(57)【要約】      （修正有）【課題】装備の空間占有率を減少させて装備内周囲構造物と干渉を縮め、平板ディスプレイのパネルを所望の角度と小さい動力にティルティングさせることを可能にする平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置を提供すること。【解決手段】固定プレート３１０と、ティルティングプレート３２０と、ティルティング手段３３０と、アップダウンプレート３４０と、ティルティングプレート３２０とアップダウンプレート３４０との間に設けられてアップダウンプレート３４０をアップダウンさせるアップダウン手段と、アップダウンプレート３４０の上側で回転可能に設けられて供給する平板ディスプレイパネルを支持して整列し、整列時全体長さが可変されるパネル整列手段が備えられたサブテーブル４００と、サブテーブル４００を回転させるためにアップダウンプレート３４０の下部に設けられる回転手段と、を含んで成る。【選択図】図４
2006179892.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置であって、
前記検査装置の内部所定部分に固定される固定プレートと、
前記固定プレートの両側上部とヒンジ結合されて前記固定プレートの上部側に設けられるティルティングプレートと、
前記固定プレートとティルティングプレート所定部分に設けられて前記ティルティングプレートを所定角度にティルティングさせるティルティング手段と、
前記ティルティングプレートの外郭に設けられたホール形状のガイドに沿って前記ティルティングプレートの上部側で上下移動し、前記ガイドに挿入されて移動するアップダウン軸を下部に付着固定しているアップダウンプレートと、
前記ティルティングプレートとアップダウンプレートとの間に設けられて前記アップダウンプレートをアップダウンさせるアップダウン手段と、
前記アップダウンプレートの上側で回転可能に設けられて供給する平板ディスプレイパネルを支持して整列し、整列時全体長さが可変されるパネル整列手段が備えられたサブテーブルと、
前記サブテーブルを回転させるために前記アップダウンプレートの下部に設けられる回転手段と、を含んで成ることを特徴とする平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項２】
前記ティルティング手段は、
前記ティルティングプレートの一端にヒンジ結合される第１の移動体と、
前記第１の移動体に支持されて回転し、垂直方向に設けられるティルティングボールスクリューと、
前記ティルティングボールスクリューと噛み合って連動し、前記固定プレートの一端にヒンジ結合される第２の移動体と、
前記ティルティングボールスクリューに回転動力を伝達するために前記固定プレートの下側に設けられるティルティング動力手段と、
を含んで成ることを特徴とする、請求項１に記載の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項３】
前記サブテーブルは、
四つの所定形状アームより成ったベースプレートと、
前記それぞれのアームと前記ベースプレートの中央部分に結合されて設けられるパネル支持手段と、
前記ベースプレートの上部に設けられてＸ軸方向のアームに沿って平行に設けられる二つのＸ軸パネル整列手段と、
前記ベースプレートの下部に設けられてＹ軸方向のアームに沿って平行に設けられる二つのＹ軸パネル整列手段と、
を含んで成ることを特徴とする、請求項１に記載の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項４】
前記それぞれのアームに設けられるパネル支持手段は、前記各アームの側端部に設けられ、それぞれのパネル支持手段が隣り合わないように設けられることを特徴とする、請求項３に記載の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項５】
前記Ｘ軸方向の各アーム上には、互いに向き合うレールが設けられ、
前記二つのＸ軸パネル整列手段は、
二つのアームの中に一側アームの側端部に固定設けられる整列動力手段と、
前記整列動力手段によって回転する整列ボールスクリューと、
前記整列ボールスクリューとねじ結合されてレールに沿ってアームの長手方向に移動する長い直六面体形状のＸ軸移送体と、
前記Ｘ軸移送体端上部に固定設けられる整列バーと、を含んで成ることを特徴とする、請求項３に記載の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項６】
前記二つのＸ軸パネル整列手段は、互いに対称的に設けられることを特徴とする、請求項５に記載の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項７】
前記Ｘ軸移送体は、前記整列ボールスクリューとねじ結合されて連動されるために一端にナット結合体が設けられ、前記整列ボールスクリューを受容できるように中空型であることを特徴とする、請求項５に記載の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項８】
前記Ｙ軸方向の各アームの下部には、互いに向き合うレールが設けられ、
前記二つのＹ軸パネル整列手段は、
二つのアームのうちに一側アームの側端部に固定設けられる整列動力手段と、
前記整列動力手段によって回転する整列ボールスクリューと、
前記整列ボールスクリューとねじ結合されて前記レールに沿ってアームの長手方向に移動する長い直六面体形状のＹ軸移送体と、
前記Ｙ軸移送体端に固定設けられてアームの上部側を向くように設けられる整列バーと、を含んで成ることを特徴とする、請求項３に記載の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項９】
前記二つのＹ軸パネル整列手段は、互いに対称に設けられることを特徴とする、請求項８に記載の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項１０】
前記Ｙ軸移送体には、前記整列ボールスクリューとねじ結合されて連動されるために一端にナット結合体が設けられ、前記整列ボールスクリューを受容できるように中空型であることを特徴とする、請求項８に記載の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項１１】
前記整列動力手段は、
前記整列ボールスクリューと連結される第１のプーリーと、
前記第１のプーリーとベルトによって連動される第２のプーリーと、
前記第２のプーリーと連結されて動力を発生させる整列モータと、
を含んで成ることを特徴とする、請求項５又は請求項８に記載の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項１２】
前記パネル整列手段は、
前記ベースプレートに設けられる整列ボールスクリューと、
前記整列ボールスクリューの回転によって前記整列スクリューに沿って移動されるように前記整列ボールスクリューとねじ結合される移送体と、
前記移送体に固定結合され、前記移送体の移動によって前記パネルの側面を押しやる整列バーと、を備え、
前記移送体が移動されるとき、前記移送体と前記整列ボールスクリューが結合された全体長さが可変することを特徴とする、請求項１に記載の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置。
【請求項１３】
平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置に使用され、基板を支持して整列するサブテーブルであって、
ベースプレートと、
前記ベースプレートに結合されて設けられ、パネルを支持するパネル支持手段と、
前記パネル支持手段によって支持されたパネルを整列し、全体長さが可変するパネル整列手段と、を含むことを特徴とするサブテーブル。
【請求項１４】
前記パネル整列手段は、
前記ベースプレートに設けられる整列ボールスクリューと、
前記整列ボールスクリューの回転によって前記整列ボールスクリューに沿って移動されるように前記整列ボールスクリューとねじ結合される移送体と、
前記移送体に固定結合され、前記移送体の移動によって前記パネルの側面を押してやる整列バーと、を備え、
前記移送体が移動されるとき、前記移送体と前記整列ボールスクリューが結合された全体長さが可変することを特徴とする、請求項１３に記載のサブテーブル。
【請求項１５】
前記パネル整列手段は、前記パネル支持手段によって支持されたパネルを第１の軸線方向に整列する第１の軸線方向パネル整列手段を含み、
前記第１の軸線方向パネル整列手段は、
前記第１の軸線方向に沿って配置される整列ボールスクリューと、
内部に前記整列ボールスクリューとねじ結合されるナット結合体が形成され、前記整列ボールスクリューの回転によって前記第１の軸線方向に沿って前進及び後進される移送体と、
前記移送体に固定結合され、前記移送体の移動によって前記パネルの側面を押しやる整列バーと、を備え、
前記移送体と前記整列ボールスクリューの結合された全体長さが可変するように前記移送体が移動することによって前記整列ボールスクリューが前記移送体に挿入される長さが漸進的に変化することを特徴とする、請求項１３に記載のサブテーブル。
【請求項１６】
前記整列ボールスクリューは、第１の整列ボールスクリューと第２の整列ボールスクリューを有し、
前記移送体は、前記第１の整列ボールスクリューに結合される第１の移送体と前記第２の整列ボールスクリューに結合される第２の移送体を有し、
前記整列バーは、前記第１の移送体に固定結合される第１の整列バーと前記第２の移送体に固定結合される第２の整列バーを有し、
前記第１の移送体と前記第２の移送体は、互いに反対方向に移動されるように前記第１の整列ボールスクリュー及び前記第２の整列ボールスクリューに結合されて前記第１の整列バーと前記第２の整列バーがそれぞれパネルの互いに対向される側面を押しやることを特徴とする、請求項１５に記載のサブテーブル。
【請求項１７】
前記第１の整列ボールスクリューと前記第２の整列ボールスクリューは、前記第１の軸線方向と垂直な方向に互いに離隔されて設けられることを特徴とする、請求項１６に記載のサブテーブル。
【請求項１８】
前記パネル整列手段は、前記パネル支持手段によって支持されたパネルを前記第１の軸線方向と垂直な第２の軸線方向に整列する第２の軸線方向パネル整列手段をさらに含むことを特徴とする、請求項１５に記載のサブテーブル。
【請求項１９】
前記第２の軸線方向パネル整列手段は、
前記第２の軸線方向に沿って配置される整列ボールスクリューと、
内部に前記第２の軸線方向パネル整列手段の整列ボールスクリューとねじ結合されるナット結合体が形成され、前記第２の軸線方向パネル整列手段の整列ボールスクリューの回転によって前記第２の軸線方向に沿って前進及び後進される移送体と、
前記第２の軸線方向パネル整列手段の移送体それぞれに固定結合され、前記第２の軸線方向パネル整列手段の移送体の移動によって前記パネルの側面を押してやる整列バーと、を備え、
前記第２の軸線方向パネル整列手段の移送体と前記整列ボールスクリューの結合された全体長さが可変されるように前記第２の軸線方向パネル整列手段の移送体が移動されることによって前記第２の軸線方向パネル整列手段の整列ボールスクリューが前記第２の軸線方向パネル整列手段の移送体に挿入される長さは漸進的に変化され、
前記第２の軸線方向パネル整列手段の整列ボールスクリューは、第３の整列ボールスクリューと第４の整列ボールスクリューとを備え、
前記第２の軸線方向パネル整列手段の移送体は、前記第３の整列ボールスクリューに結合される第３の移送体と前記第４の整列ボールスクリューに結合される第４の移送体とを有し、
前記第２の軸線方向パネル整列手段の整列バーは、前記第３の移送体に固定結合される第３の整列バーと前記第４の移送体に固定結合される第４の整列バーとを含み、
前記第３の移送体と前記第４の移送体は、互いに反対方向に移動されるように前記第３の整列ボールスクリュー及び前記第４の整列ボールスクリューに結合されて前記第３の整列バーと前記第４の整列バーがそれぞれパネルの互いに対向する側面を押しやることを特徴とする、請求項１８に記載のサブテーブル。
【請求項２０】
前記第１の移送体乃至前記第４の移送体はロッド形状を有し、
前記ベースプレートは、
前記第１の軸線方向に沿って提供され、前記第１の移送体の移動を案内するレールが形成された第１のアームと、
前記第１の軸線方向に沿って前記第１のアームと反対方向に提供され、前記第２の移送体の移動を案内するレールが形成された第２のアームと、
前記第２の軸線方向に沿って提供された前記第３の移送体の移動を案内するレールが形成された第３のアームと、
前記第２の軸線方向に沿って前記第３のアームと反対方向に提供され、前記第４の移送体の移動を案内するレールが形成された第４のアームと、
を含むことを特徴とする、請求項１８に記載のサブテーブル。
【請求項２１】
前記第１のアームと前記第２のアームに提供された前記レールは前記第１のアームと前記第２のアームの上部面に提供され、
前記第３のアームと前記第４のアームに提供された前記レールは、前記第３のアームと前記第４のアームの下部面に提供されることを特徴とする、請求項２０に記載のサブテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板ディスプレイパネル検査装置で検査するパネルをパネル移送装置に伝達するパネル供給装置に関するものであり、特に多様なサイズの平板ディスプレイパネルに対応して自動整列が可能であり、平板ディスプレイパネルのサイズに比例して機構構成物のサイズも変化し、小さい動力によって精巧にティルティングできる平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に知られたような平板ディスプレイパネル検査装置は、平板ディスプレイパネルのラインの断線検査と色相検査のためプローブユニットを用いて点灯検査を行い、その外顕微鏡を用いて肉眼検査を行う。
【０００３】
従来の平板ディスプレイパネル検査装置は、図１に示すように平板ディスプレイ検査装置本体１００と、平板ディスプレイ検査装置本体１００の一側に設けられたパネル供給装置１０と、パネル供給装置１０と並んで水平構造に設けられた検査部３０とパネル供給装置１０から平板ディスプレイパネルが供給されて検査部３０にローディング及びアンローディングさせるパネル移送装置４０と、から構成される。
【０００４】
ここで、パネル供給装置１０は、ロボットのようなパネルローディング装置（図示せず）から伝達される平板ディスプレイパネルをサブテーブル２０上に安着させた後、所定の整列段階を経た後所定角度に回動される。そうすれば、パネル移送装置４０が平板ディスプレイパネルをクランピングした後、検査部３０に設けられるワークテーブル（図示せず）上に平板ディスプレイパネルを移送させる。その後、ワークテーブル上に置かれた平板ディスプレイパネルは、検査部３０に設けられた点灯検査装置（図示せず）によって断線検査及び色相検査のための点灯検査を受ける。
【０００５】
図２の（ａ）と図２の（ｂ）は、従来のパネル供給装置１０の概略的な構成図である。
【０００６】
図２の（ａ）又は図２の（ｂ）に示すように、従来のパネル供給装置１０は、ベースプレート１１と、ベースプレート１１上に設けられた第１のヒンジ構造物１６にヒンジ結合されるエアシリンダー１２と、エアシリンダー１２によって伸縮するピストンロッド１８と、ピストンロッド１８の端とヒンジ結合され、ベースプレート１１上に設けられた第２のヒンジ構造物１７にヒンジ結合される四角板型のリンクステージ１３と、リンクステージ１３の上端側に一端が結合される移動バー１４と、移動バー１４の他端と結合されて平板ディスプレイパネルを支持し、整列を遂行するサブテーブル２０と、を含んで成る。
【０００７】
前述したような構造で、従来のパネル供給装置１０は、ロボットのようなパネルローディング装置（図示せず）から平板ディスプレイパネルが伝達されてサブテーブル２０上に安着させる。そうすれば、サブテーブル２０は平板ディスプレイパネルを支持することと同時に整列手段（図示せず）によって平板ディスプレイパネルを整列する。これについては図３を参照して後述する。
【０００８】
平半ディスプレイパネルについて整列が完了すれば、図１を参照して説明したパネル移送装置４０によって平板ディスプレイパネルがクランピングできるように所定角度にティルティングされる。
【０００９】
図２の（ａ）は、ティルティング前のパネル供給装置を示し、図２の（ｂ）はティルティング後のパネル供給装置を示す。
【００１０】
図２の（ａ）から図２の（ｂ）状態にティルティングされるためには次の通りの動作によって成される。
【００１１】
先ず、エアシリンダー１２にエアを供給してピストンロッド１８が一定長さほど伸長される。そうすれば、ピストンロッド１８の端とヒンジ結合されているリンクステージ１３はピストンロッド１８の伸張方向に力を受ける。この際、リンクステージ１３の一端は、ベースプレート１１上に設けられた第２のヒンジ構造物１７と結合されているので、リンクステージ１３は第２のヒンジ構造物１７について回動する。
【００１２】
そうすれば、リンクステージ１３の上端側に順序通り結合された移動バー１４とサブテーブル２０も回動する。
【００１３】
前述したように、エアシリンダー１２によってサブテーブル２０をティルティングする場合にはティルティング角度を精巧に制御しにくく、前述したようにエアシリンダー１２によってリンクステージ１３を回動させる場合には第２のヒンジ構造物１７とピストンロッド１８の端の距離が短いので多くの動力が所要になり、構造の安定性が落ちる。
【００１４】
図３の（ａ）及び図３の（ｂ）は、従来パネル供給装置のサブテーブルを示す概略的な構成図である。
【００１５】
図３の（ａ）及び図３の（ｂ）に示すように、従来のサブテーブル２０は四つのガイド板２１から構成される基本板と基本板の所定位置に設けられるパネル支持台２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと、それぞれのガイド板２１上に設けられる四つのパネル整列手段と、から構成されている。
【００１６】
パネル整列手段は、ガイド板２１上に平行に設けられるＬ／Ｍガイド２３と、Ｌ／Ｍガイド２３に噛み合うガイドブロック（図示せず）が下部面に設けられている移動板２４と、移動板２４上に固定設けられて平板ディスプレイパネルの側部を固定するパネル固定台２５と、移動板２４上に設けられる移動板２４の下部面の中央に備えられたナット結合体（図示せず）に結合されて回転するボールスクリュー２６と、ボールスクリュー２６を回転させるモータ２７とモータ２７の軸に連結される第１のプーリー２８と第１のプーリー２８とベルトによって連結されてモータ２７から発生する動力をボールスクリュー２６に伝達する第２のプーリー２９と、から構成されている。
【００１７】
前述したような構造を有する従来のサブテーブルは、次の通り平板ディスプレイを支持して整列する。
【００１８】
先ず、ロボットのようなパネルローディング装置（図示せず）から平板ディスプレイパネルが伝達されてサブテーブル２０のパネル支持台２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ上に安着させる。そして、パネル支持台２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ上に安着された平板ディスプレイを整列して固定するためにパネル固定台２５を図３の（ｂ）に示すように平板ディスプレイパネル側部に移動させる。
【００１９】
パネル固定台２５を平板ディスプレイの側部に移動させるために、回転手段２７，２８，２９によってボールスクリュー２６を回転させる。そうすれば、ボールスクリュー２６と噛み合って連動するナット結合体（図示せず）を下部面に付着している移動体２４は、ガイド板２１に平行に設けられるＬ／Ｍガイド２３に沿って移動し、結果的に移動体２４上に固定設けられるパネル固定台２５は平板ディスプレイパネルの側部に移動して平板ディスプレイパネルを整列することと同時に固定する。
【００２０】
前述したような動作によって平板ディスプレイのパネルは整列され、前述したティルティング動作によって所定角度に回動してパネル移送装置によってクランピングされて検査部に伝達される。
【００２１】
以上で説明した従来のパネル供給装置によれば、パネル整列手段が設けられるガイド板のサイズと長さが必要以上大きく製作されるのでパネル供給装置周囲に存在する構造物と干渉が発生できる問題点がある。
【００２２】
また、従来のパネル供給装置によれば、平板ディスプレイパネルのサイズに関係なくＬ／Ｍガイドが設けられるガイド板は同一な空間を占有するため、空間使用効率が落ちる問題点があり、不要な重さ増加を呼び起こす問題点が発生する。
【００２３】
また、サブテーブル上に固定支持される平板ディスプレイのパネルを所定角度にティルティングさせるためにエアシリンダーを使用するので所望の角度にティルティングさせることが難しく、均衡感があり、安定的なティルティングを期待しにくい問題点がある。
【００２４】
また、従来のパネル供給装置は構造が複雑で多部品から構成されるので、セッティングするためには多工具が必要であり、熟練度が要請される。そして、熟練度がある人によってセッティングをしても多くの努力と時間が所要になる問題点がある。
【００２５】
また、エアシリンダーによってヒンジ構造に結合されている重量感があるリンクステージを回動させることによって、平板ディスプレイをティルティングさせるので、過度なパワーが要求される問題点が発生する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
本発明の技術的課題は、サブテーブルの構造を簡単にして平板ディスプレイパネルのサイズが狭い場合、装備の空間占有率を減少させて装備内周囲構造物と干渉を縮め、平板ディスプレイのパネルを所望の角度と小さい動力にティルティングさせることを可能にする平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
前述した技術的課題を達成するための本発明は、平板ディスプレイ検査装置のパネル供給装置を供給する。本発明の一態様によれば、パネル供給装置は、検査装置の内部所定部分に固定される固定プレートと、固定プレートの両側上部とヒンジ結合されて固定プレートの上部側に設けられるティルティングプレートと、固定プレートとティルティングプレート所定部分に設けられてティルティングプレートを所定角度にティルティングさせるティルティング手段と、ティルティングプレートの外郭に設けられたホール形状のガイドに沿ってティルティングプレートの上部側で上下移動し、ガイドに挿入されて移動するアップダウン軸を下部に付着固定しているアップダウンプレートと、ティルティングプレートとアップダウンプレートとの間に設けられてアップダウンプレートをアップダウンさせるアップダウン手段と、アップダウンプレートの上側で回転可能に設けられて供給するパネルを支持して整列するサブテーブルと、サブテーブルを回転させるためにアップダウンプレートの下部に設けられる回転手段と、を含む。
【００２８】
一例によれば、ティルティング手段は、ティルティングプレートの一端にヒンジ結合される第１の移動体と、第１の移動体に支持されて回転し、垂直方向に設けられるティルティングボールスクリューと、ティルティングボールスクリューと噛み合って連動し、固定プレートの一端にヒンジ結合される第２の移動体と、ティルティングボールスクリューに回転動力を伝達するために固定プレートの下側に設けられるティルティング動力手段と、を含む。
【００２９】
一例によれば、サブテーブルは四つの所定形状アーム（ａｒｍ）より成ったベースプレートと、それぞれのアームとベースプレートの中央部分に結合されて設けられるパネル支持手段と、ベースプレートの上部に設けられてＸ軸方向のアームに沿って平行に設けられる二つのＸ軸パネル整列手段と、ベースプレートの下部に設けられてＹ軸方向のアームに沿って平行に設けられる二つのＹ軸パネル整列手段と、を含む。
【００３０】
一例によれば、それぞれのアームに設けられるパネル支持手段は、各アームの側端部に設けられ、それぞれのパネル支持手段が隣り合わないように設けられる。
【００３１】
一例によれば、Ｘ軸方向の各アーム上には、互いに向き合うレールが設けられ、二つのＸ軸パネル整列手段は、二つのアームのうちに一側アームの側端部に固定設けられる整列動力手段と、整列動力手段によって回転する整列ボールスクリューと、整列ボールスクリューとねじ結合されてレールに沿ってアームの長手方向に移動する長い直六面体形状のＸ軸移送体と、Ｘ軸移送体端上部に固定設けられる整列バーと、を含む。
【００３２】
一例によれば、二つのＸ軸パネル整列手段は、互いに対称的に設けられる。
【００３３】
一例によれば、Ｘ軸移送体は、整列ボールスクリューとねじ結合されて連動されるために一端にナット結合体が設けられ、整列ボールスクリューを受容できるように中空型に提供される。
【００３４】
一例によれば、Ｙ軸方向の各アームの下部には、互いに向き合うレールが設けられ、二つのＹ軸パネル整列手段は、二つのアームのうちに一側アームの側端部に固定設けられる整列動力手段と、整列動力手段によって回転する整列ボールスクリューと、整列ボールスクリューとねじ結合されてレールに沿ってアームの長手方向に移動する長い直六面体形状のＹ軸移送体と、Ｙ軸移送体端に固定設けられてアームの上部側を向くように設けられる整列バーと、を含む。
【００３５】
一例によれば、二つのＹ軸パネル整列手段は、互いに対称に設けられる。
【００３６】
一例によれば、Ｙ軸移送体は、整列ボールスクリューとねじ結合されて連動するために一端にナット結合体が設けられ、整列ボールスクリューを受容できるように中空型に提供される。
【００３７】
一例によれば、整列動力手段は、整列ボールスクリューと連結される第１のプーリーと、第１のプーリーと、ベルトと、によって連動する第２のプーリーと、第２のプーリーと連結されて動力を発生させる整列モータと、を含む。
【００３８】
また、本発明は平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置に使用され、基板を支持して整列するサブテーブルを提供する。本発明の一態様によれば、サブテーブルは、ベースプレートと、ベースプレートに結合されて設けられ、パネルを支持するパネル支持手段と、パネル支持手段によって支持されたパネルを整列し、全体長さが可変するパネル整列手段と、を含む。
【００３９】
一例によれば、パネル整列手段は、ベースプレートに設けられる整列ボールスクリューと、整列ボールスクリューの回転によって整列ボールスクリューに沿って移動されるように整列ボールスクリューとねじ結合される移送体と、移送体に固定結合され、移送体の移動によってパネルの側面を押してやる整列バーと、を備え、移送体が移動するとき、移送体と整列ボールスクリューが結合された全体長さが可変される。
【００４０】
一例によれば、パネル整列手段は、パネル支持手段によって支持されたパネルを第１の軸線方向に整列する第１の軸線方向パネル整列手段を含む。第１の軸線方向パネル整列手段は、第１の軸線方向に沿って配置される整列ボールスクリューと、内部に整列ボールスクリューとねじ結合されるナット結合体が形成され、整列ボールスクリューの回転によって第１の軸線方向に沿って前進及び後進される移送体と、移送体それぞれに固定結合され、移送体の移動によってパネルの側面を押してやる整列バーと、を有し、整列時移送体と整列ボールスクリューの結合された全体長さが可変するように移送体が移動することによって整列ボールスクリューが移送体に挿入される長さは漸進的に変化する。
【００４１】
一例によれば、整列ボールスクリューは、第１の整列ボールスクリューと第２の整列ボールスクリューとを有し、移送体は、第１の整列ボールスクリューに結合される第１の移送体と第２の整列ボールスクリューに結合される第２の移送体とを有し、整列バーは、第１の移送体に固定結合される第１の整列バーと第２の移送体に固定結合される第２の整列バーとを有する。第１の移送体と第２の移送体は、互いに反対方向に移動するように第１の整列ボールスクリュー及び第２の整列ボールスクリューに結合されて第１の整列バーと第２の整列バーがそれぞれパネルの互いに対向する側面を押しやる。
【００４２】
一例によれば、第１の整列ボールスクリューと第２の整列ボールスクリューは、第１の軸方向と垂直な方向に互いに離隔されて設けられる。
【００４３】
一例によれば、パネル整列手段は、パネル支持手段によって支持されたパネルを第１の軸線方向と垂直な第２の軸線方向に整列する第２の軸線方向パネル整列手段をさらに含む。
【００４４】
一例によれば、第２の軸線方向パネル整列手段は、第２の軸線方向に沿って配置される整列ボールスクリューと、内部に第２の軸線方向パネル整列手段の整列ボールスクリューとねじ結合されるナット結合体が形成され、第２の軸線方向パネル整列手段の整列ボールスクリューの回転によって第２の軸線方向に沿って前進及び後進される移送体と、第２の軸線方向パネル整列手段の移送体それぞれに固定結合され、第２の軸線方向パネル整列手段の移送体の移動によってパネルの側面を押してやる整列バーと、を備える。第２の軸線方向パネル整列手段の移送体と整列ボールスクリューの結合された全体長さが可変するように第２の軸パネル整列手段の移送体が移動することによって第２の軸線方向パネル整列手段の整列ボールスクリューが第２の軸線方向パネル整列手段の移送体に挿入される長さは漸進的に変化する。また、第２の軸線方向パネル整列手段の整列ボールスクリューは、第３の整列ボールスクリューと第４の整列ボールスクリューとを備え、第２の軸線方向パネル整列手段の移送体は、第３の整列ボールスクリューに結合される第３の移送体と第４の整列ボールスクリューに結合される第４の移送体とを有し、第２の軸線方向パネル整列手段の整列バーは、第３の移送体に固定結合される第３の整列バーと第４の移送体に固定結合される第４の整列バーとを含み、第３の移送体と第４の移送体は、互いに反対方向に移動するように第３の整列ボールスクリュー及び第４の整列ボールスクリューに結合されて第３の整列バーと第４の整列バーがそれぞれパネルの互いに対向する側面を押しやる。
【００４５】
一例によれば、第１の移送体乃至第４の移送体はロッド形状を有し、ベースプレートは、第１の軸線方向に沿って提供され、第１の移送体の移動を案内するレールが形成された第１のアームと、第１の軸線方向に沿って第１のアームと反対方向に提供され、第２の移送体の移動を案内するレールが形成された第２のアームと、第２の軸線方向に沿って提供された第３の移送体の移動を案内するレールが形成された第３のアームと、第２の軸線方向に沿って第３のアームと反対方向に提供され、第４の移送体の移動を案内するレールが形成された第４のアームと、を含む。
【００４６】
一例によれば、第１のアームと第２のアームに提供されたレールは第１のアームと第２のアームの上部面に提供され、第３のアームと第４のアームに提供されたレールは、第３のアームと第４のアームの下部面に提供される。
【発明の効果】
【００４７】
前述したような構成及び作用そして好適な実施形態を有する本発明の平板ディスプレイ検査装置のパネル供給装置によれば、ガイド板が存在せず最適の部品のみを使用するので装備の全体サイズと重さが減少する効果がある。
【００４８】
また、平板ディスプレイパネルのサイズが狭くなることによってこれに対応してサブテーブルの空間占有率が小さくなるので空間使用効率を増大させることができ、周囲に存在する構造物と干渉されずに装備の破損を防止できる効果がある。
【００４９】
また、ティルティング手段がティルティングプレートの側端部に力を加えて装備をティルティングさせるので小さい動力が所要になり、ティルティングモータとティルティングボールスクリューとを用いてティルティングさせるので所望の角度にティルティングさせることができ、安定的であり、精巧なティルティングを行うことができる効果がある。
【００５０】
また、四つのパネル整列手段が個別動作できるため平板ディスプレイパネルの微細な変化について迅速に対応できる長所がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５１】
以下、添付した図面を参照して前述したような構成手段より成っている本発明の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置に関する作用及び好適な実施形態を詳細に説明する。
【００５２】
図４は、本発明の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置３００を示す構成図である。
【００５３】
図４に示すように、本発明の平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置３００は、平板ディスプレイ検査装置の内部所定部分に固定されて設けられる固定プレート３１０と、固定プレート３１０とヒンジ結合されるティルティングプレート３２０と、ティルティングプレート３２０をティルティングさせるティルティング手段３３０と、ティルティングプレート３２０の上部側に上下移動可能に設けられるアップダウンプレート３４０と、アップダウンプレート３４０をアップダウンさせるアップダウン手段と、アップダウンプレート３４０の上部側に回転可能に設けられて供給する平板ディスプレイパネルを支持／整列するサブテーブル４００と、サブテーブル４００を回転させる回転手段と、を含んで成る。
【００５４】
固定プレート３１０は、平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置３００が設けられる所定部分に固定されて設けられており、固定プレート３１０の上部側にはティルティングプレート３２０が設けられる。
【００５５】
固定プレート３１０とティルティングプレート３２０は、固定プレート３１０の両側上部に設けられるヒンジ結合体３１１によってヒンジ結合されている。従って、ティルティングプレート３２０は、平板ディスプレイパネル検査装置内部所定部分に固定的に設けられる固定プレート３１０上で所定角度に回動できる。
【００５６】
ティルティングプレート３２０の回動は、固定プレート３１０とティルティングプレート３２０の所定部分に設けられるティルティング手段３３０によって可能である。
【００５７】
固定プレート３１０上でティルティングプレート３２０が所定角度に回動することができるティルティング手段３３０は、ティルティングプレート３２０の一側端部にヒンジ結合される第１の移動体３３１と、第１の移動体３３１に結合支持されて回転するために垂直方向に設けられるティルティングボールスクリュー３３２と、ティルティングボールスクリュー３３２と噛み合って連動するために固定プレート３１０の一側端部にヒンジ結合される第２の移動体３３３と、ティルティングボールスクリュー３３２に回転動力を伝達するために固定プレート３１０の下側に設けられるティルティングモータ３３４と、を含んで成る。
【００５８】
図５の（ａ）に示す状態で、ティルティングモータ３３４が動力を発生してモータプーリー３３５に伝達すれば、モータプーリー３３５とベルト３３６によって結合されて連動するボールスクリュープーリー３３７が回転し、ボールスクリュープーリー３３７と結合するティルティングボールスクリュー３３２も回転する。そうすれば、第１の移動体３３１とヒンジ結合されているティルティングプレート３２０の一側が立ち上がりながらティルティングプレート３２０はティルティングして図５の（ｂ）に示す状態になる。
【００５９】
ティルティングプレート３２０の上部側には、アップダウン手段によって上下移動するアップダウンプレート３４０が設けられる。アップダウン手段は、ティルティングプレート３２０とアップダウンプレート３４０との間の所定部分に設けられてアップダウンプレート３４０がティルティングプレート３２０に平行な状態に垂直移動するようにする。
【００６０】
アップダウンプレート３４０がティルティングプレート３２０上で安定した状態に垂直移動できるようにティルティングプレート３２０の外郭には四つのホール形状のガイド３２１が設けられ、アップダウンプレート３４０の下部にはホール形状のガイド３２１に挿入されて移動できるアップダウン軸３２３が付着固定される。従って、アップダウン手段（図示せず）の駆動によってアップダウンプレート３４０は、ティルティングプレート３２０上でガイド３２１に沿って安定した状態で垂直移動できる。
【００６１】
アップダウンプレート３４０の上側には、回転手段（図示せず）によって回転できるように設けられるサブテーブル４００が設けられる。回転手段（図示せず）は、サブテーブル４００を回転させるためにアップダウンプレート３４０の下部所定部分に設けられる。
【００６２】
サブテーブル４００は、供給する平板ディスプレイパネルを支持し、支持された平板ディスプレイパネルを整列して固定する動作を遂行する。
【００６３】
図６は、サブテーブル４００を示す全体的な構成図である。
【００６４】
図６に示すように、サブテーブル４００は、四つのアーム４１０ａ，４１０ｂ，４１０ｃ，４１０ｄより成ったベースプレート４１０と、それぞれのアーム４１０ａ，４１０ｂ，４１０ｃ，４１０ｄとベースプレート４１０の中央に結合設けられるパネル支持手段４２０ａ，４２０ｂ，４２０ｃ，４２０ｄ，４２０ｅと、パネル支持手段４２０ａ、４２０ｂ，４２０ｃ，４２０ｄ，４２０ｅによって支持されたパネルを整列し、全体長さが可変するパネル整列手段４３０ａ，４３０ｂ，４４０ａ，４４０ｂと、を含む。
【００６５】
パネル整列手段は、第１の軸線方向に沿ってパネルを整列する第１の軸線方向パネル整列手段と第２の軸線方向に沿ってパネルを整列する第２の軸線方向パネル整列手段とを有する。パネルが長方形状を有した場合、第１の軸線方向と第２の軸線方向は垂直な方向である。以下、第１の軸線をＸ軸線と称し、第２の軸線をＹ軸と称する。
【００６６】
従って、パネル整列手段は、ベースプレート４１０の上部に設けられてＸ軸線方向のアーム４１０ａ，４１０ｃに沿って平行に設けられる二つのＸ軸線方向パネル整列手段４３０ａ，４３０ｂと、ベースプレート４１０の下部に設けられてＹ軸線方向のアーム４１０ｂ，４１０ｄに沿って平行に設けられる二つのＹ軸線方向パネル整列手段４４０ａ，４４０ｂと、を含む。
【００６７】
ベースプレート４１０は、最小限のサイズと重さとを有することができるように短い四つのアーム４１０ａ，４１０ｂ，４１０ｃ，４１０ｄから構成される。そして、それぞれのアーム４１０ａ，４１０ｂ，４１０ｃ，４１０ｄとこのアーム４１０ａ，４１０ｂ，４１０ｃ，４１０ｄが交差するベースプレート４１０の中央部分には、同一な高さを有するパネル支持手段４２０ａ、４２０ｂ，４２０ｃ，４２０ｄ，４２０ｅが設けられる。
【００６８】
それぞれのアーム４１０ａ，４１０ｂ，４１０ｃ，４１０ｄ に設けられるパネル支持手段４２０ａ、４２０ｂ，４２０ｃ，４２０ｄ，４２０ｅは、それぞれのアーム４１０ａ，４１０ｂ，４１０ｃ，４１０ｄ の側端部に設けられて供給されるパネルを支持し、空間的な活用を高め、容易な設置のために互いに隣り合わないように設けられることが好ましい。
【００６９】
二つのＸ軸線方向パネル整列手段４３０ａ，４３０ｂと二つのＹ軸線方向パネル整列手段４４０ａ，４４０ｂは同一な構成より成る。但し、サイズと重さが小さく製作されたベースプレート４１０に設けられて空間的な活用を高めるために、二つのＸ軸線方向パネル整列手段４３０ａ，４３０ｂは、ベースプレート４１０の上部に互いに対称に設けられ、二つのＹ軸線方向パネル整列手段４４０ａ，４４０ｂは、ベースプレート４１０の下部に互いに対称に設けられる。
【００７０】
従って、以下ではＸ軸線方向パネル整列手段４３０ａ，４３０ｂの構造と動作についてのみ説明し、Ｙ軸線方向パネル整列手段４４０ａ，４４０ｂの構造と動作はＸ軸パネル整列手段４３０ａ，４３０ｂの構造と動作に従う。
【００７１】
図７は、Ｘ軸線方向パネル整列手段４３０を示す分離斜視図である。
【００７２】
図７に示すように、Ｘ軸線方向の各アーム４１０ａ，４１０ｃには、互いに向き合うレール４１１が設けられる。レール４１１は、ベースプレート４１０を構成する各アーム４１０ａ，４１０ｃの長さが短いので長く形成されることではなく、後述するＸ軸線方向移送体４３２が摺動して移動できる程度の長さにのみ形成される。
【００７３】
互いに対称に設けられる二つのＸ軸線方向パネル整列手段４３０ａ，４３０ｂは、二つのアーム４１０ａ，４１０ｃのうちに一側アーム４１０ａ，４１０ｃの側端部に固定設けられる整列動力手段４３９と、整列動力手段４３９によって回転する整列ボールスクリュー４３１と、整列ボールスクリュー４３１とねじ結合されてレール４１１に沿ってアーム４１０ａ，４１０ｃの長手方向に移動する長い直六面体形状のＸ軸線方向移送体４３２と、Ｘ軸線方向移送体４３２の端上部に固定設けられて平板ディスプレイパネル端部を固定することと同時に整列する整列バー４３３と、を含む。二つのＸ軸線方向移送体４３２は互いに反対方向に移動するようにそれぞれの整列ボールスクリュー４３１に結合され、Ｘ軸線方向移送体４３２が近づくことによって、二つの整列バー４３３はパネルの互いに対向される側面を押しやる。二つのＸ軸線方向パネル整列手段４３０ａ，４３０ｂは、空間活用度を高めるためＹ軸線方向に互いに離隔されて設けられる。
【００７４】
整列動力手段４３９は、エアシリンダー（図示せず）とシャフト（図示せず）によって構成できるが、本発明では、精巧で迅速な整列のためにモータ駆動から構成される。すなわち、図７に示すように、整列ボールスクリュー４３１と連結される第１のプーリー４３７と、第１のプーリー４３７とベルト４３８によって連動される第２のプーリー４３６と、第２のプーリー４３６と連結されて動力を発生させる整列モータ４３５と、を含んで構成される。
【００７５】
整列ボールスクリュー４３１とねじ結合されてアーム４１０ａ，４１０ｃ上に設けられるレール４１１に沿ってスライディングされるＸ軸線方向移送体４３２は、その内部の長手方向に沿って長くねじ山が形成されることではなく、整列ボールスクリュー４３１と結合される一端にのみ整列ボールスクリュー４３１と結合して連動できるナット結合体４３４が設けられる。そして、Ｘ軸線方向移送体４３２は、整列ボールスクリュー４３１を受容できるだけではなく、重さを縮小させるために中空型に製作されることが好ましい。前述した構造によってＸ軸線方向」移送体４３２が移動するとき、整列ボールスクリュー４３１がＸ軸線方向移送体４３２に挿入される長さは漸進的に変化して、Ｘ軸移送体４３２と整列ボールスクリュー４３１が結合した全体長さが可変する。
【００７６】
前述したような構造で、整列モータ４３５を駆動させれば、第２のプーリー４３６とベルト４３８に連結される第１のプーリー４３７が回転して整列ボールスクリュー４３１も回転する。そうすれば、整列ボールスクリュー４３１とねじ結合するナット結合体４３４を一端に含んでいるＸ軸線方向移送体４３２は、アーム４１０ａ，４１０ｃ上に設けられるレール４１１に沿って摺動して移動する。結果的にＸ軸線方向移送体４３２の上部に固定設けられる整列バー４３３は、パネル支持手段４２０ａ、４２０ｂ，４２０ｃ，４２０ｄ，４２０ｅ上に置かれている平板ディスプレイパネルの側端部に移動して整列を遂行する。
【００７７】
以上で説明したパネル供給装置３００の全体的な動作を整理すれば次の通りである。
【００７８】
先ず、検査部に供給する多様なサイズの平板ディスプレイパネルがロボットのようなパネルローディング装置から伝達されてサブテーブル４００のパネル支持手段４２０ａ、４２０ｂ，４２０ｃ，４２０ｄ，４２０ｅに置かれる。
【００７９】
そうすれば、サブテーブル４００のベースプレート４１０を構成する各アーム４１０ａ，４１０ｂ，４１０ｃ，４１０ｄの側端部に設けられる整列動力手段４３９によって四つの整列バー４３３を移動させてパネル支持手段４２０ａ、４２０ｂ，４２０ｃ，４２０ｄ，４２０ｅ上に置かれている平板ディスプレイパネルを整列することと同時に固定する。
【００８０】
この状態でサブテーブル４００によって支持固定された平板ディスプレイパネルをパネル移送装置に供給するためにサブテーブル４００は、回転手段によって一定角度に回転する。その後、ティルティング手段３３０によって平板ディスプレイパネルを所定角度にティルティングさせる。
【００８１】
その後、パネル供給装置３００のアップダウン手段によって平板ディスプレイパネルがパネル移送装置によってクランピングできるように所定位置ほど立ち上がる。そうすれば、パネル移送装置は、平板ディスプレイパネルが伝達されて検査部に移送させる。
【００８２】
前述した実施形態では、パネル整列手段は、移送体を直線移動させるため整列ボールスクリューを備えたことと説明した。しかしながら、これは一例に過ぎなく、移送体を直線移動させるため移送体を押しやるロッドを備えた油空圧シリンダー又は移送体を直線移送させるリンクメカニズムを備えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】一般的な平板ディスプレイパネル検査装置の構成図である。
【図２】従来のパネル供給装置の構成図である。
【図３】従来のサブテーブルの構成図である。
【図４】本発明に適用されるパネル供給装置の構成図である。
【図５】本発明の実施形態によるティルティング状態を示す例示図である。
【図６】本発明に適用されるサブテーブルの構成図である。
【図７】本発明の実施形態によるパネル整列手段の分離斜視図である。
【符号の説明】
【００８４】
３００  パネル供給装置
３１０  固定プレート
３１１  ヒンジ結合体
３２０  ティルティングプレート
３３０  ティルティング手段
３３１  第１の移動体
３３２  ティルティングボールスクリュー
３３３  第２の移動体
３３４  ティルティングモータ
３４０  アップダウンプレート
４００  サブプレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006179892.tif 000007
【図６】
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【図７】
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