(57)【要約】【課題】各種加工における可動部の移動に伴い伝達線が屈曲を伴って移動する場合において、音や振動を発生させることなく、また、低コストで、その伝達線の移動をガイドできるようにする。【解決手段】リード線またはチューブからなる伝達線を屈曲可能に固定する伝達線固定具６ａ、６ｂにおいて、伝達線７を支持する幅及び長さを有して屈曲可能なシート部材６０と、シート部材６０の幅方向に架設させてシート部材６０に支持された伝達線を固定するベルト部材６２と、シート部材６０の長さ方向の両端部に形成された固定部６１ａ、６１ｂとから少なくとも構成される。伝達線の支持状態に自由度があるため、可動部の移動に伴って伝達線及びシート部材が屈曲しながら移動し、可動部の移動を妨げることがないと共に音や振動が発生することもない。また、安価に構成でき、組み付けも容易であるため、コストも軽減することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リード線またはチューブからなる伝達線を屈曲可能に固定する伝達線固定具であって、
伝達線を支持する幅及び長さを有して屈曲可能なシート部材と、該シート部材の幅方向に架設させて該シート部材に支持された伝達線を固定するベルト部材と、該シート部材の長さ方向の両端部に形成された固定部と
から少なくとも構成された伝達線固定具。
【請求項２】
前記ベルト部材は、前記伝達線の長さ方向の両端部を固定する端部固定ベルト部材と、該伝達線の端部間の任意の位置を固定する任意位置固定ベルト部材とから構成され、
前記シート部材には、幅方向に架設された該端部固定ベルト部材及び該任意位置固定ベルト部材が挿入されるベルト挿入孔が形成された請求項１に記載の伝達線固定具。
【請求項３】
前記伝達線を遊嵌状態で収容して屈曲可能なフレキシブルチューブを含み、該フレキシブルチューブを貫通して伝達線が収容され、前記ベルト部材は、該フレキシブルチューブを介して該伝達線を固定する請求項１または２に記載の伝達線固定具。
【請求項４】
前記任意位置固定ベルト部材は、締結ベルトと、該締結ベルトを収容するスペーサチューブとから構成され、該締結ベルトが前記ベルト挿入孔に挿入される請求項２または３に記載の伝達線固定具。
【請求項５】
シート部材はポリプロピレンにより形成される請求項１、２、３または４に記載の伝達線固定具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リード線、ケーブル、チューブ等の屈曲する伝達線を固定する固定具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種の加工装置においては、加工装置を構成する可動部の動作に必要な電源や信号等が、リード線やチューブ等の伝達線を通じて当該可動部に供給される。例えば、ウェーハを縦横に切削して個々のデバイスに分割する切削装置においては、可動部として、被加工物を保持する保持手段と被加工物に切削加工を施す加工手段とを備えており、保持手段には、ウェーハ吸着用の吸引力を伝達するチューブや、モータによる移動や回転のための電源や信号を伝達するリード線やケーブル等が連結される。また、加工手段には、切削ブレードを回転させるモータに供給する電源や信号を伝達するリード線やケーブル、切削位置を撮像するためのカメラの駆動用電源を伝達するリード線やケーブル、切削液を流通させるためのチューブ等が連結される。
【０００３】
そして、上記切削装置においては、保持手段と加工手段との相対的な移動により、加工手段に備えた切削ブレードが保持手段に保持されたウェーハに作用して切削が行われるため、各種の伝達線は、保持手段及び加工手段の移動に伴って移動する。一方、各種の伝達線が保持手段や加工手段といった可動部の移動を妨げないようにするため、伝達線は、保持手段や加工手段の移動に追随し、屈曲しながら移動するように固定する必要がある。
【０００４】
そこで、例えばキャタピラーの如く複数の枠体がヒンジによって連結されて屈曲可能となった構成の案内機構に各種の伝達線が収容され、その案内機構が屈曲しながら移動するのに伴って伝達線も屈曲しながら移動するように構成された伝達線の固定具が従来から用いられている（例えば特許文献１参照）。このようにして保持手段及び加工手段が伝達線の屈曲を伴って移動する構成の加工装置は、切削装置だけには限られず、他の加工装置においてもこのような固定具が用いられている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３３３７３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、キャタピラーの如く複数の枠体がヒンジによって連結されて屈曲可能となった構成の固定具では、移動時にカタカタという音が発生するため、違和感があるという問題があると共に、音の発生と共に僅かながらも振動が発生し、精密な加工に悪影響を及ぼすという問題がある。更には、キャタピラーの如く構成された固定具は比較的高額であると共に、組み付けに時間がかかり、コスト高になるという問題もある。
【０００７】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、伝達線が屈曲を伴って移動する場合において、音や振動を発生させることなく、また、低コストで、その伝達線の移動をガイドできるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、リード線またはチューブからなる伝達線を屈曲可能に固定する伝達線固定具に関するもので、伝達線を支持する幅及び長さを有して屈曲可能なシート部材と、シート部材の幅方向に架設させてシート部材に支持された伝達線を固定するベルト部材と、シート部材の長さ方向の両端部に形成された固定部とから少なくとも構成される。シート部材は柔軟性を有し、例えばポリプロピレンにより形成されるが、これに限定されるものではない。
【０００９】
ベルト部材は、伝達線の長さ方向の両端部を固定する端部固定ベルト部材と、伝達線の端部間の任意の位置を固定する任意位置固定ベルト部材とから構成され、シート部材には、幅方向に架設された端部固定ベルト部材及び任意位置固定ベルト部材が挿入されるベルト挿入孔が形成されることが好ましい。
【００１０】
この伝達線固定具には伝達線を遊嵌状態で収容して屈曲可能なフレキシブルチューブを含むことがあり、この場合は、フレキシブルチューブを貫通して伝達線が収容され、ベルト部材がフレキシブルチューブを介して伝達線を固定する。
【００１１】
任意位置固定ベルト部材が締結ベルトと締結ベルトを収容するスペーサチューブとから構成される場合は、締結ベルトがベルト挿入孔に挿入される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、各種の伝達線が、屈曲可能で柔軟性があるシート部材によって支持されると共に固定部及びベルト部材によって固定されるため、伝達線がシート部材及びベルト部材によって支持された状態でガイドされ、その支持状態に自由度がある。したがって、加工装置を構成する可動部に連結しても、その移動に伴って伝達線及びシート部材が屈曲しながら移動するため、可動部の移動を妨げることがないと共に音や振動が発生することもなく、精密加工に悪影響を与えることがない。また、安価に構成でき、組み付けも容易であるため、コストも軽減することができる。
【００１３】
ベルト部材が端部固定ベルト部材と任意位置固定ベルト部材とで構成される場合は、伝達線の両端部及び両端部間の任意の位置が固定されるため、支持状態がより安定する。
【００１４】
伝達線が遊嵌状態でフレキシブルチューブに収容され、フレキシブルチューブを介して伝達線を固定するようにすると、フレキシブルチューブの内部においても伝達線の自由度が増すため、伝達線の支持状態の自由度が全体として更に増す。
【００１５】
ベルト部材が締結ベルトと締結ベルトを収容するスペーサチューブとから構成される場合は、伝達線の自由度が維持される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明に係る伝達線固定具が搭載される加工装置としては、例えば図１に示す切削装置１がある。この切削装置１は、ウェーハ等の被加工物を切削加工する装置であり、加工に際して移動可能な可動部として、被加工物を保持する保持手段２、及び、被加工物に切削加工を施す切削手段３を備えている。
【００１７】
保持手段２においては、支持板２０にチャックテーブル２１が回転可能に支持されており、チャックテーブル２１は駆動源２２に連結されて回転可能となっている。駆動源２２は移動基台２３に固定されており、移動基台２３は、その内部のナットがＸ軸方向に配設されたボールネジ２４に螺合すると共に、ボールネジ２４と平行に配設された一対のガイドレール２５に対して摺動可能となっている。ボールネジ２４の一端にはモータ２６が連結されており、モータ２６によって駆動されてボールネジ２４が回動するのに伴い、移動基台２３がガイドレール２５にガイドされてＸ軸方向に移動し、チャックテーブル２１も同方向に移動する構成となっている。
【００１８】
切削手段３は、スピンドルハウジング３０によって回転可能に支持されたスピンドル３１の先端部に切削ブレード３２が装着された構成となっている。スピンドルハウジング３０は支持部３３によって支持されており、支持部３３は切り込み送り手段３４によって切り込み方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。スピンドル３１は、モータ３６に連結され、モータ３６によって駆動されて回転可能となっている。
【００１９】
スピンドルハウジング３０には、被加工物の切削すべき位置を検出するアライメント手段４が固定されている。アライメント手段４には被加工物を撮像する撮像部４０を備えており、撮像部４０によって取得した画像に基づき、予め記憶させておいた画像とのパターンマッチング等の処理によって、切削すべき位置を検出（アライメント）することができる。
【００２０】
切り込み送り手段３４は、壁部３４０の一方の面においてＺ軸方向に配設されたボールネジ３４１と、ボールネジ３４１を回動させるパルスモータ３４２と、ボールネジ３４１と平行に配設されたガイドレール３４３とから構成され、支持部３３の内部のナット（図示せず）がボールネジ３４１に螺合している。支持部３３は、パルスモータ３４２によって駆動されてボールネジ３４１が回動するのに伴ってガイドレール３４３にガイドされてＺ軸方向に昇降し、支持部３３に支持された切削手段３も同方向に昇降する構成となっている。
【００２１】
壁部３４０は、割り出し送り手段３５によってＹ軸方向に移動可能となっている。割り出し送り手段３５は、Ｙ軸方向に配設されたボールネジ３５０と、壁部３４０と一体に形成され内部のナットがボールネジ３５０に螺合する移動基台３５１と、ボールネジ３５０を回動させるパルスモータ３５２と、ボールネジ３５０と平行に配設されたガイドレール３５３とから構成され、移動基台３５１の内部のナット（図示せず）がボールネジ３５０に螺合している。移動基台３５１は、パルスモータ３５２によって駆動されてボールネジ３５０が回動するのに伴ってガイドレール３５３にガイドされてＹ軸方向に移動し、これに伴い切削手段３もＹ軸方向に昇降する構成となっている。
【００２２】
例えば図１に示すように、保持テープＴを介してリング状のフレームＦと一体となったウェーハＷを切削してダイシングする場合は、ウェーハＷがチャックテーブル２１に吸引保持され、チャックテーブル２１の外周側に配設されたフレーム支持部２７によってフレームＦが固定される。
【００２３】
図１の例では、基台５上におけるガイドレール２５の側方に第一の伝達線固定具６ａが配設されている。図示の例では、第一の伝達線固定具６ａの一端はガイドレール２５の側方に固定され、他端は移動基台２３に固定されている。また、基台５上におけるガイドレール３５３の側方には、第二の伝達線固定具６ｂが配設されている。第二の伝達線固定具６ｂの一端はガイドレール３５３の側方に固定され、他端は壁部３４０の側面に固定されている。
【００２４】
第一の伝達線固定具６ａ及び第二の伝達線固定具６ｂには、例えば図２に示すように、屈曲可能なシート部材６０を備えている。シート部材６０は、ポリプロピレン等で形成され、柔軟性を有する。シート部材６ａ、６ｂは、少なくとも１以上の伝達線７を支持しており、シート部材６０の長さ方向の両端部には、図１に示した切削装置１の基台５や移動可能な可動部に固定される固定部６１ａ、６１ｂが形成されている。
【００２５】
シート部材６０に支持された伝達線７は、シート部材６０の幅方向に架設させたベルト部材６２によって固定される。図２の例におけるベルト部材６２は、伝達線７の長さ方向の両端部を固定する端部固定ベルト部材６２ａと、伝達線７の両端の間の任意の位置を固定する任意位置固定ベルト部材６２ｂとから構成される。そして、これに対応し、シート部材６０には、端部固定ベルト部材６２ａが挿入されるベルト挿入孔６３ａと、任意位置固定ベルト部材６２ｂが挿入されるベルト挿入孔６３ｂとが形成されている。図２の例における固定部６１ａ、６１ｂは、ネジ止めのための孔６４ａ、６４ｂを備え、これらの孔はシート部材６０の端部に固定されたブラケット６５ａ、６５ｂに形成されているが、固定部６１ａ、６１ｂはシート部材６０の両端部に形成されていてばよく、必ずしもブラケット６５ａ、６５ｂは必要ではない。
【００２６】
任意位置固定ベルト部材６２ｂは、図３に示すように、スペーサチューブ６６の空洞部に締結ベルト６７を収容した構成とすることができる。締結ベルト６７は、ベルト部６７ａ及びベルト部６７ａを締結する締結部６７ｂとから構成され、ベルト部６７ａは、図２に示したベルト挿入孔６３ｂを貫通して挿入され、シート部材６０の裏面側で締結され、伝達線７の自由度が維持される。
【００２７】
図４に示すように、フレキシブルチューブ６８の空洞部に伝達線７を貫通させて収容することもできる。フレキシブルチューブ６８は、シート部材６０と同様に屈曲可能である。このような構成では、ベルト部材６２がフレキシブルチューブ６８を介して伝達線７を固定する。
【００２８】
図１に戻って説明すると、第一の伝達線固定具６ａ及び第二の伝達線固定具６ｂにおいては、複数の伝達線７が固定されている。第一の伝達線固定具６ａによって屈曲可能に固定される伝達線７としては、チャックテーブル２１においてウェーハＷを吸引保持するためのエアーの通り道となるチューブ、フレーム支持部２７においてフレームＦを支持するためのエアーの通り道となるチューブ、駆動源２２に電源や駆動信号を伝達するための電源線及び信号線等がある。一方、第二の伝達線固定具６ｂによって屈曲可能に固定される伝達線としては、切削手段３を昇降させるためにパルスモータ３４２を駆動させるための電源線及び信号線、スピンドル３１を回転させるためにモータ３６を駆動させるための電源線及び信号線、アライメント処理のための電源線及び信号線等がある。
【００２９】
第一の伝達線固定具６ａを構成する一方の固定部６１ａは、ガイドレール２５の側方において基台５に固定されており、第一の伝達線固定具６ａを構成する他方の固定部６１ｂは、移動基台２３に固定されている。一方、第二の伝達線固定具６ｂを構成する一方の固定部６１ａは、ガイドレール３５３の側方において基台５に固定されており、第二の伝達線固定具６ｂを構成する他方の固定部６１ｂは、壁部３４０に固定されている。
【００３０】
ウェーハＷがチャックテーブル２１に保持されると、チャックテーブル２１がＸ軸方向に移動して撮像部４０とのＸ軸方向の位置合わせが行われる。このとき、第一の伝達線固定具６ａによって固定された伝達線７は、屈曲しながらチャックテーブル２１と共に移動する。
【００３１】
一方、切削手段３及びアライメント手段４は、撮像部４０をウェーハＷの直上に位置付けるべく、Ｙ軸方向に移動する。そして、撮像部４０がウェーハＷの表面を撮像し、アライメント手段４によってウェーハＷの切削すべき位置が検出される。切削手段３及びアライメント手段４がＹ軸方向に移動する際には、第二の伝達線固定具６ｂに固定された伝達線７が屈曲しながらその一端が壁部３４０と共に移動する。
【００３２】
第一の伝達線固定具６ａ及び第二の伝達線固定具６ｂでは、共に図２に示したようにシート部材６０が伝達線７を支持し、ベルト部材６２によって伝達線７が固定されているため、伝達線７の屈曲やシート部材６０の屈曲によって音が生じたり振動が発生したりすることがない。また、伝達線を束ねて各伝達線固定具に固定する作業も容易である。
【００３３】
なお、上記の例では切削装置に本発明の伝達線固定具を搭載した場合について説明したが、可動部に伝達線が接続される構成の加工装置、例えば研削装置等にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係る伝達線固定具が搭載された切削装置を示す斜視図である。
【図２】同伝達線固定具を示す斜視図である。
【図３】同伝達線固定具を構成する任意位置固定ベルト部材の一例を略示的に示す断面図である。
【図４】伝達線がフレキシブルチューブに収容された状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１：切削装置
２：保持手段
２０：基台  ２１：チャックテーブル  ２２：駆動源  ２３：移動基台
２４：ボールネジ  ２５：ガイドレール  ２６：モータ  ２７：フレーム支持部
３：切削手段
３０：スピンドルハウジング  ３１：スピンドル  ３２：切削ブレード
３３：支持部
３４：切り込み送り手段
３４０：壁部  ３４１：ボールネジ  ３４２：パルスモータ
３４３：ガイドレール
３５：割り出し送り手段
３５０：ボールネジ  ３５１：移動基台  ３５２：パルスモータ
３５３：ガイドレール
３６：モータ
４：アライメント手段
４０：撮像部
５：基台
６ａ：第一の伝達線固定具、６ｂ：第二の伝達線固定具
６０：シート部材  ６１ａ、６１ｂ：固定部
６２：ベルト部材
６２ａ：端部固定ベルト部材  ６２ｂ：任意位置固定ベルト部材
６３ａ、６３ｂ：ベルト挿入孔  ６４ａ、６４ｂ：孔
６５ａ、６５ｂ：ブラケット  ６６：スペーサチューブ
６７：締結ベルト
６７ａ：ベルト部  ６７ｂ：締結部
６８：フレキシブルチューブ  ６９：リード線
７：伝達線
Ｗ：ウェーハ  Ｔ：保持テープ  Ｆ：フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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