(57)【要約】【課題】  アイポイントの最適な高さ調整を操作性よく行うことができる顕微鏡用鏡筒を提供する。【解決手段】  顕微鏡本体に着脱可能な鏡筒本体１２に、顕微鏡本体からの光束から鉛直方向に沿ったアフォーカル光束を生成する結像レンズ１３とリレーレンズ１７からなるアフォーカル光学系を設け、この鏡筒本体１２に対しアフォーカル光束に沿った方向に移動可能に、アフォーカル光束を接眼レンズ２３に導く観察光学系を有する移動鏡筒１９を設ける。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡本体に着脱可能な鏡筒本体と、
前記鏡筒本体に設けられ、前記顕微鏡本体からの光束から鉛直方向に沿ったアフォーカル光束を生成するアフォーカル光学系と、
前記鏡筒本体に対し前記アフォーカル光束に沿った方向に移動可能に設けられた移動鏡筒と、
前記移動鏡筒に設けられ、前記アフォーカル光束を接眼レンズに導く観察光学系と
を具備したことを特徴とする顕微鏡用鏡筒。
【請求項２】
前記アフォーカル光学系は、前記顕微鏡本体の対物レンズからの光束を結像させる結像レンズと、該結像レンズからの光束がアフォーカル光束となるように配置されたリレーレンズとを有することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡用鏡筒。
【請求項３】
前記移動鏡筒は、前記鏡筒本体の前記アフォーカル光束に沿った方向に配置された直進移動手段により直進移動可能としたことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡用鏡筒。
【請求項４】
さらに、前記鏡筒本体に対し前記アフォーカル光束に沿った方向に移動可能な鏡筒移動手段と、該鏡筒移動手段に設けられ前記移動鏡筒を回動可能に支持する回転支持手段を有し、
前記回動支持手段の回動に連動し、その回動角度の１／２だけ前記移動鏡筒を回動させるよにしたことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡用鏡筒。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鏡筒内で像を結像させることで正立像が観察でき、アイポイントの高さが変更可能な顕微鏡用鏡筒に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近、半導体製造工程には、ウェハなどの検査を行なうものとして、顕微鏡が多く用いられるようになっている。
【０００３】
ところで、このようなウェハ検査に用いられる顕微鏡は、検鏡者が長時間に亘って検鏡作業を続けることから、より快適な検鏡姿勢を提供するために、検鏡者の体格や好みに合わせてアイポイントの高さを調節可能にしたものがある。
【０００４】
例えば、特許文献１には、鏡筒の双眼部の角度（俯視角）を変更する技術が開示されている。ところが、このようなティルト鏡筒の場合、検鏡者の好みのアイポイントの高さに調節しようとすると、俯視角が変化してしまう。
【０００５】
このことは、検鏡者の好みのアイポイントの高さに調節しても、検鏡者にとって最適な俯視角が得られず、無理な姿勢で鏡筒を覗き込むことになり、長時間の検鏡作業では、疲労の原因となる。つまり、検鏡者にとって最適なアイポイントの高さ、かつ、最適な俯視角で観察することは困難である。
【０００６】
そこで、このような欠点を解決する手段として、特許文献２に開示されているように、俯視角を最適な角度に保ちながら、アイポイントの高さ調節を行える技術が考えられている。つまり、特許文献２に開示されるものは、顕微鏡本体への鏡筒の固定部に対して、鏡筒内部の光学系全体（結像レンズから接眼レンズに至るまでの部分）を上下に移動させることで、対物レンズと結像レンズ間のアフォーカル光束部を伸縮させ、アイポイントの高さを上下調節ができるようにしたものである。
【特許文献１】特開平８−３１３８１３号公報
【特許文献２】特表２００４−５３０９４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、特許文献２に開示されている技術では、顕微鏡本体の対物レンズの光軸上の鏡筒頭部に三眼ポートを設けたような場合、アイポイントの高さ調節を行う際に、アイポイントの上下移動に連動して三眼ポート（カメラポート）も上下に動いてしまう。このことは、カメラポートにカメラが取付けられているような場合、アイポイント調節時に三眼ポートが動いてしまうと、取り付けられたカメラの質量の違いによってアイポイント上下移動の操作力量が変化することとなり、操作性が悪くなる。特に、質量の大きなカメラの場合、上下移動操作が重くなるため、さらに操作性が悪化する。さらに、カメラが上下に動くので、鏡筒周りのスペースを確保する必要が生じ、また、カメラに接続されるケーブルなども動くため、ゴミが発生し易く、ウェハなどの検査に悪影響を与えるという問題もあった。
【０００８】
また、特許文献１及び２のものでは、例えば、対物レンズからでたアフォーカル光束部を上下方向に伸縮自在に構成した場合、鏡筒と顕微鏡本体との間に中間鏡筒や、他のユニット（各種観察に用いる照明光源、共焦点用、ＡＦ用の光源など）を挿入すると、アフォーカル光束部が長くなる。
【０００９】
ところで、アフォーカル光束部は、伸ばしていくと光束径が広がっていくため、アフォーカル部の伸縮可能領域には限りがあり、あまり伸ばし過ぎると、光線の一部がケレれたり、収差が発生して観察像が劣化し、よって、鏡筒移動部の移動範囲を狭くしたり、挿入する中間鏡筒の鏡筒長を短くしなければならないなど、使用上の制限を生じてしまう。また、鏡筒内のレンズの径を大きくすることで上述の課題を解決することが望ましいが、大きなコストアップにつながってしまう。
【００１０】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、アイポイントの最適な高さ調整を操作性よく行うことができる顕微鏡用鏡筒を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１記載の発明は、顕微鏡本体に着脱可能な鏡筒本体と、前記鏡筒本体に設けられ、前記顕微鏡本体からの光束から鉛直方向に沿ったアフォーカル光束を生成するアフォーカル光学系と、前記鏡筒本体に対し前記アフォーカル光束に沿った方向に移動可能に設けられた移動鏡筒と、前記移動鏡筒に設けられ、前記アフォーカル光束を接眼レンズに導く観察光学系とを具備したことを特徴としている。
【００１２】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記アフォーカル光学系は、前記顕微鏡本体の対物レンズからの光束を結像させる結像レンズと、該結像レンズからの光束がアフォーカル光束となるように配置されたリレーレンズとを有することを特徴としている。
【００１３】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記移動鏡筒は、前記鏡筒本体の前記アフォーカル光束に沿った方向に配置された直進移動手段により直進移動可能としたことを特徴としている。
【００１４】
請求項４記載の発明は、請求項１記載の発明において、さらに、前記鏡筒本体に対し前記アフォーカル光束に沿った方向に移動可能な鏡筒移動手段と、該鏡筒移動手段に設けられ前記移動鏡筒を回動可能に支持する回転支持手段を有し、前記回動支持手段の回動に連動し、その回動角度の１／２だけ前記移動鏡筒を回動させるよにしたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、アイポイントの最適な高さ調整を操作性よく行うことができる顕微鏡用鏡筒を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の顕微鏡用鏡筒を適用した顕微鏡の概略構成を示している。
【００１８】
図１において、１は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体１は、水平方向のベース部１ａと、このベース部１ａに対し直立して形成された胴部１ｂを有し、この胴部１ｂの上部には、ベース部１ａと平行な方向に投光管として落射投光管２が配置されている。
【００１９】
落射投光管２には、ランプハウス３が設けられている。このランプハウス３には、落射照明用の光源４が設けられている。
【００２０】
落射投光管２内部には、光源４からの照明光路の光軸４ａ上にハーフミラー５が配置されている。このハーフミラー５は、光源４からの照明光を反射し、後述する標本８からの反射光を透過する。
【００２１】
ハーフミラー５の反射光路には、対物レンズ６が配置されている。対物レンズ６は、落射投光管２の先端部下方に設けられたレボルバ７に保持されている。
【００２２】
対物レンズ６の先端側には、ステージ９に載置された標本８が配置され、ハーフミラー５で反射した照明光を対物レンズ６を介して標本８に照射するようにしている。
【００２３】
ステージ９は、顕微鏡本体１の胴部１ｂに設けられ、焦準ハンドル１０の操作により胴部１ｂに沿って上下動し、標本８のピント合わせができるようになっている。
【００２４】
一方、落射投光管２の先端部上方のハーフミラー５を透過する観察光路の光軸（対物レンズ６の光軸１１）上には、図２に示す本発明の顕微鏡用鏡筒１００が設けられている。
【００２５】
顕微鏡用鏡筒１００は、鏡筒本体１２を有している。この鏡筒本体１２は、落射投光管２に装着するための取付手段としての取付部１２１を有している。この場合、取付部１２１は、オスアリ１２１ａを有し、図１に示す落射投光管２側のメスアリ１２１ｂと嵌合させることで、鏡筒本体１２を落射投光管２に装着可能としている。また、鏡筒本体１２の頭部側には、対物レンズ６の光軸１１から延びる光軸ｍ上に撮像装置取付部１２２が設けられている。この撮像装置取付部１２２には、不図示の写真装置やＴＶ装置などの撮像装置が装着される。
【００２６】
鏡筒本体１２内には、対物レンズ６の光軸１１から延びる光軸ｍ上に、第１結像レンズ１３、第１反射部材１４、第２反射部材１５、第３反射部材１６およびリレーレンズ１７が配置されている。
【００２７】
第１結像レンズ１３は、対物レンズ６からの光束を鏡筒本体１２内部に導き結像位置に中間像Ｐを形成する。第１反射部材１４、第２反射部材１５および第３反射部材１６は、第１結像レンズ１３を透過した光束を鏡筒本体１２内部で反射するもので、第１反射部材１４により反射した光束を第２反射部材１５に導き、第２反射部材１５により光軸ｍと直交する方向に反射させて第３反射部材１６に導き、さらに第３反射部材１６により光軸ｍと平行な方向、つまり鉛直方向に反射させてリレーレンズ１７に導くようにしている。リレーレンズ１７は、第１結像レンズ１３とともにアフォーカル光学系を構成するもので、第１結像レンズ１３を透過する光束が光軸ｍと平行な方向のアフォーカル光束となるようにするものである。
【００２８】
この場合、第１反射部材１４は、不図示の棒ガイドなどにより移動可能になっていて、例えば、棒ガイドに沿って図示紙面と垂直方向に移動することで光軸ｍ上から挿脱できるようになっている。つまり、鏡筒本体１２の外部に突出した不図示の棒ガイドの操作ツマミを検鏡者が操作することにより、第１反射部材１４が光軸ｍ上から挿脱できるようになっており、第１反射部材１４が光軸ｍ上に挿入されたときは、第１結像レンズ１３からの光束が第１反射部材１４で反射され、また、第１反射部材１４が光軸ｍ上から外れたときは、第１結像レンズ１３からの光束は真っ直ぐに進み撮像装置取付部１２２に装着された撮像装置側に導かれる。
【００２９】
鏡筒本体１２の側面には、直進移動手段としてのガイド部材１８を介して移動鏡筒１９が移動可能に設けられている。ガイド部材１８は、鏡筒本体１２の側面に光軸ｍと平行な方向に沿って形成されたメスアリ１８ａと移動鏡筒１９側に設けられたスライドアリ１８ｂから構成されるもので、スライドアリ１８ｂをメスアリ１８ａに摺動自在に嵌合することで、移動鏡筒１９を光軸ｍと平行な光軸ｎに沿って上下方向（鉛直方向）に直進移動可能にしている。つまり、メスアリ１８ａとスライドアリ１８ｂから構成されるガイド部材１８は、伸縮手段を構成している。
【００３０】
移動鏡筒１９には、観察光学系を構成する第２結像レンズ２０及び第４反射部材２１が設けられている。第２結像レンズ２０は、リレーレンズ１７から出射されるアフォーカル光束の光軸、つまり光軸ｍと平行な光軸ｎ上に配置されるもので、リレーレンズ１７からのアフォーカル光束を再び結像させる。第４反射部材２１は、第２結像レンズ２０を透過した光束を所定角度（俯視角）だけ上方に折り曲げるように反射するものである。
【００３１】
つまり、この場合、リレーレンズ１７から第２結像レンズ２０に入射する光束がアフォーカル光束となるように、第１結像レンズ１３とリレーレンズ１７が配置されており、これにより、アイポイントの高さを調節するため、移動鏡筒１９を上下方向に移動させても一定の観察像を得ることができるようになっている。
【００３２】
移動鏡筒１９には、接眼レンズ２３を左右に保持した双眼部２２が設けられている。双眼部２２は、第４反射部材２１で反射される光束を左右の光路に２分割するもので、この２分割された光路の光束を、左右に保持した接眼レンズ２３により観察像を目視観察可能にしている。
【００３３】
なお、上述した第１結像レンズ１３、リレーレンズ１７、第２結像レンズ２０、第１反射部材１４、第２反射部材１５、第３反射部材１６、第４反射部材２１を通る光束の光軸ｍ、ｎは、対物レンズ６の光軸１１も含めて同一平面（紙面）上に構成されている。
【００３４】
また、接眼レンズ２３は、左右一対で構成されるが、図面では、一方の接眼レンズのみを示している。また、双眼部２２の内部には、光路を左右に分割するための光路分割要素が構成されているが、ここではその詳細を省略する。
【００３５】
さらに、上下方向に移動する移動鏡筒１９は、双眼部２２、接眼レンズ２３などを設けることから、その自重により常に下向きの力が発生する。そこで、通常の検鏡状態で上下移動しないようにガイド部材１８の移動部を与圧するといった保持機構を付けることで、連続的に任意の位置で保持できる。場合によっては、移動鏡筒１９と鏡筒本体１２の間に不図示の引張バネ等を張架して移動鏡筒１９を上方向に付勢し、移動鏡筒１９に対する上方向への操作力量と下方向への操作力量すれば、アイポイント高さ調節の操作性が増す。また、通常の検鏡状態で上下移動しないように固定するためのクランプビスを鏡筒本体１２に設けて連続的に任意の位置で固定できるようにしてもよい。
【００３６】
さらに、リレーレンズ１７から出射される光束が第２結像レンズ２０に入射する間のアフォーカル光束部が外部に露出しているが、ゴミ避けと外部からの迷光避けのために、鏡筒本体１２に不図示のカバーを設けて、アフォーカル光束部を覆うようにしてもよい。
【００３７】
さらに、移動鏡筒１９を直進ガイドするガイド部材１８は、メスアリ１８ａとスライドアリ１８ｂから構成されるものを用いたが、これに代えてボールガイドや棒ガイドなどを用いることもできる。
【００３８】
次に、このように構成した実施の形態の作用を説明する。
【００３９】
ここで、図１は、移動鏡筒１９が最下点、つまりアイポイントが最下位に位置した状態を、図２は移動鏡筒１９が最上点、つまりアイポイントが最上位に位置した状態を示している。
【００４０】
この状態で、顕微鏡本体１で標本８に光源４からの照明光が照射され、その反射光が対物レンズ６を透過して鏡筒本体１２に導かれると、この顕微鏡本体１からの光束は、第１反射部材１４、第２反射部材１５で反射され、第３反射部材１６に導かれる。さらに第３反射部材１６で反射された光束は、第４反射部材２１で反射され、双眼部２２を通って接眼レンズ２３に導かれる。また、このとき対物レンズ６を透過した観察像は、第１結像レンズ１３により結像位置で中間像Ｐを形成した後、リレーレンズ１７によりアフォーカル光束となり、さらに第２結像レンズ２０により接眼レンズ２３の像面に結像され、拡大像の目視観察が行われる。
【００４１】
この場合、対物レンズ６を透過した光束は、顕微鏡本体１の第１反射部材１４、第２反射部材１５および第３反射部材１６と移動鏡筒１９内の第４反射部材２１により偶数回反射されるので、第１結像レンズ１３の結像位置で一旦結像され、さらにリレーレンズ１７と第２結像レンズ２０によりリレーされて接眼レンズ２３の像面で結像される２次像は、正立像として観察することができる。
【００４２】
また、検鏡者が移動鏡筒１９を持って、図１に示す最下点の位置と図２に示す最上点の位置の間で上下方向に移動操作すると、移動鏡筒１９は、ガイド部材１８に沿って直進移動する。この場合、リレーレンズ１７から第２結像レンズ２０に入射する光束がアフォーカル光束になっており、移動鏡筒１９を上下動に応じてアフォーカル光束部が伸縮するようになるので、接眼レンズ２３での観察像を一定に保ったままアイポイントの高さを、図１に示す最下点の位置から図２に示す最上点の位置の間で連続的に変更することができる。
【００４３】
したがって、このようにすれば、検鏡者が接眼レンズ２３および双眼部２２を備えた移動鏡筒１９を上下方向に移動することで、検鏡者の好みに合わせて所望するアイポイントの高さを調整することができる。このとき、俯視角は変化せず一定のままなので、最適な俯視角を保ったままアイポイント調節が行える。さらに、アイポイント調節を行っても、撮像装置取付部１２２に装着された撮像装置が上下動することがないので、どのような撮像装置を装着しても、アイポイント調節の操作性は変化することはない。よって、最適な俯視角を保ったままアイポイントの高さ調整ができるのでエルゴノミーに優れる鏡筒を得ることができる。また、どのような撮像装置を撮像装置取付部１２２に装着しても、上下移動の操作力量は変わることがないので操作性に優れる鏡筒を得ることができる。さらに、撮像装置取付部１２２に装着した撮像装置がアイポイント調節時に動くことがないので、必要以上に鏡筒周りのスペースを必要とすることや、撮像装置に接続されるケーブルが動いてしまいゴミが発生し、ウェハなどの検査に悪影響を与えることもなくなり、操作性のよい顕微鏡用鏡筒を実現できる。
【００４４】
さらに、鏡筒本体１２と移動鏡筒１９の間のリレーレンズ１７と第２結像レンズ２０の間の光路をアフォーカル光束で結ぶようなアフォーカル光学系が設けられているので、光路長を長く確保でき、ガイド部材１８による直進移動範囲を大きくとることができるとともに、顕微鏡本体１と鏡筒本体１２との間に中間鏡筒や、他のユニット（各種観察に用いる照明光源、共焦点用、ＡＦ用の光源など）が挿入され、アイポイントが移動したような場合も、容易に所望するアイポイントの高さに調整し直すことができる。
【００４５】
（変形例）
次に、第１の実施の形態の変形例を説明する。
【００４６】
図３、図４は、第１の実施の形態の変形例の概略構成を示すもので、図２と同一部分には、同符号を付している。なお、図３は、移動鏡筒１９が最上点、つまりアイポイントが最上位に位置した状態を、図４は移動鏡筒１９が最下点、つまりアイポイントが最下位に位置した状態を示している。
【００４７】
この場合、第１の実施の形態では、リレーレンズ１７を第３反射部材１６で反射された光束の光路に配置していたが、このリレーレンズ１７を第３反射部材１６で反射される前の光路、つまり第３反射部材１６に入射される第２反射部材１５で反射された光束の光路に配置し、同様に、第１の実施の形態では、第２結像レンズ２０を第４反射部材２１で反射される前の光束の光路に配置していたが、この第２結像レンズ２０を第４反射部材２１で反射した後の光束の光路に配置するようにしている。
【００４８】
したがって、このようにしても、第１の実施の形態と同様の作用と効果が得られる。
【００４９】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００５０】
図５、図６は、本発明の第２の実施の形態の概略構成を示すもので、図３、図４と同一部分には、同符号を付している。
【００５１】
この場合、鏡筒本体１２の側面には、ガイド部材１８を介して鏡筒移動手段として鏡筒移動部３１が移動可能に設けられている。この鏡筒移動部３１は、ガイド部材１８により光軸ｎに沿って上下方向（鉛直方向）に直進移動可能にしている。また、鏡筒移動部３１には、回転支持手段としての回転部材３２を介して移動鏡筒３３が回転自在に支持されている。この回転部材３２は、支持軸３２１を介して移動鏡筒３３を回転可能に支持するもので、この支持軸３２１を中心に移動鏡筒３３を回転させることで、俯視角を変更可能にしている。
【００５２】
移動鏡筒３３には、第４反射部材２１と第２結像レンズ２０が設けられている。この場合、第４反射部材２１は、反射部材保持部材３４に保持されている。この反射部材保持部材３４は、回転部材３２の支持軸３２１と同軸に回動自在に受けられている。この場合、反射部材保持部材３４は、支持軸３２１の回動角に対して１／２の回動角で回動するようにしたもので、不図示のギヤ、ベルト、リンク等で支持軸３２１と連動する機構となっている。また、第２結像レンズ２０は、第４反射部材２１で反射した光束を接眼レンズ２３の像面に結像させる。これにより、第３反射部材１６で反射したアフォーカル光束は、回転部材３２の支持軸３２１の回動角に連れて回動する第４反射部材２１で反射し、第２結像レンズ２０に導かれるので、俯視角を変化させても一定の観察像を接眼レンズ２３に導くことができる。
【００５３】
次に、このように構成した実施の形態の作用を説明する。
【００５４】
図５は、鏡筒移動部３１が最上点、つまりアイポイントが最上位に位置した状態を、図６は、鏡筒移動部３１が最下点、つまりアイポイントが最下位に位置した状態を示している。
【００５５】
ここでは、第１の実施の形態と異なる作用のみを説明する。
【００５６】
この場合、検鏡者により回転部材３２を回転して移動鏡筒３３の俯視角をαだけ変更させると、この回転に連動して反射部材保持部材３４が支持軸３２１の回動角に対して１／２の回動角で回動し、第４反射部材２１をα／２だけ同方向に回動するようになるので、接眼レンズ２３に導びかれる観察像が移動することなく、しかも連続して俯視角を変更することができる。
【００５７】
したがって、このようにすれば、第１の実施の形態で述べた効果に加え、さらに検鏡者は、アイポイントの高さ調節の他に、俯視角を好みの角度に調節することができるようになり、よりエルゴノミーに優れた顕微鏡用鏡筒を得ることができる。
【００５８】
なお、この第２の実施の形態は、上述した第１の実施の形態の変形例に準じた構成のものについて述べたが、第２の実施の形態で述べたように、リレーレンズ１７を第３反射部材１６で反射された光束の光路に配置し、第２結像レンズ２０を第４反射部材２１に入射される光束の光路に配置してもよい。この場合、第２結像レンズ２０は、移動鏡筒３３でなく、鏡筒移動部３１側に配置される。このようにしても、上述した第２の実施の形態と同様の作用と効果が得られる。
【００５９】
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【００６０】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００６１】
なお、上述した実施の形態には、以下の発明も含まれる。
【００６２】
（１）  顕微鏡本体に装着するための取付手段と、前記顕微鏡本体の対物レンズからの光束を結像させる結像レンズと、前記結像レンズからの光束がアフォーカル光束となるように配置されたリレーレンズと、前記アフォーカル光束を鉛直方向に導く反射部材とを備えた鏡筒本体と、
前記反射部材により導かれたアフォーカル光束を結像する結像レンズと、前記アフォーカル光束を接眼レンズに導く反射部材とを備えた鏡筒移動部と、
前記鏡筒本体の前記アフォーカル光束に沿った方向に設けられ、前記移動鏡筒を鉛直方向に移動可能で且つ任意の位置で保持可能とした直進移動手段と
を具備したことを特徴とする顕微鏡用鏡筒。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡用鏡筒が適用される顕微鏡の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態の顕微鏡用鏡筒の概略構成を示す図。
【図３】第１の実施の形態の変形例の顕微鏡用鏡筒の概略構成を示す図。
【図４】第１の実施の形態の変形例の顕微鏡用鏡筒の概略構成を示す図。
【図５】本発明の第２の実施の形態の顕微鏡用鏡筒の概略構成を示す図。
【図６】第２の実施の形態の顕微鏡用鏡筒の概略構成を示す図。
【符号の説明】
【００６４】
１…顕微鏡本体、１ａ…ベース部、１ｂ…胴部
２…落射投光管、
３…ランプハウス、４…光源
４ａ…光軸、５…ハーフミラー
６…対物レンズ、７…レボルバ
８…標本、９…ステージ、１０…焦準ハンドル
１１…光軸、１００…顕微鏡用鏡筒
１２…鏡筒本体、１２１…取付部
１２１ａ…オスアリ、１２１ｂ…メスアリ、１２２…撮像装置取付部
１３…結像レンズ、１４〜１６…第１反射部材〜第３反射部材
１７…リレーレンズ、１８…ガイド部材
１８ａ…メスアリ、１８ｂ…スライドアリ
１９…移動鏡筒、２０…結像レンズ、２１…第４反射部材
２２…双眼部、２３…接眼レンズ
３１…鏡筒移動部、３２…回転部材
３２１…支持軸、３３…移動鏡筒、３４…反射部材保持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
2006292831.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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