(57)【要約】  基板は、予め形成された構造を備え、構造要素は、マトリックス状に配置され、そのマトリックスは、Ｘ方向およびＹ方向に延び、処理ヘッドが提供され、カメラが提供され、そのカメラは、処理ヘッドに結合され、かつ、メインラインに沿って配置された少なくとも一組のセンサを備え、カメラは、基板を走査し、それによって、少なくとも１つの１次元カメラ信号を提供し、カメラに対する構造の少なくともＸ位置およびＹ位置をリアルタイムに決定するために、前記メインラインは、Ｘ方向およびＹ方向に対する角度を含み、その角度は、カメラ信号が空間的に分離されたＸ位置情報およびＹ位置情報を含むように、かつ、信号処理の助けによってＸ位置情報およびＹ位置情報をセンサ信号から分離することができるように選択される、方法および装置。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が、予め形成された構造を備え、構造要素が、マトリックス状に配置され、前記マトリックスが、Ｘ方向およびＹ方向に延び、処理ヘッドが提供され、カメラが提供され、前記カメラが、前記処理ヘッドに結合され、かつ、メインラインに沿って配置された少なくとも一組のセンサを備え、前記カメラが、前記基板を走査し、それによって、少なくとも１つの１次元カメラ信号を提供し、前記カメラに対する前記構造の少なくともＸ位置およびＹ位置をリアルタイムに決定するために、前記メインラインが、前記Ｘ方向およびＹ方向に対する角度を含み、前記角度が、カメラ信号が空間的に分離されたＸ位置情報およびＹ位置情報を含むように、かつ、信号処理の助けによってＸ位置情報およびＹ位置情報を前記センサ信号から分離することができるように選択される方法。
【請求項２】
前記角度が、前記カメラがｍ個の空間的に分離されたＸ信号およびｎ個の空間的に分離されたＹ信号を提供するように選択される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ｍおよびｎが、お互いに異なる素数である、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記信号処理が、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）を備える、請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記信号処理が、高速離散サイン／コサイン変換を備える、請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記カメラに対する前記基板構造の前記相対Ｘ位置が、前記カメラ信号の前記ＦＦＴ処理のｍ番目の結果から得ることができ、前記カメラに対する前記基板構造の前記相対Ｙ位置が、前記ＦＦＴ処理のｎ番目の結果から得ることができる、請求項３かまたは４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記基板の長さが、Ｙ方向に延び、前記基板の幅が、Ｘ方向に延び、スキャンニングパスにおいて、前記基板に対する前記カメラの相対移動によって、前記基板が、前記基板の長さ全体においてＹ方向に走査され、そして、前記カメラに対する前記基板のＸ方向における相対移動が、実行され、その後に、Ｙ方向における次のスキャンニングパスが、実行される請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
Ｙ方向におけるスキャンニングパスおよびＸ方向における移動の前記ステップが、前記基板が前記基板の幅全体にわたって走査されてしまうまで、反復される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
スキャンニングパス中、前記基板に対するさらなる操作が、前記処理ヘッドによって実行される、請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記操作が、インクジェットプリンタ操作である、請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記操作が、照明することを備える、請求項１から１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記操作が、アブレーション操作を備える、請求項１から１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
前記操作が、部品を配置することを備える、請求項１から１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
Ｙ方向における前記相対移動の速度が、段階的な移動かまたは０〜４０ｍ／ｓの範囲内に存在する速度による連続的な移動のいずれかである、請求項１から１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記カメラ信号のサンプリング周波数が、１ｋＨｚ〜２ｋＨｚの範囲内に存在する、請求項１から１４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１６】
前記カメラ信号から得られる前記Ｘ位置情報が、前記基板に対する前記処理ヘッドの前記相対Ｘ位置を補正するのに使用される、請求項１から１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
前記カメラ信号から得られる前記Ｙ位置情報が、例えば、インクジェットプリンタヘッドによって液体を放出するタイミングの設定、照明処理ヘッドによって照明するタイミングの設定、アブレーション操作のタイミングの設定、および／または、部品を取り付けるタイミングの設定のような、前記操作のタイミングを設定することに使用される、請求項１から１６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
提供される前記基板が、少なくとも１０ｍｍ×１０ｍｍの寸法を有し、前記構造要素が、２０〜５０マイクロメートル程度の寸法を有し、前記構造要素間の距離が、２〜４０マイクロメートルの範囲内に存在する、請求項１から１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
前記Ｘ位置情報およびＹ位置情報が提供される精度が、１マイクロメートル程度である、請求項１から１８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２０】
基板に対して操作を実行するための装置であって、前記基板が、予め形成された構造を備え、構造要素が、マトリックス状に配置され、前記マトリックスが、Ｘ方向およびＹ方向に延び、前記装置が、基板支持体および処理ヘッドを備え、前記基板に対する前記処理ヘッドの相対移動のための移動機構が提供され、少なくとも１つのカメラが、前記処理ヘッドに結合され、前記カメラが、メインラインに沿って配置された少なくとも一組のセンサを備え、前記カメラが、前記基板に対して適切に動かされ、それによって、前記基板を走査して少なくとも１つの１次元カメラ信号を提供し、前記カメラに対する前記構造の少なくともＸ位置およびＹ位置をリアルタイムに決定するために、前記メインラインが、前記Ｘ方向およびＹ方向に対する角度を含み、前記角度が、カメラ信号が空間的に分離されたＸ位置情報およびＹ位置情報を含むように選択され、前記装置が、信号処理モジュールを備える制御装置を備え、前記信号処理モジュールが、信号処理の助けによって前記センサ信号から前記Ｘ位置情報および前記Ｙ位置情報を分離するように構成される装置。
【請求項２１】
前記Ｘ方向およびＹ方向に対する前記メインラインの前記角度が、前記カメラがｍ個の空間的に分離されたＸ信号およびｎ個の空間的に分離されたＹ信号を提供するように設定された、請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
前記ｍおよびｎが、お互いに異なる素数である、請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
前記装置の前記信号処理モジュールが、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）を実行するように構成される、請求項２０に記載の装置。
【請求項２４】
前記装置の前記信号処理モジュールが、高速離散サイン／コサイン変換を実行するように構成される、請求項２０に記載の装置。
【請求項２５】
前記信号処理モジュールが、前記１次元カメラ信号の前記ＦＦＴ処理のｍ番目の結果から前記カメラに対する前記基板構造の前記相対Ｘ位置を導出するように、かつ、前記１次元カメラ信号の前記ＦＦＴ処理のｎ番目の結果から前記カメラに対する前記基板構造の前記相対Ｙ位置を導出するように構成される、請求項２２かまたは２３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２６】
前記処理ヘッドが、前記基板に対して直角に延びる中心線を軸にして回転可能である、請求項２０から２５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２７】
前記少なくとも１つのカメラが、前記基板に対して直角に延びる中心線を軸にして、前記処理ヘッドに対して回転可能である、請求項２０かまたは２６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２８】
前記制御装置が、前記基板に対する前記処理ヘッドの前記相対Ｘ位置を補正するために、前記カメラ信号から得られた前記Ｘ位置情報を使用するように構成される、請求項２０から２７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２９】
前記制御装置が、例えば、インクジェットプリンタヘッドによって液体を放出するタイミングの設定、照明処理ヘッドによって照明するタイミングの設定、アブレーション操作のタイミングの設定、および／または、部品を取り付けるタイミングの設定のような、前記操作のタイミングを設定するために、前記カメラ信号から得られた前記Ｙ位置情報を使用するように構成される、請求項２０から２８のいずれか一項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、予め形成された構造を備える基板に対する処理ヘッドの相対位置を決定するための方法および装置に関し、構造要素は、マトリックス状に配置され、そのマトリックスは、Ｘ方向およびＹ方向に延びる。構造は、凸凹構造(relief structure)であってもよく、また、基板上の色差構造を提供する印刷であってもよい。
【０００２】
本発明は、それには限定されないが、より良く理解するために、特に、少なくとも１０ｍｍ×１０ｍｍの基板寸法を含むと理解されるべきであり、構造要素は、例えば、ＯＬＥＤを製造することを意図した基板の画素ウェルのように、約２０〜５００マイクロメートルの寸法を有し、構造要素間の距離は、２〜４０マイクロメートルの範囲内に存在する。処理ヘッドに対する基板の相対位置が提供される精度に関しては、これは、約１マイクロメートルの範囲の精度を含むと理解されるべきである。これについて、さらに、本発明は、そのような精度に限定されないと考えられるべきである。
【背景技術】
【０００３】
基板上の構造の位置を観察することは、例えば、ＯＬＥＤのようなディスプレイの製造によって実施される。このために、例えば、欧州特許第ＥＰ−Ａ−１−３５１，３２５号を参照されたい。ディスプレイまたはその他の種類の装置の製造によれば、例えば、凸凹構造の位置を決定することは、特に、レーザーを読み出しおよび／または書き込むのを制御するために、または、インクジェットプリンタヘッドを制御するために、重要なことである。新しい構造を既存の構造にできるだけ良好に適合させ、それによって、ディスプレイまたはその他の種類の装置の品質をできるだけ高いものにするためには、大きな精度が、求められる。すでに存在する構造の位置を探し出すことに関する問題は、所定の位置に配置する精度は、たまに、改善すべき余地が大いにあることである。すでに基板上に存在する構造の位置が、正確に決定されていなければ、基板上の次の層を正確に付加することができない。これは、ディスプレイまたはその他の種類の装置の品質を低下させ、それによって、製品の余計な不合格品をもたらし、これは、製品コストには都合の悪いことである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、その方法の助けによって簡単な形で基板上の構造の位置を観察することのできる方法を意図するものであり、これは、きわめて正確に実施され、また、観察するための方法は、素早くかつコストをかけずに実行することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このために、本発明は、基板は、予め形成された構造を備え、構造要素は、マトリックス状に配置され、そのマトリックスは、Ｘ方向およびＹ方向に延び、処理ヘッドが提供され、カメラが提供され、そのカメラは、処理ヘッドに結合され、かつ、メインラインに沿って配置された少なくとも一組のセンサを備え、カメラは、基板を走査し、それによって、少なくとも１つの１次元カメラ信号を提供し、カメラに対する構造の少なくともＸ位置およびＹ位置をリアルタイムに決定するために、前記メインラインは、Ｘ方向およびＹ方向に対する角度を含み、その角度は、カメラ信号が空間的に分離されたＸ位置情報およびＹ位置情報を含むように、かつ、信号処理の助けによってＸ位置情報およびＹ位置情報をセンサ信号から分離することができるように選択される方法を提供する。
【０００６】
本発明は、さらに、基板上の構造を観察し、かつ、基板に対して操作を実行するための装置を提供し、その基板は、予め形成された構造を備え、構造要素は、マトリックス状に配置され、そのマトリックスは、Ｘ方向およびＹ方向に延び、前記装置は、基板支持体および処理ヘッドを備え、基板に対する処理ヘッドの相対移動のための移動機構が提供され、少なくとも１つのカメラが、処理ヘッドに結合され、カメラは、メインラインに沿って配置された少なくとも一組のセンサを備え、カメラは、基板に対して適切に動かされ、それによって、基板を走査して少なくとも１つの１次元カメラ信号を提供し、カメラに対する構造の少なくともＸ位置およびＹ位置をリアルタイムに決定するために、前記メインラインは、Ｘ方向およびＹ方向に対する角度を含み、その角度は、カメラ信号が空間的に分離されたＸ位置情報およびＹ位置情報を含むように選択され、装置は、信号処理モジュールを備える制御装置を備え、信号処理モジュールは、信号処理の助けによってセンサ信号からＸ位置情報およびＹ位置情報を分離するように構成される。
【０００７】
この方法および装置によれば、カメラのメインラインがＸ方向およびＹ方向に対する角度を含むことの結果として、多数の構造要素境界が、カメラのメインラインの下方において配置される。これらは、Ｘ方向およびＹ方向に延びる構造要素境界である。構造要素境界とラインカメラとの交点の位置は、カメラのメインラインの長さ全体にわたって空間的に分離される。さらなる信号処理において、すべてのこれらの空間的に分離された位置情報は、カメラに対する構造の相対Ｘ位置および相対Ｙ位置を決定するのに使用されてもよい。その結果として、きわめて良好な信号対雑音比（ＳＮＲ）が、測定によって達成され、それに加えて、大きな精度が、相対Ｘ位置および相対Ｙ位置の位置決定によって達成される。
【０００８】
本発明の方法および装置の精緻なさらなる実施形態によれば、Ｘ方向およびＹ方向に対するメインラインの角度は、カメラがｍ個の空間的に分離されたＸ信号およびｎ個の空間的に分離されたＹ信号を適切に提供するように選択または設定される。好ましくは、ここで、ｍおよびｎは、お互いに異なる素数である。好ましくは、装置の信号処理モジュールは、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）を備える信号処理の助けによって、基板に対する少なくとも１つのカメラの相対Ｘ位置および相対Ｙ位置を正確に導出するように構成される。高速フーリエ変換の代わりに、信号処理は、離散サイン／コサイン変換を備えてもよい。そして、ここで、ｍ個の空間的に分離されたＸ信号およびｎ個の空間的に分離されたＹ信号に対応する周波数は、カメラに対する相対Ｘ位置および相対Ｙ位置をそれから得るために、そのようなサイン／コサイン変換を施される。特に、ｍおよびｎが、お互いに異なる素数であれば、Ｘ位置情報提供パルスとＹ位置情報提供パルスと間には信号におけるわずかなクロストークしか存在せず、したがって、Ｘ位置情報およびＹ位置情報の導出は、比較的に簡単かつ正確に実行するができる。
【０００９】
精緻なさらなる実施形態によれば、カメラに対する基板構造のＸ位置が、カメラ信号のＦＦＴ処理のｍ番目の結果から得ることができ、カメラに対する基板構造のＹ位置が、ＦＦＴ処理のｎ番目の結果から得ることができる方法および装置が提供される。ここで、ｍは、カメラによって同時に観察されるＹ方向に延びる空間的に分離された構造要素境界の数であり、ｎは、カメラによって同時に観察されるＸ方向に延びる空間的に分離された構造要素境界の数である。
【００１０】
好ましくは、相対Ｘ位置および相対Ｙ位置が決定されるスキャンニングパス中、さらに、基板に対する操作が、処理ヘッドによって実行される。この処理は、例えば、インクジェットプリンタ操作、照明、アブレーション操作、および、基板上に部品を配置することを備えてもよい。
【００１１】
本発明の精緻なさらなる実施形態によれば、カメラ信号から得られるＸ位置情報は、基板に対する処理ヘッドの相対Ｘ位置を補正するのに使用される。
【００１２】
本発明の精緻なまたさらなる実施形態によれば、カメラ信号から得られるＹ位置情報は、例えば、インクジェットプリンタヘッドによって液体を放出するタイミングの設定、照明処理ヘッドによって照明するタイミングの設定、アブレーション操作のタイミングの設定、および／または、部品を取り付けるタイミングの設定のような、操作のタイミングを設定するのに使用される。
【００１３】
本発明の精緻なさらなる実施形態によれば、処理ヘッドは、基板に対して直角に延びる中心線を軸にして回転することができる。したがって、例えば、インクジェットプリンタヘッドとして設計された処理ヘッドのノズルのＸ方向におけるピッチをＸ方向における基板構造のピッチに適合させることを実現することができる。
【００１４】
本発明の精緻なまたさらなる実施形態によれば、少なくとも１つのカメラは、好ましくは、基板に対して直角に延びる中心線を軸にして処理ヘッドに対して回転することができる。したがって、カメラの上述したメインラインの角度は、カメラ信号が空間的に分離されたＸ位置情報およびＹ位置情報を含むように設定することができる。
【００１５】
好ましくは、カメラは、ラインカメラである。そのようなラインカメラは、一直線に配置された一連のセンサ、例えば、一体となってラインセンサを構成する１０２４個のセンサを備える。ラインセンサを対物レンズとして使用することによって、構造の望ましい部分、例えば、１ｍｍの長さを有する線形部分をラインセンサ上に撮像することができる。
【００１６】
ここで、図面を参照して、本発明が、例としての実施形態に基づいてより詳細に説明される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１に示される例としての実施形態は、基板１をＸ方向およびＹ方向に動かすことのできる基板支持体によって支持された基板１を示す。この例としての実施形態においては、基板１は、その基板１からディスプレイを製造することを意図したものである。基板上には、直交マトリックス構造が、存在し、この直交マトリックス構造は、この例としての実施形態においては、画素ウェルを備える凸凹構造である。画素ウェルは、２０〜５００マイクロメートルの範囲内に存在する寸法を有する。画素ウェルの縁間の距離は、２〜４０マイクロメートルの範囲内に存在する。基板１は、少なくとも１０ｍｍ×１０ｍｍの長さと幅を有するが、例えば、１０００ｍｍ×２０００ｍｍのように相当に大きいものであってもよい。
【００１８】
Ｘ位置情報およびＹ位置情報が提供されるべき精度は、約１マイクロメートル程度のものである。
【００１９】
図１は、また、４つのカメラ３を備える処理ヘッド２を示し、それらのカメラ３は、この例としての実施形態においては、ラインカメラとして設計されたものである。これらのラインカメラは、それぞれ、メインラインに沿って配置された一組のセンサを備える。それぞれのラインカメラは、例えば、約１ｍｍの長さを観察し、かつ、例えば、メインラインに沿って次々に並べて配置された１０２４個のセンサを含む。そのようなラインカメラは、信号処理を施される１次元信号を提供する。２次元ＣＣＤカメラが使用されてもよいが、ＣＣＤカメラの１次元信号、すなわち、１つのメインラインに沿って配置された一組のセンサから入力する信号は、毎回、信号処理を施されることに注意されたい。
【００２０】
別の実施形態においては、基板は、動かないように配置されてもよく、かつ、処理ヘッド２は、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能に配置されてもよい。さらに別の精緻な実施形態においては、基板１は、例えば、Ｙ方向に移動可能に配置されてもよく、かつ、処理ヘッド２は、例えば、Ｘ方向に移動可能に配置されてもよく、また、その逆であってもよい。
【００２１】
処理ヘッド２は、基板１に直角に延びる中心線を軸にして回転可能である。カメラ３は、基板に直角に延びる中心線を軸にして処理ヘッド２に対して回転可能である。
【００２２】
さらに、基板支持体の移動を制御するモーションコントローラ４が提供される。図面は、さらに、処理ヘッド駆動装置５を示し、この例としての実施形態においては、処理ヘッドは、インクジェットプリンタヘッドであり、処理ヘッド駆動装置５は、インクジェットプリンタヘッド駆動装置５である。符号６は、信号処理モジュールを指示する。
【００２３】
信号処理モジュール６は、入力情報としてカメラ３から入力する１次元カメラ信号７を受け取り、また、基板１に塗布される構造の幾何学的知識８を受け取る。それぞれのカメラ３の１次元カメラ信号の高速フーリエ変換または離散サイン／コサイン変換に基づいて、期待位置に対する基板１のＸ位置の相対移動量９が、決定される。Ｘ方向におけるこの変位９は、実追跡変位（ａｃｔｕａｌ  ｔｒａｃｋｉｎｇ  ｄｅｖｉａｔｉｏｎ）という用語によって参照されてもよい。このようにして決定された実追跡変位９は、モーションコントローラ４の入力信号として使用される。それぞれのカメラ３の１次元信号の高速フーリエ変換に基づいて、信号処理モジュール６は、また、期待位置に対する基板のＹ位置の相対移動量を決定する。このＹ位置情報に基づいて、印刷トリガー信号１０が、信号処理モジュール６によって、モーションコントローラ４に送信される。この例としての実施形態においては、基板１上の画素ごとに、１つの印刷トリガー１０が、モーションコントローラ４に送信される。モーションコントローラ４からは、クロックに関連する第２の印刷トリガー信号１１が、インクジェットプリンタヘッド２の個々のノズルを制御するインクジェットプリンタヘッド駆動装置５に送信される。
【００２４】
この例としての実施形態においては、基板の長さは、Ｙ方向に延び、基板の幅は、Ｘ方向に延びる。スキャンニングパスにおいて、カメラ３を備える処理ヘッド２の基板１に対する相対移動によって、基板は、基板の長さ全体においてＹ方向に走査される。そして、基板１のＸ方向における処理ヘッド２に対する相対移動が、実行され、その後に、Ｙ方向における次のスキャンニングパスにおいて、基板が走査される。Ｙ方向におけるスキャンニングパスステップおよびＸ方向における移動ステップは、基板１が基板の幅全体にわたって走査されるまで反復される。
【００２５】
Ｙ方向における相対移動は、段階的な移動、または、０〜４０ｍ／ｓの範囲内に存在する速度による連続的な移動のいずれであってもよい。
【００２６】
カメラ信号のサンプリング周波数は、１ｋＨｚ〜２ＭＨｚの範囲内に存在してもよい。
【００２７】
約１５０マイクロメートル程度の寸法を有する構造要素が存在しかつスキャンニング速度が約０．４ｍ／ｓの場合、１０ｋＨｚのサンプリング周波数であれば、信号パルスのエイリアシングを防止するのに十分である。
【００２８】
少なくとも１つのカメラのメインラインは、Ｘ方向に対する所定の角度を含み、かつ、Ｙ方向に対する所定の角度を含む。上述した角度は、０°または９０°からずれたものであり、空間的に分離されたＸ位置情報およびＹ位置情報をカメラ信号が含むように、かつ、信号処理の助けによってＸ位置情報およびＹ位置情報をセンサ信号から分離できるように選択されるものである。
【００２９】
図２は、マトリックス構造Ｍを備える基板１に対するラインカメラ３の連続的な位置Ａ、Ｂ、．．．、Ｚを平面図で示す。この例としての実施形態においては、基板１は、画素が５０×１５０マイクロメートルの寸法を有する画素構造を備える。約１ｍｍの長さを有するラインカメラ３は、Ｘ方向に対して約４９°の角度を含む。この結果として、ラインカメラは、Ｙ方向において５つの画素境界と交差し、また、Ｘ方向において１３の画素境界と交差する。走査中、それぞれのラインカメラは、空間的に分離されたｍ個のＸ信号および空間的に分離されたｎ個のＹ信号を提供し、ここで、ｍ＝１３であり、また、ｎ＝５である。この例としての実施形態において、ｍおよびｎはいずれも素数であり、さらに、それらはお互いに異なるという事実のために、Ｘ方向における画素境界およびＹ方向における画素境界に対して同時に起こるパルスは、まったくかまたはほとんど発生することはなく、そのために、信号におけるクロストークは、まったくかまたはほとんど発生することはない。したがって、ラインカメラ位置Ａ、Ｂ、．．．、Ｚごとに、図２は、Ｘ方向における画素境界とＹ方向における画素境界との交点と一致するラインカメラ３上の位置をまったくかまたはほとんど示していない。Ｘ方向およびＹ方向の両方において、構造要素境界の信号は、良好に空間的に分離されている。構造要素の寸法が異なれば、角度が異なることは明らかなことである。例えば、画素が、３００×３００マイクロメートルの寸法を有する場合、ラインカメラのメインラインが含む適切なＸ方向に対する角度は、３３．７°である。この角度によれば、ラインカメラが約１ｍｍの長さを有する場合、３つの空間的に分離された画素境界交点をＸ方向において観察することができ、２つの空間的に分離された画素境界交点をＹ方向において観察することができる。不適切に選択された角度によれば、空間分離が、相当に減少するかもしれず（例えば、０°および９０°を選択すれば）、あるいは、大きなクロストークが、Ｘ方向における画素境界およびＹ方向における画素境界の観察において発生するかもしれない。正方形の画素の場合、例えば、４５°の角度は、信号におけるかなり大きなクロストークのために、特に、望ましくない。
【００３０】
信号処理モジュール６における信号処理中、カメラに対する基板構造の相対Ｘ位置は、カメラ信号のＦＦＴ処理のｍ番目の結果から得られ、カメラに対する基板構造の相対Ｙ位置は、ＦＦＴ処理のｎ番目の結果から得られ、ｍは、ラインカメラごとに観察されるＹ方向に延びる画素境界の数であり、ｎは、ラインカメラごとに観察されるＸ方向に延びる画素境界の数である。
【００３１】
ｍ番目の結果およびｎ番目の結果の振幅は、信号の信頼性の指標であり、ｍ番目の結果およびｎ番目の結果の位相情報は、相対Ｘ位置および相対Ｙ位置にそれぞれ比例する。
【００３２】
この方法によれば、それによって提供される情報、すなわち、カメラのメインラインの下方に位置するすべての構造要素境界の情報が、使用されるという事実によって、きわめて良好な信号対雑音比（ＳＮＲ）が、測定によって得られ、それに加えて、大きな精度が、相対Ｘ位置および相対Ｙ位置の位置決定において得られる。
【００３３】
本発明は、これまでに説明された例としての実施形態に限定されることはなく、添付の特許請求の範囲によって規定されるように、本発明の枠組の範囲において、様々な変形を考えることができる。したがって、本発明の方法および装置は、基板に付加される構造の位置を決定するのに使用され、その基板は、異なる最終製品を意図するものであってもよい。ここで、考えられる選択肢には、電子部品、メモリー、生物医学的分析アレイ、ＬＣＤのためのＴＦＴ構造、および、ＰＣボード上への部品の配置がある。基板上の構造要素は、画素ウェルである必要はなく、例えば、チップ内の電子部品、カラーフィルター構成要素、などのような、光によって検出可能なその他の要素によって形成されてもよい。また、基板上における走査の経路は、様々に変更されてもよい。Ｙ方向における走査およびＸ方向における段階的な移動の代わりに、走査は、斜め方向に、すなわち、Ｘ方向またはＹ方向に対して鋭角を含む方向に実行されてもよい。すでに示唆されたように、走査は、連続的な速度で実行されてもよく、また、走査は、段階的に実行されてもよい。画素ウェルまたは類似する構造要素を備える凸凹構造の代わりに、印刷された形態の構造が、基板に付加されていてもよい。そして、カメラは、例えば、凸凹構造要素の境界によって決定される高さの差の代わりに、コントラスト差を観察する。これまでに示唆されたように、インクジェットプリンタヘッドの代わりに、処理ヘッドは、照明ヘッド、アブレーションヘッド、または、部品を配置するための処理ヘッドから構成されてもよい。照明は、例えば、可視光、紫外線、赤外線、Ｘ線、などによって実行されてもよい。構造要素が、３００マイクロメートルよりも大きい寸法を有する場合、良好な精度および信頼性のある信号を得るために、それに沿ってカメラの一連のセンサが配置されるメインラインの長さを増大させなければならない。
【００３４】
説明された例としての実施形態においては、構造要素は、直交マトリックス状に配置されたが、構造要素が非直交マトリックス状に配置される構造の相対位置が、本発明の方法および装置によって決定されてもよい。ここで、考えられる選択肢は、円形構造、不等辺四辺形構造、または、ハニカム構造を備えるマトリックス構造である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明による装置の例としての実施形態の構成を示す図である。
【図２】様々な連続するカメラ位置が示された基板の平面図である。
【図１】
2009509746.tif 000003
【図２】
2009509746.tif 000004
【国際調査報告】
2009509746.tif 000005
2009509746.tif 000006