(57)【要約】      （修正有）【課題】真空中で塗膜される基板上でマスクを容易に配設、除去および位置決めするためのプロセス」および装置を提供する。【解決手段】基板キャリア（２）上に基板（３）を供給し、第１の移動装置によっていくつかの座標内で移動可能な保持部材（８）上の電磁石（７）によってマスク（６）を保持し、マスク（６）と基板（３）の、特に横方向の相互の位置を検出し、マスク（６）を基板とほぼ平行に移動するように互いに位置調整し、第１の移動装置によって保持部材（８）をマスクがほぼ基板に垂直に移動するように移動させ、かつ／または第２の移動装置、特に持ち上げ装置によって基板キャリア（２）をマスク（６）方向に移動させることによってマスクを基板に密着させ、電磁石（７）を不作動化し、基板キャリアの磁石（４）によって基板（３）上のマスク（６）を保持することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗膜処理される基板上でマスクを配設／取り除き、位置合わせする方法、特にスクリーンやディスプレー等のような大面積を持った基板上に有機エレクトロルミネッセンス物質（ＯＬＥＤ）を微細構造化するための、塗膜される基板が真空塗膜チャンバーに移動することを伴う方法において、
基板受け入れ領域の周縁に磁石（４）が後側面に設けられた基板キャリア（２）上に基板（３）を供給し、第１の移動装置によっていくつかの座標内で移動可能な保持機構（８）上の電磁石（７）によってマスク（６）を保持し、マスク（６）と基板（３）の相互の位置を検出し、基板（３）とマスク（６）を互いに位置調整し、すなわち、位置の違いが明確になった場合に該マスク（６）を該基板に対して移動させるように第１の移動装置を作動させ、該第１の移動装置によって該保持機構（８）を該マスクがほぼ該基板に垂直に移動するように移動させ、かつ／または第２の移動装置の移動によって該基板キャリア（２）を該マスク方向に移動させることによって該マスクを該基板に付着させ、該電磁石（７）を不作動化し、該基板キャリアの該磁石（４）によって該基板（３）上の該マスク（６）を保持することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記基板キャリアと前記保持機構の前記磁石に対応する磁気エッジまたはフレームを有するマスク（６）が用いられていることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記基板上の前記マスクの位置が、監視装置、特に一つ以上、好ましくは２個のＣＣＤカメラ（１５）によって自動的に検出されることを特徴とする請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
前記マスクの位置調整が独立した直線動および／または回転動によって進行することを特徴とする上記いずれかの請求項記載の方法。
【請求項５】
前期基板位置への前記マスクの配設が、前記保持機構（８）および／または第２の移動装置（１８）、特に１つ以上のスピンドル駆動装置によって進行することを特徴とする上記いずれかの請求項記載の方法。
【請求項６】
前記基板（３）が、強く保持されたマスク（６）に後方から近づけられることを特徴とする上記いずれかの請求項記載の方法。
【請求項７】
相対的位置の検出が水平位置の検出であり、かつ／またはマスクと基板の位置調整が前記基板に対する前記マスクのほぼ平行移動によって進行することを特徴とする上記いずれかの請求項記載の方法。
【請求項８】
塗膜処理される基板上でマスクを配設／取り除き、位置合わせする装置、特にスクリーンやディスプレー等のような大面積を持った基板上に有機エレクトロルミネッセンス物質（ＯＬＥＤ）を微細構造化するための装置であって、塗膜処理される該基板（３）に対して磁気的に保持されるマスクと、該マスクをピックアップし付着させるための保持機構と、該基板に対して該保持機構を移動させる第１の移動装置を有する装置において、
該保持機構は、中央部から離れた周縁で互いに隙間を置いたオンオフ可能な電磁石（７）を備え、該基板およびマスクの平面に垂直に該基板（３）を該保持機構の方に移動させることができる第２の移動装置を有することを特徴とする装置。
【請求項９】
前記第１および／または第２の移動装置は、前記保持機構または前記マスクを前記基板の方向に、またはその方向から、かつ／またはその逆も同様に、移動させるためスピンドル駆動装置（１７）を有することを特徴とする請求項８記載の装置。
【請求項１０】
前記第１の移動装置は、前記保持機構（８）または前記マスク（６）の水平位置調整のために独立した２つのリニア駆動装置（１２，１６）および／または少なくとも１つのロータリー駆動装置（１４）を有することを特徴とする請求項８および９いずれかの装置。
【請求項１１】
特に、前記マスクを前期基板に位置合わせするための監視および制御装置、好ましくは１つ以上、特に２台のＣＣＤカメラ（１７）、を有することを特徴とする請求項８から１０のいずれかの装置。
【請求項１２】
前記装置は、特に、前記装置が真空容器内に設けられるように、特にチャンバー壁の位置に取り付け壁（１）を設けたことを特徴とする請求項８から１１のいずれかの装置。
【請求項１３】
前記基板を保持し、また塗膜装置を通して前記基板を移送するための基板キャリア（２）が、前記保持機構に対して予め定めた移送位置に配置されるような基板キャリア保持位置が与えられていることを特徴とする請求項８から１２のいずれかの装置。
【請求項１４】
前記磁石（４）を有する前記基板キャリアが前記保持機構の前記電磁石（７）の反対側に来て、特に互いの位置が一致するように、前記基板キャリアの保持位置が構成されることを特徴とする請求項１３の装置。
【請求項１５】
前記基板キャリアの前記磁石（４）および前記保持機構の前記電磁石（７）は、前記電磁石のオンオフによって、前記マスクと前記基板キャリアを付着、取り除きを行ったり、また前記基板キャリア上に前記マスクを強く保持することが可能なように互いに調整されることを特徴とする請求項８から１４のいずれかの装置。
【請求項１６】
前記保持機構は保持板（８）または、矩形、多角形もしくは環状の保持フレームを有し、それらの一方の側には前記電磁石を有し、その反対側には前記第１の移動装置を動かすための駆動装置を備えることを特徴とする請求項８から１５のいずれかの装置。
【請求項１７】
前記基板キャリアの前記磁石（４）は、互いに等間隔で配置されていることを特徴とする請求項８から１６のいずれかの装置。
【請求項１８】
前記第２の移動装置（１８）は、前記基板キャリア（２）を開放可能に把持する少なくとも１つの結合具（１１）を有することを特徴とする請求項８から１７のいずれかの装置。
【請求項１９】
前記第２の移動装置（１８）は、いくつかの、好ましくは４個の移動装置、特に持ち上げ装置、を有することを特徴とする請求項８から１８のいずれかの装置。
【請求項２０】
前記装置が、請求項１から７のいずれかに記載の方法を実施するように出来ていることを特徴とする請求項８から１９のいずれかの装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空中で塗膜される基板上でマスクを配設／除去および位置決めをするためのプロセスおよび装置、特に、好適にはスクリーンやディスプレーなどの広い面積を持った有機エレクトロルミネッセンス物質（ＯＬＥＤ）を微細構造化するためのプロセスおよび装置に関わる。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス物質（ＯＬＥＤ）の発光特性を用いた、いわゆるＯＬＥＤディスプレーやスクリーンの製造においては、エレクトロルミネッセンス構造が対応する電極層によって作用され、発光が励起されるように、ガラスのような透明基板上に、相当する微細構造を持ったエレクトロルミネッセンス物質を塗布することが必要である。
【０００３】
微細構造を持ったエレクトロルミネッセンス物質は通常真空塗膜処理によって塗布され、微細構造は通常対応するシャドウマスクによって生成される。これらのマスクは適切な方法で基板上に配設され、相当する塗膜チャンバーのなかを基板に添って移動させられ、それが可能である洗浄の後、再使用するため再度取り出される。
【０００４】
微細構造の寸法微細化のために、マスクの非常に正確な位置決めが必須である。特に、いわゆるＲＧＢディスプレーの製造では、ディスプレーの色彩表示のために赤、緑、青のピクセル域がお互いに近接して生成されなければならない。加えて、真空塗膜のプロセスは高度の純度を必要とし、マスクを取り扱う装置はいかなる不要な粒子も発生しないことが保証されなければならない。
【０００５】
先行技術（ＤＥ２９７０７６８６Ｕ１）によって、箔膜マスクのための磁力保持装置が知られている。そこでは、箔膜マスクが位置決めピンによって基板保持材上に配置され、そのマスクの上に塗膜される基板が置かれる。基板の上方に磁石装置が設置され、マスクと磁石装置の間に設置された強磁性体マスクの全表面を圧接する。このようなマスク保持の機構では、マスクと基板キャリアの機械的取り付けが好ましくない粒子の発生を促し、さらには、このような構造は、単純ですばやい、かつ、正確な位置決めや基板からマスクを取り除くことには不都合である。
【０００６】
さらに、ＥＰ１２０２３２９Ａ２では、基板保持材の後ろ側に設置した磁石装置によってマスク全面が基板に押し付けられるというマスク配置を述べている。その中で述べられているマスクは、通常マスクがそれによって作られる薄い箔にある程度の安定性を与えるための、マスクを側面から把持するための周辺フレームを有する。そのようにマスクと基板を磁力で誘引することでマスクと基板を充分に接触させることが出来、泡や、塗膜のシャープなエッヂを無くすることは出来るが、そのような構造は、特に真空下での迅速、正確なマスク交換処理には最適ではない。さらに、磁石は単にマスクと基板の全面接触や泡のない接触を生成するためには役立つが、基板キャリア上の基板が塗膜領域をマスクを伴って移動するような動的なシステムにおける保持方法には役立たない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、本発明の目的は、マスク交換、特にＯＬＥＤスクリーンやディスプレーの一貫生産の動的な真空塗膜処理における配置や調整のための方法および装置を提供することである。それは、従来技術の欠点を回避し、特に正確、迅速、単純なマスク交換の可能性を保証し、また、塗膜中に移動する（動的）基板へマスクを確実に、信頼性高く配設することを保証する。特に、マスク交換のための当該装置は製造も容易で操作も単純である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本目的は、請求項１の特徴を持った方法と請求項７または８の特徴を持つ装置によって達成できる。有益な実施例が従属請求項の目的である。
第１の観点によれば、本発明は、マスクの取り扱いが、特に真空中において、簡単な方法で相当する力がマスクに掛けられたり、また、再び切断されたりというようにオンオフが可能な電磁石によって好適に実現されるという知識に基づいている。このため、装置は第１の移動装置と保持機構を有するように創造された。保持機構はマスクをピックアップし配設することが出来、第１の移動装置は基板に対してマスクを調整するために設けられる。本発明によれば、保持機構は電磁石を有し、磁気マスクまたは磁気エッジもしくはフレームを有するマスクを簡単に再びピックアップし、配設することが出来る。
【０００９】
この点に関して、好適には電磁石はマスクがそのエッジまたは周辺フレームでピックアップされるように、保持板上または電磁石とは関係のない中央部の周囲にある保持フレームの位置に設置される。一つには、これはマスク配設、位置決め装置の中で、少ない電磁石の組み合わせで確実な安定的なマスク受け取りを保証できる優位性があり、また他にも、非磁性のマスクの場合、必要な対応する磁気フレームさえ用意すれば良いので、多くの異なったマスクを取り扱うことが出来る。
【００１０】
好適には、電磁石は、マスクを均一にピックアップ出来るように、閉鎖したリング状、四角状、多角形状に互いに等間隔を空けられる。
基板に対して保持機構の移動を可能にする移動装置は、好適には、いくつかの独立した移動手段、特に少なくとも３つの独立した移動方向の移動手段を有する。好適には、移動手段は、リニア駆動および／または回転駆動によって行われ、３つの直交空間方向、すなわち、ｘ，ｙ，ｚ軸方向に添って保持部材が一軸および／または他軸の回転動で相当量移動することを可能にする。
【００１１】
本発明の他の観点によれば、保護がさらに独立に考慮され、第１の移動装置とは別の、基板をマスクに近づける第２の移動装置が設けられる。
このために、第２の移動装置と基板キャリアは、その結合と開放を簡単な方法で可能にする、対応する結合手段を有する。
【００１２】
望ましい実施例において、第２の移動装置はいくつかの移動手段、特にリニア駆動を含む。
基板に対するマスクの位置合わせを解除し、基板とマスクを近づけることによって、特に動的な塗膜処理の間の磁力による移動と保持と結びついて、特に厳密、正確なマスキングが可能となる。
【００１３】
保持機構またはマスクの駆動、特にマスクを基板に近づけたり遠ざけたり、または、逆に基板をマスク方向に移動したり遠ざけたりするために、特別に穏やかで、滑らかで、かつ、均一な動きを与えるスピンドル駆動が好んで設けられる。
【００１４】
好適には、移動装置を制御するため、監視装置および／または制御装置が設けられる。監視装置は、基板に対するマスクに位置不良を検出し、対応する制御装置が第１の移動装置を作動させて対応する修正を行わせる。このために、好適には監視装置は少なくとも２つのＣＣＤカメラを設け、基板とマスクにおける対応するマーキングを位置合わせし、または互いの位置を一致させる。
【００１５】
真空塗膜装置中の真空域内でマスク交換が出来ることが望ましいので、装置は、移動装置の駆動装置、もしくは、不純物が真空域内に混入することを減ずるための移動手段を真空容器の外に配した少なくともその部品を、真空チャンバーの１つの外壁部に設けることが有効である。
【００１６】
マスク交換装置は、マスクに対して基板が予め位置決めされるように予め定義された基板キャリアの基板キャリア保持位置が与えられることが望ましい。
更に、基板キャリアは望ましくは磁石、すなわち、永久磁石か電磁石を有し、塗膜工程中基板上、もしくは基板に対してマスクを保持する。これに関して、磁気エッジもしくは磁気フレームを持ったマスクが好都合に用いられているので、基板キャリアの磁石が保持機構に対応した方法で基板受け領域の周縁部に設けられ、マスクが保持部材から基板キャリアに移行する時またはその逆の時、マスクは反対側ではあるが同じ領域に保持される。
【００１７】
基板キャリアに磁石を配設するために、基板キャリアはマスク保持フレームを都合よく有し、そのフレームの基板キャリアの反対側、すなわち、基板の反対側に磁石を設ける。
望ましい実施例において、基板キャリア上の磁石と保持機構の電磁石は移動中お互いに真上になるように互いの位置が調整され、その結果、対応する磁力の重畳によって基板キャリアの磁石の保持効果が減少もしくは切断される。
【００１８】
好ましくは、移動装置の保持機構は、例えばその中央部分で監視装置のＣＣＤカメラが不鮮明でないマスクの像を撮れるように、保持板または四角、多角、もしくはリング状の保持フレームを有する。
【００１９】
マスクの移送は次のように進行する。まず、基板受け領域の周縁に好ましくは等間隔に配設された磁石を有する基板キャリア上に、基板がマスク保持機構の反対側の基板キャリア保持位置に準備される。マスクは、その事前に、または同時に、またはその後に横移動可能な保持機構の電磁石の位置に置かれる。監視装置および制御装置は、マスクと基板の相対位置、特に、横の位置、すなわち、例えば基板が塗膜装置の中を横に移動する場合、水平面上のｘ／ｙ座標を検出する。もし位置合わせ不良や位置不良が確認されたときは、第１の移動装置を起動して基板とマスクの位置合わせを行う。好ましくはマスクの移動によって行うが、基板の移動によることも考えられる。位置合わせは例えば、並進移動（translatory）または互いに直行する方向へのリニアな移動、例えば、ｘ／ｙ方向、および／または第３の直角軸（ｚ軸）周りの回転移動によって進行する。さらに、別の移動方向および／または移動形態、例えばｚ方向のリニア移動などを備えることも可能である。
【００２０】
相当する位置合わせの後、マスクを基板の上に付着させる。更に好ましく、また精確には、マスクと基板が互いの方向に移動するように第２の移動装置を作動させ基板上に付着される。これに関しては、マスクと基板の互いの接近の動きと位置合わせは入れ替わっても良いことは明らかである。
【００２１】
マスクが基板上に配設されると直ちに、保持部材の電磁石は切断され、マスクは基板キャリアの磁石によって基板上に保持される。マスクを設置した基板は基板キャリア上で塗膜装置の中を移動し、相当する塗膜処理を受けることが出来るようになる。当然、マスクは、同じ装置によって再び基板もしくは基板キャリアから取り除くことが出来、この場合は相当する位置合わせは行われない。
【００２２】
本発明の更なる優位点や特性、特徴は記載した図を用いた以下の実施例の詳細な説明で明白である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は、真空塗膜装置、特にＯＬＥＤディスプレーまたはスクリーンを製造するため、有機エレクトロルミネッセンス物質を透明基板に連続（インライン）塗膜する装置の真空チャンバー用のマスク貼り付け装置の側面図および部分的断面図である。
【００２４】
図１は、チャンバー壁または取り付け板１を通して見た断面と、チャンバーの壁内に挿入される取り付け板１を示している。これによれば、真空チャンバー内すなわち図１の取り付け台１の上方で、基板３が配置された基板キャリア２が示されている。基板キャリア２は、図示されていない移送装置または運搬装置によって真空チャンバー内を移動できる。
【００２５】
図１に示す状態では、基板は、マスク６を基板３に配設し位置合わせを行うことが目的のマスク位置決め装置５を有するマスク貼り付け装置の上方に位置している。
マスク位置決め装置５は保持板またはフレーム８の周縁に並べられた多くの電磁石７を有する。一方、保持フレーム８は、真空密封ガイド１９を介して他の装置１２，１３，１４および１６に繋がっており、基板キャリア２または基板３に対して保持板またはフレーム８の動きを可能にしている。これに関しては、水平駆動装置１２によって水平方向移動が、縦駆動装置１６によって縦方向移動、すなわち、図の平面から外れる方向への移動が、軸駆動装置１３によって軸方向、すなわち軸１５の方向の移動が容認される。さらに、回転駆動装置１４が設けられ、保持板８の軸１５周りの回転を可能にする。この１２、１３，１４，１６の駆動装置によって、保持板８は基板キャリアに対してどんな位置でも取れるようになる。
【００２６】
マスク位置決め装置５の他に、いくつかの、実施例では４個の持ち上げ装置の形態の第２の移動装置が設けられる。この４個の持ち上げ装置１８は、矩形の基板キャリアのコーナーを把持するために四角に配置される。持ち上げ装置１８の先端には、基板キャリアが持ち上げ装置２と連結して、持ち上げ装置１８が基板キャリア２を動かすことが出来るように基板キャリア連結具１０と協働する連結具１１が備えられている。
【００２７】
持ち上げ機構もしくは駆動装置１８は、液圧または空圧式シリンダーを装備する、または、好ましい実施例においては、特別に均一、正確かつ円滑な作動を特性とするスピンドル駆動装置をも装備する。軸駆動装置１３または他の駆動装置も同様に構成される。
【００２８】
持ち上げ装置１８およびマスク位置決め装置５の他に、さらに取り付け板１上に、窓部を通して基板３上のマスク６の位置を監視できる、好ましくは少なくとも２台のＣＣＤカメラ１７を備える。ＣＣＤカメラは監視部を構成し、基板に対するマスクの正確な位置をチェックする。位置が間違っていた時は、制御ユニット（図示せず）が作動し、マスク位置決め装置５の動きを制御する。装置１２，１４，１６によって、保持フレーム８の位置は互いの直角方向および回転方向の調整が可能なので、マスク６は正確に位置決めされる。さらに、軸駆動装置１３が基板３に対するマスク６の距離の位置調整を可能にする。総合して、結果としてマスク位置決め装置５がマスクの独立した３次元方向の正確な位置決めの可能性を与える。
【００２９】
基板キャリア２は、基板３が配設される領域の周縁に多くの磁石が設けられ、その位置は電磁石７の位置と一致している。このことは、投入した基板とマスクが付着する位置を観察したとき、マスクを基板３の方に移動している間は電磁石７と基板キャリア２の磁石４は互いに正反対、すなわちその長手方向の軸が一つの軸上にあるように配設されることを意味する。磁石４は永久磁石でも電磁石でも良い。磁石４は、マスク保持フレーム９上に、基板キャリア２の反対側に設置される。マスクフレーム９は、基板キャリアの基板保持板上にスペーサ２０を介して設けられる。これに関しては、マスク保持フレーム９は基板キャリア２の基板保持板にあらゆる適切な方法で、特に、分離可能に取り付けることが出来る。
【００３０】
マスク保持フレーム９は、環状でも良いし、連続している板でも良い。特に、マスク保持フレームはその上に設けられる磁石４の磁石ヨークとしても作用する。
磁石４，７を基板３の受け入れ範囲のエッジの周りまたはそれに沿って環状もしくはフレーム状に配置することが、薄い箔状のマスクを充分に傷つけることなく、磁力によってマスク６に塗膜処理のための均一で充分な把持力をもたらす。
【００３１】
マスクを基板に移す工程は次のように行われる。即ち、まず、マスク６がマスク送りによってマスク位置決め装置５に渡される。マスク６は、マスク位置決め装置５の保持フレーム８の周縁もしくは環状に設けた電磁石に相対する周縁磁石フレームまたはエッジ２１（図４参照）を有し、マスク６は電磁石７の相応の励起に従って保持板８の電磁石７によってそのフレーム２１またはエッジが把持される。
【００３２】
マスク６が配設された基板３が、対応して予め決められたマスク位置決め装置５の位置に配設されると直ぐに、ＣＣＤカメラに補助された駆動装置１２，１４、１６によって、基板３に対するマスク６の正確な水平位置、すなわちｘ／ｙ座標に関する位置調整が行われる。
【００３３】
マスク６が基板３の上方で正しい位置に調整された、すなわち、投影した場合に互いの位置が完全に一致している（full register or congruence identity is achieved in the projection）とき、基板３を伴った基板キャリア２は、基板キャリア連結具１０の位置で持ち上げ装置８の連結具１１によって把持され、図２に示すようにマスク６の磁気フレームまたはエッジが基板キャリアの磁石４上に位置するように持ち上げ装置１８によってマスク６の方に後方から移動する。そして、マスク６が基板３の上に位置する。更に、もしくはその替わりに、軸駆動装置１３によって基板もしくはマスク平面に垂直な動きを作用させることも出来る。
【００３４】
その後、電磁石７を不作動化または切断し、基板３を持ち上げ装置１８によって上方移動させる。
ここで、マスク６を伴った基板３は、基板キャリア２の磁石４が、フレーム２１またはエッジによって支えられて基板３上にある、マスクを保持したまま更に真空塗膜装置内を移動できるようになる。
【００３５】
これは、図４の平面図において特に明らかであって、そこには、マスク６とマスク６のフレームまたはエッジ２１、および磁石４を示す。  磁石４は、それらの下に設けられた基板キャリア２（図示せず）上にあり、フレームまたはエッジ２１の下に位置する。基板キャリアに設けた磁石４を介してマスクを保持するために選択された構成、特に基板のエッジの周縁もしくはそれに沿って環状またはフレーム状に磁石を配し、磁石と協働するためにマスクにフレームやエッジを設ける構成は、マスクの取り扱いを簡単にし、動的な塗膜処理のあいだ基板や基板キャリアに対してマスクの保持を確実にし、マスクの取り扱い中、すなわち、マスクの上げ下げの間に発生する粒子を大幅に削減することを確実にする。さらに、全体のシステムの高価でない設計と製造を可能にする。
【００３６】
位置決め装置の中でマスクを上下動させたり、そのフレームやエッジでマスクを保持するために電磁石を使用することによって単純な移送が保証される。とりわけ均一で滑らかな動きや移送が得られる、特に、位置決め装置の縦方向調整および／または基板キャリアの持ち上げ装置にスピンドル駆動を用いた時がそうである。マスク６およびフレーム２０は一体の形でもいくつかの小片の形でも良い。多片の形態のものをフレームと云い、一体の形態のものをエッジと云う。
【００３７】
ここでは、基板にマスクを配設することのみを述べたが、基板からマスクを取り除くことも同じ装置で逆のやりかたで当然可能である。マスクの位置合わせを単に行わないだけである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】マスクが上位置にある状態のマスク貼り付け装置の側面図である。
【図２】マスクが基板に配設された状態の図１のマスク貼り付け装置を示す図である。
【図３】マスクが基板上に付着した状態の図１および図２のマスク貼り付け装置を示す図である。
【図４】フレーム付きマスクの平面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１    容器壁
２    基板キャリア
３    基板
４    磁石
５    マスク位置決め装置
６    マスク
７    電磁石
８    保持板またはフレーム
９    マスク保持フレーム
１０  基板キャリア結合具
１１  把持装置
１２  水平駆動装置
１３  軸駆動装置
１４  回転駆動装置
１５  位置決め軸
１６  垂直駆動装置
１７  カメラ
１８  持ち上げ装置
１９  ガイド
２０  スペーサ
２１  マスクフレーム
【図１】
2006302896.tif 000003
【図２】
2006302896.tif 000004
【図３】
2006302896.tif 000005
【図４】
2006302896.tif 000006