(57)【要約】  切削すべき工作物に沿って横方向に移動できる刃物台と、工具先端部を備える作動装置を有する切削工具組立体。作動装置は、工作物に微細構造の作製に使用するために、工作物のｘ方向の実質一定の位置に工具先端部を維持しながら、工作物に沿う横方向のｚ方向での該工具先端部の移動を可変制御する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
刃物台と、
前記刃物台に取り付けられ、
かつ制御装置と電気通信するように構成された作動装置と、
前記作動装置に取り付けられ、かつ切削すべき工作物に対して移動するように実装された工具先端部と、を備える切削工具組立体であって、前記工作物を選択的に切削するために、前記工作物のｘ方向の実質一定の位置に前記工具先端部を維持しながら、前記作動装置が、前記工作物に沿う横方向のｚ方向での前記工具先端部の移動を可変制御する、切削工具組立体。
【請求項２】
前記作動装置が、前記制御装置との電気的接続のため、前記工具先端部の移動を制御するため、前記工具先端部に接続した圧電スタックを備える、請求項１に記載の切削工具組立体。
【請求項３】
前記作動装置が、前記作動装置を冷却するために、前記作動装置を通じて流体を送るためのポートを備える、請求項１に記載の切削工具組立体。
【請求項４】
前記圧電スタックに予荷重をかけるのに使用するための、前記圧電スタックに接続された１つ以上のワッシャをさらに備える、請求項２に記載の切削工具組立体。
【請求項５】
前記作動装置が、前記工具先端部のｚ方向の移動を制御するための増幅器を備える、請求項１に記載の切削工具組立体。
【請求項６】
前記工具先端部が、前記圧電スタックに対して横断方向に接続された、請求項２に記載の切削工具組立体。
【請求項７】
前記刃物台が、実質一定の速度で前記工作物に沿ってｚ方向に前記作動装置を移動させるように構成された、請求項１に記載の切削工具組立体。
【請求項８】
前記作動装置が、前記刃物台上の柱部に取り外し可能に取り付けられるように構成された、請求項１に記載の切削工具組立体。
【請求項９】
刃物台を用意する工程と、
前記刃物台に取り付けられ、かつ制御装置と電気通信するように構成された作動装置を用意する工程と、
切削すべき工作物に対して移動させるために、前記作動装置に工具先端部を位置決めする工程と、
前記工作物を選択的に切削するために、前記工作物のｘ方向の実質一定の位置に前記工具先端部を維持しながら、前記工作物に沿う横方向のｚ方向での前記工具先端部の移動を可変制御するように前記作動装置を構成する工程と、を含む、工作物の切削方法。
【請求項１０】
前記構成する工程が、圧電スタックを用いて前記工具先端部の移動を制御する工程を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
流体を用いて前記作動装置を冷却する工程をさらに含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
１つ以上のワッシャを用いて前記圧電スタックに予荷重をかける工程をさらに含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
前記構成する工程が、前記工具先端部のｚ方向の移動を制御するための増幅器を用いる工程を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
前記工具先端部を前記圧電スタックに横断方向に実装する工程をさらに含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１５】
前記刃物台を用意する工程が、実質一定の速度で前記工作物に沿ってｚ方向に前記作動装置を移動させる工程を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１６】
前記刃物台上の柱部に前記作動装置を取り外し可能に取り付ける工程をさらに含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１７】
切削すべき工作物に沿って横方向に移動可能な刃物台と、
前記刃物台に取り付けられ、かつ制御装置と電気通信するように構成され、さらに圧電スタックを備える作動装置と、
前記作動装置の前記圧電スタックに取り付けられ、かつ切削すべき前記工作物に対して移動するように実装された工具先端部と、を備える切削工具組立体であって、前記工作物に微細構造を作製すべく前記工作物を選択的に切削するために、前記工作物のｘ方向の実質一定の位置に前記工具先端部を維持しながら、前記作動装置が、前記工作物に沿う横方向のｚ方向での前記工具先端部の移動を可変制御する、切削工具組立体。
【請求項１８】
前記圧電スタックに予荷重をかけるのに使用するための、前記圧電スタックに接続された１つ以上のワッシャをさらに備える、請求項１７に記載の切削工具組立体。
【請求項１９】
前記作動装置が、前記刃物台上の柱部に取り外し可能に取り付けられるように構成された、請求項１７に記載の切削工具組立体。
【請求項２０】
刃物台を用意する工程、
刃物台に取り付けられ、かつ制御装置と電気通信するように構成された作動装置を用意する工程、
切削すべき工作物に対して移動させるために、前記作動装置に工具先端部を位置決めする工程、及び
前記工作物を選択的に切削するために、前記工作物のｘ方向の実質一定の位置に前記工具先端部を維持しながら、前記工作物に沿う横方向のｚ方向でのに前記工具先端部の移動を可変制御するように前記作動装置を構成する工程を含む、機械加工された工作物を製造する工程と、
前記機械加工された工作物の表面に材料が実質的に適合するように、前記機械加工された工作物に前記材料を適用する工程と、
前記機械加工された工作物から前記材料を取り外す工程と、を含む、微細構造物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（関連出願の相互参照）
本出願は、全て２００５年１１月１５日に出願された、アラン・キャンベル（Alan Campbell）、デイル・エーネス（Dale Ehnes）、及びダニエル・ワーツ（Daniel Wertz）による、「微細構造を作製するための工作物の及び工作物に沿う横方向のｘ方向及びｚ方向での可変でかつ独立な移動をする切削工具（Cutting Tool Having Variable and Independent Movement in an X-Direction and a Z-Direction Into and Laterally Along a Work Piece for Making Microstructures）」と題される米国特許出願、アラン・キャンベル（Alan Campbell）、デイル・エーネス（Dale Ehnes）、及びダニエル・ワーツ（Daniel Wertz）による、「微細構造を作製するための工作物のｘ方向に同時に２つの独立した速度で可変な移動をする切削工具（Cutting Tool Having Variable Movement at Two Simultaneously Independent Speeds in an X-Direction Into a Work Piece for Making Microstructures）」と題される米国特許出願、及びデイル・エーネス（Dale Ehnes）、アラン・キャンベル（Alan Campbell）、及びダニエル・ワーツ（Daniel Wertz）による、「微細構造を作製するための工作物を横断して横方向にＹ方向を中心にして可変な回転をする切削工具（Cutting Tool Having Variable Rotation About a Y-Direction Transversely Across a Work Piece for Making Microstructures）」と題される米国特許出願に関する。
【０００２】
（発明の分野）
本発明は、微細複製構造の作製に用いる微細複製工具のダイヤモンド加工に関する。
【背景技術】
【０００３】
加工技術は、微細複製工具のような様々な工作物を作製するために用いることができる。微細複製工具は、一般に、押出成形法、射出成形法、エンボス加工法、鋳込成形法等に用いられ、微細複製構造を作製する。微細複製構造は、光学フィルム、研磨フィルム、接着フィルム、自己嵌合輪郭（self-mating profiles）を有するメカニカルファスナー、又は直径およそ１０００ミクロン未満のような、比較的小さな寸法の微細複製機構を有する任意の成型品若しくは押出品を含んでもよい。
【０００４】
微細構造はまた、様々な他の方法によっても作製することができる。例えば、マスタ工具の構造は、マスタ工具から鋳込成形及び硬化処理を行い生産用治工具を形成することにより、高分子材料のベルト又はウェブのような他の媒体に転写することができ、この生産用治工具は次いで微細複製構造を作製するために用いられる。電鋳法のような他の方法を用いてマスタ工具を複製することができる。光ガイド用フィルム（light directing film）を製造するための別の代替手段は、透明な材料を直接切削又は加工して、適切な構造を形成することである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
他の技術としては、化学的エッチング、ビードブラスト、又は他の確率的表面修正技術が挙げられる。しかしながら、これらの技術は通常、本発明の方法を用いた切削工具で達成できる適切な光拡散特性を得ることが望ましい、シャープで精密な微細構造、及び機構の間口の広さを形成することができない。具体的には、これらの方法は、化学的エッチング、ビードブラスト、又は他の確率的表面修正技術に付随する、特有の非精密さ及び非再現性のために、非常に精密で反復型の構造を作製することができない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第一の切削工具組立体は、刃物台と、刃物台に取り付けられ、かつ制御装置と電気通信するように構成された作動装置とを備える。作動装置に取り付けられた工具先端部は、切削すべき工作物に対して移動するように実装される。作動装置は、工作物を選択的に切削するために、工作物のｘ方向の実質一定の位置に前記工具先端部を維持しながら、工作物の横方向に沿ったｚ方向に前記工具先端部の移動の可変制御する。
【０００７】
第二の切削工具組立体は、切削すべき工作物に沿って横方向に移動可能な刃物台と、刃物台に取り付けられ、かつ制御装置と電気通信するように構成され、さらに圧電スタックを備える作動装置とを備える。圧電スタックに取り付けられた工具先端部は、切削すべき工作物に対して移動するように実装される。作動装置は、工作物に微細構造を作製すべく工作物を選択的に切削するために、工作物のｘ方向の実質一定の位置に前記工具先端部を維持しながら、工作物に沿う横方向のｚ方向での前記工具先端部の移動を可変制御する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
切削工具系
一般的なダイヤモンド旋削技術は、国際特許公開ＷＯ  ００／４８０３７に記載されている。光学フィルム又は他のフィルムを製造するための方法で用いられる装置は、高速サーボ工具（fast servo tool）を備える場合がある。国際特許公開ＷＯ  ００／４８０３７に開示されているように、高速工具サーボ（ＦＴＳ）は、ＰＺＴスタックと呼ばれる、ソリッドステート圧電（ＰＺＴ）機器であり、これはＰＺＴスタックに取り付けられた切削工具の位置を迅速に調整する。ＦＴＳは、以下でさらに記載するように、切削工具を座標系内の方向に非常に精密かつ高速で移動させることを可能にする。
【０００９】
図１は、工作物に微細構造を作製するための切削工具系１０の図である。微細構造は、物品の表面上、物品に押し込まれた、又は物品から突出する、任意の形式、形状、及び寸法の構造を備えてよい。例えば、本明細書に記載された作動装置及び系を用いて作製された微細構造は、１０００ミクロンのピッチ、１００ミクロンのピッチ、１ミクロンのピッチ、又は約２００ナノメートル（ｎｍ）の副光波長（sub-optical wavelength）ピッチさえ有することができる。これらの寸法は、事例的な目的のためだけに提供されたものであり、本明細書に記載された作動装置及び系を用いて作製される微細構造は、該系を用いて細工することのできる範囲内の任意の寸法を有することができる。
【００１０】
系１０は、コンピュータ１２によって制御される。コンピュータ１２は、例えば、１つ以上のアプリケーション１６を格納するメモリ１４、データの不揮発性記憶に備えるための第二の記憶装置１８、データ又はコマンドを受信するための入力装置２０、メモリ１６若しくは第二の記憶装置１８に記憶された、又は別のソースから受信したアプリケーションを実行するためのプロセッサ２２、データの視覚表示を出力するための表示装置２４、及び聴覚データのためのスピーカ又はデータのハードコピーのためのプリンタのような、他の形態のデータを出力するための出力装置２６のような構成要素を有する。
【００１１】
工作物５４の切削は、工具先端部４４によって行われる。作動装置３８は、工作物５４が、コンピュータ１２によって制御される電動モータのような、駆動装置及びエンコーダ５６によって回転する際、工具先端部４４の運動を制御する。この例では、工作物５４は、硬質銅ロールのようなロール形態で示されるが、平面形態での実施及び他の加工用材料の使用も可能である。例えば、工作物は、代わりに、アルミニウム、ニッケル、鋼又はプラスチック（例えば、アクリル）で実施されてもよい。使用すべき具体的な材料は、例えば、加工された工作物を用いて製造された様々なフィルムのような特定の所望の用途に応じて決めてもよい。作動装置３８及び以下に記載の作動装置は、例えば、ステンレス鋼又は他の材料で実施されてもよい。
【００１２】
作動装置３８は、刃物台３６に取り外し可能に接続され、これは結果的にトラック３２上に配置される。刃物台３６及び作動装置３８は、矢印４０及び４２で示されるｚ方向及びｘ方向の両方に移動するように、トラック３２上に配置される。コンピュータ１２は、１つ以上の増幅器３０を介して、刃物台３６及び作動装置３８と電気的接続している。制御装置として機能する場合、コンピュータ１２はトラック３２に沿った刃物台３６の移動、及び工作物５４を加工するための作動装置３８を介した工具先端部４４の移動を制御する。作動装置が複数のＰＺＴスタックを有する場合、別個の増幅器を用いて、スタックに取り付けられた工具先端部の移動を独立に制御するのに用いる、各ＰＺＴを独立に制御することができる。コンピュータ１２は、以下でさらに説明するように、工作物５４に様々な微細構造を加工するために、作動装置３８に波形を提供するため、関数発生器２８を用いてもよい。
【００１３】
工作物５４は、様々な構成要素の協調運動によって加工される。具体的には、コンピュータ１２の制御下にある系は、ｃ方向の工作物の移動、並びにｘ方向、ｙ方向、及びｚ方向のうち１つ以上の工具先端部４４の移動とともに、刃物台３６の移動を介して、作動装置３８の移動を調整及び制御することができる。これらの調製については、以下で説明する。系は、通常、刃物台３６を一定速度でｚ方向に移動させるが、様々な速度を用いることができる。刃物台３６及び工具先端部４４の移動は、通常、ｃ方向の工作物５４の移動（線５３によって表わされるような回転運動）と同期がとられる。これらの移動はすべて、例えば、数値制御技術又はコンピュータ１２内のソフトウェア、ファームウェア、又はその組み合わせで実行される数値制御装置（ＮＣ）を用いて制御することができる。
【００１４】
工作物５４は、加工された後、様々な用途に用いるために、対応する微細構造を有するフィルムを製造するために用いることができる。これらのフィルムの例としては、光学フィルム、摩擦制御フィルム、及びマイクロファスナー、又は他の機械的微細構造要素が挙げられる。フィルムは、通常、粘稠状態の材料を工作物に適用し、少なくとも部分的に硬化させ、次いで取り除くという、コーティング処理を用いて製造される。硬化材料から成るフィルムは、工作物の構造と実質的に逆の構造を有するであろう。例えば、工作物のくぼみ部は、結果的に生成フィルムの突出部となる。
【００１５】
冷却流体４６は、配管４８及び５０を介して、刃物台３６及び作動装置３８の温度を制御するために用いられる。温度制御ユニット５２は、刃物台３６及び作動装置３８を通して循環する際、冷却流体の温度を実質一定に維持することができる。温度制御ユニット５２は、流体の温度を制御するための任意の機器で実施され得る。冷却流体は、油製品、例えば低粘度油で実施され得る。温度制御ユニット５２及び冷却流体４６のリザーバは、刃物台３６及び作動装置３８を通して流体を循環させるためのポンプを備えてよく、それはまた、通常、実質一定の温度に流体を維持するために、流体から熱を取り除く冷却系を備える。流体を循環させ、温度を制御するための冷却及びポンプ系は当該技術分野において既知である。特定の実施形態では、冷却流体はまた、工作物に加工される材料の表面温度を実質一定に維持するために、工作物５４に適用されてもよい。
【００１６】
図２は、系１０のような切削工具のための座標系を説明した図である。座標系は、工作物６４に対する工具先端部６２の移動として示される。工具先端部６２は、工具先端部４４に対応してよく、通常、支持体６０に取り付けられ、支持体６０は作動装置に取り付けられる。この代表的な実施形態における座標系は、ｘ方向６６、ｙ方向６８、及びｚ方向７０を含む。ｘ方向６６は、工作物６４に対して実質的に垂直な方向の移動を指す。ｙ方向６８は、工作物６４の回転面に対して実質的に平行な方向のように、工作物６４に対して横断方向の移動を指す。ｚ方向７０は、工作物６４の回転面に対して実質的に垂直な方向のように、工作物６４に沿う横方向の移動を指す。工作物の回転は、図１にも示したように、ｃ方向と呼ばれる。工作物が、ロール形態とは対照的に、平面形態で実施される場合、ｙ方向及びｚ方向は、ｘ方向に対して実質的に垂直な方向の、工作物に対して相互に直交する方向の移動を指す。
【００１７】
系１０は、高精度、高速加工に用いることができる。この種の加工は、構成要素と工作物材料の協調速度のような、様々なパラメータを見込んでおかなければならない。通常、例えば、工作物材料の熱安定性及び特性に加えて、加工すべき金属の所与の量のための比エネルギーを考慮しなければならない。加工に関連する切削パラメータは、「加工データハンドブック（Machining Data Handbook）」、米国議会図書館カタログカード番号第６６−６００５１号、第二版（１９７２年）；エドワード・トレント（Edward Trent）及びポール・ライト（Paul Wright）、「金属切削（Metal Cutting）第四版」、バターワース−ハイネマン（Butterworth-Heinemann）、ＩＳＢＮ  ０−７５０６−７０６９−Ｘ（２０００年）；チャン・チン−ホウ（Zhang Jin-Hua）、「精密切削の理論と技術（Theory and Technique of Precision Cutting）」、ベルガモンプレス（Pergamon Press）、ＩＳＢＮ  ０−０８−０３５８９１−８（１９９１年）；及びＭ．Ｋ．クルーガー（M. K.Krueger）ら、「金属加工流体の新技術と研削砥石の研削性能１０倍改良の達成（New Technology in Metalworking Fluids and Grinding Wheels Achieves Tenfold Improvement in Grinding Performance）」、金属切削及び研削用冷却剤／潤滑剤学会（Coolant／Lubricants for Metal Cutting and Grinding Conference）、米国イリノイ州シカゴ、２０００年６月７日に記載されている。
【００１８】
ＰＺＴスタック
図３は、切削工具に用いられる代表的なＰＺＴスタック７２の図である。ＰＺＴスタックは、それに接続された工具先端部を移動させ、ＰＺＴ作用によって操作するのに用いられる。これは、当該技術分野において既知である。ＰＺＴ作用によれば、特定の種類の材料に適用される電界は、材料のある軸に沿った拡大と別の軸に沿った収縮を引き起こす。ＰＺＴスタックは、通常、ケーシング８４内に封入された複数の材料７４、７６、７８を備え、基板８６に実装される。この例示的な実施形態における材料は、ＰＺＴ作用を受けたセラミック材料で実施される。３枚のディスク７４、７６及び７８は、例示目的のためだけに示され、多数のディスク又は他の材料、及びそれらの任意の種類の形状は、例えば特定の実施形態の要件に基づいて使用されてよい。柱部８８は、ディスクに付着し、ケーシング８４から突出する。ディスクは、例えば、混合、加圧、基剤化（based）、及び焼結された、チタン酸バリウム、ジルコン酸鉛、又はチタン酸鉛材料のような、任意のＰＺＴ材料で実施されてよい。ＰＺＴ材料のようなものは、郵便番号９４５４５米国カリフォルニア州ヘイワード  インダストリアル通り（Industrial Blvd., Hayward）２６２４０、キネティック・セラミックス社（Kinetic Ceramics）から入手可能である。ディスクはまた、例えば、磁歪性材料で実施されてもよい。
【００１９】
線８０及び８２で表わされるような、ディスク７４、７６及び７８への電気的接続は、柱部８８を移動させるために、ディスクに電界をもたらす。ＰＺＴ作用のため、及び印加される電界の種類に基づいて、柱部８８は、数ミクロン以内の移動のように、精密かつ小さな移動を達成することができる。また、柱部８８を有するＰＺＴスタック７２の端部には、ＰＺＴスタックに予荷重をかける、１つ以上のベルビル（Belleville）ワッシャを実装してもよい。ベルビルワッシャは、若干可撓性を有し、柱部８８とそれに取り付けられた工具先端部の移動を可能にする。以下で記載する作動装置中の各ＰＺＴスタックはまた、予荷重をかけるためのベルビルワッシャ、或いは、ＰＺＴスタックに予荷重をかけるために各ＰＺＴスタックに実装された任意の機器を内蔵してもよい。
【００２０】
高速Ｚ作動装置（Fast Z Actuator）
図４Ａ〜４Ｆは、代表的な高速Ｚ作動装置の図である。「高速Ｚ作動装置」という用語は、任意の種類の作動装置、又は工作物の加工に用いるための、実質的にｚ方向に工具先端部を移動させる他の機器を指す。図４Ａは、高速Ｚ作動装置９０の平面図である。図４Ｂは、高速Ｚ作動装置９０の背面図である。図４Ｃは、高速Ｚ作動装置９０の正面図である。図４Ｄ及び４Ｅは、高速Ｚ作動装置９０の側面図である。図４Ｆは、高速Ｚ作動装置９０の斜視図である。図４Ｂ〜４Ｆの高速Ｚ作動装置の細部の幾つかは、明確にするために除去されている。
【００２１】
図４Ａ〜４Ｆに示すように、高速Ｚ作動装置９０は、実装部９１を有する本体９２を備える。ＰＺＴスタック９８は、実装部９１と板部１００の間に、例えば、ファスナーで固定されている。板部１００は、ＰＺＴスタック９８の起動により、矢印１０６で表わされるように、工具先端部１０２がｚ方向に移動するように、ＰＺＴスタック９８に横断方向に接続された工具先端部１０２に取り付けられている。ＰＺＴスタック９８は、図３に示される代表的なＰＺＴスタック７２で実施されてよい。板部１００は、例えば、ＰＺＴスタック９８の予荷重用に、１つ以上のベルビルワッシャで実施されてもよい。
【００２２】
本体９２はまた、コンピュータ１２の制御下で工作物５４を加工するために、例えばボルト等を介して、刃物台３６に本体を実装するために用いられる、２対の開口部９４及び９６を備える。電気的接続１０４は、ＰＺＴスタック９８の制御のために、ＰＺＴスタック９８に信号を送信する。図４Ａに示すように、上記のように、開口部９９を通してポート９３、９５及び９７のうち少なくとも１つに、並びにポート９３、９５及び９７のうち少なくとも１つから（入力ポートとして用いられるのではなく）冷却流体を送ることにより、本体９２の温度を制御することができる。本体９２を通して冷却流体を送るための開口部９９は、任意の特定の形状又は構成を含んでよく、多数の入力及び出力ポートを用いてもよい。
【００２３】
図５Ａ〜５Ｄは、工具先端部１０２のより詳細な図である。図５Ａは、工具先端部１０２の側面図である。図５Ｂは、工具先端部１０２の平面図である。図５Ｃは、工具先端部１０２の底面図である。図５Ｄは、工具先端部１０２の正面図である。図５Ａ〜５Ｄに示すように、工具先端部１０２は、板部１００に実装するために用いる、開口部１１０を有する部分１０８を備える。工具先端部１０２はまた、切削部１１４を保持する前側先細部１１２を有する。部分１０８は、例えば、焼結カーバイト、窒化ケイ素、炭化ケイ素、鋼又はチタンの材料のうち１種以上で実施されてもよい。部分１０８の材料は、堅く、低質量であることが好ましい。切削部１１４は、例えば、ダイヤモンドスラブで実施されてよく、接着剤、ろう着、はんだ付け又は他の方法等により部分１０８に固定されてよい。
【００２４】
図６は、高速Ｚ作動装置を有する切削工具系を用いて作製することができる、微細構造を概念的に説明した図である。図６に示すように、物品１２０は上面１２２と底面１２４を備える。上面１２２は、線１２６で表わされるような微細構造を備え、これらの微細構造は上記作動装置を用いて製造され、工作物を加工し、次いで該工作物を用いてフィルム又はコーティング技術を用いた物品を製造することができる。幾つかの実施形態では、作動装置９８は、微細構造を製造するために２０〜３０ｋＨｚで作動させることができるが、他の周波数も可能である。
【００２５】
本発明は例示的な実施形態に関して記載されているが、多くの変形が当業者にとって容易に明らかとなり、本出願はあらゆる調整又は変更を含むことを意図していることを理解されたい。例えば、刃物台、作動装置、及び工具先端部、並びにこれらの構成要素の構成のための様々な種類の材料を、本発明の範囲から逸脱することなく使用することができる。本発明は、特許請求の範囲及びその等価物にのみ制限される。
【００２６】
添付図面は本明細書の一部に組み込まれ、構成するものであって、該明細書の記載と共に本明細書の利点と原則を説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】工作物に微細構造を作製するための切削工具の図。
【図２】切削工具のための座標系を説明した図。
【図３】切削工具で用いるための代表的なＰＺＴスタックの図。
【図４Ａ】切削工具で用いるための高速Ｚ作動装置の平面図。
【図４Ｂ】高速Ｚ作動装置の背面図。
【図４Ｃ】高速Ｚ作動装置の正面図。
【図４Ｄ】高速Ｚ作動装置の側面図。
【図４Ｅ】高速Ｚ作動装置の側面図。
【図４Ｆ】高速Ｚ作動装置の斜視図。
【図５Ａ】高速Ｚ作動装置と用いるための工具先端部の側面図。
【図５Ｂ】工具先端部の平面図。
【図５Ｃ】工具先端部の底面図。
【図５Ｄ】工具先端部の正面図。
【図６】高速Ｚ作動装置を有する切削工具系を用いて作製できる微細構造を、概念的に説明した図。
【図１】
2009515724.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
2009515724.tif 000007
【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
2009515724.tif 000013
【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
2009515724.tif 000015
【図６】
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【国際調査報告】
2009515724.tif 000017
2009515724.tif 000018