(57)【要約】【課題】  マスクの交換時間を短縮させることができる露光システムを有する平板表示装置の製造システム及び製造方法を提供する。【解決手段】  少なくとも一つ以上のマスクが積載される第１マスクローディング／アンローディング装置と、前記マスクが安着するメインマスクステージと、前記第１マスクローディング／アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第１マスク搬送装置と、前記第１マスクローディング／アンローディング装置と所定間隔離隔して位置する第２マスクローディング／アンローディング装置と、前記第２マスクローディング／アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第２マスク搬送装置とを有する。【選択図】図１
2006031025.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つ以上のマスクが積載される第１マスクローディング／アンローディング装置と、
前記マスクが安着するメインマスクステージと、
前記第１マスクローディング／アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第１マスク搬送装置と、
前記第１マスクローディング／アンローディング装置と所定間隔離隔して位置する第２マスクローディング／アンローディング装置と、
前記第２マスクローディング／アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第２マスク搬送装置とを有することを特徴とする平板表示装置の製造システム。
【請求項２】
前記メインマスクステージと前記第１マスクローディング／アンローディング装置の間に位置する第１サブマスクステージと、
前記メインマスクステージと前記第２マスクローディング／アンローディング装置の間に位置する第２サブマスクステージとをさらに有することを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置の製造システム。
【請求項３】
前記メインマスクステージと前記第１サブマスクステージの間に設置される第１シャトルと、
前記メインマスクステージと前記第２サブマスクステージの間に設置される第２シャトルとをさらに有することを特徴とする請求項２に記載の平板表示装置の製造システム。
【請求項４】
前記メインマスクステージと所定間隔離隔して、前記メインマスクステージの下部に位置する基板固定装置と、
基板を積載または荷下ろしする複数台の基板ローディング／アンローディング装置と、
前記複数台の基板ローディング／アンローディング装置のうちから選択された基板ローディング／アンローディング装置に積載されている基板を前記基板固定装置に搬送するか、或いは、前記基板固定装置に積載されている基板を前記選択された基板ローディング／アンローディング装置に搬送する基板搬送装置とをさらに有することを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置の製造システム。
【請求項５】
前記第１及び第２サブマスクステージと所定間隔離隔して、前記第１及び第２サブマスクステージの下部に各々位置する第１及び第２基板固定装置と、
基板を積載または荷下ろしする第１及び第２基板ローディング／アンローディング装置と、
前記第１及び第２基板ローディング／アンローディング装置に積載されている基板を前記第１及び第２基板固定装置に各々搬送するか、或いは、前記第１及び第２基板固定装置に積載されている基板を前記第１及び第２基板ローディング／アンローディング装置に搬送する第１及び第２基板搬送装置とをさらに有することを特徴とする請求項２に記載の平板表示装置の製造システム。
【請求項６】
前記第１及び第２基板固定装置は、水平方向に移動することを特徴とする請求項５に記載の平板表示装置の製造システム。
【請求項７】
第１マスクローディング／アンローディング装置に積載されている第１マスクを、第１マスク搬送装置を利用してメインマスクステージに搬送する段階と、
第２マスクローディング／アンローディング装置に積載されている第２マスクを、第２マスク搬送装置を利用して第２サブマスクステージに搬送する段階と、
前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第１マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階と、
前記所定回数の露光工程を完了した後、前記第１マスクを第１サブマスクステージに搬送し、前記第２サブマスクステージに搭載、配置された第２マスクを前記メインマスクステージに搬送、配置する段階と、
前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第２マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階とを有することを特徴とする平板表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記第１マスクと第２マスクとは同一のパターンを形成することを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記第１サブマスクステージに搭載、配置された前記第１マスクを、前記第１マスク搬送装置を利用して第１マスクローディング／アンローディング装置に搬出する段階と、
前記第１マスクローディング／アンローディング装置に積載されている第３マスクを、前記第１マスク搬送装置を利用して前記第１サブマスクステージに搬送、配置する段階と、
前記第２マスクによって所定回数の露光工程を完了した後、前記第２マスクを第２サブマスクステージに搬送し、前記第１サブマスクステージに搭載、配置された第３マスクを前記メインマスクステージに搬送、配置する段階と、
前記メインマスクステージで前記第３マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階とをさらに有することを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記露光工程は、基板搬送装置を利用して、複数台の基板ローディング／アンローディング装置のうちから選択された基板ローディング／アンローディング装置から基板固定装置に基板を搬送、配置する段階と、
前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第１マスクを利用して前記基板を露光する段階と、
前記基板搬送装置を利用して前記露光された基板を前記選択された基板ローディング／アンローディング装置に搬出する段階とを有することを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記露光工程は、第１基板搬送装置を利用して、第１基板ローディング／アンローディング装置から前記第１サブマスクステージの下部に位置している第１基板固定装置に基板を搬送、配置する段階と、
前記第１基板固定装置を移動させて、前記基板を前記メインマスクステージ下部に搬送、配置する段階と、
前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第１マスクで前記基板を露光する段階と、
前記第１基板搬送装置を利用して、前記露光された基板を前記第１基板固定装置から前記第１基板ローディング／アンローディング装置に搬出する段階とを有することを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板表示装置の製造システム及び製造方法に関し、特に基板に半導体層を形成するための露光システム及び露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、平板表示装置は、現在広く使用されている表示装置であって、液晶表示装置（ＬＣＤ、ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｄｉｓｐｌａｙ）と有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ、ｏｒｇａｎｉｃ  ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｓｐｌａｙ）表示装置などいろいろな種類がある。
このうち、液晶表示装置は、電界生成電極が形成されている二枚の表示板と、その間に挿入されている液晶層で構成され、電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列させることによって液晶層を通過する光の透過率を調節する表示装置である。
【０００３】
このような液晶表示装置は、基板上に薄膜蒸着（ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、クリーニング（ｃｌｅａｎｉｎｇ）、レジストコーティング（ｒｅｓｉｓｔ  ｃｏａｔｉｎｇ）、露光（ｅｘｐｏｓｕｒｅ）、現像（ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ）、エッチング（ｅｔｃｈｉｎｇ）など一連の処理を行うことによって製造される。
このうち、露光工程を実行する露光システムは、マスク、マスクを搭載しているマスクローダー、マスクステージ、マスクをマスクローダーからマスクステージに移送するマスク搬送部、及び基板搬送部を含む。そして、マスクローダー、マスク搬送装置、及びマスクステージが各々一つずつ備えられている（例えば、特許文献１参照）。
特に、マスク（Ｍａｓｋ）の汚染や生産モデルの変更があれば、マスクが交換される。
【０００４】
しかし、従来の露光システムは、次のような問題があった。
マスクローダー、マスク搬送装置、及びマスクステージが各々一つずつ備えられているので、マスクの交換に過大な時間がかかることがある。つまり、マスクの交換時、交換されるマスクがマスク搬送部によってマスクステージからマスクローダーに完全に搬送された後、新たなマスクがマスク搬送部によってマスクローダーからマスクステージに搬送されるので、マスクの交換に過大な時間がかかることがある。
したがって、液晶表示装置の製造中にロスタイムが発生し得る。つまり、マスクの交換１回当たり５乃至１０分程度の時間がかかって生産性が低下することがあるという問題点があった。
【０００５】
【特許文献１】特開平０７−１６１６３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は上記従来の露光システムにおける問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、マスクの交換時間を短縮させることができる露光システムを有する平板表示装置の製造システム及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するためになされた本発明による平板表示装置の製造システムは、少なくとも一つ以上のマスクが積載される第１マスクローディング／アンローディング装置と、前記マスクが安着するメインマスクステージと、前記第１マスクローディング／アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第１マスク搬送装置と、前記第１マスクローディング／アンローディング装置と所定間隔離隔して位置する第２マスクローディング／アンローディング装置と、前記第２マスクローディング／アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第２マスク搬送装置とを有することを特徴とする。
【０００８】
前記メインマスクステージと前記第１マスクローディング／アンローディング装置の間に位置する第１サブマスクステージと、前記メインマスクステージと前記第２マスクローディング／アンローディング装置の間に位置する第２サブマスクステージとをさらに有することが好ましい。
前記メインマスクステージと前記第１サブマスクステージの間に設置される第１シャトルと、前記メインマスクステージと前記第２サブマスクステージの間に設置される第２シャトルとをさらに有することが好ましい。
前記メインマスクステージと所定間隔離隔して、前記メインマスクステージの下部に位置する基板固定装置と、基板を積載または荷下ろしする複数台の基板ローディング／アンローディング装置と、前記複数台の基板ローディング／アンローディング装置のうちから選択された基板ローディング／アンローディング装置に積載されている基板を前記基板固定装置に搬送するか、或いは、前記基板固定装置に積載されている基板を前記選択された基板ローディング／アンローディング装置に搬送する基板搬送装置とをさらに有することが好ましい。
前記第１及び第２サブマスクステージと所定間隔離隔して、前記第１及び第２サブマスクステージの下部に各々位置する第１及び第２基板固定装置と、基板を積載または荷下ろしする第１及び第２基板ローディング／アンローディング装置と、前記第１及び第２基板ローディング／アンローディング装置に積載されている基板を前記第１及び第２基板固定装置に各々搬送するか、或いは、前記第１及び第２基板固定装置に積載されている基板を前記第１及び第２基板ローディング／アンローディング装置に搬送する第１及び第２基板搬送装置とをさらに有することが好ましい。
前記第１及び第２基板固定装置は、水平方向に移動することが好ましい。
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明による平板表示装置の製造方法は、第１マスクローディング／アンローディング装置に積載されている第１マスクを、第１マスク搬送装置を利用してメインマスクステージに搬送する段階と、第２マスクローディング／アンローディング装置に積載されている第２マスクを、第２マスク搬送装置を利用して第２サブマスクステージに搬送する段階と、前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第１マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階と、前記所定回数の露光工程を完了した後、前記第１マスクを第１サブマスクステージに搬送し、前記第２サブマスクステージに搭載、配置された第２マスクを前記メインマスクステージに搬送、配置する段階と、前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第２マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階とを有することを特徴とする。
【００１０】
前記第１マスクと第２マスクとは同一のパターンを形成することが好ましい。
前記第１サブマスクステージに搭載、配置された前記第１マスクを、前記第１マスク搬送装置を利用して第１マスクローディング／アンローディング装置に搬出する段階と、前記第１マスクローディング／アンローディング装置に積載されている第３マスクを、前記第１マスク搬送装置を利用して前記第１サブマスクステージに搬送、配置する段階と、前記第２マスクによって所定回数の露光工程を完了した後、前記第２マスクを第２サブマスクステージに搬送し、前記第１サブマスクステージに搭載、配置された第３マスクを前記メインマスクステージに搬送、配置する段階と、前記メインマスクステージで前記第３マスクを利用して所定回数の露光工程を実行する段階とをさらに有することが好ましい。
前記露光工程は、基板搬送装置を利用して、複数台の基板ローディング／アンローディング装置のうちから選択された基板ローディング／アンローディング装置から基板固定装置に基板を搬送、配置する段階と、前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第１マスクを利用して前記基板を露光する段階と、前記基板搬送装置を利用して前記露光された基板を前記選択された基板ローディング／アンローディング装置に搬出する段階とを有することが好ましい。
前記露光工程は、第１基板搬送装置を利用して、第１基板ローディング／アンローディング装置から前記第１サブマスクステージの下部に位置している第１基板固定装置に基板を搬送、配置する段階と、前記第１基板固定装置を移動させて、前記基板を前記メインマスクステージ下部に搬送、配置する段階と、前記メインマスクステージに搭載、配置された前記第１マスクで前記基板を露光する段階と、前記第１基板搬送装置を利用して、前記露光された基板を前記第１基板固定装置から前記第１基板ローディング／アンローディング装置に搬出する段階とを有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明による平板表示装置の製造システム及び製造方法によれば、複数台のマスクローディング／アンローディング装置を設置することによって、マスクの交換時間を短縮するという効果がある。
また、本発明によれば、待機マスクを位置させるサブマスクステージを複数台設置することによって、マスクの交換が迅速に行われるという効果がある。
さらに、本発明のよれば、サブマスクステージからメインマスクステージへのマスク移動は、シャトル（Ｓｈｕｔｔｌｅ）方式またはＬＭガイド（ｌｉｎｅａｒ  ｍｏｔｉｏｎ）を利用して容易に行えるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
次に、本発明に係る平板表示装置の製造システム及び製造方法を実施するための最良の形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００１３】
以下、図１乃至図４を参照して、本発明の第１の実施例による平板表示装置の製造システム及び製造方法について詳細に説明する。
図１乃至図４は、本発明の第１の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示したものである。
図１及び図２に示すように、本発明の第１の実施例による露光システムは、第１マスクローディング／アンローディング装置１１０と、第１マスク搬送装置１１１と、第１サブマスクステージ１３１と、メインマスクステージ１３２と、第２サブマスクステージ１３３と、第２マスク搬送装置１２１と、第２マスクローディング／アンローディング装置１２０がＵ字状に設置されている。
【００１４】
そして、メインマスクステージ１３２と所定間隔離隔してメインマスクステージ１３２の下部に配置される基板固定装置２１３、及び、基板搬送装置２１１と、第１基板ローディング／アンローディング装置２１２と、第２基板ローディング／アンローディング装置２１０とが設置されている。
第１マスクローディング／アンローディング装置１１０及び第２マスクローディング／アンローディング装置１２０には、少なくとも一つ以上のマスクが積載されていて、第１マスクローディング／アンローディング装置１１０及び第２マスクローディング／アンローディング装置１２０は、所定間隔離隔して位置している。
第１マスク搬送装置１１１は、第１マスクローディング／アンローディング装置１１０に積載された第１マスク１０を、第１サブマスクステージ１３１またはメインマスクステージ１３２に搬送する。
【００１５】
そして、第２マスク搬送装置１２１は、第２マスクローディング／アンローディング装置１２０に積載された第２マスク２０を、第２サブマスクステージ１３３またはメインマスクステージ１３２に搬送する。
ここで、第１マスク１０と第２マスク２０は、同一のパターンが形成されているマスクであるのが好ましい。
そして、第１及び第２マスク搬送装置１１１、１２１は、ロボットアーム（ｒｏｂｏｔ  ａｒｍ）であることが可能であり、このようなロボットアームによって、マスクは垂直または水平に移動または回転することができる。
このようにマスクローディング／アンローディング装置及びマスク搬送装置を複数台設置することによって、マスクの交換時間を短縮することができる。
【００１６】
メインマスクステージ１３２の上面にはマスク１０または２０が安着し、図３に示すように、メインマスクステージ１３２の下部に対応して、メインマスクステージ１３２から所定間隔離隔して基板１が搬送、配置される。
メインマスクステージ１３２の左右側方には、各々第１サブマスクステージ１３１及び第２サブマスクステージ１３３が設置される。つまり、メインマスクステージ１３２と第１及び第２マスクローディング／アンローディング装置１１０、１２０の間には、各々第１及び第２サブマスクステージ１３１、１３３が設置されている。このように、第１または第２サブマスクステージ１３１、１３３のいずれか一つに、マスク（図１の第２マスク２０、または図２の第３マスク３０参照）が常に安着しているので、マスクは常に待機状態を維持することができる。従って、マスクの交換が必要なとき、待機したマスクがメインマスクステージ１３２へ直ちに移動可能であるため、マスクの交換が迅速に行われるようにすることができる。
【００１７】
そして、メインマスクステージ１３２と、第１及び第２サブマスクステージ１３１、１３３との間には、シャトル（Ｓｈｕｔｔｌｅ）またはＬＭ（ｌｉｎｅａｒ  ｍｏｔｉｏｎ）ガイド３５、３６が設置されている。
そして、基板固定装置２１３はメインマスクステージ１３２と対応した下部に位置しており、露光工程時に基板１を支持及び固定する役割を果たす。
第１及び第２基板ローディング／アンローディング装置２１２、２１０には基板が積載されており、基板を整列させる基板整列機の役割も果たすのが好ましい。
【００１８】
そして、図３及び図４に示すように、基板搬送装置２１１は第１基板ローディング／アンローディング装置２１２から基板固定装置２１３に基板１を搬送する。この時、第２基板ローディング／アンローディング装置２１０に基板２が積載される。
そして、基板搬送装置２１１は、基板固定装置２１３から第１基板ローディング／アンローディング装置２１２に、露光工程を実行した基板１を搬送する。そして、基板搬送装置２１１は第２基板ローディング／アンローディング装置２１０から基板固定装置２１３に基板２を搬送し、露光工程を実行する。
【００１９】
以下、図１乃至図４を参照して、本発明の第１の実施例による平板表示装置の製造方法について詳細に説明する。
まず、図１に示したように、第１マスクローディング／アンローディング装置１１０に積載されている第１マスク１０を、第１マスク搬送装置１１１を利用して、メインマスクステージ１３２に搬送する。
そして、第２マスクローディング／アンローディング装置１２０に積載されている第２マスク２０を、第２マスク搬送装置１２１を利用して、第２サブマスクステージ１３３に搬送する。
そして、メインマスクステージ１３２に搭載、配置された第１マスク１０を利用して、露光工程を複数回実行する。
【００２０】
以下、露光工程について詳細に説明する。
まず、図３に示すように、第１基板ローディング／アンローディング装置２１２に積載された基板１を、基板搬送装置２１１を利用して、基板固定装置２１３に搬送、配置する。そして、基板固定装置２１３で基板１を第１マスク１０と整列させた後、固定させる。この時、第２基板ローディング／アンローディング装置２１０に新たな基板２が積載される。
【００２１】
そして、メインマスクステージ１３２に搭載、配置された第１マスク１０を利用して基板１を露光する。次に、基板搬送装置２１１を利用して、露光された基板１を基板固定装置２１３から第１基板ローディング／アンローディング装置２１２に搬出する。
そして、図４に示すように、基板搬送装置２１１を利用して、新たな基板２を第２基板ローディング／アンローディング装置２１０から基板固定装置２１３に搬送する。
このような工程を繰り返して、露光工程を複数回実行する。つまり、第１マスク１０を利用して１００乃至１０００枚の基板に露光工程を実行する。その後、次の通り第１マスク１０を交換する。
【００２２】
図１に示すように、メインマスクステージ１３２で、第１マスク１０を第１サブマスクステージ１３１を経て第１マスクローディング／アンローディング装置１１０に搬送する。
そして、図２に示すように、第２サブマスクステージ１３３に積載されている第２マスク２０をメインマスクステージ１３２に搬送、配置する。これはメインマスクステージ１３２と第２サブマスクステージ１３３間に設置されている第２シャトルまたはＬＭガイド３６を利用して実行することによって、容易に行える。そして、第３マスク３０を第１サブマスクステージ１３１に搬送、配置する。
そして、メインマスクステージ１３２に搭載、配置された第２マスク２０を利用して上述した露光工程を複数回実行する。
このように露光工程が反復的に行われる間、サブマスクステージに配置されたマスクの交換工程を行う。
【００２３】
また、従来の技術によれば、マスクの交換時、交換しようとするマスクを一つのマスク搬送装置がマスクステージからマスクローディング／アンローディング装置に完全に搬送した後、再びマスクローディング／アンローディング装置からマスク搬送装置がマスクを搬出してマスクステージに搬送する。この場合、マスクをマスクステージに搬入し、マスクステージから搬出するマスクの交換時間が過大に所要される。
しかし、本発明の第１の実施例では、複数台のマスクローディング／アンローディング装置１１０、１２０、マスク搬送装置１１１、１２１及び複数台のサブマスクステージ１３１、１３３を設置することによって、マスクの交換時間を顕著に短縮させることができる。
【実施例２】
【００２４】
以下、図５乃至図８を参照して、本発明の第２の実施例による平板表示装置の製造システムについて詳細に説明する。
図５乃至図８は、本発明の第２の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示した図面である。ここで、第１の実施例と同一の構成は、同一の参照符号を付与する。
図５及び図６に示すように、本発明の第２の実施例による露光システムは、第１マスクローディング／アンローディング装置１１０、第１マスク搬送装置１１１、第１サブマスクステージ１３１、メインマスクステージ１３２、第２サブマスクステージ１３３、第２マスク搬送装置１２１及び第２マスクローディング／アンローディング装置１２０が設置される。
【００２５】
そして、第１、第２サブマスクステージ１３１、１３３と所定間隔離隔して第１、第２サブマスクステージ１３１、１３３の下部に第２及び第１基板固定装置２１３ｂ、２１３ａ、及び、第１乃至第３基板搬送装置２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃと、基板整列機２２０と、第１基板ローディング／アンローディング装置２１０ａと、第２基板ローディング／アンローディング装置２１０ｂとが設置されている。
第１マスクローディング／アンローディング装置１１０及び第２マスクローディング／アンローディング装置１２０には、複数個のマスクが積載されていて、第１マスクローディング／アンローディング装置１１０及び第２マスクローディング／アンローディング装置１２０は所定間隔離隔して位置している。
【００２６】
第１マスク搬送装置１１１は、第１マスクローディング／アンローディング装置１１０に積載された第１マスク１０を、第１サブマスクステージ１３１またはメインマスクステージ１３２に搬送する。
そして、第２マスク搬送装置１２１は、第２マスクローディング／アンローディング装置１２０に積載された第２マスク２０を、第２サブマスクステージ１３３またはメインマスクステージ１３２に搬送する。
このようにマスクローディング／アンローディング装置及びマスク搬送装置を複数台設置することによって、マスクの交換時間を短縮することができる。
【００２７】
メインマスクステージ１３２の上面には、マスク１０または２０が安着し、図８に示すように、メインマスクステージ１３２の下部に対応して、メインマスクステージ１３２から所定間隔離隔して基板１が搬送、配置される。
メインマスクステージ１３２の左右側方には、各々第１サブマスクステージ１３１及び第２サブマスクステージ１３３が設置される。つまり、メインマスクステージ１３２と第１及び第２マスクローディング／アンローディング装置１１０、１２０との間には、各々第１及び第２サブマスクステージ１３１、１３３が設置されている。このように、複数のサブマスクステージ１３１、１３３のいずれか一つに、マスク（図５の第２マスク２０または図６の第３マスク３０）が常に安着しているので、マスクは常に待機状態を維持することができる。従って、マスクの交換が必要なとき、待機したマスクがメインマスクステージ１３２へ直ちに移動可能であるため、マスクの交換が迅速に行われるようにすることができる。
【００２８】
そして、メインマスクステージ１３２と第１及び第２サブマスクステージ１３１、１３３との間には、シャトルまたはＬＭガイド３５、３６が設置されている。
そして、第１及び第２基板固定装置２１３ａ、２１３ｂは、各々第２及び第１サブマスクステージ１３３、１３１と対応した下部に位置していて、露光工程時に第１及び第２基板固定装置２１３ａ、２１３ｂのうちのいずれか一つは、メインマスクステージ１３２と対応する位置に移動する。
【００２９】
第１基板ローディング／アンローディング装置２１０ａには基板１が積載されていて、基板を整列する基板整列機２２０は、第１乃至第３基板搬送装置２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃに囲まれて設置されている。このような基板整列機２２０は、第１及び第２基板固定装置２１３ａ、２１３ｂに基板１を搬入する前、基板を整列させる役割を果たす。
そして、図７及び図８に示すように、第１基板搬送装置２１１ａは第１基板ローディング／アンローディング装置２１０ａから基板整列機２２０に基板１を搬送する。第２基板搬送装置２１１ｂは基板整列機２２０で整列された基板１を第１基板固定装置２１３ａに搬送する。
本発明の第２の実施例は第１の実施例とは異なって、基板固定装置及び基板搬送装置を複数台設置し、複数台の基板固定装置はメインマスクステージと相応する位置に移動可能であるという点で区別される。
【００３０】
以下、図５乃至図８を参照して、本発明の第２の実施例による平板表示装置の製造方法について詳細に説明する。
まず、図５に示すように、第１マスクローディング／アンローディング装置１１０に積載されている第１マスク１０を、第１マスク搬送装置１１１及び第１シャトルまたはＬＭガイド３５を利用して、第１サブマスクステージ１３１を経てメインマスクステージ１３２に搬送する。
そして、第２マスクローディング／アンローディング装置１２０に積載されている第２マスク２０を、第２マスク搬送装置１２１を利用して第２サブマスクステージ１３３に搬送する。
【００３１】
そして、メインマスクステージ１３２に搭載、配置された第１マスク１０を利用して露光工程を複数回実行する。特に、一つのマスクを利用して１００乃至１０００枚の基板に露光工程を実行する。その後、次の通り第１マスク１０を交換する。
図５に示すように、メインマスクステージ１３２から第１マスク１０を第１サブマスクステージ１３１に搬送する。
そして、図６に示すように、第２サブマスクステージ１３３に積載されている第２マスク２０をメインマスクステージ１３２に搬送、配置する。これはメインマスクステージ１３２と第２サブマスクステージ１３３との間に設置されている第２シャトルまたはＬＭガイド３６を利用して実行することによって、容易に行える。
そして、メインマスクステージ１３２に搭載、配置された第２マスク２０を利用して露光工程を複数回実行する。
【００３２】
以下、露光工程について詳細に説明する。
図７に示すように、まず、第１基板ローディング／アンローディング装置２１０ａに積載された基板１を、第１基板搬送装置２１１ａを利用して基板整列機２２０に搬送、配置する。そして基板整列機２２０を利用して基板１を整列した後、基板１を再び第２基板搬送装置２１１ｂを利用して第１基板固定装置２１３ａに搬送、配置する。
次に、図８に示すように、第１基板固定装置２１３ａを移動させ、基板１をメインマスクステージ１３２の下部に移動、配置する。
そして、メインマスクステージ１３２に搭載、配置された第２マスク２０を利用して基板１を露光する。
【００３３】
この時、第２基板ローディング／アンローディング装置２１０ｂに積載された基板２は、第１基板搬送装置２１１ａによって基板整列機２２０に搬送、配置する。そして、基板整列機２２０により整列された基板２は、第３基板搬送装置２１１ｃによって第２基板固定装置２１３ｂに搬送、配置する。
そして、図７に示すように、露光された基板１を、第２基板搬送装置２１１ｂを利用して第１基板固定装置２１３ａから基板整列機２２０に搬送し、整列された基板１を、第１基板搬送装置２１１ａを利用して第１基板ローディング／アンローディング装置２１０ａに搬出する。
このような露光工程は第２マスク２０によっても複数回行われる。
【００３４】
また、従来の技術によれば、マスクの交換時、交換しようとするマスクを一つのマスク搬送装置がマスクステージからマスクローディング／アンローディング装置に完全に搬送した後、再びマスクローディング／アンローディング装置からマスク搬送装置がマスクを搬出し、マスクステージに搬送する。この場合、マスクをマスクステージに搬入し、マスクステージから搬出するマスクの交換時間が過大に所要されるようになる。
しかし、本発明の第２の実施例では、マスクローディング／アンローディング装置、マスク搬送装置及びサブマスクステージを複数台設置することによって、マスクの交換時間を短縮させることができる。
【００３５】
尚、本発明は、上述の実施例に限られるものではない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示した図面である。
【図２】本発明の第１の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示した図面である。
【図３】本発明の第１の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示した図面である。
【図４】本発明の第１の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示した図面である。
【図５】本発明の第２の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示した図面である。
【図６】本発明の第２の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示した図面である。
【図７】本発明の第２の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示した図面である。
【図８】本発明の第２の実施例による露光システムの平面図であって、マスク及び基板の搬入及び搬出工程を順に示した図面である。
【符号の説明】
【００３７】
１、２      基板
１０、２０    第１、２マスク
３５、３６    第１、２シャトルまたはＬＭガイド
１１０、１２０  第１、２マスクローディング／アンローディング装置
１１１、１２１  第１、２マスク搬送装置
１３１、１３３  第１、２サブマスクステージ
１３２      メインマスクステージ
２１０、２１２、２１０ａ、２１０ｂ  第１、２基板ローディング／アンローディング装置
２１１、２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ  基板搬送装置
２１３、２１３ａ、２１３ｂ  基板固定装置
２２０      基板整列機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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