(57)【要約】【課題】  ワイヤソー装置において、ガイドバーによってワイヤの振れを防止しつつ、ワープ品質を向上させるために必要な量の砥粒をウェーハ切断面に入り込ませるようにして、カーフロス、ＴＴＶ、面粗さを従来と同レベルの品質に維持しつつ、ワープの低減を図り、ウェーハ切断面の品質を向上させる。【解決手段】  ガイドバー４１、４２の溝４３の隙間４３ａ（スラリゲート；流れＤ）とは別のスラリ供給手段によってガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６にスラリが供給される（流れＢ）。既存のガイドバー４１、４２に、スラリ供給路６４が形成され、既存のスラリ供給用パイプ５に、固定部材６１を介してスラリ導入板６０が固定される【選択図】図６
2006305685.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定ピッチでワイヤが巻着された一対の加工用ローラと、
ワイヤを走行させるワイヤ駆動手段と、
一対の加工用ローラ間のワイヤに対してワークを押し当てる方向にワークを相対移動させてワークを切断するワーク相対移動手段と、
ワーク押し当て方向に溝深さを有し、溝幅方向にワイヤの動きを規制し溝深さ方向にはワイヤの動きを規制しない溝が、ワイヤのピッチに応じた間隔で形成され、当該溝内に加工用ローラとワーク間のワイヤが位置されるように位置決めされる一対のガイドバーと、
ガイドバーとワーク間のワイヤにスラリを供給するスラリ供給手段と
が備えられていること
を特徴とするワイヤソー装置。
【請求項２】
所定ピッチでワイヤが巻着された一対の加工用ローラと、
ワイヤを走行させるワイヤ駆動手段と、
一対の加工用ローラ間のワイヤに対してワークを押し当てる方向にワークを相対移動させてワークを切断するワーク相対移動手段と、
溝が、ワイヤのピッチに応じた間隔で形成され、当該溝内に加工用ローラとワーク間のワイヤが位置されるように位置決めされる一対のガイドバーと、
ガイドバーと加工用ローラ間のワイヤにスラリを供給する第１のスラリ供給手段と、
ガイドバーとワーク間のワイヤにスラリを供給する第２のスラリ供給手段と
が備えられていること
を特徴とするワイヤソー装置。
【請求項３】
所定ピッチでワイヤが巻着された一対の加工用ローラと、
ワイヤを走行させるワイヤ駆動手段と、
一対の加工用ローラ間のワイヤに対してワークを押し当てる方向にワークを相対移動させてワークを切断するワーク相対移動手段と、
溝が、ワイヤのピッチに応じた間隔で形成され、当該溝内に加工用ローラとワーク間のワイヤが位置されるように位置決めされる一対のガイドバーとが備えられ、
ガイドバーには、当該ガイドバーとワーク間のワイヤにスラリを供給するスラリ供給路
が形成されていること
を特徴とするワイヤソー装置。
【請求項４】
所定ピッチでワイヤが巻着された一対の加工用ローラと、
ワイヤを走行させるワイヤ駆動手段と、
一対の加工用ローラ間のワイヤに対してワークを押し当てる方向にワークを相対移動させてワークを切断するワーク相対移動手段と、
溝が、ワイヤのピッチに応じた間隔で形成され、当該溝内に加工用ローラとワーク間のワイヤが位置されるように位置決めされる一対のガイドバーとが備えられ、
ガイドバーには、当該ガイドバーとワーク間のワイヤにスラリを供給するスラリ供給路
が形成され、
更に、ガイドバーと加工用ローラ間のワイヤにスラリを供給するとともに、ガイドバーのスラリ供給路にスラリを供給するスラリ供給手段が設けられていること
を特徴とするワイヤソー装置。
【請求項５】
スラリ供給手段は、ガイドバーと加工用ローラとの間にあってワイヤの上方に配置されたスラリ供給用パイプを含んでいること
を特徴とする請求項１、２、４記載のワイヤソー装置。
【請求項６】
ガイドバーのスラリ供給路には、
ガイドバーと加工用ローラとの間にあってワイヤの上方に配置されたスラリ供給用パイプから滴下されるスラリが供給されること
を特徴とする請求項３記載のワイヤソー装置。
【請求項７】
スラリ供給手段は、
ガイドバーと加工用ローラとの間にあってワイヤの上方に配置され、スラリが滴下されるスラリ供給用パイプと、
スラリ供給用パイプから滴下されたスラリを分流して、ガイドバーと加工用ローラ間のワイヤと、ガイドバーのスラリ供給路とに導く分流手段と
からなること
を特徴とする請求項４記載のワイヤソー装置。
【請求項８】
ガイドバーと加工用ローラ間のワイヤに供給されるスラリ流量と、ガイドバーのスラリ供給路とに導かれるスラリ流量を調整する流量調整手段と
が更に設けられていること
を特徴とする請求項４または７記載のワイヤソー装置。
【請求項９】
ガイドバーとワークとの間のワイヤにスラリを供給するに際して、
少なくともワークの長手方向の端部に相当するワイヤに、スラリを供給すること
を特徴とする請求項１〜８記載のワイヤソー装置。
【請求項１０】
溝の深さ方向に、一対のガイドバーを移動させるガイドバー移動手段が更に備えられていること
を特徴とする請求項１〜９記載のワイヤソー装置。
【請求項１１】
一対のガイドバー間の距離を移動させるガイドバー移動手段が更に備えられていること
を特徴とする請求項１〜１０記載のワイヤソー装置。
【請求項１２】
ワイヤソー装置に用いられるガイドバーであって、
ワイヤのピッチに応じた間隔の複数の溝と、
スラリをガイドバーとワークとの間のワイヤに供給するためのスラリ供給路と
が形成されていること
を特徴とするワイヤソー装置用のガイドバー。
【請求項１３】
スラリ供給用パイプを備えたワイヤソー装置に用いられるスラリ供給装置であって、
ワイヤのピッチに応じた間隔の複数の溝が形成されているとともに、スラリをガイドバーとワークとの間のワイヤに供給するためのスラリ供給路が形成されているガイドバーと、
スラリ供給用パイプから滴下されたスラリを分流して、ガイドバーと加工用ローラ間のワイヤに導くとともに、ガイドバーのスラリ供給路に導くためのスラリ導入板と、
スラリ導入板を、その傾斜角度が調整可能に、スラリ供給用パイプに固定するための固定部材と
からなること
を特徴とするワイヤソー装置用のスラリ供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は単結晶シリコンインゴット、磁性材料、セラミック、ガラス等のワークをピアノ線、鋼線等のワイヤによって薄板状に切断するワイヤソー装置およびそのワイヤソー装置に用いられるガイドバー並びにそのワイヤソー装置に用いられるスラリ供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
（従来技術１）
本出願人は、後掲する特許文献１に示されるように、ワイヤソー装置に関する発明を既に特許出願し、その発明内容は公知になっている。
【０００３】
図１は上記ワイヤソー装置の構成を示している。図１は切断すべきワークである単結晶シリコンインゴット（以下インゴットという）１を切断面方向からみた図である。
【０００４】
同図１に示すように、各ローラ７、８、９の長手軸方向がインゴット１の長手軸方向に一致するように３つのローラ７、８、９が所定距離離間されて配置されている。各ローラ７、８、９にはワイヤ６が巻着されている。なおワイヤ６は送り側ボビンによってローラ７、８、９に送られ、巻き取り側ボビンによって巻き取られる。各ローラ７、８、９にはローラ長手方向に沿って一定のピッチでワイヤ６が巻かれており、図示しない張力調整機構により一定の張力がワイヤ６に付与されている。
【０００５】
本明細書では、インゴット１が押し当てられるワイヤ６が架け渡された一対のローラ７、８のことを「加工用ローラ」と称するものとする。一対の加工用ローラ７、８間に架け渡されたワイヤ６によってインゴット１が切断される。加工用ローラ７、８以外のローラ９のことを「調整用ローラ」と称するものとする。
【０００６】
各ローラ７、８、９のいずれかのローラには図示しないワイヤ駆動用モータの回転軸が連結されている。ワイヤ駆動用モータが回転駆動することによりたとえば加工用ローラ７が回転駆動しこれに伴い他のローラ８、９が従動回転しワイヤ６が走行する。図中でローラ７、８、９が左方向に回転することによってワイヤ６は図中で左回りに走行する。ワイヤ６が一方向に走行するに応じて巻き取り側ボビンでワイヤ６が巻き取られていく。巻き取り側ボビンに巻かれているワイヤ６が所定量送られると、ワイヤ駆動用モータは逆方向に回転駆動し、巻き取り側ボビンが送り側ボビンとして機能してワイヤ６は逆方向に走行する。
【０００７】
インゴット１は黒鉛からなるワークプレート２に接着されている。ワークプレート２はセットプレート３に接着されている。インゴット１をワークプレート２に接着し、ワークプレート２をセットプレート３に接着するに際して、インゴット１の切断方向が結晶面に一致するようにインゴット１の姿勢が調整される。すなわちインゴット１の結晶方位がワイヤ６による切断方向と垂直になるようにインゴット１の中心軸の方向が調整される。セットプレート３は昇降ベース４に取り付けられている。昇降ベース４は図示しない昇降用モータによって図中の上下方向に昇降する。
【０００８】
一対の加工用ローラ７、８の間には、一対のガイドバー４１、４２がその長手方向の軸（紙面に垂直な軸）が一致するように位置されている。一対のガイドバー４１、４２は、インゴット１を挟む位置に設けられている。
【０００９】
図４（ａ）に示すようにガイドバー４１、４２には、ワイヤ６のピッチに応じた間隔で溝４３が形成されている。図４（ｂ）に示すように、溝４３の幅はワイヤ６の直径よりもやや大きい長さである。たとえばワイヤ６の直径が１６０μｍであれば溝４３の幅は２００μｍ程度である。
【００１０】
図４（ｂ）に示すように、一対のガイドバー４１、４２の溝４３内にワイヤ６が位置された状態で上記ワイヤ駆動用モータが回転駆動すると、ワイヤ６は溝４３に案内移動されて図１、図４（ａ）で矢印Ｖで示す図中左右方向に走行する。このときワイヤ６はインゴット１の切断に応じて溝４３の幅方向に振動するが、ワイヤ６の振れは溝４３によって規制される。つまりガイドバー４１、４２は、ワイヤ振れを規制することができる機能を有している。
【００１１】
加工用ローラ７とガイドバー４１の間および加工用ローラ８とガイドバー４２の間にあってワイヤ６の上方には、スラリ供給用パイプ５が配置されている。
【００１２】
スラリ供給用パイプ５には、供給口５ａがパイプ長手方向に沿って、パイプの下方に開口している。スラリ供給用パイプ５の供給口５ａからは、砥粒と分散剤との混合液体からなるスラリが吐出され、重力に従って滴下される。
【００１３】
上記ワイヤ駆動用モータを回転駆動させてワイヤ６を走行させるとともに、昇降ベース４を矢印Ｈで示す方向に下降させると、インゴット１が、走行するワイヤ６に押し当てられる。
【００１４】
すると図４（ｂ）に示すようにスラリ供給用パイプ５の供給口５ａから吐出されたスラリは、一対のガイドバー４１、４２の溝４３のうちワイヤ６と溝４３の隙間４３ａ（これをスラリゲートという）を介してインゴット１の切断部位に供給される。このためラッピング作用によりインゴット１が徐々に切断される。加工用ローラ７、８の長手軸方向には所定ピッチでワイヤ６が巻回されているため所定ピッチでの切断が同時に行われる。こうしてインゴット１から複数のウェーハが生成される。
【００１５】
（従来技術２）
後掲する特許文献２には、上記図１を流用すると、インゴット１と加工用ローラ７（若しくは８）との間のワイヤ６を、上下２枚のフェルトによって挟みこんで、ワイヤ６の振れを防止するという発明が記載されている。また、この特許文献２には、上下２枚のフェルトとインゴット１の間にあってワイヤ６の上方にスラリ供給用パイプ５を配置して、スラリ供給用パイプ５から上下２枚のフェルトとインゴット１との間のワイヤ６にスラリを供給するという発明が記載されている。
【特許文献１】特開２００４−７４４０１号公報
【特許文献２】特開２００２−３０７２８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
図２（ａ）、（ｂ）は、ガイドバー４１、４２の有無によって、ウェーハ１ａの切断面に入り込む砥粒３０の数の違いを説明する図である。図２（ａ）は、ガイドバー４１、４２が無いとした場合にインゴット１が切断される様子を模式的に示す断面図であり、図２（ｂ）がガイドバー４１、４２をある場合にインゴット１が切断される様子を模式的に示す断面図である。
【００１７】
一般にスラリは、加工用ローラ７、８の冷却等を考慮して、ワイヤ６に流すべき流量が設定されている。このためガイドバー４１、４２が無い場合（図２（ａ））には、加工用ローラ７、８にスラリが適切な流量で供給される一方で、ワイヤ６とウェーハ１ａの切断面との間には、スラリの砥粒３０が過剰に入り込むことになる。
【００１８】
またガイドバー４１、４２が無いと、ワイヤ６の振れが規制されない。
【００１９】
このように過剰な砥粒３０（スラリ）がワイヤ６とウェーハ切断面との間に入り込むとともに、ワイヤ６の振れが規制されないことで、ウェーハ中心部の厚みとウェーハ外周部の厚みとの差が大きくなり、ＴＴＶ（厚さのバラツキ）が大きくなる。また、カーフロス（切断代）が大きくなるとともに、面粗さも劣化する。
【００２０】
これに対してガイドバー４１、４２がある場合には（図２（ｂ））、加工用ローラ７、８にスラリが適切な流量で供給される一方で、上述したようにガイドバー４１、４２の溝４３の隙間４３ａ（スラリゲート）を介してインゴット１の切断部位に供給されるため（図４（ｂ））、ガイドバー４１、４２の隙間４３ａによってスラリ流量が規制されて、過剰な砥粒３０がワイヤ６とウェーハ切断面との間に入り込まなくなる。
【００２１】
しかも、ガイドバー４１、４２によってワイヤ６の振れが規制されている。このように過剰な砥粒３０（スラリ）がワイヤ６とウェーハ切断面との間に入り込まなくなるとともに、ワイヤ６の振れが規制されていることで、ウェーハ中心部の厚みとウェーハ外周部の厚みとの差は小さく押さえられ、ＴＴＶ（厚さのバラツキ）が小さくなる。また、カーフロス（切断代）が小さくなるとともに、面粗さも向上する。
【００２２】
しかし、ガイドバー４１、４２は、上述したようにスラリがウェーハ切断面に供給されることを規制する機能があるため、ワイヤ６とウェーハ切断面との間に砥粒３０が入り込まなくなり、逆に切断抵抗が上昇し、ワープ（Warp；反り）が大きくなり、ウェーハ切断面の品質が低下するということが露呈するに至った。
【００２３】
ワープ（Warp；反り）は、ガイドローラ間距離Ｌに比例して大きくなり、切断抵抗Ｐに比例して大きくなる。ガイドバー４１、４２があることによりガイドローラ間距離は実質的に小さくはなるが、ウェーハ切断面に供給されるスラリ流量が規制されるため、切断抵抗Ｐが大きくなり、これがガイドローラ間距離縮小によるワープ低減効果を上回るため、ガイドバー４１、４２が無い場合（図２（ａ））よりも、ワープは結果的に大きくなる。
【００２４】
本発明は、こうした実状に鑑みてなされたものであり、ワイヤソー装置において、ガイドバーによってワイヤの振れを防止しつつ、ワープ品質を向上させるために必要な量の砥粒をウェーハ切断面に入り込ませるようにして、カーフロス、ＴＴＶ、面粗さを従来と同レベルの品質に維持しつつ、ワープの低減を図り、ウェーハ切断面の品質を向上させることを解決課題とするものである。
【００２５】
なお、上記従来技術２の２枚のフェルトによりワイヤ６を挟み込むという構成は、スラリを通過させるための溝がないという点で、本発明の「ガイドバー」とは、本質的に異なる。また、従来技術２では、２枚のフェルトとインゴット１との間にあって、ワイヤ６の上方に、スラリ供給用パイプ５を配置しているが、このようなレイアウトをとると、スラリ供給用バイプ５の場積分だけ、インゴット１と２枚のフェルトとの間の距離を大きくとる必要がある。このため実質的に「ガイドローラ間距離Ｌ」が長くなり、ワープの低減効果は、従来技術２からは期待することができない。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
第１発明は、
所定ピッチでワイヤが巻着された一対の加工用ローラと、
ワイヤを走行させるワイヤ駆動手段と、
一対の加工用ローラ間のワイヤに対してワークを押し当てる方向にワークを相対移動させてワークを切断するワーク相対移動手段と、
ワーク押し当て方向に溝深さを有し、溝幅方向にワイヤの動きを規制し溝深さ方向にはワイヤの動きを規制しない溝が、ワイヤのピッチに応じた間隔で形成され、当該溝内に加工用ローラとワーク間のワイヤが位置されるように位置決めされる一対のガイドバーと、
ガイドバーとワーク間のワイヤにスラリを供給するスラリ供給手段と
が備えられているワイヤソー装置であることを特徴とする。
【００２７】
第２発明は、
所定ピッチでワイヤが巻着された一対の加工用ローラと、
ワイヤを走行させるワイヤ駆動手段と、
一対の加工用ローラ間のワイヤに対してワークを押し当てる方向にワークを相対移動させてワークを切断するワーク相対移動手段と、
溝が、ワイヤのピッチに応じた間隔で形成され、当該溝内に加工用ローラとワーク間のワイヤが位置されるように位置決めされる一対のガイドバーと、
ガイドバーと加工用ローラ間のワイヤにスラリを供給する第１のスラリ供給手段と、
ガイドバーとワーク間のワイヤにスラリを供給する第２のスラリ供給手段と
が備えられているワイヤソー装置であることを特徴とする。
【００２８】
第３発明は、
所定ピッチでワイヤが巻着された一対の加工用ローラと、
ワイヤを走行させるワイヤ駆動手段と、
一対の加工用ローラ間のワイヤに対してワークを押し当てる方向にワークを相対移動させてワークを切断するワーク相対移動手段と、
溝が、ワイヤのピッチに応じた間隔で形成され、当該溝内に加工用ローラとワーク間のワイヤが位置されるように位置決めされる一対のガイドバーとが備えられ、
ガイドバーには、当該ガイドバーとワーク間のワイヤにスラリを供給するスラリ供給路
が形成されているワイヤソー装置であることを特徴とする。
【００２９】
第４発明は、
所定ピッチでワイヤが巻着された一対の加工用ローラと、
ワイヤを走行させるワイヤ駆動手段と、
一対の加工用ローラ間のワイヤに対してワークを押し当てる方向にワークを相対移動させてワークを切断するワーク相対移動手段と、
溝が、ワイヤのピッチに応じた間隔で形成され、当該溝内に加工用ローラとワーク間のワイヤが位置されるように位置決めされる一対のガイドバーとが備えられ、
ガイドバーには、当該ガイドバーとワーク間のワイヤにスラリを供給するスラリ供給路
が形成され、
更に、ガイドバーと加工用ローラ間のワイヤにスラリを供給するとともに、ガイドバーのスラリ供給路にスラリを供給するスラリ供給手段が設けられているワイヤソー装置であることを特徴とする。
【００３０】
第５発明は、第１発明または第２発明または第４発明において、
スラリ供給手段は、ガイドバーと加工用ローラとの間にあってワイヤの上方に配置されたスラリ供給用パイプを含んでいること
を特徴とする。
【００３１】
第６発明は、第３発明において、
ガイドバーのスラリ供給路には、
ガイドバーと加工用ローラとの間にあってワイヤの上方に配置されたスラリ供給用パイプから滴下されるスラリが供給されること
を特徴とする。
【００３２】
第７発明は、第４発明において、
スラリ供給手段は、
ガイドバーと加工用ローラとの間にあってワイヤの上方に配置され、スラリが滴下されるスラリ供給用パイプと、
スラリ供給用パイプから滴下されたスラリを分流して、ガイドバーと加工用ローラ間のワイヤと、ガイドバーのスラリ供給路とに導く分流手段と
からなること
を特徴とする。
【００３３】
第８発明は、第４発明または第７発明において、
ガイドバーと加工用ローラ間のワイヤに供給されるスラリ流量と、ガイドバーのスラリ供給路とに導かれるスラリ流量を調整する流量調整手段と
が更に設けられていること
を特徴とする。
【００３４】
第９発明は、第１発明〜第８発明において、
ガイドバーとワークとの間のワイヤにスラリを供給するに際して、
少なくともワークの長手方向の端部に相当するワイヤに、スラリを供給すること
を特徴とする。
【００３５】
第１０発明は、第１発明〜第９発明において、
溝の深さ方向に、一対のガイドバーを移動させるガイドバー移動手段が更に備えられていること
を特徴とする。
【００３６】
第１１発明は、第１発明〜第１０発明において、
一対のガイドバー間の距離を移動させるガイドバー移動手段が更に備えられていること
を特徴とする。
【００３７】
第１２発明は、
ワイヤソー装置に用いられるガイドバーであって、
ワイヤのピッチに応じた間隔の複数の溝と、
スラリをガイドバーとワークとの間のワイヤに供給するためのスラリ供給路と
が形成されていること
を特徴とする。
【００３８】
第１３発明は、
スラリ供給用パイプを備えたワイヤソー装置に用いられるスラリ供給装置であって、
ワイヤのピッチに応じた間隔の複数の溝が形成されているとともに、スラリをガイドバーとワークとの間のワイヤに供給するためのスラリ供給路が形成されているガイドバーと、
スラリ供給用パイプから滴下されたスラリを分流して、ガイドバーと加工用ローラ間のワイヤに導くとともに、ガイドバーのスラリ供給路に導くためのスラリ導入板と、
スラリ導入板を、その傾斜角度が調整可能に、スラリ供給用パイプに固定するための固定部材と
からなることを特徴とする。
【００３９】
本発明によれば、図６に示すように、ガイドバー４１、４２の溝４３の隙間４３ａ（スラリゲート；流れＤ）とは別のスラリ供給手段によってガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６にスラリが供給される（流れＢ）。このため、ワープ品質を向上させるに十分な量の砥粒３０をインゴット１の切断部位に入り込ませることができる。これにより、切断抵抗が低減されてワープの品質が向上する。
【００４０】
しかも、ガイドバー４１、４２によってワイヤ６の振れが規制されている。このため、ＴＴＶ、カーフロス（切断代）、面粗さの品質についても、従来と同レベルの品質を維持することができる。
【００４１】
以上のように本発明によれば、ガイドバーによってワイヤの振れを防止しつつ、ワープ品質を向上させるために必要な量の砥粒をウェーハ切断面に入り込ませるようにしたので、カーフロス、ＴＴＶ、面粗さを従来と同レベルの品質に維持しつつ、ワープの低減を図り、ウェーハ切断面の品質を向上させることができる。
【００４２】
第１発明は、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６にスラリを供給するスラリ供給手段（流れＢ）を設けるというものであるが、第２発明、第４発明では、このスラリ供給手段以外に、ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８間のワイヤ６にスラリを供給するスラリ供給手段（流れＣ）が設けられる（第２発明、第４発明）。このためウェーハ切断面の品質向上という効果に加えて、加工用ローラ７、８の冷却等の効果も同時に得られる。
【００４３】
スラリ供給手段は、ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８との間にあってワイヤ６の上方に配置されたスラリ供給用パイプ５を含むものとして構成することができる（第５発明）。
【００４４】
第３発明、第４発明、第１２発明、第１３発明は、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６にスラリを供給する（流れＢ）ためのスラリ供給路６４を、ガイドバー４１、４２に形成するというものである。これによりスラリ供給用パイプ５は既存の配置（ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８との間）のままで、スラリ供給用パイプ５から滴下されたスラリを、ガイドバー４１、４２のスラリ供給路６４を介して、反対側のガイドバー４１、４２とインゴット１との間に供給することができる（流れＢ）。このため、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間には、スラリを供給するために必要となる構成部品を新たに設ける必要がなくなり、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間の距離（「ガイドローラ間距離Ｌ」）を短い距離に維持することができる。すなわち、仮に、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間（ワイヤ６上方）に、スラリ供給用パイプ５を配置しようとすれば、スラリ供給用バイプ５の場積分だけ、インゴット１とガイドバー４１、４２との距離を大きくとる必要がある。このため実質的に「ガイドローラ間距離Ｌ」が長くなり、ワープの低減の効果を、十分に得ることはできない。本発明によれば、ガイドバー４１、４２にスラリ供給路６４を形成したため、スラリ供給用パイプ５は、既存の配置（ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８との間にあってワイヤ６の上方）のままとすることができ、「ガイドローラ間距離Ｌ」を短い距離に維持できる。
【００４５】
第７発明では、スラリ供給用パイプ５から滴下されたスラリ（流れＡ）が分流されて、ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８間のワイヤ６にスラリが供給されるとともに（流れＣ）、ガイドバー４１、４２に形成されたスラリ供給路６４を介してガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６にスラリが供給される（流れＢ）。
【００４６】
第８発明では、たとえば図７（ａ）、（ｂ）に示すごとく、スラリ導入板６０の傾斜角度θを調整することで、流れＢと流れＣの流量比率が調整される。
【００４７】
第９発明では、図１２に示すように、インゴット１の長手方向端部１Ｅに相当する長さの出口側開口６４ｂ′が形成されて、インゴット１の長手方向端部１Ｅに相当するワイヤ６のみにスラリが供給される。
【００４８】
ワープの品質は、インゴット１の長手方向の中央部分に比べて端部１Ｅの方が低いという傾向がある。このため少なくともインゴット１の長手方向端部１Ｅに相当するワイヤ６にスラリを供給して、端部１Ｅから取得されるウェーハ１ａのワープの品質を向上させれば、インゴット１全体としてのウェーハ切断面の品質の向上が期待される。
【００４９】
第１０発明では、図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、ガイドバー４１、４２の溝４３の深さ方向の移動が制御されて、ウェーハ１ａの切断面の品質を向上するに最適な深さ方向位置に調整される。
【００５０】
第１１発明では、図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、ガイドバー４１、４２間の距離が制御されて、ウェーハ１ａの切断面の品質を向上するに最適な距離に調整される。
【００５１】
第１３発明のスラリ供給装置１０は、図５、図６に示すように、既存のガイドバー４１、４２に、スラリ供給路６４を形成し、既存のスラリ供給用パイプ５に、固定部材６１を介してスラリ導入板６０を固定するだけで、構築することができる。このため既存のワイヤソー装置（図１）のガイドバー４１、４２を加工したり、後付けの部品（固定部材６１、スラリ導入板６０）を追加するだけで済み、大幅な改変、改造の必要がない。このため本発明の実施にあたり、ワイヤソー装置のコストを低く抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５２】
以下図面を参照して本発明に係るワイヤソー装置およびワイヤソー装置用のガイドバー並びにワイヤソー装置用のスラリ供給装置の実施の形態について説明する。
【００５３】
（第１実施例）
図３は第１実施例のワイヤソー装置の構成を示している。図３は切断すべきワークである単結晶シリコンインゴット１を切断面方向からみた図である。また図４（ａ）は図３を矢視Ｔ1方向からみた後述するガイドバー４１、４２の下面を示す図である。また図４（ｂ）は図３を矢視Ｔ2方向からみたガイドバー４１の側面図である。
【００５４】
同図３に示すように、各加工用ローラ７、８、調整用ローラ９の長手軸方向がインゴット１の長手軸方向に一致するように３つの加工用ローラ７、８、調整用ローラ９が所定距離離間されて配置されている。各加工用ローラ７、８、調整用９にはワイヤ６が巻着されている。なおワイヤ６は送り側ボビンによってローラ７、８、９に送られ、巻き取り側ボビンによって巻き取られる。各加工用ローラ７、８、調整用ローラ９にはローラ長手方向に沿って一定のピッチでワイヤ６が巻かれており、図示しない張力調整機構により一定の張力がワイヤ６に付与されている。
【００５５】
一対の加工用ローラ７、８間に架け渡されたワイヤ６によってインゴット１が切断される。
【００５６】
各ローラ７、８、９のいずれかのローラには図示しないワイヤ駆動用モータの回転軸が連結されている。ワイヤ駆動用モータが回転駆動することによりたとえば加工用ローラ７が回転駆動しこれに伴い他のローラ８、９が従動回転しワイヤ６が走行する。図中でローラ７、８、９が左方向に回転することによってワイヤ６は図中で左回りに走行する。ワイヤ６が一方向に走行するに応じて巻き取り側ボビンでワイヤ６が巻き取られていく。巻き取り側ボビンに巻かれているワイヤ６が所定量送られると、ワイヤ駆動用モータは逆方向に回転駆動し、巻き取り側ボビンが送り側ボビンとして機能してワイヤ６は逆方向に走行する。
【００５７】
インゴット１は黒鉛からなるワークプレート２に接着されている。ワークプレート２はセットプレート３に接着されている。インゴット１をワークプレート２に接着し、ワークプレート２をセットプレート３に接着するに際して、インゴット１の切断方向が結晶面に一致するようにインゴット１の姿勢が調整される。すなわちインゴット１の結晶方位がワイヤ６による切断方向と垂直になるようにインゴット１の中心軸の方向が調整される。セットプレート３は、昇降ベースとしてのインゴット送り軸４６に取り付けられている。
【００５８】
インゴット送り軸４６は、図中上下方向Ｐに昇降可能に、ボールネジ４５に螺合している。インゴット送り軸４６は、リニアガイド４７によって同上下方向Ｐに案内移動される。
【００５９】
ボールネジ４５はインゴット駆動用サーボモータ４４に回転軸に接続している。インゴット駆動用サーボモータ４４が駆動されるとボールネジ４５が回転しインゴット送り軸４６はリニアガイド４７に案内移動されて図中上下方向Ｐに昇降し、これに伴いインゴット１が同上下方向Ｐに昇降する。インゴット１が下降するとインゴット１は一対の加工用ローラ７、８間のワイヤ６に当接して下降位置に応じた切断深さでインゴット１が切断される。
【００６０】
一対の加工用ローラ７、８の間には、一対のガイドバー４１、４２がその長手方向の軸（紙面に垂直な軸）が一致するように位置されている。一対のガイドバー４１、４２は、インゴット１を挟む位置に設けられている。
【００６１】
図４（ａ）に示すようにガイドバー４１、４２には、ワイヤ６のピッチに応じた間隔で溝４３が形成されている。図４（ｂ）に示すように、溝４３の幅はワイヤ６の直径よりもやや大きい長さである。たとえばワイヤ６の直径が１６０μｍであれば溝４３の幅は２００μｍ程度である。
【００６２】
一対のガイドバー４１、４２は、インゴット１の押し当て方向に溝深さを有し、溝幅方向にワイヤ６の動きを規制し溝深さ方向にはワイヤ６の動きを規制しない溝４３が、ワイヤ６のピッチに応じた間隔で形成されており、当該溝４３内に加工用ローラ７、８とインゴット１間のワイヤ６が位置されるように位置決めされる。
【００６３】
加工用ローラ７とガイドバー４１の間および加工用ローラ８とガイドバー４２の間にあってワイヤ６の上方には、スラリ供給用パイプ５が配置されている。
【００６４】
スラリ供給用パイプ５には、供給口５ａがパイプ長手方向に沿って、パイプの下方に開口している。スラリ供給用パイプ５の供給口５ａからは、砥粒と分散剤との混合液体からなるスラリが吐出され、重力に従って滴下される。
【００６５】
ガイドバー４１には、当該ガイドバー４１とインゴット１間のワイヤ６にスラリを供給するスラリ供給路６４が形成されている。同様にガイドバー４２には、当該ガイドバー４２とインゴット１間のワイヤ６にスラリを供給するスラリ供給路６４が形成されている。
【００６６】
ガイドバー４１、４２のスラリ供給路６４は、スラリ供給用パイプ５が配置されている側の入口側開口６４ａと、インゴット１が位置している側の出口側開口６４ｂとを連通するように形成されている。
【００６７】
ガイドバー４１、４２はそれぞれ、ガイドバー上下駆動軸５７、５８に接続している。ガイドバー上下駆動軸５７、５８はそれぞれ、図３の図中上下方向Ｑに昇降可能に、ボールネジ５５、５６に螺合している。ボールネジ５５、５６はそれぞれ、ガイドバー上下駆動用サーボモータ５３、５４の回転軸に接続している。ガイドバー上下駆動用サーボモータ５３が駆動されると、ボールネジ５５が回転しガイドバー上下駆動軸５７は図中上下方向Ｑに昇降し、これに伴いガイドバー４１が同上下方向Ｐに昇降する。ガイドバー４１が下降すると、当該ガイドバー４１の溝４３内に加工用ローラ７とインゴット１間のワイヤ６が位置される。
【００６８】
同様にしてガイドバー上下駆動用サーボモータ５４が駆動されると、ボールネジ５６が回転しガイドバー上下駆動軸５８は図中上下方向Ｑに昇降し、これに伴いガイドバー４２が同上下方向Ｑに昇降する。ガイドバー４２が下降すると、当該ガイドバー４２の溝４３内に加工用ローラ８とインゴット１間のワイヤ６が位置される。以上のように一対のガイドバー４１、４２が溝４３の深さ方向（図中下方）に移動して溝４３内にワイヤ６が位置される。
【００６９】
図４（ｂ）に示すように、一対のガイドバー４１、４２の溝４３内にワイヤ６が位置された状態で上記ワイヤ駆動用モータが回転駆動すると、ワイヤ６は溝４３に案内移動されて矢印Ｖで示す図中左右方向に走行する。このときワイヤ６はインゴット１の切断に応じて溝４３の幅方向に振動するが、ワイヤ６の振れは溝４３によって規制される。一方ワイヤ６の溝４３深さ方向の動きは規制されない。つまりガイドバー４１、４２は、ウェーハ１ａの切断面に垂直な方向のワイヤ振れを規制するが、ウェーハ１ａの切断面に平行な方向のワイヤの動きを規制しない機能を有している。これによりワイヤ６に対しては上述した張力調整機構によって付与される一定の張力以外の張力が付与することがない。
【００７０】
ガイドバー駆動用サーボモータ５３、５４にはそれぞれ、駆動電流を検出することでガイドバー４１、４２がワイヤ６に与える負荷を検出する図示しない負荷検出器が設けられている。また上記負荷検出器で検出されるワイヤ負荷が所定値を超えると、ガイドバー上下駆動用サーボモータ５３、５４を駆動制御して、ワイヤ負荷を所定値以下にするコントローラが設けられている。
【００７１】
上記一対のガイドバー４１、４２は、ガイドバー水平駆動軸４８を介して矢印Ｓ1、Ｓ2で示す図中外側方向（インゴット１から離れる方向）あるいは内側方向（インゴット１に向かう方向）に移動する。ガイドバー水平駆動軸４８は上述したインゴット送り軸４６と一体に設けられている。
【００７２】
図示しないガイドバー水平駆動用のサーボモータの駆動軸がピニオンギア４９に接続している。ピニオンギア４９は、ラック５０、ラック５１に歯合している。ラック５０は、ガイドバー上下駆動用サーボモータ５３を固定するベース部材５２に接続している。またラック５１は、ガイドバー駆動用サーボモータ５４を固定するベース部材５３に接続している。
【００７３】
このためガイドバー水平駆動用サーボモータが駆動されると、ピニオンギア４９が紙面で時計回り方向あるいは反時計回り方向に回転しラック５０、ラック５１がＳ1方向（図中の外側方向）あるいはＳ2方向（図中の内側方向）に移動する。ラック５０、５１がＳ1方向に移動すると、ベース部材５２、５３が同Ｓ1方向に移動し、これに伴い一対のガイドバー４１、４２がインゴット１から離れる外側方向Ｓ1に移動する。またラック５０、５１がＳ2方向に移動すると、ベース部材５２、５３が同Ｓ2方向に移動し、これに伴い一対のガイドバー４１、４２がインゴット１に向かう内側方向Ｓ2に移動する。
【００７４】
以上のようにして一対のガイドバー４１、４２間の距離を変化させることができ、ワイヤ６の遊び（ガイドバー４１、４２とワイヤ６との距離）を調整することができる。
【００７５】
ガイドバー水平駆動軸４８はインゴット送り軸４６と一体に設けられているため、インゴット送り軸４６が上下方向に移動すると、インゴット１と共に一対のガイドバー４１、４２を移動させることができる。ガイドバー上下駆動軸５７、５８を上下方向に移動させることで、ガイドバー４１、４２をインゴット１と独立させて移動させることができる。
【００７６】
一対のガイドバー４１、４２の材質は、加工性および熱膨張係数においてインゴット１と同一となる材質を用いることが望ましい。たとえばインゴット１がシリコンインゴットであればシリコンによってガイドバー４１、４２を構成することが望ましい。
【００７７】
またガイドバー４１、４２の溝４３は、インゴット１の切断前に同じワイヤソー装置のワイヤ６を用いて予め所定の深さに切断することで形成しておくことが望ましい。インゴット１の切断に用いられるのと同じワイヤソー装置によって溝４３を形成しておくようにすると、ワイヤソー装置の号機差をキャンセルすることができ、加工の精度が向上する。
【００７８】
ここでガイドバー４１、４２の材質がインゴット１と同じ材質（シリコン）であれば、ワイヤ６によって加工性よく溝４３を形成することができる。
【００７９】
またガイドバー４１、４２の材質がインゴット１と同じ材質（シリコン）であれば、切断加工中、ワイヤ６によるインゴット１の切断部位がガイドバー４１、４２の溝と同じ熱膨脹係数で熱膨脹するので、切断品質の劣化が少なく加工の精度が向上する。
【００８０】
ガイドバー４１、４２の断面形状は、ガイドバー４１、４２のワイヤ６に対する相対的な上下方向位置に応じて、溝４３がワイヤ６を規制する長さが変化する形状であることが望ましい。
【００８１】
ガイドバー４１、４２の断面形状は円形、楕円であってもよく、図３に示すように、楔形状であってもよい。
【００８２】
図３は、ガイドバー断面の稜線のうちスラリ供給用パイプ５側の稜線が下方にいくほどインゴット１側に傾斜する形状に形成されたガイドバー４１、４２を示している。
【００８３】
つぎに、図５の組立図を併せ参照して、図３のワイヤソー装置に用いられるスラリ供給装置１０の構成について説明する。なお、スラリ供給装置１０は、図３の図中左右で同じ構成であるため、図中右側のガイドバー４２を含むスラリ供給装置１０を代表させて説明する。
【００８４】
図５に示すように、スラリ供給装置１０は、ワイヤ６のピッチに応じた間隔の複数の溝４３が形成されているとともに、スラリをガイドバー４２とインゴット１との間のワイヤ６に供給するためのスラリ供給路６４が形成されているガイドバー４２と、スラリ供給用パイプ５から滴下されたスラリを分流して、ガイドバー４２と加工用ローラ８間のワイヤ６に導くとともに、ガイドバー４２のスラリ供給路６４に導くためのスラリ導入板６０と、スラリ導入板６０を、その傾斜角度が調整可能に、スラリ供給用パイプ５に固定するための固定部材６１とからなる。
【００８５】
固定部材６１は、２分割されたブロック状の各固定部材６１ａ、６１ｂからなる。固定部材６１ａ、６１ｂは、スラリ供給用パイプ５の外径に応じた半円弧状の内周面６１ｄを有している。
【００８６】
各固定部材６１ａ、６１ｂは、その内周面６１ｄがスラリ供給用パイプ５の外周面に当接するように位置決めされた上で、ボルト６２によって両固定部材６１ａ、６１ｂ同士が締結される。ボルト６２によって両固定部材６１ａ、６１ｂ同士が締結されると、固定部材６１がスラリ供給用パイプ５の外周に圧接されて、スラリ供給用パイプ５に固定される。
【００８７】
固定部材６１は、スラリ供給用パイプ５の両端に、スラリ導入板６０の長さに応じた距離だけ離間させて、固定される。
【００８８】
スラリ導入板６０は、スラリ供給用パイプ５の供給口５ａから滴下されたスラリを受けることができ、ガイドバー４２のスラリ供給路６４（入口側開口６４ａ）に挿入することができる長さ、幅に形成されている。
【００８９】
スラリ導入板６０には、固定部材６１ｂにスラリ導入板６０を締結して固定するためのネジ孔６０ａが形成されている。また、固定部材６１ｂには、スラリ導入板６０を固定部材６１ｂに締結して固定するためのネジ穴６１ｃが形成されている。
【００９０】
スラリ導入板６０は、ガイドバー４２のスラリ供給路６４（入口側開口６４ａ）に挿入され、スラリ導入板６０のネジ孔６０ａと固定部材６１ｂのネジ穴６１ｃとが同軸状になるように位置決めされる。この位置決めの際に、スラリ導入板６０は、その傾斜角度θが所望の角度となるように調整される。そして、スラリ導入板６０を所望の傾斜角度に保持した状態で、ボルト６３がネジ孔６０ａを介してネジ穴６１ｃに螺合される。これによりスラリ導入板６０は、固定部材６１ｂに締結、固定される。
【００９１】
以上のようにしてスラリ供給装置１０が構成されている。なお、図５では、一方のガイドバー４２を含むスラリ供給装置１０について説明したが、他方のガイドバー４１を含むスラリ供給装置１０についても、同様にして構成される。
【００９２】
図６はスラリ供給装置１０の動作を説明する図である。
【００９３】
つぎに、図３、図４に図６を併せ参照して、ワイヤソー装置の動作、スラリ供給装置１０の動作について説明する。なお、以下の説明においても、スラリ供給装置１０は、図３の図中左右で同じ構成であるため、図中右側のガイドバー４２を含むスラリ供給装置１０を代表させて説明する。
【００９４】
上記ワイヤ駆動用モータを回転駆動させてワイヤ６を走行させるとともに、インゴット送り軸４６を下降させると、インゴット１が、走行するワイヤ６に押し当てられる。
【００９５】
また、図示しないスラリ供給源からスラリ供給用パイプ５内にスラリが供給される。
【００９６】
このためスラリ供給用パイプ５の供給口５ａからは、矢印Ａのごとくスラリがスラリ導入板６０上に滴下される。スラリは、スラリ導入板６０の傾斜角度θに応じた流量比に調整されて、ガイドバー４２の入口側開口６４ａに向かう流れＢと、加工用ローラ８側に向かう流れＣとに分流される。
【００９７】
スラリは、矢印Ｂに示すごとく、スラリ導入板６０上をガイドバー４２の入口側開口６４ａに向かって流れることによって、ガイドバー４２の入口側開口６４ａに導入され、スラリ供給路６４を通過して、ガイドバー４２の出口側開口６４ｂから排出され、ガイドバー４２の壁面を伝って、ガイドバー４２とインゴット１との間のワイヤ６に滴下される。
【００９８】
一方、スラリは、矢印Ｃに示すごとく、スラリ導入板６０上を加工用ローラ８側に向かって流れることによって、ガイドバー４２と加工用ローラ８との間のワイヤ６に滴下される。このためスラリによって加工用ローラ８の冷却が行われる。また、ガイドバー４２と加工用ローラ８との間のワイヤ６に滴下されたスラリは、図４（ｂ）に示すように、ガイドバー４２の溝４３の隙間４３ａ（スラリゲート）を介して、インゴット１に向かう流れＤを形成する。
【００９９】
なお、図６では、一方のガイドバー４２を含むスラリ供給装置１０について説明したが、他方のガイドバー４１を含むスラリ供給装置１０についても、同様にして動作する。
【０１００】
このように本実施例のワイヤソー装置、スラリ供給装置１０によれば、溝４３を通過するスラリの流れＤに加えて、スラリ供給路６４を通過するスラリの流れＢが形成される。このため、インゴット１の切断部位には、溝４３を通過するスラリの流れＤだけの場合よりも多くの流量のスラリが供給される。これにより、ウェーハ１ａの切断面とワイヤ６との間に、従来技術１（図２（ｂ））の場合よりも多くの砥粒３０を入り込ませることができる。
【０１０１】
スラリはインゴット１の切断部位に供給されて、ラッピング作用によりインゴット１が徐々に切断される。加工用ローラ７、８の長手軸方向には所定ピッチでワイヤ６が巻回されているため所定ピッチでの切断が同時に行われる。こうしてインゴット１から複数のウェーハ１ａが生成される。
【０１０２】
図７（ａ）、（ｂ）は、スラリ導入板６０の傾斜角度θを調整することによって、ガイドバー４１、４２の入口側開口６４ａに向かう流れＢのスラリ流量と、加工用ローラ７、８側に向かう流れＣのスラリ流量との比率が調整される様子を説明する図である。
【０１０３】
図７（ａ）に示すように、スラリ導入板６０をほぼ水平になるように調整すれば、ガイドバー４１、４２の入口側開口６４ａに向かう流れＢのスラリ流量と、加工用ローラ７、８側に向かう流れＣのスラリ流量との比率を、ほぼ５０％対５０％の比率に調整することができる。
【０１０４】
図７（ｂ）に示すように、スラリ導入板６０を加工用ローラ７、８側が下方に位置しガイドバー４１、４２の入口側開口６４ａ側が上方に位置するように傾斜させれば、ガイドバー４１、４２の入口側開口６４ａに向かう流れＢのスラリ流量の方が、加工用ローラ７、８側に向かう流れＣのスラリ流量よりも少なくなる比率、たとえば１０％対９０％の比率に調整することができる。
【０１０５】
以上のように、本実施例によれば、ガイドバー４１、４２の溝４３の隙間４３ａ（スラリゲート；流れＤ）とは別のスラリ供給手段によってガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６にスラリが供給される（流れＢ）。このため、ワープ品質を向上させるに十分な量の砥粒３０をインゴット１の切断部位に入り込ませることができる。これにより、切断抵抗が低減されてワープの品質が向上する。
【０１０６】
しかも、ガイドバー４１、４２によってワイヤ６の振れが規制されている。このため、ＴＴＶ、カーフロス（切断代）、面粗さの品質についても、従来と同レベルの品質を維持することができる。
【０１０７】
また、本実施例では、スラリ供給用パイプ５から滴下されたスラリを、ガイドバー４１、４２に形成されたスラリ供給路６４を介して、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６に供給する（流れＢ）ようにしている。これによりスラリ供給用パイプ５は既存の配置（ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８との間）のままで、スラリ供給用パイプ５から滴下されたスラリを、ガイドバー４１、４２のスラリ供給路６４を介して、反対側のガイドバー４１、４２とインゴット１との間に供給することができる（流れＢ）。このため、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間には、スラリを供給するために必要となる構成部品を新たに設ける必要がなくなり、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間の距離（「ガイドローラ間距離Ｌ」）を短い距離に維持することができる。すなわち、仮に、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間（ワイヤ６上方）に、スラリ供給用パイプ５を配置しようとすれば、スラリ供給用バイプ５の場積分だけ、インゴット１とガイドバー４１、４２との距離を大きくとる必要がある。このため実質的に「ガイドローラ間距離Ｌ」が長くなり、ワープの低減の効果を、十分に得ることはできない。本実施例によれば、ガイドバー４１、４２にスラリ供給路６４を形成したため、スラリ供給用パイプ５は、既存の配置（ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８との間にあってワイヤ６の上方）のままとすることができ、「ガイドローラ間距離Ｌ」を短い距離に維持できる。
【０１０８】
以上のように本実施例によれば、ガイドバーによってワイヤの振れを防止しつつ、ワープ品質を向上させるために必要な量の砥粒をウェーハ切断面に入り込ませるようにしたので、カーフロス、ＴＴＶ、面粗さを従来と同レベルの品質に維持しつつ、ワープの低減を図り、ウェーハ切断面の品質を向上させることができる。
【０１０９】
また、本実施例のスラリ供給装置１０は、図５、図６に示すように、既存のガイドバー４１、４２に、スラリ供給路６４を形成し、既存のスラリ供給用パイプ５に、固定部材６１を介してスラリ導入板６０を固定するだけで、構築することができる。このため既存のワイヤソー装置（図１）のガイドバー４１、４２を加工したり、後付けの部品（固定部材６１、スラリ導入板６０）を追加するだけで済み、大幅な改変、改造の必要がない。このため本発明の実施にあたり、ワイヤソー装置のコストを低く抑えることができる。
【０１１０】
（第２実施例）
上述した第１実施例に対しては、種々の変形例が可能である。以下、各実施例について説明する。
【０１１１】
第１実施例では、スラリ供給用パイプ５から滴下されたスラリ（流れＡ）を分流して、ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８間のワイヤ６にスラリを供給するとともに（流れＣ）、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６にスラリを供給している（流れＢ）が、図８（ａ）に示すように、スラリ導入板６０上に堰６０ｂを設けて加工用ローラ７、８側に向かうスラリ流れＣを堰き止めるか、図８（ｂ）に示すように、スラリ供給路６４のみにスラリを導く導入通路６０′を設けるなどして、分流させることなく、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６のみにスラリを供給する（流れＢのみ）実施も可能である。なお、この場合、スラリ供給用パイプ５とは別途にスラリ供給用パイプ５′を設ければ、ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８間のワイヤ６にスラリを独立して供給して、加工用ローラ７、８の冷却等を行うことができる。
【０１１２】
（第３実施例）
第１実施例では、ガイドバー４１、４２の内部にスラリ供給路６４を形成しているが、スラリ供給路６４としては、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６にスラリを供給することができるのあればよく、ガイドバー４１、４２の外部に設けてもよい。たとえば図９のように、スラリ供給用パイプ５を、ガイドバー４１、４２の 上方に配置して、スラリ供給用パイプ５から滴下されたスラリを、ガイドバー４１、４２の壁面を介してガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６に供給してもよい。
【０１１３】
（第４実施例）
第１実施例では、スラリ供給用パイプ５を、ガイドバー４１、４２の外部に配置しているが、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、スラリ供給用パイプ５を、ガイドバー４１、４２に、内蔵する実施も可能である。
【０１１４】
図１０（ａ）の構成の場合には、内蔵されたスラリ供給用パイプ５から滴下されたスラリがスラリ供給路６４を通過して、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６に供給される。なお、この場合、内蔵されたスラリ供給用パイプ５とは別途にスラリ供給用パイプ５′を設ければ、ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８間のワイヤ６にスラリを独立して供給して、加工用ローラ７、８の冷却等を行うことができる。
【０１１５】
図１０（ｂ）の構成の場合には、内蔵されたスラリ供給用パイプ５から滴下されたスラリがスラリ供給路６４とスラリ供給路６５とに分流される。スラリはスラリ供給路６４を通過して、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６に供給される。また、スラリはスラリ供給路６５を通過して、ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８との間のワイヤ６に供給される。
【０１１６】
スラリ供給用パイプ５は、供給路６７を介してスラリ供給源６８に連通している。供給路６７上には、流量調整用バルブ６９が設けられている。流量調整用バルブ６９を調整することにより、スラリ供給用パイプ５から滴下されるスラリの流量が調整され、ガイドバー４１、４２と加工用ローラ７、８間のワイヤ６およびガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６に供給されるスラリの流量が調整される。
【０１１７】
（第５実施例）
第１実施例では、スラリ導入板６０によって、流れＡから流れＢ、流れＣへの分流と、流れＢ、流れＣの流量（比）調整を行うようにしているが、流量調整機能は、スラリ導入板６０とは別の構成要素にもたせる実施も可能である。
【０１１８】
すなわち、図１０と同様に、図１１に示すごとく、スラリ供給用パイプ５は、供給路６７を介してスラリ供給源６８に連通しており、供給路６７上には、流量調整用バルブ６９が設けられている。流量調整用バルブ６９を調整することにより、スラリ供給用パイプ５から滴下されるスラリの流量（元流量）が０〜１００％の範囲で調整される。
【０１１９】
一方、図７（ａ）と同様に、スラリ導入板６０の傾斜角度θを調整することで流れＢと流れＣの流量比率が調整される。たとえばスラリ導入板６０をほぼ水平になるように調整すれば、元流量を１００％としたとき、ガイドバー４１、４２の入口側開口６４ａに向かう流れＢのスラリ流量と、加工用ローラ７、８側に向かう流れＣのスラリ流量との比率を、元流量の５０％対元流量の５０％の比率に調整することができる。
【０１２０】
ここで、流量調整用バルブ６９を調整して、スラリ供給用パイプ５から滴下されるスラリ元流量を１００％から４０％に変化させたとすると、ガイドバー４１、４２の入口側開口６４ａに向かう流れＢのスラリ流量は、元流量の５０％から元流量の２０％に絞られる。
【０１２１】
このようにスラリ導入板６０の傾斜角度θとは、独立した流量調整機能を別途に設けることで、スラリ導入板６０の傾斜角度θを調整することなく、流れＢの流量を、きめ細かく調整することが可能になる。
【０１２２】
（第６実施例）
第１実施例では、図６に示すように、ガイドバー４１、４２とインゴット１との間のワイヤ６にスラリを供給するに際して、インゴット１の長手方向全域に相当する長さの出口側開口６４ｂを形成して、インゴット１の長手方向全域のワイヤ６に対してスラリを供給するようにしているが、図１２に示すように、インゴット１の長手方向端部１Ｅに相当する長さの出口側開口６４ｂ′を形成して、インゴット１の長手方向端部１Ｅに相当するワイヤ６のみにスラリを供給する実施も可能である。
【０１２３】
ワープの品質は、インゴット１の長手方向の中央部分に比べて端部１Ｅの方が低いという傾向がある。このため少なくともインゴット１の長手方向端部１Ｅに相当するワイヤ６にスラリを供給して、端部１Ｅから取得されるウェーハ１ａのワープの品質を向上させれば、インゴット１全体としてのウェーハ切断面の品質の向上が期待される。
【０１２４】
（第７実施例）
図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、ガイドバー４１、４２の溝４３の深さ方向の移動を制御して、ウェーハ１ａの切断面の品質を向上するに最適な深さ方向位置に調整してもよい。
【０１２５】
図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、ガイドバー４１、４２の溝深さ方向の位置、つまり上下方向位置を調整すると、溝４３がワイヤ６を規制する長さｌが変化するとともに、ガイドバー４１、４２の出口側開口６４ｂからワイヤ６までの距離ｍが変化する。
【０１２６】
ここで、距離ｍは、ガイドバー４１、４２の出口側開口６４ｂから排出されたスラリ量のうちインゴット１に到達できるスラリ量を規定する。距離ｍが大きければ、インゴット１に到達できるスラリ量が少なくなり、ワイヤ６の遊びが小さければ、インゴット１に到達できるスラリ量が多くなる。
【０１２７】
そこで、ガイドバー４１、４２の溝４３の深さ方向の位置を調整して、ワイヤ規制長さｌ、距離ｍが、ウェーハ切断面の品質を向上させるに適した大きさに、調整される。
【０１２８】
（第８実施例）
図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、ガイドバー４１、４２間の距離を制御して、ウェーハ１ａの切断面の品質を向上するに最適な距離に調整してもよい。
【０１２９】
図１４（ａ）、（ｂ）は、インゴット１の切断深さに応じて一対のガイドバー４１、４２間の距離を変化させた場合を示している。図１４（ａ）は切断初期におけるインゴット１と一対のガイドバー４１、４２との位置関係を示し、図１４（ｂ）は切断中期におけるインゴット１と一対のガイドバー４１、４２との位置関係を示している。
【０１３０】
インゴット１の切断が進行しインゴット１が矢印Ｈで示す方向に下降するに伴い一対のガイドバー４１、４２間の距離が大きくなり、インゴット１の切断深さにかかわらずワイヤ６の遊びが一定に保持される。一対のガイドバー４１、４２間の距離の調整は、上述したガイドバー水平駆動用サーボモータを駆動制御することによって行われる。
【０１３１】
ここで、ワイヤ６の遊びの大きさは、ガイドバー４１、４２の出口側開口６４ｂからインゴット１までの距離に相当する。そして、この距離は、ガイドバー４１、４２の出口側開口６４ｂから排出されたスラリ量のうちインゴット１に到達できるスラリ量を規定する。ワイヤ６の遊びが大きければ、インゴット１に到達できるスラリ量が少なくなり、ワイヤ６の遊びが小さければ、インゴット１に到達できるスラリ量が多くなる。
【０１３２】
そこで、一対のガイドバー４１、４２間の距離が制御されて、ワイヤ６の遊びが、ウェーハ切断面の品質を向上させるに適した大きさに、調整される。
【産業上の利用可能性】
【０１３３】
以上の説明では単結晶シリコンインゴット１を切断加工する場合を想定しているが、本発明としては磁性材料、セラミック等などの任意のワークをスライス状に切断加工する場合に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】図１は、従来のワイヤソー装置の構成を説明する図である。
【図２】図２（ａ）、（ｂ）は、ガイドバーの有無によって、ウェーハ切断面に入り込む砥粒の数の違いを説明する図である。
【図３】図３は第１実施例のワイヤソー装置の構成を示す図である。
【図４】図４（ａ）、（ｂ）はガイドバーの下面図、側面図である。
【図５】図５はワイヤソー装置に用いられるスラリ供給装置の組立図である。
【図６】図６はワイヤソー装置に用いられるスラリ供給装置の動作を説明する斜視図である。
【図７】図７（ａ）、（ｂ）は、スラリ導入板の傾斜角度の調整を説明する図である。
【図８】図８（ａ）、（ｂ）は第２実施例を説明する図である。
【図９】図９は第３実施例を説明する図である。
【図１０】図１０（ａ）、（ｂ）は第４実施例を説明する図である。
【図１１】図１１は第５実施例を説明する図である。
【図１２】図１２は第６実施例を説明する図である。
【図１３】図１３（ａ）、（ｂ）は第７実施例を説明する図である。
【図１４】図１４（ａ）、（ｂ）は第８実施例を説明する図である。
【符号の説明】
【０１３５】
１  インゴット（ワーク）  ５  スラリ供給用パイプ  ６  ワイヤ  ７、８  加工用ローラ  １０  スラリ供給装置  ４１、４２  ガイドバー  ６０  スラリ導入板  ６１  固定部材  ６４  スラリ供給路  
【図１】
2006305685.tif 000003
【図２】
2006305685.tif 000004
【図３】
2006305685.tif 000005
【図４】
2006305685.tif 000006
【図５】
2006305685.tif 000007
【図６】
2006305685.tif 000008
【図７】
2006305685.tif 000009
【図８】
2006305685.tif 000010
【図９】
2006305685.tif 000011
【図１０】
2006305685.tif 000012
【図１１】
2006305685.tif 000013
【図１２】
2006305685.tif 000014
【図１３】
2006305685.tif 000015
【図１４】
2006305685.tif 000016