(57)【要約】本発明は、粒子光学式走査顕微鏡のための位置決め装置、対応した位置決め補助装置を備える粒子光学式走査顕微鏡、ならびに粒子光学式走査顕微鏡で物体の焦点合わせおよび位置決めを行う方法に関する。焦点合わせおよび位置決め補助装置は、あらかじめ規定された位置で粒子光学ビーム軸線と交差する、粒子光学ビーム軸線に対して所定の角度で、コリメートまたは焦点合わせされた光ビームを生成する照明装置と、対物ステージに位置決めされた物体の画像を、粒子光学ビーム軸線に対して相対的な第２の角度で撮影する、光ビームの波長に対して感応性のカメラと、ディスプレイと、カメラによって撮影された画像を、画像内の粒子光学ビーム軸線の位置を示す標識と一緒にディスプレイ上に形成するための制御装置とを有している。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子光学ビーム軸線を規定する対物レンズおよび対物ステージを備える粒子光学式走査顕微鏡のための焦点合わせおよび位置決め補助装置において、
前記焦点合わせおよび位置決め補助装置が、
前記粒子光学ビーム軸線に対して第１の角度で、コリメートまたは焦点合わせされた光ビームを生成する照明装置であって、あらかじめ規定された位置で前記粒子光学ビーム軸と交差する、照明装置と、
前記粒子光学ビーム軸に対して相対的な第２の角度で、前記対物ステージに位置決めされた物体の画像を撮影する、光ビームの波長に対して感応性のカメラと、
ディスプレイと、
前記カメラによって撮影された画像を、該画像内の粒子光学ビーム軸線の位置を示す標識と一緒に、前記ディスプレイ上に形成するための制御装置と、
を有している、焦点合わせおよび位置決め補助装置。
【請求項２】
前記照明装置が、レーザを有している、請求項１記載の焦点合わせおよび位置決め補助装置。
【請求項３】
前記照明装置が、前置された光学系を備えたダイオードレーザを有している、請求項２記載の焦点合わせおよび位置決め補助装置。
【請求項４】
前記標識の長さが、前記粒子光学ビーム軸線に対して垂直な方向よりも、前記粒子光学ビーム軸線の方向において大きい、請求項１から３までのいずれか１項記載の焦点合わせおよび位置決め補助装置。
【請求項５】
前記照明装置が、前記光ビームと前記粒子光学ビーム軸線との交点の近傍に焦点を有している、請求項１から４までのいずれか１項記載の焦点合わせおよび位置決め補助装置。
【請求項６】
前記照明装置が、調整装置に収容されており、該調整装置により、光ビームの軸線が、該軸線の延びに対して垂直な方向に調整可能である、請求項１から５までのいずれか１項記載の焦点合わせおよび位置決め補助装置。
【請求項７】
粒子ビーム生成器、対物レンズ、試験室、該試験室内に配置された対物ステージ、および請求項１から５までのいずれか１項に記載の焦点合わせおよび位置決め補助装置を備えることを特徴とする粒子ビームシステム。
【請求項８】
粒子光学ビーム軸線を規定する対物レンズおよび対物ステージを備えた粒子走査顕微鏡で物体の焦点合わせおよび位置決めを行う方法において、
ａ．所定の位置で対物レンズの粒子光軸と交差する光ビームを提供するステップと、
ｂ．光ビームの波長に対して感応性のカメラを提供するステップと、
ｃ．対物レンズの粒子光軸の位置が標識されているディスプレイを提供するステップと、
ｄ．対物ステージに位置決めされた物体の画像をカメラにより記録するステップと、
ｅ．ディスプレイに表示された物体の画像内で、光ビームが標識上で物体と交差するまで、対物レンズの粒子光軸の方向に対物ステージを位置決めするステップと、
ｆ．粒子光学走査顕微鏡を電子による物体の照射モードに切り換え、負荷した粒子による物体の照射によって生成される粒子または光量子を検出することによって物体の画像を表示するステップと、
を有する、物体の焦点合わせおよび位置決めを行う方法。
【請求項９】
前記ステップｅと前記ステップｆとの間に、次のステップ、すなわち、
ｇ．ディスプレイに表示されたカメラ画像内で、光ビームが、選択された関心対象箇所と交差するまで、粒子光学ビーム軸線に対して垂直な方向に対物ステージを位置決めするステップ、
を実施する、請求項８記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粒子光学式走査顕微鏡のための焦点合わせおよび位置決め補助装置、対応した焦点合わせおよび位置決め補助を備えた粒子光学式走査顕微鏡、ならびに、粒子光学式走査顕微鏡において物体の焦点合わせおよび位置決めを行う方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
走査電子顕微鏡およびほかの粒子光学式操作機器では、粒子光学ビーム軸または電子光学ビーム軸に対して相対的な物体の位置決めが、互いに垂直な３つの方向に調節可能な対物ステージによって行われる。位置決めの間に物体を観察するためには、多くは赤外線の室照明を備えたＣＣＤカメラが役立つ。ＣＣＤカメラの光学系は、著しく大きい焦点深度を有しているので、ＣＣＤカメラの光学軸の方向に約５ｍｍよりも良好な正確さで物体を位置決めすることはほとんど不可能である。粒子ビームによって励起された二次粒子、例えば、反射散乱電子、二次電子、あるいは、物体自身によって励起されるか、または反射散乱電子もしくは二次電子と室内のガス分子との相互作用によって生じる光量子などによる物体の電子照射もしくは粒子光学的照射および物体の画像表示に、続いて切り換える場合には、調節によりわずかに拡大された場合でさえも、望ましい物体詳細を画像で見ることができないということも起こりうる。なぜならば、ＣＣＤカメラの画像における位置決め精度よりも粒子ビームによって走査される領域は小さく、したがって、関心対象の対物領域は、粒子ビームによって走査される領域の外部にも位置するからである。
【０００３】
さらに、ＣＣＤカメラ画像は、粒子光学ビーム軸の方向に物体を位置決めするためにも、すなわち、粒子光学的な対物レンズの作業間隔によって規定される平面内で対物面を移動させるためにも役立つ。不慣れな使用者にとっては、このことは同様に数ミリメートルの正確さによってのみ可能であり、これは同様に大まかにのみ焦点合わせされた粒子光学的画像のためであっても十分ではないことが多い。それゆえ、粒子光学的な照射、およびこの場合に生じる位置決め感度を用いて、物体上の望ましい箇所を探し当て、正しい作業間隔に合わせて物体を調節することが必要なことが多い。
【０００４】
特開昭６３−２５４６４９号公報では、走査電子顕微鏡に付加的に光学顕微鏡を設け、この光学顕微鏡のレーザビームによって、電子光学系のための自動焦点合わせ信号を生成するための補助信号を生成することが提案されている。
【０００５】
本発明に関連するさらなる従来技術としては、特開２００４−４３１９５１８号公報、特開平１０−３５２７７６号公報、特開平３−１４１５４４号公報、米国特許第６７１４２８９号明細書、および、米国特許出願公開第２００３０００６３７２号明細書を挙げることができる。
【０００６】
【特許文献１】特開昭６３−２５４６４９号公報
【特許文献２】特開２００４−４３１９５１８号公報
【特許文献３】特開平１０−３５２７７６号公報
【特許文献４】特開平３−１４１５４４号公報
【特許文献５】米国特許第６７１４２８９号明細書
【特許文献６】米国特許出願公開第２００３０００６３７２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の第１の課題は、粒子光学式走査顕微鏡のための焦点合わせおよび位置決め補助装置において、構成が単純であり、粒子光学的な対物レンズの作業間隔に合わせた物体の調節を容易にし、かつ走査顕微鏡の粒子光学軸線に対して垂直な方向に関心対象の物体細部を位置決めすることを容易にすることである。この課題は、請求項１の特徴部に記載の焦点合わせおよび位置決め補助装置により解決される。
【０００８】
本発明の第２の課題は、粒子走査顕微鏡において、粒子光学的な対物レンズの作業間隔に合わせた物体の調節を容易にし、かつ走査顕微鏡の粒子光学軸線に対して垂直な方向に関心対象の物体細部を位置決めすることを容易にすることである。この課題は、請求項７の特徴部に記載の粒子走査顕微鏡によって解決される。
【０００９】
本発明の第３の課題は、粒子光学的な対物レンズの作業間隔に合わせて物体をより簡単かつ信頼性良く調節し、走査顕微鏡の粒子光学軸線に対して垂直な方向に関心対象の物体細部をより簡単かつ信頼性良く位置決めする方法を提供することである。この課題は、請求項８の特徴部に記載の方法により解決される。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の有利な構成が、従属請求項の特徴部に記載されている。
【００１１】
粒子光学式走査顕微鏡のための焦点合わせおよび位置決め補助装置は、照明装置を有しており、この照明装置は、粒子光学ビーム軸線に対して第１の角度で、コリメートまたは焦点合わせされた光ビームを生成し、この光ビームは、あらかじめ規定された位置で走査顕微鏡の粒子光学ビーム軸線と交差する。焦点合わせおよび位置決め補助装置は、光ビームの波長に対して感応性のカメラをさらに有しており、このカメラにより、対物ステージに位置決めされた物体の画像が、粒子光学ビーム軸線に対して相対的な第２の角度で撮影される。さらに、ディスプレイ、ならびに、カメラによって撮影された画像を、画像内の粒子光学ビーム軸線の位置を示す標識と一緒に、ディスプレイ上に形成するための制御装置が設けられている。
【００１２】
本発明による粒子ビームシステムは、粒子ビーム生成器、対物レンズ、試験室、および試験室内に配置された対物ステージを有している。さらに、焦点合わせおよび位置決め補助装置が設けられており、この焦点合わせおよび位置決め補助装置は、粒子光学ビーム軸線に対して第１の角度で、コリメートまたは焦点合わせされた光ビームを生成し、この光ビームは、あらかじめ規定された位置で走査顕微鏡の粒子光学ビーム軸線と交差する。焦点合わせおよび位置決め補助装置は、光ビームの波長に対して感応性のカメラをさらに有しており、このカメラにより、対物ステージに位置決めされた物体の画像が、粒子光学ビーム軸線に対して相対的な第２の角度で撮影される。さらに、ディスプレイ、ならびに、カメラによって撮影された画像を、画像内の粒子光学ビーム軸の位置を示す標識と一緒に、ディスプレイ上に形成するための制御装置が設けられている。
【００１３】
本発明による粒子走査顕微鏡において物体の焦点合わせおよび位置決めを行う方法は、
（ａ）所定の位置で対物レンズの粒子光軸と交差する光ビームを提供するステップと、
（ｂ）光ビームの波長に対して感応性のカメラを提供するステップと、
（ｃ）対物レンズの粒子光軸の位置が標識されているディスプレイを提供するステップと、
（ｄ）対物ステージに位置決めされた物体の画像をカメラにより記録するステップと、
（ｅ）ディスプレイに表示された物体の画像内で、光ビームが標識上で物体と交差するまで、対物レンズの粒子光軸の方向に対物ステージを位置決めするステップと、
（ｆ）粒子光学走査顕微鏡を電子による物体の照射モードに切り換え、負荷した粒子による物体の照射によって生成される粒子または光量子を検出することによって物体の画像を表示するステップと、
により行われる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に本発明を図示の実施例につきさらに詳しく説明する。
【００１５】
図１の走査電子顕微鏡は、試験室１、および、この試験室１に取り付けられた電子光学カラム２を有している。この電子光学カラム２内では、ビームを負荷された粒子のビーム形成に必要な元素が取り出される。粒子ビームを生成するためには、粒子エミッタ３が、例えば、ＬＡＢ６−エミッタの熱電子源の形態で、または、熱または冷電界放出源の形態で設けられている。対応した静電電位を印加された電極４，５を介して、負荷された粒子がエミッタ３から抽出され、粒子ビームの望ましい目標エネルギに加速される。例えば、電子の場合のように、粒子ビームの粒子が負に負荷されている場合には、電極４，５の静電電位は、エミッタ３の静電電位に対して正である。これに対して、例えば、陽電子またはイオンの場合のように、粒子ビームのビームが正に電荷されている場合には、電極４，５の静電電位は、エミッタ３の静電電位に対して負である。
【００１６】
粒子ビームのビーム形成は、集光レンズ６および対物レンズ８を介しておこなわれる。図示の実施例では、集光レンズ６も対物レンズ８も磁気レンズの形で形成されており、それゆえ、磁気式の磁極片および、この磁極片内に収容された磁気コイル９，２０である。しかしながら、集光レンズ６も対物レンズ８も静電レンズの形で形成されていてもよい。さらに、磁界も静電界も生成する対物レンズ８が、特に静電−磁気組み合わせレンズの形で形成されていてもよい。
【００１７】
対物レンズ８の主平面内または主平面の近傍には、ビーム偏向装置が配置されている。このビーム偏向装置は、図１に示した実施例では、対物レンズ８のほぼ磁極片ギャップの高さに配置された偏向コイル１０によって実施されている。ビーム偏向装置によって、対物レンズ８により焦点合わせされた粒子ビームを、対物レンズ８の回転対称性によって規定される粒子光学ビーム軸線７（以下には略して光軸７とも呼ぶ）に対して垂直方向に偏向することができる。ビーム偏向装置は、光軸７の方向に互いに連続した２つの個別偏向システムを備えた「二重偏向システム」の形で形成されていてもよい。偏向コイルを対物レンズの電極片ギャップの高さに配置することも必須ではない。
【００１８】
試験室１には、対物ステージ１１が収容されている。この対物ステージ１１は、調節装置（さらに図示していない）を介して、矢印１２により示されている互いに垂直な３つの方向に調節可能であり、付加的に、粒子光学軸線７に対して垂直な軸を中心として傾動可能である。
【００１９】
試験室１の側方の開口１３では、コリメートまたは焦点合わせされた光ビームを生成するダイオードレーザ１５が、調節ユニット１４に収容されている。ダイオードレーザ１５が収容されている開口は、この場合、フランジ開口であってよい。この場合、ダイオードレーザは、前置された光学系１８を備えるレーザダイオード１７を含んでおり、光学系１８は、軸１９に沿って光ビームを提供する。レーザダイオードに前置された光学系１８は、レーザビーム軸１９に沿った箇所でレーザビームの焦点を形成し、この箇所で、レーザビーム軸１９は粒子光学ビーム軸７と交差する。調節ユニット１４を介して、ダイオードレーザ１５は、レーザビーム軸１９に対して垂直な両方向に調節可能である。
【００２０】
ダイオードレーザ１５は、調節装置１４によるダイオードレーザ１５の位置決めに応じてレーザビームのビーム軸１９が位置する平面が粒子光学軸線７に対して傾斜角αで常に位置するように、粒子光学カラム２に対して試験室１に取り付けており、ここでの傾斜角αは、０°および９０°とは異なり、有利には、２０°から７０°までの範囲でである。この場合、調節装置１４により、あらかじめ規定された位置でレーザビームのビーム軸１９が粒子光学軸線７と交差するようにダイオードレーザのビーム軸１９が調整される。
【００２１】
図２の、図１に対して垂直方向に断面した図からわかるように、試験室１の別のフランジ開口２５には、カメラチップ２２、例えば、赤外線光に対して感応性のＣＣＤチップ、および、カメラ対物レンズ２３を備えたカメラモジュール２１が配置されている。この場合に、カメラチップ２２は、ダイオードレーザ１５の波長に対しても感応性である。カメラモジュールの光軸２４は、同様に粒子光軸７に対して角度βで傾斜しており、この場合、カメラモジュール２１の傾斜角βは、ダイオードレーザ１５の傾斜角αとは異なっていてもよいが、異なっていなくてもよい。カメラモジュール２１の傾斜角βは、カメラチップ２２によって、対物ステージ１１の表面が上方から斜めに観察可能であり、その結果、モニタまたはディスプレイ２６には、対物ステージ１１およびこの対物ステージ１１に収容された物体の傾斜した上面図が表示可能であるように選択されている。
【００２２】
さらに、室照明(図示しない)が設けられており、この室照明により、対物ステージの周囲の領域が、カメラチップ２２が感知可能な波長の光によって照射される。
【００２３】
カメラモジュール２１の出力信号は、まず制御装置２７に供給され、この制御装置２７によって、カメラチップ２２により表示された画像にさらなる情報を重畳することができ、これにより、モニタ２６には、対応した重畳された画像が表示される。特に、制御装置２７により、線の形態で標識が形成される。この標識は、カメラチップ２２により撮影された画像内での粒子光軸７の位置を表示する。この場合、標識の延びは、粒子光軸７に対して垂直方向によりも粒子光軸の方向に大きい。
【００２４】
この場合、物体の位置決めは、本発明によるシステムによって、図４のブロック図に示した方法により行われる。まず、カメラチップ２２により撮影された物体の画像に、モニタ２６に重畳された標識によって粒子光軸７の位置が示されると、レーザモジュール１５によって生成された光ビームと、物体または対物ステージとの会合点が探し求められる。対物ステージ１１で撮影された物体３２の対応した重畳画像が図３に示されている。この図には、対物ステージ１１の他に、対物レンズ８の磁極片の下側領域を見ることができる。さらに、レーザビームと対物ステージとの会合点３１、ならびに注釈として粒子光軸７の位置を表示する標識３０を見ることができる。レーザ光の会合点３１と標識３０との間の偏差は、物体３２の表面が、まだ粒子光軸７に沿って望ましい作業間隔で位置していないことを示している。したがって、この場合には、まず第１ステップ４０で、対物ステージ１１の駆動装置によって、まず対物ステージを、レーザビームの会合点３１が粒子光軸の位置を示す標識３０上に位置するまで、光軸の方向にずらされる。このことが達成されると、ついで第２ステップ４２では、対物ステージ１１の別の駆動装置によって、カメラチップ２２によって示された光学画像内で、標識３０が関心対象の物体細部の領域に位置するまで、物体を粒子光軸７に対して垂直な方向にずらす。粒子光軸に対して垂直な方向のこの運動時にレーザビームの会合点３１の位置が標識から離れるように移動された場合には、次いでもう一度第１ステップ４１が繰り返され、レーザビームの会合点３１が再び標識と一致するまで、対物ステージを粒子光軸７の方向に走行させる。特に物体の表面が粒子光軸７に対して垂直に位置していない場合に、レーザビームの会合点が標識から離れるように移動し得る。
【００２５】
上述した、粒子光軸の方向の位置決め、および粒子光軸に対して垂直な方向の誘導が行われた後、すなわち、標識３０が、カメラチップ２２によって撮影された重畳画像内で関心対象のある物体細部と一致し、さらに、レーザビームと物体表面との会合点３１が標識３０上に位置した後に、ようやく次のステップ４３で粒子光学顕微鏡において切換が行われて、信号が検出器３３により検出され、一次粒子による物体の照射により生じる画像形成のために使用される。粒子ビームによって励起されたこのような二次粒子は、反射散乱電子もしくは二次電子、あるいは、物体自身によって励起されたか、または反射散乱電子もしくは二次電子と試験室内のガス分子との相互作用によって生じた光量子である場合がある。
【００２６】
特異な箇所、例えば鋭角な縁部を有する物体によって、システムの一回限りの調整を行うことができる。粒子照射下に、まずこの箇所が探し求められ、対物ステージのスライドにより、この特異な箇所は、例えば、粒子ビームによって生成された信号が最大の横方向解像度を示す望ましい作業間隔で粒子光軸の方向に位置するまで、粒子光軸７の方向に走行される。続いて、カメラチップ２２によって撮影された光ビームの画像内で、光ビームがちょうど特異な物体箇所で物体に衝突するように、ダイオードレーザ１５が調整ユニットによって位置決めされる。最後のステップでは、次いで制御装置２７によってビデオ画像に標識としての線が付与される。この線は、特異な物体箇所を通って、対物レンズの中央の方向に延びる。付与された標識は、次いで注釈として記憶され、後に、物体のよりわずかに的確な物体細部が顕微鏡観察されることが望ましい場合に利用可能である。カメラチップにより撮影された画像の垂直方向が、粒子光軸の方向に一致するように、カメラチップ２２が試験室に配向されて収容されている場合には、特に簡単に標識を形成することができる。この場合、標識３０は、単に画像内の画像仕切りまたは画像仕切りの一部であり、この画像仕切りには特異な物体箇所が位置する。
【００２７】
この関連では、光ビームと粒子光軸との交点は、顧客によって合理的に望まれる作業間隔に、すなわち、粒子光軸に沿って実際に望まれるそれぞれの位置に合わせて調節することができることをさらに述べておく。
【００２８】
ダイオードレーザへの電流供給を、可変の電流源または抵抗電位差計によって変更可能としてもよく、これにより、レーザビームの明るさを可変にして、現在の明るさ条件、ならびに、場合によってはレーザビーム光に対する物体の反射特性、および室照明のＩＲ光に適合させることができる。必要に応じて、ソフトウェア支援されて自動化された形でダイオードレーザの明るさ制御を行うこともできる。
【００２９】
ほとんどの走査電子顕微鏡は、対物ステージの画像を撮影することのできる（しばしば赤外線の）室照明およびカメラを既に有しているので、本発明による補助モジュールは、既に存在する機器に容易に追加装備可能である。必要な調節装置を備えたレーザモジュールが試験室の空ポートに収容されるだけでよい。この場合、レーザビームの導入は、試験室を外界に対して真空気密に閉鎖するガラスプレートを通して行うことができる。さらに、まだ提供されていない場合には、カメラのビデオ画像内に望ましい標識を形成し、記憶することのできる、ビデオミキサを補うことができる。
【００３０】
図１および図２を参照して説明した実施形態では、カメラモジュール２４およびレーザビーム軸１９の光学軸が、互いに対して垂直な方向またはほぼ垂直な方向に整列されている。これにより、粒子光軸方向の対物ステージの位置変更に関係して、カメラによって撮影された画像内にレーザ焦点と物体との会合点の特に明確な変位が生じる。この理由から、カメラモジュールの光軸２４とレーザビーム軸１９とが、０°および１８０°とは明らかに異なる角度、例えば、４５°から１３５°までの範囲の角度をなすことが望ましい。
【００３１】
図１および図２を参照して説明した実施形態では、照明装置が、焦点合わせされた光ビームを生成するダイオードレーザの形で形成されている。しかしながら、照明装置を、ほかの形態、例えば白熱電球またはＬＥＤとすることもできる。ＬＥＤは、前置された光学系により焦点合わせされた光ビームを生成し、その焦点は、理想的には、光ビームと粒子光軸との交点に位置する。あるいは、ダイオードレーザの代わりに、ガスレーザ、固体レーザ、光ファイバレーザまたは光ファイバに接続された光源を使用することもできる。レーザまたは別の光源によって放出されたビームが十分に（光ビームが粒子光軸と交差する範囲内で約０．５ｍｍ以下のビーム直径により）コリメートされている場合には、焦点合わせした前置光学系も不要である。
【００３２】
ポートを介して外部から試験室内へレーザビームを導入する代わりに、調節装置も含めたダイオードレーザ全体を試験室の内部に配置してもよい。
【００３３】
光ファイバに接続される光源の使用時には、光源を試験室の外部に配置し、光ファイバを試験室内に引き込んでもよい。この場合には、光ファイバの出力端は、試験室の内部に配置された調整装置に取り付けられる。
【００３４】
図１および図２を参照して説明した実施例では、室照明としては赤外線照明が設けられ、カメラとしては対応してＩＲに対して感応性のカメラが設けられている。しかしながら、カメラ照明は、別の波長を有していてもよい。対応して、カメラは別の波長または別の波長領域に対して感応性であってもよい。ダイオードレーザは赤外線スペクトル領域で放出する必要はなく、任意の波長を有していることもできる。カメラが、カメラ照明に対しても、焦点合わせおよび位置決め補助装置の照明装置の光に対しても、同時に感応性であることが唯一必要である。
【００３５】
焦点合わせおよび位置決め補助装置が、種々異なった大きさの試験室のために自在に使用されることが望ましい場合には、光学系１８によって、レーザビーム軸１９に沿ってレーザ焦点の位置が変更可能であると有利である。これに対して、種々異なった試験室においてもレーザビーム軸と粒子光軸との交点からほぼ等しい間隔でダイオードレーザを配置することができる場合には、固定の光学系、および、これにより生じる、レーザビーム軸に沿ったレーザ焦点の固定位置を備えたダイオードレーザを使用することもできる。
【００３６】
図１および図２を参照して説明した実施例では、一次粒子による物体の照射により生じる信号のための検出器３３は、試験室内に配置されている。しかしながら、代替的に、この検出器を、粒子光学カラム内の、例えば、対物レンズの、粒子源に向いている領域に配置してもよいし（「レンズ内検出器」、または、１つまたは複数の検出器を試験室内に配置し、かつ別の検出器を粒子光学カラム内に配置してもよい。一次粒子による物体の照射によって生じる信号のための検出器３３は、例えば、ＥＴ検出器、ＥＤＸ検出器、光検出器、または電極であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】焦点合わせおよび位置決め補助装置を備えた走査電子顕微鏡の原理を示す断面図である。
【図２】図１の走査電子顕微鏡を、図１に対して垂直な方向の断面で示す図である。
【図３】重畳された標識を備える、物体のカメラ画像図である。
【図４】焦点合わせおよび位置決め方法におけるステップのブロック図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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