(57)【要約】  基材（ギアセットのギア等）に、摩耗保護性及び耐腐食性の双方を付与することができる、基材の表面処理方法を開示する。当該方法は、基材に摩耗保護層を設ける工程、及び耐腐食層を設ける工程を具備する。この場合、摩耗保護層がギアに設けられたのち、耐腐食層が当該摩耗保護層を覆うように設けられてもよく、耐腐食層が設けられたのち、摩耗保護層が当該耐腐食層を覆うように設けられてもよい。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
耐摩耗性及び耐腐食性の双方を基材（ギア等）に付与する方法であって、前記基材に耐摩耗性の層及び耐腐食性の層を施す工程、を備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記耐摩耗性の層を前記基材に設けたのち、該耐摩耗性の層を覆うように前記耐腐食性の層を設ける、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記耐摩耗性の層には、腐食性の成分が浸透し得るヒビ又は孔等が備えられ、前記耐腐食性の層が、前記ヒビ又は孔等に充填される、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記耐腐食性の層が犠牲層であり、前記耐腐食性の層を摩滅させることにより、前記ヒビ又は孔等に充填された前記耐腐食性の層以外の耐腐食性の層を前記耐摩耗性の層から取り除く工程をさらに備える、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記耐腐食性の層を前記基材に設けたのち、該耐腐食性の層を覆うように前記耐摩耗性の層を設ける、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記耐摩耗性の層が、ナノ結晶金属炭化物／非晶質炭化水素複合材料、金属を有さない非晶質炭化水素、シリコン含有非晶質炭化水素、炭化ホウ素、金属窒化物、及びこれらの組み合わせからなる群より選ばれる被膜を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記耐摩耗性の層が、浸炭プロセス、窒化プロセス、浸炭窒化プロセス、及びプラズマイオン注入プロセスのいずれかから選ばれる表面処理に供された、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記耐腐食性の層が、高分子化合物（ＰＭＭＡ、ＰＴＦＥ等）、陽極酸化金属、潤滑油添加剤フィルム、これらの派生物（化成層等）、又はこれらの組み合わせを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記耐腐食性の層が、Ｐ、Ｂ、Ｃｏ、Ｗ、Ｔｈ、若しくはＺｎを含むＮｉ合金、又はこれらの組み合わせを含有する、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
表面を有するギアであって、耐腐食性の層及び耐摩耗性の層が前記表面に具備されることを特徴とするギア。
【請求項１１】
前記耐摩耗性の層が、前記ギアの表面に形成され、該耐摩耗性の層を覆うように前記耐腐食性の層が形成される、請求項１０に記載のギア。
【請求項１２】
前記耐摩耗性の層には、腐食性の成分が浸透し得るヒビ又は孔等が備えられ、前記耐腐食性の層が、前記ヒビ又は孔等に充填される、請求項１１に記載のギア。
【請求項１３】
前記耐腐食性の層が、前記耐腐食性の層のうち前記ヒビ又は孔等に充填された部分以外のすべてが取り除かれるように摩滅させられる犠牲層である、請求項１２に記載のギア。
【請求項１４】
前記耐腐食性の層が、前記ギアの表面に形成され、該耐腐食性の層を覆うように前記耐摩耗性の層が形成される、請求項１０に記載のギア。
【請求項１５】
前記耐摩耗性の層が、ナノ結晶金属炭化物／非晶質炭化水素複合材料、金属を有さない非晶質炭化水素、シリコン含有非晶質炭化水素、炭化ホウ素、金属窒化物、及びこれらの組み合わせからなる群より選ばれる被膜を有する、請求項１０に記載のギア。
【請求項１６】
前記耐摩耗性の層が、浸炭プロセス、窒化プロセス、浸炭窒化プロセス、及びプラズマイオン注入プロセスから選ばれる表面処理に供された、請求項１０に記載のギア。
【請求項１７】
前記耐腐食性の層が、高分子化合物（ＰＭＭＡ、ＰＴＦＥ等）、陽極酸化金属、潤滑油添加剤フィルム、これらの派生物（化成層等）、又はこれらの組み合わせを有する、請求項１０に記載のギア。
【請求項１８】
前記耐腐食性の層が、Ｐ、Ｂ、Ｃｏ、Ｗ、Ｔｈ、若しくはＺｎを含むＮｉ合金、又はこれらの組み合わせを含有する、請求項１０に記載のギア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、米国特許出願６０／７８５，２９８（出願日：２００６年３月２３日）に基づく優先権を主張しており、当該先の出願についても参考文献として組み込まれる。
【０００２】
本発明は、概して、ギアの表面処理方法に関し、詳しくは、ギア（特にスパイラルベベルギア）に対する耐腐食・耐摩耗表面処理に関する。
【背景技術】
【０００３】
ギアセットは、一般に、動力を伝えるために用いられる。ギアセットのギアは、鋼からなる場合が多く、硬化鋼である場合もある。ギアセットは、油潤滑がない状態やグリット状態等、ギアの動作寿命に悪影響を及ぼすような物理条件下におかれる場合がある。また、ギアセットは、腐食環境下におかれる場合もあり、これについてもギアの動作寿命に悪影響を及ぼす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
現状における技術によれば、Ｃｒ合金やＮｉ合金の厚膜（２０μｍ以上）の被膜を形成することで、合金鋼部材に耐腐食性を付与している（Ｃｒ、Ｎｉ合金の薄膜の被膜（３μｍ未満）にあっては、ＡＳＴＭ  Ｂ１１７の塩水噴霧試験において、耐腐食性が２４時間もたない。）。この方法は、耐腐食性を付与するのに極めて効果的である。しかしながら、当該被膜は非常に厚いため、部材の寸法が変化し、それによって部材を設計し直す必要が生じる。さらに、このような厚膜の被膜は、高負荷、高摺動速度の下にあっては、原子的摩耗ではなく、亀裂や層間剥離を通して、耐腐食性被膜として不適切な状態へとならしめる。
【０００５】
一方、現状における技術水準では、ＭＣ／ａＣ：Ｈ（ナノ結晶金属炭化物／非晶質炭化水素複合材料）又は窒化クロムの被膜を形成することで、合金鋼部材に耐摩耗性を付与している。しかしながら、このような被膜は、ＰＶＤ法によっても、ＣＶＤ法によっても、当該被膜から基材へと多数のピンホールを生ずる。蒸着の際ピンホールが形成される要因はよく分かっていないが、ＰＶＤ、ＣＶＤ法によって合金鋼の基材上に被膜を形成するとピンホールが生じてしまうことは、ＰＶＤ、ＣＶＤ法固有の特徴である。被膜に、当該ピンホールが存在することで、電界腐食を生ずる。当該電界腐食によって、被覆しない場合よりも合金鋼基材の腐食を助長し得る。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
簡潔には、本発明は、ベベルギアのような合金鋼部材に耐摩耗性及び耐腐食性を付与する二層構造又は二成分の被膜を開示する。当該二成分の被膜は、
（ａ）合金鋼基材に設けられるＮｉ若しくはＮｉ合金の薄層（約３μｍ未満）、及び当該Ｎｉ若しくはＮｉ合金の薄層上に設けられる窒化クロム若しくはＭＣ／ａＣ：Ｈの薄層（約３μｍ未満）、又は、
（ｂ）合金鋼基材に設けられる窒化クロム若しくはＭＣ／ａＣ：Ｈの薄層（約３μｍ未満）、及び当該窒化クロム若しくはＭＣ／ａＣ：Ｈの薄層上に設けられるＮｉ若しくはＮｉ合金の薄層（約３μｍ未満）、
を備える。第一の態様において、耐腐食性の層が基材上に設けられ、当該耐腐食性の層を覆うように耐摩耗性の層が設けられる。第二の態様において、耐摩耗性の層が基材上に設けられ、当該耐摩耗性の層を覆うように耐腐食性の層が設けられる。
【０００７】
また、本発明は、基材（ギアセットのギア等）に耐摩耗性、耐腐食性の双方を付与する、基材の表面処理方法を開示する。当該方法は、基材に耐摩耗性の層、及び耐腐食性の層を両方付与する工程を具備する。ギアに耐摩耗性の層が設けられ、その後、当該耐摩耗性の層を覆うように、耐腐食性の層が設けられる形態としてもよいし、ギアに耐腐食性の層が設けられ、その後、当該耐腐食性の層を覆うように、耐摩耗性の層が設けられる形態としてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
下記詳細な説明により、本発明が例示されるが、これは本発明を限定するものではない。この詳細な説明により、当業者が本発明を実施することが明確に可能となるであろう。また、この詳細な説明には、本発明者らが現段階において本発明を実施するに最適と思われるものを含む、種々の実施形態、適用例、変更例、代替例、及び本発明の使用例が示される。さらに、本願において、本発明はその構成の詳細や、下記記載、図面に限定されないものと解されるべきである。本発明は、他の形態とすることもできるし、種々の方法にて実施され得る。また、本願において使用される表現、用語については、説明のために用いられるものであって、それに限定されるものではない。
【０００９】
図１から明らかなように、ギアセットは、一組のギアＧ１、Ｇ２を有しており、それぞれに歯Ｔと、当該歯Ｔの間の歯底Ｒと、が備えられている。一組のギアの歯は、互いに噛み合っており、駆動ギアが被動ギアを回転させる。図１に示されるギアセットは、スパイラルベベルギアセットである。図示されるように、歯の頂端が斜面上に形成されている（すなわち、平面視においてギアは台形をなしている。）。さらに、歯Ｔは、直線状ではなく螺旋状とされている。以下、本発明をスパイラルベベルギアセットに適用した場合について示すが、本発明にかかる処理方法については、実際には、他のギアや、他の形態の基材（すなわちベアリング等）にも適用されるものとして解されるべきである。
【００１０】
第一実施形態において、ギアに耐摩耗性と耐腐食性との双方を付与するため、耐摩耗性の層をギア上に形成し、その後、耐腐食性付与のため、当該耐摩耗性の層を覆うように耐腐食性の層を形成すればよい。
【００１１】
たとえば、耐摩耗性の層が、（１）ナノ結晶金属炭化物と非晶質炭化水素基質（すなわち、ＭＣ／ａＣ：Ｈ）とを含有する複合被膜（例えば、Ｔｉｍｋｅｎ社製、ＥＳ３００  ｃｏａｔｉｎｇ等）であってもよいし、（２）ＭＣ／ａＣ：Ｈと金属を含有しない非晶質炭化水素（ａＣ：Ｈ）とを含む二層構造であってもよいし、（３）窒化クロムと非晶質炭化水素（ａＣ：Ｈ）とを含む二層構造であってもよいし、（４）Ｓｉ含有のａＣ：Ｈの単層であってもよいし、（４）Ｂ４Ｃや、Ｂ４Ｃ及び金属（Ｔｉ、Ｗ、Ｔａ、Ｃｒ等）であってもよいし、（５）金属窒化物（窒化チタン、窒化クロム等）被膜であってもよいし、（６）金属炭化物（炭化チタン等）であってもよい。当該耐摩耗性の層の厚みは、好ましくは約３μｍ以下である。
【００１２】
ギア自体の表面に耐腐食性の層を施してもよいし、上記耐摩耗性の層の表面に耐腐食性の層を施してもよい。一方で、耐腐食性の層が耐摩耗性の層よりも下層側にあってもよい（すなわち、耐腐食性の層がギアに形成され、当該耐腐食性の層を覆うように耐摩耗性の層が形成されてもよい。）。耐腐食性を付与し得る表面処理の方法には、窒素、クロムやその他金属（ニッケル等）のイオン注入が含まれる。イオン注入は、プラズマ窒化、プラズマイオン注入（ＰＩＩＩ）、又は従来のプラズマ注入法によってなされ得る。耐腐食性の層を被膜とした場合、当該被膜は、例えば、電解プロセス又は無電解（自己触媒）プロセスに用いられる、ニッケル又はニッケル−コバルト（ＮｉＣｏ）、ニッケル−ホウ素（ＮｉＢ）、ニッケル−リン（ＮｉＰ）等のニッケル合金の化合物等とすることができる。また、ニッケル−亜鉛（ＮｉＺｎ）合金（本願に参考文献として組み込まれる米国特許第５，３５２，０４６号に開示されたもので、Ｔｉｍｋｅｎ社製、ＡｑｕａＳｐｅｘｘ（登録商標）として入手可能）を用いてもよい。陽極電解されて酸化物相が形成されたタンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニオブ（Ｎｂ）、又はチタン（Ｔｉ）を用いてもよい。また、エポキシ、石油留出物、ＰＭＭＡ（ポリ（メチルメタクリレート））、周知の潤滑油添加剤、希土類成分、又はシーラント（Ｈｅｎｋｅｌ  Ｌｏｃｔｉｔｅ社より入手可能なＬｏｃｔｉｔｅ（登録商標）やＷＤ４０（登録商標）等）を、耐腐食性を付与するものとして用いてもよい。次リン酸塩（ＨｙＰＯ４）を用いてもよい。さらに、化成層をギア基材上又は耐摩耗性の層を覆うように形成してもよい。ＭＣ／ａＣ：Ｈや窒化クロム等の耐摩耗性被膜にクロムイオン注入が適用されて、当該被膜においてピンホールによって露出した合金鋼部分に、耐腐食性を付与してもよい。
【００１３】
ＰＩＩＩによるイオン注入や、ＰＶＤ、ＣＶＤ等のような表面処理の利点は、ギアの表面寸法が変化しないことである。これは、例えば、許容誤差が厳密にモニタリングされ、維持されるギアセット等において重要となる。被膜とする場合は、当該被膜の厚みは約５μｍ以下が好ましいであろう。
【００１４】
第一実施形態においては、ギアを無電解ニッケルでめっきして耐腐食性を付与するものとしてもよい。その後で、ＭＣ／ａＣ：Ｈ（ＷＣ／ａＣ：Ｈ等）の耐摩耗性被膜が、無電解ニッケルめっき層を覆うように形成され得る。この場合においては、外側の層が耐摩耗性を付与し、内側の層が耐腐食性を付与することとなるであろう。外側の耐摩耗性の層においてはピンホールが形成される可能性があるが、当該耐摩耗性の層とギア（すなわち基材）との間の耐腐食性の層によって、腐食成分がギア基材へと到達することが防がれ、ギアの腐食が防止される。これまでのところ、ＡＳＴＭ  Ｂ１１７の塩水噴霧試験において、４８時間の耐腐食性試験に耐え得るような顕著な耐腐食性を付与するには、無電解ニッケルめっき被膜の厚みが少なくとも２０μｍ必要であった。これでは適用するに厚すぎるし耐摩耗性が良くない。さらに上記したように、これでは荷重条件下において破砕されてしまう。本発明による二成分被膜は、ＭＣ／ａＣ：Ｈ被膜により被覆されるため、ニッケルの極めて薄い層（約３μｍ未満）であればよく、当該ＭＣ／ａＣ：Ｈ被膜中のピンホール近傍に存在してさえいればよい。
【００１５】
第二実施形態において、耐摩耗性の層をギア（すなわち基材）上に形成し、その後で、当該耐摩耗性の層を覆うように耐腐食性の層（又はシーラント層）を形成してもよい。この形態において、耐摩耗性の層は、窒化クロム、ＭＣ／ａＣ：Ｈ、又はａＣ：Ｈの層とすることができ、耐腐食性の層は無電解ニッケルめっきとすることができる。あるいは、耐摩耗性の層に、ＭＣ／ａＣ：Ｈ成分、ａＣ：Ｈ成分の双方が含まれていてもよい。この変更例として、金属を含有しない非晶質炭化水素（ａＣ：Ｈ）が、ナノ結晶金属炭化物／非晶質炭化水素複合材料層（ＭＣ／ａＣ：Ｈ）を覆うように形成されてもよい。この形態において、シーラント層（耐腐食性の層）は、事実上犠牲層であってもよい。当該シーラント層（耐腐食性の層）が耐摩耗性の層を覆うように形成されると、シーラント成分（耐腐食性成分）が、図２に示されるようにピンホールに充填されるであろう。シーラント層は耐摩耗性の層ではないため、耐摩耗性の層と同一面まで摩滅され得る。しかしながら、ピンホールに充填された当該シーラント成分がピンホールに留まり続けるので、ピンホールは遮断され、閉じられる。当該ピンホールが、シーラント成分により遮断され、閉じられることで、腐食成分が耐摩耗性の層に浸透することがなく、それによって、合金鋼の基材に耐腐食性を付与することができる。耐摩耗性の犠牲層については、ダミー面や柔軟面に対してギアを駆動させることによって当該犠牲層が取り除かれて、耐摩耗性被膜のすべてのピンホールに耐腐食性の層が配置（充填）されてもよい。この形態において、耐腐食性の層が摩滅除去されると、二成分被膜の厚みは耐摩耗性の層の厚みにほぼ等しくなる。それでもなお、二成分被膜は耐摩耗性と耐腐食性との双方を付与するであろう。
【００１６】
第三実施形態において、ギアは、後にＣｒ被膜へと変えられる窒化クロム層で被覆されてもよい（例えば、ＰＶＤ法により蒸着される。）。その後、被膜の外側クロム層を陽極電解して酸化クロム層を形成してもよい。理由は定かではないが、クロムのような被膜（これにはピンホールが含まれる。）を陽極電解すると、ピンホールを有する純クロム層を上回る顕著な耐腐食性を付与することができるのである。
【００１７】
その他の実施形態において、クロムイオンを合金鋼表面にプラズマイオン注入して耐腐食性の層を形成し、処理されたギア表面を覆うように、ナノコンポジット金属炭化物／非晶質炭化水素の複合材料、シリコン含有非晶質炭化水素、及び／又は、金属フリー非晶質炭化水素、又は窒化クロムを有する耐摩耗性の層を設けてもよい。
【００１８】
また、その他の実施形態において、無電解ニッケルめっき層をギア表面に形成し、当該ニッケル層を覆うように耐摩耗性の被膜を形成してもよい。しかしながら、耐摩耗性の被膜を設けるに先立って、ニッケル層にクロムイオン、ニッケルイオン又はアルゴンイオンを照射し、層密度を増加させて、合金鋼表面により均一に被覆させてもよい。
【００１９】
上述のように、本発明によれば、耐腐食性及び耐摩耗性の双方を合金鋼基材（合金鋼のギア等）に付与する二つの方法が提案される。第一の形態においては、耐腐食性の層が耐摩耗性の層の下に形成される。この場合、耐腐食性の層は、溶液法により形成されるニッケルの薄層（約３μｍ未満）、又は、イオン注入やプラズマイオン注入により形成されるクロム注入の薄層（約３μｍ未満）を備え得る。耐摩耗性の層は、（１）例えば反応性マグネトロンスパッタリングによって形成される、ＭＣ／ａＣ：Ｈの薄層（約３μｍ未満）、（２）例えば反応性マグネトロンスパッタリングによって形成される、窒化クロムの薄層（約３μｍ未満）、（３）例えばプラズマ化学気相成長法によって形成される、Ｓｉ−ａＣ：Ｈの薄層（約３μｍ未満）、（４）例えば反応性マグネトロンスパッタリングやＣＶＤによって形成される、ＭＣ／ａＣ：ＨとａＣ：Ｈとの二層構造の薄層（約３μｍ未満）、又は、（５）例えばマグネトロンスパッタリングによって形成される、Ｂ４Ｃの薄層（約３μｍ未満）、を備え得る。
【００２０】
第二実施形態においては、耐摩耗性の層が耐腐食性の層の下に形成される。この場合、耐腐食耗性の層はシーラントとして機能し、耐摩耗性の層のピンホールやクラックに充填される。この方法でも、耐摩耗性の層を上記のものと同様とすることができる。耐腐食性の層については、無電解ニッケルめっき、エポキシ樹脂、潤滑油添加剤、高分子シーラント、又はＡｑｕａＳｐｅｘｘ（登録商標）を含むものとすることができる。
【００２１】
図３には三つのリングが示されており、一つはＮｉ−Ｚｎ合金で被覆され、一つは硬質クロムで被覆され、一つは被覆されていないものである。Ｎｉ−Ｚｎ合金の被膜については、Ｔｉｍｋｅｎ社製ＡｑｕａＳｐｅｘｘ（登録商標）を用いた。図３においては、Ｎｉベースの耐腐食性被膜が、クロム被膜や被覆しないものと比べて有効であることが示されている。２４時間、ＡＳＴＭ  Ｂ１１７の塩水噴霧試験に供した後において、クロム被覆のリングや被覆していないリングには赤錆が明確に観察されたのに対し、ＡｑｕａＳｐｅｘｘを被覆したリングには錆が確認されなかった（当該ＡｑｕａＳｐｅｘｘ被膜は、自然で“虹色な”黄緑の色を示していた。）。
【００２２】
図４には、ＷＣ／ａＣ：Ｈ被膜によって被覆された合金鋼の金属片、及び被覆していない合金鋼の金属片について、塩水噴霧試験に供した場合の結果が示されている。ＷＣ／ａＣ：Ｈ被膜にはＴｉｍｋｅｎ社製ＥＳ３００を用いた。図４に示されるように、ＥＳ３００を被覆した金属片及び被覆していない金属片の双方に、顕著な錆が観察された。すなわち、上記の耐摩耗性の層は耐腐食性の層とはならないということである。耐腐食性については、第二の被膜によって付与される。第二の被膜とは、基材を覆うように形成されるＮｉ層（このとき、当該Ｎｉ層は耐摩耗性の層の上に形成されても、下に形成されてもよい。）であり、腐食に対して十分な耐性を有する。上述の通り、耐腐食性の層が耐摩耗性の層を覆う場合、全被膜厚みが耐摩耗性の層の厚みと実質的に等しくなるように、当該耐腐食性の層が摩滅されてもよい。それでも、耐摩耗性の層にあるピンホールには耐腐食性のニッケルが充填されており、ピンホールは遮断され、塞がれた状態となるであろう。
【００２３】
本発明を逸脱しない範囲で上記構成について種々の変形がなされ得るであろう。上記詳細な説明に含まれ、また、添付の図面に示されたすべての事項は例示であり、本発明を限定するものではないと解されなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】スパイラルベベルギアセットの斜視図である。
【図２】本発明にかかる耐摩耗性被膜／耐腐食性被膜の二成分構造処理についての略図である。
【図３】耐摩耗性の層の効果を示す写真図である。
【図４】耐摩耗性の層によっては耐腐食性が不足することを明らかにするため、耐摩耗性の層で被覆した金属試験片、及び被覆していない金属試験片を示す写真図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【手続補正書】
【提出日】平成21年1月7日(2009.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
耐摩耗性及び耐腐食性の双方を金属基材に付与する方法であって、
薄膜の耐摩耗性の層を、該薄膜の耐摩耗性の層が腐食性物質によって貫通され得る欠陥を残すように、前記基材へと付着させる工程と、
耐腐食性の層を構成する材料が前記耐摩耗性の層の前記欠陥に充填されて、腐食性物質が前記基材に到達することを防ぐように、前記耐摩耗性の層を覆うように前記耐腐食性の層を付着させる工程と、
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記薄膜の耐摩耗性の層を付着させる方法が、約３マイクロメートル未満の厚みを有する前記耐摩耗性の層を付着させる工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記耐腐食性の層が犠牲層であり、前記耐腐食性の層を摩滅させることにより、前記欠陥に充填された前記耐腐食性の層以外の耐腐食性の層を前記耐摩耗性の層から取り除く工程をさらに備える、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記耐摩耗性の層が、ナノ結晶金属炭化物／非晶質炭化水素複合材料、金属を有さない非晶質炭化水素、シリコン含有非晶質炭化水素、炭化ホウ素、金属窒化物、及びこれらの組み合わせからなる群より選ばれる被膜を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記耐腐食性の層が、高分子化合物、陽極酸化金属、潤滑油添加剤フィルム、これらの派生物、又はこれらの組み合わせを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記耐腐食性の層が、Ｐ、Ｂ、Ｃｏ、Ｗ、Ｔｈ、若しくはＺｎを含むＮｉ合金、又はこれらの組み合わせを含有する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
金属表面を有するギアであって、耐摩耗性の層及び耐腐食性の成分が前記表面に具備され、
前記耐摩耗性の層は、約３マイクロメートル未満の厚みを有するとともに、腐食性物質が通り抜け可能な欠陥を有し、
前記耐腐食性部は、前記耐摩耗性の層の前記欠陥に充填され、
前記ギアの前記表面に腐食性物質が到達することを実質的に防止していることを特徴とするギア。
【請求項８】
耐腐食性の成分が、犠牲層として前記耐腐食性の層を覆うように設けられて、前記耐摩耗性の層の前記欠陥に充填される、請求項７に記載のギア。
【請求項９】
前記耐摩耗性の層が、ナノ結晶金属炭化物／非晶質炭化水素複合材料、金属を有さない非晶質炭化水素、シリコン含有非晶質炭化水素、炭化ホウ素、金属窒化物、及びこれらの組み合わせからなる群より選ばれる被膜を有する、請求項７に記載のギア。
【請求項１０】
耐腐食性の成分が、高分子化合物、陽極酸化金属、潤滑油添加剤フィルム、これらの派生物、又はこれらの組み合わせを有する、請求項７に記載のギア。
【請求項１１】
耐腐食性の成分が、Ｐ、Ｂ、Ｃｏ、Ｗ、Ｔｈ、若しくはＺｎを含むＮｉ合金、又はこれらの組み合わせを含有する、請求項７に記載のギア。
【請求項１２】
前記高分子化合物がＰＭＭＡ又はＰＴＦＥである、請求項１０に記載のギア。
【請求項１３】
前記耐腐食性部の前記派生物が化成層を有する、請求項１０に記載のギア。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【国際調査報告】
2009531536.tif 000007
2009531536.tif 000008
2009531536.tif 000009