(57)【要約】【課題】  機能液吸収材を押さえるための部材を用いることなく、これを平坦に敷設することができるフラッシングユニット等を提供することを課題とする。【解決手段】  機能液滴吐出ヘッド６２の全吐出ノズル８５から捨て吐出された機能液を、機能液滴吐出ヘッド６２の直近で受けるフラッシングユニット１１４であって、上面を開放したフラッシングボックス１５１と、フラッシングボックス１５１の上面に敷設したシート状の機能液吸収材１５２と、機能液吸収材１７１の対向する２つの縁部１７１ａ，１７１ｂにそれぞれ係止し、機能液吸収材１７１に張力を付与すると共にこの状態で機能液吸収材１７１をフラッシングボックス１５１に締結する一対の緊張締結部材１５３，１５３と、を備えた。【選択図】  図９
2006075772.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから吐出された機能液を、前記機能液滴吐出ヘッドの直近で受けるフラッシングユニットであって、
上面を開放したフラッシングボックスと、
前記フラッシングボックスの上面に敷設したシート状の機能液吸収材と、
前記機能液吸収材の対向する２つの縁部にそれぞれ係止し、前記機能液吸収材に張力を付与すると共にこの状態で前記機能液吸収材を前記フラッシングボックスに締結する一対の緊張締結部材と、
を備えたことを特徴とするフラッシングユニット。
【請求項２】
前記機能液吸収材は、その上面が前記フラッシングボックスの周縁部上面と略面一となるように敷設されていることを特徴とする請求項１に記載のフラッシングユニット。
【請求項３】
前記一対の緊張締結部材のうち少なくとも一方は、前記機能液吸収材の前記縁部を係止する係止部材と、
前記係止部材を介して、前記機能液吸収材に張力を付与する張力付与機構と、
前記張力付与機構を前記フラッシングボックスに固定する固定部材と、
を有していることを特徴とする請求項１または２に記載のフラッシングユニット。
【請求項４】
前記張力付与機構は、前記フラッシングボックスに設けられ、前記機能液吸収材の張り方向に進退自在に構成されたスライドブロックと、
前記スライドブロックに対し前記張り方向に螺合すると共に前記フラッシングボックスに回転自在に係合して、前記スライドブロックを進退させる調整ねじと、
から成ることを特徴とする請求項３に記載のフラッシングユニット。
【請求項５】
前記固定部材は、前記スライドブロックを貫通して前記フラッシングボックスに螺合する固定ねじで構成され、
前記スライドブロックには、前記固定ねじが貫通すると共に前記進退方向に延在する長孔が形成されていることを特徴とする請求項４に記載のフラッシングユニット。
【請求項６】
前記係止部材は、前記機能液吸収材を貫通して前記スライドブロックに螺合する皿ねじで構成されていることを特徴とする請求項４または５に記載のフラッシングユニット。
【請求項７】
前記フラッシングボックスの底面に形成した排液開口を介して前記フラッシングボックス内の機能液を吸引する機能液吸引手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドの吐出に同期して、前記機能液吸引手段を駆動する吸引制御手段と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のフラッシングユニット。
【請求項８】
前記排液開口は、前記フラッシングボックスの底面に分散配置した複数の排液口で構成されていることを特徴とする請求項７に記載のフラッシングユニット。
【請求項９】
前記フラッシングボックスの底面には、その長辺方向に沿って延在する複数の排液溝が形成され、
前記複数の排液口は、前記複数の排液溝の溝底に開口していることを特徴とする請求項８に記載のフラッシングユニット。
【請求項１０】
前記複数の排液口には、複数の吸引分岐管路がそれぞれ接続されており、
前記各吸引分岐管路は、前記各排液口から略鉛直方向に延在すると共に、前記機能液吸引手段に連通する吸引管路に合流していることを特徴とする請求項９に記載のフラッシングユニット。
【請求項１１】
前記フラッシングボックスの長辺は、前記吐出ノズルの並び方向に延在し、且つ前記機能液吸収材は、前記並び方向に分割した複数の分割機能液吸収材で構成されており、
前記一対の緊張締結部材は前記分割機能液吸収材毎に設けられ、且つ前記各緊張締結部材は前記フラッシングボックスの長辺に沿って配設されていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載のフラッシングユニット。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載のフラッシングユニットと、
ワークに対し、機能液を導入した前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液を選択的に吐出して描画処理を行う描画装置と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１４に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式で機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから吐出された機能液を機能液滴吐出ヘッドの直近で受けるフラッシングユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板等のワークに対し、機能液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）を相対的に移動させながら、機能液を選択的に吐出して描画処理を行う液滴吐出装置が知られている。そして、この液滴吐出装置は、機能液滴吐出ヘッドの吐出機能を維持するため、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液を捨て吐出（予備吐出）するフラッシング処理を行うようにしている。そのため、上面に機能液吸収材（液体吸収体）を設置したフラッシングボックスで構成されたフラッシングユニット（定期フラッシングユニット）を備え、このフラッシングユニットにより捨て吐出された機能液を受けている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−２０２３２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、このフラッシングユニットは、捨て吐出された機能液のミスト（サテライト）がフラッシングユニットの周辺に飛散しないようにすべく、捨て吐出された機能液を機能液滴吐出ヘッドの直近で受けることが好ましい。そのため、機能液滴吐出ヘッドのノズル面と、フラッシングユニットの機能液吸収材の上面との間隙を極力小さい値（例えば２ｍｍ）に設定する構成とすることが考えられる。しかしながら、ポリオレフィン系親水性多孔質焼結成形体等で構成されたシート状の機能液吸収材は、焼結時の残留応力等により平坦でなく反っている場合がある。特に、複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載している場合、機能液滴吐出ヘッドの個数に対応して機能液吸収材が大きくなるため、その反り具合も著しくなる。このような場合に、従来の液滴吐出装置では、機能液滴吐出ヘッドのノズル面と機能液吸収材の上面とを所定の間隙に近接させる構成とすると、フラッシングユニットに臨んだ機能液滴吐出ヘッドと機能液吸収材の上面（反りによる浮き上がり部分）とが接触してしまうおそれがあった。
【０００４】
もっとも、薄肉の枠状プレートで機能液吸収材を押さえることも考えられる。しかしながら、このようにすると、枠状プレートの上面に機能液が着弾し、この機能液が機能液滴吐出ヘッドのノズル面に付着してノズル面を汚したり、ノズルから逆流してメニスカス面を不安定にするおそれがあるため、好ましくない。
【０００５】
本発明は、機能液吸収材を押さえるための部材を用いることなく、これを平坦に敷設することができるフラッシングユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のフラッシングユニットは、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから捨て吐出された機能液を、機能液滴吐出ヘッドの直近で受けるフラッシングユニットであって、上面を開放したフラッシングボックスと、フラッシングボックスの上面に敷設したシート状の機能液吸収材と、機能液吸収材の対向する２つの縁部にそれぞれ係止し、機能液吸収材に張力を付与すると共にこの状態で機能液吸収材をフラッシングボックスに締結する一対の緊張締結部材と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、機能液吸収材は、一対の緊張締結部材により張力が付与された状態でフラッシングボックスに締結される。このため、機能液吸収材は、元々は反ったものであっても、付与された張力により平坦に伸ばされて（張った状態で）、フラッシングボックスの上面に敷設される。したがって、機能液吸収材を押さえるための部材を用いることなく、これを平坦に敷設することができる。このようにすることで、機能液滴吐出ヘッドのノズル面と機能液吸収材の上面との間隙を極力小さい値に設定しても、フラッシングユニットに臨んだ機能液滴吐出ヘッドと機能液吸収材の上面とが接触することがない。すなわち、機能液吸収材が機能液滴吐出ヘッドと接触することなく、機能液滴吐出ヘッドから捨て吐出された機能液を直近で受けることができる。
【０００８】
この場合、機能液吸収材は、その上面がフラッシングボックスの周縁部上面と略面一となるように敷設されていることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、フラッシングボックスの周縁部上面が、機能液吸収材の上面から突出していない。このため、フラッシングユニットに対する機能液滴吐出ヘッドの相対的な水平移動に対し、フラッシングボックスの周縁部が干渉することがない。したがって、フラッシングユニットに対し、機能液滴吐出ヘッドを上下方向に相対的に移動させることなく、水平方向に相対的に移動させるだけで、機能液滴吐出ヘッドを機能液吸収材の直上部直近に臨ませることができ、フラッシングユニットに対し、機能液滴吐出ヘッドを上下方向に相対移動させるための移動機構を設ける必要がない。
【００１０】
これらの場合、一対の緊張締結部材のうち少なくとも一方は、機能液吸収材の縁部を係止する係止部材と、係止部材を介して、機能液吸収材に張力を付与する張力付与機構と、張力付与機構をフラッシングボックスに固定する固定部材と、
を有していることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、固定部材により張力付与機構がフラッシングボックスに固定される。このため、張力付与機構に張力付与のための可動部があっても、機能液吸収材に付与される張力が経時変化することなく、機能液吸収材の緊張状態を確実に維持することができる。
【００１２】
この場合、張力付与機構は、フラッシングボックスに設けられ、機能液吸収材の張り方向に進退自在に構成されたスライドブロックと、スライドブロックに対し張り方向に螺合すると共にフラッシングボックスに回転自在に係合して、スライドブロックを進退させる調整ねじと、から成ることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、調整ねじを回転させてスライドブロックを機能液吸収材の張り方向に進退させることで、機能液吸収材に付与される張力を調整することができる。このため、機能液吸収材の反り具合に応じて、機能液吸収材に適度な張力を容易に付与することができ、機能液吸収材を適切に張った状態にすることができる。
【００１４】
この場合、固定部材は、スライドブロックを貫通してフラッシングボックスに螺合する固定ねじで構成され、スライドブロックには、固定ねじが貫通すると共に進退方向に延在する長孔が形成されていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、機能液吸収材の張り方向に進退させたスライドブロックを、フラッシングボックスに対し、適度な張力を付与した状態で固定することができる。
【００１６】
これらの場合、係止部材は、機能液吸収材を貫通してスライドブロックに螺合する皿ねじで構成されていることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、螺合した係止部材の頭部は機能液吸収材の上面から沈み込むため、係止部材が機能液吸収材の上面から突出することがない。このため、係止部材の頭部上面と機能液滴吐出ヘッドのノズル面とが接触することなく、ノズル面とフラッシングユニットの機能液吸収材の上面との間隙を極力小さい値に設定することができる。
【００１８】
これらの場合、フラッシングボックスの底面に形成した排液開口を介してフラッシングボックス内の機能液を吸引する機能液吸引手段と、機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出に同期して、機能液吸引手段を駆動する吸引制御手段と、をさらに備えたことが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドから機能液が捨て吐出される間、機能液吸引手段により、フラッシングボックス内の機能液を吸引する。このため、機能液吸収材の目詰まりを防止することができ、機能液吸収材を常に機能液吸収可能な状態に保っておくことができる。また、機能液吸引手段を駆動することで、機能液吸収材の上面において、外部から機能液吸収材に向かう気流が生じる。このため、捨て吐出された機能液のミストを、確実にフラッシングユニットで受け、フラッシングユニットの周辺に飛散するのを有効に防止することができる。
【００２０】
この場合、排液開口は、フラッシングボックスの底面に分散配置した複数の排液口で構成されていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、フラッシングボックスの底面に分散配置された複数の排液口を介して、フラッシングボックス内の機能液を、液溜りを生ずることなく排出することができる。したがって、乾燥による機能液のこびり付きを防止することができる。
【００２２】
この場合、フラッシングボックスの底面には、その長辺方向に沿って延在する複数の排液溝が形成され、複数の排液口は、複数の排液溝の溝底に開口していることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、フラッシングボックス内の機能液を機能液吸収材から滴下させ、排液溝を介して排液口に円滑に導くことができる。
なお、この場合、各排液溝の溝底には、複数の排液口のうち一部のものをフラッシングボックスの長辺方向の略中央部に配設し、各排液溝は、その排液口に向かって下り傾斜に形成されていることが好ましい。これによれば、フラッシングボックス内の機能液を、排液溝を介して排液口に速やかに流下させることができる。
【００２４】
これらの場合、複数の排液口には、複数の吸引分岐管路がそれぞれ接続されており、各吸引分岐管路は、各排液口から略鉛直方向に延在すると共に、機能液吸引手段に連通する吸引管路に合流していることが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、各排液口から排出された機能液が各吸引分岐管路を略鉛直方向に流下し、円滑に吸引管路に導かれる。すなわち、排液口と吸引分岐管路とをＬ字継手やＴ字継手で接続したときのように、その屈曲部分に液溜りが生ずるようなことがない。
【００２６】
これらの場合、フラッシングボックスの長辺は、吐出ノズルの並び方向に延在し、且つ機能液吸収材は、並び方向に分割した複数の分割機能液吸収材で構成されており、一対の緊張締結部材は分割機能液吸収材毎に設けられ、且つ各緊張締結部材はフラッシングボックスの長辺に沿って配設されていることが好ましい。
【００２７】
この構成によれば、製造上サイズが限られた分割機能液吸収材を用いて大きな機能液吸収材を構成することができる。また、分割機能液吸収材毎に設けられた一対の緊張締結部材は、フラッシングボックスの長辺に沿って配設されている。すなわち、各緊張締結部材は、フラッシングボックスの中央部にはない。このため、各緊張締結部材に対して機能液滴吐出ヘッドから機能液が捨て吐出されることがない。したがって、機能液吸収材に吸収されず緊張締結部材の上面に残った機能液が、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に付着してノズル面を汚したり、ノズルから逆流してメニスカス面を不安定にしたりするおそれがない。
【００２８】
本発明の液滴吐出装置は、上記したフラッシングユニットと、ワークに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液を選択的に吐出して描画処理を行う描画装置と、を備えたことを特徴とする。
【００２９】
この構成によれば、機能液吸収材を平坦に敷設することにより、機能液吸収材が機能液滴吐出ヘッドと接触することなく、機能液滴吐出ヘッドから捨て吐出された機能液を直近で受けることができるフラッシングユニットを備えたことで、フラッシング処理を適切に行うことができる。
【００３０】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３１】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３２】
これらの構成によれば、フラッシング処理を適切に行うことができる液滴吐出装置を用いて製造されるため、高品質な電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００３３】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３４】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、液晶表示装置等のＦＰＤの製造ラインに組み込まれた描画システムに設置されており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、カラーフィルタ等のワーク上に機能液滴による成膜部を形成するものである。なお、以下に説明する基板のサイズ等の値は概数である。
【００３６】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、床上に設置した大型の共通架台（図示省略）と、共通架台上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド６２（キャリッジユニット２１）を搭載した描画装置１１と、描画装置１１に添設され、定期フラッシングユニット１１４等を有するメンテナンス手段１２とを備え、メンテナンス手段１２により機能液滴吐出ヘッド６２の機能維持・回復を行うと共に、描画装置１１によりワークＷ上に機能液を吐出する描画処理を行うようにしている。さらに、この液滴吐出装置１には、各部に圧力制御されたエアーを供給するエアー供給装置１４（図１０参照）、描画システム全体を統括制御する上位コンピュータ２に接続され液滴吐出装置１の各部を制御するコントローラ１３（制御部１２２、図６参照）等が組み込まれている。
【００３７】
また、図示しないが、液滴吐出装置１には、ロボットアームで構成されたワーク搬出入装置が添設されており、このワーク搬出入装置を介して、液滴吐出装置１にワークＷが導入される。このワークＷは、石英ガラスやポリイミド等の樹脂で構成された透明基板である。なお、この液滴吐出装置１は、大小様々なサイズのワークＷに対して描画処理を行うことができるが、本実施形態では、搭載可能な最大サイズ（１５００ｍｍ×１８００ｍｍ）のワークＷに対する描画処理について説明する。
【００３８】
まず、液滴吐出装置１における描画装置１１について説明する。描画装置１１は、それぞれ複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド６２およびこれを搭載したキャリッジ６３から成る複数（７個）のキャリッジユニット２１と、共通架台上に設置され、ワークＷを載置する吸着テーブル４１を有し、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２２と、Ｘ軸テーブル２２を跨ぐようにして配設され、７個のキャリッジユニット２１を個々にＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル２３と、機能液を貯留する機能液タンク（図示省略）および各機能液滴吐出ヘッド６２に供給する機能液の水頭圧を調整する圧力調整弁２５を有し、各機能液滴吐出ヘッド６２に機能液を供給する機能液供給手段２４（図５参照）と、ワークＷやキャリッジユニット２１等を画像認識する各種カメラを有する画像認識手段２６とを備えている。
【００３９】
そして、Ｘ軸テーブル２２によるワークＷの移動軌跡と、Ｙ軸テーブル２３によるキャリッジユニット２１の移動軌跡とが交わる領域が、描画処理を行う描画エリア３１となっており、また、Ｙ軸テーブル２３によるキャリッジユニット２１の移動軌跡上のＸ軸テーブル２２から外側に外れた領域が、メンテナンスエリア３２となっており、このメンテナンスエリア３２に上記のメンテナンス手段１２が設置されている。一方、Ｘ軸テーブル２２の手前側の領域は、液滴吐出装置１に対するワークＷの搬出入を行うワーク搬出入エリア３３となっている。
【００４０】
Ｘ軸テーブル２２は、導入されたワークＷを吸着セットする吸着テーブル４１と、吸着テーブル４１の下部に接続され、吸着テーブル４１を介してワークＷのθ位置を微調整（θ補正）するワークθ軸テーブル４２と、ワークθ軸テーブル４２を支持するセットテーブル４３と、セットテーブル４３をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ４４と、Ｘ軸方向に延在し、吸着テーブル４１を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸エアースライダ４４の移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール４５，４５と、吸着テーブル４１の位置を把握するためのＸ軸リニアスケール（図示省略）とを備えている。そして、一対のＸ軸リニアモータを駆動すると、一対のＸ軸ガイドレール４５，４５をガイドにしながら、Ｘ軸エアースライダ４４をＸ軸方向に移動し、吸着テーブル４１にセットされたワークＷがＸ軸方向に移動する。
なお、本実施形態では、ワークＷ（吸着テーブル４１）がワーク搬出入エリア３３側から描画エリア３１側（図２の下側から上側）に移動するときを往動とし、描画エリア３１側からワーク搬出入エリア３３側（同図の上側から下側）に移動するときを復動とする。
【００４１】
吸着テーブル４１は、平面視略正方形に形成され、その一辺の長さは、ワークＷの長辺の長さに合わせて１８００ｍｍに設定されており、ワークＷを縦置き（ワークＷの長辺をＸ軸方向と平行にする）および横置き（ワークＷの長辺をＹ軸方向と平行にする）のいずれか任意の向きで、且つセンター中心でセット可能になっている。もっとも、本実施形態では、ワークＷを横置きでセットするものとする。
【００４２】
なお、セットテーブル４３上には、吸着テーブル４１に対しワークＷの往動側（図３の左側）に隣接して、ドット抜け検査台１１６が配設されている。このドット抜け検査台１１６には、上面に巻取り自在な検査紙が張設されており、この検査紙に対して全機能液滴吐出ヘッド７１から検査用に機能液滴を吐出させ、その描画結果を後述するドット認識カメラ１０２で画像認識することで、ドット抜け、飛行曲がり等の不良吐出の有無が検査（ドット抜け検査）される。さらに、セットテーブル４３上には、ドット抜け検査台１１６に対しワークＷの往動側に隣接して、後述する定期フラッシングボックス１１４が設けられている。
【００４３】
一方、Ｙ軸テーブル２３は、Ｙ軸方向に延在する前後一対の支持スタンド５６，５６上に支持され、描画エリア３１およびメンテナンスエリア３２間を架け渡すと共に、７個のキャリッジユニット２１を、描画エリア３１とメンテナンスエリア３２との間で個々に移動させるものである。Ｙ軸テーブル２３は、７個のキャリッジユニット２１をそれぞれ垂設する７個のブリッジプレート５１がＹ軸方向に整列するよう、これを両持ちで支持する７組のＹ軸スライドテーブルと、Ｙ軸方向に延在し、各組のＹ軸スライドテーブルを介して各ブリッジプレート５１をＹ軸方向に移動させる前後一対のＹ軸リニアモータ（図時省略）と、Ｙ軸方向に延在し、７個のブリッジプレート５１の移動を案内する前後各２本（計４本）のＹ軸ガイドレール（図示省略）と、各キャリッジユニット２１の移動位置を検出するＹ軸リニアスケール（図示省略）とを備えている。
【００４４】
そして、一対のＹ軸リニアモータを駆動すると、７組のＹ軸スライドテーブルをそれぞれ独立して移動させ、７個のキャリッジユニット２１を個別にＹ軸方向へ移動させることができる。もちろん、７組のＹ軸スライドテーブルを同時にＹ軸方向に移動させることにより、７個のキャリッジユニット２１を一体としてＹ軸方向に移動させることも可能である。
【００４５】
７個のキャリッジユニット２１は、Ｙ軸テーブル２３の７個のブリッジプレート５１によりそれぞれ垂設されてＹ軸方向に並んでおり、各キャリッジユニット２１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド６２から成るヘッドユニット６１（図５参照）と、１２個の機能液滴吐出ヘッド６２および１２個の圧力調整弁２５を搭載するキャリッジ６３とから構成されている。
【００４６】
各キャリッジ６３は、１２個の機能液滴吐出ヘッド６２および１２個の圧力調整弁２５をそれぞれ位置決め固定する平面視略平行四辺形の支持プレート６５（図５参照）と、支持プレート６５を保持するキャリッジ本体６６と、キャリッジ本体６６を吊設すると共に、キャリッジ本体６６の上部に連結され、キャリッジ本体６６を介してヘッドユニット６１のθ位置を微調整（θ軸補正）するヘッドθ軸テーブル６７と、ヘッドθ軸テーブル６７の上部に連結され、ヘッドθ軸テーブル６７およびキャリッジ本体６６を介してヘッドユニット６１のＺ位置を微調整（Ｚ軸補正）するヘッドＺ軸テーブル６８とを有している。なお、図示しないが、各支持プレート６５には、画像認識を前提として、各キャリッジユニット２１（ヘッドユニット６１）をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準となる一対の基準ピンが設けられている。
【００４７】
図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド６２は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２を有する機能液導入部７１と、機能液導入部７１に連なる２連のヘッド基板７３と、機能液導入部７１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体７４とを備えている。接続針７２は、圧力調整弁２５を介して機能液タンクに接続され、機能液滴吐出ヘッド６２のヘッド内流路に機能液を供給する。また、ヘッド本体７４は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティ８１と、２本のノズル列８４，８４を相互に平行に形成したノズル面８３を有するノズルプレート８２とを有している。また、ヘッド基板７３には、２連のコネクタ７５，７５が設けられており、各コネクタ７５は、フレキシブルフラットケーブルを介してヘッドドライバ１３１（図６参照）に接続されている。
【００４８】
各ノズル列８４の長さは、例えば１インチ（略２５．４ｍｍ）であって、各ノズル列８４は１８０個のノズル８５が等ピッチ（略１４０μｍ）で並べられて構成されている。そして、一方のノズル列８４は、他方のノズル列８４に対して、ノズル列方向に半ピッチ（７０μｍ）分ずれており、ドット密度（解像度）は３６０ｄｐｉである。
【００４９】
また、ヘッド内流路の構造上、両端部に位置するノズル８５からの吐出量が中央部に位置するノズル８５からの吐出量に比べて多くなってしまうため、両端部の各１０個のノズル８５を不吐出ノズルとし、中央部の１６０個のノズル８５を吐出ノズルとして、吐出ノズルのみから機能液を吐出し、不吐出ノズルからは機能液を吐出しないようにしている。
【００５０】
図５に示すように、各機能液滴吐出ヘッド６２は、キャリッジ６３に搭載された状態では、２本のノズル列８４，８４がＹ軸方向と平行になるように支持プレート６５に固定されている。そして、各キャリッジユニット２１の１２個の機能液滴吐出ヘッド６２は、その幅方向（Ｘ軸方向）に密に重ね合わせると共に、全吐出ノズル８５（１６０×１２個）がＹ軸方向に連続するようにして、階段状に配設されている。
【００５１】
ここで、機能液滴吐出ヘッド１６の厚さ方向（Ｘ軸方向）の寸法は、２８ｍｍである。そのため、ヘッドユニット６１（１２個の機能液滴吐出ヘッド６２）のＸ軸方向の寸法は、３３６ｍｍ（２８×１２ｍｍ）である。
【００５２】
一方、各キャリッジユニット２１の全（１２個）機能液滴吐出ヘッド６２のそれぞれ全（１６０個）吐出ノズルにより、部分描画ラインＬｐが構成され、７個の部分描画ラインＬｐがＹ軸方向に連続して、１の描画ラインＬが構成される。そのため、各部分描画ラインＬｐの長さは、略２７１ｍｍ（２５．４ｍｍ／１８０×１６０×１２）であり、描画ラインＬの長さは、略１８９７ｍｍ（２７１ｍｍ×７）である。
【００５３】
このように、描画ラインＬの長さは、ワークＷのＹ軸方向の描画幅（１８００ｍｍ）に対応しているため、１回の吐出走査でワークＷの全域に描画処理（いわゆるラインプリント方式）を行うことができる。
【００５４】
図１ないし図３に示すように、画像認識手段２６は、ワーク搬出入エリア３３の前後両側に臨むように配設され、ワークＷの両長辺部分にそれぞれ形成された２つのワークアライメントマーク（図示省略）をそれぞれ画像認識する２台のワーク認識カメラ１０１と、Ｘ軸テーブル２２のＸ軸エアースライダ４４に連結され、各キャリッジ６３（支持プレート６５）の２つの基準ピンを画像認識するヘッド認識カメラ（図示省略）と、上記のＹ軸テーブル２３に添設されたカメラ移動機構（図示省略）によりＹ軸方向に移動可能にそれぞれ搭載され、ワークＷ等に吐出された機能液滴（ドット）を画像認識する２台のドット認識カメラ１０２とを有している。これらの各種カメラの画像認識結果に基づいて、上述したワークＷやヘッドユニット６１の位置補正が行われる。
【００５５】
次に、図１ないし図３を参照して、液滴吐出装置１におけるメンテナンス手段１２について説明する。メンテナンス手段１２は、メンテナンスエリア３２に配設され、機能液滴吐出ヘッド６２内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う７個の吸引ユニット１１１と、機能液滴吐出ヘッド６２のノズル面８３を払拭するワイピングユニット１１２と、７個の吸引ユニット１１１およびワイピングユニット１１２をそれぞれ個別に昇降可能に支持する８個のユニット昇降機構と、これらを支持するアングル架台１１８とを備えている。さらに、メンテナンス手段１２は、ワイピングユニット１１２の描画エリア３１側に配設された飛行観測ユニット１１３と、上記のセットテーブル４３上に配設された定期フラッシングユニット１１４と、吸着テーブル４１の前後両側に配設された一対の描画前フラッシングボックス１１５，１１５とを備えている。
【００５６】
７個の吸引ユニット１１１は、７個のキャリッジユニット２１にそれぞれ対応しており、各吸引ユニット１１１は、各キャリッジユニット２１に対して下方から臨み、１２個の機能液滴吐出ヘッド６２のノズル面８３にそれぞれ封止させる１２個のキャップ（図示省略）を備えている。これにより、各機能液滴吐出ヘッド６２のノズル８５の機能液が乾燥して吐出機能が低下することを防止できる。さらに、各キャップをノズル面８３に封止させた状態でノズル８５から機能液を吸引し、機能液滴吐出ヘッド６２内で増粘した機能液を排出する。
【００５７】
ワイピングユニット１１２は、吸引ユニット１１１の描画エリア３１側に配置されており、機能液滴吐出ヘッド６２の吸引等により、機能液が付着して汚れたノズル面８３を、ワイピングシート１１２ａを用いて拭き取る。そして、上記の吸引処理と、このワイピングとにより、ノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド６２の吐出機能を回復させることができる。
【００５８】
飛行観測ユニット１１３は、ＣＣＤカメラおよびストロボ等から構成されており、各機能液滴吐出ヘッド６２から吐出された機能液滴の飛行状態を撮像して、その画像認識結果に基づいて、機能液滴の飛行曲がりやサテライト（吐出された液体に起因して霧状に浮遊する微粒子）の有無、およびノズルの目詰まりがあるか否か等を検査している。
【００５９】
定期フラッシングユニット１１４は、詳細は後述するが、ワークＷの交換時等に行う定期フラッシングを受けるためのものである。上記のセットテーブル４３上に設けられており、ワークＷの交換のために吸着テーブル４１がワーク搬出入エリア３３に臨むとき、定期フラッシングユニット１１４が描画エリア３１に臨み、機能液滴吐出ヘッド６２の全ノズル８５（吐出ノズル）からの捨て吐出を受けるようになっている。この定期フラッシングにより、機能液滴吐出ヘッド６２のノズル８５が乾燥して吐出機能が低下すること（ノズル詰まり）を防止できる。
【００６０】
一対の描画前フラッシングボックス１１５，１１５は、ワークＷに機能液を吐出させる直前（一連の描画動作中）に行う描画前フラッシングを受けるためのものである。吸着テーブル４１をＸ軸方向に挟むように配設されており、ワークＷの往復動に伴う機能液滴吐出ヘッド６２の吐出駆動の直前に行われる全ノズル８５（吐出ノズル）からの捨て吐出を受けるようになっている。この描画前フラッシングにより、機能液滴吐出ヘッド６２からの機能液滴の吐出が安定した状態で、ワークＷに機能液滴を吐出することができる。
【００６１】
なお、詳細は後述するが、一対の描画前フラッシングボックス１１５，１１５および定期フラッシングユニット１１４の定期フラッシングボックス１５１は、それぞれ平面視長方形の箱状に形成されており、その底面には、機能液を吸収する機能液吸収材１５２（定期フラッシングボックス１５１についてのみ図７ないし図９に示す）が敷設されている。そして、捨て吐出された機能液のミストが周辺に飛散しないようにすべく、機能液滴吐出ヘッド６２のノズル面８３と各機能液吸収材の上面との間隙が極力小さい値（例えば２ｍｍ）に設定されており、捨て吐出された機能液を機能液滴吐出ヘッド６２の直近で受けるようになっている。
【００６２】
次に、図６を参照して、液滴吐出装置１全体の制御系について説明する。液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、上記の上位コンピュータ２と、機能液滴吐出ヘッド６２、Ｘ軸テーブル２２、Ｙ軸テーブル２３、メンテナンス手段１２等を駆動する各種ドライバを有する駆動部１２１と、駆動部１２１を含め液滴吐出装置１全体を統括制御する制御部１２２（コントローラ１３）とを備えている。
【００６３】
上位コンピュータ２は、コントローラ１３に接続されたコンピュータ本体１２６に、キーボード１２７や、キーボード１２７による入力結果等を画像表示するディスプレイ１２８等が接続されて構成されている。
【００６４】
駆動部１２１は、機能液滴吐出ヘッド６２を吐出駆動制御するヘッドドライバ１３１と、Ｘ軸テーブル２２およびＹ軸テーブル２３の各モータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ１３２と、メンテナンス手段１２の吸引ユニット１１１、ワイピングユニット１１２およびユニット昇降機構（図示省略）を駆動制御するメンテナンス用ドライバ１３３とを備えている。
【００６５】
制御部１２２は、ＣＰＵ１４１と、ＲＯＭ１４２と、ＲＡＭ１４３と、Ｐ−ＣＯＮ１４４とを備え、これらは互いにバス１４５を介して接続されている。ＲＯＭ１４２は、ＣＰＵ１４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や画像認識を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。
【００６６】
ＲＡＭ１４３は、各種レジスタ群のほか、ワークＷに機能液の吐出を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷおよび機能液滴吐出ヘッド６２の位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
【００６７】
Ｐ−ＣＯＮ１４４には、駆動部１２１の各種ドライバのほか、画像認識手段２６の各種カメラやエアー供給装置１４が接続されており、ＣＰＵ１４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ１４４は、上位コンピュータ２からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス１４５に取り込むと共に、ＣＰＵ１４１と連動して、ＣＰＵ１４１等からバス１４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部１２１に出力する。
【００６８】
そして、ＣＰＵ１４１は、ＲＯＭ１４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１４４を介して駆動部１２１等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。例えば、ＣＰＵ１４１は、機能液滴吐出ヘッド６２、Ｘ軸テーブル２２およびＹ軸テーブル２３を制御して、所定の液滴吐出条件および所定の移動条件でワークＷに描画を行う。
【００６９】
次に、図１ないし図３を参照して、描画装置１１によるワークＷへの一連の描画動作およびその間に行われるメンテナンス処理について説明する。まず、描画処理の終了したワークＷに代えて、新たに描画処理を行うワークＷを搭載するため、Ｘ軸テーブル２２を駆動して、ワークＷ（吸着テーブル４１）をワーク搬出入エリア３３に移動させる。このとき、吸着テーブル４１の往動側に配設されたドット抜け検査台１１６上には、上記のドット認識カメラ１０２が臨み、そのドット抜け検査台１１６の往動側に配設された定期フラッシングユニット１１４上には、７個のキャリッジユニット２１が臨んでいる。
【００７０】
そして、上記のワーク搬出入装置により、描画後のワークＷを液滴吐出装置１から回収してこれを装置外に搬出すると共に、描画前のワークＷを液滴吐出装置１に導入し、吸着テーブル４１にセットする。続いて、上記のワーク認識カメラ１０１により、セットされたワークＷを撮像し、その画像認識結果に基づいて、ワークθ軸テーブル４２によるθ軸方向の位置補正と、ワークＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置データ補正とを行う。なお、予め、ワークＷの端部等に吐出された検査用のドットをドット認識カメラ１０２により撮像し、その画像認識結果に基づいて、各キャリッジユニット２１のヘッドユニット６１の位置を補正済みである。
【００７１】
また、このワークＷのセットおよびワークＷの位置補正が行われている間、定期フラッシングユニット１１４上に臨んだ７個のキャリッジユニット２１の全機能液滴吐出ヘッド６２の全ノズル８５（吐出ノズル）から、捨て吐出（定期フラッシング）を行う。この捨て吐出に同期して、定期フラッシングユニット１１４のエゼクタ１５４を駆動し、定期フラッシングボックス１５１内の機能液を吸引する（詳細は後述する）。また、ドット抜け検査台１１６上に臨んだドット認識カメラ１０２により、先の描画処理の吸着テーブル４１の最後の復動時に、機能液滴吐出ヘッド６２の全ノズル８５（吐出ノズル）からドット抜け検査台１１６に対し検査用に吐出された機能液滴の描画結果を撮像する。
【００７２】
その画像認識の結果、ドット抜け（不吐出）等の吐出不良が確認されない場合は、ワークＷへの吐出動作に移行する。一方、ドット抜け（不吐出）等の吐出不良が確認された場合は、上記の定期フラッシングを一時中止し、Ｙ軸テーブル２３を駆動して、各キャリッジユニット２１をメンテナンスエリア３２に移動させ、吸引ユニット１１１およびワイピングユニット１１２により吐出機能回復処理を行い、各キャリッジユニット２１を描画エリア３１に戻す。このメンテナンス処理の後、ドット抜け検査台１１６をキャリッジユニット２１の直下を通過させながら、機能液滴吐出ヘッド６２からドット抜け検査台１１６に対し検査用の機能液滴を吐出し、再びドット抜け検査を行う。その画像認識の結果、ドット抜け（不吐出）等の吐出不良が確認されなければ、ワークＷへの吐出動作に移行する。
【００７３】
なお、上述したように、Ｙ軸テーブル２３は、７個のキャリッジユニット２１を個々に移動可能であることから、ドット抜け検査で吐出不良が確認された機能液滴吐出ヘッド６２を搭載したキャリッジユニット２１およびそれよりメンテナンスエリア３２側に位置するキャリッジユニット２１のみメンテナンスエリア３２に移動させてメンテナンス処理を行い、他のキャリッジユニット２１は描画エリア３１に残したまま、定期フラッシングを続けるようにしてもよい。
【００７４】
このようにして、ワークＷに対する吐出動作の準備が整うと、描画装置１１は、ワークＷをＸ軸テーブル２２によりＸ軸方向に往動させると共に、これに同期して７個のキャリッジユニット２１の各機能液滴吐出ヘッド６２を選択的に駆動させて、ワークＷに対する機能液の吐出（描画）を行う。続いて、ワークＷを復動させながら、再度ワークＷに対する機能液の吐出を行う。このようにワークＷのＸ軸方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド７２の駆動とを複数回（例えば往動２回、復動２回）繰り返すことで、各画素領域５０７ａに所定量の機能液が吐出・着弾し、ワークＷに対する描画が完了する。なお、ワークＷの往動・復動毎に、Ｙ軸テーブル２３により各キャリッジユニット２１をＹ軸方向に微小距離（例えば、ノズルピッチの１／８の寸法分）移動させることが好ましく、これによれば、各画素領域５０７ａの全域に隈なく機能液滴を吐出・着弾させることができる。
【００７５】
ここで、定期フラッシングユニット１１４について詳細に説明する。定期フラッシングユニット１１４は、上述したように、セットテーブル４３上に配設されており、ワークＷの交換時等に行われる定期フラッシングにおいて、捨て吐出された機能液を機能液滴吐出ヘッド６２の直近で受けるものである。
【００７６】
図７ないし図９に示すように、定期フラッシングユニット１１４は、上面を開放した定期フラッシングボックス１５１と、定期フラッシングボックス１５１の上面に敷設したシート状の機能液吸収材１５２と、Ｙ軸方向に複数組（１２組）設けられ、機能液吸収材のＸ軸方向に対向する２つの縁部にそれぞれ係止してＸ軸方向の張力を付与した状態で、機能液吸収材１５２を定期フラッシングボックス１５１に締結する一対の緊張締結部材１５３，１５３と、定期フラッシングボックス１５１の底面に形成した複数の排液口１６７を介して、定期フラッシングボックス１５１内の機能液を吸引するエゼクタ１５４（図１０参照）と、セットテーブル４３上に固定され、定期フラッシングボックス１５１を高さ調整可能に支持するボックススタンド１５５とを備えている。
【００７７】
さらに、図１０に示すように、定期フラッシングボックス１５１は、エゼクタ１５４を介して、廃液タンク１５６に接続されており、各機能液滴吐出ヘッド６２により定期フラッシングボックス１５１に吐出された機能液は、廃液タンク１５６に回収される。
【００７８】
定期フラッシングボックス１５１は、平面視長方形の箱状に形成され、その長辺が機能液滴吐出ヘッド６２のノズル８５の並び方向（Ｙ軸方向）に延在し、短辺がＸ軸方向に延在している（図２参照）。長辺の長さ（内寸）は２０００ｍｍ、短辺の長さ（内寸）は３５０ｍｍである。すなわち、定期フラッシングボックス１５１は、長辺が描画ラインの長さ（１８９７ｍｍ）に対応し、且つ短辺がヘッドユニット６１のＸ軸方向の寸法（３００ｍｍ）に対応したサイズに構成されており、全（１２×７個）機能液滴吐出ヘッド６２からの捨て吐出を受けることができるようになっている。
なお、上述した一対の描画前フラッシングボックス１１５，１１５についても、描画ラインＬの長さに対応させて、長辺（Ｙ軸方向）の長さが２０００ｍｍに構成されているが、描画前フラッシングは、各機能液滴吐出ヘッド６２に対し一対の描画前フラッシングボックス１１５，１１５をＸ軸方向に移動させながら行われるため、短辺（Ｘ軸方向）の長さは５０ｍｍ程度で足りる。そのため、各描画前フラッシングボックス１１５に敷設された機能液吸収材（図示省略）を幅狭に構成することができるため、機能液吸収材の反り（後述する）による影響が小さい。
【００７９】
定期フラッシングボックス１５１の底面１５１ａには、一方の長辺に沿って、緊張締結部材１５３のスライドブロック１９１（後述する）をＸ軸方向（機能液吸収材１５２の張り方向）に進退自在に収容するためのブロック収容凹部１６１が１２箇所に形成されている。各ブロック収容凹部１６１の底面には、スライドブロック１９１を固定ねじ１８３（後述する）により固定するための固定ねじ穴（雌ねじ、図示省略）が形成されている。定期フラッシングボックス１５１の周縁部１６３には、１２個のブロック収容凹部１６１がそれぞれ形成された位置に対応して、周縁部１６３の一部を上面から深くスリット状に切り欠いた１２個の係合部１６４が形成されている。各係合部１６４は、底部１６４ａが半円形に形成されており、この底部１６４ａに位置して緊張締結部材１５３の調整ねじ１９２（後述する）が回転自在に係合する。また、定期フラッシングボックス１５１の底面には、他方の長辺に沿って、１２個のブロック収容凹部１６１にそれぞれ対向する位置に、緊張締結部材１５３の締結ねじ１８６（後述する）が螺合する１２個の締結ねじ穴１６５（雌ねじ）が形成されている。
なお、本実施形態では、１２個のスライドブロック１９１を、一方の長辺に沿って配設する構成であるが、２つの長辺に分散して（例えば１個ずつ交互に）配設する構成であってもよい。
【００８０】
また、定期フラッシングボックス１５１の底面１５１ａには、その長辺方向に沿って延在する４本の排液溝１６６が形成されている。また、各排液溝１６６の溝底１６６ａには、定期フラッシングボックス１５１の長辺方向に一定の間隔を存して、複数（８個）の排液口１６７が開口している。すなわち、定期フラッシングボックス１５１全体では、Ｘ軸方向に沿った４個１組の排液口１６７がＹ軸方向に８組並び、計３２個の排液口１６７が形成されている。さらに、各排液溝１６６は、その溝底１６６ａに開口した複数の排液口１６７のうち定期フラッシングボックス１５１の長辺方向の略中央部に位置するものに向かって、下り傾斜に形成されている。
【００８１】
定期フラッシングボックス１５１の周縁部１６３の上面１６３ａは、定期フラッシングボックス１５１の底面１５１ａ（排液溝１６６を構成する凸部上面）に比べて、機能液吸収材１５２の厚さ（例えば、５ｍｍ）に対応した寸法だけ、高くなっている。そのため、後述するように、機能液吸収材１５２が一対の緊張締結部材１５３，１５３から付与された張力により伸ばされて定期フラッシングボックス１５１の上面に敷設されると、機能液吸収材１５２の上面１６３ａが、定期フラッシングボックス１５１の周縁部１６３の上面１６３ａと略面一となる。
【００８２】
図１０に示すように、エゼクタ１５４は、上記のエアー供給装置１４から圧縮エアー（作動流体）の供給を受け、定期フラッシングボックス１５１内の機能液に吸引力を作用させる。このエゼクタ１５４に供給される圧縮エアーの流量は、上記のコントローラ１３により制御されている。また、エゼクタ１５４と定期フラッシングボックス１５１とを連通する吸引管路は、エゼクタ１５４に接続された吸引チューブ１５７と、３２個の排液口１６７に接続されると共に、吸引チューブ１５７に合流する３２本の吸引分岐チューブ１５８とを有している。各吸引分岐チューブ１５８は、硬質樹脂製の直管で構成されており、ストレート継手１６８を介して各排液口１６７に接続されており、各排液口１６７から鉛直方向に延在している。これにより、各排液口１６７から排出された機能液が円滑に吸引チューブ１５７に導かれるようになっている。
【００８３】
そして、上述したように、機能液滴吐出ヘッド６２の捨て吐出に同期して、エゼクタ１５４を駆動することで、機能液吸収材１５２の目詰まりが生ずることがない。さらに、定期フラッシングボックス１５１の底面１５１ａに複数の排液溝１６６が構成されているため、定期フラッシングボックス１５１内の機能液を機能液吸収材１５２から排液溝１６６に滴下させ、排液溝１６６を介して排液口１６７に円滑に導くことができる。そして、定期フラッシングボックス１５１の底面に分散配置された複数の排液口１６７を介して、定期フラッシングボックス１５１内の機能液を排出することができるため、定期フラッシングボックス１５１の底面に液溜りが生ずることがない。したがって、乾燥による機能液のこびり付きを防止することができ、機能液吸収材１５２を常に機能液吸収可能な状態に保っておくことができる。
【００８４】
機能液吸収材１５２は、機能液滴吐出ヘッド６２のノズル８５の並び方向（Ｙ軸方向）に分割した４枚の分割機能液吸収材１７１で構成されている。すなわち、３００ｍｍ×５００ｍｍのサイズの分割機能液吸収材１７１を４枚Ｙ軸方向に並べて、３００ｍｍ×２０００ｍｍのサイズの機能液吸収材１５２が構成される（図では、４枚の分割機能液吸収材１７１のうち３枚敷設された状態を示す）。各分割機能液吸収材１７１は、機能液を吸収可能なポリオレフィン系親水性多孔質焼結成形体等の素材から成るシート状のものであって、焼結時の残留応力等により平坦でなく反った形状をしている。各分割機能液吸収材１７１は、３組の緊張締結部材１５３により、定期フラッシングボックス１５１に締結されている。
【００８５】
各組の緊張締結部材１５３は、一対の緊張締結部材１５３，１５３で構成されており、一方の緊張締結部材１５３は、分割機能液吸収材１７１を貫通してスライドブロック１９１の係止ねじ穴２０２（後述する）に螺合することにより、分割機能液吸収材１７１のＸ軸方向に対向する２つの縁部１７１ａ，１７１ｂの一方１７１ａ（ワークＷの復動側、図８（ａ）の下方）を係止する係止ねじ１８１と、係止ねじ１８１を介して、分割機能液吸収材１７１に張力を付与する張力付与機構１８２と、張力付与機構１８２を定期フラッシングボックス１５１に固定する固定ねじ１８３とを有している。また、他方の緊張締結部材１５３は、分割機能液吸収材１７１を貫通して、分割機能液吸収材１７１の他方の縁部１７１ｂ（ワークＷの往動側、図８（ａ）の上方）を係止し、分割機能液吸収材１７１を定期フラッシングボックス１５１に締結する締結ねじ１８６で構成されている。
【００８６】
張力付与機構１８２は、上記のブロック収容凹部１６１に収容され、Ｘ軸方向に貫通させた調整ねじ孔２０１（雌ねじ）を形成したスライドブロック１９１と、スライドブロック１９１の調整ねじ孔２０１に螺合すると共に上記の係合部１６４に回転自在に係合する調整ねじ１９２とから構成されている。
【００８７】
調整ねじ１９２は、六角の頭部１９６と、頭部に連なる環状凹部１９７と、環状凹部１９７に連なる雄ねじ部１９８とで構成されており、環状凹部１９７で定期フラッシングボックス１５１の係合部１６４に回転自在に係合すると共に、雄ねじ部１９８でスライドブロック１９１の調整ねじ孔２０１に螺合している。この環状凹部１９７は、係合部１６４の切欠き幅と同径に形成されている。すなわち、調整ねじ１９２は、定期フラッシングボックス１５１の周縁部１６３の上面側から係合部１６４に装着され、その底部１６４ａに位置して回転自在に係合するようになっている。そして、この調整ねじ１９２と調整ねじ孔２０１との間に構成したねじ機構により、スライドブロック１９１に対し調整ねじ１９２を回転させると、スライドブロック１９１はＸ軸方向に進退する。
【００８８】
また、スライドブロック１９１の上面には、上記の係止ねじ１８１が螺合する係止ねじ穴２０２が形成され、さらに、係止ねじ穴２０２をＹ軸方向に挟むようにして、上記の固定ねじ１８３が貫通すると共にＸ軸方向に延在する一対の長孔２０３，２０３が形成されている。そのため、係止ねじ１８１が分割機能液吸収材１７１を貫通して係止ねじ穴２０２に螺合することで、分割機能液吸収材１７１の縁部１７１ａ（ワークＷの復動側）が係止される。そして、調整ねじ１９２によりスライドブロック１９１をＸ軸方向に進退させ、分割機能液吸収材１７１に適度な張力を付与し、この状態で、各長孔２０３を貫通する固定ねじ１８３によりスライドブロック１９１を定期フラッシングボックス１５１に固定することができる。したがって、各分割機能液吸収材１７１に付与される張力が経時変化することなく、各分割機能液吸収材１７１の緊張状態を確実に維持することができる。
【００８９】
なお、係止ねじ１８１および締結ねじ１８６は、皿ねじで構成されている。これによれば、螺合した係止ねじ１８１および締結ねじ１８６の頭部は各分割機能液吸収材１７１の上面から沈み込むため、係止ねじ１８１および締結ねじ１８６が機能液吸収材１５２の上面から突出することがない。したがって、機能液滴吐出ヘッド６２のノズル面８３と機能液吸収材１５２の上面との間隙を極力小さい値（例えば２ｍｍ）に設定することができる。
【００９０】
以下、各分割機能液吸収材１７１の敷設方法について説明する。予め、各ブロック収容凹部１６１には、スライドブロック１９１を収容しておく。そして、まず、締結ねじ１８６により、分割機能液吸収材１７１の縁部１７１ｂ（ワークＷの往動側）を係止し、定期フラッシングボックス１５１に締結する。
【００９１】
続いて、係止ねじ１８１により、分割機能液吸収材１７１の縁部１７１ａ（ワークＷの復動側）を係止する。次に、調整ねじ１９２を回転してスライドブロック１９１をＸ軸方向にスライドさせ、各分割機能液吸収材１７１の反り具合に応じて、適度な張力を付与する。この状態で、固定ねじ１８３により、スライドブロック１９１を定期フラッシングボックス１５１に固定する。
【００９２】
以上のように、各分割機能液吸収材１７１は、一対の緊張締結部材１５３，１５３により張力が付与された状態で、定期フラッシングボックス１５１に締結される。このため、分割機能液吸収材１７１は、元々は反ったものであっても、付与された張力により平坦に伸ばされて（張った状態で）、定期フラッシングボックス１５１の上面に敷設される。したがって、機能液滴吐出ヘッド６２のノズル面８３と機能液吸収材１５２の上面との間隙を極力小さい値（例えば２ｍｍ）に設定しても、定期フラッシングユニット１１４に臨んだ機能液滴吐出ヘッド６２と機能液吸収材１５２の上面とが接触することがない。すなわち、機能液吸収材１５２が機能液滴吐出ヘッド６２と接触することなく、機能液滴吐出ヘッド６２から捨て吐出された機能液を直近で受けることができる。
【００９３】
また、上述したように、各分割機能液吸収材１７１が一対の緊張締結部材１５３，１５３から付与された張力により伸ばされて定期フラッシングボックス１５１の上面に敷設されると、各分割機能液吸収材１７１の上面１６３ａが、定期フラッシングボックス１５１の周縁部１６３の上面１６３ａと略面一となる。これによれば、定期フラッシングユニット１１４に対する機能液滴吐出ヘッド６２の相対的な水平移動に対し、定期フラッシングボックス１５１の周縁部１６３が干渉することがない。したがって、定期フラッシングユニット１１４に対し、機能液滴吐出ヘッド６２を上下方向に相対的に移動させることなく、上述したように、Ｘ軸テーブル２２により定期フラッシングユニット１１４をＸ軸方向へ移動させるだけで、機能液滴吐出ヘッド６２を機能液吸収材１５２の直上部直近に臨ませることができる。
【００９４】
さらに、分割機能液吸収材１７１毎に設けられた一対の緊張締結部材１５３、５３は、フラッシングボックス１５１の長辺に沿って配設されている。すなわち、各緊張締結部材１５３は、フラッシングボックス１５１の中央部にはない。このため、各緊張締結部材１５３に対して機能液滴吐出ヘッド６２から機能液が捨て吐出されることがない。したがって、分割機能液吸収材１７１に吸収されず緊張締結部材１５３の上面に残った機能液が、機能液滴吐出ヘッド６２のノズル面８３に付着してノズル面８３を汚したり、ノズル８５から逆流してメニスカス面を不安定にしたりするおそれがない。
【００９５】
なお、本実施形態では、一対の緊張締結部材１５３，１５３のうち、一方の緊張締結部材１５３を張力付与機構１８２等から構成し、他方の緊張締結部材１５３を締結ねじ１８６で構成したが、他方の緊張締結部材１５３を、締結ねじ１８６に代えて、張力付与機構１８２等で構成してもよい。すなわち、一対の緊張締結部材１５３，１５３を、それぞれ係止ねじ１８１、張力付与機構１８２および固定ねじ１８３で構成してもよい。
【００９６】
また、張力付与機構１８２については、スライドブロック１９１を固定ねじ１８３により定期フラッシングボックス１５１に固定する構成に代えて、ブロック収容凹部１６１の定期フラッシングボックス１５１の周縁部１６３に対向する側壁部１６１ａに、スライドブロック１９１を定期フラッシングボックス１５１の周縁部１６３側に付勢する付勢ばねを取り付けた構成とし、この付勢ばねの付勢力により各分割機能液吸収材１７１に張力を付与するようにしてもよい。そして、この場合も、定期フラッシングボックス１５１の周縁部１６３に形成された切欠き部（上記の係合部１６４）を介して、プッシャー等によりスライドブロック１９１をＸ軸方向に進退させることで、各分割機能液吸収材１７１の反り具合に応じて、適度な張力を付与することができる。
【００９７】
さらに、一対の描画前フラッシングボックス１１５，１１５については、上述したように、機能液吸収材を幅狭に構成できることから、機能液吸収材の反りによる影響が小さいため、定期フラッシングボックス１５１のように、一対の緊張締結部材１５３，１５３を用いた敷設方法により機能液吸収材を敷設する必要はないが、もちろん、一対の描画前フラッシングボックス１１５，１１５に本敷設方法を適用してもよい。
【００９８】
以上のように、本実施形態の定期フラッシングユニット１１４によれば、機能液吸収材１５２を押さえるための部材を用いることなく、これを平坦に敷設することができ、機能液滴吐出ヘッド６２から捨て吐出された機能液を直近で受けることができる。したがって、液滴吐出装置１は、定期フラッシング処理を適切に行うことができる。
【００９９】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【０１００】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１０１】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１２（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド６２により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【０１０２】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【０１０３】
次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド６２によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド６２を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０４】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【０１０５】
図１３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１０６】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１０７】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１０８】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１０９】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１１０】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド６２で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド６２で行うことも可能である。
【０１１１】
図１４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１１２】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１１３】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１１４】
図１５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１１５】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１１６】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１１７】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１１８】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１１９】
次に、図１６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１２０】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１２１】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１２２】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１２３】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１２４】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１２５】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１２６】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１２７】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１２８】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１２９】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１３０】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１３１】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１７〜図２５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、および対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１３２】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図１８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１３３】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド６２を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１３４】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１の吸着テーブル４１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）および発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【０１３５】
図２０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド６２から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２１に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１３６】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１３７】
そして次に、図２２に示すように、各色のうちのいずれか（図２２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１３８】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１３９】
同様に、機能液滴吐出ヘッド６２を用い、図２４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１４０】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１４１】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２５に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１４２】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１４３】
次に、図２６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１４４】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１４５】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１４６】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１４７】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１の吸着テーブル４１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド６２により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１４８】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１４９】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド６２から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１５０】
次に、図２７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１５１】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１５２】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１５３】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１５４】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１５５】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１５６】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１５７】
【図１】液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図５】複数のキャリッジユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドおよびその吐出ノズルにより構成される描画ラインを説明する図である。
【図６】液滴吐出装置の制御系について説明したブロック図である。
【図７】（ａ）は定期フラッシングユニットの外観斜視図、（ｂ）は（ａ）の一部拡大図である。
【図８】（ａ）は定期フラッシングユニットの平面図、（ｂ）は（ａ）の一部拡大図である。
【図９】図８（ａ）のＡ−Ａ線による断面図である。
【図１０】定期フラッシングボックス、これに接続されるエゼクタおよび廃液タンクを説明する模式図である。
【図１１】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１７】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１８】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２３】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２６】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２７】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２８】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１５８】
１…液滴吐出装置  １１…描画装置  １３…コントローラ  ６２…機能液滴吐出ヘッド  ８５…ノズル  １１４…定期フラッシングユニット  １５１…定期フラッシングボックス  １５１ａ…底面（定期フラッシングボックス）  １５２…機能液吸収材  １５３…緊張締結部材  １５４…エゼクタ  １６３…周縁部  １６３ａ…上面（周縁部）  １６６…排液溝  １６６ａ…溝底  １６７…排液口  １７１…分割機能液吸収材  １７１ａ，１７１ｂ…縁部（分割機能液吸収材）  １８１…係止ねじ  １８２…張力付与機構  １８３…固定ねじ  １９１…スライドブロック  １９２…調整ねじ  ２０３…長孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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