(57)【要約】【課題】  本発明は、積層圧電素子の最外層となる圧電体層にも電圧を印加して積層圧電アクチュエータを効率的に駆動することを課題とする。【解決手段】  磁気ディスク装置１２の磁気ヘッドを有するスライダ１６は、積層圧電アクチュエータ３０を介してサスペンション１８に取り付けられる。積層圧電アクチュエータ３０は、２個の積層圧電素子３２，３４により構成され、スライダ１６は積層圧電アクチュエータ３０によりサスペンション１８に対して移動される。積層圧電素子３２，３４は、圧電体層４０と電極層４２，４４とを交互に積層して形成された積層体であり、その最外層として、電極層４２Ａ，４４Ａが設けられる。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
該積層圧電アクチュエータを構成する積層圧電素子と、該積層圧電アクチュエータにより移動される移動部と、該積層圧電アクチュエータを支持する支持部とを有し、
前記積層圧電素子は、圧電体層と電極層とを交互に積層して形成された積層体であって、その最外層の少なくとも一方は該電極層であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
【請求項２】
請求項１記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
前記最外層の電極層の表面に絶縁コーティングが施されていることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
【請求項３】
請求項１又は２記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、前記支持部は該スライダを指示するサスペンションであり、２個の前記積層圧電素子が該スライダと該サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の各々の幅は前記スライダの幅の２０％以下であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
【請求項４】
請求項１又は２記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、前記支持部は該スライダを指示するサスペンションであり、２個の前記積層圧電素子が該スライダと該サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の間隔は前記スライダの幅の１５％以下であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
【請求項５】
請求項１乃至４のうちいずれか一項記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構を有する磁気ディスク装置であって、
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、
前記支持部は該スライダを支持するサスペンションであり、
前記積層圧電アクチュエータは前記スライダと前記サスペンションとの間に設けられて前記スライダを前記サスペンションに対して移動させることを特徴とする磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電アクチュエータを用いた移動機構に係り、特に積層圧電アクチュエータを用いた磁気ヘッド移動用アクチュエータを用いて磁気ヘッドを微小移動させる微小移動機構を備えた磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器の小型化、精密化が進んでおり、微小な移動を精度よく実現できるアクチュエータへの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等では、微小距離を移動制御することができるマイクロアクチュエータが必要となっている。
【０００３】
このような状況の中で、磁気ディスク装置に関し、市場の拡大と装置の高性能化に伴い、記録容量の大容量化が益々重要となってきている。一般に磁気ディスク装置の大容量化はディスク1枚あたりの記憶容量を大きくすることで達成される。ディスクの大きさ、すなわち直径を変えずに高記録密度を達成するためには、単位長さあたりのトラック数（ＴＰＩ）を大きくすること、すなわち、トラックの幅を狭くすることが不可欠である。このため、トラックの幅方向におけるヘッドの位置精度を高くすることが必要であり、高位置決め精度が可能なヘッド用マイクロアクチュエータの開発が要望されている。
【０００４】
従来のヘッド位置決めには、ヘッド（スライダ）を保持しているサスペンションの固定部にあるコアアースアクチュエータが用いられていた。従来はこの方式でも媒体の記録密度を十分カバーできていた。しかし、近年の記録装置の大容量化にともなう記録密度の高密度化により、従来方式ではヘッドの位置決め精度が不十分となり、ヘッドの読み取り、書き込み不良が発生するおそれがある。
【０００５】
そこで、ヘッド位置決め精度を改善する方法として、スライダを直接移動させるマイクロアクチュエータをスライダとサスペンションの間に配置する方法が提案されている。マイクロアクチュエータはコアアースアクチュエータの動作とは独立にアームの先端に取り付けられたヘッドを微小移動させることが可能である。
【０００６】
上述のマイクロアクチュエータとして圧電素子を用いたアクチュエータが提案されている（例えば、特許文献１〜３参照。）。特許文献１〜３に開示された圧電素子は、圧電体の両側に電極を配置して電圧を印加することで圧電体駆動する（歪ませる）アクチュエータであり、単層の圧電体層とそれを挟むように設けられた電極よりなっている。
【０００７】
ディスク装置のヘッド用アクチュエータとして圧電アクチュエータを用いる場合、なるべく低電圧で大きな歪み（すなわち駆動力）が得られることが好ましい。圧電体を低電圧で駆動するには、なるべく電極間の距離を小さくして複数の圧電体層を積層することが提案されている（例えば、特許文献４及び５参照。）。
【特許文献１】特開２００１−３０９６７３号公報
【特許文献２】特開２００３−６１３７１号公報
【特許文献３】特開２００３−２７２３２４号公報
【特許文献４】特開２００２−７４８７０号公報
【特許文献５】特開２００３−１２３４２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述のように圧電体層を積層して形成した圧電アクチュエータに用いられる積層圧電素子の断面図を図１に示す。従来の積層圧電素子１は、電極層２，３を圧電体層４の間に配置して焼成することで積層体として形成されており、図１に示すように積層圧電素子１の最外層は圧電体層４となっている。すなわち、積層圧電素子１の最下層と最上層は、電極ではなく圧電体層４となっている。各電極層２は側面電極５に接続され、側面電極５から電圧が印加される。一方、各電極層３は側面電極６に接続され、側面電極６から電圧が印加される。
【０００９】
上述の図１に示すような積層圧電素子において、電極層２，３間に例えば３０Ｖというような電圧を印加すると、各積層体層６が伸縮し、アクチュエータとして機能する。ここで、積層体の最下層と最上層は、電極層２，３ではなく圧電体層４となっており、この最下層と最上層の圧電体層４は電極層２，３により挟まれていないため、電圧は印加されない。したがって、最下層と最上層の圧電体層４には歪みは発生しない構造となっている。
【００１０】
以上のように、従来の積層圧電素子では、最下層と最上層の圧電体層４はアクチュエータとして機能しない部分であり、その分、圧電アクチュエータの厚みが大きくなってしまうという問題がある。加えて、最下層と最上層の圧電体層４は、電圧が印加されて他の圧電体層４が歪む際に、歪みを妨げるように作用するという問題もある。
【００１１】
本発明は上述の問題に鑑みなされたものであり、積層体の最外層となる圧電体層にも電圧を印加して効率的に駆動することのできる積層圧電アクチュエータを用いた移動機構及びそのような移動機構を有する磁気ディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述の目的を達成するために、本発明によれば、積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、該積層圧電アクチュエータを構成する積層圧電素子と、該積層圧電アクチュエータにより移動される移動部と、該積層圧電アクチュエータを支持する支持部とを有し、前記積層圧電素子は、圧電体層と電極層とを交互に積層して形成された積層体であって、その最外層の少なくとも一方は該電極層であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構が提供される。
【００１３】
上述の本発明による積層圧電アクチュエータを用いた移動機構において、前記最外層の電極層の表面に絶縁コーティングが施されていることが好ましい。また、前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、前記支持部は該スライダを指示するサスペンションであり、２個の前記積層圧電素子が該スライダと該サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の各々の幅は前記スライダの幅の２０％以下であることとしてもよい。さらに、前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、前記支持部は該スライダを指示するサスペンションであり、２個の前記積層圧電素子が該スライダと該サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の間隔は前記スライダの幅の１５％以下であることとしてもよい。
【００１４】
また、本発明によれば、上述の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構を有する磁気ディスク装置であって、前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、前記支持部は該スライダを支持するサスペンションであり、前記積層圧電アクチュエータは前記スライダと前記サスペンションとの間に設けられて前記スライダを前記サスペンションに対して移動させることを特徴とする磁気ディスク装置が提供される。
【発明の効果】
【００１５】
上述の本発明によれば、従来の積層圧電素子の最外層であった圧電体層にも電圧を印加して駆動することができ、駆動できない圧電体層がなくなるため、積層圧電アクチュエータにより移動される移動部の変位量を増大することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明の一実施例について図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図２は本発明を適用可能な磁気ディスク装置の平面図である。図２に示す磁気ディスク装置１２は、回転可能な磁気ディスク１４と、磁気ディスク１４から情報を読み出したり磁気ディスク１４に情報を書き込むための磁気ヘッドを有するスライダ１６とを有する。
【００１８】
スライダ１６はサスペンション１８の先端（図３におけるジンバル部１８ａ）に取り付けられており、サスペンション１８の根元部分はキャリッジアーム２０に固定されている。キャリッジアーム２０は電磁アクチュエータ２２によりアーム軸２４を中心として回転される。これにより、スライダ１６は磁気ディスク１４の半径方向（図中矢印で示す）に移動可能である。
【００１９】
以上のような構成の磁気ディスク装置１２において、図３に示すように、スライダ１６とサスペンション１８のジンバル部１８ａとの間に、微小移動機構としてマイクロアクチュエータ３０が設けられる。マイクロアクチュエータ３０は、第１の圧電素子３２と第２の圧電素子３４とよりなり、接着剤３６によりジンバル部１８ａ及びスライダ１６に固定される。ここで、マイクロアクチュエータ３０は積層圧電アクチュエータであり、ジンバル部１８aは積層圧電アクチュエータが固定され支持される支持部に相当し、スライダ１６は積層圧電アクチュエータにより移動又は回転される移動部に相当する。
【００２０】
具体的には、第１の圧電素子３２の一端部の表面がジンバル部１８ａに接着され、第１の圧電素子３２の他端部の裏面がスライダ１６に接着される。また、第２の圧電素子３４の一端部の表面がジンバル部１８ａに接着され、第２の圧電素子３４の他端部の裏面がスライダ１６に接着される。
【００２１】
第１の圧電素子３２は電圧が印加されると図３中矢印Ａ方向に収縮するように構成された積層圧電素子である。一方、第２の圧電素子３４は電圧が印加されると図３中矢印Ｂ方向に収縮するように構成された積層圧電素子である。したがって、第１及び第２の圧電素子３２，３４に同時に電圧が印加されると、第１の圧電素子３２が収縮すると同時に第２の圧電素子も収縮するため、スライダ１６の先端側は図３中矢印Ｃで示す方向に移動し、後端側は図２中矢印Ｄで示す方向に移動する。すなわち、スライダ１６は圧電素子３２，３４よりなるマイクロアクチュエータ２０の中心を軸として僅かな角度だけ回転する。
【００２２】
上記回転移動によりスライダ１６に組み込まれている磁気ヘッドを微小変位させることで、スライダ１６に組み込まれた磁気ヘッッドの微細な位置合わせを行なうことができる。スライダ１６の移動量は、マイクロアクチュエータ３０の大きさや印加する電圧に依存するが、磁気ヘッドの微小移動を実現するには、例えば、スライダ１６の角部（図３中１６Ａ及び１６Ｂで示す）において１μｍ〜８００ｎｍに設定される。
【００２３】
以上のように、ヘッドが搭載されているスライダを、スライダの重心を中心として回転させることにより、磁気ディスクのトラックの幅方向へ微小移動させている。
【００２４】
図４は本発明の一実施例による積層圧電アクチュエータを用いた移動機構の斜視図である。図４に示す移動機構は、図３に示すスライダ１６をジンバル部１８ａに対して移動するためのマイクロアクチュエータ３０である。
【００２５】
第１及び第２の圧電素子３２，３４は、圧電体層と電極層を交互に積層して形成された積層体であり、所定の間隔でスライダ１６上に配置され、上述のようにスライダ１６及びジンバル部１８ａに接着剤により固定される。第１及び第２の圧電素子３２，３４は、同じ構造であり、表裏を逆にして背中あわせの状態で所定の間隔で配置される。
【００２６】
図５は第１の圧電素子３２を拡大して示す斜視図である。図６は図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。なお、第２の圧電素子３４も第１の圧電素子と同じ構造を有しており、ここでは第１の圧電素子３２を代表として説明する。
【００２７】
第１の圧電素子３２は、圧電体層４０と電極層４２，４４とを積層した積層体として形成される。本実施例では、電極層４２に加えて、最外層（最下層）として電極層４２Ａが設けられる。電極層４２Ａは電極層４２と同様に側部電極４６に接続され、電極層４２と同じ電圧が印加される。また、電極層４４に加えて、最外層（最上層）として電極層４４Ａが設けられる。電極層４４Ａは電極層４４と同様に側部電極４８に接続され、電極層４４と同じ電圧が印加される。
【００２８】
図６に示す本実施例による圧電素子と図１に示す従来の圧電素子とを比較すると明らかなように、本実施例による圧電素子は、従来の圧電素子では設けられていない最外層の電極層４２Ａ，４４Ａを有している。このため、第１の圧電素子３２の側部電極４６，４８の間に電圧を印加すると、最外層の電極層４２Ａ，４４Ａの間の全ての圧電体層４０が活性化され伸縮する（歪みが発生する）。すなわち、積層体の最外層として電極層を形成することで、従来のように活性化されない最外層の圧電体層がなくなり、全ての圧電体層が有効に活性化されてアクチュエータとして機能することとなる。
【００２９】
本発明者は、長さＬｓ＝１．２５ｍｍ、幅Ｗｓ＝１ｍｍのスライダ用として上述の圧電アクチュエータを作成し、活性化されない最外層の圧電体層（不活性層と称する）がある場合（従来）と無い場合（本実施例）とで同じ電圧（３０Ｖ）を印加してスライダの変位量を比較した。その結果、不活性層がある場合には、図４のＸ方向の変位量は５７２ｎｍであったのに対し、不活性層がない本実施例の場合には、Ｘ方向の変位量は６９１ｎｍであった。不活性層を無くすことにより同電圧の印加で２０％も変位量を増大させることができた。言い換えれば、同じスライダの変位量を得るのであれば、圧電アクチュエータに印加する電圧を低減することができる。
【００３０】
以上は不活性層を無くすことによりスライダの変位量を増大させる、あるいは駆動電圧を低減する例であるが、上述の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構において、第１及び第２の圧電素子３２，３４の幅及び配置関係を改善することにより、スライダの変位量を増大させることができる。上述の実施例のように不活性層を無くすことだけでも十分スライダの変位量を増大させることができるが、圧電素子の幅を調整したり、二つの圧電素子の間隔を調整することで、より一層スライダの変位量を増大し、より低電圧での駆動が可能となる。
【００３１】
本発明者は、図４に示す積層圧電アクチュエータを用いた移動機構において、圧電素子の幅や配置を変化させてスライダの変位量を調べるべくコンピュータシムレーションを行なった。スライダ１６の長さＬｓを１．２５ｍｍ、幅Ｗｓを１ｍｍとし、積層圧電アクチュエータ（すなわち第１及び第２の圧電素子３２，３４）の駆動電圧を２０Ｖとした。
【００３２】
図７は第１の圧電素子３２と第２の圧電素子３４の間隔Ｄ（図４参照）を変化させた場合のスライダ１６のＸ方向変位量を示すグラフである。図７からわかるように、圧電素子の間隔Ｄが小さくなるほどＸ方向変位量は大きくなった。したがって、圧電素子の間隔Ｄはなるべく小さくすることが好ましいことがわかった。しかし、間隔Ｄを極端に狭くすると製造上の問題が発生して歩留まりが悪くなるおそれがある。そこで、現状では圧電素子の間隔Ｄを５０μｍ〜１００μｍに設定することが好ましく、より好ましくは５０μｍ程度に設定することがよいことがわかった。
【００３３】
図８は第１及び第２の圧電素子３２，３４の各々の幅Ｗｐ（図５参照）を変化させた場合のスライダ１６のＸ方向変位量を示すグラフである。図８からわかるように、圧電素子の幅Ｗｐが小さくなるほどＸ方向変位量は大きくなった。したがって、圧電素子の幅Ｗｐはなるべく小さくすることが好ましいことがわかった。しかし、幅Ｗｐを極端に狭くすると圧電素子の強度が不足して製造上の問題が発生するおそれがある。そこで、現状では圧電素子の幅Ｗｐを１２５μｍ〜１７５μｍに設定することが好ましいことがわかった。
【００３４】
以上のように、圧電素子の不活性層を無くすとともに、圧電素子の幅及び配置間隔を調整することで、スライダの変位量を増大させることができ、より低電圧での駆動が可能となる。
【００３５】
上述の実施例による積層圧電アクチュエータを以下のようにして作製した。まず、圧電材料としてＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺセラミックスを用い、且つ電極材料としてＡｕを用いて第１及び第２の圧電素子３２，３４を形成した。より詳細には、ＰＮＮ−ＰＴ―ＰＺセラミックスグリーンシート上にＡｕ電極をＡｕペースト用いて所望の枚数スクリーン印刷して積層した。その際用いたAuペーストにはＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ粉末を３０％混入した。その後、所定箇所をパンチングなどを用いて打ち抜き、大気中で１０００℃で焼成して基板とした。
【００３６】
得られた基板は、駆動電極を形成した後、圧電素子の活性部の幅Ｗｐをスライダ幅の２０％以下となるように切断した。すなわち、スライダの幅Ｗｓが１ｍｍであるため、圧電素子の幅Ｗｐをその２０％である２００μｍ以下とした。上述のコンピュータシムレーションでは圧電素子の幅Ｗｐを１２５μｍ〜１７５μｍに設定することが好ましという結果であったが、実際の製造上では上限にある程度余裕をとり、２００μｍ以下（スライダ幅Ｗｓの２０％以下）とした。
【００３７】
ここでは、評価用のスライダが長さＬｓ＝１．２５ｍｍ×幅Ｗｓ＝１ｍｍであったため、圧電素子（活性部）の幅Ｗｐを１５０μｍとなるように切断したが、所望の変位量が得られるような幅Ｗｐであれば良い。
【００３８】
続いて、サスペンション上に２つの圧電素子３２，３４を、それらの間隔Ｄがスライダ幅Ｗｓの１５％以下となるように接着剤で固定した。上述のコンピュータシミュレーションでは圧電素子の間隔Ｄを５０μｍ〜１００μｍに設定することが好ましという結果であったが、実際の製造上では上限にある程度余裕をとり、１５０μｍ以下（スライダ幅Ｗｓの１５％以下）とした。今回は２つの圧電素子３２，３４を５０μｍの間隔Ｄを空けて平行に実装し、その後スライダ１６を圧電素子３２，３４に接着剤で固定して実装したが、所望の変位量が得られる間隔Ｄであれば良い。
【００３９】
得られた積層圧電アクチュエータを２０Ｖの駆動電圧で駆動したところ、Ｘ方向に０．９μmの変位量が得られた。これは、従来の圧電アクチュエータを３０Ｖで駆動した場合とほぼ同等の変位量であった。
【００４０】
以上のように、本実施例による積層圧電アクチュエータを用いた移動機構では、従来の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構より、低電圧で駆動しても大きな変位量を得ることができる。
【００４１】
なお、本実施例では第１及び第２の圧電素子３２，３４の最外層が電極層４２Ａ，４４Ａとなり、そのままではスライダ１８のジンバル部１８ａに搭載した際に電極層４２Ａ，４４Ａがジンバル部１８ａやスライダ１６の表面に接触して短絡するおそれがある。そこで、電極層４２Ａ，４４Ａに絶縁コーティング等を施して絶縁することが好ましい。あるいは、ジンバル部１８ａやスライダ１６の表面に絶縁コーティング等を施すこととしてもよい。
【００４２】
また、第１及び第２の圧電素子３２，３４の間に間隔Ｄを設けて空隙としたが、この空隙に導電性の塵埃等が入り込んだ場合には第１及び第２の圧電素子３２，３４の間で短絡が生じるおそれがある。そこで、第１及び第２の圧電素子３２，３４の間に絶縁性及び柔軟性を有する樹脂やゴム、例えば、シリコンゴムやフッ素系のゴムを充填することとしてもよい。
【００４３】
以上のように本発明は以下の発明を開示する。
【００４４】
（付記１）積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
該積層圧電アクチュエータを構成する積層圧電素子と、該積層圧電アクチュエータにより移動される移動部と、該積層圧電アクチュエータを支持する支持部とを有し、
前記積層圧電素子は、圧電体層と電極層とを交互に積層して形成された積層体であって、その最外層の少なくとも一方は該電極層であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
【００４５】
（付記２）付記１記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
前記最外層の電極層の表面に絶縁コーティングが施されていることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
【００４６】
（付記３）付記１又は２記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、前記支持部は該スライダを指示するサスペンションであり、２個の前記積層圧電素子が該スライダと該サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の各々の幅は前記スライダの幅の２０％以下であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
【００４７】
（付記４）付記３記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
前記２個の積層圧電素子の間隔は前記スライダの幅の１５％以下であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
【００４８】
（付記５）付記１又は２記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構であって、
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、前記支持部は該スライダを指示するサスペンションであり、２個の前記積層圧電素子が該スライダと該サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の間隔は前記スライダの幅の１５％以下であることを特徴とする積層圧電アクチュエータを用いた移動機構。
【００４９】
（付記６）付記１又は２記載の積層圧電アクチュエータを用いた移動機構を有する磁気ディスク装置であって、
前記移動部は磁気ヘッドを有するスライダであり、
前記支持部は該スライダを支持するサスペンションであり、
前記積層圧電アクチュエータは前記スライダと前記サスペンションとの間に設けられて前記スライダを前記サスペンションに対して移動させることを特徴とする磁気ディスク装置。
【００５０】
（付記７）付記６記載の磁気ディスク装置であって、
２個の前記積層圧電素子が前記スライダと前記サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の各々の幅は前記スライダの幅の２０％以下であることを特徴とする磁気ディスク装置。
【００５１】
（付記８）付記７記載の磁気ディスク装置であって、
前記２個の積層圧電素子の間隔は前記スライダの幅の１５％以下であることを特徴とする磁気ディスク装置。
【００５２】
（付記９）付記６又は７記載の磁気ディスク装置であって、
２個の前記積層圧電素子が前記スライダと前記サスペンションとの間に互いに平行に配置され、前記積層圧電素子の間隔は前記スライダの幅の１５％以下であることを特徴とする磁気ディスク装置。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】従来の積層圧電アクチュエータの積層圧電素子の断面図である。
【図２】本発明を適用可能な磁気ディスク装置の平面図である。
【図３】図２に示すサスペンションの先端部分の構成を示す分解斜視図である。
【図４】本発明の一実施例による積層圧電アクチュエータを用いた移動機構の斜視図である。
【図５】本発明の一実施例による圧電素子の斜視図である。
【図６】図５に示す圧電素子のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【図７】圧電素子の間隔を変化させた場合のスライダのＸ方向変位量を示すグラフである。
【図８】圧電素子の幅を変化させた場合のスライダのＸ方向変位量を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５４】
１６  スライダ
１８  サスペンション
１８ａ  ジンバル部
３０  マイクロアクチュエータ
３２  第１の圧電素子
３４  第２の圧電素子
４０  圧電体層
４２，４２Ａ，４４，４４Ａ  電極層
４６，４８  側面電極
【図１】
2006179119.tif 000003
【図２】
2006179119.tif 000004
【図３】
2006179119.tif 000005
【図４】
2006179119.tif 000006
【図５】
2006179119.tif 000007
【図６】
2006179119.tif 000008
【図７】
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【図８】
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