(57)【要約】【課題】  半導体ロットをディスパッチするシステムを提供すること。【解決手段】  複数のツールにおいて複数の半導体ロット（１５５、１６０）をディスパッチするシステムが提供される。このシステムは、ディスパッチ・サーバ・マネージャ（１２０）とディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ・デバイス（１１０）とを含む。ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ・デバイスは、ディスパッチ要求（１１５）をマネージャに伝達し、ディスパッチ・リスト（１２５）をマネージャから受信する。マネージャは、複数の半導体ロットの処理状況を照会し、処理状況に応じてディスパッチ・リストを表示する。ディスパッチ・リストは、処理状況に関する関連理由及び／又はコード（１８０）を含む。【選択図】      図１【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のツールにおける複数の半導体ロット（１５５、１６０）をディスパッチするシステム（１００）であって、
ディスパッチ・サーバ・マネージャ（１２０）と、
ディスパッチ要求（１１５）を前記マネージャに伝達し、ディスパッチ・リスト（１２５）を前記マネージャから受信するためのディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ・デバイス（１１０）と、
を含み、
前記マネージャは、前記複数の半導体ロットの処理状況を照会し、前記処理状況に応じてディスパッチ・リストを表示し、前記ディスパッチ・リストは、前記処理状況に関する関連理由又はコードもしくはその両方を含む、システム。
【請求項２】
前記マネージャに結合した説明インフラストラクチャ（１０５）をさらに含み、前記説明インフラストラクチャは、前記マネージャから前記処理状況についての判断を収集するファイル・コレクタ（１７０）を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記ファイル・コレクタは、説明ファイル（１７５）内に前記関連理由又はコードもしくはその両方を保存する、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記説明ファイルは、前記複数のツールのセンサの読み取り値を含む、請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記説明インフラストラクチャは、説明報告出口（１８０）を介して、前記説明ファイルを前記ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ・デバイスにエクスポートする、請求項３に記載のシステム。
【請求項６】
前記説明報告出口は、ＪＡＶＡ（登録商標）でプログラムされた出口を含む、請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記説明ファイルは、ディスパッチ・ツール識別子情報、ロット識別子情報、ディスパッチ時間情報、説明コード情報、説明理由情報、ロット詳細情報、及びそれらのいずれかの組み合わせからなる群から選択されるデータを含む、請求項３に記載のシステム。
【請求項８】
複数の半導体ロット（１５５、１６０）をディスパッチするシステム（１００）であって、
ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ（１１０）と、
前記複数の半導体ロットを複数のディスパッチャ（１３０、１３５、１４０）にディスパッチし、前記ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイと電気的に通信する、ディスパッチ・サービス・マネージャ（１２０）と、
前記ディスパッチ・サービス・マネージャと通信し、前記ディスパッチ・サービス・マネージャから前記ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイに情報（１７５）をエクスポートする説明インフラストラクチャ（１０５）であって、前記情報は、複数の前記半導体ロットのディスパッチ状態を含む、説明インフラストラクチャと、
を含むシステム。
【請求項９】
前記情報の関数として前記ディスパッチ・サービス・マネージャを更新するためのユーザ入力を含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記情報は、ディスパッチ・ツール識別子情報、ロット識別子情報、ディスパッチ時間情報、説明コード情報、説明理由情報、ロット詳細情報、及びそれらのいずれかの組み合わせからなる群から選択されるデータを含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１１】
半導体ロット（１５５、１６０）を処理するための方法であって、
フィルタ（３１０、３１５、３２０）を用いてディスパッチ・サーバ・マネージャ（１２０）をプログラムするステップと、
前記フィルタの関数として、複数のディスパッチャ（１３０、１３５、１４０）の少なくとも１つにおいて前記半導体ロットをディスパッチするかどうかを判断するように前記ディスパッチ・サーバ・マネージャを制御するステップと、
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャが前記半導体ロットをディスパッチしない場合には、所定の時間枠内で理由コードに出力するように、前記ディスパッチ・サーバ・マネージャを制御するステップと、
を含む方法。
【請求項１２】
前記理由コード（１８０）をディスプレイ（１１０）に出力するように前記ディスパッチ・サーバ・マネージャを制御するステップをさらに含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
ユーザにより前記理由コードを評価するステップと、
前記理由コードの関数として前記ユーザにより前記フィルタを変更するステップと、
をさらに含む請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記フィルタを変更するステップは、前記フィルタを削除するステップを含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記理由コードは、ディスパッチ・ツール識別子情報、ロット識別子情報、ディスパッチ時間情報、説明コード情報、説明理由情報、ロット詳細情報、及びそれらのいずれかの組み合わせからなる群から選択されるデータを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１６】
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャにおいてディスパッチ要求（１１５）を受信するステップをさらに含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１７】
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャによって前記理由コードを出力するステップの前に、ファイル内に前記理由コードを格納するステップをさらに含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１８】
半導体ロット（１５５、１６０）を処理するための方法を実行するコンピュータ実行可能コードを含む、コンピュータ可読媒体のコンピュータ・プログラムであって、前記方法は、
フィルタ（３１０、３１５、３２０）を用いてディスパッチ・サーバ・マネージャ（１２０）をプログラムするステップと、
前記フィルタの関数として、複数のディスパッチャ（１３０、１３５、１４０）の少なくとも１つにおいて前記半導体ロットをディスパッチするかどうかを判断するように前記ディスパッチ・サーバ・マネージャを制御するステップと、
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャが前記半導体ロットをディスパッチしない場合には、所定の時間枠内で理由コード（１８０）を出力するように、前記ディスパッチ・サーバ・マネージャを制御するステップと、
を含むコンピュータ・プログラム。
【請求項１９】
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャが前記理由コードをディスプレイ（１１０）に出力するように制御するコンピュータ実行可能コードをさらに含む、請求項１８に記載のコンピュータ・プログラム。
【請求項２０】
前記ユーザが前記理由コードを評価し、前記ユーザによる前記理由コードの関数として前記フィルタを変更することを可能にするコンピュータ実行可能コードをさらに含む、請求項１９に記載のコンピュータ・プログラム。
【請求項２１】
前記理由コードは、ディスパッチ・ツール識別子情報、ロット識別子情報、ディスパッチ時間情報、説明コード情報、説明理由情報、ロット詳細情報、及びそれらのいずれかの組み合わせからなる群から選択されるデータを含むことを可能にするコンピュータ実行可能コードをさらに含む、請求項１９に記載のコンピュータ・プログラム。
【請求項２２】
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャにおいてディスパッチ要求（１１５）を受信するコンピュータ実行可能コードをさらに含む、請求項１９に記載のコンピュータ・プログラム。
【請求項２３】
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャによって前記理由コードを出力する前に、ファイル内に前記理由コードを格納するコンピュータ実行可能コードをさらに含む、請求項１９に記載のコンピュータ・プログラム。
【請求項２４】
コンピュータ実行可能コードをコンピューティング・システムに統合するステップを含む、コンピューティング・インフラストラクチャを配置するための方法であって、前記コンピューティング・システムと組み合わされた前記コードは、半導体ロット（１５５、１６０）を処理するための方法を実行することが可能であり、前記方法は、
フィルタ（３１０、３１５、３２０）を用いてディスパッチ・サーバ・マネージャ（１２０）をプログラムするステップと、
前記フィルタの関数として、複数のディスパッチャ（１３０、１３５、１４０）の少なくとも１つにおいて前記半導体ロットをディスパッチするかどうかを判断するように前記ディスパッチ・サーバ・マネージャを制御するステップと、
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャが前記半導体ロットをディスパッチしない場合には、所定の時間枠内で理由コード（１８０）に出力するように、前記ディスパッチ・サーバ・マネージャを制御するステップと、
を含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、半導体処理におけるロットのディスパッチに関する。さらに詳しくは、本開示は、オペレータによる検査のために、半導体処理ツールのディスパッチ論理を表示することに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造において、各半導体は、半導体のロット又は群の一部（以下「ロット」）として形成される。半導体ロットは、多数の異なる処理ツールによって処理される。
【０００３】
処理ツールへの半導体ロットのスケジューリング又はディスパッチは、動的プロセスである。例えば、製造プロセス、原材料、処理ツール、及び他の変数において、条件は変化する可能性があり、処理ツールへの半導体ロットの動的ディスパッチの必要性をもたらす。
【０００４】
各処理ツールは、１つ又はそれ以上のプロセス・ルールにより特定の製造プロセスを半導体ロットに実行する。プロセス・ルールは、一般にリアルタイム・ディスパッチ・サービス・マネージャ又は「マネージャ」と呼ばれるサービス・マネージャによって実行される。サービス・マネージャは、例えば、どの特定のロットを伝達すべきかのような、とるべき適切なディスパッチ・ステップに関する決定をする自動システムである。また、サービス・マネージャは、オペレータによって入力されたオーバーライド条件又はフィルタも考慮する。
【０００５】
サービス・マネージャは、各ツールの動作特性及び所与のロットにどのように関連するかに基づいて、ディスパッチ・ルールを適用する。ディスパッチ・ルールは、さまざまな理由により、ディスパッチ・リスト（すなわち、ツールによって処理されるべきロットのリスト）からロットを取り除くことができる。これらの理由には、ツール設定の最適化、バッチ論理更新のための待ち時間、又はマネージャ間の仕掛品（ＷＩＰ：ｗｏｒｋ−ｉｎ−ｐｒｏｇｒｅｓｓ）のバランス要求に対する補償が含まれる。
【０００６】
幾つかの場合では、ディスパッチ・ルール及び／又はフィルタは、意図的に、ロットを処理されないようにし、それによって、しばらくの間ツールをアイドル状態にする。しかしながら、ツールのユーザ／オペレータにとっては、空のディスパッチ・リストをもつツールが計画的にアイドル状態にあるのか、又は、このツールにおいて１つ又はそれ以上のロットをディスパッチ可能にするように何かすべきであるのかを知る方法がない。
【０００７】
サービス・マネージャは、ディスパッチ・ルールの速やかな実行のために最適化されるため、ディスパッチ・ルールの論理に対する可視性はリアルタイムに使用可能ではない。ロットをディスパッチすることができない理由を理解することは、一度理由が理解されたなら、アイドル状態のロットを使用可能にし、ツールをより良好に使用するには何ができるかを知ることができるため、製造作業にとって重要である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
したがって、本出願では、説明コードによってディスパッチされたロットの状況を示すリアルタイム表示が必要であることが判断された。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
複数のツールにおいて複数の半導体ロットをディスパッチするシステムが提供される。このシステムは、ディスパッチ・サーバ・マネージャとディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ・デバイスとを含む。ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ・デバイスは、ディスパッチ要求をマネージャに伝達し、ディスパッチ・リストをマネージャから受信する。マネージャは、複数の半導体ロットの処理状況を照会し、処理状況に応じてディスパッチ・リストを表示する。ディスパッチ・リストは、処理状況に関する関連理由又はコードもしくはその両方を含む。
【００１０】
さらに、ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイと、ディスパッチ・サービス・マネージャと、説明インフラストラクチャとを含む、複数のツールにおいて複数の半導体ロットをディスパッチするシステムが提供される。ディスパッチ・サービス・マネージャは、複数の半導体ロットを複数のディスパッチャにディスパッチする。ディスパッチ・サービス・マネージャは、ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイと電気的に通信している。説明インフラストラクチャは、ディスパッチ・サービス・マネージャと通信している。説明インフラストラクチャは、ディスパッチ・サービス・マネージャからディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイに情報をエクスポートする。情報は、複数の半導体ロットのディスパッチ状況を含む。
【００１１】
また、半導体ロットを処理するための方法も提供される。この方法は、フィルタを有するディスパッチ・サーバ・マネージャを準備するステップと、フィルタの関数として、複数のディスパッチャの少なくとも１つにおいて半導体ロットをディスパッチするかどうかを判断するようにディスパッチ・サーバ・マネージャを制御するステップと、ディスパッチ・サーバ・マネージャが半導体ロットをディスパッチしない場合には、所定の時間枠内で理由コードを出力するように、ディスパッチ・サーバ・マネージャを制御するステップと、を含む。
【００１２】
本発明はまた、本発明の方法を実行するためのコンピュータ実行可能コードを含む、コンピュータ可読媒体に格納されるコンピュータ・プログラムも含む。本発明はまた、コンピューティング・システム内に本発明のコンピュータ・プログラムを配置する方法も含む。
【００１３】
本発明のこれら及び他の態様が、以下にさらに詳細に説明される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図面、特に図１を参照すると、半導体ロットをディスパッチするシステム（「システム１００」）の例示的な実施形態が示されている。有利なことに、システム１００は、オペレータへのリアルタイム表示のために、ディスパッチされたロットの状況に関する説明コードによりこの状況を作成する説明インフラストラクチャ１０５を含む。このように、システム１００は、製造のスループットを改善するように、ユーザがシステム内のルールを訂正及び／又はオーバーライド（無効に)することを可能にする。
【００１５】
システム１００は、ディスパッチ要求１１５をリアルタイム・ディスパッチ・サーバ・マネージャ１２０（「マネージャ」１２０）に伝達するディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ・デバイス１１０（「デバイス」１１０）を含む。ディスパッチ要求１１５は、マネージャ１２０によって処理のために種々のツールにディスパッチされることが提案されるロットのリストを含む。マネージャ１２０は、ディスパッチ要求１１５を管理して、これらを複数のディスパッチャ１３０、１３５、１４０に分割する。具体的には、マネージャ１２０は、デバイス１００からのディスパッチ要求を処理するディスパッチャ１３０、１３５、１４０に、ディスパッチ要求１１５を送信する。さらに、マネージャ１２０は、ディスパッチャ１３０、１３５、１４０によって計算されたディスパッチ・リスト１２５を、デバイス１１０に戻す。ディスパッチ・リスト１２５は、いずれも種々のディスパッチャ１３０、１３５、１４０によって処理されるように現在制御されている実際のロットのリストを含む。
【００１６】
マネージャ１２０、ディスパッチ要求１１５は、ディスパッチャ１３０、１３５、１４０における種々のロットの処理状況に関する状況報告をディスパッチャ１３０、１３５及び１４０に照会する。示される実施形態においては、マネージャ１２０は、第１のロット１５５及び第２のロット１６０に関する第１の時間１４５及び第２の時間１５０における状況報告を照会する。
【００１７】
ディスパッチ要求１１５に応じて、システム１００は、その割り当てられた時間に、ディスパッチ・リスト１２５をマネージャ１２０に戻し、これらのロットの処理状況を伝達する。ディスパッチ・リスト１２５は、それぞれの時間１４５、１５０におけるロット１５５、１６０の処理状況の状態、及び特定のロットが処理されているかどうかを含む。サービス・マネージャ１２０は、ディスパッチ・リスト１２５を集約し、集約されたディスパッチ・リスト１２５をデバイス１１０に伝達する。
【００１８】
有利なことには、デバイス１８０は、なぜ特定のディスパッチャ１３０、１３５、１４０において、特定ロット１５５、１６０がマネージャ１２０によって処理のためにディスパッチされなかったのかに関して、関連する理由又は説明コードもしくはその両方を用いて、ディスパッチ・リスト１２５を表示する。この理由コードは、ディスパッチャ１３０、１３５、１４０がマネージャ１２０に伝達されたロットにエラー条件を感知し、マネージャ１２０がロットのディスパッチを中止したか、或いは、マネージャ１２０が単独で、フィルタを含むディスパッチ論理に基づいて、ロットをディスパッチャ１３０、１３５、１４０にディスパッチしないと判断したか、のいずれかとすることができる。
【００１９】
したがって、システム１００は、マネージャ１２０に結合した説明インフラストラクチャ１０５を含む。インフラストラクチャ１０５は、ファイル・コレクタ１７０及び説明ファイル１７５を含む。ファイル・コレクタ１７０は、種々のロット１５５、１６０のリアルタイムのディスパッチに関する判断（デシジョン）収集し、これをデバイス１１０にアクセス可能にする。言い換えると、コレクタ１７０は、マネージャ１２０において判断された、なぜ特定のロットがディスパッチされないかの理由を収集し、この情報を別個のファイル（すなわち説明ファイル１７５）に保存する。幾つかの実施形態においては、説明ファイル１７５は、理由と共に関連するセンサの読み取り値も含む。
【００２０】
インフラストラクチャ１０５は、説明ファイル１７５を、リアルタイムで、説明報告出口１８０を介してエクスポートし、それは、例えばデバイス１１０を介してオペレータにエクスポートされる。リアルタイムとは、一般に、特定のツールにおけるロットの製造プロセス中に、ユーザとマネージャ１２０との対話を可能にするものとして定義することができる。言い換えると、システム１００の使用により、ディスパッチャ１３０、１３５、１４０におけるロットがなぜディスパッチされないかに関する説明コード（すなわち、説明ファイル１７５）が、ディスパッチ不能の説明報告が作成される１８０に伝達され、それによって、オペレータは、問題があるのかどうかについてリアルタイムの判断をし、そうである場合には、マネージャ１２０における再プログラミング・ルールによって適切な行動をとることが可能になる。
【００２１】
図２は、非説明ディスパッチ情報及びリアルタイム説明コード・ディスパッチ情報の並行フローを示す方法２００を示す。
【００２２】
ステップ２１０において、デバイス１１０は、ディスパッチ要求１１５として、種々のロットがディスパッチされるように要求する。方法２００は、ステップ２２０に進む。ステップ２２０において、マネージャ１２０は、適切なルールを実行する。言い換えると、ルールはロットに対して実行され、フィルタ処理により除去されなかったロットの「ディスパッチ」すなわち、処理の時間と順序、及び処理の種類が求められる。方法２００は、並行してステップ２３０及びステップ２４０に進む。
【００２３】
ステップ２３０において、ディスパッチ・リスト１２５がマネージャ１２０によって作成される。ディスパッチ・リスト１２５は、ディスパッチャ１３０、１３５、１４０からの情報に基づいてマネージャ１２０によって判断された、実際に処理されることになるロット、順序などを表示する。しかしながら、ディスパッチ・リスト１２５は、ディスパッチ要求２１０において要求されたが、所与のロットがフィルタ処理によって除去されたなどの理由のために、マネージャ１２０によって実際にはディスパッチされなかったどのようなロットもリスト表示しない。方法２００は、ステップ２３５に進む。
【００２４】
ステップ２３５において、デバイス１１０は、ディスパッチ・リスト１２５を受信するが、ディスパッチ・リスト１２５には、リアルタイムにアクセスできない。その代わりに、ログがデバイス１１０内に保持され、オペレータは、どのロットがディスパッチされているか、したがって、削除プロセスにより、どのロットがディスパッチされていないかを手動で見直さなければならない。さらに、ディスパッチされていないロットは、それがなぜディスパッチされていないかを説明する理由コードをもたない。
【００２５】
有利なことには、ステップ２４０において、種々のロットがディスパッチされない対応する理由が収集される。方法２００は、ステップ２４５に進む。
【００２６】
ステップ２４５において、説明コレクタ１７０は、ステップ２４０において収集された説明コードを格納する。説明コードは、インストールされたフィルタによりフィルタ処理されて除去されるなどの、マネージャ１２０により判断された、なぜ種々のロットがディスパッチされていないか、又は、なぜディスパッチから遅延されているかに関する説明を含む。一実施形態においては、説明コレクタ１７０は、１５分ごと又はオン・デマンドで説明コードを収集する。代替的に、説明コードは、オペレータによって選択される何らかの他の時間系列で取り入れることができる。方法２００は、ステップ２５０に進む。
【００２７】
ステップ２５０においては、どんなときでも、コレクタ１７０は、ファイルに製造「日」についてすべての説明コードを格納する。これは、２４時間、シフト時間、又は何らかの他の時間とすることができる。毎日の報告（又は、ステップ２４０及び２４５において収集される１５分毎の報告又はオン・デマンド報告）は、さらに並行したプロセスを開始する。これらの理由は、ステップ２６０において、履歴的なコレクタの毎日のファイル、及びステップ２６５において、ディスパッチ不能説明報告作成１８０の両方に伝達される。
【００２８】
代替的に、ステップ２７０において、履歴的なディスパッチ不能説明の理由は、ファイルに格納され、ディスパッチ不能説明報告ツール１８０によってアクセス可能になる。
【００２９】
ステップ２８０において、オペレータ／ユーザは、リアルタイム情報を要求するか、或いは別の場合には、ロット処理方式に対して周期的な更新が与えられる。その後、ユーザ／オペレータには、種々のロットがなぜ処理されていないかに関する説明コードが与えられる。
【００３０】
図３は、マネージャ１２０をより詳細に示す。マネージャ１２０は、１つ又は複数のフィルタ３１０、３１５、３２０のようにマネージャに格納された１つ又は複数のディスパッチ・ルール３００を含む。マネージャ１２０は、例えばＪＡＶＡ（登録商標）でプログラムされた出口（ｅｘｉｔ）とすることができる説明報告出口１８０と通信する。報告出口１８０は、デバイス１１０のようなディスプレイと結合するが、これに限定されない。
【００３１】
報告出口１８０は、マネージャ１２０が情報をエクスポートするのに用いることができるコード又はファームウェアにおける「出口ポータル」である。有利なことに、マネージャ１２０は、出口１８０を用いて、ディスパッチ不能の説明ファイル１７５内に含まれる情報をデバイス１１０に伝達する。そのため、ユーザ要求ステップ２８０の実行後、ユーザ／オペレータは、フィルタ３１０、３１５、３２０によってディスパッチ不能にされたロットを、デバイス１１０を介して視認することができる。この情報は、次いで、ユーザにより用いられて、工場での性能を改善する処置を取ることができる。
【００３２】
図４は、ディスパッチ不能の説明報告出口１８０内に含まれるファイル説明コードに関連するため、デバイス１１０において使用可能な情報のテーブル４００を示す。テーブル４００は、ディスパッチ・ツール識別子の列４１０、ロット識別子の列４２０、ディスパッチ時間の列４３０、説明コードの列４４０、説明理由の列４５０、ロット詳細の列４６０、及びそれらのいずれかの組み合わせのような情報を含むことができるが、これに限定されない。
【００３３】
有利なことに、説明インフラストラクチャ１０５は、マネージャ１２０と協働して、ユーザがリアルタイムに、ロット及び／又はリアルタイム・ディスパッチ・ツールが機能しない具体的な理由は何であるかを見ることができるようにする。これは、ユーザ／オペレータが適切な判断を下すことを可能にする。
【００３４】
本発明のシステムは、システムの１つ又は複数の態様を具現化するために、システムの構成要素に関連した１つ又は複数のコンピュータ及び／又はマイクロプロセッサを含むことが好ましい。
【００３５】
本発明はまた、本発明の方法を実行するためのコンピュータ可読媒体に格納されたコンピュータ・プログラムも含む。例えば、本発明は、半導体ロットを処理するために
フィルタを有するディスパッチ・サーバ・マネージャを準備するステップと、
フィルタの関数として、複数のディスパッチャの少なくとも１つにおいて半導体ロットをディスパッチするかどうかを判断するステップと、
ディスパッチ・サーバ・マネージャが半導体ロットをディスパッチしない場合には、所定の時間枠内で理由コードを出力するステップと、
をコンピュータに実行させる、コンピュータ・プログラムを含む。
【００３６】
好ましくは、コンピュータ・プログラムは、さらにディスパッチ・サーバ・マネージャを制御して、理由コードをディスプレイに出力するステップをコンピュータに実行させる。
【００３７】
好ましくは、コンピュータ・プログラムは、ユーザ入力に応答して、理由コードを評価し、理由コードの関数としてフィルタを変更するステップをさらにコンピュータに実行させ得るコードをさらに。この変更は、フィルタを削除するステップを含むことができる。
【００３８】
好ましくは、理由コードが、ディスパッチ・ツール識別子情報、ロット識別子情報、ディスパッチ時間情報、説明コード情報、説明理由情報、ロット詳細情報、及びそれらのいずれかの組み合わせからなる群から選択されるデータを含む。
【００３９】
好ましくは、コンピュータ・プログラムは、ディスパッチ・サーバ・マネージャにおいてディスパッチ要求を受信するステップと、ディスパッチ・サーバ・マネージャによって理由コードを出力デバイスに出力する前に、理由コードをファイル内に格納するステップとをコンピュータに実行させることをさらに含む。
【００４０】
本発明のコンピュータ・プログラムは、コンピュータ・システム内に（例えば、システムのメモリ・デバイスにプログラム・コードをインストールすることによって）配置することができる。コンピュータ・システムは、製造ツールの一部であってもよいし、及び／又は、製造ツールの一部を含むものであってもよい。コンピュータ・システムは、多重コンピュータ、多重製造ツール、リモート・コンピュータ、ポータブル・コンピュータ可読媒体などを含むことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、ソフトウェア及び本明細書に説明された他の機器に組み込んで、リアルタイム表示が、ディスパッチされたロットの状況を、説明コードを用いて示すことを可能にすることにより、製造施設におけるロットの処理を用意にすることができる。ロットをディスパッチすることができない理由を理解することは、一度理由が理解されたなら、アイドル状態のロットを使用可能にし、ツールをより良好に使用するには何ができるかを知ることができるため、製造作業にとって重要である。本発明の実施は、製造施設において改善されたスループットをもたらすことが期待される。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本開示によるシステムの例示的な実施形態を示す。
【図２】本開示によるリアルタイム・ディスパッチ不能のロット説明のための方法である。
【図３】本開示によるディスパッチ・サーバ・マネージャの例示的な実施形態を示す。
【図４】本開示による出力テーブルの例示的な実施形態を示す。
【符号の説明】
【００４３】
１００：システム
１０５：説明インフラストラクチャ
１１０：ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ・デバイス
１１５：ディスパッチ要求
１２０：ディスパッチ・サーバ・マネージャ
１２５：ディスパッチ・リスト
１３０、１３５、１４０：ディスパッチャ
１５５、１６０：半導体ロット
１７０：ファイル・コレクタ
１７５：説明ファイル
【図１】
2009525598.tif 000002
【図２】
2009525598.tif 000003
【図３】
2009525598.tif 000004
【図４】
2009525598.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成21年3月19日(2009.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のツールにおける複数の半導体ロット（１５５、１６０）をディスパッチするシステム（１００）であって、
ディスパッチ・サーバ・マネージャ（１２０）と、
ディスパッチ要求（１１５）を前記マネージャに伝達し、ディスパッチ・リスト（１２５）を前記マネージャから受信するためのディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ・デバイス（１１０）と、
を含み、
前記マネージャは、前記複数の半導体ロットの処理状況を照会し、前記処理状況に応じてディスパッチ・リストを表示し、前記ディスパッチ・リストは、前記処理状況に関する関連理由又はコードもしくはその両方を含む、システム。
【請求項２】
前記マネージャに結合した説明インフラストラクチャ（１０５）をさらに含み、前記説明インフラストラクチャは、前記マネージャから前記処理状況についての判断を収集するファイル・コレクタ（１７０）を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記ファイル・コレクタは、説明ファイル（１７５）内に前記関連理由又はコードもしくはその両方を保存する、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記説明ファイルは、前記複数のツールのセンサの読み取り値を含む、請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記説明インフラストラクチャは、説明報告出口（１８０）を介して、前記説明ファイルを前記ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ・デバイスにエクスポートする、請求項３に記載のシステム。
【請求項６】
前記説明報告出口は、ＪＡＶＡ（Ｒ）でプログラムされた出口を含む、請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記説明ファイルは、ディスパッチ・ツール識別子情報、ロット識別子情報、ディスパッチ時間情報、説明コード情報、説明理由情報、ロット詳細情報、及びそれらのいずれかの組み合わせからなる群から選択されるデータを含む、請求項３に記載のシステム。
【請求項８】
複数の半導体ロット（１５５、１６０）をディスパッチするシステム（１００）であって、
ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイ（１１０）と、
前記複数の半導体ロットを複数のディスパッチャ（１３０、１３５、１４０）にディスパッチし、前記ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイと電気的に通信する、ディスパッチ・サービス・マネージャ（１２０）と、
前記ディスパッチ・サービス・マネージャと通信し、前記ディスパッチ・サービス・マネージャから前記ディスパッチ・インテグレータ及びディスプレイに情報（１７５）をエクスポートする説明インフラストラクチャ（１０５）であって、前記情報は、複数の前記半導体ロットのディスパッチ状態を含む、説明インフラストラクチャと、
を含むシステム。
【請求項９】
ユーザ入力に応答して、前記ディスパッチ・サービス・マネージャが前記情報の関数として更新される、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記情報は、ディスパッチ・ツール識別子情報、ロット識別子情報、ディスパッチ時間情報、説明コード情報、説明理由情報、ロット詳細情報、及びそれらのいずれかの組み合わせからなる群から選択されるデータを含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１１】
半導体ロット（１５５、１６０）を処理するための方法であって、
フィルタ（３１０、３１５、３２０）を有するディスパッチ・サーバ・マネージャ（１２０）を準備するステップと、
前記フィルタの関数として、複数のディスパッチャ（１３０、１３５、１４０）の少なくとも１つにおいて前記半導体ロットをディスパッチするかどうかを判断するステップと、
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャが前記半導体ロットをディスパッチしない場合には、所定の時間枠内で理由コードを出力するステップと、
を含む、方法。
【請求項１２】
前記理由コード（１８０）をディスプレイ（１１０）に出力するステップをさらに含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
ユーザ入力に応答して前記理由コードを評価するステップと、
ユーザ入力に応答して前記理由コードの関数として前記フィルタを変更するステップと、をさらに含む請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記フィルタを変更するステップは、前記フィルタを削除するステップを含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記理由コードは、ディスパッチ・ツール識別子情報、ロット識別子情報、ディスパッチ時間情報、説明コード情報、説明理由情報、ロット詳細情報、及びそれらのいずれかの組み合わせからなる群から選択されるデータを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１６】
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャがディスパッチ要求（１１５）を受信するステップをさらに含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１７】
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャが前記理由コードを出力するステップの前に、ファイル内に前記理由コードを格納するステップをさらに含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１８】
半導体ロット（１５５、１６０）を処理するために、
フィルタ（３１０、３１５、３２０）を有するディスパッチ・サーバ・マネージャ（１２０）を準備するステップと、
前記フィルタの関数として、複数のディスパッチャ（１３０、１３５、１４０）の少なくとも１つにおいて前記半導体ロットをディスパッチするかどうかを判断するステップと、
前記ディスパッチ・サーバ・マネージャが前記半導体ロットをディスパッチしない場合には、所定の時間枠内で理由コード（１８０）を出力するステップと、
をコンピュータに実行させるためのコンピュータ・プログラム。
【請求項１９】
さらに、前記理由コードをディスプレイ（１１０）に出力するステップを含む、請求項１８に記載のコンピュータ・プログラム。
【国際調査報告】
2009525598.tif 000006