(57)【要約】  収容された装置を検査する温度チャンバが、チャンバの温度を制御するための温度制御された空気の供給源に接続される。温度チャンバは、チャンバの側面に形成された断熱材を有する。温度制御された空気を検査される装置に直接導くために汎用マニホールド・アダプタがチャンバに接続される。温度チャンバは、排出システムも有する。自動閉鎖ケーブル貫通モジュールは、チャンバの外側面に接続される。貫通モジュールは、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルは、第１の位置で第１と第２の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第１と第２の部分は、第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
2009530588.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置の温度を制御するための温度制御システムであって、
装置を収容することができるチャンバと、
チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、
チャンバの側面に形成された断熱材とを有する温度制御システム。
【請求項２】
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを更に有する、請求項１の温度制御システム。
【請求項３】
流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項２の温度制御システム。
【請求項４】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する１本の水平管を有する、請求項３の温度制御システム。
【請求項５】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項３の温度制御システム。
【請求項６】
マニホールドは、流体を均一に分配するシャワーヘッド構成を有する、請求項３の温度制御システム。
【請求項７】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項３の温度制御システム。
【請求項８】
チャンバから流体を排出するための排出システムを更に有する、請求項１の温度制御システム。
【請求項９】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項８の温度制御システム。
【請求項１０】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する、請求項８の温度制御システム。
【請求項１１】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項８の温度制御システム。
【請求項１２】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項８の温度制御システム。
【請求項１３】
チャンバは、フード構成を有する、請求項１の温度制御システム。
【請求項１４】
断熱材の表面にシリコーンの薄層が接着された、請求項１３の温度制御システム。
【請求項１５】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査される装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項１の温度制御システム。
【請求項１６】
断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置された、請求項１５の温度制御システム。
【請求項１７】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項１の温度制御システム。
【請求項１８】
断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項１７の温度制御システム。
【請求項１９】
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを更に有し、モジュールが、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第１の位置で第１と第２の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第１と第２の部分が、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する、請求項１の温度制御システム。
【請求項２０】
流体は、空気である、請求項１の温度制御システム。
【請求項２１】
温度チャンバであって、
装置を収容することができるチャンバであって、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能なチャンバと、
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタとを有する温度チャンバ。
【請求項２２】
流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項２１の温度チャンバ。
【請求項２３】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する１本の水平管を有する、請求項２２の温度チャンバ。
【請求項２４】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項２２の温度チャンバ。
【請求項２５】
マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する、請求項２２の温度チャンバ。
【請求項２６】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項２２の温度チャンバ。
【請求項２７】
チャンバから流体を排出するための排出システムを更に有する、請求項２１の温度チャンバ。
【請求項２８】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項２７の温度チャンバ。
【請求項２９】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の排出口とを有する、請求項２７の温度チャンバ。
【請求項３０】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項２７の温度チャンバ。
【請求項３１】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項２７の温度チャンバ。
【請求項３２】
チャンバは、フード構成を有する、請求項２１の温度チャンバ。
【請求項３３】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着された、請求項３２の温度チャンバ。
【請求項３４】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項２１の温度チャンバ。
【請求項３５】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項３４の温度チャンバ。
【請求項３６】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項２１の温度チャンバ。
【請求項３７】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項３６の温度チャンバ。
【請求項３８】
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを更に有し、モジュールが、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第１の位置で第１と第２の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する、請求項２１の温度チャンバ。
【請求項３９】
流体は、空気である、請求項２１の温度チャンバ。
【請求項４０】
温度チャンバであって、
装置を収容することができるチャンバであって、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御する温度制御された供給源に接続可能なチャンバと、
チャンバの外側面に接続され、第１の部分と第２の部分を有する自動閉鎖ケーブル貫通モジュールであって、ケーブルが、モジュールの第１の位置で第１と第２の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとを有する温度チャンバ。
【請求項４１】
チャンバから流体を排出する排出システムを更に有する、請求項４０の温度チャンバ。
【請求項４２】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項４１の温度チャンバ。
【請求項４３】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する、請求項４１の温度チャンバ。
【請求項４４】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項４１の温度チャンバ。
【請求項４５】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項４１の温度チャンバ。
【請求項４６】
チャンバは、フード構成を有する、請求項４０の温度チャンバ。
【請求項４７】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着された、請求項４６の温度チャンバ。
【請求項４８】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項４０の温度チャンバ。
【請求項４９】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、クラムシェルの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項４８の温度チャンバ。
【請求項５０】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項４０の温度チャンバ。
【請求項５１】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有し、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項５０の温度チャンバ。
【請求項５２】
流体は、空気である、請求項４０の温度チャンバ。
【請求項５３】
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを更に有し、流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項４０の温度チャンバ。
【請求項５４】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する１本の水平管を有する、請求項５３の温度チャンバ。
【請求項５５】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項５３の温度チャンバ。
【請求項５６】
マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する、請求項５３の温度チャンバ。
【請求項５７】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項５３の温度チャンバ。
【請求項５８】
温度チャンバであって、
装置を収容することができるチャンバであって、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能なチャンバと、
チャンバの側面に形成された断熱材とを有する温度チャンバ。
【請求項５９】
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを更に有する、請求項５８の温度チャンバ。
【請求項６０】
流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項５９の温度チャンバ。
【請求項６１】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する１本の水平管を有する、請求項５９の温度チャンバ。
【請求項６２】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項５９の温度チャンバ。
【請求項６３】
マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する、請求項５９の温度チャンバ。
【請求項６４】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項５９の温度チャンバ。
【請求項６５】
チャンバから流体を排出するための排出システムを更に有する、請求項５８の温度チャンバ。
【請求項６６】
排出システムは、チャンバ内で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項６５の温度チャンバ。
【請求項６７】
排出システムは、チャンバ内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する、請求項６５の温度チャンバ。
【請求項６８】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項６５の温度チャンバ。
【請求項６９】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項６５の温度チャンバ。
【請求項７０】
チャンバは、フード構成を有する、請求項５８の温度チャンバ。
【請求項７１】
断熱材の表面にシリコーン薄層が接着された、請求項７０の温度チャンバ。
【請求項７２】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査される装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項５８の温度チャンバ。
【請求項７３】
断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項７２の温度チャンバ。
【請求項７４】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項５８の温度チャンバ。
【請求項７５】
断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項７４の温度チャンバ。
【請求項７６】
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを更に有し、モジュールは、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルが、モジュールの第１の位置で第１と第２の部分を通ってチャンバに送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する、請求項５８の温度チャンバ。
【請求項７７】
流体は、空気である、請求項５８の温度チャンバ。
【請求項７８】
装置の温度を制御する温度制御システムであって、
装置を収容することができるチャンバと、
チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタとを有する温度制御システム。
【請求項７９】
装置の温度を制御するための温度制御システムであって、
装置を収容することができるチャンバと、
チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールであって、モジュールは、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第１の位置で第１と第２の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する温度制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［関連出願］
本願は、２００６年３月２０日に出願された米国仮特許出願番号６０／７８４，０４４及び２００６年３月２２日に出願された米国仮特許出願番号６０／７８４，７４５の利益を請求し、それぞれの出願の内容は、引用によりその全体が本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本発明は、一般に、空気などの温度制御された流体の供給源に接続するための温度制御された筐体、及びその筐体と供給源を含むシステムに関する。本発明は、詳細には、断熱材を有する温度制御されたチャンバ、検査される装置に空気を導く手段、排出システム、及び自動閉鎖ケーブル貫通モジュールに関する。
【背景技術】
【０００３】
標準温度チャンバの製造業者は多数ある。一般に、そのようなチャンバ内では、加熱コイル及び／又は冷却コイル上に空気を導くファン又はブロワを含む閉ループで空気が循環されて、空気が検査領域に入る前に空気の温度が調整される。次に、空気は検査領域から出て、再び加熱コイル及び／又は冷却コイル上に導かれて、再び検査領域に入る前に空気の温度が調整される。これらのステップが繰り返される。標準温度チャンバは、検査される装置に空気を導くことなく空気を単純に循環させる。更に、標準温度チャンバは、チャンバ内で金属（又は他の材料）のライナを使用する。金属ライナは、熱負荷として働き、設定温度間で遷移する時間を大幅に長くする。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明によれば、温度制御された流体の供給源が、温度チャンバ内の温度を制御するために開ループ温度源として使用される。この供給源は、温度チャンバの入口に直接取り付けられるか、供給源ヘッドを温度チャンバ入口に接続する柔軟な空気移送管（すなわち、柔軟な伸縮装置）がある。温度制御された空気は、温度チャンバから排出される。温度源として標準温度源を使用することによって、温度制御された空気の供給源をいくつかの異なる温度チャンバ構成に（１回に１つ）接続することができ、それによりいくつかの異なる温度チャンバ構成が必要なときの経済的解決が提供される。更に、供給源は、温度チャンバに取り付けることなく様々な装置を検査する温度の温度源として使用することができる。
【０００５】
本発明は、供給源（すなわち、開ループ温度源）と共に使用するための一群の温度チャンバを有する。
【０００６】
本発明の特徴は、熱損失を最小にし且つ熱負荷を減少させることによって熱的性能を全体的に改善するきわめて効率的な断熱設計を有する温度制御された筐体を提供することである。
【０００７】
本発明の別の特徴は、特定の検査用途の温度応答を改善するために、きわめて効率的で現場交換可能な空気分配方法を備えた温度制御された筐体を提供することである。
【０００８】
本発明の別の特徴は、温度制御された筐体に、温度均一性を最適化するための空気排出システムを提供することである。
【０００９】
本発明の別の特徴は、温度制御された筐体に自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを提供することである。
【００１０】
上記特徴のうちの１つ又は複数は、本発明の温度チャンバの実施形態のそれぞれに含まれる。
【００１１】
本発明の別の特徴は、上記の特徴の１つ又は複数を有する温度制御システムを提供することである。
【００１２】
本発明は、装置の温度を制御するための温度制御システムを対象とする。温度制御システムは、装置を収容することができるチャンバと、チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御する温度制御された供給源と、チャンバの側面に形成された断熱材とを有する。
【００１３】
一実施形態では、温度制御システムは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有する。別の実施形態では、交換式マニホールドは、装置に流体を導くために汎用マニホールドに取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する１本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を均一に分配するシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【００１４】
一実施形態では、温度制御システムは、チャンバから流体を排出する排出システムを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出の位置は、ユーザによって選択可能である。
【００１５】
一実施形態では、チャンバはフード構成を有する。別の実施形態では、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着される。
【００１６】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査する装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【００１７】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、それによりチャンバに装置を装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【００１８】
一実施形態では、自動閉鎖ケーブル貫通モジュールが、チャンバの外側面に接続される。モジュールは、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルは、モジュールの第１の第１の位置で第１と第２の部分を通ってチャンバに送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【００１９】
一実施形態では、流体は空気である。
【００２０】
本発明の別の態様によれば、本発明は、温度チャンバを対象とする。温度チャンバは、装置を収容することができるチャンバを有する。チャンバは、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能である。温度チャンバは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有する。
【００２１】
一実施形態では、交換式マニホールドは、流体を装置に導くために汎用マニホールドに取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する１本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体の均一な分配を提供するシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【００２２】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバから流体を排出するための排出システムを有する。一実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出位置は、ユーザによって選択可能である。
【００２３】
一実施形態では、チャンバは、フード構成を有する。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材の表面にはシリコーン薄層が接着される。
【００２４】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果チャンバ内に装置を装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【００２５】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、そのチャンバ内に装置を装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【００２６】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを有する。モジュールは、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルは、第１と第２の部分を通ってモジュールの第１の位置でチャンバに送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【００２７】
一実施形態では、流体は、空気である。
【００２８】
本発明の別の態様によれば、本発明は、温度チャンバを対象とする。温度チャンバは、装置を収容することができるチャンバを有する。チャンバは、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能である。温度チャンバは、更に、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを有する。モジュールは、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルは、第１と第２の部分を通って第１の位置でモジュールに送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【００２９】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバから流体を排出する排出システムを有する。一実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出口の位置は、ユーザによって選択可能である。
【００３０】
一実施形態では、チャンバは、フード構成を有する。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着される。
【００３１】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果チャンバ内に装置を装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、クラムシェルの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【００３２】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果チャンバ内に装置を装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの側面に形成され、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【００３３】
一実施形態では、流体は、空気である。
【００３４】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有し、流体を装置に導くために汎用マニホールドに交換式マニホールドが取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する１本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【００３５】
本発明の別の態様によれば、本発明は、温度チャンバを対象とする。温度チャンバは、装置を収容することができるチャンバを有する。チャンバは、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能である。温度チャンバは、更に、チャンバの側面に形成された断熱材を有する。
【００３６】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを有する。一実施形態では、流体を装置に導くために汎用マニホールドに交換式マニホールドが取り付け可能である。一実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する１本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数本の水平管を備える。別の実施形態では、マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する。別の実施形態では、マニホールドは、バッフル・システムを有する。
【００３７】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバから流体を排出するための排出システムを有する。一実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する。別の実施形態では、排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する。別の実施形態では、排出口の位置は、ユーザにより選択可能である。
【００３８】
一実施形態では、チャンバは、フード構成を有する。別の実施形態では、断熱材の表面にシリコーン薄層が接着される。
【００３９】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査される装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【００４０】
一実施形態では、チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、それにより装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる。別の実施形態では、断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に配置される。
【００４１】
一実施形態では、温度チャンバは、更に、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを有する。モジュールは、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルは、第１と第２の部分を通ってモジュールの第１の位置でチャンバ内に送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【００４２】
一実施形態では、流体は、空気である。
【００４３】
本発明の別の態様によれば、本発明は、装置の温度を制御するための温度制御システムを対象とする。温度制御システムは、装置を収容することができるチャンバと、チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源と、温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタとを有する。
【００４４】
本発明の別の態様によれば、本発明は、装置の温度を制御するための温度制御システムを対象とする。温度制御システムは、装置を収容することができるチャンバと、チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源と、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとを有する。モジュールは、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルは、第１と第２の部分を介して第１の位置でチャンバ内に送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
本発明の以上及びその他の目的、特徴及び利点は、様々な図全体を通して類似の参照文字が同じ部分を指す添付図面に示されているような、より具体的な本発明の好ましい態様の説明から明らかになるであろう。図面は必ずしも一律の縮尺とは限らず、それどころか本発明の原理を示す強調がなされている。
【００４６】
本発明によれば、空気などの温度制御された流体の供給源（例えば、Temptronic Corporation of Sharon Massachusettsによって製造販売されているThermoStreamTM model TP04300又はTP04310）は、温度チャンバ内の温度を制御するための開ループ温度源として使用される。その温度源は、温度チャンバの入口に直接取り付けられるか、供給源ヘッドを温度チャンバ入口に接続する柔軟な空気移送管（即ち、自在な伸縮装置）を有する。温度チャンバからは温度制御された空気が出る。本発明によれば、温度制御された空気の供給源を（１度に１台）いくつかの異なる温度チャンバ構成に接続することができ、それによりいくつかの異なる温度チャンバ構成が必要なときに経済的解決が提供される。温度チャンバ内で検査される装置は、プリント回路基板、機械式若しくは電子式モジュール、又は熱的検査を必要とする他の装置でよい。更に、この供給源は、温度チャンバに取り付けることなく様々な装置を検査する温度の温度源として使用することができる。
【００４７】
本発明は、供給源（すなわち、開ループ温度源）と共に使用される一群の交換可能な温度チャンバを含む。チャンバの特徴には、熱損失を最小限にし且つ熱負荷を減少させることによって熱的性能の全般的改善を実現するきわめて効率的な断熱設計と、特定の検査用途の熱応答を改善するきわめて効率的で現場交換可能な空気分配方法と、温度均一性を最適化する独特な排出システムと、自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとがある。
【００４８】
本発明の第１の実施形態では、チャンバは、フード構成である。図１は、空気などの温度制御された流体の供給源１０に接続された本発明の実施形態によるフード・チャンバ１２の概略斜視図である。供給源１０は、例えば、Temptronic Corporation of Sharon, Massachusettsが製造販売しているThermoStreamTM model TP04300又はTP04310や他の類似の装置でよい。供給源１０は、フード・チャンバ１２内の温度を制御するための温度制御された空気の供給源として使用される。供給源１０のヘッド１４が、３本の刻み付きねじでフード・チャンバ１２の上面に直接に取り付けられる。ヘッド１４をヘッドフード・チャンバ１２に取り付けるには工具は不要である。ヘッド１４は、旋回アーム１５によって供給源１０に取り付けられる。
【００４９】
図２Ａから図２Ｅは、本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタ２０を備えた図１のフード・チャンバ１２の概略図である。フード・チャンバ１２は、検査が完了する時間を短縮し、従って検査コストを削減する温度応答を改善するように設計された汎用マニホールド・アダプタ２０を備える。汎用マニホールド・アダプタ２０は、温度検査を最適化するために交換式マニホールドを使用することを可能にする。図２Ａから図２Ｅは、交換式マニホールドを示す。熱的性能を最適化するために、供給源１０によって供給される温度制御された空気が、検査される装置に導かれることが望ましい。従来の温度筐体（チャンバ）は、検査される装置に空気を導くことなく空気を単純に循環させる。フード・チャンバ１２内の汎用マニホールド・アダプタ２０により、マニホールドを追加して、温度制御された空気を検査される装置に直接導くことができる。
【００５０】
汎用マニホールド・アダプタ２０を使用すると、同じフード・チャンバ１２内で検査要件に変化に対応するために、必要に応じて空気分配マニホールドを様々な構成に変更することができる。図２Ａは、マニホールドが取り付けられていない状態の汎用マニホールド・アダプタ２０を備えたフード１２の概略図である。汎用マニホールド・アダプタ２０は、交換式マニホールドの取り付けを可能にするいくつかの取り付け部（穴）を有する。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する１本の水平管２２でよい。マニホールドは、２本以上の水平管２２でよい。図２Ｂは、空気排出用の複数の小さな穴を有し、汎用マニホールド・アダプタ２０に取り付けられた２本の水平管２２を備えたフード・チャンバ１２の概略図である。マニホールドは、検査される装置上に空気をより良く導くために１本の柔軟な管でもよい。マニホールドは、温度制御された空気を均一に分配するシャワーヘッド形でもよく、温度制御された空気を分配するための任意の他のマニホールドでもよい。図２Ｃは、汎用マニホールド・アダプタ２０に取り付けられたシャワーヘッド形マニホールド２４を備えたフード・チャンバ１２の概略図である。図２Ｄは、汎用マニホールド・アダプタ２０に取り付けられたシャワーヘッド形マニホールド２４と、フード・チャンバ１２の側面部にある排気口２６とを有するフード・チャンバ１２の概略図である。図２Ｅは、シャワーヘッド・マニホールド２４と、空気排出用の複数の小さな穴を有し汎用マニホールド・アダプタ２０に取り付けられた４本の水平管２２とを有するフード・チャンバ１２の概略図である。
【００５１】
図３は、本発明の実施形態による図１のフード・チャンバ１２の概略斜視図である。図３に示したようなフード・チャンバ１２に使用される断熱設計は、温度変化が既存の手法よりも早く生じることを可能にする。フード・チャンバ１２は、断熱材１６の表面に接着されたシリコーン薄層１８を有する断熱材層１６を有する。接着層１８は、断熱材１６の破損を防ぐのに必要な保護を提供する。接着層１８は、熱負荷として働き設定温度間で遷移する時間を大幅に長くするフード・チャンバ１２内側の金属（又は、他の材料）のライナを不要にする。フード・チャンバ１２は、取手２３を有する。
【００５２】
図４は、本発明の実施形態による図１のフード・チャンバ１２の概略斜視図である。図４では、フード・チャンバ１２は、空気供給源１０から分離されている。供給源１０に接続するために空気吸入接続２５が使用される。
【００５３】
フード・チャンバ１２は、また、検査領域内の温度均一性を最適化するために独特な排出システムを内臓する。すべてのフード・チャンバ構成は、検査領域全体にわたる均一な空気分配を保証するために検査領域内に複数の排気領域を提供する。排気領域は、一般に、フード・チャンバ１２の側面部分に配置されるが、均一性を最適化するために必要に応じて他の位置にあってもよい。図２Ｄと図３に示したように、フードチャンバ１２の側面部分に排気口２６が配置される。図２Ｄと図３に示したように、排気口２６はすべてフード・チャンバ１２内部で繋がり、特定の構成ではフード・チャンバ１２から出る１つの排出口２８だけが使用される。内部経路２７は、フード・チャンバ１２内の排気経路である。排気位置は、検査オペレータに便利なようにユーザ選択可能である（第１と第２の出口２８が９０度離される）。フード・チャンバ１２は、取っ手２３を備える。
【００５４】
代替の実施形態では、チャンバは、クラムシェル構成のものである。図５Ａと図５Ｂは、本発明の実施形態による供給源１０に接続されたクラムシェル・チャンバ３０の概略斜視図である。クラムシェル・チャンバ３０は、検査される装置が上側からチャンバ内に装填されるようにトップローディングされる。図５Ａと図５Ｂでは、供給源１０は、クラムシェル・チャンバ３０内の温度を制御するための温度制御された空気の供給源として使用される。図５Ａでは、供給源１０のヘッド１４は、温度制御された空気を供給源１０からクラムシェル・チャンバ３０に移す柔軟な伸縮装置３２を介してクラムシェル・チャンバ３０の側面に接続される。図５Ａでは、ヘッド１４は、旋回アーム１５に接続される。図５Ｂでは、供給源１０の出力は、温度制御された空気を供給源１０からクラムシェル・チャンバ３０に柔軟な伸縮装置３２を介してクラムシェル・チャンバ３０の側面に接続される。柔軟な伸縮装置３２のクラムシェル・チャンバ３０への取り付けは、３本の刻み付きねじで行なわれる。柔軟な伸縮装置３２をクラムシェル・チャンバ３０に取り付けるのに工具は不要である。取り付けは、都合に応じてクラムシェル・チャンバのどちら側に行われてもよい。
【００５５】
図６Ａから図６Ｅは、本発明の実施形態による図５Ａと図５Ｂのクラムシェル・チャンバ３０の概略図である。具体的には、図６Ａは、クラムシェル・チャンバ３０の概略平面図である。図６Ｂは、クラムシェル・チャンバ３０の概略後面図である。図６Ｃは、クラムシェル・チャンバ３０の概略正面図である。図６Ｄは、開位置のクラムシェル・チャンバ３０の概略図である。図６Ｅは、本発明の実施形態による、図６Ａの断面Ｅ−Ｅに沿ったクラムシェル・チャンバ３０の概略断面図である。
【００５６】
クラムシェル・チャンバ３０は、ヒンジ３５によって下側部分３６に接続された上側部分３４を有する。クラムシェル・チャンバ３０が閉じられているとき、上側部分３４と下側部分３６は、ラッチ３３によって掛止される。クラムシェル３０は、クラムシェル・チャンバ３０の両側に、ケーブルをクラムシェル・チャンバ３０の内部に接続するための４つのケーブル貫通口４１を有する。
【００５７】
クラムシェル・チャンバ３０に使用され、図６Ｅとして示されたような断熱設計は、既存の手法よりも温度変化が早く生じることを可能にする。クラムシェル・チャンバ３０は、断熱材４３を使用し、すなわち、クラムシェル・チャンバ３０の外側シェル３７とクラムシェル・チャンバ３０の内側ライナ３９を使用する。内側ライナ３９は、頻繁な使用によって生じる可能性のある破損から断熱材４３を保護する。内側ライナ３９は、熱損失を最小限にし、且つ熱的性能（すなわち、温度応答と温度均一性）を最適化するために、外側シェル３７から熱的に分離される。一実施形態では、内側ライナ３９は、熱負荷を最小にするためにきわめて薄いステンレス鋼で作成されるが、他の適切な材料でもよい。
【００５８】
図７Ａから図７Ｃは、本発明の一実施形態による汎用マニホールド・アダプタ２０を備えた図５Ａと図５Ｂのクラムシェル・チャンバ３０の概略図である。クラムシェル・チャンバ３０は、検査が完了する時間を短縮し、従って検査コストを削減する温度応答を改善するために汎用マニホールド・アダプタ２０を備える。汎用マニホールド・アダプタ２０により、交換式マニホールドを使用して温度検査を最適化することができる。熱的性能を最適化するには、供給源１０によって供給される温度制御された空気が、検査される装置に導かれることが望ましい。従来の温度筐体（チャンバ）は、単に、検査される装置に空気を導くことなく空気を循環させる。クラムシェル・チャンバ３０内の汎用マニホールド・アダプタ２０により、マニホールドを追加して、温度制御された空気を検査される装置に直接導くことができる。
【００５９】
同一クラムシェル・チャンバ内で検査要件の変化に対応しなければならない場合は、汎用マニホールド・アダプタ２０を使用して、空気分配マニホールドを様々な構成に変更することができる。汎用マニホールド・アダプタ２０は、交換式マニホールドの取り付けを可能にするいくつかの取り付け部分（穴）を有する。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する１本の水平管２２でよい。マニホールドは、２本以上の水平管２２でよい。図７Ａは、汎用マニホールド・アダプタ２０に取り付けられた空気排出用の複数の小さな穴を有する２本の水平管２２を備えたクラムシェル・チャンバ３０の概略図である。マニホールドは、検査される装置上に空気をより良好に導く１本の柔軟な管でよい。マニホールドは、温度制御された空気を均一に分配するシャワーヘッド形でもよく、温度制御された空気を分配するための他のマニホールドでもよい。図７Ｂは、汎用マニホールド・アダプタ２０に取り付けられたシャワーヘッド形マニホールド２４を有するクラムシェル・チャンバ３０の概略図である。図７Ｃは、シャワーヘッド形マニホールド２４と、汎用マニホールド・アダプタ２０に取り付けられた空気排出用の複数の小さな穴を有する４本の水平管２２とを備えたクラムシェル・チャンバ３０の概略図である。
【００６０】
クラムシェル・チャンバ３０は、また、検査領域内の温度均一性を最適化する独特な排出システムを有する。クラムシェル・チャンバ３０は、図６Ｅに示したように、熱的に検査される装置をユーザが配置する取り付け台３８を有する。検査される装置は、プリント回路基板、機械若しくは電子モジュール、又は温度検査を必要とする他の装置でよい。取り付け台３８は、排出口４０の上に配置され、排出口４０は、クラムシェル・チャンバ３０の底の中心に配置され、従って、空気吸入口４５からクラムシェル・チャンバ３０に入った温度制御された空気はすべて、クラムシェル・チャンバ３０を出る前に検査される装置の上を流れる。この構成は、クラムシェル・チャンバ３０内の温度均一性及び温度応答を最適化し、すなわち、設定点温度の変化が早くなる。図６Ｂと図６Ｅに示したように、排気は、後部排出口４２までクラムシェル・チャンバ内部を後方に送られる。
【００６１】
図８Ａ、図８Ｂ、図９Ａ、図９Ｂ、図１０Ａ及び図１０Ｂでは、供給源１０は、本発明の別の実施形態により、フロントローダ・チャンバ４４内の温度を制御するための温度制御された空気の供給源として使用される。図８Ａと図８Ｂは、本発明により供給源１０に接続されたフロントローダ・チャンバ４４の概略斜視図である。図８Ａと図８Ｂでは、供給源１０のヘッド１４は、直接、又は温度制御された空気を供給源ヘッド１４からフロントローダ・チャンバ４４に移す柔軟な伸縮装置３２を介して、フロントローダ・チャンバ４４の後部に取り付けられる。図８Ａと図８Ｂでは、ヘッド１４は、旋回アーム１５によって供給源１０に取り付けられる。図９Ａと図９Ｂは、本発明の別の実施形態により、供給源１０に接続されたフロントローダ・チャンバ４４の概略斜視図である。図９Ａと図９Ｂでは、供給源１０の出力は、温度制御された空気を供給源１０からフロントローダ・チャンバ４４に移す柔軟な伸縮装置３２を介してフロントローダー・チャンバ４４の後部に取り付けられる。図１０Ａと図１０Ｂは、本発明の別の実施形態による供給源１０に接続されたフロントローダ・チャンバ４４の概略斜視図である。図１０Ａと図１０Ｂでは、フロントローダ・チャンバ４４は、供給源１０の上部に直接合体される。
【００６２】
図８Ａ、図８Ｂ、図９Ａ、図９Ｂ、図１０Ａ及び図１０Ｂを参照すると、フロントローダ・チャンバ４４は、ヒンジ４７によって後部４８に接続された前部４６を有する。フロントローダ・チャンバ４４が閉位置にあるとき、ラッチ４９は、前部４６と後部４８を掛止する。フロントローダ・チャンバ４４は、フロントローダ・チャンバ４４の内部にケーブルを接続するためのケーブル貫通部５１を有する。
【００６３】
図１１は、本発明の実施形態による図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバ４４の分解斜視図である。図１１に示したように、フロントローダ・チャンバ４４に使用される断熱設計は、温度変化が既存の手法よりも早く生じることを可能にする。フロントローダ・チャンバ４４は、フロントローダ・チャンバ４４の外側シェル５６とフロントローダ・チャンバ４４の内側ライナ５２の間に断熱材５４を使用する。内側ライナ５２は、頻繁な使用によって生じる可能性のある破損から断熱材５４を保護する。しかしながら、内側ライナ５２は、熱損失を最小にし且つ熱的性能（すなわち、温度応答と温度均一性）を最適化するために外側シェル５６から熱的に分離される。一実施形態では、内側ライナ５２は、熱負荷を最小にするためにきわめて薄いステンレス鋼からなるが、他の適切な材料でもよい。
【００６４】
図１２Ａと図１２Ｂは、本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタ２０を有するフロントローダ・チャンバ４４の概略図である。図１２Ａと図１２Ｂでは、フロントローダ・チャンバ４４は、検査の完了の時間を短縮し、従って検査コストを削減する温度応答を改善するように設計された汎用マニホールド・アダプタ２０を備える。汎用マニホールド・アダプタ２０により、交換式マニホールドを使用して温度検査を最適化することができる。熱的性能を最適化するには、供給源１０から供給される温度制御された空気を検査される装置に導くことが望ましい。従来の温度筐体（チャンバ）は、検査される装置に空気を導くことなにし単に空気を循環させる。フロントローダ・チャンバ４４内の汎用マニホールド・アダプタ２０により、マニホールドを追加して、検査される装置に温度制御された空気を直接導くことができる。
【００６５】
汎用マニホールド・アダプタ２０により、同じフロントローダ・チャンバ４４内の検査要件の変化に対応するために、必要に応じて空気分配マニホールドを様々な構成に変化させることができる。汎用マニホールド・アダプタ２０は、交換式マニホールドの取り付けを可能にするいくつかの取り付け部分（穴）を備える。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する１本の管２２でよい。マニホールドは、空気排出用の複数の小さな穴を有する２本以上の管２２でよい。マニホールドは、検査される装置上に空気をより良く導く１本の柔軟な管でよい。マニホールドは、温度制御された空気を均一に分配するシャワーヘッド形マニホールドでよい。図１２Ａは、シャワーヘッド形マニホールド２４と、汎用マニホールド・アダプタ２０に取り付けられ空気排出用の複数の小さな穴を有する４本の水平管２２とを備えたフロントローダ・チャンバ４４の概略図である。マニホールドは、図１２Ｂに示したような、プレートが広い面積にわたって温度制御された空気を均一に分配するバッフル・システム５８でもよく、温度制御された空気を分配する任意の他のマニホールドでもよい。
【００６６】
フロントローダ・チャンバ４４は、また、検査領域内で温度均一性を最適化するために独特の排出システムを有する。図１３Ａから図１３Ｅは、本発明の実施形態によるフロントローダ・チャンバ４４の概略図を示す。具体的には、図１３Ａは、閉位置のフロントローダ・チャンバ４４の概略図である。図１３Ｂは、開位置のフロントローダ・チャンバ４４の概略図である。図１３Ｃは、フロントローダ・チャンバ４４の概略平面図である。図１３Ｄは、フロントローダ・チャンバ４４の概略後面図である。図１３Ｅは、フロントローダ・チャンバ４４の概略側面図である。フロントローダ・チャンバ４４は、熱的に検査される装置をユーザが配置する様々なタイプの棚を備えてもよい。検査される装置は、プリント回路基板、機械若しくは電子モジュール、又は熱的検査を必要とする他の装置でよい。好ましい実施形態では、図１２Ａ、図１２Ｂ及び図１３Ｂに示したように、棚５０は、一般に、水平面に配置され、温度制御された空気がフロントローダ・チャンバ４４から出る前に検査される装置の上に流れることを可能にする。棚５０は、取り付け装置５３によってフロントローダ・チャンバ４４に取り付けられる。取り付け装置５３は、複数の切欠きを有し、それにより、棚５０を複数の位置で取り付け装置に挿入することもでき、複数の棚５０を備えることができる。図１３Ｄに示したように、空気は、空気吸入口６１からフロントローダ・チャンバ４４の後部に入り、フロントローダ・チャンバ４４内の温度応答と温度均一性を最適化するように配置された４つ以上の排出口領域６０に向かって前方に流れる。排出口領域６０は、図１３Ｂでは、前方の４つの隅に示されているが、熱的性能を最適化するために他の位置にあってもよい。排気は、後側排出口６２からフロントローダ・チャンバ４４の後部まで内部で送られる。
【００６７】
図１４Ａから図１４Ｈは、本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４の概略図である。本発明の自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４は、図１４Ｆに示したようにフロントローダ・チャンバ４４と関連して使用されてもよく、図１４Ｇに示したようにフード・チャンバ１２と関連して使用されてもよく、図１４Ｈに示したようにクラムシェル・チャンバ３０と関連して使用されてもよく、他の標準温度チャンバや更に他の未定義のチャンバ構成と関連して使用されてもよい。
【００６８】
図１４Ａは、例としてフロントローダ・チャンバ４４と共に使用されるケーブル貫通モジュール６４を示す図１４Ｆの部分Ａの詳細な概略図である。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４は、チャンバの外部からチャンバの内部にケーブル６６を通すための便利な方法を提供する。ここで言及するケーブル６６は、任意の目的のために、チャンバ内で検査される温度である装置の要件を満たすものでよい。ケーブル６６は、チャンバ内で検査される装置を、チャンバ内で検査される装置との間でデータを送信し且つ／又は受信するために使用される検査システムに接続する。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４は、ケーブル６６の取り付けのためにチャンバから取外し可能である。ケーブル６６は、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４の第１の半体６８と第２の半体７０に通される。次に、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４は、チャンバ壁内に組み込まれ、組み込まれたとき、第１の半体６８と第２の半体７０は密着し、図１４Ａ、図１４Ｄ及び図１４Ｅに示したように、ケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。
【００６９】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４は、図１４Ａと図１４Ｅに示したようなクランプ７４によって、又は他の適切な手段によって、適所に固定される。乾燥空気供給源７６は、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４に乾燥空気を提供して、低温処理中の水分／霜の形成がないようにする。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４は、チャンバの外側面に接続される。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４が、図１４Ｂと図１４Ｃに示したような開位置にあるとき、第１の半体６８と第２の半体は、第２の半体７０を第１の半体に対して接続部７２のまわりに回転させることによって分離される。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４が開位置にあるとき、ケーブル６６は、第１の半体６８と第２の半体７０を介してチャンバ内に送り込まれる。自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４が閉位置にあるときは、図１４Ａ、図１４Ｄ及び図１４Ｅに示したように、第１の部分と第２の部分は閉じられ、ケーブル６６のまわりに漏れ止めシールを形成する。図１４Ａ、図１４Ｂ、及び図１４Ｄから図１４Ｈに示したように、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４は、取っ手７８を有する。図１４Ｅは、図１４Ｄの断面Ｂ−Ｂに沿った断面図である。図１４Ｄに示したように、自動閉鎖ケーブル貫通モジュール６４は断熱材８０を有する。
【００７０】
本発明を詳細に示しその例示的な実施形態に関して説明してきたが、当業者は、添付の特許請求の範囲よって定義されたような本発明の精神と範囲から逸脱することなく形態と詳細の様々な変更を行うことができることを理解するであろう。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたフード・チャンバの概略斜視図である。
【図２Ａ】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図１のフード・チャンバの概略図である。
【図２Ｂ】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図１のフード・チャンバの概略図である。
【図２Ｃ】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図１のフード・チャンバの概略図である。
【図２Ｄ】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図１のフード・チャンバの概略図である。
【図２Ｅ】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図１のフード・チャンバの概略図である。
【図３】本発明の実施形態による図１のフード・チャンバの概略斜視図である。
【図４】本発明の実施形態による図１のフード・チャンバの概略斜視図である。
【図５Ａ】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたクラムシェル・チャンバの概略斜視図である。
【図５Ｂ】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたクラムシェル・チャンバの概略斜視図である。
【図６Ａ】本発明の実施形態による図５Ａと図５Ｂのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図６Ｂ】本発明の実施形態による図５Ａと図５Ｂのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図６Ｃ】本発明の実施形態による図５Ａと図５Ｂのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図６Ｄ】本発明の実施形態による図５Ａと図５Ｂのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図６Ｅ】本発明の実施形態によるクラムシェル・チャンバの概略断面図である。
【図７Ａ】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図５Ａと図５Ｂのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図７Ｂ】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図５Ａと図５Ｂのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図７Ｃ】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを有する図５Ａと図５Ｂのクラムシェル・チャンバの概略図である。
【図８Ａ】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図８Ｂ】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続されたフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図９Ａ】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図９Ｂ】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図１０Ａ】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図１０Ｂ】本発明の実施形態による温度制御された空気の供給源に接続された図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの概略斜視図である。
【図１１】本発明の実施形態による図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの分解斜視図である。
【図１２Ａ】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを備えた図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図１２Ｂ】本発明の実施形態による汎用マニホールド・アダプタを備えた図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図１３Ａ】本発明の実施形態による図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図１３Ｂ】本発明の実施形態による図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図１３Ｃ】本発明の実施形態による図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図１３Ｄ】本発明の実施形態による図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図１３Ｅ】本発明の実施形態による図８Ａと図８Ｂのフロントローダ・チャンバの概略図である。
【図１４Ａ】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図１４Ｂ】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図１４Ｃ】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図１４Ｄ】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図１４Ｅ】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図１４Ｆ】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図１４Ｇ】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図１４Ｈ】本発明の実施形態による自動閉鎖ケーブル貫通モジュールの概略図である。
【図１】
2009530588.tif 000003
【図２Ａ】
2009530588.tif 000004
【図２Ｂ】
2009530588.tif 000005
【図２Ｃ】
2009530588.tif 000006
【図２Ｄ】
2009530588.tif 000007
【図２Ｅ】
2009530588.tif 000008
【図３】
2009530588.tif 000009
【図４】
2009530588.tif 000010
【図５Ａ】
2009530588.tif 000011
【図５Ｂ】
2009530588.tif 000012
【図６Ａ】
2009530588.tif 000013
【図６Ｂ】
2009530588.tif 000014
【図６Ｃ】
2009530588.tif 000015
【図６Ｄ】
2009530588.tif 000016
【図６Ｅ】
2009530588.tif 000017
【図７Ａ】
2009530588.tif 000018
【図７Ｂ】
2009530588.tif 000019
【図７Ｃ】
2009530588.tif 000020
【図８Ａ】
2009530588.tif 000021
【図８Ｂ】
2009530588.tif 000022
【図９Ａ】
2009530588.tif 000023
【図９Ｂ】
2009530588.tif 000024
【図１０Ａ】
2009530588.tif 000025
【図１０Ｂ】
2009530588.tif 000026
【図１１】
2009530588.tif 000027
【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
2009530588.tif 000029
【図１３Ａ】
2009530588.tif 000030
【図１３Ｂ】
2009530588.tif 000031
【図１３Ｃ】
2009530588.tif 000032
【図１３Ｄ】
2009530588.tif 000033
【図１３Ｅ】
2009530588.tif 000034
【図１４Ａ】
2009530588.tif 000035
【図１４Ｂ】
2009530588.tif 000036
【図１４Ｃ】
2009530588.tif 000037
【図１４Ｄ】
2009530588.tif 000038
【図１４Ｅ】
2009530588.tif 000039
【図１４Ｆ】
2009530588.tif 000040
【図１４Ｇ】
2009530588.tif 000041
【図１４Ｈ】
2009530588.tif 000042
【手続補正書】
【提出日】平成20年11月26日(2008.11.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度チャンバであって、
装置を収容することができるチャンバであって、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバの温度を制御するための温度制御された供給源に接続可能なチャンバと、
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールであって、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルが、モジュールの第１の位置で第１と第２の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとを有する、温度チャンバ。
【請求項２】
チャンバから流体を排出するための排出システムを更に有する、請求項１に記載の温度チャンバ。
【請求項３】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする単一の出口とを有する、請求項２に記載の温度チャンバ。
【請求項４】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する、請求項２に記載の温度チャンバ。
【請求項５】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項２に記載の温度チャンバ。
【請求項６】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項２に記載の温度チャンバ。
【請求項７】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有する、請求項１に記載の温度チャンバ。
【請求項８】
チャンバは、フード構成を有する、請求項７に記載の温度チャンバ。
【請求項９】
断熱材の表面にシリコーン薄層が接着された、請求項８に記載の温度チャンバ。
【請求項１０】
断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項７に記載の温度チャンバ。
【請求項１１】
チャンバの内側ライナは、外側シェルから熱的に分離された、請求項１０に記載の温度チャンバ。
【請求項１２】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項１１に記載の温度チャンバ。
【請求項１３】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項１１に記載の温度チャンバ。
【請求項１４】
流体は、空気である、請求項１に記載の温度チャンバ。
【請求項１５】
温度制御された流体を装置に直接導くために汎用マニホールド・アダプタを更に有する、請求項１に記載の温度チャンバ。
【請求項１６】
流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項１５に記載の温度チャンバ。
【請求項１７】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する１本の水平管を有する、請求項１６に記載の温度チャンバ。
【請求項１８】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項１６に記載の温度チャンバ。
【請求項１９】
マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する、請求項１６に記載の温度チャンバ。
【請求項２０】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項１６に記載の温度チャンバ。
【請求項２１】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュールは、チャンバから取外し可能である、請求項１に記載の温度チャンバ。
【請求項２２】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュールは、チャンバの壁に組み込まれ、クランプは、自動閉鎖ケーブル貫通モジュールをチャンバに固定する、請求項１に記載の温度チャンバ。
【請求項２３】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュールに乾燥空気を提供するための乾燥空気供給源を有する、請求項１に記載の温度チャンバ。
【請求項２４】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュールは、第２の部分を第１の部分に対して回転させるための接続部を有する、請求項１に記載の温度チャンバ。
【請求項２５】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュールは、更に、断熱材を有する、請求項１に記載の温度チャンバ。
【請求項２６】
装置の温度を制御するための温度制御システムであって、
装置を収容することができるチャンバと、
チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源と、
チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールであって、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルが、モジュールの第１の位置で第１と第２の部分を通ってチャンバ内に送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとを有する温度制御システム。
【請求項２７】
温度制御された流体を装置に直接導くための汎用マニホールド・アダプタを更に有する、請求項２６に記載の温度制御システム。
【請求項２８】
流体を装置に導くために交換式マニホールドが汎用マニホールドに取り付け可能である、請求項２７に記載の温度制御システム。
【請求項２９】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する１本の水平管を有する、請求項２８に記載の温度制御システム。
【請求項３０】
マニホールドは、流体を排出するための複数の小さな穴を有する複数の水平管を有する、請求項２８に記載の温度制御システム。
【請求項３１】
マニホールドは、流体を均一に分配するためのシャワーヘッド構成を有する、請求項２８に記載の温度制御システム。
【請求項３２】
マニホールドは、バッフル・システムを有する、請求項２８に記載の温度制御システム。
【請求項３３】
チャンバから流体を排出する排出システムを更に有する、請求項２６に記載の温度制御システム。
【請求項３４】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にするための単一の出口とを有する、請求項３３に記載の温度制御システム。
【請求項３５】
排出システムは、チャンバの内部で接続された複数の排出口と、流体がチャンバから出ることを可能にする複数の出口とを有する、請求項３３に記載の温度制御システム。
【請求項３６】
排出システムは、チャンバの底の中心に配置された排出口と、流体がチャンバの後部から出ることを可能にする出口とを有する、請求項３３に記載の温度制御システム。
【請求項３７】
排出の位置は、ユーザによって選択可能である、請求項３３に記載の温度制御システム。
【請求項３８】
チャンバの側面に形成された断熱材を更に有する、請求項２６に記載の温度制御システム。
【請求項３９】
チャンバは、フード構成を有する、請求項３８に記載の温度制御システム。
【請求項４０】
断熱材の表面にシリコーン薄層が接着された、請求項３９に記載の温度制御システム。
【請求項４１】
チャンバは、チャンバの上側部分がチャンバの下側部分に接続されたクラムシェル構成を有し、その結果検査する装置をチャンバ内に装填するために上側部分が開かれる、請求項３８に記載の温度制御システム。
【請求項４２】
断熱材は、チャンバの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項４１に記載の温度制御システム。
【請求項４３】
チャンバの内側ライナは、外側シェルから熱的に分離された、請求項４２に記載の温度制御システム。
【請求項４４】
チャンバは、チャンバの前側部分がチャンバの後側部分に接続されたフロントローダ構成を有し、その結果装置をチャンバ内に装填するために前側部分が開かれる、請求項３８に記載の温度制御システム。
【請求項４５】
断熱材は、フロントローダの外側シェルとチャンバの内側ライナの間に位置決めされた、請求項４４に記載の温度制御システム。
【請求項４６】
チャンバの内側ライナは、外側シェルから熱的に分離された、請求項４５に記載の温度制御システム。
【請求項４７】
流体は、空気である、請求項２６に記載の温度制御システム。
【請求項４８】
自動閉鎖ケーブル貫通接続モジュールは、チャンバから取外し可能である、請求項２６に記載の温度制御システム。
【請求項４９】
自動閉鎖ケーブル貫通接続モジュールは、チャンバの壁に組み込まれ、クランプは、自動閉鎖ケーブル貫通モジュールをチャンバに固定する、請求項２６に記載の温度制御システム。
【請求項５０】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュールに乾燥空気を提供するための乾燥空気供給源を更に有する、請求項２６に記載の温度制御システム。
【請求項５１】
自動閉鎖ケーブル貫通接続モジュールは、第２の部分を第１の部分に対して回転させるための接続部を有する、請求項２６に記載の温度制御システム。
【請求項５２】
自動閉鎖ケーブル貫通接続モジュールは、更に、断熱材を有する、請求項２６に記載の温度制御システム。
【請求項５３】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュールであって、
第１の部分と、
第２の部分と、
第２の部分を第１の部分に対して回転させるための接続部であって、ケーブルが、モジュールの第１の位置で第１と第２の部分を通ってチャンバに送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する接続部とを有する自動閉鎖ケーブル貫通モジュール。
【請求項５４】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュールは、チャンバから取外し可能である、請求項５３に記載の自動閉鎖ケーブル貫通モジュール。
【請求項５５】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュールに乾燥空気を提供するための乾燥空気供給源を更に有する、請求項５３に記載の自動閉鎖ケーブル貫通モジュール。
【請求項５６】
自動閉鎖ケーブル貫通モジュールは、更に、断熱材を有する、請求項５３に記載の自動閉鎖ケーブル貫通モジュール。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
本発明の別の態様によれば、本発明は、装置の温度を制御するための温度制御システムを対象とする。温度制御システムは、装置を収容することができるチャンバと、チャンバに接続され、温度制御された流体をチャンバに提供してチャンバ内の温度を制御するための温度制御された供給源と、チャンバの外側面に接続された自動閉鎖ケーブル貫通モジュールとを有する。モジュールは、第１の部分と第２の部分を有し、ケーブルは、第１と第２の部分を介して第１の位置でチャンバ内に送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する。また、本発明の別の態様によれば、本発明は、自動閉鎖ケーブル貫通モジュールを対象とする。自動閉鎖ケーブル貫通モジュールは、第１の部分と、第２の部分と、第２の部分を第１の部分に対して回転させるための接続部であって、ケーブルが、モジュールの第１の位置で第１と第２の部分を通ってチャンバに送り込まれ、第１と第２の部分は、モジュールの第２の位置でケーブルのまわりに漏れ止めシールを形成する接続部とを有する。
【国際調査報告】
2009530588.tif 000043
2009530588.tif 000044
2009530588.tif 000045