(57)【要約】【課題】凸版反転オフセット法を用い、ブランケットに成膜した有機発光媒体層を凸刷版でかきとる際、凸刷版で有機発光媒体層がうまくきれない部分や、線幅にばらつきがない、安定した有機発光媒体層のパターニングがされた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供すること。【解決手段】１）有機発光媒体層を備えた転写体と、凸刷版とを密着させて、転写体から有機発光媒体層の不要部を除去し有機発光媒体層のパターニングを行い、２）パターニング済みの有機発光媒体層を備えた転写体と被転写体とを密着させて、被転写体上に転写する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、凸部を備えた凸刷版は吸引部を有し、凸刷版と有機発光媒体層との間を減圧状態にして密着させ、有機発光媒体層の不要部を転写しパターニングを行う。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１）支持体上に有機発光媒体層を備えた転写体と、前記有機発光媒体層の不要部に対応する凸部を備えた凸刷版とを、前記有機発光媒体層と前記凸刷版の凸部とが対面するように接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記有機発光媒体層の不要部を除去することによって有機発光媒体層のパターニングを行い、２）前記支持体上にパターニング済みの有機発光媒体層を備えた転写体と、少なくとも透光性基板上に透明導電層を備えた被転写体とを、前記有機発光媒体層と前記被転写体とが対面するように接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記パターニング済みの有機発光媒体層を前記被転写体上に転写する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、
前記有機発光媒体層の不要部に対応する凸部を備えた凸刷版は吸引部を有し、前記有機発光媒体層と前記凸刷版の凸部とが対面するように接触させる際に、前記凸刷版と前記有機発光媒体層との間を減圧状態にして密着させ、前記凸刷版の凸部上に前記有機発光媒体層の不要部を転写しパターニングを行うことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項２】
前記凸刷版と前記有機発光媒体層との間を減圧状態にして密着させながら、さらに超音波をあて、凸部と凹部の境目の有機発光媒体層に切れ目を入れることを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項３】
前記切れ目を入れた状態で、さらに前記凸刷版と前記有機発光媒体層との間の減圧度を大きくし、切れ目から有機発光媒体層を切断することを特徴とする請求項２記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項４】
前記支持体上に有機発光媒体層を備えた転写体は剛性を有する平板に固定され、前記有機発光媒体層の不要部に対応する凸部を備えた凸刷版は平面に保たれた状態で、前記有機発光媒体層と前記凸刷版の凸部とが対面するように接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記有機発光媒体層の不要部を除去することによって有機発光媒体層のパターニングを行うことを特徴とする請求項１、２、または３記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項５】
１）支持体上に有機発光媒体層を備えた転写体と、前記有機発光媒体層の不要部に対応する凸部を備えた凸刷版とを、前記有機発光媒体層と前記凸刷版の凸部とが対面するように接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記有機発光媒体層の不要部を除去することによって有機発光媒体層のパターニングを行い、２）前記支持体上にパターニング済みの有機発光媒体層を備えた転写体と、少なくとも透光性基板上に透明導電層を備えた被転写体とを、前記有機発光媒体層と前記被転写体とが対面するように接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記パターニング済みの有機発光媒体層を前記被転写体上に転写して有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する凸刷反転オフセット法に用いる凸刷版であって、
前記有機発光媒体層と前記凸刷版の凸部とが対面するように接触させる際に、前記凸刷版と前記有機発光媒体層との間を減圧状態にすることができるように吸引口を有することを特徴とする凸刷反転オフセット法用凸刷版。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、凸版反転オフセット法を用いて、精度良く有機発光媒体層をパターニングする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器の多様化にともなって、従来より一般に使用されているＣＲＴに比べて消費電力や空間占有面積が少ない平面表示素子のニーズが高まり、このような平面表示素子の一つとしてＥＬ素子（エレクトロルミネッセンス素子）が注目されている。
【０００３】
ＥＬ素子は、導電性化合物に電圧を加えることにより励起し、発光させる素子である。ルミネッセンス材料により、無機化合物を使用した無機ＥＬ素子と有機化合物を使用した有機ＥＬ素子に分けられる。
無機ＥＬ素子を使用した表示装置（無機ＥＬＤ）は早くから一部実用化されてきたが、駆動電圧が高すぎるなどの問題で実用化が滞っている。
【０００４】
それに対して、有機ＥＬ素子を使用した表示装置（有機ＥＬＤ）は、錫ドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）などよりなるホール（正孔）注入電極と、ホール注入電極上に成膜されたトリフェニルジアミンなどを含むホール（正孔）輸送層と、ホール輸送層上に積層されたアルミキノリノール錯体（ＡｌＰ3 ）などの蛍光物質を含む有機発光媒体層と、マグネシウムなどの仕事関数の小さな金属電極（電子注入電極）とを基本の構成要素として有する。１０ボルト前後の電圧によって、数百ないし数万ｃｄ／ｍ2というきわめて高い輝度が得られるという特徴を有しており、今後実用化が盛んに行われると予想されている。
【０００５】
このような有機ＥＬ素子を使用した有機ＥＬ表示装置は、とりわけ、カラー表示装置への応用が期待されている。
有機ＥＬ材料は大きくわけて、低分子系材料と高分子系材料の２種類に分けられ、低分子系材料は一般に蒸着法によって塗りわけわれるが、大型基板対応の蒸着装置やアライメント精度の問題があり、大型化には向いていない。
【０００６】
一方、高分子系材料は、湿式プロセスが使えるために大型基板に成膜するのに有利と言われている。高分子系材料を成膜する湿式プロセスのうち、一般的に知られている方式はスピン塗布方式とインクジェット方式と印刷方式である。
スピン塗布方式では塗布効率が約１０％と低く、基板のコーナー部分の塗布膜厚が厚くなるという欠点があるうえ、ＲＧＢ３色の有機発光媒体層を塗り分ける技術が困難である。
【０００７】
ＲＧＢ３色の有機発光媒体層の形成を、液体を任意位置に任意量吐出するインクジェット方式で行う成膜方法は、基本的に微小な液滴、すなわち、点の集合体を薄膜とするものであり、均一な層膜厚を得るのは難しいといわれている。また、大型基板に対する位置精度の問題もまだ残っているのが現状である。
【０００８】
印刷方式では、凹版印刷方式やオフセット印刷方式やスクリーン印刷方式など様々あるが、膜厚均一性が安定している凸版反転オフセット法が注目されている。これまでの通常の凸版反転オフセット法では図１のように、回転するシリコンブランケットを用いるため、ブランケットに成膜した有機発光媒体層を凸刷版でかきとる際、凸刷版が有機発光媒体層付ブランケットと接する時間が短すぎるため、うまく凸刷版で膜がきれない部分や、線幅にばらつきがでるなど安定したパターニングができないという問題があった。
【特許文献１】特開２００３−１７２４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、凸版反転オフセット法を用い、ブランケットに成膜した有機発光媒体層を凸刷版でかきとる際、凸刷版で有機発光媒体層がうまくきれない部分や、線幅にばらつきがでることのない、安定した有機発光媒体層のパターニングがされた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供することを課題とするものである。また、上記有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法で用いる凸刷反転オフセット法用凸刷版を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、１）支持体上に有機発光媒体層を備えた転写体と、前記有機発光媒体層の不要部に対応する凸部を備えた凸刷版とを、前記有機発光媒体層と前記凸刷版の凸部とが対面するように接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記有機発光媒体層の不要部を除去することによって有機発光媒体層のパターニングを行い、２）前記支持体上にパターニング済みの有機発光媒体層を備えた転写体と、少なくとも透光性基板上に透明導電層を備えた被転写体とを、前記有機発光媒体層と前記被転写体とが対面するように接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記パターニング済みの有機発光媒体層を前記被転写体上に転写する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、
前記有機発光媒体層の不要部に対応する凸部を備えた凸刷版は吸引部を有し、前記有機発光媒体層と前記凸刷版の凸部とが対面するように接触させる際に、前記凸刷版と前記有機発光媒体層との間を減圧状態にして密着させ、前記凸刷版の凸部上に前記有機発光媒体層の不要部を転写しパターニングを行うことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。
【００１１】
また、本発明は、上記発明による有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記凸刷版と前記有機発光媒体層との間を減圧状態にして密着させながら、さらに超音波をあて、凸部と凹部の境目の有機発光媒体層に切れ目を入れることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。
【００１２】
また、本発明は、上記発明による有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記切れ目を入れた状態で、さらに前記凸刷版と前記有機発光媒体層との間の減圧度を大きくし、切れ目から有機発光媒体層を切断することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。
【００１３】
また、本発明は、上記発明による有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記支持体上に有機発光媒体層を備えた転写体は剛性を有する平板に固定され、前記有機発光媒体層の不要部に対応する凸部を備えた凸刷版は平面に保たれた状態で、前記有機発光媒体層と前記凸刷版の凸部とが対面するように接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記有機発光媒体層の不要部を除去することによって有機発光媒体層のパターニングを行うことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。
【００１４】
また、本発明は、１）支持体上に有機発光媒体層を備えた転写体と、前記有機発光媒体層の不要部に対応する凸部を備えた凸刷版とを、前記有機発光媒体層と前記凸刷版の凸部とが対面するように接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記有機発光媒体層の不要部を除去することによって有機発光媒体層のパターニングを行い、２）前記支持体上にパターニング済みの有機発光媒体層を備えた転写体と、少なくとも透光性基板上に透明導電層を備えた被転写体とを、前記有機発光媒体層と前記被転写体とが対面するように
接触させ、これを密着させて、前記転写体から、前記パターニング済みの有機発光媒体層を前記被転写体上に転写して有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する凸刷反転オフセット法に用いる凸刷版であって、
前記有機発光媒体層と前記凸刷版の凸部とが対面するように接触させる際に、前記凸刷版と前記有機発光媒体層との間を減圧状態にすることができるように吸引口を有することを特徴とする凸刷反転オフセット法用凸刷版である。
【発明の効果】
【００１５】
図１に示すように、通常の凸版反転オフセット法では、回転するシリコンブランケットを用いるため、ブランケットに成膜した有機発光媒体層を凸刷版でかきとる際、凸刷版が有機発光媒体層付ブランケットと接する時間が短すぎるため、精細で安定なパターンを得ることができなかったが、本発明においては、図２に示すように、シリコンブランケットを強固な平版に貼り付けた状態で使用し、図３に示すように、版と有機発光媒体層付ブランケットを重ね合わせて凸刷版側にあらかじめ細工しておいた吸引口から吸引することで、ブランケットに成膜した有機発光媒体層と凸刷版間が減圧状態となり、有機発光媒体層と凸刷版の密着性が向上する。また、図４に示すように、この状態で超音波を当てることで所望するパターンに切れ目を生じさせることができ、また、その後、図５に示すように、版と有機発光媒体層付ブランケット間の減圧度を更に大きくすることで、所望するパターンの切れ目部位を切断することができ、高精度な有機発光媒体層のパターンを有する素子を安定して製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明の実施形態を一実施例により詳細に説明する。
本発明は、凸版反転オフセット法において、有機発光媒体層を均一に成膜し、支持体としてのシリコンブランケットから凸刷版を用いて不必要な部分をかきとる際、図２に一実施例を示すように、シリコンブランケット２を強固な平版４に貼り付けた状態のシリコンブランケット２上に有機発光媒体層１を成膜して転写体となし、図３に示すように、この転写体をあらかじめ吸引口を設けておいた、本発明における凸刷版１３と重ね合わせ減圧下で吸引５することで、凸刷版が有機発光媒体層付ブランケットと接する時間が長くなり密着性が向上し、版のかきとり精度を向上させることのできる有機発光媒体層のパターニング法を利用した有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。
【００１７】
図１に示すように、通常の凸版反転オフセット法を用いる場合、回転するシリコンブランケットを用いるため、ブランケットに成膜した有機発光媒体層を凸刷版でかきとる際、凸刷版が有機発光媒体層と接する時間が短すぎるため、凸刷版上で膜がきれない部分の面積率が約３０％程度で、線幅にばらつきが約２０μｍ程度で精度が低い。
【００１８】
そこで、ブランケットに成膜した有機発光媒体層を凸刷版でかきとる際、凸刷版が有機発光媒体層付ブランケットと接する時間を長くするために、図２に示すように、シリコンブランケットを強固な平版に貼り付けた状態で使用し、図３に示すように、凸刷版と有機発光媒体層付ブランケットを重ね合わせて、凸刷版側にあらかじめ細工しておいた吸引口から吸引することで、ブランケットに成膜した有機発光媒体層と凸刷版の間が減圧状態となり、有機発光媒体層と凸刷版の密着性が向上する。
【００１９】
この場合の有機発光媒体層がきれない部分の面積率が約２０％程度で、線幅のばらつきが約１５μｍ程度となり、通常の凸版反転オフセット法と比較すると、有機発光媒体層がきれない部分の面積率で約１０％、線幅のばらつきで約５μｍの向上が見られる。
【００２０】
尚、図７は、本発明における凸刷版の他の第一例の断面図、図８は、図７の上方からの平面図である。図７及び図８に示すように、この他の第一例の凸刷版は、かきとり凸面７
及びパターン部８を囲むように吸引口９が設けられている。
また、図９は、本発明における凸刷版の他の第二例の断面図、図１０は、図９の上方からの平面図である。この他の第二例の凸刷版は、パターン部８の外側両端に吸引口９が設けらたものである。また、図１１は、本発明における凸刷版の他の第三例の断面図、図１２は、図１１の上方からの平面図である。この他の第三例の凸刷版は、かきとり凸面７が曲率のあるかきとり凸面である。
【００２１】
また、本発明は、上記のように減圧下で吸引した後、図４に示すように、超音波を使うことで、版表面と接していない有機発光媒体層と接している有機発光媒体層の境目に切れ目１１を入れ、選択的に精度の高いパターニングを可能とする有機発光媒体層のパターニング法を採用したものである。
この場合の有機発光媒体層がきれない部分の面積率が約１５％程度で、線幅のばらつきが約１０μｍ程度となり、通常の凸版反転オフセット法と比較すると、有機発光媒体層がきれない部分の面積率で約１５％、線幅のばらつきで約１０μｍの向上が見られる。
【００２２】
また、本発明は、上記のように、版表面と接していない有機発光媒体層と接している有機発光媒体層の境目に切れ目１１を入れた状態で、図５に示すように、さらに減圧を大きくすることで切れ目を切断する有機発光媒体層のパターニング法を利用したものである。これにより、所望の部位で完全に有機発光媒体層をパターニングすることができる。
凸刷版の凸部がブランケット上にコートされた有機発光媒体層と接し、この部分のみが除去されることを示しており、凸刷版の凸部に接していない部分の有機発光媒体層は、吸引や超音波の工程で剥がれ落ちることはない。また、凸刷版の凸部とブランケット間に挟まれている有機発光媒体層は、吸引や超音波の工程で凸刷版の凸部パターン上からはみ出たり歪んだりすることはない。この場合にブランケット上に得られた有機発光媒体層のパターン１２の模式を図６に示す。
【００２３】
この場合の有機発光媒体層がきれない部分の面積率が約０％程度で、線幅のばらつきが約５μｍ程度となり、通常の凸版反転オフセット法と比較すると、有機発光媒体層がきれない部分の面積率で約３０％、線幅のばらつきで約１５μｍの向上が見られる。
【００２４】
また、本発明においては、吸引口から洗浄液を出し凸刷版の洗浄を行うことができる。また、一連の印刷工程を終えた凸刷版を洗浄する洗浄工程において、超音波を洗浄に用いることによって洗浄能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】反転凸版オフセット法の模式図である。
【図２】強固な平板に貼り付けられたブランケットの模式図である。
【図３】有機発光媒体層付ブランケットと本発明における凸刷版を重ね合わせて吸引する模式図である。
【図４】図３の状態で超音波を当て、有機発光媒体層のパターン部と凸部の境目に切れ目を入れている模式図である。
【図５】吸引を更に強くすることで切れ目を切断する模式図である。
【図６】ブランケット上にパターニングした有機発光媒体層の模式図である。
【図７】かきとり凸面及びパターン部を囲むように吸引口が設けられている凸刷版の他の第一例の断面図である。
【図８】図７の凸刷版を上から見た平面図である。
【図９】パターン部の外側両端に吸引口を設けている凸刷版の他の第二例の断面図である。
【図１０】図９の凸刷版を上から見た平面図である。
【図１１】凸部が曲率のあるかきとり凸面で、吸引口を設けている凸刷版の他の第三例の断面図である。
【図１２】図１１の凸刷版を上から見た平面図である。
【符号の説明】
【００２６】
１・・・塗布膜（有機発光媒体層）
２・・・シリコンブランケット
３・・・凸刷版
４・・・強固な平板
５・・・吸引
６・・・超音波
７・・・かきとり凸面（凸部）
８・・・パターン部
９・・・吸引口
１０・・曲率のあるかきとり凸面
１１・・切れ目
１２・・有機発光媒体層のパターン
１３・・本発明における凸刷版
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2006179215.tif 000011
【図１０】
2006179215.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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