(57)【要約】【課題】糊残りがなく再剥離性に優れ、かつ繰り返し使用の際にシワ、破れ等が発生しない高耐久性であるフォトマスク保護用粘着テープを提供する。【解決手段】透明な基材フィルム又はシート（Ａ）の片面に、粘着剤層（Ｂ）が設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープであって、粘着剤層（Ｂ）は、架橋剤により架橋された（２−エチルヘキシルおよび／またはブチル）アクリレート系粘着剤成分（ａ）と、タッキファイアー成分（ｂ）とを含有し、かつ粘着剤成分（ａ）の単独でのトルエン可溶分は、５０重量％以下であり、一方、基材フィルム又はシート（Ａ）の粘着剤層を塗布する面は、プラズマ処理により、５６ダイン以上の濡れ指数を有することを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープなどを提供した。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な基材フィルム又はシート（Ａ）の片面に、粘着剤層（Ｂ）が設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープであって、
粘着剤層（Ｂ）は、架橋剤により架橋された（２−エチルヘキシルおよび／またはブチル）アクリレート系粘着剤成分（ａ）と、タッキファイアー成分（ｂ）とを含有し、かつ粘着剤成分（ａ）の単独でのトルエン可溶分は、５０重量％以下であり、
一方、基材フィルム又はシート（Ａ）の粘着剤層を塗布する面は、プラズマ処理により、５６ダイン以上の濡れ指数を有することを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項２】
ＪＩＳ  Ｃ２１０７−１９９１で定める粘着力が２．２N以上であることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項３】
粘着剤成分（ａ）とタッキファイアー成分（ｂ）との含有割合は、粘着剤成分（ａ）１００重量部に対してタッキファイアー成分（ｂ）５〜８０重量部であることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項４】
基材フィルム又はシート（Ａ）の粘着剤層（Ｂ）が設けられた面とは反対側の面に、帯電防止層及び／又は離型層が設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【請求項５】
粘着剤層（Ｂ）側の最外に、保護層が積層されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のフォトマスク保護用粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスク保護用粘着テープに関し、さらに詳しくは、糊残りがなく再剥離性に優れている上に、複雑で、線が細く、線の間隔も狭い回路を有するプリント配線板を得ることができ、かつ、繰り返し露光・使用時の耐久性も良好であるフォトマスク保護用粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、プリント配線板の作製は、液状フォトレジスト等の粘着性を有するフォトレジストに露光用原稿（フォトマスク）を密着させた上から光を照射してフォトレジストを硬化させる工程を有する。この工程において、フォトマスクを直接フォトレジストに密着させると、露光終了後にフォトマスクを剥がす際に、フォトレジストの一部がフォトマスク表面に転着され、汚れを生じたりして、再使用ができなくなることがある。
そうした理由から、従来よりフォトマスクのフォトレジストに対向する面に、フォトマスク保護用粘着テープを貼り付けて、フォトマスクの汚染やキズを防いでいた。
【０００３】
フォトマスク保護用粘着テープには、再剥離性（剥がした場合に被着体に糊残りしていない性能）、帯電防止性、離型層の耐久性、光透過性等のさまざまな性能が要求されるが、近年、フォトマスクを繰り返し使用するための再剥離性に加えて、露光回数の増加に伴い、繰り返し使用時のシワ・破れ等の発生しないこと、すなわち高耐久性が重要視されるようになってきている。
【０００４】
要求される再剥離性や高耐久性などの性能向上のために、主として再剥離性を目的として粘着テープの粘着力を下げる方策が実施されてきたが、単に粘着力を低減させるだけでは、露光を繰り返した際にシワ、破れ、剥がれ等の問題が発生するため、耐久性が不足し、事実上使用に耐えないといった問題があった。
【０００５】
このような問題点を解決するために、特許文献１では、粘着性樹脂、光カチオン重合性樹脂、光カチオン重合開始剤を含有してなる粘着層を用いたフォトマスク保護フィルムの製造方法が提案されているが、このような方法では、重合を制御する方法が困難であり、事実上使用が不可能であるといった問題があった。
【０００６】
また、耐久性を向上させることを目的として、粘着剤中のトルエン可溶分を下げたり、粘着付与成分を配合する等の方法により、粘着力を向上させる方法が考えられるが、このような方法では、貼り合わせた後の再剥離時にいわゆる糊残りが発生するため、事実上使用に耐えないといった問題があった。
【特許文献１】特開２００２−２５８４６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、上記の従来技術の問題点に鑑み、糊残りがなく再剥離性に優れ、かつ繰り返し使用の際にシワ、破れ等が発生しない高耐久性であるフォトマスク保護用粘着テープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記目的を達成するために、鋭意研究を重ねた結果、透明な基材の片面に、粘着剤層が設けられたフォトマスク保護用粘着テープであって、粘着剤層成分中に架橋した（２−エチルヘキシルおよび／またはブチル）アクリレート系粘着剤成分と、タッキファイアー成分とを含有し、（２−エチルヘキシルおよび／またはブチル）アクリレート系粘着剤成分単独でのトルエン可溶分が３０重量％以下であり、かつ、該基材フィルム又はシートの粘着剤層を塗布する面が、プラズマ処理により、濡れ指数が６０ダイン以上としたフォトマスク保護用粘着テープを作製すると、使用時の耐久性が良好であり、また、再剥離時の糊残り問題も発生しないことを見出した。それらの知見に、さらに検討を重ね、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち、本発明の第１の発明によれば、透明な基材フィルム又はシート（Ａ）の片面に、粘着剤層（Ｂ）が設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープであって、
粘着剤層（Ｂ）は、架橋剤により架橋された（２−エチルヘキシルおよび／またはブチル）アクリレート系粘着剤成分（ａ）と、タッキファイアー成分（ｂ）とを含有し、かつ粘着剤成分（ａ）の単独でのトルエン可溶分は、５０重量％以下であり、
一方、基材フィルム又はシート（Ａ）の粘着剤層を塗布する面は、プラズマ処理により、５６ダイン以上の濡れ指数を有することを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
また、本発明の第２の発明によれば、第１の発明において、ＪＩＳ  Ｃ２１０７−１９９１で定める粘着力が２．２N以上であることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
さらに、本発明の第３の発明によれば、第１の発明において、粘着剤成分（ａ）とタッキファイアー成分（ｂ）との含有割合は、粘着剤成分（ａ）１００重量部に対してタッキファイアー成分（ｂ）５〜８０重量部であることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
【００１０】
また、本発明の第４の発明によれば、第１〜３の発明において、基材フィルム又はシート（Ａ）の粘着剤層（Ｂ）が設けられた面とは反対側の面に、帯電防止層及び／又は離型層が設けられていることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
さらに、本発明の第５の発明によれば、第１〜３の発明において、粘着剤層（Ｂ）側の最外に、保護層が積層されていることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープが提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープによれば、第１の発明においては、強い粘着力を有し糊残りがなく再剥離性に優れ、かつフォトマスクの繰り返し使用の際にシワ、破れ等が発生しない高耐久性であるという効果があり、複雑で、線が細く、線の間隔も狭い回路を有するプリント配線板を得ることができる。
また、第２の発明においては、粘着力を２．２N以上と規定しているので、粘着テープの粘着力が不足しないという効果がある。
さらに、第３の発明においては、タッキファイアー成分（ｃ）の含有割合を特定しているので、粘着力を最適にすることができるという効果がある。
また、第４の発明においては、帯電防止層及び／又は離型層が設けられているので、粘着テープが帯電して空気中のゴミ等を引き寄せることを防止する効果や、フォトレジストがフォトマスク保護用粘着テープに転着され汚れが生じるのを防止する効果がある。
さらに、第５の発明においては、保護層が積層されているので、粘着剤層を保護し、取り扱いを容易にする効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明のフォトマスク保護用粘着テープについて、詳細に説明する。
【００１３】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、透明な基材フィルム又はシート（Ａ）の片面に、粘着剤層（Ｂ）が設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープであって、粘着剤層（Ｂ）は、架橋剤により架橋された（２−エチルヘキシルおよび／またはブチル）アクリレート系粘着剤成分（ａ）と、タッキファイアー成分（ｂ）とを含有し、かつ粘着剤成分（ａ）の単独でのトルエン可溶分は、５０重量％以下であり、一方、基材フィルム又はシート（Ａ）の粘着剤層を塗布する面は、プラズマ処理により、５６ダイン以上の濡れ指数を有することを特徴とするものである。
【００１４】
上記基材フィルム又はシート（Ａ）としては、紫外線を含む光透過性の高いものであれば特に限定されず、例えば、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン等の樹脂からなるもの等が挙げられる。
【００１５】
上記基材フィルム又はシート（Ａ）は、ロール状に巻き回された形態で取り扱われることがある。したがって、基材フィルム又はシートを巻き戻す際に基材フィルム又はシート同士が合着して巻き戻すことが難しくならないように、少なくとも基材フィルム又はシートの片面に、適度な滑り性が付与されていることが好ましい。例えば、基材中に微粒子を含有させ、表面に微細な突起を形成させることにより、基材フィルム又はシートの表面に適度な滑り性が付与される。上記微粒子としては、基材フィルム又はシートの光透過性に影響を与えにくいように、平均粒子径が０．０１〜３．０μmであることが好ましい。
また、上記微粒子は、上記基材の全体に存在するのではなく、表層にのみ存在することが好ましく、少なくとも片側の表層にのみ含まれることが好ましい。また、基材中に上記微粒子が含有されている場合、上記微粒子が存在する基材フィルム又はシートの表面に粘着剤層を形成することが好ましい。これにより、微粒子により形成された微細な凹凸面が粘着剤で埋まり、基材フィルム又はシートのヘーズ値を低減させることができる。
したがって、場合によっては粘着テープのヘーズ値を基材フィルム又はシートのヘーズ値よりも低くすることも可能である。
【００１６】
上記基材（Ａ）の厚さの好ましい下限は５μm、上限は５０μmである。５μm未満であるとテープの強度が不足して取り扱いが困難になったり、貼り付け時にシワになったりすることがあり、５０μmを超えると、充分な光透過性が得られなくなることがある。
【００１７】
上記粘着剤層（Ｂ）としては、粘着剤層成分中に、架橋剤により架橋した（２−エチルヘキシルおよび／またはブチル）アクリレート系粘着剤成分（ａ）と、タッキファイアー成分（ｂ）とを含有し、かつ、（２−エチルヘキシルおよび／またはブチル）アクリレート系粘着剤成分（ａ）単独でのトルエン可溶分が５０重量％以下であることが必要である。
【００１８】
本発明において、架橋した（２−エチルヘキシルおよび／またはブチル）アクリレート系粘着剤成分とは、主成分として（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含有するアクリル系ポリマー［例えば、主成分の（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、分子内に水酸基を有する単量体（２−ヒドロキシルエチル（メタ）アクリレートなど）と、分子内にカルボシル基やアミド基などの官能基を有する単量体（（メタ）アクリル酸や（メタ）アクリルアミドなど）との単量体混合物の共重合体］と架橋剤を混合して粘着加工したものであって、架橋反応が完了し粘着性能を有するアクリル系粘着剤であり、その（メタ）アクリル酸アルキルエステルとして、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレートおよび／またはブチル（メタ）アクリレート、すなわちｎ−ブチル（メタ）アクリレートやｉｓｏ−ブチル（メタ）アクリレートを挙げることができる。（メタ）アクリル酸は、アクリル酸とメタクリル酸の両方を意味し、（メタ）アクリレートは、アクリレートとメタクリレートの両方を意味する。
【００１９】
本発明で用いる（２−エチルヘキシルおよび／またはブチル）アクリレート系粘着剤成分単独でのトルエン可溶分は、５０重量％以下である必要があり、４０重量％以下であることが好ましい。トルエン可溶分は、即ち（２−エチルヘキシルおよび／またはブチル）アクリレート系粘着剤成分中の非架橋部分の量を表し、これが５０重量％以下、好ましくは４０重量％以下であることにより、粘着剤の常温弾性率が向上するため、フォトマスク保護用フィルムとして繰り返し露光して用いた場合に、シワ、糊の凹み等の不具合が発生しなくなる。
またトルエン可溶分の下限は、通常１０重量％である。トルエン可溶分が少なすぎると、粘着力が不足するために、やはりフォトマスク保護フィルムとしての性能が低下する。
【００２０】
上記のトルエン可溶分は、下記方法で測定する。
糊成分を約１００ｍｇサンプル瓶に秤取し、トルエン３０ｍｌを入れ、常温にて２４時間振とうさせ、その後２００メッシュ金網にて濾過し、不溶分を秤量する。
そして、トルエン可溶分は、下記式にて求められる。
【００２１】
トルエン可溶分＝１００−［（Ｂ）／（Ａ）×１００］  （％）
式中、（Ａ）は、最初の糊の重量で、（Ｂ）は、不溶分重量を表す。
【００２２】
本発明においては、粘着力を向上させるために、いわゆるタッキファイアー成分（ｂ）を配合して用いる。タッキファイアー成分とは、粘着付与剤ともいい、エラストマーに配合されて粘着性の機能を向上させる物質であり、通常、分子量が数百から数千の無定形オリゴマーで、常温で液状または固形の熱可塑性樹脂である。
【００２３】
タッキファイアーの種類は、特に限定されず、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂に代表される天然樹脂系や、脂肪族系、芳香族系、共重合系の石油樹脂、フェノール系樹脂、キシレン樹脂等の合成樹脂系が例示される。これらは単独で用いても、２種類以上併用して用いても良い。
【００２４】
タッキファイアーは、通常、光の透過を阻害するため、ヘイズ値を大きくさせず、かつ好適な粘着性能を達成するためには、ロジン系樹脂、テルペンフェノール系樹脂を併用して用いることが好ましい。
【００２５】
タッキファイアー成分（ｂ）の配合量は、粘着剤成分（ａ）１００重量部に対して、５〜８０重量部が好ましく、８〜５０重量部であることがより好ましい。タッキファイアーの配合量が少なすぎると、必要な粘着力が得られず、逆に多すぎると、再剥離した際に表面に基材と共に粘着層が剥がれない、即ち糊残りの問題が生じやすくなり、事実上使用することが困難になる。
【００２６】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、ＪＩＳ  Ｃ２１０７−１９９１で定める粘着力が２．２N以上であることが必要であり、２．４Ｎ以上であることが好ましい。粘着力が低すぎると、繰り返し使用後のシワ・破れ等の問題が発生し、耐久性が十分得られない。
【００２７】
また、粘着力の上限値は、特に設定されないが、通常、５Ｎである。粘着力が高すぎても耐久性が向上しない代わりに再剥離が困難になり、また糊残り問題も生じやすくなる。
【００２８】
本発明においては、粘着剤を塗布する面に、いわゆるプラズマ処理を施し、濡れ指数を５６ダイン以上、好ましくは６０ダイン以上に設定したフィルム又はシートを用いる必要がある。
【００２９】
上記プラズマ処理は、一般的な公知の方法で良く、例えば、減圧下で処理用ガスとして酸素含有ガスを封入して行う低圧プラズマ処理や、大気圧近傍の圧力下で処理用ガスとして酸素含有ガスや酸素含有ガスと不活性ガスとの混合ガスを用いて行う常圧プラズマ処理等が挙げられるが、なかでも、テープ基材に連続的にプラズマ処理を施すことができることから、大気圧近傍の圧力下で酸素含有ガスや酸素含有ガスと不活性ガスとの混合ガスを用いて行う常圧プラズマ処理が好ましい。上記常圧プラズマ処理において、酸素含有ガスおよび酸素含有ガスと不活性ガスとの混合ガスは、それぞれ単独で用いられても良いし、両者が併用されても良い。
【００３０】
上記酸素含有ガスとしては、特に限定されるものではないが、例えば、酸素、オゾン、水蒸気、一酸化炭素、二酸化炭素、二酸化窒素、二酸化硫黄等が挙げられ、これらが好適に用いられる。これらの酸素含有ガスは、単独で用いられても良いし、２種類以上が併用されても良い。
【００３１】
上記酸素含有ガスを用いることにより、テープ基材のプラズマ処理が施された表面には、過酸化水素基、カルボニル基、カルボン酸基、水酸基等の酸素含有基が導入される。
【００３２】
また、上記不活性ガスとしては、特に限定されるものではないが、例えば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノン等の希ガスが挙げられ、これらが好適に用いられる。これらの不活性ガスは、単独で用いられても良いし、２種類以上が併用されても良い。
【００３３】
上記酸素含有ガスと不活性ガスとの混合ガス中における両ガスの混合割合は、使用する両ガスの種類に応じて、適宜決定されれば良く、特に限定されるものではないが、一般的には、酸素含有ガスの濃度が０．０１〜１０容量％であることが好ましく、より好ましくは０．０１〜５容量％である。上記混合ガス中における酸素含有ガスの濃度が０．０１容量％未満であると、適切なプラズマ処理を行えないことがあり、逆に上記混合ガス中における酸素含有ガスの濃度が１０容量％を超えると、電圧を印加しても均一な放電プラズマが発生しにくくなることがある。
【００３４】
上記プラズマ処理は、粘着テープ基材への粘着剤塗布と同時にインラインで行うのが最も好ましいが、粘着テープ基材を一旦ロール状に巻き取った後、可及的速やかにオフラインで行っても良い。粘着テープ基材をロール状に巻き取った後、数日間放置すると、基材表面への非イオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、その他の低分子量成分等のブリードアウト量が増加するので、プラズマ処理の効率が低下することがある。
【００３５】
粘着テープ基材の表面処理を行う方法としては、一般的にコロナ処理を施す方法が知られているが、コロナ処理は、ムラが生じやすいため、特に薄い基材へ均一な処理を施すことが困難であり、処理時の破れ、穴あき等の不具合が発生しやすいため、プラズマ処理がすぐれる。
【００３６】
上記粘着剤層（Ｂ）の厚さの好ましい下限は、３μm、上限は、２０μmである。３μm未満であると、フォトマスクへの接着強度が不足することがあったり、フォトマスクの凹凸に対して接着時に気泡を巻き込んだりすることがあり、一方、２０μmを超えると、充分な光透過性が得られなくなることがある。
【００３７】
上記基材の粘着剤層が設けられた面とは反対側の面には、光透過性に影響しない限りにおいて、帯電防止層及び／又は離型層が設けられることが好ましい。上記帯電防止層は、テープが帯電して空気中のゴミ等を引き寄せることを防止する役割を有する。上記離型層は、フォトレジストがフォトマスク保護用粘着テープに転着され汚れが生じるのを防止する役割を有する。
【００３８】
上記帯電防止層としては、特に限定されず、例えば、４級アンモニウム塩を含む塗膜やアクリル等の樹脂に導電性微粒子を分散させたもの等が挙げられる。上記導電性微粒子としては、特に限定されないが、例えば、酸化スズ微粒子等の透明な導電性微粒子が光透過性に影響を与えにくいことから好ましい。
【００３９】
上記離型層としては、離型性を有するものであれば特に限定されず、例えば、シリコーン系樹脂からなるもの等が挙げられる。
【００４０】
粘着剤層（Ｂ）側の最外には、粘着剤層を保護し、取り扱いを容易にするために、保護層が積層されていることが好ましい。上記保護層としては、特に限定されず、例えば、シリコーン系離型層が形成されたポリエチレンテレフタレートフィルム等が挙げられる。この保護層は、本発明のフォトマスク保護用粘着テープをフォトマスクに貼付する前に、粘着テープから剥離される。
【００４１】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、波長３５０ｎｍにおけるヘーズ値が３％以下であることが好ましい。ヘーズ値とは、材料の曇りの程度を示す値であって、ＪＩＳ  Ｋ７１０５に準じて求めることができる。波長３５０ｎｍにおけるヘーズ値が小さいことは、この波長における平行光線の透過性が高いことを意味する。波長３５０ｎｍにおけるヘーズ値が３％を超えると、微細な回路が描かれたフォトマスクの保護に用いた場合に、通常の照射量の紫外線を照射しても、フォトレジストに充分な紫外線が到達せずにフォトレジストが硬化しない。更に高照射量の紫外線を照射すれば、フォトレジストの硬化は可能であるものの、光散乱、干渉、屈折等の影響が増大するため、未硬化であるべき部分まで硬化してしまうことから、複雑で、線が細く、線の間隔も狭い回路を有するプリント配線板を得ることができない。
【００４２】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、強い粘着力と良好な再剥離性を両立し、保護フィルムとして用いた際に、良好な耐久性と再剥離性を有するためフォトマスクを再利用することが容易であり、また、複雑で、線が細く、線の間隔をも狭い回路を有するプリント配線板をも得ることができるという優れた特性を有する。
【実施例】
【００４３】
以下に、本発明の実施例及び比較例によって、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これらの実施例によってなんら限定されるものではない。
【００４４】
［実施例１］
ポリエチレンテレフタレートからなる厚さ１２μｍのテープ基材用フィルム（三菱化学ポリエステルフィルム社製：グレードＭ３１０）の片面に、オフラインでプラズマ処理を施した。プラズマ処理は、処理法：常圧プラズマ処理、処理用ガス：酸素／アルゴン＝３／９７（容量比）の混合ガス、印加電圧：４．８ｋＶ、圧力：７６０Ｔｏｒｒ、プラズマ照射時間：約１０秒、の条件で行った。
得られたプラズマ処理面は、１日経過後に測定した濡れ指数が６４ダインであった。
プラズマ処理を施した面に、トルエンで３０％濃度に希釈し、タッキファイアー成分（ロジン系樹脂、ペンセルＤ１２５）を粘着剤成分１００重量部に対して２５重量部加え、および、架橋剤としてＬ−４５（綜研化学社製）を０．４重量部配合したイソシアネート架橋タイプのアクリル系粘着剤（綜研化学社製、ＳＫダイン１４２５）を、乾燥後の厚さが１０μmになるように塗布し、１２０℃、３０秒間加熱して乾燥させて、フォトマスク保護用粘着テープを得た。乾燥後、粘着剤層側に、シリコーン系離型剤が塗布形成されたＰＥＴフィルムからなる保護層をラミネートして、粘着剤層を保護した。
アクリル系粘着剤のトルエン可溶分の割合は、２２重量％であった。
【００４５】
［実施例２］
実施例１において、架橋剤であるＬ−４５の配合量を０．２重量部にした他は実施例１と同様の方法で、フォトマスク保護用粘着テープを得た。
アクリル系粘着剤のトルエン可溶分の割合は、３９重量％であった。
【００４６】
［比較例１］
実施例１の架橋剤の配合量を０．１重量部に変更した他は実施例１と同様の方法で、フォトマスク保護用粘着テープを得た。
アクリル系粘着剤のトルエン可溶分の割合は、５７重量％であった。
【００４７】
［比較例２］
実施例１において、プラズマ処理を施さなかった他は実施例１と同様の方法で、フォトマスク保護用粘着テープを得た。
【００４８】
（評価）
実施例１、２及び比較例１、２で得られたフォトマスク保護用粘着テープについて、以下の方法により評価を行った。
【００４９】
（１）濡れ指数（ダイン数）：
濡れ指示薬を用いて濡れ指数（ダイン数）を測定した。
【００５０】
（２）粘着力試験：
フォトマスク保護用粘着テープを２５ｍｍ幅にカットし、ＳＵＳ板に２Ｎの荷重で添付させたものを、剥離試験機（東洋精機社製・形式スタログラフＥ−Ｌ）を用いて、５００ｍｍ／ｍｉｎの速度で剥離させ、粘着力を測定した（ＪＩＳ  Ｃ２１０７−１９９１準拠）。
【００５１】
（３）再剥離・糊残り性試験：
フォトマスク保護用粘着テープをジアゾフィルム（ｆｏｌｅｘ社製、名称ＨＲＰ）にラミネートし、露光装置（オーク製作所製・形式ＨＭＷ−６Ｎ）を用いて、減圧下、７５ｍＪ／ｃｍ２の条件で、３００回の露光を行った。
露光後、保護テープを剥離し、ジアゾフィルム表面への糊残りを目視で観察し、糊残りが認められるものを×、認められないものを○とした。
【００５２】
上記の評価結果を表１に示す。
【００５３】
【表１】
2006312660.tif 000002
【００５４】
表１の評価結果から、実施例１、２で得られたフォトマスク保護用粘着テープは、濡れ指数が５６ダイン以上で、アクリル系粘着剤のトルエン可溶分が５０重量％以下であって、比較例１、２で得られたフォトマスク保護用粘着テープに比べ、特に糊残り性が良好で再剥離性に優れていることがわかる。