダクタンス成分で構成されている。
【００４９】
本実施形態の特性変更素子２２は、図５に示すように、インダクタンス素子Ｌで構成されている。図５（Ａ）では、複数のインダクタンス素子Ｌが並列に接続されて構成されており、図５（Ｂ）では、複数のインダクタンス素子Ｌが並列に接続されていると共に直列にも接続されて構成されている。なお、図５（Ａ）、（Ｂ）におけるインダクタンス素子Ｌの値は、同一の値のインダクタンス素子を適用するようにしてもよいし、それぞれ異なる値のインダクタンス素子を適用するようにしてもよい。
【００５０】
このように、特性変更素子２２は、図５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、並列接続を含んで構成されているので、トリミングを行っても断線することなく電気的特性を変化させることができる構成とされている。
【００５１】
また、特性変更素子２２のインダクタンス成分は、第１実施形態と同様に、予め設計時に予測されるばらつきについては考慮したインダクタンスの値を適用する。例えば、アクチュエータ１２のや配線に応じて予め設定した値のインダクタンスとなる特性変更素子２２とする。
【００５２】
続いて、上述のように構成された第２実施形態に係わるインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路を用いて各ノズルからのインク吐出特性の調整方法について説明する。
【００５３】
まず始めに、駆動回路１４からアクチュエータ１２を駆動する駆動波形を入力する。例えば、駆動波形としては一例として矩形波の駆動波形を入力するが、アナログ波形等の他の波形を適用するようにしてもよい。
【００５４】
一般的に配線材のインダクタンス成分によって、アクチュエータ１２へ伝達される波形の立ち上がり立ち下がりの応答性が落ちる（以下では、「なまる」という）現象が知られている。すなわち、駆動回路１４から入力された駆動波形は、配線材のインダクタンス成分によって「なまる」現象が発生する。
【００５５】
そこで、本実施形態では、特性変更素子２２をトリミングすることによって特性変更素子２２のインダクタンス値を可変することによって、アクチュエータ１２に印加される波形の「なまる」現象を調整するようになっている。例えば、図６に示すように、駆動回路１４の出力波形に対して、２つの特性変更素子２２直後の波形の「なまる」現象がＬ１、Ｌ２のようになっていた場合には、特性変更素子２２をトリミングすることによって、発生する「なまる」現象を揃えることができる。
【００５６】
具体的には、図５（Ａ）、（Ｂ）において、特性変更素子２２を構成する複数のインダクタンス素子Ｌをレーザ光を照射して焼き切ることでトリミングを行う。これによって、アクチュエータ１２に印加される駆動波形の「なまる」現象が変化するので、インク吐出特性が変化することになる。
【００５７】
このように、本実施形態では、特性変更素子２２をインダクタンス成分で構成することで、トリミングによって、各アクチュエータ１２に印加される駆動波形の「なまる」現象を揃えることができ、これによって各ノズルのインク吐出特性を揃えることができる。
【００５８】
また、本実施形態では、特性変更素子２２のインダクタンスの値が、予め設計時に予測されるばらつき（例えば、アクチュエータ１２の配置や配線等）に応じて予め設定した値のインダクタンス値に設定されているので、特性変更素子２２のトリミングを行う際のトリミング量を最小にすることができ、調整量を少なくすることができる。
［第３実施形態］
図７は、本発明の第３実施形態に係わるインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路構成を示す図である。なお、第１実施形態と同一構成については同一符号を付して説明する。
【００５９】
図７に示すように、本実施形態のインクジェット記録装置における記録ヘッド１０は、第１及び第２実施形態と同様に、複数のノズルに対応してノズルからインクを吐出するためのアクチュエータ１２が複数設けられてる。本実施形態では、アクチュエータ１２としては、第２実施形態と同様に、ピエゾ素子等の圧電素子を適用するが、第１実施形態と同様に発熱素子を適用するようにしてもよい。
【００６０】
記録ヘッド１０のインク吐出回路は、第１実施形態と同様に、駆動回路１４から出力される駆動波形によってアクチュエータ１２が動作することでインクがノズルから吐出するようになっている。
【００６１】
駆動回路１４には、各ノズルからのインク吐出を行うために各ノズルのアクチュエータ１２毎に対応して設けられたスイッチング素子１６が接続されており、該スイッチング素子１６のオンオフに応じてスイッチング素子１６に対応するアクチュエータ１２が動作することでノズルからインク吐出が行われる。
【００６２】
スイッチング素子１６とアクチュエータ１２間には、第１実施形態と同様にアクチュエータ１２の製造ばらつきやアクチュエータ１２のや配線によって発生するインク吐出特性のばらつきを調整するための特性変更素子２４が接続されている。
【００６３】
特性変更素子２４は、第１実施形態と同様に、レーザ光を照射することで行うトリミングによって素子の特性が変更可能なようになっている。すなわち、トリミングを行うことにより、アクチュエータ１２の製造ばらつきやアクチュエータ１２のや配線によって発生するインク吐出特性のばらつきを補正することが可能とされている。
【００６４】
ここで、第３実施形態に係わる特性変更素子２４の一例について説明する。
【００６５】
第１実施形態では、特性変更素子１８が抵抗素子Ｒで構成され、第２実施形態では、インダクタンス素子Ｌで構成されていたが、第３実施形態では、静電容量成分を含んで構成されている。
【００６６】
本実施形態の特性素子２４は、図８に示すように、静電容量素子Ｃと抵抗素子Ｒが並列に接続されたＣＲ回路２６で構成されている。図８（Ａ）では、複数のＣＲ回路２６が並列に接続されていて構成されており、図８（Ｂ）では、複数のＣＲ回路２６が並列に接続されていると共に直列にも接続されて構成されている。なお、図８（Ａ）、（Ｂ）におけるＣＲ回路２６の静電容量及び抵抗値は、同一の値のものを適用するようにしてもよいし、それぞれ異なる値のものを適用するようにしてもよい。
【００６７】
このように、特性変更素子２４は、図８（Ａ）〜（Ｂ）に示すように、並列接続を含んで構成されているので、トリミングを行っても断線することなく電気的特性を変化させることができる構成とされている。
【００６８】
また、特性変更素子２４の静電容量成分は、第１及び第２実施形態と同様に、予め設計時に予測されるばらつきについては考慮した静電容量値を適用する。例えば、アクチュエータ１２のや配線に応じて予め設定した値の静電容量となる特性変更素子２４とする。
【００６９】
続いて、上述のように構成された第３実施形態に係わるインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路を用いて各ノズルからのインク吐出特性の調整方法について説明する。
【００７０】
まず始めに、駆動回路１４からアクチュエータ１２を駆動する駆動波形を入力する。例えば、駆動波形としては一例として矩形波の駆動波形を入力するが、アナログ波形等の他の波形を適用するようにしてもよい。
【００７１】
駆動回路１４やアクチュエータ１２に静電容量成分が含まれる場合には、静電容量成分によって波形の高周波成分が変動する。特に、アクチュエータ１２としてピエゾ素子等の圧電素子を適用した場合には、圧電素子が静電容量成分を含むため、圧電素子の製造ばらつき等によって波形の高周波成分が変動して、駆動波形の立ち上がり立ち下がりにオーバーシュートが発生する。
【００７２】
そこで、本実施形態では、特性変更素子２４をトリミングすることによって特性変更素子２４の静電容量値を可変するようになっている。例えば、図９に示すように、駆動回路１４の出力波形に対して、２つの特性変更素子２４直後の波形における立ち上がり立ち下がりのオーバーシュートがＯ１、Ｏ２のようになっていた場合には、特性変更素子２４をトリミングすることによって、発生するオーバーシュートを揃えることができる。
【００７３】
具体的には、図８（Ａ）、（Ｂ）において、特性変更素子２４を構成する複数のＣＲ回路２６をレーザ光を照射して焼き切ることでトリミングを行う。これによって、アクチュエータ１２に印加される駆動波形のオーバーシュートが変化するので、インク吐出特性が変化することになる。
【００７４】
このように、本実施形態では、特性変更素子２４を静電容量成分を含んで構成することで、トリミングによって、各アクチュエータ１２に印加される駆動波形の高周波成分を揃えることができ、これによって各ノズルのインク吐出特性を揃えることができる。
【００７５】
また、本実施形態では、特性変更素子２４の静電容量の値が、予め設計時に予測されるばらつき（例えば、アクチュエータ１２の配置や配線等）に応じて予め設定した値の静電容量値に設定されているので、特性変更素子２４のトリミング量を最小にすることができ、調整量を少なくすることができる。
【００７６】
なお、第１〜第３実施形態に係わるインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路は、図１０に示すように、特性変更素子１８とアクチュエータ１２間に各ノズルに対応するアクチュエータ１２毎に更に増幅回路２８を接続するようにしてもよい。図１０では第１実施形態に増幅回路２８を追加した例を示す。
【００７７】
この時、増幅回路２８は、図１１に示すように、一般的な増幅アンプ３０に対して抵抗Ｒｘを並列に複数接続し、抵抗Ｒｘをトリミング可能とするようにしてもよい。すなわち、増幅回路２８内にも特性変更素子を内蔵し、複数の並列に接続された抵抗Ｒｘをトリミングすることによって増幅率を可変可能とすることで、インク吐出特性を更に調整することが可能となり、特性変更素子１８のトリミングと合わせて調整範囲を広げることができる。なお、、並列に複数接続した抵抗Ｒｘの抵抗値は、同一の値としてもよいし、それぞれ異なる値としてもよい。
【００７８】
また、第１〜第３実施形態に係わるインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路は、特性変更素子をスイッチング素子１６とは別に設けた構成としたが、図１２に示すように、スイッチング素子１６内に特性変更素子１８を設ける構成としてもよい。図１２では、第１実施形態のスイッチング素子１６内に特性変更素子１８を設けた例を示す。
【００７９】
なお、第１〜第３実施形態では、特性変更素子１８、２２、２４は、エネルギー供給路線の成分として構成するようにしてもよいし、上記の各実施形態のように素子として適用するようにしてもよい。
【００８０】
また、上記の各実施形態では、それぞれ別々の例として説明したが、第１〜第３実施形態をそれぞれ組み合わせるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の第１実施形態に係わるインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路構成を示す図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係わる特性変更素子の一例を示す図である。
【図３】本発明の第１実施形態における駆動回路の出力電圧、及び特性変更素子直後の電圧の一例を示す図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係わるインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路構成を示す図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係わる特性変更素子の一例を示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態における駆動回路の出力波形、及び特性変更素子直後の波形の一例を示す図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係わるインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路構成を示す図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係わる特性変更素子の一例を示す図である。
【図９】本発明の第３実施形態における駆動回路の出力波形、及び特性変更素子直後の波形の一例を示す図である。
【図１０】本発明の第１実施形態に係わるインクジェット記録装置における記録ヘッドのインク吐出回路に対して、各ノズルに対応するアクチュエータ毎に更に増幅回路を追加した例を示す図である。
【図１１】増幅回路の一例を示す図である。
【図１２】第１実施形態のスイッチング素子内に特性変更素子を設けた例を示す図である。
【符号の説明】
【００８２】
１０    記録ヘッド
１２    アクチュエータ
１４    駆動回路
１６    スイッチング素子
１８、２２、２４    特性変更素子
２０    抵抗体
２６    ＣＲ回路
２８    増幅回路
３０    増幅アンプ
Ｒ    抵抗素子
Ｌ    インダクタンス素子
Ｃ    静電容量素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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