(57)【要約】  ＳｉＣ上にヘテロ構造のためのＳｉ(1-x)ＭxＣ材料を、ＣＶＤ、ＰＶＤ及びＭＯＣＶＤにより成長させ得る。Ａｌのような金属でドープされたＳｉＣは、バンドギャップ、それ故にヘテロ構造を改質する。ＳｉＣ及び金属ソースを用いるＳｉＣ  Ｓｉ(1-x)ＭxＣのヘテロ接合の成長は、改良されたＨＦＭＴｓ（高周波移動度トランジスタ）、ＨＢＴｓ（ヘテロ接合バイポーラトランジスタ）及びＨＥＭＴｓ（電子移動度トランジスタ）の製造を可能とする。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｓｉ(1-x)ＭxＣ（式中、ＭがＡｌ、Ｇｅ又はＩｎであり、ｘが０〜１である）のヘテロ接合を含む半導体デバイス。
【請求項２】
前記ヘテロ接合が、ドープされた（００１）ＳｉＣから形成される請求項１に記載の半導体デバイス。
【請求項３】
前記ｘが約０．０６である請求項１に記載の半導体デバイス。
【請求項４】
前記Ｓｉ(1-x)ＭxＣのヘテロ接合が、約１２μｍの厚さを有する請求項１に記載の半導体デバイス。
【請求項５】
ＳｉＣ基板を準備し、及び
前記基板上にＳｉ(1-x)ＭxＣ（式中、ＭがＡｌ、Ｇｅ又はＩｎであり、ｘが０〜１である）のエピタキシャルフィルムを成長させることを含む
半導体デバイスの製造方法。
【請求項６】
前記ＭがＡｌであり、前記ｘが０．０６である請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記エピタキシャルフィルムの成長段階で、ソース温度が約１８００〜２２００℃である請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記エピタキシャルフィルムの成長段階で、シード温度が約１７００〜２１００℃である請求項５に記載の方法。
【請求項９】
前記エピタキシャルフィルムの成長段階で、シード温度が約１７４５℃である請求項５に記載の方法。
【請求項１０】
前記エピタキシャルフィルムの成長段階で、前記エピタキシャルフィルムを約５０〜４００Ｔｏｒｒのアルゴン圧力下で成長させる請求項５に記載の方法。
【請求項１１】
前記エピタキシャルフィルムの成長段階で、前記エピタキシャルフィルムを約１５時間で成長させる請求項５に記載の方法。
【請求項１２】
前記エピタキシャルフィルムが、ドープされた（００１）ＳｉＣを含む請求項５に記載の方法。
【請求項１３】
ＳｉＣ基板、
前記基板上のＳｉ(1-x)ＭxＣ（式中、ＭがＡｌ、Ｇｅ又はＩｎであり、ｘが０〜１である）のエピタキシャルフィルム及び
エピタキシャルフィルム上に形成させた少なくとも一つのトランジスタ構造を含む
半導体デバイス。
【請求項１４】
前記トランジスタ構造が、高周波移動度トランジスタ、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ又は高電子移動度トランジスタを含む請求項１３に記載の半導体デバイス。
【請求項１５】
前記ｘが約０．０６である請求項１３に記載の半導体デバイス。
【請求項１６】
ヘテロ接合がドープされた（００１）ＳｉＣから形成される請求項１３に記載の半導体デバイス。
【請求項１７】
Ｓｉ(1-x)ＭxＣのヘテロ接合が約１２μｍの厚さを有する請求項１３に記載の半導体デバイス。
【請求項１８】
ＳｉＣ緩衝層を前記基板と前記エピタキシャルフィルムとの間に形成させた請求項１３に記載の半導体デバイス。
【請求項１９】
ＳｉＣ緩衝層及びＳｉＣチャネル層を前記基板と前記エピタキシャルフィルムとの間に形成させた請求項１３に記載の半導体デバイス。
【請求項２０】
前記ＭがＡｌである請求項１３に記載の半導体デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
半導体デバイスは、ドープされた炭化珪素のヘテロ接合を有する。
【背景技術】
【０００２】
窒化ガリウム（ＧａＮ）は、高速、高出力トランジスタデバイスで潜在的な用途を有する、典型的な幅広いバンドギャップの半導体材料である。これらのデバイスを製造する上での主な欠点の一つは、エピタキシャル成長のための好適な基板の限られた入手可能性である。安価で大きな面積を有する、炭化珪素（ＳｉＣ）のような高品質のバルク単結晶基板が、デバイス製造のためのエピタキシャル層である、ＧａＮ及びその他のタイプの成長にとって好ましい。関連技術のある実施例では、ＧａＮエピタキシャル層が、単結晶ＧａＮ基板上にホモエピタキシャル成長させられている。しかしながら、これらのウエーハのコストは高く、有用性を妨げている。
【０００３】
通常のヘテロ構造では、ＧａＮデバイスのような高周波ＩＩＩ−Ｖ族半導体デバイスについては、性能の改良をすでに実現している。当初、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）金属−半導体電界トランジスタ（ＭＥＳＦＥＴｓ）は、高周波の用途では支配的なデバイスであった。その後、いくつかの異なるヘテロ構造が、ＡｌＧａＡｓ／ＧａＡｓ（ΔＥg〜０．４ｅＶ）及びＩｎＡｌＡｓ／ＩｎＧａＡｓ（ΔＥg〜０．８ｅＶ）を含むこの材料系で開発された。これらのヘテロ構造を利用する高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴｓ）は、それらのＭＥＳＦＥＴの対応物を凌ぎうる。例えば、最適化したＭＥＳＦＥＴｓは、１６０ＧＨｚの最大動作周波数（ｆmax）を示すが、ＧａＡｓの擬似（ｐｓｅｕｄｏｍｏｒｐｈｉｃ）高電子移動度トランジスタ（ＰＨＥＭＴｓ）は、２９０ＧＨｚの最大周波数（ｆｍａｘ）の値を実現し、ＩｎＰのＰＨＥＭＴｓは、６００ＧＨｚの周波数を実現している。
【０００４】
現在、ＧａＮフィルムは、単結晶ＳｉＣ又はサファイアのいずれか上で、ヘテロエピタキシャル成長により製造されている。ＧａＮ（４．８Å）と、サファイア（４．７６３Å）又は４Ｈ−炭化珪素（３．０７３０Å）との間の格子不整合により、かなりの数の貫通転移が、成長工程間に形成される。
【０００５】
大きな径で、欠点が少なく、高品質のＳｉＣ構造を手ごろな価格で得るための研究では、ＳｉＣは、高出力マイクロ波デバイスについての優れた性能のため、重要で、幅広いバンドギャップＩＩＩ−Ｖ族半導体となっている。従って、ＳｉＣは、Ｘ−バンドでは利得、出力及び効率の点でＧａＡｓ及びＳｉと競合し、より高い周波数（Ｋａ及びＫｕ−バンド）ではより優れた性能さえ約束する。この技術についての具体的な目標は、高い効率及び高い線形を有する有効なブロードバンド・パワーＲＦトランスミッターであり、同様にマイクロ波の用途での送信／受信（Ｔ／Ｒ）モジュールのための、頑丈な低雑音受信機でもある。
【０００６】
上記技術が進歩することにより、炭化珪素は優れた候補となっている。しかしながら、ヘテロ構造デバイスについては、好適なＳｉＣヘテロ構造材料の入手困難性のため、実現されていなかった。
【０００７】
従って、幅広いバンドギャップ半導体デバイスについての要件を満たす、実用的な金属ドープＳｉＣ材料についての必要性が存在する。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
それ故に、本発明の特徴の一つは、従来技術の制限及び不利を原因とする一以上の問題を実質的に未然に防ぐ、基板の製造に向けられている。
【０００９】
本発明の特徴は、物理気相輸送（ＰＶＴ）法を用いて成長させたＡｌドープＳｉＣ基板を提供することである。
【００１０】
本発明の特徴の一つは、金属ドープエピタキシャル層を成長させたＳｉＣ層を含む半導体デバイスに関する。
【００１１】
本発明のもう一つの特徴は、ＭがＡｌ、Ｇｅ又はＩｎであり、ｘが０〜１である、基板上にＳｉ(1-x)ＭxＣのエピタキシャルフィルムを成長させることにより、ＳｉＣ基板上に半導体デバイスを形成させるための方法に関する。
【００１２】
上記の一般的な記載と以下の発明の詳細な記載の両方は、例示的及び説明的であり、請求されているように本発明のさらなる説明を提供することを意図すると、理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
添付の図面は、本発明のさらなる理解を提供するために含まれ、この出願の一部に含まれかつ一部を構成し、本発明の実施態様を説明し、明細書と共に本発明の原理を説明する役割を果たす。
【００１４】
図面中で：
【００１５】
【図１】図１は、従来技術を超える本発明の優位性を示す。
【図２】図２ａ−２ｄは、ヘテロ構造を含む（Ｓｉ1-xＭx）Ｃを用いるＨＥＭＴの構造を示す。
【図３】図３は、ヘテロ構造中での劈開損傷についての走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）の顕微鏡写真である。
【図４】図４は、ヘテロ構造の断面についてのＳＥＭの顕微鏡写真である。
【図５】図５は、ＰＶＤを用いて成長させたＳｉ(1-x)ＡｌxＣの形態（部分Ａ）を示す。
【図６】図６は、ＰＶＤを用いて成長させたＳｉ(1-x)ＡｌxＣの形態のもう一つの写真を示す。
【図７】図７は、ＰＶＤを用いて成長させたＳｉ(1-x)ＡｌxＣのエネルギー分散型分光（ＥＤＳ）スペクトルを示す。
【図８】図８は、ＰＶＤを用いて成長させたＳｉ(1-x)ＡｌxＣのオージェ電子分光（ＡＥＳ）スペクトルを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
言及は、現在の本発明の好ましい実施の態様に詳細になされており、本発明の実施例は、添付の図面中に示されている。
【００１７】
ドーパントとしてＡｌを利用することは、ＳｉＣ材料の移動度及びその他の特性ならびにＳｉＣから形成され得るヘテロ構造に、顕著に影響する。ＳｉＣ／ＡｌＳｉＣを形成するこの能力により、より高性能のＳｉＣデバイスを製造し得る。
【００１８】
例えばＡｌをドープすることによるエネルギー・バンドギャップの調整により、高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴｓ）及びヘテロ接合バイポーラトランジスタ（ＨＢＴｓ）のようなデバイスを、形成させ得る。ＩＩＩ−Ｖ族の材料系で、これらの材料は、ＭＳＦＥＴｓ及びバイポーラ接合トランジスタ（ＢＪＴｓ）よりはるかに優れた性能を提供し、パワーデバイスの高周波性能を増加させる点で重要である。本発明は、ＳｉＣ系を利用する同様のデバイスを形成するための経路を提供する。ＭがＡｌ、Ｇｅ又はＩｎである、ＳｉＣ／Ｓｉ(1-x)ＭxＣのヘテロ構造の導入を介して、ＳｉＣ  ＭＥＳＦＥＴｓ中での改良が達成される。本発明は、更に幅広いオフセットを達成する可能性を伴う、エネルギーバンドのオフセットを提供する。これらの値は、従来技術であるＩＩＩ−Ｖの材料にみられるそれらの値に類似するか又は優れている。
【００１９】
図１は、２次元電子ガス（２ＤＥＧ）ヘテロ構造を形成するために用いるときの、従来技術と比較した本発明の優位性を示す。ここでＥｖは価数バンドエネルギーであり、Ｅｆはフェルミ・バンドエネルギーであり、Ｅｃは電気伝導性及びエネルギーである。幅広いバンドギャップの材料が、ドープされ、狭いバンドギャップの材料に隣接して位置したとき、キャリヤーは、より低いエネルギーでの状態の有効性により、幅広いバンドギャップの材料内の親ドーパントから狭いバンドギャップの材料へ移動し始める。境界では、バンドギャップの不連続性が、フェルミエネルギーより低くなるように、狭いバンドギャップ材料の伝導バンドを生じさせる。このバンドの曲がりは、電荷移動の結果であり、及びフェルミレベル下にエネルギーの低下は、電子濃度がその点で極めて高くなることによる。高電子濃度のこの領域は、極めて薄いため、２次元電子ガス（２−ＤＥＧ）として記載される。
【００２０】
図１は、ＡｌＧａＮ／ＧａＮのような従来技術が、ゲートラグ（表面トラップ）、ドレインラグ（緩衝トラップ）、高周波（ＲＦ）分散、高ゲートリークを生じ、電流低下さえも導き得る欠陥を形成しやすい傾向があることを示す。対照的に、ＳｉＣ基板へのＡｌ、Ｉｎ又はＧｅをドープする本発明は、これらの問題を緩和するために欠陥構造を減少できる。例えば、従来技術であるＡｌＧａＮ／ＧａＮの技術は、３００°Ｋで１３００ｃｍ2Ｎｓｅｃの電子移動度をもたらし得るが、本発明のＡｌ、Ｉｎ又はＧｅドープヘテロ構造では、３００°Ｋで約１５００−１８００ｃｍ2Ｎｓｅｃの電子移動度を達成し得る。従来技術であるＡｌＧａＮ／ＧａＮの技術は、高耐放射線性及び高絶縁破壊電圧をもたらすが、本発明のＡｌ、Ｉｎ又はＧｅドープヘテロ構造は、極めて高い耐放射線性及び絶縁破壊電圧を達成し得る。従来技術であるＡｌＧａＮ／ＧａＮの技術は、ＧａＮデバイスに相当する駆動電圧を得ることができるが、本発明のＡｌ、Ｉｎ又はＧｅドープヘテロ構造では、ＧａＮデバイスの約２倍の駆動電圧を達成し得る。更に、上記のＨＥＭＴは、従来技術であるＡｌＧａＮ／ＧａＮの技術に対し不確実な信頼性をもたらすが、本発明のドープ技術は高い信頼性を有するＳｉＣデバイスをもたらす。
【００２１】
図２ａ−２ｄは、本発明のヘテロ構造を含む（Ｓｉ1-xＭx）Ｃを用いて達成し得るＨＥＭＴの構造を示す。図２ａは、ＳｉＣ４緩衝層、（Ｓｉ1-xＭx）Ｃチャネル６、ＳｉＣバリヤ層８及びｎ+ＳｉＣ層１０が、ＳｉＣ基板２上に形成されていることを示す。（Ｓｉ1-xＭx）Ｃチャネル６で、ＭはＡｌ、Ｇｅ又はＩｎであってもよい。図２ａで、２ＤＥＧ層は、（Ｓｉ1-xＡｌx）Ｃチャネル６及びＳｉＣバリヤ層８の界面で見られる。図２ｂは、ＳｉＣ緩衝層１４、ＳｉＣチャネル層１６、（Ｓｉ1-xＭx）Ｃバリヤ層１８及びＮ+（Ｓｉ1-xＧｅx）Ｃ層２０が、ＳｉＣ基板１２上に形成されていることを示す。（Ｓｉ1-xＭx）Ｃバリヤ層１８で、ＭはＡｌ、Ｇｅ又はＩｎであってもよい。図２ｂで、２ＤＥＧ層はＳｉＣチャネル層１６及び（Ｓｉ1-xＭx）Ｃバリヤ層１７の界面で見られる。
【００２２】
図２ａ及び２ｂで示されるヘテロ構造を形成した後、トランジスタのようなパワーデバイスを製造できる。図２ｃ及び２ｄは、図２ａ及び２ｂのＳｉＣのヘテロ構造上にそれぞれ形成させたトランジスタ構造を示す。図２ｂ及び２ｃで、任意の活性層２２を形成し得る。次いで、ソース２４、ゲート２６及びドレイン２８を形成し得る。また、保護層３０を形成し得る。図２ｃ及び２ｄのトランジスタが、ＳｉＣ材料から形成されてもよい。それに代えて、トランジスタ構造が、Ｓｉ、ＧａＮ又はＡｌＧａＮの技術を通常の態様で用いて、形成されてもよい。このようにして形成されるトランジスタは、高周波移動度トランジスタ（ＨＦＭＴｓ）、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ（ＨＢＴｓ）又は高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴｓ）である。
【００２３】
図２ａ−２ｄに示される構造を、蒸着、分子線エピタキシャル成長又はスパッタリングのようなエピタキシャル成長法を用いて形成し得る。構造を形成するために、化学気相成長法（ＣＶＤ）を含むその他の方法を用い得る。適当なＣＶＤ法には、大気圧ＣＶＤ（ＡＰＣＶＤ）、減圧ＣＶＤ（ＳＡＣＶＤ）、低圧ＣＶＤ（ＬＰＣＶＤ）、プラズマ加速ＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）、高密度プラズマＣＶＤ（ＨＤＰＣＶＤ）、有機金属ＣＶＤ（ＭＯＣＶＤ）及び気相成長（ＶＰＥ）が含まれ得る。半導体の接合技術も用い得る。
【００２４】
本発明では、基板は（００１）の配向を有する６Ｈ  ＳｉＣウエーハであってもよい。ソースＳｉＣ材料は粉末であってもよい。アルミニウム（Ａｌ）をドーパントとして用い得るが、ガリウム（Ｇａ）又はインジウム（Ｉｎ）を含むその他のドーパントを用いてもよい。好ましくは、アルミニウムをドーパントとして用い得る。
【００２５】
好適には０〜１０％、好ましくは０．０１〜１０％、更に好ましくは５〜７％、最も好ましくは６％のドーパント（Ｇｅ、Ｉｎ又は好ましくはＡｌのような）をグロースチェンバーのるつぼ内に設置し得る。好ましくはアルゴンをグロースチェンバー内で用い得る。しかしながら好適ないずれかの不活性ガス又は混合ガスを用いてもよい。約３０時間までの成長時間で、エピタキシャル成長したフィルムを製造し得る。成長時間はフィルムの所期の厚みにより、約１５時間の工程時間で約１２μｍのフィルム厚を製造し得る。ソース温度は約１８００〜２２００℃の範囲である。チェンバー圧は、５０〜４００Ｔｏｒｒの範囲である。
【実施例】
【００２６】
実施例１
基板は、（００１）配向を有する既存の６Ｈ  ＳｉＣウエーハとした。ソースのＳｉＣ材料は粉末とした。アルミニウムをドーパントとして用いた。おおよそ６％のアルミニウムをるつぼ内に設置した。アルゴンをグロースチェンバー内で用いた。１５時間の成長時間で、エピタキシャル成長したフィルムを製造した。成長条件を表１に示す。
【００２７】
【表１】
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【００２８】
成長したフィルムの形態について走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、このフィルムを特徴付けた。図３は、成長したフィルム断面の形態を示す。図３で、基板上でのフィルムの形成を容易に観察し得る。いくつかの劈開損傷は、ＳＥＭ観察のための断面サンプル製造での所産である。
【００２９】
図４は、成長したフィルム断面のその他のＳＥＭの写真である。図４で、フィルム表面の平滑性を容易に観察し得る。
【００３０】
図５は、本発明によるＳｉＣ基板上に堆積させたＡｌフィルム表面のＳＥＭの写真を示す。大きく平滑な部分は、低欠陥密度の形成したＡｌフィルムを示す。図５に典型的に示される低欠陥密度は、フィルム表面上に最小の格子欠陥を有する構造の形成を可能にする。図６は、本発明によるＳｉＣ基板上に堆積させたＡｌフィルム表面のその他のＳＥＭの写真である。図６は表面構造の均一な形態及び顕著なくぼみの欠落又は線欠陥を示す。図５及び６に示される平滑な表面構造は、２次元電子ガス（２−ＤＥＧ）を得ることを可能にする最適な接合形成である。
【００３１】
エネルギー分散型分光測定（ＥＤＳ）についての結果を図７に示す。Ａｌについてのピークを、１４００ｅＶの近傍で容易に観察できる。オージェ電子分光測定（ＡＥＳ）のピークについての積分を図８に示す。図８は、約６％Ａｌ、２７％Ｓｉ及び６６％Ｃである組成が確認されている。
【００３２】
フィルムの品質についても、Ｘ線法を用いて測定した。６％Ａｌドープ濃度については、格子定数が純粋ＳｉＣに極めて近いことを観察し得た。
【００３３】
結果として、本発明はＳｉＣ上に、ＣＶＤ、ＰＶＤ又はＭＯＣＶＤにより成長させ得る、ヘテロ構造のためのＳｉ(1-x)ＭxＣ材料を提供する。ＳｉＣ、好ましくはＡｌでドープされたＳｉＣは、バンドギャップが変化し、それ故にヘテロ構造が改質される。ＳｉＣ及びＡｌソースを用いるＳｉＣ−Ｓｉ(1-x)ＭxＣのヘテロ接合の成長は、改良された高周波移動度トランジスタ（ＨＦＭＴｓ）、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ（ＨＢＴｓ）及び高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴｓ）の製造を可能とする。
【００３４】
上記の説明及びここで示される特定の実施の態様は、本発明の最良の実施の形態及びその原理の単なる具体例に過ぎず、変更及び付加が、当業者により、本発明の精神及び意図を逸脱することなく容易に成し得、それ故に添付の特許請求の範囲のみにより限定して理解される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
2009542032.tif 000013
2009542032.tif 000014
2009542032.tif 000015