(57)【要約】【課題】  表マスク及び裏マスクに形成した実マスクアライメントマーク、抜けマスクアライメントマークの重畳状態の情報を高精度に短時間の間で得ることで、マスクアライメントの迅速化を図る。【解決手段】先ず、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂの自動焦点設定を行う。次に、実マスクアライメントマークＭ１ａ及び抜けマスクアライメントマークＭ２ａと、実マスクアライメントマークＭ１ｂ及び抜けマスクアライメントマークＭ２ｂの相対的なずれ量を算出する。次に、前記ずれ量が減少するようにマスク保持フレーム１２を移動させる駆動信号を、フレーム駆動機構１６に送る。これにより、フレーム駆動機構は、表マスク８を保持しているマスク保持フレームをＸＹθ方向に微小移動させる。実マスクアライメントマークの中心が、抜けマスクアライメントマーク中心に位置すると、表マスク及び裏マスク９のマスクアライメントが完了する。【選択図】        図５
2006084783.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の被露光材を、それぞれマスク保持フレームに保持された表マスク及び裏マスクの間に所定量ずつ送出し、前記表マスク及び前記裏マスクの互いに対向する位置に形成したマスクアライメントマークを撮像手段で撮影してマークの重畳状態の情報を得るとともに、このマークの重畳状態の情報に基づいたマスク位置調整手段の駆動により、前記表マスク及び裏マスクのマスクアライメントマークの中心が一致するように前記表マスク及び前記裏マスクの位置調整を行うようにした両面露光装置のマスクアライメント方法において、
前記表マスク及び前記裏マスクのそれぞれに形成した前記マスクアライメントマークの一方を、非透光性の領域に特定形状で形成した透光性を有する抜きマスクアライメントマークとし、他方のマスクアライメントマークを、透光性の領域に前記抜きマスクアライメントマークより小さな形状で形成した非透光性を有する実マスクアライメントマークとし、
前記撮像手段を、前記実マスクアライメントマークを設けた前記表マスク及び前記裏マスクの一方を保持している前記マスク保持フレームに一体に固定しておくとともに、予め、前記撮像手段の焦点を前記実マスクアライメントマークに合わせておくことを特徴とする両面露光装置のマスクアライメント方法。
【請求項２】
前記マスク位置調整手段は、前記表マスクを保持しているマスク保持フレームと、前記裏マスクを保持しているマスク保持フレームのうち、一方のフレームの位置を調整することを特徴とする請求項１記載の両面露光装置のマスクアライメント方法。
【請求項３】
シート状の被露光材を、それぞれマスク保持フレームに保持された表マスク及び裏マスクの間に所定量ずつ送出し、前記被露光材の表裏両面を同時に露光する両面露光装置において、
前記表マスク及び前記裏マスクのそれぞれに形成した前記マスクアライメントマークの一方を、非透光性の領域に特定形状で形成した透光性を有する抜きマスクアライメントマークとし、他方のマスクアライメントマークを、透光性の領域に前記抜きマスクアライメントマークより小さな形状で形成した非透光性を有する実マスクアライメントマークとし、
前記抜きマスクアライメントマーク及び前記実マスクアライメントマークを撮影してそれらマークの重畳状態の情報を得る撮像手段と、この撮像手段で撮影した前記実マスクアライメントマークの画像情報に基づき、前記撮像手段の焦点を前記実マスクアライメントマークのに合わせる制御を行うコントローラとを備えたことを特徴とする両面露光装置のマスクアライメント装置。
【請求項４】
前記表マスクを保持しているマスク保持フレームと、前記裏マスクを保持しているマスク保持フレームのうち、一方のフレームの位置を調整するマスク位置調整手段を設け、前記コントローラは、前記撮像手段で得た重畳状態の情報に基づき、前記抜きマスクアライメントマーク及び前記実マスクアライメントマークの相対的なずれ量が減少するように前記マスク位置調整手段を制御することを特徴とする請求項３記載の両面露光装置のマスクアライメント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被露光材の表裏両面に表マスク及び裏マスクを配置して被露光材の表裏両面を同時に露光する両面露光装置に関し、特に、表マスク及び裏マスクの位置合わせを行う両面露光装置のマスクアライメント方法及びマスクアライメント装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
テレビシャドウマスク、ＩＣリードフレーム等を大量に生産する露光装置として、例えば特許文献１のように、シート状の被露光材を表マスク及び裏マスクの間に所定量ずつ送出し、表マスク及び裏マスクを被露光材に密着させ、各マスクの外側に配置した平行光源から各マスクに向けて露光を照射することで、表マスク及び裏マスクのパターンを被露光材の表裏両面に同時に露光する両面露光装置が知られている。
【０００３】
この特許文献１では、表マスク及び裏マスクにそれぞれマスク用アライメントマークを形成し、カメラ（特許文献１では、マークを光学的に読み込むセンサと称している）が、一対のマスク用アライメントマーク同士の重畳状態を読み取ることで表マスク及び裏マスクの相対的な位置情報を得ている。そして、得られた位置情報に基づいて、マスク位置調整機構が、一対のマスク用アライメントマーク同士が中心を合わせて重合するように表マスク及び裏マスクを相対的に移動させることで、表マスク及び裏マスクのアライメントを行っている。
【特許文献１】特開平０８−１６０５４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１において、表マスクに形成したマスク用アライメントマークは、透光性を有する比較的幅の広いＬ字状とし、Ｌ字状の周囲を不透光性としたマークとしている（本願との比較を容易にするため、抜きマスクアライメントマークと称する）。また、裏マスクに形成したマスク用アライメントマークは、表マスクアライメントマークの字幅より狭い不透光性のＬ字状とし、Ｌ字状の周囲を透光性としたマークとしている（これも本願との比較を容易にするため、実マスクアライメントマークと称する）。
【０００５】
カメラにより、抜きマスクアライメントマーク及び実マスクアライメントマークの重畳状態の情報を得る際には、少なくとも実マスクアライメントマークの焦点が確実に合うようにしなければならない。なぜなら、抜きマスクアライメントマークは大きな形状なので、焦点が多少合っていなくてもマークの中心位置を容易に確認することができるが、実マスクアライメントマークは小さな形状なので、焦点が合っていないとマークの中心位置を正確に確認することができないからである。
【０００６】
特許文献１では、カメラが、表マスクを保持している表マスク用保持フレーム（特許文献１ではアライメントベースと称している）に設置されており、裏マスクに形成した実マスクアライメントマークは、裏マスクを被露光材に密着させたときに、カメラの焦点が合うように設定されている。このため、カメラが抜きマスクアライメントマーク及び実マスクアライメントマークの重畳状態の情報を得る際には、少なくとも裏マスクを被露光材に密着させる動作を行わなければならない。
【０００７】
したがって、特許文献１では、カメラが抜きマスクアライメントマーク及び実マスクアライメントマークの重畳状態の情報を得るために、裏マスクを被露光材に密着させる動作を繰り返し行わなければならないので、マスクアライメントの迅速化の面で問題がある。
そこで、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、表マスク及び裏マスクに形成した実マスクアライメントマーク、抜けマスクアライメントマークの重畳状態の情報を高精度に、且つ短時間の間に得ることで、マスクアライメントの迅速化を図ることができる両面露光装置のマスクアライメント方法及びマスクアライメント装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するため、本発明に係る両面露光装置のマスクアライメント方法は、シート状の被露光材を、それぞれマスク保持フレームに保持された表マスク及び裏マスクの間に所定量ずつ送出し、前記表マスク及び前記裏マスクの互いに対向する位置に形成したマスクアライメントマークを撮像手段で撮影してマークの重畳状態の情報を得るとともに、このマークの重畳状態の情報に基づいたマスク位置調整手段の駆動により、前記表マスク及び裏マスクのマスクアライメントマークの中心が一致するように前記表マスク及び前記裏マスクの位置調整を行うようにした両面露光装置のマスクアライメント方法において、前記表マスク及び前記裏マスクのそれぞれに形成した前記マスクアライメントマークの一方を、非透光性の領域に特定形状で形成した透光性を有する抜きマスクアライメントマークとし、他方のマスクアライメントマークを、透光性の領域に前記抜きマスクアライメントマークより小さな形状で形成した非透光性を有する実マスクアライメントマークとし、前記撮像手段を、前記実マスクアライメントマークを設けた前記表マスク及び前記裏マスクの一方を保持している前記マスク保持フレームに一体に固定しておくとともに、予め、前記マスク用撮像手段の焦点を前記実アライメントマークに合わせている。
ここで、前記マスク位置調整手段は、前記表マスクを保持しているマスク保持フレームと、前記裏マスクを保持しているマスク保持フレームのうち、一方のフレームの位置を調整することが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る両面露光装置のマスクアライメント方法によると、撮像手段を、実マスクアライメントマークを設けた表マスク及び裏マスクの一方を保持しているマスク保持フレームに一体に固定しておくとともに、予め、撮像手段の焦点を実マスクアライメントマークに合わせているので、撮像手段による実マスクアライメントマーク及び抜きマスクアライメントマークの重畳状態の情報を正確に得ることができる。これにより、実マスクアライメントマークと抜けマスクアライメントマークのずれ量を正確に算出し、このずれ量に基づいて、実マスクアライメントマークの中心と抜けマスクアライメントマークの中心が一致するようにマスク位置調整手段が駆動することで、表マスク及び裏マスクのマスクアライメントを高精度に行うことができる。
【００１０】
また、本発明は、表マスク及び裏マスクが被露光材から離れた状態で、実マスクアライメントマークと抜けマスクアライメントマークとの重畳状態の情報を得ているので、従来の方法のように表マスク及び裏マスクをワークに密着させて実マスクアライメントマーク及び抜けマスクアライメントマークの焦点を合わせる方法と比較して、マークの重畳状態の情報を得るため時間の短縮を図ることができ、マスクアライメントの迅速化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の両面露光装置のマスクアライメント方法及びマスクアライメント装置について、図面を参照しながら説明する。
先ず、本発明に係る両面露光装置について図１を参照して説明する。図１において、符号１はフープ材等のワーク２をタクト送りで巻き出す巻き出し装置、符号３は両面露光部Ｐの下流側に配置されて露光後のワーク２を巻き取るための巻取り装置である。
【００１２】
両面露光部Ｐに位置するワーク２は、固定用クランプ４ａ，４ｂにより固定されている。上流側の固定用クランプ４ｂの巻出し装置２側には、両面露光部Ｐに位置するワーク２に対してバックテンションを付与するバックテンションロール５が設けられ、下流側の固定用クランプ４ａの巻取り装置３側には、露光後のワーク２をクランプした状態で巻取り装置３側に所定量送り、その後、クランプ状態を解除して元の位置に戻るインデクサー６が設けられている。
このインデクサー６の送り量に応じて巻き出し装置１によるワーク２の巻き出しと巻取り装置３によるワーク２の巻取りが行われる。なお、符号７は巻き出し装置１側と巻取り装置３側に設けられたワーク送りバッファ部分である。
【００１３】
また、両面露光部Ｐのワーク２の表裏面側には、それぞれ所定の転写パターンを有する表マスク８及び裏マスク９が配置されている。
そして、両面露光部Ｐでワーク２及び表マスク８，裏マスク９同士のアライメント（ずれ補正）が行われた後、表マスク８及び裏マスク９をワーク２の表裏面に密着させた状態で、各マスク８，９の外側に配置された平行光源１０ａ，１０ｂから表マスク８及び裏マスク９に向けて露光を照射することで、表マスク８及び裏マスク９のパターンがワーク２の表裏面に露光転写される。
【００１４】
この露光転写が行われた後、上述したインデクサー６でワーク２を巻取り装置３側に所定量送り、インデックス終了後、下流側の固定用クランプ４ａ、又は両側の固定用クランプ４ａ，４ｂで露光位置Ｐに送られたワーク２を固定してワーク２のずれ量を小さくし、上記同様の工程で新たな露光転写が行われる。
図２は、本発明に係る第１実施形態の両面露光装置のマスクアライメント方法を行う際の両面露光部Ｐに配置した表マスク８及び裏マスク９を示す図である。
【００１５】
表マスク８には、回路パターン等の所定のパターンＰＴ１が形成されているとともに、ワーク２の流れ方向に対して直交する方向の両縁部に、一対のマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂが形成されている。また、裏マスク９にも、回路パターン等の所定のパターンＰＴ２が形成されているとともに、ワーク２の流れ方向に対して直行する方向の両縁部に、一対のマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂが形成されている。
【００１６】
裏マスク９のマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂは、図３に示すように、四角形状の非透光性の領域に、透光性の真円を形成したマークであり、本実施形態では抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂと称する。
表マスク８のマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂは、図４に示すように、透光性の領域に、前述した抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂの透光性の真円と比較して小さな非透光性の真円を形成したマークであり、本実施形態では実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂと称する。
【００１７】
次に、図５は、第１実施形態の両面露光装置のマスクアライメント方法を行う際の両面露光部Ｐの概略構成を示す図である。
符号１２、１４は、それぞれ、表マスク８及び裏マスク９を真空吸着により保持するマスク保持フレームであり、表マスク８を吸着保持しているマスク保持フレーム１２は、フレーム駆動機構１６によりＸＹθ方向に微小移動制御可能となっている（ＸＹ平面をワーク２の被露光面と平行な平面、θをＸＹ平面に垂直な軸周りの回転方向と定義する）。
【００１８】
また、裏マスク９を吸着保持し、光源１０ｂと対向する位置に配置されているマスク保持フレーム１４には、ＸＹθ方向に微小移動制御可能なフレーム駆動機構が連結していない。なお、この図では、マスク保持フレーム１２、１４を上下方向に移動し、表マスク８及び裏マスク９をワーク２の表裏面に密着させる機構は省略している。
また、表マスク８に形成した実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂに上方から対向する位置には、マスクアライメント用のカメラ１８ａ，１８ｂがマスク保持フレーム１２に固定されて配置されている。これらカメラ１８ａ，１８ｂは、図示しないが複数のレンズ等からなる光学系、ハーフミラー及び二次元のイメージセンサ、及び焦点調整機構で構成されている。
【００１９】
また、裏マスク９に形成した抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂに下方から対向する位置に、照明器２０ａ，２０ｂが配置されている。これら照明器２０ａ，２０ｂは、図示しないが集光レンズと発光ダイオード等の投光素子等により構成されている。
そして、カメラ１８ａ，１８ｂ及びフレーム駆動機構１６は、コントローラ２２に接続している。
コントローラ２２は、キーボード、表示画面等の表示装置を有するコンピュータシステムにより構成されており、キー操作等によりカメラ１８ａ，１８ｂの焦点を合わせる制御を行うことができるとともに、フレーム駆動機構１６の駆動制御を行うことができる。
【００２０】
次に、第１実施形態のマスクアライメント方法について説明する。
先ず、マスクアライメント処理を行う前に、コントローラ２２は実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂの自動焦点設定を行う。すなわち、コントローラ２２は、カメラ１８ａ，１８ｂで撮像された表マスク８の実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂの画像情報に基づき、カメラ１８ａ，１８ｂに対して実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂの焦点を合わせる制御を行う。なお、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂはそれぞれカメラ１８ａ，１８ｂの視野内に入るように予め位置調整されている。
【００２１】
次に、コントローラ２２は、実マスクアライメントマークＭ１ａと抜けマスクアライメントマークＭ２ａとの相対的なずれ量及び、実マスクアライメントマークＭ１ｂと抜けマスクアライメントマークＭ２ｂとの相対的なずれ量を算出する。すなわち、コントローラ２２は、カメラ１８ａ，１８ｂで撮像された表マスク８の実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂと裏マスク９の抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂとの重畳状態の画像情報に基づき、実マスクアライメントマークＭ１ａと抜けマスクアライメントマークＭ２ａとの相対的なずれ量及び、実マスクアライメントマークＭ１ｂと抜けマスクアライメントマークＭ２ｂとの相対的なずれ量を算出する。
【００２２】
次に、コントローラ２２は、フレーム駆動機構１６を駆動制御する。すなわち、コントローラ２２は、前記ずれ量が減少するようにマスク保持フレーム１２を移動させる駆動信号を、フレーム駆動機構１６に送る。これにより、フレーム駆動機構１６は、表マスク８を保持しているマスク保持フレーム１２をＸＹθ方向に微小移動させる。
そして、コントローラ２２は、実マスクアライメントマークＭ１ａの中心が、抜けマスクアライメントマークＭ２ａの中心に位置し、実マスクアライメントマークＭ１ｂの中心が、抜けマスクアライメントマークＭ２ｂの中心に位置するまで、フレーム駆動機構１６を駆動制御する。この駆動制御を行うことで、表マスク８及び裏マスク９のマスクアライメントが完了する。
【００２３】
次に、本実施形態の作用効果について述べる。
表マスク８に形成した実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂは小さな形状のマークなので、カメラ１８ａ，１８ｂの焦点に合わないと、その画像情報が確認できないことがある。この場合、コントローラ２２による抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂとの重畳状態の情報を正確に得ることができない。
【００２４】
しかし、本実施形態では、表マスク８を保持するマスク保持フレーム１２にカメラ１８ａ，１８ｂが固定されており、カメラ１８ａ，１８ｂの焦点が、常時、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂに合っており、その中心位置を容易に確認できるので、コントローラ２２による抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂとの重畳状態の情報を得ることができる。
【００２５】
そして、カメラ１８ａ，１８ｂの焦点は抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂに合っていないが、抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂは、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂと比較して大きな真円形状なので、多少焦点が合っていなくてもコントローラ２２は、抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂの中心位置も容易に確認することができる。したがって、コントローラ２２は、表マスク８の実マスクアライメントマークＭ１ａと裏マスク９の抜けマスクアライメントマークＭ２ａとのずれ量と、実マスクアライメントマークＭ１ｂと抜けマスクアライメントマークＭ２ｂとのずれ量を算出し、最適な駆動信号をフレーム駆動機構１６に送るので、表マスク８及び裏マスク９のマスクアライメント処理を迅速に行うことができる。
【００２６】
また、本実施形態では、表マスク８及び裏マスク９がワーク２から離れた状態で、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂと、抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂとの重畳状態の情報を得ているので、表マスク８及び裏マスク９をワーク２に密着させて実マスクアライメントマーク及び抜けマスクアライメントマークの焦点を合わせ、それらの重畳状態の情報を得る従来の方法と比較して、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂと、抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂとの重畳状態の情報を得るため時間の短縮を図ることができる。このため、マスクアライメントの迅速化を図ることができる。
【００２７】
より高精度な位置合わせが必要な場合は、カメラ１８ａ，１８ｂの視野内に抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂが納まっていることを確認後、表マスク８及び裏マスク９とを密着させて、実マスクアライメントマークＭ１ａと抜けマスクアライメントマークＭ２ａとのずれ、実マスクアライメントマークＭ１ｂと抜けマスクアライメントマークＭ２ｂとのずれを測定するようにすればよい。このような場合も、抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂが視野内に納まっているかを確認する作業時に表マスク８及び裏マスク９のワーク２に対する密着／離間の動作を繰り返す必要がなくなるので、従来と比べて迅速に確認できる。
【００２８】
また、本実施形態では、マスクアライメントを行う際に、マスク保持フレーム１２，１４の両方を移動させるのではなく、表マスク８を保持しているマスク保持フレーム１２のみをフレーム駆動機構１６で移動させているので、駆動制御の簡便化を図ることができる。
なお、、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂと、抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂの形状は、図３及び図４に示した形状に限るものではなく、例えば図８に示すように、抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂを、四角形状の非透光性の領域に、透光性の四角を形成したマークとし、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂを、透光性の領域に小さな非透光性の四角を形成したマークとしてもよい。また、従来の特許文献１で示したように、抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂを、透光性を有する比較的幅の広いＬ字状とし、Ｌ字状の周囲を不透光性としたマークとし、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂを、抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂの字幅より狭い不透光性のＬ字状とし、Ｌ字状の周囲を透光性としたマークとしてもよい。
なお、本実施形態と天地を逆にした構成としてもよい。
【００２９】
次に、図６は、第２実施形態の両面露光装置のマスクアライメント方法を行う際の両面露光部Ｐの概略構成を示す図である。なお、本実施形態では、図１から５で示した構成と同一構成部分には、同一符号を付してその説明を省略する。
本実施形態では、表マスク８に、抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂを形成し、裏マスク９に実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂを形成している。
【００３０】
そして、裏マスク８に形成した実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂに下方から対向する位置に、カメラ１８ａ，１８ｂがマスク保持フレーム１４に固定されて配置されている。
また、表マスク８に形成した抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂに上方から対向する位置に、照明器２０ａ，２０ｂが配置されている。
【００３１】
次に、第２実施形態のマスクアライメント方法について説明する。
先ず、マスクアライメント処理を行う前に、コントローラ２２は、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂの自動焦点設定を行う。
次に、コントローラ２２は、実マスクアライメントマークＭ１ａと抜けマスクアライメントマークＭ２ａとの相対的なずれ量及び、実マスクアライメントマークＭ１ｂと抜けマスクアライメントマークＭ２ｂとの相対的なずれ量を算出する。
【００３２】
次に、コントローラ２２は、フレーム駆動機構１６を駆動制御し、前記ずれ量が減少するようにマスク保持フレーム１２を移動させる駆動信号を、フレーム駆動機構１６に送る。これにより、フレーム駆動機構１６は、表マスク８を保持しているマスク保持フレーム１２をＸＹθ方向に微小移動させる。
そして、コントローラ２２は、実マスクアライメントマークＭ１ａの中心が、抜けマスクアライメントマークＭ２ａの中心に位置し、実マスクアライメントマークＭ１ｂの中心が、抜けマスクアライメントマークＭ２ｂの中心に位置するまで、フレーム駆動機構１６を駆動制御する。この駆動制御を行うことで、表マスク８及び裏マスク９のマスクアライメントが完了する。
【００３３】
本実施形態によると、裏マスク９を保持するマスク保持フレーム１４にカメラ１８ａ，１８ｂが固定されており、カメラ１８ａ，１８ｂの焦点が、常時、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂに合っており、その中心位置を容易に確認できるので、コントローラ２２による抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂとの重畳状態の情報を得ることができる。
【００３４】
また、カメラ１８ａ，１８ｂの焦点は抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂに合っていないが、抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂは、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂと比較して大きな真円形状なので、多少焦点があっていなくてもコントローラ２２は、抜きマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂの中心位置も容易に確認することができ、コントローラ２２は、裏マスク９の実マスクアライメントマークＭ１ａ及び表マスク８の抜けマスクアライメントマークＭ２ａのずれ量と、裏マスク９の実マスクアライメントマークＭ１ｂ及び表マスク８の抜けマスクアライメントマークＭ２ｂのずれ量を算出し、最適な駆動信号をフレーム駆動機構１６に送るので、表マスク８及び裏マスク９のマスクアライメント処理を迅速に行うことができる。
【００３５】
また、本実施形態も、表マスク８及び裏マスク９がワーク２から離れた状態で、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂと、抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂとの重畳状態の情報を得ているので、従来の方法と比較して、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂと、抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂとの重畳状態の情報を得るため時間の短縮を図ることができ、マスクアライメント処理の迅速化を図ることができる。
【００３６】
より高精度な位置合わせが必要な場合は、カメラ１８ａ，１８ｂの視野内に抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂが納まっていることを確認後、表マスク８及び裏マスク９とを密着させて、実マスクアライメントマークＭ１ａと抜けマスクアライメントマークＭ２ａとのずれ、実マスクアライメントマークＭ１ｂと抜けマスクアライメントマークＭ２ｂとのずれを測定するようにすればよい。このような場合も、抜けマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂが視野内に納まっているかを確認する作業時に表マスク８及び裏マスク９のワーク２に対する密着／離間の動作を繰り返す必要がなくなるので、従来と比べて迅速に確認できる。
そして、本実施形態も、表マスク８を保持しているマスク保持フレーム１２のみをフレーム駆動機構１６で移動させているので、駆動制御の簡便化を図ることができる。
なお、本実施形態につても、天地を逆にした構成としてもよい。
【００３７】
次に、図７は、本発明に係る第３実施形態の両面露光部Ｐの概略構成を示す図である。本実施形態も、図２、図５と同一構成部分には、同一符号を付して説明を省略する。
本実施形態では、表マスク８及び裏マスク９のマスクアライメントを行うと同時に、表裏マスク８、９とワーク２のアライメント（ワーク・マスクアライメント）を行う方法である
【００３８】
本実施形態では、図２に示したワーク２の幅方向の縁部に、表マスク８との位置合わせを行うために形成している円形の基準孔２６ａ，２６ｂを使用する。ここで、前記基準孔２６ａ，２６ｂは、露光パターンのピッチに合わせて等間隔で、ワーク２の幅方向のエッジラインと平行に形成されている。また、本実施形態では、図２に示したワーク２の基準孔２６ａ，２６ｂに対応する位置である表マスク８に形成した一対のワーク・マスクアライメントマークＭ３ａ，Ｍ３ｂを使用する。このワーク・マスクアライメントマークＭ３ａ，Ｍ３ｂは、表マスク８の実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂと同等に、透光性の領域に小さな非透光性の真円を形成したマークである。
【００３９】
本実施形態の両面露光部Ｐは、裏マスク９を吸着保持しているマスク保持フレーム１４が、フレーム駆動機構２８によりＸＹθ方向に微小移動制御可能となっている。
また、表マスク８に形成したワーク・マスクアライメントマークＭ３ａ，Ｍ３ｂに上方から対向する位置には、ワーク・マスクアライメント用のカメラ３０ａ，３０ｂが、詳細には示したいないが、マスク保持フレーム１２に固定されて配置されている。これらカメラ３０ａ，３０ｂは、図示しないが複数のレンズ等からなる光学系及び二次元のイメージセンサ、及び焦点調整機構で構成されている。
【００４０】
また、ワーク２に形成した基準孔２６ａ，２６ｂに下方から対向する位置に、照明器３２ａ，３２ｂが配置されている。これら照明器３２ａ，３２ｂは、図示しないが凸レンズと発光ダイオード等の投光素子により構成されている。
そして、カメラ１８ａ，１８ｂ及びフレーム駆動機構１６と同様に、ワーク・マスクアライメント用のカメラ３０ａ，３０ｂと、マスク保持フレーム１４を移動制御するフレーム駆動機構２８が、コントローラ２２に接続している。
【００４１】
次に、第３実施形態のマスクアライメント方法及びワーク・マスクアライメント方法について説明する。
先ず、アライメント処理を行う前に、コントローラ２２は、実マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂの自動焦点設定と、ワーク・マスクアライメントマークＭ３ａ，Ｍ３ｂの自動焦点設定を行う。
次に、コントローラ２２は、実マスクアライメントマークＭ１ａと抜けマスクアライメントマークＭ２ａとの相対的なずれ量、及び実マスクアライメントマークＭ１ｂと抜けマスクアライメントマークＭ２ｂとの相対的なずれ量を算出する。
【００４２】
次に、コントローラ２２は、前記ずれ量が減少するようにマスク保持フレーム１２を移動させる駆動信号を、フレーム駆動機構１６に送る。これにより、フレーム駆動機構１６は、表マスク８を保持しているマスク保持フレーム１２をＸＹθ方向に微小移動させる。そして、コントローラ２２は、実マスクアライメントマークＭ１ａの中心が、抜けマスクアライメントマークＭ２ａの中心に位置し、実マスクアライメントマークＭ１ｂの中心が、抜けマスクアライメントマークＭ２ｂの中心に位置するまで、フレーム駆動機構１６を駆動制御する。この駆動制御を行うことで、表マスク８及び裏マスク９のマスクアライメントが完了する。
【００４３】
次に、コントローラ２２は、ワーク・マスクアライメントマークＭ３ａ及び基準孔２６ａと、ワーク・マスクアライメントマークＭ３ｂ及び基準孔２６ｂの相対的なずれ量を算出する。すなわち、コントローラ２２は、カメラ３０ａ，３０ｂで撮像された表マスク８のワーク・マスクアライメントマークＭ３ａ，Ｍ３ｂとワーク２の基準孔２６ａ，２６ｂとの重畳状態の画像情報に基づき、ワーク・マスクアライメントマークＭ３ａ及び基準孔２６ａと、ワーク・マスクアライメントマークＭ３ｂ及び基準孔２６ｂの相対的なずれ量の相対的なずれ量を算出する。
【００４４】
次に、コントローラ２２は、前記ずれ量が減少するように、マスク保持フレーム１２，１４を同一方向に移動させる駆動信号を、フレーム駆動機構１６，２８に送る。これにより、フレーム駆動機構１６，２８は、表マスク８を保持しているマスク保持フレーム１２及び裏マスク９を保持しているマスク保持フレーム１４をＸＹθ方向に同一方向に微小移動させる。そして、コントローラ２２は、ワーク・マスクアライメントマークＭ３ａの中心が基準孔２６ａの中心に位置し、ワーク・マスクアライメントマークＭ３ｂの中心が、基準孔２６ｂの中心に位置するまで、フレーム駆動機構１６，２８を駆動制御する。この駆動制御を行うことで、表マスク８，裏マスク９とワーク２のワーク・マスクアライメントが完了する。
【００４５】
次に、本実施形態によると、第１実施形態の作用効果を得ることができるとともに、表マスク８，裏マスク９とワーク２のアライメントを高精度に行うことができる。したがって、ワーク２が蛇行しながら両面露光部Ｐに送出されてきても、ワーク２の表裏に露光転写された隣接する露光パターン同士が重なり合ったり、極端に離れてしまう等の不良部分を防止し、ワーク２の歩留りを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係る両面露光装置を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る両面露光部に配置されている表マスク及び裏マスクを示す斜視図である。
【図３】本発明に係る１実施形態としての抜きマスクアライメントマークを示す図である。
【図４】本発明に係る１実施形態としての実マスクアライメントマークを示す図である。
【図５】本発明に係る第１実施形態のマスクアライメントを行う際の両面露光部の構成を示す概略構成図である。
【図６】本発明に係る第２実施形態のマスクアライメントを行う際の両面露光部の構成を示す概略構成図である。
【図７】本発明に係る第３実施形態のアライメントを行う際の両面露光部の構成を示す概略構成図である。
【図８】本発明に係る他の実施形態としての抜きマスクアライメントマーク及び実マスクアライメントマークを示す図である。
【符号の説明】
【００４７】
２    ワーク（被露光材）
８  表マスク
９  裏マスク
１０ａ，１０ｂ  光源
１２，１４  マスク保持フレーム
１６，２８  フレーム駆動機構（マスク位置調整手段）
１８ａ，１８ｂ，３０ａ，３０ｂ  カメラ（撮像手段）
２２  コントローラ
２６ａ，２６ｂ  基準孔
Ｍ１ａ，Ｍ１ｂ  実マスクアライメントマーク
Ｍ２ａ，Ｍ２ｂ  抜けマスクアライメントマーク
Ｍ３ａ，Ｍ３ｂ  ワーク・マスクアライメントマーク
Ｐ  両面露光部
【図１】
2006084783.tif 000003
【図２】
2006084783.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2006084783.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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