(57)【要約】  反応活性種がＯリングと接触するのを制限するためにＯリング装置においてガードバリヤが使用されている。ガードバリヤは、反応活性種に曝されるようにチャンバ通路において支持されている。Ｏリングへの反応活性種のアクセスを制限するために、防護リングをさらにチャンバ通路内へチャンバ内部に向かって周囲で弾性的に付勢するためにＯリングが圧縮される。通路は、バリヤが押し付けられる、狭まる面を使用することができる。バリヤは、チャンバ通路内へ付勢されることに応答して変化することができる環形状を有することができる。
2009500580.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの反応活性種を使用して少なくとも１つの基板を処理するための処理装置において使用するためのチャンバ装置において、該チャンバ装置に、
係合した位置において使用されるための第１チャンバ部分と第２チャンバ部分とが設けられており、これらの第１チャンバ部分と第２チャンバ部分とが、前記係合した位置において相俟ってチャンバ内部を形成しておりかつ前記係合した位置において相俟って通路を形成しており、該通路が、チャンバ装置の外部から前記チャンバ内部に連通しており、
係合した位置において前記通路をシールするためのシール装置が設けられており、該シール装置に、（ｉ）防護リングが設けられており、該防護リングが、前記反応活性種に曝されるように前記通路において支持されており、（ｉｉ）Ｏリングが設けられており、該Ｏリングが、前記通路における前記防護リングに隣接してかつ該防護リングのすぐ外側において前記通路内に配置されており、防護リングをさらに通路内へ前記チャンバ内部に向かって周囲において弾性的に付勢するために前記Ｏリングが圧縮されており、これにより、前記反応活性種が前記チャンバ内部からＯリングまで通過することを制限していることを特徴とする、チャンバ装置。
【請求項２】
前記第１チャンバ部分と第２チャンバ部分とが前記係合した位置において前記Ｏリングに第１の方向で圧縮力を提供し、防護リングをさらに通路内へ前記チャンバ内部に向かって弾性的に付勢するために、前記Ｏリングが、前記圧縮力に応答して、該圧縮力に対して少なくともほぼ垂直な付勢方向で、弾性的な付勢力を生ぜしめるようになっている、請求項１記載のチャンバ装置。
【請求項３】
弾性的な付勢力が少なくとも２つの互いに垂直でない方向に伝達されるように、第１チャンバ部分又は第２チャンバ部分のうちの選択された一方が、防護リングに係合するための、前記付勢方向に関して傾斜した付勢面を形成している、請求項２記載のチャンバ装置。
【請求項４】
前記防護リングが、前記弾性的な付勢力に関して傾斜した接触面を形成するために三角形の断面を有する第１の防護リング部材を有しており、前記弾性的な付勢力が、接触面を、第１チャンバ部分又は第２チャンバ部分のうちの選択された一方の付勢面に直接に係合させる、請求項３記載のチャンバ装置。
【請求項５】
前記第１の防護リング部材が、全体的な環形状を有しておりかつ、前記弾性的な付勢力に応答して環形状の変形を提供するために弾性的な材料から形成されている、請求項４記載のチャンバ装置。
【請求項６】
前記第１の防護リング部材が、全体的な環形状を有しておりかつ、前記弾性的な付勢力に応答して実質的に変形不能である材料から形成されており、前記環形状が、１対の対向した端部の間に間隙を形成しており、該間隙が、第１の防護リング部材の周囲の移動を提供するために、弾性的な付勢力に応答して変化する幅を有する、請求項４記載のチャンバ装置。
【請求項７】
前記間隙が、第１の防護リング部材を通る方向で傾斜した向きに形成されており、前記間隙が、前記通路と前記間隙とを通る前記反応活性種のための延長された移動経路を提供している、請求項６記載のチャンバ装置。
【請求項８】
前記第１チャンバ部分と第２チャンバ部分とが前記係合した位置にある時、前記Ｏリングが、防護リングに加えられる弾性的な付勢力を生ぜしめかつ、弾性的な付勢力によって強制することに応答して防護リングを通路内にくさび状に捕捉するために前記通路と協働する、請求項１記載のチャンバ装置。
【請求項９】
少なくとも１つの反応活性種に曝すことによって少なくとも１つの基板を処理するための処理装置において使用されるチャンバ装置においてシールを形成する方法であって、
第１チャンバ部分及び第２チャンバ部分を有するチャンバを配置し、前記第１チャンバ部分及び前記第２チャンバ部分が、係合した位置において相俟ってチャンバ内部を形成するために使用され、さらに前記第１チャンバ部分及び前記第２チャンバ部分が、前記係合した位置において相俟って前記チャンバ内部の周囲に周囲の通路を形成し、該通路が、チャンバの外部から前記チャンバ内部にまで延びており、
前記係合した位置において通路をシールするためのシール装置を提供し、該シール装置が、（ｉ）前記反応活性種に曝されるように前記通路において支持された防護リングと、（ｉｉ）前記チャンバ内部に関して前記通路に沿って前記防護リングのすぐ外側に隣接して通路内に配置されたＯリングとを有しており、前記防護リングをさらに通路内へ前記チャンバ内部に向かって周囲で弾性的に付勢するために、前記係合した位置において前記Ｏリングが圧縮され、これによって、前記チャンバ内部からＯリングへの前記反応活性種の通過を制限することを特徴とする、シールを形成する方法。
【請求項１０】
前記第１チャンバ部分及び前記第２チャンバ部分が前記係合した位置において前記Ｏリングに第１の方向で圧縮力を提供し、防護リングをさらに通路内へ前記チャンバ内部に向かって弾性的に付勢するために、前記Ｏリングが、前記圧縮力に応答して、前記圧縮力に対して少なくともほぼ垂直な付勢方向で、弾性的な付勢力を生ぜしめる、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
弾性的な付勢力が少なくとも２つの互いに垂直でない方向に伝達されるように、防護リングに係合するための、前記付勢方向に対して傾斜した付勢面を形成するために、第１チャンバ部分又は第２チャンバ部分のうちの選択された一方を使用する、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
前記弾性的な付勢力に対して傾斜した接触面を形成するために三角形の断面を有する第１の防護リング部材を備えた前記防護リングを提供し、前記弾性的な付勢力が、接触面を、第１チャンバ部分又は第２チャンバ部分のうちの選択された一方の付勢面に直接に係合させる、請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記弾性的な付勢力に応答して環形状の変形を提供するために、弾性的な材料から形成された、全体的な環形状を備えた前記第１の防護リング部材を形成する、請求項１２記載の方法。
【請求項１４】
前記弾性的な付勢力に応答して実質的に変形不能な材料から形成された、全体的な環形状を備えた前記第１の防護リング部材を形成し、前記環形状が１対の対向した端部の間に間隙を形成しており、該間隙が、第１の防護リング部材の周囲移動を提供するために、弾性的な付勢力に応答して変化する幅を有している、請求項１２記載の方法。
【請求項１５】
前記間隙を、第１の防護リング部材を通る方向に傾斜した向きで形成し、このことが、前記間隙において、前記通路を通る前記反応活性種のための延長された移動経路を提供する、請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
前記Ｏリングが、前記第１チャンバ部分と第２チャンバ部分とが前記係合した位置にある場合、防護リングに提供される弾性的な付勢力を生ぜしめかつ、弾性的な付勢力によって強制されることに応答して防護リングを通路にくさび式に捕捉するために前記通路と協働する、請求項９記載の方法。
【請求項１７】
チャンバにおいて、
シール面を有する第１チャンバ部分と、
前記第１チャンバ部分の前記シール面に当て付けられて鋭角に配置されたテーパ面を有する第２チャンバ部分と、
前記シール面と前記テーパ面とに当て付けられて配置された腐食バリヤと、
前記シール面に対して配置されておりかつ、前記腐食バリヤが前記シール面と前記テーパ面とに同時に係合するように前記腐食バリヤに付勢力を提供するために前記第１チャンバ部分及び第２チャンバ部分によって支持されたＯリングと、
前記腐食バリヤに対する前記Ｏリングとは反対側に配置された腐食種とを含み、該腐食種が前記Ｏリングに対して腐食性であることを特徴とする、チャンバ。
【請求項１８】
前記Ｏリングが、第１チャンバ部分及び第２チャンバ部分との接触に応答して前記腐食バリヤに前記付勢力を提供する、請求項１７記載のチャンバ。
【請求項１９】
前記Ｏリングが、該Ｏリングの両側における圧力差に応答して前記腐食バリヤに前記付勢力を提供する、請求項１７記載のチャンバ。
【請求項２０】
Ｏリングシールのための腐食バリヤにおいて、
環形状を有しており、該環形状が、
（ｉ）第１チャンバ部分のシール面上に配置される第１面領域と、（ｉｉ）前記シール面に対して鋭角に配置された第２チャンバ部分のテーパ面に対して配置される、第２面領域と、（ｉｉｉ）第３面領域とを形成しており、該第３面領域がＯリングから付勢力を受け取るように適合されており、これにより、前記腐食バリヤが前記鋭角に亘って前記シール面及び前記テーパ面に同時に係合するようになっており、前記腐食バリヤが、隣接するＯリングに反応活性種が到達するのを遅らせるように前記弾性的な付勢力に応答して環形状を変化させるように形成されていることを特徴とする、Ｏリングシールのための腐食バリヤ。
【請求項２１】
前記弾性的な付勢力に応答して環形状の変形を提供するために弾性的な材料から形成されている、請求項２０記載の腐食バリヤ。
【請求項２２】
前記付勢力に応答して実質的に変形不能である材料から形成されており、前記環形状が１対の対向した端部の間に間隙を形成しており、前記間隙が、腐食バリヤの環状移動を提供するために付勢力の変化に応答して変化する幅を有している、請求項２０記載の腐食バリヤ。
【請求項２３】
前記間隙が、腐食バリヤを通る方向で見て傾斜した切断部として形成されており、このことが、前記間隙を通る前記反応活性種のための延長された移動経路を提供する、請求項２２記載の腐食バリヤ。
【請求項２４】
前記腐食バリヤが前記環形状に沿って実質的に三角形の断面を有している、請求項２０記載の腐食バリヤ。
【請求項２５】
前記腐食バリヤが前記環形状に沿って実質的に円形の断面を有している、請求項２０記載の腐食バリヤ。
【請求項２６】
方法において、
第２部材における環状のテーパ面が第１部材の環状のシール面の近傍に配置されるように前記第１部材及び前記第２部材を組み立て、前記環状のテーパ面が前記環状のシール面に対して鋭角に配置されており、前記腐食バリヤの第１部分が前記環状のシール面に当て付けて配置されかつ前記腐食バリヤ第２部分が前記環状のテーパ面に当て付けて配置されるように、環形状を有する腐食バリヤを配置し、
Ｏリングを前記腐食バリヤに当て付けて配置し、
前記ＯリングがＯリング力を前記腐食バリヤに提供するように前記Ｏリングに付勢力を提供し、これにより、前記腐食バリヤを前記環状のシール面と前記環状のテーパ面とに実質的に同時に押し付け、
前記Ｏリングと反対側において前記腐食バリヤに腐食種を案内し、該腐食種が前記Ｏリングに対して腐食性であることを特徴とする、方法。
【請求項２７】
Ｏリングに付勢力を提供するために前記第１部材及び前記第２部材によって圧縮されるように前記Ｏリングを支持する、請求項２６記載の方法。
【請求項２８】
前記付勢力を生ぜしめるために前記Ｏリングの両側における圧力差を利用する、請求項２６記載の方法。
【請求項２９】
実質的に三角形の断面を備えた前記腐食バリヤを形成する、請求項２６記載の方法。
【請求項３０】
実質的に円形の断面を備えた前記腐食バリヤを形成する、請求項２６記載の方法。
【請求項３１】
前記弾性的な付勢力に応答して環形状の変形を提供するために、弾性的な材料から腐食バリヤを形成する、請求項２６記載の方法。
【請求項３２】
前記付勢力に応答して実質的に変形不能な材料から腐食バリヤを形成し、１対の対向する端部の間において前記環形状に間隙を形成し、該間隙が、腐食バリヤの環状移動を提供するために、付勢力の変化に応答して変化する幅を有している、請求項２６記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願とのクロスリファレンス
本願は、２００５年７月７日に出願された米国特許仮出願第６０／６９８２０５号明細書の優先権及び利益を請求し（代理人整理番号MAT-22PRO）、その開示内容全体は引用したことによりここに記載されたものとする。
【０００２】
背景
本発明は概してＯリングシールに関し、特に腐食性材料をシールするために使用されるＯリングシールに関する。
【０００３】
様々な半導体プロセス用途（及びその他の非半導体関連用途）において、所要のシール結合性を維持するために固定シールが使用されている。シール結合性は、複数の条件を維持するためのシールの能力によって規定され、この条件は、（ａ）プロセス環境における又はその近傍における圧力差又は所要の環境隔離レベル−制御された周囲空気−及び／又は（ｂ）所要の清浄レベル（Ｏリング劣化生成物による粒子発生及び／又は汚染の不在によって規定される）とを含む。固定シールの決定的な構成部材の１つはＯリングである。Ｏリングは通常、エラストマ、過フッ化炭化水素又はその他の熱可塑性材料及び金属から概して成形されたトーラス又はドーナツ状の構成部材である。多くの用途（半導体製造用途を含む）において、Ｏリングはしばしば、Ｏリングと反応してＯリングを劣化させかつ早期に故障させる反応活性種（化学的ラジカル又はイオン又は中性又はこれらの種の幾つかの組合せ）、高エネルギ及び／又は高密度の光子及び／又は熱エネルギに曝される。Ｏリング劣化に対する現在の産業上のソリューションは、反応活性種、高エネルギ及び／又は高密度の光子及び熱的劣化による攻撃に対して耐性の材料からＯリングを製造することを含む。このことは、極めて高価でかつ、所要の耐用寿命、清浄度及び熱的な使用温度を依然として満たさないＯリングを提供する。
【０００４】
Ｏリング劣化プロセスは通常、Ｏリングの材料に、化学的結合の変化を生じさせ、これが１つ又は２つ以上の故障メカニズムを生じる。故障メカニズムは、熱的、化学的及び衝撃的反応によって駆動される。Ｏリング故障という表現は、粒子化（１つ又は複数の基本的Ｏリング材料の劣化による粒子の発生）を含み、Ｏリング材料の腐食及びＯリングのポリマ構成部材の亀裂発生は、シール結合性の損失を生ぜしめる可能性がある。Ｏリング故障は、前の故障メカニズムの１つ又は２つ以上から生じる可能性がある。劣化プロセスは、Ｏリング材料の加熱によって加速される可能性がある。Ｏリングの加熱はしばしば、プロセス環境からの直接的及び／又は間接的な加熱の結果である。Ｏリング腐食、粒子及び／又は亀裂を生じる、Ｏリングへの化学的攻撃はしばしば、Ｏリングの"エッチング"と呼ばれている。
【０００５】
Ｏリングのほとんどの用途において、Ｏリング表面の一部は、Ｏリングを劣化させる能力を有する環境に曝される。例えば、以下のＯリング／シール概念は、Ｏリングのための典型的な用途を示しており、これらの用途において、Ｏリングの一部は、Ｏリングのシール結合性を劣化させる潜在性を有する劣悪な環境に曝される。Ｏリンググランドと反応性プロセス環境との結合は小さいが、反応活性種はＯリンググランド内に拡散することができ、ここで、反応活性種はＯリングと反応することができ、次第にＯリングを劣化させる。
【０００６】
図７ａ〜ｃは、概して参照符号１０によって示された従来の面シールＯリング構成の概略的な図である。反応性プロセス環境１２は単純なＯリングシールを使用することによって周囲環境１４から隔離されている（単純なＯリング溝又はグランド１８と組み合わされたＯリング１６）。"面"シールが採用されるほとんどの用途において、シールは固定シールタイプであり、この場合、面シールグランドを形成する面の相対的な移動は生じない。図７ａにおいて、Ｏリング１６は、力２４を加えるために第１の構成部材２０と第２の構成部材２２との間に捕捉されており、力２４はＯリングを圧縮し、グランド１８を形成した構成部材表面の間においてシールを形成する。力２４は、第１の構成部材２０を第２の構成部材２２に対して圧縮することから引き出されることができる。
【０００７】
図７ｂにおいて、Ｏリング表面の部分３０は、反応活性種３２を含む反応性プロセス環境１２への通路を共有する。図７ｃにおいて、反応性プロセス環境からの反応活性種３２がＯリング溝開放空間内へ拡散し、Ｏリングが間もなく故障するであろう点にまでＯリング１６をエッチングしている。
【０００８】
従来技術は、Ｏリングを反応活性種から保護しようとすることにおける多数のその他のアプローチを含む。例えば、１つのアプローチは、反応活性種へのＯリングの暴露を制限することが意図されたバリヤを提供することを試みている。特定の例は米国特許第６２４５１４９号明細書であり、以下１４９特許と呼ぶ。この特許は、Ｏリングを保護することを試みることにおいて面シール構成に依存するバリヤを開示している。これに関して、バリヤは、Ｏリングを収容するグランド又は溝内のＯリングに隣接してかつＯリングの内部に単に挿入されているように見える。つまり、バリヤのための空間を提供すること以外に、Ｏリンググランドの特定の変更が必要ないように見える。バリヤ及びＯリングは、チャンバ蓋とボディとの間に並置された関係で独立して圧縮されるように見え、圧縮力に応答する、Ｏリングとバリヤとの間の接触又は協働についての言及はない。さらに、この特許は、少なくとも長さ方向収縮を受ける材料からバリヤを形成することを考慮しており、バリヤの長さ方向収縮を補償する"摺動可能に接続された"構成を有することにおいてバリヤの向き合った端部の構成に著しい注意を向けている。１４９特許の構成は、バリヤエレメントを収縮させる等の複雑な要因を取り扱うことに関する著しい挑戦を課すことが考慮されており、面シール構成に制限されている。
【０００９】
関連技術の前記の例及び関連技術に関する制限は、例示的であり、排他的ではないと意図されている。関連技術のその他の制限は、明細書を読み、図面を検討することによって当業者に明らかとなるであろう。
【００１０】
開示の概要
以下の実施形態及び実施形態の態様は、典型的かつ例示的であることが意味され、範囲を制限するものではないシステム、ツール及び方法に関連して説明及び例示される。様々な実施形態において、上述の問題の１つ又は２つ以上は減少又は排除されるのに対し、その他の実施形態はその他の改良に向けられている。
【００１１】
防護／腐食バリヤ及び関連する方法は、腐食性及び／又は反応活性種がＯリングと接触するのを回避するためにＯリングシール装置において使用されている。開示の１つの態様において、バリヤは、様々な構成を介して、シールされた間隙内に強制されることができる。シールされた間隙内に強制される場合、バリヤは、反応活性種によるＯリングへのアクセスを有効に低減し、例えば、延長されたＯリング寿命及び／又はより高価でないＯリング材料を使用する可能性を提供する。
【００１２】
開示の別の態様において、第１チャンバ部分と第２チャンバ部分とは、協働してチャンバ内部を形成するために、及び係合した位置において通路を協働して形成するために、係合した位置において使用され、前記通路は、チャンバ装置の外部からチャンバ内部へ通じている。シール装置は、係合した位置において通路をシールする。シール装置は、反応活性種に曝されるために通路に支持された防護リング装置と、通路における防護リング装置に隣接してかつこの防護リングのすぐ外側において通路に配置されたＯリングとを含み、これにより、Ｏリングは圧縮され、防護リング装置をさらに通路内へチャンバ内部に向かって周囲において弾性的に付勢し、これにより、チャンバ内部からＯリングへの反応活性種の通過を制限する。
【００１３】
開示の別の態様において、チャンバは、シール面を有する第１チャンバ部分を含む。第２のチャンバ部分は、第１のチャンバ部分のシール面から鋭角に配置されたテーパ面を有する。腐食バリヤは、シール面とテーパ面とに当て付けられて配置されている。Ｏリングは、シール面に当て付けられて配置されており、腐食バリヤに付勢力を加えるために第１及び第２のチャンバ部分によって支持されており、これにより、腐食バリヤはシール面とテーパ面とに同時に係合する。Ｏリングにとって腐食性である腐食種は、腐食バリヤに対してＯリングとは反対側において配置されている。
【００１４】
開示のさらに別の態様において、Ｏリングシール装置のための腐食バリヤ及び関連した方法が記載されている。装置は環状の構成を有しており、この環状の構成は、（ｉ）第１チャンバ部分のシール面上に配置される第１の表面領域、（ｉｉ）シール面に対して鋭角に配置された第２チャンバ部分のテーパ面に対して配置される第２の表面領域、（ｉｉｉ）腐食バリヤが同時に鋭角を横切ってシール面及びテーパ面に係合しかつ腐食バリヤが、反応活性種が隣接するＯリングに到達するのを遅らせるように、弾性的な付勢力に応答して、環状の構成を変化させることを提供するために形成されるように、Ｏリングからの付勢力を受容する第３の表面領域を形成している。１つの特徴において、腐食バリヤは弾性材料を使用して形成されている。別の特徴において、腐食バリヤは、弾性的な付勢力に関して実質的に剛性でありかつ、腐食バリヤの環状の移動を提供するために付勢力の変化に応じて変化する幅を有する間隙を形成する材料を使用して形成されている。さらに別の特徴において、間隙は、間隙を通る反応活性種のための延長した通路を提供する、腐食バリヤを通る方向で見た傾斜切断部として形成されている。
【００１５】
上述の典型的な態様及び実施形態に加え、別の態様及び実施形態が、図面を参照することによって及び以下の説明を検討することによって明らかになるであろう。
【００１６】
図面の簡単な説明
本開示は、以下に簡単に説明される図面に関連した以下の詳細な説明を参照することにより理解される。
【００１７】
図１ａは、本発明に従って構成されたシール装置を有するチャンバ装置を正面で示す概略的な断面図である。
【００１８】
図１ｂは、三角形の腐食バリヤと共にＯリングを示す、図１ａの実施形態におけるシール領域のさらに拡大された概略図である。
【００１９】
図２は、シール装置における円形の腐食バリヤを備えたＯリングを示す別の実施形態の断面図である。
【００２０】
図３は、シール装置における三角形の腐食バリヤを備えたＯリングを示すさらに別の実施形態の断面図である。
【００２１】
図４は、グランド又は面シールにおける三角形の腐食バリヤを備えたＯリングを示すさらに別の実施形態の断面図である。
【００２２】
図５は、２片腐食バリヤ装置を示す実施形態の断面図である。
【００２３】
図６は、ここではその構造に関する別の詳細を示すために示された、図１ａ及び１ｂの腐食バリヤの側面図である。
【００２４】
図７ａ〜ｃは、ここではＯリングに対する反応活性種の潜在的な不都合な効果を示すために示された、Ｏリングを使用した従来のシール装置の平面断面図である。
【００２５】
詳細な説明
以下の説明は、当業者が発明を形成及び使用することを可能にするために示され、特許出願及びその要求に関連して提供される。記載された実施形態に対する様々な変更は当業者に容易に明らかになり、ここでの一般的原理はその他の実施形態に適用されることができる。したがって、本発明は、示された実施形態に制限されることが意図されるのではなく、添付された請求項の範囲内で定義されるような、択一例、変更例及び均等物を含む、ここに記載された原理及び特徴と一致した最も広い範囲に一致させられる。図面は実寸ではなく、該当する特徴を最もよく示すと考えられる形式で本質的に概略的である。さらに、同じ参照符号は、この開示を通じて、実用的である場合にはいつでも、同じ構成部材に適用される。例えば、上／下、右／左、前／後等の説明的な用語は、図面に提供される様々な観点に関して、読み手の理解を高める目的で採用されており、制限するものであることは全く意図されていない。
【００２６】
注意はここですぐに様々な図面に向けられ、これらの図面において同じ参照符号は、実用的な場合はいつでも同じ構成部材に当てはまるように使用されている。図１ａは、参照符号５０によって概略的に示されているチャンバ装置を示す正面における断面図である。チャンバ装置５０はシール装置１００を使用している。シール装置はＯリング１０２を有しており、このＯリングは、環状の構成を有する腐食バリヤ又は防護リング１０４に隣接して位置決めされており、この例においては、三角形の断面を有している。チャンバ装置は、第１チャンバ部分１０６と第２チャンバ部分１０８とを使用してシール装置１００を支持している。第１チャンバ部分は、腐食バリヤ１０４及びＯリング１０２の環状の構成によって取り囲まれるように、概して円筒状であることができる。第２チャンバ部分１０８は、この例において、第１チャンバ部材１１０ａと第２チャンバ部材１１０ｂとを含んでおり、第２チャンバ部材は、あらゆる適切な形式で第１チャンバ部材１１０ａに取付け可能である。第１チャンバ部分及び第２チャンバ部分は、シール装置１００を支持する目的で、係合した位置に示されている。例示された構成は典型的であり、あらゆる適切なチャンバ構成が使用されることができる。
【００２７】
ここで、図１ａに関連した図１ｂを参照すると、図１ｂは、チャンバ装置５０内のシール装置１００の領域の拡大された部分的に切り取られた図を、シール装置の構造の別の詳細を示すために提供している。Ｏリング１０２及び腐食バリヤ１０４は第１チャンバ部分１０６のシール面１１２と接触している。腐食バリヤ１０４は、第２のチャンバ部分１０８のテーパ面１１４とも接触している。第２チャンバ部材１１０ｂの付勢面１１６はＯリング１０２に対して押し付けられ、腐食バリヤ１０４に対して合力ベクトル１１８を提供する。この開示を通じて腐食バリヤは同じ意味で防護リング、又はＯリングガード又は腐食バリヤと呼ばれる。腐食種３２はこれにより、Ｏリング１０２に接触することが制限される。第１チャンバ部分１０６と第２チャンバ部分１０８とは、図示された係合した位置に組み立てられると、相俟って通路１２６を形成し、この通路は有利には回り道を形成するが、このような回り道は要求条件ではない。係合した位置において、第１チャンバ部分及び第２チャンバ部分は協働してＯリング１０２を圧縮し、これにより、シール装置１００をさらに通路１２６内へチャンバ装置の内部１２７に接近する方向に周囲において弾性的に付勢する。すなわち、圧縮されると、ＯリングはＯリングガードに対して押し付けられ、Ｏリンググランドと反応性プロセス環境との間の通路又は接続部の断面積が最小限にされる。このことは、反応活性種がＯリンググランド内へ拡散することができる速度を最小限にするという有利な効果を有する。なぜならば、Ｏリンググランドをチャンバ内部に接続するチャネル／通路の寸法が減少させられるからである。反応活性種がＯリンググランド内へ拡散することができる速度を減速させることは、反応活性種がＯリングを劣化させる速度を減少させ、これにより、Ｏリングが所要のシール結合性を提供することができると予測される期間を延長させる。
【００２８】
図１ｂを参照すると、通路１２６はＯリングの位置からチャンバ内部にまで延びている。Ｏリングによって防護リングシール装置に提供される付勢合力は、装置を通路内へ押し込むために働く。通路は、Ｏリングからチャンバ内部に到達するまでに、様々な形状を採ることができる。通路の形状における全てのこのような変更は、Ｏリングによって提供される付勢合力に応じて第１チャンバ部分と第２チャンバ部分との間に防護リングをくさび式に係合又は捕捉させるように通路が狭まっている限りは本明細書の開示範囲に含まれると考えられる。この実施において、防護リングの適切な断面形状は、円形、楕円形、三角形を含むがこれらに限定されることはない。
【００２９】
シール装置１００は慣用のＯリングシール装置の代わりに使用されることができる。典型的な用途は、製造プロセシング機器、特に真空又は圧力チャンバ等の容器を含む。シール装置１００は、液密又は気密シールが要求されるあらゆる個所において使用されることができる。用途は、特に、製造機器、消費者製品、自動車、航空宇宙、高／低温度、高圧、真空用途を含む。
【００３０】
再び図１ａ及び１ｂを参照すると、シール装置１００によって提供されるシールは概して、通路１２６を横切るＯリング１０２によって行われている。シールの両側における圧力差は、第１チャンバ部分１０６と第２チャンバ部分１０８とに対するＯリング１０２のシーリングによって維持されている。反応性ガス又は液体等の、シールの内側における潜在的に腐食性の種３２は、腐食バリヤ１０４によって、Ｏリング１０２に接触することを妨げられている。
【００３１】
Ｏリング１０２は、シールの外側とチャンバ内側１２２との間のシールに作用するために十分な材料から構成されている。Ｏリング１０２はあらゆるタイプの適切な材料から製造されることができる。幾つかの場合には、材料は、極めて良好なシールを提供するように選択されることができるが、シールのチャンバ内側における材料と僅かに又は極めて反応性であることができる。別の場合には、材料は、十分なシーリング性能を提供するように選択されることができるが、耐腐食性を有することができる。予測される耐用寿命、Ｏリングを検査及び交換することの容易性、材料コスト及び入手可能性、又はあらゆるその他の要因を含む多くの要因が材料選択を決定する。
【００３２】
腐食バリヤ／防護リング１０４は、シールのチャンバ内側に存在することができるどのような反応活性種に対しても非反応性であることが知られる材料から製造されることができる。腐食バリヤ１０４は、腐食種の分子がＯリング１０２に接触することを機械的に妨害するプラグとして働く。幾つかの実施形態において、腐食バリヤ１０４は、あらゆる腐食種に対して中和化学反応を行う材料から製造されることができる。このような場合、あらゆる反応活性種は、腐食種を中和させることに加え、Ｏリング１０２に接触することを実質的に機械的に妨害される。
【００３３】
その他の実施形態において、腐食バリヤ１０４は化学的に中性の材料から製造されることができる。このような実施形態は、腐食バリヤ１０４と反応活性種との化学反応が、シールされたチャンバ内に望ましくない汚染物を導入する場合に有効である。
【００３４】
腐食バリヤ１０４はシール面１１２とテーパ面１１４との間において圧搾される。テーパ面１１４は、シール面１１２に対して鋭角を成している。
【００３５】
材料選択に依存して、腐食バリヤ１０４は、第１チャンバ部分１０６と第２チャンバ部分１０８との間においてシールの第２の側１２２の方向に押し出される傾向を有する。テーパ面１１４が、シール面１１２に対して垂直に近くなるように形成されている場合、腐食バリヤ１０４は、幾つかの状況において押し出されにくくなる。しかしながら、腐食バリヤ１０４によってシール面１１２に対して提供される力は小さくなる。テーパ面１１４がシール面１１２に対してより鋭角に角度付けられていると、腐食バリヤは押し出されやすくなるが、シール面１１２に加えられる力もより大きくなる。腐食バリヤ１０４は、弾性材料から製造されており、装着時及びＯリング１０２から力１１８が加えられる前に腐食バリヤ１０４がシールの第２の側１２２に向かって付勢されるように寸法決めされている。
【００３６】
適切なシールのための適当なジオメトリの選択は、Ｏリング１０２の組成、Ｏリングへの係合力の大きさ、腐食バリヤ１０４の組成、様々なチャンバ部分の公差、シールの様々な構成部材に提供される所望の力、及びその他の要因に依存することができる。
【００３７】
この実施例では、腐食バリヤ１０４の断面形状は実質的に三角形である。幾つかの実施形態において、腐食バリヤ１０４は、二等辺三角形、直角三角形、あらゆるその他の三角形、矩形、正方形、円形、楕円形、菱形、及び同様のものを含むあらゆる形状であることができる。幾つかの実施形態において、腐食バリヤ１０４は、Ｏリング１０２に隣接して凹んだ側を有することができる。多くの場合に、腐食バリヤ１０４の面は、シール面１１２及びテーパ面１１４に対して実質的に平坦であるように位置決めされることができる。
【００３８】
"Ｏリング"の断面形状は、円形、矩形、楕円形、三角形、Ｘ字形、又はその他の所望のあらゆる形状を含むあらゆる形状であることができる。
【００３９】
第２のチャンバ部材１１０ｂは、面１１６から付勢力を提供するのに十分なあらゆる機械的な方法によって取り付けられている。この全体的な開示を考慮して、様々なジオメトリ及び機構が当業者によって使用されることができる。
【００４０】
幾つかの用途において、様々な構成部材の間の移動を許容しかつシールを行うのを助けるために、Ｏリング１０２及び腐食バリヤ１０４の面において真空グリース又はその他の潤滑剤が使用されることができる。その他の用途、例えばシールの両側における圧力差が小さい場合、高温が存在する場合、真空グリース又は潤滑剤がチャンバを汚染するおそれがある場合、又はその他の理由の場合は、真空グリース又は潤滑剤を必要としない。
【００４１】
腐食種３２は、Ｏリング１０２の性能を劣化させるあらゆるタイプの作用物質であることができる。例えば、腐食種は、化学的に反応性のラジカル、イオン、中性、又はこれらの組合せを含むことができる。さらに、高エネルギ又は高密度光子はＯリング性能を劣化させる。高い熱エネルギ及び様々な放射源は、Ｏリング性能を劣化させかつＯリング故障を促進する潜在的に腐食性の種の別の例である。
【００４２】
図２は、腐食バリヤを含むシール装置の別の実施形態２００を断面図で示している。Ｏリング２０２は腐食バリヤ２０４に隣接している。シールは第１チャンバ部分２０６と第２チャンバ部分２０８との間に含まれている。第２チャンバ部分２０８は、第１チャンバ部材２１０ａと第２チャンバ部材２１０ｂとから形成されており、第２チャンバ部材２１０ｂがＯリング２０２、ひいては腐食バリヤ２０４を組立て時に付勢する。
【００４３】
Ｏリング２０２及び腐食バリヤ２０４は第１チャンバ部分２０６のシール面２１２と接触している。腐食バリヤ２０４は第２チャンバ部分２０８のテーパ面２１４とも接触している。第３チャンバ部分２１０の付勢面２１６はＯリング２０２に対して押し付けられ、腐食バリヤ２０４に対して合力ベクトル２１８を提供している。腐食種２２４は、腐食バリヤ２０４により、Ｏリング２０２に接触することを妨げられている。反応活性種２２４は、バリヤ２０４からチャンバ内部まで延びた通路２２６の部分に存在している。
【００４４】
シーリング実施形態２００は、実質的に円形の腐食バリヤ２０４の使用の例である。腐食バリヤ２０４の断面形状はあらゆる形状であることができる。柔軟又は圧縮可能な材料から腐食バリヤ２０４が製造されている実施形態において、円形は有効である。Ｏリング２０２によって提供される力２１８を受けると腐食バリヤ２０４は少なくともある程度まで変形し、チャンバ内部に向かって通路内へ押し込まれるながら、腐食バリヤが接触している面に対して平坦化する。幾つかの場合には、腐食バリヤ２０４は、第２チャンバ部材２１０ｂが取り外されると元の形状に戻るように弾性的に変形することができる。別の場合には、腐食バリヤ２０４は、塑性変形しかつ元の形状に戻らないように選択されることができる。
【００４５】
幾つかのシール実施形態において、第２チャンバ部材２１０ｂが完全に係合させられるとＯリング２０２は永久に変形させられることができる。この状況において、Ｏリング２０２は再利用可能であるか又は再利用可能ではないことができる。他の実施形態において、Ｏリング２０２は、僅かに変形されるだけであるか、又は実質的に変形されず、Ｏリング２０２は再利用されることができる。
【００４６】
実施形態２００は、テーパ面２１４が三角形を形成しているシール設計を示している。このような設計は、時には腐食バリヤが存在しないＯリングシールにおいて使用されるが、これらの設計は、Ｏリングを比較的自由に反応活性種に曝す従来の設計に伴う同じ問題を共有する。Ｏリング２０２及び腐食バリヤ２０４を支持する通路は、ここに開示された説明を依然として適用しながら多くの択一的な形状を有して構成されることができる。
【００４７】
図３は、腐食バリヤを含むシーリング構成の別の実施形態３００を断面図で示している。この実施例において、Ｏリング３０２は腐食バリヤ３０４に隣接して配置されている。シールは、第１チャンバ部分３０６と第２チャンバ部分３０８との間に収容されている。第２チャンバ部分３０８は第１チャンバ部材３１０ａと第２チャンバ部材３１０ｂとから形成されており、第２チャンバ部材は、組み立てられるとＯリング３０２及び腐食バリヤ３０４を機械的に付勢する。
【００４８】
Ｏリング３０２及び腐食バリヤ３０４は第１チャンバ部分３０６のシール面３１２と接触している。腐食バリヤ３０４は第２チャンバ部分３０８のテーパ面３１４とも接触している。第２チャンバ部材３１０ｂの付勢面３１６はＯリング３０２に対して押し付けられ、腐食バリヤ３０４に対して合力ベクトル３１８を提供する。Ｏリング３０２は第２の側３２２から通路の第１の側３２０をシールする。腐食種３２４は、腐食バリヤ３０４により、Ｏリング３０２と接触することを制限されるか又は遅らされる。第１チャンバ部分３０６と第２チャンバ部分３０８とが図示された係合位置にある場合チャンバ通路３２６が形成される。
【００４９】
実施形態３００は、三角形のキャビティと三角形の腐食バリヤ３０４との組合せを示している。幾つかの実施形態において、腐食バリヤ３０４は、２つ以上の直線的な側を有する四角形又はその他の形状に形成されることができる。このような腐食バリヤの側のうちの１つ又は２つ以上は、シール面３１２又はテーパ面３１４のうちの１つ以上に対して実質的に平行に向けられている。
【００５０】
図４は、腐食バリヤを備えた別のグランド又はシートタイプＯリングシールの断面図を示す実施形態４００を示している。Ｏリング４０２は腐食バリヤ４０４に隣接している。シールは第１チャンバ部分４０６と第２チャンバ部分４０８との間に含まれている。
【００５１】
Ｏリング４０２及び腐食バリヤ４０４は第１チャンバ部分４０６のシール面４１０と接触している。腐食バリヤ４０４は第２チャンバ部分４０８のテーパ面４１２にも接触している。高圧側４１６と低圧側４１８との圧力差により、Ｏリングに作用する圧力４２０を生ぜしめ、腐食バリヤ４０４に力４２２を加える。腐食種４２０は、腐食バリヤ４０４により、少なくともＯリング４０２に到達することを阻止されている。第１チャンバ部分４０６と第２チャンバ部分４０８とが図示の係合位置にある場合に通路４２６が形成されている。Ｏリング４０２は、シールの高圧側４１６と低圧側４１８との圧力差によって作用される。幾つかの場合、この実施形態４００は、摺動又は回転シールのために使用されることができる。
【００５２】
図５は、腐食バリヤ装置が２つの部分を含むことを除いて、図１ａ及び１ｂの実施形態と実質的に同じシール実施形態５００を断面図で示している。特に、内側Ｏリングガード部材１０４ａ及び外側Ｏリングガード部材１０４ｂが設けられている。内側部材１０４ａは、全体的な環状構成を有しており、三角形断面を有する、図１ａ及び１ｂに関して説明されたように通路１２６に配置されている。外側防護リング部材１０４ｂは同様に環状構成を有しているが矩形の断面を備えており、内側防護リング部材１０４ａとＯリング１０２との間に捕捉されている。Ｏリングを腐食バリヤ装置に対して圧縮するために、係合位置においてチャンバ装置の２つの部分の間にＯリング１０２を捕捉することによって弾性的な付勢力が生ぜしめられる。Ｏリングからチャンバ内部まで延びた通路１２６に内側防護リング１０４ａがくさび式に押し込まれるので、Ｏリングから外側防護リング部材を介して内側防護リング部材に弾性的な付勢力Ｆ’が提供され、２つの反応合力Ｆ１及びＦ２に分散される。第１の合力Ｆ１は、内側防護リング部材の接触面によって係合される傾斜した第１チャンバ面（又はチャンバ付勢面）１１４に対して垂直である。第２の合力Ｆ２は、図示における制限により内側防護リング１０４ａに関してずらされて示されているが、内側防護リング部材によって面１１２に提供されると理解される。上述のように、傾斜したチャンバ面１１４は、択一的な構成を有する内側防護リング部材と協働することができ、依然として、内側防護リング部材を、チャンバ内部にまで延びた狭まる通路内へくさび状に嵌合させている。この開示と一致するあらゆる変更は本発明の範囲に含まれると考えられる。内側防護リング１０４ａの近傍におけるＯリングシールグランドの狭まった部分における斜面は、Ｏリンググランドの付勢面１１４とシール面１１２との間に形成されている。この角度は、弾性的な付勢力を調整する場合に使用するために変更されることができる。すなわち、角度を減じることは、狭まった通路内へのＯリングガードの進入を容易にする。外側部材１０４ｂは、圧縮時にＯリング１０２と防護リング装置との間の移動を許容し、適切なシールを保証する。幾つかの場合には、外側部材１０４ｂは腐食バリヤ１０４を所定の位置に保持するための付勢力を提供する。外側部材１０４ｂは、Ｏリング１０２又は腐食バリヤ１０４ａのうちの一方に付着しかつＯリング又は腐食バリヤのうちの他方と摺動可能に係合するように構成されることができる。
【００５３】
ここに記載されたあらゆる実施形態において、Ｏリングガード及びあらゆる関連した構成部材は、圧縮されたＯリングによってこれらに加えられる力が、Ｏリングガードが、Ｏリンググランドと反応プロセス環境との間の接続チャネルを最小限にする位置に保持又は移動させられることを保証するのに十分であるように、構成されているべきである。付勢力の特性を調整するための前記能力は、公称付勢力が利用可能であるという理由だけでなく、例えば石英チャンバ構成部材等のかなり脆性のチャンバ構成部材に付勢力が加えられることができるので重要であり、付勢力が、環状の傾斜したチャンバ面の角度を調整することによって付勢力を減じることが有利である。もちろん、くさび形のガード部材が使用される場合、環状の傾斜したチャンバ面におけるあらゆる変化を補償するために、ガード部材の環状接触面の幅も調整されることができる。
【００５４】
図６は、図１ａにおける矢印６００によって示された方向で、概して、環状のＯリングガードを見た場合の、図１ａのＯリングガード１０４のエッジ図であり、図を分かり易くするためにその他の構成部材は排除されている。Ｏリングガード１０４は１対の対向した端部６０２及び６０４を有しており、これらの端部の間には傾斜した間隙６０６が形成されている。狭まった通路内への防護リングの移動は、防護リングの僅かな半径方向圧縮を生ぜしめる。実質的に剛性の防護リングに公称付勢力が加えられると、中実の環状リングは、第１及び第２のチャンバ部分の面に適切に係合しない。したがって、間隙６０６は、例えば、隣接するＯリングによって生ぜしめられた弾性的な付勢力等の、かなり公称の力にさえも応答してＯリングガードの環状構成のたわみを提供し、重なり合った端部６０２及び６０４は、Ｏリングに到達することを試みる場合に概して遠回りとなる反応活性種のための通路６０８を生ぜしめるために働く。すなわち、すなわち、リングの上側エッジ６１０に対して概して垂直な方向で間隙６０２に進入する反応活性種にとって、間隙６０６における移動を維持するために、反応活性種による折れ曲がり又は非線形経路が要求される。これに関して、反応活性種は概して直線に沿って移動する。すなわち、遠回りとなる経路は、反応活性種の移動を制限する場合に有効である。
【００５５】
図５に示したように、内側Ｏリングガード部材及び外側Ｏリングガード部材が使用されている場合には、それぞれのＯリングガード部材が、傾斜した間隙を有することができる。間隙は、より一層遠回りな経路を提供するために、チャンバを取り囲むそれらの相対的な位置に関してずらされていることができる。１つの択一的な実施は、外側防護リング部材１０４ｂとして中実なアルミニウムリングを使用し、これによって、十分な柔軟性を提供し、図６に示されたような傾斜した間隙を備えた内側ガード部材１０４ａを使用する。さらに、極めて柔軟な材料でさえも、望まれるならば、傾斜した間隙が形成されることができる。傾斜した間隙に関して、対面した端部が互いに物理的に接触している必要はなく、また、これらの端部の間に形成された間隙が、Ｏリングから受け取られる弾性的な付勢力の大きさに基づき、関連する材料特性に関連して変化する必要はない。しかしながら、弾性的な付勢力に応答して、端部がちょうど接触するならば有利である。再び、Ｏリングガードの重なり合う傾斜した端部は、Ｏリングガードの端部の位置においてＯリンググランド内に拡散するあらゆる反応活性種のための延長した経路を提供するために働く。この重なり合いは、イオン化された反応活性種がＯリングに達するのをより困難にもする。なぜならば、イオン化された種は、入り組んだ経路を通過しにくいからである。傾斜した間隙は必須条件ではなく、四角い端部を含むあらゆる適切な端部形状がＯリングガードにおいて使用されてよい。さらに、セグメント状のＯリングガードに複数の間隙が設けられることもできる。
【００５６】
再び図６を参照すると、間隙６は、装着時にボス、グランド又はその他の障害物の周囲に嵌合するように防護リング／腐食バリヤ１０４が拡開されることを可能にする。さらに、間隙は、腐食バリヤ１０４の直径と、腐食バリヤが配置されているあらゆる溝との間の僅かな公差が吸収されることを可能にする。腐食バリヤ１０４が溝よりも僅かに大きいか又は小さいならば、接合面６０４及び６０６は接触しかつ僅かに変位するが、接合部におけるＯリングの性能に影響することはない。この実施例は、装着時に障害物上で伸長するように十分に柔軟ではない腐食バリヤに適用されることができる。腐食バリヤが柔軟である場合には、腐食バリヤの長い長さは、所定の長さに切断され、説明されたように装着される。
【００５７】
腐食バリヤ１０４は環状であるが、形状は、ここに説明されたあらゆる実施形態の場合のように同様に、Ｏリングシールが使用されることができるあらゆる形状であることができる。例えば、実質的に正方形の開口がＯリングを用いてシールされることができ、通常はこのような装着は、Ｏリング特性に基づいて特定の半径を備えて製造された角を含むことができる。別の例において、蛇行状及びその他の形状のＯリングシールは、合致するように成形された腐食バリヤを有することができる。
【００５８】
幾つかの実施形態において、第１チャンバ部分は第２チャンバ部分とは異なる材料から形成されることができる。例えば、製造プロセシングチャンバは、石英から製造された第１チャンバ部分を有することができるのに対し、第２チャンバ部分はステンレス鋼から製造されている。このような場合、腐食バリヤは２つのチャンバ部分に対して異なる接触面積を有するように選択されることができる。上述のように、腐食バリヤは、与えられた荷重を拡散させるために、脆性の石英面に対して大きな接触面積を有し、例えばステンレス鋼面等のより強度の高い面に対してはより小さな接触面積を有するように選択されることができる。
【００５９】
本発明は、固定シールにおいて使用されるＯリングを、Ｏリング故障を生ぜしめる様々な劣化の仕組みから保護する。本発明を使用することによりＯリングの寿命が延長される。Ｏリングの寿命が延長させることにより、顕著な利点が得られ、すなわち、製品の製造コストが低下し、製造ツールの停止時間及びメンテナンスが減少し、製品コストが低下し、製品の性能及び寿命が改善される。さらに、本発明を使用することにより、より高い熱的作動限界をも有することができる、外来のものが少ない、より安価の材料から製造されたＯリングを使用することができる。
【００６０】
発明の前記説明は、例示及び説明のために示された。前記説明は、網羅的でなく、発明を、開示された正確な形態に限定しようとするものではなく、上の開示を考慮することによりその他の変化態様が可能である。前記物理的実施形態のそれぞれは、特定の個々の向きを有する様々な構成部材を用いて例示されたが、本発明は、様々な位置及び相互の向きに配置された様々な構成部材を備えた様々な特定の構成を採用することができる。さらに、ここに記載された方法は、例えば、方法を構成する様々な順序を変更することによって、無制限に変更されることができる。したがって、この実施形態は、例示的であって制限的でないと考慮されるべきであり、本発明は、ここに示された詳細に限定されるべきではなく、添付の請求項の範囲内で変更されることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１Ａ】本発明に従って構成されたシール装置を有するチャンバ装置を正面で示す概略的な断面図である。
【図１Ｂ】三角形の腐食バリヤを備えたＯリングを示す、図１ａの実施形態におけるシール領域のさらに拡大された概略図である。
【図２】シール装置における円形の腐食バリヤを備えたＯリングを示す別の実施形態の断面図である。
【図３】シール装置における三角形の腐食バリヤを備えたＯリングを示すさらに別の実施形態の断面図である。
【図４】グランド又は面シールにおける三角形の腐食バリヤを備えたＯリングを示すさらに別の実施形態の断面図である。
【図５】２片腐食バリヤ装置を示す実施形態の断面図である。
【図６】ここではその構造に関する別の詳細を示すために示された、図１ａ及び１ｂの腐食バリヤの側面図である。
【図７】ここではＯリングに対する反応活性種の潜在的な不都合な効果を示すために示された、Ｏリングを使用した従来のシール装置の平面断面図である。
【符号の説明】
【００６２】
５０  チャンバ装置、  １００  シール装置、  １０２，２０２，３０２，４０２  Ｏリング、  １０４，２０４，３０４，４０４  腐食バリヤ又は防護リング、  １０６，２０６，３０６，４０６  第１チャンバ部分、  １０８，２０８，３０８，４０８  第２チャンバ部分、  １１０ａ，２１０ａ，３１０ａ  第１チャンバ部材、  １１０ｂ，２１０ｂ，３１０ｂ  第２チャンバ部材、  １１２，２１２，３１２  シール面、  １１４，２１４，３１４  テーパ面、  １１６，２１６，３１６  付勢面、  １１８，２１８，３１８  合力ベクトル、  １２６，２２６，３２６  通路、  ３２４  腐食種、  ４１０  シール面、  ４１２  シール面、  ４１６  高圧側、  ４１８  低圧側、  ４２０  圧力、  ４２２  力、  ６０２，６０４  端部、  ６０６  傾斜間隙、  ６０８  通路、  ６１０  上側エッジ
【図１ａ】
2009500580.tif 000003
【図１ｂ】
2009500580.tif 000004
【図２】
2009500580.tif 000005
【図３】
2009500580.tif 000006
【図４】
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【図５】
2009500580.tif 000008
【図６】
2009500580.tif 000009
【図７】
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