(57)【要約】【課題】必要とするクリーンルームの天井高さを低階高で簡易に得ることができるクリーンルームを提供する。【解決手段】室内１０の空気を吸込んで清浄処理した空気を同室内１０に吹出して循環させる空気清浄装置１を梁１４の間に吊設し、この空気清浄装置１を吊設していない梁１４の間のふところに諸設備を収容する有用スペース４を設ける。このため、従来設けていたダクトなどを要さないため、クリーンルームの必要天井高さを低階高の建物に簡易に得ることができる。さらに、梁１４の間のふところに諸設備を収容する有用スペース４を設けたことによって、諸設備をクリーンルームの室内１０に表出しない。このため、諸設備への塵埃溜まりを抑えるので、清掃が容易であり、かつ、クリーンルームの室内１０における塵埃溜まりを防止して清浄度を維持することができる。また、諸設備をクリーンルームの室内１０に表出しないため、室内１０の景観を損なわない。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内の空気を吸込んで清浄処理した空気を同室内に吹出して循環させる空気清浄装置を前記室内の梁間に吊設し、前記空気清浄装置を吊設していない梁間に諸設備を収容する有用スペースを設けたことを特徴とするクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、階高を低く抑えたクリーンルームに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のクリーンルームは、天井に設けたサプライチャンバーにフレームを介して多数のＦＦＵ（Ｆａｎ  Ｆｉｌｔｅｒ  Ｕｎｉｔ）を設置してある。床にはレタンチャンバーが設けてあり、側部にはサプライチャンバーとレタンチャンバーとの間に通じるレタンダクトが設けてある。そして、ＦＦＵによって上方から床に向けて清浄室内に清浄空気を供給し、レタンチャンバー、レタンダクトおよびサプライチャンバーを介して空気を循環させている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平５−２９６５１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のクリーンルームでは、天井において、ＦＦＵに空気を戻すための天井チャンバーを設けてあり、この天井チャンバーによって梁下から所定間隔を必要とする。このため、所望とするクリーンルームの天井高さを得ようとした場合に、建物階高を要するという問題がある。例えば、既存建物に隣接して新たに建築する建物に従来のクリーンルームを構築する場合では、上記のごとく建物階高を要するため、既存建物に対して階高差が生じ、既存建物との間にスロープや階段を設けたり、搬送用昇降機などが必要になるため、使い勝手が悪くなり、かつ、コスト増に繋がってしまう。
【０００５】
本発明は、上記実情に鑑みて、必要とするクリーンルームの天井高さを低階高で簡易に得ることができるクリーンルームを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明の請求項１に係るクリーンルームは、室内の空気を吸込んで清浄処理した空気を同室内に吹出して循環させる空気清浄装置を前記室内の梁間に吊設し、前記空気清浄装置を吊設していない梁間に諸設備を収容する有用スペースを設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係るクリーンルームは、空気清浄装置を梁間に吊設し、空気清浄装置１を吊設していない梁間のふところに諸設備を収容する有用スペースを設けた。このため、従来設けていたダクトなどを要さないため、クリーンルームの必要天井高さを低階高の建物に簡易に得ることができる。すなわち、本発明に係るクリーンルームでは、例えば、既存建物に隣接して新たに建築する建物に対してクリーンルームを構築する場合に、既存建物と同階高の建物とすることが可能なため、既存建物との間にスロープや階段を設けたり、搬送用昇降機などを設ける必要がないため、使い勝手が良く、かつ、コストを低減することができる。さらに、本発明に係るクリーンルームでは、梁間のふところに諸設備を収容する有用スペースを設けたことによって、諸設備をクリーンルームの室内に表出しない。このため、諸設備への塵埃溜まりを抑えるので、清掃が容易であり、かつ、クリーンルームの室内における塵埃溜まりを防止して清浄度を維持することができる。また、諸設備をクリーンルームの室内に表出しないため、室内の景観を損なわない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に添付図面を参照して、本発明に係るクリーンルームの好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【０００９】
図１は本発明に係るクリーンルームの実施の形態を示す斜視図、図２は図１に示すクリーンルームの平面図、図３は空気清浄装置を示す概念図、図４は空気清浄装置の吹出し距離と風速との関係を示す図、図５は図１に示すクリーンルームの正面図である。
【００１０】
図１および図２に示すように、本実施の形態におけるクリーンルームは、床１１、天井１２および周壁１３で囲まれた室内１０の上部に空気清浄装置１を配置してある。空気清浄装置１は、ＦＦＵ（Ｆａｎ  Ｆｉｌｔｅｒ  Ｕｎｉｔ）であり室内１０の空気を吸込んで清浄処理した空気を室内１０に吹出す。具体的に空気清浄装置１は、箱形のケーシングの天部を吸込口として当該吸込口にファン（図示せず）を配置してあり、底部を吹出口として当該吹出口にフィルタ（図示せず）を配置してある。フィルタとしては、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ）フィルタがある。この空気清浄装置１は、天井１２にある梁１４の間に設置してあり、吊りボルトやワイヤなどの吊下部材２によって天井１２から適宜間隔をおいて吊り下げた状態にして吊設してある。すなわち、空気清浄装置１は、ファンを稼働して天部の吸込口から室内１０の空気を吸込んで、フィルタで清浄処理した空気を底部の吹出口から室内１０に吹出して空気を循環させる。なお、空気清浄装置１を配置した梁１４の間には、当該空気清浄装置１とともに照明３が吊下部材２によって天井１２から吊り下げた状態にして吊設してある。
【００１１】
図３に示すように空気清浄装置１は、底部の吹出口の位置にフェイスを設けてある。フェイスは、吹出口の周囲に設けた遮風板１ａと、吹出口の中央に設けたパンチングパネル１ｂとからなる。このフェイスは、図４に示すように空気清浄装置１が吹出す気流の速度（風速）を吹出口中央からの距離に対して一定にする。このため、室内１０の床１１の塵埃の巻き上げを防ぐことができる。
【００１２】
また、本実施の形態におけるクリーンルームは、梁１４の間に空気清浄装置１を吊設していない部位とし、当該梁１４の間のふところに有用スペース４を設置してある。この有用スペース４は、少なくとも２つの梁１４の下を跨ぐようにして覆蓋４１を設けることによって、当該覆蓋４１、天井１２および各梁１４の間に画成してある。上記有用スペース４の内部には、空気清浄装置１への電源供給用のケーブルや、圧空配管などを配置するラック５が、吊りボルトやワイヤなどの吊下部材２によって天井１２から吊り下げた状態にして吊設してある。その他、有用スペース４には、上記照明３など諸設備が収容してある。なお、図２に示すように覆蓋４１には、電源コンセントや配管接続口を有する接続部４１ａが設けてあって、空気清浄装置１などの接続を容易にしてある。なお、図２に示すように上記クリーンルームには、室内１０に外気を取り入れる換気管６が設けてある。
【００１３】
図５に示すように空気清浄装置１におけるケーシングの底部と、有用スペース４の底部をなす覆蓋４１とは、ほぼ同じ高さとなるように配置してある。すなわち、空気清浄装置１の底部および有用スペース４の底部と、床１１との間隔がクリーンルームの必要天井高さＨとなる。そして、建物１００の各階の階高に応じて、空気清浄装置１の底部および有用スペース４の底部の位置を決めることで必要天井高さＨを設定できる。
【００１４】
一方、図６は従来のクリーンルームを例示した正面図である。なお、図６では、建物１００の各階の階高を、図５に示す建物１００と同じくして示してある。図６に示すように従来のクリーンルームは、システム天井１５を設け、このシステム天井１５と梁１４の下との間に、空気清浄装置１に接続するダクト１６を設けてある。この従来のクリーンルームでは、システム天井１５と床１１との間隔がクリーンルームの天井高さｈとなる。しかし、従来のクリーンルームの天井高さｈでは、システム天井１５およびダクト１６を設けたことによって上記必要天井高さＨに満たない。すなわち、従来のクリーンルームを構築するには、建物１００の階高を高くしなければならないことになる。
【００１５】
このように、上述したクリーンルームでは、室内１０の空気を吸込んで清浄処理した空気を同室内１０に吹出して循環させる空気清浄装置１を梁１４の間に吊設し、この空気清浄装置１を吊設していない梁１４の間のふところに諸設備を収容する有用スペース４を設けた。このため、従来設けていたダクト１６などを要さないため、クリーンルームの必要天井高さＨを低階高の建物に簡易に得ることが可能になる。すなわち、上述したクリーンルームでは、例えば、既存建物に隣接して新たに建築する建物に対してクリーンルームを構築する場合に、既存建物と同階高の建物とすることが可能なため、既存建物との間にスロープや階段を設けたり、搬送用昇降機などを設ける必要がないため、使い勝手が良く、かつ、コストを低減することが可能になる。また、上述したクリーンルームでは、空気清浄装置１が室内１０の空気を吸込んで清浄処理した空気を同室内１０に吹出して循環させるため、ダクト１６などを設けた従来のクリーンルームと比較して空気搬送動力が低減できるのでランニングコストを低減することが可能になる。
【００１６】
さらに、上述したクリーンルームでは、梁１４の間のふところに諸設備を収容する有用スペース４を設けたことによって、諸設備をクリーンルームの室内１０に表出しない。このため、諸設備への塵埃溜まりを抑えるので、清掃が容易であり、かつ、クリーンルームの室内１０における塵埃溜まりを防止して清浄度を維持することが可能になる。また、諸設備をクリーンルームの室内１０に表出しないため、室内１０の景観を損なわない。
【００１７】
ところで、上記クリーンルームの空調負荷に関しては、図７に示すように梁１４の間のふところにおいて、空気清浄装置１とともに当該空気清浄装置１よりも上位置に熱交換装置７を配置する。熱交換装置７は、ＦＣＵ（Ｆａｎ  Ｃｏｉｌ  Ｕｎｉｔ）であり、室内１０の空気を吸込んで冷房負荷を処理した空気を空気清浄装置１の天部の吸込口に向けて吹出す。すなわち、空気清浄装置１が吹出した空気は、室内１０の床１１に到達した後、室内１０の上部に向けて対流する。熱交換装置７は、空気清浄装置１が吹出して室内１０の上部に対流した空気を吸込んで、冷房負荷を処理した空気を空気清浄装置１に向けて吹出す。このように、熱交換装置７で処理された空気を空気清浄装置１で処理し、２つの処理が行われた空気が室内１０に吹出されるとともに室内１０を循環する。なお、図７においては、空気清浄装置１の真上に熱交換装置７を配置してあるように示してあるが、熱交換装置７を空気清浄装置１の真上に設置する必要はなく、熱交換装置７を空気清浄装置１の側部上位置に配置して、当該熱交換装置７によって室内１０の空気を吸込んで冷房負荷を処理した空気を空気清浄装置１の天部の吸込口に向けて吹出すようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係るクリーンルームの実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すクリーンルームの平面図である。
【図３】空気清浄装置を示す概念図である。
【図４】空気清浄装置の吹出し距離と風速との関係を示す図である。
【図５】図１に示すクリーンルームの正面図である。
【図６】従来のクリーンルームを例示した正面図である。
【図７】熱交換装置を配置したクリーンルームの正面図である。
【符号の説明】
【００１９】
１    空気清浄装置
１ａ    遮風板
１ｂ    パンチングパネル
２    吊下部材
３    照明
４    有用スペース
４１    覆蓋
４１ａ    接続部
５    ラック
６    換気管
７    熱交換装置
１０    室内
１１    床
１２    天井
１３    周壁
１４    梁
１５    システム天井
１６    ダクト
１００    建物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2006292220.tif 000006
【図５】
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【図６】
2006292220.tif 000008
【図７】
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