(57)【要約】【課題】  充分に薄いフレキシブル基板を製造するのに適したフレキシブル基板製造方法、および、高い体積記録密度を達成するのに適したフレキシブル光磁気記録媒体を提供する。【解決手段】  本発明のフレキシブル基板製造方法は、凹凸面３２ａを有する基板３２と、凹凸面３４ａを有する基板３４と、基板３２，３４の間に介在する硬化性樹脂材料３３と、を含む積層体を回転させることにより、基板３２，３４の間において硬化性樹脂材料３３を展延させる、図３（ｄ）に示すような工程、並びに、展延した硬化性樹脂材料３３を硬化させる工程を含む。本発明のフレキシブル光磁気記録媒体は、例えば、両面にプリグルーブを有し且つ第１開口部を有する主部、並びに、第１開口部にて主部の厚み以内に設けられ且つ第２開口部を有する補強ハブ、を有するフレキシブル基板と、主部の両面側に設けられた第１および第２記録磁性部とを備える。【選択図】  図３
2006228376.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１凹凸面を有する第１基板と、当該第１基板の前記第１凹凸面に対向する第２凹凸面を有する第２基板と、当該第１および第２基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、前記第１および第２基板の間において前記硬化性樹脂材料を展延させる工程と、
前記硬化性樹脂材料を硬化させる工程と、を含む、フレキシブル基板製造方法。
【請求項２】
第１凹凸面を有する第１基板と、当該第１基板の前記第１凹凸面に対向する第２凹凸面を有する第２基板と、開口部を有して前記第１および第２基板の間に介在する補強ハブと、当該補強ハブの周囲にて前記第１および第２基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、前記第１および第２基板の間において前記硬化性樹脂材料を展延させる工程と、
前記硬化性樹脂材料を硬化させる工程と、を含む、フレキシブル基板製造方法。
【請求項３】
第１記録磁性部および第２記録磁性部と、
第１凹凸面を有する第１基板と、当該第１基板の前記第１凹凸面に対向する第２凹凸面を有する第２基板と、当該第１および第２基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、前記第１および第２基板の間において前記硬化性樹脂材料を展延させる工程、および、前記硬化性樹脂材料を硬化させる工程、を経て製造されて前記第１および第２記録磁性部の間に位置するフレキシブル基板と、を備えるフレキシブル光磁気記録媒体。
【請求項４】
第１記録磁性部および第２記録磁性部と、
第１凹凸面を有する第１基板と、当該第１基板の前記第１凹凸面に対向する第２凹凸面を有する第２基板と、開口部を有して前記第１および第２基板の間に介在する補強ハブと、当該補強ハブの周囲にて前記第１および第２基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、前記第１および第２基板の間において前記硬化性樹脂材料を展延させる工程、および、前記硬化性樹脂材料を硬化させる工程、を経て製造されて前記第１および第２記録磁性部の間に位置するフレキシブル基板と、を備えるフレキシブル光磁気記録媒体。
【請求項５】
第１プリグルーブ面および当該第１プリグルーブ面とは反対の第２プリグルーブ面を有し且つ第１開口部を有する主部、並びに、前記第１開口部にて前記主部の厚み以内に設けられ且つ第２開口部を有する補強ハブ、を有するフレキシブル基板と、
前記第１プリグルーブ面の側の第１記録磁性部と、
前記第２プリグルーブ面の側の第２記録磁性部と、を備えるフレキシブル光磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばフレキシブル光磁気ディスク用途のフレキシブル基板を製造するための方法、および、フレキシブル光磁気記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学的に情報が読み取られる光メディアの一形態として、光磁気記録媒体が知られている。光磁気記録媒体は、熱磁気的に記録され且つ磁気光学効果を利用して再生される書き換え可能な媒体である。光磁気記録媒体については、例えば下記の特許文献１，２に記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２９０４９６号公報
【特許文献２】特開２００１−５６９７７号公報
【０００４】
図６は、従来の光磁気記録媒体の一例である光磁気ディスクＸ２を表す。光磁気ディスクＸ２は、基板６１と、記録磁性部６２と、熱伝導層６３と、誘電体層６４，６５と、保護膜６６とからなる積層構造を有し、フロントイルミネーション方式の光磁気ディスクとして構成されたものである。
【０００５】
基板６１は、光磁気ディスクＸ２の剛性を確保するための部位であり、１ｍｍ程度の厚さを有する。また、基板６１は、樹脂材料よりなり、その記録磁性部６２の側の面には、プリグルーブ６１ａが形成されている。このプリグルーブ６１ａを基に、光磁気ディスクＸ２におけるランドグルーブ形状が実現される。記録磁性部６２は、熱磁気的な記録および磁気光学効果を利用した再生という２つの機能を担うことが可能な磁性構造を有し、再生方式に応じた１または２以上の磁性膜よりなる（誘電体層６４に接する記録層を含む）。当該磁性膜は、希土類−遷移金属アモルファス合金垂直磁化膜である。熱伝導層６３は、レーザ照射時に記録磁性部６２などにて発生する熱を効率よく基板６１の側へ伝えるための部位であり、高熱伝導材料よりなる。誘電体層６４，６５は、記録磁性部６２に対する外部からの不当な磁気的影響や化学的影響等を回避するための部位である。保護膜６６は、記録磁性部６２を特に塵埃から保護するための部位であり、光透過性の樹脂材料よりなる。
【０００６】
このような構成を有する光磁気ディスクＸ２の製造においては、まず、図７（ａ）に示すように、ニッケルスタンパ７１を金型の一部として使用して行う射出成形法により、所定の樹脂材料から基板６１が作製される。ニッケルスタンパ７１は、その表面に所定の凸パターン７１ａを有し、当該凸パターン７１ａに対応してプリグルーブ６１ａが形成される。次に、図７（ｂ）に示すように、スパッタリング法により、基板６１上に熱伝導層６３、誘電体層６４、記録磁性部６２、および誘電体層６５が順次形成される。この後、図７（ｃ）に示すように、スピンコーティング法により、誘電体層６５上に保護膜６６が形成される。
【０００７】
光磁気ディスクＸ２への情報記録に際しては、例えば、当該ディスクを回転させた状態で、記録用のレーザを保護膜６６の側から記録磁性部６２に向けて連続的なパルス信号として照射することにより記録磁性部６２を局所的に順次昇温させつつ、磁気記録ヘッドにより、所定に変調された記録磁界を当該昇温箇所に印加する。これにより、記録磁性部６２ないしこれに含まれる記録層において、磁化方向が順次反転する複数の磁区（記録マーク）が光磁気ディスクＸ２の周方向ないしトラック延び方向に連なって形成される。このようにして、記録磁性部６２ないしこれに含まれる記録層に、磁化方向の変化として所定の情報ないし信号が記録される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
コンピュータシステムにおける情報処理量の増大に伴い、光磁気ディスクなど記録媒体については、より大きな記録密度が要求されるところ、光磁気ディスクの技術分野においては、光磁気ディスクの全体厚さを小さく設定して媒体の体積記録密度を増大することに対する要望がある。このような要望に応えるべく、上述の光磁気ディスクＸ２については、基板６１を薄いフレキシブル基板として作製し、フレキシブル光磁気ディスクとして構成することが考えられる。フレキシブルディスク媒体に関する技術について、例えば、下記の特許文献３，４に記載されている。
【０００９】
【特許文献３】特開２００４−１３４０１９号公報
【特許文献４】特開２００４−１３９６５４号公報
【００１０】
しかしながら、図７（ａ）を参照して上述した射出成形法では、表面にプリグルーブ６１ａを有する基板６１を充分な程度に（例えば１００μｍ程度に）薄く作製することが困難である。形成目的の基板６１の厚さに対応させて成形型内のキャビティを幅狭に設定するほど、基板形成用の樹脂材料が当該キャビティ内を流動して当該キャビティを適切に充填することが、困難となるからである。そのため、図７を参照して上述した従来の方法によると、充分に薄型化されたフレキシブル光磁気ディスクとして光磁気ディスクＸ２を製造することは、困難である。
【００１１】
本発明は、以上のような事情の下で考え出されたものであって、充分に薄いフレキシブル基板を製造するのに適したフレキシブル基板製造方法、および、高い体積記録密度を達成するのに適したフレキシブル光磁気記録媒体を、提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の側面によると、フレキシブル媒体用途のフレキシブル基板を製造するための方法が提供される。本方法は、第１凹凸面を有する第１基板と、当該第１基板の第１凹凸面に対向する第２凹凸面を有する第２基板と、当該第１および第２基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、第１および第２基板の間において硬化性樹脂材料を展延させる展延工程、並びに、展延した硬化性樹脂材料を硬化させる硬化工程を含む。
【００１３】
本方法の展延工程では、第１および第２基板ならびに当該基板間の硬化性樹脂材料を含む積層体を回転させることにより、硬化性樹脂材料に作用する遠心力を利用して、第１および第２基板の間において、両基板の凹凸面（所定の凹凸を有する）に沿って硬化性樹脂材料を薄く展延させることができる。積層体の回転速度を調節することにより（即ち、硬化性樹脂材料に作用する遠心力を調節することにより）、硬化性樹脂材料について展延の程度ないし薄さを調節することが可能である。そして、硬化工程では、硬化性樹脂材料を硬化させることにより、両基板の凹凸面の凹凸形状に対応した凹凸形状を両面に有するフレキシブル基板を形成することができる。硬化性樹脂材料として、紫外線硬化型、熱硬化型、または触媒硬化型のものを採用する場合、各々、紫外線照射、加熱、または触媒添加を行うことにより、硬化性樹脂材料を硬化させることができる。
【００１４】
したがって、本方法によると、第１および第２基板の第１および第２凹凸面について、フレキシブル基板表面に形成すべき所定のプリグルーブパターンに対応した凸パターンを有するように設定しておくことにより、両面にプリグルーブを有して充分に薄いフレキシブル基板を適切に製造することが可能なのである。
【００１５】
本発明の第２の側面によると、フレキシブル媒体用途のフレキシブル基板を製造するための方法が提供される。本方法は、第１凹凸面を有する第１基板と、当該第１基板の第１凹凸面に対向する第２凹凸面を有する第２基板と、開口部を有して第１および第２基板の間に介在する補強ハブと、当該補強ハブの周囲にて第１および第２基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、第１および第２基板の間において硬化性樹脂材料を展延させる展延工程、並びに、展延した硬化性樹脂材料を硬化させる硬化工程を含む。本発明における補強ハブは、フレキシブル媒体についての情報記録時や情報再生時等に当該フレキシブル媒体を回転させるための駆動機構が当該フレキシブル媒体に機械的に接触する箇所の、当該機械的接触に対する強度を確保するための部材であり、例えば金属よりなる。
【００１６】
本方法の展延工程では、第１および第２基板ならびに両基板間の補強ハブおよび硬化性樹脂材料を含む積層体を回転させることにより、硬化性樹脂材料に作用する遠心力を利用して、第１および第２基板の間であり且つ補強ハブの周囲にて、両基板の凹凸面（所定の凹凸を有する）に沿って硬化性樹脂材料を薄く展延させることができる。硬化性樹脂材料の展延の程度ないし薄さを展延工程にて調節することが可能であることは、第１の側面に関して上述したのと同様である。そして、硬化工程では、硬化性樹脂材料を硬化させることにより、両基板の凹凸面の凹凸形状に対応した凹凸形状を両面に有し且つ開口部を有する補強ハブが一体化された、フレキシブル基板を、形成することができる。硬化性樹脂材料の硬化手法については、第１の側面に関して上述したのと同様である。
【００１７】
したがって、本方法によると、第１および第２基板の第１および第２凹凸面について、フレキシブル基板表面に形成すべき所定のプリグルーブパターンに対応した凸パターンを有するように設定しておくことにより、両面にプリグルーブを有して充分に薄く、且つ、開口部を有する補強ハブが所定箇所にて一体化された、フレキシブル基板を適切に製造することが可能なのである。
【００１８】
本発明の第３の側面によるとフレキシブル光磁気記録媒体が提供される。本光磁気記録媒体は、第１記録磁性部と、第２記録磁性部と、当該第１および第２記録磁性部の間に位置するフレキシブル基板とを備える。このフレキシブル基板は、第１凹凸面を有する第１基板と、当該第１基板の第１凹凸面に対向する第２凹凸面を有する第２基板と、当該第１および第２基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、第１および第２基板の間において硬化性樹脂材料を展延させる工程、および、硬化性樹脂材料を硬化させる工程、を経て製造されたものである。本発明の本フレキシブル光磁気記録媒体は、いわゆるベルヌーイ効果により面ぶれが抑制されつつ情報記録および情報再生が実行されるものである。
【００１９】
本フレキシブル光磁気記録媒体は、本発明の第１の側面の方法により得られるフレキシブル基板を備える。この基板は、上述のように、両面にプリグルーブを有して充分に薄く形成され得る。このような薄いフレキシブル基板を基材として有し且つ両面に記録磁性部を有する本フレキシブル光磁気記録媒体は、充分な薄型化を図って高い体積記録密度を達成するうえで、好適である。
【００２０】
本発明の第４の側面によるとフレキシブル光磁気記録媒体が提供される。本光磁気記録媒体は、第１記録磁性部と、第２記録磁性部と、当該第１および第２記録磁性部の間に位置するフレキシブル基板とを備える。このフレキシブル基板は、第１凹凸面を有する第１基板と、当該第１基板の第１凹凸面に対向する第２凹凸面を有する第２基板と、開口部を有して第１および第２基板の間に介在する補強ハブと、当該補強ハブの周囲にて第１および第２基板の間に介在する硬化性樹脂材料と、を含む積層体を回転させることにより、第１および第２基板の間において硬化性樹脂材料を展延させる工程、および、硬化性樹脂材料を硬化させる工程、を経て製造されたものである。
【００２１】
本フレキシブル光磁気記録媒体は、本発明の第２の側面の方法により得られるフレキシブル基板を備える。この基板は、上述のように、両面にプリグルーブを有して充分に薄く形成され得る。このような薄いフレキシブル基板を基材として有し且つ両面に記録磁性部を有する本フレキシブル光磁気記録媒体は、充分な薄型化を図って高い体積記録密度を達成するうえで、好適である。加えて、本フレキシブル光磁気記録媒体のフレキシブル基板は、上述のように、硬化性樹脂材料部と補強ハブとが一体化されてなる。このような構成は、本フレキシブル光磁気記録媒体を回転させるための駆動機構が本フレキシブル光磁気記録媒体に対して機械的に接触する箇所の強度を確保して、本フレキシブル光磁気記録媒体の変形等を抑制するうえで、好適である。
【００２２】
本発明の第５の側面によるとフレキシブル光磁気記録媒体が提供される。本光磁気記録媒体は、第１プリグルーブ面および当該第１プリグルーブ面とは反対の第２プリグルーブ面を有し且つ第１開口部を有する主部、並びに、第１開口部にて主部の厚み以内に設けられ且つ第２開口部を有する補強ハブ、を有するフレキシブル基板と、第１プリグルーブ面の側の第１記録磁性部と、第２プリグルーブ面の側の第２記録磁性部と、を備える。第１および第２プリグルーブ面とは、プリグルーブが形成された面である。
【００２３】
本フレキシブル光磁気記録媒体のフレキシブル基板は、上述の第２の側面の方法により製造することが可能である。この基板は、上述のように、両面にプリグルーブを有し、且つ、主部（硬化性樹脂材料部）の厚み以内に補強ハブが設けられて充分に薄く形成され得る。このような薄いフレキシブル基板を基材として有し且つ両面に記録磁性部を有する本フレキシブル光磁気記録媒体は、充分な薄型化を図って高い体積記録密度を達成するうえで、好適である。加えて、本フレキシブル光磁気記録媒体のフレキシブル基板は、上述のように、硬化性樹脂材料部と補強ハブとが一体化されてなる。このような構成は、本フレキシブル光磁気記録媒体を回転させるための駆動機構が本フレキシブル光磁気記録媒体に対して機械的に接触する箇所の強度を確保して、本フレキシブル光磁気記録媒体の変形等を抑制するうえで、好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
図１は、本発明に係る光磁気ディスクＸ１の部分断面図である。光磁気ディスクＸ１は、フレキシブル基板１０と、２つの記録磁性部２１と、２つの熱伝導層２２と、２つの誘電体層２３と、２つの誘電体層２４と、２つの保護膜２５とを備え、両側に記録面（記録磁性部２１により構成される）を有するフレキシブル光磁気ディスクとして構成されたものである。
【００２５】
フレキシブル基板１０は、図２に示すように、主部１１および補強ハブ１２（図１にて図示せず）よりなる。主部１１は、その中央に開口部１１ａを有し、例えば３０〜１００μｍの厚さを有してフレキシブルである。図１に示す熱伝導層２２から保護膜２５までの積層構造は、主部１１上に設けられている。また、主部１１の表面には、渦巻き状または同心円状のパターン形状を有するプリグルーブ１１ｂが形成されている。このプリグルーブ１１ｂを基に、光磁気ディスクＸ１におけるランドグルーブ形状が実現される。また、主部１１は、本実施形態では紫外線硬化性樹脂よりなる。本発明では、主部１１の構成材料として、紫外線硬化性樹脂に代えて熱硬化性樹脂や触媒硬化性樹脂を採用してもよい。
【００２６】
フレキシブル基板１０の補強ハブ１２は、光磁気ディスクＸ１についての情報記録時や情報再生時等に当該ディスクを回転させるための駆動機構が当該ディスクに機械的に接触する箇所の機械的強度を確保するための部材であり、駆動機構の一部が例えば嵌入する開口部１２ａを有し、例えば金属よりなる。このような補強ハブ１２は、主部１１の開口部１１ａにて主部１１の厚み以内に設けられており、主部１１と一体化されている。
【００２７】
記録磁性部２１は、記録層２１ａ、中間層２１ｂ、および再生層２１ｃよりなる積層構造を有し、再生層２１ｃ内での磁壁移動ないし磁区拡大を伴う磁区拡大系再生方式（例えばＤＷＤＤやＭＡＭＭＯＳなど）に基づいて再生可能に構成されている。
【００２８】
記録層２１ａは、光磁気ディスクＸ１において記録機能を担う部位であって、希土類元素と遷移金属とを含むアモルファス合金よりなり、且つ、垂直磁気異方性を有して垂直方向に磁化された垂直磁化膜である。垂直方向とは、層を構成する磁性膜の膜面に対して垂直な方向をいう。このような記録層２１ａは、具体的には、所定の組成比の例えばＴｂＦｅＣоやＴｂＤｙＦｅＣоなどよりなる。また、記録層２１ａの厚さは例えば４０〜１００ｎｍである。
【００２９】
中間層２１ｂは、記録層２１ａおよび再生層２１ｃの交換結合状態を変化させるための部位であって、昇温によりそのキュリー温度にて垂直磁化状態から自発磁化消失状態に転移し且つ降温によりキュリー温度にて自発磁化消失状態から垂直磁化状態に転移する希土類−遷移金属アモルファス合金よりなる。本実施形態では、中間層２１ｂのキュリー温度は例えば１００〜１７０℃であり、従って、室温において中間層２１ｂは垂直磁化膜である。このような中間層２１ｂは、具体的には、所定の組成比の例えばＴｂＦｅやＴｂＦｅＣоなどよりなる。また、中間層２１ｂの厚さは例えば１０〜３０ｎｍである。
【００３０】
再生層２１ｃは、磁壁移動ないし磁区拡大を伴う再生機能を担う部位であり、希土類−遷移金属アモルファス合金よりなる垂直磁化膜である。このような再生層２１ｃは、具体的には、所定の組成比の例えばＧｄＦｅＣｏやＧｄＤｙＦｅＣｏよりなる。また、再生層２１ｃの厚さは例えば１０〜５０ｎｍである。
【００３１】
熱伝導層２２は、光磁気ディスクＸ１に対して記録用または再生用のレーザビームが照射されるときに記録磁性部２１などにて発生する熱を効率よくフレキシブル基板１０の側へ伝えるための部位であり、例えば、Ａｌ合金（ＡｌＮ，ＡｌＳｉ，ＡｌＴｉ，ＡｌＣｒなど）、Ａｇ、Ａｇ合金（ＡｇＰｄＣｕＳｉ，ＡｇＰｄＣｕなど）、Ａｕ、またはＰｔなどの、高熱伝導材料よりなる。熱伝導層２２の厚さは、例えば１０〜５０ｎｍである。
【００３２】
誘電体層２３，２４は、記録磁性部２１に対する外部からの不当な磁気的影響や化学的影響等を回避ないし抑制するための部位であり、例えば、ＳｉＮ、ＳｉＯ2、ＹＳｉＯ2、ＺｎＳｉＯ2、ＡｌＯ、またはＡｌＮよりなる。誘電体層２３，２４の厚さは、例えば３０〜１００ｎｍである。
【００３３】
保護膜２５は、記録磁性部２１を特に塵埃などから保護すべく記録磁性部２１を覆い、光磁気ディスクＸ１の記録用レーザビームおよび再生用レーザビームに対して充分な透過性を有する樹脂材料よりなる。保護膜２５を構成するための樹脂としては、例えば、紫外線硬化性の透明樹脂が採用される。保護膜２５の厚さは例えば５〜５０μｍである。
【００３４】
図３および図４は、光磁気ディスクＸ１の製造方法における一部の工程を表す。図３および図４において、各工程は断面図で表されている。本方法においては、まず、図３（ａ）に示すように、スピンテーブル３１に支持された基板３２上に樹脂材料３３を供給する。スピンテーブル３１は、回転軸心Ｒまわりに所望の回転速度で回転駆動可能に構成されており、軸芯３１ａを有し、また、スピンテーブル３１上に載置された部材を吸引するための吸引機構（図示略）を具備する。基板３２は、上述のプリグルーブ１１ｂに対応する凸パターンを伴うプリグルーブ形成面３２ａと、開口部３２ｂとを有する。また、基板３２は、スピンテーブル３１の軸芯３１ａに対して開口部３２ｂにて嵌設されており、上述の吸引機構の吸引作用によりスピンテーブル３１に対して固定されている。スピンテーブル３１の軸芯３１ａには、基板３２に加えて上述の補強ハブ１２もその開口部１２ａにて嵌設されている。樹脂材料３３は、本実施形態では紫外性硬化性樹脂である。本発明では、樹脂材料３３として、紫外線硬化性樹脂に代えて熱硬化性樹脂や触媒硬化性樹脂を採用してもよい。本工程では、スピンテーブル３１を静止させた状態で、未硬化状態にある樹脂材料３３を、基板３２上における補強ハブ１２の周囲に円環状に供給する。
【００３５】
次に、図３（ｂ）に示すように、スピンテーブル３１を所定の第１回転速度で回転駆動させて基板３２を回転させた状態で、樹脂材料３３を所定の程度に展延させる。本工程では、スピンテーブル３１の回転速度を調節することにより（即ち、樹脂材料３３に作用する遠心力を調節することにより）、樹脂材料３３の展延の程度を調節することが可能である。
【００３６】
次に、図３（ｃ）に示すように、樹脂材料３３の上位に基板３４を設置する。基板３４は、上述のプリグルーブ１１ｂに対応する凸パターンを伴うプリグルーブ形成面３４ａと開口部３４ｂとを有する透明基板である。本工程では、このような基板３４を、スピンテーブル３１の軸芯３１ａに対して開口部３４ｂにて嵌設する。このようにして、基板３２，３４、補強ハブ１２、および樹脂材料３３を含む積層体を形成する。
【００３７】
次に、図３（ｄ）に示すように、スピンテーブル３１を所定の第２回転速度で回転駆動させて上述の積層体を回転させた状態で、基板３２，３４間において樹脂材料３３を所定の程度に展延させる。このとき、樹脂材料３３の一部が基板３２，３４の間から漏出するまで樹脂材料３３を展延させるのが好ましい。本工程では、スピンテーブル３１の回転速度を調節することにより、樹脂材料３３の展延の程度ないし薄さを調節することが可能である。また、第２回転速度は、図３（ｂ）を参照して上述した工程における第１回転速度よりも高速であるのが好ましい。この後、必要に応じて、図４（ａ）に示すように、基板３２，３４間から漏出した樹脂材料３３を除去する。
【００３８】
次に、図４（ｂ）に示すように、基板３４の側から樹脂材料３３に対して紫外線を照射して樹脂材料３３を硬化させ、基板３２，３４のプリグルーブ形成面３２ａ，３４ａの凸パターンに対応したプリグルーブ１１ｂを表面に有する主部１１を形成する。これにより、樹脂材料３３に由来する主部１１と補強ハブ１２とが一体化することとなる。樹脂材料３３として、紫外線硬化性樹脂に代えて熱硬化性樹脂または触媒硬化性樹脂を採用する場合には、本工程では、紫外線照射に代えて加熱または触媒添加を行うことにより、樹脂材料３３を硬化させる。
【００３９】
樹脂材料３３を硬化させた後、図４（ｃ）に示すように、一体化した主部１１および補強ハブ１２からなるフレキシブル基板１０を基板３２，３４間から取り外す。以上のようにして、フレキシブル基板１０を製造することができる。
【００４０】
図３（ｄ）を参照して上述した展延工程では、基板３２，３４ならびに当該基板間の補強ハブ１２および樹脂材料３３を含む積層体を回転させることにより、樹脂材料３３に作用する遠心力を利用して、基板３２，３４間における補強ハブ１２の周囲にて、両基板３２，３４のプリグルーブ形成面３２ａ，３４ａに沿って樹脂材料３３を薄く展延させることができる。そして、図４（ｂ）を参照して上述した硬化工程では、樹脂材料３３を硬化させることにより、両基板３２，３４のプリグルーブ形成面３２ａ，３４ａの凸パターンに対応したプリグルーブ１１ｂを両面に有する主部１１と補強ハブ１２とを一体化することができる。したがって、図３および図４を参照して上述した方法によると、両面にプリグルーブ１１ｂを有して充分に薄く、且つ、開口部１２ａを有する補強ハブ１２が所定箇所にて一体化された、フレキシブル基板１０を適切に製造することが可能なのである。
【００４１】
光磁気ディスクＸ１の製造においては、次に、フレキシブル基板１０の主部１１の両面上に、熱伝導層２２、誘電体層２３、記録層２１ａ、中間層２１ｂ、再生層２１ｃ、誘電体層２４、および保護膜２５を順次形成する。熱伝導層２２から誘電体層２４までは、各々、所定のターゲットを用いて行うスパッタリング法により形成することができる。保護膜２５は、スピンコート法により所定の紫外線硬化性樹脂を誘電体層２４上に塗布した後に、紫外線照射により当該樹脂膜を硬化させることにより、形成することができる。以上のようにして、光磁気ディスクＸ１を製造することができる。
【００４２】
光磁気ディスクＸ１への情報記録に際しては、例えば、当該ディスクを所定の回転速度で回転させた状態で、光磁気ディスクＸ１に対して位置決め制御された所定の光ピックアップまたは光学ヘッドから記録用のレーザを記録磁性部２１に向けて連続的なパルス信号として照射することにより記録磁性部２１内の記録層２１ａを局所的に順次昇温させる。これとともに、磁気記録ヘッドにより、所定に変調された記録磁界を当該昇温箇所に対して印加する。
【００４３】
このとき、光磁気ディスクＸ１において情報記録が実行されている箇所に対し、例えば図５に示すように、レーザＬが照射されている側とは反対の側からスタビライザ５を近接して配置する。スタビライザ５は、有意な面積の先端面５ａを有し、この先端面５ａを、光磁気ディスクＸ１において情報記録が実行されている記録面とは反対の側の面に対して対向させる。このように、光磁気ディスクＸ１に対してスタビライザ５を近接配置することにより、いわゆるベルヌーイ効果により、フレキシブルな光磁気ディスクＸ１の面ぶれが抑制される。スピンドルモータＭの駆動により所定の回転速度で回転する光磁気ディスクＸ１に対してスタビライザ５を近接配置することにより、光磁気ディスクＸ１の表面近傍に存在する例えば空気の当該光磁気ディスクＸ１に対する相対速度は、光磁気ディスクＸ１とスタビライザ５の間の方が、レーザ照射側よりも、速くなる。そのため、ベルヌーイの法則に従って、光磁気ディスクＸ１の表面近傍における圧力は、光磁気ディスクＸ１とスタビライザ５の間の方が、レーザ照射側よりも、小さくなる。この圧力差に起因して、光磁気ディスクＸ１とスタビライザ５の間には、見かけ上、吸引力が生じ、当該吸引力が作用することにより、光磁気ディスクＸ１においてスタビライザ５が対向する箇所の面ぶれが抑制されることとなる。
【００４４】
フレキシブルな光磁気ディスクＸ１においては、以上のようにして、ベルヌーイ効果により面ぶれを抑制しつつ、記録層２１ａに対し磁化方向の変化として所定の情報ないし信号を記録することができる。
【００４５】
一方、光磁気ディスクＸ１の情報再生に際しては、例えば、当該ディスクを所定の回転速度で回転させた状態で、所定の光ピックアップまたは光学ヘッドから再生用のレーザを記録磁性部２１に向けて照射し、記録磁性部２１（再生層２１ｃ）の表面にて反射された光の偏光角度の変化を検知する。このとき、光磁気ディスクＸ１において情報再生が実行されている箇所に対し、例えば図５に示すように、レーザＬが照射されている側とは反対の側からスタビライザ５を近接して配置する。フレキシブルな光磁気ディスクＸ１においては、このようにして、ベルヌーイ効果により面ぶれを抑制しつつ、記録磁性部２１内の記録信号を読み取ることができる。
【００４６】
光磁気ディスクＸ１において、フレキシブル基板１０は、上述のように、両面にプリグルーブ１１ｂを有し、且つ、主部１１の厚み以内に補強ハブ１２が設けられて充分に薄く形成され得る。このような薄いフレキシブル基板１０を基材として有し且つ両面に記録磁性部２１を有する光磁気ディスクＸ１は、充分な薄型化を図って高い体積記録密度を達成するうえで、好適である。加えて、光磁気ディスクＸ１のフレキシブル基板１０は、上述のように、主部１１と補強ハブ１２とが一体化されてなる。このような構成は、光磁気ディスクＸ１を回転させるためのスピンドルモータが本光磁気ディスクＸ１に対して機械的に接触する箇所の強度を確保して、本光磁気ディスクＸ１の変形等を抑制するうえで、好適である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係る光磁気ディスクの部分断面図である。
【図２】本発明に係る光磁気ディスクにおけるフレキシブル基板の平面図である。
【図３】図１に示す光磁気ディスクの製造方法における一部の工程を表す。
【図４】図３の後に続く工程である。
【図５】本発明に係る光磁気ディスクの情報記録または情報再生の態様を表す模式図である。
【図６】従来の光磁気ディスクの部分断面図である。
【図７】図６に示す光磁気ディスクの製造方法における一部の工程を表す。
【符号の説明】
【００４８】
Ｘ１，Ｘ２      光磁気ディスク
１０      フレキシブル基板
１１      主部
１１ａ      開口部
１１ｂ      プリグルーブ
１２      補強ハブ
１２ａ      開口部
２１，６２      記録磁性部
２２，６３      熱伝導層
２３，２４，６４，６５      誘電体層
２５，６６      保護膜
３２，３４      基板
３２ａ，３４ａ      プリグルーブ形成面
３３      樹脂材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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