(57)【要約】【課題】  簡素な構成でウェハの搬送を安定的に行う技術を提供する。【解決手段】  搬送フォーク１０１は、設置面に水平にウェハが収容されるウェハキャリアにウェハを搬送する搬送フォークである。搬送フォーク１０１は、ウェハを周縁部で支持する第一のティース１０２および第二のティース１０５を有する。第一のティース１０２と第二のティース１０５は互いに略平行に設けられている。搬送フォーク１０１は、第一のティース１０２と第二のティース１０５のみにおいて、当該搬送フォーク１０１がウェハに接触するように構成されるとともに、第一のティース１０２および第二のティース１０５の間隔とウェハキャリアの幅とが略等しい構成となっている。【選択図】  図１
2006179836.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
設置面に水平にウェハが収容されるウェハキャリアに前記ウェハを搬送する搬送フォークであって、
前記ウェハの周縁部において前記ウェハを支持する一対の腕部を有し、
前記腕部のみにおいて、当該搬送フォークが前記ウェハに接触するように構成され、
前記ウェハキャリアの幅と前記腕部の間隔とが略等しいことを特徴とする搬送フォーク。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送フォークにおいて、
前記ウェハキャリアの対向する二つの側面に、前記ウェハの下面を保持する保持部が設けられ、
前記二つの側面に設けられた前記保持部の、前記ウェハキャリアの内側の端部間の距離と、前記腕部の間隔とが略等しいことを特徴とする搬送フォーク。
【請求項３】
請求項１または２に記載の搬送フォークにおいて、
前記一対の腕部を連結する連結部を有し、
当該搬送フォークを前記ウェハキャリアに挿入したとき、前記連結部が前記ウェハに接触しないように構成されたことを特徴とする搬送フォーク。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかに記載の搬送フォークにおいて、
前記一対の腕部の間隔が、前記ウェハの直径の１／１５以下であることを特徴とする搬送フォーク。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかに記載の搬送フォークにおいて、
前記腕部が、断面円形または断面楕円形の棒状部材であることを特徴とする搬送フォーク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハを搬送するフォークに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハの移載に用いられる搬送フォークとして、従来、特許文献１に記載のものがある。図６は、特許文献１に記載の搬送装置の搬送アームおよび搬送フォークの構成を示す平面図である。図６に示した装置は、アーム２０７とアーム２０７に接続された搬送フォーク２０１とを有する。搬送フォーク２０１は、概略、２股形状である。また、搬送フォーク２０１のウェハ載置面には、ウェハを検出する検出器２０５が、２本のティースの先端部と脚部に近いウェハ載置面の３箇所に設置されている。
【０００３】
図７および図８は、図６に示した搬送フォーク２０１を用いてウェハキャリア中のウェハを取り出す動作を例示する図である。図７はウェハが収容されたウェハキャリア２１０の断面図であり、図８は平面図である。図７および図８、ならびに後述する図９および図１０において、ウェハキャリア２１０は、キャリア底板２１１、キャリア上板２１２、キャリア背面板２１７、および２枚のキャリア側面板２０８により構成されている。ウェハキャリア２１０の内側面には、キャリア保持部２０９が櫛形に設けられており、キャリア保持部２０９間のキャリア溝部２１３にウェハが保持される。図７では、ウェハ２１５ａ〜ウェハ２１５ｊの１０枚のウェハがウェハキャリア２１０の設置面に水平方向に収容されている場合が例示されている。
【０００４】
このようなウェハキャリア２１０からたとえばウェハ２１５ｂを取り出そうとする場合、図８に示すように、搬送フォーク２０１を、ウェハ２１５ｂとウェハ２１５ｃとの間に挿入する。
【特許文献１】特開平９−２１３７６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、本発明者が検討したところ、図６に示した搬送フォーク２０１を用いた場合、ウェハの移載操作において以下の点で改善の余地があることが明らかになった。
【０００６】
まず、半導体ウェハ製造工程においては、半導体装置を造りこんだ後、パッケージの厚さの制限のため、ウェハの裏面を機械的に研削し、厚さを薄くする。たとえば、研削後のウェハの厚さは２００〜３００μｍ程度と、当初のウェハの厚さより１／４〜１／３程度になる。すると、半導体ウェハ製造工程での成膜履歴や熱履歴、もともと持っていたウェハ内部の応力に加え、裏面の研削時にも応力がウェハに加わるため、ウェハがたわんだ形状になる。ウェハにたわみが生じると、搬送ロボットにより、ウェハキャリアにウェハを収納したり、ウェハキャリアからウェハを取り出したりする動作において、搬送フォークがウェハにぶつかり、ウェハが割れ、歩留損や装置稼動の低下になる懸念があった。
【０００７】
たとえば、図７では、ウェハキャリア２１０中に収容されているウェハのうち、ウェハ２１５ａ、ウェハ２１５ｂ、ウェハ２１５ｄ、ウェハ２１５ｅ、ウェハ２１５ｇ、ウェハ２１５ｈ、およびウェハ２１５ｊはウェハキャリア２１０の設置面に対して下に凸にたわんでいる。一方、ウェハ２１５ｃ、ウェハ２１５ｆ、およびウェハ２１５ｉはウェハキャリア２１０の設置面に対して上に凸にたわんでいる。このように、ウェハキャリア２１０内には、上に凸にたわんだウェハと下に凸にたわんだウェハとが存在する。
【０００８】
図７において、上記特許文献１に記載の搬送フォーク２０１（図６）を用いてウェハ２１５ａ〜２１５ｊの搬出入を行う場合、検出器２０５がウェハ２１５ｂに接触するまで搬送フォーク２０１を挿入しなければならない。このため、図８および図９に示すように、ウェハ２１５ｂを取り出す際に、搬送フォーク２０１を図８に示した位置よりもさらにキャリア２１０の奥まで挿入することになる。ところが、ウェハ２１５ｂは下に凸にたわんでいるため、ウェハ２１５ｂの周縁部Ｗと搬送フォークの凹部Ｆとが接触するため、搬送フォーク２０１を充分に挿入することができない。また、そのまま搬送フォーク２０１を挿入すると、搬送フォーク２０１が移動する力にウェハ２１５ｂが耐え切れなくなり、ウェハ２１５ｂが破損したり割れたりする懸念があった。なお、図９は、図７と同じ方向から見た図であり、図８の状態におけるウェハキャリア２１０の断面図である。
【０００９】
また、搬送フォーク２０１とウェハ２１５ｂとの接触を避けるために、搬送フォーク２０１を少し下の位置からウェハキャリア２１０中に挿入しようとしても、図１０に示すように、ウェハ２１５ｂと２１５ｃとの間隔が狭いため、搬送フォーク２０１とウェハ２１５ｃが接触する懸念があった。なお、図１０は、図７および図９と同じ方向から見た図である。
【００１０】
また、搬送フォークが仮に１枚の板状の場合でも、ウェハ２１５ｂとウェハ２１５ｃとの間隔が狭いため、搬送フォークの上下位置に少しの誤差が生じることによっても搬送フォークがこれらのウェハに接触する懸念がある。また、搬送フォークの挿入はできても、ウェハの中央部でその間隔がさらに狭くなっている場合、やはりウェハに搬送フォークが接触する懸念がある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者は、搬送フォークを用いたウェハのキャリアからの出し入れを安定的に行うべく鋭意検討を行った。その結果、従来技術における搬送フォークは、ウェハの中央部の近傍をも載せる形状であるため、安定的な出し入れが困難となる懸念があることを見出し、本発明に至った。
【００１２】
本発明によれば、
設置面に水平にウェハが収容されるウェハキャリアに前記ウェハを搬送する搬送フォークであって、
前記ウェハの周縁部において前記ウェハを支持する一対の腕部を有し、
前記腕部のみにおいて、当該搬送フォークが前記ウェハに接触するように構成され、
前記ウェハキャリアの幅と前記腕部の間隔とが略等しいことを特徴とする搬送フォークが提供される。
【００１３】
本発明の搬送フォークでは、腕部の間隔が、ウェハキャリアの幅に略等しく、さらに、互いにウェハの周縁部においてのみ、腕部がウェハに接触する構成となっている。このため、これらの相乗作用により、ウェハを安定的に出し入れ可能な構成となっている。具体的には、ウェハが研削等により薄化され、また薄化後のウェハがたわんだ状態であっても、その後の製造工程において、搬送フォークを有する搬送ロボットによりウェハをキャリアから出し入れする動作において、搬送フォークがウェハに衝突したり、それに伴いウェハが破損したりすることを抑制し、ウェハの出し入れの動作の安定性を向上することができる。このため、製造工程中で生じる歩留損を抑制することができる。また、ウェハの出し入れ動作の安定性を向上させることができるので、装置稼動率を充分に確保することができる。このため、装置稼働率の低下を抑制することができる。
【００１４】
したがって、本発明によれば、たとえば、裏面を研削した後の厚さ２００〜３００μm程度のウェハがたわんだ状態である場合についても、移載動作を安定的に行うことができる。
【００１５】
なお、本明細書において、腕部の間隔とは、一対の腕部の、フォーク外側の端部間の長さのことを指す。本発明において、一対の腕部が所定の方向に互いに略平行に延在する形状であってもよい。こうすれば、腕部の幅を略一定とすることができるため、ウェハを周縁部においてより一層確実に支持する構成とすることができる。また、直方体のウェハキャリアに搬送フォークを挿入する際に、ウェハキャリアに挿入される領域全体にわたって、腕部の間隔をウェハキャリアの幅とさらに確実に略等しくすることができる。
【００１６】
また、本明細書において、ウェハキャリアの幅とは、ウェハキャリアのウェハ挿入面から見たキャリアの内側面の間隔をいい、たとえば二つの内側面に対向するスロット溝が設けられているウェハキャリアにおいては、スロット溝のキャリア中心側の端部（突端部）間の間隔をいう。これは、また、本明細書において、ウェハキャリアの幅と腕部の間隔とが略等しいとは、搬送フォークをウェハキャリア内に挿入した際に、腕部の外縁とウェハキャリアとの間に、これらが接触しない程度の最小限の隙間が生じることをいう。腕部とウェハキャリアとが接触しない程度の最小限の隙間が生じる構成とすることにより、腕部がウェハキャリアの側面を擦ることにより塵芥が生じることを抑制しつつ、ウェハの周縁近傍の領域を確実に搬送フォークで支持することが可能となる。このため、搬出入動作における歩留まりの低下をより一層確実に抑制することができる。
【００１７】
また、本発明において、当該搬送フォークがウェハを支持する二箇所において、搬送フォークとウェハとの接触面積を必要最小限とすることができる。このようにすれば、ウェハキャリアへのウェハの搬入またはウェハキャリアからのウェハの搬出をより一層安定的に行うことができる。このような構成として、たとえば、前記腕部の間隔が前記ウェハの直径の１／１５以下とする構成が挙げられる。また、前記腕部が、断面円形または断面楕円形の棒状部材であってもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、簡素な構成でウェハの搬送を安定的に行う技術が実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について、複数枚のウェハを鉛直方向に沿って並べ収納するキャリアから一枚ずつウェハを出し入れする搬送フォークの場合を例に、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、共通の構成要素には同じ符号を付し、適宜説明を省略する。以下の搬送フォークの構成は、半導体製造装置のロード部等、キャリアをはじめとするウェハ収容器からウェハを移載する各種装置に適用することができる。
【００２０】
（第一の実施形態）
図１は、本実施形態に係る搬送フォークの構成を示す平面図である。図１に示した搬送フォーク１０１は、設置面に水平にウェハが収容されるウェハキャリア（後述する図２〜５に示したウェハキャリア１１０）にウェハ（図２〜図６で後述するウェハ１１５ａ〜ウェハ１１５ｊ）を搬送する搬送フォークである。
搬送フォーク１０１は、ウェハの周縁部において、ウェハを支持する一対の腕部（第一のティース１０２、第二のティース１０５）を有する。第一のティース１０２と第二のティース１０５は所定の方向に互いに平行に延在する形状となっている。
搬送フォーク１０１は、第一のティース１０２と第二のティース１０５のみにおいて、当該搬送フォーク１０１がウェハに接触するように構成されるとともに、ウェハキャリア１１０の幅と、第一のティース１０２と第二のティース１０５との間隔と、が略等しい構成となっている。
また、搬送フォーク１０１が挿入されるウェハキャリア１１０の対向する二つの側面（図２〜図６で後述するキャリア側面板１０８）に、ウェハの下面を保持する保持部（ウェハ保持部１０９）が設けられ、二つのキャリア側面板１０８に設けられたウェハ保持部１０９の、ウェハキャリア１１０の内側の端部間の距離と、第一のティース１０２と第二のティース１０５との間隔と、が略等しい構成となっている。
また、搬送フォーク１０１は、一対のティース、すなわち、第一のティース１０２と第二のティース１０５、を連結する連結部（ティース連結部１０３）を有し、搬送フォーク１０１をウェハキャリア１１０に挿入したとき、ティース連結部１０３がウェハに接触しないように構成されている。第一のティース１０２および第二のティース１０５の間隔は、ウェハの直径の１／１５以下である。
【００２１】
以下、搬送フォーク１０１の構成をさらに詳細に説明する。
図１に示した搬送フォーク１０１は、第一のティース１０２および第二のティース１０５の二つのティースからなるティース部、第一のティース１０２と第二のティース１０５を連結するティース連結部１０３、およびティース連結部１０３と搬送フォーク１０１の駆動部（不図示）とを連結する連結部１０４から構成される。
【００２２】
図１において、ｘおよびｙは、それぞれ第二のティース１０５および第一のティース１０２の幅である。ｘおよびｙは、ウェハとの接触面積が必要最小限となるように構成される。このようなｘおよびｙは、搬送フォーク１０１に支持されるウェハの質量およびたわみの程度に応じて実験的に決定することができるが、たとえば、厚さが２００μｍ〜３００μｍ程度のウェハを搬送する際には、ｘおよびｙをウェハの直径の１５分の１以下とする。このようにすれば、ウェハがたわんでいる場合にも、その周縁近傍の領域でウェハを確実に支持するとともに、ウェハがウェハ保持部１０９や搬送フォーク１０１に接触しないようにすることができる。
【００２３】
また、ｚは第一のティース１０２と第二のティース１０５との間隔である。ここで、第一のティース１０２と第二のティース１０５との間隔は、第一のティース１０２および第二のティース１０５の延在方向に垂直な方向における、第一のティース１０２のフォーク外側の辺と第二のティース１０５のフォーク外側の辺との間の長さであり、図１においては搬送フォーク１０１の幅である。第一のティース１０２と第二のティース１０５とは略平行であるため、第一のティース１０２と第二のティース１０５との間隔ｚは略一定となっている。
【００２４】
搬送フォーク１０１は、ウェハキャリア１１０と同じ形状で同じ幅を有する。すなわち、搬送フォーク１０１をウェハキャリア１１０内に挿入したときに、搬送フォーク１０１とウェハキャリア１１０との間に、ティース外縁とキャリア溝部１１３とが接触しない程度の最小限の隙間が生じる構成となっている。具体的には、搬送フォーク１０１の往復動作において第一のティース１０２および第二のティース１０５とウェハ保持部１０９の端部とが接触しない程度の隙間を有する構成とし、ｚが、ウェハキャリア１１０の左右に設けられたウェハ保持部１０９のキャリア内側の端部間の間隔と略等しいか、これよりわずかに短い長さとなるように、搬送フォーク１０１を構成する。
【００２５】
図２は、図１に示した搬送フォーク１０１をウェハキャリアに挿入した状態を示す平面図である。また、図３は、図２のＡ−Ａ’断面図である。図２および図３において、搬送フォーク１０１は、駆動部（不図示）により動作され、ウェハキャリア１１０からウェハを出し入れする。
【００２６】
ウェハキャリア１１０は、キャリア底板１１１、キャリア上板１１２、キャリア背面板１１７、および２枚のキャリア側面板１０８、により構成されている。ウェハキャリア１１０の二つの内側面には、櫛形のウェハ保持部１０９が対向して設けられている。ウェハは、隣り合うウェハ保持部１０９間のキャリア溝部１１３に保持される。図２では、ウェハ１１５ａ〜ウェハ１１５ｊの１０枚のウェハがウェハキャリア１１０の設置面に水平方向に収容されている場合が例示されている。ウェハ１１５ａ、ウェハ１１５ｂ、ウェハ１１５ｄ、ウェハ１１５ｅ、ウェハ１１５ｇ、ウェハ１１５ｈ、およびウェハ１１５ｊは、ウェハキャリア１１０の設置面に対して下に凸状にたわんでおり、ウェハ１１５ｃ、ウェハ１１５ｆ、およびウェハ１１５ｉは、ウェハキャリア１１０の設置面に対して上に凸状にたわんでいる。
【００２７】
図２では、ウェハキャリア１１０内のウェハ１１５ｂの直下に搬送フォーク１０１を挿入した様子が例示されている。図２中のｓは、搬送フォーク１０１を完全にウェハキャリア１１０内に収容した状態におけるティース連結部１０３とウェハキャリア１１０内に収納されたウェハ１１５ｂとの距離で、この距離ｓが正である。すなわち、搬送フォーク１０１のウェハキャリア１１０への挿入が完了した時点で、ティース連結部１０３とウェハ１１５ｂとが接触しない程度の所定のマージンｓだけ離れている。これにより、ウェハキャリア１１０内に搬送フォーク１０１を挿入したときのウェハ１１５ｂとティース連結部１０３との接触が回避される。
【００２８】
なお、図２においては、ウェハ１１５ｂのＯＦ（オリエンテーションフラット）が、ウェハキャリア１１０のキャリア背面板１１７に対向した状態でウェハ１１５ｂがウェハキャリア１１０内に収容されているが、ウェハ１１５ｂのＯＦがどの方向にあっても、ティース連結部１０３とウェハ１１５ｂとの間に一定以上の間隔ｓが設けられるように構成されることが好ましい。こうすれば、ウェハ１１５ｂとティース連結部１０３との接触をより一層確実に抑制することができるため、ウェハ１１５ｂの出し入れをより一層安定的に行い、ウェハ１１５ｂの破損をさらに確実に抑制することができる。
【００２９】
このような構成として、具体的には、第一のティース１０２および第二のティース１０５の長さをウェハ１１５ｂの直径以上とした構成が挙げられる。また、搬送フォーク１０１をウェハキャリア１１０のキャリア背面板１１７に接する状態までウェハキャリア１１０に挿入した状態で、ティース連結部１０３がウェハキャリア１１０の外部に位置する構成とすることもできる。
【００３０】
次に、図２および図３を参照して、ウェハキャリア１１０からのウェハの移載手順を説明する。
まず、搬送フォーク１０１を用いてウェハキャリア１１０からウェハ１１５ｂを取り出す際には、搬送フォーク１０１の駆動部（不図示）を動作させ、第一のティース１０２および第二のティース１０５の上面の位置を、ウェハ１１５ｂを保持するウェハ保持部１０９の上面の高さに等しいか、これよりもやや低い高さに調節する。このときのティース上面の高さは、ウェハ１１５ｂのひずみの大きさに応じて決定する。
【００３１】
そして、ウェハ１１５ｂとウェハ１１５ｃとの間に搬送フォーク１０１を挿入する。つづいて、搬送フォーク１０１を上方向に移動させて、ウェハ１１５ｂを第一のティース１０２および第二のティース１０５の上に載せる。このとき、搬送フォーク１０１は第一のティース１０２および第二のティース１０５においてのみウェハ１１５ｂと接触し、第一のティース１０２および第二のティース１０５とウェハ１１５ｂとが接触する面は、図２における第一の接触部１０２ａおよび第二の接触部１０５ａとなる。
【００３２】
そして、第一の接触部１０２ａおよび第二のティース１０５ｂでウェハ１１５ｂを支持した状態で、搬送フォーク１０１をウェハキャリア１１０の外部に向かって水平移動させ、ウェハ１１５ｂをウェハキャリア１１０から取り出す。
【００３３】
また、ウェハ１１５ｂをウェハキャリア１１０に収容する際には、ウェハ１１５ｂを支持している搬送フォーク１０１の第一のティース１０２および第二のティース１０５上面の位置を、ウェハ１１５ｂを支持する予定のウェハ保持部１０９の上面の高さに等しいか、これよりもやや高い位置に高さに調節する。このときのティース上面の高さは、ウェハ１１５ｂのひずみの大きさに応じて決定する。
【００３４】
そして、搬送フォーク１０１をウェハキャリア１１０内に挿入する。つづいて、搬送フォーク１０１を下方に向かって移動させ、ウェハ１１５ｂをウェハ保持部１０９上に載置する。その後、搬送フォーク１０１をウェハキャリア１１０の外側に向かって水平移動させて、ウェハキャリア１１０から取り出す。
【００３５】
次に、搬送フォーク１０１の効果を説明する。
搬送フォーク１０１（図１〜図３）においては、互いに平行な第一のティース１０２および第二のティース１０５の間隔がウェハ保持部１０９の端部間の間隔に略等しく、第一のティース１０２および第二のティース１０５がウェハ保持部１０９の近傍に配置されるとともに、ティース連結部１０３とウェハ１１５ｂとの間に距離ｓが確保され、搬送フォーク１０１を第一のティース１０２および第二のティース１０５のみにおいて、必要最小限の接触面積で支持する構成となっている。このため、これらの構成の相乗作用により以下の効果が得られる。
【００３６】
まず、図３に示した場合のように、ウェハ１１５ｂとウェハ１１５ｃとの、鉛直方向（ウェハキャリア１１０設置面に垂直な方向）の距離が、ウェハ１１５ｂの中央部で狭くなっている場合にも、ウェハ１１５ｂとウェハ１１５ｃとの間隔の狭い領域に、搬送フォーク１０１を構成する第一のティース１０２、第二のティース１０５およびティース連結部１０３のいずれも配置されない。よって、ウェハ中央部において、ウェハ１１５ｂおよびその下方に配置されたウェハ１１５ｃと搬送フォーク１０１とが接触しない。このため、搬送フォーク１０１挿入時の欠け等の破損を抑制することができるため、ウェハ１１５ｂの品質を向上させ、品質管理を効果的に行うことができる。
【００３７】
たとえば、搬送フォーク１０１を用いることにより、搬送フォーク１０１を使用する搬送ロボットのティーチングを、ウェハ１１５ａ〜ウェハ１１５ｊがたわんでいないという前提で行う場合にも、ウェハ１１５ｂの破損を抑制し、安定的に搬送することができる。具体的には、キャリア溝部１１３の近傍に搬送フォーク１０１の第一のティース１０２および第二のティース１０５が位置し、これらがたわみの大きいウェハ中央部に位置しないため、第一のティース１０２または第二のティース１０５がウェハ１１５ｂに接触して、ウェハ１１５ｂにキズがついたり、ウェハ１１５ｂが割れたりすることを抑制できる。
【００３８】
また、ウェハ１１５ｂが、裏面を研削された後であって厚さ２００〜３００μｍ程度のたわんだ状態であっても、その後の製造工程において使用される搬送ロボットで、キャリアにウェハを収納したり、取り出したりする動作において、搬送フォーク１０１がウェハ１１５ｂにぶつかり、ウェハ１１５ｂが割れるといったことがなくなり、歩留損や装置稼動の低下を抑制することができる。
【００３９】
また、第一のティース１０２および第二のティース１０５を、ウェハ保持部１０９の端部に接触しない程度の最小限のマージンを確保した位置に配置するように構成することにより、単にウェハ１１５ｂを第一の接触部１０２ａおよび第二のティース１０５ｂの二箇所で支持する構成では実現できない安定的なウェハの出し入れが可能となる。具体的には、上述したｚが、キャリア側面板１０８から突出したウェハ保持部１０９の端部の間隔に略等しいため、搬送フォーク１０１をウェハキャリア１１０内に挿入する際に、第一のティース１０２および第二のティース１０５の先端がウェハ１１５ｂやその下方に配置されたウェハ１１５ｃに接触しないようにすることができる。それとともに、ウェハ１１５ｂのウェハ保持部１０９と接触する領域の下面の高さと、第一の接触部１０２ａおよび第二の接触部１０５ａにおけるウェハ１１５ｂの下面の高さとを略等しくすることができる。このため、ウェハ１１５ｂをウェハキャリア１１０内に挿入する際に、所定のウェハ１０９の直上のキャリア溝部１１３にウェハ１１５ｂを確実に挿入し、このときのウェハ１１５ｂとウェハ保持部１０９との接触を抑制することができる。
【００４０】
たとえば、第一のティース１０２および第二のティース１０５の上面の高さを、ウェハ１１５ｂを支持するウェハ保持部１０９の上面の高さに略等しくすることにより、第一の接触部１０２ａおよび第二の接触部１０５ａにおけるウェハ１１５ｂの下面の高さを、ウェハ保持部１０９の上面の高さに略等しくすることができる。このため、ウェハ１１５ｂが下に凸にたわんでいる際に、ウェハ１１５ｂをウェハ保持部１０９に接触させずにキャリア溝部１１３に挿入することができる。なお、ウェハ１１５ｂをウェハキャリア１１０から搬出する際には、第一のティース１０２および第二のティース１０５の上面の高さを、ウェハ１１５ｂを支持するウェハ保持部１０９の上面の高さよりもやや低い位置とすることにより、ウェハ１１５ｂにより一層確実に接触させずに搬送フォーク１０１をウェハキャリア１１０内に挿入することができる。
【００４１】
また、ウェハ１１５ｂが上に凸にたわんでいる際にも、第一のティース１０２および第二のティース１０５の上面の高さを、ウェハ１１５ｂを保持するウェハ保持部１０９の上面の高さに略等しくすることにより、ウェハ１１５ｂをウェハキャリア１１０から搬出する際に、ウェハ１１５ｂに接触させずに搬送フォーク１０１をウェハキャリア１１０内に挿入することができる。なお、キャリア溝部１１３にウェハ１１５ｂを挿入する際には、第一のティース１０２および第二のティース１０５の上面の高さを、ウェハ１１５ｂを保持するウェハ保持部１０９の上面の高さよりもやや高い位置とすることにより、ウェハ保持部１０９により一層確実に接触させずにウェハ１１５ｂをウェハキャリア１１０内に挿入することができる。
【００４２】
また、第一のティース１０２と第二のティース１０５が互いに平行に設けられているため、これらのティースが先端部に向かって近接するような形状である場合に比べて、箱形のウェハキャリア１１０に挿入した際に、ウェハ１１５ｂの周縁近傍の領域（周縁部）に確実に接触するように構成されている。このため、ウェハ１１５ｂがたわんでいる場合にも、ウェハ１１５ｂと搬送フォーク１０１との接触が好適に抑制された構成となっている。
【００４３】
また、搬送フォーク１０１においては、ティース連結部１０３がウェハ１１５ｂおよびウェハキャリア１１０内の他のウェハに接触しないように構成されているため、搬送フォーク１０１を用いることにより、ウェハキャリア１１０に挿入する際にティース連結部１０３とウェハ１１５ａ〜ウェハ１１５ｊとが接触することによるウェハの損傷の発生を抑制することができる。
【００４４】
したがって、生産性の向上に伴うウェハの大型化や、ＰＫＧ（パッケージ）の薄型化に伴うウェハの薄型化に伴い、ウェハのたわみやウェハ移載時の破損が問題になるまでに重要視される状況においても、搬送フォーク１０１を用いることにより、ウェハキャリア１１０からのウェハ１１５ａ〜１１５ｊの出し入れを安定的に行うことができる。
【００４５】
（第二の実施形態）
第一の実施形態においては、第一のティース１０２および第二のティース１０５が、上面の幅が所定の大きさ（ｙ、ｘ）である細い薄板状の部材である場合を例に説明したが、第一のティース１０２および第二のティース１０５が、円形または楕円形の断面形状を有する棒状部材であってもよい。
【００４６】
図４は、本実施形態の搬送フォークを図２に示したウェハキャリア１１０に挿入した状態を示す平面図である。また、図５は図４のＡ−Ａ’断面図である。
【００４７】
図４および図５に示した搬送フォーク１２０の基本構成は第一の実施形態に記載の搬送フォーク１０１（図１〜図３）と同様であるが、第一のティース１０２および第二のティース１０５の断面形状が円形である点が異なる。
【００４８】
また、搬送フォーク１２０において、第一のティース１０２、ティース連結部１０３および第二のティース１０５は、一つの棒状部材から連続一体に構成される。ティース連結部１０３は、第一のティース１０２とティース連結部１０３との間に設けられ、棒状部材が湾曲している領域である。また、第一のティース１０２および第二のティース１０５はいずれも一直線状に延びており、互いに平行に配置されている。
【００４９】
なお、第一のティース１０２および第二のティース１０５の材料は、たわまずにウェハ１１５ｂを支持できる程度の剛性を有する材料であればよく、たとえば金属等とすることができる。
【００５０】
このような構成とすることにより、搬送フォーク１２０では、第一の実施形態の効果に加えて以下の効果が得られる。
【００５１】
搬送フォーク１２０においては、第一のティース１０２および第二のティース１０５が円柱状である。このため、図４および図５に示したように、第一の接触部１０２ａおよび第二の接触部１０５ａを線状の領域とする、すなわち、ウェハ１１５ｂを線接触により支持する構成とすることができる。このため、ウェハ１１５ｂを面接触により支持する第一の実施形態の構成よりも、第一のティース１０２および第二のティース１０５と搬送フォーク１０１との接触面積をさらに小さくすることができる。
【００５２】
よって、搬送フォーク１０１をウェハキャリア１１０に挿入する際に、第一のティース１０２または第二のティース１０５の先端や、第一のティース１０２または第二のティース１０５の上部がウェハ１１５ｂに接触することをさらに確実に抑制することができる。また、搬送フォーク１０１をウェハキャリア１１０内で移動させる際に、搬送フォーク１０１がウェハ１１５ｂまたはその上下に配置されたウェハに接触することをさらに確実に抑制することができる。よって、搬送時のウェハ１１５ｂの破損をさらに確実に抑制し、ウェハ１１５ｂの搬送をより一層安定的に行うことができる。
【００５３】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【００５４】
たとえば、搬送フォーク１０１は、駆動部（不図示）の動作を制御する制御部を備えてもよい。また、制御部は、ウェハのたわみの大きさを計測するセンサと、センサで測定されたウェハのたわみの大きさに応じてウェハキャリア１１０と搬送フォーク１０１との相対位置を移動させる演算部を備えることができる。
【００５５】
制御部を有しない構成の場合、たとえば、作業者が上述した手順により駆動部（不図示）を動作させて、搬送フォーク１０１を上下移動させたり水平移動させたりすることにより、ウェハの搬出入を行うことができる。これに対し、制御部を設けることにより、移載操作の自動化が可能となり、さらに簡便にウェハ１１５ｂを移載することができる。
【００５６】
また、以上においては、ウェハキャリア１１０の高さを固定し、搬送フォーク１０１を駆動部（不図示）により移動させて、搬送フォーク１０１の高さを調節する構成を例に説明したが、搬送フォーク１０１の高さは固定されており、ウェハキャリア１１０をエレベータ等の上にのせて上下移動させることにより、ウェハキャリア１１０に対する搬送フォーク１０１の高さ方向の相対位置を移動させる構成としてもよい。また、搬送フォーク１０１とウェハキャリア１１０の両方の高さを調節可能な構成とすることもできる。
【００５７】
また、以上においては、第一のティース１０２の幅ｙと第二のティース１０５の幅ｘとが等しい場合を例に説明したが、一対のティースの幅が等しい構成には限られない。たとえば、ウェハが所定の側に大きくたわみやすい傾向がある場合には、そのたわみの傾向に応じてｘとｙを異なる大きさとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本実施形態に係る搬送フォークの構成を示す平面図である。
【図２】本実施形態に係る搬送フォークをウェハキャリアに挿入した状態を示す平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ’断面図である。
【図４】本実施形態に係る搬送フォークをウェハキャリアに挿入した状態を示す平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ’断面図である。
【図６】従来の搬送フォークの構成を示す平面図である。
【図７】ウェハキャリアの構成を示す平面図である。
【図８】従来の搬送フォークをウェハキャリアに挿入した状態を示す平面図である。
【図９】従来の搬送フォークをウェハキャリアに挿入した状態を示す断面図である。
【図１０】従来の搬送フォークをウェハキャリアに挿入した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１０１  搬送フォーク
１０２  第一のティース
１０３  ティース連結部
１０４  連結部
１０５  第二のティース
１０８  キャリア側面板
１０９  ウェハ保持部
１１０  ウェハキャリア
１１１  キャリア底板
１１２  キャリア上板
１１３  キャリア溝部
１１５ａ  ウェハ
１１５ｂ  ウェハ
１１５ｃ  ウェハ
１１５ｄ  ウェハ
１１５ｅ  ウェハ
１１５ｆ  ウェハ
１１５ｇ  ウェハ
１１５ｈ  ウェハ
１１５ｉ  ウェハ
１１５ｊ  ウェハ
１１７  キャリア背面板
１２０  搬送フォーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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