(57)【要約】【課題】工程を停滞させないための検査システムを提供すること。【解決手段】複数の検査項目から成る検査工程で、検査結果を入力する複数の検査員用端末と、検査項目と検査結果を管理するサーバと、検査項目の変更を管理する管理者用端末を持つ検査システムにおいて、検査項目と検査結果をサーバへ登録する検査結果登録手段と、新規に検査項目を追加申請できる検査項目申請手段と、追加申請された検査項目を承認或は却下できる検査項目承認手段と、該検査項目承認手段で承認或は却下された結果をサーバに反映し更に検査員端末へ変更通知する検査項目管理手段と、該検査項目管理手段から変更通知される検査項目を検査員端末に反映する検査項目変更手段と、を有することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の検査項目から成る検査工程で、検査結果を入力する複数の検査員用端末と、検査項目と検査結果を管理するサーバと、検査項目の変更を管理する管理者用端末を持つ検査システムにおいて、
検査項目と検査結果をサーバへ登録する検査結果登録手段と、新規に検査項目を追加申請できる検査項目申請手段と、追加申請された検査項目を承認或は却下できる検査項目承認手段と、該検査項目承認手段で承認或は却下された結果をサーバに反映し更に検査員端末へ変更通知する検査項目管理手段と、該検査項目管理手段から変更通知される検査項目を検査員端末に反映する検査項目変更手段と、を有することを特徴とする検査システム。
【請求項２】
検査項目承認手段において検査項目が追加申請された時に、承認時に既に下流工程に流れてしまっている製品（特に申請者以外の検査員が検査した製品）について、条件を指定して工程を止め出荷を差し止めることができ、更に該検査結果登録手段において追加項目について再検査した後に良品ならば工程に再投入できる手段を有することを特徴とする請求項１記載の検査システム。
【請求項３】
検査項目承認手段において、同時に別の検査員用端末から同じような検査項目の追加申請がされた時には、該検査項目を合わせて１つの検査項目して承認することができる手段を有することを特徴とする請求項１記載の検査システム。
【請求項４】
検査項目承認手段において検査項目が追加申請された項目について、承認する時点で真に不良とは判断が付かない検査項目は仮承認することができ、更に検査項目が真の不良と分かった時点で正式に検査項目として承認できる手段（以下、検査項目正式承認手段）を有することを特徴とする請求項１記載の検査システム。
【請求項５】
検査項目承認手段において、仮承認した検査項目に該当する製造品を下流工程のどこまで流した後に保留しておくかを設定することができる手段を有することを特徴とする請求項１記載の検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の検査項目から成る検査工程において検査員によって検査される検査項目と検査結果を管理するシステムに関し、特に検査項目の決定方法と管理方法と変更方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査システムは、特許文献１のように検査項目の抜けを防ぐために、先ず管理者が決めた検査項目に、担当者が過去の類似検査項目を調べ、その検査項目を担当者が管理者にレビューした後に、不足している検査項目を決定し検査項目を設定していた。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−０１９５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の検査システムは検査前に検査項目を設定する方法についての言及であり、検査中に検査担当者が不足している検査項目を発見し検査項目を新規に追加する時の方法には言及されていなかった。検査項目を追加するためには、検査を一度中断し、管理者に検査項目を再設定してもらってから再検査するしかなかった。そのため、検査項目を再設定し終るまでは、工程が停滞し作業が遅れていた。特に、製造ラインの立ち上げ時期においては、当初に想定していた検査項目が不足していて、変更することが多い。
【０００５】
そこで、本発明は、工程を停滞させないための検査システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、複数の検査項目から成る検査工程で、検査結果を入力する複数の検査員用端末と、検査項目と検査結果を管理するサーバと、検査項目の変更を管理する管理者用端末を持つ検査システムにおいて、検査項目と検査結果をサーバへ登録する検査結果登録手段と、新規に検査項目を追加申請できる検査項目申請手段と、追加申請された検査項目を承認或は却下できる検査項目承認手段と、該検査項目承認手段で承認或は却下された結果をサーバに反映し更に検査員端末へ変更通知する検査項目管理手段と、該検査項目管理手段から変更通知される検査項目を検査員端末に反映する検査項目変更手段と、を有することを特徴とする。
【０００７】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明は、検査項目承認手段において検査項目が追加申請された時に、承認時に既に下流工程に流れてしまっている製品（特に申請者以外の検査員が検査した製品）について、条件を指定して工程を止め出荷を差し止めることができ、更に該検査結果登録手段において追加項目について再検査した後に良品ならば工程に再投入できる手段を有することを特徴とする。
【０００８】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明は、検査項目承認手段において、同時に別の検査員用端末から同じような検査項目の追加申請がされた時には、該検査項目を合わせて１つの検査項目して承認することができる手段を有することを特徴とする。
【０００９】
請求項４記載の発明は、請求項１記載の発明は、検査項目承認手段において検査項目が追加申請された項目について、承認する時点で真に不良とは判断が付かない検査項目は仮承認することができ、更に検査項目が真の不良と分かった時点で正式に検査項目として承認できる手段（以下、検査項目正式承認手段）を有することを特徴とする。
【００１０】
請求項５記載の発明は、請求項１記載の発明は、検査項目承認手段において、仮承認した検査項目に該当する製造品を下流工程のどこまで流した後に保留しておくかを設定することができる手段を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の発明によれば、検査担当者が検査項目に無い異常を発見した時に、ボトムアップで検査項目を追加申請できるので、検査工程を停滞させずに検査を続けることができる。
【００１２】
請求項２記載の発明は、検査項目が追加申請された時に、承認時に既に下流工程に流れてしまっている製品について、条件を指定して工程を止め出荷を差し止めることができ、更に追加項目について再検査した後に良品なら工程に再投入できるために、製品の品質を守りながら不良品を抑える効果がある。
【００１３】
請求項３記載の発明によれば、同時に別の検査員端末から同じような検査項目の追加申請がされた時に、該検査項目を合わせて１つの検査項目して承認した時には、検査項目を不用意に増加することなく設定できる効果がある。
【００１４】
請求項４記載の発明によれば、追加申請された項目について、承認する時点で真に不良とは判断が付かない検査項目は仮承認することで、申請項目の良品か不良品かの判断を保留できる効果がある。更に、検査項目が真の不良と分かった時点で正式に検査項目として承認した時には、他の検査員や下流工程へ正式に検査項目に加わったことを伝える効果がある。
【００１５】
請求項５記載の発明によれば、仮承認した検査項目に該当する製造品（以下、仮の不良品）を下流工程のどこまで流した後に保留しておくかを設定しておいた時には、以下の効果がある。
【００１６】
１．例えば仮の不良品を出荷前の工程まで流すと設定しておき、出荷前の工程で保留しておけば、不良でないと分かればすぐに出荷できる効果がある。更に、不良かどうかの調査する間、工程を停滞させず進められる効果がある。
【００１７】
２．例えば仮の不良品を出荷前の工程まで流すと設定しておき、テスト品として流すことで、不良解析のデータ取りに利用できる効果がある。
【００１８】
３．特に、半導体ウエハの加工工程では、先ずはウエハ単位で加工しその後にチップ単位に切り分け加工を続ける。この時に、保留する工程をチップ単位に切り分ける工程に設定しておくことで、ウエハ内の不留まりに関わらずウエハ内の良品チップを停滞させずに工程を進めることができる効果がある。
【００１９】
４．特に、プロセス工程においては、次の工程に投入するまでの時間に制約があることがあり、仮の不良品を次の工程に投入せずに原因追求等に時間を要した場合には、真の良不良に関わらず制約のために不良品となってしまう。このため、保留しておく工程を保存できる工程に設定しておけば、後で仮の不良品が良品と分かった時に工程に再投入でき不用意に不良品を増やさない効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の検査システムの一実施形態を図面を参照して説明する。図１は本実施形態の検査システムの構成図である。
【００２１】
＜本検査システムの構成＞
本検査システムは、サーバ１００と、管理者用端末１１０と、複数の検査員用端末１２０と、これらを繋げるネットワーク１３０と、を備えている。
【００２２】
＜サーバの構成＞
サーバ１００は、外部記憶領域１０１と、該外部記憶領域１０１を管理する検査項目管理手段１０２と、を備えている。該外部記憶領域１０１は、検査項目１０３や検査結果１０４を格納し、この他に加工・検査・出荷等の工程順序の情報、主材・補材の情報、加工の詳細情報、検査の詳細情報等の情報を格納する。
【００２３】
＜管理者用端末の構成＞
該管理者用端末１１０は、管理者からの入出力のインターフェイスとなる入出力装置１１１と、検査員からの申請を受け承認作業を行う検査項目承認手段１１２と、該検査項目承認手段１１２で仮承認した検査項目を正式な検査項目に承認する検査項目正式承認手段１１３と、を備えている。
【００２４】
上記検査項目承認手段１１２は、検査項目の承認時に既に下流工程に流れてしまっている製品について工程を止めるための条件を指定する機能と、複数の検査員端末から申請された同じような検査項目を１つの検査項目にまとめる機能と、追加申請された検査項目を承認や却下以外に仮承認する機能と、仮承認した検査項目に該当する製造品を下流工程のどこまで流した後に保留しておくかを設定する機能と、を備えている。
【００２５】
＜検査員用端末の構成＞
前記検査員用端末１２０は、検査員からの入出力のインターフェイスとなる入出力装置１２１と、検査結果をサーバ１００の検査結果１０４に登録する検査結果登録手段１２２と、検査員が検査項目に無い異常を発見し検査項目に追加登録申請できる検査項目申請手段１２３と、サーバ１００で管理されている検査項目１０３を検査員用端末１２０の検査項目に反映させる検査項目変更手段１２４と、を備えている。
【００２６】
尚、上記サーバ、管理者用端末、検査員用端末は、一般的な情報処理装置（ＲＯＭから読み出されたプログラムに基づいて各処理を実行するＣＰＵ、ＲＡＭ、ハードディスクドライブ等の記憶装置）のハードウエア構成から成る。
【００２７】
＜本検査システムにおける製品検査手順＞
上記のような構成により処理動作を行う検査システムにおける製品検査手順について、図２〜図６を用いて以下説明する。図２は検査項目の追加申請から承認までの手順を示すフローチャート、図３は仮検査項目を変更する時のフローチャート、図４はサーバ内で管理しているデータの例を示す図、図５は製品の流れのす例を示す図、図６は検査項目追加時の下流製品の流れの例を示す図である。
【００２８】
＜検査項目の追加申請手順＞
検査員は通常、製品の検査時に検査員用端末１２０よりサーバ１００に管理されている検査項目１０３に沿って検査を行い、その結果を入出力装置１２１から検査結果登録手段１２２を利用し検査結果１０４に登録する。もし、検査時に検査項目１０３に無い異常を発見した場合、検査項目申請手段１２３より、管理者用端末１１０の検査項目承認手段１１２へ検査項目追加を申請する（ステップ２０１）。申請内容は、検査項目名称、異常を発見された製品の画像、検査員等である。又、検査項目追加の申請時と申請後には、追加した検査項目を含めて検査する。
【００２９】
＜検査項目追加の承認手順＞
管理者は、管理者用端末１１０の入出力装置１１１より検査項目承認手段１１２に申請されている申請内容をチェックできる。このとき、別の検査員から同じような検査項目の追加申請があるかどうかを調べられる（ステップ２０２）。同じような項目があれば、検査項目を合わせ（ステップ２０３）、その後、承認作業（ステップ２０４）に移る。又、同じような項目が無ければ、承認作業（ステップ２０４）に移る。
【００３０】
管理者は、検査項目承認手段１１２において、追加検査項目に対し、正式承認するか、仮承認するか、却下するかを選択できる（ステップ２０４）。仮承認は、その時点で検査項目が真に不良かどうか判断できない時に選択し、又、仮承認を選択した場合は仮の不良品を保留する工程を設定する（ステップ２０６）。保留工程は、申請元の検査工程を含めて下流で、且つ、出荷工程より上流の工程から選択する。
【００３１】
申請を却下した場合は、追加申請した検査員の検査した製品の中で追加申請した検査項目で不良扱いされている製品を良品と修正する必要と、追加申請した検査員に却下したことを知らせ、更に検査項目を元に戻す必要がある。そのために検査項目管理手段１０２が検査結果１０４に追加されている検査項目を削除した上でステータスを良品とし、更に検査項目管理手段１０２が検査項目変更手段１２４を通して追加申請した検査員の検査員端末１２０の検査項目を元に戻し却下したことをメッセージ通達する（ステップ２０５）。
【００３２】
ここで仮の不良項目を含んだ製品の検査工程と加工工程の製品の流れの具体例を図４（ａ），（ｂ）と図５を用いて説明する。
【００３３】
図４（ａ）の工程順序４０１は、加工・検査・出荷までの“工程順序”を管理している例である。図４（ｂ）の検査項目４０２は、サーバ１００にて管理されている検査項目１０４の例を示している。例えば“検査工程”が検査Ａの工程においては、“検査項目”は検査Ａ１、検査Ａ２、検査Ａ３、検査Ａ４がある。更に、検査の“ステータス”において、検査Ａ１と検査Ａ２は正式な検査項目であり、検査Ａ３と検査Ａ４は仮の検査項目であると設定されている。仮の不良項目である検査Ａ３と検査Ａ４については、“保留工程”が設定されており、検査Ａ３の不良品は加工Ｃの工程で保留、検査Ａ４の不良品は検査Ｂの工程で保留することが設定されている。
【００３４】
又、“保留工程”の選択対象は、工程順序４０１の“工程名称”において、検査Ａを含み下流で且つ出荷より上流の工程の中から選択する。以上の設定より検査Ａ３の不良品は、検査Ａ５０１の後、加工Ｃ５０２を行った後に保留される。又、検査Ａ４の不良品は、検査Ａ５０１、加工Ｃ５０２、加工Ｄ５０３の後、検査Ｂ５０４の検査結果が良品なら保留される。又、検査項目４０２では、各“検査項目”毎に不良の“限度見本”を画像で管理することもできる。
【００３５】
検査項目追加の申請をステップ２０４で正式承認或は仮承認した場合は、検査員が申請してから管理者が承認するまでの間に既に別の検査員が検査した製品の中で追加申請された検査項目について検査漏れの可能性があるために、その検査漏れの製品の加工を止め、検査し直す必要がある。そこで、管理者は検査項目承認手段１１２より、検査し直す範囲を、ロット、主材・補材、加工条件、加工日時、検査員、検査日時等の条件（以下、下流工程の加工停止条件）から指定する（ステップ２０７）。ここで指定する条件は、組み合わせたり、ＡＮＤやＯＲ条件を指定できる。該下流工程の加工停止条件を設定することで、管理者の承認作業が完了する。
【００３６】
＜承認内容の反映手順＞
承認作業を完了すると、検査項目管理手段１０２と検査項目変更手段１２４を利用して、検査員全員に変更内容を通達し検査項目を追加する（ステップ２０８）。更に、下流工程の加工停止条件に基づいて下流工程の加工を停止する。加工を停止した製品については、追加検査項目について再検査した後、検査結果を検査結果登録手段１２２よりサーバ１００の検査結果１０４に登録する。検査結果が良品の製品は次の工程へ再投入し、不良品は処理（処分）する（ステップ２０９）。
【００３７】
ここで、検査項目追加時の下流工程の流れの具体例を図４（ｃ），（ｄ）及び図６を用いて説明する。
【００３８】
図４（ｃ）の検査結果４０３は、サーバ１００にて管理されている検査結果１０３の例を示している。検査結果４０３では、ロットＩＤ、製造物ＩＤ、現工程、ステータス、不良内容によって構成されている。現工程は、工程順序４０１の“工程名称”に属する。又、ステータスは、良品（○）、仮不良、不良に何れかに属する。不良内容は、検査Ａ、検査Ｂといったように各検査工程毎に不良項目があり、検査項目の追加が承認されると検査結果４０２で管理する検査項目も増える。検査内容は、良品（○）、仮不良、不良、未検査（空白）に何れかに属する。
【００３９】
図４（ｄ）は、サーバ１００で詳細情報４０４を管理している例である。詳細情報４０４では、製造物をロットＩＤ、製造物ＩＤ、主材・補材、各加工工程毎の加工条件・加工日時、各検査工程毎の検査員・検査日時等を管理している。
【００４０】
図６は検査員Ａが検査Ａ６０１の検査工程で製造物ＩＤ２００３を検査中に検査Ａ４の異常を発見し検査項目を追加申請し、管理者が該追加検査項目を仮承認し下流工程の加工停止条件を同一ロット（ロットＩＤ＝２０００）と設定した場合の例である。
【００４１】
既に検査Ａ６０１を終え加工Ｃ６０２の工程にある製造ＩＤ２００１と２００２（６０６）の製品については、次の加工Ｄ６０３の工程へは進めずに、追加された検査Ａ４について再検査を行う必要がある。この結果が良品なら次の加工Ｄ６０３へ再投入し、不良なら保留する。又、検査Ａ６０１で検査中の製造物ＩＤ２００３（６０４）については、検査項目の検査Ａ４を追加申請した検査員Ａが検査しているため、通常通り次の加工Ｃ６０２に進める。又、検査Ａ６０１で検査中の製造物ＩＤ２００４（６０５）については、検査員Ｂへ検査項目に検査Ａ４が追加されたことを通知し、追加された検査項目を踏まえて検査を続行する。
【００４２】
＜仮検査項目の変更の手順＞
仮の検査項目がある場合（ステップ２１０）は、仮の検査項目と不良の関係を調べる（ステップ３０１）。管理者は、調査結果を踏まえて管理者用端末１１０の検査項目正式承認手段１１３より仮不良項目を正式に不良項目に承認するか不良に無関係かを選択する（ステップ３０２）。正式承認が選択された場合には、検査項目管理手段１０２を利用して、検査項目１０３のステータスを仮検査項目から正式検査項目に変更する（ステップ３０３）。
【００４３】
更に、検査項目管理手段１０２を利用して、検査結果１０４の保留されている製品のステータスを仮不良から不良に変更し、保留品の処理（処分）を行う（ステップ３０４）。又、不良に無関係の場合には、検査項目管理手段１０２を利用して、検査項目１０３の仮検査項目を削除する（ステップ３０５）。更に、検査項目管理手段１０２を利用して、検査結果１０４の保留されている製品のステータスを仮不良から良品に変更し、保留品を再投入する（ステップ３０６）。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明を実施するための構成図である。
【図２】検査項目の追加申請から承認までの手順を示すフローチャートである。
【図３】仮検査項目を変更する時のフローチャートである。
【図４】サーバ内で管理しているデータの例を示す図である。
【図５】製品の流れの例を示す図である。
【図６】検査項目追加時の下流製品の流れの例を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１００  サーバ
１０１  外部記憶装置
１０２  検査項目管理手段
１０３  検査項目
１０４  検査結果
１１０  管理者用端末
１１１  入出力装置
１１２  検査項目承認手段
１１３  検査項目正式承認手段
１２０  検査員用端末
１２１  入出力装置
１２２  検査結果登録手段
１２３  検査項目申請手段
１２４  検査項目変更手段
１３０  ネットワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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