(57)【要約】      （修正有）【課題】発熱する電気素子を搭載する電気デバイスにおいて放熱性能を位置に拠らず均等化する。【解決手段】冷却媒体を第１の方向に案内する少なくとも１つの主流路２２と、上記主流路２２の上流側に配置された上記冷却媒体の導入路と、上記主流路２２と上記導入路との接続領域のそれぞれに上記主流路２２と上記導入路とを連通する複数の上流側連通路３８と、上記主流路２２の下流側に配置された上記冷却媒体の排出路と、上記主流路２２と上記排出路との接続領域のそれぞれに上記主流路２２と上記排出路とを連通する複数の下流側連通路４０とを備えた冷却ジャケット１４と、上記冷却ジャケット１４の上記主流路２２の天井壁に設けられた電気素子１２と、を備えたことを特徴とする電気デバイス１０である。【選択図】図１
2006179771.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）冷却媒体を第１の方向に案内する少なくとも１つの主流路と、
上記主流路の上流側に配置された上記冷却媒体の導入路と、
上記主流路と上記導入路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記導入路とを連通する複数の上流側連通路と、
上記主流路の下流側に配置された上記冷却媒体の排出路と、
上記主流路と上記排出路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記排出路とを連通する複数の下流側連通路とを備えた冷却ジャケットと、
（ｂ）上記冷却ジャケットの上記主流路の天井壁に設けられた電気素子と、
を備えたことを特徴とする電気デバイス。
【請求項２】
上記主流路の天井壁には開口部が設けられ、この開口部を塞ぐように上記電気素子が配置されたことを特徴とする請求項１に記載の電気デバイス。
【請求項３】
上記導入路は、上記第１の方向に直交する第２の方向に延在し、この第２の方向の一端に冷却媒体を導入する入口を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気デバイス。
【請求項４】
上記排出路は、上記第１の方向に直交する第２の方向に延在し、この第２の方向の一端に冷却媒体を排出する出口を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気デバイス。
【請求項５】
上記複数の上流側連通路は、上記第１の方向に直交する第２の方向に間隔をあけて配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気デバイス。
【請求項６】
上記複数の下流側連通路は、上記第１の方向に直交する第２の方向に間隔をあけて配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気デバイス。
【請求項７】
上記主流路の上流側端面、上記導入路の端面及び上記上流側連通路の端面が一つの面上に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気デバイス。
【請求項８】
上記主流路の下流側端面、上記排出路の端面及び上記下流側連通路の端面が一つの面上に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気デバイス。
【請求項９】
上記電気素子の上記冷却媒体と接触する面に複数の突起が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の電気デバイス。
【請求項１０】
上記主流路の上記電気素子に対向する領域に、複数の突起が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電気デバイス。
【請求項１１】
上記複数の上流側連通路の少なくとも一つの中心軸上に上記電気素子が配置されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気デバイス。
【請求項１２】
上記導入路又は上記排出路が主流路と上下方向に対向する面積に対する、全ての上記上流側連通路又は全ての上記下流側連通路が主流路と上下方向に対向する領域の面積の比率が、約４０％以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気デバイス。
【請求項１３】
冷却媒体を第１の方向に案内する少なくとも１つの主流路と、
上記主流路の上流側に配置された上記冷却媒体の導入路と、
上記主流路と上記導入路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記導入路とを連通する複数の上流側連通路と、
上記主流路の下流側に配置された上記冷却媒体の排出路と、
上記主流路と上記排出路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記排出路とを連通する複数の下流側連通路と、
を備えたことを特徴とする冷却ジャケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気素子（例えば、半導体素子）で発生した熱を冷却媒体に放出させる電気デバイス、及び該電気デバイスに利用される冷却ジャケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
冷却液により放熱を行う電力変換装置が複数の半導体モジュールを搭載する場合、全ての半導体モジュールを均等に冷却するように冷却液が供給されることが望ましい。
【０００３】
特許文献１に開示される電力変換装置では、複数の電力変換用半導体素子等が絶縁基板に搭載され、該絶縁基板がケース下蓋である冷却基板に接合され、該冷却基板にケース上蓋がネジ止め等で固定される。冷却基板はヒートシンクの上面の開口部を覆うように設置されて接合部分をシールする。ヒートシンクの内部には冷却液を通す冷却流路が形成されている。従って、ヒートシンクに近接する冷却基板の下面が放熱面となり、冷却液へ放熱する。
【０００４】
特許文献２に開示される電力変換装置では、複数の半導体モジュールが並列の冷媒液流路により冷却される。具体的に当該電力変換装置は、複数の半導体モジュールを一括して搭載したコールドプレートと、冷媒液を該コールドプレートに穿った冷媒液通路を経由して放熱器、冷媒液循環ポンプ及び冷媒液液溜タンクに循環させる冷媒液循環回路を含む。冷媒液通路は、コールドプレートに搭載した半導体モジュールの配列に合わせて各半導体素子の下方を通るように穿たれている。
【０００５】
しかし、特許文献１に開示された電力変換装置では、冷却液出入口部が冷却液の流路幅に比べて小さいため、半導体モジュールの中心部と端部で放熱性が不均一になるという問題がある。また、特許文献２に開示される電力変換装置では、複数の半導体モジュールを冷却するため、流路を複数の並列流路に分岐している。しかし、流路の分岐における冷却液の分配の適正化（均等化）について何ら配慮されていない。その結果、各半導体モジュールでの冷却効率が不均一になることが予想される。冷却効率のばらつきは、個々のモジュールに流れる電流の不均一を招き、場合によっては半導体モジュールの破損を引き起こすおそれがある。
【特許文献１】特開２００１−３０８２４６公報（図１参照）
【特許文献２】特開平５−３３５４５４号公報（図３参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、電気素子（例えば、半導体素子）を搭載する電気デバイスにおいて放熱性能を位置に拠らず均等化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記の目的を達成するために為されたものである。本発明に係る電気デバイスは、
（ａ）冷却媒体を第１の方向に案内する少なくとも１つの主流路と、
上記主流路の上流側に配置された上記冷却媒体の導入路と、
上記主流路と上記導入路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記導入路とを連通する複数の上流側連通路と、
上記主流路の下流側に配置された上記冷却媒体の排出路と、
上記主流路と上記排出路との接続領域のそれぞれに上記主流路と上記排出路とを連通する複数の下流側連通路とを備えた冷却ジャケットと、
（ｂ）上記冷却ジャケットの上記主流路の天井壁に設けられた電気素子と、
を備えたことを特徴とする電気デバイスである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明を利用することにより、冷却ジャケット内部における冷却媒体の流速分布の偏りの発生を抑制し、装置全体で放熱性能を均等化する電気デバイスを得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明では、図面を参照した具体的実施形態の構成及び作用が容易に理解できるように、図面に表された構成の具体的部位等を説明するために特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」、「表」、「裏」、「天井」、「底」又はそれらを含む別の用語）を使用するが、発明の技術的範囲はそれらの用語が持っている意味によって限定的に解釈されるべきものでない。
【実施の形態１】
【００１０】
図１は、本発明に係る電気デバイスの一実施形態を示す。電気デバイス１０は、概略、電気素子１２と、電気素子１２で発生した熱を冷却媒体４８に放出させる冷却ジャケット１４を有する。電気素子１２は、種々の形態の電気素子（例えば、半導体回路素子）が考えられるが、電気素子１２で発生した熱を冷却ジャケット１４で回収することを考慮すると該電気素子の動作時に熱を発生するものであればよく、具体的には電力変換用の半導体素子が好適な例として挙げられる。従って、電力変換装置が電気デバイスの好適な例として挙げられる。
【００１１】
実施の形態に示す電気素子１２は、例えば図１（３）に示すように、電気素子１２がその機能を発揮するための必要な回路（例えば、半導体回路）を組み込んだ回路部１６を有する。回路部１６の裏面に放熱部１８を有する。放熱部１８は、熱伝導性に優れた金属材料（例えば、銅）又は非金属材料で形成することが好ましい。また、放熱部１８は、回路部１６と一体的に形成し、一体化された回路部１６と放熱部１８を冷却ジャケット１４に組み付けてもよいし、または、回路部１６とは別々に用意し、冷却ジャケット１４に組み付ける際に適当な接着方法（例えば、接着剤、はんだ）で回路部１６と一体化してもよい。
【００１２】
なお、図１（１）に示すように、実施の形態の電気素子１２は長方形の平面形状を有するが、この形状は限定的なものではない。
【００１３】
冷却ジャケット１４は、金属又は非金属材料（樹脂を含む。）で形成される。冷却ジャケット１４の内部には、図１（１）において左側から右側に向かう矢印Ｘ方向（第１の方向）に伸びる主流路２２が形成されている。図１（３）及び図２に示すように、主流路２２はＸ方向に直交するＹ方向（第２の方向）及びＺ方向（第３の方向）に略長方形の横断面を有する。また、主流路２２の天井壁２４には一つ又は複数の開口部２６が形成されている。これらの複数の開口部２６が熱交換部を形成している。
【００１４】
開口部２６の平面形状は、電気素子１２の輪郭よりも僅かに小さくしてあり、電気素子１２によって開口部２６を塞ぐことができる大きさと形状を有する。実施の形態において、開口部２６は、電気素子１２の長方形平面形状よりも僅かに小さな長方形平面形状を有する。また、天井壁２４の表面には、開口部２６を囲む縁部に沿って連続した段部２８が形成されており、この段部２８に電気素子１２の周縁がちょうど嵌め込まれて位置決めされるようにしてある。したがって、電気素子１２は、底面の放熱部１８を主流路２２に臨ませた状態で段部２８に嵌め込まれて適当なシール材料によって天井壁２４との間が密封シールされ、これにより主流路２２を流れる冷却媒体４８との熱的接触が図られる
【００１５】
図１（１）及び図２に示すように、冷却ジャケット１４の内部にはまた、主流路２２の上流側（図の左側）と下流側（図の右側）にそれぞれ、冷却媒体４８の導入路３０と排出路３２が形成されている。実施の形態では、導入路３０と排出路３２は、矢印Ｘ方向と直交する矢印Ｙ方向に延在している。ここでいう「直交」とは、ほぼ直交のものを含むものである。図２に示すように、実施の形態では、主流路２２と導入路３０との接続領域には隔壁（上流側隔壁）３４が設けられており、主流路２２と排出路３２との接続領域にも隔壁（下流側隔壁）３６が設けられている。つまり、導入路３０と排出路３２は共に長方形の横断面を有して主流路２２の上流側端部と下流側端部の下に隔壁３４、３６を介して配置されている。また、上流側隔壁３４には主流路２２と導入路３０とを連結する上級側連通路（開口部）３８が設けられており、下流側隔壁３６にも主流路２２と排出路３２とを連結する下流側連通路（開口部）４０が設けられている。つまり、導入路３０と主流路２２は上流側隔壁３４に形成した複数の上流側連通路３８を介して流体的に接続されており、排出路３２と主流路２２は下流側隔壁３６に形成した複数の下流側連通路４０を介して流体的に接続されている。実施の形態では、複数の上流側連通路３８と下流側連通路４０は、矢印Ｙ方向に一定の間隔をあけて配置されている。隣接する連通路３８、４０の間隔は一定である必要はない。また、実施の形態では、連通路３８、４０の平面形状は円形としているが、その形は限定的なものでなく、その他の形状（例えば、四角形、三角形などの多角形〔図５参照〕、楕円形）であってもよい。
【００１６】
実施の形態では、導入路３０と排出路３２は、図１（１）において下側に示された冷却ジャケット側壁４６に設けた入口４２と出口４４を介して外部に接続されており、これらが図示しない冷却媒体供給部と冷却媒体回収部に接続されるようにしてある。つまり、導入路３０が延在する方向の一端に冷却媒体４８を導入する入口４２が設けられ、この入口４２が冷却媒体供給部（図示せず）に接続される。更に、排出路３２が延在する方向の一端に冷却媒体４８を排出する出口４４が設けられ、この出口４４が冷却媒体回収部（図示せず）に接続される。冷却媒体４８としては、開口部２６に配置された電気素子１２との接触により該電気素子１２から熱を回収する流体であれば気体又は液体の区別は問わないが、一般的には冷却空気などの気体又は水やエチレングリコール水溶液などの液体が用いられる。
【００１７】
このような構成を備えた電気デバイス１０の動作時、回路部１６には所定の信号が送られ、所定の処理が行われる。一方、冷却媒体供給部から供給された冷却媒体４８は入口４２を介して導入路３０に送り込まれた後、複数の上流側連通路３８から主流路２２の上流側端部に流れ込む。次に、主流路２２を上流側から下流側に流れる冷却媒体４８は、開口部２６に配置されている電気素子１２の回路部１６で発生した熱を放熱部１８を介して回収する。熱を回収した冷却媒体４８は、主流路２２の下流側端部に到達すると、複数の下流側連通路４０から排出路３２に流れ込み、出口４４から冷却媒体回収部に回収される。ここで、図１と図２により説明した「第１の方向（Ｘ方向）」と「第２の方向（Ｙ方向）」を用いると、冷却媒体４８は次のように流れることになる。まず、冷却媒体供給部から供給された冷却媒体４８は、入口４２から第２の方向（Ｙ方向）に流れる。その後、上流側連通路３８を介して導入路３０から主流路２２に流れ、主流路２２内では第１の方向（Ｘ方向）に流れる。その後、下流側連通路４０を介して主流路２２から排出路３２に流れ、排出路３２内では第２の方向（Ｙ方向）とは逆の方向に流れる。その後、出口４４から排出されて冷却媒体回収部に回収される。
【００１８】
熱の回収性能は、連通路３８、４０の大きさ（横断面積）と数に影響される。具体的に説明すると、例えば図４（２）に示すように、個々の連通路３８、４０の大きさが大きい場合、導入路３０をその入口側から奥側に流れる冷却媒体４８は、入口側から奥側に向かう方向の大きな速度ベクトルＰを維持し、この速度ベクトルＰは導入路３０から主流路２２に向かう垂直方向の速度ベクトルＱに対して相対的に大きなものである。そのため、図４（１）に示すように、主流路２２を流れる冷却媒体４８の流速に場所的な変化が生じ、入口側から離れた奥側における流速が手前側（入口側）の流速よりも大きくなる。その結果、冷却ジャケット１４に形成された開口部２６の場所によって放熱性が異なり、一つの冷却ジャケット１４に支持されている複数の電気素子１２の間で特性のばらつきを生じる。
【００１９】
そこで、導入路３０と排出路３２の開口率を変えて主流路２２の複数の場所で冷却媒体４８の流速を測定した。開口率は、１００・〔全ての上流側連通路又は全ての下流側連通路が主流路と上下方向に対向する領域の面積〕／〔導入路又は排出路が主流路と上下方向に対向する領域の面積〕（％）と定義する。観察の結果、開口率が５０％を超える場合、主流路２２に場所的な流速の違いが表れたが、開口率を５０％以下に設定した場合、主流路２２における場所的な流速の違いは殆ど見られなかった。また、横断面が円形の連通路を採用した場合、導入側と排出側にそれぞれ５個の連通路を形成したとき、主流路２２における流速のばらつきが無かった。
【００２０】
実施の形態１の電気デバイス、特に冷却ジャケット１４の変形例について付言する。以上の実施の形態１の電気デバイスにおいては、電気素子１２を天井壁２４に設けた開口部２６に嵌め込み天井壁２４との間を密閉シールして搭載している。ここで、例えば、天井壁２４の開口部２６が何らかの板材で密閉して塞がれておりその板材が主流路２２の一部を構成している状態で、若しくは天井壁２４に開口部２４そのものがない状態で、板材又は天井壁２４の外面に熱伝導性の高い適切なグリースを介して電気素子１２を搭載し冷却媒体４８が間接的に電子素子１２と熱交換をするようにしてもよい。このとき効率的に熱交換するために、開口部２６を塞ぐ板材や、電子素子１２が搭載される天井壁２４部分は、十分な強度を備える限り、薄いものであることが好ましい。なお、以下の実施の形態（実施の形態２〜実施の形態６）に係る電気デバイスにおいても、このような変形例（以下、変形例Ａと言う。）により構成してもよい。
【実施の形態２】
【００２１】
図３は実施の形態２の電気デバイス１０Ｂを示し、これは導入路３０と排出路３２の配置位置が実施の形態１と相違している。具体的に、導入路３０は主流路２２の左斜め下方に形成され、これら導入路３０と主流路２２が斜めの第１の中心軸５０を有する複数の上流側連通路３８を通じて連通されている。また、排出路３２は主流路２２の右斜め下方に形成されており、これら排出路３２と主流路２２が斜めの第２の中心軸５２を有する複数の下流側連通路４０を通じて連通されている。更に図２と図３を対比すると明らかなように、実施の形態２では複数の上流側連通路３８の少なくとも一つの中心軸５０上に電気素子１２が配置されており、同時に複数の下流側連通路４０の少なくとも一つの中心軸５２上にも電気素子１２が配置されている。このような電気デバイス１０Ｂにおいて導入路３０の冷却媒体４８は、斜めの上流側連通路３８を介して主流路２２に流れ込む。このとき、主流路２２に流入した冷却媒体４８は、主流路２２における冷却媒体４８の流れの方向成分（図の左から右に向かう方向の成分）を有するため、導入路３０から主流路２２への冷却媒体４８の流れが円滑に行われる。また、主流路２２の冷却媒体４８は斜めの下流側連通路４０を介して排出路３２に流れ込む。このとき、下流側連通路４０に流れ込む冷却媒体４８は、主流路２２における冷却媒体４８の流れの方向成分（図の左から右に向かう方向の成分）を有するため、主流路２２から排出路３２への冷却媒体４８の流れが円滑に行われる。
【００２２】
また実施の形態２では、電気素子１２の上流側端部（即ち、上流側の開口部２６）は導入路３０の近傍に配置されており、導入路３０から主流路２２に向かって斜めに流れ込む冷却媒体４８の流れが、該開口部２６に配置されている電気素子１２の底面に当たるようにしてある。したがって、導入路３０から主流路２２に流れ込んだフレッシュな冷却媒体４８が電気素子１２に熱的に接触して該電気素子１２から熱を効率良く奪う。
【００２３】
図３に示される実施の形態２の電気デバイス１０Ｂでは、導入路３０は電子素子１２の上流側端部の左斜め下方に形成されているが、導入路３０が電子素子１２の上流側端部の下方に設けられてもよい。このようにしても、導入路３０から主流路２２に流れ込んだフレッシュな冷却媒体４８が電気素子１２に熱的に接触して該電気素子１２から熱を効率良く奪うことができる。同様に、排出路３２が電子素子１２の下流側端部の下方に設けられてもよい。これらの場合でも、複数の上流側連通路３８の少なくとも一つの中心軸５０上に電気素子１２が配置されており、複数の下流側連通路４０の少なくとも一つの中心軸５２上に電気素子１２が配置されている。
【実施の形態３】
【００２４】
図６（１）、（２）は実施の形態３の電気デバイス１０Ｃを示し、これは上流側連通路３８と下流側連通路４０の配置位置が実施の形態１と相違している。具体的に、図１（１）、図２と図６（１）、（２）を対比すると明らかなように、実施の形態３では、矢印Ｘ方向に関して主流路上流側の端面５４と、同方向に関する導入路３０の端面５６と、半楕円状（弾頭形状）に形成された上流側連通路３８の直線状内面５８が同一平面（垂直面）６０上に配置されている。また、矢印Ｘ方向に関して主流路下流側の端面６２と、同方向に関する排出路３２の端面６４と、半楕円状（弾頭形状）に形成された下流側連通路４０の直線状内面６６が同一平面（垂直面）６８上に配置されている。このように形成された電気デバイス１０によれば、主流路２２の上流側端部と下流側端部に冷却媒体４８が淀むことがなく円滑に流れ、電気素子１２と冷却媒体４８との間で効率の良い熱交換が実現できる。
【実施の形態４】
【００２５】
図７は実施の形態４の電気デバイス１０Ｄを示す。この実施の形態は、電気素子１２に特徴を有し、主流路２２に臨む放熱部１８の下面に複数の放熱用の突起７０が設けてある。なお、突起７０の形状・数・配置は、主流路２２を流れる冷却媒体４８が突起間で滞留しないように設計される。このような構成を採用した実施の形態４の電気デバイス１０Ｄによれば、電気素子１２が主流路２２を流れる冷却媒体４８と接触する面積が大きく取れることから、電気素子１２の熱が冷却媒体４８に効率良く回収される。
【００２６】
なお、冷却ジャケット１４が上記変形例Ａであるような場合、即ちまず、天井壁２４の開口部２６が何らかの板材で密閉して塞がれておりその板材が主流路２２の一部を構成している状態である場合には、電気素子１２に対向する領域の板材の内面に上記の突起７０が設けられるのが好ましい。また、天井壁２４に開口部２４そのものがない状態である場合には、電気素子１２に対向する主流路２２の天井壁２４の内面領域に上記の突起７０が設けられるのが好ましい。
【実施の形態５】
【００２７】
図８は実施の形態５の電気デバイス１０Ｅを示す。実施の形態４は、天井壁２４側に突起７０を設けたものであるが、実施の形態５は、主流路２２の底部の内面に突起７４を設けたものである。実施の形態５においては、図８のように、開口部２６に対向する主流路２２の底面の内面７２に複数の突起７４が形成される。この複数の突起７４は、冷却媒体４８の流れに乱れを生じさせ、それを促進する部材（乱流促進部材、攪乱部材）である。なお、突起７４の形状・数・配置は、主流路２２を流れる冷却媒体４８が突起間で滞留しないように設計される。このような構成を採用した実施の形態５の電気デバイス１０Ｅによれば、主流路２２を流れる冷却媒体４８は開口部２６の対向領域で乱され、その結果、冷却媒体４８と電気素子１２との接触効率が高まり、電気素子１２と冷却媒体４８との間で効率の良い熱交換が実現できる。
【００２８】
なお、冷却ジャケット１４が上記変形例Ａであるような場合、即ちまず、天井壁２４の開口部２６が何らかの板材で密閉して塞がれておりその板材が主流路２２の一部を構成している状態の場合には、電気素子１２に対向する領域の板材の内面に対向する領域に上記の突起７４が設けられるのが好ましい。また、天井壁２４に開口部２４そのものがない状態である場合には、電気素子１２に対向する主流路２２の天井壁２４の内面領域に対向する領域に上記の突起７４が設けられるのが好ましい。
【００２９】
また更に、実施の形態４で示した突起７０と、上記実施の形態５における突起７４とが同時に設けられてもよい。
【実施の形態６】
【００３０】
図９は実施の形態６の電気デバイス１０Ｆを示す。この実施の形態は、一つの冷却ジャケット１４内に２つの主流路２２Ａ、２２Ｂが並列に形成されている点で特徴を有する。主流路２２Ａと導入路３０との接続領域３５Ａには複数の上流側連通路３８Ａが設けられ、主流路２２Ｂと導入路３０との接続領域３５Ｂには複数の上流側連通路３８Ｂが設けられる。また、主流路２２Ａと排出路３２との接続領域３７Ａには複数の下流側連通路４０Ａが設けられ、主流路２２Ｂと排出路３２との接続領域３７Ｂには複数の下流側連通路４０Ｂが設けられる。したがって、この実施の形態の電気デバイス１０Ｆによれば、導入路３０に供給された冷却媒体４８は、導入路３０から上流側連通路３８Ａ、３８Ｂを介して２つの主流路２２Ａ、２２Ｂに分岐する。また、２つの主流路２２Ａ、２２Ｂの下流側に到達した冷却媒体４８は、下流側連通路４０Ａ、４０Ｂを介して排出路３２に集められる。
【００３１】
冷却媒体４８が２つの主流路２２Ａ、２２Ｂに分岐する際に、それぞれの主流路２２Ａ、２２Ｂの隔壁３４に設けられた複数の上流側連通路３８Ａ、３８Ｂの作用により冷却媒体４８の圧損が生じ各主流路間の相対的な圧損の差が小さくなり、結果として各主流路２２Ａ、２２Ｂへ流入する冷却媒体４８の量が平均化される。このように、複数の主流路（２２Ａ、２２Ｂ）を有し、主流路（２２Ａ、２２Ｂ）と導入路３０との接続領域（３５Ａ、３５Ｂ）のそれぞれに複数の上流側連通路（３８Ａ、３８Ｂ）を設けるとともに、主流路（２２Ａ、２２Ｂ）と排出路３２との接続領域（３７Ａ、３７Ｂ）のそれぞれに複数の下流側連通路（４０Ａ、４０Ｂ）を設けたものであってもよい。
【００３２】
ここで、開口率を変化させつつ各主流路２２Ａ、２２Ｂにおける流量分布を測定したところ、開口率を５０％以下とした場合、流量の顕著な均等化が実現できた。更に、開口率を約４０％以下にすると各冷却媒体４８の流れをより均等化できた。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態１に係る電気デバイスの平面図［図１（１）］、及び横断面図［図１（２）］、［図１（３）］である。横断面図［図１（２）］は平面図［図１（１）］の鎖線Ｂ−Ｂ’に沿った横断面図である。横断面図［図１（３）］は平面図［図１（１）］の鎖線Ｃ−Ｃ’に沿った横断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る電気デバイスの縦断面図であり、平面図［図１（１）］の鎖線Ａ−Ａ’に沿った縦断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る電気デバイスの縦断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る電気デバイスの平面図［図４（１）］、及び横断面図［図４（２）］である。横断面図［図４（２）］は平面図［図４（１）］の鎖線Ｂ−Ｂ’に沿った横断面図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る電気デバイスにおける連通路の形状の例であり、円［図５（１）］、四角形［図５（２）］、及び三角形［図５（３）］であるものを示す。
【図６】本発明の実施の形態３に係る電気デバイスの平面図［図６（１）］、及び縦断面図［図６（２）］である。縦断面図［図６（２）］は平面図［図６（１）］の鎖線Ａ−Ａ’に沿った縦断面図である。
【図７】本発明の実施の形態４に係る電気デバイスの縦断面図である。
【図８】本発明の実施の形態５に係る電気デバイスの縦断面図である。
【図９】本発明の実施の形態６に係る電気デバイスの平面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１０  電気デバイス、  １２  電気素子、  １４  冷却ジャケット、  １６  回路部、  １８  放熱部、  ２２、２２Ａ、２２Ｂ  主流路、  ２４  天井壁、  ２６  開口部、  ２８  段部、  ３０  導入路、  ３２  排出路、  ３４、３４Ａ、３４Ｂ  上流側隔壁、  ３６、３６Ａ、３６Ｂ  下流側隔壁、  ３８、３８Ａ、３８Ｂ  上流側連通路、  ４０、４０Ａ、４０Ｂ  下流側連通路、  ４２  入口、  ４４  出口、  ４６  冷却ジャケット側壁、  ４８  冷却媒体、  ５０  第１の中心軸、  ５２  第２の中心軸、  ５４  主流路上流側の端面、  ５６  導入路の端面、  ５８  上流側連通路の直線状内面、  ６２  主流路下流側の端面、  ６４  排出路の端面、  ６６  下流側連通路の直線状内面、  ７０  突起、  ７４  突起。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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