(57)【要約】【課題】  液体の粘性を利用してチャタリングを抑制しつつ、液体の流動性も確保できる、簡素な構成で小型化も可能な安価な傾斜センサおよび傾斜スイッチを提供する。【解決手段】  圧電セラミック等からなる振動部２と、接触することで前記振動部２の振動周波数特性を変化させる液体３と、傾斜することにより前記振動部２と液体３との適切な接触度合いを得ることができるケース１とから構成される傾斜センサ５において、前記ケース１の傾斜によって、振動部２と液体３との接触度合いに応じて変化する振動部２の周波数特性からケース１の傾斜角度αを検出するので、振動部２を加振することで振動部２に接触する液体３の流動性を円滑にし、液体３との接触度合いにより振動周波数特性が変化することを利用して、傾斜角度αを容易に検出でき、液体３を使用してチャタリングを抑制できるにも拘らず、液体３の流動性を確保できて小型化が可能となった。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気信号を機械信号に変換する圧電セラミック等からなる振動部と、接触することで前記振動部の振動周波数特性を変化させる液体と、傾斜することにより前記振動部と液体との適切な接触度合いを得ることができるケースとから構成される傾斜センサにおいて、前記ケースの傾斜によって、振動部と液体との接触度合いに応じて変化する振動部の周波数特性からケースの傾斜角度を検出することを特徴とする傾斜センサ。
【請求項２】
電気信号を機械信号に変換する圧電セラミック等からなる振動部と、接触することで前記振動部の振動周波数特性を変化させる液体と、傾斜することにより前記振動部と液体との適切な接触度合いを得ることができるケースとから構成される傾斜スイッチにおいて、前記ケースの所定角度以上の傾斜により、前記振動部と液体とが完全に接触しないように構成するとともに、一定周波数で振動部を振動させてその振動周波数特性により所定角度以上の傾斜を検出することを特徴とする傾斜スイッチ。
【請求項３】
前記ケースの傾斜により、液体との接触度合いが減少する第１の振動部と、液体との接触度合いが増大する第２の振動部をケース内に設置したことを特徴とする請求項１または２に記載の傾斜センサまたは傾斜スイッチ。
【請求項４】
前記第１および第２の振動部のいずれもが液体との接触を検出しないことにより液漏れを検出するように構成したことを特徴とする請求項３に記載の傾斜センサまたは傾斜スイッチ。
【請求項５】
前記第２の振動部を傾斜方向の互いに対向する位置に分割して配設することにより傾斜方向を検出できるように構成したことを特徴とする請求項３または４に記載の傾斜センサまたは傾斜スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気信号を機械信号に変換する圧電セラミック等からなる振動部と、接触することで前記振動部の振動周波数特性を変化させる液体と、傾斜することにより前記振動部と液体との適切な接触度合いとを得ることができるケースとから構成される傾斜センサに関する。特に、二輪車の転倒等を検出するバイク傾斜センサに有用であるが、移動体の傾斜センサあるいは傾斜スイッチとしても採用が可能である。
【背景技術】
【０００２】
従来から、車両等の移動体の傾斜を検出する傾斜センサとしては、傾斜によって移動する振り子や球の位置を磁気的に検出するＭＲ素子（磁気抵抗素子）を用いたり、傾斜によって移動する振り子や球を光学的に検出する発光ダイオードやフォトセンサを用いていたが、これらのＭＲ素子やフォトセンサは高価であり、小型化が困難であった。そこで、傾斜によって移動する振り子や球あるいは錘りによって直接傾斜スイッチを投入することも考えられた。この方法は、安価な反面、振動によるチャタリングの影響を受け易く、実用的でない。そのようなことから、比較的安価な静電容量式液体センサが提案された（例えば下記特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−２０５１８号公報（特許請求の範囲参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前記特許文献１に開示されたものを図１６を用いて簡単に説明する。導電性密封容器２１の内部に導電性液体２２を略１／２満たし、容器２１の一方の端面より一対のリード端子２４、２５を容器２１に電気絶縁的に貫通固定する。それらの各リード端子２４、２５の容器内先端に、表面がシリコン酸化皮膜に覆われた短冊状の主電極２６、２７を、先端部が導電性液体２２の表面に出るように取り付ける。かくして、センサが傾斜したときの、各主電極２６、２７と導電性液体２２との間の静電容量の変化により傾斜角度または加速度を測定できるものである。
【０００４】
上記特許文献１に開示された静電容量式液体センサにより、導電性密封容器内に導電性液体と主電極を配設しただけの比較的簡素な構造によって、安価に傾斜センサが提供されることとなったものの、表面張力に起因した液の流動性の低下が妨げとなって、小型化が困難であった。
【０００５】
そこで本発明は、前記従来の傾斜センサの課題を解決して、液体の粘性を利用してチャタリングを抑制しつつ、液体の流動性も確保できる、簡素な構成で小型化も可能な安価な傾斜センサおよび傾斜スイッチを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このため本発明は、電気信号を機械信号に変換する圧電セラミック等からなる振動部と、接触することで前記振動部の振動周波数特性を変化させる液体と、傾斜することにより前記振動部と液体との適切な接触度合いを得ることができるケースとから構成される傾斜センサにおいて、前記ケースの傾斜によって、振動部と液体との接触度合いに応じて変化する振動部の周波数特性からケースの傾斜角度を検出することを特徴とする。また本発明は、電気信号を機械信号に変換する圧電セラミック等からなる振動部と、接触することで前記振動部の振動周波数特性を変化させる液体と、傾斜することにより前記振動部と液体との適切な接触度合いを得ることができるケースとから構成される傾斜スイッチにおいて、前記ケースの所定角度以上の傾斜により、前記振動部と液体とが完全に接触しないように構成するとともに、一定周波数で振動部を振動させてその振動周波数特性により所定角度以上の傾斜を検出することを特徴とする。また本発明は、前記ケースの傾斜により、液体との接触度合いが減少する第１の振動部と、液体との接触度合いが増大する第２の振動部をケース内に設置したことを特徴とする。また本発明は、前記第１および第２の振動部のいずれもが液体との接触を検出しないことにより液漏れを検出するように構成したことを特徴とする。また本発明は、前記第２の振動部を傾斜方向の互いに対向する位置に分割して配設することにより傾斜方向を検出できるように構成したことを特徴とするもので、これらを課題解決のための手段とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、電気信号を機械信号に変換する圧電セラミック等からなる振動部と、接触することで前記振動部の振動周波数特性を変化させる液体と、傾斜することにより前記振動部と液体との適切な接触度合いを得ることができるケースとから構成される傾斜センサにおいて、前記ケースの傾斜によって、振動部と液体との接触度合いに応じて変化する振動部の周波数特性からケースの傾斜角度を検出することにより、振動部を加振することで振動部に接触する液体の流動性を円滑にするとともに、液体との接触度合いにより振動周波数特性が変化することを利用して、傾斜角度を容易に検出できるので、液体を使用してチャタリングを抑制できるセンサにも拘らず、液体の流動性を確保できて小型化が可能となった。
【０００８】
また、電気信号を機械信号に変換する圧電セラミック等からなる振動部と、接触することで前記振動部の振動周波数特性を変化させる液体と、傾斜することにより前記振動部と液体との適切な接触度合いを得ることができるケースとから構成される傾斜スイッチにおいて、前記ケースの所定角度以上の傾斜により、前記振動部と液体とが完全に接触しないように構成するとともに、一定周波数で振動部を振動させてその振動周波数特性により所定角度以上の傾斜を検出することにより、傾斜スイッチとして、一定周波数での振動部の加振によって所定角度以上の傾斜のみを検出すればよいので、振動部への加振回路およびソフトの簡素化が図れる。
【０００９】
さらに、前記ケースの傾斜により、液体との接触度合いが減少する第１の振動部と、液体との接触度合いが増大する第２の振動部をケース内に設置した場合は、両者の振動部の存在によって、検出精度が向上するとともに、互いに液体の流動性を向上させることができて、円滑な液体の流れを確保できるので、さらにセンサの小型化が可能となる。さらにまた、前記第１および第２の振動部のいずれもが液体との接触を検出しないことにより液漏れを検出するように構成した場合は、単一の振動部のみによる液漏れ時の誤検出を防止すべく互いを補完して、液漏れを確実に検出することができる。
【００１０】
また、前記第２の振動部を傾斜方向の互いに対向する位置に分割して配設することにより傾斜方向を検出できるように構成した場合は、前記第１の振動部と共同して、検出精度の向上、互いの液体の流動性の向上による円滑な液体の流れの確保はもとより、傾斜方向の互いに対向する位置に分割して配設された第２の振動部の存在によって、傾斜方向が検出できることとなった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。図１から図４は本発明の傾斜センサの第１実施例を示すもので、図１（Ａ）は本発明における第１実施例の傾斜センサを組み込んだ振動周波数特性により傾斜を検出する駆動回路例図、図１（Ｂ）は本発明の傾斜センサの第１実施例の傾斜状態を示す断面図、図２は図１（Ｂ）の（ａ）図のＡ−Ａ断面における２つの自由度の断面例、図３はローパスフィルタの出力電圧を示す図、図４は傾斜とピーク値の周波数との関係図である。
【実施例１】
【００１２】
本発明の傾斜センサの基本的な構成は、図１（Ｂ）の第１実施例に示すように、電気信号を機械信号に変換する圧電セラミック等からなる振動部２と、接触することで前記振動部２の振動周波数特性を変化させる液体３と、傾斜することにより前記振動部２と液体３との適切な接触度合いとを得ることができるケース１とから構成される傾斜センサ５において、前記ケース１の傾斜によって、振動部２と液体３との接触度合いに応じて変化する振動部２の周波数特性からケース１の傾斜角度を検出することを特徴とする。
【００１３】
本発明の傾斜センサでは、電気信号を機械振動に変換するセンサ素子（圧電セラミックス等）を正弦波によって加振し、この正弦波の周波数を任意の範囲で変化させる（スイープする）ことによって、センサ素子の周波数特性を検出し、センサ素子に液体が接触すると、この周波数特性が変化することを利用したものである。図１（Ａ）において、同期信号発生部６にて発生させた信号を可変周波数発振器７により任意の範囲で周波数の変化する正弦波を発生させ、これをドライブアンプ８にて所定の振幅に増幅して加振用信号Ｖｒを得る。
【００１４】
このＶｒを抵抗９を通して電気信号を機械的振動に変える手段であるセンサ素子（例えば圧電セラミック振動板等）２に印加する。この抵抗９の両端にはセンサ素子２に流れる電流に対応した電圧が発生する。センサ素子２に流れる電流は周波数の変化によって変化するので、この抵抗９の両端に現れる電圧はセンサ素子２の周波数特性を反映したものになる。
【００１５】
この抵抗９の両端の電圧を差動アンプ１０で増幅して電圧Ｖｉを得る。さらにノイズの影響を除去するためにこの二つの信号ＶｒとＶｉを掛け算器１１にて乗算を行う。さらにこの乗算器１１の出力をローパスフィルタＬＰＦに通して出力電圧Ｖ0 を得る。このＶ0 は加振用信号Ｖｒの周波数変化に対するセンサ素子２の周波数特性（振幅と位相）を反映した信号になる。このときセンサ素子２の表面になにも接触していないと、センサ素子２の持つ固有振動数Ｆｐ付近の周波数にピークを持った電圧が図３の（１）のように現れる。
【００１６】
次に、このセンサ素子２の周りに液体が充填されるとセンサ素子２の振動特性が変化して、図３の（２）のようにピーク電圧の位置と大きさが変化する。このようにピーク電圧の変化からセンサ素子２の周りが液体なのか空気なのかを容易に識別できる。上記作動原理を数式を用いて説明すると以下のようになる。
Ｖｒ＝ｓｉｎ（ωｔ＋α）、Ｖｉ＝ｓｉｎ（ωｔ＋β）とする。ただし、ωｔは周波数、αβは位相のずれとする。
Ｖｒ×Ｖｉ＝ｓｉｎ（ωｔ＋α）×ｓｉｎ（ωｔ＋β）＝１／２〔ｃｏｓ（β−α）−ｃｏｓ（２ωｔ＋α＋β）〕                            ・・・・式１
【００１７】
式１の中のｃｏｓ（β−α）の部分は位相差に合わせて変化する直流分であり、ここにＶｉの振幅成分も含まれる。また、ｃｏｓ（２ωｔ＋α＋β）の部分は元の信号Ｖｒ、Ｖｉの２倍の周波数の信号である。我々が必要としている周波数特性の情報はＶｉの振幅（受信信号Ｖｉの大きさ）なので、前記式１のｃｏｓ（β−α）だけでよいので、ローパスフィルタ１２を通過させてｃｏｓ（２ωｔ＋α＋β）の成分を除去すればよい。このようにしてＶ0 には周波数特性が電圧の形で現れるのである。また、ここで使用している増幅器や乗算器などは現在市販されている安価な半導体で容易に実現可能である。
【００１８】
図１（Ｂ）に、傾斜センサ５の構造例を示す。電気信号により振動する圧電セラミック２等のセンサ素子と、圧電セラミック２に接触することによりその振動の周波数特性を変化させる液体３および傾斜センサ５の傾きにより圧電セラミック２と液体３との適切な接触度合いを実現する形状のケース１とから構成される。傾斜センサ５の傾きαとピーク値の周波数Ｆｐとの関係を図４に示す。図１（Ｂ）の（ａ）の傾きがゼロのとき圧電セラミック２と液体の接触度合いが最大であり、ピーク値周波数Ｆｐが低い。傾きαが大きくなっていくと図１（Ｂ）の（ｂ）、図１（Ｂ）の（ｃ）のように液体の接触度合いが減りＦｐが大きくなる。よってＦｐから傾きαが求められる。
【００１９】
このような液体の移動により傾きを検出するタイプのセンサでは、液体自身の粘性によるダンピング効果によりチャタリングが起こり難くなる。よって適切な液体の選定によりチャタリングを抑制できる。またＭＲ素子やフォトセンサ等のような特別なセンサを使用していないため安価に製造できる。検出部分を圧電セラミック２のみで構成することができ、他の方式のものよりも小型化にも有利である。このような液体の移動を利用したセンサの小型化を考えると、小さくなればなるほど液体が表面張力等により移動し難くなるが、本発明では液体３の有無を検出する圧電セラミック２自身が振動しており、表面張力等の抵抗が緩和され液体が移動し易く一層小型化に有利である。
【００２０】
傾斜センサ５の断面としては、図２（Ａ）に示した２自由度タイプと、図２（Ｂ）に示した１自由度タイプが考えられる。図２（Ａ）の２自由度タイプは断面が円形で、略直交して交差する傾斜軸の周りでの傾斜が検出可能である。図２（Ｂ）の１自由度タイプは、断面が傾斜軸に直交する方向に延びる薄板状で、傾斜軸周りでの傾斜のみの検出が可能である。暖房器具等の転倒を検知するようなセンサには２自由度タイプが適しており、バイクのように加減速する移動体としての乗り物の転倒を検知するようなものには１自由度タイプが適している。
【実施例２】
【００２１】
傾斜センサ構造の第２実施例を図５に示す。傾きαｓをしきい値とした傾斜スイッチ５として使用する場合に適した構造である。αｓ以上の傾きで圧電セラミック２と液体３が接触しない設定となっているのが特徴である。圧電セラミック２と液体３が接触していないときのスイープ波形を図７に実線で示した。このときのピーク値周波数をＦｐ−ｓとする。液体３の接触度合いが大きくなるとピーク値周波数は低くなる。つまり入力周波数をスイープさせずＦｐ−ｓで振動させた場合、出力Ｖ0 は液体３が接触していない傾きαｓ以上で最大となり、接触度合いが増すにつれ出力Ｖ0 は低下してゆく。よって図７に示したＶｐ−ｓを出力のしきい値とすることで、振動周波数をスイープさせることなく一定の振動で傾きαｓを検出でき、駆動回路およびソフトの簡素化がはかれる。図６はこのときの傾斜αとピーク値周波数Ｆｐとの関係を示している。
【００２２】
前記第１および第２実施例の傾斜センサ５に対する駆動回路の例を図８および図９に示す。図８では、前記図１（Ａ）の駆動回路のＬＰＦ１２の出力Ｖ0 側と、同期信号発生部１６の出力側とに演算器１４を設置し、該演算器１４ではＬＰＦ１２からの出力Ｖ0 から波形（図３）のピーク値Ｆｐを求め、傾斜角α相当のＶαを出力する。傾斜角αｓをしきい値としたスイッチとする場合は、コンパレータ１３を介しＨ／Ｌを出力する。
【００２３】
図９の駆動回路は、前記図１の可変周波数発振器７に代えて、一定周波数の発振器７Ｂにより発振するもので、前記図８と同様にスイッチとして使用する場合にはコンパレータ１３を介してＨ／Ｌを出力する。したがって、図８の駆動回路に比べて一定周波数で駆動するため回路がシンプルである。また、ＬＰＦ１２からの出力Ｖ0 から直接Ｈ／Ｌが判定できるため駆動回路もソフトもシンプルである。傾斜スイッチとして用いる場合は、回路とソフトのシンプルさから図９（構造は図５）が適しており、傾斜角αを検出するには図８（構造は図１（Ｂ））が適する。
【実施例３】
【００２４】
傾斜センサの小型化を狙った場合、特に１自由度タイプ（図２（Ｂ））に示したような薄型のタイプでは、液体３が狭い液路を移動しなければなず、液体３の表面張力等の影響により円滑な液の流れが実現できず傾きを正しく検出できない。このような小型化の問題点を改善した傾斜センサの構造例を図１０および図１１に示す。傾斜センサ５が傾いた時、液体３が流れ込む位置に第２の圧電セラミック２Ｂを配置した点が特徴である。つまり、ケース１の傾斜により、液体３との接触度合いが減少する第１の振動部である圧電セラミック２Ａと液体３との接触度合いが増大する第２の振動部である圧電セラミック２Ｂをケース１内に設置したものである。符号４Ａ、４Ｂはそれぞれ圧電セラミック２Ａ、２Ｂの電極を示す。
【００２５】
両者の振動部２Ａ、２Ｂの存在によって、検出精度が向上（接触度合いの減少を検出する圧電セラミック２Ａによる傾斜角度の検出値と、接触度合いが増大する圧電セラミック２Ｂによる傾斜角度の検出値の比較により検出精度が向上する）するとともに、互いに液体３の流動性を向上させることができて、円滑な液体３の流れを確保できるので、さらに傾斜センサ５の小型化が可能となる。傾きのない位置から傾きが発生した時には傾きを検出している圧電セラミック２Ａの振動が液体３の移動を促す。反対に傾いた状態から元に戻ろうとした場合、圧電セラミック２Ｂを振動させせることで液体３の移動を促すことができる。図１０の例は、前述の図１（Ｂ）のものと同様に傾斜角度を検出するのに適し、図１１の例は、前述の図５のものと同様に傾斜スイッチとして使用するのに適する。
【００２６】
これらの傾斜センサ構造例の駆動回路の例を図１２に示す。圧電セラミック２Ｂと圧電セラミック２Ａの駆動源（ドライブアンプ）８を共通にできるため、回路部品の追加やソフトの変更が不要である。また、前記図１０および図１１の傾斜センサ構造では、圧電セラミック２Ｂにより（圧電セラミック２Ａと同じように）液体３の有無を検出することにより、液漏れのフェールセーフ機能（自已診断機能）を持たせることができる。圧電セラミック２Ｂがないタイプで液漏れが発生した場合、傾きがなくても圧電セラミック２Ａの周りに液体３がないため傾いていると判定してしまう。圧電セラミック２Ｂを設け圧電セラミック２Ａと同様に液３の有無を検出することで、圧電セラミック２Ａと２Ｂの両方で液体３ない場合の液漏れを検出できる。
【００２７】
液漏れフェールセーフ機能付きの場合の駆動回路例を図１３に示す。各圧電セラミック２Ａと２Ｂの周囲の液体３の状態により、抵抗９Ａと９Ｂの両端に現れる電圧はセンサ素子２の周波数特性を反映したものが出力され、差動アンプ１０Ａ、１０Ｂ、掛け算器１１Ａ、１１Ｂ、ＬＰＦ１２Ａ、１２Ｂを経て、コンパレータ１３Ａ、１３Ｂにそれぞれの周波数特性の出力が入力される。液漏れにより、前記各圧電セラミック２Ａと２Ｂの周囲に液体３がないと、コンパレータ１３Ａ、１３ＢのいずれもからＬ信号が出力されて液漏れが検出される。
【実施例４】
【００２８】
図１４および図１５は、傾きの方向を検出できるタイプの傾斜センサ構造例を示すものである。本実施例のものは、前記図１０および図１１のものにおける第２の振動部である圧電セラミック２Ｂを、図１４に示すように、傾斜方向の互いに対向する位置に分割して、第２圧電セラミック２Ｂおよび第３圧電セラミック２Ｃとして配設したものである。これにより、傾斜方向すなわち左右いずれに傾斜したかを検出できる。これらの第２圧電セラミック２Ｂおよび第３圧電セラミック２Ｃは、前記第１の振動部である圧電セラミック２Ａと共同して、検出精度の向上、互いの液体３の流動性の向上による円滑な液体３の流れの確保も可能となる。図１５のものは傾斜スイッチとして使用されるものである。
【００２９】
以上、本発明の実施例について説明してきたが、本発明の趣旨の範囲内で、圧電セラミック等の振動部の形状、形式および材質（振動特性）ならびに加振形態、液体の種類、充填量、ケースの形状（２自由度の円形断面、１自由度の薄板状断面の他適宜の断面形状の他、液体が収容される正面視形状、例えば、直立位置から傾斜位置への液体の流下面を傾斜形成する等、適宜選定できる）、傾斜スイッチとしてのしきい値となる所定角度の選定、発振器の形式（可変周波数あるいは一定周波数）、アンプ、抵抗、掛け算器、ＬＰＦ、演算器、コンパレータの形状、形式、ケースの傾斜により液体との接触度合いが減少する振動部と液体との接触度合いが増大する振動部のケース内での設置形態、液漏れの検出形態、傾斜方向検出のための振動部の配置形態等については適宜選定できる。実施例に記載の諸元はあらゆる点で単なる例示に過ぎず限定的に解釈してはならない。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の傾斜センサの第１実施例を示すもので、図１（Ａ）は本発明における第１実施例の傾斜センサを組み込んだ振動周波数特性により傾斜を検出する駆動回路例図、図１（Ｂ）は本発明の傾斜センサの傾斜状態を示す断面図である。
【図２】同、図２（Ａ）は図１（Ｂ）の（ａ）のＡ−Ａ断面における２自由度の断面例、図２（Ｂ）は図１（Ｂ）の（ａ）のＡ−Ａ断面における１自由度の断面例である。
【図３】同、ローパスフィルタの出力電圧を示す図である。
【図４】同、傾斜とピーク値の周波数との関係図である。
【図５】本発明の傾斜センサ構造の第２実施例を示すもので、傾斜スイッチとして使用する場合に適した構造例である。
【図６】前記第２実施例の傾斜センサ構造の傾斜とピーク値の周波数との関係図である。
【図７】圧電セラミックにおける液体との接触度合いとスイープ波形との関係を示す図である。
【図８】前記第１および第２実施例の傾斜センサ構造例に適用される駆動回路例図であり、可変周波数発振器と演算器を有する説明図である。
【図９】前記第１および第２実施例の傾斜センサ構造例に適用される駆動回路例図であり、一定可変周波数発振器を有する説明図である。
【図１０】本発明の傾斜センサの第３実施例を示す傾斜センサの構造例断面図で、傾斜時に液体が流れ込む位置に第２圧電セラミックを配置した例である。
【図１１】同、前記図１０と同様の断面図で、傾斜スイッチとして使用されるものの例である。
【図１２】前記図１０および図１１の傾斜センサ構造例の駆動回路例図である。
【図１３】液漏れフェールセーフ機能付きの場合の駆動回路例図である。
【図１４】本発明の傾斜センサの第４実施例を示すもので、傾きの方向を検出できるタイプの傾斜センサ構造例を示す断面図である。
【図１５】同、傾きの方向を検出できるタイプの傾斜センサ構造例を示す断面図で、傾斜スイッチとして使用されるものである。
【図１６】従来の傾斜センサの断面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１      ケース
２      圧電セラミック（振動部）
３      液体
４      電極
５      傾斜センサ（傾斜スイッチ）
７      可変周波数発振器
８      ドライブアンプ
９      抵抗
１０      差動アンプ
１１      掛け算器
１２      ＬＰＦ
【図１】
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【図２】
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【図３】
2006292600.tif 000005
【図４】
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【図５】
2006292600.tif 000007
【図６】
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【図７】
2006292600.tif 000009
【図８】
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【図９】
2006292600.tif 000011
【図１０】
2006292600.tif 000012
【図１１】
2006292600.tif 000013
【図１２】
2006292600.tif 000014
【図１３】
2006292600.tif 000015
【図１４】
2006292600.tif 000016
【図１５】
2006292600.tif 000017
【図１６】
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