(57)【要約】【課題】波長変動に伴って生じる収差を低減したチャープ型回折格子を実現し、クロストークを低減した光分波器を実現すること。【解決手段】チャープ型回折格子１４によって生じる収差を低減するように、設計波長における入射位置及び出射位置を定める。特に、チャープ型回折格子１４の中心からの距離の３乗に比例する収差（コマ収差）を低減するために、入射角度を出射角度よりも大きくし、入射距離よりも出射距離を長くする。【選択図】図１
2006227506.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長多重された光ビームが入射する光入射部と、該光入射部に入射した光ビームを伝送する光路と、該光路で伝送される前記光ビームを照射して波長毎に光信号を分離する回折格子とを有する分波器において、
前記回折格子が略平面上に形成されたチャープ型回折格子であり、前記チャープ型回折格子の格子溝が、所定の設計入射点から入射した所定の設計波長の前記光ビームを所定の設計出射点に集光するように格子周期を徐々に変化させて形成されており、
前記光入射部から前記設計波長の光ビームが前記チャープ型回折格子に入射した場合に、前記光入射部から前記チャープ型回折格子の中心までの光学距離が、前記チャープ型回折格子の中心から前記チャープ型回折格子により集光された集光部までの光学距離よりも短く、
前記光入射部から前記チャープ型回折格子の中心までの入射角度が、前記チャープ型回折格子の中心から前記チャープ型回折格子により集光された位置までの出射角度よりも大きいことを特徴とする分波器
【請求項２】
波長多重された光ビームが入射する光入射部と、該光入射部に入射した光ビームを伝送する光路と、該光路で伝送される前記光ビームを照射して波長毎に光信号を分離する回折格子とを有する分波器において、
前記回折格子が略平面上に形成されたチャープ型回折格子であり、前記チャープ型回折格子の格子溝が、所定の設計入射点から入射した所定の設計波長の前記光ビームを所定の設計出射点に集光するように格子周期を徐々に変化させて形成されており、
前記光入射部が前記設計入射位置と略同一位置であり、前記設計入射点から前記チャープ型回折格子の中心までの距離をＲr、入射角度をθr、前記チャープ型回折格子の中心から前記設計出射点までの距離をＲ0、出射角度をθ0とし、Ｒr及びθrの符号を正にとり、前記チャープ型回折格子の垂線に対して前記設計出射点が前記設計入射点と同じ側にあるときにθｏ及びＲｏの符号を負にとり、
【数２０】
2006227506.tif 000025
の関係を略満足することを特徴とする分波器
【請求項３】
請求項１又は２に記載の分波器において、前記光入射部に接続したマルチモードの光伝送媒体より前記光ビームを入射することを特徴とする分波器
【請求項４】
波長多重された光ビームが入射する光入射部と、該光入射部に入射した光ビームを伝送する光路と、該光路で伝送される前記光ビームを照射して波長毎に光信号を分離する回折格子とを有する分波器において、
前記光入射部に接続したマルチモードの光伝送媒体より前記光ビームを入射し、前記回折格子が略平面上に形成されたチャープ型回折格子であり、前記チャープ型回折格子の格子溝が、所定の設計入射点から入射した所定の設計波長の前記光ビームを所定の設計出射点に集光するように格子周期を徐々に変化させて形成されており、
前記光入射部から入射した波長λの光ビームが前記チャープ型回折格子により集光部に集光された場合に、前記チャープ型回折格子で生じる３次のコマ収差係数が前記分波器に入射する前記光ビームの波長範囲内で、６λ以下であることを特徴とする分波器
【請求項５】
請求項４に記載の分波器において、前記設計入射点と前記光入射部が略同一位置にあることを特徴とする分波器
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の分波器において、前記入射部から入射した前記設計波長が前記集光部に集光される場合に横倍率が、０.９６以上１．８１未満であることを特徴とする分波器
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれかに記載の分波器において、前記入射部から前記チャープ型回折格子の中心に入射する入射角度が４５°未満であり、前記設計波長の前記光ビームが入射した場合の出射角度が８．２°未満であることを特徴とする分波器
【請求項８】
請求項１ないし５のいずれかに記載の分波器において、前記入射部から前記チャープ型回折格子の中心に入射する入射角度が２８°以下、又は、４３°以上４９°以下であることを特徴とする分波器
【請求項９】
請求項１ないし５のいずれかに記載の分波器において、前記設計波長が、前記分波器に入射する前記光ビームの波長範囲の略中心波長であることを特徴とする分波器
【請求項１０】
略平面上に、所定の設計入射点から入射した所定の設計波長の光ビームが所定の設計出射点に集光するように格子周期を徐々に変化させて形成されたチャープ型回折格子において、
前記設計入射点から前記チャープ型回折格子の中心までの距離をＲr、入射角度をθr、前記チャープ型回折格子の中心から前記設計出射点までの距離をＲ0、出射角度をθ0とし、Ｒr及びθrの符号を正にとり、前記チャープ型回折格子の垂線に対して前記設計出射点が前記設計入射点と同じ側にあるときにθｏ及びＲｏの符号を負にとり、
【数２０】
2006227506.tif 000026
の関係を略満足することを特徴とするチャープ型回折格子
【請求項１１】
信号伝送用光ファイバとの接合部と、分波器と、光検出器アレイと、前記光検出器アレイからの信号を増幅し、波形整形する受信回路とを有する波長多重光受信モジュールにおいて、
前記波長多重光受信モジュールが請求項１ないし９のいずれかに記載の分波器を用い、前記接合部と前記分波器とをマルチモード光ファイバで接続したことを特徴とする波長多重光受信モジュール
【請求項１２】
信号伝送用光ファイバとの接合部と、分波器と、光検出器アレイと、前記光検出器アレイからの信号を増幅し、波形整形する受信回路と、光源アレイと、前記光源アレイを駆動する送信回路と、前記光源アレイからの光信号を合波する合波器とを有する波長多重光伝送モジュールにおいて、
前記分波器が請求項１ないし９のいずれかに記載の分波器を用い、前記接合部と前記分波器とをマルチモード光ファイバで接続し、前記接合部と前記合波器とをシングルモード光ファイバで接続したことを特徴とする波長多重光伝送モジュール
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の波長を波長毎に分波する光学デバイスに関し、特に、光ファイバを用いて送信された波長多重光信号を回折格子により分波する光分波器と、この光分波器を用いる波長多重光伝送モジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、平面内に直線状のグルーブが形成された回折格子とスラブ状コアを有する光導波路を含む光合分波器において、回折格子がスラブ状コアの微小領域から原点に向けて出射された光を分光し、波長毎にスラブ状コアの微小領域に集光することを特徴とする光合分波器が開示されている。同様な技術は、下記特許文献２及び非特許文献１にも開示されている。
【０００３】
これら従来技術に用いられている回折格子は、格子周期を徐々に変化させることで回折格子の格子ベクトルを含む面について、レンズ効果を持たせた、いわゆるチャープ型回折格子である。このチャープ型回折格子のレンズ効果を用いて、回折格子で回折した光信号を波長毎に異なる位置に集光して分離する。
【０００４】
下記特許文献２において、このチャープ型回折格子は、球面レンズと等間隔平面回折格子と組合せた方式及び凹面回折格子を用いた方式に比べて球面収差が生じないという利点を有する方式であると指摘されている。
【０００５】
また、下記特許文献２には、チャープ型回折格子において、波長の変化に伴って変化する集光点までの距離を決めるための式が開示されている。
【０００６】
しかし、チャープ型回折格子を用いた光合分波器について詳細に検討したところ、原理的にチャープ型回折格子に収差が生じないのは、チャープ型回折格子の格子周期を求める際に用いた波長（以下「設計波長」という。）に対してのみであり、入射する波長が設計波長から変化すると収差が生じることが明らかとなった。
【０００７】
特に、設計波長と大きく異なる波長が入射したときに、この収差の影響が顕著となり問題となることが分かった。したがって、従来技術に用いられたチャープ型回折格子では、この収差に対する考慮がなされておらず、設計波長から波長が変化すると、収差によってチャープ型回折格子による集光性能が劣化するということが起きた。
【０００８】
この集光性能の劣化により、光分波器として用いる場合には、クロストークが生じたり、透過波長帯域が狭くなるなど光分波特性が劣化したりするという問題点が生じた。また、光合波器として用いる場合には、光結合効率が劣化するなどの問題点が生じた。
【０００９】
このような収差による合分波特性の劣化は、広い透過帯域を必要とし、波長範囲の広いＣＷＤＭ(Coarse Wavelength Division Multiplexing)に、チャープ型回折格子を適用した場合に、特に問題となる。
【００１０】
さらに、ＤＷＤＭ(Dense Wavelength Division Multiplexing)においても、高精度に光を合波・分波したりする必要があり、やはりこの集光性能の劣化の影響が顕著となる。
【特許文献１】特開２００４−１３３１１５号公報
【特許文献２】特開昭６１−２２３７１１号公報
【非特許文献１】アプライドオプティクス誌(Applied Optics)２１巻２１９５頁（１９８２年）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、波長変動に伴って生じる収差を低減したチャープ型回折格子を実現し、このチャープ型回折格子を用いた光分波器、波長多重光伝送モジュールを実現することである。
【００１２】
また、本発明は、波長変化に伴って生じるクロストークを低減したチャープ型回折格子を用いた光分波器、波長多重光伝送モジュールを実現することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の分波器は、波長多重された光ビームが入射する光入射部と、該光入射部に入射した光ビームを伝送する光路と、該光路で伝送される前記光ビームを照射して波長毎に光信号を分離する回折格子とを有する分波器において、前記回折格子が略平面上に形成されたチャープ型回折格子であり、前記チャープ型回折格子の格子溝が、所定の設計入射点から入射した所定の設計波長の前記光ビームを所定の設計出射点に集光するように格子周期を徐々に変化させて形成されており、前記光入射部から前記設計波長の光ビームが前記チャープ型回折格子に入射した場合に、前記光入射部から前記チャープ型回折格子の中心までの光学距離が、前記チャープ型回折格子の中心から前記チャープ型回折格子により集光された集光部までの光学距離よりも短く、前記光入射部から前記チャープ型回折格子の中心までの入射角度が、前記チャープ型回折格子の中心から前記チャープ型回折格子により集光された位置までの出射角度よりも大きいことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の分波器は、波長多重された光ビームが入射する光入射部と、該光入射部に入射した光ビームを伝送する光路と、該光路で伝送される前記光ビームを照射して波長毎に光信号を分離する回折格子とを有する分波器において、前記回折格子が略平面上に形成されたチャープ型回折格子であり、前記チャープ型回折格子の格子溝が、所定の設計入射点から入射した所定の設計波長の前記光ビームを所定の設計出射点に集光するように格子周期を徐々に変化させて形成されており、前記光入射部が前記設計入射位置と略同一位置であり、前記設計入射点から前記チャープ型回折格子の中心までの距離をＲr、入射角度をθr、前記チャープ型回折格子の中心から前記設計出射点までの距離をＲ0、出射角度をθ0とし、Ｒr及びθrの符号を正にとり、前記チャープ型回折格子の垂線に対して前記設計出射点が前記設計入射点と同じ側にあるときにθｏ及びＲｏの符号を負にとり、
【数２０】
2006227506.tif 000003
の関係を略満足することを特徴とする。
【００１５】
またさらに、本発明の分波器は、波長多重された光ビームが入射する光入射部と、該光入射部に入射した光ビームを伝送する光路と、該光路で伝送される前記光ビームを照射して波長毎に光信号を分離する回折格子とを有する分波器において、前記光入射部に接続したマルチモードの光伝送媒体より前記光ビームを入射し、前記回折格子が略平面上に形成されたチャープ型回折格子であり、前記チャープ型回折格子の格子溝が、所定の設計入射点から入射した所定の設計波長の前記光ビームを所定の設計出射点に集光するように格子周期を徐々に変化させて形成されており、前記光入射部から入射した波長λの光ビームが前記チャープ型回折格子により集光部に集光された場合に、前記チャープ型回折格子で生じる３次のコマ収差係数が前記分波器に入射する前記光ビームの波長範囲内で、６λ以下であることを特徴とする。
【００１６】
なお、チャープ型回折格子で生じる３次のコマ収差とは、チャープ型回折格子の中心からの距離の３乗に比例して変化する波面収差とする。
【００１７】
本発明の分波器においては、光入射部に接続したマルチモードの光伝送媒体より光ビームを入射することが望ましい。
【００１８】
また、設計入射点と光入射部が略同一位置にあることが望ましい。入射部から入射した設計波長が集光部に集光される場合に横倍率は、０.９６以上１．８１未満とすることが望ましく、入射部からチャープ型回折格子の中心に入射する入射角度が４５°未満であり、設計波長の光ビームが入射した場合の出射角度が８．２°未満であることが望ましく、また、入射部から前記チャープ型回折格子の中心に入射する入射角度が２８°以下、又は、４３°以上４９°以下とすることが望ましい。
【００１９】
設計波長は、分波器に入射する前記光ビームの波長範囲の略中心波長とすることが望ましい。
【００２０】
また、本発明の回折格子は、略平面上に、所定の設計入射点から入射した所定の設計波長の光ビームが所定の設計出射点に集光するように格子周期を徐々に変化させて形成されたチャープ型回折格子において、前記設計入射点から前記チャープ型回折格子の中心までの距離をＲr、入射角度をθr、前記チャープ型回折格子の中心から前記設計出射点までの距離をＲ0、出射角度をθ0とし、Ｒr及びθrの符号を正にとり、前記チャープ型回折格子の垂線に対して前記設計出射点が前記設計入射点と同じ側にあるときにθｏ及びＲｏの符号を負にとり、
【数２０】
2006227506.tif 000004
の関係を略満足することを特徴とする。
【００２１】
本発明の分波器は、波長多重光受信モジュール、又は、波長多重光伝送モジュールに適用できるものであり、その場合、信号伝送用光ファイバとの接合部と分波器とをマルチモード光ファイバで接続することが望ましく、信号伝送用光ファイバとの接合部と合波器とをシングルモード光ファイバで接続することが望ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の分波器は、波長変化に伴ってチャープ型回折格子によって生じる収差、特に、コマ収差を低減するように入出射位置を定めたため、波長変化に伴って生じる集光性能の劣化、クロストークを低減したチャープ型回折格子を用いた光分波器、波長多重光伝送モジュールを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は、本発明の最良の形態を示す上面図である。波長多重化されて伝送してきた光信号は、光伝送媒体である光ファイバ１０より出射され、分波器１に入射する。
【００２４】
光ファイバ１０の端面を光入射部とし、シリンドリカルレンズ１２ａによりチャープ型回折格子１４の格子溝方向（ｙ方向）の拡がりが低減され、この方向について、ほぼ平行光となり、チャープ型回折格子１４に照射される。
【００２５】
チャープ型回折格子１４には、平行な直線格子溝を持ち格子ピッチをチャープ化した平面回折格子を用いた。チャープ型回折格子１４は、ｘ−ｚ面内において、拡がって入射した入射光線３０を回折し集光するように、格子間隔を変化させており、チャープ型回折格子１４で回折された出射光線３２は、波長により異なる位置に集光される。
【００２６】
チャープ型回折格子１４により回折し集光された光線は、シリンドリカルレンズ１２ｂによりチャープ型回折格子１４のｚ方向について、受光用光導波路２０に入射するように入射端面に集光される。
【００２７】
受光用光導波路２０は、入射部側にスラブ導波路部２２、その後段にテーパ導波路部２４を有している。
【００２８】
スラブ導波路部２２に入射した光線は、ｙ方向についてはスラブ導波路２２に閉じ込められて伝搬し、スラブ導波路２２の面（ｘ−ｚ面）内については、チャープ型回折格子１４の集光作用により、波長帯毎に設けられたテーパ導波路２４との接合部２３に集光される。
【００２９】
分離集光された光線は、それぞれの波長帯に対応するテーパ導波路部２４に入射し、それぞれの波長帯に対応した受光部を有する光検出器アレイ２６により検出される。
【００３０】
チャープ方回折格子１４、シリンドリカルレンズ１２ａ，１２ｂ、受光用光導波路２０、光検出器アレイ２６は、ベース２８上に固定されている。
【００３１】
なお、チャープ型回折格子１４は、ｘ−ｚ平面内においてレンズ作用を有しており、一般的には、特定の条件で最良の集光性能が得られるように格子定数が設計されている。つまり、チャープ型回折格子１４の格子定数変化は、ある入射点から入射した特定の波長（設計波長）を一点に集光するように設計される。
【００３２】
このようなチャープ型回折格子１４を使用する場合には、設計波長とは異なる波長が入射することになる。また、入射位置を設計時とは変えることもでき、この場合集光位置も設計時とは異なってくる。
【００３３】
図２に示したように、設計時の入射位置及び出射位置をＲ、Ｏ、使用時の入射位置及び出射位置をＣ、Ｉとし、それぞれの点とチャープ型回折格子の中心との距離及び角度を、それぞれ添字ｒ、ｏ、ｃ、ｉで表すと、チャープ型回折格子に点光源からの光を入射した場合の集光位置は、次式（１）と表される。
【数１】
2006227506.tif 000005
ただし、μは、次式（２）であり、λsは設計波長、λは使用波長を示す。
【数２】
2006227506.tif 000006
また、ｍgは設計した回折格子に対する実際の回折格子の伸長倍率を示す。
【００３４】
Ｒq（ｑ＝ｒ、ｏ、ｃ、ｉ）は、各点からチャープ型回折格子中心までの距離、θqは、各点からチャープ型回折格子中心を結ぶ線とチャープ型回折格子の垂線のなす角を表す。
【００３５】
ここでは、Ｒr及びθrの符号を正とし、チャープ型回折格子１４の垂線に対して、Ｒと同じ側にあるときには、θcの符号を正、θo及びθiの符号は負にとるにする。また、Ｒcの符号は正、Ｒo及びＲiの符号を負にとることにする。
【００３６】
一般的には、設計入射位置より設計波長の光を入射する場合に、チャープ型回折格子で集光される波面が無収差となるように、チャープ型回折格子の格子定数を変化させる。この場合、チャープ型回折格子のｊ番目の格子位置Ｚjは、次式（３）と表される。
【数３】
2006227506.tif 000007
このときのｊ番目の格子の格子定数は、次式（４）より求めることができる。
【数４】
2006227506.tif 000008
なお、チャープ型回折格子１４の中心は、光ファイバ１０からの主光線が当たる位置とすればよい。
【００３７】
チャープ型回折格子を使用する場合に、波長又は入射位置が設計条件とは異なると、チャープ型回折格子で集光される波面は、もはや無収差ではなくなり、収差が発生してチャープ型回折格子の集光性能が低下する。
【００３８】
チャープ型回折格子によって生じる収差の大きさと、集光性能の劣化の程度を比較・検討したところ、特定の波面収差が集光性能の劣化に主要に影響していることを見出した。この波面収差Ｗは、次式（５）と表されるものであり、通常のレンズ系に習い、この収差を３次のコマ収差と称することとする。
【数５】
2006227506.tif 000009
なお、ｒはチャープ型回折格子中心からの距離、２ａは光ファイバからの光信号がチャープ型回折格子に当たる光照射部幅を示す。
【００３９】
このコマ収差を評価することにより、概ねチャープ型回折格子によるスポット径の変化を評価できることが分かった。
【００４０】
チャープ型回折格子によって生じる３次のコマ収差係数Ｗ1’は、次式（６）と表される。
【数６】
2006227506.tif 000010
なお、Ｘqを、次式（７）とおいた。
【数７】
2006227506.tif 000011
【００４１】
また、光照射部幅を示す２ａは、用いる光ファイバ１０の開口数の中で最大のものをＮＡとし、次式（８）より求めた値を用いればよい。
【数８】
2006227506.tif 000012
【００４２】
式（６）で示されるコマ収差係数を小さくすることにより、集光性能の劣化つまりスポット径の増加を抑えることができる。
【００４３】
設計波長で規格化した規格化波長μを、次式（９）とおき、
【数９】
2006227506.tif 000013
式（１）を式（６）に代入すると、次式（１０）となる。
【数１０】
2006227506.tif 000014
なお、ここでは、αqを、次式（１１）とおいた。
【数１１】
2006227506.tif 000015
【００４４】
この式において、Δμの係数が小さくなるようにすれば、コマ収差の変化は波長変化の２次のオーダになり、波長変化に伴うコマ収差の変化ΔＷ1’を小さくできることが分かる。なお、オーダＯ（Δμ2）は、Δμが小さいためΔμ2はさらに小さくなるので、以下無視する。
【００４５】
つまり、次式（１２）が小さくなるように、Δμの係数を小さくすればよい。
【数１２】
2006227506.tif 000016
【００４６】
例えば、設計と使用の位置を同じ、つまり、Ｒc＝Ｒr、θc＝θrとすると、式（１２）は、次式（１３）となり、
【数１３】
2006227506.tif 000017
次式（１４）となるように距離、角度を選べば、式（１３）のΔμの係数がゼロとなり、コマ収差を小さくできることになる。
【数１４】
2006227506.tif 000018
【００４７】
分波器を小型化するためには、チャープ型回折格子の垂線に対して入射位置Ｒと出射位置Ｏが同じ側にあることが望ましく、そのためには、θr＞０、θo＜０ととることが望ましい。
【００４８】
このとき、式（１４）の右辺は常に負となるため、式（１４）を満たすためには、｜Ｒo｜＞｜Ｒr｜とする必要がある。つまり、入射距離よりも出射距離を長くする必要がある。
【００４９】
チャープ型回折格子から光検出器までの受光光学系サイズは、チャープ型回折格子の分散及び光検出器アレイの検出器間隔に依存する。
【００５０】
格子定数ｄの回折格子に角度iで入射した光線（波長λ）の回折角度θは、次式（１５）となる。
【数１５】
2006227506.tif 000019
ただし、ｍは回折次数、ｎは反射型回折格子の接する媒体の屈折率である。
【００５１】
したがって、チャープ型回折格子の受光側集光点距離をＲiとし、格子定数ｄをチャープ型回折格子の中心位置でのピッチにとると、波長がｄλ異なる光信号は、次式（１６）だけ離れた位置に集光される。
【数１６】
2006227506.tif 000020
【００５２】
光検出器ピッチを、この光検出器間隔ｐに合わせるように、受光光学系の条件、つまり、集光点距離Ｒi、回折角度θiを定めることが望ましい。
【００５３】
また、（１）式よりチャープ型回折格子の横倍率Ｍを求めると、設計波長においてｍg＝１の場合、次式（１７）となる。
【数１７】
2006227506.tif 000021
【００５４】
分波器のクロストークを小さくし透過帯域幅を広くするためには、チャープ型回折格子による集光スポット幅を小さくすることが望ましく、そのためにはこの横倍率の絶対値を小さくすることが望ましい。
【００５５】
分波器に要求されるチャネルの透過帯域をδλ、入射光ファイバのコア直径をＤとすると、クロストークを生じずに波長分離するためには、収差等によりスポット径がα倍となることを考慮すると、次式（１８）とする必要がある。
【数１８】
2006227506.tif 000022
【００５６】
このように、横倍率Ｍの絶対値を小さくすると、スポット径が小さくなり、クロストークが生じにくくなり、波長分離特性が良好となる。
【００５７】
しかし、横倍率の絶対値を小さくすると、式（１６）より同じ光検出器間隔ｐを得るためには入射側の焦点距離Ｒiを長くする必要があり、分波器が大きくなることが示される。そのため、横倍率｜Ｍ｜は１程度をとることが望ましく、特に、｜Ｍ｜＞０．９６とすることが望ましい。
【００５８】
横倍率｜Ｍ｜を１程度にするためには、Ｒc＝Ｒr、θc＝θr、｜Ｒo｜＞｜Ｒr｜の場合、｜θr｜＞｜θo｜とする必要がある。つまり、入射角度よりも出射角度を小さくすることが望ましい。
【００５９】
式（１７）より横倍率｜Ｍ｜を１とするためには、チャープ型回折格子の中心で接する円上に入射点Ｃと出射点Ｉが来るように配置すればよいことが分かる。
【００６０】
｜Ｍ｜＝１としたときに、式（１４）と式（１７）を満たす入射角度θcと出射角度θiの関係を求めると、表１のようになる。ただし、Ｒo＝Ｒi，Ｒr＝Ｒc，θo＝θi，θr＝θcとする。
【表１】
2006227506.tif 000023
【００６１】
このように、（１４）式と式（１７）を満たすためには、出射角度θiは小さな値とする必要があることが分かる。
【００６２】
入射角度θcを４５°以上とすると、入射位置と出射位置が離れすぎて分波器のサイズが大きくなるため、θc＜４５°とすることが望ましく、そのためは、｜θi｜＜８．２°とすることが望ましいことが分かる。
【００６３】
一方、チャープ型回折格子の回折効率を高く、回折効率の偏波依存性を小さくするためには、（θc−θi）／２を１５°以下、又は、２５°以上３０°以下とすることが望ましく、この場合には、θc≦２８°、又は、４３°≦θc≦４９°が望ましい。
【００６４】
チャープ型回折格子の３次収差としては、コマ収差に加えてｒの４乗に比例する波面収差である球面収差が生じるが、一般的には、コマ収差によるスポット径の増加が大きく、上記のようにコマ収差を低減するように配置すればよい。
【００６５】
ただし、コマ収差に比べて球面収差が大きくなる場合には、上記の議論と同様に、球面収差を低減するように条件を設定すればよく、球面収差を低減するためには、Ｒr≒Ｒoとすることが望ましい。
【実施例１】
【００６６】
本発明の実施例１を図１を用いて説明する。本実施例においては、高い回折効率が得られるように、チャープ型回折格子１４として格子溝の断面形状が直角三角形をしたいわゆるエシュレット型を用い、ブレーズ化した。回折効率を大きくするために、チャープに加えてブレーズ角も各格子位置での入出射角度に合わせて変化させることが望ましい。
【００６７】
本実施例のチャープ型回折格子１４は、回折格子を領域に区切り、領域内では一定のブレーズ角度とし、領域毎にブレーズ角度を最適化することにより回折効率が高くなるようにした。
【００６８】
このような領域分割した回折格子は、ルーリングエンジンを用いて、領域毎に一定のブレーズ角度で格子定数を変化させながら加工した。分波器にはこの回折格子をマスターとして作成したレプリカを用いた。
【００６９】
格子パターンの加工は、本実施例に用いたルーリングエンジンの他にも、３次元ＮＣ加工機を用いて加工してもよく、また、フォトリソグラフィの手法を用いて、Ｓｉ等の基板に連続的にブレーズ化したチャープ回折格子を作成することもできる。
【００７０】
回折格子の溝形状については、特に限定するものではなく、エシュレット形状以外にも波型形状や、矩形状のバイナリ回折格子の場合や、その他、任意の溝形状の回折格子にも適用できるものである。
【００７１】
本実施例では、チャープ型回折格子１４により集光されるスポットを小さくするために、シリンドリカルレンズ１２ａを用いて、チャープ型回折格子１４の溝方向（ｙ方向）の拡がり角度を低減した。
【００７２】
シリンドリカルレンズ１２ａの焦点位置に、光ファイバ１０の出射端面が来るように配置することにより、ｙ方向について、ほぼ平行な光線を入射することができる。また、チャープ型回折格子１４で回折した光線が受光用光導波路２０に入射するように、シリンドリカルレンズ１２ｂを用いて、受光用光導波路２０の入射端面に集光した。
【００７３】
本実施例よりもリトロー配置に近く配置した場合には、１個のシリンドリカルレンズで入射と出射の光線の集光を兼用してもよい。
【００７４】
本実施例においては、空気層を介して、チャープ型回折格子１４に光が入射するようにしたが、ガラス、プラスチック等の光学部材に回折格子を形成してもよく、さらに、この光学部材にシリンドリカルレンズを一体化し、光学部材を通してチャープ型回折格子１４に光線を入射してもよい。
【００７５】
その場合は、光学媒体の屈折率に合わせて、格子定数を変更すればよく、またブレーズ角も合わせて調整すればよい。光学部材を用いることにより、回折効率を低下させることなく、波長分離デバイスを小型化できる。光学部材中を伝搬させた場合、光学部材の屈折率により光線の拡がり角度が低減し、チャープ型回折格子への光照射幅が小さくなる。後述のように、チャープ型回折格子により生じる３次のコマ収差は、この光照射幅の３乗に比例するため、光学部材中を伝搬させてチャープ型回折格子に照射することは、チャープ型回折格子により生じる収差の低減に大きな効果がある。特に、開口数の大きな光ファイバを用いたときに収差低減の効果が大きく、そのためマルチモード光ファイバを用いる場合に有効である。
【００７６】
図３に本実施例に用いた受光用光導波路２０の上面図を示す。ここでは、コア部の形状のみ示している。本実施例における受光用光導波路２０は、スラブ導波路部２２、テーパ導波路部２４で構成される。
【００７７】
本実施例では、チャープ型回折格子１４を用いているため、分波器に入力された光信号の波長によって集光点が横方向（ｘ方向）に移動するとともに焦点距離の変化（ｚ方向への移動）も起こる。
【００７８】
そこで、スラブ導波路部２２により波長変動に伴う焦点距離変化（ｚ方向）に対応し、テーパ導波路部２４により回折角度変化による横方向（ｘ方向）の集光位置移動に対応する構成としている。
【００７９】
チャープ型回折格子１４により回折された光線は、シリンドリカルレンズ１２ｂによりスラブ導波路部２２の入射端に集光され、受光用光導波路２０に入射する。受光用光導波路２０の厚さは、光検出器アレイ２６の受光径を考慮し、光検出器アレイ２６に光線が効率よく結合するように定めた。
【００８０】
さらに、シリンドリカルレンズ１２ｂで集光された光線が、この受光用光導波路２０に効率良く入射するように、シリンドリカルレンズ１２ｂの径等の形状を決めた。またさらに、チャープ型回折格子１４で集光された光線が、スラブ導波路部２２とテーパ導波路部２４との接合部２３に焦点を結ぶようにスラブ導波路部２２の形状を定めた。
【００８１】
波長が短いほどチャープ型回折格子１４の集光距離が長くなるため、短波長側ほど入射端から接合部２３までの距離を長くした。
【００８２】
テーパ導波路部２４は、接合部２３側から光の進行方向に沿ってコア幅が減少するテーパ形状をしており、波長変動によって接合部２３上を集光位置が変動しても所定のテーパ導波路部２４に入射するようにし、テーパ導波路部２４に入射した光線が、受光径の小さな光検出器アレイ２６に結合することができるようにしている。テーパ導波路部２４を設けることにより、受光径の小さな光検出器アレイ２６を用いても各チャネルの透過帯域を広くすることができ、ＣＷＤＭに適用することができる。
【００８３】
また、光検出器アレイ２６の受光径を小さくできるとともに、光検出器アレイ２６の受光部を充分に離すことができるため、高速に変調された光信号を電気的なクロストークを小さく受光することができる。
【００８４】
スラブ導波路部２２、テーパ導波路部２４は同一の基板上に一括して形成し、コアの厚さは一定とした。スラブ導波路部２２とテーパ導波路部２４との接合部２３の位置は、チャープ型回折格子１４で集光されるスポットの径が最小となる位置に設けた。
【００８５】
チャープ型回折格子１４による集光位置は、式（１）により求めることができるが、集光された光に収差があると、スポットの径が最小となる位置は、式（１）で示される集光位置から変化する。
【００８６】
そこで、接合部２３の位置は、接合部２３上でスポット径が最小となるように、式（１）で示される集光位置からずらした。このように、スポットの径が最小となる位置に接合部２３がくるようにすることにより、クロストークを低減でき透過帯域を広くすることができる。
【００８７】
このスポットの径が最小となる位置は、光線追跡を用いて計算すれば求めることができ、また、収差の大きさを用いて解析的に求めることもできる。
【００８８】
本実施例においては、光ファイバ１０として、コア径６２.５μｍ、開口数０．２７５の屈折率分布型（ＧＩ型）マルチモード光ファイバ（以下「６２．５ＭＭＦ」という。）を用いた。マルチモード光ファイバは開口数が大きいため、入射光線３０の拡がり角が大きく、本実施例の場合、開口数から求まる拡がり角は±１６°となる。
【００８９】
式（６）に示したように、３次のコマ収差係数は、チャープ型回折格子への光照射幅の３乗に比例して大きくなるため、特に、開口数の大きなマルチモード光ファイバを入射用光ファイバ１０として用いる場合に有効である。
【００９０】
ただし、想定したマルチモード光ファイバよりも開口数又はコア径の小さな光ファイバを接続した場合にも、想定したマルチモード光ファイバを接続した場合と同等以上の特性が得られるため、光ファイバ１０を開口数の大きなマルチモード光ファイバに限定するものではなく、開口数又はコア径の小さな光ファイバを接続してもよい。
【００９１】
本実施例においては、６２．５ＭＭＦに代えてシングルモード光ファイバ（ＳＭＦ）や、例えば、コア径５０μｍ、開口数０．２のマルチモード光ファイバ（以下「５０ＭＭＦ」という。）等を接続することもできる。
【００９２】
また、６２．５ＭＭＦに代えて他のＧＩ型マルチモード光ファイバに対応するように仕様を定めることもできる。ＧＩ型マルチモード光ファイバのコア径及び開口数は、それぞれ５０μｍ以上、０．２以上が一般的に用いられているため、望ましい。
【００９３】
例えば、６２．５ＭＭＦ以外では、５０ＭＭＦや、さらにコア径の大きなＧＩ型のプラスチック光ファイバ等を用いることもできる。
【００９４】
本実施例では、光ファイバ１０をベース２８に対して固定した。ただし、光ファイバ１０に光信号伝送用の光ファイバを用い、光ファイバ１０を固定せず分波器１に挿抜するようにしてもよい。その場合には、挿入ガイド等を用いることにより、光コネクタに固定された光ファイバ１０が挿抜されても所定の位置に突き合わされるようにすればよい。
【００９５】
ただし、光ファイバ１０をベース２８に固定することにより、特性の長期安定性に優れ、望ましい。また、光ファイバ１０を固定した場合は、伝送用光ファイバを光ファイバ１０のもう一端側に突き合わせて分波器１に光を入射すればよい。その場合、伝送用光ファイバの開口数及び径は、光ファイバ１０と等しいか光ファイバ１０よりも小さければよい。
【００９６】
したがって、伝送用光ファイバには、光ファイバ１０と同じＧＩ型マルチモード光ファイバを接続してもよく、ファイバ径・開口数の小さなシングルモード光ファイバや５０ＭＭＦを接続することもできる。
【００９７】
本実施例では、１０ＧＢＡＳＥにおけるＬＸ４規格に従い、多重化されて伝送されてきた中心波長１２７５.７、１３００．２、１３２４.７、１３４９.２ｎｍの２４．５ｎｍ間隔の４波長を分離する構成とした。透過帯域は、中心波長に対して±６．７ｎｍとした。チャープ型回折格子１４の設計波長としては、これら４波の中心の波長である１３１２．４５ｎｍとした。
【００９８】
このようにチャープ型回折格子１４の設計波長は、使用する波長領域の中心付近とすることにより、使用する波長領域内で生じる収差を最小限に抑えることができ望ましい。
【００９９】
また、このような高速変調された光信号を受信するために光検出器間の電気的なクロストークを抑え、また、マルチモード光ファイバを用いた場合のチャネル間の光クロストークを抑制するためには、光検出器アレイのピッチは２５０μｍ以上とすることが望ましく、本実施例においては、２５０μｍとしている。
【０１００】
ＣＷＤＭの波長グリッドについては、ＩＴＵの勧告に従い、１２７０ｎｍから１６１０ｎｍまでの波長領域において、２０ｎｍ間隔の１６波のうち、いくつかのチャネルを利用してもよく、この場合は、透過帯域幅を１３ｎｍにとる。
【０１０１】
本実施例におけるようなマルチモード光ファイバを用いたＣＷＤＭにおいて、許容されるスポット径の増加を検討した。光ファイバとしては、６２．５ＭＭＦについて許容値を求めれば条件の緩い５０ＭＭＦについては許容値内に入るので、６２．５ＭＭＦとした。
【０１０２】
したがって、Ｄ＝６２．５μｍ、｜Ｍ｜＝１、光検出器間隔ｐ＝２５０μｍの場合、式（１８）より収差によるスポット径増加率αの許容値を求めると、（ａ）１０ＧイーサネットにおけるＬＸ４規格ｄλ＝２４．５ｎｍ、δλ＝１３．４ｎｍであるから、α＜１．８１、（ｂ）ＩＴＵの勧告ｄλ＝２０ｎｍ、δλ＝１３ｎｍであるから、α＜１．４とする必要がある。
【０１０３】
つぎに、マルチモード光ファイバを用いた場合のコマ収差係数とスポット径の関係を求めた。図４にコマ収差係数とスポット径の増加係数αの関係を示す。同図より、所望のスポット径を得るために許容できるコマ収差係数の上限を決めることができることが分かった。
【０１０４】
図４より、α＜１．４とするためには、コマ収差係数３λ以下、α＜１．８１とするためには、コマ収差係数６λ以下とする必要があることが明らかとなった。
【０１０５】
つまり、式（１２）又は式（１３）において、コマ収差係数の絶対値が、６λ以下、より好ましくは３λ以下となるようにすればよい。この場合のΔμは、使用する波長範囲内において設計波長との差の絶対値が一番大きくなるように定めればよい。
【０１０６】
例えば、本実施例においては、０．０３３とすればよい。なお、λは使用する波長であるが、通常設計波長との差は小さいので設計波長としてもよい。
【０１０７】
本実施例では、Ｒc＝Ｒr、θc＝θrとし、式（１４）を満たすように入出射位置を定め、λs＝１３１２．４５ｎｍ、Ｒr＝１３．９ｍｍ、Ｒo＝−１８．０５ｍｍ、θr＝４０°、θo＝−５．５°とした。この場合、横倍率Ｍは−１.０である。
【０１０８】
本実施例におけるスポット径の波長依存性を図５に示す。なお、本実施例のように、光路中にレンズ、光導波路等の光学部材を設ける場合には、光学部材の屈折率を用いて光路長を補正すればよく、本実施例においては、次式（１９）とすればよい。
【数１９】
2006227506.tif 000024
【０１０９】
なお、Ｓk、Ｌk、Ｗkは、図１に示した空間長、シリンドリカルレンズ幅、光導波路中の集光点までの距離を示し、ｎL1、ｎL2、ｎW1は、それぞれシリンドリカルレンズ１２ａ、シリンドリカルレンズ１２ｂ、スラブ導波路部２２コアの屈折率を示す。
【０１１０】
また、図５には、比較例として、Ｒr＝１４．４３ｍｍ、Ｒ0＝−１６．７６ｍｍ、θr＝３５°、θ0＝−１８°の場合のスポット径も示した。
【０１１１】
このように、式（１４）を満たすようにすることにより、スポット径が低減することを確認した。スポット径が低減することによって、隣のチャネルに漏れこむ光学的なクロストークが低減するとともに、各チャネルの透過帯域幅が増加し、分波器としての特性が向上した。
【実施例２】
【０１１２】
図６は、本発明の実施例２の上面図である。波長多重化されて伝送してきた光信号は、光伝送媒体である光ファイバ１０より出射され、分波器１に入射する。本実施例においては、光ファイバ１０にシングルモード光ファイバを用いており、４波長多重する場合について示している。
【０１１３】
光ファイバ１０からの光信号は、シングルモードの入射用光導波路３４に結合され、入射用光導波路３４とスラブ光導波路３８の接合部を光入射部３５として、スラブ光導波路３８に入射する。
【０１１４】
スラブ光導波路３８内で面に広がって伝搬した光信号は、チャープ型回折格子１４に照射され、回折する。チャープ型回折格子１４は、ｘ−ｚ面内において拡がって入射した入射光線３０を回折し集光するように格子間隔を変化させており、チャープ型回折格子１４で回折された出射光線３２は波長により異なる位置に集光される。
【０１１５】
チャープ型回折格子１４は、スラブ光導波路３８端面に接着し、固定した。チャープ型回折格子１４により回折し集光された光線は、チャネル毎に設けられた出射用光導波路３６との接合部３７に集光される。
【０１１６】
分離集光された光線は、それぞれの波長帯に対応する出射用光導波路３６に入射し、各チャネルに対応した受光部を有する光検出器アレイ２６により検出される。チャープ型回折格子１４によって集光されるスポットが、接合部３７において最小となるように、接合部３７の位置を定めている。
【０１１７】
出射用光導波路３６の幅を広くしマルチモードとすることによって、広い透過帯域を確保した。つまり、本実施例においては、中心波長１２７５.７、１３００．２、１３２４.７、１３４９.２ｎｍの２４．５ｎｍ間隔の４波長を分離するようにし、１３．４ｎｍ以上の透過帯域とした。
【０１１８】
本実施例においては、Ｒc＝Ｒr、θc＝θrとし、（１４）式を満たすように、Ｒr＝５ｍｍ、Ｒ0＝−５．７７ｍｍ、θr＝３０°、θ0＝−２．２°とした。この場合、横倍率Ｍは−１となる。
【０１１９】
そのため、スラブ導波路３８への入射点と設計波長が集光される位置とが、チャープ型回折格子１４の中心で接する円上にくるように配置している。このときのコマ収差係数の波長変化を図７に示した。なお、比較例として、Ｒr＝６ｍｍ、Ｒ0＝−６ｍｍ、θr＝２０°、θ0＝−１０°の場合も示した。この場合は、横倍率Ｍ＝−０．９５となる。
【０１２０】
図７に示したように、本実施例において、コマ収差が良く抑制されていることが分かる。したがって、使用波長範囲においてチャープ型回折格子により非常に良好に集光できることを示している。光導波路中を伝搬させているため、光導波路の屈折率により光線の拡がり角度が低減し、チャープ型回折格子への光照射幅が小さくなる。このことも、チャープ型回折格子により生じる収差の低減に寄与している。
【０１２１】
このように、十分にコマ収差を補正できているため、本実施例の分波器は高精度に光を分波する場合にも有効である。そのため、本実施例のようにＣＷＤＭに限らず、ＤＷＤＭの分波器にも適用できる。
【０１２２】
ＤＷＤＭに適用する場合には、出射用光導波路３６としてシングルモードの光導波路としてもよく、光検出器アレイ２６を設けずに光ファイバを接続して分波した光を取り出してもよい。波長多重数も４波長に限らず、多重数に合わせて出射用光導波路３６の本数を増やせばよい。
【０１２３】
本実施例においては、収差を十分に低減したためスポットを十分に小さくでき、スラブ光導波路３８との接合部３７において出射用光導波路３６の間隔を狭くしてもクロストークを小さくすることができた。
【０１２４】
出射用光導波路３６の間隔を狭くできたため、分波器１を小型化することができた。出射用光導波路３６の出射側の間隔を光検出器アレイ２６の間隔に合わせることにより、間隔の広い光検出器アレイ２６とも結合することができる。
【０１２５】
また、本実施例においては、収差を十分に抑制したため、合波器として用いても、光結合効率が劣化することなく合波して光を出射することができる。合波器として用いる場合には、光検出器アレイ２６の位置に光源を設ければよく、出射用光導波路３６に変えてシングルモードの光導波路とすればよい。
【０１２６】
あるいは、入射用光導波路３４をマルチモードとし、マルチモードの光ファイバ１０に結合するようにすればよい。また、出射用光導波路３６を設けずにスラブ導波路３８と出射用光導波路３６との接合部３７に光源を設けてもよい。
【０１２７】
ＣＷＤＭ用の合波器として用いる場合には、光源の温度が揃って変化することが望ましく、熱伝導性の良い部材上に光源を設けることが望ましい。
【０１２８】
本実施例では、光ファイバ１０を分波器１に接着し固定した。ただし、光ファイバ１０に光信号伝送用の光ファイバを用い、光ファイバ１０を固定せず分波器１に挿抜するようにしてもよい。
【０１２９】
その場合には、挿入ガイド等を用いることにより、光コネクタに固定された光ファイバ１０が挿抜されても所定の位置に突き合わされるようにすればよい。なお、光ファイバ１０を分波器１に固定することにより、特性の長期安定性に優れ、望ましい。
【実施例３】
【０１３０】
図８は、本発明に係る波長多重伝送モジュールの実施例を示す構成図である。伝送用光ファイバ７４ａ、７４ｂは、コネクタ９６により光伝送モジュール８０に接続され、それぞれ光ファイバ１０、シングルモード光ファイバ１１と突き合わせられる。
【０１３１】
受信用の伝送用光ファイバ７４ａを伝送してきた波長多重信号は、伝送用光ファイバ７４ａに突き合わされたマルチモードの光ファイバ１０に入射し、分波器１で波長毎に分離されて光検出器アレイ２６で検出される。
【０１３２】
検出された信号は、受信回路８６により増幅され、波形整形される。さらに、パラレル／シリアル変換回路９０により、波長多重化されて伝送されてきた信号をシリアル信号に変換して出力する。
【０１３３】
送信する場合には、入力された信号をシリアル／パラレル変換回路９２で信号を分離し、送信回路８８で信号毎にレーザダイオードアレイ９４の各光源を駆動し、波長の異なる光信号とする。
【０１３４】
各光信号は、シングルモードの光カプラにより構成される合波器８４で多重化し、シングルモード光ファイバ１１に出力する。シングルモード光ファイバ１１を通して送信用の伝送用光ファイバ７４ｂに結合され、送信される。
【０１３５】
マルチモードの光ファイバ１０及びシングルモード光ファイバ１１を用いて、伝送用光ファイバ７４ａ、７４ｂと結合しているため、伝送用光ファイバ７４ａ、７４ｂには、マルチモードファイバ、シングルモードファイバのどちらでも用いることができる。
【０１３６】
本実施例では、光ファイバ１０にコア径６２．５μｍのＧＩ型マルチモードファイバを用いているため、伝送用光ファイバ７４ａ、７４ｂとして、シングルモード光ファイバ、コア径５０μｍ及び６２．５μｍのマルチモード光ファイバ等を用いることができる。
【０１３７】
本実施例においては、多重化されて伝送されてきた中心波長１２７５.７、１３００．２、１３２４.７、１３４９.２ｎｍの２４．５ｎｍ間隔の４波長を分離する構成とした。
【０１３８】
この中心波長に対して、光源の製造・温度・スペクトル分布による波長ばらつきにより、最大±６．７ｎｍ変動するものとした。本実施例においては、それぞれの波長が３Ｇｂｐｓで変調された光信号を受信した。
【０１３９】
本実施例では、合波器８４と伝送用光ファイバ７４ｂとの間をシングルモード光ファイバ１１で結合したが、伝送用光ファイバ７４ｂにマルチモード光ファイバのみを用いる場合には、シングルモード光ファイバ１１に代えてマルチモード光ファイバを用いればよく、その場合は、合波器８４にもマルチモードの光導波路を用いればよい。
【０１４０】
マルチモード光導波路を用いることにより、合波器８４とレーザダイオードアレイ９４との調整が容易になる。また、シングルモード光ファイバ１１を用いずに合波器８４から伝送用光ファイバ７４ｂに直接光信号を入力してもよい。
【０１４１】
本実施例では、送信と受信の両方の機能を有する波長多重伝送モジュールについて示したが、受信部のみを有する波長多重受信光モジュールとしても本発明の効果を得られるものである。
【０１４２】
本発明は、マルチモード光ファイバにより送信された光信号を受信するのに適しており、以上説明したようにＣＷＤＭに適したものである。ただし、ＤＷＤＭへの適用を制限するものではない。また、波長多重数４の場合について説明したが、多重数を限定するものではなく、用いるシステムに合わせて適宜選定すればよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４３】
【図１】分波器の実施形態を示した上面図（実施例１）
【図２】チャープ型回折格子の設計及び使用配置を説明する図
【図３】実施例１に用いた受光用光導波路のコア形状を示した上面図
【図４】コマ収差係数とスポット径の倍率の関係を示す図
【図５】実施例１に用いたチャープ型回折格子で集光されたスポット径の波長変化を示す図
【図６】分波器の実施形態を示した上面図（実施例２）
【図７】実施例２に用いたチャープ型回折格子のコマ収差係数の波長変化を示す図
【図８】波長多重伝送モジュールの実施形態を示した説明図（実施例３）
【符号の説明】
【０１４４】
１…分波器、１０…光ファイバ、１１…シングルモード光ファイバ、１２ａ、１２ｂ…シリンドリカルレンズ、１４…チャープ型回折格子、２０…受光用光導波路、２２…スラブ導波路部、２３…接合部、２４…テーパ導波路部、２６…光検出器アレイ、２８…ベース、３０…入射光線、３２…出射光線、３４…入射用光導波路、３５…接合部、３６…出射用光導波路、３７…接合部、３８…スラブ光導波路、７４ａ、７４ｂ…伝送用光ファイバ、８０…光伝送装置、８４…合波器、８６…受信回路、８８…送信回路、９０…パラレル／シリアル変換回路、９２…シリアル／パラレル変換回路、９４…レーザダイオードアレイ、９６…光コネクタ
【図１】
2006227506.tif 000027
【図２】
2006227506.tif 000028
【図３】
2006227506.tif 000029
【図４】
2006227506.tif 000030
【図５】
2006227506.tif 000031
【図６】
2006227506.tif 000032
【図７】
2006227506.tif 000033
【図８】
2006227506.tif 000034