(57)【要約】【課題】  印加される衝撃が大きい場合にも、また、印加される衝撃の方向に関係なく正確に浮上変化量を検出可能であり、しかも簡易な装置構成で実施可能な耐衝撃特性検出方法及び装置を提供する。【解決手段】  磁気ディスクドライブ装置における磁気ヘッド支持機構の耐衝撃特性を検出する方法であって、サーボ情報があらかじめ記録された磁気ディスク上に磁気ヘッド支持機構に支持された磁気ヘッドをロードし、衝撃が印加されていない状態で磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＮＯＩＭと磁気ヘッドのオフトラック位置との関係を測定して記憶し、衝撃が印加された際の磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＩＭと磁気ヘッドのオフトラック位置とを測定し、衝撃が印加された際に測定した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＩＭと、衝撃が印加された際の磁気ヘッドオフトラック位置に対応する、衝撃が印加されていない状態で測定して記憶した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＮＯＩＭとから磁気ヘッドの浮上変化量を検出する。【選択図】  図４
2006164380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクドライブ装置における磁気ヘッド支持機構の耐衝撃特性を検出する方法であって、サーボ情報があらかじめ記録された磁気ディスク上に前記磁気ヘッド支持機構に支持された磁気ヘッドをロードし、衝撃が印加されていない状態で前記磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＮＯＩＭと該磁気ヘッドのオフトラック位置との関係を測定して記憶し、衝撃が印加された際の該磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＩＭと該磁気ヘッドのオフトラック位置とを測定し、衝撃が印加された際に測定した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＩＭと、衝撃が印加された際の磁気ヘッドオフトラック位置に対応する、衝撃が印加されていない状態で測定して記憶した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＮＯＩＭとから該磁気ヘッドの浮上変化量を検出することを特徴とする耐衝撃特性検出方法。
【請求項２】
衝撃が印加された際に測定した前記磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＩＭと、衝撃が印加された際の磁気ヘッドオフトラック位置に対応する、衝撃が印加されていない状態で測定して記憶した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＮＯＩＭとの差から該磁気ヘッドの浮上変化量を検出することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記磁気ヘッドオフトラック位置を、検出したサーボ制御情報から算出することを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
印加される衝撃の値を加速度センサにより測定することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
印加される衝撃の値を変えて前記磁気ヘッドの浮上変化量を検出することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
磁気ディスクドライブ装置における磁気ヘッド支持機構の耐衝撃特性を検出する装置であって、サーボ情報があらかじめ記録された磁気ディスク上に前記磁気ヘッド支持機構に支持された磁気ヘッドをロードした状態において、衝撃が印加されていない状態で前記磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＮＯＩＭと該磁気ヘッドのオフトラック位置との関係を測定して記憶する第１の手段と、衝撃が印加された際の該磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＩＭと該磁気ヘッドのオフトラック位置とを測定する第２の手段と、該第２の手段によって測定した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＩＭと、該第２の手段によって測定した磁気ヘッドオフトラック位置に対応する、前記第１の手段によって測定して記憶した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＮＯＩＭとから該磁気ヘッドの浮上変化量を検出する第３の手段とを備えたことを特徴とする耐衝撃特性検出装置。
【請求項７】
前記第３の手段が、前記第２の手段によって測定した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＩＭと、該第２の手段によって測定した磁気ヘッドオフトラック位置に対応する、前記第１の手段によって測定して記憶した前記磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＮＯＩＭとの差から該磁気ヘッドの浮上変化量を検出する手段であることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記第２の手段が、磁気ヘッドオフトラック位置を検出したサーボ制御情報から算出する手段であることを特徴とする請求項６又は７に記載の装置。
【請求項９】
前記第１の手段が、磁気ヘッドオフトラック位置を検出したサーボ制御情報から算出する手段であることを特徴とする請求項６から８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１０】
印加される衝撃の値を加速度センサにより測定する第４の手段をさらに備えたことを特徴とする請求項６から９のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスクドライブ装置における磁気ヘッド支持機構の耐衝撃特性検出方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクとスライダとの接触を検出する装置として、特許文献１には、両者の接触によってアームに発生した音響弾性波をセンサで検出する構成が開示されている。
【０００３】
この公知の接触検出装置によれば、スライダが磁気ディスク表面に接触したことは検知できるものの、接触せずに浮上量が変化した場合はその浮上変化量を検出することができないので、磁気ディスクドライブ装置に衝撃が印加された際の例えばサスペンション等のヘッド支持機構の耐衝撃特性を正確に知るためには不充分である。
【０００４】
そこで、本願発明者等は、衝撃が印加された際のサスペンションの動きを高速度カメラで撮影し、その撮影した画像から磁気ディスク表面に対する磁気ヘッド又はサスペンションの浮上変化量等を検出している。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２０３６３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、高速度カメラを用いる検出方法は、印加される衝撃が大きくなると、それに従って磁気ヘッド及びサスペンションの運動速度が増大するので１フレーム毎の分解能低下、及びシャッター速度の限界から、画像のにじみや不鮮明さが生じ、映像解析が非常に難しくなってしまう。
【０００７】
高速度カメラを用いることなしに磁気ヘッドの浮上変化量を検出する方法として、磁気ディスクにあらかじめ記録しておいた信号を磁気ヘッドで読出し、その再生出力をモニタすることにより、衝撃印加による磁気ヘッドの浮上変化量を検出すれば、印加される衝撃が大きくなっても対処可能であるが、この方法によると印加される衝撃の方向によって検出出力がばらついてしまい、正確な浮上変化量を検出しているのかどうか分からないという問題点を有している。
【０００８】
従って本発明の目的は、印加される衝撃が大きい場合にも正確に浮上変化量を検出可能な耐衝撃特性検出方法及び装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、印加される衝撃の方向に関係なく正確に浮上変化量を検出可能な耐衝撃特性検出方法及び装置を提供することにある。
【００１０】
本発明のさらに他の目的は、簡易な装置構成で実施可能な耐衝撃特性検出方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によれば、磁気ディスクドライブ装置における磁気ヘッド支持機構の耐衝撃特性を検出する方法であって、サーボ情報があらかじめ記録された磁気ディスク上に磁気ヘッド支持機構に支持された磁気ヘッドをロードし、衝撃が印加されていない状態で磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＮＯＩＭと磁気ヘッドのオフトラック位置との関係を測定して記憶し、衝撃が印加された際の磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＩＭと磁気ヘッドのオフトラック位置とを測定し、衝撃が印加された際に測定した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＩＭと、衝撃が印加された際の磁気ヘッドオフトラック位置に対応する、衝撃が印加されていない状態で測定して記憶した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＮＯＩＭとから磁気ヘッドの浮上変化量を検出する耐衝撃特性検出方法が提供される。
【００１２】
衝撃が印加されていない状態で、オフトラック位置に応じた磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＮＯＩＭをあらかじめ測定しておいて記憶しておき、実際に衝撃が印加された際のオフトラック位置（トラック中心からのズレ量）に基づく磁気ヘッド再生出力の変化分を知り、衝撃が印加された状態で実際に測定した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＩＭをその変化分で補償することにより、磁気ヘッドの浮上変化量に対応する再生出力分を求める。電気的な信号を利用して浮上変化量を検出しているので、印加される衝撃が大きい場合にも正確に浮上変化量を検出できる。トラック中心からのズレ量に基づく補償が行なわれているので、印加される衝撃の方向に関係なく正確に浮上変化量を検出することができる。さらに、磁気ヘッドの再生出力とオフトラック位置とから浮上変化量を検出できるので、簡易な装置構成で実施可能となる。
【００１３】
衝撃が印加された際に測定した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＩＭと、衝撃が印加された際の磁気ヘッドオフトラック位置に対応する、衝撃が印加されていない状態で測定して記憶した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＮＯＩＭとの差から磁気ヘッドの浮上変化量を検出することが好ましい。
【００１４】
磁気ヘッドオフトラック位置を、検出したサーボ制御情報から算出することも好ましい。
【００１５】
印加される衝撃の値を加速度センサにより測定することが好ましい。
【００１６】
印加される衝撃の値を変えて磁気ヘッドの浮上変化量を検出することも好ましい。
【００１７】
本発明によれば、さらに、磁気ディスクドライブ装置における磁気ヘッド支持機構の耐衝撃特性を検出する装置であって、サーボ情報があらかじめ記録された磁気ディスク上に磁気ヘッド支持機構に支持された磁気ヘッドをロードした状態において、衝撃が印加されていない状態で磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＮＯＩＭと磁気ヘッドのオフトラック位置との関係を測定して記憶する第１の手段と、衝撃が印加された際の磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＩＭと磁気ヘッドのオフトラック位置とを測定する第２の手段と、第２の手段によって測定した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＩＭと、第２の手段によって測定した磁気ヘッドオフトラック位置に対応する、第１の手段によって測定して記憶した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＮＯＩＭとから磁気ヘッドの浮上変化量を検出する第３の手段とを備えた耐衝撃特性検出装置が提供される。
【００１８】
衝撃が印加されていない状態で、オフトラック位置に応じた磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＮＯＩＭをあらかじめ測定しておいて記憶しておき、実際に衝撃が印加された際のオフトラック位置（トラック中心からのズレ量）に基づく磁気ヘッド再生出力の変化分を知り、衝撃が印加された状態で実際に測定した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＩＭをその変化分で補償することにより、磁気ヘッドの浮上変化量に対応する再生出力分を求める。電気的な信号を利用して浮上変化量を検出しているので、印加される衝撃が大きい場合にも正確に浮上変化量を検出できる。トラック中心からのズレ量に基づく補償が行なわれているので、印加される衝撃の方向に関係なく正確に浮上変化量を検出することができる。さらに、磁気ヘッドの再生出力とオフトラック位置とから浮上変化量を検出できるので、簡易な装置構成で実施可能となる。
【００１９】
第３の手段が、第２の手段によって測定した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＩＭと、第２の手段によって測定した磁気ヘッドオフトラック位置に対応する、第１の手段によって測定して記憶した磁気ヘッド再生出力ＯＵＴＮＯＩＭとの差から磁気ヘッドの浮上変化量を検出する手段であることが好ましい。
【００２０】
第２の手段及び／又は第１の手段が、磁気ヘッドオフトラック位置を検出したサーボ制御情報から算出する手段であることも好ましい。
【００２１】
印加される衝撃の値を加速度センサにより測定する第４の手段をさらに備えたことも好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、電気的な信号を利用して浮上変化量を検出しているので、印加される衝撃が大きい場合にも正確に浮上変化量を検出できる。トラック中心からのズレ量に基づく補償が行なわれているので、印加される衝撃の方向に関係なく正確に浮上変化量を検出することができる。さらに、磁気ヘッドの再生出力とオフトラック位置とから浮上変化量を検出できるので、簡易な装置構成で実施可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は本発明の一実施形態として、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）装置の耐衝撃特性検出装置の構成を概略的に示す図であり、図２は図１の実施形態における一部構成を示す平面図である。
【００２４】
これらの図において、１０はその上に耐衝撃特性の試験を行なうＨＤＤ装置１１、信号増幅部を設けた基板１２及び加速度センサ１３が載置されているベース、１４は信号増幅部基板１２から入力されるサーボ信号及び磁気ヘッドの出力信号から磁気ヘッドの浮上変化量を算出する浮上変化量対応成分算出回路、１５はベース１０に取り付けた加速度センサ１３から入力される信号からＨＤＤ装置１１に印加される衝撃値を算出する衝撃値算出回路、１６はＨＤＤ装置の全般的な制御の他に、浮上変化量対応成分算出回路１４から得られる磁気ヘッドの浮上変化量に対応する出力信号と衝撃値算出回路１５からの衝撃値信号とから、印加される衝撃値に対する耐衝撃特性を最終的に求めるホストコンピュータをそれぞれ示している。
【００２５】
ＨＤＤ装置１１は、筐体１１ａ内に、磁気ディスク１１ｂ、磁気ディスク１１ｂを回転させる図示されていないモータ、後端部にボイスコイルモータ（ＶＣＭ）のコイル部１１ｃが取り付けられており、水平回動軸１１ｄに回動可能に取り付けられた支持アーム１１ｅ、支持アーム１１ｅの先端部に取り付けられたサスペンション１１ｆ、サスペンション１１ｆの先端部に取り付けられている図示されていない磁気ヘッドスライダ等を備えた一般的な構成のものである。
【００２６】
図３は本実施形態における浮上変化量対応成分算出回路が含まれる再生出力及びトラック位置検出回路の構成を示すブロック図である。
【００２７】
同図に示すフロントエンドコントロール（ＦＥＣ）ユニット３０は、ＨＤＤ装置１１の磁気ヘッドからの再生信号を増幅するプリアンプ部（ＰＡＭＰ）３０ａと、プリアンプ用のデジタルインタフェース部（ＤＩＦ）３０ｂとから主として構成されている。ＶＣＭドライブユニット（ＶＣＭ  Ｄｒｉｖｅ  Ｕｎｉｔ）３１は、再生信号からエンベロープを検出するエンベロープディテクタ部（ＥＭＤＴＣ）３１ａと、ＶＣＭドライブ部（ＶＣＭＤ）３１ｂと、ＦＥＣ用電源制御部（ＰＷＣＴＲ）３１ｃとから主として構成されている。解析ユニット（Ａｎａｌｙｚｅｒ  Ｕｎｉｔ）３２は、再生信号からサーボ情報を抽出し、ヘッド位置を検出する位置信号ディテクタ部（ＰＳＤ）３２ａと、エンベロープ信号等の信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換部（ＡＤ）３２ｂと、ＶＣＭ制御及びデータ処理部（ＤＳＰ）３２ｃと、制御電源部（ＰＯＷ）３２ｄとから主として構成されている。ホストコンピュータ（Ｈｏｓｔ  ＰＣ）１６は、これら各ユニットを制御して磁気ヘッドの浮上変化量対応成分を検出するように構成されている。
【００２８】
図４はホストコンピュータ１６によって実行される浮上変化量対応成分算出処理ルーチンを表すフローチャートである。
【００２９】
まず、図１のベース１０に、従ってＨＤＤ装置１１に、外部から衝撃を印加しない状態でオフトラック位置に対する再生出力の関係を求める（ステップＳ１）。具体的には、磁気ディスク１１ｂ上にあらかじめサーボ情報を記録しておき、サスペンション１１ｆ上に装着された磁気ヘッドを磁気ディスク１１ｂ上にロードしてサーボ制御状態とする。この場合、衝撃は全く印加せず、かつ磁気ヘッドスライダが定常浮上状態を維持するようにして、シーク動作をさせ（トラック中心からトラック幅方向に移動させ）、磁気ヘッドからの再生信号のエンベロープである再生出力ＯＵＴＮＯＩＭを測定すると共に、磁気ヘッドの出力からサーボ情報を抽出し、磁気ヘッドのオフトラック位置を算出する。このオフトラック位置は、実際には、図３に示したＶＣＭ制御及びデータ処理部３２ｃにおいて、サーボ位置情報が算出され、これがホストコンピュータ１６に出力される。
【００３０】
次いで、このオフトラック位置（トラック中心からのズレ量）毎の再生出力ＯＵＴＮＯＩＭをオフトラック−再生出力プロファイルとしてデータテーブルに格納する（ステップＳ２）。
【００３１】
図５及び表１は、このようにしてデータテーブルに格納されたオフトラック−再生出力プロファイルを示している。ただし、オフトラック位置はトラック中心からの距離（μｍ）、再生出力は電圧（ｍＶ）で表されている。磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＮＯＩＭは、ヘッド位置がトラック中心からずれると、そのズレ量に応じて急激に低下する。
【００３２】
【表１】
2006164380.tif 000003
【００３３】
次いで、ＨＤＤ装置１１に外部から衝撃を印加した際の磁気ヘッドのオフトラック位置と再生出力とを求める（ステップＳ３）。具体的には、あらかじめサーボ情報が記録されている磁気ディスク１１ｂ上に磁気ヘッドをロードしてサーボ制御状態とする。この状態で外部から衝撃を印加して（１５０μｓｅｃの時点で衝撃印加）、磁気ヘッドからの再生信号のエンベロープである再生出力ＯＵＴＩＭを測定すると共に、磁気ヘッドの出力からサーボ情報を抽出して磁気ヘッドのオフトラック位置を算出する。このオフトラック位置は、実際には、図３に示したＶＣＭ制御及びデータ処理部３２ｃにおいて、サーボ位置情報が算出され、これがホストコンピュータ１６に出力される。その結果、サンプリング毎の磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＩＭとその時の磁気ヘッドオフトラック位置との時系列データが得られ、これら時系列データが一旦メモリに格納される。
【００３４】
その後、この衝撃を印加した際の磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＩＭ及びその時のオフトラック位置の時系列データと、オフトラック位置データテーブルに格納されているオフトラック−再生出力プロファイルとから、真の浮上変化量に対応する再生出力成分を算出する（ステップＳ４）。具体的には、サンプリングされた磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＩＭと、その時の磁気ヘッドオフトラック位置とをメモリから読出し、そのオフトラック位置に対応する衝撃が印加されていない時の再生出力ＯＵＴＮＯＩＭをデータテーブルに格納されたオフトラック−再生出力プロファイル（表１）から読み出す。読み出された再生出力ＯＵＴＩＭ及び再生出力ＯＵＴＮＯＩＭの差を（ＯＵＴＩＭ−ＯＵＴＮＯＩＭ）から算出し、そのサンプリング時点での浮上変化量成分とする。
【００３５】
表２は再生出力ＯＵＴＩＭ及びその時のオフトラック位置の時系列データとこのように補償して求めた生成出力の浮上変化量対応成分を表しており、図６はこの浮上変化量対応成分、即ち浮上変化量に対応する磁気ヘッド再生出力を表している。ただし、時間はサンプリング開始時からの時間（μｓｅｃ）、オフトラック位置はトラック中心からの距離（μｍ）、再生出力及び再生出力の浮上変化量対応成分は電圧（ｍＶ）で表されている。
【００３６】
【表２】
2006164380.tif 000004
【００３７】
表２に示すように、衝撃が印加される１５０μｓｅｃの時点までは、本来、加速度が生じないために浮上量変化はないはずであるが、磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＩＭはゼロではない値を有している。そこで、磁気ヘッドのオフトラック位置に基づく補償を表１のオフトラック−再生出力プロファイルを用いて行なうことにより、図６に示すように、衝撃が印加される１５０μｓｅｃの時点から変化し始める再生出力の浮上変化量対応成分を得ることができるのである。
【００３８】
この点をより詳細に説明すると、一般に、磁気ヘッドの再生出力は、図７の（Ａ）の部分に示すように、サスペンション７０が下方に曲がって磁気ヘッド７１が磁気ディスク表面に近づくと増大する。逆に、図７の（Ｂ）の部分に示すように、サスペンション７０が上方に曲がって磁気ヘッド７１が磁気ディスク表面から遠ざかると減少する。また、磁気ヘッドの再生出力は、図８に示すように、磁気ヘッドのトラック中心からのズレ量（オフトラック位置）に応じて大きく変化する。このため、外部から衝撃が印加された際の磁気ヘッドの再生出力は、浮上量の変化による成分とオフトラック位置による成分とが合成された値となる。そこで、本実施形態のように、その時のオフトラック位置による成分を差し引くことによって、浮上変化量のみに対応する再生出力成分を得ることができるのである。
【００３９】
図９はこの様子を説明するための図であり、衝撃が印加された際の磁気ヘッドの再生出力ＯＵＴＩＭから再生出力のオフトラック位置による成分ＯＵＴＮＯＩＭを差し引くことにより、再生出力の浮上変化量対応成分（ＯＵＴＩＭ−ＯＵＴＮＯＩＭ）を得ることができるのである。
【００４０】
以上説明したように、本実施形態によれば、磁気ヘッドの再生出力及びオフトラック位置という電気的な信号を利用して浮上変化量を検出しているので、印加される衝撃が大きい場合にも正確に浮上変化量を検出できる。トラック中心からのズレ量に基づく補償が行なわれているので、印加される衝撃の方向に関係なくいかなる方向から衝撃が印加されても、正確に浮上変化量を検出することができる。さらに、磁気ヘッドの再生出力とサーボ情報とから浮上変化量を検出できるので、簡易な装置構成で実施可能となる。
【００４１】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施形態として、ＨＤＤ装置の耐衝撃特性検出装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】図１の実施形態における一部構成を示す平面図である。
【図３】図１の実施形態における浮上変化量対応成分算出回路が含まれる再生出力及びトラック位置検出回路の構成を示すブロック図である。
【図４】ホストコンピュータによって実行される浮上変化量算出処理ルーチンを表すフローチャートである。
【図５】データテーブルに格納されたオフトラック−再生出力プロファイルを示す図である。
【図６】浮上変化量に対応する磁気ヘッド再生出力を表す図である。
【図７】磁気ヘッドの再生出力が磁気ヘッドと磁気ディスク表面との距離によって変化する様子を説明する図である。
【図８】磁気ヘッドの再生出力がオフトラック位置によって変化する様子を説明する図である。
【図９】衝撃が印加された際の磁気ヘッドの再生出力と再生出力のオフトラック位置による成分とから再生出力の浮上変化量対応成分を求めることを説明する図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  ベース
１１  ＨＤＤ装置
１１ａ  筐体
１１ｂ  磁気ディスク
１１ｃ  ＶＣＭのコイル部
１１ｄ  水平回動軸
１１ｅ  支持アーム
１１ｆ、７０  サスペンション
１２  信号増幅部基板
１３  加速度センサ
１４  浮上変化量対応成分算出回路
１５  衝撃値算出回路
１６  ホストコンピュータ
３０  フロントエンドコントロールユニット
３０ａ  プリアンプ部
３０ｂ  デジタルインタフェース部
３１  ＶＣＭドライブユニット
３１ａ  エンベロープディテクタ部
３１ｂ  ＶＣＭドライブ部
３１ｃ  ＦＥＣ用電源制御部
３２  解析ユニット
３２ａ  位置信号ディテクタ部
３２ｂ  Ａ／Ｄ変換部
３２ｃ  ＶＣＭ制御及びデータ処理部
３２ｄ  制御電源部
７１  磁気ヘッド
【図１】
2006164380.tif 000005
【図２】
2006164380.tif 000006
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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