(57)【要約】Ｘ線透過基板を有するコリメータの製造方法に関する。コリメータ製造方法は、第１側壁と第２側壁を有する第１スリットを基板に形成するステップと、Ｘ線吸収材によって第１スリットを充填するステップとを含む。Ｘ線吸収材は第１側壁から第２側壁まで延在する。製造方法は更に、Ｘ線吸収材の一部を除去することによって、残存するＸ線吸収材から第２側壁まで延在する第２スリットを形成するステップと、Ｘ線透過材によって第２スリットを充填するステップとを含む。方法は更に、Ｘ線透過材の一部を除去することによって、残存するＸ線透過材から第２側壁まで延在する第３スリットを形成するステップを含む。最後に方法は、Ｘ線吸収材によって第３スリットを充填するステップを含む。本発明に基づき、任意の所望アスペクト比を有するコリメータを製造し得る。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線透過基板（２）を有するコリメータ（１）を製造するためのコリメータ製造方法であって、前記コリメータ製造方法は、
前記Ｘ線透過基板（２）に第１スリット（３）を所望深さまで形成するステップであって、前記第１スリット（３）は第１側壁（３ａ）と第２側壁（３ｂ）を有することと；
Ｘ線吸収材（４）によって前記第１スリット（３）を充填するステップであって、前記Ｘ線吸収材（４）は前記第１側壁（３ａ）から前記第２側壁（３ｂ）まで延在することと；
前記Ｘ線吸収材（４）の一部を除去することによって第２スリット（５）を形成する吸収材一部除去ステップであって、前記第２スリット（５）は残存する前記Ｘ線吸収材（４）から前記第２側壁（３ｂ）まで延在することと；
Ｘ線透過材（６）によって前記第２スリット（５）を充填するステップと、
前記Ｘ線透過材（６）の一部を除去することによって第３スリット（７）を形成する透過材一部除去ステップであって、前記第３スリット（７）は残存する前記Ｘ線透過材（６）から前記第２側壁（３ｂ）まで延在することと；
Ｘ線吸収材（８）によって前記第３スリット（７）を充填するステップと
を含む、コリメータ製造方法。
【請求項２】
前記吸収材一部除去ステップは、
切削工具によって、前記Ｘ線吸収材（４）の一部を深さ方向に除去する第１深さ方向除去ステップと；
前記切削工具を横方向に動かす第１工具横移動ステップと；
前記切削工具によって前記Ｘ線吸収材（４）の他の部分を、深さ方向に除去する第２深さ方向除去ステップと
を含む、請求項１記載のコリメータ製造方法。
【請求項３】
前記第１深さ方向除去ステップ、第１工具横移動ステップ、および前記第２深さ方向除去ステップは、前記所望スリット深さが得られるまで繰返される、請求項２記載のコリメータ製造方法。
【請求項４】
前記工具横移動ステップにおいて、前記切削工具の横方向移動量は１μｍ〜１００００μｍの範囲内にあり、好適には１０μｍ〜５００μｍの範囲内にある、請求項２または３記載のコリメータ製造方法。
【請求項５】
前記Ｘ線吸収材（４）の各々の深さ方向に除去された部分の深さは１μｍ〜１００００μｍの範囲内にあり、好適には１０μｍ〜５００μｍの範囲内にある、請求項２〜４の何れか一項記載のコリメータ製造方法。
【請求項６】
前記透過材一部除去ステップは、
切削工具によって、前記Ｘ線透過材（６）の一部を深さ方向に除去する第３深さ方向除去ステップと；
前記切削工具を横方向に動かす第２工具横移動ステップと；
前記切削工具によって、前記Ｘ線透過材（６）の他の部分を深さ方向に除去する第４深さ方向除去ステップと
を含む、請求項１〜５何れか一項記載のコリメータ製造方法。
【請求項７】
前記第３深さ方向除去ステップ、前記第２工具横移動ステップ、および前記第４深さ方向除去ステップは、前記所望スリット深さが得られるまで繰返される、請求項６記載のコリメータ製造方法。
【請求項８】
前記第２工具横移動ステップにおいて、前記切削工具の横方向移動量は、１μｍ〜５００μｍの範囲内にある、請求項６または７記載のコリメータ製造方法。
【請求項９】
前記第３深さ方向除去ステップと前記第４深さ方向除去ステップにおいて、前記Ｘ線透過材（６）の各々の前記深さ方向に除去された部分の深さは、１μｍ〜１０００μｍの範囲内にある、請求項６〜８何れか一項記載のコリメータ製造方法。
【請求項１０】
前記第２スリット（５）と前記第３スリット（７）はそれぞれ傾斜面を有し、その結果、傾斜したスリットが形成される、請求項１〜９何れか一項記載のコリメータ製造方法。
【請求項１１】
前記Ｘ線透過材（６）は炭素、プラスチック、接着剤、または何れか他の材料、あるいは原子番号が小さい材料の混合物を含む、請求項１〜１０何れか一項記載のコリメータ製造方法。
【請求項１２】
前記Ｘ線吸収材（４）はウォルフラム、鉛、金、銅、または何れか他の材料、あるいは原子番号が大きい材料の混合物を含む、請求項１〜１１何れか一項記載のコリメータ製造方法。
【請求項１３】
前記Ｘ線吸収材（４）は、接着剤またはプラスチックの結合材と混合された金、鉛、タングステンまたは銅といった原子番号の大きい吸収材の混合物を含む、請求項１〜１２何れか一項記載のコリメータ製造方法。
【請求項１４】
前記第２スリット（５）の幅は、１０μｍ〜５００μｍの範囲内にある、請求項１〜１３何れか一項記載のコリメータ製造方法。
【請求項１５】
前記所望深さは、１μｍ〜１０００μｍの範囲内にある、請求項１〜１４何れか一項記載のコリメータ製造方法。
【請求項１６】
前記コリメータに幾つかのスリットを形成すべく、前記ステップは繰返される、請求項１〜１５何れか一項記載のコリメータ製造方法。
【請求項１７】
前記幾つかのスリットは、互いに異なる角度を有する、請求項１６記載のコリメータ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＸ線検出器の分野に関し、特に請求項１の前提部に規定されたコリメータを製造するための改善された方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
医療造影法は、多くの病気の早期診断を可能にするために重要である。Ｘ線検出器は、このために広く用いられる。Ｘ線は、骨、筋肉、および脂肪等の異なる種類の組織において異なる比率で吸収され、診断時に医師による確認が可能な画像を形成する。可能な限り正確な画像を得ることの重要性は、容易に理解される。またＸ線は、照射量が多い場合に有害なことがある。従って、検診時に患者が曝されるＸ線照射量を最小限に抑えることが重要である。
【０００３】
画像の精度を考慮して、コリメータまたは絞りまたは開口は、Ｘ線装置の重要な部位を構成する。コリメータは、Ｘ線を大幅に吸収する材料を含む装置である。コリメータは、ビームを開閉制御または平行にするように、また散乱放射線を遮蔽するように機能する装置である。コリメータは、コリメータ開口部に或る方向から入射する放射線だけが通過し、他の全ての放射線を吸収するように、放射線の流れをフィルタ処理するように構成されている。コリメータが無い場合、全ての方向からの放射線が患者を照射し、不必要に高い放射線照射量を与える。従って、コリメータを用いると、有用なＸ線だけが確実に患者を照射するため、放射線照射量が減少する。更にコリメータは、幅狭の面またはビームのＸ線を生成することによって、何らかの種類のＸ線検出器の位置解像度を改善するために用い得る。この場合、入射Ｘ線ビーム幅は、Ｘ線検出器の画素サイズよりもむしろ位置解像度を規定する。
【０００４】
通常のコリメータは、鉛等の何らかの放射線吸収材の厚い板である。１つまたは複数の細いスリットが、加工またはエッチングされてコリメータの板を貫通している。
【特許文献１】米国特許出願公開第２００５−０１５２４９１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
高品質画像を得るため、そして患者が受ける放射線照射量を最小限に抑えるため、コリメータを作製する際に注目すべき幾つかの事柄がある。Ｘ線を効率的に吸収するために、コリメータが作製される板は、材料の消費量と関連コストの観点から、また軽いコリメータは取扱いが容易であることから、薄いことが好ましい。しかし、コリメータが作製される板は薄過ぎてはならない。コリメータを作製する際の難点は、アンダーカット問題、すなわちエッチングが垂直に進む際に発生する横方向のエッチングの問題である。材料が厚ければ厚いほど、アンダーカット問題は、より顕著である。すなわち板を厚くすると、小さい均一なスリットを維持することは困難である。スリットの幅に対する板の厚さの比は、アスペクト比（縦横比）として知られる。また、コリメータの製造において板が薄くなると、他の難題が必然的に生じる。その理由として薄い材料は、厚いものよりも歪曲して寸法が変わり易く、よってコリメータの精度が影響を受けるためである。また、コリメータが薄過ぎると、好ましくない放射線がコリメータを貫通することによって画像品質が劣化するし、患者が受ける放射線照射量も高くなり易いことから、適さない。
【０００６】
コリメータは、Ｘ線源から散乱せずに生じたほぼ平行な放射線を通過させるが、たとえばＸ線源とコリメータの間で散乱した平行ではない放射線を吸収すべきである。第２の要件を満たすために、コリメータの板は、平行ではない放射線を吸収するのに適した厚さを
有すべきである。
【０００７】
コリメータの製造は、高精度と精密さを必要とする作業であり、μｍ範囲の小寸法のスリットを形成するステップを含む。よって、適切な精度を得ることが困難である。そのような精密作業は極めて多大の費用を要し、高価な道具立てを必要とし、よってＸ線装置の費用がかなり高くなる。
【０００８】
コリメータは、垂直または水平の薄層構造によって製造し得る。すなわち各々の所望パターンを有する多数の薄層を、それぞれ個別に加工する場合がある。この場合、アンダーカット関連の難題は回避されるが、精度を維持した状態で互いに異なる層を積層することは極めて困難である。よって、精度が依然として不適切なことがある。
【０００９】
コリメータの製造に関連する上述した全ての要因や難点は、最終的にＸ線装置の性能に影響を及ぼすため、コリメータを作製する改善された方法が望まれる。
本発明の目的は、改善されたコリメータ製造方法を提供することである。特に適切な精度でコリメータを製造する。積層等の長たらしい工程や、たとえばアンダーカットよって精度を低下させる工程の必要性を解消する。よって、従来技術の欠点を軽減する柔軟な方法を提供する。
【００１０】
他の目的は、課された要件に応じて、コリメータのカスタマイズを可能にする改善された方法を提供することである。特にコリメータの任意の所望厚さに対して、コリメータ精度を維持し得る高精度のコリメータ製造方法を提供することである。
【００１１】
更に他の目的は、製造費用効率が適切で安価なコリメータを製造し、よってＸ線装置のコストを低減する方法を提供することである。
とりわけ、これらの目的は、請求項１の特徴部において規定されるコリメータ製造方法によって達成される。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に基づき、Ｘ線透過基板を有するコリメータの製造方法を提供する。この革新的なコリメータ製造方法は、第１側壁と第２側壁を有する第1スリットをＸ線透過基板に形
成するステップと、Ｘ線吸収材によって第1スリットを充填するステップとを含む。Ｘ線
吸収材は第１側壁から第２側壁まで延在する。更にコリメータ製造方法は、Ｘ線吸収材の一部を除去することによって、残存する吸収材から第２側壁まで延在する第２スリットを形成するステップと、Ｘ線透過材によって第２スリットを充填するステップとを含む。更にコリメータ製造方法は、Ｘ線透過材の一部を除去することによって、残存する透過材から第２側壁まで延在する第３スリットを形成するステップと、最後にＸ線吸収材によって第３スリットを充填するステップとを含む。本発明に基づき、任意の所望アスペクト比を有するコリメータを製造し得る。本発明の方法によって、積層が不要になり、従って互いに異なる層の配向に関連した精度誤差が解消される。更に本発明によって、コリメータは効率的で費用対効果が大きいやり方で作製され、安価なコリメータ作製が可能である。
【００１３】
本発明の一実施形態に基づき、Ｘ線吸収材の一部を除去するステップは、切削工具によってＸ線吸収材の一部を深さ方向に除去するサブステップと、切削工具を横方向に動かすサブステップと、切削工具によってＸ線吸収材の他の部分を深さ方向に除去するサブステップとを含む。幾つかの細かい除去ステップによって材料の除去を達成することによって、アンダーカットに関連した問題が回避される。よって、高性能を有するコリメータを提供し得る。本発明の一実施形態に基づき、これらのステップは所望スリット深さが得られるまで繰返される。
【００１４】
上述した除去ステップは、Ｘ線透過材の一部を除去するためにも実施できる。よって、同じ利点が得られる。更に、これらのサブステップの一実施形態に基づき、切削工具は１μｍ〜１０００μｍの範囲内で横方向に動かされる。各々の切削ステップによって切削される切込の深さは、たとえば１μｍ〜１０００μｍの範囲内であってよい。よって、スリット側壁が極めて小さいＲａ値（表面粗さ）を有しつつ、スリットの高精度を提供し得る。
【００１５】
更に他の実施形態に基づき、形成されたスリットは傾斜面を有し、よって傾斜したスリットが形成される。スリット幅すなわちＸ線透過部の幅は、１μｍ〜１ｃｍの範囲内、好適には１μｍ〜１０００μｍの範囲内、最も好適には１０μｍ〜１００μｍの範囲内である。一方、基板厚さは、任意範囲で選択できる。よって、任意の所望アスペクト比のコリメータを提供し得る。
【００１６】
本発明の他の実施形態に基づき、任意のＸ線透過材を用い得る。Ｘ線透過材は、たとえば炭素、プラスチック、何れか他の材料、または原子番号が小さい材料の混合物を用い得る。同様に、任意の適切なＸ線吸収材を用い得る。Ｘ線吸収材は、たとえばウォルフラム（タングステン）、鉛、金、銅、何れか他の材料、または原子番号が大きい材料の混合物を用い得る。よって、最も柔軟な方法が提供され、頻繁に用いられる容易に入手可能な材料の使用が可能になる。更に、製造方法を変更することなく、特定の用途に適する材料の使用が可能になる。
【００１７】
本発明の更に他の実施形態に基づき、幾つかのスリットが形成される。各々のスリットは、それぞれ所望傾斜を有する。これらスリットは、互いに異なる傾斜を有し得る。すなわち１個のコリメータは、様々な傾斜の複数スリットを有し得る。よって、任意の所望用途に対して、コリメータのカスタマイズが可能になる。
【００１８】
本発明の更なる特徴およびその利点は、好適な実施形態の以下の詳細な説明および図面から明らかになるであろう。これらは、例示のみを目的として与えられるものであり、本発明を限定するものと解釈してはならない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１ａ〜図１ｆは、コリメータ１を製造するための方法の一実施形態のステップを示す。炭素繊維、プラスチックまたは任意の適切なＸ線透過材の基板２は、本発明に基づくコリメータ１の製造の開始点である。基板２は、その簡単な取扱いを可能にするのに充分な剛性を有すべきであり、また任意の所望寸法を有し得るが、たとえば５０ｃｍ×５０ｃｍ、またはそれ以上のたとえば１ｍ×１ｍ、またはそれ以下のたとえば１０ｃｍ×１０ｃｍを有し得る。
【００２０】
図１ａに示した第１ステップにおいて、第１スリット３は、たとえばエッチング、切削、旋削、または研削によって形成され、第１側壁３ａと第２側壁３ｂを有する。第１スリット３は、任意の所望幅を有し得るが、マンモグラフィまたは一般的な身体のＸ線造影等の医療Ｘ線用途に適する通常の幅は、１μｍ〜１００００μｍの範囲内、好適には１０μｍ〜５００μｍの範囲内である。
【００２１】
次に、図１ｂに示すように、第１スリット３は、所望エネルギのＸ線を吸収する材料であるＸ線吸収材４によって充填される。たとえば医療Ｘ線用途では、ウォルフラム（Ｗ）、鉛（Ｐｂ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）または何れか他の材料または原子番号が大きい材料の混合物が適切な材料であるが、Ｘ線を吸収する任意の材料または合金を用い得ると思われる。用いる充填材料も、結合材、たとえば接着剤またはプラスチックと混合された粉末または粒子形態の吸収材の混合物であってよい。第１スリット３の深さは、意図した用
途要件に適合するように作製し得る。たとえばコリメータ１を医療Ｘ線用途に用いる場合、患者を曝すことができるＸ線照射量に関する或る要件が存在し、第１スリット３の深さは、Ｘ線の充分な吸収が達成されるように作製すべきである。必要なＸ線吸収材４の厚さは、Ｘ線ビームの所望エネルギ量と共に増大する。
【００２２】
その後、図１ｃに示すように、Ｘ線吸収材４の一部は切除され、新しい第２スリット５になる。この切除は、好適にはＸ線吸収材４の傾斜面を残すように行われ、最終的にコリメータは、傾斜したスリットを有する。たとえば方向依存性検出器を用いる場合、またはＸ線が小さい点状の放射源から放出されるほとんどの医療、工業、および保安Ｘ線用途のように、円錐ビーム形状でＸ線を放出するＸ線源の場合、傾斜したスリットを有するコリメータを提供することに利点がある。
【００２３】
次に、図１ｄにおいて分かるように、第２スリット５は、Ｘ線透過材６、たとえば炭素（Ｃ）、エポキシ接着剤またはプラスチックまたは低原子番号の何れか他の材料によって充填される。Ｘ線透過材６には、所望エネルギのＸ線を透過する任意の適切な材料を用いることができ、材料の原子番号が小さければ小さいほど、所定のエネルギのＸ線に対して透過度が増す。
【００２４】
図１ｅに示したステップには、以前のステップによって作製された充填材の一部を切除するステップを含む。すなわちこの場合、Ｘ線透過材６の一部が切除され、よって第３スリット７になる。残存するＸ線透過材６は、好適には傾斜面を残すように作製される。
【００２５】
次に、図１ｆを参照すると、第３スリット７は、Ｘ線吸収材８、好適には図１ｃを参照して述べたステップによって用いられるものと同じ材料のＸ線吸収材によって充填される。
【００２６】
本発明による方法のこれまでの説明は、簡素化されており、一般的な考え方だけを示している。説明の導入部によって述べた通り、コリメータは、垂直エッチングの場合に発生する横方向エッチングに対応すべく厚くなるため、精度維持が困難である。これはアンダーカット問題として知られている。そのようなアンダーカット問題を回避することによって従来技術の難点を克服するために、図１ｂに示したステップにおける材料除去は、幾つかの細かい除去ステップによって実施される。つまり図１ｃに示した結果は、簡素化されている。そこで、幾つかのステップに戻って、すなわち図１ｂと図１ｃに関して述べたＸ線吸収材４の除去について、次に図２ａ〜図２ｄを参照して、更に詳細に述べる。
【００２７】
図２ａ〜図２ｄは、Ｘ線吸収材４を除去することによって第２スリット５を形成するステップを概略的に示す。図２ａにおいて、第１除去サブステップを示す。基板２には第１スリット３が形成され、Ｘ線吸収材４によって充填されている。図示したように、深さ方向の除去は、かなり細かいステップによって行われ、除去対象の材料の僅かな部分だけが、各々のステップにおいて深さ方向に除去される。Ｘ線吸収材４内への開口の配置は、特定の用途に最も良く適合するように行い得る。
【００２８】
次に、図２ｂに示すように、切削工具は、Ｘ線吸収材４を更に切除するために、横方向に動かされる。これらの除去ステップは、図２ｃと図２ｄに示すように、所望開口深さが得られるまで繰返される。認識されるように、用いる切削工具の横方向移動量は無限に小さくはできず、表面滑らかさは横方向移動量に依存する。各々の切削ステップの深さは、好適には余分な横方向切削が発生しないように設定される。
【００２９】
図３ａ〜図３ｄは、Ｘ線透過材６を除去して開口を完成するステップについて、図２ａ〜図２ｄに関して上述したものと対応するように概略的に示す。
図４は、図３ａ〜図３ｄのサブステップの他の概略説明図を示す。図４は、用いる切削工具の横方向移動量と、垂直移動量との両方の代表的な数値を含む。横方向移動量は、たとえば数マイクロメートル、たとえば１μｍ〜１０００μｍの範囲内、好適には５μｍ〜５０μｍの範囲内であってよい。垂直移動量は、たとえば数マイクロメートル、たとえば１μｍ〜１０００μｍの範囲内、好適には１０μｍ〜１００μｍの範囲内であってよい。表面滑らかさは、Ｒａ値によって表現でき、或る基準長内における平均長からの表面偏差の相加平均である。Ｒａ値は、μｍ（マイクロメートル）で測定される。Ｒａ値が小さければ小さいほど、表面は滑らかである。図２ａ〜図２ｄのサブステップは、同様に実施されると理解される。
【００３０】
図面は、単一の第２スリット５を示すが、格子における第２スリット５の数はかなり多く、たとえば基板２に最大で数十万個の開口が存在し得ると思われる。第２スリット（Ｘ線透過部）５の幅は、１μｍ〜１００００μｍの範囲内、好適には１０μｍ〜１０００μｍの範囲内の任意寸法を与えることができる。
【００３１】
更に、たとえばマトリックス構成に配置された幾つかのスリットを有するコリメータが形成される。この場合、各々のスリットはそれぞれ所望傾斜を有する。これらスリットは、互いに異なる傾斜を有し得る。すなわちコリメータは、様々な傾斜の複数のスリットを有することによって、任意の所望用途に対してコリメータのカスタマイズが可能になる。たとえばコリメータは、同出願人に付与された特許文献１によって公開された米国特許出願によって述べたＸ線装置における使用に適合可能である。
【００３２】
図５は、本発明のコリメータ製造方法のステップの、フローチャート１００を示す。ステップＳ１１０において、基板２に第１スリット３が設けられる。次に、第１スリット３は、適切なＸ線吸収材４によって充填される（ステップＳ１２０）。その後、Ｘ線吸収材４の一部が、除去され、新しい第２スリット５が形成される（ステップＳ１３０）。第２スリット５は、Ｘ線透過材６によって充填される（ステップＳ１４０）。その後、Ｘ線透過材６の一部が除去されることによって、第３スリット７を形成する（ステップＳ１５０）。最後に、ステップＳ１６０において、第３スリット７は、Ｘ線吸収材８によって充填される。よって、ほぼ平行な放射線を通すための開口の形成が、完了する。
【００３３】
基板２に開口を形成するための多ステップのプロセスが提供され、特にそのような開口を含むコリメータの製造方法が提供される。本発明によって、積層が不要になり、従って、互いに異なる複数層の配向に関連する精度誤差が解消される。更に、本発明によって、コリメータは、効率的で費用対効果が大きなやり方で作製される。よって、軽量で安価なコリメータを製造し得る。本発明は、任意の所望アスペクト比の付与を可能にするコリメータを作製する革新的な方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１ａ】本実施形態のコリメータ製造方法の工程図。
【図１ｂ】本実施形態のコリメータ製造方法の工程図。
【図１ｃ】本実施形態のコリメータ製造方法の工程図。
【図１ｄ】本実施形態のコリメータ製造方法の工程図。
【図１ｅ】本実施形態のコリメータ製造方法の工程図。
【図１ｆ】本実施形態のコリメータ製造方法の工程図。
【図２ａ】図１ｂと図１ｃの間のサブステップの工程図。
【図２ｂ】図１ｂと図１ｃの間のサブステップの工程図。
【図２ｃ】図１ｂと図１ｃの間のサブステップの工程図。
【図２ｄ】図１ｂと図１ｃの間のサブステップの工程図。
【図３ａ】図１ｄと図１ｅの間のサブステップの工程図。
【図３ｂ】図１ｄと図１ｅの間のサブステップの工程図。
【図３ｃ】図１ｄと図１ｅの間のサブステップの工程図。
【図３ｄ】図１ｄと図１ｅの間のサブステップの工程図。
【図４】図２ａ〜図２ｄのサブステップの概略寸法図。
【図５】本実施形態のコリメータ製造方法の全ステップのフローチャート。
【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図１ｃ】
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【図１ｄ】
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【図１ｅ】
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【図１ｆ】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図２ｃ】
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【図２ｄ】
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【図３ａ】
2009531126.tif 000013
【図３ｂ】
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【図３ｃ】
2009531126.tif 000015
【図３ｄ】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
2009531126.tif 000019
2009531126.tif 000020
2009531126.tif 000021