(57)【要約】      （修正有）【課題】洗浄後における電子部品のトレイ間での搬送に際して、電子部品に付着するパーティクルの低減を図る。【解決手段】電子部品取り出しトレイ３及び電子部品移載トレイ７を共に同一の洗浄液中に配置し、ピックアップノズル５０により電子部品１９が空間に露出することなく洗浄液中を搬送させて、電子部品取り出しトレイ３から電子部品移載トレイ７へ移載する。移動経路上において、電子部品１９の所定面をＯＣＲカメラ１３により撮影してシリアルナンバーを判定し、電子部品移載トレイ７上の移載位置が指定される。【選択図】図１Ｃ
2006151606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を収容する第一の収容容器から第二の収容容器に対して物品を移載する移載装置であって、
所定の液体と共に、前記所定の液体中において前記第一の収容容器及び第二の収容容器を保持可能な槽と、
前記所定の液体中に入って前記第一の収容容器から前記物品を取り出して前記第二の収容容器に前記物品を載置するピックアップ手段とを有する移載装置であって、
前記物品の前記第一の収容容器から前記第二の収容容器への移載時において、前記物品が前記所定の液体中を搬送されることを特徴とする物品移載装置。
【請求項２】
前記所定の液体中を搬送される前記物品を撮像し、前記部品の属性を判定する際に用いられる映像を得る撮像手段を更に有することを特徴とする請求項１記載の物品移載装置。
【請求項３】
前記ピックアップ手段は、前記物品を吸着保持するピックアップノズルから成ることを特徴とする請求項１記載の物品移載装置。
【請求項４】
前記第一の収容容器及び前記第二の収容容器の少なくとも一方を保持するとともに、前記一方の収容容器における前記所定の液体中及び液体外への移動を行うエレベータ機構を更に有することを特徴とする請求項１記載の物品移載装置。
【請求項５】
物品を第一の収容容器から第二の収容容器に移載する方法であって、
前記物品を収容する前記第一の収容容器及び前記物品を収容しない前記第二の収容容器を所定の液体中に沈める工程と、
ピックアップ手段を用いて前記第一の収容容器に収容された前記物品を保持する工程と、
前記ピックアップ手段が前記物品を保持した状態にて前記所定の液体中を駆動される工程と、
前記ピックアップ手段が前記第二の収容容器に対して前記物品を移載する工程と、
前記物品が取り出された前記第一の収容容器と、前記物品が移載された前記第二の収容容器とを前記所定の液体外部に取り出す工程とを有することを特徴とする物品の移載方法。
【請求項６】
前記ピックアップ手段が前記物品を保持して前記所定の液体中を駆動する際に、前記物品の所定面を撮像し、前記撮像により得られた影像から前記物品の属性を判断し、前記物品に施される処理を決定する工程を更に有することを特徴とする請求項５記載の物品の移載方法。
【請求項７】
前記物品に施される処理は、前記物品の前記第二の収容容器における移載位置を決定、及び前記移載位置に対する前記物品の移載であることを特徴とする請求項６記載の移載方法。
【請求項８】
物品の移載方法であって、
前記物品の所定部分を覆うことなく前記物品保持するピックアップ手段により前記物品を保持する工程と、
前記ピックアップ手段が前記物品を保持した状態にて所定の経路を介して駆動される工程と、
前記ピックアップ手段が収容容器に対して前記物品を移載する工程とを有し、
前記ピックアップ手段が前記物品を保持して駆動される際に、前記物品の所定面を撮像し、前記撮像により得られた影像から前記物品の属性を判断し、当該判断の結果に基づいて前記物品に施される処理が決定されることを特徴とする物品移載方法。
【請求項９】
前記物品に施される処理は、前記物品の前記第二の収容容器における移載位置の決定、及び前記移載位置に対する前記物品の移載であることを特徴とする請求項８記載の物品移載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドスライダに代表される微細電子部品等の物品について、当該電子部品が載置された第一の収容容器たるトレイから、第一のトレイとは異なる第二の収容容器たるトレイに移載する物品の移載装置及び移載方法に関する。より詳細には、該電子部品を第一のトレイに載置する前、或いは後に該電子部品に対する洗浄等の処理が施され、その後該電子部品を第二のトレイに移載する際の該電子部品他に対するパーティクル等による汚染を低減する移載装置及び移載方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば磁気ヘッドスライダは、複数が一方向に並んで一体となった棒状の部材を接着材によって治具に貼り付け、この状態にて部材の所定面を研磨し、その後治具から該棒状の部材を剥がしてこれを切断することで得られている。通常、切断後の接着剤が付着した磁気ヘッドスライダは、一旦手作業等により、所謂トレイと呼ばれる略平板状の収容部材上に整列状態にて載置される。これら磁気ヘッドスライダには、まず溶剤等による接着剤の除去処理が施され、その後、何段階かの洗浄処理が施される。以上の洗浄処理を経た後、これら磁気ヘッドスライダは磁気ヘッドの製造工程に供せられる。
【０００３】
ここで、接着剤の除去処理、洗浄処理等各々の処理を行う間において、各磁気ヘッドスライダは各々各処理間において異なるトレイ上にて保持され、処理装置間を移動される。なお、ここで述べた洗浄工程等においては、例えば特許文献１に示されるような、単一のトレイを用いて、磁気ヘッドスライダを複数の洗浄槽中を順次移動させることでトレイの使用数を低減及び、洗浄効率の向上を図る構成が知られている。該文献に開示される装置においては、さらに各洗浄槽における超音波の印加位置等の最適化を図り、より効果的な洗浄を行おうとしている。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−１０３５１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
通常、高度に洗浄された磁気ヘッドスライダ等の電子部品であっても、トレイからの取り出し及び整列載置の工程を経た場合には、電子部品とトレイとの或いは電子部品と該電子部品の把持機構との接触等により発生するパーティクル、雰囲気中に存在するパーティクル、トレイ自体に付着するパーティクル等が電子部品表面に付着し、これらによって汚染される。これら汚染物質の中には、通常の洗浄工程における洗浄液の残渣等も含まれる。更に、洗浄液等の乾燥が不十分な状態にてこれら電子部品の取り出し等、種々の操作を行った場合、所謂洗い染みの状態で汚染物質が電子部品表面に付着し、該電子部品を更に汚染することが考えられる。
【０００６】
また、電子部品は、各工程においてその良否が検査されており、各トレイ間を移載される際に、該検査にて除去されることで生じた空間を埋めるべく電子部品の並べ替えが行われる。また、電子部品個々の品質、ロットナンバー等に応じても、この並び替え工程は実施される。この並び替え工程は、例えば磁気ヘッドの組立工程等、載置されたトレイ上の電子部品を用いてその後に行われる工程を効率的に進める上で必須である。従って、汚染防止の観点のみからトレイの数を単純に削減することも困難であると考えられる。
【０００７】
本発明は上記事項に鑑みて為されたものであり、磁気ヘッドスライダ等の微小な電子部品の一連の洗浄工程におけるトレイからトレイへの移載工程に際して、該電子部品に対する汚染の発生を低減する移載装置及び移載方法を提供することを目的としている。また、本発明は、個々のトレイ間で電子部品を移載する際に、該電子部品を汚染させること無く電子部品の並び替えを行うことを可能とする移載装置及び移載方法を提供することも目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る移載装置は、物品を収容する第一の収容容器から第二の収容容器に対して物品を移載する移載装置であって、所定の液体と共に、所定の液体中において第一の収容容器及び第二の収容容器を保持可能な槽と、所定の液体中に入って第一の収容容器から物品を取り出して第二の収容容器に物品を載置するピックアップ手段とを有する移載装置であり、物品の第一の収容容器から第二の収容容器への移載時において、物品が所定の液体中を搬送されることを特徴としている。
【０００９】
なお、上述した移載装置においては、所定の液体中を搬送される物品を撮像し、部品の属性を判定する際に用いられる映像を得る撮像手段を更に有することが好ましい。また、上述したピックアップ手段は、物品を吸着保持するピックアップノズルから成ることが好ましい。さらに、上述した移載装置においては、第一の収容容器及び第二の収容容器の少なくとも一方を保持するとともに、該一方の収容容器における所定の液体中及び液体外への移動を行うエレベータ機構を更に有することが好ましい。
【００１０】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る移載方法は、物品を第一の収容容器から第二の収容容器に移載する方法であって、物品を収容する第一の収容容器及び物品を収容しない第二の収容容器を所定の液体中に沈める工程と、ピックアップ手段を用いて第一の収容容器に収容された物品を保持する工程と、ピックアップ手段が物品を保持した状態にて所定の液体中を駆動される工程と、ピックアップ手段が第二の収容容器に対して物品を移載する工程と、物品が取り出された第一の収容容器と物品が移載された第二の収容容器とを所定の液体外部に取り出す工程とを有することを特徴としている。
【００１１】
なお、上述した移載方法においては、ピックアップ手段が物品を保持して所定の液体中を駆動する際に、物品の所定面を撮像し、撮像により得られた影像から物品の属性を判断し、物品に施される処理を決定する工程を更に有することが好ましい。また、この場合、物品に施される当該処理は、物品の第二の収容容器における移載位置の決定、及び該移載位置に対する物品の移載であることが好ましい。
【００１２】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る物品の移載方法は、物品の所定部分を覆うことなく物品保持するピックアップ手段により物品を保持する工程と、ピックアップ手段が物品を保持した状態にて所定の経路を介して駆動される工程と、ピックアップ手段が収容容器に対して物品を移載する工程とを有し、ピックアップ手段が物品を保持して駆動される際に、物品の所定面を撮像し、撮像により得られた映像から物品の属性を判断し、当該判断の結果に基づいて物品に施される処理が決定されることを特徴としている。また、この場合、物品に施される当該処理は、物品の第二の収容容器における移載位置の決定、及び該移載位置に対する物品の移載であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、磁気ヘッドスライダ等の微小な電子部品のトレイからトレイへの移載の際、及び該移載工程の前後に洗浄工程が存在する際に、該電子部品を汚染することなくトレイへの移載及び該トレイ上での電子部品の並び替えを行うことが可能となる。また、これまでは一つの洗浄処理が終了した後にトレイへの電子部品の移載を行う場合、電子部品の表面を完全に乾燥させることが必要であった。本発明によれば、乾燥工程を経ることなくトレイに対して電子部品の載置を行うことが可能となり、工程時間の短縮及び生産性の向上といった効果も得られる。
【００１４】
更には、電子部品移載時において、電子部品が所定の経路を移動する際にその属性を認識することで、当該電子部品の次なるトレイ上の移載位置を決定することが可能となる。これにより、上述した電子部品の並び替え工程を効率的に実施することも可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図１Ａ〜１Ｃは、本発明に係る電子部品移載装置について、これを正面から見た状態の概略図であって、トレイの設置時、移載準備状態、移載時の状態を各々示している。本発明に係る、電子部品移載装置１は、電子部品取り出しトレイ３が受面５ａ上に載置される第一のエレベータ５、電子部品移載トレイ７が受面９ａ上に載置される第二のエレベータ９、洗浄槽１１、洗浄層１１中に存在する洗浄液１１ａ内に被撮像ポイントが存在するOCR（Optical Character Recognition）カメラ１３、洗浄液中において電子部品１９の把持、移動及び移載をおこなうピックアップノズル５０、該ピックアップノズルを移動する駆動系６１（図３参照）とを有している。
【００１６】
電子部品取り出しトレイ３、及び電子部品移載トレイ７は、各々略板状の部材からなり、一方の平面（図中上面）に電子部品収容用の複数の凹部を有している。これらトレイは、各々不図示のトレイ交換手段によって、第一のエレベータ５上、及び第二のエレベータ９上からの交換が可能となっている。これらエレベータは、洗浄液外、即ち洗浄液表面の上方であって個々のトレイの取り付け、取り外しが可能な位置と、洗浄液中であって電子部品の移載を行う位置との二位置間での移動が可能とされている。また、各々の受面表面には第一及び第二のクランプ機構５ｂ、９ｂが配置されており、トレイを受面に対して固定可能となっている。この固定操作によって、エレベータの上下動作、即ちトレイの液外と液中間での移動操作時におけるトレイの位置ずれ等を防止している。
【００１７】
洗浄槽１１中には所定の液面高さを保持するように、IPA（イソプロピルアルコール）、NMP（N-メチル-2-ピロリドン）等の洗浄用溶液１１ａが蓄えられている。洗浄槽１１には洗浄交換機構１１ｂがとりつけられており、洗浄液の劣化に応じて随時洗浄液の交換を行うことが可能となっている。また、第一のエレベータ５及び第二のエレベータ９各々の昇降軸５ｃ、９ｃは、洗浄槽１１の構成壁に設けられた不図示のシール材を介して、洗浄槽１１の内部から外部へ、即ち洗浄液１１ａ外部へ引き出されている。当該構成を有することにより、各々のエレベータの上下動を行うための駆動系は洗浄槽１１の外部に位置することが可能となる。従って、これら駆動系による洗浄液１１ａの汚染を防止することが可能となっている。
【００１８】
電子部品として例えば磁気ヘッドスライダは、磁気ヘッドの製造工程において個々の製品を識別、管理するために、製品のデータベースが作成されている。該データベースとして、個々のスライダの素性を把握可能とするための、所謂シリアルナンバーが一般的に用いられる。これらデータベースは、例えば「xxxx」なる番号を有するスライダはＡランク品であり、「yyyy」なる番号を有するスライダはＢランク品である、といった情報も含まれる。OCRカメラ１３は、洗浄液中において磁気ヘッドスライダ等を搬送する際に、これらシリアルナンバーを読み取るために配されている。図２は、OCRカメラ１３によって認識されたロット番号２１を例示する図である。
【００１９】
OCRカメラ１３は、ピックアップノズル５０が電子部品１９を把持、移動する際の移動経路上において、該電子部品１９の所定面を撮影可能となる位置に配置されている。即ち、被撮像ポイントが移動経路上となるように設置されている。なお、OCRカメラ１３は、不図示のエンクロージャ内に収容され、そのレンズ部分のみが液中に向けられている。OCRカメラ１３におけるレンズ鏡筒部分にはシール材が配置されており、洗浄液中に曝される部分にはコーティングが施されておりこれにより該部分への洗浄液の侵入を防止している。
【００２０】
なお、OCRカメラ１３はシリアルナンバー読み取りに用いられる関係上、その焦点深度は小さく設定されている。このため、洗浄液１１ａ中を移送される電子部品１９を下方から観察し、これらの保持状態の確認と位置決めとを行うために、下カメラ１７が用いられる。当該下カメラ１７による映像に基づいて、電子部品移載トレイ７上の電子部品収容用凹部に対する電子部品１９の保持姿勢が判断され、移載時の位置補正が行われる。洗浄槽１１の底面には、シール材を介して配置、固定されたガラス板１１ｃが存在し、下カメラ１７は該ガラス板１７を介して、ガラス板１１ｃの外方、即ち、洗浄槽１１の下方から、洗浄液１１ａ中を観察可能となるように配置されている。
【００２１】
ここで、図３を用いて、本発明の実施形態において用いられるピックアップノズル５０について説明する。ピックアップノズル５０は、略円筒形状のシリンダ５１と、シリンダ５１の円筒内部に配置され、外周部分が円筒内周部と略密着状態で摺動可能なピストン５３とを主たる構成として有している。ピストン５３は、シリンダ５１の開口部５１ａと異なる方向に伸びるピストンロッド５５の一端部と接続されている。ピストンロッド５５の他端は、駆動源であるエアシリンダ５７の駆動軸５７ａと接続されている。空圧回路５９は、エアシリンダ５７に所定圧力のエアを供給する回路であり、該回路５９にエア供給、排出を行わせることにより、エアシリンダ５７の駆動、及びこれに従うピストンロッド５５の駆動を行うことが可能となる。
【００２２】
シリンダ５１、ピストン５３、ピストンロッド５５、及びエアシリンダ５７は、一体としてピックアップノズル駆動機構６１によって、ピストン５３の移動方向及び該移動方向に垂直な平面内、即ち三軸方向において移動可能に支持されている。ピックアップノズル５０は、ピストン５３をシリンダ開口５１ａから遠ざけるように移動させることによって、洗浄液１１ａをシリンダ５１内部に吸引し、同時に電子部品１９をシリンダ開口５１ａに吸着する。また、吸着保持された電子部品１９は、ピストン５３をシリンダ開口５１ａに接近させ、シリンダ５１内部の洗浄液１１ａを放出させることで、シリンダ開口５１ａから放出することが可能である。
【００２３】
また、シリンダ５１には、当該シリンダの軸心を中心として微小角度回転可能とするシリンダ回転機構６３が付随している。当該シリンダ回転機構は、ピストン５３とは独立して、シリンダ５１のみを回転可能とする。なお、本実施の形態においては、シリンダ回転機構６３によって、電子部品とトレイ上の凹部との回転ずれの補正を行うこととしているが、このずれ補正を行う回転機構の設置位置は当該実施形態に示す場合に限られない。具体的には、ピックアップノズル駆動機構６１と一体化して構成されても良い。また、対象物が微細であること、及び実際にシリンダ５１内部に吸引する洗浄液量が僅かであることから、微小領域において吸着放出の操作を行うことが好ましい。従って、空圧回路による高圧空気の供給排出等の操作は、精密レギュレータ等を空圧回路中に配する等し、ピストン５３の動作精度を高めることが好ましい。
【００２４】
通常、液中において被搬送物を吸着する操作においては、液体用ポンプを用いた吸着装置が用いられる。しかし、液体用ポンプを用いた構成を本発明が対象とする微小電子部品のピックアップ等に用いようとした場合、頻繁なオンオフ及び極微少量の吸引、排出を行うことが必要となる。このような操作は、電磁弁等をいくつか回路中に配置することで、初めて実施することが可能となる。このような電磁弁を含んだ構成は、汎用性は高い反面、高価となると同時に、装置構成の規模もまた大きくなる。従って、ピックアップノズルを例えば三軸に駆動する構成と組み合わせることが、非現実的となってしまうと考えられる。
【００２５】
本実施形態の如く、空圧回路により、液中に負圧、正圧を形成することによって小型且つ簡易な構成から成るピックアップノズルを構築することが可能となる。また、このような小型のノズル構成であることから、駆動系の構成も簡易且つ小規模な構成から構築することが可能となる。また、当該構成から成るピックアップノズルは、空圧回路中に洗浄液等が進入する危険性が全く無く、通常の使用状況の場合と同様に、耐圧、耐食、及び潤滑剤の保護を行うことが可能となる。
【００２６】
次に、実際に電子部品の移載工程について説明する。電子部品の移載時においては、まず図１Ａに示すように、電子部品を収容した電子部品取り出しトレイ３が第一のエレベータ５上に載置され、第一のクランプ機構５ｂによって固定される。同時に、電子部品移載トレイ７が、第二のクランプ機構９ｂによって第二のエレベータ９上に固定される。続いて、図１Ｂに示すように、これらエレベータは降下し、各々のトレイが洗浄液１１ａ中の所定位置に達した段階で、当該降下が停止される。
【００２７】
この状態にて、ピックアップノズル駆動機構６１によって、目標とする電子部品１９の直上まで、ピックアップノズル５０が駆動される。ピックアップノズルにおけるシリンダ開口５１ａが目標とする電子部品１９の上面と所定間隔となった段階で当該駆動が停止される。当該状態にて、エアシリンダ５７の駆動を行い、シリンダ５１内への洗浄液１１ａの吸引及び電子部品１９の吸着を実施する。電子部品吸着後、ピックアップノズル５０は、電子部品１９をOCRカメラ１３の焦点を通過させるように、所定の経路を介して駆動される。この駆動時において、電子部品のデータが認識され、同時に下カメラ１７による映像より電子部品の保持状態が認識される。また、得られた電子部品１９のデータに基づいて、電子部品移載トレイ７上の移載位置が指定される。
【００２８】
ピックアップノズル５０は、電子部品移載トレイ７上の目標とする電子部品載置位置の直上まで駆動される。ここで、下カメラ１７の映像を用いて認識された電子部品１９の保持状態に基づき、電子部品１９が電子部品移載トレイ７上の目標とする載置位置に応じた姿勢となるように、ピックアップノズル５０による位置補正が行われる。その際、シリンダ回転機構６３により、シリンダ５１及び電子部品１９を若干角度回転させても良い。位置補正終了後、電子部品１９の下面が目標載置位置の上面から所定距離となるまで、再度ピックアップノズル５０の降下を行う。その後、エアシリンダ５７の駆動を行い、電子部品１９及び洗浄液１１ａのシリンダ開口５１ａからの放出を行う。
【００２９】
以上の工程を経ることにより、移載対象とする電子部品１９の、電子部品取り出しトレイ３から電子部品移載トレイ７への移載工程が終了する。これら移載工程が、概略的に図１Ｃに示されている。以上の電子部品１９一個の移載が終了すると、ピックアップノズル５０は次の移載対象となる目標電子部品の直上まで駆動される。以下、上述した一連の工程が複数回繰り返され、電子部品取り出しトレイ３上に載置された電子部品１９全ての電子部品移載トレイ７上への移載工程が終了する。移載終了後、両エレベータは所定位置まで上昇、停止し、各々のトレイが次工程のものと交換され、次トレイ間での電子部品の移載工程が実施される。なお、本実施の形態においては、電子部品１９は全てトレイ-トレイ間にて移載されることとしたが、本発明は当該形態に限定されない。具体的には、OCRカメラ１３の映像に基づいて不良と判断された電子部品をトレイと異なる他の収容位置に搬送する等、該映像結果に基づいて該電子部品に施す処理を決定し、これを実施することとしても良い。
【００３０】
以上述べたように、本発明によれば、洗浄の前後あるいは並び替え工程において、電子部品を空気中に曝すことが無くなる。従って、液中から電子部品を出すことに起因して生じる種々の汚染を防止することが可能となる。
【００３１】
なお、本実施形態においては、磁気ヘッドスライダに代表される電子部品を移載対象として述べたが、本発明の適用対象はこのような微小電子部品に限定されない。特殊部品、ペレット等、比較的小型であって高度な品質管理が要求される部材の移載工程に対しても適用可能である。また、使用する液体を洗浄液として述べたが、清浄状態を維持するための保存液等、所定の特性を有する種々の液体を用いることが可能である。また、エレベータは第一及び第二の一対の構成から成り、各々独立して駆動可能としているがこれらを単一のエレベータから成ることとして、装置構成の簡略化を図っても良い。また、電子部品取り出し側トレイはエレベータを用いず、例えば、槽内に洗浄液が存在しない状態にて該トレイに槽内への挿脱を行うこととして、エレベータを電子部品移載側トレイ用の一基のみとしても良い。また、逆に電子部品の品質、データ等に応じてトレイを更なる数とし、個々のトレイに応じたエレベータを配することとしても良い。
【００３２】
また、本実施の形態においては、電子部品の収容容器として略平板形状を有するトレイを用いることとしているが、収容容器の形状は当該トレイに限定されるものではない。移送対象となる物品の形状、用いる液体、液体中において為される移送以外の処理等に応じれ適宜変更されることが望ましい。また、また、OCRカメラ１３、下カメラ１７は、所謂光学式、電子式を問わない。また、OCRカメラ１３によって得られるデータは、電子部品の保持状態に関する属性以外の部材表面への表記によって示される全ての属性を含む。
【００３３】
また、本実施の形態においては、吸着によって電子部品を保持するピックアップノズルを用いることとしている。しかしながら、本発明は当該ノズルの形式に限られるものではなく、機械的な把持等公知の種々の方法によってこれを行うこととしても良い。しかしながら、OCRカメラによる属性認識のためには、電子部品の所定面を覆うことの無い保持方法が望ましい。
【実施例】
【００３４】
図４Ａ〜４Ｃに、本発明を具現化した電子部品の液中移載装置の概略構成を示す。図４Ａ〜４Ｃは、各々当該装置の正面図、側面図及び平面図を示している。なお、上述した実施の形態で説明した構成と同様の構成については、同一の参照符号を用いて説明することとする。本液中移載装置１は、架台２５、洗浄槽１１、ピックアップノズル５０、ピックアップノズル駆動機構６１、制御筐体２７、操作パネル２８、HEPフィルタ２９、OCRカメラ１３、下カメラ１７、第一のエレベータ５、及び第二のエレベータ９を主たる構成として有している。
【００３５】
架台２５は、種々の構成を支持すると共に装置の外縁を規定すると共に略直方形状を有する。該架台２５は、洗浄槽１１、第一のエレベータ５、第二のエレベータ９、及びピックアップノズル駆動機構６１を略内包し、これらを各々支持している。制御筐体２７は、当該装置における種々の構成各々の制御装置、各データベースの記憶、参照等を行う記録装置等を内包している。制御パネル２８は、本装置を実際に操作するスイッチ類等が配置されており、操作者は当該パネルにアクセスすることにより実際の電子部品の移載操作を実施する。
【００３６】
まて、架台２５の上部には所謂HPAフィルタ２９が配置されている。当該フィルタ２９を介して、パーティクル等の存在率が管理された空気が、架台２５に包含される空間内に下方に向かうように導入される。この空気流によって、架台２５内部の空間、即ち洗浄液の液面が曝される空間及びトレイ等が実際に搬送される空間は、高清浄状態に保たれる。
【００３７】
ピックアップノズル駆動機構６１は、Ｘ軸駆動機構６１ｘ、Ｙ軸駆動機構６１ｙ、及びＺ軸駆動機構６１ｚを有している。これら構成を各々動作させることにより、ピックアップノズル５０の三軸方向の駆動を可能としている。なお、上述したシリンダ回転機構６３は、本実施例においては装置構成簡略可能ために省略している。また、OCRカメラ１３、下カメラ１７等に関しては先に述べた説明と特に異なる部分が存在しないことから、ここでの説明は省略する。
【００３８】
なお、本実施例においては、液中移載装置として、洗浄に関する構成については何ら述べていない。しかしながら、本発明の実施形態は当該実施例に限定されるものではない。具体的には、液中に保持された電子部品の効果的に洗浄することを目的として、洗浄槽１１中に、流れを発生する機構、超音波を発生する機構等を配置することとしても良い。この場合、トレイ上の電子部品が載置位置から移動することを防止するために、該電子部品をトレイに吸引する機構、該電子部品をトレイに対してクランプする機構等を更に付加することが望ましい。
【００３９】
また、本実施の形態及び実施例においては、エレベータが二基ある構成についてのみ例示したが、本発明は当該構成に限定されず、第一のエレベータ及び第二のエレベータの一方或いは両方を省略した構成、或いは逆に更なるエレベータを有する構成としても良い。例えば洗浄工程前に製品のランク付けを行い、本発明を適応した移載工程において、電子部品各々をランクに応じたトレイに振り分ける構成としても良い。また、洗浄槽を複数個有する構成としても良い。この場合、電子部品を個別且つ限定された高清浄空間を介して段階的な洗浄を行うことが可能となり、より効率的な洗浄を行うことが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
上述した実施形態及び実施例においては、移載対象として微細電子部品である磁気ヘッドスライダを例示している。しかしながら、本発明の適用対象は微細電子部品に限定されない。例えば特殊部品、ペレット等、比較的小型であって高度な品質管理が要求される部材の移載工程に対しても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１Ａ】本発明の実施形態に係る移載装置の、概略構成を示す図である。
【図１Ｂ】本発明の実施形態に係る移載装置の、概略構成を示す図である。
【図１Ｃ】本発明の実施形態に係る移載装置の、概略構成を示す図である。
【図２】OCRカメラにて得られるデータ等の撮像影像の例である。
【図３】本発明の実施形態において用いられるピックアップノズルの概略構成を示す図である。
【図４Ａ】本発明の実施例に係る移載装置の正面図である。
【図４Ｂ】本発明の実施例に係る移載装置の側面図である。
【図４Ｃ】本発明の実施例に係る移載装置の部分平面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１：電子部品移載装置、  ３：電子部品取り出しトレイ、  ５：第一のエレベータ、  ７：電子部品移載トレイ、  ９：第二のエレベータ、  １１：洗浄槽、  １３：OCRカメラ、  １７：下カメラ、  １９：電子部品、  ２１：ロット番号、  ２５：架台、  ２７：制御筐体、  ２９：HPAフィルタ、  ５０：ピックアップノズル、  ５１：シリンダ、  ５３：ピストン、  ５５：ピストンロッド、  ５７：エアシリンダ、  ５９：空圧回路、  ６１：ピックアップノズル駆動機構、  ６３：ピックアップノズル回転機構
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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