(57)【要約】【課題】  吐出ヘッドのノズルプレートの剥離が生じているか否かを検出することにより、液滴の吐出性能の低下を発見し、もしくは未然に防止することができるようにした液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】液滴をワークＷに吐出するための液滴吐出装置であって、液体を貯留する液体貯留部３００と、前記液体貯留部から前記液体が供給されて前記液滴を吐出する吐出ヘッド１１とを有し、前記吐出ヘッドには、ノズル孔を形成したノズルプレート６４が配置されており、さらに、前記ノズルプレートが前記吐出ヘッドから剥離したことを検出するための剥離検出手段８０を備える。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置であって、
液体を貯留する液体貯留部と、
前記液体貯留部から前記液体が供給されて前記液滴を吐出する吐出ヘッドと
を有し、
前記吐出ヘッドには、ノズル孔を形成したノズルプレートが配置されており、
さらに、前記ノズルプレートが前記吐出ヘッドから剥離したことを検出するための剥離検出手段を備える
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記剥離検出手段が、前記吐出ヘッドの駆動による液滴吐出累積時間に対応して、前記ノズルプレートの剥離を検出する構成としたことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記剥離検出手段が、少なくとも所定の前記液滴吐出累積時間経過後に、前記吐出ヘッドからの液滴吐出結果を撮像手段で撮像し、その撮像結果に基づいて、前記ノズルプレートの剥離の有無を判断する剥離判断部を備えることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記剥離検出手段が、前記吐出ヘッドを駆動して液滴を吐出した時間を累積する計時手段と、前記吐出ヘッドの前記ノズルプレートを有するヘッドを交換したことによる検出履歴を記録する検出履歴記録部とを備えることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記剥離検出手段が、前記計時手段が所定の吐出時間の累積を計時することに基づいて、前記検出履歴の有無を判断し、前記検出履歴がある場合には、さらに吐出時間を追加して継続するための追加計時手段を備えることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
液滴吐出装置の吐出ヘッドに設けられたノズルプレートの剥離を検出するための検出方法であって、
前記吐出ヘッドを駆動して前記液滴を吐出した時間を累積し、
液滴吐出作業の切れ目において、前記液滴吐出の累積時間が予め決められた時間を超えたか否かを判断して、前記ノズルプレートの剥離検出モードを実行し、
前記ノズルプレートの剥離があると判断した場合において、前記ノズルプレートを有するヘッドの全部または一部を交換する必要を知らせる
ことを特徴とするノズルプレートの剥離検出方法。
【請求項７】
前記ノズルプレートを有するヘッドの交換履歴を記録しておき、次回の剥離検出においては、前記累積時間として予め決められた時間に対して、所定時間を追加して前記剥離検出モードを実行することを特徴とする請求項６に記載のノズルプレートの剥離検出方法。
【請求項８】
吐出ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて電気光学装置の製造をする電気光学装置の製造方法であって、
前記吐出ヘッドを駆動して前記液滴を吐出した時間を累積し、
液滴吐出作業の切れ目において、前記液滴吐出の累積時間が予め決められた時間を超えたか否かを判断して、前記ノズルプレートの剥離検出モードを実行し、
前記ノズルプレートの剥離があると判断した場合において、前記ノズルプレートを有するヘッドの全部または一部を交換する必要を知らせる工程を含む
ことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
吐出ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置であって、
液体を貯留する液体貯留部と、
前記液体貯留部から前記液体が供給されて前記液滴を吐出する吐出ヘッドと
を有し、
前記吐出ヘッドには、ノズル孔を形成したノズルプレートが配置されており、
さらに、前記ノズルプレートが前記吐出ヘッドから剥離したことを検出するための剥離検出手段を備える液滴吐出装置を用いて製造される
ことを特徴とする電気光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置、ノズルプレートの剥離検出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、インクなどの液滴を制御して吐出する液滴吐出装置は、しばしば描画システムとして用いられる。この描画システムはインクジェット式で液滴をワークに対して吐出するようになっている。そして、この描画システムはたとえばフラットパネルディスプレイのような電気光学素子の製造に用いられることがある。
インクジェット式で液滴を吐出する液滴吐出装置は、液滴を吐出するためのヘッドを有している（たとえば特許文献１）。このヘッドは、多数のノズルを有しており、このノズルを構成するためのノズルプレートがノズルユニットもしくはノズルホルダーに配置されている。
【特許文献１】特開２００３−２７０４２６号公報（第１０頁、図１１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この種の液滴吐出装置では、上記ノズルプレートは、ノズルホルダーなどに対して、例えば接着剤を用いて固定されている。
そして、液滴吐出装置を使用し続けると、液体として所定のインクを用いた場合においては、化学反応により接着剤が侵され、ノズルプレートが部分的に剥離する場合がある。あるいは、吐出ヘッドを構成するノズル周辺部材が互いに熱膨張係数を異にしていると、これに起因して、使用環境温度の変化により、ノズルプレートが剥離する場合がある。
このため、ノズルプレートの剥離を原因として、液滴の吐出性能に悪影響を生じる場合があった。
【０００４】
そこで、本発明は上記課題を解消し、吐出ヘッドのノズルプレートの剥離が生じているか否かを検出することにより、液滴の吐出性能の低下を発見し、もしくは未然に防止することができるようにした液滴吐出装置、ノズルプレートの剥離検出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的は、第１の発明にあっては、液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置であって、液体を貯留する液体貯留部と、前記液体貯留部から前記液体が供給されて前記液滴を吐出する吐出ヘッドとを有し、前記吐出ヘッドには、ノズル孔を形成したノズルプレートが配置されており、さらに、前記ノズルプレートが前記吐出ヘッドから剥離したことを検出するための剥離検出手段を備える液滴吐出装置により、達成される。
第１の発明の構成によれば、ノズルプレートが吐出ノズルから剥離したことを検出する剥離検出手段を有しているので、ノズルプレートの剥離に気づかずに、装置を使用し続けることにより、ワークに対する加工品質が低下した状態で作業を継続する危険を防止することができる。しかも、ワークに対する加工品質が低下したことに気づいた場合にあっても、適切な案内がなければ、品質低下の原因を究明する上で多くの手数と労力を必要とするが、ノズルプレート剥離を知ることができれば、これを原因とするワーク加工品質の低下に適切に対処することができる。
かくして、本発明によれば、吐出ヘッドのノズルプレートの剥離が生じているか否かを検出することにより、液滴の吐出性能の低下を発見し、もしくは未然に防止することができるようにした液滴吐出装置を提供することができる。
【０００６】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記剥離検出手段が、前記吐出ヘッドの駆動による液滴吐出累積時間に対応して、前記ノズルプレートの剥離を検出する構成としたことを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、ノズルプレートの剥離は、装置の使用により液滴を吐出する時間がある程度累積してから発生することに鑑みて、無駄な検出による非効率な運転を避け、ノズルプレート剥離の可能性が生じている時にこれを行うことができるものである。
【０００７】
第３の発明は、第１または第２の発明のいずれかの構成において、前記剥離検出手段が、少なくとも所定の前記液滴吐出累積時間経過後に、前記吐出ヘッドからの液滴吐出結果を撮像手段で撮像し、その撮像結果に基づいて、前記ノズルプレートの剥離の有無を判断する剥離判断部を備えることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、吐出累積時間の経過だけでなく、撮像手段による撮像結果を確認して、実際にノズルプレート剥離と判断できるか否かを判断することにより、判断の精度が向上する。
【０００８】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記剥離検出手段が、前記吐出ヘッドを駆動して液滴を吐出した時間を累積する計時手段と、前記吐出ヘッドの前記ノズルプレートを有するヘッドを交換したことによる検出履歴を記録する検出履歴記録部とを備えることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、吐出累積時間だけでなく、検出履歴の記録部を備えることで、ノズルプレート剥離を予見する精度をさらに向上させることができる。
【０００９】
第５の発明は、第４の発明の構成において、前記剥離検出手段が、前記計時手段が所定の吐出時間の累積を計時することに基づいて、前記検出履歴の有無を判断し、前記検出履歴がある場合には、さらに吐出時間を追加して継続するための追加計時手段を備えることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、吐出した時間を累積する計時手段に基づいて、ヘッドの使用時間の点でノズルプレートの剥離の可能性がある場合でも、検出履歴がある場合には、さらにヘッドの使用を続けることで、無駄な剥離検出による不必要な作業の中断をなくし、さらに効率のよい装置を得ることができる。
【００１０】
また、上記目的は、第６の発明にあっては、液滴吐出装置の吐出ヘッドに設けられたノズルプレートの剥離を検出するための検出方法であって、前記吐出ヘッドを駆動して前記液滴を吐出した時間を累積し、液滴吐出作業の切れ目において、前記液滴吐出の累積時間が予め決められた時間を超えたか否かを判断して、前記ノズルプレートの剥離検出モードを実行し、前記ノズルプレートの剥離があると判断した場合において、前記ノズルプレートを有するヘッドの全部または一部を交換する必要を知らせるノズルプレートの剥離検出方法により、達成される。
第６の発明の構成によれば、ノズルプレートが吐出ノズルから剥離したことを検出する方法を実行することで、ノズルプレートの剥離に気づかずに、装置を使用し続けることにより、ワークに対する加工品質が低下した状態で作業を継続する危険を防止することができる。
特に、液滴吐出作業の切れ目において、必要とされる剥離検出を行うようにしたから、ノズルプレート剥離を生じる前に適切に対策することができる。
【００１１】
第７の発明は、第６の発明の構成において、前記ノズルプレートの交換履歴を記録しておき、次回の剥離検出においては、前記累積時間として予め決められた時間に対して、所定時間を追加して前記剥離検出モードを実行することを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、ノズルプレートの交換をした後の加工作業において、剥離が発生する可能性は、未だノズルプレートを有するヘッドの交換を行っていない段階において剥離が起こる可能性よりも低いことから、その交換後の経時劣化分を追加して、剥離検出モードを行うことにより、作業効率が向上する。
【００１２】
また、上記目的は、第８の発明にあっては、吐出ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて電気光学装置の製造をする電気光学装置の製造方法であって、前記吐出ヘッドを駆動して前記液滴を吐出した時間を累積し、液滴吐出作業の切れ目において、前記液滴吐出の累積時間が予め決められた時間を超えたか否かを判断して、前記ノズルプレートの剥離検出モードを実行し、前記ノズルプレートの剥離があると判断した場合において、前記ノズルプレートを有するヘッドの全部または一部を交換する必要を知らせる工程を含む電気光学装置の製造方法により、達成される。
第８の発明の構成によれば、液滴吐出装置を用いて電気光学装置を製造する場合に、ノズルプレートが吐出ノズルから剥離したことを検出する方法を実行することで、ノズルプレートの剥離に気づかずに、装置を使用し続けることにより、ワークに対する加工品質が低下した状態で作業を継続する危険を防止することができる。
特に、液滴吐出作業の切れ目において、必要とされる剥離検出を行うようにしたから、ノズルプレート剥離を生じる前に適切に対策することができる。
したがって、この発明の電気光学装置の製造方法では、より製造品質の高い電気光学装置を製造することができる。
【００１３】
さらに、上記目的は、第９の発明にあっては、吐出ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置であって、液体を貯留する液体貯留部と、  前記液体貯留部から前記液体が供給されて前記液滴を吐出する吐出ヘッドとを有し、前記吐出ヘッドには、ノズル孔を形成したノズルプレートが配置されており、さらに、前記ノズルプレートが前記吐出ヘッドから剥離したことを検出するための剥離検出手段を備える液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置により、達成される。
第９の発明の構成によれば、吐出ヘッドのノズルプレートの剥離が生じているか否かを検出することにより、液滴の吐出性能の低下を発見し、もしくは未然に防止することができるようにした液滴吐出装置を用いて、製造される電気工学装置であるから、より品質が優れた装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す概略構成図である。図１に示す液滴吐出装置１０は、描画システムとして用いることができる。この描画システムは、一例としていわゆるフラットパネルディスプレイの一種であるたとえば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置の製造ラインに組み込まれるものである。
【００１５】
この液滴吐出装置１０は、後述するように、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成することができ、特に、液滴吐出装置１０は、この場合に、たとえばインクジェット式描画装置として用いることができる。つまり、この実施形態の液滴吐出装置１０は、例えば、有機ＥＬ装置の発光素子を液滴吐出法（インクジェット法）で形成するためのものである。
【００１６】
図１の液滴吐出装置１０はチャンバ１２の中に収容されている。チャンバ１２は別のチャンバ１３を有している。このチャンバ１３の中には、ワーク搬出入テーブル１４を収容している。ワーク搬出入テーブル１４は、ワークＷをチャンバ１２内へ搬入したりあるいは処理後のワークＷをチャンバ１２内のテーブル３０の上から搬出するためのテーブルである。
【００１７】
図１に示すチャンバ１２の中には、ヘッド１１のメンテナンスを行うメンテナンス部１５を収容している。またチャンバ１２の外側には、回収部１６を備えている。
メンテナンス部１５は、吸引ユニット４００、清掃ユニット（ワイピングユニット）６００、フラッシングユニット（図示せず）、吐出検査ユニット（図示せず）あるいは重量測定ユニット（図示せず）等を有している。
フラッシングユニットは、ヘッド１１から予備的に吐出された液滴を受けるためのものである。吸引ユニット４００は、ヘッド１１のノズル面のノズルから液体や気泡を吸引するためのものである。
清掃ユニットは以下ではワイピングユニットと言うが、このワイピングユニット６００は、ノズル面に付着する液体などの汚れを清掃部材（ワイピング部材）により払拭するためのものである。吐出検査ユニットは、ヘッド１１から吐出される液滴の吐出状態を検査する。重量測定ユニットは、ヘッド１１から吐出される液滴の重量を測定する。
回収部１６は、たとえば液滴を回収する液滴回収系とワイピングの後に用いる洗浄用の溶剤を供給する洗浄液供給系を有している。
【００１８】
チャンバ１２とチャンバ１３は、個別にエアー管理されており、チャンバ１２とチャンバ１３の中の雰囲気に変動が生じないようになっている。このようにチャンバ１２とチャンバ１３を用いるのは、たとえば有機ＥＬ素子を製造する場合には大気中の水分等を嫌うために大気の影響を排除できるようにするためである。チャンバ１２とチャンバ１３の中にはドライエアーを連続的に導入して排気することで、ドライエアー雰囲気を維持する。
【００１９】
次に、図１に示すチャンバ１２内の構成について説明する。
チャンバ１２の中には、フレーム２０、ヘッド１１、キャリッジ１９、液体貯留部３００、第１操作部２１、第２操作部２２、テーブル３０、ガイド基台１７を収容している。
図１のフレーム２０はＸ軸方向に沿って水平に設けられている。ガイド基台１７はＹ軸方向に沿って設けられている。フレーム２０はガイド基台１７の上方にある。Ｘ軸は第１移動軸に相当し、Ｙ軸は第２移動軸に相当する。Ｘ軸とＹ軸は直交しており、Ｚ軸に対しても直交している。Ｚ軸は、図１において紙面垂直方向である。
【００２０】
第１操作部２１は、フレーム２０に沿ってキャリッジ１９とヘッド１１を、Ｘ軸方向に沿って直線往復移動および位置決めするためのものである。
第２操作部２２は、テーブル３０を有している。このテーブル３０は、図１に示すようなワークＷを着脱可能に搭載することもできる。この第２操作部２２のテーブル３０は、ヘッド１１からワークＷに対して液滴を与える際に、ワークＷを保持する。そして第２操作部２２は、ワークＷをＹ軸方向に沿ってガイド基台１７上を直線移動して位置決めすることができる。
【００２１】
第１操作部２１は、キャリッジ１９とヘッド１１をＸ軸方向に直線移動して位置決めするためのモータ２１Ａを有している。このモータ２１Ａは、たとえば送りねじを用いることにより、キャリッジ１９とこのヘッド１１をＸ軸方向に直線移動することができる。モータ２１Ａは、この回転型の電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。
【００２２】
第２操作部２２のモータ２２Ａは、テーブル３０をガイド基台１７に沿ってＹ軸方向に直線移動して位置決め可能である。モータ２２Ａはたとえば送りねじを回転する回転型の電動モータを用いることができる。モータ２２Ａとしては回転型のモータの他にリニアモータを用いることも可能である。
【００２３】
第２操作部２２のテーブル３０は、搭載面３０Ａを有している。この搭載面３０Ａは、図１のＺ軸方向に垂直な面である。搭載面３０Ａは、吸着部３０Ｂを有している。この吸着部３０Ｂは、ワークＷを真空吸着により吸着することができるものである。これにより、ワークＷは、搭載面３０Ａに対してずれることなく確実に着脱可能に固定することができる。
【００２４】
次に、図２と図３を参照して、キャリッジ１９とヘッド１１の構造例について説明する。
図２はキャリッジ１９とヘッド１１の周りの形状例を示す斜視図であり、図３は、図２の正面から見た図の例である。
キャリッジ１９は、図１に示すモータ２１ＡによりＸ軸方向に移動して位置決め可能である。キャリッジ１９はヘッドホルダ６１を用いてヘッド１１を着脱可能に保持している。
【００２５】
図３に示すように、制御部２００の指令によりモータ６２が作動すると、ヘッドホルダ６１とヘッド１１のユニットがＺ軸方向に沿って上下動して位置決め可能である。そして、制御部２００の指令により、もう１つのモータ６３が作動することにより、ヘッド１１は、Ｕ軸を中心としてθ方向に回転可能になっている。
【００２６】
図２と図３に示すように、ヘッド１１はノズルプレート６４を有している。ノズルプレート６４の下面はノズル面７０である。このノズル面７０は、複数のノズルのノズル開口１２１ないし１２６を有している。ヘッド１１は、液体貯留部３００に接続されている。この液体貯留部３００は、ワークＷに吐出するための液体を貯留するものであり、液体貯留部３００は機能液貯蔵部ともいう。液体貯留部３００内の液体は、ノズル開口１２１ないし１２６からたとえば図４（Ａ）に示す圧電振動子７１の作動によりインクジェット式で吐出させることができるのである。
【００２７】
図４（Ａ）は、ヘッド１１内に配置されている複数の圧電振動子７１の例を示している。この圧電振動子７１は、図２に示すヘッド１１の各ノズルに対応して１つずつ配列されている。図４（Ａ）の制御部２００は、駆動部２０１に信号を与えることにより、駆動部２０１は、複数の圧電振動子７１の中の任意の圧電振動子を動作させることで、動作された圧電振動子７１に対応するノズルの図２に示すノズル開口（ノズル孔）１２１ないし１２６からはインクジェット式で液滴を吐出させることができるようになっている。
【００２８】
次に、液体貯留部３００について、図５と図６および図４（Ｂ）を参照して説明する。
液体貯留部３００は、たとえば図４（Ｂ）に示すように複数の液体パック１１１ないし１１６と、これらの液体パックを収容している収容体３０１を有している。液体パック１１１ないし１１６は、この例では６つ示しているが、液体パックの数は特に限定されず１つあるいは２つ以上ないし５つ、あるいは７つ以上であっても勿論構わない。
各液体パック１１１ないし１１６は、可撓性を有する材料により作られていて、各液体パックには同じ種類もしくは異なる種類の液体が収容されている。収容体３０１内は、外部から圧縮空気を入れることにより、液体パック１１１ないし１１６を加圧して、各液体パック１１１ないし１１６から液体を別々に吐出させることができるようになっている。
【００２９】
ヘッド１１は、複数のノズルを有しており、これら複数のノズルは、図２に示すように、それぞれノズル開口１２１ないし１２６を有している。各ノズルは、たとえば図５の紙面垂直方向に沿って数１０個若しくは数１０００個配列されていて、ノズル列を形成している。
図５は、ヘッド１１に関して、上記ノズル開口ひとつに対応した基本構成を示す構造図である。図において、収容体３０１からインク針部品を通って、ケースヘッド７３に導かれた液体としての例えばインクは、導入口７４からリザーバ７５に一端貯留されるようになっている。リザーバ７５は供給口７６で連絡されてキャビティ７７と隣接されており、キャビティ７７、リザーバ７５は、プレート接着部７９により固定された金属製のノズルプレート６４により塞がれている。また、圧電振動子７１と固定された振動板７８は、接着部７８ａなどを介して、キャビティ７７の図において上側を覆うフィルムなどに固定されている。
ここで、ノズルプレート６４を固定するためのプレート接着部７９は、エポキシ系などの接着剤を硬化させた部分であるが、液滴吐出装置が繰り返し液滴の吐出を行うことで、液体、すなわち、この場合インクに長時間さらされることにより、化学反応により剥離する可能性がある。
この実施形態では、このノズルプレート６４の剥離状態を検出することに特徴がある。
【００３０】
図６は、ノズルプレート６４の剥離状態を検出するための剥離検出装置８０の概略構成を示す構成図である。
図示されているように、制御部２００には、ヘッド駆動部２０１の他、図１で説明した第１操作部（モータ２１Ａ）２１、第２操作部（モータ２２Ａ）２２、吸着部３０Ｂ、が接続されている。さらに、制御部２００には、報知手段８５、第１のタイマ８１、第２のタイマ８２、撮像手段２５、剥離判断部８３、検出履歴記録部８４などが接続されている。
【００３１】
第１のタイマ８１は、後述するように液滴吐出装置のヘッドを駆動して、液滴を吐出した時間を累積する計時手段である。第２のタイマ８２は、第１のタイマ８１が累積した時間が予め決めた時間を超えた場合に、検出履歴を確認して、ノズルプレートの交換の有無を調べ、交換されている場合に、さらに所定時間が経過することを計時する追加計時手段である。
撮像手段２５は、例えば、図２もしくは図３に示されているように、ヘッドとともに移動するキャリッジ１９や、ヘッドホルダ６１に配置されて、ワークＷの被加工面を撮影することができるＣＣＤや撮像管で形成されており、液滴がヘッドからワークＷの加工面に吐出された被加工状態を撮像するものである。
【００３２】
剥離判断部８３は、撮像手段２５の撮像結果に基づいて、液滴の吐出加工におけるワークＷの加工された被加工面の画像を解析し、例えば、これを２値化して、予め取得しているノズルプレートに剥離がない状態の画像と、剥離判断しようとする際に取得した画像とを対比してその面積比などに基づいて、所定の閾値による判定を行い、ノズルプレートが剥離状態にあるか否かを判断する手段である。
【００３３】
検出履歴記録部８４は、液滴吐出装置の制御部２００などのもつ、あるいはこれに付属するメモリなどの記憶手段を用いて、後述するノズルプレートの剥離検出モードを実行した場合にこれを履歴として記録保持する機能を有する。
上記第１のタイマ８１、第２のタイマ８２、剥離判断部８３、検出履歴記録部８４は、例えば、液滴吐出装置に内蔵もしくは接続されたコンピュータや制御基板において、実現することができる。
【００３４】
報知手段８５は、制御部２００にもしくは剥離判断部８３に直結されたブザーなどの鳴動手段もしくは、発光手段、あるいは、液滴吐出装置に設けたモニターなどの表示手段により実現される。
【００３５】
図７および図８は、図１の液滴吐出装置１０のノズルプレートの剥離検出方法の好適な実施形態を示すフローチャートである。
図７において、図１の液滴吐出装置１０の駆動を開始すると（ＳＴ１０）、次に、制御部２００に対して、所定の入力手段から、剥離検出に関する条件を設定する（ＳＴ１１）。
【００３６】
一例を挙げると、第１のタイマ８１については、ヘッドからの液滴の吐出時間の累積ＴM１を計時するようにする。第２のタイマ８２については、液滴吐出時間の累積であるＴＭ１が、例えば１５０時間を超えたら、制御部２００の指示によりカウントを開始するように、第１のタイマ２１の計時を監視し、さらに第２のタイマ８２が行う追加計時時間を、例えば、１０時間として、１０時間を超えたらリセットして、ＴＭ１＝０（ゼロ）から再開するように設定する。
【００３７】
次いで、図７においては、第１のタイマ８１と、第２のタイマ８２の駆動を開始し（ＳＴ１２，ＳＴ１３）、図３で説明したように、液滴を吐出させて、加工を始める（ＳＴ１４）。
ワークＷ単位、例えば、一枚の基板の加工が終了したら（ＳＴ１５）、制御部２００は第１のタイマ８１の計時する吐出累積時間ＴＭ１が１５０時間を超えたか否かを判断する。超えている場合には、ＳＴ１７に進み、超えない間は吐出を継続する。
ＳＴ１７では、制御部２００が、検出履歴記録部８４を参照して、ＴＨの有無、および回数を確認する（ＳＴ１７）。ＴＨは、剥離検出モードの実行履歴であり、剥離検出モードは、以下に説明するように、図５で示したノズルプレート６４の剥離が生じているか否かを検出するモードである。
【００３８】
ＴＨが０すなわち、検出履歴がなければ、図８のＳＴ１９に進み、検出履歴がある場合には、第２のタイマ８２の追加で計時した計時時間ＴＭ２が所定時間、この場合、例えば１０時間を超えているかどうか判断する（ＳＴ１８）。
ＴＭ２が１０時間を超えていなければ、ＳＴ１４に戻り、ヘッドからの液滴吐出を継続して、次のワークＷの加工をそのまま続ける。
ＴＭ２が１０時間を超えている場合には、図８のＳＴ１９に進んで、剥離検出モードを開始する（ＳＴ１９）。
【００３９】
すなわち、剥離判断部８３は、撮像手段２５の撮像結果に基づいて、先に説明した手法により、加工の終わったワークＷの被加工面に関して、異常がないかどうかを判定し、予め定めた基準を超えるものでなければ、ＳＴ２２に進む。
もし、撮像結果が予めさだめた基準を超える異常を伴うものであった場合には、制御部２００に通知し、制御部２００は、報知手段８５により使用者もしくは管理者にその旨知らせる。具体的には、液滴吐出装置１０の表示手段を介して、ヘッド交換の有無や、好ましくは、画像解析に基づいて特定した交換すべきヘッドの位置などを表示する。また、あるいは、単にブザーを鳴動させたり、警告ランプ、ＬＥＤの点灯、もしくはこれらの複合した警告を行う。
【００４０】
これに基づいて、ユーザーまたは管理者は、ヘッド全体もしくは分割可能な場合などにおいては、ヘッドの部分的な変更を行う（ＳＴ２１）。
次いで、検出履歴ＴＨとして、１（１回）を検出履歴記録部８４に格納し、第１のタイマ８１と、第２のタイマ８２をリセットし（ＳＴ２２）、液滴吐出装置１０の駆動が切られたか否かを確認する（ＳＴ２３）。
駆動が切られたのでなければ、ＳＴ１２に戻って、上記ステップを繰り返し、駆動が切られていたら、その時点での検出履歴と、各計測時間を記録して（ＳＴ２４）、液滴吐出装置１０の運転を終了する。
【００４１】
以上説明したように、この液滴吐出装置１０では、ノズルプレートが吐出ノズルから剥離したことを検出する方法を実行することで、ノズルプレートの剥離に気づかずに、装置を使用し続けることにより、ワークＷに対する加工品質が低下した状態で作業を継続する危険を防止することができる。
特に、液滴吐出作業の切れ目（ＳＴ１５の時点）において、必要とされる剥離検出を行うようにしたから、ノズルプレート剥離を生じる前に適切に対策することができる。
また、ノズルプレートを有するヘッドの交換をした後の加工作業において、剥離が発生する可能性は、未だノズルプレートを有するヘッドの交換を行っていない段階において剥離が起こる可能性よりも低いことから、その交換後の経時劣化分をＴＭ２として追加して、剥離検出モードを行うことにより、作業効率が向上する。
【００４２】
ここで、本発明の液滴吐出装置の実施形態は、電気光学装置（デバイス）を製造する際において、各種膜などを基板に対して積層、成膜するのに用いることができる。この電気光学装置（デバイス）としては液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する各種装置が考えられる。
【００４３】
図９は、本発明の液滴吐出装置を描画装置として用いて、フラットパネルディスプレイの一種類である有機ＥＬ装置の製造に用いる場合の有機ＥＬ装置の構造例を示している。有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７７１から構成された有機ＥＬ素子７０２に対して、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。
【００４４】
有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。
【００４５】
有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。
【００４６】
また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程とが含まれている。
有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。
ここで、液滴吐出装置１０は、たとえばインクジェット式描画装置として用いることができ、上述した有機ＥＬ装置の発光素子を液滴吐出法（インクジェット法）で形成することができる。
すなわち、液滴吐出装置１０のヘッド（機能液滴吐出ヘッドとも言う）は、有機ＥＬ素子７０２の発光素子７５１を形成できる。具体的には、上述した有機ＥＬ素子７５１の製造工程において、バンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経て、バンク部が形成された基板に対して、発光機能材料を導入したヘッドを相対的に走査することにより、液滴吐出装置１０は、基板の画素電極の位置に対応して正孔注入／輸送層および発光層の成膜部を形成することができる。
液滴吐出装置１０はたとえば２台用意することにより、１台目の液滴吐出装置１０が正孔注入／輸送層を形成し、もう１台の液滴吐出装置１０はＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色の発光層を形成することができる。
【００４７】
次に、本発明の実施形態の液滴吐出装置１０を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。
図１０は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。
【００４８】
カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えている。着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。
【００４９】
液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。
【００５０】
対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。
【００５１】
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、上記カラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【００５２】
本発明の電子機器は、上記電気光学装置を搭載している。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００５３】
図１１は、電子機器の一例である携帯電話１０００の形状例を示している。携帯電話１０００は、本体部１００１と表示部１００２を有している。表示部１００２は、上述したような電気光学装置であるたとえば有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を用いている。
【００５４】
図１２は、電子機器の他の例であるコンピュータ１１００を示している。コンピュータ１１００は本体部１１０１と表示部１１０２を有している。表示部１１０２は、上述したような電気光学装置の一例である有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を使用することができる。
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、ワークの一例である印刷対象に対して、白黒もしくはカラー印刷（印字）することにも使用できる。この場合には、液体貯留部は、インクカートリッジであり、このインクカートリッジは、１種類もしくは複数種類のインク（たとえばブラック、イエロー、マゼンダ、シアン、ライトシアン、ライトマゼンダ等）を別々に貯留しておく。各インクは液体の一例である。
【００５５】
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。さらに、上述の各実施形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す概略構成図。
【図２】図１の液滴吐出装置のキャリッジ、ヘッド等を示す斜視図。
【図３】図２のキャリッジおよびヘッド等を示す図２における正面方向から見た図。
【図４】ヘッドの圧電振動子の例と液体貯留部の構造例を示す図。
【図５】ヘッドの一部を拡大して示す構成図。
【図６】図１の液滴吐出装置のノズルプレートの剥離検出装置の構成例を示す図。
【図７】図１の液滴吐出装置のノズルプレート剥離検出方法の実施形態を示すフローチャート。
【図８】図１の液滴吐出装置のノズルプレート剥離検出方法の実施形態を示すフローチャート。
【図９】本発明の液滴吐出装置により製造される有機ＥＬ装置の形状例を示す断面図。
【図１０】本発明の液滴吐出装置により製造される液晶表示装置の構造例を示す断面図。
【図１１】本発明の実施形態により製造された表示装置を備える電子機器の一例である携帯電話を示す斜視図。
【図１２】電子機器の別の例であるコンピュータを示す斜視図。
【符号の説明】
【００５７】
１０・・・液滴吐出装置、１１・・・ヘッド、２５・・・撮像手段、６４・・・ノズルプレート、８０・・・剥離検出装置、８１・・・第１のタイマ、８２・・・第２のタイマ、８３・・・剥離判断部、８４・・・検出履歴記録部、１２１ないし１２６・・・ノズル開口、３００・・・液体貯留部、４００・・・吸引ユニット、６００・・・清掃ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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