(57)【要約】【課題】  本発明は、機能液を安定して吐出させることができると共に、機能液流路を延長させることのない吐出ヘッド装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】  本発明の吐出ヘッド装置１３は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド６１と、機能液タンク１０１からの機能液を導入する１次室１６１、連通流路１６３を介して１次室１６１に連なり、流出ポート２０１から機能液滴吐出ヘッド６１に機能液を供給する２次室１６２、および大気圧を調整基準圧力として連通流路１６３を開閉する圧力調整部を有する圧力調整弁１４１と、接続流路が形成され、機能液滴吐出ヘッド６１および流出ポート２０１を接続する接続管ブロック３０１と、を備えたことを特徴とする。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、
機能液タンクからの機能液を導入する１次室、連通流路を介して前記１次室に連なり、流出ポートから前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する２次室、および大気圧を調整基準圧力として前記連通流路を開閉する圧力調整部を有する圧力調整弁と、
接続流路が形成され、前記機能液滴吐出ヘッドおよび前記流出ポートを接続する接続管ブロックと、を備えたことを特徴とする吐出ヘッド装置。
【請求項２】
前記流出ポートに接続する前記接続管ブロックの一端には、前記流出ポートの下流端に形成されたねじ部に螺合して、前記流出ポートと前記接続流路とを接続するねじ部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の吐出ヘッド装置。
【請求項３】
前記機能液滴吐出ヘッドは、前記機能液を吐出するヘッド本体と、
前記ヘッド本体に前記機能液を導入するための接続針と、を有しており、
前記機能液滴吐出ヘッドに接続する前記接続管ブロックの一端には、前記接続針を抜き差し自在に受容する受容部が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の吐出ヘッド装置。
【請求項４】
複数の前記機能液滴吐出ヘッドを単一のヘッドプレートに位置決めして搭載したヘッドユニットと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに接続される複数の前記接続管ブロックと、
前記複数の接続管ブロックを接続した複数の前記圧力調整弁を単一のバルブプレートに搭載したバルブユニットと、を備え、
前記複数の圧力調整弁は、接続した前記複数の接続管ブロックが、前記ヘッドプレート上における前記機能液滴吐出ヘッドの接続針の配置パターンに倣って配置されるように、前記バルブプレートに位置決めされることを特徴とする請求項３に記載の吐出ヘッド装置。
【請求項５】
機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド機構と、
機能液を供給する機能液タンクに連なる１次室、前記機能液滴吐出ヘッド機構に連なる２次室、および大気圧を調整基準圧力として前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路を開閉する圧力調整部を有する圧力調整弁機構と、
を共通のハウジングに作り込んだことを特徴とする吐出ヘッド装置。
【請求項６】
前記機能液タンクをさらに備え、
前記機能液タンクは、前記１次室と一体に形成されていることを特徴とする請求項５に記載の吐出ヘッド装置。
【請求項７】
前記機能液タンクに貯留する前記機能液の液面の波立ちを防止する消波手段をさらに備えたことを特徴とする請求項６に記載の吐出ヘッド装置。
【請求項８】
前記消波手段は、前記機能液タンクに貯留する前記機能液の液面の略全域を覆うように設けたフロート部材であることを特徴とする請求項７に記載の吐出ヘッド装置。
【請求項９】
前記消波手段は、前記機能液の満減液範囲に亘って、前記機能液タンクの平面視長手方向を複数の空間に仕切る仕切り壁であることを特徴とする請求項７に記載の吐出ヘッド装置。
【請求項１０】
前記機能液タンクに貯留する機能液を、タンク底部から排液する排液手段をさらに備えたことを特徴とする請求項６ないし９のいずれかに記載の吐出ヘッド装置。
【請求項１１】
前記ハウジングは、前記機能液滴吐出ヘッド機構を作り込んだヘッドハウジング部と、
前記圧力調整弁機構を作り込んだバルブハウジング部と、を有し、
前記ヘッドハウジング部は、前記バルブハウジング部に対して着脱自在に接合していることを特徴とする請求項５ないし１０のいずれかに記載の吐出ヘッド装置。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の吐出ヘッド装置と、
ワークに対して、前記吐出ヘッド装置を相対的に移動させるヘッド移動手段と、
前記ワークに対して、相対的に移動する前記吐出ヘッド装置を吐出駆動させることにより、前記ワーク上に機能液滴による描画を行う制御手段と、を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置、または請求項１４に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液を吐出する吐出ヘッド装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、インク供給室（１次室）と、インク供給孔（連通孔）を介してインク供給室に連なる圧力室（２次室）と、を備え、圧力室内の圧力（インク圧）に基づいてインク供給孔を開閉することにより、圧力室内のインク圧を所定圧に調整する圧力調整弁が知られている。そして、従来のインクジェット式記録装置では、インクカートリッジ（機能液タンク）と記録ヘッド（機能液滴吐出ヘッド）とを接続するチューブに、この種の圧力調整弁を介設することにより、インクカートリッジから記録ヘッドに供給するインク（機能液）のインク供給圧を精度良く保持するようになっている。
【特許文献１】特開２００３−２１１７０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、機能液滴吐出ヘッド内に気泡が混入するとドット抜け等が生じるため、機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液は脱気度が高いことが好ましい。しかしながら、従来のインクジェット式記録装置のように圧力調整弁をチューブにより配管接続する構成を採用すると、チューブを介して送液中の機能液に空気が溶け込んでしまうため、機能液の脱気度を維持することができない。
また、可撓性を有するチューブを用いて圧力調整弁と機能液滴吐出ヘッドと
を接続した場合、チューブの撓みや曲がり等に起因して圧力調整弁から機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液の供給圧力にばらつきを生じやすく、機能液滴吐出ヘッドの吐出精度に悪影響を与える惧れがある。
さらに、チューブを用いた配管接続には継手が必要となるため、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液流路が長くなり、無駄となる機能液量が増加するといった問題も生じる。
【０００４】
以上の問題を鑑み、本発明は、機能液を安定して吐出させることができると共に、機能液流路を延長させることのない吐出ヘッド装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の吐出ヘッド装置は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、機能液タンクからの機能液を導入する１次室、連通流路を介して１次室に連なり、流出ポートから機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する２次室、および大気圧を調整基準圧力として連通流路を開閉する圧力調整部を有する圧力調整弁と、接続流路が形成され、機能液滴吐出ヘッドおよび流出ポートを接続する接続管ブロックと、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、圧力調整弁の流出ポートと機能液滴吐出ヘッドとは、接続ブロックによって接続されるので、流出ポートから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液流路に曲がりや撓みが生じることがない。したがって、安定した機能液供給圧で、機能液を機能液滴吐出ヘッドまで送液することができ、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を安定に保つことができる。
【０００７】
この場合、流出ポートに接続する接続管ブロックの一端には、流出ポートの下流端に形成されたねじ部に螺合して、流出ポートと接続流路とを接続するねじ部が形成されていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、流出ポートのねじ部に対して、接続管ブロックのねじ部を螺合させることにより、流出ポートと接続管ブロックとを直接接続することができる。すなわち、流出ポートおよび接続管ブロックを接続するために、継手等の接続手段を別途設ける必要がなく、機能液流路の短縮化に寄与することができる。なお、流出ポートのねじ部を雌ねじ、接続管ブロックのねじ部を雄ねじとしてもよいし、流出ポートのねじ部を雄ねじ、接続管ブロックのねじ部を雌ねじとしてもよい。
【０００９】
これらの場合、機能液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出するヘッド本体と、ヘッド本体に機能液を導入するための接続針と、を有しており、機能液滴吐出ヘッドに接続する接続管ブロックの一端には、接続針を抜き差し自在に受容する受容部が設けられていることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、接続ブロックの受容部に、機能液滴吐出ヘッドの接続針を差し込むことにより、接続ブロックおよび機能液滴吐出ヘッドを接続することができると共に、接続ブロックの受容部から機能液滴吐出ヘッドの接続針を引き抜くことにより、接続ブロックから機能液滴吐出ヘッドを外すことができる。すなわち、接続ブロックに対し、容易かつ迅速に機能液滴吐出ヘッドを着脱することができ、機能液滴吐出ヘッド着脱時の操作性を向上させることができる。
【００１１】
この場合、複数の前記機能液滴吐出ヘッドを単一のヘッドプレートに位置決めして搭載したヘッドユニットと、複数の機能液滴吐出ヘッドに接続される複数の接続管ブロックと、複数の接続管ブロックを接続した複数の圧力調整弁を単一のバルブプレートに搭載したバルブユニットと、を備え、複数の圧力調整弁は、接続した複数の接続管ブロックが、ヘッドプレート上における機能液滴吐出ヘッドの接続針の配置パターンに倣って配置されるように、バルブプレートに位置決めされることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、複数の接続ブロックは、圧力調整弁を介して、ヘッドプレート上における機能液滴吐出ヘッドの接続針の配置パターンに倣って位置決め配置される。すなわち、バルブプレートに支持された複数の接続ブロックと、ヘッドユニットに搭載された複数の機能液滴吐出ヘッドの接続針と、の配置パターンを同一のものとすることができる。したがって、ヘッドユニットに対し、バルブプレートを位置決めすることにより、複数の接続ブロックと複数の機能液滴吐出ヘッドの接続針との接続を一括して行うことができ、装置組み立て時等における操作性および利便性を著しく向上させることができる。
【００１３】
本発明の吐出ヘッド装置は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド機構と、機能液を供給する機能液タンクに連なる１次室、機能液滴吐出ヘッド機構に連なる２次室、および大気圧を調整基準圧力として１次室と２次室とを連通する連通流路を開閉する圧力調整部を有する圧力調整弁機構と、を共通のハウジングに作り込んだことを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、共通のハウジングに機能液滴吐出ヘッド機構および圧力調整弁機構が作り込まれているので、これらを接続するためのチューブ等の接続手段を必要とせず、機能液滴吐出ヘッド機構および圧力調整弁機構間の機能液流路を短く抑えることができる。このため、機能液の無駄を削減することが可能である。また、圧力調整弁機構から機能液滴吐出ヘッド機構に至る機能液流路に曲がりや撓みが生じることがなく、機能液滴吐出ヘッド機構に機能液を安定して送液することができる。さらに、接続手段を介して、機能液滴吐出ヘッド機構および圧力調整弁機構間の機能液流路を送液される機能液に気体が溶け込むことがなく、機能液の脱気度を維持することができる。したがって、ドット抜け等を生じさせることなく、機能液滴吐出ヘッド機構から機能液滴を精度よく吐出させることができる。
【００１５】
この場合、機能液タンクをさらに備え、機能液タンクは、１次室と一体に形成されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッド機構に至る機能液流路の長さを極端に短縮することができ、機能液タンクに貯留した機能液を効率的に利用することができる。
【００１７】
この場合、機能液タンクに貯留する機能液の液面の波立ちを防止する消波手段をさらに備えることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、機能液の液面の波立ち（揺れ）に起因する機能液タンク内の圧力変動を抑えることができる。
【００１９】
この場合、消波手段は、機能液タンクに貯留する機能液の液面の略全域を覆うように設けたフロート部材であることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、機能液の液面に浮かぶフロート部材が、液面の波立ちを吸収するため、液面の波立ちを抑えることができる。なお、フロート部材は、液面の増減に追従し、落し蓋様に機能液の液面を覆っている。
【００２１】
この場合、消波手段は、機能液の満減液範囲に亘って、機能液タンクの平面視長手方向を複数の空間に仕切る仕切り壁であることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、仕切り壁により仕切られた空間の機能液に生じた波立ちが、隣接する空間の機能液に伝播することがなく、機能液の液面に生じる波立ちを最小限に抑えることができる。なお、仕切り壁の下端は、機能液タンクの底面よりも高い位置に設定され、仕切られた複数の空間は、下端部が連通した状態となっている。すなわち、この連通部を介して各空間に機能液が供給され、各空間内の液面高さは同一に保持される。
【００２３】
これらの場合、機能液タンクに貯留する機能液を、タンク底部から排液する排液手段をさらに備えることが好ましい。
【００２４】
この構成によれば、機能液タンクに残留した機能液を外部に排出することができ、機能液タンクを常に新鮮な機能液で満たしておくことができる。一方、排出した機能液をリサイクルすることも可能である。また、機能液タンクから機能液を排出することにより、機能液タンクのメンテナンス性を向上させることができる。
【００２５】
これらの場合、ハウジングは、機能液滴吐出ヘッド機構を作り込んだヘッドハウジング部と、圧力調整弁機構を作り込んだバルブハウジング部と、を有し、ヘッドハウジング部は、バルブハウジング部に対して着脱自在に接合していることが好ましい。
【００２６】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッド機構と圧力調整弁機構の寿命が異なる場合のように、一方に不具合が生じた場合には、これを取り外して交換することができ、正常な部分を効率的に利用することができる。
【００２７】
本発明の液滴吐出装置は、上記のいずれかに記載の吐出ヘッド装置と、ワークに対して、吐出ヘッド装置を相対的に移動させるヘッド移動手段と、ワークに対して、相対的に移動する吐出ヘッド装置を吐出駆動させることにより、ワーク上に機能液滴による描画を行う制御手段と、を備えていることを特徴とする。
【００２８】
この構成によれば、本発明の液滴吐出装置は、上記のいずれかに記載の吐出ヘッド装置を備えているので、ワークに対して精度よく描画を行うことができる。また、上記に記載の吐出ヘッド装置は、機能液流路の短縮を図っているため、機能液を効率的に利用することができる。
【００２９】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記に記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。また本発明の電気光学装置は、上記に記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３０】
これらの構成によれば、ワークに対して精度良く描画を行うことができ、描画のための機能液を効率的に利用できる上記の液滴吐出装置を用いて電気光学装置の製造が行われるため、効率的な製造が可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置またはＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００３１】
本発明の電子機器は、上記に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３２】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。 
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した第1実施形態の液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成する。
【００３４】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド６１を有する描画装置３と、描画装置３に添設するように機台２上に載置したヘッド保守装置４と、を備えている。また、液滴吐出装置１には、図外の制御装置５が設けられており、制御装置５による制御に基づいて、描画装置３がワークＷに対する描画動作を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド６１に対して、ヘッド保守装置４が適宜保守動作（メンテナンス）を行うようになっている。
【００３５】
描画装置３は、主走査方向（Ｘ軸方向）に延在するＸ軸テーブル２１およびＸ軸テーブル２１に直交するＹ軸テーブル３１から成るＸ・Ｙ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル３１に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ１２と、メインキャリッジ１２に支持され、複数の機能液滴吐出ヘッド６１を搭載した吐出ヘッド装置１３と、を有している。
【００３６】
Ｘ軸テーブル２１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダ２２に、ワークＷをセットするセットテーブル２３を移動自在に搭載して構成されている。セットテーブル２３は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル２４、および吸着テーブル２４にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するθテーブル２５等を有している。Ｙ軸テーブル３１は、Ｘ軸テーブル２１と略同様に構成されており、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダ３２を有し、これに吐出ヘッド装置１３を支持するメインキャリッジ１２をＹ軸方向に移動自在に搭載している。すなわち、Ｘ・Ｙ移動機構１１により、請求項にいうヘッド移動手段が構成されており、Ｘ軸テーブル２１によりワークＷが主走査方向に移動すると共に、Ｙ軸テーブル３１により吐出ヘッド装置１３が副走査方向に移動する。
【００３７】
なお、Ｘ軸テーブル２１は、機台２上に直接支持され、Ｘ軸方向に平行に配設されている。一方、Ｙ軸テーブル３１は、機台２上に立設した左右の支柱４１に支持されており、Ｘ軸テーブル２１およびヘッド保守装置４を跨ぐようにＹ軸方向に延在している（図１および図２参照）。そして、描画装置３では、Ｘ軸テーブル２１およびＹ軸テーブル３１が交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリア４２、Ｙ軸テーブル３１およびヘッド保守装置４が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド６１に対する機能回復処理を行う保守エリア４３となっており、ワークＷに描画を行う場合には描画エリア４２に、機能回復処理を行う場合には保守エリア４３に、吐出ヘッド装置１３を臨ませるようになっている。
【００３８】
図３に示すように、吐出ヘッド装置１３は、複数の機能液滴吐出ヘッド６１を搭載したヘッドユニット５１と、ヘッドユニット５１の機能液滴吐出ヘッド６１に機能液を供給する複数の機能液タンク１０１を備えたタンクユニット５２と、機能液タンク１０１から機能液滴吐出ヘッド６１に供給する機能液の供給圧力を一定圧に調整する複数の圧力調整弁１４１を搭載したバルブユニット５３と、機能液タンク１０１、圧力調整弁１４１、および機能液滴吐出ヘッド６１を接続する接続ユニット５４と、を備えている。
【００３９】
図４に示すように、ヘッドユニット５１は、機能液滴吐出ヘッド６１を搭載した複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド６１と、１２個の機能液滴吐出ヘッド６１を支持するヘッドプレート６２と、上記したメインキャリッジ１２に支持されると共に、ヘッドプレート６２を支持するヘッド支持フレーム６３と、を備えている。
【００４０】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド６１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２を有する機能液導入部７１と、機能液導入部７１に連なる２連のヘッド基板７３と、機能液導入部７１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体７４と、を備えている。
【００４１】
接続針７２は、図外の機能液タンク１０１に接続され、機能液滴吐出ヘッド６１のヘッド内流路に機能液を供給する。ヘッド本体７４は、キャビティ７５（ピエゾ圧電素子）と、吐出ノズル７８が開口したノズル面７７を有するノズルプレート７６と、で構成されている。ノズル面７７には、多数（１８０個）の吐出ノズル７８から成るノズル列が２列形成されている。機能液滴吐出ヘッド６１を吐出駆動すると、キャビティ７５のポンプ作用により、吐出ノズル７８から機能液滴が吐出される。
【００４２】
ヘッドプレート６２は、ステンレス等からなる方形の厚板で構成されている。ヘッドプレート６２には、１２個の機能液滴吐出ヘッド６１を位置決めし、これを、裏面側からヘッド保持部材８１を介して固定するための１２個の装着開口（図示省略）が形成されている。１２個の装着開口は、２個ずつ６組に分けられており、各組の装着開口は、一部が重複するように、機能液滴吐出ヘッド６１のノズル列と直交する方向に（ヘッドプレート６２の長手方向）に位置ずれして形成されている。すなわち、１２個の機能液滴吐出ヘッド６１は、２個ずつ６組に分けられ、ノズル列と直交する方向において、各組の機能液滴吐出ヘッド６１のノズル列が一部重複するように、階段状に配置される（図４参照）。
【００４３】
なお、各機能液滴吐出ヘッド６１に形成された２列のノズル列は、４ドット分のピッチを有して配設された多数（１８０個）の吐出ノズル７８によってそれぞれ構成されており、両ノズル列は、列方向に２ドット分位置ずれして配設されている。すなわち、各機能液滴吐出ヘッド６１には、２列のノズル列により、２ドットピッチの描画ラインが形成されている。一方、同一組の隣接する２個の機能液滴吐出ヘッド６１は、それぞれの（２ドットピッチの）描画ラインが列方向に１ドット分位置ずれするように配設され、一組の機能液滴吐出ヘッド６１により、１ドットピッチの描画ラインが形成される。すなわち、同一組２個の機能液滴吐出ヘッド６１は、１／４解像度の各ノズル列が相互位置ずれするように配置され、他の５組１０個の機能液滴吐出ヘッド６１と合わせて、１描画ラインの高解像度（１解像度）のノズル列が構成されるようになっている。
【００４４】
ヘッド支持フレーム６３は、メインキャリッジ１２のキャリッジ本体３１３（後述する）に着脱自在に支持されている。ヘッド支持フレーム６３は、略方形の枠状に形成され、（機能液滴吐出ヘッド６１を搭載した）ヘッドプレート６２を下側から遊嵌するヘッド開口（図示省略）を有している。ヘッド支持フレーム６３には、ヘッドプレート６２の側端面に当接して、これを位置決めする３本の位置決めピンが設けられており、ヘッド支持フレーム６３に対して、ヘッドプレート６２を精度良く位置決め保持させることができるようになっている。なお、ヘッド支持フレーム６３には、一対のハンドル８２が取り付けられており、この一対のハンドル８２を手持ち部位として、ヘッド支持フレーム６３（ヘッドユニット５１）をメインキャリッジ１２に着脱可能に投入できるようになっている。
【００４５】
図３および図６に示すように、タンクユニット５２は、上記したバルブユニット５３と共に共通支持フレーム９１に支持されており、共通支持フレーム９１を介して、メインキャリッジ１２（キャリッジ本体３１３）に搭載される。共通支持フレーム９１は、タンクユニット５２のタンクプレート１０２およびバルブユニット５３のバルブユニット５３（いずれも後述する）を位置決めした状態で支持している。ヘッド支持フレーム６３と同様に、共通支持フレーム９１にも把持部となる一対のハンドル９２が設けられている。
【００４６】
図６に示すように、タンクユニット５２は、ヘッドユニット５１の各機能液滴吐出ヘッド６１に対応して、これに機能液を供給する１２個の機能液タンク１０１と、１２個の機能液タンク１０１を支持するタンクプレート１０２と、を備えている。
【００４７】
機能液タンク１０１は、カートリッジ形式のものであり、機能液を真空パックした機能液パック１１１と、機能液パック１１１を収容する扁平な箱状の樹脂製のカートリッジケース１１２と、で構成されている（図９参照）。なお、機能液パック１１１に貯留される機能液は、その溶存気体量は略ゼロとなるように予め脱気されており、機能液滴吐出ヘッド６１からの液滴吐出時に、機能液中に気泡によりドット抜け等が生じないよう配慮されている。
【００４８】
機能液パック１１１は、２枚の長方形の（可撓性の）フィルムシート１１３を重ね合わせて熱溶着した袋状のものに、機能液を供給する樹脂製の供給口１１４を取り付けたものであり、貯留する機能液の減少に伴い、扁平に変形して、機能液を最後まで使い切ることができるように構成されている。フィルムシート１１３には、機能液に対する耐食性や気体非透過性、防水性等を有する複数の素材を積層した積層構造のものが用いられている。供給口１１４には、パック内に連通する連通開口１１５が形成されており、連通開口１１５は、機能液耐食性を有するブチルゴム等の弾性材で構成した閉塞部材１１６により閉栓されている（図９参照）。このような構成により、機能液パック１１１内に空気（酸素）や湿気の侵入することを極力防止できるようになっている。
【００４９】
図６に示すように、タンクプレート１０２は、ステンレス等の厚板で略平行四辺形に形成されており、共通支持フレーム９１に位置決めして固定される。タンクプレート１０２には、機能液タンク１０１の供給口１１４をバルブユニット５３側に向けた状態で機能液タンク１０１を縦置きに位置決めすると共に、これを着脱自在にセットする１２個のセット部１２１と、セット前の機能液タンク１０１をセット部１２１に導くセットガイド部１２２と、が設けられている。なお、ここに言う縦置きとは、機能液パック１１１のフィルムシート１１３を略垂直とする置き方であり、フィルムシート１１３が略水平となる横置きに比べ、機能液タンク１０１の設置スペースをコンパクトに抑えることができる。
【００５０】
同図に示すように、１２個のセット部１２１は、ヘッドプレート６２に搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド６１の配置に倣って、１２個の機能液タンク１０１をセットすべく配置されている。セットガイド部１２２は、セット部１２１に連なり、機能液タンク１０１（カートリッジケース１１２）の厚みに合わせて形成した溝である。
【００５１】
図中に示す符号１３１は、セットガイド部１２２上の機能液タンク１０１をスライドさせることによりセット部１２１にセットするためのタンクセット治具である。タンクセット治具１３１は、機能液タンク１０１の後面（供給口１１４の形成面に対向する面）を前方に押し込むことにより、機能液タンク１０１をセット部１２１にセットするセット部材１３２と、セット部材１３２を支持するセット支持部材１３３と、を有している。タンクプレート１０２には、タンク後面側の辺に沿ってガイド溝１３４が形成されており、セット支持部材１３３は、ガイド溝１３４に案内されてタンクプレート１０２上をスライドする。そして、機能液タンク１０１のセット位置に合わせてセット支持部材１３３を移動させることにより、セットガイド部１２２に仮置きした機能液タンク１０１（の後面）にセット支持部材１３３を対峙させることができ、機能液タンク１０１を適切にセットできるようになっている。
【００５２】
図６に示すように、バルブユニット５３は、１２組２４個の圧力調整弁１４１と、１２組２４個の圧力調整弁１４１を支持する２４個のバルブ支持部材１４２と、２４個のバルブ支持部材１４２を介して２４個の圧力調整弁１４１を支持するバルブプレート１４３と、で構成されている。
【００５３】
１２組の圧力調整弁１４１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド６１に対応しており、機能液滴吐出ヘッド６１の接続針７２に、圧力調整弁１４１が１個ずつ対応している（図３、図９等参照）。図７および図８に示すように、圧力調整弁１４１の外郭を構成するバルブハウジング１５１内には、機能液タンク１０１に連なる１次室１６１と、機能液滴吐出ヘッド６１に連なる２次室１６２と、１次室１６１および２次室１６２を連通する連通流路１６３とを形成されている。２次室１６２の１の面には外部に面して円形のダイヤフラム１６４が設けられ、連通流路１６３にはダイヤフラム１６４により開閉動作する弁体１６５が設けられている。そして、機能液タンク１０１から１次室１６１に導入された機能液は、２次室１６２を介して機能液滴吐出ヘッド６１に供給されるが、その際、ダイヤフラム１６４により大気圧を調整基準圧力として、連通流路１６３に設けた弁体１６５が開閉動作することにより、２次室１６２内（機能液）の圧力調整が行われる。
【００５４】
以下、圧力調整弁１４１について詳細に説明するが、圧力調整弁１４１は、ダイヤフラム１６４を垂直にした縦置きで用いられるため、図７（ａ）における紙面の先方を「上」、手前を「下」、左方を「前」および右方を「後」として説明する。なお、図中の符号１６６は、圧力調整弁１４１をフレーム等（本実施形態ではバルブ支持部材１４２）に取り付けるための取付プレート１６６である。
【００５５】
図７および図８に示すように、バルブハウジング１５１は、内部に１次室１６１を形成した１次室ハウジング１５２と、内部に２次室１６２を形成し、１次室ハウジング１５２より一回り大きく形成された２次室ハウジング１５３と、２次室ハウジング１５３にダイヤフラム１６４を固定するリングプレート１５４との３部材で構成され、いずれもステンレス等の耐食性材料で形成されている。１次室ハウジング１５２、２次室ハウジング１５３およびリングプレート１５４は、２次室ハウジング１５３に対し、前後からリングプレート１５４および１次室ハウジング１５２を重ね、複数本の段付平行ピン等でそれぞれ位置決めした後、ねじ止めするようにして組み立てられており、いずれも円形のダイヤフラム１６４の中心を通る軸線と同心円となる外観を有している。そして、１次室ハウジング１５２および２次室ハウジング１５３は、Ｏリング１５７を介して相互に気密に突合せ接合され、２次室ハウジング１５３およびリングプレート１５４は、ダイヤフラム１６４の縁部およびパッキン１５８を挟込み込んで相互に気密に突合せ接合されている。なお、１次室ハウジング１５２および２次室ハウジング１５３は、一体に形成することも可能である。
【００５６】
図８に示すように、１次室ハウジング１５２には、ダイヤフラム１６４と同心となる円錐台（略円筒）形状の１次室１６１が形成されており、１次室１６１の内周壁１６１ａは、後方に向かって僅かに拡開するテーパ面となっている。また、１次室ハウジング１５２の背面上部に形成した上部ボス部１７１には、機能液タンク１０１に連なる流入ポート１７２が形成されている。
【００５７】
流入ポート１７２は、１次室ハウジング１５２の外周面に開口した流入口１７３と、１次室１６１の上端部に開口した１次室側開口１７４と、これらを連通する流入流路１７５とから成り、流入流路１７５は、所定の下り勾配となるように周方向斜めに形成されている。流入口１７３には、流入流路１７５の軸線方向から流入コネクタ（ユニオン継手）が螺合しており、この流入コネクタ１７６が介して、接続ユニット５４の接続チューブ２７１（後述する）が接続されている。流入コネクタ１７６の内部流路は、下流端で拡開形成されており、内部流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。１次室側開口１７４は、１次室の頂部を周方向に外れた位置に開口しており、機能液タンク１０１から流入する機能液は、流入流路１７５の勾配に従って斜めに流下し、１次室側開口１７４から１次室１６１の内周壁１６１ａに沿って１次室１６１に流入する。
【００５８】
図８に示すように、２次室ハウジング１５３と密接する１次室ハウジング１５２の前面には、１次室１６１の外側に位置して断面矩形の第１環状溝１７８が形成され、この第１環状溝に上記のＯリング１５７が挿填されている。また、１次室ハウジング１５２の下部は、弓形に切り欠かれており、この欠損部分には、接続ユニット５４の接続管ブロック３０１（後述する）が配設される。
【００５９】
図８に示すように、２次室ハウジング１５３には、ダイヤフラム１６４を取り付けるための前面を開放した円錐台（略円筒）形状の主室１８１、および主室１８１の後方に連なり、主室側に拡開した円錐台（略円筒）形状のばね室１８２から成る２次室１６２と、ばね室１８２と１次室１６１を連通する上記の連通流路１６３とが形成されている。また、これら主室１８１、ばね室１８２および連通流路１６３は、いずれもダイヤフラム１６４と同心の円形断面を有している。ただし、連通流路１６３は、後述する弁体１６５の軸部２２２がスライド自在に収容される円形断面の軸遊挿部１９１と、軸遊挿部１９１から径方向四方に延びる十字状断面の流路部１９２とで構成されている（図７（ｂ）参照）。
【００６０】
主室１８１の内周壁１８１ａは、ダイヤフラム１６４のマイナス変形に倣うように前方に向かって大きく拡開するテーパ面となっており、このテーパ面の下端部に臨むように流出ポート２０１が形成されている。流出ポート２０１は、２次室ハウジング１５３の背面下部に位置する傾斜ボス部２０２に形成されおり、２次室ハウジング１５３の背面下部（１次室ハウジング１５２の弓形の欠損部分）に開口した流出口２０３と、２次室１６２のテーパ面に開口した２次室側開口２０４と、これらを連通する流出流路２０５とを有している。流出流路２０５は、テーパ面に略直交して所定の下り勾配となるように、前後方向斜めに形成され、２次室１６２から流出する機能液は、２次室側開口２０４から流出流路２０５の勾配に従って斜めに流下し、機能液滴吐出ヘッド６１側に流出する。
【００６１】
なお、流出口２０３を構成する２次室ハウジング１５３の内周面には、雌ねじ部２０６が形成されており、接続ユニット５４の接続管ブロック３０１を螺合するようになっている（詳細は後述する）。
【００６２】
図８（ａ）に示すように、ダイヤフラム１６４は、樹脂フィルムで構成したダイヤフラム本体２１１と、ダイヤフラム本体２１１の内側に貼着した樹脂性の受圧板２１２とで構成されている。受圧板２１２は、ダイヤフラム本体２１１と同心の円板状に、且つダイヤフラム本体２１１に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に後述する弁体１６５の軸部２２２が当接する。ダイヤフラム本体２１１は、耐熱ＰＰ（ポリプロピレン）と特殊ＰＰとシリカを蒸着したＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）とを積層して構成されており、２次室ハウジング１５３の前面と同径の円形に形成されている。ダイヤフラム１６４は、これに外側から添設したパッキン１５８と共にリングプレート１５４により２次室ハウジング１５３の前面に気密に固定される。なお、受圧板２１２は、ダイヤフラム本体２１１の外側に設けてもよいが、後述する弁体１６５の軸部２２２が離接を繰り返すため、ダイヤフラム本体２１１の損傷を防止すべく本実施形態では内側に設けている。
【００６３】
図８に示すように、弁体１６５は、円板状の弁体本体２２１と、弁体本体２２１の中心から断面横「Ｔ」字状を為すように一方向に延びる軸部２２２と、弁体本体２２１の軸部側（前面）に設けた（接着した）環状のバルブシール２２３とで構成されている。弁体本体２２１および軸部２２２は、ステンレス等の耐食材料で一体に形成されており、弁体本体２２１の前面には、軸部２２２の外側に位置して環状の小突起２２４が形成されている。バルブシール２２３は、軟質のシリコンゴムで構成され、その前面には、上記の小突起２２４に対応して、環状の突起となるシール突起２２５が突設されている。このため、弁体１６５の閉弁時には、弁座となる２次室バルブハウジング１５１の背面、すなわち連通流路１６３の開口縁にシール突起２２５が強く当接して、連通流路１６３が１次室側から液密に閉塞される。なお、２次室１６２の僅かな圧力変動に応じて弁体１６５を開閉可能とするために、弁体本体２２１は、ダイヤフラム１６４よりも十分に小さく形成されている。
【００６４】
軸部２２２は、連通流路１６３（軸遊挿部１９１）にスライド自在に遊嵌され、閉弁状態でその先端（前端）が中立位置にあるダイヤフラム１６４の受圧板２１２に当接する。すなわち、ダイヤフラム１６４が外部に向かって膨出するプラス変形の状態では、軸部２２２の前端と受圧板２１２との間には所定の間隙が生じており、この状態からダイヤフラム１６４がマイナス側に変形してゆくと、リングプレート１５４と平行な中立状態で軸部２２２の前端と受圧板２１２とが当接し、さらにダイヤフラム１６４のマイナス変形がすすむと、受圧板２１２が軸部２２２を介して弁体本体２２１を押し開弁させることになる。したがって、２次室１６２の容積のうち、ダイヤフラム１６４がプラス変形から中立状態となる容積分は、１次室側の圧力を一切受けることなく、機能液の供給が為される。
【００６５】
一方、弁体１６５（弁体本体２２１）の背面と１次室１６１の後面壁との間の間には、弁体１６５を２次室側、すなわち閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね２３１が介設されている。同様に、受圧板２１２と２次室１６２のばね室１８２との間には、受圧板２１２を介してダイヤフラム本体２１１を外部に向かって付勢する受圧板付勢ばね２３２が介設されている。この場合、弁体付勢ばね２３１は、弁体１６５の背面に加わる機能液タンク１０１の水頭を補完するものであり、機能液タンク１０１の水頭とこの弁体付勢ばね２３１のばね力により、弁体１６５が閉塞方向に押圧される。一方、受圧板付勢ばね２３２は、ダイヤフラム１６４のプラス変形を補完するものであり、大気圧に対し２次室１６２が僅かに負圧になるように作用する。なお、本実施形態では、ダイヤフラム１６４、弁体、弁体付勢ばね２３１、および受圧板付勢ばね２３２によって、請求項にいう圧力調整部が構成されている。
【００６６】
ここで、圧力調整弁１４１の動作について説明する。機能液滴吐出ヘッド６１による機能液の消費（吐出）により２次室１６２の負圧が増すと、ダイヤフラム１６４がプラス変形の状態から、ダイヤフラム１６４が大気圧に押されて中立状態からマイナス変形に移行する。これにより、受圧板２１２を介して弁体１６５が押されてゆっくり開弁する。弁体１６５が開弁すると、連通流路１６３を介して１次室１６１から２次室１６２に機能液が流入する。これにより２次室１６２の圧力が増し、弁体１６５がゆっくりと閉弁する。そして、弁体１６５の閉弁後も大気圧に抗して受圧板付勢ばね２３２が作用してゆき、ダイヤフラム１６４をプラス変形させると共に、２次室１６２内の機能液圧力を僅かに負圧状態にさせる。上記の動作をゆっくり繰り返すことにより、２次室１６２をほぼ一定の圧力に維持したまま、機能液が供給される。
【００６７】
このように、弁体１６５は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド６１に連なる２次室１６２と圧力バランスにより弁体１６５が進退して開閉するが、その際、弁体付勢ばね２３１および受圧板付勢ばね２３２に力が分散して作用し、且つ軟質シリコンゴムのバルブシール２２３の弾性力が作用するため、その開閉動作は、極めてゆっくりなものとなる。したがって、弁体１６５の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド６１の吐出駆動に影響を与えないようになっている。もちろん、機能液タンク側（１次側）で発生する脈動等も、弁体１６５で縁切りされるため、これを吸収する（ダンパー機能）ことも可能である。
【００６８】
そして、本実施形態の圧力調整弁１４１は、大気圧を調整基準圧力として弁体が開閉する構造であるため、１次側が極端に高い圧力とならない限り、一定の低い圧力で機能液を機能液滴吐出ヘッド６１に供給することができる。すなわち、機能液タンク１０１の水頭に影響されることなく、機能液の機能液滴吐出ヘッド６１に対する供給を安定に行うことができるようになっている。
【００６９】
なお、２次室１６２内の機能液の圧力は、受圧板付勢ばね２３２により大気圧よりも低い圧力に維持されており、機能液滴吐出ヘッド６１（ノズル面７７）の位置と、圧力調整弁１４１（ダイヤフラム１６４の中心）の位置との高低差を一定の値（本実施形態では９５ｍｍ）にしておくことにより、機能液滴吐出ヘッド６１からの液垂も防止される。本実施形態では、上記した取付プレート１６６の両面に、ダイヤフラム１６４の中心位置を示す線状のマーク２４１が刻設されており、圧力調整弁１４１を設置するときの指標として、このマーク２４１が用いられるようになっている。
【００７０】
各バルブ支持部材１４２は、バルブプレート１４３にねじ止めする固定部２４５と、固定部２４５から鉛直に延び、圧力調整弁１４１をねじ止めする鉛直支持部２４６と、を有しており、（取付プレート１６６を介して）圧力調整弁１４１を位置決めし、かつ縦置き状態で支持している（図９等参照）。上述したように、圧力調整弁１４１の１次室１６１、２次室１６２、および連通流路１６３は、ダイヤフラム１６４と同心の円形に形成されているため、圧力調整弁１４１を縦置きするとその内壁に気泡が残留し難くなっている。したがって、圧力調整弁１４１を縦置きすることにより、流入ポート１７２から供給された機能液に気泡が混入していたとしても、気泡は１次室１６１または２次室１６２の上方に溜まるため、流出ポート２０１から気泡が流出することを防止できるようになっている。
【００７１】
図６に示すように、バルブプレート１４３は、タンクユニット５２（タンクプレート１０２）と同様に、共通支持フレーム９１に位置決めして固定されている。バルブプレート１４３には、１２組２４個のバルブ支持部材１４２が立設されていると共に、１２個のバルブ開口２５１が形成されており、これらは１２個の機能液滴吐出ヘッド６１のそれぞれに対応している。具体的には、１２組２４個の圧力調整弁１４１をバルブ支持部材１４２に固定すると、各圧力調整弁１４１に固定された２４個の接続管ブロック３０１が、１２個の機能液滴吐出ヘッド６１の接続針７２の配置に倣って配置されると共に、その一端（受容部：後述する）がバルブ開口２５１から下方に突出し、機能液滴吐出ヘッド６１の各接続針７２に対して、各接続管ブロック３０１とを差し込み接続できるようになっている（詳細は後述する）。
【００７２】
図９に示すように、接続ユニット５４は、機能液タンク１０１と圧力調整弁１４１とを接続するタンク側接続ユニット２６１と、機能液滴吐出ヘッド６１と圧力調整弁１４１とを接続するヘッド側接続ユニット２６２と、を備えている。
【００７３】
タンク側接続ユニット２６１は、同一の機能液滴吐出ヘッド６１に対応する、機能液タンク１０１と（２個の）圧力調整弁１４１とを接続する１２本の接続チューブ２７１と、機能液タンク１０１に接続チューブ２７１を接続するための接続具２７２と、を有している。なお、圧力調整弁１４１の流入口１７３には、ユニオン継手で構成された流入コネクタ１７６が設けられており、圧力調整弁１４１および接続チューブ２７１は、この流入コネクタ１７６を介して接続される。
【００７４】
図９に示すように、各接続チューブ２７１は、途中で２分岐しており、単一の機能液タンク１０１と２個の圧力調整弁１４１とを接続できるようになっている。接続チューブ２７１は、機能液パック１１１と同様に、機能液に対する耐食性、気体非透過性、防水性等を考慮した積層構造のもので構成されている。
【００７５】
図９に示すように、接続具２７２は、機能液タンク１０１および接続チューブ２７１を接続するための１２個のタンク側アダプタ２７３を有している。タンク側アダプタ２７３は、接続チューブ２７１の一端に直接接続されるチューブ接続部２７４と、機能液タンク１０１に接続されるタンク接続部２７５と、を有しており、両接続部２７４、２７５の内部には、機能液を供給するための機能液流路が形成されている。
【００７６】
チューブ接続部２７４は、接続チューブ２７１を軸心に挿嵌する円筒雄ねじ部２８１と、円筒雄ねじ部２８１を支持するチューブ側フランジ２８２と、円筒雄ねじ部２８１の外側に螺合する雌ねじキャップ２８３と、円筒雄ねじ部２８１と雌ねじキャップ２８３との間に介設され、接続チューブ２７１を液密に保持するチューブ側Ｏリング２８４と、で構成されている。一方、タンク接続部２７５は、軸心に流路を形成したタンク接続針２９１と、タンク接続針２９１を保持するタンク側フランジ２９２と、チューブ側フランジ２８２の接続針受入れ溝２８５に介設したタンク側Ｏリング２９３とで構成されている。チューブ接続部２７４とタンク接続部２７５とは、チューブ側フランジ２８２とタンク側フランジ２９２とをフランジ接合することにより接続される。なお、両Ｏリング２８４、２９３は、ブチルゴム等の機能液耐食性、気体非透過性、および防水性を備えたものであることが好ましい。
【００７７】
図示省略したが、タンク接続針２９１は、先端が鋭利に形成されており、この先端部分には内部流路に連なる微小な複数の流入孔を形成されている。すなわち、タンク接続針２９１は、上記した機能液パック１１１の閉塞部材１１６を貫いて差し込まれることにより機能液パック１１１（機能液タンク１０１）に接続され、機能液パック１１１から機能液を流出させて流路を形成する。また、タンク接続針２９１の基部は接続チューブ２７１に挿入されており、内部流路と接続チューブ２７１の流路とが接続される。
【００７８】
なお、１２個のタンク側アダプタ２７３は、かつ上記したタンクプレート１０２に固定され、直角に折り曲げられた（６個の）アダプタ固定部材２９６に位置決めされた状態で支持されており、セット部１２１に機能液タンク１０１を完全にセット（装着）すると、タンク側アダプタ２７３のタンク接続針２９１と機能液タンク１０１の連通開口１１５とが接続されるようになっている（図９参照）。
【００７９】
ヘッド側接続ユニット２６２は、圧力調整弁１４１とヘッドユニット５１に搭載された機能液滴吐出ヘッド６１の各接続針７２とを接続する２４個の接続管ブロック３０１を備えている（図３等参照）。接続管ブロック３０１は、機能液に対して耐食性を有するステンレス等で構成されており、内部には、機能液流路が形成されている。
【００８０】
図７ないし図９に示すように、接続管ブロック３０１の一端には、雄ねじ部３０２が形成されており、この雄ねじ部３０２を圧力調整弁１４１の流出口２０３に形成された雌ねじ部２０６に螺合させることにより、接続管ブロック３０１の機能液流路と圧力調整弁１４１の流出ポート２０１とを接続できるようになっている。なお、雄ねじ部３０２が形成された接続管ブロック３０１の内部流路は、上流端で拡開形成されており、流路内に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないように構成されている。
【００８１】
一方、接続管ブロック３０１の他端（下流端）には、機能液滴吐出ヘッド６１の接続針７２を抜き差し自在に受容する受容部３０３が設けられている。機能液流路を構成する受容部３０３の内周面には、環状の溝３０４が形成されており、この溝には、機能液耐食性を有するシール材３０５（Ｏリング）が設けられている。これにより、受容部３０３と、これに挿入した機能液滴吐出ヘッド６１の接続針７２とが液密に封止され、接続管ブロック３０１の機能液流路と機能液滴吐出ヘッド６１とが接続される。
【００８２】
接続管ブロック３０１は側面視略「Ｌ」字状に形成されており、接続管ブロック３０１の雄ねじ部３０２を圧力調整弁１４１に固定すると、受容部３０３は、ダイヤフラム１６４と平行な状態で、かつ下向きに保持される。接続管ブロック３０１は、圧力調整弁１４１を介してバルブプレート１４３上に位置決めされており、圧力調整弁１４１をバルブ支持部材１４２に支持させると、ヘッドユニット５１上における機能液滴吐出ヘッド６１の接続針７２の配置に倣って受容部３０３が配置される。このとき、受容部３０３は、バルブプレート１４３のバルブ開口２５１から下方に突出し、機能液滴吐出ヘッド６１の接続針７２と接続可能な状態となる。したがって、メインキャリッジ１２に位置決め固定したヘッドユニット５１に対して、圧力調整弁１４１を搭載したバルブプレート１４３を位置決めすると、複数の機能液滴吐出ヘッド６１（接続針７２）と、複数の接続管ブロック３０１とを一挙に接続することができるようになっている（詳細は後述する）。
【００８３】
このように、機能液滴吐出ヘッド６１と圧力調整弁１４１とは、接続管ブロック３０１により直接接続されているため、可撓性のチューブを用いて接続する場合のように、接続管ブロック３０１と機能液滴吐出ヘッド６１、または接続管ブロック３０１と圧力調整弁１４１との間に継手を介在させる必要がなく、その分機能液流路を短く抑えることができるようになっている。また、接続管ブロック３０１は、可撓性のチューブのように撓むことがないので、機能液流路が変形することが無い。したがって、機能液供給圧力を一定とすることができ、圧力調整弁１４１から機能液滴吐出ヘッド６１に安定して機能液を供給することができる。また、接続管ブロック３０１の受容部３０３の形状を、適用する機能液滴吐出ヘッド６１の接続針７２に形状に合わせて形成することにより、汎用の機能液滴吐出ヘッド６１を含め、様々な機能液滴吐出ヘッド６１を液滴吐出装置１に搭載可能となっている。
【００８４】
図２に示すように、メインキャリッジ１２は、Ｙ軸テーブル３１（Ｙ軸スライダ３２）に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材３１１と、吊設部材３１１の下面に取り付けられ、（ヘッドユニット５１の）θ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構３１２と、θ回転機構３１２の下方に吊設するよう取り付けられ、吐出ヘッド装置１３を支持するボックス状のキャリッジ本体３１３と、で構成されている。
【００８５】
キャリッジ本体３１３（の下面）には、ヘッドユニット５１を遊嵌するための方形の開口が形成されており、キャリッジ本体３１３に対して、（ヘッド支持フレーム６３を介して）ヘッドユニット５１を下側から固定するようになっている。キャリッジ本体３１３にもヘッド支持フレーム６３と同様な位置決め機構が設けられており、ヘッドユニット５１を位置決めした状態でキャリッジ本体３１３に固定できるようになっている。
【００８６】
また、キャリッジ本体３１３には、タンクユニット５２、バルブユニット５３、および接続ユニット５４を搭載した共通支持フレーム９１を支持する直方体形状の４個の支持ブロック３１４が設けられている。支持ブロック３１４には、キャリッジ本体３１３に装着されたヘッドユニット５１に対し、共通支持フレーム９１を位置合わせした状態でキャリッジ本体３１３に搭載するための位置決めガイド機構３７１（後述する）が設けられている。
【００８７】
このように、本実施形態では、吐出ヘッド装置１３全体をメインキャリッジ１２（キャリッジ本体３１３）に搭載することにより、機能液タンク１０１から機能液滴吐出ヘッド６１に至る機能液流路を著しく短縮することができるようになっている。
【００８８】
ここで、描画装置３における描画動作について簡単に説明する。先ず、描画前の準備として、セットテーブル２３にセットされたワークＷのθ補正を行うと共に、ヘッドユニット５１のθ補正を行う。次に、Ｘ・Ｙ移動機構１１（Ｘ軸テーブル２１）を駆動して、ワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に往動させる。ワークＷの往動と同期して、（１２個の）機能液滴吐出ヘッド６１が選択的に駆動され、ワークＷに対する機能液の選択的な吐出動作が行われる（主走査）。ワークＷが一往動すると、Ｘ・Ｙ移動機構１１（Ｙ軸テーブル３１）をさらに駆動して、ヘッドユニット５１を副走査（Ｙ軸）方向に所定距離だけ移動させる（副走査）。
【００８９】
そして、Ｘ・Ｙ移動機構１１を駆動して、ワークＷを復動させると共に、これと同期して機能液滴吐出ヘッド６１の選択的な駆動を行う（主走査）。ワークＷの一復動が終了すると、Ｘ・Ｙ移動機構１１により、ヘッドユニット５１を副走査させる。このような主走査および副走査が繰り返されることにより、ワークＷに対する描画がなされてゆく。
【００９０】
なお、本実施形態では、ワークＷを移動させることにより主走査を行っているが、Ｘ軸テーブル２１にヘッドユニット５１を支持させ、固定のワークＷに対し、ヘッドユニット５１を移動させることにより主走査を行うことも可能である。この場合、メインキャリッジ１２に搭載するバルブユニット５３の圧力調整弁１４１は、そのダイヤフラム１６４が主走査方向と平行になるよう配設される。これにより、主走査時（機能液滴の吐出時）にダイヤフラム１６４が受ける慣性の影響を最小限とすることができる。したがって、主走査時に２次室１６２内に圧力変動が生じることを抑えることができ、ワークＷに対する描画精度を安定させることができる。
【００９１】
ヘッド保守装置４は、機台２上に載置され、Ｘ軸方向に延在する移動テーブル３２１と、移動テーブル３２１上に載置した吸引ユニット３２２と、吸引ユニット３２２に並んで移動テーブル３２１上に配設されたワイピングユニット３２３と、を備えている。移動テーブル３２１は、Ｘ軸方向に移動可能に構成されており、機能液滴吐出ヘッド６１の保守時には、吸引ユニット３２２およびワイピングユニット３２３を適宜保守エリア４３に移動させる構成となっている。なお、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド６１から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド６１から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット等を、ヘッド保守装置４に搭載することが好ましい。
【００９２】
図１に示すように、吸引ユニット３２２は、キャップスタンド３３１と、キャップスタンド３３１に支持され、機能液滴吐出ヘッド６１のノズル面７７に密着させる（機能液滴吐出ヘッド６１の配置に対応した１２個の）キャップ３３２と、各キャップ３３２を介して（１２個の）機能液滴吐出ヘッド６１を吸引可能な単一の吸引ポンプ３３３と、各キャップ３３２と吸引ポンプ３３３とを接続する吸引チューブ（図示省略）と、を有している。なお、図示省略したが、キャップスタンド３３１には、モータ駆動により、各キャップ３３２を昇降させるキャップ昇降機構３３４が組み込まれており、保守エリア４３に臨んだヘッドユニット５１の各機能液滴吐出ヘッド６１に対して、対応するキャップ３３２を離接できるようになっている。
【００９３】
そして、機能液滴吐出ヘッド６１の吸引を行う場合には、キャップ昇降機構３３４を駆動して、機能液滴吐出ヘッド６１のノズル面７７にキャップ３３２を密着させると共に、吸引ポンプ３３３を駆動する。これにより、キャップ３３２を介して機能液滴吐出ヘッド６１に吸引力を作用させることができ、機能液滴吐出ヘッド６１から機能液が強制的に排出される。この機能液の吸引は、機能液滴吐出ヘッド６１の目詰まりを解消／防止するために行われる他、液滴吐出装置１を新設した場合や、ヘッドユニット５１における機能液滴吐出ヘッド６１のヘッド交換を行う場合などに行われ、機能液タンク１０１から機能液滴吐出ヘッド６１に至る機能液流路に機能液を充填される。
【００９４】
なお、キャップ３３２は、機能液滴吐出ヘッド６１の捨て吐出（予備吐出）により吐出された機能液を受けるフラッシングボックスの機能を有しており、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する描画を一時的に停止するときに行う定期フラッシングの機能液を受けるようになっている。この捨て吐出（フラッシング動作）では、キャップ昇降機構３３４は、機能液滴吐出ヘッド６１のノズル面７７からキャップ３３２（の上面）を僅かに離間する位置に移動させる。
【００９５】
また、吸引ユニット３２２は、液滴吐出装置１の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド６１を保管するためにも用いられる。この場合、保守エリア４３にヘッドユニット５１を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド６１のノズル面７７にキャップ３３２を密着させる。これにより、ノズル面７７が封止され、機能液滴吐出ヘッド６１（吐出ノズル７８）の乾燥を防いで、吐出ノズル７８のノズル詰まりを防止できるようになっている。
【００９６】
図１に示すように、ワイピングユニット３２３は、巻取りモータ３４２（図示省略）の駆動により、ロール状に巻回したワイピングシート３４３を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット３４１と、洗浄液ノズル（噴霧ノズル：図示省略）を有し、繰り出したワイピングシート３４３に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット３４４と、洗浄液が散布されたワイピングシート３４３でノズル面７７を拭取る拭取りユニット３４５と、を備えている。そして、保守エリア４３に位置するヘッドユニット５１に対してワイピングユニット３２３を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド６１のノズル面７７を、洗浄液を含浸したワイピングシート３４３でワイピング動作（拭き取り）することにより、ノズル面７７に付着する（機能液）汚れを除去できるようになっている。
【００９７】
制御装置５は、パソコン等で構成されている。図示省略したが、装置本体には、キーボードやマウス等の入力装置、ＦＤドライブやＣＤ−ＲＯＭドライブ等の各種ドライブ（図示省略）、モニタディスプレイ等の周辺機器が接続されている。
【００９８】
次に、図１０を参照しながら液滴吐出装置１の主制御系について説明する。液滴吐出装置１は、描画装置３を有する描画部３５１と、ヘッド保守装置４を有するヘッド保守部３５２と、描画装置３やヘッド保守装置４の各種センサを有し、各種検出を行う検出部３５３と、各部を駆動する駆動部３５４と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部３５５（制御装置５）と、を備えている。
【００９９】
制御部３５５には、描画装置３およびヘッド保守装置４を接続するためのインタフェース３６１、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ３６２、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ３６３、ワークＷに描画を行うための描画データや、描画装置３およびヘッド保守装置４からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク３６４、ＲＯＭ３６３やハードディスク３６４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ３６５、これらを互いに接続するバス３６６、が備えられている。
【０１００】
そして、制御部３５５は、描画装置３、ヘッド保守装置４等からの各種データを、インタフェース３６１を介して入力すると共に、ハードディスク３６４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ３６５に演算処理させ、その処理結果を、インタフェース３６１を介して描画装置３やヘッド保守装置４等に出力することにより、各手段を制御している。
【０１０１】
ところで、本実施形態の液滴吐出装置１では、複数の接続管ブロック３０１の配置は、ヘッドユニット５１における複数の機能液滴吐出ヘッド６１の配置パターンに対応しており、描画装置３の組立て時やヘッドユニット５１の着脱時等には、複数の機能液滴吐出ヘッド６１と複数の接続管ブロック３０１とを一度で接続可能に構成されている。具体的には、ヘッドユニット５１を位置決めして搭載したキャリッジ本体３１３に対し、バルブプレート１４３を位置決めして搭載した共通支持フレーム９１を位置合わせして固定することにより、ヘッドユニット５１の全機能液滴吐出ヘッド６１と、バルブプレート１４３の全接続管ブロック３０１と、を接続できるようになっている。
【０１０２】
そして、図３に示すように、キャリッジ本体３１３および共通支持フレーム９１には、全機能液滴吐出ヘッド６１および全接続管ブロック３０１が適切に接続されるよう、共通支持フレーム９１を位置合わせ（ガイド）するための位置決めガイド機構３７１が設けられている。位置決めガイド機構３７１は、キャリッジ本体３１３の４個の支持ブロック３１４に１本ずつ立設された４本のガイド支柱４１と、共通支持フレーム９１に形成され、ガイド支柱４１を挿通する４つのガイド孔３７３と、を有している。
【０１０３】
図示省略したが、４本のガイド支柱のうち、３本のガイド支柱４１は、ガイド孔に遊挿される遊挿部と、遊挿部に連なると共に、下方に拡開した円錐台形状のテーパ部と、を有している。テーパ部の基部（下端）は、ガイド孔３７３の径と同一に形成されている。したがって、４つのガイド孔３７３に（対応する）ガイド支柱４１を挿通させるように、共通支持フレーム９１をキャリッジ本体３１３に載せてゆくと、共通支持フレーム９１は、３本のガイド支柱４１のテーパ部に案内される。これにより、共通支持フレーム９１は、キャリッジ本体３１３に搭載されたヘッドユニット５１と位置合わせされると共に、３つのテーパ部の基部により位置決めされる。なお、ガイド支柱４１の先端部には、雄ねじが切られており、共通支持フレーム９１を位置合わせした状態で、ナット（図示省略）を締結することにより、共通支持フレーム９１を４つの支持ブロック３１４（キャリッジ本体３１３）に固定するようになっている。
【０１０４】
このように、本実施形態では、位置決めガイド機構３７１を用いることにより、ヘッドユニット５１に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド６１とバルブプレート１４３に搭載された２４個の接続管ブロック３０１とを容易に位置合わせすることができ、これらを迅速に接続することができるようになっている。
【０１０５】
次に、第２実施形態の液滴吐出装置について説明する。第２実施形態の液滴吐出装置１は、第１実施形態と略同様に構成されているが、機能液タンクに相当する機能液貯留室４２１および圧力調整弁に相当する圧力調整弁機構４２２が、機能液供給装置４０１として一体に構成されている点で異なっている。なお、ここにいう圧力調整弁機構４２２とは、第１実施形態における圧力調整弁１４１のバルブハウジング１５１を除いた部分、すなわち圧力調整弁１４１の機構部分を示しており、第１実施形態の圧力調整弁と同様の動作原理で機能液の圧力調整を行うものである。以下、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。なお、図面において、第１実施形態と同一概念の部材については、第１実施形態と同様の符号としている。
【０１０６】
図１１に示すように、機能液供給装置４０１は、耐溶剤性およびガスバリア性を備えた共通ハウジング４１１（実施形態ではステンレス）により外郭を構成されている。共通ハウジング４１１は、機能液を貯留する機能液貯留室４２１と、ダイヤフラム１６４を有し、機能液貯留室４２１から機能液滴吐出ヘッド６１に供給する機能液の圧力を調整する圧力調整弁機構４２２と、が作り込まれたハウジング本体４１２と、機能液貯留室４２１の上方を開閉する開閉蓋４１３と、を有している。
【０１０７】
図１１に示すように、ハウジング本体４１２には、機能液貯留室４２１と圧力調整弁機構４２２の２次室１６２とが、隔壁４３１を隔て、隣り合って形成されていると共に、隔壁４３１には、機能液貯留室４２１と２次室１６２とを連通する連通流路１６３が形成されている。同図に示すように、２次室１６２は、機能液貯留室４２１側から拡開する円錐台（テーパ）状に形成され、機能液貯留室４２１と２次室１６２との並設方向に直交するようにダイヤフラム１６４が設けられている。連通流路１６３には、弁体１６５が遊挿されている。機能液貯留室４２１側の隔壁４３１に形成された開口縁が弁座となっており、弁体１６５の閉弁時には、連通流路１６３は（弁体本体２２１によって）機能液貯留室４２１側から液密に閉塞される。
【０１０８】
機能液貯留室４２１には、弁座と対面するように、ダイヤフラム１６４と平行に立設したばね受け板４３２が設けられており、このばね受け板４３２と弁体１６５の背面との間に、圧力調整弁機構４２２の弁体付勢ばね２３１が介設される。すなわち、ばね受け板４３２と機能液貯留室４２１側の隔壁４３１との間の空間が１次室１６１に相当しており、機能液供給装置４０１では、機能液貯留室４２１と１次室１６１とが一体に構成されている。なお、ばね受け板４３２は、機能液貯留室４２１の幅よりも狭く形成されており、１次室１６１および機能液貯留室４２１は、連通した状態となっている。
【０１０９】
機能液貯留室４２１は、開閉蓋４１３を開放することにより、上端部が外部に開放されるいわゆる開放タンクとなっている。機能液貯留室４２１には、機能液供給口１１４が設けられており、外部から機能液を適宜補充可能に構成されている。図示省略したが、機能液貯留室４２１の底面には、機能液を排出する排出口が設けられており、この排出口に機能液処理設備を接続することにより、機能液貯留室４２１に残留する機能液を外部に排出できるようになっている。
【０１１０】
また、ハウジング本体４１２には、２次室１６２から下方に延在する流出ポート２０１が形成されている。２次室側開口２０４は、２次室１６２下端部のテーパ面に開口し、流出口２０３は、ハウジング本体４１２の底面に開口しており、これらを接続する流出流路は、所定の下り勾配となるよう形成されている。ハウジング本体４１２の流出口２０３を形成する部分には、第１実施形態と同様に、雌ねじ部２０６が形成されており、接続管ブロック３０１をねじ込むことができるようになっている。
【０１１１】
接続管ブロック３０１は、直管状に形成されており、接続管ブロック３０１の一端となる雄ねじ部３０２をハウジング本体４１２の雌ねじ部２０６に螺合させると、接続管ブロック３０１の他端となる受容部３０３が下方に向かって垂直な姿勢で保持される。
【０１１２】
なお、本実施形態の機能液貯留室４２１は、ダイヤフラム１６４の変位方向に長い平面視長方形に形成されており、機能液貯留室４２１には、貯留する機能液の波立ちを防止する消波手段４４１が設けられている。図１１に示すように、消波手段４４１は、機能液貯留室４２１に貯留した機能液の液面の略全域を覆うように設けたフロート部材４５１であり、機能液の液面上に浮遊して、液面の波立ち（揺れ）を抑えるようになっている。これにより、機能液貯留室４２１内における機能液の波立ちに起因した圧力変動を防止できるようになっている。
【０１１３】
また、フロート部材４５１に代えて、機能液貯留室４２１を機能液貯留室４２１の長手方向に仕切る複数の仕切り壁４６１を設けるようにしても、同様の効果を得ることが可能である（図１２参照）。各仕切り壁４６１は、機能液貯留室４２１における機能液の上限位置および下限位置に亘って配設されており、仕切り壁４６１によって仕切られる複数の空間は、下端部で相互に連通している。
【０１１４】
メインキャリッジ１２には、共通支持フレーム９１を介して、１２個の機能液供給装置４０１を搭載したタンクプレート１０２が載せ込まれる。各機能液供給装置４０１は、１２個の接続管ブロック３０１を介して、ヘッドユニット５１上の１２個の機能液滴吐出ヘッド６１にそれぞれ接続される。なお、本実施形態では、機能液滴吐出ヘッド６１の２本の接続針７２のうち、１本のみに機能液を供給する構成となっている。
【０１１５】
図１１または図１２に示すように、タンクプレート１０２には、機能液供給装置４０１から下方に突出する接続管ブロック３０１の受容部３０３を遊挿する１２個の遊挿開口４７１が形成されている。タンクプレート１０２には、１２個の機能液供給装置４０１が位置決めされて配置されるが、その配置パターンは、機能液供給装置４０１に固定した１２個の接続管ブロック３０１（の受容部３０３）の配置に基づいて設定されている。すなわち、機能液の供給を受ける機能液滴吐出ヘッド６１の接続針７２の配置と、接続管ブロック３０１の受容部３０３の配置が一致するように、１２個の機能液供給装置４０１の配置が設定されている。これにより、タンクプレート１０２を位置決めしてメインキャリッジ１２に載せ込むと、接続管ブロック３０１と機能液滴吐出ヘッド６１の接続針７２が一括して接続される。
【０１１６】
このように、本実施形態の機能液供給装置４０１では、共通ハウジング４１１に機能液貯留室４２１および圧力調整弁機構４２２が作り込まれ、機能液貯留室４２１の一部が圧力調整弁機構４２２の１次室１６１を兼ねた構成となっているため、機能液貯留室４２１と圧力調整弁機構４２２とを接続するための接続手段（第１実施形態におけるタンク側接続ユニット２６１）を設ける必要がない。すなわち、機能液貯留室４２１および圧力調整弁機構４２２間の機能液流路を最短に抑えることができると共に、機能液供給装置４０１廻りの装置構成を簡易なものとすることができる。
【０１１７】
次に、第３実施形態の液滴吐出装置について説明する。第３実施形態の液滴吐出装置１も、第１実施形態と略同様に構成されているが、圧力調整弁に相当する圧力調整弁機構４２２および機能液滴吐出ヘッドに相当する機能液滴吐出ヘッド機構４８１（機能液滴吐出ヘッド６１のハウジング部分を除いた吐出機構部分）が共通ハウジング４１１に作り込まれ、一体に構成されている点で異なっている。
【０１１８】
図１３に示すように、共通ハウジング４１１の内部上方には、圧力調整弁機構４２２の１次室１６１、２次室１６２、および連通流路１６３が形成されている。一方、共通ハウジング４１１の内部下方には、機能液滴吐出ヘッド機構４８１が設けられており、供給流路４９１を介して２次室１６２に連なるヘッド内流路が形成されていると共に、ヘッド基板７３と、キャビティ７５およびノズルプレート７６から成るヘッド本体７４が組み込まれている。
【０１１９】
このように、圧力調整弁機構４２２および機能液滴吐出ヘッド機構４８１を同一の共通ハウジング４１１内に設けることにより、圧力調整弁機構４２２および機能液滴吐出ヘッド機構４８１間の機能液流路を短縮することができる。また、接続チューブ２７１や接続管ブロック３０１等の接続手段を介することなく、圧力調整弁機構４２２の２次室１６２と機能液滴吐出ヘッド機構４８１のヘッド内流路とを直接連通することができるため、ヘッド内流路に機能液を安定して供給することができる。
【０１２０】
なお、本実施形態では、圧力調整弁機構４２２および機能液滴吐出ヘッド機構４８１を単一のハウジング内に作り込む構成としたが、共通ハウジング４１１を、圧力調整弁機構４２２を組み込んだバルブハウジング部と、機能液滴吐出ヘッド機構４８１を組み込んだヘッドハウジング部と、から成る分割構造とし、これらをねじ等で一体に固定する構成とすることも可能である。
【０１２１】
この場合、バルブハウジング部に、２次室１６２に連なる流出ポートを形成すると共に、ヘッドハウジング部に、ヘッド内流路に連なる流入ポートを形成することが好ましい。そして、バルブハウジング部に開口した流出ポートの流出口は、上記した接続管ブロック３０１の受容部３０３と同様に構成する。一方、流入ポートは、ヘッドハウジング部を機能液滴吐出ヘッド６１の接続針様に突出させ、その内部に形成する。この構成によれば、ヘッドハウジング部の突出部分を流出ポートの流出口に差し込むことにより、ヘッドハウジング部の流入ポートと、バルブハウジング部の流出ポートと、を簡単に接続することができ、機能液滴吐出ヘッド機構４８１に不具合が生じた場合等には、これを容易に交換可能となる。なお、当然のことながら、第１実施形態の圧力調整弁１４１（バルブハウジング１５１）のように、バルブハウジング部をさらに分割構造としてもよい。
【０１２２】
次に、第４実施形態の液滴吐出装置について説明する。図１４に示すように、この液滴吐出装置１の吐出ヘッド装置１３は、機能液滴吐出ヘッドに相当する機能液滴吐出ヘッド機構４８１、圧力調整弁に相当する圧力調整弁機構４２２および機能液タンクに相当する機能液貯留室４２１が共通ハウジング４１１に作り込まれ、一体に構成されている。このように、機能液滴吐出ヘッド機構４８１、圧力調整弁機構４２２および機能液貯留室４２１を共通ハウジング４１１内に作り込むことにより、これらを接続するための接続手段を別途設ける必要が無くなり、機能液流路を極端に短縮することができる。なお、本実施形態の液滴吐出装置１は、第１〜第３実施形態と略同様であり、機能液滴吐出ヘッド機構４８１、圧力調整弁機構４２２および機能液貯留室４２１の装置構成もこれらのものに準じている。
【０１２３】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【０１２４】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１５は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１６は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ６００（フィルタ基体６００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１６（ａ）に示すように、基板（Ｗ）６０１上にブラックマトリクス６０２を形成する。ブラックマトリクス６０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１２５】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス６０２上に重畳する状態でバンク６０３を形成する。即ち、まず図１６（ｂ）に示すように、基板６０１及びブラックマトリクス６０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層６０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム６０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１６（ｃ）に示すように、レジスト層６０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層６０４をパターニングして、バンク６０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク６０３とその下のブラックマトリクス６０２は、各画素領域６０７ａを区画する区画壁部６０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド６１により着色層（成膜部）６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【０１２６】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体６００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク６０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）６０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク６０３（区画壁部６０７ｂ）に囲まれた各画素領域６０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【０１２７】
次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１６（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド６１によって機能液滴を吐出して区画壁部６０７ｂで囲まれた各画素領域６０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド６１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１２８】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する。着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１６（ｅ）に示すように、基板６０１、区画壁部６０７ｂ、および着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂの上面を覆うように保護膜６０９を形成する。
即ち、基板６０１の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜６０９が形成される。
そして、保護膜６０９を形成した後、カラーフィルタ６００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【０１２９】
図１７は、上記のカラーフィルタ６００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置６２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ６００は図１６に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１３０】
この液晶装置６２０は、カラーフィルタ６００、ガラス基板等からなる対向基板６２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層６２２により概略構成されており、カラーフィルタ６００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板６２１およびカラーフィルタ６００の外面（液晶層６２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板６２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１３１】
カラーフィルタ６００の保護膜６０９上（液晶層側）には、図１７において左右方向に長尺な短冊状の第１電極６２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極６２３のカラーフィルタ６００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜６２４が形成されている。
一方、対向基板６２１におけるカラーフィルタ６００と対向する面には、カラーフィルタ６００の第１電極６２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極６２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極６２６の液晶層６２２側の面を覆うように第２配向膜６２７が形成されている。これらの第１電極６２３および第２電極６２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１３２】
液晶層６２２内に設けられたスペーサ６２８は、液晶層６２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材６２９は液晶層６２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極６２３の一端部は引き回し配線６２３ａとしてシール材６２９の外側まで延在している。
そして、第１電極６２３と第２電極６２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ６００の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１３３】
通常の製造工程では、カラーフィルタ６００に、第１電極６２３のパターニングおよび第１配向膜６２４の塗布を行ってカラーフィルタ６００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板６２１に、第２電極６２６のパターニングおよび第２配向膜６２７の塗布を行って対向基板６２１側の部分を作成する。その後、対向基板６２１側の部分にスペーサ６２８およびシール材６２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ６００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材６２９の注入口から液晶層６２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１３４】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板６２１側の部分にカラーフィルタ６００側の部分を貼り合わせる前に、シール材６２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材６２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド６１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜６２４，６２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド６１で行うことも可能である。
【０１３５】
図１８は、本実施形態において製造したカラーフィルタ６００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置６３０が上記液晶装置６２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ６００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置６３０は、カラーフィルタ６００とガラス基板等からなる対向基板６３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層６３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板６３１およびカラーフィルタ６００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１３６】
カラーフィルタ６００の保護膜６０９上（液晶層６３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極６３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極６３３の液晶層６３２側の面を覆うように第１配向膜６３４が形成されている。
対向基板６３１のカラーフィルタ６００と対向する面上には、カラーフィルタ６００側の第１電極６３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極６３６が所定の間隔で形成され、この第２電極６３６の液晶層６３２側の面を覆うように第２配向膜６３７が形成されている。
【０１３７】
液晶層６３２には、この液晶層６３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ６３８と、液晶層６３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材６３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置６２０と同様に、第１電極６３３と第２電極６３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ６００の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１３８】
図１９は、本発明を適用したカラーフィルタ６００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置６５０は、カラーフィルタ６００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１３９】
この液晶装置６５０は、カラーフィルタ６００と、これに対向するように配置された対向基板６５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ６００の上面側（観測者側）に配置された偏光板６５５と、対向基板６５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ６００の保護膜６０９の表面（対向基板６５１側の面）には液晶駆動用の電極６５６が形成されている。この電極６５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極６６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極６５６の画素電極６６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜６５７が設けられている。
【０１４０】
対向基板６５１のカラーフィルタ６００と対向する面には絶縁層６５８が形成されており、この絶縁層６５８上には、走査線６６１及び信号線６６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線６６１と信号線６６２とに囲まれた領域内には画素電極６６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極６６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１４１】
また、画素電極６６０の切欠部と走査線６６１と信号線６６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ６６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線６６１と信号線６６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ６６３をオン・オフして画素電極６６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１４２】
なお、上記の各例の液晶装置６２０，６３０，６５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１４３】
次に、図２０は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置７００と称する）の要部断面図である。
【０１４４】
この表示装置７００は、基板（Ｗ）７０１上に、回路素子部７０２、発光素子部７０３及び陰極７０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置７００においては、発光素子部７０３から基板７０１側に発した光が、回路素子部７０２及び基板７０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部７０３から基板７０１の反対側に発した光が陰極７０４により反射された後、回路素子部７０２及び基板７０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１４５】
回路素子部７０２と基板７０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜７０６が形成され、この下地保護膜７０６上（発光素子部７０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜７０７が形成されている。この半導体膜７０７の左右の領域には、ソース領域７０７ａ及びドレイン領域７０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域７０７ｃとなっている。
【０１４６】
また、回路素子部７０２には、下地保護膜７０６及び半導体膜７０７を覆う透明なゲート絶縁膜７０８が形成され、このゲート絶縁膜７０８上の半導体膜７０７のチャネル領域７０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極７０９が形成されている。このゲート電極７０９及びゲート絶縁膜７０８上には、透明な第１層間絶縁膜７１１ａと第２層間絶縁膜７１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜７１１ａ、７１１ｂを貫通して、半導体膜７０７のソース領域７０７ａ、ドレイン領域７０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール７１２ａ，７１２ｂが形成されている。
【０１４７】
そして、第２層間絶縁膜７１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極７１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極７１３は、コンタクトホール７１２ａを通じてソース領域７０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜７１１ａ上には電源線７１４が配設されており、この電源線７１４は、コンタクトホール７１２ｂを通じてドレイン領域７０７ｂに接続されている。
【０１４８】
このように、回路素子部７０２には、各画素電極７１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ７１５がそれぞれ形成されている。
【０１４９】
上記発光素子部７０３は、複数の画素電極７１３上の各々に積層された機能層７１７と、各画素電極７１３及び機能層７１７の間に備えられて各機能層７１７を区画するバンク部７１８とにより概略構成されている。
これら画素電極７１３、機能層７１７、及び、機能層７１７上に配設された陰極７０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極７１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極７１３の間にバンク部７１８が形成されている。
【０１５０】
バンク部７１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層７１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層７１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層７１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部７１８の一部は、画素電極７１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部７１８の間には、画素電極７１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部７１９が形成されている。
【０１５１】
上記機能層７１７は、開口部７１９内において画素電極７１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層７１７ａと、この正孔注入／輸送層７１７ａ上に形成された発光層７１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層７１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層７１７ａは、画素電極７１３側から正孔を輸送して発光層７１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層７１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１５２】
発光層７１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層７１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層７１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層７１７ａを再溶解させることなく発光層７１７ｂを形成することができる。
【０１５３】
そして、発光層７１７ｂでは、正孔注入／輸送層７１７ａから注入された正孔と、陰極７０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１５４】
陰極７０４は、発光素子部７０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極７１３と対になって機能層７１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極７０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１５５】
次に、上記の表示装置７００の製造工程を図２１〜図２９を参照して説明する。
この表示装置７００は、図２１に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１５６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図２２に示すように、第２層間絶縁膜７１１ｂ上に無機物バンク層７１８ａを形成する。この無機物バンク層７１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層７１８ａの一部は画素電極７１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層７１８ａを形成したならば、図２３に示すように、無機物バンク層７１８ａ上に有機物バンク層７１８ｂを形成する。この有機物バンク層７１８ｂも無機物バンク層７１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部７１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部７１８間には、画素電極７１３に対して上方に開口した開口部７１９が形成される。この開口部７１９は、画素領域を規定する。
【０１５７】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層７１８ａの第１積層部７１８ａａ及び画素電極７１３の電極面７１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極７１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層７１８ｂの壁面７１８ｓ及び有機物バンク層７１８ｂの上面７１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド６１を用いて機能層７１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部７１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１５８】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体７００Ａが得られる。この表示装置基体７００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２３に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【０１５９】
図２４に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド６１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部７１９内に吐出する。その後、図２５に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面７１３ａ）７１３上に正孔注入／輸送層７１７ａを形成する。
【０１６０】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層７１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層７１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層７１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層７１７ａと発光層７１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層７１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層７１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層７１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層７１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａに均一に塗布することができる。
【０１６１】
そして次に、図２６に示すように、各色のうちの何れか（図２６の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部７１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層７１７ａ上に広がって開口部７１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部７１８の上面７１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面７１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部７１９内に転がり込み易くなっている。
【０１６２】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２７に示すように、正孔注入／輸送層７１７ａ上に発光層７１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層７１７ｂが形成されている。
【０１６３】
同様に、機能液滴吐出ヘッド６１を用い、図２８に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層７１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層７１７ｂを形成する。なお、発光層７１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１６４】
以上のようにして、画素電極７１３上に機能層７１７、即ち、正孔注入／輸送層７１７ａ及び発光層７１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１６５】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２９に示すように、発光層７１７ｂ及び有機物バンク層７１８ｂの全面に陰極７０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極７０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極７０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１６６】
このようにして陰極７０４を形成した後、この陰極７０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置７００が得られる。
【０１６７】
次に、図３０は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される放電表示部８０３を含んで概略構成される。放電表示部８０３は、複数の放電室８０５により構成されている。これらの複数の放電室８０５のうち、赤色放電室８０５Ｒ、緑色放電室８０５Ｇ、青色放電室８０５Ｂの３つの放電室８０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１６８】
第１基板８０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極８０６が形成され、このアドレス電極８０６と第１基板８０１の上面とを覆うように誘電体層８０７が形成されている。誘電体層８０７上には、各アドレス電極８０６の間に位置し、且つ各アドレス電極８０６に沿うように隔壁８０８が立設されている。この隔壁８０８は、図示するようにアドレス電極８０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極８０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁８０８によって仕切られた領域が放電室８０５となっている。
【０１６９】
放電室８０５内には蛍光体８０９が配置されている。蛍光体８０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室８０５Ｒの底部には赤色蛍光体８０９Ｒが、緑色放電室８０５Ｇの底部には緑色蛍光体８０９Ｇが、青色放電室８０５Ｂの底部には青色蛍光体８０９Ｂが各々配置されている。
【０１７０】
第２基板８０２の図中下側の面には、上記アドレス電極８０６と直交する方向に複数の表示電極８１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層８１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜８１３が形成されている。
第１基板８０１と第２基板８０２とは、アドレス電極８０６と表示電極８１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極８０６と表示電極８１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極８０６，８１１に通電することにより、放電表示部８０３において蛍光体８０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１７１】
本実施形態においては、上記アドレス電極８０６、表示電極８１１、及び蛍光体８０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板８０１におけるアドレス電極８０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板８０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２３に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド６１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１７２】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極８０６が形成される。
【０１７３】
ところで、上記においてはアドレス電極８０６の形成を例示したが、上記表示電極８１１及び蛍光体８０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極８１１の形成の場合、アドレス電極８０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体８０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド６１から液滴として吐出し、対応する色の放電室８０５内に着弾させる。
【０１７４】
次に、図３１は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置９００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置９００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置９００は、互いに対向して配置された第１基板９０１、第２基板９０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部９０３を含んで概略構成される。電界放出表示部９０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部９０５により構成されている。
【０１７５】
第１基板９０１の上面には、カソード電極９０６を構成する第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ９０８を形成した導電性膜９０７が形成されている。すなわち、第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７により複数の電子放出部９０５が構成されている。導電性膜９０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ９０８は、導電性膜９０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１７６】
第２基板９０２の下面には、カソード電極９０６に対峙するアノード電極９０９が形成されている。アノード電極９０９の下面には、格子状のバンク部９１１が形成され、このバンク部９１１で囲まれた下向きの各開口部９１２に、電子放出部９０５に対応するように蛍光体９１３が配置されている。蛍光体９１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部９１２には、赤色蛍光体９１３Ｒ、緑色蛍光体９１３Ｇおよび青色蛍光体９１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１７７】
そして、このように構成した第１基板９０１と第２基板９０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置９００では、導電性膜（ギャップ９０８）９０７を介して、陰極である第１素子電極９０６ａまたは第２素子電極９０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極９０９に形成した蛍光体９１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１７８】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂ、導電性膜９０７およびアノード電極９０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体９１３Ｒ，９１３Ｇ，９１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１７９】
第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７は、図３２（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３２（ｂ）に示すように、予め第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜９０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜９０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板９０１および第２基板９０２に対する親液化処理や、バンク部９１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１８０】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１８１】
【図１】本発明の実施形態に係る描画装置の平面模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係る描画装置の正面模式図である。
【図３】キャリッジ本体廻りの正面図である。
【図４】ヘッドユニットの平面図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図６】共通支持フレーム廻りの説明図である。
【図７】圧力調整弁廻りの説明図であり、（ａ）は、背面から見た外観斜視図、（ｂ）は、背面図である。
【図８】圧力調整弁廻りの説明図であり、（ａ）は、縦断面図、（ｂ）は、１次室廻りを拡大した縦断面図である。
【図９】吐出ヘッド装置の接続関係を示した説明図である。
【図１０】描画装置の主制御系について説明したブロック図である。
【図１１】第２実施形態における吐出ヘッド装置の説明図である。
【図１２】第２実施形態における吐出ヘッド装置の説明図である。
【図１３】第３実施形態における吐出ヘッド装置の説明図である。
【図１４】第４実施形態における吐出ヘッド装置の説明図である。
【図１５】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１６】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１７】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２０】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２１】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２２】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２３】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２４】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２５】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２６】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２７】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２８】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２９】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３０】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３１】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３２】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１８２】
１  液滴吐出装置                  ３  描画装置
５  制御装置                    １１  Ｘ・Ｙ移動機構
５１  ヘッドユニット              ５３  バルブユニット
６１  機能液滴吐出ヘッド          ６２  ヘッドプレート
７２  接続針                      ７４  ヘッド本体
１０１  機能液タンク              １４１  圧力調整弁
１４３  バルブプレート            １５１  バルブハウジング
１６１  １次室                    １６２  ２次室
１６３  連通流路                  ２０１  流出ポート
２０６  雌ねじ部                  ３０１  接続管ブロック
３０３  受容部                    ４４１  消波手段
４５１  フロート部材              ４６１  仕切り壁
Ｗ  ワーク
【図１】
2006015321.tif 000003
【図２】
2006015321.tif 000004
【図３】
2006015321.tif 000005
【図４】
2006015321.tif 000006
【図５】
2006015321.tif 000007
【図６】
2006015321.tif 000008
【図７】
2006015321.tif 000009
【図８】
2006015321.tif 000010
【図９】
2006015321.tif 000011
【図１０】
2006015321.tif 000012
【図１１】
2006015321.tif 000013
【図１２】
2006015321.tif 000014
【図１３】
2006015321.tif 000015
【図１４】
2006015321.tif 000016
【図１５】
2006015321.tif 000017
【図１６】
2006015321.tif 000018
【図１７】
2006015321.tif 000019
【図１８】
2006015321.tif 000020
【図１９】
2006015321.tif 000021
【図２０】
2006015321.tif 000022
【図２１】
2006015321.tif 000023
【図２２】
2006015321.tif 000024
【図２３】
2006015321.tif 000025
【図２４】
2006015321.tif 000026
【図２５】
2006015321.tif 000027
【図２６】
2006015321.tif 000028
【図２７】
2006015321.tif 000029
【図２８】
2006015321.tif 000030
【図２９】
2006015321.tif 000031
【図３０】
2006015321.tif 000032
【図３１】
2006015321.tif 000033
【図３２】
2006015321.tif 000034
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月8日(2004.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２４】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１５は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１６は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ６００（フィルタ基体６００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１６（ａ）に示すように、基板（Ｗ）６０１上にブラックマトリクス６０２を形成する。ブラックマトリクス６０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２５】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス６０２上に重畳する状態でバンク６０３を形成する。即ち、まず図１６（ｂ）に示すように、基板６０１及びブラックマトリクス６０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層６０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム６０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１６（ｃ）に示すように、レジスト層６０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層６０４をパターニングして、バンク６０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク６０３とその下のブラックマトリクス６０２は、各画素領域６０７ａを区画する区画壁部６０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド６１により着色層（成膜部）６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２７】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１６（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド６１によって機能液滴を吐出して区画壁部６０７ｂで囲まれた各画素領域６０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド６１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２８】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する。着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１６（ｅ）に示すように、基板６０１、区画壁部６０７ｂ、および着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂの上面を覆うように保護膜６０９を形成する。
即ち、基板６０１の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜６０９が形成される。
そして、保護膜６０９を形成した後、カラーフィルタ６００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５５】
次に、上記の表示装置７００の製造工程を図２１〜図２９を参照して説明する。
この表示装置７００は、図２１に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２２に示すように、第２層間絶縁膜７１１ｂ上に無機物バンク層７１８ａを形成する。この無機物バンク層７１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層７１８ａの一部は画素電極７１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層７１８ａを形成したならば、図２３に示すように、無機物バンク層７１８ａ上に有機物バンク層７１８ｂを形成する。この有機物バンク層７１８ｂも無機物バンク層７１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部７１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部７１８間には、画素電極７１３に対して上方に開口した開口部７１９が形成される。この開口部７１９は、画素領域を規定する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５７】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層７１８ａの第１積層部７１８ａａ及び画素電極７１３の電極面７１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極７１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層７１８ｂの壁面７１８ｓ及び有機物バンク層７１８ｂの上面７１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド６１を用いて機能層７１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部７１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５８】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体７００Ａが得られる。この表示装置基体７００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２３に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５９】
図２４に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド６１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部７１９内に吐出する。その後、図２５に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面７１３ａ）７１３上に正孔注入/輸送層７１７ａを形成する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６０】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層７１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層７１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層７１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層７１７ａと発光層７１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層７１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層７１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層７１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層７１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａに均一に塗布することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６４】
以上のようにして、画素電極７１３上に機能層７１７、即ち、正孔注入／輸送層７１７ａ及び発光層７１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６５】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２９に示すように、発光層７１７ｂ及び有機物バンク層７１８ｂの全面に陰極７０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極７０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極７０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2006015321.tif 000035
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６】
2006015321.tif 000036
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
2006015321.tif 000037
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１８】
2006015321.tif 000038
【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１９】
2006015321.tif 000039
【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２０】
2006015321.tif 000040
【手続補正１９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２１】
2006015321.tif 000041
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２２】
2006015321.tif 000042
【手続補正２１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２３】
2006015321.tif 000043
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２４】
2006015321.tif 000044
【手続補正２３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２５】
2006015321.tif 000045
【手続補正２４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２６】
2006015321.tif 000046
【手続補正２５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２７】
2006015321.tif 000047
【手続補正２６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２８】
2006015321.tif 000048
【手続補正２７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２９】
2006015321.tif 000049
【手続補正２８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３０】
2006015321.tif 000050
【手続補正２９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３１】
2006015321.tif 000051
【手続補正３０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３２】
2006015321.tif 000052