(57)【要約】【課題】ディスク供給ユニットのチャック手段でチャッキングしたスレーブディスクを精度良く位置決めすることのできるディスクの位置決め方法を提供すること。【解決手段】チャック手段４２で実際にディスク４０をチャッキングした状態で、チャック手段４２の基準点ＳＰとディスクの中心ＤＣとの偏移量ｄを測定し、測定された偏移量ｄを基に実際のディスク中心ＤＣと基準ディスク中心との位置関係を算出するようにした。【選択図】      図６
2006252610.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクをホルダに位置決めするためのディスクの位置決め方法において、
前記ディスクを認識マークを有するチャック手段で正規にチャッキングした場合のディスク中心を基準ディスク中心としたとき、該基準ディスク中心と所定の位置関係にある点をチャック手段の基準点となし、
前記基準ディスク中心とチャック手段に設けられた前記認識マークとの位置関係を予め記憶させ、
前記チャック手段で実際にディスクをチャッキングした状態で、前記チャック手段の基準点と前記実際のディスク中心との偏移量を測定し、
測定された偏移量を基に実際のディスク中心と前記基準ディスク中心との位置関係を算出して、実際のディスク中心と前記チャック手段の認識マークとの位置関係を算出し、
前記チャック手段の認識マークの位置を認識し、
算出された実際のディスク中心とチャック手段の認識マークとの位置関係を基に前記ディスクの位置決めを行うことを特徴とするディスクの位置決め方法。
【請求項２】
前記偏移量の測定は、前記ディスクと平行な面内の１方向で行うことを特徴とする請求項１に記載のディスクの位置決め方法。
【請求項３】
前記偏移量の測定は、前記ディスクと平行な面内の１方向及びその方向と交差する方向との２方向で行うことを特徴とする請求項１に記載のディスクの位置決め方法。
【請求項４】
被転写用のスレーブディスクと転写すべき情報を備えたマスターディスクとを、基準マークを有するホルダユニットで密着保持し、転写用磁界を印加して前記スレーブディスクに前記情報を磁気的に転写する磁気転写装置において、
認識マークを有し、前記ホルダユニットに前記スレーブディスクを供給するディスク供給ユニットと、
前記基準マーク及び前記認識マークを認識する認識手段と、
前記ディスク供給ユニットのチャック手段とチャック手段にチャッキングされた前記スレーブディスクの中心との偏移量を測定する測定手段と、
測定された偏移量によって前記スレーブディスクの中心と前記認識マークとの位置関係を算出する制御手段と、
前記認識された基準マークの位置と認識マークの位置、及び算出されたスレーブディスクの中心と認識マークとの位置関係とから前記スレーブディスクを前記ホルダユニットに位置決めする位置決め手段と、が設けられたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項５】
前記測定手段は、テレセントリック光学系を用いたことを特徴とする請求項４に記載の磁気転写装置。
【請求項６】
被転写用のスレーブディスクと転写すべき情報を備えたマスターディスクとを、ホルダユニットで密着保持し、転写用磁界を印加して前記スレーブディスクに前記情報を磁気的に転写する磁気転写方法において、
前記ホルダユニットに基準マークを設けるとともに、前記ホルダユニットに前記スレーブディスクを供給するディスク供給ユニットに認識マークを設け、
前記基準マーク、及び前記認識マークを認識し、
前記ディスク供給ユニットのチャック手段とチャック手段にチャッキングされた前記スレーブディスクの中心との偏移量を測定し、
測定された偏移量によって前記スレーブディスクの中心と前記認識マークとの位置関係を算出し、
前記認識された基準マークの位置と認識マークの位置、及び算出されたスレーブディスクの中心と認識マークとの位置関係とから前記スレーブディスクを前記ホルダユニットに位置決めすることを特徴とする磁気転写方法。
【請求項７】
前記請求項６に記載の磁気転写方法によってスレーブディスクに情報を記録することを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する磁気転写装置のディスクの位置決め方法、磁気転写装置、磁気転写方法、及び磁気ディスクの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。
【０００３】
従来、この種の磁気転写技術として各種の提案がなされている（たとえば、特許文献１〜２参照。）。このうち、特許文献１は、磁気転写を行う際に、１つのハンドラーの間欠駆動により、作業効率を向上させる旨の提案である。
【０００４】
特許文献２は、磁気転写を行う際の、マスターディスクと転写されるハードディスク（スレーブディスク）との位置決めに画像認識を導入し、位置決め精度の向上を図る旨の提案である。
【特許文献１】特開２００１−２５０２２７号公報
【特許文献２】特開２００１−３５１２３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来技術において、スレーブディスク（磁気ディスク、又は単にディスクと呼称することがある）とマスターディスクとはホルダユニットによって密着狭持されて磁気転写が行われるが、スレーブディスクの中心とマスターディスクの中心とが正確に一致している必要がある。
【０００６】
マスターディスクとホルダユニットとの位置合わせは、予め転写装置の外部でいわゆる外段取りで位置合わせされるが、スレーブディスクはその都度ディスク供給ユニットによってホルダユニットに搬送され、位置合わせがなされる。
【０００７】
この場合、ホルダユニットには基準マークが設けられており、この基準マークが読み取られてホルダユニットの位置が認識される。また、ディスク供給ユニットには認識マークが設けられており、この認識マークも読み取られてディスク供給ユニットの位置が認識される。
【０００８】
また、ディスク供給ユニットのチャック手段でスレーブディスクをチャッキングした場合の、設計上のスレーブディスク中心とディスク供給ユニットの認識マークとの位置関係が記憶され、この位置関係によってスレーブディスクをディスクホルダに正確に位置決めし、スレーブディスクの中心とマスターディスクの中心とを正確に一致するようにしている。
【０００９】
ところが、ディスク供給ユニットのチャック手段でスレーブディスクをチャッキングする場合、常に設計値どおりにチャッキングできるわけではなく、スレーブディスクの中心位置がチャッキングする度にばらつくという問題があった。このばらつきは例えば４００μｍ以上も生じることがあり、とても無視できる範囲のものではなかった。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ディスク供給ユニットのチャック手段でチャッキングしたスレーブディスクを精度良く位置決めすることのできるディスクの位置決め方法、磁気転写装置、磁気転写方法、及び磁気ディスクの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するために、本発明のディスクの位置決め方法は、ディスクをホルダに位置決めするためのディスクの位置決め方法において、前記ディスクを認識マークを有するチャック手段で正規にチャッキングした場合のディスク中心を基準ディスク中心としたとき、該基準ディスク中心と所定の位置関係にある点をチャック手段の基準点となし、前記基準ディスク中心とチャック手段に設けられた前記認識マークとの位置関係を予め記憶させ、前記チャック手段で実際にディスクをチャッキングした状態で、前記チャック手段の基準点と前記実際のディスク中心との偏移量を測定し、測定された偏移量を基に実際のディスク中心と前記基準ディスク中心との位置関係を算出して、実際のディスク中心と前記チャック手段の認識マークとの位置関係を算出し、前記チャック手段の認識マークの位置を認識し、算出された実際のディスク中心とチャック手段の認識マークとの位置関係を基に前記ディスクの位置決めを行うことを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、チャック手段で実際にディスクをチャッキングした状態で、チャック手段の基準点とディスクの中心との偏移量を測定し、測定された偏移量を基に実際のディスク中心と正規のディスク中心（基準ディスク中心）との位置関係を算出するので、チャッキングによりディスク中心位置のばらつきがあっても、正確にディスクの位置決めを行うことができる。
【００１３】
本発明において、前記測定を前記ディスクと平行な面内の１方向で行うこと、あるいは前記ディスクと平行な面内の１方向及びその方向と交差する方向との２方向で行うことで、チャック手段の基準点とディスクの中心との偏移量を測定することができる。
【００１４】
また、本発明の磁気転写装置は、被転写用のスレーブディスクと転写すべき情報を備えたマスターディスクとを、基準マークを有するホルダユニットで密着保持し、転写用磁界を印加して前記スレーブディスクに前記情報を磁気的に転写する磁気転写装置において、認識マークを有し、前記ホルダユニットに前記スレーブディスクを供給するディスク供給ユニットと、前記基準マーク及び前記認識マークを認識する認識手段と、前記ディスク供給ユニットのチャック手段とチャック手段にチャッキングされた前記スレーブディスクの中心との偏移量を測定する測定手段と、測定された偏移量によって前記スレーブディスクの中心と前記認識マークとの位置関係を算出する制御手段と、前記認識された基準マークの位置と認識マークの位置、及び算出されたスレーブディスクの中心と認識マークとの位置関係とから前記スレーブディスクを前記ホルダユニットに位置決めする位置決め手段と、が設けられたことを特徴とする。
【００１５】
本発明の磁気転写装置によれば、チャック手段で実際にディスクをチャッキングした状態で、チャック手段の基準点とディスクの中心との偏移量を測定する測定手段を有し、測定された偏移量を基に実際のディスク中心と設計上のディスク中心との位置関係を算出するので、チャッキングによりディスク中心位置のばらつきがあっても、正確にディスクの位置決めを行うことができ、良好な磁気転写を行うことができる。
【００１６】
本発明において、前記測定手段は、テレセントリック光学系を用いたことを特徴とする。テレセントリック光学系では主光線がレンズ光軸に対して平行であるため、被写体が光軸方向に移動しても測定値に影響がなく、高精度な測定ができる。
【００１７】
また、本発明の磁気転写方法は、被転写用のスレーブディスクと転写すべき情報を備えたマスターディスクとを、ホルダユニットで密着保持し、転写用磁界を印加して前記スレーブディスクに前記情報を磁気的に転写する磁気転写方法において、前記ホルダユニットに基準マークを設けるとともに、前記ホルダユニットに前記スレーブディスクを供給するディスク供給ユニットに認識マークを設け、前記基準マーク、及び前記認識マークを認識し、前記ディスク供給ユニットのチャック手段とチャック手段にチャッキングされた前記スレーブディスクの中心との偏移量を測定し、測定された偏移量によって前記スレーブディスクの中心と前記認識マークとの位置関係を算出し、前記認識された基準マークの位置と認識マークの位置、及び算出されたスレーブディスクの中心と認識マークとの位置関係とから前記スレーブディスクを前記ホルダユニットに位置決めすることを特徴とする。
【００１８】
本発明の磁気転写方法によれば、チャック手段で実際にディスクをチャッキングした状態で、チャック手段の基準点とディスクの中心との偏移量を測定し、測定された偏移量を基に実際のディスク中心と設計上のディスク中心との位置関係を算出するので、チャッキングによりディスク中心位置のばらつきがあっても、正確にディスクの位置決めを行うことができ、良好な磁気転写を行うことができる。
【００１９】
また、本発明の磁気ディスクの製造方法は、前述した磁気転写方法によってスレーブディスクに情報を記録することを特徴とする。本発明の磁気ディスクの製造方法によれば、容易な位置決め方法で正確なディスクの位置決めを行って、良好な磁気転写を行い、高品位な磁気ディスクを安価に製造することができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように、本発明によれば、ディスク供給ユニットのチャック手段でチャッキングしたスレーブディスクを、チャッキングによりディスク中心位置のばらつきがあっても、精度良く位置決めすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付図面に従って、本発明に係るディスクの位置決め方法、磁気転写装置、磁気転写方法、及び磁気ディスクの製造方法の好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係る磁気転写装置１０の全体構成を示す斜視図であり、図２は、ディスク用カセットの概要を示す斜視図である。この磁気転写装置１０は、装置本体１２と、この装置本体１２の全体を覆うクリーンユニット１４よりなる。先ず、装置本体１２の構成について説明する。
【００２２】
この装置本体１２は架台５８を備え、この架台５８上には水平方向に面をなすベース６０が設けられている。なお、太い矢印で示される側が、装置本体１２の前面であり、クリーンユニット１４の開口側である。
【００２３】
ベース６０の前端部には被転写用ディスクであるスレーブディスク４０を収容するディスク供給カセット３８、及び、磁気情報が転写され排出されたスレーブディスク４０を回収するカセットとしてのディスク排出カセット５６が設けられている。ディスク供給カセット３８とディスク排出カセット５６とは同一形状のものが採用されている。
【００２４】
図２に示されるように、ディスク供給カセット３８及びディスク排出カセット５６は、スレーブディスク４０がディスクがなす面を対向させて複数枚収納可能となっている。すなわち、カセットの内面に並行して形成された複数の溝９２、９２…のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク４０が遊挿されるようになっており、溝９２がなす面によってスレーブディスク４０の外周が保持され、複数のスレーブディスク４０のそれぞれは互いに離間して配置されるようになっている。
【００２５】
ベース６０の上面の略中央部には、インデックステーブル５０がベース６０に対して垂直方向の軸により回転自在に取り付けられている。インデックステーブル５０上には、一対のマスターディスク４６と１枚のスレーブディスク４０を保持する保持手段としてのホルダユニット２２が、インデックステーブル５０の回転方向に等間隔（９０度おき）に４台配設されている。
【００２６】
図３に断面図で示されるように、ホルダユニット２２は、一対のホルダ部である固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とよりなる。固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、各々マスターディスク４６を吸着または接着により外段取り等により位置決め固定し保持するとともに、スレーブディスク４０（図示略）を吸着保持し、マスターディスク４６、４６によってスレーブディスク４０を密着状態で挟持させることができるようになっている。
【００２７】
固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、スレーブディスク４０のそれぞれの主面に記録する磁気情報に対応するべく、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４のそれぞれに、記録されている情報が異なったマスターディスク４６、４６を固定する。そして、これらの２枚１組のマスターディスク４６、４６をスレーブディスク４０のそれぞれの主面に密着させ挟み込むことができるようになっている。
【００２８】
固定側ホルダ２３は、円形カップ状の部材であり、クッション材２３Ａを介してカップ内にマスターディスク４６を固定できるようになっている。移動側ホルダ２４は、円盤状の部材であり、クッション材２４Ａを介して表面にマスターディスク４６を固定できるようになっている。
【００２９】
また、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４の裏面（マスターディスク４６が固定される面の反対面）の中心には、それぞれ軸部材２３Ｂ、２４Ｂが立設されている。この軸部材２３Ｂは、装置本体１２に固定されている。一方、軸部材２４Ｂは、駆動手段（図示略）を介して装置本体１２に固定されており、固定側ホルダ２３に対し接離可能に移動できるようになっている。更に、固定側ホルダ２３の外周縁の近傍には、Ｏリング２５が固定されている。
【００３０】
以上で説明したホルダユニット２２の構成により、スレーブディスク４０を供給したり、取り外したりする際には、図３（Ａ）に示されるように、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが所定距離だけ離れた位置にセットされ、後述するディスク供給ユニット２６やディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０のハンドリングが容易な状態にされる。
【００３１】
一方、スレーブディスク４０の転写を行ったり、後述するインターロック手段により密閉手段を作動させ、ホルダユニット２２の内部に密閉空間を形成させたりする際には、図３（Ｂ）に示されるように、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とがＯリング２５を介して接する状態になり、ホルダユニット２２の内部に密閉空間が形成される。これにより、ホルダユニット２２の内部には、充分なクリーン度が確保でき、マスターディスク４６の寿命を飛躍的に向上させることができる。
【００３２】
なお、上記の密閉手段は、軸部材２４Ｂに接続される駆動手段と、Ｏリング２５等より構成される。
【００３３】
また、図３（Ｂ）に示されるように、ホルダユニット２２の内部において、マスターディスク４６、４６同士の間には所定のクリアランスが形成されるようになっており、マスターディスク４６、４６同士の接触が避けられるように構成されている。また、図示は省略したが、スレーブディスク４０が供給される際も、ホルダユニット２２の状態は、図３（Ｂ）に示される状態と略同様である。
【００３４】
図１の装置本体１２において、インデックステーブル５０は、図示しない駆動モータにより間欠的に回転駆動され、各ホルダユニット２２が各割出位置に対応するように、各工程位置に順次送られて停止し、複数の作業が並行して行えるようになっている。インデックステーブル５０は、４つのホルダユニット２２が所定の４箇所の位置に常に配置されるように、間歇駆動される。すなわち、各ホルダユニット２２は、９０度移動毎に停止するようになっている。
【００３５】
更に、図１の装置本体１２は、ベース６０上面の一側部側（図１では、正面より左側）にディスク供給ユニット２６を、ベース６０上面の他側部側（図１では、正面より右側）にディスク排出ユニット３４をそれぞれ備えている。
【００３６】
ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を途中で他のチャック手段に受け渡すことをせずに、ディスク供給カセット３８からマスターディスク４６、４６が取り付けられているホルダユニット２２へ、直接搬送できるディスク供給手段である。
【００３７】
ディスク排出ユニット３４は、この逆に、磁気転写作業が完了したスレーブディスク４０を途中で他のチャック手段に受け渡すことをせずに、ディスク排出カセット５６に直接搬送できるディスク排出手段である。
【００３８】
ディスク供給ユニット２６により、ディスク供給カセット３８から取り出されたスレーブディスク４０は、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に予め装着されているマスターディスク４６に対して、相対的に位置決めが行われ、マスターディスク４６に設けられる空隙越しにホルダユニット２２によって吸着されて受け渡され、マスターディスク４６の磁気情報記録面とスレーブディスク４０の磁気情報被転写面とが密着されて保持される。固定側ホルダ２３の内側にはスレーブディスク４０の内径付近を吸着する吸着溝（図示略）が設けられ、この吸着溝によりスレーブディスク４０が吸着保持される。
【００３９】
ディスク供給ユニット２６は、図２に示されるように、スレーブディスク４０の内径を把持するための２片の保持具であるチャック４２ａ、４２ｂからなるチャック手段４２と、図１に示されるような、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット（位置決め手段）２７、２８、２９と、スレーブディスク４０をＸ−Ｚ平面内で１８０度回転するように、チャック４２ａ、４２ｂを回動させる、Ｙ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ４４から構成される。
【００４０】
すなわち、ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック４２ａ、４２ｂを、ロータリシリンダ４４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック４２の向きを反転するようになっている。
【００４１】
ディスク排出ユニット３４は、ホルダユニット２２が開かれた後、磁気転写後のスレーブディスク４０を受け取り、ディスク排出カセット５６に対して直接搬送し収納するディスク取出手段である。
【００４２】
ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持する２つの保持具であるチャック５２ａ、５２ｂからなるチャック手段５２と、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット３５、３６、３７と、スレーブディスク４０をＹ−Ｚ平面内で１８０度回転させるようにチャック５２ａ、５２ｂを回動させる、Ｘ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ５４から構成される。
【００４３】
すなわち、ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック５２ａ、５２ｂを、ロータリシリンダ５４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック５２の向きを反転するようになっている。
【００４４】
図４に示されるように、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３の下面部には、基準マーク２１Ａが予め取り付けられており、ディスク供給ユニット２６のチャック４２ａ、４２ｂには認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが予め取り付けられている。基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１Ｂは認識ユニット（認識手段）３０で視覚認識される。
【００４５】
この認識ユニット３０は、ベース６０上面で、ディスク供給カセット３８が設けられた側面と反対の側面にほど近い位置に配設されている。認識ユニット３０は、ディスク供給ユニット２６が搬送してきたスレーブディスク４０をマスターディスク４６に位置決めする際に、ホルダユニット２２とディスク供給ユニット２６のそれぞれに予め取り付けられた基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１ＢをＣＣＤカメラ等によって視覚的に認識する。
【００４６】
認識ユニット３０には制御手段３１が接続され、制御手段３１は認識された基準マーク２１Ａからマスターディスク４６の中心を算出し、また、認識された認識マーク２１Ｂ、２１Ｂからスレーブディスク４０の中心を算出する。そして、マスターディスク４６とスレーブディスク４０との中心が一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸のロボット２８、２９を駆動制御するようになっている。
【００４７】
位置決めされたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に保持されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動し、固定側ホルダ２３の内側に吸着保持される。
【００４８】
このとき、固定側ホルダ２３に設けられた基準マーク２１Ａと、固定側ホルダ２３において保持されているマスターディスク４６の中心位置との位置関係は、予め制御手段３１にティーチングされている。
【００４９】
一方、ディスク供給ユニット２６に設けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとスレーブディスク４０の中心位置との関係は、チャック手段４２のチャッキング動作によってチャック４２ａ、４２ｂの当接する部位を結ぶ直線上にスレーブディスク４０の中心があるものと見立てたときに、その中心位置（基準ディスク中心）と認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が、制御手段３１に予めティーチングされている。
【００５０】
これらのティーチングされた位置関係を基に、間接的にスレーブディスク４０とマスターディスク４６との位置関係が算出されるようになっている。
【００５１】
ところが、チャック手段４２のチャッキング動作によってチャック４２ａ、４２ｂの当接する部位を結ぶ直線上にスレーブディスク４０の中心が常にあるわけではなく、実際には数１００μｍのオーダーでスレーブディスク４０の中心がばらつく。
【００５２】
このため、本発明の磁気転写装置１０には、図５に示すような、チャック４２ａ、４２ｂの中心とスレーブディスク４０の中心との偏移量を測定する測定手段１１０が設けてある。測定手段１１０は、図５に示すように、投光部１１１と、測定対象物を挟んで投光部１１１と対向して配置された受光部１１２、及び図示しないコントローラ部とで構成されている。
【００５３】
投光部１１１には、例えば高輝度ＧａＮグリーンＬＥＤからなる光源から放出される光線を特殊拡散ユニットで拡散し、コリメータレンズで平行光線にしたものが用いられ、このような投光部１１１は安価で平行光線を得る投光部として適している。
【００５４】
測定対象物を挟んで投光部１１１と対向して配置された受光部１１２には、例えば、テレセントリック光学系を組み込んで、入射する光線をＣＣＤイメージセンサで受光するものが好適である。
【００５５】
テレセントリック光学系とは、開口絞りがレンズの焦点位置にあるレンズのことで、開口絞りがレンズの焦点位置にあるため主光線がレンズ光軸に対して物体側、像側、もしくは両側で平行にすることができる。
【００５６】
特に、物体側がテレセントリックなレンズでは、画角（テレセントリシティー）が限りなく０°に近いため、測定対象物が上下しても寸法変動や位置変動がなく、測定誤差が発生しない。たとえ測定対象物が被写界深度から外れ、ピントがボケてもこの性能が維持される。
【００５７】
従って、厚みの異なる立体形状物を同一視野、同一倍率にて測定する場合や、ピント方向の測定対象物との位置がラフな場合などの悪条件下での高精度な画像処理計測が必要な時に威力を発揮する。
【００５８】
図６は、測定手段１１０によってチャック４２ａ、４２ｂの中心とスレーブディスク４０の中心との偏移量を測定する場合の測定原理を説明するための図である。
【００５９】
チャック４２ａ、４２ｂの先端子４２ｃ、４２ｃ間の中心点がチャック手段４２の基準点ＳＰであり、スレーブディスク４０の内周をチャック手段４２のチャック４２ａ、４２ｂで正しくチャッキングしたとき、スレーブディスク４０の中心（基準ディスク中心）がチャック手段４２の基準点ＳＰと合致するように設計されている。
【００６０】
図６においては、スレーブディスク４０の中心ＤＣがチャック手段４２の基準点ＳＰに対して横方向にｄだけズレてチャッキングされている。このときのチャック手段４２の幅ａと、スレーブディスク４０の中心孔の開口部ｂ及びｃの寸法を測定手段１１０にて測定する。この場合、スレーブディスク４０の中心ＤＣのチャック手段４２の基準点ＳＰに対するズレ量（偏移量）ｄは、ｄ＝（ｂ−ｃ）／２で算出される。
【００６１】
求められたズレ量（偏移量）ｄを基に、予めティーチングされているスレーブディスク４０の中心ＤＣの位置とチャック手段４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が修正され、スレーブディスク４０の位置決めが正確に行われるようになっている。
【００６２】
転写部におけるコイルユニット３２、３２は、ホルダユニット２２を閉じて、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とのそれぞれに固定されたマスターディスク４６、４６によって、スレーブディスク４０を挟持した状態のものに対し、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０との積層方向からみて両側にコイルを離間して配置したものである。このコイルユニット３２、３２は、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０に対して、磁気転写作用を促進するための所定の強度の磁界を印加するものである。
【００６３】
次に、上記のように構成された磁気転写装置の運転方法について説明する。先ず、定常時の運転方法について説明する。
【００６４】
運転開始により、ディスク供給ユニット２６のチャック手段４２（チャック４２ａ、４２ｂ）がディスク供給カセット３８内のスレーブディスク４０を把持して、順次１枚ずつ取り出す。
【００６５】
取り出されたスレーブディスク４０は、チャック手段４２でチャッキングされたままの状態で、スレーブディスク４０の中心ＤＣのチャック手段４２の基準点ＳＰに対するズレ量（偏移量）ｄが測定手段１１１によって測定される。
【００６６】
次いで、求められたズレ量（偏移量）ｄを基に、予めティーチングされているスレーブディスク４０の中心（基準ディスク中心）の位置とチャック手段４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が修正される。
【００６７】
次に、スレーブディスク４０は、ロータリシリンダ４４の回動によりＹＺ平面内で反転された後、Ｘ軸ロボット２７によって、ディスク供給工程位置８２に配置された開かれたホルダユニット２２により形成されたマスターディスク４６、４６間の空隙の、ホルダユニット２２の開閉方向に直交する方向上まで移動され、Ｙ軸ロボット２８によって、マスターディスク４６、４６の間にある間隙に挿入される。
【００６８】
このとき、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４の各内側には、それぞれマスターディスク４６、４６が予め外段取り等によって、ホルダユニット２２の中心とマスターディスク４６の中心とが一致する位置に精度良く吸着または接着にて固定されている。
【００６９】
ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に供給されたスレーブディスク４０は、位置決め手段であるディスク供給ユニット２６のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによってその中心が固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６の中心とほぼ一致し、かつマスターディスク４６との隙間が０．５ｍｍ程度となる認識位置に移動される。
【００７０】
次いで、固定側ホルダ２３の下面に予め取り付けられた基準マーク２１Ａと、ディスク供給ユニット２６のチャック手段４２（チャック４２ａ、４２ｂ）に予め取り付けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが認識ユニット３０によって認識される。
【００７１】
この認識により、基準マーク２１Ａから算出されるマスターディスク４６の中心と、チャック手段４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂから算出され、修正されたスレーブディスク４０の中心ＤＣとが一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸ロボット２８、２９（位置決め手段）により、スレーブディスク４０が位置決めされる。
【００７２】
次いで、スレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動され、固定側ホルダ２３の内側に吸着固定される。
【００７３】
次いで、移動側ホルダ２４をロボット７０によって固定側ホルダ２３に向かって移動させ、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６で挟む。このようにして、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６に対して密着させた状態で挟持する。
【００７４】
次いで、インデックステーブル５０を９０度回転させ、ホルダユニット２２を次工程の磁気転写工程位置８４に位置決めする。そして、コイルユニット３２、３２をホルダユニット２２の両側に移動させ、ホルダユニット２２を回転させながら両側から磁界を加える。これにより、スレーブディスク４０の両面にマスターディスク４６、４６の磁気情報パターンが磁気転写される。
【００７５】
磁気転写後、コイルユニット３２、３２を初期の位置に退避させ、インデックステーブル５０を９０度回転させて、ホルダユニット２２を次工程のディスク排出工程位置８６に位置決めする。
【００７６】
次いで、移動側ホルダ２４を移動させて固定側ホルダ２３から離間させる。このとき、磁気転写されたスレーブディスク４０は、供給時と同様に固定側ホルダ２３の内側に吸着されている。
【００７７】
次いで、ディスク排出ユニット３４のチャック５２が、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に入り込み、スレーブディスク４０の内径を把持する。そして、固定側ホルダ２３のスレーブディスク４０の吸着を解除し、ディスク排出ユニット３４のチャック５２をディスク排出ユニット３４のＸ軸ロボット３５で動かすことにより、スレーブディスク４０を固定側ホルダ２３のマスターディスク４６から剥離する。
【００７８】
次いで、スレーブディスク４０がディスク排出ユニット３４のチャック５２により把持された状態で、Ｙ軸ロボット３６により、開かれたホルダユニット２２の空隙からＹ軸方向に退避させる。そして、ロータリシリンダ５４により、ＹＺ平面内で、かつ装置外方を通る円弧の経路で１８０度回動され、チャック５２を含めて上下方向の向きが反転される。
【００７９】
次いで、スレーブディスク４０及びチャック５２がディスク排出ユニット３４のＸ−Ｙ−Ｚロボット３５、３６、３７によってディスク排出カセット５６上に移動し、スレーブディスク４０をディスク排出カセット５６内に順次１枚ずつ収納する。
【００８０】
上記の一連の動作は、順次インデックステーブル５０を間欠回転させながら、ホルダユニット２２を各工程位置に位置決めすることにより、各工程を並行して処理することができる。
【００８１】
以上で説明したように、本発明のディスクの位置決め方法によれば、チャック手段４２で実際にディスク４０をチャッキングした状態で、チャック手段４２の基準点ＳＰとディスクの中心ＤＣとの偏移量ｄを測定し、測定された偏移量ｄを基に実際のディスク中心ＤＣと基準ディスク中心との位置関係を算出するので、チャッキングによりディスク中心位置のばらつきがあっても、正確にディスク４０の位置決めを行うことができる。
【００８２】
このため、本発明の磁気転写装置及び磁気転写方法によれば、良好な磁気転写を行うことができ、本発明の磁気ディスクの製造方法によれば、容易な位置決め方法で正確なディスクの位置決めを行って、良好な磁気転写を行い、高品位な磁気ディスクを安価に製造することができる。
【００８３】
以上、本発明に係るディスクの位置決め方法、磁気転写装置、磁気転写方法、及び磁気ディスクの製造方法の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。
【００８４】
たとえば、上記実施形態において、チャック手段４２の基準点ＳＰとスレーブディスク４０の中心ＤＣとの偏移量ｄを測定する測定手段１１０として、テレセントリック光学系を組み込んだ測定器を用いたが、レーザー光を用いた測定器等その他の既知の測定手段を用いることができる。
【００８５】
また、前述のチャック手段４２の基準点ＳＰとスレーブディスク４０の中心ＤＣとの偏移量ｄの測定をスレーブディスク４０と平行な面内の一方向のみで測定したが、その方向と交差する他の一方向での測定や、それら両方向の測定を行って偏移量ｄを求めるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明に係る磁気転写装置の一部を破断して示す斜視図
【図２】ディスク用カセットにスレーブディスクを出し入れする状態を示す斜視図
【図３】ホルダユニットの構成を示す断面図
【図４】マスターディスクとスレーブディスクとの位置合せ状態を示す斜視図
【図５】測定手段を示す斜視図
【図６】チャッキング時のディスク中心のズレ量測定の説明図
【符号の説明】
【００８７】
１０…磁気転写装置、２１Ａ…基準マーク、２１Ｂ…認識マーク、２２…ホルダユニット（ホルダ）、２６…ディスク供給ユニット、３０…認識ユニット（認識手段）、３１…制御手段、４０…スレーブディスク（ディスク、磁気ディスク）、４２…チャック手段、４６…マスターディスク、７０…ロボット（位置決め手段）、１１１…測定手段、ＤＣ…スレーブディスクの中心（ディスク中心）、ＳＰ…基準点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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