(57)【要約】【課題】ノズルから液状樹脂を吐出対象物に塗布する際に、ノズル側面の付着液状樹脂を良好に除去し、安定した塗布を可能にする。【解決手段】待機状態にあったノズル２をノズルクリーニング部５へ移動してクリーニング用孔７に挿入した後、ノズルクリーニング部５の内部を真空ポンプ１０により真空吸引することにより、クリーニング用孔７の内部に空気流９を生じさせる。この状態でノズル２の側面とクリーニング用孔７の内壁間に一定の隙間を保持しながら、ノズル２をクリーニング用孔７の内壁に沿って移動させる。これによりノズル２の側面に付着している付着液体樹脂８が、空気流９によって引っ張られるようになってノズル２から剥離する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンジに取り付けられたノズルから液状樹脂を吐出対象物に塗布するディスペンス装置に用いられ、前記吐出対象物に液状樹脂を塗布する前に、前記ノズルの側面及び先端に付着した液状樹脂をあらかじめ除去するディスペンス方法であって、
前記ノズルの外径よりも内径が大きい樹脂除去用孔に前記ノズルを挿入し、該ノズルから前記液状樹脂の除去を行うことを特徴とするディスペンス方法。
【請求項２】
前記樹脂除去用孔を前記ノズルの外径の２倍以下ないし略等しい内径にし、前記樹脂除去用孔に前記ノズルを挿入した状態で、前記樹脂除去用孔の内部に空気流を発生させることにより前記液状樹脂の除去を行うことを特徴とする請求項１記載のディスペンス方法。
【請求項３】
前記ノズルを前記樹脂除去用孔の内壁に沿って移動させながら前記液状樹脂の除去を行うことを特徴とする請求項２記載のディスペンス方法。
【請求項４】
シリンジに取り付けられたノズルから液状樹脂を吐出対象物に塗布するディスペンス装置において、前記吐出対象物に液状樹脂を塗布する前に、前記ノズルの側面及び先端に付着した液状樹脂をあらかじめ除去するノズルクリーニング部を備えたディスペンス装置であって、
前記ノズルクリーニング部に、前記ノズルが挿入され、かつ前記ノズルの外径の２倍以下ないし略等しい内径を有する樹脂除去用孔を設けたことを特徴とするディスペンス装置。
【請求項５】
前記ノズルクリーニング部に前記樹脂除去用孔において空気吸引する手段を設けたことを特徴とする請求項４記載のディスペンス装置。
【請求項６】
前記樹脂除去用孔が設けられた部材を着脱可能にしたことを特徴とする請求項４または５記載のディスペンス装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液状樹脂を吐出対象物に塗布するディスペンス方法及びディスペンス装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に集積回路などの電子部品に液状樹脂を塗布して固定するディスペンス方式は、液状樹脂を充填したシリンジにノズルを取り付け、シリンジに高圧空気を供給することにより液状樹脂をノズル先端から吐出して行われる。この吐出作業は生産性を向上させるために連続的に実施され、さらに接着強度などの品質面からも吐出量を一定に維持する必要がある。
【０００３】
特に固体撮像素子を実装した基板上にガラスを固定する工程などにおいては、液状樹脂の塗布量は０.２ｍｇ程度であり、バラツキ許容値としては±１０％内にコントロールしなければならず、塗布を連続して行うとノズルの側面に液状樹脂が付着し、この付着液状樹脂がノズル先端にて吐出される液状樹脂に引き寄せられ、塗布量が大きくばらつく原因となる。塗布量の過不足は、撮像領域へのはみ出し、あるいは気密性不良の原因となり、生産の安定化の面から問題となる。
【０００４】
そこで、これらの塗布量バラツキを解消するためにノズル側面部のクリーニング方法として、特許文献１に記載されたディスペンス方法に係る発明が提案されている。
【０００５】
以下、前記ディスペンス方法を図面を参照しながら説明する。
【０００６】
図４（ａ）〜（ｃ）はノズルの側面の付着液状樹脂を除去して塗布対象物に液状樹脂を吐出する従来のディスペンス装置の説明図である。
【０００７】
図４（ａ）〜（ｃ）において、まず、シリンジ１１を、ディスペンス待機状態（図４（ａ））からノズルクリーニングポジション（図４（ｂ））へ移動させて、ノズルクリーニングを行う。すなわち、図４（ｂ）に示すように、ノズル１２をクリーニング部まで移動させ、ノズル１２をクリーニング部に設けられたスポンジ１３ａと１３ｂとの間に挟み込んだ状態のままで上昇させることにより、ノズル１２に付着している付着液状樹脂１４を取り除く。
【０００８】
その後、シリンジ１１を塗布ポジション（図４（ｃ））に移動させて、ノズル１２から塗布対象物１８に対して液状樹脂１５を吐出する。吐出終了後、シリンジ１１を再び待機位置（図４（ａ））に戻す。
【特許文献１】特開２００１−６８４８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、図４（ａ）〜（ｃ）に示すクリーニング方法では、ノズル１２の側面の付着液状樹脂１４を除去することができるが、クリーニング部のスポンジ１３ａ，１３ｂを開閉する機構などが特別に必要になり、さらに、スポンジ１３ａ，１３ｂにより付着液状樹脂１４を拭うために、スポンジ１３ａ，１３ｂ側に付着液状樹脂１４が移って付着することになるため、スポンジ１３ａ，１３ｂを高頻度で交換することが必要となり、コストと作業性が非常に悪いという課題があった。
【００１０】
また、図５（ａ）〜（ｃ）に示す樹脂残りを説明するためのノズルとスポンジとの関係を示す説明図のように、図４（ａ）〜（ｃ）に示すクリーニング方法では、付着液状樹脂１４が側面に付着したノズル１２（図５（ａ））に対してクリーニングを行う際、一対のスポンジ１３ａ，１３ｂを合わせたときに隙間１６が生じる場合があり（図５（ｂ））、この隙間１６部分に拭いきれない樹脂１７が残り、この樹脂１７がノズル１２に残留（図５（ｃ））することがあるという問題があった。なお、図５の（ａ）〜（ｃ）のそれぞれにおいて、上図は正面図、下図は平面図を示す。
【００１１】
本発明は、前記従来の課題を解決し、ノズルから液状樹脂を吐出対象物に塗布する際に、ノズル側面の付着液状樹脂を良好に除去することができ、安定した塗布が行えるようにしたディスペンス方法及びディスペンス装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するため、本発明は、液状樹脂を吐出対象物に塗布するノズルの外径よりも内径が大きい樹脂除去用孔に、ノズルを挿入し、該ノズルの側面及び先端に付着した液状樹脂の除去を行うため、液状樹脂の除去部分において従来のような隙間が生じない構成であって、ノズル全周を均一かつ良好にクリーニングすることができる。
【００１３】
また、樹脂除去用孔をノズルの外径の２倍以下ないし略等しい内径にし、樹脂除去用孔にノズルを挿入した状態で、樹脂除去用孔の内部に空気流を発生させることにより液状樹脂の除去を行うことにより、ノズルと樹脂除去用孔の内壁で構成される隙間が狭くなり、樹脂除去用孔の内部でノズル周囲を流れる空気の流速が速くなることを利用し、ノズル側面に付着した樹脂を簡単かつ確実に除去することができる。
【００１４】
また、ノズルが樹脂除去用孔の内壁に沿って移動することにより、ノズル側面と樹脂除去用孔の内壁との隙間が全周にわたって一定距離に保たれるので、ノズル側面の付着液体樹脂が等しい流れの空気圧力で吸引されることになり、ノズル全周を均一にクリーニングすることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係るディスペンス方法及びディスペンス装置によれば、液状樹脂を吐出対象物に塗布するノズルの外径よりも内径が大きい樹脂除去用孔に、ノズルを挿入し、該ノズルの側面及び先端に付着した液状樹脂の除去を行うため、液状樹脂の除去部分において従来のような隙間が生じることがなくなり、ノズル全周を均一かつ良好にクリーニングすることができ、ノズルによる吐出対象物に対する液状樹脂の吐出量が均一化し、安定した塗布が実現する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
図１（ａ）〜（ｃ）は本発明のディスペンス方法及びディスペンス装置の実施形態の概略を説明するための斜視図であり、１は、ノズル２が設けられ、内部に液状樹脂３が収納されているシリンジ、４は塗布対象物、５は内部が中空状態のボックス形状をなすノズルクリーニング部、６はノズルクリーニング部５の一部に設けられた筒状体、７は筒状体６に形成された樹脂除去用孔であるクリーニング用孔、８はノズル２の側面に付着した付着液状樹脂を示す。
【００１８】
図１（ａ）〜（ｃ）において、まず、シリンジ１を、ディスペンス待機状態（図１（ａ））からノズルクリーニング部５が設置されているノズルクリーニングポジション（図１（ｂ））へ移動させてノズルクリーニングを行う。すなわち、クリーニング用孔７にノズル２を挿入して、後述するようにノズル２に付着している付着液状樹脂８を取り除く。
【００１９】
その後、シリンジ１を塗布ポジション（図１（ｃ））に移動させて、ノズル２から塗布対象物４に対して液状樹脂３を吐出し、吐出終了後、シリンジ１を再び待機位置（図１（ａ））に戻す。
【００２０】
図２はノズルがノズルクリーニング部に挿入された状態における正面一部断面図であり、９は空気流、１０はノズルクリーニング部５の内部を真空吸引するための真空ポンプを示す。
【００２１】
図２において、ノズルクリーニング部５は真空ポンプ１０により、−３０ｋＰａ程度で真空吸引することができる構造のボックス構造になっており、かつノズル２の外径の２倍以下の内径に設定されているクリーニング用孔７を有する筒状体６が着脱可能に設けられている。そして、ノズルクリーニング部５へ移動してきたノズル２はクリーニング用孔７に挿入された後、ノズルクリーニング部５の内部が真空吸引されることによって、クリーニング用孔７の内部に空気流９が生じる。
【００２２】
そして図３（ａ）に示す挿入静止状態から、図３（ｂ）に示すように、ノズル２の側面とクリーニング用孔７の内壁とが一定の隙間Ｇを保持しながら、ノズル２をクリーニング用孔７の内壁に沿って円弧状あるいは上下方向に移動させる。このとき、ノズル２の側面に付着している付着液体樹脂８は空気流９によって引っ張られるようになってノズル２から離脱することになる。
【００２３】
ノズル２を挿入するクリーニング用孔７は、ノズル外径と限りなく等しくしてノズル２との隙間Ｇを小さくし、流れる空気流９の流速を速くする方が有利であるが、ノズル２をクリーニング用孔７に挿入するときの精度に限界がある。そのためノズル断面積と空気が流れる有効断面積が略等しくなる程度の比率が理想的であり、そのときのノズル２の外径とクリーニング用孔７の外径は１：（１.５〜２）程度である。
【００２４】
また、クリーニング用孔７を有する筒状体６は、ノズルクリーニング部５から着脱可能に設置されているため、筒状体６側に樹脂が付着したときに、筒状体６を容易に洗浄することができ、さらにノズルサイズを変更したときには、異なる径のクリーニング用孔７が形成された筒状体６に容易に交換することができる。
【００２５】
このようにして、全外周をクリーニングされたノズル２は、図１（ｃ）に示す塗布ポジションへ移動し、吐出対象物４に塗布を行った後に、待機ポジション（図１（ａ））へ戻る。そして、再びノズルクリーニングポジション（図１（ｂ））にてノズルクリーニングが可能になる。これら一連の動作を繰り返し行うことにより、吐出対象物４に対する液体樹脂３の塗布が連続して行われる。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明は、液状封止樹脂を塗布するディスペンス方法とその装置に適用され、特に固体撮像素子を実装した基板上に液状樹脂を塗布してガラスを固定するディスペンス方法およびその装置に実施して有効である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】（ａ）〜（ｃ）は本発明のディスペンス方法及びディスペンス装置の実施形態の概略を説明するための斜視図
【図２】本実施形態においてノズルがノズルクリーニング部に挿入された状態における正面一部断面図
【図３】（ａ），（ｂ）は本実施形態においてノズルとクリーニング用孔の状態を平面方向から見た横断面図
【図４】（ａ）〜（ｃ）はノズルの側面の付着液状樹脂を除去して塗布対象物に液状樹脂を吐出する従来のディスペンス装置の説明図
【図５】（ａ）〜（ｃ）は図４における従来例における樹脂残りを説明するためのノズルとスポンジとの関係を示す説明図
【符号の説明】
【００２８】
１  シリンジ
２  ノズル
３  液状樹脂
４  塗布対象物
５  ノズルクリーニング部
６  筒状体
７  クリーニング用孔
８  付着液状樹脂
９  空気流
１０  真空ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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