(57)【要約】【課題】  懸垂式昇降搬送装置用台車において昇降制御を受け、被搬送用キャリアのフランジ部を把持、開放を行う一対のフィンガが互いに接近して前記フランジ部の把持完了時に生じる動力伝達機構に与えられる衝撃を緩和することである。【解決手段】  一対のフィンガ４ａ、４ｂがボールねじ１１の回転方向に応じて接近又は離隔させる機構において、前記一対のフィンガ４ａ、４ｂの接近状態を維持するための永久磁石１０ａ、１０ｂの対向する磁極面同士の当接時の衝撃を緩和するためにストッパ部材８ａ、８ｂ夫々に対向する動力受部材１２ａ、１２ｂ相互間にゲル材等のダンピング材を介在させる。【選択図】図２
2006076748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に取付けられたレールに吊り下げ状態で走行する懸垂式昇降搬送装置用台車に昇降可能にして取付けられ、水平に接近・離隔される一対のフィンガが、キャリアのフランジの下方に入り込んで、前記キャリアを吊り下げ支持するためのグリッパ装置において、
前記一対のフィンガの各動力受部材に形成され、一定方向を基準として互いに反対方向の螺旋状をなす一対の雌ねじ部と、
前記一対の雌ねじ部が夫々螺合し、軸方向の両側に互いに反対方向の螺旋状をなす雄ねじを形成したボールねじと、
モータとその動力を前記ボールねじに伝達する機構とからなり、前記一対のフィンガを同じ長さだけ接近・離隔させるボールねじの回転駆動手段と、
前記一対のフィンガの各動力受部材相互間に設けられ対向する磁気吸引面を有する磁気吸引手段と、
対向する磁気吸引表面同士の当接時にボールねじに伝わる衝撃を緩和する手段と、
を備えたことを特徴とする懸垂式昇降搬送装置用台車におけるグリッパ装置。
【請求項２】
前記対向する磁気吸引面は一方が永久磁石の磁極面、他方が磁性板の外表面であること
若しくは、極性を異にする永久磁石の磁極面であることを特徴とする請求項１に記載の懸垂式昇降搬送装置用台車におけるグリッパ装置。
【請求項３】
前記一対のフィンガ接近状態において、前記対向する磁気吸引面が非接触状態であって磁気吸引力によって接合できるまで、前記回転駆動手段を動作させる制御手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の懸垂式昇降昇降装置用台車におけるグリッパ装置。
【請求項４】
衝撃を緩和する手段が、フィンガの動力受部材と、磁気吸引手段の固定部との間にダンピング部材を介在させ、フィンガの動力受部材と、磁気吸引手段の固定部との取付けねじの本体部がフィンガの動力受部材に遊嵌させる構成であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の懸垂式昇降搬送装置用台車におけるグリッパ装置。
【請求項５】
衝撃を緩和する手段が、フィンガの動力受部材と、磁気吸引手段の固定部との間にダンピング部材を介在させ、フィンガの動力受部材と、磁気吸引手段の固定部との取付けねじの本体部がフィンガの動力受部材に遊嵌させるとともに前記取付けねじの頭部と、フィンガの動力受部材との間にダンピング材を介在させた構成であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の懸垂式昇降搬送装置用台車におけるグリッパ装置。
【請求項６】
ダンピング材がゲル材料であることを特徴とする請求項４又は５に記載の懸垂式昇降搬送装置用台車におけるグリッパ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レールに吊り下げ状態で走行する懸垂式昇降搬送装置用台車（以下、ＯＨＴ用台車という）に配設され、一対のフィンガがほぼ水平に接近し、更に、例えば、各種処理前後のウエハを収納したカセットほかのキャリアにおけるフランジの下方に入り込んで、前記キャリアを吊り下げ支持し、あるいは前記一対のフィンガがほぼ水平に離隔して前記キャリアの吊り下げ状態を解除するためのグリッパ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造工程における各種処理（洗浄、ＣＶＤほか）を順次行うために半導体ウエハを収納、搬送するためのカセットほか、液晶製造、ＦＡなどにおいて板状体を各種処理部に移送させるためのキャリア搬送手段は、生産性向上の観点から、近年、懸垂式昇降搬送装置（以下、ＯＨＴという）が主流となってきている。
このＯＨＴは、ＯＨＴ用台車が有する昇降機構によって所定の箇所においてキャリアを昇降させるとともに、当該ＯＨＴ用台車を、所定の軌道に沿って配設されたレールに懸垂状態で移送させる構成をなしている。
【０００３】
さて、本願各発明に係るＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置と関連する先行技術として下記特許文献１がある。この特許文献１を援用してＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置の従来技術を説明すると次の通りである。
先ず、特許文献１において、ＯＨＴの要部を示す図１及び図２に示されるようにキャリアＣを搬送するためにＯＨＴ用台車Ｖが使用される。このＯＨＴ用台車Ｖは、天井に取付けられた走行レールＲに吊り下げ状態で走行するものであり、ＯＨＴ用台車Ｖの下部にグリッパ装置Ａが配設されている。このグリッパ装置Ａは、ＯＨＴ用台車Ｖに配置されたリフタ装置（図示せず）により昇降できる。
【０００４】
次に図４及び図５に示されるように、グリッパ装置ＡにはキャリアＣのフランジ５を両側から支持するための一対のフィンガ４ａ、４ｂが取付けられている。この一対のフィンガ４ａ、４ｂはガイドレール１１に装着された各ガイドブロック１２ａ、１２ｂに連係部材を介して固定されている。そして、一対のフィンガ４ａ、４ｂに夫々対応して設けられた一対の連結ブロック２１ａ、２１ｂに対して、夫々、軸方向の両側に、一定方向に対して互いにねじの螺旋方向を異にするねじが形成されたボールねじ１８の各ねじ部１８ａ、１８ｂを螺合している。この構成によって、前記一対のフィンガ４ａ、４ｂは、前記ボールねじ１８を回転させることにより、回転方向に応じて相互に接近あるいは離隔される。このボールねじ１８は、制御モータ１７によって回転される。
【０００５】
ところで、前記ＯＨＴ用台車Ｖ内にキャリアＣが上昇し、ガイドレール１１に沿って搬送される期間は、安全性（誤動作によるキャリアＣの落下事故の防止）の観点から制御用モータ１７への給電が停止されることがある。このような場合、モータ１７のモータ軸１７ａは、電気的拘束が解かれ、フリーな状態になるため、前記ボールねじ１８もフリー状態となる。この結果、ＯＨＴ用台車Ｖが走行レールＲを走行する際、車輪を通じてＯＨＴ用台車に伝達される振動により、一対のフィンガ４ａ、４ｂの相互間の距離が、除々に離隔される方向に前記ボールねじ１８が回転する可能性がある。
なお、前記制御用モータ１７がブレーキ付きモータである場合には、給電が停止されても、そのモータ軸１７ａは静止状態で保持される。しかし、ブレーキ付きモータは通常の制御用モータ１７より大きく、しかもグリッパ装置Ａにおける制御用モータの設置スペースは限られているためブレーキ付きモータを採用することは困難である。
【０００６】
このようなキャリアＣの落下事故を防止するための手段として、特許文献１の発明は、図１〜図７において開示のように、ほぼ水平に近接・離隔される一対のフィンガ４ａ、４ｂがキャリアＣのフランジ５の保持部６に入り込んでキャリアＣを吊り下げ支持するためのグリッパ装置に関し、フィンガ４ａ、４ｂによるキャリアＣの保持状態が、各フィンガ４ａ、４ｂの駆動源への電力供給休止状態においても、互いに吸引状態を維持する手段を設け、キャリアＣの搬送中における落下を防止する手段を開示している。
そして、その具体的手段としてエアによる吸引手段、或いは磁気吸引手段などが開示されている。  
【特許文献１】特開２００１−２９４３９０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記特許文献１において従来技術として述べられているように、ＯＨＴ用台車Ｖに備えられた一対のフィンガ４ａ、４ｂによってキャリアＣのフランジ部５を保持し、当該キャリアＣを軌道に沿って移動する際に発生する振動は、駆動モータ１７への電力供給休止状態で当該駆動モータ１７における軸の回転の拘束力を失った際には、ボールねじ１８が一対のフィンガ４ａ、４ｂを離隔する方向に回転させる可能性がある。
このような状況はキャリアＣのフランジ５とフィンガ４ａ、４ｂとの係合が解かれ、ＯＨＴ用台車Ｖからキャリアが落下し、重大事故発生の要因となる。
【０００８】
一方、駆動モータ１７への電力供給休止状態で当該駆動モータ１７における軸の回転の拘束力を失った際においても、前記特許文献１の発明の１態様における一対のフィンガ４ａ、４ｂの各支持部の相対向する端面同士の磁気吸引力、一対のフィンガ４ａ、４ｂの離隔を防止することでボールねじ１８が一対のフィンガ４ａ、４ｂを離隔する方向に回転させる可能性はない。
【０００９】
しかし、磁気吸引力を発生するフィンガ４ａ、４ｂの各支持部の相対向する端面同士が当接する場合においては、この端面同士の当接時に衝撃振動が発生し、ボールねじ１８の雄ねじと、これに螺合しフィンガ４ａ、４ｂと一体的に移動する雌ねじ部が傷つく。
更に、これが異常磨耗に発展し、最終的にボールねじ１８が回転不能のロック状態に陥ってしまい、この結果、ボールねじ１８とこれと螺合する前期雌ねじ部を頻繁に交換しなければならない事態に陥る。
【００１０】
また、特許文献１における請求項４に係る発明のように一対のフィンガ４ａ、４ｂと一体的に変位する磁気吸引力発生を得る対向面相互間に空隙を設ける構成は、磁気吸引力発生用対向面同士の衝突に基づく破損は避けられる。この反面、磁気抵抗大の空隙の存在により、一対のフィンガ４ａ、４ｂの離隔を阻止する力が弱く、フィンガ４ａ、４ｂによるキャリアＣの保持力が十分得られない。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、ＯＨＴ用台車に備えられた一対のフィンガがボールねじを含む機構によって接近し、キャリアのフランジ部に係合して、当該キャリアを昇降し更に軌道に配したレールに懸垂状態で移動するに当って、一対のフィンガ夫々に対応して設けられた磁気吸引面は当接し、かつ、この当接に際して生じる衝撃振動のボールねじへの伝達を緩和する手段を設け、フィンガの駆動機構の消耗を軽減させることにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００１２】
上記の課題を解決するため、請求項１に記載のＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置は、天井に取付けられたレールに吊り下げ状態で走行するＯＨＴ用台車に昇降可能にして取付けられ、水平に接近・離隔される一対のフィンガが、キャリアのフランジの下方に入り込んで、前記キャリアを吊り下げ支持するためのグリッパ装置において、前記一対のフィンガの各動力受部材に形成され、一定方向を基準として互いに反対方向の螺旋状をなす一対の雌ねじ部と、前記一対の雌ねじ部が夫々螺合し、軸方向の両側に互いに反対方向の螺旋状をなす雄ねじを形成したボールねじと、モータとその動力を前記ボールねじに伝達する機構とからなり、前記一対のフィンガを同じ長さだけ接近・離隔させるボールねじの回転駆動手段と、前記一対のフィンガの各動力受部材相互間に設けられ対向する磁気吸引面を有する磁気吸引手段と、対向する磁気吸引面同士の当接時にボールねじに伝わる衝撃を緩和する手段と、を備えるように構成した。
【００１３】
この請求項１に係る発明によれば、対向する磁気吸引面同士が当接する際に発生する振動衝撃は緩和され、ボールねじと、これに螺合するフィンガ支持部に形成された雌ねじとの間への衝撃力の伝達も緩和される。
これによって、ボールねじ及びこれに螺合する雌ねじの耐久性の向上を図ることができる。
更に、１対のフィンがキャリアのフランジに係合し、キャリアの昇降許容状態においては、一対のフィンガの各支持部に設けられた一対の磁気吸引表面同士が当接状態を維持し、強力な磁気吸引力にて、１対のフィンガを離隔することはない。
従って、ＯＨＴ用台車が走行中に振動衝撃を受けても、キャリアはフィンガによって的確に支持され、キャリアの落下の可能性は皆無である。
【００１４】
請求項２に記載のＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置は、請求項１に記載のＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置において前記対向する磁気吸引面は一方が永久磁石の磁極面、他方が磁性板の外表面であること若しくは、前記対向する磁気吸引面は極性を異にする永久磁石の磁極面であることを特徴とする。
この請求項２に係る発明によれば、引用元の請求項１に係る発明の効果に加えて磁気吸引手段の構成が最も容易に得られ、とりわけ対向する磁極面が極性を異にする磁極面である場合には強力な磁気吸引力が得られる。
【００１５】
請求項３に記載のＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置は、請求項１又は２に記載のＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置において、一対のフィンガ接近状態において、前記対向する磁気吸引面が非接触状態であって磁気吸引力によって接合できるまで、前記回転駆動手段を動作させる制御手段を備えたことを特徴とする。
この請求項３に係る発明によれば、引用元の請求項１又は２に係る発明の効果に加えて、対向する磁気吸引面同士の当接時の衝撃はもっぱら磁気吸引力に基づくもので、回転駆動手段による力はなく、対向する磁気吸引面同士の当接時にボールねじに伝わる衝撃を緩和する手段と相俟ってボールねじ及びこれに螺合する雌ねじの耐久性の更なる向上を図ることができる。
【００１６】
請求項４に記載のＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載のＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置において、衝撃を緩和する手段が、フィンガの動力受部材と、磁気吸引手段の固定部との間にダンピング部材を介在させ、フィンガの動力受部材と、磁気吸引手段との取付けねじの本体部がフィンガ支持部に遊嵌させる構成であることを特徴とする。
この請求項４に係る発明によれば、引用元の請求項１乃至３に係る発明の効果に加えてボールねじと、これに螺合するフィンガの動力受部材に形成された雌ねじとの間への衝撃力伝達緩和機構が簡素化され、かつ、取付けねじの本体部は、その先端部が磁気吸引手段の固定部（ストッパ部材）に固定され、ダンピング部材とフィンガ支持部とは遊嵌状態となっているため衝撃力伝達の緩和効果と組立て工数減少の効果があり、衝撃力緩和効果のみならず、グリッパ装置のコストダウンを図ることができる。
【００１７】
請求項５に記載のＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載のＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置において、衝撃を緩和する手段が、フィンガの動力受部材と、磁気吸引手段の固定部との間にダンピング部材を介在させ、フィンガの動力受部材と、磁気吸引手段との取付けねじの本体部がフィンガ支持部に遊嵌させるとともに前記取付けねじの頭部とフィンガ支持部との間にダンピング材を介在させた構成であることを特徴とする。
この請求項５に係る発明によれば、引用元の請求項１乃至３に係る発明の効果に加えて磁気吸引手段の対向する一対の磁気吸引面の当接時に振動衝撃が発生した場合においても何れの方向の衝撃においても、ボールねじ及びこれに螺合する雌ねじに伝達される衝撃は減衰し、ボールねじ及びこれに螺合する雌ねじの耐久性を更に向上させることができる。
【００１８】
請求項６に記載のＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置は、請求項４又は５に記載のＯＨＴ用台車におけるグリッパ装置において、ダンピング材がゲル材料であることを特徴とする。
この請求項６に係る発明によれば、引用元の請求項４又は５に係る発明の効果に加えて５００万回の対向する磁気吸引面の当接試験においてもボールねじとこれに螺合する雌ねじの損傷は認められていない。
因みに、ダンピング材を使用しない構成においての耐久試験においては、５〜６万回の磁気吸引面の当接試験にてボールねじとこれに螺合する雌ねじの損傷が発生した。
また、ダンピング材としてウレタンゴム、天然ゴムを使用する場合に比べてゲル材は圧縮永久歪が概ね１割程度と少なく、ダンピング材としての効果は著しい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
先ず、図面の概要を述べると、図１は本発明に係るＯＨＴ用台車の要部構成を示す正面図、図２は本発明の要部構成を示す斜視図、図３は図２の一部拡大断面図である。
【００２０】
さて、図１に示されるようにＯＨＴ用台車Ｖは、天井における所定の軌道に沿って設けられた走行レールＲに吊り下げられている。そして、このＯＨＴ用台車Ｖは、その案内・駆動部１において、図示しない走行輪と案内輪とで走行レールＲに規制されて走行する。この際、必要とされる動力は、走行輪に駆動モータを備えること、或いはレールＲ側とＯＨＴ用台車Ｖ側に夫々２次側、１次側を設ける直流リニアモータを備えること等周知の手段によって得られる。２は昇降ベルトで、前後左右に４本設けられ、ＯＨＴ用台車Ｖ内に備えられるリフタ装置（図示せず）により伸縮自在に制御され、グリッパ装置Ａを昇降させるように構成される。そして、この昇降ベルト２は、内部にグリッパ装置Ａの制御用電線を備えている。
【００２１】
キャリアＣは、例えば、所定枚数の各種処理前後のウエハが収納されるキャリア本体３と、該キャリア本体３の上方に取付けられ、グリッパ装置Ａの主たる構成要素としての一対のフィンガ４ａ、４ｂによって吊り下げ支持される略方形状のフランジ５とから構成されている。このフランジ５は、前記キャリア本体３の上面部で、平面視におけるほぼ中央部に取付けられたフランジ保持部６の上面に、ほぼ水平にして取付けられている。前記フランジ保持部６は、前記キャリア本体３と、前記フランジ５との間に、一対のフィンガ４ａ、４ｂを入り込ませるための隙間を形成させるためのものである。そして、前記フランジ５と前記フランジ保持部６とは、ほぼ軸心同一にして取付けられている。
【００２２】
次にグリッパ装置Ａについて、特に図１に開示の一対のフィンガ４ａ、４ｂとその駆動機構の好適な具体的構成について図２を参照して説明する。図２において、４ａｘ、４ｂｘは夫々一対のフィンガ４ａ、４ｂの支持部で、各フィンガ４ａ、４ｂの外方端に一体的に固定され、上方に延びている。７ａ、７ｂはフレームで、夫々各フィンガ４ａ、４ｂに対応し、夫々の外方端が夫々フィンガ用支持部４ａｘ、４ｂｘの内方面の所定位置に一体的に固定されている。
【００２３】
なお、フレーム７ａ、７ｂは、図示しない案内機構により長手方向に水平に移動可能に支持されている（例えば、特許文献１の図５のガイドレール１１、ガイドブロック１２ａ、１２ｂを含む周辺構成を参照）。８ａ、８ｂはストッパ部材で、夫々前記フレーム７ａ、７ｂの内方端に固定ねじ９ａ、９ｂによって固定されている。１０ａ、１０ｂは永久磁石で、夫々前記ストッパ部材８ａ、８ｂに一体的に固定されており、相対向する面は極性を異にし、対向する磁極面同士の距離が近づくに従って磁気吸引力が増し、磁極面同士が当接すると相応の外力が加わらない限り、離隔することはない。    
【００２４】
次に、図３をも参照して本願各発明の要部構成について説明する。１１はボールねじで、長手方向の中央部を境に特定方向に対する螺旋方向が反対であって、等ピッチの雄ねじ１１ａ、１１ｂが両端の支持部に至るまで形成されている。１２ａ、１２ｂは動力受部材で、夫々ボールねじ１１の雄ねじ１１ａ、１１ｂに螺合する雌ねじ１２ａｘ、１２ｂｘ（図示は１２ｂｘのみ）が形成され、これらの雌ねじ１２ａｘ、１２ｂｘは、夫々ボールねじ１１の長手方向の中心から等距離に位置する雄ねじ１１ａ、１１ｂに螺合するように初期設定されるものとする。そして、これら対をなす動力受部材１２ａ、１２ｂは、夫々第１のダンピング部材１３ａ、１３ｂを介して適宜の数、例えば、２個ずつの固定ねじ１４ａ、１４ｂによって前記ストッパ部材８ａ、８ｂに固定される。
【００２５】
この際、固定ねじ１４ａ、１４ｂに関し、その本体部１４ａｘ、１４ｂｘ（図示は１4ｂｘのみ）は、ストッパ部材８ａ、８ｂに対してねじ止め作用にて固定され、動力受部材１２ａ、１２ｂに対しては遊嵌している。１５ａ、１５ｂは第２のダンピング部材で、夫々固定ねじ１４ａ、１４ｂの頭部と動力受部材１２ａ、１２ｂとの間に介在する。この第２のダンピング部材１５ａ、１５ｂは、設けなくとも第１のダンピング部材１３ａ、１３ｂの作用で十分とも考えられる。
しかし、永久磁石１０ａ、１０ｂの対向する磁極面の当接時において生じる衝撃は、かなり大となる場合もあり、第２のダンピング部材１５ａ、１５ｂはボールねじ１１の雄ねじ１１ａ、１１ｂとこれらに螺合する動力受部材１２ａ、１２ｂに形成した雌ねじ１２ａｘ、１２ｂｘとの螺合部に伝達される衝撃（特に永久磁石１０ａ、１０ｂの対向する磁極面同士が当接瞬時の衝撃方向と反対方向の振動衝撃）の減衰効果をより高めるのに役立つ。
【００２６】
なお、前記第１のダンピング部材１３ａ、１３ｂ及び第２のダンピング部材１５ａ、１５ｂの素材としてはゴム材、ウレタン材、ゲル材等弾性体を用いるが、とりわけ、圧縮永久歪が最も小さいゲル材を使用することが望ましい。      
因みに、ゲル材を第１のダンピング部材とした、フィンガ４ａ、４ｂの開閉耐久試験において、５００万回に及ぶ開閉において、最も衝撃による損傷を受けやすいボールねじ１１の雄ねじ１１ａ、１１ｂとこれらに螺合する動力受部材１２ａ、１２ｂに形成した雌ねじ１２ａｘ、１２ｂｘの損傷を確認する状態は発見されていない。
【００２７】
次に、図２に基づいて、ボールねじ１１の支持・駆動機構について述べる。図２において、１６ａ、１６ｂは支持板で、前記ボールねじ１１の両端部を回動自在に支持する。１７は基板で、前記支持板１６ａ、１６ｂを所定位置に固定するとともに、前記ボールねじ１１を駆動するモータ１８を設置し、４つの昇降ベルト２ａ、２ａ、２ｂ，２ｂによりＯＨＴ用台車Ｖより懸垂される。そして、前記モータ１８の回転軸は、ユニバーサルジョイント１９の入力側に連結される。このユニバーサルジョイント１９の出力側にはギア２０が設けられる。２１は前記ギア２０に噛合ってモータ１８からの動力を受けるギアであって、前記ボールねじ１１の一方端部に固定され、当該ボールねじ１１と一体的に回転する。
【００２８】
次に、図１〜図３に開示した構成の作用について述べる。
先ず、図１において、ＯＨＴ用台車Ｖが、周知の光学的手段（図示せず）を基にキャリア本体３の位置を検知すると、昇降ベルト２が繰り出され、グリッパ装置Ａは降下する。次いで、グリッパ装置Ａに設置されているフィンガ４ａ、４ｂがフランジ保持部６の両側に入り込み、１対のフィンガ４ａ、４ｂがキャリア本体３をＯＨＴ用台車Ｖ内に上昇させる態勢を得る。その後、昇降ベルト２がＯＨＴ用台車Ｖ内に巻き込まれることに伴って、ＯＨＴ用台車Ｖ内に上昇したキャリア本体３は、所定の軌道に沿って配設されたレールＲに懸垂状態にて走行し、必要な処理を行う所定箇所に達する。この時、ＯＨＴ用台車は走行を停止し、再度昇降ベルト２がＯＨＴ用台車Ｖから繰り出され、キャリア本体３は所定場所に降下する。その後、一対のフィンガ４ａ、４ｂは離隔作用を受け、キャリア本体３に設けられたフランジ保持部６との係合が解かれ、その結果、キャリア本体３はＯＨＴ用台車Ｖにおける保持状態が解かれる。
【００２９】
前記作用は、本願各発明の適用対象装置全体における動作の概要であるが、本願各発明に係る構成を示す図２及び図３（図２の要部断面図）の作用を説明する。
図２はフィンガ４ａ、４ｂが互いに接近し、永久磁石１０ａ、１０ｂの対向する磁極面が当接直前の状態を示している。
先ず、一対のフィンガ４ａ、４ｂの接近又は離隔に当っては、ボールねじ１１の回転に伴って、動力受部材１２ａ、１２ｂが、ボールねじの長手方向の中心部から左右に等距離ずつ移動し、これによって一対のフィンガ４ａ、４ｂも同じ距離移動する。この際の動力伝達は、モータの動力が、ユニバーサルジョイント１９、ギア２０、２１を順次介してボールねじ１１に伝えられる。
【００３０】
このようにして、一対のフィンガ４ａ、４ｂは接近、離隔制御を受けるが、接近、離隔の限度は、例えば、モータ１８にパルスモータを用いて精密制御を行う。また、さほど精密制御を要しない場合は、一対のフィンガ４ａ、４ｂの必要移動距離に応じてモータ１８の回転数を制御するか、或いは、例えば、永久磁石１０ａの磁極面の位置を光学的に検出し、この検出信号によってモータ１８の電力供給を停止する制御によって対処できる。
【００３１】
ところで、一対のストッパ部材８ａ、８ｂに固定された永久磁石１０ａ、１０ｂの磁極面相互間に空隙が存在すると磁気吸引力は低下する。従って、モータ１８への電力供給がなく、フリー状態において、一対のフィンガ４ａ、４ｂによって保持されているキャリアＣ（図１を参照）が搬送中の振動にて一対のフィンガ４ａ、４ｂが離隔方向に動作するとキャリアＣの落下事故を引き起こす可能性がある。
このような状態を防止するため、本願各発明では、一対のフィンガ４ａ、４ｂが接近状態でキャリアＣを保持する状態において、一対の永久磁石１０ａ、１０ｂの各対向面は当接状態とする。
【００３２】
さて、モータ１８への電力供給によって、ボールねじ１１が一対の動力受部材１２ａ、１２ｂを互いに接近させる方向に駆動する過程において、一対の永久磁石１０ａ、１０ｂの対向面同士が当接する際には振動衝撃力が発生する。この衝撃力は、先ず一対の第１のダンピング部材１３ａ、１３ｂにて減衰し、ボールねじ１１に形成した雄ねじ１１ａ、１１ｂと夫々に螺合する動力受部材１２ａ、１２ｂ夫々に形成した雌ねじ１２ａｘ、１２ｂｘと螺合部への影響は緩和され、ボールねじ１１と動力受部材１２ａ、１２ｂの耐久性の向上が図れる。
【００３３】
一方、一対の永久磁石１０ａ、１０ｂの対向面同士が当接瞬時の衝撃に比べて弱い衝撃ではあるが、振動衝撃として反対方向の衝撃が発生することもある。この反対方向の衝撃は第２のダンピング材１５ａ、１５ｂによって減衰され、前記同様ボールねじ１１に形成した雄ねじ１１ａ、１１ｂと夫々に螺合する動力受部材１２ａ、１２ｂ夫々に形成した雌ねじ１２ａｘ、１２ｂｘと螺合部への影響は緩和され、ボールねじ１１と動力受部材１２ａ、１２ｂの耐久性の向上が図れる。
【００３４】
なお、永久磁石１０ａ、１０ｂの磁極面相互間の当接時に生じる振動衝撃は、一対の永久磁石１０ａ、１０ｂの対向面同士の間隔が相互の磁気吸引力のみにて当接可能であって当接前の範囲までモータ１８の駆動力によりボールねじ１１を回転させることにより、更に減衰させることができる。
この際、モータ１８の動力消失から磁気吸引力のみで相対向する磁極面同士が当接するまで、永久磁石１０ａ、１０ｂは相応の距離移動する。この移動距離は、モータ１８と永久磁石１０ａ、１０ｂに至るまでの機械要素のクリアランスとして設定され、実用的最適距離は経験的に把握される。
【実施例１】
【００３５】
相対向する面同士で磁気吸引力を発生する手段としての一対の永久磁石１０ａ、１０ｂにおいて一方を磁性体としてもよい。
【実施例２】
【００３６】
ダンピング部材１５ａ、１５ｂは、磁極面相互間の当接時の衝撃が特に大きくならないと判断できる場合には設けるには及ばない。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に係るＯＨＴ用台車の要部構成を示す正面図である。
【図２】本発明の要部構成を示す斜視図である。
【図３】図２の一部拡大断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
Ａ．グリッパ装置
Ｒ．レール
Ｖ．ＯＨＴ用台車
３．キャリア
４ａ、４ｂ．フィンガ
５．フランジ
１０ａ、１０ｂ．永久磁石
１１．ボールねじ
１１ａ、１１ｂ．雄ねじ部
１２ａ、１２ｂ．動力受部材
１２ａｘ、１２ｂｘ．雌ねじ部
１３ａ、１３ｂ．第１のダンピング材
１５ａ、１５ｂ．第２のダンピング材
１８．モータ
【図１】
2006076748.tif 000003
【図２】
2006076748.tif 000004
【図３】
2006076748.tif 000005