(57)【要約】    通常基板容器はカバーと、基部と、ラッチ機構と、基板保持システムとを含む。基板容器は角部に設けられたフランジを備える角部を有する。各フランジは貫通する孔を有し、容器による衝撃吸収性能を高め、これにより基板を堅固に保護する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
４つの角部を備える薄型の衝撃吸収基板容器であって、
重合体よりなる４つの角部を備える蓋と、
重合体よりなる４つの角部を備える基部と、
蓋及び基部を連結するヒンジ部と、同蓋及び基部と
内包する基板の保持システムと、
蓋を基部に固定し、外部環境に対して容器を密封するラッチ機構と、
容器の周囲において、基部及び蓋のうちいずれか一方の各角部に設けられる１つ以上の丸みを帯びたフランジと、
前記角部にて衝撃を吸収する性能を備える１つ以上のフランジのそれぞれに設けられる開口部とを備え、各開口部は基部及び蓋のうちいずれか一方にて指部を画定することと、同指部のそれぞれは前記角部のそれぞれにおいて衝撃を受承する場合に衝撃を吸収するように弾性的、或いは脆弱的であることを特徴とする衝撃吸収基板容器。
【請求項２】
前記開口部の外周及びフランジの外周の間の最短距離は開口部の半径より小さいことを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項３】
前記開口部の外周及びフランジの外周の間の最短距離は１インチ（約２．５４ｃｍ）の３／１６より小さいことを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項４】
前記開口部は基部に対して蓋を固定するように機能しないことを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項５】
前記開口部は蓋が基部に対して固定される場合に同蓋によって妨害されないことを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項６】
通常前記フランジは蓋の上部表面及び基部の下部表面に対して平行であることを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項７】
前記基部は４つの角部を有し、フランジがそれぞれの角部に設けられることを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項８】
前記容器は蓋が基部に固定される場合に１つ以上の内部に収容される基板を弾性により保持するように構成されることを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項９】
前記容器は重合体から構成されることを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１０】
前記重合体はアクリロニトリルとブタジエンとスチレンの共重合体であることを特徴とする請求項７に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１１】
重合体から形成される衝撃吸収基板容器であって、
通常平坦な頂部と、対向する前部及び後部と、互いに対向する一対の側部とを有する、重合体からなる上部部材と、上部と前部と後部と一対の側部とは上部空間を画定することと、
通常平坦な底部と、対向する前部及び後部と、互いに対向する一対の側部とを有する、重合体からなる下部部材と、底部と前部と後部と一対の側部とは下部空間を画定することと、
上部部材を下部部材に対して固定するラッチ機構と、
４つのフランジを１つずつそれぞれ備える４つの角部とを備え、同フランジは上部部材及び下部部材のうちいずれか一方と一体的に設けられることと、各角部は貫通する開口部を有し、これにより角部がそれぞれ衝撃を受承する場合に重合体の材料が衝撃を吸収するために十分な厚みを有することとを特徴とする衝撃吸収基板容器。
【請求項１２】
前記上部部材及び下部部材を連結するヒンジ部を更に備えることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１３】
前記開口部の外周及びフランジの外周の間の最短距離は開口部の半径より小さいことを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１４】
前記開口部の外周及びフランジの外周の間の最短距離は１インチ（約２．５４ｃｍ）の３／１６より小さいことを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１５】
各角部におけるフランジはそれぞれ丸みを帯び、各開口部は円形であることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１６】
前記開口部は上部部材が下部部材に対して固定される場合に同上部部材によって妨害されないことを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１７】
通常前記フランジは上部部材の上部及び下部部材の底部に対して平行であることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１８】
前記下部部材は４つの角部を有し、フランジがそれぞれの角部に設けられることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１９】
前記容器は上部部材が下部部材に固定される場合に１つ以上の内部に収容される基板を弾性により保持するように構成されることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２０】
前記容器は重合体から構成されることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２１】
前記重合体はアクリロニトリルとブタジエンとスチレンの共重合体であることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２２】
通常平坦な頂部と、対向する一対の長尺部と、対向する一対の側部とを有する上部部材と、頂部と一対の長尺部と一対の側部とは上部空間を画定することと、
通常平坦な底部と、対向する一対の縦部と、対向する一対の側部とを有する下部部材と、頂部と一対の長尺部と一対の側部とは下部空間を画定することと
上部部材を下部部材に対して固定するラッチ機構と、
容器の周囲に設けられた１つ以上のフランジと、
前記１つ以上のフランジのそれぞれを貫通する開口部とを備え、開口部の外周とフランジの外周との間の最短距離は開口部の半径より小さいことと、開口部は上部部材を下部部材に固定するようには機能せず、上部部材が下部部材に固定される場合に上部部材によって妨害されないこととを特徴とする衝撃吸収基板容器。
【請求項２３】
前記上部部材を下部部材へ連結するヒンジ部を更に備えることを特徴とする請求項２２に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２４】
前記開口部の外周及びフランジの外周の間の最短距離は１インチ（約２．５４ｃｍ）の３／１６より小さいことを特徴とする請求項２２に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２５】
前記容器は上部部材が下部部材に固定される場合に１つ以上の内部に収容される基板を弾性により保持するように構成されることを特徴とする請求項２２に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２６】
前記容器は重合体から構成されることを特徴とする請求項２２に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２７】
前記重合体はアクリロニトリルとブタジエンとスチレンの共重合体であることを特徴とする請求項２２に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２８】
４つの角部を備える蓋を形成する工程と、
４つの角部を備える基部を形成する工程と、
該蓋及び基部を連結するヒンジ部を形成する工程と、
該蓋を基部に固定するラッチ機構を形成する工程と、
該基部及び蓋のいずれか一方の４つの角部のそれぞれにフランジを形成する工程と、
各フランジを貫通する少なくとも１つの開口部を角部のそれぞれに形成する工程とを含むことを特徴とする衝撃吸収基板容器の形成方法。
【請求項２９】
該蓋と基部を射出成形する工程を更に含むことを特徴とする請求項２８に記載の衝撃吸収基板容器の形成方法。
【請求項３０】
基部を射出成形する場合に開口部を形成する工程を更に含むことを特徴とする請求項２９に記載の衝撃吸収基板容器の形成方法。
【請求項３１】
前記開口部は基部が形成された後に独立した処理工程において形成されることを特徴とする請求項２９に記載の衝撃吸収基板容器の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は容器に関する。本発明は特に半導体ウェハ及びマスクのような基板を収容及び輸送するための容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
単一の半導体及び集積回路のような半導体要素が半導体ウェハを使用して製造される。この目的のために、比較的脆弱なマスク（或いはレチクル）が使用され、完成品の構造体の寸法及び構成を決定する。通常、これらのマスクは略平坦な基板の態様を採る。製造工程において、小さな粒子の異物がマスクや基板上に付着し、これらがマスクや製造中の製品に損傷を付与し、或いは製造工程を妨害する。これらの異物の粒子はマスクが収容され輸送される環境に存在する。マスクの脆弱な性質、及びマスクへの粒子の付着を防止する必要性により、容器が使用される。これらの容器はマスクを損傷から保護することと、埃のない微細環境を提供することの２つの役割を果たす。類似の容器が半導体ウェハ及び保存用の磁気ディスクのようなその他の基板の収容及び輸送のためにも使用される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような基板の脆弱な性質のため、容器が落下されたり、或いはぞんざいに扱われた場合にはこのような容器に収容されていても損傷を受け得る。従って、衝撃を吸収し、内部に収容された基板への損傷を防止する容器が要求されている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
好適な実施例に記載の発明は衝撃吸収基板容器である。通常、基板容器は複数の角部を備える開閉自在な容器と、容器内への基板保持具と、ラッチとを備える。衝撃吸収指部が容器の角部に設けられ、角部にて衝撃を吸収するように偏向自在で脆弱な性質を備える。基板容器は容器の周囲に設けられ、好適には角部に設けられる湾曲したフランジから構成される。各フランジはフランジが好適な衝撃吸収性能を備えるように肉薄な部分、或いは貫通する開口部を有する。好適な実施例において、４つの角部の４つのフランジは各角部の頂部における２つの端部にて支持される指部を画定する４つの開口部を有する。
【０００５】
好適な実施例の長所は容器による向上した衝撃吸収性能と、これによる堅固な基板保護にある。容器が側面にて落下された場合に、フランジの孔によりフランジは変形及び破砕のうち少なくともいずれか一方の状態になり、衝撃の時間を延長し、衝撃のエネルギーの大部分を吸収する。パッケージ内に伝達された衝撃のエネルギーは基盤を支持するパッド及びクッションによって更に吸収され、これにより最適に基板を保護する。
【０００６】
好適な実施例の別の長所及び特徴は向上した衝撃吸収性能により容器の開放に対して大きな抵抗力をもたらし、これによりラッチ機構に付与される衝撃やエネルギーが減少され、容器が開放される可能性を減少させることにある。
【０００７】
好適な実施例の別の長所は製造が容易になることにある。フランジ及び開口部は単純に容器の従来技術による型枠内に組み込み可能であり、従って、コストを高めたり製造が困難になることなく向上した衝撃吸収性能を得られる。
【０００８】
好適な実施例の別の長所及び特徴は開口部を備えたフランジが脆弱な性質を備え、衝撃の際に破砕することにより衝撃を消去不能に記録するように構成されることにある。例において、脆弱な性質は故意に衝撃以外の別の事象、例えば、使用、洗浄、修理、或いはその他の重要な事象を消去不能に示すように意図的に破砕されてもよい。実施例において、衝撃の記録は保存され、容器は脆弱な部分は開口部を備えるフランジ以外の形状を有してもよい。従って、本発明の実施例は基板容器の容易に破砕する部分を意図的に破砕する工程を含む基板容器に関する事象を消去不能に記録する方法である。脆弱な領域は角部のフランジに、或いはその他の好適な領域にあってもよい。
【０００９】
好適な実施例の特徴及び長所は衝撃吸収容器の製造方法において、容器が角部に設けられたフランジとフランジに設けられた開口部とを備え、角部に衝撃があった際に変形したり破砕したりすることにある。
【００１０】
好適な実施例の特徴及び長所は衝撃に対する高い抵抗力をフランジに付与するようにフランジを備える容器を変形する方法がフランジに孔を付加し、フランジにおける変形及び衝撃吸収性能を向上させる工程を含むことにある。
【００１１】
本発明の特徴及び長所は使用するマスクを保護し、半導体製造機能においてストレージをもたらす方法において、開口部を設けたフランジを備えるマスク容器はマスクを内包し、収容するために使用されることにある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１乃至３ａに本発明の実施例における衝撃吸収基板容器を示す。衝撃吸収基板容器は参照符号１００により示され、蓋１２のような上部部材と、基部１０４、ヒンジ１０６、及びラッチ機構１０８等の下部部材とを含む。本実施例における基板は半導体を製造するためのマスクやレチクルである。別例において、基板は半導体ウェハや磁気ディスクである。
【００１３】
次に蓋１０２は通常平坦な上部１１６を備えるシェル１１４と、対向する前部１１８及び後部１２０と、対向する側部１２２，１２４とを有し、これらにより蓋空洞部１２６を画定する。蓋空洞部１２６内には長手方向に傾斜した隆起面１２８，１３０と、横断方向に対向するマスククッション１３２，１３４とが設けられる。
【００１４】
基部１０４は通常平坦な底部１３８を有するシェル１３６と、対向する前部１４０及び後部１４２と、通常対向する側部１４４，１４６と、これらにより画定される基部空洞部１４８とを有する。横断方向に対向する傾斜した隆起面１５８，１６０が側部１４４，１４６にそれぞれ設けられる。
【００１５】
リム１６２が蓋１０２の周囲に設けられ、突起１６４が基部１０４の周囲に設けられる。容器１００が閉じられる場合にリム１６２は突起１６４とシールして接触する。突起１６４は基部１０４の各隅に設けられる４つのフランジ部１１０を含んでもよい。各フランジ部１１０は図３に明瞭に示すように貫通する孔又は開口部１１２を更に含む。孔１１２は好適には容器１００が閉じられる場合に蓋１０２によって塞がれない。
【００１６】
使用の際、マスクのような基板は基部空洞部１４８内に載置され、支柱１５０，１５２，１５４，１５６によって内部に保持される。
孔１１２及びフランジ１１０は基部１０４上に設けられ、容器１００が側面において落下された場合に衝撃を吸収し、これにより内包する基板を損傷から保護する。落下による衝撃が容器１００上に付与された場合に、孔１１２によりフランジ１１０は変形可能となり、これにより衝突の時間を延長し、好適に衝突による衝撃を吸収する。従って、弱体化された圧力が容器１００の内部に伝播するが、これらは蓋内のクッション１３２，１３４及び支柱の弾性により吸収される。これにより基板は損傷を受けない。更に、弱体化された圧力はラッチ機構１０８に伝わり、容器１００が衝撃により開いてしまう可能性を減少させる。
【００１７】
孔１１２は十分に大きく、フランジ１１０が衝突により変形、或いは破砕するように構成される必要がある。しかしながら、孔１１２があまりに大きいとフランジ１１０は容易に変形してしまい、或いは容器及び内包物の重量を支持できなくなる。これらは多くの場合において好適なものではない。好適には孔の外周からフランジの外周までの最も短い長さは孔の半径、或いは非円形の孔の横断方向の口径の長さの半分より小さい。好適な実施例において、孔１１２の境界からフランジの外周１１３までの材料の厚みは０．０３０インチ乃至０．４００インチ（約０．０７６ｃｍ乃至約１．０１６ｃｍ）の範囲内である。
【００１８】
より好適な実施例において、孔からフランジの外周までの材料の厚みは０．０５０インチ乃至０．３００インチ（約０．１２７ｃｍ乃至約０．７６２ｃｍ）である。孔１１２の寸法及び形状は容器の落下等による負荷に際して好適な量だけ変形するように、フランジ１１０の寸法並びに容器１００の重量及び寸法に応じて変えてもよい。好適な実施例において、円形の場合の孔の半径は０．１２５インチ乃至０．３００インチ（約０．３１８ｃｍ乃至約０．７６２ｃｍ）の範囲である。別例において、孔は非円形である場合に約１インチ（約２．５４ｃｍ）までの幅の寸法を有してもよい。例えば、０．１００インチ乃至０．２００インチ（約０．２５４ｃｍ乃至約０．５０８ｃｍ）の幅の湾曲した溝が湾曲した隅の外周に沿って設けられてもよい。
【００１９】
好適な実施例において、フランジは容器の重要な部分であり、基部だけでなくカバーや蓋も好適である。場合に応じて、好適には各フランジに多数の開口部を設けてもよい。好適な実施例において、開口部は隅における衝撃を受承する場合に容器の衝撃吸収性能を生じ、向上させること以外に役割を持たない。図３ａ，３ｂ及び３ｃに示すように、開口部は開閉いずれの状態にあってもよい。「閉じる」というのは図３ａに示すように開口部がフランジの外周１８４まで延びない連続した外周又は境界１８０を有することを意味する。「開く」というのは図３ｂに示すように開口部の境界がフランジの外周まで延びることを意味する。
【００２０】
好適な実施例においてフランジは横断方向に延び（ｘ軸及びｙ軸方向に）、容器の縦の壁部１８８から（ｚ軸に対して略平行に）延びる。フランジは外周１１３において厚みが大きくなる外周の縁部１８９の周辺以外は均一な厚みを有することが好ましい。図３ｃに示すように、好適な実施例において、開口部を設けたフランジの端部の部分は、開口部の内周からフランジの外周までの距離と比較すると、開口部が閉じている場合において開口部がフランジの外周に最も近い部分における線により計測される角部の少なくとも約５０％、好適には約７０％である。これはフランジの角部の頂部１９２においてであってもそうではなくてもよい。言い換えると、ｂ／（ａ＋ｂ）は少なくとも約０．５であり、好適には約０．７である。更に、開口部の最も幅広の部分における径の長さは、縦の壁部１８８から外側に延びる水平方向のフランジの部分の全長と比較すると、好適には少なくとも約４０％であり、より好適には少なくとも約６０％である。言い換えると、ｂ／ｃは好適には約０．４であり、より好適には約０．６である。
【００２１】
図３ａ，３ｂにおいて、フランジにおける開口部１１２及び外周１１３は少なくとも１つの弾性的又は脆弱的な長尺状の指部１９５を形成している。指部１９５は図示のように指部の端部１９７，１９８の両者にてフランジと一体的に連結される。開口部が開いている場合に、第２の長尺状の指部１９６が形成されてもよい。材料及び特定の構造により、これらの指部は破砕されるように、或いは衝撃により屈曲するように構成されてもよい。図３ｃに示すように好適な実施例において、指部はフランジの面（ｘ−ｙ平面）に対して平行な方向において計測され、文字ａにより示される幅、及びフランジの面に直交する方向において計測され、文字ｄにより示される、ｚ方向における高さを有する。好適な実施例において、幅の寸法は最小限の幅の部分における高さの寸法、或いは角部の頂部における高さの寸法より小さい。
【００２２】
容器の構成に関して上述したが、当業者には本発明による衝撃吸収基板容器は類似の基板容器構造体を採用し、フランジ及び貫通する孔を付加することにより形成可能であることがわかるだろう。本発明により容易に変形可能である、マスクを収容する容器は米国特許出願第１１／３６４８１２号明細書に開示され、その全体がここで開示されたものとする。
【００２３】
図４乃至７に、本発明の実施例におけるその他の様々な衝撃吸収基板容器を示す。図４に半導体ウェハ用の基板荷送具を示す。この衝撃吸収パッケージ２００は基板が収容可能である内部領域を形成する上部部材２０２及び下部部材２０４を含む。このような容器は本発明の発明者による米国特許第４７９３４８８号明細書に開示されている。この特許はその全体がここで開示されたものとする。Ｈ型バーウェハカセットは基板、即ちウェハ用の支持システムであってもよい。上部部材２０２及び下部部材２０４はラッチ機構２０６によって熱融着により連結可能である。パッケージ２００はパッケージ２００が落下された場合に衝撃を吸収するための、貫通する開口部２１０を備えるフランジ２０８を更に含む。
【００２４】
図５において、衝撃吸収容器３００は基板を収容可能なシェル３０２を含む。通常容器はFOUP（Front Opening Unified Pod ）として周知である。このような容器は本発明の発明者による米国特許第５９４４１９４号明細書に開示されている。この特許はその全体がここで開示されたものとする。容器３００はドア３０４及びラッチ機構３０６により熱融着可能である。内部に収容する基板用の支持システムは前面ドアの内部上の一連の棚及びウェハ抑制部を備える。容器３００は同容器３００が落下された場合に衝撃を吸収するための、貫通する開口部３１０を備えるフランジ３０８を更に含む。
【００２５】
図６に容器の基板用のカセット４０２と、上部カバー４０４と、底部カバー４０６とを含む衝撃吸収基板搬送具４００を示す。これらのタイプの荷送具の基板は磁気ディスクであり、これらの荷送具は本発明の発明者による米国特許第６９０２０５９号明細書に開示されている。この特許はその全体がここで開示されたものとする。本実施例における基板の支持システムは上部カバー上の一連の歯画定スロット及びディスク「クッション」を備える。ラッチ機構４０８は上部カバー４０４及び底部カバー４０６をカセット４０２に熱融着可能である。搬送具４００は搬送具４００が落下された場合に衝撃を吸収するための、貫通する開口部４１２を備えるフランジ４１０を含む。
【００２６】
図７に衝撃吸収基板搬送具５００を示す。搬送具５００はドア５０４と熱融着可能である容器部５０２を含む。搬送具５００は搬送具５００が落下された場合に衝撃を吸収するための、貫通する複数の開口部５０８を含むフランジ部５０６を備える。
【００２７】
基板容器は射出成形であってもよいが、当業者が認識するその他の工程も使用可能である。従来技術による基盤容器成形では、同従来技術に対して本発明におけるフランジ及び孔を付加する変形が容易にでき、衝撃吸収基板容器となる。これに代えて、孔は基部のモールド成形後に別の工程により形成されてもよい。
【００２８】
基板の容器の好適な材料は、任意で静電気を逃がす性質（static dissipative）を備えるアクリロニトリルとブタジエンとスチレンの共重合体（ＡＢＳ樹脂）を含み、例えば本発明の出願人であるEntegris社から販売されている登録商標名StatPro435を含む。しかしながら当業者には通常これに代えて、特定の態様においてその他の重合体、例えばポリプロピレンやポリカーボネイトが使用可能であると認識されるだろう。
【００２９】
本発明の様々な変形が本発明の精神から逸脱することなく可能であり、本発明の範囲は上述した実施例に制限されるものではない。むしろ本発明の範囲は付加した請求項及びこれらの均等物によって決定される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施例において開放された衝撃吸収基板容器の内部を示す斜視図。
【図２】本発明の実施例において開放された衝撃吸収基板容器の外部を示す上面図。
【図３ａ】衝撃吸収基板容器を示す部分図。
【図３ｂ】衝撃吸収基板容器を示す部分図。
【図３ｃ】開口が設けられたフランジを示す断面図。
【図４】衝撃吸収基板容器を示す斜視図。
【図５】衝撃吸収基板容器を示す斜視図。
【図６】衝撃吸収基板容器を示す斜視図。
【図７】衝撃吸収基板容器を示す斜視図。
【図１】
2009525618.tif 000003
【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図３ｃ】
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【図４】
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【図５】
2009525618.tif 000009
【図６】
2009525618.tif 000010
【図７】
2009525618.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成20年6月17日(2008.6.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
４つの角部を備える薄型の衝撃吸収基板容器であって、
重合体よりなる４つの角部によって連結される４つの側部を備える蓋と、各角部は２つの隣接する側部によって画定されることと、
重合体よりなる４つの角部によって連結される４つの側部を備える基部と、各角部は２つの隣接する側部によって画定されることと、
蓋及び基部を連結するヒンジ部と、
内包する基板の保持システムと、
蓋を基部に固定し、外部環境に対して容器を密封するラッチ機構と、
容器の周囲において、基部及び蓋のうちいずれか一方に設けられる１つ以上の丸みを帯びたフランジと、各フランジは角部に設けられ角部の周囲にて延び、これによりフランジの一部は角部を画定する隣接する側部のそれぞれから延びることと、
前記角部にて衝撃を吸収する性能を備える１つ以上のフランジのそれぞれに設けられる開口部とを備え、同開口部は隣接する側部の間の角部の頂部に配置されることと、各開口部は基部及び蓋のうちいずれか一方にて指部を画定することと、同指部のそれぞれは前記角部のそれぞれにおいて衝撃を受承する場合に衝撃を吸収するように弾性的、或いは脆弱的であることを特徴とする衝撃吸収基板容器。
【請求項２】
前記開口部の外周及びフランジの外周の間の最短距離は開口部の半径より小さいことを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項３】
前記開口部の外周及びフランジの外周の間の最短距離は１インチ（約２．５４ｃｍ）の３／１６より小さいことを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項４】
前記開口部は基部に対して蓋を固定するように機能しないことを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項５】
前記開口部は蓋が基部に対して固定される場合に同蓋によって妨害されないことを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項６】
通常前記フランジは蓋の上部表面及び基部の下部表面に対して平行であることを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項７】
前記基部は４つの角部を有し、フランジがそれぞれの角部に設けられることを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項８】
前記容器は蓋が基部に固定される場合に１つ以上の内部に収容される基板を弾性により保持するように構成されることを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項９】
前記容器は重合体から構成されることを特徴とする請求項１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１０】
前記重合体はアクリロニトリルとブタジエンとスチレンの共重合体であることを特徴とする請求項７に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１１】
重合体から形成される衝撃吸収基板容器であって、
通常平坦な頂部と、対向する前部及び後部と、互いに対向する一対の側部とを有する、重合体からなる上部部材と、上部と前部と後部と一対の側部とは上部空間を画定することと、
通常平坦な底部と、対向する前部及び後部と、互いに対向する一対の側部とを有する、重合体からなる下部部材と、底部と前部と後部と一対の側部とは下部空間を画定することと、
上部部材を下部部材に対して固定するラッチ機構と、
４つのフランジ部を備える４つの角部とを備え、各角部に１つのフランジ部が設けられることと、同フランジは上部部材及び下部部材のうちいずれか一方と一体的に設けられることと、各フランジは角部の周囲にて延びることと、各フランジは各角部の頂部それぞれにて肉薄な領域又は開口部を有することと、各角部は衝撃を受承する場合に衝撃を吸収することとを特徴とする衝撃吸収基板容器。
【請求項１２】
前記上部部材及び下部部材を連結するヒンジ部を更に備えることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１３】
前記肉薄な領域又は開口部は開口部であることと、各フランジ部は外周を有することと、前記開口部の外周及びフランジの外周の間の最短距離は開口部の半径より小さいことを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１４】
前記肉薄の領域又は開口部は開口部であることと、各フランジ部は外周を有することと、各開口部の外周及び各フランジ部の外周の間の最短距離は１インチ（約２．５４ｃｍ）の３／１６より小さいことを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１５】
各角部におけるフランジはそれぞれ丸みを帯び、各開口部又は各肉薄の領域は円形であることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１６】
前記開口部又は肉薄の領域は上部部材が下部部材に対して固定される場合に同上部部材によって妨害されないことを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１７】
通常前記フランジ部は上部部材の上部及び下部部材の底部に対して平行であることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１８】
前記下部部材は４つの角部を有し、フランジ部のうち１つがそれぞれの角部に設けられることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項１９】
前記容器は上部部材が下部部材に固定される場合に１つ以上の内部に収容される基板を弾性により保持するように構成されることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２０】
前記容器は重合体から構成されることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２１】
前記重合体はアクリロニトリルとブタジエンとスチレンの共重合体であることを特徴とする請求項１１に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２２】
通常平坦な頂部と、対向する一対の長尺部と、対向する一対の側部とを有する上部部材と、頂部と一対の長尺部と一対の側部とは上部空間を画定することと、
通常平坦な底部と、対向する一対の縦部と、対向する一対の側部とを有する下部部材と、頂部と一対の長尺部と一対の側部とは下部空間を画定することと
上部部材を下部部材に対して固定するラッチ機構と、
容器の周囲において容器の角部に設けられた１つ以上のフランジ部と、各角部は頂部を有することと、
前記１つ以上のフランジ部のそれぞれを貫通する開口部とを備え、各開口部のそれぞれの外周と各フランジのそれぞれの外周との間の最短距離は開口部の半径より小さいことと、開口部は上部部材を下部部材に固定するようには機能せず、上部部材が下部部材に固定される場合に上部部材によって妨害されないこととを特徴とする衝撃吸収基板容器。
【請求項２３】
前記上部部材を下部部材へ連結するヒンジ部を更に備えることを特徴とする請求項２２に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２４】
前記開口部の外周及びフランジの外周の間の最短距離は１インチ（約２．５４ｃｍ）の３／１６より小さいことを特徴とする請求項２２に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２５】
前記容器は上部部材が下部部材に固定される場合に１つ以上の内部に収容される基板を弾性により保持するように構成されることを特徴とする請求項２２に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２６】
前記容器は重合体から構成されることを特徴とする請求項２２に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２７】
前記重合体はアクリロニトリルとブタジエンとスチレンの共重合体であることを特徴とする請求項２２に記載の衝撃吸収基板容器。
【請求項２８】
４つの角部を備える蓋を形成する工程と、
４つの角部を備える基部を形成する工程と、
該蓋及び基部を連結するヒンジ部を形成する工程と、
該蓋を基部に固定するラッチ機構を形成する工程と、
該基部及び蓋のいずれか一方の４つの角部のそれぞれにフランジ部を形成し、各フランジ部が各角部の周囲を延びる工程と、
各フランジ部を貫通する少なくとも１つの開口部を角部のそれぞれの頂部にて各フランジ部に形成する工程とを含むことを特徴とする衝撃吸収基板容器の形成方法。
【請求項２９】
該蓋と基部を射出成形する工程を更に含むことを特徴とする請求項２８に記載の衝撃吸収基板容器の形成方法。
【請求項３０】
基部を射出成形する場合に開口部を形成する工程を更に含むことを特徴とする請求項２９に記載の衝撃吸収基板容器の形成方法。
【請求項３１】
前記開口部は基部が形成された後に独立した処理工程において形成されることを特徴とする請求項２９に記載の衝撃吸収基板容器の形成方法。
【国際調査報告】
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