(57)【要約】      （修正有）【課題】歩留りを悪化させることなく空気流入端よりも空気流出端の幅が短い台形形状の薄膜磁気ヘッドスライダを提供できる。【解決手段】加工工程が、ウエハを切断分割し、各々が複数の磁気ヘッドスライダが横方向に並んだ列を縦方向に複数列重畳してなる複数の矩形ブロックを得るブロック切出し工程と、切出した矩形ブロックをＶ字断面を有する切断刃によって切削し、Ｖ字断面溝を形成する溝形成工程と、複数のＶ字断面溝を形成した矩形ブロックのＡＢＳとは反対側の面を研磨用治具に接着する治具取付け工程と、接着した矩形ブロックを横方向に切断し、複数の磁気ヘッドスライダが横方向に一列に並んでなる１つのバー部材のみが研磨用治具に接着した状態とするブロック切り離し工程と、研磨用治具に接着されているバー部材のＡＢＳを研磨する研磨工程と、研磨したバー部材を切断し、複数の磁気ヘッドスライダに分離するスライダ分離工程とを含んでいる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の磁気ヘッド素子をウエハ上に形成するウエハ工程と、該ウエハを切断分割することにより、空気流入端よりも空気流出端の幅が短い台形形状を各々が有する複数の磁気ヘッドスライダを得る加工工程とを備えた薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、前記加工工程が、前記ウエハを切断分割し、各々が複数の磁気ヘッドスライダが横方向に並んだ列を縦方向に複数列重畳してなる複数の矩形ブロックを得るブロック切出し工程と、該切出した矩形ブロックをＶ字断面を有する切断刃によって切削し、横方向に隣合う磁気ヘッドスライダ間に縦方向のＶ字断面溝を形成する溝形成工程と、複数の該Ｖ字断面溝を形成した矩形ブロックの浮上面とは反対側の面を研磨用治具に接着する治具取付け工程と、該接着した矩形ブロックを横方向に切断し、複数の磁気ヘッドスライダが横方向に一列に並んでなる１つのバー部材のみが前記研磨用治具に接着した状態とするブロック切り離し工程と、該研磨用治具に接着されているバー部材の浮上面を研磨する研磨工程と、該研磨したバー部材を切断し、複数の磁気ヘッドスライダに分離するスライダ分離工程とを含んでいることを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記Ｖ字断面を有する切断刃として、前記台形形状を有する磁気ヘッドスライダの傾斜側面の角度と等しい傾斜角のＶ字断面を有する切断刃を用いることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記加工工程が、前記ブロック切断工程によって前記バー部材から切り離された矩形ブロックの浮上面とは反対側の面を研磨用治具に接着する工程をさらに含んでおり、該接着された矩形ブロックについて、前記ブロック切り離し工程、前記研磨工程及び前記スライダ分離工程を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記加工工程が、前記治具取付け工程の前に、複数の該Ｖ字断面溝を形成した矩形ブロックの浮上面を補助治具に接着する補助治具取付け工程をさらに含んでいることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項５】
前記補助治具が、切断の容易な非金属材料で形成されていることを特徴とする請求項４に記載の製造方法。
【請求項６】
前記ブロック切り離し工程が、最後のバー部材のみが前記研磨用治具に接着している場合は、該バー部材の浮上面に近い前記補助治具を横方向に切断する工程であることを特徴とする請求項４又は５に記載の製造方法。
【請求項７】
前記スライダ分離工程が、前記研磨用治具に接着された状態で前記研磨したバー部材を切断する工程であることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、台形形状を有する磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
空気流入端（リーディングエッジ）よりも空気流出端（トレーリングエッジ）の幅が短い台形形状を有する磁気ヘッドスライダを製造する方法として、特許文献１には、複数の電磁トランスデューサを形成したウエハからバー形状のスティック状ウエハを切出し、レールを形成した後、各スティック状ウエハを台形スライダの傾斜側面に等しい傾斜角を有しかつスライダ長さより大きな半径方向長さを有するＶ字断面形状の切断刃を備えた複数の回転カッターで切断分離し、個々の台形スライダを形成する点が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−３２０９４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された製造方法によると、スティック状ウエハをＶ字断面形状の切断刃によって切断分離することにより個々の台形形状スライダを形成している。浮上面（ＡＢＳ）の研磨は個々のスライダに分離した状態では、実質的に実施不可能であるから、この従来の製造方法では、Ｖ字断面形状の切断刃での切断前にスティック状ウエハの状態で行わざるを得ない。
【０００５】
Ｖ字断面切断刃を用いて切断を行うと、通常の切断用の薄い切断刃を用いた場合に比して、抵抗が大きいことからウエハに多大の応力が掛かり、エッジのチッピング等の発生する恐れが多分にある。しかも、発生したチッピングを修復することなくそのままの状態でスライダとして完成してしまうので、製造の歩留りが悪化するという不都合を有していた。
【０００６】
従って本発明は、従来技術の上述の問題点を解消しようとするものであり、その目的は、歩留りを悪化させることなく台形形状の磁気ヘッドスライダを提供できる薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、複数の磁気ヘッド素子をウエハ上に形成するウエハ工程と、このウエハを切断分割することにより、空気流入端よりも空気流出端の幅が短い台形形状を各々が有する複数の磁気ヘッドスライダを得る加工工程とを備えた薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する。特に本発明によれば、この加工工程が、ウエハを切断分割し、各々が複数の磁気ヘッドスライダが横方向に並んだ列を縦方向に複数列重畳してなる複数の矩形ブロックを得るブロック切出し工程と、切出した矩形ブロックをＶ字断面を有する切断刃によって切削し、横方向に隣合う磁気ヘッドスライダ間に縦方向のＶ字断面溝を形成する溝形成工程と、複数のＶ字断面溝を形成した矩形ブロックのＡＢＳとは反対側の面を研磨用治具に接着する治具取付け工程と、接着した矩形ブロックを横方向に切断し、複数の磁気ヘッドスライダが横方向に一列に並んでなる１つのバー部材のみが研磨用治具に接着した状態とするブロック切り離し工程と、研磨用治具に接着されているバー部材のＡＢＳを研磨する研磨工程と、研磨したバー部材を切断し、複数の磁気ヘッドスライダに分離するスライダ分離工程とを含んでいる。
【０００８】
ウエハ工程の終了後に実施される加工工程において、まず、ウエハを複数の矩形ブロックに切断分割する。各矩形ブロックは、切断後にバー部材となる複数の磁気ヘッドスライダが横方向に並んだ列を複数列縦方向に重畳した形態、即ちバー部材が重畳した状態となっている。この状態で、縦方向のＶ字断面溝を横方向に隣合う磁気ヘッドスライダ間にそれぞれ形成する。バー部材を重畳した状態でＶ字断面溝が形成されるので、Ｖ字断面切断刃を用いることによって大きな応力が印加された場合にも、各バー部材の変形や歪みの発生を最小限に抑えることができる。
【０００９】
次いで、この矩形ブロックのＡＢＳとは反対側の面を研磨用治具に接着し、この状態で矩形ブロックを横方向に切断して１つのバー部材のみが研磨用治具に接着した状態とし、この状態でバー部材のＡＢＳを研磨した後、そのバー部材を切断して複数の磁気ヘッドスライダに分離する。１つのバー部材のみが研磨用治具に接着した状態でそのＡＢＳが研磨されるので、バー部材が堅固に固定された形で研磨可能となり、非常に良好なＡＢＳ研磨を行うことができる。しかも、Ｖ字断面切断刃を用いたＶ字断面溝形成の後にＡＢＳ研磨処理が行われるので、例えチッピング等が発生した場合にも、研磨処理によってこれを修復することができる。その結果、歩留りを悪化させることなく台形形状の磁気ヘッドスライダ加工を行うことができる。
【００１０】
なお、本明細書において、「横方向」とはウエハの素子形成面内において磁気ヘッドスライダのＡＢＳに平行な方向、「縦方向」とはウエハの素子形成面内において磁気ヘッドスライダのＡＢＳに垂直な方向をそれぞれ意味している。
【００１１】
Ｖ字断面を有する切断刃として、台形形状を有する磁気ヘッドスライダの傾斜側面の角度と等しい傾斜角のＶ字断面を有する切断刃を用いることが好ましい。
【００１２】
加工工程が、ブロック切断工程によってバー部材から切り離された矩形ブロックのＡＢＳとは反対側の面を研磨用治具に接着する工程をさらに含んでおり、接着された矩形ブロックについて、上述のブロック切り離し工程、研磨工程及びスライダ分離工程を行うことも好ましい。これを繰り返すことによって、重畳されたバー部材を順次研磨して、磁気ヘッドスライダに分離することができる。
【００１３】
加工工程が、治具取付け工程の前に、複数のＶ字断面溝を形成した矩形ブロックのＡＢＳを補助治具に接着する補助治具取付け工程をさらに含んでいることが好ましい。補助治具を用いることにより、矩形ブロックの反りを防止することが可能である。しかも、後の工程で研磨されるＡＢＳの補助治具が接着されるので、治具接着による問題は発生しない。この補助治具が、切断の容易な非金属材料で形成されていることがより好ましい。さらに、ブロック切り離し工程が、最後のバー部材のみが研磨用治具に接着している場合は、このバー部材のＡＢＳに近い補助治具を横方向に切断する工程であることがより好ましい。
【００１４】
スライダ分離工程が、研磨用治具に接着された状態で研磨したバー部材を切断する工程であることも好ましい。バー部材が堅固に固定された形で切断されるので、容易かつ良好な切断を行うことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、バー部材を重畳した状態でＶ字断面溝が形成されるので、Ｖ字断面切断刃を用いることによって大きな応力が印加された場合にも、各バー部材の変形や歪みの発生を最小限に抑えることができる。また、１つのバー部材のみが研磨用治具に接着した状態でそのＡＢＳが研磨されるので、バー部材が堅固に固定された形で研磨可能となり、非常に良好なＡＢＳ研磨を行うことができる。しかも、Ｖ字断面切断刃を用いたＶ字断面溝形成の後にＡＢＳ研磨処理が行われるので、例えチッピング等が発生した場合にも、研磨処理によってこれを修復することができる。その結果、歩留りを悪化させることなく台形形状の磁気ヘッドスライダ加工を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１、図２及び図３は本発明の一実施形態における薄膜磁気ヘッドの製造工程の一部を概略的に示す斜視図である。
【００１７】
図示されていないが、薄膜磁気ヘッド用のウエハの一方の面上に多数の磁気ヘッド素子（読み書き変換素子）を成膜、パターンニング等を含む薄膜技術でマトリクス状に形成する。
【００１８】
次いで、このウエハを薄い切断刃で縦方向及び横方向に切断分割し、図１（Ａ）に示すような矩形ブロック１０を形成する。この矩形ブロック１０は、切断後にそれぞれがバー部材となる複数のバー部材１１ａ〜１１ｅが縦方向に重畳した状態となっている。各バー部材１１ａ〜１１ｅには、磁気ヘッド素子をそれぞれ備えた複数の磁気ヘッドスライダ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ・・が横方向に配列されている。
【００１９】
次いで、図１（Ｂ）に示すように、この矩形ブロック１０に対して、Ｖ字断面切断刃１３を用いて切削し、図１（Ｃ）に示すような縦方向の複数のＶ字断面溝１４を形成する。Ｖ字断面切断刃１３は、最終的形成する台形形状の磁気ヘッドスライダの傾斜している側面の角度と等しい傾斜角のＶ字断面を有するものであり、これによって、ほぼ同じ傾斜角のＶ字断面溝１４が形成される。Ｖ字断面溝１４は横方向に隣合う磁気ヘッドスライダ間、例えば磁気ヘッドスライダ１２ａ及び１２ｂ間並びに磁気ヘッドスライダ１２ｂ及び１２ｃ間、にそれぞれ形成される。ただし、各Ｖ字断面溝１４は、貫通溝ではなく、これら磁気ヘッドスライダ１２ａ及び１２ｂを互いに分離することなく、一部連結した状態とする盲溝である。このように、バー部材１１ａ〜１１ｅが互いに重畳された状態でＶ字断面溝１４が形成されるので、Ｖ字断面切断刃１３を用いることによって大きな応力が印加された場合にも、各バー部材１１ａ〜１１ｅの変形や歪みの発生を最小限に抑えることができる。
【００２０】
次いで、図１（Ｄ）に示すように、複数のＶ字断面溝１４を形成した矩形ブロック１０のＡＢＳ、即ちバー部材１１ｅのＡＢＳを補助治具１５に接着する。この補助治具１５は、後の工程で切断されるので、切断の容易な非金属材料で形成されていることが望ましい。このような補助治具１５を取付けることにより、矩形ブロック１０の反りを防止することが可能である。しかも、後の工程で研磨されるＡＢＳ側にこの補助治具１５が接着されるので、治具接着による問題は発生しない。
【００２１】
次いで、図２（Ａ）に示すように、矩形ブロック１０のＡＢＳとは反対側の面、即ちバー部材１１ａのＡＢＳとは反対側の面を研磨用治具１６に接着する。
【００２２】
次いで、図２（Ｂ）に示すように、この矩形ブロック１０を薄い切断刃１７で横方向に切断し、図２（Ｃ）に示すように、１つのバー部材１１ａのみが研磨用治具１６に接着した状態とする。
【００２３】
次いで、図３（Ａ）に示すように、研磨用治具１６に接着された状態のこのバー部材１１ａのＡＢＳを回転研磨プレート１８に押し当てて研磨する。図３（Ｂ）に、このバー部材１１ａのＡＢＳが研磨された後の状態が示されている。ただし、同図では、説明を簡単にするため、バー部材１１ａには３つの磁気ヘッドスライダ１２ａ〜１２ｃのみが表されている。さらに、この場合、磁気ヘッドスライダ１２ａ及び１２ｃは実際には製品として使用されないダミースライダである。
【００２４】
その後、図３（Ｃ）に示すように、研磨用治具１６に接着された状態のバー部材１１ａを薄い切断刃１９で縦方向に切断して個々の磁気ヘッドスライダに分離し、図３（Ｄ）に示すように、磁気ヘッドスライダ１２ｂを得る。このように、バー部材１１ａが堅固に固定された形で切断されるので、容易かつ良好な切断を行うことができる。
【００２５】
なお、図２（Ｃ）に示すように、研磨用治具１６に接着されたバー部材１１ａから切り離された矩形ブロックについては、そのＡＢＳとは反対側の面、即ちバー部材１１ｂのＡＢＳとは反対側の面を研磨用治具に接着し、この矩形ブロックを薄い切断刃１７で横方向に切断して、１つのバー部材１１ｂのみが研磨用治具１６に接着した状態とし、そのＡＢＳを研磨した後、個々の磁気ヘッドスライダに分離する。以後同様の処理をバー部材１１ｃ及び１１ｄについても行う。最後のバー部材１１ｅのみが研磨用治具に接着している場合は、このバー部材１１ｅのＡＢＳに近い補助治具１５を横方向に切断した後、そのＡＢＳを研磨し、次いで、個々の磁気ヘッドスライダに分離する。
【００２６】
以上述べたように、本実施形態によれば、１つのバー部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ又は１１ｅのみが研磨用治具１６に接着した状態でそのＡＢＳが研磨されるので、バー部材が堅固に固定された形で研磨可能となり、非常に良好なＡＢＳ研磨を行うことができる。しかも、Ｖ字断面切断刃１３を用いたＶ字断面溝１４形成の後にＡＢＳ研磨処理が行われるので、例えチッピング等が発生した場合にも、研磨処理によってこれを修復することができる。その結果、歩留りを悪化させることなく台形形状の磁気ヘッドスライダ加工を行うことができる。なお、本実施形態において製造されるのは、図３（Ｄ）に示すように、準台形形状の磁気ヘッドスライダであるが、本発明は、ほぼ完全な台形形状の磁気ヘッドスライダに対しても、他の略台形形状の磁気ヘッドスライダに対しても、リーディングエッジよりもトレーリングエッジの幅が短いものであれば適用可能である。
【００２７】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施形態における薄膜磁気ヘッドの製造工程の一部を概略的に示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態における薄膜磁気ヘッドの製造工程の一部を概略的に示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態における薄膜磁気ヘッドの製造工程の一部を概略的に示す斜視図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０  矩形ブロック
１１ａ〜１１ｅ  バー部材
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ  磁気ヘッドスライダ
１３  Ｖ字断面切断刃
１４  Ｖ字断面溝
１５  補助治具
１６  研磨用治具
１７、１９  薄い切断刃
１８  回転研磨プレート
【図１】
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【図２】
2006228307.tif 000004
【図３】
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