(57)【要約】  【課題】  基板の配向膜に影響を与えずに粘着材を容易に交換する。  【解決手段】  保持板１と基板Ａとの間に粘着交換板２を設け、この粘着交換板２の基板側には粘着材３ａを接着し、反対側には磁力を含まない接合手段３ｂを設け、この接合手段３ｂで該粘着交換板２と上記保持板１とを着脱自在に接合して、これら保持板１及び粘着交換板２を一体とし、上記粘着材３ａの粘着面で基板Ａの粘着保持と剥離開放を行うと共に、上記保持板１の接合面１ａから粘着交換板２を引き離す離脱手段４を設け、粘着交換板２の交換時には、この離脱手段４の作動で保持板１から粘着交換板２を粘着材３ａが貼着されたまま取り外すことにより、粘着交換板２が交換可能となる。  【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持板に対し、粘着で着脱自在に保持する粘着チャック装置において、
前記保持板と基板との間に粘着交換板を設け、この粘着交換板の基板側には粘着材を接着し、反対側には磁力を含まない接合手段を設け、この接合手段で該粘着交換板と上記保持板とを着脱自在に接合して、これら保持板及び粘着交換板を一体とし、上記粘着材の粘着面により基板の粘着保持と剥離開放を行うと共に、これら保持板の接合面から粘着交換板を引き離す離脱手段を設け、この離脱手段の作動により、保持板から粘着交換板を粘着材が接着されたまま取り外すことを特徴とする粘着チャック装置。
【請求項２】
前記保持板の保持面に、真空吸引手段を粘着交換板の裏面と対向して設け、この真空吸引手段の作動で粘着交換板の裏面を吸引吸着した請求項１記載の粘着チャック装置。
【請求項３】
前記保持板の保持面に対して、複数の粘着交換板を適宜間隔毎に分散配置し、これら粘着交換板の裏面に接合手段として粘着材を貼着し、この裏側粘着材を介して各粘着交換板の裏面と保持板の保持面とを着脱自在に取り付けた請求項１または２記載の粘着チャック装置。
【請求項４】
請求項３記載の粘着チャック装置を備えた基板貼り合わせ機において、
前記複数の粘着交換板の表面側が、所定位置に分散して載置される搬送治具を設け、この搬送治具により上保持板の保持面へ向け移送して、それに載置された複数の粘着交換板の裏面を上保持板の保持面に接近又は接触させることを特徴とした基板貼り合わせ機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレー（ＬＣＤ）やプラズマディスプレー（ＰＤＰ）などのフラットパネルディスプレーの製造過程において、ＣＦガラスやＴＦＴガラスなどのガラス製基板か又は合成樹脂製基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機を含む基板組立装置や、基板を搬送する基板搬送装置などに用いられる粘着チャック装置に関する。
詳しくは、基板を保持板に対し、粘着で着脱自在に保持する粘着チャック装置及びそれを備えた基板貼り合わせ機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、二枚の基板を重ね合わせる基板貼り合わせ機では、静電チャックで基板を保持していたが、近年の基板の大型化に伴い、大きなサイズの静電チャックを製作することが難しくなり、また仮に製作できても非常に高価な物となっていた。
そこで、これらの問題を解決するため、基板の保持に粘着材を使用した粘着チャック装置がある。
このような粘着チャック装置の一例として、上方の加圧板に開口部（開孔）を複数設け、これら開口部内にアクチュエータを夫々備え、各アクチュエータから下方に向かって伸びた軸の先端に粘着材（粘着部材）が貼着され、上記アクチュエータの動作により開孔内で粘着材を下降させ、粘着材の下面が上基板と接触すると、その粘着作用で加圧板の下面に密着した形で保持され、また基板の貼り合わせ後に上基板から粘着材を剥がす時は、アクチュエータにより開口部内で粘着材を上昇させると、開口部の周縁部が上基板の移動を阻止して粘着材から上基板を引き離すものがある（例えば、特許文献１参照）。
また他の例として、上下の加圧板に対して、鉄製プレートとその表面に貼着されたシート状の粘着材（粘着部材）からなる粘着保持機構を設け、これら加圧板内に配設したマグネットの磁力により鉄製プレートを吸着して保持し、更に上記加圧板の一端面側に設けたストッパに鉄製プレートの一端側を押し付けて位置合わせすると共に、上記加圧板の他端面側に設けたブラケットを介して、押しねじで鉄製プレートの他端面を押すことにより、その位置を保持するものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２４１１６０号公報（第５頁、図７）
【特許文献２】特開２００３−２８３１８５号公報（第３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような粘着チャック装置では、粘着材による基板の粘着保持と剥離開放を繰り返す度にゴミなどが粘着面に付着して粘着力が徐々に低下するため、適宜タイミングで粘着材を交換する必要がある。
しかし乍ら、特許文献１の場合には、粘着材の貼着位置が、加圧板の開口部内に配置される軸の先端であるため、粘着材の交換が非常に困難であり、粘着材の交換に多大の労力と時間を要して、生産性の悪化を招き、その結果、生産ラインの稼働率が低下して製造コストが高くなるという問題があった。
また、特許文献２の場合には、加圧板に対して粘着材が貼着された鉄製プレートを磁力により吸着して保持するため、粘着材の交換は容易になるもものの、例えば液晶ディスプレー（ＬＣＤ）パネルを製造する場合、液晶が滴下されていない状態で基板の配向膜に磁力が作用すると配向膜不良となり易く、結果として得られた液晶パネルも不良品となり、歩留まりが悪化し易いという問題があった。
【０００５】
本発明のうち請求項１記載の発明は、基板の配向膜に影響を与えずに粘着材を容易に交換することを目的としたものである。
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明の目的に加えて、粘着交換板を自動的に組み付けることを目的としたものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の発明の目的に加えて、簡単な構造で粘着交換板を交換可能すると共に基板の剥離開放を容易にすることを目的としたものである。
請求項４記載の発明は、請求項３に記載の発明の目的に加えて、多数の粘着交換板の交換作業を一度に行うことを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、保持板と基板との間に粘着交換板を設け、この粘着交換板の基板側には粘着材を接着し、反対側には磁力を含まない接合手段を設け、この接合手段で該粘着交換板と上記保持板とを着脱自在に接合して、これら保持板及び粘着交換板を一体とし、上記粘着材の粘着面により基板の粘着保持と剥離開放を行うと共に、これら保持板の接合面から粘着交換板を引き離す離脱手段を設け、この離脱手段の作動により、保持板から粘着交換板を粘着材が接着されたまま取り外すことを特徴とするものである。
ここで言う「磁力を含まない接合手段」とは、互いに接触させることで着脱自在に結合する粘着材や機械的なワンタッチ式連結機構などである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の構成に、前記保持板の保持面に、真空吸引手段を粘着交換板の裏面と対向して設け、この真空吸引手段の作動で粘着交換板の裏面を吸引吸着した構成を加えたことを特徴とする。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明の構成に、前記保持板の保持面に対して、複数の粘着交換板を適宜間隔毎に分散配置し、これら粘着交換板の裏面に接合手段として粘着材を貼着し、この裏側粘着材を介して各粘着交換板の裏面と保持板の保持面とを着脱自在に取り付けた構成を加えたことを特徴とする。
請求項４記載の発明は、請求項３記載の粘着チャック装置を備えた基板貼り合わせ機において、前記複数の粘着交換板の表面側が、所定位置に分散して載置される搬送治具を設け、この搬送治具により上保持板の保持面へ向け移送して、それに載置された複数の粘着交換板の裏面を上保持板の保持面に接近又は接触させることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のうち請求項１記載の発明は、保持板と基板との間に粘着交換板を設け、この粘着交換板の基板側には粘着材を接着し、反対側には磁力を含まない接合手段を設け、この接合手段で該粘着交換板と上記保持板とを着脱自在に接合して、これら保持板及び粘着交換板を一体とし、上記粘着材の粘着面で基板の粘着保持と剥離開放を行うと共に、上記保持板の接合面から粘着交換板を引き離す離脱手段を設け、粘着交換板の交換時には、この離脱手段の作動で保持板から粘着交換板を粘着材が貼着されたまま取り外すことにより、粘着交換板が交換可能となる。
従って、基板の配向膜に影響を与えずに粘着材を容易に交換することができる。
その結果、粘着材の貼着位置が加圧板の開口部内に配置される軸の先端である従来のものに比べ、搬送用ロボットなどを用いて粘着材を自動的に交換することが可能となり、粘着材の交換のために長期間に亘って貼り合わせ機を含む基板組立装置や基板搬送装置などを停止する必要がなく、生産ラインの稼働率を上げることができて製造コストの低下が図れると共に、加圧板に対して粘着材が貼着された鉄製プレートを磁力により吸着して保持する従来のものに比べ、配向膜を有する基板であっても配向膜が不良とならず、結果として歩留まりを向上できる。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明の効果に加えて、保持板の保持面に、真空吸引手段を粘着交換板の裏面と対向して設け、この真空吸引手段の作動で粘着交換板の裏面を吸引することにより、保持板の保持面近くの粘着交換板が吸い寄せられて自動的に吸着保持される。
従って、粘着交換板を自動的に組み付けることができる。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１または２の発明の効果に加えて、保持板の保持面に対して、複数の粘着交換板を適宜間隔毎に分散配置し、これら粘着交換板の裏面に接合手段として粘着材を貼着し、この裏側粘着材を介して各粘着交換板の裏面と保持板の保持面とを着脱自在に取り付けることにより、保持板の保持面に対して軽量な粘着交換板の裏側粘着材を圧接させるだけで各粘着交換板が夫々粘着保持され、基板の貼り合わせ時には、分散配置した粘着交換板の表側粘着材で基板が部分的に保持されると共に、これらの粘着が基板に無理な力をかけずに剥離可能となる。
従って、簡単な構造で粘着交換板を交換可能すると共に基板の剥離開放を容易にすることができる。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項３の発明の効果に加えて、複数の粘着交換板の表面側が、所定位置に分散して載置される搬送治具を設け、この搬送治具で上保持板の保持面へ向け移送して、それに載置された複数の粘着交換板の裏面を上保持板の保持面に接近又は接触させることにより、上保持板の保持面と各粘着交換板との着脱が同時に行われる。
従って、多数の粘着交換板の交換作業を一度に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の粘着チャック装置が、液晶ディスプレー（ＬＣＤ）パネル用ガラス基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機に配備された場合を示す。
この基板貼り合わせ機は、図１〜図３に示す如く、例えば金属やセラミックスなどの剛体で歪み（撓み）変形しない厚さの平板状に形成された定盤からなる上下一対の保持板１，１′を配置し、これら上下保持板１，１′の平行に対向する保持面１ａ，１ａ′に二枚のガラス基板Ａ，Ｂを夫々保持させ、それらの周囲に区画形成された真空室Ｓ内が所定の真空度に達してから、上下保持板１，１′を相対的にＸＹθ方向へ調整移動し、基板Ａ，Ｂ同士の位置合わせが行われ、その後、少なくとも基板Ａ，Ｂのどちらか一方を保持面１ａ，１ａ′から剥離して重ね合わせた後、真空室Ｓ内の真空破壊を行い、両基板Ａ，Ｂの内外に生じる気圧差で両基板Ａ，Ｂの間を所定のギャップまで加圧するものである。
【００１２】
詳しく説明すれば、図３（ａ）（ｂ）に示す如く、上下保持板１，１′が昇降手段（図示せず）でＺ方向（上下方向）へ相対的に移動可能に支持され、大気圧の雰囲気中、これら上下保持板１，１′を上下方向へ離した状態で夫々の保持面１ａ，１ａ′に対し、搬送用ロボット（図示せず）で移送した基板Ａ，Ｂをセットされて夫々保持される。
【００１３】
そして、図３（ｃ）に示す如く、上記昇降手段の作動により上下保持板１，２を接近させることにより真空室Ｓが区画形成される。これに続いて、この真空室Ｓから吸気手段（図示せず）の作動により、空気を抜いて所定の真空度に達したところで、水平移動手段（図示せず）の作動により、上下保持板１，１′のどちらか一方を他方に対しＸＹθ方向へ調整移動させることで、それらに保持された基板Ａ，Ｂ同士の位置合わせ（アライメント）として粗合わせと微合わせが順次行われる。
【００１４】
これらの位置合わせが完了した後は、図３（ｄ）に示す如く、上保持板１の保持面１ａから上基板Ａを強制的に剥離して下基板Ｂ上の環状接着剤（シール材）Ｃへ瞬間的に圧着することにより、両者間を封止して重ね合わせる。その後は、上記吸気手段を逆作動させるか又は別の機構で真空室Ｓ内に空気や窒素を供給して、該真空室Ｓ内の雰囲気を大気圧に戻すことにより、両基板Ａ，Ｂの内外に生じる気圧差で均等に加圧され、液晶が封入された状態で所定のギャップまで押し潰れて製品を完成させている。
【００１５】
更に、前記上下保持板１，１′の保持面１ａ，１ａ′のどちらか一方か又は両方に、本発明の粘着チャック装置を備えている。
詳しく説明すれば、図１及び図２に示す如く、上下保持板１，１′の保持面１ａ，１ａ′のどちらか一方か又は両方と基板Ａ，Ｂとの間に粘着交換板２を設け、この粘着交換板２の基板側（表面２ａ側）には粘着材３ａを接着し、反対側（裏面２ｂ側）には磁力を含まない接合手段３ｂを設け、この接合手段３ｂで該粘着交換板２と上記保持板１，１′とを着脱自在に接合して、これら保持板１，１′及び粘着交換板２を一体とし、上述した基板Ａ，Ｂの貼り合わせ時には、上記表側粘着材３ａの粘着面により基板Ａ，Ｂの粘着保持と剥離開放を行うことにより、基板Ａ，Ｂの貼り合わせ動作が可能になると共に、これら保持板１，１′の接合面１ａ，１ａ′から粘着交換板２を引き離す離脱手段４を設け、粘着交換板２の交換時には、この離脱手段４の作動により、保持板１，１′の接合面１ａ，１ａ′から粘着交換板２を表側粘着材３ａが貼着されたまま取り外す。
【００１６】
上記磁力を含まない接合手段３ｂとは、保持面１ａ，１ａ′のどちらか一方か又は両方と粘着交換板２の裏面２ｂとを互いに接触させることで着脱自在に結合する粘着材や、同様な機能を有する機械的なワンタッチ式連結機構（図示せぬ）などからなる。
なお、この接合手段３ｂは、互いに接触させることにより着脱自在に結合する機能があって、しかもマグネットなどの磁力による吸着でなければ、粘着材や機械的なワンタッチ式連結機構以外の構造であっても良い。
【００１７】
上記離脱手段４とは、保持面１ａ，１ａ′のどちらか一方か又は両方の内部に粘着交換板２の裏面２ｂ側へ向けて出没自在に設けられた押圧部材や、粘着交換板２の表面２ａ側と係合して保持面１ａ，１ａ′から引き離す引き抜き部材（図示せぬ）などからなり、上記押圧部材を粘着交換板２の裏面２ｂ側へ向けて突出動させるか、又は上記引き抜き部材と保持面１ａ，１ａ′とを相対的に離れる方向へ移動させることにより、保持面１ａ，１ａ′から粘着交換板２を強制的に引き離すものである。
なお、この離脱手段４は、保持面１ａ，１ａ′から粘着交換板２を強制的に引き離す機能があれば、上述した押圧部材や引き抜き部材以外の構造であっても良い。
以下、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１８】
この実施例１は、図１（ａ）〜（ｄ）に示す如く、上保持板１の保持面１ａと上基板Ａとの間のみに粘着交換板２を設け、この粘着交換板２の反対面（裏面２ｂ）に前記接合手段３ｂとして裏面粘着材３ｂを設け、この裏面粘着材３ｂにより保持板１及び及び粘着交換板２を着脱自在に取り付けると共に、該保持板１の内部に前記離脱手段４として軸状段付きの押圧部材を設け、この軸状段付きの押圧部材を突出動させることにより、粘着交換板２を押し出して上保持板１の保持面１ａから引き離す場合を示すものである。
【００１９】
この上保持板１の保持面１ａには、図１（ａ）（ｂ）に示す如く、上記粘着交換板２の裏面２ｂを吸引吸着するための真空吸着手段５が設けられると共に、必要に応じて図１（ａ）及び図３（ｂ）（ｃ）に示す如く、上記粘着交換板２を貫通して上基板Ａの外表面を吸引吸着するための真空吸着手段６が設けられる。
【００２０】
この粘着交換板用真空吸着手段５は、上保持板１の保持面１ａに粘着交換板２の裏面２ｂと対向して開設した通気孔５ａと、この通気孔５ａと例えば真空ポンプやコンプレッサなどの吸気源（図示せず）を連絡する通気路５ｂとからなり、上記吸気源の作動で通気路５ｂ内の空気を排気することにより通気孔５ａから吸引させている。
【００２１】
上記基板用真空吸着手段６も同様に、上保持板１の保持面１ａに粘着交換板２の裏面２ｂと対向して開設した通気孔６ａと、この通気孔６ａと例えば真空ポンプやコンプレッサなどの吸気源（図示せず）を連絡する通気路６ｂとからなり、上記吸気源の作動で通気路６ｂ内の空気を排気することにより通気孔６ａから吸引させている。
【００２２】
更に、これら両真空吸着手段５，６の通気孔５ａ，６ａからは、上述した通り所定タイミングで夫々真空吸引するだけでなく、必要に応じて上基板Ａや粘着交換板２の剥離を補助する目的のため、これらとは逆の作動により夫々の剥離タイミングで、上基板Ａの外表面や粘着交換板２の裏面２ｂへ向けて例えば窒素ガスや空気などの気体を噴き出すようにすることも可能である。
【００２３】
上記粘着交換板２は、図２（ａ）〜（ｃ）に示す如く、その表裏両面２ａ，２ｂが平行な平板状に形成され、前記基板吸着手段６の吸気孔６ａと対向する位置に貫通孔２ｃを開穿し、この吸気孔６ａからの吸引力が粘着交換板２の表面２ａ側まで届くようにすると共に、後述する離脱手段４の押圧部材の先端小径部４ａが挿通する挿通孔２ｄを開穿している。
【００２４】
上記粘着交換板２の表裏両面２ａ，２ｂには、例えばシリコン系やアクリル系又はゴム系などの粘着シートからなる粘着材３ａ，３ｂが夫々貼着される。
これら表側粘着材３ａ及び裏側粘着材３ｂの粘着力は、上基板Ａが吊持可能な保持力を有する範囲内で、貼り合わせ後は上基板Ａを可能な限り容易に剥離できるように設定すると共に、表側粘着材３ａの粘着力の減衰に応じて容易に交換できるようにする必要がある。
【００２５】
具体的には、表側粘着材３ａの面積を裏側粘着材３ｂの面積よりも小さくするなどして、上保持板１の保持面１ａに対する裏側粘着材３ｂの粘着面の粘着力が、上基板Ａの外表面に対する表側粘着材３ａの粘着面の粘着力に比べ大きくなるように設定すると共に、この粘着力よりも粘着交換板２の表裏両面２ａ，２ｂに対する表裏両粘着材３ａ，３ｂの粘着面の粘着力が更に大きくなるように設定することで、上基板Ａの粘着保持に伴い粘着交換板２からの表裏両粘着材３ａ，３ｂの剥離と保持面１ａからの粘着交換板２の剥離を防止している。
【００２６】
図示例では、上記粘着交換板２が円盤状に形成され、これに合わせて表側粘着材３ａ及び裏側粘着材３ｂを円形状に形成すると共に、複数の貫通孔２ｃを適宜間隔毎に配置し、その中央に挿通孔２ｄを１つ開穿しているが、粘着交換板２と表裏両粘着材３ａ，３ｂの形状や貫通孔２ｃと挿通孔２ｄの開穿位置及び口径については図示せる以外のものでも良い。
【００２７】
更に、前記上保持板１の保持面１ａと対向する裏側粘着材３ｂの粘着面には、図２（ｂ）に示す如く、前記真空吸引手段５の通気孔５ａと連絡する真空吸着溝３ｃを、その一部又は全体を囲むように凹設することにより、通気孔５ａからの吸引力が全周に亘って満遍なく届くようにしている。
【００２８】
また、前記上基板Ａの外表面と対向する表側粘着材３ａの粘着面には、図２（ｃ）に示す如く、上記貫通孔２ｃを介して前記基板吸着手段６の吸気孔６ａと連絡する真空吸着溝３ｄを、その一部又は全体を囲むように凹設することにより、吸気孔６ａからの吸引力が全周に亘って満遍なく届くようにしている。
【００２９】
そして、前記離脱手段４として設けた軸状段付きの押圧部材は、その先端に形成された上記粘着交換板２の挿通孔２ｄを挿通する小径部４ａと、この先端小径部４ａとの境目に形成された挿通孔２ｄの裏面側孔縁と係合する段部４ｂとを備え、この段部４ｂから先端小径部４ａの先端面４ｃまでの長さを、前記表裏両粘着材３ａ，３ｂが貼着された粘着交換板２の厚さよりも長くしている。
それにより、該離脱手段４の駆動源（図示せず）の作動で該押圧部材４を粘着交換板２の裏面２ｂ側へ向け突出動させることにより、先ず、先端小径部４ａの先端面４ｃが表裏両粘着材３ａ，３ｂ及び粘着交換板２を挿通して上基板Ａを押し出し、次に段部４ｂが粘着交換板２の挿通孔２ｄの裏面側孔縁に係合して粘着交換板２を引き離し方向へ押し出す。
【００３０】
一方、前記上保持板１の保持面１ａへ向けて粘着交換板２及び上基板Ａを供給するための搬送治具７が設けられ、この搬送治具７の上面には、粘着交換板２の表面２ａ側又は上基板Ａの内表面側を支持する支持台７ａが備えられ、該搬送治具７を搬送用ロボット（図示せず）で上保持板１の保持面１ａへ向け移送してから粘着交換板２又は上基板Ａの受け渡しを行う。
図示例では、上記支持台７ａの表面が、粘着交換板２の表側粘着材３ａと対向して載置するため、この表側粘着材３ａの粘着面と剥離性に優れた材料で形成されている。
【００３１】
次に、斯かる粘着チャック装置の作動について説明する。
先ず、図１（ａ）に示す上保持板１の保持面１ａに粘着交換板２が取り付けられる前の大気圧状態で、粘着交換板２が載置台７ａ上に載せられた搬送治具７を搬送用ロボットにより移送して、この粘着交換板２の裏側粘着材３ｂを上保持板１の保持面１ａと接近させるか又は接触させる。
【００３２】
図示例では、図１（ｂ）に示す如く、粘着交換板２の裏側粘着材３ｂと上保持板１の保持面１ａとを接近させ、これと同時か又は若干前後して、粘着交換板用真空吸着手段５の吸気源を作動して通気孔５ａから吸引させることにより、粘着交換板２が裏側粘着材３ｂを挟んで吸引吸着されると共に粘着保持される。
【００３３】
このような粘着交換板２の保持状態で、図３（ａ）に示す如く、上基板Ａが載置された搬送治具７を搬送用ロボットにより移送して、この上基板Ａの外表面と粘着交換板２の表側粘着材３ａと接近させる。
【００３４】
これと同時か又は若干前後して、図３（ｂ）に示す如く、基板用真空吸着手段６の吸気源を作動して通気孔６ａから吸引させることにより、上基板Ａが表側粘着材３ａを挟んで吸引吸着されると共に粘着保持される。
【００３５】
それ以降は、上述したように図３（ｃ）に示す如く、上基板Ａと下基板Ｂの貼り合わせ工程が行われる。
その途中において、上保持板１の保持面１ａから上基板Ａを強制的に剥離する時は、図３（ｄ）に示す如く、前記離脱手段４の段付き押圧部材を突出動して、その先端小径部４ａの先端面４ｃを粘着交換板２の表側粘着材３ａから押し出すことにより、この表側粘着材３ａから上基板Ａが強制的に剥離して開放される。
【００３６】
この際に、上記基板用真空吸着手段６の逆作動で通気孔６ａから窒素ガスや空気などの気体を勢い良く噴き出せば、上基板Ａの剥離が更に容易となる。
【００３７】
このような貼り合わせ工程が繰り返されて表側粘着材３ａの粘着力が減衰した時には、図１（ｃ）に示す如く、前記離脱手段４の段付き押圧部材を突出動して、その段部４ｂを粘着交換板２の挿通孔２ｄの裏面側孔縁に係合して押し出せば、上保持板１の保持面１ａから裏側粘着材３ｂが強制的に引き離されて、粘着交換板２を表側粘着材３ａが貼着されたまま取り外すことが可能となる。
【００３８】
この際に、上記粘着交換板用真空吸着手段５の逆作動で通気孔５ａから窒素ガスや空気などの気体を勢い良く噴き出せば、粘着交換板２の離脱が更に容易となる。
【００３９】
その後、図１（ｄ）に示す如く、この離脱した粘着交換板２を搬送治具７で受け取り、事前に用意された粘着力のある表側粘着材３ａが貼着された新しい粘着交換板２を搬送治具７で移送すれば、粘着交換板２が交換可能となる。
それにより、粘着交換板２の交換作業を短時間で行うことができ、しかも特開２００３−２８３１８５号公報のように磁力で吸着しないため、液晶が滴下されていない上基板Ａの配向膜に影響を与えずに粘着交換板２を容易に交換できる。
【００４０】
更に、図１〜図３に示した実施例１では、離脱手段４の段付き押圧部材を突出動させるだけで、上記保持面１ａからの粘着交換板２の離脱と、上述した貼り合わせ工程における表側粘着材３ａからの上基板Ａの剥離開放との２つの機能を有するから、装置全体を簡素化できてコンパクト化が図れるという利点がある。
【実施例２】
【００４１】
この実施例２は、図４に示す如く、前記上保持板１の保持面１ａと粘着交換板２の裏面２ｂとに亘って、それらの取り付け時に該粘着交換板２の位置合わせを行う位置決め手段８を設けた構成が、前記図１〜図３に示した実施例１とは異なり、それ以外の構成は図１〜図３に示した実施例１と同じものである。
【００４２】
上記位置決め手段８は、上保持板１の保持面１ａと粘着交換板２の裏面２ｂのどちから一方に突設された凸部８ａと、他方に凹設された凹部８ｂとを係合させることにより、ＸＹθ方向へ位置合わせしている。
図示例の場合には、粘着交換板２の裏面２ｂに凸部８ａとしてテーパー状の突起を突設し、上保持板１の保持面１ａに凹部８ｂとして前記粘着交換板用真空吸着手段５の通気孔５ａを利用しているが、これに限定されず、粘着交換板２の裏面２ｂに凹部を凹設し、これと係合する凸部を上保持板１の保持面１ａに突設しても良い。
【００４３】
それにより、図４に示す実施例２は、前記図１〜図３に示した実施例１と同様な作用効果が得られ、更に加えて上保持板１の保持面１ａに粘着交換板２を取り付けるだけで両者の位置合わせが自動的に行えるという利点がある。
【実施例３】
【００４４】
この実施例３は、図５に示す如く、前記上保持板１の保持面１ａに対して、複数の粘着交換板２が適宜間隔毎に分散して配置されると共に、これら複数の粘着交換板２の表面２ａ側が、所定位置に分散して支持される搬送治具７′を設け、この搬送治具７により上保持板１の保持面１ａへ向け移送して、それに載置された複数の粘着交換板２の裏側粘着材３ｂを上保持板１の保持面１ａに接近又は接触させる構成が、前記図１〜図３に示した実施例１とは異なり、それ以外の構成は図１〜図３に示した実施例１と同じものである。
【００４５】
上記搬送治具７′の上面には、実施例１で述べた搬送治具７と同様に、複数の粘着交換板２の表面２ａ側を支持するための支持台７ａ′が夫々適宜間隔毎に備えられ、図示例では、これら支持台７ａ′の表面が、複数の粘着交換板２の表側粘着材３ａと対向して載置するため、これら表側粘着材３ａの粘着面と剥離性に優れた材料で形成されている。
更に図示例では、スペースの関係上、実施例１の粘着交換板用真空吸着手段５や基板用真空吸着手段６などの詳細部分を省略しており、図示していないが実施例２の位置決め手段８を配設することも可能である。
【００４６】
それにより、図５に示す実施例３は、前記図１〜図３に示した実施例１や図４に示す実施例２と同様な作用効果が得られ、更に加えて上保持板１の保持面１ａと複数の粘着交換板２との着脱が同時に行われるため、多数の粘着交換板２の交換作業を一度に行うことができるという利点がある。
【００４７】
尚、本発明の粘着チャック装置が、液晶ディスプレー（ＬＣＤ）パネル用ガラス基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機に配備される場合を示したが、これに限定されず、この基板貼り合わせ機以外の基板組立装置や、基板を搬送する基板搬送装置に配備したり、ＬＣＤパネル用ガラス基板以外の基板を粘着保持しても良い。
更に、真空中で基板Ａ，Ｂを貼り合わせる基板貼り合わせ機を説明したが、これに限定されず、大気中で基板Ａ，Ｂを貼り合わせる基板貼り合わせ機でも良く、この場合でも、上述した真空貼り合わせ機と同じ作用効果が得られる。
【００４８】
また、前示各実施例では、上保持板１の保持面１ａのみに対して、少なくとも表面２ａに粘着材３ａが貼着された粘着交換板２を接合手段３ｂで着脱自在に取り付け、離脱手段４の作動により上保持板１の保持面１ａから粘着交換板２を表側粘着材３ａが貼着されたまま取り外す場合を示したが、これに限定されず、下保持板１′の保持面１ａ′にも同様に、粘着交換板２を接合手段３ｂで着脱自在に取り付け、離脱手段４の作動により下保持板１′の保持面１ａ′から粘着交換板２を表側粘着材３ａが貼着されたまま取り外すようにしても良い。
【００４９】
また更に、表側粘着材３ａによる上基板Ａの粘着保持に加えて、基板吸着手段６により粘着交換板２を貫通して上基板Ａの外表面を吸着保持し、更に段付き押圧部材４の先端面４ｃで上基板Ａの外表面を押圧して表側粘着材３ａから剥離したが、これに限定されず、表側粘着材３ａのみで上基板Ａの外表面を粘着保持し、押圧部材４による押圧以外の方法で表側粘着材３ａから上基板Ａを剥離しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の粘着チャック装置の実施例１を示す部分的な縦断正面図であり、（ａ）〜（ｄ）に粘着交換板の交換方法を工程順に示している。
【図２】粘着交換板の拡大図であり、（ａ）が粘着交換板の拡大縦断正面図であり、（ｂ）が粘着交換板をその表面側から見た拡大底面図であり、（ｃ）が粘着交換板を裏面側から見た拡大平面図である。
【図３】本発明の粘着チャック装置を用いた貼り合わせ機の部分的な縦断正面図であり、（ａ）〜（ｄ）に基板の貼り合わせ方法を工程順に示している。
【図４】本発明の粘着チャック装置の実施例２を示す部分的な拡大縦断正面図である。
【図５】本発明の粘着チャック装置の実施例３を示す部分的な縮小縦断正面図である。
【符号の説明】
【００５１】
Ａ  基板（上基板）                Ｂ  基板（下基板）
Ｃ  環状接着剤                    Ｓ  真空室
１  上保持板（上定盤）            １ａ  接合面（保持面）
１′  下保持板（下定盤）          １ａ′  接合面（保持面）
２  粘着交換板                    ２ａ  表面
２ｂ  裏面                        ２ｃ  貫通孔
２ｄ  挿通孔                      ３ａ  粘着材（表側粘着材）
３ｂ  接合手段（裏面粘着材）      ３ｃ  真空吸着溝
３ｄ  真空吸着溝                  ４  離脱手段
４ａ  先端小径部                  ４ｂ  段部
４ｃ  先端面                      ５  粘着交換板用真空吸着手段
５ａ  通気孔                      ５ｂ  通気路
６  基板用真空吸着手段            ６ａ  通気孔
６ｂ  通気路                      ７，７′  搬送治具
７ａ，７ａ′  支持台              ８  位置決め手段
８ａ  凸部                        ８ｂ  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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