(57)【要約】【課題】  基板検査装置のベースを分割可能に構造にした場合に、組立時に位置精度を確保しつつ、容易に組み立てられるようにすることである。【解決手段】  基板検査装置の検査用ベース３は、第１ベース部１５と、第２ベース部１６とからなる。第２ベース部１６は、２つの当接部４６，４７が設けられ、これら当接部４６，４７を挟むように固定部材５６，５７と、当接部４６，４７に挟まれるように固定部材５２，５３が設けられている。第１ベース部１５には、これに対応する位置に、それぞれ当接部と、ボルト穴とが設けられている。【選択図】    図２
2006242679.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を浮上させる浮上ステージと、前記基板を前記浮上ステージ上で搬送する搬送部と、前記浮上ステージに沿って搬送される前記基板を観察する撮像部とをベースに支持させて固定した基板検査装置において、
前記ベースは、前記搬送部を保持し、前記基板の搬送方向に沿って延びる第１ベース部と、第１ベース部に対して水平方向及び、垂直方向に位置決めして固定可能で、浮上ステージを保持する第２ベース部とを備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を浮上させる浮上ステージと、前記基板を前記浮上ステージ上で搬送する搬送部と、前記浮上ステージに沿って搬送される前記基板を観察する撮像部とをベースに支持させて固定した基板検査装置の組み立て方法であって、
第１ベース部に対して水平方向及び、垂直方向に位置決めして第２ベース部を固定して前記ベースを形成した後に、前記第１ベース部に前記搬送部を固定し、前記第２ベース部に前記浮上ステージを固定し、前記第１ベース部と前記第２ベース部とにまたがるように前記撮像部を固定することを特徴とする基板検査装置の組み立て方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の検査を行う基板検査装置及び基板検査装置の組み立て方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォト・リソグラフィ・プロセスラインで製造されるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用の大型基板を対象にした基板検査装置としては、浮上ステージ上に基板をエアー浮上させた状態で、基板を搬送軸方向に搬送し、浮上ステージの上方に設けられた顕微鏡で観察するものが知られている。この種の基板検査装置では、強固な検査用ベースの上に、浮上した基板の端部を保持して搬送方向に強制的に搬送する基板搬送機構と、浮上ステージと、顕微鏡を搬送方向と直交する方向に移動可能に設けた門型フレームとが載置されている。検査用ベースは、石、鋳物などからなり、一体化された構造になっている。
ところで、近年ではＦＰＤ用の基板（マザーガラス）が２ｍを超えるほどに大型化しているので、これに対応して基板検査装置も大型化が進んでいる。基板幅が、２ｍのサイズの場合、この基板を跨いで設けられる門型フレームの取り付けスペースを加えると、検査用ベースの幅は、３ｍ程度になってしまう。ＦＰＤ用の基板は、さらに大型化の傾向にあり、２．５ｍや３ｍの基板が出現しており、このような大型基板に対応する検査用ベースもさらに大型化する傾向にある。このような大型の鋳物や製缶フレームの検査用ベースでは、機械加工や、熱処理等が困難になり、石の検査用ベースでは、石材の入手が困難になる。また、基板検査装置が大型化すると、大型の特殊なトラックや、大型の基板検査装置をトラックやＦＰＤ製造工場中に搬入するための特殊な搬入装置を使用しなければならないが、このような問題点は、今後さらに基板検査装置が大型化すると顕著になり、基板検査装置の搬送ができなくなる可能性がある。
【０００３】
このような問題を解決するために、基板検査装置の検査用ベースを分割可能にすることが想定される。ここで、一般的な工作機械においては、左右に分割された２つのベッドのそれぞれに加工部を搭載し、さらに別体で設けた門型フレームにローダのレールを敷設させたものがある（例えば、特許文献１参照）。この工作機械では、輸送時に左右のベットに門型フレームをフレーム支持治具で一体に連結して搬送し、機械据え付け後に門型フレームからフレーム支持治具を切り離して左右のベットを門型フレームから独立させることにより、運送の容易化が図られている。
【特許文献１】特開２００２−３７０１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、基板検査装置は、微小な欠陥の検出と、そのような欠陥の位置座標を正確に特定することが要求されるため、同一の検査用ベース上に、基板搬送機構と、浮上ステージと、検査部（顕微鏡を搭載した門型フレーム）とを載置し、これら各部の位置関係を高精度で組み込むことが要求される。このような基板検査装置では、検査用ベースを引用文献２のように分割したり、検査用ベースから搬送機構と検査部とを独立させて使用することはできなかった。
また、ベースを分割するに際しても、検査用ベースを容易に組み立てられるようにしなければならず、組み立ての際に各部の位置精度が確保されるようにしなければならない。
この発明は、このような基板検査装置で特に問題となる点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、基板検査装置のベースを分割可能に構造にした場合に、組立時に位置精度を確保しつつ、容易に組み立てられるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決する本発明は、基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を浮上させる浮上ステージと、前記基板を前記浮上ステージ上で搬送する搬送部と、前記浮上ステージに沿って搬送される前記基板を観察する撮像部とをベースに支持させて固定した基板検査装置において、前記ベースは、前記搬送部を保持し、前記基板の搬送方向に沿って延びる第１ベース部と、第１ベース部に対して水平方向及び、垂直方向に位置決めして固定可能で、浮上ステージを保持する第２ベース部とを備えることを特徴とする基板検査装置とした。
【０００６】
この基板検査装置では、ベースが第１ベース部と、第２ベース部との少なくとも２つに分割できる構成になっており、第１ベース部には搬送部が固定され、第２ベース部には浮上ステージが固定される。つまり、搬送部と浮上ステージとは、それぞれが一体構造のベース部に固定されるので、搬送部や、浮上ステージとベース部との位置決めは分割構造とは関係なく容易に行われる。そして、ベース部ごとに搬送部、浮上ステージが位置決めされたとしても相対的な位置決めがなされていない場合には、基板を正確に搬送することができないが、第２ベース部は、第１ベース部に対して水平方向及び、垂直方向に位置決めして固定されるので、両ベース部を固定することで、浮上ステージと搬送部との位置調整が行われる。
【０００７】
また、本発明は、基板の裏面に気体を吹き付けて前記基板を浮上させる浮上ステージと、前記基板を前記浮上ステージ上で搬送する搬送部と、前記浮上ステージに沿って搬送される前記基板を観察する撮像部とをベースに支持させて固定した基板検査装置の組み立て方法であって、第１ベース部に対して水平方向及び、垂直方向に位置決めして第２ベース部を固定して前記ベースを形成した後に、前記第１ベース部に前記搬送部を固定し、前記第２ベース部に前記浮上ステージを固定し、前記第１ベース部と前記第２ベース部とにまたがるように前記撮像部を固定することを特徴とする基板検査装置の組み立て方法とした。
この基板検査装置の組み立て方法では、２つのベース部に分割されたベースを組み立てた後に、浮上ステージ等を固定する。基板検査装置の搬送時には、分割された各々のベース部を搬送すれば良いので、従来の一体型のベース部に比べて運搬が楽になる。この際に、両ベース部は、水平方向及び、垂直方向に位置決めして固定されるので、浮上ステージなどを、相対的に正しい位置に固定することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ベースを分割構造にしたので、ベースを一体化してある場合に比べて、基板検査装置の構成要素を小型化することができる。したがって、製造装置の小型化や、輸送時に必要なスペース及び、輸送機器を小型化することができ、生産時や、輸送時、組み立て時の作業性を向上させることができる。さらに、搬送部を固定する第１ベース部と、浮上ステージを支持する第２ベース部とに分割し、各ベース部は一体構造にしたので、搬送部と第１ベース部との間の位置精度や、浮上ステージと第２ベース部との間の位置精度は簡単に確保される。さらに、ベース部同士を位置合わせしつつ固定することで、浮上ステージと搬送部との相対的な位置調整を容易に行えるので、ベースを分割構造にした場合でも、位置精度を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
図１に第１の実施の形態における基板検査装置の概略構成を示す。
基板検査装置１は、床面に設置される除振装置２上に検査用ベース３が搭載されており、この検査用ベース３の上部には、ＦＰＤ用ガラス基板（以下、ガラス基板とする）をエアー浮上させる浮上ステージ４が載置され、浮上ステージ４の片側には、基板を吸着保持しつつ浮上ステージ４の長手方向（搬送方向Ｃ）に沿って搬送するような基板搬送機構を構成する吸着搬送ユニット５及びガイドレール６が設置されている。さらに、検査用ベース部３の上部には、検査部７が浮上ステージ４の長手方向に直交するように架設されており、この検査部７は、門型フレーム８と、この門型フレーム８の梁６４ａに敷設されたガイドレール６３に沿って移動可能な顕微鏡９とを備えている。さらに、浮上ステージ４を挟んで顕微鏡９の下方には、透過照明装置（光源）１０が設けられており、この透過照明装置１０は、顕微鏡９の対物レンズの移動軌跡と平行に敷設されたガイドレール１１ａを有する照明用ベース１１と共に照明部１２を構成し、照明部１２は顕微鏡９と同期してガイドレール１１ａ上を移動するようになっている。
【００１０】
検査用ベース３は、断面が長方形の角柱状の第１ベース部１５と、平面視で矩形の枠状の第２ベース部１６とから構成されている。
第１ベース部１５は、基端部１５ａから先端部１５ｂに至るまで、浮上ステージ４の長手方向に略等しい長さを有し、その下面には、除振装置２が固定される脚部１７ａ〜１７ｄが設けられている。図２に示すように、脚部１７ａ〜１７ｄは、第１ベース部１５の長手方向に４つ突設されている。また、第１ベース部１５の外側面１８の長手方向には、門型フレーム８の支柱６４ｂ，６４ｂとの当付面の基準となる突出部１９ａ，１９ｂが第１ベース部１５の幅方向外側に膨出するように２つ設けられている。これら突出部１９ａ，１９ｂは、中央の２つの脚部１７ｂ，１７ｃに対応する位置に２つ設けられており、一方の突出部１９ａに、図１に示す門型フレーム８の一端部が固定される。さらに、図３に示すように、第１ベース部１５において第２ベース部１６に臨む内側面２０には、第２ベース部１６との当付面の基準となる２つの当接部２１，２２が中央寄りの２つの突出部１９ａ，１９ｂに対応する位置にそれぞれ設けられている。
【００１１】
２つの当接部２１，２２のうち、基端部１５ａ側の当接部２１は、内側面２０に溶接等で固定されるプレート２３と、プレート２３の平面２４にボルト２５で固定され、第２ベース部１６との取付位置の基準となる嵌合用突部である円柱形のピン２６とからなる。プレート２３の平面２４と、ピン２６の先端面２７とは、内側面２０に平行に配置されており、ピン２６の径は、プレート２３の平面２４の一辺よりも小さい。さらに、当接部２１よりも基端部１５ａ側には、６つのボルト穴２８が等間隔で配設されている。これらボルト穴２８は、内側面２０の下端から当接部２１の上端に相当する高さまでの間に、高さ方向に沿って一列に設けられている。また、当接部２１よりも第１ベース部１５の中央寄りには、２つのボルト穴２９が所定の間隔で配設されている。これらボルト穴２９は、内側面２０の下端から当接部２１の下端に相当する高さまでの間に、水平方向に沿って一列に設けられている。
また、第１ベース部１５の先端部１５ｂ側の当接部２２は、当接部２１と同様の構成になっている。さらに、内側面２０の長手方向の中央を基準にしてボルト穴２８と対称な位置には、６つのボルト穴３０が配設されている。同様に、内側面２０の長手方向の中央を基準にして２つのボルト穴２９と対称な位置には、２つのボルト穴３１が配設されている。
【００１２】
図２及び図３に示すように、第２ベース部１６は、第１ベース部１５に固定される第１側部４０と、第１側部４０に平行な第２側部４１と、両側部４０，４１の端部をつなぐ一対の桁部４２，４３と、各桁部４２，４３の長さ方向の中央を結ぶ連結部４４とが一体に設けられている。第１側部４０において第１ベース部１５に臨む側面４５には、第１ベース部１５の取付位置の基準となる２つの当接部４６，４７が、第１ベース部１５側の当接部２１，２２のそれぞれに対応する位置に、溶接等により取り付けられている。当接部４６は、当接部２１に対応するもので、プレート４８において第１ベース部１５に臨む平面４９は、第１側部４０の側面４５に平行で、その大きさは、当接部２１のプレート２３の大きさに略等しい。プレート４８の中央には、円形の嵌合穴５０が形成されており、嵌合穴５０の径は、当接部２１のピン２６の径に略等しく、嵌合穴５０の長さは、ピン２６の長さに略等しい。当接部４７は、当接部４６と同様の構成になっている。
【００１３】
さらに、図２及び図４に示すように、第１側部４０は、各桁部４２，４３との隅部と、長手方向の中央部を残して下側から切り欠かれている。この切り欠かれた部分５１のそれぞれには、固定部材５２，５３がボルト５４で取り付けられている。これら固定部材５２，５３は、その一部が第１側部４０の側面４５から所定長だけ突出している。この所定長とは、当接部２１，２２と当接部４６，４７とを合わせた厚さ寸法に略等しい。また、各固定部材５２，５３には、固定部材５２，５３を水平に貫通する２つの貫通孔５５が平行に設けられている。各貫通孔５５は、第１ベース部１５の各ボルト穴２９，３１に対応する位置に設けられており、その各々には、不図示のボルトが挿入される。
また、桁部４２には、締結部である固定部材５６が、桁部４３には、締結部である固定部材５７が、２つの当接部４６，４７を挟むようにボルト５８で取り付けられている。これら固定部材５６，５７は、固定部材５２，５３と同じ長さだけ第１側部４０の側面４５から突出している。さらに、固定部材５６，５７を水平に貫通する貫通孔５９が、第１ベース部１５のボルト穴２８，３０に対応する位置にそれぞれ６つずつ設けられている。
【００１４】
なお、図２及び図３に示すように、第２ベース部１６において、第２側部４１と各桁部４２，４３とのそれぞれの隅部の下面には、除振装置２（図１参照）が固定される脚部６０が設けられている。これら脚部６０は、第１ベース部１５側の脚部１７ｂ，１７ｃに対応した位置に設けられており、検査用ベース３が形成された場合には、各脚部１７ａ〜１７ｄ，６０は平行に配置される。また、第２側部４１側の隅部の上面と側面には、門型フレーム８の支柱６４ｂ，６４ｂとの当付面の基準となる突出部６２ａ〜６２ｄが突設されている。さらに、第２ベース部１６の上面には、図１に示す浮上ステージ４や、透過照明装置１０の照明用ベース１１を位置決めするための凸部６１ａ〜６１ｇが形成されている。
【００１５】
ここで、図１に示す基板検査装置１のその他の構成を説明する。
検査部７は、門型フレーム８を構成する梁６４ａに、２本のレール６３が水平に敷設されており、これらレール６３には、顕微鏡９がスライド自在に取り付けられている。門型フレーム８を構成する支柱６４ｂは、その下端部の一部を切り欠いて形成されており、支柱６４ｂのそれぞれを第１ベース部１５の突出部１９ａ，１９ｂと、第２ベース部１６の突出部６２ａ，６２ｂとに突き合わせて基準位置をだす。
また、浮上ステージ４は、その上面に多数のエアー吹き出し孔が規則的に配設されている。この浮上ステージ４の顕微鏡９の直下に相当する部分には、隙間６５が幅方向に沿って形成されている。なお、隙間６５の縁部には、基板の浮上高さと同一寸法だけ浮上ステージ４の上面から突出するように、ローラ６６が回転自在の取り付けられており、基板が隙間６５に引っかからないようにしてある。上流側と下流側で対向する各ローラ６６の間は、照明部１２による透過照明が通過できるように隙間が設けられている。
透過照明装置１０は、光軸が浮上ステージ４の隙間６５を通して顕微鏡９の対物レンズに一致するように構成されている。
さらに、搬送部を構成するガイドレール６は、第１ベース部１５の上面にその長さ方向に平行に敷設されており、吸着搬送ユニット５は、浮上ステージ４上に浮上した基板の一辺を吸着保持し、リニアモータによりガイドレール６に沿って往復移動する。この吸着搬送ユニット５は、基板の位置決め機構と、基板を吸着する吸着機構とを備えることが好ましい。
【００１６】
次に、この実施の形態の作用について説明する。
まず、基板検査装置１の組立作業について説明する。この基板検査装置１は、第１ベース部１５と、第２ベース部１６と、浮上ステージ４と、搬送部である吸着搬送ユニット５及びガイドレール６と、検査部７と、照明部１２とがそれぞれ独立したユニットとして製造される。これは、基板検査装置１の装置製造工場から、この基板検査装置１を設置し、使用する基板製造工場まで運搬する間に、分割されている方が搬送しやすいからである。したがって、基板製造工場において基板検査装置１の組み立てが行われる。
【００１７】
組み立てに際しては、最初に検査用ベース３を組み立てる。第１ベース部１５と、第２ベース部１６とは、予め機械加工及び、塗装がされているので、両者をそのまま固定すれば良い。すなわち、第１ベース部１５の当接部２１，２２のピン２６を、第２ベース部１６の対応する当接部４６，４７の嵌合穴５０に嵌入させて、当接部２１，２２と当接部４６，４７とを係合させる。このときに、２組のプレート２３，４８同士が当接することで、第１ベース部１５に対して第２ベース部１６が平行になり、ピン２６と嵌合穴５０との嵌合によって垂直方向、及び搬送方向（第１ベース部１５の長手方向）の位置合わせが行われる。このとき、固定部材５２，５３の貫通孔５５の位置と、ボルト穴２９，３１の位置とが一致するので、固定部材５２，５３側からボルトを螺入し、両ベース部１５，１６を締結する。同様に、固定部材５６，５７の貫通孔５９の位置と、ボルト穴２８，３０の位置とが一致するので、固定部材５６，５７側からボルトを螺入し、両ベース部１５，１６を締結する。これにより、両ベース部１５，１７が位置決めして固定され、検査用ベース３の組み立てが完了する。
【００１８】
次に、第２ベース部１６の上面に、照明部１２を固定してから、浮上ステージ４を第２ベース部１６の上面に形成された位置決め用の凸部６１ｄ〜６１ｆに取り付ける。さらに、第１ベース部１５の上面にガイドレール６を固定し、ガイドレール６に吸着搬送ユニット５をスライド自在に取り付ける。さらに、第１ベース部１５の外側面１８の基端部１５ａ側の突出部１９と、第２ベース部１６の第２側部４１の基端側の突出部６２ａとの間に、門型フレーム８を架け渡すようにして、検査部７を係合させ、位置調整を行った後に固定する。これにより、基板検査装置１の組み立てが完了する。なお、各部４，５，６，７，１２の固定には、ボルトを用いて行う。また、検査部７は、図１で使用していない突出部１９，６２間に固定することもできる。
【００１９】
この基板検査装置１で基板の検査を行う際には、浮上ステージ４からエアーを吹き出させつつ、その浮上ステージ４の搬入側の基端部４ａに基板を搬入する。基板は、位置決めされた後に吸着搬送ユニット５に吸着保持される。さらに、吸着搬送ユニット５を第１ベース部１５の先端部１５ｂ側に向けて移動させ、基板を浮上ステージ４上で移動させる。基板が検査部７の下方に差し掛かったら、顕微鏡９と、透過照明装置１０とが同期してスライド移動し、基板表面の欠陥を検査する。そして、基板表面の検査が終了したら、浮上ステージ４の先端部４ａ側において吸着搬送ユニット５の吸着を解除し、基板を搬出する。
【００２０】
この実施の形態によれば、浮上ステージ４や、検査部７などを載置させ、これらの相互の位置関係の基準となる検査用ベース３を、分割・組立可能な２つのベース部１５，１６から構成したので、大型基板に対応した基板検査装置であっても、各部を分離させておけば、容易に輸送することができる。さらに、分割時の各ベース部１５，１６は、検査用ベース３に比べて小さくなるので、製造時の加工が容易になるので、大型の製造装置が不要になり、加工精度を向上させることができる。
また、検査用ベース３の組み立てにあたっては、組み立ての基準位置となる２つのプレート２３，４８同士を面接触させると共に、円柱形のピン２６を嵌合させるようにしたので、第１ベース部１５と第２ベース部１６との平行度（垂直度）や、水平度、垂直方向の位置出しが容易になる。したがって、組み立ての再現性が良好で、機械的な精度が出しやすい。ピン２６と嵌合穴５０とが、各ベース部１５，１６の位置決めの目印となるので、組み立て作業が容易になる。
【００２１】
検査用ベース３は、基板を搬送する吸着搬送ユニット５が設置される第１ベース部１５と、検査部７の門型フレーム８が設置される第２ベース部１６を別体に構成してボルトで連結することにより、従来のように溶接で接合したものと比べて溶接による歪が少なくなる。各部材を接合する当付面、例えば両ベース部１５，１６の当付面を構成するプレート２４，４８と、門型フレーム８の支柱６４ｂの当付面を構成する突出部１９ａ，１９ｂ，６２ａ〜６２ｄを各ベース部１５，１６の表面より突出させ、各プレート２４，４８及び突出部１９ａ〜１９ｄ，６２ａ〜６２ｄの接合面を高い面精度に加工することにより、高精度の面加工が少なくて済み、加工工数を削減することができる。
【００２２】
さらに、組み立ての位置決め基準となるピン２６を中心にして、ボルト穴２８，２９，３０，３１を設けることにより、第１ベース部１５のピン２６に第２ベース部１６の嵌合穴５０を嵌合させるだけで組み立てを容易に行うことができる共に、これらボルト穴２８，２９，３０，３１に固定部材５２，５３の各貫通孔５５，５９を一致させてボルトを螺入することができ、両ベース部１５，１６を強固に固定することが可能になる。
このようにして、高い組付精度が要求される門型フレーム８に対して検査用ベース３に取り付けの基準となる突出部１９ａ，１９ｂ，６２ａ〜６２ｄを設けることにより、顕微鏡９の位置精度を向上させることができる。
【００２３】
なお、さらに機械的な精度が必要な場合には、組み付け作業後に機械加工をしても良いし、検査部７の取り付け部６４にシム等を挿入して調整することにより組み立て精度を上げても良い。
【００２４】
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、第１の実施の形態と同じ構成要素には同一の符号を付してある。また、重複する説明は省略する。
図５及び図６に示すように、検査用ベース７０は、第１ベース部７１と、第２ベース部７２とから構成されている。
第１ベース部７１は、基端部７１ａから先端部７１ｂに向かって延び、第１ベース部７１において第２ベース部７２に臨む内側面２０には、第２ベース部７２の当付面の基準となるプレート２３からなる当接部７３，７４が、中央寄りの脚部１７の間に２つ設けられている。プレート２３は、内側面２０と平行な平面２４を有している。当接部７３よりも基端部７１ａ側には、第２ベース部７２との取付位置の基準となる当て付け部材７５が内側面２０に対して垂直に溶接等によって取り付けられている。当て付け部材７５は、鉛直方向に延びる板材で、基端部７１ａ側に向かう面から先端部７１ｂ側に向かう面にかけて貫通する貫通孔７６が等間隔に複数形成されている。さらに、当接部７３の下方には、第２ベース部７２との取付位置の基準となる当て付け部材７７が内側面２０から水平に突出するように、溶接等によって脚部１７に取り付けられている。当て付け部材７７は、脚部１７の長さに略等しい幅を有し、その上面から下面に貫通する貫通孔７８が等間隔に複数形成されている。さらに、両当て付け部材７５，７７は、一部が接触しているおり、この接触部分が溶接されている。
また、当接部７４よりも先端部７１ｂ側には、複数のボルト穴３０が設けられている。当接部７３の下方には、当て付け部材７９が溶接等により脚部１７に取り付けられている。当て付け部材７９は、当て付け部材７７と同様の構成になっており、複数の貫通孔８０が形成されている。
【００２５】
図７に示すように、第２ベース部７２は、第１側部４０の側面４５に、２つの当接部８１，８２が、第１ベース部７１の当接部７３，７４に対応する位置に設けられており、各当接部８１，８２は、プレート４８を有し、プレート４８は、第１側部４０と平行な平面４９を有している。図８に示すように、基端部側の隅部７２ａの桁部４２側には、複数のボルト穴８３が、当て付け部材７５の貫通孔７６に合うように配設されている。また、図６に示すように、同じ隅部７２ａの下面にも複数のボルト穴８４が、当て付け部材７７の貫通孔７８に合うように配設されている。
さらに、先端側の隅部７２ｂの下面には、複数のボルト穴８５が、当て付け部材７９の貫通孔８０に合うように配設されている。同じ隅部７２ｂの桁部４３側には、固定部材５７がボルト５８で固定されている。
【００２６】
このような検査用ベース７０の組み立て手順について説明する。
まず、当接部７３，７４の平面２４と、これに対応する当接部８１，８２の平面４９とを当接させる。この状態で、基端部７１ａ側の当て付け部材７５が桁部４２に突き当てられ、貫通孔７６の位置とボルト穴８３との位置が一致するので、両者をボルト８６（図８参照）で締結する。これにより、両ベース部７１，７２が平行になる。また、当て付け部材７７が第２ベース部７２の下面に突き当てられるので、両者をボルト８７（図６参照）で締結する。一方、先端部７１ｂ側では、当て付け部材７９が第２ベース部７２の下面に付き当てられるので、両者をボルト８８（図６参照）で締結する。これら当て付け部材７５，７７，７９によって、第２ベース部７２が第１ベース部７１の基準位置に位置決めされる。また、固定部材５７の貫通孔５９の位置と、第１ベース部１５のボルト穴３０の位置が一致するので、両者をボルト８９（図６参照）で締結する。これによって、第１ベース部１５と第２ベース部１６とが、水平方向（垂直方法）、及び高さ方向に位置決めされて固定される。
このようにして組み立てた検査用ベース７０には、第１の実施の形態と同様に、浮上ステージ４などが固定され、基板検査装置が組み立てられる。この基板検査装置の作用及び、効果は、前記と同様である。
【００２７】
この実施の形態では、第１ベース部１５に第２ベース部１６を突き当て、当接部７３，７３と当接部８１，８２及び、当て付け部である当て付け部材７５，７７，７９と、第２ベース部７２とで位置決めを行い、ボルト８６，８７，８８，８９で固定することで、検査用ベース７０を精度良く組み立てることができ、その再現性も良好になる。両ベース部７１，７２は、第１の実施の形態にように嵌合を利用しないので、第１ベース部７１などに微小な反りがあった場合でも、両ベース部７１，７２を確実に組み合わせることが可能になる。ここにおいて、ボルト８６，８７，８８，８９と貫通孔５９，７６，７８，８０との間のガタによって微小範囲での移動が許容されているので、微小な反りがあった場合でも確実に位置決めして組み合わせることができる。その他の効果は、第１の実施の形態と同様である。
【００２８】
なお、本発明は、前記各実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、当接部２１，２２，４６，４７，７３，７４，８１，８２や、固定部材５２，５３，５６，５７、当て付け部材７５，７７，７９は第１ベース部１５，７１、第２ベース部１６，７２に一体に製造しても良い。また、第１ベース部１５，７１と、第２ベース部１６，７２の一方のみに当接部２１，２２，４６，４７，７３，７４，８１，８２を設けても良い。
第２ベース部１６，７２は、平面視で略Ｔ字形や、略Ｌ字形であっても良い。これらの場合に、第１ベース部１５，７１に平行に組み付けられる面に当接部４６，４７，８１，８２が設けられ、これらに対応して固定部材５２，５３，５６，５７や、ボルト穴８３，８４，８５が設けられる。
また、基板検査装置は、第１ベース部１５，７１を２つ備え、その各々に吸着搬送ユニット５を配しても良い。この場合に、第２ベース部１６，７２の第２側部４１にも当接部４６，４７，８１，８２が設けられ、これらに対応して固定部材５２，５３，５６，５７や、ボルト穴８３，８４，８５が設けられ、第１ベース部１５，７１は、第２ベース部１６，７２の第１側部４０と、第２側部４１とのそれぞれに組み付けられる。このような基板検査装置は、浮上ステージ４を挟むようにして２箇所で基板が吸着保持されるので、基板の位置決め及び、搬送をさらに精度良く行うことが可能になる。
第１ベース部１５，７１の上に、不図示の搬送用ベースを固定し、この搬送用ベースにガイドレール６を固定しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態における基板検査装置の斜視図である。
【図２】検査用ベースを構成する第１ベース部と第２ベース部とを示す斜視図である。
【図３】第１ベース部側の当接部を示す図である。
【図４】第２ベース部側の当接部及び固定部材を示す図である。
【図５】第１ベース部と第２ベース部とを示す斜視図である。
【図６】第１ベース部と第２ベース部とを示す斜視図である。
【図７】第１ベース部と第２ベース部とを示す斜視図である。
【図８】第１ベース部と第２ベース部とを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３０】
１      基板検査装置
３      検査用ベース
４      浮上ステージ
５      吸着保持ステージ（搬送部）
６      搬送軸（搬送部）
７      撮像部
１５    第１ベース部
１６    第２ベース部
２１，２２，４６，４７，７３，７４，８１，８２    当接部
２４，４９    平面
２６    ピン（嵌合用突部）
５０    嵌合穴
５６，５７    固定部材（締結部）
７５，７７，７９    当て付け部材（当て付け部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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