(57)【要約】【課題】磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターンを有する磁気記録媒体を提供する。【解決手段】凸部４０ａと凹部４０ｂとを有する凹凸パターン４０によってサーボパターン領域Ａｓａにサーボパターンが形成されると共に、一面のデータ記録領域Ａｔに同心円状または螺旋状のデータ記録トラック（凸部４０ａ）が設けられてデータトラックパターンが形成され、サーボパターン領域内Ａｓａのアドレスパターン領域Ａａａには、凹凸パターン４０を構成する各凹部４０ｂ，４０ｂ・・における基材の回転方向に沿った各開口長のうちのデータトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径領域毎の最大の開口長Ｌ２が同一半径領域内の各凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った最小の開口長Ｌ１の２倍の長さとなるように凸部４０ａが形成されている。【選択図】図３
2006252660.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも突端部が磁性材料で形成された凸部と凹部とを有する凹凸パターンによって基材の少なくとも一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、
前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凹部における当該基材の回転方向に沿った各開口長のうちの前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径領域毎の最大の開口長が当該同一半径領域内の当該各凹部における当該回転方向に沿った最小の開口長の２倍の長さである第１の長さとなるように前記凸部が形成されている磁気記録媒体。
【請求項２】
前記各第１の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凸部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凸部が形成されている請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
少なくとも突端部が前記磁性材料で形成された凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、
前記各データ記録トラックは、隣り合う当該データ記録トラックの間の凹部における前記基材の半径方向に沿った開口長が前記各第１の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている請求項１または２記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
少なくとも突端部が磁性材料で形成された凸部と凹部とを有する凹凸パターンによって基材の少なくとも一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、
前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凹部における当該基材の回転方向に沿った各開口長が前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径領域内において互いに等しい第２の長さとなるように前記凸部が形成されている磁気記録媒体。
【請求項５】
前記各第２の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凸部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凸部が形成されている請求項４記載の磁気記録媒体。
【請求項６】
少なくとも突端部が前記磁性材料で形成された凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、
前記各データ記録トラックは、隣り合う当該データ記録トラックの間の凹部における前記基材の半径方向に沿った開口長が前記各第２の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている請求項４または５記載の磁気記録媒体。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体における前記サーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えている記録再生装置。
【請求項８】
請求項１から６のいずれかに記載の磁気記録媒体における前記凹凸パターンと相補的形状の凹凸パターンが形成された磁気記録媒体製造用のスタンパー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サーボパターン領域に凹凸パターンによってサーボパターンが形成された磁気記録媒体、その磁気記録媒体を備えた記録再生装置、およびその磁気記録媒体を製造するためのスタンパーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子や情報記録媒体などを製造する工程において、ナノメートルサイズの凹凸パターンを形成したスタンパーを基材上の樹脂層に押し付けてスタンパーの凹凸形状を樹脂層に転写することで基材の上にナノメートルサイズの凹凸パターンを形成するナノインプリントリソグラフィ法（ナノメートルサイズの凹凸パターンを形成するインプリント方法：以下、「インプリント方法」ともいう）が米国特許５７７２９０５号明細書に開示されている。このインプリント方法では、まず、その転写面にナノメートルサイズ（一例として、最小幅が２５ｎｍ程度）の凹凸パターンが形成されたスタンパー（mold）を製造する。具体的には、シリコン基板（silicon substrate ）の表面に形成された酸化シリコン等の薄膜（molding layer ）を覆うようにして形成された樹脂層に電子ビームリソグラフィ装置を用いて所望のパターンを描画した後に、反応性イオンエッチング装置によって樹脂層をマスクとして薄膜をエッチング処理することによって複数の凸部（features）を有する凹凸パターンを薄膜の厚み内に形成する。これにより、スタンパーが製造される。
【０００３】
次いで、例えば、シリコン製の基材（substrate ）の表面にポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ：樹脂材料）をスピンコートして厚み５５ｎｍ程度の樹脂層（薄膜：thin film layer ）を形成する。続いて、基材および樹脂層の積層体、並びにスタンパーの双方を加熱した後に、基材上の樹脂層にスタンパーの各凸部を押し付ける。この際には、スタンパーの凸部が押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部に向けて移動することにより、凸部が押し込まれた部位に凹部（regions ）が形成（転写）される。次いで、スタンパーを押し付けた状態の積層体を室温となるまで放置した後に（冷却処理した後に）、樹脂層からスタンパーを剥離する。これにより、スタンパーの凹凸パターンにおける各凸部が樹脂層に転写されて、基材の上（樹脂層）にナノメートルサイズの凹凸パターンが形成される。この後、凹凸パターンが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理することにより、基材に複数の凹部が形成される。したがって、上記のような技術（インプリント方法）によって情報記録媒体用基材上の樹脂層に凹部を形成することにより、その樹脂層をマスクとして用いたエッチング処理によってナノメートルサイズの凹凸パターンを有する情報記録媒体を製造することが可能となる。
【特許文献１】米国特許５７７２９０５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来のインプリント方法（製造方法）に従って製造された情報記録媒体（磁気記録媒体）には、以下の問題点がある。すなわち、従来の製造方法では、基材上に形成した樹脂層にスタンパーの凸部を押し込むことによって樹脂層に凹部を設けて凹凸パターンを形成し、凹凸パターンが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理することによって基材に凹凸パターンを形成している。しかし、この製造方法に従って例えばディスクリートトラック型の磁気記録媒体を製造したときには、樹脂層に対する凸部（スタンパーの凸部）の押し込み量が不足して、樹脂層に形成される（転写される）凹凸パターンにおける凹部の底部に大量の樹脂材料が残存し、この樹脂材料の取り除き処理時に凹部が過剰に拡がることに起因して磁気記録媒体に凹凸パターンを高精度で形成するのが困難となるおそれがある。
【０００５】
具体的には、例えば、図２９に示すように、上記の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｚは、同心円状の複数のデータ記録トラックで構成されたデータトラックパターン４０ｔｚが形成されたデータ記録領域Ａｔｚと、トラッキングサーボ用のサーボパターン４０ｓｚが形成されたサーボパターン領域Ａｓｚとが磁気ディスク１０ｚの回転方向（同図に示す矢印Ｒの向き）で交互に並ぶように規定されて製造されている。また、図３０に示すように、磁気ディスク１０ｚのサーボパターン領域Ａｓｚは、一例として、プリアンブルパターンが形成されたプリアンブルパターン領域Ａｐｚと、アドレスパターンが形成されたアドレスパターン領域Ａａｚと、バースト領域Ａｂ１ｚ〜Ａｂ４ｚの各領域にバーストパターンが形成されたバーストパターン領域Ａｂｚとを備えている。なお、同図および後に参照する図３１において斜線で塗り潰した領域は、サーボパターン４０ｓｚおよびデータトラックパターン４０ｔｚにおける凸部４０ａｚの形成領域を表している。
【０００６】
この場合、この磁気ディスク１０ｚを含む従来の磁気ディスクでは、アドレスパターン領域Ａａｚに形成したサーボパターン４０ｓｚにおける凹部４０ｂｚ，４０ｂｚ・・の基材の回転方向に沿った開口長が、記録すべきアドレスデータのデータ内容に対応して非常に長くなることがある。なお、本明細書における「凹部の開口長」とは、その凹部を挟んで隣り合う凸部の両突端面における対向する端部間の距離をいう。具体的には、アドレスパターン領域Ａａｚにアドレスデータを記録するときに、例えば、「１」に対応して凹部４０ｂｚを形成すると共に、「０」に対応して凸部４０ａｚを形成した場合には、アドレスデータ上で「１」が多数連続する部位において凹部４０ｂｚの回転方向に沿った開口長が長くなる。この結果、例えば、図３１に示すように、アドレスデータにおいて「１」が連続していない部位（アドレスデータが「０，１，０」の部位）では、「１」に対応して形成される凹部４０ｂｚの回転方向に沿った開口長Ｌ１１が比較的短くなっている。これに対して、アドレスデータにおいて「１」が複数連続している部位（例えば、アドレスデータが「０，１，１，１，０」の部位等）では、「１」に対応して形成される凹部４０ｂｚの回転方向に沿った開口長Ｌ１２が長くなる。この場合、図３０，３１に示すように、アドレスパターン領域Ａａｚ内では、凹部４０ｂｚが複数の記録トラックを跨ぐようにして半径方向（両図における上下方向）に連続して形成されることが多いため、凹部４０ｂｚの半径方向に沿った開口長が長くなる傾向がある。したがって、アドレスデータにおいて「１」が複数連続する部位においては、凹部４０ｂｚにおける半径方向に沿った開口長および回転方向に沿った開口長の双方が長くなる（開口面が過剰に広くなる）。なお、本明細書における「凹部の開口面」とは、その凹部を挟んで隣り合う凸部の両突端面における対向する端部同士の間、すなわち、凹凸パターンにおける凸部の突端面を除く領域をいう。
【０００７】
また、図３０に示すように、従来の磁気ディスク１０ｚでは、データ記録領域Ａｔｚとプリアンブルパターン領域Ａｐｚとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐｚとアドレスパターン領域Ａａｚとの間、アドレスパターン領域Ａａｚとバーストパターン領域Ａｂｚとの間、およびバーストパターン領域Ａｂｚとデータ記録領域Ａｔｚとの間の各領域に、非サーボ信号領域Ａｘｚが形成されている。さらに、バーストパターン領域Ａｂｚにおける各バースト領域Ａｂ１ｚ〜Ａｂ４ｚの各領域の間には、非サーボ信号領域Ａｘｂｚが形成されている。この非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚには、トラッキングサーボ制御用の制御信号が記録されておらず、非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚのほぼ全域が凹部で構成されて凸部が存在しない状態となっている。したがって、非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚ内の凹部４０ｂｚは、半径方向に沿った開口長および回転方向に沿った開口長の双方が非常に長くなっている（開口面が過剰に広くなっている）。
【０００８】
この場合、上記の磁気ディスク１０ｚにおけるデータ記録領域Ａｔｚおよびサーボパターン領域Ａｓｚには、その開口面が狭い凹部（一例として、磁気ディスク１０ｚの回転方向に沿った開口長、および磁気ディスク１０ｚの半径方向に沿った開口長のいずれかが短い凹部）や、その開口面が広い凹部（一例として、回転方向に沿った開口長および半径方向に沿った開口長の双方が長い凹部）などの各種の凹部が形成されている。また、磁気ディスク１０ｚを製造するためのスタンパーには、磁気ディスク１０ｚに形成すべき凹凸パターンと相補的形状の凹凸パターン（磁気ディスク１０ｚの凹凸パターンとは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン：図３２，３３における凹凸パターン３９ｚ）が形成されている。したがって、図３２，３３に示すように、磁気ディスク１０ｚを製造するためのスタンパーには、磁気ディスク１０ｚの凹凸パターンに対応して、突端面が狭い凸部（図３２に示す凸部３９ａｚ）や、突端面が広い凸部（図３３に示す凸部３９ａｚ）などの各種の凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・が形成されている。この場合、従来の製造方法では、スタンパーの全域に亘ってほぼ均一な押圧力で凹凸パターン３９ｚを樹脂層に押し付けている。この際に、図３２に示すように、その突端面が比較的狭い凸部３９ａｚが形成されている部位（例えば、アドレスデータにおいて「１」が連続していない部位のアドレスパターンに対応する部位）では、凸部３９ａｚが押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部３９ｂｚ，３９ｂｚ内に向けてスムーズに移動する結果、凸部３９ａｚを十分に奥深くまで樹脂層に押し込むことができる。この結果、凸部３９ａｚの先端と基材との間（凹部４１ｂｚの底部）の樹脂層の厚みＴ１が十分に薄い凹凸パターン４１ｚを基材の上に形成することができる。なお、以下の説明では、樹脂層に形成される凹部の底面と基材との間に取り残された樹脂材料を「残渣」ともいう
【０００９】
これに対して、図３３に示すように、その突端面が比較的広い凸部３９ａｚが形成されている部位（例えば、アドレスデータにおいて「１」が連続している部位のアドレスパターンや、非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚに対応する部位）では、凸部３９ａｚが押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部３９ｂｚ，３９ｂｚ内に向けて移動するのが困難となる結果、凸部３９ａｚを樹脂層に奥深くまで十分に押し込むのが困難となる。この結果、凸部３９ａｚの先端と基材との間（凹部４１ｂｚの底部）に厚みＴ２の残渣が生じることとなり、結果として、凹部４１ｂｚの深さが浅くなる。この場合、凹凸パターン４１ｚが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理する際には、凹凸パターン４１ｚにおける凹部４１ｂｚの底面の残渣をエッチング処理等によって除去する必要がある（前述した取り除き処理）。また、前述したように、突端面が狭い凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・を押し込んだ部位の残渣の厚みＴ１は、突端面が広い凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・を押し込んだ部位の残渣の厚みＴ２よりも十分に薄くなっている。したがって、厚みＴ２の残渣を確実に取り除くことができるように十分な時間のエッチング処理（取り除き処理）を実行したときには、厚みＴ２の残渣の取り除きが完了するのに先立って、厚みＴ１の残渣の取り除きが完了する。この結果、厚みＴ１の残渣が取り除かれた部位（底面が狭い凹部４１ｂｚの部位）では、厚みＴ２の残渣の取り除きが完了するまで照射され続けているガスによって凹部４１ｂｚの内側壁（凸部４１ａｚ）が浸食されて凹部４１ｂｚが過剰に拡がってしまう。このため、従来の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｚには、その製造時に所望する広さの凹部４１ｂｚを形成するのが困難であることに起因して、データ記録領域Ａｔｚやサーボパターン領域Ａｓｚに形成される凹部の広さが過剰に広くなり、これに起因して磁気的信号の確実な読み取りが困難となるおそれがある。
【００１０】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターンを有する磁気記録媒体および記録再生装置、並びに、このような磁気記録媒体を製造し得るスタンパーを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく本発明に係る磁気記録媒体は、少なくとも突端部が磁性材料で形成された凸部と凹部とを有する凹凸パターンによって基材の少なくとも一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凹部における当該基材の回転方向に沿った各開口長のうちの前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径領域毎の最大の開口長が当該同一半径領域内の当該各凹部における当該回転方向に沿った最小の開口長の２倍の長さである第１の長さとなるように前記凸部が形成されている。この場合、「２倍の長さ」とは、ほぼ２倍の長さのことであって、上記の最小の開口長の２倍の長さを目標にして凹部を形成すべく凸部を形成した際に僅かな製造誤差が発生したとしても、その製造誤差分だけ相違しているその凹部の開口長も最小の開口長の２倍の長さ（第１の長さ）であることを意味する。また、製造誤差とは別に「２倍」に対して僅かな許容範囲を当初から規定して凹部を形成すべく凸部を形成したときにも、その凹部の開口長も最小の開口長の２倍の長さ（第１の長さ）であることを意味する。
【００１２】
また、本発明に係る磁気記録媒体は、上記の磁気記録媒体において、前記各第１の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凸部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凸部が形成されている。なお、本明細書における「凸部の少なくとも一部が円形領域内に含まれる」との状態には、「凹凸パターンを構成する凸部と凹部との境界部分（凸部の端部）が円形領域内に含まれている状態」が含まれる。
【００１３】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体は、上記のいずれかの磁気記録媒体において、少なくとも突端部が前記磁性材料で形成された凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、前記各データ記録トラックは、隣り合う当該データ記録トラックの間の凹部における前記基材の半径方向に沿った開口長が前記各第１の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている。
【００１４】
また、本発明に係る磁気記録媒体は、少なくとも突端部が磁性材料で形成された凸部と凹部とを有する凹凸パターンによって基材の少なくとも一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凹部における当該基材の回転方向に沿った各開口長が前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径領域内において互いに等しい第２の長さとなるように前記凸部が形成されている。この場合、「互いに等しい」とは、互いにほぼ等しいことであって、第２の長さを目標にして凹部を形成すべく凸部を形成した際に僅かな製造誤差が発生したとしても、その製造誤差分だけ相違しているその凹部の開口長も互いに等しい第２の長さであることを意味する。また、製造誤差とは別に僅かな許容範囲を当初から規定して凹部を形成すべく凸部を形成したときにも、その凹部の開口長も互いに等しい第２の長さであることを意味する。
【００１５】
また、本発明に係る磁気記録媒体は、上記の磁気記録媒体において、前記各第２の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凸部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凸部が形成されている。
【００１６】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体は、上記のいずれかの磁気記録媒体において、少なくとも突端部が前記磁性材料で形成された凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、前記各データ記録トラックは、隣り合う当該データ記録トラックの間の凹部における前記基材の半径方向に沿った開口長が前記各第２の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている。
【００１７】
また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体における前記サーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えている。
【００１８】
また、本発明に係るスタンパーは、磁気記録媒体製造用のスタンパーであって、上記のいずれかの磁気記録媒体における前記凹凸パターンと相補的形状の凹凸パターンが形成されている。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る磁気記録媒体によれば、凹凸パターンを構成する各凹部における回転方向に沿った各開口長のうちの各同一半径領域毎の最大の開口長がその同一半径領域内の各凹部における回転方向に沿った最小の開口長の２倍の長さである第１の長さとなるようにアドレスパターン領域に凸部を形成したことにより、凹部の半径方向に沿った開口長が長くなる傾向があるアドレスパターン領域内に回転方向に沿った開口長が過剰に長い凹部（開口長が全方向に長い凹部）が存在しないため、アドレスパターン領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時（例えば、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凹凸パターンを転写する処理時）に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパーの凸部を樹脂層にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に中間体上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２０】
また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、各第１の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域をサーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、凹凸パターンを構成する凸部の少なくとも一部が円形領域内に含まれるようにサーボパターン領域に凸部を形成したことにより、アドレスパターン領域のみならず、サーボパターン領域の全域において開口長が全方向に過剰に長い（開口面が過剰に広い）凹部が存在しないため、サーボパターン領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凸部をスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に中間体上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、トラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２１】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体によれば、隣り合うデータ記録トラックの間の凹部における基材の半径方向に沿った開口長が各第１の長さのうちの最大の長さ以下となるように各データ記録トラックを形成したことにより、凹部（トラック間凹部）の回転方向に沿った開口長が長くなるデータ記録領域内に半径方向に沿った開口長が過剰に長い凹部（開口長が全方向に長い凹部）が存在しないため、データ記録領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凸部をスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、安定した記録再生が可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２２】
また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、凹凸パターンを構成する各凹部における回転方向に沿った各開口長が各同一半径領域内において互いに等しい第２の長さとなるようにアドレスパターン領域に凸部を形成したことにより、凹部の半径方向に沿った開口長が長くなる傾向があるアドレスパターン領域内に回転方向に沿った開口長が過剰に長い凹部（開口長が全方向に長い凹部）が存在しないため、アドレスパターン領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時（例えば、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凹凸パターンを転写する処理時）に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパーの凸部を樹脂層にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に中間体上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２３】
また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、各第２の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域をサーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、凹凸パターンを構成する凸部の少なくとも一部が円形領域内に含まれるようにサーボパターン領域に凸部を形成したことにより、アドレスパターン領域のみならず、サーボパターン領域の全域において開口長が全方向に過剰に長い（開口面が過剰に広い）凹部が存在しないため、サーボパターン領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凸部をスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に中間体上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、トラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２４】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体によれば、隣り合うデータ記録トラックの間の凹部における基材の半径方向に沿った開口長が各第２の長さのうちの最大の長さ以下となるように各データ記録トラックを形成したことにより、凹部（トラック間凹部）の回転方向に沿った開口長が長くなるデータ記録領域内に半径方向に沿った開口長が過剰に長い凹部（開口長が全方向に長い凹部）が存在しないため、データ記録領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凸部をスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、安定した記録再生が可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２５】
また、本発明に係る記録再生装置によれば、上記のいずれかの磁気記録媒体と、磁気記録媒体におけるサーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えたことにより、例えば非サーボ信号領域に形成された凹凸パターン（ダミーパターン）の存在に影響されることなく、データ記録領域内の各凸部（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッドを介して記録データの記録再生を行うことができる。
【００２６】
また、本発明に係るスタンパーによれば、磁気記録媒体製造用のスタンパーであって、上記のいずれかの磁気記録媒体における凹凸パターンと相補的形状の凹凸パターンを形成したことにより、磁気記録媒体製造用の中間体に対するインプリント処理時に、スタンパーに突端面が過剰に広い凸部（例えば、回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さの双方が過剰に長い凸部）が存在しないため、中間体に対してスタンパーの凸部をスムーズに押し込むことができる。したがって、インプリント処理時に凸部の押し込み量の不足に起因する不都合（残渣の取り除き処理に起因して、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、アドレスデータ等の確実な読み取りが可能な磁気記録媒体を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る磁気記録媒体、記録再生装置およびスタンパーの最良の形態について説明する。
【００２８】
図１に示すハードディスクドライブ１は、本発明に係る記録再生装置の一例であって、モータ２、磁気ヘッド３、検出部４、ドライバ５、制御部６、記憶部７および磁気ディスク１０Ａを備えて各種データの記録再生が可能に構成されている。モータ２は、制御部６の制御に従って磁気ディスク１０Ａを一例として４２００ｒｐｍの回転数で定速回転させる。磁気ヘッド３は、スイングアーム３ａを介してアクチュエータ３ｂに取り付けられて磁気ディスク１０Ａに対する記録データの記録再生時においてアクチュエータ３ｂによって磁気ディスク１０Ａ上を移動させられる。また、磁気ヘッド３は、磁気ディスク１０Ａのサーボパターン領域Ａｓａ（図２参照）からのサーボデータの読み出しと、データ記録領域Ａｔ（図２参照）に対する記録データの磁気的な書き込みと、データ記録領域Ａｔに磁気的に書き込まれている記録データの読み出しとを実行する。なお、磁気ヘッド３は、実際には磁気ディスク１０Ａに対して磁気ヘッド３を浮上させるためのスライダの底面（エアベアリング面）に形成されているが、このスライダについての説明および図示を省略する。アクチュエータ３ｂは、制御部６の制御下でドライバ５から供給される駆動電流によってスイングアーム３ａをスイングさせることにより、磁気ヘッド３を磁気ディスク１０Ａ上の任意の記録再生位置に移動させる。
【００２９】
検出部４は、磁気ヘッド３から出力された出力信号（アナログ信号）からサーボデータを取得（検出）して制御部６に出力する。ドライバ５は、制御部６から出力された制御信号に従ってアクチュエータ３ｂを制御して磁気ヘッド３を所望のデータ記録トラックにオントラックさせる。制御部６は、ハードディスクドライブ１を総括的に制御する。また、制御部６は、本発明に係る制御部の一例であって、検出部４から出力されたサーボデータ（「サーボパターン領域から読み取られた所定の信号」の一例）に基づいてドライバ５を制御する（トラッキングサーボ制御処理の実行）。記憶部７は、制御部６の動作プログラムなどを記憶する。
【００３０】
一方、磁気ディスク１０Ａは、本発明に係る磁気記録媒体の一例であって、前述したモータ２や磁気ヘッド３などと共にハードディスクドライブ１の筐体内に配設されている。この磁気ディスク１０Ａは、垂直記録方式による記録データの記録が可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク（パターンド媒体）であって、図４に示すように、軟磁性層１２、中間層１３および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されている。この場合、磁性層１４は、突端部（同図における上端部）から基端部（同図における下端部）までの全体が磁性材料で形成された凸部４０ａ，４０ａ・・と、凸部４０ａ，４０ａ・・間の凹部４０ｂ，４０ｂ・・とが形成されて凹凸パターン４０を構成する。また、凹部４０ｂ，４０ｂ・・には、ＳｉＯ２等の非磁性材料１５が埋め込まれて磁気ディスク１０Ａの表面が平坦化されている。さらに、凹部４０ｂ，４０ｂ・・に埋め込まれた非磁性材料１５、および磁性層１４（凸部４０ａ）の表面には、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等によって厚みが２ｎｍ程度の保護層１６（ＤＬＣ膜）が形成されている。また、保護層１６の表面には、磁気ヘッド３および磁気ディスク１０Ａの双方の傷付きを回避するための潤滑剤（一例として、フォンブリン系の潤滑剤）が塗布されている。
【００３１】
ガラス基材１１は、本発明における基材に相当し、ガラス板を表面研磨して厚みが０．６ｍｍ程度の円板状に形成されている。なお、本発明における基材は、ガラス基材に限定されず、アルミニウムやセラミックなどの各種非磁性材料で円板状に形成した基材を使用することができる。軟磁性層１２は、ＣｏＺｒＮｂ合金などの軟磁性材料をスパッタリングすることによって厚みが１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度の薄膜状に形成されている。中間層１３は、磁性層１４を形成するための下地層として機能する層であって、ＣｒやＣｏＣｒ非磁性合金などの中間層形成用材料をスパッタリングすることによって厚みが４０ｎｍ程度の薄膜状に形成されている。磁性層１４は、凹凸パターン４０（図３に示すデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａ）を構成する層であって、後述するように、例えばＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングした層に対してエッチング処理することによって凹部４０ｂ，４０ｂ・・が形成されている。
【００３２】
この場合、図２に示すように、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・が設けられてデータ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａが磁気ディスク１０Ａの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。なお、本明細書では、回転方向において並ぶ２つのデータ記録領域（この例では、データ記録領域Ａｔ）によって挟まれた領域（１つのデータ記録領域における回転方向側の端部から、他の１つのデータ記録領域における回転方向側の端部までの間の領域）をサーボパターン領域（この例では、サーボパターン領域Ａｓａ）とする。また、データ記録領域における回転方向側の端部は、そのデータ記録領域に形成された複数のデータ記録トラック（後述する凸部４０ａ，４０ａ・・）における回転方向側の各端部を連結した仮想線分（磁気ディスクの半径方向に沿った直線状または円弧状の線分）と一致しているものとする。
【００３３】
また、この磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１では、前述したようにモータ２が制御部６の制御に従って磁気ディスク１０Ａを角速度一定で回転させるように構成されている。したがって、この磁気ディスク１０Ａでは、単位時間当たりに磁気ヘッド３の下方を通過させられる磁気ディスク１０Ａ上の長さに比例して、磁気ディスク１０Ａの回転方向に沿ったデータ記録領域Ａｔの長さ、および回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓａの長さがデータトラックパターン４０ｔの中心Ｏから離間するほど長くなるように（データ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａが内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど幅広となるように）規定されている。この結果、データ記録領域Ａｔ内に形成されたデータ記録トラック（凸部４０ａ）における突端面の回転方向に沿った長さや、サーボパターン領域Ａｓａ内に形成されたサーボパターン４０ｓａ用の各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った基準の長さ、およびサーボパターン４０ｓａ用の各凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った基準の開口長（例えば、単位信号長に対応する長さ）は、磁気ディスク１０Ａの内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど長くなっている。なお、以下の説明において、凸部における突端面の長さを「凸部の長さ」ともいう。
【００３４】
この場合、サーボパターン領域Ａｓａ内の各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った基準の長さや、各凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った基準の開口長については、磁気ディスク１０Ａの半径方向で隣接している数十トラックの範囲内でほぼ等しい長さとなっている。このため、本明細書では、この数十トラックの範囲内において回転方向に沿った基準の長さや基準の開口長が等しいものとして説明する。具体的には、例えば内周側領域Ａｉに含まれる数十トラックの範囲内においては回転方向に沿った基準の長さや基準の開口長が互いに等しく、外周側領域Ａｏ内に含まれる数十トラックの範囲内においては回転方向に沿った基準の長さや基準の開口長が互いに等しいものとする。また、各サーボパターン領域Ａｓａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長についての説明に際して特に限定しない限りにおいては、データトラックパターン４０ｔの中心Ｏからの距離が等しい同一半径位置（同一半径の領域内）における対応する開口長を基準として説明するものとする。
【００３５】
また、図３に示すように、データ記録領域Ａｔには、データトラックパターン４０ｔが形成されている。なお、同図および後に参照する図５〜９，２４〜２６において斜線で塗り潰した領域は、凹凸パターン４０における凸部４０ａの形成領域を表している。この場合、図５に示すように、データトラックパターン４０ｔは、中心Ｏ（図２参照）を中心とする同心円状（または、螺旋状）の多数の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）と、各凸部４０ａ，４０ａ・・の間の凹部４０ｂ，４０ｂ・・（トラック間凹部）とで構成されている。なお、磁気ディスク１０Ａの回転中心とデータトラックパターン４０ｔの中心Ｏとが一致しているのが好ましいが、磁気ディスク１０Ａの回転中心とデータトラックパターン４０ｔの中心Ｏとの間には、製造誤差に起因する３０〜５０μｍ程度の極く小さなずれが生じることがある。しかし、この程度のずれ量であれば磁気ヘッド３に対するトラッキングサーボ制御が十分に可能であるため、回転中心と中心Ｏとは、実質的には同様であるといえる。
【００３６】
また、図５に示すように、この磁気ディスク１０Ａのデータ記録領域Ａｔでは、一例として、凸部４０ａ（データ記録トラック）における突端面の半径方向に沿った長さＬ３と、凹部４０ｂ（トラック間凹部）の半径方向に沿った開口長Ｌ４とが互いに等しい長さ（長さ比が１：１）となっている。また、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔに形成された凸部４０ａの半径方向に沿った長さＬ３、および凹部４０ｂの半径方向に沿った開口長Ｌ４が磁気ディスク１０Ａの内周側領域Ａｉから外周側領域Ａｏまで等しい長さに規定されている。この場合、凹部４０ｂの半径方向に沿った開口長Ｌ４は、サーボパターン領域Ａｓａ（アドレスパターン領域Ａａａ）に形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長（後述する開口長Ｌ２ａ：図７参照）以下となるように規定されている。さらに、データトラックパターン４０ｔの凹部４０ｂ，４０ｂ・・には、非磁性材料１５が埋め込まれてデータ記録領域Ａｔが平滑化されている。
【００３７】
一方、図３に示すように、サーボパターン領域Ａｓａには、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたプリアンブルパターンと、アドレスパターン領域Ａａａに形成されたアドレスパターンと、バーストパターン領域Ａｂａに形成されたバーストパターンと、非サーボ信号領域Ａｘに形成されたダミーパターンとを有するサーボパターン４０ｓａが形成されている。この場合、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａａおよびバーストパターン領域Ａｂａに形成されているサーボパターン４０ｓａが本発明における「トラッキングサーボ制御用の制御信号」に対応するパターンに相当する。また、サーボパターン４０ｓａは、凸部４０ａ，４０ａ・・および凹部４０ｂ，４０ｂ・・の形成位置やそれぞれの大きさ（回転方向に沿った長さや開口長等）が本発明における「トラッキングサーボ制御用の制御信号」に対応して規定されている。
【００３８】
具体的には、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたプリアンブルパターンは、アドレスパターン領域Ａａａ等から各種制御信号を読み取るための基準クロックを磁気ディスク１０Ａの回転状態（回転速度）に応じて補正するためのサーボパターンであって、図６に示すように、磁気ディスク１０Ａの半径方向（同図における上下方向）に長い帯状の凸部４０ａ，４０ａ・・が磁気ディスク１０Ａの回転方向（矢印Ｒの向き）に沿って凹部４０ｂ，４０ｂ・・を挟んで形成されている。この場合、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った長さＬ５、および凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った開口長Ｌ６は、中心Ｏからの距離が等しい同一半径位置において互いに等しい長さで、かつ内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏ側の方が長くなるように規定されている。また、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長Ｌ６は、一例として、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長のうちの最小の開口長（後述する開口長Ｌ１：図７参照）と等しくなるように規定されている。なお、プリアンブルパターンにおける凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５、および凹部４０ｂの開口長Ｌ６は上記の例に限定されるものではなく、また、凸部４０ａの長さＬ５と凹部４０ｂの開口長Ｌ６とを互いに相違する長さに規定することもできる。
【００３９】
また、アドレスパターン領域Ａａａに形成されたアドレスパターンは、磁気ヘッド３がオントラックしているトラックのトラック番号等を示すアドレスデータに対応して形成されたサーボパターンであって、図７に示すように、凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さと、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長とが上記のアドレスデータに対応して規定されている。この場合、この磁気ディスク１０Ａでは、アドレスデータがマンチェスター符号やバイフェーズＭ符号等に準じて符号化されてアドレスパターン領域Ａａａに記録されている。具体的には、例えば、マンチェスター符号におけるハイレベルに対応して凸部４０ａが形成されると共に、ローレベルに対応して凹部４０ｂが形成されることにより、アドレスデータのデータ内容に対応する凹凸パターン４０がアドレスパターン領域Ａａａ内に形成されている。
【００４０】
この磁気ディスク１０Ａでは、アドレスパターン領域Ａａａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの同一半径位置における最小の開口長Ｌ１は、一例として、同一半径位置のプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長Ｌ６と等しくなるように規定されている。また、アドレスパターン領域Ａａａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの同一半径位置における最大の開口長Ｌ２（本発明における「第１の長さ」の一例）は、一例として、同一半径位置における上記の開口長Ｌ１の２倍の長さとなるように規定されている。この場合、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、回転方向に沿った基準の開口長が内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど長くなっている。したがって、この磁気ディスク１０Ａでは、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａａ内の凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長Ｌ２（以下、各開口長Ｌ２のうちの最大の開口長を他の開口長Ｌ２と区別するときには、「開口長Ｌ２ａ」ともいう）が、本発明における「各第１の長さのうちの最大の長さ」に相当し、この開口長Ｌ２ａがサーボパターン領域Ａｓａ内の凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長となっている。なお、この磁気ディスク１０Ａでは、アドレスデータがマンチェスター符号等に準じて符号化されてアドレスパターンが形成されているため、アドレスパターン領域Ａａａ内の各同一半径位置において、アドレスパターン（サーボパターン４０ｓａ）を構成する各凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長（ハードディスクドライブ１においてローレベルとして認識される信号長）が上記の開口長Ｌ１，Ｌ２の２種類のみとなっている。
【００４１】
また、図３に示すように、バーストパターン領域Ａｂａは、第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４の各バースト領域と、非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・とを備えている。この場合、第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成されたバーストパターンは、磁気ヘッド３を所望のトラックにオントラックさせるための位置検出用のサーボパターンであって、図８，９に示すように、磁気ディスク１０Ａの回転方向に沿って複数の凹部４０ｂ，４０ｂ・・が凸部４０ａを挟んで形成されることにより、凸部４０ａおよび凹部４０ｂが回転方向に沿って交互に並ぶ領域と、凸部４０ａが回転方向において連続する領域とが形成されている。この場合、この磁気ディスク１０Ａでは、バーストパターン領域Ａｂａにおけるバースト信号単位部（バーストパターン領域Ａｂａ内において回転方向に沿って並ぶ複数の矩形状の領域）が凹部４０ｂ，４０ｂ・・で構成されている。したがって、バースト信号単位部を凸部４０ａ，４０ａ・・で構成した磁気ディスクと比較して、バーストパターン領域Ａｂａ内における磁性層１４の表面積が十分に大きくなっている。この結果、磁気ヘッド３の下方をバーストパターン領域Ａｂａが通過する際に磁気ヘッド３から出力される出力信号の信号レベルを十分に強くすることができる。
【００４２】
また、この磁気ディスク１０Ａでは、一例として、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４において回転方向に沿って並ぶ凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長Ｌ６が、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａａに形成された凹部４０ｂにおける回転方向に沿った最小の開口長Ｌ１、およびプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂにおける同一半径位置の回転方向に沿った開口長Ｌ６と等しくなるように規定されている。さらに、バーストパターン領域Ａｂａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・の間の凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５は、一例として、同一半径位置におけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５と等しくなるように規定されている。なお、第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成する凸部４０ａの凹部４０ｂ，４０ｂ・・の間の回転方向に沿った長さＬ５や、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った開口長Ｌ６については上記の例に限定されるものではなく、また、凸部４０ａの長さＬ５と凹部４０ｂの開口長Ｌ６とを互いに相違する長さに規定することもできる。
【００４３】
さらに、図３に示すように、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａａとの間、アドレスパターン領域Ａａａとバーストパターン領域Ａｂａとの間、およびバーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間には、非サーボ信号領域Ａｘがそれぞれ規定されている。また、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間、および第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間には、前述したように、非サーボ信号領域Ａｘｂがそれぞれ形成されている。これら非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂは、製造時にスタンパー３０（図１１参照）の凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むためにダミーパターンとしての凹凸パターン４０が形成された領域であって、一例として、上記のプリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）に形成された各種パターンと同種（同じ形状）のパターンがダミーパターンとして形成されている。
【００４４】
具体的には、図３に示すように、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間の非サーボ信号領域Ａｘ（図中最も左側の非サーボ信号領域Ａｘ）には、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。また、バーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間の非サーボ信号領域Ａｘ（図中最も右側の非サーボ信号領域Ａｘ）には、バーストパターン領域Ａｂａにおける第４バースト領域Ａｂ４に形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。さらに、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａａとの間の非サーボ信号領域Ａｘには、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。また、アドレスパターン領域Ａａａとバーストパターン領域Ａｂａとの間の非サーボ信号領域Ａｘには、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１に形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。
【００４５】
また、第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間の非サーボ信号領域Ａｘｂ（図中左側の非サーボ信号領域Ａｘｂ）には、第１バースト領域Ａｂ１に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第１バースト領域Ａｂ１側に形成されると共に、第２バースト領域Ａｂ２に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第２バースト領域Ａｂ２側に形成されている。さらに、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間の非サーボ信号領域Ａｘｂ（同図における中央の非サーボ信号領域Ａｘｂ）には、第２バースト領域Ａｂ２に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第２バースト領域Ａｂ２側に形成されると共に、第３バースト領域Ａｂ３に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第３バースト領域Ａｂ３側に形成されている。また、第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間の非サーボ信号領域Ａｘｂ（図中右側の非サーボ信号領域Ａｘｂ）には、第３バースト領域Ａｂ３に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第３バースト領域Ａｂ３側に形成されると共に、第４バースト領域Ａｂ４に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第４バースト領域Ａｂ４側に形成されている。
【００４６】
したがって、この磁気ディスク１０Ａでは、サーボパターン領域Ａｓａ内に恰も非サーボ信号領域Ａｘが存在することなく、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａａおよびバーストパターン領域Ａｂａが互いに接して連続する状態に視認されると共に、バーストパターン領域Ａｂａ内に恰も非サーボ信号領域Ａｘｂが存在することなく、第１バースト領域Ａｂ１から第４バースト領域Ａｂ４までの各バースト領域が互いに接して連続する状態に視認される。しかし、この磁気ディスク１０Ａに対する記録データの記録再生時には、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂからの磁気ヘッド３による磁気的信号の読み取りなどは実行されるものの、この非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂに形成された凹凸パターン４０に対応するデータは、制御部６によってトラッキングサーボ用のサーボデータとは相違するデータと判別される。したがって、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂ内に形成された凸部４０ａの長さや凹部４０ｂの開口長については、他のパターンの長さに影響されることなく、製造工程におけるインプリント処理時に不都合が生じない範囲内で任意に規定することができる。また、凸部４０ａや凹部４０ｂの形状についても任意に規定することができる。
【００４７】
この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、データ記録領域Ａｔに形成した凸部４０ａ，４０ａ・・の間の凹部４０ｂの半径方向に沿った開口長Ｌ４が、サーボパターン領域Ａｓａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長（この例では、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａａ内の凹部４０ｂにおける回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長Ｌ２ａ）以下となるように規定されている。したがって、図５に示すように、その直径がアドレスパターン領域Ａａａ内の最大の開口長Ｌ２ａと等しい円形領域Ｑａをデータ記録領域Ａｔ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。また、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成した凹部４０ｂの回転方向に沿った開口長Ｌ６が、サーボパターン領域Ａｓａに形成された同一半径位置の凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長のうちの最小の開口長Ｌ１と等しくなるように規定されている。この場合、前述したように、開口長Ｌ１が開口長Ｌ２の１／２の長さであるため、図６に示すように、その直径がアドレスパターン領域Ａａａ内の最大の開口長Ｌ２ａと等しい円形領域Ｑａをプリアンブルパターン領域Ａｐ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。
【００４８】
さらに、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、アドレスデータがマンチェスター符号等に準じて符号化されてアドレスパターンがアドレスパターン領域Ａａａに形成されているため、アドレスデータにおいて「１」が多数連続する場合であっても凹部４０ｂが回転方向に沿って連続して形成されることなく、開口長Ｌ１（最小の長さ）の凹部４０ｂ、開口長Ｌ２（最大の長さ）の凹部４０ｂ、および凸部４０ａによって凹凸パターン４０（アドレスパターン）が構成される。この場合、開口長Ｌ１が開口長Ｌ２の１／２の長さであるため、アドレスパターン領域Ａａａ内の最大の開口長Ｌ２ａと等しい円形領域Ｑａをアドレスパターン領域Ａａａ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、アドレスパターン領域Ａａａ内に配置する円形領域Ｑａがアドレスパターン領域Ａａａ内において最大の開口長Ｌ２ａである凹部４０ｂにおける内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。この場合、本明細書では、前述したように、凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれている状態を「凸部４０ａの一部が含まれている状態」とする。
【００４９】
また、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成した凹部４０ｂの回転方向に沿った開口長Ｌ６が、サーボパターン領域Ａｓａに形成された同一半径位置の凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長のうちの最小の開口長Ｌ１と等しくなるように規定されている。この場合、開口長Ｌ１が開口長Ｌ２の１／２の長さであるため、図８，９に示すように、その直径がアドレスパターン領域Ａａａ内の最大の開口長Ｌ２ａと等しい円形領域Ｑａを第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。
【００５０】
さらに、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）に形成したサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂに形成されている。したがって、図３に示すように、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）内のいずれの位置に円形領域Ｑａを配置したとしても円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれるこの磁気ディスク１０Ａでは、これらの領域と同種のサーボパターン４０ｓａが形成されている非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂのいずれかの部位に円形領域Ｑａを配置したときに、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。
【００５１】
このように、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・の全域において、任意に配置した円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれるように凸部４０ａが形成されてデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａが構成されている。言い換えれば、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・の全域において、凹部４０ｂ，４０ｂにおける開口面のいずれかの方向に対する開口長（この例では、凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長、および半径方向に沿った開口長のいずれか）が上記の円形領域Ｑａの直径（この例では、開口長Ｌ２ａ）よりも短く（または、等しく）なっている。つまり、この磁気ディスク１０Ａでは、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、開口面が過剰に広い凹部４０ｂがデータ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・のいずれの領域にも存在しないようにデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａが形成されている。
【００５２】
次に、磁気ディスク１０Ａの製造方法について説明する。
【００５３】
上記の磁気ディスク１０Ａの製造に際しては、図１０に示す中間体２０と、図１１に示すスタンパー３０とを使用する。この場合、図１０に示すように、中間体２０は、軟磁性層１２、中間層１３、および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されると共に、磁性層１４の上に、マスク層１７と、厚み８０ｎｍ程度の樹脂層（レジスト層）１８とが形成されて構成されている。一方、スタンパー３０は、本発明に係る磁気記録媒体製造用のスタンパーの一例であって、図１１に示すように、磁気ディスク１０Ａにおける凹凸パターン４０（データトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａ）と相補的形状の凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０Ａの製造が可能に構成されている。この場合、スタンパー３０の凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０Ａの凹凸パターン４０における凹部４０ｂ，４０ｂ・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン４０における凸部４０ａ，４０ａ・・に対応するように形成されている。したがって、スタンパー３０における凹凸パターン３９（磁気ディスク１０Ａの凹凸パターン４０と相補的形状の凹凸パターン）は、その突端面が過剰に広い凸部３９ａが存在しないように凸部３９ａ，３９ａ・・および凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されて構成されている。
【００５４】
このスタンパー３０の製造に際しては、図１２に示すように、まず、ガラス基材３１の上に、一例としてポジ型レジストをスピンコートした後にベーク処理することにより、厚みが１５０ｎｍ程度のレジスト層３２をガラス基材３１の上に形成する。次いで、図１３に示すように、スタンパー３０の凹部３９ｂ，３９ｂ・・に対応する部位（すなわち、磁気ディスク１０Ａの凸部４０ａ，４０ａ・・に対応する部位）に電子ビーム３２ａを照射してレジスト層３２に潜像３２ｂ（トラックパターンおよびサーボパターン）を形成する。続いて、レジスト層３２に対する現像処理を実行することにより、図１４に示すように、レジスト層３２からなる凹凸パターン３３（凸部３３ａおよび凹部３３ｂ）をガラス基材３１の上に形成する。次いで、図１５に示すように、凹凸パターン３３の凸部３３ａ，３３ａ・・および凹部３３ｂ，３３ｂ・・を覆うようにして厚みが３０ｎｍ程度のニッケル層３４をスパッタリング法によって形成する。続いて、このニッケル層３４を電極として使用してめっき処理を実行することにより、図１６に示すように、ニッケル層３４の上にニッケル層３５を形成する。この際には、レジスト層３２によって形成された凹凸パターン３３がニッケル層３４，３５の積層体に転写されて凹凸パターン３３における凸部３３ａ，３３ａ・・の部位に凹部３６ｂ，３６ｂ・・が形成されると共に、凹部３３ｂ，３３ｂ・・の部位に凸部３６ａ，３６ａ・・が形成されてニッケル層３４，３５の積層体に凹凸パターン３６が形成される。
【００５５】
続いて、ガラス基材３１、レジスト層３２およびニッケル層３４，３５の積層体をレジスト剥離液に浸すことにより、ニッケル層３４，３５の積層体とガラス基材３１との間のレジスト層３２を除去する。これにより、図１７に示すように、ニッケル層３４，３５の積層体がガラス基材３１から剥離されて、スタンパー３７が完成する。次いで、スタンパー３７をマスタースタンパーとして使用してスタンパー３０（マザースタンパー）を製作する。具体的には、まず、スタンパー３７に対する表面処理を実行することにより、スタンパー３７における凹凸パターン３６の形成面に酸化膜を形成する。次いで、図１８に示すように、酸化膜の形成が完了したスタンパー３７にメッキ処理によってニッケル層３８を形成する。この際には、スタンパー３７の凹凸パターン３６がニッケル層３８に転写されて凸部３６ａ，３６ａ・・の部位に凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されると共に、凹部３６ｂ，３６ｂ・・の部位に凸部３９ａ，３９ａ・・が形成されてニッケル層３８に凹凸パターン３９が形成される。この後、ニッケル層３８からスタンパー３７を剥離した後に、ニッケル層３８の裏面（凹凸パターン３９の形成面に対する裏面）を研磨処理して平坦化することにより、図１１に示すように、スタンパー３０が完成する。
【００５６】
一方、中間体２０の製造に際しては、まず、ガラス基材１１の上にＣｏＺｒＮｂ合金をスパッタリングすることによってガラス基材１１の上に軟磁性層１２を形成した後に、軟磁性層１２の上に中間層形成用材料をスパッタリングすることによって中間層１３を形成する。次いで、中間層１３の上にＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングすることによって厚みが１５ｎｍ程度の磁性層１４を形成する。続いて、磁性層１４の上にマスク層１７を形成し、さらに、マスク層１７の上に一例としてレジストをスピンコートして厚みが８０ｎｍ程度の樹脂層１８を形成する。これにより、図１０に示すように、中間体２０が完成する。
【００５７】
続いて、図１９に示すように、中間体２０の樹脂層１８にスタンパー３０の凹凸パターン３９をインプリント法によって転写する。具体的には、スタンパー３０における凹凸パターン３９の形成面を中間体２０の樹脂層１８に押し付けることにより、凹凸パターン３９の凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体２０の樹脂層１８に押し込む。この場合、このスタンパー３０を用いて製造する磁気ディスク１０Ａは、前述したように、サーボパターン領域Ａｓａの全域およびデータ記録領域Ａｔの全域において、凹部４０ｂ，４０ｂ・・におけるいずれかの方向に対する開口長（この例では、凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長、および半径方向に沿った開口長のいずれか）が円形領域Ｑａの直径（この例では、開口長Ｌ２ａ）よりも短く（または、等しく）なっている。したがって、この磁気ディスク１０Ａを製造するためのスタンパー３０には、磁気ディスク１０Ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａおよびデータ記録領域Ａｔに対応する全域において、上記の円形領域Ｑａの直径（この例では、開口長Ｌ２ａ）を超える直径の内接円が存在し得る突端面を有する凸部３９ａが存在しないように（突端面が過剰に広い凸部３９ａが存在しないように）凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されている。したがって、凸部３９ａ，３９ａ・・が樹脂層１８にスムーズに押し込まれる結果、スタンパー３０における凸部３９ａの先端部と中間体２０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じることなく、十分に奥深くまで凸部３９ａ，３９ａ・・が樹脂層１８に押し込まれる。
【００５８】
続いて、中間体２０からスタンパー３０を剥離し、さらに、底面に残存する樹脂（残渣）を酸素プラズマ処理によって除去することにより、図２０に示すように、中間体２０におけるマスク層１７の上に樹脂層１８からなる凹凸パターン４１が形成される。次いで、上記の凹凸パターン４１（樹脂層１８）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の底部においてマスク（凸部４１ａ，４１ａ・・）から露出しているマスク層１７をエッチングして、図２１に示すように、凸部４２ａおよび凹部４２ｂを有する凹凸パターン４２を中間体２０のマスク層１７に形成する。続いて、凹凸パターン４２（マスク層１７）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４２における凹部４２ｂ，４２ｂ・・の底部においてマスク（凸部４２ａ，４２ａ・・）から露出している磁性層１４をエッチングする。これにより、図２２に示すように、その突端面の広さがスタンパー３０における凹部３９ｂの開口面とほぼ等しい凸部４０ａと、その開口面の広さがスタンパー３０における凸部３９ａの突端面とほぼ等しい凹部４０ｂとを有する凹凸パターン４０（データトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓ）が中間体２０の磁性層１４に形成される。次いで、凸部４０ａ，４０ａ・・の上に残存しているマスク層１７に対して選択的にエッチング処理を行うことにより、残存しているマスク層１７を完全に除去して凸部４０ａ，４０ａ・・の突端面を露出させる。
【００５９】
次いで、図２３に示すように、非磁性材料１５としてのＳｉＯ２をスパッタリングする。この際には、非磁性材料１５によって凹部４０ｂ，４０ｂ・・が完全に埋め尽くされ、かつ、凸部４０ａ，４０ａ・・の上に例えば厚みが６０ｎｍ程度の非磁性材料１５の層が形成されるように、非磁性材料１５を十分にスパッタリングする。続いて、磁性層１４の上（凸部４０ａ，４０ａ・・の上および凹部４０ｂ，４０ｂの上）の非磁性材料１５の層に対してイオンビームエッチング処理を実行する。この際には、各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続する。これにより、中間体２０の表面が平坦化される。続いて、中間体２０の表面を覆うようにしてＣＶＤ法によってダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜を成膜することによって保護層１６形成した後に、保護層１６の表面にフォンブリン系の潤滑剤を平均厚さが例えば２ｎｍ程度となるように塗布する。これにより、図４に示すように、磁気ディスク１０Ａが完成する。
【００６０】
この磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１では、前述したように、磁気ディスク１０Ａに対する記録データの記録再生時において、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘ・・および非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・に形成された凹凸パターン４０に対応するデータが制御部６によってトラッキングサーボ用のサーボデータとは相違するデータと判別される。具体的には、制御部６は、検出部４から出力されるサーボデータを含むデータのうち、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａａおよびバーストパターン領域Ａｂａ（非サーボ信号領域Ａｘｂを除く）に形成された凹凸パターン４０に対応するデータに基づいてドライバ５を制御することにより、アクチュエータ３ｂを駆動させて磁気ヘッド３を所望のトラックにオントラックさせる。
【００６１】
また、このハードディスクドライブ１では、アドレスパターン領域Ａａａに形成された凹凸パターン４０に対応して検出部４から出力されるデータに基づいてアドレスデータを抽出する際に、制御部６は、検出部４からの出力データがマンチェスター符号やバイフェーズＭ符号等で符号化されているものとして出力データを復号化する。この結果、アドレスパターン領域Ａａａから読み取られたアドレスデータやバーストパターン領域Ａｂａから読み取られたバースト信号等に基づいてトラッキングサーボ制御が実行されて、磁気ヘッド３を所望のデータ記録トラック（凸部４０ａ，４０ａ・・）にオントラックさせることが可能となる。これにより、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことが可能となる。
【００６２】
このように、この磁気ディスク１０Ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの各同一半径領域毎の最大の開口長Ｌ２がその同一半径領域内の各凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った最小の開口長Ｌ１の２倍の長さ（本発明における第１の長さ）となるようにアドレスパターン領域Ａａａに凸部４０ａを形成したことにより、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の半径方向に沿った開口長が長くなる傾向があるアドレスパターン領域Ａａａ内に回転方向に沿った開口長が過剰に長い凹部４０ｂ（開口長が全方向に長い凹部４０ｂ）が存在しないため、アドレスパターン領域Ａａａ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時（この例では、中間体２０における樹脂層１８にスタンパー３０の凹凸パターン３９を転写する処理時）に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時にマスク層１７の上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ａ、およびその磁気ディスク１０Ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００６３】
また、この磁気ディスク１０Ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各開口長Ｌ２（第１の長さ）のうちの最大の開口長Ｌ２ａと等しい直径の円形領域Ｑａをサーボパターン領域Ａｓａのいずれかの部位に配置したときに、凸部４０ａの少なくとも一部が円形領域Ｑａ内に含まれるようにサーボパターン領域Ａｓａに凸部４０ａを形成したことにより、アドレスパターン領域Ａａａのみならず、サーボパターン領域Ａｓａの全域において開口長が全方向に過剰に長い（開口面が過剰に広い）凹部４０ｂが存在しないため、サーボパターン領域Ａｓａ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時にマスク層１７の上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、トラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ａ、およびその磁気ディスク１０Ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００６４】
さらに、この磁気ディスク１０Ａおよびハードディスクドライブ１によれば、隣り合うデータ記録トラック（凸部４０ａ，４０ａ・・）の間の凹部４０ｂ（トラック間凹部）における基材の半径方向に沿った開口長Ｌ４が各開口長Ｌ２（第１の長さ）のうちの最大の開口長Ｌ２ａ以下となるように各データ記録トラックを形成したことにより、凹部４０ｂ（トラック間凹部）の回転方向に沿った開口長が長くなるデータ記録領域Ａｔ内に半径方向に沿った開口長が過剰に長い凹部４０ｂ（開口長が全方向に長い凹部４０ｂ）が存在しないため、データ記録領域Ａｔ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、安定した記録再生が可能な磁気ディスク１０Ａ、およびその磁気ディスク１０Ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００６５】
また、このハードディスクドライブ１によれば、磁気ディスク１０Ａと、磁気ディスク１０Ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａから読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部６とを備えたことにより、非サーボ信号領域Ａｘに形成された凹凸パターン４０（ダミーパターン）の存在に影響されることなく、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことができる。
【００６６】
また、この磁気ディスク１０Ａを製造するためのスタンパー３０によれば、磁気ディスク１０Ａにおける凹凸パターン４０と相補的形状の凹凸パターン３９を形成したことにより、中間体２０に対するインプリント処理時に、スタンパー３０に突端面が過剰に広い凸部３９ａ（例えば、回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さの双方が過剰に長い凸部３９ａ）が存在しないため、中間体２０に対して凹凸パターン３９（凸部３９ａ，３９ａ・・）をスムーズに押し込むことができる。したがって、インプリント処理時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込み量の不足に起因する不都合（残渣の取り除き処理に起因して各凹部４１ｂが過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、アドレスデータ等の確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ａを製造することができる。
【００６７】
次いで、本発明に係る磁気記録媒体の他の一例である磁気ディスク１０Ｂをハードディスクドライブ１に搭載した例について、図面を参照して説明する。なお、前述した磁気ディスク１０Ａ、および磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１と共通の構成要素については、共通の符号を付して重複した説明を省略する。
【００６８】
磁気ディスク１０Ｂは、図２４に示すように、磁気ディスク１０Ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに代えて、データ記録領域Ａｔ，Ａｔの間にサーボパターン領域Ａｓｂが規定されて構成されている。このサーボパターン領域Ａｓｂは、磁気ディスク１０Ａのサーボパターン領域Ａｓａにおけるアドレスパターン領域Ａａａに代えてアドレスパターン領域Ａａｂを備えている。この場合、この磁気ディスク１０Ｂでは、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａｂおよびバーストパターン領域Ａｂａに形成されているサーボパターン４０ｓｂが本発明における「トラッキングサーボ制御用の制御信号」に対応するパターンに相当する。また、この磁気ディスク１０Ｂでは、データ記録領域Ａｔに形成されたデータトラックパターン４０ｔにおける凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）の間の凹部４０ｂ（トラック間凹部）における半径方向に沿った開口長Ｌ４が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長（後述する開口長Ｌ１ａ：図２５参照）以下となるように規定されている。さらに、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂにおける突端面の回転方向に沿った開口長Ｌ６は、一例として、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａｂに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長（後述する開口長Ｌ１：図２５参照）と等しくなるように規定されている。
【００６９】
また、図２５に示すように、アドレスパターン領域Ａａｂに形成されたサーボパターン４０ｓｂ（アドレスパターン）は、凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さと、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長とがアドレスデータに対応して規定されている。この場合、この磁気ディスク１０Ｂでは、一例として、アドレスデータがＲＺ（Return-to-Zero）符号のハイレベルとローレベルとを反転させるようにして（通常のＲＺ符号とは異なり、「０」のときには、ビット期間全体がハイレベルで、「１」のときは、ビット期間の前半分でローレベルとなり後半分でハイレベルに変化するように）符号化されてアドレスパターン領域Ａａｂに記録されている。具体的には、この符号におけるハイレベルに対応して凸部４０ａが形成されると共に、ローレベルに対応して凹部４０ｂが形成されることにより、アドレスデータのデータ内容に対応する凹凸パターンがアドレスパターン領域Ａａｂ内に形成されている。したがって、この磁気ディスク１０Ｂでは、アドレスパターン領域Ａａｂ内の各同一半径位置において、アドレスパターン（サーボパターン４０ｓａ）を構成する各凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長（ハードディスクドライブ１においてローレベルとして認識される信号長）が互いに等しい開口長Ｌ１（本発明における「第２の長さ」の一例）の１種類のみとなっている。この場合、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述した磁気ディスク１０Ａと同様にして、回転方向に沿った基準の長さや基準の開口長が内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど長くなっている。したがって、この磁気ディスク１０Ｂでは、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａｂ内の凹部４０ｂ，４０ｂ・・における各開口長Ｌ１が、本発明における「各第２の長さのうちの最大の長さ」に相当する。以下、各開口長Ｌ１のうちの最大の長さを他の開口長Ｌ１と区別するときには、「開口長Ｌ１ａ」ともいう。
【００７０】
また、この磁気ディスク１０Ｂでは、図２４に示すように、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４において回転方向に沿って並ぶ凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長Ｌ６が、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａｂに形成された凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長Ｌ１、および同一半径位置におけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長Ｌ６と等しくなるように規定されている。さらに、バーストパターン領域Ａｂａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・の間の凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５は、一例として、同一半径位置におけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５と等しくなるように規定されている。また、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間、および第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間には、前述した磁気ディスク１０Ａと同様にして、非サーボ信号領域Ａｘｂがそれぞれ設けられて製造時にスタンパー３０の凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むためのダミーパターンが形成されている。さらに、図２４に示すように、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａｂとの間、アドレスパターン領域Ａａｂとバーストパターン領域Ａｂａとの間、およびバーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間には、前述した磁気ディスク１０Ａと同様にして、非サーボ信号領域Ａｘがそれぞれ規定されている。
【００７１】
この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、データ記録領域Ａｔに形成した凹部４０ｂの半径方向に沿った開口長Ｌ４が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長Ｌ１のうちの最大の開口長（この例では、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａｂ内の凹部４０ｂの回転方向に沿った各開口長Ｌ１ａ）以下となるように規定されている。したがって、その直径がアドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の開口長Ｌ１ａと等しい円形領域Ｑｂ（図２５参照）をデータ記録領域Ａｔ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。また、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成した凹部４０ｂの回転方向に沿った開口長Ｌ６が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された同一半径位置の凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長Ｌ１と等しくなるように規定されている。したがって、その直径がアドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の開口長Ｌ１ａと等しい円形領域Ｑｂ（図２５参照）をプリアンブルパターン領域Ａｐ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、プリアンブルパターン領域Ａｐ内に配置する円形領域Ｑｂが凹部４０ｂの開口面における内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。この場合、本明細書では、前述したように、凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれている状態を「凸部４０ａの一部が含まれている状態」とする。
【００７２】
さらに、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、アドレスデータがＲＺ符号のハイレベルとローレベルとを反転させるようにして符号化されてアドレスパターンがアドレスパターン領域Ａａｂに形成されているため、アドレスデータにおいて「１」が多数連続する場合であっても凹部４０ｂが回転方向に連続して形成されることなく、開口長Ｌ１の凹部４０ｂと凸部４０ａとによって凹凸パターン４０（アドレスパターン）が構成される。この結果、アドレスパターン領域Ａａｂに形成した凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長が、各同一半径位置内毎に互いに等しい開口長Ｌ１となる。したがって、図２５に示すように、アドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の開口長Ｌ１（この例では、外周側領域Ａｏにおける凹部４０ｂの開口長Ｌ１ａ）と等しい円形領域Ｑｂをアドレスパターン領域Ａａｂ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、アドレスパターン領域Ａａｂ内に配置する円形領域Ｑｂが凹部４０ｂの開口面における内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。また、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成した凹部４０ｂの回転方向に沿った開口長Ｌ６が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された同一半径位置の凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長Ｌ１と等しくなるように規定されている。したがって、その直径がアドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の開口長Ｌ１ａと等しい円形領域Ｑｂ（図２５参照）をバーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、バーストパターン領域Ａｂａ内に配置する円形領域Ｑｂが凹部４０ｂの開口面における内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。
【００７３】
さらに、この磁気ディスク１０Ｂでは、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）に形成したサーボパターン４０ｓｂと同種の凹凸パターン４０が非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂに形成されている。したがって、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）内のいずれの位置に円形領域Ｑｂを配置したとしても円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれるこの磁気ディスク１０Ｂでは、これらの領域と同種のサーボパターン４０ｓｂが形成されている非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂのいずれかの部位に円形領域Ｑｂを配置したときに、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。
【００７４】
このように、この磁気ディスク１０Ｂでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・の全域において、任意に配置した円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれるように凸部４０ａが形成されてデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓｂが構成されている。言い換えれば、この磁気ディスク１０Ｂでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・の全域において、凹部４０ｂ，４０ｂにおける開口面のいずれかの方向に対する開口長（この例では、凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長、および半径方向に沿った開口長のいずれか）が上記の円形領域Ｑｂの直径（この例では、開口長Ｌ１ａ）よりも短く（または、等しく）なっている。つまり、この磁気ディスク１０Ｂでは、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、開口面が過剰に広い凹部４０ｂがデータ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・のいずれの領域にも存在しないようにデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓｂが形成されている。
【００７５】
この磁気ディスク１０Ｂの製造に際しては、前述した磁気ディスク１０Ａの製造時と同様にして、図１０に示す中間体２０と図１１に示すスタンパー３０とを使用する。この場合、この磁気ディスク１０Ｂを製造するためのスタンパー３０は、本発明に係る磁気記録媒体製造用のスタンパーの他の一例であって、磁気ディスク１０Ｂにおける凹凸パターン４０（データトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓｂ）と相補的形状の凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０Ｂの製造が可能に構成されている。この場合、スタンパー３０の凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０Ｂの凹凸パターン４０における凹部４０ｂ，４０ｂ・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン４０における凸部４０ａ，４０ａ・・に対応して形成されている。したがって、スタンパー３０における凹凸パターン３９（磁気ディスク１０Ｂの凹凸パターン４０と相補的形状の凹凸パターン）は、その突端面が過剰に広い凸部３９ａが存在しないように凸部３９ａ，３９ａ・・および凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されている。このため、このスタンパー３０を用いた磁気ディスク１０Ｂの製造時には、前述した磁気ディスク１０Ａの製造時と同様にして、中間体２０に対するインプリント処理時に、スタンパー３０の凸部３９ａ，３９ａ・・が中間体２０の樹脂層１８にスムーズに押し込まれる結果、スタンパー３０における凸部３９ａの先端部と中間体２０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じることなく、十分に奥深くまで凸部３９ａ，３９ａ・・が樹脂層１８に押し込まれる。したがって、残渣の取り除き時に凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がることなく、所望の広さの凹部４１ｂ，４１ｂ・・を樹脂層１８に形成することが可能となっている。なお、この磁気ディスク１０Ｂの製造方法については、前述した磁気ディスク１０Ａの製造方法と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００７６】
この磁気ディスク１０Ｂを搭載したハードディスクドライブ１では、前述した磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１と同様にして、磁気ディスク１０Ｂに対する記録データの記録再生時において、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘ・・および非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・に形成された凹凸パターン４０に対応するデータが制御部６によってトラッキングサーボ用のサーボデータとは相違するデータと判別される。具体的には、制御部６は、検出部４から出力されるサーボデータを含むデータのうち、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａｂおよびバーストパターン領域Ａｂａ（非サーボ信号領域Ａｘｂを除く）に形成された凹凸パターン４０に対応するデータに基づいてドライバ５を制御することにより、アクチュエータ３ｂを駆動させて磁気ヘッド３を所望のトラックにオントラックさせる。
【００７７】
また、このハードディスクドライブ１では、アドレスパターン領域Ａａｂに形成された凹凸パターン４０に対応して検出部４から出力されるデータに基づいてアドレスデータを抽出する際に、制御部６は、検出部４からの出力データがＲＺ符号のハイレベルとローレベルとが反転するようにして符号化されているものとして出力データを復号化する。この結果、アドレスパターン領域Ａａｂから読み取られたアドレスデータやバーストパターン領域Ａｂａから読み取られたバースト信号等に基づいてトラッキングサーボ制御が実行されて、磁気ヘッド３を所望のデータ記録トラック（凸部４０ａ，４０ａ・・）にオントラックさせることが可能となる。これにより、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことが可能となる。
【００７８】
このように、この磁気ディスク１０Ｂおよびハードディスクドライブ１によれば、各凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長Ｌ１が各同一半径領域内において互いに等しい開口長（第２の長さ）となるようにアドレスパターン領域Ａａｂに凸部４０ａを形成したことにより、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の半径方向に沿った開口長が長くなる傾向があるアドレスパターン領域Ａａｂ内に回転方向に沿った開口長が過剰に長い凹部４０ｂ（開口長が全方向に長い凹部４０ｂ）が存在しないため、アドレスパターン領域Ａａｂ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時（この例では、中間体２０における樹脂層１８にスタンパー３０の凹凸パターン３９を転写する処理時）に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時にマスク層１７の上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ｂ、およびその磁気ディスク１０Ｂを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００７９】
また、この磁気ディスク１０Ｂおよびハードディスクドライブ１によれば、各開口長Ｌ１，Ｌ１・・（第２の長さ）のうちの最大の開口長Ｌ１ａと等しい直径の円形領域Ｑｂをサーボパターン領域Ａｓｂのいずれかの部位に配置したときに、凸部４０ａの少なくとも一部が円形領域Ｑｂ内に含まれるようにサーボパターン領域Ａｓｂに凸部４０ａを形成したことにより、アドレスパターン領域Ａａｂのみならず、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において開口長が全方向に過剰に長い（開口面が過剰に広い）凹部４０ｂが存在しないため、サーボパターン領域Ａｓｂ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時にマスク層１７の上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、トラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ｂ、およびその磁気ディスク１０Ｂを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００８０】
さらに、この磁気ディスク１０Ｂおよびハードディスクドライブ１によれば、隣り合うデータ記録トラック（凸部４０ａ，４０ａ・・）の間の凹部４０ｂ（トラック間凹部）における基材の半径方向に沿った開口長Ｌ４が各開口長Ｌ１（第２の長さ）のうちの最大の開口長Ｌ１ａ以下となるように各データ記録トラック（凸部４０ａ）を形成したことにより、凹部４０ｂ（トラック間凹部）の回転方向に沿った開口長が長くなるデータ記録領域Ａｔ内に半径方向に沿った開口長が過剰に長い凹部４０ｂ（開口長が全方向に長い凹部４０ｂ）が存在しないため、データ記録領域Ａｔ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、安定した記録再生が可能な磁気ディスク１０Ｂ、およびその磁気ディスク１０Ｂを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００８１】
また、このハードディスクドライブ１によれば、磁気ディスク１０Ｂと、磁気ディスク１０Ｂにおけるサーボパターン領域Ａｓｂから読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部６とを備えたことにより、非サーボ信号領域Ａｘに形成された凹凸パターン４０（ダミーパターン）の存在に影響されることなく、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことができる。
【００８２】
また、この磁気ディスク１０Ｂを製造するためのスタンパー３０によれば、磁気ディスク１０Ｂにおける凹凸パターン４０と相補的形状の凹凸パターン３９を形成したことにより、中間体２０に対するインプリント処理時に、スタンパー３０に突端面が過剰に広い凸部３９ａ（例えば、回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さの双方が過剰に長い凸部３９ａ）が存在しないため、中間体２０に対して凹凸パターン３９（凸部３９ａ，３９ａ・・）をスムーズに押し込むことができる。したがって、インプリント処理時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込み量の不足に起因する不都合（残渣の取り除き処理に起因して各凹部４１ｂが過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、アドレスデータ等の確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ｂを製造することができる。
【００８３】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂでは、バーストパターン領域Ａｂａ内に複数の凹部４０ｂ，４０ｂ・・を回転方向に沿って並べて形成することでバーストパターンが構成されているが、本発明はこれに限定されず、図２６に示す磁気ディスク１０Ｃのように、磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂにおける凹部４０ｂ，４０ｂ・・に代えて、複数の凸部４０ａ，４０ａ・・をバーストパターン領域Ａｂｃ内に回転方向に沿って並べて形成することでバーストパターンを構成することもできる。なお、同図では、バーストパターン領域Ａｂｃにおける第１バースト領域Ａｂ１および第２バースト領域Ａｂ２のみを図示している。この場合、この磁気ディスク１０Ｃでは、バーストパターン領域Ａｂｃ内の４つの凸部４０ａ，４０ａ・・に接する円形領域Ｑｃの直径Ｌ７が、アドレスパターン領域内に形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長以下となるようにアドレスパターン等のサーボパターン４０ｓｃが形成されている。これにより、アドレスパターン領域内に形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長と等しい直径の円形領域をサーボパターン領域Ａｓｃのいずれかの部位に配置したときに、その円形領域内に凸部４０ａの少なくとも一部（凸部４０ａおよび凹部４０ｂの境界部分を含む）が含まれることとなる。この結果、この磁気ディスク１０Ｃにおいても、前述した磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂと同様にして、中間体２０に対するインプリント処理時に、スタンパー３０の凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体２０の樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる結果、スタンパー３０における凸部３９ａの先端部と中間体２０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じさせることなく、十分に奥深くまで凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８に押し込むことができる。したがって、残渣の取り除き時に凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がることなく、所望の広さの凹部４１ｂ，４１ｂ・・を樹脂層１８に形成することが可能となっている。
【００８４】
また、上記の磁気ディスク１０Ａ、１０Ｂ等では、凹凸パターン４０における凸部４０ａの突端部から基端部までの全体が磁性層１４（磁性材料）で形成されているが、本発明における凹凸パターンを構成する凸部はこれに限定されない。具体的には、例えば、図２７に示す磁気ディスク１０Ｄのように、ガラス基材１１に形成した凹凸パターン（凹凸パターン４０と凹凸の位置関係が同様の凹凸パターン）を覆うようにして薄厚の磁性層１４を形成することにより、その表面が磁性材料で形成された複数の凸部４０ａ，４０ａ・・と底面が磁性材料で形成された複数の凹部４０ｂ，４０ｂ・・とによって凹凸パターン４０を構成することができる。さらに、図２８に示す磁気ディスク１０Ｅのように、凸部４０ａだけではなく凹部４０ｂの底部を含めて磁性層１４で形成して凹凸パターン４０を構成することもできる。また、例えば凹凸パターン４０における凸部４０ａの突端部のみが磁性層１４で形成されて基端部側が非磁性材料または軟磁性材料で形成された凸部４０ａ，４０ａ・・を備えて凹凸パターン４０を構成することもできる（図示せず）。
【００８５】
さらに、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂ等では、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘ・・および非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・にダミーパターン（凹凸パターン４０）が形成されているが、本発明はこれに限定されない。例えば、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａａ（Ａａｂ）との間、アドレスパターン領域Ａａａ（Ａａｂ）とバーストパターン領域Ａｂａとの間、およびバーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間に、その全域が凸部で構成された非サーボ信号領域を規定すると共に、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間、および第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間にも、その全域が凸部で構成された非サーボ信号領域を規定することもできる。このように構成した磁気ディスクによれば、製造時におけるインプリント処理に際して厚手の残渣が生じるおそれのある凹部が非サーボ信号領域内に存在しないため、残渣の取り除き処理に起因する凹部の過剰な拡がりを回避することができる。これにより、サーボデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスクを提供することができる。
【００８６】
また、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂ等では、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ内の凹凸パターン４０と同種のパターンを非サーボ信号領域Ａｘ、Ａｘｂ内にダミーパターンとして形成したが、本発明はこれに限定されない。例えば、各種サーボ信号用の凹凸パターン４０とは形状が相違する任意の形状の凹凸パターン４０をダミーパターンとして形成する構成を採用することができる。さらに、本発明に係る磁気記録媒体には、非サーボ信号領域Ａｘが存在せずに、プリアンブルパターン領域、アドレスパターン領域およびバーストパターン領域が回転方向において互いに接するように連続して規定された磁気記録媒体や、非サーボ信号領域Ａｘｂが存在せずに、各バースト領域が回転方向において互いに接するように連続して規定された磁気記録媒体が含まれる。また、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂ等では、ガラス基材１１の片面にのみサーボパターン４０ｓａ（４０ｓｂ）およびデータトラックパターン４０ｔが形成されているが、本発明に係る磁気記録媒体はこれに限定されず、ガラス基材１１の表裏両面にサーボパターン４０ｓａ（４０ｓｂ）およびデータトラックパターン４０ｔを形成することもできる。さらに、本発明に係る磁気記録媒体は、磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂのような垂直記録方式の磁気記録媒体に限定されず、面内記録方式の磁気記録媒体にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】ハードディスクドライブ１の構成図である。
【図２】磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図３】外周側領域Ａｏにおけるデータ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａに形成された各種パターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図４】磁気ディスク１０Ａの層構造を示す断面図である。
【図５】データ記録領域Ａｔに形成されたデータトラックパターン４０ｔの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図６】外周側領域Ａｏにおけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたプリアンブルパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図７】外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａａに形成されたアドレスパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図８】外周側領域Ａｏにおけるバーストパターン領域Ａｂａの第１バースト領域Ａｂ１および第２バースト領域Ａｂ２に形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図９】外周側領域Ａｏにおけるバーストパターン領域Ａｂａの第３バースト領域Ａｂ３および第４バースト領域Ａｂ４に形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図１０】中間体２０の層構造を示す断面図である。
【図１１】スタンパー３０の断面図である。
【図１２】ガラス基材３１の上にレジスト層３２を形成した状態の断面図である。
【図１３】レジスト層３２に電子ビーム３２ａを照射して潜像３２ｂ，３２ｂ・・を形成した状態の断面図である。
【図１４】潜像３２ｂ，３２ｂ・・が形成されたレジスト層３２を現像処理して凹凸パターン３３を形成した状態の断面図である。
【図１５】凹凸パターン３３を覆うようにしてニッケル層３４を形成した状態の断面図である。
【図１６】メッキ処理によってニッケル層３５を形成した状態の断面図である。
【図１７】ニッケル層３４，３５の積層体をガラス基材３１から剥離して形成したスタンパー３７の断面図である。
【図１８】スタンパー３７における凹凸パターン３６の形成面にニッケル層３８を形成した状態（凹凸パターン３６をニッケル層３８に転写した状態）の断面図である。
【図１９】中間体２０の樹脂層１８にスタンパー３０の凹凸パターン３９を押し付けた状態の断面図である。
【図２０】図１９に示す状態の樹脂層１８からスタンパー３０を剥離してマスク層１７の上に凹凸パターン４１（樹脂マスク）を形成した状態の断面図である。
【図２１】凹凸パターン４１をマスクとしてマスク層１７をエッチング処理して磁性層１４の上に凹凸パターン４２（マスク）を形成した状態の断面図である。
【図２２】凹凸パターン４２をマスクとして磁性層１４をエッチング処理して中間層１３の上に凹凸パターン４０を形成した状態の断面図である。
【図２３】凹凸パターン４０を覆うようにして非磁性材料１５の層を形成した状態の中間体２０の断面図である。
【図２４】外周側領域Ａｏにおけるデータ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓｂに形成された各種パターンの他の一例を示す磁気ディスク１０Ｂの平面図である。
【図２５】外周側領域Ａｏにおけるサーボパターン領域Ａｓｂのアドレスパターン領域Ａａｂに形成されたアドレスパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ｂの平面図である。
【図２６】バーストパターン領域Ａｂｃに形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ｃの平面図である。
【図２７】磁気ディスク１０Ｄの層構造を示す断面図である。
【図２８】磁気ディスク１０Ｅの層構造を示す断面図である。
【図２９】従来の磁気ディスク１０ｚの平面図である。
【図３０】データ記録領域Ａｔｚおよびサーボパターン領域Ａｓｚに形成された各種パターンの一例を示す磁気ディスク１０ｚの平面図である。
【図３１】アドレスパターン領域Ａａｚに形成されたアドレスパターンの一例を示す磁気ディスク１０ｚの平面図である。
【図３２】磁気ディスク１０ｚの製造工程において、スタンパーの凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・（突端面が狭い凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・）が押し込まれた状態の樹脂層の断面図である。
【図３３】磁気ディスク１０ｚの製造工程において、スタンパーの凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・（突端面が広い凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・）が押し込まれた状態の樹脂層の断面図である。
【符号の説明】
【００８８】
１  ハードディスクドライブ
６  制御部
１０Ａ〜１０Ｅ  磁気ディスク
１１  ガラス基材
１４  磁性層
１５  非磁性材料
２０  中間体
３０  スタンパー
３９，４０，４１，４２  凹凸パターン
３９ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａ  凸部
３９ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂ  凹部
４０ｓａ〜４０ｓｃ  サーボパターン
４０ｔ  データトラックパターン
Ａａａ，Ａａｂ  アドレスパターン領域
Ａｉ  内周側領域
Ａｏ  外周側領域
Ａｓａ〜Ａｓｃ  サーボパターン領域
Ａｔ  データ記録領域
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ４，Ｌ６  開口長
Ｌ３，Ｌ５  長さ
Ｌ７  直径
Ｏ  中心
Ｑ  円形領域
【図１】
2006252660.tif 000003
【図２】
2006252660.tif 000004
【図３】
2006252660.tif 000005
【図４】
2006252660.tif 000006
【図５】
2006252660.tif 000007
【図６】
2006252660.tif 000008
【図７】
2006252660.tif 000009
【図８】
2006252660.tif 000010
【図９】
2006252660.tif 000011
【図１０】
2006252660.tif 000012
【図１１】
2006252660.tif 000013
【図１２】
2006252660.tif 000014
【図１３】
2006252660.tif 000015
【図１４】
2006252660.tif 000016
【図１５】
2006252660.tif 000017
【図１６】
2006252660.tif 000018
【図１７】
2006252660.tif 000019
【図１８】
2006252660.tif 000020
【図１９】
2006252660.tif 000021
【図２０】
2006252660.tif 000022
【図２１】
2006252660.tif 000023
【図２２】
2006252660.tif 000024
【図２３】
2006252660.tif 000025
【図２４】
2006252660.tif 000026
【図２５】
2006252660.tif 000027
【図２６】
2006252660.tif 000028
【図２７】
2006252660.tif 000029
【図２８】
2006252660.tif 000030
【図２９】
2006252660.tif 000031
【図３０】
2006252660.tif 000032
【図３１】
2006252660.tif 000033
【図３２】
2006252660.tif 000034
【図３３】
2006252660.tif 000035
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月27日(2006.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも突端部が磁性材料で形成された凸部と凹部とを有する凹凸パターンによって基材の少なくとも一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、
前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凹部における当該基材の回転方向に沿った各開口長のうちの前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径領域毎の最大の開口長が当該同一半径領域内の当該各凹部における当該回転方向に沿った最小の開口長の２倍の長さである第１の長さとなるように前記凸部が形成されている磁気記録媒体。
【請求項２】
前記各第１の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凸部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凸部が形成されている請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
少なくとも突端部が前記磁性材料で形成された凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、
前記各データ記録トラックは、隣り合う当該データ記録トラックの間の凹部における前記基材の半径方向に沿った開口長が前記各第１の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている請求項１または２記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
少なくとも突端部が磁性材料で形成された凸部と凹部とを有する凹凸パターンによって基材の少なくとも一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、
前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凹部における当該基材の回転方向に沿った各開口長が前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径領域内において互いに等しい第２の長さとなるように前記凸部が形成されている磁気記録媒体。
【請求項５】
前記各第２の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凸部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凸部が形成されている請求項４記載の磁気記録媒体。
【請求項６】
少なくとも突端部が前記磁性材料で形成された凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、
前記各データ記録トラックは、隣り合う当該データ記録トラックの間の凹部における前記基材の半径方向に沿った開口長が前記各第２の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている請求項４または５記載の磁気記録媒体。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体における前記サーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えている記録再生装置。
【請求項８】
請求項１から６のいずれかに記載の磁気記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記磁気記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凹凸パターンが形成された磁気記録媒体製造用のスタンパー。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サーボパターン領域に凹凸パターンによってサーボパターンが形成された磁気記録媒体、その磁気記録媒体を備えた記録再生装置、およびその磁気記録媒体を製造するためのスタンパーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子や情報記録媒体などを製造する工程において、ナノメートルサイズの凹凸パターンを形成したスタンパーを基材上の樹脂層に押し付けてスタンパーの凹凸形状を樹脂層に転写することで基材の上にナノメートルサイズの凹凸パターンを形成するナノインプリントリソグラフィ法（ナノメートルサイズの凹凸パターンを形成するインプリント方法：以下、「インプリント方法」ともいう）が米国特許５７７２９０５号明細書に開示されている。このインプリント方法では、まず、その転写面にナノメートルサイズ（一例として、最小幅が２５ｎｍ程度）の凹凸パターンが形成されたスタンパー（mold）を製造する。具体的には、シリコン基板（silicon substrate ）の表面に形成された酸化シリコン等の薄膜（molding layer ）を覆うようにして形成された樹脂層に電子ビームリソグラフィ装置を用いて所望のパターンを描画した後に、反応性イオンエッチング装置によって樹脂層をマスクとして薄膜をエッチング処理することによって複数の凸部（features）を有する凹凸パターンを薄膜の厚み内に形成する。これにより、スタンパーが製造される。
【０００３】
次いで、例えば、シリコン製の基材（substrate ）の表面にポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ：樹脂材料）をスピンコートして厚み５５ｎｍ程度の樹脂層（薄膜：thin film layer ）を形成する。続いて、基材および樹脂層の積層体、並びにスタンパーの双方を加熱した後に、基材上の樹脂層にスタンパーの各凸部を押し付ける。この際には、スタンパーの凸部が押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部に向けて移動することにより、凸部が押し込まれた部位に凹部（regions ）が形成（転写）される。次いで、スタンパーを押し付けた状態の積層体を室温となるまで放置した後に（冷却処理した後に）、樹脂層からスタンパーを剥離する。これにより、スタンパーの凹凸パターンにおける各凸部が樹脂層に転写されて、基材の上（樹脂層）にナノメートルサイズの凹凸パターンが形成される。この後、凹凸パターンが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理することにより、基材に複数の凹部が形成される。したがって、上記のような技術（インプリント方法）によって情報記録媒体用基材上の樹脂層に凹部を形成することにより、その樹脂層をマスクとして用いたエッチング処理によってナノメートルサイズの凹凸パターンを有する情報記録媒体を製造することが可能となる。
【特許文献１】米国特許５７７２９０５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来のインプリント方法（製造方法）に従って製造された情報記録媒体（磁気記録媒体）には、以下の問題点がある。すなわち、従来の製造方法では、基材上に形成した樹脂層にスタンパーの凸部を押し込むことによって樹脂層に凹部を設けて凹凸パターンを形成し、凹凸パターンが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理することによって基材に凹凸パターンを形成している。しかし、この製造方法に従って例えばディスクリートトラック型の磁気記録媒体を製造したときには、樹脂層に対する凸部（スタンパーの凸部）の押し込み量が不足して、樹脂層に形成される（転写される）凹凸パターンにおける凹部の底部に大量の樹脂材料が残存し、この樹脂材料の取り除き処理時に凹部が過剰に拡がることに起因して磁気記録媒体に凹凸パターンを高精度で形成するのが困難となるおそれがある。
【０００５】
具体的には、例えば、図２９に示すように、上記の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｚは、同心円状の複数のデータ記録トラックで構成されたデータトラックパターン４０ｔｚが形成されたデータ記録領域Ａｔｚと、トラッキングサーボ用のサーボパターン４０ｓｚが形成されたサーボパターン領域Ａｓｚとが磁気ディスク１０ｚの回転方向（同図に示す矢印Ｒの向き）で交互に並ぶように規定されて製造されている。また、図３０に示すように、磁気ディスク１０ｚのサーボパターン領域Ａｓｚは、一例として、プリアンブルパターンが形成されたプリアンブルパターン領域Ａｐｚと、アドレスパターンが形成されたアドレスパターン領域Ａａｚと、バースト領域Ａｂ１ｚ〜Ａｂ４ｚの各領域にバーストパターンが形成されたバーストパターン領域Ａｂｚとを備えている。なお、同図および後に参照する図３１において斜線で塗り潰した領域は、サーボパターン４０ｓｚおよびデータトラックパターン４０ｔｚにおける凸部４０ａｚの形成領域を表している。
【０００６】
この場合、この磁気ディスク１０ｚを含む従来の磁気ディスクでは、アドレスパターン領域Ａａｚに形成したサーボパターン４０ｓｚにおける凹部４０ｂｚ，４０ｂｚ・・の基材の回転方向に沿った開口長が、記録すべきアドレスデータのデータ内容に対応して非常に長くなることがある。なお、本明細書における「凹部の開口長」とは、その凹部を挟んで隣り合う凸部の両突端面における対向する端部間の距離をいう。具体的には、アドレスパターン領域Ａａｚにアドレスデータを記録するときに、例えば、「１」に対応して凹部４０ｂｚを形成すると共に、「０」に対応して凸部４０ａｚを形成した場合には、アドレスデータ上で「１」が多数連続する部位において凹部４０ｂｚの回転方向に沿った開口長が長くなる。この結果、例えば、図３１に示すように、アドレスデータにおいて「１」が連続していない部位（アドレスデータが「０，１，０」の部位）では、「１」に対応して形成される凹部４０ｂｚの回転方向に沿った開口長Ｌ１１が比較的短くなっている。これに対して、アドレスデータにおいて「１」が複数連続している部位（例えば、アドレスデータが「０，１，１，１，０」の部位等）では、「１」に対応して形成される凹部４０ｂｚの回転方向に沿った開口長Ｌ１２が長くなる。この場合、図３０，３１に示すように、アドレスパターン領域Ａａｚ内では、凹部４０ｂｚが複数の記録トラックを跨ぐようにして半径方向（両図における上下方向）に連続して形成されることが多いため、凹部４０ｂｚの半径方向に沿った開口長が長くなる傾向がある。したがって、アドレスデータにおいて「１」が複数連続する部位においては、凹部４０ｂｚにおける半径方向に沿った開口長および回転方向に沿った開口長の双方が長くなる（開口面が過剰に広くなる）。なお、本明細書における「凹部の開口面」とは、その凹部を挟んで隣り合う凸部の両突端面における対向する端部同士の間、すなわち、凹凸パターンにおける凸部の突端面を除く領域をいう。
【０００７】
また、図３０に示すように、従来の磁気ディスク１０ｚでは、データ記録領域Ａｔｚとプリアンブルパターン領域Ａｐｚとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐｚとアドレスパターン領域Ａａｚとの間、アドレスパターン領域Ａａｚとバーストパターン領域Ａｂｚとの間、およびバーストパターン領域Ａｂｚとデータ記録領域Ａｔｚとの間の各領域に、非サーボ信号領域Ａｘｚが形成されている。さらに、バーストパターン領域Ａｂｚにおける各バースト領域Ａｂ１ｚ〜Ａｂ４ｚの各領域の間には、非サーボ信号領域Ａｘｂｚが形成されている。この非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚには、トラッキングサーボ制御用の制御信号が記録されておらず、非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚのほぼ全域が凹部で構成されて凸部が存在しない状態となっている。したがって、非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚ内の凹部４０ｂｚは、半径方向に沿った開口長および回転方向に沿った開口長の双方が非常に長くなっている（開口面が過剰に広くなっている）。
【０００８】
この場合、上記の磁気ディスク１０ｚにおけるデータ記録領域Ａｔｚおよびサーボパターン領域Ａｓｚには、その開口面が狭い凹部（一例として、磁気ディスク１０ｚの回転方向に沿った開口長、および磁気ディスク１０ｚの半径方向に沿った開口長のいずれかが短い凹部）や、その開口面が広い凹部（一例として、回転方向に沿った開口長および半径方向に沿った開口長の双方が長い凹部）などの各種の凹部が形成されている。また、磁気ディスク１０ｚを製造するためのスタンパーには、磁気ディスク１０ｚに形成すべき凹凸パターンとは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９ｚ（図３２，３３参照）が形成されている。したがって、図３２，３３に示すように、磁気ディスク１０ｚを製造するためのスタンパーには、磁気ディスク１０ｚの凹凸パターンに対応して、突端面が狭い凸部（図３２に示す凸部３９ａｚ）や、突端面が広い凸部（図３３に示す凸部３９ａｚ）などの各種の凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・が形成されている。この場合、従来の製造方法では、スタンパーの全域に亘ってほぼ均一な押圧力で凹凸パターン３９ｚを樹脂層に押し付けている。この際に、図３２に示すように、その突端面が比較的狭い凸部３９ａｚが形成されている部位（例えば、アドレスデータにおいて「１」が連続していない部位のアドレスパターンに対応する部位）では、凸部３９ａｚが押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部３９ｂｚ，３９ｂｚ内に向けてスムーズに移動する結果、凸部３９ａｚを十分に奥深くまで樹脂層に押し込むことができる。この結果、凸部３９ａｚの先端と基材との間（凹部４１ｂｚの底部）の樹脂層の厚みＴ１が十分に薄い凹凸パターン４１ｚを基材の上に形成することができる。なお、以下の説明では、樹脂層に形成される凹部の底面と基材との間に取り残された樹脂材料を「残渣」ともいう
【０００９】
これに対して、図３３に示すように、その突端面が比較的広い凸部３９ａｚが形成されている部位（例えば、アドレスデータにおいて「１」が連続している部位のアドレスパターンや、非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚに対応する部位）では、凸部３９ａｚが押し込まれた部位の樹脂材料がスタンパーの凹部３９ｂｚ，３９ｂｚ内に向けて移動するのが困難となる結果、凸部３９ａｚを樹脂層に奥深くまで十分に押し込むのが困難となる。この結果、凸部３９ａｚの先端と基材との間（凹部４１ｂｚの底部）に厚みＴ２の残渣が生じることとなり、結果として、凹部４１ｂｚの深さが浅くなる。この場合、凹凸パターン４１ｚが形成された樹脂層をマスクとして用いて基材をエッチング処理する際には、凹凸パターン４１ｚにおける凹部４１ｂｚの底面の残渣をエッチング処理等によって除去する必要がある（前述した取り除き処理）。また、前述したように、突端面が狭い凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・を押し込んだ部位の残渣の厚みＴ１は、突端面が広い凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・を押し込んだ部位の残渣の厚みＴ２よりも十分に薄くなっている。したがって、厚みＴ２の残渣を確実に取り除くことができるように十分な時間のエッチング処理（取り除き処理）を実行したときには、厚みＴ２の残渣の取り除きが完了するのに先立って、厚みＴ１の残渣の取り除きが完了する。この結果、厚みＴ１の残渣が取り除かれた部位（底面が狭い凹部４１ｂｚの部位）では、厚みＴ２の残渣の取り除きが完了するまで照射され続けているガスによって凹部４１ｂｚの内側壁（凸部４１ａｚ）が浸食されて凹部４１ｂｚが過剰に拡がってしまう。このため、従来の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｚには、その製造時に所望する広さの凹部４１ｂｚを形成するのが困難であることに起因して、データ記録領域Ａｔｚやサーボパターン領域Ａｓｚに形成される凹部の広さが過剰に広くなり、これに起因して磁気的信号の確実な読み取りが困難となるおそれがある。
【００１０】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、磁気的信号の確実な読み取りが可能なサーボパターンを有する磁気記録媒体および記録再生装置、並びに、このような磁気記録媒体を製造し得るスタンパーを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく本発明に係る磁気記録媒体は、少なくとも突端部が磁性材料で形成された凸部と凹部とを有する凹凸パターンによって基材の少なくとも一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凹部における当該基材の回転方向に沿った各開口長のうちの前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径領域毎の最大の開口長が当該同一半径領域内の当該各凹部における当該回転方向に沿った最小の開口長の２倍の長さである第１の長さとなるように前記凸部が形成されている。この場合、「２倍の長さ」とは、ほぼ２倍の長さのことであって、上記の最小の開口長の２倍の長さを目標にして凹部を形成すべく凸部を形成した際に僅かな製造誤差が発生したとしても、その製造誤差分だけ相違しているその凹部の開口長も最小の開口長の２倍の長さ（第１の長さ）であることを意味する。また、製造誤差とは別に「２倍」に対して僅かな許容範囲を当初から規定して凹部を形成すべく凸部を形成したときにも、その凹部の開口長も最小の開口長の２倍の長さ（第１の長さ）であることを意味する。
【００１２】
また、本発明に係る磁気記録媒体は、上記の磁気記録媒体において、前記各第１の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凸部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凸部が形成されている。なお、本明細書における「凸部の少なくとも一部が円形領域内に含まれる」との状態には、「凹凸パターンを構成する凸部と凹部との境界部分（凸部の端部）が円形領域内に含まれている状態」が含まれる。
【００１３】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体は、上記のいずれかの磁気記録媒体において、少なくとも突端部が前記磁性材料で形成された凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、前記各データ記録トラックは、隣り合う当該データ記録トラックの間の凹部における前記基材の半径方向に沿った開口長が前記各第１の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている。
【００１４】
また、本発明に係る磁気記録媒体は、少なくとも突端部が磁性材料で形成された凸部と凹部とを有する凹凸パターンによって基材の少なくとも一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凹部における当該基材の回転方向に沿った各開口長が前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径領域内において互いに等しい第２の長さとなるように前記凸部が形成されている。この場合、「互いに等しい」とは、互いにほぼ等しいことであって、第２の長さを目標にして凹部を形成すべく凸部を形成した際に僅かな製造誤差が発生したとしても、その製造誤差分だけ相違しているその凹部の開口長も互いに等しい第２の長さであることを意味する。また、製造誤差とは別に僅かな許容範囲を当初から規定して凹部を形成すべく凸部を形成したときにも、その凹部の開口長も互いに等しい第２の長さであることを意味する。
【００１５】
また、本発明に係る磁気記録媒体は、上記の磁気記録媒体において、前記各第２の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凸部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凸部が形成されている。
【００１６】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体は、上記のいずれかの磁気記録媒体において、少なくとも突端部が前記磁性材料で形成された凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、前記各データ記録トラックは、隣り合う当該データ記録トラックの間の凹部における前記基材の半径方向に沿った開口長が前記各第２の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている。
【００１７】
また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体における前記サーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えている。
【００１８】
また、本発明に係るスタンパーは、磁気記録媒体製造用のスタンパーであって、上記のいずれかの磁気記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記磁気記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凹凸パターンが形成されている。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る磁気記録媒体によれば、凹凸パターンを構成する各凹部における回転方向に沿った各開口長のうちの各同一半径領域毎の最大の開口長がその同一半径領域内の各凹部における回転方向に沿った最小の開口長の２倍の長さである第１の長さとなるようにアドレスパターン領域に凸部を形成したことにより、凹部の半径方向に沿った開口長が長くなる傾向があるアドレスパターン領域内に回転方向に沿った開口長が過剰に長い凹部（開口長が全方向に長い凹部）が存在しないため、アドレスパターン領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時（例えば、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凹凸パターンを転写する処理時）に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパーの凸部を樹脂層にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に中間体上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２０】
また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、各第１の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域をサーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、凹凸パターンを構成する凸部の少なくとも一部が円形領域内に含まれるようにサーボパターン領域に凸部を形成したことにより、アドレスパターン領域のみならず、サーボパターン領域の全域において開口長が全方向に過剰に長い（開口面が過剰に広い）凹部が存在しないため、サーボパターン領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凸部をスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に中間体上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、トラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２１】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体によれば、隣り合うデータ記録トラックの間の凹部における基材の半径方向に沿った開口長が各第１の長さのうちの最大の長さ以下となるように各データ記録トラックを形成したことにより、凹部（トラック間凹部）の回転方向に沿った開口長が長くなるデータ記録領域内に半径方向に沿った開口長が過剰に長い凹部（開口長が全方向に長い凹部）が存在しないため、データ記録領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凸部をスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、安定した記録再生が可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２２】
また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、凹凸パターンを構成する各凹部における回転方向に沿った各開口長が各同一半径領域内において互いに等しい第２の長さとなるようにアドレスパターン領域に凸部を形成したことにより、凹部の半径方向に沿った開口長が長くなる傾向があるアドレスパターン領域内に回転方向に沿った開口長が過剰に長い凹部（開口長が全方向に長い凹部）が存在しないため、アドレスパターン領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時（例えば、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凹凸パターンを転写する処理時）に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパーの凸部を樹脂層にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に中間体上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２３】
また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、各第２の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域をサーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、凹凸パターンを構成する凸部の少なくとも一部が円形領域内に含まれるようにサーボパターン領域に凸部を形成したことにより、アドレスパターン領域のみならず、サーボパターン領域の全域において開口長が全方向に過剰に長い（開口面が過剰に広い）凹部が存在しないため、サーボパターン領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凸部をスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に中間体上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、トラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２４】
さらに、本発明に係る磁気記録媒体によれば、隣り合うデータ記録トラックの間の凹部における基材の半径方向に沿った開口長が各第２の長さのうちの最大の長さ以下となるように各データ記録トラックを形成したことにより、凹部（トラック間凹部）の回転方向に沿った開口長が長くなるデータ記録領域内に半径方向に沿った開口長が過剰に長い凹部（開口長が全方向に長い凹部）が存在しないため、データ記録領域内の凹凸パターンを形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、磁気記録媒体製造用の中間体における樹脂層にスタンパーの凸部をスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、樹脂層に形成した各凹部が残渣の取り除き処理に起因して過剰に広くなる事態が回避される。したがって、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に広くなる事態が回避される。このため、安定した記録再生が可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。
【００２５】
また、本発明に係る記録再生装置によれば、上記のいずれかの磁気記録媒体と、磁気記録媒体におけるサーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えたことにより、例えば非サーボ信号領域に形成された凹凸パターン（ダミーパターン）の存在に影響されることなく、データ記録領域内の各凸部（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッドを介して記録データの記録再生を行うことができる。
【００２６】
また、本発明に係るスタンパーによれば、磁気記録媒体製造用のスタンパーであって、上記のいずれかの磁気記録媒体における凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、磁気記録媒体における凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凹凸パターンを形成したことにより、磁気記録媒体製造用の中間体に対するインプリント処理時に、スタンパーに突端面が過剰に広い凸部（例えば、回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さの双方が過剰に長い凸部）が存在しないため、中間体に対してスタンパーの凸部をスムーズに押し込むことができる。したがって、インプリント処理時に凸部の押し込み量の不足に起因する不都合（残渣の取り除き処理に起因して、磁気記録媒体に形成される各凹部が過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、アドレスデータ等の確実な読み取りが可能な磁気記録媒体を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る磁気記録媒体、記録再生装置およびスタンパーの最良の形態について説明する。
【００２８】
図１に示すハードディスクドライブ１は、本発明に係る記録再生装置の一例であって、モータ２、磁気ヘッド３、検出部４、ドライバ５、制御部６、記憶部７および磁気ディスク１０Ａを備えて各種データの記録再生が可能に構成されている。モータ２は、制御部６の制御に従って磁気ディスク１０Ａを一例として４２００ｒｐｍの回転数で定速回転させる。磁気ヘッド３は、スイングアーム３ａを介してアクチュエータ３ｂに取り付けられて磁気ディスク１０Ａに対する記録データの記録再生時においてアクチュエータ３ｂによって磁気ディスク１０Ａ上を移動させられる。また、磁気ヘッド３は、磁気ディスク１０Ａのサーボパターン領域Ａｓａ（図２参照）からのサーボデータの読み出しと、データ記録領域Ａｔ（図２参照）に対する記録データの磁気的な書き込みと、データ記録領域Ａｔに磁気的に書き込まれている記録データの読み出しとを実行する。なお、磁気ヘッド３は、実際には磁気ディスク１０Ａに対して磁気ヘッド３を浮上させるためのスライダの底面（エアベアリング面）に形成されているが、このスライダについての説明および図示を省略する。アクチュエータ３ｂは、制御部６の制御下でドライバ５から供給される駆動電流によってスイングアーム３ａをスイングさせることにより、磁気ヘッド３を磁気ディスク１０Ａ上の任意の記録再生位置に移動させる。
【００２９】
検出部４は、磁気ヘッド３から出力された出力信号（アナログ信号）からサーボデータを取得（検出）して制御部６に出力する。ドライバ５は、制御部６から出力された制御信号に従ってアクチュエータ３ｂを制御して磁気ヘッド３を所望のデータ記録トラックにオントラックさせる。制御部６は、ハードディスクドライブ１を総括的に制御する。また、制御部６は、本発明に係る制御部の一例であって、検出部４から出力されたサーボデータ（「サーボパターン領域から読み取られた所定の信号」の一例）に基づいてドライバ５を制御する（トラッキングサーボ制御処理の実行）。記憶部７は、制御部６の動作プログラムなどを記憶する。
【００３０】
一方、磁気ディスク１０Ａは、本発明に係る磁気記録媒体の一例であって、前述したモータ２や磁気ヘッド３などと共にハードディスクドライブ１の筐体内に配設されている。この磁気ディスク１０Ａは、垂直記録方式による記録データの記録が可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク（パターンド媒体）であって、図４に示すように、軟磁性層１２、中間層１３および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されている。この場合、磁性層１４は、突端部（同図における上端部）から基端部（同図における下端部）までの全体が磁性材料で形成された凸部４０ａ，４０ａ・・と、凸部４０ａ，４０ａ・・間の凹部４０ｂ，４０ｂ・・とが形成されて凹凸パターン４０を構成する。また、凹部４０ｂ，４０ｂ・・には、ＳｉＯ２等の非磁性材料１５が埋め込まれて磁気ディスク１０Ａの表面が平坦化されている。さらに、凹部４０ｂ，４０ｂ・・に埋め込まれた非磁性材料１５、および磁性層１４（凸部４０ａ）の表面には、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等によって厚みが２ｎｍ程度の保護層１６（ＤＬＣ膜）が形成されている。また、保護層１６の表面には、磁気ヘッド３および磁気ディスク１０Ａの双方の傷付きを回避するための潤滑剤（一例として、フォンブリン系の潤滑剤）が塗布されている。
【００３１】
ガラス基材１１は、本発明における基材に相当し、ガラス板を表面研磨して厚みが０．６ｍｍ程度の円板状に形成されている。なお、本発明における基材は、ガラス基材に限定されず、アルミニウムやセラミックなどの各種非磁性材料で円板状に形成した基材を使用することができる。軟磁性層１２は、ＣｏＺｒＮｂ合金などの軟磁性材料をスパッタリングすることによって厚みが１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度の薄膜状に形成されている。中間層１３は、磁性層１４を形成するための下地層として機能する層であって、ＣｒやＣｏＣｒ非磁性合金などの中間層形成用材料をスパッタリングすることによって厚みが４０ｎｍ程度の薄膜状に形成されている。磁性層１４は、凹凸パターン４０（図３に示すデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａ）を構成する層であって、後述するように、例えばＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングした層に対してエッチング処理することによって凹部４０ｂ，４０ｂ・・が形成されている。
【００３２】
この場合、図２に示すように、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・が設けられてデータ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａが磁気ディスク１０Ａの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。なお、本明細書では、回転方向において並ぶ２つのデータ記録領域（この例では、データ記録領域Ａｔ）によって挟まれた領域（１つのデータ記録領域における回転方向側の端部から、他の１つのデータ記録領域における回転方向側の端部までの間の領域）をサーボパターン領域（この例では、サーボパターン領域Ａｓａ）とする。また、データ記録領域における回転方向側の端部は、そのデータ記録領域に形成された複数のデータ記録トラック（後述する凸部４０ａ，４０ａ・・）における回転方向側の各端部を連結した仮想線分（磁気ディスクの半径方向に沿った直線状または円弧状の線分）と一致しているものとする。
【００３３】
また、この磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１では、前述したようにモータ２が制御部６の制御に従って磁気ディスク１０Ａを角速度一定で回転させるように構成されている。したがって、この磁気ディスク１０Ａでは、単位時間当たりに磁気ヘッド３の下方を通過させられる磁気ディスク１０Ａ上の長さに比例して、磁気ディスク１０Ａの回転方向に沿ったデータ記録領域Ａｔの長さ、および回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓａの長さがデータトラックパターン４０ｔの中心Ｏから離間するほど長くなるように（データ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａが内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど幅広となるように）規定されている。この結果、データ記録領域Ａｔ内に形成されたデータ記録トラック（凸部４０ａ）における突端面の回転方向に沿った長さや、サーボパターン領域Ａｓａ内に形成されたサーボパターン４０ｓａ用の各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った基準の長さ、およびサーボパターン４０ｓａ用の各凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った基準の開口長（例えば、単位信号長に対応する長さ）は、磁気ディスク１０Ａの内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど長くなっている。なお、以下の説明において、凸部における突端面の長さを「凸部の長さ」ともいう。
【００３４】
この場合、サーボパターン領域Ａｓａ内の各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った基準の長さや、各凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った基準の開口長については、磁気ディスク１０Ａの半径方向で隣接している数十トラックの範囲内でほぼ等しい長さとなっている。このため、本明細書では、この数十トラックの範囲内において回転方向に沿った基準の長さや基準の開口長が等しいものとして説明する。具体的には、例えば内周側領域Ａｉに含まれる数十トラックの範囲内においては回転方向に沿った基準の長さや基準の開口長が互いに等しく、外周側領域Ａｏ内に含まれる数十トラックの範囲内においては回転方向に沿った基準の長さや基準の開口長が互いに等しいものとする。また、各サーボパターン領域Ａｓａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長についての説明に際して特に限定しない限りにおいては、データトラックパターン４０ｔの中心Ｏからの距離が等しい同一半径位置（同一半径の領域内）における対応する開口長を基準として説明するものとする。
【００３５】
また、図３に示すように、データ記録領域Ａｔには、データトラックパターン４０ｔが形成されている。なお、同図および後に参照する図５〜９，２４〜２６において斜線で塗り潰した領域は、凹凸パターン４０における凸部４０ａの形成領域を表している。この場合、図５に示すように、データトラックパターン４０ｔは、中心Ｏ（図２参照）を中心とする同心円状（または、螺旋状）の多数の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）と、各凸部４０ａ，４０ａ・・の間の凹部４０ｂ，４０ｂ・・（トラック間凹部）とで構成されている。なお、磁気ディスク１０Ａの回転中心とデータトラックパターン４０ｔの中心Ｏとが一致しているのが好ましいが、磁気ディスク１０Ａの回転中心とデータトラックパターン４０ｔの中心Ｏとの間には、製造誤差に起因する３０〜５０μｍ程度の極く小さなずれが生じることがある。しかし、この程度のずれ量であれば磁気ヘッド３に対するトラッキングサーボ制御が十分に可能であるため、回転中心と中心Ｏとは、実質的には同様であるといえる。
【００３６】
また、図５に示すように、この磁気ディスク１０Ａのデータ記録領域Ａｔでは、一例として、凸部４０ａ（データ記録トラック）における突端面の半径方向に沿った長さＬ３と、凹部４０ｂ（トラック間凹部）の半径方向に沿った開口長Ｌ４とが互いに等しい長さ（長さ比が１：１）となっている。また、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔに形成された凸部４０ａの半径方向に沿った長さＬ３、および凹部４０ｂの半径方向に沿った開口長Ｌ４が磁気ディスク１０Ａの内周側領域Ａｉから外周側領域Ａｏまで等しい長さに規定されている。この場合、凹部４０ｂの半径方向に沿った開口長Ｌ４は、サーボパターン領域Ａｓａ（アドレスパターン領域Ａａａ）に形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長（後述する開口長Ｌ２ａ：図７参照）以下となるように規定されている。さらに、データトラックパターン４０ｔの凹部４０ｂ，４０ｂ・・には、非磁性材料１５が埋め込まれてデータ記録領域Ａｔが平滑化されている。
【００３７】
一方、図３に示すように、サーボパターン領域Ａｓａには、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたプリアンブルパターンと、アドレスパターン領域Ａａａに形成されたアドレスパターンと、バーストパターン領域Ａｂａに形成されたバーストパターンと、非サーボ信号領域Ａｘに形成されたダミーパターンとを有するサーボパターン４０ｓａが形成されている。この場合、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａａおよびバーストパターン領域Ａｂａに形成されているサーボパターン４０ｓａが本発明における「トラッキングサーボ制御用の制御信号」に対応するパターンに相当する。また、サーボパターン４０ｓａは、凸部４０ａ，４０ａ・・および凹部４０ｂ，４０ｂ・・の形成位置やそれぞれの大きさ（回転方向に沿った長さや開口長等）が本発明における「トラッキングサーボ制御用の制御信号」に対応して規定されている。
【００３８】
具体的には、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたプリアンブルパターンは、アドレスパターン領域Ａａａ等から各種制御信号を読み取るための基準クロックを磁気ディスク１０Ａの回転状態（回転速度）に応じて補正するためのサーボパターンであって、図６に示すように、磁気ディスク１０Ａの半径方向（同図における上下方向）に長い帯状の凸部４０ａ，４０ａ・・が磁気ディスク１０Ａの回転方向（矢印Ｒの向き）に沿って凹部４０ｂ，４０ｂ・・を挟んで形成されている。この場合、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った長さＬ５、および凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った開口長Ｌ６は、中心Ｏからの距離が等しい同一半径位置において互いに等しい長さで、かつ内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏ側の方が長くなるように規定されている。また、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長Ｌ６は、一例として、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長のうちの最小の開口長（後述する開口長Ｌ１：図７参照）と等しくなるように規定されている。なお、プリアンブルパターンにおける凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５、および凹部４０ｂの開口長Ｌ６は上記の例に限定されるものではなく、また、凸部４０ａの長さＬ５と凹部４０ｂの開口長Ｌ６とを互いに相違する長さに規定することもできる。
【００３９】
また、アドレスパターン領域Ａａａに形成されたアドレスパターンは、磁気ヘッド３がオントラックしているトラックのトラック番号等を示すアドレスデータに対応して形成されたサーボパターンであって、図７に示すように、凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さと、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長とが上記のアドレスデータに対応して規定されている。この場合、この磁気ディスク１０Ａでは、アドレスデータがマンチェスター符号やバイフェーズＭ符号等に準じて符号化されてアドレスパターン領域Ａａａに記録されている。具体的には、例えば、マンチェスター符号におけるハイレベルに対応して凸部４０ａが形成されると共に、ローレベルに対応して凹部４０ｂが形成されることにより、アドレスデータのデータ内容に対応する凹凸パターン４０がアドレスパターン領域Ａａａ内に形成されている。
【００４０】
この磁気ディスク１０Ａでは、アドレスパターン領域Ａａａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの同一半径位置における最小の開口長Ｌ１は、一例として、同一半径位置のプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長Ｌ６と等しくなるように規定されている。また、アドレスパターン領域Ａａａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの同一半径位置における最大の開口長Ｌ２（本発明における「第１の長さ」の一例）は、一例として、同一半径位置における上記の開口長Ｌ１の２倍の長さとなるように規定されている。この場合、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、回転方向に沿った基準の開口長が内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど長くなっている。したがって、この磁気ディスク１０Ａでは、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａａ内の凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長Ｌ２（以下、各開口長Ｌ２のうちの最大の開口長を他の開口長Ｌ２と区別するときには、「開口長Ｌ２ａ」ともいう）が、本発明における「各第１の長さのうちの最大の長さ」に相当し、この開口長Ｌ２ａがサーボパターン領域Ａｓａ内の凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長となっている。なお、この磁気ディスク１０Ａでは、アドレスデータがマンチェスター符号等に準じて符号化されてアドレスパターンが形成されているため、アドレスパターン領域Ａａａ内の各同一半径位置において、アドレスパターン（サーボパターン４０ｓａ）を構成する各凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長（ハードディスクドライブ１においてローレベルとして認識される信号長）が上記の開口長Ｌ１，Ｌ２の２種類のみとなっている。
【００４１】
また、図３に示すように、バーストパターン領域Ａｂａは、第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４の各バースト領域と、非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・とを備えている。この場合、第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成されたバーストパターンは、磁気ヘッド３を所望のトラックにオントラックさせるための位置検出用のサーボパターンであって、図８，９に示すように、磁気ディスク１０Ａの回転方向に沿って複数の凹部４０ｂ，４０ｂ・・が凸部４０ａを挟んで形成されることにより、凸部４０ａおよび凹部４０ｂが回転方向に沿って交互に並ぶ領域と、凸部４０ａが回転方向において連続する領域とが形成されている。この場合、この磁気ディスク１０Ａでは、バーストパターン領域Ａｂａにおけるバースト信号単位部（バーストパターン領域Ａｂａ内において回転方向に沿って並ぶ複数の矩形状の領域）が凹部４０ｂ，４０ｂ・・で構成されている。したがって、バースト信号単位部を凸部４０ａ，４０ａ・・で構成した磁気ディスクと比較して、バーストパターン領域Ａｂａ内における磁性層１４の表面積が十分に大きくなっている。この結果、磁気ヘッド３の下方をバーストパターン領域Ａｂａが通過する際に磁気ヘッド３から出力される出力信号の信号レベルを十分に強くすることができる。
【００４２】
また、この磁気ディスク１０Ａでは、一例として、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４において回転方向に沿って並ぶ凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長Ｌ６が、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａａに形成された凹部４０ｂにおける回転方向に沿った最小の開口長Ｌ１、およびプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂにおける同一半径位置の回転方向に沿った開口長Ｌ６と等しくなるように規定されている。さらに、バーストパターン領域Ａｂａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・の間の凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５は、一例として、同一半径位置におけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５と等しくなるように規定されている。なお、第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成する凸部４０ａの凹部４０ｂ，４０ｂ・・の間の回転方向に沿った長さＬ５や、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った開口長Ｌ６については上記の例に限定されるものではなく、また、凸部４０ａの長さＬ５と凹部４０ｂの開口長Ｌ６とを互いに相違する長さに規定することもできる。
【００４３】
さらに、図３に示すように、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａａとの間、アドレスパターン領域Ａａａとバーストパターン領域Ａｂａとの間、およびバーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間には、非サーボ信号領域Ａｘがそれぞれ規定されている。また、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間、および第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間には、前述したように、非サーボ信号領域Ａｘｂがそれぞれ形成されている。これら非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂは、製造時にスタンパー３０（図１１参照）の凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むためにダミーパターンとしての凹凸パターン４０が形成された領域であって、一例として、上記のプリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）に形成された各種パターンと同種（同じ形状）のパターンがダミーパターンとして形成されている。
【００４４】
具体的には、図３に示すように、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間の非サーボ信号領域Ａｘ（図中最も左側の非サーボ信号領域Ａｘ）には、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。また、バーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間の非サーボ信号領域Ａｘ（図中最も右側の非サーボ信号領域Ａｘ）には、バーストパターン領域Ａｂａにおける第４バースト領域Ａｂ４に形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。さらに、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａａとの間の非サーボ信号領域Ａｘには、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。また、アドレスパターン領域Ａａａとバーストパターン領域Ａｂａとの間の非サーボ信号領域Ａｘには、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１に形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。
【００４５】
また、第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間の非サーボ信号領域Ａｘｂ（図中左側の非サーボ信号領域Ａｘｂ）には、第１バースト領域Ａｂ１に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第１バースト領域Ａｂ１側に形成されると共に、第２バースト領域Ａｂ２に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第２バースト領域Ａｂ２側に形成されている。さらに、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間の非サーボ信号領域Ａｘｂ（同図における中央の非サーボ信号領域Ａｘｂ）には、第２バースト領域Ａｂ２に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第２バースト領域Ａｂ２側に形成されると共に、第３バースト領域Ａｂ３に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第３バースト領域Ａｂ３側に形成されている。また、第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間の非サーボ信号領域Ａｘｂ（図中右側の非サーボ信号領域Ａｘｂ）には、第３バースト領域Ａｂ３に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第３バースト領域Ａｂ３側に形成されると共に、第４バースト領域Ａｂ４に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第４バースト領域Ａｂ４側に形成されている。
【００４６】
したがって、この磁気ディスク１０Ａでは、サーボパターン領域Ａｓａ内に恰も非サーボ信号領域Ａｘが存在することなく、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａａおよびバーストパターン領域Ａｂａが互いに接して連続する状態に視認されると共に、バーストパターン領域Ａｂａ内に恰も非サーボ信号領域Ａｘｂが存在することなく、第１バースト領域Ａｂ１から第４バースト領域Ａｂ４までの各バースト領域が互いに接して連続する状態に視認される。しかし、この磁気ディスク１０Ａに対する記録データの記録再生時には、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂからの磁気ヘッド３による磁気的信号の読み取りなどは実行されるものの、この非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂに形成された凹凸パターン４０に対応するデータは、制御部６によってトラッキングサーボ用のサーボデータとは相違するデータと判別される。したがって、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂ内に形成された凸部４０ａの長さや凹部４０ｂの開口長については、他のパターンの長さに影響されることなく、製造工程におけるインプリント処理時に不都合が生じない範囲内で任意に規定することができる。また、凸部４０ａや凹部４０ｂの形状についても任意に規定することができる。
【００４７】
この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、データ記録領域Ａｔに形成した凸部４０ａ，４０ａ・・の間の凹部４０ｂの半径方向に沿った開口長Ｌ４が、サーボパターン領域Ａｓａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長（この例では、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａａ内の凹部４０ｂにおける回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長Ｌ２ａ）以下となるように規定されている。したがって、図５に示すように、その直径がアドレスパターン領域Ａａａ内の最大の開口長Ｌ２ａと等しい円形領域Ｑａをデータ記録領域Ａｔ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。また、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成した凹部４０ｂの回転方向に沿った開口長Ｌ６が、サーボパターン領域Ａｓａに形成された同一半径位置の凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長のうちの最小の開口長Ｌ１と等しくなるように規定されている。この場合、前述したように、開口長Ｌ１が開口長Ｌ２の１／２の長さであるため、図６に示すように、その直径がアドレスパターン領域Ａａａ内の最大の開口長Ｌ２ａと等しい円形領域Ｑａをプリアンブルパターン領域Ａｐ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。
【００４８】
さらに、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、アドレスデータがマンチェスター符号等に準じて符号化されてアドレスパターンがアドレスパターン領域Ａａａに形成されているため、アドレスデータにおいて「１」が多数連続する場合であっても凹部４０ｂが回転方向に沿って連続して形成されることなく、開口長Ｌ１（最小の長さ）の凹部４０ｂ、開口長Ｌ２（最大の長さ）の凹部４０ｂ、および凸部４０ａによって凹凸パターン４０（アドレスパターン）が構成される。この場合、開口長Ｌ１が開口長Ｌ２の１／２の長さであるため、アドレスパターン領域Ａａａ内の最大の開口長Ｌ２ａと等しい円形領域Ｑａをアドレスパターン領域Ａａａ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、アドレスパターン領域Ａａａ内に配置する円形領域Ｑａがアドレスパターン領域Ａａａ内において最大の開口長Ｌ２ａである凹部４０ｂにおける内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。この場合、本明細書では、前述したように、凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれている状態を「凸部４０ａの一部が含まれている状態」とする。
【００４９】
また、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成した凹部４０ｂの回転方向に沿った開口長Ｌ６が、サーボパターン領域Ａｓａに形成された同一半径位置の凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長のうちの最小の開口長Ｌ１と等しくなるように規定されている。この場合、開口長Ｌ１が開口長Ｌ２の１／２の長さであるため、図８，９に示すように、その直径がアドレスパターン領域Ａａａ内の最大の開口長Ｌ２ａと等しい円形領域Ｑａを第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。
【００５０】
さらに、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）に形成したサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂに形成されている。したがって、図３に示すように、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）内のいずれの位置に円形領域Ｑａを配置したとしても円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれるこの磁気ディスク１０Ａでは、これらの領域と同種のサーボパターン４０ｓａが形成されている非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂのいずれかの部位に円形領域Ｑａを配置したときに、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。
【００５１】
このように、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・の全域において、任意に配置した円形領域Ｑａ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれるように凸部４０ａが形成されてデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａが構成されている。言い換えれば、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・の全域において、凹部４０ｂ，４０ｂにおける開口面のいずれかの方向に対する開口長（この例では、凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長、および半径方向に沿った開口長のいずれか）が上記の円形領域Ｑａの直径（この例では、開口長Ｌ２ａ）よりも短く（または、等しく）なっている。つまり、この磁気ディスク１０Ａでは、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、開口面が過剰に広い凹部４０ｂがデータ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・のいずれの領域にも存在しないようにデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａが形成されている。
【００５２】
次に、磁気ディスク１０Ａの製造方法について説明する。
【００５３】
上記の磁気ディスク１０Ａの製造に際しては、図１０に示す中間体２０と、図１１に示すスタンパー３０とを使用する。この場合、図１０に示すように、中間体２０は、軟磁性層１２、中間層１３、および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されると共に、磁性層１４の上に、マスク層１７と、厚み８０ｎｍ程度の樹脂層（レジスト層）１８とが形成されて構成されている。一方、スタンパー３０は、本発明に係る磁気記録媒体製造用のスタンパーの一例であって、図１１に示すように、磁気ディスク１０Ａにおける凹凸パターン４０（データトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａ）を形成するための凹凸パターン４１を形成可能な凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０Ａの製造が可能に構成されている。この場合、スタンパー３０の凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０Ａの凹凸パターン４０における凹部４０ｂ，４０ｂ・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン４０における凸部４０ａ，４０ａ・・に対応するように形成されている。したがって、スタンパー３０における凹凸パターン３９は、その突端面が過剰に広い凸部３９ａが存在しないように凸部３９ａ，３９ａ・・および凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されて構成されている。
【００５４】
このスタンパー３０の製造に際しては、図１２に示すように、まず、ガラス基材３１の上に、一例としてポジ型レジストをスピンコートした後にベーク処理することにより、厚みが１５０ｎｍ程度のレジスト層３２をガラス基材３１の上に形成する。次いで、図１３に示すように、スタンパー３０の凹部３９ｂ，３９ｂ・・に対応する部位（すなわち、磁気ディスク１０Ａの凸部４０ａ，４０ａ・・に対応する部位）に電子ビーム３２ａを照射してレジスト層３２に潜像３２ｂ（トラックパターンおよびサーボパターン）を形成する。続いて、レジスト層３２に対する現像処理を実行することにより、図１４に示すように、レジスト層３２からなる凹凸パターン３３（凸部３３ａおよび凹部３３ｂ）をガラス基材３１の上に形成する。次いで、図１５に示すように、凹凸パターン３３の凸部３３ａ，３３ａ・・および凹部３３ｂ，３３ｂ・・を覆うようにして厚みが３０ｎｍ程度のニッケル層３４をスパッタリング法によって形成する。続いて、このニッケル層３４を電極として使用してめっき処理を実行することにより、図１６に示すように、ニッケル層３４の上にニッケル層３５を形成する。この際には、レジスト層３２によって形成された凹凸パターン３３がニッケル層３４，３５の積層体に転写されて凹凸パターン３３における凸部３３ａ，３３ａ・・の部位に凹部３６ｂ，３６ｂ・・が形成されると共に、凹部３３ｂ，３３ｂ・・の部位に凸部３６ａ，３６ａ・・が形成されてニッケル層３４，３５の積層体に凹凸パターン３６が形成される。
【００５５】
続いて、ガラス基材３１、レジスト層３２およびニッケル層３４，３５の積層体をレジスト剥離液に浸すことにより、ニッケル層３４，３５の積層体とガラス基材３１との間のレジスト層３２を除去する。これにより、図１７に示すように、ニッケル層３４，３５の積層体がガラス基材３１から剥離されて、スタンパー３７が完成する。次いで、スタンパー３７をマスタースタンパーとして使用してスタンパー３０（マザースタンパー）を製作する。具体的には、まず、スタンパー３７に対する表面処理を実行することにより、スタンパー３７における凹凸パターン３６の形成面に酸化膜を形成する。次いで、図１８に示すように、酸化膜の形成が完了したスタンパー３７にメッキ処理によってニッケル層３８を形成する。この際には、スタンパー３７の凹凸パターン３６がニッケル層３８に転写されて凸部３６ａ，３６ａ・・の部位に凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されると共に、凹部３６ｂ，３６ｂ・・の部位に凸部３９ａ，３９ａ・・が形成されてニッケル層３８に凹凸パターン３９が形成される。この後、ニッケル層３８からスタンパー３７を剥離した後に、ニッケル層３８の裏面（凹凸パターン３９の形成面に対する裏面）を研磨処理して平坦化することにより、図１１に示すように、スタンパー３０が完成する。
【００５６】
一方、中間体２０の製造に際しては、まず、ガラス基材１１の上にＣｏＺｒＮｂ合金をスパッタリングすることによってガラス基材１１の上に軟磁性層１２を形成した後に、軟磁性層１２の上に中間層形成用材料をスパッタリングすることによって中間層１３を形成する。次いで、中間層１３の上にＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングすることによって厚みが１５ｎｍ程度の磁性層１４を形成する。続いて、磁性層１４の上にマスク層１７を形成し、さらに、マスク層１７の上に一例としてレジストをスピンコートして厚みが８０ｎｍ程度の樹脂層１８を形成する。これにより、図１０に示すように、中間体２０が完成する。
【００５７】
続いて、図１９に示すように、中間体２０の樹脂層１８にスタンパー３０の凹凸パターン３９をインプリント法によって転写する。具体的には、スタンパー３０における凹凸パターン３９の形成面を中間体２０の樹脂層１８に押し付けることにより、凹凸パターン３９の凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体２０の樹脂層１８に押し込む。この場合、このスタンパー３０を用いて製造する磁気ディスク１０Ａは、前述したように、サーボパターン領域Ａｓａの全域およびデータ記録領域Ａｔの全域において、凹部４０ｂ，４０ｂ・・におけるいずれかの方向に対する開口長（この例では、凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長、および半径方向に沿った開口長のいずれか）が円形領域Ｑａの直径（この例では、開口長Ｌ２ａ）よりも短く（または、等しく）なっている。したがって、この磁気ディスク１０Ａを製造するためのスタンパー３０には、磁気ディスク１０Ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａおよびデータ記録領域Ａｔに対応する全域において、上記の円形領域Ｑａの直径（この例では、開口長Ｌ２ａ）を超える直径の内接円が存在し得る突端面を有する凸部３９ａが存在しないように（突端面が過剰に広い凸部３９ａが存在しないように）凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されている。したがって、凸部３９ａ，３９ａ・・が樹脂層１８にスムーズに押し込まれる結果、スタンパー３０における凸部３９ａの先端部と中間体２０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じることなく、十分に奥深くまで凸部３９ａ，３９ａ・・が樹脂層１８に押し込まれる。
【００５８】
続いて、中間体２０からスタンパー３０を剥離し、さらに、底面に残存する樹脂（残渣）を酸素プラズマ処理によって除去することにより、図２０に示すように、中間体２０におけるマスク層１７の上に樹脂層１８からなる凹凸パターン４１が形成される。次いで、上記の凹凸パターン４１（樹脂層１８）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の底部においてマスク（凸部４１ａ，４１ａ・・）から露出しているマスク層１７をエッチングして、図２１に示すように、凸部４２ａおよび凹部４２ｂを有する凹凸パターン４２を中間体２０のマスク層１７に形成する。続いて、凹凸パターン４２（マスク層１７）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４２における凹部４２ｂ，４２ｂ・・の底部においてマスク（凸部４２ａ，４２ａ・・）から露出している磁性層１４をエッチングする。これにより、図２２に示すように、その突端面の広さがスタンパー３０における凹部３９ｂの開口面とほぼ等しい凸部４０ａと、その開口面の広さがスタンパー３０における凸部３９ａの突端面とほぼ等しい凹部４０ｂとを有する凹凸パターン４０（データトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓ）が中間体２０の磁性層１４に形成される。次いで、凸部４０ａ，４０ａ・・の上に残存しているマスク層１７に対して選択的にエッチング処理を行うことにより、残存しているマスク層１７を完全に除去して凸部４０ａ，４０ａ・・の突端面を露出させる。
【００５９】
次いで、図２３に示すように、非磁性材料１５としてのＳｉＯ２をスパッタリングする。この際には、非磁性材料１５によって凹部４０ｂ，４０ｂ・・が完全に埋め尽くされ、かつ、凸部４０ａ，４０ａ・・の上に例えば厚みが６０ｎｍ程度の非磁性材料１５の層が形成されるように、非磁性材料１５を十分にスパッタリングする。続いて、磁性層１４の上（凸部４０ａ，４０ａ・・の上および凹部４０ｂ，４０ｂの上）の非磁性材料１５の層に対してイオンビームエッチング処理を実行する。この際には、各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続する。これにより、中間体２０の表面が平坦化される。続いて、中間体２０の表面を覆うようにしてＣＶＤ法によってダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜を成膜することによって保護層１６形成した後に、保護層１６の表面にフォンブリン系の潤滑剤を平均厚さが例えば２ｎｍ程度となるように塗布する。これにより、図４に示すように、磁気ディスク１０Ａが完成する。
【００６０】
この磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１では、前述したように、磁気ディスク１０Ａに対する記録データの記録再生時において、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘ・・および非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・に形成された凹凸パターン４０に対応するデータが制御部６によってトラッキングサーボ用のサーボデータとは相違するデータと判別される。具体的には、制御部６は、検出部４から出力されるサーボデータを含むデータのうち、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａａおよびバーストパターン領域Ａｂａ（非サーボ信号領域Ａｘｂを除く）に形成された凹凸パターン４０に対応するデータに基づいてドライバ５を制御することにより、アクチュエータ３ｂを駆動させて磁気ヘッド３を所望のトラックにオントラックさせる。
【００６１】
また、このハードディスクドライブ１では、アドレスパターン領域Ａａａに形成された凹凸パターン４０に対応して検出部４から出力されるデータに基づいてアドレスデータを抽出する際に、制御部６は、検出部４からの出力データがマンチェスター符号やバイフェーズＭ符号等で符号化されているものとして出力データを復号化する。この結果、アドレスパターン領域Ａａａから読み取られたアドレスデータやバーストパターン領域Ａｂａから読み取られたバースト信号等に基づいてトラッキングサーボ制御が実行されて、磁気ヘッド３を所望のデータ記録トラック（凸部４０ａ，４０ａ・・）にオントラックさせることが可能となる。これにより、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことが可能となる。
【００６２】
このように、この磁気ディスク１０Ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの各同一半径領域毎の最大の開口長Ｌ２がその同一半径領域内の各凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った最小の開口長Ｌ１の２倍の長さ（本発明における第１の長さ）となるようにアドレスパターン領域Ａａａに凸部４０ａを形成したことにより、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の半径方向に沿った開口長が長くなる傾向があるアドレスパターン領域Ａａａ内に回転方向に沿った開口長が過剰に長い凹部４０ｂ（開口長が全方向に長い凹部４０ｂ）が存在しないため、アドレスパターン領域Ａａａ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時（この例では、中間体２０における樹脂層１８にスタンパー３０の凹凸パターン３９を転写する処理時）に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時にマスク層１７の上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ａ、およびその磁気ディスク１０Ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００６３】
また、この磁気ディスク１０Ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各開口長Ｌ２（第１の長さ）のうちの最大の開口長Ｌ２ａと等しい直径の円形領域Ｑａをサーボパターン領域Ａｓａのいずれかの部位に配置したときに、凸部４０ａの少なくとも一部が円形領域Ｑａ内に含まれるようにサーボパターン領域Ａｓａに凸部４０ａを形成したことにより、アドレスパターン領域Ａａａのみならず、サーボパターン領域Ａｓａの全域において開口長が全方向に過剰に長い（開口面が過剰に広い）凹部４０ｂが存在しないため、サーボパターン領域Ａｓａ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時にマスク層１７の上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、トラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ａ、およびその磁気ディスク１０Ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００６４】
さらに、この磁気ディスク１０Ａおよびハードディスクドライブ１によれば、隣り合うデータ記録トラック（凸部４０ａ，４０ａ・・）の間の凹部４０ｂ（トラック間凹部）における基材の半径方向に沿った開口長Ｌ４が各開口長Ｌ２（第１の長さ）のうちの最大の開口長Ｌ２ａ以下となるように各データ記録トラックを形成したことにより、凹部４０ｂ（トラック間凹部）の回転方向に沿った開口長が長くなるデータ記録領域Ａｔ内に半径方向に沿った開口長が過剰に長い凹部４０ｂ（開口長が全方向に長い凹部４０ｂ）が存在しないため、データ記録領域Ａｔ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、安定した記録再生が可能な磁気ディスク１０Ａ、およびその磁気ディスク１０Ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００６５】
また、このハードディスクドライブ１によれば、磁気ディスク１０Ａと、磁気ディスク１０Ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａから読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部６とを備えたことにより、非サーボ信号領域Ａｘに形成された凹凸パターン４０（ダミーパターン）の存在に影響されることなく、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことができる。
【００６６】
また、この磁気ディスク１０Ａを製造するためのスタンパー３０によれば、磁気ディスク１０Ａにおける凹凸パターン４０の凹部４０ｂ，４０ｂ・・に対応して形成された凸部３９ａ，３９ａ・・と、磁気ディスク１０Ａにおける凹凸パターン４０の凸部４０ａ，４０ａ・・に対応して形成された凹部３９ｂ，３９ｂ・・とを有する凹凸パターン３９を形成したことにより、中間体２０に対するインプリント処理時に、スタンパー３０に突端面が過剰に広い凸部３９ａ（例えば、回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さの双方が過剰に長い凸部３９ａ）が存在しないため、中間体２０に対して凹凸パターン３９（凸部３９ａ，３９ａ・・）をスムーズに押し込むことができる。したがって、インプリント処理時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込み量の不足に起因する不都合（残渣の取り除き処理に起因して各凹部４１ｂが過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、アドレスデータ等の確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ａを製造することができる。
【００６７】
次いで、本発明に係る磁気記録媒体の他の一例である磁気ディスク１０Ｂをハードディスクドライブ１に搭載した例について、図面を参照して説明する。なお、前述した磁気ディスク１０Ａ、および磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１と共通の構成要素については、共通の符号を付して重複した説明を省略する。
【００６８】
磁気ディスク１０Ｂは、図２４に示すように、磁気ディスク１０Ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに代えて、データ記録領域Ａｔ，Ａｔの間にサーボパターン領域Ａｓｂが規定されて構成されている。このサーボパターン領域Ａｓｂは、磁気ディスク１０Ａのサーボパターン領域Ａｓａにおけるアドレスパターン領域Ａａａに代えてアドレスパターン領域Ａａｂを備えている。この場合、この磁気ディスク１０Ｂでは、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａｂおよびバーストパターン領域Ａｂａに形成されているサーボパターン４０ｓｂが本発明における「トラッキングサーボ制御用の制御信号」に対応するパターンに相当する。また、この磁気ディスク１０Ｂでは、データ記録領域Ａｔに形成されたデータトラックパターン４０ｔにおける凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）の間の凹部４０ｂ（トラック間凹部）における半径方向に沿った開口長Ｌ４が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長（後述する開口長Ｌ１ａ：図２５参照）以下となるように規定されている。さらに、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂにおける突端面の回転方向に沿った開口長Ｌ６は、一例として、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａｂに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長（後述する開口長Ｌ１：図２５参照）と等しくなるように規定されている。
【００６９】
また、図２５に示すように、アドレスパターン領域Ａａｂに形成されたサーボパターン４０ｓｂ（アドレスパターン）は、凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さと、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長とがアドレスデータに対応して規定されている。この場合、この磁気ディスク１０Ｂでは、一例として、アドレスデータがＲＺ（Return-to-Zero）符号のハイレベルとローレベルとを反転させるようにして（通常のＲＺ符号とは異なり、「０」のときには、ビット期間全体がハイレベルで、「１」のときは、ビット期間の前半分でローレベルとなり後半分でハイレベルに変化するように）符号化されてアドレスパターン領域Ａａｂに記録されている。具体的には、この符号におけるハイレベルに対応して凸部４０ａが形成されると共に、ローレベルに対応して凹部４０ｂが形成されることにより、アドレスデータのデータ内容に対応する凹凸パターンがアドレスパターン領域Ａａｂ内に形成されている。したがって、この磁気ディスク１０Ｂでは、アドレスパターン領域Ａａｂ内の各同一半径位置において、アドレスパターン（サーボパターン４０ｓａ）を構成する各凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長（ハードディスクドライブ１においてローレベルとして認識される信号長）が互いに等しい開口長Ｌ１（本発明における「第２の長さ」の一例）の１種類のみとなっている。この場合、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述した磁気ディスク１０Ａと同様にして、回転方向に沿った基準の長さや基準の開口長が内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど長くなっている。したがって、この磁気ディスク１０Ｂでは、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａｂ内の凹部４０ｂ，４０ｂ・・における各開口長Ｌ１が、本発明における「各第２の長さのうちの最大の長さ」に相当する。以下、各開口長Ｌ１のうちの最大の長さを他の開口長Ｌ１と区別するときには、「開口長Ｌ１ａ」ともいう。
【００７０】
また、この磁気ディスク１０Ｂでは、図２４に示すように、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４において回転方向に沿って並ぶ凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長Ｌ６が、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａｂに形成された凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長Ｌ１、および同一半径位置におけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長Ｌ６と等しくなるように規定されている。さらに、バーストパターン領域Ａｂａに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・の間の凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５は、一例として、同一半径位置におけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５と等しくなるように規定されている。また、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間、および第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間には、前述した磁気ディスク１０Ａと同様にして、非サーボ信号領域Ａｘｂがそれぞれ設けられて製造時にスタンパー３０の凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むためのダミーパターンが形成されている。さらに、図２４に示すように、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａｂとの間、アドレスパターン領域Ａａｂとバーストパターン領域Ａｂａとの間、およびバーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間には、前述した磁気ディスク１０Ａと同様にして、非サーボ信号領域Ａｘがそれぞれ規定されている。
【００７１】
この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、データ記録領域Ａｔに形成した凹部４０ｂの半径方向に沿った開口長Ｌ４が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長Ｌ１のうちの最大の開口長（この例では、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａｂ内の凹部４０ｂの回転方向に沿った各開口長Ｌ１ａ）以下となるように規定されている。したがって、その直径がアドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の開口長Ｌ１ａと等しい円形領域Ｑｂ（図２５参照）をデータ記録領域Ａｔ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。また、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成した凹部４０ｂの回転方向に沿った開口長Ｌ６が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された同一半径位置の凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長Ｌ１と等しくなるように規定されている。したがって、その直径がアドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の開口長Ｌ１ａと等しい円形領域Ｑｂ（図２５参照）をプリアンブルパターン領域Ａｐ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、プリアンブルパターン領域Ａｐ内に配置する円形領域Ｑｂが凹部４０ｂの開口面における内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。この場合、本明細書では、前述したように、凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれている状態を「凸部４０ａの一部が含まれている状態」とする。
【００７２】
さらに、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、アドレスデータがＲＺ符号のハイレベルとローレベルとを反転させるようにして符号化されてアドレスパターンがアドレスパターン領域Ａａｂに形成されているため、アドレスデータにおいて「１」が多数連続する場合であっても凹部４０ｂが回転方向に連続して形成されることなく、開口長Ｌ１の凹部４０ｂと凸部４０ａとによって凹凸パターン４０（アドレスパターン）が構成される。この結果、アドレスパターン領域Ａａｂに形成した凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った開口長が、各同一半径位置内毎に互いに等しい開口長Ｌ１となる。したがって、図２５に示すように、アドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の開口長Ｌ１（この例では、外周側領域Ａｏにおける凹部４０ｂの開口長Ｌ１ａ）と等しい円形領域Ｑｂをアドレスパターン領域Ａａｂ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、アドレスパターン領域Ａａｂ内に配置する円形領域Ｑｂが凹部４０ｂの開口面における内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。また、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成した凹部４０ｂの回転方向に沿った開口長Ｌ６が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された同一半径位置の凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長Ｌ１と等しくなるように規定されている。したがって、その直径がアドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の開口長Ｌ１ａと等しい円形領域Ｑｂ（図２５参照）をバーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、バーストパターン領域Ａｂａ内に配置する円形領域Ｑｂが凹部４０ｂの開口面における内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。
【００７３】
さらに、この磁気ディスク１０Ｂでは、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）に形成したサーボパターン４０ｓｂと同種の凹凸パターン４０が非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂに形成されている。したがって、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）内のいずれの位置に円形領域Ｑｂを配置したとしても円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれるこの磁気ディスク１０Ｂでは、これらの領域と同種のサーボパターン４０ｓｂが形成されている非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂのいずれかの部位に円形領域Ｑｂを配置したときに、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれることとなる。
【００７４】
このように、この磁気ディスク１０Ｂでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・の全域において、任意に配置した円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａの少なくとも一部が含まれるように凸部４０ａが形成されてデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓｂが構成されている。言い換えれば、この磁気ディスク１０Ｂでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・の全域において、凹部４０ｂ，４０ｂにおける開口面のいずれかの方向に対する開口長（この例では、凹部４０ｂにおける回転方向に沿った開口長、および半径方向に沿った開口長のいずれか）が上記の円形領域Ｑｂの直径（この例では、開口長Ｌ１ａ）よりも短く（または、等しく）なっている。つまり、この磁気ディスク１０Ｂでは、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、開口面が過剰に広い凹部４０ｂがデータ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・のいずれの領域にも存在しないようにデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓｂが形成されている。
【００７５】
この磁気ディスク１０Ｂの製造に際しては、前述した磁気ディスク１０Ａの製造時と同様にして、図１０に示す中間体２０と図１１に示すスタンパー３０とを使用する。この場合、この磁気ディスク１０Ｂを製造するためのスタンパー３０は、本発明に係る磁気記録媒体製造用のスタンパーの他の一例であって、磁気ディスク１０Ｂにおける凹凸パターン４０（データトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓｂ）を形成するための凹凸パターン４１を形成可能な凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０Ｂの製造が可能に構成されている。この場合、スタンパー３０の凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０Ｂの凹凸パターン４０における凹部４０ｂ，４０ｂ・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン４０における凸部４０ａ，４０ａ・・に対応して形成されている。したがって、スタンパー３０における凹凸パターン３９は、その突端面が過剰に広い凸部３９ａが存在しないように凸部３９ａ，３９ａ・・および凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されている。このため、このスタンパー３０を用いた磁気ディスク１０Ｂの製造時には、前述した磁気ディスク１０Ａの製造時と同様にして、中間体２０に対するインプリント処理時に、スタンパー３０の凸部３９ａ，３９ａ・・が中間体２０の樹脂層１８にスムーズに押し込まれる結果、スタンパー３０における凸部３９ａの先端部と中間体２０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じることなく、十分に奥深くまで凸部３９ａ，３９ａ・・が樹脂層１８に押し込まれる。したがって、残渣の取り除き時に凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がることなく、所望の広さの凹部４１ｂ，４１ｂ・・を樹脂層１８に形成することが可能となっている。なお、この磁気ディスク１０Ｂの製造方法については、前述した磁気ディスク１０Ａの製造方法と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００７６】
この磁気ディスク１０Ｂを搭載したハードディスクドライブ１では、前述した磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１と同様にして、磁気ディスク１０Ｂに対する記録データの記録再生時において、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘ・・および非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・に形成された凹凸パターン４０に対応するデータが制御部６によってトラッキングサーボ用のサーボデータとは相違するデータと判別される。具体的には、制御部６は、検出部４から出力されるサーボデータを含むデータのうち、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａｂおよびバーストパターン領域Ａｂａ（非サーボ信号領域Ａｘｂを除く）に形成された凹凸パターン４０に対応するデータに基づいてドライバ５を制御することにより、アクチュエータ３ｂを駆動させて磁気ヘッド３を所望のトラックにオントラックさせる。
【００７７】
また、このハードディスクドライブ１では、アドレスパターン領域Ａａｂに形成された凹凸パターン４０に対応して検出部４から出力されるデータに基づいてアドレスデータを抽出する際に、制御部６は、検出部４からの出力データがＲＺ符号のハイレベルとローレベルとが反転するようにして符号化されているものとして出力データを復号化する。この結果、アドレスパターン領域Ａａｂから読み取られたアドレスデータやバーストパターン領域Ａｂａから読み取られたバースト信号等に基づいてトラッキングサーボ制御が実行されて、磁気ヘッド３を所望のデータ記録トラック（凸部４０ａ，４０ａ・・）にオントラックさせることが可能となる。これにより、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことが可能となる。
【００７８】
このように、この磁気ディスク１０Ｂおよびハードディスクドライブ１によれば、各凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各開口長Ｌ１が各同一半径領域内において互いに等しい開口長（第２の長さ）となるようにアドレスパターン領域Ａａｂに凸部４０ａを形成したことにより、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の半径方向に沿った開口長が長くなる傾向があるアドレスパターン領域Ａａｂ内に回転方向に沿った開口長が過剰に長い凹部４０ｂ（開口長が全方向に長い凹部４０ｂ）が存在しないため、アドレスパターン領域Ａａｂ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時（この例では、中間体２０における樹脂層１８にスタンパー３０の凹凸パターン３９を転写する処理時）に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時にマスク層１７の上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ｂ、およびその磁気ディスク１０Ｂを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００７９】
また、この磁気ディスク１０Ｂおよびハードディスクドライブ１によれば、各開口長Ｌ１，Ｌ１・・（第２の長さ）のうちの最大の開口長Ｌ１ａと等しい直径の円形領域Ｑｂをサーボパターン領域Ａｓｂのいずれかの部位に配置したときに、凸部４０ａの少なくとも一部が円形領域Ｑｂ内に含まれるようにサーボパターン領域Ａｓｂに凸部４０ａを形成したことにより、アドレスパターン領域Ａａｂのみならず、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において開口長が全方向に過剰に長い（開口面が過剰に広い）凹部４０ｂが存在しないため、サーボパターン領域Ａｓｂ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時にマスク層１７の上に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、トラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ｂ、およびその磁気ディスク１０Ｂを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００８０】
さらに、この磁気ディスク１０Ｂおよびハードディスクドライブ１によれば、隣り合うデータ記録トラック（凸部４０ａ，４０ａ・・）の間の凹部４０ｂ（トラック間凹部）における基材の半径方向に沿った開口長Ｌ４が各開口長Ｌ１（第２の長さ）のうちの最大の開口長Ｌ１ａ以下となるように各データ記録トラック（凸部４０ａ）を形成したことにより、凹部４０ｂ（トラック間凹部）の回転方向に沿った開口長が長くなるデータ記録領域Ａｔ内に半径方向に沿った開口長が過剰に長い凹部４０ｂ（開口長が全方向に長い凹部４０ｂ）が存在しないため、データ記録領域Ａｔ内の凹凸パターン４０を形成するためのインプリント処理時に、その突端面が過剰に広い凸部を有するスタンパーを使用することなく、スタンパー３０における凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる。これにより、インプリント処理時に厚手の残渣が生じる事態が回避されるため、残渣の取り除き処理に起因して凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。したがって、凹部４１ｂ，４１ｂ・・の部位に最終的に形成される凹部４０ｂ，４０ｂ・・が過剰に広くなる事態が回避される。このため、安定した記録再生が可能な磁気ディスク１０Ｂ、およびその磁気ディスク１０Ｂを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。
【００８１】
また、このハードディスクドライブ１によれば、磁気ディスク１０Ｂと、磁気ディスク１０Ｂにおけるサーボパターン領域Ａｓｂから読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部６とを備えたことにより、非サーボ信号領域Ａｘに形成された凹凸パターン４０（ダミーパターン）の存在に影響されることなく、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことができる。
【００８２】
また、この磁気ディスク１０Ｂを製造するためのスタンパー３０によれば、磁気ディスク１０Ｂにおける凹凸パターン４０の凹部４０ｂ，４０ｂ・・に対応して形成された凸部３９ａ，３９ａ・・と、磁気ディスク１０Ｂにおける凹凸パターン４０の凸部４０ａ，４０ａ・・に対応して形成された凹部３９ｂ，３９ｂ・・とを有する凹凸パターン３９を形成したことにより、中間体２０に対するインプリント処理時に、スタンパー３０に突端面が過剰に広い凸部３９ａ（例えば、回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さの双方が過剰に長い凸部３９ａ）が存在しないため、中間体２０に対して凹凸パターン３９（凸部３９ａ，３９ａ・・）をスムーズに押し込むことができる。したがって、インプリント処理時に凸部３９ａ，３９ａ・・の押し込み量の不足に起因する不都合（残渣の取り除き処理に起因して各凹部４１ｂが過剰に拡がる事態）が生じる事態を回避することができる。これにより、アドレスデータ等の確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ｂを製造することができる。
【００８３】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂでは、バーストパターン領域Ａｂａ内に複数の凹部４０ｂ，４０ｂ・・を回転方向に沿って並べて形成することでバーストパターンが構成されているが、本発明はこれに限定されず、図２６に示す磁気ディスク１０Ｃのように、磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂにおける凹部４０ｂ，４０ｂ・・に代えて、複数の凸部４０ａ，４０ａ・・をバーストパターン領域Ａｂｃ内に回転方向に沿って並べて形成することでバーストパターンを構成することもできる。なお、同図では、バーストパターン領域Ａｂｃにおける第１バースト領域Ａｂ１および第２バースト領域Ａｂ２のみを図示している。この場合、この磁気ディスク１０Ｃでは、バーストパターン領域Ａｂｃ内の４つの凸部４０ａ，４０ａ・・に接する円形領域Ｑｃの直径Ｌ７が、アドレスパターン領域内に形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長以下となるようにアドレスパターン等のサーボパターン４０ｓｃが形成されている。これにより、アドレスパターン領域内に形成された凹部４０ｂ，４０ｂ・・における回転方向に沿った各開口長のうちの最大の開口長と等しい直径の円形領域をサーボパターン領域Ａｓｃのいずれかの部位に配置したときに、その円形領域内に凸部４０ａの少なくとも一部（凸部４０ａおよび凹部４０ｂの境界部分を含む）が含まれることとなる。この結果、この磁気ディスク１０Ｃにおいても、前述した磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂと同様にして、中間体２０に対するインプリント処理時に、スタンパー３０の凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体２０の樹脂層１８にスムーズに押し込むことができる結果、スタンパー３０における凸部３９ａの先端部と中間体２０のマスク層１７との間に厚手の残渣が生じさせることなく、十分に奥深くまで凸部３９ａ，３９ａ・・を樹脂層１８に押し込むことができる。したがって、残渣の取り除き時に凹部４１ｂ，４１ｂ・・が過剰に拡がることなく、所望の広さの凹部４１ｂ，４１ｂ・・を樹脂層１８に形成することが可能となっている。
【００８４】
また、上記の磁気ディスク１０Ａ、１０Ｂ等では、凹凸パターン４０における凸部４０ａの突端部から基端部までの全体が磁性層１４（磁性材料）で形成されているが、本発明における凹凸パターンを構成する凸部はこれに限定されない。具体的には、例えば、図２７に示す磁気ディスク１０Ｄのように、ガラス基材１１に形成した凹凸パターン（凹凸パターン４０と凹凸の位置関係が同様の凹凸パターン）を覆うようにして薄厚の磁性層１４を形成することにより、その表面が磁性材料で形成された複数の凸部４０ａ，４０ａ・・と底面が磁性材料で形成された複数の凹部４０ｂ，４０ｂ・・とによって凹凸パターン４０を構成することができる。さらに、図２８に示す磁気ディスク１０Ｅのように、凸部４０ａだけではなく凹部４０ｂの底部を含めて磁性層１４で形成して凹凸パターン４０を構成することもできる。また、例えば凹凸パターン４０における凸部４０ａの突端部のみが磁性層１４で形成されて基端部側が非磁性材料または軟磁性材料で形成された凸部４０ａ，４０ａ・・を備えて凹凸パターン４０を構成することもできる（図示せず）。
【００８５】
さらに、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂ等では、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘ・・および非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・にダミーパターン（凹凸パターン４０）が形成されているが、本発明はこれに限定されない。例えば、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａａ（Ａａｂ）との間、アドレスパターン領域Ａａａ（Ａａｂ）とバーストパターン領域Ａｂａとの間、およびバーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間に、その全域が凸部で構成された非サーボ信号領域を規定すると共に、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間、および第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間にも、その全域が凸部で構成された非サーボ信号領域を規定することもできる。このように構成した磁気ディスクによれば、製造時におけるインプリント処理に際して厚手の残渣が生じるおそれのある凹部が非サーボ信号領域内に存在しないため、残渣の取り除き処理に起因する凹部の過剰な拡がりを回避することができる。これにより、サーボデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスクを提供することができる。
【００８６】
また、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂ等では、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ内の凹凸パターン４０と同種のパターンを非サーボ信号領域Ａｘ、Ａｘｂ内にダミーパターンとして形成したが、本発明はこれに限定されない。例えば、各種サーボ信号用の凹凸パターン４０とは形状が相違する任意の形状の凹凸パターン４０をダミーパターンとして形成する構成を採用することができる。さらに、本発明に係る磁気記録媒体には、非サーボ信号領域Ａｘが存在せずに、プリアンブルパターン領域、アドレスパターン領域およびバーストパターン領域が回転方向において互いに接するように連続して規定された磁気記録媒体や、非サーボ信号領域Ａｘｂが存在せずに、各バースト領域が回転方向において互いに接するように連続して規定された磁気記録媒体が含まれる。また、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂ等では、ガラス基材１１の片面にのみサーボパターン４０ｓａ（４０ｓｂ）およびデータトラックパターン４０ｔが形成されているが、本発明に係る磁気記録媒体はこれに限定されず、ガラス基材１１の表裏両面にサーボパターン４０ｓａ（４０ｓｂ）およびデータトラックパターン４０ｔを形成することもできる。さらに、本発明に係る磁気記録媒体は、磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂのような垂直記録方式の磁気記録媒体に限定されず、面内記録方式の磁気記録媒体にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】ハードディスクドライブ１の構成図である。
【図２】磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図３】外周側領域Ａｏにおけるデータ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａに形成された各種パターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図４】磁気ディスク１０Ａの層構造を示す断面図である。
【図５】データ記録領域Ａｔに形成されたデータトラックパターン４０ｔの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図６】外周側領域Ａｏにおけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたプリアンブルパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図７】外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａａに形成されたアドレスパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図８】外周側領域Ａｏにおけるバーストパターン領域Ａｂａの第１バースト領域Ａｂ１および第２バースト領域Ａｂ２に形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図９】外周側領域Ａｏにおけるバーストパターン領域Ａｂａの第３バースト領域Ａｂ３および第４バースト領域Ａｂ４に形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。
【図１０】中間体２０の層構造を示す断面図である。
【図１１】スタンパー３０の断面図である。
【図１２】ガラス基材３１の上にレジスト層３２を形成した状態の断面図である。
【図１３】レジスト層３２に電子ビーム３２ａを照射して潜像３２ｂ，３２ｂ・・を形成した状態の断面図である。
【図１４】潜像３２ｂ，３２ｂ・・が形成されたレジスト層３２を現像処理して凹凸パターン３３を形成した状態の断面図である。
【図１５】凹凸パターン３３を覆うようにしてニッケル層３４を形成した状態の断面図である。
【図１６】メッキ処理によってニッケル層３５を形成した状態の断面図である。
【図１７】ニッケル層３４，３５の積層体をガラス基材３１から剥離して形成したスタンパー３７の断面図である。
【図１８】スタンパー３７における凹凸パターン３６の形成面にニッケル層３８を形成した状態（凹凸パターン３６をニッケル層３８に転写した状態）の断面図である。
【図１９】中間体２０の樹脂層１８にスタンパー３０の凹凸パターン３９を押し付けた状態の断面図である。
【図２０】図１９に示す状態の樹脂層１８からスタンパー３０を剥離してマスク層１７の上に凹凸パターン４１（樹脂マスク）を形成した状態の断面図である。
【図２１】凹凸パターン４１をマスクとしてマスク層１７をエッチング処理して磁性層１４の上に凹凸パターン４２（マスク）を形成した状態の断面図である。
【図２２】凹凸パターン４２をマスクとして磁性層１４をエッチング処理して中間層１３の上に凹凸パターン４０を形成した状態の断面図である。
【図２３】凹凸パターン４０を覆うようにして非磁性材料１５の層を形成した状態の中間体２０の断面図である。
【図２４】外周側領域Ａｏにおけるデータ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓｂに形成された各種パターンの他の一例を示す磁気ディスク１０Ｂの平面図である。
【図２５】外周側領域Ａｏにおけるサーボパターン領域Ａｓｂのアドレスパターン領域Ａａｂに形成されたアドレスパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ｂの平面図である。
【図２６】バーストパターン領域Ａｂｃに形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ｃの平面図である。
【図２７】磁気ディスク１０Ｄの層構造を示す断面図である。
【図２８】磁気ディスク１０Ｅの層構造を示す断面図である。
【図２９】従来の磁気ディスク１０ｚの平面図である。
【図３０】データ記録領域Ａｔｚおよびサーボパターン領域Ａｓｚに形成された各種パターンの一例を示す磁気ディスク１０ｚの平面図である。
【図３１】アドレスパターン領域Ａａｚに形成されたアドレスパターンの一例を示す磁気ディスク１０ｚの平面図である。
【図３２】磁気ディスク１０ｚの製造工程において、スタンパーの凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・（突端面が狭い凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・）が押し込まれた状態の樹脂層の断面図である。
【図３３】磁気ディスク１０ｚの製造工程において、スタンパーの凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・（突端面が広い凸部３９ａｚ，３９ａｚ・・）が押し込まれた状態の樹脂層の断面図である。
【符号の説明】
【００８８】
１  ハードディスクドライブ
６  制御部
１０Ａ〜１０Ｅ  磁気ディスク
１１  ガラス基材
１４  磁性層
１５  非磁性材料
２０  中間体
３０  スタンパー
３９，４０，４１，４２  凹凸パターン
３９ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａ  凸部
３９ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂ  凹部
４０ｓａ〜４０ｓｃ  サーボパターン
４０ｔ  データトラックパターン
Ａａａ，Ａａｂ  アドレスパターン領域
Ａｉ  内周側領域
Ａｏ  外周側領域
Ａｓａ〜Ａｓｃ  サーボパターン領域
Ａｔ  データ記録領域
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ４，Ｌ６  開口長
Ｌ３，Ｌ５  長さ
Ｌ７  直径
Ｏ  中心
Ｑ  円形領域