(57)【要約】【課題】露光精度を低下させることなく露光効率の向上を図ることのできる露光装置を提供する。【解決手段】ワーク吸引管１８を昇降駆動する吸引管昇降機構２６が、吸引管支持部材２０の下方に配置されたモータベース２８と、モータベース２８に固定された駆動モータ３０と、駆動モータ３０により回転駆動されるねじ軸を有するボールねじ３４と、ボールねじ３４によりスライド駆動されるスライダを有するリニアガイドと、リニアガイドのスライダと一体に水平方向にスライドするスライド部材５０と、吸引管支持部材２０とスライド部材５０とを連結する複数のリンク部材５２と、リンク部材５２を上下方向に揺動可能に支持する複数の枢支軸５４と、を備えて構成され、リンク部材５２が略くの字形に形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクホルダの下方に配置されたワークステージと、該ワークステージ上に被露光基板を吸着して保持する複数本のワーク吸引管と、該ワーク吸引管を前記ワークステージに対して垂直に支持する吸引管支持部材と、前記ワーク吸引管を昇降駆動する吸引管昇降機構とを備えた露光装置であって、
前記吸引管昇降機構をモータ駆動方式としたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記吸引管昇降機構は、前記吸引管支持部材の下方に配置されたモータベースと、該モータベースに固定された駆動モータと、該駆動モータにより回転駆動されるねじ軸を有するボールねじと、該ボールねじによりスライド駆動されるスライダを有するリニアガイドと、該リニアガイドの前記スライダと一体に水平方向にスライドするスライド部材と、前記吸引管支持部材と前記スライド部材とを連結する複数のリンク部材と、該リンク部材を上下方向に揺動可能に支持する複数の枢支軸と、を備えていることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記リンク部材は、略くの字形に形成されていることを特徴とする請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
前記枢支軸は、前記吸引管支持部材と前記スライド部材との間に配置されていることを特徴とする請求項２又は３記載の露光装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項記載の露光装置において、前記ワーク吸引管の昇降ストロークを調整する昇降ストローク調整機構を、前記昇降機構に設けたことを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタ等を製造するときに用いられる露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタ等を製造するときに用いられる露光装置として、図５に示すような露光装置が知られている（特許文献１参照）。図５において、符号１２は遮光マスクを保持するマスクホルダ、１４はマスクホルダ１２の下方に配置されたプレート状のワークステージを示し、このワークステージ１４には複数の吸引管挿通孔１６がそれぞれ所定位置に穿設されている。これらの吸引管挿通孔１６はワークステージ１４の板厚方向に貫設されており、ワークとしての被露光基板Ｗは吸引管挿通孔１６に挿入された直管状のワーク吸引管１８によりワークステージ１４上に吸着されて保持されるようになっている。
【０００３】
ワーク吸引管１８はワークステージ１４の下面側から吸引管挿通孔１６に挿入されており、ワークステージ１４の下方には、ワーク吸引管１８をワークステージ１４に対して垂直に支持する吸引管支持部材２０が設けられている。この吸引管支持部材２０は例えばプレート状に形成されており、吸引管支持部材２０の下方には、吸引管支持部材２０を介してワーク吸引管１８を昇降駆動するエアーシリンダ等の流体圧シリンダ２２が設けられているとともに、吸引管支持部材２０を介してワーク吸引管１８に加わる衝撃を緩和するショックアブソーバ２４が設けられている。
【０００４】
このような露光装置では、ワーク吸引管１８の吸引力によって被露光基板Ｗがワークステージ１４上に位置決めされるため、マスクホルダ１２に保持されたマスクの露光パターンを被露光基板Ｗのフォトレジスト層に精度よく転写することができる。
【特許文献１】特開平６−３４８０２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、露光効率を高めるために、流体圧シリンダ２２を高速で作動させると、ワーク吸引管１８を図中二点鎖線で示す位置から図中実線で示す位置まで下降させたときに吸引管支持部材２０がショックアブソーバ２４に勢いよく衝突し、ワーク吸引管１８に過大な衝撃力が加わる。このため、ワーク吸引管１８に加わる衝撃力により被露光基板Ｗが位置ずれを起こし、露光精度を低下させる原因となるため、ワーク吸引管１８の昇降速度を増速して露光効率を高めることが困難であった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、露光精度を低下させることなく露光効率の向上を図ることのできる露光装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、請求項１の発明に係る露光装置は、マスクホルダの下方に配置されたワークステージと、該ワークステージ上に被露光基板を吸着して保持する複数本のワーク吸引管と、該ワーク吸引管を前記ワークステージに対して垂直に支持する吸引管支持部材と、前記ワーク吸引管を昇降駆動する吸引管昇降機構とを備えた露光装置であって、前記吸引管昇降機構をモータ駆動方式としたことを特徴とする。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１記載の露光装置において、前記吸引管昇降機構が、前記吸引管支持部材の下方に配置されたモータベースと、該モータベースに固定された駆動モータと、該駆動モータにより回転駆動されるねじ軸を有するボールねじと、該ボールねじによりスライド駆動されるスライダを有するリニアガイドと、該リニアガイドの前記スライダと一体に水平方向にスライドするスライド部材と、前記吸引管支持部材と前記スライド部材とを連結する複数のリンク部材と、該リンク部材を上下方向に揺動可能に支持する複数の枢支軸と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項２記載の露光装置において、前記リンク部材が略くの字形に形成されていることを特徴とする。
請求項４の発明は、請求項２又は３記載の露光装置において、前記枢支軸が前記吸引管支持部材と前記スライド部材との間に配置されていることを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれか一項記載の露光装置において、前記ワーク吸引管の昇降ストロークを調整する昇降ストローク調整機構を、前記昇降機構に設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１〜４の発明に係る露光装置によれば、エアーシリンダ等の流体圧シリンダを使用せずにワーク吸引管を昇降させることが可能となり、流体圧シリンダを用いた場合のようにワーク吸引管に過大な衝撃力が加わるおそれもないので、露光精度を低下させることなく露光効率の向上を図ることができる。
請求項５の発明に係る露光装置によれば、上述した効果に加え、ワークステージの上方に搬送された被露光基板がワーク吸引管によって破損することを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図１〜図４を参照して本発明の一実施形態について説明するが、図５に示したものと同一部分もしくは相当する部分には同一符号を付し、その部分の詳細な説明は割愛する。
図１は本発明の一実施形態に係る露光装置の要部を示す側面図であり、同図に示すように、吸引管支持部材２０の下方には、ワーク吸引管１８を昇降駆動する吸引管昇降機構２６が設けられている。この吸引管昇降機構２６はプレート状のモータベース２８を備えており、モータベース２８の上面には、駆動源としての駆動モータ３０がモータブラケット３２により固定されているとともに、ボールねじ３４及びリニアガイド３６（図２参照）が設けられている。
【００１１】
ボールねじ３４はねじ軸３４ａ及びナット３４ｂを有しており、ねじ軸３４ａには、上記駆動モータ３０の回転軸３０ａがカップリング３８により連結されている。従って、ボールねじ３４のナット３４ｂはねじ軸３４ａが駆動モータ３０により回転駆動されると、これに伴ってねじ軸３４ａの軸方向に直線運動するようになっている。
リニアガイド３６は案内レール３６ａを有しており、この案内レール３６ａはモータベース２８の上面に固定されている。さらに、リニアガイド３６は案内レール３６ａにスライド可能に組み付けられたスライダ３６ｂを有しており、このスライダ３６ｂには、ボールねじ３４のナット３４ｂが固定されているとともに、軸４２（図１参照）を介して昇降ストローク調整機構４４を上下方向に揺動可能に支持するブラケット４０が取り付けられている。
【００１２】
昇降ストローク調整機構４４はワーク吸引管１８の昇降ストロークを調整するための調整ロッド４４１と、この調整ロッド４４１の両端部に形成されたねじ部に各々螺合する二つの調整ナット４４２とを備えており、図１中左側の調整ナット４４２には、支持軸４８を水平に支持する支持部材４６が固定されている。
支持軸４８はリニアガイド３６の案内レール３６ａと水平面内で直交するように中央部を上記支持部材４６により支持されており、この支持軸４８の両端部には、プレート状のスライド部材５０が揺動可能に取り付けられている。
【００１３】
スライド部材５０はリニアガイド３６のスライダ３６ｂがスライドする方向に沿って長方形状に形成されており、各スライド部材５０の長手方向両端部には、略くの字形に形成されたリンク部材５２（図１参照）の一端部が連結されている。
リンク部材５２は吸引管支持部材２０とスライド部材５０との間に配置された枢支軸５４により上下方向に揺動可能に支持されており、各リンク部材５２の両端部にはピン挿通孔５２１，５２２（図３参照）が穿設されている。これらのピン挿通孔５２１，５２２はリンク部材５２の長手方向に沿って長円形状に形成されており、ピン挿通孔５２１を挿通する連結ピン５６はスライド部材５０に連結され、ピン挿通孔５２２を挿通する連結ピン５８は吸引管支持部材２０の下面に固定されたブラケット６０に連結されている。
【００１４】
このような構成において、リニアガイド３６のスライダ３４ｂと一体にスライド部材５０が図１中右方向にスライドすると、リンク部材５２が枢支軸５４を中心に図１中反時計回りに回動する。そして、リンク部材５２が枢支軸５４を中心に図１中反時計回りに回動すると、図４に示すように、吸引管支持部材２０がリンク部材５２の回動量に応じて上昇し、ワーク吸引管１８の上端部をワークステージ１４の上面から突出させる。
【００１５】
したがって、上述した本発明の一実施形態ではエアーシリンダ等の流体圧シリンダを使用せずにワーク吸引管１８を昇降させることが可能となり、流体圧シリンダを用いた場合のようにワーク吸引管１８に過大な衝撃力が加わるおそれもないので、露光精度を低下させることなく露光効率の向上を図ることができる。
また、上述した一実施形態ではワーク吸引管１８の昇降ストロークを調整する昇降ストローク調整機構４４を吸引管昇降機構２６に設けたことにより、ワークステージ１４の上方に搬送された被露光基板Ｗがワーク吸引管１８によって破損することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る露光装置の要部を示す側面図である。
【図２】図１のII−II断面図である。
【図３】図１のIII−III断面図である。
【図４】図１に示す露光装置のワーク吸引管を上昇させたときの状態を示す図である。
【図５】従来の露光装置の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００１７】
Ｗ    被露光基板
１２  マスクホルダ
１４  ワークステージ
１６  吸引管挿通孔
１８  ワーク吸引管
２０  吸引管支持部材
２６  吸引管昇降機構
２８  モータベース
３０  駆動モータ
３２  モータブラケット
３４  ボールねじ
３４ａ  ねじ軸
３４ｂ  ナット
３６  リニアガイド
３６ａ  案内レール
３６ｂ  スライダ
３８  カップリング
４０  ブラケット
４２  軸
４４  昇降ストローク調整機構
４８  支持軸
５０  スライド部材
５２  リンク部材
５４  枢支軸
５６，５８  連結ピン
【図１】
2006276232.tif 000003
【図２】
2006276232.tif 000004
【図３】
2006276232.tif 000005
【図４】
2006276232.tif 000006
【図５】
2006276232.tif 000007