(57)【要約】【目的】  ジェット式ネブライザーに用いられるエアゾール発生装置において、大量かつ微小なミストの生成を可能とする。【解決手段】  エアゾール発生装置の容器１の底面中央から上に向かってガスを導入するように配されたガス導入管６の外側に上面の中央に細孔８を有する筒状体９を被せ、ガス導入管６の外壁１０と筒状体９の内壁１２との間に、ガス導入管６の外壁１０のほぼ全高に亘って形成される円筒状のスリットの幅を２．０〜０．３ｍｍの範囲とした。また、筒状体９の上面の細孔８から隔たりを置いてバッフル１１を配し、バッフル１１の凸曲面Ｒと、筒状体９の上面に、細孔８を通りかつ、凸曲面Ｒと同心で曲率の大きな凹曲面１４を形成し、凸曲面Ｒと凹曲面１４との間に曲面のスリットを形成した。【選択図】図３
2006075385.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を入れる容器と、
この容器の底面に立設されるガス導入管と、
このガス導入管の上面に形成され、導入ガスを上方に噴出する第１の細孔と、
上記ガス導入管の外周囲および上面を覆うように配置される筒状体と、
上記第１の細孔の上方に間隔を隔てて位置するように、この筒状体の上面に形成される第２の細孔と、
この第２の細孔の上方に間隔を隔てて配置されるバッフルとを備え、
上記筒状体の下方部分と上記容器の底面との間には、上記容器内の液体を上記ガス導入管の外周と上記筒状体の内周との間に形成される隙間に導入するための隙間が形成され、
上記ガス導入管の外周と上記筒状体の内周との間に形成される隙間の幅が２．０〜０．３ｍｍであることを特徴とするエアゾール発生装置。
【請求項２】
液体を入れる容器と、
この容器の底面に立設されるガス導入管と、
このガス導入管の上面に形成され、導入ガスを上方に噴出する第１の細孔と、
上記ガス導入管の外周囲および上面を覆うように配置される筒状体と、
上記第１の細孔の上方に間隔を隔てて位置するように、この筒状体の上面に形成される第２の細孔と、
この第２の細孔の上方に間隔を隔てて配置されるバッフルとを備え、
上記筒状体の下方部分と上記容器の底面との間には、上記容器内の液体を上記ガス導入管の外周と上記筒状体の内周との間に形成される隙間に導入するための隙間が形成され、
上記バッフルは、上記第２の細孔に向かって突出するように形成された凸曲面を備え、
上記筒状体の上面には、上記第２の細孔の周辺に、上記凸曲面とその曲率の中心を同じくしかつ、上記凸曲面の曲率よりも大きな曲率の凹曲面を備え、
上記バッフルの上記凸曲面と上記筒状体の上記凹曲面との間に曲面のスリットを形成したことを特徴とするエアゾール発生装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のエアゾール発生装置において、エアゾール発生装置を作動させるガス圧が１．０ｋｇ/ｃｍ２〜４．０ｋｇ/ｃｍ２の範囲であることを特徴とするエアゾールの発生方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、主として医療に用いるエアゾールを発生させる装置に関し呼吸療法に用いるものである。
【背景技術】
【０００２】
医療に用いられるエアゾール発生装置は、ネブライザーと呼ばれ、その歴史は古い。人工呼吸器で気道に導入される吸気ガスは、酸素または酸素量を増した空気・酸素混合ガスであって、患者を治療するとき、気道に導入されるが、吸気ガスには湿気が含まれていないために、ネブライザーによる加湿が必要である。
【０００３】
呼吸の治療に用いるエアゾールには、滅菌精製水あるいは生理食塩水から生成するエアゾールが専ら用いられ、エアゾールの発生原理もジェット式、超音波式、定量噴霧式、メッシュ式などが市場に見られる。また、呼吸不全の患者の治療に用いられる人工呼吸器の進歩も著しく、多くの人工呼吸器が市場にでているが、これらの人工呼吸器に併用して用いられるネブライザーも多種多様であり、それぞれ一長一短を有している。そして、これらのネブライザーが供給するエアゾール中に分散しているミストが患者の肺胞にまで達するためには、ミストの大きさが２μｍ近辺でなければならないということが最近知られるようになった。このために、平均粒子径が２μｍ近辺のエアゾールを高濃度で生成するエアゾール発生装置の出現が強く望まれているのが現状である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ネブライザーからのエアゾールミストは、ミスト発生方式によって、大きさ、分布がまちまちであり、最も望ましいミストの大きさと分布を有しかつ高濃度のエアゾールを生成するネブライザーは未だに存在しないのである。ミストが気道の末梢先端である肺胞にまで達するためには、その大きさが２μｍ以下でなければならない。ジェット式ネブライザーはとても良いミストを発生するが、他のネブライザーと比較すると粒子の大きさは５〜１５ミクロンと大きく、また均一性に大きく劣る。またジェット式ネブライザーでは、液体の特性(濃度、粘着性、表面張力)、噴射されるガスの流量などが粒子の大きさに非常に大きく影響する。中でもガス流量の影響は大きく、常に粒子の大きさを一定の範囲内に収めることは難しい。
【０００５】
特にミストの粒子が比較的に大きいために、気道末梢、肺胞までミストが到達する可能性は極めて低く、ほとんどが鼻腔ないし上気道に沈着してしまう。超音波式ネブライザーは、ミスト粒子の大きさは、１〜５μｍと比較的に好ましいが、大量にミストを生じさせることが出来ず、大量にミストを生じさせるためには装置そのものが大きくて重くなる。また時間とともに薬液の成分が変わるという本質的な欠点も有している。
【０００６】
定量噴霧式ネブライザーは、ミストの大きさは、２．４〜５．５μｍとされ、軽くて安価であるが、ミスト発生能力が低く、加湿効果が極端に低い。メッシュ式ネブライザーは、ミストの大きさは、２．０μｍ付近でミストは末梢気道へ到達するが、高価である上ミストの発生量が上げられず、使用に制限がある。現在、発生されるミストの大きさが２μｍを中心にした狭い分布を持ち、かつ高濃度にエアゾールを発生できるネブライザーは、呼吸治療の立場から垂涎のものであるが、未だに存在しないのが現状である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によるエアゾール発生装置は、液体を入れる容器と、この容器の底面に立設されるガス導入管と、このガス導入管の上面に形成され、導入ガスを上方に噴出する第１の細孔と、上記ガス導入管の外周囲および上面を覆うように配置される筒状体と、上記第１の細孔の上方に間隔を隔てて位置するように、この筒状体の上面に形成される第２の細孔と、この第２の細孔の上方に間隔を隔てて配置されるバッフルとを備え、上記筒状体の下方部分と上記容器の底面との間には、上記容器内の液体を上記ガス導入管の外周と上記筒状体の内周との間に形成される隙間に導入するための隙間が形成され、上記ガス導入管の外周と上記筒状体の内周との間に形成される隙間の幅が２．０〜０．３ｍｍである。また、上記バッフルは、上記第２の細孔に向かって突出するように形成された凸曲面を備え、上記筒状体の上面には、上記第２の細孔の周辺に、上記凸曲面とその曲率の中心を同じくしかつ、上記凸曲面の曲率よりも大きな曲率の凹曲面を備え、上記バッフルの上記凸曲面と上記筒状体の上記凹曲面との間に曲面のスリットを形成したものであってもよい。
【０００８】
また、本発明によるエアゾール発生方法は、上述のエアゾール発生装置において、エアゾール発生装置を作動させるガス圧が１．０ｋｇ/ｃｍ２〜４．０ｋｇ/ｃｍ２の範囲であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、呼吸医療で垂涎の、２μｍの大きさの粒子サイズのミストのエアゾールを高濃度に生成する小型かつ安価なエアゾール発生装置提供し、従来不可能であった末梢気道、さらに肺胞までエアゾールミストを到達させる手段を提供したもので、呼吸器治療に新時代を開く効果をもたらすものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明は、ジェット式ネブライザーに全く新しいアイデアを導入して完成した発明であるので、本発明を説明する前に現状のジェットネブライザーの原理と欠点とを図１によって説明する。
【００１１】
図１（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）は原理を示す。いずれも液体の入った容器１に細いＴ字管２が垂直に立てられており、垂直管３の先端にジェット流が横から当たるようになっている。図１（Ｄ）はその典型的な一変形である。図１（Ｃ）および図１（Ｄ）に示したものは、ベンチュリー管の原理で外部の雰囲気から空気を吸い込み増量したガスを吹き出すようにしたものである。図１（Ｃ）の場合、垂直管３の下流側に空気の吸い込み口４が設けられている。また、図１（Ｄ）の場合、空気通路５内に位置する垂直管３の先端部の上流側にガス導入管６の吹き出し口７を配している。
【００１２】
垂直管３の中を液が上昇するのは、ベルヌーイの法則によって垂直管３の先端部（駆動ガスが流れる水平方向の管が一部で細くされている部分）が減圧になるからであり、そして、吸い上げられた液にジェット流が当たって、吸い上げられた液が微小な粒に分散する。ここで欠点を整理すると、（１）吸い上げられた液がミストになるのはごく一部であり、大部分は周囲に分散して再び容器に戻る。すなわち液の利用効率が極めて悪い。（２）細管（垂直管３）で液を吸い上げるために大量の液を吸い上げることが出来ない、などである。
【００１３】
本発明者は根本的に発想を変え、ジェット式ネブライザーの特徴をフルに利用しながらその効果を最大限に活用する方法を検討してさまざまなアイデアを具現化して考案を積み重ねて本発明に到達した。
【００１４】
本発明者は、歴史的には最も古く、汎用されているジェット式ネブライザーの欠点の抜本的改良によって、市場の要請に応えることが出来るネブライザーを作ることが出来るのではないかとの発想で、鋭意研究を進めた結果本発明に到達したものである。以下、図２を参照して本発明を具体的に説明する。
【００１５】
本発明の特徴とするところは、エアゾールを発生する装置であって、容器１の底面の中央から上に向かってガスを導入するガス導入管６を配し、このガス導入管６に被せるように上面の中央に細孔８を有する筒状体９が該ガス導入管６を囲んで配設されており、該筒状体９と前記ガス導入管６の間には、該ガス導入管６外壁１０のほぼ全高に亘って円筒状のスリットを形成し、該筒状体９と容器１の底面との間に間隙を有し、該筒状体９の上面の細孔８から隔たりを置いてバッフル１１を配してなることを特徴とするエアゾール発生装置の改良に係るものである。
【００１６】
本発明の第１の特徴は、ガス導入管６とそれを覆っている筒状体９とでベンチュリー管を形成しているので、高速のガス流がガス導入管６に流れると、ネブライザー容器１の液体はベンチュリーの法則にしたがってガス導入管６とそれを覆う筒状体９との間のスリットの全容積を利用して吸い上げられるので、大量の液が吸い上げられることになり、従来の方法による細い管を通して吸い上げられる液量と比べて見ると大差があることである。すなわち、上記スリットを利用し大容量の液を吸い上げることにより今まで垂涎でありながら実現不可能であった高濃度のエアゾールの生成が本発明によって可能にすることが出来るはずである。
【００１７】
最近、岡田氏によってバード博士の提案になるネブライザーと全く同じものが提案（特開平１１−１２８３４８号公報）されているが、その内容はバード博士の論文によってすべて公知である。
【特許文献１】特開平１１−１２８３４８公報
【非特許文献１】The FLYING PHYSICIAN (VOLUME 30, NO.2, JUNE 1987 the Flying Physicians Association 発行)
【００１８】
このタイプのネブライザーの基本的概念はバード博士により提案されているが、実用化するには解決しなければならない問題も多かった。本発明者はこの問題点を解決して本発明に到達したものである。
【００１９】
すなわち、本発明の効果を実現するためには特定の条件が不可欠なことを見出し、前記基本概念の発案者であるフォレスト・バード博士の助言を受けて、種々に改良を試み、本発明に至ったものである。大量の液を吸い上げるにはスリットの幅が極めて重要であること、特定の条件を満たさない限り本発明の効果は全く見られないことを本発明者は見出したのである。以下、図３を参照して本発明のエアゾール発生装置の特徴を説明する。なお、図３においては、容器部分のみを示しており、容器部分の上側は図２と同様の空気通路５を有する部材に接続される。
【００２０】
ガス導入管６とそれを覆う筒状体９の間のスリットの幅Ｗ１は２ｍｍ〜０.３ｍｍであることが不可欠なのである。この幅Ｗ１が２ｍｍ以上の場合、液の重さのために充分液を吸い上げられなくなり、エアゾール化液量が減少し、０．３ｍｍより小さいと逆に液の吸い上げ量が減って本発明の効果を最大限に引き出せない。最も望ましいスリット幅Ｗ１は１．５ｍｍ〜０．７ｍｍである。
【００２１】
本発明の第２の特徴は、吸い上げられた液体のミスト化効率である。従来の技術の項で述べたように、従来の方法では吸い上げられた液体は液の流れと直角方向からジェット流が吹き付けられるので、ミスト化される部分は限られて、吸い上げられた液の相当量がミスト化されずに落下してしまい決して効率は良いとはいえない。
【００２２】
本発明では、ガス導入管６の外壁１０とそれを覆う円筒体９の内壁１２との間に形成される円筒状のスリットを上昇した液は、該円筒体９の上部の細孔８に向かって自然に集まるようになっている。そして、そこに向かって高速のガスが吹き付けられるためにほとんどロスなしに液体は全量がミスト化されるのである。既述の第１の特徴と相まって大量の液体が効率よくミスト化されるので、高濃度のエアゾールを発生する本発明の装置が可能となった。
【００２３】
本発明の第３の特徴は、生成したエアゾール流の集束性である。既に述べたように、ガス導入管６の長さ（高さ）方向にスリットを通って上昇した液は、該円筒体９の上面中央部の細孔８の下方の空間に向かって集まり、そこへガス導入管６からの高速のジェットガスと激しく衝突してミスト化する。その際、生成エアゾールミストは、２つの細孔、すなわち、ガス導入管６の先端の細孔１３、それを覆うように設置された円筒体９の細孔８の、一直線上に並んだ２つの細孔１３、８を通る高速のジェットガスの流れによって作られる。これらの細孔８、１３の大きさは、細孔８の方が細孔１３よりも大きいことが必要である。そうでないと細孔１３から放出されるガス流が細孔８のところで制限されてミストの量が減量されて好ましくない。
【００２４】
本発明の第４の特徴は、円筒体９の上面の細孔８から噴出したエアゾール流が直ちに曲面Ｒをなすバッフル１１に衝突してミスト粒子がさらに細かい超微粒子に再分裂させるようにした点にある。本発明の第４の特徴によって、バッフル１１に衝突するエアゾールミストは常にバッフル１１の曲面Ｒの中央部に規制されて同じ場所に衝突させることを可能にし、その効果で、本発明によるエアゾールでは、ミスト粒子の大きさが２μｍを中心とした狭い分布にすることを実現した。本発明のこの技術によって、生成したエアゾールを医療用として肺気道に適用し、気道の末梢部分、肺胞まで大量のエアゾールミストを導入することが可能となった。これは、従来の既存のネブライザーでは実現できなかったことである。
【００２５】
バッフル１１の曲面Ｒは、凸曲面をなしており、曲率半径は、１０ｍｍ〜３ｍｍが好ましく、さらに好ましくは、９ｍｍ〜５ｍｍ、さらに好ましくは、８ｍｍ〜６ｍｍである。曲率半径が３ｍｍより小さいと、エアゾールの流れがバッフル１１の曲面Ｒと斜めに衝突する部分が生じ、再粉砕、超微粒子化が不十分のままバッフルの曲面の沿ってすり抜けてゆく部分が生じるため、ミストの粒子が不揃いに大きくなって分布も広くなる。曲率半径が１０ｍｍより大きいと、ミストの粉砕効率は良いが、エアゾールの流れがスムースに行かないなどの問題を生じる。
【００２６】
本発明の第５特徴は、ガス導入管６に被さるように配された円筒体９の上面の細孔８周囲の形である。細孔８のある周囲部分は、それに対応するバッフル１１の曲面Ｒの凸曲面に対応して凹曲面１４をなしており、この凹曲面１４とバッフル１１の凸曲面との間に曲面をなすスリットが形成され、このスリットの幅Ｗ２が一定になるように設定されていることである。
【００２７】
さらに具体的に説明すると、たとえば、バッフル１１の凸曲面の曲率半径が８ｍｍであり、円筒体９の上面の細孔部は、細孔８を通りかつ、該バッフル１１の凸曲面と同心で、その曲率半径が９ｍｍであり、その場合、両曲面間のスリット幅Ｗ２は１ｍｍとなっている。このようにバッフル１１の凸曲面と細孔部の凹曲面１４とが相対して、曲面状のスリットを形成しているのが本発明の特徴であり、その詳細は図３に示されている通りである。
【００２８】
本発明の第６特徴は、該円筒体９の上面の細孔８を通りかつ、該バッフル１１の凸曲面と同心で曲率の大きな凹曲面１４と該バッフル１１の凸曲面までのスリット幅Ｗ２が非常に狭いことであって、その距離は、３ｍｍ以内であり、３ｍｍ〜０．５ｍｍであることが必要である。さらに好ましくは、２ｍｍ〜０．５ｍｍであり、さらに好ましくは、１．５ｍｍ〜０．７ｍｍである。
【００２９】
この距離が３ｍｍより大きいと、生成ミストの大きさの分布の中心は、２μｍよりも大きくなり、また分布の幅も大きくなって好ましくない。またこの距離が０．５ｍｍよりも小さくなると生成エアゾールの通り道が狭くなりすぎて支障を生じることがある。この場合、生成エアゾールの流れが乱れて好ましくない。
【００３０】
本発明の第７の特徴は、既に述べた数々の特徴を具備しながら、極めて小型で軽量であることである。本発明になるエアゾール発生装置は、端的な表現をすれば、片手で軽々持てる大きさであり、これは実用面で極めて重要である。実際に本発明になるネブライザーは、外径は５ｃｍ以下が可能であり、容器の高さも５〜６ｃｍの小型にすることが出来る。従来の製品では、２μｍのミスト粒子を作ろうとすれば、超音波式装置のように極めて大型で重いものとなり、しかもエアゾール発生量が小さい。また高濃度のエアゾールを発生させるこれまでのジェット式の装置では、通常ミスト粒子の大きさが、大きくなってしまい、医療用に適用しても上気道でそのほとんどが沈着してしまって、細気管支や末梢気管支、肺胞には届かず、治療目的に充分なものとはいえない。
【００３１】
本発明は、これまで未解決であった多くの問題点を見事に解決し、市場の垂涎のエアゾール発生装置を完成したものである。
【００３２】
本発明を実施するに当たり、陽圧のガスをガス導入管から導入するのであるが、所望の大きさのミスト粒子、所望のミストの分布を得るためには、導入ガスの圧力が重要である。導入ガスの圧は１．０ｋｇ／ｃｍ２以上４．０ｋｇ／ｃｍ２以下が好ましく、さらに好ましくは、１．４ｋｇ／ｃｍ２以上３．５ｋｇ／ｃｍ２以下、さらに好ましくは、２．０ｋｇ／ｃｍ２以上３．０ｋｇ／ｃｍ２以下である。導入ガスの圧が１．０ｋｇ／ｃｍ２以下 ではエアゾール流の流速が低すぎて、所望の粒子形に分散できず、４．０ｋｇ／ｃｍ２以上では、分散が効きすぎてミストの粒子形が細かすぎて気道内に沈着しないで呼出してしまうミストが増加して逆に好ましくない。上記の範囲にガス圧を規制する限り、ミストのサイズにほとんど影響が見られない。これは本発明の第８の特徴ということが出来る。
【００３３】
上述のように、本発明者は、流体の動力学的な挙動に注目し、新しい着想を導入して、鋭意検討を進め、ついに現状の問題点を解決して安価にして軽量で好ましいミスト粒子を高濃度に含むエアゾール発生装置の発明に至ったのである。
【００３４】
本発明はベンチュリー管をスリットを通して大量の液体を吸い上げ、従来の細管で吸い上げる方法と置き換え、さらにて吸い上げた液体を一点に集束してそこへジェットガスを作用させ、その直後のバッフルに生成エアゾールを衝突させて、ミストを再粉砕して、高濃度の超微細ミストを得ることに成功したものである。
【００３５】
以下さらに参考例および実施例によって、本発明をさらに詳しく説明するが、決して本発明の特許請求の範囲を制限するものではない。
【実施例１】
【００３６】
図３に示した本発明になるエアゾール発生装置を用いた。容器１部分の外径は、４６ｍｍ、高さは５５ｍｍである。容器１内に突出するガス導入管６の部分の高さは２０ｍｍ、外径は５ｍｍである。ガス導入管６に被さった円筒体９の内径は７ｍｍ、したがってガス導入管６とガス導入管６に被さった円筒体９との間のスリットの幅Ｗ１は１ｍｍであった。本例の場合、バッフル１１の曲面Ｒは凸球面でその曲率半径は８ｍｍであり、これに対応して円筒体９の上面の凹曲面１４は細孔８を通りかつ、該バッフル１１の凸曲面と同心の凹球面を形成し、その曲率半径は９ｍｍであり、したがって細孔８とバッフル１１の曲面Ｒとの距離は、１ｍｍである。この装置を用いてエアゾールを発生させた。本例ではガスの導入圧は２．８ｋｇ／ｃｍ２であった。この場合、ガスの流速は毎分８リットルであった。エアゾールの粒子の分布を図４に示した。粒子は２μｍを中心にほとんどが５μｍ以下でシャープな分布をしていることが判る。エアゾール発生量は、毎分２．８ミリリットルであった。
【実施例２】
【００３７】
実施例１と同じ装置を用いて、ガス流量を変えて同じような実験を行なった。得られた粒子の平均の大きさと、ガス流量との関係を図５に示した。本発明の装置は、流量を本実験範囲で変化させても、安定に２μｍを中心とするミスト粒子が得られることが判る。本例では、ガス流量毎分１１〜６リットルが導入ガスの圧４．０ｋｇ／ｃｍ２〜１．０ｋｇ／ｃｍ２に相当した。
【００３８】
〔参考例１〕
バッフル１１の凸曲面Ｒの曲率半径が２．３ｍｍであり、これに対応する円筒体９上面の細孔８のある凹曲面１４の曲率が３．３ｍｍのものを用いた以外は、実施例１と同じである。本例を実施例１と同じ条件で実施して、生成エアゾールの粒子分布を測定したところ、図６の実線のようになった（Ｘ表示）。棒グラフで示した実施例１のデーターと比べると、ピークの位置が３μｍ付近に移動し、粒子サイズが大きめになっていることが判る。
【００３９】
〔参考例２〕
バッフル１１の曲面Ｒと円筒体９の上面の細孔８までの距離を５ｍｍとした以外は、実施例１と同じである。この条件で得られたエアゾールの粒子のサイズの分布状態は図６に点線で示されている（Ｙ表示）。この場合、円筒体９の上面の細孔８からバッフル１１の曲面Ｒまでの距離が長くなったためにミスト粒子の再微粉砕効果が激減し、粒子分布が大きい方に移動していることが判る
【００４０】
〔参考例３〕
バッフルを全く用いなかった場合のエアゾールミストの分布状況を図６に示したものである（Ｚ表示）。粒子サイズは大きく、かつブロードであることを示している。
【００４１】
〔参考例４〕
実施例１の装置で、ガス導入管の外壁とそれに被さっている円筒体の内壁との距離、言い換えるとスリットの幅が２．２ｍｍである以外は実施例１と全く同じである。本例では液のエアゾール化が劣り、エアゾール発生量は、毎分１．８ミリリットルであった。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】現状のジェットネブライザーの原理と欠点とを概略的に示す図である。
【図２】本発明によるエアゾール発生装置の概略的な断面図である。
【図３】本発明によるエアゾール発生装置の特徴点を示す断面図である。
【図４】ガスの流速が毎分８リットルであるときのエアゾールの粒子の分布を示す図である。
【図５】本発明によるエアゾール発生装置において得られたエアゾール粒子の平均の大きさとガス流量との関係を示す図である。
【図６】参考例１〜３の条件下で生成されたエアゾール粒子の大きさの分布図である。
【符号の説明】
【００４３】
１    容器
６    ガス導入管
８    細孔
９    筒状体
１０  外壁
１１  バッフル
１２  内壁
１３  細孔
Ｒ    曲面
Ｗ１  スリット幅
Ｗ２  スリット幅
【図１】
2006075385.tif 000003
【図２】
2006075385.tif 000004
【図３】
2006075385.tif 000005
【図４】
2006075385.tif 000006
【図５】
2006075385.tif 000007
【図６】
2006075385.tif 000008