(57)【要約】【課題】可動部材の超精密な位置決め制御を可能にした駆動装置を提供する。【解決手段】駆動装置３０は、電圧が印加されると伸縮する圧電素子２と、圧電素子２の伸縮方向一端に固定された支持部材１６と、圧電素子２の伸縮方向他端に固定された駆動軸１８と、駆動軸１８に摩擦力で係合し、伸縮する圧電素子２によって振動する駆動軸１８に沿って駆動される可動部材２０と、圧電素子２に電圧を印加する駆動回路３とを備え、駆動回路３は、可動部材２０が高速駆動と低速駆動との間で切り替わるように、圧電素子２に印加する電圧の波形を変更する。【選択図】図８
2006075713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固定された支持部材と、
前記電気機械変換素子の伸縮方向他端に固定された駆動摩擦部材と、
前記駆動摩擦部材に摩擦力で係合し、伸縮する前記電気機械変換素子によって振動する前記駆動摩擦部材に沿って駆動される可動部材と、
前記電気機械変換素子に電圧を印加する駆動回路とを備え、
前記駆動回路は、前記可動部材が高速駆動と低速駆動の間で切り替わるように、前記電気機械変換素子に印加する電圧の波形を変更することを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記可動部材の高速駆動時の電圧波形は矩形状パルス波形であり、前記可動部材の低速駆動時の電圧波形は階段状パルス波形であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記可動部材の低速駆動時の電圧は前記可動部材の高速駆動時の電圧よりも低周波数であることを特徴とする請求項２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記可動部材の高速駆動と低速駆動との切り替えのタイミングは、前記可動部材の位置を検出する位置センサの出力に基づいて決定されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子などの電気機械変換素子を利用した駆動装置に関し、特に、例えばＸＹステージの精密駆動やカメラのレンズの精密駆動などに適した駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば下記特許文献１には、図１に示すような駆動装置１が開示されている。この駆動装置１では、圧電素子（電気機械変換素子）２と、直列に接続された４つのＦＥＴ（電界効果型トランジスタ）４，６，８，１０とでブリッジ回路が構成されており、各ＦＥＴ４，６，８，１０のベースには制御回路１２から信号がそれぞれ入力されるようになっている。また、ＦＥＴ４，６間に電源１４が接続され、ＦＥＴ８，１０間で接地されている。前記４つのＦＥＴ４，６，８，１０と制御回路１２と電源１４とによって駆動回路３が構成されている。
【０００３】
前記４つのＦＥＴ４，６，８，１０のうちＦＥＴ４，６は、Ｐチャンネル型ＦＥＴであり、制御回路１２からベースに入力される信号がハイレベルのとき遮断状態になる一方、前記信号がローレベルのとき導通状態になる。これに対し、前記４つのＦＥＴ４，６，８，１０のうちＦＥＴ８，１０は、Ｎチャンネル型ＦＥＴであり、制御回路１２からベースに入力される信号がハイレベルのとき導通状態になる一方、前記信号がローレベルのとき遮断状態になる。
【０００４】
図２は、駆動装置１の動作シーケンスを表すタイミングチャートであり、各ＦＥＴ４，６，８，１０のゲート電圧と圧電素子２に印加される駆動電圧を示す。図２における期間１では、Ｐチャンネル型ＦＥＴ６がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ１０がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて導通状態に、Ｐチャンネル型ＦＥＴ４がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて導通状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ８がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて遮断状態にそれぞれなっている。この場合、圧電素子２には、導通状態にあるＦＥＴ４，１０を介して電源１４から駆動電圧＋Ｅ（Ｖ）が印加されることになる。
【０００５】
一方、図２における期間２では、Ｐチャンネル型ＦＥＴ６がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて導通状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ１０がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて遮断状態に、Ｐチャンネル型ＦＥＴ４がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ８がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて導通状態にそれぞれなっている。この場合、圧電素子２には、導通状態にあるＦＥＴ６，８を介して電源１４から駆動電圧−Ｅ（Ｖ）が印加されることになる。
【０００６】
このように図２における期間１と期間２が交互に繰り返されることで、圧電素子２には電源電圧Ｅ（Ｖ）の２倍の振幅２Ｅ（Ｖ）を有する交流電圧が印加されることになる。
【０００７】
図３は、前記駆動装置１の動作原理図である。圧電素子２の伸縮方向一端は支持部材１６に固定されている。圧電素子２の伸縮方向他端には、例えば丸棒状の駆動軸（駆動摩擦部材）１８が固定されている。駆動軸１８上には、可動部材２０が移動可能に保持されている。可動部材２０は、図示しない板ばねやコイルばね等の弾性部材の付勢力によって、所定の摩擦力でもって駆動軸１８に係合している。可動部材２０には、駆動対象物である図示しないレンズ等が取り付けられる。また、可動部材２０の位置は、位置センサ２２によって検出されるようになっている。
【０００８】
図４は、図２に示すような矩形状パルス波形の駆動電圧を圧電素子２に印加したときの駆動軸１８の軸変位を示す。この軸変位は、立ち上がり部が緩やかで立ち下がり部が急な鋸歯状になっており、Ａ，Ｂ，Ｃの各状態が図３中のＡ，Ｂ，Ｃの各状態に対応している。状態Ａを初期状態とすると、圧電素子２が緩慢に伸長するときに駆動軸１８とこれに摩擦係合する可動部材２０は一緒に比較的緩やかな速度で状態Ｂに変位する。続いて、圧電素子２が急速に収縮するときに、駆動軸１８の変位が比較的速い速度で元の位置に戻るため、可動部材２０と駆動軸１８との間で滑りが生じ、可動部材２０は少しだけ戻った状態Ｃになる。この状態Ｃでは、初期状態である状態Ａに比べると、可動部材２０の位置が繰り出し方向（すなわち圧電素子２から離れる方向）に少しだけ変位している。このような圧電素子２の伸縮が繰り返されることにより、可動部材２０は駆動軸１８に沿って繰り出し方向に駆動される。
【０００９】
一方、上述したのとは逆の原理で可動部材２０は駆動軸１８に沿って戻り方向（すなわち圧電素子２に近づく方向）に駆動される。すなわち、圧電素子２が急速な伸長と緩慢な収縮を繰り返すとき、駆動軸１８の変位は図４に示すものとは逆に立ち上がり部が急で立ち下がり部が緩やかな鋸歯状になる。これにより、可動部材２０は、圧電素子２が急速に伸長するときに駆動軸１８との間で滑りが生じ、圧電素子２が緩慢に収縮するときに可動部材２０が戻り方向に少しだけ変位し、これが繰り返されることで可動部材２０は戻り方向に移動する。
【００１０】
図５は、駆動軸１８の速度／圧電素子２入力電圧の周波数伝達特性を示す。圧電素子２の入力電圧の周波数が比較的低い場合、駆動軸１８の速度は周波数に比例して大きくなり、１次共振周波数ｆ１と２次共振周波数ｆ２とにおいて高い速度を持ち、２次共振周波数よりも周波数が高くなると速度が低下傾向になる特性がある。図２に示す矩形状パルス波形の駆動電圧を圧電素子２に入力し、図４に示すような駆動軸１８の鋸歯状変位を得るためには、駆動電圧の周波数ｆｄを１次共振周波数ｆ１の０．７倍とし、可動部材２０を繰り出し方向に駆動する場合には駆動電圧のデューティ比を０．３（可動部材２０を戻り方向に駆動する場合には０．７）に設定すればよいことは、本願出願人の別の特許出願にかかる下記特許文献２において説明されているところである。
【００１１】
【特許文献１】特開２０００−３５０４８２号公報
【特許文献２】特開２００１−２１１６６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上述した従来技術は、簡素な駆動回路３で駆動装置１の可動部材２０の高速駆動を可能にするものである。しかしながら、駆動装置１において、可動部材２０を例えば１μｍ以下の微小距離だけ移動させたい場合に、矩形状パルス電圧の周波数を下げて圧電素子２に入力するパルス数を少なくすると、駆動軸１８ついて図４に示すような鋸歯状の変位が得られなくなって、可動部材２０の挙動が非常に不安定になる。また、上述したような矩形状パルス電圧による駆動では、矩形状パルス数がある一定以上にならないと、パルス数と可動部材２０の移動量との関係がリニアにならない。このような理由から、前記駆動装置１では、可動部材２０の超精密な位置決め制御が困難であった。
【００１３】
そこで、本発明は、駆動電圧の波形を変更することによって可動部材を高速駆動から低速駆動に切り替えることで、可動部材の超精密な位置決め制御を可能にした駆動装置を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記課題を解決するために、本発明の駆動装置は、電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固定された支持部材と、
前記電気機械変換素子の伸縮方向他端に固定された駆動摩擦部材と、
前記駆動摩擦部材に摩擦力で係合し、伸縮する前記電気機械変換素子によって振動する前記駆動摩擦部材に沿って駆動される可動部材と、
前記電気機械変換素子に電圧を印加する駆動回路とを備え、
前記駆動回路は、前記可動部材が高速駆動と低速駆動との間で切り替わるように、前記電気機械変換素子に印加する電圧の波形を変更することを特徴とするものである。
【００１５】
本発明の駆動装置では、前記可動部材の高速駆動時の電圧波形は矩形状パルス波形であり、前記可動部材の低速駆動時の電圧波形は階段状パルス波形であることが好ましい。
【００１６】
また、本発明の駆動装置では、前記可動部材の低速駆動時の電圧は前記可動部材の高速駆動時の電圧よりも低周波数であることが好ましい。
【００１７】
さらに、本発明の駆動装置では、前記可動部材の高速駆動と低速駆動との切り替えのタイミングは、前記可動部材の位置を検出する位置センサの出力に基づいて決定されてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の駆動装置によれば、電気機械変換素子に印加する電圧の波形を変更することで可動部材を高速駆動から低速駆動に切り替えるようにしているので、可動部材を所望の位置に正確に停止させることができ、可動部材の超精密な位置決め制御が可能になる。
【００１９】
また、所望の停止位置までの可動部材の移動量が大きい場合でも、所望の停止位置近傍までは可動部材を高速駆動できるので、可動部材の超精密な位置決め制御であっても、要する時間がそれほど長くなることはない。
【００２０】
さらに、電圧波形の変更は、同一構成の簡素な駆動回路で実現できるので、駆動回路の複雑化やコスト増加を招くこともない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。
【００２２】
図１に示すように、発明の一実施形態である駆動装置３０は、従来例として説明した駆動装置１と全く同一の回路構成を有しており、駆動部分についても図３に示すものと全く同一である。したがって、同一部材には同一符号を付して、ここでの詳細な説明を省略する。
【００２３】
続いて、本実施形態の駆動装置３０の動作について説明する。
駆動回路３は、可動部材２０の高速駆動時には、前記駆動装置１について図２を参照して説明したのと同様にして、圧電素子２に矩形状パルス電圧を印加する。すなわち、図２における期間１では、Ｐチャンネル型ＦＥＴ６がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ１０がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて導通状態に、Ｐチャンネル型ＦＥＴ４がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて導通状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ８がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて遮断状態にそれぞれなっている。この場合、圧電素子２には、導通状態にあるＦＥＴ４，１０を介して電源１４から駆動電圧Ｅが印加される。
【００２４】
一方、図２における期間２では、Ｐチャンネル型ＦＥＴ６がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて導通状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ１０がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて遮断状態に、Ｐチャンネル型ＦＥＴ４がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ８がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて導通状態にそれぞれなっている。この場合、圧電素子２には、導通状態にあるＦＥＴ６，８を介して電源１４から駆動電圧−Ｅが印加される。
【００２５】
このように図２における期間１と期間２が交互に繰り返されることで、圧電素子２には電源電圧Ｅ（Ｖ）の２倍の振幅２Ｅ（Ｖ）を有する矩形状パルス波形の駆動電圧が印加される。このとき駆動電圧は、圧電素子２の１次共振周波数の０．７倍の周波数であって、繰り出し方向への駆動の場合にはデューティ比が０．３に設定される。これにより、圧電素子２が伸縮振動することによって駆動軸１８について図４に示すような鋸歯状の変位が得られ、その結果、可動部材２０が繰り出し方向に高速駆動される。
【００２６】
一方、可動部材２０を戻り方向に駆動する場合には、圧電素子２に印加される駆動電圧は、圧電素子２の１次共振周波数の０．７倍の周波数でデューティ比が０．３に設定される。これにより、圧電素子２が伸縮振動することによって、駆動軸１８について図４に示すのとは逆に立ち上がり部が急で立ち下がり部が緩やかな鋸歯状の変位が得られ、その結果、可動部材２０が戻り方向に高速駆動される。
【００２７】
図６に示すように、上述したように高速駆動されてきた可動部材２０が目標停止位置より所定距離（例えば１μｍ）だけ手前の切り替え位置に到達したことを位置センサ２２からの出力に基づいて検出すると、制御回路１２は、可動部材２０を低速駆動に切り替えるように、駆動電圧の波形を階段状パルス波形に変更する。この階段状パルス電圧は、高速駆動時の矩形状パルス電圧に比べて低周波数のものである。
【００２８】
なお、本実施形態では、可動部材２０を高速駆動から低速駆動に切り替えるタイミングを位置センサ２２の出力に基づいて決定するようにしているが、本実施形態の駆動装置３０がデジタルカメラのレンズ駆動に用いられた場合には、例えばＣＣＤなどの撮像素子によって得られる被写体像のコントラストに基づいて可動部材２０が所定の切り替え位置に到達したことを判定して、可動部材２０を高速駆動から低速駆動に切り替えるタイミングを決定してもよい。
【００２９】
前記階段状パルス波形の駆動電圧は、次のようにして生成される。
【００３０】
図７（ａ）〜（ｃ）は繰り出し方向に駆動する場合を示す。
【００３１】
第１期間ｔｂ１では、図７（ａ）において符号４０で示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ４がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて導通状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ８がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて遮断状態にそれぞれなっており、図７（ｂ）に示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ６がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ１０がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて導通状態にそれぞれなっている。この場合、圧電素子２には、導通状態にあるＦＥＴ４，１０を介して電源１４から図７（ｃ）において符号４４で示すように駆動電圧＋Ｅ（Ｖ）が印加される。
【００３２】
第２期間ｔａ１では、図７（ａ）に示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ４がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ８がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて導通状態にそれぞれなっており、図７（ｂ）において符号４２で示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ６がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて導通状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ１０がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて遮断状態にそれぞれなっている。この場合、圧電素子２には、導通状態にあるＦＥＴ６，８を介して電源１４から図７（ｃ）において符号４６で示すように駆動電圧−Ｅ（Ｖ）が印加される。
【００３３】
第３期間ｔｃ１では、図７（ａ）に示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ４がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が引き続き入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ８がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が引き続き入力されて導通状態にそれぞれなっており、図７（ｂ）に示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ６がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ１０がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて導通状態にそれぞれなっている。この場合、圧電素子２は、導通状態にあるＦＥＴ８，１０を介して両端が短絡して接地されるため、このときの駆動電圧は図７（ｃ）において符号４８で示すように０（Ｖ）になる。
【００３４】
このように、前記第１期間ｔｂ１、第２期間ｔａ１、第３期間ｔｃ１が繰り返されることで、駆動電圧は、図７（ｃ）に示すように電圧値−Ｅ（Ｖ）、０（Ｖ）、＋Ｅ（Ｖ）を順次にとる階段状パルス波形になる。
【００３５】
可動部材２０は、駆動電圧の１サイクル中の２回の相対的に小さい立ち上がり４６ｘ，４８ｘで、駆動軸１８と共に繰り出し方向に変位する。そして、駆動電圧の相対的に大きい立ち下がり４４ｘで、駆動軸１８は急速に戻り方向に変位し、このとき可動部材２０はほぼその場に留まる。これを繰り返すことで、可動部材２０は駆動軸１８に沿って繰り出し方向に低速駆動される。
【００３６】
図７（ｄ）〜（ｆ）は戻り方向に駆動する場合を示す。
【００３７】
第１期間ｔｂ２では、図７（ｄ）に示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ４がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ８がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて導通状態にそれぞれなっており、図７（ｅ）において符号４３で示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ６がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて導通状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ１０がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて遮断状態にそれぞれなっている。この場合、圧電素子２には、導通状態にあるＦＥＴ６，８を介して電源１４から図７（ｆ）において符号４５で示すように駆動電圧−Ｅ（Ｖ）が印加される。
【００３８】
第２期間ｔａ２では、図７（ｄ）において符号４１で示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ４がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて導通状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ８がゲートにＬ（Ｖ）のロー信号が入力されて遮断状態にそれぞれなっており、図７（ｅ）に示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ６がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ１０がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて導通状態にそれぞれなっている。この場合、圧電素子２には、導通状態にあるＦＥＴ４，１０を介して電源１４から図７（ｆ）において符号４７で示すように駆動電圧＋Ｅ（Ｖ）が印加される。
【００３９】
第３期間ｔｃ２では、図７（ｄ）に示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ４がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ８がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が入力されて導通状態にそれぞれなっており、図７（ｅ）に示すようにＰチャンネル型ＦＥＴ６がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が引き続き入力されて遮断状態に、Ｎチャンネル型ＦＥＴ１０がゲートにＨ（Ｖ）のハイ信号が引き続き入力されて導通状態にそれぞれなっている。この場合、圧電素子２は、導通状態にあるＦＥＴ８，１０を介して両端が短絡して接地されるため、このときの駆動電圧は図７（ｆ）において符号４９で示すように０（Ｖ）になる。
【００４０】
このように、前記第１期間ｔｂ２、第２期間ｔａ２、第３期間ｔｃ２が繰り返されることで、駆動電圧は、図７（ｆ）に示すように電圧値＋Ｅ（Ｖ）、０（Ｖ）、−Ｅ（Ｖ）を順次にとる階段状パルス波形になる。
【００４１】
可動部材２０は、駆動電圧の１サイクル中の２回の相対的に小さい立ち下がり４７ｘ，４９ｘで、駆動軸１８と共に戻り方向に変位する。そして、駆動電圧の相対的に大きい立ち上がり４５ｘで、駆動軸１８は急速に繰り出し方向に変位し、このとき可動部材２０はほぼその場に留まる。これを繰り返すことで、可動部材２０は駆動軸１８に沿って戻り方向に低速駆動される。
【００４２】
このように、本実施形態の駆動装置３０によれば、圧電素子２に印加する電圧の波形を変更することで可動部材２０を高速駆動から低速駆動に切り替えるようにしているので、可動部材２０を所望の位置に正確に停止させることができ、可動部材２０の超精密な位置決め制御が可能になる。
【００４３】
また、所望の停止位置までの可動部材２０の移動量が大きい場合でも、所望の停止位置近傍までは可動部材２０を高速駆動できるので、可動部材２０の超精密な位置決め制御であっても、要する時間がそれほど長くなることはない。
【００４４】
さらに、電圧波形の変更は、同一構成の簡素な駆動回路３で実現できるので、駆動回路の複雑化やコスト増加を招くこともない。
【００４５】
図８は本実施形態の駆動装置３０を用いて行った高速駆動および低速駆動の具体例をグラフで示したものであり、図８（ａ）は高速駆動の場合、図８（ｂ）は低速駆動の場合である。
【００４６】
高速駆動時の駆動電圧は、５Ｖと−５Ｖを交互にとる矩形状パルス電圧であり、周波数１５０Ｈｚでデューティ比０．３である。この場合、変位量が１５００ｎｍ（＝１．５μｍ）以下ではパルス数と変位との関係がリニアになっていないことから、可動部材２０を１５００ｎｍ以下の微小距離駆動は正確に制御できないことが分かる。また、可動部材２０の変位量が１５００ｎｍを越えたあたりからパルス数と変位との関係がリニアになっているが、１パルス当たりの変位量が約２５０ｎｍであることから２５０ｎｍ以下の精度での位置決め制御もできないことが分かる。
【００４７】
一方、低速駆動時の駆動電圧は、−５Ｖ、０Ｖ、５Ｖを順次にとる階段状パルス電圧であり、周波数は６０Ｈｚである。この場合、１パルス目から変位との関係がほぼリニアになっており、かつ、１パルス当たりの変位量が約６０ｎｍと非常に小さいことから、可動部材２０を所望の位置に正確に停止させることができ、可動部材２０の超精密な位置決め制御が可能であることが分かる。
【００４８】
なお、前記実施形態では可動部材２０を高速駆動から低速駆動に切り替える場合について説明したが、前記実施形態とは逆の方法で、可動部材２０を駆動開始する際に低速駆動で駆動開始してから高速駆動に切り替える制御を行ってもよい。
【００４９】
また、本発明は、電気機械変換素子を固定する素子固定タイプの駆動装置に限らず、可動部材を固定するタイプのものや、駆動摩擦部材を固定するタイプのもの、自走式のものなど、電気機械変換素子を用いた種々のタイプの駆動装置に広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】従来例および本発明の実施形態の駆動装置の構成図。
【図２】図１の駆動装置において矩形状パルス波形の駆動電圧を生成する際の動作シーケンスを表すタイミングチャート。
【図３】図１の駆動装置の駆動部分を示す概略図。
【図４】駆動軸の変位を時間との関係で示す図。
【図５】駆動軸速度／圧電素子入力電圧の周波数伝達特性を示す図。
【図６】高速駆動から低速駆動に切り替えるタイミングを示す図。
【図７】図１の駆動装置において階段状パルス波形の駆動電圧を生成する際の動作シーケンスを表すタイミングチャート。
【図８】図１の駆動装置を用いて行った高速駆動および低速駆動の具体例を示すグラフ。
【符号の説明】
【００５１】
１，３０…駆動装置
２…圧電素子（電気機械変換素子）
３…駆動回路
４，６，８，１０…ＦＥＴ
１２…制御回路
１４…電源
１６…支持部材
１８…駆動軸（駆動摩擦部材）
２０…可動部材
【図１】
2006075713.tif 000003
【図２】
2006075713.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2006075713.tif 000007
【図６】
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【図７】
2006075713.tif 000009
【図８】
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