(57)【要約】【課題】 磁気浮上密度計において、精密な密度測定を可能とする。【解決手段】  密度が異なり体積が共に既知である第１おもり２１と第２おもり２３の底部には、支持部材係止段部４４を突出しており、電磁石１８により吸引される永久磁石３６を上端に固定した荷重交換部材３３の第１おもり支持部材３７と第２おもり支持部材３４によって、いずれか一方のおもりのみ支持可能とし、また荷重交換部材３３と永久磁石３６の風袋のみの支持も可能とする。荷重交換部材３３の位置はポジションセンサ２８により検出し、アクチュエータ１７によって上下動してゼロパワー制御で安定する位置に保持する。荷重交換部材３３はアクチュエータ１７の回転により、おもり等の支持状態を変え、永久磁石３６の浮上位置が変化しないように風袋秤量位置と第１おもり秤量位置、及び第２おもり秤量位置で電子天秤により秤量を行い、流体に作用する磁気力補正して精密な密度測定を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
密度が異なり体積が共に既知である２個のおもりと、
前記２個のおもりを測定流体中で載せかえ、或いはおもりを載せない状態とする荷重交換部材と、
荷重を測定するための電子天秤と、
前記荷重交換部材のみ、或いはいずれかのおもりを含んだ荷重を前記電子天秤に非接触に伝播させるための磁気浮上機構と、
前記荷重交換部材の浮上位置と荷重交換を制御するアクチュエータとを備え、
おもりを載せない風袋計測位置と、１つのおもりのみを載せた第１密度計測位置と、他のおもりのみを載せた第２密度計測位置とを任意に設定して前記電子天秤により秤量を行うことを特徴とする磁気浮上密度計。
【請求項２】
前記荷重交換部材は、２個のおもりの中心孔を貫通するロッドと、該ロッドに固定した第１おもり支持部材及び第２おもり支持部材と、上端部に設けた永久磁石とを備え、
前記永久磁石を電磁石により吊り上げる磁気浮上機構を備えたことを特徴とする請求項１記載の磁気密度計。
【請求項３】
前記荷重交換部材は、各おもりの底面に突出するおもり支持段部と、該支持段部を備えない底面とに選択的に当接するおもり支持部材を備え、
前記アクチュエータの回転により荷重交換部材を回転し、前記おもり支持部材の回転によりおもりの載せ換えを行うことを特徴とする請求項１記載の磁気密度計。
【請求項４】
前記２個のおもりはＳｉ単結晶とＧｅ単結晶の各１個ずつからなることを特徴とする請求項１記載の磁気密度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気浮上を利用して流体中におもりを浮上させ、流体による浮力を受けたそのときのおもりの質量を計測することにより、流体の密度を計測する磁気浮上密度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より磁気浮上を利用した液中秤量装置としては種々のものがあるが、図４は下記非特許文献１にも示されている周知の磁気浮上密度計を模式的に示している。耐高圧性のセルからなる容器５１は中間に隔壁５２が形成され、上部空間５３と下部空間５４とに分割されており、両空間は隔壁５２によって流体が流通不能に隔離されている。上部空間５３には上方に配置した電子天秤６８から電磁石５５が隔壁５２の上面に近接して吊り下げられており、制御装置からの通電圧制御によって任意の電磁力を発生可能としている。
【０００３】
下部空間５４の下方にはおもり載置段部５６が形成され、この上におもり５７が自重で載置できるようにしている。載置段部５６には中心孔５８を備え、外部の流体を導入可能としており、それにより下部空間５４内には流体５９が満たされている。この中心孔５８の周囲にはポジションセンサ６１を配置しており、おもり５７の中心通孔６２を貫通して延びる荷重交換部材６３において、おもり支持部６４の下部に形成した下端部６５の位置を、中心孔５８内に非接触で検知としている。
【０００４】
荷重交換部材６３の上端部には、隔壁５２の下面に近接して配置される永久磁石６６を固定しており、永久磁石６６と一体化した前記のような荷重交換部材６３が上下動する位置を、ポジションセンサ６１で検出するようにしている。おもり支持部６４は図４（ａ）中において、おもり載置段部５６に載置されたおもり５７の底面６７より下方に位置しており、また同図（ｂ）はおもり支持部６４がおもり５７を支持して、上方に持ち上げている状態を示している。
【０００５】
上記のような構成の磁気浮上密度計においては、永久磁石６６が固定された荷重交換部材６３の下端部６５の位置を、ポジションセンサ６１により検知して電磁石５５の通電圧を制御して磁力を調節することにより、荷重交換部材６３を安定して浮上させることができる。
【０００６】
このとき浮上位置を調節することで、電磁石５５に通電する電圧をゼロにすることができ、電磁石５５の発熱を抑えることができる。これをゼロパワー制御と呼ぶ。
【０００７】
このときの荷重交換部材６３にはたらく重力および浮力の和は、上方に位置する電子天秤６８により秤量される。図４（ａ）は風袋秤量位置であり、前記のように荷重交換部材６３に設けたおもり支持部６４はおもりの底部６７から離れており、荷重交換部材６３と永久磁石６６が流体５９中に浮いた状態となって、それにより荷重交換部材６３のみの見かけの質量が電子天秤６８で測定され、計測機構として風袋を計る風袋秤量位置となる。
【０００８】
一方、図４（ｂ）には永久磁石６６を上昇させ、おもり支持部６４がおもり５７の底部６７に接した後も更におもり５７を含んで全てのものが浮上した状態を示している。ポジションセンサ６１の信号による電磁石５５の通電制御によって、全体を所定位置に停止した状態で支持し、ここで合計荷重が電子天秤６８で測定される。このときの永久磁石６６の位置は、同図（ａ）に示す位置よりも上方に位置することとなる。この状態は風袋を含めたおもりを秤量するためのおもり秤量位置となる。
【０００９】
荷重交換部材６３が上記のような風袋秤量位置とおもり秤量位置にあるとき、電子天秤６８によって秤量される見かけの質量MAおよびMBは、電磁石等の質量を除いた場合、
A：   MA＝（ρ３−ρ１）Ｖ３                                   (１)
B：   MB＝（ρ３−ρ１）Ｖ３＋（ρ２−ρ１）Ｖ２               (２)
となる。ρは密度、Vは体積、添え字１、２、３はそれぞれ流体、おもり、荷重交換部材をあらわす。
式（１）、（２）を辺々差し引くことにより、
Ｂ−Ａ：  MB−MA＝（ρ２−ρ１）Ｖ２                           (３)
故に、
ρ１＝ρ２−（MB−MA）／Ｖ２                                   (４)
として流体５９の密度が求められる。
【００１０】
この方法は、電磁石５５と永久磁石６６による磁気浮上を用いることにより、非接触で流体５９の密度を測定することが出来るため、流体を高圧セル等の容器５１で封じ込め、天秤が使用できないような高温・高圧の条件下でも密度測定が可能となる。
【非特許文献１】Wagner,R and Kleinrahm, R. Densimeters for very accurate density measurements offluids over large ranges of temperature, pressure, and density, Metrologia41(2004), S24-S39.
【非特許文献２】Kuramoto, N.,Fujii, K. and Waseda, A. Accurate density measurements of reference liquids bya magnetic suspension balance, Metrologia 41(2004), S84-S94.
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記従来の測定手法は、電磁石５５と永久磁石６６の間で力の伝達が完全に行われていることが前提となっているが、実際にはこれら以外の高圧セルとしての容器５１や測定流体５９も弱いながら磁石に対して吸引・もしくは反発するため、力の伝達誤差が生じる。このうち、容器５１による力の伝達誤差は下部空間５４内を真空にした状態で測定をすることにより補正することができる。しかし、流体５９による伝達誤差は同様の方法では補正できず、磁化率と密度が既知の２種類の流体を用いて校正を行う必要がある。しかしながら一般的に流体の磁化率は非常に小さく、且つ計算に用いるモデルが不完全のため、補正量の相対的な不確かさが大きい。現在最も高精度な磁気浮上を用いた流体密度計測装置においては、この点が最も大きな不確かさの要因となっており、このことは上記非特許文献２に述べられている。
【００１２】
このように、上記従来の手法における流体磁性による密度測定不確かさの主要因は、風袋秤量位置とおもり秤量位置とで浮上位置が変わることにより、磁場は、電磁石５５と永久磁石６６の間で強く、この領域に存在する流体の量が両者で異なると、流体の受ける磁力の差が相殺されないためである。さらに、浮上位置が同じであっても磁石間に働く吸引力が異なれば磁力線の分布が変わるため、流体に働く磁力は一定にならない。
【００１３】
したがって本発明は、風袋秤量位置とおもり秤量位置とで流体中における永久磁石の位置が異なることを防止し、更に両位置における磁力の差によって生じる流体の磁性の影響を補正して、精密な密度測定が可能な磁気浮上密度計を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、上記課題を解決するため、その基本的技術思想として、荷重交換部材に上下動に加えて回転する自由度を持たせ、さらに、天秤から吊り下げられた電磁石を上下させ、任意の風袋位置または測定位置をとることを可能にし、これにより風袋と測定とを同じ位置で行うことができ、流体の磁力による力の伝達誤差の大半を相殺することができるようにしたものである。
【００１５】
さらに、密度と体積とが既知のおもりを２つ用意し、これらの秤量値から同一測定位置における流体にはたらく磁力の変化割合を求め、磁力線分布の変化による力の伝達誤差をも補正することができるようにした。
【００１６】
より具体的には次のような手段によって上記課題を解決する。即ち、本発明の磁気浮上密度計は、密度が異なり体積が共に既知である２個のおもりと、前記２個のおもりを測定流体中で載せかえ、或いはおもりを載せない状態とする荷重交換部材と、荷重を測定するための電子天秤と、前記荷重交換部材のみ、或いはいずれかのおもりを含んだ荷重を前記電子天秤に非接触に伝播させるための磁気浮上機構と、前記荷重交換部材の浮上位置と荷重交換を制御するアクチュエータとを備え、前記電子天秤によりおもりを載せない風袋計測位置と、１つのおもりのみを載せた第１密度計測位置と、他のおもりのみを載せた第２密度計測位置とを任意に設定して秤量を行うことを特徴とする。
【００１７】
本発明による他の磁気浮上密度計は、前記磁気浮上密度計において、前記荷重交換部材は、２個のおもりの中心孔を貫通するロッドと、該ロッドに固定した第１おもり支持部材及び第２おもり支持部材と、上端部に設けた永久磁石とを備え、前記永久磁石を電磁石により吊り上げる磁気浮上機構を備えたことを特徴とする。
【００１８】
本発明による他の磁気浮上密度計は、前記磁気浮上密度計において、前記荷重交換部材は、各おもりの底面に突出するおもり支持段部と、該支持段部を備えない底面とに選択的に当接するおもり支持部材を備え、前記アクチュエータの回転により荷重交換部材を回転し、前記おもり支持部材の回転によりおもりの載せ換えを行うことを特徴とする。
【００１９】
本発明による他の磁気浮上密度計は、前記磁気浮上密度計において、前記２個のおもりはＳｉ単結晶とＧｅ単結晶の各１個ずつからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は上記のように構成したので、風袋秤量位置とおもり秤量位置とで流体中における永久磁石の位置が異なることによる影響を防止し、更に両位置における磁力の差によって生じる流体の磁性の影響を補正して、精密な密度測定が可能な磁気浮上密度計とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明は磁気浮上密度計において、風袋秤量位置とおもり秤量位置とで流体中における永久磁石の位置が異なることによる影響を防止し、更に両位置における磁力の差によって生じる流体の磁性の影響を補正するという課題を、密度が異なり体積が共に既知である２個のおもりと、前記２個のおもりを測定流体中で載せかえ、或いはおもりを載せない状態とする荷重交換部材と、荷重を測定するための電子天秤と、前記荷重交換部材のみ、或いはいずれかのおもりを含んだ荷重を前記電子天秤に非接触に伝播させるための磁気浮上機構と、前記荷重交換部材の浮上位置と荷重交換を制御するアクチュエータとを備え、前記電子天秤によりおもりを載せない風袋計測位置と、１つのおもりのみを載せた第１密度計測位置と、他のおもりのみを載せた第２密度計測位置とを任意に設定して秤量を行うことによって解決した。
【実施例１】
【００２２】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。図１は本発明による磁気浮上密度計１１を模式的に示している。耐高圧性のセルからなる容器１２は前記従来のものと同様に中間に隔壁１３が形成され、上部空間１４と下部空間１５とに分割している。上部空間１４には上方に配置した電子天秤１６から、アクチュエータ１７を介して電磁石１８が隔壁１３の上面に近接して吊り下げられており、制御装置からの通電圧制御によって任意の電磁力を発生可能としている。
【００２３】
下部空間１５の略中間部には第１おもり載置段部２０が形成され、この上に第１おもり２１が自重で載置できるようにしている。更にその下方には第２おもり載置段部２２が形成され、この上に第２おもり２３が自重で載置できるようにしている。第２おもり載置段部２２には中心孔２４を備え、外部の流体を導入可能としており、同様に第１おもり載置段部２０にも通孔２５を備えて被測定流体を流通可能とし、それにより下部空間１５内の全てに被測定流体２６が満たされる。
【００２４】
上記中心孔２４の周囲にはポジションセンサ２８を配置しており、第１おもり２１の中心通孔３０と第２おもり２３の中心通孔３１とを貫通して延びる荷重交換部材３３において、下端近傍の第２おもり支持部材３４の下部に形成した下端部３５の位置を、中心孔２４内に非接触で検知している。
【００２５】
荷重交換部材３３の上端部には、隔壁１３の下面に近接して配置される永久磁石３６を固定しており、また、第１おもり２１の下方には第１おもり支持部材３７を備え、前記第２おもり支持部材３４を含め永久磁石３６と一体化した荷重交換部材３３が上下動する位置を、ポジションセンサ２８で検出するようにしている。また、電磁石１８と永久磁石３６とを近接させることにより、永久磁石３６側に作用する荷重を非接触で電磁石１８側に伝達できるようにし、磁気浮上機構を形成している。
【００２６】
第１おもり２１と第２おもり２３とは同様の構成を備え、第２おもり２３を例にとって説明すると図１（ｂ）の斜視図に示すような構成をなし、第２おもり支持部材３４は図１（ｃ）〜（ｅ）に示すような相対回転移動がなされる。即ちこの第２おもり２３においては、おもり本体部４０の下端面４３には図示実施例では３個の支持部材係止段部４４を備えている。
【００２７】
おもりとしては種々のものを使用することができるが、熱膨張性、圧縮性、及び計測の再現性、完全等方位性、更には密度が小さく、化学的に安定である点等を考慮すると、単結晶のＳｉ素材を用いることが好ましい。上記のような性能を有するものとしてはその他、単元素単結晶の素材としてＧｅも適切であることが本発明者等の研究によって明らかになった。
【００２８】
図１（ｂ）に示すように、荷重交換部材３３のロッド４５には、前記３個の支持部材係止段部４４における係合溝４６に対応する位置に３個のおもり支持部４７を固定しており、それにより図１（ｃ）に示す支持部材位置［Ａ］の状態では、その係合溝４６におもり支持部４７が係合する。また、後述するようにアクチュエータ１７が永久磁石１８を、図示実施例では４０度ずつ回転することにより、荷重交換部材３３のみが同様に４０度ずつ回転し、図１（ｄ）の支持部材位置［Ｂ］と図１（ｅ）の支持部材位置［Ｃ］で示すように、両おもり支持部４７が支持部材係止段部４４に係合せず、また下端面４３に接触せずに近接した状態をとるようにしている。
【００２９】
なお、このようなおもり支持部４７の回転は、後述するように図１（ａ）に示すような両おもりの支持部材係止段部４４と全ての両おもり支持部４７が互いに干渉しない位置で回転操作がなされる。
【００３０】
また、このようなおもり支持部４７の回転は、例えば図２（ａ）に示すように第１おもり支持部材３７と第２おもり支持部材３４とで位相を４０度異ならせることにより、第１おもり支持部材３７においては支持部材位置［Ｃ］となり、第２おもり支持部材３４においては支持部材位置［Ｂ］となるように配置する。その後は荷重交換部材３３がアクチュエータ１７により４０度ずつ回転されることにより、図２（ｂ）における第１おもり支持部材３７においては支持部材位置［Ａ］となり、第２おもり支持部材３４においては支持部材位置［Ｃ］となるようにし、図２（ｃ）における第１おもり支持部材３７においては支持部材位置［Ｂ］となり、第２おもり支持部材３４においては支持部材位置［Ａ］となるようにし、以降は再び図２（ａ）の位置に戻ることができるようにしている。
【００３１】
なお、上記実施例においては荷重交換部材３３が常に一方向に回転しても本発明を実施することができるようにした例を示しているが、荷重交換部材３３を適宜左右に任意の角度回転することにより、図２（ａ）、図２（ｂ）、図２（ｃ）の各状態を得るようにしてもよい。
【００３２】
電子天秤１６から吊り下げられる上部ロッド４８にはアクチュエータ１７が固定され、アクチュエータ１７は前記のようにおもり支持部４７を４０度ずつ回転すると共に、上下方向の直動制御も可能となっている。
このアクチュエータ１７から下方に延びる下部ロッド４９の下端には電磁石１８を固定している。この電磁石１８は隔壁１３の上面に近接して吊り下げられており、隔壁１３を介して隔壁１３の下面に近接して配置されている永久磁石３６を制御装置からの通電制御により、電圧ゼロで浮上する位置で安定に静止させることができる。
【００３３】
電磁石１８と永久磁石３６は非軸対象の構造になっており、したがって電磁石１８の回転に追従して永久磁石３６を回転させることができ、また上下動も追従してできるようにして、それによりゼロパワー制御を保ったまま荷重交換部材３３を任意に上下・回転させることができる。高圧セルからなる容器１２内に配置される上記のような第１おもり２１と第２おもり２３は共に密度と体積が既知であり、荷重交換部材３３の回転によって荷重交換部材３３のみ、または荷重交換部材３３と第１おもり２１或いは第２おもり３３のいずれかを浮上させることができる。
【００３４】
上記のような機構によって、例えば図２（ａ）のように第１おもり支持部材３７においては支持部材位置［Ｃ］、第２おもり支持部材３４においては支持部材位置［Ｂ］であるとき、第１おもり支持部材３７と第２おもり支持部材３４のおもり支持部４７は全ておもり支持段部４４には係合せず、自由状態になる。このときの荷重交換部材３３と永久磁石３６に働く重力及び浮力の和を電子天秤１６で計測することにより、おもりを支持する風袋の秤量を行うことができる。
【００３５】
この状態から荷重交換部材３３を図１（ａ）に示す状態まで降下させ、アクチュエータ１７により電磁石１８を４０度回転し、それに追従して永久磁石３６を同様に回転させ、それにより第１おもり支持部材３７においては支持部材位置［Ａ］、第２おもり支持部材３４においては支持部材位置［Ｃ］となる。それにより第１おもり支持部材３７の３個のおもり支持部４７は、おもり支持段部４４の係合溝４６に係合し、第２おもり支持部材３４とは自由状態の位置となるので、この状態からゼロパワー制御を保ちつつアクチュエータ１７により第１おもり２１のみを支持しながら荷重交換部材３３を上昇させる。
それにより図２（ｂ）に示す安定状態となり、ここで電子天秤１６で前記と同様に計測し、第１おもりと風袋の合計の秤量を行う。
【００３６】
その後、再び荷重交換部材３３を図１（ａ）に示す位置まで降下し、荷重交換部材を自由状態にして同方向に４０度回転させる。それにより図２（ｃ）に示すように第１おもり支持部材３７は支持部材位置［Ｂ］、第２おもり支持部材３４は支持部材位置［Ａ］となり、第２おもり支持部材３４が第２おもり２３のおもり支持段部と係合可能となる。それにより第２おもり支持部材３４の３個のおもり支持部４７は、おもり支持段部４４の係合溝４６に係合し、第１おもり支持部材３７は係合しない自由状態の位置となるので、この状態からゼロパワー制御を保ちつつアクチュエータ１７により第２おもり２３のみを支持しながら荷重交換部材３３を上昇させる。
それにより図２（ｃ）に示す安定状態となり、ここで電子天秤１６で前記と同様に計測し、第２おもりと風袋の合計の秤量を行う。
【００３７】
上記のような機構を用いて図２（ａ）の風袋秤量位置、図２（ｂ）の第１おもり秤量位置、図２（ｃ）の第２おもり秤量位置とすることができるものであるが、各々の秤量位置における永久磁石３６の位置は一定であり、隔壁１３の底面と永久磁石３６の間隔Ｌを一定とすることができる。したがって、前記従来のもののような風袋秤量位置とおもり秤量位置とで流体中における永久磁石の位置が異なることにより流体の磁性の影響を受けることを防止することができるようになる。
【００３８】
また、上記のように本発明においては密度と体積とが既知のおもりを２個用いて前記のような秤量を行うことによって、これらの秤量値から同一測定位置における流体にはたらく磁力の変化割合を求め、磁力線の強弱によって生じる、力の伝達誤差の変化分をも補正することができるようになる。即ち、図３は永久磁石３６を同一位置で浮上させながら、電磁石１８の位置を変化させ両者に働く吸引力を変化させたときに、流体に働く磁気力の大きさを有限要素法を用いて計算した例である。荷重交換部材３３にかかる見かけの質量が５０〜２００ ｇfで変化したときに、流体に働く磁気力は２．３〜２．６ mgと直線的に変化している。このことから風袋秤量位置とおもり秤量位置での流体の磁気力による誤差は吸引力の変化１００ gfに対して０．２ mgfに抑えることができる。
【００３９】
この流体の磁気力の大きさFLは図３から
FL＝α F＋β                                                          （５）
となる。ここでFは吸引力、α、βは定数をそれぞれ表す。風袋秤量位置、第１おもり秤量位置、および第２おもり秤量位置において、電子天秤１６で秤量される見かけの質量をそれぞれMA、MB、およびMCとすると、（５）式を適用して
MA＝（α＋１）（ρ３−ρ１）Ｖ３＋β                                （６）
MB＝（α＋１）｛（ρ３−ρ１）Ｖ３＋（ρ２ａ−ρ１）Ｖ２ａ｝＋β    （７）
MC＝（α＋１）｛（ρ３−ρ１）Ｖ３＋（ρ２ｂ−ρ１）Ｖ２ｂ｝＋β    （８）
ρは密度、Vは体積、添え字１、２ａ、２ｂ、３はそれぞれ流体、第１おもり、第２おもり、荷重交換部材をあらわす。（７）式、（８）式から（６）式を辺々差し引くと
MB−MA＝（α＋１）（ρ２ａ−ρ１）Ｖ２ａ                            （９）
MC−MA＝（α＋１）（ρ２ｂ−ρ１）Ｖ２ｂ                            （１０）
さらに式（９）と式（１０）を辺々割り算すると
ρ１＝｛（MC−MA）Ｖ２ａρ２ａ−（MB−MA）Ｖ２ｂρ２ｂ｝／｛（MC−MA）Ｖ２ａ−（MB−MA）Ｖ２ｂ｝                                                    （１１）
となり、流体の密度ρ１を求めることが可能である。これにより、浮上位置が一定でありながら、吸引力が変化したときの流体に作用する微小な磁気力変化分さえも補正した密度算出を行うことが可能である。
上記のように密度と体積とが既知のおもりを２個用いて秤量を行うため、両おもりの密度を異ならせる必要があり、従来から用いられているＳｉ単結晶からなるおもりのほか、前記のようなＧｅ単結晶からなるおもりを用いている。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施例の説明図であり、（ａ）はおもり支持部材回転移動位置における各部材の位置関係を示す断面図であり、（ｂ）はおもり及びおもり支持部材の斜視図であり、（ｃ）は支持部材位置［Ａ］、（ｄ）は支持部材位置［Ｂ］、（ｅ）は支持部材位置［Ｃ］の状態を示す斜視図及び底面図である。
【図２】本発明の実施例の各種状態を示す断面図であり、（ａ）は風袋秤量位置、（ｂ）は第１おもり秤量位置、（ｃ）は第２おもり秤量位置を示す。
【図３】浮上位置を一定にしたときの吸引力と流体に働く磁気力の関係を有限要素法を用いて解析した例を示すグラフである。
【図４】従来例を示す断面図であり、（ａ）は風袋秤量位置、（ｂ）はおもり秤量位置を示す。
【符号の説明】
【００４１】
１１  磁気浮上密度計
１２  容器
１３  隔壁
１４  上部空間
１５  下部空間
１６  電子天秤
１７  アクチュエータ
１８  電磁石
２０  第１おもり載置段部
２１  第１おもり
２２  第２おもり載置段部
２３  第２おもり
２４  中心孔
２５  通孔
２６  被測定流体
２８  ポジションセンサ
３０  中心通孔
３１  中心通孔
３３  荷重交換部材
３４  第２おもり支持部材
３５  下端部
３６  永久磁石
３７  第１おもり支持部材
４０  おもり本体部
４３  下端面
４４  支持部材係止段部
４５  ロッド
４６  係合溝
４７  おもり支持部
４８  上部ロッド
【図１】
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【図２】
2006084311.tif 000004
【図３】
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【図４】
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