(57)【要約】【課題】データ記憶システム内のアクチュエータ非線形性を調整する手法を提供する。【解決手段】データ記憶システム内のアクチュエータ非線形性を調整する手法を提供する。本発明は圧電アクチュエータ、例えばバイモルフ圧電結晶構造または積層圧電結晶構造を実装するアクチュエータに特に有用であるが、他のアクチュエータも同様な非線形性問題を提起する場合がある。一実施形態において本発明は、データ記憶システムの非線形応答を有するアクチュエータに、線形駆動成分と非線形調整成分とを含む信号を印加するステップと、アクチュエータによりデータ記憶媒体に対してデータ記憶ヘッドを位置決めするステップと、を含む方法を提供する。【選択図】図１
2006228417.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データ記憶システムの非線形応答を有するアクチュエータに、線形駆動成分と非線形調整成分とを含む信号を印加するステップと、
前記アクチュエータによりデータ記憶媒体に対してデータ記憶ヘッドを位置決めするステップと、を含む方法。
【請求項２】
前記アクチュエータが圧電結晶素子を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記圧電結晶素子がバイモルフ圧電結晶構造を含み、前記信号が、前記バイモルフ圧電結晶構造を屈曲させることにより前記データ記憶媒体に対して前記データ記憶ヘッドを位置決めさせる、前記バイモルフ圧電結晶構造に印加される電圧を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記圧電結晶素子が積層圧電結晶構造を含み、前記信号が、前記積層圧電結晶構造を膨張または収縮させることにより前記データ記憶媒体に対して前記データ記憶ヘッドを位置決めさせる、前記積層圧電結晶構造に印加される電圧を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
データ記憶媒体に対する前記データ記憶ヘッドの位置に関連する位置誤差信号（ＰＥＳ）を生成するステップと、
テーブルルックアップを行って前記線形駆動成分と前記非線形調整成分とを含む前記信号を選択するステップと、をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
データ記憶媒体に対する前記データ記憶ヘッドの位置に関連する位置誤差信号（ＰＥＳ）を生成するステップと、
テーブルルックアップを行って前記信号の前記非線形調整成分を選択するステップと、をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記非線形応答が前記アクチュエータのヒステリシスによるものであり、前記信号の前記線形駆動成分が前記ヒステリシスが無い場合のアクチュエータ応答を実質的に規定するとともに、前記非線形調整成分が位相ずれを低減するための前記ヒステリシスの調整を規定する、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
磁気テープに対する磁気ヘッドの位置を前記磁気テープ上のサーボパターンを検出することにより識別するステップと、
前記磁気ヘッドの前記識別した位置に基づいて位置誤差信号（ＰＥＳ）を生成するステップと、
アクチュエータの非線形応答に対応するために前記識別した位置および前記ＰＥＳに基づいてテーブルルックアップを行うステップと、
前記アクチュエータに信号を印加して前記磁気ヘッドの前記位置を調整するステップと、を含み、前記信号が少なくとも部分的に前記アクチュエータの前記非線形応答に対応するための前記ルックアップで規定される方法。
【請求項９】
前記アクチュエータが圧電結晶素子を含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記圧電結晶素子がバイモルフ圧電結晶構造を含み、前記信号が、前記バイモルフ圧電結晶構造を屈曲させることにより前記磁気テープに対して前記磁気ヘッドを位置決めさせる、前記バイモルフ圧電結晶構造に印加される電圧を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記圧電結晶素子が積層圧電結晶構造を含み、前記信号が、前記積層圧電結晶構造を膨張または収縮させることにより前記磁気テープに対して前記磁気ヘッドを位置決めさせる、前記積層圧電結晶構造に印加される電圧を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドに結合されて磁気テープに対する前記磁気ヘッドの位置決めを制御する、ヒステリシスによる非線形応答を有するアクチュエータと、
前記アクチュエータに入力信号を提供する制御装置と、を備え、前記入力信号が線形駆動成分と非線形調整成分とを含み、前記入力信号の前記線形駆動成分が前記ヒステリシスが無い場合のアクチュエータ応答を実質的に規定するとともに、前記非線形調整成分が位相ずれを低減するための前記ヒステリシスの調整を規定する装置。
【請求項１３】
前記磁気ヘッドが書き込みヘッド、読み取りヘッド、サーボヘッドおよびベリファイヘッドのうちの１つを備える、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記アクチュエータにより一括して位置決めされる、前記アクチュエータに結合された複数のヘッドをさらに備える、請求項１２に記載の装置。
【請求項１５】
前記アクチュエータが前記磁気テープに対して前記磁気ヘッドを微位置決めする微位置決めアクチュエータを備えるとともに、前記装置が前記磁気テープに対して前記磁気ヘッドを粗位置決めする粗位置決めアクチュエータをさらに備える、請求項１２に記載の装置。
【請求項１６】
前記アクチュエータが圧電結晶素子を備える、請求項１２に記載の装置。
【請求項１７】
前記圧電結晶素子がバイモルフ圧電結晶構造を備え、前記入力信号が、前記バイモルフ圧電結晶構造を屈曲させることにより前記磁気テープに対して前記磁気ヘッドを位置決めさせる、前記バイモルフ圧電結晶構造に印加される電圧を含む、請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記圧電結晶素子が積層圧電結晶構造を備え、前記入力信号が、前記積層圧電結晶構造を膨張または収縮させることにより前記磁気テープに対して前記磁気ヘッドを位置決めさせる、前記積層圧電結晶構造に印加される電圧を含む、請求項１６に記載の装置。
【請求項１９】
前記制御装置がヘッド位置および位置誤差の関数として前記ヒステリシスに対応するようにプログラムされたルックアップテーブルを含み、前記制御装置が前記ヘッド位置を識別するとともに位置誤差を表わす位置誤差信号（ＰＥＳ）を生成し、さらに前記ヘッド位置および前記ＰＥＳに基づいて前記ルックアップテーブルから入力を選択することにより前記入力信号を規定する、請求項１２に記載の装置。
【請求項２０】
前記制御装置がヘッド位置および位置誤差の関数として前記ヒステリシスに対応するようにプログラムされたルックアップテーブルを含み、前記制御装置が前記ヘッド位置を識別するとともに位置誤差を表わす位置誤差信号（ＰＥＳ）を生成し、さらに前記ヘッド位置および前記ＰＥＳに基づいて前記ルックアップテーブルから入力を選択することにより前記入力信号の前記非線形調整成分を規定する、請求項１２に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気テープなどのデータ記憶媒体に関し、より具体的にはデータ記憶媒体に対してヘッドを位置決めするアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
データ記憶媒体は一般にデータの記憶および検索のために用いられており、磁気テープ、磁気ディスク、光テープ、光ディスク、ホログラフィックディスクまたはカード等などの多くの形式がある。磁気テープ媒体は大量のデータを記憶するには今なお経済的である。例えば磁気テープカートリッジ、または大型スプールの磁気テープが大型計算センターでデータをバックアップするために用いられることが多い。また磁気テープカートリッジは、デスクトップまたはノートブック型コンピュータなどのより小型のコンピュータに記憶されたデータのバックアップにも適用される。
【０００３】
磁気媒体においてデータは通例、媒体表面に磁気的に記録される磁気信号として記憶される。媒体に記憶されたデータを「データトラック」に沿って編成し得るとともに、変換ヘッドをデータトラックに対して位置決めしてデータをトラックに書き込むまたはデータをトラックから読み取ることができる。一般的な磁気記憶媒体、例えば磁気テープはデータバンドにいくつかのデータトラックを含み得る。光媒体、ホログラフィック媒体、および他の媒体形式もデータトラックを用いることができる。線形データ記憶媒体とは、データが媒体の長さに沿って直線状に延びる平行なトラックに記憶される磁気テープまたは他のデータ記憶テープ形式などのデータ記憶媒体を指す。
【０００４】
サーボパターンとは、トラッキング目的で用いられる媒体上の信号または他の記録マークを指す。換言すればサーボパターンはデータトラックに対する基準点を提供するために媒体上に記録されている。制御装置は検出したサーボパターンを解読して位置誤差信号を生成する。位置誤差信号をデータトラックに対する読み取りまたは書き込みヘッドの横方向の距離を調整するためのフィードバックとして用いて、ヘッドをデータトラックに沿って適正に位置決めし、データトラックに対するデータの有効な読み取りおよび／または書き込みを行うようにする。時間ベースのサーボパターンおよび振幅ベースのサーボパターンが磁気テープでは一般的である。
【０００５】
アクチュエータとは、データ記憶媒体に対してヘッドを機械的に位置決めする要素を指す。高密度媒体の場合アクチュエータは、媒体表面に記録されたサーボパターンの読み出しに基づいて生成される位置誤差信号に応答し得る。場合によっては粗位置決めアクチュエータを用いてヘッドを所望の箇所にほぼ近接して位置決めすることができるとともに、微位置決めアクチュエータを用いてヘッドを所望の箇所に厳密に位置決めすることができる。粗位置決めアクチュエータは微位置決めアクチュエータよりも大きな可動域を規定し得るが、微位置決めアクチュエータはより高い位置決め精度を有する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一般に本発明はデータ記憶システム内のアクチュエータ非線形性を調整する手法を提供する。本発明は圧電アクチュエータ、例えばバイモルフ圧電結晶素子または積層圧電結晶素子を実装するアクチュエータに特に有用であるが、他のアクチュエータも同様な非線形性問題を提起する場合がある。非線形性とはアクチュエータの応答が入力信号に線形に関係しないアクチュエータの応答に関する現象を指す。
【０００７】
例えば圧電結晶アクチュエータはヒステリシスのために非線形性を示す場合がある。ヒステリシスは一般に圧電結晶素子への入力電圧の変化が圧電結晶素子の所望の膨張または収縮に線形には一致しない圧電動作の現象である。特にヒステリシスは圧電結晶素子内の「記憶（ｍｅｍｏｒｙ）」の形態または圧電結晶素子の非線形応答として見られる。ヒステリシスがあると入力電圧変化により誘発される動作が圧電結晶素子の現在の状態に部分的に依存する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この圧電結晶素子内のヒステリシスに対処するために、本発明は、線形駆動成分および非線形調整成分の両方を含む入力信号を圧電結晶アクチュエータに印加する。信号の線形駆動成分はヒステリシスが無い場合のアクチュエータ応答を実質的に規定するとともに、非線形調整成分はヒステリシスに対応する付加調整を規定する。アクチュエータの制御装置はアクチュエータの現在の位置および現在の位置誤差信号（ＰＥＳ）に基づいて入力信号を識別するために用いられるルックアップテーブルを含み得る。代替的にはルックアップテーブルを用いて非線形調整成分を識別し、その非線形調整成分を線形駆動成分と合成してアクチュエータへの入力信号を規定することができる。
【０００９】
一実施形態において本発明は、データ記憶システムの非線形応答を有するアクチュエータに、線形駆動成分と非線形調整成分とを含む信号を印加するステップと、アクチュエータによりデータ記憶媒体に対してデータ記憶ヘッドを位置決めするステップと含む方法を提供する。
【００１０】
他の実施形態において本発明は、磁気テープに対する磁気ヘッドの位置を磁気テープ上のサーボパターンを検出することにより識別するステップと、磁気ヘッドの識別した位置に基づいて位置誤差信号（ＰＥＳ）を生成するステップと、アクチュエータの非線形応答に対応するために識別した位置およびＰＥＳに基づいてルックアップを行うステップと、アクチュエータに信号を印加して磁気ヘッドの位置を調整するステップと、を含み、信号が少なくとも部分的にアクチュエータの非線形応答に対応するためのルックアップで規定される方法を提供する。
【００１１】
他の実施形態において本発明は、磁気ヘッドと、磁気ヘッドに結合されて磁気テープに対する磁気ヘッドの位置決めを制御する、ヒステリシスによる非線形応答を有するアクチュエータと、アクチュエータに入力信号を提供する制御装置と、を備え、入力信号が線形駆動成分と非線形調整成分とを含み、入力信号の線形駆動成分がヒステリシスが無い場合のアクチュエータ応答を実質的に規定するとともに、非線形調整成分が位相ずれを低減するためのヒステリシスの調整を規定する装置を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の様々な実施形態は１つまたは複数の利点を提供することが可能であり得る。具体的には圧電結晶アクチュエータは、サイズが比較的小さく、質量が小さく、力生成が大きくおよび耐用年数が長いため、従来のアクチュエータに改良を提供することができる。圧電結晶アクチュエータは、従来の「粗動」アクチュエータも備える磁気テープシステム内におけるヘッドの微位置決めアクチュエータとしての利用に特に魅力的である。
【００１３】
さらにまた圧電結晶アクチュエータまたはこのような非線形性を含む他のアクチュエータの非線形性を調整することにより、本発明は位相ずれを大幅に低減することができる。位相ずれとはデータ記憶システム内のヘッド位置の調整に関連する閉ループサーボ応答の遅延を指す。ヒステリシスは位相ずれを大幅に増大する恐れがあり望ましくない。位相ずれが増大すると、データ記憶媒体に対してヘッドを適正に位置決めするのに要する時間が同様に増加する。位相ずれが低減するにつれてサーボループはより急速に収束する。そのため圧電結晶アクチュエータの非線形性を調整することによって、本発明は位相ずれを大幅に低減することができ、それにより閉ループサーボ応答を改善することができる。
【００１４】
ヒステリシスによる非線形性が以下の説明の主な焦点であるが、本発明を圧電結晶アクチュエータ、または非線形性を示す他のアクチュエータに関連する他の非線形性に対処するためにも用い得る。本発明の様々な実施形態の詳細は添付の図面および以下の説明に記載されている。本発明の他の特徴と目的と利点とは説明および図面、ならびに特許請求の範囲から明らかになろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明はデータ記憶システムにおけるアクチュエータ非線形性を調整する手法を提供する。非線形性とはアクチュエータの応答が入力信号に線形に関係しないアクチュエータの応答に関する現象を指す。本発明はバイモルフ圧電結晶素子または積層圧電結晶素子を実装するアクチュエータなどの圧電アクチュエータに特に有用である。しかし多くの他のタイプのアクチュエータも同様な非線形性問題を提起する場合がある。
【００１６】
圧電結晶アクチュエータはヒステリシスのために非線形性を示す場合がある。ヒステリシスは一般に圧電結晶素子への入力電圧の変化が圧電結晶素子の所望の膨張または収縮に線形には一致しない圧電動作の現象である。特にヒステリシスは圧電結晶素子内の「記憶（ｍｅｍｏｒｙ）」の形態または圧電結晶素子の非線形応答として見られる。ヒステリシスがあると入力電圧変化により誘発される動作が圧電結晶素子の現在の状態に部分的に依存する。
【００１７】
さらに具体的にはヒステリシスは圧電結晶内の結晶分極および分子作用に関係している。圧電結晶に電圧が印加される度に、結晶構造のドメインが電界に対して配向するため残存分極が発生する。印加電圧を反転させるとまず残存分極が克服されてから、圧電結晶が反対方向に作用することになる。そのためヒステリシス量は通例、圧電結晶素子の現在の状態を規定する前回印加された電界の強さと方向とに依存する。
【００１８】
圧電結晶素子内のこのヒステリシスに対処するため本発明は、線形駆動成分および非線形調整成分の両方を含む入力信号を圧電結晶アクチュエータに印加する。信号の線形駆動成分はヒステリシスが無い場合のアクチュエータ応答を実質的に規定し、非線形調整成分はヒステリシスに対応する付加調整を規定する。
【００１９】
以下により詳細に説明するようにアクチュエータの制御装置はルックアップテーブルを含み、これを用いてアクチュエータの現在の位置および現在の位置誤差信号（ＰＥＳ）に基づいて入力信号を識別し得る。代替的にはルックアップテーブルを用いて非線形調整成分を識別し、この非線形調整成分を線形成分と合成してアクチュエータへの入力信号を規定することができる。いずれの場合もルックアップテーブルを、ヘッド位置および位置誤差の関数としてヒステリシスに対応するようにプログラムすることができる。
【００２０】
図１は本発明の実施形態によるデータ記憶システム１０のブロック図である。図示のようにアクチュエータ１６はデータ記憶媒体１２に対して１つまたは複数のデータ記憶ヘッド１４の横方向位置決めを制御する。制御装置１８は入力信号をアクチュエータ１６に印加することによりアクチュエータ１６に媒体１２に対してヘッド１４を位置決めさせる。重要なことはアクチュエータへの印加信号が線形駆動成分６と非線形調整成分４とを含むことである。図１内の図示の目的のため加算器８が示されており、加算器を用いて異なる成分を合成することもできる。しかし多くの実施形態では加算器８は本発明を実施するために必須ではない。
【００２１】
いくつかの実施形態においてルックアップテーブルを用いて、ヘッド１４の現在の位置および制御装置により生成される位置誤差信号に基づいて非線形調整成分４を生成する。この場合位置誤差信号を用いて線形駆動成分６を規定し得るが、線形駆動成分６は非線形調整成分４と合成される。しかし他の実施形態ではルックアップテーブルを用いて、ヘッド１４の現在位置および制御装置１８により生成された位置誤差信号に基づいて入力信号を直接選択することができる。この場合入力信号はやはり線形駆動成分６と非線形調整成分４とを含むことになるが、入力信号がルックアップテーブルの直接出力であるためこれらの成分の加算の必要性はなくなる。換言すれば本発明によれば、アクチュエータへの入力信号が線形駆動成分６と非線形調整成分４とを含むが、ルックアップを用いることにより他の加算の必要なく加算された入力信号を直接規定することもできるため、これらの成分の加算が任意であることが重要である。
【００２２】
データ記憶媒体１２は情報記憶および検索に有用な多様な媒体のいずれかを備え得る。データ記憶媒体１２の例には磁気テープ、光磁気テープ、ホログラフィックテープ、または他のテープ形式などの線形媒体がある。他の例には磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ホログラフィックディスクまたはカード、もしくは任意の他のデータ記憶媒体形式があり得る。以下の説明において本発明の多数の態様を磁気テープを備えるデータ記憶媒体１２の状況で説明する。しかし本発明はアクチュエータにより位置決めされるヘッドを用いる多数の他のデータ記憶媒体システムにおいて適用し得る。このような場合においてヘッドとは一般に媒体からデータを読み取りまたは媒体にデータを書き込むために用いられる任意の要素を指す。
【００２３】
ヘッド１４の形式は媒体１２の形式専用であり得る。磁気テープの場合、ヘッド１４は読み取りおよび／または書き込み機能用に開発された多様なヘッドのいずれかを含み得る。磁気テープシステムにおいてヘッドは通例テープと接する。磁気テープシステムで用いられるヘッド１４の例には磁気抵抗（ＭＲ）ヘッド、巨大磁気抵抗（ｇＭＲ）ヘッド、インダクティブヘッド、薄膜ヘッド、Ｃコアを中心に励起コイルを含むＣコアヘッド、および多様な他のタイプのヘッドがある。ヘッド１４はデータを書き込むことができる１つまたは複数の書き込みヘッド、および／または書き込みヘッドにより書き込まれたデータを読み取って例えば書き込まれた状態のデータを検証する１つまたは複数の読み取りヘッドを含み得る。あるヘッドはデータを読み取りおよび書き込みの両方を行うことができるとともに、読み取り要素または書き込み要素のいずれかとして用いてもよい。他のタイプのヘッドは読み取りまたは書き込みのみに適している。
【００２４】
またヘッド１４は１つまたは複数のサーボヘッドを含み得る。このサーボヘッドは例えば媒体１２の表面上の時間ベースまたは振幅ベースのサーボパターンのサーボマークを読み取るために特に設計された特定のタイプの読み取りヘッドである。この場合サーボヘッドは制御装置１８に入力を提供して閉ループフィードバック制御またはヘッド１４の位置決めを行い得る。
【００２５】
アクチュエータ１６は入力信号に対して非線形応答を示す。アクチュエータ１６の例には任意のタイプの圧電結晶があるが、他のタイプのアクチュエータも同様な非線形問題を有し得る。アクチュエータ１６の一例は積層圧電結晶スタックであり、その可動域にわたる電圧により駆動される。この場合アクチュエータ１６への電圧変化はアクチュエータ１６の膨張または収縮を引き起こし、ヘッド１４の所望の横方向移動を誘発することにより媒体１２に対してヘッド１４を位置決めすることができる。アクチュエータ１６の他の例は「バイモルフ」圧電結晶構造であり、接着剤により貼り合わされた平坦圧電結晶を含む。異なる層が電圧変化に応答して異なる率で膨張または収縮するため、バイモルフ圧電結晶構造は結晶に加えられた電圧変化に応答して屈曲する。
【００２６】
制御装置１８はアクチュエータ１６に入力信号を提供して、アクチュエータ１６に媒体１２に対してヘッド１４を位置決めさせる。またアクチュエータへの入力信号は線形駆動成分６と非線形調整成分４とを含む。信号の線形駆動成分６はヒステリシスが無い場合のアクチュエータ応答を実質的に規定し得るとともに、非線形調整成分４は特にヒステリシスに対する調整を規定することができる。ルックアップテーブルを実施して非線形調整成分４を規定し得るが、非線形調整成分４はその後加算器８によって線形駆動成分６に加算される。しかしまたルックアップテーブルを代替的に実施して入力信号を直接選択し得るが、この場合加算器８の必要性はなくなることになる。
【００２７】
いずれの場合も非線形調整成分４の導入により、アクチュエータ１６内の非線形性を調整することができる。さらにまたこのような非線形性を調整することにより本発明はシステム１０の位相ずれを大幅に低減することができる。位相ずれとは媒体１２に対するヘッド１４の位置の調整に関連する閉ループサーボ応答の遅延を指す。ヒステリシスは位相ずれを大幅に増大する恐れがあり望ましくない。位相ずれが増大すると、データ記憶媒体に対してヘッドを適正に位置決めするのに要する時間が同様に増加する。位相ずれが低減するにつれてサーボループはより急速に収束する。そのため非線形調整成分４の導入により非線形性を調整することによって、本発明は位相ずれを大幅に低減することができ、それによりアクチュエータ１６の閉ループサーボ応答を改善することができる。
【００２８】
図２は本発明の実施形態によるデータ記憶システム２０の他のブロック図である。この実施形態においてシステム２０は２つのアクチュエータ、粗動アクチュエータ２８と微動アクチュエータ２６とを含む。微動アクチュエータ２６は本明細書に説明するような圧電結晶素子、または入力信号に対して非線形応答を示す他のアクチュエータを含む。微動アクチュエータ２６は制御装置２５から、ヒステリシスを補償する非線形調整成分を含む入力信号を受け取り得る。どのような場合も粗動アクチュエータ２８および微動アクチュエータ２６は両方ともデータ記憶媒体２２に対する１つまたは複数のデータ記憶ヘッド２４の横方向の位置決めを制御する。制御装置２５は粗動アクチュエータ２８および微動アクチュエータ２６の両方に入力信号を提供して、アクチュエータ２６、２８内に所望の移動を引き起こすことにより媒体２２に対してヘッド２４を位置決めする。
【００２９】
粗動アクチュエータ２８は微動アクチュエータ２６より大きい可動域を規定し得るが、微動アクチュエータ２６はより高い位置決め精度を有する。上記したように微動アクチュエータ２６は本明細書に説明するような圧電結晶素子、または入力信号に対して非線形応答を示す他のアクチュエータを備える。粗動アクチュエータ２８は多様な従来のアクチュエータ、例えばステッパモータ、ボイスコイル、ボールねじアクチュエータ、ウィッグルワーム（ｗｉｇｇｌｅ−ｗｏｒｍ）アクチュエータ、または他のタイプのアクチュエータのいずれかを備え得る。
【００３０】
図３は本発明の実施形態によるデータ記憶システム３０の他のブロック図である。この実施形態においてシステム３０は、サーボヘッド３４と読み取り／書き込みヘッド３６とを含んで具体的に図示されている。圧電アクチュエータ３８はデータ記憶媒体３２に対してヘッド３４および３６を位置決めする圧電結晶素子を備えている。圧電アクチュエータ３８は制御装置３５から、ヒステリシスが無い場合のアクチュエータ応答を実質的に規定する線形駆動成分と位相ずれを低減するためにヒステリシスの調整を規定する非線形調整成分とを含む入力信号を受け取り得る。
【００３１】
サーボヘッド３４は記録されたサーボパターンをデータ記憶媒体３２から検出して制御装置３５にフィードバックを提供する。制御装置３５は検出されたサーボパターンに基づいて生成される位置誤差信号を生成するとともに解読し、さらに圧電アクチュエータ３８を駆動することによりヘッド３４および３６の横方向の位置決めを調整する。つまり制御装置３５、圧電アクチュエータ３８、およびサーボヘッド３４は、読み取り／書き込みヘッド３６をデータ記憶媒体３２の適正なトラックに収束させる閉ループ位置決めシステムを形成する。制御装置３５は、ヘッド位置および位置誤差の関数としてヒステリシスに対応するようにプログラムされたルックアップテーブル（ＬＵＴ）３９を含んでいる。ＬＵＴ３９を用いて線形駆動成分に加算される非線形調整成分を選択し得る、またはＬＵＴ３９を用いて線形駆動成分および非線形調整成分の両方を含む入力信号を直接選択し得る。また入力信号の非線形調整成分の利用で、読み取り／書き込みヘッド３６をデータ記憶媒体３２の適正なトラックに収束させる閉ループ位置決めシステム内の位相ずれを大幅に低減することができる。
【００３２】
図４は例示的な圧電結晶アクチュエータ４０の概念側面図である。圧電結晶アクチュエータ４０は複数の圧電層を含む積層圧電結晶構造４６（圧電積層スタックとも呼ばれる）を備えている。積層圧電結晶構造４６は基板４８上にわたって形成されていてもよい。電圧４９が積層圧電結晶構造４６に印加されると、積層圧電結晶構造４６は膨張または収縮する。磁気記録または読み出し用の磁気ギャップ４４を規定する磁気ヘッド４２が積層圧電結晶構造４６上に位置決めされている。そのため積層圧電結晶構造４６の膨張または収縮は磁気ヘッド４２の横方向の移動を引き起こし、それにより磁気ギャップ４４を磁気媒体のデータトラックに対して位置決めすることができる。
【００３３】
一例として積層圧電結晶構造４６はおよそ２．５センチメートル程度の厚さを規定し得る。この場合積層圧電結晶構造４６はおよそ１５ミクロン程度の可動域を規定し得る。積層圧電結晶構造４６は従来のボイスコイルアクチュエータよりかなり速く入力に応答し得る。さらに従来のアクチュエータに比べて圧電結晶アクチュエータ４０は比較的小さいサイズ、小さい質量、大きな力生成および長い耐用年数を規定し得る。
【００３４】
図５は例示的な圧電結晶アクチュエータ５０の概念側面図である。圧電結晶アクチュエータ５０は、圧電層５３が第２の圧電層５５に接着されたバイモルフ圧電結晶構造５６を備えている。電圧５９がバイモルフ圧電結晶構造５６に印加されると、バイモルフ圧電結晶構造５６の層５３、５５は異なる率で膨張または収縮する。層５３、５５のこの異なる膨張／収縮はバイモルフ圧電結晶構造５６を屈曲させる。磁気記録または読み出し用の磁気ギャップ５４を規定する磁気ヘッド５２がバイモルフ圧電結晶構造５６上に位置決めされている。そのためバイモルフ圧電結晶構造５６の層５３、５５の異なる膨張／収縮は磁気ヘッド５２の横方向の移動を引き起こし、それにより磁気ギャップ５４を磁気媒体のデータトラックに対して位置決めすることができる。一例としておよそ１０ミリメートルの長さを有するバイモルフ圧電結晶の代表的な移動範囲は±２０ミクロンである。
【００３５】
本明細書に説明するように圧電結晶アクチュエータ４０および５０内のヒステリシスに対処するために各アクチュエータへの入力信号（この場合電圧４９および５９）は、特にヒステリシスに関係する非線形調整成分を含むことができる。製造時に、各アクチュエータ４０、５０用のルックアップテーブル内に記憶される入力信号の非線形調整成分を、ヘッド４２、５２の異なる開始位置、およびギャップ４４、５４を磁気テープのトラックに対して再位置決めするために必要とされる異なる調整に対して、事前演算することができる。事前演算非線形調整を、同様なアクチュエータの試験または統計的モデル化に基づいて多数の同様に製造されたアクチュエータに対して規定し得る、または各アクチュエータの実験的テストに基づいて製造された個々のアクチュエータに対して規定し得る。場合によってアクチュエータ毎の製造ばらつきに対処するために、重み係数を加えることにより各作製アクチュエータ内にあることの多いヒステリシスに対応し得る。重み係数はヒステリシスに対処するための控えめな推定値を提供し得る。ルックアップテーブルはヒステリシスに対応するようにアクチュエータに対して製造時に生成し得る。ルックアップテーブルはミクロン単位で、またはアクチュエータの全範囲にわたり任意の係数単位で増加させることができる。収集データに基づくと、１μｍ単位は±１５μｍの動作範囲にわたり有用であると分かった。この場合ルックアップテーブルの長さは３０エレメントであり得る。また帯域幅に対応するため、第２の重み係数を用いてもよい。
【００３６】
図６は本発明の実施形態による手法を図示するフロー図である。図３のシステム３０を参照して図６を説明する。図６に示すように制御装置３５は、サーボヘッド３４により検出されたサーボ信号に基づいて読み取り／書き込みヘッド３６の位置を識別する（６１）。また制御装置３５はサーボ信号に基づいて位置誤差信号を生成する（６２）。
【００３７】
圧電アクチュエータ３８内のアクチュエータ非線形性に対応するために、制御装置３５はルックアップテーブル３９にアクセスする。具体的には制御装置３５は圧電アクチュエータ３８内のこのような非線形性に対応するようにヘッド位置および位置誤差信号に基づいてルックアップを行う（６３）。ルックアップテーブル３９を、ヘッド位置および位置誤差の関数としてヒステリシス調整に対応する入力信号を識別するようにプログラムすることができる。この場合制御装置３５はヘッド位置を識別するとともに位置誤差を表わす位置誤差信号（ＰＥＳ）を生成し、さらにヘッド位置およびＰＥＳに基づいてルックアップテーブル３９から入力を選択することにより入力信号を規定する。
【００３８】
代替的にはルックアップテーブル３９を、ヘッド位置および位置誤差の関数としてヒステリシス調整を識別するようにプログラムすることができる。この場合制御装置３５はヘッド位置およびＰＥＳに基づいてルックアップテーブル３９から入力を選択することにより入力信号の調整部分を規定し、その後その調整部分を入力信号の駆動部分と合成する。入力信号の線形駆動成分をＰＥＳにより、または現在のヘッド位置とヒステリシスが無い場合の必要なアクチュエータ応答とにより規定し得る。いずれの場合も制御装置３５は圧電アクチュエータ３８に電圧を印加してヘッド３４および３６の位置を調整する（６４）。重要なことは、電圧が線形駆動成分および非線形調整成分の両方を含んでいることである。線形駆動成分はヒステリシスが無い場合の必要なアクチュエータ応答を実質的に規定するとともに、非線形調整成分は位相ずれを低減するためにヒステリシスに対応する調整を規定する。
【００３９】
図７は磁気テープ（図７には図示せず）に対して磁気ヘッド７２を位置決めするために用いることができる装置７０の一実施形態のより詳細なブロック図である。システム７０はアクチュエータ７４を含み、このアクチュエータ７４は本明細書に説明するような圧電結晶素子、または入力信号に対して非線形応答を示す任意の他のタイプのアクチュエータを備え得る。アクチュエータ７４は制御装置８５から、アクチュエータ７４に対する線形応答を実質的に規定する線形駆動成分と、アクチュエータ７４の実際の応答の非線形性に対応する調整を規定する非線形調整成分とを含む入力信号を受け取る。
【００４０】
磁気ヘッド７２は１つまたは複数のサーボヘッドと１つまたは複数の読み取りまたは書き込みヘッドとを含む。サーボヘッドは閉ループサーボ位置決めを容易にするために用いられる制御装置８５に入力を提供する。制御装置８５は位置入力信号８３を受け取るとともに、アクチュエータ７４の移動を生じて磁気ヘッド７２を位置決めする。その後ヘッド７２の位置のいかなる残存誤差も制御装置８５内のサーボループ内で、すなわちループが収束するにつれ調整される。
【００４１】
具体的には位置誤差信号（ＰＥＳ）復調器７８はヘッド７２のサーボヘッド素子により検出された信号を受け取る。ＰＥＳ復調器７８は検出されたサーボ信号を復調して位置誤差信号を生成する。ヘッド７２のサーボヘッド素子により検出された位置信号、およびＰＥＳ復調器により生成された位置誤差信号は調整推定器７５に提供される。調整推定器７５はアクチュエータ７４の応答内の非線形性、例えばヒステリシスを補償するために必要な非線形調整を識別するようにプログラムされたルックアップテーブル（ＬＵＴ）８７を含む。
【００４２】
加算器８２は位置誤差信号を位置入力信号８３と加算して、サーボパターンに対するサーボヘッドの任意の検出された位置ずれを補償する。位置入力信号８３は磁気ヘッド７２の所望の位置を規定する制御装置８５への初期入力を含み得る。
【００４３】
補償器８４は加算器８２の出力および調整推定器７５により推定された調整を受け取るとともにアクチュエータ７４により行われる調整を表わす補償信号を生成する。ＤＡＣ８６はデジタル−アナログ変換器を備えており、補償器８４の出力に基づいて電圧信号を生成する。増幅器８８はＤＡＣ８６の出力を増幅してアクチュエータ７４の移動を生じる駆動信号を生成する。
【００４４】
増幅器８８からの駆動信号は、このようなアクチュエータ７４の移動を生じるのに適した電圧を含み得る。ヒステリシスまたは他の非線形性作用により生じる位相ずれを低減するために、印加電圧は駆動成分（線形応答に関する）のみでなく、非線形性に対応する調整成分も含む。このようにして閉ループサーボ応答を改善することができる。
【００４５】
図８は磁気テープ（図８には図示せず）に対して磁気ヘッド９２を位置決めするために用いることができる装置９０の他の実施形態のブロック図である。システム９０は２つのアクチュエータ、粗動アクチュエータ９６と微動アクチュエータ９４とを含む。微動アクチュエータ９４は本明細書に説明するような圧電結晶素子を備えるとともに、制御装置１０５から線形駆動成分と非線形調整成分とを含む入力信号を受け取り得る。どのような場合も粗動アクチュエータ９６および微動アクチュエータ９４は両方ともデータ記憶媒体（図示せず）に対する磁気ヘッド９２の横方向の位置決めを制御する。粗動アクチュエータ９６は微動アクチュエータ９４より大きい可動域を規定し得るが、微動アクチュエータ９４はより高い位置決め精度を有する。
【００４６】
磁気ヘッド９２は１つまたは複数のサーボヘッドと１つまたは複数の読み取りまたは書き込みヘッドとを含む。サーボヘッドは閉ループサーボ位置決めを容易にするために用いられる制御装置１０５に入力を提供する。制御装置１０５は位置入力信号１０３を受け取るとともに、微動アクチュエータ９４の移動を生じて磁気ヘッド９２を位置決めする。その後ヘッド９２の位置のいかなる残存誤差も制御装置１０５内のサーボループにおいて調整される。
【００４７】
具体的にはＰＥＳ復調器９８はヘッド９２のサーボヘッド素子により検出された信号を受け取る。ＰＥＳ復調器９８は検出されたサーボ信号を復調して位置誤差信号を生成する。適応制御装置８０は位置誤差信号を調べるとともに必要に応じて粗動アクチュエータ９６に対して何らかの調整を行う。ヘッド９２のサーボヘッド素子により検出された位置信号、およびＰＥＳ復調器により生成された位置誤差信号は調整推定器９５に提供される。調整推定器９５はアクチュエータ９４の応答内の非線形性、例えばヒステリシスを補償するために必要な非線形調整を識別するようにプログラムされたルックアップテーブル（ＬＵＴ）１０７を含む。
【００４８】
加算器１０２は位置誤差信号を位置入力信号１０３と加算して、サーボパターンに対するサーボヘッドの任意の検出された位置ずれを補償する。位置入力信号１０３は磁気ヘッド９２の所望の位置を規定する制御装置１０５への初期入力を含み得る。
【００４９】
補償器１０４は加算器１０２の出力および調整推定器９５により推定された調整を受け取るとともにアクチュエータ９４により行われる調整を表わす補償信号を生成する。ＤＡＣ１０６はデジタル−アナログ変換器を備えており、補償器１０４の出力に基づいて電圧信号を生成する。増幅器１０８はＤＡＣ１０６の出力を増幅してアクチュエータ９４の移動を生じる駆動信号を生成する。
【００５０】
増幅器１０８からの駆動信号は、このようなアクチュエータ９４の移動を生じるのに適した電圧を含み得る。ヒステリシスまたは他の非線形性作用により生じる位相ずれを低減するために、印加電圧は線形駆動成分（線形応答に関する）のみでなく、非線形性に対応する調整成分も含む。このようにして閉ループサーボ応答を改善することができる。
【００５１】
一般に調整推定器７５または９５（図７または８）はＰＥＳを用いてアクチュエータの方向を判断する、またはいつ方向変化が発生しそうかを判断することができる。本明細書に記載するようにルックアップテーブルを用いることによりアクチュエータ内の非線形性に対応することが可能であり、または非線形調整をすぐに算出することができる。
【００５２】
図９は本発明の実施形態を示す他のブロック図である。この図において値Ｒ（ｎ）は所望のヘッド位置を識別する入力値であるとともに、ｙ（ｎ）は測定された出力位置である。Ｇ（ｓ）１９７はアクチュエータおよびアクチュエータにより移動されるヘッドの両方を表わす。ＰＥＳ（ｚ）は加算器１９１によりＲ（ｎ）からｙ（ｎ）を引くことにより決め得る位置誤差信号を指す。
【００５３】
調整制御装置１９２と、Ｈ（ｚ）１９３と、加算器１９４とは、アクチュエータの線形および非線形ヒステリシスの両方を調整する出力信号を規定する補償器を備え得る。推定器１９８はテーブルルックアップを行って、位置ｙ（ｎ）とＰＥＳ（ｚ）を表わす信号ｘ（ｎ）とに基づいてアクチュエータへの入力信号の非線形調整成分を規定する。調整制御装置１９２は非線形調整成分を実施するかどうかを判断し得る。実施する場合は非線形調整成分を加算器１９４に供給することができるとともに線形駆動成分Ｖ（ｎ）と合成することができる。Ｔｓ１９５は、加算器１９４からの信号のデジタル−アナログ変換を行うスイッチを表わし得る。増幅器１９６は必要に応じて信号を増幅してアクチュエータを駆動し得る。
【００５４】
図１０は図９のシステムにより実施され得る手法を図示するフロー図である。より具体的には調整制御装置１９２および推定器１９８は図１０の手法を実施して、アクチュエータへの非線形調整を生じることによりヒステリシスに対処する。推定器１９８は（２０１）に図示されるように変数を初期化する。ｙ（ｎ−１）はアクチュエータの前回の抽出位置を指すとともにゼロに初期化され、ｙｔｏｌ（ｎ）は一方向におけるアクチュエータの合計変位を指すとともにゼロに初期化される。ｓｉｇｎ（ｎ−１）はアクチュエータの前回の抽出方向を指すとともにゼロに初期化される。ＶＴＨは非線形性ルックアップテーブルを参照したアクチュエータへの指令入力電圧を指すとともにゼロに初期化される。変数ｄｙはアクチュエータ位置の導関数を指すとともにゼロに初期化される。変数ｘ（ｎ−１）は前回の抽出位置誤差信号（ＰＥＳ）を指すとともにゼロに初期化される。変数Ｎはアクチュエータの移動の一方向において測定されたサンプルの合計数（抽出周波数に基づくヒステリシスの周波数範囲を推定するために用いられる）を指すとともにゼロに初期化される。変数ｄｉｒはアクチュエータの方向変化を示す方向フラグを指すとともにゼロに初期化される。変数ｄｘは誤差信号の導関数を指すとともにゼロに初期化される。
【００５５】
推定器１９８が（２０２）に示されるようにデータを復活且つ抽出させると、ｙ（ｎ）はアクチュエータの位置を指し、ｘ（ｎ）は位置誤差信号（ＰＥＳ）を指し、ｄｘはｘ（ｎ）−ｘ（ｎ−１）になり、さらにｄｙはｙ（ｎ）−ｙ（ｎ−１）になる。そして推定器１９８はｄｘの値を判断する（２０３）。ｄｘがゼロより大きい場合には、ｓｉｇｎ（ｎ）は１になる（２０４）。ｄｘがゼロより小さい場合には、ｓｉｇｎ（ｎ）は０になる（２０５）。ｄｘがゼロの場合には、ｓｉｇｎ（ｎ）はｓｉｇｎ（ｎ−１）になる（２０６）。そして推定器はｓｉｇｎ（ｎ−１）に対するｓｉｇｎ（ｎ）の値を調べる（２０７）。ｓｉｇｎ（ｎ）＋ｓｉｇｎ（ｎ−１）がゼロの場合には、方向値ｄｉｒは１に設定される（２０８）。ｓｉｇｎ（ｎ）＋ｓｉｇｎ（ｎ−１）がゼロでない場合には、方向値ｄｉｒは０に設定される（２０９）。そして推定器１９８はｄｉｒの値およびＹｔｏｌを調べる（２１０）。Ｙｔｏｌはアクチュエータが一方向に移動する際のアクチュエータの合計蓄積変位を指す（各サンプルで蓄積する）。ｄｉｒが１であるおよびＹｔｏｌが閾値より大きい場合には、この場合１ミクロンであるが（２１０の真の分岐）、推定器１９８はルックアップを呼び出して、アクチュエータに対する非線形調整成分を規定するＶＴＨを算出する（２１１）。ｄｉｒが１ではないまたはＹｔｏｌが閾値以下である場合には（２１０の偽の分岐）、推定器１９８はＹｔｏｌをＹｔｏｌ＋ｄｙとして設定し、ＮをＮ＋１として設定し、ＶＴＨをゼロとして設定する（２１２）。
【００５６】
場合によっては、ＶＴＨが非ゼロとして規定されても、調整制御装置１９２は例えばアクチュエータの移動が小さすぎて大きなヒステリシスを引き起こさない場合には、ＶＴＨを無視することを選び得る。このように調整制御装置１９２はＶＴＨを用いるかどうかを判断し得る。調整制御装置１９２がこの値を加算器１９４に転送することによりによりＶＴＨを用いる場合には、Ｙｔｏｌをゼロにリセットすることができるとともに、Ｎをゼロにリセットすることができる（２１３）。そしてｓｉｇｎ（ｎ−１）がｓｉｇｎ（ｎ）に設定され、ｙ（ｎ−１）がｙ（ｎ）に設定され、そしてｘ（ｎ−１）がｘ（ｎ）に設定され（２１４）、そしてプロセスは（２０２）に戻って次のサーボ制御ループを行う。
【００５７】
一般に方向変更間にフィードバックループ内で受け取った絶対位置ｙ（ｎ）を蓄積することにより合計変位を決定することができる。合計変位は以下のように規定し得る。
2006228417.tif 000003
ここでｄｙ（ｎ）は現在と前回の抽出位置間のアクチュエータの増分変位または率変化を規定するとともに、Ｙｔｏｌ（ｋ）はアクチュエータが一方向に移動する際のアクチュエータの合計蓄積変位を規定する。
【００５８】
「ｎ」増分の調整がＮというある値に収束するため、Ｎの最終的な値を用いて変位が発生する周波数帯域を推定することができる。周波数帯域は以下のように算出することができる。
2006228417.tif 000004
および
ｆ＝一方向において合計アクチュエータ変位が発生した周波数帯域
【００５９】
移動方向を判断するため、ＰＥＳの勾配を以下のように評価することができる。
2006228417.tif 000005
ここでｘ（ｎ）＝媒体に対するアクチュエータの現在の測定位置誤差、
ｘ（ｎ−１）は前回抽出された位置誤差信号を規定し、さらに
ｄｘ（ｎ）＝位置誤差信号の増分変化率である。
また図１０のフロー図は配置することもできる基本アルゴリズムの一例を図示している。
【００６０】
ＶＴＨの最終的な予測値も重み付けし得る。一例として２つの重み付けパラメータｗｆおよびｗｐを用い得る。
Ｖｆ＝ｗｐｗｆＶＴＨ、
ここでｗｐは、アクチュエータの統計的母集団に基づくスケール係数であり、
ｗｆは、Ｎに基づくルックアップ重み係数（周波数効果）を規定し、
ＶＴＨは、Ｙｔｏｌに基づくルックアップテーブル値であり、さらに
Ｖｆは、アクチュエータの全体母集団を処理するための重み付け統計係数を有する非線形ルックアップテーブルからの導出入力指令電圧である。
調整制御装置１９２は有効ＰＥＳ値があるかどうかを判断し得る。もしある場合は方向変化が有効であるとともに、調整制御装置１９２はヒステリシスを克服する必要がある加算器１９４に必要な増加ゲインをフィードフォワードすることができる。
【００６１】
本発明の多数の実施形態を説明してきた。例えば圧電結晶素子アクチュエータを、データ記憶媒体に対してヘッドを機械的に位置決めするように説明した。さらにまた圧電結晶素子（または同様な非線形性を有する他のアクチュエータ）内のヒステリシスに対処するために、本開示はアクチュエータ入力に対する非線形調整を選択するためのルックアップテーブルを説明した。本発明を磁気テープシステムの状況において具体的に説明したが、多様な他のデータ記憶システムに適用し得る。また圧電アクチュエータのヒステリシスの状況において具体的に説明したが、本発明を圧電アクチュエータまたは他のタイプのアクチュエータの他の非線形性に対処するために用いてもよい。図９および１０を参照して本発明の具体的な実施を説明した。しかし多くの他の実施をこの開示と矛盾なく規定することもできる。これらおよび他の実施形態は特許請求の範囲内にある。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施形態によるデータ記憶システムのブロック図である。
【図２】本発明の実施形態によるデータ記憶システムのブロック図である。
【図３】本発明の実施形態によるデータ記憶システムのブロック図である。
【図４】例示的な圧電結晶積層アクチュエータの概念側面図である。
【図５】例示的な圧電結晶バイモルフアクチュエータの概念側面図である。
【図６】本発明の実施形態による手法を図示するフロー図である。
【図７】磁気テープに対して磁気ヘッドを位置決めするために用いることができる装置の実施形態のブロック図である。
【図８】粗位置決めアクチュエータと微位置決めアクチュエータとを含む装置の実施形態の他のブロック図である。
【図９】本発明の実施形態による装置のさらに他のブロック図である。
【図１０】図９の装置により実施できる手法を図示するフロー図である。
【符号の説明】
【００６３】
４  非線形調整成分
６  線形駆動成分
８  加算器
１０  データ記憶システム
１２  データ記憶媒体
１４  データ記憶ヘッド
１６  アクチュエータ
１８  制御装置
２０  データ記憶システム
２２  データ記憶媒体
２４  データ記憶ヘッド
２５  制御装置
２６  微動アクチュエータ
２８  粗動アクチュエータ
３０  データ記憶システム
３２  データ記憶媒体
３４  サーボヘッド
３５  制御装置
３６  読み取り／書き込みヘッド
３８  圧電アクチュエータ
３９  ルックアップテーブル（ＬＵＴ）
４０  圧電結晶アクチュエータ
４２  磁気ヘッド
４４  磁気ギャップ
４６  積層圧電結晶構造
４８  基板
４９  電圧
５０  圧電結晶アクチュエータ
５２  磁気ヘッド
５３  圧電層
５４  磁気ギャップ
５５  第２の圧電層
５６  バイモルフ圧電結晶構造
５９  電圧
７０  装置／システム
７２  磁気ヘッド
７４  アクチュエータ
７５  調整推定器
７８  位置誤差信号（ＰＥＳ）復調器
８０  適応制御装置
８２  加算器
８３  位置入力信号
８４  補償器
８５  制御装置
８６  ＤＡＣ
８７  ルックアップテーブル（ＬＵＴ）
８８  増幅器
９０  装置／システム
９２  磁気ヘッド
９４  微動アクチュエータ
９５  調整推定器
９６  粗動アクチュエータ
９８  ＰＥＳ復調器
１０２  加算器
１０３  位置入力信号
１０４  補償器
１０５  制御装置
１０６  ＤＡＣ
１０７  ルックアップテーブル（ＬＵＴ）
１０８  増幅器
１９１  加算器
１９２  調整制御装置
１９４  加算器
１９６  増幅器
１９８  推定器
【図１】
2006228417.tif 000006
【図２】
2006228417.tif 000007
【図３】
2006228417.tif 000008
【図４】
2006228417.tif 000009
【図５】
2006228417.tif 000010
【図６】
2006228417.tif 000011
【図７】
2006228417.tif 000012
【図８】
2006228417.tif 000013
【図９】
2006228417.tif 000014
【図１０】
2006228417.tif 000015
【外国語明細書】
2006228417.tif 000016
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