(57)【要約】  回路ボード（ＣＢ）上に実装された集積回路（ＩＣ）ダイを備えるＣＢアセンブリの熱伝導性を改善するための方法および装置。高熱伝導性（ＨＴＣ）素子が第１の端部上でダイの表面に取り付けられる。ダイがＣＢ上に実装される場合、ＣＢ内に形成された空隙がＨＴＣ素子の第２の端部を受け、ＨＴＣ素子の第２の端部がＣＢの一部分と接触する。ダイの動作中、ダイによって発生する熱は、ＨＴＣ素子から、およびＣＢ内に消散する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つまたは複数の電気接続部、およびその中に形成された空隙を含む回路ボード（ＣＢ）と、
前記ＣＢの側面に実装され、１つまたは複数の電気回路、および１つまたは複数の電気接続部を含む集積回路（ＩＣ）ダイであって、前記ＣＢ上の前記電気接続部のうちの少なくとも１つが、前記ダイ上の前記電気接続部のうちの少なくとも１つと接触する、ダイと、
第１の端部および第２の端部を有し、前記空隙内に少なくとも部分的に配置されている高熱伝導性（ＨＴＣ）素子であって、それにより、前記ＨＴＣ素子の前記第１の端部が前記ダイに熱的に結合され、前記ＨＴＣ素子の前記第２の端部が前記空隙の下で前記ＣＢの一部分に熱的に結合される、ＨＴＣ素子と、
を備えるＣＢアセンブリ。
【請求項２】
前記ダイが、ダイレクト・チップ・アタッチ構成で前記ＣＢに実装される、請求項１に記載のＣＢアセンブリ。
【請求項３】
前記ＣＢが単一層のＣＢである、請求項１に記載のＣＢアセンブリ。
【請求項４】
前記ＣＢが、
第１の側面および第２の側面を含む第１の層であって、前記ダイが前記第１の層の前記第１の側面に隣接して取り付けられる、第１の層と、
前記第１の層の前記第２の側面に隣接して配置される硬化剤層と、を含み、
前記空隙が少なくとも前記第１の層から前記硬化剤層に下方に延在し、前記ＨＴＣ素子の前記第２の端部が前記硬化剤層と接触し、前記硬化剤層が高熱伝導性材料を含む、請求項１に記載のＣＢアセンブリ。
【請求項５】
前記ＨＴＣ素子が熱的伝導性エラストマを含む、請求項１に記載のＣＢアセンブリ。
【請求項６】
前記ＨＴＣ素子が熱可塑性物質を含む、請求項１に記載のＣＢアセンブリ。
【請求項７】
前記ＨＴＣ素子が金属を含む、請求項１に記載のＣＢアセンブリ。
【請求項８】
前記金属が半田である、請求項７に記載のＣＢアセンブリ。
【請求項９】
改善された熱消散を有する回路ボード（ＣＢ）アセンブリを形成するための方法であって、
１つまたは複数の電気回路、およびその上に形成された１つまたは複数の電気接続部を有するダイを形成することと、
１つまたは複数の電気接続部、およびその中に形成された空隙を有するＣＢを形成することと、
前記ダイ上の前記電気接続部のうちの少なくとも１つが、前記ＣＢ上の前記電気接続部のうちの少なくとも１つと接触するように、前記ダイを前記ＣＢ上に実装することと、を含み、
前記ダイが前記ＣＢ上に実装される場合、ＨＴＣ素子の少なくとも一部分は前記空隙内に位置し、それにより、前記ＨＴＣ素子の第１の端部は前記ダイに熱的に結合され、前記ＨＴＣ素子の第２の端部は前記ＣＢの一部分と熱的に結合される、方法。
【請求項１０】
前記ＨＴＣ素子の前記第１の端部は、前記ダイがウエハの一部である場合、成形工程によって前記ダイに熱的に結合される、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記ＨＴＣ素子の前記第１の端部は、前記ダイがウエハから切断された後に、成形工程によって前記ダイに熱的に結合される、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記ＨＴＣ素子の前記第２の端部が前記ＣＢの硬化剤の表面と熱的に結合される、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記ＨＴＣ素子が熱的伝導性エラストマを含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
前記ＨＴＣ素子が熱可塑性物質を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１５】
前記ＨＴＣ素子が金属を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１６】
前記金属が半田を含み、前記ＨＴＣ素子は、半田バンプ工程が行われた場合、前記ダイと熱的に結合される、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記ＨＴＣデバイスが、前記ダイを前記ＣＢ上に実装する前に、前記ダイに熱的に結合される、請求項９に記載の方法。
【請求項１８】
前記ＨＴＣデバイスが、前記ダイを前記ＣＢ上に実装する前に、前記ＣＢの前記一部分と熱的に結合される、請求項９に記載の方法。
【請求項１９】
１つまたは複数の電気接続部、およびその中に形成された空隙を含む回路ボード（ＣＢ）と、
前記ＣＢの側面に実装され、１つまたは複数の電気回路、および１つまたは複数の電気接続部を含む集積回路（ＩＣ）ダイであって、前記ＣＢ上の前記電気接続部のうちの少なくとも１つが前記ダイ上の前記電気接続部のうちの少なくとも１つと接触する、ダイと、
第１の端部および第２の端部を有し、前記空隙内に少なくとも部分的に配置されている高熱伝導性（ＨＴＣ）素子であって、それにより、前記ＨＴＣ素子の前記第１の端部が、前記ダイに取り付けられ、前記ＨＴＣ素子の前記第２の端部が、前記空隙の下で前記ＣＢの一部分に取り付けられ、または極めて接近している、ＨＴＣ素子と、
を備えるＣＢアセンブリ。
【請求項２０】
改善された熱消散を有する回路ボード（ＣＢ）アセンブリを形成するための方法であって、
１つまたは複数の電気回路、およびその上に形成された１つまたは複数の電気接続部を有するダイを形成することと、
１つまたは複数の電気接続部、およびその中に形成された空隙を有するＣＢを形成することと、
前記ダイ上の前記電気接続部のうちの少なくとも１つが、前記ＣＢ上の前記電気接続部のうちの少なくとも１つと接触するように、前記ダイを前記ＣＢ上に実装することと、を含み、
前記ダイが前記ＣＢ上に実装される場合、ＨＴＣ素子の少なくとも一部分は前記空隙内に位置し、それにより、前記ＨＴＣ素子の第１の端部は、前記ダイに取り付けられ、前記ＨＴＣ素子の第２の端部は、前記ＣＢの一部分に取り付けられ、または極めて接近している、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、２００４年１０月１４日に出願されたＰＣＴ特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ０４／３３９８２号に関し、２００６年４月１３日に出願された「ＭＥＴＨＯＤ  ＡＮＤ  ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ  ＦＯＲ  ＩＭＰＲＯＶＩＮＧ  ＴＨＥＲＭＡＬ  ＥＮＥＲＧＹ  ＤＩＳＳＩＰＡＴＩＯＮ  ＩＮ  Ａ  ＤＩＲＥＣＴ−ＣＨＩＰ−ＡＴＴＡＣＨ  ＣＯＵＰＬＩＮＧ  ＣＯＮＦＩＧＵＲＡＴＩＯＮ  ＯＦ  ＡＮ  ＩＮＴＥＧＲＡＴＥＤ  ＣＩＲＣＵＩＴ  ＡＮＤ  Ａ  ＣＩＲＣＵＩＴ  ＢＯＡＲＤ」という表題の米国ＣＩＰ特許出願第ＸＸ／ＸＸＸ，ＸＸＸ号に関する。
【０００２】
本発明は、回路ボード（ＣＢ）に関し、より詳細には、ＣＢ上に実装された集積回路（ＩＣ）によって発生する熱エネルギーを消散することに関する。
【背景技術】
【０００３】
一般的なＩＣパッケージは、通常、内部リードフレーム、ボンドワイヤ、ダイ、およびダイを外界と電気的に接続するための外部電気リードを有する密閉型および／またはカプセル型のプラスチック筺体を含む。より高い熱消散ダイを収容するＩＣパッケージは、ＩＣ基板に接続されているパッケージ内に形成された追加の不可欠なヒート・シンクを有する。ヒート・シンクは、一般に、金属層を含む。通常、ダイは、表を上にしたその電気接触パッド、およびダイの電気接触パッドをＩＣパッケージの内部リードフレームに接続するボンドワイヤにより金属層上に実装される。リードフレームは、ダイおよびボンドワイヤからＩＣパッケージの外部電気リードに、機械的に剛質な電気路を形成する。リードフレームは、通常、内部リードフレームと外部リードとの間の電気接続部をつなぐために、プラスチック筺体内で部分的に成形される。電気リードは、パッケージから、パッケージが実装される回路ボード（ＣＢ）に電気接続を行う。
【０００４】
高パワー熱消散ＩＣがＣＢ上に実装される場合、ＩＣパッケージの下部に直接位置するＣＢ上の熱スプレッダ素子は、ＩＣパッケージのヒート・シンクに、次いで、一般には、プリント回路ボード（ＰＣＢ）層であるＣＢの層内のグラウンド面に熱的に接続される。熱スプレッダ素子は、ＩＣによって発生する熱をＣＢグラウンド面それ自体に消散する。また、ＩＣによって発生する熱は、ＩＣパッケージから周囲空気へと対流によって離れていく。しかし、ＩＣパッケージの使用が小さな物理的位置に制約され、かつ／または他のダイに対して物理的に小さかった場合、通常、パッケージの周辺では、空気の循環が非常に悪く、したがって対流による熱の除去が非常に少ない。その場合、ＩＣによって発生するすべての熱は、主には、ＩＣパッケージのヒート・シンクから、およびＣＢの熱スプレッダ素子内に、下の方向に消散されなくてはならない。
【０００５】
ダイレクト・チップ・アタッチ構成では、ＩＣパッケージは取り除かれ、ダイは反転位置のＣＢに直接実装され、それにより、ダイ上の電気接触パッドは、ＣＢ上の対向する回路配線の方に下方に向き、ダイの接触パッドをＣＢ上の回路配線に接続する電気相互接続部（例えば、半田バンプ）によって電気的に接続される。ダイレクト・チップ・アタッチ構成において使用されるＣＢは、通常、物理的に可撓性のＰＣＢであり、フレックスＣＢまたはフレックス回路として知られている。その可撓性により、フレックスＣＢは、小さな物理的面積内に成形可能であり、なおも、ＣＢとダイとの間の電気的接触を維持する。回路のこれらのタイプは、ハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ）内のハード・ドライブ磁気記録媒体からデータを読み取り、その媒体にデータを書き込む読取り／書込みヘッドについてなど、非常に小さいスペースがＣＢを実装するのに利用可能である状況において使用されることが多い。一般に、これらの読取り／書込みヘッドは、その上に実装されたフレックスＣＢと共に、ステンレス・スチールの電機子上に置かれている。フレックスＣＢの電気接点は、一般に、読取り／書込み前置増幅器ＩＣの電気接点に、読取り／書込みヘッドを接続する。その場合、このアセンブリ全体は、磁気記録媒体の上側に、空気力学的に浮上する。
【０００６】
図１は、様々な層を備えるフレックスＣＢ１２、およびフレックスＣＢ１２上に実装されたＩＣダイ１３を含む一般的なダイレクト・チップ・アタッチ・アセンブリ１１の斜視図を示している。ＩＣダイ１３は、向かい合う位置のフレックスＣＢ１２に実装され、それにより、ダイ１３上の電気接触パッド（図示せず）は、フレックスＣＢ１２上の回路配線（図示せず）に、電気相互接続部（例えば、半田バンプ）１９によって接続されやすくなるように配置される。フレックスＣＢ１２は、ダイ１３の向かい側のＣＢ１２の側面と接触するヒート・シンク材料１４と、ヒート・シンク材料１４上に配置された接着性の、および熱的な絶縁誘電材料（例えば、ポリイミド）の層１５と、層１５上に配置された金属層１６と、金属層１６上に配置された熱的な絶縁誘電材料（例えば、ポリイミド）の層１７とを含むことが可能である。上述した回路配線は、一般的には、銅製であるフレックスＣＢ１２の金属層１６の一部分によって形成される。熱消散体および熱経路として働くヒート・シンク材料１４は、ダイ１３からヒート・シンク材料１４内に向かう矢印２３および２４によって示されるように、ダイ１３からヒート・シンク材料１４への方向内にある。
【０００７】
場合によっては、フレックスＣＢは、ヒート・シンク材料１４とポリイミドおよび接着剤の層１５との間に位置するアルミニウム硬化剤（図示せず）などの安定化素子を含む。硬化剤は、フレックスＣＢに機械的な安定性をもたらす。フレックスＣＢにおいて、硬化剤は、ヒート・シンクおよび安定化素子の双方として働くことが可能であり、その場合に、ヒート・シンク材料１４は、省略可能である。ヒート・シンク材料１４は、ＣＢ１２の一部である必要はなく、そうではなくて、ＣＢ１２がその上に配置される分離素子であってもよい。硬化剤が使用された場合、それにより、ヒート・シンク材料１４内に、および最終的には、ディスク・ドライブの電機子および筺体内に、｛きょうたい｝熱消散の経路がもたらされる。
【０００８】
一般に、ダイ１３の接触パッドを金属層１６内に形成された回路配線と接続する電気相互接続部１９は、ダイ１３の底面上に位置する電気接触パッド（図示せず）上に配置される半田または無鉛のバンプであり、加熱され、次いで、フレックスＣＢ１２上の回路配線と接触して配置される。バンプが冷却し、固まった場合、それらは、ダイ１３の底面上のパッドと、フレックスＣＢ１２の金属層１６内に形成される回路配線との間に硬質な電気接続部を形成する。
【０００９】
電気接続部が、ダイ１３上のパッドとフレックスＣＢ１２の回路配線との間に形成されると、わずかな分離間隔が、ダイ１３の表面とＣＢ１２の表面との間に存在する。一般には、２５から７６マイクロメートル（０．００１から０．００３インチ）の範囲であるこの間隔の物理的幾何学形状により、一般には、ダイ１３とフレックスＣＢ１２との間の間隔は、機械的安定性をもたらすアンダーフィル材料２１で充填される。これは、電気接続部が機能しなくなる可能性のある過度の機械的応力が、ダイ１３および相互接続部の上に及ぼされないようにするために意図されている。アンダーフィル材料２１は、通常、ダイ１３のパッドがフレックスＣＢ１２上の回路配線と相互接続された後に、加えられる。アンダーフィル材料２１は、一般には、キャピラリ・フローを使用して加えられる。その場合、アンダーフィル材料２１は、材料を固体の、物理的な状態に硬化するために加熱される。現在、この目的に使用されるアンダーフィル材料２１は、低い熱伝導性を有し、一般には、ドイツ、デュッセルドルフのＨｅｎｋｅｌ  Ｌｏｃｔｉｔｅ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎによって製造されているＨｙｓｏｌ（登録商標）ＦＰ４５４９である。この特定のアンダーフィル材料は、集積回路の不動態化材料に強化接着するために設計された高純度、低応力の液状エポキシである。
【００１０】
図１に示されているアセンブリなどのフレックスＣＢアセンブリが、ディスク・ドライブの読取り／書込みヘッド上に使用される場合、フレックスＣＢアセンブリは、実行されるべき読取りおよび書込み動作を可能にするために、通常、大量の電流および／または電圧を使用する。信号のこれらのタイプは、一般に、約２００ピコ秒（ｐｓ）未満の非常に速い立ち上がり時間、およびナノ秒（ｎｓ）当たり７００ミリアンペア（ｍＡ）を超える大きなスルー・レートを示し、極めて大きな瞬間電流および／または電圧を生成する。これらの大きな瞬間電流および／または電圧は、消散されることの必要な大量の熱エネルギーを生成する。
【００１１】
いくつかの試みがＣＢアセンブリのヒート・シンクの有効性を改善するために行われており、それは、フレックス回路上の銅配線エリアを増大すること、フレックス回路上の銅配線の厚さを増大すること、複数の「ダミー」バンプの専用位置などのより高い密度の熱伝導性相互接続部を使用すること、より高い熱伝導性のアンダーフィルを使用すること、およびダイ／ＣＢインターフェースの物理的構造からすでに生じている伝導冷却に加えて、周囲の空気内への対流冷却を改善するのに役立つために、ＣＢに向かい合うフリップ・チップの側面にヒート・シンクを加えることを含む。今まで、個々にまたは一緒に使用されたこれらの技術はどれも、熱抵抗を著しく抑える点で効率的であることは完全に立証しておらず、また、効率的な低コストの（または費用のかからない）解決策も、もたらしていない。
【００１２】
フレックスＣＢアセンブリが、例えば、広さおよび費用の制約が重要視されるディスク・ドライブの読取り／書込みヘッド上など、非常に物理的に小さい環境において使用される場合、熱抵抗を抑えるための一般的な手法は、不十分かつ／または非実際的である。加えて、フレックスＣＢアセンブリは、一般には、単一層（すなわち、その中に形成された配線を有する金属層１６）を使用する。広さおよび費用の制約が問題ではないなど、複数の層のＣＢを使用することが可能であり、実際的である場合、単純な複数層めっき貫通孔技術を使用して、発生する熱を消散するために、ＣＢから下方に熱的な伝導熱経路を形成することが可能である。しかし、複数層のＣＢは、通常、単一層ＣＢよりかなり費用がかかる。そのため、複数層の導体ＣＢを使用することは、場合によっては、法外な費用がかかる場合がある。また、電機子上への追加の質量により、結果的には読取りおよび書込みの速度が遅くなる可能性があるので、ディスク・ドライブの電機子上に位置する複数層のＣＢは、ディスク・ドライブの適用例においてヘッド電機子の空気力学により、通常、適切ではない。
【００１３】
したがって、ＣＢアセンブリにおける、具体的には、ダイレクト・チップ・アタッチ・アセンブリにおける熱エネルギーをより効率的に消散するための方法および装置についての必要性がある。
【特許文献１】ＰＣＴ特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ０４／３３９８２号
【特許文献２】米国ＣＩＰ特許出願第ＸＸ／ＸＸＸ，ＸＸＸ号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、回路ボード・アセンブリにおける熱を消散するための方法および装置を提供する。ＣＢアセンブリは、その中に形成された空隙を有するＣＢ、ＣＢの側面に実装された集積回路（ＩＣ）ダイ、および第１の端部上でダイに熱的に結合され、空隙内に少なくとも部分的に配置されている高熱伝導性（ＨＴＣ）素子を含む。ＨＴＣ素子は、空隙より下のＣＢの一部分に熱的に結合される第２の端部を有する。ダイによって発生する熱は、ＨＴＣ素子からＣＢ内に消散される。
【００１５】
方法は、１つまたは複数の電気回路、およびその上に形成された１つまたは複数の電気接続部を有するダイを形成することと、１つまたは複数の電気接続部、およびその中に形成された空隙を有するＣＢを形成することと、ダイ上の少なくとも１つの電気接続部が、ＣＢ上の少なくとも１つの電気接続部と接触するように、ダイをＣＢ上に実装することとを含む。ダイがＣＢ上に実装される場合、ＨＴＣ素子の少なくとも一部分は空隙内にあり、ＨＴＣ素子の第１の端部はダイに熱的に結合され、ＨＴＣ素子の第２の端部はＣＢの一部分と熱的に結合される。
【００１６】
本発明のこれらならびに他の特徴および利点は、以下の説明、図面および特許請求の範囲から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の一実施形態によれば、相対的に高熱伝導性の素子がダイとＣＢとの間に配置され、ダイおよびＣＢと接触している。この実施形態によれば、高熱伝導性（ＨＴＣ）素子は、一端部上でダイに取り付けられる。ダイがＣＢ上に実装される場合、ＨＴＣ素子は、ＣＢ内に形成された空隙内に部分的に配置され、ダイに取り付けられている端部に向かい合う素子の端部はＣＢの硬化剤と接触する。ダイによって発生する熱は、ＨＴＣ素子から、および機械的安定剤として働く硬化剤内に消散する。また、硬化剤は、ヒート・シンク材料として働くことも可能である。いくつかの実施形態では、分離ヒート・シンク材料が、硬化剤に加えて使用可能であり、その場合、硬化剤内に消散する熱は、ヒート・シンク材料内に消散する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１に示されているダイレクト・チップ・アタッチ・アセンブル１１を再度参照すると、相互接続部１９を形成する半田または無鉛のバンプが冷却し、固まった場合、それらは、必ずしも均等なサイズの相互接続部を形成するとは限らない。これにより、結果的に、ダイ１３の底面２５と、金属層１６内に形成された配線との間に、不均等な間隔が生じる。これが起きた場合には、ダイ１３の平面は、ＣＢ１２の平面に平行ではなく、すなわち、ダイ１３は、ＣＢ１２に対して「傾斜する」。この傾斜により、相互接続部１９にひびを入れる可能性のあるダイ１３上に置かれる機械的応力が生じ、ダイ１３が適切に動作しなくなる可能性がある。
【００１９】
本発明のＨＴＣ素子は、改善された熱消散をもたらすだけでなく、傾斜と関連する問題を取り除く。図２は、本発明によるＨＴＣ素子３０の一実施形態の斜視図を示している。図示の実施形態によれば、ＨＴＣ素子３０は、ディスク形状部３１およびコーン形状部３２を備える。ディスク形状部３１は、第１の側面３１Ａおよび第２の側面３１Ｂを含む。コーン形状部３２は、端部３２Ａおよび外面３２Ｂを含む。コーン形状部３２の端部３２Ａは、ＨＴＣ素子３０の一方の端部を形成し、ディスク形状部３１の第１の側面３１Ａは、ＨＴＣ素子３０の他方の端部を形成する。図３を参照してより詳細に説明するように、ダイがＣＢに実装される場合、第１の側面３１ＡはＣＢの方を向いているダイの側面と接触し、端部３２ＡはＣＢ、およびいくつかの実施形態では、ＣＢと関連する硬化剤と接触する。したがって、ダイによって発生する熱は、ＨＴＣ素子３０から、ＣＢ（例えば、ＣＢの硬化剤）内に下方に消散される。
【００２０】
図３は、本発明によるダイレクト・チップ・アタッチ・アセンブリ４０の一実施形態の斜視図を示している。アセンブリ４０は、図２に示されているＨＴＣ素子３０と、ＣＢ４２と、ダイ４３とを備える。いくつかの実施形態では、ＣＢ４２は、フレックス回路である。ＣＢ４２およびダイ４３は、図１にそれぞれ示されているＣＢ１２およびダイ１３を参照して上述されているように、同一の層で形成可能である。しかし、アセンブリ４０は、いずれの特定のダイまたはＣＢにも限定されないことが、当業者には理解されるであろう。加えて、また、本発明は、ダイレクト・チップ・アタッチ構成を参照して説明されているが、本発明は、例えば、複数層ＣＢおよびダイ取付けアセンブリを含む任意のタイプのダイおよびＣＢの組合せに等しく適用可能であることが、当業者には理解されるであろう。
【００２１】
図３に示されるように、ＣＢ４２は、例えば、ポリイミドを含むＣＢ４２の最上層４５から、例えば、アルミニウムを含む硬化剤４７の上面４６に下方に延在するその中に形成された空隙４４を含むことができる。ＨＴＣ素子３０の第１の側面３１Ａは、圧力接着剤（図示せず）を使用することによってなどの様々な方法で、ダイ４３の底面４８に取り付け可能である。一実施形態では、ダイ４３がＣＢ４２上に実装される場合、ＨＴＣ素子３０は、空隙４４内に位置し、それにより、ＨＴＣ素子３０の端部３２Ａは、硬化剤４７の上面４６と接触する。いくつかの実施形態では、ＨＴＣ素子３０の端部３２Ａは、例えば、圧力接着剤、または任意の他の取付け材料もしくは技術を使用して、硬化剤４７の上面４６に取り付け可能である。他の実施形態では、ＨＴＣ素子３０の端部３２Ａは、単に、ＣＢ４２に対するダイ４３の圧力によって、硬化剤４７の上面４６に対して、またはその上面近くに保持可能である。
【００２２】
図示の実施形態では、開口部４４は、ＨＴＣ素子３０のコーン形状部３２の形状を受け入れるためにコーン形状をしている。この実施形態のこの態様によれば、空隙４４は、ＨＴＣ素子３０のコーン形状部３２の外面３２Ｂが空隙４４の内壁と接触し、または極めて接近するように、寸法付けられる。当業者には認識されるように、ＣＢ４２およびダイ４３は、ダイ４３がＣＢ４２上に実装される場合、それぞれと接触する電気接続部５２および５３をそれぞれ含む。一実施形態によれば、第１の側面３１Ａから端部３２ＡへのＨＴＣ素子３０の全長は、ダイ４３がＣＢ４２上に実装される場合、ＣＢ４２上の電気接続部５２が、ダイ４３上のそれぞれの電気接続部５３と接触し、ＨＴＣ素子３０の端部３２Ａが、硬化剤４７の上面４６と接触し、または極めて接近するようになるほどである。他の実施形態によれば、ＨＴＣ素子３０の端部３２Ａは、硬化剤４７と接触する必要はない。例えば、空隙４４は、高熱伝導性のいくつかの材料により部分的に充填可能であり、それにより、ダイ４３がＣＢ４２上に実装される場合、ＨＴＣ素子３０の端部３２Ａは、その材料と接触する。この例では、ダイ４３から硬化剤４７への全経路は、高熱伝導性を有する。
【００２３】
本発明の実施形態によれば、ダイ４３によって発生する熱は、ダイ４３からＨＴＣ素子３０から硬化剤４７内に消散されることになる。加えて、ＨＴＣ素子３０の寸法付けは、ダイ４３がＣＢ４２上に実装される場合、接続部５２および５３が、互いと接触し、ＨＴＣ素子３０の端部３２Ａが、硬化剤４７の上面４６と接触し、または極めて接近するようになるほどである。この構成は、ダイ４３がＣＢ４２に対して傾斜する可能性を取り除くのに役立つ。例えば、接続部５３が半田バンプである場合、すべてのバンプが同一の高さに固まらなくても、または１つもしくは複数のバンプが壊れても、端部３２Ａと硬化剤４７の上面４６との間の接点は、ダイ４３が傾斜しないようにすることに役立つことになる。加えて、空隙４４とＨＴＣ素子３０との相補的形状により、ＨＴＣ素子３０および空隙４４が自己位置合わせし、それによりまた、ＣＢ４２上にダイ４３を実装しやすくすることも可能になる。
【００２４】
ＨＴＣ素子３０は、例えば、押出成形または射出成形など、様々な技術によるダイの製造工程中に、ダイ４３上に配置可能である。ＨＴＣ素子３０は、ＣＢ４２の層４５のものより高い熱伝導性を有する任意の材料で構成可能である。いくつかの適切な材料は、熱的に伝導性のエラストマまたは熱可塑性物質を含むが、それらに限定されない。ＨＴＣ素子３０は、ダイのすべての他の層が不動態化層を含んで形成された後、ダイ４３上に配置可能である。ＨＴＣ素子３０がウエハ・レベルにおけるダイ上に配置された場合、多数のＨＴＣ素子のための多数（例えば、数千個）の金型を含む金型を使用して、多数のそれぞれのダイ上にＨＴＣ素子を配置することが可能である。その場合、ダイがウエハから切断されるときに、それぞれのダイは、それに取り付けられたＨＴＣ素子を有することになる。あるいは、ＨＴＣ素子３０は、ダイが、ウエハから切断された後に、それらの上に配置可能でもある。
【００２５】
本発明のＨＴＣ素子は、いずれの特定の高熱伝導性材料で構成されることに限定されない。例えば、ＨＴＣ素子は、接続部５３を形成する半田バンプがダイ４３上に配置された場合、ダイ上に置かれる半田バンプであってよい。この場合、ＨＴＣ素子を形成することにより、ダイ４３またはＣＢ４２を形成する場合に、追加の工程ステップが行われることは必要でなくなる。高熱伝導性の材料は、ダイ４３がＣＢ４２に実装される場合、ＨＴＣ素子を備える半田バンプが材料と接触するように、空隙内に配置可能である。これにより、ダイから硬化剤への全経路が高熱伝導性であることが確実になる。また、これにより、ＨＴＣ素子を備える半田バンプが、ダイから硬化剤まで延在するのに十分なほど大きくなる必要もなくなる。
【００２６】
本発明が、少数の実施形態例を参照して説明されていること、および本発明が、これらの実施形態に限定されないことに留意されたい。本明細書に説明されている実施形態は、本発明の原理および概念を伝えることを意味しており、本発明を行うための独占的な実施形態を示しているように意図されていない。例えば、ＨＴＣ素子は、円錐形状であると説明されている。これは、ＨＴＣ素子について、多数の可能な形状のほんの一例に過ぎない。ＨＴＣ素子は、いずれの特定の形状であることに、または、いずれの特定の材料で構成されていることにも限定されない。また、ＨＴＣ素子は、まず、ダイに取り付けられると説明されているが、そうではなく、まず、ＣＢに取付け可能でもある。さらには、他の実施形態では、２つ以上のＨＴＣ素子が使用可能でもある。例えば、複数のＨＴＣ素子がダイ４３とＣＢ４２との間に位置付け可能である。他の修正形態が本明細書に説明されている実施形態に対して行われることが可能であり、このようなすべての修正形態は、本発明の範囲内にある。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】ＣＢと、ＣＢ上に実装されたＩＣダイとを備える一般的なダイレクト・チップ・アタッチ構成の断面図である。
【図２】例示的実施形態による高熱伝導性（ＨＴＣ）素子の斜視図である。
【図３】アセンブリのダイに取り付けられた図２に示されているＨＴＣ素子を有する例示的実施形態による本発明のダイレクト・チップ・アタッチ・アセンブリの斜視図である。
【図１】
2009533865.tif 000003
【図２】
2009533865.tif 000004
【図３】
2009533865.tif 000005
【国際調査報告】
2009533865.tif 000006
2009533865.tif 000007
2009533865.tif 000008