(57)【要約】１つ以上の加工物、例えば、半導体ウエハを操作するための加工物移送アセンブリは、加工物の外径に対応する１つ以上の弓状部分を含む。この弓状部分は、加工物の外端に係合する加工物係合表面を有する；少なくとも１つの協働アームが、加工物の係合表面から加工物の外端部上に加わる圧力に応じて、加工物から離れる方向に加工物係合表面の変形を可能にするたわみアセンブリを含む。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工物の外側輪郭に対応する１つ以上の加工物係合部分を含む複数の協働アームを備える加工物移送アセンブリであって、
前記加工物係合部分が、加工物の外側輪郭の端部に係合できる加工物係合表面を有し、少なくとも１つの前記協働アームが、前記加工物係合表面から前記加工物の外側端部上に加わる圧力に応じて、前記加工物の端部から離れる方向に前記加工物係合表面の変形を可能にする１つ以上のたわみアセンブリを含んでいることを特徴とする加工物移送アセンブリ。
【請求項２】
一対の協働アームを含んでいることを特徴とする請求項１記載の加工物移送アセンブリ。
【請求項３】
前記一対の協働アームは、前記加工物の外側端部に係合して枢軸点のまわりに回転する、固定アームと移動アームを有することを特徴とする請求項２記載の加工物移送アセンブリ。
【請求項４】
前記協働アームの各々は、２つの先端部のそれぞれに弓状部分を有し、かつ各協働アームは、枢軸点で連結されていることを特徴とする請求項３記載の加工物移送アセンブリ。
【請求項５】
前記移動アームは、前記加工物係合表面の外側に、移動アームの一部分を形成するたわみアセンブリを含んでいることを特徴とする請求項３記載の加工物移送アセンブリ。  
【請求項６】
前記たわみアセンブリは、前記移動アームの枢軸部分と前記移動アームの加工物係合部分との間にノッチカット部を有することを特徴とする請求項５記載の加工物移送アセンブリ。
【請求項７】
前記たわみアセンブリは、加工物係合表面を形成する可撓性フィンガーを含んでいることを特徴とする請求項３記載の加工物移送アセンブリ。  
【請求項８】
直線経路に沿って前記協働アームを移動するリニアアクチュエータを含んでいることを特徴とする請求項１記載の加工物移送アセンブリ。
【請求項９】
前記枢軸のまわりに協働アームを回転させる大規模回転アクチュエータを含んでいることを特徴とする請求項３記載の加工物移送アセンブリ。
【請求項１０】
前記加工物を保持しかつ解放するために、前記固定アームに対して枢軸まわりに移動アームを回転させる小規模回転アクチュエータを含んでいることを特徴とする請求項３記載の加工物移送アセンブリ。  
【請求項１１】
１つ以上の加工物を操作する方法であって、
１つまたは２つの協働アームに、少なくとも１つのたわみ要素を含む一対の前記協働アームを設け、
前記一対の協働アームの各々を、前記加工物の外側端部に近接するように配置し、
前記協働アームの他方に対して前記協働アームの一方を前記加工物の外側端部に係合するように前記加工物に向けて移動する各工程を含み、
前記少なくとも１つのたわみ要素が、前記外側端部に係合することによって生じた圧力に応じて屈曲し、前記圧力を解放することを特徴とする方法。
【請求項１２】
前記たわみ要素は、前記アームに設けられたノッチ部分を含んでいることを特徴とする請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記たわみ要素は、加工物係合表面を含む可撓性フィンガーから構成されることを特徴とする請求項１１記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的に、イオン注入装置に関し、特に、イオン注入のための改良されたエンドステーションに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハの処理は、多くの処理工程を含み、これらの工程は、注入、熱処理、及び種々の化学物質に選択的に露光するステップを含んでいる。イオン注入設備を介してウエハが処理されるとき、ウエハは、特別の処理室とステーションとの間で移送される。ウエハを移送するために、ロボットが通常用いられる。処理中、半導体ウエハは、不均一又は過渡の力によって、特に、ウエハの端部のまわりに欠陥を生じやすく、そして、エンドエフェクタによって損傷した半導体ウエハは、半導体ウエハの生産量に悪影響を与える。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
加工物移送アームの一部分としてたわみ部を含み、このたわみ部は、加工物の端部に加わる圧力量を調整し、粒子生成等の欠陥をもたらす圧力の可能性を減少させる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
半導体ウエハ等の１つ以上の加工物を操作するための加工物移送アセンブリは、複数の協働アームを含み、これらの協働アームは、加工物の輪郭に対応する１つ以上の加工物係合部分を有する。この加工物係合部分は、加工物の外側輪郭の端部に係合する加工物係合表面を有する。少なくとも１つの協働アームは、たわみアセンブリを含み、このたわみアセンブリは、加工物係合表面から加工物の外側端部に加わる圧力に応じて加工物端部から離れる方向に加工物係合表面の変形を可能にする。
【０００５】
加工物移送アセンブリは、有利なことに、固定アームと移動アームを含む一対の協働アームを有し、移動アームは、加工物の外端部に係合するために、枢軸点の回りに回転する。この例では、協働アームの各々は、２つの先端部のそれぞれに、弓状部分を含んでいる。各協働アームは、枢軸点に連結される。いずれのアームもたわみアセンブリを有し、このたわみアセンブリは、アームの枢軸部分とアームの加工物係合部分との間のアーム内に、ノッチカット部等を有する加工物係合表面のアーム外側部分を形成する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
図１は、半導体ウエハとともに用いる加工物取扱いロボット１０を図示している。このロボットは、回転軸１２が突出したロボット本体１１を含む。軸１２の先端部には、参照番号１４で図示された移送アームアセンブリが、処理ステーションと貯蔵ステーションの間で加工物を移送するように取り付けられている。この移送アームアセンブリ１４は、一対の加工物支持アームを有する。固定アーム１５は、回転軸１２に取り付けられ、回転軸に対して移動することはない。移動アーム１９は、回転軸１２に対して相対運動可能である。移動アームの相対運動は、図２に示すように、短い移動範囲Ｌに制限され、図１に示す保持位置と図５Ａ及び図５Ｄに示す解放位置の間で、移動アームが枢軸点２０の回りに回転する。
【０００７】
また、図２に示すように、ロボット本体は、リニアアクチュエータ３３に接続され、このリニアアクチュエータは、図２中に記号Ｎで示す直線経路に沿って移送アームアセンブリ１０を移動する。回転駆動装置３１は、回転軸１２に結合され、記号Ｍで示す方向に回転軸１２及びアームアセンブリ１４全体を回転させる。第２の回転駆動装置３４が、回転軸１２の中にあって共転する第２軸を駆動する。この第２軸は、Ｍの方向に回転し、かつわずかな回転角度に対応する移動範囲Ｌにおいて、固定アームに対して移動アームを移動させる。
【０００８】
移送アームアセンブリ１４は、少なくとも１つのたわみ要素を含み、このたわみ要素は、移動アーム１９が回転するとき、応力を軽減し、その結果、加工物が、その端部部分に沿って２つのアームにより支持される。図１に示す移送アームアセンブリは、各アーム上にいくつかのたわみ要素を含んでいるが、これらのたわみ要素は、アームの１つだけ、特に移動アームに設けることもできる。たわみ要素の特徴は、移動アームが加工物の保持位置に移動するとき、加工物の端部によって移動アーム上に予想される力に応じて、所定量の変位が生じるように選択される。この方法では、移送アームまたは複数のアームが、加工物の端部上に生じる応力を軽減させる。図１及び図３に示すアームのたわみ部２１は、アーム部分１９ａ及び１９ｂ間のアーム１９に設けたノッチカット部からなる。
【０００９】
固定アーム１５及び移動アーム１９の両方に配置された、多数の加工物係合屈曲部２５が図示されている。図４は、加工物係合屈曲部の断面図を示している。好ましくは、べスペル(Vespel)またはピーク(PEEK)材料から作られる、屈曲する加工物支持フィンガー２６は、移動アーム１９に連結される取付本体部分２９に垂直に伸びている。加工物支持フィンガー２６は、本体部分２９に片持ちで支えられ、加工物１３の端部によって加えられた力に応じて記号Ｋの方向曲げられる。フィンガー26の可撓性は、本体部分２９とフィンガー２６の間に存在するノッチ２６ａによって増加する。加工物の端部は、一般的に、フィンガー２６におけるＶ形状チャネル２７によって支持される。この例では、移動アームが保持位置に移動すると、加工物支持フィンガー２６は、加工物の端部上の応力を軽減させることができる。
【００１０】
図５Ａ〜図５Ｄは、通常動作中、移送アームアセンブリ１４によってとられるいくつかの位置の順序を示しており、２つの開口物Ａ、Ｂの各位置が交換される。図５Ａにおいて、移送アームアセンブリは、休止位置にある。移動アーム１９は、固定アーム１５から離れた加工物Ａ、Ｂの外径よりもわずかに大きい距離Ｘによって、固定アーム１５から離れた、解放位置にある。図５Ｂに示すように、移送アームアセンブリは、加工物に近接して９０°回転し、移動アーム１９は、保持位置に向けて固定アーム１５の方向に移動する。移動アーム上のたわみアセンブリは、加工物の端部上に加わる応力を軽減するために湾曲する。図５Ｂから図５Ｃに移動するとき、移送アームアセンブリ１４は、１８０°回転し、加工物の位置が交換される。移動アームは、このとき、解放位置に移動し、そして、移送アームアセンブリは、９０°反対方向に回転し、図５Ｄに示すように休止位置に移動する。機構Ｎ（図２）に沿う直線運動（図示略）は、静電チャックおよびロードロックから加工物を取り除くのに用いられる。
【００１１】
本発明は、特殊性の度合いに従って記載してきたが、本発明は、添付の特許請求の範囲の精神及びその範囲に入る、開示された構成からの変更及び修正の全てを包含するものであることを意図している。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の１つの実施形態に従って構成された、移送アームアセンブリを特徴つける加工物移動アセンブリの正面斜視図である。
【図１Ａ】図１の加工物移送アセンブリの拡大部分図である。
【図２】図１の加工物移送アセンブリの後部斜視図である。
【図３】本発明の１つの実施形態に従って構成された、加工物移送アセンブリの部分図である。
【図４】本発明の１つの実施形態に従って構成された、加工物移送アセンブリアームの部分図である。
【図５】本発明の１つの実施形態に従って構成された、加工物移送アセンブリの動作を説明する加工物移送アセンブリ位置の手順を示す概略図である。
【図１】
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【図１Ａ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【国際調査報告】
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