(57)【要約】  マイクロアレイのスキャニングは、マイクロアレイの部位のうち全てではない複数の部位を露出するマスクを通じて実行される。マスクがマイクロアレイに対して可動、または、マイクロアレイがマスクに対して可動の何れかであるか、または両方である。マスクは、スキャンヘッドが加速するかまたは減速するかの何れかのスキャンヘッドの軌道内の部位上において、スキャンヘッドとマイクロアレイとの間の光路を遮断しているので、マスクは、マイクロアレイ上の部位への照明を、スキャンヘッドが安定しかつ目標速度により移動している間に照明される部位に制限する手段として有効である。さらに、マスクは、スキャンされた部位の隣接する部位への光流出を防止するので、マイクロアレイ画像内のバックグラウンドノイズを減少させるのに有効である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｘ軸に沿って選択された幅の行とｙ軸に沿って選択された長さの列とを構成する二次元のマイクロアレイにおいて整列された、空間的に分離されているサンプルの部位を有するサンプル支持部と、
光源を有するスキャンヘッドと、
前記ｘ軸に対して平行な進行経路に沿った往復運動において、前記サンプル支持部に対して前記スキャンヘッドを移動させるｘ軸スキャニング手段と、
前記サンプル支持部と前記スキャンヘッドとの間に位置決めされたマスクと、を具備し、前記マスクは、窓を通過しない光路を前記光源から前記サンプル支持部まで遮断し、前記窓は、前記ｘ軸に対して平行な幅を有していて、一つの行をなす複数のサンプルの部位を露出させると共に、前記窓は前記スキャンヘッドの前記進行経路より短い長さであり、
さらに、
（ｉ）前記サンプル支持部およびスキャンヘッドに対して前記マスクを移動させるか、または（ｉｉ）前記マスクに対して前記サンプル支持部およびスキャンヘッドを移動させるか、のうち何れかにより前記窓を通じて露出された前記サンプルの部位を変更するシフト手段と、
を具備する、マイクロアレイ用のスキャニング照明システム。
【請求項２】
前記窓は一つより多くて全てよりも少ない、一つの行をなす前記サンプルの部位を露出し、
前記シフト手段は、（ｉ）前記サンプル支持部およびスキャンヘッドに対して前記マスクをｘ軸に沿って移動させるか、または（ｉｉ）前記マスクに対して前記サンプル支持部およびスキャンヘッドを前記ｘ軸に沿って移動させるか、のうち何れかのｘ軸シフト手段である、請求項１に記載のスキャニング照明システム。
【請求項３】
前記シフト手段は、前記サンプル支持部およびスキャンヘッドに対して前記マスクを前記ｘ軸に沿って移動させる、請求項１に記載のスキャニング照明システム。
【請求項４】
前記シフト手段は、前記マスクに対して前記サンプル支持部およびスキャンヘッドを前記ｘ軸に沿って移動させる、請求項１に記載のスキャニング照明システム。
【請求項５】
前記窓は、前記行の一行のみにおけるサンプルの部位を露出する、前記ｙ軸に対して平行な長さを有する、請求項１に記載のスキャニング照明システム。
【請求項６】
さらに、前記マスクおよび前記スキャンヘッドに対して前記サンプル支持部を前記ｙ軸に沿って移動させる手段、を具備する、請求項１に記載のスキャニング照明システム。
【請求項７】
前記ｘ軸スキャニング手段は、前記スキャンヘッドを加速または減速させ前記進行経路の区域内にける前記区域の各端部において、前記スキャンヘッドが前記区域内に在るときに、前記マスクが光路を遮断する、請求項１に記載のスキャニング照明システム。
【請求項８】
前記ｘ軸スキャニング手段は可動コイルアクチュエータである、請求項１に記載のスキャニング照明システム。
【請求項９】
前記ｘ軸スキャニング手段は可動コイルアクチュエータであり、かつ、前記ｘ軸シフト手段はステッパモータである、請求項１に記載のスキャニング照明システム。
【請求項１０】
さらに、集束レンズを、具備し、
前記マスクは、前記スキャンヘッドと前記集束レンズとの間に在る、請求項１に記載のスキャニング照明システム。
【請求項１１】
ｘ軸に沿って選択された幅の行とｙ軸に沿って選択された長さの列とを構成する二次元のマイクロアレイ内の部位の配列体をスキャニングするスキャニング方法であって、
マスクを通じてスキャンヘッドにより前記マイクロアレイを照明し、前記マスクは窓を通過しない光路を前記スキャンヘッドから前記マイクロアレイまで遮断し、前記窓は、一つの行をなす第一の複数の部位を露出させつつ、前記窓の幅を越える進行経路に沿って前記複数の部位をわたって前記スキャンヘッドを前記ｘ軸に沿って動かす、工程（ａ）と、
前記マスクに対して前記マイクロアレイを移動させ、前記窓を通じて前記マイクロアレイの第二の複数の部位を露出させて、前記スキャンヘッドを前記ｘ軸に沿って移動させることにより、前記第二の複数の部位を照明する、工程（ｂ）と、
を含むスキャニング方法。
【請求項１２】
前記第一の複数の部位は、連続的な前記部位のうち、一つより多くて全てよりも少ない部位であり、工程（ｂ）は、前記スキャンヘッドに対して前記マイクロアレイを前記ｙ軸に沿って移動させて、前記第二の複数の部位を露出させる工程を含み、
前記スキャニング方法は、
選択された行の数にわたって工程（ｂ）を繰り返す、工程（ｃ）と、
（ｉ）前記マイクロアレイおよびスキャンヘッドに対して前記マスクを前記ｘ軸に沿って動かすか、または、（ｉｉ）前記マスクに対して前記マイクロアレイおよびスキャンヘッドを前記ｘ軸に沿って動かすか、の何れかにより、前記窓を通じて露出された前記サンプルの部位をシフトさせる工程（ｄ）と、
をさらに含む、請求項１１に記載のスキャニング方法。
【請求項１３】
工程（ｄ）は、前記マイクロアレイおよびスキャンヘッドに対して前記マスクを前記ｘ軸に沿って移動させる工程、を含む、請求項１２記載のスキャニング方法。
【請求項１４】
工程（ｄ）は、前記マスクに対してマイクロアレイおよびスキャンヘッドを前記ｘ軸に沿って移動させる工程、を含む、請求項１２記載のスキャニング方法。
【請求項１５】
前記窓は、前記行の一行のみにおけるサンプルの部位を露出する、前記ｙ軸に対して平行な長さを有する、請求項１１に記載のスキャニング方法。
【請求項１６】
工程（ａ）は、前記スキャンヘッドを、前記進行経路の区域内であり前記区域の各端部において加速および減速させて、前記スキャンヘッドが前記区域内であるときに前記マスクが光路を遮断する工程、
を含む、請求項１１に記載のスキャニング方法。
【請求項１７】
工程（ａ）における前記スキャンヘッドの前記移動は可動コイルアクチュエータにより実行される、請求項１１に記載のスキャニング方法。
【請求項１８】
工程（ａ）における前記スキャンヘッドの前記移動は可動コイルアクチュエータにより実行され、工程（ｄ）において前記サンプルの部位の前記シフトはステッパモータにより実行される、請求項１２に記載のスキャニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生物学上の種、例えば核酸およびタンパク質のマイクロアレイ用のスキャニングシステムに関するものであり、一般には、空間的配列体をなして配置された多数の部位に対する個別かつ連続した照明を含む如何なる型の手順のための照明システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロアレイは、化学的分析または生化学的分析が行われる二次元配列体の部位であり、各部位の多くは、顕微鏡的寸法であり、独立した分析および各部位においてその多くは異なった分子種を伴っている。マイクロアレイは、スライドガラス、微量定量プレートおよびメンブレンを含む種々の基材から形成されている。マイクロアレイは、例えば、識別、結合親和力の判定、また他に、未知の生物学上の種を特徴付けるための結合分析に慣用されている。マイクロアレイ内の部位の寸法、数および配置は、大幅に変更可能である。部位が標準的なマイクロタイタプレート内のくぼみである場合、くぼみはその合計数が９６であり、くぼみ間９ｍｍの間隔をとった１２×８の配列である。部位がスライドガラスに塗布された点であり、そのスライドガラスは典型的に２５ｍｍの幅であって、点は自動化されたマイクロプリント技術によるものである場合は、部位の数は千単位の数となりうる。遺伝子分析のための単一のスライドガラスは、典型的には１００００もの遺伝子を含んでいるであろう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
各分析を監視し検出する目的のためのマイクロアレイの画像化は、スキャニングおよび多くの方法論によって達成され、そのスキャニング工程は励起光によるマイクロアレイの各部位への照明を含む。このことを達成するために、スキャナヘッドがマイクロアレイを横切って往復するストロークにより動いて、各ストロークは、方向反転より前のストロークの各端部においての減速と、続いて、方向反転した後のヘッドを後ろ向きに運び次のストロークための速度を出す加速と、を含む速度プロファイルを有する。励起は、典型的には、安定した光源として役目を果たし、好ましくは、そのスキャンの全継続期間において放たれるレーザによって達成される。マイクロアレイの部位がスキャナヘッドの進行経路の端部にまで伸びる場合、途切れないレーザビームの使用は、或る部位が他の部位よりも大きい露出を受ける原因となりうる。このことは、部位の内容の露出過度または光退色を導く可能性がある。加えて、レーザが或る単一のくぼみに集中された場合、レーザビームが連続して放たれるかまたは各ストロークの端部において停止されるかにかかわらず、拡散、反射または屈折の何れかにより、隣接するくぼみへの或る程度の光流出は発生する。とくに、スキャナヘッドの進行経路が行の幅を超える場合、この種の光流出は行内のみならず行の間において発生する。さらに、単一のストロークが一行の一部分のみを覆う場合、光流出はスキャンされていない行の部分への流出を伴って発生する可能性がある。全ての場合において、流出はスキャニング信号間の望ましくない露出過度の原因となるか、スキャニング信号間のバックグラウンドノイズを発生させるか、または、その両方である。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
先行技術についての上記および他の制限は、本発明により述べられており、本発明はサンプル支持部と、往復運動するスキャンヘッドと、サンプル支持部およびスキャンヘッドの間に位置決めされたマスクと、を含むマイクロアレイ・スキャニング照明システムであり、マスクは、マスク内の窓を通過する以外のスキャンヘッドからサンプル支持部まで通過する全ての光を遮断し、マスクは、スキャンヘッドの単一のストローク、または一連の並列したストロークにおいてスキャンされるべき部位のみを露出する。ｘ軸としての単一の行に沿ってスキャニング方向を定めるとき、本発明の或る実施形態においてｘ軸に対して平行な窓の幅は、一つより多く全てより少ない連続したサンプルの部位を露出するのに充分であり、かつ、窓の幅はスキャンヘッドの往復運動の単一のストロークにおいてスキャンヘッドの進行経路よりも長さが短い。適切に寸法決めされかつ位置決めされたマスクによって、スキャンヘッドからの光は遮断され、従って、スキャンヘッドが加速または減速してその方向を反転させる進行経路の二つの端部において、マイクロアレイから到達することを防止する。加えて或る実施形態おいては、マイクロアレイ内の部位の一行のみ、または、一行のみの一部分に露出させるよう、マスクはさらに寸法決めされかつ位置決めされることができ、それにより、隣接する行上に光流出を防止することができる。マスクは、スキャンヘッドが単一のストローク内において一行の一部のみを横断するが、撮像過程の最後の段階において他の部分または行の残り部分にシフトすることができ、そのため、行全体のスキャンを完了するようになるので、とくに有用である。概して、本発明は、スキャンされていない部位の不要な照明を防止するか、または、スキャンヘッドの往復運動の端部の影響による部位への不均一な露出を防止するか、または、それら両方を防止するマスクの使用にある。全ての場合において、マスクはマイクロアレイに対して移動可能であり、逆もまた同様であり、そのため、必要に応じてスキャンヘッドに対して異なる部位のグループを露出し、マイクロアレイの完全なスキャンを提供するようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
本発明に関する上述のおよび他の構成要素、特徴、利点および実施形態を以下に続く説明により明らかにする。
【０００６】
スキャニング過程の間、マイクロアレイの部位が光源により照明されるシーケンスは、スキャニングプロトコルとして本明細書において参照されており、スキャンヘッドの往復運動、すなわち、前後の運動の間の、（光源が取付けられている）スキャンヘッドの一ストロークの長さにより、マイクロアレイ上のサンプル部位の連続した行にスキャンヘッドを整列させるためのマイクロアレイの増分動作と、マイクロアレイの全てのスキャニングを完成させるのに必要なスキャンヘッド、マスクおよびマイクロアレイの他の全ての動作と、に関連して決定される。個々のプロトコルは、マイクロアレイの構成および寸法に基づいて変更することができると同時に、全てのプロトコルは、マイクロアレイの各行にわたってｘ軸に沿ったスキャンヘッドの往復運動を含んでいる。均一なスキャンヘッドの速度は、進行経路に沿ってサンプルの部位の間にほとんど均等な照明の分布を提供するが、完全な均等は達成可能でない。代わりに、スキャンヘッド駆動部は、スキャンヘッドの進行経路のそれぞれの端部においてスキャンヘッドの方向を反転させる必要があるので、スキャンヘッドの往復運動は、各ストロークの各端部において減速を受け、引き続いて、反転方向に加速を受ける。スキャンヘッドに使用される典型的な駆動部は、可動コイルアクチュエータであり、可動コイルアクチュエータは、磁界において交流から電気コイルを通過して生じる周知のローレンツ力を利用している。さらに、可動コイルアクチュエータは、ボイスコイルアクチュエータとして見なされてもよく、これらのアクチュエータの例として、現在使用されているものは、アメリカ合衆国カルフォルニア州サンマルコスにあるＢＥＩテクノロジ株式会社のキムコ・マグネティクス事業部、および、アメリカ合衆国カルフォルニア州バレンシアにあるＨ２Ｗテクノロジ株式会社により提供されているものがある。ボイスコイルアクチュエータは米国特許６８９４４０８号明細書、米国特許６８７０２８５号明細書、米国特許６８１５８４６号明細書、および米国特許６７８７９４３号明細書に開示されている。別のボイスコイルアクチュエータが、一般公開され同時係属している米国特許出願１１／２６５０００、２００５年１１月１日出願、発明者ボールＪ．パット等、名称「Ｍｏｖｉｎｇ  Ｃｏｉｌ  Ａｃｔｕａｔｏｒ  ｆｏｒ  Ｒｅｃｉｐｒｏｃａｔｉｎｇ  Ｍｏｔｉｏｎ  Ｗｉｔｈ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｆｏｒｃｅ  Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ」および、一般公開され同時係属している米国特許出願１１／２９１４２３、出願日２００５年１１月３０日、発明者ダニエル・ワイ・チュ（Ｄａｎｉｅｌ  Ｙ．Ｃｈｕ）、名称「Ｍｏｖｉｎｇ  Ｃｏｉｌ  Ａｃｔｕａｔｏｒ  ｗｉｔｈ  Ｅｘｐａｎｄａｂｌｅ  Ｒａｎｇｅ  ｏｆ  Ｍｏｔｉｏｎ」に述べられている。これら文書のそれぞれの内容は、参照することによって明細書の記載に代える。これらアクチュエータのいずれかを組み入れたスキャニングシステムにおいて、スキャンヘッドの動作は、電磁力に応じたコイルの動作によって引起される。コイルの進行経路わたる速度プロファイルは、電位、コイルの構成、コイルおよび磁石の寸法および相対位置によって変化し、同時に、そのような全てのコイル用��プロファイルは、上述したように、各行についての移動の限界点において減速および加速を含む。
【０００７】
往復運動の一ストロークの間におけるスキャンヘッドの進行経路を図１に示す。図１において、マイクロアレイ１１は、スキャンヘッド１２と、スキャニング装置の一部であってスキャンヘッド１２と共に移動する集束レンズ１３との下方の位置に示されている。構成要素は、一定の縮尺で描かれておらず、それらの空間は理解を容易にするために誇張されている。
この場合におけるマイクロアレイ１１は、裏返された多数のくぼみからなるプレートによって表されており、照明されるべき部位は、各くぼみにおいて置かれ、裏返す前にくぼみからなる透明なガラスの底部に付着している検体である。ガラスを通じて照明されるプレートのこの裏返しによって、短い焦点長さ、例えば１．７ｍｍ程度の長さを有するスキャンヘッドレンズ１３が使用可能となると共に、各ストロークを通じてのスキャンヘッドおよびレンズの移動するときにプレートを各部位に近接して配置させられる。スキャンヘッド１２およびレンズ１３は、スキャニング装置の駆動部の代表例としての役目を果たす可動コイルアクチュエータ１４に取付けられる。アクチュエータは、スキャンヘッド１２およびレンズ１３を矢印１５、１６により示されるようにｘ軸に沿って往復運動するよう駆動させ、これらスキャンヘッド１２およびレンズ１３は、進行経路の中間点において実線により、進行経路の二つの最端部１７、１８において破線により示されている。スキャンヘッドおよびレンズの速度プロファイル１９および加速プロファイル２０は、アクチュエータのすぐ上方に示されており、各プロファイルの水平軸は、進行経路に沿った距離を表し、スキャンヘッド１２の移動範囲に合うように配置されている。（プロファイルは近似である。）速度プロファイル１９が示すように、速度はスキャンヘッドの軌道の各端部２１、２２の区域においてゼロから目標速度まで変化し、速度は二つの端部区域の間において比較的一定となるよう目標レベルに維持されている。加速プロファイル２０において、左方から右方への移動は実線により、軌道の左端部２１における正の加速、右端部２２における負の加速（すなわち、減速）と共に示されている。右端部２２における正の加速と左端部２１における負の加速とを含む、反転（右方から左方）方向の移動は破線により示されている。
【０００８】
マスク２３は、レンズの短い焦点長さの最大の利点が得られるように、スキャンヘッド１２とマイクロアレイ１１との間に、好ましくは、スキャンヘッド１２と集束レンズ１３との間に、位置決めされている。マスクは、スキャンヘッドの軌道の二つの端部２１、２２の間の中央にある窓または開口２４を有する。本実施の形態の窓２４の幅は、速度が目標値となる軌道の中央部分の幅とほぼ等しい。結果として、スキャンヘッド１２およびレンズ１３は、スキャンヘッドおよびレンズが目標速度にて動いている場合のみ、窓２４に整列するようになり、マスク２４によって遮断されていないマイクロアレイの全ての部位は、スキャンヘッドおよびレンズが各自同じ速度により通過するので、均一の継続時間にわたって、均等に照明されるであろう。従って、マスクが減速および加速が生ずるスキャンヘッドの移動の一部の期間において達成される露出過度を排除する。
【０００９】
往復運動が個々の行においてｘ軸に沿っている間は、順次の異なる行へスキャニングは、ｘ軸に沿ったストローク間においてｙ軸に沿った増分進行（ｉｎｃｒｅｍｅｎｔａｌ  ａｄｖａｎｃｅｓ）によって達成される。ｙ軸の進行はマイクロアレイまたはスキャンヘッド、アクチュエータおよびマスクの何れかの動作によって達成される。スキャニングプロファイルは変更してもよく、典型的かつ好ましいプロファイルは、ｘ軸に沿った単一の方向において、或る行の部位のスキャンから始まり、続いてｙ軸に沿って次の隣接する行にマイクロアレイまたはスキャンヘッドの増分進行があり、続いて、最初の行内のスキャンと反対の方向にｘ軸に沿って新しい行の部位のスキャンが行われる。従って、複数の行が、各ｘ軸の間のｙ軸に沿った増分進行により、ｘ軸に沿って互い違いの方向にスキャンされる。このスキャニングプロトコルにわたって、マスク窓２４は、各単一の行のスキャンの間、マスクおよびスキャナをｙ軸に沿って一緒に動かすのに必要であって、一行のみにける部位を露出させるのに充分である適正な大きさであればよい。あるいは、マスク窓２４は、二つまたはそれより多い隣接した行の部位を同時に露出させるのに充分な大きさであってもよい。この場合において、マスクは窓によって露出された全ての行がスキャンされた後に、動かされることのみが必要である。
【００１０】
加速および減速している間のスキャンヘッドの遮断は露出過度を排除しつつ、さらに、本発明によるマスクは、特定のストロークにおけるスキャンされていない部位に対して、光流出を減少させるまたは排除するであろう。特定の行がスキャンされている場合に隣接した行において、および、一行の一部分のみがスキャンされている場合に同じ行の隣接する部分において、光流出は発生する。図２および図３は、マイクロアレイ１１上に位置決めされた本発明によるマスク２３を示している。さらに、スキャンヘッド１２は各図において示されているが、レンズは、図示を簡単にするために省略されている。レンズはスキャンヘッドと共に移動し、レンズおよびスキャンヘッドの両方共にアクチュエータの可動コイルに結合している。あるいは、レンズはマスク開口部を通じて伸びる結合部またはマスクの縁周辺から伸びる結合部の何れかによってスキャンヘッドに結合されている。上述したように、マイクロアレイ１１は、スライドガラス、多数のくぼみからなる分析用プレート、メンブレンなどに保持されてもかまわない。図２および図３に示されたマイクロアレイは、代表的な１６×１６の部位の配列体の例である。
【００１１】
図２および図３に示された図において、マイクロアレイ内の「行」は水平方向であり、「列」は鉛直方向である。マスク窓２４は一つの行の一部分、具体的にはその行における十六個の部位のうち八個の部位を露出させている。図２においては、スキャンされるべき部位３１はマスクによって露出された部位であり、マスクが隣接する行の部位３２および、同じ行においてのスキャンされていない部位３３への光流出を防止している。スキャニングは矢印３４によって示されるようにｘ軸に沿って行われる。この例における順次の行への進行は、矢印３５、３６によって示されるように、マスク２３およびスキャニング構成要素に対するｙ軸に沿ったマイクロアレイの増分動作によって達成されている。各行における残りの八個の部位のスキャニングは、スキャンヘッド、レンズおよびアクチュエータを含むスキャニング装置およびマスクをマイクロアレイに対してｘ方向にシフトさせることによって、または、スキャニング装置に対してマイクロアレイを動かすことによって達成され、それにより、図３に示される相対的な位置に達する。ステッパモータ、直流モータおよび他の従来のモータは、スキャンヘッドの往復動作以外の全ての動作、すなわち、図２において矢印３５、３６によって示された動作と、図２および図３において示された位置の間においてｘ軸に沿ったシフトを達成する動作とのためこれら構成要素の動かすのに利用できる。一旦、構成要素が図３に示される位置決めされると、スキャニングは、図２に関連して上述したように実行される。
【００１２】
これらの実施形態のそれぞれにおけるマスクは、当業者にとって周知である通常の材料により形成されてもよい。光が通過せずかつ反射しないあらゆる材料を使用することができ、窓は開口部（すなわち空洞）または透過材料の何れかによるものである。マスクは、スキャン駆動部に堅く固定されており、それにより、スキャンヘッドおよびレンズがマスクに対して動くと同時に、マスクとスキャン駆動部の二つは一体的に動くようになる。あるいは、マスクは独立して可動であってもよい。
【００１３】
上述したように、可動コイルアクチュエータはスキャンヘッド用の駆動部として好ましい。図２および図３によって示されたような、行の一部分のスキャニングを可能とする比較的短いスキャン距離のスキャニングシステムはとくに興味深いものである。なぜならば、システムの小型および軽量の構成要素に起因するこれらのシステムの経済的利点は、ストロークの端部を越えた部位への光流出によるばかりでなく、各工程の端部において露出過度の欠点によって部分的に相殺することができるからである。マイクロアレイの異なる区域に可動になると共に、短いスキャンを伴うこの方法において動作するよう構成された可動コイルアクチュエータの一例は、一般公開された米国特許出願１１／２９１４２３、２００５年１１月３０日出願、発明者ダニエル・ワイ．チュ（Ｄａｎｉｅｌ  Ｙ．Ｃｈｕ）、名称「Ｍｏｖｉｎｇ  Ｃｏｉｌ  Ａｃｔｕａｔｏｒ  Ｗｉｔｈ  Ｅｘｐａｎｄａｂｌｅ  Ｒａｎｇｅ  ｏｆ  Ｍｏｔｉｏｎ」に開示されおり、その内容は参照することにより本明細書の記載に代える。チュが応用したアクチュエータは、コイルの運動範囲をシフトする可動の磁気集成体を含んでいる。一般的な可動コイルアクチュエータのように、チュが応用したアクチュエータは、コイル巻きされた電気導体と、コイル巻きされた導体を受容するのに充分な大きさの間隙によって分離された磁気の棒を有する磁気集成体と、を含み、導体を往復運動させられる。コイルは、搬送機に取付けられ、コイルを通じて交流方向の電流を生じさせる電源に接続されている。磁気集成体は、コイルの往復運動の進行経路に対して平行な進行経路に沿って二つまたはそれよりも多い位置の間を動く。従って、コイルのスキャニング範囲は、磁気集成体の種々の位置の間の間隔と等しい距離によって移動することができる。コイルおよび磁気集成体は独立して動かされ、それぞれは、他方が静止して保持されている間、操作される。従って、磁気集成体は、コイルがマイクロアレイの一部において動かされている間、マイクロアレイの一部分を越えてえてコイルの動作を可能とする位置において保持され、次いで、マイクロアレイの他の位置と、その一部内を動かされたコイルとに対応した異なった位置に移動されることができる。充分な数の移動によって、マイクロアレイは、全幅間でスキャンされる。
【００１４】
追加の変更および実施形態は、マイクロアレイ・スキャニングの分野において、上述された図面および記述を研究している当業者にとって明らかであろう。マスクの構成と形状の変更に加えて、スキャンヘッドおよび駆動部、例えば種々のスキャニングプロトコルおよび動作条件は本発明の範囲内の全てにおいて当業者にとって容易に明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明によるマイクロアレイ・スキャニングシステムを側面から表す図である。
【図２】図２は、マイクロアレイおよびマスクを表して本発明の方法を示す図である。
【図３】図３は、さらに、マイクロアレイおよびマスクを表して本発明の方法を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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