(57)【要約】【課題】【解決手段】ロッカ型ダイヤフラム弁が開示されている。ダイヤフラム弁におけるダイヤフラム４２８は、非対称であり、ダイヤフラムの行程はダイヤフラムの中心から偏倚されている。ダイヤフラムが作用する２つの密封面３１８、３２０は、互いにある角度を成す２つの平面を形成する。ダイヤフラム４２８は、単一物として製造することができる。ダイヤフラム４２８は、弾性材料にて製造することができ、また、ダイヤフラムを弁内の不作動位置に保持するばね力を形成するような態様にて形状が設定される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヤフラム弁において、行程軸線（図３の軸線ＡＡ）に沿って第一の位置と第二の位置の間で動くようにされたダイヤフラムを備え、
前記ダイヤフラムは、第一の軸線（図４ａの軸線ＤＤ）に対して対称であり且つ第一の軸線に対して垂直な第二軸線（図４ａの軸線ＥＥ）に対して非対称であり、
前記第一及び第二の軸線は両方ともに、前記行程軸線に対して略垂直である、ダイヤフラム弁。
【請求項２】
請求項１に記載のダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラムは、
実質的に第一の平面に形成された上方ダイヤフラム膜（４０８）と、
実質的に第二の平面に形成された下方ダイヤフラム膜（４１０）とを更に備え、
前記第一の平面は前記第二の平面に対して角度を成している、ダイヤフラム弁。
【請求項３】
請求項２に記載のダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラムは、
前記上方ダイヤフラム膜（４０８）を前記下方ダイヤフラム膜（４１０）に連結する中央部分（４５０）を更に備え、
前記中央部分（４５０）が、前記ダイヤフラムの中心線（ＧＧ）からずれて配置されており、対称軸線が、前記ダイヤフラムの中心線と前記中央部分の中心線との間に引かれた線によって形成される、ダイヤフラム弁。
【請求項４】
請求項３に記載のダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラムは単一物として製造される、ダイヤフラム弁。
【請求項５】
請求項２に記載のダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラムは、弾性材料からなり、前記上方ダイヤフラム膜（４０８）は、起動力が存在しないときに前記ダイヤフラムを不作動位置に戻す力を発生させる形態とされた曲がり部（４５４）を有する、ダイヤフラム弁。
【請求項６】
請求項２に記載のダイヤフラム弁において、
頂部密封面（３２０）と底部密封面（３１８）とを形成する本体（３０６）と、
前記ダイヤフラムが前記第一の位置にあるとき、前記頂部密封面（３２０）を密封する形態とされた前記上方ダイヤフラム膜（３０８）と、
前記ダイヤフラムが第二の位置にあるとき、前記底部密封面（３１８）を密封する形態とされた前記下方ダイヤフラム膜（３１０）とを備える、ダイヤフラム弁。
【請求項７】
請求項６に記載のダイヤフラム弁において、
前記本体（３０６）の頂側部に装着され、これにより、前記上方ダイヤフラム膜（３０８）を前記本体（３０６）と前記頂部板（３０２）の間に捕捉する形態とされた頂部板（３０２）と、
前記本体（３０６）の底側部に装着され、これにより、前記下方ダイヤフラム膜（３１０）を前記本体（３０６）と前記底部板（３０４）の間にて捕捉する形態とされた底部板（３０４）とを備える、ダイヤフラム弁。
【請求項８】
請求項７に記載のダイヤフラム弁において、
前記上方ダイヤフラム膜（４０８）に装着され且つ前記上方ダイヤフラム膜（４０８）を取り囲むと共に、前記本体（３０６）と前記頂部板（３０２）との間にシールを形成する頂縁部（４４４）と、
前記下方ダイヤフラム膜（４１０）に装着され且つ前記下方ダイヤフラム膜（４１０）を取り囲むと共に、前記本体（３０６）と前記底部板（３０４）との間にシールを形成する底縁部（４４２）とを備える、ダイヤフラム弁。
【請求項９】
請求項１に記載のダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラムは、実質的に円形の形状である、ダイヤフラム弁。
【請求項１０】
請求項１に記載のダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラムは、実質的に楕円形の形状である、ダイヤフラム弁。
【請求項１１】
請求項１に記載のダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラムは、実質的に矩形の形状である、ダイヤフラム弁。
【請求項１２】
請求項１に記載のダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラムは、単一物として製造される、ダイヤフラム弁。
【請求項１３】
請求項１に記載のダイヤフラム弁において、前記行程軸線は、前記ダイヤフラムの中心軸線からずれている、ダイヤフラム弁。
【請求項１４】
請求項１に記載のダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラムは、弾性材料からなり、且つ起動力が存在しないときに不作動位置に向けて偏倚されている、ダイヤフラム弁。
【請求項１５】
請求項１に記載のダイヤフラム弁において、
前記第一の軸線と整合された整合特徴部（４４０）を更に備える、ダイヤフラム弁。
【請求項１６】
ダイヤフラムを、前記ダイヤフラムの中心線からずれた位置に配置された行程軸線に沿って、第一の位置と第二の位置との間で動かすステップと、
前記ダイヤフラムが前記第一の位置にあるとき、前記ダイヤフラムと頂部密封面との間に第一の空隙を形成するステップと、
前記ダイヤフラムが第二の位置にあるとき、前記ダイヤフラムと底部密封面との間に第二の空隙を形成し、前記第一及び第二の空隙は不均一であるステップとを備える、方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の方法において、前記第一の空隙の最大幅は、前記ダイヤフラムの中心線と前記行程軸線との間に形成された線の上にある、方法。
【請求項１８】
請求項１６に記載のダイヤフラム弁において、
前記ダイヤフラムを前記第一の位置に向けて偏倚させるステップを更に備える、方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の方法において、前記ダイヤフラムは、弾性材料からなり、且つ弁閉鎖体と相互作用することにより前記第一の位置に向けて偏倚される、方法。
【請求項２０】
請求項１６に記載の方法において、前記ダイヤフラムは、単一物として製造される、方法。
【請求項２１】
ダイヤフラム弁において、
第一の平面内にある頂部密封面（３２０）を形成する弁体（３０６）を備え、
前記弁体（３０６）は、第二の平面内にある底部密封面（３１８）を形成し、
前記第一の平面は前記第二の平面に対して角度を成している、ダイヤフラム弁。
【請求項２２】
請求項２１に記載のダイヤフラム弁において、前記角度は、１°から４５°の範囲にある、ダイヤフラム弁。
【請求項２３】
請求項２１に記載のダイヤフラム弁において、前記角度は、７°から１１°の範囲にある、ダイヤフラム弁。
【請求項２４】
請求項２１に記載のダイヤフラム弁において、
前記頂部密封面（３２０）と前記底部密封面（３１８）との間に形成されたポート（３２９）を更に備え、
前記ポートは、前記頂部密封面（３２０）と前記底部密封面（３１８）との間の最大距離に配置される、ダイヤフラム弁。
【請求項２５】
請求項２１に記載のダイヤフラム弁において、前記頂部及び底部密封面（３２０、３１８）は、略円形の形状である、ダイヤフラム弁。
【請求項２６】
請求項２１に記載のダイヤフラム弁において、前記頂部及び底部密封面（３２０、３１８）は、略楕円形の形状である、ダイヤフラム弁。
【請求項２７】
請求項２１に記載のダイヤフラム弁において、前記頂部及び底部密封面（３２０、３１８）は、略矩形の形状である、ダイヤフラム弁。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【０００１】
本出願は、本出願と同日に出願され且つ、その内容を参考として引用し本明細書に含めた、「単一体の二重膜ダイヤフラム（Ａ  ｏｎｅ  ｐｉｅｃｅ  ｄｏｕｂｌｅ  ｍｅｍｂｒａｎｅ  ｄｉａｐｈｒａｇｍ）」及び「ダイヤフラム弁内の反発性ダイヤフラム（Ａ  ｓｐｒｉｎｇｙ  ｄｉａｐｈｒａｈｇｍ  ｉｎ  ａ  ｄｉａｐｈｒａｇｍ  ｖａｌｖｅ）」という出願に関連するものである。
【技術分野】
【０００２】
本発明は、弁の分野、特に、改良されたダイヤフラム弁に関する。
【背景技術】
【０００３】
ポペット弁は、制御システムを形成するよう互いに積層することができる。ポペット弁の幅は、典型的に、スライス幅として知られる。スライス幅を小さくすることは、同一量の空間内により多くの弁を配置することを許容する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
残念なことに、弁を通る流量は、典型的に、スライス幅によって決まる。スライス幅を小さくすれば、弁を通る流量は減少する。そのことは、弁の幅と弁を通る流量との間のやりくりとなる。
【０００５】
このため、減少したスライス幅を有し、流量が改良された、ポペット弁が必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ロッカ型ダイヤフラム弁が開示されている。ダイヤフラムは、第一の軸線に沿って非対称であり、また、第二の軸線に沿って対称であり、この場合、第一及び第二の軸線は、全体として、ダイヤフラムの行程に対して垂直である。ダイヤフラムが作用する２つの密封面は、互いにある角度を成す２つの平面を形成する。ダイヤフラムは、単一物として製造することができる。ダイヤフラムは、また、弾性材料にて製造し、また、ダイヤフラムを弁内の不作動位置に保持するばね力を形成するような態様にて形状が設定される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図３及び図４、並びに以下の説明は、当該技術の当業者が本発明の最良の形態を形成し且つ使用する方法を教示するため、特定の実施例を説明するものである。本発明の原理を教示する目的のため、幾つかの従来通りの形態は、簡略化し又は省略されている。当該技術の当業者は、本発明の範囲に属する、これらの実施例の変更例が理解されよう。当該技術の当業者は、以下に説明する特徴は、色々な仕方にて組み合わせ、本発明の多数の変更例を形成することができることが理解されよう。その結果、本発明は、以下に説明する特定の実施例にのみ限定されず、特許請求の範囲及びその等価物によってのみ限定されるものである。
【０００８】
図１は、典型的な３／２機能のダイヤフラム弁１００の断面図である。ダイヤフラム弁１００は、頂部板１０２と、底部板１０４と、弁体１０６と、頂部ダイヤフラムディスク１０８と、底部ダイヤフラムディスク１１０と、頂部保持リング１１２と、底部保持リング１１４と、スペーサ１１６と、中央スプール１２６と、上方密封面１２０と、下方密封面１１８と、入口開口部１２２と、排出口１２４とを備えている。ダイヤフラム組立体は、頂部ダイヤフラムディスク１０８と、底部ダイヤフラムディスク１１０と、頂部保持リング１１２と、底部保持リング１１４と、スペーサ１１６と、中央スプール１２６とから成っている。ダイヤフラム組立体中の部品は、性質上、全体として円形であり且つ中央線ＡＡの周りにて対称である。頂部板１０２は、本体１０６に装着され、頂部ダイヤフラムディスク１０８を頂部板１０２と弁体１０６との間の空隙内に捕捉する。底部板１０４は、弁体１０６に装着されて、底部ダイヤフラムディスク１１０を底部板１０４と弁体１０６との間の空隙内に捕捉する。上方及び下方密封面は、性質上、全体として円形であり、密封面の各々は、１つの平面内に形成されている。密封面は、また、弁座と称することもできる。２つの密封面を保持する２つの平面は、互いに全体として平行である。
【０００９】
弁１００は、不作動又は閉じた位置にて示されており、頂部ダイヤフラムディスク１０８は、上方密封面１２０と接触し、また、底部ダイヤフラムディスク１１０と下方密封面１１８との間に空隙を有している。底部ダイヤフラムディスク１１０と下方密封面との間の空隙は、高さが均一である。閉じた位置において、出口開口部（図示せず）からの流体は、底部ダイヤフラムディスク１１０と下方密封面１１８との間の空隙を通って流れ且つ、排出口１２４を通って出る（矢印Ｅで示したように）。作動位置において、ダイヤフラム組立体の中央部分は、上方に偏倚されて、底部ダイヤフラムディスク１１０が下方密封面１１８と接触し、また、ダイヤフラムディスク１０８と上方密封面１２０との間に空隙が形成されるようにする。頂部ダイヤフラムディスク１０８と上方密封面との間の空隙は、高さが均一である。作動位置において、流体は、入口開口部１２２から頂部ダイヤフラムディスク１０８と上方密封面１２０との間の空隙を通って流れ且つ、出口開口部（図示せず）に入る。２つのダイヤフラムディスクは、ダイヤフラム組立体の中央部分が開いた位置と閉じた位置との間にて偏倚するとき、撓み又は変形する。全体として、２つのダイヤフラムディスクが変形するとき、半径方向対称が存在する。半径方向対称は、２つのダイヤフラムディスク内にて一定の偏向の同心円を形成する。
【００１０】
図２は、先行技術の弁体２０６の等角断面図である。弁体２０６は、ポート２２２、ポート２２８、ポート２２４という３つのポート又は開口部、頂部密封面２２０及び底部密封面２１８を形成する。弁の形態に依存して、ポートは、入口ポート、出口ポート又は排出ポートとして使用することができる。ダイヤフラム（図示せず）が上方位置にあるとき、流体はポート２２２に入り、上方ダイヤフラム膜と頂部密封面との間に形成された空隙の間にて頂部密封面２２０の頂部の上を流れ、次に、ポート２２８内に流れる。ダイヤフラム（図示せず）が下方位置にあるとき、流体はポート２２８から出て、下方ダイヤフラム膜と底部密封面２１８との間の形成された空隙の間にて底部密封面２１８の下方を流れ、次にポート２２４内に流れる。
【００１１】
図３は、本発明の一例としての実施の形態において、３／２機能ダイヤフラム弁３００の等角断面図である。ダイヤフラム弁３００は、頂部板３０２と、底部板３０４と、弁体３０６と、ダイヤフラム３２８とを備えている。ダイヤフラム３２８は、上方ダイヤフラム膜３０８と、下方ダイヤフラム膜３１０とを有している。上方ダイヤフラム膜３０８及び下方ダイヤフラム膜３１０は、中央ダイヤフラム部分により互いに接続されている。ダイヤフラム３２８は、軸線ＡＡに対して非対称である。本発明の一例としての実施の形態において、ダイヤフラム３２８は、単一物として製造されている。上方ダイヤフラム膜３０８は、下方ダイヤフラム膜３１０に対して傾動させることができる。頂部密封面３２０及び底部密封面３１８は、弁体３０６に形成されている。本発明の一例としての実施の形態において、密封面の各々は、１つの平面内に形成される。２つの密封面を保持する平面は、互いに対してある角度を形成する（すなわち、平行ではない）。２つの平面の間の角度は、１°から４５°の何れかとすることができる。１つの好ましい実施の形態において、角度は、７°から１１°の範囲である。頂部密封面３２０と底部密封面３１８との間の分離程度は、弁体３０６の左側にて最小値となる。頂部密封面３２０と底部密封面３１８との間の分離程度は、弁体３０６の右側にて最大値となる。出口開口部３２７は、また、２つの密封面の間にて弁体３０６に形成される。本発明の一例としての実施の形態において、出口ポート３２７は、頂部密封面と底部密封面との間の最大分離点に形成される。出口ポートを２つの密封面間の最大分離点に形成することにより、出口ポート３２７の幅３２９は、より広くすることができる。このことは、２つの密封面が平行な場合よりも、所定の幅内でのより多くの流量とすることを許容する。出口開口部３２７は、例えば、排出ポート又は供給ポートのような、任意の型式のポートとして使用することができる。
【００１２】
頂部板３０２は、弁体３０６に装着されて、上方ダイヤフラム膜３０８を頂部板３０２と弁体３０６との間の空隙内に捕捉する。底部板３０４は、弁体３０６に装着されて、下方ダイヤフラム膜３１０を底部板３０４と弁体３０６との間の空隙内にて捕捉する。本発明の一例としての実施の形態において、頂部板３０２及び底部板３０４は、レーザ溶接により弁体３０６に装着される。その他の装着方法を使用して頂部板及び底部板を弁体３０４に装着することができる。
【００１３】
作動時、ダイヤフラム３２８は、上方位置と、下方位置との２つの位置を動く。ダイヤフラム３２８の偏向は、ダイヤフラム３２８の中心の周りにて半径方向に対称ではない。ダイヤフラム３２８が偏向するための動作中心は、軸線ＡＡから左側に偏倚させて、ダイヤフラム３２８が上方及び下方ダイヤフラム位置の間にて偏倚されたとき、ダイヤフラムの左側がダイヤフラム３２８の右側よりもより動くようにする。上方ダイヤフラム位置において、下方ダイヤフラム膜３１０は、底部密封面３１８に接触し且つ該底部密封面に対して密封する。上方ダイヤフラム膜３０８は、頂部密封面３２０から離れた位置に配置され、上方ダイヤフラム膜３０８と頂部密封面３２０との間に空隙を残す。上方ダイヤフラム膜３０８と頂部密封面３２０との間の空隙は、一定の幅でなくともよい（すなわち、空隙は、不均一にすることができる）。本発明の１つの実施例による実施の形態において、上方ダイヤフラム膜３０８と頂部密封面３２０との間の空隙は、ダイヤフラム膜３０８の左側にて大きく、また、ダイヤフラム膜３０８の右側にてより小さい。
【００１４】
下方ダイヤフラム位置（図示せず）において、上方ダイヤフラム膜３０８は、頂部密封面３２０に接触し且つ頂部密封面３２０に対して密封する。下方ダイヤフラム膜３１０は、底部密封面３１８から離れる位置に配置され、下方ダイヤフラム膜３１０と底部密封面３１８との間に空隙を残す。下方ダイヤフラム膜３１０と底部密封面３１８との間の空隙は一定の幅でなくともよい（すなわち空隙は不均一とすることができる）。本発明の一例としての実施の形態において、下方ダイヤフラム膜３１０と底部密封面３１８との間の空隙は、ダイヤフラム膜３１０の左側にてより大きく、また、ダイヤフラム膜３１０の右側にてより小さい。
【００１５】
ダイヤフラム３２８は、典型的に、パイロット又は制御流体（図示せず）からの圧力によって形成された起動力を使用して上方位置と下方位置との間を動かされる。制御流体は、上方ダイヤフラム膜３０８と頂部板３０２との間の空隙内に導入されてダイヤフラム３２８を下方位置に付勢させる。制御流体は、下方ダイヤフラム膜３１０と底部板３０４との空隙内に導入されダイヤフラム３２８は上方位置に付勢させる。何れの領域に加わった起動力が無いとき、ダイヤフラム３２８は、不作動位置にスナップ動作しすなわち戻る形態とされている。ダイヤフラム３２８は、作動位置が上方ダイヤフラム位置又は下方ダイヤフラム位置の何れかであるような形態とすることができる。幾つかの場合、ばね力は、源供給が依然として作動可能である場合、ダイヤフラムを不作動位置に戻すのに十分強力ではなくともよい。典型的に、源供給は、また制御供給のために使用することもでき、このため、弁内に入る圧力がない場合、制御及び源の双方は不作動となりダイヤフラムは、不作動位置に戻るであろう。本発明の一例としての実施の形態において、ダイヤフラム３２８は、例えば、ポリウレタン、ゴム、ばねスチール、又は同様のもののような弾性材料にて製造される。弾性材料は、ダイヤフラム３２８が弁内に組立てられることを許容し、弾性的なダイヤフラム材料及び弁包囲体と相互作用するダイヤフラム３２８の形状がダイヤフラム３２８を不作動位置に戻すばね力を形成するようにする。ダイヤフラムを上方位置と下方位置との間にて動かすのに必要な方法は、重要でなく、パイロット流体と共に、その他の方法を使用することができ、例えば、コイルにより起動され、ダイヤフラムに装着されたプランジャを使用することができる。
【００１６】
図４は、本発明の一例としての実施の形態におけるダイヤフラム４２８の図である。本発明の一例としての実施の形態において、ダイヤフラム４２８は、第一の軸線の周りにおいて対称であり、且つ第一の軸線に対して垂直な第二の軸線の周りにて非対称である、全体として円形の部分である。本発明のその他の一例としての実施の形態において、ダイヤフラム４２８は、楕円形又は矩形の形状とすることができる。その他の形状とすることも可能である。図４ａは、本発明の一例としての実施の形態におけるダイヤフラム４２８の頂面図である。ダイヤフラム４２８は、軸線ＤＤに対して対称であり且つ軸線ＥＥに対して非対称である。
【００１７】
図４ｅは、本発明の一例としての実施の形態におけるダイヤフラム４２８の断面図ＡＡである。断面図ＡＡは、ダイヤフラム４２８の対称軸線ＤＤに対して垂直に見たものである。ダイヤフラム４２８は、上方縁部４４４と、下方縁部４４２と、上方ダイヤフラム膜４０８と、下方ダイヤフラム膜４１０と、中央部分４５０とを備えている。本発明の一例としての実施の形態において、選択可能な整合タブ４４０は、ダイヤフラム４２８に装着され且つダイヤフラム４２８を弁内の適正な向きに整合させるのを助ける形態とされている。その他の整合特徴部を使用することができ、例えば、ダイヤフラム膜の端縁の切欠き、ダイヤフラム膜の頂部に沿った線又は同様のものを使用することができる。本発明の一例としての実施の形態において、上方及び下方縁部は、全体として円形の形状である。本発明のその他の一例としての実施の形態において、縁部は、楕円形又は矩形の形状とすることができる。上方及び下方縁部（４４０、４４２）は、頂部板及び弁の本体と底部板及び弁の本体との間の空隙内に嵌まる形態とされている。縁部は、ダイヤフラム４２８を弁内のその位置に保持し且つダイヤフラム４２８と弁との間にシールを形成するのを助ける。２つのダイヤフラム膜における上方及び下方縁部は選択随意的である。ダイヤフラム膜を弁内に保持するためその他の方法を使用することができる。例えば、溝又は通路をダイヤフラム膜の該端縁に形成し、リップ部又はビードを溝内に嵌まる頂部板又は弁体に形成することができる。上方ダイヤフラム膜４０８は、上方縁部４４４の内径に沿って上方縁部４４４に連結される。下方ダイヤフラム膜４１０は、下方縁部４４２の内径に沿って下方縁部４４２連結されている。上方ダイヤフラム膜４０８は、中央部分４５０により下方ダイヤフラム膜４１０に接続される。本発明の一例としての実施の形態において、ダイヤフラム４２８は、単一物として製造される。本発明のその他の一例としての実施の形態において、ダイヤフラムは、例えば上方ダイヤフラム膜、下方ダイヤフラム膜及び２つのダイヤフラム膜を共に接続するため使用される中央部分という、３つ又はより多くの部分を備えることができる。
【００１８】
図４ｂは、本発明の一例としての実施の形態におけるダイヤフラム４２８の側面図である。図４ｂには、上方縁部４４４を保持する平面は下方縁部４４２を保持する平面に対して角度αを形成することを示す。２つの平面の間の角度は１°から４５°の何れかとすることができる。１つの好ましい実施の形態において、この角度は７°から１１°の範囲である。軸線ＧＧは、上方縁部及び下方縁部（４４４、４４２）の中心線であり、軸線ＦＦは、中央部分４５０の中心線である。本発明の一例としての実施の形態において、軸線ＦＦは、軸線ＤＤに沿って軸線ＧＧから偏倚されている。
【００１９】
図４ｆは、本発明の一例としての実施の形態におけるダイヤフラム４２８の断面図ＣＣである。断面図ＣＣは、ダイヤフラム４２８の非対称軸線ＥＥに対して垂直に見たものである。ダイヤフラムの非対称の状態は図４ｆに示されている。上方縁部及び下方縁部（４４４、４４２）は、互いに対してある角度を形成する。上方ダイヤフラム膜４０８は、上方縁部４４４の内径に沿って上方縁部４４４に連結されている。下方ダイヤフラム膜４１０は、下方縁部４４２の内径に沿って下方縁部４４２に連結されている。上方ダイヤフラム膜４０８は、中央部分４５０により下方ダイヤフラム膜４１０と接続されている。上方ダイヤフラム膜４４４は、２つの縁部（４４４、４４２）の間の最小の空隙と整合された膜における曲げ部又は捩れ部４５４を有している。下方ダイヤフラム膜４４２は、２つの縁部（４４４、４４２）の間の最小空隙と整合された膜における同様の曲がり部又は捩れ部４５２を有している。曲がり部又は捩れ部（４５４、４５２）は、弁内に取り付けられたとき、ダイヤフラムを不作動位置に偏倚させるばね力を発生させるのを助ける。
【００２０】
図４ｃは、本発明の一例としての実施の形態におけるダイヤフラム４２８の背面図である。図４ｄは、本発明の一例としての実施の形態におけるダイヤフラム４２８を下方に見たときの断面図である。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】典型的な先行技術のダイヤフラム弁１００の断面図である。
【図２】先行技術の本体２０６の等角断面図である。
【図３】本発明の一例としての実施の形態におけるダイヤフラム弁３００の等角断面図である。
【図４ａ】本発明の一例としての実施の形態のダイヤフラム４２８の頂面図である。
【図４ｂ】本発明の一例としての実施の形態のダイヤフラム４２８の側面図である。
【図４ｃ】本発明の一例としての実施の形態のダイヤフラム４２８の背面図である。
【図４ｄ】本発明の一例としての実施の形態における、ダイヤフラム４２８を下方に見たときの断面図である。
【図４ｅ】本発明の一例としての実施の形態における、ダイヤフラム４２８の断面図ＡＡである。
【図４ｆ】本発明の一例としての実施の形態における、ダイヤフラム４２８の断面図ＣＣである。
【図１】
2009529632.tif 000003
【図２】
2009529632.tif 000004
【図３】
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【図４ａ】
2009529632.tif 000006
【図４ｂ】
2009529632.tif 000007
【図４ｃ】
2009529632.tif 000008
【図４ｄ】
2009529632.tif 000009
【図４ｅ】
2009529632.tif 000010
【図４ｆ】
2009529632.tif 000011
【国際調査報告】
2009529632.tif 000012
2009529632.tif 000013
2009529632.tif 000014