(57)【要約】【課題】  化学強化圧縮応力層の下層に適正な物理強化圧縮応力層を形成することにより、バルブ外面の外傷欠陥が熱応力によりクラックに伸展する不具合を回避する。【解決手段】  ガラスパネル部の外表面２ａには、イオン交換により形成された化学強化圧縮応力層Ａと、化学強化圧縮応力層Ａの下層に延在した冷却による物理強化圧縮応力層Ｂとが形成されてなり、前記物理強化圧縮応力層Ｂの厚さは２．０ｍｍ以上３．５ｍｍ未満であり、且つその圧縮応力値は３．０ＭＰａ以上８．５ＭＰａ未満である。【選択図】図３
2006253001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略矩形のフェース部とその周縁に略直角に連なるスカート部とが形成されたガラスパネル部と、該スカート部に大開口端が溶着された略漏斗状の側壁部及び該側壁部の小開口端に溶着されたガラスネック部とを有するガラスファンネル部とを備えた陰極線管用ガラスバルブにおいて、
前記ガラスパネル部の外表面には、イオン交換により形成された化学強化圧縮応力層と、該化学強化圧縮応力層の下層に延在した冷却による物理強化圧縮応力層とが形成されてなり、前記物理強化圧縮応力層の厚さは２．０ｍｍ以上３．５ｍｍ未満であり、且つその圧縮応力値は３．０ＭＰａ以上８．５ＭＰａ未満であることを特徴とする陰極線管用ガラスバルブ。
【請求項２】
略矩形のフェース部とその周縁に略直角に連なるスカート部とが形成されたガラスパネルのシールエッジ面と、管軸方向の一端及び他端にそれぞれ大開口端及び小開口端が形成された略漏斗状の側壁部を有するガラスファンネルの前記大開口端に形成されたシールエッジ面とを溶着してガラスバルブとし、該ガラスバルブの除歪処理を行ない、然る後、その該ガラスバルブのイオン交換処理を行なう陰極線管用ガラスバルブの製造方法において、
前記イオン交換処理によりガラスパネルの外表面に化学強化圧縮応力層を形成した後に、該ガラスパネルの外表面の温度が歪み点を下回る迄の間、１３℃／分以上２０℃／分以下の冷却速度にて冷却することを特徴とする陰極線管用ガラスバルブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、陰極線管用ガラスバルブ及びその製造方法に係り、特に投写型陰極線管用ガラスバルブにおける内部応力を適切化するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、テレビ受像機等の構成要素である陰極線管としては、いわゆる直視型陰極線管と、投写型陰極線管とが公知となっている。そして、図６に示すように、これらの陰極線管の外囲器としての役割を果たす陰極線管用ガラスバルブ（以下、単にバルブともいう）１は、前面部分を構成する略矩形のフェース部２ａの周縁部に後方に向かってスカート部２ｂが略直角に連なるガラスパネル部（以下、単にパネル部ともいう）２と、管軸方向の一端及び他端にそれぞれ大開口端及び小開口端が形成された略漏斗状の側壁部３ａを有するガラスファンネル部（以下、単にファンネル部ともいう）３とを備える。なお、ここで言うファンネル部３とは、その側壁部の小開口端に電子銃を保持するネック管４が溶着された状態にあるガラス物品を意味する（以下、同様）。
【０００３】
この種のバルブ、特に投写型のバルブ１は、前記パネル部２となるパネルのスカート部２ａの開口端に形成されたシールエッジ面と前記ファンネル部３となるファンネルの側壁部の大開口端に形成されたシールエッジ面とがバーナーで溶着されることにより構成されている。したがって、この種のバルブ１の製造工程においては、上記の溶着に起因して、その溶着部１ａから１０〜１５ｍｍ離隔したパネル部２及びファンネル部３のそれぞれの部位の外表面に帯状の引張応力層が形成される。この引張応力層の応力値は極めて高いため、このような状態にあるバルブ１をそのまま放置しておいたのでは、当該バルブ１自体に生じている微小欠点、詳しくは窪み等の形状的な欠点、ガラス粉の溶融付着による欠点、或いは外部からの影響により発生する微小キズ等が原因となって、クラックの発生確率が高くなる。したがって、このような状態にあるバルブ１においては、それが製品として取り扱われる前の段階において、上記の引張応力層を消失させておく必要性が生じる。
【０００４】
そこで、このようなバルブ１は、上記の引張応力層を消失させることを主目的として、例えば図７に示すような温度勾配（温度特性線Ｔで示す勾配）を有する徐冷炉に投入され、この徐冷炉を通過することによって除歪処理が施される。詳述すると、この徐冷炉は、同図に示すように、ゾーン（１）からゾーン（１８）へと搬送方向下流側に順々に移動するに従い、その内部空間の温度が徐冷点を超える温度域（例えば５５０℃程度）から１２０℃程度まで徐々に低下するように温度設定がなされており、この徐冷炉を一個のバルブ１が通過する時間は、約６０分とされている。
【０００５】
このように内部空間の温度設定がなされた徐冷炉をバルブ１が通過する場合には、そのバルブ１のガラス表面温度が一旦徐冷点以上に加熱されるため、バルブ１に生じていた種々の残留応力が緩和されると同時に、上記のパネル部２及びファンネル部３に生じていた引張応力層が消失する。ここで、徐冷点とは、ガラスの種類に応じて一義的に決まる値であって、この徐冷点に１５分間ガラスを保持しておけば、内部に存在していた応力が消失する温度として定義されている。
【０００６】
斯様な除歪処理を施されたバルブ１は、パネル部２の外表面に、深さが３５μｍ未満で且つ応力値が４ＭＰａ〜３００ＭＰａの圧縮応力層（以下、イオン強化圧縮応力層という）を形成することを目的として、イオン交換法による強化処理（以下、イオン強化処理という）が施されている。
【０００７】
即ち投写型陰極線管は、大型画像を得るために、陰極線管のガラスパネル部に表示された画像を光学系を介して大型スクリーンに投写、表示する方式に多く用いられてきており、この方式では、通常の直視型陰極線管に比べ、蛍光面上での画像が各段に明るいことが要求される。したがって、投写型陰極線管は、陽極電圧、ビーム電流密度が高く、動作時のパネル部面上に生じる発熱が直視型陰極線管に比べ高い。このため、この発熱に伴う熱応力によりパネル部外側面上には引張応力が生じ、ここにキズ等の欠点が存在するとこれを起点とする破損の発生確率が直視型陰極線管に比べ著しく高くなる。この破損を低減する目的で、例えば下記特許文献１及び２のような手法によりイオン交換処理による化学強化が施される。
【特許文献１】特開昭５７−２０８０４２号公報
【特許文献２】実開昭５７−１１５１５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、既述の徐冷炉で除歪処理を施している間に徐冷点以上とされたバルブ１は、図７に示す温度勾配に沿って、ガラスが破損しない程度に室温まで冷却される。しかし、この時の冷却速度は速く完全な徐冷ではないため、上記のパネル部２及びファンネル部３に生じていた引張応力層は消失するものの、バルブ１の内表面と外表面との冷却温度差及び冷却速度差に起因して新たな内部応力が生じる。
【０００９】
即ち、徐冷炉中での冷却過程においては、バルブ１の外表面が急冷となるのに対して、その内表面は徐冷となる現象が生じ、外表面側が急激に収縮する反面、内表面側は未だ流動性を保持したままであることから一時歪を緩和するが、その後に内表面側が収縮しようとする際には、その動きは既に固化した外表面側の層によって制限されることになる。これによりその外表面側のガラスの収縮がその内表面側に比べて小さくなるため、その外表面に圧縮応力が残存し且つその内表面に引張応力が残存するという事態が起こる。このような事態は、生産性の向上等を図るべく、ガラス温度が歪点（例えば４５０℃程度）以上の温度領域における徐冷速度を速くするほど顕著となる。ここで、歪点とは、ガラスの種類に応じて一義的に決まる値であって、この歪点に数時間（例えば３〜４時間）ガラスを保持しておけば、内部に存在していた応力が消失する温度とされている。
【００１０】
そして、このような態様の除歪処理を受けたバルブ１に対しては、上述のようにイオン交換による化学強化処理が施されるものの、その時に使用される硝酸カリウム溶融塩の温度はガラスの徐冷点と歪点の間にある。このため、上述の除歪処理によって形成された外表面の圧縮応力及び内表面の引張応力は、一旦は緩和されるが、続くイオン交換処理による化学強化の冷却過程における冷却速度、即ち、歪点を下回るまでの冷却速度条件によって、上述した原理のごとく冷却時のバルブ１、特にパネル部２の内表面と外表面との温度差及び冷却速度差に起因して新たな内部応力が生じる。
【００１１】
イオン交換処理による化学強化の冷却過程において、歪点を下回るまでの冷却速度に関しては、一般的には冷却中にバルブ１がイオン強化処理炉内で熱衝撃による破損が生じない毎分１０℃程度で行われている。
【００１２】
しかしながら、斯様にして製造された従来の陰極線管用ガラスバルブにあっては、イオン交換処理による化学強化の冷却過程において、ガラス外面、特にパネル部２の外表面に形成される圧縮応力（以下、物理強化圧縮応力層という）は、イオン交換処理による化学強化により形成された化学強化圧縮応力層を突き破るような欠陥、例えば打ち傷や擦り傷等の外傷に対して、耐クラック性が充分とはいえない。即ち、外傷の程度によっては、後のチューブメーカーでの温水洗浄工程や排気工程、或いはセットメーカーやエンドユーザーでの実装使用時の熱応力に対して、傷部が起点となりクラックの発生を招くという不具合が散見されているのが実状である。
【００１３】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、化学強化圧縮応力層の下層に適正な物理強化圧縮応力層を形成することにより、バルブ外面の外傷欠陥が熱応力によりクラックに伸展する不具合を回避することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記技術的課題を解決するためになされた本発明は、略矩形のフェース部とその周縁に略直角に連なるスカート部とが形成されたガラスパネル部と、該スカート部に大開口端が溶着された略漏斗状の側壁部及び該側壁部の小開口端に溶着されたガラスネック部とを有するガラスファンネル部とを備えた陰極線管用ガラスバルブにおいて、
前記ガラスパネル部の外表面には、イオン交換により形成された化学強化圧縮応力層と、該化学強化圧縮応力層の下層に延在した冷却による物理強化圧縮応力層とが形成されてなり、前記物理強化圧縮応力層の厚さは２．０ｍｍ以上３．５ｍｍ未満であり、且つその圧縮応力値は３．０ＭＰａ以上８．５ＭＰａ未満であることを特徴とする。この２つの応力層は、ガラスパネルの表面から二重に構成される。
【００１５】
このような構成によると、イオン強化処理により形成されたイオン強化圧縮応力層を突き破る欠陥や外傷を受けても、その下層（内部）に存在する物理強化圧縮応力層の圧縮応力値が充分に高く、優れた耐クラック性を有することになる。本発明における物理強化圧縮応力層の厚みと応力値の範囲内であれば、厚みと応力値とはほぼ相関しており、物理強化圧縮応力層の厚みが２．０ｍｍ未満、応力値が３．０ＭＰａ未満では、イオン強化圧縮応力層を突き破る欠陥や外傷のクラックの伸展に対し十分な対クラック性を有することができない。また、物理強化圧縮応力層の厚みが３．５ｍｍ以上、応力値が８．５ＭＰａ以上になると、圧縮応力層の形成に伴って発生する引張応力層の応力値が大きくなり過ぎ、自己破壊を引き起こすという不具合を招く。
【００１６】
上記の構成において、物理強化応力層の厚さは２．８ｍｍ以上３．５ｍｍ未満、且つ圧縮応力値は７．０ＭＰａ以上８．５ＭＰａ未満であることが、より好ましい。
【００１７】
このような構成によると、より優れた耐クラック性を有することができる。
【００１８】
また、上記技術的課題を解決するためになされた本発明に係る方法は、略矩形のフェース部とその周縁に略直角に連なるスカート部とが形成されたガラスパネルのシールエッジ面と、管軸方向の一端及び他端にそれぞれ大開口端及び小開口端が形成された略漏斗状の側壁部を有するガラスファンネルの前記大開口端に形成されたシールエッジ面とを溶着してガラスバルブとし、該ガラスバルブの除歪処理を行ない、然る後、その該ガラスバルブのイオン交換処理を行なう陰極線管用ガラスバルブの製造方法において、
前記イオン交換処理によりガラスパネルの外表面に化学強化圧縮応力層を形成した後に、該ガラスパネルの外表面温度が歪点を下回る迄の間、１３℃／分以上２０℃／分以下の冷却速度にて冷却することを特徴とするものである。
【００１９】
このような構成によれば、イオン交換処理後の冷却過程において、歪点を下回るまでのバルブ、特にパネルの内表面と外表面との温度差及び冷却速度差に起因して、バルブ、特にパネル部の外面に強い物理強化による圧縮応力層が形成される。しかもイオン強化処理終了後の冷却速度を上げることにより、イオン交換処理全体に要する時間を効率よく短縮することが出来、生産性の向上を図ることが可能になる。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように本発明によれば、ガラスバルブ、特にパネルの外表面にはイオン強化処理により形成された化学強化圧縮応力層ともに、その下層にはイオン強化処理の冷却過程を通じて、適正な応力値、応力層の厚みをもって形成された物理強化圧縮応力層が存在することから、優れた耐クラック性を有し、化学強化圧縮応力層を突き破る欠陥や外傷によるクラックの伸展を防止することが可能となる。
【００２１】
一方、本発明に係る製造方法によれば、イオン交換処理による化学強化圧縮応力層をパネル部の外表面に形成した後に、ガラスパネルの外表面温度がガラスパネルの歪点を下回る迄の間、１３℃／分以上２０℃／分以下の冷却速度にて冷却することから、耐クラック性に優れた適正な応力値、応力層の厚みを備えた物理強化による圧縮応力層を形成することが可能となる。しかもイオン交換処理終了後の冷却速度を上げることにより、イオン交換処理全体に要する時間を効率よく短縮することが出来、生産性の向上を図ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態に係る投写型陰極線管用バルブ（以下、単に投写型バルブという）及びその製造方法を、添付図面を参照して説明する。
【００２３】
図１に示すように、この実施形態に係る投写型バルブ１は、フェース部２ａの周縁部２ｘにスカート部２ｂが略直角に連なるパネル部２と、管軸方向の一端及び他端にそれぞれ大開口端及び小開口端が形成された略漏斗状の側壁部３ａを有するファンネル部３とを、溶着部１ａを介して封合したものである。この投写型バルブ１のとりわけパネル部２の外表面には図３に示すように、イオン交換処理により形成された化学強化圧縮応力層Ａとイオン交換処理後の冷却過程において形成した物理強化による物理強化圧縮応力層の延在部Ｂ（以下、物理強化圧縮応力層Ｂと称す）がある。
【００２４】
そして、同図に示すように、投写型バルブ１におけるパネル部２のフェース部２ａの周縁部２ｘ周辺からスカート部２ｂを介してファンネル部３の溶着部１ａ周辺に連なる領域における幅方向の中央部位（長軸Ｌａに沿う方向の中央部位）から幅ｔが５ｍｍのピース５を切り出し、このピース５の外表面をセナルモン法により測定した圧縮応力層の厚み及び応力値は、上記イオン強化圧縮応力層Ａが２０μｍ以上３５μｍ未満の厚みで、４ＭＰａ以上３００ＭＰａ以下の圧縮応力値であり、上記物理強化圧縮応力層Ｂについては、２．０ｍｍ以上３．５ｍｍ未満の厚みで、３．０ＭＰａ以上８．５ＭＰａ未満の圧縮応力値である。
【００２５】
この投写型バルブ１は、以下に示す方法によって製造されたものである。先ず、成型工程で成型されたパネルとファンネルとを両者のシールエッジ面をバーナーで加熱して溶着する。この後、溶着された投写型バルブを既述の図７に示す温度勾配を有する徐冷炉に通すことにより除歪処理を行う。更にこの後、除歪処理が施された投写型バルブ１のパネル部２の外表面のみを、硝酸カリウム溶融塩中に漬けることによりイオン交換処理を行う。
【００２６】
このイオン交換処理は、まず硝酸カリウム溶融塩の液温をイオン交換温度にしておき、これに投写型バルブ１のパネル２の外表面を漬け、１時間〜３時間程度保持する。この後の冷却過程において、少なくとも歪点を下回るまで毎分１５〜２０℃の速度で温度を低下させていき、その後、従来通りの冷却速度である毎分約１０℃で３８０℃まで冷却し、その後は自然冷却させ、室温に至らしめる。これにより、上述のように、パネル２の外面に化学強化圧縮応力層Ａ及び物理強化圧縮応力層Ｂを有する投写型バルブ１が得られる。ここで、物理強化圧縮応力層Ｂは、上述したように、隣接する化学強化圧縮応力層Ａとの境界から２．０ｍｍ以上３．５ｍｍ未満の深さに亘り３．０ＭＰａ以上８．５ＭＰａ未満の圧縮応力値を有する。
【実施例】
【００２７】
本発明に係る投写型バルブの実施例１は、溶着後の除歪処理（図７の温度勾配に基づく処理）後において、図２に破線（大）で示す温度特性、すなわち硝酸カリウム溶融塩の温度特性またはガラスの外表面の温度特性にしたがってイオン交換処理を行ったものである。詳述すると、この実施例１は、イオン強化処理を行う条件として、その開始直後にイオン交換温度に１時間から３時間の間保持した後、歪点を下回るまで１３℃／分で冷却すると共に、その後３８０℃まで１０℃／分で冷却した後、自然放冷したものである。
【００２８】
本発明に係る投写型バルブの実施例２は、溶着後の除歪処理（上記と同様）後において、図２に一点鎖線で示す温度特性、すなわち硝酸カリウム溶融塩の温度特性またはガラスの外表面の温度特性にしたがってイオン交換処理を行ったものである。詳述すると、この実施例２は、イオン交換処理を行う条件として、その開始直後にイオン交換温度に１時間から３時間の間保持した後、歪点を下回るまで１５℃／分で冷却すると共に、その後３８０℃まで１０℃／分で冷却した後、自然放冷したものである。
【００２９】
本発明に係る投写型バルブの実施例３は、溶着後の除歪処理（上記と同様）後において、図２に実線で示す温度特性、すなわち硝酸カリウム溶融塩の温度特性またはガラスの外表面の温度特性にしたがってイオン交換処理を行ったものである。詳述すると、この実施例３は、イオン交換処理を行う条件として、その開始直後にイオン交換温度に１時間から３時間の間保持した後、歪点を下回るまで２０℃／分で冷却すると共に、その後３８０℃まで１０℃／分で冷却した後、自然放冷したものである。
【００３０】
比較例１（従来例）は、溶着後の除歪処理（上記と同様）後において、図２に二点鎖線で示す温度特性、すなわち硝酸カリウム溶融塩の温度特性またはガラスの外表面の温度特性にしたがってイオン交換処理を行ったものである。詳述すると、この比較例１は、イオン交換処理を行う条件として、その開始直後にイオン交換温度に１時間から３時間の間保持した後、歪点を下回るまで１０℃／分で冷却すると共に、その後３８０℃まで１０℃／分で冷却した後、自然放冷したものである。
【００３１】
比較例２は、溶着後の除歪処理（上記と同様）後において、図２に点線（小）で示す温度特性、すなわち硝酸カリウム溶融塩の温度特性またはガラスの外表面の温度特性にしたがってイオン交換処理を行ったものである。詳述すると、この比較例２は、イオン交換処理を行う条件として、その開始直後にイオン交換温度に１時間から３時間の間保持した後、歪点を下回るまで２５℃／分で冷却すると共に、その後３８０℃まで１０℃／分で冷却した後、自然放冷したものである。
【００３２】
実施例１、実施例２、実施例３、比較例１及び比較例２のイオン交換処理を施した４つの投写型バルブについて、すでに述べた手法によりピースを切り出すと共に、図３に示すフェース部２ａの外表面からスカート部２ｂの外表面における物理強化圧縮応力層及び化学強化圧縮応力層の最大圧縮応力値及びその厚みをセナルモン法により測定した。本実施例、及び比較例においては、図３の位置ａ（スカート部２ｂの外側面から１５ｍｍ離隔した位置に、外表面における最大圧縮応力が出現している。その結果を下記表１に示す。
【００３３】
また、実施例１、実施例２、実施例３、比較例１及び比較例２の投写型バルブをそれぞれ図４に示すように切断し、フェース部２ａの外面に＃３２０サンドペーパーによる加傷を施した後、フェース部２ａの内面にヒーターＨが内蔵してあるゴム板を耐熱テープにより貼り付けた。切断した投写型ブラウン管を再度ガラステープによりはりあわせ、ネック部４より配線をつなげた。そして、図５の様にネック部４よりロータリーポンプを用いて投写型ブラウン管内の真空引きを行い、一定真空度（１０-3Ｐａ）になった後、一定の昇温スケジュール（４．５℃／分）でヒーターＨを加熱し、加傷部からのクラック発生時のフェース部２ａの外面温度を記録した。その結果を下記の表１に示す。
【００３４】
【表１】
2006253001.tif 000003
【００３５】
表１によれば、物理強化圧縮応力層Ｂの最大圧縮応力値は、実施例１では最大５．５ＭＰａであって平均値が５．３ＭＰａ、実施例２では最大７．８ＭＰａであって平均７．４ＭＰａ、実施例３では最大８．４ＭＰａであって平均８．２ＭＰａであるのに対して、比較例１（従来例）では最大２．９ＭＰａであって平均が２．８ＭＰａ、また比較例２では最大８．５ＭＰａであって平均も８．５ＭＰａである。このことから本発明の実施例１、２、３及び比較例２に係る投写型バルブの外表面の物理強化層の圧縮応力値は、比較例１の物理強化層の圧縮応力値に比べ際立って大きいものになっている。しかしながら比較例２においては、前記パネル外表面の物理強化層の圧縮応力値が大き過ぎ、結果として内面の引張応力が増大し、室温放置後にバルブ内面の微小欠点（微小泡）を起点とするクラックが発生したものが４本中１本あった。このことから、歪点を下回る温度までの冷却速度の上限としては、毎分２０℃が妥当であると判断された。
【００３６】
また、上記耐熱試験によると、バルブにクラックが発生する温度は、実施例１では平均１０３℃、実施例２では平均１１０℃、実施例３では平均１１４℃であるのに対し、比較例１では平均９９．３℃であり、比較例２では平均１２６℃であった。ただし、比較例２は、４本中１本がバルブ内面からの破損を起こしたので、それ以外の３本の平均温度である。即ち、比較例２においては、比較例１、実施例１，実施例２、実施例３に比べて最もクラックが発生し易いことが確認された。このことを勘案すれば、本発明の実施例１、２、３に係る投写型バルブの方が、比較例１及び２に係る投写型バルブよりも、クラックの発生確率が際立って低減されていることがわかる。特に、実施例２、３のガラスバルブにおいては、比較例１に比べて、平均破壊温度差ΔＴはそれぞれ１１℃、１５℃であり、大きく上回っていることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施形態に係る陰極線管用ガラスバルブの要部を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る陰極線管用ガラスバルブの製造方法における処理温度スケジュールを示すグラフである。
【図３】本発明の実施形態に係る陰極線管用ガラスバルブのピースを示す正面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る陰極線管用ガラスバルブの耐久性実験の実施状態を示す概略正面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る陰極線管用ガラスバルブの耐久性実験の実施状態を示す概略正面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る陰極線管用ガラスバルブを示す概略正面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る陰極線管用ガラスバルブの製造過程における除歪処理時の温度スケジュールを示すグラフである。
【符号の説明】
【００３８】
１  バルブ（陰極線管用ガラスバルブ）
１ａ  溶着部
２  パネル（ガラスパネル）
２ａ  フェース部
２ｂ  スカート部
２ｘ  周縁部
３  ファンネル（ガラスファンネル）
３ａ  側壁部
５  ピース
Ａ  化学強化圧縮応力層
Ｂ  物理強化圧縮応力層
Ｈ  ヒーター
【図１】
2006253001.tif 000004
【図２】
2006253001.tif 000005
【図３】
2006253001.tif 000006
【図４】
2006253001.tif 000007
【図５】
2006253001.tif 000008
【図６】
2006253001.tif 000009
【図７】
2006253001.tif 000010