(57)【要約】【課題】  出力方路切替のための構成を複雑化させることなく装置規模を縮小させる。【解決手段】  該第１反射部材４は、入出力ポート２，３と第２反射部材５との間を光学的に結合させ、回折格子部６は、入出力ポート２，３からの入力光を第１および第２反射部材４，５を介して入射されると、波長成分光を出力し、マイクロミラーアレイ７は、回折格子部６からの波長成分光のそれぞれについて反射するとともに、当該反射の方向を出力先となる入出力ポート３，４の配置に対応して切り替え可能なマイクロミラー７１〜７３をそなえ、回折格子部６は更に、マイクロミラーアレイ７で切り替えられた波長成分光の反射の方向をもとに、出力光を、出力先となる入出力ポートの配置に対応して出力する一方、第２反射部材５を介して回折格子部６と光学的に結合されている第１反射部４およびマイクロミラーアレイ７が、回折格子部６に対して同じ側に配置される。【選択図】        図１
2006276216.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列に配置された複数の入出力ポートと、第１，第２反射部材と、回折により入射光波長成分に対する出射光の出射角度を定義する回折格子部と、マイクロミラーアレイと、をそなえ、
該第１反射部材は、該入出力ポートと該第２反射部材との間を光学的に結合させ、
該第２反射部材は、反射面が該第１反射部材，該回折格子部および該マイクロミラーアレイに対向するように配置され、該入出力ポートからの入力光および該入出力ポートへの出力光について該第１反射部材と該回折格子部とを光学的に結合させるとともに、波長成分に分光された波長成分光については該回折格子部とマイクロミラーアレイとを光学的に結合させ、
該回折格子部は、該入出力ポートからの入力光を該第１および第２反射部材を介して入射されると、該波長成分光を該出射光として出力し、
該マイクロミラーアレイは、該回折格子部からの波長成分光のそれぞれについて反射するとともに、当該反射の方向を出力先となる入出力ポートの配置に対応して切り替え可能なマイクロミラーをそなえ、
該回折格子部は更に、該マイクロミラーアレイで切り替えられた波長成分光の反射の方向をもとに、該出力光を、出力先となる入出力ポートの配置に対応して該出射光として出力する一方、
該第２反射部材を介して該回折格子部と光学的に結合されている該第１反射部および該マイクロミラーアレイが、該回折格子部に対して同じ側に配置されていることを特徴とする光スイッチ。
【請求項２】
該入出力ポートからの入力光が該第１反射部材に入力される前段において、該入力光のビーム径を拡げる光素子が介装されたことを特徴とする、請求項１記載の光スイッチ。
【請求項３】
該回折格子部は、透過型回折格子と、該透過型回折格子を透過した光を反射させて当該透過型回折格子に戻す第３反射部材と、からなることを特徴とする請求項１または２記載の光スイッチ。
【請求項４】
並列に配置された複数の入出力ポートと、第１，第２反射部材と、入射光波長成分に対する出射光の出射角度を定義する回折格子部と、マイクロミラーアレイと、をそなえ、
該第１反射部材は、該入出力ポートからの入力光を該第２反射部材に向けて反射し、
該第２反射部材は、反射面が該第１反射部材，該回折格子部および該マイクロミラーアレイに対向するように配置され、該第１反射部材からの該入力光を該回折格子部に向けて反射し、
該回折格子部は、該第２反射部材からの該入力光を該入射光として入射されると、波長成分ごとに出射角度が異なる波長成分光を該出射光として出力し、
該第２反射部材は更に、該回折格子部からの各波長成分光について該マイクロミラーアレイに向けて反射し、
該マイクロミラーアレイは、該回折格子部からの波長成分光のそれぞれについて反射するとともに、当該反射の方向を出力先となる入出力ポートの配置に対応して切り替え可能なマイクロミラーをそなえ、
該回折格子部は更に、該マイクロミラーアレイからの反射光を第２反射部材を介して入射されて、該マイクロミラーで切り替えられた反射方向に応じて、波長成分を束ねて出射し、
該第２反射部材は更に、該回折格子部で波長成分が束ねられた光を出力光として該第１反射部材に向けて反射し、
該第１反射部材は更に、該第２反射部材からの該出力光を、対応する入出力ポートへ導き、
かつ、該第２反射部材を介して該回折格子部と光学的に結合されている該第１反射部および該マイクロミラーアレイが、該回折格子部に対して同じ側に配置されていることを特徴とする光スイッチ。
【請求項５】
湾曲した反射面を備えた湾曲反射部と、
該反射面に対向する複数の可動ミラーをそなえたユニットと、
前記湾曲反射部と、前記ユニットとの間に設けられ、前記湾曲した反射面に対向した反射面を備えた反射部と、
前記反射部、前記湾曲反射部で順に反射された光について、波長に応じて異なる角度に方向付けして、前記湾曲反射部に与える波長分散ユニットと、
を備え、
前記反射部の前記反射面の側に設けられた複数のポートのうちのいずれかのポートから入力され、該反射部、前記湾曲反射部を介して前記波長分散ユニットに与えられることで波長分散された光の波長成分について、前記いずれかのポートと異なる方向に出力されるように前記可動ミラーアレーユニットのミラーの反射面を制御する制御部を備えた、
ことを特徴とする光スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長多重光伝送システム［ＷＤＭ（Wavelength Division Multiplexing）システム］に適用される光スイッチに関するものであり、 特に、複数の入出力ポート（入力あるいは出力のどちらか片方は単数でもよい）を備え、入力された波長多重信号を波長ごとにいずれかの出力ポートに選択して出力できる機能をもつ光スイッチ（波長選択スイッチ）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１３は従来の光スイッチ１０２Ａについて示す模式的上視図を示すものである（以下に示す特許文献１参照）。この図１３に示す光スイッチ１０２Ａは、入出力ユニット１２２，凹面鏡１２０，エバート（Ebert）型に配置された回折格子１２４およびＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）ミラーアレイ１２６をそなえている。入出力ユニット１２２は、例えば図１４のように複数の光ファイバ１３２（この場合には４つの光ファイバ１３２Ａ〜１３２Ｄ）、複数のコリメートレンズ１３４（この場合には４つのコリメートレンズ１３４Ａ〜１３４Ｄ）およびレンズ１３６から構成される。
【０００３】
このように構成された光スイッチ１０２Ａにおいては、複数の光ファイバ１３２のうちのいずれかからの波長多重された光ビーム（例えば光ファイバ１３２Ａからの光ビーム）は、分光により波長ごとに出力方路が切り替えられて、例えば光ファイバ１３２Ｂ〜１３２Ｄのいずれかに出力することができるようになる。換言すれば、出力先の光ファイバ１３２Ｂ〜１３２Ｄにおいて出力すべき波長を選択する動作（波長選択動作）を行なうことができる。
【０００４】
たとえば、光ファイバ１３２Ａに対応するコリメートレンズ１３４Ａで平行ビームとなり、レンズ１３６で方向を変えられた後、凹面鏡１２０で反射され回折格子１２４に向かい、回折格子１２４で波長ごとに分離された後再び凹面鏡１２０で反射され、ＭＥＭＳミラーアレイ１２６に向かう。
そして、ＭＥＭＳミラーアレイ１２６は、波長ごとに分離された光ビームを個別に反射させる図示しないＭＥＭＳミラーをそなえるとともに、各ＭＥＭＳミラーの角度を紙面に対して垂直な方向（即ち光ファイバ１３２Ａ〜１３２Ｄの配列方向）に制御して、波長ごとの光ビームの反射方向を制御することが可能となる。ＭＥＭＳミラーで反射された光は、上述の経路を逆向きに進行し、入出力ユニット１２２へ入射される波長ごとの光ビームの角度に応じて、ファイバ１３２Ｂ〜１３２Ｄのいずれかへ振り分けられる。これにより、波長選択動作が可能となる。
【０００５】
その他、本願発明に関連する公知技術としては、図１５に示すような波長ルータ２１０がある（特許文献２参照）。図１６は図１５のＡ矢視図であって、波長ルータ２１０がそなえる光ファイバ２１２，２１５および逆反射体２３０（１…Ｎ）の配置関係について示すものである。
この図１５に示す入力ファイバ２１２および出力ファイバ２１５は図１３の入出力ユニット１２２に相当し、逆反射体２３０（１…Ｎ）はＭＥＭＳミラーアレイ１２６に相当するものであり、図１６に示すように、これらの入力ファイバ２１２，出力ファイバ２１５および逆反射体２３０（１…Ｎ）の配列関係についても同様である。換言すれば、図１５中における逆反射体２３０（１…Ｎ）は、紙面に平行な方向で並列配置され、入力ファイバ２１２，出力ファイバ２１５は紙面に垂直な方向で並列配置される。
【０００６】
このように構成された波長ルータ２１０においては、入力ファイバ２１２から出力された光ビーム２１８はガラス体２１１中を伝搬し、ガラス体２１１の内壁をなす凹面鏡２４０で反射され、回折格子２２５で分光された後、再び凹面鏡２４０で反射され、波長ごとに複数の逆反射体２３０(１…Ｎ)に向かう。各逆反射体２３０（１…Ｎ）においては、分光された光ビームを反射する際に、その反射光の光軸を、光ファイバ２１５の配列方向に対応した方向２３５に平行移動させる。これにより、当該反射された光ビームを、凹面鏡２４０および回折格子２２５での再反射を介して出力先となる光ファイバ２１５（１…Ｍ）に結合させることができるようになっている。
【０００７】
図１７は上述の各逆反射体２３０（１…Ｎ）の構成例について示すものである。逆反射体２３０（１…Ｎ）のそれぞれは、この図１７において符号２３０ｅとして示す構成を有することができる。逆反射体２３０ｅは、プリズム２６９と、プリズム２６９の直角面にそれぞれ当接した２つのＭＥＭＳミラーアレイ２６２，２６３と、をそなえている。ＭＥＭＳミラーアレイ２６３は、出力先の光ファイバ２１５（１…Ｍ）に反射光を結合させるためにＭ個のＭＥＭＳミラー２６６（１…Ｍ）が配置され、ＭＥＭＳミラーアレイ２６２のＭＥＭＳミラー２６５は、凹面鏡２４０からの光ビームを上述のＭＥＭＳミラー２６６（１…Ｍ）のいずれかで反射させるように傾斜角度が制御される。
【特許文献１】米国特許第６７０７９５９号
【特許文献２】米国特許第６４３９７２８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述のごとき特許文献１に記載された光スイッチ１０２Ａはサイズが比較的大きくなるという課題がある。
すなわち、回折格子１２４に入力された波長多重された光ビームは、分光されると波長多重された光ビームの入射方向とは異なる方向、即ち凹面鏡１２０の軸１２０Ａについて入力光ビームとは異なる方向に出力される。このため、波長ごとの光ビームについて反射方向を切り替えるためのＭＥＭＳミラーアレイ１２６を、回折格子１２４について入出力ユニット１２２とは反対側に設ける必要がある。その結果、光スイッチ１０２Ａをなす光学部材１２２，１２０，１２４，１２６を配置するために全体として比較的広いスペースを確保する必要が生じるため、光スイッチ１０２Ａとしてのサイズが大きくなるのである。
【０００９】
これに対し、特許文献２に記載された波長ルータ２１０においては、回折格子２２５に入力された波長多重された光ビームは、分光されると波長多重された光ビームの入射方向とほぼ同様の方向に反射させることができるので、図１３に示すＭＥＭＳミラーアレイ１２６に対応する構成である逆反射体２３０を、入出力ユニット１２２に対応する構成である光ファイバ２１２，２１５と、回折格子２２５について同じ側に設けることができるようになるが、上述のごとく各逆反射体２３０において求められるＭＥＭＳミラーの数が増大するので、構成が複雑になり、部材自体の規模も大きくなるので、小型化に支障をきたす場合もあるほか、光ファイバ２１２，２１５と逆反射体２３０との間で配置位置の干渉が生じることも考えられる。
【００１０】
本発明は、出力方路切替のための構成を複雑化させることなく、装置規模を縮小させることができるようにした、光スイッチを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このため、本発明の光スイッチは、並列に配置された複数の入出力ポートと、第１，第２反射部材と、回折により入射光波長成分に対する出射光の出射角度を定義する回折格子部と、マイクロミラーアレイと、をそなえ、該第１反射部材は、該入出力ポートと該第２反射部材との間を光学的に結合させ、該第２反射部材は、反射面が該第１反射部材，該回折格子部および該マイクロミラーアレイに対向するように配置され、該入出力ポートからの入力光および該入出力ポートへの出力光について該第１反射部材と該回折格子部とを光学的に結合させるとともに、波長成分に分光された波長成分光については該回折格子部とマイクロミラーアレイとを光学的に結合させ、該回折格子部は、該入出力ポートからの入力光を該第１および第２反射部材を介して入射されると、該波長成分光を該出射光として出力し、該マイクロミラーアレイは、該回折格子部からの波長成分光のそれぞれについて反射するとともに、当該反射の方向を出力先となる入出力ポートの配置に対応して切り替え可能なマイクロミラーをそなえ、該回折格子部は更に、該マイクロミラーアレイで切り替えられた波長成分光の反射の方向をもとに、該出力光を、出力先となる入出力ポートの配置に対応して該出射光として出力する一方、該第２反射部材を介して該回折格子部と光学的に結合されている該第１反射部および該マイクロミラーアレイが、該回折格子部に対して同じ側に配置されていることを特徴としている。
【００１２】
また、好ましくは、該入出力ポートからの入力光が該第１反射部材に入力される前段において、該入力光のビーム径を拡げる光素子を介装する。
さらに、好ましくは、該回折格子部は、透過型回折格子と、該透過型回折格子を透過した光を反射させて当該透過型回折格子に戻す第３反射部材と、からなる。
また、本発明の光スイッチは、並列に配置された複数の入出力ポートと、第１，第２反射部材と、入射光波長成分に対する出射光の出射角度を定義する回折格子部と、マイクロミラーアレイと、をそなえ、該第１反射部材は、該入出力ポートからの入力光を該第２反射部材に向けて反射し、該第２反射部材は、反射面が該第１反射部材，該回折格子部および該マイクロミラーアレイに対向するように配置され、該第１反射部材からの該入力光を該回折格子部に向けて反射し、該回折格子部は、該第２反射部材からの該入力光を該入射光として入射されると、波長成分ごとに出射角度が異なる波長成分光を該出射光として出力し、該第２反射部材は更に、該回折格子部からの各波長成分光について該マイクロミラーアレイに向けて反射し、該マイクロミラーアレイは、該回折格子部からの波長成分光のそれぞれについて反射するとともに、当該反射の方向を出力先となる入出力ポートの配置に対応して切り替え可能なマイクロミラーをそなえ、該回折格子部は更に、該マイクロミラーアレイからの反射光を第２反射部材を介して入射されて、該マイクロミラーで切り替えられた反射方向に応じて、波長成分を束ねて出射し、該第２反射部材は更に、該回折格子部で波長成分が束ねられた光を出力光として該第１反射部材に向けて反射し、該第１反射部材は更に、該第２反射部材からの該出力光を、対応する入出力ポートへ導き、かつ、該第２反射部材を介して該回折格子部と光学的に結合されている該第１反射部および該マイクロミラーアレイが、該回折格子部に対して同じ側に配置されていることを特徴としている。
【００１３】
また、本発明の光スイッチは、湾曲した反射面を備えた湾曲反射部と、該反射面に対向する複数の可動ミラーをそなえたユニットと、前記湾曲反射部と、前記ユニットとの間に設けられ、前記湾曲した反射面に対向した反射面を備えた反射部と、前記反射部、前記湾曲反射部で順に反射された光について、波長に応じて異なる角度に方向付けして、前記湾曲反射部に与える波長分散ユニットと、を備え、前記反射部の前記反射面の側に設けられた複数のポートのうちのいずれかのポートから入力され、該反射部、前記湾曲反射部を介して前記波長分散ユニットに与えられることで波長分散された光の波長成分について、前記いずれかのポートと異なる方向に出力されるように前記可動ミラーアレーユニットのミラーの反射面を制御する制御部を備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
このように、本発明の光スイッチによれば、第１反射部材により、出力方路切り替えのための構成を複雑化させることなく、装置規模を大幅に縮小させることができる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照することにより、本発明の実施の形態について説明する。
なお、上述の本願発明の目的のほか、他の技術的課題，その技術的課題を解決する手段及びその作用効果についても、以下の実施の形態による開示によって明らかとなるものである。
〔Ａ〕第１実施形態の説明
〔Ａ１〕構成
図１は本発明の第１実施形態にかかる光スイッチ１を示す模式的上視図である。この図１に示す光スイッチ１は、入力された波長多重信号を波長ごとに任意の出力ポートに選択して出力できる機能をもつものであり、ファイバアレイ２，コリメートレンズアレイ３，凸面鏡４，凹面鏡５，回折格子６およびＭＥＭＳミラーアレイ７をそなえている。第１実施形態においては、具体例として３種類の中心波長λ１〜λ３を有する波長多重信号が一つの入力ポートから入力された場合に、これらの波長λ１〜λ３の成分を３つの出力ポートのうちのいずれかに出力することについて想定している。
【００１６】
図２は、図１の光スイッチ１をなすファイバアレイ２，コリメートレンズアレイ３および凸面鏡４に着目して示す模式的正視図であり、図３（ａ）〜図３（ｃ）は、光スイッチ１をなす光学系をレンズ光学系に置き換えた等価光学系を示すものであり、図３（ａ）は図１と同様の上視方向からみた光スイッチ１の等価光学系を、図３（ｂ），図３（ｃ）は図２と同様の正視方向からみた光スイッチの等価光学系を、それぞれ示すものである。即ち、図３（ａ）〜図３（ｃ）において、凸面鏡４は凹レンズとして図示するとともに、凹面鏡５は凸レンズとして図示している。
【００１７】
ファイバアレイ２は、図２，図３（ｂ），図３（ｃ）に例示するように、複数（この場合は４つ）の光ファイバ２１〜２４が並列配置されものである。又、コリメートレンズアレイ３は、各光ファイバ２１〜２４と凸面鏡４との間を光学的に結合させるレンズ部であり、ファイバアレイ２をなす各光ファイバ２１〜２４の端面位置が焦点距離となるように並列配置されたコリメートレンズ３１〜３４からなるものである。尚、上述の光ファイバ２１〜２４およびコリメートレンズ３１〜３４は、図１においては紙面に垂直な方向に並列配置されていることになる。
【００１８】
そして、上述の複数の光ファイバ２１〜２４およびこれらに対応するコリメートレンズ３１〜３４の各対により、並列配置された４つの入出力ポートを構成することができる。尚、第１実施形態にかかる光スイッチ１においては、光ファイバ２１およびコリメートレンズ３１の対を入力ポート♯１とし、光ファイバ２２〜２４およびコリメートレンズ３２〜３４の各対を出力ポート♯２〜♯４としている。即ち、光ファイバ２１から入力された光（入力光）はコリメートレンズ３１で平行光とされて後段の凸面鏡４に出力される。
【００１９】
また、凸面鏡４は、凸面鏡５と、ＭＥＭＳミラーアレイ７との間に設けられ、凹面鏡５の反射面に対向した反射面を備えた反射部である。更に、凸面鏡４は、入出力ポート♯１〜♯４をなすコリメートレンズ３１〜３４と凹面鏡５とを光学的に結合させる第１反射部材であり、コリメートレンズ３１からの入力光を凹面鏡５に向けて反射させる。このとき、入力光を凸面鏡４で反射させることにより、図１に示すようにビーム径は拡大されるとともに、角度がついて伝搬する。具体的には、図１の上視方向からみて、入力光に対し反射角度αが付与されて凹面鏡５に出力され、図２，図３（ｂ），図３（ｃ）の正視方向からみて、凸面鏡４に対する入射位置に応じた反射角度βが付与されて凹面鏡５に出力される（反射光Ｌ２１参照）。
【００２０】
さらに、凹面鏡５は、湾曲した反射面を備えた湾曲反射部であって、反射面が凸面鏡４，回折格子６よびＭＥＭＳミラーアレイ７に対向するように配置された第２反射部材であり、凸面鏡４からの光Ｌ２１をコリメート光Ｌ３１として回折格子６に向けて反射する。即ち、図３（ｂ），図３（ｃ）に示すように、角度βが付された入力光Ｌ２１を、平行光とされた光Ｌ３１として、回折格子６に向けて出力する。
【００２１】
また、回折格子（回折格子部）６は、凸面鏡４、凹面鏡５で順に反射された光について、波長に応じて異なる角度に方向付けして、凹面鏡５に与える波長分散ユニットである。この回折格子６は、凹面鏡５のほぼ焦点となる位置に配置されて、回折により入射光波長成分に対する出射光の出射角度を定義するもので、第１実施形態においてはリトロー(Littrow)配置用の反射型回折格子により構成される。具体的には、凹面鏡５からの光Ｌ３１を入射されると、図１又は図３（ａ）〜図３（ｃ）に示すように、波長成分λ１〜λ３ごとに出射角度が異なる波長成分光Ｌ４１１〜Ｌ４１３を出射光として出力し、凹面鏡５に戻す。
【００２２】
そして、凹面鏡５においては更に、回折格子６からの各波長成分光Ｌ４１１〜Ｌ４１３について反射させて［図１又は図３（ａ）〜図３（ｃ）のＬ５１１〜Ｌ５１３参照］、ＭＥＭＳミラーアレイ７をなすＭＥＭＳミラー７１〜７３の反射面をほぼ焦点として集光させるようになっている。
ＭＥＭＳミラーアレイ（マイクロミラーアレイ）７は、凹面鏡５の反射面に対向する複数の可動ミラーであるＭＥＭＳミラー７１〜７３をそなえたユニットである。このＭＥＭＳミラーアレイ７におけるＭＥＭＳミラー７１〜７３についても、凹面鏡５のほぼ焦点位置に配置されている。ＭＥＭＳミラー７１〜７３はそれぞれ、回折格子６からの波長成分光Ｌ５１１〜Ｌ５１３について反射するものであるが、反射面の傾斜角度を制御することにより、出力先となる入出力ポート♯２〜♯４の配置に対応して反射の方向が切り替えられた反射光Ｌ５２〜Ｌ５４とすることができるようになっている。尚、この反射の方向が切り替わる方向と、回折格子６において波長成分光Ｌ４１１〜Ｌ４１３が広がる方向と、は実質的に垂直となるような関係を持っている。
【００２３】
制御部９は、凸面鏡４の反射面の側に設けられた入力ポート♯１から入力され凸面鏡４凹面鏡５を介して回折格子６に与えられることで波長分散された光の波長成分について、上述の入力ポート♯１と異なる方向に出力されるようにＭＥＭＳミラーアレイ７のミラー７１〜７３の反射面を制御する。即ち、制御部９においては、ミラー７１〜７３の反射角度を個別に制御することにより、入力ポート♯１から入力された光について、回折格子６で波長分散された波長成分光Ｌ５１１〜Ｌ５１３ごとに、出力ポート♯２〜♯４のいずれかを出力先方路として設定することができるようになっている。
【００２４】
なお、図３（ｂ）は、λ１〜λ３の波長成分光Ｌ５１１〜Ｌ５１３の出力先を出力ポート♯４とするために、ＭＥＭＳミラー７１〜７３での反射光をＬ５４としている場合について図示するもので、出力先を出力ポート♯２，♯３とする場合の光路（Ｌ５２，Ｌ５３参照）については図中点線にて図示している。又、図３（ｃ）は、λ１〜λ３の波長成分光Ｌ５１１〜Ｌ５１３の出力先を出力ポート♯２とするために、ＭＥＭＳミラー７１〜７３での反射光をＬ５２としている場合について図示するもので、出力先を出力ポート♯３，♯４とする場合の光路（Ｌ５３，Ｌ５４参照）については図中点線にて図示している。
【００２５】
すなわち、ＭＥＭＳミラー７１〜７３について図３（ｂ）に示すような反射面の傾斜角度を与えて反射させることにより、各波長成分光凸面鏡４に入射される際に出力ポート♯４に結合する角度を有する光Ｌ２４となるような反射角度を持つ反射光Ｌ５４とすることができる。同様に、図３（ｃ）に示すような反射面の傾斜角度を与えて反射させることにより、凸面鏡４に入射される際に出力ポート♯２に結合する角度を有する光Ｌ２２となるような反射角度を持つ反射光Ｌ５２とすることができる。
【００２６】
また、凹面鏡５では、ＭＥＭＳミラー７１〜７３において反射角度が切り替えられた光Ｌ５２〜Ｌ５４をコリメート光Ｌ４２〜Ｌ４４として回折格子６に宛てて反射させる。更に、回折格子６においては、ＭＥＭＳミラーアレイ７からの反射光を凹面鏡５を介して入射されて、ＭＥＭＳミラー７１〜７３で切り替えられた反射方向に応じて、波長成分を束ねて出射する［図３（ａ）〜図３（ｃ）の光Ｌ３２〜Ｌ３４参照］。
【００２７】
凹面鏡５は更に、回折格子６で波長成分が束ねられた光Ｌ３２〜Ｌ３４を集光させて、出力光Ｌ２２からＬ２４として凸面鏡４に向けて反射する。そして、凸面鏡４は更に、凹面鏡５からの出力光Ｌ２２〜Ｌ２４を反射させることにより、対応する入出力ポート♯２〜♯４へ導くことができる。即ち、凹面鏡５からの出力光Ｌ２２〜Ｌ２４に対する反射光Ｌ１２〜Ｌ１４はそれぞれ、その凸面鏡４に対する入射角度に応じた互いに平行な光路を辿ることにより、互いに異なる出力ポート♯２〜♯４をなすコリメートレンズ３２〜３４に導かれる。
【００２８】
このとき、凸面鏡４の仮想的な焦点ＦＰは、図２に示すように、ＭＥＭＳミラー７１〜７３の反射面Ｐと同一平面上に実質的に存在するように（反射面Ｐ上にほぼ位置するように）配置されている。この凸面鏡４の仮想焦点ＦＰが配置されるＭＥＭＳミラーアレイ７の平面上は、凹面鏡５の焦点距離にもほぼ該当するので、光Ｌ２２〜Ｌ２４に対する反射光Ｌ１２〜Ｌ１４の光軸を互いに平行とすることができるようになっている。
【００２９】
すなわち、凸面鏡４により、凸面鏡４と凹面鏡５との間を伝搬する光Ｌ２１〜Ｌ２４の角度変位を、ＭＥＭＳミラー７１〜７３での角度変位に対応させることができるようになる。そして、上述の凸面鏡４は、入出力ポート側における光Ｌ１１〜Ｌ１４の光軸位置と、凹面鏡５側の光Ｌ２１〜Ｌ２４の角度変位と、を相互に変換する機能をそなえているということができる。
【００３０】
また、上述の凹面鏡５は、入力ポート♯１からの光および出力ポート♯２〜♯４への出力光について凸面鏡４と回折格子６とを光学的に結合させるとともに、波長成分に分光された波長成分光については回折格子６とマイクロミラーアレイとを光学的に結合させる機能を持つということができる。
具体的には、凸面鏡４で反射された入力光Ｌ２１をコリメート光３１として反射型の回折格子６に向けて反射させるとともに、回折格子６で波長成分が束ねられた光Ｌ３２〜Ｌ３４については出力光Ｌ２２〜Ｌ２４として凸面鏡４に出力する。一方、回折格子６で分光された波長成分光Ｌ４１１〜Ｌ４１３については、それぞれ上述の光Ｌ５１１〜Ｌ５１３としてＭＥＭＳミラー７１〜７３に向けて反射させるとともに、ＭＥＭＳミラー７１〜７３で反射された光Ｌ５２〜Ｌ５４を、波長成分について集光された光Ｌ４２〜Ｌ４４として回折格子６に出力する。
【００３１】
〔Ａ２〕作用効果
上述の構成による、本発明の第１実施形態にかかる光スイッチ１では、入力ポート♯１をなす光ファイバ２１からの波長多重光は、コリメートレンズ３１でコリメートビームＬ１１とされて、凸面鏡４で反射することにより図１に示すようにビーム径が拡大されるとともに、図１，図２に示すように角度が付与された反射光Ｌ２１として伝搬する。
【００３２】
そして、凹面鏡５では入射される光Ｌ２１をコリメートし、回折格子６では凹面鏡５からの光Ｌ３１を反射することにより波長が分離された光ビームＬ４１１〜Ｌ４１３となる。この光ビームＬ４１１〜Ｌ４１３は、再度凹面鏡５で反射・集光されて、波長ごとに異なるＭＥＭＳミラー７１〜７３に向かう。各ＭＥＭＳミラー７１〜７３で反射した光は同様の経路を逆向きに辿り、回折格子６で合波されて、ＭＥＭＳミラー７１〜７３で設定される反射角度に応じた出力ファイバ２２〜２４へ向かう。
【００３３】
すなわち、ＭＥＭＳミラー７１〜７３の角度を個別に制御することで、各波長の光は、個別に選択された出力ファイバ２２〜２４に向けることができるため、波長選択動作が実現する。
ところで、入出力ポート♯１〜♯４をなす光ファイバアレイ２およびコリメートレンズアレイ３は、凹面鏡５の焦点距離となる位置に配置する必要があるが、この入出力ポート♯１〜♯４を凸面鏡４を介装せずに凹面鏡５に光学的な結合をさせるようにすると、ＭＥＭＳミラーアレイ７の配置位置と干渉が生じることになる。ＭＥＭＳミラーアレイ７は、実際には図１に示すようにＭＥＭＳミラー７１〜７３の傾斜角度を制御するための電気回路部(制御部９）を含めてパッケージングされたＭＥＭＳミラーパッケージ７Ａとして配置されることになるので、入出力ポート♯１〜♯４の配置位置をＭＥＭＳミラーパッケージ７Ａと干渉させないようにすることが重要度を増す。
【００３４】
第１実施形態の光スイッチ１においては、第１反射部材としての凸面鏡４での反射を介装させることによって、入出力ポート♯１〜♯４および凹面鏡５を光学的に結合させているので、入出力ポート♯１〜♯４の配置位置に自由度を持たせ、図１３に示す光スイッチよりもコンパクトな光スイッチを確実に構成することができる。
また、凸面鏡４は、位置・角度変換、即ち、光ファイバ２１〜２４に対して平行な光軸［図３（ｂ），図３（ｃ）のＬ１１〜Ｌ１４参照］と、それぞれ角度の異なる光軸（同図のＬ２１〜Ｌ２４参照）に変換することが可能となる。その結果、ＭＥＭＳミラー７１〜７３の角度調節のみによって光軸を切り替えることが可能となり、図１７に示すものに比べて、出力方路切り替えのための機構（符号２３０参照）を大幅にコンパクト化させることができ、全体として装置規模の縮小化を図ることができるようになる。
【００３５】
このように、本発明の第１実施形態によれば、第１反射部材としての凸面鏡４により、出力方路切り替えのための構成を複雑化させることなく、装置規模を大幅に縮小させることができる利点がある。
〔Ｂ〕第２実施形態の説明
図４は本発明の第２実施形態にかかる光スイッチ１Ａを示す模式的上視図である。この図４に示す光スイッチ１Ａは、回折格子部としての構成が前述の第１実施形態における光スイッチ１と異なっているが、これ以外の構成については基本的に同様である。尚、図４中、図１と同一の符号は、ほぼ同様の部分を示すものであり、図中一点鎖線で囲ったＢ２部分は、同様に一点鎖線で囲ったＢ１部分（光ファイバアレイ２，コリメートレンズアレイ３および凸面鏡４）をＡ矢視方向から図示したものであり、前述の図２に相当するものである。
【００３６】
ここで、回折格子部６Ａは、透過型の回折格子６１をそなえるとともに、反射鏡６２をそなえて構成されている。反射鏡６２は、透過型回折格子６１を透過した光を反射させて当該透過型回折格子６１に戻す第３反射部材であり、凹面鏡５との間の光路長は、凹面鏡５の焦点距離にほぼ位置するように配置される。
前述の第１実施形態における光スイッチ１においては、反射型の回折格子６およびＭＥＭＳミラー７１〜７３を、いずれも凹面鏡５のほぼ焦点距離に相当する位置に配置する必要があるが、回折格子６とＭＥＭＳミラーパッケージ７Ａとの配置位置の干渉が生じることも考えられる。
【００３７】
第２実施形態のように、回折格子部６Ａとして透過型回折格子６１および反射鏡６２をそなえることにより、回折格子６１の部分で光路を内側に折り曲げるとともに、反射鏡６２を、凸面鏡４その他光スイッチ１Ａをなす光学的結合状態に支障が生じない位置に配置されて、光スイッチ１Ａ全体としてのサイズの縮小化を進めている。即ち、回折格子６１をＭＥＭＳミラーパッケージ７Ａにぶつからずに配置できるようになり、全体光学系として、さらなる小型化が可能となる。
【００３８】
また、さらに、凹面鏡５からの波長多重光について分光された光を凹面鏡５に戻す際に、回折格子６１を往復で２回通過させることになるため、分光した光がさらに分光され、波長分散角度も大きくなるので、回折格子６１から凹面鏡５までの距離をも短くすることが可能となり、この点からもさらなる小型化が可能である。
このように、本発明の第２実施形態によれば、前述の第１実施形態の場合と同様、第１反射部材としての凸面鏡４により、出力方路切り替えのための構成を複雑化させることなく、装置規模を大幅に縮小させることができる利点があるほか、回折格子部６Ａとしての透過型回折格子６１および反射鏡６２により、光スイッチ１Ａ全体としてのサイズを更に縮小化させることができる利点がある。
【００３９】
〔Ｃ〕第３実施形態の説明
図５は本発明の第３実施形態にかかる光スイッチ１Ｂを示す模式的上視図である。この図５に示す光スイッチ１Ｂは、前述の図４に示す光スイッチ１Ａに比して、回折格子部６Ｂをなす反射鏡６２Ｂの構成が対応構成要素である図４の反射鏡６２と異なるとともに、コリメートレンズアレイ３と凸面鏡４との間に、入力光のビーム径を拡げる光素子８が介装されている点が異なっている。尚、その他の構成については前述の第２実施形態の場合とほぼ同様であり、図５中、図４と同一の符号はほぼ同様の部分を示している。
【００４０】
ここで、光素子８としては、回折格子部６Ｂにおいて入力光である波長多重光が分光される方向にビーム径が拡がるように、ビーム形状をガウシアンビームの形状から楕円化するものである。光素子８は、図５に例示するように、一対のアナモルフィックプリズム８１，８２からなるアナモルフィックプリズムペアにより構成することができるほか、シリンドリカルレンズを用いても構成することができる。
【００４１】
すなわち、ＭＥＭＳミラー７１〜７３に入射される光のビーム径を、ＭＥＭＳ７１〜７３の配列方向について小さくすることで、光スイッチ１Ｂとしての通過する波長範囲の拡大、信号チャネル波長数の増加、チャネル波長間隔の狭隙化を図ることができる。光素子８は、凹面鏡５で集光させる前段階の光である、コリメートレンズアレイ３から凸面鏡４への光のビーム径を大きくしているので、ＭＥＭＳミラー７１〜７３に入射される際の光のビーム径を上述のごとくＭＥＭＳ７１〜７３の配列方向について小さくさせることができる。
【００４２】
一方、光ファイバ２１〜２４が配列した方向にはビーム径は拡大させないようにすることで、ポート間クロストークの発生を抑制させることができる。このように、光素子８においては、回折格子部６Ｂにおいて回折する方向（又はＭＥＭＳミラー７１〜７３の配列方向）にのみビーム径を拡大させることが望ましい。
また、反射鏡６２Ｂは、この図５に示すように、λ／４波長板６３の裏面に例えば誘電体多層膜等の反射体６４がコーティングされてなるものであって、入射光に対して反射光の偏光成分を９０度程度回転させる。これにより、回折格子６１が有する回折効率の偏光依存性を低減させることができるようになっている。
【００４３】
すなわち、回折格子６１は一般に偏光依存性を持ち、縦偏光と横偏光とで回折効率が異なるため、光スイッチ１Ｂに入力してくる光の偏光状態により、損失が異なる。第３実施形態における光スイッチ１Ｂでは、回折格子６１で分光・合波を行なうが、回折格子６１と（平面反射鏡である）反射体６４との間にλ／４板６３を配置することで、回折格子６１を一度目に通過する際（凹面鏡５から反射体６４の方向へ透過する際）の偏光状態と、二度目に通過する際（反射体６４から凹面鏡５へ透過する際）の偏光状態を縦横回転させることが可能となるため、偏光状態に応じた損失特性を均一化させ、光スイッチ１Ｂとしての偏光依存損失（ＰＤＬ：Polarization Dependent Loss）について低減させることが可能となる。
【００４４】
このように、本発明の第３実施形態にかかる光スイッチ１Ｂによれば、前述の第２実施形態の場合と同様の利点があるほか、光素子８により、波長多重光が分光される方向に入力光のビーム径を拡げているので、ＭＥＭＳミラー７１〜７３に入射される光のビーム径を、ＭＥＭＳ７１〜７３の配列方向について小さくさせることができ、光スイッチ１Ｂとしての通過する波長範囲の拡大、信号チャネル波長数の増加、チャネル波長間隔の狭隙化を図ることができる。
【００４５】
また、λ／４波長板６３の裏面に形成された反射体６４からなる反射鏡６２Ｂにより、偏光状態に応じた損失特性を均一化させ、光スイッチ１Ｂとしての偏光依存損失（ＰＤＬ：Polarization Dependent Loss）について低減させることができる利点がある。
なお、上述の第１，第２実施形態における光スイッチ１，１Ａにおいても、例えば図６に示すように、ＭＥＭＳミラー７１〜７３および凹面鏡５の間の光路上において、例えばＭＥＭＳミラー７１〜７３における反射面の直前位置に、λ／４波長板９１を介装させることとすれば、前述のλ／４波長板６３の場合と同様に、回折格子６１を一度目に通過する際（ＭＥＭＳミラー７１〜７３に向けた波長ごとの光が回折格子６，６１から出力される際）の偏光状態と、二度目に通過する際（ＭＥＭＳミラー７１〜７３で反射された波長ごとの光が回折格子６，６１で合波される際）の偏光状態を縦横回転させることが可能となるため、偏光状態に応じた損失特性を均一化させ、光スイッチ１Ｂとしての偏光依存損失（ＰＤＬ：Polarization Dependent Loss）について低減させることが可能となる。
【００４６】
〔Ｄ〕各実施形態の変形例の説明
上述の各実施形態にかかる光スイッチ１，１Ａ，１Ｂにおいては、凹面鏡５としては、図７に示すような、光学ガラス５３の表面に反射膜５４を蒸着した表面反射型凹面鏡５１を用いているが、図８に示すような、光学透過部材である光学ガラス５３の裏面に反射膜５４を蒸着した裏面反射型凹面鏡５２により構成することもできる。凹面鏡５を図８に示すような裏面反射型凹面鏡５２で構成することによって、屈折角θ２を図６の場合（θ１）よりも小さくすることができるので、反射面における光軸の偏芯量が減少し、発生する収差を低減することが可能となる。
【００４７】
同様に、凸面鏡４としては、図９に示すように、光学透過部材である光学ガラス４３の表面（コリメートレンズ３１からの入力光が入射される側の面）に反射膜４４を形成した表面鏡４１により構成することができるほか、図１０に示すように、表面を凹面とし裏面を平面としたガラス部材４３ａの裏面に反射膜４４ａを形成した光学部材４Ａにより構成することとしてもよい。
【００４８】
さらに、凹面鏡５が凸面鏡４，回折格子６（６１）およびＭＥＭＳミラー７１〜７３と対向する面の形状としては、例えば、球面、放物面、非球面、自由曲面など、いずれの場合も可能である。
また、上述の各実施形態にかかる光スイッチ１，１Ａ，１Ｂにおいては、この凹面鏡５で反射された光Ｌ５１１〜Ｌ５１３が集光する位置は、いわゆる像面湾曲のため、厳密には光軸と垂直にはならない。図１１は、凹面鏡５がＭＥＭＳミラー７１〜７３と対向する面を球面とした場合における像面湾曲ＩＰについて例示している。このような像面湾曲は、光スイッチ１，１Ａ，１Ｂとしての通過帯域の中心波長ずれの原因となる。
【００４９】
このような通過帯域の中心波長ずれを低減させるには、像面湾曲の傾きにあわせて、ＭＥＭＳミラーパッケージ７Ａを傾けて配置して、各光Ｌ５１１〜Ｌ５１３が集光する位置でＭＥＭＳミラー７１〜７３の反射面を配置することができる。あるいは、例えば図１２に示すように、凹面鏡５でＭＥＭＳミラー７１〜７３側に向けて反射される波長成分光についての像面湾曲を補正する光学部材としての光学ガラス９２を、凹面鏡５とＭＥＭＳミラー７１〜７３との間の光路上に介装することとしてもよい。
【００５０】
この光学ガラス９２は、光路長を補正するための曲面あるいは曲線を直線で近似したクサビ形状を有するもので、この光学ガラス９２を例えばＭＥＭＳミラー７１〜７３の反射面の直前に配置することで、光路長のずれを低減することが可能となる。
すなわち、光学ガラス９２の厚みをd、屈折率をnとすると、光学的距離はndとなることから、光学ガラス９２を、各光Ｌ５１１〜Ｌ５１３が通過する位置に応じて補正すべき光学的距離に対応した厚みを持たせ、これを例えばＭＥＭＳミラー７１〜７３の反射面の直前に配置することで、像面湾曲を低減させることができる（図１２の像面ＩＰ′参照）。従って、この光路長のずれを低減させ、光スイッチ１，１Ａ，１Ｂとしての通過帯域の中心波長ずれを低減させることができる。
【００５１】
また、ＭＥＭＳミラー７１〜７３は、波長間隔に合わせて配置する必要があるが、回折格子６，６１自体の分散角の非線形性や、凹面鏡５の形状によって、波長ごとの集光位置は異なるため、集光位置にあわせてＭＥＭＳミラー７１〜７３のピッチを決めることで、通過帯域の中心波長ずれを低減することが可能となる。
〔Ｅ〕その他
上述した実施形態にかかわらず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々変形して実施することは可能である。
【００５２】
たとえば、上述の第３実施形態における光素子８は、上述の第１，第２実施形態における光スイッチ１，１Ａ又は図７，図９に示す各変形例に適宜組み合わせて実施することが可能である。
さらに、（入力ポート数）×（出力ポート数）の構成については、１×３の構成に限定されるものではなく、１×ＮあるいはＮ×１の構成とすることも可能である。更に、光ファイバアレイ２およびコリメートアレイ３をマトリクス状に配列するとともに、対応してＭＥＭＳミラーアレイ７をなすＭＥＭＳミラーについてもマトリクス状に配列することで、Ｎ×Ｍ（Ｎ，Ｍは任意の自然数）の構成とすることも可能である。
【００５３】
また、上述した実施形態の開示により、本発明の装置について製造することは可能である。
〔Ｆ〕付記
（付記１）
並列に配置された複数の入出力ポートと、第１，第２反射部材と、回折により入射光波長成分に対する出射光の出射角度を定義する回折格子部と、マイクロミラーアレイと、をそなえ、
該第１反射部材は、該入出力ポートと該第２反射部材との間を光学的に結合させ、
該第２反射部材は、反射面が該第１反射部材，該回折格子部および該マイクロミラーアレイに対向するように配置され、該入出力ポートからの入力光および該入出力ポートへの出力光について該第１反射部材と該回折格子部とを光学的に結合させるとともに、波長成分に分光された波長成分光については該回折格子部とマイクロミラーアレイとを光学的に結合させ、
該回折格子部は、該入出力ポートからの入力光を該第１および第２反射部材を介して入射されると、該波長成分光を該出射光として出力し、
該マイクロミラーアレイは、該回折格子部からの波長成分光のそれぞれについて反射するとともに、当該反射の方向を出力先となる入出力ポートの配置に対応して切り替え可能なマイクロミラーをそなえ、
該回折格子部は更に、該マイクロミラーアレイで切り替えられた波長成分光の反射の方向をもとに、該出力光を、出力先となる入出力ポートの配置に対応して該出射光として出力する一方、
該第２反射部材を介して該回折格子部と光学的に結合されている該第１反射部および該マイクロミラーアレイが、該回折格子部に対して同じ側に配置されていることを特徴とする光スイッチ。
【００５４】
（付記２）
該第２反射部材が凹面鏡により構成されるとともに、該マイクロミラーアレイおよび該回折格子部が、該凹面鏡の実質的な焦点位置となるように配置されていることを特徴とする付記１記載の光スイッチ。
（付記３）
該第１反射部材が凸面鏡により構成されるとともに、該凸面鏡が、該マイクロミラーアレイと同一平面上に仮想焦点位置を持つように配置されていることを特徴とする付記２記載の光スイッチ。
【００５５】
（付記４）
該凹面鏡が、光学透過部材の裏面に反射手段を形成した裏面鏡であることを特徴とする付記２記載の光スイッチ。
（付記５）
該凸面鏡が、光学透過部材の裏面に反射手段を形成した裏面鏡であることを特徴とする付記３記載の光スイッチ。
【００５６】
（付記６）
該入出力ポートからの入力光が該第１反射部材に入力される前段において、該入力光のビーム径を拡げる光素子が介装されたことを特徴とする、付記１〜５のいずれか１項記載の光スイッチ。
（付記７）
該複数の入出力ポートは、並列配置された複数の光ファイバと、各光ファイバと該第１反射部材との間を光学的に結合させるレンズ部と、からなることを特徴とする、付記１〜６のいずれか１項記載の光スイッチ。
【００５７】
（付記８）
該回折格子部は、反射型回折格子からなることを特徴とする付記１〜７のいずれか１項記載の光スイッチ。
（付記９）
該回折格子部は、透過型回折格子と、該透過型回折格子を透過した光を反射させて当該透過型回折格子に戻す第３反射部材と、からなることを特徴とする付記１〜７のいずれか１項記載の光スイッチ。
【００５８】
（付記１０）
該第３反射部材が、λ／４波長板の裏面に反射体が形成されてなることを特徴とする、付記９記載の光スイッチ。
（付記１１）
該波長成分光についての該マイクロミラーアレイと該回折格子部との間の光路上に、λ／４波長板が介装されたことを特徴とする付記１〜９のいずれか１項記載の光スイッチ。
【００５９】
（付記１２）
該第２反射部材が凹面鏡により構成されるとともに、該第２反射部材で該マイクロミラーアレイ側に向けて反射される波長成分光についての像面湾曲を補正する光学部材が、該第２反射部材と該マイクロミラーアレイとの間の光路上に介装されたことを特徴とする付記１記載の光スイッチ。
【００６０】
（付記１３）
並列に配置された複数の入出力ポートと、第１，第２反射部材と、入射光波長成分に対する出射光の出射角度を定義する回折格子部と、マイクロミラーアレイと、をそなえ、
該第１反射部材は、該入出力ポートからの入力光を該第２反射部材に向けて反射し、
該第２反射部材は、反射面が該第１反射部材，該回折格子部および該マイクロミラーアレイに対向するように配置され、該第１反射部材からの該入力光を該回折格子部に向けて反射し、
該回折格子部は、該第２反射部材からの該入力光を該入射光として入射されると、波長成分ごとに出射角度が異なる波長成分光を該出射光として出力し、
該第２反射部材は更に、該回折格子部からの各波長成分光について該マイクロミラーアレイに向けて反射し、
該マイクロミラーアレイは、該回折格子部からの波長成分光のそれぞれについて反射するとともに、当該反射の方向を出力先となる入出力ポートの配置に対応して切り替え可能なマイクロミラーをそなえ、
該回折格子部は更に、該マイクロミラーアレイからの反射光を第２反射部材を介して入射されて、該マイクロミラーで切り替えられた反射方向に応じて、波長成分を束ねて出射し、
該第２反射部材は更に、該回折格子部で波長成分が束ねられた光を出力光として該第１反射部材に向けて反射し、
該第１反射部材は更に、該第２反射部材からの該出力光を、対応する入出力ポートへ導き、
かつ、該第２反射部材を介して該回折格子部と光学的に結合されている該第１反射部および該マイクロミラーアレイが、該回折格子部に対して同じ側に配置されていることを特徴とする光スイッチ。
【００６１】
（付記１４）
湾曲した反射面を備えた湾曲反射部と、
該反射面に対向する複数の可動ミラーをそなえたユニットと、
前記湾曲反射部と、前記ユニットとの間に設けられ、前記湾曲した反射面に対向した反射面を備えた反射部と、
前記反射部、前記湾曲反射部で順に反射された光について、波長に応じて異なる角度に方向付けして、前記湾曲反射部に与える波長分散ユニットと、
を備え、
前記反射部の前記反射面の側に設けられた複数のポートのうちのいずれかのポートから入力され、該反射部、前記湾曲反射部を介して前記波長分散ユニットに与えられることで波長分散された光の波長成分について、前記いずれかのポートと異なる方向に出力されるように前記可動ミラーアレーユニットのミラーの反射面を制御する制御部を備えた、
ことを特徴とする光スイッチ。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる光スイッチを示す模式的上視図である。
【図２】図１の光スイッチをなすファイバアレイ，コリメートレンズアレイおよび凸面鏡に着目して示す模式的正視図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）はいずれも、光スイッチをなす光学系をレンズ光学系に置き換えた等価光学系を示すものである。
【図４】本発明の第２実施形態にかかる光スイッチを示す模式的上視図である。
【図５】本発明の第３実施形態にかかる光スイッチを示す模式的上視図である。
【図６】本発明の第１，第２実施形態にかかる光スイッチの変形例を示す模式的上視図である。
【図７】本発明の各実施形態における凹面鏡の構成例を示す図である。
【図８】本発明の各実施形態における凹面鏡の構成例を示す図である。
【図９】本発明の各実施形態における凸面鏡の構成例を示す図である。
【図１０】本発明の各実施形態における凸面鏡の構成例を示す図である。
【図１１】像面湾曲について説明するための図である。
【図１２】本発明の各実施形態の変形例を示す図である。
【図１３】従来技術を示す図である。
【図１４】従来技術を示す図である。
【図１５】従来技術を示す図である。
【図１６】従来技術を示す図である。
【図１７】従来技術を示す図である。
【符号の説明】
【００６３】
１，１Ａ，１Ｂ，１０２Ａ    光スイッチ
２    光ファイバアレイ
２１〜２４    光ファイバ
３    コリメートレンズアレイ
３１〜３４    コリメートレンズ
４    凸面鏡（第１反射部材）
４Ａ〜４Ｃ    光学部材（第１反射部材）
４１    表面鏡
４２    裏面鏡
４３    光学ガラス
４３ａ〜４３ｃ    ガラス部材
４４，４４ａ〜４４ｃ    反射膜
５    凹面鏡（第２反射部材）
５１    表面反射型凹面鏡
５２    裏面反射型凹面鏡
５３    光学ガラス
５４    反射膜
６    反射型回折格子（回折格子部）
６Ａ，６Ｂ    回折格子部
６１    透過型回折格子
６２，６２Ｂ    反射鏡（第３反射部材）
６３，９１    λ／４波長板
６４    反射膜
７    ＭＥＭＳミラーアレイ
７Ａ    ＭＥＭＳミラーパッケージ
７１〜７３    ＭＥＭＳミラー
８    光素子
９    制御部
８１，８２    アナモルフィックプリズム
１２０    凹面鏡
１２２    入出力ユニット
１２４    回折格子
１２６    ＭＥＭＳミラーアレイ
１３２，１３２Ａ〜１３２Ｄ    光ファイバ
１３４，１３４Ａ〜１３４Ｄ    コリメートレンズ
１３６    レンズ
２１０    波長ルータ
２１１    ガラス体
２１２，２１５    光ファイバ
２２５    回折格子
２３０，２３０ｅ    逆反射体
２４０    凹面鏡
２６２，２６３    ＭＥＭＳミラーアレイ
２６５，２６６    ＭＥＭＳミラー
２６９    プリズム
【図１】
2006276216.tif 000003
【図２】
2006276216.tif 000004
【図３】
2006276216.tif 000005
【図４】
2006276216.tif 000006
【図５】
2006276216.tif 000007
【図６】
2006276216.tif 000008
【図７】
2006276216.tif 000009
【図８】
2006276216.tif 000010
【図９】
2006276216.tif 000011
【図１０】
2006276216.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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