(57)【要約】【課題】  簡単な構成で、大気圧で分析すべき試料が真空で分析されるのを防止できる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。【解決手段】  真空と大気圧に雰囲気が切り替えられる分析チャンバ11内で、試料ホルダ8 に収納された試料3 に１次Ｘ線2 の照射などを行う分析装置本体10と、複数の試料ホルダ8 が載置される試料テーブル21を有し、分析装置本体10に対して試料ホルダ8 の搬出入を行う試料交換機20と、試料テーブル21における試料ホルダ8 の載置場所21a ごとに、試料3 に適用される雰囲気などの分析条件が設定される分析条件設定手段33と、その分析条件に従い分析装置本体10および試料交換機20の動作を制御する制御手段34とを備える。試料テーブル21における試料ホルダ8 の各載置場所21a に、分析チャンバ11内のいずれかの雰囲気が割り当てられており、その割り当て状況が表示手段31または試料テーブル21自体に表示される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空雰囲気と大気圧雰囲気のいずれかに切り替えられる分析チャンバ内で、試料ホルダに収納された試料に１次Ｘ線を照射して発生する２次Ｘ線を検出する分析装置本体と、
複数の試料ホルダが載置される試料テーブルを有し、前記分析装置本体に対して試料ホルダの搬出入を行う試料交換機と、
前記試料テーブルにおける試料ホルダの載置場所ごとに、そこに載置された試料に適用される前記分析チャンバ内の雰囲気を含む分析条件が設定される分析条件設定手段と、
その分析条件設定手段に設定された分析条件にしたがって、前記分析装置本体および試料交換機の動作を制御する制御手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記試料テーブルにおける試料ホルダの各載置場所に、前記分析チャンバ内のいずれかの雰囲気が割り当てられており、その割り当て状況が表示手段または前記試料テーブル自体に表示される蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記割り当て状況が、前記分析チャンバ内の雰囲気に対応させた色分けにより表示される蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項３】
請求項２において、
各試料ホルダにも、前記色分けによる色が付けられている蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか一項において、
真空雰囲気が適用されるべき試料が収納される試料ホルダの形状と、大気圧雰囲気が適用されるべき試料が収納される試料ホルダの形状とが、操作者により視覚的に判別されるように異なっている蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか一項において、
大気圧雰囲気が適用されるべき試料が収納される試料ホルダが、真空雰囲気が割り当てられた前記試料テーブルにおける試料ホルダの載置場所に載置不能となるように、それらの試料ホルダおよび載置場所の形状が決定されている蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれか一項において、
前記分析条件設定手段が、大気圧雰囲気が割り当てられた前記試料テーブルにおける試料ホルダの載置場所については、そこに載置された試料に適用される前記分析チャンバ内の雰囲気として大気圧雰囲気を自動的に設定し、操作者による真空雰囲気への変更を受け付けない蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項７】
請求項１から５までのいずれか一項において、
前記分析条件設定手段に、大気圧雰囲気が割り当てられた前記試料テーブルにおける試料ホルダの載置場所について、そこに載置された試料に適用される前記分析チャンバ内の雰囲気として真空雰囲気が設定された場合、実際には大気圧雰囲気を適用するように前記制御手段が前記分析装置本体および試料交換機の動作を制御する蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項８】
請求項１から５までのいずれか一項において、
前記分析条件設定手段に、大気圧雰囲気が割り当てられた前記試料テーブルにおける試料ホルダの載置場所について、そこに載置された試料に適用される前記分析チャンバ内の雰囲気として真空雰囲気が設定された場合、その試料は分析しないように前記制御手段が前記分析装置本体および試料交換機の動作を制御する蛍光Ｘ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空雰囲気と大気圧雰囲気のいずれかに切り替えられる分析チャンバ内で、試料に１次Ｘ線を照射して発生する２次Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に記載されているように、真空雰囲気と大気圧雰囲気のいずれかに切り替えられる分析チャンバ内で、試料ホルダに収納された試料に１次Ｘ線を照射して発生する２次Ｘ線を検出する分析装置本体と、複数の試料ホルダが載置される試料テーブルを有し、前記分析装置本体に対して試料ホルダの搬出入を行う試料交換機とを備えた蛍光Ｘ線分析装置（蛍光Ｘ線分析システム）がある。この装置では、試料テーブルにおける試料ホルダの載置場所（ポジションＮｏ．）ごとに、そこに載置された試料に適用される分析条件（前記分析チャンバ内の雰囲気を含む）が設定され、その設定された分析条件にしたがって前記分析装置本体および試料交換機の動作が制御されて、順次自動的に各試料の分析が行われる。
【０００３】
分析チャンバ内の雰囲気を切り替えるのは、Ｘ線が吸収されない真空雰囲気で分析を行うのが一般には有利なところ、液体試料や粉体試料については、真空雰囲気で分析しようとすると飛散して分析チャンバ内を汚染してしまうので、ヘリウム、窒素、空気などによる大気圧雰囲気で分析を行うためである。つまり、大気圧雰囲気で分析すべき試料については、誤って真空雰囲気で分析することのないよう、十分に留意する必要がある。この点に関して、以下の２つの従来技術がある。
【０００４】
特許文献２に記載の蛍光Ｘ線分析装置では、液体試料や粉体試料を収納したサンプルカップに、ピンが下方に長く突出した試料台を対応させ、その長いピンをフォトセンサで検知して、たとえ真空排気のスイッチが押されても真空ポンプを作動させないようにしている。
【０００５】
特許文献３に記載の蛍光Ｘ線分析装置では、液体試料や粉体試料を収納した試料容器について、底蓋の下面を外ケースの下面を同一面とし、そのことをマイクロスイッチで検出して、分析チャンバ内の雰囲気が真空雰囲気で適合しない場合には、警報が発せられる。
【特許文献１】特開２００２−００５８５９号公報
【特許文献２】実開平４−５３５４９号公報
【特許文献３】特許第３１３９１０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献２、３に記載の従来技術では、試料容器などを介して試料に付随させた分析条件を読み取るために、フォトセンサやマイクロスイッチが必要で、装置の構成が複雑になる。
【０００７】
本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、真空雰囲気と大気圧雰囲気のいずれかに切り替えられる分析チャンバをもつ蛍光Ｘ線分析装置において、簡単な構成で、大気圧雰囲気で分析すべき試料が真空雰囲気で分析されるのを防止できるものを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、以下の分析装置本体、試料交換機、分析条件設定手段および制御手段を備えている。分析装置本体は、真空雰囲気と大気圧雰囲気のいずれかに切り替えられる分析チャンバ内で、試料ホルダに収納された試料に１次Ｘ線を照射して発生する２次Ｘ線を検出する。試料交換機は、複数の試料ホルダが載置される試料テーブルを有し、前記分析装置本体に対して試料ホルダの搬出入を行う。分析条件設定手段には、前記試料テーブルにおける試料ホルダの載置場所ごとに、そこに載置された試料に適用される前記分析チャンバ内の雰囲気を含む分析条件が設定される。制御手段は、前記分析条件設定手段に設定された分析条件にしたがって、前記分析装置本体および試料交換機の動作を制御する。
【０００９】
そして、前記試料テーブルにおける試料ホルダの各載置場所に、前記分析チャンバ内のいずれかの雰囲気が割り当てられており、その割り当て状況が表示手段または前記試料テーブル自体に表示される。
【００１０】
この構成によれば、試料テーブルにおける試料ホルダの各載置場所への雰囲気の割り当て状況が表示されるので、操作者は、試料ホルダを試料テーブルに載置する際に、載置場所に割り当てられた雰囲気と、試料ホルダに収納されている試料に適用されるべき雰囲気とが合致するようにしておき、載置場所ごとにそこに載置された試料に適用される分析チャンバ内の雰囲気を設定する際に、その載置場所に割り当てられた雰囲気を確認し、設定すればよい。したがって、試料に付随させた分析条件を読み取るためのセンサなどを備えない簡単な構成で、大気圧雰囲気で分析すべき試料が真空雰囲気で分析されるのを防止できる。
【００１１】
割り当て状況は、例えば、分析チャンバ内の雰囲気に対応させた色分けにより表示でき、各試料ホルダにも、同様の色分けによる色が付いていてもよい。試料ホルダの色分けとともに、またはそれに代えて、真空雰囲気が適用されるべき試料が収納される試料ホルダの形状と、大気圧雰囲気が適用されるべき試料が収納される試料ホルダの形状とが、操作者により視覚的に判別されるように異なっていてもよい。
【００１２】
本発明においては、大気圧雰囲気が適用されるべき試料が収納される試料ホルダが、真空雰囲気が割り当てられた前記試料テーブルにおける試料ホルダの載置場所に載置不能となるように、それらの試料ホルダおよび載置場所の形状が決定されていることが好ましい。この第１の付加的な構成によれば、大気圧雰囲気が適用されるべき試料が収納される試料ホルダを、真空雰囲気が割り当てられた載置場所に載置しようとしても、両者の形状からして物理的に載置できないので、大気圧雰囲気で分析すべき試料が真空雰囲気で分析されるのをより確実に防止できる。
【００１３】
本発明においては、前記分析条件設定手段が、大気圧雰囲気が割り当てられた前記試料テーブルにおける試料ホルダの載置場所については、そこに載置された試料に適用される前記分析チャンバ内の雰囲気として大気圧雰囲気を自動的に設定し、操作者による真空雰囲気への変更を受け付けないことが好ましい。この第２の付加的な構成によれば、大気圧雰囲気が割り当てられた載置場所に載置された試料について、操作者が誤って真空雰囲気で分析するように設定しようとしてもできないので、大気圧雰囲気で分析すべき試料が真空雰囲気で分析されるのをより確実に防止できる。
【００１４】
本発明においては、前記第２の付加的な構成に代えて、前記分析条件設定手段に、大気圧雰囲気が割り当てられた前記試料テーブルにおける試料ホルダの載置場所について、そこに載置された試料に適用される前記分析チャンバ内の雰囲気として真空雰囲気が設定された場合、実際には大気圧雰囲気を適用するように前記制御手段が前記分析装置本体および試料交換機の動作を制御するようにしてもよい。この第３の付加的な構成によれば、大気圧雰囲気が割り当てられた載置場所に載置された試料について、操作者が誤って真空雰囲気で分析するように設定しても、実際には大気圧雰囲気を適用されるので、やはり大気圧雰囲気で分析すべき試料が真空雰囲気で分析されるのをより確実に防止できる。
【００１５】
本発明においては、前記第２、第３の付加的な構成に代えて、前記分析条件設定手段に、大気圧雰囲気が割り当てられた前記試料テーブルにおける試料ホルダの載置場所について、そこに載置された試料に適用される前記分析チャンバ内の雰囲気として真空雰囲気が設定された場合、その試料は分析しないように前記制御手段が前記分析装置本体および試料交換機の動作を制御するようにしてもよい。この第４の付加的な構成によれば、大気圧雰囲気が割り当てられた載置場所に載置された試料について、操作者が誤って真空雰囲気で分析するように設定しても、その試料は分析されないので、やはり大気圧雰囲気で分析すべき試料が真空雰囲気で分析されるのをより確実に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の第１実施形態の蛍光Ｘ線分析装置について、図にしたがって説明する。図１（ａ）に示すように、この装置は、以下の分析装置本体１０と、試料交換機２０と、分析条件設定手段３３と、制御手段３４とを備えている。分析装置本体１０は、真空雰囲気と大気圧雰囲気のいずれかに切り替えられる分析チャンバ１１内で、試料ホルダ８に収納された試料３にＸ線管などのＸ線源１から１次Ｘ線２を照射して、発生する２次Ｘ線４を検出手段９で検出する。
【００１７】
検出手段９は、試料３から発生する２次Ｘ線４を分光する分光素子５、その分光された２次Ｘ線６の強度を測定する検出器７などからなる。また、分析チャンバ１１は、試料ホルダ８が載置される試料室１１ａ、試料３に向けて１次Ｘ線２が照射される照射室１１ｂ、試料３から発生する２次Ｘ線４が検出される分光室１１ｃに分かれるが、各室は連通している。試料ホルダ８は、試料投入口１５から投入されて、試料室１１ａ内のターレット１４上に載置され、ターレット１４の回転によって、試料３に１次Ｘ線２が照射される分析位置に移動される。分析チャンバ１１には、その内部を真空雰囲気と大気圧雰囲気のいずれかに切り替えるために、図示しない真空ポンプやＨe 供給源が制御弁や管を介して接続されている。
【００１８】
試料交換機２０は、複数の試料ホルダ８が載置される試料テーブル２１と、この試料テーブル２１から試料ホルダ８を取り出して分析装置本体１０の試料投入口１５まで搬送し、分析後に試料投入口１５からもとの試料テーブル２１の載置場所２１ａに戻す搬送手段２４とを有し、分析装置本体１０に対して試料ホルダ８の搬出入を行う。
【００１９】
図１（ｂ）に示すように、試料テーブル２１は平面視で長方形状であり、矢印Ｘ方向の横方向および矢印Ｙ方向の縦方向においてそれぞれ等間隔の位置に試料ホルダ８の載置場所２１ａが設けられている。
【００２０】
図１（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、搬送手段２４は、試料ホルダ８を把持するアーム２５と、アーム２５をＹ方向にスライドさせるバー２６と、バー２６を矢印Ｚ方向の上下方向にスライドさせるスタンド２７と、このスタンド２７を矢印Ｘ方向にスライドさせるレール２８とを有し、アーム２５がＸ方向およびＹ方向のあらゆる載置場所２１ａにある試料ホルダ８を把持して分析装置本体１０の試料投入口１５へ搬送し、またもとの載置場所２１ａに戻すことができる。
【００２１】
図１（ａ）に示すように、分析条件設定手段３３および制御手段３４は、制御装置（パソコン本体）３０に含まれ、分析条件設定手段３３には、試料テーブル２１における試料ホルダ８の載置場所２１ａごとに、そこに載置された試料３に適用される分析チャンバ１１内の雰囲気を含む分析条件が設定される。制御手段３４は、分析条件設定手段３３に設定された分析条件にしたがって、分析装置本体１０および試料交換機２０の動作を制御する。また、制御装置３０には、モニタである表示手段３１や、キーボードやマウスなどの入力手段３２が接続されている。
【００２２】
試料３には、真空雰囲気で分析すべき固体試料３Ａと、大気圧雰囲気、ここではＨe による大気圧雰囲気で分析すべき液体試料または粉体試料３Ｂとがあることに対応して、試料テーブル２１における試料ホルダ８の各載置場所２１ａに、分析チャンバ１１内のいずれかの雰囲気が割り当てられており、その割り当て状況が表示手段３１または試料テーブル２１自体に表示される。この実施形態では、割り当て状況は、表示手段３１と試料テーブル２１自体の両方に、雰囲気に対応させた色分けにより表示される。
【００２３】
より具体的にいうと、図１（ｂ）に示すように、試料テーブル２１における試料ホルダ８の載置場所２１ａは、左から右へＡからＦまでの行と、手前から奥への１から４までの列で指定されるが、Ａ行からＣ行までの載置場所２１ａには、真空雰囲気が割り当てられるとともに、試料テーブル２１の上面の左半分には、真空雰囲気を示す青色が印として付され、Ｄ行からＦ行までの載置場所２１ａには、大気圧雰囲気が割り当てられるとともに、試料テーブル２１の上面の右半分には、大気圧雰囲気を示す赤色が印として付されている。
【００２４】
このように、広い範囲の載置場所２１ａで雰囲気が共通するように割り当てる方が、煩雑な割り当てによる操作者の載置ミス、入力ミスを避けるために好ましい。なお、青色、赤色に代えて、または青色、赤色に加えて、それぞれの雰囲気を示す印として、Ｖａｃ、Ｈｅもしくは真空、大気圧などの文字を付してもよい。そして、後述するように、このような色分けおよび／または文字による割り当て状況が、図１（ａ）の表示手段３１にも表示される。
【００２５】
一方、真空雰囲気で分析すべき固体試料３Ａと、大気圧雰囲気で分析すべき液体試料または粉体試料３Ｂとについて、同じ寸法形状で特に印のない試料ホルダを用いても、操作者は、収納されている試料３を上部の窓を介して目視することなどにより、その試料ホルダをいずれの載置場所２１ａに載置すべきかを知ることができる。しかし、この実施形態では、載置ミスをより確実に回避するために、固体試料３Ａと、液体試料または粉体試料３Ｂは、以下のように、それぞれ対応する試料ホルダ８Ａ，８Ｂに収納される。
【００２６】
まず、試料ホルダ８は円筒状で、側面の一部に、各試料ホルダ８に収納される試料３に適用されるべき分析チャンバ１１内の雰囲気を示す、前述の青色または赤色が印として付されている。青色、赤色に代えて、または青色、赤色に加えて、それぞれの雰囲気を示す印として、Ｖａｃ、Ｈｅもしくは真空、大気圧などの文字を付してもよく、また、真空雰囲気が適用されるべき試料３Ａが収納される試料ホルダ８Ａの形状と、大気圧雰囲気が適用されるべき試料３Ｂが収納される試料ホルダ８Ｂの形状とを異なるものとして、操作者により視覚的に判別されるようにしてもよい。
【００２７】
また、第１実施形態の装置においては、以下に説明するように、大気圧雰囲気が適用されるべき試料３Ｂが収納される試料ホルダ８Ｂが、真空雰囲気が割り当てられた前記試料テーブル２１における試料ホルダの載置場所２１ａに載置不能となるように、それらの試料ホルダ８Ｂおよび載置場所２１ａの形状が決定されている。固体試料３Ａを収納する試料ホルダ８Ａ、液体または粉体試料３Ｂを収納する試料ホルダ８Ｂ、およびそれぞれに対応する試料テーブル２１における載置場所２１ａの詳細を図２の断面図に示す。
【００２８】
まず、液体または粉体試料３Ｂ用の試料ホルダ８Ｂは、中空カップである本体８Ｂａと、Ｘ線を透過させるフィルム８Ｂｂと、輪状の係止部材８Ｂｃとで構成される。より具体的には、液体または粉体試料３Ｂを満たした本体８Ｂａの開口部を覆うように、本体８Ｂａの外径よりもやや直径の大きい円形のフィルム８Ｂｂを載せ、上方から係止部材８Ｂｃを本体８Ｂａの外側に嵌合させることにより、係止部材８Ｂｃと本体８Ｂａとの間にフィルム８Ｂｂの周辺部を挟持させている。フィルム８Ｂｂには、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリイミドなどからなるフィルムを用いることができる。
【００２９】
液体または粉体試料３Ｂ用の試料ホルダ８Ｂに対応して、その下方に示すように、大気圧雰囲気が割り当てられた試料テーブル２１における試料ホルダの載置場所２１ａには、試料ホルダ８Ｂの底部が嵌合する凹入部が設けられている。
【００３０】
一方、固体試料３Ａ用の試料ホルダ８Ａは、中空カップである本体８Ａａと、その本体８Ａａにねじ止めされ、Ｘ線を透過させる窓をもつ輪状の蓋体（マスク）８Ａｂと、固体試料３Ａを下方から蓋体８Ａｂに押し当てるコイルばね８Ａｃとで構成される。
【００３１】
その下方に示すように、真空雰囲気が割り当てられた試料テーブル２１における試料ホルダの載置場所２１ａには、試料ホルダ８Ａの底部が嵌合する凹入部および上方に突出したピン２１ｂが設けられているとともに、真空雰囲気が適用されるべき固体試料３Ａが収納される試料ホルダ８Ａの底部のみに、前記ピン２１ｂが嵌合する溝８Ａｄが設けられている。つまり、いずれの試料ホルダ８についても、試料ホルダ８を載置すべき各場所は円形に凹入しており、各凹入部２１ａがすなわち各載置場所２１ａとなっている。そして、固体試料３Ａ用の試料ホルダ８Ａに対応する載置場所２１ａにのみ、さらにピン２１ｂが設けられている。
【００３２】
ピン２１ｂは、円形である凹入部２１ａの中心から外れた位置に設けられているので、円筒状の試料ホルダ８Ａが、載置場所２１ａに対して中心軸まわりにどのような回転方向で載置されても、ピン２１ｂが嵌合できるように、試料ホルダ８Ａの底部の溝８Ａｄは、図３の下面図に示すように円周状に形成されている。図２のピン２１ｂが、円形である凹入部２１ａの中心に設けられる場合は、溝８Ａｄの代わりに、対応する試料ホルダ８Ａの底部の中心に、ピン２１ｂが嵌合する孔を設ければよい。
【００３３】
さらに、第１実施形態の装置においては、図１（ａ）の前記分析条件設定手段３３が、大気圧雰囲気が割り当てられた、つまり赤色が付けられた試料テーブル２１における試料ホルダ８Ｂの載置場所２１ａについては、そこに載置された試料３Ｂに適用される分析チャンバ１１内の雰囲気として大気圧雰囲気を自動的に設定し、操作者による真空雰囲気への変更を受け付けない。
【００３４】
次に、この装置に対する操作者の操作と、装置の動作について説明する。まず、操作者は、図１（ｂ）に示すように、各試料ホルダ８を試料テーブル２１における任意の載置場所２１ａに載置するが、その際に、試料テーブル２１自体に表示された各載置場所２１ａへの雰囲気の割り当て状況を見て（試料テーブル２１自体に表示されない実施形態の場合は、表示手段３１を見て）、載置場所２１ａに割り当てられた雰囲気と、試料ホルダ８に収納されている試料３に適用されるべき雰囲気とが合致するようにしておく。つまり、青色の付いた試料ホルダ８Ａは、同じ青色の付いた試料テーブル２１の左半分のいずれかの載置場所２１ａに、赤色の付いた試料ホルダ８Ｂは、同じ赤色の付いた試料テーブル２１の右半分のいずれかの載置場所２１ａに載置する。
【００３５】
次に、操作者は、図１（ａ）の分析条件設定手段３３に対し、載置場所２１ａごとに、そこに載置した試料３に適用する分析条件を、分析チャンバ１１内の雰囲気を含めて設定する。例えば、６番目に分析する試料３に適用する分析チャンバ１１内の雰囲気を設定しようとするときには、表示手段３１の画面に図５の上に示すような表が表示される。最も左の「シーケンスＮｏ．」の欄には、分析の順序を示す数値が１から順にあらかじめ記載されており、次の「ポジションＮｏ．」の欄には、前記ＡからＦの行と１から４の列で試料３を指定して入力する。その次の「雰囲気」の欄では、真空かＨe を選択して入力する。「雰囲気」よりも右の欄については、ここでは省略するが、Ｘ線管の管電圧および管電流、光学系に挿入するダイアフラム（図示せず）、定量分析か定性分析かなど、その他の分析条件が設定できる。設定のための入力には、キーボードやマウスなどの入力手段３２（図１（ａ））を用いる。
【００３６】
このとき、図５に示すように、表とともに表示手段３１の画面に各載置場所２１ａへの雰囲気の割り当て状況が表示される。より具体的には、各載置場所２１ａを特定するためのＡからＦまでの行記号および１から４までの列番号とともに、試料テーブル２１の上面が、左半分に真空雰囲気を示す青色が付され、右半分に大気圧雰囲気を示す赤色が付されて、表示される。
【００３７】
図５の表では、５番目までの試料３について分析条件の設定が終わっており、６番目の試料３としてＤ行４列の載置場所２１ａにある試料３Ｂを指定したところである。操作者は、表示手段３１に表示された各載置場所２１ａへの雰囲気の割り当て状況において（表示手段３１に割り当て状況が表示されない実施形態の場合は、試料テーブル２１自体に表示された割り当て状況において）、Ｄ行４列の載置場所２１ａに付けられた赤色を見てそこに割り当てられた大気圧雰囲気を確認し、設定する。具体的には、入力手段３２を用いてＨe にマークを付ける。
【００３８】
ただし、第１実施形態の装置では、分析条件設定手段３３によって、大気圧雰囲気が割り当てられた、つまり赤色が付けられた載置場所２１ａについては、そこに載置された試料３Ｂに適用される分析チャンバ１１内の雰囲気として大気圧雰囲気が自動的に設定され、Ｈe にマークが付けられるので、操作者が付ける必要はなく、また、操作者による真空雰囲気への変更を受け付けない。同様にして、今回分析しようとするすべての試料３を指定してそれぞれの分析条件を設定する。
【００３９】
ここまでで説明したように、第１実施形態の装置によれば、試料テーブル２１における試料ホルダ８の各載置場所２１ａへの雰囲気の割り当て状況が表示されるので、操作者は、試料ホルダ８を試料テーブル２１に載置する際に、載置場所２１ａに割り当てられた雰囲気と、試料ホルダ８に収納されている試料３に適用されるべき雰囲気とが合致するようにしておき、載置場所２１ａごとにそこに載置された試料３に適用される分析チャンバ１１内の雰囲気を設定する際に、その載置場所２１ａに割り当てられた雰囲気を確認し、設定すればよい。したがって、試料に付随させた分析条件を読み取るためのセンサなどを備えない簡単な構成で、大気圧雰囲気で分析すべき試料３Ｂが真空雰囲気で分析されるのを防止できる。
【００４０】
また、大気圧雰囲気が適用されるべき試料３Ｂが収納される試料ホルダ８Ｂを、真空雰囲気が割り当てられた載置場所２１ａに載置しようとしても、両者の形状からして物理的に載置できない、つまり上方に突出したピン２１ｂが障害となって安定して載置できないので、大気圧雰囲気で分析すべき試料３Ｂが真空雰囲気で分析されるのをより確実に防止できる。
【００４１】
このようなピン２１ｂと溝８Ａｄまたは孔を用いた構成に代えて、以下のような構成を用いてもよい。図４に示すように、円筒状の試料ホルダ８Ｃ，８Ｄを、上側鍔部８Ｃａ，８Ｄａと、円筒部８Ｃｂ，８Ｄｂと、下側鍔部８Ｃｃ，８Ｄｃと、下側鍔部８Ｃｃ，８Ｄｃよりも下部の底部８Ｃｄ，８Ｄｄとで形成する。そして、真空雰囲気が適用されるべき試料３Ａが収納される試料ホルダ８Ｃの底部８Ｃｄの直径Ｄ１を、大気圧雰囲気が適用されるべき試料３Ｂが収納される試料ホルダ８Ｄの底部８Ｄｄの直径Ｄ２よりもわずかながら小さくする。他の円筒部８Ｃｂ，８Ｄｂ、上下の鍔部８Ｃａ，８Ｄａ，８Ｃｃ，８Ｄｃの寸法形状は、両者８Ｃ，８Ｄで共通とする。
【００４２】
一方、試料ホルダ８Ｃ，８Ｄの載置場所には、下側鍔部８Ｃｃ，８Ｄｃを受ける段部２１ｅ，２１ｆと、対応する試料ホルダ８Ｃ，８Ｄの底部８Ｃｄ，８Ｄｄが嵌合する凹入部２１ｃ，２１ｄとを設ける。つまり、下側鍔部８Ｃｃ，８Ｄｃを受ける段部２１ｅ，２１ｆの外縁直径は、両者２１ｅ，２１ｆで共通であり、各段部２１ｅ，２１ｆがすなわち各載置場所２１ｅ，２１ｆとなっている。そして、真空雰囲気が割り当てられた載置場所２１ｅには、径小Ｄ１である底部８Ｃｄが嵌合する径小凹入部２１ｃが設けられており、大気雰囲気が割り当てられた載置場所２１ｆには、径大Ｄ２である底部８Ｄｄが嵌合する径大凹入部２１ｄが設けられている。
【００４３】
このような構成によれば、大気圧雰囲気が適用されるべき試料３Ｂが収納される試料ホルダ８Ｄを、真空雰囲気が割り当てられた載置場所２１ｅに載置しようとしても、そこに設けられた径小凹入部２１ｃよりも径大Ｄ２な底部８Ｄｄが障害となって安定して載置できないので、やはり、大気圧雰囲気で分析すべき試料３Ｂが真空雰囲気で分析されるのをより確実に防止できる。
【００４４】
さらに、第１実施形態の装置においては、載置場所２１ａごとにそこに載置された試料３に適用される分析チャンバ１１内の雰囲気を設定する際に、大気圧雰囲気が割り当てられた載置場所２１ａに載置された試料３Ｂについては、分析条件設定手段３３の機能によって、操作者が誤って真空雰囲気で分析するように設定しようとしてもできないので、大気圧雰囲気で分析すべき試料３Ｂが真空雰囲気で分析されるのをより確実に防止できる。
【００４５】
今回分析しようとするすべての試料３についてそれぞれの分析条件の設定が終了したら、操作者は、分析を開始すべき旨を図１（ａ）の入力手段３２から入力する。すると、分析条件設定手段３３に設定された分析条件にしたがって、制御手段３４により分析装置本体１０および試料交換機２０の動作が制御されて、シーケンスＮｏ．の順に自動的に各試料３の分析が行われる。
【００４６】
次に、本発明の第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置について説明する。この装置は、分析条件設定手段３３および制御手段３４の動作の一部のみが以下のように前記第１実施形態の装置と異なるが、その他の点については同様であるので説明を省略する。
【００４７】
第２実施形態の装置では、操作者は、分析条件設定手段３３に対し、大気圧雰囲気が割り当てられた例えばＤ−４の載置場所２１ａについて、そこに載置された試料３Ｂに適用される分析チャンバ１１内の雰囲気として誤って真空雰囲気を設定しても受け付けられるが、実際には大気圧雰囲気を適用して分析するように、制御手段３４が分析装置本体１０および試料交換機２０の動作を制御する。したがって、やはり大気圧雰囲気で分析すべき試料３Ｂが真空雰囲気で分析されるのをより確実に防止できる。
【００４８】
次に、本発明の第３実施形態の蛍光Ｘ線分析装置について説明する。この装置も、分析条件設定手段３３および制御手段３４の動作の一部のみが以下のように前記第１実施形態の装置と異なるが、その他の点については同様であるので説明を省略する。
【００４９】
第３実施形態の装置では、操作者は、分析条件設定手段３３に対し、大気圧雰囲気が割り当てられた例えばＤ−４の載置場所２１ａについて、そこに載置された試料３Ｂに適用される分析チャンバ１１内の雰囲気として誤って真空雰囲気を設定しても受け付けられるが、その試料３Ｂは分析せずにパスして次のシーケンスＮｏ．の試料３の分析を進めるように、制御手段３４が分析装置本体１０および試料交換機２０の動作を制御する。したがって、やはり大気圧雰囲気で分析すべき試料３Ｂが真空雰囲気で分析されるのをより確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】（ａ）は本発明の第１、第２、第３実施形態の蛍光Ｘ線分析装置を示す概略構成図であり、（ｂ）はその装置の試料交換機の平面図、（ｃ）は側面図である。
【図２】同装置で用いられる試料ホルダと、対応する同装置の試料テーブルにおける載置場所を示す断面図である。
【図３】同装置で用いられる固体試料用の試料ホルダを示す下面図である。
【図４】同装置で用いられる試料ホルダと、対応する載置場所の別の例を示す図である。
【図５】同装置の分析条件設定手段に分析条件を設定する際の表示手段の表示の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００５１】
２  １次Ｘ線
３  試料
４  ２次Ｘ線
８  試料ホルダ
１０  分析装置本体
１１  分析チャンバ
２０  試料交換機
２１  試料テーブル
２１ａ，２１ｅ，２１ｆ  載置場所
３１  表示手段
３３  分析条件設定手段
３４  制御手段
【図１】
2006242874.tif 000003
【図２】
2006242874.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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