(57)【要約】    【課題】小型スライダは軸受面の面積が減少し、空気軸受特性によって得られる浮上力が大幅に減少する。    【解決手段】スライダ１の軸受面８の流入側に浅溝面４ａと浮上面２ａ，２ｂが設けられ、浮上面２ａ，２ｂは接続浮上面７により接続されている。浮上面２ａ，２ｂの後方には、流出端近くまで伸びたサイド浅溝面４ｂが設けられる。一方スライダ１の流出端にはセンター浮上面２ｃが設けられ、磁気ヘッド３を搭載している。センター浮上面２ｃの流入側にセンター浅溝面４ｃが設けられ、軸受面８の中央には深溝面５が設けられる。スライダの両サイドには切断代はなく、流入側浮上面２ａ，２ｂはスライダ幅方向の端面まで達した構成となっている。また、流入側浅溝面４ａおよびサイド浅溝面４ｂもスライダ幅方向の端面まで達した構成となっている。軸受面８はスライダ幅方向になめらかな平面あるいは凸面形状である。【選択図】図１
2006164346.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体対向面の空気流入側の両端に接して設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面を空気流入側で接続する接続浮上面と、前記２個の浮上面および接続浮上面と前記媒体対向面の空気流入端の間に前記媒体対向面の両端に接して設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に前記媒体対向面の両端に接して設けられ前記媒体対向面の空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記接続浮上面と前記サイド浅溝面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダは、幅が０．８ｍｍ以下であり、前記媒体対向面が幅方向に平面もしくは凸面形状であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
前記スライダは、長さが約０．８５ｍｍ、幅が約０．７ｍｍ、高さが約０．２３ｍｍであることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
前記２個の浮上面から前記浅溝面までの深さと、前記センター浮上面から前記センター浅溝面までの深さが１６０ｎｍ以下であり、前記２個の浮上面およびセンター浮上面から前記深溝面までの深さが９００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
前記空気流入端の両端に前記浅溝面より深いコーナー深溝面を有することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
前記コーナー深溝面の深さは前記深溝面の深さと同じであることを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項６】
媒体対向面の空気流入側の両端に接して設けられた２個の浮上面と、前記２個の浮上面の周囲に前記媒体対向面の空気流入端および両端に接して設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に前記媒体対向面の両端に接して前記媒体対向面の空気流出端近傍まで設けられたサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記浅溝面と前記サイド浅溝面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダは、幅が０．８ｍｍ以下であり、前記媒体対向面が幅方向に平面もしくは凸面形状であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項７】
前記空気流入端の両端に前記浅溝面より深いコーナー深溝面を有することを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項８】
前記コーナー深溝面の深さは前記深溝面の深さと同じであることを特徴とする請求項７記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項９】
前記２個の浮上面から互いの方向に突出して設けられた半島部を有することを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１０】
前記空気流入端の両端に前記浅溝面より深いコーナー深溝面を有することを特徴とする請求項９記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１１】
媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面を空気流入側で接続する接続浮上面と、前記２個の浮上面および接続浮上面と前記媒体対向面の空気流入端の間に前記媒体対向面の両端に接して設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の両側に前記媒体対向面の両端に接して設けられた浮上面横浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に前記媒体対向面の両端に接して前記媒体対向面の空気流出端近傍まで設けられたサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記接続浮上面と前記サイド浅溝面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダは、幅が０．８ｍｍ以下であり、前記媒体対向面が幅方向に平面もしくは凸面形状であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項１２】
前記空気流入端の両端に設けられた流入端パッドを有することを特徴とする請求項１１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１３】
媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面の周囲に前記媒体対向面の空気流入端と両端に接して設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に前記媒体対向面の両端に接して前記媒体対向面の空気流出端近傍まで設けられたサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記浅溝面と前記サイド浅溝面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダは、幅が０．８ｍｍ以下であり、前記媒体対向面が幅方向に平面もしくは凸面形状であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項１４】
前記空気流入端の両端に前記浅溝面より深いコーナー深溝面を有することを特徴とする請求項１３記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１５】
前記コーナー深溝面の深さは前記深溝面の深さと同じであることを特徴とする請求項１４記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１６】
前記空気流入端の両端に面取りが施されていることを特徴とする請求項１５記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１７】
媒体対向面の空気流入側の両端に接して設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面を空気流入側で接続する接続浮上面と、前記２個の浮上面および接続浮上面と前記媒体対向面の空気流入端の間に前記媒体対向面の両端に接して設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に前記媒体対向面の両端に接して設けられ前記媒体対向面の空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記接続浮上面と前記サイド浅溝面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダは、幅が０．８ｍｍ以下であり、前記媒体対向面が幅方向に平面もしくは凸面形状である磁気ヘッドスライダと、
前記磁気ヘッドスライダによりデータの記録および再生が行われる磁気ディスクと、
を具備することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項１８】
前記磁気ディスクは、直径が４５．７ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１７記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行する記録媒体面上を微小な隙間で浮上もしくは間歇接触する磁気ヘッドスライダおよび磁気ディスク装置に係り、特に直径が４５．７ｍｍ（１．８インチ）以下の小径ディスクを用いた磁気ディスク装置に対して好適な磁気ヘッドスライダに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドスライダは、サスペンションに取り付けられたフレクシャに支持され、磁気ディスク上を僅かな間隙で浮上し、あるいは間歇接触しながらデータの記録および再生を行う。特許文献１に現在広く使われている磁気ヘッドスライダが記載されている。図１３にその構成を示す。スライダ101の媒体対向面（軸受面）108は、浮上面102(102a,102b,102c)と、浮上面102より僅かな深さの段差を持たせた浅溝面104(104a,104b,104c)と、浅溝面104よりさらに浮上面から深く掘られた深溝面105より構成されている。浮上面102は空気流入側で浅溝面104の後方に左右一対の流入側浮上面102a，102bと、空気流出端で磁気ヘッド103を搭載するセンターパッド102cよりなる。浅溝面104は空気流入側の浅溝面104aと、サイドの浅溝レール104bと、センターパッド102cの空気流入側のセンターパッド浅溝面104cよりなる。深溝面105は空気流入側の浅溝面104aと、流入側浮上面102a,102bと、サイドの浅溝レール104bで囲まれている。本構成では、浅溝面104aと浮上面102a,102bによるステップ空気軸受作用により、磁気ディスクからスライダを浮上させる浮上力が発生し、同時に深溝面105で負圧が発生し、適切な空気軸受剛性を確保し安定に浮上する。スライダのサイズは、長さLx=1.25mm、幅Ly=1.0mm、高さLz=0.3mmである。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置は、高密度化と共に、小型ディジタル機器への適用を目指し、小径ディスクを使用した小型磁気ディスク装置にシフトする傾向にある。それに伴って円板面上の有効データエリアの減少が問題となっている。この問題を解決する一方法として、スライダを小型化する方法がある。そこで現在広く使用されている上記のスライダに対し寸法を約７０％縮小した小型スライダが開発されている。図１４に小型スライダの平面図を示す。スライダ101のサイズは、長さLx=0.85mm、幅Ly=0.7mm、高さLz=0.23mmである。この小型スライダ101により、ディスクの有効データエリアは0.3mm広くなる。これは、ディスクサイズが25.4mm(1インチ)、20.3mm(0.8インチ)の小型磁気ディスク装置では、大幅な改善となる。
【０００４】
また、スライダの小型化、特にスライダ幅とスライダ高さの縮小は、同一の磁気ヘッド製造装置を使って同じウエハサイズから取れるスライダ数を約２倍に増加することができ、スライダコストを低減するメリットもある。
【０００５】
従来のスライダ加工プロセスは、上記スライダが横一列に約４０個集合したバーの状態で軸受面をラップした後、イオンミリング等のドライプロセスによって軸受面形状を形成し、その後チップ切断によって個々のスライダに分割していた。したがって、スライダのサイドはチップ切断のバリ、欠けが発生し、その部分では浮上面側に0.2μmを越える高さの突出部も発生し、浮上面をスライダ幅方向の両端まで伸ばすことは、上記バリ、欠けによる安定浮上の阻害や、ディスク損傷を引き起こし信頼性を大幅に低下させる問題があった。
【０００６】
また、チップ切断時に応力緩和が発生し、軸受面108のチップ切断部分に局所変形が発生する。プロファイルは両端が記録媒体側に飛び出す凹形状であり、スライダの両サイドで特に局所変形が観察される。この局所変形は浮上特性の変動の元となり、低浮上化と安定浮上を阻害し、また、ロード／アンロード時の接触により円板へのダメージを引き起こすことになる。したがって、従来のプロセスでは浮上面をサイドの端まで拡大することはできず、流入側の浮上面102aと102bの両側端には幅30μmの浅溝面109と、その外側に深溝面105と同じ深さの幅30μmの切断代部110を設けている。浮上面端からスライダ端までの長さL2は60μm、浮上面端から浅溝面までの長さL1は30μmである。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−１２３４２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
小型スライダはサイズの縮小に伴い軸受面の面積が減少し、空気軸受特性による浮上力が大幅に減少する。スライダに印加するサスペンション荷重も減少した浮上力とバランスさせるために小さくせざるを得ない。この傾向は軸受特性による浮上力が速度に比例することから、ディスク速度の小さい、低速度の２．５型磁気ディスク装置や、直径４５．７ｍｍ（１．８インチ）以下の磁気ディスクを使った装置で顕著である。空気軸受特性に基づく浮上力不足の問題は、従来の３．５型磁気ディスク装置や、磁気ディスクの回転数が5400rpm、7200rpm等の高速回転型の２．５型磁気ディスク装置では発生しない。浮上力低下の問題は、ディスクサイズが２５．４ｍｍ(１インチ)、４５．７ｍｍ(１．８インチ)等の小径ディスクの磁気ディスク装置の実用化によって生まれた新しい問題である。浮上力が大幅に低下することによる問題として以下が挙げられる。
（１）空気軸受剛性が低下し、スライダの浮上特性が劣化する。特にピッチ剛性（スライダ長手方向の空気軸受剛性）は長さの約２乗で比例するため、スライダ長の減少によりピッチ剛性が大幅に低下するため、外乱振動に対しピッチ方向浮上量変動が大きく発生し、最悪の場合スライダの一部が媒体に接触する。
（２）サスペンション荷重を小さくする必要があるため、動作時の装置の耐衝撃性が低下する。
（３）正圧負圧併用型スライダでは、負圧エリアで負圧が発生する安定領域と、負圧エリアでも正圧が発生し１μｍ以上の浮上量で浮上する高浮上モードと本来の浮上量で浮上する低浮上モードの両方の状態をとるBi-Stable領域がある。サスペンション荷重が小さい系では、このBi-Stable領域に入り、リードライト不能となる。
（４）前述の外乱振動や、雰囲気圧力が低下して浮上量が低下した場合や、スライダのロード時に、スライダが流入端でディスクに接触した場合（以下ピッチダウンと称する）、サスペンション荷重が小さく、スライダ長さが短いスライダでは、そこから脱出することができず、その姿勢を維持し、接触が続くことにより、ディスクの接触部分を傷つけ情報を消失することになる。さらにはクラッシュしてしまうこともある。
（５）軸受面積の減少は浮上力の低下と同時に負圧力も低下するため、雰囲気圧力の減少に対する浮上量の低下が大きくなり、浮上マージンがなくなる。
（６）磁気ディスクにサーボ情報を記録する際、ディスク回転数を通常の回転数に対し１／２から１／３に下げて行うが、従来の小型スライダでは速度に対する浮上量低下が大きく、浮上姿勢も安定せず、ディスク面との接触振動によって、サーボ情報を精度良く書くことができない。酷い場合には、前述したピッチダウンが起こりクラッシュに至ることもある。
【０００９】
本発明の目的は、浮上力低下を軽減できる磁気ヘッドスライダを提供することである。
【００１０】
本発明の他の目的は、耐衝撃特性を向上した磁気ディスク装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドスライダは、媒体対向面の空気流入側の両端に接して設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面を空気流入側で接続する接続浮上面と、前記２個の浮上面および接続浮上面と前記媒体対向面の空気流入端の間に前記媒体対向面の両端に接して設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に前記媒体対向面の両端に接して設けられ前記媒体対向面の空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記接続浮上面と前記サイド浅溝面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダは、幅が０．８ｍｍ以下であり、前記媒体対向面が幅方向に平面もしくは凸面形状であることを特徴とする。
【００１２】
前記スライダは、長さが約０．８５ｍｍ、幅が約０．７ｍｍ、高さが約０．２３ｍｍである。
【００１３】
前記２個の浮上面から前記浅溝面までの深さと、前記センター浮上面から前記センター浅溝面までの深さが１６０ｎｍ以下であり、前記２個の浮上面およびセンター浮上面から前記深溝面までの深さが９００ｎｍ以下である。
【００１４】
前記空気流入端の両端に前記浅溝面より深いコーナー深溝面を有する。
【００１５】
前記コーナー深溝面の深さは前記深溝面の深さと同じである。
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドスライダは、媒体対向面の空気流入側の両端に接して設けられた２個の浮上面と、前記２個の浮上面の周囲に前記媒体対向面の空気流入端および両端に接して設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に前記媒体対向面の両端に接して前記媒体対向面の空気流出端近傍まで設けられたサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記浅溝面と前記サイド浅溝面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダは、幅が０．８ｍｍ以下であり、前記媒体対向面が幅方向に平面もしくは凸面形状であることを特徴とする。
【００１７】
前記空気流入端の両端に前記浅溝面より深いコーナー深溝面を有する。
【００１８】
前記コーナー深溝面の深さは前記深溝面の深さと同じである。
【００１９】
前記２個の浮上面から互いの方向に突出して設けられた半島部を有する。
【００２０】
上記目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドスライダは、媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面を空気流入側で接続する接続浮上面と、前記２個の浮上面および接続浮上面と前記媒体対向面の空気流入端の間に前記媒体対向面の両端に接して設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の両側に前記媒体対向面の両端に接して設けられた浮上面横浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に前記媒体対向面の両端に接して前記媒体対向面の空気流出端近傍まで設けられたサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記接続浮上面と前記サイド浅溝面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダは、幅が０．８ｍｍ以下であり、前記媒体対向面が幅方向に平面もしくは凸面形状であることを特徴とする。
【００２１】
前記空気流入端の両端に設けられた流入端パッドを有する。
【００２２】
上記目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドスライダは、媒体対向面の空気流入側の両側に設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面の周囲に前記媒体対向面の空気流入端と両端に接して設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に前記媒体対向面の両端に接して前記媒体対向面の空気流出端近傍まで設けられたサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記浅溝面と前記サイド浅溝面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダは、幅が０．８ｍｍ以下であり、前記媒体対向面が幅方向に平面もしくは凸面形状であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【００２３】
前記空気流入端の両端に前記浅溝面より深いコーナー深溝面を有する。
【００２４】
前記コーナー深溝面の深さは前記深溝面の深さと同じである。
【００２５】
前記空気流入端の両端に面取りが施されている。
【００２６】
上記目的を達成するために、本発明の磁気ディスク装置は、媒体対向面の空気流入側の両端に接して設けられた２個の浮上面と、該２個の浮上面を空気流入側で接続する接続浮上面と、前記２個の浮上面および接続浮上面と前記媒体対向面の空気流入端の間に前記媒体対向面の両端に接して設けられた浅溝面と、前記２個の浮上面の後方に前記媒体対向面の両端に接して設けられ前記媒体対向面の空気流出端近傍まで延びるサイド浅溝面と、前記媒体対向面の空気流出端の幅方向中央部に設けられたセンター浮上面と、該センター浮上面の空気流入側に設けられたセンター浅溝面と、前記２個の浮上面と前記接続浮上面と前記サイド浅溝面と前記センター浮上面に囲まれた深溝面とを有するスライダと、
前記センター浮上面に設けられた磁気ヘッドと、を有し、
前記スライダは、幅が０．８ｍｍ以下であり、前記媒体対向面が幅方向に平面もしくは凸面形状である磁気ヘッドスライダと、
前記磁気ヘッドスライダによりデータの記録および再生が行われる磁気ディスクと、
を具備することを特徴とする。
【００２７】
前記磁気ディスクは、直径が４５．７ｍｍ以下である。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、小型スライダへの押し付け荷重を従来に比べ約１．５倍以上に増加でき、その結果、動作時耐衝撃特性を約１．５倍以上に高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下本発明の好適な実施例を図１から図１２を参照しながら詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲はこれらの実施例に限られるものではない。
【００３０】
図１は第１の実施例による磁気ヘッドスライダの斜視図、図２は平面図である。本実施例による磁気ヘッドスライダは、図１及び図２に示すごとく、空気軸受の効果を利用して浮上力を発生させるため、スライダ１の媒体対向面（軸受面）８の流入側に流入側浅溝面４ａが設けられ、その後方に浅溝面４ａに隣接して１対の流入側浮上面２ａ，２ｂが設けられている。流入側浮上面２ａ，２ｂはその流入側で接続浮上面７により接続され同一浮上面となっている。流入側浮上面２ａ，２ｂの後方の両サイドには、流出端近くまで伸びたサイド浅溝面４ｂが設けられている。一方スライダ１の流出端の幅方向中央にはセンター浮上面２ｃが設けられ、磁気ヘッド３を搭載している。センター浮上面２ｃの流入側にセンター浅溝面４ｃが設けられている。流入側浮上面２ａ，２ｂと接続浮上面７とサイド浅溝面４ｂとセンター浅溝面４ｃとで囲まれた軸受面８の中央に深溝面５が設けられている。また、流入側の両サイドのコーナーにのみ深溝面５と同じ深さのコーナー深溝面６が設けられている。
【００３１】
本実施例のスライダ長さＬｘは０．８５ｍｍ、スライダ幅Ｌｙは０．７ｍｍであり、浮上面２ａ，２ｂ，２ｃ，７から浅溝面４ａ，４ｂ，４ｃまでの深さｄ１は約１６０ｎｍ、浮上面２ａ，２ｂ，２ｃ，７から深溝面５までの深さｄ２は約９００ｎｍである。スライダの両サイドには切断代は設けておらず、流入側浮上面２ａ，２ｂはスライダ幅方向の端面まで達した構成となっている。また、流入側浅溝面４ａおよびサイド浅溝面４ｂもスライダの幅方向の端面まで達した構成となっている。流入側浅溝面４ａは流入端から流入側浮上面２ａ，２ｂまでの長さがスライダの両サイド側で長くなるように構成されている。
【００３２】
本実施例による磁気ヘッドスライダ１を記録媒体に対向させると、浮上浅溝面４ａと浮上面２ａ，２ｂ，７の構成により、記録媒体の回転による空気流を圧縮して空気軸受の効果により浮上力が発生する。一方、深溝面５では、逆に空気流が拡大して、負圧力が発生する。この空気軸受による力と図示しない磁気ヘッドを支持するサスペンションから印加されるサスペンション荷重とがつりあったところで磁気ヘッドスライダ１は浮上する。浮上量は磁気ヘッド３の部分で１５ｎｍ以下である。
【００３３】
上記実施例を実現するための加工プロセスを図６に示す。約６０スライダが横一列に並んだバー状態からチップ切断により、個々のスライダに切断する。次に切断したスライダの軸受面をラップし、軸受面側に突出した部分や、チップ切断により発生したスライダ端部の局所変形を除去し、スライダ幅方向の平面度を０（平面）もしくは媒体面側に凸の形状にする。その後、イオンミリング等で軸受面の形状形成を行なう。本加工プロセスで加工したスライダの軸受面８の幅方向平面度の例を図５に示す。従来、両サイドに５ｎｍ程度まで達する局所変形があったが、本加工プロセスによる加工により、端部の突出やサイドの局所変形は除去され、なめらかな平面あるいは凸面形状となる。その結果、スライダの幅方向量端まで浮上面を形成することが可能となる。
【００３４】
本実施例による磁気ヘッドスライダ１は、図２に示すように流入側浮上面２ａ，２ｂをスライダ幅方向両端まで配置することが可能となる。空気軸受によって発生する浮上力（荷重）は浮上面幅の約３乗に比例する。図３に浮上面幅と発生する荷重の関係を、従来を１とした割合で示す。この結果、図１４に示す同じスライダ寸法の従来スライダに対し、浮上面幅を両サイドにそれぞれ６０μｍ広げることが可能となり、発生する荷重を約２倍に高めることができる。拡大幅が３０μｍの場合でも約１．５倍に高めることができる。
【００３５】
磁気ヘッドスライダ１は上記の浮上力と図示しないサスペンションから印加されるサスペンション荷重とのつりあいで浮上する。したがって、浮上力が大きくできれば、サスペンション荷重も増加することができる。磁気ディスク装置の動作時耐衝撃性は、外部から加わる加速度αと質量ｍとサスペンション荷重Ｗの関係がＷ＝ｍαで表され、同じサイズのスライダでサスペンション荷重を増加させることは耐衝撃性を比例的に高めることになる。したがって、従来に比べ、本発明の実施例では荷重の増加分（約２倍）だけ、耐衝撃性を高めることができる。また、流入側浮上面２ａ，２ｂを両サイドに広げることにより、幅方向の空気軸受剛性が増加し、低浮上での安定浮上性を高めることができる。
【００３６】
本実施例では接続浮上面７により流入側浮上面２ａ，２ｂを接続している。これによって、この部分で発生する浮上力を大きく増加させることができる。接続浮上面７の長さを流入側浮上面２ａ，２ｂの長さに較べて小さくすることにより、両サイドに正の圧力ピークを分布させ、横方向の空気軸受剛性を確保することができる。また、浮上面の接続によって、深溝面５への空気の拡大を増加できるため、負圧力を大きくすることもでき、低浮上で安定に浮上させることが可能となる。
【００３７】
また、空気軸受によって発生する浮上力（荷重）はディスク速度にほぼ比例する。従って、上記実施例は、ディスク径が小さくかつ、ディスク回転数が小さく、結果としてディスク速度が小さい直径が４５．７ｍｍ（１．８インチ）以下のディスク装置で大きな効果を発揮する。
【００３８】
また、流入側のコーナーに設けられたコーナー深溝面６はロード／アンロード時、スライダの振動でコーナー部が接触したときの媒体の接触ダメージを大幅に軽減し、ヘッドクラッシュを回避することができる。
【００３９】
図４にBi-stable現象の説明図を示す。負圧利用スライダでは、深溝面５に負圧力が発生し、本来の安定浮上を実現する安定領域と、深溝面５にも正の圧力が発生し１μｍ以上の浮上量で浮上する高浮上モードと本来の浮上量で浮上する低浮上モードの両方の状態をとるBi-stable領域がある。この現象のパラメータとしてサスペンション荷重があり、サスペンション荷重を増加させることによって、Bi-stable領域への突入を回避するマージンを増やすことができる。したがって、荷重を現状の約１．５倍以上に増加させることにより、Bi-stable領域への突入を回避するマージンを大きく増加させることができる。
【００４０】
図７に第２の実施例の平面図を示す。流入側浮上面２ａ，２ｂは接続されていないが、半島部１１ａ，１１ｂが設けられ、距離を近づけた例である。上記第１の実施例の効果に加え、負圧力の増加と、スライダ幅方向の空気磁気受剛性をさらに高める効果がある。
【００４１】
図８に第３の実施例の平面図を示す。流入側浅溝面４a、浮上面横浅溝面９、サイド浅溝面４ｂがスライダ１の両サイドの端面に接し、流入側の両サイドにイオンミリング等で形成した流入側パッド１２を設けた例である。流入側パッド１２は切断代を設けていないので流入側コーナーに最近接している。本実施例では浮上面の幅の増加による浮上力の増加は従来に比べ約１．５倍である。ドライエッチングで形成した流入側パッド１２は角部がなめらかになる。これにより、ロード／アンロード時、スライダの流入端が接触した場合、接触面積が小さくかつソフト接触となり、ディスクダメージを低減することができる。また、流入側全体が媒体に接触しても浅溝深さ分だけ開口部があり、そこから、空気が流入するためすぐに安定浮上に回復することができる。
【００４２】
図９に第４の実施例の平面図を示す。流入側浮上面２ａ，２ｂは左右に離して設けられ、両サイドを除いて流入側浮上面２ａ，２ｂの周囲に浅溝面４ａが設けられている。また、上記第１の実施例と同様に流入側の両サイドのコーナーにのみ深溝面５と同じ深さのコーナー深溝面６が設けられている。本実施例では浮上面の幅の増加による浮上力の増加は従来に比べ約１．５倍である。
【００４３】
図１０に第５の実施例の平面図を示す。流入側浅溝面４a、浮上面横浅溝面９、サイド浅溝面４ｂがスライダ１の両サイドの端面に接している。また、流入側の両サイドのコーナーにのみ深溝面５と同じ深さのコーナー深溝面６が設けられている。本実施形態でも浮上面の幅の増加による浮上力の増加は従来に比べ約１．５倍となる。
【００４４】
図１１Ａに第６の実施例の平面図を示す。図１１Ｂは図１１Ａの流入端の拡大断面形状を示す。磁気ヘッドスライダの基本構成は上記第５の実施例と同じであるが、流入側端面に面取り１３が施されている。ロード／アンロード時、スライダの振動でコーナー部が接触したときの媒体の接触ダメージを大幅に軽減し、ヘッドクラッシュを回避することができる。
【００４５】
図１２に上記第１乃至第６の実施例による磁気ヘッドスライダを組み込んだ磁気ディスク装置を示す。回転する磁気ディスク１８上に磁気ヘッドスライダ１が浮上する。磁気ヘッドスライダ１はサスペンション１４に取り付けられたフレクシャ１５により支持され、アクチュエータ１７により、磁気ディスク１８の所定の位置に位置決めされ、情報の記録、再生を行なう。磁気ディスク１８の回転停止時、磁気ヘッドスライダ１はロード／アンロード用ランプ１９によって磁気ディスク外へ退避する。この磁気ディスク装置は、磁気ヘッドスライダ１のサスペンション荷重を高めることができるので、装置動作時の耐衝撃特性を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１の実施例による磁気ヘッドスライダの浮上面の斜視図である。
【図２】図１に示される磁気ヘッドスライダの浮上面を示す平面図である。
【図３】磁気ヘッドスライダの浮上面と空気軸受作用で発生する荷重との関係を示す図である。
【図４】磁気ヘッドスライダのBi-stableに対するマージンを説明するための図である。
【図５】磁気ヘッドスライダの浮上面横方向平面度を示す図である。
【図６】本発明で適用した磁気ヘッドスライダの加工プロセスを示す図である。
【図７】本発明の第２の実施例による磁気ヘッドスライダの浮上面を示す平面図である。
【図８】本発明の第３の実施例による磁気ヘッドスライダの浮上面を示す平面図である。
【図９】本発明の第４の実施例による磁気ヘッドスライダの浮上面を示す平面図である。
【図１０】本発明の第５の実施例による磁気ヘッドスライダの浮上面を示す平面図である。
【図１１Ａ】本発明の第６の実施例による磁気ヘッドスライダの浮上面を示す平面図である。
【図１１Ｂ】図１１Ａの部分拡大断面図である。
【図１２】実施例１〜６の磁気ヘッドスライダを搭載する磁気ディスク装置の斜視図である。
【図１３】従来の正圧負圧併用形磁気ヘッドスライダの浮上面の斜視図である。
【図１４】従来の小型磁気ヘッドスライダの浮上面を示すの平面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１…磁気ヘッドスライダ、２ａ、２ｂ…流入側浮上面、２ｃ…センター浮上面、３…磁気ヘッド、４ａ…流入側浅溝面、４ｂ…サイド浅溝面、４ｃ…センター浅溝面、５…深溝面、６…コーナー深溝面、７…接続浮上面、８…媒体対向面（軸受面）、９…浮上面横浅溝面、１１a，１１ｂ…浮上面半島部、１２…流入端パッド、１３…面取り。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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