(57)【要約】【課題】  液晶ディスプレイのガラス基板等の板状ワークの搬送に用いられる枚葉搬送用トレイである。搬送中の板状ワークの位置ずれや、ワークの取り出し時等にワークに傷が付くのを防止できる枚葉搬送用トレイ、およびこのトレイを使用するトレイ搬送システムを提供する。【解決手段】  この枚葉搬送用トレイ１は、板状ワークの載置部４にエアー給排口５を設け、このエアー給排口５に連通し、給排装置が接続可能なエアー経路を設け、給排装置によりエアー経路からエアーを吸引することにより、載置部４の上に板状ワークを吸着できるようにしている。また、給排装置からエアー経路にエアーを供給することにより、載置部４のエアー給排口５から吹き出すエアーで載置部４に載せられた板状ワークを浮上させられるようにしている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークの載置部にエアー給排口を設け、このエアー給排口に連通し、エアーの給排装置が接続可能なエアー経路を設けた枚葉搬送用トレイ。
【請求項２】
前記エアー経路に逆止弁を設けた請求項１記載の枚葉搬送用トレイ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の枚葉搬送用トレイを使用した搬送システムであって、板状ワークをトレイ上に供給するローディング部において、板状ワークが載置された状態でエアー経路のエアーを吸引する給排装置を設け、板状ワークがトレイに吸着された状態で搬送するようにしたトレイ搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板等の板状ワークを載置して搬送する枚葉搬送用トレイおよびこのトレイを使用した搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ等に用いられるガラス基板は、この基板の両端を載せる腕部を上下に多数有するボックス状のカセットを用い、多数枚同時に搬送するようにしていた（例えば特許文献１）。同特許文献１には、カセット内の各腕部に吸着パッドを設けることも提案されている。
しかし、最近は、液晶ディスプレイの大型化に伴い、ガラス基板の縦横寸法の大きなもの、例えば２２００×２６００×０．７（単位mm）程度のガラス基板が製造されており、このような大きなガラス基板の場合、多数枚同時に搬送するカセットでは、大重量となって搬送が困難になってきている。また、カセットの腕部でガラス基板の両端を支持するだけでは、ガラス基板に撓みが生じ、搬送上で支障を来すことがある。
【０００３】
そのため、ガラス基板を１枚ずつ載せる枚葉搬送用トレイが採用されつつある。枚葉搬送用トレイは、ガラス基板を載せた状態で積み重ね可能なものであり、複数枚積み重ねた状態で、スタッカクレーン等による搬送を行う。
各種の処理装置や検査装置へは、段積み状態の枚葉搬送用トレイから１枚ずつトレイを取り出し、トレイごとに搬送するか、またはトレイからガラス基板だけを取り出して処理装置等へ搬送する。空になったトレイは、別に載置しておく。
【０００４】
この種の枚葉搬送用トレイとして、板状ワークを非接触で取り出すために、トレイ底面に噴射孔を設けてエアーの噴出により板状ワークを浮かせるものが提案されている（例えば特許文献２）。
【特許文献１】特開２００２−３７３９３４号公報
【特許文献２】特開２０００−２７２７５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
枚葉搬送用トレイに板状ワークを載せてコンベヤ等で搬送する場合に、搬送中の振動で板状ワークが位置ずれし、トレイからのワークの取り出しに支障を来すことがある。またトレイからワークを取り出すとき等に、ワークが載置部に擦れてワークを傷付けると言う問題も有る。
特許文献１に示されるカセット式のものでは、各腕部に吸着パッドを設けているため、位置ずれが防止できるが、カセット式であるため、大重量となるうえ、板状ワークを両端で腕部により支持するものであるため、大寸法の板状ワークの場合、撓みが生じるという問題がある。撓みが生じると、吸着による位置決めにも影響する。
特許文献２に示される枚葉搬送用トレイは、エアーの噴出で板状ワークを浮かせる機能を有するため、板状ワークの取り出し時に板状ワークが載置部に擦れて傷付けることは防止されるが、搬送中の振動による板状ワークの位置ずれには対応できない。
【０００６】
この発明の目的は、板状ワークの吸着や浮上が可能で、板状ワークの位置ずれが防止でき、またワークの取り出し時にワークに傷が付くことを防止できる枚葉搬送用トレイを提供することである。
この発明の他の目的は、搬送中の板状ワークの位置ずれを簡易な構成で防止できるものとすることである。
この発明のさらに他の目的は、搬送中に板状ワークが位置ずれすることを容易に防止できるトレイ搬送システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の枚葉搬送用トレイは、板状ワークの載置部にエアー給排口を設け、このエアー給排口に連通し、給排装置が接続可能なエアー経路を設けたものである。
この構成によると、給排装置によりエアー経路のエアーを吸引することによりエアー経路内を真空状態にして、載置部上の板状ワークを載置部に吸着できる。そのため、トレイ上の板状ワークの位置ずれを防止できる。また、給排装置からエアー経路にエアーを供給することにより、載置部のエアー給排口から吹き出すエアーで板状ワークを浮上させることができる。そのため、ワークの取り出し時等にワークに傷が付くことを防止できる。
【０００８】
この発明において、前記エアー経路に逆止弁を設けても良い。逆止弁を設けた場合、給排装置によりエアー経路のエアーを吸引してエアー経路内を真空状態にした後で、給排装置をエアー経路から分離しても、板状ワークを載置部に吸着した状態が維持される。そのため、給排装置の非接続状態で枚葉搬送用トレイを搬送しても、板状ワークを枚葉搬送用トレイに吸着状態に保つことができて、搬送中の板状ワークの位置ずれを防止することができる。また、逆止弁を設けただけの簡易な構成で、搬送中の吸着維持が行える。
【０００９】
この発明のトレイ搬送システムは、この発明の枚葉搬送用トレイを使用する搬送システムであって、板状ワークをトレイ上に供給するローディング部において、板状ワークが載置された状態でエアー経路のエアーを吸引する給排装置を設け、板状ワークがトレイに吸着された状態で搬送するようにしたものである。
この構成によると、ローディング部において、トレイの載置部に載せられた板状ワークを、給排装置の吸引によりトレイに吸着することができ、この吸着状態で枚葉搬送用トレイを搬送することができる。そのため、搬送中に板状ワークが位置ずれすることが防止できる。枚葉搬送用トレイの移動中に板状ワークの吸着を維持する手段としては、上記のように逆止弁を設けても良く、また移動中も給排装置と枚葉搬送用トレイのエアー経路との接続を保つ手段としても良い。
【発明の効果】
【００１０】
この発明の枚葉搬送用トレイは、板状ワークの載置部にエアー給排口を設け、このエアー給排口に連通し、給排装置が接続可能なエアー経路を設けたため、板状ワークの吸着や浮上が可能で、板状ワークの位置ずれが防止でき、またワークの取り出し時にワークに傷が付くことが防止できる。
前記エアー経路に逆止弁を設けた場合は、搬送中に板状ワークの吸着状態を維持することができて、搬送中の板状ワークの位置ずれが簡単な構成で防止できる。
この発明のトレイ搬送システムは、この発明の枚葉搬送用トレイを使用する搬送システムであって、板状ワークをトレイ上に供給するローディング部において、板状ワークが載置された状態でエアー経路のエアーを吸引する給排装置を設け、板状ワークがトレイに吸着された状態で搬送するようにしたたため、トレイの載置部に載せられた板状ワークを載置部に吸着した状態でトレイを搬送でき、搬送中に板状ワークが位置ずれすることを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
この発明の一実施形態を図１ないし図５と共に説明する。図１に斜視図で示すように、この実施形態の枚葉搬送用トレイ１は、液晶ディスプレイのガラス基板等の板状ワークを載せて搬送するためのトレイであって、方形の底板部２と、この底板部２の互いに対向する平行な２辺の各縁部に沿って設けられた一対のトレイ受け部３と、前記底板部２の上面に設けられたワーク載置部４とを有する。この枚葉搬送用トレイ１は互いに上下に積み重ね可能なものであり、トレイ受け部３は互いに積み重ねる上方のトレイを載せる受け部となる。
【００１２】
底板部２の上面に設けられたワーク載置部４は、底板部２の上面から浮き上がらせた状態で板状ワークを支持するものであって、板状ワークを撓み無く全面にわたって均等に支持するために、前記トレイ受け部３と平行に所定の間隔を開けて複数配置されている。このワーク載置部４の間隔は、トレイ１に載せられたワークＷを、例えばフォーク等の持ち上げ部材（図示せず）を用いてトレイ１から取り出すときの持ち上げ部材の挿入路とされる。各ワーク載置部４は、長さ方向に分割されたものであっても良い。ワーク載置部４の高さは、底板部２の上面から前記トレイ受け部３の上端までの高さより低く、支持される板状ワークがトレイ受け部３の上端より低くなるように設定されている。
【００１３】
図１のように、前記各ワーク載置部４には、その上端に開口する複数のエアー給排口５がワーク載置部４の長手方向に所定の間隔を開けて設けられている。図３に示すように、各エアー給排口５は、底板部２内に設けられた共通のエアー経路６に連通し、エアー経路６は、エアーの給排装置７に接離可能に接続される。エアー経路６は、配管であっても、底板部２内に設けられた孔であっても良く、各ワーク載置部４毎に分岐した複数の分岐路を有している。その分岐路からさらに各エアー給排口５に分岐している。給排装置７は、エアーの供給用の手段と吸引用の手段を備え、切り換えてホース１１に接続可能とされている。給排装置７におけるエアーの供給手段としては、ブロワー等が用いられ、吸引用の手段としては、ブロワーまたは真空ポンプ等が用いられる。
【００１４】
図２に示すように、エアー経路６は、トレイ受け部３が設置される底板部２の一方の端部側に開口し、この開口に例えばセルフシール継手８の雌部９が設けられている。この継手雌部９に、給排装置７のホース１１の先端に設けられたセルフシール継手８の雄部１０が着脱可能に接続される。継手雌部９は逆止弁１２を内蔵した構造のものとされる。これにより、セルフシール継手８は、雌部９と雄部１０を分離した状態で雌側の回路（ここではエアー経路６）と雄側の回路（ここではホース１１）を完全に遮断でき、接続状態で両側の回路を連通させることができる。
【００１５】
図３は、この枚葉搬送用トレイ１を使用するトレイ搬送システムにおけるローディング部の破断側面図を示し、図４はその平面図を示す。このローディング部には、トレイ搬送路であるコンベヤ１３と、このコンベヤ１３の側方に配置されてコンベヤ１３上のトレイ１に板状ワークＷを移載するローディング装置１４（図４）と、前記した給排装置７とが設けられている。また、セルフシール継手８の雄部１０を枚葉搬送用トレイ１の雌部９に対して着脱する継手着脱機構２１が設けられている。ローディング装置１４はフォーク１５を用いて板状ワークＷを搬入するものとされる。
【００１６】
図４のように、ローディング装置１４のフォーク１５に載せられた板状ワークＷは、コンベヤ１３の幅方向に向けてローディング装置１４が進出することにより、トレイ１の上まで運ばれ、次にフォーク１５が下降することによりワーク載置部４の上に移載される。このとき、ワーク載置部４の並び間隔は、フォーク１５の挿入路となり、板状ワークＷと干渉せずにフォーク１５の後退が可能である。
【００１７】
トレイ１の搬送に先立ち、トレイ１のエアー経路６に給排装置７を接続する。この状態で、給排装置７からエアー経路６にエアーを供給すると、ワーク載置部４の上端のエアー給排口５からエアーが吹き出し、これによりワーク載置部４の上に載せられた板状ワークＷが浮上する。このようにエアーで板状ワークＷを浮かせた状態で、例えば板状ワークＷの周辺から位置決め片等を当てることにより、ワーク載置部４に板状ワークＷが擦れることなくトレイ１上での板状ワークＷの位置決めを行うことができる。このため、板状ワークＷを傷付けることなく板状ワークＷの位置決めが行える。
【００１８】
次に、給排装置７によりエアー経路６のエアーを吸引するとエアー経路６内が真空状態となって、板状ワークＷがワーク載置部４に吸着される。この後、セルフシール継手８の雌部９と雄部１０を分離する。継手雌部９には逆止弁１２が内蔵されているので、雌部９と雄部１０を分離してもエアー経路６内は真空状状態に保たれ、板状ワークＷがワーク載置部４に吸着される状態が維持される。この状態で、トレイ１を搬送することにより、トレイ１上で板状ワークＷが位置ずれすることなくトレイ１を搬送することができる。また、セルフシール継手８の雌部９と雄部１０は分離されているので、給排装置７が搬送の妨げになることはない。
【００１９】
図５は、このトレイ搬送システムのアンローディング部の破断側面図を示す。このアンローディング部には、ワーク搬送路であるコンベヤ１６と、このコンベヤ１６の始端側に設けられたアンローディング装置１７と、エアーの給排装置７Ａと、継手着脱機構２１Ａとが設けられている。給排装置７Ａおよび継手着脱機構２１Ａは、図３のローディング部における給排装置７および継手着脱機構２１と同様なもので良いが、給排装置７Ａは、エアーの供給のみを行うものとされ、吸引機能は不要である。
【００２０】
アンローディング装置１７は、コンベヤ１６の上方でその搬送方向に延びて架設されたレール１８と、このレール１８に沿って走行する走行体１９と、この走行体１９から垂下され走行体１９の移動により板状ワークＷをトレイ１上からコンベヤ１６上へ押し出すプッシャー２０とを有する。
【００２１】
板状ワークＷを載せたトレイ１が、前記コンベヤ１６の始端側に到着すると、上記した給排装置７Ａがトレイ１のエアー経路６に接続され、給排装置７Ａからエアー経路６にエアーが供給される。これにより、トレイ１における各ワーク載置部４のエアー給排口５からエアーが吹き出し、ワーク載置部４に載せられていた板状ワークＷが浮上する。この状態で、アンーローディング装置１７が作動し、浮上した板状ワークＷがプッシャー２０に押されて、トレイ１上からコンベヤ１６上に移載される。その結果、板状ワークＷを傷付けることなく、トレイ１からコンベヤ１６に板状ワークＷを移載することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明の一実施形態にかかる枚葉搬送用トレイの斜視図である。
【図２】同トレイのエアー経路と給排装置とを接続する継手の説明図である。
【図３】同トレイを使用するトレイ搬送システムのローディング部を示す破断側面図である。
【図４】同トレイ搬送システムのローディング部の平面図である。
【図５】同トレイ搬送システムのアンローディング部を示す破断側面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１…枚葉搬送用トレイ
４…ワーク載置部
５…エアー給排口
６…エアー経路
７，７Ａ…給排装置
１２…逆止弁
２１，２１Ａ…継手着脱機構
Ｗ…板状ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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