(57)【要約】  流体ハンドリング装置は本体部分を含み、本体部分は、流路と、該流路から延びる衝撃チャンバとを画定する。衝撃チャンバは、流路と連通し、かつ端部間で長さ寸法が決定される対向する一対の端部を有する。衝撃チャンバは更に、長さ寸法に直交する直径寸法を持ち、長さ寸法は、直径寸法の３倍以上かつ１０倍以下の大きさである。本装置は更に、本体部分に動作可能に接続される少なくとも一つのセンサを含む。センサは、流路の反対側に位置する衝撃チャンバの端部に近接して配置され、かつ衝撃チャンバに向いた検出面を有する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部を延びる流路と、該流路とほぼ直交する方向に該流路から延びてこれと連通する衝撃チャンバとを画定する本体部分であって、衝撃チャンバは、端部間で長さ寸法が決定される対向する一対の端部を有し、かつ更に長さ寸法に直交する直径寸法を有し、長さ寸法は、直径寸法の３倍以上かつ１０倍以下の大きさである、本体部分と、
本体部分に動作可能に接続される少なくとも一つのセンサと、該センサは、流路の反対側に位置する衝撃チャンバの端部に近接して配置され、かつ衝撃チャンバに向いた検出面を有することと
を備える流体ハンドリング装置。
【請求項２】
センサは圧力センサである、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
圧力センサは歪み計測サファイアセンサである、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
本体部分は更に、流路の反対側に位置する衝撃チャンバの端部に検出チャンバを画定し、センサは検出チャンバに向けて配置される、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
衝撃チャンバは第１容積を画定し、検出チャンバは第２容積を画定し、第２容積は第１容積の３０％以下である、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
衝撃チャンバは第１衝撃チャンバであり、本体部分は更に、第１衝撃チャンバから離間した第２衝撃チャンバを画定し、第２衝撃チャンバは流路から延出してこれと連通し、第２衝撃チャンバは、端部間で長さ寸法が決定される対向する一対の端部を有し、かつ更に長さ寸法に直交する直径寸法を有し、長さ寸法は、直径寸法の３倍以上かつ１０倍以下の大きさであり、装置は更に、本体部分に動作可能に接続される第２センサを備え、第２センサは、流路の反対側に位置する第２衝撃チャンバの端部に近接して配置され、かつ第２衝撃チャンバに向いた検出面を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
更に、第１衝撃チャンバと第２衝撃チャンバとの中間において流路に流量制限部を備える、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
装置は流量制御装置である、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
装置は流量計である、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
衝撃チャンバが直円柱以外の形状を有し、直径寸法が水力直径である、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
流路と、該流路に連通する離間された一対の衝撃チャンバとを画定する本体部分と、各衝撃チャンバは、端部間で長さ寸法が決定される対向する一対の端部を有し、かつ長さ寸法に直交する直径寸法を有し、長さ寸法は、直径寸法の３倍以上かつ１０倍以下の大きさである、本体部分と、
本体部分に動作可能に接続された一対のセンサと、各センサは、衝撃チャンバの一方の、流路の反対側に位置する端部に近接して配置されることと
を備える流体ハンドリング装置。
【請求項１２】
本体部分は更に、流路の反対側に位置する各衝撃チャンバの端部に検出チャンバを画定する、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
各衝撃チャンバは第１容積を画定し、各検出チャンバは第２容積を画定し、第２容積は第１容積の３０％以下である、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
衝撃チャンバが直円柱以外の形状を有し、直径寸法が水力直径である、請求項１１に記載の装置。
【請求項１５】
装置は流量制御装置である、請求項１１に記載の装置。
【請求項１６】
装置は流量計である、請求項１１に記載の装置。
【請求項１７】
センサは圧力センサである、請求項１１に記載の装置。
【請求項１８】
圧力センサは歪み計測サファイアセンサである、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
流体ハンドリング装置において微粒子滞留及びバクテリア成長の両方を阻止しながら熱の影響による偏り及び信号ノイズを同時に低減する方法であって、
本体部分を設ける工程と、
流路と、該流路に連通する離間した一対の衝撃チャンバとを本体部分に画定する工程であって、各衝撃チャンバは、端部間で長さ寸法が決定される対向する一対の端部を有し、かつ長さ寸法に直交する直径寸法を有し、長さ寸法は、直径寸法の３倍以上かつ１０倍以下の大きさであることと、
流路の反対側に位置する各衝撃チャンバの端部に近接してセンサを配置する工程と
を含む方法。
【請求項２０】
流路の反対側に位置する各衝撃チャンバの端部に隣接して検出チャンバを本体部分に画定する工程であって、衝撃チャンバ及び検出チャンバは、各検出チャンバの容積が隣接する衝撃チャンバの容積の３０％以下になるように画定される工程を更に含む、請求項１９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体流測定装置及び流体流制御装置に関する。より詳細には、本発明は、超臨界処理流体ハンドリング装置（ｃｒｉｔｉｃａｌ  ｐｒｏｃｅｓｓ  ｆｌｕｉｄ  ｈａｎｄｌｉｎｇ  ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ）に適した流量計及び流量制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
脱イオン水を含む超高純度流体は、半導体基板のような高感度材料の処理に高い頻度で使用される。製造処理中の高感度材料の汚染に対する脆弱性は、製造業者が直面する大きな問題である。処理対象の高感度材料は多くの場合、超高純度流体に直接触れる。従って、超高純度流体が汚染されることによって多くの場合、処理対象の材料が汚染される。流量計及び流量制御装置のような、これらの製造システムの種々の構成要素は、外来微粒子の滞留を減らすことにより、そして流体供給システム内の流体が停滞する領域を無くして、または生じ難くしてバクテリアの成長を防止することにより、超高純度流体（従って、処理対象の高感度材料）の汚染を抑制するように設計されている。
【０００３】
流量計及び流量制御装置では通常、流体圧を流体流路におけるオリフィスの両側において測定する必要がある。測定された圧力の差分を使用して流体流量を計算する。従来の流体圧の測定値は、流体配管の栓を所望の位置で開け、そして栓と圧力センサとの間を連通させることにより得られる。微粒子を滞留させ、そしてバクテリアの成長を促進する停滞流領域ができないようにするために、小さな「アスペクト比」（直径に対する長さの比）を持つ圧力栓を使用する。貫通径に対して浅い形状の栓は、処理液で洗浄し易く、バクテリアの成長や微粒子の滞留を生じさせ難い。更に、超高純度処理液を流す装置は通常、初期設置時に所定期間にわたって処理流体流で洗い流され、この期間中は実際の処理は行われない。直接流体流の外側に位置する領域を最小限に維持して、汚染物質を迅速に洗い流し、そして除去することができるようにすることが望ましい。従って、従来の設計では、圧力栓に圧力センサを配設することが好ましく、圧力センサは流路の壁に密接して取り付けられる。好適には、圧力センサの検出面は流路の壁と同一平面上にある。
【０００４】
Ｅｎｔｅｇｒｉｓ  ＮＴ（本願の所有者）が製造し、かつ参照することにより内容全体が本明細書に組み込まれることになる特許文献１に開示されているような流量制御装置では通常、処理媒体と直接接触するセラミック圧力センサが使用される。しかしながら、これらのセラミックセンサは、腐食性の流体と接触するために非常に適しているような構成になってはいない。圧力センサが処理媒体と直接接触する構成は、分離ダイヤフラムをセンサと処理流体との間に配置する構成よりも好ましい。この理由の一部として挙げられるのは、直接接触することにより、測定の応答性が高くなり、そして分離技術に関連する他の副次的効果（例えば、ヒステリシス）を小さくすることができるからである。その結果、腐食性の流体に対しては、サファイアまたは他の類似の不活性材料が使用される場合が多い。このようなセンサは、例えば本発明の所有者が所有し、かつ本明細書において参照することにより内容全体が本明細書に組み込まれる特許文献２に開示されている。
【０００５】
しかしながら、本出願人は、検出面が流路の壁と同一平面上にあるようにサファイアセンサが配置される場合に、サファイアセンサが熱の影響によって偏り誤差及び信号ノイズの影響を受けるという知見を得ている。詳細には、モータ駆動バルブが流量測定センサを備える同じ本体に配置される構成の高性能流量制御装置では、モータからの熱はバルブ本体及び流体自体の両方を通って伝導してセンサに到達すると考えられている。バルブモータに最も近接して配置されるセンサは、遠く離れて位置するセンサと比較すると、バルブ本体を通って熱が伝導するために、かなり高い温度になる。更に、バルブ本体を通って熱が伝導するために、温度差が、センサの、バルブ本体に配置される部分の長さに沿って生じる。非常に小さい流量、例えば約２５０ｍＬ／分未満の流量の用途においては、熱は流体を通って流動方向とは逆の上流にも伝導する。流体の熱抵抗によって、流体温度差がセンサ面で発生してセンサに偏りが出る。更に、バルブ本体境界に向かう流体において流体の乱流現象や差分加熱が生じ、流体ポケット群が異なる温度に形成される。異なる温度に形成されるこれらの流体ポケットはセンサ面と接触する場合があり、この場合、出力信号に急峻な変化が現れる。
【特許文献１】米国特許第６，５７８，４３５号明細書
【特許文献２】米国特許第６，６１２，１７５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
当技術分野では、熱の影響による所望されない信号の偏りやノイズを回避しながら、同時に微粒子を滞留させ、そしてバクテリアの成長を促進する停滞流領域の発生を回避しながら、サファイアセンサを処理流体と直接接触するように配置することができる流量測定装置及び流量制御装置が必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の種々の実施形態は、流量測定装置及び流量制御装置に対するこの技術分野における要求を満たすことができ、これらの実施形態では、熱の影響による所望されない信号の偏りやノイズを回避しながら、同時に、微粒子を滞留させ、そしてバクテリアの成長を容易にする停滞流領域の発生を回避しながら、サファイアセンサまたは他のセンサを処理流体と直接接触するように配置することができる。本発明の種々の実施形態によれば、サファイアセンサの面を、衝撃チャンバまたは衝撃管により流体流から分離する。一実施形態では、３対１以上、かつ１０対１以下のアスペクト比（すなわち、チャンバの直径に対するチャンバの長さの比）を有する衝撃チャンバを介してセンサと流路とを連通させることができる。
【０００８】
別の実施形態では、オフセット構造は更に、センサ面と衝撃チャンバとの間に配置される検出チャンバを含み、検出チャンバは衝撃チャンバよりも大きな水力直径を有する。検出チャンバの容積は、衝撃チャンバと連通する空洞によって画定され、センサの面によって区切られる。衝撃チャンバの容積に対する検出チャンバの容積の比は０．３を超えない。
【０００９】
本発明の種々の実施形態では、処理流体を通る熱の伝導は、流体を通って熱源からセンサ面に向かう熱伝達経路の断面積寸法及び付加長が相対的に小さくなるため低減される。更に、衝撃チャンバによって、流体の乱流現象が相対的に少なくなるため、センサ面での急激な流体温度変化が緩和される。更に、装置の本体を通る熱の伝導は、本体を通る熱流経路が長くなるため低減される。流体及び装置本体を通る熱流がこのように低減することにより、信号の偏り及びノイズが軽減される。
【００１０】
従って、上述の範囲のアスペクト比を有する衝撃チャンバを組み込んだ本発明の種々の実施形態の利点は、乱流混合された流体流からセンサを熱的に分離する効果を高めると共に、衝撃チャンバを初期動作中及び使用中に十分に洗い流すことができることである。
【００１１】
上述の範囲のアスペクト比を有する衝撃チャンバを組み込んだ本発明の種々の実施形態の別の利点は、フッ素重合体の装置本体において、センサ群が装置本体を通る熱伝導部分から更に遠く離れることである。
【００１２】
上述の特徴を有する検出チャンバを含む本発明の種々の実施形態の利点は、実際に用いることができる衝撃チャンバよりも大きな水力直径とすることができるセンサ直径を許容するとともに、過剰な粒子滞留またはバクテリア成長を不可能にできることである。
【００１３】
従って、一実施形態では、流体ハンドリング装置は、流路を画定する本体部分と、流路から延出する衝撃チャンバとを含む。衝撃チャンバは、流路と連通し、端部間で長さ寸法が決定される対向する一対の端部を有する。衝撃チャンバは更に、長さ寸法に直交する直径寸法を持ち、長さ寸法は、直径寸法の３倍以上かつ１０倍以下の大きさである。本装置は更に、本体部分に動作可能に接続される少なくとも一つのセンサを含む。センサは、流路の反対側に位置する衝撃チャンバの端部に近接して配置され、かつ衝撃チャンバに向いた検出面を有する。
【００１４】
本装置の種々の実施形態では、本体部分は更に、流路の反対側に位置する衝撃チャンバの端部において、検出チャンバを画定することができる。衝撃チャンバは第１容積を画定することができ、検出チャンバは第２容積を画定することができ、第２容積は第１容積の３０％以下である。
【００１５】
本装置の種々の実施形態では、本体部分は更に、第１衝撃チャンバから離間した第２衝撃チャンバを画定することができる。第２衝撃チャンバは流路から延出し、かつ流路と連通する。第２衝撃チャンバは、端部間で長さ寸法が決定される対向する一対の端部を有し、かつ更に長さ寸法に直交する直径寸法を有し、長さ寸法は、直径寸法の３倍以上かつ１０倍以下の大きさである。本装置は更に、本体部分に動作可能に接続される第２センサを含むことができ、第２センサは、流路の反対側に位置する第２衝撃チャンバの端部に近接して配置される。
【００１６】
種々の実施形態は更に、流体ハンドリング装置において微粒子滞留及びバクテリア成長の両方を阻止しながら、同時に熱影響による偏り及び信号ノイズを低減する方法を含むことができる。本方法では、本体部分を設ける工程、及び、本体部分において流路と、該流路に連通される、離間した一対の衝撃チャンバとを画定する工程を含む。各衝撃チャンバは、端部間で長さ寸法が決定される対向する一対の端部を有し、かつ長さ寸法に直交する直径寸法を有し、長さ寸法は、直径寸法の３倍以上かつ１０倍以下の大きさである。センサは、流路の反対側に位置する各衝撃チャンバの端部に近接して配置される。更に、検出チャンバは、流路の反対側に位置する各衝撃チャンバの端部に隣接する本体部分に画定することができる。衝撃チャンバ及び検出チャンバは、各検出チャンバの容積が、隣接する衝撃チャンバの容積の３０％以下となるように画定することができる。
【００１７】
本発明の他の利点は、当業者であれば、好適な実施形態に関する以下の詳細な説明を、特許請求の範囲及び添付の図面と関連付けて考察しながら一読することにより容易に理解できるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１を参照すると、従来のオリフィス型流量計１０の本体２０が断面図で示されている。背景技術の項で論じたように、この設計では凹部３０，４０を特徴とし、これらの凹部には、圧力センサ６０（第２圧力センサは図示せず）と螺合するネジ切り壁５０が形成される。各凹部３０及び４０は、オリフィス９０，１００のそれぞれを介して流路７０と連通する。オリフィス９０及び１００は、約０．１のアスペクト比ＡＲ（直径Ｄに対する軸方向長さＬの比）によって特徴付けられる。凹部３０を観察すると、圧力センサ６０の検出面１１０は、オリフィス９０を介して流路７０に近接して接続される。
【００１９】
図１に示す設計のアスペクト比によって、センサを熱的に分離するという検討事項と、流路７０とセンサ面１１０との深さ方向のいかなるずれも小さくして、バクテリアの成長及び微粒子の滞留を生じさせる場所を提供することになる、かつ装置の初期稼働時に汚染物質を洗い流すことが難しく、また洗い流すために長い時間を要する停滞流領域を小さくする必要があるという検討事項という、相容れない設計上検討事項間のバランスを取ることができる。
【００２０】
前述したように、サファイア圧力センサを図１の従来の設計に使用する場合、障害物１２０の両側の圧力差を測定することにより求めることができる流量測定値は、温度起因の偏り誤差の影響を受ける。図２を参照すると、従来の装置に対するカスケード試験の結果がグラフ１３０として示されている。結果は、流量計１０のフルスケールに対する割合で表示される。カスケード試験では、図１の流量計１０を通る腐食性流体の流量を、流量計１０のフルスケールに対して、０％，１００％，０％，７０％，０％，１００％，８０％，６０％，４０％，２０％，１５％，１０％，及び０％となるように計画して設定した。各流量は、計画の次の流量に移行する前に、５０秒にわたって維持した。「Ｏ」の記号で描かれたデータポイントセット１４０は、実際の流量を表わす。「Ｘ」の記号で描かれたデータポイントセット１５０は、歪み計測サファイア圧力センサを使用して障害物１２０の両端での圧力低下を測定する流量計１０によって測定される流量を表わす。図２のグラフ１３０は、偏り誤差を明確に示している（例えば、符号１６０）。更に、信号ノイズが、特に２０％未満の流量で顕著になり、この様子はエンドポイントで正規化された図８の流量データのグラフにも示される。
【００２１】
次に、図３〜５を参照すると、本発明の一実施形態が示される。この実施形態は、障害物を持つタイプの流量計１７０に関連して提示され、この流量計１７０は、本体１８０と、処理流体流２００を流す流路１９０と、２つの圧力栓２１０及び２２０と、２つの圧力センサ（２３０のみを示している）とを有する。流路１９０は、圧力栓２１０と２２０との間に位置する縮小直径部分２５０の形態の障害物２４０を含む。各圧力栓２１０，２２０は、凹部２６０と、衝撃チャンバ２７０とを含み、衝撃チャンバ２７０は、流路１９０と圧力センサ２３０とを連通させる。凹部２６０は、ネジ山２９０が形成された側壁２８０と、カラー部３００とを有し、カラー部３００の下には細くなった下部空洞３１０が続き、下部空洞３１０は外周部３２０及び底面３３０を有する。肩部３４０は、カラー部３００及び下部空洞３１０が結合する部分に形成される。圧力センサ２３０は、凹部２６０内に配置されて、ネジ山２９０と嵌合してセンサ２３０の本体を肩部３４０に強固に装着する。
【００２２】
検出チャンバ３５０は側部及び底部において、下部空洞３１０の外周部３２０、底面３３０によってそれぞれ区切られ、更に上部において、装着された圧力センサ２３０の検出面３６０によって区切られる。直径Ｄ２、ならびに近位端３８０及び遠位端３９０を有する円筒形衝撃チャンバ２７０は、検出チャンバ３５０と流路１９０との間に位置する。衝撃チャンバ２７０の近位端３８０は検出チャンバ３５０に接続され、そして遠位端３９０は流路１９０に接続され、これによって、流路１９０と圧力センサ２３０の検出面３６０とが連通する。
【００２３】
図２に示すデータを生成するために行われた試験手順が、図３〜５の実施形態に関して、ここでも同じように歪み計測サファイア圧力センサを使用して繰り返された。結果を図６にグラフ４００として示す。ここでも同じように、実際の流量データセット４１０、及び測定された流量データセット４２０は、「Ｏ」及び「Ｘ」の記号でそれぞれ指定される。グラフの表示分解能内で、流量測定値には検出可能な偏りは観察されない−図２のグラフ１３０とは著しく異なることに注目されたい。また、図２のフルスケールセットポイントの２０％，１５％，及び１０％で極めて顕著になっていた測定値のランダムノイズ成分は、衝撃チャンバ構造を設けた場合には大幅に低減されている。
【００２４】
これまでの知見によれば、幅狭の長い衝撃チャンバ２７０（すなわち、アスペクト比の大きなオリフィス）は、腐食性流体を流して利用される場合には、特に衝撃チャンバ２７０よりもかなり大きな直径を有する検出チャンバ３５０に接続される場合には、重大な不具合が生じる。注目すべき点は、このような構造は、装置の初期設置時に、その場で効率的に洗浄することができないことである。これは、流体／センサ境界におけるデッドゾーンに連結されるアスペクト比が大きな構造では、洗浄処理の間はよどみが発生したままになるため、微粒子のみならず増殖し続けるバクテリア細胞も保持される。
【００２５】
しかしながら、本願発明者は、本明細書に開示する１０以下のアスペクト比を有する衝撃チャンバ２７０を使用する装置を、利用開始時に合理的かつ実用的な時間内で、粒子及び汚染物質を十分に洗い流すことができることを見出した。更に、アスペクト比３は、ノイズ及び偏りを減少させる所望の効果を実現するためにほとんどの事例において適切な値である。従って、本発明の実施形態では、チャンバの直径に対するチャンバの長さの比であるアスペクト比（ＡＲ）を、３：１≦ＡＲ≦１０：１の範囲とした衝撃チャンバ３７０を利用する。検出チャンバ３５０に関して、検出チャンバ３５０の容積が衝撃チャンバ２７０の容積の３０％以下である場合、種々の方法によって圧力栓２１０を初期稼働時に十分に洗浄することができることが判明している。
【００２６】
本発明は、例えばここで参照することにより内容全体が本明細書に組み込まれることになる米国特許第５，６７２，８３２号明細書に開示されているような流量計に、または例えば、これも同じようにここで参照することにより内容全体が本明細書に組み込まれることになる米国特許第６，５７８，４３５号明細書に開示されているような高性能流量制御装置に使用することができる。
【００２７】
圧力センサ技術の進歩は近年著しく、検出素子は非常に小さくなっている。問題となる流路の寸法によるが、凹部に、衝撃チャンバよりも大きな直径を有する下部空洞を設けなくてもよい。従って、図７を参照すると、検出チャンバを利用しない本発明の一実施形態が示される。検出チャンバを利用するのではなく、マイクロ圧力センサ４３０を衝撃チャンバの近位端３８０内に直に配置する。この構造によって、洗浄に係わる問題を一層低減することができるが、これは、粒子及びバクテリアを滞留させるデッドスペースを形成する検出チャンバが配設されないからである。
【００２８】
上述した種々のチャンバでは、真円柱構造を利用するが、矩形立方体、直円錐台、収束／発散ノズル、切断された球（ｃｌｉｐｐｅｄ  ｓｐｈｅｒｅ）、または他のチャンバ形状のような他の種々の形状の輪郭を形成するチャンバを利用して同じ効果を提供することができるものと考えられる。非円筒形のチャンバ構造では、水力直径ＤＨを使用してアスペクト比ＡＲＨ、すなわち次式を計算する。
【００２９】
ＡＲＨ＝Ｌ／ＤＨ
水力直径ＤＨは次式のように定義される。
ＤＨ＝４・（Ｖ／Ａｗ）
式中、Ｖはチャンバの容積を表し、Ａｗはチャンバ壁の濡れ面積を表す。この式が直円柱に使用される場合には、以下の手順でＤＨ＝Ｄとなることに注目されたい。
Ｖ＝（π・Ｄ２・Ｌ）／４
Ａｗ＝π・Ｄ・Ｌ
⇒Ｖ／Ａｗ＝Ｄ／４
⇒ＤＨ＝４・（Ｄ／４）＝Ｄ
また、上の議論、及び試験データは、歪み計測サファイア圧力センサに関するものであるが、利用される原理は、他の流体接触材料を用いたトランスデューサに適用することができる。圧力センサは通常、温度変化に対する感度が高い。従って、当業者であれば、本発明を異なるタイプの圧力測定装置を使用して実施することもできる。
【００３０】
更に、開示する実施形態では、圧力測定を、障害物を持つタイプの流量計を用いて行なう。しかしながら、開示する発明はいずれの圧力測定にも適用することができると考えられる。
【００３１】
本発明は、本発明の基本的性質を論じた技術思想から逸脱しない限り、他の特定の形態で実施することができる。従って、本明細書に開示される例示としての実施形態はあらゆる点で例示として、かつ非制限的に捉えられるべきであり、本発明の技術範囲を明らかにするためには、これまでの記述ではなく添付の請求項を参照することになる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】先行技術による障害物を持つタイプの流量計本体の断面図。
【図２】図１の流量計本体を使用するカスケード試験から得られるデータを表わすグラフ。
【図３】本発明の一実施形態の立断面図。
【図４】本発明の一実施形態の平面図。
【図５】本発明の一実施形態の端部断面図。
【図６】図３〜５に示す本発明の実施形態の流量計本体を使用するカスケード試験から得られるデータを表わすグラフ。
【図７】本発明の一実施形態の立断面図。
【図８】図１の流量計本体を使用するカスケード試験から得られ、かつエンドポイントで正規化されたデータを表わすグラフ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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