(57)【要約】【課題】複数の固体撮像素子の同時検査を容易に実現することが可能な固体撮像素子検査用プローブカードを提供する。【解決手段】基板上にマトリクス状に形成された多数の固体撮像素子３の検査に用いる固体撮像素子検査用プローブカード２であって、該基板上で固体撮像素子３の特定の辺に対して斜め方向に配列されている４つの固体撮像素子（図１の斜線で付した固体撮像素子）の各々の電極パッドに接触可能に配置された４つの検査用プローブ群２５を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にマトリクス状に形成された多数の固体撮像素子の検査に用いる固体撮像素子検査用プローブカードであって、
前記基板上で前記固体撮像素子の特定の辺に対して斜め方向に配列されている複数の固体撮像素子の各々の電極パッドに接触可能に配置された検査用プローブを備える固体撮像素子検査用プローブカード。
【請求項２】
請求項１記載の固体撮像素子検査用プローブカードであって、
前記斜め方向に配列されている複数の固体撮像素子同士の間には、少なくとも１つの固体撮像素子が介在する固体撮像素子検査用プローブカード。
【請求項３】
請求項１記載の固体撮像素子検査用プローブカードであって、
前記斜め方向に配列されている複数の固体撮像素子は、隣り合う２つの固体撮像素子の一方が他方に対して桂馬飛びの位置にある固体撮像素子検査用プローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上にマトリクス状に形成された多数の固体撮像素子の検査に用いる固体撮像素子検査用プローブカードに関する。
【背景技術】
【０００２】
対向する２辺に電極パッドが形成されている固体撮像素子を検査する装置が特許文献１に記載されている。この装置は、基板上にマトリクス状に形成された多数の固体撮像素子のうちの１つ固体撮像素子を検査対象とし、その固体撮像素子の対向する２辺に形成された電極パッドにプローブカードに設けられた検査用プローブを接触させ、固体撮像素子の上方にあるレンズ等によって光源からの光をその固体撮像素子に導入し、この状態で検査用プローブから得られる信号を基に、該固体撮像素子の検査を行うものである。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２６５５２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
固体撮像素子の検査のスループット向上のために、複数の固体撮像素子を同時に検査可能なプローブカードが要望されている。上記従来技術のように、複数の辺に電極パッドがある固体撮像素子を複数同時に検査するためには、プローブカードにおいて検査用プローブを配置するためのスペースを多くとる必要があるため、それを実現するのは容易ではなかった。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、複数の固体撮像素子の同時検査を容易に実現することが可能な固体撮像素子検査用プローブカードを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の固体撮像素子検査用プローブカードは、基板上にマトリクス状に形成された多数の固体撮像素子の検査に用いる固体撮像素子検査用プローブカードであって、前記基板上で前記固体撮像素子の特定の辺に対して斜め方向に配列されている複数の固体撮像素子の各々の電極パッドに接触可能に配置された検査用プローブを備える。
【０００７】
この構成により、斜め方向に配列された複数の固体撮像素子を検査対象とすることで、各固体撮像素子の電極パッドに接触させる検査用プローブを配置するためのスペースを充分に確保することができるため、検査用プローブの配置の自由度が増し、複数の固体撮像素子の同時検査を容易に実現することが可能となる。
【０００８】
本発明の固体撮像素子検査用プローブカードは、前記斜め方向に配列されている複数の固体撮像素子同士の間には、少なくとも１つの固体撮像素子が介在する。
【０００９】
この構成により、検査対象となる複数の固体撮像素子の隣り合う２つの固体撮像素子間の光干渉をなくすことが可能となる。
【００１０】
本発明の固体撮像素子検査用プローブカードは、前記斜め方向に配列されている複数の固体撮像素子は、隣り合う２つの固体撮像素子の一方が他方に対して桂馬飛びの位置にある。
【００１１】
この構成により、検査対象となる複数の固体撮像素子に入射させる光の照明範囲を、該固体撮像素子の長辺方向において狭くすることができるため、光源を工夫することなく、固体撮像素子の大面積化にも対応することが可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、複数の固体撮像素子の同時検査を容易に実現することが可能な固体撮像素子検査用プローブカードを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、シリコン等の半導体基板上にマトリクス状（例えば正方格子状）に形成された多数の固体撮像素子の検査を行う固体撮像素子検査装置に用いる固体撮像素子検査用プローブカードについて説明する。尚、本実施形態で検査対象としている固体撮像素子は、その３辺に電極パッドが形成されているものとする。
【００１４】
図１は、本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子検査用プローブカードの概略平面図である。
【００１５】
図１に示すように、固体撮像素子検査用プローブカード２は、検査用基板１に搭載されており、検査用基板１を、多数の固体撮像素子３がマトリクス状に形成された半導体基板上で走査することで、全ての固体撮像素子３の検査を行うことが可能になっている。
【００１６】
固体撮像素子検査用プローブカード２は、カード基板２１と、カード基板２１上に固定されるレンズモジュールホルダ２２と、レンズモジュールホルダ２２に着脱可能に装着されるレンズモジュール２３とを備える。
【００１７】
カード基板２１には、開口２４が設けられており、この開口２４にレンズモジュールホルダ２２の一部が挿入される。カード基板２１の裏面には、カード基板２１から開口２４の下方に向けて斜めに延びる検査用プローブ群２５が複数設けられている。検査用プローブ群２５は、１つの固体撮像素子の３辺に形成された電極パッドに接触させてその固体撮像素子の検査を行うための多数のプローブから構成される。
【００１８】
複数の検査用プローブ群２５は、それぞれ、検査用基板１を固体撮像素子の検査を行うための所定位置にセットした状態（図１の状態）で、半導体基板上で固体撮像素子３の特定の辺（長辺又は短辺）に対して斜め方向（例えば固体撮像素子３の対角線の向く方向）に配列されている４つの固体撮像素子３（図中で斜線を付した固体撮像素子３、以下では検査対象固体撮像素子３という）の各々の電極パッドに接触可能なように配置されている。ここでは検査対象固体撮像素子３を４つとしたが、これは４つに限らず、２つ以上であれば良い。
【００１９】
図１の例では、検査用基板１を所定位置にセットした状態で、斜め方向に１つの固体撮像素子おきに配列されている４つの検査対象固体撮像素子３の各々の３辺に形成された電極パッドに、各検査用プローブ群２５が接触する。そして、レンズモジュール２３に含まれる複数のレンズ２３２に、固体撮像素子検査用プローブカード２の上方から、図示しない光源からの光を入射させた状態で、各検査用プローブ群２５から得られる信号により、上記４つの検査対象固体撮像素子３の検査を同時に行うことができる。
【００２０】
図２は、図１に示す固体撮像素子検査用プローブカードのＡ−Ａ断面図である。
図２に示すように、レンズモジュール２３は、検査対象固体撮像素子３に光を導入するための４つのレンズ２３２と、４つの調光フィルタ２３１と、４つの拡散板２３３とを含み、レンズモジュールホルダ２２に装着され、検査用基板１が所定位置にセットされた状態で、４つのレンズ２３１の各々の中心が、上記４つの検査対象固体撮像素子３の各々の中心と一致するようになっている。
【００２１】
図３は、図１に示す固体撮像素子検査用プローブカードを、図１中の白抜き矢印方向から見た図である。尚、図３では、レンズモジュールホルダ２２及びレンズモジュール２３を簡略化して図示してある。
図３に示すように、レンズモジュールホルダ２２には位置決めピン２２ａが設けられており、この位置決めピン２２ａをカード基板２１に設けられた位置決め孔２７に挿入することで、レンズモジュールホルダ２２とカード基板２１との位置決めを正確に行うことができるようになっている。このようにして位置決めを行った状態で、カード基板２１に設けられた固定孔２６にネジ等によってレンズモジュールホルダ２２が固定される。
【００２２】
レンズモジュールホルダ２２とカード基板２１とは、位置決めピン２２ａを位置決め孔２７に挿入した状態で、レンズモジュールホルダ２２に装着されるレンズモジュール２３に含まれる４つのレンズ２３２の各々の中心と、カード基板２１の下方に位置する４つの検査対象固体撮像素子３の各々の中心とが一致するように設計される。
【００２３】
このように構成された固体撮像素子検査用プローブカードでは、半導体基板上で斜め方向に配列された４つの検査対象固体撮像素子３の各々の電極パッドに、検査用プローブ群２５を接触させて、４つの検査対象固体撮像素子３の検査を同時に行うことができる。検査対象固体撮像素子３を斜め方向に配列されたものとしているため、各検査対象固体撮像素子３の電極パッドに接触させるべき検査用プローブ群２５の配置スペースを多くとることができる。したがって、検査用プローブ群２５の配置の自由度が増し、複数の固体撮像素子の検査を同時に行うことが可能な固体撮像素子検査用プローブカードを、容易に実現することができる。
【００２４】
尚、検査対象固体撮像素子３に光を導入するレンズ２３２の大きさを小さくすることができるのであれば、隣り合う検査対象固体撮像素子３同士の間には固体撮像素子３が介在していなくても良い。つまり、斜め方向に連続して配列されている４つの固体撮像素子３を検査対象固体撮像素子３としても良い。この場合でも、検査用プローブ群２５の配置の自由度は増すため、上記効果を得ることができる。
【００２５】
又、本実施形態の固体撮像素子検査用プローブカードでは、４つの検査対象固体撮像素子３同士の間に１つの固体撮像素子３が介在しているため、隣り合う検査対象固体撮像素子３同士の距離を充分に確保することができる。この距離が小さいと、隣り合う検査対象固体撮像素子３間で光干渉が発生する可能性があるが、本実施形態によればこの光干渉の発生を防ぐことができる。
【００２６】
尚、光源からの光の照明範囲を広げることができるのであれば、隣り合う検査対象固体撮像素子３同士の間に２つ以上の固体撮像素子３が介在していても良い。
【００２７】
又、本実施形態の固体撮像素子検査用プローブカードでは、レンズモジュールホルダ２２に設けられた位置決めピン２２ａを、カード基板２１に設けられた位置決め孔２７に挿入した状態で、カード基板２１にレンズモジュールホルダ２２を固定することができるため、４つのレンズ２３２と４つの検査対象固体撮像素子３との位置決めを精度良く行うことができる。
【００２８】
又、本実施形態の固体撮像素子検査用プローブカードでは、レンズモジュールホルダ２２に装着するレンズモジュール２３を、固体撮像素子３の検査に用いたいレンズの種類に応じて変更することが可能なため、１つの検査装置で、様々な条件の下での検査を行うことができる。
【００２９】
又、本実施形態の固体撮像素子検査用プローブカードでは、固体撮像素子の検査時、カード基板２１の開口２４の下方に位置する固体撮像素子３がレンズモジュールホルダ２２及びレンズモジュール２３によって覆われた状態になるため、固体撮像素子３にゴミ等の異物が付着するのを防止することができる。
【００３０】
上記では、図４（ａ）に示すように、半導体基板１０上にマトリクス状に形成された多数の固体撮像素子３のうち、斜め方向に１つおきに配列されている４つの検査対象固体撮像素子３（図中斜線を付した部分）の電極パッドに接触可能なように複数の検査用プローブ群２５をカード基板２１に設けているが、図４（ｂ）に示すように配列されている４つの検査対象固体撮像素子３（図中斜線を付した部分）の電極パッドに接触可能なように複数の検査用プローブ群２５をカード基板２１に設ける構成としても良い。
【００３１】
図４（ｂ）に示した４つの検査対象固体撮像素子３も、図４（ａ）と同様に、固体撮像素子３の長辺又は短辺に対して斜め方向に配列されているが、隣り合う２つの検査対象固体撮像素子３の一方が他方に対して桂馬飛びの位置にある点が異なる。桂馬飛びの位置とは、ある検査対象固体撮像素子３を基準としたとき、その検査対象固体撮像素子３から長辺方向（図中の左右方向）に１固体撮像素子分、短辺方向（図中の上下方向）に２固体撮像素子分ずれた位置のことを言う。
【００３２】
４つの検査対象固体撮像素子３を図４（ｂ）のような配列にすることで、検査用プローブ群２５の配置の自由度を確保しながら、４つの検査対象固体撮像素子３に入射させるべき光源からの光の照明範囲を、図４（ａ）の場合よりも長辺方向において狭くすることができる。つまり、図４（ｂ）に示す例によれば、図４（ａ）に示す例よりも小さい照明範囲で４つの固体撮像素子の検査を同時に行うことが可能となる。照明範囲を小さくできることは、検査装置の小型化やコスト削減につながるため好ましい。
【００３３】
近年のハイビジョン化に伴い、固体撮像素子についても、そのアスペクト比が大きくなる傾向にある。特に、水平方向の解像度向上のために、固体撮像素子の長辺がより長くなる傾向にある。このように固体撮像素子３の長辺が長くなった場合でも、図４（ｂ）に示す例によれば、より小さい照明範囲で４つの検査対象固体撮像素子３の同時検査を行うことができ、固体撮像素子３のサイズ拡大に容易に対応することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子検査用プローブカードの概略平面図
【図２】図１に示す固体撮像素子検査用プローブカードのＡ−Ａ断面図
【図３】図１に示す固体撮像素子検査用プローブカードを、図１中の白抜き矢印方向から見た図
【図４】検査対象固体撮像素子の配列を説明するための図
【符号の説明】
【００３５】
１  検査用基板
２  固体撮像素子検査用プローブカード
３  固体撮像素子
２１  カード基板
２２  レンズモジュールホルダ
２３  レンズモジュール
２４  開口
２５  検査用プローブ群
２６  固定孔
２７  位置決め孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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