(57)【要約】【課題】  外部衝撃による剥がれが無く、作業性や生産性が良好で、接続状態の確認ができる表面弾性波装置を提供する。【解決手段】  本発明の表面弾性波装置は、圧電基板４の下面に設けられた櫛歯電極５を覆う酸化シリコンからなる保護膜７と、絶縁基板１の上面に設けられた酸化シリコン、或いは酸素を含有した低融点ガラスからなる接合膜３とが陽極接合によって接合されたため、空間部８を取り巻く全外周部は、保護膜７と接合膜３が陽極接合によって接合されて密着部が形成されたため、その作業が簡単で、生産性が良い上に、保護膜７と接合膜３間の接合度合いが強固で、外衝撃等によって、保護膜７と接合膜３間の剥がれのないものが得られる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、この圧電基板の下面に設けられた櫛歯電極、及びこの櫛歯電極に接続された接続パッドと、前記圧電基板の下方に対向して配置された絶縁基板と、この絶縁基板に設けられたランド部と、このランド部と前記接続パッド間を接続する接続導体とを備え、前記圧電基板の下面には、少なくとも前記櫛歯電極を覆う酸化シリコンからなる保護膜を有すると共に、前記絶縁基板の上面には、酸化シリコン、或いは酸素を含有した低融点ガラスからなる接合膜が設けられ、前記保護膜と前記接合膜間の前記櫛歯電極に対向する箇所には、空間部が設けられると共に、前記空間部を取り巻く全外周部は、前記保護膜と前記接合膜が陽極接合によって接合されて密着部が形成され、この密着部によって前記空間部が密封されたことを特徴とする表面弾性波装置。
【請求項２】
前記保護膜は、前記櫛歯電極に対向する箇所を薄くして、前記空間部を形成したことを特徴とする請求項１記載の表面弾性波装置。
【請求項３】
前記接合膜は、前記櫛歯電極に対向する箇所を薄くして、前記空間部を形成したことを特徴とする請求項１，又は２記載の表面弾性波装置。
【請求項４】
前記ランド部が前記絶縁基板の下面に設けられると共に、前記空間部から外れた位置で、前記ランド部と前記接続パッド間が前記接続導体によって接続され、前記接続パッドを露出するために前記接続パッドと前記ランド部の間において、前記絶縁基板、前記接合膜、及び前記保護膜に跨って孔が設けられ、前記孔の内壁に設けられた前記接続導体によって、前記ランド部と前記接続パッド間が接続されたことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の表面弾性波装置。
【請求項５】
前記ランド部が前記絶縁基板の下面に設けられると共に、前記空間部から外れた位置で、前記ランド部と前記接続パッド間が前記接続導体によって接続され、前記接続パッドと前記ランド部を通る位置において、前記絶縁基板、前記接合膜、前記保護膜、及び前記圧電基板を上下方向に貫通する貫通孔を有し、前記貫通孔の内壁に設けられた前記接続導体によって、前記ランド部と前記接続パッド間が接続されたことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の表面弾性波装置。
【請求項６】
前記ランド部が前記絶縁基板の下面に設けられると共に、前記空間部から外れた位置で、前記ランド部と前記接続パッド間が前記接続導体によって接続され、前記接続パッドを露出するために前記接続パッドと前記ランド部の間において、前記絶縁基板、前記接合膜、及び前記保護膜に跨って設けられた縦孔と、前記縦孔に繋がるように、少なくとも前記保護膜と前記接合膜の側面側に設けられた横孔を有し、前記縦孔と前記横孔の内壁に設けられた前記接続導体によって、前記ランド部と前記接続パッド間が接続されたことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の表面弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表面弾性波フィルタ等に使用して好適な表面弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は従来の表面弾性波装置の要部断面図で、従来の表面弾性波装置の構成を図４に基づいて説明すると、絶縁基体５１の上面には、一対の外部引出用パッド５２が設けられている。
圧電基板５３の下面には、櫛歯電極５４と、この櫛歯電極５４に接続された接続パッド５５と、この接続パッド５５の一部を除いた状態で、櫛歯電極５４を覆う酸化シリコンからなる保護膜５６が設けられている。
【０００３】
また、接続パッド５５の一部を除いた状態で、感光性樹脂５７が保護膜５６上に形成され、保護膜５６と感光性樹脂５７とで囲まれた箇所にバンプ５８が設けられ、このバンプ５８によって、外部引出用パッド５２と接続パッド５５が接続されると共に、感光性樹脂５７によって絶縁基板５１が接合されて、従来の表面弾性波装置が構成されている。（例えば、特許文献１参照）
【０００４】
このような従来の表面弾性波装置は、感光性樹脂５７が保護膜５６上にスピンコートや塗布によって形成されて、感光性樹脂５７と保護膜５６が接着されるため、両者間の接着度合いが弱く、外部衝撃等によって、感光性樹脂５７と保護膜５６間が剥がれる。
また、感光性樹脂５７によって絶縁基板５１が接合されるため、その接合において、感光性樹脂５７を押圧、加熱して硬化させる必要があり、その作業が面倒である上に、感光性樹脂５７と絶縁基板５１の接合度合いが弱く、外部衝撃等によって、感光性樹脂５７と絶縁基板５１間が剥がれる。
更に、バンプ５８による外部引出用パッド５２と接続パッド５５の接続は、押圧と加熱によって行われるため、その作業が面倒である上に、バンプ５８は非露出状態であるため、接続状態の目視による確認ができない。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１５０４４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の表面弾性波装置は、感光性樹脂５７が保護膜５６上にスピンコートや塗布によって形成されて、感光性樹脂５７と保護膜５６が接着されるため、両者間の接着度合いが弱く、外部衝撃等によって、感光性樹脂５７と保護膜５６間が剥がれるという問題がある。
また、感光性樹脂５７によって絶縁基板５１が接合されるため、その接合において、感光性樹脂５７を押圧、加熱して硬化させる必要があり、その作業が面倒である上に、感光性樹脂５７と絶縁基板５１の接合度合いが弱く、外部衝撃等によって、感光性樹脂５７と絶縁基板５１間が剥がれるという問題がある。
更に、バンプ５８による外部引出用パッド５２と接続パッド５５の接続は、押圧と加熱によって行われるため、その作業が面倒である上に、バンプ５８は非露出状態であるため、接続状態の目視による確認ができないという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は外部衝撃による剥がれが無く、作業性や生産性が良好で、接続状態の確認ができる表面弾性波装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための第１の解決手段として、圧電基板と、この圧電基板の下面に設けられた櫛歯電極、及びこの櫛歯電極に接続された接続パッドと、前記圧電基板の下方に対向して配置された絶縁基板と、この絶縁基板に設けられたランド部と、このランド部と前記接続パッド間を接続する接続導体とを備え、前記圧電基板の下面には、少なくとも前記櫛歯電極を覆う酸化シリコンからなる保護膜を有すると共に、前記絶縁基板の上面には、酸化シリコン、或いは酸素を含有した低融点ガラスからなる接合膜が設けられ、前記保護膜と前記接合膜間の前記櫛歯電極に対向する箇所には、空間部が設けられると共に、前記空間部を取り巻く全外周部は、前記保護膜と前記接合膜が陽極接合によって接合されて密着部が形成され、この密着部によって前記空間部が密封された構成とした。
【０００９】
また、第２の解決手段として、前記保護膜は、前記櫛歯電極に対向する箇所を薄くして、前記空間部を形成した構成とした。
また、第３の解決手段として、前記接合膜は、前記櫛歯電極に対向する箇所を薄くして、前記空間部を形成した構成とした。
【００１０】
また、第４の解決手段として、前記ランド部が前記絶縁基板の下面に設けられると共に、前記空間部から外れた位置で、前記ランド部と前記接続パッド間が前記接続導体によって接続され、前記接続パッドを露出するために前記接続パッドと前記ランド部の間において、前記絶縁基板、前記接合膜、及び前記保護膜に跨って孔が設けられ、前記孔の内壁に設けられた前記接続導体によって、前記ランド部と前記接続パッド間が接続された構成とした。
【００１１】
また、第５の解決手段として、前記ランド部が前記絶縁基板の下面に設けられると共に、前記空間部から外れた位置で、前記ランド部と前記接続パッド間が前記接続導体によって接続され、前記接続パッドと前記ランド部を通る位置において、前記絶縁基板、前記接合膜、前記保護膜、及び前記圧電基板を上下方向に貫通する貫通孔を有し、前記貫通孔の内壁に設けられた前記接続導体によって、前記ランド部と前記接続パッド間が接続された構成とした。
【００１２】
また、第６の解決手段として、前記ランド部が前記絶縁基板の下面に設けられると共に、前記空間部から外れた位置で、前記ランド部と前記接続パッド間が前記接続導体によって接続され、前記接続パッドを露出するために前記接続パッドと前記ランド部の間において、前記絶縁基板、前記接合膜、及び前記保護膜に跨って設けられた縦孔と、前記縦孔に繋がるように、少なくとも前記保護膜と前記接合膜の側面側に設けられた横孔を有し、前記縦孔と前記横孔の内壁に設けられた前記接続導体によって、前記ランド部と前記接続パッド間が接続された構成とした。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の表面弾性波装置は、圧電基板と、この圧電基板の下面に設けられた櫛歯電極、及びこの櫛歯電極に接続された接続パッドと、圧電基板の下方に対向して配置された絶縁基板と、この絶縁基板に設けられたランド部と、このランド部と接続パッド間を接続する接続導体とを備え、圧電基板の下面には、少なくとも櫛歯電極を覆う酸化シリコンからなる保護膜を有すると共に、絶縁基板の上面には、酸化シリコン、或いは酸素を含有した低融点ガラスからなる接合膜が設けられ、保護膜と接合膜間の櫛歯電極に対向する箇所には、空間部が設けられると共に、空間部を取り巻く全外周部は、保護膜と接合膜が陽極接合によって接合されて密着部が形成され、この密着部によって空間部が密封された構成とした。
即ち、空間部を取り巻く全外周部は、保護膜と接合膜が陽極接合によって接合されて密着部が形成されため、その作業が簡単で、生産性が良い上に、保護膜と接合膜間の接合度合いが強固で、外衝撃等によって、保護膜と接合膜間の剥がれのないものが得られる。
また、絶縁基板の上面には、酸化シリコン、或いは酸素を含む低融点ガラスからなる接合膜が設けられているため、絶縁基板と接合膜間の接合度合いが強固で、外衝撃等によって、絶縁基板と接合膜間の剥がれのないものが得られる。
また、接合膜を酸化シリコンで形成すると、保護膜と同一材料となって、熱膨張係数が一致し、接合度合いが強固で、剥がれなく、また、接合膜を低融点ガラスで形成すると、接合の際の加熱温度を低くでき、圧電基板の熱膨張による変形を防ぐことができる。
更に、櫛歯電極が保護膜によって被覆されることによって、櫛歯電極の温度特性の変化が小さくなって、性能の良いものが得られる。
【００１４】
また、保護膜は、櫛歯電極に対向する箇所を薄くして、空間部を形成したため、その構成が簡単で、生産性の良好なものが得られる。
【００１５】
また、接合膜は、櫛歯電極に対向する箇所を薄くして、空間部を形成したため、その構成が簡単で、生産性の良好なものが得られる。
【００１６】
また、ランド部が絶縁基板の下面に設けられると共に、空間部から外れた位置で、ランド部と接続パッド間が接続導体によって接続され、接続パッドを露出するために接続パッドとランド部の間において、絶縁基板、接合膜、及び保護膜に跨って孔が設けられ、孔の内壁に設けられた接続導体によって、ランド部と接続パッド間が接続されたため、接続導体が外部から目視等によって確認できて、検査が容易であると共に、メッキによって接続導体が形成できて、生産性の良好なものが得られる。
【００１７】
また、ランド部が絶縁基板の下面に設けられると共に、空間部から外れた位置で、ランド部と接続パッド間が接続導体によって接続され、接続パッドとランド部を通る位置において、絶縁基板、接合膜、保護膜、及び圧電基板を上下方向に貫通する貫通孔を有し、貫通孔の内壁に設けられた接続導体によって、ランド部と接続パッド間が接続されたため、接続導体が外部から目視できて、検査が容易であると共に、メッキによって接続導体が確実に形成できて、生産性の良好なものが得られる。
【００１８】
また、ランド部が絶縁基板の下面に設けられると共に、空間部から外れた位置で、ランド部と接続パッド間が接続導体によって接続され、接続パッドを露出するために接続パッドとランド部の間において、絶縁基板、接合膜、及び保護膜に跨って設けられた縦孔と、縦孔に繋がるように、少なくとも保護膜と接合膜の側面側に設けられた横孔を有し、縦孔と横孔の内壁に設けられた接続導体によって、ランド部と接続パッド間が接続されたため、接続導体が外部から目視できて、検査が容易であると共に、メッキによって接続導体が確実に形成できて、生産性の良好なものが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の表面弾性波装置に係る図面を説明すると、図１は本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る要部断面図、図２は本発明の表面弾性波装置の第２実施例に係る要部断面図、図３は本発明の表面弾性波装置の第２実施例に係る要部断面図である。
【００２０】
次に、本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る構成を図１に基づいて説明すると、セラミック、ガラス、或いは圧電基板等からなる絶縁基板１は、上下方向に貫通する複数の孔１ａを有し、この絶縁基板１の下面には、孔１ａを囲むように、導電体からなる外部接続用の複数のランド部２が設けられている。
【００２１】
また、絶縁基板１の上面には、酸化シリコン、或いは酸素を含有した低融点ガラスからなる接合膜３が均一な厚みで設けられ、この接合膜３は、絶縁基板１の孔１ａと一致する位置に孔３ａが設けられている。
【００２２】
ＬｉＴａＯ３等からなる圧電基板４の下面には、櫛歯電極５と、この櫛歯電極５に接続された入出力用の接続パッド６と、櫛歯電極５と接続パッド６を覆った状態で、酸化シリコンからなる保護膜７が設けられている。
この保護膜７は、櫛歯電極５に対向する箇所が接続パッド６近傍に位置する箇所よりも薄く形成されていると共に、接続パッド６に位置する箇所には、接続パッド６を露出するための孔７ａが設けられている。
【００２３】
そして、接合膜３の孔３ａと保護膜７の孔７ａを一致させ、接合膜３と保護膜７が合わされた状態で、陽極接合すると、接合膜３の孔３ａと保護膜７間が接合すると共に、絶縁基板１と接合膜３間、及び圧電基板４と保護膜７間が接合して、一体化された状態となる。
【００２４】
陽極接合が完了すると、保護膜７と接合膜３間の櫛歯電極５に対向する箇所には、保護膜７の薄肉部によって、振動空間となる空間部８が形成されると共に、空間部８を取り巻く全外周部は、保護膜７と接合膜３の接合による密着部が形成されて、空間部８は密封状態となる。
【００２５】
また、空間部８から外れた位置では、絶縁基板１，接合膜３，及び保護膜７の孔１ａ、３ａ、７ａが一致した状態となって、接続パッド６が露出し、この状態で、メッキ等によって孔１ａ、３ａ、７ａの内壁に接続導体９を形成すると、接続パッド６は、接続導体９を介してランド部２に接続された状態となって、本発明の表面弾性波装置が形成されている。
【００２６】
このような本発明の表面弾性波装置は、絶縁基板１が電気機器のマザー基板１０上に載置され、ランド部２がマザー基板１０に設けられた配線パターン（図示せず）に半田付けされて、マザー基板１０に面実装されるようになっている。
【００２７】
次に、本発明の表面弾性波装置の製造方法を説明すると、先ず、接合膜３を形成した絶縁基板１と、保護膜７を形成した圧電基板４を用意し、そして、接合膜３と保護膜７を合わした状態で陽極接合を行う。
即ち、この陽極接合は、絶縁基板１と圧電基板４との間に高電圧（数百Ｖ）をかけて、ガラス成分を軟化（ガラス転移）させることによって、接合膜３の孔３ａと保護膜７間、絶縁基板１と接合膜３間、及び圧電基板４と保護膜７間が接合する。
【００２８】
次に、陽極接合が完了した後、メッキを行って、孔１ａ、３ａ、７ａの内壁に接続導体９を形成すると、接続パッド６は、接続導体９を介してランド部２に接続された状態となって、本発明の表面弾性波装置が形成されている。
なお、この実施例では、メッキによって接続導体９を形成したが、孔１ａ、３ａ、７ａ内に導電ペーストを注入する等によって、接続導体９を形成しても良い。
【００２９】
また、図２は本発明の表面弾性波装置の第２実施例を示し、この第２実施例を説明すると、第１実施例の保護膜７の薄肉部に代えて、接合膜３に薄肉部を設け、これによって、接続膜３と保護膜７との間に空間部８を形成すると共に、接続パッド６とランド部２を通る位置において、絶縁基板１、接合膜３、保護膜７、及び圧電基板４を上下方向に貫通する貫通孔１１を設け、この貫通孔１１の内壁に設けられた接続導体９によって、ランド部２と接続パッド６間を接続したものである。
【００３０】
その他の構成は、前記第１実施例と同様であるので同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
そして、貫通孔１１を設けることによって、接続導体９をメッキによって形成した際、メッキ液が通り易くなって、接続導体９の形成が確実にできる。
なお、この第２実施例において、保護膜７側にも薄肉部を設けて、接合膜３と保護膜７の薄肉部によって、空間部８を形成しても良い。
【００３１】
また、図３は本発明の表面弾性波装置の第３実施例を示し、この第３実施例を説明すると、接続パッド６を露出するために接続パッド６とランド部２の間において、絶縁基板１、接合膜３、及び保護膜７に跨って設けられた縦孔１２ａと、縦孔１２ａに繋がるように、少なくとも保護膜７と接合膜３の側面側に設けられた横孔１２ｂを有し、縦孔１２ａと横孔１２ｂの内壁に設けられた接続導体９によって、ランド部２と接続パッド６を接続したものである。
【００３２】
その他の構成は、前記第１実施例と同様であるので同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
そして、縦孔１２ａと横孔１２ｂを設けることによって、接続導体９をメッキによって形成した際、メッキ液が通り易くなって、接続導体９の形成が確実にできる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の表面弾性波装置の第１実施例に係る要部断面図。
【図２】本発明の表面弾性波装置の第２実施例に係る要部断面図。
【図３】本発明の表面弾性波装置の第３実施例に係る要部断面図。
【図４】従来の表面弾性波装置の要部断面図。
【符号の説明】
【００３４】
１：絶縁基板
１ａ：孔
２：ランド部
３：接合膜
３ａ：孔
４：圧電基板
５：櫛歯電極
６：接続パッド
７：保護膜
７ａ：孔
８：空間部
９：接続導体
１０：マザー基板
１１：貫通孔
１２ａ：縦孔
１２ｂ：横孔
【図１】
2006179972.tif 000003
【図２】
2006179972.tif 000004
【図３】
2006179972.tif 000005
【図４】
2006179972.tif 000006