(57)【要約】【課題】  メモリー性を備えると共に、駆動電圧の増大を軽減することのできる粒子移動型表示素子及び粒子移動型表示装置を提供する。【解決手段】  間隙を設けて配置された第１基板３及び第２基板６の間に着色帯電磁性粒子２を配し、着色帯電磁性粒子２を、間隙に面して配置された第１電極８及び第２電極９の間に生じる電界により間隙内を移動させて画像を表示させる。そして、第１電極８及び第２電極９のうちの少なくとも一方に、磁性を有するよう複数の磁性体１０を並設することにより、着色帯電磁性粒子２と磁性体１０との距離を短くすることができるようにする。【選択図】      図１
2006227266.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
間隙を設けて配置された第１基板及び第２基板の間に着色帯電磁性粒子を配し、前記着色帯電磁性粒子を、前記間隙に面して配置された第１電極及び第２電極の間に生じる電界により間隙内を移動させて画像を表示させる粒子移動型表示素子において、
前記第１電極及び第２電極のうちの少なくとも一方は磁性を有することを特徴とする粒子移動型表示素子。
【請求項２】
前記第１電極及び第２電極のうちの少なくとも一方には、磁性を有するよう複数の磁性体が並設されていることを特徴とする請求項１記載の粒子移動型表示素子。
【請求項３】
前記第１電極及び第２電極のうちの少なくとも一方の上面、或は前記第１電極及び第２電極のうちの少なくとも一方の内部に前記複数の磁性体を並設したことを特徴とする請求項２記載の粒子移動型表示素子。
【請求項４】
前記並設された複数の磁性体の間隔及び並設方向の長さを前記着色帯電磁性粒子の直径の０．１〜１０倍としたことを特徴とする請求項３記載の粒子移動型表示素子。
【請求項５】
前記並設された複数の磁性体の間隔及び並設方向の長さを前記着色帯電磁性粒子の直径程度としたことを特徴とする請求項４記載の粒子移動型表示素子。
【請求項６】
前記第１基板及び第２基板の間隙を保持する隔壁を設け、前記第１基板に前記第１電極を、前記隔壁に前記第２電極をそれぞれ設け、少なくとも前記第１電極に前記複数の磁性体を並設したことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の粒子移動型表示素子。
【請求項７】
前記第１基板に前記第１電極を、前記第２基板に前記第２電極をそれぞれ設け、少なくとも前記第１電極に前記複数の磁性体を並設したことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の粒子移動型表示素子。
【請求項８】
前記第１電極及び第２電極のうちの少なくとも一方は、磁性を有するよう磁性体にて形成されていることを特徴とする請求項１記載の粒子移動型表示素子。
【請求項９】
前記磁性体は多磁区構造を有することを特徴とする請求項８記載の粒子移動型表示素子。
【請求項１０】
前記多磁区構造の各磁区の間隔及び各磁区の幅を前記着色帯電磁性粒子の直径の０．１〜１０倍としたことを特徴とする請求項９記載の粒子移動型表示素子。
【請求項１１】
前記多磁区構造の各磁区の間隔及び各磁区の幅を前記着色帯電磁性粒子の直径程度としたことを特徴とする請求項９記載の粒子移動型表示素子。
【請求項１２】
前記磁性体にて形成されている電極は複数の並設された凸構造を有することを特徴とする請求項８記載の粒子移動型表示素子。
【請求項１３】
前記並設された複数の凸構造は、前記電極が厚さ分布を有することで形成されていることを特徴とする請求項１２記載の粒子移動型表示素子。
【請求項１４】
前記並設された複数の凸構造は、並設された複数の非磁性の凸構造体上に薄膜の磁性を有する導電材料を被覆することで形成されていることを特徴とする請求項１２記載の粒子移動型表示素子。
【請求項１５】
前記並設された複数の凸構造の間隔を前記帯電磁性粒子直径の０．１〜１０倍としたことを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか１項に記載の粒子移動型表示素子。
【請求項１６】
前記並設された複数の凸構造の間隔を前記着色帯電磁性粒子の直径程度としたことを特徴とする請求項１５記載の粒子移動型表示素子。
【請求項１７】
前記着色帯電磁性粒子が外部磁場非印加時には磁化がほぼ０であることを特徴とする請求項１乃至１６の何れか１項に記載の粒子移動型表示素子。
【請求項１８】
前記第１基板及び第２基板の間隙に絶縁性液体中が充填され、前記着色帯電磁性粒子は前記絶縁性液体中に分散されていることを特徴とする請求項１乃至１７の何れか１項に記載の粒子移動型表示素子。
【請求項１９】
前記請求項１乃至１８の何れか１項に記載の粒子移動型表示素子を備えたことを特徴とする粒子移動型表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色帯電磁性粒子を移動させて表示を行う粒子移動型表示素子及び粒子移動型表示装置に関し、特に着色帯電磁性粒子の移動を磁力により規制するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器の発達に伴い、低消費電力且つ薄型の表示装置のニーズが増しており、このニーズに合わせた表示装置の研究、開発が盛んに行われている。中でも低消費電力、視覚への負担軽減などの観点から反射型表示装置が期待されている。そして、このような反射型表示装置の一例として、特許文献１でＥｖａｎｓ等により提案された電気泳動表示装置が知られている（特許文献１参照。）。
【０００３】
ここで、この電気泳動表示装置は、着色帯電磁性粒子を電界（静電気力）によって電極間を泳動させ、表示を行う構成の電気泳動表示素子を備えているが、このような構成の電気泳動表示素子の場合、電極への電圧印加を停止すると、着色帯電磁性粒子に静電気力が働かないため、着色帯電磁性粒子を電極面に留めておく事ができない。即ち、メモリー性を有していない。このため、表示状態を維持するためには電極へ電圧を印加し続けなければならず、消費電力を費やしてしまう問題点があった。
【０００４】
そこで、メモリー性を付与するために、例えば着色帯電磁性粒子として磁性材料を含んだものを使用すると共に、このような磁性材料を含んだ着色帯電粒子（以下、着色帯電磁性粒子という）の移動を規制する磁性体を備えた電気泳動表示素子が提案されている（特許文献２参照。）。
【０００５】
図１６は、このような従来の磁性体を備えた電気泳動表示素子の構成及びその動作原理を示すものであり、この電気泳動表示素子は、着色帯電磁性粒子６２と透明な絶縁性液体６１からなる分散層と、分散層を挟んで対峙する第１及び第２基板６３，６６と、第１基板６３上に形成された第１及び第２電極６８，６９と、第１基板６３内に分散された磁性体７０と、第１基板上に形成された絶縁層６４，６５と、第１及び第２基板６３，６６の間隙を形成するための隔壁６７とからなっている。
【０００６】
そして、このような構造の電気泳動表示素子において、表示を行う場合には、第１及び第２電極６８，６９を介して分散層に電圧を印加することにより、着色帯電磁性粒子６２を粒子自身が持つ電荷と反対極性の電極に引き寄せるようにしている。
【０００７】
ここで、表示は、この着色帯電磁性粒子６２の色と、着色帯電磁性粒子６２の色相と異なる色の電極或いは絶縁層或いは基板等の色によって行われる。例えば、第１電極６８を負極に、第２電極６９を正極にした場合、正電荷の磁性を帯びた着色帯電磁性粒子６２は図１６の（ａ）に示すように第１電極６８側に移動して第１電極６８に面する絶縁層６５に付着し、この場合、着色帯電磁性粒子６２の色が表示される。
【０００８】
また、逆に第１電極６８を正極に、第２電極６９を負極にした場合、正電荷の着色帯電磁性粒子６２は、図１６の（ｂ）に示すように第２電極６９側に移動して第２電極６９に面する絶縁層６５に付着し、この場合、第１基板６３或いは絶縁層６４，６５、或いは第１電極６８の色が表示される。
【０００９】
なお、このように第１電極６８、或いは第２電極６９に面する第２絶縁層６５に付着した着色帯電磁性粒子６２は、第１基板６３内に分散された磁性体７０との間に働く磁力により、電圧非印加時においても第２絶縁層６５表面に吸着されることから、メモリー性を有することになる。
【００１０】
【特許文献１】米国特許第３６１２７５８号明細書
【特許文献２】特開２０００−５６３４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、このような従来の電気泳動表示素子において、磁性体７０は第１及び第２電極６８，６９下方の第１基板上或いは第１基板内に形成されているため、磁性体７０と着色帯電磁性粒子６２との間には電極６８，６９や絶縁層６４，６５が存在する。そして、このように磁性体７０と着色帯電磁性粒子６２との間に電極６８，６９や絶縁層６４，６５が存在すると、磁性体７０と着色帯電磁性粒子６２との距離が離れることから、メモリー性付与に必要な磁力を発生させるためには、磁化の大きな磁性体７０、或いは体積の大きな磁性体７０を用いることが必要となる。
【００１２】
しかし、磁化の大きな磁性体７０を用いる場合には、磁性体７０の材料選択幅を狭め、また体積の大きな磁性体７０を用いる場合には、電気泳動表示素子及び電気泳動表示装置の厚みや重量が増大するという問題が発生する。
【００１３】
また、磁性体７０は第１基板内に分散、或いは第１基板上に薄膜として成膜されているが、ここで磁性体７０を第１基板内に分散させた場合、磁性体７０が着色帯電磁性粒子６２の大きさに対して無視できない程度に不均一に分散されると、画素内で着色帯電磁性粒子６２に作用する磁力が不均一になり、着色帯電磁性粒子６２が偏在するという問題が発生する。したがって、着色帯電磁性粒子６２の移動を規制し、メモリー性を確保するためには磁性体７０を均一に分散させることが必要となるが、微小な磁性体７０を第１基板内に高濃度で均一に分散させることは困難である。
【００１４】
一方、磁性体７０が薄膜の場合、図１７に示すように、磁性体７０の中央付近では磁束の勾配が非常に小さく、両端部では磁束の勾配が大きい。ここで、磁力の大きさは磁束密度の大きさと、磁束の勾配の大きさで決定されることから、磁性体７０の中央付近では磁力は弱く、また両端部では磁力が強い。
【００１５】
そして、このように磁性体７０の中央付近と両端部との間に磁力の大きさの差がある場合、例えば図１６の（ａ）に示すように第１電極６８に面する絶縁層６５に付着している着色帯電磁性粒子６２を図１６の（ｂ）に示すように第２電極６９に面する絶縁層６５に付着させようとすると、磁性体中央部側の着色帯電磁性粒子６２を移動させるための駆動電圧よりも磁性体端部側の着色帯電磁性粒子６２を移動させるための駆動電圧を大きくする必要がある。なお、このように駆動電圧の大きさに違いがある場合には、第１及び第２電極６８，６９に電圧を印加する電圧印加手段に掛かる負担が大きくなる。
【００１６】
また、着色帯電磁性粒子６２に作用する力は、静電気力と磁力の差分であり、特に薄膜状の磁性体７０を用いる場合、分散層の基板に対して直交する方向（以下、電極面直方向という）の長さが、薄膜状の磁性体７０の基板６３に沿った方向（以下、電極面内方向という）の長さと比較して十分に小さい場合には、分散層内の電極面直方向への磁力の減衰が非常に小さい。
【００１７】
このため、磁力によってメモリー性を付与する際には、着色帯電磁性粒子６２が磁力によって電極に引き寄せられる力に相当する静電気力を余計に発生させることが必要であり、そのため駆動電圧が増大するという問題があった。なお、この駆動電圧増大の問題は、基板内に分散された磁性体の分散状態によっても発生する可能性がある。
【００１８】
そこで、本発明は、このような現状に鑑みてなされたものであり、メモリー性を備えると共に、駆動電圧の増大を軽減することのできる粒子移動型表示素子及び粒子移動型表示装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、間隙を設けて配置された第１基板及び第２基板の間に着色帯電磁性粒子を配し、前記着色帯電磁性粒子を、前記間隙に面して配置された第１電極及び第２電極の間に生じる電界により間隙内を移動させて画像を表示させる粒子移動型表示素子において、前記第１電極及び第２電極のうちの少なくとも一方は磁性を有することを特徴とするものである。
【００２０】
また本発明は、前記第１電極及び第２電極のうちの少なくとも一方には、磁性を有するよう複数の磁性体が並設されていることを特徴とするものである。
【００２１】
また本発明は、前記第１電極及び第２電極のうちの少なくとも一方は、磁性を有するよう磁性体にて形成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のように、第１電極及び第２電極のうちの少なくとも一方が磁性を有するようにすることによって着色帯電磁性粒子と磁性体との距離を短くすることにより、メモリー性を備えると共に、駆動電圧の増大を軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００２４】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る粒子移動型表示素子の一例である電気泳動表示素子の概略構成を示す図であり、図１に示すように、この電気泳動表示素子は、所定間隙を空けた状態に配置された一対の基板である表示側の第２基板６及び後方側の第１基板３と、これらの基板３，６の間隙を形成するための隔壁７と、基板３，６と隔壁７に囲まれた空間内に配置された絶縁性液体１と、絶縁性液体１に分散された複数の着色帯電磁性粒子２と、を備えている。
【００２５】
なお、この電気泳動表示素子は、基板上にマトリクス配置した画素を有するものであり、隔壁７は隣接する画素間での着色帯電磁性粒子２の移動を防止する機能を併せ持っている。また、絶縁性液体１は着色色素が溶解されていない、透明な絶縁性液体である。
【００２６】
また、第１基板３上には第１電極８と、第１電極８と異なる電圧が印加される第２電極９が平行に形成されており、これら第１及び第２電極８，９によって着色帯電磁性粒子２の空間分布を制御する電場を形成することにより、着色帯電磁性粒子２を第１電極８と第２電極９との間で移動させることができる。
【００２７】
なお、図１において、４は第２電極９上及び画素境界部に形成された第１絶縁層、５は第１電極８及び第２電極９を覆う第２絶縁層であり、この第２絶縁層５、第１電極８及び第１基板３のいずれか１つを着色帯電磁性粒子２及び第１絶縁層４と光学的特性（色相、反射率等）が異なるように着色した構成とすると、白黒表示等の２色表示が実現できる。
【００２８】
また、第１絶縁層４、第２絶縁層５、第１電極８、第１基板３及び第２基板の何れか１つにカラーフィルタを設けることによって、或いは複数の色相を有する着色帯電磁性粒子を用いることによってカラー表示が可能となる。
【００２９】
ところで、本実施の形態において、第１電極８及び第２電極９上にはさらに磁性体１０が、電極８，９の基板３，６に沿った方向である電極面内方向の少なくとも一方向の大きさ（長さ）及び間隔が着色帯電磁性粒子２の直径程度となるように規則的に並設されている。
【００３０】
ここで、既述したように磁性体１０の電極面内方向の大きさ（長さ）或いは間隔が着色帯電磁性粒子２の直径に対して無視できない程度大きければ、着色帯電磁性粒子２と磁性体１０との間に働く磁力が電極面内方向で不均一となり（図１７参照）、着色帯電磁性粒子２は最も磁力が強い部分へ偏在するが、このように磁性体１０の並設方向の大きさ（幅）及び間隔を着色帯電磁性粒子２の直径程度とすることにより、図２に示すように着色帯電磁性粒子２と磁性体１０との間に働く磁力が電極面内方向で一様となる。
【００３１】
そして、このように着色帯電磁性粒子２と磁性体１０との間に働く磁力が電極面内方向の一方向である並設方向で一様となると、着色帯電磁性粒子が受ける磁力は並設方向でほぼ一様となり、このため電極面内方向において着色帯電磁性粒子２は一様に分散するようになるので、画素内で着色帯電磁性粒子２が偏在するのを防ぐことができる。なお、磁性体１０の配置方法としては、ライン状、格子状、島状等の配置とすることができる。
【００３２】
ところで、このような構成の電気泳動表示素子は、第１電極８及び第２電極９間に電圧を印加し、透明な絶縁性液体１中で着色帯電磁性粒子２を第１電極８及び第２電極９間で移動させることによって表示を行うようにしているが、電圧非印加時においては、第１電極８及び第２電極９上に規則的に配列された磁性体１０によって、着色帯電磁性粒子２は電極面内方向で一様な磁力を受け、第２絶縁層５上に引き寄せられ、一様に分散して固定される。
【００３３】
また、電圧印加時においては、電圧印加による静電気力が磁力よりも大きい場合に、着色帯電磁性粒子２は静電気力によって泳動するが、電圧印加による静電気力が磁力よりも小さい場合には、着色帯電磁性粒子２は第２絶縁層５上でその位置を変えず固定される。
【００３４】
次に、このような電気泳動表示素子の駆動方法の一例について説明する。なお、以下の説明において、透明な絶縁性液体１中の着色帯電磁性粒子２は正に帯電しているものとする。
【００３５】
例えば、今第２電極９を正極、第１電極８を負極とするような電圧を供給し、正電荷の着色帯電磁性粒子２に対して磁力よりも大きい静電気力を働かせた場合、正電荷の着色帯電磁性粒子２は、図１の（ａ）に示すように第２電極９の両側に位置する第１電極８の上方に集められ、第１電極８は黒色の着色帯電磁性粒子２で覆われる。このとき、観測者（第２基板６側）からは、着色帯電磁性粒子２及び第１絶縁層４の色が観測される。なお、この後、電極８，９への電圧供給を止めても磁力によって着色帯電磁性粒子２は第１電極８に面する第２絶縁層５上に一様に分散して固定される。
【００３６】
一方、第１電極８及び第２電極９に印加する電圧の極性を変えることにより、着色帯電磁性粒子２を第１電極８の間に位置する第２電極９上に移動させ、図１の（ｂ）に示すように着色帯電磁性粒子２を第２電極９の上方に集めると、着色帯電磁性粒子２の色相と異なる色に着色された絶縁層４，５、或いは第１電極８、或いは第１基板３の色が観測者（第２基板６側）から観測される。なお、この後、電極８，９への電圧供給を止めても、磁力によって着色帯電磁性粒子２は第２電極８に面する第２絶縁層５上に一様に分散して固定される。
【００３７】
ここで、例えば着色帯電磁性粒子２及び第１絶縁層４の色相を黒色、第２絶縁層５を透明とし、第１電極８を白色金属とすれば、白黒表示が可能となり、カラー化した着色層（例えば、イエロー、シアン、マゼンタ、等）を設けるようにすればカラー表示も可能となる。また、着色帯電磁性粒子２に複数の色相（例えば、イエロー、シアン、マゼンタ、等）を持たせることによってもカラー表示が可能となる。なお、着色帯電磁性粒子２と光学的特性が異なる着色層は、観測者側から観測可能であれば第１電極８、第１基板３等、或いはその間、或いは第１基板３裏面に形成しても良い。
【００３８】
次に、このような電気泳動表示素子の製造方法について図３を用いて説明する。
【００３９】
まず、第１基板３上に導電性膜を形成し、パターニングすることで、図３の（ａ）に示すように第１基板３上に第１電極８、第２電極９を形成する。なお、これら第１電極８及び第２電極９の材料としてはパターニング可能な導電性材料ならばどのようなものを用いても良いが、好ましくは、Ａｌ等の白色金属を使用する。また、第１基板３としてはガラス、石英等の無機材料或いはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート等のポリマー材料を使用することができる。
【００４０】
次に、第１電極８、第２電極９上に磁性体１０を成膜した後、パターニングし、この後、第２電極９上及び画素境界部に黒色の第１絶縁層４を形成する。さらにこの後、図３の（ｂ）に示すように第１電極８、黒色の第１絶縁層４及び磁性体１０上に透明な第２絶縁層５を形成する。ここで、第１電極８、第２電極９上に第１及び第２絶縁層４，５を形成する理由は、着色帯電磁性粒子２の第１電極８、第２電極９上への不可逆な吸着を防止するためである。
【００４１】
なお、磁性体１０の材料としては、例えば希土類―遷移金属アモルファス合金、貴金属―遷移金属合金等、或いは各種磁石材料を使用し、第１絶縁層４の材料としてはカーボンを含有した樹脂等を使用する。さらに、第２絶縁層５の材料としては薄膜でピンホールが形成しづらいものが良く、例えば可視光透過率の高いポリイミド、ＰＥＴ、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）等を使用する。なお、カラー表示を行う際には第２絶縁層５として、或いは第２絶縁層５上にカラー化した着色層を設けてもよい。
【００４２】
次に、図３の（ｃ）に示すように第１基板３上に隔壁７を形成する。ここで、この隔壁７の材料としてはポリマー樹脂を使用する。なお、隔壁７の形成はどのような方法を用いても良いが、例えば光感光性樹脂層を塗布した後露光及びウエット現象を行う方法、或いは別に作製した隔壁を接着する方法、或いは光透過性の第２基板６表面にモールドによって形成しておく方法等を用いることができる。
【００４３】
次に、第２基板６との接合面に接着層を形成し、第１基板３と隔壁７との間に絶縁性液体１及び着色帯電磁性粒子２を充填する。なお。第２基板６の材料としては、可視光の透過率が高い材料、例えばＰＥＴ、ＰＥＳ等のポリマー材料、或いはガラス、石英等の無機材料を使用することができる。また、必要に応じて、帯電制御剤等を加えることも好ましい。
【００４４】
また、絶縁性液体１としては、シリコーンオイル、トルエン、キシレン、高純度石油等の透明液体を使用し、着色帯電磁性粒子２としては、絶縁性液体１中で帯電しうる材料、例えばポリエチレン、ポリスチレン等の樹脂にカーボン及びマグネタイト、マグヘマイト等の磁性体を混ぜたものを使用する。
【００４５】
次に、第２基板６の第１基板３（隔壁７）との接合面に接着層を形成した後、第１基板３と第２基板６の位置合わせを行い、熱或いはＵＶ照射等により第２基板６を第１基板３と接合させ、図３の（ｄ）に示す構成の画素を有する電気泳動表示素子を得る。さらに、この電気泳動表示素子に、不図示の電圧印加手段を設けて電気泳動表示装置を得る。以上の方法によって作製された電気泳動表示装置は、２色表示、カラー表示、さらに階調表現も可能である。
【００４６】
ここで、このようにして製造される電気泳動表示素子は、着色帯電磁性粒子２と第１電極８及び第２電極９上に規則的に並設された磁性体１０との間に働く、電極面内方向で着色帯電磁性粒子２に対して一様な磁力により、電圧非印加時においても着色帯電磁性粒子２は第２絶縁層５上に一様に分散して固定されるため一様なメモリー性を有する。
【００４７】
さらに、電極が磁性を有するよう磁性体１０を第１電極８及び第２電極９の少なくとも一方、本実施の形態においては、磁性体１０を第１電極８及び第２電極９上に並設することにより、着色帯電磁性粒子２と磁性体１０との距離を短くすることができ、これにより磁力を効率的に利用でき、磁性体の材料選択幅を広げ、表示装置の厚みや重さを減少することができる。
【００４８】
なお、着色帯電磁性粒子２に対して磁力よりも小さい静電気力を働かせた場合、着色帯電磁性粒子２は電圧印加以前の位置を維持することから、この磁力により発生する吸着エネルギーに相当するしきい値を生じさせることができる。また、磁性体１０を規則的に並設させることによって、磁性体１０は、図２に示すように磁性体１０周辺で閉じた磁界を発生するようになり、これにより泳動空間内で磁性体１０が発生する磁力を急峻に減衰させることができる。
【００４９】
この結果、静電気力により一旦第２絶縁層５を離れると、離れた着色帯電磁性粒子２に作用する力は静電気力が支配的になり、着色帯電磁性粒子２は静電気力により加速される。このため、薄膜状の磁性体１０を用いる場合等の、電極面直方向で磁力がほぼ一定の場合と比較して、磁力によって着色帯電磁性粒子２を電極面に固定することによって発生する、駆動電圧の増大を軽減することができる。
【００５０】
また、着色帯電磁性粒子２が受ける磁力は電極面内方向で一様であるが、電界には電極面内方向で分布が存在するため、画素内で異なった場所に存在する着色帯電磁性粒子２が泳動するために必要な電圧が異なり、また、一旦電極を離れて泳動を始めた着色帯電磁性粒子２は、電極面直方向に磁力が急峻に減衰することによって加速されて、もう一方の電極へ移動するため、明瞭な階調表示が可能となる。
【００５１】
また、着色帯電磁性粒子２に外部磁場非印加時に磁化がほぼ０である特徴を持たせることによって、磁界が非常に弱い泳動空間においては、着色帯電磁性粒子２は磁化を有さない、ないしは非常に小さい磁化を有する事になり、これにより泳動中の着色帯電磁性粒子２の磁力による凝集を避けることができる。
【００５２】
ところで、これまでの説明においては、第２電極９を第１基板３に配置した電気泳動表示素子について述べてきたが、第２電極９を隔壁７内に配置するようにした電気泳動表示素子、或は第２電極９を第２基板６側に配置するようにした電気泳動表示素子についても同様の効果を得ることができる。
【００５３】
図４は、このような本実施の形態に係る電気泳動表示素子の他の構成を示す図であり、この電気泳動表示素子においては、第２電極９を隔壁７内に設置し、着色帯電磁性粒子２を、第１基板３上に設置された第１電極８と隔壁７内に設置された第２電極９との間に電圧を印加することにより移動させ、表示を行うようにしている。また、表示は着色帯電磁性粒子２の色と、着色帯電磁性粒子２とは異なった色に着色された第１基板３或いは第１電極８或いは絶縁層５の色によって行われる。
【００５４】
そして、このように構成した場合、磁性体１０は第１電極８上に配置されるようになり、このように第１電極８上に磁性体１０を配置することで、一旦第１電極８上に集められた着色帯電磁性粒子２は、磁性体１０との間に働く磁力に相当するしきい値を有することになる。なお、磁性体１０は、図４の（ｂ）に示すように隔壁７の内部にも配置することができる。
【００５５】
また、図５は、本実施の形態に係る電気泳動表示素子の他の構成を示す図であり、この電気泳動表示素子においては、第２電極９を第２基板６側に設置し、着色帯電磁性粒子２を第１基板３上に設置された第１電極８と第２基板６側に設置された第２電極９との間に電圧を印加することにより移動させ、表示を行うようにしている。また、表示は着色帯電磁性粒子２の色と、着色帯電磁性粒子２の色とは異なった色に着色された絶縁性液体１の色によって行われる。なお、図５において、４５は絶縁層である。
【００５６】
そして、このように構成した場合、磁性体１０は第１電極８上に配置されるようになり、このように第１電極８上に磁性体１０を配置することで、一旦第１電極８上に集められた着色帯電磁性粒子２は、磁性体１０との間に働く磁力に相当するしきい値を有することになる。なお、観測者（第２基板６側）から絶縁性液体１及び着色帯電磁性粒子２が観測可能であれば、図５の（ｂ）に示すように磁性体１０を第２電極９にも配置することができる。
【００５７】
次に、本実施の形態の実施例について説明する。
【００５８】
まず、本実施例では、基板上にマトリクス配置した画素を有する電気泳動型表示素子として、１５０ｍｍ×１５０ｍｍの平面寸法の第１基板上に単一画素を縦横１０００行×１０００列にマトリクス配置した素子を作製する。なお、以下の説明において、マトリクス配置した画素のうち、平面寸法が１００μｍ×１００μｍの一画素の製造プロセスを説明する。
【００５９】
まず、第１基板３であるガラス基板上に導電性膜としてＡｌ膜を成膜し、パターニングすることによって第１電極８及び第２電極９とする（図３の（ａ）参照）。次に、その表面に磁性体１０として膜厚２００ｎｍの強磁性を有するＴｂＦｅＣｏ薄膜を成膜し、その電極面内方向の長さ（幅）を黒色の着色帯電磁性粒子２の径と同程度の５μｍ、間隔も５μｍとなるようにリフトオフ法を用いて格子状にパターニングする。
【００６０】
次に、磁性体１０、第１電極８及び第２電極９上に第１絶縁層４として黒色の樹脂材（東京応化工業製ＣＦＰＲ  ＢＫ）をスピンコート法により塗布し、フォトリソグラフィーによりパターニングして第２電極９上及び画素境界面以外の部分を除去する。さらに、第２絶縁層５としてアクリル樹脂材（ＪＳＲ製Ｏｐｔｍｅｒ）をスピンコート法により塗布する（図３の（ｂ）参照）。
【００６１】
次に、隔壁７を形成する（図３の（ｃ）参照）。なお、本実施例において、隔壁７は光感光性エポキシ樹脂からなる厚膜加工レジスト（東京応化工業製ＰＭＥＲ  Ｎ−ＣＡ２０００ＰＭＴ−１）をスピンコート塗布した後、フォトリソグラフィーによって高さ２０μｍ、幅５μｍの隔壁７を形成する。
【００６２】
次に、外部磁場を印加してＴｂＦｅＣｏに電極面直方向の着磁を施す。この後、第２基板６との接合面にＵＶ硬化性の接着層を形成した後、隔壁７内に絶縁性液体１及び着色帯電磁性粒子２を充填する。なお、本実施例において、絶縁性液体１としては、アイソパーを使用し、着色帯電磁性粒子２としては、黒色のマグネタイト微粒子を内包したポリスチレン粒子で、粒子径が５μｍ程度の粒子を使用する。
【００６３】
次に、第２基板６の第１基板３との接着面にＵＶ硬化性の接着パターンを形成し、第１基板３の隔壁７と厚さ１００μｍのＰＥＴフィルムからなる光透過性の第２基板６との接着位置を合わせ、ＵＶ照射により貼り合せることにより電気泳動表示素子を得る（図３の（ｄ）参照）。これに、不図示の電圧印加手段を設けて電気泳動表示装置を得る。
【００６４】
次に、このようにして作製した電気泳動表示装置を用いて表示を行う。なお、本実施例で用いた黒色の着色帯電磁性粒子２は、絶縁性液体１中で正に帯電していたため、電圧印加により負の電極へ移動する。
【００６５】
例えば第２電極６を０Ｖ、第１電極８を負極（−１５Ｖ）とし、正電荷の着色帯電磁性粒子２に対して磁力よりも大きい静電気力を働かせた場合、第２電極９に面する第２絶縁層５上の着色帯電磁性粒子２が第２電極９から離れて静電気力によって第１電極８上に移動し、着色帯電磁性粒子２で第１電極８が覆われる（図１の（ａ）参照）。
【００６６】
このため、観測者（第２基板６側）から見た表示面は黒表示となる。また、このとき着色帯電磁性粒子２が受ける磁力が電極面内でほぼ一様となっているため、着色帯電磁性粒子２の画素内での部分的な偏在は観測されなない。
【００６７】
一方、電極に印加する電圧極性を変えて、第２電極９を０Ｖ、第１電極８を正極（＋１５Ｖ）とし、正電荷の着色帯電磁性粒子２に対して磁力よりも大きい静電気力を働かせた場合、第１電極８に面する第２絶縁層５上にある着色帯電磁性粒子２が第２電極９上に移動し、この着色帯電磁性粒子２により第２電極９が覆われる（図１の（ｂ）参照）。
【００６８】
このため、観測者（第２基板６側）から見た表示面は白表示となる。また、このとき着色帯電磁性粒子２が受ける磁力が電極面内でほぼ一様となっているため、着色帯電磁性粒子２の画素内での部分的な偏在は観測されない。
【００６９】
なお、白表示、黒表示いずれの表示書込み時においても、第１電極８に±１０Ｖ以下の電圧を印加した際には、着色帯電磁性粒子２は電圧印加前の位置を維持する。また、第１電極８に±１２Ｖの電圧を印加した際には、およそ半数の着色帯電磁性粒子２が電極間を移動し、したがって観測者（第２基板６側）から見た表示色は灰色となる。
【００７０】
ここで、全ての表示状態において、応答速度は３００ｍｓ以下であり、着色帯電磁性粒子２が静電気力によって第１電極８或いは第２電極９上から離れると共に着色帯電磁性粒子２に作用する磁力が減衰する。そして、このように色帯電磁性粒子２に作用する磁力が減衰することにより、静電気力と磁力の差分が大きくなり、この結果、敏速な駆動が観測される。
【００７１】
また、着色帯電磁性粒子２は、外部磁場非印加時において磁化が飽和磁化の１０％以下であるため、泳動時の着色帯電磁性粒子２は磁化をほとんど有さず、したがって泳動時における磁力による凝集は観測されず、良好な泳動が観測される。
【００７２】
また、第１電極８及び第２電極９に電圧を印加した後、電圧印加手段と第１電極８及び第２電極９との接続を切断した状態でも、磁力により、着色帯電磁性粒子２は第２絶縁層５上に固定され、メモリー性を有する。また、この際も着色帯電磁性粒子２が受ける磁力が電極面内でほぼ一様となっているため、画素内での着色帯電磁性粒子２の部分的な偏在は観測されず、表示斑のない表示状態が観測される。
【００７３】
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００７４】
図６は、本発明の第２の実施の形態に係る粒子移動型表示素子の一例である電気泳動表示素子の概略構成を示す図である。なお、図６において、図１と同一符号は、同一又は相当部分を示している。
【００７５】
ここで、本実施の形態に係る電気泳動表示素子においては、磁性体１０は第１電極８及び第２電極９中に、電極面内の少なくとも一方向の大きさ及び間隔が着色帯電磁性粒子２の直径程度となるように規則的に並設されている。そして、このように並設された磁性体１０の電極面内方向の少なくとも一方向（並設方向）の長さ（幅）及び間隔を着色帯電磁性粒子２の直径程度とすることで、着色帯電磁性粒子２と磁性体１０との間に働く磁力が電極面内方向で一様となる（図２参照）。
【００７６】
そして、このように着色帯電磁性粒子２と磁性体１０との間に働く磁力が電極面内方向で一様となると、着色帯電磁性粒子が受ける磁力は電極面内方向でほぼ一様となり、このため電極面内方向において着色帯電磁性粒子２は一様に分散するようになるので、画素内で着色帯電磁性粒子２が偏在するのを防ぐことができる。なお、磁性体１０の配置方法としては、ライン状、格子状、島状などの配置とすることができる。
【００７７】
ところで、このような構成の電気泳動表示素子は、第１電極８及び第２電極９間に電圧を印加し、透明な絶縁性液体１中で着色帯電磁性粒子２を第１電極８及び第２電極９間で移動させることによって表示を行うようにしているが、電圧非印加時においては、第１電極８及び第２電極９の中に規則的に並設された磁性体１０によって、着色帯電磁性粒子２は電極面内方向で一様な磁力を受け、第２絶縁層５上に引き寄せられ、一様に分散して固定される。
【００７８】
また、電圧印加時においては、電圧印加による静電気力が磁力よりも大きい場合に、着色帯電磁性粒子２は静電気力によって泳動するが、電圧印加による静電気力が磁力よりも小さい場合には、着色帯電磁性粒子２は第２絶縁層５上でその位置を変えず固定される。
【００７９】
次に、このような電気泳動表示素子の駆動方法の一例について説明する。なお、以下の説明において、透明な絶縁性液体１中の着色帯電磁性粒子２は正に帯電しているものとする。
【００８０】
例えば、今第２電極９を正極、第１電極８を負極とするような電圧を供給し、正電荷の着色帯電磁性粒子２に対して磁力よりも大きい静電気力を働かせた場合、正電荷の着色帯電磁性粒子２は、図６の（ａ）に示すように第１電極８の上方に集められ、第１電極８は黒色の着色帯電磁性粒子２で覆われる。このとき、観測者（第２基板６側）からは、着色帯電磁性粒子２及び第１絶縁層４の色が観測される。なお、この後、電極８，９への電圧供給を止めても磁力によって着色帯電磁性粒子２は第１電極８に面する第２絶縁層５上に一様に分散して固定される。
【００８１】
一方、第１電極８及び第２電極９に印加する電圧の極性を変えることにより、着色帯電磁性粒子２を第２電極９上に移動させ、図６の（ｂ）に示すように正電荷の着色帯電磁性粒子２を第２電極９の上方に集めると、着色帯電磁性粒子２の色相と異なる色に着色された絶縁層４，５、或いは第１電極８、或いは第１基板３の色が観測者（第２基板６側）から観測される。なお、この後、電極８，９への電圧供給を止めても、磁力によって着色帯電磁性粒子２は第２電極８に面する第２絶縁層５上に一様に分散して固定される。
【００８２】
次に、このような電気泳動表示素子の製造方法について図７を用いて説明する。
【００８３】
まず、第１基板３上に導電性膜を形成し、パターニングすることで、図７の（ａ）に示すように第１基板３上に第１電極８、第２電極９を形成する。次に、第１電極８及び第２電極９とした導電性膜をパターニングして電極面内方向に規則的なパターンを形成し、この後、パターニングして導電性膜を除去した部分、或いは窪ませた部分に磁性体１０を充填する。次に、第２電極９上及び画素境界部に黒色の第１絶縁層４を形成し、この後、図７の（ｂ）に示すように磁性体１０、第１電極８、黒色の第１絶縁層４上に透明な第２絶縁層５を形成する。ここで、磁性体１０の材料として好ましくは、鍍金可能な強磁性材料を使用する。
【００８４】
次に、図７の（ｃ）に示すように第１基板３上に隔壁７を形成し、この後、第２基板６との接合面に接着層を形成し、第１基板３と隔壁７との間に絶縁性液体１及び着色帯電磁性粒子２を充填する。
【００８５】
次に、第２基板６の第１基板３（隔壁７）との接合面に接着層を形成した後、第１基板３と第２基板６の位置合わせを行い、熱或いはＵＶ照射等により第２基板６を第１基板３と接合させ、図７の（ｄ）に示す構成の画素を有する電気泳動表示素子を得る。さらに、この電気泳動表示素子に、不図示の電圧印加手段を設けて電気泳動表示装置を得る。以上の方法によって作製された電気泳動表示装置は、２色表示、カラー表示、さらに階調表現も可能である。
【００８６】
ここで、このようにして製造される電気泳動表示素子は、着色帯電磁性粒子２と第１電極８及び第２電極９の中に規則的に並設された磁性体１０との間に働く、電極面内方向で着色帯電磁性粒子２に対して一様な磁力により、電圧非印加時においても着色帯電磁性粒子２は第２絶縁層５上に一様に分散して固定されるため、表示装置は一様なメモリー性を有する。
【００８７】
さらに、電極が磁性を有するよう磁性体１０を第１電極８及び第２電極９の少なくとも一方、本実施の形態においては、磁性体１０を第１電極８及び第２電極９の中に並設することにより、着色帯電磁性粒子２と磁性体１０との距離を短くすることができ、これにより磁力を効率的に利用でき、磁性体の材料選択幅を広げ、表示装置の厚みや重さを減少することができる。
【００８８】
なお、着色帯電磁性粒子２に対して磁力よりも小さい静電気力を働かせた場合、着色帯電磁性粒子２は電圧印加以前の位置を維持することから、この磁力により発生する吸着エネルギーに相当するしきい値を生じさせることができる。また、磁性体１０を規則的に並設させることによって、磁性体１０は、図２に示すように磁性体１０周辺で閉じた磁界を発生するようになり、これにより泳動空間内で磁性体１０が発生する磁力を急峻に減衰させることができる。
【００８９】
この結果、静電気力により一旦第２絶縁層５を離れると、離れた着色帯電磁性粒子２に作用する力は静電気力が支配的になり、着色帯電磁性粒子２は静電気力により加速される。このため、薄膜状の磁性体１０を用いる場合等の、電極面直方向で磁力がほぼ一定の場合と比較して、磁力によって着色帯電磁性粒子２を電極面に固定することによって発生する、駆動電圧の増大を軽減することができる。
【００９０】
また、着色帯電磁性粒子２が受ける磁力は電極面内方向で一様であるが、電界には電極面内方向で分布が存在するため、画素内で異なった場所に存在する着色帯電磁性粒子２が泳動するために必要な電圧が異なり、また、一旦電極を離れて泳動を始めた着色帯電磁性粒子２は、電極面直方向に磁力が急峻に減衰することによって加速されて、もう一方の電極へ移動するため、明瞭な階調表示が可能となる。
【００９１】
また、着色帯電磁性粒子２に外部磁場非印加時に磁化がほぼ０である特徴を持たせることによって、磁界が非常に弱い泳動空間においては、着色帯電磁性粒子２は磁化を有さない、ないしは非常に小さい磁化を有する事になり、これにより泳動中の着色帯電磁性粒子２の磁力による凝集を避けることができる。ところで、これまでの説明においては、磁性体１０の厚さを第１電極８及び第２電極９の厚さと同じにした場合について述べてきたが、例えば磁性体１０が第１電極８及び第２電極９の中にあるようにすれば、図８に示すように磁性体１０の厚さを第１電極８及び第２電極９の厚さよりも薄くするようにしていても良い。
【００９２】
また、これまでの説明においては、第２電極９を第１基板３に配置した電気泳動表示素子について述べてきたが、第２電極９を隔壁７内に配置するようにした電気泳動表示素子、或は第２電極９を第２基板６側に配置するようにした電気泳動表示素子についても同様の効果を得ることができる。
【００９３】
図９は、このような本実施の形態に係る電気泳動表示素子の他の構成を示す図であり、この電気泳動表示素子においては、第２電極９を隔壁７内に設置し、着色帯電磁性粒子２を、第１基板３上に設置された第１電極８と隔壁７内に設置された第２電極９との間に電圧を印加することにより移動させ、表示を行うようにしている。また、表示は着色帯電磁性粒子２の色と、着色帯電磁性粒子２とは異なった色に着色された第１基板３或いは第１電極８或いは絶縁層５の色によって行われる。
【００９４】
そして、このように構成した場合、磁性体１０は第１電極８の中に配置されるようになり、このように第１電極８の中に磁性体１０を配置することで、一旦第１電極８上に集められた着色帯電磁性粒子２は、磁性体１０との間に働く磁力に相当するしきい値を有することになる。なお、磁性体１０は、図９の（ｂ）に示すように隔壁７の内部、或は第２電極９の中にも配置することができる。
【００９５】
また、図１０は、本実施の形態に係る電気泳動表示素子の他の構成を示す図であり、この電気泳動表示素子においては、第２電極９を第２基板６側に設置し、着色帯電磁性粒子２を第１基板３上に設置された第１電極８と第２基板６側に設置された第２電極９との間に電圧を印加することにより移動させ、表示を行うようにしている。また、表示は着色帯電磁性粒子２の色と、着色帯電磁性粒子２の色とは異なった色に着色された不透明な絶縁性液体１の色によって行われる。なお、図１０において、５４、５５は絶縁層である。
【００９６】
そして、このように構成した場合、磁性体１０は第１電極８の中に配置されるようになり、このように第１電極８上に磁性体１０を配置することで、一旦第１電極８上に集められた着色帯電磁性粒子２は、磁性体１０との間に働く磁力に相当するしきい値を有することになる。なお、観測者（第２基板６側）から絶縁性液体１及び着色帯電磁性粒子２が観測可能であれば、図１０の（ｂ）に示すように磁性体１０を第２電極９の中にも配置することができる。
【００９７】
次に、本実施の形態の実施例について説明する。
【００９８】
まず、本実施例では、基板上にマトリクス配置した画素を有する電気泳動型表示素子として、１５０ｍｍ×１５０ｍｍの平面寸法の第１基板上に単一画素を縦横１０００行×１０００列にマトリクス配置した素子を作製する。なお、以下の説明において、マトリクス配置した画素のうち、平面寸法が１００μｍ×１００μｍの一画素の製造プロセスを説明する。
【００９９】
まず、第１基板３上に鍍金時における厚さ５０ｎｍの電極層を蒸着し、さらにこの電極層上に厚さ１μｍのＡｌ膜を成膜し、パターニングすることによって第１電極８及び第２電極９とする（図７の（ａ）参照）。次に、パターニングしたＡｌ膜上にＦＩＢ法を用いてパターンを刻んだ後、酸性電解液中で陽極酸化することで、２次元的に規則的に配列した細孔構造を形成する。なお、この細孔構造の直径及び間隔は５００ｎｍ、深さは１μｍである。
【０１００】
次に、電着を用いて細孔構造内にＣｏを充填し、この後、第１電極８及び第２電極９上に第１絶縁層４として黒色の樹脂材（東京応化工業製ＣＦＰＲ  ＢＫ）をスピンコート法により塗布する。この後、フォトリソグラフィーによりパターニングして第２電極９上及び画素境界面以外の部分を除去し、さらに第２絶縁層５としてアクリル樹脂材（ＪＳＲ製Ｏｐｔｍｅｒ）をスピンコート法により塗布する（図７の（ｂ）参照）。
【０１０１】
次に、隔壁７を形成する（図７の（ｃ）参照）。なお、本実施例において、隔壁７は光感光性エポキシ樹脂からなる厚膜加工レジスト（東京応化工業製ＰＭＥＲ  Ｎ−ＣＡ２０００ＰＭＴ−１）をスピンコート塗布した後、フォトリソグラフィーによって高さ２０μｍ、幅５μｍの隔壁７を形成する。
【０１０２】
次に、外部磁場を印加してＣｏに電極面直方向の着磁を施す。この後、隔壁７と第２基板６との接合面にＵＶ硬化性の接着層を形成した後、隔壁７と第２絶縁層５に囲まれた領域に絶縁性液体１及び着色帯電磁性粒子２を充填する。なお、本実施例において、絶縁性液体１としてはアイソパーを使用し、着色帯電磁性粒子２としては黒色のマグネタイト微粒子を内包したポリスチレン粒子で、粒子径が５００ｎｍ程度の粒子を使用する。
【０１０３】
次に、第２基板６の第１基板３との接着面にＵＶ硬化性の接着パターンを形成し、第１基板３の隔壁７と厚さ１００μｍのＰＥＴフィルムからなる光透過性の第２基板６との接着位置を合わせ、ＵＶ照射により貼り合せることにより電気泳動表示素子を得る（図７の（ｄ）参照）。これに、不図示の電圧印加手段を設けて電気泳動表示装置を得る。
【０１０４】
次に、このようにして作製した電気泳動表示装置を用いて表示を行う。なお、本実施例で用いた黒色の着色帯電磁性粒子２は、絶縁性液体１中で正に帯電していたため、電圧印加により負の電極へ移動する。
【０１０５】
例えば、第２電極９を０Ｖ、第１電極８を負極（−１５Ｖ）とし、正電荷の着色帯電磁性粒子２に対して磁力よりも大きい静電気力を働かせた場合、着色帯電磁性粒子２が第２電極９から離れて静電気力によって第１電極８上に移動し、着色帯電磁性粒子２で第１電極８が覆われる（図６の（ａ）参照）。
【０１０６】
このため、観測者（第２基板６側）から見た表示面は黒表示となる。また、このとき着色帯電磁性粒子２が受ける磁力が電極面内でほぼ一様となっているため、着色帯電磁性粒子２の画素内での部分的な偏在は観測されない。
【０１０７】
一方、電極に印加する電圧極性を変えて、第２電極９を０Ｖ、第１電極８を正極（＋１５Ｖ）とし、正電荷の着色帯電磁性粒子２に対して磁力よりも大きい静電気力を働かせた場合、着色帯電磁性粒子２が第２電極９上に移動し、着色帯電磁性粒子２で第２電極９が覆われる（図６の（ｂ）参照）。
【０１０８】
このため、観測者（第２基板６側）から見た表示面は白表示となる。また、このとき着色帯電磁性粒子２が受ける磁力が電極面内でほぼ一様となっているため、着色帯電磁性粒子２の画素内での部分的な偏在は観測されない。
【０１０９】
なお、白表示、黒表示いずれの表示書込み時においても、第１電極８に±１０Ｖ以下の電圧を印加した際には、着色帯電磁性粒子２は電圧印加前の位置を維持する。また、第１電極８に±１２Ｖの電圧を印加した際には、およそ半数の着色帯電磁性粒子２が電極間を移動し、したがって観測者（第２基板６側）から見た表示色は灰色となる。
【０１１０】
ここで、全ての表示状態において、応答速度は３００ｍｓ以下であり、着色帯電磁性粒子２が静電気力によって第１電極８或いは第２電極９上から離れると共に着色帯電磁性粒子２に作用する磁力が減衰する。そして、このように色帯電磁性粒子２に作用する磁力が減衰することにより、静電気力と磁力の差分が大きくなり、この結果、敏速な駆動が観測される。
【０１１１】
また、着色帯電磁性粒子２は、外部磁場非印加時において磁化が飽和磁化の１０％以下であるため、泳動時の着色帯電磁性粒子２は磁化をほとんど有さず、したがって泳動時における磁力による凝集は観測されず、良好な泳動が観測される。
【０１１２】
また、第１電極８及び第２電極９に電圧を印加した後、電圧印加手段と第１電極８及び第２電極９との接続を切断した状態でも、磁力により、着色帯電磁性粒子２は第２絶縁層５上に固定され、メモリー性を有する。また、この際も着色帯電磁性粒子２が受ける磁力が電極面内でほぼ一様となっているため、画素内での着色帯電磁性粒子２の部分的な偏在は観測されず、表示斑のない表示状態が観測される。
【０１１３】
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。
【０１１４】
図１１は、本発明の第３の実施の形態に係る粒子移動型表示素子の一例である電気泳動表示素子の概略構成を示す図である。なお、図１１において、図１と同一符号は、同一又は相当部分を示している。
【０１１５】
ここで、図１１に示すように、本実施の形態に係る電気泳動表示素子は、第１電極８と、第１電極８と異なる電圧を印加可能な第２電極９を第１基板３上に形成すると共に、第１基板３と第２基板６との間隙を一定に保つための隔壁７を配置し、これら第１基板３、第２基板６及び隔壁７とで囲まれた閉空間に絶縁性液体１中に分散させた複数の着色帯電磁性粒子２を封入してある。
【０１１６】
ところで、本実施の形態において、磁性を有するよう第１電極８は磁性体で形成されており、このように、第１電極８を磁性体で形成することにより、着色帯電磁性粒子２と磁性を有する第１電極８との距離を非常に近くできるので、着色帯電磁性粒子２と第１電極８との間で強い磁力を発生させる設計が可能になる。このために磁性を有する第１電極として用いることのできる部材の選択幅を広げられる。また電極が磁性を有することで、別途磁性体を作製する必要がないため、製造工程数を少なくできる。
【０１１７】
ここで、この第１電極８は垂直磁化膜であることが好ましい。また、図示していないが磁性体（第１電極８）は、面内に複数の磁化方向が異なるドメインを有する多磁区構造をもっていることが好ましい。さらに好ましくは、隣接する磁区の磁化方向は互いに反対方向を向き、かつ磁性体面に対して垂直方向に磁化されていることが好ましい。
【０１１８】
なお、第１電極８面内における磁区の分布は、図１２の（ａ）に示すようにストライプ状である場合や、図１２の（ｂ）に示すように迷図状である場合や、図１２の（ｃ）に示すように島状である場合が考えられる。そして、このように第１電極８を構成する磁性体に複数の磁区を形成することにより、言い換えれば磁性体に多磁区構造をもたせることにより、第１電極面内において帯電磁性粒子に寄与する磁力を一様にすることができるようになる。
【０１１９】
さらに、このように多磁区構造をもつ磁性を有した第１電極８を用いることで、第１電極８面内では各々の磁区周辺で閉じた磁界を作ることができるため、泳動空間内で磁性体が発生する磁力を第１電極８面に垂直な方向で急峻に減衰させることができる。このことは着色帯電磁性粒子２に外部磁場非印加時に磁化がほぼ０である特徴を持たせることによって、着色帯電磁性粒子２は磁化を有さない、ないしは非常に小さい磁化を有することになるので、電極間を移動している期間においては着色帯電磁性粒子２同士で働く磁力による着色帯電磁性粒子２の凝集を避けることができる。
【０１２０】
また第一電極３面内に形成する複数の磁区の幅は着色帯電磁性粒子２の直径の０．１〜１０倍程度であることが好ましい。さらに好ましくは、磁区幅と着色帯電磁性粒子２直径は略同一であることが好ましい。なお、本実施の形態では、第１電極８のみに磁性体を用いているが、第１電極と第２電極の両方に磁性体を用いても構わない。
【０１２１】
また図１１では絶縁性液体１中に分散する着色帯電磁性粒子２は１種類しか示していないが、着色帯電磁性粒子２としては２種類以上であっても良いし、絶縁性液体中に分散される帯電粒子には、非磁性の帯電粒子が含まれていても良い。
【０１２２】
ところで、このような構成の電気泳動表示素子は、第１電極８及び第２電極９間にそれぞれ電圧を印加し、透明な絶縁性液体１中で着色帯電磁性粒子２を第１電極８及び第２電極９間を移動させることにより行うようにしているが、磁性体で形成された第１電極８上に着色帯電磁性粒子２がある場合には、着色帯電磁性粒子２と第１電極８との間で働く磁力（引力）により、電圧を印加していない期間においては着色帯電磁性粒子２の分散状態は、電圧印加時の分散状態のまま維持されている。すなわちメモリー性をもっている。
【０１２３】
またこのようなメモリー状態を初期状態とすると、その直後に電圧を印加した際は、着色帯電磁性粒子２と第１電極８間の静電気力（訴力）が磁気力（引力）よりも小さい場合には、着色帯電磁性粒子２は初期状態を維持し、着色帯電磁性粒子２と第１電極８間の静電気力（訴力）が磁気力（引力）よりも大きい場合には、着色帯電磁性粒子２は絶縁性液体１中で電界プロファイルにしたがって移動する。
【０１２４】
次に、このような電気泳動表示素子の駆動方法の一例について説明する。なお、以下の説明において、透明な絶縁性液体１中の着色帯電磁性粒子２は正に帯電しているものとする。また第１電極８の表示面積は第２電極９の表示面積よりも広く、絶縁層５の色は着色帯電磁性粒子２と異なる色相に着色されているとする。
【０１２５】
例えば、今第２電極９を正極、第１電極８を負極とするような電圧を供給し、正電荷の帯電磁性粒子２に対して磁気力よりも大きい静電気力を働かせた場合、正電荷の着色帯電磁性粒子２は、図１１の（ａ）に示すように第１電極８の上方に集められ、第１電極８は着色した着色帯電磁性粒子２で覆われる。このとき、観測者（第２基板６側）からは、着色帯電磁性粒子２の色が観測される。なお、この後、第１電極８及び第２電極９への電圧供給を止めても、磁力によって着色帯電磁性粒子２は第１電極８の上方に引き寄せられているために、この分布状態は維持される。
【０１２６】
一方、第１電極８及び第２電極９に印加する電圧の極性を変えることにより、図１１の（ｂ）に示すように着色帯電磁性粒子２を第２電極９上に集積させると、着色帯電磁性粒子２の色相と異なる色に着色された絶縁層５の色が観測者（第２基板６側）から観測される。なお、この後、第１電極８及び第２電極９への電圧供給を止めても、磁力によって着色帯電磁性粒子２は第１電極８からの磁力を受けるために第２電極８上に引き寄せられるので、この分布状態は維持される。
【０１２７】
ここで、例えば着色帯電磁性粒子２及び第２電極９の色相を黒色、絶縁層５を透明とし、第１電極８上に不図示の白色の着色層を設けるとすれば、白黒表示が可能となり、カラー化した着色層（例えば、イエロー、シアン、マゼンタ、等）を第１電極８上に設けるようにすればカラー表示も可能となる。また、着色帯電磁性粒子２に複数の色相（例えば、イエロー、シアン、マゼンタ、等）を持たせることによってもカラー表示が可能となる。なお、着色帯電磁性粒子２と光学的特性が異なる着色層は、観測者側から観測可能であれば第１電極８、第１基板３等、或いはその間、或いは第１基板３裏面に形成しても良い。
【０１２８】
次に、このような電気泳動表示素子の各構成部品について説明する。
【０１２９】
基板間隙に各画素を仕切るように配置される隔壁７にはポリマー樹脂を使用すれば良く、具体的には、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアクリレート樹脂、ポリメタクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアリレート樹脂、ノボラック樹脂、エポキシ樹脂等を使用すれば良い。また、この隔壁７を形成する方法としては、光感光性樹脂層を塗布した後露光及びウエット現像を行う方法、印刷法によって形成する方法、隔壁を形成した後に基板に接着する方法、光透過性の基板表面にモールドによって形成しておく方法、等を挙げることができる。
【０１３０】
第１及び第２基板３，６には、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレ−ト（ＰＥＮ）、ポリカーボネート（ＰＣ）等のポリマーフィルム、ガラス、石英等の無機材料、あるいは表面に絶縁層を有するステンレス基板を使用することができる。なお、観察者側の第２基板６には、可視光の透過率が高い材料、たとえば透明なポリマーフィルムやガラスを使用するとよい。また、この第２基板６の表面（絶縁性液体１と接触する方の面）には、ゴム硬度が１０以上９０以下の範囲にある高分子材料、具体的にはシリコン樹脂、天然ゴム、熱可塑性エラストマー樹脂等による樹脂層を形成しても良い。
【０１３１】
第１電極８を構成する磁性体の材料として、例えば希土類―遷移金属アモルファス合金、貴金属―遷移金属合金等或いは各種磁石材料を用いることができる。また、この磁性体を形成する方法としては、蒸着法、印刷法、転写法など薄膜の磁性体を形成できる手法であれば何でも用いることができる。また磁性体をパターニングする方法には、エッチング法やリフトオフなどを用いることができる。
【０１３２】
さらにまた、磁性体に多磁区構造を形成する方法としては、成膜工程において自己的に形成する方法や、予め磁化方向の異なる磁性体材料を組み合わせる方法、消磁法、あるいは加熱した個所に磁場を印加してパターニングする方法などを用いることができる。
【０１３３】
第２電極９には、パターニング可能な導電性材料ならどのようなものでも使用でき、例えば酸化インジウムすず（ＩＴＯ）、アルミ、チタンなどを挙げることができる。なお、これらの電極８，９の表面には電極同士の絶縁や、電極８，９から着色帯電磁性粒子２への電荷注入を防止するための絶縁層５を形成しているが、この絶縁層５に用いる材料としては、薄膜でピンホールが形成されにくいものが良く、具体的には、高い透明性を有するポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアクリレート樹脂、ポリメタクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂等を挙げることができる。
【０１３４】
着色帯電磁性粒子２は、絶縁性液体中で帯電しうる材料、例えばポリスチレン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリメタクリレート、ポリアクリルレート、ポリアクリル酸エステル、ポリエチレン−アクリル酸共重合体、ポリエチレン−メタクリル酸共重合体、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリエチレン系樹脂その他ポリ塩化ビニル樹脂、ニトロセルロース、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂等の高分子材料にマグネタイト、マグヘマイト等の磁性体を混ぜたものを使用することができる。
【０１３５】
また、その平均粒径は、０．１μｍ以上１０μｍ以下の範囲であることが好ましく、着色剤としては特に限定されないが、例えばカーボンブラック、酸化チタン、硫酸バリウム、ニグロシン、鉄黒、アニリンブルー、カルコイルブルー、クロムイエロー、ウルトラマリンブルー、デュポンオイルレッド、キノリンイエロー、メチレンブルークロリド、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、スカイブルー、ローダミンレーキ等が挙げられる。なお、これらの材料は単独あるいは２種類以上を併用してもよい。
【０１３６】
絶縁性液体１としては、導電率の低い、高絶縁性の有機溶媒を使用すると良い。そのようなものとしては、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶剤、ヘキサン、シクロヘキサン、パラフィン系炭化水素溶媒、イソパラフィン系炭化水素、ナフテン系炭化水素等の脂肪族炭化水素系溶媒、ハロゲン化炭化水素系溶媒、あるいはシリコーンオイル、高純度石油などが挙げられるが、中でも脂肪族炭化水素溶媒が好適に使用され、具体的にはアイソパーＧ、Ｈ，Ｍ，Ｌ（いずれもエクソン化学社製）、Ｓｈｅｌｌｓｏｌ（昭和シェルジャパン）、ＩＰソルベント１０１６、１６２０、２０２８、２８３５（出光石油化学）が挙げられ、これらを単独、あるいは２種類以上混合して用いることができる。
【０１３７】
絶縁性液体１には必要に応じて帯電粒子の帯電量を高めるため、或は帯電安定性を付与する目的で、帯電制御剤や解離安定剤、分散安定剤等の添加剤が含有されていても良く、このような帯電制御剤としては金属石鹸、例えばナフテン酸コバルト、ナフテン酸ジルコニウム、ナフテン酸銅、ナフテン酸鉄、ナフテン酸鉛、ナフテン酸マンガン、ナフテン酸亜鉛、オクテン酸コバルト、オクテン酸ジルコニウム、オクテン酸鉄、オクテン酸鉛、オクテン酸ニッケル、オクテン酸マンガン、オクテン酸亜鉛等の金属石鹸を使用することができるが、これらに限定されるものではない。
【０１３８】
また、着色帯電磁性粒子２の帯電量を高める、あるいは帯電安定性を付与する目的で、ロジンエステルまたはロジン誘導体を使用することができる。なお、このようなロジンエステルまたはロジン誘導体としては絶縁性液体に可溶であるならば特に限定されないが、例えばガムロジン、ウッドロジン、トール油ロジン、ロジン変性マレイン酸、ロジン変性ペンタエリスリトール、ロジングリセリンエステル、部分水素添加ロジンメチルエステル、部分水素添加ロジングリセリンエステル、部分水素添加ロジントリエチレングリコールエステル、完全水素添加ロジンペンタエリスリトールエステル、マレイン酸変性ロジンエステル、フマル酸変性ロジンエステル、アクリル酸変性ロジンエステル、マレイン酸変性ロジンペンタエリスリトールエステル、フマル酸変性ロジンペンタエリスリトールエステル、アクリル酸変性ロジングリセリンエステル、マレイン酸変性ロジングリセリンエステル、フマル酸変性ロジングリセリンエステル、アクリル酸変性ロジングリセリンエステル等が挙げられる。
【０１３９】
また、分散安定剤としては具体的には、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリイソブチレン、ポリブテン、スチレンブタジエン共重合体、スチレンイソプレン共重合体、スチレン無水マレイン酸共重合体、ノルボルネン樹脂、ポリエチレンワックスが挙げられる。中でも、スチレンブタジエン共重合体が好ましく、例えば市販の材料としては、Ｅ−ＳＢＲ、Ｓ−ＳＢＲ（ＪＳＲ（株）製）、ＮＩＰＯＬ１５０２，  ＮＩＰＯＬ１７１２、ＮＩＰＯＬ  ＮＳ１１２，  ＮＩＰＯＬ  ＮＳ１１６、ＮＩＰＯＬ１００６，  ＮＩＰＯＬ１００９（日本ゼオン（株）製）、タフデン、タフプレン、アサプレン（旭化成社製）、住友ＳＢＲ（住友化学（株）製）を使用することができる。
【０１４０】
そして、これらの帯電制御剤ならびに帯電安定化剤、分散安定剤は、単独または２種類以上混合して用いることができる。
【０１４１】
なお、第１電極８及び第２電極９は、図１１に示した配置に限定されるものではなく、例えば図１３の（ａ）に示すように、隔壁７と第１基板３との間に第２電極９を設ける場合や、図１３の（ｂ）に示すように、隔壁７の側面に沿うようにして第２電極９を設ける場合もある。さらには図１４で示すように、第２電極９を第２基板上に設けても良い。
【０１４２】
ところで、これまでの説明においては、多磁区構造をもつ磁性を有した第１電極８を用いることで、第１電極面内において帯電磁性粒子２に寄与する磁力を一様にするようにしたが、第１電極８の表面に凸部を形成することにより、第１電極面内において帯電磁性粒子２に寄与する磁力を一様にすることができる。
【０１４３】
図１５は、このような本実施の形態の電気泳動表示素子の他の構成を示す図であり、この電気泳動表示素子においては、図１５に示すように磁性を有する第１電極８の表面には複数の凸部８１が一体に並設されている。なお、この凸部８１は、第１電極８に膜厚分布をつくることで形成されている。ここで、この凸部８１の並設方向の大きさ（幅）及び凸部８１の並設方向の間隔は着色帯電磁性粒子２の直径の０．１〜１０倍程度であることが好ましい。また、磁性を有する第１電極８の磁化は磁性体表面に垂直な方向とする。
【０１４４】
なお、この複数の凸部８１は図１５の（ｂ）に示すように構造周期を着色帯電磁性粒子２と同程度として形成された非磁性体の凸構造体２０の上に、磁性膜で形成される第１電極８を積層することで形成するようにしても良い。また、凸部８１の形状は、鋸歯状である場合、半円状である場合、階段状である場合、矩形状である場合などが考えられる。好ましくは第１電極と帯電磁性粒子との間で働く磁力を強くできる形状を選択すると良い。
【０１４５】
次に、本実施の形態の実施例１〜３について説明する。
【０１４６】
（実施例１）
まず、本実施例では、基板上にマトリクス配置した画素を有する電気泳動型表示素子として、２００ｘ２００画素を有し、１つの画素の大きさは１００μｍ□の正方形画素とする図１１に示す構成の素子を作製する。ここで、各画素は透明な隔壁７に周囲を囲まれており、この隔壁７の高さは２５μｍであり、その幅は５μｍとする。
【０１４７】
また、第１電極８はＴｂＦｅＣｏを用い、着色帯電磁性粒子２と同程度の多磁区構造を第１電極８面内に配置する。第１電極８上には絶縁層５を介して第２電極９を設けた。第１電極８と第２電極９の画素内での面積比は７：３とする。第１基板３及び第２基板６及び隔壁７で囲まれるが閉空間には、透明な絶縁性液体１および黒色の着色帯電磁性粒子２を充填する。さらに、第１電極８と第２電極９との間に白色の着色層を配置し、第２電極９上には黒色の着色層を配置する。
【０１４８】
なお、この電気泳動表示素子は以下のようにして製造される。
【０１４９】
まず、ガラス基板上に膜厚１μｍのＴｂＦｅＣｏを成膜し、これを第１電極８の形状にパターニングする。この後、レーザービームで局所的な加熱を行うと同時に、外部磁場を印加してＴｂＦｅＣｏに多磁区構造を形成する。なお、このとき、磁区ピッチは約５μｍとする。
【０１５０】
次に、白色の着色層を第１電極８上に被覆する。なお、この白色の着色層には、酸化チタン微粒子を透明な樹脂に混ぜ合わせたものを用いた。この後、膜厚０．１μｍのＡｌを成膜し、パターニングすることによって第２電極９とする。さらに、この後、この第２電極９に合わせて黒色の樹脂をパターニングし、この後、表示領域全面に膜厚０．１μｍの透明な絶縁層５をコートする。なお、黒色の樹脂としては、光感光性樹脂（東京応化工業製ＣＦＰＲ  ＢＫ）を用い、透明な絶縁層にはアクリル樹脂（ＪＳＲ製ｏｐｔｍｅｒ）を用いる。
【０１５１】
次に、隔壁７を形成する。なお、この隔壁７は光感光性エポキシ樹脂からなる厚膜加工レジスト（東京応化工業製ＰＭＥＲ  Ｎ−ＣＡ２０００ＰＭＴ−１）をスピンコート塗布した後、フォトリソグラフィーによって、高さ２５μｍ、幅５μｍの隔壁７を形成する。
【０１５２】
第２基板６と隔壁７の接合面にＵＶ硬化性の接着層を形成した後、絶縁性液体１及び着色帯電磁性粒子２を充填する。なお、絶縁性液体１としては、アイソパーを使用し、着色帯電磁性粒子２としては、黒色のマグネタイト微粒子を内包したポリスチレン粒子で、粒子直径が５μｍ程度の帯電磁性粒子を使用する。
【０１５３】
次に、第２基板６の第１基板３との接着面にＵＶ硬化性の接着パターンを形成し、第１基板３と厚さ１００μｍのＰＥＴフィルムからなる光透過性の第２基板６との接着位置を合わせ、ＵＶ照射により貼り合せることにより電気泳動表示素子を得る。これに不図示の電圧印加回路を設けて電気泳動表示装置を得る。
【０１５４】
次に、このようにして作製した電気泳動表示装置を用いて表示を行う。なお、本実施例で用いた黒色の着色帯電磁性粒子２は、絶縁性液体１中で正に帯電していたため、電圧印加により負の電極へ移動する。
【０１５５】
例えば、第２電極９を０Ｖとし、第１電極８を−１５Ｖとする。このときは正電荷の着色帯電磁性粒子２に対して第１電極８と着色帯電磁性粒子２との間で働く磁力よりも大きい静電気力を働かせることができるため、着色帯電磁性粒子２は第１電極８と第２電極９との間で作られる電界プロファイルに従って第１電極８上に移動し、帯電磁性粒子２で第１電極８が覆われる（図１１の（ａ）参照）。
【０１５６】
このため観測者（第２基板６側）から見た表示面は黒表示となる。また、このとき第１電極８に形成する多磁区構造の幅を着色帯電磁性粒子２の直径とほぼ一致させているので、着色帯電磁性粒子２が第１電極８から受ける磁力が電極面内でほぼ一様となっており、着色帯電磁性粒子２の画素内での部分的な偏在は観測されない。
【０１５７】
一方、電極に印加する電圧極性を変えて、第２電極９を０Ｖ、第１電極８を＋１５Ｖとする場合には、着色帯電磁性粒子２は第２電極９上に移動して着色帯電磁性粒子２は第２電極９に集積する。このため、観測者（第２基板６側）から見た表示面は白表示となる。
【０１５８】
なお、白表示、黒表示いずれの表示書込み時においても、第１電極８に±１０Ｖ以下の電圧を印加する際には、着色着色帯電磁性粒子２は電圧印加前の位置を維持している。
【０１５９】
また着色帯電磁性粒子２は、外部磁場非印加時において磁化が飽和磁化の１０％以下となる特徴をもつ帯電磁性粒子を用いたので、磁場が非常に弱い泳動空間を移動する着色帯電磁性粒子２は磁化をほとんど有さず、従って泳動時における磁力による凝集は観測されず、良好に分散する状態での泳動が観測される。
【０１６０】
また、第１電極８及び第２電極９に電圧を印加して表示を書き込んだ後、電圧印加手段と第１電極８及び第２電極９との接続を切断しても、帯電磁性粒子と磁性を有する第１電極８との間に働く磁力の効果により表示状態は維持されている。
【０１６１】
（実施例２）
本実施例では図１５の（ａ）に示す構成の電気泳動表示素子を、以下のように作成した。
【０１６２】
まず、第１基板３にはガラスを用い、その上に膜厚１．５μｍのＴｂＦｅＣｏを成膜して第１電極８を作成する。この後、フォトリソグラフィー及びドライエッチングにより着色帯電磁性粒子２と同程度の５μｍ周期で高低差０．４μｍの膜厚分布を形成することにより第１電極８に複数の凸部８１を並設する。この後の工程は実施例１と同様である。また表示特性も実施例１と同様の効果を得ることができる。
【０１６３】
（実施例３）
本実施例では図１５の（ｂ）に示す電気泳動表示素子を、以下のように作成した。
【０１６４】
まず、第１基板３にはガラスを用い、その上に樹脂膜を転写することより、複数の凸構造体２０を並設する。ここで、この凸構造体２０の並設方向の大きさ（幅）及び並設方向の間隔は５μｍとし、その高低差は３μｍとする。この凸構造体２０上に膜厚０．５μｍのＴｂＦｅＣｏを成膜し、凸部８１を形成する。この後の工程は実施例１と同様である。また表示特性も実施例１と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１６５】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る粒子移動型表示素子の一例である電気泳動表示素子の概略構成を示す図。
【図２】上記電気泳動表示素子に設けられた磁性体の磁界を示す図。
【図３】上記電気泳動表示素子の製造方法を説明する図。
【図４】上記電気泳動表示素子の他の構成を示す図。
【図５】上記電気泳動表示素子の他の構成を示す図。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る粒子移動型表示素子の一例である電気泳動表示素子の概略構成を示す図。
【図７】上記電気泳動表示素子の製造方法を説明する図。
【図８】上記電気泳動表示素子の他の構成を示す図。
【図９】上記電気泳動表示素子の他の構成を示す図。
【図１０】上記電気泳動表示素子の他の構成を示す図。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係る粒子移動型表示素子の一例である電気泳動表示素子の概略構成を示す図。
【図１２】上記電気泳動表示素子の他の構成を示す図。
【図１３】上記電気泳動表示素子の他の構成を示す図。
【図１４】上記電気泳動表示素子の他の構成を示す図。
【図１５】上記電気泳動表示素子の他の構成を示す図。
【図１６】従来の電気泳動表示素子の構成及びその動作原理を示す図。
【図１７】従来の電気泳動表示素子に設けられた磁性体の磁界を示す図。
【符号の説明】
【０１６６】
１        絶縁性液体
２        着色帯電磁性粒子
３        第１基板
４        第１絶縁層
５        第２絶縁層
６        第２基板
７        隔壁
８        第１電極
９        第２電極
１０      磁性体
２０      凸構造体
４５      絶縁層
８１      凸部
【図１】
2006227266.tif 000003
【図２】
2006227266.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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