(57)【要約】【課題】  基板のサイズ変更に即応して幅サイズを能率よく短時間で変更することができる基板用カセットを提供する。【解決手段】  基板幅規定部材５００Ａとして、上フレーム１の前側フレーム１ａと、下フレーム２の前側フレーム２ａの間を橋渡すように円柱形状の当接部材５０１が設けられている。この円柱部材５０１の上下端には、駒部材５０１ｃ，５０１ｇが取り付けられている。また、上フレーム１の前側フレーム１ａには受入領域５２０、下フレーム２の前側フレーム２ａには受入領域５２２が設けられている。この受入領域５２０，５２２には、スリット溝部５３２ａおよび幅広切欠領域部５３２ｂから形成されるガイド溝５３２が設けられている。【選択図】        図２０
2006287030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を水平および積層状態に支持収納するための基板用カセットであって、
外枠を構成するフレーム(1,2,3)と、
前記フレーム(1,2,3)に設けられ、前記基板を下方面側から支持するための支持部材(4,5)と、
当該基板用カセットに支持収納されるべき前記基板の幅方向長さを規定するため、前記基板を幅方向から挟み込むように前記フレーム(1,2,3)に設けられる基板幅規定手段(500A、500B)と、を備え、
前記基板幅規定手段(500A、500B)は、
前記基板の一方の側面に当接する当接部材(501)を含む第１幅規定部材(500A)と、前記基板の他方の側面に当接する当接部材(501)を含む第２幅規定部材(500B)とを有し、
前記第１幅規定部材(500A)および前記第２幅規定部材(500B)の少なくといずれか一方は、前記フレーム(1,2,3)に対して、前記基板の幅方向に対してスライド可能な位置可変固定機構を含み、
前記位置可変固定機構は、
前記フレーム(1,2）に設けられ、前記基板の幅方向に沿って延びるガイド溝(532)と、
前記当接部材（501)に設けられ、前記ガイド溝(532)に位置固定される第１状態と、この第１状態から上方向に持ち上げられ、前記ガイド溝(532)に位置固定されない第２状態とが選択可能に設けられ、下方に向けて徐々に外径が細くなる略円錐形状の駒部材(501g)と、を有し、
前記ガイド溝（532)は、所定幅のスリット溝部(532a)と、前記駒部材(501g)が第１状態の際に、前記スリット溝部(532a)よりも幅広に設けられ、前記駒部材(501g)の上端に位置する最大外径部分の収容が可能な幅広切欠領域部(532b)と、を有する基板用カセット。
【請求項２】
前記当接部材(501)は、前記フレームの上下間を橋渡すように配置される、請求項１に記載の基板用カセット。
【請求項３】
前記当接部材(501)の上下への摺動動作により、この当接部材(501)の上下端部領域に設けられたぞれぞれの前記位置可変固定機構の同時操作を可能とする、請求項２に記載の基板用カセット。
【請求項４】
前記基板幅規定手段(500A、500B)は、前記フレーム(1,2)の前側および後側にそれぞれ設けられ、前後において対応する前記基板幅規定手段(500A、500B)同士は相互に連結されている、請求項１から３のいずれかに記載の基板用カセット。
【請求項５】
基板を水平および積層状態に支持収納するための基板用カセットであって、
外枠を構成するフレーム(1,2,3)と、
前記フレーム(1,2,3)に設けられ、前記基板を下方面側から支持するための支持部材(4,5)と、
当該基板用カセットに支持収納されるべき前記基板の幅方向長さを規定するため、前記基板を幅方向から挟み込むように前記フレーム(1,2,3)に設けられる基板幅規定手段(200A、200B)と、を備え、
前記基板幅規定手段(200A、200B)は、
前記基板の一方の側面に当接する当接部材(201)を含む第１幅規定部材(200A)と、前記基板の他方の側面に当接する当接部材(201)を含む第２幅規定部材(200B)とを有し、
前記第１幅規定部材(200A)および前記第２幅規定部材(200B)の少なくといずれか一方は、前記フレーム(1,2,3)に対して、前記基板の幅方向に対してスライド可能な位置可変固定機構を含み、
前記位置可変固定機構は、
前記フレーム(1,2）に設けられ、前記基板の幅方向に沿って延びるガイド溝(232,324)と、
前記当接部材（201)に連結し、前記ガイド溝(232,324)に収容される第１状態と、この第１状態から上方向または下方向に移動し、前記ガイド溝(232,324)に収容されない第２状態とが選択可能に設けられ、第１幅領域(W1,W11)と、前記第１幅領域(W1,W11)よりも大きい第２幅領域(W2,W12)とを有する駒部材(201c,316)と、を有し、
前記ガイド溝（232,324)は、前記駒部材(201c,316)が第１状態の際に、
前記駒部材(201c,316)において第１方向が選択された場合に、前記第１幅領域(W1,W11)を受入れ、前記駒部材(201c,316)の連続スライドを許容するスライド溝(232a,324a)と、
前記駒部材(201c,316)において前記第１方向から所定角度回転し第２方向が選択された場合に、前記第２幅領域(W2)を受入れ、前記駒部材（201c,316)のスライドを許容しない複数の固定溝(232b,324b)と、を有する基板用カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置、プラズマ表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置などの表示画面用の基板を収納する基板用カセットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置やプラズマ表示装置には、陰極管表示装置と異なり、平坦なフラット画面が用いられ、表示装置の厚みを厚くすることなく画面サイズを広げることが容易である。このため、各種携帯端末からパソコンやテレビ、大型表示装置まで多くのサイズのフラットパネル表示装置が製造されている。
【０００３】
これらのフラットパネル表示装置には、各種の基板が用いられる。基板には、透明ガラス、透明セラミックス、透明樹脂板などが用いられ、反りや歪みがなく、厚み精度がよいことなどが求められる。また、シリコン膜などを蒸着した後、多くの処理工程で、熱処理や薬品処理を受けるので、耐熱性や耐食性などに優れることも必要である。基板に処理を施して表示装置を形成するには、クリーンルーム内で、多くの成膜処理、エッチング工程、熱処理工程などを経る必要がある。このため、基板の取り扱いには細心の注意が必要である。
【０００４】
このような基板を収納するための基板用カセットの構造を開示するものとして、下記の特許文献１、２、３、４、５が挙げられる。特に、特許文献５においては、収納されるべき基板の幅方向を規制する手段において、１つの基板用カセットにより、収納すべき基板の幅に応じて、基板の収納幅を容易に変更することが可能な機構が採用されている。
【特許文献１】特開平０６−２４７４８３号公報
【特許文献２】特開平０９−０３６２１９号公報
【特許文献３】特開平１１−０３５０８９号公報
【特許文献４】特開２００１−１０２４３７号公報
【特許文献５】特開２００４−１３４４６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来公知の基板用カセットにおいては、収納すべき基板の種類ごとに専用の基板用カセットを保有する必要があるという課題がある。この発明は、収納すべき基板の幅サイズ種類の拡大を図り、さらに能率よく短時間で幅サイズの変更を行なうことができる機構を備えた基板用カセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、この発明に基づいた、基板用カセットの一つの局面においては、基板を水平および積層状態に支持収納するための基板用カセットであって、外枠を構成するフレームと、上記フレームに設けられ、上記基板を下方面側から支持するための支持部材と、当該基板用カセットに支持収納されるべき上記基板の幅方向長さを規定するため、上記基板を幅方向から挟み込むように上記フレームに設けられる基板幅規定手段とを備えている。
【０００７】
また、上記基板幅規定手段は、上記基板の一方の側面に当接する当接部材を含む第１幅規定部材と、上記基板の他方の側面に当接する当接部材を含む第２幅規定部材とを有し、上記第１幅規定部材および上記第２幅規定部材の少なくといずれか一方は、上記フレームに対して、上記基板の幅方向に対してスライド可能な位置可変固定機構を含んでいる。
【０００８】
さらに、上記位置可変固定機構は、上記フレームに設けられ、上記基板の幅方向に沿って延びるガイド溝と、上記当接部材に設けられ、上記ガイド溝に位置固定される第１状態と、この第１状態から上方向に持ち上げられ、上記ガイド溝に位置固定されない第２状態とが選択可能に設けられ、下方に向けて徐々に外径が細くなる略円錐形状の駒部材とを有し、上記ガイド溝は、所定幅のスリット溝部と、上記駒部材が第１状態の際に、上記スリット溝部よりも幅広に設けられ、上記駒部材の上端に位置する最大外径部分の収容が可能な幅広切欠領域部とを有している。
【０００９】
また、上記目的を達成するため、上記基板用カセットの他の形態においては、上記当接部材は、上記フレームの上下間を橋渡すように配置される。
【００１０】
また、上記目的を達成するため、上記基板用カセットの他の形態においては、上記当接部材の回転動作、上下への摺動動作および上記基板の幅方向へのスライド動作により、この当接部材の上下端部領域に設けられたぞれぞれの上記位置可変固定機構の同時操作を可能とする。
【００１１】
また、上記目的を達成するため、上記基板用カセットの他の形態においては、上記基板幅規定手段は、上記フレームの前側および後側にそれぞれ設けられ、前後において対応する上記基板幅規定手段同士は相互に連結されている。
【００１２】
上記目的を達成するため、この発明に基づいた、基板用カセットの他の局面においては、基板を水平および積層状態に支持収納するための基板用カセットであって、外枠を構成するフレームと、このフレームに設けられ、上記基板を下方面側から支持するための支持部材と、当該基板用カセットに支持収納されるべき上記基板の幅方向長さを規定するため、上記基板を幅方向から挟み込むように上記フレームに設けられる基板幅規定手段とを備えている。
【００１３】
また、上記基板幅規定手段は、上記基板の一方の側面に当接する当接部材を含む第１幅規定部材と、上記基板の他方の側面に当接する当接部材を含む第２幅規定部材とを有し、上記第１幅規定部材および上記第２幅規定部材の少なくといずれか一方は、上記フレームに対して、上記基板の幅方向に対してスライド可能な位置可変固定機構を含んでいる。
【００１４】
さらに、上記位置可変固定機構は、上記フレームに設けられ、上記基板の幅方向に沿って延びるガイド溝と、上記当接部材に連結し、上記ガイド溝に収容される第１状態と、この第１状態から上方向または下方向に移動し、上記ガイド溝に収容されない第２状態とが選択可能に設けられ、第１幅領域と、上記第１幅領域よりも大きい第２幅領域とを有する駒部材とを有している。
【００１５】
さらに、上記ガイド溝は、上記駒部材が第１状態の際に、上記駒部材において第１方向が選択された場合に、上記第１幅領域を受入れ、上記駒部材の連続スライドを許容するスライド溝と、上記駒部材において上記第１方向から所定角度回転し第２方向が選択された場合に、上記第２幅領域を受入れ、上記駒部材のスライドを許容しない複数の固定溝とを有する。
【発明の効果】
【００１６】
この発明に基づいた、基板用カセットの一つの局面によれば、駒部材を上方に移動させることで、駒部材が、幅広切欠領域部から外れ、駒部材のスリット溝部での横方向への移動を可能とする。これにより、容易に第１幅規定部材および第２幅規定部材を幅方向へ移動させることができる。また、第１幅規定部材および第２幅規定部材の位置決めにおいては、スリット溝部に適宜設けられた幅広切欠領域部に駒部材を挿入することで、容易に第１幅規定部材および第２幅規定部材の位置決めを実現させることが可能となる。
【００１７】
また、他の形態によれば、当接部材をフレームの上下間を橋渡すように配置することで、上下での位置決め位置を一致させることが可能となる。
【００１８】
また、他の形態によれば、１つの当接部材の動作に基づき、この当接部材の上下端部領域に設けられたぞれぞれの位置可変固定機構の同時操作を可能とすることにより、第１幅規定部材と第２幅規定部材との間隔調節動作の簡略化を図ることが可能となる。
【００１９】
また、他の形態によれば、基板幅規定手段は、フレームの前側および後側にそれぞれ設けられ、前後において対応する基板幅規定手段同士は相互に連結されている。これによって、前後の幅規定部材の相互の位置ずれを防止するとともに、位置決め動作の簡略化を図ることが可能となる。
【００２０】
この発明に基づいた、基板用カセットの他の局面によれば、第１幅規定部材および第２幅規定部材の幅方向の位置決めに際しては、駒部材において第１方向が選択された場合に、スライド溝に駒部材の第１幅領域が受入れられているため、当接部材をスライド溝に沿ってスムーズに移動させることを可能とする。また、このガイド溝に、複数の固定溝を設けておくことで、駒部材を回転させて、この固定溝に駒部材の第２幅領域を受入れさせることにより、駒部材をこの固定溝に固定させることが可能となる。その結果、第１幅規定部材と第２幅規定部材との間隔（収納すべき基板の幅）を固定することができる。
【００２１】
また、駒部材の第２幅領域の形状、およびそれに対応する固定溝の形状を選択することにより、固定溝を細かいピッチで設けることが可能となり、様々なサイズ幅の基板の収納を可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、この発明に基づいた各実施の形態における基板用カセットについて、図を参照しながら説明する。
【００２３】
（実施の形態１）
まず、図１から図４を参照して、実施の形態１における基板用カセット１００の構成について説明する。なお、図１は本実施の形態における基板用カセット１００の構成を示す全体斜視図であり、図２は本実施の形態における基板用カセット１００に採用される位置可変固定機構の構成を示す部分拡大斜視図であり、図３は本実施の形態における位置可変固定機構の構成の一部を示す第１部分拡大斜視図であり、図４は本実施の形態における位置可変固定機構の構成の一部を示す第２部分拡大斜視図である。
【００２４】
（基板用カセット１００の全体構成）
本実施の形態における基板用カセット１００は、図１に示すように、液晶表示装置、プラズマ表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置などの表示画面用の基板を水平および積層状態に支持収納するための基板用カセットであり、立方体形状の外枠を構成するフレームとして、外形が矩形形状の上フレーム１および下フレーム２、これら上フレーム１と下フレーム２とを連結する複数の連結フレーム３とを備えている。
【００２５】
また、上フレーム１と下フレーム２との間には、基板を下方面側から支持するための支持部材として、上下方向に延び、上下端部が、上フレーム１および下フレーム２に連結される複数の支持フレーム４と、この支持フレーム４から水平方向に延び、基板を積層状態に支持するための支持ピン５が、上下方向に所定の間隔で複数配置されている。
【００２６】
本実施の形態においては、基板を２列（Ａ１方向搬入、Ａ２方向搬入）に収容可能な構成を採用している。外枠の寸法は、本実施の形態の場合には、高さ１０００ｍｍ、幅８４０ｍｍ、奥行き９５０ｍｍ程度である。また、フレーム等の材料としては、樹脂、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス鋼等を用いることができる。また、基板との接触部分等は、発塵を抑えるために樹脂を用いることが好ましい。また、基板は多くの部材と接触および離脱を繰り返すため、帯電し、また離脱の際に放電する。放電が生じると、基板を損傷する場合があるので、まずその原因となる帯電を防止するため、樹脂は導電性とし、帯電した電気がフレームを伝ってアースされるようにすることが好ましい。なお、構成としては、２列に限定されるものでなく、一列構造、３列以上の構造の採用も可能である。
【００２７】
また、本実施の形態における基板用カセット１００の特徴的構成として、収容されるべき基板１０００の幅寸法（幅方向長さ）Ｗを規定するための基板幅規定手段２００を備えている点にある。本実施の形態においては、基板１０００を２列収容する構成を採用していることから、基板幅規定手段２００は二組設けられている。
【００２８】
（基板幅規定手段２００の構成）
以下、この基板幅規定手段２００の構成について、まず、図１を参照して説明する。上述したように、本実施の形態においては、基板幅規定手段２００として、基板１０００の一方の側面（左側面）に当接する第１幅規定部材２００Ａと、基板１０００の他方の側面（右側面）に当接する第２幅規定部材２００Ｂとを有している。この基板幅規定部材２００Ａ、２００Ｂの基本的構成は同じであり、基板用カセット１００の基板搬入口側（前側）と後側とに設けられ、前後において対応する基板幅規定部材は、前後での位置決め位置を一致させる観点から、上側は、前後方向に延び連結バーを兼用するスペースバー２１０により連結され、また、下側も、前後方向に延び連結バーを兼用するスペースバー２１１により連結されている。
【００２９】
次に、基板幅規定部材２００Ａ、２００Ｂの具体的構成について、図２〜図４を参照して説明する。この基板幅規定部材２００Ａ、２００Ｂの基本的構成はすべて同じであるため、基板搬入口側（前側）から見て最も左側の前側に位置する基板幅規定部材２００Ａを代表例として説明する。
【００３０】
まず、図２を参照して、この基板幅規定部材２００Ａは、上フレーム１の前側フレーム１ａと、下フレーム２の前側フレーム２ａの間を橋渡すように配置される円柱形状の当接部材２０１が設けられている。この円柱部材２０１は、図３に示すように、胴部２０１ａと、この胴部２０１ａの上下端部から同軸に延び、胴部２０１ａよりも径が細く設けられる軸部２０１ｂとを有している。上部に位置する軸部２０１ｂの外周面には、コイルバネ２０１ｄが嵌挿されるとともに、軸部２０１ｂの先端部分には、略六角形状の駒部材２０１ｃが取付けられている。また、下部に位置する軸部２０１ｂの胴部２０１ａの近傍領域には、軸部２０１ｂの軸方向に対して直交し、かつ反対側に貫通するピン２０１ｅが固定されている。また、軸部２０１ｂの中間領域には、上部に設けられたものと同じ外形形状を有する駒部材２０１ｃが取付けられている。下部に位置する軸部２０１ｂにおいては、この駒部材２０１ｃから軸部２０１ｂが一部下方に向けて貫通するように設けられている。なお、駒部材２０１の具体的形状については後述する。
【００３１】
次に、図４を参照して、上フレーム１の前側フレーム１ａの所定領域には、他の領域よりも厚みが薄く形成された受入領域２２０が設けられ、この受入領域２２０には、この基板幅規定部材２００Ａの移動方向に対応する横方向に延びる貫通長孔２２１が設けられている。また、この受入領域２２０の上面側には、この受入領域２２０の対して着脱可能に取付けられるプレート部材２３０が配設される。このプレート部材２３０は、本体部２３１と、貫通長孔２２１に対応する位置に、本体部２３１を貫通するガイド溝２３２とを有している。なお、ガイド溝２３２の具体的な形状は、駒部材２０１の形状とともに後述する。
【００３２】
上フレーム１の下方に位置するスペースバー２１０の、貫通長孔２２１に対応する位置には、当接部材２０１の軸部２０１ｂを摺動可能に受入れるための貫通孔２１０ｈが設けられている。
【００３３】
下フレーム２の前側フレーム２ａの所定領域には、他の領域よりも厚みが薄く形成された、受入領域２２２が設けられ、この受入領域２２２には、この基板幅規定部材２００Ａの移動方向に対応する横方向に延びる貫通長孔２２３が設けられている。また、この受入領域２２２の上面側には、この受入領域２２２に対して着脱可能に取付けられるプレート部材２３０が配設される。このプレート部材２３０は、上述したプレート部材２３０と同じ形状のものである。
【００３４】
下フレーム１の上方に位置するスペースバー２１１の、貫通長孔２２３に対応する位置には、当接部材２０１の軸部２０１ｂを摺動可能に受入れるための貫通孔２１０ｈが設けられている。また、スペースバー２１１の上面部分には、貫通孔２１０ｈに連通する浅い溝２１１ｓが、スペースバー２１１に延びる方向に沿い、また、貫通孔２１０ｈを交差するように設けられている。この溝２１１ｓには、上述したピン２０１ｅが収容され得る。
【００３５】
再び、図２を参照して、通常状態（固定状態）においては、上フレーム１の前側フレーム１ａ側においては、スペースバー２１０の下面と胴部２０１ａの上端面との間にコイルバネ２１０ｄが位置するように配設される。また、軸部２０１ｂは、スペースバー２１０に設けられた貫通孔２１０ｈ、前側フレーム１ａに設けられた貫通孔２２１を貫通するように配設され、駒部材２０１がプレート部材２３０のガイド溝２３２内に位置するように配設される。
【００３６】
また、下フレーム２の前側フレーム２ａ側においては、スペースバー２１１の上面と胴部２０１ａの下端面とが当接するように配設される。このとき、ピン２０１ｅはスペースバー２１１の上面に設けられた溝２１１ｓに収容される。軸部２０１ｂは、スペースバー２１１に設けられた貫通孔２１１ｈを貫通するように配設され、駒部材２０１がプレート部材２３０のガイド溝２３２内に位置するように配設される。また、駒部材２０１から下方に延びる軸部２０１ｂは、前側フレーム２ａに設けられた貫通長孔２２３に収容される。
【００３７】
ここで、駒部材２０１ｃの形状と、プレート部材２３０に設けられるガイド溝２３２の形状とについて、図５および図６を参照して説明する。なお、図５は、駒部材２０１ｃとガイド溝２３２との形状関係を示す第１状態を示す平面図であり、図６は、駒部材２０１ｃとガイド溝２３２との形状関係を示す第２状態を示す平面図である。まず、駒部材２０１は、六角形の形状を有し、対向配置された辺の間の長さ領域からなる第１幅領域Ｗ１と、この第１幅領域Ｗ１に対して直交し、対向配置された三角突起部の頂点の間の長さからなる第２幅領域Ｗ２とを有している。この第２幅領域は、第１幅領域Ｗ１よりも大きくなる寸法に設定されている。
【００３８】
一方、ガイド溝２３２は、その両側面に、規則正しく配置されたのこぎり刃状の凹凸面２３１ｃが形成され、凹面の形状は、図示するように、駒部材２０１ｃの三角突起部の一部が、両側面において同時に受入れられる形状となっている。また、凹凸面２３１ｃの対向する凸部先端部分の間の距離Ｇ１は、第１幅領域Ｗ１の寸法よりも大きく、第２幅領域Ｗ２の寸法よりも大きい寸法に設定され、駒部材２０１ｃが図６に示す状態に選択された場合には、距離Ｇ１によって規定されるスライド溝２３２ａ内を駒部材２０１ｃが移動可能となる。また、凹凸面２３１ｃの対向する凹部底部分の間の距離Ｇ２は、第２幅領域Ｗ２の寸法よりも少し大きい寸法に設定される。距離Ｇ２によって、複数の固定溝２３２ｂが規定される。だだし、この距離Ｇ２と第２幅領域Ｗ２の寸法との関係においては、第１幅規定部材２００Ａの「ガタツキ」の発生を防止する必要があるため、厳密な寸法公差を設定して、加工されるものである。
【００３９】
以上、当接部材２０１の上下に設けられた構成により、上側位置可変固定機構および下側位置可変固定機構が構成されることとなる。次に、図７から図１１を参照して、上側位置可変固定機構および下側位置可変固定機構の動作について説明する。なお、図７から図１１は、上側位置可変固定機構および下側位置可変固定機構の動作を示す第１から５動作状態図である。
【００４０】
まず、図７を参照して、この図に示す状態は、図２示した状態と同じであり、当接部材２１０の上下に設けられた、駒部材２０１ｃの第２幅領域Ｗ２を規定する三角突起部が、ガイド溝２３２の凹凸面２３１ｃに勘合して、位置可変固定機構によるロック状態が選択されている。その結果、基板幅規定部材２００Ａは、上フレーム１の前側フレーム１ａおよび下フレーム２の前側フレーム２ａに位置決固定された状態となる（第１状態）。
【００４１】
次に、図８を参照して、当接部材２１０の胴部２０１ａを把持し、コイルバネ２０１ｄを押し縮めるように当接部材２１０を上方に持ち上げる（Ｍ１方向）。これにより、上下に位置する駒部材２０１ｃが、ガイド溝２３２から外れる位置に持ち上げられ、同時に、ピン２０１ｅも溝２１１ｓから外れる位置に持ち上げられる（第２状態）。なお、胴部２０１ａの下方に位置する軸部２０１ｂは、下フレーム２の前側フレーム２ａに設けられた貫通長孔２２３から外れることはない。
【００４２】
次に、図９を参照して、当接部材２１０の胴部２０１ａを把持し、当接部材２１０を上方に持ち上げた状態のまま、当接部材２１０を軸周りに約９０度回転させる（Ｍ２方向）。その後、図１０に示すように、当接部材２１０を下方に押し下げる（Ｍ２方向）。このとき、胴部２０１ａの下方に設けられたピン２０１ｅも９０度回転していることから、このピン２０１ｅが、スペースバー２１１の上面に当接し、当接部材２１０の下方への移動を阻止する。このとき、駒部材２０１ｃも９０度回転することにより、駒部材２０１ｃとガイド溝２３２と関係は、図５に示す様態から、図６に示す状態に変わる。
【００４３】
次に、図１１を参照して、当接部材２１０の胴部２０１ａを把持し、当接部材２１０を所定距離スライドさせて、所望の位置に当接部材２１０を停止させる。このとき、コイルバネ２０１ｄからの弾性力は、ピン２０１ｅを介して、スペースバー２１１の上面において受け止められていることから、当接部材２１０をスムーズにスライドさせることができる。その後、当接部材２１０を持ち上げ、その状態のまま、当接部材２１０を軸方向周りに９０度回転させ、当接部材２１０を下方に押し下げる。この場合、コイルバネ２０１ｄの弾性力により当接部材は下方に押し付けられる。これにより、図７に示す固定状態が再び選択される。
【００４４】
（作用・効果）
以上、この実施の形態においては、位置可変固定機構において、第１幅規定部材および第２幅規定部材の幅方向の位置決めに際しては、駒部材２０１ｃにおいて第１方向（図６に示す状態）が選択された場合に、ガイド溝２３２に駒部材２０１ｃの第１幅領域Ｗ１が受入れられているため、当接部材２０１をガイド溝２３２に沿ってスムーズに移動させることを可能とする。また、このガイド溝２３２に、凹凸面２３１ｃを設けておくことで複数の固定溝２３２ｂが規定され、駒部材２０１ｃを回転させて、この凹凸面２３１ｃに駒部材２０１ｃの第２幅領域Ｗ２を規定する三角突起部を受入れさせることにより、駒部材２０１ｃをこの固定溝２３１ｂに固定させることが可能となる。その結果、第１幅規定部材２００Ａと第２幅規定部材２００Ｂとの間隔（収納すべき基板の幅）を固定することができる。
【００４５】
また、当接部材２０１をフレームの上下間を橋渡すように配置し、この当接部材２０１の上下端部領域に位置可変固定機構を設けることにより、上下での位置決め位置を一致させることが可能となる。１つの当接部材２０１の動作に基づき、この当接部材２０１の上下端部領域に設けられたぞれぞれの位置可変固定機構の同時操作が可能となるため、第１幅規定部材２００Ａと第２幅規定部材２００Ｂとの間隔調節動作の簡略化を図ることが可能となる。
【００４６】
また、本実施の形態における基板幅規定部材２００Ａ，２００Ｂ手段は、フレームの前側および後側にそれぞれ設けられ、前後において対応する基板幅規定部材同士はスペースバー２１０，２１１によって相互に連結されているため、前後の基板幅規定部材の相互の位置ずれを防止するとともに、位置決め動作の簡略化を図ることが可能となる。
【００４７】
また、本実施の形態においては、駒部材２０１ｃに三角突起部を設ける形状、およびそれに対応する固定溝の形状を選択することにより、固定溝を細かいピッチで設けることが可能となり（のこぎり刃状）、様々なサイズ幅の基板１０００を収納することが可能となる。また、プレート部材２３０は、フレームに対して着脱可能に設けらていることから、ガイド溝２３２の形状を容易に変更することができる。
【００４８】
（実施の形態２）
本実施の形態における基板用カセットおいては、上述した実施の形態１に採用した構成とは異なる位置可変固定機構を採用していることを特徴としている。したがって、ここでの説明は、本実施の形態において採用した位置可変固定機構を詳細に説明し、上記実施の形態１と同じ構成については、同一の参照符号を付し、重複する説明は繰り返さないこととする。
【００４９】
まず、図１２（ａ），（ｂ）および図１３を参照して、本実施の形態における位置可変固定機構の構成について説明する。なお、図１２（ａ）は、本実施の形態における位置可変固定機構の構成を示す側面図であり、図１において、基板搬入口側（前側）から見て最も右側の前側に位置する基板幅規定部材２００Ｂの下側に設けられる位置可変固定機構に相当し、図１２（ｂ）中の（ａ）−（ａ）線矢視断面に相当する。また、図１２（ｂ）は、底面側から見上げた図である。また、図１３は、本実施の形態における位置可変固定機構の内部構成を示す拡大断面図である。
【００５０】
上記実施の形態においては、１つの当接部材の動作に基づき、この当接部材の上下端部領域に設けられたぞれぞれの位置可変固定機構の同時操作を可能とする機構が採用されていたが、本実施の形態においては、同時操作を行なうのではく、それぞれ個々の動作により、基板幅規定部材を固定しようとするものである。
【００５１】
本実施の形態における可変固定機構は、当接部材２０１に直接設けられるのではなく、当接部材２０１が固定されるスペースバー２１１と前フレーム２ａとの間に設けられている。前フレーム２ａの所定領域には、基板幅規定部材２００Ｂの移動方向に対応する横方向に延びる貫通長孔３２３が設けられている。また、前フレーム２ａの裏面側において、この貫通長孔３２３を取囲むように、所定深さのガイド溝３２４が設けられている。このガイド溝３２４は、幅Ｇ１１のスライド凹部溝３２４ａと、所定ピッチで、幅がスライド凹部溝３２４の幅Ｇ１１よりも大きい幅Ｇ１２からなり、長さがＧ１３の複数の固定凹部溝３２４ｂを有している。
【００５２】
スペースバー２１１の上面側には、貫通長孔３２３に対応する位置に、スペースバー２１１にボルト３１３によって固定されるハウジング３１１と、ハウジング３１１の上部に設けられた貫通孔３１２、スペースバー２１１に設けられた貫通孔２１１ｈ、および、貫通長孔３２３を貫通する操作ピン３１５とが設けられている。この操作ピン３１５には、ハウジング３１１内において、スペーサ３１８と、このスペーサ３１８との間に、コイルバネ３１７が嵌挿されている。また、操作ピン３１５の上端部には操作ヘッド３１４が設けられ、下端部には、小判形状の駒部材３１６が設けられている。
【００５３】
この駒部材３１６は、図１２（ｂ）に示すように、固定凹部溝３２４ｂに収容され得る長方形形状の外形を有し、第１幅領域Ｗ１１と、この第１幅領域Ｗ１１よりも大きい第２幅領域Ｗ１２とを有している。以上の構成により、下側位置可変固定機構が構成されることとなる。
【００５４】
次に、図１４から図１７を参照して、下側位置可変固定機構の動作について説明する。なお、図１４から図１７は、下側位置可変固定機構の動作を示す第１から４動作状態図であり、図中（ａ）図および（ｂ）図は、図１２と同じである。
【００５５】
まず、図１４を参照して、この図に示す状態は、図１２示した状態と同じであり、操作ピン３１５の下端に設けられた、駒部材３１６が、ガイド溝３２４の固定凹部溝３２４ｂに収容され、下側位置可変固定機構によるロック状態が選択されている（第１状態）。
【００５６】
次に、図１５を参照して、操作ピン３１５を下方に押し下げる（Ｍ１方向）。これにより、駒部材３１６がガイド溝３２４から外れることになる（第２状態）。その後、この状態を維持したまま、操作ヘッド３１４を操作ピン３１５の軸方向周りに約９０度回転させる（Ｍ２方向）。その後、図１６に示すように、操作ピン３１５を上方に持ち上げる（Ｍ３方向）。このとき、下方に設けられた駒部材３１６も９０度回転していることから、駒部材３１６は、スライド凹部溝３２４に沿ってスライド可能な状態となる（第１状態）。
【００５７】
次に、図１７を参照して、当接部材２１０をスペーサバー２１１とともに、所定距離スライドさせて、所望の位置に当接部材２１０を停止させる。その後再び、操作ピン３１５を下方に押し下げる（Ｍ４方向）。この状態を維持したまま、操作ヘッド３１４を操作ピン３１５の軸方向周りに約９０度回転させる（Ｍ５方向）。その後、操作ピン３１５を上方に持ち上げる。これにより、駒部材３１６が、ガイド溝３２４の固定凹部溝３２４ｂに収容され、再び、下側位置可変固定機構によるロック状態が選択される状態となる。
【００５８】
（作用・効果）
以上、この実施の形態においては、位置可変固定機構において、第２幅規定部材２００Ｂの幅方向の位置決めに際しては、駒部材３１６において第１方向（図１６に示す状態）が選択された場合に、ガイド溝３２４に駒部材３１６の第１幅領域Ｗ１１が受入れられているため、当接部材２０１をスライド凹部溝３２４ａに沿ってスムーズに移動させることを可能とする。また、このガイド溝３２４に、固定凹部溝３２４ｂを設けておくことで複数の固定溝としての固定凹部溝３２４ｂが規定され、駒部材３１６を回転させて、この固定凹部溝３２４ｂに駒部材３１６の第２幅領域Ｗ１２を受入れさせることにより、駒部材３１６をこの固定凹部溝３２４ｂに固定させることが可能となる。その結果、第１幅規定部材２００Ａと第２幅規定部材２００Ｂとの間隔（収納すべき基板の幅）を固定することができる。
【００５９】
（実施の形態３）
本実施の形態における基板用カセットおいては、上述した実施の形態１および２に採用した構成とは異なる位置可変固定機構を採用していることを特徴としている。したがって、ここでの説明は、本実施の形態において採用した位置可変固定機構を詳細に説明し、上記実施の形態１および２と同じ構成については、同一の参照符号を付し、重複する説明は繰り返さないこととする。
【００６０】
まず、図１８から図２０を参照して、本実施の形態における位置可変固定機構の構成について説明する。なお、図１８は本実施の形態における基板用カセット４００の構成を示す全体斜視図であり、図１９は、本実施の形態における基板用カセット４００に採用される基板幅規定手段５００の構成を示す部分斜視図であり、図２０は本実施の形態における基板用カセット４００に採用される位置可変固定機構の構成を示す部分拡大斜視図である。
【００６１】
（基板用カセット４００の全体構成）
本実施の形態における基板用カセット４００は、図１８に示すように、基本的構成は図１に示す実施の形態１における基板用カセット１００と略同じ構成を有し、立方体形状の外枠を構成するフレームとして、外形が矩形形状の上フレーム１および下フレーム２、これら上フレーム１と下フレーム２とを連結する複数の連結フレーム３とを備えている。
【００６２】
また、上フレーム１と下フレーム２との間には、基板を下方面側から支持するための支持部材として、基板用カセット１００と同じ支持フレームおよび支持ピンが設けられているが、図１８における図示は省略している。本実施の形態においては、基板を１列（Ａ方向搬入）に収容可能な構成を採用している。フレーム等の材料は、基板用カセット１００と同じである。
【００６３】
本実施の形態における基板用カセット４００の特徴的構成として、収容されるべき基板の幅寸法（幅方向長さ）Ｗを規定するための基板幅規定手段５００が設けられている。以下、この基板幅規定手段５００の構成について説明する。
【００６４】
（基板幅規定手段５００の構成）
図１８から図２０を参照して、この基板幅規定手段５００は、基板の一方の側面（左側面）に当接する第１幅規定部材５００Ａと、基板の他方の側面（右側面）に当接する第２幅規定部材５００Ｂとを有している。この基板幅規定部材５００Ａ、５００Ｂの基本的構成は同じであり、基板用カセット４００の基板搬入口側（前側）と後側とに設けられ、前後において対応する基板幅規定部材は、前後での位置決め位置を一致させる観点から、上側は、前後方向に延び連結バーを兼用するスペースバー４１１により連結され、また、下側も、前後方向に延び連結バーを兼用するスペースバー４１２により連結されている。また、スペースバー４１１およびスペースバー４１２の後端部においては、補助プレート５５０が取り付けられ、収容される基板の背部側面に当接するストッパ５４０が取付られている。
【００６５】
次に、基板幅規定部材５００Ａ、５００Ｂの具体的構成について、図１９から図２１を参照して説明する。この基板幅規定部材５００Ａ、５００Ｂの基本的構成はすべて同じであるため、基板搬入口側（前側）から見て左側の前側に位置する基板幅規定部材５００Ａを代表例として説明する。
【００６６】
この基板幅規定部材５００Ａは、上フレーム１の前側フレーム１ａと、下フレーム２の前側フレーム２ａの間を橋渡すように配置される円柱形状の当接部材５０１が設けられている。この円柱部材５０１は、図２１に示すように胴部５０１ａを有し、この胴部５０１ａの外表面には、樹脂製の筒状カバー５０１ｊが装着され、この胴部５０１ａの上下端側には、筒状カバー５０１ｊを位置決めするためのＣ型止め輪５０１ｆが取り付けられている。また、胴部５０１ａの上端部には、軸方向に延びる軸孔５０１ｍが設けられ、この軸孔５０１ｍには、先端に駒部材５０１ｃが取り付けられたピン５０１ｂが、突出長さの調節が可能なように、位置決めネジ５０１ｅにより挿入固定されている。駒部材５０１ｃは、下方に向けて徐々に外径が細くなる略円錐形状を有している。また、ピン５０１ｂの外表面には、筒状カバー５０１ｋを介して、コイルバネ５０１ｄが装着されている。また、胴部５０１ａの下端部にも、軸方向に延びる軸孔５０１ｍ（図示省略）が設けられ、この軸孔５０１ｍには、下端に駒部材５０１ｇが取り付けられたピン５０１ｈが、突出長さの調節が可能なように、位置決めネジ５０１ｅにより挿入固定されている。駒部材５０１ｇは、駒部材５０１ｃと同様に、下方に向けて徐々に外径が細くなる略円錐形状を有している。なお、駒部材５０１ｃおよび駒部材５０１ｇの詳細については後述する。
【００６７】
次に、図２０を参照して、上フレーム１の前側フレーム１ａの所定領域には、他の領域よりも厚みが薄く形成された受入領域５２０が設けられ、この受入領域５２０には、この基板幅規定部材５００Ａの移動方向に対応する横方向に延びる貫通長孔５２１が設けられている。また、この受入領域５２０の上面側には、この受入領域５２０に対して着脱可能に取り付けられるプレート部材５３０が配設される。このプレート部材５３０は、本体部５３１と、貫通長孔５２１に対応する位置に、本体部５３１を貫通するガイド溝５３２とを有している。なお、ガイド溝５３２の具体的な形状については後述する。
【００６８】
下フレーム２の前側フレーム２ａの所定領域には、他の領域よりも厚みが薄く形成された、受入領域５２２が設けられ、この受入領域５２２には、この基板幅規定部材５００Ａの移動方向に対応する横方向に延びる貫通長孔５２３が設けられている。また、この受入領域５２２の上面側には、この受入領域５２２に対して着脱可能に取り付けられるプレート部材５３０が配設される。このプレート部材５３０は、上述したプレート部材５３０と同じ形状のものである。
【００６９】
駒部材５０１ｃおよび駒部材５０１ｇの形状は、図２１に良く現れるように、上端部側に最大外径からなる円盤形状領域が設けられ、この円盤形状領域から下方に向けて徐々に外径が細くなる略円錐形状領域が設けられている。また、ガイド溝５３２は、所定幅のスリット溝部５３２ａと、このスリット溝部５３２ａよりも幅広に設けられ、駒部材５０１ｃ，５０１ｇの上端に位置する最大外径部分の収容が可能な円弧形状の幅広切欠領域部５３２ｂとから形成されている。幅広切欠領域部５３２ｂは、所定のピッチで、複数箇所設けられている。
【００７０】
第１状態である通常状態（固定状態）においては、図２０に示すように、幅広切欠領域部５３２ｂに、駒部材５０１ｃ，５０１ｇの上端に位置する最大外径部分が勘合した常態となり、ガイド溝５３２に、駒部材５０１ｃ，５０１ｇが位置決め固定されることとなる。一方、第２状態である開放常態においてはコイルバネ５０１ｄの付勢力に抗して基板幅規定部材５００Ａを上方に持ち上げた場合には、駒部材５０１ｃ，５０１ｇの幅広切欠領域部５３２ｂへの嵌合が解除され、駒部材５０１ｃ，５０１ｇの先細領域は、スリット溝部５３２ａでのスライドが可能となり、基板幅規定部材５００Ａと基板幅規定部材５００Ｂとの間隔を調節可能としている。
【００７１】
また、再び、図１８を参照して、本実施の形態における基板幅規定部材５００Ａおよび基板幅規定部材５００Ｂにおいては、基板の幅方向への移動をスムーズなものとするために、スペースバー４１２にローラガイド機構６００が設けられている。以下、図１８、図２２および図２３を参照して、このローラガイド機構６００の詳細構成について説明する。下フレーム２には、矩形の開口領域２ｈが４箇所設けられ、この矩形の開口領域２ｈに、案内プレート６０１が嵌め入れられている。この案内プレート６０１には、横方向に互いに平行に延びる２本の案内溝６０２が設けられている。スペースバー４１２には、案内溝６０２に対向する位置に、取付孔４１２ｈが設けられ、上記案内溝６０２に沿ってスライド可能なガイド部材６５０が取付孔４１２ｈに取付られている。
【００７２】
ガイド部材６５０は、図２３に示すように、平行に配置される２本のガイドピン６５１を有し、このガイドピン６５１が取付孔４１２ｈを貫通するように取り付けられる。ガイドピン６５１の上端側には、コイルバネ６５３が装着され、Ｃ型止め輪６５５により位置決めされる。ガイドピン６５１の下端部には、軸孔６５１ａがそれぞれ設けられており、２本のガイドピン６５１の間に、軸６５８が取り付けられる。軸６５８の取付には、両端部において、Ｃ型止め輪６６０が用いられる。また、軸６５８には、ガイドローラ６７５が嵌め入れられ、このガイドローラ６７５の位置決めのために、ガイドローラ６７５を両側から挟み込むように、軸６５８に筒状の位置決め部材６５９が嵌め入れられている。ガイドローラ６７５は、中央部に溝部６５７ａが設けられ、両側に側部ローラ６５７ｂを有している。上記構成からなるガイド部材６５０を下フレーム２とスペースバー４１２との間に設けることで、基板幅規定部材５００Ａおよび基板幅規定部材５００Ｂの横方向への移動をよりスムーズなものとしている。
【００７３】
（作用・効果）
以上、この実施の形態においても、上記実施の形態１および２と同様の作用効果を得ることができる。さらに、本実施の形態においては、位置可変固定機構において、第１幅規定部材５００Ａおよび第２幅規定部材５００Ｂの幅方向の位置決めに際して、円柱部材５０１を上方に持ち上げることのみで、駒部材５０１ｃ，５０１ｇが、幅広切欠領域部５３２ｂから外れ、駒部材５０１ｃ，５０１ｇのスリット溝部５３２ａでの横方向への移動を可能とする。これにより、容易に第１幅規定部材５００Ａおよび第２幅規定部材５００Ｂを幅方向へ移動させることができる。また、第１幅規定部材５００Ａおよび第２幅規定部材５００Ｂの位置決めにおいては、スリット溝部５３２ａに適宜設けられた幅広切欠領域部５３２ｂに駒部材５０１ｃ，５０１ｇを挿入することで、容易に第１幅規定部材５００Ａおよび第２幅規定部材５００Ｂの位置決めを実現させることが可能となる。
【００７４】
なお、上記各実施の形態において、第１幅規定部材と第２幅規定部材との両方に位置可変固定機構を設ける構成を採用しているが、いずれか一方にのみ位置可変固定機構を設ける構成を採用しても、収納すべき基板の幅を規定することが可能である。また、前後の基板幅規定部材同士を連結する構成を採用する必要は必ずしもなく、基板収納スペースとの関係から、スペースバーを前後に延ばして配置することが困難な場合には、前後において、個別の構成を採用することも可能である。
【００７５】
したがって、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】実施の形態１における基板用カセットの構成を示す全体斜視図である。
【図２】実施の形態１における基板用カセットに採用される位置可変固定機構の構成を示す部分拡大斜視図である。
【図３】実施の形態１における位置可変固定機構の構成の一部を示す第１部分拡大斜視図である。
【図４】実施の形態１における位置可変固定機構の構成の一部を示す第２部分拡大斜視図である。
【図５】実施の形態１における位置可変固定機構の、駒部材とガイド溝との形状関係を示す第１状態を示す平面図である。
【図６】実施の形態１における位置可変固定機構の、駒部材とガイド溝との形状関係を示す第２状態を示す平面図である。
【図７】実施の形態１における上側位置可変固定機構および下側位置可変固定機構の動作を示す第１動作状態図である。
【図８】実施の形態１における上側位置可変固定機構および下側位置可変固定機構の動作を示す第２動作状態図である。
【図９】実施の形態１における上側位置可変固定機構および下側位置可変固定機構の動作を示す第３動作状態図である。
【図１０】実施の形態１における上側位置可変固定機構および下側位置可変固定機構の動作を示す第４動作状態図である。
【図１１】実施の形態１における上側位置可変固定機構および下側位置可変固定機構の動作を示す第５動作状態図である。
【図１２】（ａ）は、実施の形態２における位置可変固定機構の構成を示す側面図であり、（ｂ）中の（ａ）−（ａ）線矢視断面に相当する。（ｂ）は、底面側から見上げた図である。
【図１３】実施の形態２における位置可変固定機構の内部構成を示す拡大断面図である。
【図１４】実施の形態２における下側位置可変固定機構の動作を示す第１動作状態図である。
【図１５】実施の形態２における下側位置可変固定機構の動作を示す第２動作状態図である。
【図１６】実施の形態２における下側位置可変固定機構の動作を示す第３動作状態図である。
【図１７】実施の形態２における下側位置可変固定機構の動作を示す第４動作状態図である。
【図１８】実施の形態３における基板用カセットの構成を示す全体斜視図である。
【図１９】実施の形態３における基板用カセットに採用される基板幅規定手段の構成を示す部分斜視図である。
【図２０】実施の形態３における基板用カセットに採用される位置可変固定機構の構成を示す部分拡大斜視図である。
【図２１】実施の形態３における基板用カセットに採用される位置可変固定機構の円柱部材の詳細構造を示す分解斜視図である。
【図２２】実施の形態３における基板用カセットに採用されるローラガイド機構を示す部分拡大斜視図である。
【図２３】実施の形態３における基板用カセットに採用されるローラガイド機構を示す詳細部分分解斜視図である。
【符号の説明】
【００７７】
１  上フレーム、２  下フレーム、２ａ  前側フレーム、２ｈ  開口領域、３  連結フレーム、４  支持フレーム、５  支持ピン、１００，４００  基板用カセット、２００，５００  基板幅規定手段、２００Ａ，５００Ａ  第１幅規定部材、２００Ｂ，５００Ｂ  第２幅規定部材、２０１  当接部材、２０１ａ  胴部、２０１ｂ  軸部、２０１ｄ，２１０ｄ，３１７  コイルバネ、２０１ｃ，３１６  駒部材、２０１ｅ  ピン、２１０，２１１，４１１，４１２  スペースバー、２２０  受入領域、２２１，２２１，２２３，３２３  貫通長孔、２１０ｈ，２１１ｈ，３１２  貫通孔、２１１ｓ  浅い溝、２２２  受入領域、２３０  プレート部材、２３１ｃ  こぎり刃状の凹凸面、２３２，３２４  ガイド溝、２３２ａ  スライド溝、２３２ｂ  固定溝、３１１  ハウジング、３１３  ボルト、３１５  操作ピン、３１８  スペーサ、３２４ａ  スライド凹部溝、３２４ｂ  固定凹部溝、４１２ｈ  取付孔、５５０  補助プレート、５４０  ストッパ、５０１  円柱部材、５０１ａ  胴部、５０１ｂ  ピン、５０１ｃ，５０１ｇ  駒部材、５０１ｄ  コイルバネ、５０１ｅ  位置決めネジ、５０１ｆ，６６０，６５５  Ｃ型止め輪、５０１ｊ  筒状カバー、５０１ｍ  軸孔、５２０，５２２  受入領域、５２１，５２３  貫通長孔、５３０  プレート部材、５３１  本体部、５３２  ガイド溝、５３２ａ  スリット溝部、５３２ｂ  幅広切欠領域部、６００  ローラガイド機構、６０１  案内プレート、６０２  案内溝、６５０  ガイド部材、６５１  ガイドピン、６５１ａ  軸孔、６５３  コイルバネ、６５７ａ  溝部、６５７ｂ  側部ローラ、６５８  軸、６５９  位置決め部材、６７５  ガイドローラ、１０００  基板、Ｗ１，Ｗ１１  第１幅領域、Ｗ２，Ｗ１２  第２幅領域。
【図１】
2006287030.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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