(57)【要約】  高精度かつ高スループットで電子ビームを偏向するための装置および方法。偏向コンデンサの少なくとも１つの電極が同軸ケーブルを介して信号源に接続されている。終端抵抗器がさらに、該同軸ケーブルおよび該電極のジョイントにおいて該同軸ケーブルおよび該電極に接続されている。該終端抵抗器は該同軸ケーブルのインピーダンスに整合された抵抗を有しており、該電極は、該同軸ケーブルの該インピーダンスの半分に整合されたインピーダンスを有している。本発明の該偏向コンデンサは渦電流による精度の損失が最小である。該偏向コンデンサにおける電極の間隔は、最新システムと比較しておよそ２倍低減されている。【選択図】  図６
2009510694.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子ビームを偏向するための装置であって、
第１の対向電極および第２の対向電極と、
第１の偏向信号を提供するように適合されている第１の信号源と、
第１のインピーダンスを有する第１の同軸ケーブルであって、前記第１の同軸ケーブルの第１端が前記第１の信号源に電気結合されており、前記第１の同軸ケーブルの第２端が前記第１の電極に電気結合されている第１の同軸ケーブルと、
前記第１のインピーダンスに整合されたインピーダンスを有する第１の終端コンポーネントであって、前記第１の終端コンポーネントの第１端が前記第１の同軸ケーブルの前記第２端に電気結合されており、前記終端コンポーネントの第２端が接地に電気結合されている第１の終端コンポーネントと、
を備えており、
前記第１の電極が、前記第１のインピーダンスのおよそ半分に整合されている前記接地に対するインピーダンスを有している装置。
【請求項２】
前記第２の電極が接地されている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１の偏向信号に対して反転される第２の偏向信号を提供するように適合されている第２の信号源と、
第２のインピーダンスを有する第２の同軸ケーブルであって、前記第２の同軸ケーブルの第１端が前記第２の信号源に電気結合されており、前記第２の同軸ケーブルの第２端が前記第２の電極に電気結合されている第２の同軸ケーブルと、
前記第２のインピーダンスに整合されたインピーダンスを有する第２の終端コンポーネントであって、前記第２の同軸ケーブルの前記第２端に電気結合されている第１端を有しており、また接地に電気結合されている第２端を有している第２の終端コンポーネントとをさらに備えており、
前記第１の電極および第２の電極間のインピーダンスが前記第１のインピーダンスに整合している、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記第１の終端コンポーネントが、前記第１の同軸ケーブルに接続するように適合されている前記第１のインピーダンスを有するリターン同軸ケーブルを備える、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１の終端コンポーネントが、前記第１の同軸ケーブルに接続するように適合された前記第１のインピーダンスを有するリターン同軸ケーブルを備えており、
前記第２の終端コンポーネントが、前記第２の同軸ケーブルに接続するように適合された前記第２のインピーダンスを有するリターン同軸ケーブルを備える、請求項３に記載の装置。
【請求項６】
前記第１のインピーダンスがおよそ５０オームである、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１のインピーダンスおよび第２のインピーダンスがおよそ５０オームである、請求項３に記載の装置。
【請求項８】
電子ビームを偏向するための装置であって、
少なくとも１つの第１の回路であって、
信号源と、
終端コンポーネントと、
前記信号源および前記終端コンポーネントを接続する駆動ケーブルを備える少なくとも１つの第１の回路であって、
前記駆動ケーブルが第１のインピーダンスを有し、前記終端コンポーネントが接地されており、また前記第１のインピーダンスに整合された抵抗を有している少なくとも１つの第１の回路と、
前記電子ビームを偏向するように適合されている少なくとも１対の対向電極と、
を備えており、
前記電極が前記駆動ケーブルを介して前記信号源に接続されるように、前記少なくとも１対の電極の一方の電極が前記少なくとも１つの第１の回路に接続されている装置。
【請求項９】
前記少なくとも１対の電極のもう一方の電極が接地されており、また前記少なくとも１対の電極が前記第１のインピーダンスの半分に整合されたインピーダンスを有する、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
少なくとも１つの第２の回路を更に備え、前記第２の回路は、
前記第１の回路の前記信号源に対して反転される信号を提供するように適合されている信号源、
終端コンポーネント、
前記信号源および前記終端コンポーネントを接続する駆動ケーブルを備え、
前記駆動ケーブルが第２のインピーダンスを有しており、前記終端コンポーネントが接地され、前記第２のインピーダンスに整合された抵抗を有しており、
前記電極が前記駆動ケーブルを介して前記信号源に接続されるように、前記少なくとも１対の電極の前記もう一方の電極が前記少なくとも１つの第２の回路のそれぞれ１つに接続されている、請求項８に記載の装置。
【請求項１１】
前記終端コンポーネントが前記第１のインピーダンスを有するリターンケーブルを備えており、
前記リターンケーブルが前記駆動ケーブルに接合するように適合されている、請求項８に記載の装置。
【請求項１２】
前記駆動ケーブルが同軸ケーブルであり、前記第１のインピーダンスがおよそ５０オームである、請求項８に記載の装置。
【請求項１３】
各第１の回路の前記終端コンポーネントが前記第１のインピーダンスを有するリターンケーブルを備えており、前記リターンケーブルが前記駆動ケーブルを接合するように適合されている、請求項１０に記載の装置。
【請求項１４】
各第１の回路の前記駆動ケーブルが同軸ケーブルであり、
前記第１のインピーダンスがおよそ５０オームであり、
各第２の回路の前記駆動ケーブルが同軸ケーブルであり、
前記第２のインピーダンスがおよそ５０オームである、請求項１０に記載の装置。
【請求項１５】
前記少なくとも１対の電極が、ブランキング偏向器、ベクトル偏向器および成形偏向器のうちの少なくとも１つを備える、請求項８に記載の装置。
【請求項１６】
前記少なくとも１対の電極が、ブランキング偏向器、ベクトル偏向器および成形偏向器のうちの少なくとも１つを備える、請求項１０に記載の装置。
【請求項１７】
複数の電極を有する偏向システムに電気信号を提供するための方法であって、
第１の閉回路を提供するステップであって、信号源、同軸ケーブルおよび終端コンポーネントが直列接続されているステップと、
あるポイントで第１の電極を前記第１の閉回路に接続するステップであって、前記あるポイントが前記同軸ケーブルおよび前記終端コンポーネントのジョイント接続ポイントであり、前記第１の閉回路および前記接地に接続されている前記第１の電極が、前記同軸ケーブルおよび前記終端コンポーネントの平行回路に整合されたインピーダンスを有するステップと、
前記第１の閉回路において前記信号源を使用して第１の電気信号を提供するステップと、
を備える方法。
【請求項１８】
前記第１の回路に接続されている前記第１の電極に対向する第２の電極を接地するステップをさらに備える、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
第２の閉回路を提供するステップであって、信号源、同軸ケーブルおよび終端コンポーネントが直列接続されているステップと、
あるポイントで第２の電極を前記第２の閉回路に接続するステップであって、前記あるポイントが前記同軸ケーブルおよび前記終端コンポーネントのジョイント接続ポイントであり、前記第２の閉回路に接続されている前記第２の電極が前記第１の閉回路に接続されている前記第１の電極に対向するステップと、
前記第２の閉回路において前記信号源を使用して前記第１の信号の反転信号を提供するステップと、
をさらに備える、請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】
前記終端コンポーネントにリターン同軸ケーブルを提供するステップであって、前記リターン同軸ケーブルが前記同軸ケーブルに接続するように適合されているステップをさらに備える、請求項１７に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の背景】
【０００１】
発明の分野
[0001]本発明の実施形態は概して、電子ビームシステムで使用される静電偏向システムに関する。
【０００２】
関連技術の説明
[0002]電子ビームは、およそ同じ運動エネルギーを有し、かつおよそ同じ方向に移動する電子のグループである。電子ビーム技術は、陰極線チューブ（ＣＲＴ）、リソグラフィ、走査電子顕微鏡および溶接などの多数の分野で使用されている。走査電子顕微鏡、ベクトル／ラスタービームリソグラフィシステムなどの電子ビームシステムは普通電子ビームカラムを有しており、少なくとも１つの偏向システムが、例えば正確な場所でターゲット標本にビームが当たるのを保証するために、電子ビームを偏向させるのに使用されてもよい。
【０００３】
[0003]電子ビームは概して、磁界や電界によって偏向される。静電偏向システムは、電子ビームを偏向するのに電界を使用するシステムである。電界は概して、電子ビームを偏向する際に磁界より高速であるため、静電偏向システムは普通、高速偏向を実現し、かつ電子ビームシステムの高スループットを達成するために使用される。静電偏向システムの最小構成は、２つの電極間に電界を形成するコンデンサからなる。電子ビームは、この電界を通過すると偏向される。偏向信号が、送信ライン、例えば高周波数の５０オーム同軸ケーブルを介する電気信号の形態でコンデンサに供給される。電気信号は、コンデンサの２つの対向電極間の距離の電圧差をもたらす。偏向システムは概して、インピーダンス整合を最適化するようにコンポーネントを選択することによって、送信ラインのインピーダンス不整合による電気信号の反射を最小化するように設計されている。
【０００４】
[0004]従来技術の偏向システムにおいて、インピーダンス整合は、コンデンサを送信ラインの一部とすることによって行われ、これは、コンデンサが送信ラインと同じインピーダンスを有し、かつ信号がコンデンサを流れることを意味している。図２は、従来技術の偏向システム２００の概略図を図示している。電極２０２および２１２は相互に対向して配置されており、コンデンサ２１０を形成する。コンデンサ２１０は、電極２０２と２１２間を通過する電子ビーム２０１を偏向するように構成されている。信号源２０３は、駆動同軸ケーブル２０４を介して偏向信号を電極２０２に供給するように適合されている。特に、信号源２０３は駆動同軸ケーブル２０４のコアチャネル２０４ａを介して電極２０２に接続されており、駆動同軸ケーブル２０４の外チャネル２０４ｂは接地されている。電極２０２はさらにリターン同軸ケーブル２０５および終端抵抗器２０６を介して接地に接続されている。ここで使用されているように、終端抵抗器は概して、所望のインピーダンスを有する任意のコンポーネントのことであるが、必ずしも抵抗器である必要はない。リターン同軸ケーブル２０５および終端抵抗器２０６は直列接続されている。同様に、電極２１２は駆動同軸ケーブル２１４を介して信号源２１３に接続されており、またリターン同軸ケーブル２１５および終端抵抗器２１６を介して接地に接続されている。
【０００５】
[0005]普通、駆動同軸ケーブル２０４、２１４とリターン同軸ケーブル２０５および２１５は５０オームの同軸ケーブルであり、終端抵抗器２０６および２１６は５０オームの抵抗器に等しい。各電極２０２または２１２と接地間のインピーダンスはそれぞれ５０オームである。従って、各電極２０２または２１２は同軸ケーブル２０４−２０５および２１４−２１５によってそれぞれ形成される送信ラインの一部として作用する。仮想同軸ケーブル２０４−２０２−２０５および２１４−２１２−２１５のインピーダンスはそれぞれ終端抵抗器２０６および２１６のインピーダンスに整合する。電子ビーム１０１を偏向するためのコンデンサ２１０で得られる電圧が信号源２０３および２１３の各々の大きさの２倍であるように、信号源２０３は、信号源２１３からの偏向信号に反転される偏向信号を出力する。
【０００６】
[0006]動作中、信号源２０３は駆動同軸ケーブル２０４を介して電圧を供給する。電流は駆動同軸ケーブル２０４、電極２０２およびリターン同軸ケーブル２０５を通過してから、終端抵抗器２０６に流れる。ポイント２０７において、仮想同軸ケーブル２０４−２０２−２０５のインピーダンスは終端抵抗器２０６のインピーダンスに整合する。従って、波面の反射が最小化される。同様に、信号源２１３は（信号源２０３の電圧から反転された）電圧を駆動同軸ケーブル２１４に送る。電流は駆動同軸ケーブル２０４、電極２１２、リターン同軸ケーブル２１５および終端抵抗器２１６に沿って通過する。上述のように、各電極２０２／２１２と接地間のインピーダンスは５０オームである。電極２０２および２１２は１対の反転電圧に接続されているため、電極２０２と２１２の中間の電圧は接地に等しい。従って、コンデンサ２１０は、各々が５０オームのインピーダンスを有する直列の２つのコンデンサ（２０２−接地および接地−２１２）とみなされてもよい。従って、コンデンサ２１０のインピーダンスは１００オーム、つまり使用される同軸ケーブルの２倍である。コンデンサのインピーダンスは、とりわけコンデンサの２つの電極間の距離によって付与されるため、コンデンサ２１０のインピーダンスは電極２０２と２１２間の距離Ｄ１によって調整可能である。
【０００７】
[0007]図３は、別の最新偏向システム２００Ａを図示している。理解を容易にするために、同一または類似の特徴部は図２および３において同じ番号で識別されている。偏向システム２００Ａは図２の偏向システム２００と類似している。しかしながら、信号源２０３のみが偏向システム２００Ａで使用されている。電極２１２は接地されている。従って、電極２０２および２１２は、同軸ケーブル２０４および２０５のインピーダンスに整合されたインピーダンスを有するコンデンサ２１０Ａを形成する。電極２０２と２１２間の距離はＤ２であり、これは、同種の同軸ケーブルが両システムで使用される場合には図２のＤ１の半分である。
【０００８】
[0008]しかしながら、上述の最新の静電偏向システムは複数の欠点を有している。まず、終端抵抗器までの電極上に電流の流れがあるため、電極の電流が偏向電圧に伴って変わる場合に渦電流が隣接する金属エリアに誘導される。誘導された渦電流は、ビーム偏向に影響する過渡磁界を作成する。誘導された過渡電界は、特に電子ビームの滞留時間が渦電流過渡より大きい場合に、偏向システムの精度損失をもたらすビーム偏向角度を駆動する。誘導磁界はまた長時間定数によって電子ビームに影響することもあるため、ビームは、特に渦電流の時間定数があるポイントでのビームの滞留時間よりもかなり大きい場合に、比較的長い時間ターゲット位置にとどまってはいない。第２に、２つのコネクタが電極ごとに必要とされ、システムの複雑さを増大させる。第３に、５０オームの標準インピーダンスを有する高周波数ケーブルのインピーダンスに整合するためにかなり大きな間隔がコンデンサ電極間に必要とされる。
【０００９】
[0009]高速立ち上がり、高精度および簡潔さが電子ビームシステムでは望ましいため、電子ビーム偏向を改良するための方法およびシステムが当分野で必要とされる。
【発明の概要】
【００１０】
[0010]本発明は、高精度および高スループットの電子ビーム偏向装置および方法に関する。
【００１１】
[0011]一実施形態は、電子ビーム偏向装置を提供する。該装置は、第１および第２の対向電極と、第１の偏向信号を提供するように適合されている第１の信号源と、第１のインピーダンスを有する第１の同軸ケーブルであって、該第１の同軸ケーブルの第１端が該第１の信号源に電気結合されており、該第１の同軸ケーブルの第２端が該第１の電極に電気結合されている第１の同軸ケーブルと、該第１のインピーダンスに整合されたインピーダンスを有する第１の終端コンポーネントであって、該第１の終端コンポーネントの第１端が該第１の同軸ケーブルの該第２端に電気結合され、該終端コンポーネントの第２端は接地に電気結合されている第１の終端コンポーネントと、を備えており、該第１の電極は、該第１のインピーダンスのおよそ半分に整合されている該接地に対するインピーダンスを有している。
【００１２】
[0012]別の実施形態は電子ビーム偏向装置を提供する。該装置は、少なくとも１つの第１の回路と、少なくとも１つの対向電極とを備え、第１の回路は、信号源と、終端コンポーネントと、該信号源および該終端を接続する駆動ケーブルとを備え、該駆動ケーブルが第１のインピーダンスを有しており、該終端コンポーネントが接地され該第１のインピーダンスに整合された抵抗を有し、該対向電極は、該電子ビームを偏向するように適合され、該電極が該駆動ケーブルを介して該信号源に接続されるように、該少なくとも１対の電極の一方の電極が該少なくとも１つの第１の回路のそれぞれ１つに接続されている。
【００１３】
[0013]さらに別の実施形態は、複数の電極を有する偏向システムに電気信号を提供するための方法を提供する。該方法は、第１の閉回路を提供するステップであって、信号源、同軸ケーブルおよび終端コンポーネントが直列接続されているステップと、あるポイントで第１の電極を該第１の閉回路に接続するステップであって、該あるポイントが該同軸ケーブルおよび該終端コンポーネントのジョイント接続ポイントであり、該第１の閉回路および該接地に接続されている該第１の電極が、該同軸ケーブルおよび該終端コンポーネントの平行回路に整合されているインピーダンスを有するステップと、該第１の閉回路において該信号源を使用して第１の電気信号を提供するステップとを備えている。
【００１４】
[0014]本発明の上記引用された特徴が詳細に理解されるように、上記簡潔に要約された本発明に関するより具体的な説明が実施形態を参照してなされてもよく、この一部は添付の図面に図示されている。しかしながら、添付の図面は本発明の通常の実施形態のみを図示しており、従って、本発明は他の等しく効果的な実施形態を認めてもよいため、この範囲を制限するものとみなされるべきではない点に注目すべきである。
【詳細な説明】
【００１５】
[0022]本発明の実施形態は、電子ビーム偏向を改良するために利用されてもよい。電子ビームを偏向するのに使用されているコンデンサの電極の単一ポイントを同軸駆動ケーブルおよび終端抵抗器の一端に接続することによって、電極全体の電流の流れが妨げられる。結果として、渦電流および関連過渡磁界の誘導が回避可能であり、これによってより正確にコントロールされた偏向をもたらす。さらに、一部の実施形態によると、より低い全コンデンサインピーダンスが利用されてもよく、これに応じたより短い電極間の距離を許容する。
【００１６】
[0023]本発明の実施形態は電子ビーム偏向システムを参照して説明されるが、当業者は、ここで説明されている概念が、多様な異なる用途で使用されている多様な異なるタイプの帯電粒子ビームの偏向をコントロールするように適用されてもよいことを認識するであろう。さらに、５０オームの送信ケーブルが説明されているが、当業者は、他のインピーダンス値の送信ケーブルも、コンデンサ設計（電極サイズおよび間隔）および終端抵抗器の対応する変化に伴って収容可能であることを認識するであろう。
【例示的ビームカラム】
【００１７】
[0024]電子ビームシステムは概して、電子ビームを成形し、かつ成形された電子ビームをターゲット上の所望の場所に移動させるように構成されている電子ビームカラムを有している。図１は、本発明の１つ以上の実施形態と関連した電子ビームカラム１００の概略図である。電子ビームカラム１００は、電子ビーム１０１を生成するように適合されている電子ビームソース１０５と、照明光学系１１０と、ブランキング偏向器１１５と、ブランキングアパーチャー１２０と、上部アパーチャー１２５と、転送光学系１３０と、成形偏向器１３５と、下部アパーチャー１４０と、ベクトル偏向器１４５と送出光学系１５０とを含んでいる。
【００１８】
[0025]電子ビームソース１０５は熱電界放出ソース、熱放出ソースまたは電界放出ソースであってもよい。照明光学系１１０は、電子ビームソース１０５を支援して上部アパーチャー１２５を照射するように構成されているのに対して、転送光学系１３０は、上部アパーチャー１２５を介して下部アパーチャー１４０に電子ビーム１０１を投影するように構成されている。送出光学系１５０は、偏向された電子ビーム１０１をターゲット１５５に投影するように構成されている。ブランキングアパーチャー１２０は、電子ビームが上部アパーチャー１２５に達するのを防止するように構成されている。上部アパーチャー１２５および下部アパーチャー１４０は電子ビーム１０１の形状を形成するように構成されている。
【００１９】
[0026]ブランキング偏向器１１５、成形偏向器１３５およびベクトル偏向器１４５の３セットの偏向器が電子ビームカラム１００にある。ブランキング偏向器１１５は、例えばライン１０２に沿って電子ビーム１０１をブランキングアパーチャー１２０に偏向するように構成されているため、電子ビーム１０１はターゲット１５５に達するのを防止される。成形偏向器１３５およびベクトル偏向器１４５は、フラッシュ生成器によって生成された信号に応答して電子ビーム１０１を成形および移動させるように構成される。より具体的には、下部アパーチャー１４０との上部アパーチャー１２５の画像や影の重複が修正できるように、成形偏向器１３５は電子ビーム１０１を移動させるように構成されている。下部アパーチャー１４０を通過する電子ビーム１０１は、下部アパーチャー１４０との上部アパーチャー１２５の画像の重複形状を有している。このように、成形偏向器１３５は電子ビーム１０１を成形するように構成されている。ベクトル偏向器１４５は、成形された電子ビーム１０１をターゲット１５５上の所望の場所に移動させるように構成されている。電子ビーム１０１の移動および成形は、参照してここに組み込まれている、「Ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  Ｅｌｉｍｉｎａｔｉｏｎ  Ｌｏｗ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｅｒｒｏｒ  Ｓｏｕｒｃｅｓ  ｔｏ  Ｃｒｉｔｉｃａｌ  Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ  Ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ  ｉｎ  Ｓｈａｐｅｄ  Ｂｅａｍ  Ｗｒｉｔｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍｓ」と題され、２００４年１１月２２日に出願された米国特許出願第１０／９９６，０２０号の段落００２５〜００３４により詳細に提供されている。
【例示的ビーム偏向器】
【００２０】
[0027]概して、ブランキング偏向器は１対の偏向電極を有している。成形偏向器およびベクトル偏向器は少なくとも２対の偏向電極を有していることがある。図４および図５は、電子ビームカラムのブランキング偏向器、成形偏向器またはベクトル偏向器で使用可能な１対の偏向電極の実施形態を図示している。偏向電極はフラットパネル（プレート）として概略的に図示されているが、円の湾曲弧等の他の形状もまた想定されている。
【００２１】
[0028]まず図４を参照すると、本発明の一実施形態に従った偏向システム３００の概略図が示されている。電極３０２および３１２は相互に対向して配置されており、また、電極３０２と３１２間を通過する電子ビーム３０１を偏向するように構成されているコンデンサ３１０を形成する。偏向信号を供給するように適合されている信号源３０３が駆動同軸ケーブル３０４を介して終端抵抗器３０６に接続されている。終端抵抗器３０６はさらに接地に接続されている。電極３０２は、終端抵抗器３０６が駆動同軸ケーブル３０４に接続しているポイント３０７において終端抵抗器３０６および駆動同軸ケーブル３０４の両方に接続されている。
【００２２】
[0029]一実施形態では、Ｔピースがポイント３０７において、終端抵抗器３０６、駆動同軸ケーブル３０４および電極３０２と併用されてもよく、各々はＴピースの１つの脚に接続している。同様に、信号源３１３は、終端抵抗器３１６および駆動同軸ケーブル３１４を介して同様に偏向信号を電極３１２に供給するように適合されている。終端抵抗器３０６および３１６は、それぞれ駆動同軸ケーブル３０４および３１４のインピーダンスに整合するように構成されている。電極３０２および３１２のインピーダンスは、それぞれ同軸ケーブル３０４および３１４のインピーダンスの半分に整合されている。
【００２３】
[0030]結果として、順方向移動波の反射から生じる減衰のみがある。ポイント３０７および３１７での反射信号は、電極３０２および３１２間のインピーダンスに対応する駆動同軸ケーブル３０４および３１４のインピーダンスを各々が有している２つの平行ラインに当たる。終端抵抗器３０６および３１６は電極３０２および３１２の外にあるため、静モードでは電流は電極３０２および３１２を流れることはなく、少量の電流のみが電圧切り替え時に電極３０２および３１２を流れる。従って、最新の偏向システムと比較して極めての少量の渦電流のみが、隣接する材料で切り替え時に作成される。
【００２４】
[0031]普通、駆動同軸ケーブル３０４および３１４は５０オームの同軸ケーブルであり、終端抵抗器３０６および３１６は５０オームの抵抗器に等しい。各電極３０２または３１２と接地間のインピーダンスはそれぞれ２５オームである。電子ビーム３０１を偏向するためにコンデンサ３１０によって発生された駆動力が各信号源３０３および３１３の容量を２倍にできるように、信号源３１３からの偏向信号に反転される偏向信号を信号源３０３が出力する。電極３０２と３１２の中間ポイントの電圧は接地に等しい。従って、コンデンサ３１０は直列の２つのコンデンサ（３０２−接地および接地−３１２）とみなされてもよく、各々が２５オームのインピーダンスを有している。従って、コンデンサ３１０のインピーダンスは５０オームであるか、使用される同軸ケーブルと同じ、かつ図２のコンデンサ２１０の半分である。従って、電極３０２と３１２間の距離Ｄ３は、他のパラメータが同一に保たれていれば、図２の距離Ｄ１の半分である。
【００２５】
[0032]図５は、本発明の別の実施形態に従った偏向システム３００Ａの概略図である。理解を容易にするために、同一または類似の特徴部は図４および図５において同じ番号で識別されている。偏向システム３００Ａは図４の偏向システム３００に類似している。しかしながら、信号源３０３のみが偏向システム３００Ａで使用されている。電極３１２は接地されている。従って、電極３０２および３１２は、駆動同軸ケーブル３０４および終端抵抗器３０６の平行回路のインピーダンスに整合されたインピーダンスを有するコンデンサ３１０Ａを形成する。電極３０２と３１２間の距離はＤ４であり、これは、同種の同軸ケーブルが両システムで使用されていれば、図４のＤ３の半分である。
【００２６】
[0033]図６は、本発明の別の実施形態に従った偏向システム３００Ｂの概略図である。理解を容易にするために、同一または類似の特徴部は図４および図６において同じ番号で識別されている。偏向システム３００Ｂにおいて、リターン同軸ケーブル３０８が、終端抵抗器３０６およびポイント３０７を接続するのに使用される。リターン同軸ケーブル３０８は駆動同軸ケーブル３０４と同じインピーダンスを有しているため、インピーダンスは依然としてポイント３０７において、かつ同軸ケーブル３０８と、駆動同軸ケーブル３０４のインピーダンスに整合するように構成されている終端抵抗器３０６との間で整合されている。リターン同軸ケーブル３０８を使用することによって、終端抵抗器３０６は、電力がヒートシンクへ容易に除去可能な電極３０２から離れた好都合な場所に位置決めされてもよい。同様に、駆動同軸ケーブル３１４と同じインピーダンスを有するリターン同軸ケーブル３１８が終端抵抗器３１６と電極３１２を接続する際に使用される。
【００２７】
[0034]図７は、本発明の別の実施形態に従った偏向システム３００Ｃの概略図である。理解を容易にするために、同一または類似の特徴部は図５および図７において同じ番号で識別されている。偏向システム３００Ｃにおいて、駆動同軸ケーブル３０４と同じインピーダンスを有するリターン同軸ケーブル３０８が、終端抵抗器３０６および電極３０２を接続するのに使用される。
【００２８】
[0035]従って、本発明の電子偏向システムは、上述の最新偏向システムの欠点を克服する。コンデンサの電極に電流は流れないため誘導過渡磁界の効果は最小化され、従って精度を改良し、かつ設定時間を短縮することができる。本システムは、電極ごとには１つのコネクタのみでよいため簡略化されている。コンデンサ電極間の間隔は、最新システムと比較しておよそ２倍低減されている。
【結論】
【００２９】
[0036]電子ビームを偏向するのに使用されているコンデンサの電極の単一ポイントを同軸駆動ケーブルおよび終端抵抗器の１端に接続することによって、電極全体の電流の流れが防止され、これによって、渦電流および関連過渡磁界の誘導を回避することができる。結果として、より正確にコントロールされたビーム偏向が達成可能である。さらに、反射信号と合わさった有効インピーダンスを低減することによって、より低い全コンデンサインピーダンスが利用可能になり、これに応じて電極間のより短い距離を許容し、これは偏向器の設計および製造を簡略化することができる。
【００３０】
[0037]上記は本発明の実施形態を目的としているが、本発明の他のさらなる実施形態が、この基本的範囲から逸脱することなく考案されてもよく、またこの範囲は以下の請求項によって判断される。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の１つ以上の実施形態と関連した電子ビームカラムの概略図である。
【図２】電子ビーム偏向システムの概略図である。
【図３】電子ビーム偏向システムの概略図である。
【図４】本発明の電子ビーム偏向システムの例示的実施形態の概略図である。
【図５】本発明の電子ビーム偏向システムの例示的実施形態の概略図である。
【図６】本発明の電子ビーム偏向システムの例示的実施形態の概略図である。
【図７】本発明の電子ビーム偏向システムの例示的実施形態の概略図である。
【符号の説明】
【００３２】
１００…電子ビームカラム、１０１…電子ビーム、１０５…電子ビームソース、１１０…照明光学系、１１５…ブランキング偏向器、１２０…ブランキングアパーチャー、１２５…上部アパーチャー、１３０…転送光学系、１３５…成形偏向器、１４０…下部アパーチャー、１４５…ベクトル偏向器、１５０…送出光学系、１５５…ターゲット、２００…偏向システム、２００Ａ…偏向システム、２０２、２１２…電極、２０３…信号源、２０４…駆動同軸ケーブル、２０４ａ…コアチャネル、２０４ｂ…外チャネル、２０５…リターン同軸ケーブル、２０６…終端抵抗器、２１０…コンデンサ、２１３…信号源、２１４…駆動同軸ケーブル、２１５…リターン同軸ケーブル、２１６…終端抵抗器、３００…偏向システム、３００Ａ、３００Ｂ…偏向システム、３０１…電子ビーム、３０２…電極、３０３…信号源、３０４…駆動同軸ケーブル、３０６…終端抵抗器、３０７…ポイント、３１０…コンデンサ、３１２…電極、３１３…信号源、３１４…駆動同軸ケーブル、３１６…終端抵抗器、３１７…ポイント
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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