(57)【要約】【課題】磁気情報パターンを転写する際の信頼性を向上させ、磁気転写後の品質を確保する。【解決手段】被転写用ディスクの両面に、磁気パターンを有する一対のマスターディスクを密着させ、一対のマスターディスクの裏面よりディスクの厚さ方向に所定距離離れた初期位置に一対の磁石８０を配し、密着体と一対の磁界生成手段との間に相対回転運動を与えながら、所定距離を増大又は減少させるとともに、一対の磁石により被転写用ディスク及び一対のマスターディスクの円周方向に磁界を加え、マスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに転写させる。【選択図】  図５
2006179041.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被転写用ディスクの両面に、その表面に磁気パターンを有する一対のマスターディスクを、該表面が前記被転写用ディスクの表面に接するように密着させる密着工程と、
前記一対のマスターディスクの裏面よりディスクの厚さ方向に所定距離離れた初期位置に一対の磁界生成手段を配する転写準備工程と、
密着された前記被転写用ディスク及び一対のマスターディスクと、前記一対の磁界生成手段との間に相対回転運動を与えながら、前記所定距離を増大又は減少させるとともに、前記一対の磁界生成手段により前記被転写用ディスク及び一対のマスターディスクの円周方向に磁界を加え、前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁気転写工程と、
を備えることを特徴とする磁気転写方法。
【請求項２】
被転写用ディスクの両面に、その表面に磁気パターンを有する一対のマスターディスクを、該表面が前記被転写用ディスクの表面に接するように密着させる密着工程と、
前記一対のマスターディスクの裏面よりディスクの厚さ方向に略等距離Ｔだけ離れた初期位置に一対の磁界生成手段を配する転写準備工程と、
密着された前記被転写用ディスク及び一対のマスターディスクと、前記一対の磁界生成手段との間に相対回転運動を与えながら、前記距離Ｔを増大又は減少させるとともに、前記一対の磁界生成手段により前記被転写用ディスク及び一対のマスターディスクの円周方向に磁界を加え、前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁気転写工程と、
を備えることを特徴とする磁気転写方法。
【請求項３】
前記一対の磁界生成手段が前記相対回転運動の回転軸に対してオフセットされた位置に設けられている請求項１又は２に記載の磁気転写方法。
【請求項４】
前記転写準備工程において、前記一対の磁界生成手段の前記回転軸回りの位相を一致させ、
前記磁気転写工程において、前記相対回転運動の際にも前記一対の磁界生成手段の前記回転軸回りの位相を一致させる請求項１〜３のいずれか１項に記載の磁気転写方法。
【請求項５】
前記転写準備工程において、前記被転写用ディスクの一方の面と前記一対の磁界生成手段のうちの一方の先端との距離Ｌ１と、前記被転写用ディスクの他方の面と前記一対の磁界生成手段のうちの他方の先端との距離Ｌ２とを一致させ、
前記磁気転写工程において、前記相対回転運動の際にも、前記被転写用ディスクの一方の面と前記一対の磁界生成手段のうちの一方の先端との距離Ｌ１と、前記被転写用ディスクの他方の面と前記一対の磁界生成手段のうちの他方の先端との距離Ｌ２とを一致させる請求項１〜４のいずれか１項に記載の磁気転写方法。
【請求項６】
その表面に磁気パターンを有する一対のマスターディスクを一対のホルダ部によりそれぞれ保持するディスク保持手段と、
前記一対のマスターディスクの間に供給された被転写用ディスクの表面に接するように該一対のマスターディスクを密着させる密着手段と、
回転手段により、前記一対のマスターディスクの裏面側の所定距離Ｔの位置にそれぞれ配される一対の磁界生成手段と前記ホルダ部との間に相対回転運動を与えながら、１軸駆動手段により、前記所定距離Ｔを増大又は減少させるとともに、前記一対の磁界生成手段により前記被転写用ディスク及び一対のマスターディスクの円周方向に磁界を加え、前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁気転写手段と、
を備えることを特徴とする磁気転写装置。
【請求項７】
前記一対の磁界生成手段が前記相対回転運動の回転軸に対してオフセットされた位置に設けられている請求項６に記載の磁気転写装置。
【請求項８】
前記回転手段において、前記一対の磁界生成手段が１のモータ手段により回転駆動される請求項６又は７に記載の磁気転写装置。
【請求項９】
前記１軸駆動手段が１対のリニアモータを備える請求項６〜８のいずれか１項に記載の磁気転写装置。
【請求項１０】
前記１軸駆動手段が、順ねじ部と逆ねじ部を備える１軸のねじ手段と、該順ねじ部と螺合する順ナット手段と、該逆ねじ部と螺合する逆ナット手段と、前記ねじ手段を回転駆動する１のモータ手段と、を備える請求項６〜８のいずれか１項に記載の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転写磁気装置及び方法に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する際の信頼性を向上させ、磁気転写後の品質を確保するのに好適な磁気転写装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。
【０００３】
従来、この種の磁気転写技術として各種の提案がなされている（たとえば、特許文献１参照。）。この、特許文献１は、被転写用ディスクとマスターディスクを密着させて磁気転写を行う際に、磁界発生手段とこの密着体を相対的に回転させるとともに、磁界発生手段とこの密着体との垂直距離を変化させながら磁気転写を行い、再生信号の劣化を防ぐ旨の提案である。
【特許文献１】特開２００２−２３７０３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような磁気転写方法では、転写用磁界のディスク表面に対し垂直な磁界強度と水平な磁界強度との強度比が空間的に変化するため、磁界生成手段とディスクとの相対移動に伴ってこの強度比が時系列的に変化する。その結果、被転写ディスクの再生信号のＣ／Ｎ比を低下させるという問題がある。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、磁気情報パターンを転写する際の信頼性を向上させ、磁気転写後の品質を確保するのに好適な磁気転写装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明は、被転写用ディスクの両面に、その表面に磁気パターンを有する一対のマスターディスクを、該表面が前記被転写用ディスクの表面に接するように密着させる密着工程と、前記一対のマスターディスクの裏面よりディスクの厚さ方向に所定距離離れた初期位置に一対の磁界生成手段を配する転写準備工程と、密着された前記被転写用ディスク及び一対のマスターディスクと、前記一対の磁界生成手段との間に相対回転運動を与えながら、前記所定距離を増大又は減少させるとともに、前記一対の磁界生成手段により前記被転写用ディスク及び一対のマスターディスクの円周方向に磁界を加え、前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁気転写工程と、を備えることを特徴とする磁気転写方法を提供する。
【０００７】
また、本発明は、被転写用ディスクの両面に、その表面に磁気パターンを有する一対のマスターディスクを、該表面が前記被転写用ディスクの表面に接するように密着させる密着工程と、前記一対のマスターディスクの裏面よりディスクの厚さ方向に略等距離Ｔだけ離れた初期位置に一対の磁界生成手段を配する転写準備工程と、密着された前記被転写用ディスク及び一対のマスターディスクと、前記一対の磁界生成手段との間に相対回転運動を与えながら、前記距離Ｔを増大又は減少させるとともに、前記一対の磁界生成手段により前記被転写用ディスク及び一対のマスターディスクの円周方向に磁界を加え、前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁気転写工程と、を備えることを特徴とする磁気転写方法を提供する。
【０００８】
また、そのために、本発明は、その表面に磁気パターンを有する一対のマスターディスクを一対のホルダ部によりそれぞれ保持するディスク保持手段と、前記一対のマスターディスクの間に供給された被転写用ディスクの表面に接するように該一対のマスターディスクを密着させる密着手段と、回転手段により、前記一対のマスターディスクの裏面側の所定距離Ｔの位置にそれぞれ配される一対の磁界生成手段と前記ホルダ部との間に相対回転運動を与えながら、１軸駆動手段により、前記所定距離Ｔを増大又は減少させるとともに、前記一対の磁界生成手段により前記被転写用ディスク及び一対のマスターディスクの円周方向に磁界を加え、前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁気転写手段と、を備えることを特徴とする転写装置を提供する。
【０００９】
本発明によれば、密着された被転写用ディスク及び一対のマスターディスク（密着体）と、一対の磁界生成手段との間に相対回転運動を与えながら、密着体と磁界生成手段との距離を増大又は減少させるとともに、磁界生成手段によりディスクの円周方向に磁界を加え、マスターディスクの磁気パターンを被転写用ディスクに転写させる。
【００１０】
すなわち、密着体の両面より磁界を加えるので、ディスク表面に対し垂直な磁界が打ち消しあい、ディスク表面に対し水平な磁界のみが密着体に加わる。これにより、磁気情報パターンを転写する際の信頼性を向上させ、磁気転写後の品質を確保することができる。
【００１１】
なお、密着体と、一対の磁界生成手段との間の相対回転運動は、後述するように、密着体を固定し、磁界生成手段を回転駆動させる構成であってもよく、この逆に、磁界生成手段を固定し、密着体を回転駆動させる構成であってもよい。
【００１２】
本発明において、前記一対の磁界生成手段が前記相対回転運動の回転軸に対してオフセットされた位置に設けられていることが好ましい。磁界生成手段が回転軸と同軸であっても、良好な磁気転写はできるが、このように、オフセット位置にあれば、ディスク表面に対し水平な磁界をより効果的に加えることができる。
【００１３】
また、本発明において、前記転写準備工程において、前記一対の磁界生成手段の前記回転軸回りの位相を一致させ、前記磁気転写工程において、前記相対回転運動の際にも前記一対の磁界生成手段の前記回転軸回りの位相を一致させることが好ましい。
【００１４】
このように、一対の磁界生成手段の回転軸回りの位相を一致させれば、被転写用ディスクの両表面に加える磁界強度パターンを対称にでき、磁気転写後の品質をより向上させることができる。
【００１５】
また、本発明において、前記回転手段において、前記一対の磁界生成手段が１のモータ手段により回転駆動されることが好ましい。このように、一対の磁界生成手段が１のモータ手段により回転駆動されれば、両者の位相を合わせることが容易となる。具体的な構成としては、プーリとタイミングベルトの組み合わせ等が考えられる。
【００１６】
また、本発明において、前記１軸駆動手段が１対のリニアモータを備えることが好ましい。このように、リニアモータによる駆動であれば、磁界生成手段の動きを円滑にすることができる。
【００１７】
また、本発明において、前記１軸駆動手段が、順ねじ部と逆ねじ部を備える１軸のねじ手段と、該順ねじ部と螺合する順ナット手段と、該逆ねじ部と螺合する逆ナット手段と、前記ねじ手段を回転駆動する１のモータ手段と、を備えることが好ましい。
【００１８】
このように、順ねじ部と逆ねじ部を備えるねじ手段等を使用すれば、このねじ手段の回転駆動により、一対の磁界生成手段の駆動が同時に行え、駆動位置の精度が向上するのみならず、構成を簡単にすることができる。
【００１９】
また、本発明において、前記転写準備工程において、前記被転写用ディスクの一方の面と前記一対の磁界生成手段のうちの一方の先端との距離Ｌ１と、前記被転写用ディスクの他方の面と前記一対の磁界生成手段のうちの他方の先端との距離Ｌ２とを一致させ、前記磁気転写工程において、前記相対回転運動の際にも、前記被転写用ディスクの一方の面と前記一対の磁界生成手段のうちの一方の先端との距離Ｌ１と、前記被転写用ディスクの他方の面と前記一対の磁界生成手段のうちの他方の先端との距離Ｌ２とを一致させることが好ましい。
【００２０】
このように、一対のマスターディスクと一対の磁界生成手段との間の距離を一致させるのみならず、被転写用ディスクの両表面と一対の磁界生成手段との間の距離を一致させれば、被転写用ディスクの両表面に加える磁界強度パターンを対称にでき、磁気転写後の品質をより向上させることができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように、本発明によれば、磁気情報パターンを転写する際の信頼性を向上させ、磁気転写後の品質を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付図面に従って、本発明に係る転写装置及び方法の好ましい実施の形態（第１実施形態）について詳説する。図１は、本発明に係る転写装置である磁気転写装置１０の全体構成を示す斜視図であり、図２は、ディスク用カセットの概要を示す斜視図である。磁気転写装置１０は、装置本体１２とクリーンユニット１４とよりなる。
【００２３】
装置本体１２は架台５８を備え、この架台５８上には水平方向に面をなすベース６０が設けられている。なお、太い矢印で示される側が、装置本体１２の前面である。この装置本体１２は、周辺をクリーンユニット１４に囲われ、清浄度が確保されるようになっている。
【００２４】
クリーンユニット１４の天井部には、装置の内部にクリーンエアを供給するクリーンエア送風ユニット（図示略）が設けられている。このクリーンエア送風ユニットは、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等のエアフィルタと、送風ファンにより構成され、装置の内部に、ダウンフローによる清浄度クラス１００未満のクリーンエアが供給できるようになっている。
【００２５】
クリーンエア送風ユニットより吹き出されたクリーンエアは、外部に排出されるようになっている。このため、図１に示されるように、ベース６０上において、装置本体１２の各機構が配置されていない空き領域には、排気手段としての排気ファン６４が複数配設されている。
【００２６】
ベース６０の前端部には被転写用ディスクであるスレーブディスク４０を収容するディスク供給カセット３８、及び、磁気情報が転写され排出されたスレーブディスク４０を回収するカセットとしてのディスク排出カセット５６が設けられている。ディスク供給カセット３８とディスク排出カセット５６とは同一形状のものが採用されている。
【００２７】
図２に示されるように、ディスク供給カセット３８及びディスク排出カセット５６は、スレーブディスク４０がディスクがなす面を対向させて複数枚収納可能となっている。すなわち、カセットの内面に並行して形成された複数の溝９２、９２…のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク４０が遊挿されるようになっており、溝９２がなす面によってスレーブディスク４０の外周が保持され、複数のスレーブディスク４０のそれぞれは互いに離間して配置されるようになっている。
【００２８】
ベース６０の上面の略中央部には、インデックステーブル５０がベース６０に対して垂直方向の軸により回転自在に取り付けられている。インデックステーブル５０上には、一対のマスターディスク４６と１枚のスレーブディスク４０を保持する保持手段としてのホルダユニット２２が、インデックステーブル５０の回転方向に等間隔（９０度おき）に４台配設されている。
【００２９】
図３に断面図で示されるように、ホルダユニット２２は、一対のホルダ部である固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とよりなる。固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、各々マスターディスク４６を吸着または接着により外段取り等により位置決め固定し保持するとともに、スレーブディスク４０を吸着保持し、マスターディスク４６、４６によってスレーブディスク４０を密着状態で挟持させることができるようになっている。
【００３０】
固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、スレーブディスク４０のそれぞれの主面に記録する磁気情報に対応するべく、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４のそれぞれに、記録されている情報が異なったマスターディスク４６、４６を固定する。そして、これらの２枚１組のマスターディスク４６、４６をスレーブディスク４０のそれぞれの主面に密着させ挟み込むことができるようになっている。
【００３１】
固定側ホルダ２３は、円形カップ状の部材であり、カップ内にマスターディスク４６を固定できるようになっている。移動側ホルダ２４は、円盤状の部材であり、表面にマスターディスク４６を固定できるようになっている。そして、固定側ホルダ２３は、ロボット腕７０を介して装置本体１２に固定されている。
【００３２】
一方、移動側ホルダ２４は、ロボット腕７０を支持する駆動手段（図示略）を介して装置本体１２に固定されており、固定側ホルダ２３に対し接離可能に移動できるようになっている。更に、移動側ホルダ２４の外周縁の近傍には、Ｏリング２５が固定されている。
【００３３】
固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４のマスターディスク４６を固定する部分の裏面は薄肉に形成されており、後述する磁石８０の先端部分とマスターディスク４６裏面との距離を小さくできるようになっている。磁石８０は、後述するように磁石ホルダ７８により支持されている。
【００３４】
なお、この図３において、磁石８０はマスターディスク４６裏面の近傍に想像線で示されているが、実際には、マスターディスク４６、４６がスレーブディスク４０の主面に密着して挟み込んだ状態（図１の磁気転写工程位置１８）でのみ、磁石８０がマスターディスク４６裏面近傍に位置し、磁気転写前の状態では、磁石８０、８０の先端部分同士の距離は、５０〜１５０ｍｍ（たとえば１００ｍｍ）となっており、磁石８０、８０とホルダユニット２２とが干渉しないようになっている。
【００３５】
以上で説明したホルダユニット２２の構成により、スレーブディスク４０を供給したり、取り外したりする際には、図３に示されるように、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが所定距離だけ離れた位置にセットされ、後述するディスク供給ユニット２６やディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０のハンドリングが容易な状態にされる。
【００３６】
図１の装置本体１２において、インデックステーブル５０は、図示しない駆動モータにより間欠的に回転駆動され、各ホルダユニット２２が各割出位置に対応するように、各工程位置に順次送られて停止し、複数の作業が並行して行えるようになっている。インデックステーブル５０は、４つのホルダユニット２２が所定の４箇所の位置に常に配置されるように、間歇駆動される。すなわち、各ホルダユニット２２は、９０度移動毎に停止しするようになっている。
【００３７】
更に、図１の装置本体１２は、ベース６０上面の一側部側（図１では、正面より左側）にディスク供給ユニット２６を、ベース６０上面の他側部側（図１では、正面より右側）にディスク排出ユニット３４をそれぞれ備えている。
【００３８】
ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク供給カセット３８からマスターディスク４６、４６が取り付けられているホルダユニット２２へ、直接搬送できるディスク供給手段である。
【００３９】
ディスク排出ユニット３４は、この逆に、磁気転写作業が完了したスレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク排出カセット５６に直接搬送できるディスク排出手段である。
【００４０】
ディスク供給ユニット２６により、ディスク供給カセット３８から取り出されたスレーブディスク４０は、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に予め装着されているマスターディスク４６に対して相対的に位置決めが行われ、マスターディスク４６に設けられる空隙越しにホルダユニット２２によって吸着されて受け渡され、マスターディスク４６の磁気情報記録面とスレーブディスク４０の磁気情報被転写面とが密着されて保持される。固定側ホルダ２３の内側にはスレーブディスク４０の内径付近を吸着する吸着溝（図示略）が設けられ、この吸着溝によりスレーブディスク４０が吸着保持される。
【００４１】
ディスク供給ユニット２６は、図２に示されるように、スレーブディスク４０の内径を把持するための２片の保持具であるチャック４２ａ、４２ｂからなるチャック機構４２と、図１に示されるような、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット２７、２８、２９と、スレーブディスク４０をＹ−Ｚ平面内で１８０度回転するように、チャック４２ａ、４２ｂを回動させる、Ｘ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ４４から構成される。
【００４２】
すなわち、ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック４２ａ、４２ｂを、ロータリシリンダ４４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック４２の向きを反転するようになっている。
【００４３】
ディスク排出ユニット３４は、ホルダユニット２２が開かれた後、磁気転写後のスレーブディスク４０を受け取り、ディスク排出カセット５６に対して直接搬送し収納するディスク取出手段である。
【００４４】
ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持する２つの保持具であるチャック５２ａ、５２ｂからなるチャック機構５２と、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット３５、３６、３７と、スレーブディスク４０をＸ−Ｚ平面内で１８０度回転させるようにチャック５２ａ、５２ｂを回動させる、Ｙ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ５４から構成される。
【００４５】
すなわち、ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック５２ａ、５２ｂを、ロータリシリンダ５４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック５２の向きを反転するようになっている。
【００４６】
図４に示されるように、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３の下面部には、基準マーク２１Ａが予め取り付けられており、ディスク供給ユニット２６のチャック４２ａ、４２ｂには認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが予め取り付けられている。基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１Ｂは認識ユニット３０で視覚認識される。
【００４７】
この認識ユニット３０は、ベース６０上面で、ディスクディスク供給カセット３８が設けられた側面と反対の側面に近い位置に配設されている。認識ユニット３０は、ディスク供給ユニット２６が搬送してきたスレーブディスク４０をマスターディスク４６に位置決めする際に、ホルダユニット２２とディスク供給ユニット２６のそれぞれに予め取り付けられた基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１ＢをＣＣＤカメラ等によって視覚的に認識する。
【００４８】
認識ユニット３０には位置決め手段としての制御手段３０Ａが接続され、制御手段３０Ａは認識された基準マーク２１Ａからマスターディスク４６の中心を算出し、また、認識された認識マーク２１Ｂ、２１Ｂからスレーブディスク４０の中心を算出する。そして、マスターディスク４６とスレーブディスク４０との中心が一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸のロボット２８、２９を駆動制御するようになっている。
【００４９】
位置決めされたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に保持されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動し、固定側ホルダ２３の内側に吸着保持される。
【００５０】
このとき、固定側ホルダ２３に設けられた基準マーク２１Ａと、固定側ホルダ２３において保持されているマスターディスク４６の中心位置との位置関係は、予め制御手段３０Ａにティーチングされている。
【００５１】
一方、ディスク供給ユニット２６に設けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとスレーブディスク４０の中心位置との関係は、チャック機構４２のチャッキング動作によってチャック４２ａ、４２ｂの当接する部位を結ぶ直線上にスレーブディスク４０の中心があるものと見立てたときに、その中心位置と認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が、制御手段３０Ａに予めティーチングされている。
【００５２】
これらのティーチングされた位置関係を基に、間接的にスレーブディスク４０とマスターディスク４６との位置関係が算出されるようになっている。
【００５３】
次に、本発明の特徴部分である、磁気転写手段３２について説明する。この磁気転写手段３２、３２は、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０に対して、磁気転写作用を促進するための所定の強度の磁界を印加するものである。
【００５４】
すなわち、磁気転写手段３２、３２は、ホルダユニット２２を閉じて、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とのそれぞれに固定されたマスターディスク４６、４６によって、スレーブディスク４０を挟持した状態のものに対し、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０との積層方向からみて両側に磁石を離間して配置したものである。
【００５５】
図５は、磁気転写手段３２、３２の構成を示す斜視図である。なお、ホルダユニット２２の図示は省略されている。磁気転写手段３２は、回転手段と、１軸駆動手段と、磁界生成手段とより構成される。
【００５６】
１軸駆動手段としては、スライドベース７２と、この下面に配された図示しないリニアモータとより構成される。このスライドベース７２は、固定ステージ７２Ｃと移動ステージ７２Ｂとより構成され、移動ステージ７２Ｂの上面には、軸受台７２Ａが立設されている。スライドベース７２としては、公知の各種１軸ガイド手段、たとえば、ＴＨＫ社製のもの（商品名：ＬＭガイド）が使用できる。リニアモータとしても、公知の各種のものが使用できる。
【００５７】
回転手段としては、軸受台７２Ａに嵌合固定された軸受７２Ｄと、軸受７２Ｄで支持されるシャフト７４と、シャフト７４の一端にカップリング７４Ａを介して連結されるモータ７６と、シャフト７４の他端に固定される磁石ホルダ７８とより構成される。磁石ホルダ７８は、円柱形状の非磁性体よりなる。
【００５８】
モータ７６としては、後述する磁石８０、８０同士の位相を一致させるのが容易であり、回転速度を均一にして磁気転写精度を良好ならしめるものが好ましい。なお、後述する磁石８０、８０同士の位相を一致させるために、磁石ホルダ７８の回転位置を検出できる検出マークとマーク検出手段のセットを磁石ホルダ７８に設ける構成や、ロータリーエンコーダを磁石ホルダ７８に設ける構成も好ましく採用できる。
【００５９】
磁界生成手段としては、磁石ホルダ７８の先端に固定される磁石８０が採用できる。図６は、磁石８０の構成を示すもので、（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は側面図である。図示されるように、磁石８０は、略同一幅で長さの異なる複数の棒状磁石８０Ａ、８０Ｂ、８０Ｃ、８０Ｄ及び８０Ｅを積層したものであり、中央の棒状磁石８０Ｅ、８０Ｅの間には、非磁性体８２が配されている。
【００６０】
この棒状磁石８０Ａ、８０Ｂ、８０Ｃ、８０Ｄ及び８０Ｅの極性は、非磁性体８２を挟んで逆極性となるように配されている。また、図６（Ｂ）に示されるように、磁石８０は、磁石ホルダ７８の回転軸ＣＬに対してオフセットされた位置に配されている。また、
棒状磁石８０Ｅ、８０Ｅの端面側には、棒状磁石８０Ｆ、８０Ｇが配されている。
【００６１】
上記のように構成された磁気転写手段３２、３２によれば、回転手段により、一対のマスターディスク４６、４６の裏面側の所定距離の位置にそれぞれ配される一対の磁石８０、８０とホルダユニット２２との間に相対回転運動を与えながら、１軸駆動手段により、所定距離を増大又は減少させるとともに、一対の磁石８０、８０によりスレーブディスク４０及び一対のマスターディスク４６、４６の円周方向に磁界を加え、マスターディスク４６、４６の磁気パターンをスレーブディスク４０に転写させることができる。
【００６２】
次に、上記のように構成された磁気転写装置の運転方法について説明する。
【００６３】
運転開始により、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２（チャック４２ａ、４２ｂ）がディスク供給カセット３８内のスレーブディスク４０を把持して、順次１枚づつ取り出す。
【００６４】
取り出されたスレーブディスク４０は、ロータリシリンダ４４の回動によりＹＺ平面内で反転された後、Ｘ軸ロボット２７によって、ディスク供給工程位置１６に配置された開かれたホルダユニット２２により形成されたマスターディスク４６、４６間の空隙の、ホルダユニット２２の開閉方向に直交する方向上まで移動され、Ｙ軸ロボット２８によって、マスターディスク４６、４６の間にある間隙に挿入される。
【００６５】
このとき、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４の各内側には、それぞれマスターディスク４６、４６が予め外段取り等によって、ホルダユニット２２の中心とマスターディスク４６の中心とが一致する位置に精度良く吸着または接着にて固定されている。
【００６６】
ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に供給されたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによってその中心が固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６の中心とほぼ一致し、かつマスターディスク４６との隙間が０．５ｍｍ程度となる認識位置に移動される。
【００６７】
次いで、固定側ホルダ２３の下面に予め取り付けられた基準マーク２１Ａと、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２（チャック４２ａ、４２ｂ）に予め取り付けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが認識ユニット３０によって認識される。
【００６８】
この認識により、基準マーク２１Ａから算出されるマスターディスク４６の中心と、チャック機構４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂから算出されるスレーブディスク４０の中心とが一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸ロボット２８、２９により、スレーブディスク４０が位置決めされる。
【００６９】
次いで、スレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動され、固定側ホルダ２３の内側に吸着固定される。
【００７０】
次いで、移動側ホルダ２４をロボット腕７０によって固定側ホルダ２３に向かって移動させ、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６で挟む。このようにして、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６に対して密着させた状態で挟持する。
【００７１】
次いで、インデックステーブル５０を９０度回転させ、ホルダユニット２２を次工程の磁気転写工程位置１８に位置決めする。そして、磁気転写手段３２、３２をホルダユニット２２の両側に移動させ、磁石８０を回転させながら両側から磁界を加える。これにより、スレーブディスク４０の両面にマスターディスク４６、４６の磁気情報パターンが磁気転写される。
【００７２】
以下、この磁気転写について詳細に説明する。先ず、磁気転写の際に、磁石８０を回転させるとともに、ホルダユニット２２に接近させながら磁界を加える態様について説明する。
【００７３】
転写準備工程の開始前には、磁石８０、８０の先端部分同士の距離は、５０〜１５０ｍｍ（たとえば１００ｍｍ）となっており、磁石８０、８０とホルダユニット２２とが干渉しないようになっている。また、図１に示されるように、磁石８０（磁石ホルダ７８）の回転軸と、ホルダユニット２２で保持されたスレーブディスク４０及びマスターディスク４６、４６の中心軸とは一致していない。
【００７４】
この状態より、図１に示されるリニアガイド１００（及び図示しない駆動手段）により磁気転写手段３２、３２をＸ軸方向に移動させ、磁石８０（磁石ホルダ７８）の回転軸と、ホルダユニット２２で保持されたスレーブディスク４０及びマスターディスク４６、４６の中心軸とを一致させる。両軸のずれ量は、±０．０５ｍｍ以内とすることが好ましい。
【００７５】
この状態では、磁石８０、８０の先端部分同士の距離が１００ｍｍであり、スレーブディスク４０の板厚が１ｍｍである場合、磁気転写面と磁石８０の先端部分との距離は、４９．５ｍｍである。
【００７６】
次いで、磁気転写手段３２、３２のリニアモータを駆動し、スライドベース７２の移動ステージ７２ＢをＹ軸方向に移動させ、磁石８０の先端がマスターディスク４６の裏面に対し３〜１５ｍｍ（たとえば、７ｍｍ）の距離になるように接近させる。この移動は、比較的高速で（約０．５秒程度で）行う。
【００７７】
磁石８０の磁気転写品質に影響を及ぼさない距離は、磁石８０の持つ磁界の強さ、磁石８０の大きさ等により変化するが、本実施形態では、一般的な永久磁石を使用しており、３〜１５ｍｍ離れると磁気転写品位に影響を及ぼさなくなる。逆に接近させる距離を必要以上に大きくすると、転写品質面での問題は生じないが、この後の磁気転写工程において、動作速度が大幅に遅くなるので、磁気転写に要するサイクルタイムが長くなるという問題が生じる。
【００７８】
この磁石８０の移動の際には、磁気転写品質には影響がないので、磁石８０、８０の位相は合っていても合っていなくてもよく、磁石８０、８０が回転していても回転していなくてもよい。また２つの磁石８０、８０の先端と被転写面との距離が同じであっても同じでなくても構わないので、制御が容易であり、比較的高速で移動させることが可能である。
【００７９】
磁石８０の移動後には、磁石８０、８０同士の位相を一致させておくことが好ましい。具体的には、磁石８０、８０同士の位相ズレ（角度ズレ）を±０．１度以内に、磁石８０、８０同士の位相ズレ量を０．１ｍｍ以内にさせておくことが好ましい。この磁石８０、８０同士の位相ズレ（角度ズレ）が大きいと、磁気転写工程の際に、スレーブディスク４０とマスターディスク４６、４６に及ぶ磁界強度が両面でアンバランスとなり、磁気転写が良好に行えないからである。
【００８０】
次いで、磁気転写工程に移る。この工程において、磁石８０、８０を回転させながら、距離Ｔを減少させるようにリニアモータを駆動し、スライドベース７２の上面（移動ステージ７２Ｂ）を移動させるとともに、磁石８０、８０によりスレーブディスク４０とマスターディスク４６、４６の円周方向に磁界を加え、マスターディスク４６、４６の磁気パターンをスレーブディスク４０に転写させる。
【００８１】
この際の磁石８０の移動速度、回転速度に制限はないが、位相ずれや距離ずれがないように制御しながら動作させる観点、及び、磁気転写品位を確保する観点より、比較的遅い回転速度、移動速度で精度良く動作させている。
【００８２】
具体的には、たとえば５ｍｍの移動距離を０．５〜３秒で移動させる。また、磁石８０（磁石ホルダ７８）の回転数に制限はないが、磁気転写の生産性等の観点より、３０〜６００ｒｐｍの範囲が好ましく、６０〜２４０ｒｐｍの範囲がより好ましい。たとえば、磁石８０の移動速度を５ｍｍ／秒とし、磁石８０の回転数を１２０ｒｐｍ（２ｐｓ）とした場合、磁石８０は２回回転する。
【００８３】
そして、各マスターディスク４６の裏面と磁石８０の先端との距離Ｔが所定の値０．５〜５ｍｍ（たとえば、２ｍｍ）になった時点で、リニアモータの駆動を停止させる。ただし、リニアモータの駆動が停止した状態で、転写品質面から磁石８０を更に少なくとも１回転以上回転させる。回転速度は前進したときと同じ６０〜２４０ｒｐｍに、又は更に位相ずれを小さくするため、１０ｒｐｍ程度まで遅くすることもあり得る。
【００８４】
次いで、各マスターディスク４６の裏面と磁石８０の先端との距離Ｔを所定の値０．５〜５ｍｍ（たとえば、２ｍｍ）より増大させ、３〜１５ｍｍ（たとえば、７ｍｍ）の距離になるように離間させる。この際にも、磁石８０、８０同士の位相ズレ（角度ズレ）を±０．１度以内にさせておくことが好ましく、磁石８０、８０同士の位相ズレ量を０．１ｍｍ以内にさせておくことが好ましい。以上で磁気転写が終了する。
【００８５】
その後、磁石８０、８０を高速度で原点位置（たとえば、磁石８０、８０の先端部分同士の距離が１００ｍｍの位置）に復帰させる。
【００８６】
次に、磁気転写の際に、磁石８０を回転させるとともに、ホルダユニット２２から離間させながら磁界を加える態様について説明する。この態様は、上記の手順の逆とすればよい。以下、簡略に説明する。
【００８７】
転写準備工程において、磁気転写手段３２、３２をホルダユニット２２の両側に移動させた際には、各マスターディスク４６の裏面と磁石８０の先端との距離Ｔを０．５〜５ｍｍ（たとえば、２ｍｍ）にするのが好ましい。距離Ｔが０．５未満であると、磁石８０がマスターディスク４６、４６に接触し、不具合となることがあるからである。
【００８８】
また、このとき、磁石８０、８０同士の位相を一致させておくことが好ましい。具体的には、磁石８０、８０同士の位相ズレ（角度ズレ）を±０．１度以内にさせておくことが好ましく、磁石８０、８０同士の位相ズレ量を０．１ｍｍ以内にさせておくことが好ましい。この磁石８０、８０同士の位相ズレ（ズレ角度又はズレ量）が大きいと、スレーブディスク４０とマスターディスク４６、４６に及ぶ磁界強度が両面でアンバランスとなり、磁気転写が良好に行えないからである。
【００８９】
次いで、磁気転写工程において、磁石８０、８０を回転させながら、距離Ｔを増大させるようにリニアモータを駆動し、スライドベース７２の上面（移動ステージ７２Ｂ）を移動させるとともに、磁石８０、８０によりスレーブディスク４０とマスターディスク４６、４６の円周方向に磁界を加え、マスターディスク４６、４６の磁気パターンをスレーブディスク４０に転写させる
この際の磁石８０（磁石ホルダ７８）の回転数に制限はないが、磁気転写の生産性等の観点より、３０〜６００ｒｐｍの範囲が好ましく、６０〜２４０ｒｐｍの範囲がより好ましい。
【００９０】
各マスターディスク４６の裏面と磁石８０の先端との距離Ｔが所定の値（３〜１５ｍｍ（たとえば、７ｍｍ）になった時点で、リニアモータの駆動を停止させ、磁気転写を終了させる。
【００９１】
磁気転写後、磁気転写手段３２、３２を初期の位置に退避させ、インデックステーブル５０を９０度回転させて、ホルダユニット２２を次工程のディスク排出工程位置２０に位置決めする。
【００９２】
次いで、移動側ホルダ２４を移動させて固定側ホルダ２３から離間させる。このとき、磁気転写されたスレーブディスク４０は、供給時と同様に固定側ホルダ２３の内側に吸着されている。
【００９３】
次いで、ディスク排出ユニット３４のチャック５２が、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に入り込み、スレーブディスク４０の内径を把持する。そして、固定側ホルダ２３のスレーブディスク４０の吸着を解除し、ディスク排出ユニット３４のチャック５２をディスク排出ユニット３４のＸ軸ロボット３５で動かすことにより、スレーブディスク４０を固定側ホルダ２３のマスターディスク４６から剥離する。
【００９４】
次いで、スレーブディスク４０がディスク排出ユニット３４のチャック５２により把持された状態で、Ｙ軸ロボット３６により、開かれたホルダユニット２２の空隙からＹ軸方向に退避させる。そして、ロータリシリンダ５４により、ＹＺ平面内で、かつ装置外方を通る円弧の経路で１８０度回動され、チャック５２を含めて上下方向の向きが反転される。
【００９５】
次いで、スレーブディスク４０及びチャック５２がディスク排出ユニット３４のＸ−Ｙ−Ｚロボット３５、３６、３７によってディスク排出カセット５６上に移動し、スレーブディスク４０をディスク排出カセット５６内に順次１枚づつ収納する。
【００９６】
上記の一連の動作は、順次インデックステーブル５０を間欠回転させながら、ホルダユニット２２を各工程位置に位置決めすることにより、各工程を並行して処理することができる。
【００９７】
次に、本発明に係る転写装置及び方法の他の実施の形態（第２実施形態）について説明する。なお、既述の第１実施形態と相違するのは、磁気転写手段３２の構成のみであることより、他の構成の説明は省略する。
【００９８】
図７は、磁気転写手段１３２、１３２の構成を示す斜視図である。なお、ホルダユニット２２の図示は省略されている。また、図５の磁気転写手段３２、３２と同一、類似の部材については同様の符号を附し、その詳細な説明は省略する。磁気転写手段１３２は、図５の磁気転写手段３２と同様に、回転手段と、１軸駆動手段と、磁界生成手段とより構成される。
【００９９】
回転手段としては、軸受台７２Ａに嵌合固定された軸受７２Ｄと、軸受７２Ｄで支持されるシャフト７４と、シャフト７４の一端に固定されるプーリ８２と、シャフト７４の他端に固定される磁石ホルダ７８と、シャフト７４と平行に設けられる駆動軸８４と、駆動軸８４の一端に連結されるモータ７６と、駆動軸８４の両端部近傍を軸支する軸受台８６、８６（軸受８６Ａ、８６Ａも含む）と、駆動軸８４に摺動自在に遊嵌される駆動プーリ８８、８８と、駆動プーリ８８よりプーリ８２へ回転力を伝達するタイミングベルト９０、９０より構成される。
【０１００】
なお、駆動軸８４に摺動自在に遊嵌される駆動プーリ８８、８８は、駆動軸８４の回転に対してのみ拘束され、駆動軸８４の軸方向の拘束はない。したがって、１軸駆動手段によってプーリ８２が軸方向に移動した際には、タイミングベルト９０を介して軸方向の駆動が伝達され、駆動プーリ８８も軸方向に移動する構成となっている。
【０１０１】
また、磁石８０、８０は、共通の回転手段で回転駆動されるので、回転中に磁石８０、８０同士の位相ズレを生じない構成となっている。
【０１０２】
上記のように構成された磁気転写手段３２、３２によれば、回転手段において、一対のマスターディスク４６、４６の裏面側の所定距離の位置にそれぞれ配される一対の磁石８０、８０とホルダユニット２２との間に相対回転運動を与えながら、１軸駆動手段により、所定距離を増大又は減少させるとともに、一対の磁石８０、８０によりスレーブディスク４０及び一対のマスターディスク４６、４６の円周方向に磁界を加え、マスターディスク４６、４６の磁気パターンをスレーブディスク４０に転写させることができる。
【０１０３】
上記のように構成された磁気転写装置の運転方法は、既述の第１実施形態と略同様であることより、説明を省略する。
【０１０４】
次に、本発明に係る転写装置及び方法の更に他の実施の形態（第３実施形態）について説明する。なお、既述の第１実施形態及び第２実施形態と相違するのは、磁気転写手段３２（１３２）の構成のみであることより、他の構成の説明は省略する。
【０１０５】
図８は、磁気転写手段２３２、２３２の構成を示す斜視図である。なお、ホルダユニット２２の図示は省略されている。また、図５の磁気転写手段３２、３２、及び図７の磁気転写手段１３２、１３２と同一、類似の部材については同様の符号を附し、その詳細な説明は省略する。磁気転写手段２３２は、図５の磁気転写手段３２、及び図７の磁気転写手段１３２と同様に、回転手段と、１軸駆動手段と、磁界生成手段とより構成される。
【０１０６】
１軸駆動手段としては、軸受台７２Ａ、７２Ａを軸方向に駆動するボールねじ９４と、ボールねじ９４を回転駆動するモータ９６より構成される。この、軸受台７２Ａは、既述の第１実施形態及び第２実施形態と異なり、スライドベース７２の一部ではなく、単独の部材である。
【０１０７】
ボールねじ９４は、雄ねじであるボールスクリュー９４Ａと、雌ねじであるボールナット９４Ｂ、９４Ｃより構成される。ボールスクリュー９４Ａは、中央部の非ねじ部を挟んで、一方側が順ねじに形成され、他方側が逆ねじに形成されている。この順ねじと逆ねじのピッチは、同一寸法に形成されている。そして、これに螺合するボールナット９４Ｂ、９４Ｃは、それぞれに対応するように形成されている。
【０１０８】
また、ボールナット９４Ｂ、９４Ｃは、軸受台７２Ａ、７２Ａの下端部に固定されている。そして、ボールスクリュー９４Ａは両端部近傍の非ねじ部を軸支する軸受台９８、９８により回動自在に支持されており、ボールスクリュー９４Ａの一端部にはモータ９６が連結され、これにより回転駆動されるようになっている。
【０１０９】
上記のボールねじ９４の構成により、モータ９６によるボールスクリュー９４Ａの回転駆動で、一対の磁石８０、８０が同一速度でホルダユニット２２に接近するか、ホルダユニット２２から離間する。したがって、ホルダユニット２２と磁石８０、８０との初期位置の設定を行うことのみで、磁気転写中にもホルダユニット２２と磁石８０、８０との距離を同一にできる。
【０１１０】
また、第２実施形態と同様に、磁石８０、８０は、共通の回転手段で回転駆動されるので、回転中に磁石８０、８０同士の位相ズレを生じない構成となっている。
【０１１１】
上記のように構成された磁気転写手段２３２、２３２によれば、回転手段において、一対のマスターディスク４６、４６の裏面側の所定距離の位置にそれぞれ配される一対の磁石８０、８０とホルダユニット２２との間に相対回転運動を与えながら、１軸駆動手段により、所定距離を増大又は減少させるとともに、一対の磁石８０、８０によりスレーブディスク４０及び一対のマスターディスク４６、４６の円周方向に磁界を加え、マスターディスク４６、４６の磁気パターンをスレーブディスク４０に転写させることができる。
【０１１２】
上記のように構成された磁気転写装置の運転方法は、既述の第２実施形態と略同様であることより、説明を省略する。
【０１１３】
以上、本発明に係る磁気転写装置及び方法の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。
【０１１４】
たとえば、実施形態で説明したマスターディスク４６の裏面と磁石８０の先端との距離Ｔは、外径が２１．６ｍｍ（公称０．８５インチ）のサイズのスレーブディスク４０を例としたものであるが、これより大サイズのスレーブディスク４０（たとえば、公称３．５インチ）や、これより小サイズのスレーブディスク４０の場合は、最適値もこれとは異なる。また、磁石８０として永久磁石に代えて電磁石を使用した場合にも、磁束の強度により最適値は異なる。
【０１１５】
また、既述したように、本実施形態では、いずれもマスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０との密着体を固定し、磁石８０、８０を回転駆動させる構成であったが、この逆に、磁石８０、８０を固定し、密着体を回転駆動させる構成であってもよい。このような構成とすることにより、磁石８０、８０同士の位相を初期設定によって一致させておくのみでよいという効果も得られる。
【０１１６】
また、磁石８０の構成も、本実施形態以外の各種態様が採用できる。たとえば、本実施形態のような永久磁石に代えて、電磁石を採用することもできる。
【０１１７】
また、磁気転写装置１０の構成も、上記実施形態のロータリーインデックス方式に限定されるものではなく、インラインインデックス方式等各種の態様のものが採用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１８】
【図１】本発明に係る磁気転写装置の一部を破断して示す斜視図
【図２】ディスク用カセットにスレーブディスクを出し入れする状態を示す斜視図
【図３】ホルダユニットの構成を示す断面図
【図４】マスターディスクとスレーブディスクとの位置合せ状態を示す斜視図
【図５】磁気転写手段の構成を示す斜視図
【図６】磁石の構成を示す正面図及び側面図
【図７】磁気転写手段の他の構成を示す斜視図
【図８】磁気転写手段の更に他の構成を示す斜視図
【符号の説明】
【０１１９】
１０…磁気転写装置、１２…装置本体、１４…クリーンユニット、２２…ホルダユニット（保持手段）、２３…固定側ホルダ、２４…移動側ホルダ、２６…ディスク供給ユニット、３２…磁気転写手段、３４…ディスク排出ユニット、３８…ディスク供給カセット、４０…スレーブディスク（被転写用ディスク）、４６…マスターディスク、５６…ディスク排出カセット、７０…ロボット腕（駆動手段）、８０…磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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