(57)【要約】【課題】  角速度センサによる角速度の測定結果を正確に、短時間で、多方向の角速度を検出することができる小型の角速度センサ検査装置を提供する。【解決手段】  角速度センサ検査装置１０は、支柱２１，１２１と、支柱２１，１２１に軸支される振り子支持軸２５と、振り子支持軸２５を振動中心として振動する振り子３０と、振り子３０の振動に連動する基台１００と、基台１００に取り付けられる一つまたは複数の角速度センサ５０と、振り子支持軸２５または基台１００に取り付けられる基準角度センサ１５０と、振り子３０を自由振動させて、角度センサ５０と基準角度センサ１５０によって検出される角速度を比較し、良否判定する検出処理装置９０と、が、備えられている。【選択図】      図１
2006084455.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支柱と、該支柱に軸支される振り子支持軸と、
前記振り子支持軸を振動中心として振動する振り子と、
前記振り子の振動に連動する基台と、
前記基台に取り付けられる一つまたは複数の角速度センサと、
前記振り子支持軸または前記基台に取り付けられる基準角度センサと、
前記振り子を自由振動させて、前記角度センサと前記基準角度センサによって検出される角速度を比較し、良否判定する検出処理装置と、
が、備えられていることを特徴とする角速度センサ検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の角速度センサ検査装置において、
前記基台が前記振り子支持軸の端部に軸止され、前記振り子の振動に連動し、前記振り子支持軸と共に回動されることを特徴とする角速度センサ検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の角速度センサ検査装置において、
前記角速度センサは、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸を有して形成される圧電振動片からなり、
前記振り子支持軸の軸方向に対して、前記圧電振動片のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸それぞれの取付姿勢が可変できることを特徴とする角速度センサ検査装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の角速度センサ検査装置において、
前記基台に、前記角速度センサを装着するための角速度センサ取付テーブルと、前記角速度センサを前記振り子支持軸の軸方向に対して垂直または水平に取り付けるための固定台と、前記固定台に対して前記角速度センサ取付テーブルを所定の回転角度に節度をもって回転するためのターンテーブルと、がさらに備えられていることを特徴とする角速度センサ検査装置。
【請求項５】
請求項１に記載の角速度センサ検査装置において、
前記基台が前記振り子に取り付けられ、
前記角速度センサのＺ軸が、前記振り子の振動平面に対して垂直となるように、前記基台に取り付けられていることを特徴とする角速度センサ検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載の角速度センサ検査装置において、
前記振り子が、前記角速度センサが取り付けられる第１の振り子と、前記支柱を挟んで前記第１の振り子に対向する位置に設けられる第２の振り子とから構成され、
前記第１の振り子と前記第２の振り子とが、一体で振動することを特徴とする角速度センサ検査装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の角速度センサ検査装置において、
前記振り子が、前記振り子の重心位置を移動する重心位置可変部材を備えていることを特徴とする角速度センサ検査装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の角速度センサ検査装置において、
前記角速度センサと前記検出処理装置とを接続する接続部材が可撓性を有し、前記振り子支持軸に開設される貫通孔に挿通されていることを特徴とする角速度センサ検査装置。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の角速度センサ検査装置において、
前記振り子の振り出し角度を規制する角度計が備えられていることを特徴とする角速度センサ検査装置。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の角速度センサ検査装置において、
前記振り子を自由振動させて、前記複数の角速度センサの検出結果それぞれを、前記検出処理装置によって選択的または一括して処理することを特徴とする角速度センサ検査装置。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の角速度センサ検査装置において、
前記振り子支持軸が前記支柱に低摩擦軸受によって軸支されているか、または、前記振り子が前記振り子支持軸に低摩擦軸受によって軸支されていることを特徴とする角速度センサ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振り子の自由振動によって角速度センサに角速度を与える構造を有する角速度センサ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、角速度を検出するジャイロスコープの角速度と出力を評価するために、レートテーブルによって入力角速度を与え、ジャイロスコープの角速度を測定する装置が知られている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
【非特許文献１】多摩川精機株式会社編集、「ジャイロ活用入門」、工業調査会、２００２年１月、１０７〜１０９頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような非特許文献１によるレートテーブルには、ジャイロスコープに回転角速度を与える回転テーブルや振動を与える振動テーブルが用いられる。これら回転テーブルや振動テーブルは、モータによって駆動される。このように、レートテーブルがモータによって駆動されることから、モータの振動がジャイロスコープに伝播されることや、モータから低周波ノイズあるいは高周波ノイズが発生することが考えられ、ジャイロスコープは微小電荷検出素子であるため、このようなノイズが角速度検出値に影響し、正確な角速度が検出できないというような課題がある。
【０００５】
また、このような角速度測定装置では、回転テーブルや振動テーブルに装着されるジャイロスコープの姿勢は一方向に限られ、ジャイロスコープに他の方向の角速度を与えることは困難である。
【０００６】
さらに、非特許文献１で提案されている装置は大型のものであり、回転テーブルは、慣性が大きく、回転速度が安定角速度に達するまで時間が掛かるというような課題もある。
【０００７】
本発明の目的は、前述の課題を解決することを要旨とし、角速度センサによる角速度の測定結果を正確に、短時間で、多方向の角速度を検出することができるとともに、一度に多量の角速度センサの検査が行なえ、操作が簡単な小型の角速度センサ検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の角速度センサ検査装置は、支柱と、該支柱に軸支される振り子支持軸と、前記振り子支持軸を振動中心として振動する振り子と、前記振り子の振動に連動する基台と、前記基台に取り付けられる一つまたは複数の角速度センサと、前記振り子支持軸または前記基台に取り付けられる基準角度センサと、前記振り子を自由振動させて、前記角度センサと前記基準角度センサによって検出される角速度を比較し、良否判定する検出処理装置と、が、備えられていることを特徴とする。
【０００９】
ここで、角速度センサとしては、例えば、振動型ジャイロスコープ等の角速度センサが採用される。また、検出処理装置には、例えば、角速度センサの検出値を数値化あるいはグラフ化して比較する機能を含む。
また、基準角度センサとは、予め角速度を測定し校正された標準の角速度センサである。
【００１０】
この発明によれば、振り子を自由振動させると、公知の振り子の原理から、振り子は、一定周期で往復振動するため、振り子の振動に連動する角速度センサには、振り子と同じ入力角速度が与えられる。このことから、角速度センサ及び基準角速度センサそれぞれの検出値を検出処理装置で比較判定し、基準角速度センサの角速度検出値との差が所定の範囲内にある定角速度センサを良品として選別することができる。
【００１１】
また、振り子は、振り子の長さが一定であれば、質量の大きさに関係なく安定した周期で振動を繰り返す、即ち、一定の入力角速度を角速度センサに与えることができるので、一度に多量の角速度センサの角速度測定を行なうことができる。
【００１２】
また、この角速度センサ検査装置は、振り子の自由振動により入力角速度を与える構造であるために、モータなどの駆動装置が必要なく、構造も簡単で、モータから発生する低周波ノイズ、高周波ノイズがなく、モータの振動ノイズもないため、正確な角速度の測定を行なうことができる。
【００１３】
また、振り子は往復振動を繰り返すので、角速度センサに正方向及び負方向の入力角速度を与えることになり、正方向、負方向の入力角速度を特別の切換装置を備えることなく測定することができる。
【００１４】
さらに、振り子を所定の位置から自然落下し、自由振動させることにより所望の範囲の入力角速度を角速度センサに与えることができるので、操作が簡単になるという効果もある。
【００１５】
また、前記基台が前記振り子支持軸の端部に軸止され、前記振り子の振動に連動し、前記振り子支持軸と共に回動されることが好ましい。
【００１６】
このような構造によれば、角速度センサが振り子支持軸の端部に装着されるため、振り子を振動させ、角速度を測定する際に、角速度センサの可動範囲を小さくできるため、角速度センサ検査装置を小型化することができる。
【００１７】
前記角速度センサは、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸を有して形成される圧電振動片からなり、前記振り子支持軸の軸方向に対して、前記圧電振動片のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸それぞれの取付姿勢が可変できることが好ましい。
ここで、圧電振動片が、例えば水晶振動子からなるとき、３軸としては、Ｘ軸が電気軸、Ｙ軸が機械軸、Ｚ軸が光学軸である。
【００１８】
このように、角速度センサ（圧電振動片）の取付姿勢を３方向に変えることができるので、３方向それぞれの方向からの角速度の検査を行うことで、角速度センサの検査をより的確に行うことができる。
【００１９】
また、本発明では、前記基台に、前記角速度センサを装着するための角速度センサ取付テーブルと、前記角速度センサを前記振り子支持軸の軸方向に対して垂直または水平に取り付けるための固定台と、前記固定台に対して前記角速度センサ取付テーブルを所定の回転角度に節度をもって回転するためのターンテーブルと、がさらに備えられていることが好ましい。
【００２０】
このようにすれば、固定台を操作して角速度センサを振り子支持軸に対して垂直または水平な姿勢に変えることができ、さらに、ターンテーブルを操作して角速度センサを固定台に対して取付角度を変えることができるので、角速度センサの３軸の方向を容易に変えることができる。
【００２１】
また、本発明では、前記基台が前記振り子に取り付けられ、前記角速度センサのＺ軸が、前記振り子の振動平面に対して垂直となるように、前記基台に取り付けられていることが好ましい。
なお、詳しくは実施の形態において後述するが、本発明ではＺ軸が角速度を測定する際のスピン軸である。
【００２２】
このような構造によれば、振り子が振動するときの振動平面に対して、角速度センサのＺ軸が垂直に装着されているので、振り子が発生する角速度の方向と角速度センサの回転方向が同じ平面方向になるため、正確な角速度の測定と検出感度を得ることができる。
【００２３】
また、角速度センサが取り付けられる基台を振り子に取り付けるために、基台取付構造が簡単にできる他、角速度センサ検査装置からの突出量を小さくすることができ、また、多量の角速度センサを取り付け易いという効果がある。
【００２４】
また、前記振り子が、前記角速度センサが取り付けられる第１の振り子と、前記支柱を挟んで前記第１の振り子に対向する位置に設けられる第２の振り子とから構成され、前記第１の振り子と前記第２の振り子とが、一体で振動することが好ましい。
【００２５】
このような構造によれば、支柱を挟んで第１の振り子と第２の振り子とが備えられているので、支柱を挟んで角速度センサ検査装置の重量バランスをとり易く、振り子を自由振動させた際に、支柱が振動し、この振動ノイズが発生することによる角速度への検出に影響を与えることを防止することができる。
【００２６】
また、前記振り子が、前記振り子の重心位置を移動する重心位置可変部材を備えていることが好ましい。
ここで、重心位置可変部材としては、例えば、振り子に取付けられる錘を採用することができ、この錘の取付け位置を変更することで、重心位置を変えることができる。
【００２７】
振り子の周期は、振り子の長さに比例することが知られている。従って、重心位置可変部材を移動して振り子の長さをかえることによって、振り子の周期を変えることができることから、角速度センサに与える入力角速度を任意に変更することができ、所望の入力角速度における角速度センサの検出値の良否を判定することができる。
【００２８】
さらに、重心位置可変部材は、前述した第１の振り子または第２の振り子のどちらにも備えることができ、基台等の大きさ、レイアウトに合わせて重心位置可変部材の取付位置を任意に選択することができる。
【００２９】
また、前記角速度センサと前記検出処理装置とを接続する接続部材が可撓性を有し、前記振り子支持軸に開設される軸方向の貫通孔に挿通されていることが好ましい。
接続部材としては、例えば、可撓性を有するフレキシブル基板、リード線等を採用することができる。
【００３０】
このようにすれば、接続部材が、振り子支持軸に設けられる貫通孔に挿通されているので、振り子が自由振動する際に、接続部材による抵抗を減ずることができ、前述した低摩擦軸受と併用することで、一層、振り子の振動の周期変動を小さくすることができる。
【００３１】
さらに、接続部材が可撓性を有しているために、振り子の振動に対して柔軟に追従できるので、振動の繰り返しによっても初期の強度を保持するため、長期間にわたって継続使用することができる。
【００３２】
また、本発明の角速度センサ検査装置には、前記振り子の振り出し角度を規制する角度計が備えられていることが望ましい。
ここで、振り出し角度とは、振り子を自由振動させる際に、この振り子が自由落下を始める前の位置の垂直位置からの角度を示す。
【００３３】
このように、振り子の振り出し角度を規制する角度計が備えられているので、角速度を繰り返し測定するような場合に、振り出し角度を一定にして自由振動を与えることができるため、角速度測定の条件を一定にすることができ、測定値の信頼性を高めることができる。
【００３４】
また、前記振り子を自由振動させて、前記複数の角速度センサの検出結果それぞれを、前記検出処理装置によって、選択的または一括して処理することが望ましい。
【００３５】
角速度センサが振り子に複数取付けられている場合、各角速度センサを１個づつ選択して測定値を検出処理装置に取り込み、比較判定することも、一度に複数の測定値を一括して取り込み比較判定することができるので、効率良く角速度の検出と判定を行なうことができる。
【００３６】
さらに、前記振り子支持軸が、前記支柱に低摩擦軸受よって軸支されているか、または、前記振り子が前記振り子支持軸に低摩擦軸受によって軸支されていることが望ましい。
ここで、低摩擦軸受としては、例えば、ボールベアリングを用いた軸受等を採用することができる。
【００３７】
このようにすれば、振り子が自由振動をする際に、ボールベアリング等の低摩擦軸受を使用しているため、振り子の振動が減衰しにくいので、軸受部の摩擦による周期の変動（減衰）を少なくすることができ、そのことによって、正確な角速度の検出を繰り返し継続的に行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図１０は本発明の実施形態１に係る角速度センサ検査装置が示され、図１１〜１３には実施形態２、図１４には実施形態３、図１５には実施形態４が示されている。
（実施形態１）
【００３９】
図１〜図１０は実施形態１に係る角速度センサ検査装置の構造、測定結果、操作が例示されている。
図１は、実施形態１に係る角速度センサ検査装置１０を示す側面図、図２は正面図である。図１、図２において、角速度センサ検査装置１０は、基本構成として、支持台２０と、支持台２０に回転可能に軸支される振り子支持軸２５と、支持台２０に対して垂直に設けられる支柱２１と１２１との間にあって振り子支持軸２５に軸止される振り子３０と、振り子支持軸２５の端部に軸止される基台１００とから構成され、基台１００には、被検査対象となる複数の角速度センサ５０が取り付けられている。また、角速度センサ５０による角速度検出データの処理を行う検出処理装置９０（図２、参照）がさらに備えられている。
【００４０】
支持台２０は、台座２２と支柱２１，１２１と免震装置２４とから構成されている。台座２２は、振り子３０が振動した際に共振しない大きさと重量を有し、台座２２の４隅に備えられる免震装置２４に載置される。免震装置２４は、振り子３０に外部の振動を伝播させない機能と、図示しないが、台座２２の上面が水平となるように高さ調整を行なう高さ調整機構を備えている。
【００４１】
台座２２には、支柱２１と支柱１２１が垂直に植立され、補強梁２９で支持され、振り子３０が振動したときに支柱が共振しないように補強されている。台座２２の上面には、レベルメータ（水準器）９５が備えられ、台座２２の上面が水平になるように、即ち、支柱を垂直にすべく免震装置２４が調整される。
【００４２】
支柱２１の高さ方向略中央部には、角度計６０を取付けるための角度計取付け部２７が突設され、半円リング状の角度計６０が取付けられている。この角度計６０には、振り子３０の振り出し角度を設定するための目盛６１とストッパ７０を挿着するストッパ孔６２とが設けられている。ストッパ７０は、予め、振り子３０を所定の振り出し角度の位置に振り子３０を規制しておくもので、このストッパ７０を引き抜くことで振り子３０が落下を始め自由振動を開始する。
【００４３】
支柱２１，１２１の上方端部には、貫通孔２６を有する振り子支持軸２５が軸支されている。この振り子支持軸２５は、振り子３０の回転軸である。この振り子支持軸２５に振り子３０が軸止され、振り子の振動に連動して振り子支持軸２５が回転する。
なお、支柱１２１は、支柱２１のみで角速度センサ検査装置１０の重心バランスが確保できれば、必ずしもなくてもよい。
【００４４】
振り子３０は、剛性を有する金属製の板状部材で、一方の端部が振り子支持軸２５に軸止され、他方の端部には重心位置可変部材としての錘８０が装着されている。錘８０は、アーム部３１にスライドできる形態をなし、図示しない固定螺子等でアーム部に固定される。図１において、錘８０をスライドさせて固定した状態を二点鎖線で示している。
【００４５】
振り子３０は、自由振動させるとき、振り子３０の長さによって振動周期が変わることが知られているが、前述した錘８０の位置を変えることによって、振り子３０の重心位置が変わり、このことによって振り子３０の長さが変わることになり周期が変わる。即ち、錘８０の位置を変えることで振り子の周期を変えて、入力角速度を変え、角速度を測定することができるのである。
【００４６】
振り子支持軸２５は、支柱２１，１２１に低摩擦軸受としてのボールベアリング３２Ａ，３２Ｂを介して軸止されている。ボールベアリング３２Ａ，３２Ｂは、振り子３０が自由振動する際に、摩擦抵抗を減じ、振動減衰を低減することを目的として採用される。
【００４７】
振り子支持軸２５の支柱１２１側の端部には、基台１００が軸止されている。基台１００は略立方体をしており、中央部に貫通孔が開設され、振り子支持軸２５に圧入または固定螺子を側面から螺合することで固定されている。基台１００の図中、左側端面（角速度センサ側）は、振り子支持軸２５の軸方向に対して垂直である。
【００４８】
基台１００の前述した左側端面には、固定台１１０が固定される。固定台１１０の振り子支持軸２５の軸方向両側には一対の固定アーム１１１が設けられ、固定台１１０を基台１００に密接した後、固定台固定螺子１４０によって固定されている。この際、固定台１１０は、固定台１１０に開設された案内孔１１４Ａに基台１００に植立された案内軸１０１Ｄを挿着することで位置決めされる。
この固定台１１０の端面にはさらにターンテーブル１１５が固定される。
【００４９】
ターンテーブル１１５は、中央部に突出した回転軸１１６が植立されており、ばね１３５によって固定台１１０に引接して固定されるが、回転軸１１６を回転中心にして回転させることができる。このターンテーブル１１５には角速度センサ取付テーブル１１８が４本の固定螺子１１９によって４隅が固定されている（図２、参照）。
【００５０】
角速度センサ取付テーブル１１８には、図２で示すように複数の角速度センサ５０が取り付けられている。角速度センサ５０は、角速度センサ取付テーブル１１８上に図示しない基板に角速度センサ５０を装着するためのコネクタに装着されている。基板には、各角速度センサの出入力のための配線パターンが形成され、接続コネクタ４１に接続され、接続コネクタ４１には、各角速度センサに対応した入出力用の接続リード４０が接続される（図２では１本だけ図示している）。
【００５１】
接続部材としての接続リード４０は、振り子支持軸２５の側面に開設され軸方向に貫通する貫通孔２６に連通する接続リード孔２６Ａ、そして貫通孔２６を挿通して、やはり貫通孔２６の側面に連通する接続リード孔２６Ｂから外部に延在され、検出処理装置９０（図２、参照）に接続されている。この際、接続リード４０は、貫通孔２６の内面、接続リード孔２６Ａ，２６Ｂに接触させないことが好ましい。
【００５２】
また、振り子支持軸２５の角速度センサ５０の装着方向とは別の端部には、基準角速度センサ１５０が装着されている。基準角速度センサ１５０は、予め校正された標準センサである。基準角速度センサ１５０は、角速度センサ５０と同様に図示しない基板及びコネクタに接続され、接続コネクタ４２及び接続リード４５を介して検出処理装置９０に接続されている。
【００５３】
次に、基台１００に角速度センサ５０を取付ける形態について図面を参照して説明する。
図３は、基台１００に取付けるときの角速度センサ５０の姿勢を示す平面図である。ここで、本実施形態では角速度センサ５０を振動型ジャイロスコープを例示し、その一つについて説明する。また、図３では、振動型ジャイロスコープを格納する容器を省略している。図３において、角速度センサ５０は、矩形の基部５１の端面から両側に延出された連結腕５２の端部に設けられる１対の振動腕５３，５４と、他の両端面から延出される１対の検出腕５５と、を備える圧電振動片から構成されている。
【００５４】
この圧電振動片は、水晶から形成され、電気軸と呼ばれるＸ軸、機械軸と呼ばれるＹ軸で構成される平面と光学軸と呼ばれる厚み方向のＺ軸から構成され、基部５１の重心位置を通りＺ軸に平行な軸が角速度センサのスピン軸である。このスピン軸を回転軸にして回転力を与えることで角速度を検出することができる。そして、角速度センサ５０は、スピン軸（Ｚ軸）が、振り子支持軸２５の軸方向になるように装着されている。角速度センサ５０は、振り子３０の振動に連動し、Ｚ軸に入力角速度ωが加えられる。
【００５５】
次に、本実施形態１の角速度センサ検査装置１０の作用について説明する。まず、基準角速度センサ１５０を振り子支持軸２５の端部（図１、参照）に取り付け、振り子３０を所定の周期で振動させて、基準角速度センサ１５０の経過時間毎の角速度を測定する。この角速度を検出処理装置９０に記憶させる。検出処理装置９０では、経過時間毎の角速度波形をグラフ化（図４、参照）し、あるいは数値化して記憶する。
【００５６】
次に、測定すべき角速度センサ５０を基台１００に取付け、基準角速度センサ１５０と同じ条件で入力角速度を与え、角速度を測定し、検出処理装置９０に記憶させる。
【００５７】
検出処理装置９０では、基準角速度センサ１５０により測定された角速度値と、角速度センサ５０により測定された角速度値、あるいは、それぞれの角速度波形を比較し、角速度センサ５０による測定値が所定の規格範囲であれば良品とし、規格範囲外であれば不良品と判定し、角速度センサそれぞれを分別する。
【００５８】
なお、前述したように、基準角速度センサ１５０と被検査対象の角速度センサ５０とを図１に示すように別々に取付け、角速度を測定してもよいが、基準角速度センサ１５０を基台１００の一部に取付け、角速度センサ５０と基準角速度センサ１５０とに同時に入力角速度を与えて角速度を測定することもできる。
また、角速度センサ５０の一つ一つの測定データを検出処理装置９０に取り込み、前述した処理を行なうことも、各測定値を全て一緒に制御装置に取り込みバッチ処理をすることもできる。
【００５９】
また、基準角速度センサとしては、予め、校正された振動型ジャイロスコープを採用する他、傾斜センサを採用し、時間経過毎の傾斜変化を取り込み角速度に演算処理することも、また、ロータリーエンコーダ及び光学エンコーダ等を採用し、時間経過毎の回転角の変化を取り込み角速度に演算処理することもできる。
【００６０】
続いて、本発明の検証結果について説明する。
図４は、基準角速度センサ１５０と角速度センサ５０とを取付け、振り子３０を自由振動させたときの時間経過毎の角速度の変化をグラフ化した角速度波形を示したものである。図４において、横軸には経過時間（秒）、縦軸には、基準角速度センサ１５０と角速度センサ５０の角速度出力値ｄｐｓ（角度／秒、ｄｅｇｒｅｅ  ｐeｒ  ｓｅｃｏｎｄ）が表示されている。角速度出力値の＋（プラス）は、振り子を振り出し位置から自由落下したときの角速度、−（マイナス）は戻りの角速度を表している。また、実線は、角速度センサ５０、破線は基準角速度センサ１５０を示している。
【００６１】
まず、測定開始前において、振り子３０は、静止しているので出力値は０を示している。約１．５秒後に振り子を回動して所定の振り出し角度の位置まで移動して、約２秒後に振り子を落下させると、振り子の自由振動によって発生する角速度波形が得られる。このグラフでは振り子の振動は２往復だけ表示しているがほとんど同じ波形を示しており、繰り返し振動させてもほぼ同じ角速度波形が得られるということが推測できる。基準角速度センサ１５０と角速度センサ５０の角速度波形の差は、プラス側の上死点付近で角速度センサ５０の方が僅かに低い値を示しているが、他の部分には差がなく、充分、角速度センサ検査装置として信頼性を有することを示している。また、この検査は、２往復程度の振動、即ち、このグラフからは４秒程度の振動時間があれば測定できるということが分かる。
【００６２】
図５は、前述した条件で振り子を自由振動させたときの角速度センサの出力電圧（ｍＶ）と、角速度の関係を示すグラフである。角速度センサは、出力電圧を時間で演算処理して角速度に変換するために、出力電圧と角速度の関係が直線に近いほど精度よく角速度を検出することができることになる。図５では、基準角速度センサ１５０と角速度センサ５０とは、同じ直線が得られることが分かる。角速度がプラス６００ｄｐｓを超えたところで角速度センサ５０の出力値は飽和し始める。即ち、角速度がプラス側及びマイナス側６００ｄｐｓの範囲では、基準角速度センサ１５０との差がなく、本発明の角速度センサ検査装置１０が正確な角速度を測定できることを示している。
【００６３】
なお、図４では、振り子３０を所定の振り出し角度位置まで移動してから自由落下しているが、前述したように、角度計６０に設けられるストッパ７０で所定角度位置に振り子３０を規制してからストッパ７０を抜いて自由落下するようにすれば、さらに測定時間を短縮することができる他、繰り返して測定する場合にも同じ条件の測定を繰り返すことができる。
【００６４】
続いて、本実施形態に係る角速度センサ検査装置における多方向の角速度の測定のための角速度センサ取付操作について説明する。図６〜図８には、第２の取付姿勢、図９，１０には第３の取付姿勢を示している。前述した図１〜図３に示す方向が第１の取付姿勢である。
図６は、第１の取付姿勢から第２の取付姿勢への切換え操作を示す部分側面図であり、図７は、固定台１１０を基台１００に固定する構造を示す部分正面図である。図６，７において、まず、基台１００の両側にある固定台固定螺子１４０を緩め（図２も参照）、固定台１１０を図中矢印Ａ方向に移動させる（二点鎖線で表す）。
【００６５】
固定台１１０に設けられる一対の固定アーム１１１には、それぞれスライド孔１１２が設けられ、固定台固定螺子１４０を緩めることにより、固定台固定螺子１４０に形成されている固定台案内軸部１４１（図７、参照）に沿ってスライド孔１１２の範囲で固定台１１０を矢印Ａ方向に移動させることができる。ここで、固定台１１０の移動量は、少なくとも、固定台１１０に開設された案内孔１１４Ａが基台１００に植立された案内軸１０１Ｂから離脱するまでとされる。
【００６６】
案内孔１１４Ａが基台１００の案内軸１０１Ｂから離脱する位置まで移動した後、固定台１１０を矢印Ｂ方向に回転させ、固定台１１０が、基台１００の上面と平行に達したところで矢印Ｃ方向に移動し、基台１００に植立した案内軸１０１Ａ（図１、参照）に固定台１１０に開設された案内孔１１４Ａを挿着して平面方向の位置決めをした後、固定台固定螺子１４０を締め付けて固定台１１０を基台１００に固定する（図７、参照）。
なお、この際、接続リード４０は、固定台１１０を所定位置まで移動しても充分な余裕がある長さに設定されている。
【００６７】
このときの角速度センサ５０の振り子支持軸２５に対する姿勢を図８に示す。図８において、角速度センサ５０は、Ｙ軸が振り子支持軸２５の軸方向に向かっている。従って、振り子３０が振動するとＹ軸を回転軸とする入力角速度ωが角速度センサ５０に与えられることになる。
【００６８】
角速度センサ５０が、前述したように、角速度を検出できるのは、本来Ｚ軸を回転軸としたときだけである。従って、このような姿勢の際には、振り子３０を振動させても図４，５で示した検出信号は発生せず、横軸に平行なグラフとなる。このようなときに、検出信号が発生する場合には、検出処理装置９０により、角速度センサ５０に異常があると判断される。
【００６９】
続いて、角速度センサ５０を第２の取付姿勢から第３の取付姿勢に変える方法について説明する。第３の取付姿勢とは、角速度センサ５０を、前述した第２の取付姿勢から平面方向に９０度回転した状態を意味する。
図９は、第３の取付姿勢への切換えについて示す部分側面図である。図９において、角速度センサ５０は、図６で示す第２の取付姿勢からターンテーブル１１５を９０度回転（図中、矢印Ｄ方向）させた状態を示している。
【００７０】
図９において、固定台１１０の中央にはターンテーブル案内孔１１３が開設されて、このターンテーブル案内孔１１３の基台１００側の周囲は、凹部１１３Ａが穿設されている。また、ターンテーブル１１５の中央には、固定台１１０のターンテーブル案内孔１１３を貫通する回転軸１１６が突設されている。
【００７１】
さらに、ターンテーブル１１５は、回転軸１１６をターンテーブル案内孔１１３に挿入した後、コイルばね１３５を装着したのちＣリング等でコイルばね１３５を保持する。コイルばね１３５は、その弾性力によって、ターンテーブル１１５を固定台１１０に引圧固定しているが、ターンテーブル１１５は回転軸１１６を回転中心にして回転させることができる。
【００７２】
また、固定台１１０の上面には、半球状の突起部１１７が同心円上に９０度単位に複数（２個または４個が好ましい）突設され、ターンテーブル１１５の固定台１１０との対面には、突起部１１７に対向した凹部１１３Ｂが穿設されている。
【００７３】
この突起部１１７と凹部１１３Ｂの位置が一致しているときに、ターンテーブル１１５の平面方向の回転位置が決まる。ターンテーブル１１５を回転するときには、ターンテーブル１１５に手で回転力を与える。この際、コイルばね１３５が撓められ、凹部１１３Ｂが突起部１１７を乗り越え、９０度回転したときに、突起部１１７と凹部１１３Ｂが再び嵌合してターンテーブル１１５の位置決めが行われる。角速度センサ取付テーブル１１８は、ターンテーブル１１５に固定されているので、角速度センサ５０の取付姿勢もターンテーブル１１５の回転に連動して９０度回転した姿勢となる。
【００７４】
このように、突起部１１７と凹部１１３Ｂとによって、ターンテーブル１１５は、節度ある移動を可能としており、所望の位置に正確に位置決めされる。
また、ターンテーブル１１５は正逆転可能であり、正逆転両方に所定の角度に回転して角速度センサ５０の取付姿勢を設定する。
【００７５】
図１０に、第３の取付姿勢の状態の角速度センサ５０を示す。角速度センサ５０は、前述した第２の取付姿勢から９０度Ｚ軸を中心に回転した状態であり、Ｘ軸が振り子支持軸２５の軸方向に向いている。従って、振り子３０が振動する際には、角速度センサ５０は、Ｘ軸を回転軸とする入力角速度ωが加えられることになる。
【００７６】
このような姿勢の際には、前述した第２の取付姿勢のときと同様に、振り子３０を振動させても図４，５で示した検出信号は発生せず、横軸に平行なグラフとなる。このようなときに、検出信号が発生する場合には、検出処理装置９０により、角速度センサ５０に異常があると判断される。
【００７７】
なお、基準角速度センサとしては、予め、校正された角速度センサを採用する他、傾斜センサを採用し、時間経過毎の傾斜変化を取り込み角速度に演算処理することも、また、ロータリーエンコーダ及び光学エンコーダ等を採用し、時間経過毎の回転角の変化を取り込み角速度に演算処理することもできる。
【００７８】
従って、前述した実施形態１によれば、振り子３０を自由振動させると、振り子３０は、一定周期で往復振動するため、振り子３０の振動に連動する角速度センサ５０には、振り子３０と同じ入力角速度が与えられる。このことから、角速度センサ５０及び基準角速度センサ１５０それぞれの検出値を検出処理装置９０で比較判定し、基準角速度センサ１５０の角速度検出値との差が所定の範囲内にある角速度センサ５０を良品として選別することができる。
【００７９】
また、振り子３０は、角速度センサ５０を取り付けた状態において、その質量の大きさに関係なく安定した周期で振動を繰り返す、即ち、一定の入力角速度を角速度センサ５０に与えることができるので、一度に複数の角速度センサ５０の角速度測定を行なうことができる。
【００８０】
また、この角速度センサ検査装置１０は、振り子の自由振動により入力角速度を与える構造であるために、モータなどの駆動装置が必要なく、構造も簡単で、モータから発生する低周波ノイズ、高周波ノイズがなく、モータの振動ノイズもないため、正確な角速度の測定を行なうことができる。
【００８１】
また、振り子３０は往復振動を繰り返すので、角速度センサ５０及び基準角速度センサ１５０に正方向及び負方向の入力角速度を与えることになるので、正方向、負方向の入力角速度を特別の切換装置を備えることなく測定することができる。
【００８２】
さらに、振り子３０を任意の位置から自然落下し自由振動させることにより、所望の範囲の角速度を短時間に入力角速度を角速度センサ５０に与えることができるので、操作が簡単になるという効果もある。
【００８３】
また、基台１００が振り子支持軸２５の端部に軸止され、振り子３０の振動に連動し、振り子支持軸２５と共に回動されるために、振り子３０を振動させ、角速度を測定する際に、角速度センサ５０の可動範囲を小さくできるため、角速度センサ検査装置１０を小型化することができる。
【００８４】
また、角速度センサ５０は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸の取付姿勢が可変できるために、３軸それぞれを回転軸とする角速度の検査を行うことで、本来発生してはならないＸ軸、Ｙ軸を回転軸とするときに角速度の発生を検出することができるので、角速度センサ５０の検査をより的確に行うことができる。
【００８５】
また、本実施形態では、固定台１１０を操作して角速度センサ５０を振り子支持軸２５に対して垂直または水平な姿勢に変え、さらに、ターンテーブル１１５を操作して角速度センサ５０を基台１００に対して平面方向の取付角度を変えることができるので、角速度センサの３軸の方向を容易に変えることができる。
【００８６】
また、振り子３０が、振り子の重心位置を移動する重心位置可変部材としての錘８０を備えているため、錘８０を移動して振り子３０の長さをかえることによって、振り子３０の周期を変えることができることから、角速度センサ５０に与える入力角速度を任意に変更することができ、所望の入力角速度における角速度センサ５０の検出値の良否を判定することができる。
【００８７】
また、接続リード４０が、振り子支持軸２５に設けられる貫通孔２６に挿通されているので、振り子支持軸２５の回動によって移動することが少ないために、振り子３０が自由振動する際に、接続リード４０による抵抗を減ずることができ、低摩擦軸受としてのボールベアリング３２Ａ，３２Ｂと併用することで、より一層、振り子３０の振動の周期変動を小さくすることができる。
【００８８】
さらに、接続リード４０が可撓性を有しているために、振り子３０の振動に対して柔軟に追従できるので、振動の繰り返しによっても初期の強度を保持するため、長期間にわたって継続使用することができる。
【００８９】
また、支柱２１には振り子３０の振り出し角度を規制する角度計６０が備えられているので、角速度を繰り返し測定するような場合に、振り出し角度を一定にして自由振動を与えることができるため、角速度測定の条件を一定にすることができ、測定値の信頼性を高めることができる。
【００９０】
また、角速度センサ５０が複数取付けられている場合、各角速度センサを１個づつ選択して測定値を検出処理装置９０に取り込み、比較判定することも、一度に複数の測定値を一括して取り込み比較判定することができるので、効率良く角速度の検出と判定を行なうことができる。量産時においても、試作試験等においても、この角速度センサ検査装置を効率よく活用することができる。
【００９１】
さらに、振動中心となる振り子支持軸２５にボールベアリング３２Ａ，３２Ｂを使用しているため、振り子３０が自由振動をする際に、振り子３０の振動が減衰しにくいので、軸受部の摩擦による周期の変動（減衰）を少なくすることができ、そのことによって、正確な角速度の検出を繰り返し継続的に行なうことができる。
（実施形態２）
【００９２】
続いて、本発明に係る実施形態２の角速度センサ検査装置について、図面を参照して説明する。実施形態２は、前述した実施形態１に比べ、角速度センサを振り子自体に取り付けることを特徴とし、共通部分の説明を省略し、同じ機能部材には同じ符号を附して説明する。
【００９３】
図１１には、実施形態２に係る角速度センサ検査装置の正面図、図１２（ａ）には、その側面図が示されている。図１１，１２（ａ）において、角速度センサ検査装置１０は、基本構成として、測定対象角速度センサとしての角速度センサ５０が装着される振り子３０と、振り子３０を回動可能に支持する支柱２１を有する支持台２０と、角速度センサ５０に駆動信号を供給し、角速度センサ５０から得られる検出データを処理する検出処理装置９０と、を備えている。
【００９４】
支持台２０は、台座２２と支柱２１と免震装置２４とから構成されている。台座２２は、振り子３０が振動した際に共振しない大きさと重量を有し、台座２２の４隅に備えられる免震装置２４に載置される。台座２２の上面には、レベルメータ（水準器）９５が備えられ、台座２２の上面が水平になるように、即ち、支柱を垂直にすべく免震装置２４が調整される。
【００９５】
支柱２１の高さ方向略中央部には、角度計６０を取付けるための角度計取付け部２７が突設され（図１２（ａ）、参照）、半円リング状の角度計６０が取付けられている。この角度計６０には、振り子３０の振り出し角度を設定するための目盛６１とストッパ７０を挿着するストッパ孔６２とが設けられている。ストッパ７０は、予め振り子３０の所定の振り出し角度の位置において振り子３０を規制しておくもので、このストッパ７０を引き抜くことで振り子３０が落下を始め自由振動を開始する。
【００９６】
また、支柱２１の上方端部には、貫通孔２６を有する振り子支持軸２５が植設されている。この振り子支持軸２５は、振り子３０の回動軸である。この振り子支持軸２５に振り子３０が回動可能に取付けられている。
【００９７】
振り子３０は、剛性を有する金属製の板状部材で、一方の端部近傍に低摩擦軸受部材としてのボールベアリング３２が備えられている。ボールベアリング３２は、図示しないが、外輪が振り子３０に圧入固定され、内輪が振り子支持軸２５に圧入固定される。外輪と内輪との間には、ボールが備えられており、振り子３０が振り子支持軸２５を回動中心として低摩擦で回動できる構造としている。振り子３０は、ボールベアリング３２より上部の頭部３７と下部のアーム部３１とからなり、アーム部３１の主面に、角速度センサ５０を装着するための基台３６と、基台３６の表面に基板３３が装着されている。
【００９８】
なお、振り子３０の固定支持構造は、前述した実施形態１（図１、参照）と同様に、振り子３０を振り子支持軸２５に固定し、振り子支持軸２５と支柱２１との間にボールベアリングを介在させることもできる。
【００９９】
基板３３には、接続コネクタ３４（図１１、参照）が装着され、この接続コネクタ３４に各角速度センサ５０が図示しない配線パターンによって接続される。角速度センサ５０は、アーム部３１の長手方向に沿って、本実施形態２（図１１、参照）では１４個取付けられているが、角速度センサ５０の数は限定されるものではない。角速度センサ５０は、接続コネクタ３４の接続端子（図示せず）を介して、入力及び出力端子それぞれに対応した接続リード４０（接続リード４０は、一本に簡略化して図示）に接続されている。
【０１００】
この接続リード４０は、振り子支持軸２５の貫通孔２６を挿通して検出処理装置９０に接続されている。この際、接続リード４０は、貫通孔２６の内面に接触させないことが好ましい。
【０１０１】
検出処理装置９０は、角速度センサ５０からの角速度検出信号を取り込み、この検出信号波形をモニタに表示することや、数値化して予め記憶されている所定の角速度、または基準角速度センサ（図示せず）の角速度検出信号との比較を行ない、所定の角速度の範囲外の角速度センサを表示するデータ処理機能を有している。つまり、角速度センサの良否判定をする機能を有している。
【０１０２】
振り子３０には、さらに、重心位置可変部材としての錘８０が装着される。
図１２（ｂ）には、振り子３０をアーム部先端方向から視認した錘８０の装着構造が示されている。図１２（ｂ）において、振り子３０の側面両側には、アーム部３１から頭部３７にわたって錘８０を装着するための突起部３９が連続して形成されている。錘８０は、比重が高い金属製のおもりで、前記突起部３９が挿通される溝部８１が形成されている。錘８０は、この突起部３９と溝部８１とを係合させたのち、この突起部３９に沿って、アーム部３１の先端から頭部３７の先端部まで移動可能であり、所定の位置で、固定螺子８５によって振り子３０に固定される。
【０１０３】
次に、振り子３０に角速度センサ５０を取付ける形態について図面を参照して説明する。
図１３は、振り子３０に角速度センサ５０を取付ける姿勢を示す模式図である。図１３において、角速度センサ５０は、矩形の基部５１の端面から両側に延出された連結腕５２の端部に設けられる１対の振動腕５３，５４と、他の端面から延出される１対の検出腕５５と、を備える圧電振動片から構成されている。
【０１０４】
図１３に示したように、角速度センサ５０は、振り子３０の振動平面にＺ軸が垂直に装着されている。この振り子３０は、振り子支持軸２５の軸心３５を回転中心にして矢印Ｅ方向に往復振動し入力角速度ωが与えられる。
【０１０５】
次に、本実施形態２の角速度センサ検査装置１０の作用について説明する。まず、基準角度センサ（図示せず）を角速度センサ検査装置１０の振り子３０に取付け、振り子３０を所定の周期で振動させて、基準角速度センサの経過時間毎の角速度を測定する。この角速度を検出処理装置９０に記憶させる。検出処理装置９０では、経過時間毎の角速度波形をグラフ化（図４、参照）し、あるいは数値化して記憶する。
【０１０６】
次に、測定すべき角速度センサ５０を振り子３０に取付け、基準角速度センサと同じ条件で入力角速度を与え、角速度を測定し、検出処理装置９０に記憶させる。
【０１０７】
検出処理装置９０では、基準角速度センサにより測定された角速度値と、角速度センサ５０により測定された角速度値、あるいは、それぞれの角速度波形を比較し、角速度センサ５０による測定値が所定の規格範囲であれば良品とし、規格範囲外であれば不良品と判定し、角速度センサそれぞれを分別する。
【０１０８】
なお、基板３３に角速度センサ５０と基準角速度センサとを取り付け、振り子３０を振動させ、同時に角速度センサ５０と基準角速度センサの角速度検出値を検出処理装置９０に入力し、上述の方法で良否判定することもできる。
また、前述の実施形態１（図１、参照）と同様に、振り子支持軸２５の端部に基準角速度センサを取り付けることもできる。
【０１０９】
従って、前述した実施形態２によれば、振り子３０が振動するときの振動平面に対して、角速度センサ５０のＺ軸が垂直に装着されているので、振り子３０の振動方向（入力角速度ωの方向）と角速度センサ５０の回転方向が同じ平面方向になるため、正確な角速度の測定と検出感度を得ることができる
【０１１０】
また、角速度センサ５０が取り付けられる基台３６を振り子３０に取り付けているために、基台取付構造が簡単にできる他、振り子３０の振動平面からの突出量が小さくても多量の角速度センサを取り付けることができ、角速度センサ検査装置１０を小型化することができるという効果がある。
（実施形態３）
【０１１１】
続いて、本発明の実施形態３に係る角速度センサ検査装置について図面を参照して説明する。実施形態３は、前述した実施形態２と比べ、振り子３０に取付けられる角速度センサ５０の配置が異なり、より多くの角速度センサの角速度測定を一度で行なえるようにしたもので、図１４は、実施形態２との相違個所を示し、共通部分は省略または簡略化している。
図１４は、実施形態３に係る角速度センサ検査装置１０を示す部分正面図である。図１４において、振り子３０のアーム部３１の主面には、幅広の基台３６が取付けられている。
【０１１２】
基台３６は、剛性を有する板状部材で、さらに、その主面には基板３３が取付けられている。基板３３には、接続コネクタ３４が装着される。図１４では、角速度センサ５０は、４８個取り付けられているが、この数は４８個に限らず適宜増減することができる。角速度センサ５０に設けられる入力及び出力端子（図示せず）は、基板３３に形成された図示しない配線パターンを介して接続コネクタ３４の接続端子を介して接続リード４０に接続されている。
【０１１３】
また、振り子３０のアーム部３１には、前述した実施形態２（図１１，１２、参照）と同様な構造で重心位置可変部材としての錘８０が備えられ、振り子３０の重心位置を変更することで、振り子３０の振動周期を変更することができる。
【０１１４】
従って、前述した実施形態３によれば、角速度センサ５０及び錘８０を含む振り子３０の重心位置が同じであれば、振り子の周期が一定であることから、角速度センサ５０の取り付けレイアウトに左右されずより多くの角速度センサ５０を振り子３０に取付けられるので、一度に多くの角速度の測定を行なうことができ、角速度センサ５０の検査を効率よく行なうことができる。
（実施形態４）
【０１１５】
続いて、本発明に係る角速度センサ検査装置の実施形態４について図面を参照して説明する。実施形態４は、前述した実施形態２，３の技術思想を基本として、振り子３０に加え、バランスアーム１３０をさらに備えることに特徴を有し、同じ機能部材には同じ符号を附与している。共通部については説明を省略する。
【０１１６】
図１５は、実施形態４に係る角速度センサ検査装置１０を示す側面図である。図１５において、角速度センサ検査装置１０は、基本構成として、角速度センサ５０が取付けられる第１の振り子としての振り子３０と、振り子３０を回動可能に支持する支柱２２１を有する支持台２２０と、支柱２２１を挟んで、振り子３０に対向する位置に回動可能に取付けられる第２の振り子としてのバランスアーム１３０と、角速度センサ５０に駆動電力を供給し、角速度検出データを処理する検出処理装置９０（図示せず）と、を備えている。
【０１１７】
振り子３０は、基板３３と角速度センサ５０と接続リード４０とを備え、これらの構成と支柱２２１への取付け構造とは、前述した実施形態２（図１２（ａ）、参照）と同じである。支柱２２１の上方端部には、貫通孔２６を有する振り子支持軸２５が植設されている。この振り子支持軸２５は、支柱２２１を貫通して両端が突出しており、一方の端部に前述した振り子３０がボールベアリング３２を介して回動可能に取付けられる。
【０１１８】
バランスアーム１３０は、剛性を有する棹状の部材で、一方の端部にはボールベアリング３２が備えられている。ボールベアリング３２は、図示しないが、外輪が振り子３０に圧入固定され、内輪が振り子支持軸２５に圧入固定されている。外輪と内輪との間にはボールが備えられており、振り子３０が振り子支持軸２５を回動中心として低摩擦で回動できる構造としている。バランスアーム１３０の他方の端部には、重心位置可変部材としての錘８０が、実施形態２（図１２（ｂ）、参照）と同様な構造で取付けられている。
【０１１９】
振り子３０とバランスアーム１３０とは、それぞれ頭部３７，１３２で固定部材３８にそれぞれ螺子固定（図示せず）され、一体で振り子支持軸２５を回転軸として回転する。前述した錘８０は、バランスアーム１３０の長手方向に移動可能であるため、この錘８０の位置を変えることによって、振り子の振動周期を変えることができる。
また、錘８０は、バランスアーム１３０に取付けることも、振り子３０に取付けることも、さらに、両方に取付けることもできる。
【０１２０】
支柱２２１の長手方向途中には、角度計６０が取付けられており、振り子３０の振り出し角度を規制することができる（図１１、参照）。
なお、実施形態４における角速度センサ検査装置１０の作用は、前述の実施形態２と同じであるため説明を省略する。
また、この実施形態４では、前述の実施形態３の構造も採用することができる。
【０１２１】
従って、前述した実施形態４によれば、前述した実施形態１，２と同様な効果が得られる他、支柱２２１を挟んで振り子３０とバランスアーム１３０とが備えられているので、支柱２２１を挟んでバランスをとり易く、振り子３０を自由振動させた際に、支柱２２１が振動し、この振動ノイズが発生することにより、角速度検出に影響を与えることを防止することができる。
【０１２２】
また、バランスアーム１３０を備える構造であっても、重心位置可変部材としての錘８０を移動し振り子の周期を変えることができ、角速度センサに与える入力角速度を任意に変更することができ、所望の入力角速度における角速度センサの検出値を判定することができる。
【０１２３】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前述の実施形態１〜３では、測定対象角速度センサとして振動腕５３，５４及び検出腕５５を有する振動型ジャイロスコープを例示して説明したが、音叉型、三角柱型やバイモルフ型の振動型ジャイロスコープ等の角速度センサにも採用することができる。
【０１２４】
また、前述した実施形態４では、角速度センサは振り子３０に取付けられているが、バランスアーム１３０側にも取付けることができる。
このようにすれば、一層、多量の角速度センサの検査を一度に行なうことができ、且つ、信頼性の高い角速度センサを供給することができる。
【０１２５】
従って、前述した実施形態１〜実施形態４によれば、角速度センサによる角速度の測定結果を正確に、短時間で、多方向の角速度を検出することができるとともに、一度に多量の角速度センサの検査が行なえ、操作が簡単な小型の角速度センサ検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】本発明の実施形態１に係る角速度センサ検査装置を示す側面図。
【図２】本発明の実施形態１に係る角速度センサ検査装置を示す正面図。
【図３】本発明の実施形態１に係る角速度センサを示す平面図。
【図４】本発明の実施形態１に係る角速度センサ検査装置による角速度波形を示すグラフ。
【図５】本発明の実施形態１に係る角速度センサ検査装置による角速度と出力電圧関係を示すグラフ。
【図６】本発明の実施形態１に係る角速度センサの第１の取付姿勢から第２の取付姿勢への切換え操作を示す部分側面図。
【図７】本発明の実施形態１に係る固定台を基台に固定する構造を示す部分正面図。
【図８】本発明の実施形態１に係る角速度センサの第２の取付姿勢を示す平面図。
【図９】本発明の実施形態１に係る角速度センサの第２の取付姿勢から第３の取付姿勢への切換え操作を示す部分側面図。
【図１０】本発明の実施形態１に係る角速度センサの第３の取付姿勢を示す平面図。
【図１１】本発明の実施形態２に係る角速度センサ検査装置を示す正面図。
【図１２】（ａ）は、本発明の実施形態２に係る角速度センサ検査装置を示す側面図、（ｂ）は、錘装着構造を示す部分断面図。
【図１３】本発明の実施形態２に係る振り子に角速度センサを取付ける姿勢を示す模式図。
【図１４】本発明の実施形態３に係る角速度センサ検査装置を示す部分正面図。
【図１５】本発明の実施形態４に係る角速度センサ検査装置を示す側面図。
【符号の説明】
【０１２７】
１０…角速度センサ検査装置、２１，１２１…支柱、２５…振り子支持軸、３０…振り子、３６，１００…基台、５０…角速度センサ、１５０…基準角速度センサ、９０…検出処理装置。
【図１】
2006084455.tif 000003
【図２】
2006084455.tif 000004
【図３】
2006084455.tif 000005
【図４】
2006084455.tif 000006
【図５】
2006084455.tif 000007
【図６】
2006084455.tif 000008
【図７】
2006084455.tif 000009
【図８】
2006084455.tif 000010
【図９】
2006084455.tif 000011
【図１０】
2006084455.tif 000012
【図１１】
2006084455.tif 000013
【図１２】
2006084455.tif 000014
【図１３】
2006084455.tif 000015
【図１４】
2006084455.tif 000016
【図１５】
2006084455.tif 000017