(57)【要約】  マイクロ又はナノサイズの粒子が被覆内に添加した工作物表面（２）の電気化学的被覆のための方法において、被覆処理中に添加すべきマイクロ又はナノサイズの粒子を含むビーム媒質からなる少なくとも１つのビームが工作物表面（２）に向けられる。この方法によれば、工作物の表面近傍でマイクロ又はナノサイズの粒子を添加することができ、粒子を入れるための電解槽を不要とし、大面積の表面や複雑な形態の表面の均一な被覆を行える。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ又はナノサイズの粒子を被覆内に添加した工作物表面（２）の電気化学被覆のための方法において、
被覆処理中に、添加すべきマイクロ又はナノサイズの粒子を含むビーム媒質からなる多数のビームを工作物表面（２）に向けることを特徴とする方法。
【請求項２】
ビーム媒質を、マイクロ又はナノサイズの粒子だけで形成することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
マイクロ又はナノサイズの粒子を電気分解処理液内に分散させ、ビーム媒質を、その中に分散させたマイクロ又はナノサイズの粒子を含んだ電気化学処理液によって形成することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項４】
被覆内に添加したマイクロ又はナノサイズの粒子の量をビーム圧力により調整することを特徴とする請求項１乃至４の１つに記載の方法。
【請求項５】
ビーム圧力を電気化学被覆処理中に変化させることを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項６】
ビーム媒質の組成を電気化学被覆処理中に変化させることを特徴とする請求項１乃至５の１つに記載の方法。
【請求項７】
工作物（１）の電気化学処理のための多数の処理電極（１２）を備え、工作物（１）が動作電極を成す対向電極装置（９）において、
処理電極（１２）へ処理媒質を供給するための処理媒質供給装置（１７）が存在し、
処理電極（１２）が、内部に伸びている流路（１３）を有する管状要素（１１）として構成され、かつ処理媒質供給装置（１７）に向いた側の端部および処理媒質供給装置（１７）とは反対側の端部とを有し、処理媒質供給装置（１７）と反対側の端部には開口（１４）が配設され、
流路（１３）が、各々処理媒質供給装置（１７）に向いた側の管状要素（１１）の端部の範囲で処理媒質供給装置（１７）に接続され、かつ処理媒質供給装置（１７）とは反対側の管状要素（１１）の端部の開口（１４）に至ることを特徴とする対向電極装置。
【請求項８】
流路（１３）が、開口（１４）の手前の範囲で先細になっていることを特徴とする請求項７記載の対向電極装置。
【請求項９】
開口（１４）の範囲の流路（１３）の形状および／又は開口（１４）自体の形状が、達成すべきビーム特性を考慮して選ばれたことを特徴とする請求項８記載の対向電極装置。
【請求項１０】
処理媒質供給装置（１７）における処理媒質の圧力を調整するための調整装置が存在することを特徴とする請求項７乃至９の１つに記載の対向電極装置。
【請求項１１】
処理電極（１２）の管状要素（１１）が針状をなすことを特徴とする請求項７乃至１０の１つに記載の対向電極装置。
【請求項１２】
処理電極（１２）の管状要素（１１）が、ワックスを満たされた共通な支持体（２９）を通して案内され、かつ凝固状態のワックス（２７）に対し処理電極（１２）の軸方向の移動を防止する移動防止要素（３５、３７、３９）を有することを特徴とする請求項７乃至１１の１つに記載の対向電極装置。
【請求項１３】
処理電極（１２）の管状要素（１１）が少なくとも１つの共通な支持板（１３１、１３３）の孔を通して案内され、孔の縁と各管状要素（１１）の間に僅かな遊びが存在し、更に管状要素（１１）を力で孔の縁に押圧する締め付け装置（１３４、１３６、１３８）が設けられ、該装置は発生する摩擦により支持板（１３１、１３３）に対して管状要素（１１）の軸方向の移動を防止するように押圧することを特徴とする請求項７乃至１２の１つに記載の対向電極装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ又はナノサイズの粒子を被覆内に添加した工作物表面の電気化学被覆のための方法に関する。更に本発明は、工作物が動作電極を成す工作物の電気化学処理のための対向電極装置に関する。
【０００２】
腐食および／又は酸化に対する保護膜を有するタービン翼の新規被覆時又は再被覆時等に使用されるこの種の方法と装置は、欧州特許出願公開第０７４８８８３号および同第１０９４１３４号明細書から公知である。
【０００３】
欧州特許出願公開第０７４８８８３号明細書は、被覆すべき部品を電解槽に運び込む電解膜形成のための方法を開示する。電解層にはナノ粒子が添加され、ナノ粒子が電解時に被覆内に組み込まれる。電解層におけるナノ粒子の一様な分布を得るべく、槽が絶えず攪拌される。そうしてのみ被覆内におけるナノ粒子の均一な分布を保証できる。
【０００４】
欧州特許出願公開第１０９４１３４号明細書は、工作物の被覆を除去する電気化学装置を開示する。装置は電解液を入れるための容器を含む。被処理工作物は陽極の形での動作電極として電解槽中に搬入される。電界液内に、更に陽極に対する対向電極として多数の陰極が配置される。電気化学処理時、陽極としての工作物と対向電極との間に電圧が確立される。対向電極は、特に処理すべき工作物を考慮して個別的に形成される。
【０００５】
この従来技術に対して、本発明の課題は、マイクロ又はナノサイズの粒子を添加した被覆を有する工作物の電気化学被覆のための代替方法を提供することにある。本発明の他の課題は、特に高い柔軟性をもって使用でき、かつ本発明の方法で実施可能な対向電極装置を提供することにある。
【０００６】
第１の課題は請求項１の方法、そして第２の課題は請求項７の対向電極装置によって解決できる。従属の請求項は、本発明の有利な構成を含んでいる。
【０００７】
本発明の方法では、工作物表面の電気化学被覆を行ない、マイクロ又はナノサイズの粒子を被覆に添加する。被覆処理中にビーム媒質の多数のビームを工作物表面に向け、ビーム媒質は、添加すべきマイクロ又はナノサイズの粒子を含む。そのために前もってマイクロ又はナノサイズの粒子を含む電解槽を準備することなく、ビームにより、処理すべき工作物の表面の近くにおいて狙いどおりにマイクロ又はナノサイズの粒子を添加できる。粒子を被覆処理時にビームだけで被覆表面の近くに運び、多数のビームで大きな表面積又は複雑な形態の均一な被覆も行える。この際電解槽の絶え間ない攪拌は不要である。
【０００８】
方法の実施形態では、ビーム媒質をマイクロ又はナノサイズの粒子のみで形成する。代替的な実施形態では、マイクロ又はナノサイズの粒子を電気分解処理液内に分散させる。この実施形態では、ビーム媒質を、その中に分散したマイクロ又はナノサイズの粒子を含んだ電気化学処理液によって形成する。
【０００９】
本発明の方法では、被覆内に添加したマイクロ又はナノサイズの粒子の量を、ビーム圧力、即ちビーム媒質を表面の周りに供給する圧力で調整できる。この場合、特に連続的な圧力又は脈動する圧力を使用するとよい。適切な圧力制御により、添加する粒子の個数を増減できる。
【００１０】
ビーム圧力を電気化学被覆処理中に変化させると、電気化学的に形成する被覆において粒子密度勾配を発生させ或いは粒子密度の互いに異なる多数の層を有する被覆を形成できる。勾配形成のためには圧力振幅を連続的に変化させ、これに対して多層被覆の形成のためには圧力振幅を跳躍的に変化させる。
【００１１】
多層被覆は、被覆処理中のビーム媒質の組成変化によっても発生させ得る。例えば、１つの種類のマイクロ又はナノサイズの粒子の被覆処理中に、他の種類のマイクロ又はナノサイズの粒子へ移行し得る。この移行は連続的又は跳躍的に行える。粒子種類の連続的な置換の場合には、仕上がった被覆内に、１つの粒子から他の粒子への種類の連続的な移行が生ずる。これに対しビーム組成の転換を跳躍的に行う場合には多数の層が発生し、個々の層はマイクロ又はナノサイズの粒子の種類が互いに異なる。仕上がった被覆内で、組み込まれる粒子の種類の他に、その密度も変化するように、ビーム組成の変化をビーム圧力の変化と組み合わせることもできる。
【００１２】
以上のとおり、本発明による方法は、沈積したマイクロ又はナノサイズの粒子を有する被覆の形成時に柔軟性を高める。被覆特性は、被覆形成中に所望の如く変化させ得る。従って、全く新しい種類の層系が形成可能である。処理時間も短縮できる。何故なら、例えばマイクロ又はナノサイズの粒子の種類が互いに異なる多層系を形成しようとする場合に、真っ先に新たな電気化学槽を投入する必要がないからである。
【００１３】
特に本発明の方法を実施可能にする工作物の電気化学処理のための本発明による対向電極装置は多数の処理電極を含む。この場合、工作物が動作電極を成す。更に、対向電極装置は、特にマイクロ又はナノサイズの粒子を含み得る処理媒質を処理電極へ供給するための処理媒質供給装置を含む。
【００１４】
処理電極は、管状要素として構成され、管状要素はその内部に伸びる流路を有する。処理電極は、処理媒質供給装置に向いた側の端部と、処理媒質供給装置とは反対側の端部を有し、処理媒質供給装置と反対側の端部は開口を有する。処理媒質供給装置に向いた側の管状要素の端部の範囲で流路が処理媒質供給装置に接続される。処理媒質供給装置と反対側の管状要素の端部で、流路が処理電極の開口に至る。
【００１５】
管状要素としての処理電極の構成とその中に配置した流路は、次のことを可能にする。即ち、例えばマイクロ又はナノサイズの粒子の如き処理媒質又は化学処理液とその中に分散したマイクロ又はナノサイズの粒子からなる混合物を、処理電極と工作物としての動作電極との間の範囲で狙いを定めてビームの形で添加することを可能にする。この方法で、被覆処理時、マイクロ又はナノサイズの粒子の効果的な使用が行える。
【００１６】
例えば電気化学処理液を交換すべく被覆処理を中断することなく、処理媒質供給装置を介して異なる処理媒質を供給できるので、使用する粒子の異なる多数の層からなる層形成が、電気化学的析出の中断なしに可能である。
【００１７】
対向電極装置の有利な構成では、流路が開口の手前の範囲で先細になっている。この先細になっている開口横断面は、開口周辺の範囲での電気化学処理液内のマイクロ又はナノサイズの粒子の均一な混合を配慮したノズル状の開口を生じさせる。ビームの特性、例えばビーム形状、ビームエネルギー或いは流れ出るビーム媒質の量は、達成すべきビーム特性を考慮したノズルの適切な構造的構成、特に開口範囲での流路の形状および／又は開口自体の形状の適切な選択により、所望の如く影響を及ぼし得る。
【００１８】
被覆内に添加するマイクロ又はナノサイズの粒子の密度を増減可能とすべく、対向電極装置は、処理媒質供給装置における処理媒質の圧力を調整する調整装置を含むとよい。
【００１９】
対向電極装置の第１の構造的形態では、処理電極の管状要素は、ワックスで満たした共通の支持体を通して案内される。処理電極の管状要素は、凝固状態のワックスに対し処理電極の軸方向移動を防止する移動防止要素、例えば処理電極の管状要素の周囲方向に伸びた肋材を有する。
【００２０】
上述の形態は、処理すべき工作物の形態への処理電極装置の適合化のための有利な方法を可能にする。ワックスが液化され、そしてワックスが液化された状態において処理電極装置が工作物に押し当てられる。その際に処理電極がワックス内を移動するので、処理電極の自由端の位置が工作物表面の形態に合わせられる。この状態でワックスが再び凝固するので、処理電極はその位置に固定される。その結果、処理すべき工作物の表面の形態に最も適合した対向電極装置となる。この適合化は、特に平らでない工作物の場合、そして凹凸のある角の範囲に有意義である。特に凹凸のある角は、処理電極の管状要素が針状をなす場合、特に良好に処理可能である。更に、管状要素が針状の場合、対向電極装置は工作物における孔の化学処理時に特に有利に使用できる。
【００２１】
対向電極装置の第２の構造上の形態では、処理電極の管状要素が少なくとも１つの共通な支持板の孔に通される。孔の縁と各管状要素の間に管状要素の邪魔されない移動を許容すべく寸法が選定された僅かな遊びが存在する。更に、管状要素を力で孔の縁に次のように押圧する締め付け装置、即ち発生する摩擦により支持板に対する管状要素の軸方向移動を防止するように押圧する締め付け装置が存在する。
【００２２】
第１の構造上の実施形態と同様に、第２の構造上の実施形態の対向電極装置も、工作物に押し当てることで、処理すべき工作物の表面の形態に適合させ得る。その際締め付け装置は締め付け解除状態にあり、処理電極の管状要素は孔内を移動できる。電極自由端の位置を工作物表面の形態に合わせた後に、管状要素が孔の縁に押圧されるように締め付け装置の締め付けを行い、締め付け装置はそれ以上の軸方向移動を防止する。この構造上の形態でも、針形状の処理電極が、第１の形態に関して述べた利点を提供する。
【００２３】
以上のとおり、本発明による対向電極装置は、工作物の電気化学処理時に柔軟に使用できる。特に上述の２つの構造上の形態では、本発明による対向電極装置が、特に工作物の形状に合わせて可変に使用可能である。従って、特定の工作物形状のための特殊に仕上げられた形状電極をなくし得る。
【００２４】
本発明による方法と対向電極装置の他の特徴、特性および利点を、添付図面を参照する以下の実施例の説明から明らかにする。
【００２５】
以下、図１に示す装置を参照して本発明による方法を説明する。
【００２６】
図１は、特にタービン翼として形成される工作物１を示す。タービン翼は、典型的には耐熱性のニッケル基合金又はコバルト基合金から製造されている。しばしば、タービン翼には、腐食および／又は酸化保護のための所謂ＭＣｒＡｌＹ被覆が施される。ＭＣｒＡｌＹ被覆において、Ｍは鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）又はニッケル（Ｎｉ）を示し、Ｙはイットリウム（Ｙ）、シリコン（Ｓｉ）、少なくとも１つの希土類元素又はハフニウムを示す。ＭＣｒＡｌＹの組成は、欧州特許第４８６４８９号、同第０７８６０１７号、同第０４１２３９７号又は欧州特許出願公開第１３０６４５４号明細書から公知である。従って、可能性のある被覆組成に関しては、これら文献を参照されたい。
【００２７】
ＭＣｒＡｌＹ被覆の形成時にコバルト又はニッケルが電気化学的に分離され、それに反し被覆の残りの成分、例えばＣｒ、Ａｌ、Ｙ又はレニウム（Ｒｅ）が、マイクロ又はナノサイズの粒子として、電気化学的に析出するニッケル膜又はコバルト膜内に添加される。
【００２８】
工作物１の被覆のための図１に示す装置は、工作物１自体の他に、電極装置９と電解液３で満たされた容器５を含み、該容器中に工作物も電極装置９も配置される。更に、装置は電圧源７を含む。工作物１が陰極を成すよう、電圧源７の負極が工作物１と導電接続される。この陰極、即ち工作物１が装置の動作電極を成す。これに対し電極装置９が陽極を成し、かつ動作電極に対する対向電極を成すべく、電圧源７の正極が電極装置９に接続される。工作物１と対向電極装置９の間に印加された電圧により、対向電極装置と工作物１の間に電界が生じ、該電界が、正に荷電したイオンを負に荷電した工作物表面に運ぶ。
【００２９】
電気分解処理液である電解液３の中には工作物の基礎材料のイオンが溶けている。従って、ニッケル又はコバルト基礎合金からなるタービン翼の場合には、ニッケルイオン又はコバルトイオンが電解液３の中に溶けている。正に荷電した金属イオンが工作物表面２に向かって移動し、そこで沈積して被覆を形成する。
【００３０】
本発明の方法では、マイクロ又はナノサイズの粒子を被覆内に添加する。これは、対向電極装置９と工作物１の表面２の間に、電解液３中に添加したマイクロ又はナノサイズの粒子の分散物４を導くことで達成される。金属イオンの電気化学的沈積中に、工作物１の表面２と接する粒子が被覆内に組み込まれる。供給される粒子は、唯一の種類の粒子、例えばＣｒ粒子、Ｙ粒子、Ａｌ粒子、Ｒｅ粒子等、又は複数の種類の粒子の混合物を含む。
【００３１】
対向電極装置９と工作物１との間の範囲へのマイクロ又はナノサイズの粒子の供給は、対向電極装置９を通して行なわれる。このため、対向電極装置９は多数の管状要素１１を装備していて、これらの管状要素は対向電極装置９の処理電極１２を成している。図１には簡略化のために１つの管状要素１１のみを示している。
【００３２】
管状要素１１は軸方向に走る流路１３を有し、流路１３は管状要素１１の工作物１側の端部の開口１４に至る。流路１３の横断面は開口１４の直前で先細になっている。管状要素１１の他端は分配タンク１７に接続されている。本実施例では、供給路として構成された供給管１９を介して、分配タンク１７にマイクロおよび／又はナノサイズの粒子を供給できる。
【００３３】
工作物１の被覆処理時、マイクロ又はナノサイズの粒子が、加圧下に供給管１９を介して分配タンク１７に導入される。圧力により粒子が流路１３を通して開口１４へ流れ、開口１４を経て対向電極装置９と工作物１の間の範囲で電解液３中に流れ出る。分配タンク１７に接続された管状要素１１のノズル状開口１４により、電解液中の粒子の均一な混合ができる。即ち溶解した金属イオンの析出中に工作物表面２に狙いを定めた粒子投射を達成できる。マイクロ又はナノサイズの粒子は、所定の圧力で、ノズル状開口１４を経て工作物表面２に運ばれる。
【００３４】
本実施例では粒子が電解液中の分配タンクに分散供給される。従って、ノズル状の開口１４からビーム媒質としてマイクロ又はナノサイズの粒子を有する分散した電解質ビームが流れ出る。しかし代替的に、マイクロ又はナノサイズの粒子だけを分配タンク１７内に導入でき、その結果ノズル状の開口１４からは粒子だけがビーム媒質として流れ出る。
【００３５】
分配タンク１７内の圧力の適切な制御により、対向電極装置９と工作物１の間の範囲にあるマイクロ又はナノサイズの粒子の個数を狙いどおりに増減できる。かくして被覆中の粒子組込み密度を所望の如く増減できる。分配タンク１７内の圧力状態は、例えば供給管１９内の圧力により調整するとよい。連続的な圧力も脈動する圧力も可能である。この場合、圧力制御は圧力振幅と同様に、脈動する圧力の場合の周波数も含む。
【００３６】
本発明の方法により、段階的な被覆、即ちマイクロ又はナノサイズの粒子の密度が工作物表面からの間隔により変化するような被覆も発生させ得る。このため、被覆処理の過程で分配タンク１７内の圧力を連続的に変化させることで、電解液中で対向電極装置９と工作物１との間において、分散させた粒子の個数、即ち密度を変化させ得る。
【００３７】
しかし、本発明による方法により多層系も製造できる。被覆系の個々の層が、添加されたマイクロ又はナノサイズの粒子の密度でも粒子の種類でも互いに相違するとよい。この種の層は、特に、電解層を交換すべく電気化学被覆処理を中断することなしに製造可能である。粒子の種類が互いに異なる多数の被覆を有する被覆の製造のためには、分配タンク１７に、処理中に相前後して異なる種類のマイクロ又はナノサイズの粒子を供給するだけですむ。１つの層が仕上がる度に、次の種類の粒子を分配タンク１７に注入する。
【００３８】
粒子の添加密度に応じ互いに異なる層を有する被覆は、分配タンク１７の圧力比を連続的に変化させることで作り出せる。この点に関し注釈すれば、本発明の方法では、粒子の種類に応じ、添加した粒子の密度が段階的又は跳躍的に変化する互いに異なる多層系を作り出すことができる。それは、分配タンク１７に添加する粒子の種類および分配タンク１７内の圧力を互いに独立に調節できるからである。
【００３９】
ここで、本発明による対向電極装置９の第１の実施例を図２に基づき説明する。対向電極装置９は多数の管状要素１１ａ〜１１ｅを含み、該管状要素が管状処理電極１２ａ〜１２ｅを成す。処理電極１２ａ〜１２ｅは、図２に示さない導線を介して電圧源の極に接続可能である。全ての処理電極１２ａ〜１２ｅは、一端を分配タンク１７に次のように接続されている。即ち、処理媒質、つまり分散したマイクロ又はナノサイズの粒子を含む電解液が、処理電極１２ａ〜１２ｅの内部の流路１３を経て出口１４ａ〜１４ｅへ向けて流れるように接続されている（図１参照）。流路１３、出口１４、分配タンク１７および供給管１９は、既に図１で説明したので、この点に関する繰り返しの説明は省略する。
【００４０】
対向電極装置９は処理電極１２ａ〜１２ｅの他に多数の測定電極２１をも含み、該測定電極は処理電極１２ａ〜１２ｅに対し電気的に絶縁されている。測定電極２１は基準電極を成し、該電極の先端は工作物１の表面２を接触なしに指し示し、これら基準電極は電気化学析出処理中における電気パラメータの監視のために用いられる。測定電極２１は、処理電極１１と同様に管状要素として構成するとよい。しかし代替的に、測定電極２１を完全電極として構成すること、即ち内部流路のない構成とすることも可能である。
【００４１】
処理電極１２ａ〜１２ｅは軸方向にワックスを満たされた支持体２９を通して伸びている。ホルダ２９は、分配タンク１７に向いた側の第１の支持板３１と、分配タンク１７とは反対側の第２の支持板３３を有する。両支持板３１、３３は孔を有し、該孔は支持板３１、３３に対する処理電極１２ａ〜１２ｅの軸方向移動を可能にし、かつ支持体２９からの液状ワックス２７の漏れがないように密閉されている。個々の処理電極１２ａ〜１２ｅは、支持体２９の内部にある部分の範囲にフランジ状の突出部３５、３７および３９を備えていて、これらの突出部３５、３７および３９は、ワックスの凝固時に、支持体２９に対する相対的な処理電極１２ａ〜１２ｅの軸方向の移動を防止する。
【００４２】
上述の処理電極装置９が工作物表面２の形状に適合するとよい。このため、支持体２９に対する相対的な処理電極１２ａ〜１２ｅの軸方向の移動を可能にすべく、例えば支持体２９内に配置されたヒーターや容器５内の電解液３の加熱装置により、支持体２９内のワックス２７を液化させる。この状態で対向電極装置９を軽い圧力で工作物１に押し当てることで、個々の電極１２ａ〜１２ｅの開口１４ａ〜１４ｅの位置が工作物１の幾何学的な形状に合わせ得る。次いでワックス２７が冷えて凝固し、支持体２９に対する相対的な処理電極１２ａ〜１２ｅの軸方向の移動を防止する。その後で、対向電極装置９が再び工作物１から少し遠ざけ、その結果工作物１に対する対向電極装置９の相対的な方向性が維持されたままになる。
【００４３】
対向電極装置９を工作物１の幾何学的形状に適合させた後に、被覆の電気化学的な析出を行える。測定電極２１により、一定の電気パラメータの維持を監視できる。
【００４４】
本発明による電極装置９は、上述の方法で、このために別個にかつ特別に成形した電極を製作することなく、特に良好に工作物１の形態に適合させられる。工作物１からの種々の処理電極１２ａ〜１２ｅの開口１４ａ〜１４ｅの等しい距離に伴い、表面の方向に放射されるマイクロサイズ又はナノサイズの粒子の被覆における一様な分布が得られる。
【００４５】
本発明による処理電極装置９０のための第２の実施例を図３に示す。第２の実施例の処理電極装置９０は、支持体１２９の構成においてのみ、第１の実施例の処理電極装置９と相違する。例えば処理電極１２ａ〜１２ｅ、分配タンク１７又は測定電極２１のような第２の実施例の残りの構成の特徴は、第１の実施例の対応する構成の特徴と同じ参照符号を付しており、この点に関する繰り返しの説明はしない。
【００４６】
支持体１２９は、分配タンク１７に向いた側の第１の支持板１３１と、分配タンク１７と反対側の第２の支持板１３３とを含む。両支持板は開口を有し、該開口の大きさは、開口の周辺と支持板１３１、１３３を貫通する処理電極１１ａ〜１１ｅの間に、支持体１２９に対する相対的な処理電極１２ａ〜１２ｅの軸方向移動を可能にする余裕が残るよう選んでいる。支持体１２９の内部を貫通して調整板１３４、１３６、１３８が伸びている。調整板１３４、１３６、１３８は、同様に、処理電極１２ａ〜１２ｅが余裕を持って調整板を貫通するような寸法を持つ開口を有する。従って調整板１３４、１３６、１３８も、第１の状態において処理電極１２ａ〜１２ｅの軸方向の移動を妨げない。処理電極１２ａ〜１２ｅの可能な軸方向の移動は、支持体１２９内部に存在する処理電極１２ａ〜１２ｅの範囲のフランジ状の突出部１３５、１３７、１３９によってのみ制限される。
【００４７】
調整板１３４、１３６、１３８はフレーム１４０の２つの側で保持され、フレーム１４０に対して中央の調整板１３６が移動可能である。調整板１３６の移動は調整板１３４と１３８に対し平行に、かつ処理電極１２ａ〜１２ｅの軸方向移動の方向に対し垂直に行なわれる。その上フレーム１４０は固定ユニット１４２を、例えば１つ以上の固定ねじの形で有し、固定ユニット１４２は外側の両調整板１３４、１３８の位置に対する中央の調整板１３６の相対的な位置の固定を可能にする。
【００４８】
第２の実施形態の処理電極装置９０における工作物１の形態への適合化は、開口が互いに一直線に並んでいるように、個々の調整板１３４、１３６、１３８の孔と、両支持板１３１、１３３における孔とが互いに相対的に心合わせされている位置に中央の調整板１３６を持ち込むことで可能である。この第１の状態では、対向電極装置９０が処理電極１２ａ〜１２ｅの開口１４ａ〜１４ｅを備えた端部の箇所で工作物１にぴったり接するよう、対向電極装置９０が軽い圧力で工作物１に押し当てられる。この場合、工作物１の形態に応じ、工作物の形態への開口１４ａ〜１４ｅの位置の適合化をもたらす処理電極１２ａ〜１２ｅの軸方向の移動が起こる。しかる後、中央の調整板１３６が両外側の調整板１３４、１３８に対し平行に移動することで、調整板１３４、１３６、１３８の開口がもはや互いに一直線でなくなる。調整板１３４、１３６、１３８のこの第２の状態では処理電極１２ａ〜１２ｅが外側の調整板１３４、１３８の孔縁の一方側に押し当てられる。同時に処理電極１２ａ〜１２ｅが中央の調整板１３６の孔縁に押し当てられる。処理電極１２ａ〜１２ｅに対して、外側の調整板１３４、１３８の孔縁が中央の調整板１３６の孔縁とは反対方向に押されることから、処理電極１２ａ〜１２ｅは、一方での外側の調整板１３４、１３８の孔縁と、他方での中央の調整板１３６の孔縁との間において挟まれる。中央の調整板１３６は、この状態において、固定装置１４２により固定される。この方法で処理電極１２ａ〜１２ｅの軸方向の移動が防止される。それから、そのように工作物１の形態に適合化された対向電極装置９により、第１の実施例に関して説明したのと同様の電気化学被覆方法が実施される。
【００４９】
第２の実施例の変形例では、外側の調整板１３４、１３８を移動可能に構成し、中央の調整板１３６を移動不能に構成する。他の代替案では、調整板の代わりに、例えば線又は綱から作られかつ支持体内にある処理電極範囲が貫通した網目を有する網状構造を使用できる。個々の綱又は線相互の張りにより網目の開口断面積を低減できる故、線又は綱が処理電極の外面を押さえ、処理電極の軸方向移動を防ぐ摩擦力をもたらす。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明による方法の実施例を実現するための装置の概略図
【図２】本発明による対向電極装置の第１の実施例を示す部分断面図
【図３】本発明による対向電極装置の第２の実施例を示す部分断面図
【符号の説明】
【００５１】
１  工作物、２  工作物表面、３  電解液、４  分散、５  容器、７  電圧源、９  対向電極装置、１１  管状要素、１２  処理電極、１３  流路、１４  開口、１７  分配タンク、１９  供給管、２１  測定電極、２２  電極先端、２７  ワックス、２９  支持体、３１、３３、１２９〜１３３  支持板、３５〜３９、１３５、１３７、１３９、１３９  フランジ状突出部、９０  処理電極装置、１３４、１３６、１３８  調整板、１４０  フレーム、１４２  固定ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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