(57)【要約】  本発明は、少なくとも次の透過層、すなわち下方反射防止層、ＩＲ反射層、上方反射防止層を備える少なくとも一つの層順序からなる低放射率及び／又は日照調整を有する被覆窓ガラスに関する。反射防止層の少なくとも一つは、Ｓｉおよび／またはＡｌの（酸）窒化物とＺｎＯとの混合物を含む少なくとも一つの化合物層を備える。本発明の被覆窓ガラスは、熱処理性、例えば強化および／または屈曲可能であるのが好ましい。
2009531262.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも下方反射防止層、ＩＲ反射層、上方反射防止層の透過層を備える少なくとも一つの層順序からなる低放射率及び／又は日照調整コーティングを有する被覆窓ガラスにおいて、
前記反射防止層の少なくとも一つが、Ｓｉおよび／またはＡｌの（酸）窒化物と、ＺｎＯとの混合物を含む少なくとも一つの化合物層を備えることを特徴とする被覆窓ガラス。
【請求項２】
前記化合物層が、本質的に均質な層であることを特徴とする請求項１に記載の被覆窓ガラス。
【請求項３】
前記化合物層が、Ａｌおよび／またはＳｉの（酸）窒化物対ＺｎＯの比が厚さの全域で著しく変化するような段階的な組成を有することを特徴とする請求項１に記載の被覆窓ガラス。
【請求項４】
前記Ｓｉおよび／またはＡｌの（酸）窒化物対ＺｎＯの比が、前記化合物層の厚さの全域で繰り返し増減することを特徴とする請求項３に記載の被覆窓ガラス。
【請求項５】
前記化合物層におけるＳｉおよび／またはＡｌの（酸）窒化物対ＺｎＯの平均原子比が、Ｓｉおよび／またはＡｌ原子対Ｚｎ原子の比で表して、２０：１と１：２０の間、好ましくは１０：１と１：１０の間、最も好ましくは５：１と１：５の間であることを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
【請求項６】
前記Ｓｉおよび／またはＡｌの（酸）窒化物とＺｎＯとの混合物を含む化合物層が、１０〜６０ｎｍ、より好ましくは１５〜５０ｎｍ、さらにより好ましくは２５〜４０ｎｍの厚さを有することを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
【請求項７】
成長促進層を前記下方反射防止層の上部として前記ＩＲ反射層の下に設けることを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
【請求項８】
前記成長促進層が、ＺｎＯ、金属をドープしたＺｎＯ、金属をドープしたＩｎ酸化物、Ａｌの（酸）窒化物とＺｎＯとの混合物、Ｚｎ−Ｓｉ酸化物の一つ以上を備えることを特徴とする請求項７に記載の被覆窓ガラス。
【請求項９】
前記成長促進層が、Ａｌをドープしたおよび／若しくはＳｎをドープしたＺｎＯ又はＳｎをドープしたＩｎ酸化物（ＩＴＯ）を備えることを特徴とする請求項８に記載の被覆窓ガラス。
【請求項１０】
前記成長促進層が、２と２０ｎｍの間、好ましくは４と１８ｎｍの間の厚さを有することを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
【請求項１１】
バリア層を前記ＩＲ反射層と前記上方反射防止層の間に設けることを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
【請求項１２】
前記バリア層が、Ｔｉ、ＴｉＯｘ、金属をドープしたＺｎＯ、ＳｎをドープしたＩｎ酸化物（ＩＴＯ）、Ｚｎ−Ｓｉ酸化物の一つ以上を備えることを特徴とする請求項１１に記載の被覆窓ガラス。
【請求項１３】
前記バリア層が、ＴｉＯｘの層及び金属をドープしたＺｎＯの次の層、またはＴｉＯｘ及び金属をドープしたＺｎＯの両方を備える混合層のいずれかを備えることを特徴とする請求項１２に記載の被覆窓ガラス。
【請求項１４】
前記金属をドープしたＺｎＯが、本質的にＡｌをドープしたＺｎＯから成ることを特徴とする請求項１３に記載の被覆窓ガラス。
【請求項１５】
前記バリア層が、０．５と１５ｎｍの間、好ましくは１と１０ｎｍの間の厚さを有することを特徴とする請求項１１〜１４のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
【請求項１６】
前記反射防止層の各々が、Ｓｉおよび／またはＡｌの（酸）窒化物とＺｎＯとの混合物を含む化合物層を備えることを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
【請求項１７】
前記反射防止層の少なくとも一つが、Ｚｎ−Ｓｉ酸化物、Ｚｎ−Ｓｎ酸化物（例えば亜鉛スズ酸塩）、Ｓｉ（酸）窒化物、Ａｌ（酸）窒化物、Ｉｎ−Ｓｎ酸化物（ＩＴＯ）、Ｂｉ酸化物、Ｓｎ−Ｓｉ酸化物、Ｂｉ−Ｓｎ酸化物、Ｔｉ酸化物（ＴｉＯ２）の一つ以上を備える少なくとも一層からなることを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
【請求項１８】
前記ＩＲ反射層が、銀または銀系合金を備えることを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
【請求項１９】
前記ＩＲ反射層が、６〜２０ｎｍ、好ましくは６〜１５ｎｍの厚さを有することを特徴とする請求項１８に記載の被覆窓ガラス。
【請求項２０】
前記層順序の少なくとも二つを設け、任意のバリア層及び一方の層順序の前記上方反射防止層を、任意の成長促進層を含む次の層順序の前記下方反射防止層と組み合わせて、前記層順序の前記二つのＩＲ反射層間にスペーサ層を設けることを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
【請求項２１】
前記スペーサ層が、Ｓｉおよび／またはＡｌの（酸）窒化物とＺｎＯとの混合物を含み、１０〜１２０ｎｍ、より好ましくは１５〜１００ｎｍ、さらにより好ましくは２５〜９０ｎｍの厚さを有する化合物層を備えることを特徴とする請求項２０に記載の被覆窓ガラス。
【請求項２２】
前記反射防止層及び（複数の）スペーサ層の各々が、Ｓｉおよび／またはＡｌの（酸）窒化物とＺｎＯとの混合物を含む化合物層を備えることを特徴とする請求項２０または２１に記載の被覆窓ガラス。
【請求項２３】
前記各ＩＲ反射層が、銀または銀系合金を備え、６〜１５ｎｍの厚さを有することを特徴とする請求項２０〜２２のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
【請求項２４】
０．５％未満、好ましくはせいぜい０．３％のヘイズ値を有する請求項１〜２３のいずれかに記載の低放射率及び／又は日照調整コーティングを有する熱処理被覆窓ガラス。
【請求項２５】
請求項１〜２４のいずれかに記載の少なくとも一つの熱処理した被覆窓ガラスと、少なくとも一つの接着剤プラスチック中間層と、任意の少なくとも一つの更なるガラスまたはプラスチック板とを備え、前記熱処理被覆窓ガラスのコーティングが前記中間層と対向する合わせ窓ガラス。
【請求項２６】
請求項１〜２５のいずれかに記載の窓ガラスの自動車用窓ガラスへの使用。
【請求項２７】
請求項１〜２５のいずれかに記載の窓ガラスの建物の窓ガラスへの使用。
【請求項２８】
請求項１〜２３のいずれかに記載の被覆窓ガラスを５８０〜６９０℃で１〜１０分間熱処理し、その後屈曲および／または強化することを特徴とする熱処理被覆窓ガラスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低放射率及び／又は日照調整コーティングを有する被覆窓ガラスに関するものである。かかる可視的に透明なコーティングは当業界で周知で、一般に透明な上下の誘電性反射防止層間に埋設した少なくとも一つのＩＲ反射層を備える。
【背景技術】
【０００２】
このような被覆窓ガラスを熱処理し得る必要性が増加している。安全性をもたらすために強化及び／又は屈曲した熱処理窓ガラスが、多数の用途、例えば建築又は自動車用板ガラスに要求されている。窓ガラスを熱強化及び／又は屈曲するためには、該窓ガラスを使用するガラスの軟化点の近く又は超えた温度での熱処理によって処理し、次いで急速冷却によって強化するか、又は屈曲手段を用いて屈曲するかのいずれかが必要であることが既知である。ソーダ石灰シリカタイプの標準フロートガラス用の当該温度範囲は、一般に約５８０〜６９０℃であり、窓ガラスを実際の強化及び／又は屈曲処理の開始前に、最大数分間前記温度範囲に保持する。
【０００３】
下記の記載及び請求項における「熱処理」、「熱処理した」及び「熱処理し得る」の用語は、前述のような熱屈曲及び／又は熱強化処理、並びに被覆窓ガラスが最高数分間約５８０〜６９０℃の範囲の温度に達する他の熱処理をいう。
【０００４】
窓ガラスがコーティングを備え、特に該コーティングが例えば日照調整及び／又は低放射性を付与して、一定のスペクトル領域で被覆窓ガラス中のエネルギー伝達を減少させるような少なくとも一つの銀系ＩＲ反射層を備える際に、困難を生じる場合がある。このようなコーティングは、それ自身が熱処理し得るものでない。
【０００５】
平坦な窓ガラスに適用し、次いでコーティング、特にＩＲ反射層を損傷することなく熱処理を施すことができる少なくとも一つのＩＲ反射層を有する可視的に透明なコーティングを如何にして付与するかについて過去多数の提案がなされた。特に、熱処理中に極く僅かに光学特性を変性するコーティングを提供することが注目されていた。
【０００６】
被覆窓ガラスの熱処理性を達成するためには、（複数の）ＩＲ反射層の上下にある層を注意深く選択することを必要とする。熱処理中に（複数の）ＩＲ反射層を保護し得る層を、例えばバリア、すなわちコーティングを介して（複数の）ＩＲ反射層に拡散する酸素用の捕獲／吸収機能及び／又はコーティング若しくはガラス基板の成分の拡散に対するバリア機能を付与することにより、凝集に対する（複数の）ＩＲ反射層を安定化することにより、又は他の手段によって使用することが既知である。
【０００７】
このような機能は、コーティングに薄い補助層を加えることによって設けることができ、例えば欧州公開特許０２３３００３号公報、欧州公開特許０２２９９２１号公報、欧州公開特許０７６１６１８号公報、欧州公開特許１０８９９４７号公報、欧州公開特許１１４０７２１号公報、欧州公開特許１３８５７９８号公報に開示され、いくつかの刊行物のみに言及する。
【０００８】
低放射率及び／又は日照調整コーティングの熱処理性を付与する他の提案は、反射防止層用の材料をこれらが前述のような機能を自ら付与するように注意深く選択することを教示する。特に、ケイ素及び／又はアルミニウムの（酸）窒化物、すなわち反射防止層として又は少なくともその主要な部分としてバリア機能を有する特定のケイ素化合物を使用することが提案され（例えば欧州特許０７１８２５０号公報）、これ以降の（酸）窒化物は酸窒化物と、ほぼ酸素のない窒化物との両方を含む。
【０００９】
さらに、熱処理し得るコーティングの反射防止層用にＺｎ−Ｓｎ酸化物（例えば亜鉛スズ酸塩）を使用することが提案され、例えば欧州特許１１４０７２１号公報、国際公開００／７６９３０号公報、欧州特許０２７５４７４号公報を参照する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明者等は、上述した被覆窓ガラスのいくつかが熱処理前後の被覆窓ガラスの保管、運搬及び使用中の通常の環境影響と、通常の取扱い及び処理工程中の被覆窓ガラスに作用する機械的及び化学的状況をシミュレートする一つ又は他の試験に耐えられないことを見出した。既知コーティングのいくつかが、ほとんどの自動車又は建物用途への使用に容認できないような熱処理後の高い欠陥レベルを示した。
【００１１】
特に、Ｚｎ−Ｓｎ酸化物の反射防止層を有するコーティングが６５０℃以上の温度での熱処理中に同等の高いヘイズ値を示す一方、Ｓｉ（酸）窒化物の反射防止層を有するコーティングが機械的及び化学的影響に対する頑健性の所望の値より少ないことを示すことを見出した。
【００１２】
本発明は、主として良好な低放射率及び／又は日照調整性能、高い光透過率、低いヘイズ及び高い機械的及び化学的頑健性を示す上述したような被覆窓ガラスを提供することを目的とする。
【００１３】
本発明の或る実施態様において、低放射率及び／又は日照調整コーティングは、任意の熱処理後低いシート抵抗を提供すると同時に、高い光透過率（ＴＬ）及び低いヘイズ値を示す。
【００１４】
本発明の低放射率及び／又は日照調整コーティングは、少なくともいくつかの実施態様において、熱処理することができ、熱処理後に低いヘイズ値を示すのが好ましい。より詳細には、本発明に係る被覆窓ガラスのあるものは、その光学的性質、特に光透過率及び／又は反射色の主要な変更なしに熱処理し得るべきである。
【００１５】
さらに、被覆窓ガラスは、熱処理前後で被覆窓ガラスの保管、運搬及び使用中の通常の環境影響に耐え、相当な損傷なしに通常の取扱い及び処理段階中の被覆窓ガラスに作用する機械的及び化学的状況に耐え抜くべきである。
【００１６】
本発明は、更に、高い光透過率と低い放射率（低いシート抵抗に対応する）及び／又は良好な日照調整性、すなわち高い光透過率と結びついた低い太陽エネルギー透過率を有する、熱処理し得る被覆窓ガラスを提供することを目的とする。
【００１７】
本発明は、より詳細には、その反射防止層に主として窒化ケイ素を使用するコーティングに匹敵した、優れた物性を有する低放射率及び／又は日照調整コーティングを提供することを目的とする。
【００１８】
上述の問題の一つ以上の解決手段は、請求項１の課題である。好ましい実施態様を、請求項２〜１９に提示する。
【００１９】
前掲の物の請求項に従う被覆窓ガラスから製造した熱処理被覆窓ガラスを、請求項２２に提示する。
【００２０】
前掲の物の請求項に従う少なくとも一つの熱処理被覆窓ガラスを備える合わせ窓ガラスを、請求項２３に提示する。
【００２１】
本発明に係る被覆窓ガラスの好ましい使用は、請求項２２及び２３の課題である。
【００２２】
物の請求項で特定されるような熱処理被覆窓ガラスの製造方法を、請求項２６に提示する。
【００２３】
驚くべきことには、優れた機械的及び化学的な耐久性を有し、いくつかの実施態様において熱処理することができる低放射率及び／又は日照調整コーティングが、該コーティングの反射防止層の少なくとも一つがＳｉ及び／又はＡｌの（酸）窒化物とＺｎＯとの混合物を含む少なくとも一つの化合物層からなる際に提供され得ることを見出した。このような混合物が顕微鏡レベルで異なる態様を取り得ることはいうまでもない。本発明との関連における層は、広い意味で、Ｓｉ及び／又はＡｌ、Ｚｎ、Ｏ及びＮの原子を顕微鏡レベルで互いに如何に結合するかとは無関係に、前記層内で検出し得る場合化合物層である。しかし、本発明の最も実用的な実施態様において、実際の化合物層が微視的にはＳｉ及び／又はＡｌの（酸）窒化物と、ＺｎＯとの混合物からなることを推定する。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明の第一の実施態様によれば、化合物層は本質的に均質な層である。かかる本質的に均質な層を、例えば、窒素含有スパッタ雰囲気中でＳｉ及び／又はＡｌとＺｎＯとの混合物からなる混合ターゲットから化合物層をスパッタ堆積することによって達成することができる。層は、その境界又は表面領域がない層の中心が本質的に均質な場合に、「本質的に均質」とみなされる。かかる均質層に対してさえ、析出条件及び／又は前後の層に用いる材料に応じて、その表面又は境界に接近する時、その組成が変化し得るこというまでもない。
【００２５】
本発明の第二の実施態様によれば、化合物層は、Ｓｉ及び／又はＡｌの（酸）窒化物対ＺｎＯの比（Ｓｉ及び／又はＡｌ原子対Ｚｎ原子の比で表す）がその中心部分でさえ厚さの全域にわたって著しく（すなわち中間組成の周りで約±５％を超えて）変化するような段階的な組成を有する。このような段階的な層は、窒素含有スパッタ雰囲気中で一方がＳｉ及び／又はＡｌ（任意にドープする）、他方がＺｎＯ（任意にドープする）のターゲット対を同時スパッタリングし、被覆すべき窓ガラスを前記ターゲット対に対し所定の速度で移動させることによって達成することができ、それによって、異なるターゲットへの距離が変化するため、化合物層はその厚さ全域にわたって徐々に変性した組成で堆積される。
【００２６】
最後に述べる実施態様の好ましい変形によれば、Ｓｉ及び／又はＡｌの（酸）窒化物対ＺｎＯの比（Ｓｉ及び／又はＡｌ原子対Ｚｎ原子の比で表す）が化合物層の厚さの全域にわたって繰り返し著しく増減する。このような層は、窒素含有スパッタ雰囲気中で一方がＳｉ及び／又はＡｌ（任意にドープする）、他方がＺｎＯ（任意にドープする）のターゲットの数対を同時スパッタリングし、被覆すべき窓ガラスを他方の後で一つのターゲット対に対し移動させることによって製造することができ、それによってコーティングをその組成の繰り返し増減する比率で堆積する。或いはまた、窓ガラスをターゲットの単一対に対し前後に繰り返し移動させることができ、それによって化合物層を前記ターゲット対に対し基板の数パス中に段階的に堆積する。化合物層の全域にわたる組成変化の繰り返し数が十分に高い場合、該層の組成を本質的に均質な状態に有効に近づけるようになることが特に好ましい。
【００２７】
特に、化合物層内のＳｉ及び／又はＡｌ対Ｚｎの平均原子比が、約２０：１と１：２０の間、好ましくは約１０：１と１：１０との間、さらに好ましくは約５：１と１：５との間の場合に、良好な結果が達成される。
【００２８】
約１：１又はそれ未満のＳｉ及び／又はＡｌ対Ｚｎの原子比を有するＺｎの豊富な化合物層は、これを単一又は複数の銀層コーティングの下方反射防止層及び／又は複数（例えば二重）の銀層コーティングの銀層間のスペーサ層に用いる際、例えば生産性の理由で好ましい場合がある。約１：２〜１：５の範囲、好ましくは約１：４の原子比を有する化合物層を特に高い生産性で、コーティングの熱処理性又は他の適切な性質を損なうことなくスパッタ堆積することができることを見出した。
【００２９】
本発明のコーティングの上方（最外側）の反射防止層に関しては、よりＳｉ及び／又はＡｌの豊富な化合物層を用いるべきで、この場合優れた熱処理性を達成するのに、Ｓｉ及び／又はＡｌ対Ｚｎの原子比を約１：１．５〜３：１の範囲に設定する。
【００３０】
本発明の化合物層は、広い範囲の厚さで適用することができ、有用である。干渉光学部品によって与えられる実際に関連のある範囲において、コーティングの上下いずれかの反射防止層に用いるとき、その好適な厚さ範囲は、好ましくは約１０〜６０ｎｍ、より好ましくは約１５〜５０ｎｍ、さらにより好ましくは約２５〜４０ｎｍである。２５〜４０ｎｍの範囲は、化合物層が上または下の反射防止層の主要な部分を占める場合に適用する。二つのＩＲ反射層間の誘電性スペーサ層に用いる場合、本発明の化合物層の好適厚さ範囲は、好ましくは１０〜１２０ｎｍ、より好ましくは１５〜１００ｎｍ、さらに好ましくは２５〜９０ｎｍである。上述した厚さ範囲の低い厚さ値は、反射防止層が本発明の化合物層に加えて、少なくとも一つの更なる誘電体層を備えるコーティングスタック設計に適用するので、ＩＲ反射層を効果的に反射防止するのに必要な全体厚みを達成することができる。
【００３１】
ドープしたターゲットを大抵純粋な金属酸化物又は半導体ターゲットより一層容易にスパッタリングすることができるので、化合物層は金属若しくは半導体又はそれらの酸化物若しくは（酸）窒化物を更に備えることができる。好ましいＺｎＯスパッタターゲットドーパントは、或る市販のＡｌドープしたＺｎＯスパッタターゲット中に約２重量％までの量（ドープした酸化物ターゲットにおけるＡｌ２Ｏ３含量）で含まれるＡｌ（Ａｌ２Ｏ３）であり、より高いドーパント量は除外されない。また、好ましいＳｉターゲットドーパントは、市販のＳｉスパッタターゲットに約１０重量％まで又はそれ以上の量で通常加えたＡｌである。純粋なＡｌターゲットが本発明の化合物層のＡｌ（酸）窒化物成分をスパッタリングするのに用いることができるが、Ｔｉ，Ｚｎ，Ｍｇ，Ｓｉ，Ｃｕ等のようなドーパントを数重量％までのオーダー量で備える技術的なＡｌ合金から生産したスパッタターゲットのようなドープしたＡｌターゲットを使用することは、本発明の範囲内である。ターゲットドーパントをこのようなドープしたターゲットから生産した化合物層に埋設するので、その量および材料は、それらが本発明の目的とする被覆窓ガラスの性質を著しく損なわないように選択すべきである。
【００３２】
特に高い光学的及び熱的性能、すなわち高いＩＲ反射率と結合した高い光透過率を有する被覆窓ガラスを達成するためには、成長促進層をＩＲ反射層下の下方反射防止層の上方部分として設けるのが好ましい。本発明に係る化合物層とし得る下方反射防止層のベース層の材料と異なる材料の成長促進層を設けることによって、銀系ＩＲ反射層を堆積させる前に、ＩＲ反射層用の成長基板を改良してその導電率を増加する（言い換えれば：所定の層厚でシート抵抗を減少させる）ことを通常目的とする。成長促進層は、ＩＲ反射層の堆積の直前でそれと直接接触するよう通常堆積する。
【００３３】
ただし、コーティングの性質を更に改良することができる場合に、当業界で既知のような極めて薄い補助層（例えばプライマー層、接着促進層、脱酸素剤層）を銀系ＩＲ反射層の直下で、且つ特に成長促進層と次の銀系ＩＲ反射層との間に配置することは本発明の範囲内である。低ｎｍ範囲の厚さを有する前記補助層に関して、Ｔｉ又はＴｉＯｘ、ＮｉＣｒ又はＮｉＣｒＯｘのような金属、金属合金又はその亜酸化物がすでに提案されており、他の材料を除外しない。
【００３４】
成長促進層は、ＺｎＯ、例えばＡｌをドープしたＺｎＯ又はＳｎをドープしたＺｎＯのような金属をドープしたＺｎＯ、例えばＳｎをドープしたＩｎ酸化物（ＩＴＯ）のような金属をドープしたＩｎ酸化物、Ａｌの（酸）窒化物及びＺｎＯの混合物、Ｚｎ−Ｓｉ酸化物の一種以上を備えるのが好ましい。ＺｎＯ及びＡｌをドープしたＺｎＯ若しくはＳｎをドープしたＺｎＯのような金属をドープしたＺｎＯ又はそれらの混合物が、実際には最も好ましい材料である。成長促進層は、好ましくは約２〜２０ｎｍ、より好ましくは約４〜１８ｎｍの厚さを有する。
【００３５】
堆積処理の間及び次の熱処理の間にＩＲ反射層を保護するためには、付加的バリア層をＩＲ反射層の上に設けることが好ましく、特にＴｉ、ＴｉＯｘ、例えばＡｌをドープしたＺｎＯ、ＳｎをドープしたＩｎ酸化物（ＩＴＯ）のような金属をドープしたＺｎＯ、Ｚｎ−Ｓｉ酸化物、これに関連した周知の他の材料、例えば或る金属又は金属合金、金属（副）酸化物又は金属（酸）窒化物の一つ以上を備えるが、これに限定されない。ＴｉＯｘバリア層を少なくともわずかに半化学量論的な酸化物（ｘ＜２）として堆積するのが好ましい。ある場合には、本質的に化学量論的（ｘ＝２）又はさらにわずかに超化学量論的な組成（ｘ＞２）も十分なバリア性を付与することができる。バリア層は、例えば金属をドープしたＴｉＯｘターゲット（欧州公開特許１２８４３０２号公報）又はＡｌをドープしたＺｎＯターゲットから堆積させると、低量の金属ドーパントを含む場合がある。
【００３６】
バリア層は、約０．５〜１５ｎｍ、好ましくは約１〜１０ｎｍの厚さを有するべきである。その厚さは、より吸収性の（金属的な）性質の場合、通常下限に近くなり、より透明（酸化性）になると、厚くすることができる。少なくとも堆積直後に少なくともわずかに半化学量論的である酸化性バリア層は、熱処理の間及び次の層の堆積の間十分に酸化されたバリア層に比べ、より良好なＩＲ反射層の保護を付与することができる。バリア層の厚さ及び熱処理中に酸素を吸収（排気）するための電位は、少なくとも高い光透過率を目的とすると、熱処理後に本質的に十分酸化され、弱い吸光指数を示すような組合せで通常選択される。本発明のコーティングに特に好ましいバリア層は、ＴｉＯｘ及びＡｌをドープしたＺｎＯを、二つの別個な若しくは重畳した（段階的に）部分層又は混合層のいずれかとして備える。好ましくは、かかる層は、ＴｉＯｘターゲット及びＡｌをドープしたＺｎＯターゲットを同時スパッタリングすることによって製造することができる。
【００３７】
簡単なコーティング設計は、各反射防止層がＳｉ及び／又はＡｌの（酸）窒化物及びＺｎＯの（酸）窒化物の混合物を含む化合物層からなる場合に達成することができる。したがって、本発明のコーティングの基本的な層順序は、窓ガラス／任意の誘電体層、例えば高い屈折率層／化合物層／任意の成長促進層／任意の薄いプライマー層／Ａｇ／任意のバリア層／化合物層／任意の保護層である。
【００３８】
しかしながら、既知の低放射率及び／又は日照調整コーティングにわたって機械的及び／若しくは化学的耐久性並びに／又は熱処理性の予測可能な改良は、その誘電体層の少なくとも一層、特にそのＳｉ及び／若しくはＡｌ（酸）窒化物層又はＺｎ−Ｓｎ酸化物層の一つを本発明に係る化合物層によって置換する場合に達成することができる。本発明の化合物層と、Ｓｉ／Ａｌ（酸）窒化物又はＺｎ−Ｓｎ酸化物タイプの従来の層との両方を備える、より一般的な本発明の層順序のいくつかの制限されない例は、窓ガラス／任意の誘電体層、例えば、高屈折率層／化合物層／任意の成長促進層／任意の薄いプライマー層／Ａｇ／任意のバリア層／誘電体層、例えばＳｉ及び／又はＡｌ（酸）窒化物及び／又はＺｎ−Ｓｎ酸化物層からなる／任意の保護層、又は窓ガラス／任意の誘電体層、例えば高屈折率層／誘電体層、例えばＳｉ及び／又は窒化Ａｌ（酸）及び／又はＺｎ−Ｓｎ酸化物層からなる／成長促進層／任意の薄いプライマー層／Ａｇ／バリア層／化合物層／任意の保護層である。
【００３９】
したがって、本発明の化合物層に加えて又は代わりに、反射防止層の少なくとも一つが少なくとも一つの誘電体層とすることができ、これは特に被覆窓ガラスを熱処理できる場合には、Ｚｎ−Ｓｉ酸化物、Ｚｎ−Ｓｎ酸化物（例えば亜鉛スズ酸塩）、Ｓｉ（酸）窒化物、Ａｌ（酸）窒化物、Ｉｎ−Ｓｎ酸化物（ＩＴＯ）、Ｂｉ酸化物、Ｓｎ−Ｓｉ酸化物、Ｂｉ−Ｓｎ酸化物等の一つ以上を備えることができる。例えばＴｉ酸化物（ＴｉＯ２）又はＢｉ酸化物のような約２．３を超える屈折率（５５０ｎｍ）を有する高屈折率材料を、当業界で周知のように、下方の反射防止層の部分層として特に選択して被覆窓ガラスのより中間色の外観を達成することができる。反射防止目的に既知の他の誘電体材料を、本発明のコーティングの部分層用に任意に選択することができ、被覆窓ガラスが熱処理し得ることを必要としない場合に該材料の選択が著しく高くなる。
【００４０】
高屈折率層に代わるものとして、ガラス基板と接触する下方の反射防止層の任意の最下層の誘電体層をＡｌ（酸）窒化物層として単独又は少なくとも一つの次の誘電体層、特に化合物層及び／又は成長促進層と組み合わせて設けるのが好ましい。
【００４１】
本発明の化合物層を種々のＩＲ反射層と共に有利に使用することができる一方、特に本発明は、ＩＲ反射層が銀又は銀系合金からなる被覆窓ガラスに関する。
【００４２】
本発明はコーティングの（複層の）ＩＲ反射層の厚さに関し光透過性である限り制限されないのに対して、多くの場合銀又は銀系合金のＩＲ反射層が、約６〜２０ｎｍ、好ましくは約６〜１５ｎｍの厚さを有することが好ましい。
【００４３】
本発明は、ファブリペロータイプの干渉フィルタとして機能する二つ以上のＩＲ反射層を、下方及び上方反射防止層並びに二つの次のＩＲ反射層を分離するスペーサ層と共に備える低放射率及び／又は日照調整コーティングに、特に役立つことが証明された。このようなコーティングは、光透過率と太陽エネルギー透過率との間の特に高い割合（「選択性」）を目的とすること及び／又は狭い反射若しくは透過色仕様を満たすべきことを必要とする建築及び自動車用途の両方で周知である。
【００４４】
したがって、本発明は、一つの実施態様において、「上方成長促進層を任意に含む下方反射防止層／ＩＲ反射層／任意のバリア層／上部反射防止層」の少なくとも二つの層順序を備えるコーティングに指向するもので、この場合層一つの順序の上方反射防止層を次の層順序の下方反射防止層と組み合わせて、前記層順序の二つのＩＲ反射層間にスペーサ層を設けるようにし、また反射防止層の少なくとも一つが本発明の化合物層を備える。
【００４５】
また、コーティング設計を簡単にする実施態様は、反射防止層及びスペーサ層の各々がＳｉ及び／又はＡｌの（酸）窒化物及びＺｎＯの混合物を含む化合物層を備えることを特徴とする。このようなコーティングの基本的な非境界層順序は、窓ガラス／任意の誘電体層、例えば高屈折率層／化合物層／任意の成長促進層／任意の薄いプライマー層／Ａｇ／任意のバリア層／化合物層／任意の成長促進層／任意の薄いプライマー層／Ａｇ／任意のバリア層／化合物層／任意の保護層である。
【００４６】
さらに一般的にいえば、前の層順序内の化合物層の少なくとも一つ（全ての層ではない）を、特にＳｉ及び／若しくはＡｌ（酸）窒化物又はＺｎ−Ｓｎ酸化物層のような他の誘電体層と置換するか、又は少なくとも一つの化合物層を該誘電体層で補完して有用な低放射率及び／又は日照調整コーティングを達成することができる。
【００４７】
また、ガラス基板と接触する下方反射防止層の任意の最下誘電体層を、好ましくはＡｌ（酸）窒化物層として設けることができる。
【００４８】
更なる補助層をコーティングに加えて挙動を最適化することができる。例えば、金属（合金）酸化物又は（酸）窒化物の保護層を分割層として更に最外反射防止層の上に設けるか、又はかかる層中に埋設した場合に、被覆窓ガラスの機械的及び化学的抵抗を更に改良することができる。Ｔｉ、Ｓｉ、Ａｌ及び／又はＺｎ−Ｓｉの酸化物又は（酸）窒化物を備える保護層が特に好ましい。かかる種類の保護層を約０．５〜１０ｎｍ、好ましくは約１〜６ｎｍの厚さで適用することができるが、より厚い層を除外するものでない。このような保護層は、代わりに又は加えて、本発明の被覆窓ガラスを備える合わせ窓ガラスの中間層に対するコーティングの接着を適合させる（改良する）か、又は該中間層により良好な屈折率を適合させる目的をもたらすことができる。
【００４９】
本発明は、主として高い光透過率及び高いＩＲ反射率コーティングを対象とする。このようなコーティングに対して、全ての部分層は、少なくとも熱処理後に低レベルの光及びＩＲ吸収能を有するように選択し、堆積させるのが好ましい。しかしながら、コーティングの日照調整性を増強し、太陽エネルギーのレベル及び光透過率を減少する場合、本発明のコーティングは、当業界で周知なもののように少なくとも一つの吸収層を加えるか、又はいずれかの部分層を吸収層として設計することによってかの、いずれかで光及び／又は太陽エネルギーを吸収する部分層を備えることができる。
【００５０】
本発明はまた、熱処理被覆窓ガラスの製造方法を対象とし、この場合本発明に係る被覆窓ガラスを５８０〜６９０℃の間の温度で約１〜１０分間熱処理し、その後屈曲及び／又は強化する。
【００５１】
本発明はまた、約０．５％未満、好ましくは多くても約０．３％のヘイズ値を有し、本発明に係る低放射率及び／又は日照調整コーティングを有する熱処理被覆窓ガラスを備える。従来技術のある熱処理し得るコーティングと比較した本発明の化合物層の使用の特定の利点は、少なくとも本発明のある実施態様で、有意に０．５％以下のヘイズ値を、温度範囲５８０〜６９０℃の比較的高温度の熱処理後でさえ達成することにある。
【００５２】
本発明に係る熱処理被覆窓ガラスは、自動車用板ガラス（例えばフロントガラス、側面ガラス、リアガラス、ルーフウィンドー）又は、建物の板ガラス（例えば窓の板ガラス、正面の板ガラス、内部の板ガラス）のいずれかに使用するのが好ましい。通常コーティングがモノリシック板ガラス上で使用するに十分に安定でないので、本発明の被覆窓ガラスは通常、コーティングが接着剤プラスチック中間層又はガス充填した封入隙間のいずれかに対向する合わせ窓ガラス又は多重板ガラスのような板ガラスに組み合わせるだろう。
【００５３】
少なくとも一つの熱処理（例えば屈曲）した本発明の被覆窓ガラスと、少なくとも一つの接着剤プラスチック中間層と、任意の少なくとも一つの更なるガラス又はプラスチック板とを備え、窓ガラスのコーティングが中間層と対向する合わせ窓ガラスは、特に乗物のフロントガラス又は他の自動車窓ガラスに有用である。適切な層順序を選択し、合わせ窓ガラスが少なくとも７０％、好ましくは少なくとも７５％の光透過率ＴＬを達成するように個々の層の厚さを適合させることによって本発明のコーティングを設計して、日照調整の自動車フロントガラスとしての使用を可能にすることが好ましい。本発明はまた、被覆窓ガラスおよび、それから製造したより低い光透過率を有する製品に適用し得ることは言うまでもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５４】
本発明を、図面や実施例に制限されない目的で、以下で更に詳細に説明する。
【００５５】
図１は、窓ガラス１上に堆積した一つのＩＲ反射層のみを有する本発明の低放射率及び／又は日照調整コーティングの基本層順序を示す。窓ガラス１は、通常ソーダ石灰シリカガラスから成るが、本発明ではそれに制限するものでない。これは透明又は全体着色したものとすることができる。ある実施態様においては、窓ガラス１をモノリシック窓ガラスとして使うことができる。しかしながら、コーティングの堆積前又はその後に、窓ガラス１を合わせ窓ガラスの他の構成要素に積層するのが好ましい。また、他の板又は類似物と組み立てて多重窓ガラスユニットとすることができる。その厚さは、特に制限されないが、通常１〜２０ｍｍの間にある。
【００５６】
図１のコーティングは、窓ガラス１の表面から順番に、
ベース層５及び任意の成長促進層６からなる下方反射防止層２、
ＩＲ反射層３
任意のバリア層７、
上方反射防止層４及び
任意の最外保護層９を備える。
【００５７】
反射防止層２，４の少なくとも一つは、本発明に係る化合物層を備える。
【００５８】
本発明の簡単な実施態様において、反射防止層２，４の一方又は両方は、任意の更なる部分層なしの本発明の化合物層のみから成る場合がある。しかしながら、本発明の化合物層を反射防止層２，４の部分層としてのみ使用する選択肢と、これを更なる部分層で補足する選択肢がある。図１に示すように、本発明の好ましい実施態様では、下方反射防止層２が少なくともベース層５と、該ベース層５と異なる材料からなる成長促進層６とからなる。この場合、比較的厚いベース層５は、他の機能のうち下方反射防止層２の主要部の役割を果たし、熱処理中のコーティングによる窓ガラス１の原子の拡散に対するバリア機能と結びつくことが可能である。通常より薄い成長促進層６は、主として次に堆積するＩＲ反射層３用の成長促進ベースとして役立つ。ある場合には、更なる極薄補助層（図示せず）を例えば成長促進層６とＩＲ反射層３との間に設けて両層間の接着を改良し、脱酸素剤又は吸収剤として役立つか又は熱処理性を更に改善することができる。
【００５９】
好ましくは、本発明に係る化合物層を下方反射防止層２のベース層５に用いることができる。少なくともそのＳｉ（酸）窒化物−ＺｎＯバージョンでは、成長促進層６として用いるのに特に適していないことを見出した。Ｓｉ（酸）窒化物及びＺｎＯの混合物の化合物層を下方反射防止層２に用いる場合、好ましくはこれをベース層５として使用し、ＺｎＯ等の成長促進層６によって補足して、次の銀系ＩＲ反射層３のシート抵抗を減少させるべきである。前述のように、本発明の化合物層を、既知の低放射率及び／又は日照調整コーティングにおけるＡｌ及び／又はＳｉ（酸）窒化物、Ｚｎ酸化物又はＺｎ−Ｓｎ酸化物タイプの層と置換することが可能であり、これらの層の屈折率が極めて類似しているため、わずかな厚さの適用のみが必要となる。ＺｎＯ又は金属をドープしたＺｎＯ、例えばＡｌをドープしたＺｎＯ又はＳｎをドープしたＺｎＯからなる成長促進層６を、ベース層５として設ける場合、本発明の化合物層と組み合わせて使用するのが好ましい。
【００６０】
上述したように、化合物層の成分は一方でＳｉ及び／又はＡｌの（酸）窒化物、他方でＺｎＯを種々の比率（Ｓｉ及び／又はＡｌ原子対Ｚｎ原子の比率で表される）を含むことができ、その原子比は２０：１と１：２０が好ましく、１０：１と１：１０がより好ましく、５：１と１：５が最も好ましい。
【００６１】
（Ａｌをドープした）ＺｎＯと（Ａｌをドープした）Ｓｉ（酸）窒化物の混合物は、高い光透過率及び低い太陽エネルギー透過率を有する高品質な熱処理可能なコーティングを提供するための、化合物層用の最も適切な材料であることが証明された。約２０：１〜１：２０のＳｉ及び／又はＡｌ対Ｚｎの原子比に対して、このような化合物層の屈折率（５５０ｎｍ）は約２〜２．２の範囲であり、これらの化合物が低放射率及び／又は日照調整コーティングにおける誘電体層として、例えばＺｎＯ、ＳｎＯ２、Ｚｎ−Ｓｎ酸化物（亜鉛スズ酸塩）又はＳｉ（酸）窒化物のような中間屈折率材料と置換するのに特に適するようになる。
【００６２】
化合物層を異なる処理及び装置を使用して堆積させることができ、従来の大面積スパッタリング装置及び処理でのスパッタリングが最も好ましい。化合物層の成分（又は反応性スパッタリングの場合の基本成分）を平面又は円筒状（回動）ターゲットとして付与するのが好ましい。かかるターゲットを、その性質に応じて、ＤＣ、パルスＤＣ、ＨＦ（ＲＦ）若しくは中波（ＭＦ）又はあらゆる他の適切な条件下でスパッタリングすることができる。被覆すべき窓ガラスを、本質的に水平に配したターゲットの下若しくは上に又は本質的に垂直に配したターゲットに沿って移動させることができる。
【００６３】
特に、一方でＳｉ及び／又はＡｌ（任意にドープ）、他方で金属をドープしたＺｎＯ（例えばＡｌをドープしたＺｎＯ＝ＺｎＯ：Ａｌ）のターゲット対（２ターゲット以上の偶数グループ）を使用し、これらターゲット対又はグループを必要な不活性成分（Ａｒ）の他に反応性のスパッタガスとして窒素のみ又はこれを主として含むスパッタ雰囲気下でスパッタすることが好ましい。中波、ＤＣ、パルスＤＣ又はあらゆる他の適切なスパッタ技術を適用することができる。酸素は、不可避な残留又は吸着ガスの一部としてのみ存在するのが好ましい。これによって、易酸化性元素Ａｌ及び／又はＳｉの不当な酸化を生ずることなく化合物層の（酸）窒化物成分を堆積させることが可能である。同時に、金属をドープしたＺｎＯを、セラミック金属ドープターゲットから酸素がない又は極めて少量の酸素のみを加えたスパッタ雰囲気下でスパッタすることができる事実を利用する。或いはまた、Ｓｉ及び／又はＡｌ並びにＺｎＯを含む混合ターゲットを反応性のスパッタガスとして窒素を含むスパッタ雰囲気下でスパッタすることができる。
【００６４】
一般に、その屈折率の虚数部分の低い値を有する化合物層が、スペクトルの視覚の部分で本質的に吸収しないように堆積されるよう堆積処理を制御することが最も好ましい。
【００６５】
本発明の化合物層の他に、あるいはそれに代えて、反射防止層２は、前述（図示せず）のような少なくとも一つの（更に部分的な）誘電体層を備えることができる。
【００６６】
大抵の場合、補助バリア層７をＩＲ反射層３上に、特に被覆窓ガラスが熱処理できる必要がある場合に設けることが好ましいか、又は必要になる。このようなバリア層７は、当業界で周知なもののような拡散バリア機能及び／又は脱酸素機能を設けることによって、コーティングの製造中及び次の熱処理の間にＩＲ反射層３を保護するのに役立つ。バリア層７は、単一層又はいくつかの部分層を備えることができる。全バリア層厚は、前述したように、通常約０．５〜１５ｎｍの範囲である。高い光透過率を狙いとする場合、少なくとも熱処理後に可視スペクトル領域で高々わずかに吸収する材料を用いるか、又は極めて薄い光吸収バリア層のみを用いることが好ましい。
【００６７】
バリア層７に適した材料は、（当業者によってよく知られる）金属及び金属合金、その半化学量論的な酸化物、又は場合によっては均一な（わずかに半化学量論的）酸化物、酸窒化物及び窒化物である。本発明の関連で、バリア層７用の材料は、Ｔｉ、ＴｉＯｘ、例えば最も好ましい材料としてのＡｌをドープしたＺｎＯのような金属をドープしたＺｎＯ、ＳｎをドープしたＩｎ酸化物（ＩＴＯ）、Ｚｎ−Ｓｉ酸化物の一つ以上から選択するのが好ましい。本発明のコーティング用で特に好ましいバリア層７は、ＴｉＯｘとＡｌをドープしたＺｎＯとを二つの別個の部分若しくは重畳（段階）層又は混合層のいずれかとして備える。このような混合又は段階的なバリア層７は、ＴｉＯｘターゲット（任意に半化学量論的及び／又はドープ）及びＡｌをドープしたＺｎＯターゲットを同時スパッタリングによって製造するのが好ましい。
【００６８】
上方反射防止層４は、下方反射防止層２のように、単一層又は数個の部分層とすることができる。最も簡単な設計においては、本発明に係る化合物層のみからなることができ、上述した化合物層及びその製造に関する全てのことを上方反射防止層４に適用する。上方反射防止層４は、下方反射防止層２のように、少なくとも一つの（更に部分的な）誘電体層、例えば下方反射防止層２用に好ましいものとして前述したものを更に又は選択的のいずれかで備えることができる。
【００６９】
任意の最外保護層９は機械的又は化学的な影響に対するコーティングの頑健性を増加するのに役立ち、その厚さが約１〜１０ｎｍ、好ましくは約２〜６ｎｍの範囲である場合に、通常コーティングの光学的性質に極く僅かな影響を及ぼすのみである。保護層９は、硬度又は耐薬品性に周知の材料から構成することができる。いくつかの金属（合金）酸化物又は（酸）窒化物をこのような保護層９に適用できる一方、Ｔｉ、Ｓｉ、Ａｌ及び／又はＺｎ−Ｓｉの酸化物又は（酸）窒化物が好ましい。すでに上述したように、保護層９は、本発明の被覆窓ガラスを備える合わせ窓ガラスの中間層に対するコーティングの接着に適合（改良）するか、又は該中間層により適した屈折率を付与する目的に選択的又は更に役立つことができる。ここで、他の目的に関して、更に厚い最外保護層９を使用することが適切であることができる。代替案として、保護層を外側反射防止層（図示せず）に埋設した分割層として配置することができる。
【００７０】
この点に関して本発明を制限することを求めずに、単一のＩＲ反射層３を有するコーティング用のある有利な層順序を以下に示す。窓ガラス／ベース層５としてのＳｉＮｘ−ＺｎＯ（Ａｌをドープした）の化合物層／成長促進層６として（金属をドープした）ＺｎＯ／ＩＲ反射層３としてＡｇ／例えばＴｉＯｘ及び／又はＺｎＯ：Ａｌを備えるバリア層７／上方反射防止層４としてのＳｉＮｘ−ＺｎＯ（Ａｌをドープした）の化合物層／例えばＳｉ及び／又はＡｌの酸化物又は（酸）窒化物、ＴｉＯ２の任意の保護層９である。
【００７１】
図２の低放射率及び／又は日照調整コーティングは、窓ガラス１の表面から順番に
第一ベース層１５及び第一（任意）の成長促進層１６からなる第一下方反射防止層１２、
第一ＩＲ反射層１３、
第一（任意の）バリア層１７、
中心層３９及び第二（任意）の成長促進層２６からなるスペーサ層２０、
第二のＩＲ反射層２３、
第二（任意）のバリア層２７及び
第二の上方反射防止層２４を備える。
【００７２】
図２のコーティングは、同じ一般的な構造の二つの層順序を備え、各々が下方反射防止層、ＩＲ反射層１３，２３及び上方反射防止層からなる。第一の下方層順序の第一上方反射防止層を第二の層順序の第二下方反射防止層と組み合わせて、二つのＩＲ反射層１３，２３がＦａｂｒｙ−Ｐｅｒｏｔタイプの干渉フィルタとして機能するようにこれら層を離間するスペーサ層２０を形成する。図２に示す典型的な実施態様において、ベース層１５及び成長促進層１６を備える第一下方反射防止層１２と、第二上方反射防止層２４とは、図１の層２，５，６及び４と同様の機能を果たす。第二の成長促進層２６を第二のＩＲ反射層２３の下で、且つ中心層３９の上に設け、効果的に第一層順序の第一上方反射防止層と、第二層順序の第二下方反射防止層の第二ベース層との組合せとする。
【００７３】
最外保護層を図２に示さないが、所要に応じて設けて前記単一ＩＲ反射層コーティングに関して述べたようなコーティングの頑健性又は他の性質を増強することができる。
【００７４】
図１のコーティング、特に本発明の化合物層の使用に関して説明したものも、一般に図２のコーティングに適用する。
【００７５】
好ましい層順序は、以下の通りである。窓ガラス／第一ベース層１５としてのＳｉＮｘ−ＺｎＯ（Ａｌをドープした）の化合物層／第一成長促進層１６としての（金属をドープした）ＺｎＯ／第一ＩＲ反射層１３としてのＡｇ／例えばＴｉＯｘ及び／又はＺｎＯ：Ａｌを備える第一バリア層１７／中心層３９としてのＳｉＮｘ−ＺｎＯ（Ａｌをドープした）の化合物層／第二の成長促進層２６としての（金属をドープした）ＺｎＯ／第二のＩＲ反射層２３としてのＡｇ／例えばＴｉＯｘ及び／又はＺｎＯ：Ａｌを備える第二のバリア層２７／上方反射防止層２４としてのＳｉＮｘ−ＺｎＯ（Ａｌをドープした）の化合物層／例えばＳｉ及び／又はＡｌの酸化物又は（酸）窒化物，ＴｉＯ２の任意の保護層である。
【００７６】
個々の層厚が特定用途で狙いとする被覆窓ガラスの光学的及び他の性質に従って設定する必要があることを認識するので、本発明の関連において詳細に説明することを必要としない。低放射率及び／又は日照調整コーティングを算出して、シミュレートするための製法及びソフトウェアは、適切な層厚を算出するために当業者が利用できる。
【００７７】
本発明を、いくつかの実施例により説明する。全ての実施例において、２．１ｍｍ厚さの透明なフロート窓ガラス（ＴＬ＝９０％）を被覆すべき基板として使用する。
【００７８】
（実施例１）
下記の表１に示すような数個の層を備えるコーティングを、下記のターゲット又はターゲット対を配置した数個の分離スパッタリング室を有するスパッタリングプラント内で窓ガラス上に堆積させた。
（１）第一のターゲット対は（ａ）約１０重量％のＡｌを主ドーパントとして含む金属をドープしたＳｉターゲット（Ｗ．Ｃ．ＨｅｒａｅｕｓからＳＩＳＰＡ（商標）１０として市販）と、（ｂ）約２重量％のＡｌ２Ｏ３を含むＡｌをドープしたセラミックＺｎ酸化物ターゲット（Ｗ．Ｃ．ＨｅｒａｅｕｓからＺＡＯ（商標）として市販）とを備える。
（２）亜鉛ターゲット；
（３）銀ターゲット；
（４）第二のターゲット対は（ａ）セラミックＴｉＯｘターゲット（ｘ＜２）（ＴｉＯｘターゲットはＷ．Ｃ．ＨｅｒａｅｕｓからＣＬＡＴＯ（商標）として市販）と、（ｂ）約２重量％のＡｌ２Ｏ３を含むセラミックＺｎＯ：Ａｌターゲット（Ｗ．Ｃ．ＨｅｒａｅｕｓからＺＡＯ（商標）として市販）とを備える。
【００７９】
スパッタリングプラントは、所定厚さの層を堆積させるまで、複数室の一つにおけるターゲット又はターゲット対に対し制御した速度で窓ガラスを一又は数パスの間移動することを可能にする。一パス以上が必要な時、基板搬送方向を一パス後に逆転し、基板を次のパスの間反対方向に移動した。一層の堆積完了後、窓ガラスを他のスパッタリング室に移動して次の層の堆積を可能にする。ターゲット対は、市販の電源を用いて約１５０ｋＨｚで操作する二重カソードパルス化ＤＣスパッタリング装置の一部であった。
【００８０】
堆積処理を開始する前に室を真空にし、次いで適当なスパッタリングガスを必要に応じて、表２に示すように導入した。
【００８１】
実施例１のコーティングは、表１に示すように層順序（ガラス面から始まる）を有した。
【００８２】
【表１】
2009531262.tif 000003
【００８３】
化合物層に付与した原子比は、Ｋｒａｔｏｓ製のＡｍｉｃｕｓＸＰＳ装置を使用するＸＰＳによって決定される段階層の平均組成に関連する。分析法は半定量的であり、得られた結果をワグナー相対感度因子を用いて処理して上記表１及び下記表５に示した原子比を付与する。
【００８４】
個々の層の堆積を表２に要約した条件下で行った。
【００８５】
【表２】
2009531262.tif 000004
【００８６】
（実施例２）
実施例１と本質的に同じ層順序と厚さを有するコーティングを堆積した。しかしながら、実施例１以外の化合物層は、基板をＡｌをドープしたＳｉ（Ｓｉ：Ａｌ）／ＡｌをドープしたＺｎＯ（ＺｎＯ：Ａｌ）ターゲット対の下で約４倍早く通し、したがって８―１６―８パスを用いて、実施例１と本質的に同じ全体厚みを有する三つの化合物層を堆積することにより堆積させた。堆積条件を表３に要約する。
【００８７】
【表３】
2009531262.tif 000005
【００８８】
実施例１及び２に係る層堆積を有する被覆窓ガラスをＸＰＳ分析によって分析し、結果を図３（実施例１に対応する層堆積）及び図４（実施例２に対応する層堆積）に示す。ＸＰＳ分析は、コーティングの層順序の半定量分析を提供する。
【００８９】
図３及び図４の比較は、両方の場合における二つの銀ＩＲ反射層の下、上及び間に配置した化合物層が非均質な段階層であり、ＡｌをドープしたＳｉ窒化物とＡｌをドープしたＺｎＯの相対的な比率が各化合物層の厚さを横切って、著しく変化することを示す。実施例１においては、変化の振幅が実施例２におけるものより非常に高く、ピーク及び谷の数が実施例１における２―４―２パスと比べて、実施例２におけるターゲット対の下より速い速度での高いパス数（８−１６−８）に生じる実施例２における数の僅か４分の１である。より高いパス数は、本質的に均質な状態に近づく化合物層の組成を明らかに導く。
【００９０】
（比較例３）
実施例１及び２のものと同様の層順序を有する比較のコーティングを製造した。ただし、全ての化合物層１５，３９及び２４を、スパッタガスとしてＡｒ及びＮ２を含むスパッタリング雰囲気中で、ＡｌをドープしたＳｉターゲットの反応性スパッタリングによって製造した適切な厚さの純粋な（Ａｌをドープした）Ｓｉ窒化物層と置換した。
【００９１】
実施例１，２及び比較例３に係る被覆窓ガラスを、６５０℃及び６８０℃で熱処理して、次の表４に示すような光透過率及びシート抵抗の値を得た。
【００９２】
【表４】
2009531262.tif 000006
【００９３】
実施例１のコーティングは両方の温度で実際に同じ挙動を示すが、一方より均質な化合物層を有する実施例２のコーティングは、６５０℃と比べて６８０℃で熱処理した際により優れた性質（よりわずかに良好な光透過率及び著しく減少したシート抵抗）を示すことがわかる。したがって、より均質な化合物層は、温度範囲５８０〜６９０℃の上部で熱処理されるであろう熱処理可能なコーティングにより適しているとすることができる。
【００９４】
比較例３に係るＳｉＮｘベースのコーティングは、熱処理中にシート抵抗のより低い減少速度を示すが、そのシート抵抗はＩＲ反射層の本質的に同じ厚さでより高い標準輻射率に相関する熱処理の前後両方で本発明のコーティングのシート抵抗より非常に高い。６８０℃の熱処理は、比較例３の被覆窓ガラスの光透過率の低減を導く。実施例１及び２の熱処理被覆窓ガラスの最終的な光透過率は、比較例３の被覆窓ガラスの最終的な光透過率より著しく高い。したがって、本発明に係わる熱処理被覆窓ガラスは、ＳｉＮｘベースのコーティングより非常に低いシート抵抗（より高いＩＲ反射）及び非常に高い最終的な光透過率を達成することを可能にする。
【００９５】
多くの付加実験において、実施例１および比較例３と本質的に同一層順序を有する被覆窓ガラスを以下の違いで調製した。
本発明のコーティングの化合物層１５，３９及び２４及び比較例コーティングのＳｉＮｘ層の厚さを、それぞれ４０，８０及び４０ｎｍ（実施例１の３５，７０及び３５ｎｍと比較して）に設定し、ターゲット下わずかに減じた速度の２―４―２パスで達成した。
１０ｋＷ：４ｋＷの電力比をＳｉ：Ａｌ／ＺｎＯ：Ａｌターゲットに用いて、更なる本発明の実施例の化合物層１５，３９及び２４を堆積し、これにより約１：１．２のＳｉ：Ｚｎの原子比（ＸＰＳによって分析）をこれらの層で達成した。
【００９６】
被覆窓ガラスをマッフル炉内で６５０℃，６６０℃，６７０℃及び６８０℃温度で５分間熱処理した。熱処理の前後で、被覆窓ガラスのシート抵抗、光透過率及びヘイズ値を測定した。結果を図５〜７に示す。
【００９７】
本発明に係る化合物層を備える被覆窓ガラスは、シート抵抗及び光透過率に関する両方で、６５０℃と６８０℃との間の温度で各熱処理の前後で化合物層の代わりに、Ｓｉ窒化物層を使用する被覆窓ガラスよりも良好な性能を示すことがわかる。熱処理後のヘイズ値は、６８０℃の熱処理温度まで本発明のコーティングに対して非常に低く残留した。ＳｉＮｘベースのコーティングの性質は熱処理の間せいぜい本質的に安定したままであるのに対し、本発明のコーティングの光透過率及びシート抵抗値がかかる熱処理によって著しく改善される。
【００９８】
（実施例４〜９及び比較例１０）
一連の更なる実験において、実施例１と類似の層順序を有するコーティングの化合物層のＳｉ：Ｚｎ原子比を下記の違いで変更する。
本発明のコーティングの化合物層１５，３９及び２４並びに比較例１０の比較コーティング（Ａｌをドープした）Ｓｉ窒化物層の厚さを、それぞれ４０，８０及び４０ｎｍ（実施例１及び比較例３における、３５，７０及び３５ｎｍと比較して）に設定し、ターゲット下わずかに減じた速度の２―４―２パスで達成した。
更なる発明の実施例の化合物層１５，３９及び２４を堆積するためにＳｉ：Ａｌ／ＺｎＯ：Ａｌターゲットに用いた電力比を、１５：２（実施例４）と１５：８（実施例９）の間で変え、これによって下記の表５の第二欄に示したＳｉ：Ｚｎの原子比（ＸＰＳによって分析）をこれらの層（実施例１及び２において約２：１と比較して）で達成した。
【００９９】
全ての被覆窓ガラスを６５０℃で５分間熱処理し、その後光透過率及びシート抵抗値を測定した。結果を下記の表５に記載した。最後の欄にシート抵抗Ｒｎに対する光透過率ＴＬの比を示す。比較的高い比は、コーティングのより良好な低放射率／日照調整性能を示す。
【０１００】
【表５】
2009531262.tif 000007
【０１０１】
全ての本発明のコーティング（実施例４〜９）では、二つの２．１ｍｍの厚の透明なフロート窓ガラス（その一層は本発明に従って被覆した）及び例えばＰＶＢの透明な中間層を備える合わせ窓ガラスの少なくとも約７５％の光透過率に関連したモノリシック窓ガラス（２．１ｍｍの厚さ、ＴＬ＝９０％を有する標準の透明なフロートガラス）の明らかに８０％以上の光透過率を達成することができ、同時にシート抵抗がせいぜい約３Ω／□となることが表５からわかる。両方の値は、高い光透過率で良好な低放射率／日照調整性能を示す。約８０％（モノリシック被覆窓ガラス）を超える非常に高い光透過率を有する最適な性能は、１：１に近いＳｉ：Ｚｎの原子比を有する化合物層を備える（被覆前、約９０％の光透過率を有する２．１ｍｍの透明なフロートガラスに）コーティングで達成することができること明らかである。０．５％以下の有意なヘイズ値が、良好な熱処理性を示す実施例４〜９で達成した。
【０１０２】
本発明の化合物層の代わりにＳｉ窒化物層を備えるコーティングは、表５の最終行（比較例１０）を参照するに、比較的穏当な結果をもたらす。
【０１０３】
実施例に係る被覆窓ガラスは、熱処理の後に極く僅かな外観変化（通常反射及び透過の両方でΔＥ＊、Δａ＊及びΔｂ＊で表す）を示した。その機械的及び化学的頑健性は優れていた。
【０１０４】
被覆窓ガラスの光透過率ＴＬで述べた値は、発光体Ｃ、２°の観測のＣＩＥ（１９３１）に従う測定に由来する。シート抵抗は、ＮＡＧＹＳＲＭ−１２非接触シート抵抗計を用いて測定した。
【０１０５】
ヘイズ値は、前方散乱（ＡＳＴＭＤ１００３ー９２に従って測定）によって入射光方向から外れる被覆窓ガラスを通過した透射光の割合を示す。熱処理の間低く残るヘイズ値は、熱処理性の良好な指標である。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】一つのＩＲ反射層を有する本発明の第一の実施態様の概略断面図である。
【図２】二つのＩＲ反射層を有する本発明の第二の実施態様の概略断面図である。
【図３】ＸＰＳ分析に従う本発明の代表的なコーティングの層順序を表すグラフである。
【図４】ＸＰＳ分析に従う本発明の他の代表的なコーティングの層順序を表すグラフである。
【図５】Ｓｉ（酸）窒化物−ＺｎＯ化合物層を備える本発明に係るコーティングと、類似のＳｉ窒化物ベースのコーティングとの間のある性質の比較を示すグラフである。
【図６】Ｓｉ（酸）窒化物−ＺｎＯ化合物層を備える本発明に係るコーティングと、類似のＳｉ窒化物ベースのコーティングとの間のある性質の比較を示すグラフである。
【図７】Ｓｉ（酸）窒化物−ＺｎＯ化合物層を備える本発明に係るコーティングと、類似のＳｉ窒化物ベースのコーティングとの間のある性質の比較を示すグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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