(57)【要約】【課題】光学的結像装置に対して光学的結像自体、特に結像要素を調節することなしに補正が可能な補正装置【解決手段】光路（１）を有し、結像する光学装置、特に顕微鏡に対する補正装置が、板（９）の傾き姿勢の変更によって光路（１）中の光線の特定の平行なずれを設定するために、少なくとも結像光路（１）中にあるホルダに保持されておりこれによって傾き運動あるいは旋回運動またはその両方の運動を少なくとも１つの軸の周りに駆動できる平行平面の透明板（９）を備える。このような補正装置を有する共焦点顕微鏡が、試料スポット（１０）を結像する共焦点絞りを有し、その際に開口絞りの結像を検出ユニットの上にセンタリングするために検出ユニット（２）の光路（１）中に平行平面の板（９）が予め配置されている。【選択図】図１
2006031013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光路を有している結像光学装置（１）用の、特に顕微鏡用の補正装置であって、結像光路中にあるホルダ（１１）に保持され、これによって傾倒運動および／または旋回運動により少なくとも１つの軸の周りに駆動させることのできる少なくとも１つの平行平面の透明板（９）を持ち、板（９）の傾倒位置の変更から光路中の光線の一定の平行移動（ｄｘ、ｄｙ）が設定できる補正装置。
【請求項２】
２軸に対して傾倒および／または旋回の可能な少なくとも１枚の板（９）、あるいは１軸に対して傾倒および／または旋回の可能な少なくとも２枚の異なった板を有する請求項１に記載の補正装置。
【請求項３】
光学装置（１）の少なくとも１つの操作パラメータを捕捉し、操作パラメータの値に応じて傾倒位置を調整する調整装置（Ｃ）を有する先行請求項のいずれか１つに記載の補正装置。
【請求項４】
板（９）の傾倒位置を調整値として適用する制御回路（Ｃ）を有する先行請求項のいずれか１つに記載の補正装置。
【請求項５】
色への依存なしに、あるいは色への依存に基づき照準下で平行移動の調整をするための、分散性の異なる材料からなる独立作動性の２枚の板（９）を有する先行請求項のいずれか１つに記載の補正装置。
【請求項６】
ただし光路における横色収差を補正するために、分散性の異なる材料からなる２枚の部分板（９ａ、９ｂ）で構成された少なくとも１枚の板（９）を有する先行請求項のいずれか１つに記載の補正装置。
【請求項７】
選択した試料領域（１０）を検出ユニット（２）の前に配置された共焦点絞り（４）上に結像させる、ただし選択した試料領域（１０）の結像を検出ユニット（２）の上に、あるいは絞り（４）の結像を検出ユニット（２）上にセンタリングするために、板（９）が検出ユニットの光路に設置されている先行請求項のいずれか１つに記載の補正装置を有する共焦点顕微鏡。
【請求項８】
検出ユニットが位置分解能のある検出器（２）を有する請求項７に記載の顕微鏡。
【請求項９】
光路内に交換あるいは調節の可能な素子（３）を有し、調整装置（Ｃ）が交換あるいは調節の可能な素子の構成を操作パラメータとして捕捉する請求項７または８に記載の顕微鏡。
【請求項１０】
、光路がいろいろな波長の光線を通し、調整装置（Ｃ）が光路の波長を操作パラメータとして捕捉する請求項７、８または９に記載の顕微鏡。
【請求項１１】
制御回路（Ｃ）が検出ユニットにおける光線の強度を最大にする、および／または画像のずれを最小にする請求項７または８に記載の顕微鏡。
【請求項１２】
共焦点絞りがスリット絞り（４）として、また検出ユニットが検出ライン（２）として構成され、またその際試料ラインの画像がスリット絞り（４）上で、あるいはスリット絞り（４）の画像が検出ライン（２）上で２軸に対してセンタリングされるように、傾倒位置が２軸に対して調整される請求項７から１１のうちの１に記載の顕微鏡。
【請求項１３】
試料領域（１０）と共焦点絞り（４）との間にも絞り（４）と検出ユニット（２）との間にも２軸に対し傾倒および／または旋回の可能な板（９）、あるいは１軸に対して傾倒および／または旋回の可能な異なった２枚の板（９）が配備されている請求項７から１２のうちの１に記載の顕微鏡。
【請求項１４】
選択された試料領域（１０）の照明のために励起光路を有している、ただし励起光路に請求項１から６に記載の平行平面の板（９）が配置されている請求項７から１３のうちの１つに記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光路を有する光学装置、たとえば顕微鏡に対する補正装置に関するものであり、特にこのような補正装置を有する共焦点顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
たとえば顕微鏡、共焦点顕微鏡あるいはレーザ走査型顕微鏡のような光学装置は、通常さまざまな動作条件に適合させるために調節可能な要素を有する。たとえばいろいろな照明光の波長で動作できるように、あるいはいろいろな波長領域の蛍光を利用するために、フィルタまたはカラースプリッタを交換することが知られている。要素の交換あるいは調整の際に光路の好ましくない障害をできるだけ少なくするために、調節あるいは交換可能な機構は、通常機械的に非常に複雑で、非常に精密に仕上げることが必要である。
【０００３】
このことは自身が検出器絞りあるいはそのように動作するものを持っている検出ユニットを有する共焦点絞りを使用している共焦点顕微鏡あるいはレーザ走査型顕微鏡の場合に特に問題となる。また交換あるいは調整可能な要素については非常な複雑になるため、たとえば光学要素の傾きエラーやウエッジエラーにより光路への影響を完全に排除することはできないので、現状技術においては、結像の光路をこのようなピンホール対物レンズで変更するための、費用のかかる補正機構は部分的に使われている。
【０００４】
たとえばＤＥ  １０１  ４７  ４８１  Ａ１に、光学的要素を調整あるいは交換することにより影響する傾きエラーあるいはウエッジエラーが発生する際に、共焦点絞りを適切に移動させることを可能にすることによって、常に最適な結像が共焦点顕微鏡で得られるようにするために、絞りの開口を移動することが可能な、調節可能なレーザ走査型顕微鏡用の共焦点絞りが記載されている。これに類似の同様に光学的結像に際し重要な要素を調節するアタッチメントがＤＥ  １０１  ０７  ２１０  Ｃ１に記載されている。そこでは共焦点顕微鏡において結像に参画する結像レンズを光路の光軸に対し横に移動させる。これにより共焦点顕微鏡において結像の調整を行うことができる。
【特許文献１】ＤＥ  １０１  ４７  ４８１  Ａ１
【特許文献２】ＤＥ  １０１  ０７  ２１０  Ｃ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
現状の技術によるアタッチメントに共通なのは、共焦点顕微鏡、つまり光学的に結像する装置における光学的結像を、共焦点絞りの位置の結像対象物に対する変更か、あるいは結像光学系の他の結像要素の調節によって変更することである。このアタッチメントに必要な比較的大きな機械的光学的な複雑さの他に、この現状技術に従った原理には、基本的に時には結像比が比較不可能になるという問題がある。結像寸法の面倒な較正が新たに必要になる可能性がある。
【０００６】
それ故に光学的結像装置に対して光学的結像自体を調節するのではなく、特に結像要素を調節することなしに補正が可能な補正装置を提供するというのが本発明に課せられた課題である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題は本発明に従って光路を有し結像する光学装置に対する、少なくとも１個の平行平面の透明板を有し、ホルダに入ったその板が光路中に保持され、ホルダによって少なくとも１つの軸の周りに傾きあるいは旋回、またはその両方の駆動が可能で、板の傾き姿勢を変えることによって光路の特定の平行なずれを設定できる補正装置によって解決できる。
【０００８】
本発明は特に共焦点顕微鏡の較正も考慮に入れており、その際にこの顕微鏡は選択した試料の範囲をその後ろに検出ユニットを配置した共焦点絞りに結像し、検出ユニットの光路には結像をセンタリングするために板が予め配置されている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明による補正装置は、光学装置の結像に発生するエラーを簡単に補償あるいは補正が可能であり、特に容易に環境温度、システム温度、装置の交換可能あるいは可動要素の姿勢、利用している光線の波長あるいは波長範囲による色収差を修正できるという利点がある。その際に要求によっては１軸の傾きあるいは旋回運動で充分なこともある。
【００１０】
２軸の平行ずれを使いたい場合、１個の２軸の傾きあるいは旋回できる板を適用することも、あるいは２個の１軸の傾きあるいは旋回する板を用いることもできる。本発明の本質はホルダ付きの平行平面の板を、定義された、また知られた方法で光路中で傾かせることができる点にある。２軸の調節に対してそれぞれ傾きおよび旋回の組合せが有効である。その際に１つの傾きと１つの旋回の動きの組合せは機械的に比較的容易に実現でき、旋回運動の際に現れる光軸に沿った平行平面の板のずれにもかかわらず、驚いたことにこれは欠点とはならない。
【００１１】
たとえば工場における較正などの際にユーザが手動でこの装置による補正を導入できる。しかし特に好ましいのは少なくとも光学装置の動作パラメータを捕捉し、動作パラメータの値に依存する傾き姿勢を調整する調整装置による較正である。傾き姿勢はたとえば較正表に記録することができる。また能動的制御回路によって、常用的、定期的あるいは必要に応じて、傾き姿勢の調整により、補正を最適化することが可能である。このような構成に対して、前記の効果を結像する光学装置で利用するために、板の傾き姿勢を設定値として適用する制御回路を備えるのが好ましい。このように簡単に光学装置において実際の温度あるいは長期間のドリフト誤差を補正することができる。
【００１２】
平行平面の板による平行ずれは、知られているように板材料の屈折率に依存するので、光学装置の光路に多色光線が入ったとき、板材料の分散に起因する波長依存の平行ずれによる色滲みが発生する可能性がある。平行平面の板を１枚あるいは複数の部分板で構成することにより、このような平行平面の板に起因する色滲みを補償することができる。
【００１３】
本発明による補正装置は、また光学的結像の動作状態に依存して変化する色滲み自身に応用することができる。光学装置がいろいろな波長で動作する場合、波長に依存し、またそれによって動作状態に依存する色滲みが現れることがある。本発明による補正装置は、その場合平行計面の板をそのときに光学装置で利用している波長範囲およびそれに起因する色滲みに応じて異なる傾き姿勢にすることができ、これによって結果的にいろいろな波長範囲での動作にもかかわらず配置内に変化のない光学的結像を得ることができる。またもちろんこの補正に対して、すでに述べたように、制御回路を備えることもできる調整装置を再度適用することもできる。
駆動部がホルダを動かす精度あるいは感度に対する要求は、前記の平行ずれ範囲と同様に平行平面の板の厚さにより容易に設定できる。
【００１４】
本発明による補正装置は、すでに述べたように、結像光学装置における調節可能な光学的要素に対する要求を低減する。この利点は特にすでに述べた共焦点顕微鏡として較正する場合に有意義である。共焦点顕微鏡において通常選択した試料の範囲（スポット）を照明し、いわゆるピンホール対物レンズの形の共焦点絞り上に結像し、その後ろに検出器が付いている。この絞りを通って伝送される光線は中間像を伴って、あるいは中間像なしで、検出器に到達する。また検出器自身も共焦点絞りとして動作することも可能である。照明は線でも点の形でも行うことができる。
【００１５】
この場合試料の範囲を完全にピンホール対物レンズにある共焦点絞り上に結像するかが問題である。これはなによりもまず共焦点顕微鏡が通常交換可能なビームスプリッタを備え、それによって顕微鏡をいろいろな応用、すなわち入射するあるいは読み出す波長が変化する応用に適応させることによって難しくなる。個別に取り付けられる光学的要素は交換部分に傾きエラーあるいはウエッジエラーをもたらし、これを顕微鏡の結像に障害にならないように低減するには費用がかかる。同じことが温度あるいは長期ドリフト変化に対しても言える。
本発明による補正装置では、変化する光学的要素に起因するエラーを光学的結像に介入することなく容易に修正できる共焦点顕微鏡を実現することができる。さらに、補正装置は共焦点絞りと検出器との間に挿入でき、これによって絞りと検出器との間の光路（結像）を適切に修正できる。
【００１６】
検出のためピンホール対物レンズをその場で解像しない検出器の前に用いる共焦点顕微鏡において、補正によってすでに挿入できる光学的要素に関して機械的要求が相当軽減されているが、共焦点顕微鏡がその場で解像する検出器を備えているときには、本発明による補正装置による前記の種類の共焦点顕微鏡における費用節減は顕著である。これはたとえばスリット絞りを検出ラインの前にピンホール絞りとして用いているライン走査型レーザ顕微鏡においても同様である。これは平行平面の透明板の傾き姿勢の調整により可能で、スリット面に垂直な偏差の補償もまたスリット面に平行な偏差の補償も可能である。
【００１７】
最初の場合は、試料から来る光を確実に正確にスリット絞りに当て、スリット絞りの上や下にずれないようにする。第２の場合は、試料から来る光をライン検出器に正確に当て、たとえばそれぞれが自分のライン検出器を備えているシステムの２つの検出チャネルの像の間にピクセルずれが無いようにする。これにより本発明による共焦点顕微鏡は多チャネル構成においてピクセル以下の精度で画像の重なりを達成できる。
【００１８】
ラインの方向に対して垂直にずれるスリット絞りの問題は、共焦点顕微鏡においてこのように細い検出ラインを適用できるので、スリット絞りおよび検出器を動かす必要が無く、うまく解決できる。アライメントから逸脱した際（交換可能な要素の傾きおよびウエッジエラーによる）に、解像度を上げたことにより起こるスリット絞りのマスクにより不必要に光束が失われ、それによって信号／雑音比が低下することも、したがって避けられる。
【００１９】
個別に挿入できる光学的要素の傾きエラーあるいはウエッジエラーは通常再現性があるので、平行平面の透明板の傾き姿勢は容易に選択可能である。挿入可能な光学的要素を交換する際に、顕微鏡に必要な傾き姿勢に設定するためには、単に平行平面の透明板を決めた通り駆動するだけでよい。したがって本発明による、光路に交換あるいは調整可能な要素を有し、調整機構が交換あるいは調整可能な要素を動作パラメータとして捕捉し、傾きの姿勢を動作パラメータの値に依存して調整する顕微鏡は較正することが望ましい。
【００２０】
このような光学的の結像のピンホール絞りに関するアライメント逸脱だけでなく色滲みも補償するパラメータに対する好都合な例は、顕微鏡の光路にさまざまな波長の光線を導入し、その際に調整機構が光路の波長を動作パラメータとして捕捉する必要があり、傾きの姿勢をそれに対応して調整する場合である。共焦点でスペクトル的に多チャネルの顕微鏡に対し、各検出チャネルについて１個あるいは複数の平行平面の板が検出器に配置され、平行平面の板の傾き姿勢が調整機構によって実際のチャネルにある検出器の上に取り付けられた板の波長ならびに波長範囲に依存して調整される。
【００２１】
検出ユニットでの光線の強度を最大にし、あるいは平行平面の板の傾き姿勢を調整値として使用しながら画像のずれを最小にし、またはその両方を行う制御回路を備えているとき、共焦点顕微鏡について快適な利用が可能である。これによってアライメントの逸脱を引き起こす長時間効果あるいは温度変化をいつでもサービスエンジニアを煩わすことなく補正できる。
【００２２】
したがって開口絞りが共焦点のスリット絞りとして、また検出ユニットが検出ラインとして形成され、その際に平行平面の板の傾きの姿勢が２軸で、スリット絞りの像が検出ラインに２軸でセンタリングするように調整されるような実施形態が望ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に本発明について参照しながらさらに詳細に説明する。
図１は走査型レーザ顕微鏡の検出装置１を示す。検出装置１は、カラースプリッタ３を経由して（示されていない）走査型レーザ顕微鏡の光路に結合されているＣＣＤライン２を有する。カラースプリッタ３は検出装置１を用いていろいろな波長範囲を捕捉することができるように交換可能である。交換可能なカラースプリッタによる適応性はレーザ走査型顕微鏡に用いられている励起光に関しても、また検出する（蛍光）光線に関しても与えることができる。
【００２４】
ＣＣＤライン２は、カラースプリッタ３を経由して、開口絞りとして動作するスリット絞り４を通ってＣＣＤライン２に当たる光線を受ける。
【００２５】
スリット絞り４はその前に配置されている円形光学系５および同じく前に置かれている最初の円柱レンズ６ならびに後ろに配置されている２個目の円柱レンズと共に検出装置１のピンホール対物レンズを形成し、その際にこのピンホールはスリット絞り４により実現されている。レーザ走査型顕微鏡の場合、これはライン走査する、試料の長方形あるいは線状の範囲（ライン）の共焦点あるいは少なくとも部分的に共焦点の結像をピンホール対物レンズならびに検出装置１によってＣＣＤライン２の上に生じる顕微鏡に関するものである。
【００２６】
蛍光励起のために照明している、共焦点に結像している試料のスポットは、図１に試料スポット１０として示されている。システムにおいて反射される励起光のＣＣＤライン２による好ましくない検出を避けるために、単に所望の蛍光だけがＣＣＤライン２に到達するように、２個目の円柱レンズ７および適切なスペクトル特性を備えたブロックフィルタ８を前に置く。
【００２７】
カラースプリッタ３あるいはブロックフィルタ８を交換すると、挿入の際にある程度の傾きエラーあるいはウエッジエラーが避けられない。カラースプリッタは試料ライン１０とスリット４との間の誤差、ブロックフィルタ８はスリット絞り４とＣＣＤライン２との間の誤差を生じる。スリット絞り４ならびにＣＣＤライン２の位置の再調整が必要にならないように、円形光学系５とスリット絞り４との間、すなわち試料スポット１０とＣＣＤライン２との間の結像光路に、コントローラＣによっていろいろな傾きにできる平行平面の板９を配置する。平行平面板９はあとで図４を使って説明する適切なホルダ（図１には示されていない）に保持されている。
【００２８】
平行平面板９は、図１に光軸ＯＡの僅かなずれとして図示されている、平行なずれを生じる。この平行なずれはまた図３に図示されており、これは２部分から成る平行平面の板の実施形態（あとで説明する）に関するものである。板９の上に板表面に斜めに入射する光束Ｅは、ずれた光束Ａとして射出する。平行平面の板９が無い場合は、図３に点線で描かれているような射出光線となろう。
【００２９】
平行平面の板９の傾きを変えることによってスリット絞り４に対する試料ラインの位置（ならびに板９をスリット絞りの後ろに配置した際に、同様に絞りとして作用するＣＣＤライン２に対するスリット絞り９の位置）を、光路におけるカラースプリッタ３の交換によって変わる可能性のある所定の関係に対して、いつも最適の、つまり２軸のセンタリングした位置を与えるように調整が可能である。これはスリット絞り４の試料ライン１０への投射を上から見た図２に判りやすく示されている。見てわかるように、たとえばカラースプリッタ３あるいはブロックフィルタ８によって起こり得る傾きエラーあるいはウエッジエラーに起因して、スリット絞り４と試料ライン１０との間にｘ方向にずれｄｘまたｙ方向にずれｄｙを生じている。
【００３０】
ずれｄｘによって、信号／雑音比が不必要に劣化する結果となる。スリット絞り４の絞りによって、つまりそのｘ方向の広がりを減少することによって共焦点顕微鏡の奥行きの解像度を向上しようとすると、ずれｄｘが試料ライン１０の半分の高さより大きい場合には、ＣＣＤラインに光がまったく到達しないということが起こり得る。つまりｄｘによって、走査型レーザ顕微鏡により達成できる奥行き解像度が、本来その装置で達成できるよりも減少する結果となる。同様のことが代替のあるいは組合せの実施例に対してスリット絞り４およびＣＣＤライン２の調整を行う際にも起こる。
【００３１】
平行平面の板９の傾き姿勢の調節による試料スポット１０のスリット絞りに対する調整は、ｘ方向から見てＣＣＤライン２の平面範囲のどの部分も不必要に照射されないことがないように作用する。
【００３２】
これに対してずれｄｙは、ｙ方向にＣＣＤライン２によって捕捉された場所の情報が、試料スポット１０における実際の放射あるいは反射関係に対応しないように作用する。その結果、画像に人工物あるいはずれを生じる。板９の傾き姿勢の調節により、ずれｄｙを最小に、場合によってはゼロにすることが可能となり、それによってスリット絞り４がＣＣＤライン２の中心に来て、ＣＣＤライン２のすべてのピクセルが正しく照射される。これは特に走査型レーザ顕微鏡がいろいろなカラースプリッタ３を経由していろいろなカラーチャネルを読み出す複数の検出装置１を有するときに重要である。検出装置１においてカラースプリッタ３をそれぞれ調節することによりさらにいろいろなずれｄｙが生じるから、このような多チャネルレーザ走査型顕微鏡の場合、合成画像において個々のカラーチャネルを割り当てる際にエラーを生じる結果となる。
【００３３】
検出装置１において利用される波長あるいは波長範囲に応じて、検出装置１のピンホール対物レンズはさまざまな色滲みを示す可能性がある。同様のことが検出装置１に接続されている要素、たとえばカラースプリッタ３あるいはその他の光軸ＯＡ上にある光学素子についても言える。板９の調節によりこの色滲みは適切に補償が可能である。コントローラＣはその際に検出装置１が、稼働している波長あるいは波長範囲のそれぞれに固有の傾き姿勢を割り当てられている板９の傾き姿勢に操作する。
【００３４】
検出装置１に比較的広帯域の光線が導入された場合、平行平面の板９の透明材料の分散が入射光束Ｅに対していろいろな波長に依存する射出光束のずれを与えるとき、平行平面の板自身も色滲みを起こす可能性がある。これを補償するために、図３に示す平行平面の板９の実施形態の構造は２枚の部分板９ａと９ｂとから成る。この部分板９ａと９ｂの材料は異なっており、検出装置１が利用する波長範囲において分散による色滲みをできるだけ取り除くように選択されている。たとえば部分板９ａは短い波長に対して部分板９ｂよりも強いずれを引き起こす。逆のことが長い波長について言える。このようにして平行平面の板９の色滲みの補償を達成できる。色に依存しない、あるいは適切に色に依存する平行ずれの発生のために、また２個の別々の、逆方向に偏向し、異なる分散を有する材料から成る、傾けることができる板を適用することも可能である。
【００３５】
コントローラＣは、実際のレーザ走査型顕微鏡の構成（特に環境あるいは装置の温度あるいは外部の影響の大きさ）あるいは制御プロセスが連続的か断続的かを評価したのち、板９をユーザのプリセット値に設定する。制御には板９の傾き姿勢が設定値として適用される。較正段階において光線の強度あるいはＣＣＤライン２上のずれが制御値として評価される。
【００３６】
図４に、コントローラ９により制御される駆動部１１を遠近法図で示す。図示のように平行平面の板９は２個のステップモータ１２および１３によってｘ軸およびｙ軸の周りに調節される。ｘ軸の調節は板９の中央にある回転軸による傾き運動である。ｙ軸周りの回転は板の外にある軸の周りの旋回運動である。
【００３７】
ｘ軸周りの傾きのために保持板１４があり、それには１対の板ばね１５がねじ止めされており、平行平面の板９を保持している枠１６を固定している。板ばね１５は傾き軸を決定する。ばねは枠に固定されているローラ１７を同様に保持板１４上にあるステップモータ１２によって駆動されるカム・ディスク１８に押しつけている。カム・ディスク１８の位置に従ってローラ１７およびそれに伴って枠１６がさまざまに偏向され、それによって板９のｘ軸周りの傾きが達成される。
【００３８】
保持板１４は、また旋回軸２０の周りを旋回できる梃子１９の腕でもある。旋回軸２０は、板９のｙ平面周りの運動の軸をなしている。梃子１９のもう１つの腕２１は、その端にローラ２２を持ち、このローラはステップモータ１３で駆動されるカム・ディスク２３に接している。板ばね１５がローラ１７をカム・ディスク１８に押しつけているのと同様に、旋回軸２０には、ばね素子があり、これがローラ２２をカム・ディスク２３に押しつけている。
【００３９】
ステップモータ１２および１３を操作することによって、図示されていない導線によりステップモータに接続されているコントローラＣは、検出装置１の光路中にある平行平面の板９の傾きおよび旋回姿勢をモータにより調整できる。ステップモータ１２および１３のインクリメント操作により、動作の最初に取得した基準位置と組み合わせて、板９の実際の設定を各動作点についてコントローラＣは知ることができ、これによって制御回路における板９の設定を調整値に適用でき、また記憶してあるプリセット値に従って設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】は走査型レーザ顕微鏡の検出装置。
【図２】は図１の検出装置における修正要求を明確に示すためのもの。
【図３】は図１の検出装置の平行平面の板。
【図４】は図１のモータ駆動付き平行平面の板の遠近法図。
【符号の説明】
【００４１】
１      検出装置
２      ＣＣＤライン
３      カラースプリッタ
４      スリット絞り
５      円形光学系
６      円柱レンズ
８      ブロックフィルタ
９      平行平面板
１０      試料スポット
１１      駆動部
１２，１３      ステップモータ
１４      保持板
１５      板ばね
１６      枠
１７      ローラ
１８      カム・ディスク
１９      梃子
２０      旋回軸
２１      腕
２２      ローラ
２３      カム・ディスク
ＯＡ      光軸
Ａ      光束
【図１】
2006031013.tif 000003
【図２】
2006031013.tif 000004
【図３】
2006031013.tif 000005
【図４】
2006031013.tif 000006