(57)【要約】【課題】基板などの板状ワークの移動路の幅方向に複数の噴出部を配置して板状ワーク上の液体を気体の噴出により押し流して除去するようにしたエアナイフ装置において、気体使用量の増大を抑えつつ、板状ワークの大形化に対応できるようにし、もって、例えば、液晶表示装置の分野では、大形液晶表示パネルのコスト削減に寄与できるようにする。【解決手段】複数の噴出部３１ａ〜３１ｃを、板状ワークｗの移動路を斜めに横断する方向に沿って略直線状に配列するとともに、板状ワークｗの移動方向斜め後側に向かって気体を噴出するようにし、その上で、各噴出部３１ａ〜３１ｃに対する板状ワークｗの移動位置に応じて該噴出部３１ａ〜３１ｃの噴出作動を制御部５０により制御するようにする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを略水平姿勢の状態で移動させる移動手段と、
前記移動手段による前記板状ワークの移動路上方に該移動路を斜めに横断する方向に沿って略直線状に並ぶように配列され、各々、該斜め横断方向に略直交しかつ前記板状ワークの移動方向斜め後側の方向に気体を噴出するように設けられた複数の噴出部を有する噴出手段と、
前記移動手段による前記板状ワークの移動位置を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果に基づき、前記各噴出部から気体の噴出を受けるエリアにそれぞれ前記板状ワークが到達したときに該噴出部の噴出が開始する一方、前記各噴出部の前記エリアをそれぞれ前記板状ワークが通過したときに該噴出部の噴出が停止するように前記噴出手段を制御する制御手段とを備えていることを特徴とするエアナイフ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のエアナイフ装置において、
前記複数の噴出部は、
前記移動路を斜めに横断するように配置されたメイン噴出部と、該メイン噴出部の長さ方向両側部分にそれぞれ沿って配置された第１サブ噴出部および第２サブ噴出部とされていることを特徴とするエアナイフ装置。
【請求項３】
請求項１に記載のエアナイフ装置において、
前記複数の噴出部は、
前記移動路を斜めに横断する方向に１列に並ぶように配列されていることを特徴とするエアナイフ装置。
【請求項４】
請求項１に記載のエアナイフ装置において、
前記噴出手段は、前記移動路の上方に配置された噴出部に加え、
前記移動路の下方に該移動路を横断する方向に延びるように配置され、前記板状ワークの移動方向後側に向かって気体を噴出するように作動する下側噴出部を有することを特徴とするエアナイフ装置。
【請求項５】
請求項１に記載のエアナイフ装置において、
前記板状ワークが搬入される入口と、該板状ワークが搬出される出口とを有するエアナイフ槽と、
前記エアナイフ槽内における前記噴出部よりも前記入口側の空間は、該エアナイフ槽内における前記噴出部よりも前記出口側の空間に比べて気圧の低い低圧空間とされていることを特徴とするエアナイフ装置。
【請求項６】
請求項４に記載のエアナイフ装置において、
前記エアナイフ槽内における前記噴出部の位置に前記入口側の空間と前記出口側の空間とを仕切るように設けられた仕切壁と、
前記出口側空間に気体を導入する給気部と、
前記入口側空間の気体を外部に排出するための排気部とを備えていることを特徴とするエアナイフ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の電子回路基板などの板状ワークに付着した洗浄液などの液体を気体の噴出により除去するようにしたエアナイフ装置に関し、特に除去効率を高めて板状ワークの大形化に対応できるようにする対策に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置のＴＦＴ基板を製造する際には、エッチング，レジスト剥離，洗浄などのウエット工程の後、水洗処理された基板上の洗浄液を除去すべく、噴出部から噴出されるエアなどの気体により液切りを行うようにしたエアナイフ装置が用いられる。
【０００３】
従来のエアナイフ装置として、特許文献１に記載されているものでは、図７の平面図に模式的に示すように、所定の方向（同図の白抜きの矢印で示す方向）に移動する基板１００に対し、複数（図示する例では、３つ）の噴出部１１０を移動路幅方向（同図の上下方向）に並べ、各噴出部１１０毎に該噴出部１１０に対応するエリアの液体を押し流すようにする際に、それら複数の噴出部１１０を移動路に直交する方向に配列することで、移動路長さを短く抑えるようになされている。また、各噴出部１１０を、移動路を斜めに横断する方向に延びるように配置して該斜め横断方向に直交する移動方向斜め後側の方向（同図の右上方向）に向かって気体を噴出させるようにすることで、各エリアの液体を隣接エリアに順次押し流し、液体の押し流される方向における最も下流側に位置するエリアでは、押し流されてきた液体を基板１００の側方（同図の上方）に順次流し出すようになされている。さらに、移動方向斜め後側の基板角部上に残留することになる液体に対しては、その角部に対応する噴出部１１０の噴出量を増やして完全に吹き飛ばすようになされている。
【０００４】
一方、特許文献２に記載されているものでは、図８の平面図に模式的に示すように、複数（図示する例では、２つ）の噴出部２００を、移動路に斜めに交差する方向に配列した上で、各噴出部２００から移動方向後側（同図の右側）に向かって、つまり、基板２１０の移動方向とは正反対の方向に向かって気体を噴出するようになされている。また、上記の場合と同じく、基板角部上の残留液体に対して噴出部２００の噴出量を増やすことの他、各噴出部２００毎に、基板２１０がエリアに到達したときに気体の噴出を開始する一方、基板２１０がエリアを通過し終えたときに前記噴出を停止することで、基板１枚当りの気体使用量を抑えるようになされている。
【特許文献１】特開２００３−３１５４６号公報（第３頁，図１）
【特許文献２】特開２００３−１６１５７８号公報（第６頁，図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のものの場合には、液体の押し流される方向における下流側の噴出部１１０が、上流側の噴出部１１０の噴出方向後側に位置しており、このために、各噴出部１１０は、単に隣接エリアに押し流すだけでは不十分であって、下流側の噴出部１１０が押し流すことのできる位置、つまり、下流側噴出部１１０の移動方向後側の位置まで液体を押し流す必要があり、その分だけ噴出量を増やさざるを得ず、よって、基板１枚当りの気体使用量を少なくすることは困難である。
【０００６】
一方、特許文献２に記載のものの場合には、各噴出部２００の気体噴出量が同じであっても、基板２１０の移動速度を効率よく利用して噴出力を大きくすることができるというメリットが考えられるものの、各エリアの液体を隣接エリアに押し流す点では不十分であり、最悪の場合には、各エリア内の液体の大部分については、該エリアの噴出部２００のみにより押し流し続けて基板２１０から除去することになる。よって、基板２１０が比較的小さい場合には気体の総消費量を少なくすることができるとしても、基板２１０の長さ寸法が大きくてエリア内の液体の量が多い場合には、その分だけ大きな力で押し流す必要があるために噴出量を増やさざるを得ず、その結果、大形の基板２１０に対しては、気体使用量が増大する虞がある。
【０００７】
本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、基板などの板状ワークの移動路の幅方向に複数の噴出部を配置して板状ワーク上の液体を気体の噴出により押し流して除去するようにしたエアナイフ装置において、噴出部の配列および噴出方向に工夫を加えることで、板状ワークの大形化に対し、気体使用量を少なく抑えることができるようにし、もって、液晶表示装置の液晶表示パネルを大形化する際のコスト削減に寄与できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成すべく、本発明では、複数の噴出部を、板状ワークの移動路を斜めに横断する方向に沿って略直線状に配列するとともに、板状ワークの移動方向斜め後側に向かって気体を噴出するようにし、その上で、各噴出部に対する板状ワークの移動位置に応じて該噴出部の噴出作動を制御するようにした。
【０００９】
具体的には、本発明では、板状ワークを略水平姿勢の状態で移動させる移動手段と、この移動手段による板状ワークの移動路上方に該移動路を斜めに横断する方向に沿って略直線状に並ぶように配列されていて、各々、該斜め横断方向に略直交しかつ板状ワークの移動方向斜め後側の方向に気体を噴出するように設けられた複数の噴出部を有する噴出手段と、前記移動手段による板状ワークの移動位置を検出する検出手段と、この検出手段の検出結果に基づき、前記各噴出部から気体の噴出を受けるエリアにそれぞれ板状ワークが到達したときに該噴出部の噴出が開始する一方、前記各噴出部の前記エリアをそれぞれ板状ワークが通過したときに該噴出部の噴出が停止するように前記噴出手段を制御する制御手段とを備えるようにする。ここで、本発明に係る「エアナイフ装置」の「エア」とは、文字どおりのエアのみならず、気体一般を指すものとする。
【００１０】
尚、上記の構成において、複数の噴出部の具体例としては、移動路を斜めに横断するように配置されたメイン噴出部と、このメイン噴出部の長さ方向両側部分にそれぞれ沿って配置された第１サブ噴出部および第２サブ噴出部とするようにしてもよいし、移動路を斜めに横断する方向に１列に並ぶように配列されているものとするようにしてもよい。
【００１１】
また、噴出手段は、移動路上方の噴出部に加え、移動路の下方に該移動路を横断する方向に延びるように配置されていて、板状ワークの移動方向後側に向かって気体を噴出するように設けられた噴出部を有するものとすることができる。
【００１２】
また、板状ワークが搬入される入口と、該板状ワークが搬出される出口とを有するエアナイフ槽を備えるようにし、そのエアナイフ槽内における噴出部よりも入口側の空間を、該エアナイフ槽内における噴出部よりも出口側の空間に比べて気圧の低い低圧空間とするようにしてもよい。この場合には、エアナイフ槽内における噴出部の位置に、入口側の空間と出口側の空間とを区画する区画壁を設け、入口側空間の気体を外部に排出するための排気部と、出口側空間に気体を供給する給気部とを備えるようにすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、噴出手段の各噴出部を、板状ワークの移動路を斜めに横断する方向に沿って配列するとともに、板状ワークの移動方向斜め後側に向かって気体を噴出するようにし、その上で、板状ワークの移動位置に応じて各噴出部の噴出作動を制御するようにしたので、板状ワークの大形化に対し、気体使用量を少なく抑えることができ、よって、例えば、液晶表示装置の分野においては、液晶表示パネルを大形化する際のコスト削減に寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。
【００１５】
図２は、本発明の実施形態に係るエアナイフ装置の全体構成を模式的に示す側面図であり、このエアナイフ装置は、液晶表示装置のＴＦＴ基板などの電子回路基板について、ウエット処理後に水洗液により水洗処理された基板から前記水洗液を除去して該基板を乾燥させるために用いられる。
【００１６】
本エアナイフ装置は、エアナイフ槽１０を備えており、このエアナイフ槽１０には、該エアナイフ槽１０内に基板ｗを搬入するための入口１０ａと、基板ｗをエアナイフ槽１０から搬出するための出口１０ｂとが設けられている。エアナイフ槽１０内には、入口１０ａを経由して搬入された基板ｗを出口１０ｂに向かって移動させる移動手段としてのローラコンベヤ２０が設けられており、基板Ｗは、このローラコンベヤ２０の載置面上に水平姿勢の状態で載置されて移動するようになっている。
【００１７】
ローラコンベヤ２０の載置面の上方には、各々、スリット状の噴出口からドライエアを噴出する噴出部としての３つのノズル３１ａ〜３１ｃが配置されている。
【００１８】
具体的には、図１の平面図に拡大して示すように、３つのノズル３１ａ〜３１ｃは、１本のメインノズル３１ａと、このメインノズル３１ａの長さ方向両側部分にそれぞれ沿うように配置された第１および第２の２本のサブノズル３１ｂ，３１ｃとされている。メインノズル３１ａは、ローラコンベヤ２０による基板ｗの移動路を斜めに横断する方向に延びるように配置されていて、該斜め横断方向に略直交しかつ基板ｗの移動方向斜め後側の方向（図１の上斜め右側）にエアを噴出するように設けられている。第１サブノズル３１ｂは、メインノズル３１ａの長さ方向両側部分のうち、エアナイフ槽１０の入口１０ａに近い方のメインノズル３１ａ部分（図１の下側部分）の移動方向後側（同図の右側）に該部分に沿うように配置されている。第２サブノズル３１ｃは、メインノズル３１ａの長さ方向両側部分のうち、エアナイフ槽１０の出口１０ｂに近い方のメインノズル３１ａ部分（同図の上側部分）の移動方向前側（同図の左側）に該部分に沿うように配置されている。これら第１および第２サブノズル３１ｂ，３１ｃは、共にメインノズル３１ａと略同じ噴出方向にエアを噴出するように設けられている。尚、同図の白抜きの矢印は、基板ｗの移動方向を示している。
【００１９】
一方、ローラコンベヤ２０の載置面の下方には、下側噴出部としての１本の下側ノズル３２が配置されている。この下側ノズル３２は、メインノズル３１ａに上下方向において正対するように配置されていて、該メインノズル３１ａの場合と同じく、移動路を斜めに横断する方向に延びるように配置されているとともに、該斜め横断方向に略直交しかつ基板ｗの移動方向斜め後側の方向に気体を噴出するように設けられている。
【００２０】
これらノズル３１ａ〜３１ｃ，３２には、それぞれ、エアナイフ槽１０の外部に配置されたエア供給部３３から延びる給気管３４が接続されており、これら給気管３４には、それぞれ、該給気管３４のエア通路を開閉するための第１〜第４バルブ３５ａ〜３５ｄが設けられている。第１バルブ３５ａは、第１サブノズル３１ｂへの給気管３４を開閉するためのものであり、第２バルブ３５ｂは、メインノズル３１ａへの給気管３４を開閉するためのものであり、第３バルブ３５ｃは、第２サブノズル３１ｃへの給気管３４を開閉するためのものであり、第４バルブ３５ｄは、下側ノズル３２への給気管３４を開閉するためのものである。これらノズル３１ａ〜３１ｃ，３２と、エア供給部３３と、給気管３４と、第１〜第４バルブ３５ａ〜３５ｄとにより、噴出手段としての噴出機構３０が構成されている。
【００２１】
エアナイフ槽１０の上壁における出口１０ｂ側の部位には、該エアナイフ槽１０内に外気を導入するための外気導入部１１が設けられている。この外気導入部１１には、導入される外気を濾過してクリーンにするためのＨＥＰＡフィルタ１２が配置されている。一方、エアナイフ槽１０の底壁における入口１０ａ側の部位には、該エアナイフ槽１０内の気体を外部に排出するための排気部１３が設けられている。この排気部１３には、エアナイフ槽１０内の気体を外部に送り出す図外の排気ファンが配置されている。この排気ファンの排気量（排気能力）は、ノズル３１ａ〜３１ｃ，３２の最大噴出量に外気導入量を加算した値よりも大きくされている。これにより、エアナイフ槽１０内に、出口１０ｂ側上方から入口１０ａ側下方に向かう気流を形成し、基板ｗから除去された洗浄液のミストを基板ｗに再付着させないように前記気流に乗せて強制的に排出するようになっている。また、エアナイフ槽１０内には、ノズル３１ａ〜３１ｃ，３２の配置されている位置において該エアナイフ槽１０内の空間を入口１０ａ側と出口１０ｂ側とに大まかに仕切るように仕切壁１４が設けられていて、この仕切壁１４により入口１０ａ側の空間を出口１０ｂ側の空間よりも気圧の低い低圧空間に形成するようになされており、これにより、入口１０ａ側の空間のミストが出口１０ｂ側の空間に流入して基板ｗに再付着するのを抑えるようになっている。
【００２２】
さらに、エアナイフ槽１０内には、図３の平面図に示すように、各々、ローラコンベヤ２０上における基板ｗの移動位置を検出する第１〜第６の６つのセンサ４０ａ〜４０ｆが配置されている。これら第１〜第６センサ４０ａ〜４０ｆの出力信号は、エアナイフ槽１０の外部に配置された制御手段としての制御部５０に入力されるようになっている。この制御部５０では、第１〜第６センサ４０ａ〜４０ｆからの各検出信号に基づき、対応する第１〜第４バルブ３５ａ〜３５ｄの開閉を制御するようになされている。
【００２３】
第１〜第６の６つのセンサ４０ａ〜４０ｆのうち、第１〜第３の３つのセンサ４０ａ〜４０ｃは噴出開始用のものであり、第１センサ４０ａは、基板ｗが該基板ｗ上の水を第１サブノズル３１ｂの噴出エアにより押し流されるエリアに到達したときに、その基板ｗの移動方向前端部分を検出してＯＮ信号を出力するように設けられている。第２センサ４０ｂは、基板ｗが該基板ｗ上の水をメインノズル３１ａの噴出エアにより押し流されるエリアに到達したときに、その基板ｗの移動方向前端部分を検出してＯＮ信号を出力するようになされている。第３センサ４０ｃは、基板ｗが該基板ｗ上の水を第２サブノズル３１ｃの噴出エアにより押し流されるエリアに到達したときに、その基板ｗの移動方向前端部分を検出してＯＮ信号を出力するように設けられている。
【００２４】
一方、残りの第４〜第６センサ４０ｄ〜４０ｆは、噴出停止用のものである。第４センサ４０ｄは、基板ｗが第１サブノズル３１ｂの前記エリアを通過し終えたときに、その基板ｗの移動方向前端部分を検出してＯＮ信号を出力するように設けられている。第５センサ４０ｅは、基板ｗがメインノズル３１ａの前記エリアを通過し終えたときに、その基板ｗの移動方向前端部分を検出してＯＮ信号を出力するように設けられている。第６センサ４０ｆは、基板ｗが第２サブノズルの前記エアを通過し終えたときに、その基板ｗの移動方向前端部分を検出してＯＮ信号を出力するように設けられている。尚、図１および図２では、第４〜第６センサ４０ｄ〜４０ｆについては、図示を省略している。
【００２５】
そして、次表１に示すように、制御部５０では、第１センサ４０ａのＯＮ信号が入力されたときには、第１バルブ３５ａを開弁するための制御信号を出力して第１サブノズル３１ｂへのエアの供給を開始し、一方、第４センサ４０ｄからのＯＮ信号が入力されたときには、第１バルブ３５ａを閉弁するための制御信号を出力して第１サブノズル３１ｂへのエアの供給を停止するようになされている。尚、同表のノズルの「噴出／停止」を示す欄において、二重線の下線を付した「噴出」は噴出の開始を、また他の「噴出」は噴出の継続をそれぞれ意味する。
【００２６】
【表１】
2006015305.tif 000003
【００２７】
また、第２センサ４０ｂのＯＮ信号が入力されたときには、第２バルブ３５ｂを開弁するための制御信号を出力してメインノズル３１ａへのエアの供給を開始し、一方、第５センサ４０ｅからのＯＮ信号が入力されたときには、第２バルブ３５ｂを閉弁するための制御信号を出力してメインノズル３１ａへのエアの供給を停止するようになされている。
【００２８】
また、第３センサ４０ｃのＯＮ信号が入力されたときには、第３バルブ３５ｃを開弁するための制御信号を出力して第２サブノズル３１ｂへのエアの供給を開始し、一方、第６センサ４０ｆのＯＮ信号が入力されたときには、第３バルブ３５ｃを閉弁するための制御信号を出力して第２サブノズル３１ｂへのエアの供給を停止するようになされている。
【００２９】
本実施形態では、エアノズル３１ａ〜３１ｃ間における噴出量の比率は、第１サブノズル：メインノズル：第２サブノズル＝１：２：１とされている。尚、下側ノズル３２については、例えば第１センサ４０ａのＯＮ信号によりエアの供給を開始する一方、第６センサ４０ｆのＯＮ信号により前記供給を停止するようになされている。
【００３０】
次に、上記のように構成されたエアナイフ装置の作動を、図３の平面図に基づいて段階的に説明する。尚、ここでは、下側ノズル３２の作動の説明は省略する。
【００３１】
本エアナイフ装置のエアナイフ槽１０内に入口１０ａを経由して搬入された基板ｗは、該エアナイフ槽１０内において、ローラコンベヤ２０により入口１０ａから出口１０ｂに向かう移動路上を移動する。
【００３２】
図３（ａ）に示すように、基板ｗがその移動方向前端部分（同図の左端部分）を第１センサ４０ａにより検出される位置に達すると、この第１センサ４０ａはＯＮ信号を出力する。制御部５０では、第１センサ４０ａのＯＮ信号を受けて、第１バルブ３５ａを開弁するための制御信号を出力する。これにより、先ず、第１サブノズル３１ｂによるエアの噴出が開始される。
【００３３】
次に、図３（ｂ）に示すように、基板ｗがその移動方向前端部分を第２センサ４０ｂにより検出される位置に達すると、この第２センサ４０ｂはＯＮ信号を出力する。制御部５０では、第２センサ４０ｂのＯＮ信号を受けて、第２バルブ３５ｂを開弁するための制御信号を出力する。これにより、第１サブノズル３１ｂに続き、メインノズル３１ａによるエアの噴出が開始される。
【００３４】
そして、図３（ｃ）に示すように、基板ｗがその移動方向前端部分を第３センサ４０ｃにより検出される位置に達すると、この第３センサ４０ｃはＯＮ信号を出力する。制御部５０では、第３センサ４０ｃのＯＮ信号を受けて、第３バルブ３５ｃを開弁するための制御信号を出力する。これにより、第１サブノズル３１ｂおよびメインノズル３１ａに続き、第２サブノズル３１ｃによるエアの噴出が開始される。
【００３５】
その後、図３（ｄ）に示すように、基板ｗがその移動方向前端部分を第４センサ４０ｄにより検出される位置に達すると、この第４センサ４０ｄはＯＮ信号を出力する。制御部５０では、第４センサ４０ｄのＯＮ信号を受けて、第１バルブ３５ａを閉弁するための制御信号を出力する。これにより、先ず、第１サブノズル３１ｂによるエアの噴出が停止される。
【００３６】
次に、図３（ｅ）に示すように、基板ｗがその移動方向前端部分を第５センサ４０ｅにより検出される位置に達すると、この第５センサ４０ｅはＯＮ信号を出力する。制御部５０では、第５センサ４０ｅのＯＮ信号を受けて、第２バルブ３５ｂを閉弁するための制御信号を出力する。これにより、第１サブノズル３１ｂに続き、メインノズル３１ａによるエアの噴出が停止される。
【００３７】
そして、図３（ｆ）に示すように、基板ｗがその移動方向前端部分を第６センサ４０ｆにより検出される位置に達すると、この第６センサ４０ｆはＯＮ信号を出力する。制御部５０では、第６センサ４０ｆのＯＮ信号を受けて、第３バルブ３５ｃを閉弁するための制御信号を出力する。これにより、第１サブノズル３１ｂおよびメインノズル３１ａに続き、第２サブノズル３１ｃによるエアの噴出が停止される。
【００３８】
以上のようにして、洗浄液の除去された基板ｗは、エアナイフ槽１０の出口１０ｂまで移動し、その出口１０ｂを経由してエアナイフ槽１０から搬出されることとなる。
【００３９】
ところで、基板ｗの幅寸法の拡大に対しては、噴出幅を大きくして対応することが必須であるが、基板ｗの長さ寸法の拡大に対しては、従来の場合には、「発明が解決しようとする課題」の項で説明したように、単位幅当りの噴出量や噴出圧の増加により対応せざるを得ない。しかしながら、その場合には、エア使用量が増大するので、コストアップとなる。また、噴出量などが増大すると、エアナイフ槽１０内の気流制御が難しくなるという問題もある。特に、基板ｗの移動方向終端部近傍では、乱流が発生すると、液滴が基板から離れにくくなって残留したり、離れた液滴やミストが再付着しやすくなるが、そのような乱流を制御する対策が困難になる。さらに、基板ｗ上の微細な部位を乾燥させるには、液膜をその液膜状態を維持したままで移動させて基板ｗの外へ押し流すことが必要であり、この押し流す力は、液膜の断面に作用するものであるが、液膜の厚さ（数ｍｍ程度）は、基板ｗが長くなって各エリア毎の液量が多くなっても殆ど変化しないことから、単位幅当りの噴出量などを大きくするのは、その分だけ効率を低下させることになる。
【００４０】
これに対し、本実施形態では、基板ｗの長さ方向に対し斜めの方向にエアを噴出して各エリアの洗浄液を隣接エリアに順次押し流すようにし、その押流し方向において最も下流側エリアでは、洗浄液を基板側方に順次押し出してしまうので、基板長さ寸法が拡大しても、単位幅当りの噴出量ないし噴出圧を大きくしなくても済み、よって、小形基板の場合と同程度の噴出効率を維持しつつ、大形基板の液切りを行うことができる。
【００４１】
ここで、上記のエアナイフ装置により略２×２ｍ角の大形基板ｗを乾燥させる場合に必要なエア使用量を調べるために行ったシミュレーションについて説明する。
【００４２】
先ず、メインノズル３１ａの噴出量は１７００Ｌ／分（Ｌ：リットル），第１および第２の各サブノズル３１ｂ，３１ｃの各噴出量は共に８００Ｌ／分とし、一方、第１〜第６センサ４０ａ〜４０ｆについては、第１センサ４０ａの位置から基板ｗの移動方向に向かって７０ｃｍ，１５０ｃｍ，３１０ｃｍ，３４０ｃｍおよび３７０ｃｍの各位置にそれぞれ第２〜第６センサ４０ｂ〜４０ｆを配置した上で、ローラコンベヤ２０による基板ｗの移動速度を５００ｃｍ／分とした。
【００４３】
よって、第１センサ４０ａがＯＮ信号を出力した後、第２〜第６センサ４０ｂ〜４０ｆがそれぞれＯＮ信号を出力するのは、次表２に示すように、第２センサ４０ｂでは、８．４秒（＝７０×６０／５００）後であり、第３センサ４０ｃでは、１８．０秒（＝１５×６０／５００）後であり、第４センサ４０ｄでは、３７．２秒（３１０×６０／５００）後であり、第５センサ４０ｅでは、４０．８秒（＝３４０×６０／５００）後であり、第６センサ４０ｆでは、４４．４秒（＝３７０×６０／５００）後である。
【００４４】
【表２】
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【００４５】
以上の結果、次表３に示すように、第１サブノズル３１ｂ，メインノズル３１ａおよび第２サブノズル３１ｃの大形基板１枚当りの各噴出時間（Ｌ／枚）は、それぞれ、３７．２秒／枚（＝３７．２−０．０），３２．４秒／枚（＝４０．８−８．４）および２６．４秒／枚（＝４４．４−１８．０）となる。よって、第１サブノズル３１ｂ，メインノズル３１ａおよび第２サブノズル３１ｃの大形基板１枚当りの各噴出量（Ｌ／枚）は、それぞれ、４９６Ｌ／枚（＝８００×３７．２／６０），９１８Ｌ／枚（＝１７００×３２．４／６０）および３５２Ｌ／枚（＝８００×２６．４／６０）であるので、１枚の大形基板ｗを乾燥させるのに必要なエア使用量の合計は、１７６６Ｌ／枚（＝４９６＋９１８＋３５２）となる。この値は、本発明者が行っている現状のエア使用量（３３００Ｌ／枚）の６０％以下であり、よって、エア使用量を４０％以上削減できることが判る。因みに、上側ノズルが１つ（メインノズルのみ）であるエアナイフ装置の場合には、略１×１ｍ角の小形基板の液切りを行うには略１０００Ｌ／枚のエアが必要であるので、上記の大形基板では、単純に計算して４０００Ｌ／枚のエアが必要であることになるが、これと比較すると、本実施形態の場合には、エア使用量は、半分以下で済むことになる。
【００４６】
【表３】
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【００４７】
したがって、本実施形態によれば、基板移動路上方の３本のノズル３１ａ〜３１ｃを、移動路を斜めに横断する方向に沿って配列するとともに、基板ｗの移動方向斜め後側に向かってドライエアを噴出するようにし、その上で、基板ｗの移動位置に応じて各ノズル３１ａ〜３１ｃの噴出作動を制御するようにしたので、エア使用量の増大を抑えつつ、基板の大形化に対応することができ、この結果、液晶表示装置のＴＦＴアレイ基板の製造工程において、液晶表示パネルを大形化する際の製造コストの低減に寄与することができる。
【００４８】
尚、上記の実施形態では、各ノズル３１ａ〜３１ｃのエリアを基板ｗが通過し終えたことを、それぞれ、第４〜第６センサ４０ｄ〜４０ｆで検出するようにしているが、各エリアに基板ｗが到達した時点からの経過時間に基づいて判定するようにしてもよく、さらには、エアナイフ槽１０の入口１０ａ側に１つだけ位置センサを設け、基板ｗがその位置センサにより検出された時点から各ノズル３１ａ〜３１ｃのエリアに到達する時点および通過し終える時点までに要する各時間に基づいて、各ノズル３１ａ〜３１ｃのエア噴出作動を制御するようにすることもできる。
【００４９】
また、上記の実施形態では、噴出部を、移動路を斜めに横断する方向に延びるように配置されたメインノズル３１ａと、このメインノズル３１ａの長さ方向両側部分にそれぞれ沿うように配置された第１および第２の２つのサブノズル３１ｂ，３１ｃとする際に、第１サブノズル３１ｂをメインノズル３１ａの移動方向後側（図１の右側）に、また、第２サブノズル３１ｃをメインノズル３１ａの移動方向前側（同図の左側）にそれぞれ配置するようにしているが、これとは逆に、図４の平面図に示す変形例１のように、第１サブノズル３１ｂをメインノズル３１ａの移動方向前側（同図の左側）に、また、第２サブノズル３１ｃをメインノズル３１ａの移動方向後側（同図の右側）に配置するようにしてもよい。
【００５０】
また、上記の実施形態では、噴出部を、移動路を斜めに横断する方向に延びるように配置された１本のメインノズル３１ａと、このメインノズル３１ａの長さ方向両側部分にそれぞれ沿うように配置された第１および第２の２本のサブノズル３１ｂ，３１ｃとするようにしているが、図５の平面図に示す変形例２や、図６の同じく平面図に示す変形例３のように、互いに略同じ長さの複数（各図に示す例では、３本）のエアノズル３１ｄとし、これらを、移動路を斜めに横断する方向に配列させるようにしてもよい。
【００５１】
また、上記の実施形態では、噴出部を、スリット状の噴出口を有するものとし、その数を３本とするようにしているが、噴出部は、噴出口を含めた形状や大きさないし配置のみならず、数についても特に限定されるものではない。
【００５２】
さらに、上記の実施形態では、液晶表示装置の製造過程における洗浄処理後のＴＦＴ基板に対する液切りの場合について説明しているが、本発明は、板状ワークを対象とする種々のエアナイフ装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態に係るエアナイフ装置の要部を示す平面図である。
【図２】エアナイフ装置の全体構成を模式的に示す側面図である。
【図３】エアナイフ装置の作動を段階的に示す平面図である。
【図４】変形例１におけるエアノズルを示す図３相当図である。
【図５】変形例２におけるエアノズルを示す図３相当図である。
【図６】変形例３におけるエアノズルを示す図３相当図である。
【図７】従来（特許文献１）のエアナイフ装置の要部を模式的に示す図１相当図である。
【図８】従来（特許文献２）のエアナイフ装置の要部を模式的に示す図１相当図である。
【符号の説明】
【００５４】
１０  エアナイフ槽
１０ａ  入口
１０ｂ  出口
１１  外気導入部（給気部）
１３  排気部
１４  仕切壁
２０  ローラコンベヤ（移動手段）
３０  噴出機構（噴出手段）
３１ａ  メインノズル（メイン噴出部）
３１ｂ  第１サブノズル（第１サブ噴出部）
３１ｃ  第２サブノズル（第２サブ噴出部）
３１ｄ  エアノズル（噴出部）
３２  下側ノズル（下側噴出部）
４０ａ  第１センサ（検出手段）
４０ｂ  第２センサ（検出手段）
４０ｃ  第３センサ（検出手段）
４０ｄ  第４センサ（検出手段）
４０ｅ  第５センサ（検出手段）
４０ｆ  第６センサ（検出手段）
５０  制御部（制御手段）
ｗ  ＴＦＴ基板（板状ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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