(57)【要約】【課題】本発明は、可動部材の移動方向に因らず圧縮応力が加わる方向に圧電素子を使用する駆動装置を提供する。【解決手段】駆動装置６は、基台２に対して移動する可動部材３の移動方向Ｌに沿って可動部材３に設けられる駆動面５１に向けて接触部６４が設けられる駆動片６１と、基台２に固定されるフレーム６２と、電圧が印加されて伸長する方向のベクトルＶ１，Ｖ２が駆動片６１を通って駆動面５１を斜めに横切る向きに駆動片６１とフレーム６２との間に取り付けられる少なくとも２つの圧電素子６３とを備える。【選択図】      図２
2006014498.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台に対して移動する可動部材の移動方向に沿って前記可動部材に設けられる駆動面に向けて接触部が設けられる駆動片と、
基台に固定されるフレームと、
電圧が印加されて伸長する方向のベクトルが前記駆動片を通って前記駆動面を斜めに横切る向きに前記駆動片と前記フレームとの間に取り付けられる少なくとも２つの圧電素子と
を備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
基台に対して移動する可動部材の移動方向に沿って前記可動部材に平行に設けられる一対の駆動面に接触部を互いに反対方向に向けて一対に配置される少なくとも１組の駆動片と、
前記基台に固定されて前記駆動面のそれぞれに面して一対に配置される少なくとも１組のフレームと、
電圧が印加されて伸長される方向のベクトルが前記駆動片を通って前記駆動面を斜めに横切る向きに前記駆動片と前記フレームとの間にそれぞれの前記駆動片毎に少なくとも２つずつ取り付けられる圧電素子と
を備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
一対の前記駆動片が、前記可動部材の移動方向に少なくとも２組並べて配置され、一対の前記駆動片同士は、前記駆動面に対して互いに鏡像の位置関係で作動し、前記移動方向に並ぶ駆動片同士は、互いに位相のずれた位置関係で作動することを特徴とする請求項２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記圧電素子は、前記駆動面から前記駆動片の前記接触部を通る垂線に対して回転対称の位置関係に傾斜した状態に、前記ベクトルが設けられることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記圧電素子は、前記駆動片を通って前記移動方向を垂直に横切る中立面を基準とする鏡像の位置関係に傾斜した状態に前記ベクトルが配置されることを特徴とする請求項１から請求項３に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記圧電素子は、前記ベクトルが前記駆動面に対して４５°±５°の角度の範囲に設けられることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項７】
少なくとも２つの前記圧電素子のそれぞれに異なる電圧変化を印加することによって前記駆動片を回帰運動させることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項８】
少なくとも２つの前記圧電素子のそれぞれに位相差を有する高周波電圧を印加することによって前記駆動片を周期的に回帰運動させることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記高周波電圧の周波数は、圧電素子の固有振動数を含む帯域に設定することを特徴とする請求項８に記載の駆動装置。
【請求項１０】
少なくとも３つの前記圧電素子に位相と振幅と波形とがそれぞれ個別に設定される電圧変化を印加して前記駆動片を変位させ、前記可動部材を前記駆動面に沿って互いに交差する少なくとも２方向に移動させる制御部を備えることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項１１】
基台と、
前記基台に対して相対的に移動する可動部材と、
相対的に移動する第１部材および第２部材とこれらの間でそれぞれに転接する複数の転動体とを具備して前記第１部材と前記第２部材との一方が基台に固定されるとともに他方が前記可動部材に取り付けられる案内機構と、
前記可動部材の移動方向に沿って平行に設けられる少なくとも２つの摩擦部材と、
前記移動方向に沿う前記摩擦部材の駆動面に向けて互いに反対向きに一対に配置される少なくとも２組の駆動装置とを備え、
それぞれの前記駆動装置が、
前記駆動面に向けて接触部が設けられる駆動片と、前記基台に固定されるフレームと、電圧が印加されて伸長する方向のベクトルが前記駆動片を通って前記駆動面を斜めに横切る向きに前記駆動片と前記フレームとの間に取り付けられる少なくとも２つの圧電素子とを有し、
少なくとも２つの前記圧電素子にそれぞれ位相差を有する高周波電圧を印加することによって前記駆動片を周期的に回帰運動させ、かつ、一対の前記駆動装置に設けられる前記駆動片の回帰運動の位相を同期させるとともに同じ前記駆動面に向けられる異なる組同士の前記駆動装置に設けられる前記駆動片の回帰運動の位相をずらす制御によって、前記可動部材を前記移動方向に沿って一方に移動させ、前記回帰運動の周回方向を反転して前記制御を行なうことで前記可動部材を前記移動方向に沿って他方に移動させることを特徴とする案内装置。
【請求項１２】
前記駆動面は、前記可動部材の移動方向に沿って平行に設けられ、一対の前記駆動装置は、前記駆動片を向き合わせた状態で前記移動方向と直交する直線上に配置されることを特徴とする請求項１１に記載の案内装置。
【請求項１３】
前記駆動面は、前記可動部材の移動方向に沿って平行に設けられ、一対の前記駆動装置は、前記駆動片を互いに背けた状態で前記移動方向と直交する直線上に配置されることを特徴とする請求項１１または請求項１２に記載の案内装置。
【請求項１４】
前記駆動装置が、前記移動方向に複数組並べて配置されることを特徴とする請求項１１から請求項１３のいずれか１項に記載の案内装置。
【請求項１５】
前記駆動装置が、前記移動方向を横切る方向に複数組並べて配置されることを特徴とする請求項１１から請求項１４のいずれか１項に記載の案内装置。
【請求項１６】
基台と、
前記基台に対して相対的に回転する可動部材と、
相対的に回転する第１部材および第２部材とこれらの間でそれぞれに転接する複数の転動体とを具備して前記第１部材と前記第２部材との一方が基台に固定されるとともに他方が前記可動部材に取り付けられる転がり軸受と、
前記可動部材の回転中心線に対して同心に設けられる摩擦部材と、
前記摩擦部材の回転方向に沿って形成される駆動面を垂直に横切る同一線上に互いに反対向きに一対に配置される少なくとも２組の駆動装置とを備え、
それぞれの前記駆動装置が、
前記駆動面に向けて接触部が設けられる駆動片と、前記基台に固定されるフレームと、電圧が印加されて伸長する方向のベクトルが前記駆動片を通って前記駆動面を斜めに横切る向きに前記駆動片と前記フレームとの間に取り付けられる少なくとも２つの圧電素子とを有し、
少なくとも２つの前記圧電素子にそれぞれ位相差を有する高周波電圧を印加することによって前記駆動片を周期的に回帰運動させ、かつ、一対の前記駆動装置に設けられる前記駆動片の回帰運動の位相を同期させるとともに同じ前記駆動面に向けられる異なる組同士の前記駆動装置に設けられる前記駆動片の回帰運動の位相をずらす制御によって、前記可動部材を前記回転方向に沿って一方に移動させ、前記回帰運動の周回方向を反転して前記制御を行なうことで前記可動部材を前記回転方向に沿って他方に移動させることを特徴とする回転装置。
【請求項１７】
前記駆動面は、前記可動部材の回転中心線に対して垂直に設けられ、一対の前記駆動装置は、前記駆動片を前記回転中心線に沿う方向に向き合わせた状態で前記回転中心線に沿う方向に配置されることを特徴とする請求項１６に記載の回転装置。
【請求項１８】
前記駆動面は、前記可動部材の外周に沿って設けられ、一対の前記駆動装置は、前記駆動片を前記可動部材の回転中心線に向けた状態で前記回転中心線と直交する直線上に配置されることを特徴とする請求項１６または請求項１７に記載の回転装置。
【請求項１９】
前記駆動面は、前記可動部材の内周に沿って設けられ、一対の前記駆動装置は、前記駆動片を前記可動部材の回転中心線から離れる方向に向けた状態で前記回転中心線と直交する直線上に配置されることを特徴とする請求項１６から請求項１８のいずれか１項に記載の回転装置。
【請求項２０】
前記駆動装置が、前記回転方向に複数組等配に配置されることを特徴とする請求項１６から請求項１９のいずれか１項に記載の回転装置。
【請求項２１】
前記駆動装置が、前記可動部材の回転中心線に沿う方向に複数組並べて配置されることを特徴とする請求項１６から請求項２０のいずれか１項に記載の回転装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子をアクチュエータとして用いた駆動装置、この駆動装置を備える案内装置および回転装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子に電圧を加えることでこの圧電素子が伸び縮みする圧電逆効果を利用して駆動させるマイクロモータや送り装置などの駆動装置がある。この駆動装置は、矩形平板形状に形成された圧電素子の一方の面にほぼ前面を覆う電極が取り付けられ、もう一方の面に４つの電極が格子状に配列されて取り付けられている。対角の位置に配置された電極同士は、電気的に接続されている。駆動装置は、圧電素子の電極面が回転円筒体の軸線を横切る方向に配置されている。
【０００３】
圧電素子の外周部分のうち、１つの短縁部は、回転円筒体の外表面に面しており、セラミックスペーサが取り付けられている。駆動装置は、長縁部に沿う方向に配置された支持体およびばねと接触している。圧電素子の一方の対角線上の電極が圧電素子のもつ共振周波数の繰返し速度で通電されると、セラミックスペーサの先端は、円運動を描く。この円運動を利用して、セラミックスペーサが回転円筒体を周方向に移動させる。（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
また、駆動機構が、可動部材の移動方向に挟んで一対かつ移動方向に２組配置された送り装置がある。各駆動機構は、可動部材を保持するためのクランプ用圧電素子と、可動部材を移動させるための送り用圧電素子とを備える。クランプ用圧電素子は、可動部材を挟む方向に配置され、送り用圧電素子は、伸縮方向を可動部材の移動方向に揃えて配置されている。この送り機構は、クランプ用圧電素子と送り用圧電素子とに、それぞれ異なる波形の周期的な電圧変化を印加する場合と、９０°位相差を有した正弦波電圧を印加する場合とがある（例えば、非特許文献１参照。）。
【特許文献１】特願平７-１８４３８２号公報（第１図）
【非特許文献１】社本  英治、外２名、「Walking Driveによる精密送り機構の開発（第３報）」、精密光学会誌、２００１年、第６７巻、第７号、ｐ.１１２５−１１２９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
矩形平板状に形成された圧電素子に電極を取り付けた駆動装置は、モータなどの駆動源として使う場合に、一方向から回転軸あるいは可動部材に押付けている。駆動装置と可動部材との間には、摩擦抵抗が必要であるため、予圧が加えられる。モータ駆動時、可動部材は、駆動装置が接触している場合と接触していない場合とが生じることで、駆動装置がモータによって保持されない時間を有する。また、駆動装置は、共振現象を利用しているので、可動部材の移動速度を早くすることには適しているが、精度よく位置決めすることには不向きである。
【０００６】
また、２つの圧電素子をそれぞれ駆動機構に備え、一方の圧電素子をクランプ用に、他方の圧電素子を送り用に使用する送り機構は、ある方向に可動部材を移動させる場合、送り用圧電素子に圧縮応力がかかるとすると、これと反対方向に可動部材を移動させる場合、必ず送り用圧電素子に引張応力が加わる。そのため、送り用圧電素子が破損しやすい。送り用圧電素子に圧縮応力のみ加わるように、駆動機構をそれぞれの移動方向に対応させて設けることは容易であるが、駆動機構が２倍必要となるとともに、移動方向に対応した半数の駆動機構しか使用されないので、無駄である。
【０００７】
そこで、本発明は、可動部材の移動方向に因らず圧縮応力が加わる方向に圧電素子を使用する駆動装置、およびこの駆動装置を使用して簡単な構造で予圧の影響を軽減することのできる案内装置または回転装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る駆動装置は、基台に対して移動する可動部材の移動方向に沿って可動部材に設けられる駆動面に向けて接触部が設けられる駆動片と、基台に固定されるフレームと、電圧が印加されて伸長する方向のベクトルが駆動片を通って駆動面を斜めに横切る向きに駆動片とフレームとの間に取り付けられる少なくとも２つの圧電素子とを備える。
【０００９】
または、本発明に係る駆動装置は、基台に対して移動する可動部材の移動方向に沿って可動部材に平行に設けられる一対の駆動面に接触部を互いに反対方向に向けて一対に配置される少なくとも１組の駆動片と、基台に固定されて駆動面のそれぞれに面して一対に配置される少なくとも１組のフレームと、電圧が印加されて伸長される方向のベクトルが駆動片を通って駆動面を斜めに横切る向きに駆動片と前記フレームとの間にそれぞれの駆動片毎に少なくとも２つずつ取り付けられる圧電素子とを備える。この場合、各駆動片が可動部材を押圧することによって可動部材を安定した精度、速度で移動させるために、一対の駆動片を、可動部材の移動方向に少なくとも２組並べて配置し、一対の駆動片同士は、駆動面に対して互いに鏡像の位置関係で作動させ、移動方向に並ぶ駆動片同士は、互いに位相のずれた位置関係で作動させる。
【００１０】
また、圧電素子の取り付け角度による駆動力、保持力、および移動ストロークに方向性が生じないようにするために、圧電素子は、電圧が印加されることによって伸長する方向のベクトルが駆動面から駆動片の接触部を通る垂線に対して回転対称の位置関係に傾斜する状態に配置する。または、圧電素子は、電圧が印加されることによって伸長する方向のベクトルが、駆動片を通って移動方向を垂直に横切る中立面を基準とする鏡像の位置関係に傾斜する状態に配置する。ベクトルを傾ける角度として好ましい設定範囲は、駆動面に対して４５°±５°である。
【００１１】
可動部材を一方向に連続して移動させる駆動装置とするために、少なくとも２つの圧電素子のそれぞれに異なる電圧変化を印加することによって、駆動片を回帰運動させる。また、可動部材を安定した移動速度で移動させる駆動装置とするために、少なくとも２つの圧電素子のそれぞれに互いに位相差を有する高周波電圧を印加することによって駆動片を周期的に回帰運動させる。この場合、高周波電圧の周波数は、圧電素子の固有振動数を含む帯域に設定することが好ましい。
【００１２】
また、１つの駆動装置によって可動部材を駆動面に沿って移動させるために、少なくとも３つの圧電素子に位相と振幅と波形とがそれぞれ異なる電圧変化を印加して駆動片を変位させ、可動部材を駆動面に沿って互いに交差する少なくとも２方向に移動させる制御部を備える。
【００１３】
本発明に係る案内装置は、基台と、この基台に対して相対的に移動する可動部材と、相対的に移動する第１部材および第２部材とこれらの間でそれぞれに転接する複数の転動体とを具備して第１部材と第２部材との一方が基台に固定されるとともに他方が可動部材に取り付けられる案内機構と、可動部材の移動方向に沿って平行に設けられる少なくとも２つの摩擦部材と、移動方向に沿う摩擦部材の駆動面に向けて互いに反対向きに一対に配置される少なくとも２組の駆動装置とを備える。そして、それぞれの駆動装置が、駆動面に向けて接触部が設けられる駆動片と、基台に固定されるフレームと、電圧が印加されて伸長する方向のベクトルが駆動片を通って駆動面を斜めに横切る向きに駆動片とフレームとの間に取り付けられる少なくとも２つの圧電素子とを有する。少なくとも２つの圧電素子にそれぞれ位相差を有する高周波電圧を印加することによって駆動片を周期的に回帰運動させ、かつ、一対の駆動装置に設けられる駆動片の回帰運動の位相を同期させるとともに同じ駆動面に向けられる異なる組同士の駆動装置に設けられる駆動片の回帰運動の位相をずらす制御によって、可動部材を移動方向に沿って一方に移動させ、回帰運動の周回方向を反転して同様の制御を行なうことで可動部材を移動方向に沿って他方に移動させる。
【００１４】
この場合、駆動面は、可動部材の移動方向に沿って平行に設け、一対の駆動装置は、駆動片を向き合わせた状態で移動方向と直交する直線上に配置する。または、駆動面は、可動部材の移動方向に沿って平行に設け、一対の駆動装置は、駆動片を互いに背けた状態で移動方向と直交する直線上に配置する。安定した精度および速度で可動部材を移動させるために、駆動装置は、移動方向に複数組並べて配置する。または、駆動装置は、移動方向を横切る方向に複数組並べて配置する。
【００１５】
本発明に係る回転装置は、基台と、基台に対して相対的に回転する可動部材と、相対的に回転する第１部材および第２部材とこれらの間でそれぞれに転接する複数の転動体とを具備して第１部材と第２部材との一方が基台に固定されるとともに他方が可動部材に取り付けられる転がり軸受と、可動部材の回転中心線に対して同心に設けられる摩擦部材と、摩擦部材の回転方向に沿って形成される駆動面を垂直に横切る同一線上に互いに反対向きに一対に配置される少なくとも２組の駆動装置とを備える。そして、それぞれの駆動装置が、駆動面に向けて接触部が設けられる駆動片と、基台に固定されるフレームと、電圧が印加されて伸長する方向のベクトルが駆動片を通って駆動面を斜めに横切る向きに駆動片とフレームとの間に取り付けられる少なくとも２つの圧電素子とを有する。少なくとも２つの圧電素子にそれぞれ位相差を有する高周波電圧を印加することによって駆動片を周期的に回帰運動させ、かつ、一対の駆動装置に設けられる駆動片の回帰運動の位相を同期させるとともに同じ駆動面に向けられる異なる組同士の駆動装置に設けられる駆動片の回帰運動の位相をずらす制御によって、可動部材を回転方向に沿って一方に移動させ、回帰運動の周回方向を反転して同様の制御を行なうことで可動部材を回転方向に沿って他方に移動させる。
【００１６】
この場合、駆動面は、可動部材の回転中心線に対して垂直に設け、一対の駆動装置は、駆動片を回転中心線に沿う方向に向き合わせた状態で回転中心線に沿う方向に配置する。または、駆動面は、可動部材の外周に沿って設け、一対の駆動装置は、駆動片を可動部材の回転中心線に向けた状態で回転中心線と直交する直線上に配置する。または、駆動面は、可動部材の内周に沿って設け、一対の駆動装置は、駆動片を可動部材の回転中心線から離れる方向に向けた状態で回転中心線と直交する直線上に配置する。安定した精度および速度で可動部材を移動させるために、回転装置は、駆動装置を回転方向に複数組等配に配置する。または、回転装置は、駆動装置を可動部材の回転中心線に沿う方向に複数組並べて配置する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る駆動装置によれば、電圧が印加されて伸長する方向のベクトルが駆動片を通って駆動面を斜めに横切る向きに、圧電素子を駆動片とフレームとの間に取り付けている。したがって、可動部材を移動させる方向に因らず、圧縮応力が加わる方向に圧電素子を使用することができる。圧電素子に引張応力が積極的に加わらない構造であるので、駆動装置の耐久性が向上する。
【００１８】
本発明に係る他の駆動装置によれば、可動部材の移動方向に沿って可動部材に平行に設けられる一対の駆動面に接触部を互いに反対方向に向けて一対に配置される少なくとも１組の駆動片と、一対の駆動面のそれぞれに面して一対に配置される少なくとも１組のフレームと、電圧が印加されて伸長する方向のベクトルが駆動片を通って駆動面を斜めに横切る向きに駆動片とフレームとの間にそれぞれの駆動片毎に少なくとも２つずつ取り付けられる圧電素子とを備える。
【００１９】
本発明に係る案内装置によれば、可動部材の移動方向に沿って形成される駆動面に対して互いに反対向きに駆動片を向けて駆動装置が少なくとも一対配置され、かつ一対の駆動装置の駆動片が回帰運動する位相を同期させている。したがって、駆動片によって可動部材に作用する移動方向を横切る方向の力は、互いに相殺され、可動部材の位置決め精度が向上する。また、可動部材の移動中においても少なくとも一対の駆動装置によって可動部材を保持することができるので、可動部材の移動量および移動速度を正確に制御することができる。
【００２０】
本発明に係る回転装置によれば、可動部材の回転中心線に対して同心に形成される駆動面を垂直に横切る同一線上に互いに反対向きに駆動装置が一対に配置され、かつ一対の駆動装置の駆動片が回帰運動する位相を同期させている。したがって、駆動片によって可動部材に作用する回転方向を横切る方向の力は、互いに相殺され、可動部材に対し、駆動装置取付時に掛かる力を軽減することができる。また、可動部材の回転中においても少なくとも一対の駆動装置によって可動部材を保持することができるので、可動部材の回転位置及び回転速度を正確に制御することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明に係る第１の実施形態の案内装置１について、図１から図７を参照して説明する。図１に示す案内装置１は、基台２と可動部材３と案内機構４と摩擦部材５と駆動装置６とを備える。案内機構４は、第１部材４１と第２部材４２と複数の転動体４３を備えている。第１部材４１は、基台２に固定され、第２部材４２は、可動部材３に固定されている。転動体４３は、第１部材４１および第２部材４２のそれぞれに形成された軌道溝４１ａ，４２ａに転接する。したがって、第２部材４２が第１部材４１に対して相対的に移動するので、可動部材３は、基台２に対して相対的に移動する。摩擦部材５は、可動部材３の移動方向Ｌに沿って延びる両側部３１に取り付けられており、駆動面５１が平行に設けられている。なお、駆動面５１が可動部材３の移動方向Ｌに沿って設けられていれば、摩擦部材５は、可動部材３の側部３１に一体に形成されていても良い。
【００２２】
駆動装置６は、図２に示すように、駆動片６１とフレーム６２と圧電素子６３とを備える。駆動片６１は、駆動面５１に向けて接触部６４が設けられている。フレーム６２は、基台２に固定されている。フレーム６２には、駆動片６１を配置するための凹部６２ａと、この凹部６２ａを取り囲むようにスリット状に形成された弾性ヒンジ６２ｂが配置されている。この弾性ヒンジ６２ｂは、圧電素子６３が伸長して駆動片６１を駆動面５１に押し付ける力（予圧）を調整するために設けられている。なお、弾性ヒンジ６２ｂの代わりに、コイルばねや板ばね、あるいはゴム状の弾性部材を取り付けても良い。
【００２３】
圧電素子６３は、駆動片６１とフレーム６２との間に２つ取り付けられている。これらの圧電素子６３は、電圧を印加することによって伸長する。各圧電素子６３は、この伸長する方向のベクトルＶ１，Ｖ２が駆動片６１を通って駆動面５１を斜めに横切る向きに、かつ、駆動片６１の接触部６４を通る駆動面５１の垂線Ｓに対して回転対称に傾斜した状態に配置される。この場合、本実施形態では圧電素子６３が２つであるので、圧電素子６３は、圧電素子６３が伸長する方向のベクトルＶ１，Ｖ２が接触部６４を通って可動部材３の移動方向Ｌを垂直に横切る中立面Ａについて鏡像の位置関係となるように傾斜した状態に配置される。
【００２４】
ベクトルＶ１，Ｖ２の具体的な傾斜角度として好ましい範囲は、駆動面５１に対して４５°±５°である。なお、駆動装置６による可動部材３の保持力を高めたい場合は、駆動片６１に対して圧電素子６３のベクトルＶ１，Ｖ２同士が成す角度を狭く（鋭角に）し、可動部材３の移動量を大きくしたい場合は、駆動片６１に対して圧電素子６３のベクトルＶ１，Ｖ２同士が成す角度を広く（鈍角に）するなど、案内装置１の仕様に応じて駆動装置６の圧電素子６３のベクトルＶ１，Ｖ２が成す角度は、適宜設定される。
【００２５】
駆動装置６は、駆動面５１に向けて互いに反対向きに一対配置されている。具体的には、第１の実施形態において、駆動装置６は、図１に示すように可動部材３を移動方向Ｌに沿う両側から挟むように、駆動片６１を互いに向き合わせた状態で可動部材３の移動方向Ｌと直交する直線上に配置される。また、このように設けられた駆動装置６の組を可動部材３の移動方向Ｌに沿って３組並べて配置している。
【００２６】
以上のように構成された案内装置１の動作について図３から図５を参照して説明する。案内装置１は、１つの駆動装置６に設けられる２つの圧電素子６３のそれぞれに、位相差を有するとともに時間軸方向に反転された波形の電圧変化を印加する。これにより、移動方向Ｌに沿って駆動面５１と交差する面内で駆動片６１を回帰運動させる。接触部６４が駆動面５１に接している間、可動部材３は、駆動装置６に保持されるとともに、一方向に送られる。
【００２７】
そして、駆動片６１の回帰運動の位相は、可動部材３を挟んで一対に設けられる駆動装置６同士で同期させ、可動部材３の移動方向Ｌに並んで同じ駆動面５１に向けられる異なる組の駆動装置６同士でずらす。また、１つの駆動装置６に設けられる２つの圧電素子６３に印加される電圧変化を時間軸方向に反転させると、駆動片６１の回帰運動の周回方向Ｃが逆転する。つまり、可動部材３の移動方向Ｌが逆向きになる。
【００２８】
いずれの場合にも、各駆動装置６の圧電素子６３は、電圧が印加されることによって伸長する方向のベクトルＶ１，Ｖ２が、駆動面５１に対して駆動片６１の接触部６４を通る垂線Ｓから傾いている。駆動装置６が駆動片６１を駆動面５１に押圧しながら可動部材３の移動方向へ駆動片６１を移動させる場合、一方の圧電素子６３に印加する電圧を徐々に大きくしてこの圧電素子６３を伸張させるとともに、他方の圧電素子６３に印加されている電圧を徐々に小さくしてこの圧電素子６３を収縮させる。この場合、一方の圧電素子６３が伸長するよりも速く他方の圧電素子６３が収縮すると、駆動片６１を駆動面５１に十分な力で押圧できなくなる。
【００２９】
つまり、駆動装置６は、一方の圧電素子６３を他方の圧電素子６３が収縮するよりも先行して伸張させることによって、駆動片６１を駆動面５１に押圧し、可動部材３を移動させている。その結果、それぞれの圧電素子６３には、圧縮応力が作用し、引張応力が作用しないので、圧電素子６３が破損することを防止することができる。したがって、駆動装置６の信頼性が向上し、延いては、この駆動装置６を備える案内装置１の信頼性が向上する。
【００３０】
また、案内装置１は、駆動片６１を互いに向き合わせる一対に駆動装置６を備え、これらの駆動片６１の回帰運動を同期させているので、可動部材３が駆動片６１によって受ける力のうち、移動方向Ｌを横切る方向の成分は、互いに相殺される。したがって、可動部材３が移動方向Ｌに沿う方向から捩れる、いわゆるヨーイングを防止することができる。
【００３１】
図３から図５に示す案内装置１の状態は、３組の駆動装置６の駆動片６１がそれぞれ１２０°ずつ位相差を有して一方向に回帰運動している状態であり、可動部材３を図の右から左に移動させている状態である。駆動装置６の駆動片６１は、回帰運動の周回軌道状の送り始め位置から送り終わり位置まで可動部材３の摩擦部材５に設けられた駆動面５１に押圧された状態で移動する。送り終わり位置まで移動した駆動片６１は、駆動面５１から離されて送り始め位置まで戻される。駆動片６１は、送り始め位置まで来ると再び駆動面５１に押圧される。
【００３２】
図３の状態において、左端の駆動片６１は、回帰運動の周回軌道上の送り終わり位置、中央の駆動片６１は、回帰運動の周回軌道上の送り始め位置、右端の駆動片６１は、回帰運動の周回軌道上の戻り途中にそれぞれある。図４の状態において、各駆動片６１は、図３の状態からそれぞれ１２０°ずつ位相が進んだ状態で、左端の駆動片６１は、戻り途中、中央の駆動片６１は、送り終わり位置、右端の駆動片６１は、送り始め位置にある。図５の状態において、各駆動片６１は、図４の状態からさらに１２０°ずつ位相が進んだ状態で、左端の駆動片６１は、送り始め位置、中央の駆動片６１は、戻り途中、右端の駆動片６１は、送り終わり位置にある。そして、図５の状態から１２０°ずつ位相が進むと、再び図３の状態となる。このように、案内装置１は、各駆動装置６を制御し、図３の状態から図５の状態まで繰り返させることによって、図３から図５に示すように可動部材３を図の右から左へと移動する。
【００３３】
また、案内装置１は、可動部材３を移動させる間、いずれかの組の駆動装置６の駆動片６１で可動部材３を保持している。つまり、少なくとも２つの駆動装置６の駆動片６１によって、可動部材３は、支持される。したがって、基台２に対して可動部材３を安定した状態で移動させることができるとともに、可動部材３の移動量を正確に把握できるため、基台２に対する可動部材３の位置決め精度がよい。
【００３４】
さらに、駆動片６１の回帰運動の位相について２４０°以上連続して駆動片６１が駆動面５１に接しているように、圧電素子６３に印加する電圧変化を制御することによって、可動部材３は、常に４か所以上で支持される。つまり、移動方向Ｌに配置する駆動装置６の個数に応じて等配の位相差を設けて可動部材３を移動させる場合、２組以上の駆動装置６の駆動片６１が駆動面５１に接しているように各駆動装置６を制御する。言い換えると、駆動片６１の回帰運動の位相について、（駆動片６１が駆動面５１に接触している位相角度）≧〔｛３６０°／（可動部材３の移動方向Ｌに並ぶ駆動装置６の個数）｝×２〕とすることによって、案内装置１は、可動部材３を４か所以上の駆動片６１で保持することができる。
【００３５】
案内装置１は、各圧電素子６３に印加する周期的な電圧変化の周波数を変化させることによって、可動部材３の移動速度を変化させることができる。可動部材３をゆっくり移動させる場合、案内装置１は、各駆動片６１を駆動面５１に対してほぼ一定の押付力で接触させつつ可動部材３の移動方向Ｌにそって移動させる周期的な波形の電圧変化を各圧電素子６３に印加する。また、可動部材３を速く移動させる場合、電圧変化の波形の波長を短くすればよい。この場合、波長が短くなると特徴的な波形は、圧電素子６３の電圧変化の応答速度によって丸められ、正弦波形状に近似されてくる。そのため、駆動装置６の各圧電素子６３に位相差のある正弦波形状の高周波電圧を印加することによって、可動部材３の移動速度を速くすることができる。
【００３６】
そこで、圧電素子６３の固有振動数、もしくは駆動片６１が取り付けられた状態の圧電素子６３の固有振動数、あるいはこれらの他に弾性ヒンジ６２ｂの固有振動数をも加味した固有振動数を含む帯域に高周波電圧の周波数を設定すると、駆動片６１を回帰運動させる駆動力が共振によって補われる。したがって、駆動装置６およびこれを備える案内装置１は、可動部材３を効率良く移動させることができるとともに、可動部材３の移動速度および移動量を安定させやすい。
【００３７】
基台２に対して可動部材３を駆動片６１の接触部６４の範囲内で微動させる場合、各駆動装置６の２つの圧電素子６３に印加される電圧のバランスを調整し、図６および図７に示すように、駆動片６１の接触部６４が駆動面５１に転接するように駆動片６１を回動させる。この場合、各駆動装置６の駆動片６１は、それぞれの回動角度を同期させても良いし、図３から図５に示したような位相差を有した状態であっても良い。
【００３８】
なお、第１の実施形態において、案内装置１は、駆動面５１に接触部６４を互いに反対方向に向ける一対の駆動装置６を可動部材３の移動方向Ｌに３組配置しており、各駆動装置６は、１つのフレームに１つの駆動片６１が取り付けられた構成となっているが、可動部材３の移動方向Ｌに並ぶ駆動装置６同士のフレーム６２を一体に設け、１つのフレームに複数の駆動片６１が取り付けられるように設けても良い。この場合、それぞれの駆動片６１は、フレームに対して少なくとも２つの圧電素子６３によって支持される。
【００３９】
本発明に係る第２の実施形態の案内装置１１について、図８を参照して説明する。なお、第１の実施形態における案内装置１と同じ機能を有する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。図８に示す案内装置１１は、可動部材３を両外側から挟み込むように配置される一対の駆動装置６を可動部材３の移動方向Ｌを横切る方向に複数組並べて配置している。具体的には、本実施形態において、駆動装置６は、３組上下に重ね合わせて配置されている。
【００４０】
駆動片６１を向き合わせている一対の駆動装置６同士は、駆動片６１の回帰運動の位相を同期させ、同じ駆動面５１に面して配置されて重ね合わされる異なる組の駆動装置６同士は、駆動片６１の回帰運動の位相を互いにずらす。図８の状態において、上段の駆動装置６の駆動片６１は、回帰運動の周回軌道上の戻り途中、中段の駆動装置６の駆動片６１は、回帰運動の周回軌道上の送り終わり位置、下段の駆動装置６の駆動片６１は、回帰運動の周回軌道状の送り始め位置にある。
【００４１】
以上のように構成された案内装置１１は、第１の実施形態の案内装置１と比較した場合、駆動装置６を配置する方向が異なっているだけで、個々の駆動装置６の制御については同じである。したがって、第２の実施形態の案内装置１１は、第１の実施形態の案内装置１と同様に可動部材３を移動させることができる。また、第１の実施形態の案内装置１に比べて、可動部材３の移動方向Ｌを横切る方向に駆動装置６を配置しているので、駆動装置６の取り付け面積を小さくすることができる。
【００４２】
なお、第１の実施形態の案内装置１および第２の実施形態の案内装置１１において、一対の駆動装置６は、駆動片６１を向き合わせた状態で可動部材３の移動方向Ｌに直交する直線上に配置されているが、駆動片６１を互いに背けた状態で可動部材３の移動方向Ｌに直交する直線上に配置されていても良い。後者のように配置することで、駆動装置６は、案内装置１および案内装置１１の可動部材３の幅よりも内側、すなわち、可動部材３で覆われる内側に隠されることになるので、駆動装置６が保護されるとともに外観上の見栄えが良くなる。さらに、可動部材３の移動方向Ｌに並ぶ駆動装置６のフレーム６２同士を一体化させるのみならず、駆動片６１の回帰運動を同期させている駆動装置６同士のフレーム６２も一体かさせることができるようになる。
【００４３】
また、第１の実施形態の案内装置１は、駆動装置６を可動部材３の移動方向Ｌに配置し、第２の実施形態の案内装置１１は、駆動装置６を可動部材３の移動方向Ｌを横切る方向に配置しているが、これら両方の形態を取り入れて、可動部材３の移動方向Ｌおよび移動方向Ｌを横切る方向に駆動装置６を複数列複数段に配置すると、可動部材３をより大きな駆動力で移動させることができる。
【００４４】
本発明に係る第３の実施形態の回転装置１０１について、図９および図１０を参照して説明する。なお、第１の実施形態における案内装置１および第２の実施形態における案内装置１１と同じ機能を有する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４５】
図９に示す回転装置１０１は、可動部材１０３が円板状に形成されており、第１の実施形態の案内装置１および第２の実施形態の案内装置１１における案内機構４の代わりに、転がり軸受１０４を備えている。転がり軸受１０４は、図１０に示すように第１部材１４１と第２部材１４２とこれらの間でそれぞれに転接する複数の転動体１４３とを備えている。これにより、可動部材１０３は、基台２に対して回転する。第１部材１４１は、基台２に固定され、第２部材１４２は、可動部材１０３の外周縁１３１の内側に固定される。摩擦部材１０５は、可動部材１０３の外周縁１３１の外側に回転方向Ｍに沿って同心に設けられている。
【００４６】
駆動装置１０６は、可動部材１０３の周りに同心円上にかつ等配に配置されており、摩擦部材１０５の駆動面１５１に駆動片６１の接触部６４を向けている。本実施形態においては、６つの駆動装置１０６が、駆動片６１の接触部６４を可動部材１０３の回転中心線Ｔに向けた状態で、可動部材１０３の回転中心線Ｔについて６０°ずつの等配に配置されている。
【００４７】
駆動片６１は、基台２に固定されたフレーム１６２に対して圧電素子６３によって取り付けられている。フレーム１６２は、可動部材１０３の外径に沿って扇形に湾曲している。圧電素子６３は、電圧が印加されて伸長する方向のベクトルＶ１，Ｖ２が駆動片６１を通って駆動面１５１を斜めに横切る向きに取り付けられている。具体的には、駆動片６１の接触部６４を通って駆動面１５１に対して垂直な中立面Ａ、すなわち可動部材１０３の回転中心線Ｔが通る面について、伸長する方向のベクトルＶ１，Ｖ２が鏡像の位置関係に傾斜する状態に配置される。
【００４８】
回転装置１０１は、回転中心線Ｔに対して対称の位置に配置される駆動装置１０６同士を一対にして駆動片６１の回帰運動の位相を同期させ、回転中心線Ｔに対して回転位置の異なる駆動装置１０６の組同士について駆動片６１の回帰運動の位相をずらしている。第３の実施形態における回転装置１０１の場合、６つの駆動装置１０６が等配に配置されているので、直径方向に配置される２つの駆動装置１０６を一対として、３組の駆動装置１０６が、それぞれの駆動片６１の回帰運動について１２０°ずつ位相をずらして制御される。そして、一対の駆動装置１０６同士の駆動片６１が回帰運動する方向は、回転中心線Ｔに対して回転対称の位置関係となる。
【００４９】
１つの駆動装置１０６の各圧電素子６３に印加する電圧は、第１の実施形態の駆動装置６と同様に印加される。この場合、第３の実施形態において、駆動面１５１が可動部材１０３の径に応じた曲率を有しているので、第１の実施形態で各圧電素子６３に印加される電圧変化の波形とは、多少異なるが、駆動片６１を通って駆動面１５１に垂直な中立面Ａに対して鏡像の位置関係に配置される圧電素子６３同士に印加される電圧変化の波形は、時間軸方向について互いに鏡像の波形となる。そして、各圧電素子６３に印加される電圧変化の波形を時間軸方向について反転することによって、駆動片６１の回帰運動の方向が逆転し、その結果、可動部材１０３の回転方向Ｍが逆転する。
【００５０】
また、第３の実施形態の回転装置１０１は、一対の駆動装置１０６の駆動片６１が回帰運動する方向が同じ方向であることを除いて、第１の実施形態の案内装置１および第２の実施形態の案内装置１１と同様に、異なる組同士の駆動装置１０６にそれぞれ位相のずれた高周波電圧を印加することによって、可動部材１０３を安定した速度で回転させることができる。
【００５１】
このように各駆動装置１０６を制御することによって、可動部材１０３が直径方向に位置する一対の駆動装置１０６によって支持されるので、一対の駆動装置１０６の駆動片６１から可動部材１０３に作用する力のうち、半径方向の成分が相殺される。したがって、可動部材１０３が偏心してしまうことを防止することができ、回転中心線Ｔに対する可動部材１０３の位置決め精度が向上する。
【００５２】
なお、第３の実施形態の回転装置１０１において、駆動片６１の回帰運動の位相を同期させる駆動装置１０６は、回転中心線Ｔに対して対称の位置に配置する以外に、回転中心線Ｔに対して１２０°ずつ回転位置の異なる駆動装置１０６同士を１セットにしてその駆動片６１の回帰運動の位相を同期させても良い。このようにすることによって、可動部材１０３は、３方向から均等に支持されるようになるので、直径方向に支持するよりも偏心に対する位置決め精度が向上する。
【００５３】
また、第３の実施形態の回転装置１０１は、駆動装置１０６を可動部材１０３の回転中心線Ｔに対して同心円上に等配に配置しているが、可動部材１０３の回転中心線Ｔに対して同心円上に配置される摩擦部材１０５の駆動面１５１を垂直に横切る同一線上に互いに反対向きに一対に配置される少なくとも２組の駆動装置１０６を備えれば、どちらか一方の組の一対の駆動装置１０６によって可動部材１０３の回転中にも可動部材１０３を保持しておくことができ、可動部材１０３の位置決め精度や回転速度を安定させることができる。
【００５４】
したがって、摩擦部材１０５を可動部材１０３の外周縁１３１から半径方向に広がる円板状に形成し、摩擦部材１０５を可動部材の回転中心線Ｔに沿う方向に互いに駆動片６１を向き合わせた状態、すなわち、円板状に設けた摩擦部材１０５を板厚方向に駆動片６１で挟む状態に駆動装置１０６を配置しても良い。または、可動部材１０３の内周に沿って摩擦部材１０５を設け、この摩擦部材１０５の内周面に形成される駆動面１５１に駆動片６１を向けて同じ直径上に配置される駆動装置１０６を一対として異なる直径上に少なくとも２組の駆動装置１０６を配置しても良い。
【００５５】
なお、第１から第３の実施形態の図において、電圧を印加されて伸長および収縮する圧電素子６３の長さや、回帰運動する駆動片６１の位置は、説明を分かりやすくするために誇張して描いている。
【００５６】
本発明に係る第４の実施形態の駆動装置２０６について、図１１を参照して説明する。なお、第１から第３の実施形態において説明した駆動装置６，１０６と同じ機能を有する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００５７】
図１１に示す駆動装置２０６は、駆動片６１とフレーム２６２との間に４つの圧電素子６３が取り付けられている。圧電素子６３は、電圧が印加されて伸長する方向のベクトルＶ１，Ｖ２が、駆動片６１を通って駆動面５１を斜めに横切る向きに配置される。そして、４つの圧電素子６３のうちの２つずつをそれぞれ平行に配置される対にし、この圧電素子６３の対を駆動片６１の接触部６４を通って可動部材の主移動方向Ｌ１を垂直に横切る中立面Ａに対して鏡像の位置関係に配置している。駆動片６１の接触部６４は、可動部材の主移動方向Ｌ１およびこれを横切る副移動方向Ｌ２のそれぞれに曲率を有した曲面に形成されている。フレーム２６２は、駆動片６１を取り付ける凹部６２ａが駆動面５１に向けて形成され、圧電素子６３が伸長する方向の延長線上の位置にスリット状の弾性ヒンジ６２ｂが形成されている。第４の実施形態において、弾性ヒンジ６２ｂは、駆動片６１の駆動面５１に対する押付力（予圧）を調整し、可動部材を主移動方向Ｌ１に沿って移動させる場合に圧電素子６３の取付部に生じる歪のほか、副移動方向Ｌ２に沿って移動させる場合に圧電素子６３の取付部に生じる歪も緩和させる働きをする。
【００５８】
以上のように構成された駆動装置２０６は、対になっている圧電素子６３同士に印加する電圧変化の位相を同期させ、異なる対の圧電素子６３同士に印加する電圧変化の位相をずらすことで、第１および第２の実施形態の駆動装置６と同様に、可動部材を主移動方向Ｌ１に移動させる。また、対になっている圧電素子６３同士に印加する電圧変化の位相をずらし、中立面Ａに対して鏡像の位置関係の異なる対の圧電素子６３同士に印加する電圧変化の位相を同期させると、可動部材は、副移動方向Ｌ２に移動される。
【００５９】
このように、第４の実施形態の駆動装置２０６は、第１および第２の実施形態の駆動装置６と同じ機能を有するだけでなく、４つの圧電素子６３に印加する電圧変化の位相を適宜制御することにより、可動部材を主移動方向Ｌ１と副移動方向Ｌ２とを組み合わせた斜め方向にも移動させることができる。
【００６０】
本発明に係る第５の実施形態の駆動装置について、図１２を参照して説明する。なお、第１から第４の実施形態における駆動装置６，１０６，２０６と同じ機能を有する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００６１】
図１２に示す駆動装置３０６は、駆動片６１とフレーム３６２との間に３つの圧電素子６３が取り付けられている。各圧電素子６３は、電圧が印加されて伸長する方向のベクトルＶ１，Ｖ２，Ｖ３が駆動片６１を通って駆動面５１を斜めに横切る方向に配置されている。より詳しく説明すると、各圧電素子６３の伸長方向のベクトルＶ１，Ｖ２，Ｖ３は、駆動面５１から駆動片６１の接触部６４を通る垂線Ｓに対して回転対称の位置関係に傾斜した状態に設けられ、かつ、垂線Ｓに対して等配に配置されている。
【００６２】
この場合、ベクトルＶ１，Ｖ２，Ｖ３と垂線Ｓとの成す角度は、４５°±５°の範囲に設けることが好ましい。ただし、駆動装置３０６による可動部材の保持力を高めたい場合は、ベクトルＶ１，Ｖ２，Ｖ３と垂線Ｓとが成す角度を狭く（鋭角に）し、可動部材の移動量を大きくしたい場合は、ベクトルＶ１，Ｖ２，Ｖ３と垂線Ｓとが成す角度を広く（鈍角に）するなど、案内装置や回転装置、あるいは可動部材を２軸方向に移動させるＸ−Ｙテーブルなどの仕様に応じて、ベクトルＶ１，Ｖ２，Ｖ３と垂線Ｓとが成す角度は、適宜設定される。
【００６３】
また、駆動片６１の接触部６４は、球面状に形成されている。フレーム３６２は、駆動片６１が取り付けられる凹部６２ａが駆動面５１に向けて形成され、各圧電素子６３が取り付けられてこれら圧電素子６３の伸長方向の延長上となる部分にスリット状の弾性ヒンジ６２ｂが形成されている。また、フレーム３６２は、圧電素子６３の数に起因するとともに駆動装置３０６を複数並べて配置することを考慮して、第５の実施形態では六角形に形成されている。圧電素子６３は、３つであるので、フレーム３６２の外形は、三角形でも良い。また、圧電素子６３の数によらず、複数並べて配置しやすいように四角形にしても良い。
【００６４】
以上のように構成された駆動装置３０６は、さらに制御部３０７を備え、各圧電素子６３に位相と振幅と波形とがそれぞれ個別に設定された電圧変化が印加される。これにより、駆動片６１は、可動部材をその駆動面５１に沿って互いに交差する２方向に移動させることができる。したがって、この駆動装置３０６は、平坦な駆動面５１に沿って多数個並べて直交２軸座標系で位置決め制御する装置、いわゆるＸ−Ｙテーブル、または、円筒状の駆動面に沿って多数個並べて円筒座標系で位置決め制御する装置、あるいは、球面状の駆動面に沿って多数個並べて極座標系で位置決め制御する装置の駆動源として使用することができる。また、平坦な駆動面５１に沿って多数個の駆動装置３０６を並べている場合、直交２軸座標系に沿った制御以外に、駆動面５１の任意の位置にこの駆動面５１に対して垂直に設定される軸を中心に可動部材を旋回させることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明に係る第１の実施形態の案内装置を示す斜視図。
【図２】図１の駆動装置を拡大して示す平面図。
【図３】図１の案内装置の駆動状態を示す平面図。
【図４】図１の案内装置の駆動状態を示す平面図。
【図５】図１の案内装置の駆動状態を示す平面図。
【図６】図１の駆動装置によって可動部材の位置を微調整する状態を示す平面図。
【図７】図１の駆動装置によって可動部材の位置を微調整する状態を示す平面図。
【図８】本発明に係る第２の実施形態の案内装置を示す分解斜視図。
【図９】本発明に係る第３の実施形態の回転装置を示す平面図。
【図１０】図９中のＦ１０−Ｆ１０に沿って回転装置を示す断面図。
【図１１】本発明に係る第４の実施形態の駆動装置を示す斜視図。
【図１２】本発明に係る第５の実施形態の駆動装置を示す斜視図。
【符号の説明】
【００６６】
１…案内装置、２…基台、３…可動部材、３１…側部、４…案内機構、４１…第１部材、４２…第２部材、４３…転動体、５…摩擦部材、５１…駆動面、６…駆動装置、６１…駆動片、６２…フレーム、６３…圧電素子、６４…接触部、１１…案内装置、１０１…回転装置、１０３…可動部材、１３１…外周縁、１０４…軸受、１４１…第１部材、１４２…第２部材、１４３…転動体、１０５…摩擦部材、１５１…駆動面、１０６…駆動装置、１６２…フレーム、２０６…駆動装置、２６２…フレーム、３０６…駆動装置、３６２…フレーム、３０７…制御部、Ｌ…移動方向、Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３…ベクトル、Ｓ…垂線、Ａ…中立面、Ｃ…周回方向、Ｍ…回転方向、Ｔ…回転中心線。
【図１】
2006014498.tif 000003
【図２】
2006014498.tif 000004
【図３】
2006014498.tif 000005
【図４】
2006014498.tif 000006
【図５】
2006014498.tif 000007
【図６】
2006014498.tif 000008
【図７】
2006014498.tif 000009
【図８】
2006014498.tif 000010
【図９】
2006014498.tif 000011
【図１０】
2006014498.tif 000012
【図１１】
2006014498.tif 000013
【図１２】
2006014498.tif 000014