(57)【要約】【課題】  本発明は、色別複数の機能液滴吐出ヘッドを描画エリアにおいて精度良く支持することができる液滴吐出装置を提供することを課題とする。【解決手段】  本発明の液滴吐出装置１は、色別複数の機能液滴吐出ヘッド４をそれぞれキャリッジ２８に搭載した色別複数のキャリッジユニット５と、基板Ｗを搭載すると共に基板ＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、色別の各キャリッジユニット５を、それぞれ描画エリア８と各キャリッジユニット５を保守するための待機エリア１１との間でＹ軸方向に移動させる色別複数のＹ軸テーブル６と、を備えている。【選択図】  図１
2006076065.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素領域を有する基板に対し、
色別の機能液を導入した色別複数の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、描画エリアにおいて前記複数の画素領域に配色パターンに基づいて機能液滴を吐出・着弾させて描画処理を行う液滴吐出装置であって、
前記色別複数の機能液滴吐出ヘッドをそれぞれキャリッジに搭載した色別複数のキャリッジユニットと、
前記基板を搭載すると共に前記基板をＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルと、
前記色別の各キャリッジユニットを、それぞれ前記描画エリアと前記各キャリッジユニットを保守するための待機エリアとの間でＹ軸方向に移動させる色別複数のＹ軸テーブルと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記色別の各キャリッジユニットは、それぞれが前記色別複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した複数の部分ユニットで構成されており、
前記色別の各Ｙ軸テーブルは、前記複数の部分ユニットをＹ軸方向に個々に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記色別の各キャリッジユニットは、基板に対しラインプリント方式で描画可能に構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記色別複数のＹ軸テーブルに対応する複数の前記待機エリアが、前記描画エリアを挟んで千鳥状に位置するように、前記色別複数のＹ軸テーブルが配設されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記各待機エリアには、前記各機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管する保管ユニットと、前記各機能液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングするワイピングユニットと、を有するメンテナンス装置がそれぞれ配設されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項６に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項７に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の画素領域を有する基板に対し、色別の機能液を導入した色別複数の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら描画を行う液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット記録装置として、ラインプリント方式でカラー印刷が可能なものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このインクジェット記録装置は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックにそれぞれ対応するとともに、記録可能範囲に亘って細長に形成された計４個のインクジェットヘッドと、記録紙を送る紙送りローラと、を有している。そして、紙送りローラにより主走査方向へ送られる記録紙に対し、計４個のインクジェットヘッドがインク滴を吐出することで、ラインプリント方式によりカラー印刷がなされるようになっている。
【０００３】
ところで、上記装置に用いられるインクジェット法は、液晶表示装置等のカラーフィルタの製造装置にも応用されることが周知であり、上記の装置構成をそのままカラーフィルタ製造装置、すなわち液滴吐出装置に転用することが考えられる。すなわち、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の機能液（フィルタ材料）にそれぞれ対応する計３個の機能液滴吐出ヘッドおよびこれを搭載するキャリッジを、それぞれ記録（描画）可能範囲である描画エリアに亘って長細に形成し、ラインプリント方式で描画を行う構成が考えられる。
【特許文献１】特開平１１−１４２６４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような液滴吐出装置にあって、大型の基板を描画対象とするものにおいては、並列に載置された複数の機能液滴吐出ヘッドの重量と、これらを支持するキャリッジの自重とによりキャリッジが撓んで、機能液滴吐出ヘッドと基板間のワークギャップが均一にならなくなってしまう問題がある。そして、キャリッジの剛性を高めるために厚手のキャリッジにすると、キャリッジ重量の増加に起因してこれを支持する機構の強度を高める必要があり、装置全体として重量増加してしまう問題がある。
【０００５】
本発明は、色別複数の機能液滴吐出ヘッドを描画エリアにおいて精度良く支持することができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出装置は、複数の画素領域を有する基板に対し、色別の機能液を導入した色別複数の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、描画エリアにおいて複数の画素領域に配色パターンに基づいて機能液滴を吐出・着弾させて描画処理を行う液滴吐出装置であって、色別複数の機能液滴吐出ヘッドをそれぞれキャリッジに搭載した色別複数のキャリッジユニットと、基板を搭載すると共に基板をＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルと、色別の各キャリッジユニットを、それぞれ描画エリアと各キャリッジユニットを保守するための待機エリアとの間でＹ軸方向に移動させる色別複数のＹ軸テーブルと、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、色別複数の機能液滴吐出ヘッドは、色別に複数のキャリッジユニットにキャリッジを介して搭載され、これら色別複数のキャリッジユニットがそれぞれ色別に複数のＹ軸テーブルに搭載される。すなわち、各キャリッジユニットは、対応するＹ軸テーブルにそれぞれ支持されることになり、各Ｙ軸テーブルが支持するキャリッジユニットの重量を軽減することができ、機能液滴吐出ヘッド−基板間のワークギャップ等を精度よく管理することができる。また、各キャリッジユニットの重量を軽減することができるため、慣性の影響を低減することができ、各Ｙ軸テーブルに設ける加速領域および減速領域を小さくすることができる。さらに、各キャリッジユニットの重量が軽減されれば、各キャリッジユニットの着脱を容易に行うことができ、各キャリッジユニットの着脱による複数の機能液滴吐出ヘッドの一括交換を効率的に行うことができる。
【０００８】
この場合、色別の各キャリッジユニットは、それぞれが色別複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した複数の部分ユニットで構成されており、色別の各Ｙ軸テーブルは、複数の部分ユニットをＹ軸方向に個々に移動可能に構成されていることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、基板幅（Ｙ軸方向の長さ）の異なる複数種類の基板に対し、最適な数の部分ユニットを描画エリアに移動させ、これらにより描画を行うことができる。このため、描画に用いない部分ユニットを待機エリアに移動させ保守状態で保持することができる。
【００１０】
この場合、色別の各キャリッジユニットは、基板に対しラインプリント方式で描画可能に構成されていることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、１回の主走査で複数色の機能液による基板全域に対する描画を行うことができ、基板の描画処理にかかるタクトタイムを短縮することができる。
【００１２】
この場合、色別複数のＹ軸テーブルに対応する複数の待機エリアが、描画エリアを挟んで千鳥状に位置するように、色別複数のＹ軸テーブルが配設されていることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、待機エリアが千鳥状に配置されるようにＹ軸テーブルが配設されるため、待機エリアにおいてＹ軸テーブル廻りに作業スペースが確保され、キャリッジユニットのメンテナンスを効率的に行うことができる。
【００１４】
この場合、各待機エリアには、各機能液滴吐出ヘッドを機能維持状態に保管する保管ユニットと、各機能液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングするワイピングユニットと、を有するメンテナンス装置がそれぞれ配設されていることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、待機エリアに移動した各機能液滴吐出ヘッドを、保管ユニットにより機能維持状態に保持すると共に、ワイピングユニットによりその機能回復を図ることができる。また、メンテナンス装置が色別の各Ｙ軸テーブルに対応して設けられ、保管ユニットおよびワイピングユニットにおいて同色の機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドのみが取り扱われるため、機能液の混色を確実に防止することができる。
【００１６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００１８】
これらの構成によれば、ワークギャップを適切に管理した液滴吐出装置を用いるため、効率よく電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００１９】
本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２０】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付の図面を参照して、実施形態にかかる液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれ、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法（インクジェット法）により、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色のフィルタ材料（機能液）を吐出して、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等のカラーフィルタを単一の装置で形成（３色描画）するものである。
【００２２】
図１および図２に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１は、描画対象とする基板Ｗ（ワーク）を搭載すると共にこれをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、Ｘ軸テーブル２を跨いでこれと直交するようにそれぞれ配設した、紙面上側のＲ色Ｙ軸ユニット３ｒ、紙面中間のＧ色Ｙ軸ユニット３ｇ、および紙面下側のＢ色Ｙ軸ユニット３ｂと、を備え、各色のＹ軸ユニット３ｒ、３ｇ、３ｂには、色別の（Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色）機能液滴吐出ヘッド４ｒ、４ｇ、４ｂ（図３参照）を有する色別の（Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色）キャリッジユニット５ｒ、５ｇ、５ｂがそれぞれ搭載されている。また、液滴吐出装置１は、装置全体を覆うチャンバ装置と、上記の各構成装置を統括的に制御する制御装置と、を備えている（いずれも図示省略）。
【００２３】
Ｒ色Ｙ軸ユニット３ｒは、Ｒ色キャリッジユニット５ｒをＹ軸方向に移動させるＲ色Ｙ軸テーブル６ｒと、Ｒ色キャリッジユニット５ｒのメンテナンスに供するＲ色メンテナンス装置７ｒとを有している。同様に、Ｇ色Ｙ軸ユニット３ｇは、Ｇ色Ｙ軸テーブル６ｇと、Ｇ色メンテナンス装置７ｇとを有し、またＢ色Ｙ軸ユニット３ｂは、Ｂ色Ｙ軸テーブル６ｂと、Ｂ色メンテナンス装置７ｂとを有している。
【００２４】
同図に示すように、各色のＹ軸ユニット３ｒ〜ｂは、Ｘ軸テーブル２を中心に左右方向（Ｙ軸方向）に互い違いに、すなわち、Ｒ色Ｙ軸ユニット３ｒおよびＢ色Ｙ軸ユニット３ｂに対し、中間のＧ色Ｙ軸ユニット３ｇのみ左右逆向きに配設されている。この場合、Ｘ軸テーブル２に対し各色のＹ軸ユニット３ｒ〜ｂがそれぞれ交差する領域、すなわちＸ軸テーブル２により基板が移動する領域は描画エリア８となっており、この描画エリア８に臨んだ各色のキャリッジユニット５ｒ〜５ｂにより、基板Ｗに描画が行われる。
【００２５】
また、Ｘ軸テーブル２に対し各色のＹ軸テーブル６ｒ〜ｂがＹ軸方向に突出した領域は、それぞれ待機エリア（メンテナンスエリア）１１ｒ、１１ｇ、１１ｂとなっており、描画エリア８を挟んで千鳥状に配置したこれら３つの待機エリア１１ｒ〜ｂにそれぞれ臨んだ各色のキャリッジユニット５ｒ〜ｂに対し、上記のＲ、Ｇ、Ｂ各色のメンテナンス装置７ｒ〜ｂにより機能液滴吐出ヘッド４の保守（メンテナンス）が行われる。このように、３つの待機エリア１１ｒ〜ｂを交互（千鳥）に配置することにより、各色のメンテナンス装置７ｒ〜ｂの周囲に十分な作業スペースが構成され、作業者がメンテナンス装置７ｒ〜ｂに臨むキャリッジユニット５ｒ〜ｂに容易にアクセス（メンテナンス）できるようになっている。
【００２６】
そして、チャンバ装置によって保たれるドライエアーや不活性ガスの雰囲気において、描画エリア８に基板Ｗが導入されると、各色のＹ軸テーブル６ｒ〜ｂのキャリッジユニット５ｒ〜ｂがそれぞれ描画エリア８に臨み、基板ＷをＸ軸方向に移動（主走査）させながら描画処理が行われる。描画処理の終了後、必要に応じて、各色のキャリッジユニット５ｒ〜ｂは、それぞれ待機エリア１１ｒ〜ｂに移動して、各色のメンテナンス装置７ｒ〜ｂにより機能液滴吐出ヘッド４ｒ〜ｂの機能回復が図られる。なお、液滴吐出装置１には、各機能液滴吐出ヘッド４の位置認識を行うヘッド認識カメラ（図示省略）や、基板Ｗを位置認識するための一対のワーク認識カメラ（図示省略）等の各種の装置が備えられている。
【００２７】
以下、Ｘ軸テーブル２と、各色のＹ軸ユニット３ｒ〜ｂと、についてそれぞれ説明するが、各色のＹ軸ユニット３ｒ〜ｂは、Ｇ色Ｙ軸ユニット３ｇのみ逆向きであるものの、いずれも同形態であるため、本実施形態では、Ｒ色Ｙ軸ユニット３ｒについてのみ説明し、Ｇ色Ｙ軸ユニット３ｇおよびＢ色Ｙ軸ユニット３ｂの説明については省略する。なお、説明では必要な場合を除き「Ｒ色」の語を省略する。
【００２８】
Ｘ軸テーブル２は、基板Ｗを吸着載置する吸着テーブル１２および吸着テーブル１２をＺ軸廻りに回転自在に支持するθテーブル（図示省略）からなるセットテーブル１４と、セットテーブル１４をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ１５と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸スライダ１５のスライドをガイドする一対のＸ軸ガイドレール１６、１６と、一対のＸ軸ガイドレール１６、１６を支持固定する石定盤１７と、Ｘ軸スライダ１５を駆動するＸ軸リニアモータ（図示省略）と、セットテーブル１４の位置を把握するためのＸ軸リニアスケール（図示省略）と、を有している。一対のＸ軸ガイドレール１６、１６および石定盤１７は、Ｒ、Ｇ、Ｂ色Ｙ軸ユニット３ｒ〜ｂに亘って縦長の略長方形に形成されている。
【００２９】
Ｘ軸リニアモータが駆動すると、Ｘ軸スライダ１５はＸ軸ガイドレール１６、１６に沿ってＸ軸方向にスライドし、吸着テーブル１２上に載置された基板Ｗが、Ｒ、Ｇ、Ｂ色Ｙ軸ユニット３ｒ〜ｂに順次臨むように、主走査方向であるＸ軸方向に往復動する。なお、セットテーブル１４には、そのＸ軸方向前後に描画の直前にフラッシングを行う一対の描画前フラッシングユニット１８が設けられている（図６、図７参照）。
【００３０】
Ｒ色Ｙ軸ユニット３ｒは、Ｒ色機能液滴吐出ヘッド４ｒをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル６ｒと、Ｒ色機能液滴吐出ヘッドの保守に供するメンテナンス装置７ｒと、を有している。Ｙ軸テーブル６ｒは、Ｘ軸テーブル２を挟んで立設された複数組の支持スタンド２１ｒと、複数組の支持スタンド２１ｒに掛渡され、Ｙ軸方向に延在するガイドレールを（図示省略）を有する一対のＹ軸フレーム２２ｒ、２２ｒと、Ｙ軸フレーム２２ｒ、２２ｒ上を移動可能に構成されるＲ色キャリッジユニット５ｒと、を有している。また、Ｒ色キャリッジユニット５ｒは、Ｙ軸フレーム２２ｒ、２２ｒ上を移動可能な７個（複数）の部分ユニット２３ｒにより構成されている。
【００３１】
なお、隣接するＲ色Ｙ軸テーブル６ｒの一方のＹ軸フレーム２２ｒとＧ色Ｙ軸テーブル６ｇの一方のＹ軸フレーム２２ｇ、およびＧ色Ｙ軸テーブル６ｇの他方のＹ軸フレーム２２ｒとＢ色Ｙ軸テーブル６ｂの一方のＹ軸フレーム２２ｂは、それぞれ共通部品として一体に形成されている。
【００３２】
各部分ユニット２３ｒは、Ｙ軸フレーム２２ｒ、２２ｒにスライド自在に支持されるＹ軸スライダ（図示省略）と、Ｙ軸スライダを駆動するＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸スライダを介して一対のＹ軸フレーム２２ｒ、２２ｒ間に掛け渡されたブリッジプレート２４ｒと、各ブリッジプレート２４ｒに吊設されそれぞれ機能液滴吐出ヘッド４ｒを搭載するユニット本体２５ｒと、を有している。７個の部分ユニット２３ｒには、最も描画エリア８側に位置する第１部分ユニット２３ｒａから順に第７部分ユニット２３ｒｇまでが存在している。
【００３３】
Ｙ軸フレーム２２ｒ、２２ｒは、石材（石定盤）等により構成されると共に、複数組の支持スタンド２１ｒによって強固に支持され、７個の部分ユニット２３ｒを安定的に支持できるようになっている。また、図示省略したが、ブリッジプレート２４ｒは、両側にリブ片を有する断面コ字状の金属材により形成されており、部分ユニット２３ｒの加重によっても撓まない、十分な剛性を有するように形成されている。
【００３４】
そして、Ｙ軸リニアモータが駆動すると、Ｙ軸スライダはブリッジプレート２４ｒ（およびこれに吊設されるユニット本体２５ｒ）と共にＹ軸フレーム２２ｒ上を移動する。この場合、第１から第７部分ユニット２３ｒａ〜ｒｇは、その駆動を個々に制御されＹ軸方向に個々に往復移動できるようになっている。
【００３５】
各ユニット本体２５ｒは、ブリッジプレート２４ｒに吊設した垂設フレーム２６ｒと、垂設フレーム２６ｒの下部に組み込んだθ軸回転機構２６ｒａと、θ軸回転機構２６ｒａの下端に設けられたキャリッジ２８ｒと、キャリッジ２８ｒに搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド４ｒと、ブリッジプレート２４ｒに吊設した機能液供給ユニット３１ｒ（図３参照）と、を有している。また、ブリッジプレート２４ｒ上には、部分ユニット２３ｒ毎に設けられた複数の機能液滴吐出ヘッド４ｒを駆動する電装ユニット（図示省略）が、設けられている。
【００３６】
図３は、各ユニット本体２５ｒに１個ずつ搭載される、計７個のキャリッジ２８ｒおよび計７個の機能液供給ユニット３１ｒを示したものである。同図に示すように、キャリッジ２８ｒは、ステンレス等から成る平行四辺形の厚板状のヘッドプレート３２ｒと、ヘッド保持部材（図示省略）を介してヘッドプレート３２ｒに搭載される１２個の色別の機能液滴吐出ヘッド４ｒと、を有している。各機能液滴吐出ヘッド４ｒは、その下部をヘッドプレート３２ｒの下方に突出させるようにして搭載されている。
【００３７】
各ヘッドプレート３２ｒにおいて、１２個の色別の機能液滴吐出ヘッド４ｒは、これらの全ノズル列３３ｒ（図４参照）で色別の１の描画ライン（部分描画ライン）を構成すべく、そのノズル列３３ｒが連続するように（実際には、Ｙ軸方向において一部重複している）、平面視階段状にそれぞれ位置ずれして配設されている。また、隣接するヘッドプレート３２ｒ間においても、端部に位置する機能液滴吐出ヘッド４ｒ同士は、そのノズル列３３ｒが連続し（この場合も、実際には、一部がＹ軸方向において重複している）、複数の部分ユニット２３ｒ（キャリッジユニット５ｒ）全体としても１の描画ラインが形成されるようになっている。
【００３８】
図４に示すように、各機能液滴吐出ヘッド４ｒは、機能液滴を吐出する多数（例えば１８０個）のノズル３４ｒをそのノズル面３５ｒに有しており、それら多数のノズル３４ｒが半ピッチずれた２列のノズル列３３ｒを形成している。更に、機能液滴吐出ヘッド４ｒは、これらのノズル列３３ｒに対応した一対のヘッド内流路３６ｒと、ヘッド内流路３６ｒに面して設けられたキャビティ（ピエゾ圧電素子）（図示省略）と、ヘッド内流路３６ｒに連なる一対の機能液導入口３７ｒと、を有している。初期充填工程においては、ノズル吸引によりこれら各機能液導入口３７ｒから機能液が流入し、ヘッド内流路３６ｒは機能液によって満たされる。そしてキャビティがポンプ作用を発揮し吐出駆動すると、ノズル３４ｒは、ヘッド内流路３６ｒの機能液を吐出する（機能液滴の吐出）。この機能液の吐出により、機能液を消費した機能液滴吐出ヘッド４ｒは、機能液供給ユニット３１ｒからヘッド内流路３６ｒに新たな機能液の供給を受ける。
【００３９】
図３および図５を参照して、機能液供給ユニット３１ｒについて説明する。各機能液供給ユニット３１ｒは、キャリッジ２８ｒに近接し上下２段の収容部を有するタンクキャリッジ２９ｒと、タンクキャリッジ２９ｒに収容されＲ色機能液を内部に貯留する１２個の機能液タンク３８ｒと、各機能液タンク３８ｒおよび各機能液滴吐出ヘッド４ｒを接続する１２本の機能液供給チューブ４１ｒ（図５参照）と、１２本の機能液供給チューブ４１ｒに介設され、上記したヘッドプレート３２ｒに搭載した１２個の圧力調整弁４２ｒと、を有している。タンクキャリッジ２９ｒは、上下の各収容部に６個ずつ、計１２個の機能液タンク３８ｒを並列に収容している。なお、Ｇ色Ｙ軸ユニット３ｇの各機能液タンクにはＧ色機能液が貯留され、Ｂ色Ｙ軸ユニット３ｂの各機能液タンクにはＢ色機能液が貯留されている。
【００４０】
圧力調整弁４２ｒは、機能液タンク３８ｒ−機能液滴吐出ヘッド４ｒ間の水頭圧の差を調整する減圧弁であり、機能液滴吐出ヘッド４ｒの直前で圧力を調整すべく、ヘッドプレート３２ｒ側に搭載されている。本実施形態では、１２個の圧力調整弁４２ｒが、１２個の機能液滴吐出ヘッド４ｒの並びに倣って、ヘッドプレート３２ｒ上に平面視階段状に配設されている。そして、機能液タンク３８ｒから供給される機能液は、機能液供給チューブ４１ｒを介して機能液滴吐出ヘッド４ｒにまで供給される。また、圧力調整弁４２ｒにより、機能液滴吐出ヘッド４ｒには、機能液タンク３８ｒ−機能液滴吐出ヘッド４ｒ間の水頭差が調整された機能液が供給され、機能液滴吐出ヘッド４ｒのノズル３４からの液ダレが防止されている。
【００４１】
そして、描画の際には、基板Ｗの幅に合わせて複数の部分ユニット２３ｒ（キャリッジユニット５ｒ）が描画エリア８に移動し、各機能液滴吐出ヘッド４ｒにより機能液滴を吐出し描画を行う。描画の終了後、必要に応じて、複数の部分ユニット２３ｒは、待機エリア１１ｒのメンテナンス装置７ｒに臨み機能維持状態で待機する。また、続けて次の基板Ｗに描画処理を行う場合には、複数の部分ユニット２３ｒは、タクトタイム短縮の観点から描画エリア８に残ったまま次の描画に供される。なお、描画に使用しない部分ユニット２３ｒは、そのまま待機エリア１１ｒに待機している。
【００４２】
次に、図１および図２を参照して、Ｒ色Ｙ軸ユニット３ｒのメンテナンス装置７ｒについて説明する。メンテナンス装置７ｒは、液滴吐出装置１の非稼働時に、各機能液滴吐出ヘッド４ｒのノズル面３５を封止してノズル３４ｒの乾燥を防止すると共に、各機能液滴吐出ヘッド４ｒのノズル３４ｒから増粘した機能液を吸引除去する保管・吸引ユニット４３ｒ（保管ユニット）と、各機能液滴吐出ヘッド４ｒのノズル面３５ｒに付着する汚れを払拭するワイピングユニット４４ｒと、を有している。また、メンテナンス装置７ｒは、機能液滴の飛行曲がりを観察する飛行観察ユニット（カメラ）４５を有している。そして、これらのユニットは、描画エリア８側から飛行観察ユニット４５ｒ、ワイピングユニット４４ｒ、保管・吸引ユニット４３ｒの順で、配設されている。
【００４３】
保管・吸引ユニット４３ｒ（保管ユニット）は、７個の部分ユニット２３ｒに１対１で対応する７個のサブユニット４６ｒを有している。各サブユニット４６ｒは、各機能液滴吐出ヘッド４ｒの捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を兼ねる１２個の封止キャップ（図示省略）と、機能液滴吐出ヘッド４ｒの並びに倣って、これらの封止キャップを階段状に配設したキャップベース４７ｒと、キャップベース４７ｒを昇降させるキャップ昇降機構４８ｒと、各封止キャップに接続し機能液滴吐出ヘッド４ｒを吸引する吸引ポンプやエジェクタ等の吸引機構（図示省略）と、吸引機構で吸引除去した廃液を回収する廃液タンク（図示省略）と、を有している。
【００４４】
描画休止時には、機能液滴吐出ヘッド４ｒ（部分ユニット２３ｒ）がメンテナンス位置（待機エリア１１ｒ）に移動しており、封止キャップは、機能液滴吐出ヘッド４ｒから僅かに離れた位置で、機能液滴吐出ヘッド４ｒのフラッシング（捨て吐出）を受ける。そして、機能液滴吐出ヘッド４ｒ（部分ユニット２３ｒ）が稼動待機状態になると、各ノズル３４における機能液の乾燥を防止すべく、キャップベース４７ｒが上昇すると共に、各封止キャップが各機能液滴吐出ヘッド４ｒのノズル面３５のキャッピングを行い、各機能液滴吐出ヘッド４の全ノズル３４を封止する。続いて、キャッピング状態の機能液滴吐出ヘッド４ｒ（部分ユニット２３ｒ）を再稼動する際には、機能液の増粘によるノズル詰りを防止すべく、必要に応じて吸引機構の駆動を行い、ノズル３４から増粘した機能液を吸引する。なお、この吸引作業は、機能液を機能液滴吐出ヘッド４ｒに初期充填する際にも用いられている。
【００４５】
同図に示すように、ワイピングユニット４４ｒは、繰出し自在且つ巻取り自在のワイピングシート（図示省略）を備えており、繰り出したワイピングシートを送りながら、且つ部分ユニット２３ｒをＹ軸方向に移動しつつ、機能液滴吐出ヘッド４ｒのノズル面３５を拭き取り動作する。この拭き取り動作により、機能液滴吐出ヘッド４ｒのノズル面３５ｒに付着した機能液が取り除かれ、機能液滴吐出時の飛行曲がり等が防止される。
【００４６】
描画に先立ち、各部分ユニット２３ａ〜ｇを待機エリア１１ｒ〜ｂから描画エリア８に導入する際には、封止キャップによるキャッピングを解いて、各サブユニット４６ｒに対して定期フラッシングを行った後、ワイピングユニット４４で各部分ユニット２３ｒ〜ｂのワイピングを行う。
【００４７】
保管・吸引ユニット４３ｒおよびワイピングユニット４４ｒは、Ｒ色の機能液を導入したＲ色Ｙ軸テーブル６ｒの専用のメンテナンス装置７ｒとして設けられている。このため、上記の保管・吸引ユニット４３ｒによるキャッピングおよびワイピングユニット４４ｒによる拭き取り動作は、Ｒ色の機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド４ｒに対してのみに行われ、機能液滴吐出ヘッド４ｒのノズル３４に他色の機能液が付着し混色してしまうことが防止されている。
【００４８】
次に、図６ないし８、および図１０を参照して、本実施形態の液滴吐出装置１を用いた実際の描画処理について、Ｙ軸方向の長さ（基板幅）１１００ミリの基板Ｗにカラーフィルタを製造する場合を例に説明する。本実施形態では、各色のＹ軸テーブル６ｒ〜ｂを駆動して、基板ＷにＲ、Ｇ、Ｂの機能液をそれぞれ吐出させることにより、一括して３色の描画が行われる。
【００４９】
まず、図１０を参照しながら、カラーフィルタの構造について簡単に説明する。同図に示すように、カラーフィルタ５００は、基板５０１（Ｗ）と、基板５０１上にＸ軸方向およびＹ軸方向にマトリクス状に並んだ多数の画素領域５０７ａと、画素領域５０７ａ上に形成されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の着色層５０８（５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ）と、各画素領域５０７ａを仕切る遮光性のバンク５０３と、を備えている。本実施形態の描画処理は、バンク５０３によって各画素領域５０７ａ作り込んだ基板５０１に対し、Ｒ、Ｇ、Ｂの機能液を吐出し、所定の配色パターンに基づいて着色層５０８を形成するものである。なお、カラーフィルタ製造工程の詳細については後述する。
【００５０】
また、カラーフィルタ５００の配色パターンには、Ｘ軸方向に同色の画素領域５０７ａを配列させると共に、Ｙ軸方向においてＲ・Ｇ・Ｂの３色を繰り返し配列させたストライプ配列と、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の両方向において、連続する３つの画素領域５０７ａの着色層５０８の色が互いに異なるモザイク配列と、複数の画素領域５０７ａが千鳥状に（半ピッチずつずらして）配設されると共に、隣接した３つの画素領域５０７ａの着色層５０８の色が互いに異なるデルタ配列と、が存在している。本実施形態では、ストライプ配列のカラーフィルタ５００を作成する場合について説明する。
【００５１】
カラーフィルタ５００が形成される基板Ｗには、５００ミリ、６８０ミリ、８８０ミリ、１１００ミリ、１５００ミリ、１８００ミリの基板幅を有する複数種類のものが存在しており、カラーフィルタ５００の製造ラインを構成する液滴吐出装置１には、これら基板幅を有する基板Ｗのうち、いずれかがランダムに導入される。一方、各部分ユニット２３は、２７１ミリ幅（Ｙ軸方向の長さ）で描画可能になっている。このため、液滴吐出装置１は、Ｙ軸方向の長さ（基板幅）が５００ミリの基板Ｗには２個の部分ユニット２３を描画に割り当て、６８０ミリのものには３個、８８０ミリのものには４個、１１００ミリのものには５個、１５００ミリのものには６個、１８００ミリのものには７個の部分ユニット２３を割り当て、これらを描画エリア８に選択的に移動させることにより、ラインプリント方式で描画を行うようにしている。
【００５２】
図６（ａ）に示すように、基板幅１１００ミリの基板Ｗを描画エリア８に導入（吸着テーブル１２に載置）する場合には、同図（ｂ）に示すように、各色のＹ軸テーブル６ｒ〜ｂがそれぞれ第１から第５部分ユニット２３ａ〜ｅを個々に移動させ描画エリア８に臨ませた状態で、Ｘ軸テーブル２はＸ軸方向送り側（Ｇ色Ｙ軸テーブル６ｇ側）へ主走査される。また、各色のＹ軸テーブル６ｒ〜ｂの第１から第５部分ユニット２３ａ〜ｅは、それぞれ描画を開始する前に、描画前フラッシングユニット１８に対して描画前フラッシングを行う。
【００５３】
主走査において、基板ＷがＲ色Ｙ軸ユニット３ｒに臨むとＲ色機能液による描画が行われ（図６（ｂ）参照）、次に基板ＷがＧ色Ｙ軸ユニット３ｇに臨むとＧ色機能液による描画が行われ（図７（ａ）参照）、次に基板ＷがＢ色Ｙ軸ユニット３ｂに臨むとＢ色機能液による描画が行われる（図７（ｂ）参照）。このようにして、図８（ａ）に示すように、３色機能液による描画が完了すると、図８（ｂ）に示すように、各色のＹ軸テーブル６ｒ〜ｂの第１から第５部分ユニット２３ａ〜ｅは待機エリア１１ｒ〜ｂにそれぞれ移動し、描画処理が終了する。描画終了後、第１から第５の各部分ユニット２３ａ〜ｅは、保管・吸引ユニット４３ｒの封止キャップにより各部分ユニット２３ａ〜ｅのキャッピングが行われる。
【００５４】
本実施形態の液滴吐出装置１によれば、各色のＹ軸テーブル６は各色のキャリッジユニット５をそれぞれ支持することになり、キャリッジ２８、ブリッジプレート２４およびＹ軸フレーム２２の撓みを防止して、機能液滴吐出ヘッド４を精度良く支持することができる。これにより、機能液滴吐出ヘッド４−基板Ｗ間のワークギャップ等を精度よく管理することができる。また、各キャリッジユニット５の重量を軽減することができるため、慣性の影響を低減することができ、各Ｙ軸テーブル６に設ける加速領域および減速領域を小さくすることができる。更に、１回の主走査（往動）により描画処理を完了することができ、基板Ｗの描画処理にかかるタクトタイムを短縮することができる。そして、待機エリア１１が千鳥状に突出して配置され、待機エリア１１においてＹ軸テーブル６廻りに作業スペースが確保されるため、これに臨んだ部分ユニット２３（キャリッジユニット５）のメンテナンス性を向上させることができる。
【００５５】
また、本実施形態の描画処理では、１回の主走査（往動）によって描画が終了し、迅速な描画が実現されている。特に、Ｒ色Ｙ軸テーブル６ｒからＧ色Ｙ軸テーブル６ｇにかけての描画、Ｇ色Ｙ軸テーブル６ｇからＢ色Ｙ軸テーブル６ｂにかけての描画の一部がそれぞれ並列処理されるため、３色を独立した液滴吐出装置で描画する場合に比して、描画処理にかかるタクトタイムが短縮されている。さらに、基板幅に応じて適切な数の部分ユニット２３のみを描画エリア８に移動させ、描画を行うようにしているため、描画に用いない部分ユニット２３のノズル乾燥による機能低下が防止されている。
【００５６】
なお、本実施形態の描画処理では、基板ＷがＲ色Ｙ軸テーブル６ｒに臨む直前に、描画に用いるＲ色、Ｇ色、Ｂ色部分ユニット２３ａ〜ｅを一括して描画エリア８に導入するようにしているが、基板Ｗが各Ｙ軸テーブル６ｒ〜ｂに臨む直前に、それぞれの部分ユニット２３ａ〜ｅを導入させるようにしてもよい。このようにすれば、部分ユニット２３ａ〜ｅは、描画の直前までサブユニット４６で保管され、ノズル乾燥がより効率的に防止される。
【００５７】
また、本実施形態では、１回の主走査（往動）によって描画を終了するようにしているが、複数回の往復動（例えば２往復）により描画を行うようにしても良い。この場合、部分ユニット２３を、１回の主走査（往動）終了後に微小量Ｙ軸方向に副走査して、再び主走査を行うようにすれば（計４回の主走査）、各画素領域５０７ａに均一に機能液滴を着弾させることができる。
【００５８】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【００５９】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図９は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１０は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１０（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００６０】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１０（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１０（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド３により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００６１】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００６２】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１０（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００６３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１０（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００６４】
図１１は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１０に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００６５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００６６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００６７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００６９】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。
【００７０】
図１３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００７１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００７２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７３】
図１３は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００７４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００７５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００７６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００７７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００７８】
次に、図１４は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００７９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００８０】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００８１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００８２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第1層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００８３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００８４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００８５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００８６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００８７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００８８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００８９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００９０】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１５〜図２３を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１５に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００９１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１６に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１７に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００９２】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００９３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１の吸着テーブル１２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００９４】
図１８に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド３から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１９に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００９５】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００９６】
そして次に、図２０に示すように、各色のうちの何れか（図２０の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００９７】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２１に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００９８】
同様に、機能液滴吐出ヘッド３を用い、図２２に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１００】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２３に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１０１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１０２】
次に、図２４は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１０３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１０４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１０５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１の吸着テーブル１２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１０７】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１０８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド３から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１０９】
次に、図２５は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１１０】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１１１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１１２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１１４】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２６（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２６（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１１５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】液滴吐出装置の平面図である。
【図２】液滴吐出装置の上面斜視図である。
【図３】部分ユニットおよびタンクキャリッジの平面図である。
【図４】機能液滴吐出ヘッドの（ａ）上面斜視図、（ｂ）縦断面図である。
【図５】機能液供給ユニットの側面図である。
【図６】描画方法を説明する説明図である。
【図７】描画方法を説明する説明図である。
【図８】描画方法を説明する説明図である。
【図９】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１０】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１６】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１７】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２４】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２５】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２６】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１１７】
１  液滴吐出装置              ２  Ｘ軸テーブル
４  機能液滴吐出ヘッド        ５  キャリッジユニット
６  Ｙ軸テーブル              ７  メンテナンス装置
８  描画エリア              １１  待機エリア
２３  部分ユニット            ２８  キャリッジ
４３  保管・吸引ユニット      ４４  ワイピングユニット
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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