(57)【要約】【解決手段】プローブホルダと、物体の支持体とを有し、プローブホルダと物体の支持体との間にて三次元的に相対的に動く形態とされた座標測定機と、プローブホルダにより保持された超音波試験プローブとを備える、物体の肉厚を測定する装置である。座標測定機は、超音波試験プローブの変換器を物体の支持体にて物体の表面における位置と接触させ、プローブがプローブの接触位置における物体の肉厚を測定することができるようにする。
2009507239.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体（Ｏ）の肉厚を測定する装置であって、
プローブホルダ（４１）と、物体の支持体（Ｊ）とを有し、プローブホルダ（４１）と物体の支持体（Ｊ）との間にて三次元的に相対的に動く形態とされた座標測定機と、
プローブホルダ（４１）により保持された超音波試験プローブ（５０）と、を備え、
これにより、使用時、座標測定機は、超音波試験プローブ（５０）の変換器を物体の支持体（Ｊ）にて物体（Ｏ）の表面における位置と接触させ、プローブ（５０）がプローブの接触位置における物体の肉厚を測定することができるようにする、前記物体（Ｏ）の肉厚を測定する装置において、
前記の表面と接触されたとき、超音波試験プローブ（５０）の角度を調節し、測定された肉厚が前記の表面に対して垂直な線に沿ったものとなるようにする角度調節機構（５２）を備えることを特徴とする、物体（Ｏ）の肉厚を測定する装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置において、角度調節機構（５２）は、ジンバルを備えることを特徴とする、装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の装置において、物体（Ｏ）は、一側部にて超音波試験プローブ（５０）が接触することができ、また、反対側部にてプローブ（５０）が接触することができない壁を有することを特徴とする、装置。
【請求項４】
請求項３に記載の装置において、物体（Ｏ）は、ガスタービンエンジンのベーン又はブレードであることを特徴とする、装置。
【請求項５】
請求項１ないし４の何れか１つの項に記載の装置において、座標測定機は、測定された肉厚の各々を物体（Ｏ）に対する１つ又はより多くの基準位置と関係付け、これにより測定された肉厚をプローブの接触位置に対する壁の反対側部にて対向する位置の空間的座標に変換するコンピュータシステム（８０）を更に備えることを特徴とする、装置。
【請求項６】
請求項５に記載の装置において、コンピュータシステム（８０）は、プローブ接触位置の各々の空間的座標を記憶し、測定された肉厚の各々に対する基準位置が相応するプローブの接触位置であるようにすることを特徴とする、装置。
【請求項７】
請求項４に従属して請求項５又は６に記載の装置において、コンピュータシステム（８０）は、ガスタービンエンジンの１つ又はより多くの軸線に対する空間的座標を規定することを特徴とする、装置。
【請求項８】
請求項７に記載の装置において、軸線は、エンジンの中心軸線及び（又は）ベーン又はブレードの長さに沿ったエンジンの半径方向を含むことを特徴とする、装置。
【請求項９】
請求項１ないし８の何れか１つの項に記載の装置において、少なくとも１つの座標測定スタイラス（６０）は、超音波試験プローブ（５０）と互換可能であり、超音波試験プローブ（５０）が使用されないとき、座標測定スタイラス（６０）をプローブホルダ（４１）によって保持することができるようにし、
これにより、座標測定スタイラス（６０）は、座標測定機により動かして、プローブの接触位置にて物体（Ｏ）と接触させ、プローブがプローブの接触位置の空間的座標を測定することができるようにしたことを特徴とする、装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９の何れか１つの項に記載の装置において、システム（５３、５６）は、物体（Ｏ）と接触される前に、接触媒質を超音波試験プローブ（５０）の表面に送り出すよう設けられることを特徴とする、装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の装置において、接触媒質は、超音波試験プローブ（５０）に取り付けられたリザーバ（５３）内に保持されることを特徴とする、装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の装置において、
座標測定機により使用されないとき、超音波試験プローブ（５０）が内部に休止することのできるプローブの交換ステーション（７０）と、
超音波試験プローブがプローブの交換ステーション（７０）内にて休止しているとき、超音波試験プローブ（５０）に取り付けられたリザーバ（５３）を補給するより大型の接触媒質のリザーバとを更に備えることを特徴とする、装置。
【請求項１３】
請求項１ないし１２の何れか１つの項に記載の装置を使用して、物体（Ｏ）の肉厚を測定する方法。
【請求項１４】
請求項１ないし１３の何れか１つの項に記載の装置を使用して、超音波試験プローブが直接接触することができない物体の表面における位置の空間的座標を測定する方法。
【請求項１５】
物体（Ｏ）のアクセス不能な表面における空間的座標を決定する方法において、
（ａ）一側部にて、超音波試験プローブ（５０）が直接接触可能であり、反対側部にて、前記プローブ（５０）が直接接触することができない壁を有する物体（Ｏ）を提供するステップと、
（ｂ）物体（Ｏ）の接触可能な表面における複数のプローブの接触位置の空間的座標を測定するステップと、
（ｃ）プローブの各接触位置にて物体（Ｏ）の肉厚を測定し得るよう該位置にて物体（Ｏ）と接触するよう超音波試験プローブ（５０）を動かすステップと、
（ｄ）測定された各肉厚を相応するプローブの接触位置の測定された空間的座標と関係付け、測定された肉厚を壁の接触不能な側部における対向する位置の空間的座標に変換するステップとを備える、空間的座標を決定する方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の方法において、ステップ（ｃ）は、超音波試験プローブが物体（Ｏ）と接触するようにされたとき、前記超音波試験プローブ（５０）の角度を調節し、測定された肉厚が接触した表面に対して垂直な線に沿ったものであるようにするステップを含むことを特徴とする、方法。
【請求項１７】
請求項１５又は１６に記載の方法において、物体（Ｏ）は、ガスタービンエンジンのベーン又はブレードであることを特徴とする、方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の方法において、ステップ（ｂ）にて、空間的座標は、ガスタービンエンジンの１つ又はより多くの軸線に対して規定されることを特徴とする、方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の方法において、軸線は、ベーン又はブレードの積重ね軸線及び（又は）エンジン中心軸線であることを特徴とする、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体の肉厚を測定する装置、より詳細には、測定した肉厚を物体の表面上にて空間的座標に変換することのできる装置に関するが、これにのみ限定されるものではない。
【背景技術】
【０００２】
製造した物体は、寸法的及び（又は）幾何学的許容公差に順応しなければならないことが多々ある。こうした許容公差は、物体の製造メーカ又は最終ユーザにより特定し、使用時、物体が正確に振舞うことを保証することができる。このため、物体に対し製造後の検査方法を行うことが一般的である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
物体の寸法の正確さを決定する既知の技術は、座標測定プローブ又はスタイラスを物体の表面上にて駆動するステップを含む。かかるプローブは、典型的に、測定端に小さく硬い（典型的に、工業用ルビー）球を有する剛性な細長い部材（例えば、炭素繊維にて出来ている）を備えている。商業的に入手可能なプローブの一例は、レインショー（Ｒｅｉｎｓｈａｗ）ＳＰ６００（登録商標名）アナログ走査プローブである。１つの構成において、プローブは、２つの直交軸線の回りにて７．５漸増分の角度運動を提供するレインショー（Ｒｅｉｎｓｈａｗ）ＭＩＨ（登録商標名）ヘッドに装着される。次に、ヘッドは、プローブの動きを制御する、プログラム化可能な座標測定機（ＣＭＭ）の中空軸（ｑｕｉｌｌ）に取り付ける。典型的なＣＭＭは、例えば、米国特許明細書５１８９８０５に示したように、ｚ−方向への動きを提供する中空軸と、中空軸を搬送し且つ、ｘ−方向及びｙ−方向への動きを提供するキャリッジ組立体と、測定台とを備えている。ＣＭＭは、典型的に、プローブの動きを制御するプログラム化可能なコンピュータを備えている。ＣＭＭｓは、多数の販売業者から商業的に入手可能である。
【０００４】
プローブと関係した感知手段は、球が表面に接触するとき及び接触する場所を検出し、ＣＭＭは、その情報を球との表面接触点に対する空間的座標に変換する。このように、プログラム化した案内路に沿って隔てられた点にて物体と接触することにより、プローブは、これらの点の相対的位置を個別に測定することを可能にする。このようにして、実際の物体の形状特徴（輪郭外形又は外形のような）を構築し、次に、これらの特徴を、例えば、所定の許容公差限界値との適合性について比較することができる。
【０００５】
従来、オペレータは、案内路を試行錯誤の技術にてプログラム化し、オペレータは、プローブを手動制御の下、望まれる案内路に沿って特定の点まで駆動し且つ、これらの点の位置をＣＭＭの記憶装置内に記憶させる。その後、測定操作を実行するとき、ＣＭＭは、プローブをオペレータが決定した順序にて点から点へ駆動してこの経路に沿って測定を行う。案内路を規定するとき、オペレータは、また、アプローチ方向及びプローブ角度を特定し、プローブ又は中空軸が物体と衝突しないことを保証する。必要とされるとき、オペレータは、プローブを交換する（通常、物体から遠方のプローブの交換ステーションにて）よう中空軸をプログラム化し、物体のアクセス不能な部品に到達するため、例えば、より長い細長い部材を有するプローブが使用される。
【０００６】
ガスタービンエンジンの構成要素、ブレード、ベーン及びディスクのような特に重要な構成要素は、かかる技術を使用して一般に検査される。
しかし、検査中の物体が内面（プローブに対してアクセス不能である）を有するとき、問題点が生じる可能性がある。例えば、ガスタービンブレード及びベーンは、構成要素の重量を軽減し且つ（又は）冷却通路を提供する内部キャビティを有する中空の構成要素として形成することが一般的である。特に、中空のチタン合金ファンブレードを製造する公知の技術は、ブレードを超塑性成形して、内部のブレードキャビティを膨張させるステップと、その後、ブレードを酸浸漬させ外面をテーパーエッチングし且つ、所望の翼型の形状を提供するステップとを含む。その後、外面は、所望の表面仕上げとなるようにライニングを施すことができる。しかし、こうした手順の結果、キャビティを画成するブレードの肉厚に相違が生ずる、すなわち、キャビティの内面の位置にて僅かな不確実性が生じる可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このように、本発明の１つの目的は、肉厚を測定すること、特に、好ましくは、物体の内面における位置の空間的座標を測定することを可能にする装置を提供することである。
本発明は、物体における所定のプローブ接触位置にて肉厚の測定値を提供するため、超音波試験プローブをＣＭＭに取り付けてことができるとの理解に少なくとも部分的に基づくものである。これらの接触位置の空間的座標が分かったならば、肉厚測定値の各々をプローブ接触位置に対して壁の反対側にて対向する位置に対する空間的座標に変換することができる。
【０００８】
このように、第一の形態において、本発明は、物体の肉厚を測定する装置であって、
プローブホルダと、物体の支持体とを有し、プローブホルダと物体の支持体との間にて三次元的に相対的に動く形態とされた座標測定機と、
プローブホルダにより保持された超音波試験プローブと、を備え、
これにより、使用時、座標測定機は、超音波試験プローブの変換器を物体の支持体にて物体の表面における位置と接触させ、プローブがプローブの接触位置における物体の肉厚を測定することができるようにする、上記の装置を提供する。
【０００９】
好ましくは、装置は、上記の表面と接触されたとき、超音波試験プローブの角度を調節し、測定された肉厚が上記の表面に対して垂直な線に沿ったものとなるようにする角度調節機構を更に備えるものである、上記の物体の肉厚を測定する装置を提供する。
【００１０】
例えば、角度調節機構は、ジンバルを備えることができる。ジンバルは、プローブをプローブホルダと接続することができる。このようにして、プローブが物体の表面に供されたとき、ジンバルは、プローブとその表面との間の全ての整合誤差を補正することができる。しかし、好ましくは、プローブホルダは２つ又はより多くの軸線の回りにてプローブを角度運動させ、プローブが物体の表面に供される前に、座標測定機がプローブを少なくともほぼ整合させることができるようにされるものとする。
【００１１】
物体は物体の支持体に配置することができ、物体は一側部にて超音波試験プローブが接触することができ、また、反対側部にてプローブが接触することができない壁を有する。例えば、物体は、ガスタービンエンジンのベーン又はブレードとすることができる。
【００１２】
好ましくは、座標測定機は、（i）プローブの動きを制御し、（ｉｉ）プローブによる肉厚の測定を指令し且つ（又は）（ｉｉｉ）プローブによって行われた肉厚の測定値を記憶するコンピュータシステムを更に備えるものとする。これと代替的に又は追加的に、コンピュータシステムは、測定された肉厚の各々を物体に対する１つ又はより多くの基準位置と関係付け、これにより測定された肉厚をプローブの接触位置に対する壁の反対側部にて対向する位置の空間的座標に変換するものとする。例えば、コンピュータシステムは、プローブの接触位置の各々の空間的座標を記憶させ、これにより測定された肉厚の各々に対する基準位置が相応するプローブの接触位置となるようにすることができる。
【００１３】
好ましくは、測定された物体がガスタービンエンジンの構成要素である場合、コンピュータシステムは、ガスタービンエンジンの１つ又はより多くの軸線及び（又は）方向に対する空間的座標を規定するものとする。例えば、座標系の基本的軸線は、ガスタービンエンジンの中心軸線を含むことができる。典型的に、構成要素がベーン又はブレードである場合、軸線は、エンジンの中心軸線と、ベーン又はブレードの長さに沿ったエンジンの半径方向とを含む。
【００１４】
典型的に、座標測定機は、プローブの接触位置の空間的座標を測定するためにも使用される。このように、装置は、超音波試験プローブと互換可能である少なくとも１つの座標測定スタイラスを更に備え、超音波試験プローブが使用されないとき、座標測定スタイラスをプローブホルダによって保持することができるようにする。次に、座標測定スタイラスを、座標測定機により動かして、プローブの接触位置にて物体と接触させることができる。
【００１５】
望ましくは、装置は、プローブ変換器が物体と接触する前に、接触媒質をプローブ変換器の表面に送り出すシステムを更に備えるものとする。このことは、各肉厚を測定する前に、接触媒質を施すため、人間のオペレータが介入しなければならないことを回避することになる。
【００１６】
好ましくは、接触媒質は、超音波試験プローブに取り付けられたリザーバ内にて保持されるものとする。より好ましくは、装置は、
座標測定機により使用されないとき、超音波試験プローブがその内部にて休止はすることのできるプローブの交換ステーションと、
超音波試験プローブがプローブの交換ステーション内にて休止しているとき、超音波試験プローブに取り付けられたリザーバを補給するより大型の接触媒質リザーバとを更に備えるものとする。
【００１７】
更なる形態において、本発明は、物体の肉厚を測定するため第一の形態の装置を使用し、超音波試験プローブ（又は実際には、従来の触覚型ＣＭＭプローブ）が直接接触することができない物体の表面における位置の空間的座標を測定するため、第一の形態の装置を使用することを実現する。
【００１８】
本発明の別の形態は、物体のアクセス不能な表面における空間的座標を決定する方法であって、
（ａ）一側部にて、超音波試験プローブが直接接触可能であり、反対側部にて、そのプローブが直接接触することができない壁を有する物体を提供するステップと、
（ｂ）物体の接触可能な表面における複数のプローブの接触位置の空間的座標を測定するステップと、
（ｃ）プローブの各接触位置にて物体の肉厚を測定し得るよう該位置にて物体と接触するよう超音波試験プローブを動かすステップと、
（ｄ）測定された各肉厚を相応するプローブの接触位置の測定された空間的座標と関係付け、測定された肉厚を壁の接触不能な側部における対向する位置の空間的座標に変換するステップとを備える上記の方法を提供するものである。
【００１９】
ステップ（ｃ）は、超音波試験プローブが物体と接触したとき、その超音波試験プローブの角度を調節し、測定された肉厚が接触した表面に対して垂直な線に沿ったものとなるようにするステップを含むこともできる。
【００２０】
本発明の第一の形態における選択随意的な特徴の任意の１つ又はより多くが本発明のこの形態に適用可能である。
例えば、物体は、ガスタービンエンジンのベーン又はブレードとすることができる。空間的座標は、ガスタービンエンジンの１つ又はより多くの軸線及び（又は）方向に対して規定することができる。軸線は、エンジンの中心軸線とし、また、ベーン又はブレードの長さに沿ったエンジンの半径方向とすることができる。
【００２１】
次に、添付図面を参照して、単に一例として、本発明の実施の形態について説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１には、本発明に従った装置が概略図的に示されている。該装置は、その上にて測定すべき物体Ｏが支持される台１０を含む従来のＣＭＭを備えている。図１の図において、物体は、治具Ｊ内に保持された中空のチタン合金ファンブレードである。
【００２３】
ＣＭＭは、台の「Ｙ」方向に向けて可動である、Ｙ−スライダ装置２０を有している。Ｙ−スライダ装置は、台を縦断するビーム２３を支持するコラム２１、２２を台の両側部に有している。ビームにて、台の「Ｘ」方向に向けて可動であるＸ−スライダ装置３０が取り付けられている。一方、Ｘ−スライダ装置は、台の「Ｚ」方向に向けて可動である中空軸４０を保持している。中空軸の下端は測定プローブを脱着可能に保持することができ、また、プローブを２つの直交する軸線の回りにて角度運動させるヘッド部４１を有している。測定プローブは、超音波試験プローブ５０又は座標測定スタイラス６０の何れかとすることができる。図１に示したように、超音波試験プローブは、中空軸により保持され、座標測定スタイラスは、ＣＭＭのプローブの交換ステーション７０内にて休止している。しかし、中空軸は、プローブの交換ステーションまで駆動してプローブ及びスタイラスを互換することを許容することができる。このように、ＣＭＭは、プローブ又はスタイラスを三次元的にファンブレードに対して動かすことができる。
【００２４】
ＣＭＭは、スライダ装置及び中空軸の動き、従って、プローブ又はスタイラスの動きを制御するプログラム化可能なコンピュータシステム８０を更に含む。プローブ又はスタイラスからの測定信号は、ヘッド部４１及び中空軸４０を介してコンピュータシステムに送られ、該コンピュータシステムにてこれらの信号は必要とされる迄、記憶装置に保存されている。同様に、指令信号は、コンピュータシステムからプローブ又はスタイラスまで送られ、例えば、測定の実行及び超音波試験プローブの変換器への接触媒質の噴射といった指令を発する。
【００２５】
チタン合金ファンブレードＯは、内部キャビティを画成する壁を有している。このように、壁の一側部は、ブレードの外面により形成され、壁の反対側部はプローブ及びスタイラスにアクセス不能である内面によって形成される。ブレードが製造される加工工程は、ブレードの外部幾何学的形態に対する内面の位置に僅かな不確実さが存在するようなものとする。
【００２６】
これらの内面における空間的座標を測定するため、超音波試験プローブは、ブレードの壁を渡って肉厚を測定する。これらの測定値は、ブレードの外面における接触位置に関係付けられる。これらの接触位置の空間的座標が既知であれば、肉厚の測定値は、内面における対向する位置に対する空間的座標に変換することができる。
【００２７】
このように、第一のステップは、外部の接触位置の空間的座標を決定することである。このステップは、ブレードに対する１組の座標軸線を規定することにより、実現することができる。望ましくは、これらの軸線は、エンジンの中心軸線、ブレードの長さに沿ったエンジンの半径方向、上記の２つの軸線に対して直交する第三の軸線であるものとする。
【００２８】
基準マーカが治具に設けられている。使用時、ブレードは、エンジンの中心線の軸線に対して所定の関係となり、また、その積重ね軸線がエンジンの半径方向と整合された状態にてエンジン内に取り付けられる。ブレードは、基準マーカが規定された座標軸線に対して既知の空間的関係を有するよう治具によって保持されるものとする。このように、エンジンの座標系内のプローブ及びスタイラスの空間的座標を、治具の基準マーカに対して較正することができる。すなわち、任意の時点にて、プローブ又はスタイラスの空間的座標は、ＣＭＭの座標系にて知ることができるが、ＣＭＭ座標系内の基準マーカの空間的座標を知ることにより、簡単な座標変換によりプローブ又はスタイラスのＣＭＭ空間座標を、エンジンの座標系に変換することが許容される。
【００２９】
次のステップは、治具及びブレードが台１０の上にあり、基準マーカの位置が適正に較正された状態にて、座標測定スタイラス６０をブレードの外面における接触位置まで動かし、これらの位置の空間的座標を測定することである。このことは、当該技術にて既知の技術及び手順を使用して実現することができる。
【００３０】
次に、スタイラスをプローブ交換ステーション７０に戻し、超音波試験プローブ５０をヘッド部４１によって取り上げる。プローブは、ＣＭＭによりそれ以前にスタイラスが到着した接触位置まで駆動され、各場合にて、肉厚の測定が行われる。
【００３１】
肉厚の測定が完了すると、これら測定値はコンピュータシステムによってブレードの内面における対向位置に対する空間的座標に変換される。
図２には、プローブ５０がより詳細に示されている。プローブ５０は、コネクタ５４にてヘッド部４１に装着される。プローブは、物体Ｏの表面に連結されたとき、超音波信号を発し且つ受け取る遅延線変換器５１を有している。変換器を物体の表面に適正に連結し且つ戻り信号を最大にするため、プローブの軸線は表面に対し垂直でなければならない、しかし、ヘッド部４１は、直交軸線Ａ、Ｂの回りにてプローブの角度運動を提供するが、この運動は７．５°の漸増量にて進行する。このように、ＣＭＭはブレードの表面に対してほぼ垂直な角度にてプローブをブレードに供するようにプログラム化することができるが、大部分の場合、プローブの測定方向は精密に整合されないであろう。
【００３２】
この問題点を解決するため、プローブは、プローブが物体と接触するとき、その軸線が接触面に対して垂直となるようにプローブの角度を自動的に調節するジンバル機構５２を有している。図２において、ジンバル機構の１つが示されている。その他方は、全体として図２にてプローブの本体により隠されているが、その８つの取り付け部５７は見ることができる。ジンバル機構によって実行された調節は、物体の表面に対する変換器の実際の接触位置に僅かな程度の不確実さをもたらすが、外面及び内面の曲率は十分に小さく、調節後に測定された肉厚は、通常の接触位置にて測定されたであろう厚さと実質的に等しいから、このことは、殆どの物体に対する測定精度の顕著な損失とならない。勿論、必要であれば、ジンバル機構は、調節程度を表示する信号をコンピュータシステムに送り、これによりプローブの実際の接触位置の空間的座標を計算することを許容し得るようにしてもよい。
【００３３】
ＣＭＭがプローブを接触位置に配置し、ジンバル機構がプローブの全ての整合誤差を解消したとき、ＣＭＭは、プローブに対し肉厚を測定するよう指令する。プローブからＣＭＭへの戻り信号は、肉厚の測定値及び測定質の表示を提供する。測定特性が不十分な場合、ＣＭＭは、プローブに対し測定を繰り返すよう指令することができる。
【００３４】
接触媒質は、各肉厚の測定の前に、ＣＭＭオペレータにより変換器の表面に配置することができるが、プローブの全自動作動のため、コンピュータシステムの制御の下、接触媒質の供与を行うことができる。
【００３５】
図２に示したプローブは、プローブによって保持された接触媒質リザーバ５３を有する。コンピュータシステムにより制御されたステッパモータ（図２にてプローブの本体の陰に隠れる）は、接触媒質をリザーバから吸引し且つプローブが物体の表面に供される前に、その接触媒質をホース５６を介して変換器に噴射する。
【００３６】
更なる大型の接触媒質リザーバ（図示せず）は、プローブの交換ステーションに維持されている。プローブがステーションリザーバ５３にて休止しているとき、指状体５５がスイッチ（図示せず）を作動させ、リザーバ５３をより大型のリザーバから自動的に再充填する。典型的に、座標測定スタイラス及び超音波試験プローブは交互に使用され、スタイラスが使用されているとき、リザーバ５３を再充填することができるようにする。
【００３７】
本発明は、アクセス不能な表面における位置の空間的座標の測定に関して上記に説明したが、該装置は、肉厚を測定するため簡単に使用することもでき、また、これらは必ずしも空間的座標に変換する必要はないことが明らかであろう。
【００３８】
本発明は、上述した一例としての実施の形態に関して説明したが、本明細書を検討したとき、多数の等価的な改変例及び変更例が当該技術の当業者には明らかであろう。従って、上述した本発明の一例としての実施の形態は単に説明のためであり、限定的なものではないものとみなされる。本発明の精神及び範囲から逸脱せずに、上述した実施の形態に対する色々な変更を具体化することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に従った装置の概略図である。
【図２】図１の装置の超音波試験プローブのより詳細図である。
【図１】
2009507239.tif 000003
【図２】
2009507239.tif 000004
【国際調査報告】
2009507239.tif 000005
2009507239.tif 000006
2009507239.tif 000007