(57)【要約】【課題】カラープリントにおける混色や吐出不良を防ぐ。【解決手段】記録素子基板の吐出口面で、イアン、イエロー、マゼンタのインクを吐出する吐出口群１００ａ、１００ｂ、１００ｃの間に、吐出口群と並列に複数の溝２００（各吐出口群を囲む環状の溝２００ａと直線状の溝２００ｂ）を設けて、隣接する吐出口群を用いた２次色印字の場合に発生するミストを、各溝２００によって記録素子基板の外周部へ排除する。各溝２００の断面は、吐出口面への開口端を形成する上部が下部より狭くなっており、ミストを確実に捕捉できる。【選択図】図１
2006305847.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出素子基板の吐出口面に並列配置された複数の吐出口群を有し、前記複数の吐出口群の各吐出口に連通する流路の液体を選択的に吐出する液体吐出ヘッドにおいて、前記吐出口面が、前記複数の吐出口群の間に並列配置された少なくとも１つの溝を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記溝の開口幅が吐出口面側で狭くなっていることを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記吐出口群の間に複数本の溝が並列配置され、前記複数本の溝が互いに連通していることを特徴とする請求項１または２記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記吐出口群の外側を囲むように延在する少なくとも１つの溝を備えていることを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
吐出素子基板の吐出口面に並列配置された複数の吐出口群を有し、前記複数の吐出口群の各吐出口に連通する流路の液体を選択的に吐出する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記吐出素子基板の前記複数の吐出口群の間に並列配置された少なくとも１つの溝を、前記複数の吐出口群と同じ方法で形成する工程を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出して記録動作を行う記録装置に用いられる液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
本発明の液体吐出ヘッドは、一般的なプリンタのほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用の記録装置に適用することができる。
【背景技術】
【０００３】
インクジェット記録方式等の液体の吐出による記録方式においては、熱を利用して液体に膜沸騰を生起させることにより、吐出口から液体を吐出させる形態を採用するものがあり、この熱を利用するインクジェット記録方式がインクの吐出方向の安定性の観点から好ましい記録方式とされる。
【０００４】
しかしながら、実際に記録を実行した場合、記録信号に応答して吐出される主たるインク滴（主滴）に付随して、この主滴に遅れて吐出口から飛翔する微小インクが発生する場合がある。また、主滴が記録紙に着弾した際にインクが跳返る現象が起こり、極めて微細なインク滴が記録領域中に発生する場合がある。
【０００５】
このように微小インクのミストが発生すると、記録ヘッドの吐出口面にミストが付着し、しばしばインクの液溜りを生じることがある。この液溜りの発生は、吐出口からのインク滴の吐出を不安定にし、あるいはインクの不吐出を引き起こす等の問題の発生に繋ることが知られている。従来、こうした問題を解決するために、特許文献１に開示されるように、吐出口が設けられた吐出口面に撥水処理を施すよう処置されていた。
【０００６】
図１１は、従来の撥水処理が施された記録ヘッドの吐出部を模式的に示すもので、電気熱変換素子が形成された基板５０１上に、インク供給口５０２や液室、流路等を有する溝付天板５０３を一体成形により形成し、溝付天板５０３の前面には吐出口５０４が開口し、吐出口５０４が設けられた吐出口面５０４ａのほぼ全面に撥水膜５０５が形成されている。このように吐出口面５０４ａのほぼ全面に撥水膜５０５を形成した場合、吐出口５０４の周辺部分におけるインクの滞留が少なくなり、前述のようなインクの不安定吐出等の問題はある程度改善される。
【０００７】
しかしながら、連続した長期間の高周波駆動により、高速かつ高デューティーで、記録を実行する場合には、発生するミストの量が多くなり、インク滴が次第に吐出口面に滞留するようになる。
【０００８】
そこで、単色ヘッドについては、特許文献２、また、複数のインクを使用する複数の吐出口列を並べたカラー一体ヘッドについては、特許文献３、特許文献４に開示されたように、複数の吐出口を備えた領域を囲む中央撥水領域と、該中央撥水領域に隣接した親水領域を形成することにより、吐出口面のインク液溜りによる問題が解決する構成が知られている。
【特許文献１】特開平４−２１１９５９号公報
【特許文献２】特開平６−２１０８５９号公報
【特許文献３】特開平８−３９８０５号公報
【特許文献４】特開平８−５８０９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、複数の吐出口群を並列に配置し、複数のインクを使用するカラー一体ヘッドの場合には、１色毎の印字や低デューティーの印字については問題ないレベルでも、隣接する吐出口群を使用した高デューティーな２次色のグリーン、レッド、ブルーをプリントすると、吐出口群の間に気流が発生する。このため、色間中央部にインクミストが多量に堆積し、吐出口面で複合的に混合したインクが吐出口を覆い、不吐出や混色等の問題が発生した。
【００１０】
詳しく説明すると、図１２に示すように、シアンインクを吐出する吐出口群６００ａ、イエローインクを吐出する吐出口群６００ｂ、マゼンタインクを吐出する吐出口群６００ｃを有する記録ヘッドにおいて、グリーンの２次色をプリントする場合、吐出口群６００ａ、６００ｂ間の中央付近にミストＭが集中し、吐出口面で大きく成長し、最後には吐出口を覆い不具合を引き起こす。そして、この問題は吐出口群１色のプリントや、離れた吐出口群による２次色をプリントしても発生しない。例えば、吐出口群６００ａと６００ｃを吐出するブルーの２次色プリントでは発生しない。
【００１１】
本発明は、上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、良好なカラープリントを長期に亘り連続して行うことのできる液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するため、本発明の液体吐出ヘッドは、吐出素子基板の吐出口面に並列配置された複数の吐出口群を有し、前記複数の吐出口群の各吐出口に連通する流路の液体を選択的に吐出する液体吐出ヘッドにおいて、前記吐出口面が、前記複数の吐出口群の間に並列配置された少なくとも１つの溝を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
吐出口群の間にミストを捕捉、分散させる溝を設けることで、ミスト集中による液溜りの発生を防ぐ。これによって、混色や不吐出等の不具合のない良好なプリント動作を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は実施例１による吐出素子基板である記録素子基板の吐出口面を示すもので、シアン、マゼンタおよびイエローの液体であるインクを吐出するそれぞれ独立した吐出口群１００ａ、１００ｂ、１００ｃを有し、図示しない各色のインクタンクに連通している。なお、インクタンクは独立タンクでなくても問題ない。
【００１６】
各色で構成される吐出口群１００ａ、１００ｂ、１００ｃの解像度は１列あたり３００ｄｐｉで、一色あたり２列の吐出口列を有した構成であり、同一色の吐出口列が３００ｄｐｉずれて配置されていることにより、６００ｄｐｉの解像度を構成している。そして、各色の吐出口列間距離Ａが０．２５４ｍｍ、色の異なる吐出口列間距離Ｂが１．１２２ｍｍで配置されている。
【００１７】
色間に形成された溝２００は、吐出口群間の中央付近に吐出口面開口部の幅０．１０ｍｍ、基体側の幅０．１５ｍｍで、吐出口面に向かって狭くなる形状で５本配置されている（図２（ｄ）参照）。そして、５本の溝２００のうちの２対（４本）の溝２００ａは、それぞれ、吐出口群１００ａ、１００ｂを一周する環状の溝であり、中央の溝２００ｂは直線状に形成されている。しかしながら、この形態に特に限定されるものではない。
【００１８】
上記配置において、吐出口１０１は直径φ＝１６．５μｍで、各吐出口１０１に対応して１２．５×２８の電気熱変換素子１０２を２個並べて配置しており、吐出される吐出量は約５ｐｌである。
【００１９】
吐出口群１００ａ、１００ｂ間と、吐出口群１００ｂ、１００ｃ間にそれぞれ５本の溝２００を配置することで、吐出口群間の中央付近に溜まるミストを溝２００により集めて、外周部へ分散させる。このようにして、溝２００に溜まったインクがあふれないように構成した。
【００２０】
図２は、本実施例の液体吐出ヘッドの製造工程を示す。まず、図２（ａ）に示すように、シリコン基板からなる基体１１０上に吐出エネルギー発生手段である発熱抵抗体（電気熱変換素子）１０２を所望の個数配置する。次いで、電気熱変換素子１０２を含む基体１１０上に、溶解可能な樹脂層でインクの流路１０４となるパターンＲ1 および溝２００となるパターンＲ2 を形成する。溶解可能な樹脂層は、例えばドライフィルムのラミネート、レジストのスピンコート等による塗布の後、例えば紫外線、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光による露光・現像などによりパターン形成すればよい。
【００２１】
具体的な例としては、ポリメチルイソプロペニルケトン（東京応化工業（株）社製ＯＤＵＲ−１０１０）をスピンコートにより塗布、乾燥した後、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光により露光、現像することによりパターン形成する。
【００２２】
次に前記溶解可能なパターンＲ1 、Ｒ2 上に、図２（ｂ）に示すように被覆樹脂層１２０をスピンコート等により形成する。さらにこの被覆樹脂層１２０に、図２（ｃ）に示すようにインクの吐出口１０１を形成する。パターンＲ2 上の被覆樹脂層１２０にも、溝２００の上部２０１を同時または異時に同じ方法で形成する。吐出口１０１および溝２００の形成は、例えば紫外線、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光などの露光により、形成可能である。より具体的には、ネガ型レジストをスピンコートにより塗布、乾燥後、紫外線によりパターン露光、現像することで形成する。
【００２３】
次に図２（ｄ）に示すように、基体１１０にインク供給口１０３を設ける。このインク供給口１０３は、シリコン基板を化学的にエッチングすることにより形成する。例えばＫＯＨ、ＮａＯＨ、ＴＭＡＨなどの強アルカリ溶液によるシリコン基板の異方性エッチングにより形成する。より具体的な例としては、結晶方位が＜１１０＞のシリコン基板上に形成した熱酸化膜をパターニングし、このシリコン基板を８０℃に加熱温調したＴＭＡＨ２２％溶液で十数時間エッチングすることにより、インク供給口１０３を形成する。
【００２４】
インク供給口１０３の形成は、パターンＲ1 、Ｒ2 の形成前、あるいは吐出口１０１の形成前に行うことも可能である。
【００２５】
続いて、溶解可能な樹脂層からなるパターンＲ1 、Ｒ2 を、吐出口１０１、インク供給口１０３等から溶出させることにより、流路１０４および溝２００の下部２０２が形成される。図２（ｄ）に示すように、吐出口面に開口する溝２００の上部２０１の開口幅は、下部２０２の断面寸法より狭く形成され、吐出口面に発生するミストを確実に捕捉することができる。パターンＲ1 、Ｒ2 の除去の方法は、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光による全面露光を行った後、現像、乾燥を行えばよく、必要があれば現像の際、超音波浸漬すれば十分である。なお、上記の製造方法や、材料については特に限定されるものではない。
【実施例２】
【００２６】
図３は、実施例２による吐出素子基板である記録素子基板の吐出口面を示すもので、実施例１と同様に、色毎の吐出口群１００ａ、１００ｂ、１００ｃを有し、色間には、４本（２対）の溝２００ａと、これらを、色間中央付近で連通させる溝２００ｃが形成されている。
【００２７】
本実施例では、大小の吐出口１０１ａ、１０１ｂが交互に千鳥配置されており、大吐出口１０１ａのサイズは実施例１の吐出口１０１と同じで、小吐出口１０１ｂは直径φ＝１１μｍである。電気熱変換素子１０２は１１.５×２７のものを２個並べて配置している。小吐出口１０１ｂから吐出される吐出量は約２．５ｐｌである。
【００２８】
本実施例では、大小の吐出口が交互に千鳥配置されているが、吐出口の配置については、実施例１の配置でもよい。
【実施例３】
【００２９】
図４は、実施例３による吐出素子基板である記録素子基板の吐出口面を示すもので、色毎の吐出口群１００ａ、１００ｂ、１００ｃ間の溝２００は、各吐出口群１００ａ、１００ｂ、１００ｃを囲む環状の溝２００ａと、吐出口群の外側で周方向に広がって連通している溝２００ｄとを有する。その他の点は、実施例１と同じである。また、実施例２の形状に実施例３の形状を加えてもよい。
【００３０】
上記実施例１〜３によれば、吐出口群間の中央付近に溝を設けることにより、高デューティーで印字する２次色印字時等の際に吐出口群間中央部で起こるミスト集中によるインク溜りを分散し、濡れ不吐や混色等の不具合を改善することができる。
【００３１】
このような吐出素子基板を搭載することで、良好なカラー印字を長期に亘り連続して行うことのできる、高性能な記録装置を実現できる。
【００３２】
次に記録装置の全体について説明する。図５に示すように、記録ヘッドカートリッジ１がキャリッジ２に交換可能に搭載され、記録ヘッドカートリッジ１は、記録ヘッド部およびインクタンク部を有するいわゆるカートリッジ方式である。また、ヘッド部を駆動するための信号などを授受するためのコネクタが設けられている。
【００３３】
記録ヘッドカートリッジ１はキャリッジ２に位置決めして交換可能に搭載されており、キャリッジ２には、上記コネクタを介して各記録ヘッドカートリッジ１に駆動信号等を伝達するためのコネクタ・ホルダ（電気接続部）が設けられている。
【００３４】
キャリッジ２は、主走査方向に延在して装置本体に設置されたガイド・シャフト３に沿って往復移動可能に案内支持されている。そして、キャリッジ２は主走査モータ４によりモータ・プーリ５、従動プーリ６およびタイミング・ベルト７等の駆動機構を介して駆動されるとともにその位置および移動が制御される。また、ホームポジションセンサ３０がキャリッジに設けられている。これにより遮蔽板３６の位置をキャリッジ２上のホームポジションセンサ３０が通過した際に位置を知ることが可能となる。
【００３５】
プリント用紙やプラスチック薄板等の記録用紙８は給紙モータ３５からギアを介してピックアップローラ３１を回転させることによりオートシートフィーダ（以降ＡＳＦ）３２から一枚ずつ分離給紙される。さらに搬送ローラ９の回転により、記録ヘッドカートリッジ１の吐出口面と対向する位置（プリント部）を通って搬送（副走査）される。搬送ローラ９はＬＦモータ３４の回転によりギアを介して行われる。その際、給紙されたかどうかの判定と給紙時の頭出し位置の確定は、ペーパエンドセンサ３３を記録用紙８が通過した時点で行われる。さらに、記録用紙８の後端が実際にどこに有り、実際の後端から現在の記録位置を最終的に割り出すためにもペーパエンドセンサ３３は使用されている。
【００３６】
なお、記録用紙８は、プリント部において平坦なプリント面を形成するように、その裏面をプラテン（不図示）により支持されている。この場合、キャリッジ２に搭載された各記録ヘッドカートリッジ１は、それらの吐出口面がキャリッジ２から下方へ突出して前記２組の搬送ローラ対の間で記録用紙８と平行になるように保持されている。
【００３７】
記録ヘッドカートリッジ１は、前述のように、熱エネルギーを利用してインクを吐出するインクジェット方式であって、熱エネルギーを発生するための電気熱変換体を備えた記録ヘッドを有する。すなわち、記録ヘッドカートリッジ１の記録ヘッド部は、上記電気熱変換体によって印加される熱エネルギーによる膜沸騰により生じる気泡の圧力を利用して、吐出口よりインクを吐出してプリントを行うものである。もちろん、圧電素子によってインクを吐出する等、他の吐出エネルギー発生手段を用いるものであってもよい。
【００３８】
〈記録ヘッドカートリッジ〉
ここで、記録ヘッドカートリッジ１について詳しく説明する。
【００３９】
図６ないし図１０は、記録ヘッドカートリッジ１の記録ヘッド部Ｈ１００１、インク（液体）を保持するインクタンクＨ１９００のそれぞれ、およびそれぞれの関係を示すものである。
【００４０】
図６（ａ）、（ｂ）に示すように記録ヘッド部Ｈ１００１は、記録ヘッドカートリッジ１を構成する一構成要素であり、記録ヘッドカートリッジ１は、記録ヘッド部Ｈ１００１とこれに着脱自在に設けられたインクタンクＨ１９００とで構成されている。この記録ヘッドカートリッジ１は、インクジェット記録装置本体のキャリッジ２に、位置決め手段によって位置決めされ、電気的接点の接触により電気的に接続され固定支持されて載置されるとともに、キャリッジ２に対して着脱可能となっている。
【００４１】
インクタンクＨ１９００としては、ブラックのインク用のインクタンクＨ１９０１、シアンのインク用のインクタンクＨ１９０２、マゼンタのインク用のインクタンクＨ１９０３、イエローのインク用のインクタンクＨ１９０４の４つが設けられている。これらのインクタンクＨ１９０１、Ｈ１９０２、Ｈ１９０３、Ｈ１９０４はそれぞれが記録ヘッド部Ｈ１００１に対して独立して着脱自在であり、それぞれ個別に交換可能となっている。このような構成とすることにより、インクタンクＨ１９００を適宜交換して、インクを無駄無く使用できるので、記録装置の印刷のランニングコストを低く抑えることができる。
【００４２】
次に記録ヘッド部Ｈ１００１に関して、それを構成しているそれぞれの構成要素毎にさらに詳しく順を追って説明する。
【００４３】
（１）記録ヘッド部
記録ヘッド部Ｈ１００１に搭載されている液体吐出ヘッドである記録ヘッドは、電気信号に応じてインクに対して膜沸騰を生じさせるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いた記録ヘッドであり、電気熱変換体とインクの吐出口とが対向するように配置された、いわゆるサイドシュータ型の記録ヘッドである。
【００４４】
記録ヘッド部Ｈ１００１は、図７の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００２とインク供給ユニットＨ１００３とタンクホルダーＨ２０００とから構成されている。
【００４５】
さらに、図８の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００２は、第１の記録素子基板Ｈ１１００、実施例１ないし３と同様のカラー用の吐出素子基板である第２の記録素子基板Ｈ１１０１、第１のプレートＨ１２００、電気配線テープＨ１３００、電気コンタクト基板Ｈ２２００、第２のプレートＨ１４００で構成されている。また、インク供給ユニットＨ１００３は、インク供給部材Ｈ１５００、流路形成部材Ｈ１６００、ジョイントシール部材Ｈ２３００、フィルターＨ１７００、シールゴムＨ１８００から構成されている。
【００４６】
（１−１）記録素子ユニット
第１のプレートＨ１２００は、例えば、厚さ０．５〜１０ｍｍのアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）材料で形成されている。第１のプレートＨ１２００の素材は、アルミナに限られることなく、記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１の材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する他の材料で作られてもよい。そこで、第１のプレートＨ１２００の素材は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素（Ｓｉ３ Ｎ４ ）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）のうちいずれであってもよい。第１のプレートＨ１２００には、インク供給口として、第１の記録素子基板Ｈ１１００にブラックのインクを供給するためのものと第２の記録素子基板Ｈ１１０１にシアン、マゼンタ、イエローのインクを供給するためのものとが形成されている。
【００４７】
また、両側部には、インク供給ユニットＨ１００３との接続用のビス止め部Ｈ１２０６が形成されている。
【００４８】
使用頻度の高いブラックのインク用の第１の記録素子基板Ｈ１１００には、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板に、インク流路である長溝状の貫通口であるインク供給口が形成されている。インク供給口を挟んだ両側には、電気熱変換素子がそれぞれ１列ずつ並べて配置されて形成されており、さらに電気熱変換素子に電力を供給するＡｌなどからなる不図示の電気配線が形成されている。これら電気熱変換素子と電気配線とは成膜技術により形成されている。電気熱変換素子は、各列千鳥状に配列されて、すなわち各列の吐出口の位置が、その並び列方向に直交する方向に並ばないように少しずれて配置されている。さらに、この電気配線に電力を供給するための電極部が電気熱変換素子の両外側の側辺に沿って配列して形成されており、電極部上にはＡｕなどからなるバンプが形成されている。
【００４９】
第２の記録素子基板Ｈ１１０１は、シアン、マゼンタ、イエローの３色のインクを吐出させるためのものであり、３個のインク供給口が並列して形成されている。それぞれのインク供給口を挟んでその両側に電気熱変換素子とインクの吐出口とが一列に並んで配置されて形成されている。
【００５０】
そして第１の記録素子基板と同様に電気配線に電力を供給するための電極部にはＡｕなどからなるバンプが形成されている。
【００５１】
記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１は、そのそれぞれのインク供給口が第１のプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１にそれぞれ連通するように接続され、かつ、それぞれが、第１のプレートＨ１２００に対して精度良く位置するように接着固定される。この接着に用いられる第１の接着剤は、低粘度で硬化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。例えば、第１の接着剤としては、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤が用いられ、その際の接着層の厚みは５０μｍ以下が望ましい。
【００５２】
第２のプレートＨ１４００は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍの一枚の板状部材であり、例えばアルミナ（Ａｌ２ Ｏ３ ）などのセラミックや、Ａｌ、ＳＵＳなどの金属材料で形成されている。そして、第１のプレートＨ１２００に接着固定された第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１とのそれぞれの外形寸法よりも大きな２つの開口部を有する形状となっている。第２のプレート１４００は第１のプレートＨ１２００に第２の接着剤により接着されている。これによって、電気配線テープＨ１３００を接着した際に、電気配線テープＨ１３００を第１の記録素子基板Ｈ１１００および第２の記録素子基板Ｈ１１０１に接着面平面上で接触して電気接続できるようになっている。
【００５３】
電気配線テープＨ１３００は、第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１に対してインクを吐出するための電気信号を印加する電気信号経路を形成するものである。電気配線テープＨ１３００には、それぞれの記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１に対応する２つの開口部が形成されている。この開口部の縁付近には、それぞれの記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１の電極部Ｈ１１０４に接続される電極端子Ｈ１３０２が形成されている。電気配線テープＨ１３００の端部には、電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１を有する電気コンタクト基板Ｈ２２００と電気的接続を行うための電気端子接続部Ｈ１３０３が形成されており、電極端子Ｈ１３０２と電気端子接続部Ｈ１３０３は連続した銅箔の配線パターンでつながっている。
【００５４】
電気配線テープＨ１３００は裏面で第３の接着剤によって第２のプレートＨ１４００の下面に接着固定され、さらに、第１のプレートＨ１２００の一側面側に折り曲げられ、第１のプレートＨ１２００の側面に接着固定されている。第３の接着剤としては、例えば、エポキシ樹脂を主成分とした厚さ１０〜１００μｍの熱硬化接着剤が使用されている。
【００５５】
電気配線テープＨ１３００と第１の記録素子基板Ｈ１１００および第２の記録素子基板Ｈ１１０１との電気的な接続は、例えば、記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１の電極部と電気配線テープＨ１３００の電極端子Ｈ１３０２とを熱超音波圧着法により電気接合させることにより行われている。そして、第１の記録素子基板Ｈ１１００および第２の記録素子基板Ｈ１１０１と電気配線テープＨ１３００との電気接続部分は、第１の封止剤Ｈ１３０７と第２の封止剤Ｈ１３０８によって封止されており、これによって電気接続部分がインクによる腐食や外的衝撃から保護されている。第１の封止剤Ｈ１３０７は、主に電気配線テープの電極端子Ｈ１３０２と記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１の電極部Ｈ１１０４との接続部の裏側からの封止と記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１の外周部分の封止とに用いられており、第２の封止剤Ｈ１３０８は、接続部の表側からの封止に用いられている。
【００５６】
電気配線テープＨ１３００の端部には、電気コンタクト基板Ｈ２２００が異方性導電フィルムなどを用いて熱圧着して電気的に接続されている。電気コンタクト基板Ｈ２２００には、位置決め用の端子位置決め穴Ｈ１３０９と、固定用の端子結合穴Ｈ１３１０とが形成されている。
【００５７】
（１−２）インク供給ユニット
図８に示すように、インク供給部材Ｈ１５００は、インクタンクＨ１９００から記録素子ユニットＨ１００２にインクを導くためのインク供給ユニットＨ１００３の一構成部品である。インク供給部材Ｈ１５００は、例えば、樹脂成形により形成されている。その樹脂材料には、形状的剛性を向上させるためにガラスフィラーを５〜４０％混入したものを使用することが望ましい。
【００５８】
インク供給部材Ｈ１５００は、図９に示すように、タンクホルダーＨ２０００と共に、インクタンク１９００を脱着自在に収容する収容部を形成している。この収容部には、底部にインクタンク１９００のタンク位置決めピンＨ１９０８に係合するタンク位置決め穴Ｈ１５０２が設けられており、後側の壁には、インクタンクの第１の爪Ｈ１９０９に係合する第１の穴Ｈ１５０３、第２の爪Ｈ１９１０に係合する第２の穴Ｈ１５０４が設けられている。またインクタンクＨ１９００の前部には、収容部の壁に係合する第３の爪Ｈ１９１１が形成された可動レバーＨ１９１２が設けられており、このレバーＨ１９１２に力を加えて弾性変形させて動かすことにより、第３の爪Ｈ１９１１を外してインクタンク１９００を取り外せるようになっている。これらの構成のうち、穴１５０３、１５０４はインク供給部材Ｈ１５００に形成されており、すなわちインク供給部材Ｈ１５００は、着脱自在のインクタンクＨ１９００を保持する手段の一部を構成している。
【００５９】
インク供給部材Ｈ１５００の、インクタンクＨ１９００の収容部の底部の位置には、インクタンクＨ１９００のインク供給口Ｈ１９０７部分に当接されるジョイント部Ｈ１５２０が設けられている。ここには、外部からのゴミの進入を防ぐためのフィルターＨ１７００が溶着により接合されており、さらに、ジョイント部Ｈ１５２０からのインクの蒸発を防止するために、シールゴムＨ１８００が装着されている。インク供給部材Ｈ１５００内には、ジョイント部Ｈ１５２０の、インクタンクＨ１９００との接触面から下面に延びるインク流路Ｈ１５０１が形成されている。
【００６０】
インク供給部材Ｈ１５００の底面には、記録素子ユニットＨ１００２にインクを供給するインク（液体）導入口Ｈ１６０２が開口された流路形成部材Ｈ１６００が、インク導入口Ｈ１６０２とインク供給部材Ｈ１５００のインク流路Ｈ１５０１とが連通するように位置決めされ、超音波溶着により取り付けられている。
【００６１】
（１−３）記録ヘッドユニットとインク供給ユニットの結合
次に、記録ヘッドユニットＨ１００２とインク供給ユニットＨ１００３との結合について説明する。
【００６２】
記録素子ユニットＨ１００２とインク供給ユニットＨ１００３とは、第１のプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１と、流路形成部材Ｈ１６００のインク導入口１６０２とに対応する位置に穴が設けられたジョイントシール部材Ｈ２３００を間に挟んでビス２４００によって圧接させて固定して結合されている。ジョイントシール部材Ｈ２３００はゴムなどの、圧縮永久ひずみが少ない弾性材料から作られており、これを間に挟んで圧接させることで、インク供給口１２０１とインク導入口１６０２とをインクリークが発生しないように良好に連通させることができる。
【００６３】
そして記録素子ユニットＨ１００２の電気コンタクト基板Ｈ２２００はインク供給部材Ｈ１５００の後面に、位置決めされ固定される。電気コンタクト基板Ｈ２２００の位置決めは、端子位置決め穴Ｈ１３０９にインク供給ユニットＨ１００３の後面の２個所に設けられた端子位置決めピンＨ１５１５を通すことによって行われる。この際、端子結合穴Ｈ１３１０にインク供給ユニットＨ１００３の端子結合ピンＨ１５１６が通され、この端子結合ピンＨ１５１６を加締めることにより、固定が行われる。固定方法はこれに限られることはなく、その他の固定手段を用いて固定しても良い。
【００６４】
以上のようにインク供給ユニットＨ１００３と記録素子ユニットＨ１００２とを結合し、さらにインク供給部材Ｈ１５００とタンクホルダーＨ２０００とに設けられた結合穴および結合部を互いに勘合させることで、図１０に示すようにタンクホルダーＨ２０００が結合され、記録ヘッドカートリッジが完成する。
【００６５】
そして記録装置においては、これらの記録ヘッドカートリッジを、例えば、副走査方向（キャリッジ移動方向）に往復移動して、先述の駆動回路によって制御し、同様に用紙搬送を制御した記録用紙に対して記録を行うものである。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】実施例１による記録素子基板を示す平面図である。
【図２】実施例１の記録素子基板の製造方法を示す工程図である。
【図３】実施例２による記録素子基板を示す平面図である。
【図４】実施例３による記録素子基板を示す平面図である。
【図５】記録装置の概略構成を示す図である。
【図６】記録ヘッドカートリッジを示す斜視図であり、（ａ）はインクタンクが装着された状態、（ｂ）は取り外された状態を示している。
【図７】図６の記録ヘッドカートリッジの記録ヘッド部の分解斜視図である。
【図８】図６の記録ヘッドカートリッジの記録ヘッド部を、さらに細かく分解して示す分解斜視図である。
【図９】図６の記録ヘッドカートリッジの側断面図である。
【図１０】図６の記録ヘッドカートリッジの主要構成部を結合し、記録ヘッドカートリッジの完成状態を示す斜視図である。
【図１１】一従来例による記録素子基板を示す平面図である。
【図１２】別の従来例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６７】
１００ａ、１００ｂ、１００ｃ    吐出口群
１０１、１０１ａ、１０１ｂ    吐出口
１０２    電気熱変換素子
２００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃ    溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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