(57)【要約】      （修正有）【課題】  成膜を施した平板状ガラス部材を階段状に積層、接着し、この積層体を所定の傾斜角度で複数個に切断分割するという工程を経る光学デバイスの製造工程において、部材間を補強する必要がなく、蒸着処理の工数増大を招くことがない光学デバイスの製造方法、及び光学デバイスを提供する。【解決手段】  積層体形成工程と、積層体Ａを積層分割体Ｂに切断する切断工程と、第１の鏡面加工工程と、本止め積層体Ｃの形成工程と、積層分割体Ｄの形成工程と、第２の鏡面加工工程と、積層分割体Ｄを切断面と平行な第１の切断ラインＬ１によって切断分割すると共に、第１の切断ラインと直交し、且つ接着剤５５による仮接着層を回避した位置にある第２の切断ラインＬ２によって切断分割して光学デバイス連結体を形成する切断工程と、光学デバイス連結体を構成する接着剤を溶解除去して個々の光学デバイスに分離する分離工程と、から成る。【選択図】図１
2006084861.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの直角三角柱形状のプリズムの傾斜面同士を光学膜を介して接合一体化した光学デバイスの製造方法において、複数の（矩形の）第１の平板状光学部材を仮接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１の平板状光学部材の端縁間を結ぶ平面と第１の平板状光学部材の板面との間の形成角度が所定の傾斜角度となるように第１の平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を、前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記切断工程により形成された各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に矩形且つ両板面に光学膜を備えた（矩形の）第２の平板状光学部材を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２の平板状光学部材を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向にずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の傾斜角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による仮接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより光学デバイス連結体を形成する最終切断工程と、前記光学デバイス連結体を構成する第１の接着剤を溶解除去して個々の光学デバイスに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項２】
２つの直角三角柱形状のガラスプリズムの傾斜面同士を、ビームスプリッタ膜を挟んで接合一体化した（立方体形状）のビームスプリッタの製造方法において、両板面に反射防止膜を有した複数枚の矩形の第１のガラス平板を仮接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１のガラス平板の端縁間を結ぶ平面と第１のガラス平板の板面との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように各第１のガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に両板面にビームスプリッタ膜を有した矩形の第２のガラス平板を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２のガラス平板を交互に且つ４５度の傾斜角度にて一方の面方向へずれるように積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して４５度の傾斜角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による仮接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することによりビームスプリッタ連結体を形成する最終切断工程と、前記ビームスプリッタ連結体を構成する第１の接着剤を溶解除去して個々のビームスプリッタに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項３】
長手方向両端面に光学膜を有すると共に、内部に互いに平行な２つの光学膜を備えた直方体状の光学デバイスの製造方法において、
両板面に光学膜を備えた複数の（矩形の）第１の平板状光学部材を仮接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１の平板状光学部材の端縁間を結ぶ平面と第１の平板状光学部材の板面との間の形成角度が所定の傾斜角度となるように第１の平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記切断工程により形成された各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に（矩形且つ）両板面に光学膜を備えた第２の平板状光学部材を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２の平板状光学部材を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向にずれるように積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体を前記切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより光学デバイス連結体を形成する最終切断工程と、前記光学デバイス連結体を構成する第１の接着剤を溶解除去して個々の光学デバイスに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項４】
長手方向両端面に反射防止膜を有すると共に、内部に互いに平行な２つのビームスプリッタ膜を備えた直方体状のビームスプリッタの製造方法において、
両板面に反射防止膜を有した複数枚の矩形の第１のガラス平板を仮接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１のガラス平板の端縁間を結ぶ平面と第１のガラス平板の板面との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように各第１のガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、  前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に両板面にビームスプリッタ膜を有した矩形の第２のガラス平板を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２のガラス平板を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割することによりビームスプリッタ連結体を形成する最終切断工程と、前記ビームスプリッタ連結体を構成する第１の接着剤を溶解除去して個々のビームスプリッタに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項５】
２つの直角三角柱形状のプリズムの傾斜面同士を光学膜を介して接合一体化した光学デバイス片を２個、反射防止膜を介して接合一体化した光学デバイスであって、少なくとも長手方向一端面に粗面を有したものの製造方法において、
両板面に反射防止膜を有した複数枚の（矩形の）第１の平板状光学部材を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１の平板状光学部材の端縁間を結ぶ平面と第１の平板状光学部材の板面との間の形成角度が所定の傾斜角度となるように各第１の平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に両板面に光学膜を有した（矩形の）第２の平板状光学部材を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２の平板状光学部材を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向へずれるように積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による本接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより光学デバイスを形成する最終切断工程と、から成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項６】
２つの直角三角柱形状のガラスプリズムの傾斜面同士を、ビームスプリッタ膜を挟んで接合一体化した（立方体形状の）ビームスプリッタ片を２個、反射防止膜を介して接合一体化した複合ビームスプリッタであって、少なくとも長手方向一端面に粗面を有したものの製造方法において、
両板面に反射防止膜を有した複数枚の矩形の第１の平板状光学部材を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１のガラス平板の端縁間を結ぶ平面と第１のガラス平板の板面との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように各第１のガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、  前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に両板面にビームスプリッタ膜を有した矩形の第２のガラス平板を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２のガラス平板を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の傾斜角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体を前記切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による本接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより複合ビームスプリッタを形成する最終切断工程と、から成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項７】
２つの直角三角柱形状のプリズムの傾斜面同士を光学膜を介して接合一体化した光学デバイス片を２個接合一体化した光学デバイスであって、少なくとも長手方向一端面に粗面を有したものの製造方法において、
両板面を鏡面加工された複数枚の矩形の第１の平板状光学部材を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１の平板状光学部材の端縁間を結ぶ平面と第１の平板状光学部材の板面との間の形成角度が所定の傾斜角度となるように各第１の平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に、両板面に光学膜を有した矩形の第２の平板状光学部材を介在させた状態で、前記第１の積層分割体と前記第２の平板状光学部材を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工してから光学膜を形成する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による本接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより前記光学デバイスを形成する最終切断工程と、から成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項８】
２つの直角三角柱形状のガラスプリズムの傾斜面同士をビームスプリッタ膜を介して接合一体化したビームスプリッタ片を２個接合一体化したビームスプリッタであって、少なくとも長手方向一端面に粗面を有したものの製造方法において、
両板面を鏡面加工された複数枚の矩形の第１のガラス平板を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１のガラス平板の端縁間を結ぶ平面と第１のガラス平板の板面との間の形成角度が４５度となるように各第１のガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記切断工程により形成された各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に、両板面にビームスプリッタ膜を有した矩形の第２のガラス平板を介在させた状態で、前記第１の積層分割体と前記第２のガラス平板を交互に且つ４５度の傾斜角度にて面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して４５度の傾斜角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工してから反射防止膜を形成する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による本接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより前記ビームスプリッタを形成する最終切断工程と、から成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項９】
２つの直角三角柱形状のプリズムの傾斜面同士を光学膜を介して接合一体化した光学デバイス片を２個、接合一体化した光学デバイスの製造方法において、
両板面を鏡面加工された複数枚の矩形の第１の平板状光学部材を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１の平板状光学部材の端縁間を結ぶ平面と第１の平板状光学部材の板面との間の形成角度が所定の傾斜角度となるように各第１の平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に、両板面に光学膜を有した矩形の第２の平板状光学部材を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２の平板状光学部材を交互に且つ所定の傾斜角度にて一方の面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工してから光学膜を形成する第２の鏡面加工工程と、複数の前記第２の積層分割体を整合状態で積層し且つ仮止め用の第３の接着剤にて仮接着することにより第２の積層分割体整合体を形成する第２の積層分割体整合工程と、前記第２の積層分割体整合体を第１の接着剤による本接着層を回避した位置にて該本接着層と平行な切断ラインによって所定のピッチにて切断分割することにより第３の積層分割体を形成する第３の積層分割体形成工程と、前記第２の切断ラインによる第３の積層分割体の対向する２つの切断面を鏡面加工してから光学膜を形成する第３の鏡面加工工程と、該第３の積層分割体を前記第３の接着剤による仮止め層と直交する複数の他の切断ラインに沿って所定のピッチにて切断することにより複数の光学デバイスが連結した光学デバイス連結体を形成する最終切断工程と、前記光学デバイス連結体を構成する第３の接着剤を溶解除去して個々の光学デバイスに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項１０】
２つの直角三角柱形状のガラスプリズムの傾斜面同士をビームスプリッタ膜を介して接合一体化したビームスプリッタ片を２個、接合一体化したビームスプリッタの製造方法において、
両板面を鏡面加工された複数枚の矩形の第１のガラス平板を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１のガラス平板の端縁間を結ぶ平面と第１のガラス平板の板面との間の形成角度が４５度となるように各第１のガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に、両板面にビームスプリッタ膜を有した矩形の第２のガラス平板を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２のガラス平板を交互に且つ所定の傾斜角度にて一方の面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工してから反射防止膜を形成する第２の鏡面加工工程と、複数の前記第２の積層分割体を整合状態で積層し且つ仮止め用の第３の接着剤にて仮接着することにより第２の積層分割体整合体を形成する第２の積層分割体整合工程と、前記第２の積層分割体整合体を前記第１の接着剤による本接着層を回避した位置にて該本接着層と平行な切断ラインによって所定のピッチにて切断分割することにより第３の積層分割体を形成する第３の積層分割体形成工程と、前記第２の切断ラインによる第３の積層分割体の対向する２つの切断面を鏡面加工してから反射防止膜を形成する第３の鏡面加工工程と、該第３の積層分割体を前記第３の接着剤による仮止め層と直交する複数の他の切断ラインに沿って所定のピッチにて切断することにより複数のビームスプリッタが連結したビームスプリッタ連結体を形成する最終切断工程と、前記ビームスプリッタ連結体を構成する第３の接着剤を溶解除去して個々のビームスプリッタに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の光学デバイスの製造方法によって製造したことを特徴とする光学デバイス。
【請求項１２】
請求項１１に記載の光学デバイスは、ビームスプリッタであることを特徴とする光学デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学デバイスの製造方法に関し、特に製造工数の削減と、材料の無駄をなくして製造歩留を大幅に高めて低コスト化を実現することができるビームスプリッタ等の光学デバイスの製造方法、及びこの製造方法によって製造される光学デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
波長分割多重用カプラプリズム（ビームスプリッタ）として、図６（ａ）に示したタイプが知られている。このビームスプリッタ１は、図６（ａ）に示すように２つの三角柱状のガラスプリズム２、３をビームスプリッタ膜４を介して接合することにより立方体に構成したものであり、例えば同図（ｂ）に示すように光ファイバ５から成る電送路中に配置されて使用される。ビームスプリッタ１は、入射される所定波長のレーザ光を透過する一方で、それ以外の波長のレーザ光を反射する機能を備えている。この例では、図６（ｂ）の左側面に入射した光Ｌ３はビームスプリッタ膜４を透過して右側面から出射する一方、右側面から入射した光Ｌ２はビームスプリッタ膜４で反射してＰＤ６に出射される。このビームスプリッタ１は、非光学面である面１ａを目視により識別可能な程度に粗面化して、光ファイバ５に接続する際の方向性を確認し易いように構成される。
次に、図７（ａ）に示したプリズムアッセンブリ（ビームスプリッタ）２０は、２つのガラス三角柱２１、２２の間にガラス平行四辺形柱２３を挟んだ形状であり、一方の境界には第１のビームスプリッタ膜２４を、他方の境界には第２のビームスプリッタ膜２５を設けている。図７（ｂ）の左側面に入射した光Ｌ３はビームスプリッタ膜４を透過して右側面から出射する一方、右側面から入射した光Ｌ１、Ｌ２は夫々第１及び第２のビームスプリッタ膜２４、２５で反射してＰＤ６ａ、６ｂに出射される。このプリズムアッセンブリ２０においても、非光学面である何れかの面を目視により識別可能な程度に粗面化して、光ファイバ５に接続する際の方向性を確認し易いように構成される。
【０００３】
特開２０００−１４３２６４公報には、これらの光学デバイスを製造する方法として、複数枚のガラス平板を用い、ガラス平板の積層、接合、切断を繰り返し実施することによって最終的に図６、図７に示した光学デバイスを製造する方法が開示されている。即ち、同公報記載の製造方法は、複数枚の矩形の平板状光学部材を接着剤を介して積層すると共に、各平板状光学部材の端縁間を結ぶ平面と平板状光学部材の板面との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体形成工程において一体化された積層体を、前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する切断工程と、各積層分割体の切断面を鏡面加工する鏡面加工工程と、鏡面加工された面にＡＲ膜（反射防止膜）を蒸着形成する工程と、複数の積層分割体の鏡面同士が対向するように整合状態で積層して、各積層分割体間を仮止め材にて仮止めする仮止め材にて仮止めされた複数の積層分割体を、前記切断工程における切断面と直交する切断面にて切断して仮止め積層体を形成する分断工程と、仮止め積層体の切断面を鏡面加工する鏡面加工工程と、鏡面加工された面にＡＲ膜を蒸着形成する工程と、前記仮止め積層体を前記切断面と直交する方向に所定の間隔にて切断することにより、複数の光学デバイスが仮止め材を介して直列に連結された光学デバイス連結体を形成する工程と、前記光学デバイス連結体を構成する仮止め材を溶解除去して個々の光学デバイスに分離する分離工程とから成る。
しかし、積層分割体間をパラフィン等の熱により溶解し易い仮止め材にて接着する工程を含むため、後段で実施されるＡＲ蒸着工程において仮止め材が溶解して積層分割体間に剥離が生じる虞がある。このような不具合に対処するために、積層分割体を仮止めしてから補強板により固定しておく必要があり、このことが工程数の増大をもたらしている。
また、積層分割体毎にその両面にＡＲ蒸着を行う工程を含むため、工数が増大する。
また、積層体に対する鏡面加工工程においては、積層体の両面に砥石を同時に当接させた状態でポリッシュを行うので、必ず対向する両面が鏡面加工されることとなる。従って、上述のように組み付け時に素子の方向性を確認し易くするために一方の面だけを粗面化する必要がある場合に於いても、そのような要請に対応することができなかった。
【０００４】
次に、図８（ａ）（ｂ）及び（ｃ）は夫々複合ビームスプリッタの構成を示す斜視図であり、同図（ａ）の複合ビームスプリッタ３０は、２つの立方体状のビームスプリッタ片３１、３２を、夫々のビームスプリッタ膜３１ａ、３２ａが平行となるように連結した構成を備えている。各ビームスプリッタ片３１、３２の一方の面にはＡＲ膜３３が成膜される一方、非光学面である他面３４は粗面化することにより素子の方向性を確認し易くしている。
図８（ｂ）の複合ビームスプリッタ３０は、（ａ）に示した他面３４を光学面とし、その面にＡＲ膜３３を成膜している。
図８（ｃ）の複合ビームスプリッタ３０は、両ビームスプリッタ片３１、３２の接合面にＡＲ膜３３を設けると共に、他面３４を粗面化している。
図８（ａ）（ｂ）（ｃ）に夫々示した複合ビームスプリッタを、特開２０００−１４３２６４号に開示された製造方法によって製造する場合、途中の工程で図９（ａ）に示すように長尺な三角柱状のガラス部材４１、４２の傾斜面同志をビームスプリッタ膜４３を介して接合一体化した棒状体４０が得られる。この棒状体４０を図９（ｂ）のようにビームスプリッタ膜４３が平行となるように接合し、所要面の研磨、ＡＲ膜の成膜を順次実施してから、図９（ｃ）に示すように長手方向に沿って所定のピッチにて切断することにより、図９（ｄ）に示すような個片を得ることができる。
しかし、長尺な棒状体４０は、貼合せる際に（ｅ）左図のようにずれを生じやすく、ずれた状態で接合された２つの棒状体４０の上下両面を研磨すると、（ｅ）右図のようにビームスプリッタ膜４３の形成位置にずれが残り、不良品となる。
また、図８（ａ）及び（ｃ）に示すように複合ビームスプリッタの任意の一面だけ粗面化しようとしても、対向する他の面を鏡面化する必要がある場合には、対向する両面を同時に鏡面加工せざるを得ず、一方だけを粗面化することは困難である。
【特許文献１】特開２０００−１４３２６４公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は前記に鑑みてなされたものであり、所定の成膜を施した複数の平板状ガラス部材を、各平板状ガラス部材の端縁が所定の傾斜角度をもって位置ずれするように階段状に積層、接着した後で、この積層体を前記傾斜角度と平行な切断面によって複数個に切断分割するという工程を経るビームスプリッタ等の光学デバイスの製造工程において、仮止め用の熱に弱い接着剤を使用して部材間を仮止めする工程を含めたとしても、格別の補強手段によって部材間を補強する必要がなく、また積層体毎に蒸着処理を施すことによる工数の増大を招くことがない光学デバイスの製造方法、及び光学デバイスを提供することを一つの目的とする。
また、本発明は、一連の工程を実施して光学デバイスを完成することにより、光学デバイスの任意の一面を粗面化して素子の方向を示す目印とし、粗面化していない他の面と簡単に識別することが可能な光学デバイスの製造方法を提供することを他の目的とする。
また、本発明は、長尺の部材同志を接合する工程をなくすることにより、長尺部材同志の位置ずれに起因して不良品が発生する可能性を無くすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決する為、請求項１の発明は、２つの直角三角柱形状のプリズムの傾斜面同士を光学膜を介して接合一体化した光学デバイスの製造方法において、複数の（矩形の）第１の平板状光学部材を仮接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１の平板状光学部材の端縁間を結ぶ平面と第１の平板状光学部材の板面との間の形成角度が所定の傾斜角度となるように第１の平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を、前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記切断工程により形成された各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に矩形且つ両板面に光学膜を備えた（矩形の）第２の平板状光学部材を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２の平板状光学部材を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向にずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の傾斜角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による仮接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより光学デバイス連結体を形成する最終切断工程と、前記光学デバイス連結体を構成する第１の接着剤を溶解除去して個々の光学デバイスに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする。
【０００７】
請求項２の発明は、２つの直角三角柱形状のガラスプリズムの傾斜面同士を、ビームスプリッタ膜を挟んで接合一体化した（立方体形状）のビームスプリッタの製造方法において、両板面に反射防止膜を有した複数枚の矩形の第１のガラス平板を仮接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１のガラス平板の端縁間を結ぶ平面と第１のガラス平板の板面との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように各第１のガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に両板面にビームスプリッタ膜を有した矩形の第２のガラス平板を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２のガラス平板を交互に且つ４５度の傾斜角度にて一方の面方向へずれるように積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して４５度の傾斜角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による仮接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することによりビームスプリッタ連結体を形成する最終切断工程と、前記ビームスプリッタ連結体を構成する第１の接着剤を溶解除去して個々のビームスプリッタに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする。
【０００８】
請求項３の発明は、長手方向両端面に光学膜を有すると共に、内部に互いに平行な２つの光学膜を備えた直方体状の光学デバイスの製造方法において、両板面に光学膜を備えた複数の（矩形の）第１の平板状光学部材を仮接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１の平板状光学部材の端縁間を結ぶ平面と第１の平板状光学部材の板面との間の形成角度が所定の傾斜角度となるように第１の平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記切断工程により形成された各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に（矩形且つ）両板面に光学膜を備えた第２の平板状光学部材を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２の平板状光学部材を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向にずれるように積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体を前記切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより光学デバイス連結体を形成する最終切断工程と、前記光学デバイス連結体を構成する第１の接着剤を溶解除去して個々の光学デバイスに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする。
【０００９】
請求項４の発明は、長手方向両端面に反射防止膜を有すると共に、内部に互いに平行な２つのビームスプリッタ膜を備えた直方体状のビームスプリッタの製造方法において、両板面に反射防止膜を有した複数枚の矩形の第１のガラス平板を仮接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１のガラス平板の端縁間を結ぶ平面と第１のガラス平板の板面との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように各第１のガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に両板面にビームスプリッタ膜を有した矩形の第２のガラス平板を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２のガラス平板を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割することによりビームスプリッタ連結体を形成する最終切断工程と、前記ビームスプリッタ連結体を構成する第１の接着剤を溶解除去して個々のビームスプリッタに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする。
【００１０】
請求項５の発明は、２つの直角三角柱形状のプリズムの傾斜面同士を光学膜を介して接合一体化した光学デバイス片を２個、反射防止膜を介して接合一体化した光学デバイスであって、少なくとも長手方向一端面に粗面を有したものの製造方法において、両板面に反射防止膜を有した複数枚の（矩形の）第１の平板状光学部材を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１の平板状光学部材の端縁間を結ぶ平面と第１の平板状光学部材の板面との間の形成角度が所定の傾斜角度となるように各第１の平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に両板面に光学膜を有した（矩形の）第２の平板状光学部材を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２の平板状光学部材を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向へずれるように積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による本接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより光学デバイスを形成する最終切断工程と、から成ることを特徴とする。
【００１１】
請求項６の発明は、２つの直角三角柱形状のガラスプリズムの傾斜面同士を、ビームスプリッタ膜を挟んで接合一体化した（立方体形状の）ビームスプリッタ片を２個、反射防止膜を介して接合一体化した複合ビームスプリッタであって、少なくとも長手方向一端面に粗面を有したものの製造方法において、両板面に反射防止膜を有した複数枚の矩形の第１の平板状光学部材を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１のガラス平板の端縁間を結ぶ平面と第１のガラス平板の板面との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように各第１のガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に両板面にビームスプリッタ膜を有した矩形の第２のガラス平板を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２のガラス平板を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の傾斜角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体を前記切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による本接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより複合ビームスプリッタを形成する最終切断工程と、から成ることを特徴とする。
【００１２】
請求項７の発明は、２つの直角三角柱形状のプリズムの傾斜面同士を光学膜を介して接合一体化した光学デバイス片を２個接合一体化した光学デバイスであって、少なくとも長手方向一端面に粗面を有したものの製造方法において、両板面を鏡面加工された複数枚の矩形の第１の平板状光学部材を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１の平板状光学部材の端縁間を結ぶ平面と第１の平板状光学部材の板面との間の形成角度が所定の傾斜角度となるように各第１の平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に、両板面に光学膜を有した矩形の第２の平板状光学部材を介在させた状態で、前記第１の積層分割体と前記第２の平板状光学部材を交互に且つ所定の傾斜角度にて面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工してから光学膜を形成する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による本接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより前記光学デバイスを形成する最終切断工程と、から成ることを特徴とする。
【００１３】
請求項８の発明は、２つの直角三角柱形状のガラスプリズムの傾斜面同士をビームスプリッタ膜を介して接合一体化したビームスプリッタ片を２個接合一体化したビームスプリッタであって、少なくとも長手方向一端面に粗面を有したものの製造方法において、両板面を鏡面加工された複数枚の矩形の第１のガラス平板を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１のガラス平板の端縁間を結ぶ平面と第１のガラス平板の板面との間の形成角度が４５度となるように各第１のガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記切断工程により形成された各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に、両板面にビームスプリッタ膜を有した矩形の第２のガラス平板を介在させた状態で、前記第１の積層分割体と前記第２のガラス平板を交互に且つ４５度の傾斜角度にて面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して４５度の傾斜角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工してから反射防止膜を形成する第２の鏡面加工工程と、前記第２の積層分割体をその切断面と平行な第１の切断ラインによって所定のピッチにて切断分割すると共に、該第１の切断ラインと直交し、且つ前記第１の接着剤による本接着層を回避した位置にある第２の切断ラインによって所定のピッチにて最終切断分割することにより前記ビームスプリッタを形成する最終切断工程と、から成ることを特徴とする。
【００１４】
請求項９の発明は、２つの直角三角柱形状のプリズムの傾斜面同士を光学膜を介して接合一体化した光学デバイス片を２個、接合一体化した光学デバイスの製造方法において、両板面を鏡面加工された複数枚の矩形の第１の平板状光学部材を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１の平板状光学部材の端縁間を結ぶ平面と第１の平板状光学部材の板面との間の形成角度が所定の傾斜角度となるように各第１の平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に、両板面に光学膜を有した矩形の第２の平板状光学部材を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２の平板状光学部材を交互に且つ所定の傾斜角度にて一方の面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工してから光学膜を形成する第２の鏡面加工工程と、複数の前記第２の積層分割体を整合状態で積層し且つ仮止め用の第３の接着剤にて仮接着することにより第２の積層分割体整合体を形成する第２の積層分割体整合工程と、前記第２の積層分割体整合体を第１の接着剤による本接着層を回避した位置にて該本接着層と平行な切断ラインによって所定のピッチにて切断分割することにより第３の積層分割体を形成する第３の積層分割体形成工程と、前記第２の切断ラインによる第３の積層分割体の対向する２つの切断面を鏡面加工してから光学膜を形成する第３の鏡面加工工程と、該第３の積層分割体を前記第３の接着剤による仮止め層と直交する複数の他の切断ラインに沿って所定のピッチにて切断することにより複数の光学デバイスが連結した光学デバイス連結体を形成する最終切断工程と、前記光学デバイス連結体を構成する第３の接着剤を溶解除去して個々の光学デバイスに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする。
【００１５】
請求項１０の発明は、２つの直角三角柱形状のガラスプリズムの傾斜面同士をビームスプリッタ膜を介して接合一体化したビームスプリッタ片を２個、接合一体化したビームスプリッタの製造方法において、両板面を鏡面加工された複数枚の矩形の第１のガラス平板を本接着用の第１の接着剤を介して積層する際に、各第１のガラス平板の端縁間を結ぶ平面と第１のガラス平板の板面との間の形成角度が４５度となるように各第１のガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、前記積層体を前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の第１の積層分割体に切断する切断工程と、前記各第１の積層分割体の切断面を鏡面加工する第１の鏡面加工工程と、複数の第１の積層分割体の各鏡面間に、両板面にビームスプリッタ膜を有した矩形の第２のガラス平板を介在させた状態で前記第１の積層分割体と前記第２のガラス平板を交互に且つ所定の傾斜角度にて一方の面方向へずれるように階段状に積層して、層間を第２の接着剤により本止めして本止め積層体を形成する本止め積層体形成工程と、前記本止め積層体をその積層面に対して所定の角度を有した切断面にて切断して第２の積層分割体を形成する第２の積層分割体形成工程と、前記第２の積層分割体の切断面を鏡面加工してから反射防止膜を形成する第２の鏡面加工工程と、複数の前記第２の積層分割体を整合状態で積層し且つ仮止め用の第３の接着剤にて仮接着することにより第２の積層分割体整合体を形成する第２の積層分割体整合工程と、前記第２の積層分割体整合体を前記第１の接着剤による本接着層を回避した位置にて該本接着層と平行な切断ラインによって所定のピッチにて切断分割することにより第３の積層分割体を形成する第３の積層分割体形成工程と、前記第２の切断ラインによる第３の積層分割体の対向する２つの切断面を鏡面加工してから反射防止膜を形成する第３の鏡面加工工程と、該第３の積層分割体を前記第３の接着剤による仮止め層と直交する複数の他の切断ラインに沿って所定のピッチにて切断することにより複数のビームスプリッタが連結したビームスプリッタ連結体を形成する最終切断工程と、前記ビームスプリッタ連結体を構成する第３の接着剤を溶解除去して個々のビームスプリッタに分離する分離工程と、から成ることを特徴とする。
請求項１１の発明は、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の光学デバイスの製造方法によって製造したことを特徴とする。
請求項１２の発明は、請求項１１に記載の光学デバイスは、ビームスプリッタであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、必要に応じて所定の成膜を施した複数の平板状光学部材を、各平板状光学部剤の端縁が所定の傾斜角度をもって一方の面方向へ位置ずれするように階段状に積層、接着した後で、この積層体を所定の傾斜面に沿って複数個に切断分割するという工程を経る光学デバイスの製造工程において、仮止め用の熱に弱い接着剤を使用して部材間を仮止めする工程を含めたとしても、格別の補強手段によって部材間を補強する必要がなく、また積層体毎に蒸着処理を施すことによる工数の増大を招くことがなくなる。
また、光学デバイスの任意の一面を粗面化して素子の方向を示す目印とし、粗面化していない他の面と簡単に識別することを可能にする。
また、長尺の部材同志を接合する工程をなくすることにより、長尺部材同志の位置ずれに起因して不良品が発生する可能性を無くする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を図面に示した形態例により詳細に説明する。図１（ａ）乃至（ｋ）は光学デバイスの一例としてのビームスプリッタの製造方法を説明する為の工程図である。
図１に示した製造方法の概要は次の通りである。
即ち、図１は図６に示した如き２つの直角三角柱形状のガラスプリズム２、３の傾斜面同士を、ビームスプリッタ膜４を挟んで接合一体化した立方体形状のビームスプリッタ（光学デバイス）１の製造方法を示す。この製造方法は、図１（ａ）（ｂ）に示したように鏡面加工された両板面に反射防止膜（ＡＲ膜）等の光学膜を有した複数枚の矩形の第１のガラス平板５１（第１の平板状光学部材）を、パラフィン等の熱によって溶解し易い仮接着用の第１の接着剤５５を介して積層すると共に、各第１のガラス平板５１の端縁間を結ぶ平面Ｐ１と第１のガラス平板の板面Ｐ２との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように各第１のガラス平板５１の面方向位置を順次ずらして階段状に積層することにより積層体（仮止め積層体）Ａを形成する積層体形成工程（（ｃ））と、  積層体形成工程において一体化された積層体Ａを、前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の平行な切断面ｃ１にて複数の第１の積層分割体Ｂに切断する切断工程（（ｄ））と、切断工程により形成された各第１の積層分割体Ｂの切断面（両面）を鏡面加工する第１の鏡面加工工程（（ｅ））と、複数の第１の積層分割体Ｂの各鏡面間に、両板面にビームスプリッタ膜（光学膜）を有した矩形の第２のガラス平板（第２の平板状光学部材）５２を介在させた状態で第１の積層分割体Ｂと第２のガラス平板５１を交互に、且つ各第１の積層分割体Ｂを所定の傾斜角度にて一方の面方向に位置ずれさせた状態で積層して、層間を本接着用の第２の接着剤５６により本止めして本止め積層体Ｃを形成する本止め積層体形成工程（（ｆ））と、本止め積層体Ｃをその積層面に対して所定の角度を有した切断面ｃ２にて切断して複数の第２の積層分割体Ｄを形成する第２の積層分割体形成工程（分断工程）（（ｇ））と、各第２の積層分割体Ｄの切断面を鏡面加工する第２の鏡面加工工程（（ｈ））と、第２の積層分割体Ｄを切断面（鏡面）と平行な第１の切断ラインＬ１によって所定のピッチにて切断分割すると共に、第１の切断ラインＬ１と直交し、且つ第１の接着剤５５による仮接着層を回避した位置にある第２の切断ラインＬ２によって所定のピッチにて最終切断分割することにより複数のビームスプリッタ連結体Ｅを形成する最終切断工程（（ｉ）（ｊ））と、ビームスプリッタ連結体（光学デバイス連結体）Ｅを構成する第１の接着剤５５を湯やホットプレートによって加熱することにより溶解除去して個々のビームスプリッタに分離する分離工程（ｋ）と、から成る。
【００１８】
次に、図１の各工程を更に詳細に説明する。
まず、図１（ａ）に示した第１のガラス平板５１、及び第２のガラス平板５２（平板状光学部材）は、均一厚みの矩形状の板ガラス５１ａ、５２ａの表裏両面を鏡面加工される。更に（ｂ）に示すように第１のガラス平板５１の両板面には反射防止膜（ＡＲ膜）５１ｂを蒸着形成し、第２のガラス平板５２の両板面にはビームスプリッタ膜（ＢＳ膜）５２ｂを蒸着形成した構成を備えている。本発明方法では、このように鏡面加工された面に形成する膜の材質が異なっている以外、全く同一の構成を備えた第１、及び第２のガラス平板５１、５２を複数枚使用する。
なお、必要に応じて各ガラス平板面、或いは鏡面加工した面にマッチング膜を形成してもよい。マッチング膜とは、複数のガラス平板を接着剤を用いて接着する際に、接着剤の存在に起因してガラス平板を透過する光の屈折率が変動することを防止する為の膜である。
図１（ｃ）は積層体形成工程を示す図であり、治具６０を用いて４５度の傾斜角度で複数枚の第１のガラス平板５１を階段状に積層する状態を示している。即ち、治具６０は、水平な板状のベース６０ａと、このベース６０ａから４５度の傾斜角度で上方に傾斜して固定された傾斜側壁６０ｂ等とから成り、第１のガラス平板５１をベース６０ａ上に順次積層する。この際に、各第１のガラス平板５１の一端縁を傾斜側壁６０ｂに沿って整列させることにより、各第１のガラス平板５１が面方向に等距離づつずれた階段状の積層体Ａとなる。換言すれば、正面形状が略平行四辺形の積層体となる。なお、積層前に各第１のガラス平板間にはパラフィン等の熱により溶解し易い仮止め用の第１の接着剤５５を塗布しておき、積層体Ａを加圧して第１の接着剤５５を均一に展開させて積層体を貼り合わせる。
なお、上記傾斜角度を４５度としたのは、図６に示したビームスプリッタを製造するからであり、該ビームスプリッタとは異なった構成の光学デバイスを製造する場合にはこの傾斜角度は異なった角度となし得る。このことは、他の実施形態に於いても同様である。
【００１９】
次に、図１（ｄ）は積層体形成工程において一体化された積層体Ａを、治具６０から取出し、固定板６２に積層体の背面側の側面を剥離可能な接着剤により仮固定し、この仮固定状態で、前記端縁間を結ぶ平面と平行な所定ピッチの複数の平行な切断面ｃ１に沿って、ワイヤソーにより積層体Ａを等間隔で切断することにより、複数の第１の積層分割体Ｂを得る切断工程を示している。
図１（ｅ）は積層体Ａを切断することにより得られた第１の積層分割体Ｂを示している。各第１の積層分割体Ｂは、矩形の薄板状となっている。この第１の積層分割体Ｂの両面に対してラップ・ポリッシュにより鏡面化を施す。本実施形態では、第１の積層分割体Ｂの鏡面に対しては蒸着等の加熱を伴う手法による成膜は実施しない。
各切断面ｃ１は、積層体を構成する各第１のガラス平板５１の位置ずれ角度である４５度と平行な面であり、各切断面ｃ１間の間隔は最終的に製造しようとするビームスプリッタの寸法、形状に応じて設定する。
次に、図１（ｆ）では、第１の積層分割体Ｂ間に、図１（ａ）に示した第２のガラス平板５２を介在させた状態で、第１の積層分割体Ｂと第２のガラス平板５２間にＵＶ接着剤等の本接着用の第２の接着剤５６を塗布し、各第２の接着剤５６にＵＶ光を照射して本接着する。この際、上下位置関係にある各第１の積層分割体Ｂ内の各反射防止膜５１ｂ（第１の接着剤５５）間を結ぶ直線が、第１の積層分割体Ｂの上下面に対して所定の傾斜角度（４５度）に沿うように、各第１の積層分割体Ｂを一方の面方向に所定ピッチずつずらして階段状にしておく。この積層体を、本止め積層体Ｃと称する。
なお、第１の積層分割体Ｂは、両端部が鋭角状に突出しているため、前記鏡面加工時にこの部分が破損してガラス屑が発生し、このガラス屑が研磨装置の研磨部材に入り込み、研磨対象である積層分割体を損傷させる虞れがある。そのため、予め両端の鋭角状の突出部を切除しておいてもよい。
【００２０】
次に、図１（ｇ）の第２の積層分割体形成工程では、本止め積層体Ｃをその積層面に対して所定の角度（４５度）を有した切断面ｃ２にて切断して、等厚の複数の第２の積層分割体Ｄを形成する。
図１（ｈ）はこのようにして得られた板状の第２の積層分割体Ｄを示しており、この第２の積層分割体Ｄの両切断面をラップ・ポリッシュにより鏡面化する。この際、反射防止膜等、成膜時に加熱を伴う加工は行わない。
次に、図１（ｉ）の最終切断工程では、第２の積層分割体Ｄを長手方向に沿った第１の切断ラインＬ１に沿ってワイヤソーにより同一形状の複数の棒状体Ｄ１に分割すると共に、各第１の切断ラインＬ１と直交する第２の切断ラインＬ２に沿ってワイヤソーにより切断することにより、１個のビームスプリッタ、及び２個のビームスプリッタが連結したビームスプリッタ連結体Ｅを形成する。棒状体Ｄ１は、複数のビームスプリッタ１が直列に連結した状態にあり、第１の接着剤５５による仮止め層以外の箇所は未分離の状態となっているため、第２の切断ラインＬ２に沿って切断することにより、一個のビームスプリッタ１、或いは連結体Ｅを得ることができる。
図１（ｊ）に示したビームスプリッタ連結体Ｅにおける第１の接着剤５５の層は、湯に浸漬したり、ホットプレートにより加熱することにより容易に溶解し、（ｋ）に示すように分割することができる。この際、第１、及び第２の切断ラインＬ１、Ｌ２によってワイヤ切断された面は粗面状態にあるため、この面を素子の方向性を目視により確認するための目印とすることができる。
本実施形態によれば、工程（ｃ）から最終工程まで、蒸着等の加熱を伴う作業を実施しないので、第１の接着剤５５による仮止め層が剥離することを防止するための補強板等を使用する必要がない。
【００２１】
次に、図２は図１の製造方法の一部を流用して図７（ａ）に示した光学デバイス（ビームスプリッタ）を製造する方法を示す図である。なお、図１（ａ）乃至（ｈ）までの工程は共通するため、図示説明を省略し、異なる工程のみを図２（ａ）（ｂ）にて説明する。
この実施形態に係る製造方法では、図７（ａ）に示した光学デバイス、即ち、長手方向両端面に反射防止膜ＡＲを有すると共に、内部に互いに平行な２つのビームスプリッタ膜（光学膜）２４、２５を備えた直方体状のビームスプリッタ２０を製造する方法に関する。
図２（ａ）（ｂ）は、図１（ｉ）以降の工程に対応しており、図１（ｈ）に示した第２の積層分割体Ｄを前記切断面と平行な複数の第１の切断ラインＬ１によって所定のピッチにて切断分割することにより棒状のビームスプリッタ連結体（光学デバイス連結体）Ｄ１を形成する最終切断工程と、ビームスプリッタ連結体Ｄ１を構成する第１の接着剤５５を溶解除去して個々のビームスプリッタ２０に分離する分離工程と、から成る。
この実施形態では、図９に示した従来方法のように、棒状に加工した部材を接合する工程を含まないため、接合時の位置ずれが発生する余地が無く、光学デバイスの信頼性が高いものとなる。
【００２２】
次に、図３は図１の製造方法を流用して図８（ａ）に示した光学デバイス（複合ビームスプリッタ）を製造する方法を示す図である。なお、図１（ａ）乃至（ｈ）までの工程（図１（ｃ）において使用する第１の接着剤５５ａが本止め用接着剤である点が異なる）は共通するため、図示説明を省略し、異なる工程のみを図３（ａ）（ｂ）にて説明する。
この実施形態に係る製造方法では、図８（ａ）に示した光学デバイスとしての複合ビームスプリッタ３０を製造する。即ち、複合ビームスプリッタ３０は、２つの立方体状のビームスプリッタ片（光学デバイス片）３１、３２を、夫々のビームスプリッタ膜３１ａ、３２ａが平行となるように連結した構成を備え、各ビームスプリッタ片３１、３２の一方の面にはＡＲ膜３３が成膜される一方、非光学面である他面３４は粗面化することにより、素子の他の光学面との識別を可能とし、素子の方向性を確認し易くしている。
即ち、図１の実施形態における積層工程（ｃ）においては、パラフィン等の熱により溶解し易い仮止め用の接着剤５５を用いて第１のガラス平板５１間を接着したが、本実施形態では熱により溶解しない本止め用のＵＶ接着剤（第１の接着剤）５５ａを用いて第１のガラス平板５１間を接着する点がまず異なっている。
【００２３】
次に、図３（ａ）（ｂ）は、図１（ｉ）以降の工程に対応しており、図１（ｈ）に示した第２の積層分割体Ｄを図１（ｇ）の切断面ｃ２と平行な複数の第１の切断ラインＬ１によって所定のピッチにて切断分割すると共に、第１の切断ラインＬ１と直交し、且つ第１の接着剤５５ａによる本接着層を回避した位置にある第２の切断ラインＬ２によって所定のピッチにて最終切断分割することにより複合ビームスプリッタ３０を形成する最終切断工程と、から成る。２つのビームスプリッタ片３１、３２は、熱により溶解しない本止め用の接着剤５５ａにより接着されているので、二つのビームスプリッタ片３１、３２から成る複合ビームスプリッタ３０は一体的な構成を有している。
この実施形態でも、図９に示した従来方法のように、棒状に加工した部材を接合する工程を含まないため、接合時の位置ずれを発生する余地が無く、棒状部材間を接合した後で外面を鏡面研磨、切断することによって得られる光学デバイスの信頼性が高いものとなる。
また、一連の工程を実施することにより最終的に光学デバイスの非光学面にのみ粗面（素子組立時の目印となる面）が形成されるメリットを有している。
【００２４】
次に、図４（ａ）乃至（ｋ）は、本発明の他の実施形態に係る複合ビームスプリッタの製造方法の説明図である。この製造方法により製造する複合ビームスプリッタ３０は、図４（ｋ）に示すように２つの立方体状のビームスプリッタ片３１、３２を、夫々のビームスプリッタ膜３１ａ、３２ａが平行となるように連結し、更に少なくとも長手方向一端面３４に粗面を有し、更に上下両面に夫々反射防止膜（光学膜）３３を形成した構成を備えている。
まず、図４（ａ）に示すように両板面を鏡面加工された矩形の第１のガラス平板（第１の平板状光学部材）５１と、（ａ）（ｂ）に示すように両板面を鏡面加工された矩形のガラス平板５２ａの両板面にビームスプリッタ膜（光学膜）５２ｂを形成した第２のガラス平板（第１の平板状光学部材）５２を用意する。即ち、均一厚みの矩形状の板ガラス５１ａの表裏両面を鏡面加工することにより、第１のガラス平板５１を形成する。更に図４（ａ）に示した板ガラス５２ａの両板面にビームスプリッタ膜（ＢＳ膜）５２ｂを蒸着形成することにより第２のガラス平板５２を形成する。本発明方法では、このように鏡面加工された板面にビームスプリッタ膜を形成するか否かという点以外、全く同一の構成を備えた第１、及び第２のガラス平板５１、５２を複数枚使用する。
図４（ｃ）の積層体形成工程では、複数枚の第１のガラス平板５１を本接着用の第１の接着剤５５を介して積層する際に、各第１のガラス平板５１の端縁間を結ぶ平面Ｐ１と第１のガラス平板の板面Ｐ２との間の形成角度が所定の傾斜角度（４５度）となるように各第１のガラス平板の面方向位置を順次一方向へずらして階段状に積層することにより、積層体Ａを形成する。
図４（ｄ）の切断工程では前記積層体形成工程において一体化された積層体Ａを、前記端縁間を結ぶ平面Ｐ１と平行な所定ピッチの複数の平行な切断面ｃ１にて複数の第１の積層分割体Ｂに切断する。
【００２５】
図４（ｅ）の第１の鏡面加工工程では、前記切断工程により形成された各第１の積層分割体Ｂの切断面を鏡面加工（ラップ・ポリッシュ）する。
図４（ｆ）の本止め積層体形成工程では、複数の第１の積層分割体Ｂの各鏡面間に、両板面にビームスプリッタ膜５２ｂを有した矩形の第２のガラス平板５２を介在させた状態で、第１の積層分割体Ｂと第２のガラス平板５２を交互に、且つ４５度の傾斜角度にて一方の面方向へずれるように積層して、層間を第２の接着剤５６により本止めして本止め積層体Ｃを形成する。
図４（ｇ）の第２の積層分割体形成工程では、本止め積層体Ｃをその積層面に対して４５度の傾斜角度を有した切断面ｃ２にて切断して複数の同形状の第２の積層分割体Ｄを形成する。
図４（ｈ）（ｉ）の第２の鏡面加工工程では、第２の積層分割体Ｄの切断面を鏡面加工してから反射防止膜（光学膜）３３を形成する。
図４（ｊ）の最終切断工程では、第２の積層分割体Ｄを切断面ｃ２と平行な第１の切断ラインＬ１によって所定のピッチにて切断分割すると共に、第１の切断ラインＬ１と直交し、且つ第１の接着剤５５による本接着層を回避した位置にある第２の切断ラインＬ２によって所定のピッチにて最終切断分割することにより（ｋ）に示した複合ビームスプリッタ３０を形成する。
この実施形態による製造方法によれば、長手方向両端面に素子の方向を示す目印となる粗面を形成することができるので、そのような構成を備えた複合ビームスプリッタ（複合デバイス）に対する需要を満たすことができる。また、工程中に於いて長尺な棒状部材を接合する工程が含まれないため、棒状部材間の接合時の位置ずれと、それに起因した最終製品の不良品発生率の増大を防止することができる。
【００２６】
次に、図５は本発明の他の実施形態に係る複合ビームスプリッタの製造方法を示しており、具体的には、図５（ｇ）に示した如く２つの立方体状のビームスプリッタ片３１、３２を、夫々のビームスプリッタ膜３１ａ、３２ａが平行となるように連結し、更に外周面に連続した反射防止膜（光学膜）３３を形成した構成を備えている。
なお、本実施形態の製造方法の工程は、図４（ａ）乃至（ｉ）までの工程と共通しているため、共通する工程は図示説明を省略し、図４（ｉ）より後段の異なる工程のみを図５（ａ）乃至（ｇ）にて説明する。
図５（ａ）の第２の積層分割体整合工程では、図４（ｉ）において反射防止膜３３を形成した第２の積層分割体Ｄを複数枚整合状態で積層し、且つ仮止め用の第３の接着剤５７（パラフィン等）にて仮接着することにより第２の積層分割体整合体Ｅを形成する。
更に、図５（ａ）（ｂ）に示した第３の積層分割体形成工程では、第２の積層分割体整合体Ｅを第１の接着剤５５による本接着層を回避した位置にて該本接着層と平行な切断ラインＬ３によって所定のピッチにて切断分割することにより複数の第３の積層分割体Ｆを形成する。
図５（ｃ）（ｄ）に示した第３の鏡面加工工程では、切断ラインＬ３による第３の積層分割体Ｆの対向する２つの切断面を砥石により同時に鏡面加工してから反射防止膜３３を形成する。
図５（ｅ）の最終切断工程では、第３の積層分割体Ｆを第３の接着剤５７による仮止め層と直交する複数の他の切断ラインＬ４に沿って所定のピッチにて切断することにより複数のビームスプリッタ３０が連結したビームスプリッタ連結体Ｇを形成する。
図５（ｆ）（ｇ）の分離工程では、ビームスプリッタ連結体Ｇを構成する第３の接着剤５７を溶解除去して個々のビームスプリッタ３０に分離する。
【００２７】
この実施形態による製造方法によれば、外周面に連続した反射防止膜（光学膜）を有した複合ビームスプリッタを提供することができるので、そのような構成を備えた複合ビームスプリッタ（複合デバイス）に対する需要を満たすことができる。また、工程中に於いて長尺な棒状部材を接合する工程が含まれないため、棒状部材間の接合時の位置ずれと、それに起因した最終製品の不良品発生率の増大を防止することができる。
なお、前記形態例では光学デバイスの製造方法の一例としてビームスプリッタの製造方法を例示したが、本発明は前記以外の光学デバイスであって類似の構成を備えたものに対しても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】（ａ）乃至（ｋ）は光学デバイスの一例としてのビームスプリッタの製造方法を説明する為の工程図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は図１の製造方法の一部を流用して図７（ａ）に示した光学デバイス（ビームスプリッタ）を製造する方法を示す図。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、図１の製造方法を流用して図８（ａ）に示した光学デバイス（複合ビームスプリッタ）を製造する方法を示す図。
【図４】（ａ）乃至（ｋ）は、本発明の他の実施形態に係る複合ビームスプリッタの製造方法の説明図。
【図５】（ａ）乃至（ｇ）は、本発明の他の実施形態に係る複合ビームスプリッタの製造方法を示す図。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、ビームスプリッタの構成と、その用途を示す図。
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、ビームスプリッタの構成と、その用途を示す図。
【図８】（ａ）（ｂ）及び（ｃ）は他のビームスプリッタの構成を示す図。
【図９】（ａ）乃至（ｅ）は従来の製造方法の欠点を説明する図。
【符号の説明】
【００２９】
１、２０  ビームスプリッタ（光学デバイス）、２、３  ガラスプリズム、４  ビームスプリッタ膜（光学膜）、２４、２５  ビームスプリッタ膜（光学膜）、３０  複合ビームスプリッタ、３１、３２  ビームスプリッタ片（光学デバイス片）、３３  反射防止膜（光学膜）、３４  他面、５１  第１のガラス平板（第１の平板状光学部材）、５２  第２のガラス平板（第２の平板状光学部材）、５１ｂ  反射防止膜、５２ｂ  ビームスプリッタ膜、５５、５５ａ  第１の接着剤、５６  第２の接着剤、Ａ  積層体、Ｂ  第１の積層分割体、Ｐ１、Ｐ２  平面、Ｃ  本止め積層体、Ｄ  第２の積層分割体、Ｄ１  棒状体（連結体）、Ｅ  連結体、Ｆ  第３の積層分割体、Ｇ  ビームスプリッタ連結体、ｃ１、ｃ２  切断面、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４  切断ライン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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