(57)【要約】【課題】  真空遮断器に搭載される真空バルブ用電極の遮断性能の向上と製造工程の簡略化を図る。【解決手段】  真空バルブ内で相互に対向し、同軸上に配置された固定電極と可動電極とを有し、上記各電極１はCuまたは導電率が40%IACS 以上のCu合金で形成されると共に、中心部から半径方向に延在する溝２によって複数の区分に区画され、風車形に形成された導電部材５と、上記導電部材５の各区分の外周部において、上記両電極の対向側に突出して設けられCu-Cr合金で形成された接触子３とから構成する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空バルブ内で相互に対向し、同軸上に配置された固定電極と可動電極とを有し、上記各電極はCuまたは導電率が40%IACS 以上のCu合金で形成されると共に、中心部から半径方向に延在する溝によって複数の区分に区画され、風車形に形成された導電部材と、上記導電部材の各区分の外周部において、上記両電極の対向側に突出して設けられCu-Cr合金で形成された接触子とから構成されていることを特徴とする真空バルブ用電極。
【請求項２】
上記導電部材の上記両電極の対向面側表面に耐アーク層を設けたことを特徴とする請求項１記載の真空バルブ用電極。
【請求項３】
上記耐アーク層は、Cu-Cr合金、Cu-W合金、Cu-Mo合金、Mo、W、ステンレス鋼のいずれか１つで構成されていることを特徴とする請求項２記載の真空バルブ用電極。
【請求項４】
上記導電部材の上記両電極の対向面の裏面に非磁性体で、かつ上記導電部材より高い強度を有する補強板を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項記載の真空バルブ用電極。
【請求項５】
上記補強板はステンレス鋼であることを特徴とする請求項４記載の真空バルブ用電極。
【請求項６】
外周を取り囲むダイと、その中央部下側に配設された下パンチとを有し、上記下パンチの上面に導電部材を配置する工程と、上記導電部材の上面に接触子の内面を形成する内型を配設する工程と、上記接触子の原料粉末を上記内型とダイの間で上記導電部材上に充填する工程と、上記内型とダイの間に挿入し得るように環状に形成された上パンチを上記接触子の原料粉末上に配設する工程と、上記上パンチにより上記原料粉末を加熱加圧して成形及び焼結を行い、上記接触子を上記導電部材に接合する工程とを含むことを特徴とする請求項１記載の真空バルブ用電極の製造方法。
【請求項７】
外周を取り囲むダイと、その中央部下側に配設された下パンチとを有し、上記下パンチの上面に補強板を配置すると共に、上記補強板の上面に導電部材を配置する工程と、上記導電部材の上面に接触子の内面を形成する内型を配設する工程と、上記接触子の原料粉末を上記内型とダイの間で上記導電部材上に充填する工程と、上記内型とダイの間に挿入し得るように環状に形成された上パンチを上記接触子の原料粉末上に配設する工程と、上記上パンチにより上記原料粉末を加熱加圧して成形及び焼結を行い、上記接触子を上記導電部材に接合する工程とを含むことを特徴とする請求項１記載の真空バルブ用電極の製造方法。
【請求項８】
上記導電部材の上面に耐アーク材の円板を配置あるいは上記導電部材の上面に耐アーク材となる原料粉末を充填した後、上記円板あるいは原料粉末上に上記内型を配設することを特徴とする請求項６または請求項７記載の真空バルブ用電極の製造方法。
【請求項９】
上記接触子と導電部材との接合または焼結は、パルス通電加熱法またはホットプレス法によって行うことを特徴とする請求項６〜請求項８のいずれか１項記載の真空バルブ用電極の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、真空遮断器等に用いられる真空バルブ用電極及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空遮断器等に搭載される真空バルブは、高真空に保たれた絶縁容器内に固定電極と可動電極が同軸上に対向配置されており、可動電極はベローズを介して外部の操作機構部に接続され、軸方向に移動可能な構造になっている。そして、過負荷電流や短絡電流が発生した場合に、両電極を瞬時に開極して回路を遮断するようになっている。
【０００３】
真空バルブ用電極は様々な構造のものが提案されているが、その一つとして電極の外周部が突出した接触子からなる風車形電極が知られている。この電極の接触子は混合粉末を加圧成形した後に焼結して作製されている。そして、機械加工によって外周部を突出した形状に加工して接触子を形成していた。また、機械加工によって任意の形状に仕上げた接触子に補強板をろう付けにより接合したものもある（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
また、接点の裏面にコイル電極を設けて電極の軸方向に磁界を印加する縦磁界形電極でも接触子と電極をろう付けにより接合していた（例えば特許文献２参照）。
その一方で、ろう付け接合に伴う各部材の機械加工工程及び組み立て工程の低減等を図るために放電焼結法で電極とアーク電極支持部材とを一体化した構造を持つ真空バルブも開発されている（例えば特許文献３参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３３４６３９号公報（段落００１２）
【特許文献２】特開平６−１３９８８６号公報（段落００１３）
【特許文献３】特開平１０−３４０６５４号公報（段落００２８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
外周部が突出した形状を持つ従来の真空バルブ用電極は上記のように構成されているため、真空遮断器に搭載された真空バルブ内で、電極を開極して負荷電流を遮断した時は電極間にアークが発生する。発生直後のアークの動きは停滞しているが、その後、接触子の表面を高速で回転する。アークが停滞すると接触子表面に注入されるエネルギーが大きくなり、そのため接触子表面が溶融して金属蒸気が発生し遮断失敗にいたることが考えられている。
【０００７】
接触子表面に注入されるエネルギーの一部は電極内部への熱伝導に消費されると見られ、アークが停滞している期間に電極内部に熱を速やかに伝える必要があった。
そのため、特許文献１では優れた遮断性能を得るために熱伝導特性の高い接触子材料を用いることが必要であった。また、特許文献２に示されるように接触子と電極部材がろう付けにより接合されている場合には、ろう材が接触子と電極部材の間の熱伝導を阻害することとなり、遮断性能向上の妨げになるという問題点があった。
【０００８】
従来、接触子は原料粉末を加圧成形により圧紛体にした後、焼結法や溶浸法等によって素材とし、機械加工により外周部が突出した形状に仕上げられていた。そのため、素材の無駄が多く不経済で、加工に時間が費やされるという問題点があった。さらに、特許文献１と特許文献２に示されるように、接触子と周辺の部材とがろう付けされており、接触子の製造の加工工程に加えて、ろう付け工程を夫々行うことが必要で、工程が多いことも問題であった。
【０００９】
特許文献３には放電焼結法で電極とアーク電極支持部材とを一体化した構造を持つ真空バルブが開示されているが、平板形状の接触子とアーク電極支持部材とを一体化することしかできなかった。また、ダイスに凹凸をつけて焼結する方法が示されているが、この方法では厚みの違う部分で加圧力に差が生じてしまうため、密度比が不均一となり均質な接触子を得ることが困難であった。
【００１０】
この発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、接触子と電極部材との接合を、ろう付け以外の手段によって行なうと共に、アークによる注入エネルギーが導電部材に拡散しやすくなり、接触子の局所的な溶融と蒸発を抑えることができ、これにより遮断性能を向上することが出来ると共に、接触子材の使用量を削減することができる真空バルブ用電極及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明に係る真空バルブ用電極は、真空バルブ内で相互に対向し、同軸上に配置された固定電極と可動電極とを有し、上記各電極はCuまたは導電率が40%IACS 以上のCu合金で形成されると共に、中心部から半径方向に延在する溝によって複数の区分に区画され、風車形に形成された導電部材と、上記導電部材の各区分の外周部において、上記両電極の対向側に突出して設けられCu-Cr合金で形成された接触子とから構成されているものである。
【発明の効果】
【００１２】
この発明に係る真空バルブ用電極は上記のように構成され、必要最小限の接触子を導電部材に接合しているため、熱伝導がよく、アークによる注入エネルギーの一部を熱伝導性に優れる部材へ拡散して優れた遮断性能を得ることができる。また、必要最小限の接触子部材を外周部に設けているため、接触子材料の使用量を削減することができる。
【００１３】
更に、電極中心部の表面には必要最小限の厚さの耐アーク層を設けているため、導電部材の溶融と蒸発を抑制することができ、且つ電極内部の熱拡散の妨げとならないので安定した遮断性能を得ることができる。
【００１４】
更にまた、この発明の製造方法によれば、外周部が突出した形状の接触子の成形と焼結を行いながら、接触子、導電部材、補強板、耐アーク層を接合するので、従来行われていたろう付け工程を省くことができる。さらに、凸形状又は円柱状内型と円筒状パンチを用いることで、外周部を突出させた形状の焼結体を得ることができ、密度比が均質な接触子を設けることができる結果、電極の加工工程を簡略化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
実施の形態１．
以下、この発明の実施の形態１を図にもとづいて説明する。図１は、実施の形態１による真空バルブ用電極の構成を示す斜視図、図２は、その断面図である。なお、図２では断面構造を分りやすくするために図１に示す溝２と電極棒６の図示を省略している。
【００１６】
図１において、電極１は、おおむね円板状の導電部材５の上面の外周部に突出するような形で接触子３が設けられ、電極中心部４の接合穴７には電極棒６が挿着されている。接触子３と導電部材５の界面８は接合されている。また、電極１は、中心部から半径方向に延在する溝２によって複数の区分に区画され、風車形に形成されている。
【００１７】
このような構成にすれば、接触子３を必要な外周部分だけに設けることができるので、接触子３の使用量を大幅に削減することができる。また、接触子３の直下に導電部材５を配置しているので熱伝導がよく、その結果、アークの注入エネルギーで発生した熱を電極内部へ拡散して優れた遮断性能を得ることができる。
【００１８】
接触子３の材料は主に遮断性、耐圧性、耐溶着性に優れたものが望まれ、Ｃｕマトリックス中にＣｒ粒子を分散させたＣｕ−Ｃｒ合金が用いられる。耐アーク成分であるＣｒの含有量は２０〜６０wt%の範囲とするのが好ましい。その理由は、２０ｗｔ％未満ではアークによる損傷を受けやすく耐溶着性が低下し、６０ｗｔ％を超えると加工性や耐熱衝撃性が低下するためである。また、Ｃｕ−Ｃｒ合金の密度比は高い導電率や熱伝導性を得るために９５％以上が好ましい。
【００１９】
また、Ｃｕ−Ｃｒ合金の耐圧性や遮断性能を改善するために、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｗ、Ｔａ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉの元素を１種以上添加してもよい。また、耐溶着性を確保するために接触子材料中にＢｉ、Ｔｅ、Ｓｅ、Ｓｂの低融点成分を添加してもよい。低融点成分の含有量は０．０１〜５ｗｔ％が好ましい。その理由は、０．０１ｗｔ％以下では耐溶着性の改善効果を得ることができず、５ｗｔ％以上では耐圧性能の低下を招くためである。
【００２０】
導電部材５は純Ｃｕ又は導電率が４０％ＩＡＣＳ以上を示すＣｕ合金を用いる。導電率が４０％ＩＡＣＳ未満だと、熱伝導性が劣るので遮断性能を向上する効果が得られない。
Ｃｕ合金は、例えばＣｕ中にＡｇ、Ｃｒ、Ｚｒ、W、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｓｎ、Ｆｅ、Ｓｉ、Niが１種又は２種以上添加されたもの等が挙げられる。
【００２１】
実施の形態２．
次に、この発明の実施の形態２を図にもとづいて説明する。図３は、実施の形態２による真空バルブ用電極の断面図を示すもので、実施の形態１による真空バルブ用電極に補強板９を設けたものである。また、図３では、図２と同様に溝２と電極棒６の図示を省略している。
【００２２】
この電極１は、導電部材５の裏面に導電部材５より高い強度を有する補強板９が設けられ、補強板９と導電部材５の界面１０は接合されている。
補強板９は電極１の開閉時に加わる機械的な力に耐える強度を持ち、さらに真空バルブの組み立て工程における温度に耐え、且つ電気的に耐圧性が確保できるステンレス鋼を用いる。なお、ステンレス鋼は風車形電極の磁気の影響を受けない非磁性のオーステナイト系ステンレス鋼（例えばＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等）が好ましい。
【００２３】
真空バルブは遮断できる負荷電流が大きいほど電極１の径が大きくなり、それに伴い電極１を開閉するための機械的な力も大きくなるため電極１が変形する問題がある。導電部材５は高い熱伝導性を有するＣｕ又は導電率が４０％ＩＡＣＳ以上のＣｕ合金を用いる。しかし、真空バルブの組み立て工程でＣｕ及びＣｕ合金の再結晶温度以上となるため機械的強度が低くなる。そのため、上述のように補強板９を設けることにより電極１の強度を補い、開閉時の機械的な力によって生じる電極１の変形を防止することができる。
【００２４】
実施の形態３．
次に、この発明の実施の形態３を図にもとづいて説明する。図４は、実施の形態３による真空バルブ用電極の断面図を示すもので、実施の形態１による真空バルブ用電極に耐アーク層１１を設けたものである。また、図４では、図２、図３と同様に、溝２と電極棒６の図示を省略している。
【００２５】
この電極は、電極中心部４の表面に耐アーク層１１を設け、導電部材５と耐アーク層１１の界面１２は接合されている。
外周部の接触子３が対向電極と接触する電極１は、負荷電流を遮断した時に電極中心部４の表面もアークに晒される。そして、電極１の接触子３と電極中心部４の表面はアークによって溶融し蒸発する。
【００２６】
しかし、高速回転するアークは主に接触子３の表面を移動するため、電極中心部４の表面は接触子３の表面に比べてアークによる損傷は少ない。そのため、耐アーク層１１の厚さは、電極中心部４の表面の溶融を防止できる範囲で極力薄くすることが好ましい。
【００２７】
耐アーク層１１はアーク熱による電極中心部４の表面の溶融を防止するために、Ｃｕ−Ｃｒ、Ｃｕ−Ｗ、Ｃｕ−Ｍｏ、Ｃｒ、Ｗ、Ｍｏ、ステンレス鋼のいずれか１つによって形成される。
以上の構成により、電極中心部４の表面の溶融を防止することができ、且つアークによる注入エネルギーを導電部材５へ速やかに拡散させることができ遮断性能が向上する。
【００２８】
実施の形態４．
次に、この発明の実施の形態４について説明する。表１は実施の形態１〜３によって製作したこの発明の電極の評価結果を示したものである。
評価は各断面構造の風車形電極を真空バルブに組み込み、定格電圧２４ｋＶ、定格遮断電流２５ｋＡで合成遮断試験を行った場合の遮断性能を示している。遮断性能は比較例１の遮断限界電流値を基準にして相対比較したものである。
【００２９】
【表１】
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【００３０】
表１に示すこの発明の実施例１〜９は、いずれも比較例１に比べて遮断性能が向上している。実施例１は導電部材５に導電率１００％ＩＡＣＳの無酸素銅を用い、実施例２は導電部材５に導電率４０％ＩＡＣＳのＣｕ−２．５Ｎｉ−０．６Ｓｉ合金を用い、断面構造は共に図２に示す耐アーク層や補強板を設けていない場合である。
実施例１は電極の変形と電極中心部４の表面の損傷が若干見られたが、比較例１よりも遮断性能が向上した。
【００３１】
実施例３は断面構造が図３に示したもので補強板９を設けた場合である。比較例１よりも遮断性能が向上し、電極の変形を防止できた。実施例４〜９は断面構造が図４に示したもので、耐アーク層１１と補強板９を設けた場合である。いずれも比較例１よりも遮断性能が向上し、各耐アーク層１１は共に電極中心部の損傷を防止することができた。
【００３２】
比較例１は従来の構成のもので導電部材５を設けていない場合であり、補強板９と接触子３が直接ろう付けされたものである。比較例２は導電部材５の導電率が３０％ＩＡＣＳのＣｕ−２Ｓｎ−０．２Ｎｉ合金を用いた場合で、遮断性能の向上は認められなかった。
接触子３、導電部材５、耐アーク層１１の接合は、アークの注入エネルギーを電極内に拡散する効果からすれば各部材を直接接合する拡散接合が好ましいが、摩擦接合、ろう付け等の熱的な接合でもよい。
【００３３】
実施の形態５．
次に、この発明の実施の形態５を図にもとづいて説明する。図７は、図３に示した構成の真空バルブ用電極の製造工程を示す図である。
先ず、図７（ａ）に示すように、外周を取り囲むダイ１３の下側に、貫通穴１５を設けた下パンチ１４をセットする。そして、貫通穴１５と同じ径の穴を設けた補強板９を下パンチ１４の上面に配置し、さらにその上面に貫通穴１５と同じ径の穴を設けた導電部材５を配置する。
【００３４】
続いて、図７（ｂ）に示すように、凸状内型１６の凸部を下パンチ１４の貫通穴１５に差込み設置する。そして、図７（ｃ）に示すように、ダイ１３と凸状内型１６の間に接触子用混合粉末１７を充填する。続いて、充填された接触子用混合粉末１７の上に円筒状の上パンチ１８を設置し、さらに円板型１９ａと１９ｂを円筒状上パンチ１８の上部と下パンチ１４の下部に、それぞれを挟むように配置し、この状態で、図示しないホットプレス装置又は通電パルス加熱装置内に設置する。
【００３５】
次に、図７（ｄ）に示すように、円筒状上パンチ１８、凸状内型１６及び下パンチ１４を介して上下から加圧を行いながら、通電パルス加熱又は抵抗加熱により型を加熱して接触子３の成形と焼結、並びに導電部材５、補強板９を熱間接合し、外周部に位置する接触子３が突出した形の焼結体２０を得る。次に、焼結体２０に仕上げの機械加工を施して風車形状の電極１を得る。
【００３６】
なお、ここで言う熱間接合とは、熱と圧力が加わるもので接触子３、導電部材５、補強板９を直接接合するものである。また、実施の形態５では補強板９を設けた場合について説明したが、図２に示した補強板９を設けない場合は、下パンチ１４の上に補強板９を配置せずに実施することになる。
【００３７】
次に、具体的な一例について説明する。
所定のカーボン製型の中に補強板９となる直径５０ｍｍ、内径１０ｍｍ、厚さ０．５ｍｍのＳＵＳ３０４のステンレス鋼板と、導電部材５となる直径５０ｍｍ、内径１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの純Ｃｕ板を配置した後、直径２５ｍｍ、凸部の直径１０ｍｍの凸状内型１６をセットする。
【００３８】
そして、Ｃｒが２５ｗｔ％、残部がＣｕとなるように配合した接触子用混合粉末１７を所定重量充填したカーボン製型を通電パルス加熱装置にセットする。なお、ステンレス鋼板と純Ｃｕ板の表面粗さ（Rａ）は０．５μｍに仕上げたものを用いた。各部材のＲａは０．０２〜１０μｍが好ましい。
【００３９】
次に、装置の炉内を４×１０−２ｔｏｒｒの真空にした後、加圧力２ＭＰａの圧力をかける。続いて、パルス通電を行い５００℃で３０分間の加熱を行い脱ガス処理を行なう。
続いて、室温から９００℃までを２０分で昇温し、９００℃に到達した時点から加圧力５０ＭＰａで加圧し、保持時間２０分で焼結と拡散接合を同時に行う。
加圧と加熱が完了したら冷却し、カーボン型１０から焼結体２０を取り出す。そして、焼結体２０に仕上げ加工を施して図３の断面構造を持つ電極１を得ることができる。
【００４０】
以上のように、外周部が突出した形状の接触子３の成形と焼結を行いながら、接触子３、導電部材５、補強板９、耐アーク層１１を熱間接合するので、従来行われていたろう付け工程を省くことができる。さらに、外周部が突出した電極の形状に近い焼結体を得ることができるので、加工工程を簡略化することができる。
【００４１】
実施の形態６．
次に、この発明の実施の形態６を図にもとづいて説明する。図８は、図４に示した構成の真空バルブ用電極の製造方法を示す断面図である。図８（ａ）に示すように、下パンチ１４の上面に補強板９を設置し、その上面に導電部材５を設置する。さらに、導電部材５の上面に耐アーク材製円板１１を設置する。なお、耐アーク材製円板１１は凸状内型１６と同じ直径のものを用いる。
【００４２】
その後、図８（ｂ）に示すように、凸状内型１６を設置する。その後は、図７（ｃ）と同じ工程で接触子用混合粉末１７を充填した後、円筒状上パンチ１８を設置して加圧と加熱を行う。これにより、耐アーク層１１を設けた焼結体２０を得る。焼結体２０に仕上げの機械加工を施して図４に示した構成の真空バルブ用電極とすることができる。
【００４３】
次に、具体的な一例について説明する。
補強板９となる直径５０ｍｍ、内径１０ｍｍ、厚さ０．５ｍｍのＳＵＳ３０４のステンレス鋼板を下パンチの上面に設置し、ステンレス鋼板の上面に導電部材５となる直径５０ｍｍ、内径１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの純Ｃｕ板を配置する。さらに純Ｃｕ板の上面に直径５０ｍｍ、内径１０ｍｍ、厚さ５ｍｍのＣｕ−３０Ｃｒ板を配置した後、直径２５ｍｍ、凸部の直径１０ｍｍの凸状内型１６をセットする。
【００４４】
そして、Ｃｒが２５ｗｔ％、残部がＣｕとなるように配合した接触子用混合粉末１７を所定重量充填したカーボン製の型を通電パルス加熱装置にセットする。なお、ステンレス鋼板と純Ｃｕ板の表面粗さ（Rａ）は０．５μｍに仕上げたものを用いた。各部材のＲａは０．０２〜１０μｍが好ましい。
【００４５】
次に、装置の炉内を４×１０−２ｔｏｒｒの真空にした後、加圧力２ＭＰａの圧力をかける。続いて、パルス通電を行い５００℃で３０分間の加熱を行い脱ガス処理を行なう。
続いて、室温から９００℃までを２０分で昇温し、９００℃に到達した時点から加圧力５０ＭＰａで加圧し、保持時間２０分で焼結と拡散接合を同時に行う。加圧と加熱が完了したら、冷却しカーボン型１０から焼結体２０を取り出す。そして、焼結体２０に仕上げ加工を施して図４の断面構造を持つ電極１を得ることができる。
【００４６】
実施の形態７．
次に、この発明の実施の形態７を図にもとづいて説明する。図５は、真空バルブ用電極の構成の変形例を示す断面図である。図５は、平らな導電部材５の上に耐アーク層１１と接触子３が設けられている場合を示すもので、効果は実施の形態３と同様である。
【００４７】
図９は、図５に示した構成の真空バルブ用電極の製造方法を示す断面図である。図９（ａ）に示すように、補強板９を下パンチ１４の上面に設置し、次に片側表面の中央部に所定の深さと直径（中心加圧型１６と同じ直径）のザグリを設けた導電部材５を設置する。
そして、ザグリ部分に耐アーク材円板２１を配置し、凸状内型１６を設置する。
【００４８】
その後は、図７の（ｃ）と（ｄ）に示した工程と同様に接触子用混合粉末１７を充填して加圧と加熱を行い、耐アーク層１１を設けた焼結体２０を得る。そして、焼結体２０に仕上げ加工を施して図６の断面構造を持つ電極１を得ることができる。
【００４９】
図１０は、耐アーク層用混合粉末を用いて図５に示した構成の真空バルブ用電極を製造する製造方法を示す断面図である。図１０（ａ）に示すように、補強板９を下パンチ１４の上面に設置する。次に片側表面の中央部に所定の深さと直径（中心加圧型２３と同じ直径）のザグリを設けた導電部材５を設置する。そして、ザグリ部分に耐アーク層用混合粉末２２を充填し、円柱状内型２３を設置する。
【００５０】
その後は、図７の（ｃ）と（ｄ）に示した工程と同様にダイ１３と円柱状内型２３の間に接触子用混合粉末１７を充填し加圧と加熱を行い、耐アーク層１１を設けた焼結体２０を得る。そして、仕上げ加工により電極１を得ることができる。
【００５１】
実施の形態８．
次に、この発明の実施の形態８を図にもとづいて説明する。図６は、真空バルブ用電極の構成の変形例を示す断面図で、接触子３が、補強板９まで到達している構成の例を示すものである。図１１は、図６に示した構成の真空バルブ用電極の製造方法を示す断面図である。
【００５２】
図１１（ａ）に示すように、下パンチ１４の上面に補強板９を設置し、その上面に凸状内型１６と同じ直径の導電部材５を設置する。さらに、導電部材５の上面に凸状内型１６と同じ直径の耐アーク材製円板２１を設置した後、凸状内型１６を設置する。そして、図７の（ｃ）と（ｄ）に示した工程と同様にダイ１３と凸状内型１６の間に接触子用混合粉末１７を充填した後、円筒状上パンチ１８を設置して加圧と加熱を行う。これにより、耐アーク層１１と補強板９にまで達する接触子３を設けた焼結体２０を得る。そして、焼結体２０に仕上げ加工を施して図６の断面構造を持つ電極１を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】この発明の実施の形態１による真空バルブ用電極の構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す真空バルブ用電極の断面図である。
【図３】この発明の実施の形態２による補強板を設けた真空バルブ用電極の構成を示す断面図である。
【図４】この発明の実施の形態３による耐アーク層を設けた真空バルブ用電極の構成を示す断面図である。
【図５】この発明の実施の形態７による真空バルブ用電極の構成の変形例を示す断面図である。
【図６】この発明の実施の形態８による真空バルブ用電極の構成の変形例を示す断面図である。
【図７】図３に示した構成の真空バルブ用電極の製造工程を示す図である。
【図８】図４に示した構成の真空バルブ用電極の製造方法を示す断面図である。
【図９】図５に示した構成の真空バルブ用電極の製造方法を示す断面図である。
【図１０】図５に示した構成の真空バルブ用電極の製造方法を示す断面図である。
【図１１】図６に示した構成の真空バルブ用電極の製造方法を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  電極、  ２  溝、  ３  接触子、  ４  電極中心部、  ５  導電部材、  ６  電極棒、  ７  接合穴、  ８  接触子と導電部材との界面、  ９  補強板、  １０  導電部材と補強板との界面、  １１  耐アーク層、  １２  導電部材と耐アーク層との界面、
１３  ダイ、  １４  下パンチ、  １５  貫通穴、  １６  凸状内型、  １７  接触子用混合粉末、  １８  円筒状上パンチ、  １９ａ、１９ｂ  円板型、  ２０  焼結体、
２１  耐アーク材製円板、  ２２  耐アーク層用混合粉末、  ２３  円柱状内型。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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