(57)【要約】【課題】  磁気スケールに対してヘッドの感磁面を適正な姿勢で設定可能な磁気センサ装置を提供すること。【解決手段】  ヘッド５と磁気スケール３とを有する磁気センサ装置１において、ヘッド５の底面５５には磁気抵抗素子によって感磁面が形成され、センサホルダ６の内部には回路基板を左側面内壁に沿うように直立姿勢で配置してある。従って、磁気抵抗素子に対して回路基板を重ねて配置した場合と比較して、感磁面が配置される底面５５の面積が狭く、かつ、その幅寸法は狭い。従って、ヘッド５の底面５５を基準に姿勢を調整した際、感磁面が傾くことがない。【選択図】    図１
2006084407.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感磁面を構成する磁気抵抗素子、および該磁気抵抗素子に電気的に接続された回路基板がセンサホルダに保持されたヘッドと、該ヘッドとの相対移動方向に沿ってＳ極およびＮ極が交互に配列され、前記感磁面に対向配置された磁気スケールとを有する磁気センサ装置において、
前記ヘッドでは、前記磁気抵抗素子と前記回路基板が互いに略直交する姿勢で配置されていることを特徴とする磁気センサ装置。
【請求項２】
請求項１において、前記センサホルダの前記感磁面が形成されている側を底面とし、前記磁気スケールの幅方向において前記底面に直交する面を前記センサホルダの側面としたとき、前記回路基板は、前記センサホルダ内の側面壁に沿うように配置されていることを特徴とする磁気センサ装置。
【請求項３】
請求項１または２において、前記回路基板には、少なくとも前記磁気抵抗素子から信号出力されるセンサ回路、および該センサ回路からアナログ信号が出力される付加回路の双方が構成されていることを特徴とする磁気センサ装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記磁気抵抗素子には一対の可撓性基板が接続され、当該一対の可撓性基板は、前記磁気抵抗素子から前記移動方向に沿って互いに反対方向に延びていることを特徴とする磁気センサ装置。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記磁気抵抗素子からは一対の可撓性基板が互いに反対方向に延びているとともに、前記磁気抵抗素子に対する前記一対の可撓性基板の実装部は、当該実装部を覆う封止樹脂により前記センサホルダに固定されていることを特徴とする磁気センサ装置。
【請求項６】
請求項４または５において、前記磁気抵抗素子では、磁気抵抗パターンが形成された第１の磁気抵抗素子基板と、磁気抵抗パターンが形成された第２の磁気抵抗素子基板とを備えるとともに、前記第１の磁気抵抗素子基板と前記第２の磁気抵抗素子基板は、互いのパターン形成面同士が対向するように配置され、
前記一対の可撓性基板のうち、一方の可撓性基板は前記第１の磁気抵抗素子基板のパターン形成面および前記回路基板の一方側の面に接続され、他方の可撓性基板は前記第２の磁気抵抗素子基板のパターン形成面および前記回路基板の他方側の面に接続されていることを特徴とする磁気センサ装置。
【請求項７】
請求項６において、前記一対の可撓性基板では、互い同一構造の可撓性基板を表裏反対にして前記一方の可撓性基板および前記他方の可撓性基板として用いられていることを特徴とする磁気センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械や実装装置において可動部等の移動位置などを検出するために用いられる磁気センサ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気式リニアエンコーダなどの磁気センサ装置では、感磁面を構成する磁気抵抗素子を搭載したヘッドと、ヘッドとの相対移動方向に沿ってＳ極およびＮ極が交互に配列され磁気スケールとを対向配置させ、ヘッドと磁気スケールの相対移動を磁気的に検出して、その移動位置や移動速度などを検出する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、磁気抵抗素子は、基板上に所定の磁気抵抗パターンが形成されており、磁気抵抗素子の基板が磁気スケールに対向するようにヘッドが配置される。従って、ヘッドに対して、磁気抵抗素子から信号出力されるセンサ回路が構成された回路基板を搭載しようとすると、磁気抵抗素子に対して回路基板を平行に重ねて配置することになる。
【特許文献１】特開平６−２８１４０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ヘッドにおいて、磁気抵抗素子に対して回路基板を平行に重ねて配置すると、磁気抵抗素子に比較して回路基板の方がかなり大きいため、感磁面のサイズの割りには、ヘッドの底面積が大きくなる。それ故、底面を基準に磁気スケールに対するヘッドの姿勢を高い精度で調整しても、感磁面の姿勢が適正に設定されないおそれがある。
【０００５】
また、ヘッドに搭載される回路基板に、センサ回路に加えて、センサ回路からアナログ信号が出力される付加回路も構成すると、その分、回路基板が大きくなるので、ヘッドの底面積がさらに大きくなってしまう。このため、付加回路については、ヘッド外に配置し、ケーブルを介してヘッド内のセンサ回路から付加回路にアナログ信号を出力する構成を採用することが多いが、このような構成の場合、ケーブルに起因するノイズの侵入や波形の歪を防止することができないという問題点がある。
【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、磁気スケールに対してヘッドの感磁面を適正な姿勢で設定可能な磁気センサ装置を提供することにある。
【０００７】
また、本発明の課題は、磁気抵抗素子で検出した信号に対するノイズの侵入や波形の歪を防止することのできる磁気センサ装置を提供することにある。
【０００８】
さらに、本発明の課題は、磁気抵抗素子を確実にヘッドに固定して耐振動特性を向上可能な磁気センサ装置を提供することにある。
【０００９】
さらにまた、本発明の課題は、安価な構成で磁気抵抗素子を回路基板に電気的に接続可能な磁気センサ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明では、感磁面を構成する磁気抵抗素子、および該磁気抵抗素子に電気的に接続された回路基板がセンサホルダに保持されたヘッドと、該ヘッドとの相対移動方向に沿ってＳ極およびＮ極が交互に配列され、前記感磁面に対向配置された磁気スケールとを有する磁気センサ装置において、前記ヘッドでは、前記磁気抵抗素子と前記回路基板が互いに略直交する姿勢で配置されていることを特徴とする。
【００１１】
本発明では、磁気抵抗素子に対して回路基板を直交するように配置するため、磁気抵抗素子に対して回路基板を重ねて配置する場合と違って、回路基板が大きい場合でもヘッドの底面積が狭くてよい。従って、底面を基準に磁気スケールに対するヘッドの姿勢を高い精度で調整すれば、感磁面の姿勢も適正に設定されることになる。
【００１２】
本発明において、前記センサホルダの前記感磁面が形成されている側を底面とし、前記磁気スケールの幅方向において前記底面に直交する面を前記センサホルダの側面としたとき、前記回路基板は、前記センサホルダ内の側面壁に沿うように配置されていることが好ましい。このように構成すると、ヘッドの幅寸法を狭くすることができるので、底面を基準に磁気スケールに対するヘッドの姿勢を調整した際、感磁面の姿勢が幅方向において傾くことがない。
【００１３】
本発明において、前記回路基板には、前記磁気抵抗素子から信号出力されるセンサ回路、および該センサ回路からアナログ信号が出力される付加回路の双方が構成されていることが好ましい。本発明によれば、回路基板を大型化してもヘッドの底面積が狭い。従って、ヘッドに搭載される回路基板にセンサ回路に加えて、センサ回路からアナログ信号が出力される付加回路も構成することができる。それ故、センサ回路と付加回路との間のアナログ信号の伝送距離を短くできるので、ケーブルに起因するノイズの侵入や波形の歪を防止することができる。
【００１４】
本発明において、前記磁気抵抗素子には一対の可撓性基板が接続され、当該一対の可撓性基板は、前記磁気抵抗素子から前記移動方向に沿って互いに反対方向に延びていることが好ましい。このように構成すると、磁気抵抗素子に一対の可撓性基板を接続した場合でも、ヘッドの幅寸法が狭くて済む。従って、底面を基準に磁気スケールに対するヘッドの姿勢を調整した際、感磁面の姿勢が幅方向において傾くことがない。
【００１５】
本発明において、前記磁気抵抗素子からは一対の可撓性基板が互いに反対方向に延びているとともに、前記磁気抵抗素子に対する前記一対の可撓性基板の実装部は、当該実装部を覆う封止樹脂により前記センサホルダに固定されていることが好ましい。このように構成すると、磁気抵抗素子と可撓性基板との接続部分を水分などから保護できる。また、磁気抵抗素子は、両側で支持された状態となるので、耐振動特性を向上することができる。
【００１６】
本発明において、前記磁気抵抗素子では、磁気抵抗パターンが形成された第１の磁気抵抗素子基板と、磁気抵抗パターンが形成された第２の磁気抵抗素子基板とを備えるとともに、前記第１の磁気抵抗素子基板と前記第２の磁気抵抗素子基板は、互いのパターン形成面同士が対向するように配置され、前記一対の可撓性基板のうち、一方の可撓性基板は前記第１の磁気抵抗素子基板のパターン形成面および前記回路基板の一方側の面に接続され、他方の可撓性基板は前記第２の磁気抵抗素子基板のパターン形成面および前記回路基板の他方側の面に接続されていることが好ましい。対向配置した磁気抵抗素子基板の各々に可撓性基板を接続すると、一対の可撓性基板は表裏反対向きになるが、一方の可撓性基板を回路基板の一方側の面に接続し、他方の可撓性基板を回路基板の他方側の面に接続すれば、可撓性基板を複雑に折り曲げる必要がなく、かつ、その引き回しスペースも狭くてよい。
【００１７】
本発明において、前記一対の可撓性基板では、互い同一構造の可撓性基板を表裏反対にして前記一方の可撓性基板および前記他方の可撓性基板として用いられていることが好ましい。このように構成すると、一対の可撓性基板として部品の共通化を図ることができるので、安価な構成で磁気抵抗素子を回路基板に電気的に接続することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明では、磁気抵抗素子に対して回路基板を直交するように配置するため、磁気抵抗素子に対して回路基板を重ねて配置する場合と違って、回路基板が大きい場合でもヘッドの底面積が狭くてよい。従って、底面を基準に磁気スケールに対するヘッドの姿勢を高い精度で調整すれば、感磁面の姿勢も適正に設定される。また、本発明によれば、回路基板を大型化してもヘッドの底面積が狭いので、ヘッドに搭載される回路基板にセンサ回路に加えて、センサ回路からアナログ信号が出力される付加回路も構成することができる。それ故、センサ回路と付加回路との間のアナログ信号の伝送距離を短くできるので、ケーブルに起因するノイズの侵入や波形の歪を防止することができる。よって、感度の高い磁気センサ装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００２０】
［磁気センサ装置の構成］
（全体構成）
図１は、本発明を適用した磁気センサ装置（磁気式リニアエンコーダ）の説明図である。なお、以下の説明において、直交する３方向のうち、磁気スケールの幅方向をＸ方向、磁気スケールの長さ方向をＹ方向、高さ方向をＺ方向とする。
【００２１】
図１において、本形態の磁気センサ装置１は、磁気式リニアエンコーダであり、磁気抵抗素子によって感磁面が底面に形成されたヘッド５と、このヘッド５の感磁面に対向する磁気スケール３とを有している。磁気スケール３には、Ａ相、Ｂ相、Ｚ相の着磁が施されており、長さ方向においてＮ極とＳ極が交互に配列されている。このような磁気センサ装置１では、移動テーブルなどの可動体の側に磁気スケール３を直線的に配置する一方、磁気スケール３に対向するようにヘッド５を配置しておき、ヘッド５からの出力信号に基づいて、移動テーブルの移動位置や移動速度などを検出する。
【００２２】
（ヘッドの構成）
図２（ａ）、（ｂ）は、図１に示す磁気センサ装置に用いたヘッドを、感磁面を備えた底面の側からみた説明図である。図３（ａ）、（ｂ）は、図１に示す磁気センサ装置におけるヘッドと磁気スケールとの位置関係を示す説明図、およびヘッドの右側面図である。図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はそれぞれ、本形態の磁気センサ装置のヘッドに搭載される磁気抵抗素子の説明図、磁気抵抗素子を回路基板に接続した状態を示す説明図、本形態の磁気センサ装置のヘッドに搭載された回路のブロック図、および従来のヘッドに搭載される回路のブロック図である。図５（ａ）、（ｂ）は、本形態の磁気センサ装置のヘッドに用いたセンサホルダの内部構造を示す説明図である。
【００２３】
図１、図２（ａ）、（ｂ）、および図３（ａ）、（ｂ）に示すように、ヘッド５は、略直方体形状の枡状のアルミニウムダイカストからなるセンサホルダ６と、このセンサホルダ６の右側開口を覆う矩形のカバー６１と、センサホルダ６内から引き出されたケーブル７とを備えている。センサホルダ６には、その背面にケーブル挿入穴６７が形成され、正面にもケーブル挿入穴として利用可能な穴６８が形成されている。このため、センサホルダ６のいずれの側からケーブル７を引き出す場合でも、共通のセンサホルダ６を用いることができる。
【００２４】
センサホルダ６において、磁気スケール３と対向する底面５５には、開口５７が形成されており、この開口５７に磁気抵抗素子１０を配置することにより感磁部５０が構成される。また、センサホルダ６の底面５５では、感磁面５０が形成されている底面５５の中央領域がその周囲よりも０．２ｍｍ〜１．０ｍｍだけ突き出た平坦な基準面５６になっており、この基準面５６は、底面５５全体の面積の約１／２倍程度である。
【００２５】
図４（ａ）に示すように、磁気抵抗素子１０は、セラミックブレーズ基板からなる第１の基板上にＡＢＺ相磁気抵抗パターンが形成された第１の磁気抵抗素子基板１１と、透明なガラス基板からなる第２の基板上にＡＢＺ相磁気抵抗パターンが形成された第２の磁気抵抗素子基板１２とを互いの抵抗パターン形成面を対向させ、かつ、面方向にずらした状態でＵＶ硬化接着剤によって貼り合せたものであり、各磁気抵抗素子基板の張り出し領域に可撓性基板１６、１７がそれぞれ接続されている。ここで、一対の可撓性基板１６、１７は各々、磁気抵抗素子１０からＹ方向（磁気スケール３が延びている方向／移動方向）に沿って反対側に向けて延びている。また、一対の可撓性基板１６、１７は、磁気抵抗素子１０に接続した状態で、回路基板１９との接続端子１６１、１７１が互いに表裏反対側を向いているが、一対の可撓性基板１６、１７は、図４（ｂ）に示すように、一方の可撓性基板１６が回路基板１９の表面側に接続され、他方の可撓性基板１７が回路基板１９の裏面側に接続されている。従って、一対の可撓性基板１６、１７では、互い同一構造の可撓性基板を表裏反対にして用いることができる。
【００２６】
図５（ａ）、（ｂ）に示すように、回路基板１９および磁気抵抗素子１０をセンサホルダ６内に配置するために、センサホルダ６内には、開口５７から奥まった位置には開口５７と対向する枠状の素子支持部６５が形成され、その両側には可撓性基板１６、１７を内側に引き出すための隙間６２、６３が形成されている。
【００２７】
従って、ヘッド５を組み立てる際には、まず、一対の可撓性基板１６、１７が接続された磁気抵抗素子１０を、開口５７を通して外側に露出するように外側から配置するとともに、一対の可撓性基板１６、１７を隙間６２、６３からセンサホルダ６内に引き込む。次に、磁気抵抗素子１０の裏面側を素子支持部６５に接着剤で固定するとともに、開口５７において磁気抵抗素子１０の周りを封止剤９１で埋めて、磁気抵抗素子１０をセンサホルダ６に固定する。その結果、可撓性基板１６、１７と磁気抵抗素子１０との実装部分は、封止剤９１で覆われた状態でセンサホルダ６に固定される。この状態で、磁気抵抗素子１０の外側の面は、開口５７で露出するとともに、センサホルダ６の基準面５６と同一の平面を形成することになる。次に、可撓性基板１６、１７の途中位置を直角に折り曲げて、一方の可撓性基板１６を回路基板１９の表面側に接続する一方、他方の可撓性基板１７を回路基板１９の裏面側に接続する。そして、回路基板１９をセンサホルダ６内部の左側面内壁に沿うように配置すると、磁気抵抗素子１０および回路基板１９は、互いに直交した状態でセンサホルダ６内に収納される。次に、ケーブル７をケーブル挿入穴６７からセンサホルダ６内に挿入して、ケーブル７を回路基板１９に接続した後、センサホルダ６の開口を覆うようにカバー６１を取り付ける。このようにしてヘッド５が完成する。
【００２８】
ここで、回路基板１９には、図４（ｃ）に示すように、センサ回路１９１、およびこのセンサ回路１９１から出力された信号に温度補正などを施す付加回路１９２の双方が構成されている。このような付加回路１９２は、従来、図４（ｄ）に示すように、ヘッドとは別体のケース内に構成されていたものであるが、本形態では、この付加回路１９２も回路基板１９に構成し、ヘッド５に内蔵させてある。従って、本形態によれば、センサ回路１９１と付加回路１９２とを回路基板１９上で配線できるため、アナログ信号の状態で伝送される距離が短いので、ノイズの侵入や波形の歪みなどの発生を防止できる。
【００２９】
但し、回路基板１９にセンサ回路１９１および付加回路１９２の双方を構成すると、回路基板１９は、従来の回路基板よりも大きく、それ故、ヘッド５自身も従来のヘッドに比較してやや大きくなる。しかるに本形態では、回路基板１９をセンサホルダ６内部において左側面内壁に沿うように直立姿勢で配置してあるので、ヘッド５が大型化しているといっても、感磁面５０が配置される底面５５の面積は狭く、かつ、その幅寸法については従来よりも狭くしてある。
【００３０】
従って、図１に示すように、ヘッド５と磁気スケール３とを配置した際、感磁面５０が形成された底面５５を磁気スケール３に対して正確に対向させることができる。すなわち、図１に示すようにヘッド５と磁気スケール３とを配置する際には、まず、ヘッド５の底面５５を磁気スケール３の上面に接触させて基準姿勢を決めた後、そのまま、ヘッド５を磁気スケール３からわずかに浮かせる。それ故、本形態のように、底面５５の面積を狭くしておけば、ヘッド５の底面５５全体を磁気スケール３の上面に確実に接触させることができるので、底面５５を基準にヘッド５の姿勢を調整すれば、感磁面５０の姿勢も正確に設定できる。よって、ヘッド５を磁気スケール３から浮かせた状態において、ヘッド５の姿勢に高い精度を得ることができるので、感度の高い磁気センサ装置１を実現できる。
【００３１】
しかも、回路基板１９については、そのサイズが大きい場合でも、センサホルダ６内部の左側面内壁に沿うように配置してあるため、ヘッド５の幅寸法を狭くすることができる。それ故、ヘッド５の底面５５を基準に姿勢を調整した際、感磁面５０が幅方向で傾くことがない。
【００３２】
また、本形態では、ヘッド５の底面５５では、感磁面５０が形成されている基準面５６がその周囲よりも０．２ｍｍ〜１．０ｍｍだけ突き出た面になっているため、感磁面５０と同一平面をなす面は、底面５５全体の面積の約１／２しかなく、狭い。従って、ヘッド５の底面５５を磁気スケール３の上面に接触させて基準姿勢を決める際、その基準面５６が磁気スケール３の上面に接触する。それ故、接触面積が狭い分、ヘッド５の基準面５６全体を磁気スケール３の上面に確実に接触させることができるので、感磁面５０の姿勢を正確に設定することができる。よって、ヘッド５を磁気スケール３から浮かせた状態においても、磁気スケール３からみたとき、感磁面５０が傾くようなことがない。
【００３３】
しかも、ヘッド５の底面５５は感磁面５０の基準面５６となるため、機械加工などを施して平滑な面とする必要があるが、本形態では、ヘッド５の底面５５のうち、感磁面５０が形成されている底面中央領域のみが基準面５６になっているので、機械加工などを施す領域が狭い。それ故、切削加工時間を短縮できるなど、製造コストの低減を図ることができる。
【００３４】
さらに、感磁面５０（基準面５６）がセンサホルダ６の底面５５から突き出た位置にあるため、ヘッド５を磁気スケール３に対向させた状態で、ヘッド５と磁気スケール３との隙間を覗き込んで、感磁面５０の状態を確認することもできる。
【００３５】
また、本形態の磁気抵抗素子１０からは可撓性基板１６、１７が反対側に延びるように接続されているので、一対の可撓性基板１６、１７を磁気抵抗素子１０に接続する構成を採用しても、ヘッド５の幅寸法を狭くすることができる。それ故、ヘッド５の底面５５を基準に姿勢を調整した際、感磁面５０が幅方向で傾くことがない。
【００３６】
しかも、可撓性基板１６、１７は、磁気抵抗素子１０から磁気スケール３の長さ方向（Ｙ方向）に延びているので、センサホルダ６の底面５５の幅寸法が狭い場合でも、可撓性基板１６、１７も含めてセンサホルダ６に接着固定することができる。従って、磁気抵抗素子１０を両側で支持することができるので、耐振動性能に優れている。また、磁気抵抗素子１０の周りにおいて開口５７との隙間を封止剤９１で封止しているので、耐湿性能も優れている。
【００３７】
さらに、本形態の磁気抵抗素子１０には可撓性基板１６、１７が表裏反対で接続されるため、可撓性基板１６、１７の接続端子１６１、１７１は表裏反対側に向くことになる。しかるに本形態では、可撓性基板１６、１７を折り曲げて、一方の可撓性基板１６を回路基板１９の表面側に接続し、他方の可撓性基板１７を回路基板１９の裏面側に接続する構造を採用することにより、一対の可撓性基板１６、１７については同一構造の可撓性基板を表裏反対にして使うことを可能にしている。それ故、可撓性基板１６、１７については、１種類の可撓性基板を用いればよいので、コストの低減を図ることができる。
【００３８】
［ケーブル７の接続構造］
図６（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、本発明を適用した磁気センサ装置１に用いたヘッド５とケーブル７との接続構造の説明図、およびこの接続に用いたスリーブの斜視図である。図７（ａ）、（ｂ）は、図６（ｂ）に示すスリーブを用いてケーブル７をヘッド５内に接続した状態を示すために、図３（ａ）および図６（ｂ）のＸ１−Ｘ１′線に相当する位置でケーブル挿入穴付近を切断したときの断面図、および図３（ｂ）および図６（ｂ）のＺ１−Ｚ１′線に相当する位置でケーブル挿入穴付近を切断したときの断面図である。
【００３９】
図６（ａ）に示すように、ケーブル７をヘッド５内の回路基板１９と接続するために、センサホルダ６の背面には、ケーブル７の先端をセンサホルダ６内に挿入するためのケーブル挿入穴６７が形成されている。ケーブル７は、抜け防止用のスリーブ８が通された状態で先端がヘッド５内に挿入され、この状態で、スリーブ８はケーブル挿入穴６７に嵌る。
【００４０】
スリーブ８は、樹脂製あるいは金属製であり、図６（ｂ）に示すように、ケーブル７の外径寸法よりやや大きな内径寸法の円筒形状を備えている。スリーブ８において、その基端側にはやや大径の環状のフランジ部８６が形成されている。また、スリーブ８には、その先端縁から基端側に向けて切り込まれた４本のスリット８５により、４枚の爪状の弾性片部８１、８２、８３、８４が形成されている。ここで、弾性片部の数は、４つに限定されるものではなく、２つ以上あればよい。
【００４１】
ここで、４つの弾性片部８１、８２、８３、８４のうち、相対向する２つの第１の弾性片部８１、８３は、他の２つの第２の弾性板部８２、８４と比較して長く、外側には第１の係合突起８８を備えている。他の２つの第２の弾性片部８２、８４は、内側に第２の係合突起８９を備えており、その内側にケーブル７を通したとき、第２の係合突起８９の先端部はケーブル７の外周面に接する。
【００４２】
一方、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、センサホルダ６のケーブル挿入穴６７には、その内部に外側開口６７１よりも小さな開口６７２を構成する環状壁６７３が形成されている。また、図７（ｂ）に示すように、センサホルダ６のケーブル挿入穴６７には、環状壁６７３を貫通して開口６７２に到達するネジ穴６７４が形成されている。
【００４３】
このため、センサホルダ６からカバー６１を取り外した状態で、ケーブル７をスリーブ８とともにケーブル挿入穴６７に挿入すると、第１の弾性片部８１、８３の外側に形成されている第１の係合突起８８がそれぞれ、開口６７２を通過した後、環状壁６７３の奥側の開口縁に係合する。このため、スリーブ８は、ケーブル挿入穴６７から抜けることがない。また、ケーブル７をスリーブ８とともにケーブル挿入穴６７に挿入した後、環状壁６７３に形成されているネジ穴６７４にネジ７０を止めると、ネジ７０の先端部が第２の弾性片部８２、８４を内側に弾性変形させ、第２の弾性片部８２、８４の内側に形成されている第２の係合突起８９がケーブル７の被覆層に食い込む。このため、ケーブル７が抜けることがない。しかる後には、センサホルダ６にカバー６１を取り付ける。
【００４４】
以上説明したように、スリーブ８を用いてケーブル７をケーブル挿入穴６７に挿入すると、スリーブ８は第１の係合突起８８によって抜け止めされ、かつ、ケーブル７は、第２の係合突起８９によって抜け止めされる。従って、ケーブル７の抜去力として、例えば、２９．４Ｎ以上（３ｋｇｆ以上）を確保できる。また、スリーブ８は一体品であるため、ケーブル７への取り付け、ケーブル挿入穴６７、ネジ止めという作業のみでケーブル７の抜け対策を行うことができる。さらに本形態では、スリーブ８にネジなどを形成しないので、安価に製造できるという利点もある。
【００４５】
なお、センサホルダ６は、正面にもケーブル挿入穴６７と同形の穴６８が形成されており、正面および背面のいずれの側からケーブル７を接続することもできる。また、穴６８を利用しない場合には、この穴にスリーブ８あるいは別のキャップを装着しておけばよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明を適用した磁気センサ装置（磁気式リニアエンコーダ）の説明図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、図１に示す磁気センサ装置に用いたヘッドを、感磁面を備えた底面の側からみた説明図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、図１に示す磁気センサ装置におけるヘッドと磁気スケールとの位置関係を示す説明図、およびヘッドの右側面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はそれぞれ、図１に示す磁気センサ装置のヘッドに搭載される磁気抵抗素子の説明図、磁気抵抗素子を回路基板に接続した状態を示す説明図、本発明の磁気センサ装置のヘッドに搭載された回路のブロック図、および従来のヘッドに搭載される回路のブロック図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、図１に示す磁気センサ装置のヘッドに用いたセンサホルダの内部構造を示す説明図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、図１に示す磁気センサ装置に用いたヘッドとケーブルとの接続構造の説明図、およびこの接続に用いたスリーブの斜視図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）は、図３（ａ）および図６（ｂ）のＸ１−Ｘ１′線に相当する位置でケーブル挿入穴付近を切断したときの断面図、および図３（ｂ）および図６（ｂ）のＺ１−Ｚ１′線に相当する位置でケーブル挿入穴付近を切断したときの断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  磁気センサ装置（磁気式リニアエンコーダ）
３  磁気スケール
５  ヘッド
６  センサホルダ
７  ケーブル
８  スリーブ
１０  磁気抵抗素子
１６、１７  可撓性基板
１９  回路基板
５０  感磁面
５５  ヘッドの底面
５６  基準面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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