(57)【要約】  精密機器（１０）に於いてデバイス（２２２）を位置決めするためのデバイス組立体が第１ハウジング（２２４）、第２ハウジング（２２６）、移動玉継手（２２９）、およびロック玉継手（２４９）を含む。この第１ハウジング（２２４）は、デバイス（２２２）を保持する。この第２ハウジング（２２６）は、装置フレーム（１２）に結合してある。この移動玉継手（２２９）は、第２ハウジング（２２６）に対する第１ハウジング（２２４）の移動を容易にする。このロック玉継手（２４９）は、第２ハウジング（２２６）に対する第１ハウジング（２２４）のロックを容易にする。この移動玉継手（２２９）は、第２ハウジング（２２６）に対する第１ハウジング（２２４）の移動を案内することができる。例えば、この第１ハウジング（２２４）が第１案内面（２３０）を含むことができ、第２ハウジング（２２６）が第２案内面（２３２）を含むことができる。この実施例では、案内面（２３０）（２３２）が協同して移動玉継手（２２９）を形成する。その上、各案内面（２３０）（２３２）は、球の一部を形成することができる。
2009530660.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
精密機器用デバイスを位置決めするためのデバイス組立体であって：
このデバイスを保持する第１ハウジング；
第２ハウジング；
この第２ハウジングに対する第１ハウジングの移動を容易にする移動玉継手；並びに
この第２ハウジングに対する第１ハウジングのロックを容易にするロック玉継手を含む組立体。
【請求項２】
請求項１のデバイス組立体に於いて、上記移動玉継手が上記第２ハウジングに対する上記第１ハウジングの移動を案内する組立体。
【請求項３】
請求項１のデバイス組立体に於いて、上記第１ハウジングが第１案内面をおよび上記第２ハウジングが第２案内面を含み、これらの案内面が協同して上記移動玉継手を形成する組立体。
【請求項４】
請求項３のデバイス組立体に於いて、各案内面が球の一部を形成する組立体。
【請求項５】
請求項３のデバイス組立体に於いて、上記案内面の少なくとも一つが上記デバイスを囲む組立体。
【請求項６】
請求項３のデバイス組立体に於いて、上記案内面と上記デバイスが実質的に同心である組立体。
【請求項７】
請求項３のデバイス組立体に於いて、上記第２ハウジングの上記第２案内面がデバイス開口を含みおよび上記デバイスがこのデバイス開口の近くに配置してある組立体。
【請求項８】
請求項１のデバイス組立体であって、更に、上記第１ハウジングを上記第２ハウジングに選択的にロックするファスナを含み、このファスナが上記第１ハウジングと協同して上記ロック玉継手を形成する組立体。
【請求項９】
請求項８のデバイス組立体に於いて、上記ファスナが上記第１ハウジングを貫通し且つ選択的に上記第２ハウジングに螺合する組立体。
【請求項１０】
請求項１のデバイス組立体であって、更に、上記玉継手の少なくとも一つの１対の部品を一緒に圧迫する弾性組立体を含む組立体。
【請求項１１】
請求項１のデバイス組立体に於いて、上記デバイスが光学素子である組立体。
【請求項１２】
ビームを発生するビーム源を含む精密機器、およびこのビームの方向を変える請求項１１のデバイス組立体。
【請求項１３】
装置フレームを含む精密機器のビームの方向を変えるためのデバイス組立体であって：
光学素子を含むデバイス；
このデバイスを保持し、第１案内面を含む第１ハウジング；
この装置フレームに結合してある第２ハウジングを含み、この第２ハウジングが、この第１案内面と協同してこの第２ハウジングに対する第１ハウジングの移動を案内する移動玉継手を形成する第２案内面を含み；この第２案内面がこのデバイスに隣接して配置してあるデバイス開口を含む組立体。
【請求項１４】
請求項１３のデバイス組立体に於いて、各案内面が球の一部を形成する組立体。
【請求項１５】
請求項１３のデバイス組立体に於いて、上記案内面の少なくとも一つが上記デバイスを囲む組立体。
【請求項１６】
請求項１３のデバイス組立体であって、更に、上記第１ハウジングを上記第２ハウジングに選択的にロックするファスナを含み、この第１ファスナがロック玉継手の少なくとも一部を形成する組立体。
【請求項１７】
請求項１６のデバイス組立体に於いて、上記ファスナが上記第１ハウジングを貫通し且つ上記第２ハウジングに選択的に螺合する組立体。
【請求項１８】
ビームを発生するビーム源を含む精密機器、およびこのビームの方向を変える請求項１３のデバイス組立体。
【請求項１９】
精密機器用デバイスを位置決めするためのデバイス組立体であって：
このデバイスを保持する第１ハウジング；
第２ハウジング；
第１軸に沿う、第２軸周りの、および第３軸周りの、この第２ハウジングに対する第１ハウジングの移動を容易にする移動玉継手；および
この第２ハウジングに対する第１ハウジングのロックを容易にするロック玉継手を含む組立体。
【請求項２０】
請求項１９のデバイス組立体に於いて、上記ロック組立体が上記第２ハウジングに対する第１ハウジングのロックを容易にするロック玉継手を含み、および上記移動玉継手が上記第２ハウジングに対する第１ハウジングの移動を案内する組立体。
【請求項２１】
請求項１９のデバイス組立体に於いて、上記第１ハウジングが上記第２軸に沿って上記移動玉継手に対して動く組立体。
【請求項２２】
請求項２１のデバイス組立体に於いて、上記第１ハウジングが上記第１軸周りに上記移動玉継手に対して動く組立体。
【請求項２３】
請求項１９のデバイス組立体に於いて、上記ロック組立体が上記第１ハウジングを上記第２ハウジングに選択的にロックするファスナを含む組立体。
【請求項２４】
請求項１９のデバイス組立体に於いて、上記デバイスが光学素子である組立体。
【請求項２５】
ビームを発生するビーム源を含む精密機器、およびこのビームの方向を変える請求項２４のデバイス組立体。
【請求項２６】
デバイスを位置決めするための方法であって：
このデバイスを第１ハウジングで保持する工程；
第２ハウジングを装置フレームに結合する工程；
移動玉継手でこの第２ハウジングに対する第１ハウジングの移動を容易にする工程；および
ロック玉継手を使ってこの第１ハウジングを第２ハウジングにロックする工程を含む方法。
【請求項２７】
請求項２６の方法に於いて、上記ロック工程が、上記第１ハウジングと協同して上記ロック玉継手を形成するファスナで上記第１ハウジングを上記第２ハウジングにロックする工程を含む方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
光学ミラーは、ビームの経路に対して精密調整を行うために精密機器で普通に使われている。例えば、この精密機器は、ビームを発生するビーム源、物体、およびこの物体に向けてこのビームの方向を変える光学ミラーを含んでもよい。
【０００２】
残念ながら、多くの精密機器は、角度調整範囲が比較的小さい、角分解能が比較的粗い、サイズが比較的大きい、および／または製造または組立が比較的困難である等の、一つ以上の欠点を有する。その上、幾つかの精密機器は、環境外乱または重負荷に対する耐力が限られている。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本発明は、装置フレームを含む精密機器でデバイスを位置決めするためのデバイス組立体を指向する。このデバイス組立体は、第１ハウジング、第２ハウジング、移動玉継手、およびロック玉継手を含む。この第１ハウジングは、デバイスを保持する。この第２ハウジングは、装置フレームに結合してありまたは装置フレームの一部として直接製造してある（その場合この装置フレームと第２ハウジングは同じ物体である）。この移動玉継手は、第２ハウジングに対する第１ハウジングの移動を容易にする。このロック玉継手は、第２ハウジングに対する第１ハウジングのロックを容易にする。
【０００４】
概要として、ある実施例では、この移動玉継手が第２ハウジングに対する第１ハウジングの比較的大きい調整範囲に亘って正確な移動を容易にする、更に、このロック玉継手がこれらのハウジング間の相対移動を抑制するために第２ハウジングに対する第１ハウジングの正確なロックを容易にする。その上、ある実施例で、このデバイス組立体は、サイズがコンパクトで、組立および製造を容易にするために構成が簡単である。
【０００５】
一実施例で、この移動玉継手は、この第２ハウジングに対する第１ハウジングの移動を案内する。例えば、この第１ハウジングは第１案内面を含むことができ、第２ハウジングは第２案内面を含むことができる。この実施例では、これらの案内面が協同してこの移動玉継手を形成する。その上、各案内面は球の一部を形成することができる。更に、これらの案内面の少なくとも一つがこのデバイスを囲むことができ、これらの案内面とこのデバイスが実質的に同心であることができる。
【０００６】
その上、このロック組立体は、この第１ハウジングを第２ハウジングに選択的にロックするファスナを含むことができる。この実施例では、このファスナが第１ハウジングと協同してこのロック玉継手を形成する。例えば、このファスナは、第１ハウジングを貫通し且つ選択的にこの第２ハウジングに螺合する。
【０００７】
本発明は、デバイス、第１ハウジング、および第２ハウジングを含むデバイス組立体をも指向する。この実施例では、この第１ハウジングが第１案内面を含み、およびこの第２ハウジングが、この第１案内面と協同してこの第２ハウジングに対する第１ハウジングの移動を案内する移動玉継手を形成する第２案内面を含む。この実施例で、この第２案内面は、このデバイスに隣接して配置してあるデバイス開口を含むことができる。この設計で、この移動玉継手を介して光ビームをこのデバイスに向けることができる。
【０００８】
その上、本発明は、デバイスを位置決めするための方法を指向する。一実施例で、この方法は、このデバイスを第１ハウジングで保持する工程、第２ハウジングを装置フレームに結合する工程、移動玉継手でこの第２ハウジングに対する第１ハウジングの移動を容易にする工程、およびロック玉継手を使ってこの第１ハウジングを第２ハウジングにロックする工程を含む。
【０００９】
その上、本発明は、ビームを発生するビーム源、物体、およびこの物体にこのビームを向ける光学組立体を含む精密機器をも指向する。
更に、本発明は、ビーム経路上でビームの向きを変えるための方法をも指向する。
【００１０】
この発明それ自体は勿論、この発明の新規な特徴は、その構造および作用の両方に関して、添付の図面を添付の説明と共に検討すれば最も良く理解できるだろう。添付の図面で類似の参照文字は、類似の部品を指す。
【実施例】
【００１１】
図１を参照して、本発明は、例えば、製造、技術または科学器具で使用できる、精密機器１０を指向する。例として、この精密機器１０は、計測システム、例えば、レーザ干渉計、エンコーダ、その他の測定装置、レーザ切削工具および／またはその他の製造装置でもよい。この精密機器１０の部品の設計および配置は、この精密機器１０の要件に適合するように変えることができる。図１は、精密機器１０の一つの、非排他的例の単純化した平面図である。この実施例で、精密機器１０は、装置フレーム１２、ビーム源１４、デバイス組立体１６、および物体１８を含む。しかし、これらの部品の一つ以上が任意でもよい。
【００１２】
多くの図面が、Ｘ軸、このＸ軸と直交するＹ軸、並びにこのＸおよびＹ軸と直交するＺ軸を例示する定位システムを含む。これらの軸のどれも第１、第２、および第３軸とも呼べることに注目すべきである。一般的に、Ｘ、ＹおよびＺ軸に沿う並進並びにＸ、ＹおよびＺ軸周りの回転を含む、六つの自由度がある。
【００１３】
装置フレーム１２は、精密機器１０の他の部品を保持および／または支持する。一実施例で、この装置フレーム１２は、一般的に長方形板であり、且つ剛性材料製である。
【００１４】
ビーム源１４は、デバイス組立体１６へ向ける光エネルギーのビーム２０（矢印で示す）を発生する。一実施例では、このビーム源１４がレーザ源であり、ビーム２０が小口径光ビームである。
【００１５】
デバイス組立体１６がこのビーム２０の経路に配置してある。一実施例で、このデバイス組立体１６は、この物体１８に向けてビーム２０の方向を変える光学組立体である。ある実施例では、ビーム２０の経路を正確に変え且つ調整するためにこのデバイス組立体１６を使うことができる。別の方法で述べれば、ある実施例では、新しい設計が、部分球面に沿うミラー位置を調整することによってビーム指向を制御するためのおよび比較的広い温度範囲に亘ってビーム指向をマイクロｒａｄｉｕｓレベル程度に安定に維持するための簡単な方法を提供する。
【００１６】
その代りに、例えば、別の方法でビームを変えるためにデバイス組立体１６を使うことができる。
非排他的例として、物体１８は、ミラー、レンズ、望遠鏡、フィルタ、エミッタ、センサ、および／または検出器でもよい。
【００１７】
図２Ａは、本発明の特徴を有するデバイス組立体２１６の第１実施例の透視図および図２Ｂは、分解透視図である。この実施例で、デバイス組立体２１６は、正確に配置したデバイス２２２、このデバイス２２２を保持する第１ハウジング２２４、この第１ハウジング２２４の移動を容易にする第２ハウジング２２６、およびこの第１ハウジング２２４を第２ハウジング２２６に選択的にロックするロック組立体２２８を含む。これらの各部品の大きさ、形状、および設計は、このデバイス組立体２１６に対する設計要件を実現するために変えることができる。このデバイス組立体２１６は、上述の部品の一つ以上をなしに設計できることに注目すべきである。
【００１８】
図２Ａおよび２Ｂで、デバイス組立体２１６は、３軸周りの、即ちＸ軸周りの、Ｙ軸周りのおよびＺ軸周りのデバイス２２２の正確な位置決めを可能にする。
【００１９】
概要として、ある実施例では、デバイス組立体２１６が、第２ハウジング２２６に対する第１ハウジング２２４の比較的大きい調整範囲に亘って正確な移動を容易にする移動玉継手、およびハウジング２２４、２２６間の相対移動を抑制するために第２ハウジング２２６に対する第１ハウジング２２４の正確なロックを容易にするロック玉継手を含む。このロック玉継手は、ロック状態でも自由状態でもこのロックと第２ハウジング２２６の間の接触点が変らないので、ロック作用の力によりハウジング２２４、２２６間に相対移動を誘発しないような形になっている。その上、ある実施例で、このデバイス組立体２１６は、サイズがコンパクトで、組立および製造を容易にするために構成が簡単である。
【００２０】
デバイス２２２は、デバイス組立体２１６によって位置決めする。一実施例で、デバイス２２２は、物体１８（図１に示す）に向けたビーム２０（図１に示す）の方向を変える（反射する）ために使える光学素子である。一実施例で、この光学素子は、一般的に円板形反射素子、例えば、ミラーである。その代りに、例えば、この光学素子は、光学フィルタ、偏光子、プリズム、フィルタ輪、光源、ビーム操縦装置、または別の種類の光学部品若しくは線源でもよい。
【００２１】
第１ハウジング２２４は、デバイス２２２を保持し且つこのデバイス２２２を固定するための剛性フレームとなる。ある実施例で、第１ハウジング２２４は、デバイス２２２がこのデバイス２２２を歪めまたは損傷することなく動けるようにこのデバイス２２２を支持する。一実施例で、デバイス２２２は、接着剤（図示せず）で第１ハウジング２２４に固着してある。その代りに、このデバイスを別の方法で第１ハウジング２２４に固着してもよい。
【００２２】
図２Ａおよび２Ｂに示す実施例で、第２ハウジング２２６は、第１ハウジング２２４の移動を案内し且つデバイス組立体２１６の他の部品を支持する。例えば、第２ハウジング２２６を装置フレーム１２（図１に示す）に固定でき且つデバイス組立体２１６の残りをこの装置フレーム１２に対して動かしてデバイス２２２を正確に配置することができる。
【００２３】
第１ハウジング２２４および第２ハウジング２２６は、剛性材料で作ることができる。適当な材料の非排他的例には、鋼、プラスチック、アルミニウム、またはアンバがある。
【００２４】
一実施例で、第１ハウジング２２４および第２ハウジング２２６は、協同してデバイス２２２の正確な位置決めを可能にする移動玉継手２２９を形成する。更に具体的には、第１ハウジング２２４が第１案内面２３０を含むことができ、および第２ハウジング２２６がこの移動玉継手２２９を形成するために第１案内面２３０と相互作用する、対応する第２案内面２３２を含むことができる。例えば、案内面２３０、２３２の一つが球形空洞の一部を形成することができ、および案内面２３０、２３２の他がこの球形空洞内に嵌る大きさおよび形状の球形突起の一部を形成することができる。図２Ｂに示す実施例では、第２案内面２３２が球形空洞の一部を形成し、第１案内面２３０が球形突起の一部を形成する。この設計では、第１案内面２３０が第２案内面２３２内に嵌り且つ案内される。その結果として、デバイス２２２の向きをマイクロラジアンの角度分解能で円滑に調整できる。更に、以下に示すように、移動玉継手２２９がマイクロラジアンレベルで非常に高い角度安定性を有するようにデバイス２２２を正確に配置してから、ロック組立体２２８がデバイス２２２を適所にロックする。
【００２５】
一実施例では、案内面２３０、２３２の一つまたは両方が低摩擦コーティング２３８（クロスハッチングとして示す）で被覆してある。図２Ｂでは、案内面２３０、２３２の両方が低摩擦コーティング２３８で被覆してある。その結果として、第１ハウジング２２４を第２ハウジング２２６に対して比較的低摩擦で且つ非常に一貫性のある方法で動かすことができる。これは、デバイス２２２の正確且つ容易に反復可能な位置決めを可能にする。
【００２６】
ロック組立体２２８は、第１ハウジング２２４を第２ハウジング２２６に選択的に固定し且つロックする。一実施例で、このロック組立体２２８は、三つの離間したボルト２４０を含み、第１ハウジング２２４は、三つの離間した第１ハウジング孔２４２を含み、および第２ハウジング２２６は、三つの離間した第２ハウジング内ねじ面２４４を含む。この設計では、各ボルト２４０が第１ハウジング孔２４２の一つを貫通し、且つ第２ハウジング内ねじ面２４４の一つにねじ込んである。
【００２７】
一実施例で、各第１ハウジング孔２４２の直径は、各ボルト２４０の直径より大きい。この設計で、第１ハウジング２２４は、各ボルト２４０を第２ハウジングねじ面２４４の一つにねじ込んだ状態で第２ハウジング２２６に対して動くことができる。
【００２８】
更に、第１ハウジング２２４は、対応するボルト２４０の第２係合面２４８と係合する各第１ハウジング孔２４２に第１係合面２４６を含む。一実施例で、これらの係合面２４６、２４８は、協同して、ハウジング２２４、２２６の正確な同時ロックを可能にするロック玉継手２４９を形成する。例えば、係合面２４６、２４８の一つが球形空洞の一部を形成することができ、および係合面２４６、２４８の他がこの球形空洞内に嵌る大きさおよび形状の球形突起の一部を形成することができる。図２Ｂに示す実施例では、第１係合面２４６が球形空洞の一部を形成し、および第２係合面２４８が球形突起の一部を形成する。この設計では、第２係合面２４０が第１係合面２４６内に嵌り且つ正確に係合する。この独特の構成は、ハウジング２２４、２２６の位置を維持しながらハウジング２２４、２２６の相対位置に関係なくロック組立体２２８にハウジング２２４、２２６を一緒にクランプさせる。更に、ロック組立体２２８は、ハウジング２２４、２２６を別の位置へ押戻さずにこれらのハウジング２２４、２２６を固定できる。
【００２９】
この設計では、デバイス組立体２１６に使う二つのボール型継手２２９、２４９、即ち、調整可能第１ハウジング２２４と第２ハウジング２２６の第２案内面２３２との間の移動玉継手２２９、およびボルト２４０と第１ハウジング２２４の係合面２４６との間のロック玉継手２４９がある。
【００３０】
図２Ｂでは、第１係合面２４６が第１ハウジング２２４に直接作ってありおよび第２係合面２４８が各ボルト２４０の頭に直接作ってある。その代りに、一つ以上の成形座金（図示せず）を使って一つ以上の係合面２４６、２４８を形成することができる。
【００３１】
一実施例では、各係合面２４６、２４８が低摩擦コーティング（図示せず）で被覆してありまたは低摩擦材料で作ってある。その結果として、係合面２４６、２４８が互いに比較的低摩擦で且つ非常に一貫性のある方法で係合することができる。これは、デバイス２２２の正確且つ容易に反復可能なロックを可能にする。
【００３２】
その代りに、例えば、ロック組立体２２８が三つを超えるまたは三つ未満のボルト２４０を含んでもよく、またはロック組立体２２８が別の種類のクランプでもよい。
【００３３】
一実施例で、ボルト２４０が緩んでいるとき、ユーザは第１ハウジング２２４を第２ハウジング２２６に対して手で動かすことができる。その代りに、別の電子駆動機組立体を使って第１ハウジング２２４を第２ハウジング２２６に対して動かすことができる。デバイス２２２の正確な位置決めをすると、第２ハウジング２２６とデバイス２２２の間の更なる相対移動を抑制するためにボルト２４０を締めることができる。
【００３４】
その上、一実施例では、第２ハウジング２２６が第２案内面２３２にデバイス開口２５３を含む。更に、このデバイス開口２５３は、デバイス２２２に隣接して前に配置してある。この設計では、光ビーム（図１に示す）をデバイス２２２に向けることができる。
【００３５】
図２Ｃは、第１ハウジング２２４の正面図、図２Ｄは背面図、および図２Ｅは断面図である。この実施例では、第１ハウジング２２４がデバイス２２２（図２Ｂに示す）を受けるための大きさの直円柱形デバイス開口２５２を含む。
【００３６】
図２Ｃおよび２Ｄは、第１ハウジング孔２４２が放射状に等間隔に離間していることを示す。この実施例では、第１ハウジング孔２４２が約１８０度離間している。
【００３７】
その上、図２Ｅは、第１案内面２３０および第１係合面２４６（図２Ｅには一つだけ示す）が各々同じ球面中心２５４を有することを示す。
【００３８】
図２Ｆは、第２ハウジング２２６の正面図、図２Ｇは背面図、図２Ｈは第１断面図、図２Ｉは側面図、図２Ｊは第２断面図、および図２Ｋは別の側面図である。
【００３９】
これらの図は、第２ハウジング内ねじ面２４４が放射状に等間隔に離間していることを示す。この実施例では、第２ハウジング内ねじ面２４４が約１８０度離間している。その上、図２Ｈおよび２Ｊは、第２案内面２３２が球面中心２５６を有することを示す。
【００４０】
図２Ｌは、図２Ａから採った断面図である。この図は、デバイス組立体２１６を組立てたとき、第２案内面２３２の球面中心２５６が第１案内面２３０と第１係合面２４６の球面中心２５４と同じであることを示す。
【００４１】
図２Ｌは、更に（ｉ）第１ハウジング２２４の第１案内面２３０と第２ハウジング２２６の第２案内面２３２の間の移動玉継手２２９、および（ｉｉ）ボルト２４０の第２係合面２４８と第１ハウジング２２４の第１係合面２４６の間のロック玉継手２４９を示す。
【００４２】
図２Ｌは、また第１案内面２３０、第２案内面２３２および移動玉継手２２９がデバイス２２２を囲め且つデバイス２２２と実質的に同軸で有り得ることを示す。
【００４３】
図２Ｍは、本発明の特徴を有するデバイス組立体２１６Ｍの別の実施例の分解透視図である。この実施例では、デバイス組立体２１６Ｍがデバイス２２２Ｍ、第１ハウジング２２４Ｍ、第２ハウジング２２６Ｍ、および上に説明し且つ図２Ｍに示した対応する部品に類似するロック組立体２２８Ｍを含む。しかし、この実施例で、デバイス組立体２１６Ｍは、ロック組立体２２Ｍがロックしてないとき移動玉継手２２９Ｍの部品を一緒に動かしおよびロック玉継手２４９Ｍの部品を一緒に動かす弾性組立体２５９Ｍを含む。
【００４４】
この弾性組立体２５９Ｍの設計は変えてもよく、図２Ｍに示す実施例では、弾性組立体２５９Ｍが、まだ移動を許容しながら移動玉継手２２９Ｍの部品を一緒に動かしおよびロック玉継手２４９Ｍの部品を一緒に動かす複数の弾性部材２６１Ｍ、例えば、ばねを含む。
【００４５】
この実施例では、各第２係合面２４８Ｍが各ボルト２４０Ｍ上に配置した座金２６３Ｍによって形成される。この実施例では、座金２６３Ｍが球の一部を形成する。更に、ボルト２４０Ｍが締めてないときでも座金２６３Ｍを第１係合面２４６Ｍに押付けるために、弾性部材２６１Ｍがボルト２４０Ｍの頭と座金２６３Ｍの間に配置してある。これは、第１案内面２３０Ｍと第２案内面２３２Ｍも一緒に圧迫する。
【００４６】
その代りに、この弾性組立体２５９Ｍが別の設計でもよい。
図３Ａは、本発明の特徴を有するデバイス組立体３１６の別の実施例およびこのデバイス組立体３１６によって配置したデバイス３２２の透視図、並びに図３Ｂは、分解透視図である。この実施例では、デバイス組立体３１６がデバイス３２２を保持する第１ハウジング３２４、第２ハウジング３２６、この第１ハウジング３２４を第２ハウジング３２６に対して動かす駆動機組立体３５７、およびこの第１ハウジング３２４を第２ハウジング３２６に対して選択的にロックするロック組立体３２８を含む。これらの各部品の大きさ、形状、および設計は、このデバイス組立体３１６の設計要件を実現するために変えることができる。
【００４７】
図３Ａおよび３Ｂに示す実施例では、デバイス組立体３１６が、３軸周りの、即ちＸ軸周りの、Ｙ軸周りのおよびＺ軸周りの並びに２軸に沿う、即ちＹ軸に沿うおよびＺ軸に沿うデバイス３２２の正確な位置決めを可能にする。
【００４８】
第１ハウジング３２４がデバイス３２２を保持する。図３Ａおよび３Ｂでは、第１ハウジング３２４が一般的に長方形であり、第１ハウジング上面３２４Ａおよび第１ハウジング下面３２４Ｂを含む。デバイス３２２をこの上面３２４Ａに固定することができる。
【００４９】
第２ハウジング３２６は、この装置フレーム（図示せず）に固定することができる。図３Ａおよび３Ｂでは、第２ハウジング３２６が一般的に長方形であり、第２ハウジング上面３２６Ａおよび第２ハウジング下面３２６Ｂを含む。
【００５０】
駆動機組立体３５７を使って第１ハウジング３２４を第２ハウジング３２６に対して動かすことができる。駆動機組立体３５７の設計は変えてもよい。図３Ａおよび３Ｂでは、駆動機組立体３５７が（ｉ）第１ハウジング３２４およびデバイス３２２を第２ハウジング３２６に対してＺ軸に沿って、Ｘ軸周りにおよびＹ軸周りに動かすために使える第１駆動機部分組立体３５８、および（ｉｉ）第１ハウジング３２４およびデバイス３２２を第２ハウジング３２６に対してＺ軸周りに、およびＹ軸に沿って動かすために使える第２駆動機部分組立体３６０を含む。この設計では、第１ハウジング３２４およびデバイス３２２を６移動度で動かすためにこの駆動機組立体３５７を使うことができる。その代りに、例えば、駆動機部分組立体３５８、３６０の一つなしにこの駆動機組立体３５７を設計することができる。
【００５１】
各駆動機部分組立体３５８、３６０の設計は、ここに提供する教示に従って変えることができる。図３Ａおよび３Ｂでは、第１駆動機部分組立体３５８が、第１ハウジング３２４およびデバイス３２２を第２ハウジング３２６に対してＺ軸に沿って、Ｘ軸周りおよびＹ軸周りに動かすために協同する三つの離間したＺ駆動機、即ち、第１Ｚ駆動機３６２Ａ、第２Ｚ駆動機３６２Ｂ、および第３Ｚ駆動機３６２Ｃを含む。
【００５２】
各Ｚ駆動機３６２Ａ〜３６２Ｃの設計は、ここに提供する教示に従って変えることができる。図３Ａおよび３Ｂでは、各Ｚ駆動機３６２Ａ〜３６２ＣがＺＭ軸３６４Ａ、ＺＭ軸駆動機３６４Ｂ、およびＺＭ接触パッド３６４Ｃを含む。一実施例で、各ＺＭ軸３６４Ａは、円筒形で（ｉ）第２ハウジング３２６の第２ハウジング上面３２６Ａにある対応する軸孔３２６Ｃに嵌り且つ上下に動く軸ねじなし領域３６４Ｄ、（ｉｉ）ＺＭ軸駆動機３６４Ｂと係合する軸外ねじ領域３６４Ｅ、およびＺＭ接触パッド３６４Ｃと係合する軸案内面３３０Ａを含む。その上、各Ｚ駆動機３６２Ａ〜３６４Ｃは、第２ハウジング３２６のＬＰ孔３２６ＣＣに嵌るロックピン３６４Ｇを含むことができる。この実施例では、各Ｚ駆動機３６２Ａ〜３６４Ｃに対し、ロックピン３６４Ｇが軸ねじなし領域３６４Ｄの平坦区域と係合し、このロックピンがＺＭ軸３６４Ａの回転を抑制しながらこの軸ねじなし領域３６４Ｄの上下移動を可能にする。
【００５３】
更に、各ＺＭ軸駆動機３６４Ｂは、含むナットおよび軸外ねじ領域３６４Ｅと係合する内ねじ面でもよい。
【００５４】
その上、各ＺＭ接触パッド３６４Ｃは、一般的に円板形で、第１ハウジング３２４の第１ハウジング下面３２４Ｂが各ＺＭ接触パッド３６４Ｃの上端に配置してある。ある実施例では、第１ハウジング３２４がＺＭ接触パッド３６４Ｃに対してＸ軸に沿っておよびＹ軸に沿って自由に動けることに注目すべきである。更に、各ＺＭ接触パッド３６４Ｃは、対応する軸案内面３３０Ａと係合し且つ相互作用するパッド案内面３３２Ａを含む。
【００５５】
この設計で、各Ｚ駆動機３６２Ａ〜３６２Ｃに対し、ＺＭ軸駆動機３６４Ｂの回転は、対応するＺＭ軸３６４Ａを第２ハウジング３２６に対して（回転方向に依って）上または下に動かす。例えば、もし全てのＺＭ軸３６４Ａが同じ速度で且つ同じ方向に動くと、第２ハウジング３２６がＺ軸に沿って動く。その代りに、もしＺＭ軸３６４Ａが異なる速度でおよび／または交互方向に動くと、第２ハウジング３２６がＸ軸周りまたはＹ軸周りに動く。
【００５６】
その上、各Ｚ駆動機３６２Ａ〜３６２Ｃは、それぞれのＺＭ軸３６４Ａの周りに第２ハウジング３２６とＺＭ軸駆動機３６４Ｂの間に配置した接触リング３６４Ｆを含むことができる。この接触リング３６４Ｆは、低摩擦コーティングを有しまたは低摩擦材料で作ることができる。この特徴は、各ＺＭ軸駆動機３６４Ｂの正確且つ反復可能な回転および第１ハウジング３２４の位置の正確な調整を可能にする。
【００５７】
一実施例で、各Ｚ駆動機３６２Ａ〜３６２Ｃに対し、軸案内面３３０Ａおよびパッド案内面３３２Ａが協同してデバイス２２２の位置決めを可能にするＺ移動玉継手３２９Ａを形成する。例えば、案内面３３０Ａ、３３２Ａの一つが球形空洞の一部を形成することができ、案内面３３０Ａ、３３２Ａの他がこの球形空洞内に嵌る大きさおよび形状の球形突起の一部を形成することができる。図３Ａおよび３Ｂに示す実施例では、パッド案内面３３２Ａが球形空洞の一部を形成し、軸案内面３３０Ａが球形突起の一部を形成する。この設計では、軸案内面３３０Ａがパッド案内面３３２Ａ内に嵌り且つそれによって案内される。その上、案内面３３０Ａ、３３２Ａの一つまたは両方が低摩擦コーティングを有しまたは低摩擦材料で作ることができる。この特徴は、案内面３３０Ａ、３３２Ａ間の正確且つ反復可能な移動を可能にする。
【００５８】
図３Ａおよび３Ｂでは、第２駆動機部分組立体３６０がピボット板（ＰＰ）３６６Ａ、第１ＰＰ連結器３６６Ｂ、第２ＰＰ連結器３６６Ｃ、ＰＰ駆動機組立体３６６Ｄ、ピボットフォーク（ＰＦ）３６８Ａ、第１ＰＦ連結器３６８Ｂ、第２ＰＦ連結器３６８Ｃ、および第１ハウジング３２４およびデバイス３２２をＸ軸に沿い、Ｙ軸に沿いおよびＺ軸周りに動かすために協同するＰＦ駆動機組立体３６８Ｄを含む。これらの各部品の設計は、ここに提供する教示に従って変えることができる。
【００５９】
図３Ａおよび３Ｂに示す実施例では、ピボット板３６６Ａが一般的に三角形の板である。第１ＰＰ連結器３６６Ｂは、一般的に円筒形軸で、ピボット板３６６Ａが第２ハウジング３２６に対して回転するＰＰ回転軸３６６Ｅを形成する。第１ＰＰ連結器３６６Ｂは、第２ハウジング（ＳＨ）３２６のＳＨ上面３２６Ｂにある連結器孔３２６Ｄに嵌る下端、およびピボット板３６６Ａにある連結器孔３６６Ｆに嵌る上端を含むことができる。第２ＰＰ連結器３６６Ｃは、一般的に円筒形ピンで、ピボット板３６６Ａと第１ハウジング３２４の間のピボット回転可能な結合をもたらす。この第２ＰＰ連結器３６６Ｃは、第１ハウジング３２４の第１ハウジング下面３２４Ｂにある連結器孔３２４Ｃに嵌る上端、およびピボット板３６６Ａ上のＰＰ案内面３３２Ｂと係合する連結器案内面３３０Ｂを含むことができる。
【００６０】
一実施例で、連結器案内面３３０ＢとＰＰ案内面３３２Ｂは、協同してデバイス２２２の正確且つ反復可能な位置決めを可能にするＰＰ移動玉継手３２９Ｂを形成する。例えば、案内面３３０Ｂ、３３２Ｂの一つが円筒形空洞の一部を形成することができ、案内面３３０Ｂ、３３２Ｂの他がこの球形空洞内に嵌る大きさおよび形状の球形突起の一部を形成することができる。図３Ａおよび３Ｂに示す実施例では、ＰＰ案内面３３２Ｂが円筒の一部を形成し、連結器案内面３３０Ｂがこの球形突起の一部を形成する。この設計では、連結器案内面３３０Ｂが軸案内面３３０ＡがＰＰ案内面３３２Ｂ内に嵌り且つそれによって案内される。その上、案内面３３０Ｂ、３３２Ｂの一つまたは両方が低摩擦コーティングを有しまたは低摩擦材料で作ることができる。この特徴は、案内面３３０Ｂ、３３２Ｂ間の正確且つ反復可能な移動を可能にする。
【００６１】
ＰＰ駆動機組立体３６６Ｄは、ピボット板３６６ＡをＰＰ回転軸３６６Ｅ周りに動かす。図３Ａおよび３Ｂで、ＰＰ駆動機組立体３６６Ｄは、（ｉ）ファスナ３６６Ｈで第２ハウジング上面３２６Ａに固定した第１駆動機板３６６Ｇ、（ｉｉ）ピボット板３６６Ａを間に配置して、ファスナ３６６Ｊで第２ハウジング上面３２６Ａに固定した第２駆動機板３６６Ｉ、（ｉｉｉ）第１ＰＰ駆動機３６６Ｋ、例えば、第１駆動機板３６６Ｇにねじ込み且つピボット板３６６Ａの片側と係合する外ねじロッド、および（ｉＶ）第２駆動機３６６Ｌ、例えば、第２駆動機板３６６Ｉにねじ込み且つピボット板３６６Ａの他の側と係合する外ねじロッドを含む。この設計で、駆動機３６６Ｋ、３６６Ｌの反対方向の同時回転は、ピボット板３６６ＡをＺ軸周りにＰＰ回転軸３６６Ｅ周りに回転する。
【００６２】
ピボットフォーク３６８Ａは、幾らか“Ｖ”字形に形作ってあり、上ＰＦ案内面３３２Ｃおよびこのピボットフォーク３６８Ａを貫通する下連結器孔３６８Ｅを含む。第１ＰＦ連結器３６８Ｂは、このピボットフォーク３６８Ａを第２ハウジング３２６に取付け且つこのピボットフォーク３６８Ａが第２ハウジング３２６に対してＸ軸周りに旋回するＰＦ回転軸３６８Ｆとなる。この実施例で、第２ハウジング３２６は、ピボットフォーク３６８Ａの底部を受けるＰＦ孔３２６Ｅを含む。第１ＰＦ連結器３６８Ｂは、ピボットフォーク３６８Ａを第２ハウジング３２６に旋回可能結合をするために、このＰＦ孔３２６Ｅを貫通し且つ第２ハウジング３２６にある内ねじ面（図示せず）にねじ込んであるボルトでもよい。第２ＰＦ連結器３６８Ｃは、第１ハウジング３２４の第１ハウジング下面３２４Ｂにある連結器孔３２４Ｄに嵌る上端、およびピボットフォーク３６８ＡのＰＦ案内面３３２Ｃに係合する連結器案内面３３０Ｃを含むことができる。
【００６３】
一実施例で、この連結器案内面３３０ＣおよびＰＦ案内面３３２Ｃは、協同してＸ軸に沿う相対回転および移動を可能にするＰＦ移動継手３２９を形成する。例えば、案内面３３０Ｃ、３３２Ｃの一つが“Ｕ”字形チャンネルの一部を形成することができ、案内面３３０Ｃ、３３２Ｃの他がこの“Ｕ”字形チャンネル内に嵌る大きさおよび形状の球形突起の一部を形成することができる。図３Ａおよび３Ｂに示す実施例では、ＰＦ案内面３３２Ｃがこの“Ｕ”字形チャンネルを形成し、連結器案内面３３０Ｃが球形突起の一部を形成する。この設計では、連結器案内面３３０ＣがＰＦ案内面３３２Ｃ内に嵌り且つそれによって案内される。その上、案内面３３０Ｃ、３３２Ｃの一つまたは両方が低摩擦コーティングを有しまたは低摩擦材料で作ることができる。この特徴は、案内面３３０Ｃ、３３２Ｃ間の正確且つ反復可能な移動を可能にする。
【００６４】
ＰＦ駆動機組立体３６８Ｄは、ピボットフォーク３６８ＡをＰＦ回転軸３６８ＦおよびＸ軸ｂｏｕｔに回転させる。図３Ａおよび３Ｂで、ＰＦ駆動機組立体３６８Ｄは、（ｉ）ファスナ３６８ＨでＳＨ上面３２６Ａに固定した第１駆動機板３６８Ｇ、（ｉｉ）ピボットフォーク３６８Ａを間に配置して、ファスナ３６８ＪでＳＨ上面３２６Ａに固定した第２駆動機板３６８Ｉ、（ｉｉｉ）第１ＰＦ駆動機３６８Ｋ、例えば、第１駆動機板３６８Ｇにねじ込み且つピボットフォーク３６８Ａの片側と係合する外ねじロッド、および（ｉＶ）第２駆動機３６８Ｌ、例えば、第２駆動機板３６８Ｉにねじ込み且つピボットフォーク３６８Ａの他の側と係合する外ねじロッドを含む。この設計で、駆動機３６８Ｋ、３６８Ｌの反対方向の同時回転は、ピボットフォーク３６８ＡをＸ軸周りにＰＦ回転軸３６８Ｅ周りに回転する。
【００６５】
その上、駆動機組立体３５７は、ハウジング３２４、３２６を一緒におよび駆動機組立体３５７の他の部品を一緒に圧迫するバイアス組立体３７０を含むことができる。一実施例で、このバイアス組立体３７０は、第１バイアス組立体３７２Ａおよび離間した第２バイアス組立体３７２Ｂを含む。その代りに、このバイアス組立体３７０を二つのバイアス組立体３７２Ａ、３７２Ｂ以上または以下に設計してもよい。
【００６６】
図３Ａおよび３Ｂで、各バイアス組立体３７２Ａ、３７２Ｂは、（ｉ）第１ハウジング３２４にあるピン孔３２４Ｅを貫通する第１バイアスピン３７２Ｃ、（ｉｉ）この第１バイアスピン３７２Ｃをピン孔３２４Ｅ内に保持するためにこの第１バイアスピン３７２Ｃの上孔を貫通する第１ラッチピン３７２Ｄ、（ｉｉｉ）第２ラッチピン３７２Ｆでこの第１バイアスピン３７２Ｃの底部に固定した弾力ある部材（例えば、ばねまたは弾性部材）３７２Ｅ、および（ｉＶ）この弾性部材３７２Ｅの底部を第２ハウジング３２６に固定するためにこの第２ハウジング３２６のピンスロット３２６Ｆに嵌る第３ラッチピン３７２Ｇを含む。この設計で、バイアス組立体３７２Ａ、３７２Ｂがハウジング３２４、３２６を一緒に圧迫する。
【００６７】
ロック組立体３２８は、第１ハウジング３２４を正確に位置決めしてから、この第１ハウジング３２４を第２ハウジング３２６に対して選択的且つ正確ににロックする。このロック組立体３２８の設計は、ここに提供する教示に従って変えることができる。
【００６８】
一実施例で、このロック組立体３２８は、第１ロック部分組立体３７４Ａおよび離間した第２ロック部分組立体３７４Ｂを含む。その代りに、このロック組立体３２８を二つのロック部分組立体３７４Ａ、３７４Ｂ以上または以下に設計してもよい。
【００６９】
図３Ａおよび３Ｂで、各ロック部分組立体３７４Ａ、３７４Ｂは、ファスナ３７４Ｃ、ナット３７４Ｄ、上継手組立体３７４Ｅ、および下継手組立体３７４Ｆを含む。この実施例で、各ロック部分組立体３７４Ａ、３７４Ｂのために、（ｉ）ファスナ３７４Ｃが第２ハウジング３２６にある下ボルト孔３２６Ｆ、および第１ハウジング３２４にある上ボルト孔３２４Ｆを貫通するボルトであり；（ｉｉ）ナット３７４Ｄがこのファスナ３７４Ｃのファスナ外ねじ面３７４Ｇに螺合し；（ｉｉｉ）上継手組立体３７４Ｅがナット３７４Ｄと第１ハウジング３２４の間でファスナ３７４Ｃ上に位置し、およびこの上継手組立体３７４Ｅが互いに係合する上部座金３７４Ｉおよび隣接する下部座金３７４Ｊを含み；並びに（ｉＶ）下継手組立体３７４Ｆが第２ハウジング３２６とファスナ３７４Ｃの頭の間でファスナ３７４Ｃ上に位置し、およびこの下継手組立体３７４Ｅが互いに係合する上部座金３７４Ｋおよび隣接する下部座金３７４Ｌを含む。
【００７０】
一実施例で、上継手組立体３７４Ｅのために、上部座金３７４Ｉが下部座金３７４Ｊの第２係合面３４８Ａと係合する第１係合面３４６Ａを含む。ほぼ同様に、下継手組立体３７４Ｆのために、上部座金３７４Ｋが下部座金３７４Ｌの第２係合面３４８Ｂと係合する第１係合面３４６Ｂを含む。一実施例で、（ｉ）上継手組立体３７４Ｅの係合面３４６Ａ、３４８Ａが協同して上ロック玉継手２４９Ａを形成し、（ｉｉ）下継手組立体３７４Ｆの係合面３４６Ｂ、３４８Ｂが協同して下ロック玉継手３４９Ｂを形成する。更に、ロック玉継手３４９Ａ、３４９Ｂが協同してハウジング３２４、３２６を一緒に正確にロックできるようにする。別の方法で表現すれば、この独特の構成は、ハウジング３２４、３２６の位置を維持しながらハウジング３２４、３２６の相対位置に関係なくロック組立体３２８にハウジング３２４、３２６を一緒にクランプさせる。
【００７１】
例えば、上継手組立体３７４Ｅのために、係合面３４６Ａ、３４８Ａの一つが球形空洞の一部を形成することができ、係合面３４６Ａ、３４８Ａの他がこの球形空洞内に嵌る大きさおよび形状の球形突起の一部を形成することができる。図３Ｂでは、第２係合面３４８Ａが球形空洞の一部を形成し、第１係合面３４６Ａが球形突起の一部を形成する。この設計では、第１係合面３４６Ａが第２係合面３４８Ａ内に嵌り且つ正確に係合する。
【００７２】
ほぼ同様に、下継手組立体３７４Ｆのために、係合面３４６Ｂ、３４８Ｂの一つが球形空洞の一部を形成することができ、係合面３４６Ｂ、３４８Ｂの他がこの球形空洞内に嵌る大きさおよび形状の球形突起の一部を形成することができる。図３Ｂでは、第１係合面３４６Ｂが球形空洞の一部を形成し、第２係合面３４８Ｂが球形突起の一部を形成する。この設計では、第２係合面３４８Ｂが第２係合面３４６Ｂ内に嵌り且つ正確に係合する。係合面３４６Ａ、３４６Ｂ、３４８Ａ、３４８Ｂの一つ以上が容易な相対移動を可能にするために低摩擦面を含みまたは低摩擦材料で作ることができることに注目すべきである。
【００７３】
その上、各ロック部分組立体３７４Ａ、３７４Ｂは、ナット３７４Ｄの回転を抑制するためにそれぞれのナット３７４Ｄに抗して第１ハウジング３２４の第１ハウジング上面３２４Ａにあるピンスロット３２４Ｇに嵌るロックピン３７４を含むことができる。
【００７４】
図３Ｃは、図３Ａの線３Ｃによる破断図で、第１ハウジング３２４、第２ハウジング３２６、ロック組立体３２８の一部、および駆動機組立体３５７の一部を示す。図３Ｃは、軸案内面３３０Ａおよびパッド案内面３３２Ａが協同して各Ｚ駆動機３６２Ａ、３６２Ｂ、３６２Ｃ（図３には二つだけを示す）用のＺ移動玉継手を形成することも示す。その結果として、第１ハウジング３２４が第２ハウジング３２６に対して旋回できる。
【００７５】
更に、各ロック部分組立体３７４Ａ、３７４Ｂ（図３には一つだけを示す）のために（ｉｉ）係合面３４６Ａ、３４８Ａが協同して上ロック玉継手３４９Ａを形成し、および（ｉｉｉ）係合面３４６Ｂ、３４８Ｂが協同して下ロック玉継手３４９Ｂを形成する。この設計で、ロック組立体３２８は、相対位置に関係なくおよび第１ハウジング３２４の位置を変えさせることなく、ハウジング２４、３２６を一緒にクランプできる。
【００７６】
ある実施例では、第１ハウジング２２４、３２４を第２ハウジング２２６、３２６に対して配置するために使うデバイスが別々で、ロック組立体２２８、３２８に独立であることに注意すべきである。この設計では、移動がロックから独立である。これは、第１ハウジング２２４、３２４のより正確な位置決めおよびロックを可能にする。更に、この組立体は、二つのシステムが独立であるので、より頑丈で有り得る。
【００７７】
特定の機器１０がこれらの目的を完全に達成でき且つ前述の利点を提供するが、それは、この発明の現在推奨する実施例の例示に過ぎないこと、および添付の請求項に記載する以外にここに示した構成または設計の詳細に制限を意図しないことを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の特徴を有する精密機器の単純化した平面図である。
【図２Ａ】本発明の特徴を有するデバイス組立体の第１実施例の透視図である。
【図２Ｂ】図２Ａのデバイス組立体の分解透視図である。
【図２Ｃ】本発明の特徴を有する第１ハウジングの正面図である。
【図２Ｄ】図２Ｃの第１ハウジングの背面図である。
【図２Ｅ】図２Ｄから採った第１ハウジングの破断図である。
【図２Ｆ】本発明の特徴を有する第２ハウジングの正面図である。
【図２Ｇ】この第２ハウジングの背面図である。
【図２Ｈ】図２Ｇから採った断面図である。
【図２Ｉ】この第２ハウジングの側面図である。
【図２Ｊ】図２Ｇから採った断面図である。
【図２Ｋ】この第２ハウジングの別の側面図である。
【図２Ｌ】図２Ｂのデバイス組立体の断面図である。
【図２Ｍ】本発明の特徴を有するデバイス組立体の別の実施例の分解透視図である。
【図３Ａ】本発明の特徴を有するデバイス組立体の更に別の別の実施例の透視図である。
【図３Ｂ】図３Ａのデバイス組立体の第２実施例の分解透視図である。
【図３Ｃ】図３Ａのデバイス組立体の破断図である。
【図１】
2009530660.tif 000003
【図２Ａ】
2009530660.tif 000004
【図２Ｂ】
2009530660.tif 000005
【図２Ｃ】
2009530660.tif 000006
【図２Ｄ】
2009530660.tif 000007
【図２Ｅ】
2009530660.tif 000008
【図２Ｆ】
2009530660.tif 000009
【図２Ｇ】
2009530660.tif 000010
【図２Ｈ】
2009530660.tif 000011
【図２Ｉ】
2009530660.tif 000012
【図２Ｊ】
2009530660.tif 000013
【図２Ｋ】
2009530660.tif 000014
【図２Ｌ】
2009530660.tif 000015
【図２Ｍ】
2009530660.tif 000016
【図３Ａ】
2009530660.tif 000017
【図３Ｂ】
2009530660.tif 000018
【図３Ｃ】
2009530660.tif 000019
【手続補正書】
【提出日】平成20年10月27日(2008.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
精密機器用デバイスを位置決めするためのデバイス組立体であって：
このデバイスを保持する第１ハウジング；
第２ハウジング；
この第２ハウジングに対する第１ハウジングの移動を容易にする移動玉継手；並びに
この第２ハウジングに対する第１ハウジングのロックを容易にするロック組立体で、このロック組立体が協同してこの第１ハウジングを選択的に第２ハウジングにロックする複数の離間したファスナを含み、および各ファスナがこれらのハウジングの少なくとも一つに係合する湾曲した係合面を含むロック組立体を含むデバイス組立体。
【請求項２】
請求項１のデバイス組立体に於いて、上記移動玉継手が上記第２ハウジングに対する上記第１ハウジングの移動を案内する組立体。
【請求項３】
請求項１のデバイス組立体に於いて、上記第１ハウジングが第１案内面をおよび上記第２ハウジングが第２案内面を含み、これらの案内面が協同して上記移動玉継手を形成する組立体。
【請求項４】
請求項３のデバイス組立体に於いて、上記案内面の少なくとも一つが上記デバイスを囲む組立体。
【請求項５】
請求項３のデバイス組立体に於いて、上記案内面と上記デバイスが実質的に同心である組立体。
【請求項６】
請求項３のデバイス組立体に於いて、上記第２ハウジングの上記第２案内面がデバイス開口を含みおよび上記デバイスがこのデバイス開口の近くに配置してある組立体。
【請求項７】
請求項１のデバイス組立体に於いて、上記デバイスが光学素子である組立体。
【請求項８】
ビームを発生するビーム源を含む精密機器、およびこのビームの方向を変える請求項１１のデバイス組立体。
【請求項９】
デバイスを位置決めするための方法であって：
このデバイスを第１ハウジングで保持する工程；
第２ハウジングを装置フレームに結合する工程；
移動玉継手でこの第２ハウジングに対する第１ハウジングの移動を容易にする工程；および
ロック組立体を使ってこの第１ハウジングを第２ハウジングにロッする工程を含み、このロック組立体が協同してこの第１ハウジングを選択的に第２ハウジングにロックする複数の離間したファスナを含み、および各ファスナがこれらのハウジングの少なくとも一つに係合する湾曲した係合面を含むロック組立体を含む方法。
【請求項１０】
請求項１のデバイス組立体に於いて、上記ロック組立体が協同して上記第１ハウジングを選択的に第２ハウジングにロックする三つの離間したファスナを含む組立体。
【請求項１１】
請求項２８のデバイス組立体に於いて、上記第１ハウジングが三つの、離間した第１係合面を含みおよび各ファスナが湾曲した係合面を含み、並びに各第１係合面が球形空洞の一部を形成しおよび各湾曲した係合面がこれらの第１係合面の一つに少なくとも部分的に嵌る球形突起の一部を形成する組立体。
【請求項１２】
請求項２９のデバイス組立体に於いて、各ファスナが上記湾曲した係合面を形成する座金を含む組立体。
【請求項１３】
請求項１のデバイス組立体に於いて、各湾曲した係合面が球の一部を形成する組立体。
【国際調査報告】
2009530660.tif 000020