(57)【要約】【課題】  試験待機電子装置のピックアップ方法と装置の提供。【解決手段】  二種類の異なる弾性係数の弾性装置を利用して二段階の圧縮を発生し、第１段階の圧縮により吸着した試験待機電子装置をフローティングサイトに移動させて試験待機電子装置の位置を固定し、この時、試験待機電子装置の端子（ｐａｄｓ）と試験端子（ｐｏｇｏ  ｐｉｎ）は不接触で、これにより試験待機電子装置の端子と試験端子の接触により吸着ヘッドの真空が破壊されて電子装置が脱落する問題を防止でき、並びに試験待機電子装置が試験機に移動させた時、更に第２段階の圧縮により試験待機電子装置の端子と測定端子を接触させて試験を完成する。【選択図】        図１１
2006084280.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着装置、ベース、吸気装置を具えた試験待機電子装置のピックアップ装置であり、
該吸着装置は、気密空間中に置かれ、少なくとも１本の吸管を具え、該吸管の一端が該気密空間と連通し、且つ試験待機電子装置の吸着される表面に複数の端子が設けられ、
該ベースは、該気密空間、フローティングサイト及び複数の試験端子を具え、該気密空間の両端開口が該吸気装置と該吸着装置に接触して該気密空間を形成し、該吸着装置が該気密空間中の第１位置と第２位置の間に制限されて移動し、並びに該気密空間と気密接触を保持し、
該吸気装置は、吸気により吸引力を発生し、各吸管が該吸引力により該試験待機電子装置を吸着し、該試験待機電子装置を吸着後に、該吸着装置と該試験待機電子装置を連帯して該フローティングサイトの制限する固定位置に引き動かして至らせ、並びに該吸引力が消失後に、該気密空間が該吸着装置を第１位置に回復させ、
該吸気装置が送気により推力を発生し、圧縮された気密空間を回復させ、該端子と該試験端子に、該吸着装置が第２位置に移動した時に、ある距離を保持させることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置。
【請求項２】
請求項１記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、吸着装置が第１弾性係数を具えた第１弾性装置を具え、該第１弾性装置と吸管が結合され、且つ該第１弾性装置がスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第１弾性装置は吸着装置が第２位置に移動させられた時、該第１弾性係数により端子と試験端子の間の距離を制御し、該端子と試験端子を不接触とし、第１弾性装置が第１弾性係数より大きい圧力を受ける時、該第１弾性装置の収縮により該端子と該試験端子が接触することを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置。
【請求項３】
請求項１記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、気密空間が第２弾性係数を具えた第２弾性装置を具え、該第２弾性装置は吸着装置の第１位置と第２位置の間の位置を制御し、且つ第２弾性装置はスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第２弾性装置は試験待機電子装置が吸着された後に、その吸引力を受けて圧縮され、並びに吸引力が消失した後、第２弾性装置が回復し、圧縮された気密空間を回復させることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置。
【請求項４】
請求項２又は３記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、第２弾性装置の第２弾性係数が、第１弾性装置の第１弾性係数より小さいことを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置。
【請求項５】
試験待機電子装置のピックアップ方法において、
吸着される表面に複数の端子を具えた試験待機電子装置を、吸気装置の吸気により発生する吸引力により吸着装置に吸着させ、これにより気密空間に吸引力を形成させる、吸引力形成ステップと、
気密空間の形成した吸引力により吸着装置を気密空間中で移動させて第１段階の収縮を形成して試験待機電子装置を固定位置中に導入する、第１段階収縮形成ステップと、
下圧力により該試験待機電子装置の複数の端子を対応する試験端子に接触させて試験を行なう、第２段階収縮形成ステップと、
気密空間回復ステップと、
を具え、該吸着装置が第１弾性係数を具えた第１弾性装置を具え、該第１弾性装置がスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第１段階収縮が形成された後に、該第１弾性装置により試験待機電子装置の複数の端子と対応する試験端子が不接触とされ、第２段階収縮の下圧力が試験機により提供され、且つ該下圧力が第１弾性装置の第１弾性係数より大きく、気密空間が第２弾性係数を具えた第２弾性装置を具え、且つ該第２弾性装置が気密空間の形成した吸引力を受けて圧縮され、並びにこの吸引力が消失した後に該第２弾性装置の第２弾性係数により圧縮された気密空間が回復させられることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は試験待機電子装置のピックアップ方法と装置に係り、特に二種類の異なる弾性係数の弾性装置により二段階の圧縮を発生する試験待機電子装置のピックアップ方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子装置は製造完成後に通常試験を行なう必要があり、それによって所定の機能を達成できるか否かを確定できる。試験時には、通常、バッチ全体の電子装置を試験機（ｔｅｓｔｅｒ）のトレイ（ｔｒａｙ）中に放置し、試験機上のハンドラー（ｈａｎｄｌｅｒ）で一つ或いは複数の電子装置をシャトル装置（ｓｈｕｔｔｌｅ  ｍｅａｎｓ）に運び、続いてシャトル装置で試験待機電子装置を試験エリアに運送し、更に試験エリアのピックアップ装置で電子装置を吸着し、更にソケットに運び、試験を行ない、並びに試験完成後に、電子装置をシャトル装置に渡してトレイエリアに戻し、更に試験結果により電子装置を合格トレイ或いは不合格のトレイ中に入れる。
【０００３】
伝統的に、ピックアップ装置は軟式吸着ヘッドとされ、真空吸着方式でパッケージ完成した試験待機電子装置の上表面（即ち平坦な表面）を吸着し、その後、吸い上げた電子装置を試験機に運び、下圧動作で電子装置中の複数の端子（ｐａｄｓ）を具えた下表面をソケット中の試験端子（ｐｏｇｏ  ｐｉｎｓ）と接触させ、電子装置の試験を行なう。前述の試験過程に合わせて、伝統的な電子装置は設計上、通常、端子が下表面に集中し、並びに上表面が平坦に保持される。一般には、電子装置の各端子の配置は相当に正確であるが、電子装置のパッケージ時の正確度は不足する場合があり、このため電子装置の厚さが不均一となり、このために電子装置が吸着される過程で、上表面を水平に保持することができても、下表面に垂直角度上の誤差が生じうる。
【０００４】
このような問題を解決するため、通常ピックアップ装置にはスプリング装置が取り付けられ、スプリングの弾性により試験待機電子装置の下表面を平らに押して試験機上のソケットに接合させる。また、電子装置に吸着時に回転或いは誤動作により水平の偏移を発生させないように、吸着ヘッドの周囲には一組のフローティングサイト（ｆｌｏａｔｉｎｇ  ｓｉｔｅ）が取り付けられ、試験待機電子装置が吸着される時に、フローティングサイトで囲まれたエリアに滑り込んで試験待機電子装置が固定位置に制限されるようにしている。
【０００５】
図１に示されるように、ピックアップ装置１０は吸着ヘッド１２、フローティングサイト１４とスプリング装置１６を具えている。ピックアップ装置１０は真空吸着方式を利用し、吸着ヘッド１２において発生する吸引力により試験待機電子装置１８を吸着し、並びに試験待機電子装置１８を吸着してフローティングサイト１４に滑り込ませて特定位置中に固定し、これは図２に示されるとおりである。このほか、スプリング装置１６は試験待機電子装置１８が下圧される時、試験待機電子装置１８表面にかかる圧力を平均して分散させて緩衝し、端子が損傷する状況を防止する。
【０００６】
このほか、試験待機電子装置１８がフローティングサイト１４に滑り込んだ時、歪みの状況を発生しうるため、図２中の吸着ヘッド１２は軟式の吸着ヘッドとされ、これにより試験待機電子装置１８が吸着された後に、受力の不平均により一辺が先にフローティングサイト１４に滑り込む時、図３に示されるように、軟式吸着ヘッド１２が弾性を具備して変形を発生することで試験待機電子装置１８に貼り付き、これにより試験待機電子装置１８のその他の部分を平らに引っ張り、これは図２に示されるとおりである。これにより、フローティングサイトが電子装置を局限する範囲は試験待機電子装置１８よりも僅かに大きな空間を保留して、吸着時に、空間が小さ過ぎて試験待機電子装置１８とフローティングサイト１４の間に過大な摩擦力が発生しひっかかりや歪みを発生するのを防止する必要がある。しかし、現在、電子装置の端子数は大量に増加し、ゆえに各端子間の正確度に対する要求もますます高くなっており、このためフローティングサイト１４が保留できる空間の許容範囲もますます小さくなっており、これにより吸着の瞬間に試験待機電子装置１８をフローティングサイト１４に滑り込ませることもますます困難となっている。
【０００７】
このほか、製品の多様化要求に合わせ、多くの電子装置はパッケージの上表面と下表面に共に端子或いはその他の特殊アクセサリ、例えば電荷結合素子（ＣＣＤ）１８０を取り付ける必要が生じ、この電荷結合素子１８０は通常、一つの表面に一層の感光層１８４が配置され光線を受け取り、並びにもう一つの表面に端子１８２が配置され外界と接触し、これは図４に示されるとおりである。しかし、試験時には、必要とする試験光が試験機より発射され、ゆえに感光層が下表面に設けられ、端子１８２が上表面に設けられなければならない。このとき、図５に示されるように、ピックアップ装置１０はもともと有する吸着ヘッド１２のほかに、更に上表面の端子１８２に対応する試験端子１０２が取り付けられなければならず、更にその他の設定により試験機と接触して試験信号を伝達しなければならない。このため、試験待機電子装置１８が吸着されて、フローティングサイト１４に滑り込む時、吸い取り角度の偏差により上表面の端子１８２と試験端子１０２が衝突し、試験端子１０２が損傷したり吸着ヘッド１２の真空が破壊されて試験待機電子装置１８が脱落することがあり、これは図６に示されるとおりである。
【０００８】
これにより、両面にアクセサリが取り付けられた電子装置１８のピックアップ時に上表面の端子の試験端子との衝突を防止でき、並びに試験待機電子装置を正確にフローティングサイトに正確に順調に滑り込ませることができるようにし、ピックアップの失敗による性能低下を防止することが現在の電子装置に対する試験を行なう上での一大課題となっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は一種の試験待機電子装置のピックアップ方法と装置を提供し、それは従来の技術中の試験待機電子装置がフローティングサイトに滑り込む時に、歪んで上表面の端子が試験端子に衝突し、これにより端子或いは試験端子が損傷したり試験待機電子装置が脱落する問題を防止できる方法と装置である。
【００１０】
本発明の主要な目的は、ピックアップ装置の吸着過程で、試験待機電子装置の上表面の端子の試験端子との衝突による端子の損壊或いは試験待機電子装置の脱落を防止することにあり、このため本発明では電子装置が吸着される時に、端子と試験端子に距離を保持させることで、衝突の問題を回避できるようにする。
【００１１】
本発明のもう一つの目的は、試験待機電子装置を正確に誤差範囲がますます小さくなるフローティングサイトに正確に滑り込ませられるようにすることにあり、このため本発明では吸着時の吸引力を利用して第１段階の収縮を形成し、電子装置を吸着後にフローティングサイトに引き入れ、試験待機電子装置が吸着される時にフローティングサイトに衝突する反作用力により偏差が形成される状況を防止できるようにする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１の発明は、吸着装置、ベース、吸気装置を具えた試験待機電子装置のピックアップ装置であり、
該吸着装置は、気密空間中に置かれ、少なくとも１本の吸管を具え、該吸管の一端が該気密空間と連通し、且つ試験待機電子装置の吸着される表面に複数の端子が設けられ、
該ベースは、該気密空間、フローティングサイト及び複数の試験端子を具え、該気密空間の両端開口が該吸気装置と該吸着装置に接触して該気密空間を形成し、該吸着装置が該気密空間中の第１位置と第２位置の間に制限されて移動し、並びに該気密空間と気密接触を保持し、
該吸気装置は、吸気により吸引力を発生し、各吸管が該吸引力により該試験待機電子装置を吸着し、該試験待機電子装置を吸着後に、該吸着装置と該試験待機電子装置を連帯して該フローティングサイトの制限する固定位置に引き動かして至らせ、並びに該吸引力が消失後に、該気密空間が該吸着装置を第１位置に回復させ、
該吸気装置が送気により推力を発生し、圧縮された気密空間を回復させ、該端子と該試験端子に、該吸着装置が第２位置に移動した時に、ある距離を保持させることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置としている。
請求項２の発明は、請求項１記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、吸着装置が第１弾性係数を具えた第１弾性装置を具え、該第１弾性装置と吸管が結合され、且つ該第１弾性装置がスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第１弾性装置は吸着装置が第２位置に移動させられた時、該第１弾性係数により端子と試験端子の間の距離を制御し、該端子と試験端子を不接触とし、第１弾性装置が第１弾性係数より大きい圧力を受ける時、該第１弾性装置の収縮により該端子と該試験端子が接触することを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置としている。
請求項３の発明は、請求項１記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、気密空間が第２弾性係数を具えた第２弾性装置を具え、該第２弾性装置は吸着装置の第１位置と第２位置の間の位置を制御し、且つ第２弾性装置はスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第２弾性装置は試験待機電子装置が吸着された後に、その吸引力を受けて圧縮され、並びに吸引力が消失した後、第２弾性装置が回復し、圧縮された気密空間を回復させることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置としている。
請求項４の発明は、請求項２又は３記載の試験待機電子装置のピックアップ装置において、第２弾性装置の第２弾性係数が、第１弾性装置の第１弾性係数より小さいことを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ装置としている。
請求項５の発明は、試験待機電子装置のピックアップ方法において、
吸着される表面に複数の端子を具えた試験待機電子装置を、吸気装置の吸気により発生する吸引力により吸着装置に吸着させ、これにより気密空間に吸引力を形成させる、吸引力形成ステップと、
気密空間の形成した吸引力により吸着装置を気密空間中で移動させて第１段階の収縮を形成して試験待機電子装置を固定位置中に導入する、第１段階収縮形成ステップと、
下圧力により該試験待機電子装置の複数の端子を対応する試験端子に接触させて試験を行なう、第２段階収縮形成ステップと、
気密空間回復ステップと、
を具え、該吸着装置が第１弾性係数を具えた第１弾性装置を具え、該第１弾性装置がスプリング或いは弾性スポンジで組成され、第１段階収縮が形成された後に、該第１弾性装置により試験待機電子装置の複数の端子と対応する試験端子が不接触とされ、第２段階収縮の下圧力が試験機により提供され、且つ該下圧力が第１弾性装置の第１弾性係数より大きく、気密空間が第２弾性係数を具えた第２弾性装置を具え、且つ該第２弾性装置が気密空間の形成した吸引力を受けて圧縮され、並びにこの吸引力が消失した後に該第２弾性装置の第２弾性係数により圧縮された気密空間が回復させられることを特徴とする、試験待機電子装置のピックアップ方法としている。
【発明の効果】
【００１３】
これにより、本発明では、二種類の異なる弾性係数の弾性装置を利用して二段階の圧縮を発生し、そのうち、第１段階の圧縮により吸着した試験待機電子装置をフローティングサイト（ｆｌｏａｔｉｎｇ  ｓｉｔｅ）に移動させて試験待機電子装置の位置を固定し、この時、試験待機電子装置の端子（ｐａｄｓ）と試験端子（ｐｏｇｏ  ｐｉｎ）は不接触とし、これにより試験待機電子装置の端子と試験端子の接触により吸着ヘッドの真空が破壊されて電子装置が脱落する問題を防止する。このほか、試験待機電子装置を試験機上の試験端子に移動させた時、更に第２段階の圧縮で試験待機電子装置の端子を試験端子と接触させて試験を行なう。試験完了後に、第２段階の圧縮を解除し、試験待機電子装置の端子と試験端子を分離させ、更に試験待機電子装置をトレイエリアに移動させて真空を破壊して釈放すると共に、第１段階の圧縮を解除する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明は以下に具体的実施例を以て説明される。しかし、その詳細な記述のほか、本発明は更に広く他の実施例で実施可能であり、且つ本発明の範囲は実施例の記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に準じるものとする。
【００１５】
更に、明らかな記載を提供し本発明の理解を容易とするため、図中の各部分はその相対寸法により描かれておらず、ある寸法とその他の関係寸法の比は誇張されている。関係のない細部は完全には記載されておらず、図示を簡潔としている。
【００１６】
本発明は一つ或いは複数の吸管により電子装置を吸着し、各吸管は吸着装置に固定され、並びに各吸管の一端が電子装置を吸着するのに用いられ、別端は気密空間に連通し、並びに吸入装置（例えばポンプ）で気密空間に対する減圧を行ない真空を形成し、各吸管に吸引力を発生させて試験待機電子装置を吸着させる。試験待機電子装置が吸着された後、各吸管は気密を形成し、気密空間も気密を形成し、気密空間の圧縮により第１段の収縮が形成されて、試験待機電子装置をフローティングサイトの制限する範囲中に導入する。これにより試験待機電子装置が吸着後にフローティングサイトの制限する範囲中に導入され、こうして、吸着時の受力の不均一による歪みの状況を防止できると共に、試験待機電子装置を正確にフローティングサイトの制限する範囲内に導入でき、また、フローティングサイトの制限する範囲中の保留の空間を小さくすることができる。このほか、試験待機電子装置の吸着される表面に多くの端子が配設されている場合には、複数の吸管を用いて試験待機電子装置の表面の端子未配置部分を吸着して試験待機電子装置を吸着する吸引力を分散し、これにより本発明が吸着できる試験待機電子装置は試験待機電子装置の吸着される表面の端子位置により制限を受けることがない。このほか、試験待機電子装置の試験が完成した時、吸気装置はそれ以上吸気せず、並びに気密空間をもとの大きさに回復させる（即ちいわゆる真空破壊）する必要があり、この時、吸気装置の送気を利用して達成するか、或いは弾性装置（スプリング或いは弾性スポンジ）を利用して回復させる。
【００１７】
本発明の具体的実施例によると、試験待機電子装置のピックアップ装置１００は、図７に示されるように、ベース２４、吸着装置２２と吸気装置２６を具えている。吸着装置２２はベース２４の気密空間２４２中に位置し、それぞれ一本或いは複数本の吸管２２２を具え、この吸管２２２は軟性材質の管或いは伸縮機能を有する管とされる。吸気装置２６が吸気実行する時、気密空間２４２及び吸管２２２が負圧を形成し、これにより吸引力を発生して試験待機電子装置２８の端子を具備する表面を吸着する。吸管２２２が試験待機電子装置２８の吸着を完成した後、更に気密空間２４２が更に大きな負圧を発生し、ゆえに全体の吸着装置２２及び試験待機電子装置２８が一緒に気密空間２４２の上端に吸引され、第１段階の収縮が完成する。
【００１８】
このほか、ベース２４上にはフローティングサイト２４４、複数の試験端子２４６と気密空間２４２が配置されている。気密空間２４２の第１開口は吸気装置２６に接続され、第２開口は吸着装置２２を収容し、吸着装置２２と気密空間２４２の間は気密接触し、即ち吸着装置２２と気密空間２４２の間のギャップは非常に小さく、気体が漏れ出し難いか漏れ出し不能である。このほか、吸着装置２２の接続端２２４は気密空間２４２内を移動可能であるが、ｘの範囲中の移動に制限され、即ち吸着装置２２は一定範囲内を活動可能である。吸着装置２２は吸気装置２６が未吸気時に、吸着端（即ち第１位置と定義される）に接近して置かれ、吸気装置２６が吸気時には、気体は吸着装置２２の吸管２２２のみより進入し、並びに各吸管２２２が試験待機電子装置２８を吸着して塞がれる時、気密空間２４２内に第１開口から吸着端の間の気密空間が形成される。不断の吸気により、気密空間は圧縮され、吸着装置２２が第１位置から吸気装置２６の第２位置（即ち気密空間２４２の上端）に移動し、これは図１７に示されるとおりである。第１段階の収縮の移動はｘに制限され、ゆえにｘの移動に対する適宜設計と制御により、試験待機電子装置２８の端子２８２と試験端子２４６をある距離に保持でき、衝突の問題を回避できる。
【００１９】
更に、本発明の吸着装置２２中には更に第１弾性係数を具えた第１弾性装置３０が設けられ、この第１弾性装置３０はスプリング或いは弾性スポンジにより形成される。吸管２２２が試験待機電子装置２８の吸着を完成後に、全体の吸着装置２２及び試験待機電子装置２８が一緒に気密空間２４２の上端（即ち第２位置）に吸引され、第１段階の収縮が完成する。第１弾性装置３０は応力吸収の作用を有し、緩衝装置とされて第１段階の収縮により発生した圧力を吸収して、試験待機電子装置２８が受ける応力を減らすほか、更に試験待機電子装置２８に吸着後に水平な状態を保持させる調整を行なうのに用いられ、これにより試験待機電子装置２８の端子２８２と試験端子２４６の間の距離を制御でき、こうして、試験待機電子装置２８の端子２８２が第１段階の収縮時に、直接試験端子２４６に衝突するのを防止でき、これは図９に示されるとおりである。
【００２０】
上述のピックアップ装置１００は試験待機電子装置２８が吸管２２２に吸着され並びに第２開口に向けてｘの移動距離を引き動かされた後、試験待機電子装置２８は正確にフローティングサイト２４４の制限する範囲中に導入される。その後、試験待機電子装置２８が試験機のソケット（図示せず）に移動させられる時、試験機が提供する下圧の動作により第２段階の収縮を発生し、試験待機電子装置２８とソケットが接合され、この下圧力が第１弾性係数より大きい時、更に第１弾性装置３０が圧縮され、端子２８２と試験端子２４６が接触させられ試験が行なわれ、これは図１０に示されるとおりである。同様に、第１弾性装置３０が有する応力吸収の作用により、緩衝装置として第２段階の収縮で発生する圧力が吸収され、端子２８２と試験端子２４６が緩和された力で接触完成し、過大な第２段階収縮力による試験待機電子装置２８或いは試験端子２４６の損壊が防止される。
【００２１】
最後に試験待機電子装置２８の試験が完成した後、試験機は下圧の力を終了し、並びに引き上げの力を提供し、試験待機電子装置２８をソケットより離脱させる。この時、第１弾性装置３０もまた端子２８２と試験端子２４６を分離させる。続いて、吸気装置２６が送気を行ない（即ち真空破壊）、並びに試験待機電子装置２８をトレイ中に落とす。真空が破壊された後、吸気装置２６が気体を気密空間２４２に流入させて気密空間２４２の気圧を外部気圧と等しくし、吸着装置２２を第１位置まで下降させる。
【００２２】
このほか、吸着装置２２が正確に第１位置に戻って、吸管２２２と試験待機電子装置２８の間の距離を保持し、吸着装置２２が所定の吸引力で試験待機電子装置２８を有効に吸着できるようにするため、本発明は更にもう一つの実施例を提供し、それは図１１に示されるとおりである。本実施例中、先にピックアップ装置１００の気密空間２４２中に第２弾性係数を具えた第２弾性装置３２が置かれ、この第２弾性装置３２を利用して吸着装置２２の気密空間２４２中での位置を制御する。そのうち、第２弾性装置３２の第２弾性係数は第１弾性装置３０の第１弾性係数より小さくなければならず、これにより吸気装置２６の発生する第１段階収縮の吸引力が第２弾性装置３２を圧縮するが、第１弾性装置３０を収縮させるには不足するため、端子２８２と試験端子２４６がある距離を維持して不接触とされる。試験待機電子装置２８の試験が完成して真空破壊された後、吸気装置２６が空気を気密空間２４２に流入させ、気密空間２４２の気圧を外部の気圧と等しくし、この時吸気装置２６は第２弾性装置３２の第２弾性係数により第１位置に回復する。
【００２３】
このほか、上述の第１弾性装置３０と第２弾性装置３２は一つ或いは複数の弾性部品で構成され、例えば環形リング、スポンジ或いはスプリングで構成され、本発明では弾性装置の種類と数量について制限を加えない。
【００２４】
本発明はまた一種の測定待機電子装置のピックアップ方法を提供し、それは図１２に示されるようである。まず、ステップ４１０で、試験待機電子装置のピックアップ装置中にあって、吸気装置２６の吸気により発生する吸引力により試験待機電子装置２８を吸着し、気密空間２４２に吸引力を形成させる試験待機電子装置のピックアップ装置については先の実施例で詳しく説明しているため説明は省略する。続いて、ステップ４２０で、気密空間２４２の形成した吸引力により第１段階の収縮力を発生して気密空間２４２を封じ並びに試験待機電子装置２８をフローティングサイト２４４の制限する固定位置中に導入する。そのうち、試験端子２４６と試験待機電子装置２８の端子２８２は不接触状態を保持する。その後、ステップ４３０で、ピックアップ装置１００の加える下圧力により第２段階の収縮を形成し、試験待機電子装置２８の端子２８２と試験端子２４６を接触させて試験を行なう。そのうち、第１弾性装置３０により緩衝を行ない、試験待機電子装置２８の端子２８２と試験端子２４６を適宜接触させる。最後に、ステップ４４０で、試験待機電子装置２８を釈放した後、気密空間２４２の位置を回復し、そのうち気密空間２４２の回復においては、第２弾性装置３２により気密空間２４２を確実に適当な位置に回復させる。
【００２５】
以上は本発明の実施例の説明であって本発明の特許請求範囲を限定するためのものではなく、以上の記述により本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が本発明を明確に理解し実行できる。本発明に基づく細部の修飾或いは改変であって本発明の精神の下でなしうるものは、いずれも本発明の請求範囲に属するものとする。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】周知の技術の装置表示図である。
【図２】周知の技術の装置表示図である。
【図３】周知の技術の装置表示図である。
【図４】周知の技術の装置表示図である。
【図５】周知の技術の装置表示図である。
【図６】周知の技術の装置表示図である。
【図７】本発明の第１実施例の装置表示図である。
【図８】本発明の第１実施例の装置表示図である。
【図９】本発明の第１実施例の装置表示図である。
【図１０】本発明の第１実施例の装置表示図である。
【図１１】本発明の実施例の別の装置の表示図である。
【図１２】本発明の別の実施例のフローチャートである。
【符号の説明】
【００２７】
１０、１００  ピックアップ装置
１０２  試験端子
１２  吸着ヘッド
１４  フローティングサイト
１６  弾性装置
１８  電子装置
１８０  電荷結合素子
１８２  端子
１８４  感光層
２２  吸着装置
２２２  吸管
２２４  接続端
２４  ベース
２４２  気密空間
２４４  フローティングサイト
２４６  試験端子
２６  吸気装置
２８  電子装置
２８２  端子
３０  第１弾性装置
３２  第２弾性装置
【図１】
2006084280.tif 000003
【図２】
2006084280.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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