(57)【要約】  基板の表面の検査用の測定装置が記載されている。測定装置は、保持部材と、エアマウントされたエレメントとを有しており、エアマウントされたエレメントは、保持部材に取り付けられており、保持部材は、基板の検査すべき表面と共に、空気支持体を形成可能であり、保持部材は、エアマウントされたエレメントを、表面のコルゲーション（凸凹）に適合可能である。測定装置は、更に、少なくとも１つのセンサを有しており、このセンサは、エアマウントされたエレメントに取り付けられており、基板の表面の検出用に装置構成されている。エアマウントされたエレメントのフレキシビリティの結果、少なくとも１つのセンサを、検査すべき表面のコルゲーション（凸凹）に、常に一定の測定距離で表面に対して相対的に動くことができる。更に、表面検査用の測定方法が記載されており、その際、前述の測定装置が、表面に対して相対的に動かされる。
2009535632.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板（１４０）の表面（１４１）の検査用の測定装置において、
測定装置は、
保持部材（１１０）と、
エアマウントされたエレメント（１２０，２２０）を有しており、
前記エアマウントされたエレメント（１２０，２２０）は、前記保持部材（１１０）に取り付けられており、前記保持部材（１１０）は、前記基板（１４０）の検査すべき表面（１４１）と共に、空気支持体を形成可能であり、
前記保持部材（１１０）は、前記エアマウントされたエレメント（１２０，２２０）を、前記表面（１４１）の起伏に適合可能であり、
少なくとも１つのセンサ（１３０，２３０）を有しており、
前記センサ（１３０，２３０）は、前記エアマウントされたエレメント（１２０，２２０）に取り付けられており、
前記エアマウントされたエレメント（１２０，２２０）は、前記基板（１４０）の前記表面（１４１）を検査するように構成されていることを特徴とする測定装置。
【請求項２】
付加的に、
保持部材（１１０）及び／又は検査すべき基板（１４０）と結合された位置決めシステム（１１５）を有しており、
前記位置決めシステム（１１５）により、センサ（１３０，２３０）は、表面（１４１）に対して相対的に位置決め可能である請求項１記載の測定装置。
【請求項３】
付加的に、
エアマウントされたエレメント（１２０）に構成された、フェイルセーフコーティング（Notlaufbeschichtung）（１２１）を有する請求項１又は２記載の測定装置。
【請求項４】
付加的に、
エアマウントされたエレメント（１２０，２２０）を、機械的なバイアス力の下で表面（１４１）に接近可能であるように構成されたバイアス力形成装置（１３３，１３４，２３３）を有する請求項１から３迄の何れか１記載の測定装置。
【請求項５】
バイアス力形成装置は、真空吸気装置（１３３，１３４，２３３）である請求項４記載の測定装置。
【請求項６】
付加的に、
エアマウントされたエレメント（２２０）に構成された少なくとも１つの距離センサ（２３５）を有する請求項４又は５記載の測定装置。
【請求項７】
距離センサは、光学的な距離センサ（２３５）及び／又は容量性の距離センサである請求項６記載の測定装置。
【請求項８】
付加的に、
距離センサ（２３５）及びバイアス力形成装置（１３３，１３４，２３３）及び／又は前記距離センサ（２３５）及びブローエア発生装置（１３１，１３２，２３１）と接続された調整ユニット（１３７）を有する請求項６又は７記載の測定装置。
【請求項９】
基板（１４０）の表面（１４１）の検査用の測定方法において、測定方法は、
請求項１から９迄の何れか１記載の測定装置（１００）を基板（１４０）の表面（１４１）に対して相対的に移動するステップを有しており、該ステップで、少なくとも１つのセンサ（１３０，２３０）のエアマウントされたエレメント（１２０，２２０）の弾性の結果、前記移動が行われることを特徴とする測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板の表面を検査する測定装置および測定方法に関する。この測定装置はセンサを有しており、このセンサは、所定の間隔で、測定すべき表面を位置決め可能である。
【０００２】
平坦面の表面検査の分野では、ふつうセンサは、測定しようとする基板表面の上にあらかじめ定めた間隔で位置決めされる。この位置決めは、ふつう位置決めシステムによって行われ、この位置決めシステムにより、測定しようとする表面に対して平行な面内で上記のセンサを位置決めすることができる。このため、この位置決めシステムを相応に駆動制御することによって、例えば、メアンダ状の運動によって、測定しようとする表面全体を走査することができる。高い測定速度を得るため、多数の個別センサを有するセンサも使用され、ここでは複数の測定点を同時に測定することにより、所定の面積に対する測定時間が個別センサの個数に応じて低減されるのである。
【０００３】
処理すべき測定課題の性質に依存して種々異なるセンサが使用される。光学式検査ではふつう、例えばラインまたはエリアセンサを有するカメラが使用される。容量式の測定課題では、所定の交流または直流電圧が加えられた多数の測定ピンが使用される。測定信号としては、各測定ピンを流れる小さな電流が使用され、これは測定ピン間の容量に依存するか、または測定しようとする表面の各測定点に依存する。
【０００４】
例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ liquid Crystal Display）に使用される基板のプリント基板構造の存在し得る欠陥に関してＬＣＤの製造前に検査することのできる方法が公知である。ここでは測定ピンと、複数の測定ピンのうちの１つに向き合うプリント基板構造との間で相応に容量式の測定を行うことにより、プリント基板構造の望ましくない短絡、断線およびくびれを識別することができる。これらの欠陥は、ＬＣＤ基板の後続の処理の前に修復するか、またはこのＬＣＤ基板を製造プロセスから抜き出すことができる。これによっていずれにせよ液晶ディスプレイの製造コストを格段に低減することができるのである。
【０００５】
精度の高い検査のためにはふつう、センサと、測定しようとする基板表面との間の間隔を高精度に設定および維持することが必要である。しかしながら測定しようとする基板が平らでない表面ないしはわずかに波打った表面を有する場合には、精確に間隔を維持することは格段に困難になる。したがって平らでない表面を測定するために、測定しようとする表面に対して平行な面内におけるセンサの位置決めだけでなく、この面に対して垂直な方向における位置決めも行うことのできる位置決めシステムを使用しなければならない。しかしながら、測定しようとする表面に対して、このように垂直方向に位置決めすることは、ふつう測定過程の速度を遅くし、また測定精度を低減させることになるのである。
【０００６】
本発明の課題は、平らでない基板表面であっても精確な測定を可能にする測定装置及び測定方法を提供することである。
【０００７】
この課題は、独立請求項記載の各要件によって解決され、本発明の有利な実施例は、従属請求項に記載されている。
【０００８】
独立請求項１により、基板の表面の検査用の測定装置が記載されている。測定装置は、（ａ）保持部材（１１０）と、（ｂ）エアマウントされたエレメントとを有しており、エアマウントされたエレメントは、保持部材に取り付けられており、保持部材は、基板の検査すべき表面と共に、空気支持体を形成可能であり、保持部材は、エアマウントされたエレメントを、表面の起伏に適合可能である。前述の測定装置は、更に（ｃ）少なくとも１つのセンサを有しており、センサは、エアマウントされたエレメントに取り付けられており、エアマウントされたエレメントは、基板の表面を検査するように構成されている。
【０００９】
本発明の基本的な認識は、エアマウントされたエレメントは、フレキシブルなセンサ坦体を用いて構成されるという点にある。その際、フレキシブルなセンサ坦体は、完全に固定の部材乃至固定の材料を用いずに構成することができる。従って、エアマウントされたエレメントは、場合によって凸凹がある場合に、検査すべき表面に適合することができる、容易に曲げることができる定規に似ている。エアマウントされたエレメントのフレキシブルな構成により、殊に、検査すべき基板表面の長い距離のコルゲーション（凸凹）乃至波形に適合させることができるようになる。
【００１０】
エアマウントされたエレメントは、例えば、所要のフレキシビリティを有する薄ガラスを用いて構成することができる。フレキシブルにエアマウントされたエレメントは、少なくとも部分的に、例えば、塩化ポリビニール（ＰＶＣ）のようなプラスチック製、又は、例えば、カーボンファイバ複合材料のようなファイバ強化材料製にするとよい。
【００１１】
保持部材は、例えば、ホルダーアームであり、このホルダーアーム内に、フレキシブルにエアマウントされたエレメントが少なくとも２つの側から保持されている。その際、エアマウントされたエレメントは、フレキシブルな固体フランジを用いてホルダーアームに取り付けることができる。
【００１２】
これに関連して、固体フランジの概念は、低減された曲げ剛性（verminderten Biegesteifigkeit）を有する構成部品の個所と理解され、固体フランジに比較して、明らかに高い曲げ剛性を有している構成部品の隣の領域から限定された個所のことである。このようにして、保持部材とエアマウントされたエレメントは、運動する対（kinematisches Paar）として一体的に例えばマイクロメカニカルな構造化方式によって製造することができる。低減された曲げ剛性は、一般的に局所的に横断面を低減することによって形成される。その際、横断面は、１つの空間方向又は複数の空間方向に沿って低減してもよい。横断面を変える際、種々異なる幾何形状にしてよい。フランジに沿って急激に比較的小さな、しかも所定の区間に亘って一定の値に横断面が低減すると、板ばねフランジが得られる。しかし、横断面は、連続的に変えてもよく、その結果、テーパが、例えば、円弧の形状を有している。
【００１３】
空気支持体は、フレキシブルにエアマウントされたエレメントで構成されたブローノズルによって構成するとよい。センサと、検査すべき基板表面との間の所定の測定間隔は、ニューマチックな力と、例えば、重量の力(Gewichtskraft)によって生じる力との間の力の平衡状態によって定義することができる。その際、ニューマチックな力は、測定すべき基板表面とフレキシブルにエアマウントされたエレメントとの間の空気流によって形成される。重量の力は、エアマウントされたエレメントとセンサ並びに場合によっては保持部材を有する測定ヘッドの質量に依存している。その際、重量の力とニューマチックな力とは相互に対向しており、その際、ニューマチックな力は、例えば、測定距離を大きくするために空気流を高めることによって高められる。付加的に、対向する力によって、空気支持体の動的な安定性を向上することができる。
【００１４】
力の平衡状態は、ニューマチックな力と別の力との間でも生じることができ、その結果、重力に関して上の方に配向されていない表面も測定することができる。更に、重量の力として別の力によると、重力に関して下の方に配向されていない基板表面を検査することができる。例えば、真空吸気装置を用いて測定ヘッドを下の方から押圧することによって、そのような基板表面を検査することができ、その際、この場合、測定間隔は、一方では、（ａ）ニューマチックな力と、測定ヘッドの重力との間の力の平衡状態によって、及び、他方では、（ｂ）ニューマチックな力と、真空吸引部の、上の方に配向された押圧力との間の力の平衡状態によって決められる。当然、測定ヘッドが相応の角度で基板の表面に押圧される限りで、垂直方向の表面であっても、又は、斜めの表面であっても、表面を検査することができる。当然、真空吸気装置として力を形成する別の手段を用いてもよい。
【００１５】
請求項２記載の本発明の実施例によると、付加的に、保持部材及び／又は検査すべき基板と結合された位置決めシステムを有しており、位置決めシステムにより、センサは、表面に対して相対的に位置決め可能である。
【００１６】
位置決めシステムは、基板表面に対して相対的にセンサが２次元運動することができる所謂面位置決めシステムにするとよい。その際、基板を２次元に位置決めしてもよく、エアマウントされたエレメント及びセンサを有する保持部材である測定ヘッドを２次元に位置決めしてもよい。
【００１７】
位置決めシステムは、基板が第１の方向に沿って可動であり、且つ、測定ヘッドが第２の方向に沿って可動であって、第２の方向を第１の方向に対して角度をもって、有利には垂直方向に配向しているように構成してもよい。このようにして、２つの直線運動を組み合わせて、基板表面を正確に２次元に走査することができるようになる。
【００１８】
当然、測定ヘッドを、基板に対して相対的に単に１次元で位置決めしてもよい。この場合でも、測定装置乃至測定ヘッドに複数のセンサを用いて、このセンサを例えば一列に配列して、センサを直線状の運動方向に対して角度を成すように、又は、有利には、垂直方向に配向すれば、基板の表面を面状に走査することができる。
【００１９】
請求項３の本発明の別の実施例によると、測定装置は、付加的に、エアマウントされたエレメントに構成されたフェイルセーフコーティング（Notlaufbeschichtung）を有する。これは、例えば、ブローエア形成装置が故障して、それにより空気支持体が破損することによって、エアマウントされたエレメントと、基板表面とが不所望にも機械的に接触した場合に、検査すべき基板表面は、損なわれないという利点を有している。フェイルセーフコーティングとして、例えば、テフロン膜が適している。
【００２０】
フェイルセーフコーティングにより、更に、エアマウントされたエレメントに取り付けられたセンサを、基板によって損傷されないように保護することができるという利点が達成される。
【００２１】
請求項４によると、測定装置は、付加的に、機械的なバイアス力の下でエアマウントされたエレメントを表面に接近可能であるように構成されたバイアス力形成装置を有する。
【００２２】
そのようなバイアス力形成装置を用いると、エアマウントされたエレメントが基板の３次元に成形された表面に特に良好に適合することができるという利点が得られる。このようにして、時間的にも空間的にも、エアマウントされたエレメント乃至測定ヘッドと、検査すべき基板表面との間隔を常に一定にすることができるようになる。従って、多数のセンサを備えた測定ヘッドを用いると、このセンサを、比較的簡単に一定の測定間隔で基板表面上に案内することができる。
【００２３】
空気支持体に対して反対方向に作用するバイアス力形成装置は、例えば、磁界形成ユニットを有することができ、その結果、エアマウントされたエレメントは、磁力によって検査すべき基板表面の方向に押圧される。磁界形成ユニットは、例えば、基板の裏側の測定ヘッドの層から設けられた、１つ又は複数の電磁石を有することができる。単数又は複数の電磁石の相応の電流給電時に、フレキシブルにエアマウントされたエレメントに取り付けられている磁気部材によって磁気的な引力が生じる。このようにして、エアマウントされたエレメントは、基板表面に対して、ほぼ平坦に作用する引力を生じることができ、その際、平坦に作用する引力は、上述のニューマチック力と共に力の平衡状態を形成する。測定間隔は、ニューマチック力と磁気引力との間の関係を相応に適合することによって正確に調整することができる。
【００２４】
請求項５によると、バイアス力形成装置は、真空吸気装置である。真空吸気装置は、ニューマチックなエアマウント力とニューマチックな真空吸気装置とを、簡単に安定した平衡状態に調整して、真空吸引に有利にすることができるという利点を有している。それにより、測定ヘッドを、検査すべき基板表面に、正確に決められた測定間隔で、例えば、１０μｍで付着することができるようになる。従って、エアマウントされたエレメントの固有のフレキシビリティの結果、測定ヘッド全体を、ほぼ正確に、検査すべき基板表面のコルゲーション（凸凹）に適合させることができる。
【００２５】
ニューマチックバイアス力形成装置を用いると、同様に考え得る、ほぼ均一なバイアス力を形成する別の手段に較べて、バイアス力形成装置を、エアマウントされたエレメントの空気支持用のブローエア形成装置とニューマチックに結合することができるという利点を有している。これは、例えば、ヴェンチュリ管又は他のニューマチック部材を用いることによって行うことができ、その結果、唯一の圧縮空気又は真空形成装置を用いて、エアマウントに必要なブローエアも、ニューマチックなバイアス力に必要な負圧も形成することができる。
【００２６】
請求項６によると、付加的に、エアマウントされたエレメントに構成された少なくとも１つの距離センサを有する。これは、測定装置の作動中、測定間隔を、少なくとも、測定ヘッドの予め決められた個所にコントロールすることができるという利点を有している。従って、例えば、センサによって検出される測定信号の評価の際に間隔情報を考慮することができる。
【００２７】
有利には、多数の距離センサを用いるとよく、その結果、測定ヘッドの決められた多数の個所で、各々の測定距離を検出することができる。
【００２８】
請求項７によると、距離センサは、光学的な距離センサ及び／又は容量性の距離センサである。
【００２９】
光学的な距離センサとして、殊に、共焦点の距離センサが適しており、この共焦点の距離センサは、三角測量の測定原理に基づく距離センサとは異なり、照射及び測定ビームを共軸に案内し、その結果、ラテラル方向に非常に僅かしか拡がっていない容積領域内で距離測定を実施することができる。しかも、共焦点の距離センサの利点は、非常に僅かな測定距離を、高い精度で、即ち、μｍの大きさの非常に高い深さ解像度で測定することができる点にある。共焦点の距離センサは、例えば、WO 2005/078383 A1、EP 1398597 A1、又は、DE 19608468 A1に記載されている。この共焦点センサの他に、例えば、高い解像度により、適切な精度を提供する干渉センサを用いてもよい。
【００３０】
請求項８によると、測定装置は、付加的に、距離センサ及びバイアス力形成装置及び／又は距離センサ及びブローエア発生装置と接続された調整ユニットを有する。これは、閉ループ、つまり、帰還結合を有する調整回路を高さ調整のために形成することができ、その結果、エアマウントされたエレメント乃至測定ヘッドと、検査すべき基板表面との間を常に一定の決められた測定間隔にすることができるようになるという利点を有する。
【００３１】
独立請求項９には、基板の表面の検査用の測定方法が記載されている。この測定方法は、以下のステップを有している：上述の測定装置を基板の表面に対して相対的に移動するステップを有しており、該ステップで、エアマウントされたエレメントの弾性の結果、少なくとも１つのセンサが、表面から所定の測定距離で移動する。
【００３２】
本発明の認識は、エアマウントされたエレメントのフレキシビリティの結果、測定装置の測定ヘッドを自動的に基板表面の３次元表面構造に適合させることができる。このようにして、検査すべき表面からの少なくとも１つのセンサの距離を、時間的にも空間的にも一定にすることができるようになる。
【００３３】
以下、本発明について、図示の有利な実施例を用いて詳細に説明する。  略示した図面において、
図１は、フレキシブル且つニューマチックにバイアス力をかけられたセンサ坦体を、基板の波状に起伏した表面に適合することを横断面で示した図であり、
図２は、図１に示したセンサ坦体の平面図を示す。
【００３４】
ここで注意したいのは、図面において互いに相応するコンポーネントの参照符号は、最初の数字だけが異なることである。
【００３５】
図１は、本発明の１実施例による測定装置１００を示し、この測定装置１００は、フレキシブルなセンサ坦体１２０を有しており、このセンサ坦体１２０は、面位置決めシステム１１５を用いて、基板１４０の検査すべき表面１４１上を動くことができる。その際、ｘ軸及びｙ軸によって形成された位置決め平面内で位置決めを行うことができる。
【００３６】
測定装置１００は、保持部材１１０を有しており、この保持部材１１０は、ここに図示した実施例によると、保持アーム１１０である。保持アームには、２つの取付部材１１１が構成されている。各々１つの固体ジョイント（Festkoerpergelenk）１１２を介して、フレキシブルなセンサ坦体１２０は、取付部材１１１と結合されている。固体ジョイント１１２を用いて、フレキシブルなセンサ坦体１２０を取り付ける利点は、センサ坦体１２０及び両取付部材１１１を一体的に、例えば、マイクロメカニカルな構造化方法によって製造することができる点にある。固体ジョイント１１２の代わりに、当然、任意の別の懸架乃至機械的な結合部材を用いてもよい。
【００３７】
フレキシブルなセンサ坦体１２０には、複数のセンサ１３０が装着されており、複数のセンサ１３０は、ｘ軸に沿って一列に設けられている。各センサ１３０は、任意のセンサ、例えば、光学、容量性及び／又は誘導性センサである。センサ１３０を平坦に設けてもよく、その結果、表面１４１を特に効果的に多数のセンサ１３０を同時に作動することによって走査することができる。
【００３８】
フレキシブルなセンサ坦体１２０は、更に、図示していないやり方で、ブローエア発生装置１３２を用いてニューマチックに結合される幾つかのブローエアチャネル１３１を有している。ブローエアチャネル１３１に圧縮空気を相応に印加することによって、空気流が形成され、この空気流は、ブローエアチャネル１３１の下側の開口から、基板表面１４１の方向に流出する。このようにして、フレキシブルなセンサ坦体１２０の下側の面と表面１４１との間に、エアクッションが形成され、このエアクッションは、検査すべき表面１４１上に、センサ坦体１２０の空気層を生じる。フレキシブルなセンサ坦体１２０は、前述の説明と関連して、エアマウンテッドエレメント(luftgelagertes Element)１２０とも呼ばれる。
【００３９】
検査すべき表面１４１側の、エアマウントされたエレメント１２０の側面は、所謂フェイルセーフコーティング(Notlaufbeschichtung)１２１を有している。ここで説明している実施例によると、フェイルセーフコーティングは、テフロン層１２１であり、このテフロン層は、ブローエア発生装置１３２が過誤により故障した場合、センサ１３０及び／又は基板の表面１４１が損傷するのを阻止する。
【００４０】
図１から分かるように、分かり易くするために、図１には、基板の表面１４１の波形は強く誇張して図示している。ここで、エアマウントされたエレメント１２０は、当該エレメント固有のフレキシビリティ乃至弾性に基づいて、表面１４１のコルゲーション（凸凹）に適合することができる。このようにして、基板表面１４１の図示のような波形にも拘わらず、全てのセンサ１３０は、表面１４１の上にほぼ同じ測定間隔で位置しているようにすることができる。これは、エアマウントされたエレメント１２０が、表面１４１の３次元構造に動的に適合することができる、フレキシブルなセンサ坦体１２０の運動の場合にも該当する。
【００４１】
従って、エアマウントされたエレメント１２０のために相応の弾性材料を使うと、実際に何ら問題なく、ｚ軸方向に沿って波の山と波の谷との間に５０μｍ〜１５０μｍの最も大きな高さの差がある表面の波形を、フレキシブルにエアマウントされたエレメント１２０の相応の適合によって補償することができる。その際、エアマウントされたエレメント１２０の高いフレキシビリティにより、ｘ軸及びｚ軸に対して平行な面内で、比較的短い距離のコルゲーション（凸凹）に適合させることができる。
【００４２】
フレキシブルにエアマウントされたエレメント１２０が、殊に短い距離のコルゲーション（凸凹）に適合する能力を向上するために、フレキシブルにエアマウントされたエレメント１２０内に付加的に吸気口１３３が形成されており、当該吸気口が、図示していないやり方で、ニューマチックに真空形成装置１３４と結合されている。このようにして、基板１４０の方向に作用する、フレキシブルなセンサ坦体１２０の重量の力を別にして、センサ坦体１２０を基板１４０の方向に引っ張る吸引力が付加的に形成される。その際、所定の測定距離で、一方では、引張りの重量の力と真空の吸引力との間で、他方では、引張りの重量の力と、ブローエアチャネル２３１から発生されたブローエアによって形成される、反発作用するエアマウント力との間で、力が平衡する。これら各力の比を相応に選択することによって、個別センサ１３０と基板表面１４１との間の測定距離を調整することができる。この理由から、ブローエア発生装置１３２も真空形成装置１３４も、調整ユニット１３７と結合されている。
【００４３】
エアマウントされたエレメント１２０は、例えば、所要のフレキシビリティを有する薄ガラスを用いて構成することができる。フレキシブルにエアマウントされたエレメントは、少なくとも部分的に、例えば、塩化ポリビニール（ＰＶＣ）のようなプラスチック製、又は、例えば、カーボンファイバ複合材料のようなファイバ強化材料製にするとよい。エアマウントされたエレメント１２０の製造のために、セラミック、ガラス又はカーボンファイバ複合材料を用いる利点は、これらの各材料を正確に加工することができる点にあり、その結果、ブローエアチャネル１３１及び／又は吸気口２３３を、高い精度でフレキシブルなセンサ坦体１２０内に形成することができる点にある。
殊に、ブローエアチャネル１３１を、レーザ加工を用いて形成することができる。このようにして、例えば、ブローエアチャネル１３１を、単に４μｍの直径を有するように形成してもよく、その結果、ニューマチックな無駄容積を相応に低減することができる。
【００４４】
前述の測定装置１００は、例えば、半完成品の液晶ディスプレイを検査する際に使用することができる。その際、基板表面上に取り付けられた導体路の構造が検査され、その際、相応の基板が、基板表面１４１に沿って、３００ｍｍ〜４００ｍｍの大きさのラテラル方向の拡がりを有している。当然、固有のフレキシブルなセンサ坦体１２０の既述のエアマウントを用いて、別の寸法の基板も検査することができ、その際、フレキシブルなセンサ坦体１２０の適合能力の結果、常に、全てのセンサ１３０の場合に、検査すべき表面に対して、ほぼ一定の測定距離にすることができる。
【００４５】
既述の測定装置１００の利点は、その都度用途に依存して、センサ坦体１２０を、その都度検査すべき表面１４１の大きさにスケーリングすることができる点にある。従って、種々異なる検査課題に応じて、使用されているセンサ坦体１２０のフレキシビリティの結果、検査すべき表面の波形に動的に適合することができる、適切な測定装置１００を製造することができる。
【００４６】
図２は、参照番号２２０が付けられた図１に図示したセンサ坦体１２０の平面図を示す。図示の実施例によると、３つのセンサ２３０は、センサ坦体２２０内に統合されている。当然、もっと多くのセンサ２３０を用いてもよく、その結果、並列化した走査によって、基板の表面を特に効率的に、つまり、特に高速で検査することができる。
【００４７】
図２から分かるように、各センサ２３０に、２つの吸気口２３３及び各センサ２３０の左側及び右側に設けられた、多数の微細なブローエアチャネル２３１が対応して設けられている。ここで説明している実施例によると、センサ２３０の直ぐ横に２つの吸気口２３３が形成されている。例えば、ブローエアチャネル２３１は、もっと外側に設けられている。所定の測定間隔で、一方では引張の重力と、真空の吸引力との間、他方では引張の重量の力と、反発作用するエアマウント力との間で、力を平衡させるのに、任意の別の幾何的な配置構成にしてもよいことは当然である。このようにして、比較的短い距離の表面のコルゲーション（凸凹）でも、センサ坦体２２０を安定した高さで配置することができるようになる。
【００４８】
更に図２から分かるように、センサ坦体２２０内には更に距離センサ２３５が設けられている。距離センサは、図２に図示していない調整ユニット（図１の参照番号１３７参照）と接続されており、その結果、各センサと、検査すべき表面との測定距離を、正確に調整し、且つ、測定作動中維持することもできるようになる。各距離センサとして、光学的又は容量性のセンサの距離センサを用いてもよい。光学的な距離センサとして、殊に、共焦点の距離センサが適しており、この共焦点の距離センサは、三角測量の測定原理に基づく距離センサとは異なり、照射及び測定ビームを共軸に案内し、その結果、ラテラル方向に非常に僅かしか拡がっていない容積領域内で距離測定を実施することができる。
【００４９】
ここで説明している実施例は、本発明の可能な各変形実施例の単に１つしか選択して説明していない。個別の各実施例の各要件を適切なやり方で、相互に組み合わせることもでき、その結果、当業者には、ここに開示した各変形実施例により、種々異なる多数の実施例が開示されているものと見なすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】フレキシブル且つニューマチックにバイアス力をかけられたセンサ坦体を、基板の波状に起伏した表面に適合することを横断面で示した図
【図２】図１に示したセンサ坦体の平面図
【符号の説明】
【００５１】
参照符号一覧
１００  測定装置
１１０  保持部材、保持アーム
１１１  取付部材
１１２  固体ジョイント
１１５  面位置決めシステム
１２０  エアマウントエレメント、フレキシブルセンサ坦体
１２１  フェイルセーフコーティング、テフロン層
１３０  センサ
１３１  ブローエアチャネル
１３２  ブローエア発生装置
１３３  吸気口
１３４  真空発生装置
１３７  調整ユニット
１４０  基板
１４１  表面
２２０  エアマウントエレメント、フレキシブルセンサ坦体
２３０  センサ
２３１  ブローエアチャネル
２３３  吸気口
２３５  距離センサ
【図１】
2009535632.tif 000003
【図２】
2009535632.tif 000004
【国際調査報告】
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