(57)【要約】      （修正有）【課題】小型化、薄型化が進んでも不良の原因となる汚染物質を十分に除去できる磁気記録再生装置を提供する。【解決手段】情報を記録する磁気記録媒体１と、磁気記録媒体１上で浮遊しながら磁気記録媒体１に情報を記録・再生する磁気ヘッド３とを、基台９とトップカバー１０とからなる筐体内に配置した磁気記録再生装置において、磁気記録媒体１や磁気ヘッド３を動作させ記録・再生情報を処理する際に発熱する発熱部材の近傍、たとえばプリアンプ５の上に、熱により活性化されて汚染物質の分解を促進する熱触媒１６を配置する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報を記録するための磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体上で浮遊しながら磁気記録媒体に情報を記録・再生する磁気ヘッドとを筐体内に配置した磁気記録再生装置において、
前記磁気記録媒体や磁気ヘッドを動作させ記録・再生情報を処理する際に発熱する発熱部材の近傍に、熱により活性化されて汚染物質の分解を促進する熱触媒を配置した磁気記録再生装置。
【請求項２】
磁気ヘッドで再生された信号を増幅する筐体内のプリアンプの上に熱触媒を配置した請求項１記載の磁気記録再生装置。
【請求項３】
磁気ヘッドを取り付けたアームを動作させる筐体内のボイスコイルモータの上に熱触媒を配置した請求項１記載の磁気記録再生装置。
【請求項４】
磁気ヘッドの磁気記録媒体への対向面上に熱触媒を配置した請求項１記載の磁気記録再生装置。
【請求項５】
磁気記録媒体や磁気ヘッドの動作を制御し記録・再生情報を処理する筐体外の回路基板上に熱触媒を配置した請求項１記載の磁気記録再生装置。
【請求項６】
磁気記録媒体や磁気ヘッドの動作を制御し記録・再生情報を処理する筐体外の回路基板上の集積回路の近傍の筐体内に熱触媒を配置した請求項１記載の磁気記録再生装置。
【請求項７】
回路基板上の少なくとも集積回路形成領域と筐体との間に熱伝導率の高い中間材を配置した請求項６記載の磁気記録再生装置。
【請求項８】
回路基板上の集積回路の直上に相応する筐体内に熱触媒を配置した請求項６または請求項７のいずれかに記載の磁気記録再生装置。
【請求項９】
筐体に形成する通気孔を熱触媒の近傍に配置した請求項１記載の磁気記録再生装置。
【請求項１０】
熱触媒が金属酸化物である請求項１記載の磁気記録再生装置。
【請求項１１】
熱触媒がＺｎＯである請求項１０記載の磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はハードディスクドライブなどの磁気記録再生装置に関し、特に装置内で発生したり装置外から侵入する汚染物質を低減する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハードディスクドライブなどの磁気記録再生装置において、処理速度の向上と記録容量の大容量化の要求が益々高まるとともに、小型化・薄型化が益々進んできており、高記録密度化への取り組みが強化されている。再生ヘッドにおいては、従来の薄膜磁気ヘッドよりさらに再生トラック幅が小さく、かつ再生出力が大きいものが開発されている。記録ヘッドにおいても同様に、従来の薄膜磁気ヘッドよりさらに記録トラック幅が小さく、かつ記録時の発生磁界が大きいものが開発されている。
【０００３】
高記録密度化がすすむと、磁気記録媒体からの漏れ磁束も小さくなってくるため、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの間隔、すなわち浮上量といわれる間隔を小さくする必要があり、今後、浮上量の低下傾向が更に高まっていくことは確実である。高い信頼性でデータを読み書きするには、この低い浮上量を一定に維持することが必要である。従来は浮上量が随分高かったため、浮上中の接触はほとんど考慮する必要がなく、起動時および停止時の摩擦磨耗のみを考慮すればよかった。しかし近年のように浮上量が低いと、装置の筐体内の雰囲気で発生したり、筐体に設けられた通気孔から侵入してきたガス状の汚染物質（以下、単に汚染物質と言う）が磁気ヘッドなどに固着した場合に、これが介在物となって磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触を引き起こし、磨耗、破壊を促進する原因となっている。
【０００４】
通気孔は、環境温度の急激な変化による装置内外の気圧差をなくす目的で、筐体の内外を連通するように形成されている。外気中に含まれる塵挨や汚染物質の侵入を防ぐためにケミカルフィルタが取り付けられることが多い。この種のケミカルフィルタには一般に、塵埃や汚染物質を捕集すべく活性炭が用いられ、その活性炭粒が筐体内に混入しないようにシートやプラスチックケースに封入されて設置される（例えば特許文献１参照）。光触媒を用いた汚染物減少装置を筐体内に配置して、汚染物質を化学的に分解するようにしたものもある（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】特開昭５９−２２７３公報
【特許文献２】特表２００３−５２７７２０公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
磁気記録再生装置の小型化・薄型化が進むにつれ、上記した従来のケミカルフィルタや汚染物減少装置の設置スペースを筺体内に十分にとれなくなりつつある。しかしケミカルフィルタや汚染物減少装置を小さくすれば、汚染物質の十分な捕集・除去効果は期待できない。しかるに、小型化・薄型化が更に進んでも、装置内の塵挨や汚染物質の量はあまり変わらないと予想される。
【０００６】
本発明は上記問題に鑑み、小型化・薄型化が進んでも不良の原因となる汚染物質を十分に除去できる磁気記録再生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の磁気記録再生装置は、情報を記録するための磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体上で浮遊しながら磁気記録媒体に情報を記録・再生する磁気ヘッドとを筐体内に配置した磁気記録再生装置において、前記磁気記録媒体や磁気ヘッドを動作させ記録・再生情報を処理する際に発熱する発熱部材の近傍に、熱により活性化されて汚染物質の分解を促進する熱触媒を配置したことを特徴とする。
【０００８】
ここで汚染物質とは、磁気記録媒体や磁気ヘッドに固着して情報の記録・再生を阻害するガス状物質を言い、主に揮発性有機化合物である。このような汚染物質は、装置自体に用いられている部材、接着剤(たとえばシリコン系やハイドロカーボン系)、潤滑油（たとえばフッ素系）などから発生するだけでなく、装置の設置環境で用いられている建築材、塗料、床ワックスなどから発生し、装置内に侵入する。熱触媒は、揮発性有機化合物などの汚染物質の酸化分解を促進するものを言う。
【０００９】
上記構成によれば、熱触媒を配置した筐体内あるいは筐体外で、熱触媒なしでは起こり難い汚染物質の分解を生起することができる。よって、汚染物質の固着、固着物を介しての磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触、磨耗、破壊を防止できる。磁気記録再生装置に備わる部材を熱源として利用するので、熱触媒のみを付加すればよく、熱触媒自体の設置は僅かなスペースで済むので、装置全体の少スペース化を実現できる。
【００１０】
磁気ヘッドで再生された信号を増幅する筐体内のプリアンプは発熱部材なので、プリアンプ上に熱触媒を配置してよい。
磁気ヘッドを取り付けたアームを動作させる筐体内のボイスコイルモータは発熱部材なので、ボイスコイルモータ上に熱触媒を配置してよい。
【００１１】
磁気ヘッドの磁気記録媒体への対向面上に熱触媒を配置してもよい。磁気記録媒体上を磁気ヘッドが浮上している際に発生する空気膜の断熱圧縮で生じる熱を熱触媒に供給することになる。
【００１２】
筐体外の回路基板上に設けられ磁気記録媒体や磁気ヘッドの動作を制御し記録・再生情報を処理する集積回路は発熱部材なので、集積回路上に熱触媒を配置してよい。また集積回路の近傍の筐体内に熱触媒を配置してよい。
【００１３】
回路基板上の少なくとも集積回路形成領域と筐体との間に熱伝導率の高い中間材を配置するのが好ましい。また回路基板上の集積回路の直上に相応する筐体内に熱触媒を配置するのが好ましい。
【００１４】
筐体に形成する通気孔は、熱触媒の近傍に配置するのが好ましい。外気中に含まれる汚染物質を筐体内に侵入する前に熱触媒によって分解できるからである。
熱触媒として、たとえば、Ｐｔ(白金)、Ｐｄ(パラジウム)、Ｒｈ(ロジウム)、Ｔｉ(チタン)、Ｍｇ(マグネシュウム)、Ｚｎ(亜鉛)など含有する金属酸化物を使用できる。その中で好ましい熱触媒はＺｎＯである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の磁気記録再生装置は、装置自体に備わる発熱部材の近傍に熱触媒を配置するという簡単な構成で汚染物質を分解するものであり、汚染物質に起因する不良を防止できるだけでなく、小型化・薄型化の傾向にある装置の少スペース化を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明の一実施形態における磁気記録再生装置の内部構成を示す平面図、図２は同磁気記録再生装置の分解斜視図である。ここでは磁気記録再生装置を代表してハードディスクドライブを示している。
【００１７】
図１および図２において、１は情報を記録するための円板状の磁気記録媒体（以下、ディスクという）、２はディスク１を回転させるスピンドルモータ、３はディスク１に情報を記録・再生する素子が形成された磁気ヘッドスライダー（以下、磁気ヘッドという）、４は磁気ヘッド３をサスペンションを介して保持したヘッドアーム、５は磁気ヘッド素子により再生された信号を増幅するプリアンプ（ＦＰＣに搭載されている）、６は磁気ヘッド３を含んだヘッドアーム４を動作させるボイスコイルモータ、７はディスク１外へ退避した磁気ヘッド３が乗り上げるランプ部、８は装置停止時にヘッドアーム４を特定位置に保持するラッチ部である。
【００１８】
９はアルミニウムなどで形成された基台であって、スピンドルモータ２を取り付け、ディスク１、磁気ヘッド３を含んだヘッドアーム４、プリアンプ５、ボイスコイルモータ６、ランプ部７、ラッチ部８などを内部に収納しており、トップカバー１０で密閉されて筐体を形成する。１１はプリント回路基板（以下、プリント基板と言う）であり、基台９の外面に振動防止シート１２を介して取り付けられている。
【００１９】
プリント基板１１には、スピンドルモータ２とボイスコイルモータ６を駆動するためのモータドライバ集積回路１３と、磁気ヘッド素子により再生されプリアンプ５により増幅された信号を復号するための信号処理やディスク１に記録するための信号処理等を行うリードライトチャネル集積回路１４と、情報処理のための仮記憶領域としての揮発性メモリ１５等が実装されている。リードライトチャネル集積回路１４には他に、パーソナルコンピュータなどの外部装置との間でコマンド・情報の通信を行うためのプロトコル処理や、このリードライトチャネル集積回路１４を通じてディスク１に対する記録・再生の制御を司るハードディスクコントローラ集積回路、および、装置全体を制御するマイコン集積回路も搭載されている（図示せず）。マイコン集積回路は、当該マイコン集積回路の制御プログラム等が格納される不揮発性メモリを内蔵している。
【００２０】
この磁気記録再生装置が従来のものと相違するのは、筐体内の発熱部材、ここではプリアンプ５上に熱触媒１６を設置した点である。ここでは熱触媒１６としてＺｎＯをプリアンプの表面にスパッタ成膜している。
【００２１】
図３は、上記構成を有する２．５インチ・ハードディスクドライブのシーク時の内部温度を示す温度分布図である。温度測定は、サーモメータを用いて、外気２０度の環境条件下で行った。プリアンプ５部分およびボイスコイルモータ６部分が、他に比べて発熱が大きく、温度が高くなっている。
【００２２】
図４はガスクロマトグラフ質量分析計で測定した結果で、図４（ａ）は、上記構成を有する２．５インチ・ハードディスクドライブの筐体内のガスクロマトグラフ、図４（ｂ）は熱触媒１６を配置しないことを除いては同様の構成を有するハードディスクドライブの筐体内のガスクロマトグラフである。横軸は時間、縦軸はガス成分(ガスのアバンダンス(発生量))を示す。
【００２３】
図４（ａ）（ｂ）から、熱触媒１６をプリアンプ５上に配置したことで、汚染物質量が減少したことがわかる。
このように、磁気記録再生装置の筐体内に一般に備わる発熱部材（ここではプリアンプ５）の上に熱触媒１６を配置することで、熱触媒１６を活性化して、筐体内の汚染物質を分解することができる。汚染物質が揮発性有機化合物である場合には、熱触媒ＺｎＯ等に接触することで効率よく酸化分解され、水蒸気と二酸化炭素に転化することになる。これらは少量ではドライブに無害である。熱触媒１６は薄膜として形成できるので、僅かな設置スペースで済み、装置の小型化、薄型化にも非常に有効である。熱触媒１６自体は消耗せず、性能低下を来たさないという利点もある。したがって、使用する部品・部材にある程度の汚染を許容できることになり、製造コストを低減できる。部品の品質および清浄度を厳しく管理するのであれば装置寿命を増大できる。
【００２４】
図５に示したようにボイスコイルモータ６上に熱触媒１６を配置しても同様の効果が得られる。ボイスコイルモータ６は、コイルとマグネットをトップヨークとボトムヨークとの間に配置して構成されるので、トップヨーク上の、少なくともコイルの直上に相応する領域に熱触媒１６を配置するのが好都合である。
【００２５】
上記したのは代表例にすぎず、プリアンプ５やボイスコイルモータ６以外の発熱部材、たとえば筐体を熱源として利用してもよく、またハードディスクドライブ以外の磁気記録再生装置に適用しても有用である。
【００２６】
図６に示すように、磁気ヘッド３の空気潤滑面に熱触媒１６を配置してもよい。
空気潤滑面は一般に、凹凸状に形成されていて、空気流入部の段差部分が磁気ヘッド３をディスク面から離そうとする正圧を発生し、中央の段差部分が磁気ヘッド３をディスク面に引き付けようとする負圧を発生して、磁気ヘッド３がディスク内周部上に配置されたときもディスク外周部上に配置されたときも均一な浮上隙間を保つようになっている。
【００２７】
図示した空気潤滑面においては、高さの異なる３段の面（上段面、中段面、下段面）が形成されている。すなわち空気流入部寄りの中央に湾曲部位が位置するようにＵ形に中段面３ａが形成され、空気流出部寄りの中央に島状に中段面３ｂが形成され、Ｕ形の中段面３ａの空気流出部寄りの端部と島状の中段面３ｂのそれぞれの上に上段面３ｃ，３ｄ，３ｅが形成され、中段面３ａ，３ｂの周囲に下段面３ｆが形成されている。薄膜磁気ヘッド素子３ｇは空気流出部寄りの上段面３ｅに形成されている。熱触媒１６としては下段面３ｆにＺｎＯがスパッタ成膜されている。
【００２８】
この磁気ヘッド３を持った２．５インチ・ハードディスクドライブについて、環境チャンバー７０℃中でランダムリードライトを継続的に行う従来の耐久試験を行った。比較のために、熱触媒１６でなく活性炭を配置した以外は同様に構成した従来タイプのハードディスクドライブでも同様に耐久試験を行った。試験対象はそれぞれ１０台であり、耐久試験時間は６７２時間（２４時間×４週間）である。
【００２９】
その結果、熱触媒１６を配置した本発明のハードディスクドライブでは不良は１台も発生しなかったのに対し、従来タイプのハードディスクドライブでは２台に多数のセクターでリードライト不良が発生した。不良品のヘッドならびにメディア表面のＦＴＩＲスペクトル解析を行ったところ、磁気ヘッド表面に、発生したガスによるＣｎＨｍ系混合物の付着が確認された。
【００３０】
このように、磁気ヘッド３の空気潤滑面に熱触媒１６を配置することで、磁気ヘッド３の浮遊中に、ディスク１との間の空気膜の断熱圧縮に伴って熱触媒１６に熱を供給して、熱触媒１６を活性化し、その触媒作用で筐体内の汚染物質を分解し、固着を防止することができる。これによって得られる効果は上述したのと同様である。
【００３１】
上記したのは代表例にすぎず、磁気ヘッド（磁気ヘッドスライダー）３以外の部材、たとえば、スライダーの背面部分やアーム上に形成されているＦＰＣ配線表面などのディスク１への対向面を熱源として利用してもよく、またハードディスクドライブ以外の磁気記録再生装置に適用しても有用である。
【００３２】
空気潤滑面に熱触媒１６を配置した磁気ヘッド３は、たとえば図７に示す工程で製造することができる。
図７（ａ）に示すように、薄膜磁気ヘッド素子を形成したウェハから機械加工により切り出した短冊状ブロック３０（以下、スライダーバー３０と呼ぶ）を、その素子形成面を上向きにしてプレート（図示せず：以下治具と呼ぶ）上に設置し、ドライフィルム等のフォトレジスト３１を圧着貼付する。そして所定のパターンのマスクを介して露光し、現像を行って、図７（ｂ）に示すような浅溝用レジストパターン３２を形成する。次に図７（ｃ）に示すように、浅溝用レジストパターン３２をマスクにしてドライエッチング等にて溝加工し、その後に治具から外し、洗浄してレジストパターン３２を除去することにより、図７（ｄ）に示すような、浅溝３３のパターンを形成する。
【００３３】
次に、スライダーバー３０を再度治具上に設置し、図７（ｅ）に示すようにドライフィルム等のフォトレジスト３４を圧着貼付し、その後に所定のパターンのマスクを介して露光し、現像を行って、図７（ｆ）に示すような深溝用レジストパターン３５を形成する。図７（ｇ）に示すように、深溝用レジストパターン３５をマスクにしてドライエッチング等にて溝加工して、図７（ｈ）に示すような深溝３６を形成する。
【００３４】
次に、図７（ｉ）に示すように、深溝用レジストパターン３５を残した状態で熱触媒１６の材料をスパッタ成膜し、その後に深溝用レジストパターン３５を剥離する洗浄を行うと、図７（ｊ）に示すような、浅溝３３および深溝３６を有し、且つ深溝３６の上面に熱触媒１６を有した空気潤滑面が完成する。
【００３５】
図８に示すように、プリント基板１１のリードライトチャネル集積回路１４の直上に相応する基台９の内面に熱触媒１６を配置し、プリント基板１１と基台９との間の振動防止シート１２に、リードライトチャネル集積回路１４の直上に相応するように、熱伝導率の高い中間材２０を配置してもよい。中間材２０としては、基台９（筐体）と集積回路１４との間に隙間（空気膜）が存在する場合には、基台９と同一材料（たとえばアミルミウム）あるいはそれ以上の熱伝導率を持つ金属または樹脂材料、それ以外の場合には基台９以上の熱伝導率を持つ金属または樹脂材料、たとえばスーパーカーボンや導電性接着剤などを用いることができる。また中間材２０を設けることで筐体内の温度上昇を抑制する効果もある。
【００３６】
図９は上記構成を有する２．５インチ・ハードディスクドライブのシーク時のプリント基板１１の表面の温度を示す。温度測定は、サーモメータを用いて、外気２０度の環境条件下で行った。モータドライバ集積回路１３、リードチャネル集積回路１４、および揮発性メモリ１５の部分の発熱が他に比べて大きい。モータドライバ集積回路１３と揮発性メモリ１５の部分は６０℃までも昇温し、リードチャネル集積回路１４の部分は５２℃まで昇温している。
【００３７】
このハードディスクドライブにおいて、上記した中間材２０としてスーパーカーボンを配置し、シーク時に熱触媒１６の表面温度をサーモテープで測定したところ、５０℃以上を示した。中間材２０を配置しないことを除いては同様の構成を有するハードディスクドライブでは、シーク時の熱触媒１６の表面温度は２５℃を示した。この結果は、中間材２０を配置することで熱伝導性が向上することを示すものである。
【００３８】
なお、図８に示したハードディスクドライブでは、主にガスが発生するのが磁気ヘッド３とヘッドアーム４の接着部分やボイスコイル６の接着部分などであることから、ガス発生部分の近傍で最も効果が期待される箇所として、リードチャネル集積回路１４の直上に相応する基台９の内面に熱触媒１６を配置している。プリント基板１１の構成によっては、たとえば現在のリードチャネル集積回路１４の位置にモータドライバ集積回路１３あるいは揮発性メモリ１５を配置するのであれば、その直上の基台９の内面に熱触媒１６を配置すればよい。さらにはガス発生部分近傍に集積回路を集約することも有用である。
【００３９】
このように、筐体内に熱触媒１６を配置し、その熱源に筐体外のプリント基板１１上の集積回路（ここではリードライトチャネル集積回路１４）を利用し、好ましくはプリント基板１１と筐体との間に熱伝導率の高い中間材２０を設けることで、集積回路の熱を中間材２０を通じて熱触媒１６に効率よく伝導して、熱触媒１６を活性化し、その触媒作用で筐体内の汚染物質を化学的に分解することができる。これによって得られる効果は上述したのと同様である。
【００４０】
上記したのは代表例にすぎず、筐体外のほかの発熱部材を利用してもよく、ハードディスクドライブ以外の磁気記録再生装置に適用しても有用である。
図１０に示すように、プリント基板１１のリードライトチャネル集積回路１４の上に熱触媒１６を配置し、熱触媒１６の近傍となるように、プリント基板１１，振動防止シート１２，基台９にそれぞれ通気孔１１ａ，１２ａ，９ａを形成してもよい。通気孔９ａには呼吸フィルタ２２を配置する。
【００４１】
このことにより、リードライトチャネル集積回路１４の熱で熱触媒１６が活性化され、その触媒作用で、通気孔１１ａ，１２ａ，９ａを通じて筐体内に侵入しようとする外気中に含まれている汚染物質が化学的に分解され、残存する塵埃やミストなどの微小粒子も呼吸フィルタ２２で除去されることになり、筐体内への微小粒子や汚染物質の侵入を防ぐことができる。
【００４２】
このように、筐体外のプリント基板１１の集積回路の上に熱触媒１６を配置して集積回路自体を熱源として利用し、熱触媒１６の近傍に筐体内に通じる通気孔１１ａ，１２ａ，９ａを設けることで、筐体内に侵入しようとする外気中に含まれている汚染物質や微小粒子を筐体外で化学的および物理的に除去できる。これによって得られる効果は上述したのと同様である。
【００４３】
上記したのは代表例にすぎず、筐体外のほかの発熱部材を利用してもよく、ハードディスクドライブ以外の磁気記録再生装置に適用しても有用である。
なお、複数の発熱部材から直接あるいは間接的に熱が供給されるように、複数箇所に熱触媒を配置してもよいことは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の磁気記録再生装置は、筐体の内部あるいは外部に熱触媒を配置し、それを活性化して汚染物質を分解させるための熱源として筐体の内部あるいは外部に存在する発熱部材を利用するようにしたものであり、汚染物質に起因する不良を防止できるのみならず、熱触媒を薄膜とすることで少スペース化も実現できるので、ハードディスクドライブなどにこの構成を適用して小型化・薄型化するのに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施形態における磁気記録再生装置の内部構成を示す平面図
【図２】図１の磁気記録再生装置の分解斜視図
【図３】図１の磁気記録再生装置の内部温度を示す温度分布図
【図４】図１の磁気記録再生装置および同様の構成を有する従来の磁気記録再生装置の筐体内のガスのガスクロマトグラフ
【図５】本発明の他の実施形態における磁気記録再生装置の内部構成を示す平面図
【図６】本発明のさらに他の実施形態における磁気記録再生装置の磁気ヘッドの空気潤滑面の構成を示す平面図
【図７】図６の磁気ヘッドの空気潤滑面を形成する工程を説明する工程断面図
【図８】本発明のさらに他の実施形態における磁気記録再生装置の分解斜視図
【図９】図８の磁気記録再生装置のプリント基板の表面温度を示す温度分布図
【図１０】本発明のさらに他の実施形態における磁気記録再生装置の分解斜視図
【符号の説明】
【００４６】
１  磁気記録媒体
２  スピンドルモータ
３  磁気ヘッド
４  ヘッドアーム
５  プリアンプ
６  ボイスコイルモータ
７  ランプ部
８  ラッチ部
９  基台
１０  トップカバー
１１  プリント基板
１２  振動防止シート
１３  モータドライバ集積回路
１４  リードライトチャネル集積回路
１５  揮発性メモリ
１６  熱触媒
２０  中間材
２２  呼吸器フィルタ
３０  スライダーバー
３１、３４  フォトレジスト
３２、３５  レジストパターン
３３  浅溝
３６  深溝
９ａ、１１ａ、１２ａ  通気孔
３ａ、３ｂ  中段面
３ｃ、３ｄ、３ｅ  上段面
３ｆ  下段面
【図１】
2006228335.tif 000003
【図２】
2006228335.tif 000004
【図３】
2006228335.tif 000005
【図４】
2006228335.tif 000006
【図５】
2006228335.tif 000007
【図６】
2006228335.tif 000008
【図７】
2006228335.tif 000009
【図８】
2006228335.tif 000010
【図９】
2006228335.tif 000011
【図１０】
2006228335.tif 000012