(57)【要約】【課題】停止位置の精度を向上させ得る超音波モータ制御装置を提供する。【解決手段】移動体を移動制御する超音波モータ３を駆動するコントローラ１０において、前記移動体の移動状態を検出する変位センサ５と、その変位センサ５で検出した検出位置Ｌｄと目標位置Ｌ＊との偏差ΔＬｄを演算する偏差演算手段（ステップＳ４）と、その偏差演算手段で演算した偏差を積分演算する積分演算手段（ステップＳ１２）と、少なくとも前記積分演算手段から出力される積分出力に基づいて超音波モータ３を駆動するアンプ４とを備え、前記積分演算手段は、前記偏差演算手段で演算した偏差ΔＬｄが減少傾向にあるときに、減少度合いに応じて積分定数ｋｉを少なくとも３段階に変化させる積分定数設定手段（ステップＳ５〜Ｓ９）を有する。【選択図】図３
2006246551.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体を移動制御する超音波モータを駆動する超音波モータ制御装置において、
前記移動体の移動状態を検出する移動状態検出手段と、該移動状態検出手段で検出した移動状態検出値と目標位置との偏差を演算する偏差演算手段と、該偏差演算手段で演算した偏差を積分演算する積分演算手段と、少なくとも前記積分演算手段から出力される積分出力に基づいて前記超音波モータを駆動するモータ駆動手段とを備え、
前記積分演算手段は、前記偏差演算手段で演算した偏差が減少傾向にあるときに、減少度合いに応じて積分定数を少なくとも３段階に変化させる積分定数設定手段を有することを特徴とする超音波モータ制御装置。
【請求項２】
前記積分定数設定手段は、前記偏差演算手段で演算した偏差が所定範囲内に収束するか否かを判定する収束判定手段を有し、
前記収束判定手段は、その判定結果が、偏差が所定範囲内に収束していないときに、前記積分定数を第１の値に設定し、偏差が所定範囲内に収束し且つ偏差が第１の閾値以下となったことを検出したときに、前記積分定数を前記第１の値と異なる第２の値に設定し、偏差が所定範囲内に収束し且つ偏差が第２の閾値以下であることを検出したときに前記積分定数を前記第２の値と異なる第３の値に設定するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ制御装置。
【請求項３】
前記モータ駆動手段は、前記超音波モータを共振駆動モード及び非共振駆動モードの何れかを選択して駆動するように構成され、前記積分定数が第１の値及び第２の値に設定されるときには共振駆動モードを選択し、前記積分定数が第３の値に設定されるときには非共振駆動モードを選択することを特徴とする請求項２に記載の超音波モータ制御装置。
【請求項４】
移動体を移動制御する超音波モータを駆動する超音波モータ制御方法において、
前記移動体の移動状態を検出する移動状態検出ステップと、該移動状態検出ステップで検出した移動状態検出値と目標位置との偏差を演算する偏差演算ステップと、該偏差演算ステップで演算した偏差が減少傾向にあるときに、減少度合いに応じて積分定数を少なくとも第１の値、第２の値及び第３の値に変化させる積分定数設定ステップと、該偏差演算ステップで演算した偏差を前記積分定数を用いて積分演算する積分演算ステップと、少なくとも前記積分演算ステップから出力される積分出力に基づいて、前記積分定数が第１の値及び第２の値に設定されるときに前記超音波モータを共振駆動し、前記積分定数が第３の値に設定されるときに前記超音波モータを非共振駆動するモータ駆動ステップとを備えたことを特徴とする超音波モータ制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波モータ制御装置、および超音波モータ制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波モータは、圧電モータともよばれ、電圧を加えると形が変わる圧電素子に振動を起こし、その振動で移動体を動かすようになっている。近年、小型でかつ停止時において移動体に対し、大きな保持力が得られる超音波モータの使用が試みられている。
ところで、通常のモータ制御としては、フィードバック制御が知られている。そして、例えばＰ動作、Ｉ動作の２つの動作からなるＰＩ制御、つまり、比例項（Ｐ）と積分項（Ｉ）とを有するＰＩ演算手段を備え、該ＰＩ演算手段からの制御出力に基づいてモータを移動制御する制御装置が知られている。ＰＩ制御は、簡単でしかも精度の良い制御が期待できることから一般的に広く使用されている（例えば非特許文献１参照）。
【非特許文献１】高精度位置決め制御技術，（株）総合技術センター発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、図６に通常のモータで使用されているＰＩ制御を、超音波モータに適用した際の移動体の駆動軌跡例を示す。
同図から判るように、超音波モータでは、静摩擦係数が大きいため、移動体が動きだすまでの不感帯領域Ｔ１がある。さらに、移動体が動きだしてから目標位置の近傍に達するまでの、瞬時に長距離を駆動させるための駆動力が必要な領域Ｔ２と、目標位置の近傍から目標位置に位置決めを完了するまでの、微少領域を細かく制御する必要がある領域Ｔ３とがある。
【０００４】
通常のモータの移動制御において、一般に行われている位置決め時間を最短にすると思われる積分定数を設定したＰＩ制御を行なっても、超音波モータに固有の比較的大きな静摩擦力が影響して、停止位置の精度が不十分になるといった課題があった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、停止位置の精度を向上させ得る超音波モータ制御装置、および超音波モータ制御方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、移動体を移動制御する超音波モータを駆動する超音波モータ制御装置において、前記移動体の移動状態を検出する移動状態検出手段と、該移動状態検出手段で検出した移動状態検出値と目標位置との偏差を演算する偏差演算手段と、該偏差演算手段で演算した偏差を積分演算する積分演算手段と、少なくとも前記積分演算手段から出力される積分出力に基づいて前記超音波モータを駆動するモータ駆動手段とを備え、前記積分演算手段は、前記偏差演算手段で演算した偏差が減少傾向にあるときに、減少度合いに応じて積分定数を少なくとも３段階に変化させる積分定数設定手段を有することを特徴としている。
【０００６】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の超音波モータ制御装置であって、前記積分定数設定手段は、前記偏差演算手段で演算した偏差が所定範囲内に収束するか否かを判定する収束判定手段を有し、前記収束判定手段は、その判定結果が、偏差が所定範囲内に収束していないときに、前記積分定数を第１の値に設定し、偏差が所定範囲内に収束し且つ偏差が第１の閾値以下となったことを検出したときに、前記積分定数を前記第１の値と異なる第２の値に設定し、偏差が所定範囲内に収束し且つ偏差が第２の閾値以下であることを検出したときに前記積分定数を前記第２の値と異なる第３の値に設定するように構成されていることを特徴としている。
【０００７】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の超音波モータ制御装置であって、前記モータ駆動手段は、前記超音波モータを共振駆動モード及び非共振駆動モードの何れかを選択して駆動するように構成され、前記積分定数が第１の値及び第２の値に設定されるときには共振駆動モードを選択し、前記積分定数が第３の値に設定されるときには非共振駆動モードを選択することを特徴としている。
【０００８】
また、請求項４に記載の発明は、移動体を移動制御する超音波モータを駆動する超音波モータ制御方法において、前記移動体の移動状態を検出する移動状態検出ステップと、該移動状態検出ステップで検出した移動状態検出値と目標位置との偏差を演算する偏差演算ステップと、該偏差演算ステップで演算した偏差が減少傾向にあるときに、減少度合いに応じて積分定数を少なくとも値の第１の値、第２の値及び第３の値に変化させる積分定数設定ステップと、該偏差演算ステップで演算した偏差を前記積分定数を用いて積分演算する積分演算ステップと、少なくとも前記積分演算ステップから出力される積分出力に基づいて、前記積分定数が第１の値及び第２の値に設定されるときに前記超音波モータを共振駆動し、前記積分定数が第３の値に設定されるときに前記超音波モータを非共振駆動するモータ駆動ステップとを備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、停止位置の精度を向上させ得る超音波モータ制御装置、および超音波モータ制御方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る超音波モータ制御装置の一実施形態について、図面を適宜参照しつつ説明する。
図１は、本発明に係る超音波モータ制御装置を適用した位置決め装置の構成の一例を示す説明図である。
同図に示すように、この位置決め装置１は、位置決めテーブル２、超音波モータ３、アンプ４、変位センサ５、および、コントローラ１０を備えて構成されている。
【００１１】
位置決めテーブル２は、移動体であるステージ２ａが、直動案内装置２ｂ上に載置されて固定されており、直動案内装置２ｂがもつ直線軌道２ｃに沿って一軸上で移動可能になっている。この位置決めテーブル２のステージ２ａには、摩擦板６が取り付けられており、その摩擦板６に向けて超音波モータ３全体が予圧を付加されて、超音波モータ３の可動子３ａが摩擦板６に押圧されている。
【００１２】
超音波モータ３は、アンプ４を介してコントローラ１０に接続されている。そして、超音波モータ３には、コントローラ１０から出力される信号がアンプ４で増幅されて超音波モータ３内の圧電素子に印加されるようになっている。このとき、コントローラ１０による制御出力の正負によって超音波モータ３内の圧電素子に印加される電圧が調整可能になっているため、超音波モータ３内の圧電素子が所望の振動を起こし、その振動で移動体を所望の移動方向に移動可能になっている。
【００１３】
アンプ４は、コントローラ１０から出力される信号を増幅するとともに、コントローラ１０からの制御出力に基づいて、超音波モータ３の共振周波数ｆｕまたは、超音波モータ３の非共振周波数ｆＬを切り替えて出力可能になっている。
変位センサ５は、位置決めテーブル２のステージの変位量を計測可能な位置に、位置決めテーブル２の架台部分の側部に取り付けられている。この変位センサ５は、リニアスケールであり、用途に応じた分解能を有するものを使用しており、例えば本実施形態では最小分解能がナノメートルレベルのものを使用している。そして、位置決めテーブル２のステージの変位量を移動状態検出値（後述する検出位置Ｌｄ）としてコントローラ１０へ出力可能になっている。ここで、上記移動状態検出手段には、この変位センサ５が対応している。
【００１４】
次に、コントローラ１０についてより詳しく説明する。
図２は、コントローラ１０の構成を示すブロック図である。
この超音波モータのコントローラ１０は、例えばマイクロコンピュータＭＣで構成され、超音波モータ位置決め処理を実行する。
詳しくは、同図に示すように、マイクロコンピュータＭＣは、所定の制御プログラムに基づいて演算およびシステム全体を制御するＣＰＵ３０と、所定領域にあらかじめＣＰＵ３０の制御プログラム等を格納しているＲＯＭ３２と、ＲＯＭ３２等から読み出したデータやＣＰＵ３０の演算過程で必要な演算結果を格納するためのＲＡＭ３４と、外部装置に対してデータの入出力を媒介するＩ／Ｆ３８とで構成されており、これらは、データを転送するための信号線であるバス３９で相互にかつデータ授受可能に接続されている。
【００１５】
そして、Ｉ／Ｆ３８には、外部装置として、位置決め装置１の全体を制御するパーソナルコンピュータ等で構成されるシステム制御装置４２と、上記変位センサ５と、アンプ４とが接続されている。
ＣＰＵ３０は、ＲＯＭ３２の所定領域に格納されている所定のプログラムを起動させ、そのプログラムに従って、図３のフローチャートに示す超音波モータ位置決め処理を実行するようになっている。
【００１６】
図３は、コントローラ１０による超音波モータ位置決め処理を説明するフローチャートである。
この超音波モータ位置決め処理は、位置決めテーブル２のステージ２ａ（移動体）を目標位置Ｌ＊に位置決めする際に、比例項（Ｐ）と積分項（Ｉ）とを有するＰＩ演算手段を備え、該ＰＩ演算手段からの制御出力Ｖに基づいて超音波モータを移動制御する処理であって、ＣＰＵ３０において処理が実行されると、同図に示すように、まず、ステップＳ１に移行するようになっている。
【００１７】
ステップＳ１では、システム制御装置４２から目標位置Ｌ＊が入力されているか否かを判定し、目標位置Ｌ＊が入力されていれば（Ｙｅｓ）ステップＳ２に移行するが、目標位置Ｌ＊が入力されていなければ（Ｎｏ）ステップＳ１で待機する。続くステップＳ２は、ステージ２ａ（移動体）の移動状態を検出する移動状態検出ステップであり、変位センサ５で検出した移動状態検出値である検出位置Ｌｄを読み込んでステップＳ３に移行する。
【００１８】
ステップＳ３では、目標位置Ｌ＊と検出位置Ｌｄを比較し、目標位置Ｌ＊＝Ｌｄ±Ｘであれば、位置決めを終了し、目標位置Ｌ＊と検出位置Ｌｄが異なる値であればステップＳ４へ移行する。なお、「±Ｘ」は、最終的な目標値に対する収束範囲（最終偏差）である。
ステップＳ４は、移動状態検出値（検出位置Ｌｄ）と目標位置Ｌ＊との偏差ΔＬｄを演算する偏差演算ステップである。すなわち、ステップＳ４では、目標位置Ｌ＊と検出位置Ｌｄとの偏差ΔＬｄ（＝Ｌ＊−Ｌｄ）を演算する。
【００１９】
ステップＳ５では、偏差｜ΔＬｄ｜が第一の閾値ΔＬＳＨ以下か否かを判定する。すなわち、偏差｜ΔＬｄ｜が所定範囲ΔＬＳＨ以下であれば（Ｙｅｓ）ステップＳ７に移行するが、偏差｜ΔＬｄ｜が所定範囲ΔＬＳＨを超えていれば（Ｎｏ）ステップＳ６に移行する。
ステップＳ６では、比例項（Ｐ）の比例定数ｋｐを始めの比例定数ｋｐＬ（ｋｐ＝ｋｐＬ）に設定するとともに、積分項（Ｉ）の積分定数ｋｉを第一の値ｋｉＬ（ｋｉ＝ｋｉＬ）に設定して、ステップＳ１０に移行する。
【００２０】
ステップＳ７では、偏差ΔＬｄの絶対値が第二の閾値ΔＬＳＬ以下か否かを判定する。すなわち、偏差｜ΔＬｄ｜が所定範囲ΔＬＳＬ以下であれば（Ｙｅｓ）ステップＳ９に移行するが、偏差｜ΔＬｄ｜が所定範囲ΔＬＳＬを超えていれば（Ｎｏ）ステップＳ８に移行する。なお、第二の閾値ΔＬＳＬは、第一の閾値ΔＬＳＨより小さい値である。
ステップＳ８では、比例項（Ｐ）の比例定数ｋｐを第二の比例定数ｋｐＭ（ｋｐ＝ｋｐＭ）に設定するとともに、積分項（Ｉ）の積分定数ｋｉを第二の値ｋｉＭ（ｋｉ＝ｋｉＭ）に設定して、ステップＳ１０に移行する。
【００２１】
ステップＳ９では、比例項（Ｐ）の比例定数ｋｐを第三の比例定数ｋｐＨ（ｋｐ＝ｋｐＨ）に設定するとともに、積分項（Ｉ）の積分定数ｋｉを第三の値ｋｉＨ（ｋｉ＝ｋｉＨ）に設定して、ステップＳ１１に移行する。
ここで、上記超音波モータ位置決め処理では、積分項（Ｉ）の積分定数ｋｉの変更は、偏差ΔＬｄが小さくなるごとに積分動作の影響が大きくなるように設定する。すなわち、位置決めテーブル２のステージ（移動体）を目標位置Ｌ＊に位置決めする際に、積分項（Ｉ）の積分定数ｋｉを、偏差ΔＬｄに応じて、３段階に変化させるようにする。詳しくは、その積分項（Ｉ）の３段階の積分定数ｋｉは、偏差ΔＬｄがΔＬＳＨより小さい所定範囲（設定値ΔＬＳＨ）内になった際には、第一の値ｋｉ（設定値ｋｉＬ）と異なる第二の値（設定値ｋｉＭ）に変え、偏差ΔＬｄが所定範囲（設定値ΔＬＳＬ）より小さい第二の閾値（設定値ΔＬＳＬ）内になった際には、第一の値（設定値ｋｉＭ）と異なる第二の値（設定値ｋｉＨ）に変えるようになっている。
【００２２】
そして、ステップＳ１０では、圧電素子の駆動周波数ｆを共振周波数ｆｕに設定してステップＳ１２に移行する。ステップＳ１１では、圧電素子の駆動周波数ｆを非共振周波数ｆＬに設定し、超音波モータの移動制御を非共振周波数ｆＬによる駆動にしてステップＳ１２に移行する。なお、駆動方法を共振周波数ｆｕから非共振周波数ｆＬへと切り替えるときは、超音波モータ３に接続されているアンプ４の出力周波数を共振周波数ｆｕから非共振周波数ｆＬへと切り替える切り替え指令が出力される。
【００２３】
ステップＳ１２では、下記式（１）の演算を行なって制御出力Ｖを算出し、次いでステップＳ１３に移行して、制御出力Ｖに基づいて設定された信号がアンプ４に出力されて元の処理に復帰する。
Ｖ＝ｋｐ・ΔＬ＋ｋｉ・∫ΔＬ  ・・・（１）
以上の構成によって、コントローラ１０は、偏差ΔＬｄを常時監視して、偏差ΔＬｄの値に応じて積分項（Ｉ）の積分定数ｋｉを３段階に増加させるように切り替えて、比例項（Ｐ）の比例定数ｋｐ、積分項（Ｉ）の積分定数ｋｉを所定の値に設定しつつ、制御出力Ｖをコントロール可能になっている。
【００２４】
ここで、上記説明したフローチャート中、上記偏差演算手段には、ステップＳ４が対応しており、上記積分演算ステップには、ステップＳ１２が対応している。そして、積分定数設定手段はステップＳ５、ステップＳ７、および積分定数設定ステップには、ステップＳ６、ステップＳ８、ステップＳ９が対応している。さらに、収束判定手段には、ステップＳ３が対応しており、目標位置Ｌ＊に対し検出位置Ｌｄが、±Ｘの精度で収束したとき、位置決めを終了する。
なお、上記モータ駆動手段、およびモータ駆動ステップには、アンプ４および、ステップＳ１０、ステップＳ１１並びにステップＳ１３が対応しており、アンプ４での周波数の設定は、ステップＳ１０およびステップＳ１１によって、超音波モータを駆動する圧電素子の周波数ｆを所望の周波数に設定するようになっている。
【００２５】
次に、このコントローラを用いた超音波モータの位置決め動作について図４および図５を適宜参照して説明する。なお、図４は、本発明のコントローラを用いた超音波モータの位置決め動作を模式化した説明図である。また、図５は本発明のコントローラ１０による上記超音波モータ位置決め処理での制御を、超音波モータ３に適用した際における移動体の駆動軌跡の例を示す説明図である。
【００２６】
図５に示すように、このコントローラ１０によれば、偏差ΔＬｄがある程度小さくなるまで（｜ΔＬｄ｜≧ΔＬＳＨ）は、超音波モータ３を、通常の駆動状態である共振駆動で駆動させる（同図でのＰ１，Ｉ１で示す領域）。このとき、比例項（Ｐ）は比例定数ｋｐＬ、積分項（Ｉ）は積分定数ｋｉＬによるＰＩ制御によって、図４および図５に示すように移動体の目標位置Ｌ＊（最終目標位置）への位置決めが行なわれる。
【００２７】
次いで、図４に示すように、偏差ΔＬｄが、予め設定していた所定範囲ΔＬＳＨより小さくなる（時間ｔ０が経過）時点で（ステップＳ５）、積分項（Ｉ）の積分定数を第一の値ｋｉＬから第二の値ｋｉＭに大きく変化させて（ステップＳ８）、残りの偏差をより小さくするように動作させる。ここで、第二の閾値ΔＬＳＬを設定する目安は、偏差ΔＬｄを共振駆動の範囲で小さくできる領域とするのがよい。
【００２８】
次いで、図４に示すように、ΔＬｄ≦ΔＬＳＬとなった時点（時間ｔ１）で、偏差ΔＬｄが十分に小さくなって圧電素子の変位のみで偏差ΔＬｄを小さくすることが可能となったとき（偏差ΔＬｄ≦ΔＬＳＬ）、ＰＩ制御の積分定数を第二の値ｋｉＭから第三の値ｋｉＨに切り替える。すなわち、より高精度な位置決めを行なうために、偏差ΔＬｄが、さらに予め設定していた第二の閾値ΔＬＳＬより小さくなったら（ステップＳ７）、積分項（Ｉ）の積分定数をｋｉＭからｋｉＨに大きく変化させて（ステップＳ９）、残りの偏差をより小さくするように動作させる。このとき、超音波モータ３は、図５に示すように、通常の駆動状態である共振周波数ｆｕではなく、圧電素子に非共振周波数ｆＬとなる電圧を印加して位置決めテーブル２のステージ２ａの最終的な位置決めを行なうことができる（ステップＳ１１）。
【００２９】
次に、この超音波モータ制御装置の作用・効果について説明する。
上述したように、この超音波モータ用のコントローラ１０は、位置決めテーブル２のステージ２ａ（移動体）を目標位置Ｌ＊に位置決めする際に、積分項（Ｉ）の積分定数ｋｉを、偏差ΔＬに応じて３段階に増加させている。
すなわち、この３段階の積分定数ｋｉは、偏差ΔＬｄが始めの偏差より小さい第一の閾値ΔＬＳＨになった際には、第一の値ｋｉＬと異なる第二の値ｋｉＭに変える。そして、偏差ΔＬｄが第一の閾値ΔＬＳＨより小さい第二の閾値ΔＬＳＬになった際には、第二の値ｋｉＭより大きい第三の値ｋｉＨに変えるようにしている。このとき、目標位置Ｌ＊に対する偏差ΔＬｄが減少傾向にあるときに、減少度合いに応じて積分定数ｋｉを大きくするとともに、積分定数ｋｉを第三の値ｋｉＨに変えた際には、超音波モータ３を、その超音波モータ３を駆動する圧電素子の共振周波数ｆｕより低い非共振周波数ｆＬで駆動するようにしている。
【００３０】
これにより、非共振周波数ｆＬでの駆動であれば、圧電素子の変位のみによって位置決めテーブル２のステージを位置決めできるため、偏差ΔＬｄは、変位センサ５で計測できる最小分解能まで小さくすることができる。そのため、より好適に位置決め制御することができる。したがって、例えば、上記領域Ｔ３で、微少領域を、より細かく制御可能となる。
【００３１】
以上説明したように、本発明に係る超音波モータ制御装置によれば、停止位置の精度を向上させ得る超音波モータ制御装置を提供することができる。
なお、本発明に係る超音波モータ制御装置は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しなければ種々の変形が可能である。
例えば、上記実施形態では、超音波モータ制御装置を、マイクロコンピュータＭＣによって構成し、超音波モータ位置決め処理は、そのマイクロコンピュータＭＣ上での制御プログラムとして実行される例で説明したが、これに限定されず、超音波モータ制御装置は、例えば比例演算回路や積分演算回路等を有するアナログ回路で構成してもよい。
【００３２】
また、上記実施形態では、比例項（Ｐ）と積分項（Ｉ）との演算を一緒に行なっているが、これに限定されず、それぞれを別途に演算し、後に加算してもよい。
また、上記実施形態では、コントローラ１０で切り替えることのできる積分項（Ｉ）の積分定数ｋｉは、３段階の例で説明したが、これに限定されず、例えば４段階、あるいは４段階以上でもよい。
【００３３】
また、上記実施形態では、上記図３に示した超音波モータ位置決め処理では、積分項（Ｉ）の積分定数ｋｉを変化させる例で説明したが、これに限定されず、比例項（Ｐ）の比例定数ｋｐも偏差ΔＬｄに応じて適宜変化させてもよい。例えば図４では、比例項（Ｐ）は比例定数ｋｐＬから比例定数ｋｐＭに変化させているが、本発明では比例項（Ｐ）の比例定数ｋｐは、必ずしも大きくする必要はない。また、比例項（Ｐ）の比例定数ｋｐについては段階的変化させる等に限定されず、必ずしも変える必要はない。
【００３４】
また、上記実施形態では、移動状態検出手段である変位センサ５は、リニアスケールを使用する例であるが、位置決めテーブル２の変位量を計測可能であれば、種々の変位センサを使用できる。例えばレーザ反射式の変位センサを使用してもよい。また、変位センサ５は、位置決めテーブル２の側部に取り付けられている例で説明したが、変位センサの取り付け位置は、位置決めテーブル２の変位量を計測可能な位置であれば、例えば位置決めテーブル２の中央部でもよい。また、変位センサ５から送られてくるデータの形式についても、コントローラで読み込み可能であれば特に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係る超音波モータ制御装置を適用した位置決め装置の構成の一例を示す説明図である。
【図２】本発明に係る超音波モータ制御装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明に係る超音波モータ制御装置による超音波モータ位置決め処理を説明するフローチャートである。
【図４】本発明に係る超音波モータ制御装置を用いた超音波モータの位置決め動作を模式化した説明図である。
【図５】本発明の超音波モータ制御装置によるＰＩ制御を、超音波モータに適用した際の移動体の駆動軌跡の例を示す説明図である。
【図６】従来の超音波モータ制御装置によるＰＩ制御を、超音波モータに適用した際の移動体の駆動軌跡の例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３６】
１    位置決め装置
２    位置決めテーブル
３    超音波モータ
４    アンプ（モータ駆動手段）
５    変位センサ（移動状態検出手段）
６    摩擦板
１０    コントローラ（超音波モータ制御装置）
３０    ＣＰＵ
３２    ＲＯＭ
３４    ＲＡＭ
３８    Ｉ／Ｆ
３９    バス
４２    システム制御装置
【図１】
2006246551.tif 000003
【図２】
2006246551.tif 000004
【図３】
2006246551.tif 000005
【図４】
2006246551.tif 000006
【図５】
2006246551.tif 000007
【図６】
2006246551.tif 000008