(57)【要約】 【課題】透明基板上に形成されたパターンの状態を良好に検査する検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１は、ガラス基板Ｇを搬送する搬送手段１０、および、搬送手段１０により搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像するカメラ２１を備えている。搬送手段１０は、回転軸１１と、回転軸１１を中心に回転することによりガラス基板Ｇを搬送する搬送部材１３と、を備えている。搬送部材１３は、回転軸１１の軸方向から見て略円状に形成され、ガラス基板Ｇに当接すると共に回転軸１１の回転に伴ってガラス基板Ｇとの当接位置が回転軸１１の軸方向に変化する外周面を有している。このため、撮像したガラス基板Ｇ上のパターンの状態に搬送部材１３とガラス基板Ｇとの当接部分が写り込み、検査の支障になることを防ぐことができる。【選択図】図１
2006242714.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板を搬送する搬送手段、および、前記搬送手段に対向する位置に配設され前記搬送手段により搬送中の前記透明基板上に形成されたパターンの状態を撮像する撮像手段を備え、前記撮像手段により撮像された前記パターンの状態から前記パターンが所定の状態で前記透明基板上に形成されたか否かを検査する透明基板の検査装置であって、
前記搬送手段は、
軸方向が前記透明基板の搬送方向と略直交する状態で設けられた回転軸と、
前記回転軸に設けられ前記回転軸を中心に回転することにより前記透明基板を搬送する搬送部材と、を備え、
前記搬送部材は、前記回転軸の前記軸方向から見て略円状であり、前記透明基板に当接すると共に前記回転軸の回転に伴って前記透明基板との当接位置が前記回転軸の前記軸方向に変化する外周面を有した
ことを特徴とする透明基板の検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の透明基板の検査装置であって、
前記搬送部材は、略円柱状に形成されてその中心部に前記回転軸が貫通され、前記搬送部材の軸方向における両端面は前記回転軸と直交しない状態に形成され、前記搬送部材の前記外周面における前記透明基板に当接される部位と前記透明基板から最も離れた部位とが前記撮像手段から見て互いに重なり合わない状態に形成される
ことを特徴とする透明基板の検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の透明基板の検査装置であって、
前記搬送部材は、略円柱状体の外周面にその中心軸に沿って螺旋形状の溝が形成された形状に形成されてその中心部に前記回転軸が貫通され、前記搬送部材の前記外周面における前記透明基板に当接される部位と前記透明基板から最も離れた部位とが前記撮像手段から見て互いに重なり合わない状態に形成される
ことを特徴とする透明基板の検査装置。
【請求項４】
請求項１に記載の透明基板の検査装置であって、
前記搬送部材は、前記回転軸に一対で設けられた突出部を備え、
前記突出部は、それぞれ前記回転軸の径方向外側に向かって突出した略扇形状に形成され、それぞれの前記突出部は前記回転軸の軸方向から見て互いに重なり合わない状態で、かつ、前記撮像手段から見て互いに重なり合わない状態に形成され、それぞれの前記突出部の外周端面が前記透明基板に当接する前記外周面となる
ことを特徴とする透明基板の検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載の透明基板の検査装置であって、
前記搬送部材は、前記回転軸が貫通され前記回転軸と略同一の中心軸を有した円柱部材を備え、
前記突出部は、それぞれ前記円柱部材の軸方向両端側に設けられ、前記円柱部材の軸方向両端側が前記円柱部材の径方向外側に向かってフランジ状に突出した略扇形状に形成された
ことを特徴とする透明基板の検査装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の透明基板の検査装置であって、
前記搬送部材は、前記搬送方向および前記軸方向に沿って複数並列して配設された
ことを特徴とする透明基板の検査装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の透明基板の検査装置であって、
前記搬送手段に前記回転軸を回転させる制御をする回転制御手段と、
前記撮像手段に前記透明基板上に形成された前記パターンの状態を撮像させる制御をする撮像制御手段と、
前記撮像手段にて撮像された前記搬送部材の前記外周面における前記当接位置が変化する前の前記パターンの状態、および、前記撮像手段にて撮像された前記搬送部材の前記外周面における前記当接面の位置が変化した後の前記パターンの状態のうち、それぞれ前記当接位置を含まない部分を選択し、選択した前記当接位置を含まない部分から前記当接位置を含まない状態の前記パターンの状態を認識するパターン認識手段と、
前記パターン認識手段にて認識された前記当接位置を含まない状態の前記パターンの状態に基づいて、前記透明基板上に形成された前記パターンが所定の状態で前記透明基板上に形成されたか否かを検査する検査手段と、
を備えたことを特徴とする透明基板の検査装置。
【請求項８】
請求項７に記載の透明基板の検査装置であって、
前記搬送部材の前記回転軸に対する回転位置を検出する位置検出手段にて検出された前記回転位置に基づいて、前記搬送部材の前記外周面における前記当接位置を認識する当接位置認識手段を備え、
前記パターン認識手段は、前記当接位置認識手段にて認識された前記当接位置に基づいて、前記当接位置を含まない状態の前記パターンの状態を認識する
ことを特徴とする透明基板の検査装置。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の透明基板の検査装置であって、
前記撮像手段は、前記回転軸の前記軸方向に沿って複数配設され、それぞれ隣接する前記撮像手段の視野が互いに重なり合う状態に配設された
ことを特徴とする透明基板の検査装置。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の透明基板の検査装置であって、
前記撮像手段は、前記搬送方向に沿って移動可能な状態で配設された
ことを特徴とする透明基板の検査装置。
【請求項１１】
搬送手段に透明基板を搬送させ、前記搬送手段に対向する位置に配設された撮像手段に前記搬送手段にて搬送中の前記透明基板上に形成されたパターンの状態を撮像させ、前記撮像手段にて撮像された前記パターンの状態から前記パターンが所定の状態で前記透明基板上に形成されたか否かを検査する透明基板の検査方法であって、
前記搬送手段は、前記透明基板の搬送方向と略直交する方向に軸方向が略平行する状態で設けられた回転軸と、前記回転軸に設けられ前記回転軸を中心に回転することにより前記透明基板を搬送する搬送部材と、を備え、
前記搬送部材は、前記回転軸の前記軸方向から見て略円状であり、前記透明基板に当接すると共に前記回転軸の回転に伴って前記透明基板との当接位置が前記回転軸の前記軸方向に変化する外周面を有しており、
前記搬送手段に前記回転軸を回転させ、
前記撮像手段に前記透明基板上に形成された前記パターンの状態を撮像させ、
前記撮像手段にて撮像された前記搬送部材の前記外周面における前記当接位置が変化する前の前記パターンの状態、および、前記撮像手段にて撮像された前記搬送部材の前記外周面における前記当接面の位置が変化した後の前記パターンの状態のうち、それぞれ前記当接位置を含まない部分を選択し、選択した前記当接位置を含まない部分から前記当接位置を含まない状態の前記パターンの状態を認識し、
認識した前記当接位置を含まない状態の前記パターンの状態に基づいて、前記透明基板上に形成された前記パターンが所定の状態で前記透明基板上に形成されたか否かを検査する
ことを特徴とする透明基板の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明基板を検査する透明基板の検査装置および透明基板の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば液晶ディスプレイ装置などを製造する際、例えばガラス基板上に設けられた複数のＴＦＴ（Thin Film Transistor）などの液晶部の欠陥検査を行うなどの、ガラス基板上に設けられたパターンの検査工程が設けられている。このようなパターンの検査は、通常、パターンが形成されたガラス基板を複数の搬送コロ上に載置して搬送すると共に、搬送コロと対向する位置からＣＣＤ（Charge Coupled Devices）カメラなどの撮像手段にてガラス基板上のパターンを撮像することにより行われている。ところが、このような検査において、撮像手段は、ガラス基板が透明であるために、ガラス基板を支持する搬送コロのガラス基板との当接部分をパターンと共に撮像してしまう。これにより、撮像手段にて撮像された搬送コロのガラス基板との当接部分が欠陥検査における誤検出の原因となってしまい、良好なパターン検査を行うことができない、などの問題があった。
【０００３】
このような問題に対して、従来、ガラス基板上に設けられた複数のＴＦＴなどの液晶部の欠陥検査を行う搬送検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の搬送検査装置は、矩形状の液晶板形成用の被検査体を、搬送手段である一対の無端の回転フレームを用いた搬送コンベアにより搬送し、光源およびラインＣＣＤを有する検査光学系を用いて被検査体の被検査面を走査することにより、この検査面に設けられているＴＦＴなどの液晶部の欠陥検査を行う。また、搬送検査装置には、被検査体の搬送方向先端縁に設けられている掴み代を位置決め把持する把持および解除機構部を構成する把持体が設けられている。そして、搬入ローラコンベアにより次々とタイミングよく運び込まれる被検査体は、搬送コンベアに受け渡され、このとき、所定のタイミングで把持および解除機構部の把持体により搬送方向中央部位置の掴み代の部分を把持されて位置決めされる構成が採られている。このため、被検査体の端部のみを支持しながら欠陥検査を行うため、検査光学系が液晶部と共に搬送コンベアを捉えることなく被検査体の検査を行うことができる。
【０００４】
また、従来、ガラスなどの薄板材料を非接触状態で搬送しつつ薄板材料の欠陥検査を行う搬送検査装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。この特許文献２に記載の搬送検査装置は、縦型搬送装置と、欠陥検査装置と、を備えている。縦型搬送装置は、薄板材料を静電的に吸引する電極面を備えた電極ベースと、この電極ベースの下方に配置され、電極面で静電的に被接触の状態の薄板材料の下側縁を支持して薄板材料を搬送するベルトコンベアなどの搬送装置と、を備えている。電極ベースは、装置本体に対して鉛直方向に対する傾きθが調整自由に固定されている。また、欠陥検査装置は、撮像装置としてのカメラなどを備えた多数の検査ユニットを備えている。そして、搬送検査装置は、薄板材料を非接触状態で搬送しつつ薄板材料の欠陥検査を行う構成が採られている。このため、搬送検査装置は、薄板材料を非接触状態で搬送するので撮像装置が誤検出することなく薄板材料の検査を行うことができる。
【０００５】
さらに、従来、例えば液晶パネルに用いるガラス基板に対して照射し、ガラス基板からの反射光を特定の入射角で撮像することによりガラス基板の欠陥を検出する欠陥検出装置が知られている（例えば、特許文献３参照）。この特許文献３に記載の欠陥検出装置は、基板搬送装置に設置されている。基板搬送装置は、基板搬送方向に対して直行方向に配置された多数本のローラコンベアが架台に回動自在に支持されて構成されている。そして、ガラス基板を基板搬送装置で搬送しながらガラス基板の欠陥を検出する際には、光源から液晶パネル用ガラス基板の上面に向かって照明光を照射する。また、カメラの視野入射角をブリュースター角に設定し、カメラによりガラス基板における光源の照明光の反射部分を撮像する。そして、カメラからの画像信号が制御盤に出力され、ここで画像処理されて欠陥の有無が検出される構成が採られている。このため、ガラス基板からの反射光を特定の入射角で撮像するので、カメラはガラス基板の表面のみを撮像することができ、誤検出することなくガラス基板の検査を行うことができる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−４２９５８（第３頁右欄−第４頁右欄、図１）
【特許文献２】特開２００４−２５１７２３（第５頁−第６頁、図１）
【特許文献３】特開２００４−２４６１７１（第４頁−第６頁、図１、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ここで、近年、パネルの小型化の要請からＴＦＴなどの液晶部を被検査体の外周縁近傍まで形成することが望まれている。しかしながら、上述した特許文献１のような構成では、被検査体の移動方向における側縁側を一対の無端の回転フレームで支持し、被検査体の移動方向における一端側を把持体により把持した状態で搬送する。このため、搬送検査装置の構成上、被検査体の外周縁近傍までＴＦＴなどの液晶部を形成することが制限されてしまうおそれがある。また、被検査体が搬送されながら検査されている際に、被検査体の中央部が支持されていないことから被検査体の中央部が撓んでしまうおそれがある。このため、被検査体の検査面が歪むことによりカメラの焦点がずれて正しく検査できないおそれがある、などの問題が一例として挙げられる。
【０００８】
また、特許文献２のような構成では、薄板材料を電極ベースで静電的に吸引して傾斜した状態に保持しながら、薄板材料の下側縁を支持して薄板材料を搬送する。このため、薄板材料の支持されていない上側縁が薄板材料の搬送中に振動してしまい、正確に薄板材料の欠陥検査を行うことができないおそれがある、などの問題が一例として挙げられる。
【０００９】
そして、特許文献３のような構成では、ガラス基板表面に凹凸などがある場合、影などの光学的な不具合が発生することにより、カメラで良好な照明光の反射光を撮像することができないおそれがある。このため、ガラス基板の欠陥を良好に検出できないおそれがある。また、カメラの視野入射角をブリュースター角に設定しているため、検査状況に応じて自由にカメラの角度を変更することが制限されてしまうおそれがある、などの問題が一例として挙げられる。
【００１０】
本発明は、上述したような問題点に鑑みて、透明基板を良好に搬送すると共に透明基板を良好に検査する透明基板の検査装置および透明基板の検査方法を提供することを１つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の発明は、透明基板を搬送する搬送手段、および、前記搬送手段に対向する位置に配設され前記搬送手段により搬送中の前記透明基板上に形成されたパターンの状態を撮像する撮像手段を備え、前記撮像手段により撮像された前記パターンの状態から前記パターンが所定の状態で前記透明基板上に形成されたか否かを検査する透明基板の検査装置であって、前記搬送手段は、軸方向が前記透明基板の搬送方向と略直交する状態で設けられた回転軸と、前記回転軸に設けられ前記回転軸を中心に回転することにより前記透明基板を搬送する搬送部材と、を備え、前記搬送部材は、前記回転軸の前記軸方向から見て略円状であり、前記透明基板に当接すると共に前記回転軸の回転に伴って前記透明基板との当接位置が前記回転軸の前記軸方向に変化する外周面を有したことを特徴とする透明基板の検査装置である。
【００１２】
請求項１１に記載の発明は、搬送手段に透明基板を搬送させ、前記搬送手段に対向する位置に配設された撮像手段に前記搬送手段にて搬送中の前記透明基板上に形成されたパターンの状態を撮像させ、前記撮像手段にて撮像された前記パターンの状態から前記パターンが所定の状態で前記透明基板上に形成されたか否かを検査する透明基板の検査方法であって、前記搬送手段は、前記透明基板の搬送方向と略直交する方向に軸方向が略平行する状態で設けられた回転軸と、前記回転軸に設けられ前記回転軸を中心に回転することにより前記透明基板を搬送する搬送部材と、を備え、前記搬送部材は、前記回転軸の前記軸方向から見て略円状であり、前記透明基板に当接すると共に前記回転軸の回転に伴って前記透明基板との当接位置が前記回転軸の前記軸方向に変化する外周面を有しており、前記搬送手段に前記回転軸を回転させ、前記撮像手段に前記透明基板上に形成された前記パターンの状態を撮像させ、前記撮像手段にて撮像された前記搬送部材の前記外周面における前記当接位置が変化する前の前記パターンの状態、および、前記撮像手段にて撮像された前記搬送部材の前記外周面における前記当接面の位置が変化した後の前記パターンの状態のうち、それぞれ前記当接位置を含まない部分を選択し、選択した前記当接位置を含まない部分から前記当接位置を含まない状態の前記パターンの状態を認識し、認識した前記当接位置を含まない状態の前記パターンの状態に基づいて、前記透明基板上に形成された前記パターンが所定の状態で前記透明基板上に形成されたか否かを検査することを特徴とする透明基板の検査方法である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明の一実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施の形態の検査装置により検査される透明基板としては、例えばプラズマディスプレイパネルなどのディスプレイパネルを製造するための略長尺矩形状のガラス基板を例示するが、これに限らない。すなわち、例えば、透明基板としては、ディスプレイパネル以外の製品を製造する際に用いられる透明な樹脂基板や透明なセラミックス基板なども例示でき、さらには、透明基板の形状も略長尺矩形状に限らずいずれの形状でもよい。また、本実施の形態における検査装置により検査されるガラス基板上に形成されたパターンとしては、例えば、プラズマディスプレイパネルを製造するためのガラス基板上に設けられた複数の電極パターン、隔壁パターン、蛍光体層パターン、あるいは、液晶ディスプレイパネルを製造するためのガラス基板上に設けられた複数の電極パターン、複数のＴＦＴなどの液晶部などが挙げられるが、これに限らず透明基板に形成されたいずれのパターンでもよい。そして、本実施の形態における検査装置は、ガラス基板上に形成されたパターンを検査するのみならず、例えば、ガラス基板におけるパターンが形成された面の反対側の面、ガラス基板内部に設けられたパターン、ガラス基板内部の欠陥、ガラス基板上に一様に設けられた層の表面状態、ガラス基板の表面状態、などを検査する場合にも適用できる。
【００１４】
〔第１の実施の形態〕
まず、本発明における第１の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態に係る検査装置を示す概略構成図である。図２は、搬送手段の要部を示し、（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は側面図である。図３は、検査装置の動作を説明するための図であり、（Ａ）は搬送部材に載置されたガラス基板を搬送方向から見た場合の側面図であり、（Ｂ）はガラス基板の平面図である。なお、図面は説明の便宜のために簡略化して表示しており、例えば回転軸、搬送部材およびカメラの数は実際の製品よりも大幅に省略して示してある。
【００１５】
（検査装置の構成）
図１において、１は検査装置であり、この検査装置１は、略長尺矩形状のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンが所定の状態で形成されたか否かを検査する。そして、検査装置１は、搬送手段１０と、撮像照明手段２０と、制御部３０と、を備えている。
【００１６】
搬送手段１０は、ガラス基板Ｇを水平面上の所定の方向に搬送する。なお、ガラス基板Ｇは、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンが上向きの状態で搬送手段１０にて搬送される。そして、搬送手段１０は、複数の回転軸１１と、回転軸支持部１２と、複数の搬送部材１３と、回転軸駆動部１４と、位置検出部１５と、図示しない位置決め部と、などを備えている。なお、この搬送手段１０における搬送方向の前方にはガラス基板Ｇを搬送手段１０に搬入する図示しない搬入部が設けられ、搬送手段１０における搬送方向の後方にはガラス基板Ｇを搬送手段１０から搬出する図示しない搬出部が設けられている。
【００１７】
回転軸１１は、例えば金属やセラミックなどの材料により略丸棒状に形成されている。この回転軸１１は、水平面においてその軸方向がガラス基板Ｇの搬送方向と略直交する状態に設けられている。そして、回転軸１１は、搬送方向に並列する状態で所定の間隔で複数設けられ、複数の回転軸１１の上部にはガラス基板Ｇが搬送される略長尺矩形状の搬送領域Ｈが形成されている。また、それぞれの回転軸１１の軸方向一端側には、後述する駆動ベルト１４Ａが架け回される略円柱状のベルト架回部１１Ａが設けられている。
【００１８】
回転軸支持部１２は、複数の回転軸１１を支持する。この回転軸支持部１２は、図示しない支持部材と、架橋部材１２Ａと、を備えている。支持部材は、例えば、鉛直方向に沿って形成された複数の柱材などである。そして、これら支持部材は、例えば搬送領域Ｈの４隅の下側にそれぞれ設けられ、それぞれの一端側が図示しない地面などに固定されている。架橋部材１２Ａは、搬送方向に沿って延びた例えば略長尺矩形状の一対の板状体であり、搬送領域Ｈの長尺方向両側縁に略沿う状態で設けられている。これら架橋部材１２Ａは、それぞれの面が鉛直方向に略平行する状態に設けられ、支持部材の他端側に固定されている。また、架橋部材１２Ａの長尺方向と直交する方向の略中間位置には、架橋部材１２Ａの長尺方向に沿って、回転軸１１の軸方向両端側をそれぞれ回転可能な状態に軸支する図示しない複数の軸受が設けられている。そして、一対の架橋部材１２Ａのうち一方側の軸受には、ベルト架回部１１Ａが一対の架橋部材１２Ａにより挟まれた空間の外側に位置する状態で回転軸１１がそれぞれ貫通されている。また、一対の架橋部材１２Ａのうち他方における軸受は、回転軸１１におけるベルト架回部１１Ａが設けられていない軸方向他端側を内包する状態で軸支する。なお、これら架橋部材１２Ａは、ガラス基板Ｇを所定の搬送方向に搬送させるためのガイドとしても機能する。すなわち、ガラス基板Ｇは、一対の架橋部材１２の内側側面にガラス基板Ｇの長尺方向両側縁が略沿う状態で搬送される。
【００１９】
搬送部材１３は、例えば金属やセラミックなどの材料により略円柱状に形成され、ガラス基板Ｇと当接する外周面１３Ａは耐磨耗性に優れかつ低反射率の材料で覆われている。この搬送部材１３は、図２に示すように、その中心部に回転軸１１が貫通された状態で回転軸１１に固定され、搬送部材１３の軸方向両端面１３Ｂは回転軸１１に対して傾斜する状態に形成されている。さらに、搬送部材１３は、搬送部材１３の外周面１３Ａにおけるガラス基板Ｇに当接される部位と、透明基板から最も離れた部位とが、後述するカメラ２１から見て互いに重なり合わない状態に形成されている。
【００２０】
そして、搬送部材１３は、一対の架橋部材１２Ａにて挟まれる空間内において、回転軸１１に対して軸方向に並列する状態で所定の間隔で複数設けられている。また、これら複数の搬送部材１３は、カメラ２１から見てそれぞれ互いに重なり合わない状態に配設されている。これにより、それぞれの搬送部材１３は、一対の架橋部材１２Ａにて挟まれた領域において、搬送方向と回転軸１１の軸方向に沿って所定の間隔で区分した略碁盤目状の領域のそれぞれに配設された状態となっている。
【００２１】
また、搬送部材１３は、回転軸１１が回転することによりガラス基板Ｇを搬送方向に搬送し、それぞれの外周面１３Ａのうちガラス基板Ｇが当接される当接位置が回転軸１１の軸方向に変化する。すなわち、回転軸１１を中心に１８０度回転した場合と３６０度回転した場合とでは、それぞれの外周面１３Ａにおけるガラス基板Ｇとの当接位置は、カメラ２１から見て互いに重なり合わずに回転軸１１の軸方向に平行に隣接する状態に変化する。
【００２２】
回転軸駆動部１４は、回転軸１１を回転させる。この回転軸駆動部１４は、図示しない駆動モータと、駆動ベルト１４Ａと、回転ローラ１４Ｂと、などを備えている。駆動モータは、制御部３０と各種信号が送受信可能な状態で接続されており、制御部３０の制御により図示しないモータ軸を駆動させる。モータ軸は、その軸方向が回転軸１１の軸方向と略平行するように配設されている。駆動ベルト１４Ａは、例えばゴムなどの材料で、所定の幅を有した無端の帯状に形成されている。この駆動ベルト１４Ａは、各回転軸１１のベルト架回部１１Ａおよび駆動モータのモータ軸に架け回されており、駆動モータの動力を各回転軸１１に伝達する。回転ローラ１４Ｂは、駆動ベルト１４Ａを複数のベルト架回部１１Ａに張り伸ばす状態に押し付け、駆動モータの動力をそれぞれの回転軸１１に対して、回転位置のズレが発生しないように確実に伝達させる。これにより、駆動モータによりモータ軸が回転されると駆動ベルト１４Ａが駆動し、この駆動ベルト１４Ａの駆動により各回転軸１１が所定の方向に回転して、搬送部材１３上に載置されたガラス基板Ｇが搬送される。
【００２３】
位置検出部１５は、搬送部材１３の回転軸１１に対する回転位置を検出する。この位置検出部１５は、円盤部１５Ａと、回転位置センサ１５Ｂと、などを備えている。円盤部１５Ａは、略円盤状の部材であり、この円盤部１５Ａの中心部には、搬送領域Ｈの搬入部側に対応する回転軸１１の軸方向両端側のうち、ベルト架回部１１Ａが設けられた一端側が貫通した状態で設けられる。そして、円盤部１５Ａの一端面周縁側には、例えばドグなどの第１のマーク１５Ａ１が設けられている。また、この円盤部１５Ａの一端面周縁側には、この第１のマーク１５Ａ１が設けられた位置から円盤部１５Ａの円周方向に１８０度回転させた位置に、例えばドグなどの第２のマーク１５Ａ２が設けられている。
【００２４】
回転位置センサ１５Ｂは、例えば光センサなどであり、円盤部１５Ａに設けられた第１のマーク１５Ａ１および第２のマーク１５Ａ２の位置を検出する。この回転位置センサ１５Ｂは、円盤部１５Ａの一端面周縁側における鉛直方向上部と対向する位置に設けられる。そして、回転位置センサ１５Ｂは、制御部３０と各種情報が送受信可能な状態で接続されており、検出した第１のマーク１５Ａ１および第２のマーク１５Ａ２の位置情報を制御部３０に適宜送信する。すなわち、回転軸１１が回転することにより、第１のマーク１５Ａ１が円盤部１５Ａの一端面周縁側における鉛直方向上部に位置した際、第１のマーク１５Ａ１の位置情報を制御部３０に適宜送信する。また、回転軸１１が回転することにより、第２のマーク１５Ａ２が円盤部１５Ａの一端面周縁側における鉛直方向上部に位置した際、第２のマーク１５Ａ２の位置情報を制御部３０に適宜送信する。
【００２５】
位置決め部は、例えば搬送領域Ｈの搬入部側に設けられており、ガラス基板Ｇを所定の検査開始位置に設置する。そして、この位置決め部は、制御部３０と各種情報が送受信可能な状態に接続されており、制御部３０の制御によりガラス基板Ｇを所定の検査開始位置に設置する。なお、この位置決め部は、例えば搬送領域Ｈの搬出部側に設けられる構成としても構わない。
【００２６】
撮像照明手段２０は、搬送手段１０により搬送中のガラス基板Ｇ上に撮影光を照射すると共にガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像する。この撮像照明手段２０は、撮像手段としての複数のカメラ２１と、図示しない照明手段と、を備えている。カメラ２１は、例えばＣＣＤカメラなどであり、搬送領域Ｈの搬入部側における各搬送部材１３と対向する位置に複数配設されている。また、これらカメラ２１は、それぞれの撮像方向が鉛直方向と略平行する状態に固定されており、それぞれ隣接するカメラ２１同士の視野が互いに重なり合う状態に配設されている。そして、各カメラ２１は、制御部３０と各種情報が送受信可能な状態で接続されており、制御部３０の制御により搬送手段１０で搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態をそれぞれ撮像する。また、各カメラ２１には、図示しないオートフォーカス手段が内臓されており、制御部３０の制御によりガラス基板Ｇ上に設けられたパターンの所望の撮像位置に焦点を合わせる。なお、各カメラ２１の搬送方向における視野幅は、搬送部材１３を回転軸１１を中心として１回転した際のガラス基板Ｇが搬送方向へ移動する距離以上に設定されている。
【００２７】
照明手段は、カメラ２１の近傍でかつガラス基板Ｇと対向する位置に設けられている。そして、この照明手段は、制御部３０と各種情報が送受信可能な状態に接続されており、制御部３０の制御によりカメラ２１にてガラス基板Ｇ上のパターンを撮像する際に、ガラス基板Ｇ上に撮影光を適宜照射する。なお、照明手段は、この照明手段による撮影光のガラス基板Ｇに対する入射角が任意の角度となるよう、照明手段の向きを適宜調整可能な状態に設けられている。
【００２８】
制御部３０は、図示しない各種入出力ポート、例えば駆動モータが接続されるモータポート、回転位置センサ１５Ｂが接続される回転位置センサポート、位置決め部が接続される位置決め部ポート、カメラ２１が接続されるカメラポート、照明手段が接続される照明ポートなどを有する。そして、制御部３０は、各種プログラムとして、図示しない、当接位置認識手段と、回転制御手段と、撮像制御手段と、パターン認識手段と、検査手段と、を備えている。
【００２９】
当接位置認識手段は、位置検出部１５にて検出された搬送部材１３の回転位置に基づいて、搬送部材１３の外周面１３Ａにおける当接位置を認識する。具体的には、当接位置認識手段は、回転位置センサ１５Ｂから第１のマーク１５Ａ１の位置情報を受信すると、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第１の状態にあることを認識する。すなわち、第１のマーク１５Ａ１が円盤部１５Ａの一端面周縁側における鉛直方向上部に位置していることを認識する。また、当接位置認識手段は、回転位置センサ１５Ｂから第２のマーク１５Ａ２の位置情報を受信すると、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第２の状態にあることを認識する。すなわち、第２のマーク１５Ａ２が円盤部１５Ａの一端面周縁側における鉛直方向上部に位置していることを認識する。
【００３０】
回転制御手段は、搬送手段１０における駆動モータに回転軸１１を回転させる制御をする。具体的には、回転制御手段は、搬入部から搬送手段１０にガラス基板Ｇが搬入されたことを認識すると、駆動モータを回転させると共に位置決め部の動作を制御し、ガラス基板Ｇを所定の検査開始位置に設置する。そして、ガラス基板Ｇを検査開始位置に留めた状態で駆動モータを回転させ、当接位置認識手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第１の状態にあることを認識されたところで駆動モータの回転を停止させる。そして、各カメラ２１にて検査開始位置におけるガラス基板Ｇ上のパターンの状態が撮像されると、駆動モータを回転させて搬送部材１３を回転軸１１を中心として１回転させる。さらに、各カメラ２１にて検査開始位置から搬送部材１３が１回転した位置におけるガラス基板Ｇ上のパターンの状態が撮像されると、駆動モータを回転させて搬送部材１３を回転軸１１を中心として１回転させる。この動作を続けて第１の状態におけるガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態について撮像が終了したことを認識すると、駆動モータを逆回転させてガラス基板Ｇを搬送方向の逆方向に移動させ、ガラス基板Ｇを検査開始位置に戻す。
【００３１】
そして、回転制御手段は、ガラス基板Ｇを検査開始位置に戻すと、ガラス基板Ｇを検査開始位置に留めた状態で駆動モータを回転させ、当接位置認識手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第２の状態にあることを認識されたところで駆動モータの回転を停止させる。そして、各カメラ２１にて検査開始位置におけるガラス基板Ｇ上のパターンの状態が撮像されると、駆動モータを回転させて搬送部材１３を回転軸１１を中心として１回転させる。さらに、各カメラ２１にて検査開始位置から搬送部材１３が１回転した位置におけるガラス基板Ｇ上のパターンの状態が撮像されると、駆動モータを回転させて搬送部材１３を回転軸１１を中心として１回転させる。この動作を続けて第２の状態におけるガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態について撮像が終了したことを認識すると、駆動モータを回転させてガラス基板Ｇを搬送方向に移動させ、ガラス基板Ｇを搬出部へ搬送する。
【００３２】
撮像制御手段は、撮像照明手段２０にガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像させる制御をする。具体的には、撮像制御手段は、回転制御手段にてガラス基板Ｇが検査開始位置に設置され、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を第１の状態または第２の状態となるよう調整されると、カメラ２１に内蔵されたオートフォーカス手段にガラス基板Ｇ上に設けられたパターンの所望の撮像位置に焦点を調整させる。焦点を合わせたところで、照明手段にて撮影光をガラス基板Ｇ上に照射させると共に、各カメラ２１に検査開始位置におけるガラス基板Ｇ上のパターンの状態を撮像させる。そして、撮像制御手段は、回転制御手段にて検査開始位置から搬送部材１３が１回転されると、同様にして検査開始位置から搬送部材１３が１回転した位置におけるガラス基板Ｇ上のパターンの状態を各カメラ２１に撮像させる。この動作を続け、第１の状態および第２の状態におけるガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態について各カメラ２１に撮像させる。
【００３３】
パターン認識手段は、第１の有効画像データを認識する。具体的には、パターン認識手段は、回転制御手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第１の状態に調整され、撮像制御手段の制御にて各カメラ２１がガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態を撮像すると、これを受信する。そして、図３（Ｂ）に示すように、第１の状態に調整されたガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含む領域、すなわち、市松模様状に区分された領域のうちハッチで示された領域を無効化する。また、第１の状態に調整されたガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含まない領域、すなわち、白地の領域を選択し、これを第１の有効画像データとして認識する。
【００３４】
また、パターン認識手段は、第２の有効画像データを認識する。具体的には、パターン認識手段は、回転制御手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第２の状態に調整され、撮像制御手段の制御にて各カメラ２１がガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態を撮像すると、これを受信する。そして、図３（Ｂ）に示すように、第２の状態に調整されたガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含む領域、すなわち、市松模様状に区分された領域のうち白地の領域を無効化する。また、第２の状態に調整されたガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含まない領域、すなわち、ハッチで示された領域を選択し、これを第２の有効画像データとして認識する。
【００３５】
そして、パターン認識手段は、合成画像データを認識する。具体的には、パターン認識手段は、第２の有効画像データを認識すると、第１の有効画像データと第２の有効画像データとを組み合わせる。そして、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含まない状態のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を認識し、これを合成画像データとして認識する。
【００３６】
検査手段は、パターン認識手段にて認識された合成画像データに基づいて、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンが所定の状態でガラス基板Ｇ上に形成されたか否かを検査する。具体的には、検査手段は、例えば、予め基準データとなるガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの所定の状態を記憶しておき、この基準データとパターン認識手段にて認識された合成画像データとを比較する。そして、比較の結果、搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンが所定の状態となっていることを認識すると、検査に合格した旨を図示しない出力手段に出力させる。また、比較の結果、搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンが所定の状態となっていないことを認識すると、欠陥が検出された旨を出力手段に出力させる。
【００３７】
あるいは、検査手段は、例えば、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンが例えばプラズマディスプレイパネルの電極パターンなどの規則的なパターンである場合は、認識した合成画像データを搬送方向に平行する複数の領域に分割する。すなわち、図３（Ｂ）に示すように、認識した合成画像データをそれぞれ搬送方向に平行するＡ列と、Ｂ列と、Ｃ列と、Ｄ列と、に分割する。そして、Ａ列と、Ｂ列と、Ｃ列と、Ｄ列と、をそれぞれ互いに対比して同じ画像であると認識した場合、均一にパターンが形成されているとして、検査に合格した旨を図示しない出力手段に出力させる。また、異なる画像が認識した場合、欠陥が検出された旨を出力手段に出力させる。なお、検査手段によるこれら搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの検査方法は、上記した２例に限らず、合成画像データに基づいたいずれの構成をも適用できる。
【００３８】
（検査装置１の動作）
次に、検査装置１の動作について、図面に基づいて説明する。図４は、検査装置１の検査処理の動作を示すフローチャートである。
【００３９】
まず、搬入部より搬送手段１０にガラス基板Ｇが搬入されると、回転制御手段は、基板位置を決定する、すなわち、ガラス基板Ｇを所定の検査開始位置に設置する（ステップＳ１０１）。そして、回転制御手段は、搬送部材１３の回転位置を第１の状態に調整する（ステップＳ１０２）。すなわち、ガラス基板Ｇを検査開始位置に留めた状態で駆動モータを回転させ、当接位置認識手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第１の状態にあることを認識されたところで駆動モータの回転を停止させる。この後、制御部３０は、基板全面を撮像する（ステップＳ１０３）。すなわち、回転制御手段の制御による搬送部材１３の回転動作と、撮像制御手段の制御による所定の位置におけるガラス基板Ｇ上のパターンの状態の撮像動作と、を交互に繰り返し、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第１の状態の場合におけるガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態を撮像する。そして、パターン認識手段は、第１の有効画像データを認識する（ステップＳ１０４）。
【００４０】
さらに、パターン認識手段にて第１の有効画像データが認識されると、回転制御手段は、基板位置を再決定する、すなわち、ガラス基板Ｇを検査開始位置に戻す（ステップＳ１０５）。そして、回転制御手段は、搬送部材１３の回転位置を第２の状態に調整する（ステップＳ１０６）。すなわち、ガラス基板Ｇを検査開始位置に留めた状態で駆動モータを回転させ、当接位置認識手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第２の状態にあることを認識されたところで駆動モータの回転を停止させる。この後、制御部３０は、基板全面を撮像する（ステップＳ１０７）。すなわち、回転制御手段の制御による搬送部材１３の回転動作と、撮像制御手段の制御による所定の位置におけるガラス基板Ｇ上のパターンの状態の撮像動作と、を交互に繰り返し、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第２の状態の場合におけるガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態を撮像する。そして、パターン認識手段は、第２の有効画像データを認識する（ステップＳ１０８）。
【００４１】
この後、パターン認識手段は、第１の有効画像データと第２の有効画像データとから合成画像データを取得する（ステップＳ１０９）。そして、検査手段は、合成画像データを検証する、すなわち、例えばパターン認識手段にて認識された合成画像データと、基準となるガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの所定の状態が記憶された基準データとを比較して、搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンが所定の状態となっているか否かを認識する（ステップＳ１１０）。そして、検査手段は、検査結果を出力する（ステップＳ１１１）。
【００４２】
なお、第１の実施の形態における搬送部材１３では、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第１の状態である場合、搬送部材１３の外周面１３Ａとガラス基板Ｇとの当接位置による軌道は、搬送方向に沿って所定の周期を有した複数の曲線波形状となる。そして、搬送部材１３を１８０度回転させた第２の状態とした場合、搬送部材１３の外周面１３Ａとガラス基板Ｇとの当接位置による軌道は、第１の状態における複数の曲線波形状が搬送方向と直交する方向にずれた形状となる。
【００４３】
（検査装置１の作用効果）
上述したように、上記第１の実施の形態では、以下に示すような作用効果を奏することができる。
【００４４】
（１）検査装置１に、ガラス基板Ｇを搬送する搬送手段１０、および、搬送手段１０に対向する位置に配設され搬送手段１０により搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像するカメラ２１を設けている。そして、検査装置１は、カメラ２１により撮像されたパターンの状態からパターンが所定の状態でガラス基板Ｇ上に形成されたか否かを検査する。また、搬送手段１０に、軸方向がガラス基板Ｇの搬送方向と略直交する状態で設けられた回転軸１１と、回転軸１１に設けられ回転軸１１を中心に回転することによりガラス基板Ｇを搬送する搬送部材１３と、を設けている。そして、搬送部材１３を、回転軸１１の軸方向から見て略円状に形成し、ガラス基板Ｇに当接すると共に回転軸１１の回転に伴ってガラス基板Ｇとの当接位置が回転軸１１の軸方向に変化する外周面１３Ａを設けている。
【００４５】
このため、ガラス基板Ｇの外周縁を把持することなくガラス基板Ｇを搬送部材１３に載置して搬送するので、検査装置１の構成上、ガラス基板Ｇの外周縁近傍までパターンを形成することが制限されてしまうおそれがなく、いずれのガラス基板Ｇ上のパターンでも検査することができる。また、ガラス基板Ｇを搬送部材１３に載置した状態でガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像するので、ガラス基板Ｇが振動することなく安定した撮像を確保できる。さらに、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像する際、搬送部材１３の外周面１３Ａにおけるガラス基板Ｇとの当接位置が搬送部材１３の回転角度により回転軸１１の軸方向に変化する。そして、カメラ２１の視野内において搬送部材１３とガラス基板Ｇとの当接部分以外の基板裏面に存在する搬送部材１３についてはカメラ２１の焦点から外れているので、当接位置を含まないパターンの状態を撮像することができる。これにより、撮像したガラス基板Ｇ上のパターンの状態に搬送部材１３とガラス基板Ｇとの当接部分が写り込み、検査の支障になることを防ぐことができる。すなわち、当接部分が撮像されてしまう事による、パターン形状の誤検出を防ぐことができる。また、カメラ２１の撮像角度が制限されることもない。したがって、検査装置１は、ガラス基板Ｇを良好に搬送すると共にガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を良好に検査できる。
【００４６】
（２）搬送部材１３を、略円柱状に形成してその中心部に回転軸１１を貫通し、その軸方向両端面１３Ｂを回転軸１１に対して傾斜する状態に形成している。また、搬送部材１３を、その外周面１３Ａにおけるガラス基板Ｇに当接される部位とガラス基板Ｇから最も離れた部位とがカメラ２１から見て互いに重なり合わない状態に形成している。このため、ガラス基板Ｇを搬送する際、搬送部材１３が略円柱状に形成されているので滑らかにガラス基板Ｇを搬送でき、振動に弱い薄肉のガラス基板Ｇなどをも良好に搬送することができる。また、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像する際、搬送部材１３の外周面１３Ａにおけるガラス基板Ｇとの当接位置が搬送部材１３を１８０度回転することによりガラス基板Ｇの同一部分に重ならない状態になるので、確実に当接位置を含まないパターンの状態を撮像することができる。すなわち、当接部分が撮像されてしまう事による、パターン形状の誤検出を防ぐことができる。したがって、簡易な構成でガラス基板Ｇの円滑な搬送を実現でき、かつ、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を良好に検査できる。また、搬送部材１３の構造が簡易であるので検査装置１の製造コストを低く抑えることができる。さらには、搬送部材１３を交換し易い形状としたことにより、メンテナンス性を向上でき、メンテナンスに要する装置の停止時間を短縮することができる。
【００４７】
（３）搬送部材１３を、搬送方向および軸方向に沿って複数並列して配設している。このため、ガラス基板Ｇの各部が複数の搬送部材１３により均等に支持されるので、薄肉のガラス基板Ｇの場合、ガラス基板Ｇの一部が撓んでしまうことによりカメラ２１の焦点がずれて正しく検査できないなどの不具合が発生することを防ぐことができる。また、ガラス基板Ｇの外周縁を支持せずに搬送できるので、いずれの形状かついずれの寸法のガラス基板Ｇをも良好に搬送することができる。したがって、検査するガラス基板Ｇの制約条件を大幅に解除することができ、検査の自由度を向上できる。また、検査するガラス基板Ｇの制約条件を解除したことにより、例えばディスプレイパネルの小型化にも寄与することができる。
【００４８】
（４）回転制御手段は、搬送手段１０に回転軸１１を回転させる制御をする。撮像制御手段は、撮像照明手段２０にガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像させる制御をする。パターン認識手段は、各カメラ２１が撮像したガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態のうち第１の状態に調整されたガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含まない領域を第１の有効画像データとして認識する。また、パターン認識手段は、各カメラ２１が撮像したガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態のうち第２の状態に調整されたガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含まない領域を第２の有効画像データとして認識する。そして、パターン認識手段は、第１の有効画像データと第２の有効画像データとを組み合わせて、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含まない状態のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を合成画像データとして認識する。検査手段は、パターン認識手段にて認識された合成画像データに基づいて、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンが所定の状態でガラス基板Ｇ上に形成されたか否かを検査する。このため、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含まない状態のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を認識できるので、検査の精度を向上できる。すなわち、当接部分が撮像されてしまう事による、パターン形状の誤検出を防ぐことができる。また、照明手段による撮影光の照射角度の規制などがないため、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンやガラス基板Ｇの凹凸などにより影が発生する場合は、照明手段により撮影光の照射角度を適宜調整するなどして影の発生を抑えて、最適な照射角度でパターンの状態を撮像することができる。
【００４９】
（５）当接位置認識手段は、搬送部材１３の回転軸１１に対する回転位置を検出する位置検出部１５にて検出された回転位置に基づいて、搬送部材１３の外周面１３Ａにおけるガラス基板Ｇとの当接位置を認識する。パターン認識手段は、当接位置認識手段にて認識された当接位置に基づいて、第１の有効画像データおよび第２の有効画像データを認識し、第１の有効画像データと第２の有効画像データとを組み合わせて、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含まない状態のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を合成画像データとして認識する。このため、搬送部材１３の回転位置を把握して画像処理をするので、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含まない状態のパターンの状態を正確に認識できる。すなわち、当接部分が撮像されてしまう事による、パターン形状の誤検出を防ぐことができる。したがって、良好なガラス基板Ｇ上のパターンの検査を実施できる。
【００５０】
（６）カメラ２１を、回転軸１１の軸方向に沿って複数配設し、それぞれ隣接するカメラ２１の視野が互いに重なり合う状態に配設している。このため、検査速度を大幅に向上でき、かつ、ガラス基板Ｇ全面に亘って漏れなく検査することができる。したがって、例えばディスプレイパネルを製造する際、様々な工程における装置により構成された製造ラインの円滑化が図れ、検査ミスによる歩留まりの低下を防ぐことができる。
【００５１】
（７）撮像照明手段２０におけるカメラ２１にオートフォーカス手段を設けている。また、パターン認識手段は、ガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を含まない状態のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を認識する。このため、オートフォーカス手段で合焦位置を適宜調整すれば、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの検査のみならず、例えば、ガラス基板におけるパターンが形成された面の反対側の面、ガラス基板内部に設けられたパターン、ガラス基板内部の欠陥、ガラス基板上に一様に設けられた層の表面状態、ガラス基板の表面状態、などを検査する場合にも適用できる。
【００５２】
〔第２の実施の形態〕
次に、本発明における第２の実施の形態を図面に基づいて説明する。図５は、本発明の第２の実施の形態における搬送手段の要部を示し、（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は側面図である。この図５に示す第２の実施の形態は、図１ないし図３に示す第１の実施の形態と、搬送部材１３においてのみ構成が異なり、他は同一構成である。このため、第１の実施の形態と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略または簡略化する。
【００５３】
（搬送部材の構成）
図５において、搬送部材１６は、例えば金属やセラミックなどの材料により、略円柱状体の外周面１６Ａにその中心軸に沿って螺旋形状の溝が形成された形状に形成され、ガラス基板Ｇと当接する外周面１６Ａは耐磨耗性に優れかつ低反射率の材料で覆われている。この搬送部材１６の軸方向の長さ寸法は、一対の架橋部材１２Ａにて挟まれる空間の間隙幅よりも所定の寸法だけ短く設定されている。そして、搬送部材１６は、その中心部に回転軸１１が貫通された状態で回転軸１１に固定され、搬送部材１６の外周面１６Ａにおけるガラス基板Ｇに当接される部位とガラス基板Ｇから最も離れた部位とがカメラ２１から見て互いに重なり合わない状態に形成される。また、この搬送部材１６は、複数の回転軸１１のそれぞれに対応して設けられる。
【００５４】
そして、搬送部材１６は、回転軸１１が回転することによりガラス基板Ｇを搬送方向に搬送し、搬送中それぞれの外周面１６Ａのうち透明基板が当接される当接位置が回転軸１１の軸方向に変化する。すなわち、回転軸１１を中心に１８０度回転した場合と３６０度回転した場合とでは、それぞれの外周面１６Ａにおける透明基板との当接位置は、カメラ２１から見て互いに重なり合わずに回転軸１１の軸方向に平行に隣接する状態に変化する。
【００５５】
（検査装置の動作）
第２の実施の形態における検査装置の動作は、図１ないし図３に示した検査装置１と同様の動作であるため、説明を省略する。なお、第２の実施の形態における搬送部材１６では、ガラス基板Ｇと搬送部材１６との当接位置が第１の状態である場合、搬送部材１６の外周面１６Ａとガラス基板Ｇとの当接位置による軌道は、ガラス基板Ｇの長尺方向に対して所定の角度をなした斜めストライプ形状になる。そして、搬送部材１６を１８０度回転させた第２の状態の場合、搬送部材１６の外周面１６Ａとガラス基板Ｇとの当接位置による軌道は、第１の状態における斜めストライプ形状が搬送方向と直交する方向にずれた形状となる。
【００５６】
（検査装置の作用効果）
上述したように、上記第２の実施の形態では、図１ないし図３に示した第１の実施の形態に係る検査装置１が奏する（１）、（３）〜（７）の作用効果に加え、以下の作用効果を奏することができる。
【００５７】
（８）搬送部材１６を、略円柱状体の外周面１６Ａにその中心軸に沿って螺旋形状の溝が形成された形状に形成し、その中心部に回転軸１１を貫通した状態で固定する。そして、搬送部材１６を、搬送部材１６の外周面１６Ａにおけるガラス基板Ｇに当接される部位とガラス基板Ｇから最も離れた部位とがカメラ２１から見て互いに重なり合わない状態に形成している。
【００５８】
このため、ガラス基板Ｇを搬送する際、搬送部材１６が略円柱状に形成されているので滑らかにガラス基板Ｇを搬送でき、振動に弱い薄肉のガラス基板Ｇなどをも良好に搬送することができる。また、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像する際、搬送部材１６の外周面１６Ａにおけるガラス基板Ｇとの当接位置が搬送部材１６を１８０度回転することによりガラス基板Ｇの同一部分に重ならない状態になるので、確実に当接位置を含まないパターンの状態を撮像することができる。すなわち、当接部分が撮像されてしまう事による、パターン形状の誤検出を防ぐことができる。したがって、簡易な構成でガラス基板Ｇの円滑な搬送を実現でき、かつ、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を良好に検査できる。また、搬送部材１６の構造が簡易であるので検査装置の製造コストを低く抑えることができる。さらには、搬送部材１６を交換し易い形状としたことにより、メンテナンス性を向上でき、メンテナンスに要する装置の停止時間を短縮することができる。
【００５９】
〔第３の実施の形態〕
次に、本発明における第３の実施の形態を図面に基づいて説明する。図６は、本発明の第３の実施の形態における搬送手段の要部を示し、（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は側面図である。この図６に示す第３の実施の形態は、図１ないし図３に示す第１の実施の形態と、搬送部材１３においてのみ構成が異なり、他は同一構成である。このため、第１の実施の形態と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略または簡略化する。
【００６０】
（搬送部材の構成）
図６において、搬送部材１７は、例えば金属やセラミックなどの材料により形成されている。この搬送部材１７は、円柱部材１７Ａと、その軸方向両端側に一対で設けられる突出部１７Ｂと、を備えている。円柱部材１７Ａは、軸方向が回転軸１１の軸方向と略同一であり、かつ軸方向の長さが所定の寸法に設定された円柱状体である。そして、円柱部材１７Ａの中心部には、回転軸１１が貫通されている。突出部１７Ｂは、それぞれ、円柱部材１７Ａの軸方向両端側に設けられ、円柱部材１７Ａの軸方向両端側が円柱部材１７Ａの径方向外側に向かってフランジ状に突出した略扇形状に形成されている。また、それぞれの突出部１７Ｂは円柱部材１７Ａの軸方向から見て互いに重なり合わない状態で、かつ、カメラ２１から見て互いに重なり合わない状態に形成される。そして、それぞれの突出部１７Ｂの外周端面がガラス基板Ｇに当接する外周面１７Ｂ１となる。
【００６１】
そして、搬送部材１７は、一対の架橋部材１２Ａにて挟まれる空間内において、回転軸１１に対して軸方向に並列する状態で所定の間隔で複数設けられている。また、これら複数の搬送部材１７は、カメラ２１から見てそれぞれ互いに重なり合わない状態に配設されている。これにより、それぞれの搬送部材１７は、一対の架橋部材１２Ａにて挟まれた領域において、搬送方向と回転軸１１の軸方向に沿って所定の間隔で区分した略碁盤目状の領域のそれぞれに配設された状態となっている。
【００６２】
また、搬送部材１７は、回転軸１１が回転することによりガラス基板Ｇを搬送方向に往復可能に搬送し、それぞれの突出部１７Ｂのうち透明基板が当接される当接位置が回転軸１１の軸方向に変化する。すなわち、回転軸１１を中心に１８０度回転した場合と３６０度回転した場合とでは、それぞれの突出部１７Ｂにおける透明基板との当接位置は、カメラ２１から見て互いに重なり合わずに回転軸１１の軸方向に平行に隣接する状態に変化する。
【００６３】
（検査装置の動作）
第３の実施の形態における検査装置の動作は、図１ないし図３に示した検査装置１と同様の動作であるため、説明を省略する。なお、第３の実施の形態における搬送部材１７では、ガラス基板Ｇと搬送部材１７との当接位置が第１の状態である場合、搬送部材１７の突出部１７Ｂとガラス基板Ｇとの当接位置による軌道は、市松模様状になる。そして、搬送部材１７を１８０度回転させた第２の状態の場合、搬送部材１７の突出部１７Ｂとガラス基板Ｇとの当接位置による軌道は、第１の状態における市松模様が搬送方向と直交する方向にずれた形状となる。
【００６４】
（検査装置の作用効果）
上述したように、上記第３の実施の形態では、図１ないし図３に示した第１の実施の形態に係る検査装置１が奏する（１）、（３）〜（７）の作用効果に加え、以下の作用効果を奏することができる。
【００６５】
（９）搬送部材１７に、一対の突出部１７Ｂを設け、これらを回転軸１１に対して設けている。また、突出部１７Ｂを、それぞれ回転軸１１の径方向外側に向かって突出した略扇形状に形成し、それぞれの突出部１７Ｂは回転軸１１の軸方向から見て互いに重なり合わない状態で、かつ、カメラ２１から見て互いに重なり合わない状態に形成している。そして、それぞれの突出部１７Ｂの外周端面をガラス基板Ｇに当接する外周面１７Ｂ１としている。このため、ガラス基板Ｇを搬送する際、搬送部材１７がその軸方向から見て略円状に形成されているので滑らかにガラス基板Ｇを搬送でき、振動に弱い薄肉のガラス基板Ｇなどをも良好に搬送することができる。また、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像する際、搬送部材１７の突出部１７Ｂにおけるガラス基板Ｇとの当接位置が搬送部材１７を１８０度回転することによりガラス基板Ｇの同一部分に重ならない状態になるので、確実に当接位置を含まないパターンの状態を撮像することができる。すなわち、当接部分が撮像されてしまう事による、パターン形状の誤検出を防ぐことができる。したがって、簡易な構成でガラス基板Ｇの円滑な搬送を実現でき、かつ、ガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を良好に検査できる。また、搬送部材１７の構造が簡易であるので検査装置の製造コストを低く抑えることができる。さらには、搬送部材１７を交換し易い形状としたことにより、メンテナンス性を向上でき、メンテナンスに要する装置の停止時間を短縮することができる。
【００６６】
（１０）搬送部材１７に、回転軸１１が貫通され回転軸１１と略同一の中心軸を有した円柱部材１７Ａを設けている。そして、  突出部１７Ｂを、それぞれ円柱部材１７Ａの軸方向両端側に設け、円柱部材１７Ａの軸方向両端側が円柱部材１７Ａの径方向外側に向かってフランジ状に突出した略扇形状に形成した。このため、装置の製造に当り、突出部１７Ｂを回転軸１１に対して設けるのに、まず一対の突出部１７Ｂを円柱部材１７Ａにそれぞれ一体的に形成して搬送部材１７を構成する。そして、複数の搬送部材１７を回転軸１１に所定の間隔で取り付けることにより、複数の突出部１７Ｂを回転軸１１に対して所定の取付状態で確実に設けることができる。したがって、複数の突出部１７Ｂを回転軸１１に対して強固に取り付けることができ、かつ、その取り付けを容易に行うことができる。
【００６７】
〔第４の実施の形態〕
次に、本発明における第４の実施の形態を図面に基づいて説明する。図７は、本発明の第４の実施の形態に係る検査装置の概略構成を示し、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は側面図である。この図７に示す第４の実施の形態は、図１ないし図３に示す第１の実施の形態と、撮像照明手段２０および制御部３０においてのみ構成が異なり、他は同一構成である。このため、第１の実施の形態と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略または簡略化する。
【００６８】
（検査装置の構成）
図７において、撮像照明手段２０は、搬送部により搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像する。この撮像照明手段２０は、１つのカメラ２１Ａと、図示しない照明手段と、移動手段２２と、を備えている。
【００６９】
カメラ２１Ａは、その撮像方向が鉛直方向と略平行する状態に設けられ、搬送方向と略平行する方向および回転軸１１の軸方向と略平行する方向に移動可能な状態で設けられている。照明手段は、カメラ２１Ａの近傍でかつガラス基板Ｇと対向する位置に設けられており、カメラ２１Ａと共に搬送方向と略平行する方向および回転軸１１の軸方向と略平行する方向に移動可能な状態で設けられている。
【００７０】
移動手段２２は、カメラ２１Ａおよび照明手段を、搬送方向と略平行する方向および回転軸１１の軸方向と略平行する方向に移動可能な状態に保持する。この移動手段２２は、門型コラム２２Ａと、一対のレール部２２Ｂと、を備えている。
【００７１】
門型コラム２２Ａは、搬送方向へ移動可能に設けられた一対の支柱２２Ａ１と、この支柱２２Ａ１の上端部間に掛け渡されたビーム２２Ａ２とから門型に構成されている。支柱２２Ａ１の下端部には、軸方向が搬送方向と略平行する状態の図示しないナットなどがそれぞれ設けられている。ビーム２２Ａ２は、回転軸１１の軸方向に略平行して設けられた柱状の部材で、その両端側にそれぞれ支柱２２Ａ１の上端部が固定されている。このビーム２２Ａ２には、カメラ２１Ａおよび照明手段を回転軸１１の軸方向と略平行する方向に移動可能な状態に保持する図示しないビーム側移動手段が設けられている。このビーム側移動手段は、制御部３０と各種情報が送受信可能な状態で接続されており、制御部３０の制御によりカメラ２１Ａおよび照明手段を回転軸１１の軸方向と略平行する方向に移動する。
【００７２】
レール部２２Ｂは、門型コラム２２Ａを搬送方向と略平行な方向に移動可能な状態で支持する。このレール部２２Ｂは、図示しないボールねじと、図示しないボールねじ駆動部と、などを備えている。ボールねじは、搬送方向と略平行する方向に設けられており、門型コラム２２Ａにおける一対の支柱２２Ａ１のナットにそれぞれ螺合している。ボールねじ駆動部は、例えばモータなどであり、それぞれのボールねじを回転させる。このボールねじ駆動部は、制御部３０と各種情報が送受信可能な状態に接続されており、制御部３０の制御によりボールネジを回転させる。
【００７３】
制御部３０は、上記図示しない各種入出力ポートの他に、例えばビーム側移動手段が接続されるビーム２２Ａ２側移動ポート、ボールねじ駆動部が接続されるボールねじポート、などを有する。そして、制御部３０は、各種プログラムとして、図示しない、当接位置認識手段と、回転制御手段と、撮像制御手段と、パターン認識手段と、検査手段と、を備えている。
【００７４】
回転制御手段は、搬入部から搬送手段１０にガラス基板Ｇが搬入されたことを認識すると、駆動モータを回転させると共に位置決め部の動作を制御し、ガラス基板Ｇを所定の検査開始位置に設置する。そして、ガラス基板Ｇを検査開始位置に留めた状態で駆動モータを回転させ、当接位置認識手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第１の状態にあることを認識されたところで駆動モータの回転を停止させる。そして、ガラス基板Ｇの全てのパターンの状態について撮像が終了したことを認識すると、ガラス基板Ｇを検査開始位置に留めた状態で駆動モータを回転させ、当接位置認識手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置が第２の状態にあることを認識されたところで駆動モータの回転を停止させる。この後、ガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態について撮像が終了したことを認識すると、駆動モータを回転させてガラス基板Ｇを搬送方向に移動させ、ガラス基板Ｇを搬出部へ搬送する。
【００７５】
撮像制御手段は、回転制御手段にてガラス基板Ｇが検査開始位置に設置されると、ビーム側移動手段およびボールねじ駆動部を制御して、カメラ２１Ａなどを搬送領域Ｈの搬入部側における回転軸１１の軸方向一端側（初期位置）に移動させる。そして、回転制御手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を第１の状態となるよう調整されると、照明手段にて撮影光をガラス基板Ｇ上に照射させると共に、カメラ２１Ａに初期位置におけるガラス基板Ｇ上のパターンの状態を撮像させる。そして、ビーム側移動手段を制御して、カメラ２１Ａの視野に、初期位置におけるカメラ２１Ａの視野に納められていたガラス基板Ｇの部位の、回転軸１１の軸方向隣接部位が納まるようカメラ２１Ａなどを移動させる。このとき、初期位置におけるカメラ２１Ａの視野と一部が重なるようにカメラ２１Ａなどを移動させる。そして、この状態においてカメラ２１Ａにガラス基板Ｇ上のパターンの状態を撮像させる。さらに、回転軸１１の軸方向隣接部位を撮像していく動作を繰り返し、ガラス基板Ｇの１行目、すなわちガラス基板Ｇの長尺方向一端側の撮像が終了する。
【００７６】
そして、撮像制御手段は、ガラス基板Ｇの２行目を撮像させる。すなわち、ボールねじ駆動部を制御してカメラ２１Ａの視野に、直前の撮像位置におけるカメラ２１Ａの視野に納められていたガラス基板Ｇの部位の、搬送方向隣接部位が納まるようカメラ２１Ａなどを移動させる。このとき、直前の撮像位置におけるカメラ２１Ａの視野と一部が重なるようにカメラ２１Ａなどを移動させる。そして、ビーム側移動手段を制御してカメラ２１Ａなどを回転軸１１の軸方向に移動させ、ガラス基板Ｇの回転軸１１の軸方向隣接部位を撮像させていく。さらに、撮像制御手段は、ビーム側移動手段およびボールねじ駆動部を制御してカメラ２１Ａなどを移動させながら、ガラス基板Ｇの３行目、4行目、、、を撮像させ、ガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態を撮像させる。
【００７７】
そして、撮像制御手段は、回転制御手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を第２の状態となるよう調整されると、同様にして初期位置からガラス基板Ｇ上のパターンの状態をカメラ２１Ａに撮像させ、ガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態についてカメラ２１Ａに撮像させる。
【００７８】
（検査装置の動作）
次に、検査装置４の動作について、図７に基づいて説明する。
【００７９】
まず、搬入部から搬送手段１０へガラス基板Ｇが搬入されると、回転制御手段は、ガラス基板Ｇを所定の検査開始位置に設置する。そして、回転制御手段は搬送部材１３の回転位置を第１の状態に調整し、撮像制御手段はビーム側移動手段およびボールねじ駆動部を制御してカメラ２１Ａなどを初期位置に移動させる。そして、撮像制御手段は、初期位置からガラス基板Ｇの1行目、２行目、、、と順に、カメラ２１Ａなどを回転軸１１の軸方向に移動させながらガラス基板Ｇ上のパターンの状態をカメラ２１Ａに撮像させ、ガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態について撮像させる。さらに、パターン認識手段は、第１の有効画像データを認識する。
【００８０】
この後、パターン認識手段にて第１の有効画像データが認識されると、回転制御手段は搬送部材１３の回転位置を第２の状態に調整し、撮像制御手段はビーム側移動手段およびボールねじ駆動部を制御してカメラ２１Ａなどを初期位置に移動させる。そして、撮像制御手段は、初期位置からガラス基板Ｇの1行目、２行目、、、と順に、カメラ２１Ａなどを回転軸１１の軸方向に移動させながらガラス基板Ｇ上のパターンの状態をカメラ２１Ａに撮像させ、ガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態について撮像させる。そして、パターン認識手段は、第２の有効画像データを認識する。
【００８１】
この後、パターン認識手段は、第１の有効画像データと第２の有効画像データとから合成画像データを認識する。そして、検査手段は、合成画像データを検証する、すなわち、例えばパターン認識手段にて認識された合成画像データと、基準となるガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの所定の状態が記憶された基準データとを比較して、搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンが所定の状態となっているか否かを認識する。そして、検査手段は、検査結果を出力する。
【００８２】
（検査装置の作用効果）
上述したように、上記第４の実施の形態では、図１ないし図３に示した第１の実施の形態に係る検査装置１が奏する（１）〜（７）の作用効果に加え、以下の作用効果を奏することができる。
【００８３】
（１１）カメラ２１Ａを、搬送方向に沿って移動可能な状態で配設している。このため、ガラス基板Ｇの検査の際にカメラ２１Ａなどが搬送方向に沿って移動するので、図１ないし図３に示した検査装置１などに比べ、搬送領域Ｈの長尺寸法を短く設定でき、装置を小型化できる。したがって、例えば工場において検査装置４を設置するスペースが小さくて済むので、工場内のスペースを充分に活用することができる。
【００８４】
〔第５の実施の形態〕
次に、本発明における第５の実施の形態を図８に基づいて説明する。図８は、本発明の第５の実施の形態に係る検査装置の概略構成を示し、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は側面図である。この図８に示す第５の実施の形態は、図７に示す第４の実施の形態と、撮像照明手段２０および制御部３０においてのみ構成が異なり、他は同一構成である。このため、第４の実施の形態と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略または簡略化する。
【００８５】
（検査装置の構成）
図８において、撮像照明手段２０は、搬送手段１０により搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像する。この撮像照明手段２０は、複数のカメラ２１Ｂと、図示しない照明手段と、移動手段２３と、を備えている。
【００８６】
カメラ２１Ｂは、回転軸１１の軸方向に沿って複数配設されており、搬送方向と略平行する方向に移動可能な状態で設けられている。また、各カメラ２１Ｂは、それぞれの撮像方向が鉛直方向と略平行する状態に設けられ、それぞれ隣接するカメラ２１Ｂ同士の視野が互いに重なり合う状態に配設されている。照明手段は、各カメラ２１Ｂの近傍でかつガラス基板Ｇと対向する位置に設けられており、各カメラ２１Ｂと共に搬送方向と略平行する方向に移動可能な状態で設けられている。
【００８７】
移動手段２３は、各カメラ２１Ｂおよび照明手段を、搬送方向と略平行する方向に移動可能な状態に保持する。この移動手段２３は、門型コラム２３Ａと、一対のレール部２３Ｂと、を備えている。門型コラム２３Ａは、搬送方向へ移動可能に設けられた一対の支柱２３Ａ１と、この支柱２３Ａ１の上端部間に掛け渡されたビーム２３Ａ２とから門型に構成されている。支柱２３Ａ１の下端部には、軸方向が搬送方向と略平行する状態の図示しないナットなどがそれぞれ設けられている。ビーム２３Ａ２は、回転軸１１の軸方向に略平行して設けられた柱状の部材で、その両端側にそれぞれ支柱２３Ａ１の上端部が固定されている。このビーム２３Ａ２は、複数のカメラ２１Ｂおよび照明手段を保持する。
【００８８】
レール部２３Ｂは、門型コラム２３Ａを搬送方向と略平行な方向に移動可能な状態で支持する。このレール部２３Ｂは、図示しないボールねじと、図示しないボールねじ駆動部と、などを備えている。ボールねじは、搬送方向と略平行する方向に設けられており、門型コラム２３Ａにおける一対の支柱２３Ａ１のナットにそれぞれ螺合している。ボールねじ駆動部は、例えばモータなどであり、それぞれのボールねじを回転させる。このボールねじ駆動部は、制御部３０と各種情報が送受信可能な状態に接続されており、制御部３０の制御によりボールネジを回転させる。
【００８９】
制御部３０は、上記図示しない各種入出力ポートの他に、例えばボールねじ駆動部が接続されるボールねじポート、などを有する。そして、制御部３０は、各種プログラムとして、図示しない、当接位置認識手段と、回転制御手段と、撮像制御手段と、パターン認識手段と、検査手段と、を備えている。
【００９０】
撮像制御手段は、回転制御手段にてガラス基板Ｇが検査開始位置に設置されると、ボールねじ駆動部を制御して、各カメラ２１Ｂなどを搬送領域の搬入部側（初期位置）に移動させる。そして、回転制御手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を第１の状態となるよう調整されると、照明手段にて撮影光をガラス基板Ｇ上に照射させると共に、各カメラ２１Ｂにガラス基板Ｇの1行目のパターンの状態すなわち初期位置におけるガラス基板Ｇ上のパターンの状態を撮像させる。さらに、撮像制御手段は、ガラス基板Ｇの２行目を撮像させる。すなわち、ボールねじ駆動部を制御して各カメラ２１Ｂの視野に、直前の撮像位置における各カメラ２１Ｂの視野に納められていたガラス基板Ｇの部位の、搬送方向隣接部位が納まるよう各カメラ２１Ｂなどを移動させる。このとき、直前の撮像位置における各カメラ２１Ｂの視野と一部が重なるようにカメラ２１Ｂなどを移動させる。そして、この状態においてガラス基板Ｇ上のパターンの状態を各カメラ２１Ｂに撮像させる。さらに、撮像制御手段は、ボールねじ駆動部を制御して各カメラ２１Ｂなどを移動させながら、ガラス基板Ｇの３行目、4行目、、、を撮像させ、ガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態を撮像させる。
【００９１】
そして、撮像制御手段は、回転制御手段にてガラス基板Ｇと搬送部材１３との当接位置を第２の状態となるよう調整されると、同様にして初期位置からガラス基板Ｇ上のパターンの状態をカメラ２１Ｂに撮像させ、ガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態についてカメラ２１Ｂに撮像させる。
【００９２】
（検査装置の動作）
次に、検査装置５の動作について、図８に基づいて説明する。
【００９３】
まず、搬入部から搬送手段１０にガラス基板Ｇが搬入されると、回転制御手段は、ガラス基板Ｇを所定の検査開始位置に設置する。そして、回転制御手段は搬送部材１３の回転位置を第１の状態に調整し、撮像制御手段はボールねじ駆動部を制御して各カメラ２１Ｂなどを初期位置に移動させる。そして、撮像制御手段は、初期位置からガラス基板Ｇの1行目、２行目、、、と順に、ガラス基板Ｇ上のパターンの状態を各カメラ２１Ｂに撮像させ、ガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態について撮像させる。さらに、パターン認識手段は、第１の有効画像データを認識する。
【００９４】
この後、パターン認識手段にて第１の有効画像データが認識されると、回転制御手段は搬送部材１３の回転位置を第２の状態に調整し、撮像制御手段はボールねじ駆動部を制御して各カメラ２１Ｂなどを初期位置に移動させる。そして、撮像制御手段は、初期位置からガラス基板Ｇの1行目、２行目、、、と順に、ガラス基板Ｇ上のパターンの状態を各カメラ２１Ｂに撮像させ、ガラス基板Ｇ上の全てのパターンの状態について撮像させる。そして、パターン認識手段は、第２の有効画像データを認識する。
【００９５】
この後、パターン認識手段は、第１の有効画像データと第２の有効画像データとから合成画像データを認識する。そして、検査手段は、合成画像データを検証する、すなわち、例えばパターン認識手段にて認識された合成画像データと、基準となるガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの所定の状態が記憶された基準データとを比較して、搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンが所定の状態となっているか否かを認識する。そして、検査手段は、検査結果を出力する。
【００９６】
（検査装置の作用効果）
上述したように、上記第５の実施の形態では、図７に示した第４の実施の形態に係る検査装置４が奏する（１）〜（７）、（１１）の作用効果に加え、以下の作用効果を奏することができる。
【００９７】
（１２）カメラ２１Ｂは、回転軸１１の軸方向に沿って複数配設され、搬送方向と略平行する方向に移動可能な状態で設けられている。このため、検査装置を小型化できる効果に加え、複数のカメラ２１Ｂでガラス基板Ｇを撮像していくので、図７に示した検査装置４に比べ高速な検査が可能となり、さらにビーム側移動手段などの構成を省略することができる。したがって、検査装置５は、省スペース化を図ることができると共に簡易な構成で高速な検査が実現できる。
【００９８】
〔実施の形態の変形〕
なお、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
【００９９】
本実施の形態の検査装置により検査される透明基板としては、例えばプラズマディスプレイパネルなどのディスプレイパネルを製造するための略長尺矩形状のガラス基板を例示するが、これに限らない。すなわち、例えば、透明基板としては、ディスプレイパネル以外の製品を製造する際に用いられる透明な樹脂基板や透明なセラミックス基板なども例示でき、さらには、透明基板の形状も略長尺矩形状に限らずいずれの形状でもよい。また、本実施の形態における検査装置により検査されるガラス基板上に形成されたパターンとしては、例えば、プラズマディスプレイパネルを製造するためのガラス基板上に設けられた複数の電極パターン、隔壁パターン、蛍光体層パターン、あるいは、液晶ディスプレイパネルを製造するためのガラス基板上に設けられた複数の電極パターン、複数のＴＦＴなどの液晶部などが挙げられるが、これに限らず透明基板に形成されたいずれのパターンでもよい。そして、本実施の形態における検査装置は、ガラス基板上に形成されたパターンを検査するのみならず、例えば、ガラス基板におけるパターンが形成された面の反対側の面、ガラス基板内部に設けられたパターン、ガラス基板内部の欠陥、ガラス基板上に一様に設けられた層の表面状態、ガラス基板の表面状態、などを検査する場合にも適用できる。
【０１００】
また、第１ないし第５の実施の形態において、回転軸１１を回転させる手段として、駆動モータおよび駆動ベルト１４Ａを例示したが、これに限らず、いずれの駆動源および駆動力伝達手段をも採用することができる。また、駆動モータの動力がそれぞれの回転軸１１に確実に伝達される構成の場合は、回転ローラ１４Ｂが設けられなくてもよい。
【０１０１】
そして、第１ないし第５の実施の形態において、円盤部１５Ａには第１のマーク１５Ａ１のみが設けられる構成でもよい。また、円盤部１５Ａは、搬送領域Ｈの搬入部側に対応する回転軸１１の軸方向両端側のうちベルト架回部１１Ａが設けられた一端側に設けられる構成としたが、これに限らない。すなわち、円盤部１５Ａは、複数の回転軸１１の全てに設けられる構成、搬送領域Ｈの搬出部側に対応する回転軸１１に設けられる構成、回転軸１１の軸方向両端側のうちベルト架回部１１Ａが設けられていない側に設けられる構成など、その配置は任意である。また、回転位置センサ１５Ｂは、円盤部１５Ａの一端面周縁側における鉛直方向上部と対向する位置に設けられるとしたが、第１のマークを検知できる配置であればいずれでもよい。
【０１０２】
また、第１ないし第３の実施の形態において、位置決め部を設けない構成としてもよい。例えば、複数の回転軸１１のそれぞれに駆動モータと、位置検出部１５と、などが設けられ、制御部３０にて個別に制御される。そして、制御部は、ガラス基板Ｇが搬入部から搬送手段１０に搬入されると、搬送手段１０にガラス基板Ｇを所定の検査開始位置まで搬送させ、各回転軸１１のそれぞれを１つ１つ回転させてガラス基板Ｇと搬送部材１３，１６，１７との当接位置を調整する構成などとしてもよい。このような構成の場合、位置決め部を設けずともガラス基板Ｇを所定の検査開始位置に設置し、ガラス基板Ｇと搬送部材１３，１６，１７との当接位置を調整できるので、検査装置１の構成を単純化できる。
【０１０３】
第1の実施の形態において、図１では各回転軸１１に取り付けられた各搬送部材１３における軸方向両端面１３Ｂの回転軸１１に対する傾きが、全て同一方向に傾いた構成を例示したがこれに限らない。すなわち、各搬送部材１３は、複数の回転軸１１のうち隣接する回転軸１１毎に、交互に軸方向両端面１３Ｂの回転軸１１に対する傾きが異なる構成としてもよい。つまり、所定の回転軸１１に設けられた複数の搬送部材１３の軸方向両端面１３Ｂの傾きは、所定の第１の方向に傾いた状態であり、当該回転軸１１に隣接する回転軸１１に設けられた複数の搬送部材１３の軸方向両端面１３Ｂの傾きは、各回転軸１１と直交する面において当該第１の方向と鏡面対称の関係にある第２の方向に傾いた状態となる構成である。
【０１０４】
また、隣接する回転軸１１毎に交互に搬送部材１３の軸方向両端面１３Ｂの傾きが異なる構成だけに限らず、複数本の回転軸１１毎に交互に搬送部材１３の軸方向両端面１３Ｂの傾きが異なる構成としても構わない。さらに、各回転軸１１における複数の搬送部材１３の軸方向両端面１３Ｂの傾きも、隣接する搬送部材１３同士で交互にその傾きが異なる構成としても構わない。なお、搬送部材１３の回転軸１１に対する傾きを変更するこれらの構成においては、ガラス基板Ｇと搬送部材１３の外周面１３Ａとの当接位置も変わるので、制御部３０は、この当接位置に合わせて当接位置を含まないパターンの状態を認識する必要がある。また、このことは、第１の実施の形態における搬送手段１０を備えた第４の実施の形態および第５の実施の形態においても同様である。
【０１０５】
第２の実施の形態において、各回転軸１１に設けられる搬送部材１６は、それぞれの搬送部材１６に形成された螺旋溝の形成方向が全て同一方向となる状態に設けられる構成としたがこれに限らない。すなわち、複数の搬送部材１６は、複数の回転軸１１のうち隣接する回転軸１１毎に、搬送部材１６の螺旋溝の形成方向が正方向となるものと、その逆方向となるものとが交互に入れ替えられた状態で設けられる構成としても構わない。また、隣接する回転軸１１毎に交互に搬送部材１６の螺旋溝の形成方向が異なる構成だけに限らず、複数本の回転軸１１毎に交互に搬送部材１６の螺旋溝の形成方向が異なる構成としても構わない。なお、搬送部材１６の螺旋溝の形成方向を変更するこれらの構成においては、ガラス基板Ｇと搬送部材１６の外周面１６Ａとの当接位置も変わるので、制御部３０は、この当接位置に合わせて当接位置を含まないパターンの状態を認識する必要がある。このことは、第２の実施の形態における搬送部材１６を第４の実施の形態および第５の実施の形態に適用した構成においても同様である。
【０１０６】
第３の実施の形態において、搬送部材１７における一対の突出部１７Ｂは、図６に示すようにそれぞれの形状は内周角が約１８０度の略扇状に形成されているが、これに限らない。すなわち、例えば、搬送部材１７における一対の突出部１７Ｂのうち一方は内周角が９０度の略扇状に形成され、他方は２７０の略扇状に形成される構成としてもよい。つまり、一対の突出部１７Ｂは、回転軸１１の軸方向から見て互いに重なり合わない形状であればいずれでもよい。このような構成の場合においても、第３の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
【０１０７】
第３の実施の形態において、一対の突出部１７Ｂをそれぞれ円柱部材１７Ａの軸方向両端側に設ける構成としたが、円柱部材１７Ａを設けず、突出部１７Ｂを回転軸１１に直接設ける構成としてもよい。このような構成の場合でも、第３の実施の形態と同様の作用効果を奏することができ、かつ、円柱部材１７Ａを用いないので部材の点数が減り、製造コストの低減に寄与することができる。
【０１０８】
そして、第１ないし第３の実施の形態において、複数のカメラ２１および照明手段は、搬送領域Ｈの搬入部側における各搬送部材１３，１６，１７と対向する位置に配設される構成としたが、これに限らない。すなわち、例えば、複数のカメラ２１および照明手段は、搬送領域Ｈの長尺方向中間位置に配設される構成や、搬送領域Ｈの搬出部側における各搬送部材１３，１６，１７と対向する位置に配設する構成などとしてもよい。
【０１０９】
さらに、第１ないし第３の実施の形態において、各カメラ２１Ｂの搬送方向における視野幅は、搬送部材１３を回転軸１１を中心として１回転した際のガラス基板Ｇが搬送方向へ移動する距離以上に設定されているとしたが、これに限らない。例えば、搬送部材１３を回転軸１１を中心として２回転した際ガラス基板Ｇが搬送方向へ移動する距離以上に設定されているとしてもよく、カメラ２１Ｂの視野の大きさはいずれに設定されても構わない。カメラ２１Ｂの視野が大きい構成の場合、ガラス基板Ｇの全体を撮像する時間を短縮でき、より迅速な検査が実現できる。
【０１１０】
第１ないし第３の実施の形態において、搬送部材１３，１６，１７は、少なくとも搬送領域の搬入部側、すなわち、各カメラ２１の視野に写り込む搬送部材１３，１６，１７のみが本発明の形状をしていればよく、その他の搬送部材１３，１６，１７は単なる円柱形状の搬送コロに置き換える構成としてもよい。このような構成の場合、各カメラ２１の視野に写り込まない搬送部材１３，１６，１７の代わりとして、従来の単純な構成の円柱形状の搬送コロを用いるので、検査装置の製造コストをより低廉にすることができ、かつ、第１ないし第３の実施の形態と同等の作用効果を奏することができる。
【０１１１】
第１ないし第３の実施の形態および第５の実施の形態において、撮像制御手段は、複数のカメラ２１，２１Ｂで第１の状態および第２の状態のそれぞれにおいて、ガラス基板Ｇの全面について撮像する構成としたが、これに限らない。すなわち、例えば、撮像制御手段は、カメラ２１，２１Ｂにガラス基板Ｇを撮像させる際、パターン認識手段にて認識される第１の有効画像データおよび第２の有効画像データに必要な箇所だけについて、複数のカメラ２１，２１Ｂのうち所定のカメラだけに撮像させる構成としてもよい。このような構成の場合、パターン認識手段が第１の有効画像データおよび第２の有効画像データを認識するのに要する処理時間を大幅に短縮できる。
【０１１２】
第４の実施の形態において、撮像制御手段は、ガラス基板Ｇの１行目、２行目、、、と順にそれぞれの行においてカメラ２１Ａを回転軸の軸方向に移動させながら撮像させる構成としたが、これに限らない。すなわち、例えば、撮像制御手段は、ガラス基板Ｇの長尺方向と略平行する複数の列において順にカメラ２１Ａを搬送方向と略平行する方向に移動させながら撮像させる構成としても構わない。このような構成の場合でも第４の実施の形態における検査装置４と同様の作用効果を奏する。また、撮像制御手段は、カメラ２１Ａにガラス基板Ｇを撮像させる際、パターン認識手段にて認識される第１の有効画像データおよび第２の有効画像データに必要な箇所だけについて、カメラ２１Ａを移動させ撮像させる構成としてもよい。このような構成の場合、パターン認識手段が第１の有効画像データおよび第２の有効画像データを認識するのに要する処理時間を大幅に短縮できる。
【０１１３】
第４の実施の形態において、搬送部材１３は、第１の実施の形態における搬送部材１３としたが、これに代えて第２の実施の形態の搬送部材１６または第３の実施の形態の搬送部材１７に置き換える構成としてもよい。また、第５の実施の形態においても同様に、搬送部材１３を第２の実施の形態の搬送部材１６または第３の実施の形態の搬送部材１７に置き換える構成としてもよい。
【０１１４】
第１ないし第５の実施の形態において、それぞれの検査装置における搬送領域Ｈ内に、検査するガラス基板Ｇの長尺方向両側縁に沿って一対のガイドを設ける構成としてもよい。このような構成の場合、搬送中、搬送部材１３，１６，１７の上に載置されたガラス基板Ｇの蛇行搬送を防止できるので、ガラス基板Ｇをより確実にかつ安定的に搬送できる。したがって、検査の精度を更に向上できる。
【０１１５】
〔実施の形態の作用効果〕
上述したように、上記実施の形態では、検査装置に、ガラス基板Ｇを搬送する搬送手段１０、および、搬送手段１０に対向する位置に配設され搬送手段１０により搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像するカメラ２１を設けている。そして、検査装置は、カメラ２１により撮像されたパターンの状態からパターンが所定の状態でガラス基板Ｇ上に形成されたか否かを検査する。また、搬送手段１０に、回転軸１１と、回転軸１１を中心に回転することによりガラス基板Ｇを搬送する搬送部材１３と、を設けている。そして、搬送部材１３を回転軸１１の軸方向から見て略円状に形成し、ガラス基板Ｇに当接すると共に回転軸１１の回転に伴ってガラス基板Ｇとの当接位置が回転軸１１の軸方向に変化する外周面１３Ａを搬送部材１３に設けている。このため、ガラス基板Ｇの外周縁を把持することなくガラス基板Ｇを搬送部材１３に載置して搬送するので、いずれのガラス基板Ｇ上のパターンでも検査することができる。また、撮像したガラス基板Ｇ上のパターンの状態に搬送部材１３とガラス基板Ｇとの当接部分が写り込み、検査の支障になることを防ぐことができる。したがって、検査装置は、ガラス基板Ｇを良好に搬送すると共にガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を良好に検査できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置を示す概略構成図である。
【図２】前記実施の形態における搬送手段の要部を示し、（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は側面図である。
【図３】前記実施の形態に係る検査装置の動作を説明するための図であり、（Ａ）は搬送部材に載置されたガラス基板Ｇを搬送方向から見た場合の側面図であり、（Ｂ）はガラス基板Ｇの平面図である。
【図４】前記実施の形態における検査処理の動作を示すフローチャートである。
【図５】本発明の第２の実施の形態における搬送手段の要部を示し、（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は側面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態における搬送手段の要部を示し、（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は側面図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態に係る検査装置の概略構成を示し、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は側面図である。
【図８】本発明の第５の実施の形態に係る検査装置の概略構成を示し、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１     検査装置
４     検査装置
５     検査装置
１０   搬送手段
１１   回転軸
１３   搬送部材
１３Ａ 搬送部材の外周面
１３Ｂ 搬送部材の軸方向両端面
１５   位置検出部
１６   搬送部材
１６Ａ 搬送部材の外周面
１７   搬送部材
１７Ａ 円柱部材
１７Ｂ 突出部
１７Ｂ１  搬送部材の外周面
２１   撮像手段としての複数のカメラ
２１Ａ 撮像手段としてのカメラ
２１Ｂ 撮像手段としての複数のカメラ
３０   当接位置認識手段と、回転制御手段と、撮像制御手段と、パターン認識手段と、検査手段と、を備えた制御部
Ｇ     透明基板としてのガラス基板
【図１】
2006242714.tif 000003
【図２】
2006242714.tif 000004
【図３】
2006242714.tif 000005
【図４】
2006242714.tif 000006
【図５】
2006242714.tif 000007
【図６】
2006242714.tif 000008
【図７】
2006242714.tif 000009
【図８】
2006242714.tif 000010