(57)【要約】【課題】テストハンドラーを提供すること。【解決手段】それぞれ少なくとも１台の半導体素子を載置可能な多数のインサートが１面に配設されているテストトレイと、前記テストトレイの前記１面の一部の領域に対して位置して前記一部の領域に配設された複数のインサートを同時に開く少なくとも一つの開放ユニットと、前記開放ユニットのうち少なくとも一つを前記テストトレイの前記１面の他の一部の領域に対して位置するように移動させることにより、前記開放ユニットに前記他の一部の領域に配設された複数のインサートを同時に開かせる位置切替装置と、を備えることにより、被検査の対象となる半導体素子の切り替わりに伴う交替部品の点数を大幅に低減することが可能になり、結果として、生産コストの節減、部品交替時間の短縮及び種々のテスターのタイプに容易に対応可能になるというメリットがある。【選択図】図３
2009526221.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ少なくとも１台の半導体素子を載置可能な多数のインサートが１面に配設されているテストトレイと、
前記テストトレイの前記１面の一部の領域に対して位置して前記一部の領域に配設された複数のインサートを同時に開く少なくとも一つの開放ユニットと、
前記開放ユニットのうち少なくとも一つを前記テストトレイの前記１面の他の一部の領域に対して位置するように移動させることにより、前記開放ユニットに前記他の一部の領域に配設された複数のインサートを同時に開かせる位置切替装置と、
を備えるテストハンドラー。
【請求項２】
前記テストトレイに前記半導体素子を供給し、あるいは、前記テストトレイから前記半導体素子を回収するピックアンドプレース装置をさらに備え、
前記位置切替装置は、前記開放ユニットを前記ピックアンドプレース装置に対して独立して移動させることを特徴とする請求項１に記載のテストハンドラー。
【請求項３】
前記開放ユニットは、
前記テストトレイの前記１面の一部の領域に配設された複数のインサートと接触して前記複数のインサートを開く開放器と、
前記開放器が前記複数のインサートと接触可能に前記開放器を前記複数のインサートに向かって移動させる線形移動装置と、
を備える請求項１に記載のテストハンドラー。
【請求項４】
前記位置切替装置は、前記開放ユニットの移動に必要となる動力を与える動力源と、前記動力源からの動力を前記開放ユニットに伝える動力伝達装置と、を備え、
前記動力伝達装置は、前記動力源の正逆転に伴い正逆転するスクリュー軸と、前記スクリュー軸にナット結合されて前記スクリュー軸の回転方向に沿って線形移動し、前記開放ユニット側と結合されたスクリューナットと、を備える請求項１に記載のテストハンドラー。
【請求項５】
前記開放ユニットは、
モジュール化されて一体に前記動力伝達装置側に着脱自在に結合されることを特徴とする請求項４に記載のテストハンドラー。
【請求項６】
前記位置切替装置が設けられ、前記位置切替装置を介して前記開放ユニットを支持するベース板と、
前記ベース板を前記テストトレイ側に向かって線形移動させることにより前記開放ユニットの開放動作に必要となる距離を選択的に確保させる動力装置と、
をさらに備える請求項１に記載のテストハンドラー。
【請求項７】
前記開放ユニットは、テストトレイの下側に位置するように形成することを特徴とする請求項１に記載のテストハンドラー。
【請求項８】
少なくとも１以上の半導体素子を載置可能な少なくとも１以上のインサートが配設されているテストトレイを用意し、
前記テストトレイの一部の領域に対応するように前記テストトレイの一部の領域に配設されたインサートを開く少なくとも１以上の開放ユニットを前記テストトレイの下側に位置付け、
前記開放ユニットを上方に押し上げて前記テストトレイの一部の領域に配設されたインサートを開き、
ピックアンドプレース装置を動作させて前記開かれたインサートに半導体素子を供給しまたは回収し、
前記開放ユニットを下降させることにより前記インサートを閉じ、
前記開放ユニットを前記テストトレイの他の一部の領域に対応して位置するように位置切替装置を動作させて移動させ、
前記開放ユニットを上方に押し上げて前記他の一部の領域に位置付けられたインサートに半導体素子を供給しまたは回収することを特徴とするテストハンドラーの動作方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はテストハンドラーに係り、さらに詳しくは、テストトレイのインサートを開くための開放装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、テストハンドラーは、所定の製造工程を経て製造された半導体素子をテスターによりテストできるように支援し、テスト結果に基づいて半導体素子を同級別に分類してユーザートレイに載置する機器であって、既に多数の公開文書に開示されている。
【０００３】
図１は、この種のテストハンドラー１００の従来の技術による概略斜視図であって、これに基づいて従来のテストハンドラーの主部について概説すると、下記の通りである。
【０００４】
まず、図１を参照すると、従来のテストハンドラー１００は、搬入装置１１０、ソークチャンバー１２０、テストチャンバー１３０、デソークチャンバー１４０、搬出装置１５０、２台のインサート開放装置１６０ａ、１６０ｂ及び２台の姿勢切替装置１７０ａ、１７０ｂを備えている。以下、このテストハンドラー１００を詳述する。
【０００５】
前記搬入装置１１０は、顧客トレイ１０ａに載置された半導体素子をテストトレイ１１ａ
、すなわち、現在の搬入位置に位置付けられたテストトレイに搬入（移送及び載置）する。
【０００６】
前記ソークチャンバー１２０は、テストトレイに載置された半導体素子を予熱／予冷するための温度環境が造成されており、前記搬入装置１１０により搬入し終えたテストトレイを並進移動させて順次に収納する。このソークチャンバー１２０に収納されたテストトレイは、垂直状態を維持したままで、テストチャンバー１３０側に近い方向に並進移動しながら順次に配設されるが、このように並進移動する中に、テストトレイに収納された半導体素子が十分に予熱／予冷される。
【０００７】
前記テストチャンバー１３０は、ソークチャンバー１２０から供給されてきた２枚のテストトレイ１１ｂ、１１ｃに載置された半導体素子をテストするために設けられる。このために、テストチャンバー１３０は、半導体素子をテストするための温度環境が造成されている。
【０００８】
前記デソークチャンバー１４０（別名、取り戻しチャンバーと言う。）は、高温または冷却状態の半導体素子を常温に戻すために設けられる。
【０００９】
前記搬出装置１５０は、前記デソークチャンバー１４０を経て搬送されてくるテストトレイ上の半導体素子を同級別に分類し、さらに顧客トレイ１０ｂ
に搬出（移送及び載置）させる。
【００１０】
ここで、前記搬入装置１１０若しくは搬出装置１５０は顧客トレイまたはテストトレイに載置された複数の半導体素子を吸着して回収または供給するための少なくとも１以上のピックアンドプレース装置（図示せず）を備える。例えば、ピックアンドプレース装置は、搬入時に顧客トレイから半導体素子を吸着して回収した後にテストトレイに供給し、搬出時にはテストトレイから半導体素子を吸着して回収した後にソーティングテーブル(図示せず)に供給するか、あるいは、ソーティングテーブルから顧客トレイに供給する。
【００１１】
一方、前記２台のインサート開放装置１６０ａ、１６０ｂは、それぞれ上側に位置するテストトレイ１１ａ、１１ｄにマトリックス状に配設されたインサートを開いて搬入装置１１０または搬出装置１５０による搬入または搬出作業を行うことを可能にする。
【００１２】
前記２台の姿勢切替装置１７０ａ、１７０ｂのうち姿勢切替装置１７０ａは、テストトレイ１１ａに半導体素子がいずれも載置された後に水平状態で移動してくると、垂直状態への姿勢切替を行い、姿勢切替装置１７０ｂは、デソークチャンバー１４０から垂直状態で供給されてくるテストトレイに対して水平状態への姿勢切替を行う。
【００１３】
以下、上記のテストハンドラー１００におけるテストトレイの位置切替について説明する。まず、空きテストトレイがテストトレイ１１ａのように搬入装置１１０の下部に位置付けられ、搬入が完了すると、搬入装置１１０の後方の姿勢切替装置１７０ａに移動して姿勢切替が行われた後、ソークチャンバー１２０において後方向に並進移動してテストチャンバー１３０に供給される。引き続き、テストトレイは、テストチャンバー１３０において上下２列（または、１列）にて横方向に移動し（このとき、テストチャンバーの中央部において図示しないテスターにより載置された半導体素子がテストされる）、デソークチャンバー１４０を経て前方に並進移動した後、搬出装置１５０の後方に位置する姿勢切替装置１７０ｂに垂直状態で供給される。次いで、姿勢切替装置１７０ｂにより水平状態への姿勢切替が行われたテストトレイは搬出装置１５０側に向かって移動した後、搬出装置１５０により搬出が完了すると、搬入装置１１０の下方に移動する過程を経る。
【００１４】
このように、テストトレイは、マトリックス状に配設されたインサートに半導体素子を載置した後、移動、姿勢切替、テスト過程などを経るようになっているため、これらの過程を適切に行うために、インサートは、半導体素子を安定的に載置可能な機構的な構成を備えることが必要である。この種のインサートの構造については、本出願人による「テストハンドラーのテストトレイインサート」という名称の先行登録特許（例えば、下記の特許文献１参照）に具体的に開示されている。下記の特許文献１に示すように、インサートは、半導体素子（下記の特許文献においては「デバイス」という用語が用いられている。）を収める筐体と、筐体の両端において回転により固定が解放されることによりインサートを開く一対のストッパーと、圧縮バネにより弾性支持されてストッパーの回転を防止し、一般的に線形移動自在に設けられる一対のロッカーなどから構成されている。このため、圧縮バネの弾性を乗り越えながらロッカーを任意に線形移動させてストッパーの固定を解放しない限り、すなわち、インサートを開かない限り、筐体に半導体素子を適切に収めるか、あるいは、筐体に収められた半導体素子を離脱することができなくなる。
【００１５】
ところが、上述したように、搬入装置１１０により搬入を行う場合には、インサートを開いて筐体に半導体素子を収納しなればならず、搬出装置１５０により搬出を行う場合にも、インサートを開いて筐体から半導体素子を離脱しなければならない。このため、上述したように、２台のインサート開放装置１６０ａ、１６０ｂがテストトレイ１１ａ、１１ｄを挟んでそれぞれ搬入装置１１０及び搬出装置１５０の下方に位置している状態で、ロッカーを任意に動作させてストッパーの固定を解放することによりインサートを開くことになる。
【００１６】
図２は、従来のインサート開放装置１６０ａ、１６０ｂの概略斜視図である。図２を参照すると、従来のインサート開放装置１６０ａ、１６０ｂは、ベース板１６１と、ベース板１６１をテストトレイ側に向かって線形移動させるベースシリンダー１６２と、ベース板１６１にテストトレイ側に向かって２ｘ２マトリックス状に配設された４個の開放ユニット１６３ａ、１６３ｂ、１６３ｃ、１６３ｄと、を備えている。そして、４個の開放ユニット１６３ａ、１６３ｂ、１６３ｃ、１６３ｄのそれぞれは、テストトレイの１／４の面積に２ｘ８マトリックス状に配設されたインサートを一括して開くために２ｘ８マトリックス状に配設された多数の開放ピン対１６３−１が一体に形成された板状の開放器１６３ａ−１、１６３ｂ−１、１６３ｃ−１、１６３ｄ−１（参考までに、下記の特許文献１においては「位置決め装置」と定義されている。）と、開放器１６３ａ−１、１６３ｂ−１、１６３ｃ−１、１６３ｄ−１をテストトレイ側に向かって線形移動させる昇降シリンダー１６３ａ−２、１６３ｃ−２と、を備えている。参考までに、図２には、開放器１６３ｂ、１６３ｄを前後に移動させる昇降シリンダーは不図示となっている。
【００１７】
以下、図２に基づき、従来のインサート開放装置１６０ａ、１６０ｂの動作を説明する。まず、ベースシリンダー１６２が動作してベース板１６１をテストトレイ側に移動させて開放ユニット１６３ａ、１６３ｂ、１６３ｃ、１６３ｄの開放動作に必要となる距離を確保させる。この後、４個の開放ユニット１６３ａ、１６３ｂ、１６３ｃ、１６３ｄのうち任意の開放ユニット、例えば、開放ユニット１６３ａが動作して、開放ユニット１６３ａと対応する１／４の面積に配設されたインサートを開くことになる。すなわち、昇降シリンダー１６３ａ−２が動作して開放器１６３ａ−１をテストトレイ側に向かって移動させると、開放器１６３ａ−１の開放ピン対１６３−１が各インサートに設けられた一対のロッカーを押圧して線形移動させ、一対のロッカーが線形移動しながらこれに対応する一対のストッパーを回転させて固定を解放することによりインサートを開く。
【００１８】
そして、上記の４個の開放ユニット１６３ａ、１６３ｂ、１６３ｃ、１６３ｄは、それぞれテストトレイの１／４の面積に配設された１６個のインサートを開くことにより、テストトレイの全体の面積に亘って配設されたインサートの全てを司ることになる。ところが、ここで、前記４個の開放ユニット１６３ａ、１６３ｂ、１６３ｃ、１６３ｄは順次に動作される。例えば、開放ユニット１６３ａが動作してテストトレイの１／４の面積に配設されたインサートを開いた後、開かれたインサートに半導体素子が載置されるか、あるいは、該インサートから半導体素子が離脱されると、上記の開放ユニット１６３ａによる開放動作とは逆順にしてインサートを閉じ、さらに開放ユニット１６３ｂが動作してテストトレイの他の１／４の面積に配設されたインサートを開く、という動作方式を取っている。
【００１９】
このように、開放ユニット１６３ａ、１６３ｂ、１６３ｃ、１６３ｄが順次に動作する理由は、４個の開放ユニット１６３ａ、１６３ｂ、１６３ｃ、１６３ｄが一括して動作すると、テストトレイに比較的に大きな力が加えられ、この状態で長期間使用すると、テストトレイに曲げ現象が発生するためである。これに対応して、搬入装置１１０または搬出装置１５０を構成するピックアンドプレース装置には、処理の高速化のために、軽量であること、及び反応速度が速いことが求められるため、最大限に軽量にすることが好ましい。この理由から、一般に、最大１６台の半導体素子だけを吸着して搬送するようになっている。このため、インサートは、ピックアンドプレース装置の１回当たりの処理容量に合わせて開かれれば良く、ピックアンドプレースの１回当たりの処理容量に相当する数に見合う分のインサートだけを順次に開くような方式を取ることにより、テストトレイに加えられる力を極力抑えて曲げ現象を防ぐことが可能になる。
【００２０】
一方、最近のテストハンドラーの開発動向は、より多数の半導体素子を一括してテストしようとする傾向を示しており、これまでは３２個または６４個のインサートが配設されたテストトレイが汎用されていたが、最近には１２８個または１６０個のインサート付き大型テストトレイが開発されて常用レベルに至っている。しかしながら、ピックアンドプレース装置はその構造的な限界のために１回当たりの処理容量が依然として最大１６個に留まっており、これに伴い、大型テストトレイが適用される場合には開放ユニットを８個または１０個まで取り付けることを余儀なくされている。
【００２１】
ところが、大型テストトレイを適用するために８個または１０個の開放ユニットを取り付ける場合には、装置の生産コストが嵩んでしまうという不都合がある。
【００２２】
また、検査すべき半導体素子の種類が切り替わるか、あるいは、新規なテスターが適用されるなどの事情が発生すると、やむを得ずテストトレイを交替せざるを得ない。この場合、一対をなす開放ピン同士の距離が異なってくるなどの不都合もあって開放ユニットなどをいずれもいちいち交替しなければならない。ところが、大型テストトレイに適用されるために８個または１０個の開放ユニットが設けられた場合にはそのような交替作業に長時間かかり、しかも、交替コストの増大及び資源の無駄使いを来たすという不都合がある。
【特許文献１】大韓民国登録特許１０−０４８６４１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、テストトレイの一部の領域に配設されたインサートを開いた後に移動して他の一部の領域に配設されたインサートを開くような方式をとるテストハンドラーを提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記の目的を達成するために、本発明によるテストハンドラーは、それぞれ少なくとも１台の半導体素子を載置可能な多数のインサートが１面に配設されているテストトレイと、前記テストトレイの前記１面の一部の領域に対して位置して前記一部の領域に配設された複数のインサートを同時に開く少なくとも一つの開放ユニットと、前記開放ユニットのうち少なくとも一つを前記テストトレイの前記１面の他の一部の領域に対して位置するように移動させることにより、前記開放ユニットが前記他の一部の領域に配設された複数のインサートを同時に開くことを可能にする位置切替装置と、を備えることを特徴とする。
【００２５】
好ましくは、前記テストトレイに前記半導体素子を供給し、あるいは、前記テストトレイから前記半導体素子を回収するピックアンドプレース装置をさらに備え、前記位置切替装置は、前記開放ユニットを前記ピックアンドプレース装置に対して独立して移動させる。
【００２６】
また、好ましくは、前記テストトレイは水平状態で前記半導体素子の供給または回収が行われ、前記開放ユニットは水平移動する。
【００２７】
さらに、好ましくは、前記開放ユニットは、前記テストトレイの前記１面の一部の領域に配設された複数のインサートと接触して前記複数のインサートを開く開放器と、前記開放器が前記複数のインサートと接触可能に前記開放器を前記複数のインサートに向かって移動させる線形移動装置と、を備える。
【００２８】
さらに、好ましくは、線形移動装置はシリンダーである。
【００２９】
さらに、好ましくは、前記位置切替装置は、前記開放ユニットの移動に必要となる動力を与える動力源と、前記動力源からの動力を前記開放ユニットに伝える動力伝達装置と、を備える。
【００３０】
さらに、好ましくは、前記動力源はモーターである。
【００３１】
さらに、好ましくは、前記動力伝達装置は、前記モーターの正逆転に伴い正逆転するスクリュー軸と、前記スクリュー軸にナット結合されて前記スクリュー軸の回転方向に沿って線形移動し、前記開放ユニット側と結合されたスクリューナットと、を備える。
【００３２】
さらに、好ましくは、前記開放ユニットは、モジュール化されて一体に前記動力伝達装置側に着脱自在に結合される。
【００３３】
さらに、好ましくは、前記位置切替装置が設けられ、前記位置切替装置を介して前記開放ユニットを支持するベース板と、前記ベース板を前記テストトレイ側に向かって線形移動させることにより前記開放ユニットの開放動作に必要となる距離を選択的に確保させる動力装置と、をさらに備える。
【００３４】
さらに、好ましくは、前記動力装置はシリンダーである。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、テストトレイの一部の領域に配設されたインサートを司る少なくとも１以上の開放ユニットを順次に移動させながら結果的にテストトレイの全体の領域に配設された全てのインサートを司らせることにより、部品点数を低減して生産コストを節減することができ、さらに、交替に伴うコストも節減することができるという効果がある。また、複数の開放ユニットが取付板を挟んでモジュール化されて結合ブロックに着脱自在に結合されていることから、テストトレイの交替作業が簡単になって作業時間が短縮され、種々のタイプのテスターに容易に対応可能になるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付図面に基づき、本発明によるテストハンドラーにおいて特徴的な構成を有するインサート開放装置（以下、「開放装置」と称する。）についての好適な実施例を詳述する。
【００３７】
図３は、本発明の実施例による開放装置３００の斜視図であり、図４は、図３における開放装置３００の平面図であり、図５は、図３における開放装置３００の左側面図であり、図６は、図３における開放装置３００の前面図である。
【００３８】
まず、図３に示すように、この実施例による開放装置３００は、６個の開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆと、位置切替装置３２と、ベース板３３と、ベースシリンダー３４と、板状の取付板３５と、結合ブロック（図５における３６）などを備えている。
【００３９】
前記６個の開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆは、テストトレイの一部の面積に配設されたインサートを開くためのものであり、それぞれ開放器３１ａ−１、３１ｂ−１、３１ｃ−１、３１ｄ−１、３１ｅ−１、３１ｆ−１と、昇降シリンダー３１ａ−２、３１ｃ−２、３１ｅ−２と、を備えている。
【００４０】
前記開放器３１ａ−１、３１ｂ−１、３１ｃ−１、３１ｄ−１、３１ｅ−１、３１ｆ−１はテストトレイ側に向かって線形移動し、テストトレイと相対する面にはインサートの一対のロッカーを線形移動させることによりインサートを開くための開放ピン対３１−１が形成されている。ここで、図３及び図４に示すように、開放器３１ａ、３１ｂ、３１ｅ、３１ｆには１６個のインサートを同時に開くための１６個の開放ピン対３１−１が形成されており、開放器３１ｃ、３１ｄには８個のインサートを同時に開くための８個の開放ピン対３１−１が形成されている。
【００４１】
そして、前記昇降シリンダー３１ａ−２、３１ｃ−２、３１ｅ−２は前記取付板３５の上面に取着されて取付板３５と共に移動され、開放器３１ａ−１、３１ｂ−１、３１ｃ−１、３１ｄ−１、３１ｅ−１、３１ｆ−１をそれぞれテストトレイ側に向かって線形移動させるために設けられる。参考までに、図３には、３１ｂ、３１ｄ、３１ｆの開放器をテストトレイ側に向かって線形移動させるための昇降シリンダーは示していない。
【００４２】
前記位置切替装置３２は、前記６個の開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆ−１をテストトレイの接触面に向かって移動させて位置を切り替えるために設けられる。この位置切替装置３２は、駆動プーリー３２ａ−１を有するモーター３２ａと、従動プーリー３２ｂ−１を有するスクリュー軸３２ｂと、回転ベルト３２ｃと、スクリューナット（図５における３２ｄ）と、一対のガイドレール３２ｅ及び一対のガイドブロック３２ｆなどを備えている。
【００４３】
前記モーター３２ａは、図６に示すように、モーターブラケット３２ａ−２によりベース板３３に取着され、結果的に前記開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆが向かい合うテストトレイの面方向（図３における矢印方向）に移動するのに必要となる動力を与える動力源として設けられる。このため、正逆転自在に、且つ、移動すべき開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆの位置制御が容易になるようにステップモーターやサーボモーターとして設けられることが好ましい。
【００４４】
前記スクリュー軸３２ｂは前記モーター３２ａの回転に連動して回転し、前記６個の開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆが移動する方向に長く設けられる。なお、その両端は回転自在に軸受けブロック３２ｂ−２、３２ｂ−３によりベース板３３に固定されている。
【００４５】
前記回転ベルト３２ｃは、前記モーター３２ａの動作に伴う駆動プーリー３２ａ−１の回転力を従動プーリー３２ｂ−１に伝えるために設けられる。
【００４６】
そして、前記スクリューナット３２ｄは、スクリュー軸３２ｂの回転に伴い開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆが向かい合うテストトレイの面方向に直進移動自在にスクリュー軸３２ｂに螺合されており、前記結合ブロック３６により取付板３５と結合されている。すなわち、スクリューナット３２ｂはスクリュー軸３２ｂの回転運動を直進運動に切り替える装置として働く。このため、上記のスクリュー軸３１ｂ、回転ベルト３１ｃ及びスクリューナット３２ｂはモーター３２ａの回転力を直進運動に切り替えて結果的に前記開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆ側に伝える動力伝達装置である。
【００４７】
前記一対のガイドレール３２ｅは、前記ベース板３３の両端に開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆの移動方向に長く設けられる。
【００４８】
そして、前記ガイドブロック３２ｆは、それぞれの下側が前記ガイドレール３２ｅにより摺動自在に結合され、上側は前記取付板３５に結合される。
【００４９】
もちろん、上述した位置切替装置３２は、回転ベルトを介することなく、モーターにより直接的にスクリュー軸を回転させるか、あるいは、動力源をシリンダーとして開放ユニットの位置を切り替えるなど種々に応用可能である。
【００５０】
一方、前記ベース板３３は上記した構成要素を支持し、テストトレイ側に向かって線形移動自在に設けられる。このベース板３３には、上述したように、モーター３２ａ、スクリュー軸３２ｂ及びガイドレール３２ｅなどが設けられ、ガイドブロック３２ｆ及び結合ブロック３６を挟んで取付板３５を支持することにより、結果的に取付板３５に設けられた開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆを支持する。
【００５１】
前記ベースシリンダー３４は、前記ベース板３３を昇降することにより、開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆがテストトレイのインサートを開くために必要となる動作距離を選択的に確保する。
【００５２】
また、前記取付板３５は板状に設けられ、上面には上記した昇降シリンダー３１ａ−２、３１ｃ−２、３１ｅ−１が２ｘ３マトリックス状に取着され、底面には前記結合ブロック３６に脱着自在に結合される。すなわち、上記した複数の開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆが取付板を挟んで一体にモジュール化されているため、取付板を移動させるか、あるいは、結合ブロック３６から脱去することにより複数の開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆも一体に移動または脱去されるようになっている。
【００５３】
最後に、前記結合ブロック３６は、前記取付板３５とスクリューナット３２ｄを結合するために設けられる。
【００５４】
このため、モーター３２ａが回転すると、スクリュー軸３２ｂが回転し、スクリュー軸３２ｂの回転によりスクリューナット３２ｄが直進移動すると、スクリューナット３２ｄに結合ブロック３６を挟んで結合された取付板３５が移動することになり、結果的に取付板３５の上面に設けられた６個の開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆが同時に移動することになる。
【００５５】
以下、図３及び図７に基づき、この実施例による開放装置について説明する。
まず、図３の状態において、テストトレイが開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆの上方に移動して位置付けられると、開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆの開放動作に必要となる距離を確保させるためにベースシリンダー３４が動作してベース板３３を上方に所定の距離だけ押し上げて図７の状態にする。このため、図７に示すように、ベース板３３に取着（または支持）される位置切替装置３２及び開放ユニット３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆ付き取付板３５がベース板３３と一緒に上方向に所定の距離だけ移動する。
【００５６】
次いで、開放ユニット３１ａが動作するが、図８に示すように、昇降シリンダー３１ａ−２が動作して開放器３１ａ−１をテストトレイ側、すなわち、上方に押し上げると、開放器３１ａ−１に形成された複数（ここでは１６個）の開放ピン対がこれらに対応するインサートのロッカー対を押し上げることによりインサートを開く。この状態で、搬入時には１６個の半導体素子を把持したピックアンドプレース装置が開かれた１６個のインサートに半導体素子を供給して載置させ（搬出時にはピックアンドプレース装置がインサートに載置された１６個の半導体素子を把持し、すなわち、回収して持ち上げる）、半導体素子の載置が完了すると、さらに昇降シリンダー３１ａ−２が動作して開放器３１ａ−１を下降させることによりインサートを閉じる。引き続き、開放器３１ａ−１が下降すると、さらに昇降シリンダー３１ｂ−２が動作して開放器３１ｂ−１が上昇しながらこれに対応するインサートを開くが、残りの開放ユニット３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆもこのような方式にて動作し続けて、最後の開放ユニット３１ｆまでの動作が完了すると、モーター３２ａの回転に伴ってスクリュー軸３２ｂが回転し、このスクリュー軸３２ｂの回転に連動して取付板３５が図３中の矢印Ｂ方向、すなわち、水平状態に置かれたテストトレイの下側において水平方向に一定の距離だけ移動して図９の状態となる。
【００５７】
同じく、図９の状態においても、開放ユニット３１ａ〜３１ｆが順次に動作しながら対応するインサートを開閉する過程を行い、図９の状態において全ての作業が完了すると、さらにモーター３２ａが動作して図１０の状態となる。図１０の状態においては、開放ユニット３１ｂ、３１ｄ、３１ｆだけを順次に動作させて、作業未完了の残りのインサートを対象として作業を行い、これにより、テストトレイの全体の面積に配設されたインサートの開放作業が順次に完了することになる。
【００５８】
次いで、図１０の状態において全ての作業が完了すると、モーター３２ａが逆転する一方、ベースシリンダー３４が動作してベース板３３を所定の距離だけ下降することにより、図３の状態に戻る。
【００５９】
一方、もし、検査すべき半導体素子のサイズが切り替わってテストトレイが取り替えられるなどの事情が発生した場合には、結合ブロック３６から取付板３５を取り外し、取り替えられるテストトレイに対応する開放ユニットを有する取付板を結合ブロック３６に結合することにより簡単に交替作業を行うことができる。
【００６０】
以上、本発明を本発明の原理を例示するための好ましい実施の形態と結び付けて図示及び説明したが、本発明はこのような図示及び説明通りの構成及び作用に限定されるものではない。むしろ、特許請求の思想及び範ちゅうを逸脱しない範囲内であれば、本発明に対する多数の変更及び修正が可能であるということは、当業者にとって明らかである。よって、これらの全ての適切な変更及び修正と均等物も本発明の範囲に属すると見なされるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】従来のテストハンドラーの概略斜視図。
【図２】図１におけるテストハンドラーに適用されたインサート開放装置の概略斜視図。
【図３】本発明の実施例によるインサート開放装置の概略斜視図。
【図４】図３におけるインサート開放装置の平面図。
【図５】図３におけるインサート開放装置の左側面図。
【図６】図３におけるインサート開放装置の前面図。
【図７】図３におけるインサート開放装置の動作状態を示す参照図。
【図８】図３におけるインサート開放装置の動作状態を示す参照図。
【図９】図３におけるインサート開放装置の動作状態を示す参照図。
【図１０】図３におけるインサート開放装置の動作状態を示す参照図。
【符号の説明】
【００６２】
３００：インサート開放装置、
３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、３１ｆ：開放ユニット、
３１ａ−１、３１ｂ−１、３１ｃ−１、３１ｄ−１、３１ｅ−１、３１ｆ−１：開放器、
３１ａ−２、３１ｂ−２、３１ｃ−２、３１ｄ−２、３１ｅ−２、３１ｆ−２：昇降シリンダー、
３１−１：開放ピン対、
３２：位置切替装置、
３２ａ：モーター、
３２ｂ：スクリュー軸、
３２ｃ：回転ベルト、
３２ｄ：スクリューナット、
３３：ベース板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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