(57)【要約】【課題】  プローブとばねとを組み合わせた構造でありながら、プローブの電流経路の問題だけでなく、全体が大型になるという問題を解消することを可能にする。【構成】  貫通穴１１が形成された支持板１０と、先端部２１が貫通穴１１に挿入され、基端部２２が貫通穴１１から突出したプローブ２０と、一端部３１が支持板１０の面上に固定され且つ他端部３２がプローブ２０の基端部２２に固定されたコイルスプリング２とを備えている。コイルスプリング２は、プローブ２０の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ２０を付勢し、プローブ２０の電流経路の一部になっている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
面上に貫通穴(11)が形成された支持板(10)と、先端部(21)が貫通穴(11)に挿入され、基端部(22)が貫通穴(11)から突出したプローブ(20)と、一端部(31)が支持板(10)に固定され且つ他端部(32)がプローブ(20)の基端部(22)に固定され、プローブ(20)の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ(20)を付勢するコイルスプリング(30)とを備え、コイルスプリング(30)がプローブ(20)の電流経路の一部になっていることを特徴とするプローブカード。
【請求項２】
請求項１記載のプローブカードにおいて、支持板(10)上の貫通穴(11)の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ(20)の外周面に接触する支持板用電極部(50)を備え、支持板用電極部(50)がプローブ(20)の電流経路の一部になっていることを特徴とするプローブカード。
【請求項３】
請求項１記載のプローブカードにおいて、支持板(10)に平行に配設されたガイド板(40)を備えており、ガイド板(40)にはプローブ(20)の基端部(22)が挿通される挿通穴(41)が面上に形成されていることを特徴とするプローブカード。
【請求項４】
請求項３記載のプローブカードにおいて、ガイド板(40)上の挿通穴(41)の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ(20)の基端部(22)の外周面に接触するガイド板用電極部(60)を備え、ガイド板用電極部(60)がプローブ(20)の電流経路の一部となっていることを特徴とするプローブカード。
【請求項５】
面上に貫通穴(11)が形成された支持板(10)と、先端部(21)が貫通穴(11)に挿入され、基端部(22)が貫通穴(11)から突出したプローブ(20)と、一端部(31)が支持板(10)に固定され且つ他端部(32)がプローブ(20)の基端部(22)に固定され、プローブ(20)の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ(20)を付勢するコイルスプリング(30)と、支持板(10)上の貫通穴(11)の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ(20)の外周面に接触する支持板用電極部(50)とを備え、支持板用電極部(50)がプローブ(20)の電流経路の一部になっていることを特徴とするプローブカード。
【請求項６】
面上に貫通穴(11)が形成された支持板(10)と、先端部(21)が貫通穴(11)に挿入され、基端部(22)が貫通穴(11)から突出したプローブ(20)と、一端部(31)が支持板(10)に固定され且つ他端部(32)がプローブ(20)の基端部(22)に固定され、プローブ(20)の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ(20)を付勢するコイルスプリング(30)と、支持板(10)に平行に配設されており且つプローブ(20)の基端部(22)が挿通される挿通穴(41)が面上に形成されたガイド板(40)と、ガイド板(40)上の挿通穴(41)の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ(20)の基端部(22)の外周面に接触するガイド板用電極部(60)とを備え、ガイド板用電極部(60)がプローブ(20)の電流経路の一部となっていることを特徴とするプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体ウエハに形成された半導体チップ等の被検査体の電気的特性検査を行なう際に用いられるプローブカード、特に高密度、多ピンのプローブカードに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体集積回路の微細化、多ピン化に伴い、半導体チップの電極パッドが狭ピッチの傾向にある。プローブカードも同様の傾向にあり、多ピン化、狭ピッチ化に適応可能にするために、プローブが基板に垂直に取り付けられた構造の垂直動作型のものを採用することが主流になっている。
【０００３】
この垂直動作型プローブカードにおいて、プローブを一本毎に電極パッドに押し付けるためには大きな圧接力が必要であり、そのためには特許文献１のように、プロープの後方にばねを設けて、プローブに押圧力を付与することが行われている。しかし、プローブの後方にばねを設ける構造では、プローブのストローク長とバネの長さとの合計の寸法の空間を確保する必要があり、そのためプローブカードそのものが大型になるという問題がある。
【０００４】
プローブとばねとを組み合わせた構造について調査・検討を進めたところ、従来のばねの使用方法とは逆の使用方法、即ち、ばねの圧縮に対する復元力を使用するのではなく、ばねの伸長に対する復元力を使用するという構成に想到した。しかし、プローブとばねを含む構造にプローブを通じて検出された電気信号の電流経路をどのようにして確保するかという問題が残されている。
【０００５】
この点、特許文献２には、ばねの伸長に対する復元力をプローブの押圧力に使用するという構造が提案されているものの、あくまで検査用プローブであり、全く異なった技術課題を対象としていることから、電気信号の電流経路の確保に関して何らの開示がなくその示唆さえ見当たらない。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２４０８０１号公報
【特許文献２】実開平４−８１０６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上のように、従来のプローブカードにおいて、プローブに押圧力を付与するためにプローブとばねとを組み合わせた構造を採用しようとした場合、プローブの電流経路の問題だけでなく、全体が大型になるという問題が何ら解決されていないのが現状である。
【０００８】
本発明は上記した背景の下で創作されたものであり、プローブとばねとを組み合わせた構造でありながら、プローブの電流経路の問題だけでなく、全体が大型になるという問題を解消することが可能なプローブカードを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１のプローブカードは、先端部(21)が貫通穴(11)に挿入され、基端部(22)が貫通穴(11)から突出したプローブ(20)と、一端部(31)が支持板(10)に固定され且つ他端部(32)がプローブ(20)の基端部(22)に固定され、プローブ(20)の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ(20)を付勢するコイルスプリング(30)とを備え、コイルスプリング(30)がプローブ(20)の電流経路の一部になっている。
【００１０】
このような第１のプローブカードにおいては、プローブ(20)の先端部(21)が被検査体の電極パッドに接触し、これに伴ってコイルスプリング(30)が伸長し、このときの復元力がプローブ(20)の押圧力として作用する。また、コイルスプリング(30)を通じてプローブ(20)に電流が流れる。
【００１１】
本発明の第２のプローブカードは、面上に貫通穴(11)が形成された支持板(10)と、先端部(21)が貫通穴(11)に挿入され、基端部(22)が貫通穴(11)から突出したプローブ(20)と、一端部(31)が支持板(10)に固定され且つ他端部(32)がプローブ(20)の基端部(22)に固定され、プローブ(20)の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ(20)を付勢するコイルスプリング(30)と、支持板(10)上の貫通穴(11)の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ(20)の外周面に接触する支持板用電極部(50)とを備え、支持板用電極部(50)がプローブ(20)の電流経路の一部になっている。
【００１２】
本発明の第３のプローブカードは、面上に貫通穴(11)が形成された支持板(10)と、先端部(21)が貫通穴(11)に挿入され、基端部(22)が貫通穴(11)から突出したプローブ(20)と、一端部(31)が支持板(10)に固定され且つ他端部(32)がプローブ(20)の基端部(22)に固定され、プローブ(20)の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ(20)を付勢するコイルスプリング(30)と、支持板(10)に平行に配設されており且つプローブ(20)の基端部(22)が挿通される挿通穴(41)が面上に形成されたガイド板(40)と、ガイド板(40)上の挿通穴(41)の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ(20)の基端部(22)の外周面に接触するガイド板用電極部(60)とを備え、ガイド板用電極部(60)がプローブ(20)の電流経路の一部となっている。
【００１３】
このような第２、第３のプローブカードにおいては、プローブ(20)の先端部(21)が被検査体の電極パッドに接触し、これに伴ってコイルスプリング(30)が伸長し、このときの復元力がプローブ(20)の押圧力として作用する。また、支持板用電極部(50)又はガイド板用電極部(60)を通じてプローブ(20)に電流が流れる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の請求項１に係るプローブカードによる場合、コイルスプリング(30)が電流経路の一部となっており、プローブ(20)の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ(20)を付勢するように構成されていることから、プローブとばねとを組み合わせた構造でありながら、電流経路の問題だけでなく、全体が大型になるという問題が解消することができる。即ち、従来例による場合とは異なり、プローブ(20)に大きな押圧力を付与することが可能になるとともに、設計の自由度が上がることも含めて小型化を実現することが可能になる。また、後記する支持板用電極部(50)又はガイド板用電極部(60)が存在しないことから、プローブ(20)のスムーズな動きが妨げられることもない。よって、多ピン化及び狭ピッチ化の推進を図る上で大きな意義がある。
【００１５】
本発明の請求項２に係るプローブカードによる場合、コイルスプリング(30)に加えて、支持板(10)上の貫通穴(11)の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ(20)の外周面に接触する支持板用電極部(50)が電流経路の一部になった構成であることから、請求項１の効果だけでなく、電流経路の抵抗が小さく、測定上の電気的特性が良好になる。
【００１６】
本発明の請求項３に係るプローブカードによる場合、支持板(10)に対するプローブ(20)の直線的な動きをサポートするために支持板(10)に平行に配設されたガイド板(40)を備え、ガイド板(40)にはプローブ(20)の基端部(22)が挿通される挿通穴(41)が形成された構成となっているので、プローブ(20)及びコイルスプリング(30)の横方向の動きが完全に規制され、この点で狭ピッチ化の一層の促進を図ることが可能になる。
【００１７】
本発明の請求項４に係るプローブカードによる場合、コイルスプリング(30)に加えて、ガイド板(40)上の挿通穴(41)の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ(20)の基端部(22)の外周面に接触するガイド板用電極部(60)が電流経路の一部になった構成であることから、請求項３の効果だけでなく請求項２と同様の効果を奏する。
【００１８】
本発明の請求項５に係るプローブカードによる場合、コイルスプリング(30)がプローブ(20)の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ(20)を付勢するとともに、支持板(10)上の貫通穴(11)の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ(20)の外周面に接触する支持板用電極部(50)が電流経路の一部になった構成されていることから、請求項１と同様の効果を奏する。
【００１９】
本発明の請求項６に係るプローブカードによる場合、コイルスプリング(30)がプローブ(20)の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ(20)を付勢するとともに、ガイド板(40)上の挿通穴(41)の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ(20)の基端部(22)の外周面に接触するガイド板用電極部(60)が電流経路の一部として構成されていることから、請求項４と同様の効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の第１の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は第１の実施の形態に係るプローブカードの一部模式的断面図、図２は同プローブカードにおいてコイルスプリングと電気配線との間の電気接続の様子を示す部分斜視図である。
【００２１】
ここに掲げるプローブカードは、図示されていないが、半導体ウエハに形成された半導体チップ等の被検査体の電気的特性検査を行なう検査装置に備えられるものであり、半導体チップの電極等と検査装置とを電気的に接続するのに使用される。図中１０は支持板、１１は貫通穴、１２は電気配線、２０はプローブ、３０はコイルスプリングである。
【００２２】
支持板１０は電源用、信号用の電気配線１２が面上に複数形成された基板である。支持板１０上の電気配線１２の端部の近くには貫通穴１１が形成されている（図２参照）。貫通穴１１は半導体チップの電極等の配置に合わせて複数設けられており、本実施形態では１００μｍのピッチで格子状に配列されている。
【００２３】
プローブ２０は直線状の金属線であって、先端部２１が貫通穴１１に挿入され、基端部２２が貫通穴１１から突出している。半導体チップの電極等に接触する先端が鋭利に形成されており、後端にはコイルスプリング３０と略同一の直径を有した金属製の円板２３がその中心部に取り付けられている。
【００２４】
コイルスプリング３０はニッケル等を線材をコイル状に形成したものであって、プローブ２０の基端部２２の周りに重ね合わせて設けられている。具体的には、コイルスプリング３０の下側の一端部３１は支持板１０の電気配線１２の端部上に導電性接着材等を用いて固着されている一方（図２参照）、コイルスプリング３０の上側の他端部３２はプローブ２０の円板２３に導電性接着材等を用いて固着されている。即ち、コイルスプリング３０は、プローブ２０の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ２０を付勢するようになっている。
【００２５】
コイルスプリング３０は導電性材料から構成されており、プローブ２０の電流経路の一部になっている。コイルスプリング３０として絶縁性材質のものを用いるときは、その表面を導電性を有する塗料でコーティングするようにすると良い。
【００２６】
上記した構成のプローブカードによる場合、プローブ２０の先端が半導体チップの電極等に接触すると、半導体チップの電極等と図外の検査装置との間が、プローブ２０、円板２３、コイルスプリング３０及び電気配線１２を通じて電気的に接続される。これが電流経路となる。この状態でオーバードライブが行われると、プローブ２０が図１中矢印方向に動き、これに伴ってコイルスプリング３０が伸長する。この時のコイルスプリング３０の復元力によりプローブ２０が付勢され、この結果、プローブ２０を通じて半導体チップの電極等に大きな圧接力が与えられる。
【００２７】
このようにコイルスプリング３０が電流経路の一部となっており、プローブ２０の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ２０を付勢するように構成されているので、従来例による場合とは異なり、電流経路の問題だけでなく、全体が大型になるという問題が一挙に解消される。よって、プローブ２０に大きな押圧力を付与することが可能になるとともに、電流経路として特別な部品が不要であり、設計の自由度が上がることも含めて小型化を実現することが可能になる。また、後記する摺動子５１及び円筒電極５２（図４参照）が存在しないことから、プローブ２０のスムーズな動きが妨げられることもない。さらにプローブ２０の先端から電気配線１２に至るまでの電流経路の長さが一定であり、プローブ２０の位置に関係なくインピーダンスも一定であることから、測定上の電気的特性が良好になる。よって、多ピン化及び狭ピッチ化の推進を図る上で非常に大きな意義がある。
【００２８】
なお、本発明の第１の実施の形態に係るプローブカードは上記実施形態に限定されない。例えば、プローブ２０についてはその形状等が問われない。コイルスプリング３０については、弾性及び導電性を有する限りその材質や形状は問われない。また、一端部３１が支持板１０に固定され且つ他端部３２がプローブ２０の基端部２２に固定され、プローブ２０の上下移動とともに伸縮可能であり、伸長に対する復元力によりプローブ２０を付勢可能である限り、プローブ２０や支持板１０に対する固定方法等が問われない。
【００２９】
例えば、コイルスプリング３０の他端部３２をプローブ２０の基端部２２の外周面に直接に導電性接着材等を用いて固着しても良い。プローブ２０の基端部２２の外周面に突起を形成し、この突起をコイルスプリング３０の螺旋部分の間に入れ、これによりコイルスプリング３０の他端部３２をプローブ２０の基端部２２に固定しても良い。コイルスプリング３０の一端部３１を支持板１０の面上に形成した取付穴に挿入し固定しても良い。
【００３０】
電流経路については、例えば、後記する摺動子５１又は円筒電極５２（図４参照）を含める形態であってもかまわない。この場合、電流経路の抵抗が小さくなり、測定上の電気的特性が良好になる。また、支持板１０上に電気配線１２を形成せず、コイルスプリング３０と図外の検査装置との間を他の任意の方法で電気接続し、その電気接続部材を電流経路とするようにしても良い。
【００３１】
次に、本発明の第２の実施の形態を図面を参照して説明する。図３は第２の実施の形態に係るプローブカードの一部模式的断面図である。
【００３２】
第２の実施の形態に係るプローブカードが第１の実施の形態と大きく異なっているのはガイド板４０が備えられ、プローブ２０の基端部２２が長くなっている点である。第１の実施の形態と大きく異なっている点を中心にその構成を説明し、共通する部分については同一の部品番号を付してその説明を省略する。
【００３３】
ガイド板４０は、支持板１０の上側に平行に配設された基板であって、その面上にはプローブ２０の基端部２２が挿通される挿通穴４１が形成されている。なお、支持板１０とガイド板４０との間隔を規制するスペーサ等は図３において省略されている。
【００３４】
このようなプローブカードによる場合、プローブ２０の先端部２１が支持板１０の貫通穴１１に挿入されて軸支される一方、プローブ２０の基端部２２がガイド板４０の挿通穴４１に挿入されて軸支された構成となっているので、プローブ２０、ひいてはコイルスプリング３０の横方向への動きが完全に規制され、隣接するコイルスプリング３０との距離を小さく設定したとしてもその接触を確実に防ぐことができることから、第１の実施の形態による場合に比べて一層の狭ピッチ化を図ることが可能になる。
【００３５】
なお、本発明の第２の実施の形態に係るプローブカードは上記実施形態に限定されない。例えば、ガイド板４０については、支持板１０の下側に平行に配設する形態であっても良い。挿通穴４１については必ずしも貫通穴である必要はなく、プローブ２０の基端部２２の後端が挿入されて軸支可能な凹部としても良い。また、電流経路については、例えば、後記する摺動子６０（図６参照）を含める形態であってもかまわない。この場合、電流経路の抵抗が一層小さくなり、測定上の電気的特性が良好になる。
【００３６】
次に、本発明の第３の実施の形態を図面を参照して説明する。図４は第３の実施の形態に係るプローブカードの一部模式的断面図である。図５は同プローブカードにおいてプローブと電気配線との間の電気接続の様子を示す部分斜視図である。
【００３７】
第３の実施の形態に係るプローブカードが第２の実施の形態と大きく異なっているのは、コイルスプリング３０を電流経路として用いず、その代わりに支持板用電極部５０としての摺動子５１及び円筒電極５２を電流経路として用いている点である。第２の実施の形態と大きく異なっている点を中心にその構成を説明し、共通する部分については同一の部品番号を付してその説明を省略する。
【００３８】
コイルスプリング３０の一端部３１は支持板１０上に接着材等を用いて固着されている一方、コイルスプリング３０の他端部３２はプローブ２０の基端部２２に接着材等を用いて直接に固着されている。
【００３９】
摺動子５１については、支持板１０の下面側の貫通穴１１の周辺に配設された金属片や糸状のスチールを小さく塊状にしたものである（図５参照）。摺動子５１はプローブ２０の先端部２１の外周面に摺動接触しており、支持板１０の下面に形成された電気配線１２に導電性接着材等で電気接続されている。
【００４０】
円筒電極５２については、支持板１０の貫通穴１１の内周面に形成された円筒状の金属箔であり、プローブ２０の先端部２１の外周面に摺動接触している。円筒電極５２は支持板１０の下面に形成された電気配線１２に電気的に接続されている。
【００４１】
このようなプローブカードによる場合、プローブ２０が支持板１０及びガイド板４０により移動自在に支持された構成となっている以上、第２の実施の形態による場合と同様の効果が得られる。また、半導体チップの電極等と図外の検査装置との間がプローブ２０、摺動子５１（及び円筒電極５２）、電気配線１２を通じて電気的に接続される。これが電流経路となる。プローブ２０の先端から電気配線１２に至るまでの電流経路が第１、第２の実施の形態による場合に比べて短いので、電気的特性に優れるという効果がある。
【００４２】
なお、本発明の第３の実施の形態に係るプローブカードは上記実施形態に限定されない。例えば、コイルスプリング３０については、弾性体である限り、どのような材質のものを用いてもかまわず、プローブ２０や支持板１０に対する取り付け方法が問われないのも第１の実施の形態の場合と同様である。支持板用電極部５０については、摺動子５１と円筒電極５２のいずれか一方を省略することが可能であるばかりか、支持板１０上の貫通穴１１の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ２０の外周面に接触する限り、どのような形状、種類のものを用いても良い。電流経路については、支持板１０上に電気配線１２を形成せず、支持板用電極部５０と図外の検査装置との間を他の任意の方法で電気接続し、その電気接続部材を電流経路としても良い。
【００４３】
次に、本発明の第４の実施の形態を図面を参照して説明する。図６は第４の実施の形態に係るプローブカードの一部模式的断面図である。
【００４４】
本発明の第４の実施の形態に係るプローブカードが第３の実施の形態と大きく異なるのは、摺動子５１及び円筒電極５２を電流経路として用いず、その代わりにガイド板用電極部としての摺動子６０を電流経路として用いている点である。第３の実施の形態と大きく異なっている点を中心にその構成を説明し、共通する部分については同一の部品番号を付してその説明を省略する。
【００４５】
摺動子６０はガイド板４０の下面側の挿通穴４１の周辺に配設された金属片や糸状のスチールを小さく塊状にしたものであって、摺動子５１と同様の部品である。摺動子６０はプローブ２０の基端部２２の外周面に摺動接触しており、ガイド板４０の下面に形成された電気配線４２に導電性接着材等で電気接続されている。
【００４６】
このようなプローブカードによる場合、プローブ２０が支持板１０及びガイド板４０により移動自在に支持された構成となっている以上、第２の実施の形態による場合と同様の効果が得られる。また、半導体チップの電極等と図外の検査装置との間がプローブ２０、摺動子６０、電気配線４２を通じて電気的に接続される。これが電流経路となる。第１、第２及び第３の実施の形態による場合とは異なり、支持板１０上に電気配線１２が形成されていないことから、支持板１０等に関する設計の自由度が大きく、この点でプローブカードの多ピン化及び狭ピッチ化の一層の推進を図ることが可能になる。
【００４７】
なお、本発明の第４の実施の形態に係るプローブカードは上記実施形態に限定されない。例えば、コイルスプリング３０については、弾性体である限り、どのような材質のものを用いてもかまわず、プローブ２０や支持板１０に対する固定方法が問われないのも第１の実施の形態の場合と同様である。ガイド板用電極部については、ガイド板４０上の挿通穴４１の内面又はその周辺に設けられ且つプローブ２０の基端部２２の外周面に接触する限り、どのような形状及び種類のものを用いても良い。電流経路については、ガイド板４０上に電気配線４２を形成せず、摺動子６０と図外の検査装置との間を他の任意の方法で電気接続し、その電気接続部材を電流経路とするようにしても良い。また、第３の実施の形態の場合と同様、支持板１０上の電気配線１２とプローブ２０との間を摺動子５１等を通じて電気接続するようにしても良い。この場合、電気配線４２を信号用（又は電源用）、電気配線１２を電源用（又は信号用）と使い分けをすると、電気配線のパターンのレイアウトが容易になり、この点でプローブカードの多ピン化、狭ピッチ化及びの一層の推進を図ることが可能になる。また、電源パターンと信号パターンとが分離されるので、低ノイズ化を図ることができ、測定上の電気的特性が良好になる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１の実施の形態を説明するための図であって、プローブカードの一部模式的断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を説明するための図であって、同プローブカードにおいてコイルスプリングと電気配線との間の電気接続の様子を示す部分斜視図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を説明するための図であって、プローブカードの一部模式的断面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態を説明するための図であって、プローブカードの一部模式的断面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態を説明するための図であって、同プローブカードにおいてプローブと電気配線との間の電気接続の様子を示す部分斜視図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態を説明するための図であって、プローブカードの一部模式的断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０  支持板
１１  貫通穴
１２  電気配線
２０  プローブ
２１  先端部
２２  基端部
３０  コイルスプリング
３１  一端部
３２  他端部
４０  ガイド板
４１  挿通穴
４２  電気配線
５０  支持板用電極部
５１  摺動子
５２  円筒電極
６０  摺動子（ガイド板用電極部）
【図１】
2006292372.tif 000003
【図２】
2006292372.tif 000004
【図３】
2006292372.tif 000005
【図４】
2006292372.tif 000006
【図５】
2006292372.tif 000007
【図６】
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