(57)【要約】【課題】  大型のパネル基板に形成された液晶表示パネルに対して効率よくマイクロレンズを形成できる液晶表示パネルの製造方法を提供する。【解決手段】  液晶表示パネルの製造方法は、パネル基板１の表面に配置されたレジストに対して露光を行なう露光工程を含み、露光工程の前に、第１区画２１、第２区画２２および第３区画２３が複数の液晶表示パネルを有するように、パネル基板１を区画ごとに分断する分断工程を含む。【選択図】        図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネル基板の表面に配置されたレジストに対して露光を行なう露光工程を含み、
前記露光工程の前に、それぞれの区画が複数の液晶表示パネルを有するように、前記パネル基板を前記区画ごとに分断する分断工程を含む、液晶表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記露光工程は、前記レジストの表面に配置されている保護フィルムを取り外さずに行なう工程を含む、請求項１に記載の液晶表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記パネル基板の表面にレジストを配置するレジスト配置工程を含み、
前記レジスト配置工程は、前記パネル基板の主表面が水平方向に平行な状態で、上下の主表面のうち下側の主表面に前記レジストを配置する工程を含む、請求項１に記載の液晶表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記分断工程は、全ての前記パネル基板の平面形状がほぼ長方形になるように分断する工程を含み、
前記分断工程は、平面視したときに、一のパネル基板の長辺が他のパネル基板の長辺の長さ以上に、さらに、前記一のパネル基板の短辺が前記他のパネル基板の短辺の長さ以上になるように分断する工程を含む、請求項１に記載の液晶表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記パネル基板の表面にレジストを配置するレジスト配置工程を含み、
複数の分断された前記パネル基板を１つの治具に固定して、前記レジスト配置工程、前記露光工程、および前記レジストを現像する工程を行なう、請求項１に記載の液晶表示パネルの製造方法。
【請求項６】
前記分断工程は、全ての前記パネル基板の平面形状がほぼ長方形になるように分断する工程を含み、
前記分断工程は、分断された複数の前記パネル基板の平面形状の一辺の長さが同じになるように行なう、請求項１に記載の液晶表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの中には、液晶表示素子の表面にマイクロレンズが形成され、光の利用効率を図ったものがある。マイクロレンズを液晶表示パネルの表面に形成する方法としては、たとえば特開２００３−２９４９１２号公報に開示されている。
【０００３】
図２５に、特開２００３−２９４９１２号公報に開示されたマイクロレンズを形成するための露光装置の概略断面図を示す。液晶表示パネル１８のガラス基板の表面に、感光材が塗布されて、レジスト４９が形成されている。この露光装置においては、レジスト４９が形成された液晶表示パネル１８に対して、露光光源１７からの光を矢印１１７に示すように照射する。液晶表示パネル１８は、露光される光の入射方向に対して、主表面が傾斜するように配置される。液晶表示パネル１８の内部の予め基板に形成されたマイクロレンズによって光が集光される。この集光ビームにより、レジスト４９を露光した後に、現像を行なってマイクロレンズが形成される。
【０００４】
近年においては、大型のパネル基板に、複数の液晶表示パネルを形成して、後に個々の液晶表示パネルに分断する方法が採用されている。この方法は、多面取りと言われ、一度に多くの液晶表示パネルを製造することができるため、生産性に優れている。
【０００５】
図２６に、複数の液晶表示パネルが形成されたパネル基板の概略平面図を示す。パネル基板１９は、２枚の大型のガラス基板を含み、それぞれの大型基板の主表面同士が互いに対向するように貼り合わせられている。パネル基板１９には、液晶表示パネル２が形成されている。複数の液晶表示パネル２には、２枚のガラス基板に挟まれるように、液晶が封入されている。パネル基板１９には、数多くの液晶表示パネル２が形成され、後に個々に分断されて、１つの液晶表示パネルが形成される。
【０００６】
近年においては、液晶表示パネルの生産性を向上するために、パネル基板１９に含まれる液晶表示パネル２の数が多くなる傾向にある。このため、パネル基板１９は、大型化する傾向にある。または、液晶表示パネル２同士の間隔を小さくして、１つのパネル基板１９から数多くの液晶表示パネル２が取れるように形成されている。このように、１枚のパネル基板１９からの取れ数が多くなるように形成されている。
【特許文献１】特開２００３−２９４９１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図２５に示すように、液晶表示パネルの表面にマイクロレンズを形成する際には、基板にレジストを塗布した後に露光が行なわれる。露光においては、露光の光軸に対して、液晶表示パネルが傾斜するように配置される。液晶表示パネルは、露光の光軸に対して２つの軸で傾斜しながら露光される。
【０００８】
図２６に示すように、マイクロレンズを形成する工程においては、液晶表示パネルの表面のうち、光源が配置されている側と反対側の表面に配置されたレジストが露光されている。多面取りを行なうために複数の液晶表示パネルを含むパネル基板に対して露光を行なう場合についても同様に、パネル基板の主表面のうちレジストが配置されている主表面と反対側の主表面の側に光源が配置されて、レジストが配置されている側と反対側から露光が行なわれる。
【０００９】
露光装置において、パネル基板のレジストが配置されている側を支持する部材が、露光の反射面になっていると、レジストを通過する光が該反射面で反射されてレジストに再露光されてしまう。このため、パネル基板の支持部材が露光の反射面になっていると、所望の形状を有するマイクロレンズを形成することができない。このため、露光装置には、レジストを通過する光が反射しないように、露光台に開口部が形成されているものがある。
【００１０】
図２６を参照して、複数の液晶表示パネルが形成された大型のパネル基板１９に対してマイクロレンズを形成する場合、パネル基板１９を露光装置に固定しなければならない。しかし、取れ数を多くするために液晶表示パネル同士の間隔が小さくなっている場合には、パネル基板１９を支持するための部分の面積が非常に小さくなって、パネル基板１９の支持が難しいという問題があった。
【００１１】
露光の妨げにならないように、パネル基板１９の外縁に沿った外周部を支持して主表面が水平方向と平行になるように支持した場合には、パネル基板１９の自重によって撓みが生じるという問題があった。また、パネル基板１９を傾斜させて露光装置に固定した場合においても、パネル基板の自重によりパネル基板が撓んでしまうという問題があった。パネル基板が撓んだ状態で露光を行なうと、所望の形状の露光を行なうことができず、精度の高い形状を有するマイクロレンズを形成することが困難であるという問題があった。
【００１２】
また、パネル基板の外縁部以外の部分でパネル基板を支持する場合、液晶表示パネルの大きさや取れ数が異なるパネル基板を製造するごとに、支持部の位置を変更したり支持部の形状が異なるものに交換したりする必要がある。このとき、パネル基板が大型になるに従って支持部も大型になるため、支持部の位置を変更したり支持部の形状が異なるものに交換したりする場合、非常に時間がかかって生産性が悪いという問題があった。
【００１３】
または、パネル基板の大きさや取れ数などの構成が変更される度に、その都度パネル基板に形成される液晶表示パネルの位置に合わせて、マイクロレンズを形成するための新たな露光装置を製造する必要があった。
【００１４】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、大型のパネル基板に形成された液晶表示パネルに対して効率よくマイクロレンズを形成できる液晶表示パネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するため、本発明に基づく液晶表示パネルの製造方法は、パネル基板の表面に配置されたレジストに対して露光を行なう露光工程を含み、上記露光工程の前に、それぞれの区画が複数の液晶表示パネルを有するように、上記パネル基板を上記区画ごとに分断する分断工程を含む。この方法を採用することにより、大型の上記パネル基板に形成された上記液晶表示パネルに対して効率よくマイクロレンズを形成することができる。
【００１６】
上記発明において好ましくは、上記露光工程は、上記レジストの表面に配置されている保護フィルムを取外さずに行なう工程を含む。この方法を採用することにより、上記レジストを露光するための露光装置や上記パネル基板を搬送するための搬送手段に、上記レジストが付着することを防止でき、上記レジストの付着に伴う上記露光装置や上記搬送手段のメンテナンスが不要になる。
【００１７】
上記発明において好ましくは、上記パネル基板の表面にレジストを配置するレジスト配置工程を含み、上記レジスト配置工程は、上記パネル基板の主表面が水平方向に平行な状態で、上下の主表面のうち下側の主表面に上記レジストを配置する工程を含む。この方法を採用することにより、上記レジスト配置工程の後に上記パネル基板を上下反転させることなく搬送を行なうことができる。このため、上記パネル基板の搬送が容易になって生産性が向上する。
【００１８】
上記発明において好ましくは、上記分断工程は、全ての上記パネル基板の平面形状がほぼ長方形になるように分断する工程を含み、上記分断工程は、平面視したときに、一のパネル基板の長辺が他のパネル基板の長辺の長さ以上に、さらに、上記一のパネル基板の短辺が上記他のパネル基板の短辺の長さ以上になるように分断する工程を含む。この方法を採用することにより、上記露光装置を上記一のパネル基板の露光が行なえるように大きく形成しておくと、異なる大きさの上記他のパネル基板に対しても同一の露光装置で露光を行なうことができる。
【００１９】
上記発明において好ましくは、上記パネル基板の表面にレジストを配置するレジスト配置工程を含み、複数の分断された上記パネル基板を１つの治具に固定して、上記レジスト配置工程、上記露光工程、および上記レジストを現像する工程を行なう。この方法を採用することにより、上記１つの治具に固定したまま、上記パネル基板に上記レジストの貼付けなどを行なうことができ、それぞれの工程における上記パネル基板の取扱が容易になる。
【００２０】
上記発明において好ましくは、上記分断工程は、全ての上記パネル基板の平面形状がほぼ長方形になるように分断する工程を含み、上記分断工程は、分断された複数の上記パネル基板の平面形状の一辺の長さが同じになるように行なう。この方法を採用することにより、上記一辺の長さに対応して露光装置や搬送装置を形成することにより、全ての分断された上記パネル基板の処理を行なうことができる。たとえば、上記パネル基板の搬送装置や上記パネル基板を固定するための治具などを共通化することができ、上記液晶表示パネルを製造するための装置の構成を簡単にすることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、大型のパネル基板に形成された液晶表示パネルに対して効率よくマイクロレンズを形成できる液晶表示パネルの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
（実施の形態１）
図１から図１４を参照して、本発明に基づく実施の形態１における液晶表示パネルの製造方法について説明する。
【００２３】
図１は、本実施の形態におけるパネル基板の概略平面図である。パネル基板１は、平面形状が長方形になるように形成されている。パネル基板１は、２枚のガラス基板を含み、互いの主表面が対向するように配置されている。パネル基板１は、複数の液晶表示パネル２を含む。
【００２４】
本実施の形態においては、液晶表示パネル２の平面形状が、ほぼ長方形になるように形成されている。液晶表示パネル２は、それぞれの辺がパネル基板１の平面形状の外縁とほぼ平行になるように配列されている。液晶表示パネル２は、互いに離れて配置されている。
【００２５】
パネル基板１は、マイクロレンズを形成するための露光工程の前に区画ごとに分断される第１区画２１、第２区画２２および第３区画２３を含む。それぞれの区画は、複数の液晶表示パネル２を含む。それぞれの区画は、平面形状がほぼ長方形になるように形成され、それぞれの区画は、パネル基板１の外縁の辺とほぼ平行である。第１区画２１、第２区画２２および第３区画２３は、互いに離れて配置されている。それぞれの区画同士の間の距離は、それぞれの区画の内部における液晶表示パネル２同士の距離よりも大きくなるように形成されている。
【００２６】
図２に、１つの液晶表示パネルの拡大平面図を示す。本実施の形態においては、液晶表示パネル２の内部には、液晶表示パネル２の外縁に沿うように、シール材３が配置されている。２枚のガラス基板は、シール材３によって互いに接着固定されている。シール材３の内側には、液晶が封入されている。シール材３の内側には、複数の画素を有する表示領域９１が形成されている。
【００２７】
図３に、液晶表示パネルにおける表示領域の拡大平面図を示す。液晶表示パネルは、表示領域において複数の画素４０を含む。画素４０は、規則的に配置されている。本実施の形態においては、画素４０の平面形状が長方形になるように形成されている。画素４０は、光が透過しない領域である非透過部４２と、光が透過する領域である透過部４１とを有する。
【００２８】
図４に、液晶表示パネルの表示領域の拡大断面図を示す。図４（ａ）は、図３におけるＡ−Ａ線に関する矢視断面図であり、図４（ｂ）は、図３におけるＢ−Ｂ線に関する矢視断面図である。液晶表示パネルは、２枚のガラス基板５，６を含む。液晶表示パネルは、ガラス基板５とガラス基板６との間に液晶が封入され、液晶層を相変化させるための電極が形成されている（図示せず）。ガラス基板５とガラス基板６との間には、透過部４１と非透過部４２とが形成されている。
【００２９】
図５に、本実施の形態におけるパネル基板の模式的な平面図を示す。パネル基板１には、直線状に並ぶように第１区画２１，第２区画２２および第３区画２３が形成され、それぞれの区画は互いに離れて配置されている。パネル基板１は、切断線５１，５２に沿って切断される。切断線５１，５２は、それぞれの区画同士のほぼ中央に位置する。切断線５１，５２は、パネル基板１の外縁とほぼ平行になるように配置されている。切断線５１，５２は、液晶表示パネルが形成されている領域を避けた領域に配置されている。
【００３０】
図６に、切断線に沿ってパネル基板を分断したときの概略平面図を示す。パネル基板を、スライサなどによって切断して小型のパネル基板を形成する。または、割断を行なうことによって、小型のパネル基板を形成する。図５における切断線５１，５２に沿って、パネル基板１を分断することにより、小型のパネル基板として、第１分断パネル基板３１、第２分断パネル基板３２および第３分断パネル基板３３を形成する。
【００３１】
それぞれの分断パネル基板は、平面形状がほぼ長方形になるように形成されている。また、それぞれの分断パネル基板は、平面形状がほぼ同じになるように形成されている。分断パネル基板は、平面形状の長方形の短辺に対応する外縁を含み、本発明においてはこの外縁を「短外縁」という。また、分断パネル基板は平面形状の長方形の長辺に対応する外縁を含み、本発明においてはこの外縁を「長外縁」という。第１分断パネル基板３１は、短外縁６１および長外縁７１を含む。
【００３２】
このように、本発明においては、それぞれの区画が複数の液晶表示パネルを有するように、大型のパネル基板を区画ごとに分断して、複数の小型のパネル基板を形成する分断工程を含む。
【００３３】
第１分断パネル基板３１、第２分断パネル基板３２および第３分断パネル基板３３は、ほぼ同じ構成を有し、同じ製造方法によってマイクロレンズを形成することができる。以下の製造方法の説明においては、分断パネル基板のうち第１分断パネル基板３１を例に採りあげて説明する。
【００３４】
図７は、分断パネル基板の表面にレジストを配置するレジスト配置工程の説明図である。図７は、レジスト貼付け装置の概略断面図である。レジスト１１は、薄膜状にほぼ均一な厚さで形成されている。レジスト１１は、レジストフィルム１２の表面に配置されている。レジストフィルム１２は、レジスト１１に密着している。レジストフィルム１２はレジスト１１から剥離できるように形成されている。
【００３５】
レジスト貼付け装置は、分断パネル基板を主表面にほぼ平行な方向に搬送するための搬送手段（図示せず）と、レジスト１１を分断パネル基板に貼り付けるための貼付けローラ７とを備える。貼付けローラ７は、円柱状に形成され、矢印１０１に示す向きに回転可能なように形成されている。
【００３６】
図７に示すように、第１分断パネル基板３１のうち、ガラス基板５の表面にレジスト１１が貼付けられる。矢印１０２に示すように、第１分断パネル基板３１は、短外縁に平行な方向に搬送される。レジスト１１は、レジストフィルム１２が貼り付けられた主表面と反対側の主表面が第１分断パネル基板３１に貼り付けられる。レジスト１１は、レジストフィルム１２を介して貼付けローラ７に押圧され、レジスト１１が第１分断パネル基板３１に貼り付けられる。本実施の形態においては、第１分断パネル基板３１の主表面のうちレジスト１１が貼り付けられる面が下側になるように配置され、下側からレジスト１１を貼り付けている。
【００３７】
第１分断パネル基板３１が矢印１０２に示す向きに搬送されると、貼付けローラ７が矢印１０１の向きに回転するとともに、ガラス基板５の表面に、レジスト１１が貼付けられる。レジスト１１は、矢印１０３に示す向きに送られる。
【００３８】
図８に、レジストおよびレジストフィルムが貼付けられた第１分断パネル基板３１の下面図を示す。第１分断パネル基板３１の表面には、短外縁６１から離れるように、レジストおよびレジストフィルム１２が配置されている。レジストおよびレジストフィルム１２は、たとえば、対向するそれぞれの短外縁６１から１５ｍｍ離れる位置に配置されている。すなわち、本実施の形態においては、第１分断パネル基板３１の平面形状である長方形の長辺に対応する長外縁７１よりも約３０ｍｍ短い幅を有するレジストが貼り付けられている。
【００３９】
図９は、レジストおよびレジストフィルムが貼付けられた第１分断パネル基板を露光装置まで搬送する搬送工程の概略断面図である。本実施の形態における搬送手段は、複数の搬送ローラ８を含む。搬送ローラ８は、円柱状に形成され、断面形状である円の中心軸が回転軸となって回転することにより、分断パネル基板を搬送できるように形成されている。
【００４０】
搬送ローラ８が矢印１０４に示すように回転することにより、第１分断パネル基板３１が、矢印１０５に示すように露光装置の露光台９に向かって搬送される。第１分断パネル基板３１の下側の面には、レジスト１１を介して、レジストフィルム１２が配置されている。搬送ローラ８および露光台９には、レジストフィルム１２が接触する。
【００４１】
図１０に、露光装置の露光台に第１分断パネル基板を配置したときの概略平面図を示し、図１１に露光装置の概略断面図を示す。Ｚ方向は、鉛直方向に平行な方向である。Ｘ方向およびＹ方向は、水平方向に平行な方向である。Ｘ方向とＹ方向とは、垂直に交わっている。ＸＹ平面が水平面になる。
【００４２】
露光装置の露光光源１０は、露光台９から離れて配置されている。本実施の形態においては、露光台９の上方に露光光源１０が配置されている。露光光源１０は、第１分断パネル基板３１の主表面のうち、レジスト１１が貼付けられていない主表面に向けて、露光が行なえるように配置されている。
【００４３】
図１０および図１１を参照して、本実施の形態においては、露光台９は、板状に形成されている。露光台９の中央部分には、開口部４３が形成されている。開口部４３は、露光台９を貫通するように形成されている。開口部４３は、第１分断パネル基板３１の第１区画よりも大きくなるように形成されている。さらに、開口部４３は、第１分断パネル基板３１の表面に貼付けられるレジスト１１およびレジストフィルム１２の平面形状よりも大きくなるように形成されている。このように、露光台９は、レジスト１１が配置されていない部分、すなわちガラス基板の表面を支持するように形成されている。
【００４４】
図１０を参照して、第１分断パネル基板３１は、矢印１０７に示す向きに搬送されて、露光台９に配置される。すなわち、第１分断パネル基板３１の短外縁６１に平行な方向に搬送されている。第１分断パネル基板３１は、表面のレジスト１１およびレジストフィルム１２が開口部４３に嵌め込まれるように配置される。第１分断パネル基板３１は、図示しない治具によって露光台９に固定される。
【００４５】
本実施の形態においては、第１分断パネル基板３１の短外縁６１を露光台９に接触させて支持するほかに、分断パネル基板３１の長外縁７１のうち、一方の長外縁７１をレジスト１１およびレジストフィルム１２を介して、露光台９に接触させて支持している。すなわち、本実施の形態においては、２つの短外縁６１と１つの長外縁７１とで、第１分断パネル基板３１を支持している。
【００４６】
本実施の形態においては、分断された３つの分断パネル基板のそれぞれの長外縁の長さはほぼ同じになる。これに対して、短外縁の長さは、それぞれの区画位置、切断線の位置の誤差および分断工程における切断の誤差によって異なる。しかし、本実施の形態のように、平面形状における２つの短外縁と１つの長外縁とを支持することにより、それぞれの分断パネル基板の短外縁の長さが異なっていても、１つの露光台で露光を行なうことができる。
【００４７】
本実施の形態においては、大型のパネル基板を分断してから露光装置に配置しているため、大型のパネル基板に比べて、撓みを抑制することができ、精度の優れた露光を行なうことができる。また、２つの短外縁６１のみでなく、長外縁７１においても第１分断パネル基板３１が支持されるため、第１分断パネル基板３１の撓みをさらに抑制することができる。
【００４８】
図１１を参照して、露光台９は、矢印１０９に示すように支点９５を中心に回転して、分断パネル基板が傾斜するように形成されている。支点９５は、配置される分断パネル基板の重心位置である。
【００４９】
図１２に、露光装置をＸ方向から見たときの概略側面図を示す。露光台９は、矢印１１０に示すように、支点９６を中心に回転して、分断パネル基板が傾斜するように形成されている。支点９６は、配置されるパネル基板の重心位置である。このように、本実施の形態における露光装置は、二軸を中心軸としてそれぞれの軸に対して揺動可能なように形成されている。
【００５０】
図１１および図１２を参照して、露光工程においては、矢印１０８に示すように、露光光源１０から第１分断パネル基板３１に対して露光を行なう。露光を行なう際は、支点９５，９６を中心に、予め定められた回転角速度によって露光台を回転して、第１分断パネル基板３１を傾斜駆動させる。定められた傾斜角度、露光時間および露光の光強度に依存して、レジストは、所望のマイクロレンズの形状に形成される。
【００５１】
図１１を参照して、露光光源１０から出射した光は、ガラス基板５および６を透過した後にレジスト１１に照射される。レジスト１１に吸収されなかった光は、レジスト１１を透過して、開口部４３に出射される。露光台を貫通する開口部４３が形成されていることによって、レジスト１１を透過した光が露光台によって反射され、レジスト１１が再露光されることを防止できる。
【００５２】
図１３に、露光を行なっているときの分断パネル基板の拡大斜視図を示す。露光台は傾斜した状態であるため、矢印１０８に示すように、レジスト１１の主表面に対して、傾斜した方向から露光される。非透過部４２では遮光される。矢印１１１に示すように、ガラス基板５およびガラス基板６の間に形成された透過部４１の形状に沿って、レジスト１１が照射される。露光工程の後に、レジストの現像を行なうことにより、マイクロレンズを形成する。
【００５３】
図１４に、露光および現像が行なわれ、形成されたマイクロレンズの概略断面図を示す。図１４（ａ）は、図３におけるＡ−Ａ線に関する矢視断面図であり、（ｂ）は、図３におけるＢ−Ｂ線に関する矢視断面図である。本実施の形態においては、画素の長手方向に平行な方向に切断したときに、山形の断面形状を有するマイクロレンズが形成されている。マイクロレンズ１３は、それぞれの画素の開口部に対応するように形成されている。マイクロレンズ１３は、それぞれの画素の長手方向に垂直な方向においては、高さが一定になるように形成されている。
【００５４】
本発明における液晶表示パネルの製造方法は、露光工程の前に、それぞれの区画が複数の液晶表示パネルを有するように、パネル基板を複数の区画に分断する分断工程を含む。このように、多面取りを行なう製造工程において、大型のパネル基板を予め小型の複数のパネル基板に分断しておくことにより、パネル基板に効率よくマイクロレンズを形成することができる。
【００５５】
また、本実施の形態においては、分断パネル基板に露光を行なう露光工程において、レジストの表面に配置されている保護フィルムとしてのレジストフィルムを取外さずに行なっている。すなわち、露光工程を保護フィルムがついた状態で行なっている。この方法を採用することにより、レジスト貼付け装置から露光装置まで、レジストの表面に保護フィルムが貼付けられた状態で搬送を行なうことができ、搬送ローラなどの搬送手段にレジストが付着することを防止できる。また、露光工程においてパネル基板を支持するための露光台などにレジストが付着することを防止できる。したがって、これらの装置の清掃が不要になり、メンテナンスが軽減される。
【００５６】
また、本実施の形態においては、分断パネル基板の表面にレジストを配置するレジスト配置工程は、分断パネル基板の主表面が水平方向に平行な状態で、上下の主表面のうち、下側の主表面にレジストを配置する工程を含む。この方法を採用することにより、パネル基板にレジストを貼付けた後、分断パネル基板の表裏を上下反転させずに露光装置まで搬送することができる。基板の主表面の表裏を反転させる必要がないため、搬送工程が簡略化されて生産性が向上する。
【００５７】
また、本実施の形態における分断工程は、すべての分断パネル基板の平面形状がほぼ長方形になるようにパネル基板を分断する工程を含み、少なくとも分断された分断パネル基板の平面形状の一辺の長さが同じになるように切断している。この方法を採用することにより、上記の一辺の長さが同じであるため、搬送手段や露光装置などの構成を容易にすることができる。
【００５８】
たとえば、露光装置における分断パネル基板を配置するための開口部の一辺の長さを上記の分断パネル基板の平面形状の一辺の長さに対応するように形成することができる。すなわち、分断パネル基板の一方向の長さを揃えておくことにより、図１０に示すように、分断パネル基板の平面形状における長方形の辺のうち３つの辺を露光台で支えることができ、１つの露光台を用いて、全ての分断パネル基板の露光を行なうことができる。
【００５９】
また、本実施の形態においては、パネル基板を分断して小型の分断パネル基板を形成するため、搬送装置や露光装置などの装置を小型化することができ、安価にマイクロレンズを形成することができる。または、近年においては、パネル基板が大型化する傾向にあるが、前世代の小型のパネル基板の装置をそのまま用いることができ、設備投資を抑制することができる。
【００６０】
本実施の形態においては、パネル基板において、第１区画、第２区画および第３区画の表面積および形状は、ほぼ同じになるように形成されているが、それぞれの区画の面積や区画の形状は異なっていても構わない。また、本実施の形態においては、それぞれの液晶表示パネルが、ほぼ同じ大きさに形成されているが、この形態に限られず、それぞれの区画の内部において、異なる大きさの液晶表示パネルが混在していても構わない。
【００６１】
（実施の形態２）
図１５から図２５を参照して、本発明に基づく実施の形態２における液晶表示パネルの製造方法について説明する。
【００６２】
図１５は、本実施の形態における第１のパネル基板の平面図である。パネル基板１５は、平面形状がほぼ長方形になるように形成され、複数の液晶表示パネル２を含む。液晶表示パネル２は、それぞれの辺が互いに平行になるように間隙をあけて配置されている。
【００６３】
パネル基板１５は、第１区画２４、第２区画２５、第３区画２６および第４区画２７を含む。それぞれの区画は、区画の内部に配置されている液晶表示パネル２同士の距離よりも大きな間隙をあけて配置されている。それぞれの区画は、平面形状が長方形になるように形成されている。第１区画２４と第２区画２５とはほぼ同じ大きさに形成され、第３区画２６と、第４区画２７とは、ほぼ同じ大きさに形成されている。
【００６４】
図１６に、パネル基板１５を平面的に見たときの模式図を示す。第１区画２４と第２区画２５との隙間に沿って切断線５３が配置され、第１区画２４と第４区画２７との隙間に沿って切断線５４が配置される。パネル基板１５は、切断線５３，５４に沿って切断される。すなわち、大型のパネル基板を切断して、小型のパネル基板を形成する分断工程を行なう。それぞれの切断線５３，５４は、パネル基板１５の外縁とほぼ平行になるように配置されている。
【００６５】
図１７に、分断工程を行なった後の概略平面図を示す。パネル基板１５を切断することにより、第１区画２４を含む第１分断パネル基板３４、第２区画２５を含む第２分断パネル基板３５、第３区画２６を含む第３分断パネル基板３６および第４区画２７を含む第４分断パネル基板３７が形成される。第１分断パネル基板３４と第２分断パネル基板３５とは、ほぼ同じ平面形状を有する。また、第３分断パネル基板３６と第４分断パネル基板３７とはほぼ同じ平面形状を有する。
【００６６】
次に、それぞれの分断パネル基板に対して、マイクロレンズを形成する。ここで、第１分断パネル基板３４および第２分断パネル基板３５は、実施の形態１と同様に１枚ずつ露光を行なってマイクロレンズを形成するので、ここでは説明を繰り返さない。
【００６７】
第３分断パネル基板３６および第４分断パネル基板３７は、同時に処理を行なってマイクロレンズを形成する。はじめに、第３分断パネル基板３６と第４分断パネル基板３７とを位置決め治具に配置する。
【００６８】
図１８は、２枚の分断パネル基板を位置決め治具に配置したときの平面図であり、図１９は、図１８におけるＡ−Ａ線に関する矢視断面図である。位置決め治具１４は、平板状に形成され、一の主表面に凹部４５，４６が形成されている。本実施の形態においては、位置決め治具１４は、平面形状がほぼ長方形になるように形成されている。凹部４５，４６は、それぞれの分断パネル基板の形状に沿うように形成されている。
【００６９】
凹部４５，４６の深さは、第３分断パネル基板３６および第４分断パネル基板３７の厚さとほぼ同じになるように形成されている。したがって、位置決め治具１４は、それぞれの分断パネル基板が凹部４５，４６に配置されたときに、位置決め治具１４の表面と、それぞれの分断パネル基板の表面とが同一平面状になるように形成されている。位置決め治具１４は、開口部４７，４８を含み、それぞれの開口部４７，４８は、凹部４５，４６に連通している。
【００７０】
位置決め治具１４は、図１８における紙面に垂直な方向（Ｚ方向）に分断パネル基板が移動することを抑制するために、それぞれの分断パネル基板を吸着する吸着手段を含む（図示せず）。第３分断パネル基板３６は凹部４５に嵌め込まれ、第４分断パネル基板３７は凹部４６に嵌め込まれる。それぞれの分断パネル基板は、凹部に勘合して移動しないように固定される。
【００７１】
図２０に、分断パネル基板にレジストを貼付けるレジスト配置工程の概略断面図を示す。位置決め治具１４は、矢印１１３に示す向きに移動する。貼付けローラ７は、位置決め治具１４に向かってレジスト１１およびレジストフィルム１２を押圧しながら、レジスト１１を貼付ける。レジスト１１およびレジストフィルム１２としては、第３分断パネル基板３６の第３区画２６および第４分断パネル基板３７の第４区画２７とを覆う十分な幅を有するものを用いる。
【００７２】
本実施の形態においては、レジストの貼付けにおいては、図１８の矢印１１８に示すように、位置決め治具１４の平面形状の長方形の短辺に平行な方向に貼付けを行なっている。貼付けローラ７は、矢印１１２に示す向きに回転する。レジスト１１およびレジストフィルム１２は、矢印１１４に示す向きに移動する。
【００７３】
図２１に、レジスト配置工程が終了したときの位置決め治具１４の平面図を示す。レジストおよびレジストフィルム１２は、第３分断パネル基板３６の第３区画および第４分断パネル基板３７の第４区画を覆うように貼付けられている。
【００７４】
図２２に、図２１におけるＡ−Ａ線に関する矢視断面図を示す。第３分断パネル基板３６の主表面、第４分断パネル基板３７の主表面、および位置決め治具１４の主表面に、レジスト１１およびレジストフィルム１２が貼付けられている。
【００７５】
実施の形態１と同様に、レジスト配置工程においては、分断パネル基板の一方の主表面が鉛直方向の下側に向くように配置され、レジストは下側から貼り付けられている。また、レジストの配置から露光装置に搬送を行なう搬送工程においては、レジストフィルムが貼り付けられたままの状態で、レジストが配置されている主表面が下側を向くようにして行なわれている。
【００７６】
図２３は、位置決め治具１４を露光装置に配置したときの概略断面図である。実施の形態１と同様に、露光台９に形成された開口部４３の内部にレジスト１１が配置されるように位置決め治具１４が配置される。位置決め治具１４は、図示しない固定手段によって、露光台９に固定されている。
【００７７】
露光光源１０は、露光台９の上方に配置され、矢印１１５に示す向きに、露光が行なわれる。露光に際しては、支点９７を支軸として、矢印１１６に示すように、露光台９を回転させて傾斜した状態で露光を行なう。また、実施の形態１と同様に、他の軸を中心に露光台を回転させて、分断パネル基板を傾斜させて露光を行なう。
【００７８】
露光工程の完了後、位置決め治具１４を、表裏反転させて水平に配置した後に、レジストフィルム１２を剥離する。次に、レジスト１１の未露光部分を溶解除去する現像を行なう。現像工程を行なうことによって、レジスト１１からマイクロレンズを形成することができる。
【００７９】
このように、複数の分断パネル基板を一の治具に固定して、レジスト配置工程、露光工程およびレジストを現像する工程を行なうことによって、一度に複数の基板を処理することができ、それぞれの工程におけるタクトタイム（分断パネル基板１つあたりの工程の所要時間）を短縮することができる。
【００８０】
また、位置決め治具の大きさを位置決め治具に固定する分断パネル基板と異なる分断パネル基板とほぼ同じ大きさにすることにより、同一の露光装置や搬送手段を用いることができる。たとえば、本実施の形態においては、位置決め治具１４の平面形状の大きさを、第１分断パネル基板３４の平面形状の大きさとほぼ同じにすることにより、第１から第４の分断パネル基板を、１つの露光装置で処理することができる。
【００８１】
図２４を参照して、本実施の形態における第２のパネル基板の分断方法について説明する。図２４（ａ）は、パネル基板を平面視したときの模式図である。パネル基板１６の平面形状は、ほぼ長方形になるように形成され、切断線５５，５６に沿って切断される。パネル基板１６が切断されることにより、第１分断パネル基板８１，第２分断パネル基板８２，第３分断パネル基板８３および第４分断パネル基板８４が形成される。それぞれの分断パネル基板は、平面形状がほぼ長方形になるように形成されている。
【００８２】
切断された４つの分断パネル基板の平面形状は、互いに異なっている。それぞれの分断パネル基板の平面形状の長辺（長外縁）を比較したときに、第１分断パネル基板８１の長辺が、他の分断パネル基板の長辺よりも長くなるように形成されている。また、それぞれの分断パネル基板の平面形状の短辺（短外縁）を比較したときに、第１分断パネル基板８１の短辺が、他の分断パネル基板の短辺よりも長くなるように形成されている。
【００８３】
図２４（ｂ）に、第１分断パネル基板８１の概略平面図を示す。第１分断パネル基板の短外縁６８は、他の分断パネル基板の短外縁よりも長くなるように形成され、長外縁７９は、他の分断パネル基板の長外縁よりも長くなるように形成されている。このように分断を行なうことによって、レジスト配置工程や露光工程において、装置を第１分断パネル基板に対応するように形成することにより、他の分断パネル基板は位置決め治具などを用いて処理することができる。たとえば、露光工程において、露光台の開口部を第１分断パネル基板に対応するように形成することによって、他の全ての分断パネル基板の露光を行なうことができる。
【００８４】
本実施の形態においては、一のパネル基板の長辺が他のパネル基板の長辺よりも長く、一のパネル基板の短辺が他のパネル基板の短辺よりも長くなるように形成されているが、特にこの形態に限られず、一のパネル基板の長辺が他のパネル基板の長辺と同じであってもよい。また、上記一のパネル基板の短辺が他のパネル基板の短辺と同じであってもよい。
【００８５】
図２４（ｃ）は、それぞれの分断パネル基板の大きさを比較したときの概略平面図である。投影領域９２は、第１分断パネル基板を投影したときの領域である。第３分断パネル基板８３および第４分断パネル基板８４は、並列して並べたときに投影領域９２の内部に含まれる。この場合には、たとえば、第３分断パネル基板８３および第４分断パネル基板８４を並べて配置できる位置決め治具を用いて、２つの分断パネル基板を同時に処理することができる。
【００８６】
その他の製造方法については、実施の形態１と同様であるので、ここでは説明を繰返さない。
【００８７】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】実施の形態１におけるパネル基板の平面図である。
【図２】実施の形態１における液晶表示パネルの概略平面図である。
【図３】実施の形態１における液晶表示パネルの拡大概略平面図である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、液晶表示パネルの拡大概略断面図である。
【図５】実施の形態１におけるパネル基板を平面視したときの模式図である。
【図６】分断工程を行なって、パネル基板を分断したときの模式図である。
【図７】パネル基板の表面にレジストを配置するときの概略断面図である。
【図８】パネル基板の表面にレジストを配置したときの概略平面図である。
【図９】レジストを配置したパネル基板を露光装置に搬送するときの概略断面図である。
【図１０】パネル基板を露光装置に配置したときの概略平面図である。
【図１１】露光装置およびパネル基板の概略断面図である。
【図１２】露光装置およびパネル基板の概略側面図である。
【図１３】レジストに露光を行なうときの概略拡大断面図である。
【図１４】（ａ）および（ｂ）は、露光を行なって形成されたマイクロレンズの拡大概略断面図である。
【図１５】実施の形態２における第１のパネル基板の概略平面図である。
【図１６】実施の形態２における第１のパネル基板を平面的に見たときの模式図である。
【図１７】実施の形態２における第１のパネル基板を分断したときの模式図である。
【図１８】２つの分断パネル基板を位置決め治具に配置したときの平面図である。
【図１９】２つの分断パネル基板を位置決め治具に配置したときの概略断面図である。
【図２０】位置決め治具を用いて、分断パネル基板の表面にレジストを配置するときの概略断面図である。
【図２１】分断パネル基板の表面にレジストを配置したときの概略平面図である。
【図２２】分断パネル基板の表面にレジストを配置したときの概略断面図である。
【図２３】位置決め治具および分断パネル基板に露光を行なうときの概略断面図である。
【図２４】（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態２における第２のパネル基板の説明図であり、（ａ）は第２のパネル基板を平面視したときの模式図、（ｂ）は１つの分断パネル基板を平面視したときの模式図、（ｃ）は分断パネル基板の大きさを説明するための模式図である。
【図２５】従来の技術に基づく液晶表示パネルに露光を行なう装置の概略断面図である。
【図２６】従来の技術に基づくパネル基板の概略平面図である。
【符号の説明】
【００８９】
１，１５，１６，１９  パネル基板、２，１８  液晶表示パネル、３  シール材、５，６  ガラス基板、７  貼付けローラ、８  搬送ローラ、９  露光台、１０，１７  露光光源、１１，４９  レジスト、１２  レジストフィルム、１３  マイクロレンズ、１４  位置決め治具、２１，２４  第１区画、２２，２５  第２区画、２３，２６  第３区画、２７  第４区画、３１，３４，８１  第１分断パネル基板、３２，３５，８２  第２分断パネル基板、３３，３６，８３  第３分断パネル基板、３７，８４  第４分断パネル基板、４０  画素、４１  透過部、４２  非透過部、４３，４７，４８  開口部、４５，４６  凹部、５１〜５６  切断線、６１，６８  短外縁、７１，７９  長外縁、９１  表示領域、９２  投影領域、９５〜９７  支点、１０１〜１０５，１０７〜１１８  矢印。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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