(57)【要約】【課題】レンズ型部分をガス抜きするための装置および方法を提供すること。【解決手段】型部分をガス抜きするための好適な方法であって、型部分をキャニスター１０内の内部容積２０内に導入するステップと、この内部容積を密閉するステップと、内部容積を真空引きするステップと、型部分をガス抜きするのに適したガス状の流体を内部容積に導入するステップと、を含む。【選択図】図１２
2009507678.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
型部分をガス抜きするための方法において、
前記型部分をキャニスター内の内部容積内に挿入するステップと、
前記内部容積を密閉するステップと、
前記内部容積を真空引きするステップと、
前記内部容積内にガス状の流体を導入するステップと、
前記型部分をガス抜きするのに十分な時間、前記ガス状の流体を前記内部容積内に維持するステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
型部分をガス抜きするためのキャニスターにおいて、
内部容積を画定している実質的に中空の本体と、
第１および第２の末端部分であって、
これら末端部分は、前記本体の対向する端部に固定され、前記内部容積をさらに画定し、
前記第１の末端部分は、前記型部分が前記内部容積に挿入され、かつ前記内部容積から取り出されることができるように、前記内部容積にアクセスするための開口を有する、
第１および第２の末端部分と、
前記開口を覆うために前記第１の末端部分に選択的に固定されることができる蓋と、
前記内部容積にガス状の流体が導入され、かつ前記内部容積からガス状の流体が排出されることを可能にする少なくとも１つのニードル弁と、
前記内部容積に流体連通し、前記内部容積と前記キャニスターの周りの周囲環境との間の圧力差の表示を提供することができる膜と、
を含む、キャニスター。
【請求項３】
請求項２に記載のキャニスターにおいて、
前記ニードル弁は、前記蓋に形成された貫通孔内に配置されている、キャニスター。
【請求項４】
請求項２に記載のキャニスターにおいて、
前記ニードル弁には、ニードルインジェクタが前記内部容積内に挿入されることを可能にするための貫通孔が形成されている、キャニスター。
【請求項５】
請求項２に記載のキャニスターにおいて、
前記膜の下面は、前記蓋に形成された貫通孔に面している、キャニスター。
【請求項６】
請求項５に記載のキャニスターにおいて、
前記膜は、前記蓋と該蓋に取り付けられたプレートとの間に挟まれている、キャニスター。
【請求項７】
請求項６に記載のキャニスターにおいて、
前記プレートには、前記蓋に形成された貫通孔の中心線に実質的に一致する中心線を有する貫通孔が形成されている、キャニスター。
【請求項８】
物体をガス抜きするための装置において、
前記物体を収容するための内部を有する実質的に管状の第１の部分と、
前記第１の部分の第１の端部を覆う第２の部分と、
前記第１の部分の第２の端部を覆う第３の部分であって、前記第１の部分の前記内部への前記物体の挿入および前記第１の部分の前記内部からの前記物体の取出しを容易にするために前記第３の部分内に形成された開口を有する、第３の部分と、
前記第１の部分の前記内部を、真空源およびガス状流体源の少なくとも１つに流体連通させるための弁と、
前記第１の部分の前記内部と外部との圧力差に応答する圧力インジケータと、
を含む、装置。
【請求項９】
方法において、
（ｉ）キャニスター内の内部容積内に物体を配置するステップと、
（ｉｉ）前記内部容積を密閉するステップと、
（ｉｉｉ）第１の所定時間、前記内部容積を真空引きするステップと、
（ｉｖ）前記物体をガス抜きするのに適したガス状の流体を前記内部容積内に導入し、第２の所定時間、前記ガス状の流体を加圧するステップと、
（ｖ）第３の時間、前記内部容積を真空引きするステップと、
（ｖｉ）追加量の前記ガス状の流体を前記内部容積内に導入して、第４の時間、前記追加量のガス状の流体を加圧するステップと、
（ｖｉｉ）ステップ（ｉｉｉ）〜ステップ（ｖ）を繰り返すステップと、
（ｖｉｉｉ）続いて、別の追加量の前記ガス状の流体を前記内部容積内に導入し、第５の時間、この別の追加量の前記ガス状の流体を加圧するステップと、
を含む、方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の方法において、
前記ガス状の流体を前記内部容積内に導入し、前記ガス状の流体を加圧し、前記ガス状の流体の圧力を監視することによって、前記内部容積が密閉されているか否かを決定するステップ、
をさらに含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【開示の内容】
【０００１】
〔発明の分野〕
本発明は、コンタクトレンズ、および製造時に実質的に酸素が存在しない環境を必要とする他の製品に関する。詳細には、本発明は、このような製品の製造に用いられる型部分および他の物体が酸素を実質的に含まなくなるように、これらの型部分および他の物体を周囲環境から隔離するための装置および方法に関する。
【０００２】
〔発明の背景〕
ソフトコンタクトレンズは、通常は、前型半体および後型半体の２部分からなる型を用いて形成される。前型半体および後型半体は、所定の関係で離隔されるように位置付けられる。液体のモノマー材料を、前型半体と後型半体との間の間隙に導入する。このモノマー材料が硬化すると、コンタクトレンズが形成される。前型半体および後型半体は、エンドユーザーに所望の視力矯正を付与する光学特性をレンズが有するように、レンズを所定の要領で成形するように構成されている。
【０００３】
モノマー材料の硬化は、酸素が存在する場合には阻害される。したがって、ソフトコンタクトレンズは、通常は、酸素が実質的に存在しない環境で製造される。加えて、前型半体および後型半体が空気にさらされると、酸素が、前湾曲部および後湾曲部が形成されるプラスチック材料に浸透することができる。使用する前に、酸素を前型半体および後型半体から除去する必要がある。酸素を除去する工程は、「ガス抜き」として一般に知られている。
【０００４】
前型半体および後型半体は、通常は、射出成型によって製造される。前型半体および後型半体は、通常は、バッチで製造されるか、または各ロットが特定の視力矯正を付与するレンズ形状に対応するようにロットで製造される。ロットは、製造後、製造工程で必要になるまで保管することができる。
【０００５】
前湾曲部および後湾曲部のロットは、通常は、保管の際に周囲環境にさらされる。したがって、各ロットは、使用前にガス抜きをする必要がある。ガス抜きは、一般的には、前型半体および後型半体を真空チャンバ内に配置し、８時間〜１２時間と長い間、１トル（約１３３．３Ｐａ）以上の比較的高い真空にさらす。
【０００６】
真空チャンバを用いたガス抜きは、進行中のガス抜き作業を妨げずに真空チャンバ内に追加のロットを配置することができないため、不都合な場合がある。完了前にガス抜き作業が妨げられると、通常は、ガス抜き作業を初めからやり直す必要がある。したがって、始動および作動コストがそれぞれ付随する複数の真空チャンバが、実質的に連続的にガス抜き作業を行うため必要とされる場合がある。
【０００７】
ガス抜きした前型半体および後型半体は、製造ラインで必要になるまで、窒素を充填された容器内に一時的に保管することができる。このような容器では、通常は、漏れで窒素が減少するため、追加の窒素が各容器に連続的に供給される必要がある。各容器に接続された窒素供給ラインは、通常は、比較的高価な継手を用いて容器に結合されている。さらに、保管中に容器内に十分な窒素が充填されているか否かを決定するのは困難であるか、または不可能な場合がある。
【０００８】
その結果、前型半体および後型半体を実質的に連続的にガス抜きし、かつ前型半体および後型半体を、これらの型が酸素にさらされる可能性を最小限にする、コスト効率の良い要領で保管するための装置および方法が要望されている。
【０００９】
〔好適な実施形態の詳細な説明〕
窒素などのガス状の流体で満たされたキャニスターを用いて物体をガス抜きし、所望に応じてガス抜き後に物体をガス状の流体中で保管するための方法および装置を提供する。
【００１０】
一実施形態では、型部分をガス抜きするための方法を提供する。この方法は、型部分をキャニスターの内部容積内に挿入するステップと、この内部容積を密閉するステップと、内部容積を真空引きするステップと、内部容積にガス状の流体を導入するステップと、型部分のガス抜きに十分な時間に亘って内部容積内にガス状の流体を維持するステップと、を含む、からなる、から実質的になる。
【００１１】
別の実施形態では、型部分をガス抜きするためのキャニスターを提供する。このキャニスターは、内部容積を画定する実質的に中空の本体と、この本体の対向端部に固定され、内部容積をさらに画定する第１および第２の端部と、を含むか、これらから本質的になるか、または、これらから実質的になる。第１の端部には、内部容積に対して型部分を導入および取り出すことができるように、内部容積にアクセスするための開口が形成されている。
【００１２】
さらに別の実施形態では、キャニスターは、開口を覆うために第１の端部に選択的に固定できる蓋と、内部容積内に対するガスの導入および排出を可能にする少なくとも１つのニードル弁と、内部容積に連通し、内部容積とキャニスターの周りの周囲環境との間の圧力差の表示を提供することができる膜と、を含み、これらから本質的になり、これらからから実質的になる。
【００１３】
さらに別の実施形態では、物体をガス抜きするための装置を提供する。この装置は、物体を収容するための内部を有する実質的に管状の第１の部分と、この第１の部分の第１の端部を覆う第２の部分と、第１の部分の第２の端部を覆う第３の部分と、を含み、これらから本質的になり、これらから実質的になる。第３の部分には、第１の部分の内部に対する物体の導入および取出しを容易にするために開口が形成されている。
【００１４】
さらなる実施形態は、第１の部分の内部を、真空源およびガス状流体源の少なくとも１つに連通させるための弁と、第１の部分の内部と外部との圧力差に応答する圧力インジケータと、を含み、これらから本質的になり、これらから実質的になる、装置、を含む。
【００１５】
さらに別の実施形態では、方法を提供する。この方法は、（ｉ）キャニスター内の内部容積内に物体を配置するステップと、（ｉｉ）内部容積を密閉するステップと、（ｉｉｉ）第１の時間、内部容積を真空引きするステップと、（ｉｖ）物体をガス抜きするのに適したガス状の流体を内部容積内に導入し、第２の時間、ガス状の流体を加圧するステップと、（ｖ）第３の時間、内部容積を真空引きするステップと、（ｖｉ）追加量のガス状の流体を内部容積内に導入して、第４の時間、追加量のガス状の流体を加圧するステップと、（ｖｉｉ）ステップ（ｉｉｉ）〜ステップ（ｖ）を繰り返すステップと、（ｖｉｉｉ）続いて、別の追加量のガス状の流体を内部容積内に導入し、第５の時間、この別の追加量のガス状の流体を加圧するステップと、を含み、これらのステップから本質的になり、これらのステップから実質的になる。
【００１６】
別の実施形態は、ガス抜き作業を行うためのシステムを提供する。このシステムは、ガス抜きをする物体を保持するための内部容積を有する、キャニスターを含み、キャニスターから本質的になり、キャニスターから実質的になる。内部容積は、選択的に密閉することができる。このシステムはまた、プロセッサを含むコントローラを含む。このシステムは、コントローラからの入力に応答して、ガス抜きに使用するのに適したガス状流体源および真空源の少なくとも一方に内部容積を選択的に流体連通(fluid communication)させるためにコントローラに通信できるように接続された弁をさらに含む。
【００１７】
図１〜図６および図１２は、キャニスター１０の好適な実施形態を示している。キャニスター１０は、型部分のガス抜きおよび保管のために用いることができる。型部分は、例えば、ソフトコンタクトレンズの製造に用いる前湾曲部および後湾曲部（front and back curves）２１とすることができる。（本明細書および特許請求の範囲で用いる語「型部分」は、型全体および型の部分を含むものとする）。前湾曲部および後湾曲部２１と関連したキャニスター１０の使用は、単なる例示目的で開示されている。キャニスター１０は、他のタイプの物体に対して行うガス抜き作業時に使用するために構成されることもできる。
【００１８】
「上部」、「底部」、「上」、「下」などの方向を表す語は、図１に示す構成要素の向きに関して用いられる。これらの語は、単なる例示目的であって、添付の特許請求の範囲を限定するものではない。
【００１９】
キャニスター１０は、本体１２、この本体１２の第１の端部に固定された第１の末端部分１４、および本体１２の第２の端部に固定された第２の末端部分１６からなる。本体１２、第１の末端部分１４、および第２の末端部分１６は、キャビティすなわち内部容積２０を画定している（図２および図３を参照されたい）。
【００２０】
内部容積２０は、前型半体および後型半体２１を収容する。キャニスター１０は、内部容積２０が、前型半体および後型半体２１の一方または両方の１ロットを収容できるように寸法決めされている。各ロットは、前型半体２１を４００個、後型半体２１を４００個、または合計４００個となる前型半体および後型半体２１の組み合わせを含むことができる。キャニスターの代替の実施形態は、内部容積２０が、４００個未満または４００個超の前型半体および後型半体２１を収容できるように寸法決めされていてもよい。
【００２１】
前型半体および後型半体２１は、パレット２２に支持される。各パレット２２は、図８に示されているように、８個の前型半体または後型半体２１を収容することができる。後述するように、ガス抜き作業の際に、最大５０個のパレット２２を内部容積２０内に積み重ねることができる。
【００２２】
本体１２は、例えば、硬質被覆された(hard coated)押出しアルミニウムなどから好ましくは形成される。本体１２は、図２および図３に示されているように、リブ２５を好ましくは含む。リブ２５は、本体１２の内側に向いた面に形成され、したがって、内部容積２０内に突出している。リブ２５は、本体１２の軸方向に延びている。リブ２５は、パレット２２が内部容積２０内に積層されると、パレット２２に接触し、リブ２５がパレット２２を内部容積２０内の実質的に中心に置くように寸法決めされている。
【００２３】
ハンドル２６が、キャニスター１０の持ち上げおよび操作を容易にするために本体１２の対向する側に好ましくは取り付けられる。各ハンドル２６は、本体１４に対してハンドル２６の位置を調節できるように好ましくは本体１２に形成された外部トラック２７内に配置される。
【００２４】
第１および第２の末端部分１４、１６は、例えばアルミニウムから形成することができる。第１および第２の末端部分１４、１６は、細長いファスナー２３（図１〜図３を参照）などの適当な手段によって本体１２に固定されている。ファスナー２３は、本体１２に形成された通路２４によって第１の末端部分１４と第２の末端部分１６との間に好ましくは延在するのが。言い換えれば、ファスナー２３は、本体１２が第１の末端部分１４と第２の末端部分１６との間に固定されるようにこれらの末端部分１４と１６を好ましくは互いに引き寄せるの。
【００２５】
シール２９が、第１の末端部分１４と本体１２との間の接触部を密閉するために第１の末端部分１４の下側に形成された溝内に設けられている（図２および図３を参照されたい）。
【００２６】
第１の末端部分１４は、内部容積２０へのアクセスを容易にするために末端部分１４内に形成された開口３０を有している。キャニスター１０は、この開口３０を覆うための蓋２８を含む。この蓋２８は、図２および図３に示されているように、第１の末端部分１４に形成された凹部３１内に収容されている。蓋２８は、第１の末端部分１４のリップ３２によって支持されている。シール３３が、蓋２８と第１の末端部分１４との間の接触部を密閉するために蓋２８の下側に形成された溝内に設けられている。蓋２８および第１の末端部分１４は、内部容積２０をさらに画定している。
【００２７】
蓋２８は、例えば、クランプまたはラッチ３４によって第１の末端部分１４に固定することができる。各ラッチ３４は、本体３５およびアーム３６を含む（図２および図３を参照されたい）。アーム３６は、六角形に成形されたナット４３によって本体３５の上部３５ａに好ましくは固定される。
【００２８】
各ラッチ３４の本体３５は、スペーサ３７および取付けプレート３８によって支持されている。スペーサ３７および取付けプレート３８は、ファスナーを用いて第１の末端部分１４に固定されている。本体３５の下部３５ｂは、この下部３５ｂに螺合するナット３９によって関連する取付けプレート３８に固定されている。下部３５ｂは、本体３５の上部３５ａに回転可能に結合されている。この配置により、本体３５の上部３５ａおよび関連するアーム３６が、下部３５ｂ、スペーサ３７、取付けプレート３８、および第１の末端部分１４に対して旋回(pivot)することができる。本体３５の上部３５ａは、第１の末端部分１４に形成された関連する開口４０を通って延びている。
【００２９】
各アーム３６（および本体３５の取り付けられた上部３５ａ）は、第１の位置（図１に図示）と第２の位置（不図示）との間で旋回することができる。各アーム３６は、アーム３６が第１の位置に向かって旋回すると、蓋２８の表面部分４１に係合する。アーム３６と表面部分４１との間の摩擦によって、蓋２８が第１の末端部分１４に固定される。
【００３０】
アーム３６は、アーム３６が第２の位置に向かって移動される際に蓋２８から離れる方向に旋回し、これにより、蓋２８を第１の末端部分１４から取り外して開口３０を露出させることができる。第１の末端部分１４は、アーム３６が第２のそれぞれの位置に移動する際にアーム３６を収容するために末端部分１４に形成されたカットアウト２４を有する（図１および図２を参照されたい）。アーム３６は、ハンドル、またはナット４３に係合するように構成された他の工具を用いて回転させることができる。
【００３１】
本体３５はそれぞれ、アーム３６が第１の位置に接近する際に関連するアーム３６を下方に付勢するカム構造（不図示）を備えることができる。
【００３２】
第１の末端部分１４は、キャニスター１０とグローブボックス９０との間に密閉された接触部が形成されるように、グローブボックス９０などの窒素充填容器に結合するように構成することができる（図１０および図１１を参照されたい。これらの図面では、見やすくするためにグローブボックス９０の各部が省略されている）。いったんキャニスター１０とグローブボックス９０とが結合されたら、実質的に酸素が存在しない環境で、蓋２８を取り外して、キャニスター１０から前湾曲部および後湾曲部２１を取り出すことができる。次に、前湾曲部および後湾曲部２１を、ソフトコンタクトレンズの製造に用いるために生産現場に移すことができる。
【００３３】
蓋２８は、図２〜図５に示されているように、内部容積２０へのアクセスを提供するために蓋２８に形成された貫通孔４４を有することができる。弁４６が、貫通孔４４内に配置されている。弁４６は、好ましくはニードル弁であるが、代替として他のタイプの弁を用いることもできる。弁４６は、貫通孔４４を密閉し、ニードルインジェクタ４９（図７を参照）を用いて内部容積２０に対するガスの選択的な導入および排出を可能にしている。
【００３４】
ニードルインジェクタ４９は、図７に示されているように、ハンドル５９に取り付けることができる。ハンドル５９は、例えば、圧延されたアルミニウムから形成することができる。使用者は、このハンドル５９を保持して、ニードルインジェクタ４９を弁４６に挿入することができる。ハンドル５９を用いて、ニードルインジェクタ４９にガス状の流体を供給するか、またはニードルインジェクタ４９を通過して真空引きするチューブ５３に、ニードルインジェクタ４９を容易に接続することもできる。
【００３５】
図３および図５に示されているように、リップ４５が、貫通孔４４の周りに、貫通孔４４の底部の近傍に形成されている。リップ４５は、弁４６を支持する。
【００３６】
プレート４７が、ファスナー（図１〜図５を参照）などの適当な手段を用いて蓋２８に固定して取り付けられている。プレート４７は、弁４６を貫通孔４４内に保持するのを助ける。具体的には、プレート４７は、プレート４７に形成された貫通孔４８を有する。貫通孔４８の中心線は、図５に示されているように、蓋２８に形成された貫通孔４４の中心線に実質的に一致している。貫通孔４８は、弁４６の直径よりも小さい直径を有している（しかし、ニードルインジェクタ４９による弁４６へのアクセスを容易にするのに十分な大きさである）。この結果、弁４６と、貫通孔４８に近接したプレート４７の部分とが干渉しあう。この干渉が、弁４６を貫通孔４４内に保持するのを助ける。
【００３７】
弁４６は、好ましくはゴムなどの１片の弾性材料の部材として形成される。弾性材料は、インジェクタ４９の先端部が弁４６を通過して内部容積２０内に進入できるように弾性材料に形成された貫通孔を有する。この材料の弾性により、ニードルインジェクタ４９が挿入されていない時には貫通孔がシールされた状態に維持される。また、材料の弾性により、ニードルインジェクタ４９が挿入されると、弁４６がニードルインジェクタ４９の周りにセルフシールする。弁４６は、この弁４６と貫通孔４４の周縁部との間が密閉されるように、好ましくは、貫通孔４４内にぴったり嵌るように寸法決めされている。
【００３８】
いったんニードルインジェクタ４９が弁４６内に挿入されたら、このニードルインジェクタ４９によってガスを内部容積２０に対して排出または導入することができる。例えば、内部容積２０内の空気を、ニードルインジェクタ４９によって排出することができる。次に、窒素ガスをニードルインジェクタ４９によって内部容積２０内に導入することができる。好ましくは、窒素ガスは、周囲空気が内部容積２０内に流入するのを防止するように、大気圧よりも高い圧力に加圧される。前湾曲部および後湾曲部２１が窒素に曝露されてガス抜きできるように、内部容積２０内の窒素環境を所定の時間に亘って維持することができる。前湾曲部および後湾曲部２１を形成するプラスチック材料から放出された酸素、および窒素を、曝露期間の終了時にインジェクタニードル４９によって内部容積２０から排出することができる。所望に応じて、ニードルインジェクタ３９によって内部容積に別の窒素を導入して、別の曝露期間を設けて、前湾曲部および後湾曲部２１をさらにガス抜きすることができる。
【００３９】
ガス抜き作業を行うための窒素ガスの使用は、単なる例示目的のために記載した。酸素および窒素の混合物を含むガス状の流体を含め、前湾曲部および後湾曲部２１をガス抜きするのに適した他のガス状の流体を、代替として用いることができる。
【００４０】
ニードルインジェクタ４９は、曝露期間の間、弁４６内に挿入した状態に維持することができる。別法では、ニードルインジェクタ４９を、窒素を導入した後に取り外し、暴露期間の終了時に再挿入して窒素を排気する。
【００４１】
前型半体および後型半体２１は、酸素から隔離するためにグローブボックス９０または他の適当な手段を用いて、最終暴露期間の終了時にキャニスター１０から取り出すことができる。別法では、加圧窒素をキャニスター１０内に維持し、キャニスター１０および前型半体および後型半体２１が製造工程に必要になるまで保管することができる。
【００４２】
キャニスター１０は、内部容積２０が加圧されていることを示す膜５２を備えることができる（図３〜図５を参照）。この膜５２は、好ましくは、ゴムなどの弾性可撓性材料から形成される。膜５２は、蓋２８に取り付けられる。膜５２の下面が内部容積２０と連通するように、貫通孔５４が、蓋２８に形成されている。
【００４３】
膜５２は、プレート４７によって蓋２８に保持されている。具体的には、膜５２は、プレート４７と蓋２８との間に挟まれている（貫通孔４８の下の膜５２の部分には、ニードルインジェクタ４９が膜５２を通過できるようにスリットが形成されている）。
【００４４】
プレート４７は、膜５２へのアクセスを容易にするために第２の比較的大きい貫通孔５８が形成されている（図１、図４、および図５を参照）。貫通孔５８の中心線は、プレート２８に形成された貫通孔５４の中心線に実質的に一致している。
【００４５】
膜５２の部分５２ａは、貫通孔５８に整合している。部分５２ａの下面は、貫通孔５４によって内部容積２０に流体連通している。したがって、内部容積２０内の加圧窒素が、貫通孔５４を介して膜部分５２ａに作用する。この圧力と、膜部分５２ａの周辺部のプレート４７による拘束により、膜部分５２ａが、内部容積２０が加圧されると上昇すなわち上方に湾曲する。言い換えれば、膜部分５２ａは、内部容積２０が加圧されると、圧力バブル(pressure bubble)として機能することができる。
【００４６】
膜部分５２ａの上方への湾曲は、内部容積２０が窒素（または別のガス状の流体）で充填されているか否かを視覚および感触の両方で示すことができる。この表示は、内部容積２０が暴露期間の準備として充填されていることを示すために用いることができる。この表示を用いて、暴露期間中または保管中に内部容積２０の充填が維持されているかを確認することもできる。
【００４７】
膜部分５２ａの下に位置する蓋２８の表面部分は、好ましくは、図５に示されているように、凹部６１を形成する凹状を有する。この凹部６１により、使用者が、内部容積２０がガス抜きされた後に膜部分５２ａを押下することができる。この構造を用いて、膜部分５２ａが伸びて変形し、元の平坦な形状に膜部分５２ａ自体によって戻ることができないかを確認することができる。
【００４８】
第２の末端部分１６と本体１２との間の接触部を密閉するために、シール６０が、第２の末端部分１６の内面に形成された溝に設けられている（図６を参照）。
【００４９】
キャニスター１０は、内部容積２０内に前湾曲部および後湾曲部２１のパレット２２を支持するための第１のプレート６２および第２のプレート６４を含む。第１のプレート６２は、図６に示されているように、バネ６６によって第２の末端部分１６に支持されるのが好ましい。第２のプレート６４は、第１のプレート６２の上面に支持されているが、第１のプレート６２に固定されているわけではない。
【００５０】
第２のプレート６４は、キャニスター１０の外部で前湾曲部および後湾曲部２１のパレット２２を第２のプレート６４に搭載することができるようにキャニスター１０から取り外すことができる。具体的には、ネジ付き端部を有するロッド７３（図１０〜図１２を参照）を、第１の末端部分１４の開口３０を介してキャニスター１０内に挿入することができる。ロッド７３は、第２のプレート６４の中心付近に形成されたネジ孔７４によって第２のプレート６４に固定することができる（図６を参照）。次に、ロッド７３とこのロッド７３に取り付けられた第２のプレート６４をキャニスター１０の内部容積から引き上げることができる。
【００５１】
パレット２２の１つを、図１２に示されているように、第２のプレート６４の上に直接に積み重ねることができる。パレット２２には、図９に示されているように、下方に向いた円筒突出部２２ａが形成されている。第２のプレート６４は、最も下のパレット２２に配置された前湾曲部および後湾曲部２１を収容するための凹部７５を備えている（図６を参照）。残りのパレット２２を、図１２に示されているように、第２のプレート６４および最も下側のパレット２２の上に積み重ねることができる。各パレット２２は、パレット２２を積み重ねる際にこのパレット２２をロッド７３に通せるように中心付近に貫通孔２２ｂを備えている（図８を参照）。さらに、パレット２２は、パレット２２の積重ねを可能にする構造２２ｃを含む。
【００５２】
キャニスター１０は、内部容積が最大５０個のパレットを収容できる大きさである。パレット２２の具体的な個数は、単に例示目的である。キャニスター１０の代替の実施形態は、５０個未満または５０個超のパレット２２を保持できる大きさにすることができる。さらに、代替の実施形態は、別のタイプのパレットを用いるか、またはパレットを一切使用しないように構成することができる。
【００５３】
図１２に示されているように、第２のプレート６４およびパレット２２のスタックをロッド７３を用いて持ち上げて、第１の末端部分１４の開口３０から内部容積２０内に下げて導入することができる。次に、ロッド７３のネジを外して、第２のプレート６４から取り外すことができる。次に、蓋２８を開口３０に位置付け、ラッチ３４を第１の位置に回転させて所定の位置に固定することができる。
【００５４】
バネ６６が、第１のプレート６２を第１の末端部分１４に向かって上方に付勢している。したがって、バネ６６は、キャニスター１０にパレット２２のスタックが導入されると、このパレット２２のスタックを上方に付勢する。蓋２８が固定されると、この力により、最も上のパレット２２が蓋２８に押圧される。言い換えれば、バネ６６は、パレット２２のスタックに比較的弱い圧縮力を加える。この機能構造は、キャニスター１０がバウンド、落下、衝突、または他の方法で移動した際に、パレット２２をキャニスター１０に対して実質的に固定位置に維持する働きをする。
【００５５】
パレット２２は、ガス抜き作業が終了したら、蓋２８を取り外し、ロッド７３を第２のプレート６４にネジ固定し、ロッド７３を用いて第２のプレート６４およびスタックされたパレット２２を持ち上げて内部容積２０から取り出すことができる（図１２を参照）。
【００５６】
図１３および図１４は、一つまたは複数のキャニスター１０を用いてガス抜き作業を行うためのシステム１００の好適な実施形態を示している。このシステム１００は、コントローラ１０２、このコントローラ１０２を収容するコンソール１０３、および複数（例えば２０個）のキャニスター１０を含む。システム１００はまた、キャニスター１０およびコンソール１０３を保持するためのラック１０４も含む。
【００５７】
システム１００は、ニードルインジェクタ４９などの複数のニードルインジェクタ、真空ポンプ１１８、複数の圧力変換器１１０、および複数の弁１１１をさらに含む。
【００５８】
圧力変換器１１０は、好ましくは、切替え機能を有する。真空ポンプ１１８、弁１１１、および圧力変換器１１０は、ラック１０４に取り付けられている。圧力センサ１１０および弁１１１はそれぞれ、コントローラ１０２に通信できるように接続されている。
【００５９】
各ニードルインジェクタ４９は、対応する１つのキャニスター１０に結合されている。各ニードルインジェクタ４９は、チューブによって関連する１つの弁１１１の出口に流体連通している。関連する１つの圧力変換器１１０がチューブに接続されたＴ型継手（または他の適当な継手）によって各弁１１１の出口に流体連通している。
【００６０】
弁１１１は、２つの流体インプットを受容できるように構成されている。具体的には、各弁１１１は、圧力レギュレータ１１７によって加圧窒素の供給源（不図示）に流体連通している。各弁１１１はまた、真空ポンプ１１８に流体連通している。
【００６１】
コントローラ１０２は、プロセッサ１１２、このプロセッサ１１２に通信できるように接続された記憶装置１１４、およびこの記憶装置１１４に保存された一連のコンピュータ実行命令１１６を含む（図１４を参照）。プロセッサ１１２は、マイクロプロセッサまたは他の適当なタイプのプロセッサとすることができる。
【００６２】
コントローラ１０２は、弁１１１の動作を制御する電気出力を生成することができる。各弁１１１は、コントローラ１０２の出力に応答して開いて、キャニスター１０が真空源から分離された状態で、関連するキャニスター１０を窒素源に流体連通させることができる。別法では、弁１１１が開いて、キャニスター１０が窒素源から分離された状態で、関連するキャニスター１０を真空源に流体連通させることができる。
【００６３】
システム１００を用いたガス抜き作業は次の通りである。上記した要領で、パレット２２のスタックを各キャニスター１０内に導入して密閉する。ラック１０４は、この導入時にキャニスター１０を支持するための棚１２０を備えることができる。
【００６４】
パレットが導入されたキャニスター１０をラック１０４に配置することができる。ラック１０４は、好ましくは、第１の末端部分１４を用いてキャニスター１０を吊り下げることができるように、第１の末端部分１４に確実に結合する機能構造を含む。次に、関連するニードルインジェクタ４９を、弁４６を介してキャニスター１０の内部容積２０内に挿入することができる。
【００６５】
コンソール１０３は、キーパッドおよび様々なディスプレイを含むインターフェイスパネル１０５を備えることができる。このインターフェイスパネル１０５を用いてコントローラ１０２を作動させて、キャニスター１０の特定の１つでガス抜き作業を開始することができる。
【００６６】
ガス抜き作業は、２つのサイクルで行うことができる。第１のサイクルで、内部容積２０および前湾曲部および後湾曲部２１から酸素の相当部分をパージし、第２のサイクルを、ガス抜き作業に適した内部容積内の酸素レベル、例えば０．５％以下で行うことができるようにする。
【００６７】
第１のサイクルは、インターフェイスパネル１０５のキーパッドを用いてガス抜き作業をするキャニスター１０を選択して開始することができる。次に、コントローラ１０２が、このキャニスター１０に関連した弁１１１を開にして、このキャニスター１０の内部容積２０をニードルインジェクタ４９を介して窒素源に流体連通させる出力を生成する。コントローラ１０２が、圧力レギュレータ１１７によって示される背圧を監視して窒素が密閉されたキャニスター１０に導入されているかを確認する。具体的には、コントローラ１０２は、関連する圧力変換器１１０によって生成される不連続の出力によって示されるキャニスター１０に導入される窒素の圧力が、所定の閾値、例えば約２．０ｐｓｉｇ（１３．７ｋＰＡ）に達するかを確認する。
【００６８】
コントローラ１０２は、密閉されたキャニスター１０に窒素が導入されていることを確認したら、弁１１１がキャニスター１０を窒素源から分離し、キャニスター１０を真空ポンプ１１８に流体連通させる出力を生成する。次に、関連する圧力変換器１１０によって生成される別の不連続な出力によって示されるキャニスター１０の内部容積２０の真空を、約３分間、約２２インチＨｇ（−７５ｋＰＡ）以下に維持する。
【００６９】
３分経過すると、コントローラ１０２は、弁１１１がキャニスター１０を真空ポンプ１１８から分離し、キャニスター１０を窒素源に流体連通させる出力を生成する。次に、キャニスター１０の内部容積２０の窒素を、約５秒間、約２．０ｐｓｉｇ〜約２．５ｐｓｉｇ（１３．７ｋＰＡ〜１７．２ｋＰＡ）の圧力に維持する。
【００７０】
５秒経過すると、コントローラ１０２は、弁１１１がキャニスター１０を窒素源から分離し、キャニスター１０を真空ポンプ１１８に流体連通させる出力を生成する。再びキャニスター１０の内部容積２０を、３分間、約２２インチＨｇ（−７５ｋＰＡ）以下の真空に維持する。
【００７１】
３分経過すると、コントローラ１０２は、弁１１１がキャニスター１０を真空ポンプ１１８から分離し、キャニスター１０を窒素源に流体連通させる出力を生成する。次に、キャニスター１０の内部容積２０の窒素を、約２時間、約２．０ｐｓｉｇ〜約２．５ｐｓｉｇ（１３．７ｋＰＡ〜１７．２ｋＰＡ）の圧力に維持する。
【００７２】
第１のサイクルは、２時間の暴露期間後に終了する。上記したように、内部容積２０の酸素レベルが、第１のサイクルの終了時に約０．５％未満のレベルまでパージされていると考える。
【００７３】
次に、第２のサイクルを、コントローラ１０２からの制御入力に応答して行う。第２のサイクルは、第１のサイクルと本質的に同じ要領で行うことができるが、第２のサイクルの終了時の暴露期間が２時間ではなく約６時間である。言い換えれば、キャニスター１０の内部容積２０内の窒素は、キャニスター１０内の前湾曲部および後湾曲部２１をさらにガス抜きするために第２のサイクルの最後で、約６時間、約２．０ｐｓｉｇ〜約２．５ｐｓｉｇ（１３．７ｋＰＡ〜１７．２ｋＰＡ）の圧力に維持する。
【００７４】
第２のサイクルの終了時に、コントローラ１０２により、インターフェイスパネル１０５が、特定のキャニスター１０のガス抜き作業が終了したことを示す表示を生成する。システム１０は、ニードルインジェクタ４９が取り外されるまで、またはキャニスター１０への窒素の供給を停止する入力がインターフェイスパネル１０５によってコントローラ１０２に送られるまで、キャニスター内の窒素を約２．０ｐｓｉｇ〜約２．５ｐｓｉｇ（１３．７ｋＰＡ〜１７．２ｋＰＡ）の圧力に維持する。したがって、キャニスター１０内の窒素の充填がシステム１００によって自動的に維持された状態で、キャニスター１０および密閉された前湾曲部および後湾曲部２１をラック１０４上で保管することができる。
【００７５】
別法では、システム１０を実質的に連続的に用いて、他のキャニスター１０の前湾曲部および後湾曲部２１の他のセットをガス抜きできるように、キャニスターをラック１０４から取り出して、必要になるまで別の位置に保管することができる。棚から外して保管する際に、膜５２を用いてキャニスター１０内の窒素の充填が維持されているかを示すことができる。
【００７６】
上記のガス抜き作業は、単なる例示目的で詳細に説明した。システム１００を用いて、１サイクルまたは３サイクル以上を用いる作業を含め、他のタイプのガス抜き作業を行うことができる。
【００７７】
キャニスター１０を用いることにより、ガス抜き作業を実質的に連続的にコスト効率よく行うことができる。例えば、１ロットの前型半体および後型半体２１をガス抜きするために個々のキャニスター１０を用いることにより、比較的大きな真空チャンバを用いて多数のロットの前型半体および後型半体をガス抜きする際に必要となる、別の前型半体および後型半体２１をガス抜き作業に追加するためにガス抜き作業を中断する必要性を軽減することができる。したがって、真空チャンバの代わりにキャニスター１０を用いることにより、ガス抜き済みの前型半体および後型半体２１の不適当な供給による製造作業の中断の可能性を低減することができる。さらに、長期に亘って比較的高い真空を維持するのに関連したコストおよび実用的な問題は、キャニスター１０内に含められた窒素ブランケットを用いて前型半体および後型半体をガス抜きすることで解消することができる
【００７８】
キャニスター１０は、比較的低いコストで製造することができる。例えば、比較的低価格のニードル弁４６を用いることで、キャニスターを窒素源に接続するために比較的高価な継手を使用する容器に比べ、キャニスター１０の方がコスト面で有利になる。
【００７９】
キャニスター１０の構造は、充填された窒素が漏れる可能性を低減すると考えられる。加えて、比較的低価格の膜５２は、キャニスター１０が窒素で十分に充填されていることを示す信頼できる容易に識別可能な表示となる。したがって、キャニスター１０は、充填された窒素の漏れによって前型半体および後型半体２１が酸素に汚染される可能性が最小限で、オフラインすなわち窒素源に接続しないで保管することができる。さらに、キャニスター１０は、窒素が充填されたグローブボックス９０または他の装置と直接接続するように構成して、前型半体および後型半体２１の汚染の可能性をさらに低減することができる。
【００８０】
ガス抜きおよび保管の両方にキャニスター１０を用いることにより、前型半体および後型半体２１をガス抜きチャンバから適当な保管容器に移送するのに関連した時間、労力、および汚染のリスクを排除することができる。キャニスター１０は、比較的小型軽量であるため、保管領域に対して容易に移動させることができ、比較的簡単に取り出すことができる。さらに、蓋２８およびラッチ３４により、比較的容易に内部容積２０内にアクセスすることができる。この構造は、キャニスター１０をグローブボックス９０などの容器に入れる際および取り出す際に特に有用であろう。
【００８１】
上記の記載は、説明目的であり、本発明を限定すると解釈すべきではない。好適な実施形態または好適な方法を用いて本発明を説明してきたが、本明細書に用いる語は、説明および例示の語であって、限定の語ではないことを理解されたい。さらに、特定の構造、方法、および実施形態を用いて本発明を説明してきたが、本発明は、本明細書の特定の開示に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲内の全ての構造、方法、および使用を含む。本明細書を理解した当業者であれば、添付の特許請求の範囲によって規定される本発明の範囲および概念から逸脱することなく、ここに開示する本発明を様々に改良し、変更を加えることができるであろう。
【００８２】
例えば、図１５および図１６は、キャニスター２００の形態であるキャニスター１０の代替の実施形態を示している。実質的に同一であるキャニスター２００とキャニスター１０の構成要素は、同じ参照符号で示している。
【００８３】
キャニスター２００は、自動的なパレット２２の導入および取出しを容易にする機能を有する。具体的には、キャニスター２００は、保持部材２０２、ねじ山付きロッド２０４、ジャケット２０５、インサート２０６、およびエイコーンナット(acorn nut)２０８を含む。ジャケット２０５は、ロッド２０４の周りに配置され、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）などの比較的軟質の材料から形成するのが好ましい。
【００８４】
ねじ山付きインサート２０６は、このねじ山付きインサートとダミーパレット２１２に形成された相補的なねじ山によってダミーパレット２１２に固定されている。ロッド２０４の下端部は、インサート２０６に形成されたねじ山とロッド２０４に形成された相補的なねじ山によってインサート２０６に結合している。ジャケット２０５の柔軟性により、ロッド２０４の下端部を覆うジャケット２０５の部分が、ロッド２０４に対して変形して上方に移動し、ロッド２０４のねじ山が、インサート２０６の相補的なねじ山に螺合することができる。
【００８５】
パレット２２は、ロッド２０４が各パレット２２の各貫通孔２２ｂを通るように、ダミーパレット２１２の上に積み重ねることができる。好ましくは、パレット２２をダミーパレット２１２に積み重ねてから、ロッド２０４を貫通孔２２ｂに通す。比較的軟質のジャケット２０５が、パレット２２をロッド２０４から分離しているため、パレット２２がロッドの挿入によって損傷を受ける可能性を低くしている（パレット２２は、見やすくするために図１５または図１６には不図示）。ダミーパレット２１２とインサート２０６とロッド２０４との結合により、ロッド２０４を用いてパレット２２のスタックを持ち上げることができる。
【００８６】
保持部材２０２およびエイコーンナット２０８は、図１６に示されているように、ロッド２０４の上端部に螺合させることができる。エイコーンナット２０８は、適当なねじ山接着剤によってロッド２０４に固定するのが好ましい。ロッド２０４、保持部材２０２、およびエイコーンナット２０８は、ロッド２０４をパレット２２のスタック内に挿入する前に組み立てるのが好ましい。所望に応じて、自動装置（不図示）を用いて、保持部材２０２またはエイコーンナット２０８を把持して、この組立体を持ち上げ、ロッド２０４が積層パレット２２の貫通孔２２ｂに実質的に整合するように位置決めし、ロッド２０４をパレット２２のスタックに通す。
【００８７】
ロッド２０４がパレット２２のスタックに挿入されると、パレット２２のスタックが保持部材２０２とダミーパレット２１２との間に拘束される。ロッド２０４のねじ山とインサート２０６のねじ山が螺合したら、保持部材２０２またはエイコーンナット２０８を回転させて、ロッド２０４をインサート２０６に固定することができる。
【００８８】
保持部材２０２は、この保持部材２０２に係合する自動アーム（不図示）によって把持して移送することができる。この機構を用いて、キャニスター２００の装填の際に、パレット２２のスタックを内部容積２０の上に移動させ、このスタックを内部容積２０内に導入する。自動アームは、蓋２８が取り外された後に保持部材２０２を把持して、内部容積２０からパレットのスタックを持ち上げてキャニスター２００から取り出すことができる。
【００８９】
次に、別の自動装置（不図示）で保持部材２０２またはエイコーンナット２０８を把持して回転させて、ロッド２０４をインサート２０６からねじって外す。次に、保持部材２０２またはエイコーンナット２０８を持ち上げて、ロッド２０４をスタックから取り外す。
【００９０】
ダミーパレット２１２は、キャニスター２００の第２の末端部分１４ｂの内側に向いた面に直接支持されている（図１６を参照）。キャニスター２００は、キャニスター１０とは異なり、第１または第２の端部プレート６２、６４を含まない。さらに、キャニスター２００の第２の末端部分１４ｂは、ダミーパレット２１２を収容するためにカットアウト２１２が形成されている。
【００９１】
〔実施の態様〕
（１）型部分をガス抜きするための方法において、
前記型部分をキャニスター内の内部容積内に挿入するステップと、
前記内部容積を密閉するステップと、
前記内部容積を真空引きするステップと、
前記内部容積内にガス状の流体を導入するステップと、
前記型部分をガス抜きするのに十分な時間、前記ガス状の流体を前記内部容積内に維持するステップと、
を含む、方法。
（２）実施態様（１）に記載の方法において、
前記ガス状の流体を前記内部容積から排出するステップと、
続いて、前記内部容積内に追加量の前記ガス状の流体を導入するステップと、
をさらに含む、方法。
（３）実施態様（１）に記載の方法において、
前記内部容積内にガス状の流体を導入する前記ステップは、前記ガス状の流体が加圧されるように前記内部容積内に前記ガス状の流体を導入するステップを含む、方法。
（４）実施態様（１）に記載の方法において、
前記キャニスターに設けられたニードル弁を介してニードルインジェクタを挿入するステップと、
前記ニードルインジェクタによって前記内部容積内に前記ガス状の流体を導入するステップと、
をさらに含む、方法。
（５）実施態様（１）に記載の方法において、
前記内部容積内に前記ガス状の流体を導入した後、前記キャニスターおよび前記型部分を保管するステップ、
をさらに含む、方法。
【００９２】
（６）実施態様（４）に記載の方法において、
前記内部容積を真空引きする前記ステップは、前記ニードルインジェクタによって前記内部容積を真空引きするステップを含む、方法。
（７）実施態様（１）に記載の方法において、
前記ガス状の流体は、窒素である、方法。
（８）実施態様（３）に記載の方法において、
前記内部容積に流体連通した膜の形状を監視することによって、前記ガス状の流体が加圧されているか否かを決定するステップ、
をさらに含む、方法。
（９）実施態様（１）に記載の方法において、
前記型部分をキャニスター内の内部容積内に挿入する前記ステップは、前記キャニスターの末端部分に形成された開口を介して前記型部分を前記内部容積内に挿入するステップを含み、
前記内部容積を密閉する前記ステップは、前記開口の上に前記キャニスターの蓋を配置し、この蓋を前記キャニスターの前記末端部分に固定するステップを含む、方法。
（１０）実施態様（１）に記載の方法において、
前記内部容積に導入されたガス状の流体と同じ種類のガス状の流体で満たされた容器に前記キャニスターを結合するステップと、
前記内部容積の密閉を解くステップと、
前記容器内の前記キャニスターの前記内部容積から前記型部分を取り出すステップと、
をさらに含む、方法。
【００９３】
（１１）実施態様（１０）に記載の方法において、
前記容器は、グローブボックスである、方法。
（１２）実施態様（１）に記載の方法において、
所定時間、前記型部分を前記ガス状の流体に暴露するステップ、
をさらに含む、方法。
（１３）実施態様（１）に記載の方法において、
前記型部分をキャニスター内の内部容積に挿入する前記ステップは、１ロットの所定数量の前記型部分を前記内部容積内に挿入するステップを含む、方法。
（１４）実施態様（１）に記載の方法において、
複数の前記型部分をそれぞれ保持する複数のパレットを積み重ねるステップと、
前記複数のパレットおよび前記複数の型部分を前記内部容積内に挿入するステップと、
をさらに含む、方法。
（１５）実施態様（１）に記載の方法において、
前記複数のパレットおよび前記複数の型部分を前記内部容積内に挿入する前記ステップは、前記パレットを通って延び、前記パレットを支持しているロッドに力を加え、前記パレットおよび前記型部分を持ち上げるステップを含む、方法。
【００９４】
（１６）型部分をガス抜きするためのキャニスターにおいて、
内部容積を画定している実質的に中空の本体と、
第１および第２の末端部分であって、
これら末端部分は、前記本体の対向する端部に固定され、前記内部容積をさらに画定して、
前記第１の末端部分は、前記型部分が前記内部容積に挿入され、かつ前記内部容積から取り出されることができるように、前記内部容積にアクセスするための開口を有する、
第１および第２の末端部分と、
前記開口を覆うために前記第１の末端部分に選択的に固定されることができる蓋と、
前記内部容積にガス状の流体が導入され、かつ前記内部容積からガス状の流体が排出されることを可能にする少なくとも１つのニードル弁と、
前記内部容積に流体連通し、前記内部容積と前記キャニスターの周りの周囲環境との間の圧力差の表示を提供することができる膜と、
を含む、キャニスター。
（１７）実施態様（１６）に記載のキャニスターにおいて、
前記ニードル弁は、前記蓋に形成された貫通孔内に配置されている、キャニスター。
（１８）実施態様（１６）に記載のキャニスターにおいて、
前記ニードル弁には、ニードルインジェクタが前記内部容積内に挿入されることを可能にするための貫通孔が形成されている、キャニスター。
（１９）実施態様（１６）に記載のキャニスターにおいて、
前記膜の下面は、前記蓋に形成された貫通孔に面している、キャニスター。
（２０）実施態様（１９）に記載のキャニスターにおいて、
前記膜は、前記蓋と該蓋に取り付けられたプレートとの間に挟まれている、キャニスター。
【００９５】
（２１）実施態様（２０）に記載のキャニスターにおいて、
前記プレートには、前記蓋に形成された貫通孔の中心線に実質的に一致する中心線を有する貫通孔が形成されている、キャニスター。
（２２）実施態様（１６）に記載のキャニスターにおいて、
前記成型部分を支持して前記第１の末端部分に向かって付勢するためにバネによって前記第２の末端部分に取り付けられたプレートをさらに含む、キャニスター。
（２３）実施態様（１６）に記載のキャニスターにおいて、
前記本体は、押出しアルミニウムから形成されている、キャニスター。
（２４）実施態様（１６）に記載のキャニスターにおいて、
前記第１の末端部分と前記本体との間の接触部を密閉するために前記第１の末端部分に形成された溝内に配置された第１のシールと、
前記第２の末端部分と前記本体との間の接触部を密閉するために前記第２の末端部分に形成された溝内に配置された第２のシールと、
前記蓋と前記第１の末端部分との間の接触部を密閉するために前記蓋に形成された溝内に配置された第３のシールと、
をさらに含む、キャニスター。
（２５）実施態様（１６）に記載のキャニスターにおいて、
前記第１および前記第２の末端部分を前記本体に固定するために前記第１の末端部分と前記第２の末端部分との間に延在するファスナー、
をさらに含む、キャニスター。
【００９６】
（２６）実施態様（１７）に記載のキャニスターにおいて、
リップが、前記ニードル弁を支持するために前記貫通孔の底部近傍に形成されている、キャニスター。
（２７）実施態様（１６）に記載のキャニスターにおいて、
前記第１の末端部分は、この第１の末端部分のグローブボックスへの固定を可能にする結合構造を含む、キャニスター。
（２８）実施態様（１６）に記載のキャニスターにおいて、
前記蓋を前記第１の末端部分に固定するためのラッチ、
をさらに含む、キャニスター。
（２９）実施態様（２８）に記載のキャニスターにおいて、
前記ラッチは、本体、およびこの本体に固定された、前記蓋に選択的に係合するためのアームを含み、
前記キャニスターは、前記第１の末端部分に固定されたスペーサ、および前記本体を支持するために前記スペーサに固定された取付けプレートをさらに含む、
キャニスター。
（３０）実施態様（１６）に記載のキャニスターにおいて、
前記型部分を保持するためのパレットと、
前記パレットの下面に係合する取付け具と、
前記取付け具に固定された、前記パレットを通って延びるロッドと、
保持アーム、前記ロッド、および前記取付け具によって前記パレットを持ち上げることができるように前記ロッドに結合された保持部材と、
をさらに含む、キャニスター。
【００９７】
（３１）物体をガス抜きするための装置において、
前記物体を収容するための内部を有する実質的に管状の第１の部分と、
前記第１の部分の第１の端部を覆う第２の部分と、
前記第１の部分の第２の端部を覆う第３の部分であって、前記第１の部分の前記内部への前記物体の挿入および前記第１の部分の前記内部からの前記物体の取出しを容易にするために前記第３の部分内に形成された開口を有する、第３の部分と、
前記第１の部分の前記内部を、真空源およびガス状流体源の少なくとも１つに流体連通させるための弁と、
前記第１の部分の前記内部と外部との圧力差に応答する圧力インジケータと、
を含む、装置。
（３２）実施態様（３１）に記載の装置において、
前記弁は、ニードル弁である、装置。
（３３）実施態様（３１）に記載の装置において、
前記開口を覆うための蓋、
をさらに含む、装置。
（３４）方法において、
（ｉ）キャニスター内の内部容積内に物体を配置するステップと、
（ｉｉ）前記内部容積を密閉するステップと、
（ｉｉｉ）第１の所定時間、前記内部容積を真空引きするステップと、
（ｉｖ）前記物体をガス抜きするのに適したガス状の流体を前記内部容積内に導入し、第２の所定時間、前記ガス状の流体を加圧するステップと、
（ｖ）第３の時間、前記内部容積を真空引きするステップと、
（ｖｉ）追加量の前記ガス状の流体を前記内部容積内に導入して、第４の時間、前記追加量のガス状の流体を加圧するステップと、
（ｖｉｉ）ステップ（ｉｉｉ）〜ステップ（ｖ）を繰り返すステップと、
（ｖｉｉｉ）続いて、別の追加量の前記ガス状の流体を前記内部容積内に導入し、第５の時間、この別の追加量の前記ガス状の流体を加圧するステップと、
を含む、方法。
（３５）実施態様（３４）に記載の方法において、
前記ガス状の流体を前記内部容積内に導入し、前記ガス状の流体を加圧し、前記ガス状の流体の圧力を監視することによって、前記内部容積が密閉されているか否かを決定するステップ、
をさらに含む、方法。
【００９８】
（３６）実施態様（３５）に記載の方法において、
前記第１および第３の時間は、それぞれ約３分であり、
前記第２の時間は、約５秒であり、
前記第４の時間は、約２時間であり、
前記第５の時間は、約６時間である、方法。
（３７）実施態様（３４）に記載の方法において、
前記ガス状の流体を第２の時間加圧するステップ、前記ガス状の流体を第４の時間加圧するステップ、および前記ガス状の流体を第５の時間加圧するステップは、それぞれ、前記流体を約２．０ｐｓｉｇ〜約２．５ｐｓｉｇ（１３．７ｋＰＡ〜１７．２ｋＰＡ）の圧力に前記流体を加圧するステップを含む、方法。
（３８）実施態様（３４）に記載の方法において、
前記内部容積を第１の時間真空引きするステップおよび前記内部容積を第３の時間真空引きするステップは、それぞれ、約２２インチＨｇ（−７５ｋＰＡ）以下の真空引きするステップを含む、方法。
（３９）実施態様（３４）に記載の方法において、
前記ガス状の流体は、窒素である、方法。
（４０）実施態様（３４）に記載の方法において、
前記内部容積を前記ガス状の流体の供給源および真空源に選択的に流体連通させるステップ、
をさらに含む、方法。
【００９９】
（４１）実施態様（４０）に記載の方法において、
前記内部容積を前記ガス状の流体の供給源および真空源に選択的に流体連通させる前記ステップは、前記キャニスターのニードル弁に挿入されたニードルインジェクタによって、前記内部容積を前記ガス状の流体の供給源および前記真空源に流体連通させるステップを含む、方法。
（４２）実施態様（４０）に記載の方法において、
前記内部容積を前記ガス状の流体の供給源および真空源に選択的に流体連通させる前記ステップは、自動的にプロセッサによって制御される弁によって、前記内部容積を前記ガス状の流体の供給源および前記真空源に流体連通させるステップを含む、方法。
（４３）実施態様（３４）に記載の方法において、
前記内部容積に流体連通した前記キャニスターの膜の形状を監視して前記ガス状の流体が加圧されているか否かを決定するステップ、
をさらに含む、方法。
（４４）実施態様（３４）に記載の方法において、
前記物体は、コンタクトレンズを製造するための型部分である、方法。
（４５）ガス抜き作業を行うためのシステムにおいて、
ガス抜きされるべき物体を保持するための内部容積を有するキャニスターであって、前記内部容積を選択的に密閉できる、キャニスターと、
プロセッサを含むコントローラと、
前記コントローラの入力に応答して、ガス抜きに使用するのに適したガス状の流体の供給源および真空源の少なくとも一方に前記内部容積を選択的に流体連通させるために前記コントローラに通信できるように接続された弁と、
を含む、システム。
【０１００】
（４６）実施態様（４５）に記載のシステムにおいて、
前記複数のキャニスターと、
前記キャニスターおよび前記コントローラを保持するためのラックと、
をさらに含む、システム。
（４７）実施態様（４５）に記載のシステムにおいて、
前記弁に流体連通したニードルインジェクタをさらに含み、
前記キャニスターは、ニードル弁を含み、
前記ニードルインジェクタは、前記ニードル弁によって前記内部容積に流体連通させることができる、システム。
（４８）実施態様（４５）に記載のシステムにおいて、
前記コントローラは、前記プロセッサに通信できるように接続された記憶装置、およびこの記憶装置に保存された一連のコンピュータ実行命令をさらに含む、システム。
（４９）実施態様（４８）に記載のシステムにおいて、
前記コントローラは、
（ｉ）第１の時間、前記内部容積を真空引きし、
（ｉｉ）適当なガス状の流体を前記内部容積に導入し、第２の時間、前記ガス状の流体を加圧し、
（ｉｉｉ）第３の時間、前記内部容積を真空引きし、
（ｉｖ）前記ガス状の流体を内部容積に導入し、第４の時間、前記ガス状の流体を加圧し、
（ｖ）ステップ（ｉ）〜ステップ（ｉｉｉ）を繰り返し、
（ｖｉ）続いて、前記ガス状の流体を前記内部容積内に導入し、第５の時間、前記ガス状の流体を加圧するために、前記弁を選択的に直接開閉するようにプログラムされている、システム。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】型部分のガス抜きおよび保管に用いることができるキャニスターの斜視図である。
【図２】図１の線Ａ−Ａに沿って見た、図１の領域Ｂの断面図である。
【図３】図２の領域Ｃの拡大図である。
【図４】図１〜図３に示されているキャニスターの蓋、膜、およびプレートの組立分解斜視図である。
【図５】図４の線Ｄ−Ｄに沿って見た、蓋、膜、およびプレートを介して挿入されたニードルインジェクタを示す、図４に示されている蓋、膜、およびプレートの組立断面図である。
【図６】図１〜図５に示されているキャニスターの第２の末端部分、第１のプレート、および第２のプレートの斜視図である。
【図７】図５に示されているニードルインジェクタの断面図である。
【図８】図１〜図６に示されているキャニスター内にパレットおよび前型半体および後型半体の挿入に備えて、前型または後型が配置されている、図１〜図６に示されているキャニスターに用いることができるパレットの上方からの斜視図である。
【図９】図８に示されているパレットおよび前型または後型の下方からの斜視図である。
【図１０】図１〜図６に示されているタイプの２つのキャニスターが取り付けられたグローブボックスの上方からの斜視図である。
【図１１】図１０に示されているグローブボックスおよびキャニスターの下方からの斜視図である。
【図１２】キャニスター内に導入される、またはキャニスターから取り出される図８および図９に示されているタイプのパレットのスタックを示す、図１〜図６に示されているキャニスターの側面図である。
【図１３】図１〜図６および図１２に示されているタイプのキャニスターを用いてガス抜き作業を行うためのシステムの好適な実施形態の正面図である。
【図１４】図１３に示されているシステムの電気要素のブロック図である。
【図１５】図２に類似した、図１〜図６および図１２に示されているキャニスターの代替の実施形態の断面図である。
【図１６】図１５に示されているキャニスターの下部の断面図である。
【図１】
2009507678.tif 000003
【図２】
2009507678.tif 000004
【図３】
2009507678.tif 000005
【図４】
2009507678.tif 000006
【図５】
2009507678.tif 000007
【図６】
2009507678.tif 000008
【図７】
2009507678.tif 000009
【図８】
2009507678.tif 000010
【図９】
2009507678.tif 000011
【図１０】
2009507678.tif 000012
【図１１】
2009507678.tif 000013
【図１２】
2009507678.tif 000014
【図１３】
2009507678.tif 000015
【図１４】
2009507678.tif 000016
【図１５】
2009507678.tif 000017
【図１６】
2009507678.tif 000018
【国際調査報告】
2009507678.tif 000019
2009507678.tif 000020