(57)【要約】【課題】イオナイザのエミッタを清浄する清浄器を提供する。【解決手段】清浄器１００は、イオナイザ１の複数のエミッタ２を清浄する清浄器１００であって、ハウジング１０、前記ハウジング１０内に配置された駆動機構２０、および前記駆動機構２０に接続された複数の清浄部３０を含み、前記駆動機構２０は、前記清浄部３０を回転し、前記エミッタ２を清浄する。【選択図】図１ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオナイザの複数のエミッタを清浄する清浄器であって、
ハウジング、
前記ハウジング内に配置された駆動機構、および
前記駆動機構に接続された複数の清浄部を含み、
前記駆動機構が、前記清浄部を回転させて、前記エミッタを清浄する清浄器。
【請求項２】
各清浄部は、前記エミッタを清浄する軟性の弾性材料を含む請求項１に記載の清浄器。
【請求項３】
前記軟性の弾性材料は、スポンジである請求項２に記載の清浄器。
【請求項４】
各清浄部は、前記エミッタを清浄する複数のブラシを含む請求項１に記載の清浄器。
【請求項５】
各清浄部は、前記エミッタ上の生成物をこすり落とすセラミック部を含む請求項１に記載の清浄器。
【請求項６】
前記清浄部は、前記駆動機構に取り外し可能に接続される請求項１に記載の清浄器。
【請求項７】
前記清浄部は、前記エミッタに対応して配置される請求項１に記載の清浄器。
【請求項８】
前記清浄部は、直線に沿って等間隔に配置される請求項１に記載の清浄器。
【請求項９】
前記複数の清浄部の回転軸は、前記直線に垂直する請求項８に記載の清浄器。
【請求項１０】
前記駆動機構は、ドライバ、前記ドライバに接続され、それによって回転する第一ローラー、前記第一ローラーに接続され、それによって作動するベルト、および前記ベルトに接続され、それによって回転する複数の第二ローラーを含み、
前記清浄部は、前記第二ローラーに配置され、それによって回転する請求項１に記載の清浄器。
【請求項１１】
前記清浄部は、前記第二ローラーに取り外し可能に配置される請求項１０に記載の清浄器。
【請求項１２】
前記イオナイザに隣接するように前記ハウジングに配置され、前記清浄部と前記エミッタとの間の距離を制御する保定装置をさらに含む請求項１に記載の清浄器。
【請求項１３】
前記保定装置は、本体、前記本体に設けられた溝、前記溝を穿通し、前記ハウジング上に前記本体を固定する第二留め具、および前記イオナイザに隣接するように前記本体に接続される固定部を含み、
前記保定装置は、前記溝によって、前記第二留め具に対応して、第一軸に沿ってスライドし、前記距離を制御する請求項１２に記載の清浄器。
【請求項１４】
前記固定部は、Ｕ型である請求項１３に記載の清浄器。
【請求項１５】
前記固定部は、前記第一軸に沿ってそれぞれ延伸する二つの支持アームを含む請求項１３に記載の清浄器。
【請求項１６】
前記固定部は、円弧状である請求項１３に記載の清浄器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、清浄器に関し、特に、イオナイザのエミッタを清浄する清浄器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイのガラス基板は、電気的に絶縁されているため、フラットパネルディスプレイの製造プロセス中に静電気を集める。静電気は、ガラス基板に配置された電子装置の特性を悪化させ、フラットパネルディスプレイの信頼性を低下させる。よって、フラットパネルディスプレイの製造プロセスでは、空気中の荷電イオンの量を増やすためにイオナイザが提供され、ガラス基板上の静電気を中和する。
【０００３】
図５に示すように、イオナイザ１は、そのサイドに配置された複数のエミッタ２を有する。エミッタは、シリコン、チタン、またはその他の材料からできており、その端は、円錐形をなしている。荷電イオンは、エミッタ２の端の周りで生成される。イオナイザ１は、プロセス用機器の中に、特にガラス基板を輸送する経路またはプロセスを行うチャンバに水平または垂直に配置される。
【０００４】
エミッタ２の端は、空気中の粒子を引き付け、プロセス中の化学ガスと反応する。よって、各エミッタ２のイオン生成の効果は、時間が経つと減少する。通常、各エミッタ２は、スポンジとイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）とを用いて手動で清掃され、イオン生成の効果が再生される。しかし、これは余分な時間と取り組みを費やし、製造プロセスを遅らせる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、イオナイザのエミッタを清浄する清浄器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、イオナイザの複数のエミッタを清浄する清浄器であって、ハウジング、前記ハウジング内に配置された駆動機構、および前記駆動機構に接続された複数の清浄部を含み、前記駆動機構が、前記清浄部を回転させて、前記エミッタを清浄する清浄器を提供する（請求項１）。上記発明（請求項１）においては、各清浄部は、前記エミッタを清浄する軟性の弾性材料を含むことが好ましい（請求項２）。上記発明（請求項２）においては、前記軟性の弾性材料は、スポンジであることが好ましい（請求項３）。
【０００７】
また、上記発明（請求項１）においては、各清浄部は、前記エミッタを清浄する複数のブラシを含むことが好ましく（請求項４）、各清浄部は、前記エミッタ上の生成物をこすり落とすセラミック部を含むことが好ましく（請求項５）、前記清浄部は、前記駆動機構に取り外し可能に接続されることが好ましい（請求項６）。上記発明（請求項１）においては、前記清浄部は、前記エミッタに対応して配置されることが好ましく（請求項７）、前記清浄部は、直線に沿って等間隔に配置されることが好ましい（請求項８）。また、上記発明（請求項８）においては、前記複数の清浄部の回転軸は、前記直線に垂直することが好ましい（請求項９）。
【０００８】
さらに、上記発明（請求項１）においては、前記駆動機構は、ドライバ、前記ドライバに接続され、それによって回転する第一ローラー、前記第一ローラーに接続され、それによって作動するベルト、および前記ベルトに接続され、それによって回転する複数の第二ローラーを含み、前記清浄部は、前記第二ローラーに配置され、それによって回転することが好ましい（請求項１０）。この発明（請求項１０）においては、前記清浄部は、前記第二ローラーに取り外し可能に配置されることが好ましい（請求項１１）。
【０００９】
さらにまた、上記発明（請求項１）においては、前記イオナイザに隣接するように前記ハウジングに配置され、前記清浄部と前記エミッタとの間の距離を制御する保定装置をさらに含むことが好ましく（請求項１２）、この発明（請求項１２）においては、前記保定装置は、本体、前記本体に設けられた溝、前記溝を穿通し、前記ハウジング上の前記本体を固定する第二留め具、および前記イオナイザに隣接するように前記本体に接続される固定部を含み、前記保定装置は、前記溝によって、前記第二留め具に対応して、第一軸に沿ってスライドし、前記距離を制御することが好ましい（請求項１３）。この発明（請求項１３）においては、前記固定部は、Ｕ型であってもよいし（請求項１４）、前記第一軸に沿ってそれぞれ延伸する二つの支持アームを含むものであってもよいし（請求項１５）、円弧状であってもよい（請求項１６）。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、イオナイザのエミッタを同時に迅速に清浄し、製造プロセスの遅れを防ぎ、取り組みに費やす時間を減少させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明についての目的、特徴、長所が一層明確に理解されるよう、以下に実施形態を例示し、図面を参照しながら、詳細に説明する。
【００１２】
図１ａに示すように、本発明は、上述のエミッタを清浄するために、清浄器１００を提供する。清浄器１００は、ハウジング１０、駆動機構２０、スイッチ２６、複数の清浄部３０、および二つの保定装置４０を含む。ハウジング１０は、直方体をなし、第一端面１０１、第二端面１０２、第一平面１０３、第二平面１０４を含む。駆動機構２０は、ハウジング１０内に配置される。第一平面上に配列された清浄部３０は、駆動機構２０に接続され、それによって回転する。スイッチ２６は、第二平面１０４に配置され、駆動機構２０を作動させる。保定装置４０は、第一端面１０１と第二端面１０２との上にそれぞれ配置される。電力線２５は、駆動機構２０に接続され、電力を供給する。
【００１３】
図１ｂに示すように、駆動機構２０は、清浄部３０を回転し、これによりエミッタ２の端が清浄される。また、保定装置４０は、イオナイザ１の表面に隣接し、清浄装置３０とエミッタ２との間の距離を制御する。
【００１４】
図２に示すように、駆動機構２０は、ドライバ２４、第一ローラー２１、複数の第二ローラー２２、第三ローラー２３、複数の固定構造２７、およびベルト２８を含む。ドライバ２４は、電気モーターであり、第一ローラー２１を同軸上に回転させる。第一ローラー２１は、ベルト２８と第三ローラー２３とを作動させる。ベルト２８は、第二ローラー２２に接しており、第二ローラー２２を回転させる。第二ローラー２２は、固定構造２７によって清浄部３０に接続され、清浄部を同軸上に回転させる。第一ローラー２１の直径は、第二ローラー２２の直径より大きい。よって、第二ローラー２２の回転速度は、第一ローラー２１の回転速度より早い。清浄部３０は、直線１０５に沿って等間隔に配置され、その回転軸は、直線１０５に垂直である。
【００１５】
清浄部３０は、等間隔に配置されるように限定されておらず、その並べ方は、エミッタの並べ方にも対応することができる。
【００１６】
ベルト２８は、平らなベルトである。本発明は、ベルトによって清浄部３０を回転させることに限定されない。清浄部３０を、その他の方式（例えば、歯車伝動）によって回転させることもできる。
【００１７】
図３ａに示すように、固定構造２７は、第二ローラー２２の上に配置される。清浄部３０は、本体３１とブラシ３２とを含み、エミッタをブラッシングする。清浄部３０は、留め具２９によって固定構造２７に取り外し可能に接続される。留め具２９は、ボルトである。よって、清浄部３０は、第二ローラー２２に接続される。
【００１８】
図３ｂは、本発明の変形例を表しており、ブラシ３２は、スポンジ３３、またはその他の軟性の弾性材料に置き換えられ、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と合わせて、エミッタを清浄する。図３ｃは、本発明のもう一つの変形例を表しており、スポンジ３３は、セラミック部３４に置き換えられる。凹所３４１は、エミッタの端の形に対応してセラミック部３４の上に形成される。セラミック部３４は、エミッタの表面上の金属酸化物、またはその他の頑固な生成物をこすり落とす。本発明は、エミッタから取り除かれる生成物に対応して、清浄器の材料、形、またはデザインを変える。
【００１９】
図４ａは、図２の方向Ａの側面図であり、保定装置４０は、本体４４、溝４２、第二留め具４３、および固定部４１を含む。溝４２は、本体４４の上に形成される。第二留め具は、溝４２を穿通し、ハウジング１０上の本体を固定する。固定部４１は、Ｕ型をなし、イオナイザに隣接するように本体４４に接続される。保定装置４０は、溝４２によって、第二留め具４３に対応して、第一軸ｚに沿ってスライドし、清浄部３０とエミッタの間の距離を制御し、清浄部３０がエミッタに当たる、または損傷を与えるのを防ぐ。
【００２０】
図４ｂは、本発明の変形された保定装置４０’を表しており、固定部４１’は、第一軸に沿ってそれぞれ延伸する二つの支持アーム４１１を含む。図４ｃは、本発明のもう一つの変形された保定装置４０”を表しており、固定部４１”は、円弧状である。
【００２１】
以上、本発明の好適な実施例を例示したが、これは本発明を限定するものではなく、本発明の精神および範囲を逸脱しない限りにおいては、当業者であれば行い得る少々の変更や修飾を付加することは可能である。したがって、本発明が保護を請求する範囲は、特許請求の範囲を基準とする。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１ａ】本発明の清浄器の側面図である。
【図１ｂ】イオナイザを清浄する本発明の清浄器を表す側面図である。
【図２】本発明の清浄器の斜視図である。
【図３ａ】第二ローラーに接続された清浄部を表す断面図である。
【図３ｂ】清浄部の変形例を表す断面図である。
【図３ｃ】清浄部のもう一つの変形例を表す断面図である。
【図４ａ】図２の方向Ａの側面図である。
【図４ｂ】保定装置の変形例を表す側面図である。
【図４ｃ】保定装置のもう一つの変形例を表す側面図である。
【図５】イオナイザの斜視図である。
【符号の説明】
【００２３】
１…イオナイザ
２…エミッタ
１０…ハウジング
２０…駆動機構
２１…第一ローラー
２２…第二ローラー
２３…第三ローラー
２４…ドライバ
２５…電力線
２６…スイッチ
２７…固定構造
２８…ベルト
２９…留め具
３０…清浄部
３１…本体
３２…ブラシ
３３…スポンジ
３４…セラミック材料
３４１…凹所
４０，４０’，４０”…保定装置
４１，４１’，４１”…固定部
４２…溝
４３…第二留め具
４４…本体
１００…清浄器
１０１…第一端面
１０２…第二端面
１０３…第一平面
１０４…第二平面
１０５…直線
【図１ａ】
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【図１ｂ】
2006253115.tif 000004
【図２】
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【図３ａ】
2006253115.tif 000006
【図３ｂ】
2006253115.tif 000007
【図３ｃ】
2006253115.tif 000008
【図４ａ】
2006253115.tif 000009
【図４ｂ】
2006253115.tif 000010
【図４ｃ】
2006253115.tif 000011
【図５】
2006253115.tif 000012