(57)【要約】【課題】  液晶パネルの生産効率を低下させずに偏光板剥離用刃物の欠けを防止することが可能な液晶表示パネル製造装置および液晶表示パネル製造方法を提供する。【解決手段】  液晶表示パネル製造装置２０Ｙは、分断稼動部１０の偏光板剥離用刃物４がスクライブライン３上に近づくと、位置決め制御部７からの指令に基づき、偏光板剥離用刃物４を多面取り基板１から上昇させる。このように、形成されたスクライブライン３に交差する方向に分断稼動部１０を走らせる際、分断稼動部１０の偏光板剥離用刃物４がスクライブライン３上に近づくと偏光板剥離用刃物４を多面取り基板１から上昇させることにより、分断稼動部１０をＸＹ平面上で余分に走らせることなく、偏光板剥離用刃物４が形成済みのスクライブライン３と衝突して偏光板剥離用刃物４の先端部が欠けるのを防止することができる。【選択図】        図５
2006084633.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏光板が貼り付けられたガラス基板を複数の液晶パネルに分断する液晶表示パネル製造装置であって、
前記偏光板を剥離し、前記ガラス基板にスクライブラインを形成する分断稼動部と、
前記分断稼動部の位置を制御する位置決め制御部とを備え、
前記分断稼動部は、
前記偏光板を剥離する偏光板剥離用刃物と、
前記ガラス基板にスクライブラインを形成するガラススクライブ形成用ホイールとを含み、
前記位置決め制御部は、所定の方向に進む前記分断稼動部が前記所定の方向と交差する方向に形成済みの前記スクライブラインを検知したとき、前記偏光板剥離用刃物を前記ガラス基板から上昇させる、液晶表示パネル製造装置。
【請求項２】
前記ガラス基板は、２枚のガラス基板の間に液晶を封入して貼り合わせた多面取り基板である、請求項１に記載の液晶表示パネル製造装置。
【請求項３】
前記分断稼動部は、前記偏光板剥離用刃物を前記ガラス基板から上昇させるアクチュエータを有する、請求項１に記載の液晶表示パネル製造装置。
【請求項４】
前記位置決め制御部は、形成済みの前記スクライブラインを検知するセンサーを有する、請求項１に記載の液晶表示パネル製造装置。
【請求項５】
前記位置決め制御部は、前記ガラス基板を前記複数の液晶パネルに分断する切り出し寸法の入力に応じて、前記偏光板剥離用刃物を前記ガラス基板から上昇させる位置を制御する、請求項１に記載の液晶表示パネル製造装置。
【請求項６】
偏光板が貼り付けられたガラス基板を複数の液晶パネルに分断する液晶表示パネル製造方法であって、
前記偏光板を所定の方向に剥離するステップと、
前記ガラス基板の前記所定の方向にスクライブラインを形成するステップとを備え、
前記偏光板を所定の方向に剥離するステップは、
前記所定の方向と交差する方向に形成済みの前記スクライブラインを検知するステップと、
前記形成済みのスクライブラインを検知したとき、前記偏光板を剥離する偏光板剥離用刃物を前記ガラス基板から上昇させるステップとを含む、液晶表示パネル製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶表示パネル製造装置および液晶表示パネル製造方法に関し、より特定的には、偏光板が貼り付けられたガラス基板を複数の液晶パネルに分断する液晶表示パネル製造装置および液晶表示パネル製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、５インチサイズ程度までの中小型の液晶パネルは、おおむね次のように製造されていた。
【０００３】
まず、相互に貼り合わせた大型のガラス基板を分断して、短冊状のガラス基板を採取する。次に、この短冊状のガラス基板に液晶の注入、封止等の所定処理を施し、これを、更に所定のパネルサイズのセルに細かく分断してセル単品を複数形成する。その後、各セル単品ごとに偏光板を貼り付けて液晶パネルを複数得る。
【０００４】
しかし、上記の手法では、セル単品ごとに個別に偏光板を貼り付ける必要があるため、生産効率が極めて悪いという問題がある。たとえ、専用の装置を用いて偏光板の貼り付けを行なうにしても、特に静電気の影響から、偏光板１枚当たりの処理速度の高速化には上限がある。
【０００５】
そのため、高い生産性の確保という市場要求に対処するには、多数の偏光板を同時並行して処理する必要がある。この場合、多数の装置が必要となり、設備投資が大幅に膨らんで、最終製品である液晶パネルのコストアップにつながるという問題が生じる。
【０００６】
このような問題を回避する一手法として、滴下貼り合わせ方式により出来上がった多面取り基板に複数セル面積分の偏光板を一括で貼り付け、その後、当該多面取り基板を分断する偏光板一括分断方式がある（たとえば、特許文献１参照）。なお、滴下貼り合わせ方式とは、一方のガラス基板の環状に描画されたシール材の内側またはもう一方のガラス基板の対応する位置に液晶を供給し、両ガラス基板を貼り合わせる方式のことである。
【０００７】
図９は、偏光板一括分断方式による従来の液晶表示パネル製造装置２００の構成を概略的に示した断面図である。
【０００８】
図９を参照して、従来の液晶表示パネル製造装置２００は、偏光板２Ａが貼り付けられた多面取り基板１を複数セルに分断する分断稼動部１００を備える。多面取り基板１は、液晶が封止されたガラス基板１Ａ，１Ｂを貼り合わせたものである。分断稼動部１００は、偏光板２Ａを剥離する偏光板剥離用刃物４と、ガラス基板１Ａ，１Ｂを分断するガラススクライブ形成用ホイール５とを含む。図９のスクライブライン３は、ガラススクライブ形成用ホイール５がＸ方向に走った際に形成された亀裂である。
【０００９】
偏光板一括分断方式では、まず、偏光板剥離用刃物４により、偏光板２Ａの一部を帯状に除去してガラス基板１Ａを帯状に表出させる。その後、ガラススクライブ形成用ホイール５により、ガラス基板１Ａの表出領域に沿って分断用の亀裂（スクライブライン）を形成し、当該亀裂に沿って多面取り基板１を分断する。
【００１０】
上記の偏光板一括分断方式において、偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブ形成用ホイール５を格子状に多面取り基板１上で同時に移動させると、図９に示すように、Ｙ方向に進む偏光板剥離用刃物４がＸ方向に形成済みのスクライブライン３と衝突し、偏光板剥離用刃物４の先端部にカケが発生する可能性がある。
【００１１】
この問題を回避する一手法として、偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブ形成用ホイール５を多面取り基板１上で同時に移動させない工程を設ける方法（図１０〜１２）が知られている。
【００１２】
図１０は、従来の液晶表示パネル製造装置２００による液晶表示パネル製造の一工程を示した図である。図１０は、偏光板剥離用刃物４のみを多面取り基板１上に走らせて、Ｘ方向に偏光板２Ａのみを剥離する工程を示している。これにより、偏光板２ＡがＸ方向に帯状に剥離される。
【００１３】
図１１は、従来の液晶表示パネル製造装置２００による液晶表示パネル製造の他の一工程を示した図である。図１１は、偏光板２ＡがＸ方向に帯状に剥離された図１０の多面取り基板１に対し、偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブ形成用ホイール５をＹ方向に多面取り基板１上で同時に移動させる工程を示している。これにより、偏光板２Ａが格子状に帯状に剥離されるとともに、ガラス基板１Ａ，１ＢのＹ方向にスクライブライン３が形成される。
【００１４】
図１２は、従来の液晶表示パネル製造装置２００による液晶表示パネル製造のさらに他の一工程を示した図である。図１２は、ガラス基板１Ａ，１ＢのＹ方向にスクライブライン３が形成され、かつ偏光板２Ａが格子状に帯状に剥離された図１１の多面取り基板１に対し、ガラススクライブ形成用ホイール５のみを多面取り基板１上に走らせて、Ｘ方向にガラス基板１Ａ，１Ｂのスクライブライン３のみを形成する工程を示している。これにより、ガラス基板１Ａ，１Ｂに格子状のスクライブライン３が形成される。
【特許文献１】特開２００３−１６１９３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
図１０〜１２に示したように、従来の液晶表示パネル製造装置２００では、偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブ形成用ホイール５を多面取り基板１上で同時に移動させない工程を設けている。この方法では、偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブ形成用ホイール５を多面取り基板１上で同時に移動させない分だけ、分断稼動部１００をＸＹ平面上で余分に走らせることが必要となる。そのため、最終製品である液晶パネルの生産効率が低下するという問題があった。
【００１６】
それゆえに、この発明の目的は、液晶パネルの生産効率を低下させずに偏光板剥離用刃物の欠けを防止することが可能な液晶表示パネル製造装置および液晶表示パネル製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
この発明は、偏光板が貼り付けられたガラス基板を複数の液晶パネルに分断する液晶表示パネル製造装置であって、偏光板を剥離し、ガラス基板にスクライブラインを形成する分断稼動部と、分断稼動部の位置を制御する位置決め制御部とを備える。分断稼動部は、偏光板を剥離する偏光板剥離用刃物と、ガラス基板にスクライブラインを形成するガラススクライブ形成用ホイールとを含む。位置決め制御部は、所定の方向に進む分断稼動部が所定の方向と交差する方向に形成済みのスクライブラインを検知したとき、偏光板剥離用刃物をガラス基板から上昇させる。
【００１８】
好ましくは、ガラス基板は、２枚のガラス基板の間に液晶を封入して貼り合わせた多面取り基板である。
【００１９】
好ましくは、分断稼動部は、偏光板剥離用刃物をガラス基板から上昇させるアクチュエータを有する。
【００２０】
好ましくは、位置決め制御部は、形成済みのスクライブラインを検知するセンサーを有する。
【００２１】
好ましくは、位置決め制御部は、ガラス基板を複数の液晶パネルに分断する切り出し寸法の入力に応じて、偏光板剥離用刃物をガラス基板から上昇させる位置を制御する。
【００２２】
この発明の他の局面によれば、偏光板が貼り付けられたガラス基板を複数の液晶パネルに分断する液晶表示パネル製造方法であって、偏光板を所定の方向に剥離するステップと、ガラス基板の所定の方向にスクライブラインを形成するステップとを備える。偏光板を所定の方向に剥離するステップは、所定の方向と交差する方向に形成済みのスクライブラインを検知するステップと、形成済みのスクライブラインを検知したとき、偏光板を剥離する偏光板剥離用刃物をガラス基板から上昇させるステップとを含む。
【発明の効果】
【００２３】
この発明によれば、液晶パネルの生産効率を低下させずに偏光板剥離用刃物の欠けを防止することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。
【００２５】
図１は、この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０のＸ方向に対する液晶表示パネル製造の一工程を示した図である。
【００２６】
以下では、Ｘ方向，Ｙ方向に対して液晶表示パネル製造を行なっている液晶表示パネル製造装置２０を、それぞれ液晶表示パネル製造装置２０Ｘ，２０Ｙと区別して表記することにする。
【００２７】
図１を参照して、液晶表示パネル製造装置２０Ｘは、偏光板２Ａが貼り付けられた多面取り基板１を複数セルに分断する分断稼動部１０を備える。多面取り基板１は、図９〜１２と同じく、液晶が封止されたガラス基板１Ａ，１Ｂを貼り合わせたものである。分断稼動部１０は、偏光板２Ａを剥離する偏光板剥離用刃物４と、ガラス基板１Ａ，１Ｂを分断するガラススクライブ形成用ホイール５とを含む。
【００２８】
図１は、偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブ形成用ホイール５をＸ方向に多面取り基板１上で同時に移動させる工程を示している。これにより、偏光板２ＡがＸ方向に帯状に剥離されるとともに、ガラス基板１Ａ，１ＢのＸ方向にスクライブライン３が形成される。
【００２９】
図２は、この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｘの構成を概略的に示した断面図である。図２に示すように、液晶表示パネル製造装置２０Ｘは、分断稼動部１０の位置を制御する位置決め制御部７をさらに備える。
【００３０】
図１，２に示すように、液晶表示パネル製造装置２０Ｘは、位置決め制御部７からの指令に基づき、分断稼動部１０の偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブライン用ホイール５を多面取り基板１の分断ライン上のある方向（図１，２ではＸ方向）に対してセットする。セットされた分断稼動部１０は、偏光板２Ａの剥離を行なうとともに、ガラス基板１Ａ，１Ｂのスクライブを行なう。
【００３１】
分断稼動部１０が分断ラインの一ラインを処理し終えると、液晶表示パネル製造装置２０Ｘは、位置決め制御部７からの指令により、分断稼動部１０の当該１ラインに対するセットを解除し、次の分断ライン上に移動させる。その後、先の一ラインと同様に分断稼動部１０がセットされ、セットされた分断稼動部１０は、偏光板２Ａの剥離を行なうとともに、ガラス基板１Ａ，１Ｂのスクライブを行なう。
【００３２】
一方向（Ｘ方向）全ての偏光板剥離およびガラス基板スクライブが完了すると、液晶表示パネル製造装置２０Ｘは、位置決め制御部７からの指令により、分断稼動部１０のセットを解除してから９０度回転させる。これにより、偏光板２Ａの剥離方向およびガラス基板１Ａ，１Ｂへのスクライブ方向が、上記のある方向と直交する方向（Ｙ方向）に変更される。
【００３３】
なお、偏光板２Ａの剥離方向およびガラス基板１Ａ，１Ｂへのスクライブ方向を変更する方法は、上記の方法に限定されるものではない。分断稼動部１０の分断方向がＹ方向に変更された後の、液晶表示パネル製造装置２０Ｙによる液晶表示パネルの製造工程について次に説明する。
【００３４】
図３は、この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｙの液晶表示パネル製造の一工程を示した図である。
【００３５】
図３は、ガラス基板１Ａ，１ＢのＸ方向にスクライブライン３が形成され、かつ偏光板２ＡがＸ方向に帯状に剥離された図１の多面取り基板１に対し、偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブ形成用ホイール５をＹ方向に多面取り基板１上で同時に移動させる工程を示している。これにより、偏光板２Ａが格子状に帯状に剥離されるとともに、ガラス基板１Ａ，１Ｂに格子状のスクライブライン３が形成される。
【００３６】
図３に示すように、液晶表示パネル製造装置２０Ｙは、位置決め制御部７からの指令に基づき、分断稼動部１０の偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブライン用ホイール５を、多面取り基板１上に既に形成されたスクライブライン３に直交する方向（図３ではＹ方向）にセットする。セットされた分断稼動部１０は、偏光板２Ａの剥離を行なうとともに、ガラス基板１Ａ，１Ｂのスクライブを行なう。
【００３７】
図９で説明したように、従来の液晶表示パネル装置では、図１の工程の後に図３の工程を続けようとすると、Ｙ方向に進む偏光板剥離用刃物４がＸ方向に形成済みのスクライブライン３と衝突し、偏光板剥離用刃物４の先端部にカケが発生する可能性がある。このような課題を克服した、この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｙの液晶表示パネル製造工程について、以下に図面を参照しながら説明する。
【００３８】
図４は、この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｙの液晶表示パネル製造工程の一部を模式的に示した断面図である。
【００３９】
図４に示すように、液晶表示パネル製造装置２０Ｙは、ガラス基板１Ａ，１ＢのＸ方向にスクライブライン３が形成され、かつ偏光板２ＡがＸ方向に帯状に剥離された多面取り基板１に対し、偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブ形成用ホイール５をＹ方向に多面取り基板１上で同時に移動させている。図４において、偏光板剥離用刃物４は、Ｘ方向に形成された複数のスクライブライン３の間に位置した状態である。
【００４０】
図５は、この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｙの液晶表示パネル製造工程の他の一部を模式的に示した断面図である。
【００４１】
図５は、図４の状態から偏光板剥離用刃物４の位置が移動して、Ｘ方向に形成された複数のスクライブライン３上に偏光板剥離用刃物４が到達した状態を示す。液晶表示パネル製造装置２０Ｙは、分断稼動部１０の偏光板剥離用刃物４がスクライブライン３上に近づくと、位置決め制御部７からの指令に基づき、偏光板剥離用刃物４を多面取り基板１から上昇させる。
【００４２】
このように、液晶表示パネル製造装置２０Ｙは、分断稼動部１０をＹ方向に走らせる際、偏光板剥離用刃物４がＸ方向に既に形成されたスクライブライン３上に近づくと、偏光板剥離用刃物４を多面取り基板１から上昇させる。これにより、分断稼動部１０をＸＹ平面上で余分に走らせることなく、偏光板剥離用刃物４が形成済みのスクライブライン３と衝突して偏光板剥離用刃物４の先端部が欠けるのを防止することができる。
【００４３】
偏光板剥離用刃物４を多面取り基板１から上昇させる手法としては、たとえば、エアシリンダー、ボイスコイルモータなどのアクチュエータを用いて、偏光板剥離用刃物４を浮上させることが考えられる。このようなアクチュエータを用いれば、偏光板剥離用刃物４を５０μｍ程度浮かせることが可能である。
【００４４】
また、偏光板剥離用刃物４がスクライブライン３上に近づいたことを検知する手法の一例として、偏光板剥離用刃物４の先端部に光学センサー等のセンサーを設けてスクライブラインを検知する方法が考えられる。また、位置決め制御部７に多面取り基板１の切り出し寸法を予め入力しておくことによっても、スクライブライン３が形成される位置を予測検知することが可能である。
【００４５】
なお、Ｘ方向のスクライブライン３上では既に偏光板２ＡがＸ方向に帯状に剥離されているため、その区間で偏光板剥離用刃物４を上昇させても、偏光板２ＡのＹ方向の剥離が不連続となることはない。
【００４６】
図６は、この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｙの液晶表示パネル製造工程のさらに他の一部を模式的に示した断面図である。
【００４７】
図６は、図５の状態から偏光板剥離用刃物４の位置がさらに移動して、Ｘ方向に形成された複数のスクライブライン３の間に偏光板剥離用刃物４が再び位置した状態を示す。液晶表示パネル製造装置２０Ｙは、偏光板剥離用刃物４がスクライブライン３上から遠ざかると、位置決め制御部７からの指令に基づき、分断稼動部１０の偏光板剥離用刃物４を多面取り基板１上に再び走らせる。
【００４８】
以上のように、この発明の実施の形態によれば、形成されたスクライブラインと交差する方向に分断稼動部を走らせる際、分断稼動部の偏光板剥離用刃物がスクライブライン上に近づくと偏光板剥離用刃物を多面取り基板から上昇させることによって、液晶パネルの生産効率を低下させずに偏光板剥離用刃物の欠けを防止することが可能となる。
【実施例】
【００４９】
以下では、分断稼動部１０の偏光板剥離用刃物４がスクライブライン３上を通過する際の各種変数の具体的な値について検討する。ここでは、各種変数の例として、スクライブライン通過時での偏光板剥離用刃物４の上昇量、分断稼動部１０の移動速度、および偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブ形成用ホイール５の多面取り基板１への加重量を取り上げる。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。
【００５０】
図７は、偏光板剥離用刃物４がスクライブライン３上を通過する際の各種変数の具体的な値を評価するための評価用多面取り基板１ｐを示した上面図である。
【００５１】
図７を参照して、評価用多面取り基板１ｐは、液晶が封止されたガラス基板１Ａ，１Ｂを貼り合わせたものである。ガラス基板１Ａの上には、Ｘ方向にのみ偏光板剥離およびガラススクライブが施された複数セル面積分の偏光板２Ａが貼り付けられている。
【００５２】
この実施例では、図７の評価用多面取り基板１ｐに対し、偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブ形成用ホイール５をそれぞれ４ｋｇｆ，１ｋｇｆの加重でガラス基板１Ａに当て、分断稼動部１０の移動速度を３００ｍｍ／秒として、Ｙ方向のガラス基板分断ライン上を移動させた。Ｘ方向に形成されたスクライブライン３と交差する箇所では、偏光板剥離用刃物４をガラス基板１Ａの表面から０．１ｍｍ上昇させた。また、偏光板剥離用刃物４として、チタンコート品を使用した。
【００５３】
図８は、評価用多面取り基板１ｐに対して２種類の条件で分断稼動部１０を移動させた際の偏光板分離用刃物４の寿命をそれぞれ示した図である。
【００５４】
図８を参照して、「比較例１」は、形成されたスクライブラインに直交する方向に分断稼動部１０を走らせる際、偏光板剥離用刃物４およびガラススクライブ形成用ホイール５を評価用多面取り基板１ｐ上で同時に移動させる（図９参照）という条件である。
【００５５】
これに対し、「実施例１」は、形成されたスクライブライン３に直交する方向に分断稼動部１０を走らせる際、分断稼動部１０の偏光板剥離用刃物４がスクライブライン３上に近づくと偏光板剥離用刃物４を評価用多面取り基板１ｐから上昇させる（図５参照）という条件である。
【００５６】
図８に示すように、「比較例１」の条件の場合、偏光板剥離用刃物４は２００ｍで先端部が欠けたが、「実施例１」の条件の場合、偏光板剥離用刃物４の先端部にカケは見られず、２８００ｍ移動したところで刃物が磨耗した。
【００５７】
以上の２種類の条件での刃物寿命を比較することにより、「実施例１」の条件で分断稼動部１０を走らせると、「比較例１」の条件と比べて、偏光板剥離用刃物４の先端部が欠けるのを防止でき、偏光板剥離用刃物４を長持ちさせることができることが実証された。
【００５８】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態および実施例の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｘの液晶表示パネル製造の一工程を示した図である。
【図２】この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｘの構成を概略的に示した断面図である。
【図３】この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｙの液晶表示パネル製造の一工程を示した図である。
【図４】この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｙの液晶表示パネル製造工程の一部を模式的に示した断面図である。
【図５】この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｙの液晶表示パネル製造工程の他の一部を模式的に示した断面図である。
【図６】この発明の実施の形態による液晶表示パネル製造装置２０Ｙの液晶表示パネル製造工程のさらに他の一部を模式的に示した断面図である。
【図７】偏光板剥離用刃物４がスクライブライン３上を通過する際の各種変数の具体的な値を評価するための評価用多面取り基板１ｐを示した上面図である。
【図８】評価用多面取り基板１ｐに対して２種類の条件で分断稼動部１０を移動させた際の偏光板分離用刃物４の寿命をそれぞれ示した図である。
【図９】偏光板一括分断方式による従来の液晶表示パネル製造装置２００の構成を概略的に示した断面図である。
【図１０】従来の液晶表示パネル製造装置２００による液晶表示パネル製造の一工程を示した図である。
【図１１】従来の液晶表示パネル製造装置２００による液晶表示パネル製造の他の一工程を示した図である。
【図１２】従来の液晶表示パネル製造装置２００による液晶表示パネル製造のさらに他の一工程を示した図である。
【符号の説明】
【００６０】
１  多面取り基板、１ｐ  評価用多面取り基板、１Ａ，１Ｂ  ガラス基板、２Ａ  偏光板、３  スクライブライン、４  偏光板剥離用刃物、５  ガラススクライブ形成用ホイール、７  位置決め制御部、１０，１００  分断稼動部、２０，２０Ｘ，２０Ｙ，２００  液晶表示パネル製造装置。
【図１】
2006084633.tif 000003
【図２】
2006084633.tif 000004
【図３】
2006084633.tif 000005
【図４】
2006084633.tif 000006
【図５】
2006084633.tif 000007
【図６】
2006084633.tif 000008
【図７】
2006084633.tif 000009
【図８】
2006084633.tif 000010
【図９】
2006084633.tif 000011
【図１０】
2006084633.tif 000012
【図１１】
2006084633.tif 000013
【図１２】
2006084633.tif 000014