(57)【要約】【課題】  複合分子ポンプ等の真空ポンプのロータにおいて、プレス加工による高速の自動加工を可能として、製造コストの安い真空ポンプのロータを提供する。【解決手段】  外周部に多数の動翼要素２ｃ１を放射状に突出させてなる薄板製の動翼要素円板２ｃの複数枚を、順次角度をずらして積層して動翼段２を形成し、こうして形成した複数の動翼段２間にスペーサリング３を介在させてターボ分子ポンプ部ロータ１Ａを形成し、更に該ターボ分子ポンプロータ１Ａの下に薄板からなる椀状体４ａ、５ａを突出させると共に各椀状体４ａ、５ａの外周部に円筒状体４ｂ又は５ｂを係着固定して第１ロータ４及び第２ロータ５を有するねじ溝真空ポンプ１Ｂを形成した。【選択図】        図１
2006291794.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板体を逆向きの椀状に形成した椀状体のロータ部又は該椀状体と該椀状体の側縁部に固着した円筒状体からなるロータ部により形成した真空ポンプのロータ。
【請求項２】
直径の異なる複数の前記ロータ部を同心円状の内外構造に配置して頂面において互に固定した請求項１に記載の真空ポンプのロータ。
【請求項３】
ターボ分子ポンプ部とねじ溝真空ポンプ部とからなる複合分子ポンプ用として前記ターボ分子ポンプ部ロータの下面に固定する前記ロータ部からなる請求項１又は請求項２に記載の真空ポンプのロータ。
【請求項４】
外側の前記ロータ部の側縁の頂面に折り返し部を形成した請求項２又は請求項３に記載の真空ポンプのロータ。
【請求項５】
前記円筒状体はカーボン繊維強化プラスチックからなることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１に記載の真空ポンプのロータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はねじ溝真空ポンプ、又はターボ分子ポンプ部とねじ溝真空ポンプ部とを有して主として分子流領域において真空排気を行なう複合分子ポンプ等の真空ポンプのロータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の複合分子ポンプの一例の縦断面図を図７に示す。
【０００３】
Ａはターボ分子ポンプ部であり、Ｂはねじ溝真空ポンプ部である。
【０００４】
ターボ分子ポンプ部Ａは、多数の動翼Ｄ１を放射状に突出させてなる動翼段Ｄを、ロータＣの上部に多段に有している。尚、Ｅは静翼段で、前記ターボ分子ポンプ部Ａは、これら動翼段Ｄと静翼段Ｅが交互に配置されてなる。
【０００５】
又、ねじ溝真空ポンプ部Ｂは、前記ロータＣの下部に設けた円筒状のねじ溝真空ポンプ部ロータＦと、内側にねじ溝を有する円筒状のステータＧとからなり、該ステータＧの内周面と前記ねじ溝真空ポンプロータＦの外周面との間には微小の間隙を有している。
【０００６】
ロータＣはその上部において該ロータＣを挿通する回転軸Ｈに係着固定されている。
【０００７】
前記複合分子ポンプの作動は、ロータＣを高速で回転させて吸気口Ｉより吸気し、ターボ分子ポンプ部Ａ及びねじ溝真空ポンプ部Ｂを経て排気口Ｊより排気を行なう。
【０００８】
しかし前記ロータＣは一般にアルミ合金等からなり、複雑な削り出し加工等により製造されていた。
【０００９】
しかし、ターボ分子ポンプ部の静翼段については、薄肉円板にプレスの切り起こし加工を行なって静翼段を形成した例がある（例えば、特許文献１の図４参照。）。
【特許文献１】特開２００４−７６６２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前記アルミ合金等からの削り出し加工によるロータの製造は高度の機械加工技術を要するので、ロータの製造コストが高くなるという問題があった。
【００１１】
本発明は前記の問題点を解消し、高速の自動加工が可能で製造コストの引き下げが可能な真空ポンプのロータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は上記の目的を達成すべく、板体を逆向きの椀状に形成した椀状体のロータ部又は該椀状体と該椀状体の側縁部に固着した円筒状体からなるロータ部により形成した。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の真空ポンプのロータは、プレス成形加工が主たる工程であるため、高速自動加工による製造が可能となり、製造コストを引き下げることができる効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
発明を実施するための最良の形態の実施例を以下に示す。
【実施例１】
【００１５】
本発明の実施例１について図面により説明する。
【００１６】
図１は本発明の複合分子ポンプのロータ１の縦断面図である。
【００１７】
前記ロータ１の上部はターボ分子ポンプ部ロータ１Ａであり、前記ロータ１の下部がねじ溝真空ポンプ部ロータ１Ｂである。
【００１８】
ターボ分子ポンプ部ロータ１Ａは複数の動翼段２を有しており、各動翼段間にはスペーサリング３を介在させて一体に形成されている。
【００１９】
動翼段２の正面図を図２に示した。即ち図２において、２ａは回転軸（図示せず）が挿通する軸孔であり、外周部には多数の動翼２ｂを放射状に突出させている。
【００２０】
図３は図２におけるＸ矢視図であり、前記動翼２ｂは、動翼段２の軸方向に対して傾斜して形成されていることを示している。
【００２１】
前記動翼段２は、図４に示す如き薄板製の動翼段要素円板２ｃの複数枚を軸孔２ａを中心に順次角度をずらして積層して形成されている。
【００２２】
尚、前記動翼段要素円板２ｃの外周部には多数の動翼要素２ｃ１が放射状に突出しており、該動翼要素２ｃ１を複数枚積層させて前記動翼２ｂが形成されている。
【００２３】
又、前記スペーサリング３は図５に示す如き薄板円板３ａの複数枚を積層して形成されており、前記動翼段要素円板２ｃ及び薄板円板３ａを多数積層して形成したターボ分子ポンプ部ロータ１Ａは、各薄板間を接着固定して一体のロータに形成している。
【００２４】
尚、この各薄板間の接着固定方法は、薄板が鋼板等の金属材料からなるときは、溶接、ろう付け、かしめ、又は接着剤によって接着し、或いは各薄板に設けた凹凸部を互いに係合させて係着固定するようにしてもよい。
【００２５】
図１において、前記ねじ溝真空ポンプ部ロータ１Ｂは、外側の第１ロータ４と内側の第２ロータ５とからなる。
【００２６】
該第１ロータ４は、前記ターボ分子ポンプ部ロータ１Ａの下部に下向きに突設した薄板製の第１椀状体４ａと、該第１椀状体４ａの側縁部即ち外周部に係着固定した第１円筒状体４ｂとからなる。
【００２７】
又、第２ロータ５は、前記ターボ分子ポンプ部１Ａの下部の前記第１椀状体４ａの内方に下向きに突設した薄板製の第２椀状体５ａと、該第２椀状体５ａの側縁部即ち外周部に係着固定した第２円筒状体５ｂとからなり、角部はそれぞれ丸味を持った曲がり部４ａｃ、５ａｃに形成されている。
【００２８】
即ち、前記第１ロータ４はその頂面において前記ターボ分子ポンプ部ロータ１Ａの下面に固定され、前記第２ロータ５はその頂面において前記第１ロータ４の頂面の下面に固定されている。
【００２９】
尚、これら第１、第２椀状体４ａ、５ａは薄板の深絞り加工等によって容易に製作することができる。
【００３０】
又、前記第１円筒状体４ｂ及び第２円筒状体５ｂはいずれもカーボン繊維強化プラスチックからなり、同心状の２重円筒構造に配置されている。
【００３１】
尚、これら円筒状体４ｂ、５ｂは、カーボン繊維強化プラスチックの代わりにＴｉ合金Ａｌ合金などの金属製であってもよい。
【００３２】
次に本実施例の複合分子ポンプのロータ１の使用方法等について説明する。
【００３３】
ロータ１は上部多段（図１では６段）の軸流段２を有するターボ分子ポンプ部ロータ１Ａと、その下の第１ロータ４及び第２ロータ５の二重ロータを有するねじ溝真空ポンプ部ロータ１Ｂとからなり、前記ロータ１の中心部の軸孔２ａを挿通する回転軸（図示せず）に係着固定して、高速回転をするようになっている。
【００３４】
尚、ターボ分子ポンプ部ロータ１Ａの相隣る動翼段２の間にはそれぞれ静翼段（図示せず）が有る。
【００３５】
又、ねじ溝真空ポンプ部ロータ１Ｂを形成する２つの円筒状体４ｂ、５ｂの外周部には、それぞれ円筒状のステータ４ｃ、５ｃがあって、前記第１ロータ４と第２ロータ５はこれらステータ４ｃ又は５ｃ内を回動自在に挿通している。
【００３６】
尚、これらステータ４ｃと５ｃは一体に形成され、これらステータ４ｃ、５ｃの内周面部には、ねじ溝真空ポンプ用のねじ溝４ｃｇ又は５ｃｇがそれぞれ刻設されている。
【００３７】
前記ロータ１を装着した複合分子ポンプが作動するときは、排気は前記ロータ１の上部から導入され、ターボ分子ポンプロータ１Ａと前記静翼段とによりポンプ作用を受け、ねじ溝真空ポンプ部ロータ１Ｂの外側にある第１ロータ４と前記ステータ４ｃとの間で再びポンプ作用を受けて下方へ送られ、次いで反転部Ｙで反転をして内側にある第２ロータ５の上部へと導かれ、該第２ロータ５と該第２ロータ５の外周部にある前記ステータ５ｃとの間で再びポンプ作用を受けて下方へ送出される。
【００３８】
このように、本発明のねじ溝真空ポンプ部ロータ１Ｂは薄板製の椀状体４ａ、５ａからなるので、加工が容易であり、又、軽量のロータとすることができる。
【実施例２】
【００３９】
本発明の実施例２を図６により説明する。
【００４０】
図６は本実施例の複合分子ポンプのロータ１０の縦断面図であり、上部のターボ分子ポンプ部ロータ１Ａの下部にねじ溝真空ポンプ部ロータ１Ｃが突設されている。
【００４１】
図６において、６、７及び８はそれぞれ第１ロータ、第２ロータ及び第３ロータであり、６ａ、７ａ及び８ａはそれぞれ第１椀状体、第２椀状体及び第３椀状体であり、又、６ｂ、７ｂ及び８ｂはそれぞれ第１円筒状体、第２円筒状体及び第３円筒状体である。
【００４２】
ここで前記第１椀状体６ａは、運転中及び昇温中における第１円筒状体６ｂとの変位のマッチングを図るために、その側縁部の頂面に折り返し部６ｃを有する構造としている。
【００４３】
又、前記第２椀状体７ａは、その内周部において第２円筒状体７ｂに係合固定している。
【００４４】
又、前記第３椀状体８ａは、それ自体が第３円筒状体８ｂとなって、第３ロータ８を形成している。
【００４５】
前記第１ロータ６は、内周面部にねじ溝真空ポンプ用のねじ溝を有する第１ステータ６ｃ内を回動自在に挿通しており、又、前記第２ロータ７の内周部を、外周面部にねじ溝を有する第２ステータ７ｃが挿通しており、更に又、前記第３ロータ８の内周部を、外周面部にねじ溝を有する第３ステータ８ｃが挿通していて、三重構造のねじ溝真空ポンプ部を形成している。
【００４６】
このように本発明の複合分子ポンプのロータは、大部分が薄板のプレス加工等により形成されているので、高速自動加工による製造が可能であり、又、ねじ溝真空ポンプ部ロータを容易に多重構造とすることができると共にロータの重量を軽くすることができる効果を有する。
【００４７】
尚、本実施例では三重構造のねじ溝真空ポンプ部を有するものとしたが、これは三重以上の多重構造としてもよく、又は一重構造のものとしてもよい。
【００４８】
又、上部のターボ分子ポンプ部は従来のアルミ合金製のロータとし、その下部に本発明のねじ溝真空ポンプ部を組み合わせてもよい。
【００４９】
更に又、本発明のねじ溝真空ポンプ部だけを単独で用いるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、主として分子流領域において真空排気を行なう複合分子ポンプ等の真空ポンプのロータに使用される。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施例１の複合分子ポンプのロータの縦断面図である。
【図２】前記ロータの一部、動翼段の正面図である。
【図３】図２におけるＸ矢視図である。
【図４】前記動翼段を構成する動翼段要素円板の平面図である。
【図５】前記ロータの一部、スペーサリングを構成する薄板円板の平面図である。
【図６】本発明の実施例２の複合分子ポンプのロータの縦断面図である。
【図７】従来の複合分子ポンプの一例の縦断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１、１０                      複合分子ポンプのロータ
１Ａ                          ターボ分子ポンプ部ロータ
１Ｂ、１Ｃ                    ねじ溝真空ポンプ部ロータ
４ａ、５ａ、６ａ、７ａ、８ａ  椀状体
４ｂ、５ｂ、６ｂ、７ｂ、８ｂ  円筒状体
６ｃ                          折り返し部
【図１】
2006291794.tif 000003
【図２】
2006291794.tif 000004
【図３】
2006291794.tif 000005
【図４】
2006291794.tif 000006
【図５】
2006291794.tif 000007
【図６】
2006291794.tif 000008
【図７】
2006291794.tif 000009