(57)【要約】【課題】  金型と被印刷体とを平行に保ち、金型の破損を防止しつつ、その寿命を延長する。【解決手段】  石英、シリコンまたは樹脂などの材料からなり凹凸の溝を形成した転写印刷版１を外枠部材７で保持し、その転写印刷版１を被印刷体３に押圧して印刷するための転写印刷版保持構造５において、外枠部材７に、応力衝撃緩衝材９を介して転写印刷版１を保持させた。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
石英、シリコンまたは樹脂などの材料からなり凹凸の溝を形成した転写印刷版を外枠部材で保持し、その転写印刷版を被印刷体に押圧して印刷するための転写印刷版保持構造において、上記外枠部材に、応力衝撃緩衝材を介して上記転写印刷版を保持させたことを特徴とする転写印刷版保持構造。
【請求項２】
上記外枠部材に上記応力衝撃緩衝材を取り付けると共に、その応力衝撃緩衝材を上記転写印刷版の周縁部の表裏両面またはいずれか一方の面或いは周縁部側面に接するように設けて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させた請求項１記載の転写印刷版保持構造。
【請求項３】
上記応力衝撃緩衝材は、バネやゴムなどの弾性体にて形成された請求項１または２記載の転写印刷版保持構造。
【請求項４】
上記応力衝撃緩衝材は、シリコーンゴム弾性体にて形成されたＯリングからなり、上記転写印刷版の周縁部の表裏両面に配置され、上記外枠部材に形成された溝内に上記転写印刷版と共に嵌装させて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させた請求項１〜３いずれかに記載の転写印刷版保持構造。
【請求項５】
上記応力衝撃緩衝材は、断面Ｕ字状の金属製板バネからなり、上記転写印刷版の表裏両面に配置され、上記外枠部材に形成された溝内に上記転写印刷版と共に嵌装させて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させた請求項１〜３いずれかに記載の転写印刷版保持構造。
【請求項６】
上記応力衝撃緩衝材は、シリコーンゴム弾性体にて形成され内周面に溝を備えた緩衝リングからなり、上記溝に上記転写印刷版の周縁部を嵌装させて固定すると共に、上記緩衝リングの周縁部を上記外枠部材に形成された溝内に嵌装させて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させた請求項１〜３いずれかに記載の転写印刷版保持構造。
【請求項７】
上記応力衝撃緩衝材は、ポリカーボネート樹脂等の紫外線透過可能な材料で円盤状に形成された緩衝シートからなり、この緩衝シートの下面に上記転写印刷版を取り付け、緩衝シートの周縁部を上記外枠部材に形成された溝内に嵌装させて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させた請求項１〜３いずれかに記載の転写印刷版保持構造。
【請求項８】
上記応力衝撃緩衝材は、人工石英板にて形成された薄板状の緩衝シートからなり、この緩衝シートの下面に上記転写印刷版を取り付け、緩衝シートの周縁部を上記外枠部材に形成された溝内に嵌装させて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させた請求項１〜３いずれかに記載の転写印刷版保持構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、石英、シリコンまたは樹脂などの材料からなり凹凸の溝を形成した転写印刷版を外枠部材で保持し、その転写印刷版を被印刷体に押圧して印刷するための転写印刷版保持構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭなどの光ディスクは、現在フォトリソグラフィ法で作製した金属製の樹脂成型用金型（転写印刷版）を用いた、ドットパターンの樹脂成型法によって作られている。これら光ディスクには、映像、音楽などのデータがドットパターンとして記録されており、これをレーザ光で読み取ることで、映像や音楽などが再生される。
【０００３】
また、ＭＯなどの光ディスクでは、同じく金属金型によるドットパターンの形成後に、磁性体薄膜が記録薄膜として形成されている。ＭＯでは、この記録薄膜のデータをレーザ光で読み出したりできる他、消去、書込なども可能で、繰り返し記録（消去、書込）が可能な記録媒体として市販されている。最近、これらの記録媒体は、小型軽量化、携帯性、保管性、管理性、大容量化などの高い市場要求から、年々記録密度の向上が求められている。このため、高密度ドットパターン形成法の技術開発競争が盛んに行われている。
【０００４】
この中で、光ナノインプリント法と呼ばれる方法は、パターン形成用樹脂に光硬化型の感光性の樹脂を用いる方法である。パターン形成用の金型には主にシリコン、石英などの基板を用い、この基板にＥＢ法（電子ビーム法）で微細なパターンを形成する。なお、インプリントでは、金型の材質は金属ではない場合でも、慣例的に金型と呼んでいる。ＥＢ法では１００ｎｍ以下のドットパターンの形成が容易であり、これを金型として用いることにより、高密度記録媒体の形成が可能になる。また、記録媒体用樹脂に光硬化型のものを用いると、熱可塑性樹脂を用いる場合と比較して、低温でのドットパターンの形成が可能になり、熱によるパターンの歪みなどを考慮することなく、高密度な記録が可能となるという特長がある。
【０００５】
従来のＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯなどの場合、通常のドットパターンの形状は、幅０．４μｍ、深さ０．４μｍ、長さ０．９〜３．３μｍである。これに対して、光ナノインプリント法では、この１／１０サイズのドットパターンの形成が可能であり、１０倍の記録密度が達成できる。この光ナノインプリント技術の開発によって将来の１００ＧＢの記録媒体が可能になると期待されている。
【０００６】
この光ナノインプリントの技術は、１９９５年、Ｃｈｏｕによって初めて紹介され、まだ日が浅いため、学術論文はまだ少ないが、非特許文献１にナノインプリントの技術の現状として紹介されている。
【０００７】
光ナノインプリントのプロセスは、基板上に光硬化樹脂を塗布して、これを金型（モールド）で押さえて変形させて、その後に紫外線を照射して樹脂を硬化させ、金型を離すことによりパターンを得るものである。そして、この光硬化樹脂のパターンをマスクとして、基板のエッチングを行う。
【０００８】
光ナノインプリントでは、例えば、金型にはＥＢ法でパターン形成したサファイアや人工石英板などを用い、金型の上方から紫外線を照射して樹脂を硬化させる。このサファイア金型は、非特許文献１の中ではモールドと称している。このモールドの保持方法は、非特許文献１中、詳しくは記述されていないが、光ナノインプリントリソグラフィ装置の図面が記述されている。
【０００９】
光ナノインプリントリソグラフィ装置の一例を図８に示すと共に、光ナノインプリントリソグラフィ装置の金型保持部を図９に断面図で示す。図示するように、サファイア製の金型（転写印刷版）１は、支持枠２で保持されている。光ナノインプリントでは、金型１の上方から紫外線１１を照射するために、支持枠２は、金型１の端部（周縁部）のみを保持するようになっている。金型１の上方には、紫外線１１を照射するための、照射レンズ２１が設けられている。照射レンズ２１には、光ファイバ２２が接続されている。
【００１０】
金型１の下方には、被印刷体３を載置・保持するステージ４が設けられている。ステージ４は、その下部に設けられた昇降装置２３を駆動させることで、上下方向に延出したガイドパイプ２４に沿って昇降する。ステージ４を上昇させることで、被印刷体３がサファイア金型１に押圧されるようになっている。
【００１１】
【非特許文献１】谷口淳、他３名、「ナノインプリント技術の現状」、砥粒加工学会誌、砥粒加工学会、２００２年６月、４６巻６号、ｐ．２８２〜２８５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、上記光ナノインプリントリソグラフィ装置では、ステージ４を上昇させることで被印刷体３がサファイア金型１に押圧されるときの圧力の力学的な設計の良否が、金型１の寿命に大きく関係する。
【００１３】
紫外線に限らず、光硬化型の樹脂を用いた光ナノインプリントにおける金型１の要求特性としては、その機能から以下のことが挙げられる。
（１）被印刷体３に押し当てて加圧するときの金型１の応力を分散し、金型１周辺への局地的な応力の集中を防ぐこと。
（２）照射面積をできる限り大きくするため、金型１の端部の保持部分はできる限り小さくすること。
（３）振動などによる金型１の損傷・破損が起こらないこと。
（４）金型１を被印刷体３に押し当てるときに、被印刷体３に対して常に平衡に均一な加圧力分布で押し当てられること。
（５）金型１を被印刷体３から離す離型動作でも、金型１に局地的な応力の集中が起こらないこと。
（６）離型動作での離型力低減のため、金型１の剥離が周辺からスムーズに開始されること。
（７）離型動作のとき金型１が、周辺からむら無く剥離されること。
（８）これら一連の動作の繰り返しでの金型１の応力疲労破壊や損傷などが起こらないこと。
【００１４】
これらの要求を満たし、金型１の寿命を延長するためには、金型１を保持するハンドリング部材に対する応力吸収機能付与などの構造上の工夫が必要であるが、従来技術では、その工夫がまだ見出されていない。
【００１５】
特に、ＥＢ法でドットパターンを形成した石英やシリコン、サファイアなどの金型は非常に高価であるので、金型１の寿命延長が重要な課題である。また、印刷製品歩留まりの低下はそのまま、金型１の消耗に繋がるので、印刷歩留まりの向上も重要な課題である。
【００１６】
通常、金型１に対してステージ４上に配置された被印刷体３は、外径が大きく、金型１には印刷圧力（以下印圧と称する）がかかる。そのため、印刷が繰り返されるたびに金型１には歪み応力が加わる。この応力は金型１の端部でより大きくなって応力が大きい場合には、金型１の破壊に至る。また、被印刷体３と、金型１とは常に平行であることが、印刷有無などの印刷バラツキを防ぐために重要である。特に、数１０ｎｍのサイズのドットパターンが要求されるナノ印刷にあっては、被印刷体３と金型１の平行度は非常に重要で、印刷面に均一な印圧の負荷によって、初めてｎｍパターンサイズの印刷が可能となる。
【００１７】
そこで、本発明は、上記課題を解決するために案出されたものであって、その目的は、金型と被印刷体とを平行に保ち、金型の破損を防止しつつ、その寿命を延長することができる転写印刷版保持構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明は、石英、シリコンまたは樹脂などの材料からなり凹凸の溝を形成した転写印刷版を外枠部材で保持し、その転写印刷版を被印刷体に押圧して印刷するための転写印刷版保持構造において、上記外枠部材に、応力衝撃緩衝材を介して上記転写印刷版を保持させたものである。
【００１９】
そして、上記外枠部材に上記応力衝撃緩衝材を取り付けると共に、その応力衝撃緩衝材を上記転写印刷版の周縁部の表裏両面またはいずれか一方の面或いは周縁部側面に接するように設けて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させたものが好ましい。
【００２０】
また、上記応力衝撃緩衝材は、バネやゴムなどの弾性体にて形成されたものが好ましい。
【００２１】
さらに、上記応力衝撃緩衝材は、シリコーンゴム弾性体にて形成されたＯリングからなり、上記転写印刷版の周縁部の表裏両面に配置され、上記外枠部材に形成された溝内に上記転写印刷版と共に嵌装させて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させたものが好ましい。
【００２２】
また、上記応力衝撃緩衝材は、断面Ｕ字状の金属製板バネからなり、上記転写印刷版の表裏両面に配置され、上記外枠部材に形成された溝内に上記転写印刷版と共に嵌装させて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させたものが好ましい。
【００２３】
さらに、上記応力衝撃緩衝材は、シリコーンゴム弾性体にて形成され内周面に溝を備えた緩衝リングからなり、上記溝に上記転写印刷版の周縁部を嵌装させて固定すると共に、上記緩衝リングの周縁部を上記外枠部材に形成された溝内に嵌装させて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させたものが好ましい。
【００２４】
また、上記応力衝撃緩衝材は、ポリカーボネート樹脂等の紫外線透過可能な材料で円盤状に形成された緩衝シートからなり、この緩衝シートの下面に上記転写印刷版を取り付け、緩衝シートの周縁部を上記外枠部材に形成された溝内に嵌装させて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させたものが好ましい。
【００２５】
さらに、上記応力衝撃緩衝材は、人工石英板にて形成された薄板状の緩衝シートからなり、この緩衝シートの下面に上記転写印刷版を取り付け、緩衝シートの周縁部を上記外枠部材に形成された溝内に嵌装させて、上記転写印刷版を上記外枠部材に保持させたものが好ましい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、金型と被印刷体とを平行に保ち、金型の破損を防止しつつ、その寿命を延長することができるといった優れた効果を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００２８】
図１は本発明に係る転写印刷版保持構造の好適な実施の形態を示した側面図である。
【００２９】
本実施の形態においては、図８に示した光ナノインプリントリソグラフィ装置の金型（転写印刷版）１を保持する構造を例に挙げて説明する。
【００３０】
図１に示すように、転写印刷版保持構造５は、石英、シリコンまたは樹脂などの材料からなり、凹凸の溝（図示せず）を形成した金型（転写印刷版）１を外枠部材７で保持し、その金型１に被印刷体３を押圧して印刷するための構造において、外枠部材７に、応力衝撃緩衝材９を介して金型１を保持させたことを特徴とする。応力衝撃緩衝材９は、金型１への機械的応力や衝撃を緩和するためのものである。
【００３１】
外枠部材７には、応力衝撃緩衝材９が取り付けられている。その応力衝撃緩衝材９は、金型１の周縁部６の表裏両面またはいずれか一方の面或いは周縁部側面に接するように（本実施の形態では、周縁部６の表面から裏面にかけて側面を覆うように）設けられている。
【００３２】
外枠部材７は、金属或いは樹脂にてリング状に形成されている。外枠部材７の内周面１２には、金型１の周縁部６を保持するための断面コ字状の溝１４が形成されている。外枠部材７は、複数に分割して形成されており、図８に示した金型固定アーム１５に径方向に移動可能にそれぞれ取り付けられている。
【００３３】
応力衝撃緩衝材９は、バネやゴムなどの弾性体（本実施の形態ではゴム）にてリング状に形成され、その周縁部１６が外枠部材７の溝１４に嵌装されて固定されている。応力衝撃緩衝材９の内周面１７には、金型１の周縁部６を保持するための金型保持溝１８が形成されており、この金型保持溝１８に、金型１の周縁部６を嵌装して固定するようになっている。応力衝撃緩衝材９は、外枠部材７と同様に複数に分割して形成されており、径方向に移動することで、金型１の装着を行う。
【００３４】
金型１の下方部分には、被印刷体３を載置・保持するステージ４が設けられている。ステージ４は、その下部に設けられた昇降装置２３（図８参照）を駆動させることで、昇降する。ステージ４を上昇させることで、被印刷体３が金型１に押圧されるようになっている。
【００３５】
上記構成によれば、外枠部材７に、応力衝撃緩衝材９を介して金型１を取り付けたことによって、ステージ４を上昇させて被印刷体３を金型１に押圧する際に、被印刷体３から金型１にかかる応力を分散し、金型１周辺への局地的な応力の集中を防ぐことができる。また、金型１が傾いて固定されていても、被印刷体３が金型１に押圧されたときに応力衝撃緩衝材９が変形して、金型１を被印刷体３に平行に移動させることができるので、金型１を被印刷体３に対して平行に保つことができ、金型１に被印刷体３を平衡で均一な加圧力分布で押し当てることができる。さらに、作業時に光ナノインプリントリソグラフィ装置本体に発生する振動などは、応力衝撃緩衝材９で吸収され、金型１には伝わらないので、金型１の損傷・破損を防止することができる。
【００３６】
また、金型１の周縁部６を全周に亘って、応力衝撃緩衝材９で保持しているので、金型１の端部の保持部分はできる限り小さくすることができ、中央部分が遮られることなく、照射面積をできる限り大きくすることができる。よって、確実に被印刷体３にパターンを形成することができ、歩留まりの向上が達成できる。
【００３７】
さらに、金型１を被印刷体３から離す離型動作においても、金型１に局地的な応力の集中が起こらず、また、離型力は、応力衝撃緩衝材９を介して金型１へと徐々に伝わるので、一気にまとめて伝わらない。よって、離型動作での離型力低減を達成できる。そして、金型１の剥離が周縁部６からスムーズに開始され、周辺からむら無く剥離することができる。
【００３８】
そして、これら一連の動作の繰り返しでの金型１の応力疲労破壊や損傷などが起こらない。
【００３９】
以上のように、かかる転写印刷版保持構造５によれば、照射面積を大きく確保できると共に、金型１の破損を防止しつつ、その寿命を延長することができる。
【００４０】
図２は本発明に係る転写印刷版保持構造の好適な他の実施の形態を示した側面図である。
【００４１】
本実施の形態は、図１に示した実施の形態において、外枠部材７を図８に示した装置のガイドパイプ２４に直接取り付けることができるように、ガイドパイプ２４を通す孔７２を有するアーム７１を、外枠部材７の外周面に設けたものである。
【００４２】
（実施例１）
図３は本発明に係る転写印刷版保持構造の実施例１を示した側面図である。
【００４３】
図示するように、本実施例１では、金型１は石英にて形成されており、幅５０ｎｍ、長さ５０〜１００ｎｍの凸型のドットパターンが形成されている。金型１の製造には、直径４インチ（１００ｍｍ）で厚さが１．０ｍｍの人工石英板を用いた。
【００４４】
一方、応力衝撃緩衝材９は、シリコーンゴム弾性体にて形成されたＯリング２５から構成されている。シリコーンゴムの硬さはショア硬度で７０である。Ｏリング２５は、金型１の周縁部６の表裏両面に配置されるように、金型１の直径（１００ｍｍ）よりも若干小さい径（９０ｍｍ）に形成され、同心円上に配置されている。Ｏリング２５は、断面円形に形成され、断面厚さは、直径で５．０ｍｍである。
【００４５】
金型１の表裏両面に設けられたＯリング２５は、外枠部材７に形成された溝１４内に金型１と共に嵌装される。このとき、Ｏリング２５は、若干圧縮され、溝１４内で、金型１を外枠部材７に狭持させる。
【００４６】
この転写印刷版保持構造５によって、金型１を保持し、図８に示した光ナノインプリントリソグラフィ装置を用いて、被印刷体３にナノ印刷を行った。被印刷体３は、厚さ１．０ｍｍ、直径３インチ（７５ｍｍ）のナノガラスである。
【００４７】
ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）系の溶剤希釈型感光性樹脂（光硬化樹脂）を、被印刷体３上に１０μｍの厚さで塗布し、溶剤を乾燥させてから、被印刷体３を金型１に押圧させる。そして、波長３６５ｎｍのＵＶランプを用いて、紫外線を感光性樹脂に５秒間照射した。紫外線の照射後、ステージ４を降下させて印刷を終了した。
【００４８】
紫外線を照射しているナノ印刷時のステージ４の上昇圧力は、常時加圧で０．０１ＭＰａである。この圧力は大気圧の略１／１０に等しく、略０．１０Ｋｇｆ（０．９８Ｎ）／ｃｍ2であるが、金型１は、ナノガラス（被印刷体３）に対して、平行に保たれ、均一な圧力で密着されていることが、紫外線照射前の目視によって確認できた。また、ナノガラスと金型１とが平行でない場合や圧力不均一の際に発生する感光性樹脂への気泡の混入は発生していなかった。また、金型１の破損は発生しなかった。
【００４９】
（実施例２）
図４は本発明に係る転写印刷版保持構造の実施例２を示した側面図である。
【００５０】
図示するように、本実施例２では、応力衝撃緩衝材９は、断面Ｕ字状の金属製板バネ２６から構成されている。金属製板バネ２６は、厚さ０．１５ｍｍのＳＵＳ３１６の板材を折り曲げ加工して形成されている。金属製板バネ２６は、バネ材高さが５．０ｍｍ、バネの幅寸法が７．０ｍｍである。金属製板バネ２６は、金型１の周縁部６の表裏両面に配置されるように、金型１の直径（１００ｍｍ）よりも若干小さい径（９０ｍｍ）のリング状に折り曲げて形成され、同心円上に配置されている。
【００５１】
金型１の表裏両面に設けられた金属製板バネ２６は、外枠部材７に形成された溝１４内に金型１と共に嵌装される。このとき、金属製板バネ２６は、若干圧縮され、溝１４内で、金型１を外枠部材７に狭持させる。
【００５２】
本実施例２においても、実施例１と同様に、被印刷体３と金型１との間には、気泡の発生もなく、均一な印刷ができるといった作用効果が得られた。
【００５３】
（実施例３）
図５は本発明に係る転写印刷版保持構造の実施例３を示した側面図である。
【００５４】
図示するように、本実施例３では、応力衝撃緩衝材９は、シリコーンゴム弾性体にて形成され内周面に溝２８を備えた緩衝リング２７から構成されている。シリコーンゴムの硬さはショア硬度で７０である。緩衝リング２７の厚さは５ｍｍである。
【００５５】
溝２８に金型１の周縁部６を嵌装させて固定すると共に、緩衝リング２７の周縁部２９を外枠部材７に形成された溝１４内に嵌装させて、金型１を外枠部材７に保持させるようになっている。
【００５６】
緩衝リング２７の幅寸法（金型１の周縁部６と外枠部材７の内周面３１との距離）は、５ｍｍである。この幅寸法を変えることで、緩衝機能を調節することができる。すなわち、幅寸法を長くすると緩衝機能を高くでき、幅寸法を短くすると緩衝機能を低くできる。
【００５７】
本実施例３によれば、実施例１と同様に、被印刷体３と金型１との間には、気泡の発生もなく、均一な印刷ができるといった作用効果が得られる他に、緩衝リング２７の厚さを薄くできることで、転写印刷版保持構造５の薄型化を達成できる。
【００５８】
（実施例４）
図６は本発明に係る転写印刷版保持構造の実施例４を示した側面図である。
【００５９】
図示するように、本実施例４では、応力衝撃緩衝材９は、ポリカーボネート樹脂等の紫外線透過可能な材料で円盤状に形成された緩衝シート３２から構成されている。ポリカーボネート樹脂は、厚さ０．１５ｍｍの板材が用いられている。緩衝シート３２は、厚さが薄いので柔軟性を有している。この緩衝シート３２の下面には、フッ素系の接着剤で金型１が接着されている。そして、緩衝シート３２の周縁部３３を外枠部材７に形成された溝１４内に嵌装させて、金型１を外枠部材７に保持させている。
【００６０】
ポリカーボネート樹脂は、波長３６５ｎｍ付近では、紫外線透過率は３０％程度であるが、波長４００ｎｍ付近では９０％の透過率を持っているので、紫外線ランプの波長を変えることによって、十分に応力衝撃緩衝材９として使用することが可能となる。
【００６１】
上記構成によれば、実施例１と同様に、被印刷体３と金型１との間には、気泡の発生もなく、均一な印刷ができるといった作用効果が得られる他に、緩衝シート３２の厚さを薄くできることで、転写印刷版保持構造５の薄型化を達成できる。
【００６２】
（実施例５）
本実施例５では、実施例４で用いた緩衝シート３２を、金型１と同じ材料の人工石英板を用いて形成している。人工石英板の厚さは０．１ｍｍである。人工石英板は通常硬いが、０．１ｍｍの厚さであるので、緩衝材として十分な柔軟性を有し、緩衝作用を得ることができる。
【００６３】
人工石英の紫外線透過率は９２％であるので、緩衝シート３２として用いる場合に、紫外線の減衰が起こらないといった利点がある。
【００６４】
ここで、金型１そのものを薄くして緩衝機能を持たせることも考えられるが、金型１を薄くすると、金型１自体の反りが大きくなるばかりではなく、被印刷体３であるナノガラスを金型１に押し当てたときに湾曲し、平坦性が維持できないという欠点があるため、不可能である。
【００６５】
金型１の平坦度を確保するには、人工石英板の厚さは０．５ｍｍ以上が必要である。
【００６６】
上記構成によれば、紫外線ランプの波長を調節することなく、実施例４と同様の作用効果を得ることができる。
【００６７】
（実施例６）
本実施例６では、実施例１におけるＯリング２５を、フッ素ゴムにて形成している。フッ素ゴムは紫外線耐久性が、有機材料の中では最も優れており、紫外線を用いる光ナノインプリントリソグラフィ装置の構成材料としては、非常に適している。
【００６８】
本実施例６においても、実施例１と同様の作用効果を得ることができる。
【００６９】
（実施例７）
図７は本発明に係る転写印刷版保持構造の実施例７を示した側面図である。
【００７０】
図示するように、本実施例７では、実施例４における緩衝シート３２を、フッ素樹脂（ＰＴＦＥ）の繊維で加工したメッシュ状の布で構成した。フッ素樹脂製のメッシュ加工品としては、ジャパンゴア社から市販されているゴアテックス（登録商標）を採用している。ゴアテックスは、フッ素樹脂の繊維を三次元網目構造に加工したものであり、網目を通して紫外線が透過できる他、フッ素樹脂自体が紫外線をある程度透過させることができる。また、ゴアテックスは紫外線に対する耐久性が非常に高い。さらに、三次元網目構造なので弾力性に富んでおり、緩衝材としては、非常に適している。このゴアテックスからなる緩衝シート３２への金型１の取付は、実施例４と同様にフッ素系接着剤を用いて接着している。
【００７１】
上記構成によれは、実施例１と同様の作用効果を得ることができると共に、紫外線耐久性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明に係る転写印刷版保持構造の好適な実施の形態を示した側面図である。
【図２】本発明に係る転写印刷版保持構造の好適な他の実施の形態を示した側面図である。
【図３】本発明に係る転写印刷版保持構造の実施例１を示した側面図である。
【図４】本発明に係る転写印刷版保持構造の実施例２を示した側面図である。
【図５】本発明に係る転写印刷版保持構造の実施例３を示した側面図である。
【図６】本発明に係る転写印刷版保持構造の実施例４を示した側面図である。
【図７】本発明に係る転写印刷版保持構造の実施例７を示した側面図である。
【図８】光ナノインプリントリソグラフィ装置を示した側面図である。
【図９】従来の転写印刷版保持構造を示した側面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１  金型（転写印刷版）
３  被印刷体
５  転写印刷版保持構造
６  （金型の）周縁部
７  外枠部材
９  応力衝撃緩衝材
１４  （外枠部材の）溝
２５  Ｏリング
２６  金属製板バネ
２７  緩衝リング
２８  （緩衝リングの）溝
３２  緩衝シート
３３  （緩衝シートの）周縁部
【図１】
2006015709.tif 000003
【図２】
2006015709.tif 000004
【図３】
2006015709.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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