(57)【要約】【課題】装置稼動時における運転状態のサンプリングデータを有効に活用して、不具合原因のタイムリーな究明を可能とするプラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の運転状態の出力方法を提供することを目的とする。【解決手段】所定の運転条件でプラズマ処理を行うプラズマ処理装置において、運転状態を示す情報をサンプリングしたサンプリングデータをモニター信号出力部２８によってグラフ化してモニター１７に表示させるとともに、表示画面をデータファイル化した画像ファイルを画像ファイル出力手段３３によってリムーバブル型記憶装置１９または印刷装置２０へ出力できるように構成する。これにより、トラブル発生時には必要に応じてこの画像ファイルを参照することができ、不具合原因をタイムリーに究明することができる。【選択図】図２
2006253364.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所望の運転条件でプラズマを発生させて対象物の処理を行うプラズマ処理装置であって、前記プラズマ処理装置の運転状態を示す情報をサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部によるサンプリングデータをグラフ化したグラフィック画像をモニターに表示させるモニター信号出力部と、前記グラフィック画像を含み前記モニター信号出力部によって前記モニターに表示された表示画面の画像ファイルを作成する画像ファイル作成部と、前記画像ファイル作成部によって作成された画像ファイルを外部へ出力する画像ファイル出力部を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
前記画像ファイル出力部による出力先が、リムーバブル型記憶装置であることを特徴とする請求項１記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記画像ファイル出力部による出力先が、印刷装置であることを特徴とする請求項１記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記画像ファイル作成部は、前記モニター信号出力部によって前記モニターに表示された画面であって、前記グラフィック画像と前記運転条件を示す情報とが一画面で表示された表示画面の画像ファイルを作成することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載されたプラズマ処理装置。
【請求項５】
所望の運転条件でプラズマを発生させて対象物の処理を行うプラズマ処理装置であって、前記プラズマ処理装置の運転状態を示す情報をサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部によるサンプリングデータをグラフ化したグラフィック画像をモニターに表示させるモニター信号出力部と、前記グラフィック画像を含み前記モニター信号出力部によって前記モニターに表示された表示画面の画像ファイルを作成して外部へ出力する画像ファイル出力手段とを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記画像ファイル出力手段による出力先が、リムーバブル型記憶装置であることを特徴とする請求項５記載のプラズマ処理装置。
【請求項７】
前記画像ファイル出力手段による出力先が、印刷装置であることを特徴とする請求項５記載のプラズマ処理装置。
【請求項８】
前記画像ファイル出力手段は、前記モニター信号出力部によって前記モニターに表示された画面であって、前記グラフィック画像と前記運転条件を示す情報とが一画面で表示された表示画面の画像ファイルを作成することを特徴とする請求項５乃至８のいずれかに記載されたプラズマ処理装置。
【請求項９】
所望の運転条件でプラズマを発生させて対象物の処理を行うプラズマ処理装置の運転状態を示す情報を出力する運転状態の出力方法であって、
前記プラズマ処理装置の運転状態を示す情報をサンプリングしてサンプリングデータを取得するデータ取得ステップと、前記サンプリングデータをグラフ化したグラフィック画像をモニターに表示させる画像表示ステップと、前記グラフィック画像を含み前記モニターに表示された表示画面の画像ファイルを作成するファイル作成ステップと、前記作成された画像ファイルを外部へ出力するファイル出力ステップとを含むことを特徴とするプラズマ処理装置の運転状態の出力方法。
【請求項１０】
前記画像ファイルの出力先が、リムーバブル型記憶装置であることを特徴とする請求項９記載のプラズマ処理装置の運転状態の出力方法。
【請求項１１】
前記画像ファイルの出力先が、印刷装置であることを特徴とする請求項９記載のプラズマ処理装置の運転状態の出力方法。
【請求項１２】
前記ファイル作成ステップにおいて、前記グラフィック画像と前記運転条件を示す情報とが一画面で表示された表示画面の画像ファイルを作成することを特徴とする請求項９乃至１１のいずれかに記載されたプラズマ処理装置の運転状態の出力方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板などの対象物をプラズマ処理するプラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の運転状態の出力方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品が実装される基板などの清浄化やエッチングなどを目的とした表面処理方法として、プラズマ処理が知られている。このプラズマ処理は、処理室内で発生したプラズマを対象物の表面に作用させることにより、所望の表面処理が行われる。このプラズマ処理において良好な処理品質を確保するためには、処理目的に応じた強さのプラズマを安定して発生させることが重要であるため、処理圧力や放電電圧などのプラズマ放電発生の諸条件を適正条件に維持することが求められる。
【０００３】
このため、従来よりプラズマ処理装置には、装置稼動状態におけるこれらの諸条件を規定する因子（例えば真空度やガス流量、高周波電源出力など）を常に監視し、必要に応じてサンプリングデータとして出力する監視機能を備えたものが知られている（例えば特許文献１，２参照）。そしてプラズマ処理の品質異常などのトラブルが発生した場合には、これらのサンプリングデータが参照され、トラブル発生の原因を究明するための資料として用いられる。
【特許文献１】特開２００３−１９７６０９号公報
【特許文献２】特開２００３−２６４１８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の従来装置においてはサンプリングデータは単に数値データとして出力されるのみであるため、これらのデータを上述の解析に用いる際には、これらのデータを目的に応じて整理してグラフ化する作業を必要としていた。このためトラブル発生時のデータ解析に手間と時間を要し、不具合原因のタイムリーな究明を困難なものとしていた。
【０００５】
そこで本発明は、装置稼動時における運転状態のサンプリングデータを有効に活用して、不具合原因のタイムリーな究明を可能とするプラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の運転状態の出力方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のプラズマ処理装置は、所望の運転条件でプラズマを発生させて対象物の処理を行うプラズマ処理装置であって、前記プラズマ処理装置の運転状態を示す情報をサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部によるサンプリングデータをグラフ化したグラフィック画像をモニターに表示させるモニター信号出力部と、前記グラフィック画像を含み前記モニター信号出力部によって前記モニターに表示された表示画面の画像ファイルを作成する画像ファイル作成部と、前記画像ファイル作成部で作成された画像ファイルを外部へ出力する画像ファイル出力部を備えた。
【０００７】
また本発明のプラズマ処理装置は、所望の運転条件でプラズマを発生させて対象物の処理を行うプラズマ処理装置であって、前記プラズマ処理装置の運転状態を示す情報をサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部によるサンプリングデータをグラフ化したグラフィック画像をモニターに表示させるモニター信号出力部と、前記グラフィック画像を含み前記モニター信号出力部によって前記モニターに表示された表示画面の画像
ファイルを作成して外部へ出力する画像ファイル出力手段とを備えた
【０００８】
本発明のプラズマ処理装置の運転状態の出力方法は、所望の運転条件でプラズマを発生させて対象物の処理を行うプラズマ処理装置の運転状態を示す情報を出力する運転状態の出力方法であって、前記プラズマ処理装置の運転状態を示す情報をサンプリングしてサンプリングデータを取得するデータ取得ステップと、前記サンプリングデータをグラフ化したグラフィック画像をモニターに表示させる画像表示ステップと、前記グラフィック画像を含み前記前記モニターに表示された表示画面の画像ファイルを作成するファイル作成ステップと、前記作成された画像ファイルを外部へ出力するファイル出力ステップとを含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、プラズマ処理装置の運転状態を示す情報をサンプリングしたサンプリングデータをグラフ化してモニターに表示させるとともに、モニターに表示された表示画面の画像ファイルを作成して外部へ出力することにより、トラブル発生時には必要に応じてこの画像ファイルを参照することができ、装置稼動状態における運転状態のサンプリングデータを有効に活用して、不具合原因をタイムリーに究明することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のプラズマ処理装置の構成を示すブロック図、図２は本発明の一実施の形態のプラズマ処理装置における運転状態のサンプリングデータ処理機能を示すブロック図、図３は本発明の一実施の形態のプラズマ処理装置における運転状態のサンプリングデータの構成を示す図、図４は本発明の一実施の形態のプラズマ処理装置の動作フロー図、図５，図６は本発明の一実施の形態のプラズマ処理装置の表示画面を示す図である。
【００１１】
まず図１を参照してプラズマ処理装置の構成を説明する。図１において、真空密に形成された処理室１の内部には、高周波電極２が水平姿勢で配設されており、高周波電極２の上面にはプラズマ処理の対象物である基板３が載置される。処理室１の内部において、高周波電極２の上方には対向電極４が高周波電極２と対向して平行に配置されており、対向電極４は接地部５と電気的に接続されている。
【００１２】
処理室１は真空開閉バルブ７を介して真空ポンプ６に接続されており、真空ポンプ６を駆動することにより、処理室１の内部が真空排気される。処理室１は開閉バルブ１２を介して真空計１１に接続されており、開閉バルブ１２を開放した状態で真空計１１を作動させることにより、処理室１内の真空度を計測することができる。
【００１３】
プラズマ発生用ガス供給配管８はプラズマガス供給装置（図示省略）に接続されており、プラズマ発生用ガス供給配管８は流量制御バルブ９および開閉バルブ１０を介して処理室１に接続されている。開閉バルブ１０を開放することにより、処理室１内にはアルゴンガスなどのプラズマ発生用ガスが供給される。このとき、流量制御バルブ９により、処理室１内に供給されるプラズマ発生用ガスの供給流量を任意に設定することができる。
【００１４】
高周波電極２はマッチング回路１３に電気的に接続されており、マッチング回路１３はさらに高周波電源部１４に接続されている。高周波電源部１４を作動させることにより、高周波電極２には高周波電圧が印加される。プラズマ処理作業においては、真空ポンプ６によって処理室１内を真空排気した後、処理室１内に所定流量のプラズマ発生用ガスを供給した状態で、高周波電源部１４を作動させて高周波電極２と対向電極４との間に高周波電圧を印加する。これにより、高周波電極２と対向電極４との間にはプラズマ放電が発生し、発生したプラズマの作用によって基板３を対象としたプラズマ処理が実行される。マ
ッチング回路１３は、処理室１内でプラズマを発生させるプラズマ放電回路と高周波電源部１４のインピーダンスを整合させる。
【００１５】
このプラズマ処理装置の稼動時には、上述の各構成要素のうち、流量制御バルブ９、真空計１１、マッチング回路１３、高周波電源部１４からは以下に説明する信号が処理部１５に対して出力される。これらの信号は上述各構成要素の作動状態を示す指標データとして用いられ、後述するように、これらの指標データを所定インターバルでサンプリングすることにより、プラズマ処理装置の運転状態を示すサンプリングデータが取得される。
【００１６】
流量制御バルブ９からはプラズマ発生用ガスの流量値を示す流量信号［７］が、また真空計１１からは、処理室１内の真空度を示す真空度信号［６］が、処理部１５に対してそれぞれ出力される。高周波電源部１４からは、ＲＦ入射信号［１］、ＲＦ反射信号［２］が処理部１５に対して出力される。ＰＦ入射信号は、プラズマ発生のために入力された電力の値を示しており、ＲＦ反射信号は入力された電力のうちプラズマ放電に消費されずに反射された電力の値を示している。
【００１７】
そしてマッチング回路１３からは、ＬＯＡＤ信号［３］、ＶＤＣ信号［４］，ＰＨＡＳＥ信号［５］の３つの信号が処理部１５に対して出力される。ＬＯＡＤ信号［３］およびＰＨＡＳＥ信号［５］は、マッチング回路１３に内蔵されたインピーダンス整合用の可変コンデンサの設定指示値であり、当該状態における極板間距離の距離可変代に対する割合（０〜１００％）で示される。ＶＤＣ信号［４］は、セルフバイアス電圧、すなわちプラズマ放電発生時において電極間電圧が負側にバイアスされる電圧値（Ｖ）を示すものである。
【００１８】
操作・入力部１６はキーボード、マウスおよびタッチパネルなどの入力手段であり、操作指示やデータ入力などの入力操作を行う。モニター１７は液晶パネルなどの表示パネルであり、操作指示のための入力画面や、取得されたるサンプリングデータのグラフィック表示を行う。リムーバブル型記憶装置インターフェイス１８はメモリーカードスロットやＣＤ−Ｒドライブなどであり、メモリーカードやＣＤ−Ｒなどのリムーバブル型記憶装置１９へのデータ書き込みを行う。印刷装置２０はプリンタであり、モニター１７に表示された表示画面と同一の画面を必要に応じて印刷出力できるようになっている。
【００１９】
次に図２を参照して、処理部１５の処理機能について説明する。処理部１５に取り込まれたＲＦ入射信号［１］、ＲＦ反射信号［２］、ＬＯＡＤ信号［３］、ＶＤＣ信号［４］，ＰＨＡＳＥ信号［５］、真空度信号［６］、流量信号［７］の各信号は、Ａ／Ｄ変換部２１によってＡ／Ｄ変換される。サンプリング処理部２２はこれらＡ／Ｄ変換された信号を対象としてサンプリング処理を行う。すなわち、連続的に取り込まれる上述の各データを、予め設定されたサンプリングインターバル毎に、離散値として取り込む処理を行う。取り込まれたサンプリングデータは、サンプリングデータ一時記憶部２３に一時的に記憶される。Ａ／Ｄ変換部２１、サンプリング処理部２２、サンプリングデータ一時記憶部２３は、プラズマ処理装置の運転状態を示す情報をサンプリングするサンプリング部を構成する。
【００２０】
サンプリングファイル作成部２４は、サンプリングデータ一時記憶部２３に記憶されたサンプリングデータを編集して、サンプリングデータファイルを作成する。サンプリングデータファイルは、図３に示すように、同一タイミングでサンプリングされた［１］〜［７］のデータよりなるデータ群（サンプリングデータ３７）を、各処理サイクル毎に時系列順に配列して１つのファイルに括ったものであり、例えばＣＳＶ形式のファイルで作成される。このとき、運転条件データ記憶部２９に予め記憶された運転条件データ３８、すなわち稼動開始前の運転条件設定時において所望の運転条件として設定入力されたＲＦ出
力［８］、放電時間［９］、真空度［１０］およびアルゴンガス流量［１１］の各設定値が読み出されて、同一のサンプリング番号３６のデータとしてサンプリングファイルに書き込まれる。
【００２１】
すなわち、図３に示すサンプリングファイルは、［１］〜［１１］のデータよりなるデータ群を時系列的に配列した表形式のデータとなっている。ここで、データ取得日およびサンプリング開始時刻を含んだファイル名（例：１５，１３０６．ＣＳＶ）を付与することにより、データと装置稼働履歴とを正確に対応させることができる。なお、運転条件データ３８をサンプリングデータ３７と別ファイルで保存するようにしてもよい。
【００２２】
作成されたサンプリングデータは、サンプリングファイル記憶部２５に記憶される。サンプリングファイル記憶部２５はハードディスクなど書き換え可能で所定量のデータを記憶可能な記憶媒体を備えており、所定数（たとえば過去１００サイクル分）のファイルが、過去の運転履歴データとして記憶される。運転履歴データは常に更新され、古いファイルから順に最新のファイルによって置き換えられる。
【００２３】
グラフ作成部２６は、サンプリングファイル記憶部２５に記憶されたサンプリングデータを読み出して、これらのサンプリングデータをグラフ化したグラフィック画像を作成する。このグラフ化においては、時間経過を横軸に取り、［１］〜［７］のデータ値を縦軸に取ったグラフ（図５に示すグラフ表示部（Ａ）参照）が作成され、グラフ作成部２６はこれらのグラフにおける各データの経時変化を示す曲線の座標値を演算する。そして描画処理部２７は演算された座標値に基づき、これらのグラフをモニター１７に表示するための描画処理を行う。グラフ作成部２６および描画処理部２７は、サンプリング部によるサンプリングデータをグラフ化したグラフィック画像をモニターに表示させるモニター信号出力部２８を構成する。
【００２４】
図５は、モニター１７に表示される表示画面を示している。この表示画面のグラフ表示部（Ａ）には、前述のように、［１］〜［７］のデータ値の時間的変化をそれぞれ示す複数の曲線によって構成されたグラフィック画像が表示される。このとき、描画データ選択枠（Ｆ）の各データ枠にチェックマークを入力することにより、描画対象のデータ種類を選択限定することができるようになっている。運転表示フィールド（Ｂ）には、設定入力されたＲＦ出力［８］、放電時間［９］、真空度［１０］およびアルゴンガス流量［１１］の各設定値が既定値として表示されている。
【００２５】
またモニター１７の表示画面には画面保存ボタン（Ｃ）、画面印刷ボタン（Ｄ）、読込ボタン（Ｅ）などの操作ボタンが設定されている。画面保存ボタン（Ｃ）を操作することにより、画像ファイル出力手段３３を起動させて、その時点における表示画像に対応する画像ファイルをリムーバブル型記憶装置１９に出力することができる。また画面印刷ボタン（Ｄ）を操作することにより、同様に画像ファイル出力手段３３を起動させて、その時点における表示画像を印刷装置２０によって印刷することができる。
【００２６】
そして読込ボタン（Ｅ）を操作することにより、過去の運転履歴を読み出すことができる。すなわちこの操作によりサンプリングファイル記憶部２５に記憶されたファイル名の一覧が表示され、その中から所望のファイル名（すなわちデータ取得日、サンプリング開始時刻）を選択することにより、当該サンプリングファイルの各データをグラフ化したグラフィック画像を含む表示画面が表示される。
【００２７】
画像ファイル作成部３０は、描画処理部２７によって描画処理された画像データに基づき、モニター１７に表示された表示画面を示す画像ファイルを、ＢＭＰ形式などのファイル形式で作成する。すなわち、画像ファイル作成部３０は、サンプリングデータ（［１］
〜［７］）をグラフ化したグラフィック画像を含み、モニター信号出力部２８によってモニター１７に表示された表示画面の画像ファイルを作成する。これにより、プラズマ処理装置の操作盤面に表示される画像の画像データが、そのままの表示内容で所定形式の画像ファイルとして作成される。
【００２８】
そして本実施の形態においては、図５に示すように、画像ファイル作成部３０は、サンプリングデータのグラフィック画像に加えて、運転条件を示す情報、すなわちプラズマ処理条件設定において入力された設定値が、一画面で表示された画面の画像ファイルを作成するようにしている。これにより後述するように、グラフィック画像に運転状態の異常を示す波形が表示された場合において、異常が生じているデータ項目の設定値と波形の相違が一目瞭然となり、不具合原因を的確に判断することができるようになっている。
【００２９】
画像ファイル一時記憶部３１は画像ファイル作成部３０によって作成された画像ファイルを一時的に記憶する。画像ファイル出力部３２は、画像ファイル作成部３０で作成され画像ファイル一時記憶部３１に一時記憶された画像ファイルを読み出して、外部へ出力する処理を行う。このときの出力先としては、リムーバブル型記憶装置１９および印刷装置２０のいずれかを選択することが可能となっている。
【００３０】
エラー情報記憶部３４は、画像ファイル出力部３２から不具合時のサンプリングデータを示す画像ファイルが出力されるたびに、これらの画像ファイルをエラー履歴として記憶する。このようにエラー情報を記憶させておくことにより、発生する不具合事例をサンプリングデータの形態で保存することができ、当該装置における不具合発生傾向を判断するための参考データとして活用することができる。
【００３１】
上記構成において、画像ファイル作成部３０、画像ファイル一時記憶部３１、画像ファイル出力部３２は、グラフィック画像を含みモニター信号出力部２８によってモニター１７に表示された表示画面の画像ファイルを作成して外部へ出力する画像ファイル出力手段３３となっている。そしてこの画像ファイル出力手段３３による出力先は、リムーバブル型記憶装置１９または印刷装置２０のいずれかが選択可能となっている。
【００３２】
次に図４を参照して、このプラズマ処理装置によって実行されるプラズマ処理について説明する。まず、真空ポンプ６による真空排気が開始されるとともに、サンプリングがスタートする（ＳＴ１）。すなわち、各部から出力されるサンプリングデータ（［１］〜［７］）が処理部１５に取り込まれ、図２にて説明した処理が実行される。そして処理室１内が所定圧力まで減圧されて規定の真空度に到達したか否かを監視し（ＳＴ２）、規定の真空度に到達したならば、ガス供給を開始する（ＳＴ３）。
【００３３】
そして放電開始圧力に到達したか否かを監視し（ＳＴ４）、放電開始圧力に到達したならば、高周波電源部１４を作動させて高周波出力を開始し、処理室１内でプラズマ放電を発生させる（ＳＴ５）。そして規定のプラズマ処理時間として設定された所定時間が経過したか否かを監視し（ＳＴ６）、所定時間が経過したならば、高周波停止、ガス供給停止、真空排気停止とともに、サンプリングを停止する（ＳＴ７）。この後、処理室１内へ空気を導入して大気開放する（ＳＴ８）これにより、プラズマ処理の１サイクルを終了する。
【００３４】
上述のプラズマ処理において、何らかのマシントラブルが生じ異常報知がなされると、マシンオペレータは操作盤にアクセスして、モニター１７の表示画面を観察する。ここでトラブル内容が監視対象となっている部分に関連している場合にはサンプリングデータにトラブルに対応した変化を生じ、図６に示すように、グラフ表示部（Ａ）に異常波形として表示される。このような場合には、マシンオペレータが画面保存ボタン（Ｃ）を操作す
ることにより、モニター１７に表示されている異常波形のグラフィック画像を含んだ画像ファイルがリムーバブル型記憶装置１９にダウンロードされるとともに、同一画像ファイルがエラー履歴としてエラー情報記憶部３４に書き込まれる。
【００３５】
そしてこの画像ファイルが書き込まれたメモリカードなどのデータ記憶媒体は、工場事務所などパソコンやデータ送信端末を備えた場所に持ち込まれ、当該画像ファイルはプラズマ処理装置のメーカのサービス拠点に送信される。これにより、異常が発生した状態をリアルタイムで記録したサンプリングデータをグラフィック画像データの形で送信することができる。
【００３６】
これにより、運転状態のサンプリングデータがＣＳＶ形式ファイルで出力される構成の従来装置のように、サンプリングデータをグラフ化する作業を行うことなく、メーカのサービスエンジニアはこれら異常波形が表示された画像をあたかも現場で実際の装置のモニターを見る感覚で観察して、トラブル内容を直感的・パターン的に認識し、不具合原因を迅速・容易に究明することが可能となる。もちろん、画像ファイルを印刷装置に出力して表示画面をプリントアウトする形で出力させ、印刷された画面を不具合原因の究明に用いるようにしてもよい。
【００３７】
すなわち、上述の画像ファイルの出力形態は、所望の運転条件でプラズマを発生させて対象物の処理を行うプラズマ処理装置の運転状態を示す情報を出力する運転状態の出力方法であって、プラズマ処理装置の運転状態を示す情報をサンプリングしてサンプリングデータを取得するデータ取得ステップと、サンプリングデータをグラフ化したグラフィック画像をモニターに表示させる画像表示ステップと、モニター１７に表示された画面の画像ファイルを作成するファイル作成ステップと、作成された画像ファイルを外部へ出力するファイル出力ステップとを含む形態となっている。
【００３８】
そしてファイル作成ステップにおいては、グラフィック画像と前記運転条件を示す情報とが一画面で表示された表示画面の画像ファイルを作成するようにしており、また画像ファイルの出力先は、リムーバブル型記憶装置または印刷装置のいずれかを選択できるようになっている。
【００３９】
このように、プラズマ処理装置の運転状態を示す情報をサンプリングしたサンプリングデータをグラフ化してモニターに表示させるとともに、モニターに表示された表示画面の画像ファイルを作成して外部へ出力する機能を備えることにより、トラブル発生時には必要に応じてこの画像ファイルを参照することができ、装置稼動状態における運転状態のサンプリングデータを有効に活用して、不具合原因をタイムリーに究明することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明のプラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の運転状態の出力方法は、装置稼動状態における運転状態のサンプリングデータを有効に活用して、不具合原因をタイムリーに究明することができるという利点を有し、所望の運転条件でプラズマを発生させて対象物の処理を行うプラズマ処理装置に対して有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施の形態のプラズマ処理装置の構成を示すブロック図
【図２】本発明の一実施の形態のプラズマ処理装置における運転状態のサンプリングデータ処理機能を示すブロック図
【図３】本発明の一実施の形態のプラズマ処理装置における運転状態のサンプリングデータの構成を示す図
【図４】本発明の一実施の形態のプラズマ処理装置の動作フロー図
【図５】本発明の一実施の形態のプラズマ処理装置の表示画面を示す図
【図６】本発明の一実施の形態のプラズマ処理装置の表示画面を示す図
【符号の説明】
【００４２】
１  真空チャンバ
２  高周波電極
３  基板
６  真空ポンプ
９  流量制御バルブ
１１  真空計
１３  マッチング回路
１４  高周波電源部
１５  処理部
【図１】
2006253364.tif 000003
【図２】
2006253364.tif 000004
【図３】
2006253364.tif 000005
【図４】
2006253364.tif 000006
【図５】
2006253364.tif 000007
【図６】
2006253364.tif 000008