(57)【要約】二重線源走査式放射線検出装置は、電離放射線を放出するために設けられた少なくとも２つの放射線源（１１ａ，１１ｂ）と、アレイ状に配列された複数のライン検出器（１６ａ）と、検査対象物全体に渡って走査方向（ｘ）に複数のライン検出器（１６ａ）を走査するための走査装置（１７−１９，２１−２２）とを含む。アレイ内の複数のライン検出器は放射線源の方向を向いている。走査装置は、走査中、各ライン検出器を放射線源を向いた状態に維持して、各ライン検出器が対象物の多数のライン画像を記録できるように配置される。本発明では、アレイ内の各ライン検出器（１６ａ）は方向依存性を有するとともに、少なくとも２つの放射線源のうちの異なるものに交互に向いており、放射線源は走査方向（ｘ）が位置する面内に配置される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
二重線源走査式放射線検出装置であって、
電離放射線を放出するために設けられた少なくとも２つの放射線源（１１ａ−ｂ）と、
アレイ状に配列された複数のライン検出器（１６ａ）と、
前記複数のライン検出器（１６ａ）を走査方向（ｘ）に検査対象物全体に渡って走査するための走査装置（１７−１９，２１−２２）と、を備え、
前記アレイ内の複数のライン検出器は、前記放射線源の方向を向いており、
前記走査装置は、前記複数のライン検出器の各々により前記対象物の複数のライン画像を記録すべく、その走査中、前記複数のライン検出器を前記放射線源の方向を向いた状態に維持するように配置され、
前記複数のライン検出器（１６ａ）は方向依存性を有しており、
前記アレイ内の複数のライン検出器は、前記少なくとも２つの放射線源のうち異なるものに交互に向いており、
前記少なくとも２つの放射線源は、前記走査方向（ｘ）に沿った面内に配置されることを特徴とする二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記少なくとも２つの放射線源は、複数の異なるエネルギの電離放射線を生成するために設けられ、
前記走査装置は、前記異なる各エネルギにおいて前記対象物の二次元画像を形成するのに充分なライン画像の記録が可能となるように、前記放射線源の数をＮとしたとき、前記複数のライン検出器のうち２つの隣接するライン検出器間の距離のＮ倍に少なくとも相当する距離を走査するように配置される、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項３】
請求項１に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記走査装置は、前記各ライン検出器を前記対象物全体に渡って走査して、該各ライン検出器が複数の異なる角度のそれぞれ１つで前記対象物を透過した放射線の二次元画像を得るのに充分な長さを走査するように配置される、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記放射線源の数が２つである、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記放射線源の数が３つ以上である、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記各ライン検出器（１６ａ）は気体式電離検出器であり、該ライン検出器に入射した電離放射線による電離の結果解放された電子が、前記電離放射線の入射方向に対し実質的に垂直な方向に加速されるとともに任意でアバランシェ増幅される、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記各ライン検出器（１６ａ）は前記放射線源のいずれか１つの方向に実質的に向けられた読み出しストリップを含む、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項８】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記各ライン検出器は、シンチレータ式検出器、ＰＩＮダイオードアレイ、ＴＦＴアレイ、ＣＣＤアレイ、気体式検出器、液体式検出器、固体検出器、又はＣＭＯＳ検出器のいずれかである、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記放射線源のうちの隣接するものは、当該検出装置から見て、少なくとも０．２度、好適には少なくとも５度、更に好適には少なくとも３０度、最も好適には少なくとも６０度だけ離間されている、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記放射線源は前記走査方向（ｘ）に実質的に平行な直線に沿って配置される、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項１１】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記複数のライン検出器のうちのいくつかが前記放射線源の１つに向けられている、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記複数のライン検出器は前記走査方向（ｘ）に実質的に平行な面内に配置される、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の二重線源走査式放射線検出装置において、
前記複数のライン検出器は前記走査方向に実質的に平行な直線に沿って配置される、二重線源走査式放射線検出装置。
【請求項１４】
二重線源走査式放射線検出のための方法であって、
平面に配置された少なくとも２つの放射線源（１１ａ−ｂ）によって電離放射線を生成する段階と、
前記電離放射線を検査対象物に透過させる段階と、
アレイ状に配列され、前記放射線源の方向を向いた複数のライン検出器によって、前記対象物を透過した後の電離放射線を検出する段階と、
前記複数のライン検出器の各々により前記対象物の複数のライン画像を記録すべく前記複数のライン検出器を前記放射線源の方向を向いた状態に維持しつつ、前記複数のライン検出器（１６ａ）を前記対象物全体に渡って走査する段階と、を備え、
前記電離放射線は、前記アレイ内において方向依存性を有する前記複数のライン検出器（１６ａ）によって、前記対象物を透過した後に検出され、前記アレイ内の複数のライン検出器は、前記少なくとも２つの放射線源のうち異なるものに交互に向いており、
前記走査する段階は、前記少なくとも２つの放射線源が配置された平面に位置する方向（ｘ）に実施されることを特徴とする方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の方法において、
複数の異なるエネルギの電離放射線が、前記少なくとも２つの放射線源によって生成され、
前記放射線源の数をＮとしたとき、前記複数のライン検出器は、前記放射線源の方向を向いた状態を維持したまま、該複数のライン検出器のうち２つの隣接するライン検出器間の距離のＮ倍に相当する距離だけ走査され、前記複数のライン検出器の各々は、前記異なる各エネルギにおいて前記対象物の二次元画像を生成するのに充分な数の前記対象物のライン画像を記録する、方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の方法において、
前記複数の異なるエネルギの電離放射線が２つの放射線源によって生成される、方法。
【請求項１７】
請求項１４乃至１６のいずれか一項に記載の方法において、
前記電離放射線が、前記アレイから見て、少なくとも０．２度、好適には少なくとも５度、更に好適には少なくとも３０度、最も好適には少なくとも６０度だけ互いに離間された放射線源によって生成される、方法。
【請求項１８】
請求項１４乃至１７のいずれか一項に記載の方法において、
前記電離放射線が、前記走査方向（ｘ）に実質的に平行な線に沿って配置された放射線源によって生成される、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は概して、放射線の二重線源走査式検出のための装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電離放射線を検出するための様々なライン検出器が当分野で知られている。そのような検出器は、瞬時の一次元の描画を提供し、二次元の描画は、一次元の検出器アレイを横断する方向にライン検出器及び任意に放射線源を走査させることによって実施し得る。そのような走査式検出は、時間がかかることがある。走査中、検査対象物の動きに起因して、得られる画像品質が極端に悪くなることがある。
【０００３】
更に、当分野においては、異なるエネルギの放射線を用いて２つの画像を生成し、単一の画像に合成し、画像中の異なる要素を強化する二重エネルギ検出器が知られている。一般的に、減衰は、２つの減衰メカニズム、すなわち、光電吸収及びコンプトン散乱によるｘ線エネルギの関数である。これらの２つのメカニズムは、異なる原子番号の材料の間では異なる。この理由により、２つのエネルギにおける測定値は、異なる元素間を区別するために用いられる。
【０００４】
二重エネルギｘ線手法は、医用描写において軟組織とは分離して骨組織を識別するために、あるいは、例えば荷物走査等において危険な物質を識別するために用い得る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の主な目的は、高い空間解像度及び時間解像度の二次元画像の記録を実現し得る二重線源走査式電離放射線検出装置及び方法を提供することにある。
この点に関して、複雑でなく、かつ優れた、信号対雑音比、ダイナミックレンジ、及び画像コントラストで二重線源高品質二次元画像を生成し得るそのような装置及びそのような方法を提供することを特に目的とする。
【０００６】
更に、本発明の目的は、二重エネルギ放射線検出を行い得るそのような装置及びそのような方法を提供することにある。
更に、本発明の目的は、検出対象物の元素組成を分析し得るそのような装置及びそのような方法を提供することにある。
【０００７】
更に、本発明の目的は、検査対象物全体に渡って高速走査可能なそのような装置及びそのような方法を提供することにある。
更に、本発明の目的は、信頼度が高く正確で安価なそのような装置及びそのような方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的は、添付の特許請求の範囲に記載される装置及び方法によって達成される。
本発明の一態様によれば、二重線源走査式放射線検出装置が提供される。二重線源走査式放射線検出装置は、少なくとも２つの放射線源、アレイ状に配列され、方向依存性を有する複数のライン検出器、及び検査対象物全体に渡って走査方向にライン検出器を走査させる走査装置を備える。アレイ内の複数のライン検出器は、異なる放射線源に交互に向けられており、走査装置は、走査中、複数のライン検出器を放射線源の方向に向いた状態に維持して、各ライン検出器により対象物の複数のライン画像を記録できるようにする。これによって、対象物に関する追加の情報を、特に放射線に沿う方向において分析し得る。
【０００９】
少なくとも２つの放射線源は、走査方向に沿った面内に配置される。
アレイ内の複数のライン検出器は、異なる放射線源に交互に向いていることから、高い時間解像度が得られる。
【００１０】
一実施形態において、少なくとも２つの放射線源は複数の異なるエネルギの電離放射線を生成し、走査は、Ｎを放射線源の数とすると、少なくとも２つの隣接するライン検出器間の距離のＮ倍に相当する距離だけ実施され、これによって、各異なるエネルギにおいて対象物の二次元画像を形成するのに充分な数のライン画像の記録が可能になる。即ち、Ｎ＝２の場合、走査は、少なくとも、２つの隣接するライン検出器間の距離の２倍で実施される。
【００１１】
本発明のこの態様は、柔軟な解決策を提供し、この場合、異なる放射線源が、異なるエネルギに対して設けられることから、異なるエネルギを自由に選択し得る。
他の実施形態において、少なくとも２つの放射線源は複数の同様なエネルギの電離放射線を生成し、走査は、各ライン検出器を対象物全体に渡って走査させて、各ライン検出器が複数の異なる角度のそれぞれの角度で、対象物を透過した放射線の二次元画像を得ることができる距離で実施される。この画像データは、トモシンセシス（ｔｏｍｏｓｙｎｔｈｅｓｉｓ）再構築プロセスに用い得る。
【００１２】
空間解像度は、放射線源がｘ方向に離間された場合、記録される画像の深さと一致する方向、即ち、ｚ方向において、（通常、望まれることとは対照的に）放射線源間の距離を大きくすることによって改善し得る。従って、隣接する放射線源は、検出器から見て、少なくとも０．２度、好適には少なくとも５度、更に好適には少なくとも３０度、最も好適には少なくとも６０度離間される。
【００１３】
一次元の検出器ユニットは、排他的にではなく、好適には気体式平行板検出器である。用い得るその他の検出器には、ダイオードアレイ、シンチレータ式アレイ、ＣＣＤアレイ、ＴＦＴ及びＣＭＯＳ式検出器、液体検出器、並びに固体検出器、例えば、Ｘ線が端面（ｅｄｇｅ−ｏｎ）、端面付近（ｎｅａｒ＿ｅｄｇｅ−ｏｎ）又は垂直に入射する一次元のＰＩＮダイオードアレイが含まれる。
【００１４】
更に、本発明の特徴及びその利点は、以下に記載する本発明の好適な実施形態の詳細な説明及び添付の図１乃至２から明確になる。これらは、例示としてのみ与えられるものであり、本発明を限定するものではない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１乃至２に示した装置は、上から下に、放射線即ちＸ線源機構１１、ファンビームコリメータ機構１３、対象物テーブル即ちホルダ１５、及び放射線検出器１６を含む。
放射線源機構１１には、少なくとも２つの放射線源１１ａ，１１ｂｂ、好適にはＸ線管が含まれ、それらの各々は、電子を放出する陰極と、電子が当るとＸ線を放出する陽極とを有する。２つのＸ線管は、好適には、ｚ軸に実質的に平行なそれぞれの対称線を中心にした等しい又は異なるエネルギの放射線を放出するために設けられる。図２において、放射線源１１ａによって放出された放射線は、参照数字２４ａによって示され、一方、放射線源１１ｂによって放出された放射線は、参照数字２４ｂによって示される。
【００１６】
放射線源機構１１は更に、Ｘ線管のちょうど真下にフィルタ機構１２を含み得るが、フィルタ機構１２には、通常、画像品質に大きく寄与しない最低（時として最高）エネルギの光子を吸収するフィルタとしての役割を果たす薄い金属箔が含まれる。好適には、フィルタ機構１２は、異なるＸ線管の前に異なるフィルタ部位を有し、これにより、異なるＸ線管からの異なる放射線を様々にフィルタ処理し得る。このフィルタ機構１２は、通常、任意であるが、２つの放射線源が同様なエネルギの放射線を放出する場合、異なるエネルギの放射線を提供することが求められる。フィルタ機構は、他の選択肢として、ファンビームコリメータ１３内又はそれに接して配置し得る。本発明者らによる係属中の米国特許出願第１０／４４２，２０８号を参照し、その内容を本明細書に引用・参照する。
【００１７】
ファンビームコリメータ１３は、任意であるが、例えば、狭い放射線透過スリットがエッチング除去されたタングステンの薄膜箔であってよい。ファンビームコリメータ１３のスリットを通過するＸ線束が、検出器１６の高感度領域に達するように、スリットは、検出器１６の対応する線状高感度領域即ち入口スリットに向くように設けられる。Ｘ線束は、図２において概略的に２５で示す。更に、任意で、他のコリメータを検出器の前に（即ち、撮像される対象物の下流に）配置し得る。
【００１８】
検出器１６には、アレイ状に配列され、方向依存性（ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ  ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ）を有する複数のライン検出器１６ａが含まれ、それらの各々は、ｙ方向において一次元の画像を記録するべく、ｙ方向に延在する。各ライン検出器１６ａは、好適には気体式電離検出器であり、ライン検出器に入射した電離放射線による電離の結果解放された電子は、電離放射線の入射方向に対し実質的に垂直な方向に加速されるとともに、任意でアバランシェ増幅される。そのようなライン検出器は、気体式端面検出器と呼ばれる。
【００１９】
そのようなライン検出器及びそのアレイは、トム・フランケ（Ｔｏｍ  Ｆｒａｎｃｋｅ）らに発行された以下の米国特許、第６，３３７，４８２号、第６，４７７，２２３号、第６，４７６，３９７号、第７，０１６，４５８号、第７，００６，５９７号、第６，９４０，９４２号、第６，９７０，５３３号、第６，８５６，６６９号、第６，８７３，６８２号、第６，７８４，４３６号、第６，７９４，６５６号、第６，８１８，９０１号、第６，６２７，８９７号、及び第６，５２２，７２２号並びにそれらの参考資料に詳細に述べられており、これら全てを本明細書に引用・参照する。
【００２０】
しかしながら、他の選択肢として、各ライン検出器１６ａは、シンチレータ式検出器、ＰＩＮダイオードアレイ、ＴＦＴアレイ、ＣＣＤアレイ、気体式検出器、液体式検出器、固体検出器、又はＣＭＯＳ検出器のいずれであってもよい。
【００２１】
本発明によれば、アレイ内の複数のライン検出器１６ａは、２つの放射線源１１ａ，１１ｂのうち異なるものに交互に向いている。即ち、第１ライン検出器の各々は放射線源１１ａを向き、第２ライン検出器の各々は放射線源１１ｂを向いている。
【００２２】
ライン検出器の方向依存性とは、各ライン検出器が、それが向いた放射線源からの放射線だけを測定することを意味する。通常、ｘ方向における各ライン検出器の開口角度は、０．１度と小さい。
【００２３】
ライン検出器が気体式端面検出器である場合、各ライン検出器には、放射線源１１ａ，１１ｂのうちいずれかの方向に実質的に向けられる読み出しストリップ（ｒｅａｄｏｕｔ  ｓｔｒｉｐ）が含まれる。これは、各ライン検出器の読み出しストリップが、ファン（ｆａｎ）のような構造で構成されることを意味し、この場合、読み出しストリップの延長線は、放射線源１１ａ，１１ｂｂのうちのいずれかに収束する。
【００２４】
放射線源１１、オプションのファンビームコリメータ１３、及び検出器１６は、スピンドル１９によって垂直のスタンド１８に回転可能に取り付けられる共通のＥアーム１７にＥアーム機構のほぼ重心を中心に取り付けられるが、Ｅアーム機構内の任意の位置に配置することもできる。このようにして、放射線源機構１１、オプションのファンビームコリメータ１３、及び検出器１６は、対象物テーブル１５上に配置された検査対象物を基準として共通の旋回運動で動き、対象物を走査し得る。旋回運動は、矢印２３によって概略的に示すが、実質的にｘ方向に行われる。対象物テーブル１５は支持２０に堅固に取り付けられ、支持２０は垂直のスタンド１８に堅固に取り付けられる。この目的のために、Ｅアーム１７には、（破線によって示された）Ｅアーム１７の凹部等が設けられる。走査中、対象物はできるだけ静止状態に維持される。
【００２５】
更に、検出器装置には、装置を制御するための、また、ライン検出器ユニット１６によって記録されたデータの読み出し及び後処理用の適切なソフトウェアが設けられたマイクロプロセッサ即ちコンピュータ２１と、検出器１６及びマイクロプロセッサ即ちコンピュータ２１に電力を供給するための、また、垂直のスタンド１８に収納されスピンドル１９及びこれによりＥアーム１７を駆動するためのステップモータ等を駆動するための電源２２と、が含まれる。
【００２６】
走査中、ライン検出器１６ａは、各ライン検出器１６ａが対象物の複数のライン画像を記録できるように、放射線源１１ａ，１１ｂに向いた状態に維持される。
本発明の二重線源走査式Ｘ線撮像用装置の幾何学的構造、具体的には放射線源１１ａ，１１ｂが走査方向、即ちｘ方向に平行な直線に沿って配置された構造により、二次元画像の記録が、高信頼度及び高費用効率の手法、方法、及び装置によって、高い空間解像度及び時間解像度で高速に行われる。
【００２７】
他の選択肢として、放射線源１１ａ，１１ｂが、平面、例えばｘｙ平面に配置され、この平面内において、走査方向、即ちｘ方向が位置してもよい。また、ｘｙ平面は、実質的に電離放射線の伝搬方向に対して又は少なくともその中央の対称線、即ち、ｚ方向に垂直である。
【００２８】
好適には、図示するように、複数のライン検出器１６ａのうちの多数のものが、放射線源１１ａ，１１ｂの各々に向いている。
複数のライン検出器は、図示するように、走査方向、即ちｘ方向に実質的に平行な直線に沿って配置されるが、他の選択肢として、他の幾何学的配置も可能である。例えば、複数のライン検出器１６ａは、走査方向に実質的に平行な平面に、即ち、ｘｙ平面に又はｘｚ平面に配置することもできる。
【００２９】
放射線源１１ａ，１１ｂが、複数の異なるエネルギの電離放射線を生成するために設けられた場合、走査は、好適には、少なくとも、隣接するライン検出器１６ａ間の距離の２倍に相当する距離だけ行われ、これによって、異なる各エネルギにおいて、対象物の二次元画像を形成するのに充分な数のライン画像を記録することが可能になる。
【００３０】
そして、画像は、コンピュータ２１において、事後解析され、検出された対象物の元素組成に関する情報が明らかにされる。このことは、上記文献に詳細に述べられたとおりである。１つの共通の方法は、低エネルギスペクトルで複数のＸ線源のうちの１つを動作させることであり、この場合、対象物中の選択された元素において、例えば、骨のカルシウムにおいて、より多くのＸ線が、コンプトン散乱されるよりも光電効果的に吸収される。第２のＸ線源は、高Ｘ線エネルギスペクトルで動作させるが、この場合、より多くのＸ線が、対象物において、光電効果的に吸収されるよりもコンプトン散乱される。そして、２つのＸ線源からの画像は、互いに減算され、合成画像を与え、選択した組織の種類、例えば、骨（カルシウム）を表わす。放射線源が３つ以上の場合、この方法を用いて、同時に幾つかの元素を画像強調できる。
【００３１】
図１の検出器装置は、引用する上記米国特許第６，９４０，９４２号に記載されたように、検査対象物に対して、放射線源機構１１、任意のファンビームコリメータ１３、及び検出器１６の線形運動のために、例えばｘ方向に変更させて配置し得る。
【００３２】
更に他の選択肢として、任意のファンビームコリメータ１３及び検出器１６は、検査対象物に対して、水平面、即ちｘｙ平面に回転し得る。そのような回転式走査は、引用する上記米国特許第６，７９４，６５６号に開示されている。
【００３３】
図１の装置は、代わりに、走査中、放射線源機構１１、任意のファンビームコリメータ１３、及び検出器１６が静止した状態に維持されている間、対象物を動かすように変更させることもできる。
【００３４】
図１乃至２の装置には、３つ以上の放射線源を備えることもできる。一般的な場合、各放射線源は、異なるエネルギの放射線を生成し、ライン検出器は、放射線源のうち異なるものに交互に向けられ、走査は、Ｎを放射線源の数とすると、少なくとも、２つの隣接するライン検出器の間の距離のＮ倍に相当する距離だけ実施され、これによって、各異なるエネルギにおいて、対象物の二次元画像を形成するのに充分なライン画像の記録が可能になる。
【００３５】
与えられたアレイ状のライン検出器の場合、また、与えられた走査速度の場合、用いられる放射線源が多くなればなるほど、決定される対象物のスペクトル情報は、多くなる（これは、対象物の組成又は元素構造に関する情報に変換し得る）が、走査する距離を長くしなければならず、これにより、測定にかかる時間が長くなり、時間解像度が小さくなる。
【００３６】
一実施形態において、隣接する放射線源間の距離は、異なるエネルギにおいて記録された二次元画像が、対象物の同様な部分における干渉から画素毎に記録されるように、できるだけ短く維持される。好適には、放射線源は、互いに接触するように配置される。
【００３７】
しかしながら、他の実施形態では、隣接する放射線源間の距離は、特に、記録されるデータがトモシンセシスに用いられる場合、深さ方向、即ちｚ方向に、対象物のより多くの情報を分析できるように、長く維持される。従って、隣接する放射線源は、検出器１６から見て、少なくとも０．２度、好適には少なくとも５度、更に好適には少なくとも３０度、最も好適には少なくとも６０度だけ離間される。ここで、走査は、対象物全体に渡って各ライン検出器１６ａを走査して、各ライン検出器１６ａが、複数の異なる角度のそれぞれの角度で対象物を透過した放射線の二次元画像を得るのに充分な長さで実施される。そのような画像データは、任意の平面及び方向における対象物の二次元画像や対象物の三次元の画像さえも再構築するために、トモシンセシスプロセスに用い得る。
【００３８】
本発明の様々な実施形態を組み合わせて、本発明の更に他の実施形態に至り得ることを認識し得る。本発明の種々の実施形態に明示された様々な特徴及び詳細は、他の実施形態において、同様に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の好適な実施形態による二重線源走査式Ｘ線撮像用装置を示す概略側面図。
【図２】線Ａ−Ａに沿った図１の装置内の構成要素を示す概略拡大横断面図。
【図１】
2009530018.tif 000003
【図２】
2009530018.tif 000004
【国際調査報告】
2009530018.tif 000005
2009530018.tif 000006
2009530018.tif 000007
2009530018.tif 000008