(57)【要約】  基準に対してフレームにおいて部品を位置決めするためのシステム。システムは、ボール組立体（４）であってロッド（６）、ロッド（６）に固定されるボール（８）及び部品に対して当該ボール組立体を固定するロッドに取り付けられるボール接続クランプシステム（１０、１２）からなるボール組立体（４）と、Ｖ字状組立体であってロッド（１６）、ロッド（１６）に固定されるＶ字状部（１８）及びフレームに対して当該Ｖ字状組立体を固定するロッドに取り付けられるボール接続クランプシステム（２０、２２）と、ボールのＶ字状部（１８）との接触を保持する弾性を有する連結素子（２６）と、を備える。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準に対してフレームに部品を位置決めするためのシステムであって、
−  ボール組立体（４）であって、ロッド（６）、前記ロッド（６）に固定されるボール（８）、及び前記部品に対して当該ボール組立体を固定する前記ロッドに取り付けられるボール接続クランプシステム（１０、１２）からなるボール組立体（４）と、
−  Ｖ字状組立体であって、ロッド（１６）、前記ロッド（１６）に固定されるＶ字状部（１８）及び前記フレームに対して当該Ｖ字状組立体を固定する前記ロッドに取り付けられるボール接続クランプシステム（２０、２２）と、
−  前記ボール（８）の前記Ｖ字状部（１８）との接触を保持する弾性を有する連結素子（２６）と、
を特徴とする位置決めシステム。
【請求項２】
前記ボール接続クランプシステムが、２つの凹曲面ワッシャ（１０）と、２つの凸曲面ワッシャ（１２）と、前記凹曲面ワッシャ及び前記凸曲面ワッシャを互いにクランプする２つのナット（１４）と、からなることを特徴とする請求項１に記載の位置決めシステム。
【請求項３】
前記連結素子が、ネジ連結ベル部（２６）であることを特徴とする請求項１または２に記載の位置決めシステム。
【請求項４】
前記部品が、光学レーザ部品であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の位置決めシステム。
【請求項５】
部品を位置決めするための調節工具であって、
第１に前記部品の回りに適合するフレーム（５０）と、第２に前記部品（３２、４４）が前記フレームに設置されるときに前記フレーム（５０）に固定されうる取外し可能な底板（６０）とを備え、
前記フレーム及び前記底板が、当該工具に対して前記部品を正確に移動するマイクロメータ調節ネジ（６４）を備え、
前記フレーム及び前記底板が、いったん所定位置が求められると当該工具に対して前記部品を適所に固定することに使用されるクランプネジ（６６）を備えることを特徴とする調節工具。
【請求項６】
ポッドに対して請求項１から４のいずれか１項に記載の３つのＶ字状組立体を位置決めするための調節方法であって、
−  マスタ部品（４４）が、請求項５に記載の調節工具（５０、６０）にシリンダが設けられた３つの組立体に設置、取り付けされており、
前記組立体それぞれが、ロッド及び前記ロッドに固定されるシリンダを備えるシリンダを備え、
前記シリンダの直径が、請求項１から４のいずれか１項に記載のボール組立体の一部を形成するボールの直径と等しく、
クランプシステムの前記ロッドが、ボール接続クランプシステムによりマスタ部品にクランプされ、
位置が調節される３つの前記Ｖ字状組立体それぞれが、連結素子を介してシリンダが設けられた組立体のシリンダに取り付けられ、
−  前記Ｖ字状組立体の前記ロッドが、前記ポッドに形成された３つの貫通孔（７８）内に取り付けられ、
前記調節工具（５０、６０）が、前記ポッドにクランプされ、
−  前記マスタ部品（４４）の位置が、前記調節工具（５０、６０）を用いて基準に対して調節され、
−  前記マスタ部品（４４）が前記基準に対して所定位置にあると、３つの前記Ｖ字状組立体それぞれが、そのボール接続クランプシステムを用いて占有される位置にクランプされ、
−  前記ポッドの前記調節工具（５０、６０）が、前記マスタ部品から開放され、分解される、
ことを特徴とする調節方法。
【請求項７】
部品（３４）に対して３つのボール組立体の位置を調節するための方法であって、
−  調節ベンチに対する３つの前記Ｖ字状組立体の位置が、マスタ部品（４４）及び請求項６に記載の方法を用いて調節され、
−  前記部品（３４）が、前記位置が調節されるために３つの前記ボール組立体に取り付けられ、
前記ボール組立体が、請求項５に記載の調節工具に取り付けられ、
−  ボールが、前記マスタ部品（４４）を用いて調節されるＶ字状部と接触させられ、
前記調節工具（５０、６０）が、前記調節ベンチにクランプされ、
−  基準に対する前記部品の位置が、前記調節工具を用いて調節され、
−  前記部品が前記基準に対する所定位置にあると、３つの前記ボール組立体それぞれが、そのボール接続クランプシステムを用いてそれが占有する適所にクランプされ、
−  固定ベル部が、解放され、
−  前記調節ベンチの前記調節工具（５０、６０）が、前記部品から緩めされ、分解され、
−  前記部品が、前記ポッドに設置される、
ことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基準（reference）に対してフレーム上に部品を配置するためのシステム、この部品の配置を調節するための工具並びにこれらＶ字状の組立体及びこれらボール組立体の配置の調整のための方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
能動的な静的位置決めシステム(active statically determinate system)、すなわち正確な機構により操作されるシステムであってファインピッチのウォームスクリューが取り付けられた簡単なスライドステージが光学部品を配置するために用いられうるシステムは知られている。
【０００３】
これら能動的なシステムの最も一般的な使用は、ＬＰＰ（線(Line)、点(Point)、面(Plane)）であり、これが非常に使用しやすいからである。これらシステムは、たいてい３つのボール素子で形成され、ボールは、同様に調整可能となっている。このタイプの装置において、配置される部品それぞれのための１つの調節機構がある。いったん調節されると、機構はもはや用いられず、そして能動的な装置は接続機能のみ機能する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
わずかな部品しかない場合、これは軽微な欠点である。他方、調節される部品が多数ある場合には、コストが大幅に増大する。
【０００５】
本発明の目的は、決して調節精度を低減しない一方、安価なままとするシステムを提供することによりこれら欠点を克服する位置決めシステム、調節工具及び調節方法である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
位置決めシステムは、
−  ボール組立体であって、ロッド、ロッドに固定されるボール及び前記部品に対して当該ボール組立体を固定するロッドに取り付けられるボール接続クランプシステムからなるボール組立体と、
−  Ｖ字状組立体であって、ロッド、ロッドに固定されるＶ字状部及びフレームに対して当該Ｖ字状組立体を固定するロッドに取り付けられるボール接続クランプシステムと、
−  ボールのＶ字状部との接触を保持する弾性を有する連結素子と、
を特徴とする。
【０００７】
有利には、ボール接続クランプシステムは、２つの凹曲面ワッシャと、２つの凸曲面ワッシャと、凹曲面ワッシャ及び凸曲面ワッシャを互いにクランプする２つのナットと、からなる。
【０００８】
連結素子は、ネジ連結ベル部であってもよい。例として、部品は、光学レーザ部品である。
【０００９】
部品の位置を調節することに使用される工具は、それが、第１に部品の回りに適合するフレームと、第２に部品がフレームに設置されるときにフレームに固定されうる取外し可能な底板とを備え、フレーム及び底板が、当該工具に対して部品を正確に移動する調節ネジを備え、フレーム及び底板が、いったん所定位置が求められると当該工具に対して部品を適所に固定することに使用されるクランプネジを備えることを特徴とする。
【００１０】
３つのＶ字状組立体における位置を調節する方法において、
−  マスタ部品は、本発明における工具にシリンダが設けられた３つの組立体に設置、取り付けされており、組立体それぞれは、ロッド及びロッドに固定されるシリンダを備えるシリンダを備え、シリンダの直径は、本発明におけるボール組立体の一部を形成するボールの直径と等しく、クランプシステムのロッドは、（凹、凸タイプの）ボール接続クランプシステムによりマスタ部品にクランプされ、位置が調節される３つのＶ字状組立体それぞれは、連結素子を介してシリンダが設けられた組立体のシリンダに取り付けられ、
−  Ｖ字状組立体のロッドは、事前センタリング工具を用いて横材において事前センタリングされ、
−  クランプは、固定され、
−  事前センタリング工具は、取り外され、
−  Ｖ字状組立体のロッドは、ポッドに形成された３つの貫通孔内に取り付けられ、調節工具は、ポッドにクランプされ、
−  マスタ部品の位置は、調節工具を用いて基準に対して調節され、
−  マスタ部品が基準に対して所定位置にあると、３つのＶ字状組立体それぞれは、そのボール接続クランプシステムを用いて占有される位置にクランプされ、
−  ポッドの調節工具は、マスタ部品から開放され、分解される。
【００１１】
３つのボール組立体の位置を調節する方法において、
−調節ベンチに対する３つのＶ字状組立体の位置は、マスタ部品及び上記記載の方法を用いて調節され、
−部品は、位置が調節されるために３つのボール組立体に取り付けられ、前記ボール組立体は、本発明における調節工具に取り付けられ、
−  クランプは、事前センタリングされ、
−  事前センタリング工具は、取り外され、
−  ボールは、マスタ部品を用いて調節されるＶ字状部と接触させられ、調節工具は、調節ベンチにクランプされ、
−  基準に対する部品の位置は、調節工具を用いて調節され、
−  部品が基準に対する所定位置にあると、３つのボール組立体それぞれは、そのボール接続クランプシステムを用いてそれが占有する適所にクランプされ、
−  固定ベル部は、解放され、
−  調節ベンチの調節工具は、部品から緩めされ、分解され、
−  部品は、ポッドに設置される。
【００１２】
いったん部品がベンチにおいて調節されると、ポッドＶ字状組立体が同じマスタ部品を用いてベンチのＶ字状組立体と同じ方法で調節されるため、それは、それらの位置をセンタリングすることなくポッドのＶ字状部に配置されうる。これは、部品の互換性を保証する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の他の特徴及び有利点は、添付の図面を参照しつつ、例示の実施形態の後述する記載を読んだ後に明確になるだろう。
【００１４】
図１において、一様に参照符号２で示された本発明における部品のための位置決めシステムは、まずボール組立体４及びＶ字状組立体６を備える。図２においてより詳細に示されているボール組立体４は、ロッド６及びロッドに固定されるボール８からなるボールインタフェースを備える。例えば、ロッドの直径は、１２ｍｍであってもよく、ボールの直径は、１５ｍｍであってもよい。ボール接続クランプシステムは、基準に対して位置決される部品に対して適所にあるボールを固定するロッド６に取り付けられている。図示の例において、ボール接続クランプシステムは、２つの凹球面ワッシャ１０、２つの凸球面ワッシャ１２及び２つのナット１４からなる。部品は、２つの凹球面ワッシャ１０間でクランプされる。
【００１５】
同様に、Ｖ字状組立体６は、Ｖ字状部１８に固定されるロッド１６を備えるＶ字状インタフェースからなる。ボール接続タイプのクランプシステムは、フレームに対してＶ字状組立体に固定されるロッド１６に取り付けられている。図示の例において、ボール接続クランプシステムは、ボール組立体システムと同一である。それは、同じく２つの凹球面ワッシャ２０、２つの凸球面ワッシャ２２及び２つのナット２４からなる。フレームは、２つの凹球面ワッシャ２０間に挿入されている。
【００１６】
ボール組立体４のボール８は、Ｖ字状組立体６のＶ字状部１８において適所に固定されている。ボール及びＶ字状部は、連結素子、例えばネジ連結ベル部２６を用いて互いの接触が保持されている。ボール及びＶ字状部の接続部における圧縮応力を防止するため、バネまたは弾性ワッシャ２８は、接触ワッシャ３０下に挿入され、ボールをＶ字状部内で適所に弾性的にあるようにする。
【００１７】
図３及び図４は、位置決めされる光学部品であって全体として参照符号３２で示され、３つのラグ３６を備えるフレーム３４からなる光学部品を示している。光学素子３８は、取付部３４に固定されている。ラグ３６それぞれは、貫通孔により穿孔されている。ボール組立体４のロッド６は、この貫通孔に挿入されており、ラグは、ボール接続クランプシステムの２つの凹ワッシャ１０間でクランプされ、ボール組立体は、部品３２に対して適所で保持される。
【００１８】
図５において、部品３２は、フレームを製造するポッドにおける平行な横材４０（１つの横材のみが図５において示されている）に位置決めシステム一式を用いて取り付けられる。２つのＶ字状組立体は、横材に取り付けられており、第３のＶ字状組立体は、平行な横材に取り付けられている。部品３２に関して同様に、貫通孔は、ポッドの横材４０に形成されている。Ｖ字状組立体それぞれのロッド１６は、これら貫通孔の１つに挿入されており、Ｖ字状組立体は、上述と同様に凹ワッシャ２０が横材でクランプされるようにナット２４を所定位置に螺合することでボール接続クランプシステムを用いて横材に対して適所に保持される。有利には、挿入は、押し潰しを避けて組立体をより堅固にするために横材に配置されてもよい。
【００１９】
部品３２のラグ３６に形成された孔部の直径及びポッドの横材４０に形成された孔部がロッド６及び１６の直径よりも大きいことを考慮すると、ロッドそれぞれは、部品に対してまたはポッドに対して数度、例えば±３°回転できる。このため、ロッド６及び１６それぞれは、６°の自由度を有する。
【００２０】
図６は、マスタ部品４４の斜視図を示している。マスタ部品は特殊なものであって、かつこの部品がいったん作られると、この部品がＶ字状インタフェースすべてを調節するために用いられるため、本発明に係る方法において重要な役割を果たす。
【００２１】
同一の欠陥が部品すべてに再現され同時にこれら欠点が互いに相殺されるため、１つのマスタ部品しかないということは、多くの許容誤差を排除する。
【００２２】
マスタ部品は、図３及び図４における光学部品３２とシリンダが設けられた組立体（図７参照）によりボール組立体が置換されることを除いて同様である。シリンダは、Ｖ字状部を方向付けるために用いられており、これらすべては、同一方向にある。（図６に示すように）、例えば、シリンダ４６ａは、水平方向の中心軸を有しており、シリンダ４６ｂは、所定の傾斜角（例えば４５°）で下方向を向く中心軸を有し、かつシリンダ４６ｃは、所定の傾斜角、例えば４５°で上方向を向く中心軸を有する。このように、シリンダ４６ａ、４６ｂ及び４６ｃの軸は、素子の中心において一致し、Ｖ字状部の端部は、同様に調節時においてやがて（later on）素子の中心に一致する。
【００２３】
その上、中でもマスタ部品の特性は、必然的に絶対的な精度で作製されなければならず、相対的なものであってはならない。マスタ部品の品質の再現性は最も重要であって、この再現性が確保できていれば、マスタ部品が壊れた場合であっても、（メンテナンスの点から見て許容できない）各ライン間のインタフェース(Line Line Line interfaces)すべてを再び調節する必要がなくなる。
【００２４】
調節ベンチは、マスタ部品を調節するために必要である。さまざまな方法は、この調節をもたらすことに用いられうる。まず、マスタ部品の光学素子は、ベンチにおける基準として使用されるマスクを用いた平行を実現するために自己平行(self-collimation)における調節（２つの一致するＸＹ軸に沿う傾斜の調節）のために用いられうる。光学素子は、センタリングを実現するために垂直に及び平行にエッチングされた線を有してもよい。また、これら線は、Ｚ軸に沿う寄生傾斜(parasite tilt)を示しても示さなくてもよいセオドライトの照準の動作と比較することにより、マスクに対する距離間隔の調節に用いられうる。最後に、セオドライトのテレメトリ機能は、Ｚ軸に沿う距離間隔の測定に用いられてもよい。光学素子の一部は、光学中心回りにおいて金属化されており、対象物は、十分な反射光束を得る。同様に、ミラーを用いてもよい。
【００２５】
図８は、工具５０の主要部を示す。工具は、例えば図３及び図４に示される部品または図６に示すマスタ部品などの部品の周囲に適合されたフレームからなる。フレームは、内部で部品におけるラグ３６の通過を可能とするように形成された凹所を有する２つの対向側部を有する４つの側部を有する。図９に示す底板６０は、フレーム５０上に適合されており、ネジ止めされてもよい。底板６０は、八角形状の凹所６２であって２つの大辺及び４つの小辺を備える凹所を有する。
【００２６】
図１０は、フレーム５０に組み立てられた底板６０を示す。フレームは、部品がフレームの内側にあるときにフレームの位置を調節するために使用する調節ネジを備える。例において、調節ネジは、NorelemまたはNewportタイプである。また、フレームは、調節後にフレームに対して適所に部品を保持するクランプネジ６６を備える。ネジ６６は、好ましくは回転ヘッドネジである。
【００２７】
図１１は、調節工具の内側に取り付けられたマスタ部品４４を示す。この図において、マスタ部品４４は、位置決めシステム一式、すなわち連結ベル部により互いに固定されたボール組立体及びＶ字状組立体を備えるシステム一式に取り付けられている。
【００２８】
マスタ部品に関して同様に、図８から図１１に示される調節工具も特殊なものとなっている。同じ調節工具は、すべての部品に用いられる。調節機能すべては、この工具により行われ、部品は、受動的な役割のみ行う。同様に、工具は、接続クランプ７０を用いてフレーム、例えばポッドに固定される。したがって、クランプの一組で間に合う。クランプは、事前センタリング工具７２を用いて調節されている。例えば全部で３つのクランプ７０は、ネジを用いて事前センタリング工具に取り付けられている。工具は、フレームに形成された３つの孔部のうち２つに位置付けられかつその後のＶ字状組立体のロッド１６の収容のために形成された少なくとも２つの事前センタリングロッド７４を備える。このように、事前センタリング工具は、工具が配置される位置にほぼ配置される。この位置において、クランプは、ポッドの横材４０に締結され、これらを適所に固定する。そして、事前センタリングプレート７２は、取り外され、工具は、その位置に固定される。
【００２９】
図１３及び図１４は、ポッドの横材４０に固定されたマスタ部品を備える工具における正面図及び側面図それぞれを示す。
【００３０】
参照符号７７は、後述するような基準に対してマスタ部品の位置を調節するためにマスタ部品に取り付けられた照準（sights）を示す。同様に、ミラーまたはキュービックウェッジ(cubic wedge)または反射器を用いることができる。
【００３１】
本発明で説明された方法における３つのＶ字状組立体６の位置の調節におけるさまざまな工程は、ここで図１５から図２０を参照しながら詳細に説明されるだろう。図１５において、まずクランプの事前センタリング段階を行う工程の後、マスタ部品４４は、図１１に示すように調節工具の内側に取り付けられる。この位置において、マスタ部品は、本発明と一致する３つの位置決めシステム２が取り付けられ、位置決めシステムそれぞれは、互いに連結ベル部２６を介して接続されたシリンダが設けられた組立体及びＶ字状組立体からなる。ロッド１６の端部におけるナット２４並びにこのナットに関連する凹及び凸ワッシャは、取り外され、ロッド１６は、ポッドに形成された孔部７８に挿入される。図１５において、３つの孔部は、表示を簡単にするために一列に配列されて示されているが、実際には２つの孔部が１つの横材に形成され、第３の孔部が平行な横材に形成され、孔部７８が一列に配列されていないことは明らかである。
【００３２】
図１６において、ロッド１６を孔部７８に挿入した後、取り外された凹ワッシャ２０及び凸ワッシャ２２は、ナット２４に続いて元に戻され（ナットを締結しない）、調節工具５０は、クランプ７０を用いて横材４０にクランプされ、この操作は、図１２を参照しながら説明される。
【００３３】
図１７において、マスタ部品４４の位置は、例えばトラッカまたはセオドライトを用いて基準に対するネジの調節を用いて調節される。
【００３４】
マスタ部品の位置は、照準７７を用いて調節される。そして、これにより、これらが止めネジを用いてこの位置に固定され、調節操作が終了する。これを達成する第１工程は、接続素子２６を締結し、Ｖ字状部に配列されたシリンダを適所に保持し、そしてクランプシステムは、ポッドの横材４０の両側に締結される。この段階において、２つのナット２４をバランスよくクランプし、ロッド１６により占有される調節位置に対するロッド１６の位置ズレが生じないようにすることは重要である。ロッド１６が適所に固定されるため、Ｖ字状部の調節操作は終了し、必要なのは調節工具及びマスタ部品を取り外すことである。これは、連結ベル部２６を分離し、工具を開放し取り外すことにより行われる（図２０）。
【００３５】
これら操作が完了すると、工具は、新たな調節操作のために使用可能となる。したがって、多数のＶ字状部は、同じ工具、同じマスタ部品及び同じクランプを用いて順に調節されることができる。
【００３６】
Ｖ字状組立体すべてが調節されると、必要なのは、光学部品の調節である。この操作は、後部ステーション、すなわちメトロジーワークショップ(metrology workshop)において行われてもよく、部品はすべて調節される。
【００３７】
この操作を行う第１の工程は、図１５から図２０を参照しながらただ今説明された方法を用いてベンチのマスタ部品を用いてマスタＶ字状組立体を作り出すことである。位置決めされる部品それぞれは、位置を調節するための３つのボール組立体に取り付けられ、この部品は、マスタ部品において行われたように正確に調節工具に取り付けられる。工具または調節ベンチは、クランプされ、ボールそれぞれは、マスタ組立体のＶ字状部の１つと接触させられる。基準に対して部品の位置を調節するために使用される方法は、同様に例えばトラッカまたはセオドライトを用いてこの基準にマスタ部品を調節するために用いられる。部品が基準に対して所定位置にあるときに、これは調節ネジを用いて調節工具に対して部品を移動させることにより行われ、ボール組立体すべては所定位置にあり、必要なことはロッド６に取り付けられたボール接続クランプシステムをクランプすることによりこれらが塞ぐ位置にこれらをクランプすることである。Ｖ字状組立体と同様に、ロッドの位置を修正しないためにナット１４をバランスよくクランプすることは重要である。そして、部品に対するボール組立体の位置は、固定され、行われる残されたことは、調節工具を分解することである。これを達成するため、調節工具は、調節ベンチから開放され部品から取り外される。部品のボール組立体におけるボールは、調節ベンチのマスタＶ字状組立体におけるＶ字状部から分離される。そして、調節工具及びマスタＶ字状組立体は、他の部品の調節に使用可能となる。したがって、部品すべては、調節されることができる。いったん部品をベンチにおいて調節すると、ラインインタフェースがこのマスタ部品を用いてポッドにおけるマスタ部品と同様の方法で調節ベンチに調節されるため、部品は、調節工具を用いずにポッドに位置決めされることができる。これは、部品の互換性を保証する。いかなる部品も、ポッドＶ字状組立体のいずれかに配置されうる。
【００３８】
ちょうど説明された例において、Ｖ字状組立体は、ポッドにある一方、ボール組立体は、部品にある。しかしながら、この配置は明らかに本質的でなく、本発明における方法及び装置を変更することなくボール組立体をポッドに位置させてＶ字状組立体を部品に位置させることは可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明における部品の位置決めシステムを示す断面図である。
【図２】図１における位置決めシステムを形成するボール組立体を示す三次元図である。
【図３】図２に示すような３つのボール組立体に取り付けられた光学部品を示す裏面図である。
【図４】図２に示すような３つのボール組立体に取り付けられた光学部品を示す正面図である。
【図５】図１に示す位置決めシステムを用いてポッドの横材に取り付けられた図３及び図４における光学部品を示す側面図である。
【図６】シリンダが設けられた３つの組立体に取り付けられたマスタ部品を示す三次元図である。
【図７】図６に示すマスタ部品のシリンダ状インタフェースを示す詳細図である。
【図８】ＬＬＬ調節工具のフレームを示す図である。
【図９】ＬＬＬ調節工具の底板を示す図である。
【図１０】空箱(empty)を組み立てる図８及び図９に示すＬＬＬ調節工具を示す図である。
【図１１】図６におけるマスタ部品を収容するＬＬＬ調節工具を示す背面図である。
【図１２】クランプ事前センタリング工具を示す斜視図である。
【図１３】ポッドの横材に取り付けられた図１１に示す工具を示す側面図である。
【図１４】ポッドの横材に取り付けられた図１１に示す工具を示す正面図である。
【図１５】図６におけるマスタ部品を用いるライン・ライン・ライン（ＬＬＬ）組立体の調節の連続的工程を示すダイアグラムである。
【図１６】図６におけるマスタ部品を用いるライン・ライン・ライン（ＬＬＬ）組立体の調節の連続的工程を示すダイアグラムである。
【図１７】図６におけるマスタ部品を用いるライン・ライン・ライン（ＬＬＬ）組立体の調節の連続的工程を示すダイアグラムである。
【図１８】図６におけるマスタ部品を用いるライン・ライン・ライン（ＬＬＬ）組立体の調節の連続的工程を示すダイアグラムである。
【図１９】図６におけるマスタ部品を用いるライン・ライン・ライン（ＬＬＬ）組立体の調節の連続的工程を示すダイアグラムである。
【図２０】図６におけるマスタ部品を用いるライン・ライン・ライン（ＬＬＬ）組立体の調節の連続的工程を示すダイアグラムである。
【符号の説明】
【００４０】
４  ボール組立体
６  ロッド
８  ボール
１０  凹ワッシャ，凹曲面ワッシャ
１２  凸ワッシャ，凸曲面ワッシャ
１４  ナット
１６  ロッド
１８  Ｖ字状部
２０  凹ワッシャ，凹曲面ワッシャ
２２  凸ワッシャ，凸曲面ワッシャ
２６  ネジ連結ベル部，固定ベル部（連結素子）
３２  部品
４４  マスタ部品
５０  フレーム，調節工具
６０  底板，調節工具
６４  調節ネジ（マイクロメータ調節ネジ）
６６  クランプネジ
７８  貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2009516206.tif 000013
【図１２】
2009516206.tif 000014
【図１３】
2009516206.tif 000015
【図１４】
2009516206.tif 000016
【図１５】
2009516206.tif 000017
【図１６】
2009516206.tif 000018
【図１７】
2009516206.tif 000019
【図１８】
2009516206.tif 000020
【図１９】
2009516206.tif 000021
【図２０】
2009516206.tif 000022
【国際調査報告】
2009516206.tif 000023
2009516206.tif 000024
2009516206.tif 000025
2009516206.tif 000026
2009516206.tif 000027
2009516206.tif 000028