(57)【要約】【課題】  撥水膜形成時における気泡の発生によるインク吐出方向の乱れ及びノズルプレートの反りを防止する。【解決手段】  ノズル８が形成されたノズルプレート３０のインク吐出面７０ａに光硬化性樹脂シート１７５を、上面３１に搬送フィルムを貼り付けて積層体１７９を形成する。次に、真空加圧装置１９０内に積層体１７９を配置して密閉空間１９８を形成する。そして、密閉空間１９８を大気圧よりも減圧した状態で、光硬化性樹脂シート１７５をノズルプレート３０に対して押圧し、ノズル８内に光硬化性樹脂シート１７５の一部を充填する。次に、ノズル８を介して光硬化性樹脂シート１７５に光を照射してノズル出口近傍に柱状硬化部を形成する。次に、光硬化性樹脂シート１７５の未硬化部分を除去して、インク吐出面７０ａを露出させる。そして、インク吐出面７０ａに撥水膜を形成する。【選択図】      図１２
2006305796.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズル孔の一方の開口端が形成されたノズルプレートのインク吐出面上に、少なくとも前記一方の開口端が塞がれるように光硬化性樹脂シートを積層する積層工程と、
前記積層工程後に、前記ノズルプレートの周辺空間が大気圧より減圧された状態において前記光硬化性樹脂シートを前記ノズルプレートに対して押圧することによって、前記光硬化性樹脂シートの一部を前記ノズル孔内に充填する充填工程と、
前記充填工程後に、前記ノズルプレートにおいて前記インク吐出面とは反対側の面から前記ノズル孔を介して前記光硬化性樹脂シートに光を照射することによって、前記光硬化性樹脂シートを部分的に硬化させる硬化工程と、
前記光硬化性樹脂シートの硬化部が前記ノズル孔に保持された状態で残存し且つ前記インク吐出面が露出するように前記光硬化性樹脂シートの未硬化部を除去する除去工程と、
前記除去工程後に、露出した前記インク吐出面上に撥水膜を形成する撥水膜形成工程とを備えていることを特徴とするノズルプレートの処理方法。
【請求項２】
前記積層工程において、前記光硬化性樹脂シート及び前記ノズルプレートを、互いが重なり合うようにしつつ２つのローラの間へと順次進入させて一体化することを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの処理方法。
【請求項３】
前記積層工程において、前記光硬化性樹脂シートとの間に前記ノズルプレートを挟み込む搬送フィルムとともに、前記光硬化性樹脂シート及び前記ノズルプレートを前記２つのローラの間へと順次進入させることを特徴とする請求項２に記載のノズルプレートの処理方法。
【請求項４】
前記積層工程において、前記２つのローラにより狭持される前記ノズルプレートのニップ長さが、前記ノズルプレートの長手方向の最大長さよりも短いことを特徴とする請求項２又は３に記載のノズルプレートの処理方法。
【請求項５】
前記充填工程において、前記光硬化性樹脂シート及び前記ノズルプレートを２枚の平板で挟み込みつつ、前記平板に押圧力を加えて前記光硬化性樹脂シートの一部を前記ノズル孔内に充填することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のノズルプレートの処理方法。
【請求項６】
前記充填工程において、前記光硬化性樹脂シート及び前記ノズルプレートの温度を２０℃以上３０℃以下とすることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のノズルプレートの処理方法。
【請求項７】
前記充填工程において、一方の前記平板と前記ノズルプレートとの間に樹脂シートを配置することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のノズルプレートの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを吐出するノズル孔を備えたノズルプレートの処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、多数のノズルを有するノズルプレートの表面処理方法が記載されている。このノズルプレートの表面処理方法においては、まず、ノズルプレートの表面に感光性樹脂フィルムをラミネートし、感光性樹脂フィルムをガラス転移温度以上の温度に加熱しつつ加圧して、感光性樹脂フィルムの一部をノズル内に入り込ませる。次いで、ノズルプレートの裏面から紫外線を照射して、ノズル内に入り込んだ部分を硬化させて栓体部を形成した後、栓体部以外の感光性樹脂フィルムを除去する。そして、栓体部を型としてノズルプレートの表面にメッキ層を形成する。こうして、ノズルプレートの表面に撥水膜となるメッキ層が形成される。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２４６９２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した特許文献１に記載の技術においては、感光性樹脂フィルムの一部をノズル内に入り込ませるために加熱しながら加圧するときに、感光性樹脂フィルムから気泡が生じる。この気泡が栓体部とノズルとの境界付近に滞留すると、栓体部の形状が複数のノズル間でばらつくことになる。この栓体部の形状のばらつきによってメッキ層のノズル近傍形状も複数のノズル間でばらつき、ノズルからの液体の吐出方向が乱れる。また、感光性樹脂フィルムをガラス転移温度以上に加熱すると、ノズルプレートも同様に加熱されるので、ノズルプレートと感光性樹脂フィルムとの熱収縮率の相違によりノズルプレートに反りが生じる。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、撥水膜形成時における気泡の発生によるインク吐出方向の乱れ及びノズルプレートの反りを抑制するノズルプレートの処理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
本発明のノズルプレートの処理方法は、液体を吐出するノズル孔の一方の開口端が形成されたノズルプレートのインク吐出面上に、少なくとも前記一方の開口端が塞がれるように光硬化性樹脂シートを積層する積層工程と、前記積層工程後に、前記ノズルプレートの周辺空間が大気圧より減圧された状態において前記光硬化性樹脂シートを前記ノズルプレートに対して押圧することによって、前記光硬化性樹脂シートの一部を前記ノズル孔内に充填する充填工程と、前記充填工程後に、前記ノズルプレートにおいて前記インク吐出面とは反対側の面から前記ノズル孔を介して前記光硬化性樹脂シートに光を照射することによって、前記光硬化性樹脂シートを部分的に硬化させる硬化工程と、前記光硬化性樹脂シートの硬化部が前記ノズル孔に保持された状態で残存し且つ前記インク吐出面が露出するように前記光硬化性樹脂シートの未硬化部を除去する除去工程と、前記除去工程後に、露出した前記インク吐出面上に撥水膜を形成する撥水膜形成工程とを備えている。
【０００７】
これによると、周辺空間が大気圧よりも減圧された状態で光硬化性樹脂シートの一部がノズル孔内に充填される。光硬化性樹脂シートは、周辺空間の減圧状態に応じてガラス転移温度が低下するため、光硬化性樹脂シートを特に加熱しなくても光硬化性樹脂シートが軟化しやすくなり、光硬化性樹脂シートの一部をノズル孔内に充填することが可能になる。そのため、ノズル孔の一方の開口端（インク出口）近傍における光硬化性樹脂シートに気泡が生じなくなり、硬化部の形状が安定する。したがって、ノズル孔の一方の開口端の形状のばらつきが小さくなるため、インク吐出方向の乱れが抑制される。しかも、ノズルプレートと光硬化性樹脂シートの熱収縮率の相違に起因したノズルプレートの反りの発生も防ぐことができる。
【０００８】
本発明においては、前記積層工程において、前記光硬化性樹脂シート及び前記ノズルプレートを、互いが重なり合うようにしつつ２つのローラの間へと順次進入させて一体化することが好ましい。これによると、ノズルプレート及び光硬化性樹脂シートをローラ間に挟み込むことで、ノズルプレートと光硬化性樹脂シートとの間に空気が残存するのを抑制しつつノズルプレートに光硬化性樹脂シートを積層することができる。
【０００９】
また、このとき、前記積層工程において、前記光硬化性樹脂シートとの間に前記ノズルプレートを挟み込む搬送フィルムとともに、前記光硬化性樹脂シート及び前記ノズルプレートを前記２つのローラの間へと順次進入させてもよい。これによると、ノズルプレートを光硬化性樹脂シートと搬送フィルムとで挟み込むので、ノズル孔の両方の開口を塞ぐことができる。そのため、ノズル孔内にゴミなどが侵入にくくなる。したがって、硬化工程において硬化部を複数のノズル間でのばらつきを抑えつつ形成することができる。
【００１０】
また、このとき、前記積層工程において、前記２つのローラにより狭持される前記ノズルプレートのニップ長さが、前記ノズルプレートの長手方向の最大長さよりも短くてもよい。これにより、ローラの軸方向における両端において、２つのローラによるノズルプレートの押圧力に多少の差が生じていても、ノズルプレートのニップ長さが比較的短くなるので、ノズルプレートに対する２つのローラによる押圧力の差が小さくなる。そのため、ノズルプレートと光硬化性樹脂シートとの間に空気がほとんど介在しなくなる。
【００１１】
また、本発明においては、前記充填工程において、前記光硬化性樹脂シート及び前記ノズルプレートを２枚の平板で挟み込みつつ、前記平板に押圧力を加えて前記光硬化性樹脂シートの一部を前記ノズル孔内に充填することが好ましい。これにより、光硬化性樹脂シートの一部をノズル孔内に均一に充填することができる。
【００１２】
また、本発明においては、前記充填工程において、前記光硬化性樹脂シート及び前記ノズルプレートの温度を２０℃以上３０℃以下とすることが好ましい。これにより、光硬化性樹脂シートが２０℃〜３０℃の温度範囲になるため、ノズル孔内への光硬化性樹脂シートの充填量を、気温に左右されずにほぼ一定とすることができる。
【００１３】
また、本発明においては、前記充填工程において、一方の前記平板と前記ノズルプレートとの間に樹脂シートを配置することが好ましい。これにより、平板のノズルプレートに接触する面及び平板の光硬化性樹脂シートに接触する面において、互いの平行度に多少狂いが生じていても、樹脂シートによってその狂いが吸収される。そのため、ノズル孔内への光硬化性樹脂シートの充填量を安定させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施形態によるノズルプレートの処理方法が採用されたノズルプレートを有するインクジェットヘッドの外観斜視図である。図２は、図１のII−II線に沿った断面図である。インクジェットヘッド１は、図１に示すように、用紙に対してインクを吐出するための主走査方向に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体７０と、ヘッド本体７０の上方に配置され且つ２つのインク溜まり３が形成されたベースブロック７１とを備えている。
【００１６】
ヘッド本体７０は、図２に示すように、インク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤によって接着された複数のアクチュエータユニット２１とを含んでいる。また、アクチュエータユニット２１の上面には、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）５０が接合され左又は右に引き出されるとともに、ＦＰＣ５０が図２中において屈曲しながら上方に引き出されている。
【００１７】
図３は、ヘッド本体７０を上面から見た平面図である。図３に示すように、流路ユニット４は、主走査方向に延在した矩形平面形状を有している。図３において、流路ユニット４内に設けられたマニホールド流路５が破線で描かれている。マニホールド流路５には、ベースブロック７１のインク溜まり３に貯溜されていたインクが複数の開口３ａを通じて供給される。マニホールド流路５は、流路ユニット４の長手方向（主走査方向）と平行に延在する複数の副マニホールド流路５ａに分岐している。
【００１８】
流路ユニット４の上面には、平面形状が台形である４つのアクチュエータユニット２１が、開口３ａを避けるように、千鳥状で２列に配列され接着されている。各アクチュエータユニット２１は、その平行対向辺（上辺及び下辺）が流路ユニット４の長手方向に沿うように配置されている。複数の開口３ａは流路ユニット４の長手方向に沿って２列に配列されており、各列５個、計１０個の開口３ａがアクチュエータユニット２１と干渉しない位置に設けられている。これらの開口３ａは全体として、アクチュエータユニット２１と同様に千鳥状に配置されている。そして、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士が、流路ユニット４の幅方向（副走査方向）に部分的にオーバーラップしている。
【００１９】
ヘッド本体７０の底面であって、微小径を有するノズル（ノズル孔）８が配列されたインク吐出面７０ａには、アクチュエータユニット２１の接着領域に対応する領域ごとに多数のノズル８がマトリクス状に配列されて、インク吐出領域が形成されている。アクチュエータユニット２１に対向する流路ユニット４の上面には、多数の圧力室１０（図５参照）がマトリクス状に配列された圧力室群９が形成されている。言い換えると、アクチュエータユニット２１は、圧力室群９を構成する多数の圧力室１０に跨る寸法を有している。また、アクチュエータユニット２１、圧力室群９及びインク吐出領域は互いに相似の外形形状を有している。
【００２０】
図２に戻って、ベースブロック７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック７１内のインク溜まり３は、ベースブロック７１の長手方向に沿って延在する略直方体の中空領域である。インク溜まり３は、その一端に設けられた開口（図示せず）を通じて外部に設置されたインクタンク（図示せず）からインクが供給され、常にインクで満たされている。インク溜まり３には、インクを流出するための開口３ｂが、その延在方向に沿って２列に計１０個設けられている。これら開口３ｂは、流路ユニット４の開口３ａと接続されるように千鳥状に設けられている。すなわち、インク溜まり３の１０個の開口３ｂと流路ユニット４の１０個の開口３ａは、平面視において、同じ位置関係となるように設けられている。
【００２１】
ベースブロック７１の下面７３は、開口３ｂの近傍部分７３ａにおいて周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック７１は、下面７３の開口３ｂの近傍部分７３ａにおいてのみ流路ユニット４の上面における開口３ａの近傍部分と接触している。そのため、ベースブロック７１の下面７３の開口３ｂの近傍部分７３ａ以外の領域は、ヘッド本体７０から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット２１が配されている。つまり、ベースブロック７１の下面７３は、開口３ｂの周囲が流路ユニット４側に突出しており、この突出部分で流路ユニット４に接触している。この突出部分以外の領域では、流路ユニット４との間に形成された離隔部分にアクチュエータユニット２１及びＦＰＣ５０が所定の隙間を残して配設されている。
【００２２】
ホルダ７２は、ベースブロック７１を把持する把持部７２ａと、副走査方向に間隔をおいて設けられ把持部７２ａの上面から上方に向けて突出する一対の突出部７２ｂとを含んでいる。ベースブロック７１は、ホルダ７２の把持部７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。アクチュエータユニット２１に接続されたＦＰＣ５０は、ベースブロック７１が作る離隔部分から引き出された後、スポンジなどの弾性部材８３を介してホルダ７２の突出部７２ｂ表面に沿うようにそれぞれ配置されている。ホルダ７２の突出部７２ｂ表面に配置されたＦＰＣ５０上には、ドライバＩＣ８０が設置されている。すなわち、ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１に伝達するものであり、アクチュエータユニット２１及びドライバＩＣ８０とは半田付けによって電気的に接合されている。
【００２３】
ドライバＩＣ８０の外側表面には、略直方体形状のヒートシンク８２が密着配置されている。これにより、ドライバＩＣ８０で発生した熱を効率的に散逸させることができる。ドライバＩＣ８０及びヒートシンク８２の上方においては、ＦＰＣ５０の外側に接続された基板８１が配置されている。ヒートシンク８２の上端部と基板８１との間、および、ヒートシンク８２の下端部とＦＰＣ５０との間には、それぞれシール部材８４が充填されており、インクジェットヘッド１の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。
【００２４】
図４は、図３に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。図４に示すように、流路ユニット４内のアクチュエータユニット２１と対向する領域には、流路ユニット４の長手方向（主走査方向）と平行に４本の副マニホールド流路５ａが延在している。流路ユニット４の上面には、平面形状が略菱形（角が丸くなった菱形）の圧力室１０が多数形成されている。この圧力室１０は、一方の鋭角部がノズル８に連通され、他方の鋭角部がアパーチャ１２を介して副マニホールド流路５ａに連通されている。このようにして、各副マニホールド流路５ａには、ノズル８の各々に通じる多数の個別インク流路７が接続されている。なお、図４において、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１０（圧力室群９）、アパーチャ１２及びノズル８を実線で描いている。
【００２５】
次に、ヘッド本体７０の断面構造について説明する。図５は、図４に示すV−V線における断面図であり、個別インク流路７を示している。本実施の形態では、個別インク流路７は一旦上方に向かい、流路ユニット４の上面に形成された圧力室１０の一端部に至る。さらに、個別インク流路７は、水平に延在する圧力室１０の他端部から斜め下方に向かい、流路ユニット４の下面に形成されたノズル８に繋がっている。全体として、各個別インク流路７は、圧力室１０を頂部とする弓なり形状を有している。これにより、個別インク流路７の高密度配置を可能とし、インクの円滑な流れを実現している。
【００２６】
ヘッド本体７０は、図５に示すように、上側のアクチュエータユニット２１と下側の流路ユニット４とからなる積層構造体である。両ユニット４，２１も複数の薄板を積層して構成されている。このうち、アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート４１〜４４（図８参照）が積層され且つ電極が配されている。そのうちの最上層だけが、電界印加時に活性部となる部分を有する圧電層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）であり、残り３つの圧電層が活性部を有しない非活性層である。
【００２７】
一方、流路ユニット４は、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６〜２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０の合計９枚のシート材が積層され構成されている。
【００２８】
キャビティプレート２２は、圧力室１０の空隙を構成するほぼ菱形の孔が、アクチュエータユニット２１の貼付範囲内に多数設けられた金属プレートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００２９】
アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２となる孔のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２と副マニホールド流路５ａとの連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６〜２８は、副マニホールド流路５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート２９は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００３０】
これら９枚のプレート２２〜３０は、図５に示すような個別インク流路７が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。なお、流路ユニット４を構成する９枚のプレートは、本実施の形態においては、同一金属材料から構成されており、ＳＵＳ４３０が使用されているが、ＳＵＳ３１６や４２合金などの金属材料であってもよい。また、各プレート２２〜３０が異なる金属材料から構成されていてもよい。
【００３１】
図５から明らかなように、各プレートの積層方向において圧力室１０とアパーチャ１２とは異なるレベルに設けられている。これにより、図４に示すように、アクチュエータユニット２１に対向した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１２を、当該圧力室に隣接する別の圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着してより高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。
【００３２】
続いて、ノズルプレート３０について以下に説明する。図６は、ノズルプレート３０の平面図である。図７は、図６に示すノズルプレートの拡大断面図である。図６に示すように、ノズルプレート３０は、流路ユニット４の上面に接着されるアクチュエータユニット２１に対応して、ノズル８がマトリクス状に隣接配置するインク吐出領域５１を複数有している。本実施の形態では、４つのインク吐出領域５１ａ〜５１ｄが、ノズルプレート３０の長手方向に沿って、千鳥状に２列に配列されている。各インク吐出領域５１ａ〜５１ｄは、平面視において略台形形状を有し、隣接する領域５１の斜辺同士がノズルプレート３０の幅方向に部分的にオーバーラップしている。つまり、インク吐出領域５１は、アクチュエータユニット２１と圧力室群９とに重なるように形成されている。
【００３３】
図７に示すようにノズルプレート３０には、厚み方向に貫通したノズル（ノズル孔）８が複数形成されている。ノズル８の先端（図７における下端）には、直径が２０μｍのノズル出口（吐出口）８ａが形成されている。ノズル８は、円柱形状の内面を有するストレート孔部１０１と、円錐台形状のテーパ孔部１０２と、これらストレート孔部１０１とテーパ孔部１０２とを繋ぐ曲面孔部１０３とを有している。テーパ孔部１０２は、直径が最も大きい最大径端がノズルプレート３０の上面３１に繋がっており、直径が最も小さい最小径端が曲面孔部１０３と繋がっている。
【００３４】
曲面孔部１０３は、ノズル８の中心軸を含む断面において、テーパ孔部１０２及びストレート孔部１０１の各々との接続端Ａ（テーパ孔部１０２の最小径端），接続端Ｂ（ストレート孔部１０１の上面３１側の端部）における接線Ｌ１，Ｌ２がテーパ孔部１０２及びストレート孔部１０１を構成する直線とそれぞれ平行な円弧で構成されている。つまり、曲面孔部１０３の接続端Ａにおける接線Ｌ１がテーパ孔部１０２を構成する直線と平行であるため接続端Ａは変曲点とならず、テーパ孔部１０２と曲面孔部１０３との間で内径が滑らかに連続的に変化する。また、曲面孔部１０３の接続端Ｂにおける接線Ｌ２もストレート孔部１０１を構成する直線と平行であるため、接続端Ｂも変曲点とならず、曲面孔部１０３の接続端Ｂ近傍におけるノズル８の内径の変化が滑らかである。
【００３５】
ノズルプレート３０のインク吐出面（下面）７０ａには、例えば、ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素系高分子材料を含有したニッケルメッキなどの撥水膜１０６がほぼ同じ厚みで均一に形成されている。このようにインク出口８ａの周囲に撥水膜１０６が形成されていると、インク出口８ａの周囲にインクやゴミなどが付着しにくくなり、ノズル８から吐出させるインクの吐出方向が安定する。
【００３６】
次に、アクチュエータユニット２１について説明する。図８は、アクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図５における一点鎖線で囲まれた部分の拡大断面図であり、（ｂ）は、個別電極の平面図である。図８（ａ）、（ｂ）に示すように、個別電極３５は圧力室１０と対向する位置に配置されており、平面視において圧力室１０の平面領域内に形成された主電極領域３５ａと、主電極領域３５ａにつながっており且つ圧力室１０の平面領域外に形成された補助電極領域３５ｂとから構成されている。
【００３７】
図８（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された４枚の圧電シート４１〜４４を含んでいる。これら圧電シート４１〜４４は、圧力室群９内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４４が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート４１上に個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。
【００３８】
最上層の圧電シート４１上に形成された個別電極３５の主電極領域３５ａは、図８（ｂ）に示すように、圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。つまり、菱形の角部が滑らかな曲線（例えば、円弧）で形成されている。略菱形の主電極領域３５ａにおける一方の鋭角部は延出され、補助電極領域３５ｂとつながっている。補助電極領域３５ｂの先端には、個別電極３５と電気的に接続された円形のランド３６が設けられている。図８（ｂ）に示すように、ランド３６は、キャビティプレート２２において圧力室１０が形成されていない領域に対向している。ランド３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、図８（ａ）に示すように、補助電極領域３５ｂにおける表面上に形成されている。
【００３９】
最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、圧電シート４１と同じ外形及び略２μｍの厚みを有する共通電極３４が介在している。個別電極３５及び共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。
【００４０】
共通電極３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３４は、すべての圧力室１０に対応する領域において等しく一定の電位、本実施の形態ではグランド電位に保たれている。
【００４１】
次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート４１の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート４１を活性部が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性部（圧力発生部）として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。
【００４２】
本実施の形態では、圧電シート４１において個別電極３５と共通電極３４とによって挟まれた部分は、電界が印加されると圧電効果によって歪みを発生する活性部として働く。一方、圧電シート４１の下方にある３枚の圧電シート４２〜４４は、外部から電界が印加されることが無く、そのために活性部としてほとんど機能しない。したがって、圧電シート４１において主に主電極領域３５ａと共通電極３４とによって挟まれた部分が、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。
【００４３】
一方、圧電シート４２〜４４は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２〜４４との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４４全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図８（ａ）に示したように、圧電シート４１〜４４で構成されたアクチュエータユニット２１の下面は圧力室を区画する隔壁（キャビティプレート２２）の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４４は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート４１〜４４は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド流路５側から吸い込む。
【００４４】
なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１〜４４が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクがマニホールド流路５側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート４１〜４４が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。こうして、ノズル８からインクが吐出されると共に、インクジェットヘッド１が適宜、主走査方向に移動され用紙に所望画像が印刷される。
【００４５】
次に、上述したインクジェットヘッド１の製造方法について、図９を参照しつつ説明する。図９は、インクジェットヘッド１の製造工程図である。
【００４６】
インクジェットヘッド１を製造するには、流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１などの部品を別々に作製し、それから各部品を組み付ける。まず、ステップ１（Ｓ１）では、流路ユニット４を作製する。流路ユニット４を作製するには、これを構成する各プレート２２〜３０のうち、ノズルプレート３０を除く各プレート２２〜２９に、パターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して、図５に示すような孔を各プレート２２〜２９に形成する。そして、後述するようにパンチ１５１で複数のノズル８をノズルプレート３０となる金属プレート１３０に形成し、金属プレート１３０の下面（インク吐出面）７０ａに撥水膜１０６を形成した後、個別インク流路７が形成されるように位置合わせされた９枚のプレート２２〜３０を、エポキシ系の熱硬化性接着剤を介して重ね合わせる。そして、９枚のプレート２２〜３０を熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱しつつ加圧する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して９枚のプレート２２〜３０が互いに固着され、図５に示すような流路ユニット４が得られる。このとき、各プレート２２〜３０が同一の金属材料で形成されているので、各プレート２２〜３０の線膨張係数が同じになるため、流路ユニット４が一方に反らない。
【００４７】
一方、アクチュエータユニット２１を作製するには、まず、ステップ２（Ｓ２）において、圧電セラミックスのグリーンシートを複数用意する。グリーンシートは、予め焼成による収縮量を見込んで形成される。そのうちの一部のグリーンシート上に、導電性ペーストを共通電極３４のパターンにスクリーン印刷する。そして、治具を用いてグリーンシート同士を位置合わせしつつ、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートの下に、共通電極３４のパターンで導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを重ね合わせ、さらにその下に、導電性ペーストが印刷されていないグリーンシートを２枚重ね合わせる。
【００４８】
そして、ステップ３（Ｓ３）において、ステップ２で得られた積層体を公知のセラミックスと同様に脱脂し、さらに所定の温度で焼成する。これにより、４枚のグリーンシートが圧電シート４１〜４４となり、導電性ペーストが共通電極３４となる。その後、最上層にある圧電シート４１上に、導電性ペーストを個別電極３５のパターンにスクリーン印刷する。そして、積層体を加熱処理することによって導電性ペーストを焼成して、圧電シート４１上に個別電極３５を形成する。しかる後、ガラスフリットを含む金を個別電極３５上に印刷して、ランド３６を形成する。このようにして、図８に描かれたようなアクチュエータユニット２１を作製することができる。
【００４９】
なお、ステップ１の流路ユニット作製工程と、ステップ２〜３のアクチュエータユニット作製工程は、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。
【００５０】
次に、ステップ４（Ｓ４）において、ステップ１で得られた流路ユニット４の圧力室に相当する凹部が多数形成された面に、熱硬化温度が８０℃程度であるエポキシ系の熱硬化性接着剤を、バーコーターを用いて塗布する。熱硬化性接着剤としては、例えば二液混合タイプのものが用いられる。
【００５１】
続いて、ステップ５（Ｓ５）において、流路ユニット４に塗布された熱硬化性接着剤層状に、アクチュエータユニット２１を載置する。このとき、各アクチュエータユニット２１は、活性部と圧力室１０とが対向するように流路ユニット４に対して位置決めされる。この位置決めは、予め作製工程（ステップ１〜ステップ３）において流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１に形成された位置決めマーク（図示せず）に基づいて行われる。
【００５２】
次に、ステップ６（Ｓ６）において、流路ユニット４と、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１との間の熱硬化性接着剤と、アクチュエータユニット２１との積層体を図示しない加熱・加圧装置で熱硬化性接着剤の硬化温度以上に加熱しながら加圧する。そして、ステップ７（Ｓ７）において、加熱・加圧装置から取り出された積層体を自然冷却する。こうして、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とで構成されたヘッド本体７０が製造される。
【００５３】
しかる後、ＦＰＣ５０の接着工程を行った後、ベースブロック７１の接着工程などを経ることによって、上述したインクジェットヘッド１が完成する。
【００５４】
続いて、上述した流路ユニット４の一部を構成するノズルプレート３０の製造及び処理方法について以下に説明する。図１０は、ノズルプレート３０の製造工程を示しており、（ａ）は金属プレートにノズルを形成する前の状況を示す図であり、（ｂ）は金属プレートにノズルとなる凹部が形成された状況を示す図であり、（ｃ）は凹部が加工されて金属プレートにノズルが形成された状況を示す図である。
【００５５】
まず、ノズルプレート３０を製造するには、図１０（ａ）に示す金型に備えられたパンチ１５１をＳＵＳ４３０からなる長方形平板状の金属プレート１３０の上面（すなわち、ノズルプレート３０の上面）３１から打ち込む。パンチ１５１は基端側に形成された円錐台形状のテーパ部１５２と、先端側の円柱部１５３と、これらテーパ部１５２と円柱部１５３とを繋ぐ曲面部１５４とを有する。
【００５６】
このとき、金属プレート１３０が貫通しないストロークで金属プレート１３０の上面３１からパンチ１５１から打ち込むことにより、図１０（ｂ）に示すように、金属プレート１３０に凹部１４０を形成する。凹部１４０は、パンチ１５１のテーパ部１５２と円柱部１５３と曲面部１５４とにそれぞれ対応した、テーパ孔部１０２、ストレート孔部１０１´及び曲面孔部１０３を有している。
【００５７】
図１０（ｂ）に示すように、パンチ１５１を金属プレート１３０に打ち込んだことにより、必然的に金属プレート１３０の下面に凸部１３１が形成されるため、図１０（ｃ）に示すように、凸部１３１を機械加工（例えば、研削）により除去して金属プレート１３０の下面を平坦化させるとともに、金属プレート１３０の下面にインク出口８ａを形成する。その際、同時に、金属プレート１３０のパンチ１５１の円柱部１５３により形成された孔の先端部分が存在する下部１３２（図１０（ｂ）における破線で示す部分より下側の金属プレート部分）を除去し、ストレート孔部１０１に対応する部分だけが金属プレート１３０に残るようにする。こうして、図１０（ｃ）に示すようなノズル８が形成されたノズルプレート３０が製造される。
【００５８】
次に、ノズルプレート３０の処理方法について以下に説明する。図１１は、ノズルプレート３０に光硬化性樹脂フィルム及び搬送フィルムを貼り付ける工程を示す模式図である。図１２は、ノズルプレート３０のノズル８内に光硬化性樹脂シートの一部を充填する工程図である。図１３は、ノズルプレート３０に撥水膜１０６を形成する工程図である。
【００５９】
ノズルプレート３０を処理して撥水膜１０６を形成するには、まず、インク吐出特性に影響するインク出口８ａやその内部に撥水膜１０６が形成されないように保護する必要がある。逆に、それ以外の部分は撥水膜１０６により所望の形態で被覆する必要がある。そのため、光硬化性樹脂シート１７５とノズルプレート３０とを一体化する。例えば、本実施の形態では、図１１に示すようなラミネート装置１７０にノズルプレート３０を順次進入させて、光硬化性樹脂シート１７５との積層体を形成する。ここでは、ノズルプレート３０の下面（インク吐出領域５１側の面）７０ａに光硬化性樹脂シート１７５を、上面（図１１においては下側にある面）３１に搬送フィルム１７６を貼り付けてノズルプレート３０に積層する（積層工程）。このラミネート装置１７０は、互いに対向する位置に配置された２つのローラ１７１，１７２と、帯状の光硬化性樹脂シート１７５と搬送フィルム１７６とをローラ１７１，１７２を介して巻き取る巻取部１７７とを備えている。２つのローラ１７１，１７２は、ノズルプレート３０に対して光硬化性樹脂シート１７５及び搬送フィルム１７６が押圧される程度に近接配置されている。図１１に示すように、巻回された帯状の光硬化性樹脂シート１７５は、ローラ１８１によって光硬化性樹脂シート１７５に粘着されたカバーフィルム１７８が引き剥がされつつ巻き取られ、ローラ１７１を介して巻取部１７７に巻き取られる。一方、巻回された帯状の搬送フィルム１７６は、ローラ１７２を介して巻取部１７７に巻き取られる。
【００６０】
このようなラミネート装置１７０の２つのローラ１７１，１７２間に、短手方向がローラ１７１，１７２の軸方向と平行になるようにしてノズルプレート３０を進入させ、２つのローラ１７１，１７２を回転させつつ巻取部１７７で光硬化性樹脂シート１７５及び搬送フィルム１７６を巻き取る。これにより、ノズルプレート３０の下面７０ａに光硬化性樹脂シート１７５の粘着性のある面が密着し、すべてのノズル８のインク出口８ａが光硬化性樹脂シート１７５により塞がれる。同時に搬送フィルム１７６がノズル８の他方の開口をすべて塞ぐようにノズルプレート３０の上面３１に貼り付けられる。このとき、光硬化性樹脂シート１７５及び搬送フィルム１７６は、ローラ１７１，１７２によってノズルプレート３０の一端部から他端部にかけて順に押圧されるので、光硬化性樹脂シート１７５とノズルプレート３０との間、及び、搬送フィルム１７６とノズルプレート３０との間の空気が順次押し出される。また、光硬化性樹脂シート１７５及び搬送フィルム１７６をノズルプレート３０に対して皺なく貼り付けることができる。加えて、ローラ１７１，１７２の軸方向における両端において、２つのローラ１７１，１７２によるノズルプレート３０に対する押圧力に多少の差が生じていても、２つのローラ１７１，１７２によって挟まれた幅であるノズルプレート３０のニップ長さ（本実施形態においてはノズルプレート３０の短手方向の幅）が最小となるので、ノズルプレート３０に対する２つのローラ１７１，１７２による押圧力の差がほとんどなくなる。そのため、ノズルプレート３０と光硬化性樹脂シート１７５との間、及び、搬送フィルム１７６とノズルプレート３０との間に空気が巻き込まれなくなる。また、ノズルプレート３０のノズル８が光硬化性樹脂シート１７５及び搬送フィルム１７６によって塞がれているので、ノズル８内にゴミなどが侵入しなくなる。
【００６１】
なお、搬送フィルム１７６は、ポリエチレンテレフタレート樹脂からなり粘着性を有していないが、ノズルプレート３０の周囲において対向する光硬化性樹脂シート１７５と接着されてノズルプレート３０の上面３１に貼り付いた状態となっている。しかも、搬送フィルム１７６は非常に薄いため、ノズルプレート３０と搬送フィルム１７６との間に空気がほとんど残存しないことで、ノズルプレート３０に対して密着する。
【００６２】
次に、ノズルプレート３０に貼り付けられた光硬化性樹脂シート１７５及び搬送フィルム１７６をノズルプレート３０の外形に沿って切断し、ノズルプレート３０の外周側面を露出させる。この切断によって形成された、ノズルプレート３０、ノズルプレート３０の外形とほぼ同形状の光硬化性樹脂シート１７５及び搬送フィルム１７６とが互いに積層された積層体１７９を、図１２（ａ）に示す真空加圧装置１９０内に配置する。真空加圧装置１９０は、図１２（ａ）に示すように、内部にヒータを有するステージ（平板）１９１と、ステージ１９１の周囲を取り囲む筒状の隔壁１９２と、ステージ１９１と隔壁１９２とが固定された架台１９７と、内部にヒータを有する加圧部（平板）１９３とを含んでなる。加圧部１９３の外周側面には、環状のシール材１９４が固定されており、図１２（ｂ）に示すように、加圧部１９３が下方に移動したときに、加圧部１９３と隔壁１９２との間をシールする。また、加圧部１９３の先端面（下面）１９３ａは、ステージ１９１の上面１９１ａと平行な平面になっている。ステージ１９１の上面１９１ａには、柔軟性を有する樹脂シート１９６（例えば、ゴム部材）が配置されており、この樹脂シート１９６と搬送フィルム１７６とが接触するように積層体１７９を樹脂シート１９６上に配置する。
【００６３】
次に、図１２（ｂ）に示すように、隔壁１９２との間にシール材１９４が配置される位置であって、加圧部１９３の先端面１９３ａが積層体１７９に接触しない位置まで、加圧部１９３を下方に移動させ、隔壁１９２、加圧部１９３及び架台１９７によって囲まれた密閉空間１９８を形成する。そして、図示しない減圧装置で密閉空間１９８内の真空度が約１０００Ｐａになるように減圧する。なお、光硬化性樹脂シート１７５は粘着性を有しており、その粘着力によってノズルプレート３０に貼り付いている。一方、搬送フィルム１７６は粘着性を有していないので、ノズル内に残存する空気は、主にノズルプレート３０と搬送フィルム１７６との間から排出される。
【００６４】
また、本実施形態における光硬化性樹脂シート１７５は、大気圧下でのガラス転移温度が約７０℃である。しかし、密閉空間１９８内が減圧されることで、ガラス転移温度が約３０℃にまで低下する。この密閉空間１９８内の減圧状態を維持したまま、加圧部１９３を下降させて光硬化性樹脂シート１７５をノズルプレート３０に対して押圧し、ノズルプレート３０のノズル８内に光硬化性樹脂シート１７５の一部を充填する（充填工程）。このとき、真空加圧装置１９０の周囲温度が室温レベル、すなわち、２０℃以上３０℃以下の温度範囲であっても、本実施形態における光硬化性樹脂シート１７５は軟化しているので容易にノズル８内に充填される。そのため、ステージ１９１及び加圧部１９３のヒータにより積層体１７９を加熱しない。しかしながら、真空加圧装置１９０の周囲温度が２０℃未満であれば、ステージ１９１及び加圧部１９３のヒータにより、積層体１７９を室温レベルの２０℃以上３０℃以下の温度範囲になるように加熱しながら、加圧部１９３で光硬化性樹脂シート１７５をノズルプレート３０に対して押圧し、ノズルプレート３０のノズル８内に光硬化性樹脂シート１７５の一部を充填してもよい。これは、減圧によりガラス転移温度が低下したとしても、周囲温度が低すぎるときには、ノズル８内に必要な量の光硬化性樹脂シート１７５を充填することができなくなるので、積層体１７９を２０℃以上３０℃以下の温度範囲となるように加熱し光硬化性樹脂シート１７５を軟化させる。なお、この光硬化性樹脂シート１７５は、３０℃以上の減圧下では軟化が進みすぎてしまい、押圧力に対する充填量の変化が大きく、作業性も損なわれることになる。これにより、加圧部１９３の押圧力に対応して、ノズル８内への光硬化性樹脂シート１７５の充填量を所望の量とすることができる。本実施形態において、ノズル８の先端近傍に、後述の柱状硬化部１６２を形成するのに必要な量の光硬化性樹脂シート１７５を充填させやすくするために、光硬化性樹脂シート１７５の厚さは、ノズル８のストレート孔部１０１の内径以下としている。
【００６５】
また、ステージ１９１の上面１９１ａ及び加圧部１９３の先端面１９３ａが互いに平行な平面であるため、複数のノズル８内への光硬化性樹脂シート１７５の充填量がノズル毎に異ならず均一になる。また、積層体１７９が樹脂シート１９６上に載置されているので、ステージ１９１の上面１９１ａと加圧部１９３の先端面１９３ａとの平行度に多少の狂いが生じていても、樹脂シート１９６の柔軟性によりその狂いが吸収される。そのため、各ノズル８内への光硬化性樹脂シート１７５の充填量を安定させることができる。
【００６６】
次に、図１３（ａ）に示すように、光硬化性樹脂シート１７５の一部が充填されたノズルプレート３０から搬送フィルム１７６を除去する。そして、図１３（ｂ）に示すように、ノズルプレート３０の上面３１側から、ノズル８を通して下面７０ａ側の光硬化性樹脂シート１７５に対して紫外線やレーザ光線などを照射して、光硬化性樹脂シート１７５を硬化させる（硬化工程）。ここで、光の露光量を調整して光硬化性樹脂シート１７５をノズル８が延びる方向にのみ硬化させることで、光硬化性樹脂シート１７５に、ノズルプレート３０の下面７０ａから部分的に突出し且つノズル８のインク出口８ａの内径と等しい径の柱状硬化部１６２を形成する。このとき、充填工程においてノズル８内にゴミなどが侵入しないようになっていたので、ゴミなどでノズル８を通る光が不均一に乱反射せず、インク出口８ａの内径と等しい径の柱状硬化部１６２を形成することができる。そのため、柱状硬化部１６２の形状やサイズが複数のノズル８間でばらつかず揃ったものとなる。
【００６７】
そして、図１３（ｂ）に示すように、ノズルプレート３０の下面７０ａの光硬化性樹脂シート１７５のうち、柱状硬化部１６２以外の未硬化部分を、現像液により溶解させて除去し、柱状硬化部１６２をノズルプレート３０の下面７０ａから突出した状態で残す（除去工程）。このとき、柱状硬化部１６２の基端部は、ノズル８のストレート孔部１０１の先端部に詰まった状態で残っている。この状態で、図１３（ｃ）に示すように、ノズルプレート３０の下面７０ａに、ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素系高分子材料を含有したニッケルメッキ等の撥水メッキを施し、ほぼ均一な厚みを有する撥水膜１０６を形成する（撥水膜形成工程）。そして、図１３（ｄ）に示すように、撥水膜１０６の形成後に柱状硬化部１６２を、剥離液により溶解させて除去する。ここで、柱状硬化部１６２は、ノズルプレート３０の下面７０ａから部分的に突出し且つノズル８のインク出口８ａの内径と等しい径に形成されているため、この柱状硬化部１６２を除去すると、撥水膜１０６には、インク出口８ａと開口面積が等しい開口がノズル８の位置に形成される。つまり、撥水膜１０６がインク出口８ａの開口端に沿って形成されることになる。以上のようなノズルプレート３０の処理方法によって、ノズルプレート３０に撥水膜１０６が形成される。
【００６８】
以上のように、本実施形態のノズルプレート３０の処理方法によると、大気圧より減圧された密閉空間（周辺空間）１９８に積層体１７９が配置されて、光硬化性樹脂シート１７５の一部がノズル８内に充填される。このとき、光硬化性樹脂シート１７５のガラス転移温度も圧力の低下に応じて低くなる。ここで、少なくとも充填工程の作業環境や用いられる装置を所定の温度、例えば、室温に維持しておけば、本実施の形態の光硬化性樹脂シート１７５では、この光硬化性樹脂シート１７５を特に加熱しなくても所定量の光硬化性樹脂シート１７５をノズル８内に充填することが可能になる。そのため、ノズル８のインク出口８ａ近傍における光硬化性樹脂シート１７５に気泡が生じなくなり、柱状硬化部１６２の形状が安定する。したがって、撥水膜形成工程において、ノズル８の周辺がそのインク出口８ａの開口端を共有する撥水膜１０６により被覆されることになるので、インク吐出方向の乱れがほとんど生じなくなる。また、充填工程において、特に加熱することがないので、ノズルプレート３０と光硬化性樹脂シート１７５の熱収縮率の相違（すなわち、線膨張係数の相違）によるノズルプレート３０の反りの発生も防ぐことができる。なお、上述のように積層体１７９を、２０℃以上３０℃以下の温度範囲に加熱したとしても、その温度自体が室温レベルであるため、ノズルプレート３０と光硬化性樹脂シート１７５の熱収縮率の相違によるノズルプレート３０の反りが生じない。
【００６９】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述した実施形態におけるノズルプレート３０は、ラインタイプのインクジェットヘッドに採用されるものであるが、シリアルタイプのインクジェットヘッドであっても適用可能である。また、ノズルプレートに形成されたノズルの形状は、上述のノズル８形状に限定されるものではなく、例えば、ノズルがノズルプレートの上面から下面まで貫通状に延びるストレート孔部のみで形成されていてもよいし、さらにはノズルがノズルプレートの上面から下面にかけて先細りとなるテーパ孔部のみで形成されていてもよい。
【００７０】
また、上述の実施形態においては、ラミネート装置１７０の２つのローラ１７１，１７２によりノズルプレート３０に光硬化性樹脂シート１７５及び搬送フィルム１７６を貼り付けているが、搬送フィルム１７６を貼り付けていなくてもよい。さらに、ラミネート装置１７０を用いずに、ノズルプレートの下面（インク吐出面）に光硬化性樹脂シートを貼り付けてもよい。この場合、ノズルプレートと光硬化性樹脂シートとの間に空気が残存しないように皺なく貼り付けることが望ましい。また、２つのローラ１７１，１７２間にノズルプレート３０を進入させるときは、ノズルプレート３０の長手方向及び短手方向がローラ１７１，１７２の軸方向と交差するように且つノズルプレート３０のニップ長さがノズルプレート３０の長手方向の長さよりも小さくなるようにしてもよい。この場合においても、ノズルプレート３０に対する２つのローラ１７１，１７２による押圧力の差がある程度小さくなる。そのため、ノズルプレート３０と光硬化性樹脂シート１７５との間、及び、搬送フィルム１７６とノズルプレート３０との間に空気が巻き込まれにくくなり、光硬化性樹脂シート１７５及び搬送フィルム１７６にほとんど皺が生じない。また、ローラ１７１，１７２の軸方向における両端において、２つのローラ１７１，１７２によるノズルプレート３０に対する押圧力に差がほとんど生じていなければ、２つのローラ１７１，１７２間に、ノズルプレート３０のニップ長さがノズルプレートの長手方向の長さ以上になるようにして進入させてもよい。いずれの場合も、ノズルプレート３０が２つのローラ１７１，１７２間を通過する時間が短くなり、積層工程の効率が向上する。
【００７１】
また、本実施形態における充填工程においては、加圧部（平板）１９３の先端面１９３ａとステージ（平板）１９１の上面１９１ａとの平行な平面間で積層体１７９が挟まれ、光硬化性樹脂シート１７５がノズルプレート３０のノズル８内に充填されているが、これら加圧部とステージが２つのローラから構成され、これら２つのローラ間に積層体１７９を減圧下で進入させて光硬化性樹脂シート１７５をノズルプレート３０に対して押圧し、光硬化性樹脂シート１７５をノズルプレート３０のノズル８内に充填してもよい。また、ステージ１９１上には、樹脂シート１９６が配置されているが、加圧部１９３の先端面１９３ａとステージ１９１の上面１９１ａとが確実に平行となっている場合は、特に樹脂シート１９６をステージ１９１上に配置していなくてもよい。
【００７２】
また、上述の充填工程では、図１２（ａ）に示すように、積層体１７９を真空加圧装置１９０内に配置する場合、加圧部１９３の先端面１９３ａに光硬化性樹脂シート１７５が対向するように配置されていた。しかし、この積層体１７９の配置については、図１４に示すように、先端面１９３ａに搬送フィルム１７６が対向するようにしてもよい。このとき、光硬化性樹脂シート１７５は、柔軟性のある樹脂シート１９６と接触して加圧されることになる。そのため、仮に、先端面１９３ａの表面に多少の凹凸が生じていて、局所的に押圧力の分布が生じたとしても、光硬化性樹脂シート１７５は樹脂シート１９６から場所に依らず均一な圧力を受けることになる。あるいは、ノズルプレート３０の下面７０ａに凹凸があっても、樹脂シート１９６の柔軟な変形により、光硬化性樹脂シート１７５は均一な圧力を受ける。これにより、ノズル位置に依らず光硬化性樹脂シート１７５の充填量が確実に均一化する。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の一実施形態によるノズルプレートの処理方法が採用されたノズルプレートを有するインクジェットヘッドの外観斜視図である。
【図２】図１のII−II線に沿った断面図である。
【図３】図２に示すヘッド本体を上面から見た平面図である。
【図４】図３に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。
【図５】図４に示すV−V線における断面図である。
【図６】ノズルプレートの平面図である。
【図７】図６に示すノズルプレートの拡大断面図である。
【図８】アクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図５における一点鎖線で囲まれた部分の拡大断面図であり、（ｂ）は、個別電極の平面図である。
【図９】インクジェットヘッドの製造工程図である。
【図１０】ノズルプレートの製造工程を示しており、（ａ）は金属プレートにノズルを形成する前の状況を示す図であり、（ｂ）は金属プレートにノズルとなる凹部が形成された状況を示す図であり、（ｃ）は凹部が加工されて金属プレートにノズルが形成された状況を示す図である。
【図１１】ノズルプレートに光硬化性樹脂フィルム及び搬送フィルムを貼り付ける工程を示す模式図である。
【図１２】ノズルプレートのノズル内に光硬化性樹脂シートの一部を充填する工程図である。
【図１３】ノズルプレートに撥水膜を形成する工程図である。
【図１４】本発明の一実施形態によるノズルプレートの処理方法の変形例を示しており、積層体を真空加圧装置に配置したときの状況図である。
【符号の説明】
【００７４】
１  インクジェットヘッド
８  ノズル（ノズル孔）
８ａ  インク出口（開口）
３０  ノズルプレート
３１  上面
７０ａ  インク吐出面（下面）
１６２  柱状硬化部（硬化部）
１７１，１７２  ローラ
１７５  光硬化性樹脂シート
１７６  搬送フィルム
１９１  ステージ（平板）
１９３  加圧部（平板）
１９６  樹脂シート
１９８  密閉空間（周辺空間）
【図１】
2006305796.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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