(57)【要約】【課題】電子デバイスから出力される複数の出力信号のそれぞれが変化するタイミングの相関について試験することにより、電子デバイスの良否を、より高い精度で識別する。【解決手段】電子デバイスに試験信号を与えると共に、複数の出力信号をそれぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスを試験する試験装置であって、一つの出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出手段と、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、一つの出力信号の変化が検出されてから、最小時間が経過したタイミングで、他の一つの出力信号の値を取り込む取込手段と、取り込まれた他の一つの出力信号の値が、最小時間が経過した後に他の一つの出力信号が取るべき値と一致しなかったときに、電子デバイスを不良品として識別する識別手段とを備える試験装置を提供する。【選択図】図１
2006242878.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子デバイスに試験信号を与えると共に、前記試験信号に応じて前記電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験装置であって、
一つの前記出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出手段と、
前記一つの出力信号が変化してから、他の一つの前記出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、
前記基準タイミング検出手段が前記一つの出力信号の変化を検出してから、前記最小時間が経過したタイミングで、前記他の一つの出力信号の値を取り込む取込手段と、
前記取込手段によって取り込まれた前記他の一つの出力信号の値が、前記最小時間が経過した後に前記他の一つの出力信号が取るべき値と一致しなかったときに、前記電子デバイスを不良品として識別する識別手段と
を備えた試験装置。
【請求項２】
前記取込手段は、
前記基準タイミング検出手段が前記一つの出力信号の変化を検出してから、前記最小時間が経過したタイミングで、ストローブ信号を生成するストローブ生成手段と、
前記ストローブ信号によって、前記他の一つの出力信号の値を取り込むコンパレータと
を有する請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記一つの出力信号の値が変化してから前記最小時間が経過したタイミングで前記他の一つの出力信号が取るべき値を、前記期待値として予め保持する期待値保持手段を更に備える請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記最小時間は、前記電子デバイスから前記出力信号を受け取って動作する他の電子デバイスに対する、前記一つの出力信号のセットアップ時間、または前記他の一つの出力信号のホールド時間のいずれかである請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
電子デバイスに試験信号を与えると共に、前記試験信号に応じて前記電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験方法であって、
一つの前記出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出ステップと、
前記一つの出力信号が変化してから、他の一つの前記出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、
前記基準タイミング検出ステップにおいて前記一つの出力信号の変化が検出されてから、前記最小時間が経過したタイミングで、前記他の一つの出力信号の値を取り込む取込ステップと、
前記取込ステップにおいて取り込まれた前記他の一つの出力信号の値が、前記最小時間が経過した後に前記他の一つの出力信号が取るべき値と一致しなかったときに、前記電子デバイスを不良品として識別する識別ステップと
を備えた試験方法。
【請求項６】
電子デバイスに試験信号を与えると共に、前記試験信号に応じて前記電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、期待された動作を行う電子デバイスを選別生産する電子デバイスの生産方法であって、
一つの前記出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出ステップと、
前記一つの出力信号が変化してから、他の一つの前記出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、
前記基準タイミング検出ステップにおいて前記一つの出力信号の変化が検出されてから、前記最小時間が経過したタイミングで、前記他の一つの出力信号の値を取り込む取込ステップと、
前記取込ステップにおいて取り込まれた前記他の一つの出力信号の値が、前記最小時間が経過した後に前記他の一つの出力信号が取るべき値と一致しなかったときに、前記電子デバイスを不良品として識別する識別ステップと
を備えた電子デバイスの生産方法。
【請求項７】
電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに試験信号を与えると共に、前記試験信号に応じて前記デバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験シミュレータであって、
一つの前記出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出手段と、
前記一つの出力信号が変化してから、他の一つの前記出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、
前記基準タイミング検出手段が前記一つの出力信号の変化を検出してから、前記最小時間が経過したタイミングで、前記他の一つの出力信号の値を取り込む取込手段と、
前記取込手段によって取り込まれた前記他の一つの出力信号の値が、前記最小時間が経過した後に前記他の一つの出力信号が取るべき値と一致しなかったときに、前記電子デバイスを不良品として識別する識別手段と
を備えた試験シミュレータ。
【請求項８】
電子デバイスに試験信号を与えると共に、前記試験信号に応じて前記電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験装置であって、
一つの前記出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出手段と、
前記一つの出力信号が変化してから、他の一つの前記出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、
前記基準タイミング検出手段が前記一つの出力信号の変化を検出してから、前記他の一つの出力信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出手段と、
前記経過時間が前期最小時間より短いときに、前記電子デバイスを不良品として識別する識別手段と
を備えた試験装置。
【請求項９】
電子デバイスに試験信号を与えると共に、前記試験信号に応じて前記電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験方法であって、
一つの前記出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出ステップと、
前記一つの出力信号が変化してから、他の一つの前記出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、
前記基準タイミング検出ステップにおいて前記一つの出力信号の変化が検出されてから、前記他の一つの出力信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出ステップと、
前記経過時間が前期最小時間より短いときに、前記電子デバイスを不良品として識別する識別ステップと
を備えた試験方法。
【請求項１０】
電子デバイスに試験信号を与えると共に、前記試験信号に応じて前記電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、期待された動作を行う電子デバイスを選別生産する電子デバイスの生産方法であって、
一つの前記出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出ステップと、
前記一つの出力信号が変化してから、他の一つの前記出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、
前記基準タイミング検出ステップにおいて前記一つの出力信号の変化が検出されてから、前記他の一つの出力信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出ステップと、
前記経過時間が前期最小時間より短いときに、前記電子デバイスを不良品として識別する識別ステップと
を備えた電子デバイスの生産方法。
【請求項１１】
電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに試験信号を与えると共に、前記試験信号に応じて前記デバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験シミュレータであって、
一つの前記出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出手段と、
前記一つの出力信号が変化してから、他の一つの前記出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、
前記基準タイミング検出手段が前記一つの出力信号の変化を検出してから、前記他の一つの出力信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出手段と、
前記経過時間が前期最小時間より短いときに、前記電子デバイスを不良品として識別する識別手段と
を備えた試験シミュレータ。
【請求項１２】
電子デバイスに複数の試験信号を与えると共に、前記複数の試験信号に応じて前記電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験装置であって、
一つの前記試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得手段と、
前記一つの試験信号が変化してから、他の一つの前記試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、
前記基準タイミング取得手段によって取得された、前記一つの試験信号が変化する時刻から、前記最小時間が経過したタイミングで、前記他の一つの試験信号の値を検出する試験信号検出手段と、
前記検出手段によって検出された前記他の一つの試験信号の値が、前記最小時間が経過した後に前記他の一つの試験信号が取るべき値として予め格納されている値と一致しなかったときに、前記電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知手段と
を備えた試験装置。
【請求項１３】
電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与えると共に、前記複数の試験信号に応じて前記デバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験シミュレータであって、
一つの前記試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得手段と、
前記一つの試験信号が変化してから、他の一つの前記試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、
前記基準タイミング取得手段によって取得された、前記一つの試験信号が変化する時刻から、前記最小時間が経過したタイミングで、前記他の一つの試験信号の値を検出する試験信号検出手段と、
前記検出手段によって検出された前記他の一つの試験信号の値が、前記最小時間が経過した後に前記他の一つの試験信号が取るべき値として予め格納されている値と一致しなかったときに、前記電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知手段と
を備えた試験シミュレータ。
【請求項１４】
電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与えると共に、前記複数の試験信号に応じて前記デバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験シミュレーション方法であって、
一つの前記試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得ステップと、
前記一つの試験信号が変化してから、他の一つの前記試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、
前記基準タイミング取得ステップにおいて取得された、前記一つの試験信号が変化する時刻から、前記最小時間が経過したタイミングで、前記他の一つの試験信号の値を検出する試験信号検出ステップと、
前記検出ステップにおいて検出された前記他の一つの試験信号の値が、前記最小時間が経過した後に前記他の一つの試験信号が取るべき値として予め格納されている値と一致しなかったときに、前記電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知ステップと
を備えた試験シミュレーション方法。
【請求項１５】
前記通知ステップにおいて前記通知が行われた後に、修正された前記試験信号のパターンを格納する格納ステップを更に備え、
前記格納ステップの後に、再度、前記基準タイミング取得ステップ、及び前記試験信号検出ステップを実施する
請求項１４に記載の試験シミュレーション方法。
【請求項１６】
電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与え、前記複数の試験信号に応じて前記デバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストすると共に、当該テストに用いた前記試験信号のパターンを用いて前記電子デバイスの実物を試験して、期待された動作を行う電子デバイスを選別生産する電子デバイスの生産方法であって、
一つの前記試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得ステップと、
前記一つの試験信号が変化してから、他の一つの前記試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、
前記基準タイミング取得ステップにおいて取得された、前記一つの試験信号が変化する時刻から、前記最小時間が経過したタイミングで、前記他の一つの試験信号の値を検出する試験信号検出ステップと、
前記検出ステップにおいて検出された前記他の一つの試験信号の値が、前記最小時間が経過した後に前記他の一つの試験信号が取るべき値として予め格納されている値と一致しなかったときに、前記電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知ステップと、
前記通知ステップにおいて前記通知が行われた後に、修正された前記試験信号のパターンを格納する格納ステップと、
前記格納ステップの後に、再度、前記基準タイミング取得ステップ、及び前記試験信号検出ステップを実施させる繰り返しステップと、
前記検出ステップにおいて検出された前記他の一つの試験信号の値が、前記最小時間が経過した後に前記他の一つの試験信号が取るべき値と一致した場合に、前記修正された試験信号のパターンを用いて、前記電子デバイスの実物を試験する実試験ステップと、
前記実試験ステップによって、前記電子デバイスから得られた出力信号の値が期待値と一致した場合に、当該電子デバイスを良品として識別する識別ステップと
を備えた電子デバイスの生産方法。
【請求項１７】
電子デバイスに複数の試験信号を与えると共に、前記複数の試験信号に応じて前記デバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験装置であって、
一つの前記試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得手段と、
前記一つの試験信号が変化してから、他の一つの前記試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、
前記基準タイミング取得手段によって取得された、前記一つの試験信号が変化する時刻から、前記他の一つの試験信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出手段と、
前記経過時間が前期最小時間より短いときに、前記電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知手段と
を備えた試験装置。
【請求項１８】
電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与えると共に、前記複数の試験信号に応じて前記デバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験シミュレータであって、
一つの前記試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得手段と、
前記一つの試験信号が変化してから、他の一つの前記試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、
前記基準タイミング取得手段によって取得された、前記一つの試験信号が変化する時刻から、前記他の一つの試験信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出手段と、
前記経過時間が前期最小時間より短いときに、前記電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知手段と
を備えた試験シミュレータ。
【請求項１９】
電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与えると共に、前記複数の試験信号に応じて前記デバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験シミュレーション方法であって、
一つの前記試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得ステップと、
前記一つの試験信号が変化してから、他の一つの前記試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、
前記基準タイミング取得ステップにおいて取得された、前記一つの試験信号が変化する時刻から、前記他の一つの試験信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出ステップと、
前記経過時間が前期最小時間より短いときに、前記電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知ステップと
を備えた試験シミュレーション方法。
【請求項２０】
前記通知ステップにおいて前記通知が行われた後に、修正された前記試験信号のパターンを格納する格納ステップを更に備え、
前記格納ステップの後に、再度、前記基準タイミング取得ステップ、及び前記経過時間検出ステップを実施する
請求項１９に記載の試験シミュレーション方法。
【請求項２１】
電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与え、前記複数の試験信号に応じて前記デバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、前記電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストすると共に、当該テストに用いた前記試験信号のパターンを用いて前記電子デバイスの実物を試験して、期待された動作を行う電子デバイスを選別生産する電子デバイスの生産方法であって、
一つの前記試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得ステップと、
前記一つの試験信号が変化してから、他の一つの前記試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、
前記基準タイミング取得ステップにおいて取得された、前記一つの試験信号が変化する時刻から、前記他の一つの試験信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出ステップと、
前記経過時間が前期最小時間より短いときに、前記電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知ステップと
前記通知ステップにおいて前記通知が行われた後に、修正された前記試験信号のパターンを格納する格納ステップと、
前記格納ステップの後に、再度、前記基準タイミング取得ステップ、及び前記経過時間検出ステップを実施させる繰り返しステップと、
前記検出ステップにおいて検出された前記他の一つの試験信号の値が、前記最小時間が経過した後に前記他の一つの試験信号が取るべき値と一致した場合に、前記修正された試験信号のパターンを用いて、前記電子デバイスの実物を試験する実試験ステップと、
前記実試験ステップによって、前記電子デバイスから得られた出力信号の値が期待値と一致した場合に、当該電子デバイスを良品として識別する識別ステップと
を備えた電子デバイスの生産方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置、試験方法、電子デバイスの生産方法、試験シミュレータ、及び試験シミュレーション方法に関する。特に本発明は、電子デバイスを試験する試験装置及び試験方法、電子デバイスの生産方法、並びに、電子デバイスの試験をシミュレートする試験シミュレータ及び試験シミュレーション方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子デバイスの良否を識別するべく、当該電子デバイスを試験する試験装置が知られている。これらの試験装置は、例えば、電子デバイスに試験信号を与えると共に、当該試験信号に応じて当該電子デバイスから出力された出力信号を基準電圧と比較し、比較結果が期待値と一致するか否かに基づいて当該電子デバイスの良否を識別する機能試験を行う。
【０００３】
また、現在、ＶＬＳＩ等の電子デバイスの設計は、Ｖｅｒｉｌｏｇ−ＨＤＬやＶＨＤＬ等のハードウェア記述言語（ＨＤＬ）によって、コンピュータを用いて行われる。そして、このようなＨＤＬを用いた設計は、ビヘイビオラルレベルやゲートレベル等のデバイスシミュレータ（Ｖｅｒｉｌｏｇ−ＨＤＬ／ＶＨＤＬシミュレータ）を用いることによって、シリコンＩＣとして製造される前に、設計者の意図した機能が果たされるか否かについて検証が行われる。例えば、ＨＤＬに基づくデバイスシミュレータを用いて、試験装置による電子デバイスの試験をシミュレートして、当該電子デバイスの設計や、当該電子デバイスの試験プログラムを検証する試験シミュレータが開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００２−２１５７１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の試験装置及び試験シミュレータは、電子デバイス或いは当該電子デバイスをシミュレートするデバイスシミュレータから複数の出力信号が出力される場合であっても、それぞれの出力信号を独立して試験している。従って、当該複数の出力信号の間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合であっても、その相関に基づいて電子デバイスを試験して、良否を識別することはできなかった。
【０００５】
そこで本発明は、上記の課題を解決することができる試験装置、試験方法、電子デバイスの生産方法、試験シミュレータ、及び試験シミュレーション方法を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、電子デバイスに試験信号を与えると共に、試験信号に応じて電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験装置であって、一つの出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出手段と、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、基準タイミング検出手段が一つの出力信号の変化を検出してから、最小時間が経過したタイミングで、他の一つの出力信号の値を取り込む取込手段と、取込手段によって取り込まれた他の一つの出力信号の値が、最小時間が経過した後に他の一つの出力信号が取るべき値と一致しなかったときに、電子デバイスを不良品として識別する識別手段とを備える。
【０００７】
取込手段は、基準タイミング検出手段が一つの出力信号の変化を検出してから、最小時間が経過したタイミングで、ストローブ信号を生成するストローブ生成手段と、ストローブ信号によって、他の一つの出力信号の値を取り込むコンパレータとを有してもよい。当該試験装置は、一つの出力信号の値が変化してから最小時間が経過したタイミングで他の一つの出力信号が取るべき値を、期待値として予め保持する期待値保持手段を更に備えてもよい。最小時間は、電子デバイスから出力信号を受け取って動作する他の電子デバイスに対する、一つの出力信号のセットアップ時間、または他の一つの出力信号のホールド時間のいずれかであってもよい。
【０００８】
また、本発明の第２の形態においては、電子デバイスに試験信号を与えると共に、試験信号に応じて電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験方法であって、一つの出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出ステップと、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、基準タイミング検出ステップにおいて一つの出力信号の変化が検出されてから、最小時間が経過したタイミングで、他の一つの出力信号の値を取り込む取込ステップと、取込ステップにおいて取り込まれた他の一つの出力信号の値が、最小時間が経過した後に他の一つの出力信号が取るべき値と一致しなかったときに、電子デバイスを不良品として識別する識別ステップとを備える。
【０００９】
また、本発明の第３の形態においては、電子デバイスに試験信号を与えると共に、試験信号に応じて電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、期待された動作を行う電子デバイスを選別生産する電子デバイスの生産方法であって、一つの出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出ステップと、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、基準タイミング検出ステップにおいて一つの出力信号の変化が検出されてから、最小時間が経過したタイミングで、他の一つの出力信号の値を取り込む取込ステップと、取込ステップにおいて取り込まれた他の一つの出力信号の値が、最小時間が経過した後に他の一つの出力信号が取るべき値と一致しなかったときに、電子デバイスを不良品として識別する識別ステップとを備える。
【００１０】
また、本発明の第４の形態においては、電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに試験信号を与えると共に、試験信号に応じてデバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験シミュレータであって、一つの出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出手段と、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、基準タイミング検出手段が一つの出力信号の変化を検出してから、最小時間が経過したタイミングで、他の一つの出力信号の値を取り込む取込手段と、取込手段によって取り込まれた他の一つの出力信号の値が、最小時間が経過した後に他の一つの出力信号が取るべき値と一致しなかったときに、電子デバイスを不良品として識別する識別手段とを備える。
【００１１】
また、本発明の第５の形態においては、電子デバイスに試験信号を与えると共に、試験信号に応じて電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験装置であって、一つの出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出手段と、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、基準タイミング検出手段が一つの出力信号の変化を検出してから、他の一つの出力信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出手段と、経過時間が前期最小時間より短いときに、電子デバイスを不良品として識別する識別手段とを備える。
【００１２】
また、本発明の第６の形態においては、電子デバイスに試験信号を与えると共に、試験信号に応じて電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験方法であって、一つの出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出ステップと、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、基準タイミング検出ステップにおいて一つの出力信号の変化が検出されてから、他の一つの出力信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出ステップと、経過時間が前期最小時間より短いときに、電子デバイスを不良品として識別する識別ステップとを備える。
【００１３】
また、本発明の第７の形態においては、電子デバイスに試験信号を与えると共に、試験信号に応じて電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、期待された動作を行う電子デバイスを選別生産する電子デバイスの生産方法であって、一つの出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出ステップと、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、基準タイミング検出ステップにおいて一つの出力信号の変化が検出されてから、他の一つの出力信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出ステップと、経過時間が前期最小時間より短いときに、電子デバイスを不良品として識別する識別ステップとを備える。
【００１４】
また、本発明の第８の形態においては、電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに試験信号を与えると共に、試験信号に応じてデバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する試験シミュレータであって、一つの出力信号が変化したことを検出する基準タイミング検出手段と、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、基準タイミング検出手段が一つの出力信号の変化を検出してから、他の一つの出力信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出手段と、経過時間が前期最小時間より短いときに、電子デバイスを不良品として識別する識別手段とを備える。
【００１５】
また、本発明の第９の形態においては、電子デバイスに複数の試験信号を与えると共に、複数の試験信号に応じて電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験装置であって、一つの試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得手段と、一つの試験信号が変化してから、他の一つの試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、基準タイミング取得手段によって取得された、一つの試験信号が変化する時刻から、最小時間が経過したタイミングで、他の一つの試験信号の値を検出する試験信号検出手段と、検出手段によって検出された他の一つの試験信号の値が、最小時間が経過した後に他の一つの試験信号が取るべき値として予め格納されている値と一致しなかったときに、電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知手段とを備える。
【００１６】
また、本発明の第１０の形態においては、電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与えると共に、複数の試験信号に応じてデバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験シミュレータであって、一つの試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得手段と、一つの試験信号が変化してから、他の一つの試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、基準タイミング取得手段によって取得された、一つの試験信号が変化する時刻から、最小時間が経過したタイミングで、他の一つの試験信号の値を検出する試験信号検出手段と、検出手段によって検出された他の一つの試験信号の値が、最小時間が経過した後に他の一つの試験信号が取るべき値として予め格納されている値と一致しなかったときに、電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知手段とを備える。
【００１７】
また、本発明の第１１の形態においては、電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与えると共に、複数の試験信号に応じてデバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験シミュレーション方法であって、一つの試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得ステップと、一つの試験信号が変化してから、他の一つの試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、基準タイミング取得ステップにおいて取得された、一つの試験信号が変化する時刻から、最小時間が経過したタイミングで、他の一つの試験信号の値を検出する試験信号検出ステップと、検出ステップにおいて検出された他の一つの試験信号の値が、最小時間が経過した後に他の一つの試験信号が取るべき値として予め格納されている値と一致しなかったときに、電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知ステップとを備える。当該試験シミュレーション方法は、通知ステップにおいて通知が行われた後に、修正された試験信号のパターンを格納する格納ステップを更に備え、格納ステップの後に、再度、基準タイミング取得ステップ、及び試験信号検出ステップを実施してもよい。
【００１８】
また、本発明の第１２の形態においては、電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与え、複数の試験信号に応じてデバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストすると共に、当該テストに用いた試験信号のパターンを用いて電子デバイスの実物を試験して、期待された動作を行う電子デバイスを選別生産する電子デバイスの生産方法であって、一つの試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得ステップと、一つの試験信号が変化してから、他の一つの試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、基準タイミング取得ステップにおいて取得された、一つの試験信号が変化する時刻から、最小時間が経過したタイミングで、他の一つの試験信号の値を検出する試験信号検出ステップと、検出ステップにおいて検出された他の一つの試験信号の値が、最小時間が経過した後に他の一つの試験信号が取るべき値として予め格納されている値と一致しなかったときに、電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知ステップと、通知ステップにおいて通知が行われた後に、修正された試験信号のパターンを格納する格納ステップと、格納ステップの後に、再度、基準タイミング取得ステップ、及び試験信号検出ステップを実施させる繰り返しステップと、検出ステップにおいて検出された他の一つの試験信号の値が、最小時間が経過した後に他の一つの試験信号が取るべき値と一致した場合に、修正された試験信号のパターンを用いて、電子デバイスの実物を試験する実試験ステップと、実試験ステップによって、電子デバイスから得られた出力信号の値が期待値と一致した場合に、当該電子デバイスを良品として識別する識別ステップとを備える。
【００１９】
また、本発明の第１３の形態においては、電子デバイスに複数の試験信号を与えると共に、複数の試験信号に応じてデバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験装置であって、一つの試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得手段と、一つの試験信号が変化してから、他の一つの試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、基準タイミング取得手段によって取得された、一つの試験信号が変化する時刻から、他の一つの試験信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出手段と、経過時間が前期最小時間より短いときに、電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知手段とを備える。
【００２０】
また、本発明の第１４の形態においては、電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与えると共に、複数の試験信号に応じてデバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験シミュレータであって、一つの試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得手段と、一つの試験信号が変化してから、他の一つの試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定手段と、基準タイミング取得手段によって取得された、一つの試験信号が変化する時刻から、他の一つの試験信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出手段と、経過時間が前期最小時間より短いときに、電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知手段とを備える。
【００２１】
また、本発明の第１５の形態においては、電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与えると共に、複数の試験信号に応じてデバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする試験シミュレーション方法であって、一つの試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得ステップと、一つの試験信号が変化してから、他の一つの試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、基準タイミング取得ステップにおいて取得された、一つの試験信号が変化する時刻から、他の一つの試験信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出ステップと、経過時間が前期最小時間より短いときに、電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知ステップとを備える。当該試験シミュレーション方法は、通知ステップにおいて通知が行われた後に、修正された試験信号のパターンを格納する格納ステップを更に備え、格納ステップの後に、再度、基準タイミング取得ステップ、及び経過時間検出ステップを実施してもよい。
【００２２】
また、本発明の第１６の形態においては、電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータに複数の試験信号を与え、複数の試験信号に応じてデバイスシミュレータから出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストすると共に、当該テストに用いた試験信号のパターンを用いて電子デバイスの実物を試験して、期待された動作を行う電子デバイスを選別生産する電子デバイスの生産方法であって、一つの試験信号が変化する時刻を取得する基準タイミング取得ステップと、一つの試験信号が変化してから、他の一つの試験信号が変化するまでの最小時間を予め設定する設定ステップと、基準タイミング取得ステップにおいて取得された、一つの試験信号が変化する時刻から、他の一つの試験信号が変化するまでの経過時間を検出する経過時間検出ステップと、経過時間が前期最小時間より短いときに、電子デバイスを正しく試験することができないと判断してその旨を通知する通知ステップと通知ステップにおいて通知が行われた後に、修正された試験信号のパターンを格納する格納ステップと、格納ステップの後に、再度、基準タイミング取得ステップ、及び経過時間検出ステップを実施させる繰り返しステップと、検出ステップにおいて検出された他の一つの試験信号の値が、最小時間が経過した後に他の一つの試験信号が取るべき値と一致した場合に、修正された試験信号のパターンを用いて、電子デバイスの実物を試験する実試験ステップと、実試験ステップによって、電子デバイスから得られた出力信号の値が期待値と一致した場合に、当該電子デバイスを良品として識別する識別ステップとを備える。
【００２３】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、電子デバイスから出力される複数の出力信号の間における、それぞれの出力信号が変化するタイミングの相関について試験することにより、当該電子デバイスの良否を、より高い精度で識別することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２６】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る試験システム１０の機能構成の一例を示すブロック図である。試験システム１０は、試験制御装置１２、試験装置１４、及びＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ：被試験デバイス）１６を備える。試験システム１０は、試験装置１４により、電子デバイスであるＤＵＴ１６を試験する。試験制御装置１２は、試験装置１４を制御して、ＤＵＴ１６の試験を試験装置１４に実行させる。試験装置１４は、ＤＵＴ１６に試験信号を与えると共に、試験信号に応じてＤＵＴ１６から出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、ＤＵＴ１６が期待された動作を行うか否かを試験する。ＤＵＴ１６は、試験装置１４から与えられた試験信号に応じて複数の出力信号を発生し、ＤＵＴ１６に設けられた複数のピンのそれぞれを用いて、当該複数の出力信号のそれぞれを出力する。
【００２７】
本発明の第１の実施形態に係る試験装置１４は、従来の試験装置を用いた機能試験のように、ＤＵＴ１６から出力される複数の出力信号のそれぞれを期待値と比較する処理を出力信号毎に独立して行うことによってＤＵＴ１６を試験するだけでなく、複数の出力信号の間における、それぞれの出力信号が変化するタイミングの相関についても試験することにより、ＤＵＴ１６の良否を、より高い精度で識別することを目的とする。
【００２８】
なお、本例において説明する、変化するタイミングが相関している複数の出力信号とは、例えば、ＤＵＴ１６が、ＤＲＡＭ等の他の電子デバイスに対して、アドレスを指定する信号を出力する場合における、アドレス信号と、当該アドレス信号が示すアドレス値をロウアドレスとして入力するタイミングを示すロウアドレスストローブ（ＲＡＳ）信号、または当該アドレス信号が示すアドレス値をカラムアドレスとして入力するタイミングを示すカラムアドレスストローブ（ＣＡＳ）信号とであってよい。
【００２９】
試験装置１４は、パターン発生手段１００、タイミング発生手段１１０、波形成形手段１２０、ドライバ１３０、基準タイミング検出手段１４０、設定手段１５０、取込手段１６０、期待値保持手段１７０、及び識別手段１８０を有する。パターン発生手段１００は、試験制御装置１２の制御に基づいて、ＤＵＴ１６に与えるべき試験信号のパターンを発生し、発生した試験信号のパターンを波形成形手段１２０に出力する。また、パターン発生手段１００は、発生した試験信号のパターンに対応する、当該試験信号が与えられた場合にＤＵＴ１６が出力する出力信号の期待値を示す情報を生成し、生成した情報を期待値保持手段１７０に出力する。ここで、期待値を示す情報は、例えば、ＤＵＴ１６が出力する複数の出力信号のうち、一つの出力信号と、他の一つの出力信号との間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合に、当該一つの出力信号が変化してから、当該他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間が経過したタイミングにおいて、当該他の一つの出力信号が取るべき値を含んでいてよい。タイミング発生手段１１０は、試験制御装置１２の制御に基づいて、ＤＵＴ１６に試験信号を与えるべきタイミングを発生し、当該タイミングを示す情報を波形成形手段１２０、基準タイミング検出手段１４０、及び期待値保持手段１７０に出力する。
【００３０】
波形成形手段１２０は、パターン発生手段１００から受け取った、ＤＵＴ１６に与えるべき試験信号のパターンと、タイミング発生手段１１０から受け取った、ＤＵＴ１６に試験信号を与えるべきタイミングを示す情報とに基づいて、ＤＵＴ１６に与えるべき試験信号の波形を成形し、ドライバ１３０に出力する。ドライバ１３０は、波形成形手段１２０から受け取った試験信号を、ＤＵＴ１６に与える。なお、試験装置１４は、ＤＵＴ１６に設けられた複数のピンのそれぞれに対応した複数のピンカードを有していてよく、ピンカード毎に設けられたドライバ１３０のそれぞれを用いて、当該複数のピンのそれぞれに、互いに異なる試験信号を与えてよい。そして、ＤＵＴ１６は、与えられた試験信号に応じて複数の出力信号を発生し、発生した出力信号を、基準タイミング検出手段１４０及び取込手段１６０に出力する。
【００３１】
基準タイミング検出手段１４０は、ＤＵＴ１６が出力した複数の出力信号のうち、一つの出力信号が変化したことを検出する。例えば、基準タイミング検出手段１４０は、複数のストローブ信号を生成すると共に、当該複数のストローブ信号のそれぞれに従って、当該一つの出力信号の値を取り込み、取り込んだ値が前回取り込んだ値から変化したか否かによって、当該一つの出力信号が変化したことを検出してよい。そして、基準タイミング検出手段１４０は、当該一つの出力信号が変化したタイミングを示す情報を、取込手段１６０に出力する。設定手段１５０は、ＤＵＴ１６が出力する複数の出力信号のうち、一つの出力信号と、他の一つの出力信号との間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合に、当該一つの出力信号が変化してから、当該他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を、例えば試験制御装置１２の制御に基づいて予め設定する。そして、設定手段１５０は、設定した最小時間を示す情報を、取込手段１６０に出力する。
【００３２】
取込手段１６０は、ストローブ生成手段１６２及びコンパレータ１６４を含み、基準タイミング検出手段１４０が一つの出力信号の変化を検出してから、設定手段１５０によって設定された最小時間が経過したタイミングで、他の一つの出力信号の値を取り込む。ストローブ生成手段１６２は、基準タイミング検出手段１４０が一つの出力信号の変化を検出してから、設定された最小時間が経過したタイミングで、ストローブ信号を生成し、生成したストローブ信号をコンパレータ１６４に出力する。なお、ストローブ生成手段１６２は、タイミング発生手段１１０と一体であってもよい。コンパレータ１６４は、ストローブ生成手段１６２によって生成されたストローブ信号によって、ＤＵＴ１６が出力する他の一つの出力信号の値を取り込む。具体的には、コンパレータ１６４は、生成されたストローブ信号が示すタイミングで、他の一つの出力信号の値を基準電圧と比較し、比較結果である論理値を、当該他の一つの出力信号の値としてよい。そして、コンパレータ１６４は、他の一つの出力信号の値を、識別手段１８０に出力する。
【００３３】
期待値保持手段１７０は、パターン発生手段１００から受け取った期待値を示す情報と、タイミング発生手段１１０から受け取った、試験信号をＤＵＴ１６に与えるべきタイミングとに基づいて、ＤＵＴ１６が当該試験信号に対応して出力する出力信号の期待値を生成し、生成した期待値を予め保持する。具体的には、期待値保持手段１７０は、ＤＵＴ１６が出力する複数の出力信号のうち、一つの出力信号と、他の一つの出力信号との間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合に、当該一つの出力信号の値が変化してから、設定手段１５０によって設定された最小時間が経過したタイミングで、当該他の一つの出力信号が取るべき値を、期待値として予め保持する。
【００３４】
識別手段１８０は、取込手段１６０によって取り込まれた出力信号と、期待値保持手段１７０が保持している期待値とを比較することにより、ＤＵＴ１６の良否を識別する。具体的には、識別手段１８０は、取込手段１６０によって取り込まれた他の一つの出力信号の値が、設定された最小時間が経過した後に他の一つの出力信号が取るべき値として、期待値保持手段１７０に格納されている期待値と一致しなかったときに、ＤＵＴ１６を不良品として識別する。そして、識別手段１８０は、ＤＵＴ１６に対する良否の識別結果を試験制御装置１２に出力し、利用者等に提示する。
【００３５】
なお、以上において、試験装置１４は、複数の出力信号の間における、変化のタイミングの相関に基づいてＤＵＴ１６の良否を識別するとして説明したが、試験装置１４は、更に、従来の試験装置による機能試験と同様に、予め定められたタイミングで、複数の出力信号のそれぞれを期待値保持手段１７０に格納されている期待値と比較することにより、ＤＵＴ１６の良否を識別してよい。
【００３６】
本発明の第１の実施形態に係る試験装置１４によれば、電子デバイスが出力する複数の出力信号の間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合に、その相関に基づいて当該電子デバイスを試験することができる。これにより、従来の機能試験を行った場合において、予め定められたタイミングにおけるそれぞれの出力信号の値が期待値と一致している場合であっても、それぞれの出力信号が、予め定められた相関を満足していない、即ち、一つの出力信号が変化してから、予め設定された最小時間が経過したタイミングにおける他の一つの出力信号の値が、期待値と異なっている場合には、電子デバイスを不良品として識別することができる。また、逆に、従来の機能試験を行った場合において、予め定められたタイミングにおけるそれぞれの出力信号の値が期待値と一致していなくとも、それぞれの出力信号が変化するタイミングが一様に変位していることによって、それぞれの出力信号が予め定められた相関を満足している場合には、電子デバイスを良品として識別することができる。以上のように、試験装置１４によれば、従来の機能試験のみを行う試験装置と比べて、より高い精度で、また、より柔軟に電子デバイスの試験を行うことができる。
【００３７】
また、試験装置１４によれば、複数の出力信号のうち、一つの出力信号が変化したタイミングから、最小時間が経過したタイミングで発生したストローブ信号に従って、他の一つの出力信号の値を取り込むことにより、それぞれの出力信号における相関を確実に試験することができる。更に、試験装置１４によれば、取り込んだ他の一つの出力信号が取るべき値を、期待値として予め保持して、取り込んだ他の一つの出力信号と比較することにより、多様な試験信号のパターンを用いる場合であっても、当該試験信号のパターン毎の期待値に基づいて試験を行うことができる。
【００３８】
図２は、本発明の第１の実施形態に係るＤＵＴ１６の出力信号の一例を示す。本図に示した出力信号のうち、出力信号Ａは、図１において説明した、一つの出力信号である。また、出力信号Ｂは、図１において説明した、他の一つの出力信号である。ここで、出力信号Ａと出力信号Ｂとは、それぞれが変化するタイミングが相関している。例えば、出力信号Ｂは、出力信号Ａが変化した後、予め設定された最小時間が経過するまで変化しない。なお、本図においては、出力信号Ａが変化するタイミングをタイミングＴ１とし、更に、タイミングＴ１から、設定手段１５０によって設定された最小時間が経過したタイミングをタイミングＴ２とする。また、期待値保持手段１７０が保持している期待値、即ち、タイミングＴ２において出力信号Ｂが取るべき値はＬ論理である。従って、タイミングＴ２において、出力信号ＢがＨ論理を示している場合、識別手段１８０は、ＤＵＴ１６を不良品として識別する。
【００３９】
ここで、最小時間は、ＤＵＴ１６である電子デバイスから出力信号を受け取って動作する他の電子デバイスに対する、一つの出力信号、即ち出力信号Ａのセットアップ時間、または、他の一つの出力信号、即ち出力信号Ｂのホールド時間のいずれかであってよい。具体例として、ＤＵＴ１６が、他の電子デバイスであるＤＲＡＭに対して、アドレス信号と、当該アドレス信号が示すアドレス値をロウアドレスとして入力するタイミングを示すＲＡＳ信号とを出力する場合について説明する。つまり、試験装置１４は、ＤＵＴ１６が、当該アドレス信号及び当該ＲＡＳ信号を出力する機能を試験する。この場合において、出力信号Ａがアドレス信号であり、出力信号ＢがＲＡＳ信号である場合に、最小時間は、他の電子デバイスに対する、出力信号Ａのセットアップ時間であってよい。また、出力信号ＡがＲＡＳ信号であり、出力信号Ｂがアドレス信号である場合に、最小時間は、他の電子デバイスに対する出力信号Ｂのホールド時間であってよい。これらにより、試験装置１４は、ＲＡＳ信号が変化したタイミングで、他の電子デバイスにおいて、アドレス信号が確実に読み込まれるか否か、つまり、ＤＵＴ１６である電子デバイスが出力した出力信号が、他の電子デバイスを正常に機能させることができるか否かを識別することができる。
【００４０】
図３は、本発明の第１の実施形態に係る試験装置１４を用いた電子デバイスの試験方法における処理の流れの一例を示すフローチャートである。まず、設定手段１５０は、ＤＵＴ１６が出力する複数の出力信号のうち、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する（Ｓ１０００）。続いて、基準タイミング検出手段１４０は、ＤＵＴ１６が試験信号に応じて出力した複数の出力信号のうち、当該一つの出力信号を取り込む（Ｓ１０１０）。ここで、基準タイミング検出手段１４０は、取り込んだ当該一つの出力信号の値が、前回取り込んだ値から変化したか否かを判定する（Ｓ１０２０）。当該一つの出力信号の値が変化していない場合（Ｓ１０２０：Ｎｏ）、基準タイミング検出手段１４０は、処理をＳ１０１０に戻して、再度、当該一つの出力信号の取り込みを実行する。一方、当該一つの出力信号の値が変化した場合（Ｓ１０２０：Ｙｅｓ）、基準タイミング検出手段１４０は、変化したタイミングを基準タイミングとして検出する（Ｓ１０３０）。
【００４１】
そして、ストローブ生成手段１６２は、検出された基準タイミングから、設定された最小時間が経過したタイミングで、ストローブ信号を生成する（Ｓ１０４０）。続いて、コンパレータ１６４は、生成されたストローブ信号が示すタイミングで、ＤＵＴ１６０が出力した複数の出力信号のうち、当該他の一つの出力信号を取り込む（Ｓ１０５０）。そして、識別手段１８０は、取り込まれた当該他の一つの出力信号の値が、期待値保持手段１７０に保持されている期待値と一致するか否かを判定する（Ｓ１０６０）。当該他の一つの出力信号の値が期待値と一致する場合（Ｓ１０６０：Ｙｅｓ）、識別手段１８０は、ＤＵＴ１６である電子デバイスを、良品として識別する（Ｓ１０７０）。一方、当該他の一つの出力信号の値が期待値と一致しない場合（Ｓ１０６０：Ｎｏ）、識別手段１８０は、ＤＵＴ１６である電子デバイスを、不良品として識別する（Ｓ１０８０）。
【００４２】
本発明の第１の実施形態に係る試験方法によれば、電子デバイスが出力する複数の出力信号の間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合に、その相関に基づいて当該電子デバイスを試験することにより、当該電子デバイスが期待された動作を行うか否かを、より高い精度で、また、より柔軟に試験することができる。また、本図に示した処理の流れに従って電子デバイスの試験を行うことにより、期待された動作を行う電子デバイスを、より高い精度で、また、より柔軟に選別して生産することができる。
【００４３】
図４は、本発明の第２の実施形態に係る試験シミュレーションシステム２０の機能構成の一例を示すブロック図である。試験シミュレーションシステム２０は、試験シミュレータ制御手段２２、試験シミュレータ２４、及びデバイスシミュレータ２６を備える。試験シミュレータ２４は、図１から図３にかけて説明した、本発明の第１の実施形態に係る試験装置１４の動作を、ソフトウェアによってシミュレートする。具体的には、試験シミュレータ２４は、電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータ２６に試験信号を与えると共に、試験信号に応じてデバイスシミュレータ２６から出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する。
【００４４】
試験シミュレータ２４は、パターン発生手段１００、タイミング発生手段１１０、波形成形手段１２０、ドライバ１３０、基準タイミング検出手段１４０、設定手段１５０、取込手段１６０、期待値保持手段１７０、及び識別手段１８０を有する。なお、本図に示した試験シミュレータ２４が有する部材のそれぞれは、図１に示した試験装置１４が有する、同一の符号を付した部材のそれぞれと略同一の機能を有するので、説明を省略する。但し、試験シミュレータ２４が有する部材のそれぞれは、対応する、試験装置１４が有する部材のそれぞれの機能を、ソフトウェアによってシミュレートすることによって動作する。また、試験シミュレータ２４においては、試験制御装置１２に代えて、試験シミュレータ制御手段２２の制御を受けると共に、電子デバイスの実物であるＤＵＴ１６に代えて、当該電子デバイスをソフトウェアによってシミュレートするデバイスシミュレータ２６の試験を行うことにより、当該電子デバイスを試験する。
【００４５】
本発明の第２の実施形態に係る試験シミュレータ２４によれば、電子デバイスをシミュレートするデバイスシミュレータが出力する複数の出力信号の間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合に、その相関に基づいて当該電子デバイスを試験することができる。これにより、従来の機能試験のみを行う試験装置をシミュレートする試験シミュレータに比べて、より高い精度で、また、より柔軟に電子デバイスのシミュレート試験を行うことができる。
【００４６】
図５は、本発明の第３の実施形態に係る試験システム３０の構成の一例を示すブロック図である。試験システム３０は、試験制御装置３２、試験装置３４、及びＤＵＴ３６を備える。試験システム３０は、試験装置３４により、電子デバイスであるＤＵＴ３６を試験する。試験制御装置３２は、試験装置３４を制御して、ＤＵＴ３６の試験を試験装置３４に実行させる。試験装置３４は、ＤＵＴ３６に試験信号を与えると共に、試験信号に応じてＤＵＴ３６から出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、ＤＵＴ３６が期待された動作を行うか否かを試験する。ＤＵＴ３６は、試験装置３４から与えられた試験信号に応じて複数の出力信号を発生し、ＤＵＴ３６に設けられた複数のピンのそれぞれを用いて、当該複数の出力信号のそれぞれを出力する。
【００４７】
本発明の第３の実施形態に係る試験装置３４は、従来の試験装置を用いた機能試験のように、ＤＵＴ３６から出力される複数の出力信号のそれぞれを期待値と比較する処理を出力信号毎に独立して行うことによってＤＵＴ３６を試験するだけでなく、複数の出力信号の間における、それぞれの出力信号が変化するタイミングの相関についても試験することにより、ＤＵＴ３６の良否を、より高い精度で識別することを目的とする。
【００４８】
試験装置３４は、パターン発生手段３００、タイミング発生手段３１０、波形成形手段３２０、ドライバ３３０、基準タイミング検出手段３４０、経過時間検出手段３５０、コンパレータ３６０、設定手段３７０、期待値保持手段３８０、及び識別手段３９０を有する。パターン発生手段３００は、試験制御装置３２の制御に基づいて、ＤＵＴ３６に与えるべき試験信号のパターンを発生し、発生した試験信号のパターンを波形成形手段３２０に出力する。また、パターン発生手段３００は、発生した試験信号のパターンに対応する、当該試験信号が与えられた場合にＤＵＴ３６が出力する出力信号の期待値を示す情報を生成し、生成した情報を期待値保持手段３８０に出力する。タイミング発生手段３１０は、試験制御装置３２の制御に基づいて、ＤＵＴ３６に試験信号を与えるべきタイミングを発生し、当該タイミングを示す情報を波形成形手段３２０、基準タイミング検出手段３４０、及び期待値保持手段３８０に出力する。
【００４９】
波形成形手段３２０は、パターン発生手段３００から受け取った、ＤＵＴ３６に与えるべき試験信号のパターンと、タイミング発生手段３１０から受け取った、ＤＵＴ３６に試験信号を与えるべきタイミングを示す情報とに基づいて、ＤＵＴ３６に与えるべき試験信号の波形を成形し、ドライバ３３０に出力する。ドライバ３３０は、波形成形手段３２０から受け取った試験信号を、ＤＵＴ３６に与える。なお、試験装置３４は、ＤＵＴ３６に設けられた複数のピンのそれぞれに対応した複数のピンカードを有していてよく、ピンカード毎に設けられたドライバ３３０のそれぞれを用いて、当該複数のピンのそれぞれに、互いに異なる試験信号を与えてよい。そして、ＤＵＴ３６は、与えられた試験信号に応じて複数の出力信号を発生し、発生した出力信号を、基準タイミング検出手段３４０、経過時間検出手段３５０、及びコンパレータ３６０に出力する。
【００５０】
基準タイミング検出手段３４０は、ＤＵＴ３６が出力した複数の出力信号のうち、一つの出力信号が変化したことを検出する。例えば、基準タイミング検出手段３４０は、複数のストローブ信号を生成すると共に、当該複数のストローブ信号のそれぞれに従って、当該一つの出力信号の値を取り込み、取り込んだ値が前回取り込んだ値から変化したか否かによって、当該一つの出力信号が変化したことを検出してよい。そして、基準タイミング検出手段３４０は、当該一つの出力信号が変化したタイミングを示す情報を、経過時間検出手段３５０に出力する。
【００５１】
経過時間検出手段３５０は、ＤＵＴ３６が出力する複数の出力信号のうち、一つの出力信号と、他の一つの出力信号との間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合に、基準タイミング検出手段３４０が当該一つの出力信号の変化を検出してから、当該他の一つの出力信号が変化するまでの経過時間を検出する。例えば、経過時間検出手段３５０は、基準タイミング検出手段３４０が当該一つの出力信号の変化を検出した場合に、複数のストローブ信号を生成すると共に、当該複数のストローブ信号のそれぞれに従って、当該他の一つの出力信号の値を取り込み、取り込んだ値が前回取り込んだ値から変化したタイミングを検出する。続いて、経過時間検出手段３５０は、基準タイミング検出手段３４０が当該一つの出力信号の変化を検出してから、当該他の一つの出力信号の値が変化するまでに経過した時間を、経過時間として検出する。そして、経過時間検出手段３５０は、検出した経過時間を示す情報を、識別手段３９０に出力する。コンパレータ３６０は、ＤＵＴ３６が出力する出力信号のそれぞれを基準電圧と比較し、比較結果を示す論理値を識別手段３９０に出力する。
【００５２】
設定手段３７０は、ＤＵＴ３６が出力する複数の出力信号のうち、一つの出力信号と、他の一つの出力信号との間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合に、当該一つの出力信号が変化してから、当該他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を、例えば試験制御装置３２の制御に基づいて予め設定する。そして、設定手段３７０は、設定した最小時間を示す情報を、識別手段３９０に出力する。期待値保持手段３８０は、パターン発生手段３００から受け取った期待値を示す情報と、タイミング発生手段３１０から受け取った、試験信号をＤＵＴ３６に与えるべきタイミングとに基づいて、ＤＵＴ３６が当該試験信号に対応して出力する出力信号の期待値を生成し、生成した期待値を予め保持する。
【００５３】
識別手段３９０は、経過時間検出手段３５０から受け取った経過時間、及びコンパレータ３６０から受け取った比較結果に基づいて、ＤＵＴ３６である電子デバイスの良否を識別する。具体的には、識別手段３９０は、経過時間検出手段３５０から受け取った経過時間が、設定手段３７０から受け取った最小時間より短い場合に、ＤＵＴ３６を不良品として識別する。また、識別手段３９０は、コンパレータ３６０から受け取った、出力信号と基準電圧との比較結果を示す論理値が、期待値保持手段３８０に保持されている期待値と一致しない場合にも、ＤＵＴ３６を不良品として識別してよい。そして、識別手段３９０は、ＤＵＴ３６に対する良否の識別結果を試験制御装置３２に出力し、利用者等に提示する。
【００５４】
本発明の第３の実施形態に係る試験装置３４によれば、電子デバイスが出力する複数の出力信号の間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合に、その相関に基づいて当該電子デバイスを試験することができる。これにより、従来の機能試験を行った場合において、予め定められたタイミングにおけるそれぞれの出力信号の値が期待値と一致している場合であっても、それぞれの出力信号が、予め定められた相関を満足していない、即ち、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの時間が、予め設定された最小時間より短い場合には、電子デバイスを不良品として識別することができる。また、逆に、従来の機能試験を行った場合において、予め定められたタイミングにおけるそれぞれの出力信号の値が期待値と一致していなくとも、それぞれの出力信号が変化するタイミングが一様に変位していることによって、それぞれの出力信号が予め定められた相関を満足している場合には、電子デバイスを良品として識別することもできる。以上のように、試験装置３４によれば、従来の機能試験のみを行う試験装置と比べて、より高い精度で、また、より柔軟に電子デバイスの試験を行うことができる。
【００５５】
なお、設定手段３７０によって設定される最小時間とは、ＤＵＴ３６である電子デバイスから出力信号を受け取って動作する他の電子デバイスに対する、一つの出力信号のセットアップ時間、または他の一つの出力信号のホールド時間のいずれかであってよい。
【００５６】
図６は、本発明の第３の実施形態に係る試験装置３４を用いた電子デバイスの試験方法における処理の流れの一例を示すフローチャートである。まず、設定手段３７０は、ＤＵＴ３６が出力する複数の出力信号のうち、一つの出力信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を予め設定する（Ｓ１１００）。続いて、基準タイミング検出手段３４０は、ＤＵＴ３６が試験信号に応じて出力した複数の出力信号のうち、当該一つの出力信号を取り込む（Ｓ１１１０）。ここで、基準タイミング検出手段３４０は、取り込んだ当該一つの出力信号の値が、前回取り込んだ値から変化したか否かを判定する（Ｓ１１２０）。当該一つの出力信号の値が変化していない場合（Ｓ１１２０：Ｎｏ）、基準タイミング検出手段３４０は、処理をＳ１１１０に戻して、再度、当該一つの出力信号の取り込みを実行する。一方、当該一つの出力信号の値が変化した場合（Ｓ１１２０：Ｙｅｓ）、基準タイミング検出手段３４０は、変化したタイミングを基準タイミングとして検出する（Ｓ１１３０）。
【００５７】
続いて、経過時間検出手段３５０は、ＤＵＴ３６が試験信号に応じて出力した複数の出力信号のうち、当該他の一つの出力信号を取り込む（Ｓ１１４０）。ここで、経過時間検出手段３５０は、取り込んだ当該他の一つの出力信号の値が、前回取り込んだ値から変化したか否かを判定する（Ｓ１１５０）。当該他の一つの出力信号の値が変化していない場合（Ｓ１１５０：Ｎｏ）、経過時間検出手段３５０は、処理をＳ１１４０に戻して、再度、当該他の一つの出力信号の取り込みを実行する。一方、当該他の一つの出力信号の値が変化した場合（Ｓ１１５０：Ｙｅｓ）、経過時間検出手段３５０は、基準タイミングから、当該他の一つの出力信号の値が変化したタイミングまでの経過時間を検出する（Ｓ１１６０）。続いて、識別手段３９０は、検出された経過時間が、設定された最小時間より短いか否かを判定する（Ｓ１１７０）。経過時間が最小時間より短くない場合（Ｓ１１７０：Ｎｏ）、識別手段３９０は、ＤＵＴ３６である電子デバイスを、良品として識別する（Ｓ１１８０）。一方、経過時間が最小時間より短い場合（Ｓ１１７０：Ｙｅｓ）、識別手段３９０は、ＤＵＴ３６である電子デバイスを、不良品として識別する（Ｓ１１９０）。
【００５８】
本発明の第３の実施形態に係る試験方法によれば、電子デバイスが出力する複数の出力信号の間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合に、その相関に基づいて当該電子デバイスを試験することにより、当該電子デバイスが期待された動作を行うか否かを、より高い精度で、また、より柔軟に試験することができる。また、本図に示した処理の流れに従って電子デバイスの試験を行うことにより、期待された動作を行う電子デバイスを、より高い精度で、また、より柔軟に選別して生産することができる。
【００５９】
図７は、本発明の第４の実施形態に係る試験シミュレーションシステム４０の機能構成の一例を示すブロック図である。試験シミュレーションシステム４０は、試験シミュレータ制御手段４２、試験シミュレータ４４、及びデバイスシミュレータ４６を備える。試験シミュレータ４４は、図５及び図６において説明した、本発明の第３の実施形態に係る試験装置３４の動作を、ソフトウェアによってシミュレートする。具体的には、試験シミュレータ４４は、電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータ４６に試験信号を与えると共に、試験信号に応じてデバイスシミュレータ４６から出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する。
【００６０】
試験シミュレータ４４は、パターン発生手段３００、タイミング発生手段３１０、波形成形手段３２０、ドライバ３３０、基準タイミング検出手段３４０、経過時間検出手段３５０、コンパレータ３６０、設定手段３７０、期待値保持手段３８０、及び識別手段３９０を有する。なお、本図に示した試験シミュレータ４４が有する部材のそれぞれは、図５に示した試験装置３４が有する、同一の符号を付した部材のそれぞれと略同一の機能を有するので、説明を省略する。但し、試験シミュレータ４４が有する部材のそれぞれは、対応する、試験装置３４が有する部材のそれぞれの機能を、ソフトウェアによってシミュレートすることによって動作する。また、試験シミュレータ４４においては、試験制御装置３２に代えて、試験シミュレータ制御手段４２の制御を受けると共に、電子デバイスの実物であるＤＵＴ３６に代えて、当該電子デバイスをソフトウェアによってシミュレートするデバイスシミュレータ４６の試験を行うことにより、当該電子デバイスを試験する。
【００６１】
本発明の第４の実施形態に係る試験シミュレータ４４によれば、電子デバイスをシミュレートするデバイスシミュレータが出力する複数の出力信号の間で、それぞれの出力信号が変化するタイミングが相関している場合に、その相関に基づいて当該電子デバイスを試験することができる。これにより、従来の機能試験のみを行う試験装置をシミュレートする試験シミュレータに比べて、より高い精度で、また、より柔軟に電子デバイスのシミュレート試験を行うことができる。
【００６２】
図８は、本発明の第５の実施形態に係る試験シミュレーションシステム５０の機能構成の一例を示すブロック図である。試験シミュレーションシステム５０は、試験シミュレータ制御手段５２、試験シミュレータ５４、及びデバイスシミュレータ５６を備える。試験シミュレータ５４は、電子デバイスを試験する試験装置の動作を、ソフトウェアによってシミュレートする。具体的には、試験シミュレータ５４は、電子デバイスの動作をシミュレートするデバイスシミュレータ５６に複数の試験信号を与えると共に、当該複数の試験信号に応じてデバイスシミュレータ５６から出力される複数の出力信号を、それぞれ期待値と比較することによって、電子デバイスを正しく試験することができるか否かをテストする。つまり、試験シミュレータ５４は、電子デバイスを試験する場合に用いる試験信号、即ち試験プログラムをテストする。デバイスシミュレータ５６は、複数のピンが設けられた電子デバイスの動作をソフトウェアによってシミュレートし、試験シミュレータ５４から与えられた、当該複数のピンのそれぞれに対応する複数の試験信号のそれぞれに応じて、複数の出力信号を出力する。
【００６３】
本発明の第５の実施形態に係る試験シミュレータ５４は、デバイスシミュレータ５６に与える複数の試験信号の間における、それぞれの試験信号が変化するタイミングの相関について試験することにより、デバイスシミュレータ５６がシミュレートする電子デバイスを、当該複数の試験信号を用いて正しく試験することができるか否かを、より高い精度でテストすることを目的とする。
【００６４】
なお、本例において説明する、変化するタイミングが相関している複数の試験信号とは、例えば、ＤＲＡＭをシミュレートするデバイスシミュレータ５６に対して、アドレスを指定する信号を試験信号として与える場合における、アドレス信号と、当該アドレス信号が示すアドレス値をロウアドレスとして入力するタイミングを示すＲＡＳ信号、または当該アドレス信号が示すアドレス値をカラムアドレスとして入力するタイミングを示すＣＡＳ信号とであってよい。
【００６５】
試験シミュレータ５４は、パターン発生手段５００、タイミング発生手段５０５、波形成形手段５１０、基準タイミング取得手段５１５、設定手段５２０、試験信号検出手段５２５、通知手段５３０、ドライバ５３５、コンパレータ５４０、期待値保持手段５４５、及び識別手段５５０を有する。パターン発生手段５００は、試験シミュレータ制御手段５２の制御に基づいて、デバイスシミュレータ５６に与えるべき試験信号のパターンを発生し、発生した試験信号のパターンを波形成形手段５１０に出力する。ここで、パターン発生手段５００は、デバイスシミュレータ５６がシミュレートする電子デバイスに設けられた複数のピンのそれぞれに対応する、複数の試験信号を発生してよい。また、パターン発生手段５００は、発生した試験信号のパターンに対応する、当該試験信号が与えられた場合にデバイスシミュレータ５６が出力する出力信号の期待値を示す情報を生成し、生成した情報を期待値保持手段５４５に出力する。
【００６６】
タイミング発生手段５０５は、試験シミュレータ制御手段５２の制御に基づいて、デバイスシミュレータ５６に試験信号を与えるべきタイミングを発生し、当該タイミングを示す情報を波形成形手段５１０、基準タイミング取得手段５１５、及び期待値保持手段５４５に出力する。波形成形手段５１０は、パターン発生手段５００から受け取った、デバイスシミュレータ５６に与えるべき試験信号のパターンと、タイミング発生手段５０５から受け取った、デバイスシミュレータ５６に試験信号を与えるべきタイミングを示す情報とに基づいて、デバイスシミュレータ５６に与えるべき複数の試験信号の波形を成形し、基準タイミング取得手段５１５、及び試験信号検出手段５２５に出力する。
【００６７】
基準タイミング取得手段５１５は、波形成形手段５１０から受け取った複数の試験信号に基づいて、当該複数の試験信号のうち、一つの試験信号が変化する時刻を取得する。例えば、基準タイミング取得手段５１５は、予め定められた時間間隔で、当該一つの試験信号の値を繰り返し取り込み、取り込んだ値が前回取り込んだ値から変化したか否かによって、当該一つの試験信号が変化したことを検出し、検出した時刻を取得する。そして、基準タイミング取得手段５１５は、取得した時刻を示す情報を、試験信号検出手段５２５に出力する。
【００６８】
設定手段５２０は、波形成形手段５１０が出力する複数の試験信号のうち、一つの試験信号と、他の一つの試験信号との間で、それぞれの試験信号が変化するタイミングが相関している場合に、当該一つの試験信号が変化してから、当該他の一つの試験信号が変化するまでの最小時間を、例えば試験シミュレータ制御手段５２の制御に基づいて予め設定する。そして、設定手段５２０は、設定した最小時間を示す情報を、試験信号検出手段５２５に出力する。
【００６９】
試験信号検出手段５２５は、波形成形手段５１０から、デバイスシミュレータ５６に与えられるべき試験信号を受け取る。そして、試験信号検出手段５２５は、基準タイミング取得手段５１５によって取得された、一つの試験信号が変化する時刻から、設定手段５２０によって設定された最小時間が経過したタイミングで、他の一つの試験信号の値を検出する。そして、試験信号検出手段５２５は、検出した試験信号の値を通知手段５３０に出力する。また、試験信号検出手段５２５は、波形成形手段５１０から受け取った試験信号のそれぞれを、ドライバ５３５に出力する。
【００７０】
通知手段５３０は、試験信号検出手段５２５によって検出された他の一つの試験信号の値に基づいて、試験シミュレータ５４が、現在の試験信号を用いることにより、デバイスシミュレータ５６によってシミュレートされている電子デバイスを正しく試験することができるか否かを判断する。具体的には、通知手段５３０は、複数の試験信号のうち、一つの試験信号と、他の一つの試験信号との間で、それぞれの試験信号が変化するタイミングが相関している場合に、試験信号検出手段５２５によって検出された当該他の一つの試験信号の値が、当該一つの試験信号が変化してから最小時間が経過した後に当該他の一つの試験信号が取るべき値として予め格納されている値と一致しなかったときに、現在の試験信号では電子デバイスを正しく試験することができないと判断して、その旨を試験シミュレータ制御手段５２に通知する。ここで、他の一つの試験信号が取るべき値として予め格納されている値とは、例えば、パターン発生手段５００によって、試験シミュレータ制御手段５２の制御に基づいて生成され、通知手段５３０に予め格納されている値であってよい。
【００７１】
ドライバ５３５は、試験信号検出手段５２５から受け取った複数の試験信号を、デバイスシミュレータ５６に与える。そして、デバイスシミュレータ５６は、与えられた複数の試験信号に応じて出力信号を発生し、発生した出力信号を、コンパレータ５４０に出力する。コンパレータ５４０は、デバイスシミュレータ５６から受け取った出力信号を基準電圧と比較し、比較結果である論理値を識別手段５５０に出力する。なお、デバイスシミュレータ５６が、出力信号をアナログ値ではなく論理値として出力する場合、コンパレータ５４０は、前述した比較処理を行わずに、受け取った論理値をそのまま識別手段５５０に出力してよい。
【００７２】
期待値保持手段５４５は、パターン発生手段５００から受け取った期待値を示す情報と、タイミング発生手段５０５から受け取った、試験信号をデバイスシミュレータ５６に与えるべきタイミングとに基づいて、デバイスシミュレータ５６が当該試験信号に対応して出力する出力信号の期待値を生成し、生成した期待値を予め保持する。識別手段５５０は、コンパレータ５４０から受け取った比較結果に基づいて、デバイスシミュレータ５６がシミュレートしている電子デバイスの良否、または試験プログラムの良否を識別する。具体的には、識別手段５５０は、コンパレータ５４０から受け取った、出力信号と基準電圧との比較結果を示す論理値が、期待値保持手段５４５に保持されている期待値と一致しない場合に、電子デバイスまたは試験プログラムを不良品として識別する。そして、識別手段５５０は、電子デバイスまたは試験プログラムに対する良否の識別結果を試験シミュレータ制御手段５２に出力し、利用者等に提示する。
【００７３】
本発明の第５の実施形態に係る試験シミュレータ５４によれば、電子デバイスをシミュレートするデバイスシミュレータ５６に与える複数の試験信号の間で、それぞれの試験信号が変化するタイミングが相関している場合に、当該試験信号を用いて当該電子デバイスを正しく試験することができるか否かを、その相関に基づいてテストすることができる。これにより、予め定められたタイミングにおけるそれぞれの試験信号の値が取るべき値と一致している場合であっても、それぞれの試験信号が、予め定められた相関を満足していない、即ち、一つの試験信号が変化してから、予め設定された最小時間が経過したタイミングにおける他の一つの試験信号の値が、取るべき値と異なっている場合には、これらの試験信号では電子デバイスを正しく試験することができないと判断することができる。また、逆に、予め定められたタイミングにおけるそれぞれの試験信号の値が取るべき値と一致していなくとも、それぞれの試験信号が変化するタイミングが一様に変位していることにより、それぞれの試験信号が予め定められた相関を満足している場合には、これらの試験信号を用いて電子デバイスを正しく試験することができると判断することができる。以上により、試験シミュレータ５４によれば、電子デバイスの試験を正しく行うことができるか否かを、従来のシミュレーション試験を行う試験シミュレータに比べて、より高い精度で、また、より柔軟にテストすることができる。
【００７４】
以上、図８を用いて、電子デバイスを試験する試験装置の動作をソフトウェアによってシミュレートする試験シミュレータ５４について説明したが、これに代えて、実際の試験装置が、以上に説明した試験シミュレータ５４における処理と同様の処理を行ってもよい。具体的には、当該試験装置は、パターン発生手段５００、タイミング発生手段５０５、波形成形手段５１０、基準タイミング取得手段５１５、設定手段５２０、試験信号検出手段５２５、通知手段５３０、ドライバ５３５、コンパレータ５４０、期待値保持手段５４５、及び識別手段５５０を有してよい。ここで、当該試験装置が有する部材のそれぞれは、本図に示した試験シミュレータ５４が有する、同一の符号を付した部材のそれぞれと略同一の機能を有する。そして、当該試験装置は、デバイスシミュレータ５６に代えて、実際の電子デバイスに複数の試験信号を与えると共に、当該複数の試験信号に応じて電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれの期待値と比較することによって、電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する。また、当該試験装置は、試験シミュレータ制御手段５２に代えて、試験制御装置の制御に基づいて、電子デバイスの試験を行ってよい。そして、当該試験装置は、本図において試験シミュレータ５４の処理として説明した処理と同様の処理を行うことにより、電子デバイスに与える複数の試験信号の間で、それぞれの試験信号が変化するタイミングが相関している場合に、当該試験信号を用いて当該電子デバイスを正しく試験することができるか否かを、その相関に基づいてテストすることができる。
【００７５】
図９は、本発明の第５の実施形態に係る試験シミュレータ５４において用いられる試験信号の一例を示す。本図に示した試験信号のうち、試験信号Ａは、図８において説明した、一つの試験信号である。また、試験信号Ｂは、図８において説明した、他の一つの試験信号である。ここで、試験信号Ａと試験信号Ｂとは、それぞれが変化するタイミングが相関している。例えば、試験信号Ｂは、試験信号Ａが変化した後、予め設定された最小時間が経過するまで変化しない。なお、本図においては、試験信号Ａが変化するタイミングをタイミングＴ１とし、更に、タイミングＴ１から、設定手段５２０によって設定された最小時間が経過したタイミングをタイミングＴ２とする。また、タイミングＴ２における、試験信号Ｂが取るべき値はＬ論理である。従って、タイミングＴ２において、試験信号ＢがＨ論理を示している場合、通知手段５３０は、本図に示した試験信号では、デバイスシミュレータ５６がシミュレートする電子デバイスを正しく試験することができないと判断する。
【００７６】
ここで、最小時間は、一つの試験信号、即ち試験信号Ａのセットアップ時間、または、他の一つの試験信号、即ち試験信号Ｂのホールド時間のいずれかであってよい。具体例として、試験シミュレータ５４が、ＤＲＡＭをシミュレートするデバイスシミュレータ５６に対して、アドレス信号と、当該アドレス信号が示すアドレス値をロウアドレスとして入力するタイミングを示すＲＡＳ信号とを試験信号として与える場合について説明する。この場合において、試験信号Ａがアドレス信号であり、試験信号ＢがＲＡＳ信号である場合に、最小時間は、試験信号Ａのセットアップ時間であってよい。また、試験信号ＡがＲＡＳ信号であり、試験信号Ｂがアドレス信号である場合において、最小時間は、デバイスシミュレータ５６がシミュレートする電子デバイスに対する試験信号Ｂのホールド時間であってよい。これらにより、ＲＡＳ信号が変化したタイミングで、デバイスシミュレータ５６がシミュレートする電子デバイスにおいて、アドレス信号が確実に読み込まれるか否か、つまり、これらの試験信号を用いて、当該電子デバイスを正しく試験することができるか否かを判断することができる。
【００７７】
図１０は、本発明の第５の実施形態に係る試験シミュレーションシステム５０を用いた電子デバイスの試験シミュレーション方法及び生産方法における処理の流れの一例を示すフローチャートである。まず、設定手段５２０は、複数の試験信号のうち、一つの試験信号が変化してから、他の一つの試験信号が変化するまでの最小時間を設定する（Ｓ１２００）。続いて、基準タイミング取得手段５１５は、複数の試験信号のうち、当該一つの試験信号の値を検出する（Ｓ１２０５）。ここで、基準タイミング取得手段５１５は、検出した当該一つの試験信号の値が、前回検出した値から変化したか否かを判定する（Ｓ１２１０）。当該一つの試験信号の値が変化していない場合（Ｓ１２１０：Ｎｏ）、基準タイミング取得手段５１５は、処理をＳ１２０５に戻して、再度、当該一つの試験信号の値を検出する。一方、当該一つの試験信号の値が変化した場合（Ｓ１２１０：Ｙｅｓ）、基準タイミング取得手段５１５は、変化した時刻を取得する（Ｓ１２１５）。
【００７８】
続いて、試験信号検出手段５２５は、当該一つの試験信号の値が変化した時刻から、設定された最小時間が経過したタイミングで、当該他の一つの試験信号の値を検出する（Ｓ１２２０）。続いて、通知手段５３０は、検出された当該他の一つの試験信号の値が、取るべき値と一致するか否かを判定する（Ｓ１２２５）。当該他の一つの試験信号の値が、取るべき値と一致しないと判定した場合（Ｓ１２２５：Ｎｏ）、通知手段５３０は、これらの試験信号では、デバイスシミュレータ５６がシミュレートしている電子デバイスを正しく試験することができないと判断して、その旨を通知する（Ｓ１２３０）。続いて、試験シミュレータ制御手段５２は、通知手段５３０から受けた通知内容を利用者に提示する等して、利用者に試験信号の修正を行わせ、修正された試験信号のパターンを格納する（Ｓ１２３５）。そして、試験シミュレーションシステム５０は、処理をＳ１２０５に戻し、再度、基準タイミング取得手段５１５における、一つの試験信号が変化した時刻を取得する処理、及び試験信号検出手段５２５における、他の一つの試験信号の値を検出する処理を繰り返し実施させる。
【００７９】
一方、当該他の一つの試験信号の値が、取るべき値と一致すると判定された場合（Ｓ１２２５：Ｙｅｓ）、試験シミュレータ５４に代わり、実際の試験装置が、これらの試験信号のパターンを用いて、デバイスシミュレータ５６がシミュレートした電子デバイスの実物を試験する（Ｓ１２４０）。そして、試験装置は、電子デバイスの実物に試験信号を与えることによって当該電子デバイスから得られた出力信号の値が、当該試験信号のパターンに応じて生成した、当該出力信号の期待値と一致するか否かを判定する（Ｓ１２４５）。出力信号の値が期待値と一致した場合（Ｓ１２４５：Ｙｅｓ）、試験装置は、当該電子デバイスを良品として識別する（Ｓ１２５０）。一方、出力信号の値が期待値と一致しなかった場合（Ｓ１２４５：Ｎｏ）、試験装置は、当該電子デバイスを不良品として識別する（Ｓ１２５５）。
【００８０】
本図におけるＳ１２００からＳ１２３５までの処理の流れに従う試験シミュレーション方法によれば、複数の試験信号の間で、それぞれの試験信号が変化するタイミングが相関している場合に、その相関に基づいて試験信号を検証することにより、当該試験信号を用いて、電子デバイスを正しく試験することができるか否かを判断することができる。また、電子デバイスを正しく試験することができないと判断した場合であっても、試験信号のパターンの修正と、当該パターンの再検証とを繰り返して行うことにより、利用者は、電子デバイスを正しく試験することができる試験信号のパターンを、高い精度で生成することができる。また、本図に示した処理の流れに従って電子デバイスのシミュレーション試験及び実試験を行うことにより、当該電子デバイスが良品であるか否かを、より高い精度で、また、より柔軟に選別して、電子デバイスを生産することができる。
【００８１】
図１１は、本発明の第６の実施形態に係る試験シミュレーションシステム６０の機能構成の一例を示すブロック図である。試験シミュレーションシステム６０は、試験シミュレータ制御手段６２、試験シミュレータ６４、及びデバイスシミュレータ６６を備える。試験シミュレータ６４は、パターン発生手段５００、タイミング発生手段５０５、波形成形手段５１０、基準タイミング取得手段５１５、設定手段６２０、経過時間検出手段６２５、通知手段６３０、ドライバ５３５、コンパレータ５４０、期待値保持手段５４５、及び識別手段５５０を有する。本図に示した試験シミュレータ６４が有する部材のうち、図８に示した試験シミュレータ５４が有する部材と同一の符号を付した部材は、対応する、試験シミュレータ５４が有する部材と略同一の機能を有するので、相違点を除き、説明を省略する。但し、試験シミュレータ６４においては、試験シミュレータ制御手段５２に代えて、試験シミュレータ制御手段６２の制御を受けると共に、デバイスシミュレータ５６に代えて、デバイスシミュレータ６６を試験する。
【００８２】
設定手段６２０は、波形成形手段５１０が出力する複数の試験信号のうち、一つの試験信号と、他の一つの試験信号との間で、それぞれの試験信号が変化するタイミングが相関している場合に、当該一つの試験信号が変化してから、当該他の一つの試験信号が変化するまでの最小時間を、例えば試験シミュレータ制御手段６２の制御に基づいて予め設定する。そして、設定手段６２０は、設定した最小時間を示す情報を、通知手段６３０に出力する。
【００８３】
経過時間検出手段６２５は、波形成形手段５１０から、デバイスシミュレータ６６に与えられるべき試験信号を受け取る。そして、経過時間検出手段６２５は、基準タイミング取得手段５１５によって取得された、一つの試験信号が変化する時刻から、他の一つの試験信号が変化するまでの経過時間を検出する。例えば、経過時間検出手段６２５は、当該一つの試験信号が変化した時刻から、予め定められた時間間隔で、当該他の一つの試験信号の値を繰り返し取り込み、取り込んだ値が前回取り込んだ値から変化したか否かによって、当該他の一つの試験信号が変化したことを検出する。続いて、経過時間検出手段６２５は、当該一つの試験信号が変化した時刻から、当該他の一つの試験信号が変化するまでに経過した時間を、経過時間として検出する。そして、経過時間検出手段６２５は、検出した経過時間を示す情報を、通知手段６３０に出力する。
【００８４】
通知手段６３０は、経過時間検出手段６２５から受け取った経過時間に基づいて、試験シミュレータ６４が、現在の試験信号を用いることにより、デバイスシミュレータ６６によってシミュレートされている電子デバイスを正しく試験することができるか否かを判断する。具体的には、通知手段６３０は、経過時間が、設定手段６２０から受け取った最小時間より短いときに、現在の試験信号では電子デバイスを正しく試験することができないと判断して、その旨を試験シミュレータ制御手段６２に通知する。
【００８５】
本発明の第６の実施形態に係る試験シミュレータ６４によれば、電子デバイスをシミュレートするデバイスシミュレータ６６に与える複数の試験信号の間で、それぞれの試験信号が変化するタイミングが相関している場合に、当該試験信号を用いることにより当該電子デバイスを正しく試験することができるか否かを、その相関に基づいてテストすることができる。これにより、予め定められたタイミングにおけるそれぞれの試験信号の値が取るべき値と一致している場合であっても、それぞれの試験信号が、予め定められた相関を満足していない、即ち、一つの試験信号が変化してから、他の一つの試験信号が変化するまでの経過時間が、予め設定された最小時間より短い場合には、これらの試験信号では電子デバイスを正しく試験することができないと判断することができる。また、逆に、予め定められたタイミングにおけるそれぞれの試験信号の値が取るべき値と一致していなくとも、それぞれの試験信号が変化するタイミングが一様に変位していることにより、それぞれの試験信号が予め定められた相関を満足している場合には、これらの試験信号を用いて電子デバイスを正しく試験することができると判断することができる。以上により、試験シミュレータ６４によれば、電子デバイスの試験を正しく行うことができるか否かを、従来のシミュレーション試験を行う試験シミュレータに比べて、より高い精度で、また、より柔軟にテストすることができる。
【００８６】
なお、設定手段６２０によって設定される最小時間とは、一つの試験信号のセットアップ時間、または他の一つの試験信号のホールド時間のいずれかであってよい。
【００８７】
以上、図１１を用いて、電子デバイスを試験する試験装置の動作をソフトウェアによってシミュレートする試験シミュレータ６４について説明したが、これに代えて、実際の試験装置が、以上に説明した試験シミュレータ６４における処理と同様の処理を行ってもよい。具体的には、当該試験装置は、パターン発生手段５００、タイミング発生手段５０５、波形成形手段５１０、基準タイミング取得手段５１５、設定手段６２０、経過時間検出手段６２５、通知手段６３０、ドライバ５３５、コンパレータ５４０、期待値保持手段５４５、及び識別手段５５０を有していてよい。ここで、当該試験装置が有する部材のそれぞれは、本図に示した試験シミュレータ６４が有する、同一の符号を付した部材のそれぞれと略同一の機能を有する。そして、当該試験装置は、デバイスシミュレータ６６に代えて、実際の電子デバイスに複数の試験信号を与えると共に、当該複数の試験信号に応じて電子デバイスから出力される複数の出力信号を、それぞれの期待値と比較することによって、電子デバイスが期待された動作を行うか否かを試験する。また、当該試験装置は、試験シミュレータ制御手段６２に代えて、試験制御装置の制御に基づいて、電子デバイスの試験を行ってよい。そして、当該試験装置は、本図において試験シミュレータ６４の処理として説明した処理と同様の処理を行うことにより、電子デバイスに与える複数の試験信号の間で、それぞれの試験信号が変化するタイミングが相関している場合に、当該試験信号を用いて当該電子デバイスを正しく試験することができるか否かを、その相関に基づいてテストすることができる。
【００８８】
図１２は、本発明の第６の実施形態に係る試験シミュレーションシステム６０を用いた電子デバイスの試験シミュレーション方法及び生産方法における処理の流れの一例を示すフローチャートである。まず、設定手段６２０は、複数の試験信号のうち、一つの試験信号が変化してから、他の一つの出力信号が変化するまでの最小時間を設定する（Ｓ１３００）。続いて、基準タイミング取得手段５１５は、複数の試験信号のうち、当該一つの試験信号の値を検出する（Ｓ１３０５）。ここで、基準タイミング取得手段５１５は、検出した当該一つの試験信号の値が、前回検出した値から変化したか否かを判定する（Ｓ１３１０）。当該一つの試験信号の値が変化していない場合（Ｓ１３１０：Ｎｏ）、基準タイミング取得手段５１５は、処理をＳ１３０５に戻して、再度、当該一つの試験信号の値を検出する。一方、当該一つの試験信号の値が変化した場合（Ｓ１３１０：Ｙｅｓ）、基準タイミング取得手段５１５は、変化した時刻を取得する（Ｓ１３１５）。
【００８９】
続いて、経過時間検出手段６２５は、複数の試験信号のうち、他の一つの試験信号の値を検出する（Ｓ１３２０）。ここで、経過時間検出手段６２５は、検出した当該他の一つの試験信号の値が、前回検出した値から変化したか否かを判定する（Ｓ１３２５）。当該他の一つの試験信号の値が変化していない場合（Ｓ１３２５：Ｎｏ）、経過時間検出手段６２５は、処理をＳ１３２０に戻して、再度、当該他の一つの試験信号の値を検出する。一方、当該他の一つの試験信号の値が変化した場合（Ｓ１３２５：Ｙｅｓ）、経過時間検出手段６２５は、当該一つの試験信号の値が変化してから、当該他の一つの試験信号の値が変化するまでの経過時間を検出する（Ｓ１３３０）。ここで、通知手段６３０は、検出された経過時間が、予め設定された最小時間より短いか否かを判定する（Ｓ１３３５）。経過時間が最小時間より短いと判定した場合（Ｓ１３３５：Ｙｅｓ）、通知手段５３０は、これらの試験信号では、デバイスシミュレータ６６がシミュレートしている電子デバイスを正しく試験することができないと判断して、その旨を通知する（Ｓ１３４０）。続いて、試験シミュレータ制御手段６２は、通知手段６３０から受けた通知内容を利用者に提示する等して、利用者に試験信号の修正を行わせ、修正された試験信号のパターンを格納する（Ｓ１３４５）。そして、試験シミュレーションシステム６０は、処理をＳ１３０５に戻し、再度、基準タイミング取得手段５１５における、一つの試験信号が変化した時刻を取得する処理、及び経過時間検出手段６２５における、経過時間の検出処理を繰り返し実施させる。
【００９０】
一方、経過時間が最小時間より短くないと判定された場合（Ｓ１３３５：Ｎｏ）、試験シミュレータ６４に代わり、実際の試験装置が、これらの試験信号のパターンを用いて、デバイスシミュレータ６６がシミュレートした電子デバイスの実物を試験する（Ｓ１３５０）。そして、試験装置は、電子デバイスの実物に試験信号を与えることによって、当該電子デバイスから得られた出力信号の値が、当該試験信号のパターンに応じて生成した、当該出力信号の期待値と一致するか否かを判定する（Ｓ１３５５）。出力信号の値が期待値と一致した場合（Ｓ１３５５：Ｙｅｓ）、試験装置は、当該電子デバイスを良品として識別する（Ｓ１３６０）。一方、出力信号の値が期待値と一致しなかった場合（Ｓ１３５５：Ｎｏ）、試験装置は、当該電子デバイスを不良品として識別する（Ｓ１３６５）。
【００９１】
本図におけるＳ１３００からＳ１３４５までの処理の流れに従った試験シミュレーション方法によれば、複数の試験信号の間で、それぞれの試験信号が変化するタイミングが相関している場合に、その相関に基づいて試験信号を検証することにより、当該試験信号を用いて、電子デバイスを正しく試験することができるか否かを判断することができる。また、電子デバイスを正しく試験することができないと判断した場合であっても、試験信号のパターンの修正と、当該パターンの再検証とを繰り返して行うことにより、利用者は、電子デバイスを正しく試験することができる試験信号のパターンを、高い精度で生成することができる。また、本図に示した処理の流れに従って電子デバイスのシミュレーション試験及び実試験を行うことにより、当該電子デバイスが良品であるか否かを、より高い精度で、また、より柔軟に選別して、電子デバイスを生産することができる。
【００９２】
図１３は、本発明の実施形態に係るコンピュータ１５００のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。本発明の実施形態に係るコンピュータ１５００は、ホスト・コントローラ１５８２により相互に接続されるＣＰＵ１５０５、ＲＡＭ１５２０、グラフィック・コントローラ１５７５、及び表示装置１５８０を有するＣＰＵ周辺部と、入出力コントローラ１５８４によりホスト・コントローラ１５８２に接続される通信インターフェイス１５３０、ハードディスクドライブ１５４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ１５６０を有する入出力部と、入出力コントローラ１５８４に接続されるＲＯＭ１５１０、フレキシブルディスク・ドライブ１５５０、及び入出力チップ１５７０を有するレガシー入出力部とを備える。
【００９３】
ホスト・コントローラ１５８２は、ＲＡＭ１５２０と、高い転送レートでＲＡＭ１５２０をアクセスするＣＰＵ１５０５及びグラフィック・コントローラ１５７５とを接続する。ＣＰＵ１５０５は、ＲＯＭ１５１０及びＲＡＭ１５２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィック・コントローラ１５７５は、ＣＰＵ１５０５等がＲＡＭ１５２０内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置１５８０上に表示させる。これに代えて、グラフィック・コントローラ１５７５は、ＣＰＵ１５０５等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。
【００９４】
入出力コントローラ１５８４は、ホスト・コントローラ１５８２と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス１５３０、ハードディスクドライブ１５４０、ＣＤ−ＲＯＭドライブ１５６０を接続する。通信インターフェイス１５３０は、ネットワークを介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ１５４０は、コンピュータ１５００内のＣＰＵ１５０５が使用するプログラム及びデータを格納する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ１５６０は、ＣＤ−ＲＯＭ１５９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ１５２０を介してハードディスクドライブ１５４０に提供する。
【００９５】
また、入出力コントローラ１５８４には、ＲＯＭ１５１０と、フレキシブルディスク・ドライブ１５５０、及び入出力チップ１５７０の比較的低速な入出力装置とが接続される。ＲＯＭ１５１０は、コンピュータ１５００が起動時に実行するブート・プログラムや、コンピュータ１５００のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスク・ドライブ１５５０は、フレキシブルディスク１５９０からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ１５２０を介してハードディスクドライブ１５４０に提供する。入出力チップ１５７０は、フレキシブルディスク・ドライブ１５５０や、例えばパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を接続する。
【００９６】
ＲＡＭ１５２０を介してハードディスクドライブ１５４０に提供される試験シミュレーションプログラムは、フレキシブルディスク１５９０、ＣＤ−ＲＯＭ１５９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。試験シミュレーションプログラムは、記録媒体から読み出され、ＲＡＭ１５２０を介してコンピュータ１５００内のハードディスクドライブ１５４０にインストールされ、ＣＰＵ１５０５において実行される。コンピュータ１５００にインストールされて実行される試験シミュレーションプログラムは、ＣＰＵ１５０５等に働きかけて、コンピュータ１５００を、図１から図１２にかけて説明した試験シミュレータ（２４、４４、５４、６４）として機能させる。
【００９７】
以上に示したプログラムは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。記憶媒体としては、フレキシブルディスク１５９０、ＣＤ−ＲＯＭ１５９５の他に、ＤＶＤやＰＤ等の光学記録媒体、ＭＤ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムをコンピュータ１５００に提供してもよい。
【００９８】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る試験システム１０の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るＤＵＴ１６の出力信号の一例を示す図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る試験装置１４を用いた電子デバイスの試験方法における処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る試験シミュレーションシステム２０の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る試験システム３０の構成の一例を示すブロック図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る試験装置３４を用いた電子デバイスの試験方法における処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【図７】本発明の第４の実施形態に係る試験シミュレーションシステム４０の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図８】本発明の第５の実施形態に係る試験シミュレーションシステム５０の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図９】本発明の第５の実施形態に係る試験シミュレータ５４において用いられる試験信号の一例を示す図である。
【図１０】本発明の第５の実施形態に係る試験シミュレーションシステム５０を用いた電子デバイスの試験シミュレーション方法及び生産方法における処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【図１１】本発明の第６の実施形態に係る試験シミュレーションシステム６０の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図１２】本発明の第６の実施形態に係る試験シミュレーションシステム６０を用いた電子デバイスの試験シミュレーション方法及び生産方法における処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【図１３】本発明の実施形態に係るコンピュータ１５００のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【符号の説明】
【０１００】
１０  試験システム、１２  試験制御装置、１４  試験装置、１６  ＤＵＴ、２０  試験シミュレーションシステム、２２  試験シミュレータ制御手段、２４  試験シミュレータ、２６  デバイスシミュレータ、３０  試験システム、３２  試験制御装置、３４  試験装置、３６  ＤＵＴ、４０  試験シミュレーションシステム、４２  試験シミュレータ制御手段、４４  試験シミュレータ、４６  デバイスシミュレータ、５０  試験シミュレーションシステム、５２  試験シミュレータ制御手段、５４  試験シミュレータ、５６  デバイスシミュレータ、６０  試験シミュレーションシステム、６２  試験シミュレータ制御手段、６４  試験シミュレータ、６６  デバイスシミュレータ、１００  パターン発生手段、１１０  タイミング発生手段、１２０  波形成形手段、１３０  ドライバ、１４０  基準タイミング検出手段、１５０  設定手段、１６０  取込手段、１６２  ストローブ生成手段、１６４  コンパレータ、１７０  期待値保持手段、１８０  識別手段、３００  パターン発生手段、３１０  タイミング発生手段、３２０  波形成形手段、３３０  ドライバ、３４０  基準タイミング検出手段、３５０  経過時間検出手段、３６０  コンパレータ、３７０  設定手段、３８０  期待値保持手段、３９０  識別手段、５００  パターン発生手段、５０５  タイミング発生手段、５１０  波形成形手段、５１５  基準タイミング取得手段、５２０  設定手段、５２５  試験信号検出手段、５３０  通知手段、５３５  ドライバ、５４０  コンパレータ、５４５  期待値保持手段、５５０  識別手段、６２０  設定手段、６２５  試験信号検出手段、６３０  通知手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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