(57)【要約】  本発明は、異なる不導体材料から成る複数層を有する多層フィルムの厚さを検出する方法に関するものである。この方法によれば、多層フィルム１３の厚さが、第１センサ１７と、第２センサ１６と、任意の複数追加センサとによって測定される。第１センサ１７は、約１−２分間持続する短い周期で全厚の分布を測定するが、測定誤差の幅が大きい。第２センサ１６は、測定誤差の幅は小さいが、全厚分布の測定周期が長く、約１０−３０分間持続する。これら２つの厚さ分布を比較することで、第１センサ１７に対する修正分布が計算できる。この修正分布は、長い周期を通じて一定のままであれば、より正確な新たな厚さ分布が第２センサによって利用可能にされ、新たな修正分布の計算が可能になるまで、センサ１７のすべての厚さ分布に適用できる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる不導体材料製の複数層を有する多層フィルム（１３）の全厚及び／又は個々の層厚を測定する方法において、
異なる測定原理で作業する少なくとも２つのセンサ（１６，１７）の厚さ測定値から、これらのセンサのうちの少なくとも１つのセンサ（１６又は１７）の修正値が決定され、これらの修正値から、続く少なくとも１回の測定のために、１つのみのセンサの測定値と、このセンサ（１６又は１７）の修正値とから、多層フィルムの修正全厚及び／又は多層フィルムの個々の層厚が決定される、多層フィルムの全厚及び／又は個々の層厚を測定する方法。
【請求項２】
異なる不導体材料製の複数層を有する多層フィルム（１３）の、第１センサ（１７）による一連の厚さ測定値を修正する方法において、
別の単数のセンサ（１６）又は複数のセンサが備えられ、しかも、前記第１センサ及び前記単数又は複数の別のセンサにより、等しい材料製の等厚の多層フィルム（１３）の複数層について異なる測定値が得られ、該センサ（１６，１７）の測定信号がコンピュータ（１８）へ送られ、該コンピュータが、第１センサ（１７）と単数又は複数の別のセンサ（１６）との異なる測定値から、多層フィルム（１３）の正確な全厚を決定し、センサ（１６及び／又は１７）により測定された値に対する該正確な全厚の比から修正分布が計算され、この修正分布が、センサ（１６及び／又は１７）の、次の一連又は数連の測定を修正するのに利用されることで、再び正確な厚さ測定値が得られることを特徴とする、第１センサによる一連の厚さ測定値を修正する方法。
【請求項３】
多層フィルム（１３）の等しい厚さから異なる測定値が得られる使用第１センサ（１７）と単数又は複数の第２センサ（１６）とが、次の種類のセンサとして、すなわち、
―  反射式又は透過式に測定する容量型（１６，１７）センサ、及び／又は
―  放射線の後方散乱又は透過放射線を測定する、電離放射線を利用して作業するセンサ、及び／又は
―  赤外線吸収度を測定する、赤外線を利用して作業するセンサ、及び／又は
―  干渉法により測定する光学式センサ、及び／又は
―  フィルム厚さ測定用の空気式又は機械式センサ、及び／又は
―  熱的センサ、及び／又は
―  多層フィルム厚さを超音波で測定するセンサとして構成されている、請求項１又は請求項２に記載された方法。
【請求項４】
異なる比誘電率εγを有する複数材料層から成る多層フィルム（１３）の厚さを測定する方法であり、しかも、第１センサ（１７）が、反射法に従って作業する（反射式）容量型であり、第２センサ（１６）が、透過法に従って作業する（透過式）容量型である、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載された方法。
【請求項５】
異なる比誘電率εγ及び／又は異なる誘電損率ｔａｎδを有する複数材料層から成る多層フィルム（１３）の厚さを決定する方法である、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載された方法。
【請求項６】
厚さ測定値がフィルム材料の比誘電率εγに大幅かつ特に直接比例的に従属する測定原理に従う第１センサが、特に、容量を利用し反射式に作業する測定原理で作業し測定するセンサと共に作業し、
厚さ測定値がフィルム材料と複数フィルム層との比誘電率εγに全く従属しないか、又は僅かしか従属しない測定原理に従う第２センサが、特に、フィルム厚を容量を利用して透過式に測定するセンサ、又は電離放射線の後方散乱を利用して測定するセンサ、又はフィルム厚を光学的な干渉法を用いて測定するセンサと共に作業する、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載された方法。
【請求項７】
多層インフレーションフィルム押出し機の場合に、多層フィルム（１３）の全厚を測定及び／又は監視及び／又は調整するための、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載された方法の使用。
【請求項８】
多層インフレーションフィルム押出し機の場合に、多層フィルム（１３）の全厚を測定及び／又は監視及び／又は調整し、しかも、第１センサ（１７）がインフレーションフィルム（１３）の厚さを該フィルムの周部のところで測定し、第２センサ（１６）がフィルム厚を平らにつぶされたチューブ状フィルム（１３´）の縁部のところで測定するための、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載された方法の使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、独立請求項１の上位概念部分（ｏｂｅｒｂｅｇｒｉｆｆ）に記載された多層フィルムの厚さを測定する方法に関するものである。合成樹脂製の多層フィルムは、異なる材料から成る多くの層で構成されている。
多層フィルムは、同時押出し法又は多層押出し法を用いて種々のいわゆる熱可塑性樹脂で製造される。これらの公知押出し法には、インフレーション法（Ｂｌａｓｅｘｔｒｕｓｉｏｎ）とフラットフィルム押出し法（Ｆｌａｃｈｅｘｔｒｕｓｉｏｎ）とがある。インフレーション法の場合は、いわゆるインフレーションフィルム（Ｂｌａｓｆｏｌｉｅｎ）が作られる。インフレーション法の場合、溶融体が環状ダイから押出され、チューブ状に形成される。このチューブ内へ空気を吹き込み、チューブを膨張させる。次いでチューブが平らにつぶされ、多くの場合、２つ以上のウエブに切断され、巻き取られる。
【０００２】
フラットフィルム押出し法の場合は、溶融体がフラットダイから押し出される。しばしば用いられる熱可塑性樹脂は、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリアミド（ＰＡ）、エチレン−ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）その他である。
多層フィルムの製造時には、同時に、異なる特性を有する異なる熱可塑性樹脂が多重ダイから押出され、多層フィルムに一体化される。多くの場合、多層フィルムの各層間に、いわゆるカップリング剤（ＨＶ）が施される。カップリング剤は多層フィルムの層間の結合を改善する。
【０００３】
多層フィルムは、食料品の包装用に大量に使用される。その場合には、遮断合成樹脂が使用される。それらの多層フィルムは、例えば酸素、湿気、その他特定物質をほとんど透過させない複数層を有しており、それによって、食品の持ちが改善される。食品包装の場合、多層フィルムは、収縮性フィルム、調理用袋、乳製品用の無菌包装としても使用される。典型的な遮断フィルムは、例えば、次の構成を有している：
ＰＥ又はＰＰ
ＨＶ
遮断層（ＰＡ，ＥＶＯＨ）
ＨＶ
ＰＥ又はＰＰ．
【０００４】
多層フィルム、それに使用する材料、多層フィルムの特性並びに製法に関するこのほかの詳細は、例えばミュンヒェン、ウィーンのカール・ハンザー書店（Ｃａｒｌ  Ｈａｎｓｅｒ  Ｖｅｒｌａｇ  Ｍｕｎｃｈｅｎ  Ｗｉｅｎ）から１９９４年に出されたヨーアヒム・ネントヴィヒ著「合成樹脂−フィルム、製法、特性、適用」（Ｊｏａｃｈｉｍ  Ｎｅｎｔｗｉｇ：Ｋｕｎｓｔｓｔｏｆｆ−Ｆｏｌｉｅｎ，Ｈｅｒｓｔｅｌｌｕｎｇ，Ｅｉｇｅｎｓｃｈａｆｔｅｎ，Ａｎｗｅｎｄｕｎｇ．１９９４）に分かり易く記載されている。
あくまで一般的に、フィルム製造の場合、特に多層フィルム製造の場合にも、フィルム厚が監視され、偏差が認められた場合には、例えばフラットフィルム製造時には、押出しダイのスリット幅が変更され、出来るだけ等厚のフィルムが製造される。インフレーションフィルムの押出しの場合には、局所的に溶融体又は冷却空気の温度、もしくは冷却空気量が変更される。
【０００５】
例えばインフレーションフィルムの品質を全周にわたって均一にするためには、全周にわたって厚さを出来るだけ一様にせねばならない。一様な厚さは、とりわけ、フィルムのその後の加工時に、例えば一様な印刷を可能にするためにも不可欠である。製造時に一様な厚さか否かを監視したり、ブローヘッド内の調整素子によって調整したりするためには、フィルムの厚さ分布を測定せねばならない。
フィルムの厚さ測定用には、例えば次の種類のセンサが知られている：
フィルムの誘電率及び／又は減衰率に影響される静電容量型センサ。静電容量型センサでは、反射式又は透過式の測定が可能である。
電離放射線、後方散乱、吸収のいずれかで作業又は測定するセンサ。
赤外線−吸収により透過式に作業かつ測定するセンサ。
光学式に干渉法により作業かつ測定するセンサ。
平らにつぶした後、機械式又は空気式に厚さ測定するセンサ。
熱的方法で測定するセンサ。
超音波を使用し、動作時間（Ｌａｕｆｚｅｉｔｅｎ）、減衰、反射、移相を測定するセンサ。
【０００６】
フィルムの厚さ調整の場合、何メートルも走行して平らにつぶされてからではなく、ブローヘッド後方で、つまりフィルムが未だチューブ状の時に出来るだけ迅速にフィルム厚を検出するほうがよい。これは、しかし、チューブ状フィルムを外側から反射式に測定するシステムでなければ不可能である。最も頻繁に使用される測定システムは容量型システムである。電離放射線の後方散乱で作業するセンサは、それに関連する危険と課せられる条件とのため、使用が好まれない。光学式センサは、著しく濃く着色されたフィルムをも測定せねばならない場合には、使用できない。
反射原理に従って作業する容量型センサは、例えばインフレーションフィルム押出し機のチューブ状フィルムのところでフィルム厚さを測定するのに有利である。チューブ状フィルムの厚さ分布をオンラインで検出するためには、センサが、チューブ状フィルムの周囲に設けられた環状構造物上を案内される。この１回の周回は、通常、１−２分かかる。センサは、一様の圧力でチューブ状フィルムに押付けられる。これによって、例えばＰＥフィルムの厚さ分布が極めて良好かつ精密にオンライン検出できる。
【０００７】
容量型センサの測定信号は、被測定材料の誘電率に従属する。反射原理に従って作業するセンサの測定信号は、フィルム厚さとフィルム材料の誘電率とに事実上直接に比例する。ある種の材料の誘電率は温度に従属する。
部分的に著しく異なる誘電率を有する数層の熱可塑性樹脂から成る多層フィルムを測定する場合、厚さ及び厚さ分布の測定には誤差が伴う可能性がある。なぜなら、センサは、例えば、同時に全フィルムの厚さが変化するだけでなく、多層フィルムの複数層の１つ以上の層厚も同時に変化することによって、フィルム厚さに由来する誤差と、多層フィルムのうちの１層の厚さに由来する測定誤差とが、相互に部分的に又は全体的に補償される事態は検出できないからである。容量型センサでは、フィルム厚さの変化は、検出されないか又は誤って検出される、つまり過大又は過小に検出される。
【０００８】
多層フィルム用に使用される熱可塑性樹脂等の合成樹脂の誘電特性は、例えばハンス・ドミニングハウス著「合成樹脂及びその特性」（１９９８年、シュプリンガー書店刊）（Ｈａｎｓ  Ｄｏｍｉｎｉｎｇｈａｕｓ：Ｄｉｅ  Ｋｕｎｓｔｓｔｏｆｆ  ｕｎｄ  ｉｈｒｅ  Ｅｉｇｅｎｓｃｈａｆｔｅｎ）に記載されている。その１２８ページには、例えば、多層フィルム用に使用される合成樹脂の場合の誘電率εと誘電損率ｔａｎδが、温度との関係図表で示されている。その図表から分かることは、フィルム温度をも測定して、厚さの修正値と厚さ値との検出に取り込むことで、多くの場合、測定精度を更に高めるのに役立つという点である。
著しく高い誘電率を有するフィルムに対して感度過剰になる問題を回避するためには、透過式に測定する容量システムを利用できるが、もちろん、これは、製造時に、フィルムが平らにつぶされた後、両側からフィルムに接近可能になってからのことである。
【０００９】
この方法の場合、平らにされたフィルムの縁部にＣ字形のコンデンサが配置される。このセンサがフィルムの縁部を案内される。センサの容量変化から、フィルム厚の変化が推定される。透過式に測定するこれらのセンサの測定感度は、厚さに直接比例し、被測定フィルムの材料の誘電率にはほとんど従属しない。なぜなら、透過式に作業する容量型厚さセンサの測定値は、ほぼ比誘電率εγ≧５から事実上材料厚にのみ従属するからである。したがって、この測定システムで得られる厚さ値は、遮断フィルムの場合、反射式の容量型センサによる測定よりはるかに精密である。
【００１０】
測定時には、チューブ状フィルムが、平らにつぶされるさいに連続的に転回するか、又は３６０°逆転回する状況が利用される。平らにつぶされるか又はブローヘッドを転回させることによって、チューブ状フィルムが３６０°転回する動作は、通常、約１０−３０分続く。これにより、インフレーションフィルムの周部上の各箇所が１回転又は逆回転ごとに１回、フィルム縁部となり、Ｃ字形センサの区域へ入る。したがって、この方法の場合も、全周部にわたるフィルムの厚さ分布が全幅にわたって検出される。厚さ測定は、平らにされたインフレーションフィルムの全周部にわたって例えば１センチメートル以上の規則的な間隔で行われる結果、インフレーションフィルムの全周部が複数セグメントに分割される。
フィルム縁部に配置されたＣ字形センサにより、常に２つのセグメントの厚さが一緒に検出される。しかし、チューブ状フィルムの転回によって、センサの測定範囲には上下セグメントの常に新たな組み合わせが入ってくる。これによって、個別セグメントの厚さが計算により決定され、全周部にわたる厚さ分布がまとめられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の課題は、２つの方法の利点を組み合わせ、２つの方法の欠点が除去された１つの方法を得ることである：
反射式に測定する第１の容量型測定システムは、インフレーションフィルムのところの逆転装置に配置され、逆転時間に応じてほぼ１−２分間隔で厚さ分布を提供できる。厚さ測定値は、しかし、異なるフィルム層の異なる誘電率及び温度の影響により著しく歪曲される。
透過式に測定する第２の容量型測定システムは、チューブ状フィルムが平らにつぶされた後に初めてフィルム縁部のところに配置され、引取りの逆転時間に応じて約１０−３０分間隔で厚さ分布を提供する。しかし、厚さ測定値が、異なる層の異なる誘電率や温度の影響によって歪曲されることはほとんどない。
【００１２】
異なる測定方法で得られる等しい値の測定値対から、より正確な測定成績を決定し、個々の方法の測定誤差を修正することは、従来技術により可能である。
その場合、より正確度の低い測定値が、より正確な値へ修正されるか、又は、被測定製品への測定方法の従属性が既知の場合には、２つの方法から、更に正確な成績を決定することができる。  
欧州特許出願公開公報第１２０５２９３号（ＥＰ  １２０５２９３  Ａ１）には、例えば、多層フィルム各層の誘電率が温度に対し異なる従属性を有することを利用して、容量型センサで個々の層の厚さを、したがってまた全厚を、どのように正確に測定できるかが示されている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の重要な点は、測定値対から、より正確な成績が得られるだけでなく、付加的に１つの修正値が得られ、この修正値が、１つのみの測定値と共同で、より正確な成績を同じように再びもたらす点である。
一般に、全厚の調整には、透過式に測定する容量型センサで得られる測定値の精度で十分である。十分に正確な修正値は、したがって、正確な全厚の代わりに、透過式に測定する容量型センサの厚さ値のみを利用しても得ることができる。
本発明による方法は、独立請求項１の特徴部分に記載された特徴を有している。従属請求項は、本発明の好適実施形式に関わるものである。
【００１４】
測定値の一方は迅速に測定できるが、測定値の他方は緩速にしか測定できない場合、緩速の測定値の代わりに、より迅速に測定した値で修正値を清算することにより、その外挿で、迅速に修正された値を得ることができる。
より迅速に測定するとは、本明細書では、厚さ分布を、一方のセンサが他方のセンサよりも短時間で測定することを意味する。逆に、緩速で測定するとは、本明細書では、センサが、厚さ分布の測定に、迅速に測定するセンサより多くの時間を要することを意味している。
修正値は、厚さ分布の測定に既述のように適用する場合、定数ではなく、インフレーションフィルムの周部上の位置に従属する値である。全周部にわたる一連の全修正値が、修正分布と見なされる。
【００１５】
一方のセンサに全厚測定値の偏差を生じさせる効果が各フィルム位置で比較的長時間にわたり一定であると仮定すると、他方のセンサの測定値の代わりに、前に決定され記憶されたこの修正分布を、後に続く分布用に、一方のセンサの測定値の修正に使用して、全厚の修正値を決定することができる。
容量型センサの代わりに、実例で示すように、別の原理で作業するセンサを使用することもでき、あるいはまた容量型センサと、別の原理で作業するセンサとを併用することもできる。重要な点は、センサの測定信号が、例えば、多層フィルムを構成している異なる熱可塑性樹脂ごとに異なる感度を示す点、又は緩速システムのほうが、著しくより正確な測定が可能である点である。
【００１６】
以下で、本発明を略示図について、より具体的に説明する。
フィルムの製造は、インフレーションフィルム押出し機１により次のように行われる：
多重リングダイ（図示せず）を有する押出し機により押出される異なる熱可塑性樹脂の溶融体が、１つのチューブに形成される。このチューブ状フィルムは、溶融体の押出し速度より高い速度で引き取られる。ダイ１２を有するブローヘッド１１内の圧縮空気接続部により、チューブが膨張させられ、インフレーションフィルム１３にされる。レイフラット装置１４の端部でインフレーションフィルムは２つのニップロール１４´で平らにつぶされる。平らにされたチューブ状フィルム１３´は、次いで、巻き上げ装置（図示せず）へ案内され（矢印）、巻き取られてロールにされる。
【００１７】
フィルム厚は、インフレーションフィルム１３の周囲で、反射原理で作業する例えば第１容量型センサ１７によって測定される。センサ１７は、インフレーションフィルム１３の周囲の軌道１７´上を往復動する。このセンサは、また連続的にインフレーションフィルム１３を周回することもできる。センサ１７の逆転又は周回の時間は１分から数分である。
ニップロール１４´の後方で、インフレーションフィルムは、転向バー１５をへて固定ローラ１５´へ案内される。転向バー１５を有する逆転装置は、平らにつぶされたインフレーションフィルムの縁部区域をインフレーションフィルムの全周部にわたって移動させるように働く。
この結果、平らにつぶされたチューブ状フィルム１３´の縁部のところで第２センサ１６によって厚さが測定されると、走行方向に対して横方向の厚さ分布がインフレーションフィルムの周部で測定される。センサ１６は、例えば容量型で透過式に作業する。
【００１８】
双方のセンサ１６，１７の測定値はコンピュータ（Ｒｅｃｈｎｅｒ）に送られる。
コンピュータ１８は、測定値から厚さの修正値と、センサ１７に対する修正値又は修正分布とを算出する。これについては、更に詳しく後述する。
コンピュータ１８が計算する全厚の分布はコンソール１９へ送られ、コンソールによって押出し機１の作業、すなわち押出し工程が制御され、調整される。コンピュータ１８のディスプレーには、得られた全厚値が、例えば図表及び／又は数字で現れる。
厚さ値は、多層インフレーションフィルム押出し機の制御、調整、監視、調節のために、コンソール１９へも伝送でき、そこでもデータは、同じようにディスプレーに表示できよう。最終的に、コンソール１９が、フィルムの厚さを、本発明の方法によってコンピュータ１８で得られた厚さ値に基づいて、既述のように調整し、制御するようにすることもできる。
【００１９】
２つのセンサ１６，１７は、機能原理が異なるため、多層フィルムの個々の層に対する感度も異なっている。反射式に作業するセンサ１７の測定又は測定値は、多層フィルムの厚さと誘電率とに従属し直接に比例する。加えて、これらの誘電率はフィルムの温度に著しく従属する可能性がある。
厚さを透過式に測定するセンサ１６による測定は、これに対し、多層フィルムの材料の誘電率には僅かに従属するのみである。この方法で得られる全厚の測定精度は、実際上の要求を満足させることが判明した。
以上の説明で挙げた非容量式のすべての測定法は、誘電率には全く従属しない。
次に、例として、両センサ１６，１７の測定値の修正分布は、どのように計算可能かを示すことにする。但し、第２センサ１６の測定精度が十分に正確なものと見なすことが前提条件である。その場合、表１の定義を利用する。
【００２０】
【表１】
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【００２１】
センサ１７の測定データＤ２とセンサ１６の測定データＤ１との組み合わせにより、全厚Ｄの分布は、センサ１６だけ又はセンサ１７だけの場合より正確に決定できる。これは従来技術である。例えば欧州特許出願公開公報第１２０５２９３号（ＥＰ  １２０５２９３  Ａ１）には、容量型センサを用いて、これらの項目（Ｐｏｓｉｔｉｏｎｅｎ）で個別の層の厚さを計算可能なことが示されている。したがって、正確な全厚も決定可能である。
Ｄ１とＤ２との組み合わせによる全厚分布Ｄから、センサ１７で検出された分布Ｄ２との比較により分布点ごとの修正値Ｄ／Ｄ２が算出され、これによって修正分布が得られる。全厚分布Ｄとしては、修正計算厚さを使用するか、又は簡単化して、第２センサ１６の成績のみを使用することもできる。これにより計算される外挿の品質は、最良の場合、使用した全厚分布の品質に達する。
【００２２】
横断面（Ｑｕｅｒｐｒｏｆｉｌ）での測定誤差が２％−３％未満であれば、製造目標での厚さの変動に合致し、その測定は十分に正確と見なされる。
また、外挿により少なくともこの精度に達すること、それも、より迅速なセンサ１７の検出速度で、この精度に達することも目標である。
厚さ分布は、軌道１７´上のセンサ１７により迅速に測定できるが、多くのＰＡを有する多層フィルムの場合、測定分布は、全厚による影響より、ＰＡの割合による影響のほうが、はるかに大きい。とはいえ、全厚は、出来るだけ平坦な分布になるように調整すべきである。
【００２３】
センサ１６では、全厚分布に対するＰＡの割合の影響は、はるかに小さいが、測定は約５−１０倍長くかかり、そのことが分布調整には不利となる。
各分布点で全厚との関係でのＰＡの割合又は測定センサ及び測定装置に対するＰＡの割合の影響が、長時間（３０分以上）一定のままであり、したがって修正分布も一定のままであると仮定すれば、センサ１７の迅速な測定は、緩速のセンサ１６により最初の修正分布が決定されると直ちに修正できる（迅速＝分布測定のための短い時間で、インフレーションフィルム１３の周囲をセンサ１７が周回する時間に相当する）。
センサ１７により検出される次の分布Ｄ２´を修正するには、各分布値に、修正分布の相応の修正値が乗じられる。
【００２４】
この修正値は、実質的にＤＡ／ＤＥ比又はＤＡ／Ｄ比に従属する。比誘電率εγ（ＰＡ）に温度が従属するため、温度も、ひとつの重要な付加的影響を有している。分布点ごとのＰＡの割合は一定と仮定する。温度分配も、したがってインフレーションフィルムの全周にわたる温度分布も、一定と仮定する。このことは、温度測定によっても確認された。修正分布により、したがって、インフレーションフィルムの全周にわたる温度分配の影響も修正できる。
例えば直接に第２センサ１６が、例えば透過式に測定する容量型センサが検出する分布を、修正分布を得るための出発値である全厚分布と見なす場合には、表２の方程式が妥当する。  
双方のセンサが個々の層の厚さを測定可能な場合、それに応じて、個々の各層に対する修正率も決定できる。
【００２５】
【表２】
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【００２６】
試験分布の実験により確認された点は、外挿が、センサ１７のみによる測定よりはるかに有効かつ正確である点である。Ｄの方程式１で、修正計算された全厚値を使用した場合、外挿された値は、センサ１６のみによる測定値よりも正確である。相互調節が不十分な、測定装置のセンサ１６，１７でも、良好な外挿が可能である。
【００２７】
異なる不導体材料層を有する多層フィルム１３の厚さを測定するこの方法の場合、多層フィルム１３の厚さが、第１センサ１７と第２センサ１６とにより、必要とあれば更に別のセンサも加えて、測定される。第１センサ１７は、約１−２分の短い周期時間で全厚分布を測定するが、測定誤差が大きい。第２センサ１６は、全厚分布の測定誤差は小さいが、約１０−３０分の長い周期時間で測定する。
双方の厚さ分布を比較することで、第１センサ１７に対する修正分布を計算できる。この修正分布が長い周期時間にわたり安定的のままであることを前提として、センサ１７のすべての厚さ分布が、この修正分布と清算され、最終的に再び、第２センサの新しい、より正確な厚さ分布を利用して、新しい修正分布を計算することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の方法により厚さが測定され、監視される多層インフレーションフィルム押出し機の略示原理図。
【図１】
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【国際調査報告】
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2009513959.tif 000007
2009513959.tif 000008
2009513959.tif 000009
2009513959.tif 000010
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