(57)【要約】本発明は、物体（２）の運動を検出するシステム（１）に係る。当該システムは、物体に対して結合される第１の細長い格子ストリップ（４）、及び、第１の細長い格子ストリップに交差する、別個の実質的に固定された第２の細長い格子ストリップ（５）を有する。当該システムは更に、物体の運動を検出するよう、第１及び第２の細長い格子ストリップにおいて回折される１つ又はそれより多い光ビームを受けるよう配置される光学検出手段（６）を有する。本発明は更に、物体（２）の運動を検出する方法、及び物体加工又は検査システムに係る。
2009509156.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の運動を検出するシステムであって、
前記物体に対して結合される第１の細長い格子ストリップと、
該第１の細長い格子ストリップに交差する、別個の実質的に固定された第２の細長い格子ストリップと、
を有し、
更には、前記物体の運動を検出するために前記第１及び第２の細長い格子ストリップにおいて回折される１つ又はそれより多い光ビームを受けるよう配置される光学検出手段を有する、
システム。
【請求項２】
前記固定された第２の細長い格子ストリップに対して前記光学検出手段を動かすよう配置される運搬手段を有する、
請求項１記載のシステム。
【請求項３】
前記光学検出手段は、当該システム内において実質的に固定して配置され、
当該システムは更に、光方向変更手段を有し、前記光学検出手段が前記光ビームを受け得るようにする、
請求項１記載のシステム。
【請求項４】
前記光学検出手段は、第１の固定検出手段と、第２の可動検出手段とを有する、
請求項１記載のシステム。
【請求項５】
前記第１及び第２の細長い格子ストリップは、望ましくは直交する、１つ又はそれより多い方向において周期的である格子パターンを有する、
請求項１記載のシステム。
【請求項６】
前記第１及び第２の細長い格子ストリップの少なくとも一方は、望ましくは直交する、１つ又はそれより多い方向において周期的である格子パターンを有し、前記ストリップの一方は、前記パターン間における位相差を有する同一の方向において周期的である少なくとも２つの格子パターンを有する、
請求項１記載のシステム。
【請求項７】
前記第１の細長い格子ストリップを有する第１の平面の法線は、前記第２の細長い格子ストリップを有する第２の平面の法線と角度を成す、
請求項１記載のシステム。
【請求項８】
入射光ビームを実質的に対向する方向へと方向変更する逆反射手段を更に有する、
請求項１記載のシステム。
【請求項９】
前記第１の格子ストリップ及び前記第２の格子ストリップは、透過型及び／又は反射型格子を有する、
請求項１記載のシステム。
【請求項１０】
前記第１の格子ストリップ及び前記第２の格子ストリップは、夫々第１の方向及び第２の方向において延在し、該第１の方向及び第２の方向は、互いに対して垂直である、
請求項１記載のシステム。
【請求項１１】
前記第１の格子ストリップ及び前記第２の格子ストリップは、１０ｍｍより小さい横方向寸法を有する、
請求項１記載のシステム。
【請求項１２】
物体加工及び／又は検査システムであって、
該物体に対する物体位置決めテーブルを収容する加工及び／又は検査チャンバを有し、
第１の細長い格子ストリップは、前記物体位置決めテーブル上に取り付けられ、前記第１の細長い格子ストリップに交差する第２の細長い格子ストリップは、前記チャンバに対して実質的に固定されて取り付けられ、前記第１及び第２の細長い格子ストリップ及び光学検出手段は、前記物体位置決めテーブルの運動が検出され得るよう配置される、
物体加工及び／又は検査システム。
【請求項１３】
システムにおいて物体の運動を検出する方法であって、
前記システムは、前記物体に対して結合される第１の細長い格子ストリップと、該第１の細長い格子ストリップに交差する別個の実質的に固定された第２の細長い格子ストリップと、光学検出手段とを有し、
当該方法は：
・  前記第１又は第２の細長い格子ストリップに対して入射光ビームを与える段階と、
・  対象の運動を検出するよう前記光学検出手段において前記第１及び第２の細長い格子ストリップから回折される１つ又はそれより多い光ビームを受ける段階と、
を有する、
方法。
【請求項１４】
前記固定される第２の細長い格子ストリップに沿って前記光学手段を動かす段階を更に有する、
請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
前記第１及び第２の細長い格子ストリップのうち少なくとも一方は、望ましくは直交する１つ又はそれより多い方向において周期的である格子パターンを有し、前記ストリップの一方は、前記パターン間における位相差を有する同一の方向において周期的である少なくとも２つの格子パターンを有し、
更には、前記格子パターンの各々に対して入射光ビームを与え、前記光学検出手段において前記格子パターンから回折される対応する光ビームを受ける段階、を有する、
請求項１３記載の方法。
【請求項１６】
細長い格子ストリップであって、
少なくとも１つの方向において周期的である格子パターンを有し、
前記細長い格子ストリップは、１５ｍｍより小さい横方向寸法を有する、
細長い格子ストリップ。
【請求項１７】
前記格子ストリップは、細長い方向において周期的である第１の格子パターンと、前記横方向寸法の方向において周期的である第２の格子パターンとを有する、
請求項１７記載の細長い格子ストリップ。
【請求項１８】
前記格子ストリップは、前記細長い方向及び前記横方向寸法の方向のいずれにおいても周期的である単一格子パターンを有する、
請求項１７記載の細長い格子ストリップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体の運動を検出するシステムに係る。より具体的には、本発明は、ウエハ又はプリント基板等である、物体の運動を光学的に検出するシステムに係る。本発明はまた、物体加工及び／又は検査システム、並びに物体の運動を検出する方法に係る。最後に、本発明は、対象の運動を検出することを目的とする格子に係る。
【背景技術】
【０００２】
動いている物体の位置又配置変化の正確な測定は、多種の技術的応用において求められる。一例として、半導体産業において適用されるリソグラフィック投射ツール及びウエハ検査ツールは、半導体ウエハの位置変化に関する正確な情報を求める。他の使用分野には、プリント基板（ＰＣＢ）産業がある。ＰＣＢの位置に関する情報は、ＰＣＢ上の構成要素の取付け中、ＰＣＢ上のパターンの印刷中、又はＰＣＢの検査中に所望される。
【０００３】
多種の光学測定システムは、対象の移動を測定するよう格子（グレーティング）を用いる。かかるシステムは、光源、光検出器、及び格子を有する光学検出手段を有する。光学検出手段は、格子の上方においてある距離を隔てて位置付けられる。システムによって測定され得る運動の種類（面内平行移動、面内回転、面外平行移動、面外回転）は、光学検出手段及び格子に依存する。
【０００４】
単一面内平行移動を測定するよう、格子は、該平行移動の方向において周期的である格子パターンを有する。いずれの面内平行移動も測定するよう、かかる平行移動の方向におおいて周期的である格子パターンは、所望される。光源のスポット寸法と比較して平行移動が大きい適用に対して、格子によって覆われる範囲は、可能性のある平行移動の全領域にわたって平行移動を検出するよう、大きくあるべきである。このことは特に、いずれの面内平行移動も検出又は測定されるべきである状況に対して当てはまる。
【０００５】
物体の平行移動を測定する大きな格子は、特定の用途に対して多くの面において不利であり得る。例えば、大きな格子は、格子パターンの高精度の周期性がより大きな範囲にわたって達成することが困難であるため、製造が困難であり得る。したがって、かかる格子のコストは、比較的高い。更には、大きな格子は、適用のシステムにおいて貴重な空間をとる。更には、複数の適用において、格子は、高加速度に対して露出され、温度変化がもたらす僅かな寸法変更の特徴（低熱膨張係数）を有するよう求められる。したがって、大きく且つ重い格子は望ましくない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、物体の運動を検出する向上されたシステム及び方法を与える、ことを目的とする。
【０００７】
本発明は更に、前述された先行技術の不利点のうち少なくとも１つを低減又は削除する、物体の運動を検出するシステム及び方法を与える、ことを目的とする。
【０００８】
本発明は更に、低減された寸法を有する格子の適用を可能にする、物体の運動を検出するシステム及び方法を与える、ことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、物体の運動を検出するシステムを与える。当該システムは、物体に対して結合される第１の細長い格子ストリップ、及び、第１の細長い格子ストリップに交差する別個である実質的に固定された第２の細長い格子ストリップを有する。当該システムは更に、光学検出手段を有する。該光学検出手段は、物体の運動を検出するよう第１及び第２の細長い格子ストリップにおいて回折される１つ又はそれより多い光ビームを受けるよう配置される。
【００１０】
本発明は更に、システムにおいて物体の運動を検出する方法を与える。該システムは、物体に対して結合される第１の細長い格子ストリップ、及び、第１の細長い格子ストリップに交差する別個である実質的に固定された第２の細長い格子ストリップを有する。当該方法の適用に対するシステムは、光学検出手段を有する。当該方法は：
・  第１又は第２の細長い格子ストリップに対して入射光ビームを与える段階、及び、
・  対象の運動を検出するよう光学検出手段において第１及び第２の細長い格子ストリップから回折される１つ又はそれより多い光ビームを受ける段階、
を有する。
【００１１】
出願人は、互いに交差する細長いストリップとして構成される別個の第１及び第２の格子を使用することで、運動は、互いに対する第１及び第２の格子の移動を検出又は測定することによって大きな面内平行移動領域を有する対象に対して検出され得る、と考える。小さなストリップのみが求められるため、かかるストリップは、先行技術による大きな格子と比較してより容易に製造され得、結果としてかかる格子ストリップは、より安価である。更には、格子ストリップによってとられる空間は、より少ない。望ましくは格子ストリップの長さが対象の平行移動領域と同等であるか、それより大きく、幅又は横方向寸法が望ましくは光ビームのスポット幅と実質的に同等である、ことは理解されるべきである。
【００１２】
請求項２及び１４において定義される本発明の実施例は、小さな光学検出手段を可能にするという利点を与える。
【００１３】
請求項３において定義される本発明の実施例は、光学手段が固定されているため、システムがより複雑ではなく、光方向変更手段がシステムにおいて比較的容易に収容され得る、という利点を与える。
【００１４】
請求項４において定義される本発明の実施例は、最適測定柔軟性という利点を有する。
【００１５】
請求項５において定義される本発明の実施例は、一方又は両方の面内平行移動の対象の運動の検出又は測定を可能にする。
【００１６】
請求項６及び１５において定義される本発明の実施例は、対象の運動の方向の確定、及び光ビームにおける電源変動に対する低減された感度を可能にする。
【００１７】
請求項７において定義される本発明の実施例は、格子ストリップの向きが光ビームの経路に影響を与え得るため、システムにおける光学構成要素の量を削減又は低減し得る。
【００１８】
請求項８において定義される本発明の実施例は、光学検出手段に対する大きな回転領域という利点を有する。特には、逆反射体による反射を使用して光ビームを干渉することは、光学検出器上に単一スポットを構成し、本願においてより詳述される通り、相の容易な検出を可能にする。
【００１９】
請求項９において定義される本発明の実施例は、光ビームが、光学検出手段によって検出される前に、両方の細長い格子において回折され得るようにする。特には、透過型格子及び反射型格子の使用は、かかる格子が重畳する範囲を光ビームが通り得るようにする。
【００２０】
請求項１０において定義される本発明の実施例は、光学面内平行移動検出領域を有すると同時に格子ストリップの最小限の長さを可能にする。
【００２１】
請求項１１において定義される本発明の実施例は、小さな格子ストリップがとる空間が少ないこと、並びに、該ストリップが例えば運動が検出されるべき対象の境界において、あるいは該境界の近くに配置され得る、という利点を有する。ストリップの横方向寸法は、望ましくは、５ｍｍ等である１乃至１０ｍｍの範囲にある。
【００２２】
更には、本発明は、物体に対する物体位置決めテーブル（ｂｏｄｙ  ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ  ｔａｂｌｅ）を収容する加工（ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ）及び／又は検査チャンバを有する物体加工及び／又は検出システムを与える。第１の細長い格子ストリップと交差する第２の細長い格子ストリップは、該チャンバに対して実質的に固定されて取り付けられる。第１及び第２の細長い格子ストリップ及び光学検出手段は、物体位置決めテーブルの運動が検出され得るよう配置される。望ましくは、システムは、前述された方法によって運動を検出するよう配置される。
【００２３】
かかる物体加工システムの例は、半導体ウエハに対するウエハ段階を有するリソグラフィック投射ツールを有する。物体検査システムの一例は、光学検査ツール、電子顕微鏡、原子間力顕微鏡等である、ウエハ検査ツールを有する。典型的には、かかるシステムは、複数軸であるレーザ干渉計に基づく位置測定システムを有する。本発明は、かかる複数軸の干渉計に基づくシステムに対するコスト効率の良い交換を可能にする。他の物体加工及び物体検査システムは、プリント基板上における構成要素の取付け又はパターンの印刷、及びかかる基板の検査に対するツールを夫々有する。適用は、用いられる光ビームの直径と比較して大きい対象の平行移動によって特徴付けられる。
【００２４】
本発明は更に、少なくとも１つの方向において周期的である格子パターンを有する細長い格子ストリップを与える。該細長い格子ストリップは、１５ｍｍより小さい、望ましくは１０又は５ｍｍより小さい横方向寸法を有する。
【００２５】
請求項１８及び１９において定義される本発明の実施例は、物体の両方の面内平行移動の検出又は測定を可能にする、という利点を与える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明は、本発明に従った望ましい実施例を概略的に図示する添付の図面を参照して更に説明される。本発明がかかる特定の望ましい実施例に制限されない、ことは理解される。
【００２７】
図１乃至３は、表面３を有する物体２の運動を検出するシステム１の概略的な実施例を示す。方向ｘ及びｙは、物体２の表面３の平面における全ての平行移動を有する直交構成要素を定義する。ｚ方向は、面外平行移動を有する直交構成要素を定義する。
【００２８】
図中、実際には単一のビームが一式のビームを示し得る、ことは留意されるべきである。
【００２９】
システム１は、物体２の運動を検出するよう、また望ましくは方向ｘ，ｙのうち一方又は両方における物体２の移動を検出あるいは測定するよう、適合される。矢印ｍは、図４Ａ乃至４Ｆを参照して詳述される通り、物体２の移動が検出又は測定され得る方向を定義する。この目的に対して、システム１は、物体２に対して結合される第１の細長い格子ストリップ４、及び第１の細長い格子ストリップに交差する別個の実質的に固定された第２の細長い格子ストリップ５を有する。第２の格子ストリップ５は、システム１内において適切な位置において固定されて配置され得、また、基準格子として参照され得る。第１の格子ストリップ４及び第２の格子ストリップ５が垂直方向に交差する一方、該格子間においていずれの角度も適用され得る、ことは理解されるべきである。更には、物体に結合された格子ストリップ４と固定された格子ストリップ５との間におけるｚ方向において距離が与えられる、ことは理解されるべきである。
【００３０】
別個の格子４，５を使用することによって、かかる格子は、たとえ物体２が大きな平面平行移動範囲を有する場合でも、ストリップ形状にされ得る。既存のシステムにおけるように物体２の全表面にわたる２つの方向における大きな横方向範囲を有する格子を使用しなければならない代わりに、比較的狭い格子ストリップ４，５は使用され得る。かかる格子ストリップ４，５の長さは、ｘ，ｙ方向における２つのへ面内平行移動範囲と略同等であり得、幅は、運動検出に対して用いられる光ビームのスポット寸法と略同等である。
【００３１】
光学検出手段６は、第１及び第２の格子ストリップ４，５から回折される光ビームを検出するよう与えられる。例えばプラス一次及びマイナス一次回折を測定することによってかかる回折されるビームから、既知の方途において物体２の移動を検出し、望ましくは測定することは可能である。
【００３２】
図１中、光学検出手段６は、矢印Ｂで示される通り、固定された第２の格子ストリップ５に沿う移動手段及び該格子ストリップ５に対する移動手段（図示せず）によって可動であり、光学検出手段６が第１の細長い格子ストリップ４及び第２の細長い格子ストリップ５の重畳範囲Ｏの上方に残るようにする。重畳範囲が比較的大きい（例えば１００ｍｍ２）ため、移動手段は、光学検出手段６を動かし得、たとえ物体２が半導体ウエハ加工等において受ける著しい加速を有してその全面内範囲にわたって平行移動される場合でも、重畳範囲の上方に残るようにする。光学検出手段６が重畳範囲Ｏの上方に位置決めされる限り、光学検出手段６の実際の位置は、物体２の移動の測定の精度に影響を与えない。
【００３３】
図１中の実施例では、第１の格子ストリップ４は反射型であり、第２の格子ストリップ５は透過型である。結果として、光学検出手段６は、第１及び第２の格子ストリップ４，５の回折される光ビームを受け得る。
【００３４】
図２中、光学検出手段６は、第２の格子ストリップに対して固定される。１つ又はそれより多い光ビームＬは、光学検出手段６からミラー又はプリズム等である方向変更手段７まで導かれ、方向手段７の上方において第１の格子ストリップ４が取り付けられる。方向変更手段７は、結合手段８によって物体２に対して結合される。第１の格子ストリップ４は透過型であり、第２の格子ストリップ５は反射型である。光学検出手段６を出る光ビームは、第１及び第２の格子４，５の重畳範囲Ｏに到達するよう方向変更手段７によって方向付けられ、かかる格子からの回折された光ビームは、物体２の運動を検出するよう光学検出手段６において受けられる。図２中の実施例は、光学検出手段６の運動に対する配置が省略され得る際に有利である。
【００３５】
図３では、図１及び２中のシステムの組合せが示される。
【００３６】
図４Ａ乃至４Ｆは、第１の格子ストリップ４及び第２の格子ストリップ５の多種の種類を示す。矢印ｍは、ストリップ４，５の格子パターンＰが周期的である方向を示し、結果として、第１の格子ストリップ４が結合される物体の面内平行移動が検出又は測定され得る方向を示す。故に、図４Ａ及び４Ｂ中のストリップ４，５の格子パターンＰは、夫々１つのみの面内方向ｙ，ｘにおける運動検出を可能にし、図４Ｃ乃至４Ｆ中のストリップ４，５の格子パターンＰは、面内方向ｘ，ｙの両方における運動検出を可能にする。図４Ｃ中のストリップ４，５は各々、２つの異なって向けられる格子パターンＰ１，Ｐ２を有する一方、図４Ｄ乃至４Ｆ中のストリップ４，５の少なくとも一方は、ｘ方向及びｙ方向の両方において周期的である、この場合では格子縞パターンの単一格子パターンＰを有する。
【００３７】
ストリップ４，５の細長い方向における長さＬは、望ましくは物体２の全移動領域を覆い、３０ｃｍ又は５０ｃｍ等である５乃至１００ｃｍであり得る。細長い格子ストリップ４，５の幅Ｗは、望ましくは光学検出手段６に対する光ビームの直径を超えるが、格子によって覆われる範囲を可能な限り小さくすることが有利であるため、適度に可能な限り小さく維持されるべきである。一例として、ストリップ４，５の横断方向における幅Ｗは、１０ｍｍより小さく、例えば５ｍｍである。格子パターンＰの周期は、１００ｎｍ乃至５０ｍであり、例えば２ｍである。格子ストリップ４，５の複数の周期のみが図示される。周期的なパターンは、例えば、ガラス基板においてパターンをエッチングすることによって得られ得る。
【００３８】
図５及び６は、それぞれ１つ及び２つの方向ｘ，ｙにおける物体２の運動を検出する図１中の実施例に従うシステム１の概略的な例を示す。同一又は同様の構成要素は、同一の参照符号によって示される。
【００３９】
図５において、入射光ビームＬは、透過型の第２の格子ストリップ５を介して回折され、反射型の第１の格子ストリップ４において回折される。第２の肯定された格子ストリップ５は、別個の構成要素であり、光学検出手段６の一部ではない。回折される光ビームは、その後、キューブコーナー等である逆反射体９によって第１の格子ストリップ４に向かって戻されるよう方向を変えられる。コーナープリズム又はキャッツアイ反射体も使用され得る、ことは理解されるべきである。逆反射体９は、格子４の面内及び面外回転、並びに光学検出手段６の回転に対して補正し得る。かかる光ビームは、回折され、第２の格子ストリップ５を介して反射し戻され、光学検出手段６によって受けられる。第１の格子ストリップ４は、物体に対して結合され、結果的に、物体の運動は、光ビームのシフトをもたらし、光学検出手段は、光ビームを受けるよう第２の格子ストリップに沿って可動であるよう配置される。
【００４０】
図６は、両方の面内平行移動の検出を可能にする移動検出又は測定システム１を可能にする他の例を示す。２つの光学検出手段６は、使用され、夫々の第２の格子ストリップ５に沿って可動である。第１の格子ストリップ４に対して、格子模様の格子パターンＰは、使用され、物体２の側部における空間が低減されるようにする。図４Ｃ乃至４Ｆ中に示される両方の面内平行移動の検出を可能にする格子ストリップ４，５及び他の種類の格子ストリップも用いられ得る、ことは理解されるべきである。
【００４１】
図７乃至１１は、一方の方向ｘ又はｙにおける物体２の運動を検出する図３中の実施例に従うシステム１の概略的な例を示す。図１２は、２つの方向ｘ，ｙにおける物体２の運動を検出する図２中の実施例に従うシステム１の概略的な例を示す。同一又は同様の構成要素は、同一の参照符号によって示される。
【００４２】
図７において、光ビームＬは、方向変更手段７を用いて第１及び第２の細長い格子ストリップ４，５に対して方向付けられる。格子ストリップ４，５はいずれも反射型である。光学検出手段６において、ストリップ４，５の重畳範囲において回折される光ビームは受けられ、第１の格子ストリップ４が結合される物体２の移動は、矢印ｍに沿う移動に対して検出又は測定され得る。
【００４３】
図８は、パターン間において位相差を有する矢印ｍに沿った同一の方向において周期的である４つのパターンＰ１乃至Ｐ４を有する第２の格子ストリップ５を除いて、図７中のシステムと同様であるシステム１の一例を示す。光ビームＬ１乃至Ｌ４は、格子パターンＰ１乃至Ｐ４の各々に向かって方向付けられ、パターンＰ１乃至Ｐ４の各々に対する複数の回折されるビームは、光学検出手段において受けられる。この実施例は、対象２の運動の方向、即ち矢印ｍ又は−ｍに沿う運動の方向の確定、及び、入射光ビームＬにおける電源変動に対する低減された感度を可能にする。
【００４４】
図９及び１０は、図７及び８中のシステム１に類似するシステム１を示す。しかしながら、方向変更手段７を適用する代わりに、第１の細長い反射型格子ストリップ４は、図９中の光ビームＬ及び図１０中の光ビームＬ１，Ｌ２，Ｌ３が第２の格子ストリップ５に向かって適切に回折されるよう選択される角度下に位置付けられる。結果として、別個の方向変更手段７は、もはや必要とされない。図１０において、第１の格子ストリップ４は更に、パターン間において位相差を有する矢印ｍに沿った同一の方向において周期的である３つの格子パターンＰ１乃至Ｐ３を有する。結果として、物体２の運動の方向、即ち矢印ｍ又は−ｍに沿う運動の方向の確定、及び、入射光ビームＬにおける電源変動に対する低減された感度を可能にする。
【００４５】
図１１は、システム１を示す。該システム１において、第１の細長い格子ストリップ４は、プリズム７の上部上に適用され、逆反射体９は、固定された光学検出手段６の近くに適用される。入射光ビームＬは、第１の格子ストリップ４によって回折されること無く、第２の格子ストリップ５に向かってプリズム７によって反射される。第２の格子ストリップ５における回折の後のみ、回折された光ビームは、第１の格子ストリップ４において回折される。
【００４６】
図１２は、矢印ｍに沿う両方の面内平行移動の移動検出及び測定を可能にするシステム１を示す。同一又は同様の構成要素は、同一の参照符号によって示され、また、図４Ａ乃至４Ｃ中に示される格子の種類及び配置、又は両方の面内方向における検出を可能にする他の格子は、適用され得る。
【００４７】
図１３は、物体２がチャンバ１２におけるテーブル１１上に位置付けられる、物体加工又は物体検査システム１０を示す。第１の格子ストリップ４は、物体２に対して結合される。一例として、物体２は、加工又は検査を目的として、ｘ−ｙ平面において平行移動するよう配置されるウエハチャック１１上に置かれるウエハである。第２の格子ストリップ５は、チャンバ１２に対して固定して取り付けられ、チャンバ１２は、加工手段又は検査手段（図示せず）に対して物体２へのアクセスを可能にする。
【００４８】
原理上、第２の格子ストリップ５及び対応する検出手段６は、可動チャンバ１２に対して結合され得、第１の格子ストリップ４は、安定しているテーブル１１に対して結合される、ことが留意される。
【００４９】
明らかに、物体２の移動を検出又は測定するシステム１は、冗長しており（ｒｅｄｕｎｄａｎｔ）、それは複数の適用に対しては有利であり得る。例えば、物体２が剛性な物体ではない場合、この冗長性（ｒｅｄｕｎｄａｎｃｙ）は有利であり得る。物体が温度変化により膨張し、物体移動が物体の両側上において測定される場合、物体の膨張は、その移動と共に確定され得る。あるいは、物体が制限された剛性により作動下において（ｕｎｄｅｒ  ａｃｔｕａｔｉｏｎ）変形する場合、該変形は、冗長測定（ｒｅｄｕｎｄａｎｔ  ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ）を用いて確定され得る。測定された変形はまた、測定された位置を是正するよう使用され得、データは、変形が排除されるよう物体上に力を加え得るアクチュエータ（図示せず）を制御するよう使用され得る。
【００５０】
他の実施例は、透過型のみ又は反射型のみの格子ストリップを使用する実施例を含めて、出願人によって構想されている、ことが理解されるべきである。更には、図８及び１０中の位相段階的格子パターン（ｐｈａｓｅ  ｓｔｅｐｐｅｄ  ｇｒａｔｉｎｇ  ｐａｔｔｅｒｎｓ）が３つ又は４つより多いパターンＰを有し得る、ことは理解されるべきである。既知のオフセット及び振幅を有する正弦波信号の位相が確定される場合、少なくとも３つの測定は所望される。正弦波信号の３つのサンプルは、信号の位相、振幅、及びオフセットを確定するよう使用され得る。３つ又はそれより多いサンプルを使用することで、振幅を知ることなく位相の確定が可能であり、電源変動に対する低減された感度は、得られる。更には、第１の格子ストリップ４と第２の格子ストリップ５との間における距離は、既知の干渉計を使用して測定又は検出され得る。
【００５１】
請求項において、括弧内の参照符号は、請求項を制限するものとして解釈されるべきではない。「有する」という後は、請求項において列記される要素又は段階以外の要素又は段階の存在を除外しない。単数形で示される要素は、その複数の存在を除外しない。特定の措置が相互に異なる従属請求項において挙げられるという単なる事実は、かかる措置の組合せが有利に使用され得ないということを示すものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１の実施例に従う対象の運動検出に対するシステムの概略図である。
【図２】本発明の第２の実施例に従う対象の運動検出に対するシステムの概略図である。
【図３】本発明の第３の実施例に従う対象の運動検出に対するシステムの概略図である。
【図４】図４Ａ乃至４Ｆは、第１及び第２の格子ストリップの多種の種類を図示する。
【図５】１つの方向において対象の運動を検出する図１中の実施例に従うシステムの概略的な例を図示する。
【図６】２つの方向において対象の運動を検出する図１中の実施例に従うシステムの概略的な例を図示する。
【図７】１つの方向において対象の運動を検出する図２中の実施例に従うシステムの概略的な例を図示する。
【図８】１つの方向において対象の運動を検出する図２中の実施例に従うシステムの概略的な例を図示する。
【図９】１つの方向において対象の運動を検出する図２中の実施例に従うシステムの概略的な例を図示する。
【図１０】１つの方向において対象の運動を検出する図２中の実施例に従うシステムの概略的な例を図示する。
【図１１】１つの方向において対象の運動を検出する図２中の実施例に従うシステムの概略的な例を図示する。
【図１２】２つの方向において対象の運動を検出する図２中の実施例に従うシステムの概略的な例を図示する。
【図１３】本発明の一実施例に従う対象の運動を検出するシステムを有する物体加工システムを図示する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【手続補正書】
【提出日】平成20年4月10日(2008.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、物体の運動を検出するシステムに係る。より具体的には、本発明は、ウエハ又はプリント基板等である、物体の運動を光学的に検出するシステムに係る。本発明はまた、物体加工及び／又は検査システム、並びに物体の運動を検出する方法に係る。最後に、本発明は、対象の運動を検出することを目的とする格子（グレーティング、ｇｒａｔｉｎｇ）に係る。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
ストリップ４，５の細長い方向における長さＬは、望ましくは物体２の全移動領域を覆い、３０ｃｍ又は５０ｃｍ等である５乃至１００ｃｍであり得る。細長い格子ストリップ４，５の幅Ｗは、望ましくは光学検出手段６に対する光ビームの直径を超えるが、格子によって覆われる範囲を可能な限り小さくすることが有利であるため、適度に可能な限り小さく維持されるべきである。一例として、ストリップ４，５の横断方向における幅Ｗは、１０ｍｍより小さく、例えば５ｍｍである。格子パターンＰの周期は、１００ｎｍ乃至５０μｍであり、例えば２μｍである。格子ストリップ４，５の複数の周期のみが図示される。周期的なパターンは、例えば、ガラス基板においてパターンをエッチングすることによって得られ得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
図９及び１０は、図７及び８中のシステム１に類似するシステム１を示す。しかしながら、方向変更手段７を適用する代わりに、第１の細長い反射型格子ストリップ４は、図９中の光ビームＬ及び図１０中の光ビームＬ１，Ｌ２，Ｌ３が第２の格子ストリップ５に向かって適切に回折されるよう選択される角度αのもとに位置付けられる。結果として、別個の方向変更手段７は、もはや必要とされない。図１０において、第１の格子ストリップ４は更に、パターン間において位相差を有する矢印ｍに沿った同一の方向において周期的である３つの格子パターンＰ１乃至Ｐ３を有する。結果として、物体２の運動の方向、即ち矢印ｍ又は−ｍに沿う運動の方向の確定、及び、入射光ビームＬにおける電源変動に対する低減された感度を可能にする。
【国際調査報告】
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