(57)【要約】自動化された試験設備（ATE）で試験するシステムが、少なくとも一つの試験資源を有する試験器と、タンデム・ハンドラと、試験のたびごとに試験資源を並列接続を介してデュアル・ソケットのいずれか一方に切り換え可能式に接続する多重化リレーとを含む。各アームが、個別ソケットの特定の一方について動作し、試験すべき次のデバイスを取得し、該デバイスをソケット中に置き（他方のソケットであるデバイスに対して試験が実行されている間に）、ソケット中のデバイスについて試験が完了したらソケットからそのデバイスをどけ、その後、すべての載置された試験すべきデバイスが試験され終わるまで（または他の形で試験の中断が起こるまで）繰り返す。多重化リレーはマスターとして作用するタンデム・ハンドラおよびスレーブとしての試験器に応じて、ソケット間の切り換えを行う。一方のソケットの該当するピンについて試験資源を介した試験が完了すると、試験資源は切り換え可能式に多重化リレーを介して他方のソケットの機能的に同じ該当するピンに接続される。タンデム・ハンドラは多重化および試験開始を、試験結果／試験終了信号によって制御する。タンデム・ハンドラは自分自身、多重化リレーおよび試験器を論理的および機械的にデュアル・ソケット構成のために論理的および機械的に動作させる。タンデム・ハンドラによる試験器のコントロール／マスターは、試験の、無視できるインデックス時間および短縮されたダウン時間を許容する。輸送のようなある種のハンドラ要素、ステージなどは、それぞれのソケットについてのデュアルな試験進行経路に沿って複製される。論理およびコントロールを含む他の要素はデュアルな経路に共通である。
2009519435.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の試験対象デバイス（DUT）および第二のDUTを試験するシステムであって、当該システムは、相異なる試験のための試験器資源を提供する試験器を含んでおり、前記試験器資源は、第一のDUTおよび第二のDUTのそれぞれに分離して接続可能であり、
当該システムはハンドラを含み、該ハンドラは、第一の位置付け器および第一のユニットならびに第二の位置付け器および第二のユニットを含み、該ハンドラは第一のDUTを第一のユニットのところまで操作し、該ハンドラは第二のDUTを第二のユニットのところまで操作し；
当該システムは、前記ハンドラおよび前記試験器に接続されたリレーを含み；
当該システムは、前記リレーによって相異なる試験のために前記試験器資源に前記リレーによって接続可能な第一のソケットを含み、前記ハンドラの前記第一の位置付け器は、第一のDUTを前記第一のユニットから前記第一のソケットまで相異なる試験のために操作し；
当該システムは、相異なる試験のために前記試験器資源に前記リレーによって接続可能な第二のソケットを含み、前記ハンドラの前記第二の位置付け器は、第二のDUTを前記第二のユニットから前記第二のソケットまで相異なる試験のために操作し；
相異なる試験は、前記ハンドラによって第二のDUTが前記第二のユニットからどけられて前記第一のソケット内に配置される際に、前記第一のソケット中の第一のDUTに対して実行され；
相異なる試験は、前記ハンドラによって第一のDUTが前記第一のユニットからどけられて前記第二のソケット内に配置される際に、前記第二のソケット中の第二のDUTに対して実行され；
前記ハンドラは前記リレーを制御して、それぞれ、相異なる試験が前記第二のソケット内の第二のDUTに対して実行されたのちに前記第一のソケットに接続し、相異なる試験が前記第一のソケット内の第一のDUTに対して実行されたのちに前記第二のソケットに接続するようにする、
システム。
【請求項２】
前記ハンドラの第一の試験後ユニットおよび第二の試験後ユニットをさらに有する請求項１記載のシステムであって：
前記ハンドラの前記第一の位置付け器は、前記第一のソケットにおける第一のDUTに対する相異なる試験の実行後、第一のDUTを前記第一の試験後ユニットまで操作し、前記ハンドラの前記第二の位置付け器は、前記第二のソケットにおける第二のDUTに対する相異なる試験の実行後、第二のDUTを前記第二の試験後ユニットまで操作する、
システム。
【請求項３】
第三のDUTを試験する、請求項２記載のシステムであって：
前記ハンドラが、前記第一のソケットにおける第一のDUTに対する相異なる試験の完了前に、第三のDUTを前記第一のユニットまで操作し；
第一のDUTが前記第一の試験後ユニットにきたのちの、もし該当するなら前記第二のソケットにおける第二のDUTに対する相異なる試験の実行中も含む期間に、前記第一の位置付け器が第三のDUTを前記第一のユニットから前記第一のソケットまで相異なる試験のために操作し；
相異なる試験は、前記第一の位置付け器によって第二のDUTが前記第二のユニットからどけられ、前記第一のソケットに配置される際に、前記第一のソケット中の第一のDUTに対して実行される、
システム。
【請求項４】
第四のDUTを試験する、請求項４記載のシステムであって：
前記ハンドラが、前記第一のソケットにおける第三のDUTに対する相異なる試験の完了前に、第四のDUTを前記第二のユニットまで操作し；
第二のDUTが前記第二の試験後ユニットにきたのちの、もし該当するなら前記第一のソケットにおける第三のDUTに対する相異なる試験の実行中も含む期間に、前記第一の位置付け器が第四のDUTを前記第二のユニットから前記第二のソケットまで相異なる試験のために操作し；
相異なる試験は、第三のDUTの相異なる試験の完了時に第四のDUTに対して実行される、
システム。
【請求項５】
請求項２記載のシステムであって、前記第二のソケットに関する相異なる試験の完了時に、前記ハンドラがマスターとして作用して、前記リレーを切り換えて、前記試験器の試験器資源を前記第一のソケットに接続し、スレーブとしての前記試験器に、相異なる試験を前記試験資源を介して前記第一のソケットにおいて、その中に前記ハンドラによって配置された次の試験すべきDUTに対して実行するよう指令し、前記第一のソケットに関する相異なる試験の完了時に、前記ハンドラがマスターとして作用して、前記リレーを切り換えて、前記試験器の試験器資源を前記第二のソケットに接続し、スレーブとしての前記試験器に、相異なる試験を前記試験資源を介して前記第二のソケットにおいて、その中に前記ハンドラによって配置された次の試験すべきDUTに対して実行するよう指令する、システム。
【請求項６】
前記第一のDUTおよび第二のDUTを含む複数のDUTを試験する請求項５記載のシステムであって、前記ハンドラは続いて、前記複数のDUTのうちの別のDUTを操作して、前記第一のソケットおよび前記第二のソケット中の前記複数のDUTのうちのそれぞれのそのとき試験済みのDUTを置き換え、前記試験器は続いて、前記第一のソケットおよび前記第二のソケットの他方における試験の完了時に、前記第一のソケットおよび前記第二のソケット中の前記ハンドラによって置き換えられた前記複数のDUTのうちそれぞれ他方のDUTを試験する、システム。
【請求項７】
複数の試験すべきデバイス（TBTD）のうちのあるTBTDを第一のロボットを介して操作して、試験器の試験資源によって刺激できる第一のピンと接続させる第一の操作段階と；
前記試験器を制御して、前記試験資源を前記第一のピンに接続し、該第一のピンに接続されたTBTD上の前記第一のピンにおける前記試験器資源による試験を開始させる第一の制御段階と；
前記複数のうちの別のTBTDを第二のロボットを介して操作して、前記試験器の前記試験資源によって刺激できる第二のピンと接続させる第二の操作段階と；
前記試験器を制御して、前記試験資源を前記第二のピンに接続し、該第二のピンに接続されたTBTD上の前記第二のピンにおける前記試験器資源による試験を開始させる第二の制御段階と；
前記第二のピンにおける前記試験器資源による試験の間に、前記複数のTBTDのそれぞれの次のTBTDについて前記第一の操作段階の少なくとも一部を実行し、前記第一のピンにおける前記試験器資源による試験の完了に際して前記第二の制御段階を実行し、前記第一のピンにおける前記試験器資源による試験の間、前記複数のTBTDのそれぞれの次のTBTDについて前記第二の操作段階の少なくとも一部を実行し、前記第二のピンにおける前記試験器資源による試験の完了に際して前記第二の制御段階を実行するようマスター制御することとを含む、
方法。
【請求項８】
前記第一のピンに接続されるべきそれぞれの逐次のTBTDを、前記第一の操作段階を介して前記第一のピンに接続するのに先立ち、かつ、そのように接続されるべきTBTDに対応する第一の制御段階に先立ち、機械的に準備する第一の準備段階と；
前記第二のピンに接続されるべきそれぞれの逐次のTBTDを、前記第二の操作段階を介して前記第二のピンに接続するのに先立ち、かつ、そのように接続されるべきTBTDに対応する第二の制御段階に先立ち、機械的に準備する第二の準備段階と；
前記第一のピンにおける前記試験器資源における試験の完了後、前記第一のピンに接続されているそれぞれの逐次のTBTDを機械的に出力する第一の機械的出力段階と；
前記第二のピンにおける前記試験器資源における試験の完了後、前記第二のピンに接続されているそれぞれの逐次のTBTDを機械的に出力する第二の機械的出力段階とをさらに有する、
請求項７記載の方法。
【請求項９】
前記第一のロボットおよび前記第二のロボットが同じではない、請求項６記載の方法。
【請求項１０】
前記第一のロボットおよび前記第二のロボットが、機械的に接続されており、共通の論理によって制御される、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
前記第一の機械的出力段階が第一の出力ロボットによって実行され、前記第二の機械的出力段階が第二の出力ロボットによって実行され、前記第一の出力ロボットおよび前記第二の出力ロボットが機械的に接続されており、共通の論理によって制御される、請求項９記載の方法。
【請求項１２】
前記第一の機械的出力段階が第一の出力ロボットによって実行され、前記第二の機械的出力段階が第二の出力ロボットによって実行され、前記第一の出力ロボットおよび前記第二の出力ロボットが機械的に接続されており、共通の論理によって制御され；前記第一のロボットおよび前記第二のロボットのそれぞれが前記第一の出力ロボットおよび前記第二の出力ロボットに機械的に接続されており、前記共通の論理によって制御される、請求項１０記載の方法。
【請求項１３】
前記第一のロボットおよび前記第二のロボットがそれぞれ：輸送、準備器、試験ユニットおよびマニピュレータからなる群より選択され、前記第一の出力ロボットおよび前記第二の出力ロボットがそれぞれ、出力輸送、および出力載置器、出力試験ユニット、および出力マニピュレータからなる群より選択される、請求項１２記載の方法。
【請求項１４】
前記第一のロボットおよび前記第二のロボットがそれぞれ、試験器に接続されたハンドラの個別的なコア・マニピュレータである、請求項１３記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、それぞれ本願と同じ発明者の“Test  System  and  Method  for  Reduced  Index  Time”という名称の2004年1月29日に出願された米国特許出願第10/767,932号および“Pin  Electronics  Implemented  System  and  Method  for  Reduced  Index  Time”という名称の2005年11月1日（部分継続）に出願された米国特許出願第10/767,932号に関係しており、その部分継続出願である。これらの出願は本願明細書に組み込まれる。
【０００２】
本発明は概括的には自動化された製造システムおよび方法に関するものであり、より詳細には自動化されたロボット式の、特に試験および品質管理のための半導体設備のシステムおよび方法ならびにその改良に関するものである。該改良は、インデックス・タイミング遅延の短縮などを含む。
【背景技術】
【０００３】
自動化された製造設備は多くの産業で製造工程を効率化した。さらに、そのような自動化は信頼性および結果を増した。自動化のマイナス面は、設備動作におけるタイミング遅延であった。特に、高価な製造設備が関わるところでは、試験対象のデバイスを移送する際の機械的な動きの間などにおける設備の動作の遅延がそのような設備のコストに対する見返りを制限する。機械的な操作、リセットなどの間のアイドルな、すなわち試験をしていない使用期間のためである。したがって、製造技術および動作における勢いは、たとえばロボット式に次の試験片を換装しているときの、高価な試験設備がアイドルであって、応用可能な試験機能を実行していない時間を制限することであった。
【０００４】
半導体製造においては、半導体デバイス試験設備は高価な資本要件である。通常、そのような試験設備は、試験されるデバイスを扱うロボット式マニピュレータを含んでいた。このロボット式マニピュレータ・システムは普通、「ハンドラ（handler）」と称され、典型的には「マニピュレータ（manipulator）」と称される一つまたは複数のロボット式アームを具備する。マニピュレータは試験するためのデバイスを機械的にピックアップし、そのデバイスをインターフェース試験ボード・ソケットに挿入し、試験器に対して試験開始信号を発する。次いで試験器がそのデバイスに対する試験を実施し、試験結果および試験終了信号をハンドラに返す。するとハンドラはそのデバイスをどけて、試験済みデバイスを保持するための試験後トレイまたは容器に入れる。このプロセスは、ハンドラが試験すべきさらなるデバイスがあることを感知する限り繰り返される。全体としてのこのシステムは時に「試験セル（test  cell）」と称される。
【０００５】
ハンドラが試験されたばかりのデバイス（単数または複数）をどけて、その代わりに試験すべき次のデバイス（単数または複数）を置くために要求される時間の間、試験器は実質的にアイドルなままである。特定の試験器およびシステムについての「インデックス時間（index  time）」と時に称されるこのアイドル時間は、試験を待つデバイスおよび試験済みデバイスの機械的操作に関わる。これらの機械的操作の動作スピードは、さまざまな要因によって制限される。そうした要因としては、たとえば、試験されるデバイスが傷つけられたり、汚染されたり、落とされたりなどしないことを保証するための物理的およびスピードの制約を含む。
【０００６】
デバイスを試験するために必要とされる時間はしばしば、特定のデバイス、試験、試験器およびシステムについての「試験時間（test  time）」と称される。システムが製造役割において動作するとき、システムはインデックス時間の間にインデックスしている（indexing）か、あるいはそうでなければ試験時間の間に試験しているかである。
【０００７】
これまでは、試験設備製造業者は、機械的な動作のスピードを上げるために、操作（manipulation）設備の設計に際してインデックス時間を短縮するよう努力を集中させてきた。試験デバイスを扱う（handling）際の機械的動作のスピードは時とともに著しく上がったが、それでも、試験と試験の間でロボット式ハンドラによって試験デバイスを操作するために要求されるかなりの機械的なインデックス時間が残っている。さらに、機械的な操作設備動作の向上したスピードとともに、較正、入れ換え頻度、メンテナンス、部品その他を含む設備のコストが増大する。多くの型の試験デバイスの機械的操作の高速化およびハンドラにおいて対処しなければならない制約および用心を考えると、機械的動作のさらなる高速化は、経済的および物理的な障壁を受ける。
【０００８】
いずれにせよ、インデックス時間の短縮は、試験設備が高価な場合には特に、試験設備への投資に対するより大きな見返りを提供できる。したがって、製造環境における試験動作に関わるインデックス時間をさらに短縮することは、当技術分野における著しい改善であろう。特に、半導体製造においては、半導体デバイスの試験においてインデックス時間が短縮されれば、経済的およびその他の利益および利点が可能である。試験のためのデバイス・ハンドラおよび同様のロボット式もしくは自動化されたコンポーネントの既存の機械的動作における著しい変化や新たな開発を必要とすることなく、短縮されたインデックス時間を達成するための新しい改良されたシステムおよび方法を提供することも、改善であろう。
【０００９】
背景理解のために、従来式の試験システムおよび動作についてこれから述べる。
【００１０】
図１を参照すると、デバイス１０２（本稿では「試験対象デバイス（device  under  test）」および／または「DUT」とも称される）を試験するための従来式システム１００は、試験器１０４と、試験対象デバイス１０２に対して試験器１０４資源（たとえば、試験プロトコル、信号および試験器が実行する手順）を利用可能にする、試験器１０４に接続されたインターフェース・ボード１０６と、ロボット式ハンドラ１０８とを含む。デバイス１０２は単一のデバイスであっても、並行試験動作のために試験器および試験器資源に同時に接続される複数デバイスであってもよいが、そのように同時に接続され、並行して試験される複数のデバイスを指すために本稿では単数形の用語「デバイス」が使われることは理解しておくものとする。ロボット式ハンドラ１０８は試験器１０４に通信上接続されている。インターフェース・ボード１０６は試験器１０４に通信上接続されている。インターフェース・ボード１０６は、試験の間、デバイス１０２を受け容れ、維持するための試験ソケット１１０を含んでいる。
【００１１】
試験ソケット１１０は、試験対象デバイス１０２の整列においてハンドラ１０８のマニピュレータ・アーム１０９を補助する物理的機構を提供する。よって、デバイス１０２が電気的試験を受けている間、試験対象デバイス１０２と試験器１０４との間の電気的接触は十分に維持される。典型的には、マニピュレータ・アーム１０９の精度は、それだけで試験対象デバイス１０２と試験器１０４および関連する試験器資源との間の適正な電気的接触を提供し、維持するためには粗すぎる。試験の間、適正な電気的接触を維持するために要求される細かい整列の仕組みを提供するのは試験ソケット１１０である。試験ソケット１１０が、ロボット式ハンドラ１０８のマニピュレータ・アーム１０９によって、試験すべき次のデバイス（単数または複数）の各逐次操作において試験のために同時に操作され、保持され、移送または位置付けされるデバイス（単数または複数）のための単一のソケットまたは複数ソケットであることができることも理解しておくものとする。
【００１２】
たとえば、ある種の構成において、マニピュレータ・アーム１０９のチャック（すなわち、デバイス保持機構）が試験のために二つ以上のデバイス（たとえば、マニピュレータ・アーム１０９の同じパス［pass］における二つのデバイス）をピックアップし、次いでそれらのデバイスのそれぞれをそれらのデバイスのために利用可能な個別のソケット内に位置させることができる。そのような構成における個別的なソケットは、試験器１０４（およびその試験資源）に対して物理的に並列に接続されているが、試験器１０４（および試験資源）は、それぞれの別個の試験を実行する際、どの時点においても一つのソケット（およびその中の一つのデバイス）にのみ電気的に接続する。一つのソケット（およびその中の一つのデバイス）の試験後、本構成において適用可能なチャックは、試験するための次のデバイスを、この次のデバイスのための別の個別的ソケットに入れ、そのソケットの並列な電気接続性のためその個別的ソケットを介して試験するか；あるいは、その一つのソケットから試験済みデバイスを除去して、次のデバイスを、該次のデバイスのその同じソケットを介した試験のために、その同じソケットに位置させる。
【００１３】
さらに、ある種の他の構成では、単一のインターフェース・ボードが二つ以上の試験ソケットをもつことができ、それらのソケットは並列に接続されず（すなわち、同じ試験器資源を並行使用するような並列でない）、試験器１０４は、各ソケットにそれぞれ接続された別個の個別的な相異なる試験器資源を有する。インターフェース・ボード上のそのような複数ソケットはそれぞれ、単一の試験器１０４からの個別的な区別される（異なる）試験器資源にのみ接続される。実際上、試験器１０４は各ソケットに対して異なる複数の試験を実行できるが、各ソケット上で並行して同じ複数の試験は実行できない。そのような構成では、マニピュレータ・アーム１０９のチャックは同様に、マニピュレータ・アーム１０９の各パスにおける二つ以上のデバイス（たとえば、アーム１０９のパスにおける二つのデバイス）をピックアップし、位置付け、ソケット中に位置決めする。それでも、同じ試験をいっぺんにではなく、個別的な相異なるソケットについて異なる複数の試験が実行される。本稿での目的のためには、単数形の用語「ソケット」は、この種の（二つ以上のソケットの）構成をも含むものとして意図されており、そのように理解されるものとする。
【００１４】
試験器資源が試験器からの信号を同時に複数デバイス（複数の個別的ソケット内にある）に駆動できるある種の他の特別な場合の構成があることもできる。そのような資源は、電源、デジタル・ドライバおよびアナログ波形発生器を含む。しかしながら、それぞれの特別な場合において、資源は特定の試験器からの出力資源と考えられ、そのような使用における試験器は特別に構成されねばならず、並行した仕方で別個の相異なる試験を実行するために要求される機能性をもたねばならない。たいていの従来式試験器はそのような特別な構成や機能性をもたず、いずれにせよ、そのような特別な試験器は、たいていの従来式試験器に比べたとき、著しくより高価であり、および／または用途が限定されていることがある。本稿での目的のためには、単数形の用語「ソケット」は、そのような機能をもつこの種の特別な場合の試験器についての複数ソケット配置をも意味し、含む。
【００１５】
典型的なところでは、以上の構成のそれぞれにおけるロボット式ハンドラ１０８は、試験すべき一つまたは複数のデバイスのうちから、デバイス１０２（これは実際には、たった今論じたように、チャック、アームおよびハンドラの設計および機能に依存して二つ以上のデバイスであってもよい）をピックアップし、扱うよう、機械的に動き、動作する。ひとたび試験すべきデバイス１０２がハンドラ１０８のマニピュレータ・アーム１０９によってピックアップされると、ハンドラ１０８はマニピュレータ・アーム１０９を制御して、デバイス１０２を、インターフェース・ボード１０６の適切なソケット１１０内の位置に移送する（同様に、このソケットは実際には、たった今論じたように、設計および機能に依存して、並列または特別な場合の試験器と同じような二つ以上のソケットであってもよい）。次いで、試験器１０４デバイス１０２を試験しはじめる。試験器１０４によって試験が完了されたのち、マニピュレータ・アーム１０９およびその動作の制御を介して、ハンドラ１０８はソケット１１０からデバイス１０２を機械的に取り除き、デバイス１０２を試験済みデバイスの位置に移送する。
【００１６】
従来式システム１００の動作において、試験すべき一組のデバイスが、人間のオペレーターによってハンドラ１０８への入力に載置される。次いでオペレーターがハンドラ１０８に、試験すべきデバイスの取得を開始して、それを試験ソケット１１０に挿入することによって次の入手可能なデバイスを載置するよう指示する。ひとたびハンドラ１０８が第一のデバイス１０２が試験ソケット１１０内に位置されて試験のための準備ができていると感知したら、ハンドラ１０８は試験器１０４に対して試験開始信号を発する。この試験開始信号に応答して、試験器１０４は、試験ソケット１１０を介して試験対象デバイス１０２を電気的に刺激する試験プログラムを実行し、デバイス１０２からの出力応答を測定する。試験器１０４は、その出力応答を、一組の期待される応答データと比較して、その結果をデバイス１０２の「合格」または「不合格」のいずれかとして判断する。
【００１７】
インターフェース・ボードが複数の試験ソケットを含んでおり、先述したある種の特化した試験器のように試験器が試験器の異なる試験器資源を用いて並行的な試験をする機能がある場合、試験器は、どの試験ソケットが試験のための準備ができたデバイスを有しており、どのソケットが有していないかを判別するために、ハンドラ状態を問い合わせしなければならない。すると試験器は、空の試験ソケットからの不合格の試験結果を無視し、デバイスが挿入されたアクティブな試験ソケット・サイトのみを試験することができる。もちろん、先述したように、これらの機能をもつそのような特別な試験器は比較的まれで、高価で、用途が限られている。
【００１８】
ひとたび試験プログラムがデバイス１０２についての試験を完結し、試験器１０４によって試験結果の合格／不合格判定がなされたら、試験器１０４はハンドラ１０８に、試験されたばかりのデバイス１０２についての試験結果データを通信して返し、それにハンドラ１０８への試験終了信号を続ける。ハンドラ１０８は試験器１０４から試験終了信号を受信し、ハンドラ１０８はその試験結果データを使って、ハンドラ１０８のマニピュレータ・アーム１０９の制御および動作によって、試験されたばかりのデバイス１０２をどけて、試験済みデバイスのための出力載置領域中に入れる。出力載置領域とは、合格したデバイスおよび不合格のデバイスについてのそれぞれ別個の保持領域などである。
【００１９】
インターフェース・ボードが複数の試験ソケットを含んでおり、先述したある種の特化した試験器のように試験器が試験器の異なる試験器資源を用いて並行的な試験をする機能がある場合、試験器は、サイト固有なアクティブな試験ソケット位置のそれぞれについての結果データを通信しなければならず、ハンドラはそれらのデバイスのそれぞれをしかるべくどけなければならない。ここでもまた、そのようないかなる配列も、特化された試験器および可能性としては特別なハンドラ設備を必要とし、これらはそれぞれ費用の問題および限られた用途をもつ。
【００２０】
システム１００の進行中の動作において、ひとたびハンドラ１０８が試験されたばかりのデバイス１０２をどけたら、プロセスは、試験すべきさらなる未試験のデバイスが残っていなくなるまで、あるいはハンドラ状態または試験器における何らかのエラー条件が動作を停止させるまで、あるいは人間のオペレーターが試験を停止させるよう介入するまで、逐次、繰り返される。
【００２１】
この従来式システム１００における試験のそれぞれの場合において、ハンドラ１０８は、そのとき試験されている個別的なデバイス１０２を個々に取得して、移送する。ピックアップ、ソケット１１０中への設置および試験後の位置決めにおけるハンドラ１０８の（そして特にそのマニピュレータ・アーム１０９の）機械的な動作の間、試験器１０４は何らの試験も実施することなくアイドルなままである。システム１００についてのインデックス時間は実質的に、試験済みデバイスを取り外し、どけて、次いでそれぞれの次の逐次的な未試験デバイスを試験するために取得し、挿入するときに、ハンドラ１０８の機械的な動作のために要求される時間である。インデックス時間はまた、試験器１０４からハンドラ１０８への試験終了信号とハンドラ１０８から試験器１０４への次の試験開始信号との間の時間間隔があればそれも含む。
【００２２】
図４を参照すると、デバイスを試験するための従来式のプロセス４００は、第一のマニピュレータを開始するステップ４０２を含む。ステップ４０２では、たとえば、前記第一のマニピュレータをもつロボット式ハンドラに信号が通信される。その信号は、前記第一のマニピュレータが試験するためのデバイスを取得し、位置させるためのアクションを開始すべきであることを前記ハンドラに示すために、試験器または他の源によって通信される。前記デバイスはたとえば、その特定の試験器によって試験すべき、半導体デバイスまたは他の任意の製造された部品もしくは要素である。
【００２３】
ステップ４０４では、前記第一のマニピュレータは、試験するための第一のデバイスを取得するために、そのアームを機械的に動かす。前記第一のマニピュレータは、前記第一のデバイスをつかむまたは他の仕方で保持する。次いで、ステップ４０６において、前記第一のマニピュレータは、前記第一のデバイスを機械的にピックアップし、操作して、たとえば試験するために前記第一のデバイスを適切に配向させる。ステップ４０８では、前記第一のマニピュレータは前記第一のデバイスを、前記試験器に接続されたインターフェース・ボードに機械的に動かし、前記第一のデバイスを前記インターフェース・ボードのソケットまたはその他の試験セルに挿入する。
【００２４】
ひとたび前記第一のデバイスが前記ソケットまたはその他の試験セル内に位置されたら、試験器は前記デバイスを試験するステップ４１２を開始する。試験は、電力試験、論理試験および多様な他の品質管理またはデバイス準拠性試験のいずれをも含むことができる。試験は、実行される試験に依存して、完了のために、何らかの時間期間をとることもありうる。試験の間、前記第一のマニピュレータは前記第一のデバイスを、その試験のために前記インターフェース・ボードの位置に維持する。
【００２５】
試験ステップ４１２が完了すると、試験器は前記ハンドラに信号を送り、前記デバイスをステップ４１４において前記ソケットまたはその他の試験セルから機械的に取り除くために前記第一のマニピュレータが作動させられる。次いでステップ４１６で、前記第一のマニピュレータは前記第一のデバイスを所望される試験後位置に動かす。ステップ４１８では、前記第一のデバイスは、前記試験後位置で前記第一のマニピュレータによって解放される。
【００２６】
次の試験デバイスおよび該デバイスの次の試験に関して前記の諸ステップを繰り返すために、プロセス４００は次いでステップ４０２に戻る。先述したように、プロセス４００の間で、前記ハンドラの前記第一のマニピュレータが各デバイスをピックアップし、動かし、位置させ、取り除き、補給する動作のために要求される時間は、その試験システムのための「インデックス時間」と称される。前記第一のマニピュレータの動作のインデックス時間の間、試験器は、何らの試験も実施されていないアイドル状態に留まる。そのようなプロセス４００において要求されるインデックス時間は、プロセス４００全体を送らせ、制限する。
【００２７】
図１３を参照すると、従来式試験器は、アナログおよび／またはデジタルの両方で、該試験器によって実行可能なさまざまな試験のための備えをするピン電子回路カード１３０２を含む。各ピン電子回路カード１３０２は、ブロック１３０２ａ〜１３０２ｃで表されている一つまたは複数の試験資源を含む。各ピン電子回路カード１３０２の試験資源は、単に例示の目的のためであるブロック１３０２ａ〜１３０２ｃの要素とは異なる、該要素よりも多い、該要素よりも少ない、あるいは該要素とは別の要素を含んでいてもよく、限定することなく、次のようなものを含みうる：
１．試験対象デバイス（「DUT」）上の入力ピン（またはパッド）に電圧を駆動するドライバ；
２．DUTの出力ピン（またはパッド）上の電圧を測定する受信器または比較器；
３．可変終端電圧への50オーム抵抗性接続の電流負荷と、前記50オーム抵抗を固定されたプログラム可能な値での電流負荷を保持するために要求されるものに変える電流クランプ；
４．データ状態（駆動および受信）、タイミングおよび電圧閾値を記憶するメモリ；
５．プログラムされたレートでDUTへの駆動データおよびDUTからの受信データを配列するコントローラ；
６．期待されるデータが受信器によって測定される実際のデータにマッチしないときについての情報を記憶する不合格メモリ；
７．カードのピン電子回路の動作を、個々に、および他の試験器資源と同期して、管理するソフトウェア；
８．ピン電子回路からDUT資源への、該DUT上の対応するピン上での、通信接続の長さを測定する較正システム。
カード１３０２のピン電子回路はまた、アナログ‐デジタル変換器、デジタル‐アナログ変換器および時間測定システムといったアナログの性質の試験ハードウェアをも含むことができる。カード１３０２の試験資源の特定の型が、試験器による試験対象デバイス（「DUT」）の試験を可能にする。
【００２８】
各ピン電子回路カード１３０２は、一つまたは複数の試験器チャネル１３０４のための試験資源を含む。各試験器チャネル１３０４は、典型的には、DUTの単一のピンにおいて試験するはたらきをする。先述のように、試験器資源が試験器から複数のピンに同時に信号を駆動できるある種の特別な構成および機能性があるが、たいていの従来式試験器はこの機能をもたず、いずれにせよ、この機能は著しくより高価であり、用途もごく限られている。よって、議論および理解の目的のため、本稿で述べられるのは、単一のデバイスの単一のピンを、該デバイスの該単一のピンに接続された試験器チャネルを介して駆動する試験資源という典型的な状況である。（しかしながら、たとえ「特別な機能」の状況に直面したとしても、目下開示されている実施形態は利点を与えるものであり、当業者はそのことがわかり、認識するであろう。）
図１４を図１３とともに参照すると、以上のことの別の機能的表現がさまざまなピン電子回路カード１４０２を示している。各カードは、さまざまな個別的な試験資源１４０２ａ〜１４０２ｄを含み、別個の個別的な試験器チャネル１４０４が該当する試験資源１４０２ａ〜１４０２ｄをDUT（詳細には図示せず）の単一のピンに接続する。
【００２９】
図１５を参照すると、従来式試験器は、例示的なピン電子回路カード１５００のACリレーのようなリレーを含むピン電子回路カードを有する。ACリレーはたとえば、試験器チャネル１５０４を通じて提供されるピン電子回路カードの試験資源を、試験器チャネル１５０４が接続されているDUT（詳細には図示せず）の単一のピンから電気的に切断する。
【００３０】
図１８を参照すると、従来式試験システム１８００（例示的な構成としていくぶんより詳細に呈示してある）は、試験セル１８０３のハンドラ１８０２および自動化された試験設備（automated  test  equipment）（「試験器（tester）」、「ATE」としても知られる）１８０６を含む。システム１８００のハンドラ１８０２は、さまざまな機械的（典型的には物理的に動いている）コンベヤー／輸送機構およびロボット式操作アームならびに一連のDUTを試験する際に個別的なDUTを位置付けし、どけるための個別的要素を含む。たとえば、DUTは、複数の試験すべきDUTを保持できる入力トレイ１８２０に、試験するために位置付けされる。システム１８００の入力マニピュレータ１８２２は、前記試験すべきDUTのうち一連の一つ（または一連のペアまたは他の数のDUT）をシステム１８００の入力トレイ１８２０から入力ステージ１８１０に動かす。DUTは、該DUTの試験において、試験セル１８０２への輸送および試験セル１８０２を通じた輸送のために、入力ステージ１８１０に位置付けされる。試験セル１８０２は、温度ソークおよび保持ステージ（temp  soak  and  hold  stage）１８１２（および同様のまたは他の試験前および／または試験後のユニット／準備［prepping］）のようなさまざまな処理ユニットを含むことができる。
【００３１】
試験セル１８０２は、コア１８１４を具備する。コア１８１４は、他の電気的インターフェース要素および接続要素のうちでも、電気的に刺激可能なソケット１８０８を含む。ソケット１８０８は、試験器１８０６の個別的な試験資源へのピン・コネクタを有する。ソケット１８０８の個別的なピン／コネクタは、試験のためにソケット１８０８中の適切な位置に位置されているDUTについての電気的な入出力ピンに対応する。（先述したように、該当するならハンドラおよび試験器のある種の構成では、可能性としては二つ以上のソケットおよびその中のDUTが、特定の試験資源（単数または複数）を介して並行して試験可能である；しかしながら、そのような構成およびシステムは一般に実用的でも現実的でもなく、制限、問題、障害などの結果として、広く用いられてはこなかった。）よって、試験すべきDUTは、試験器１８０６による試験のためにソケット１８０８内に位置付け可能である（のちにさらに詳述する）。システム１８０６の試験器１８０６は、ソケット１８０８の配置されたDUTに対して、そのようにソケット１８０８内に位置付けされたDUTの各対応するピンにおける試験器１８０６の特定の個別的な試験器資源を介して、試験を実行する。各個別的試験資源を介して試験器１８０６によって実施される試験は、システム１８００を介してそのとき実施可能であるその特定の試験について試験器１８０６の試験プロトコルおよび機能に従う。
【００３２】
先述したように、ハンドラ１８０２はコア・マニピュレータ１８０４（すなわち、「マニピュレータ・アーム」）を含む。ハンドラ１８０２のコア・マニピュレータ１８０４は、それぞれの次の試験すべきDUTを、試験器１８０６による該DUTの試験のために、ソケット１８０８内に位置付ける。コア・マニピュレータ１８０４は、それぞれの次の試験すべきDUTについて、該DUTを取得することによって、ロボット式に、機械的に動作する。たとえば、コア・マニピュレータ１８０４は、該DUTを温度ソークおよび保持ステージ１８１２で取得し、次いで該DUTを試験のために、たとえばコア１８１４の空のソケット１８０８中に位置付ける。ひとたびハンドラ１８０２が、DUTを取得／位置付けする際のコア・マニピュレータ１８０４の動作を介して、該DUTがソケット１８０８内でしかるべき位置にあり、試験のための準備ができていると感知すると、ハンドラ１８０２は、試験器１８０６に信号を送ることによって試験開始をトリガーする。応答して、試験器１８０６は、そのとき実施されている試験のための試験プロトコルに従って試験プログラムを実行する。試験において、試験器１８０６は、各ピンおよび該ピンのための個別的な試験資源でソケット１８０８を介して、ソケット１８０８内のDUTを電気的に刺激し、出力応答を測定する。そのときソケット１８０８内にあるDUTについての試験器１８０６による試験が完了すると、試験器１８０６は、試験終了結果をハンドラ１８０２に通信する。次いでコア・マニピュレータ１８０４は、ソケット１８０８からDUTをどけ、該DUTをハンドラ１８０２の適用可能な外置ステージ１８１６中に位置させるよう、ハンドラ１８０２によって制御される。（コア・マニピュレータ１８０４のそのようなどける動作および特定の適用可能な外置ステージ１８１６は、その試験の合格／不合格結果に対応し、その特定のDUTについてハンドラ１８０２に示されたとおりである。）
そのとき試験器１８０６によって試験され終わっており、よってソケット１８０８からどけられたDUTは、ハンドラ１８０２の輸送機構によって、たとえば出力ステージ１８１８に進む。出力マニピュレータ１８２４がさらに、そのとき試験済みのDUTを出力ステージ１８１８から、そのDUTのための対応するビン・トレイ１８２６に進める。たとえば、試験済みDUTはハンドラ１８０２およびシステム１８００の出力として、そのDUTのために得られた試験結果に応じてそれに応じた位置に位置付けされる。
【００３３】
その後、（試験のための入力として載置されたDUTの残っているもののうちからの）次の試験すべきDUTの試験を続けるために、コア・マニピュレータ１８０４は、任意の次の逐次の試験すべきDUTを取得する。該DUTは次いで温度ソークおよび保持ステージ１８１２に位置される（入力マニピュレータの動作およびハンドラ１８０２の輸送を介して）。該次のDUTは、コア・マニピュレータ１８０４によってコア１８１４のソケット１８０８に位置付けされ、次に試験器１８０６による試験がソケット１８０８にそのとき配置されているDUTに対して、ソケット１８０８を介して実行される。このDUTの試験完了に際して、コア・マニピュレータ１８０４は次に、そのとき試験済みのDUTをソケット１８０８からどけて、このDUTをハンドラ１８０２を介した試験後の扱いのさらなる進行のために外置ステージ１８１６に移す。ハンドラ１８０２による各試験すべきDUTの入力進行、各逐次DUTのコア・マニピュレータ１８０４によるソケットへの位置付け／ソケットからどけることならびに試験完了に際してのDUTの出力進行は、すべてのDUTが試験されるまで（またはシャットダウン、エラーまたは他の中断が発生するまで）続く。
【００３４】
実際は、試験セル１８０２を介したDUTの逐次の試験の間の試験開始に際して、試験プロセスを制御することにおいて、試験器１８０６はスレーブとして作用し、ハンドラ１８０２はマスターとして作用する。すなわち、ハンドラ１８０２は、コア・マニピュレータ１８０４を介して、各逐次DUTを機械的に動かして該DUTを試験のためにソケット１８０８内に位置させ、該DUTに対する試験が完了したのちソケット１８０８からどける。DUTがソケット１８０８内に配置されたとき、ハンドラ１８０２は試験器１８０６に、適用可能な試験を開始するよう信号を送る（すなわち、ソケット１８０８およびその中に配置されたDUTへの資源チャネル上の試験器資源を介して）。通常では、ハンドラ１８０２は、コア・マニピュレータ１８０４ならびに適宜ハンドラ１８０２およびシステム１８００の他の機能要素（たとえば、入力ステージ１８１０、温度ソークおよび保持１８１２、コア１８１４、外置１８１６、出力ステージ１８１８および関連する輸送）を介して、関連するプロセス・プロトコルおよびステップに従って、かつ概して本稿において記載されるように、各DUTを位置付けし、試験し、どけるために必要とされる適用可能なステージ／手順を通じて動かす／輸送する。
【００３５】
試験器１８０６は、先に論じたように、試験のどの時点においても、ソケット１８０８のピンに単一の試験資源を接続する。たとえば、DUTがソケット１８０８内に位置されるときは常に、試験器１８０６は前記ピンでの単一の試験資源を介して、それによりソケット１８０８内の前記ピンへの接続を通じてそのDUTに対して電気的に、試験を実施する。したがって、各個別的な試験すべきDUTは、試験器１８０６（および、該当し、個別的な該当するピン（単数または複数）に対応するその各試験資源）による試験のために、逐次的にソケット１８０８内に位置され、該当するピン（単数または複数）を電気的に接続しなければならない。そのようにしてそれぞれの次の個別的な試験すべきDUTをソケット１８０８内に位置させ、その後試験器１８０６の試験完了に際してそれぞれをソケット１８０８からどけることにおいて、コア・マニピュレータ１８０４は一連のステップ／移動を通じて動作し、全部のDUTが試験されるまで、これらを何度も繰り返す。特に、それぞれの次の試験すべきDUTのためのコア・マニピュレータ１８０４は、ロボット的に、次の試験すべきDUTを（たとえば温度ソークおよび保持ステージ１８１２で）取得し、該DUTをソケット１８０８に位置付け、該DUTをソケット１８０８内に配置するよう進まなければならない。ひとたびソケット１８０８内のDUTの試験器１８０６（および各ピンにおけるその個別的な試験資源）による試験が完了すると、ハンドラ１８０２は、システム１８００の処理における次のDUTに対する試験の次の逐次動作のために、コア・マニピュレータ１８０４を介して、ロボット的にそのDUTをソケット１８０８から取り外し、ロボット的に他所（たとえば外置ステージ１８１６など）に位置し直さすことにさらに進まねばならない。もちろん、それぞれの次の試験すべきDUTについて試験器１８０６による何らかの能動的試験を実行するのに先立って、コア・マニピュレータ１８０４（および全体としてのハンドラ１８０２）は、たとえば直前の試験動作からの、ソケット１８０８内に残っているDUTがあればそれを、前もってどけてしまっている必要がある。その後はじめて、ハンドラ１８０２は、マニピュレータ・アーム１８０４を介して、ロボット的に次の試験すべきDUTを取得し、ソケット１８０８内に位置させるなどしていくことに進み、全部のDUTが試験されるか動作が他の何らかの理由で停止されるまで繰り返すことによって、試験動作を続けることができる。
【００３６】
もちろん、ひとたび試験すべきDUTのそれぞれの次のものがソケット１８０８内に位置されたら、次の試験が、試験器１８０６および個別的なピンに対応するその各試験資源によって、該次のDUTに対して実行される。試験器１８０６による逐次DUTに対する能動的な試験と試験の間には時間経過が生じる。それは、コア・マニピュレータ１８０４が次の試験すべきDUTを取得し、ソケット１８０８内に位置させ、その後、試験済みDUTをソケット１８０８からどけるために必要とされる時間の間である。それぞれの次の逐次的な試験すべきDUTについても同様であり、能動的な試験の時間経過期間が繰り返される。さらに、任意の時点においてそのときソケット１８０８内に配置されている何らかのDUTに対する試験器１８０６による能動的な試験の間―すなわち、DUTがソケット１８０８内に位置されており、個別的な試験資源がその対応するピンを電気的に刺激する（配置の際／能動的試験の際／どける前）とき――コア・マニピュレータ１８０４は試験器１８０６によってそのとき試験されているDUTを扱うことに占有されたままである。したがって、コア・マニピュレータ１８０４は、そのとき試験されているDUTとともに動作するのに占有されており、どけ、次に位置付け、次に試験し、次にどけるといった反復のためには時間が要求される。実際上、従来システム１８００の動作では、コア・マニピュレータが作動している時点では、試験器１８０６は実質的にアイドルであって、能動的に試験していない。すなわち、試験器１８０６が能動的に試験しているときは、コア・マニピュレータ１８０４は、試験のための次のDUTの何らかの進行ではなく、そのとき試験対象になっているDUTを試験用の位置付けすること／試験／どけることを通じて扱うのに占有されてしまう。
【００３７】
能動的試験がアイドルで、コア・マニピュレータが占有された／使用中の時間期間が集まると、システム１８００の試験動作における、かなりのインデックス時間の損失になる。位置付けし／試験し／どける間の、試験器による試験が不活動で、コア・マニピュレータ／ハンドラ要素が占有されている／使用中である期間は、各DUTについて、かつ各逐次DUTについて経験される。通例の用途であるように複数のDUTが試験されるとき（実際、典型的には多数のDUTが連続動作で試験される）、インデックス時間の各成分は、複数DUTのための非最適な設備利用および試験動作完了までのより長い時間の原因となる。よって、従来式のシステム１８００およびその要素ならびにシステム１８００のハンドラ１８０２（およびそのコア・マニピュレータ１８０４）の動作は、逐次のDUTに関してそれらのコア・マニピュレータが動作する間、試験器１８０６による能動的な試験挙動が中断されてしまうことと組み合わされて、試験動作時間、装置使用最適化および全体的な試験プロセスに対して悪影響をもつ。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３８】
本願に関係するおよび／または本願に組み込まれた出願において開示されているように、そして本稿においてさらに開示されるように、試験器（ATE）およびピン電子回路カードならびにハンドラおよびハンドラ動作の従来式の設計は、試験プロセスにおいて望ましくないインデックス時間が発生する結果につながる。本願および関係する出願／組み込まれた出願は、主として、試験器１８０６の各試験器チャネルは個別的な試験器資源を、どの時点においてもそのとき試験されているDUTの単一のピンにのみ接続できる（そしてその結果として、ハンドラおよび試験器のマスター／スレーブ動作において、ハンドラ動作は、試験器による一連のDUTの能動的な試験と試験の間で、DUTをどけてからそれぞれの次の個別的DUTを配置するまでの進行に要求される期間にわたって中断されねばならない）ために、望ましくないインデックス時間につながる、ある種の問題を開示する。
【００３９】
さらに、本願においてさらに開示されるように、関係した出願／組み込まれた出願との関連で、また該出願でも指摘されたように、主として、ハンドラのマニピュレータ・アームおよび処理のための各単一経路（たとえば、単一の入力ステージ、単一の温度ソークおよび保持ステージ、単一の外置および出力ステージならびに試験セルなどへの、試験セルなどを通る、および試験セルなどからの単一の輸送機構）のようなハンドラの他の諸側面を含めてハンドラ要素／機能が占有されている／使用中であるために望ましくないインデックス時間につながるある種の問題が、試験システムならびにハンドラ要素などのものも含めて試験動作およびプロセスを最適化および改善するために、対処される。
【００４０】
さらに、主として、ハンドラならびにハンドラのステージ、プロセスおよび要素（これに限られないがマニピュレータ・アームおよび他のステージを含む）の機械的またはその他の動作不良およびメンテナンスのために帰結する従来式の試験システムおよびプロセスのある種の他の諸問題が、本開示によって対処される。
【００４１】
デバイスを試験するための従来式のシステムおよび方法の以上の記述から、従来式システムおよび方法において必要とされるインデックス時間の短縮が著しい利点を与えるであろうことが容易に認識され、理解されることができる。さらに、何らかのこれまで知られている特化された試験器およびハンドラ設備を必要とする短縮はどれも、異常に高価で用途も限定されていることがありうることが認識され、理解されることができる。
【００４２】
さらに、以上の記述から、ハンドラの動作不良、メンテナンスまたは他の同様の理由のためといった試験設備の遅延やアイドル状態が問題であることも容易に認識され、理解されることができる。これらの問題の発生および可能性を減らすことによって、著しい利点が達成されるであろう。
【００４３】
本発明は、以上の点における改良および微妙な差を含め、これらのおよびその他の利点および改良を、従来式の慣行、システムおよび動作でこれまで被られてきた問題および欠点なしに、提供する。
【課題を解決するための手段】
【００４４】
本発明のある実施形態は、第一の試験対象デバイス（DUT）および第二のDUTを試験するためのシステムである。当該システムは、相異なる試験のための試験器資源を提供する試験器を含む。試験器資源は、第一のDUTまたは第二のDUTのいずれかに、そのための個別的ソケットの並列構成において、独立して／分離して接続可能である。当該システムはハンドラを含み、該ハンドラは、第一の位置付け器および第一のユニットならびに第二の位置付け器および第二のユニットを含み、該ハンドラは第一のDUTを第一のユニットのところまで操作し、該ハンドラは第二のDUTを第二のユニットのところまで操作する。当該システムは、前記ハンドラおよび前記試験器に接続されたリレーを含む。当該システムは、前記リレーによって前記相異なる試験のために前記試験器資源に前記リレーによって接続可能な第一のソケットを含み、前記ハンドラの前記第一の位置付け器は、第一のDUTを前記第一のユニットから前記第一のソケットまで前記相異なる試験のために操作する。当該システムは、前記相異なる試験のために前記試験器資源に前記リレーによって接続可能な第二のソケットを含み、前記ハンドラの前記第二の位置付け器は、第二のDUTを前記第二のユニットから前記第二のソケットまで前記相異なる試験のために操作する。前記相異なる試験は、前記ハンドラによって第二のDUTが前記第二のユニットからどけられて前記第一のソケット内に配置される際に、前記第一のソケット中の第一のDUTに対して実行され、前記ハンドラによって第一のDUTが前記第一のユニットからどけられて前記第二のソケット内に配置される際に、前記第二のソケット中の第二のDUTに対して実行される。前記ハンドラは前記リレーを制御して、それぞれ、前記相異なる試験が前記第二のソケット内の第二のDUTに対して実行されたのちに前記第一のソケットに接続し、前記相異なる試験が前記第一のソケット内の第一のDUTに対して実行されたのちに前記第二のソケットに接続するようにする。試験を待っている残りの載置されたDUTのうちそれぞれの次の逐次DUTは、それぞれタンデム・ハンドラ構成の個別的コンポーネントを介して扱われ／操作され、個別的に、逐次的に同じ試験器の試験資源によって、別個のソケットを介して、全部のDUTが試験され終わるか、試験が他の仕方で終了または中断されるまで、試験される。
【００４５】
本発明のもう一つの実施形態は、試験方法である。当該試験方法は、複数の試験すべきデバイス（TBTD:  to-be-tested  device）のうちのあるTBTDを第一のロボットを介して操作して、試験器の試験資源によって刺激できる第一のピンと接続させる第一の操作段階と、前記試験器を制御して、前記試験資源を前記第一のピンに接続し、該第一のピンに接続されたTBTD上の前記第一のピンにおける前記試験器資源による試験を開始させる第一の制御段階と、前記複数のうちの別のTBTDを第二のロボットを介して操作して、前記試験器の前記試験資源によって刺激できる第二のピンと接続させる第二の操作段階と、前記試験器を制御して、前記試験資源を前記第二のピンに接続し、該第二のピンに接続されたTBTD上の前記第二のピンにおける前記試験器資源による試験を開始させる第二の制御段階と、前記第二のピンにおける前記試験器資源による試験の間に、前記複数のTBTDのそれぞれの次のTBTDについて前記第一の操作段階の少なくとも一部を実行し、前記第一のピンにおける前記試験器資源による試験の完了に際して前記第二の制御段階を実行し、前記第一のピンにおける前記試験器資源による試験の間に、前記複数のTBTDのそれぞれの次のTBTDについて前記第二の操作段階の少なくとも一部を実行し、前記第二のピンにおける前記試験器資源による試験の完了に際して前記第二の制御段階を実行するようマスター制御することを含む。前記試験器に関連付けられたタンデム・ハンドラと、前記試験器およびその試験資源への並列に接続されたデュアル・ソケットとが、個別的かつ分離された機械的な試験前の準備（prepping）／載置（staging）／位置付け（positioning）および試験後の準備／載置／位置付けの諸ステップを、最適で、望まれるように許容する。前記方法の諸段階は、試験される一連のデバイスについて、ハンドラおよびそのタンデム（すなわち、デュアル）特徴のいくぶん別個の試験進行経路／動作に沿って、繰り返される。しかし、逐次にデュアル・ソケットのそれぞれにおいて試験するためには単一の試験器が用いられる。（すなわち、各試験器資源は、一方のソケットの個別的な機能的に等価なピンからの接続において、そこでの試験の完了後、実質的にすぐ、他方のソケットの前記個別的な機能的に等価なピンに、そこでの試験のために、切り換えられる。逆もしかりであり、これがすべての試験すべきデバイスに対する試験が完了されるか、試験の停止もしくは中断が発生するまで繰り返される。）
本発明は、付属の図面において、限定ではなく例として図解されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
図２を参照すると、デバイス（すなわち、本明細書および請求項において、「試験対象デバイス」および／または「DUT」とも称され、背景技術において先に論じたように、一つまたは複数のそのようなデバイスを意味する）を試験するためのシステム２００は、試験器２０４と、試験器２０４に通信上接続され、試験器資源を試験対象デバイスに相互接続するためのインターフェース・ボードと、ロボット式ハンドラ２０８とを含む。ロボット式ハンドラ２０８は試験器２０４に通信上接続されている。インターフェース・ボード２０６は試験器および二つ以上の試験ソケット２１０および２１２に通信上接続されている（すなわち、背景技術において先に論じたように、本明細書および請求項における「ソケット」の用語は一つまたは複数のソケットを意味する；単数形で言及されたとき、ソケットは、同じ試験資源による非並行的な試験のために試験器に並列に接続された一つまたは複数を意味し、そうでなければ背景技術において論じた特別な場合の試験器構成の、限られた、まれな状況の二つ以上のソケットをいう）。試験ソケット２１０および２２１は、試験器２０４とのインターフェース・ボード２０６接続を介して、試験器２０４に、そして試験器２０４の試験器資源に並列に結線される。試験ソケット２１０および２１２の並列接続のため、各ソケット２１０、２１２は別個に試験器２０４に、そして試験器２０４の同じ試験資源にインターフェースをもつ。しかしながら、試験器２０４は、どの時点においても、同じ試験器資源を介して、ソケット２１０、２１２の一方または他方のみを試験できる。
【００４７】
システム２００において、ハンドラ２０８および試験器２０４は、実質的に図１およびシステム１００を参照してハンドラ１０８および試験器１０４に関して述べたように通信する。つまり、ハンドラ２０８は試験器２０４による試験を開始するために試験開始信号を発し、その後、試験器２０４は試験完了に際してハンドラ２０８にさまざまな結果データおよび試験終了信号を返し、するとハンドラ２０８は次の試験デバイスの機械的配置動作を開始する。マルチサイト構成（マルチサイト構成では、複数のソケットが試験器の異なる区別される試験資源に結線され、別個の試験資源を介した並行的な試験が許容される）においても、そのようなマルチサイト構成において欠けているデバイスを同定するために必要とされる同じ情報が同様にしてハンドラ２０８によって試験器２０４に通信される。これらの通信は実質的に従来式なので（試験器が異なる試験資源を介した並行的な試験の備えをしていてもいなくても）、システム２００における試験器２０４は、個別的なデバイスまたはデバイスのセットについての逐次的な試験機能をもつ任意の従来式試験器であることができる。よって、同じ試験器資源の次の試験は、それらの試験器資源の先行する試験の完了に際して、その試験器を介してすぐ開始できる。
【００４８】
ロボット式ハンドラ２０８は、第一のマニピュレータ２１２および第二のマニピュレータ２１４を含み、そのそれぞれはロボット式ハンドラ２０８に接続され、ロボット式ハンドラ２０８によって協調され、自律的な仕方で制御される。第一のマニピュレータ２１２および第二のマニピュレータ２１４のそれぞれは、別個の試験デバイス（あるいはマニピュレータ２１２、２１４がそれぞれの機械的操作において二つ以上の試験デバイスを扱う機能をもつなら複数のデバイス）を扱うことができる。第一のマニピュレータ２１２が試験すべき第一のデバイスをピックアップしてインターフェース・ボード２０６のソケット２１０内に位置付けしたとき、他方の第二のマニピュレータ２１４は並行して次の第二の試験すべきデバイスを取得する。ソケット２１０における第一のデバイスの試験の間に、第二のマニピュレータは第二の試験すべきデバイスをピックアップし、ソケット２１１に載置する。
【００４９】
上で使った「載置（staging）」の用語は、マニピュレータ２１４によって扱われる第二のデバイスがソケット２１１に挿入されるのではなく、ソケット２１１での挿入に機械的に近く位置されることを意味する。次いで、ハンドラ２０８が試験器２０４から試験終了信号を受信すると、マニピュレータ・アーム２１２は第一のデバイスをソケット２１０から取り出し、その間、マニピュレータ・アーム２１４は同時に第二のデバイスをソケット２１１に挿入する。マニピュレータ・アーム２１４が第二のデバイスをソケット２１１に完全に挿入し、第二のデバイスとソケット２１１との間に完全な電気的接触ができるとすぐ、ハンドラ２０８は次の試験開始信号を試験器２０４に発し、ソケット２１１に挿入されたデバイスに対して試験が開始される。
【００５０】
試験器２０４に通信され、試験器２０４によって制御され、試験器２０４において試験されることという観点からは、ソケット２１０とソケット２１１との間に差はない。どちらも試験器２０４およびその同じ試験器資源のセットに接続されるからである。しかしながら、試験器２０４は、どの特定の試験器資源を介してであれ、それぞれの時点においてソケット２１０、２１１の一方についてのみ試験を実施する。試験器２０４では、試験器２０４がハンドラ２０８に発するそれぞれの試験終了信号とハンドラ２０４が試験器２０８に発するそれぞれの試験開始信号との間の何らかの遅延期間の間の無視できるインデックス時間が帰結する。インターフェース・ボード２０６を介してソケット２１０、２１１が試験器２０８に並列にインターフェースされているため、どの時点においても、それぞれの同じ試験資源のセットに結線されたソケット２１０、２１１のうちの一方のみにデバイスが挿入される。以下では、それぞれの次の試験すべきデバイスの、ソケット中への挿入に近いがソケットへの電気的接続はしない載置の動作は、「事前位置付け（pre-positioning）」と称される。「マニピュレータがデバイスを位置させる（manipulator  locating  a  device）」の句は、電気的な接触のための完全な挿入も、ソケットに対するデバイスの事前位置付けも含む。
【００５１】
システム２００において、ソケット２１１内で第二のデバイスに対して試験が始まるとき、第一のマニピュレータ２１２は、システム２００のための要求として（そしてあらゆる従来式試験器の動作についての構成であるように）、すでにソケット２１０から第一のデバイスを取り出しており、遅延なく試験されたばかりの第一のデバイスをどけ、次の未試験のデバイスを試験するために取得し、事前位置付けすることに進む。次の未試験デバイスの事前位置付けに向け、すでに試験済みの第一のデバイスを引っ込めることにおけるマニピュレータ２１２の機械的な動きは、ソケット２１１内の第二のデバイスが試験されている時間期間の間に行われる。他方のマニピュレータ（マニピュレータ２１４または２１２）がアクティブな試験のためにソケット中に次のデバイスを維持している時間期間の間のマニピュレータ（それぞれマニピュレータ２１２またはマニピュレータ２１４）のこれらの機械的な動きは、本稿では「マニピュレータ・インデクシング（manipulator  indexing）」と称される。マニピュレータ２１２でのマニピュレータ・インデクシングは、マニピュレータ２１４がソケット２１１内の第二のデバイスを試験することに携わっている間に、およびまたマニピュレータ２１４が機械的にインデクシングしていない間に行われる。同様に、マニピュレータ２１４でのマニピュレータ・インデクシングは、マニピュレータ２１２がソケット２１０内の第二のデバイスを試験することに携わっている間に、およびまたマニピュレータ２１２が機械的にインデクシングしていない間に行われる。それぞれのマニピュレータ機械的動作および関連するマニピュレータ・インデクシングは、さらなる未試験デバイスが残っていて試験を待っている、システム２００の動作を停止させるエラー条件がない、あるいは人間のオペレーターが工程を中断するよう介入していない限り、繰り返される。
【００５２】
図３を参照すると、デバイス３０２を試験するためのシステム３００は、試験器３０４と、第一のマニピュレータ３１２および第二のマニピュレータ３１１をもつロボット式ハンドラ３０８と、第一のソケット３１０および第二のソケット３１１をもつインターフェース・ボードと、リレー３１６とを含む。ハンドラ３０８は、試験器３０４に通信上接続され、インターフェース・ボード３０６を介してリレー３１６にも通信上接続されている。インターフェース・ボード３０６は試験器３０４、ハンドラ３０８、リレー３１６およびソケット３１０および３１１に通信上接続されている。第一のソケット３１０および第二のソケット３１１はリレー３１６を介して並列に通信上試験器３０４に接続されている。それにより試験器３０４は、通信接続において、ソケット３１０における試験とソケット３１１における試験との間で選択的に切り換えられる。
【００５３】
リレー３１６は、それぞれ第一のソケット３１０と第二のソケット３１１との間の試験接続を切り換えるためのスイッチ要素（詳細には図示せず）を含む。リレー３１６は、低頻度の試験においては必要とされない（図２に示されるように）。というのも、試験器３０４からの信号を第一および第二のソケット３１０、３１１に分けることは、著しいタイミングおよびインピーダンスの問題を引き起こす非対称につながらないからである。インターフェース・ボード３０６およびインターフェース・ボード２０６（図２に示すような）の設計におけるトレース長整合（trace  length  matching）の規則は常に実施されるべきである。というのも、たいていの半導体試験システムは、試験器と試験対象デバイス上のすべてのインターフェース・ピントの間のすべての信号接続の間の伝搬遅延を較正して除くために、TDR（Time  Domain  Reflectometry［時間分解反射測定法］）を使うからである。分割した信号についての不均等なトレース長整合は、システム３００におけるようにリレーによって切り換えられるときでさえ、TDRシステムを混乱させ、誤った較正データおよび無効な試験結果につながる。さらに、可能な限り、所与のTDRシステムによって要求される伝送線インピーダンス・プロファイルは、どの試験セル・インターフェース・ハードウェアの設計においても観察されるべきである。
【００５４】
しかしながら、より高頻度の試験が実施される場合、試験器３０４からの信号のソケット３１０、３１１への分割は、タイミングおよびインピーダンスの問題が重要になりうる非対称につながりうる。そこで、高頻度試験のそのような状況では、異なる時間区間におけるソケット３１０および３１１におけるそれぞれの試験における試験信号のインピーダンス非対称を防ぐために、（図３の）システム３００は適宜試験ソケット３１０と試験ソケット３１１との間で試験信号を切り換える。インターフェース・ボード３０６の設計においてトレース長整合の規則を遵守することは、TDRが通常のように、エラーなしに、システム３００で実行されることを許容する。
【００５５】
システム３００において、ハンドラ３０８および試験器３０４は実質的に図１およびシステム１００を参照してハンドラ１０８および試験器１０４に関して述べたように通信する。つまり、ハンドラ３０８は試験器３０４による試験を開始するために試験開始信号を発し、その後、試験器３０４は試験完了に際してハンドラ３０８にさまざまな結果データおよび試験終了信号を返し、するとハンドラ３０８は次の試験デバイスの機械的配置動作を開始する―すなわち、マニピュレータが次のデバイスを試験のために位置させる。
【００５６】
さらに、システム３００において、ハンドラ３０８とリレー３１６との間の通信上の接続は、インターフェース・ボード３０６を介して、ハンドラ３０８に、適切なハンドラ３０８動作のための、従来式の信号および試験器３０２との通信を提供する。ハンドラ３０８自身が、ソケット３１０またはソケット３１１のどちらがその中に試験を待っている次のデバイスを位置されているかを検出する（または「知る」）。したがって、ハンドラ３０８は、試験のための次のデバイスを保持しているのがソケット３１０か３１１かに従って、第一のソケット３１０または第二のソケット３１１の間で試験器３０２および試験器資源を切り換えるようリレー３１６の切り換えを制御できる。リレー３１６制御のためのアルゴリズムは、マニピュレータ３１１、３１２を制御するハンドラ３０８の同じプログラムに統合される。特に、ひとたび試験終了信号が試験器３０４からハンドラ３０８に発されると、ハンドラ３０８は制御信号をリレー３１６に送り、ハンドラ３０８によって検出されるソケット３１０または３１１にある次の準備できた試験デバイスに従って、リレー３１６を切り換える。試験器３０４動作は事実上、変更される必要がない。というのも、試験器３０４は単に次のデバイスの試験を続け、それぞれのソケット３１０、３１１を試験器３０４動作の目的のために同じ試験器資源のセットに接続された単一のソケットとして個々に遇するからである。
【００５７】
試験器は、二つの異なる物理的なソケット位置（ソケット３１０およびソケット３１１）があることを検出しないし、その指標ももたない（すなわち、「意識しない」）。したがって、試験器３０８は、リレー３１６の切り換えを制御するために必要な情報をもたないし、もつ必要もない。ハンドラ３０８が、リレー３１６の切り換えの制御に適用可能な情報を有するので、ハンドラ３０８がリレー３１６を切り換えるはたらきをすることができる。
【００５８】
ただし、代替的に、試験器３０４がリレー３１６を制御しなければならないとすると（ある種の用途において、あるいは本稿における代替的な諸実施形態においてこのようなことが該当しうる）、試験器３０８上で実行される試験プログラムは、ハンドラ３０８に問い合わせをし、切り換えデータを受信し、ソケットの間での切り換えおよび試験デバイス位置についての決定をするために前記データを処理して情報にし、制御信号をリレーに送ることが必要である。この代替は、コード修正、再コンパイル、コード試験、相関および解放を必要とする。切り換えの試験器３０８制御のそのような変形は、ハンドラ３０８設計にさらにコストを上乗せすると予想される。というのも、ハンドラ３０８が、ハンドラ３０８システム・ソフトウェアにおける更新されたコマンド・セットを有することを要求されるであろうからである。この機能は高価であり、時間がかかるが、コストをかければ、リレー３１６の切り換えの制御および複数ソケットにおけるデバイスの逐次的な個別的試験のための代替的な構成として実装できる。
【００５９】
システム３００の動作では、第一のソケット３１０内におかれたデバイスの試験のために、第一のソケット３１０がリレー３１６を通じて試験器３０４に通信上接続する。次いで、リレー３１６が、第一のソケット３１０が試験器３０４から通信上切断されるようにし、リレー３１６を通じて第二のソケット３１１が試験器３０４に通信上接続する。このようにして、第一のソケット３１０におけるデバイスが試験器３０８によって試験され、その後すぐ、第二のソケット３１１における別のデバイスの試験が行われる。第一のマニピュレータ３１２は、他のデバイスが第二のソケット３１１において試験されている間に、第一のソケット３１０のためのデバイスを第一のソケット３１０に入れ、第一のソケット３１０から出す操作をする。逆もまたしかり。こうして、システム３００は、普通なら第一のマニピュレータ３１２および第二のマニピュレータ３１１がそれぞれ、試験動作においてデバイスをピックアップし、ソケットに位置付けし、取り出すよう機械的に動作しているときに経験される試験器３０８のアイドル時間をなくす。
【００６０】
図５を参照すると、方法５００が図２のシステム２００または図３のシステム３００において動作する。方法５００では、第一のマニピュレータがステップ５０２で、試験器に接続されたインターフェース・ボードの第一のソケットにおける試験のために第一の試験デバイスの取得を始めるよう、開始される。方法５００における試験器は第二のソケットにも接続されているが、第一のソケットとは並列な通信上の接続である。方法５００は、高頻度試験環境における図３のシステム３００において起こるように、試験器の信号のリレーを含むことができる。あるいはまた、試験器の信号が分割され、試験ソケット試験信号のリレーがないようにもできる。同じ方法５００は、リレーがあるかどうかに関わりなく、試験のためのマニピュレータの動作に適用される。
【００６１】
ステップ５０４では、第一のマニピュレータが次いで試験するための第一のデバイスに動く。ステップ５０６で、第一のマニピュレータは第一のデバイスをピックアップする。ステップ５０８で、第一のマニピュレータは第一のデバイスを第一のインターフェース・ボードまで動かし、ステップ５１０で、第一のデバイスを第一のインターフェース・ボードの第一のソケットに挿入する。
【００６２】
その後、ステップ５１２で、試験器が、第一のソケットを介して第一のデバイスを試験することを開始する。
【００６３】
ひとたびステップ５１０で第一のデバイスが第一のインターフェース・ボードに位置され、第一のデバイスを試験するステップ５１２が始まると、第二のマニピュレータがステップ５２０において開始される。ステップ５２２では、第二のマニピュレータが第二のデバイスに動く。ステップ５２４で、第二のマニピュレータは第二のデバイスをピックアップし、ステップ５２６で、第二のデバイスを第二のインターフェース・ボードまで動かす。ステップ５２８で、第二のマニピュレータは、第二のデバイスをインターフェース・ボードの第二のソケットに挿入する（リレーのあるシステム構成で、第一のデバイスの試験が行われているのと同時か、あるいはさもなければ、リレーがない場合には、第一のデバイスの試験後に第一のソケットから第一のデバイスを除去し、第二のデバイスの第二のソケットへの挿入が完全にされてすぐ）。
【００６４】
第一のデバイスの試験が完了すると、ステップ５１４で、第一のマニピュレータは第一のインターフェース・ボードにおける第一のソケットから第一のデバイスを除去する。第一のデバイスの試験が完了するとすぐ、ステップ５３０で、試験器は第二のデバイスの試験を開始する。試験環境が試験器の高頻度信号に関わる場合、第二のデバイスの試験を開始するため、（図３の）リレーが試験器の試験信号を、第一のソケットから第二のソケットに切り換える。先述したように、低頻度の試験では、リレーは必要でなく、タイミングおよびインピーダンスの問題の非対称性の懸念なしに、試験器の試験信号は第一のソケットおよびその中のデバイスと、第二のソケットおよびその中のデバイスとの間で分割できる。いずれにせよ、第一のデバイスの試験が完結し、第二のデバイスの試験がすぐ始まる。こうして、事実上、試験器のアイドル時間はなく、方法５００におけるインデックス時間は最小限である。
【００６５】
ステップ５３０における第二の装置の試験の間に、第一のマニピュレータは、ステップ５１４において、第一のデバイスを第一のソケットから除去する。その後、第一のマニピュレータは、ステップ５１６で、第一のデバイスを、たとえば試験済みデバイスのための試験後位置に動かす。ステップ５１８では、第一のマニピュレータは第一のデバイスを解放する。次のデバイスがステップ５１２での試験のために第一のマニピュレータによってピックアップされるべく待っているというハンドラからの信号指示に応答して、第一のマニピュレータは再びステップ５０２で開始される。方法５００は次いで、第一のマニピュレータに関し、方法５００の諸ステップを再び続ける。
【００６６】
第二のデバイスの試験がステップ５３０で完了されると、方法５００は、第一のマニピュレータについて、ステップ５１０に従って第一のソケットに次の逐次の試験デバイスを位置させている（システムにリレーがない場合には、第二のデバイスの試験完了および第二のソケットからの除去と、次の地区医デバイスが第一のソケットに挿入されたときか、あるいはさもなければ、システムがリレーを含む場合には、第二のソケットの試験の完了に際して試験器資源を第一のソケットに切り換える際）。こうして、この、次の逐次デバイスのすぐの試験が、ステップ５１２を介して始まる。
【００６７】
次の逐次デバイスの試験の間、方法５００は、第二のマニピュレータに関して、第二のデバイスを第二のインターフェース・ボードから除去するステップ５３２に続く。次に、ステップ５３４において、第二のマニピュレータは第二のデバイスを試験後位置に動かす。ステップ５３６では、第二のデバイスはその位置で第二のマニピュレータによって解放される。
【００６８】
方法５００は、第二のマニピュレータに関して、ステップ５１２における第一のソケットでの試験の間、再びステップ５２０で第二のマニピュレータを開始することによって続く。ステップ５１２において第一のインターフェース・ボードにおける試験が進行する際、第二のマニピュレータは方法５００のステップ５２２、５２４、５２６および５２８を経て進行する。ひとたび第一のインターフェース・ボードにおける試験が完了すると、第二のマニピュレータは、方法５００を介して、第二のインターフェース・ボードに次の逐次試験デバイスを位置させており、デバイスの試験がステップ５３０に進む。
【００６９】
もちろん、第二のデバイスの試験の間、方法５００は、第一のマニピュレータに関しては、方法５００のステップ５１４、５１６、５１８そして戻って５０２を経て続く。このようにして、試験器は事実上連続的に、逐次ステップ５１２、５３０における個別的なデバイスの一連の試験を実行する。ステップ５１２で試験が進行している間は、第二のマニピュレータは方法５００のステップ５３２、５３４、５３６そして戻って５２０を経て動くなどする。同様に、試験が次にステップ５３０において進む間、第一のマニピュレータは方法５００のステップ５１４、５１６、５１６そして戻って５０２、５０４、５０６、５０８および５１０を経て動く。方法５００はこのようにして中断される（たとえば、試験監督者によって手動で、不履行（default）のために自動的に、あるいは他の原因で）まで、あるいはそうでなければ試験のためのすべてのデバイスが方法５００において試験され、処理されるまで、連続的に進行する。
【００７０】
（図２および図３の）上記のシステム２００、３００および（図５の）方法５００に関し、さまざまな代替および追加が可能である。特に、ある種の従来式のインターフェース・ボードは、試験器を介した複数デバイスの同時試験のためのいくつかの試験ソケットまたはセルを有することがある。そのような場合において、ロボット式ハンドラは、インターフェース・ボードにおける複数の試験デバイスを単一のパスで同時に操作し、動かし、位置させるマニピュレータをもつことができる。システム２００、３００は同様に、試験器との並列接続のデュアル・インターフェース・ボード（あるいは、もしあてはまれば、並列接続された複数のソケットおよび／または複数のインターフェース・ボードのセット）を含む。しかしながら、各インターフェース・ボードは、各個別的ボード上でのデバイスの同時的な配置および試験のためにいくつかのソケットを有することになる。方法５００は、それにもかかわらず、複数のデバイスが個別的なマニピュレータによって同時に扱われるという点を除いて、同様に進行する。
【００７１】
他の代替では、二つを超える多マニピュレータおよび二つを超える多インターフェース・ボードを用いることもできる。そのような事例において、各インターフェース・ボードは同様に、複数デバイスの各ボードにおける同時試験のための複数の試験ソケットを有することができる。インターフェース・ボードは、試験器に並列に通信上接続されることができる。必要ならリレーが必要に応じて試験信号を切り換えるはたらきをできる。
【００７２】
さらに、システム２００、３００に基づく試験システムならびに方法５００に基づく試験ステップおよびプロセスは、多様な製造および試験動作において用いることができる。たとえば、半導体デバイスは、前記のシステムおよび方法で好適に試験されるデバイスのほんと一つの型である。他のデバイスとしては、適切な光学式試験ボード、リレーおよび試験器を用いれば光学式デバイス；適切な機械的および物理的試験セルおよび試験器を用いれば機械的デバイス；および多様なその他の可能性のうちの任意のものが含まれることができる。そのようなそれぞれの可能性において、試験器への並列接続された複数インターフェースが、複数マニピュレータ動作と組み合わされて、試験プロセスにおけるインデックス時間を減らし、なくすことができる。
【００７３】
異常に鑑み、本稿における記載の範囲を限定することなく、例示的な半導体試験設備の詳細を与える。
【００７４】
１．半導体の自動化された試験設備（ATE）―例示的な実施形態：
図６を参照すると、デジタル・デバイス試験システム６００は、半導体チップなどを試験するために使うことができる。システム６００は従来式の自動化試験設備（ATE）６０２を含む。ATE６０２は、動力供給（図示せず）によって駆動され、ATE６０２を介して適用可能な試験を制御および実行するための試験コンピュータ６０３を含む。ATE６０２は電源６０４、接地６０６およびデジタル・ピン電子回路６０８、６１０、６１２、６１４、６１６のためのコネクタ・ポートをもつ。ATE６０２は、ATE６０２の通信ポート６１９においてコネクタ６１８を介して、デュアル・マニピュレータ・アームをもつロボット式デバイス・マニピュレータ６３０に通信上接続される。ロボット式デバイス・マニピュレータ６２０は、ATE６０２からコネクタ６１８を介して信号および試験情報を受け取り、処理するための、ロボット式コントローラ６２２を含む。
【００７５】
デバイス・ハンドラ６２０のユーティリティ・ポート６２４は、リレー・コントロール６２６とその制御ポート６２８において接続される。リレー・コントロール６２６はまた、ATE６０２の接地６０６ポートにも接続される。出力制御信号は、リレー・コントロール６２６のポート６２９から、リレー・バンク６３０に接続される。
【００７６】
リレー・バンク６３０はたとえば、一連のリレー・スイッチ６３０ａないし６３０ｅを含む。リレー・バンク６３０およびリレー・コントロール６２６の詳細は、本稿で図７との関連でのちにより個別的に記述する。図６との関連での議論の目的には、各リレー・スイッチ６３０ａないし６３０ｅは、第一の試験対象デバイス（DUT1）６４０および第二の試験対象デバイス（DUT2）の個別的な対応するデジタル・ピンに接続されている。図６では、スイッチ６３０ａないし６３０ｅは、DUT1６４０に試験信号を通信するよう設定されている。図５における方法５００に関して先述したように、DUT1６４０およびDUT2６５０の両方がそれぞれのインターフェース・ボード（図６には示さず）を介してリレー・バンク６３０に接続されている。このようにして、DUT1６４０の試験完了後、リレー・コントロール６２６は、次のDUT2６５０を試験するために、リレー・バンク６３０のスイッチ６３０ａないし６３０ｅの切り換えを実施する。
【００７７】
リレー・コントロール６２６は、リレー・バンク６３０のスイッチ６３０ａないし６３０ｅの切り換えを、ロボット式デバイス・マニピュレータ６２４からの制御信号に基づいて選択する。ロボット式デバイス・マニピュレータ６２４は、たとえばデバイスの試験が完了したときに、ATE６０２の試験コンピュータ６０３と（信号のやりとりによって）通信する。今の例では、ロボット式デバイス・マニピュレータ６２４は、リレー・バンク６３０を通じてATE６０２に接続されたインターフェース・ボードにDUT1６４０を置くことを完了すると、ATE６０２の試験プロセスを開始する。次いでATE６０２は、ATE６０２の試験コンピュータ６０３によってプログラムされ、制御される試験プロトコルに従って、試験を実施する。
【００７８】
ATE６０２によるDUT1６４０の試験の完了に際し、ATE６０２はロボット式デバイス・ハンドラ６２０に試験完了を、たとえばDUT1６４０についての試験結果をハンドラ６２０に通信することによって、信号伝達する。次いでハンドラ６２０は、マニピュレータ・アームを適宜制御して、DUT1６４０を、ATE６０２に接続されたインターフェース・ボード上のそのソケットから除去する。ATE６０２から試験終了信号を受信すると、ハンドラ６２０はリレー・コントロール６２６に信号を送り、リレー・コントロール６２６はリレー・バンク６３０のスイッチ６３０ａないし６３０ｅを反転させ、DUT2６５０をリレー・バンク６３０を通じてATE６０２に通信上接続する。次いでハンドラ６２０は次の試験開始信号をATE６０２に対して発し、次いでATE６０２はDUT2６５０の試験を開始する。
【００７９】
図５における方法５００との関連で述べたように、ロボット式デバイス・ハンドラ６２０は、そのマニピュレータ・アームの一つを操作して、デバイスが試験されるたびに、すでに試験済みのデバイスを除去し、動かし、新しい試験のためのデバイスを取得し、置く。リレー・バンク６３０およびATE６０２と協調されたデバイス・ハンドラ６２０のこの動作は、ATE６０２が、他方のデバイスが除去され置換される間、実質的に連続的にデバイスを試験することを保証する。
【００８０】
図７を参照すると、図６との関連で述べたようなリレー７００は、リレー・コントロール６２６およびリレー・バンク６３０を含む。図７での図示およびリレー７００の記述の目的については、リレー・コントロール６２６およびリレー・バンク６３０はそれぞれ、単一のスイッチ６３０ａのみを具備する。スイッチ６３０ａは二つの可能な接続、DUT1のピンAへのコネクタ６３２またはDUT2のピンAへのコネクタ６３４の間で動作する。スイッチ６３０ａは、そのようなコネクタ６３２、６３４のいずれかの試験器（図７には示さず）からの単一の試験信号６３６への通信上の接続を実現する。リレー７００において典型的であるように、ロボット式デバイス・マニピュレータ（図７には示さず）からの７２４ａ、７２４ｂのような関連する信号入力関連する信号入力は、信号６３６を、スイッチ６３０ａを通じて、個別的なDUT1またはDUT2の試験のために望まれるのに応じてコネクタ６３２または６３４のいずれかに接続させる。
【００８１】
リレー・コントロール６２６は、図６のロボット式デバイス・ハンドラ６２０のユーティリティ・ポート６２４（図７には示さず）からの第一の制御信号７２４ａおよび第二の制御信号７２４ｂの入力を有している。各制御信号７２４ａ、７２４ｂはそれぞれ「ダーリントン・ドライバ（Darlington  Drivers）」または等価なパワー・トランジスタ・ドライバ７２６ａ、７２６ｂに接続される。ドライバ７２６ａ、７２６ｂは、たとえばNTEエレクトロニクス社から入手可能である。パーツ番号NTE215シリコンNPNトランジスタ・ダーリントン・ドライバ。それぞれのドライバ７２６ａ、７２６ｂは大地に接続され、リレー・バンク７３０にも接続される。
【００８２】
図７に示されているリレー・バンク７３０は、図６のシステム６００で使われているものからは実質的に簡略化されている。図６では、各試験対象デバイス（すなわちDUT1およびDUT2）の複数ピンが並行的に試験器６０２にリレー・バンク６３０を通じて接続されていた。にもかかわらず、図７のリレー・バンク６３０は、図６における対応するリレー・バンク６３０の単一のスイッチ６３０ａを示す。スイッチ６３０ａは、コイル６３１ａ、６３１ｂの間でリレー・バンク６３０のところに配されている。コイル６３１ａ、６３１ｂはそれぞれ、リレー・コントロール６２６のそれぞれのトランジスタ・ドライバ７２６ａ、７２６ｂの出力によって駆動される。このようにして、リレー・コントロール６２６は、各試験インスタンスにおいて試験信号６３６を介した試験のためにDUT1のピンA  ６３２、DUT2のピンA  ６３４のいずれかを選択的に通信上接続するために、スイッチ６３０ａを切り換える。
【００８３】
一般に、前記諸実施形態において、完全な試験プロトコルが第一の試験デバイスに対して実行され、次いでリレー・コントロール６２６が試験のための第二のデバイスへの切り換えを引き起こす。その後これが繰り返される。何らかのデバイスの試験の間、試験のための次のデバイスが取得され、次の試験のためにインターフェース・ボードに位置される。次いで、デバイスに対する試験の完了に際して、リレー・コントロール６２６はリレー・バンク６３０を試験のための次の逐次デバイスに切り換え、それぞれの次の逐次デバイスの試験はすぐ始まり、このようにして著しいインデックス時間遅延なしに続く。
【００８４】
図８を参照すると、図６のシステム６００が示され、試験におけるデバイスのデジタル・パワーについての接続を示している。特に、システム６００はATE６０２、ロボット式デバイス・ハンドラ６２０、リレー・コントロール６２６およびリレー・バンク８３０を含んでおり、パワー・コネクタ８０２、８０２および接地コネクタ８０６、８０８とDUT1  ６４０およびDUT2  ６５０のそれぞれの個別的なデジタル・パワー・ピンとの間のスイッチ８３０ａないし８３０ｄを通じて接続されている。図６のシステム６００と同様に、図７のシステム６００は、他方のDUTがリレー・バンク８３０のスイッチ８３０ａないし８３０ｄによって試験のために試験器６０２に通信上接続されている間にロボット式マニピュレータがそれぞれの個別的DUTを扱い、置き換えることで、DUT1  ６４０のあとにDUT2  ６５０が続く、実質的に連続的な逐次パワー試験を提供するはたらきをする。
【００８５】
図９を参照すると、図６および図８のシステム６００が示され、個別的なデバイスDUT1  ６４０およびDUT2  ６５０のアナログ・ピン試験についての接続を示している。図９のシステム６００では、ATE６０２はアナログ・デジタイザ接続９０２、９０４、９０６、９０８において、リレー・バンク９３０の個別的なスイッチ９３０ｄ、９３０ｃ、９３０ｂ、９３０ａに接続されている。スイッチ９３０ａ、９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄのそれぞれは、そのアナログ・ピンにおける個別的なDUT1６４０およびDUT2６５０に接続される。これまでの図のシステム６００と同様、スイッチ９３０ａ、９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄは、試験器６０２を、事実上中断されない連続におけるそれぞれの個別的なDUT1６４０およびDUT2６５０の試験のために、個別的に通信上接続するために、マニピュレータ６３０を介してリレー・コントロール６２６によって制御される。DUTの一方が試験されている間、他方のDUTがハンドラ６２０によって動かされ、試験のための次のデバイスで置き換えられる。
【００８６】
図１０を参照すると、図６、図８および図９のシステム６００が示され、個別的なデバイスDUT1  ６４０およびDUT2  ６５０のアナログ・パワー試験についての接続を示している。図１０のシステム６００では、ATE６０２はユーティリティ・パワー接続１００２、１００４において、リレー・バンク１０３０のコイルを通じて、リレー・コントロール６２６と接続されている。スイッチ１０３０ｄ、１０３０ｃ、１０３０ｂ、１０３０ａが試験器６０２のDUTパワー接続１００６、１００８、１０１０、１０１２に接続されている。これまでの議論と同様、リレー・バンク１０３０の個別的なスイッチ１０３０ｄ、１０３０ｃ、１０３０ｂ、１０３０ａはそれぞれ、そのアナログ・パワー・ピンにおける個別的なDUT1６４０およびDUT2６５０のそれぞれに試験器６０２を選択的に通信上接続する。スイッチ１０３０ａ、１０３０ｂ、１０３０ｃ、１０３０ｄは、試験器６０２を、事実上中断されない連続におけるそれぞれの個別的なDUT1６４０およびDUT2６５０の試験のために、個別的に通信上接続するために、マニピュレータ６３０を介してリレー・コントロール６２６によって制御される。DUTの一方が試験されている間、他方のDUTがハンドラ６２０によって動かされ、試験のための次のデバイスで置き換えられる。
【００８７】
図６ないし図１０をまとめて参照すると、リレー・バンク６３０、８３０、９３０、１０３０の複数のものが、即座の連続におけるDUT1６４０およびDUT2６５０のそれぞれの試験を実行するために、システム６００において同時に用いられることができることが示されており、理解されることができる。DUTの一方の試験の間に、ハンドラ６２０が他方のDUTを動かし、置き換える。そのような構成において、リレー・コントロール６２６は、各DUTがDUT1６４０およびDUT2６５０として逐次試験されうるよう、リレー・バンク６３０、８３０、９３０、１０３０のそれぞれの切り換えを制御する。ハンドラ６２０は他方のDUTの試験の間に、DUTを試験のための新しいデバイスと換えるので、システム６００についてのインデックス時間は無視でき、試験器６０２による一連のデバイスの試験は実質的に連続的である。
【００８８】
２．光学式デバイス自動化試験設備（ATE）―例示的な実施形態：
図１１を参照すると、光学式デバイスを試験するための別の試験システム１１００が、試験器１１０２による連続的な逐次的試験を実行するために、同様のリレー要素を用いる。試験器１１０２は、CCD受容器（receptor）およびCCD画像プロセッサを有する画像取り込み器１１０４を含む。試験器１１０２は動力源１１０６およびそこからの接続１１１０、１１１２、１１１４をも含む。
【００８９】
試験器１１０２の試験コンピュータ１１０８はコネクタ１１１６を介してロボット式マニピュレータ１１１８に通信上接続する。ロボット式マニピュレータ１１１８は実質的にこれまで記載されてきたようなものであり、マニピュレータ１１１８はデュアル・マニピュレータ・アームを有し、個別的なデュアル・デバイスDUT1１０５０およびDUT2１０４０の試験情報を、先に詳述したようなリレー・コントロール６２６への接続を介して受信し、その試験を制御する。リレー・コントロール６２６は、リレー１１３０のスイッチ１１３０ａの切り換えを制御する。切り換えは、リレー１１３０を通じた、試験器１１０２とそれぞれ対応するDUT1１０３２およびDUT2１０３４についての個別的な試験取り込み要素１０３２、１０３４との間の通信上の接続を実現する。システム６００のこれまでの記載（図６、図８、図９および図１０の）と同様に、システム１１００は、即座の連続において、試験をDUT1  １０４０とDUT2  １０５０との間で切り換える。一方のDUTの試験の間に、他方のDUTがマニピュレータ１１１８によって動かされ、試験のための次のデバイスで置き換えられる。このようにして、試験器１１０２はそれぞれの逐次的な次のデバイスについて、無視できるアイドル・インデックス時間で、実質的に試験動作を続ける。
【００９０】
図１２を参照すると、タイミング図１２００が、本稿で記載するような型の試験システムにおいて個別的な第一および第二のデバイス（すなわち、DUT1およびDUT2）についての試験サイクルを示している。タイミング図１２００において注目されるのは、マニピュレータがデュアル・マニピュレータ・アームを介して、他方のデバイスが試験されている間に一方のデバイスを操作し、またその逆もできるので、インデックス時間が無視できるということである。こうして、各時点において、試験するためのデバイスは、試験のためにソケット内に位置される。システムは、そのような各時点において試験するために準備ができたデバイスの試験を続けるよう、デバイス間で試験を切り換える。ひとたびあるデバイスの試験が完了すると、試験を次のデバイスに切り換えた際に、他方のデバイスがすぐ試験されることができる。
【００９１】
多重化リレーを含むピン電子回路カード
図１６を参照すると、ある種の実施形態のピン電子回路カード１６００は多重化リレー１６０２を含む。多重化リレー１６０２は、カード１６００の試験器チャネル１６０４の電子回路を、二つの別個のリード１６１０と１６２０の間で切り換える。別個のリード１６１０および１６２０は二つの別個のDUT（すなわち、詳細には図示しないDUTAおよびDUTB）の等価なピンに接続される。
【００９２】
多重化リレー１６０２はスイッチ制御信号１６０６にも接続される。スイッチ制御信号１６０６はハンドラ（図示しないが本稿で既述）に接続される。先に論じたように、ハンドラは、インターフェース・ボードの試験ソケットにはいっているDUTの試験のために、制御信号を試験器に与えることができる。あるいはまた、制御信号は別の源からであったり、オペレーターによって手動で差し向けられたり、あるいは他の形であることもできる。
【００９３】
動作では、ハンドラは二つの別個の試験対象デバイスDUTAおよびDUTBを扱い、該デバイスを試験サイトにおいて試験器のデュアル試験ソケットに置き、置き換えることができる。デュアル試験ソケットは、少なくとも試験対象でソケットに挿入されたデバイスについての前記等価なピンの接続に関しては動作上等価である。たとえば、ソケットの一方にDUTAがあるとき、多重化リレー１６０２はハンドラからの信号によって、試験器チャネルの電子的試験資源をDUTAを含むソケットに切り換えるよう制御される。試験器チャネルはそれにより、試験器による試験のために適用可能なようにDUTAの単一のピンに電気的に接続される。
【００９４】
DUTAの試験の間、DUTBがハンドラによって他方のソケットに位置される。ひとたびDUTAの試験が完了すると、多重化リレー１６０２はハンドラの信号によって、試験器チャネルの電子的試験資源をDUTBを含むソケットに切り換えるよう制御される。DUTBの試験の間に、次の試験対象デバイスがハンドラによって取得され、DUTAを含んでいたソケット中に置き換えられる。こうしてプロセスは続いていく。
【００９５】
もちろん、先述したように、デュアル・マニピュレータは、他方のソケットであるデバイスを試験している間に一方のソケットで準備配置を実行するようはたらくことができる。
【００９６】
さらに図１６を参照すると、多重化リレー１６０２は、例示目的でピン電子回路カード１６００からの最後のコンポーネントで、DUTAおよびDUTBへのリード１６１０、１６２０を与えるものとして図示されているが、その代わりに、ピン電子回路カード１６００における任意の適切な接続に配位／位置されることもできる。多重化リレー１６０２が記載されるような多重化機能を実行する効果をもつ限り、多重化リレー１６０２は、代替的に、ピン電子回路カード１６００の他のコンポーネント／要素内に接続されることもできる。具体的な配位／位置は、信号完全性（integrity）への最小限の擾乱のために、カード製造または経済のために、あるいは他の目的のために最適化できる。
【００９７】
さらに、ピン電子回路カード１６００の試験器チャネル１６０４からのリード１６１０、１６２０は好ましくはトレース長整合される。リード１６１０、１６２０のトレース長整合は、当業者にはよく知られており、理解されているように、リード１６１０、１６２０を通じた試験器チャネルを介して同じ試験を、全く較正や補正なしに可能にする。トレースの長さが整合されていないと、試験器および／またはハンドラは、それぞれのソケットにおける試験のために異なる較正データのセットを測定し、実装しなければならない。これは複雑であり、設計および実装においてコスト高になる可能性が高い。しかしながら、リード１６１０、１６２０のトレース長整合は必ずしも要求されず、他の構成では、試験器および／またはハンドラのソフトウェアまたは他の要素が、所望されるままに前記それぞれのソケットを用いて適用可能かつ適切な試験の備えをすることもできる。
【００９８】
試験器チャネル１６０４の特定のピン電子回路はデジタルもしくはアナログまたは他の任意のものであることができる。いずれにせよ、試験器チャネル１６０４は、無視できるインデックス時間で別個のデバイスの等価なピンの間で電気的な切り換えをするために、デュアル・リードの間で切り換え可能である。
【００９９】
多重化リレー１６００の具体的な設計は、試験器、ピン電子回路カード、試験、ハンドラなどの任意の具体的な構成における数多くの要因に依存する。異なる信号または信号は設計によって対応できる。その際、信号およびその作動的な対応物または大地基準が一貫したインピーダンスを維持するまたは最小限の電流ループを維持するなどの仕方で切り換えなければならない。しかしながら、そのようないずれの設計でも、一つのピンと接続し、それが二つに変換されるという基本概念は同じままである。ピンとの接続についての具体的な電気的性質がどうだろうと違いはない（たとえば、大地、デジタル信号、アナログ信号、作動信号またはその他のいずれだろうと構わない）。いかなる具体的な実装においても、当業者はさまざまな設計上の可能性、選択肢および手法を理解し、知るであろう。それらのすべてはここに含まれることが意図されている。
【０１００】
図１７を参照すると、方法１７００が、試験資源のセットを提供する試験チャネルに接続されたデュアル・リードを介して試験を実行する。方法１７００では、ステップ１７０２で、試験器のハンドラがDUT（すなわちDUTA）を試験ソケットに位置させることによって、DUTAの第一のピンがリードの一方に接続される。ハンドラはステップ１７０４において、試験器のピン電子回路カードの多重化リレーに信号を送り、試験を、前記リードのうちDUTAのピンに接続しているほうに切り換えさせる。DUTAの試験が進行する間、ハンドラ（先に論じたように、別のマニピュレータを介して、あるいはその他の適用可能な仕方で）はステップ１７０６（上記の方法５００におけるハンドラ動作に対応）で、等価な試験機能をもつ別の試験ソケットにデバイスがあればそれをどけて、次のデバイス（すなわちDUTB）を取得し、DUTBを他方の試験ソケットに位置させる。したがって、DUTBは一般に、DUTAの試験の完了に際して他方の試験ソケットにすでに位置されている。
【０１０１】
ステップ１７０８では、ハンドラは、第一の試験ソケットでのDUTAの試験の完了に際して、多重化リレーを制御して、試験を、前記リードのうち他方の試験ソケット内のDUTBに接続するもう一つのほうに切り換えさせ、試験器にDUTBの試験を開始させるよう信号を送る。ステップ１７１０では、試験器チャネルおよびDUTBの単一の等価なピンに接続されたリードを介したDUTBの試験が進行する。
【０１０２】
DUTBの試験の間、ハンドラは次に、DUTAをどけ、DUTAを「試験完了」位置に置き、DUTAを置き換える次の試験対象デバイスを取得し、この、次のデバイスをDUTAの代わりにDUTAを保持していたソケットに位置させることによって、ステップ１７０２に戻る。方法１７００は、すべてのデバイスについて試験が完了するか、あるいは他の何らかの中断機構が発生するまで続く（たとえば、先述したように、試験はオペレーターによって、エラーのために、などの原因で停止されることができる）。
【０１０３】
例示的な試験システム―多重化リレー
図１９を参照すると、短縮された（すなわち無視できる）インデックス時間を達成するための試験システム１９００はハンドラ１９０２および試験器１９０６を含んでいる。ハンドラ１９０２は、並列コア１０１４を有する試験セル１９０３を含む。並列コア１９０８はデュアル・ソケット１９０８（AおよびB）をもつ。並列コア１０１４は多重化リレー１９０７に接続されている。多重化リレー１９０７は試験器チャネル上の試験器資源をデュアル・ソケット１９０８の間で切り換えて、任意の時点において（リレー１９０７を介した信号切り換えのために必要とされる実質的に長さ0の時間以外において）試験器１９０６の試験器資源がデュアル・ソケット１９０８の一方または他方に接続されるようにするために接続されている。ハンドラ１９０２および試験器１９０６に関連してのそのような多重化リレー１９０７の動作は、すぐ前に述べたとおりである。
【０１０４】
ハンドラ１９０２は同様に、デュアル・コア・マニピュレータ１８０４を含め、先に論じた諸要素を含む。デュアル・コア・マニピュレータ１８０４はそれぞれ、個別的DUTを位置させる／試験の間保持する／どける。それにより、DUTがマニピュレータ１８０４の一方によって扱われてソケット１９０８の一つにおいて試験されている間、他方のソケット１９０８にそのとき試験済みになっているDUTがあれば、それは他方のマニピュレータ１８０４によってどけられ、次の試験すべきDUTが取得され、置換として位置される。説明してきたように、試験器１９０６の試験資源の切り換えは、ソケット１９０８とソケット１９０８の間で実質的に即時に起こる。こうして、各時点において、一方のソケット１９０８はその中のDUTを試験しており、他方のソケット１９０８にあるDUTは試験済みなっており、どけられるところであり、そのソケット内には次の試験すべきDUTが位置される。反対側のソケット１９０８でのそのとき進行中のDUTの試験の完了に際してすぐ試験をそれに切り換えるためである。
【０１０５】
システム１９００のハンドラ１９０２は、先述したようなDUTの入力および出力の載置のために、他のさまざまな機械的（典型的には物理的に動く）コンベヤー／輸送機構およびロボット式操作アームを含む。入力トレイ１９２０は、入力マニピュレータ・アーム１９２２がピックアップし、試験セル１９０３のための入力ステージ１９１０に位置させるためのDUTを保持する。入力ステージ１９１０にある各DUTは、たとえば輸送機構などによって、温度ソークおよび保持ステージ１９１２（該当すれば適宜）に進む。デュアル・マニピュレータ・アーム１９０８の一方がDUTを取得し（そのDUTについて利用可能なソケット１９０８の具体的な一方に従って）、そのDUTをソケット１９０８のうちの適用可能な利用可能なほうに位置させる。前記のように、DUTを取得し、位置させることは、その時点で他方のソケット１９０８で何らかのDUTに対して試験器１９０６による試験が実行されている際に行われる。ひとたび試験器資源が多重化リレー１９０７によって切り換えられると、すなわち、他方のソケット１９０８におけるそのDUTの試験の完了後すぐに、試験器資源はそのときそのように位置されているDUTを刺激する。試験が完了し、それから試験資源が切り換えによって解放されたばかりのDUTおよびソケット１９０８についての他方のマニピュレータ・アーム１９０４は、DUTをそのソケット１９０８からどけ、DUTを外置ステージに移送し（先に論じたように）、次いで次の試験すべきDUTを取得し、置き換えとして位置させることに進む（他方のDUT試験の間に、など）。
【０１０６】
その特定の試験動作についてのハンドラ１９０２の他の要素―たとえば試験前および試験後の進行のためのような―に含まれるものとしては、出力輸送機構、出力ステージ１９１８（試験結果に対応またはその他）、試験済みDUTを出力ステージ１９１８からの移送し、ビン・と例１９２６のうち個別的な該当するものに置くための出力マニピュレータ・アーム１９２４がある。
【０１０７】
システム１９００による試験は、（試験のための入力として載置されたDUTのうち残っているもののうちから）それぞれの次の試験すべきDUTについて、継続する仕方で進行する。システム１９００を介して、デュアル・マニピュレータ・アーム１９０４および並列コア１９０８のデュアル・ソケット１９０８をもつハンドラ１９０２のため、そしてまたデュアル・ソケット１９０８の交互のものおよびそこにあるDUTについての実質的に連続な試験をするための、試験器１９０６の試験資源の、デュアル・ソケット１９０８の一方から他方への即座の切り換えのため、実質的に試験におけるインデックス時間は解消される。
【０１０８】
タンデム・ハンドラおよび多重化リレーとの組み合わせ
図２０を参照すると、試験器２００６に接続されたタンデム・ハンドラ２０００は、DUTのためのデュアルな機械的進行経路を含んでいる。すなわち、ハンドラ２０００は、個別的なDUTについて試験経路に沿った段階の少なくともある種のデュアル性を提供するための、別個の個別的要素および機構を有する試験セル２００３を提供する。ハンドラ２０００のある種の電子回路および機械的要素は共通であり、デュアルな経路両方によって／両方の動作のために用いられる。特に、ハンドラ１９００は一般に、ハンドラ試験処理を通じたそれぞれのDUTの進行のための経路Aおよび経路Bを含む。しかしながら、ハンドラ２０００は、先述したように、それぞれのDUTのためのデュアル・ソケット２００８Ａ、Ｂをもつ並列コア２０１４を有する。ハンドラ２０００は、それぞれの経路および該経路に沿った動作に対応する（あるいは他の仕方でそれらの経路のために調整された）第一のコア・マニピュレータ・アーム１９０４Ａおよび第二のコア・マニピュレータ・アーム１９０４Ｂをも含む。第一および第二のコア・マニピュレータ・アーム１９０４Ａ、Ｂのそれぞれは、ハンドラ２０００によって、主として共通の回路および論理を介して制御されるが、それぞれは、それぞれの経路Ａ、Ｂについて、ハンドラ２０００の適用可能な機械的およびその他の動作のための独立した要素を有している。多重化リレー２００７は、動作の各時点においてソケット２００８Ａ、Ｂの一方または他方において試験するために、切り換え可能的に試験器２００６の試験器資源をデュアル・ソケット２００８Ａ、Ｂのそれぞれに接続する。
【０１０９】
図２０の例におけるタンデム・ハンドラ２００２は、デュアル進行経路のそれぞれのための個別的要素をいくつか有している。それには、それぞれ第一および第二の入力ステージ２０１０Ａ、Ｂ、温度ソークおよび保持ステージ２０１２Ａ、Ｂ、外置ステージ２０１６Ａ、Ｂおよび出力ステージ２０１８Ａ、Ｂが含まれる。デュアル経路の共通要素は、たとえば、入力トレイ２０２０およびビン・トレイ２０２６および／またはその他の諸側面が含まれうる。いずれにせよ、タンデム・ハンドラ２０００は、多重化リレー２００７および並列コア２０１４／デュアル・ソケット２００８Ａ、Ｂ配置を切り換えることを介して、インデックス時間、ダウン時間または望ましくない形で試験器２００６の動作中能動的な試験を止めるような他の懸念を有利に無視できる（または著しく軽減された）ものに維持することを視野に、多様な理由（たとえば、経済／経費、空間的配置、試験上の要件、工学上の制限／慣行および実際上またはその他の理由を含む）のうちの任意のもののために利用されるまたは利用されうるある種の共通要素を有する（または有することができる）。
【０１１０】
タンデム・ハンドラ２００２のある種の要素は、試験セル２００３を通過するそれぞれのDUT進行のための経路Ａ、Ｂに共通ではない。これらの要素は同様に、経済的、空間的、光学的、設計上、動作上またはその他の要求、現実性、機能性またはその他の考慮によって規定されることができる／規定されることになる／規定されることがありうる。構成および軽減されたダウン時間およびその他の要因を介して達成される無視できるインデックス時間からの利点は、タンデム・ハンドラ２００２およびシステム２０００の他の諸側面を介して理解され、実感されるであろう。図２０では、システム２０００は、次のDUTを入力トレイ２０２０からピックアップしてそれぞれの入力ステージＡ、Ｂに位置させるためのデュアル入力マニピュレータ２０２２Ａ、Ｂを含んでいる。輸送機構および同様の機構も、入力ステージＡ、Ｂおよび経路Ａ、Ｂのそれぞれについて分離されている。別個の温度ソークおよび保持ステージＡ、Ｂならびに別個の外置ステージＡ、Ｂがタンデム・ハンドラ２００２の試験セル２００３のそれぞれの試験経路Ａ、Ｂに対応する。同様に、出力輸送および機構およびデュアル出力マニピュレータ２０２４Ａ、Ｂは、それぞれの次のDUTを、試験完了に際して（試験結果および示し合わせによるなど）、出力載置および出力ビン・トレイ２０２６などに進行させる。
【０１１１】
図２０のタンデム・ハンドラ２００２についてより具体的に見ると、試験器２００６の試験器資源と並列コア２０１４の個別的なデュアル・ソケット２００８Ａ、Ｂとを切り換え可能的に接続する多重化リレー２００７と一緒に動作して、デュアル・コア・マニピュレータ・アーム２００４Ａ、Ｂのそれぞれは、並列コア２０１４およびそれぞれのDUTのためのデュアル・ソケット２００８Ａ、Ｂおよび試験資源の切り換え可能なリレーに関して上記したのと同様に、シーケンスで動作する。動作では、タンデム・ハンドラ２００２は、デュアル・マニピュレータ・アーム２００４Ａ、Ｂおよび並列コア２０１４のそれぞれのソケット２００８Ａ、Ｂを介して、経路Aに沿ってDUT(a)を、経路Bに沿ってDUT(b)を続けて、試験のために位置付けし、試験のために維持し、試験後にどける。DUT(a)が（コア・マニピュレータの一方２００４Ａを介して）ソケットの個別的なもの２００８Ａに位置付けされ、試験が行われるとき、DUT(b)が（他方のコア・マニピュレータ２００４Ｂを介して）取得され、他方のソケット２００８Ｂに位置付けされる（たとえば、そのときには試験済みになっており、コア・マニピュレータ２００４Ｂによってそこからどけられている、そこにあった何らかの先行するデバイスの置換として）。DUT(a)の試験の完了に際して、タンデム・ハンドラ２００２は、試験結果／試験器２００６の試験終了に応答して（または他の仕方で制御またはトリガーされて）、多重化リレー２００７を制御して、試験器２００６の試験資源をDUT(b)の試験に切り換えさせる。タンデム・ハンドラ２００２の動作のための制御論理およびシステム２０００の他の諸側面の結果として得られる制御／動作は、先に扱ったように、ソフトウェア、ハードウェアまたは両者の組み合わせによって提供される。
【０１１２】
さらに、DUT(a)の試験完了時に、タンデム・ハンドラ２００２は、多重化リレー２００７を介したDUT(b)への切り換えと並行して、コア・マニピュレータ２００４ＡによってDUT(a)をどけ、それによりDUT(a)を対応する外置ステージ２０１６Ａにシステム２０００からの出力のために位置させる。そのとき試験済みのDUT(a)をそのように出力のために位置させると、コア・マニピュレータ２００４Ａは次の試験すべきDUT(a)を（たとえば、温度ソークおよび保持ステージ２０１２Ａにおいて）取得し、この、次のDUT(a)を該当する空のソケット２００８Ａに位置付ける。同時に、試験器資源は試験およびその試験器資源のための試験器２００６プロトコルに従ってソケット２００８Ｂ内のDUT(b)を刺激する。ソケット２００８ＢにおけるDUB(b)の試験完了に際して実質的にすぐ（たとえば、DUT(b)およびハンドラ２００２の応答／制御についての試験結果／試験終了のため）、多重化リレー２００７は試験器２００６の試験資源を再び、DUT(a)を保持しているもとのソケット２００８に切り換える。ソケット２００８ＢにおけるこのDUT(b)の試験の完了時に、タンデム・ハンドラ２００２は、多重化リレー２００７を介して試験をDUT(a)に戻すのと並行して、コア・マニピュレータ２００４Ｂによってそのとき試験済みのDUT(b)をどけ、それによりDUT(b)を、システム２０００からの出力のために、対応する外置ステージ２０１６Ｂに位置させる。システム２０００の、試験器２００６と一緒に動作可能で、多重化リレー２００７を介して試験資源をデュアル・ソケット２００８Ａ、Ｂの一つから次へと切り換える、タンデム・ハンドラ２００２のデュアル試験経路Ａ、Ｂは、一連のどける／取得する／位置付ける／試験するの動作と組み合わさって、デュアル・コア・マニピュレータ２００４Ａ、Ｂを介してそれらの別個の逐次的で反復される動作において、動作を繰り返し、試験のための入力として載置されたすべてのDUTが試験されるまで（あるいは継続と整合しない何らかの中断が発生するまで）試験を続ける。
【０１１３】
このように、システム２０００内に実装されるようなタンデム・ハンドラ２００２はさらに、試験動作におけるダウン時間およびインデックス時間の発生を制限／軽減する。たとえば、いずれかの試験経路Ａ、Ｂの何らかの側面／要素が故障するかメンテナンス、修理などの間シャットダウンされた場合、タンデム・ハンドラ２００２は、それぞれの次のDUTの、試験前、試験器２００６による試験および試験後についての試験セル中の進行を続ける。コア・マニピュレータ・アーム２００４Ａ、Ｂのいずれかが故障またはシャットダウンの原因である場合、一例では、アーム２００４Ｂ、Ａの他方がそれでも次のDUT試験のための継続された動作をできる。それぞれの次のDUTは、経路Ａ、Ｂのうち、利用可能／動作可能ないずれか一つ、あるいはタンデム・ハンドラ２００２の特徴および制御論理に依存したいずれか一つに沿って試験されることができ、そのようなイベントにおける最適化された試験シーケンシングに一致する。
【０１１４】
このように、以上では、システム２０００において、デュアル・ソケット２００８Ａ、Ｂの間の多重化リレー２００７を介した試験器２００６の試験器資源の切り換えと、タンデム・ハンドラ２００２のさまざまな要素の試験動作のためのデュアル経路Ａ、Ｂとを組み合わせることで提供されるものとして、短縮されたインデックス時間および短縮されたダウン時間の両方ならびに可能性／選択肢／構成の幅広い自由度および変形がある。そうした幅広い自由度および変形は、試験および試験動作のプログラミング、制御およびシーケンシング；イベント、故障およびエラー応答；経済的、工学上またはその他の最適化または根拠のための設計および構成の代替；ならびにその他、についてのものである。さらに、さらなるおよびその他の利点および改良がその実施形態および側面において実現される。
【０１１５】
以上の明細書では、本発明は、個別的な実施形態を参照して記載されてきた。しかしながら、当業者は、付属の請求項に記載される本発明の範囲から外れることなくさまざまな修正および変更ができることを認識するものである。したがって、明細書および図面は制限する意味ではなく例示する意味に見なすべきものであり、そのようなすべての修正は本発明の範囲内に含められることが意図されている。
【０１１６】
上記では、恩恵、他の利点および諸問題への解決策が個別的な実施形態に関して記載されてきた。しかしながら、恩恵、利点諸問題への解決策および何らかの恩恵、利点もしくは解決策を引き起こしうる要素（単数または複数）でより顕著に現れる、あるいはより顕著になるものが、請求項のいずれかまたは全部の決定的、必須または本質的な特徴または要素であると解釈されるべきではない。ここでの用法では、「有する」「含む」の用語またはそれらの任意の他の変形は、非排他的な包含をカバーすることが意図されている。よって、要素の列挙を含むプロセス、方法、物品または装置は、それらの要素のみを含むのではなく、そのようなプロセス、方法、物品または装置に明示的に挙げられておらず内在的でもない他の要素を含んでもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】従来の、試験器と、試験器資源を試験対象デバイスに相互接続するインターフェース・ボードと、インターフェース・ボード上の一つの試験ソケットと、単一のマニピュレータ・アームをもつ自動化ハンドラとを含む、試験するためのシステムを示す図である。
【図２】本発明のある種の諸実施形態に基づく、試験器と、該試験器およびその試験資源を試験対象の試験デバイス（単数または複数）に相互接続するインターフェース・ボードと、同じ試験器資源のセットに並列に接続されインターフェース・ボードにマウントされた二つの試験ソケットと、デュアル・マニピュレータ・アームをもつ自動化ハンドラとを含む、試験するためのシステムを示す図である。
【図３】本発明のある種の諸実施形態に基づく、図２と実質的に同様の試験するためのシステムであって、試験器とその資源を、インターフェース・ボード上の二つの試験ソケットの間で試験の切り換えをするため、インターフェース・ボード上の二つの試験ソケットの間で、試験対象の試験デバイス（単数または複数）に相互接続する、インターフェース・ボード上のスイッチをも含む、システムを示す図である。
【図４】マニピュレータ・アームが試験するためにそれぞれの次の逐次試験デバイスを動かし、置き換えるために要求されるインデックス時間を含む、試験するための方法であって、マニピュレータ・アームがそれぞれの逐次の試験デバイスを動かし、置き換える動作の期間中は、逐次のデバイスの試験が中断され、アイドルになる、従来の方法を示す図である。
【図５】無視できる所要インデックス時間を含む、試験するための方法であって、一対の試験ソケットおよび二つのマニピュレータ・アームが、インターフェース・ボード上の試験ソケットのそれぞれにおいて、デバイスのすぐの逐次的試験を実施し、該ソケットは、同じ試験器資源のセットを試験対象の諸デバイスに相互接続するインターフェース・ボード上の同じ試験器資源のセットに並列に結線されており、無視できるインデックス時間は、本発明のある種の諸実施形態に基づき、一方の試験ソケットにおいて試験が実行される間に他方の試験ソケットにおいてデバイスを動かし、置き換え、またその逆をすることによって達成される、方法を示す図である。
【図６】図５の方法に基づく、デバイスのデジタル・ピンを試験するためのシステムであって、インデックス時間は無視でき、同じ試験資源のセットに並列に結線されている一対の試験ソケットのそれぞれの間で選択を行うインターフェース・ボード上のスイッチと、一方の試験ソケットで試験が実行されている間に他方の試験ソケットにおいて試験するためのデバイスを操作し、またその逆を行うための二つのマニピュレータ・アームとを含む、システムを示す図である。
【図７】図６のシステムにおいて使用するための、インターフェース・ボード上の一対の試験ソケットの各試験ソケットの間の電気的接続の切り換えを制御するための、電気回路およびハードウェア・コンポーネントを示す図であって、前記スイッチは、同じ試験器資源のセットに並列に結線された前記一対の試験ソケットの一つの間で選択を行い、いかなる所与の時点においても、前記対の一方のソケットのみが試験器に接続されるよう動作を制約し、前記スイッチはまた、前記試験ソケットの一方のソケットが試験器に電気的に接続され、試験における使用のために利用可能である間、前記試験ソケットの他方について前記試験器からの電気的絶縁を提供し、逆も行う、本発明のある種の諸実施形態に基づく図ある。
【図８】本発明のある種の諸実施形態に基づく、図５の方法に基づいて試験デバイスのデジタル・パワーを試験するための、実質的に図６のようなシステムを示す図である。
【図９】本発明のある種の諸実施形態に基づく、図５の方法に基づいて試験デバイスのアナログ・ピンを試験するための、実質的に図６および図８のようなシステムを示す図である。
【図１０】本発明のある種の諸実施形態に基づく、図５の方法に基づいて試験デバイスのアナログ・パワーを試験するための、実質的に図６、図８および図９のようなシステムを示す図である。
【図１１】本発明のある種の諸実施形態に基づく、図５、図６、図８、図９および図１０の概念に実質的に基づいて光学デバイスを試験するためのシステムを示す図である。
【図１２】本発明のある種の諸実施形態に基づく、無視できるインデックス時間が要求される、図５の方法ならびに図６、図８、図９および図１０の諸システムの試験サイクルにおけるタイミング関係を示す図である。
【図１３】本発明のある種の諸実施形態に基づく、従来式の試験器のピン電子回路カードであって、前記ピン電子回路カードは試験資源のセットを含み、前記試験資源は個別的な資源についての試験器チャネルによって試験対象デバイスの単一のピンに接続可能である、ピン電子回路カードの簡略化された機能的な例を示す図である。
【図１４】本発明のある種の諸実施形態に基づく、従来式の試験器のピン電子回路であって、やはり試験資源のセットを含み、前記試験資源は試験器チャネルによって試験対象デバイスの単一のピンに接続される、ピン電子回路のもう一つの例を示す図である。
【図１５】本発明のある種の実施形態に基づく、典型的な試験器の従来式のピン電子回路カードの、試験器チャネルの試験資源を電気的に切断する／オフにするためのリレーを示す図である。
【図１６】本発明のある種の実施形態に基づく、本発明のピン電子回路カードの多重化リレー（muxing  relay）であって、ピン電子回路カードに含まれ、該カードの試験器チャネル（すなわち、特定の試験器資源のセット）に接続され、試験器チャネルの二つの別個のデバイスの等価なピンへの接続のためのデュアル・リードを提供し（「等価なピン」とは二つの別個のデバイスの同じ型／モデルなどの同じピンである）、デュアル・リードとはトレース長整合されている（being  trace  length  matched）、多重化リレーを示す図である。
【図１７】本発明のある種の実施形態に基づく、前記多重化リレーおよび前記試験器チャネルのデュアル・リードを有する図１６のピン電子回路カードによる試験のための方法であって、前記デュアル・リードは二つの別個のデバイスの等価なピンに接続可能であり、多重化は、前記デュアル・リードの間の電気的な切り換えを介して、逐次的に試験器チャネルをそれぞれの次のデバイスに切り換える、あるデバイスの試験と次のデバイスの試験との間に無視できるインデックス時間がある、方法を示す図である。
【図１８】ハンドラおよび単一のマニピュレータ・アームと、試験器と、試験対象デバイスのためのソケットと、その他の関係する特徴とを含む従来式の試験システムを示す図である。
【図１９】本発明のある種の実施形態に基づく、当該システムの試験器による試験がアイドル／不活動であることに起因するインデックス時間が実質的に無視できることを達成するよう動作可能な試験システムであって、当該システムの試験セルのデュアル操作アームを有するハンドラと、それぞれの試験対象デバイスについてのデュアル・ソケットと、試験器の試験資源を、一方のソケットから他方のソケットに、個別的ソケットにあらかじめ位置付けされた個別的な試験対象デバイスの試験後実質的に即座に切り換え、そのような即座の切り換えで試験器による試験を許容するリレーとを含む、システムを示す図である。
【図２０】本発明のある種の実施形態に基づく、やはり実質的に無視できるインデックス時間ならびにダウン時間短縮およびその他の利点を達成するよう動作可能な試験システムであって、タンデム・ハンドラ（たとえば、単一のハンドラ・ユニットとして組み込まれている）のデュアル試験経路の個別的な試験セルを含んでおり、該タンデム・ハンドラはデュアル・マニピュレータ・アームおよび個別的な前記デュアル試験経路について少なくともある種の特徴／ステージおよび輸送要素を有しており、当該試験システムはさらにディア（dia）；試験対象の個別的デバイスについてのソケットを含んでおり、ソケット間での試験器の試験器資源の即座の切り換えを許容するようになっている、当該システムにおける短縮された（実質的に無視できる）インデックス時間およびタンデムなハンドリング（handling）のための、システムを示す図である。
【図１】
2009519435.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【手続補正書】
【提出日】平成20年7月8日(2008.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一および第二のマニピュレータ・アームを有する試験器を用いて試験するシステムであって：
試験対象デバイスの単一のピンに接続するための試験器チャネルを含む、前記試験器のピン電子回路カードと；
前記試験器チャネルに接続された多重化リレーと；
第一の試験対象デバイスの単一のピンに接続するための、前記多重化リレーの第一のリードと；
第二の試験対象デバイスの単一のピンに接続するための、前記多重化リレーの第二のリードとを有しており、
前記多重化リレーはそれぞれ無視できるインデックス時間で、前記第一の試験対象デバイスの試験から前記第二の試験対象デバイスの試験に、および、前記第二の試験対象デバイスの試験から前記第一の試験対象デバイスの試験に電気的に切り換える、
システム。
【請求項２】
前記第一の試験対象デバイスの前記単一のピンが、前記第二の試験対象デバイスの前記単一のピンと実質的に等価である、請求項１記載のシステム。
【請求項３】
第一および第二のマニピュレータ・アームを用いて試験するシステムであって：
試験デバイスの単一のピンに接続するための試験器資源を含むピン電子回路カードと；
第一の試験対象デバイスの単一のピンへの第一のコネクタを有する第一の試験ソケットと；
第二の試験対象デバイスの単一のピンへの第二のコネクタを含む第二の試験ソケットとを有しており、
前記試験器資源は、前記試験デバイスとしての前記第一の試験ソケットを介して前記第一の試験対象デバイスの前記単一のピンに、および、前記試験デバイスとしての前記第二の試験ソケットを介して前記第二の試験対象デバイスの前記単一のピンに、選択的に接続可能である、
システム。
【請求項４】
前記試験資源が、各時点において前記試験デバイスの単一のものに選択的に接続可能である、請求項３記載のシステム。
【請求項５】
前記第一の試験対象デバイスの前記単一のピンまたは前記第二の試験対象デバイスの前記単一のピンのいずれかの試験のために、前記ピン電子回路カードに接続されたスイッチをさらに有する、請求項４記載のシステム。
【請求項６】
前記スイッチが、前記第一および第二のマニピュレータ・アームに接続され、前記第一および第二のマニピュレータ・アームの動作に従って制御される、請求項５記載のシステム。
【請求項７】
複数の試験対象デバイスを試験するシステムであって、相異なる試験を実行するための試験資源およびピン電子回路カードを有する試験器を含んでおり：
前記ピン電子回路カードの第一のピンと；
前記ピン電子回路カードの第二のピンと；
前記試験器資源に接続された前記ピン電子回路カードの多重化リレーとを有しており、
前記第一のピンへの適用と前記第二のピンへの適用との間での前記試験資源の動作的な切り換えのために、前記第一のピンおよび前記第二のピンが並列に前記多重化リレーに接続されており；
前記複数の試験対象デバイスについての前記試験器による試験動作の間の各時点において、前記試験器資源が、各時点で実質的に即座の、インデックスのない継続において、前記多重化リレーの前記動作的な切り換えを介して、前記第一のピンおよび前記第二のピンのいずれかにおいて試験し、それぞれ逆もしかりであり、前記複数の試験対象デバイスのすべてについて、試験が中断されない限り、試験が中断されるまで続ける、
システム。
【請求項８】
前記多重化リレーおよび前記試験資源に接続されたコントローラであって、前記第一のピンおよび前記第二のピンに個別的かつ逐次的に前記試験資源を適用するよう前記多重化リレーを個別的かつ逐次的に動作的に切り換えるコントローラをさらに有する、請求項７記載のシステム。
【請求項９】
前記試験器に接続された前記コントローラである、第一のマニピュレータと；
前記試験器に接続された前記コントローラである、第二のマニピュレータとをさらに有する、請求項８記載のシステム。
【請求項１０】
前記第一のピンを含む前記ピン電子回路カードの第一の試験ソケットと；
前記第二のピンを含む前記ピン電子回路カードの第二の試験ソケットとをさらに有する、請求項９記載のシステムであって：
前記複数の試験対象デバイスのうち個別的なものを、実質的に即座の、インデックスのない前記第一の試験ソケットおよび前記第二の試験ソケットにおける継続において、個別的に試験していくために、前記第一のマニピュレータが前記第一の試験ソケットとの関連で動作し、前記第二のマニピュレータが前記第二の試験ソケットとの関連で動作する、
システム。
【請求項１１】
第一のピンと第二のピンとの間で試験資源を切り換える段階と；
ある機械的な動作に対応するよう前記切り換える段階を制御する段階と；
前記機械的な動作としてある第一のデバイスを前記第一のピンに接続する第一の接続段階と；
前記切り換える段階が前記試験資源を前記第一のピンにセットするとき、ある第二のデバイスを前記第二のピンに接続する第二の接続段階とを有する、
方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の方法であって、前記第一のデバイスを接続する前記段階が、前記切り換える段階が前記試験資源を前記第二のピンにセットするときに実行され、前記第二のデバイスを接続する前記第二の接続段階が、前記切り換える段階が前記試験資源を前記第一のピンにセットするときに実行され、
前記試験資源による試験が、前記第二のピンおよび前記第一のピンにおいて実質的に即座の継続において生起し、前記第一の接続段階および前記第二の接続段階がそれぞれ前記第二のピンおよび前記第一のピンの一方における個別的な試験と並行して生起する、
方法。
【請求項１３】
第一および第二のマニピュレータ・アームを有する試験器を用いて試験する方法であって：
試験器チャネルを有する前記試験器のピン電子回路カードを設ける段階と；
前記試験器チャネルにデュアル・リードを接続する段階と；
前記デュアル・リードのそれぞれの間で多重化する段階とを有する、
方法。
【請求項１４】
前記多重化する段階を、前記ピン電子回路カードに組み込む段階をさらに有する、
請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
第一のマニピュレータ・アームおよび第二のマニピュレータ・アームを有する試験器を用いて試験する方法であって：
ピン電子回路カードを試験器に接続する段階を有しており、前記ピン電子回路カードは、試験対象デバイスの単一のピンに接続するための接続用試験器チャネルと、前記試験器チャネルに接続された多重化リレーと、第一の試験対象デバイスの単一のピンに接続するための、前記多重化リレーの第一のリードと、第二の試験対象デバイスの単一のピンに接続するための、前記多重化リレーの第二のリードとを含んでおり、前記多重化リレーはそれぞれ無視できるインデックス時間で、前記第一の試験対象デバイスの試験から前記第二の試験対象デバイスの試験に、および、前記第二の試験対象デバイスの試験から前記第一の試験対象デバイスの試験に電気的に切り換える、
方法。
【請求項１６】
前記第一のリードに第一の試験ソケットを接続し、前記第二のリードに第二の試験ソケットを接続する段階をさらに有する、請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
デュアル・マニピュレータをもつ試験器のためのピン電子回路カードを製造する方法であって：
前記ピン電子回路カード上に多重化リレーを形成する段階を有する、
方法。
【請求項１８】
前記試験器に接続されたハンドラを有する、請求項９記載のシステムであって、
前記ハンドラは、前記第一のマニピュレータおよび前記第二のマニピュレータを含み、前記ハンドラが前記コントローラである、
システム。
【請求項１９】
前記試験資源によるそれぞれ前記第一のピンおよび前記第二のピンにおける試験が非同期的である、請求項７記載のシステム。
【請求項２０】
第一の試験対象デバイス（DUT）および第二のDUTを試験するシステムであって、当該システムは、相異なる試験のための試験器資源を提供する試験器を含んでおり、前記試験器資源は、第一のDUTおよび第二のDUTのそれぞれに分離して接続可能であり、
当該システムはハンドラを含み、該ハンドラは、第一の位置付け器および第一のユニットならびに第二の位置付け器および第二のユニットを含み、該ハンドラは第一のDUTを第一のユニットのところまで操作し、該ハンドラは第二のDUTを第二のユニットのところまで操作し；
当該システムは、前記ハンドラおよび前記試験器に接続されたリレーを含み；
当該システムは、前記リレーによって相異なる試験のために前記試験器資源に前記リレーによって接続可能な第一のソケットを含み、前記ハンドラの前記第一の位置付け器は、第一のDUTを前記第一のユニットから前記第一のソケットまで相異なる試験のために操作し；
当該システムは、相異なる試験のために前記試験器資源に前記リレーによって接続可能な第二のソケットを含み、前記ハンドラの前記第二の位置付け器は、第二のDUTを前記第二のユニットから前記第二のソケットまで相異なる試験のために操作し；
相異なる試験は、前記ハンドラによって第二のDUTが前記第二のユニットからどけられて前記第一のソケット内に配置される際に、前記第一のソケット中の第一のDUTに対して実行され；
相異なる試験は、前記ハンドラによって第一のDUTが前記第一のユニットからどけられて前記第二のソケット内に配置される際に、前記第二のソケット中の第二のDUTに対して実行され；
前記ハンドラは前記リレーを制御して、それぞれ、相異なる試験が前記第二のソケット内の第二のDUTに対して実行されたのちに前記第一のソケットに接続し、相異なる試験が前記第一のソケット内の第一のDUTに対して実行されたのちに前記第二のソケットに接続するようにする、
システム。
【請求項２１】
前記ハンドラの第一の試験後ユニットおよび第二の試験後ユニットをさらに有する請求項２０記載のシステムであって：
前記ハンドラの前記第一の位置付け器は、前記第一のソケットにおける第一のDUTに対する相異なる試験の実行後、第一のDUTを前記第一の試験後ユニットまで操作し、前記ハンドラの前記第二の位置付け器は、前記第二のソケットにおける第二のDUTに対する相異なる試験の実行後、第二のDUTを前記第二の試験後ユニットまで操作する、
システム。
【請求項２２】
第三のDUTを試験する、請求項２１記載のシステムであって：
前記ハンドラが、前記第一のソケットにおける第一のDUTに対する相異なる試験の完了前に、第三のDUTを前記第一のユニットまで操作し；
第一のDUTが前記第一の試験後ユニットにきたのちの、もし該当するなら前記第二のソケットにおける第二のDUTに対する相異なる試験の実行中も含む期間に、前記第一の位置付け器が第三のDUTを前記第一のユニットから前記第一のソケットまで相異なる試験のために操作し；
相異なる試験は、前記第一の位置付け器によって第二のDUTが前記第二のユニットからどけられ、前記第一のソケットに配置される際に、前記第一のソケット中の第一のDUTに対して実行される、
システム。
【請求項２３】
第四のDUTを試験する、請求項２２記載のシステムであって：
前記ハンドラが、前記第一のソケットにおける第三のDUTに対する相異なる試験の完了前に、第四のDUTを前記第二のユニットまで操作し；
第二のDUTが前記第二の試験後ユニットにきたのちの、もし該当するなら前記第一のソケットにおける第三のDUTに対する相異なる試験の実行中も含む期間に、前記第一の位置付け器が第四のDUTを前記第二のユニットから前記第二のソケットまで相異なる試験のために操作し；
相異なる試験は、第三のDUTの相異なる試験の完了時に第四のDUTに対して実行される、
システム。
【請求項２４】
請求項２１記載のシステムであって、前記第二のソケットに関する相異なる試験の完了時に、前記ハンドラがマスターとして作用して、前記リレーを切り換えて、前記試験器の試験器資源を前記第一のソケットに接続し、スレーブとしての前記試験器に、相異なる試験を前記試験資源を介して前記第一のソケットにおいて、その中に前記ハンドラによって配置された次の試験すべきDUTに対して実行するよう指令し、前記第一のソケットに関する相異なる試験の完了時に、前記ハンドラがマスターとして作用して、前記リレーを切り換えて、前記試験器の試験器資源を前記第二のソケットに接続し、スレーブとしての前記試験器に、相異なる試験を前記試験資源を介して前記第二のソケットにおいて、その中に前記ハンドラによって配置された次の試験すべきDUTに対して実行するよう指令する、システム。
【請求項２５】
前記第一のDUTおよび第二のDUTを含む複数のDUTを試験する請求項２４記載のシステムであって、前記ハンドラは続いて、前記複数のDUTのうちの別のDUTを操作して、前記第一のソケットおよび前記第二のソケット中の前記複数のDUTのうちのそれぞれのそのとき試験済みのDUTを置き換え、前記試験器は続いて、前記第一のソケットおよび前記第二のソケットの他方における試験の完了時に、前記第一のソケットおよび前記第二のソケット中の前記ハンドラによって置き換えられた前記複数のDUTのうちそれぞれ他方のDUTを試験する、システム。
【請求項２６】
複数の試験すべきデバイス（TBTD）のうちのあるTBTDを第一のロボットを介して操作して、試験器の試験資源によって刺激できる第一のピンと接続させる第一の操作段階と；
前記試験器を制御して、前記試験資源を前記第一のピンに接続し、該第一のピンに接続されたTBTD上の前記第一のピンにおける前記試験器資源による試験を開始させる第一の制御段階と；
前記複数のうちの別のTBTDを第二のロボットを介して操作して、前記試験器の前記試験資源によって刺激できる第二のピンと接続させる第二の操作段階と；
前記試験器を制御して、前記試験資源を前記第二のピンに接続し、該第二のピンに接続されたTBTD上の前記第二のピンにおける前記試験器資源による試験を開始させる第二の制御段階と；
前記第二のピンにおける前記試験器資源による試験の間に、前記複数のTBTDのそれぞれの次のTBTDについて前記第一の操作段階の少なくとも一部を実行し、前記第一のピンにおける前記試験器資源による試験の完了に際して前記第二の制御段階を実行し、前記第一のピンにおける前記試験器資源による試験の間、前記複数のTBTDのそれぞれの次のTBTDについて前記第二の操作段階の少なくとも一部を実行し、前記第二のピンにおける前記試験器資源による試験の完了に際して前記第二の制御段階を実行するようマスター制御することとを含む、
方法。
【請求項２７】
前記第一のピンに接続されるべきそれぞれの逐次のTBTDを、前記第一の操作段階を介して前記第一のピンに接続するのに先立ち、かつ、そのように接続されるべきTBTDに対応する第一の制御段階に先立ち、機械的に準備する第一の準備段階と；
前記第二のピンに接続されるべきそれぞれの逐次のTBTDを、前記第二の操作段階を介して前記第二のピンに接続するのに先立ち、かつ、そのように接続されるべきTBTDに対応する第二の制御段階に先立ち、機械的に準備する第二の準備段階と；
前記第一のピンにおける前記試験器資源における試験の完了後、前記第一のピンに接続されているそれぞれの逐次のTBTDを機械的に出力する第一の機械的出力段階と；
前記第二のピンにおける前記試験器資源における試験の完了後、前記第二のピンに接続されているそれぞれの逐次のTBTDを機械的に出力する第二の機械的出力段階とをさらに有する、
請求項２６記載の方法。
【請求項２８】
前記第一のロボットおよび前記第二のロボットが同じではない、請求項２６記載の方法。
【請求項２９】
前記第一のロボットおよび前記第二のロボットが、機械的に接続されており、共通の論理によって制御される、請求項２８記載の方法。
【請求項３０】
前記第一の機械的出力段階が第一の出力ロボットによって実行され、前記第二の機械的出力段階が第二の出力ロボットによって実行され、前記第一の出力ロボットおよび前記第二の出力ロボットが機械的に接続されており、共通の論理によって制御される、請求項２８記載の方法。
【請求項３１】
前記第一の機械的出力段階が第一の出力ロボットによって実行され、前記第二の機械的出力段階が第二の出力ロボットによって実行され、前記第一の出力ロボットおよび前記第二の出力ロボットが機械的に接続されており、共通の論理によって制御され；前記第一のロボットおよび前記第二のロボットのそれぞれが前記第一の出力ロボットおよび前記第二の出力ロボットに機械的に接続されており、前記共通の論理によって制御される、請求項２９記載の方法。
【請求項３２】
前記第一のロボットおよび前記第二のロボットがそれぞれ：輸送、準備器、試験ユニットおよびマニピュレータからなる群より選択され、前記第一の出力ロボットおよび前記第二の出力ロボットがそれぞれ、出力輸送、および出力載置器、出力試験ユニット、および出力マニピュレータからなる群より選択される、請求項３１記載の方法。
【請求項３３】
前記第一のロボットおよび前記第二のロボットがそれぞれ、試験器に接続されたハンドラの個別的なコア・マニピュレータである、請求項３２記載の方法。