(57)【要約】【課題】クリーンルーム内の簡便な殺菌作業を行うことを目的としている。    【解決手段】  本発明のクリーンルームの殺菌装置は、クリーンルーム１２のファンの開口部２２を覆う密閉カバー２４を開閉可能に形成したファンフィルタユニット１４と、前記クリーンルーム１２の通気孔１８を閉塞する開閉シャッタ５０と、前記クリーンルーム１２に殺菌ガス１５を給気する殺菌ガス給気部１６と、前記ファンフィルタユニット１４の開口部２２を閉塞するとともに前記通気孔１８を前記開閉シャッタ５０で閉塞した後、前記殺菌ガス給気部１６から前記殺菌ガス１５を給気して設定濃度に制御する制御部２０とを備えている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームに気体を流通させるファンの開口部を覆う密閉カバーと、
前記密閉カバーを開閉作動させる開閉手段と、
を備えたことを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項２】
請求項１記載のファンフィルタユニットと、
クリーンルームの気体が流通する開口を閉塞する開閉シャッタを備えた通気孔と、
前記クリーンルームに予め組み込んで、殺菌ガスを給気する殺菌ガス給気部と、
前記ファンフィルタユニットの開口部を閉塞するとともに前記通気孔を閉塞した後、前記殺菌ガス給気部から前記殺菌ガスを給気してガス濃度検出手段の検出値に基づいて設定濃度に制御する制御部と、
を備えたことを特徴とするクリーンルームの殺菌装置。
【請求項３】
クリーンルームの流通経路を閉塞し室内に殺菌ガスを給気して前記室内を殺菌した後、  前記室内に充満した前記殺菌ガスを外部へ排気するとともに前記殺菌ガスの室外への排気量よりも多い空気を前記室内に給気して、
前記室内を陽圧に保ちながら室外へ前記殺菌ガスを排気することを特徴とするクリーンルームの殺菌方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特にバイオクリーンルーム内の環境を微生物的に清浄に保つファンフィルタユニット及びクリーンルームの殺菌装置並びにその方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
空気の清浄化に加えて、細菌などの微生物的な清浄度が要求される病院の手術室や食品製造工場、微生物を扱う研究施設などでは、室内環境の浮遊微生物を制御できるバイオクリーンルームが施設内に設置される。このバイオクリーンルームは性能レベルを示す清浄度に関して種々の規定がある。そして要求される微生物的清浄度クラスに応じて、給気用フィルタの種類や換気回数、給気口、排気口の位置、風向などを変えることでバイオクリーンルーム内の浮遊微生物数を所定数以下に制御している。
【０００３】
このようなバイオクリーンルームは、一般に施工後の稼動前に滅菌作業が行われ、バイオクリーンルームの部材に付着していた微生物、またはバイオクリーンルーム内に搬入した装置に付着していた微生物、施工中にクリーンルーム内に進入した微生物を死滅させる。バイオクリーンルームは、選定する給気用フィルタの種類にもよるが内部に微生物の発生源がない限りは微生物が増加することはない。
【０００４】
しかし、作業の関係で作業員がバイオクリーンルーム内に入ると人に常に付着している常在菌や呼気に混じる菌、または衣服・靴に付着して持ち込むカビなどが人から排出され、バイオクリーンルーム内は微生物数が増加する。また、食品工場のバイオクリーンルームのように食材がバイオクリーンルーム内に持ち込まれ、食材加工中に断片が周囲に飛び散り、バイオクリーンルーム内に持ち込まれた微生物の増殖源となる場合もある。
【０００５】
そこで、バイオクリーンルームの清浄度クラスにもよるが、クリーンルームの稼動前に、施工後に行われるような滅菌作業を定期的に行い、バイオクリーンルーム内に進入したり、増殖した微生物を死滅させる必要がある。
バイオクリーンルームの滅菌作業には、種々の殺菌ガスを用いている。例えば、特許文献１に開示されている殺菌ガスにはホルムアルデヒドガスを用いている。
【０００６】
またバイオクリーンルームの殺菌は、殺菌ガスを所定濃度及び所定時間室内に滞留させて室内の微生物を死滅させている。このためバイオクリーンルーム内の殺菌を効果的に行うためには、室内に給気した殺菌ガスが外部に漏れないように作業前に予め室内の流通経路の開口を塞ぐ目張り作業が必要となる。このようなクリーンルーム開口部の目張り作業の軽減策として、例えば特許文献２にクリーンルーム開口部の遮断装置が開示されている。
【特許文献１】特許２９１６１３１号公報
【特許文献２】特許３４２７７２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、これらの殺菌作業は、バイオクリーンルームの開口部を目張り養生する作業や、殺菌ガス発生装置を室内の中心部に持ち込み、殺菌終了後に撤去する作業を伴う人手による煩雑な作業である。このようなクリーンルームの殺菌の準備作業は、バイオクリーンルームの稼動停止時間が長くなるため、生産コストなどの低下を招くことになる。
【０００８】
また殺菌終了後には目張りや殺菌ガス発生装置を撤去する作業員が室内に出入りするため、二次汚染の可能性があり室内の清浄度を効果的に維持することは困難である。
そこで本発明は従来技術の問題点を改善するため、クリーンルーム内の簡便な殺菌作業を行うことができるファンフィルタユニット及びクリーンルームの殺菌装置並びにその方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るファンフィルタユニットは、クリーンルームに気体を流通させるファンの開口部を覆う密閉カバーと、前記密閉カバーを開閉作動させる開閉手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１０】
本発明に係るクリーンルームの殺菌装置は、前記ファンフィルタユニットと、クリーンルームの気体が流通する開口を閉塞する開閉シャッタを備えた通気孔と、前記クリーンルームに予め組み込んで、殺菌ガスを給気する殺菌ガス給気部と、前記ファンフィルタユニットの開口部を閉塞するとともに前記通気孔を閉塞した後、前記殺菌ガス給気部から前記殺菌ガスを給気してガス濃度検出手段の検出値に基づいて設定濃度に制御する制御部と、を備えたことを特徴としている。
【００１１】
本発明に係るクリーンルームの殺菌方法は、クリーンルームの流通経路を閉塞し室内に殺菌ガスを給気して前記室内を殺菌した後、前記室内に充満した前記殺菌ガスを外部へ排気するとともに前記殺菌ガスの室外への排気量よりも多い空気を前記室内に給気して、前記室内を陽圧に保ちながら室外へ前記殺菌ガスを排気することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
上記のごとくなっている本発明は、ファンフィルタユニットの開口を覆う密閉カバーを形成したことにより、ファンフィルタを容易に閉塞することができ、煩雑な人手による目張り作業が必要ない。
またクリーンルームの流通経路の開口を自動で閉止して、殺菌ガス発生装置によりクリーンルーム内を自動で殺菌することができる。このため人手による開口部の目張りあるいは殺菌装置の搬入、撤去等の準備作業の必要がなくなり人件費等の経費の削減を図ることができる。また作業員がクリーンルームに出入りすることによる２次汚染を防止することができる。さらに滅菌作業の準備に要するクリーンルームの稼動停止時間を短縮することができ、生産効率などを上げることができる。
【００１３】
またフィルタファン及び通気孔は、密閉カバー及び開閉シャッタによってファン稼動時以外は閉じておくことにより外部から室内への流通を防止して、室内の汚染を防止することができる。
殺菌ガスの排気の際には、外部に排出する殺菌ガスの排気量よりも多い空気の給気を行い、室内を陽圧にしている。このためフィルタを備えたファンフィルタユニット以外からの外部空気の流入を防止して、室内の２次汚染を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明に係るファンフィルタユニット及びクリーンルームの殺菌装置並びにその方法の実施形態を添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
図１は第１実施形態に係るクリーンルームの殺菌装置の説明図である。図示のようにクリーンルームの殺菌装置１０（以下殺菌装置という）は、クリーンルーム１２の天井に設置したファンフィルタユニット１４と、室内の側面に予め設置しておき殺菌ガス１５を給気する殺菌ガス給気部１６と、室内の気体が流通する通気孔１８と、殺菌ガス１５の濃度を制御する制御部２０とを基本的な構成としている。実施形態に係るクリーンルーム１２は、ファンフィルタユニット１４から室内に給気された空気が壁面の通気孔１８を通って外部に排出又は循環する流通経路を形成している。
なお本発明のクリーンルーム１２は主に細菌や微生物も清浄化の対象とするバイオクリーンルームのほか、室温・湿度の制御手段と空気の清浄手段を備えたその他の産業用クリーンルームにも適用することができる。
【００１５】
図２は実施形態に係るファンフィルタユニット１４の説明図である。図示のようにファンフィルタユニット１４は、中央部の内部にファンを備えた開口部２２が突出して形成してある。この開口部２２の側部には開口部２２を覆う密閉カバー２４を設置してある。実施形態に係る密閉カバー２４は、開口部２２の形状に合わせた半球形状であり中心で２分割してある。分割した一対の密閉カバー２４ａ、２４ｂを開口部２２の側部に配置している。密閉カバー２４ａ、２４ｂは一対の開閉用シリンダ２６ａ、２６ｂによって、図中矢印Ａ方向に進退移動可能とし、開口部２２中央で当接しファンの開口を密閉する構成としている。また、密閉カバー２４は開口部２２の形状に合わせて種々の形状に形成し、この密閉カバー２４を開口部２２から上下方向に移動する構成とすることもできる。すなわち密閉カバー２４が開口部２２から離間するとファン開口が開放し、密閉カバー２４が開口部２２に接近すると開口を密閉することができる。
【００１６】
図３は実施形態に係る殺菌ガス給気部の説明図である。図示のように殺菌ガス給気部１６は、クリーンルーム１２の側面に吸込口３０と給気口３２を形成してある。吸込口３０及び給気口３２はダクト３４を介して接続してあり室内空気を循環させている。前記ダクト３４は、室内の作業スペースの確保と室内の汚染を防止するため室外に形成している。ダクト３４は内部に吸込口３０から順に、ファン３６と、フィルタ３８と、殺菌ガス発生部４０とを配置している。
【００１７】
ファン３６は吸込口３０から室内空気を吸気するとともに後段のフィルタ３８に送風している。
フィルタ３８は、空気中に含まれるカビ、菌などの微生物や、化学物質などの有害物質を除去して清浄な空気を排出するものである。フィルタ３８には、設置対象となるクリーンルームの清浄度を考慮して、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ）フィルタや、活性炭フィルタなど高性能なフィルタを用いることができる。
【００１８】
殺菌ガス発生部４０は、生成した殺菌ガス１５を清浄な空気に付加する。この殺菌ガス成分としては、例えば、ホルマリン、エチレンオキサイド、オゾン、過酸化水素、二酸化塩素などを用いることができる。そして用いる殺菌ガス成分がホルマリン、エチレンオキサイド、過酸化水素、二酸化塩素の場合には、それぞれの溶液を気化させる加熱部を付設するとよい。また、殺菌ガス成分がオゾンの場合には、気体を電気分解により生成する装置を付設するのが簡便で望ましいが、水の電気分解によって発生させる装置構成とすることもできる。殺菌ガス成分が二酸化塩素の場合には、錠剤を加熱することで二酸化塩素を昇華させる装置を付設してもよい。なお殺菌ガス発生部４０は、複数の殺菌ガス１５を交換可能に形成するとよい。
【００１９】
通気孔１８はクリーンルームの壁面と床の境に複数形成してある。通気孔１８はファンフィルタユニット１４から供給された空気を外部に排出する。この通気孔１８には開閉シャッタ５０を形成してある。図４は実施形態に係る開閉シャッタの開閉状態を示す図である。同図（１）は開閉シャッタの開放状態を示し、同図（２）は開閉シャッタの閉塞状態を示す。図示のようにクリーンルーム１２の外壁下部には通常Ｒ巾木５２を設けている。Ｒ巾木５２は、壁と床の境に設置し、壁から床にかけて湾曲した部材である。このため壁と床の間に埃が溜まりにくく清掃性が良い。開閉シャッタ５０はクリーンルーム１２の外壁に沿って上下方向に移動して、Ｒ巾木５２と開口を覆い密閉するように形成してある。
【００２０】
殺菌ガス濃度計１７は、室内の殺菌ガス１５の濃度を常時あるいは殺菌作業中測定し、後述する制御部２０に検知信号を発信する。
なお、殺菌ガス給気部１６及び殺菌ガス濃度計１７はクリーンルーム１２内に設置する機器設備の障害とならないよう壁面に設置する構成としているが、室内の開いたスペースに立設配置する構成とすることもできる。
【００２１】
さらに室内天井には殺菌ガスの排気部６０を設置している。排気部６０は、排気ファン６２と、高気密ダンパ６４と排気ダクト６６から構成されている。排気ファン６２は、室内に充満した殺菌ガス１５を排気口に吸込み、排気ダクト６６から外部に送風する。高気密ダンパ６４は室内と外部の通気を遮断して室内を設定圧に保持する。また排気ファン６２が稼動するとダンパが開き室内の殺菌ガスを外部に排出することができる。
【００２２】
ところでクリーンルーム内が陰圧となると、外部から汚染された空気が流入する場合がある。そこで室内に配置した差圧計７０でクリーンルーム１２の内部と外部の差圧を測定し、室内が陰圧にならないように管理している。より具体的には排気ファン６２を稼動し、室内の殺菌ガスを排気する場合、差圧計７０で感知した室内外の差圧が陰圧とならないようにフィルタファンユニット１４または排気ファン６２に設置したインバータで制御するとよい。
【００２３】
制御部２０はファンフィルタユニット１４、開閉シャッタ５０、殺菌ガス給気部１６、殺菌ガス濃度計１７、差圧計７０、排気ファン６２に接続している。
制御部２０は、室内の殺菌作業の際、ファンフィルタユニット１４の密閉カバー２４及び通機孔１８を密閉する開閉シャッタ５０に対し閉塞する信号を発信し、流通経路の閉塞後、殺菌ガス給気部１６に対し殺菌ガスの給気信号を発信する。そして殺菌ガス濃度計１７の測定値に基づいて、予め設定した殺菌ガスの設定濃度となるように殺菌ガスの給気制御を行う。また制御部２０は室内が設定濃度に達した後、室内の濃度測定を継続して設定値を下回った場合には、殺菌ガス給気部１６から殺菌ガスを再度設定濃度まで給気する制御を行っている。
さらに室内に充満した殺菌ガスを排気する際には、制御部２０は排気ファン６２を稼動させるとともに一部のファンフィルタユニット１４を稼動させて、差圧計７０の検出値に基づいて室内を陽圧に制御している。
【００２４】
このような構成になっているクリーンルームの殺菌装置の殺菌方法を以下説明する。図５は実施形態に係るクリーンルームの殺菌装置のフローチャートである。
クリーンルーム１２に設置した図示しない浮遊菌数測定装置により捕集したエアを水に通気したものの蛍光染色で菌を検出する。この検出値に基づいて室内の滅菌処理が必要となった場合には、制御部２０により室内に設置した設備機器及びファンフィルタユニット１４を停止し、そして室内壁面の通気孔１８を開閉シャッタ５０によって閉塞する（ステップ１００）。
それと同時に室内天井のファンフィルタユニット１４の開口部２２を密閉カバー２４で閉塞する（ステップ１１０）。
【００２５】
室内の流通経路を閉塞した後、室内の汚染を滅菌することができる最適な殺菌ガス１５を選択して、殺菌ガス給気部１６を稼動させ、室内空気の吸い込みとともに生成した殺菌ガス１５を室内に給気し充満させる（ステップ１２０）。
室内に設けた殺菌ガス濃度計１７で室内の殺菌ガス濃度を検出し、検出値を制御部２０に送る。制御部２０では殺菌ガス濃度計１７の検出値に基づいて、予め設定してある室内の殺菌ガス濃度に達するまで殺菌ガス給気部１６を稼動させる。そして室内濃度が設定濃度に達した後、殺菌ガス給気部１６の給気を停止させる（ステップ１３０）。
【００２６】
設定濃度に到達した後、室内を所定時間放置する。この間、室内の殺菌ガス濃度の計測を継続し、室内濃度が設定濃度を下回った場合には、再度殺菌ガス給気部１６を稼動させて設定濃度を保つように制御する（ステップ１４０）。
室内の殺菌効果が期待できる十分な所定時間が経過した後、高気密ダンパ６４を開放し、排気ファン６２を稼動させて室内に充満した殺菌ガス１５を排気する。このとき、ファンフィルタユニット１４の一部を稼動させて殺菌ガス１５の排気６８の量よりも多い空気を給気し、室内を陽圧に制御する（ステップ１５０）。
【００２７】
殺菌ガス濃度計１７の殺菌ガス検出値が０近傍となったとき、高気密ダンパ６４を閉止し、排気ファン６２の稼動を停止する。そして通気孔１８の開閉シャッタ５０を開放するとともに、ファンの開口部２２の密閉カバー２４を開放し、ファンフィルタユニット１４を稼動させる（ステップ１６０）。
【００２８】
このような殺菌装置では、クリーンルームの流通経路の開口を自動で閉止して、殺菌ガス給気部によりクリーンルーム内を自動で殺菌することができる。このため人手による開口の目張りあるいは殺菌装置の搬入、撤去等の準備作業の必要がない。また作業員がクリーンルームに出入りすることによる２次汚染を防止することができる。
【００２９】
図６は第２実施形態に係るクリーンルームの殺菌装置の説明図である。第１実施形態と同一の構成は同一の作用及び機能を備え同一の符号を付してその説明を省略する。
図示のように第２実施形態に係るクリーンルームの殺菌装置１０Ａは、殺菌ガス１５が室内の隅々まで行き届くように、殺菌ガス給気部１６Ａを室内に複数配置している。殺菌ガス給気部１６Ａは、室内の側面に複数設置するとともに室内の中央にも複数床置きしている。また殺菌ガス濃度計１７Ａは、室内全体の正確なガス濃度が測定できるように室内中央部に設置している。
なお、室内に設置する殺菌ガス給気部は、殺菌ガス成分の異なる殺菌ガス給気部を複数配置し、殺菌作業に用いる殺菌ガスごとに使い分けしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第１実施形態に係るクリーンルームの殺菌装置の説明図である。
【図２】実施形態に係るファンフィルタユニットの説明図である。
【図３】実施形態に係る殺菌ガス給気機器の説明図である。
【図４】実施形態に係る開閉シャッタの作動状態を示す図である。
【図５】実施形態に係るクリーンルームの殺菌方法のフローチャートである。
【図６】第２実施形態に係るクリーンルームの殺菌装置の説明図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０………クリーンルームの殺菌装置、１２………クリーンルーム、１４………ファンフィルタユニット、１５………殺菌ガス、１６………殺菌ガス給気部、１７………殺菌ガス濃度計、１８………通気孔、２０………制御部、２２………開口部、２４………密閉カバー、３０………吸込口、３２………給気口、３４………ダクト、３６………ファン、３８………フィルタ、４０………殺菌ガス発生部、５０………開閉シャッタ、５２………Ｒ巾木、６０………排気部、６２………排気ファン、６４………高気密ダンパ、６６………排気ダクト、７０………差圧計。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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