(57)【要約】【課題】  柔軟性を有し平面でない測定面を有する測定対象物にも容易に取り付けることができるとともに、熱容量が小さく応答性に優れた傍熱形サーミスタを提供する。【解決手段】  開示される傍熱形サーミスタは、一方の面に表面が接着面となっている接着剤層４を設けたフレキシブルプリント板３の一方の面に、サーミスタ１とヒータ２とを両者が接触した状態で実装したものである。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に表面が接着面となっている接着剤層を設けた可橈性板状支持体の他方の面に、サーミスタとヒータとが両者が接触した状態で実装されていることを特徴とする傍熱形サーミスタ。
【請求項２】
前記可橈性板状支持体が、樹脂フィルムと接着層とを交互に積層した複数層の積層材からなることを特徴とする請求項１記載の傍熱形サーミスタ。
【請求項３】
前記サーミスタ及び／又はヒータが、前記可橈性板状支持体を貫いて前記接着剤層に接するように実装されていることを特徴とする請求項１又は２記載の傍熱形サーミスタ。
【請求項４】
前記可橈性板状支持体上における前記ヒータの外部リード線のパターン面積が、前記サーミスタの外部リード線のパターン面積より大きくなっていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一記載の傍熱形サーミスタ。
【請求項５】
前記サーミスタとヒータとが、熱伝導性接着剤又は熱伝導性テープによって熱結合されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一記載の傍熱形サーミスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、温度測定用サーミスタに近接して加熱体を設けた傍熱形サーミスタに係り、特に、支持体として柔軟性を有するフレキシブルプリント板を用いた傍熱形サーミスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
傍熱形サーミスタは、温度測定用サーミスタに近接して加熱体を設けたものであって、被測定体に対する放熱に基づく加熱体の温度変化（低下）の程度を、サーミスタを含む温度測定回路によって測定することによって、被測定体である気体の流速（風速），流量の測定や、液体の流速，流量の測定、または被測定体の熱容量の変化、例えば容器内における気体や液体のレベル変化に基づく熱容量の変化等の測定を行う目的に用いられるものである。
【０００３】
例えば特許文献１においては、傍熱形サーミスタを液体の流速を測定するための流速センサとして用いた場合の例が開示されている。特許文献１記載の発明においては、薄膜または厚膜からなるサーミスタと発熱体とを近接させて基板上面に配置した傍熱形サーミスタからなるセンサを用い、このセンサをその基板下面が流路内の液体に接するように配置する。そして、発熱体によってサーミスタを加熱した状態で、サーミスタに直列抵抗を経て一定電源電圧を印加して、センサの基板下面における液体の流れに基づくサーミスタの温度低下を、サーミスタの両端の電圧変化によって測定することによって、検出された温度変化量と、補償用温度計によって測定した、流れがない状態での液体温度との関係から、液体の流速を測定することが記載されている。
【０００４】
また、特許文献２においては、特許文献１に記載されているような傍熱形サーミスタを用いた流速センサを備えた流量検知部の一端にフィンプレートを接合し、樹脂ハウジング内に流量検知部を収納するとももに、フィンプレートを樹脂ハウジング外に突出させた構造を有する流量センサが開示されている。特許文献２記載の発明においては、この流量センサを、フィンプレートが被測定流体の流路内に挿入された状態に装置して、フィンプレートを介する傍熱形サーミスタの温度変化によって流体の流速を計測することによって、計測された流速から換算された、一定断面積の流路における流体の流量を測定することが記載されている。
【０００５】
また、特許文献３においては、別の使用目的として、温度測定用にサーミスタを使用した電子体温計において、体温測定時、電子体温計のセンサキャップの近傍に設けられたヒータに通電して、センサキャップとサーミスタとを体温付近まで予備加熱することによって、体温測定のために必要な体温計装着時間を短縮できるようにすることが記載されている。
【特許文献１】特開平８−１４６０２６
【特許文献２】特開２００１−１２９８２
【特許文献３】特開２００２−５７５２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１記載の流速センサにおける傍熱形サーミスタは、サーミスタと発熱体とが、アルミナ，シリカ等からなる平板状の基板上に形成されており、基板下面を介して測定対象物との間で熱の伝達を行うように構成されているため、全体として柔軟性がない。
従って、特許文献１に記載されたような形態の傍熱形サーミスタを、一般的に温度計測の目的に使用しようとする場合は、測定対象物が流体以外であって測定対象面が平面でない場合には、適用することができないという問題がある。
【０００７】
また、特許文献２記載の流量センサでは、流量検知部において、傍熱形サーミスタを樹脂充填によって樹脂ハウジング内に固定するように構成されているが、傍熱形サーミスタをこのような構造にした場合、熱容量が大きくなって応答性が劣化することを避けられないという問題がある。
【０００８】
また、特許文献３記載の電子体温計では、サーミスタとヒータとは相互に分離した状態で、金属製のセンサキャップ内に樹脂充填によって固定されている。傍熱形サーミスタをこのような形態に構成した場合、熱容量が大きくなるとともに熱の伝達に時間がかかるため応答性が劣化する。さらに、樹脂固定時、サーミスタとヒータとの相互の位置関係にばらつきを生じる可能性があり、これによって傍熱形サーミスタとしての特性にばらつきが発生する恐れがある。
【０００９】
この発明は上述の事情に鑑みてなされたものであって、柔軟性を有し、平面でない測定面を有する測定対象物にも容易に取り付けることができるとともに、熱容量が小さく応答性に優れた傍熱形サーミスタを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は傍熱形サーミスタに係り、一方の面に表面が接着面となっている接着剤層を設けた可橈性板状支持体の他方の面に、サーミスタとヒータとが両者が接触した状態で実装されていることを特徴としている。
【００１１】
また請求項２記載の発明は、請求項１記載の傍熱形サーミスタに係り、上記可橈性板状支持体が、樹脂フィルムと接着層とを交互に積層した複数層の積層材からなることを特徴としている。
【００１２】
また請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の傍熱形サーミスタに係り、上記サーミスタ及び／又はヒータが、上記可橈性板状支持体を貫いて上記接着剤層に接するように実装されていることを特徴としている。
【００１３】
また請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか一記載の傍熱形サーミスタに係り、上記可橈性板状支持体上における上記ヒータの外部リード線のパターン面積が、上記サーミスタの外部リード線のパターン面積より大きくなっていることを特徴としている。
【００１４】
また請求項５記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか一記載の傍熱形サーミスタに係り、上記サーミスタとヒータとが、熱伝導性接着剤又は熱伝導性テープによって熱結合されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、柔軟性を有し、平面でない測定面を有する測定対象物にも容易に取り付けることができるとともに、熱容量が小さく応答性に優れた傍熱形サーミスタが実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
この発明の傍熱形サーミスタは、一方の面に表面が接着面となっている接着剤層を設けた可橈性板状支持体の他方の面に、サーミスタとヒータとが両者が接触した状態で実装されている。
【実施例１】
【００１７】
図１は、本発明の第１実施例である傍熱形サーミスタの構造を示す図、図２は、本実施例の傍熱形サーミスタの被測定体に対する取り付け状態を説明するための図、図３は、本実施例の傍熱形サーミスタの場合における応答特性の向上を説明するための図、図４は、本実施例の傍熱形サーミスタの場合における被測定体に対する接着の効果を説明するための図である。
【００１８】
図１において、（ａ）はこの例の傍熱形サーミスタの上面図を示し、（ｂ）は図１（ａ）におけるＸ−Ｘ断面図を示している。
この例の傍熱形サーミスタは、図１に示すように、サーミスタ１と、ヒータ２と、フレキシブルプリント板（以下、ＦＰＣと略す）３と、接着剤層４とから概略構成されている。
【００１９】
サーミスタ１は、複数の金属酸化物の混合体からなる負の抵抗温度係数を有する抵抗体からなり、図示されない温度測定回路に接続することによって、その温度に応じたレベルの出力信号を発生する。ヒータ２は、チップ抵抗や正抵抗温度係数を有する定温発熱体からなっている。ここで定温発熱体は、キューリー点以上の温度になると急激に抵抗値が増加して一定温度に飽和する、自己温度制御機能を有する発熱体である。ＦＰＣ３は、例えばポリイミドフィルムと接着剤層とを交互に積層した、柔軟で可橈性を有する複数層の積層材からなっている。接着剤層４は、通常、常温で接着力を有する不硬化性接着剤の薄層からなっている。
【００２０】
この例の傍熱形サーミスタは、サーミスタ１とヒータ２との支持体として柔軟性を有するＦＰＣ３を使用しているので、被測定体の表面が平面の場合に限らず、任意の形状の場合に適用して隙間なく装着することができる。
図２においては、被測定体１００の表面が凸面からなる場合に、その表面に接着剤層４によって接着することによって、ＦＰＣ３が被測定体１００の表面に沿って曲がった状態になるので、この例の傍熱形サーミスタを、被測定体１００の表面に隙間なく接着できることが示されている。
【００２１】
図３は、この例の傍熱形サーミスタの場合の応答性の向上を説明するものであって、外径１０ｍｍ、厚さ０．１５ｍｍのステンレス（ＳＵＳ３０４）管からなるセンサ保護管の内側に、図１に示された構造の傍熱形サーミスタを貼り付けて、傍熱形サーミスタに直接、水が触れないように、ステンレス管表面のみを水に浸した場合のサーミスタ熱時定数と、比較のために、図１に示された傍熱形サーミスタのＦＰＣ３を同一厚さの柔軟性を有しない平面樹脂基板に変更して、図３の場合と同様の状態でステンレス管の内側に貼り付けた場合のサーミスタ熱時定数とを示している。
【００２２】
図３において、Ａ，Ｂ，Ｃは、支持体としてＦＰＣを用いた場合における応答性の、それぞれ上限特性と中心特性と下限特性とを示し、Ｄ，Ｅ，Ｆは、支持体として平面基板を用いた場合における応答性の、それぞれ上限特性と中心特性と下限特性とを示している。両者の場合における６３．２％応答時間は、ＦＰＣ使用の場合は平均１．２ｓｅｃであり、平面基板使用の場合は平均７．２ｓｅｃであった。
【００２３】
図３に示されるように、この例の傍熱形サーミスタの場合は、支持体であるＦＰＣ３に柔軟性があるため、ステンレス管の内側に隙間なく貼り付けることができ、従って高応答性，高精度である。一方、支持体を柔軟性を有しない平面基板に変更した場合は、ステンレス管の内側の曲面に追随することができず、ステンレス管の内面との間に隙間ができるため、応答性が低下し、測定精度のばらつきも大きくなることがわかる。
【００２４】
図４は、この例の傍熱形サーミスタの場合における、被測定体に対する接着の効果を説明するものであって、図１に示されたような接着剤層４によって傍熱形サーミスタを被測定体に装着した場合のサーミスタ熱時定数と、接着剤層を設けずにスポンジを用いて傍熱形サーミスタを被測定体に押しつけることによって隙間なく固定した場合のサーミスタ熱時定数とを、図３の場合と同じ試験方法で測定して比較した例を示している。
【００２５】
図４において、Ａは、接着剤層４によってＦＰＣ３を固定した場合の応答性を示し、Ｂは、スポンジで押さえてＦＰＣ３を固定した場合の応答性を示している。両者の場合において被測定体であるステンレス管の条件は、図３の場合と同様である。また、両者の場合における６３．２％応答時間は、接着剤層４を使用してＦＰＣ３を固定した場合は約１．２ｓｅｃであり、スポンジで押さえてＦＰＣ３を固定した場合は約３．０ｓｅｃであった。
【００２６】
図４に示された特性の違いから、スポンジで押さえてＦＰＣ３を固定する方法の場合は、応答性が低下していることがわかる。これは、スポンジで押さえた場合には、傍熱形サーミスタ自体の熱容量に対して、固定のために使用したスポンジの熱容量が加算されるために、応答性が低下したものである。また、この場合は、押し付け圧力の違いや、スポンジ自体の熱容量のばらつきが、傍熱形サーミスタの応答性ばらつきの原因となる。
【００２７】
このように、この例の傍熱形サーミスタの場合は、ＦＰＣ３の裏面を、接着剤の薄層からなる接着剤層４を用いて被測定体に対して隙間なく貼り付けて固定することによって、傍熱形サーミスタの熱容量が小さい状態で被測定体に装着することが可能になっており、これによって、高応答性の傍熱形サーミスタが実現されている。
【００２８】
また、この例の場合は、ＦＰＣ３上に、サーミスタ１とヒータ２のパターンを印刷等の手法によって加工することによって、サーミスタ１とヒータ２とを定寸で実装することができるとともに、サーミスタ１とヒータ２とを接触状態に固定して形成することができるので、サーミスタ１とヒータ２とＦＰＣ３との寸法と位置関係が定寸化され、熱的にも安定する。従って、傍熱形サーミスタ特性を高精度化することが可能になる。
さらに、ＦＰＣ３は厚さが薄く、また厚さ寸法を安定に製作できるので、傍熱形サーミスタの熱容量は十分に小さくかつ安定しており、従って、傍熱形サーミスタ特性を容易に高感度化，高精度化することができる。
【実施例２】
【００２９】
図５は、本発明の第２実施例である傍熱形サーミスタの構成例（１）を示す図、図６は、構成例（１）の場合における応答特性の向上を説明するための図、図７は、本発明の第２実施例である傍熱形サーミスタの構成例（２）を示す図、図８は、構成例（２）の場合のヒータ下部における接着剤層表面の温度の変化を示す図、図９は、本発明の第２実施例である傍熱形サーミスタの構成例（３）を示す図である。
【００３０】
図５に示すこの例の傍熱形サーミスタの構成例（１）において、（ａ）は、サーミスタ１とヒータ２がＦＰＣ３の中央部分にある場合を示し、（ｂ）は、サーミスタ１とヒータ２がＦＰＣ３の端部にある場合を示している。
図５（ａ）においては、サーミスタ１とヒータ２が密着した状態で、サーミスタ１のみが直接、接着剤層４に接触するようにＦＰＣ３の中央部分を切り抜いて、サーミスタ１を接着剤層４に固定し、ヒータ２をＦＰＣ３に固定したことが示されている。
また、図５（ｂ）においては、サーミスタ１とヒータ２が密着した状態で、サーミスタ１のみが直接、接着剤層４に接触するようにＦＰＣ３の端部を切り抜いて、サーミスタ１を接着剤層４に固定し、ヒータ２をＦＰＣ３に固定したことが示されている。
図５のようにすることによって、サーミスタ１と被測定体との間の熱伝導効率がよくなるので、傍熱形形サーミスタの応答性が向上する効果が得られる。
【００３１】
図６は、この場合における傍熱形形サーミスタの応答性向上を説明するものであって、Ａは、サーミスタ１を接着剤層４に密着するように固定した場合の、サーミスタ熱時定数を示し、Ｂは、サーミスタ１をＦＰＣ３に固定した場合の、サーミスタ熱時定数を示している。
両者の場合における被測定体であるステンレス管の条件は、図３の場合と同様である。また、両者の場合における６３．２％応答時間は、サーミスタ１を接着剤層４上に固定した場合は約１．０ｓｅｃであり、ＦＰＣ３上に固定した場合は約１．２ｓｅｃであった。
このように、サーミスタ１を接着剤層４に密着させたことによって、図１に示す第１実施例の場合よりも、傍熱形サーミスタの応答性が向上することがわかる。
【００３２】
図７に示すこの例の傍熱形サーミスタの構成例（２）において、（ａ）は、サーミスタ１とヒータ２がＦＰＣ３の中央部分にある場合を示し、（ｂ）は、サーミスタ１とヒータ２がＦＰＣ３の端部にある場合を示している。
図７（ａ）においては、サーミスタ１とヒータ２が密着した状態で、ヒータ２のみが直接、接着剤層４に接触するようにＦＰＣ３の中央部分を切り抜いて、ヒータ２を接着剤層４に固定し、サーミスタ１をＦＰＣ３に固定したことが示されている。
また、図７（ｂ）においては、サーミスタ１とヒータ２が密着した状態で、ヒータ２のみが直接、接着剤層４に接触するようにＦＰＣ３の端部を切り抜いて、ヒータ２を接着剤層４に固定し、サーミスタ１をＦＰＣ３に固定したことが示されている。
図７のようにすることによって、ヒータ２と被測定体との間の熱伝導効率が向上するので、ヒータ２によって被測定体を効率よく加熱することができる。
【００３３】
図８は、このような傍熱形サーミスタのヒータ加熱時における、ヒータ実装部分裏側の接着層４の表面温度を比較したものであって、Ａは、ヒータ２を接着剤層４に密着するように固定した場合の接着剤層４の表面温度の変化を示し、Ｂは、ヒータ２をＦＰＣ３上に固定した場合の接着層４の表面温度の変化を示している。
ヒータ２がＦＰＣ３上にに固定されている場合は、ヒータ２と接着剤層４との間の熱伝導効率が悪いために、Ｂに示されるように接着剤層４の表面温度の上昇が遅いが、ヒータ２が直接、接着剤層４上に固定されている場合は、ヒータ２と被測定体間の熱伝導効率がよいので、Ａに示されるように接着剤層４の表面温度の上昇が速く、従って図１に示す第１実施例の場合よりも、被測定体をより効率よく加熱できることがわかる。
【００３４】
図９に示す、この例の傍熱形サーミスタの構成例（３）においては、サーミスタ１とヒータ２が密着した状態で、両者が直接、接着剤層４に接触するようにＦＰＣ３の中央部分を切り抜いて、サーミスタ１とヒータ２との両方を接着剤層４に固定したことが示されている。
図９のようにすることによって、サーミスタ１とヒータ２のそれぞれと被測定体間の熱伝導効率が向上するので、図１に示された第１実施例の場合よりも、応答性が向上するとともにより効率的に被測定体を加熱することができるようになる。
【実施例３】
【００３５】
図１０は、本発明の第１実施例および第２実施例における傍熱形サーミスタの具体的構造を示す図、図１１は、本発明の第３実施例である傍熱形サーミスタの具体的構造を示す図、図１２は、第１実施例および第２実施例の傍熱形サーミスタにおける各部の温度変化を示す図、図１３は、本実施例の傍熱形サーミスタにおける各部の温度変化を示す図である。
【００３６】
図１０は、図１に示されれた第１実施例、および図５，図７，図９に示された第２実施例のそれぞれの場合における傍熱形サーミスタの具体的構造を示したものである。
図１０において、１１，１２はそれぞれヒータ２の外部リード線、１３，１４はそれぞれサーミスタ１の外部リード線である。また、測定部Ａはヒータ２に対する温度測定位置、測定部Ｂはサーミスタ１に対する温度測定位置、測定部Ｃは外部リード線１１に対する温度測定位置、測定部Ｄは外部リード線１２に対する温度測定位置をそれぞれ示している。
【００３７】
図１０に示されるように、図１に示された第１実施例、および図５，図７，図９に示された第２実施例の場合、ヒータ２の外部リード線１１，１２、及びサーミスタ１の外部リード線１３，１４は、いずれも等しい太さの導体パターンからなっている。
【００３８】
図１１は、この例の傍熱形サーミスタの具体的構造を示したものであって、２１，２２はそれぞれヒータ２の外部リード線である。また、測定部Ａはヒータ２に対する温度測定位置、測定部Ｂはサーミスタ１に対する温度測定位置、測定部Ｃは外部リード線２１に対する温度測定位置、測定部Ｄは外部リード線２２に対する温度測定位置をそれぞれ示している。
【００３９】
図１１に示されるように、この例の傍熱形サーミスタにおいては、ヒータ２の外部リード線２１，２２は、図１０に示された第１実施例および第２実施例の場合における、ヒータ２の外部リード線１１，１２よりも広い面積の導体パターンからなっている。
【００４０】
図１２においては、図１０に示された傍熱形サーミスタの各部における、ヒータ２通電開始からの時間に対する温度変化（昇温特性）を示し、図中の各特性Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、それぞれ図１０に示された測定部Ａ，測定部Ｂ，測定部Ｃ，測定部Ｄに対応している。
【００４１】
図１３においては、図１１に示された傍熱形サーミスタの各部における、ヒータ２通電開始からの時間に対する温度変化（昇温特性）を示し、図中の各特性Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは、それぞれ図１１に示された測定部Ａ，測定部Ｂ，測定部Ｃ，測定部Ｄに対応している。
【００４２】
図１２に示された第１実施例および第２実施例の傍熱形サーミスタの昇温特性と、図１３に示されたこの例の傍熱形サーミスタの昇温特性とを比較すると、測定部Ａの温度が同じ（昇温特性が同じ）でも、第３実施例の傍熱形サーミスタの方が、測定部Ｂ，Ｃ，Ｄの温度が測定部Ａの温度に近づいている。
すなわち、この例の傍熱形サーミスタの場合、第１実施例および第２実施例の傍熱形サーミスタと比べて均熱化されている。
【００４３】
これは、この例の傍熱形サーミスタの場合、図１１に示されるように、ヒータ２の外部リード線２１，２２のパターン面積が、図１０に示された第１実施例および第２実施例の傍熱形サーミスタの場合のヒータ２の外部リード線１１，１２のパターン面積よりも広いことに基づいている。
すなわち、ヒータ２の熱は外部リード線のパターン部分からもＦＰＣ３を介して被測定体に伝達されるが、金属からなる外部リード線のパターン部分は、ＦＰＣ３の基材であるポリイミドフィルムや層間の接着剤よりも熱伝導性が高いので、外部リード線のパターン部分が広いこの例の傍熱形サーミスタの方が、ヒータ２の熱を被測定体に対して伝達するのに有効なＦＰＣ３の面積を広くすることができるためである。
【００４４】
なお、熱源ではないサーミスタ１の外部リード線１３，１４のパターン面積を大きくすることは、ヒータ２からサーミスタ１へ直接伝わった熱を、外部リード線１３，１４を経て外部へ逃がしやすくすることからサーミスタ１の温度を不必要に低下させて、ヒータ２とサーミスタ１との均熱性を劣化させるので好ましくない。
【実施例４】
【００４５】
図１４は、本発明の第４実施例である傍熱形サーミスタの構成例（１）を示す図、図１５は、構成例（１）の場合の各部の温度変化を示す図、図１６は、本発明の第４実施例である傍熱形サーミスタの構成例（２）を示す図である。
【００４６】
図１４は、この例の傍熱形サーミスタの構成例（１）を示したものであって、（ａ）はこの例の傍熱形サーミスタの上面図を示し、（ｂ）は図１４（ａ）におけるＸ−Ｘ断面図を示している。
この例の傍熱形サーミスタは、図１４に示すように、図１に示された第１実施例の構成において、サーミスタ１とヒータ２とを熱伝導性接着剤５によって接合することによって、両者を熱的に結合した概略構成を有している。
なお、このような熱伝導性接着剤５によるサーミスタ１とヒータ２と接合は、図５，図７，図９に示された第２実施例、および図１１に示された第３実施例の場合にも、同様に適用することができる。
【００４７】
図１５においては、図１４に示された傍熱形サーミスタの各部における、時間に対する温度変化特性を示している。図中、Ａはヒータ２の下部の接着剤層４の表面温度、Ｂはサーミスタ１の温度を示している。また、Ｃは図１４に示された傍熱形サーミスタにおいて、熱伝導性接着剤５を適用しなかった場合のサーミスタ１の温度を示し、図１に示された第１実施例の場合におけるサーミスタ１の温度と同等である。
【００４８】
図１５に示された、温度変化特性Ｂ，Ｃを比較すると、熱伝導性接着剤５を使用したことによって、Ａに示すヒータ２下部の接着剤層４の表面温度に対する、サーミスタ１の温度の追従性が向上していることがわかる。
【００４９】
このように、図１４に示された構成例の傍熱形サーミスタでは、サーミスタ１とヒータ２とを熱伝導性接着剤５によって接合したので、ヒータ２の熱を効率よくサーミスタ１に伝達することができ、第１実施例の場合と比べて傍熱形サーミスタの応答性が向上している。
また、この例の傍熱形サーミスタでは、サーミスタ１とヒータ２との間では、熱伝導性接着剤５を施した範囲において均熱化の効果が得られるので、図１１に示す第３実施例において、ヒータ２の外部リード線のパターンを大きくしたのと類似した効果を得ることが可能になる。
【００５０】
図１６は、この例の傍熱形サーミスタの構成例（２）を示したものであって、（ａ）はこの例の傍熱形サーミスタの上面図を示し、（ｂ）は図１６（ａ）におけるＸ−Ｘ断面図を示している。
この例の傍熱形サーミスタは、図１６に示すように、図１に示された第１実施例の構成において、サーミスタ１とヒータ２とを包囲して熱伝導性テープ６を巻き付けた概略構成を有しいる。
なお、このような熱伝導性テープ６によるサーミスタ１とヒータ２と接合は、図５，図７，図９に示された第２実施例、および図１１に示された第３実施例の場合にも、同様に適用することができる。
【００５１】
このように、図１６に示された構成例の傍熱形サーミスタでは、熱伝導性テープ６によって、サーミスタ１とヒータ２とを熱的に結合しているので、図１４に示された構成例（１）の場合と同様に、ヒータ２の熱を効率よくサーミスタ１に伝達することができ、傍熱形サーミスタの応答性が向上するとともに、熱伝導性テープ６を施した範囲において均熱化の効果を得ることができる。
【００５２】
以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば、各実施例の場合に、ＦＰＣ３の裏面に接着剤層４を形成する際に、薄手の両面接着テープを貼り付けて接着剤層を形成するようにしてもよい。また第１実施例の場合に、予め接着剤層４を設けずに、被測定体に対する装着時にＦＰＣ３の裏面に接着剤を塗布することによって接着剤層を形成するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明の傍熱形サーミスタは、気体の流速，流量の測定や制御、液体の流速，流量の測定や制御、容器内における気体や液体のレベル測定や制御等に広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１実施例である傍熱形サーミスタの構造を示す図である。
【図２】同実施例の傍熱形サーミスタの被測定体に対する取り付け状態を説明するための図である。
【図３】同実施例の傍熱形サーミスタの場合における応答特性の向上を説明するための図である。
【図４】同実施例の傍熱形サーミスタの場合における被測定体に対する接着の効果を説明するための図である。
【図５】本発明の第２実施例である傍熱形サーミスタの構成例（１）を示す図である。
【図６】同実施例の構成例（１）の場合における応答特性の向上を説明するための図である。
【図７】本発明の第２実施例である傍熱形サーミスタの構成例（２）を示す図である。
【図８】同実施例の構成例（２）の場合のヒータ下部における接着剤層表面の温度の変化を示す図である。
【図９】本発明の第２実施例である傍熱形サーミスタの構成例（３）を示す図である。
【図１０】本発明の第１実施例および第２実施例における傍熱形サーミスタの具体的構造を示す図である。
【図１１】本発明の第３実施例である傍熱形サーミスタの具体的構造を示す図である。
【図１２】本発明の第１実施例および第２実施例の傍熱形サーミスタにおける各部の温度変化を示す図である。
【図１３】本発明の第３実施例の傍熱形サーミスタにおける各部の温度変化を示す図である。
【図１４】本発明の第４実施例である傍熱形サーミスタの構成例（１）を示す図である。
【図１５】同実施例の構成例（１）の場合の各部の温度変化を示す図である。
【図１６】本発明の第４実施例である傍熱形サーミスタの構成例（２）を示す図である。
【符号の説明】
【００５５】
１    サーミスタ
２    ヒータ
３    フレキシブルプリント板（ＦＰＣ）
４    接着剤層
５    熱伝導性接着剤
６    熱伝導性テープ
１１，１２，２１，２２    ヒータ２の外部リード線
１３，１４    サーミスタ１の外部リード線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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