(57)【要約】【課題】被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることを防止するとともに、被洗浄物上への洗浄液及び異物の逆流をも防止可能とした洗浄方法を提供すること。【解決手段】被洗浄物に対して連続して洗浄液を吹き付ける洗浄方法において、流速１４〜１７ｍ／ｓｅｃにおいて高圧の洗浄液を連続して被洗浄物に吹き付けるとともに、この連続して吹き付けている洗浄液を２０〜５０ｃ／ｓｅｃの周期で流速１００〜１２０ｍ／ｓｅｃまで上昇させ、洗浄液に強弱を加えることを特徴としている。従って、本発明では、洗浄液に強弱を加えることによって被洗浄液に吹き付けられた洗浄液を吹き飛ばすために被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることがなく、また、非洗浄物に対して連続して洗浄液を吹き付けているために被洗浄物に打ち当てられた洗浄液を常に除去した異物等とともに被洗浄物上から流すことができ被洗浄物上への逆流を防止可能である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物に対して連続して高圧の洗浄液を吹き付ける洗浄方法において、
前記連続して吹きつけている洗浄液の定常連続流に強弱を加えることを特徴とする洗浄方法。
【請求項２】
被洗浄物に対して連続して高圧の洗浄液を吹き付ける洗浄方法において、
この連続した洗浄液の吹き付けと平行して、被洗浄物に対して、強弱を付けた洗浄液を吹き付けることを特徴とする洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル製造、ＰＤＰパネル製造、有機ＥＬパネル製造、ＦＥＤパネル製造、プリント基板製造、半導体製造、フィルム製造、版製造その他電子機器部品等の製造工程において使用される洗浄方法に係り、より詳しくは、被洗浄物に対して連続的に高圧の洗浄液を吹き付けるとともに、この洗浄液に強弱を加えたこと、及び、被洗浄物に対して連続的に高圧の洗浄液を吹き付けるとともに、この連続した洗浄液の吹き付けと平行して、強弱を付けた洗浄液を被洗浄物に吹き付けることを特徴とした洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のフラットパネルディスプレイ（液晶、ＰＤＰ、ＥＬ、ＦＥＤ等）半導体、プリント基板、フィルム、電子機器部品等の進歩の高精度化へは目覚しく、特にフラットパネルディスプレイの製造プロセス、高集積半導体素子の製造プロセスにおいては、より高度な超精密洗浄が必要とされている。
【０００３】
また、パターンの微細化、高集積化とともに、取り扱う液晶ガラス、ＰＤＰガラス、シリコンウエハは大型化しており、液晶ガラスでは１８７０×２２００ｍｍ、ＰＤＰガラスでは２１５０×２３５０ｍｍ、シリコンウエハでは３００ｍｍ径へと移行する現状にあるが、洗浄は、全工程の４０〜６０％を占め、歩留まり向上に重要な役割を担うプロセスとなっている。
【０００４】
ここで、従来からの洗浄方法の一つとして採用されている、洗浄液を被洗浄物に吹き付ける方法（「水かけ方式」）について説明すると、この水かけ方式では、被洗浄物に対して、洗浄液を高圧で、シャワー式、スプレー式に連続して吹き付ける方法であり、この方法によれば、洗浄液の液圧により被洗浄物に付着した異物等を除去することができるという利点がある。
【０００５】
しかしながら、この方法では、洗浄液を連続して被洗浄物に打ち当てるために、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されてしまい、洗浄液の衝突エネルギーを被膜が干渉して吸収してしまうという問題点が指摘されている。
【０００６】
そこで、このような問題点を解決する方法として、洗浄液を間欠的に、即ちパルス的に被洗浄物に吹き付ける方法（「パルス洗浄」）が提案されている。
【０００７】
即ち、このパルス洗浄では、バルブの開閉を行うことにより、被洗浄物に吹き付ける洗浄液を間欠的にする方法であり、この方法によれば、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることを防止することができる。
【特許文献１】特許第２９４２９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、被洗浄物に対して洗浄液を連続的に吹き付ける場合には、常に被洗浄物上に洗浄液が打ち当てられるために、被洗浄物上の洗浄液は常に、被洗浄物上から外側へ押し流されており、それにより、洗浄液の液圧により被洗浄物から剥離された異物等は洗浄液の流れとともに被洗浄物上から流れ去っていくが、洗浄液を間欠的に吹き付けた場合には、被洗浄物上に洗浄液が打ち当たらない瞬間が存在することとなり、このときに、既に被洗浄物上に吹き付けられている洗浄液が逆流してしまうおそれが考えられる。そうすると、被洗浄物上の洗浄液の逆流とともに、一旦被洗浄物上から押し流された異物等も逆流してしまい、この状態のままで被洗浄物が次工程へ移動してしまうという事態の発生が十分に考えられる。
【０００９】
従って、前述したパルス洗浄では、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることは防止できるが、その一方、洗浄液及び異物の逆流を招いてしまうという問題点がある。
【００１０】
そこで、本発明は、被洗浄物に対して洗浄液を吹き付ける洗浄方法において、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることを防止できるとともに、被洗浄物上への洗浄液及び異物の逆流をも防止可能とした洗浄方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の洗浄方法は、被洗浄物に対して連続して高圧の洗浄液を吹き付ける洗浄方法において、前記連続して吹きつけている洗浄液の定常連続流に強弱を加えることを特徴としている。
【００１２】
また、本発明の洗浄方法は、被洗浄物に対して連続して高圧の洗浄液を吹き付ける洗浄方法において、この連続した洗浄液の吹き付けと平行して、被洗浄物に対して、強弱を付けた洗浄液を吹き付けることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の洗浄方法では、被洗浄物に対して連続的に高圧の洗浄液を吹き付けつつ、この連続して吹き付けている洗浄液の定常連続流に強弱を加え、あるいは、連続した洗浄液の吹き付けと平行して、強弱を付けた高圧の洗浄液を吹き付けることを特徴としている。
【００１４】
このように、本発明では、被洗浄物に対して連続的に吹き付けている洗浄液に強弱を加えているため、または、被洗浄物に対して連続的に洗浄液を吹き付けるとともに、これと並行して、強弱を付けた洗浄液を被洗浄物に吹き付けているために、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることを防止できるとともに、被洗浄物上に洗浄液及び異物等が逆流してくることを有効に防止することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の洗浄方法では、被洗浄物に対して、８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧の洗浄液を流速１４〜１７ｍ／ｓｅｃで連続して吹き付けるとともに、この連続して吹きつけている洗浄液の定常連続流の流速を、２０〜５０ｃ／ｓｅｃの周期で、流速１００〜１２０ｍ／ｓｅｃまで波動的に上昇させる。
【００１６】
また、本発明の洗浄方法の他の形態では、８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧の洗浄液を流速１４〜１７ｍ／ｓｅｃで被洗浄液に吹き付けるとともに、この連続した吹き付けと並行して、２０〜５０ｃ／ｓｅｃの周期で、８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧の洗浄液を流速１００〜１２０ｍ／ｓｅｃで被洗浄物に吹き付ける。
【実施例１】
【００１７】
本発明の洗浄方法の実施例について図面を参照して説明すると、図１は本実施例の洗浄方法を説明するためのグラフであり、図において、横方向が時間軸である。また、図においてＡは、被洗浄物に吹き付ける洗浄液の流速を示しており、従って、図において斜線で示した部分が、被洗浄物に吹き付けられた洗浄液の液量である。
【００１８】
即ち、本実施例の洗浄方法では、常に、連続的に所定量の洗浄液を被洗浄物に吹き付けており、それとともに、この連続して吹き付ける洗浄液の定常連続流に波動的な強弱を加えることを特徴としている。
【００１９】
そして、本実施例においては、８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧の洗浄液を流速１４〜１７ｍ／ｓｅｃで連続的に被洗浄物に吹き付けるとともに、２０〜５０ｃ／ｓｅｃの周期で、この連続して吹きつけている洗浄液の流速を、最高流速１００〜１２０ｍ／ｓｅｃまで、波動的に上昇させている。
【００２０】
従って、本実施例の洗浄方法によれば、連続して洗浄液を吹き付けているために、被洗浄物に打ち当てられた洗浄液は、常に、除去した異物等とともに被洗浄物上から流れて行き、被洗浄物上に逆流することがないとともに、周期的に洗浄液に強弱を加えて、これにより、被洗浄液に吹き付けられた洗浄液を吹き飛ばすために、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることがなく、これにより被洗浄物に付着した異物等を有効に除去することができる。
【００２１】
また、洗浄液の連続流により比較的小さい異物等を除去できるとともに、波動流により大きめの異物等を除去することができ、効率よく異物の除去等を行うことが可能である。
【００２２】
なお、図２乃至図４は本実施例の他の形態を示すグラフである。即ち、図１においては、連続して吹きつけている洗浄液に定期的な周期で強弱を加えるとともにその強弱を同一としているが、即ち、洗浄液波形の波高、振幅、周波数を同一にしているが、図２に示す形態では、周波数は一定としているがその波高を異なったものとしている。また、図３に示す形態では、波高を同一にしているが周波数及び振幅を変更している。更に、図４に示す形態では、周波数、波高及び振幅ともに異なったものとしている。そして、これらの形態にすることにより、より効果的に、異物の除去等を行うことを可能にしている。即ち、本発明では、連続流に強弱を加えてあればよく、必ずしも定期的な周期で強弱を加える必要は無く、また、強弱の程度も一定にする必要はない。
【００２３】
次に、このような特徴を有する本実施例の洗浄方法を実施するために用いる洗浄液供給手段について説明すると、図５は、本実施例の洗浄方法に用いる洗浄液供給手段の一形態の構成を示した図であり、図において１が洗浄液供給手段である。
【００２４】
そして、この洗浄液供給手段１は、被洗浄物に対して洗浄液を吹き付けるための噴射ノズル４と、この噴射ノズル４に高圧の洗浄液を供給するためのポンプ３とを有しており、更に、前記ポンプ３と噴射ノズル４との間には、噴射ノズル４より吹き付けられる洗浄液に波動的な強弱を加えるためのシリンダー２を配置しており、これにより、被洗浄物に吹き付ける洗浄液の連続流に周期的に強弱を付けることを可能としている。なお、図において１３ａ、１３ｂは洗浄液を搬送するための搬送用ホースである。
【００２５】
ここで、前記シリンダー２について図６を参照して説明すると、このシリンダー２は、シリンダー本体７と、このシリンダー本体７内を往復移動可能としたピストン８とを備えている。
【００２６】
そして、前記ピストン８は、図７に示すように、両端部分の外径を大きくしてこの部分を拡大部８０１としており、また、長手方向に沿って中央部分近傍において、所定間隔の幅とした溝８０２を、周方向に形成している。更に、この溝８０２に連続して、前記溝８０２よりも浅く形成したクリアランス８０３を周方向全域に形成している。
【００２７】
一方、前記シリンダー本体７の内部には、ピストン８における拡大部８０１が所定範囲だけ移動可能な移動空間７０１が形成されており、この移動空間７０１に連通するようにして、シリンダー本体６の長手方向の両端壁にはそれぞれ、駆動エアー供給口７０２が形成されている。そして、使用に際してはこの駆動エアー供給口７０２にコンプレッサー等のエアー供給手段６が連結され（図５参照）、これにより、駆動エアー供給口７０２に交互にシリンダー本体７の駆動空間７０１内にエアーを供給することで、エアー圧によってピストン８を、その長手方向に往復移動可能としているとともに、その移動を、前記拡大部８０１が移動空間７０１内を移動可能な範囲に制限している。なお、図６及び図７において９は、シール用のＯリングである。
【００２８】
次に、前記シリンダー本体７の側壁任意の箇所には洗浄液注入口７０３が形成されるとともに、この洗浄液注入口７０３に対向する配置で、前記シリンダー本体７の側壁には、搬送用ホース１３ｂを介して洗浄液噴射ノズル４に連結される洗浄液放出口７０４が形成されている。そして、洗浄液供給用のポンプ３に連結された搬送用ホース１３ａが洗浄液注入口７０３に連結され、噴射ノズル４に連結された搬送用ホース１３ｂが洗浄液放出口７０４に連結されている。
【００２９】
従って、このシリンダー７を用いることにより、ピストン８における溝８０２が洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４と連通していないときには、クリアランス８０３を介して、常に少量の洗浄液が洗浄液噴射ノズル４に供給されるとともに、ピストン８の移動によって前記ピストン８における溝８０２が洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４と連通したときには、噴射ノズル４に供給される洗浄液の量が増加し、これにより、このシリンダー２を介した洗浄液は、周期的に波動的な強弱が付いたものとなる。
【００３０】
なお、洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４は必ずしも一対にする必要はなく、それぞれを複数個所に形成してもよい。また、シリンダー２に連結する噴射ノズル４に関しても必ずしも１個にする必要はなく、複数個の噴射ノズルを備えてもよい。
【００３１】
次に、このように構成される洗浄液供給装置１を用いた洗浄方法の作用について説明すると、図９及び図１０において１１は被洗浄物であり、また１２は被洗浄物を搬送するためのコンベア等の搬送手段である。そして、搬送手段１２は、筺体１２０１と、この筺体１２０１に回動自在に備えた複数本の搬送用ローラー１２０２と、この搬送用ローラー１２０２を回動するためのモーター等の駆動手段（図示せず）を備えて、駆動手段を駆動させることによりローラー１２０２を回転させ、これにより、ローラー１２０２上に載置した被洗浄物を搬送可能としている。
【００３２】
また、本実施例において前記噴射ノズル４は、内部に空洞部４０１を有した長尺状物として、図１１に長手方向に向いた断面図で示すように、長手方向に直交する下端部には噴射孔４０２を有し、また側壁には洗浄液搬送用ホース１３ｂが連結される供給口４０３を有しており、搬送手段１２の上方に配置され、噴射孔４０２より被洗浄物１１に対して洗浄液を噴射可能としている。
【００３３】
そして、本実施例の洗浄方法では、ピストン８の位置を調整してピストン８に形成した溝８０２が洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４と連通しない状態にしておき、まず、ポンプ３より、洗浄液を、８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧で供給して、これによって、クリアランス８０３を介して、噴射ノズル４より、搬送手段１２により搬送されている被洗浄物１１に対して少量の洗浄液を吹き付ける。
【００３４】
次に、この状態で、シリンダー本体７に形成した駆動エアー供給口７０２の双方に、周期的に交互にエアーを供給して、これによりピストン８を往復移動させる。そうすると、ピストン８が移動する過程で溝８０２が洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４と連通するとともに噴射ノズル４に供給される洗浄液の量が増加していき、溝８０２と洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４とが完全に連通したときを頂点として、噴射ノズル４を介して被洗浄物に吹き付けられる洗浄液が波動的に強弱の付いたものとなる。
【００３５】
従って、本実施例によれば、被洗浄物に対して常に洗浄液を吹き付けるとともに、この洗浄液に周期的に強弱を付けることが可能となる。そしてこのとき、ピストン８の移動スピードを変えることにより、また、溝８０２と洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４との連通割合を変えることにより、即ち、溝８０２と洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４とが完全には連通しない場合を設けることにより、洗浄液波形の周波数、波高、振幅を容易に変えることが可能であるため、図２乃至図４に示されるような洗浄液の強弱は容易に可能である。
【００３６】
なお、連続して吹きつけている洗浄液に波動的に強弱を加える方法としては、必ずしも前述したシリンダーを用いる必要はなく、そのほか、ロータリー式の供給ガンを用いてもよい。即ち、図８はこのロータリー式供給ガン３１の構造を説明するための断面図であり、このロータリー式の供給ガン３１では、洗浄液供給路３３及び洗浄液放出路３４が形成された本体部３２の内部に、洗浄液搬送路３６が放射状に形成された駆動部３５を回動自在に挿装している。また、駆動部３５の外周側と本体部３２の内周側には所定間隔としたクリアランス３７を形成している。そして、この構成により、洗浄液供給路３３から供給された洗浄液は常に、前記クリアランス３７を介して洗浄液放出路３４より噴射ノズルに供給され、これにより被洗浄物に連続的に洗浄液が吹き付けられる。
【００３７】
そして、それとともに、駆動部３５が回転する過程で洗浄液搬送路３６が洗浄液供給路３３及び洗浄液放出路３４と連通したときには、前記クリアランス３７を介して噴射ノズルに供給される洗浄液に、洗浄液搬送路３６を介した洗浄液が重畳されるとともに、この重畳される洗浄液は、洗浄液搬送路３６が洗浄液供給路３３及び洗浄液放出路３４と完全に連通したときのみに供給されるために、噴射ノズルから被洗浄物１１に吹き付けられる洗浄液は、波動的に強弱が加えられたものとなる。従って、このロータリー式の供給ガン３１を用いた場合においても、前記シリンダーを用いた場合と同様の効果を得ることが可能である。
【００３８】
また、このとき、駆動部３５の回転速度を変えることにより、及び駆動部３５に形成された洗浄液搬送路３６の径を同一に形成しないことにより、洗浄液波形の周波数、波高、振幅を容易に変えることが可能であるため、供給ガン３１を用いた場合においても、図２乃至図４に示されるような洗浄液の強弱は容易に可能である。
【実施例２】
【００３９】
次に本発明の洗浄方法の他の実施例について図面を参照して説明すると、図１３は本実施例の洗浄方法を説明するためのグラフであり、図において、横方向が時間軸である。
【００４０】
そして、本実施例の洗浄方法では、常に、連続的に所定量の洗浄液を高圧で被洗浄物に吹き付けるとともに、この吹き付けと並行して、別系統の噴射ノズルを用いて、波動的に強弱を付けた洗浄液を高圧で被洗浄液に吹き付けることを可能としている。
【００４１】
即ち、図１３においてＢが連続的に吹き付けている洗浄液を示しており、Ａが波動的に強弱を加えて吹き付けた洗浄液を示しており、本実施例においては、常に、流速１４〜１７ｍ／ｓｅｃとした洗浄液を８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧で被洗浄液に吹き付けており、それと並行して、２０〜５０ｃ／ｓｅｃの周期で、流速を１００〜１２０ｍ／ｓｅｃとした洗浄液を８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧で被洗浄物に吹き付けている。
【００４２】
従って、本実施例の洗浄方法によれば、前述した実施例と同様に、連続して洗浄液を吹き付けているために、被洗浄物に打ち当てられた洗浄液は、常に、除去した異物等とともに被洗浄物上から流れて行き、被洗浄物上に逆流することがないとともに、この連続した洗浄液の吹き付けと並行して周期的に波動的に強弱をつけた洗浄液を吹き付けるために、被洗浄液に吹き付けられた洗浄液を吹き飛ばすために、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることがなく、これにより被洗浄物に付着した異物等を有効に除去することができる。
【００４３】
なお、図１２は本実施例の洗浄方法を実施するために用いる洗浄液供給手段の構成を示す図であり、本実施例の洗浄方法を実施する場合には、洗浄液を連続的に噴射する連続流噴射ノズル２４ａと、洗浄液を波動的に噴射する波動流噴射ノズル２４ｂとを備えている。そして、洗浄液供給用ポンプ２３と連続流噴射ノズル２４ａとを洗浄液搬送用ホース２５で連結して連続流噴射ノズル２４ａより常に連続的に洗浄液を噴射可能にするとともに、シリンダー２２を介在させつつ波動流噴射ノズル２４ｂと洗浄液供給用ポンプ２３とを搬送用ホース２７ａ、２７ｂで連結して波動流噴射ノズル２４ｂより波動的に洗浄液を噴射可能とし、これにより、連続的に洗浄液を吹き付けるとともに、この吹き付けと並行して、波動的に強弱を加えた洗浄液を被洗浄液の吹き付けを可能としている。
【００４４】
なお、本実施例は、連続的な洗浄液の吹き付けと並行して波動的に強弱を加えた洗浄液の吹き付けを行うことを特徴としており、その他の効果等は前述の実施例と同様であるために、重複した説明は省略する。
【００４５】
また、用いるシリンダー２２に関しては、前述のシリンダー７あるいは供給ガン３１におけるクリアランス８０３、３７を無くした構造のものを用いることにより実施可能であるために、重複した説明は省略する。
【００４６】
更に、本実施例においても、噴射ノズル２４ａ、２４ｂは、それぞれ複数個としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明の洗浄方法では、被洗浄物上に洗浄液を連続的に高圧で吹き付ける洗浄方法において、この連続して吹き付ける洗浄液に周期的に波動的な強弱を加え、あるいは、洗浄液の連続した吹き付けと並行して波動的に強弱を加えた洗浄液の吹き付けを行うことを特徴として、これにより、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることを防止するとともに被洗浄物上に洗浄液が逆流することを防止しているために、液晶パネル製造、ＰＤＰパネル製造、有機ＥＬパネル製造、ＦＥＤパネル製造、プリント基板製造、半導体製造、フィルム製造、版製造その他電子機器部品等の製造工程のみならず、洗浄工程の全般に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の洗浄方法の第１実施例を説明するためのグラフである。
【図２】本発明の洗浄方法の第１実施例における他の形態を説明するためのグラフである。
【図３】本発明の洗浄方法の第１実施例における他の形態を説明するためのグラフである。
【図４】本発明の洗浄方法の第１実施例における他の形態を説明するためのグラフである。
【図５】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いる洗浄液供給手段の構成を説明するための図である。
【図６】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いるシリンダーを説明するための図である。
【図７】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いるシリンダーを説明するための図である。
【図８】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いるロータリー式の供給ガンを説明するための図である。
【図９】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いる洗浄液供給装置の作用を説明するための図である。
【図１０】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いる洗浄液供給装置の作用を説明するための図である。
【図１１】噴射ノズルを説明するための図である。
【図１２】本発明の洗浄方法の第２実施例を実施するために用いる洗浄液供給手段の構成を説明するための図である。
【図１３】本発明の洗浄方法の第２実施例を説明するためのグラフである。
【符号の説明】
【００４９】
１、２１    洗浄液供給手段
２、２２    シリンダー
３、２３    ポンプ
４、２４ａ、２４ｂ    噴射ノズル
６    エアー供給手段（コンプレッサー）
７    シリンダー本体
７０１    移動空間
７０２    駆動エアー供給口
７０３    洗浄液注入口
７０４    洗浄液放出口
８    ピストン
８０１    拡大部
８０２    溝
９    Ｏリング
１１    被洗浄物
１２    搬送手段
１３ａ、１３ｂ、２５、２７ａ、２７ｂ    洗浄液搬送用ホース
３１    ロータリー式供給ガン
３２    本体部
３３    洗浄液供給路
３４    洗浄液放出路
３５    駆動部
３６    洗浄液搬送路
３７    クリアランス
【図１】
2006075776.tif 000003
【図２】
2006075776.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006075776.tif 000009
【図８】
2006075776.tif 000010
【図９】
2006075776.tif 000011
【図１０】
2006075776.tif 000012
【図１１】
2006075776.tif 000013
【図１２】
2006075776.tif 000014
【図１３】
2006075776.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月13日(2005.7.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物に対して連続して高圧の洗浄液を吹き付ける洗浄方法において、
前記連続して吹きつけている洗浄液の定常連続流に強弱を加えることを特徴とする洗浄方法。
【請求項２】
前記請求項１に記載の洗浄方法を実施するための洗浄液供給装置であって、
被洗浄物に対して洗浄液を吹き付けるための噴射ノズル（４）と、該噴射ノズル（４）に連結された、前記噴射ノズル（４）に高圧の洗浄液を供給するためのポンプ（３）と、を有するとともに、前記ポンプ（３）と前記噴射ノズル（４）間に、ポンプ（３）より供給される洗浄液に波動的な強弱を加えるためのシリンダー（２）を介在させたことを特徴とする洗浄液供給装置。
【請求項３】
前記シリンダー（２）は、シリンダー本体（７）と、該シリンダー本体（７）間に往復移動可能に挿装されたピストン（８）とを備え、前記シリンダー本体（７）は、洗浄液注入口（７０３）と、洗浄液放出口（７０４）を具備し、前記ピストン（８）は、前記洗浄液注入口（７０３）及び洗浄液放出口（７０４）に連通可能な配置で周方向に沿って形成した溝（８０２）と、前記洗浄液注入口（７０３）及び洗浄液放出口（７０４）に連通可能な配置で前記溝（８０２）に連続して前記溝（８０２）よりも浅く形成したクリアランス（８０３）と、を具備したことを特徴とする請求項２に記載の洗浄液供給装置。
【請求項４】
前記シリンダー（２）は、洗浄液供給路（３３）及び洗浄液放出路（３４）が形成された本体部（３２）と、該本体部（３２）内に回動自在に挿装された、放射状とした洗浄液搬送路（３６）を内部に有する駆動部（３５）と、該駆動部（３５）の外周側と前記本体部（３２）の内周側に形成したクリアランス（３７）と、を具備したことを特徴とする請求項２に記載の洗浄液供給装置。
【請求項５】
被洗浄物に対して連続して高圧の洗浄液を吹き付ける洗浄方法において、
この連続した洗浄液の吹き付けと平行して、被洗浄物に対して、強弱を付けた洗浄液を吹き付けることを特徴とする洗浄方法。
【請求項６】
前記請求項５に記載の洗浄方法を実施するための洗浄液供給装置であって、洗浄液供給用ポンプ（２３）と、該洗浄液供給用ポンプ（２３）に連結された連続流噴射ノズル（２４ａ）と、前記洗浄液供給用ポンプ（３）より供給される洗浄液に波動的な強弱を加えるためのシリンダー（２２）を介して前記洗浄液供給用ポンプ（２３）に連結された波動流噴射ノズル（２４ｂ）を備えたことを特徴とする洗浄液供給装置。
【請求項７】
前記シリンダー（２２）は、シリンダー本体と、該シリンダー本体間に往復移動可能に挿装されたピストンとを備え、前記シリンダー本体は、洗浄液注入口と、洗浄液放出口を具備し、前記ピストンは、前記洗浄液注入口及び洗浄液放出口に連通可能な配置で周方向に沿って形成した溝を具備したことを特徴とする請求項６に記載の洗浄液供給装置。
【請求項８】
前記シリンダー（２２）は、洗浄液供給路及び洗浄液放出路が形成された本体部と、該本体部内に回動自在に挿装された、放射状とした洗浄液搬送路を内部に有する駆動部と、を具備したことを特徴とする請求項６に記載の洗浄液供給装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル製造、ＰＤＰパネル製造、有機ＥＬパネル製造、ＦＥＤパネル製造、プリント基板製造、半導体製造、フィルム製造、版製造その他電子機器部品等の製造工程において使用される洗浄方法及びそれを実施するための洗浄液供給装置に係り、より詳しくは、被洗浄物に対して連続的に高圧の洗浄液を吹き付けるとともに、この洗浄液に強弱を加えたこと、及び、被洗浄物に対して連続的に高圧の洗浄液を吹き付けるとともに、この連続した洗浄液の吹き付けと平行して、強弱を付けた洗浄液を被洗浄物に吹き付けることを特徴とした洗浄方法及びそれを実施するための洗浄液供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のフラットパネルディスプレイ（液晶、ＰＤＰ、ＥＬ、ＦＥＤ等）半導体、プリント基板、フィルム、電子機器部品等の進歩の高精度化へは目覚しく、特にフラットパネルディスプレイの製造プロセス、高集積半導体素子の製造プロセスにおいては、より高度な超精密洗浄が必要とされている。
【０００３】
また、パターンの微細化、高集積化とともに、取り扱う液晶ガラス、ＰＤＰガラス、シリコンウエハは大型化しており、液晶ガラスでは１８７０×２２００ｍｍ、ＰＤＰガラスでは２１５０×２３５０ｍｍ、シリコンウエハでは３００ｍｍ径へと移行する現状にあるが、洗浄は、全工程の４０〜６０％を占め、歩留まり向上に重要な役割を担うプロセスとなっている。
【０００４】
ここで、従来からの洗浄方法の一つとして採用されている、洗浄液を被洗浄物に吹き付ける方法（「水かけ方式」）について説明すると、この水かけ方式では、被洗浄物に対して、洗浄液を高圧で、シャワー式、スプレー式に連続して吹き付ける方法であり、この方法によれば、洗浄液の液圧により被洗浄物に付着した異物等を除去することができるという利点がある。
【０００５】
しかしながら、この方法では、洗浄液を連続して被洗浄物に打ち当てるために、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されてしまい、洗浄液の衝突エネルギーを被膜が干渉して吸収してしまうという問題点が指摘されている。
【０００６】
そこで、このような問題点を解決する方法として、洗浄液を間欠的に、即ちパルス的に被洗浄物に吹き付ける方法（「パルス洗浄」）が提案されている。
【０００７】
即ち、このパルス洗浄では、バルブの開閉を行うことにより、被洗浄物に吹き付ける洗浄液を間欠的にする方法であり、この方法によれば、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることを防止することができる。
【特許文献１】特許第２９４２９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、被洗浄物に対して洗浄液を連続的に吹き付ける場合には、常に被洗浄物上に洗浄液が打ち当てられるために、被洗浄物上の洗浄液は常に、被洗浄物上から外側へ押し流されており、それにより、洗浄液の液圧により被洗浄物から剥離された異物等は洗浄液の流れとともに被洗浄物上から流れ去っていくが、洗浄液を間欠的に吹き付けた場合には、被洗浄物上に洗浄液が打ち当たらない瞬間が存在することとなり、このときに、既に被洗浄物上に吹き付けられている洗浄液が逆流してしまうおそれが考えられる。そうすると、被洗浄物上の洗浄液の逆流とともに、一旦被洗浄物上から押し流された異物等も逆流してしまい、この状態のままで被洗浄物が次工程へ移動してしまうという事態の発生が十分に考えられる。
【０００９】
従って、前述したパルス洗浄では、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることは防止できるが、その一方、洗浄液及び異物の逆流を招いてしまうという問題点がある。
【００１０】
そこで、本発明は、被洗浄物に対して洗浄液を吹き付ける洗浄方法において、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることを防止できるとともに、被洗浄物上への洗浄液及び異物の逆流をも防止可能とした洗浄方法及びそれを実施するための洗浄液供給装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の洗浄方法は、被洗浄物に対して連続して高圧の洗浄液を吹き付ける洗浄方法において、前記連続して吹きつけている洗浄液の定常連続流に強弱を加えることを特徴としている。
【００１２】
そして、この洗浄方法を実施するための本発明の洗浄液供給装置は、被洗浄物に対して洗浄液を吹き付けるための噴射ノズルと、該噴射ノズルに連結された、前記噴射ノズルに高圧の洗浄液を供給するためのポンプを有するとともに、前記ポンプと前記噴射ノズル間に、ポンプより供給される洗浄液に波動的な強弱を加えるためのシリンダーを介在させたことを特徴としている。
【００１３】
また、本発明の洗浄方法は、被洗浄物に対して連続して高圧の洗浄液を吹き付ける洗浄方法において、この連続した洗浄液の吹き付けと平行して、被洗浄物に対して、強弱を付けた洗浄液を吹き付けることを特徴としている。
【００１４】
そして、この洗浄方法を実施するための本発明の洗浄液供給装置は、洗浄液供給用ポンプと、該洗浄液供給用ポンプに連結された連続流噴射ノズルと、前記洗浄液供給用ポンプより供給される洗浄液に波動的な強弱を加えるためのシリンダーを介して前記洗浄液供給用ポンプに連結された波動流噴射ノズルを備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の洗浄方法では、被洗浄物に対して連続的に高圧の洗浄液を吹き付けつつ、この連続して吹き付けている洗浄液の定常連続流に強弱を加え、あるいは、連続した洗浄液の吹き付けと平行して、強弱を付けた高圧の洗浄液を吹き付けることを特徴としている。
【００１６】
このように、本発明では、被洗浄物に対して連続的に吹き付けている洗浄液に強弱を加えているため、または、被洗浄物に対して連続的に洗浄液を吹き付けるとともに、これと並行して、強弱を付けた洗浄液を被洗浄物に吹き付けているために、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることを防止できるとともに、被洗浄物上に洗浄液及び異物等が逆流してくることを有効に防止することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の洗浄方法では、被洗浄物に対して、８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧の洗浄液を流速１４〜１７ｍ／ｓｅｃで連続して吹き付けるとともに、この連続して吹きつけている洗浄液の定常連続流の流速を、２０〜５０ｃ／ｓｅｃの周期で、流速１００〜１２０ｍ／ｓｅｃまで波動的に上昇させる。
【００１８】
そして、この方法を実施するための本発明の洗浄液供給装置では、被洗浄物に対して洗浄液を吹き付けるための噴射ノズルと、該噴射ノズルに連結された、前記噴射ノズルに高圧の洗浄液を供給するためのポンプを有するとともに、前記ポンプと前記噴射ノズル間には、ポンプより供給される洗浄液に波動的な強弱を加えるためのシリンダーを介在させている。
【００１９】
ここで、前記シリンダーとしては、シリンダー本体と、該シリンダー本体間に往復移動可能に挿装されたピストンとを備え、前記シリンダー本体は、洗浄液注入口と、洗浄液放出口を具備し、前記ピストンは、前記洗浄液注入口及び洗浄液放出口に連通可能な配置で周方向に沿って形成した溝と、前記洗浄液注入口及び洗浄液放出口に連通可能な配置で、前記溝に連続して、前記溝よりも浅く形成したクリアランスと、を具備したものを用いるとよく、また、その他シリンダーとして、洗浄液供給路及び洗浄液放出路が形成された本体部と、該本体部内に回動自在に挿装された、放射状とした洗浄液搬送路を内部に有する駆動部と、該駆動部の外周側と前記本体部の内周側に形成したクリアランスと、を具備したものを用いてもよい。
【００２０】
また、本発明の洗浄方法の他の形態では、８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧の洗浄液を流速１４〜１７ｍ／ｓｅｃで被洗浄液に吹き付けるとともに、この連続した吹き付けと並行して、２０〜５０ｃ／ｓｅｃの周期で、８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧の洗浄液を流速１００〜１２０ｍ／ｓｅｃで被洗浄物に吹き付ける。
【００２１】
そして、この方法を実施するための本発明の洗浄液供給装置では、洗浄液供給用ポンプと、該洗浄液供給用ポンプに連結された連続流噴射ノズルと、前記洗浄液供給用ポンプより供給される洗浄液に波動的な強弱を加えるためのシリンダーを介して前記洗浄液供給用ポンプに連結された波動流噴射ノズルを備えている。
【００２２】
ここで、前記シリンダーとしては、シリンダー本体と、該シリンダー本体間に往復移動可能に挿装されたピストンとを備え、前記シリンダー本体は、洗浄液注入口と、洗浄液放出口を具備し、前記ピストンは、前記洗浄液注入口及び洗浄液放出口に連通可能な配置で周方向に沿って形成した溝を具備したものを用いるとよく、その他シリンダーとして、洗浄液供給路及び洗浄液放出路が形成された本体部と、該本体部内に回動自在に挿装された、放射状とした洗浄液搬送路を内部に有する駆動部と、を具備したものを用いてもよい。
【実施例１】
【００２３】
本発明の洗浄方法の実施例について図面を参照して説明すると、図１は本実施例の洗浄方法を説明するためのグラフであり、図において、横方向が時間軸である。また、図においてＡは、被洗浄物に吹き付ける洗浄液の流速を示しており、従って、図において斜線で示した部分が、被洗浄物に吹き付けられた洗浄液の液量である。
【００２４】
即ち、本実施例の洗浄方法では、常に、連続的に所定量の洗浄液を被洗浄物に吹き付けており、それとともに、この連続して吹き付ける洗浄液の定常連続流に波動的な強弱を加えることを特徴としている。
【００２５】
そして、本実施例においては、８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧の洗浄液を流速１４〜１７ｍ／ｓｅｃで連続的に被洗浄物に吹き付けるとともに、２０〜５０ｃ／ｓｅｃの周期で、この連続して吹きつけている洗浄液の流速を、最高流速１００〜１２０ｍ／ｓｅｃまで、波動的に上昇させている。
【００２６】
従って、本実施例の洗浄方法によれば、連続して洗浄液を吹き付けているために、被洗浄物に打ち当てられた洗浄液は、常に、除去した異物等とともに被洗浄物上から流れて行き、被洗浄物上に逆流することがないとともに、周期的に洗浄液に強弱を加えて、これにより、被洗浄液に吹き付けられた洗浄液を吹き飛ばすために、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることがなく、これにより被洗浄物に付着した異物等を有効に除去することができる。
【００２７】
また、洗浄液の連続流により比較的小さい異物等を除去できるとともに、波動流により大きめの異物等を除去することができ、効率よく異物の除去等を行うことが可能である。
【００２８】
なお、図２乃至図４は本実施例の他の形態を示すグラフである。即ち、図１においては、連続して吹きつけている洗浄液に定期的な周期で強弱を加えるとともにその強弱を同一としているが、即ち、洗浄液波形の波高、振幅、周波数を同一にしているが、図２に示す形態では、周波数は一定としているがその波高を異なったものとしている。また、図３に示す形態では、波高を同一にしているが周波数及び振幅を変更している。更に、図４に示す形態では、周波数、波高及び振幅ともに異なったものとしている。そして、これらの形態にすることにより、より効果的に、異物の除去等を行うことを可能にしている。即ち、本発明では、連続流に強弱を加えてあればよく、必ずしも定期的な周期で強弱を加える必要は無く、また、強弱の程度も一定にする必要はない。
【００２９】
次に、このような特徴を有する本実施例の洗浄方法を実施するために用いる本発明の洗浄液供給手段の実施例について説明すると、図５は、本実施例の洗浄液供給手段の一形態の構成を示した図であり、図において１が洗浄液供給手段である。
【００３０】
そして、この洗浄液供給手段１は、被洗浄物に対して洗浄液を吹き付けるための噴射ノズル４と、この噴射ノズル４に高圧の洗浄液を供給するためのポンプ３とを有しており、更に、前記ポンプ３と噴射ノズル４との間には、噴射ノズル４より吹き付けられる洗浄液に波動的な強弱を加えるためのシリンダー２を配置しており、これにより、被洗浄物に吹き付ける洗浄液の連続流に周期的に強弱を付けることを可能としている。なお、図において１３ａ、１３ｂは洗浄液を搬送するための搬送用ホースである。
【００３１】
ここで、前記シリンダー２について図６を参照して説明すると、このシリンダー２は、シリンダー本体７と、このシリンダー本体７内を往復移動可能としたピストン８とを備えている。
【００３２】
そして、前記ピストン８は、図７に示すように、両端部分の外径を大きくしてこの部分を拡大部８０１としており、また、長手方向に沿って中央部分近傍において、所定間隔の幅とした溝８０２を、周方向に形成している。更に、この溝８０２に連続して、前記溝８０２よりも浅く形成したクリアランス８０３を周方向全域に形成している。
【００３３】
一方、前記シリンダー本体７の内部には、ピストン８における拡大部８０１が所定範囲だけ移動可能な移動空間７０１が形成されており、この移動空間７０１に連通するようにして、シリンダー本体６の長手方向の両端壁にはそれぞれ、駆動エアー供給口７０２が形成されている。そして、使用に際してはこの駆動エアー供給口７０２にコンプレッサー等のエアー供給手段６が連結され（図５参照）、これにより、駆動エアー供給口７０２に交互にシリンダー本体７の駆動空間７０１内にエアーを供給することで、エアー圧によってピストン８を、その長手方向に往復移動可能としているとともに、その移動を、前記拡大部８０１が移動空間７０１内を移動可能な範囲に制限している。なお、図６及び図７において９は、シール用のＯリングである。
【００３４】
次に、前記シリンダー本体７の側壁任意の箇所には洗浄液注入口７０３が形成されるとともに、この洗浄液注入口７０３に対向する配置で、前記シリンダー本体７の側壁には、搬送用ホース１３ｂを介して洗浄液噴射ノズル４に連結される洗浄液放出口７０４が形成されている。そして、洗浄液供給用のポンプ３に連結された搬送用ホース１３ａが洗浄液注入口７０３に連結され、噴射ノズル４に連結された搬送用ホース１３ｂが洗浄液放出口７０４に連結されている。
【００３５】
従って、このシリンダー７を用いることにより、ピストン８における溝８０２が洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４と連通していないときには、クリアランス８０３を介して、常に少量の洗浄液が洗浄液噴射ノズル４に供給されるとともに、ピストン８の移動によって前記ピストン８における溝８０２が洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４と連通したときには、噴射ノズル４に供給される洗浄液の量が増加し、これにより、このシリンダー２を介した洗浄液は、周期的に波動的な強弱が付いたものとなる。
【００３６】
なお、洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４は必ずしも一対にする必要はなく、それぞれを複数個所に形成してもよい。また、シリンダー２に連結する噴射ノズル４に関しても必ずしも１個にする必要はなく、複数個の噴射ノズルを備えてもよい。
【００３７】
次に、このように構成される洗浄液供給装置１を用いた洗浄方法の作用について説明すると、図９及び図１０において１１は被洗浄物であり、また１２は被洗浄物を搬送するためのコンベア等の搬送手段である。そして、搬送手段１２は、筺体１２０１と、この筺体１２０１に回動自在に備えた複数本の搬送用ローラー１２０２と、この搬送用ローラー１２０２を回動するためのモーター等の駆動手段（図示せず）を備えて、駆動手段を駆動させることによりローラー１２０２を回転させ、これにより、ローラー１２０２上に載置した被洗浄物を搬送可能としている。
【００３８】
また、本実施例において前記噴射ノズル４は、内部に空洞部４０１を有した長尺状物として、図１１に長手方向に向いた断面図で示すように、長手方向に直交する下端部には噴射孔４０２を有し、また側壁には洗浄液搬送用ホース１３ｂが連結される供給口４０３を有しており、搬送手段１２の上方に配置され、噴射孔４０２より被洗浄物１１に対して洗浄液を噴射可能としている。
【００３９】
そして、本実施例の洗浄方法では、ピストン８の位置を調整してピストン８に形成した溝８０２が洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４と連通しない状態にしておき、まず、ポンプ３より、洗浄液を、８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧で供給して、これによって、クリアランス８０３を介して、噴射ノズル４より、搬送手段１２により搬送されている被洗浄物１１に対して少量の洗浄液を吹き付ける。
【００４０】
次に、この状態で、シリンダー本体７に形成した駆動エアー供給口７０２の双方に、周期的に交互にエアーを供給して、これによりピストン８を往復移動させる。そうすると、ピストン８が移動する過程で溝８０２が洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４と連通するとともに噴射ノズル４に供給される洗浄液の量が増加していき、溝８０２と洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４とが完全に連通したときを頂点として、噴射ノズル４を介して被洗浄物に吹き付けられる洗浄液が波動的に強弱の付いたものとなる。
【００４１】
従って、本実施例によれば、被洗浄物に対して常に洗浄液を吹き付けるとともに、この洗浄液に周期的に強弱を付けることが可能となる。そしてこのとき、ピストン８の移動スピードを変えることにより、また、溝８０２と洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４との連通割合を変えることにより、即ち、溝８０２と洗浄液注入口７０３及び洗浄液放出口７０４とが完全には連通しない場合を設けることにより、洗浄液波形の周波数、波高、振幅を容易に変えることが可能であるため、図２乃至図４に示されるような洗浄液の強弱は容易に可能である。
【００４２】
なお、連続して吹きつけている洗浄液に波動的に強弱を加える方法としては、必ずしも前述したシリンダーを用いる必要はなく、そのほか、ロータリー式の供給ガンを用いてもよい。即ち、図８はこのロータリー式供給ガン３１の構造を説明するための断面図であり、このロータリー式の供給ガン３１では、洗浄液供給路３３及び洗浄液放出路３４が形成された本体部３２の内部に、洗浄液搬送路３６が放射状に形成された駆動部３５を回動自在に挿装している。また、駆動部３５の外周側と本体部３２の内周側には所定間隔としたクリアランス３７を形成している。そして、この構成により、洗浄液供給路３３から供給された洗浄液は常に、前記クリアランス３７を介して洗浄液放出路３４より噴射ノズルに供給され、これにより被洗浄物に連続的に洗浄液が吹き付けられる。
【００４３】
そして、それとともに、駆動部３５が回転する過程で洗浄液搬送路３６が洗浄液供給路３３及び洗浄液放出路３４と連通したときには、前記クリアランス３７を介して噴射ノズルに供給される洗浄液に、洗浄液搬送路３６を介した洗浄液が重畳されるとともに、この重畳される洗浄液は、洗浄液搬送路３６が洗浄液供給路３３及び洗浄液放出路３４と完全に連通したときのみに供給されるために、噴射ノズルから被洗浄物１１に吹き付けられる洗浄液は、波動的に強弱が加えられたものとなる。従って、このロータリー式の供給ガン３１を用いた場合においても、前記シリンダーを用いた場合と同様の効果を得ることが可能である。
【００４４】
また、このとき、駆動部３５の回転速度を変えることにより、及び駆動部３５に形成された洗浄液搬送路３６の径を同一に形成しないことにより、洗浄液波形の周波数、波高、振幅を容易に変えることが可能であるため、供給ガン３１を用いた場合においても、図２乃至図４に示されるような洗浄液の強弱は容易に可能である。
【実施例２】
【００４５】
次に本発明の洗浄方法の他の実施例について図面を参照して説明すると、図１３は本実施例の洗浄方法を説明するためのグラフであり、図において、横方向が時間軸である。
【００４６】
そして、本実施例の洗浄方法では、常に、連続的に所定量の洗浄液を高圧で被洗浄物に吹き付けるとともに、この吹き付けと並行して、別系統の噴射ノズルを用いて、波動的に強弱を付けた洗浄液を高圧で被洗浄液に吹き付けることを可能としている。
【００４７】
即ち、図１３においてＢが連続的に吹き付けている洗浄液を示しており、Ａが波動的に強弱を加えて吹き付けた洗浄液を示しており、本実施例においては、常に、流速１４〜１７ｍ／ｓｅｃとした洗浄液を８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧で被洗浄液に吹き付けており、それと並行して、２０〜５０ｃ／ｓｅｃの周期で、流速を１００〜１２０ｍ／ｓｅｃとした洗浄液を８ＭＰａ〜１５ＭＰａの高圧で被洗浄物に吹き付けている。
【００４８】
従って、本実施例の洗浄方法によれば、前述した実施例と同様に、連続して洗浄液を吹き付けているために、被洗浄物に打ち当てられた洗浄液は、常に、除去した異物等とともに被洗浄物上から流れて行き、被洗浄物上に逆流することがないとともに、この連続した洗浄液の吹き付けと並行して周期的に波動的に強弱をつけた洗浄液を吹き付けるために、被洗浄液に吹き付けられた洗浄液を吹き飛ばすために、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることがなく、これにより被洗浄物に付着した異物等を有効に除去することができる。
【００４９】
次に、図１２は本実施例の洗浄方法を実施するために用いる本発明の洗浄液供給手段の実施例の構成を示す図であり、本実施例の洗浄液供給手段は、洗浄液を連続的に噴射する連続流噴射ノズル２４ａと、洗浄液を波動的に噴射する波動流噴射ノズル２４ｂとを備えている。そして、洗浄液供給用ポンプ２３と連続流噴射ノズル２４ａとを洗浄液搬送用ホース２５で連結して連続流噴射ノズル２４ａより常に連続的に洗浄液を噴射可能にするとともに、シリンダー２２を介在させつつ波動流噴射ノズル２４ｂと洗浄液供給用ポンプ２３とを搬送用ホース２７ａ、２７ｂで連結して波動流噴射ノズル２４ｂより波動的に洗浄液を噴射可能とし、これにより、連続的に洗浄液を吹き付けるとともに、この吹き付けと並行して、波動的に強弱を加えた洗浄液を被洗浄液の吹き付けを可能としている。
【００５０】
なお、本実施例は、連続的な洗浄液の吹き付けと並行して波動的に強弱を加えた洗浄液の吹き付けを行うことを特徴としており、その他の効果等は前述の実施例と同様であるために、重複した説明は省略する。
【００５１】
また、用いるシリンダー２２に関しては、前述のシリンダー７あるいは供給ガン３１におけるクリアランス８０３、３７を無くした構造のものを用いることにより実施可能であるために、重複した説明は省略する。
【００５２】
更に、本実施例においても、噴射ノズル２４ａ、２４ｂは、それぞれ複数個としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明では、被洗浄物上に洗浄液を連続的に高圧で吹き付けるに際してこの連続して吹き付ける洗浄液に周期的に波動的な強弱を加え、あるいは、洗浄液の連続した吹き付けと並行して波動的に強弱を加えた洗浄液の吹き付けを行うことを特徴として、これにより、被洗浄物上に洗浄液の被膜が形成されることを防止するとともに被洗浄物上に洗浄液が逆流することを防止しているために、液晶パネル製造、ＰＤＰパネル製造、有機ＥＬパネル製造、ＦＥＤパネル製造、プリント基板製造、半導体製造、フィルム製造、版製造その他電子機器部品等の製造工程のみならず、洗浄工程の全般に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の洗浄方法の第１実施例を説明するためのグラフである。
【図２】本発明の洗浄方法の第１実施例における他の形態を説明するためのグラフである。
【図３】本発明の洗浄方法の第１実施例における他の形態を説明するためのグラフである。
【図４】本発明の洗浄方法の第１実施例における他の形態を説明するためのグラフである。
【図５】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いる洗浄液供給手段の構成を説明するための図である。
【図６】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いるシリンダーを説明するための図である。
【図７】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いるシリンダーを説明するための図である。
【図８】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いるロータリー式の供給ガンを説明するための図である。
【図９】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いる洗浄液供給装置の作用を説明するための図である。
【図１０】本発明の洗浄方法の第１実施例を実施するために用いる洗浄液供給装置の作用を説明するための図である。
【図１１】噴射ノズルを説明するための図である。
【図１２】本発明の洗浄方法の第２実施例を実施するために用いる洗浄液供給手段の構成を説明するための図である。
【図１３】本発明の洗浄方法の第２実施例を説明するためのグラフである。
【符号の説明】
【００５５】
１、２１    洗浄液供給手段
２、２２    シリンダー
３、２３    ポンプ
４、２４ａ、２４ｂ    噴射ノズル
６    エアー供給手段（コンプレッサー）
７    シリンダー本体
７０１    移動空間
７０２    駆動エアー供給口
７０３    洗浄液注入口
７０４    洗浄液放出口
８    ピストン
８０１    拡大部
８０２    溝
９    Ｏリング
１１    被洗浄物
１２    搬送手段
１３ａ、１３ｂ、２５、２７ａ、２７ｂ    洗浄液搬送用ホース
３１    ロータリー式供給ガン
３２    本体部
３３    洗浄液供給路
３４    洗浄液放出路
３５    駆動部
３６    洗浄液搬送路
３７    クリアランス