(57)【要約】      （修正有）【解決手段】ワーク搬送用のトレイ２２にＩＤタグ３４を設け、ワーク２４にはバーコード４２を記載する。処理装置１８でバーコード４２を読み取り、ＩＤタグ３４にバーコードのデータを書き込む。また、ＩＤタグ３４にトレイ２２の使用状況を書込み、所定の使用状況に達したトレイ２２を洗浄手段に搬送する。【効果】トレイ内のワークのＩＤを管理でき、しかも１つのワークに用いるトレイを途中で変更できる。また、トレイの管理が容易になり、洗浄管理を搬送システムのＣＰＵなどから独立して自律的に行うことが出来る。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステーションで処理装置からワークをトレイに載置して、トレイを搬送するようにした搬送システムにおいて、
前記トレイにＩＤタグを取り付けると共に、前記ステーションにワークのデータを前記ＩＤタグに書き込むための手段を設けたことを特徴とする、トレイ搬送システム。
【請求項２】
前記ＩＤタグに、トレイの使用状況のデータを書き込むための手段を設けたことを特徴とする、請求項１のトレイ搬送システム。
【請求項３】
前記ＩＤタグからトレイの使用状況のデータを読み取るための手段と、トレイの洗浄手段とを設けて、読み取ったトレイの使用状況のデータに基づいて、トレイを洗浄手段へ搬送するようにしたことを特徴とする、請求項２のトレイ搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はトレイによるワークの搬送に関し、特にトレイ内のワークの管理に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板等の搬送は従来、数枚程度ずつカセットに収容してカセット単位で行われてきたが、液晶基板が２ｍ角程度まで大形化したことに伴い、カセット搬送には無理が生じている。そこで液晶基板をトレイに載置し、トレイ単位で搬送することが考えられる。しかしながらこのようにすると、トレイとワークとのマッチング（組み合わせ）が問題になり、例えば１つのワークには全工程で１つのトレイを割り当てるとすると、ワークの処理中に空きのトレイが大量に発生し、そのストックが問題になる。一方トレイとワークとの組み合わせを可変にし、工程の途中で組み合わせを変更しても良いものとすると、トレイのＩＤを確認しただけでは、ワークの内容を確認できず、正しいワークを正しい位置へ搬送しているとの保証が無くなる。  
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の基本的課題は、トレイ内のワークのＩＤを確認でき、しかも工程の途中でトレイとワークとの組み合わせを変更自在にすることにある。
請求項２の発明での追加の課題は、トレイの汚染を防止するためにトレイの使用状況を管理できるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、トレイを自動的に洗浄できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明のトレイ搬送システムは、ステーションで処理装置からワークをトレイに載置して、トレイを搬送するようにしたシステムにおいて、前記トレイにＩＤタグを取り付けると共に、前記ステーションにワークのデータを前記ＩＤタグに書き込むための手段、例えばＩＤタグライタ、を設けたことを特徴とする。
【０００５】
好ましくは、前記ＩＤタグに、トレイの使用状況のデータを書き込むための手段を設ける。この手段は、例えばステーションに設けた書き込み手段と同一でも良く、あるいは別のＩＤタグライタなどでも良い。
【０００６】
特に好ましくは、前記ＩＤタグからトレイの使用状況のデータを読み取るための手段と、トレイの洗浄手段とを設けて、読み取ったトレイの使用状況のデータに基づいて、所定の使用状況に達したトレイを洗浄手段へ搬送する。読み取り手段には、ステーションに設けて書き込み手段を兼用しても良く、あるいはこれとは別にＩＤタグリーダなどを設けても良い。
【発明の効果】
【０００７】
この発明では、ステーションでトレイにワークを載置する際に、ワークの内容をトレイのＩＤタグに書き込むので、例えばワークを処理装置に搬入した時と搬出する時とで、別のトレイを用いることができる。このためワークの処理の開始から完了まで同じトレイを用いる必要が無く、トレイの管理や運用が容易になる。またトレイに載置したワークの内容を、トレイ自体のＩＤタグを用いて、いわばその場で管理できるので、ワークの管理が容易になる。
【０００８】
請求項２の発明では、トレイ自体のＩＤタグによりトレイの使用状況を管理できるので、トレイの管理が容易になる。また搬送システム全体のＣＰＵ（コントロールプロセッシングユニット）などにより、トレイ毎にその所在と使用状況などを追跡する必要が無い。
【０００９】
請求項３の発明では、所定の使用状況に達したトレイを自動的に検出して、自動的に洗浄できる。このためトレイの洗浄管理を、搬送システムのＣＰＵなどから独立して自律的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図５に、実施例を示す。図において、２はトレイ搬送システムで、４はトレイを搬送するためのコンベヤで、６はステーションで、処理装置１８との間でトレイ２２に載置したワーク２４を受け渡しする。ステーション６にはローラコンベヤ付きリフター８を設け、１０は処理装置側コンベヤで、同様にローラコンベヤが設けてある。１２はストッカで、ワーク２４を載置したトレイや空のトレイなどをストックする。１４はリフターで、搬送方向を分岐させるために用い、１６，１７は分岐コンベヤである。
【００１２】
処理装置１８はワークを処理し、トレイ洗浄装置２０はトレイ２２を洗浄し、例えば分岐コンベヤ１６，１７によりトレイの搬送方向を分岐させて、トレイ洗浄装置２０へ搬入し、空のトレイを洗浄する。洗浄では、例えば純水や薬液をトレイにスプレーして付着物を洗い落とし、トレイを回転させて洗浄用の液体を付着物と共に除去し、この後に乾燥する。洗浄は１段目を薬液洗浄とし、２段目を純水洗浄とするように、液体の種類を変えて繰り返しても良く、あるいはクリーンエアを吹き付けて付着物を吹き飛ばすなどの簡易な洗浄としても良い。トレイ２２は例えば金属やプラスチックから成り、上方が開放され、液晶パネル用のガラス基板などのワーク２４を１枚ずつ載置して搬送する。ワーク２４は例えば２ｍ角程度のサイズで、厚さ数mm程度のガラス基板などから成る。
【００１３】
２５はフランジで、トレイ２２の４周に設け、コンベヤ４，１６，１７でトレイ２２を搬送する際に用いる。図２にトレイ２２の構造を示すと、トレイ２２の例えば４隅に突き出し２６を設けて、図示しないストッカでトレイ２２を重ねて保管できるようにする。トレイ２２の底面には多数の開口２８を設けて、ステーションや処理装置側コンベヤに設けたローラコンベヤがワークの底面を支持して、トレイ２２からワークを出し入れするように搬送できるようにする。トレイ２２の側面に設けたピン３０は、トレイ２２を重ねて保管する際に、上側のトレイの図示しない窪みに嵌合する。またトレイ２２の底面に設けたピン３２は、ワークの底面を支持する。トレイ２２の適宜の個所に、例えばトレイ２２の周囲の縁に、ＲＦＩＤタグ３４などの書き込みと読み出しが自在なＩＤタグを設ける。
【００１４】
図３に、ステーション６と処理装置側コンベヤ１０との間での、ワーク２４の移載を示す。ステーション６のローラコンベヤ付きリフター８が上昇し、ローラコンベヤとしての駆動ローラ３６がワーク２４の底面を持ち上げて搬送する。このことにより、ワーク２４はトレイ２２の縁を越えて、処理装置側コンベヤ１０へと搬送される。処理装置側コンベヤ１０からトレイ２２内へワーク２４を受け渡す際も同様である。３８はステーションに設けたＲＦＩＤリーダライタで、支持体４０でＲＦＩＤリーダライタ３８を支持する。処理装置１８へワーク２４を受け渡す際には、トレイ２２のＲＦＩＤタグ３４のデータをＲＦＩＤリーダライタ３８で読み取り、ワーク２４のデータを処理装置１８側へ送出する。また処理装置１８から処理済みのワーク２４を受け取る際には、ワーク２４のデータをＲＦＩＤリーダライタ３８で、トレイのＲＦＩＤタグ３４に書き込む。
【００１５】
ワーク２４の適宜の個所に、特にワーク２４の裏面側に、２次元バーコードなどのバーコード４２を記載し、処理装置１８側のバーコードリーダ４４で読み取る。バーコード４２はワーク２４のＩＤや品種、工程の種類などから成り、例えばワーク２４の裏面側に金属などの蒸着膜を設けて、レーザなどで不要部を除去してパターニングすればよい。
【００１６】
図４に、トレイのＲＦＩＤタグ３４のデータを示すと、トレイ自体のＩＤとワークのデータ、並びにトレイ使用状況の３つのデータで構成されている。ワークのデータは例えばワークのＩＤと次の搬送先などのデータからなり、次の搬送先などは図５の物流ＣＰＵ５０で管理することとして、ワークＩＤのみを記載しても良い。またこれ以外にワークの種類や品種などのデータを記載しても良い。トレイ使用状況のデータには、トレイの洗浄管理に必要なデータを記載し、例えば前回洗浄を行った日時とそれ以降のトレイの使用回数などを記載する。使用回数は例えばトレイでワークを１回搬送する毎に１加算するものとするが、トレイの延べ使用時間などを用いても良く、前回の洗浄以降の累積でのトレイの使用状況を示すデータであればよい。
【００１７】
図５に、ＲＦＩＤタグ３４とバーコード４２とを中心とするシステム構成を示す。例えばステーション６から処理装置１８へワーク２４を受け渡す場合、ステーション６でトレイのＲＦＩＤタグ３４をＲＦＩＤリーダライタ３８で読み取り、ワークに関するデータを処理装置１８側のＣＰＵ（コントロール・プロセッシング・ユニット）へと送出する。所定のワークとは異なるワークが搬送されてきた場合、処理装置１８は例えばワークの搬入を拒否する。処理装置１８内ではワーク２４のバーコード４２をバーコードリーダ４４で読み取り、生産管理ＣＰＵ４８からのデータと照らし合わせて、所定のワーク２４であることを確認する。
【００１８】
処理装置１８でのワーク２４の処理が終了すると、トレイ２２にワーク２４を受け渡ししする。この時、バーコードリーダ４４で読み取ったワーク２４のＩＤやワーク２４の次の行き先などを、例えば処理装置のＣＰＵ４６を経由して、ステーションのＲＦＩＤリーダライタ３８からトレイのＲＦＩＤタグ３４に書き込む。この書き込みは例えば生産管理ＣＰＵ４８から物流ＣＰＵ５０を経由して、ＲＦＩＤリーダライタ３８に行わせても良い。
【００１９】
ステーション６からトレイ２２を搬送し、この搬送の過程で、搬送経路の適宜の位置に設けたＲＦＩＤリーダ３９などにより、トレイのＲＦＩＤタグ３４を読み取り、これに応じてコンベヤやストッカ、分岐装置、その他の各種搬送機器５２を制御する。またトレイ２２の所在は、ＲＦＩＤリーダ３９によりＩＤタグ３４を読み取る都度、物流ＣＰＵ５０に報告される。
【００２０】
ＲＦＩＤリーダライタ３８やＲＦＩＤリーダ３９などで、ＲＦＩＤタグ３４のトレイ使用状況に関するデータを読み取り、前回の洗浄日時から所定時間以上経過している、あるいは使用状況が所定の値に達している場合などには、そのトレイが空になるのを待って、トレイ洗浄装置２０へ搬送する。そしてトレイ洗浄装置２０での洗浄が終了すると、前回洗浄日時を現在の日時に変更し、使用回数を０にリセットするように、トレイ洗浄装置２０側に設けたＲＦＩＤリーダライタ３８で、ＲＦＩＤタグ３４に書き込みを行う。なお、通算の使用回数、または洗浄回数をＲＦＩＤタグ３４に書き込んでおくようにすることで、トレイ２２を破棄するタイミングの決定などを容易に行うことができる。
【００２１】
実施例ではトレイをコンベヤで搬送したが、無人搬送車やスタッカークレーンなどの他の搬送装置で搬送しても良い。実施例では各ステーションにＲＦＩＤリーダライタを設けたが、少なくとも処理装置からワークを受け取る側のステーションに、ＲＦＩＤライタを設ければ良い。また処理装置へワークを受け渡す側のステーションでは、リーダライタではなく、ＲＦＩＤリーダで充分である。実施例ではステーション６から処理装置１８へワーク２４を受け渡しする際に、トレイのＲＦＩＤタグ３４を読み取ると共に、ワーク２４のバーコード４２を読み取っているが、これらは２重の読み取りなので、一方を省略しても良い。ＲＦＩＤタグ３４に対するワークのデータとしては、単にワークのＩＤのみを記載して、次の搬送先などのデータは物流ＣＰＵ５０のみで記憶するようにしても良い。トレイの形状は任意で、例えば上方に蓋を設けたものでも良い。
【００２２】
実施例では以下の効果が得られる。
(1)  トレイに載置したワークの内容を、トレイのＲＦＩＤタグから確認できる。またトレイに載置したワークを交換すると、新しいワークに対するワークのデータをＲＦＩＤタグに書き込むことができる。このため、トレイに載置したワークの内容を確実に確認できるのみでなく、トレイとワークとを１：１に対応させる必要がなく、例えば処理装置に対してワークを受け渡しすると、トレイを別のワークの搬送に用いたり、ストッカに一時ストックしたりしてもよい。そして処理装置から次の搬送を行う際には、別のトレイを用いても良い。このためトレイの管理やストックなどが容易になる。
(2)  トレイの使用状況を管理して洗浄するので、トレイの汚染を効率的に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施例のトレイ搬送システムの要部平面図
【図２】実施例で用いるトレイの平面図
【図３】ステーションでのトレイからのワークの出し入れを示す平面図
【図４】実施例で用いるトレイのＩＤタグのデータ構成を示す図
【図５】実施例のトレイ搬送システムでのＩＤ管理を示すシステム構成図
【符号の説明】
【００２４】
２              トレイ搬送システム
４              コンベヤ
６              ステーション
８              ローラコンベヤ付きリフター
１０            処理装置側コンベヤ
１２            ストッカ
１４            リフター
１６，１７      分岐コンベヤ
１８            処理装置
２０            トレイ洗浄装置
２２            トレイ
２４            ワーク
２５            フランジ
２６            突き出し
２８            開口
３０，３２      ピン
３４            ＲＦＩＤタグ 
３６            駆動ローラ
３８            ＲＦＩＤリーダライタ
３９            ＲＦＩＤリーダ
４０            支持体
４２            バーコード
４４            バーコードリーダ
４６            ＣＰＵ
４８            生産管理ＣＰＵ
５０            物流ＣＰＵ
５２            搬送機器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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