(57)【要約】  本発明は圧電スタックと該圧電スタックの外側面に配設される２つの外部電極を備えた圧電アクチュエータの製造方法に関している。まず互いに上下方向に連続する複数の圧電層と、直通している複数の内部電極層とからなる完全活性型の圧電スタックが準備される。次に完全活性型の圧電スタックの外側面において内部電極層を対応する外部電極から電気的に絶縁させるべき領域に、複数の溝部を設け、それによって該複数の溝部が前記領域内にて内部電極層を圧電スタックの外側面から内部方向へ短縮させるようにする。さらに前記溝部に電気的絶縁材料を充填し、２つの外部電極を圧電スタックの外側面に被着させ、それによって２つの外部電極を交互に内部電極層と電気的に接続させるようにする。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電スタック（１″，１′″）と該圧電スタック（１″，１′″）の外側面（５）に配設される２つの外部電極（１１，１２，１１′，１２′）とを備えた圧電アクチュエータ（２０，７０）の製造方法において、
互いに上下方向に連続する複数の圧電層（２）と、直通している複数の内部電極層（３，４）とからなる完全活性型の圧電スタック（１）を準備するステップと、この場合前記複数の内部電極層（３，４）は交互に、前記圧電スタック（１）の外側面（５）に設けられた２つの外部電極（１１，１２，１１′，１２′）と電気的に接続され、それぞれ別の外部電極（１１，１２，１１′，１２′）からは電気的に絶縁されるように設けられており、
前記完全活性型の圧電スタック（１）の外側面（５）において内部電極層（３，４）を対応する外部電極（１１，１２，１１′，１２′）から電気的に絶縁させるべき領域に、複数の溝部（７，８）を設け、それによって該複数の溝部（７，８）が前記領域内にて内部電極層（３，４）を圧電スタック（１）の外側面（５）から内部方向へ短縮させるステップと、
前記溝部（７，８）に電気的絶縁材料（９）を充填するステップと、
２つの外部電極（１１，１２，１１′，１２′）を圧電スタック（１″，１′″）の外側面（５）に被着させ、それによって２つの外部電極（１１，１２，１１′，１２′）を交互に内部電極層（３，４）と電気的に接続させるステップとを有していることを特徴とする方法。
【請求項２】
圧電スタック（１″，１′″）と該圧電スタック（１″，１′″）の外側面（５）に配設される２つの外部電極（１１，１２，１１′，１２′）とを備えた圧電アクチュエータ（２０，７０）の製造方法において、
互いに上下方向に連続する複数のグリーンシート（９２）と、直通している複数の内部電極層（３，４）からなる完全活性型のグリーンシートスタック（９１）を準備するステップと、この場合前記複数の内部電極層（３，４）は交互に、グリーンシートスタック（９１）から製造される圧電スタック（（１″，１′″）の外側面（５）に設けられた２つの外部電極（１１，１２，１１′，１２′）と電気的に接続され、それぞれ別の外部電極（１１，１２，１１′，１２′）からは電気的に絶縁されるように設けられており、
前記完全活性型のグリーンシートスタック（９１）の外側面（５）において内部電極層（３，４）を対応する外部電極（１１，１２，１１′，１２′）から電気的に絶縁させるべき領域に、複数の溝部（７，８）を設け、それによって該複数の溝部（７，８）が前記領域内にて内部電極層（３，４）をグリーンシートスタック（９１）の外側面（５）から内部方向へ短縮させるステップと、
溝部（７，８）の設けられたグリーンシートスタック（９１′）を、グリーンシート（９２）からは圧電層（２）が得られると共にグリーンシートスタック（９１′）からは圧電スタック（１″，１′″）が得られるように、継続処理するステップと、
前記圧電スタック（１″，１′″）の溝部（７，８）に電気的絶縁材料（９）を充填するステップと、
２つの外部電極（１１，１２，１１′，１２′）を圧電スタック（１″，１′″）の外側面（５）に被着させ、それによって２つの外部電極（１１，１２，１１′，１２′）を交互に内部電極層（３，４）と電気的に接続させるステップとを有していることを特徴とする方法。
【請求項３】
前記溝部（７，８）は、深さ（Ｔ）と、幅（ｂ）と、及び／又は高さ（ｈ）を有しており、それらは前記内部電極層（３，４）と、対応する外部電極（１１，１２）との電気的な絶縁に対して直接必要とされるものである、請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
前記溝部（７，８）は、レーザー（６）を用いて、またはレーザーとガルバノ光学スキャナーを組合わせて製造される、請求項１から３いずれか１項記載の方法。
【請求項５】
前記溝部（７，８）は、選択式のレーザー除去手法を用いて製造される、請求項４記載の方法。
【請求項６】
前記溝部（７，８）は、レーザー（６）を用いて電気的絶縁材料（９）を充填される、請求項４または５記載の方法。
【請求項７】
レーザー（６）を用いた溝部（７，８）の製造中に生じたアブレーション生成物を用いて溝部（７，８）を充填する、請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記溝部（７，８）は、外部電極（１１′，１２′）の被着前にレーザー（６）を用いて次のように処理される、すなわちそれらが２つの隣接する圧電層（２）のそれぞれの溝部（７，８）領域における材料によって閉成されるように処理される、請求項６記載の方法。
【請求項９】
前記電気的絶縁材料（９）は、圧電層（２）の材料よりも低減された引張り強度を有している、請求項１から８いずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
圧電スタック（１′″）と該圧電スタック（１′″）の外側面（５）に配設される２つの外部電極（１１，１２）とを備えた圧電アクチュエータ（２０）の製造方法において、
互いに上下方向に連続する複数のグリーンシート（９２）と、直通している複数の内部電極層（３，４）からなる完全活性型のグリーンシートスタック（９１）を準備するステップと、この場合前記複数の内部電極層（３，４）は交互に、グリーンシートスタック（９１）から製造される圧電スタック（（１″，１′″）の外側面（５）に設けられた２つの外部電極（１１，１２，１１′，１２′）と電気的に接続され、それぞれ別の外部電極（１１，１２，１１′，１２′）からは電気的に絶縁されるように設けられており、
前記完全活性型のグリーンシートスタック（９１）の外側面（５）において内部電極層（３，４）を対応する外部電極（１１，１２，１１′，１２′）から電気的に絶縁させるべき領域に、複数の溝部（７，８）を設け、それによって該複数の溝部（７，８）が前記領域内にて内部電極層（３，４）をグリーンシートスタック（９１）の外側面（５）から内部方向へ短縮させるステップと、
前記溝部（７，８）に電気的絶縁材料（９）を充填するステップと、
溝部（７，８）が電気的絶縁材料で充填されているグリーンシートスタック（９１′）を継続処理し、それによってグリーンシート（９２）から圧電層（２）が得られると共にグリーンシートスタック（９１′）から圧電スタック（１″）が得られるようにするステップと、
２つの外部電極（１１，１２）を圧電スタック（１″）の外側面（５）に被着させ、それによって２つの外部電極（１１，１２）を交互に内部電極層（３，４）と電気的に接続させるステップとを有していることを特徴とする方法。
【請求項１１】
前記電気的絶縁材料は、脱脂と焼結の後でセラミックとなり得る、グリーンシートに相応するスラリー材料である、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
前記溝部（７，８）は、深さ（Ｔ）と、幅（ｂ）と、及び／又は高さ（ｈ）を有しており、それらは前記内部電極層（３，４）と、対応する外部電極（１１，１２）との電気的な絶縁に対して直接必要とされるものである、請求項１０または１１記載の方法。
【請求項１３】
圧電スタック（１″，１′″）と該圧電スタック（１″，１′″）の外側面（５）に配設される２つの外部電極を備え、請求項１から１２いずれか１項記載の方法に従って製造される圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電アクチュエータの製造方法及び圧電アクチュエータに関している。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子は例えば位置決め素子や超音波変換器、センサ、インクジェットプリンターなどに対して用いられている。圧電素子の機能は、例えばジルコン酸チタン酸鉛などの圧電セラミック材料が電界作用を受けて歪みを生じることに基づいている。圧電素子に電圧が印加されると、圧電素子はこの電圧によって形成された電界に対して垂直方向に伸張する。
【０００３】
圧電素子の利点は、例えばその比較的早い速度や比較的大きな効果にある。また圧電アクチュエータとして適用される場合にはその比較的小さな調整距離にある。
【０００４】
しかしながら圧電アクチュエータによって比較的大きな調整距離を達成すべき場合には、圧電アクチュエータに対して例えば特開平３−１７４７８３号公報に開示されているような、複数の圧電層と複数の内部電極層が上下に積層された圧電スタック（積層型圧電素子）が用いられなければならない。
【０００５】
前記特開平３−１７４７８３号公報に開示されている圧電アクチュエータは次のように形成されている。すなわちその内部電極層が圧電スタックの対向する外面に設けられた外部電極と交互に電気的に接続されるように形成されている。それ故に、２つの外部電極と電気的に接続される内部電極層は、当該外部電極が設けられている外側面まで外部電極との電気的な接続のために引き出されている。しかしながらそれと共に内部電極層は別の外部電極からは電気的に絶縁されており、内部電極層はさらなる外部電極が配設されている圧電スタックの外側面までには到達しない。この領域内では内部電極層が外側面から後退している。このことは圧電スタックが当該領域内でシリコン樹脂で充填されたスリットを備えることによって達成されている。
【０００６】
内部電極層がこのように後退することによって、この領域に対応する圧電層内では、外部電極層ないし内部電極層に電圧が印加された場合に電界強度の低下した領域が混在するいわゆる不活性ゾーンが生じるようになる。そのため電圧が印加された場合に生じるひずみ量もその他の圧電層のいわゆる活性ゾーンの場合よりも少なくなる。そしてこのことは特に圧電層の不活性ゾーンとこの不活性ゾーンの周縁領域において機械的な緊張を高めることにつながり、さらに圧電層の活性ゾーンと不活性ゾーン並びに外部電極においていわゆる分極クラックを引き起こしかねない。
【０００７】
通常の不活性ゾーンは積層型に圧電スタックを作製する際に形成される。不活性ゾーンを伴う圧電スタックの製造中の積層工程、分離工程、脱脂工程及び研磨工程における許容誤差や、対応する外部電極と内部電極層の信頼性の安宅委電気的絶縁の設定に基づいて、圧電スタック横断面の１０％に及ぶ比較的大きな不活性ゾーンが生じ得る。
【０００８】
それ故に本発明の課題は、できるだけ小さな不活性ゾーンしか伴わない圧電スタックが作製可能である、圧電スタックを備えた圧電アクチュエータの製造方法を提供することである。
【０００９】
前記課題は本発明により、圧電スタックと該圧電スタックの外側面に配設される２つの外部電極とを備えた圧電アクチュエータの製造方法において、
互いに上下方向に連続する複数の圧電層と、直通している複数の内部電極層とからなる完全活性型の圧電スタックを準備するステップと、この場合前記複数の内部電極層は交互に、前記圧電スタックの外側面に設けられた２つの外部電極と電気的に接続され、それぞれ別の外部電極からは電気的に絶縁されるように設けられており、前記完全活性型の圧電スタックの外側面において内部電極層を対応する外部電極から電気的に絶縁させるべき領域に、複数の溝部を設け、それによって該複数の溝部が前記領域内にて内部電極層を圧電スタックの外側面から内部方向へ短縮させるステップと、前記溝部に電気的絶縁材料を充填するステップと、２つの外部電極を圧電スタックの外側面に被着させ、それによって２つの外部電極を交互に内部電極層と電気的に接続させるステップとを有していることを特徴とする方法によって解決される。
【００１０】
本発明による圧電アクチュエータの製造方法は、完全活性型の圧電スタックをさらに処理することを基礎としている。完全活性型の圧電スタックとは、複数の圧電層とそれらの層間に配設された複数の導電層から形成された圧電スタックである。導電層は圧電スタックの内部電極層を形成しており、特に完全活性型圧電スタックにおいては圧電スタックの外側面まで直通するように形成されている。そのためこの完全活性型圧電スタックは非活性ゾーンは何も有しておらず、活性ゾーンのみを有している。つまり完全活性型圧電スタックの２つの内部電極層の間に設けられる圧電層は、当該圧電層の一方の側が１つの内部電極層によって覆われ、もう一方の側は別の内部電極層によって完全に覆われている。このような完全活性型の圧電スタックの利点は、例えば積層行程、分離工程、脱脂工程、研磨工程などの公知の工程ステップ用いて比較的容易に製造ができることである。
【００１１】
複数の内部電極層は、圧電スタックの外側面に設けられる外部電極と交互に電気的に接続されるように設けられている。これらの内部電極層を、自身のために設けられた外部電極とだけ電気的に接続させて、別の外部電極からは電気的に絶縁されるようにするために、外側面におけるさらなる外部電極が後から設けられる領域に複数の溝部若しくはトレンチが設けられる。それらの溝部により内部電極層は、その領域において完全活性型の圧電スタックのそれぞれの外側面からセットバックしたものとなる。この後退により当該領域では不活性ゾーンが生じる。後からの外部電極の被着の際に内部電極層を所定の外部電極とのみ電気的に接続させるために、前記溝部が外部電極被着前に電気的絶縁材料で充填される。
【００１２】
本発明による完全活性型圧電スタックへの複数の溝部の配設によって、前記複数の溝部と該溝部を設けられた圧電スタックの不活性ゾーンを比較的容易に次のように設計することが可能となる。すなわちそれらが内部電極層と対応する外部電極との良好な電気的絶縁に最低限必要とされる規模を超えることがないように設計することである。これによって圧電スタックの不活性ゾーンは可及的に小さく抑制することが可能となり、さらに分極クラックが発生するリスクも最低限に抑えられる。不活性ゾーンができるだけ少なく抑えられるようにするために、前記複数の溝部は有利には、内部電極層を所望の外部電極から電気的に絶縁する目的を十分に満たすことのできる深さと幅と、及び／又は高さを有する。
【００１３】
前記溝部は例えばレーザーと、特にガルバノ光学スキャナーを組合わせて製造することが可能である。このレーザーは例えばｐｓレーザーである。そのようなレーザーを用いれば、特に良好に溝部を選択的に削除することが可能となる。これによりこれらの溝部は可及的に小さく削り取られる。その他にもこのレーザーは本発明による方法の変化実施例に応じて、例えば複数の溝部をさらなる工程ステップにおいて電気的絶縁材料で充填するのに利用してもよい。それにより例えばそれらの溝部の製造中にレーザーによって生じたアブレーション生成物で当該溝部を再び充填することも可能である。さらにレーザーは、適切なレーザーパラメータの調整によって溝部のための圧電層と内部電極層の材料を、残りの圧電スタックに対して比較的慎重に削除することが可能となる。
【００１４】
本発明による方法の特に有利な実施形態によれば、溝部が外部電極の被着前にレーザーを用いて次のように処理される。すなわち前記外部電極が２つの隣接する圧電層のそれぞれの溝部領域における材料によって接続されるように処理される。この工程ステップは例えば次のことによって達成される。すなわちレーザーを溝部の製造の際に第１のレーザーパラメータ調整によって案内し、さらに第２のレーザーパラメータ調整によって圧電スタックの外壁面を介した溝部の閉成のために案内することによって達成される。
【００１５】
圧電スタック内部で不活性ゾーンに基づいてできるだけ僅かな機械的緊張しか形成されないようにするために、本発明による方法の別の実施形態によれば、電気的絶縁材料が可及的にフレキシブルにかつ圧電層の材料よりも少ない引張り強度を有するようにされる。
【００１６】
代替的に本発明によれば、完全活性型の圧電スタックではなくて、完全活性型のグリーンシートスタックに複数の溝部が設けられる。この完全活性型のグリーンシートスタックとはこの場合、複数のグリーンシートとその間に配設される導電層とからなるプレス処理されたスタックであることを理解されたい。スラリーはセラミック粉末と結合材に水分加えて混合したものである。導電層はグリーンシートスタックから製造される圧電スタックの内部電極層を形成し、完全活性型のグリーンシートスタックにおいて完全活性型の圧電スタックと同じようにグリーンシートスタックの外側面まで直通するように形成されている。脱脂及び焼結工程ステップによってグリーンシートからは圧電層が形成される。すなわち脱脂と焼結によって完全活性型のグリーンシートスタックから完全活性型の圧電スタックが得られる。本発明によればここにおいて代替的に、完全活性型グリーンシートスタックに複数の溝部を設け、そのような溝部を備えたグリーンシートスタックを脱脂して焼結し、それによってスラリー層から圧電層が得られるようにしてもよい。そのように得られた複数の溝部を備えた圧電スタックは、既に前述したようにさらなる処理、すなわち前記溝部に電気的絶縁材料８を充填し、２つの外部電極を圧電スタックの外側面に被着される。
【００１７】
本発明による方法の別の有利な実施形態によれば、グリーンシートスタックの溝部が既に脱脂／焼結処理前にスラリー材料を充填され、そのようにして得られたグリーンシートスタックが脱脂／焼結処理される。この実施形態の利点は、一方では完全活性型のグリーンシートスタックが比較的容易に処理でき、他方では溝部が既存のスラリー材料で容易に充填できることである。
【００１８】
本発明の実施例は図面に例示的に示されており、この場合、
図１は、完全活性型の圧電スタックを示した図であり、
図２及び図３は、図１に示された圧電スタックから製造される圧電アクチュエータを示した図であり、
図４は、図１に示された完全活性型圧電スタックから製造される溝部を備えた圧電スタックを示した図であり、
図５は、図４による圧電スタックの溝部を示した図であり、
図６は、溝部が充填された図４による圧電スタックを示した図であり、
図７は、さらに別の圧電アクチュエータを示した図であり、
図８は、図７に示されている圧電アクチュエータの製造工程ステップを示した図であり、
図９は、完全活性型グリーンシートスタックを示した図であり、
図１０は、溝部を有するグリーンシートスタックを示した図である。
【００１９】
実施例
次に本発明の実施例を図面に基づき以下の明細書で詳細に説明する。
図１には、本発明の実施例のケースにおいて矩形状に形成された完全活性型の圧電スタック１が示されている。この圧電スタック１は、複数の圧電層２と、それらの間に配設される複数の内部電極３，４を有し、一般的に周知の製造方式、例えば積層、分離、脱脂、研磨からなる工程ステップによって作製されている。これらの圧電層２は、圧電セラミック材料、すなわち当該実施例の場合ではチタン酸ジルコン酸鉛からなる材料を含んでおり、また当該実施例の内部電極３，４は、当該の完全活性型圧電アクチュエータ１を直通して貫通している、すなわち圧電スタック１の外側面まで直通するように形成されている導電性の金属化層である。それによりここでの完全活性型圧電スタック１は、不活性ゾーンを何も有していない、活性ゾーンだけのスタックである。本願ではこのような圧電スタックを完全活性型圧電スタックと称している。
【００２０】
前述の完全活性型圧電スタック１は、図２及び図３に示されている圧電アクチュエータ２０の製造に用いられる。特に図３の圧電スタック２０は断面図で示されている。
【００２１】
圧電アクチュエータ２０の製造に対しては、まず図４に示されているレーザー６を用いて圧電スタック１の外側面５に溝部７が設けられ、前記外側面５に対向している外側面には図３に示されているように溝部８が設けられている。それにより完全活性型圧電スタック１から図４に示されているような圧電スタック１′が形成される。
【００２２】
圧電スタック１′の外側面５は次のようにして溝部７を備える。すなわち各第２の内部電極が溝部７によって圧電スタック１′の内方へ後退し、残りの内部電極は完全に外側面５に近接するように備える。前記外側面５に対向している外壁面の溝部８は次のように実行されている、すなわちそれぞれ残りの内部電極が圧電スタック１′の内方へ後退するようにである。当該実施例のケースでは外側面５の溝部７が内部電極３に対応付けられ、前記外壁面５に対向する外側面の溝部８は内部電極４に割り当てられている。
【００２３】
本願の実施例のケースでは前記溝部７，８はレーザー６を用いて次のように作製される。すなわち内部電極３ないし内部電極４とそれに接している圧電層２の材料に応じて切削されるように作製される。溝部７の各々は（これらのうちの１つが図５に詳細に示されている）それぞれ深さＴと、幅ｂと、高さｈとを有している。溝部８もそれぞれ同じ寸法を有しているが、但しこれは内部電極４の領域で深さＴだけ圧電スタック１′内方へずれたものである。
【００２４】
それに続いて前記溝部７，８は電気的な絶縁材料９で充填される。この絶縁材料は当該実施例の場合では２つの成分のシリコンである。これは１５０℃の温度のもとで１時間かけて硬化処理される。それによって図６に示されているような圧電スタック１″が生成される。
【００２５】
続いて外側面５に図２に示されているような外部電極１１が設けられる。この外部電極１１は圧電スタック１″の外側面５に沿った外部金属化部として被着される。外部電極１１は外部金属化部の被着によって内部電極４と電気的に接続される。その他にもこの外部電極１１は前記溝部７の幅よりも狭幅で、電気的な絶縁材料９で充填された溝部７の上を延在する。それにより外部電極１１は、内部電極３からは電気的に絶縁される。その他にも当該実施例によれば前記溝部７の深さＴ、幅ｂ、及び高さｈが次のように選択される。すなわちそれらが電気的絶縁材料９と結び付いて内部電極３と外部電極１１の間の信頼性の高い電気的絶縁状態を保証するように選択される。
【００２６】
外側面５に対向する圧電スタック１′の対向側外側面には図３に示されているようなさらなる外部電極１２がさらなる外部金属化部の形態で設けられている。外部電極１２は内部電極３に接触し、さらに溝部８の上を圧電スタック１″に沿って延在している。この外部電極１２も溝部８の幅よりも狭幅である。それにより、外部電極１２が内部電極４から電気的に絶縁されることが保証される。
【００２７】
図７には本発明によるさらなる圧電アクチュエータ７０が示されている。この圧電アクチュエータ７０も完全活性型の圧電スタック１から製造される。しかしながら図６に示されている圧電スタック１″とは異なって、圧電アクチュエータ７０の製造に対しては圧電スタック１′の溝部７，８が電気的絶縁材料９によって充填されるのではなく、レーザー６を用いて封鎖される。それにより図８に示されているような圧電スタック１′″が得られる。溝部７，８の封鎖に対しては、レーザー６のパラメータ設定が変更され、レーザー６が溝部７，８の上を移動する。レーザー６のパラメータ設定は次のように選択される。すなわち圧電層２が外方側面５ないし外方側面５に対向する外方側面の処理に基づいて溝部７，８が圧電層２の材料で封鎖される。
【００２８】
続いて圧電スタック１′″が外部電極１１′１２′を備える。この場合外部電極１１′は内部電極層４で、外部電極１２′とコンタクトし、外部電極１２′は内部電極３コンタクトする。
【００２９】
図２、図３及び図７に示されている圧電アクチュエータ２０，７０に対してはそれぞれ完全活性型の圧電スタック１が溝部７，８を備えている。これに対しては代替的にまず図９に示されているような完全活性型のグリーンシートスタック９１に溝部７，８を設けるようにしてもよい。それにより図１０に示されているようなグリーンシートスタック９１′が得られる。
【００３０】
この場合ここでの完全活性型グリーンシートスタック９１とは、複数のスラリー層９２とそれらの間に配設される複数の導電層からなるスタックと理解されたい。前記スラリー層９２のスラリーは粉末状セラミックに結合材を混ぜて若干の水分が加えられたものである。前記導電層はグリーンシートスタック９１から作製すべき圧電スタックの内部電極３，４を形成しており、それらは完全活性型グリーンシートスタック９１においても前述の完全活性型圧電スタック１と同じように、グリーンシートスタック９１の外側面まで貫通するように形成されている。前記スリラー層からは脱脂及び焼結行程を介して圧電層２が得られる。すなわち完全活性型グリーンシートスタック９１からは脱脂及び焼結行程によって例えば完全活性型圧電スタック１が得られる。
【００３１】
図１０に示されている、溝部７，８の設けられたグリーンシートスタック９１′は、当該実施例のケースにおいては脱脂処理されて焼結されている。そのため複数のスリラー層からは複数の圧電層が得られる。従って溝部７，８を備えたグリーンシートスタック９１′からは溝部７，８を備えた圧電スタックが得られる。この圧電スタックは図４に示されている圧電スタック１′に相応している。この圧電スタックは、既に前述したように、圧電アクチュエータ２０若しくは７０が得られるまでさらに処理される。
【００３２】
別のさらなる実施例によれば、図１０に示されているグリーンシートスタック９１′の溝部７，８は、脱脂及び焼結処理の前に（スラリー層９２のためにも利用される）スラリー材料で充填される。この溝部７，８がスラリー材料で充填されているグリーンシートスタックは、引き続き脱脂されて焼結処理される。それによりスラリー層９２からは圧電層２が得られる。すなわち、図６に示されている圧電スタック１″に類似した圧電スタックが得られる。その違いは溝部７，８が２成分のシリコンではなくて圧電材料で充填されていることである。この圧電スタックには引き続き既に前述したような外部電極１１，１２が設けられる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】完全活性型の圧電スタックを示した図
【図２】図１に示された圧電スタックから製造される圧電アクチュエータを示した図
【図３】図１に示された圧電スタックから製造される圧電アクチュエータを示した図
【図４】図１に示された完全活性型圧電スタックから製造される溝部を備えた圧電スタックを示した図
【図５】図４による圧電スタックの溝部を示した図
【図６】溝部が充填された図４による圧電スタックを示した図
【図７】さらに別の圧電アクチュエータを示した図
【図８】図７に示されている圧電アクチュエータの製造工程ステップを示した図
【図９】完全活性型グリーンシートスタックを示した図
【図１０】溝部を有するグリーンシートスタックを示した図
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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2009533837.tif 000016
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