(57)【要約】本発明は、ポリマー材料上に膜を付着させるための所定の先駆物質から発生させられるプラズマの組成を監視する方法に監視する。この方法は、プラズマによって発光された光の強度を受け取ることを含み、寄生化学種、すなわち、所定の先駆物質の一部ではなく、通常プラズマ中に存在せず、プラズマ中に存在すると付着させた膜の性質に影響を与える寄生化学種の有意の信号が存在できないプラズマ発光スペクトル領域内で選択される第１の基準波長範囲を選択するステップと、寄生化学種の有意の信号が存在する可能性が高いプラズマ発光スペクトル領域内で選択される第２の波長範囲を選択するステップと、選択された２つの波長範囲のそれぞれにおいてプラズマによって発光される選択された２つの波長範囲のそれぞれにおいてプラズマによって発光される光の強度を同時に取得するステップと、これらの光の強度に基づいて少なくとも１つの監視係数を算出するステップとを含む。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリマー材料上に膜を付着させるために形成済みの先駆物質から発生させられるプラズマの組成を監視する方法であって、プラズマによって発光された光の強度の測定を含む方法において、
基準範囲と呼ばれ、いわゆる寄生化学種、すなわち、前記形成済みの先駆物質の一部を形成せず、したがって、通常プラズマ中に存在せず、プラズマ中に存在すると付着させた膜の性質に影響を与える寄生化学種の有意の信号特性が存在できないプラズマ発光スペクトルの領域から選択される第１の波長範囲を選択するステップと、
寄生化学種の有意の信号特性が存在する可能性が高いプラズマ発光スペクトルの領域から選択される第２の波長範囲を選択するステップと、
選択された２つの波長範囲の各々において前記プラズマによって発光された光の強度を同時に取得するステップと、
前記光の強度から少なくとも１つの監視係数を算出するステップとを含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記２つの波長範囲は、ほぼ２つの波長λ1およびλ2に相当する非常に小さいスペクトル幅を有することを特徴とする、請求項１に記載の、プラズマの組成を監視する方法。
【請求項３】
少なくとも１つの監視係数は、第１および第２の前記波長λ1およびλ2の発光強度間の差の関数であることを特徴とする、請求項２に記載の、プラズマの組成を監視する方法。
【請求項４】
少なくとも１つの監視係数は、第１および第２の前記波長λ1およびλ2の発光強度間の差の関数であり、前記差は、前記第１または前記第２の波長の前記発光強度の値で正規化されることを特徴とする、請求項２または３に記載の、プラズマの組成を監視する方法。
【請求項５】
前記２つの波長範囲λ1およびλ2はそれぞれ、スペクトル幅を有し、２つの帯域幅に相当することを特徴とする、請求項１に記載の、プラズマの組成を監視する方法。
【請求項６】
少なくとも１つの監視係数は、第１および第２の前記帯域幅の発光強度間の差の関数であることを特徴とする、請求項５に記載の、プラズマの組成を監視する方法。
【請求項７】
少なくとも１つの監視係数は、第１および第２の前記帯域幅の発光強度間の差の関数であり、前記差は、前記第１または前記第２の帯域幅の前記発光強度の値で正規化されることを特徴とする、請求項５または６に記載の、プラズマの組成を監視する方法。
【請求項８】
前記第２の波長範囲で有意の信号を生成する可能性の高い選択される前記寄生化学種は、前記ポリマー材料上にプラズマ付着させる膜では望まれない種であることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載の、プラズマの組成を監視する方法。
【請求項９】
気体の前記先駆物質は、アルカン、アルケン、アルキン、および芳香族化合物から選択され、前記第２の波長範囲内で有意の信号を生成する可能性が高い選択される前記寄生化学種は、空気の構成成分の１つであることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の、プラズマの組成を監視する方法。
【請求項１０】
前記先駆物質はアセチレンをベースとし、前記選択される寄生化学種は窒素であることを特徴とする、請求項９に記載の、プラズマの組成を監視する方法。
【請求項１１】
前記先駆物質はアセチレンをベースとし、前記選択される寄生化学種は酸素であることを特徴とする、請求項９に記載の、プラズマの組成を監視する方法。
【請求項１２】
前記２つの波長範囲は、約８００ナノメートルから約１０００ナノメートルの間の発光スペクトルの部分から選択されることを特徴とする、請求項１から１１のいずれか一項に記載の、プラズマの組成を監視する方法。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれか一項に記載の、プラズマの組成を監視する方法を適用する方法において、
前記プラズマは、ＰＥＴで作られた中空体上に膜を付着させるマイクロ波プラズマであることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマ付着によって少なくとも一面上が薄い層でコーティングされたポリマー製品の技術分野に関する。
【０００２】
本発明は、特にＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）で作られたボトルのような、ポリマー材料で作られた容器におけるプラズマ付着に適用されるが、それに限定されるわけではない。
【背景技術】
【０００３】
ＰＥＴのような、ボトルまたは容器の製造に使用される従来のポリマー材料はすべて、酸素および二酸化炭素に対する透過性が比較的高い。さらに、香気に寄与するいくつかの分子は、容器の壁に吸収され、最終的にこの壁の中を拡散することができる。
【０００４】
つい最近、酸化の影響を受けやすい製品（ビール、フルーツジュース、炭酸ドリンク）を入れる必要のあるボトルなどのポリマー容器上に、プラズマを使用してバリア層を付着させ、酸素や二酸化炭素のようなある気体に対するこのような容器の不透過性を高め、したがって、その貯蔵寿命を延ばすことが提案されている。
【０００５】
ポリマー容器にプラズマ付着させられるこのようなバリア層はたとえば、有機（炭素）タイプのバリア層または無機（シリカ）タイプのバリア層である。
【０００６】
このようなバリア層の化学的性質にかかわらず、バリア層の品質を検査できることは工業面で非常に重要である。
【０００７】
発光分光法を使用して、プラズマ中の反応を調べ、ＣＶＤによって付着させられた膜を検査することが発表されている（米国特許第６１１７２４３号、第１列、２８行目〜３７行目）。文献米国特許第５５２１３５１号は、プラズマ付着時に、発光分光計に連結された光ファイバをボトルに嵌め込むことを図示し（図７）、記載している（第７列、３８行目〜４５行目）。しかし、この文献米国特許第５５２１３５１号は、実測パラメータについては述べていない。さらに、プラズマの入った容器にファイバを嵌め込むと、必然的に光ファイバ自体に対して付着が起こり、最終的にファイバが汚染される。
【０００８】
本出願人は、プラズマの組成を監視する技術であって、このようなプラズマによって付着させた膜の品質を所定の品質にする技術の開発を試みた。
【０００９】
本出願人は、この監視技術がサンプルを得るのを可能にするだけでなく連続的な制御を可能にし、かつそれを生産速度の高い装置に対して行うことができるかどうかを判定することを試みた。
【００１０】
文献欧州特許第０２９９７５２号は、プラズマの発光が監視され制御される基板の表面上に薄膜をプラズマ付着させるプロセスを開示している。この発明によれば、プラズマ中に存在する２つの種に対応するそれぞれの異なる波長帯内の２条の輝線の強度が検出され、強度が正規化され、その比が基準値と比較される。しかし、これらの種は、先駆物質に含まれる種から選択され、したがって、必然的に監視中のプラズマ中に存在する。一方または他方の種の優位性、したがって、付着させる膜の品質を判定するのを可能にする、この比の値に応じて、プラズマが発生する体積に注入される先駆物質の流量が修正される。
【００１１】
しかし、容器の内容積内に内部層を形成する場合、プラズマの発生時に容器の内容積を比較的低圧にする必要がある。この内部圧力は、容器とプラズマ発生装置との間に密封された接点を形成することを必要とし、その結果漏れが起こり、容器の内容積に空気が進入する恐れがあり、この漏れによって、望ましくない種が導入されるため、内部層の付着の良好な品質および均質性が損なわれがちである。
【００１２】
文献欧州特許第０２９９７５２号のプロセスでは、プラズマ中の異物の存在を検査することができず、また、容器の内側にプラズマが形成された場合、漏れや、容器の内容積と周囲大気との間の不十分な密封を検出することもできず、この漏れによって、プラズマに意図的に注入された化学種しか監視されないために、不均質な内部層または亀裂を有する層が形成されがちである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の目的は、特に、プラズマ発生時に容器の内容積における漏れの存在を検出することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
このために、本発明は、第１の態様によれば、ポリマー材料上に膜を付着させるために形成済みの先駆物質から発生させられるプラズマの組成を監視する方法であって、プラズマによって発光された光の強度の測定を含む方法において、基準範囲と呼ばれ、いわゆる寄生化学種、すなわち、形成済みの先駆物質の一部を形成せず、したがって、通常プラズマ中に存在せず、プラズマ中に存在すると付着させた膜の性質に影響を与える寄生化学種の有意の信号特性が存在できないプラズマ発光スペクトルの領域から選択される第１の波長範囲を選択するステップと、寄生化学種の有意の信号特性が存在する可能性が高いプラズマ発光スペクトルの領域から選択される第２の波長範囲を選択するステップと、選択された２つの波長範囲の各々においてプラズマによって発光された光の強度を同時に取得するステップと、光の強度から少なくとも１つの監視係数を算出するステップとを含む方法に関する。
【００１５】
第１の実施態様では、２つの波長範囲は、非常に小さいスペクトル幅を有し、ほぼ２つの波長λ1およびλ2に相当する。
【００１６】
少なくとも１つの監視係数は、第１および第２の波長の発光強度間の差の関数である。
【００１７】
特に、少なくとも１つの監視係数は、第１および第２の波長の発光強度間の差の関数であり、この差は、第１または第２の波長の発光強度の値で正規化される。
【００１８】
第２の実施態様では、２つの波長範囲はそれぞれ、スペクトル幅を有し、２つの帯域幅に相当する。
【００１９】
少なくとも１つの監視係数は、第１および第２の帯域幅の発光強度間の差の関数である。
【００２０】
特に、少なくとも１つの監視係数は、第１および第２の帯域幅の発光強度間の差の関数であり、この差は、第１または第２の帯域幅の発光強度の値で正規化される。
【００２１】
第２の波長範囲で有意の信号を生成する可能性の高い選択される寄生化学種はたとえば、ポリマー材料上にプラズマ付着させる膜では望まれない種である。
【００２２】
ある実施態様では、気体先駆物質は、アルカン、アルケン、アルキン、および芳香族化合物から選択され、第２の波長範囲内で有意の信号を生成する可能性が高い寄生化学種は、空気の構成成分の１つである。
【００２３】
特定の一実施態様では、先駆物質はアセチレンをベースとし、寄生化学種は窒素である。したがって、この監視方法は、たとえば、プラズマ付着装置への空気漏れを検出するのを可能にする。
【００２４】
有利なことに、２つの波長範囲は、約８００ナノメートルから約１０００ナノメートルの間の発光スペクトルの部分から選択される。
【００２５】
本発明は、第２の態様によれば、上記に示されたような、プラズマの組成を監視する方法を適用する方法において、プラズマが、ＰＥＴで作られた中空体上に膜を付着させるマイクロ波プラズマである方法に関する。
【００２６】
本発明は、第３の態様によれば、上記に示されたような、プラズマの組成を監視する方法を実施する装置であって、プラズマによって発光された光の強度を検出する少なくとも１つの検出器と、ポリマー材料で作られた容器を、この容器の内側に膜を付着させるために収納するようになっている真空チャンバを含むマイクロ波キャビティ内でプラズマを発生させるマイクロ波電磁励起手段とを有する装置に関する。
【００２７】
有利なことに、検出器はキャビティに接触して配置され、光強度は、容器を通じて測定され、かつ真空チャンバの壁を通じて測定される。
【００２８】
本発明の他の態様、目的、および利点は、添付の図面に関して与えられる、実施形態についての以下の説明の過程で明らかになろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下の詳細な説明は、Ａｃｔｉｓ（登録商標）という名称で知られる本出願人の技術を介した薄い無定形炭素層のプラズマ付着に関するものである。
【００３０】
しかし、これが、本発明による方法がどのように実施されるかの一例に過ぎないことを理解されたい。
【００３１】
以下の詳細な説明は、ボトルまたはボトルプレフォーム上への膜の付着に関するものである。
【００３２】
しかし、この方法が、ボトル以外の容器、すなわち、成形、射出成形、ブロー成形、引き抜き成形、および熱成形された中空体を製造するためのポリマー材料に対するプラズマ付着時に実施できることを理解されたい。
【００３３】
説明ではまず図１を参照する。
【００３４】
本出願人の文献国際公開第９９／４９９９１号に記載されているように、（Ａｃｔｉｓ（登録商標）タイプの）装置は、マイクロ波を透過する材料、たとえば石英で作られた壁によって形成された少なくとも１つの真空チャンバ１を有している。
【００３５】
この真空チャンバ１は、処理すべき物体、この場合はボトルまたはボトルプレフォーム２を設置し、処理後に取り外す取り外し可能な機構によって密閉されている。
【００３６】
この真空チャンバ１は、汲み出し手段（不図示）に連結されている。
【００３７】
少なくとも１つの気体先駆物質をボトル２に注入するインジェクタ３が設けられており、インジェクタは、リザーバ、ミキサ、または噴水装置（これらは図示されていない）に連結されている。
【００３８】
真空チャンバ１は、導電性の壁、たとえば金属壁を有するキャビティ４内に配置され、キャビティは、導波管を介してマイクロ波発生装置に連結されている。
【００３９】
ボトルまたはボトルプレフォームの内面上に炭素を付着させることが望ましい場合、気体先駆物質は、アルカン（たとえば、メタン）、アルケン、アルキン（たとえば、アセチレン）、および芳香族化合物から選択することができる。
【００４０】
ボトルまたはボトルプレフォーム２から成る反応チャンバ内の圧力は、低くなければならず、１０ｍｂａｒより低いことが好ましく、特に０．０１ｍｂａｒから０．５ｍｂａｒの間である。
【００４１】
ボトルまたはボトルプレフォームが変形するのを防止するために、ボトル（またはプレフォーム）の内側と外側との圧力差は低く、真空チャンバ内に真空が形成される。
【００４２】
ボトルまたはプレフォームの首部には密封も施され、密封が不十分であると、ボトルの内容積と外部空気との間の漏れが生じる可能性がある。
【００４３】
これらの構成によって、反応チャンバを構成するプレフォーム（またはボトル）内でプラズマが生成され、したがって、ボトル（またはプレフォーム）の外面上にプラズマを形成する危険性を低減させ、したがって、真空チャンバの透明な壁は汚染されない。
【００４４】
一例を挙げると、２．４５ＧＨｚでＵＨＦ励起を行い、マイクロ波出力が１８０Ｗである場合、成長率毎秒約２５０オングストローム、アセチレン流量８０ｓｃｃｍ、圧力０．２５ｍｂａｒで炭素膜を付着させることができ、この場合、ボトル（またはプレフォーム）内側に０．２ｍｂａｒの残留圧力が維持され、真空チャンバの内側およびボトル（またはプレフォーム）の外側の残留圧力は、５０ｍｂａｒであれば炭素付着時のボトル（または上記のプレフォーム）の変形を防止するのに十分である。
【００４５】
３９０ｍｌ（１３ｏｚ、２６．５ｇ）のＰＥＴボトルの場合、先駆物質はたとえば約１．５秒の時間Ｔ1の後で注入され、時間Ｔ1は、ボトルまたはボトルプレフォームがアセチレンの流れで洗浄される洗浄時間と呼ばれ、圧力は約０．２５ｍｂａｒの値まで徐々に低下させられる。次に、約１．２秒の全付着時間Ｔ2にわたって、ボトルまたはプレフォーム内に電磁界が印加され、この場合、先駆物質は、約１００ｓｃｃｍの流量で注入されるアセチレンであり、マイクロ波出力は周波数が２．４５ＧＨｚの場合は約２００Ｗであり、得られる炭素厚さは約４０ナノメートルである。
【００４６】
説明では次に図２を参照する。
【００４７】
本発明は一般に、ポリマー材料上に膜を付着させるために形成済みの先駆物質から発生させられるプラズマの組成を監視する方法であって、プラズマによって発光される光の強度の測定を含む方法に関する。
【００４８】
この方法の第１の実施形態では、２つの波長λ1およびλ2は一定であり、第１の波長λ1は、基準波長であり、付着させるべき膜に対する寄生化学種の有意のピーク特性が存在できない波長範囲から選択される。語「寄生種」は、先駆物質の一部を形成せず、通常プラズマ中に存在せず、プラズマ中に存在すると、付着させた膜の性質に影響を与える化学種を意味すると理解される。寄生化学種は、本発明の一実施形態によれば、ポリマー材料上にプラズマ付着させる膜では望ましくない種である。
【００４９】
図２に示されている例では、この波長λ1は９０２．５ナノメートルである。一般に、図３に関して説明するように、本発明の方法では、基準範囲と呼ばれ、寄生化学種の有意の信号特性が存在できないプラズマ発光スペクトルの領域から選択される第１の波長範囲を選択するステップが実施される。図２に示されている実施形態によれば、基準波長範囲は、非常に小さいスペクトル幅を有し、概ね波長λ1に相当する。
【００５０】
したがって、第１の波長範囲は、基準種と寄生種の両方の存在下で特性がほぼ一定で一様のままである、プラズマ発光スペクトルの部分、すなわち、付着させる材料の層の性質に影響を与える可能性の高い種の存在下でほぼ変化しないスペクトルの部分から選択される。
【００５１】
λ1とは異なり、第２の波長λ2は、問題があるときを除いて、特に、通常膜付着プラズマには使用されない化学種のみに使用される。この化学種はたとえば、付着させた膜中の濃度がこの膜の特性に影響を与える構成成分であってよい。特に、この化学種は、膜のバリア特性、あるいは膜の機械的または光学的特性に影響を与えることがある。言い換えれば、一般に、かつ図３に関して説明するように、本発明による方法では、上記の寄生化学種の有意の信号特性が存在する可能性の高い、プラズマ発光スペクトルの領域から選択される第２の波長範囲を選択するステップが実施され、この信号は、この寄生種の濃度に応じてかなり顕著になる。図２に示されている実施形態によれば、基準波長範囲は、非常に小さいスペクトル幅を有し、概ね波長λ2に相当する。
【００５２】
図２に示されている例では、この波長λ2は９１９．５ナノメートルであり、窒素から放出される。したがって、本発明による方法は、特にプラズマ付着装置における空気漏れの存在を検出するのを可能にし、この場合、選択される寄生化学種は、有利なことに空気の構成成分（窒素、酸素など）から選択される。
【００５３】
これらの波長λ1およびλ2について得られる２本の線の強度は同時に取得され、同時に記録されるこの２つの強度から監視係数Ｎが算出される。取得が同時に行われるため、パルス状のプラズマによる強度変動を除外するだけでなく、特に、付着プロセスが実施される過程で生じる変動も除外することも可能になる。
【００５４】
図２に示されている例では、この係数Ｎは、（Ｉλ2−Ｉλ1）／Ｉλ2、すなわち、λ2およびλ1について得られた線の強度同士の差を、λ2について得られた強度で割った値に等しい。
【００５５】
したがって、本発明による方法は、選択された２つの波長範囲のそれぞれにおいてプラズマによって発光された光の強度を同時に取得するステップと、上記の光の強度から少なくとも１つの監視係数を算出するステップも含んでいる。
【００５６】
この比は、たとえば実験相関表を使用して、付着させた膜の様々な特性、たとえば、コーティングされたボトルの酸素透過性、コーティングされたボトルの二酸化炭素透過性、膜厚、膜の色、膜の組成などに関連付けられる。
【００５７】
上記の少なくとも１つの監視係数は、第１の波長λ1の発光強度と第２の波長λ2の発光強度との差の関数であることが好ましい。
【００５８】
有利なことに、監視係数は、第１の波長λ1の発光強度と第２の波長λ2の発光強度との差の関数であり、この差は、第１または第２の波長の放出強度の値に正規化される。
【００５９】
したがって、ボトルの所望の特性に応じて、監視係数値または値の範囲を求め、プラズマ付着プロセスにおけるドリフトまたは異常を検出することが可能であり、この異常を迅速に補正すると、不適合ボトルの数が任意に制限される。
【００６０】
説明では次に図３を参照する。この方法のこの第２の実施形態では、それぞれがスペクトル幅を有し、かつ２つの帯域幅に相当する、２つの波長窓または範囲λ1およびλ2が一定であり、第１の波長窓λ1は、基準窓であり、付着させる膜における対象の化学種の有意のピーク特性が存在しない波長範囲、すなわち、基準範囲と呼ばれ、寄生化学種の有意の信号特性が存在できないプラズマ発光スペクトルの領域から選択される波長範囲から選択される。
【００６１】
図３に示されている例では、この波長窓λ1は、８４０または８５０ナノメートルを中心とし、幅が４０ナノメートルである。
【００６２】
第２の波長窓λ2は、λ1とは異なり、特に膜付着プロセスで使用される化学種のみに使用され、すなわち、寄生化学種の有意の信号特性が存在する可能性が高いプラズマ発光スペクトルの波長領域である。
【００６３】
図３に示されている例では、この波長窓λ2は、９００ナノメートルを中心とし、幅が７０ナノメートルであり、８７０ナノメートル、８８５ナノメートル、および９２０ナノメートルの窒素ピークを含めるのを可能にする。
【００６４】
得られる２つの帯域幅の強度Ｕ1、Ｕ2は、同時に取得され、監視係数Ｎは、同時に記録されるこの２つの強度から算出される。前述のように、取得が同時に行われるため、パルス状のプラズマによる強度変動を除外するだけでなく、特に、付着プロセスが実施される過程で生じる変動も除外することが可能になる。
【００６５】
図３に示されている例では、この係数Ｎは、（Ｕ2−Ｕ1）／Ｕ2、すなわち、帯域幅同士の強度の差を、第２の波長λ2を中心とする帯域幅の強度で割った値に等しい。
【００６６】
監視係数は、上記の第１の帯域幅の発光強度と第２の帯域幅の発光強度との差の関数であることが好ましい。
【００６７】
厳密に言えば、監視係数は、第１の帯域幅の発光強度と第２の帯域幅の発光強度との差の関数であり、この差は、第１または第２の帯域幅の発光強度に正規化される。
【００６８】
この比は、たとえば実験相関表を使用して、付着させた膜の様々な特性、たとえば、コーティングされたボトルの酸素透過性、コーティングされたボトルの二酸化炭素透過性、膜厚、膜の色、膜の組成などに関連付けられる。
【００６９】
したがって、ボトルの所望の特性に応じて、監視係数値または値の範囲を求め、プラズマ付着プロセスにおけるドリフトまたは異常を検出することが可能であり、この異常を迅速に補正すると、不適合ボトルの数が任意に制限される。
【００７０】
本出願人は、約８００ナノメートルから約１０００ナノメートルのスペクトル範囲を使用することによって、たとえばＡｃｔｉｓ（登録商標）プロセスによって付着させたような不定形炭素層の色や、ボトルの色の影響を無くすことが可能であり、したがって、検出器を、導電性の壁を有するキャビティ４に接触させて配置することができ、プラズマがボトルの壁および真空チャンバ１の壁を通して見えることを知った。
【００７１】
有利な実施形態では、分光計は、製造装置の各キャビティに固定され、光学的または電子的な多重化によっていくつかのプラズマを制御することができる。
【００７２】
一実施形態では、光ファイバが、先駆物質ガスインジェクタ内に配置され、したがって、汚染から保護され、この実施形態は、ボトルの壁および真空チャンバ１の壁によるフィルタを排除することを可能にし、したがって、線または帯域幅の波長λ1およびλ2を近ＵＶにおいて選択することができる。
【００７３】
プラズマの組成を監視する方法の好ましい適用によれば、プラズマは、ＰＥＴで作られた中空体上に膜を付着させるマイクロ波プラズマである。
【００７４】
本発明は、本発明によるプラズマの組成を監視する方法を実施する装置であって、プラズマによって発光された光の強度を検出する少なくとも１つの検出器と、ポリマー材料で作られた容器を、この容器の内側に膜を付着させるために収納するようになっている真空チャンバを含むマイクロ波キャビティ内でプラズマを発生させるマイクロ波電磁励起手段とを有する装置にも関する。
【００７５】
検出器をキャビティに接触させて配置し、光強度を容器および真空チャンバの壁を通じて測定することが好ましい。
【００７６】
本発明による方法は、多数の利点をもたらす。
【００７７】
本発明による方法は、製造装置の動作時に異常、たとえば空気漏れをできるだけ早く検出することを可能にする。
【００７８】
この装置が、本出願人の装置と同様に高生産速度で動作できる場合、本発明による方法は、製造パラメータの調整不良を検出し廃品を制限するのを可能にする。
【００７９】
したがって、本発明によって算出される比の値に応じて、容器の内部層が正しく形成されたかどうか、および形成された容器を廃棄し生産ラインから除去する必要があるかどうかが判定される。
【００８０】
本発明による方法の目的は主として、形成されるプラズマの品質を監視し、したがって、プラズマを調整するためのパラメータの、場合に応じた修正を行わないことである。
【００８１】
しかし、連続する多数の容器が廃棄されることが判明したとき、プラズマ発生装置の動作を停止し、したがって、プラズマ発生パラメータを修正することが考えられる。
【００８２】
本発明によれば、内部層の性質を、基準値に対してどれだけの範囲で、容器の性質およびその特性に応じて許容されるものとみなすことができるかも判定される。
【００８３】
本発明によって漏れが検出された場合、容器が生産ラインから取り出されるか、または内部層のプラズマ付着に対する漏れの影響を比の値および許容範囲に応じてわずかにのみ修正することが検討される。
【００８４】
最後に、本発明による方法はコストが安い。この方法の実施形態は、必ずしも既存の製造装置の構造の変更を伴わない。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本出願人によってＡｃｔｉｓ（登録商標）の名称で販売されている装置の一部の断面図であり、Ａｃｔｉｓ（登録商標）装置に連結され、本発明による方法を実施する装置も示す図である。
【図２】本出願人のＡｃｔｉｓ（登録商標）方法によって処理されたボトルに関して得られたいくつかの発光スペクトルを示す図であり、本発明の一実施形態によって監視係数を算出するために選択された２つの特定の波長を示す図である。
【図３】本出願人のＡｃｔｉｓ（登録商標）方法によって処理されたボトルに関して得られたいくつかの発光スペクトルを示す図であり、本発明の第２の実施形態によって監視係数を算出するために選択された２つの特定の波長範囲を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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