(57)【要約】【課題】カラーフィルタ基板の表示部内に形成されたフォトスペーサーの良否を正しく判定するフォトスペーサー・テストパターンを備えた液晶表示装置用カラーフィルタ基板、その製造方法を提供する。【解決手段】表示部と同一のブラックマトリックス４１、着色画素４２、透明導電膜４３、フォトスペーサーで構成されるフォトスペーサー・テストパターン３２で、フォトスペーサーのピッチが表示部のフォトスペーサーのピッチより小さいこと。ピッチは、２０μｍ〜１００μｍ。配列は、一直線状、或いは碁盤目状である。表示部のフォトスペーサーの形成と同時にピッチより小さいフォトスペーサーを設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上に、少なくともブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、フォトスペーサーが順次に積層形成された表示部を有する液晶表示装置用カラーフィルタ基板において、液晶表示装置用カラーフィルタ基板の表示部以外の透明基板上に、表示部と同一のブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、フォトスペーサーで積層構成されるフォトスペーサー・テストパターンが設けられ、該フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーのピッチが、表示部のフォトスペーサーのピッチより小さいことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ基板。
【請求項２】
前記フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーのピッチは、２０μｍ〜１００μｍの範囲であることを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置用カラーフィルタ基板。
【請求項３】
前記フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーの配列は、一直線状、或いは碁盤目状であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の液晶表示装置用カラーフィルタ基板。
【請求項４】
透明基板上に、少なくともブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、フォトスペーサーが順次に積層形成された表示部を有する液晶表示装置用カラーフィルタ基板の、該表示部以外の透明基板上に、表示部と同一のブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、フォトスペーサーで積層構成されるフォトスペーサー・テストパターンが設けられ、該フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーのピッチが、表示部のフォトスペーサーのピッチより小さい液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法において、
１）表示部にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜を順次形成する際に、表示部以外の透明基板上に、表示部と同一のブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜をも同時に順次形成し、
２）表示部のフォトスペーサーの形成と同時に、表示部のフォトスペーサーのピッチより小さいフォトスペーサーを上記表示部以外の透明導電膜上に形成して、フォトスペーサー・テストパターンを設けることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項５】
前記フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーのピッチは、２０μｍ〜１００μｍの範囲であることを特徴とする請求項４記載の液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項６】
前記フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーの配列は、一直線状、或いは碁盤目状であることを特徴とする請求項４又は請求項５記載の液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタ基板に関するものであり、特に、表示部に形成されたフォトスペーサーの良否を正しく判定することのできるフォトスペーサー・テストパターンを備えた液晶表示装置用カラーフィルタ基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図５は、図４に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図４、及び図５に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ（４）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成されたものである。
図４、及び図５はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（４２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの領域に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。
【０００３】
液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成してブラックマトリックス基板とし、次に、このブラックマトリックス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。
ブラックマトリックス（４１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素（４２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜（４３）は、透明な電極として設けられたものである。
【０００４】
ブラックマトリックス（４１）は、着色画素（４２）間のマトリックス部（４１Ａ）と、着色画素（４２）が形成された領域（表示部）の周辺部を囲む額縁部（４１Ｂ）とで構成されている。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
【０００５】
このブラックマトリックス基板の製造には、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックスの材料としてのクロム（Ｃｒ）、酸化クロム（ＣｒＯX ）などの金属、もしくは金属化合物を薄膜状に成膜し、成膜された薄膜上に、例えば、ポジ型のフォトレジストを用いてエッチングレジストパターンを形成し、次に、成膜された金属薄膜の露出部分のエッチング及びエッチングレジストパターンの剥膜を行い、Ｃｒ、ＣｒＯX などの金属薄膜からなるブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板（４０）上に、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
【０００６】
また、着色画素（４２）の形成は、このブラックマトリックス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜（４３）の形成は、着色画素が形成されたブラックマトリックス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
【０００７】
図４、及び図５に示すカラーフィルタ（４）は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとして基本的な機能を備えたものである。液晶表示装置は、このようなカラーフィルタを内蔵することにより、フルカラー表示が実現し、その応用範囲が飛躍的に広がり、液晶カラーＴＶ、ノート型ＰＣなど液晶表示装置を用いた多くの商品が創出された。
液晶表示装置の改善や、多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して種々な、例えば、スペーサー機能が付加されるようになった。
【０００８】
従来の液晶表示装置に於いては、基板間にギャップを形成するために、スペーサーと呼ばれるガラス又は合成樹脂の透明球状体粒子（ビーズ）を散布している。このスペーサーは透明な粒子であることから、画素内に液晶と一諸にスペーサーが入っていると、黒色表示時にスペーサーを介して光がもれてしまい、また、液晶材料が封入されている基板間にスペーサーが存在することによって、スペーサー近傍の液晶分子の配列が乱され、この部分で光もれを生じ、コントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼす、などの問題を有していた。
【０００９】
このような問題を解決する技術として、感光性樹脂を用い、フォトリソグラフィ法により、例えば、着色画素間のブラックマトリックスの位置の上方に、或いは、着色画素の一隅の上方にスペーサー機能を有するフォトスペーサー（突起部）を形成する方法が開発された。図６は、このような液晶表示装置用カラーフィルタの一例の部分断面図である。
【００１０】
図６に示すように、この液晶表示装置用カラーフィルタ（７）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成され、ブラックマトリックス（４１）上方の透明導電膜（４３）上にスペーサー機能を有する突起部としてのフォトスペーサー（４４）が形成されている。このような液晶表示装置用カラーフィルタ（７）を用いた液晶表示装置には、フォトスペーサー（４４）が画素内を避けた位置に形成されているので、上記コントラストの改善がみられることに加え、液晶表示装置として耐衝撃性が向上したものとなる。
【００１１】
また、図７は、着色画素（４２）の一隅の上方に、フォトスペーサー（４４’）が形成された液晶表示装置用カラーフィルタの他の例の部分断面図である。また、図８は、図７に示す液晶表示装置用カラーフィルタの画素配列を表す平面図である。図７、及び図８に示すように、赤色、緑色、青色の着色画素の内、青色の着色画素の一隅の上方にフォトスペーサー（４４’）が設けられている。
【００１２】
図８に示すように、着色画素の配列がモザイク配列の場合において、フォトスペーサー（４４’）は、凡ての青色の着色画素の上方には設けられておらず、一部の青色の着色画素の一隅の上方に設けられている。
ＸＹ軸原点（Ｏ）上の青色の着色画素を、青色の着色画素原点（Ｂ0-0 ）とした際に、青色の着色画素原点（Ｂ0-0 ）と、青色の着色画素原点（Ｂ0-0 ）からＸ軸右方に２画素おきに配列している青色の着色画素（Ｂ3-0 ）と、青色の着色画素（Ｂ6-0 ）（図示せず）と、各（Ｂ9-0 ）、（Ｂ12-0）、・・・の上方にフォトスペーサー（４４’）は設けられている。
【００１３】
また、青色の着色画素原点（Ｂ0-0 ）、青色の着色画素（Ｂ3-0 ）、青色の着色画素（Ｂ6-0 ）の各々からＹ軸上方に２画素おきに配列している青色の着色画素（Ｂ0-3 ）と、青色の着色画素（Ｂ3-3 ）と、青色の着色画素（Ｂ6-3 ）（図示せず）と、各・・・の上方にフォトスペーサー（４４’）は設けられている。
すなわち、赤色、緑色、青色の各着色画素を１画素とした際に、赤色、緑色、青色の１６
画素の内、４個の青色の着色画素の一隅の上方にフォトスペーサー（４４’）は設けられている例である。
【００１４】
このフォトスペーサー（４４’）の横断面形状は、例えば、円形、正方形であり、その直径（Ｗ）、又は一辺（Ｗ）は１０〜２０μｍ程度であり、高さ（Ｈ）は２．２〜５．５μｍ程度である。また、複数のフォトスペーサー（４４’）間のピッチ（Ｐ１）は３００〜５００μｍ程度である。
【００１５】
また、図４、及び図５に示すカラーフィルタは、１基の液晶表示装置に対応した１枚のカラーフィルタを示している。液晶表示装置を製造する際には、例えば、このカラーフィルタの周縁部のガラス基板（４０）が露出した部分にシール剤（図示せず）を設け、対向基板と貼り合わせて１基の液晶表示装置とする。
図９は、カラーフィルタを大量に製造する際に、例えば、対角１５インチのカラーフィルタを多面付けして製造する液晶表示装置用カラーフィルタ基板の一例を示した平面図である。
【００１６】
図９に示すように、この一例では、対角１５インチのカラーフィルタ（６１）を６５０ｍｍ×８５０ｍｍ程度の大サイズのガラス基板に６面付けし液晶表示装置用カラーフィルタ基板（６０）を製造する。
すなわち、大サイズのガラス基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、及びフォトスペーサーを順次に形成し、液晶表示装置用カラーフィルタ基板（６０）を製造する。
【００１７】
液晶表示装置用カラーフィルタ基板を製造する工程中の、フォトスペーサーを形成する工程においては、フォトスペーサーが正しく形成されているか否かを確認するために、フォトスペーサー・テストパターンを用いている。
液晶表示装置用カラーフィルタ基板の表示部以外の余白部に、例えば、図９においては、６面付けされたカラーフィルタ（６１）の外周の余白部にフォトスペーサー・テストパターン（６２）をフォトスペーサーの形成時に同時に設ける。
【００１８】
従来、このフォトスペーサー・テストパターン（６２）は、余白部、すなわち、ガラス基板上の表示部以外のガラス上に直接形成し、形成されたフォトスペーサー・テストパターン（６２）（複数個のフォトスペーサー）の良否を目視にて確認し、複数個のフォトスペーサーの良否をもって、表示部内のフォトスペーサーの良否とするといった方法を採用している。
【００１９】
これは、表示部内の着色画素の上方の、透明導電膜上に形成されたフォトスペーサーは、目視では形状を確認することが極めて困難であるからである。一方、ガラス上に直接形成されたフォトスペーサーは、フォトスペーサー自体とフォトスペーサー周囲との透明感、濃淡の僅かな差異を目視で感知し、フォトスペーサーの形状もしくは有無を確認することができることを経験的に得ていたからである。
【００２０】
しかしながら、表示部内のフォトスペーサーは、透明導電膜上に形成されているので、透明導電膜表面の粗さ、着色画素及び透明導電膜の影響による平坦でない透明導電膜上面、現像処理における現像液の透明導電膜とフォトスペーサー間へのしみ込みなどからして、一般にはフォトスペーサーと透明導電膜との密着性は、フォトスペーサーとガラスとの密着性より悪いものとなっている。
この密着性の悪さは、フォトスペーサーの形成工程において、正常な条件で製造されていれば表面化しないが、例えば、何らかのトラブルによる製造ラインの一時停止などの際に、フォトスペーサーの現像工程中に滞留した液晶表示装置用カラーフィルタ基板上の表示
部内のフォトスペーサーは剥離、脱落してしまうといった問題を引き起こす要因となっている。
【００２１】
従って、ガラス上に直接形成されたフォトスペーサーが良好であるので、表示部内の透明導電膜上に形成されたフォトスペーサーも良好であると判定する、上記の良否判定方法を採用すると、例えば、製造ラインが一時停止するなどで、実際には表示部内の透明導電膜上のフォトスペーサーが脱落してしまった製品を良品と誤判定してしまうといったことが起こる。
【００２２】
尚、フォトスペーサー・テストパターンを用いた上記目視検査においては、フォトスペーサーの欠落、欠陥、残り、むら、汚れなどの項目についての目視検査が行われる。また、機器を用いたフォトスペーサー・テストパターンの検査としては、例えば、テンコール（商品名）による接触高さ測定、Ｚｙｇｏ（商品名）による非接触高さ測定、及びビデオミクロメータ（商品名）による大きさ、位置の測定などが行われる。
【特許文献１】特開２００４−０３７６９４号公報
【特許文献２】特開２００３−２２８０７４号公報
【特許文献３】特開２００３−１２１８５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、フォトスペーサーを有する液晶表示装置用カラーフィルタ基板において、その製造に際し、例えば、製造ラインの一時停止が発生しても、液晶表示装置用カラーフィルタ基板の表示部内に形成されたフォトスペーサーの良否を正しく判定することのできるフォトスペーサー・テストパターンを備えた液晶表示装置用カラーフィルタ基板を提供することを課題とするものである。
また、上記液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明は、透明基板上に、少なくともブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、フォトスペーサーが順次に積層形成された表示部を有する液晶表示装置用カラーフィルタ基板において、液晶表示装置用カラーフィルタ基板の表示部以外の透明基板上に、表示部と同一のブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、フォトスペーサーで積層構成されるフォトスペーサー・テストパターンが設けられ、該フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーのピッチが、表示部のフォトスペーサーのピッチより小さいことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ基板である。
【００２５】
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタ基板において、前記フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーのピッチは、２０μｍ〜１００μｍの範囲であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ基板である。
【００２６】
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタ基板において、前記フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーの配列は、一直線状、或いは碁盤目状であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ基板である。
【００２７】
また、本発明は、透明基板上に、少なくともブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、フォトスペーサーが順次に積層形成された表示部を有する液晶表示装置用カラーフィルタ基板の、該表示部以外の透明基板上に、表示部と同一のブラックマトリックス、着
色画素、透明導電膜、フォトスペーサーで積層構成されるフォトスペーサー・テストパターンが設けられ、該フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーのピッチが、表示部のフォトスペーサーのピッチより小さい液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法において、
１）表示部にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜を順次形成する際に、表示部以外の透明基板上に、表示部と同一のブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜をも同時に順次形成し、
２）表示部のフォトスペーサーの形成と同時に、表示部のフォトスペーサーのピッチより小さいフォトスペーサーを上記表示部以外の透明導電膜上に形成して、フォトスペーサー・テストパターンを設けることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法である。
【００２８】
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法において、前記フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーのピッチは、２０μｍ〜１００μｍの範囲であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法である。
【００２９】
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法において、前記フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーの配列は、一直線状、或いは碁盤目状であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法である。
【発明の効果】
【００３０】
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタ基板の表示部以外の透明基板上に、表示部と同一のブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、フォトスペーサーで構成されるフォトスペーサー・テストパターンが設けられ、このフォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーのピッチが、表示部のフォトスペーサーのピッチより小さい液晶表示装置用カラーフィルタ基板であるので、その製造に際し、例えば、製造ラインの一時停止が発生しても、液晶表示装置用カラーフィルタ基板の表示部内に形成されたフォトスペーサーの良否を正しく判定することのできるフォトスペーサー・テストパターンを備えた液晶表示装置用カラーフィルタ基板となる。
【００３１】
また、本発明は、フォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーのピッチは、２０μｍ〜１００μｍの範囲であり、また、フォトスペーサーの配列は、一直線状、或いは碁盤目状であるので、フォトスペーサーの良否をより正しく判定することのできる液晶表示装置用カラーフィルタ基板となる。
【００３２】
また、本発明は、表示部のブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜の形成と同時に、表示部以外の透明基板上に、表示部と同一のブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜を形成し、続いて、表示部のフォトスペーサーの形成と同時に、表示部のフォトスペーサーのピッチより小さいフォトスペーサーを透明導電膜上に形成して、フォトスペーサー・テストパターンを設けるので、上記液晶表示装置用カラーフィルタ基板を容易に製造することのできる液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
前記のように、表示部内の着色画素の上方の、透明導電膜上に形成されたフォトスペーサーは、目視では形状を確認することが極めて困難であるが、本発明者は、着色画素と透明導電膜とフォトスペーサーとの関係について種々に検討した結果、フォトスペーサーのピッチを均一なピッチで、表示部より密に、すなわち、ピッチを小さくし表示部より多数配
列することによって、フォトスペーサーが着色画素の上方の透明導電膜上に形成されていても、ガラス上に直接形成されたフォトスペーサーと同様な効果、すなわち、フォトスペーサー自体とフォトスペーサー周囲との透明感、濃淡の僅かな差異が多数密集することで現出し、この僅かな差異を目視で感知し、フォトスペーサーの形状もしくは有無を確認することが可能であることを見出し、本発明をするに至った。
すなわち、例えれば、室内に蚊が数匹いても目視は難しい、しかし、多数集まり蚊柱状となっていれば目視は可能となる。
【００３４】
また、フォトスペーサーのピッチは、２０μｍ〜１００μｍの範囲であることが好ましい。また、フォトスペーサーの配列は、一直線状に均一なピッチで配列すること、或いは、均一なピッチの複数の平行線の２組が相互に直交する碁盤目状のマトリックスの交点に配列することが好ましい。
【００３５】
図３は、対角１５インチのカラーフィルタ（６１）を６５０ｍｍ×８５０ｍｍ程度の大サイズのガラス基板に６面付けし液晶表示装置用カラーフィルタ基板（６０）を製造する際に、本発明におけるフォトスペーサー・テストパターン（３２）を設ける位置の例を示す説明図である。
図３に示すように、液晶表示装置用カラーフィルタ基板の表示部以外の余白部に、すなわち、６面付けされたカラーフィルタ（６１）の外周の余白部に、本発明におけるフォトスペーサー・テストパターン（３２）を表示部の形成時に同時に設ける。
【００３６】
図１は、本発明におけるフォトスペーサー・テストパターン（３２）の一実施例の一部分を拡大して示す平面図である。また、図２は、図１のＸ−Ｘ’線での断面図である。
図１、及び図２に示すように、本発明におけるフォトスペーサー・テストパターン（３２）は、図３に示す液晶表示装置用カラーフィルタ基板の表示部以外の余白部に、すなわち、余白部のガラス上に、表示部と同一のブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、フォトスペーサーで構成されるフォトスペーサー・テストパターンが設けられ、このフォトスペーサー・テストパターンのフォトスペーサーのピッチが、表示部のフォトスペーサーのピッチより小さいことを特徴としている。
【００３７】
赤色、緑色、青色の各着色画素（１２）のピッチ（Ｐ３）は１２０μｍ程度であり、着色画素（１２）の大きさは１００μｍ×１００μｍ程度である。また、本発明におけるフォトスペーサー（１４）のピッチ（Ｐ２）は２５μｍ程度である。符号Ｐ４は、赤色、緑色、青色の３着色画素のピッチを表したものであり、略３６０μｍ程度であるが、図８に示す従来のフォトスペーサー（４４’）のピッチ（Ｐ１）に相当するものである。
すなわち、本発明におけるフォトスペーサー（１４）のピッチ（Ｐ２）は、小さなものであり、フォトスペーサー（１４）は密に配列されている。
【００３８】
また、図１に示すフォトスペーサー（１４）の配列は、Ｘ軸方向にＸ−Ｘ’で表される直線からと均一なピッチ（Ｐ２）離れた複数の平行線（点線）と、Ｘ軸に直交するＹ軸方向にＹ−Ｙ’で表される直線から均一なピッチ（Ｐ２）離れた複数の平行線（点線）とが、相互に直交する碁盤目状のマトリックスの複数の交点にフォトスペーサー（１４）が設けられた例である。
尚、図１中、フォトスペーサー（１４）を表わす白丸印の数は省略してある。
【００３９】
上記のように、本発明におけるフォトスペーサー・テストパターン（３２）においては、そのフォトスペーサーが透明導電膜上に形成されていても、フォトスペーサーを蜜に多数形成したことで、ガラス上に直接形成されたフォトスペーサーと同様な効果、すなわち、フォトスペーサー自体とフォトスペーサー周囲との透明感、濃淡の僅かな差異が現出し、この僅かな差異を目視で感知し、フォトスペーサーの形状もしくは有無を確認すること
が可能である。
本発明のフォトスペーサー・テストパターン（３２）は、ピッチを除いて、表示部と同じ構造となっており、また、表示部と同時に形成している。従って、例えば、製造ラインの一時停止が発生しても、液晶表示装置用カラーフィルタ基板の表示部内に形成されたフォトスペーサーの良否を正しく判定することのできるフォトスペーサー・テストパターンである。
【００４０】
また、本発明による液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法は、表示部のブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜の積層形成と同時に、表示部以外の透明基板上に、表示部と同一のブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜を積層形成し、続いて、表示部のフォトスペーサーの形成と同時に、表示部のフォトスペーサーのピッチより小さいフォトスペーサーを透明導電膜上に形成して、フォトスペーサー・テストパターンを設けるといった製造方法である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明におけるフォトスペーサー・テストパターンの一実施例の一部分を拡大して示す平面図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ’線での断面図である。
【図３】本発明におけるフォトスペーサー・テストパターンを設ける液晶表示装置用カラーフィルタ基板上の位置の例を示す説明図である。
【図４】液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。
【図５】図４に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図６】フォトスペーサーが形成された液晶表示装置用カラーフィルタの一例の部分断面図である。
【図７】フォトスペーサーが形成された液晶表示装置用カラーフィルタの他の例の部分断面図である。
【図８】図７に示す液晶表示装置用カラーフィルタの画素配列を表す平面図である。
【図９】カラーフィルタを多面付けして製造する液晶表示装置用カラーフィルタ基板の一例を示した平面図である。
【符号の説明】
【００４２】
４、７、６１・・・カラーフィルタ
１２、４２・・・着色画素
１４・・・本発明におけるフォトスペーサー
３２・・・本発明におけるフォトスペーサー・テストパターン
４０・・・ガラス基板
４１・・・ブラックマトリックス
４１Ａ・・・ブラックマトリックスのマトリックス部
４１Ｂ・・・ブラックマトリックスの額縁部
４３・・・透明導電膜
４４、４４’・・・フォトスペーサー
６０・・・液晶表示装置用カラーフィルタ基板
６２・・・フォトスペーサー・テストパターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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