(57)【要約】光感知部、光感知部と連携される第一及び第二集積ゲート、第一及び第二センスノード、第一集積ゲートと第一センスノード間に配置される第一出力ゲート、及び第二集積ゲートと第二センスノード間に配置される第二出力ゲートを備えて構成される飛行時間イメージャピクセルを提供する。本ピクセルの操作方法は、ａ）光感知部を露光させて光学的に電荷担体を生成させる工程、ｂ）第一・第二集積ゲート下方において交互に電荷担体を集める工程、ｃ）第一・第二出力ゲート及び第一・第二集積ゲートの電圧を調整して電荷担体の第一部分を第一集積ゲートから第一センスノード中へ移動させ、かつ電荷担体の第二部分を第二集積ゲートから第二センスノード中へ移動させる工程、ｄ）電荷担体の第一及び第二部分に基づいて飛行時間情報を算出する工程、ｅ）第一及び／または第二集積ゲートのそれぞれが飽和に近いか飽和状態にある場合、一定量の電荷担体を第一及び／または第二集積ゲートから第一及び／または第二センスノード中へ移動させるために少なくとも一つの電圧を調整する工程、及びｆ）一定閾値を超える電圧変化が第一及び／または第二センスノード中に引き起こされるか否かを検査する工程から構成される。
2009503965.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光感知部、光感知部と連携される第一及び第二集積ゲート、第一及び第二センスノード、第一集積ゲートと第一センスノード間に配置される第一出力ゲート、及び第二集積ゲートと第二センスノード間に配置される第二出力ゲートを備えて構成される飛行時間イメージャピクセルの操作方法であって、
ａ）光感知部を露光させて光学的に電荷担体を生成させる工程、
ｂ）第一及び第二集積ゲート下方において交互に電荷担体を集める工程、
ｃ）第一・第二出力ゲート及び第一・第二集積ゲートの電圧を調整して電荷担体の第一部分を第一集積ゲートから第一センスノード中へ移動させ、かつ電荷担体の第二部分を第二集積ゲートから第二センスノード上へ移動させる工程、
ｄ）電荷担体の第一及び第二部分に基づいて飛行時間情報を算出する工程、
ｅ）第一及び／または第二集積ゲートのそれぞれが飽和に近いか飽和状態にある場合、一定量の電荷担体を第一及び／または第二集積ゲートから第一及び／または第二センスノード上へ移動させるために少なくとも一つの電圧を調整する工程、及び
ｆ）一定閾値を超える電圧変化が第一及び／または第二センスノード中おいてに引き起こされたか否かを検査する工程から構成される、
操作方法。
【請求項２】
工程ｅ）において、第一出力ゲートの電圧が、第一集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にあるならば、一定量の電荷担体が第一センスノード上へ移動されるように選定される限定電圧値に調整されることを特徴とする請求項１項記載の方法。
【請求項３】
工程ｅ）において、第二出力ゲートの電圧が、第二集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にあるならば、一定量の電荷担体が第二センスノード上へ移動されるように選定される限定電圧値に調整されることを特徴とする請求項１項または２項記載の方法。
【請求項４】
前記限定電圧値が、第一集積ゲートがほぼ飽和状態にあるならば、第一センスノードをほぼ満たすかあるいは溢れるまで満たせる電荷担体量が第一センスノード上へ移動されるように選定される電圧値であることを特徴とする請求項２項または３項記載の方法。
【請求項５】
工程ｅ）において、第一集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にあるならば、第一集積ゲートの電圧が一定量の電荷担体が第一センスノード上へ移動されるように選定される所定電圧値に調整されることを特徴とする請求項１項記載の方法。
【請求項６】
工程ｅ）において、第二集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にあるならば、第二集積ゲートの電圧が一定量の電荷担体が第二センスノード上へ移動されるように選定される所定電圧値に調整されることを特徴とする請求項１項または５項記載の方法。
【請求項７】
前記一定電圧値が、第一集積ゲートがほぼ飽和状態にあるならば、第一センスノードをほぼ満たすかあるいは溢れるまで満たせる電荷担体量が第一センスノード上へ移動されるように選定される電圧値であることを特徴とする請求項５項または６項記載の方法。
【請求項８】
工程ｅ）及びｆ）が工程ｂ）と工程ｃ）の間において実施されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
工程ｅ）及びｆ）が工程ｃ）の後に実施され、前記電荷担体部分が工程ｅ）の前にセンスノードから除去され、及び第一及び第二集積ゲートの電圧が工程ｅ）の前に当初の電圧値に再調整されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は広くは飛行時間（ｔｉｍｅ−ｏｆ−ｆｌｉｇｔ）イメージャ、より詳細には飛行時間イメージャピクセルの操作方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
飛行時間距離測定あるいは撮像システムでは、変調光源を用いた場の能動的照明が利用される。飛行時間イメージャのピクセルは変調光源と同期化され、一定変調期間内に異なる集積ゲート下に電荷を蓄積する。電荷は集積ゲートそれぞれの下方に異なる時間間隔で集められる。ピクセルの構成方式によって上記時間間隔を異ならせ、あるいは部分的に重複させることが可能である。ピクセルクロックと検出変調光間の相対位相差は集積ゲート下方における電荷分布から測定可能である。
【０００３】
飛行時間イメージャピクセルの有利な読出し方法においては、蓄積された電荷の小部分のみが考慮される。かかる方法を実現するため、集積ゲートにセンスノードが関連づけられる。測定に際しては、センスノードが飛行時間情報を計算するために十分な電荷を取り込むまで、集積ゲートから対応センスノードへ電荷担体が運ばれる。電荷担体の移動は、確実な測定条件が整うと直ぐに停止される。
【０００４】
公知の「最小電荷移動」方法における主たる欠点は集積ゲートが気付かない状態で飽和状態となることである。ピクセルの露光後には飽和された集積ゲートがあると考えられる。「最小電荷移動」方法を用いる場合、電荷担体はその集積ゲートから対応センスノード中へと移動される。センスノードが電荷で完全に満たされる前に電荷が確実な測定閾値まで達すると、電荷の移動は通常停止される。その結果として算出飛行時間が不正確となるが、それを認識することはできない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、集積ゲートの飽和を検出することが可能な改良されたイメージャピクセル操作方法を提供することを目的とする。本目的は請求項１項記載の方法によって達成される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る飛行時間イメージャピクセルは、光感知部、光感知部と連携された第一及び第二集積ゲート、第一及び第二センスノード、第一集積ゲートと第一センスノード間に配置される第一出力ゲート、及び第二集積ゲートと第二センスノード間に配置される第二出力ゲートを有して構成される。上記ピクセルの操作方法は、
ａ）光感知部を露光させて光学的に電荷担体を生成させる工程、
ｂ）第一及び第二集積ゲート下方で交互に電荷担体を集める工程、
ｃ）第一・第二出力ゲート及び第一・第二集積ゲートの電圧を調整することにより、電荷担体の第一部分を第一集積ゲートから第一センスノード中へ移動させ、また電荷担体の第二部分を第二集積ゲートから第二センスノード中へ移動させる工程、及び
ｄ）前記電荷担体の第一及び第二部分に基づいて飛行時間情報を算出する工程から構成される。
本発明の重要な観点に従って、上記方法にはさらに、
ｅ）第一及び／または第二集積ゲートのそれぞれが飽和状態に近いか、あるいは飽和状態にある場合、少なくとも一方の電圧を調整して一定量の電荷担体を第一及び／または第二集積ゲートから第一及び／または第二センスノード中へ移動させる工程、及び
ｆ）上記移動によって一定閾値を超える電圧変化が第一及び／または第二センスノード中に引き起こされたか否かを検査する工程が含まれる。
【０００７】
電荷担体は、ピクセルの視野内のいずれかへ散乱されている変調光の影響下で前記感知部において生成される。これら電荷担体は次いで第一あるいは第二集積ゲートへ交互に偏向され、それらゲート中に集められる。このような交互偏向の頻度は好ましくは光源の変調頻度に一致する。ピクセルには１以上の感知部域の他、さらに２以上の集積ゲートから構成可能なことが理解されよう。例えば、２つの感知部域の一方を第一及び第二集積ゲートと連携させ、他方を第三及び第四集積ゲートと連携させることが可能である。
【０００８】
本操作方法には集積ゲートから対応センスノードへの「最小電荷移動」が含まれることが理解されよう。第一及び第二出力ゲートにおける電圧は（電荷担体のタイプによって）増加あるいは減少し、それによって集積ゲートにおける電圧も減少あるいは増加する。その結果、電圧の調整中に、電荷担体は集積ゲートからセンスノードへと移動する。この電荷の移動は、移動電荷量が飛行時間情報の算出にとって適当量に達すると直ぐに停止される。電荷移動は電圧調整を停止することによって停止される。また、電圧をその当初電圧値まで戻すことも可能である。
【０００９】
本発明方法において集積ゲートの飽和が検知可能であることは当業者により十分認識されるところである。第一／第二集積ゲートの飽和を検知するため、第一／第二集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にある時に、一定量の電荷担体が第一／第二センスノード中へ移動される選定される限定値まで第一／第二出力ゲートの電圧を調整することが可能である。あるいは別法として、第一／第二集積ゲートの飽和を検知するため、第一／第二集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にある場合、一定量の電荷担体が第一／第二センスノード中へ移動されるように選定される一定値まで第一／第二集積ゲートの電圧を調整することが可能である。また、出力ゲート電圧の調整と対応集積ゲート電圧の調整を組み合わせることも可能である。その場合、出力ゲート電圧及び対応集積ゲート電圧の調整値は、好ましくは集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にある場合に一定量の電荷担体が対応センスノード中へ移動されるように選定される。
【００１０】
工程ｅ）の電圧調整によって集積ゲートから対応センスノードへの電荷移動を誘導し、それによってセンスノードにおける電圧変化をひき起こすことが可能である。集積ゲートが飽和へ近づけば近づくほど移動される電荷担体量は多くなるが、より重要なのはセンスノードにおける電圧変化である。集積ゲートが飽和に近いかあるいは飽和状態にあるかは、電圧変化が所定閾値を超えているかどうかによって判定される。この閾値は、飛行時間情報の確実な計算を可能とするためには高すぎると考えられる集積ゲート下方の蓄積電荷量がどれ位であるかによって、より高く、あるいはより低く設定可能である。
【００１１】
工程ｅ）及びｆ）による飽和検知を工程ｂ）と工程ｃ）の間で実施することが可能である。集積ゲートが飽和状態にあるか、あるいはそれに近い場合を想定する。電荷担体が集積ゲートから除去されていない限り、電荷担体を集積ゲートからセンスノードへ移動させてセンスノードにおける電圧変化をひき起こすためには比較的小さな電圧調整で十分である。当然のこととして、飽和が生じているかどうかを判定するために用いられるセンスノードにおける電圧変化は当然電荷担体の移動をひき起こす電圧調整と順応していなければならない。集積ゲートが飽和にない場合、集積ゲート電圧及び／または出力ゲート電圧を同様に調整しても少ない電荷担体のセンスノードへの移動しか誘導されない。従って、センスノードにおける電圧変化が所定閾値を超えることはなく、飽和は生じていないと結論することができる。最初に飽和を検知することの欠点は、「最小電荷移動」法を実施する前に電荷担体が集積ゲートから除去されるため、飛行時間情報にその影響が及ぶ可能性があることである。
【００１２】
しかしながら、工程ｅ）及びｆ）による飽和検知は好ましくは工程ｃ）の後において実施される。工程ｃ）において移動された電荷担体を工程ｅ）以前にセンスノードから取り除き、また第一及び／または第二集積ゲートの電圧を工程ｅ）以前に当初の電圧値へ再調整することが有利である。このような工程順とすることにより、工程ｃ）の結果が前に行われた電荷担体除去によって影響されない有利性が得られる。この場合、集積ゲートの飽和検知が行われる時には、電荷担体の一定部分が既に集積ゲートから除去されていることになる。好ましくは、飽和が生じているか否かを判定する際にこの点について考慮される。この問題の解決に適した方策は、工程ｅ）における電圧を、第一／第二集積ゲートが実質的に飽和状態であれば、第一／第二センスノードをほぼ満たしあるいは溢れるまで満たすことができる電荷担体量が第一／第二センスノードへ移動されるように選定される電圧値となるように調整することである。工程ｅ）において調整された電圧は第一及び／または第二出力ゲート電圧、あるいは第一及び／または第二集積ゲート電圧であり得るものである。出力ゲート電圧と対応集積ゲート電圧を組み合わせ調整することも可能である。実用場面においては、工程ａ）及びｂ）においては飽和は生じないこと、あるいは工程ｃ）においては既に十分量の電荷担体が集積ゲートから除去されていることから、工程ｅ）の実施中に集積ゲートは必ずしも飽和状態である必要はないことに注意しなければならない。電圧調整値は、集積ゲートがほぼ飽和される状況を想定した上で、一定量の電荷担体が対応センスノードへ移動されて該センスノードをほぼ満たすように選定される。飛行時間情報を測定するための電荷担体部分の移動は、センスノード上の電荷担体部分が飛行時間情報の測定にとって十分量に至った時に停止されている。この移動の停止は、センスノードが実質的に満たされる前に行われる。その結果、センスノードをほぼ満たすには十分とは言えない量の電荷担体が集積ゲートから引き出されている。工程ｅ）において電圧調整のために選定される電圧値が、第一／第二集積ゲートがほぼ飽和状態にある場合、第一／第二センスノードをほぼ満たすか、あるいは溢れるまで満たすことができる量の電荷担体が第一／第二センスノード中へ移動されるように選定されているならば、たとえ一定量の電荷担体が既に集積ゲートから引き出されていても、それに拘わらず一定量の電荷担体がセンスノード上へ移動されることが推定される。その際センスノードの電圧変化が所定の閾値を超えれば、飽和状態が検知される。工程ｄ）において算出された飛行時間情報はこのようにして拒絶される。工程ｅ）及びｆ）の後で工程ｄ）が実施される場合は、飛行時間情報の算出は先に飽和状態が検知されていない場合のみ必要とされる。
【発明を実施するための手段】
【００１３】
以下に本発明の好ましい実施態様について、実施例を用いて添付図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１に、光感知中央ゲート１、右光感知ゲート２、右集積ゲート３、右出力ゲート４、右センスノード５、右リセットスイッチ６、右光源従動部７、右出力装置８、及び左光感知ゲート１２、左集積ゲート１３、左出力ゲート１４、左センスノード１５、左リセットスイッチ１６、左光源従動部１７及び左出力装置１８を備えて構成される飛行時間イメージャのピクセルの略断面図を示す。符号９は正の供給電圧を表し、符号３０はゲート酸化物を表す。バルク材３１は好ましくはｐ−ドープされる。
【００１５】
図１にはさらに、ゲート１、２、３、４、５、１２、１３、１４、１５へ適当な電圧を印加することによって形成されるピクセル内第一電位分布が示されている。Ｕは電圧軸を表す。図１に示した電位分布では、光感知ゲート１、２及び１２上へ向けられた光によって生成された電子が左へ偏向されて集積ゲート１３の下方に集められている。ゲート上の正電圧によって該ゲート下方にいわゆる電荷バケットが形成され、電子をこのバケットに集めることが可能である。
【００１６】
図２に第二電位分布を示す。図２に示した電位分布３２では、光感知ゲート１、２及び１２上へ向けられた光によって生成された電子が右へ偏向されて集積ゲート３の下方に集められている。
【００１７】
ゲート２及び１２上の電圧は、図１及び２に示した２つの電位分布が交互に形成されて電子が右集積ゲート３と左集積ゲート１３へ偏向されるように、一定の変調周波数を用いてドグル制御される。飛行時間原理は変調光源を用いて作動し、その変調周波数は光感知ゲート２及び１２の周波数と同一である。これにより、光感知ゲート２及び１２によって位相感知同期整流器が形成され、この整流器によって集積ゲート３及び１３の間に、受けた光と光感知ゲート２及び１２のトグル接続との間の位相の計算に利用可能な電荷分布が出力される。この位相情報から、発せられた光の飛行時間の論理的演算が可能である。
【００１８】
図３に光集積工程の最終段階における電位分布３２を示す。集積ゲート下方に蓄積された電荷は区分２０及び２１で示されている。
【００１９】
図４は本発明方法のシフト工程（工程Ｃ）中における電位分布３２を示した図である。集積ゲート３及び１３の下方に集められた電荷の一部が、まず出力ゲート４及び１４上の電圧を一定量増加させることによって、センスノード５及び１５のそれぞれへ移動され、これによって出力ゲート４及び１４の下方に通路が形成される。集積ゲート３及び１３の下方に集められた電荷はこの通路を流れることができ、次いで集積ゲート３及び１３へ印加される電圧が持続的に減じられる。集積ゲート３及び１３へ印加される電圧は実質的に同じである。矢印２２及び２３は集積ゲート３及び１３の下方における電位変化を示す。シフト工程期間中、センスノード６及び１６上の電圧は、集積ゲート３及び１３から出力センスノードへ電荷が流れない限り同じ電圧のままである。センスノードが電荷を受け取るや否や、それらセンスノードそれぞれの電圧は降下する。シフト工程期間中、センスノード６及び１６上の電圧は継続測定され、固定基準電圧をもつセンスノードと比較される。センスノード６及び１６双方上の電圧がこの固定基準電圧以下まで降下したならば、センスノード双方が位相情報の計算に利用可能な電圧を受け取っていることから、集積ゲート電圧の降下は停止される。
【００２０】
図５はシフト工程の最終段階における電位分布３２を示した図である。集積ゲート３及び１３下方の電荷は実質的に等しく、両センスノードには同一電荷が含まれている。
【００２１】
図６は飽和状態にある集積ゲート１３についての電位分布３２を示した図である。この分布は、ピクセルへ向けられた太陽光等の光によって集積ゲート下方のバケットがそれ以上保有できないほど多くの電子が生成された場合に生ずる分布である。このような状態はピクセルの既存構造を変えなくても検知可能なため、例えばさらにコストをかけてイメージャのチップサイズを増加する必要性を回避することができる。シフト工程は前記と同様に実施される。図６には、特に集積ゲートバケットが光集積処理中に飽和されている場合におけるシフト処理後の電位分布３２が示されている。集積ゲートがシフト処理前に飽和されていたかどうかを判定するためには、集積ゲート下方の残存電荷について調べなければならない。この電荷が一定の固定閾値より大きければ、集積ゲートは飽和されていたと想定される。
【００２２】
まず、センスノード上へ蓄積された電荷は、図７に示されるように、リセットスイッチ６及び１６を瞬間的に閉じた後に開くことによって除去される。さらに、集積ゲート電圧がその最大値にリセットされる。この操作は、あまり費用をかけずにイメージャの全ピクセルについての集積ゲート電圧を外部から設定できることから、容易に実施される。
【００２３】
集積ゲート下方の残存電荷を調べる方法としては２つの選択肢がある。第一の選択肢の場合、下記手順によって実施される。
【００２４】
集積ゲート電圧は図８中の矢印２５及び２６で示される同一固定電圧量まで減じられる。この電圧量は、集積ゲートバケットが完全に満たされているならば、少なくともセンスノードを完全に満たす電荷量がセンスノード中へ移動されるような電圧量とされる。次いでセンスノード電圧を読み出し、そのセンスノードの固定電圧閾値と比較する。電圧の少なくとも１つがこの閾値以下であれば、すなわち電圧変化が電圧変化閾値よりも高ければ、前述した状態試験中にある程度の電荷がセンスノードの一つへ移動されていることを意味しており、また飽和状態へと導く傾向をもつ光集積処理中に少なくとも一つの集積ゲートバケットが一定電荷量で満たされていることを意味している。
【００２５】
第二の選択肢では下記手順が実施される。
【００２６】
図９に示されるように、出力ゲート電圧は図９中の同一矢印２７及び２８によって示される同一固定電圧量まで増加される。この電圧量は、集積ゲートバケットが完全に満たされているならば、少なくともセンスノードを完全に満たす電荷量がセンスノード中へ移動される大きさの電圧量とされる。次いでセンスノード電圧が読み出され、その固定電圧閾値と比較される。この閾値以下であれば、前述した状態試験中にある程度の電荷が一方のセンスノードへ移動されたことを意味しており、また飽和へと導く傾向をもつ光集積処理中に一方の集積ゲートバケットが一定量の電荷で満たされていることを意味している。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】３Ｄ飛行時間イメージャピクセル及びピクセルの露光中における第一電位分布を示した略断面図である。
【図２】ピクセルの露光中における第二電位分布を示した図である。
【図３】光集積工程の最終段階におけるピクセルの電位分布を示した図である。
【図４】「最小電荷移動」シフト工程の初期段階におけるピクセルの電位分布を示した図である。
【図５】「最小電荷移動」シフト工程の最終段階におけるピクセルの第五電位分布を示した図である。
【図６】集積ゲートが飽和にある場合におけるピクセルの電位分布を示した図である。
【図７】センスノードから電荷が除去されている点において異なる図６の電位分布を示した図である。
【図８】飽和を検知するための集積ゲート電圧の調整を示した図である。
【図９】飽和を検知するための出力ゲート電圧の調整を示した図である。
【図１】
2009503965.tif 000003
【図２】
2009503965.tif 000004
【図３】
2009503965.tif 000005
【図４】
2009503965.tif 000006
【図５】
2009503965.tif 000007
【図６】
2009503965.tif 000008
【図７】
2009503965.tif 000009
【図８】
2009503965.tif 000010
【図９】
2009503965.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成20年1月29日(2008.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光感知部、光感知部と連携される第一及び第二集積ゲート、第一及び第二センスノード、第一集積ゲートと第一センスノード間に配置される第一出力ゲート、及び第二集積ゲートと第二センスノード間に配置される第二出力ゲートを備えて構成される飛行時間イメージャピクセルの操作方法であって、
ａ）光感知部を露光させて光学的に電荷担体を生成させる工程、
ｂ）第一及び第二集積ゲート下方において交互に電荷担体を集める工程、
ｃ）第一・第二出力ゲート及び第一・第二集積ゲートの電圧を調整して電荷担体の第一部分を第一集積ゲートから第一センスノード中へ移動させ、かつ電荷担体の第二部分を第二集積ゲートから第二センスノード上へ移動させる工程、
ｄ）電荷担体の第一及び第二部分に基づいて飛行時間情報を算出する工程、
ｅ）第一集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にある場合、一定量の電荷担体を第一集積ゲートから第一センスノード上へ移動させるために前記第一の出力ゲート及び／または前記第一集積ゲートの少なくとも一つの電圧を調整する工程、及び
ｆ）一定閾値を超える電圧変化が第一及び／または第二センスノード中おいてに引き起こされたか否かを検査する工程から構成される、
操作方法。
【請求項２】
工程ｅ）において、第一出力ゲートの電圧が、第一集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にあるならば、一定量の電荷担体が第一センスノード上へ移動されるように選定される限定電圧値に調整されることを特徴とする請求項１項記載の方法。
【請求項３】
前記限定電圧値は、もし前記第一集積ゲートが実質的に飽和されたなら、前記第一のセンスノードを実質的に満たすか過剰に満たすことのできる一定量の電荷担体が前記第一センスノード上へ移動するように選ばれる請求項２記載の方法。
【請求項４】
工程ｅ）において、第一集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にあるならば、一定量の電荷担体が第一センスノード上へ移動されるように、第一集積ゲートの電圧が所定値によって調整されることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記第一の集積ゲートが実質的に飽和されたなら、前記第一のセンスノードを実質的に満たすか過剰に満たすことのできる一定量の電荷担体が前記第一センスノード上へ移動されるように、前記所定値が選定されることを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項６】
工程ｅ）において、第一集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にあるならば、一定量の電荷担体が前記第一センスノード上へ移動されるように、前記第一出力ゲート及び前記第一集積ゲートの電圧がある調整値によって組み合わせて調整されることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記工程ｅ）は、前記第二の集積ゲートが飽和に近いか飽和状態の時、一定量の電荷担体が前記第二集積ゲートから前記第二センスノードに移動されるように前記第二出力ゲート及び／または前記第二集積ゲートの少なくとも一つの電圧を調整することからなること；並びに、前記工程ｆ）は、所定のしきい値を越える電圧変化が前記第二のセンスノードにもたらされたかをテストすることからなること、を特徴とする請求項１〜６のいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
工程ｅ）において、前記第二出力ゲートの電圧はある限定値によって調整されるが、この値とは、前記第二の集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にあるなら、一定量の電荷担体が前記第二のセンスノード上へ移動されるよう選定されるものであることを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項９】
前記限定値は、前記第二集積ゲートが実質的に飽和されたなら、前記第二センスノードを実質的に満たすか過剰に満たすことのできる一定量の電荷担体が前記第二のセンスノード上へ移動されるように選定されることを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１０】
工程ｅ）において、第二出力ゲートの電圧が、第二集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にあるならば、一定量の電荷担体が第二センスノード上へ移動されるように第二集積ゲートの電圧が選定される限定電圧値に調整されることを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項１１】
前記限定値は、前記第二集積ゲートが実質的に飽和されたなら、前記第二センスノードを実質的に満たすか過剰に満たすことのできる一定量の電荷担体が前記第二センスノード上へ移動されるよう、選定されることを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
工程ｅ）において、前記第二出力ゲート及び前記第二集積ゲートの電圧は、前記第二集積ゲートが飽和に近いか飽和状態にあるならば、一定量の電荷担体が前記第二センスノードへ移動される調整値によって組み合わせ調整されることを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項１３】
工程ｅ）及びｆ）は工程ｂ）と工程ｃ）の間において実施されることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
工程ｅ）及びｆ）は工程ｃ）のあと実行されること、前記電荷担体部は工程ｅ）に先立って前記センスノードから消去されること、並びに前記第一及び第二集積ゲートの前記電圧は工程ｅ）に先立って、初期値へと再調整されることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の方法。
【国際調査報告】
2009503965.tif 000012
2009503965.tif 000013
2009503965.tif 000014