(57)【要約】  パルス・ストレッチャを有する高出力エキシマ又は分子状フッ素ガス放電レーザＤＵＶ光源システムを含む装置及び方法が開示され、そのパルス・ストレッチャは光遅延経路ミラーと、光遅延ライン・ミラーの表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス供給システムを含む光遅延経路ミラー・ガス・パージ・アセンブリと、を備える。光遅延経路ミラーは、複数の光遅延経路ミラーを含み、パージ・ガス供給システムは、複数の光遅延ライン・ミラーの各々の表面全域にパージ・ガスを誘導することができる。パージ・ガス供給システムは、パージ・ガス供給ラインと、それぞれの光遅延経路ミラーの表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス分配及び誘導機構と、を備える。
2009540571.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高出力エキシマ又は分子状フッ素ガス放電レーザＤＵＶ光源システム
を備え、
前記光源システムはパルス・ストレッチャを備え、
前記パルス・ストレッチャは、光遅延ライン・ミラーと光遅延ライン・ミラー・ガス・パージ・アセンブリとを備え、
前記ガス・パージ・アセンブリは、前記光遅延ライン・ミラーの表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス供給システムを備える、
ことを特徴とする装置。
【請求項２】
複数の光遅延ライン・ミラーを含む前記光遅延ライン・ミラーと、
前記複数の光遅延ライン・ミラーの各々の表面全域にパージ・ガスを誘導する前記パージ・ガス供給システムと、
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
パージ・ガス供給ラインと、
それぞれの前記光遅延ミラーの前記表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス分配及び誘導機構と、
を備える前記パージ・ガス供給システム
をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
パージ・ガス供給ラインと、
それぞれの前記光遅延ミラーの前記表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス分配及び誘導機構と、
を備える前記パージ・ガス供給システム
をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項５】
パージ・ガス供給ラインと、
それぞれの前記光遅延経路ミラーの前記表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス分配マニホルド及びバッフル装置と、
を備える前記パージ・ガス供給システム
をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
パージ・ガス供給ラインと、
それぞれの前記光遅延経路ミラーの前記表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス分配マニホルド及びバッフル装置と、
を備える前記パージ・ガス供給システム
をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項７】
パージ・ガス供給ラインと、
それぞれの前記光遅延経路ミラーの前記表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス分配マニホルド及びバッフル装置と、
を備える前記パージ・ガス供給システム
をさらに含むことを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項８】
パージ・ガス供給ラインと、
それぞれの前記光遅延経路ミラーの前記表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス分配マニホルド及びバッフル装置と、
を備える前記パージ・ガス供給システム
をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項９】
それぞれの光遅延経路ミラーを前記遅延経路内の光ビームに曝す光透過開口部を備える前記バッフルをさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項１０】
それぞれの光遅延経路ミラーを前記遅延経路内の光ビームに曝す光透過開口部を備える前記バッフルをさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項１１】
それぞれの光遅延経路ミラーを前記遅延経路内の光ビームに曝す光透過開口部を備える前記バッフルをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項１２】
それぞれの光遅延経路ミラーを前記遅延経路内の光ビームに曝す光透過開口部を備える前記バッフルをさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１３】
互いに接合されたとき、パージ・ガス注入口プレナムをガス・マニホルドのガス分配開口部に接続する内部チャネルを形成する、上部プレート及び底部プレートを備える前記分配マニホルド
をさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項１４】
互いに接合されたとき、パージ・ガス注入口プレナムをガス・マニホルドのガス分配開口部に接続する内部チャネルを形成する、上部プレート及び底部プレートを備える前記分配マニホルド
をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項１５】
互いに接合されたとき、パージ・ガス注入口プレナムをガス・マニホルドのガス分配開口部に接続する内部チャネルを形成する、上部プレート及び底部プレートを備える前記分配マニホルド
をさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項１６】
互いに接合されたとき、パージ・ガス注入口プレナムをガス・マニホルドのガス分配開口部に接続する内部チャネルを形成する、上部プレート及び底部プレートを備える前記分配マニホルド
をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１７】
前記光遅延経路の位置合せの誤差を補正するための、光遅延経路ミラーの位置を調整するミラー位置調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１８】
前記光遅延経路の位置合せの誤差を補正するための、光遅延経路ミラーの位置を調整するミラー位置調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１９】
前記光遅延経路の位置合わせの誤差を補正するための、光遅延経路ミラーの位置を調整するミラー位置調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項２０】
前記光遅延経路の位置合わせの誤差を補正するための、光遅延経路ミラーの位置を調整するミラー位置調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項２１】
前記光遅延経路の位置合わせの誤差を補正するための、光遅延経路ミラーの位置を調整するミラー位置調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項２２】
前記光遅延経路の位置合わせの誤差を補正するための、光遅延経路ミラーの位置を調整するミラー位置調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【請求項２３】
前記光遅延経路の位置合わせの誤差を補正するための、光遅延経路ミラーの位置を調整するミラー位置調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項２４】
前記光遅延経路の位置合わせの誤差を補正するための、光遅延経路ミラーの位置を調整するミラー位置調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項１６に記載の装置。
【請求項２５】
前記光遅延経路に対して前記光遅延経路ミラーを移動させるための、光遅延経路筐体壁に移動可能に接続された光遅延経路ミラー取付け台を備える前記ミラー位置調整機構
をさらに含むことを特徴とする請求項１７に記載の装置。
【請求項２６】
前記光遅延経路に対して前記光遅延経路ミラーを移動させるための、光遅延経路筐体壁に移動可能に接続された光遅延経路ミラー取付け台を備える前記ミラー位置調整機構
をさらに含むことを特徴とする請求項１８に記載の装置。
【請求項２７】
前記光遅延経路に対して前記光遅延経路ミラーを移動させるための、光遅延経路筐体壁に移動可能に接続された光遅延経路ミラー取付け台を備える前記ミラー位置調整機構
をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２８】
前記光遅延経路に対して前記光遅延経路ミラーを移動させるための、光遅延経路筐体壁に移動可能に接続された光遅延経路ミラー取付け台を備える前記ミラー位置調整機構
をさらに含むことを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項２９】
前記光遅延経路に対して前記光遅延経路ミラーを移動させるための、光遅延経路筐体壁に移動可能に接続された光遅延経路ミラー取付け台を備える前記ミラー位置調整機構
をさらに含むことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項３０】
前記光遅延経路に対して前記光遅延経路ミラーを移動させるための、光遅延経路筐体壁に移動可能に接続された光遅延経路ミラー取付け台を備える前記ミラー位置調整機構
をさらに含むことを特徴とする請求項２２に記載の装置。
【請求項３１】
前記光遅延経路に対して前記光遅延経路ミラーを移動させるための、光遅延経路筐体壁に移動可能に接続された光遅延経路ミラー取付け台を備える前記ミラー位置調整機構
をさらに含むことを特徴とする請求項２３に記載の装置。
【請求項３２】
前記光遅延経路に対して前記光遅延経路ミラーを移動させるための、光遅延経路筐体壁に移動可能に接続された光遅延経路ミラー取付け台を備える前記ミラー位置調整機構
をさらに含むことを特徴とする請求項２４に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
開示される対象は、集積回路製造用フォトリソグラフィＤＵＶ光源として用いられるか、又は、例えば薄膜ディスプレイ用の薄膜トランジスタを製造するための結晶化基板を作成するために、例えばアモルファス・シリコンをアニールするレーザ表面処理に用いられるようなレーザ・システムに関する。
【０００２】
本出願は、２００７年５月２３日出願の「パルス・ストレッチャを有する高出力エキシマ・レーザ」と題する米国特許出願第１１／８０５，５８３号に対する優先権を主張するものである。本出願はまた、２００４年５月１８日出願の「レーザ出力光パルス・ストレッチャ」と題する、２００５年５月１９日に米国特許公開公報第２００５／０１０５５７９号として公開された、米国特許出願第１０／８４７，７９９号の部分継続出願であり、２００６年６月５日出願の米国特許出願第６０／８１１，２４２号に対する優先権を主張するものであり、「長遅延及び高ＴｉＳパルス・ストレッチャ」と題する米国特許第７，０１６，３８８号に関連し、２０００年５月２３日にＭｏｒｔｏｎ他に付与された「パルス・マルチプライヤを有するエキシマ・レーザ」と題する米国特許第６，０６７，３１１号、２００１年１１月６日にＭｏｒｔｏｎに付与された「パルス及びビーム・マルチプライヤを有するエキシマ・レーザ」と題する米国特許第６，３１４，１１９号、２００３年３月１８日にＳｍｉｔｈ他に付与された「パルス・マルチプライヤを有するガス放電レーザ」と題する米国特許第６，５３５，５３１号、及び２００４年３月９日にＥｒｓｈｏｖ他に付与された「配置された位置合せツールを有するリソグラフィ・レーザ・システム」と題する米国特許第６，７０４，３４０号に関連し、これらの全ての開示は、引用により本明細書に組み入れられる。
【０００３】
本出願はまた、同時に出願されたＨｏｆｍａｎｎによる「材料処理用途のための低発散、高出力レーザ・ビームを生成するためのデバイス及び方法」と題する、同時係属中、同一出願人による、代理人整理番号第２００６−００３５−０１号の米国特許出願、同時に出願されたＨｏｆｍａｎｎによる「高エネルギー・パルス・レーザ用途のためのビーム形状及び対称性を安定化するためのデバイス及び方法」と題する、同時係属中、同一出願人による、代理人整理番号第２００６−００３９−０１号の米国特許出願、及び、同時に出願されたＳｔｅｉｇｅｒ他による「高エネルギー・エキシマ・レーザ光源用チャンバ」と題する、同時係属中、同一出願人による、代理人整理番号第２００６−００４２−０１号の米国特許出願に関連し、これらの各々の開示は、引用により本明細書に組み入れられる。
【背景技術】
【０００４】
エキシマ・レーザ・システム、例えば、パルス・ストレッチャを有する単一チャンバ・レーザ・システム、例えば出願人の譲受人の７ＸＸＸモデルのレーザ・システム・シリーズ及びＸＬＡ−ＸＸＸ（ＭＯＰＡ）マルチ・チャンバ・レーザ・システムは、出願人の譲受人が光学パルス・ストレッチャ（ＯＰｕＳ）と呼ぶパルス・ストレッチャを利用している。出願人は、特定の用途、例えば集積回路製造プロセスにおいてウェハを露光するのにレーザ・システムを用いた現在採用されている集積回路製造ツールに用いられる、例えば低温ポリシリコン処理（ＬＴＰＳ）用の高出力細長ビームによるレーザ・アニール、又は、極狭帯域幅、高繰返し率及び極めて制限されたパルス変動のような厳しく制約されたレーザ・ビーム特性及び品質に対して、パルス・ストレッチャを、開示される対象の実施形態の態様により改善できることを見出した。
【発明の開示】
【０００５】
光遅延経路ミラーと、光遅延ライン・ミラーの表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス供給システムを含むことができる光遅延経路ミラー・ガス・パージ・アセンブリと、を含むことができるパルス・ストレッチャを含むことができる、高出力エキシマ又は分子状フッ素ガス放電レーザＤＵＶ光源システムを含むことができる装置及び方法が開示される。光遅延経路ミラーは、複数の光遅延経路ミラーを含むことができ、パージ・ガス供給システムは、複数の光遅延ライン・ミラーの各々の表面全域にパージ・ガスを誘導することができる。パージ・ガス供給システムは、パージ・ガス供給ラインと、それぞれの光遅延経路ミラーの表面全域にパージ・ガスを誘導することができるパージ・ガス分配及び誘導機構とを含むことができる。パージ・ガス供給システムは、パージ・ガス供給ラインと、それぞれの光遅延経路ミラーの表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス分配マニホルド及びバッフル装置と、を含むことができる。バッフルは、それぞれの光遅延経路ミラーを遅延経路内の光ビームに曝す光透過開口部を含むことができる。分配マニホルドは、互いに接合されるとき、パージ・ガス注入口プレナムをガス・マニホルドのガス分配開口部に接続する内部チャネルを形成する、上部プレート及び底部プレートを含むことができる。この装置及び方法は、光遅延経路の位置合せの誤差を補正するための、光遅延経路ミラーの位置を調整するミラー位置調整機構を含むことができる。ミラー位置調整機構は、光遅延経路に対して光遅延経路ミラーを移動させるための、光遅延経路筐体壁に移動可能に接続された光遅延経路ミラー取付け台を含むことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
開示対象の一実施形態の態様により、例えばＯＰｕＳ用の例えば調整可能ミラー・タワー内の一つ又は複数の調整可能ミラーを、例えば一つの筐体、例えばＯＰｕＳタワーの下流筐体内の、或いは代替的に両方の筐体内の、例えば、ミラー／ミラー・タワー／ミラー取付け台に軸調整機構を設けて、ＯＰｕＳの出力をＯＰｕＳパルス・ストレッチャの遅延経路内に移動しないレーザ出力光パルス・ビームの部分に対してより良好に位置合せする方法を用いて提案する。開示対象の一実施形態の態様によると、軸調整機構はまた、例えば、ミラーの曲率半径の変動を補償するために、ミラー・システムの焦点を合せる方法を提供することもできる。この調整機構はまた、ＯＰｕＳミラー・タワーの一方又は両方のミラー筐体の外側からアクセス可能とすることもできる。調整範囲は、例えば、その公称位置から最小約±８．０ｍｍ、又は公称で±１０．０ｍｍとすることができる。
【０００７】
本出願において言及されるのと同じ技術を用いて、例えば、ＯＰｕＳタワーの下流筐体内ミラーと上流筐体内ミラーの両方の軸位置決めを調整することができるが、出願人は、開示対象の一実施形態の態様によって、下流筐体内のミラーだけが調整可能である必要があり、それでもなお、特に上記の利点を達成できると判断した。このような装置が、添付の図面に示される開示対象の一実施形態の態様によって示される。
【０００８】
図１を参照すると、上述の出願人の譲受人のレーザ・システム内に用いられるタイプの４つのミラーのパルス・ストレッチャ（ＯＰｕＳ）が概略的に示され、これは図１において５０で概略的に示される筐体内に収容することができる。図示されるように、レーザ・システムの出力レーザ光パルス・ビーム２４は、パルス・ストレッチャに入り、例えば、例として図２に示されるビーム・スプリッタ筐体７０内に収容されるビーム・スプリッタ７６に当り、そして例えば、ミラー２０Ａに向けて反射され、そこからミラー２０Ｂに向けて反射され、ミラー２０Ｃに向けて反射され、次にミラー２０Ｄに向けて反射され、そしてビーム・スプリッタに反射し戻されて遅延経路出力２６を形成し、これを全体のビーム・パルス・ストレッチャの出力とすることができ、或いは、第２のビーム・スプリッタ（図１には図示せず）に入射させ、例えば付加的な４つのミラー（図１には図示せず）を有する第２の遅延経路内に入射させることができる。
【０００９】
図２に示すように、ＯＰｕＳ５０は上流タワー５２と下流タワー５４の間にビーム・スプリッタ筐体７０を有することができ、各タワーは囲いを形成して、例えばエキシマ又は他のガス放電レーザ・チャンバからのＤＵＶ光出力の特に吸収を防止するために、タワー内に例えば窒素パージをもたらすことができる。パルス・ストレッチャは、例えば、下流タワー５４の底部に下流ミラー筐体６０と、上流タワー５２の上部に類似の上流ミラー筐体６０´とを有することができる。
【００１０】
ここで、図１並びにより詳細には図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、開示対象の一実施形態の態様による、下流筐体６０及びその要素、並びに上流筐体６０´及びその要素の実施例がより詳細に示される。短遅延経路ミラー取付け台１０、１０´及び長遅延経路ミラー取付け台１２、１２´が見える。長遅延経路ミラー取付け台１２は、例えば第１のパルス・ストレッチャからのミラー、例えばミラー２０Ｂ及び２０Ｄを収容することができ、長遅延経路ミラー取付け台１２´は、その第１のパルス・ストレッチャからのミラー２０Ａ及び２０Ｃを保持することができ、下流パルス・ストレッチャ筐体６０内のミラー取付け台１０及び上流筐体６０´内のミラー取付け台１０´は、同様に、より短い遅延経路（図１には図示せず）を有するように見える第２のパルス・ストレッチャ用のミラー２０Ｂ及び２０Ｄ並びにミラー２０Ａ及び２０Ｃを、それぞれ支持することができる。
【００１１】
ミラー取付け台アセンブリ１０、１２並びに１０´、１２´の各々は、ミラー取付けブロック１４、１４´と、ミラー位置調整可動台１６（図４Ａ、図５及び図６に示される）と、ミラー取付け板１８と、ミラー取付け台拡張部２０とを含むことができ、この拡張部２０は図示されたミラー受入れ開口部２６内にそれぞれのミラー対を収容することができる。例えば２つの下部ミラーが下流ミラー筐体６０内に収容される２つの光遅延ラインの一方の、例えば下流ミラー２０Ｂ、２０Ｄを収容する、ミラー取付け台拡張部２０は、図２並びに図３Ａ及び図３Ｂに示すように直接に、又は図４Ａ、図５及び図６に示すようにミラー調整可動台１６を介して間接的に、例えばその幾つかが図面に示されているねじを用いて、ミラー取付け台拡張取付け板１８によりミラー取付けブロック１４に取り付けることができる。
【００１２】
図３Ａは、下流筐体６０及びその要素、特に、その拡大図が図９および図１０にも示されるミラー・ガス・パージ・アセンブリ１４０を具体化した要素の拡大図を示す。図３Ａに示す下流筐体６０は、ミラー・ガス・パージ・アセンブリ１４０を収容する点で、図２のものとは異なる。図３Ｂの拡大図で示される上流筐体６０´は、図２の上流筐体６０´と概ね同じであるが、上述のように、これもまた、図３Ａ及び図９に示されるのと同じ又は実質的に同じミラー・ガス・パージ・アセンブリ１４０を有することができる。
【００１３】
図３Ａ及び図９に見られるように、ミラー・パージ・アセンブリ１４０は、実施例として、例えばガス注入ライン１５０を含むことができ、このライン１５０は、筐体６０の壁を貫通して下流筐体ガス・パージ・ライン２０２に接続させることができる。ミラー・パージ・アセンブリ１４０は、下流ミラー取付け台拡張部１２のガス・パージ・アセンブリ１６０と、上流ミラー取付け台拡張部１０のガス・パージ組立体１７０とを有することができる。ミラー・パージ・ガス注入ライン１５０は、Ｔ型接続部品１５２を介して上流ミラー取付け台パージ・ガス・ライン１５４及び下流ミラー取付け台パージ・ガス・ライン１５６に接続することができる。上流ミラー取付け台パージ・ガス・ライン１５４及び下流ミラー取付け台パージ・ガス・ライン１５６の各々は、例えば６００ｋＰａを超えるＮ2圧力に定格化された高圧ガスケット・アセンブリ１５８を介して、それぞれのパージ・ガス・マニホルド１６６ａ、１６６ｂ及び１７０に接続することができる。実施例として、図１０に示す下流ミラー・ガス・パージ・バッフル・アセンブリ１６０は、例えば、パイレックス（登録商標）・ガラス板１６３を挿入することができる開口部内に下流ミラー・ガス・パージ・バッフル板１６２を含むことができる。パイレックス板１６３は１対の開口部１６４を含むことができて、パルス・ストレッチャの第１の遅延経路内の光ビームの通路が、例えば図１に概略的に示される第１の遅延経路内のそれぞれのミラー２０Ｄ及び２０Ｂに達することを可能にする。パイレックス・ガラス板１６３は、パージ板１６２内のその開口部内の所定の位置に複数のばねクリップ１６５によって保持することができる。パイレック板１６３は、例えば、位置合せの補助に用いることができる。ＯＰｕＳミラーの位置合せ中、ビームがビーム経路から外れて、例えば露出金属上で見ることを困難にする可能性がある。ミラー孔開口部を完全に囲んで配置されたパイレック板は、ＵＶ光が衝突したときに蛍光を発することができる。その結果、技術者はビームがどこにあるかを知ることができ、ビームを再位置決めして正しくミラー上にくるようにすることが可能になる。
【００１４】
パージ・ガス、例えば窒素は、ガス注入ライン１５６から、マニホルド底板１６６ａ及びマニホルド上板１６６ｂによって形成されたマニホルド内の内部通路（図示せず）に誘導され、マニホルド出口開口部１６６ｃ（図９に示される）に流れることができる。下流パージ・ガス・マニホルド板１６６ａ及び１６６ｂは、適切なねじによって結合させることができる。バッフル板１６３は、腕木１６８によって所定の位置に保持され、ミラー取付け台拡張部１２内のミラー表面全域にパージ・ガスを誘導することができ、この腕木１６８は、取り付けねじ１６９によって筐体６０の壁に取り付けられた腕木取り付け板１６７を含むことができる。
【００１５】
上流ミラー・パージ・バッフル・アセンブリ１７０は、下部バッフル板１７２及び上部バッフル板１７４を含むことができ、ガス取付け部品１９２に接続されたプレナム（図示せず）から開口部１７８まで続く内部チャネル（図示せず）を有することができる。開口部１７８を出たパージ・ガスは、下流ミラー・ガス・パージ・アセンブリ内の開口部１６６ｃを出たガスと同様に、第２の遅延経路（図１には図示せず）内のミラー、例えば下流タワー・ミラー２０Ｄ及び２０Ｂの表面全域に誘導することができる。このことは、パルス・ストレッチャ５０の光遅延経路を通過するＤＵＶ光による光学的加熱のためにミラー表面近くに蓄積する高温ガスのパージを改善する。
【００１６】
ミラー位置調整機構１５は、パルス・ストレッチャ５０内の筐体６０、６０´の一方又は両方の中に組み込むことができる。ミラー位置調整機構は、例証的には、ミラー位置調整可動台１６を含むことができる。図４Ａ及び図５に詳細に示されるこの可動台１６は、図５から分かるように、取付け板１８と取付けブロック１４の間に挿入することができる。調整可動台は、取付けブロック１４に交差ローラ・レール取付け具３０によって接続することができ、この取付け具３０は、例えばブロック１４に取り付けられたローラ・アセンブリ（ローラは図示せず）と、可動台に接続されたスロット・アセンブリ３４とを含むことができ、その結果、取り付けられたミラー取付け板１８と取り付けられたミラー取付け台拡張部２０とを有する可動台１６が、図５に示すように、スロット機構３４内のスロット内を、取付けブロック１４の表面に平行に移動することができ、これにより、ミラー間の半径方向の間隔、例えば、それぞれパルス・ストレッチャ５０の第１又は第２の遅延経路用の、パルス・ストレッチャ５０の底部筐体６０内のミラー２０Ｄと２０Ｂの半径方向の間隔を調整することができる。
【００１７】
図４、図５及び図６により詳細に見られるように、位置決めねじ４０を調整する調整機構を用いることができる。位置決めねじ４０は、例えば内側がねじ切り（ねじ山は図示せず）されたスリーブを有することができ、その中を、ねじ切り部分４８（ねじ山は図示せず）と非ねじ切り部分１０４を有するネジ付きシャフトがスリーブ４６を貫通して延びる。スリーブ４６はさらに、保持フランジ５６を有することができる。締付けワッシャ・スロット１０８は、上部締付けワッシャ４２及び下部締付けワッシャ４４を所定の位置に保持するように機能することができる。上部締付けワッシャ４２は保持フランジ５６と共に、調整可動台１９からの拡張部８０内の所定の位置に調整位置決めねじ４０を保持するように機能することができ、この調整位置決めねじ４０は、図５に示し図６に部分的切欠き形態で示すように、取付けブロック１４内の開口部内に延びる。調整位置決めねじ４０上のボール先端部１０２は、例として図６に示すように、取付けブロック１４内の挿入開口部５４の底部にある窪み付きボール先端部受け入れ機構と相互作用することができる。調整位置決めねじは、レンチ・ナット１０６を用いて操作し、ねじ付きカラー４６内で回転させ、これによりシャフト１０４の拡張部を長く又は短くし、従って取付けブロック１４が取り付けられる筐体壁６０、６０´に対して調整可動台を移動させ、従ってそれぞれのミラー取付け台拡張部及びそれぞれの２つのミラーを、パルス・ストレッチャ５０の他端にあるパルス・ストレッチャ筐体に向かう方向又はそれから離れる方向に移動させることができる。レンチ・ナット１０６は、例えば図８に示すように、シャフト１３０及び整合レンチ・コネクタ１３２を有することができるツールと協働することができる。代替的に、ツールはアレン・レンチ接続部品を有することができる。このツールは、筐体、例えば筐体６０内の適切にシールされた開口部を貫通して延び、図５に部分的に示される例えばミラー取付けアセンブリ１２内の調整位置決めねじと直接に相互作用することができ、又は、やはり図５に部分的に示される下流ミラー取付けアセンブリ１２の場合には、上流ミラー取付けアセンブリ１０の取付けブロック１４内の開口部を貫通して延びて下流ミラー取付けアセンブリ１２用の調整位置決めねじに係合することができる、中間ツール９０を介して、調整位置決めねじと相互作用することができる。
【００１８】
このように、調整可動台１６はそれぞれのミラー取付け板１４に対して相対移動するように、例えばＤｅｌＴｒｏｎによって製造されるＮＢ−Ｘ０００レール・セットを含むことができる、例えば交差ローラ・レール・セット３２、３４によって取り付けられる。レール・セット３２、３４は、半径方向の調整可動台１６が、それぞれの取付けブロック１４に対して、例えば約４インチの移動に対して例えば約２ミクロン（０．０００８インチ）の位置合せ精度で、十分に制御され位置合せされる仕方で移動することを可能にする。第１のガイド・レール３２上のねじ５８は、取付け板１４に取り付けることができる。調整可動台１６はまた、ガイド・レール３４にねじ３８によって接続することもできる。
【００１９】
上部締付けワッシャ４２及び下部締付けワッシャ４４の各々は、調整機構４０のねじ切り部分４６が回転させられるときに所定位置で回転し、一方、例えばスリーブ４６は、上部締付けワッシャ４２及び保持フランジ５６の働きにより所定の位置に保持されることを可能にする。ねじ山４６の回転は、ねじ切り部分４６の上でねじ切りスリーブ４８を移動させて、このスリーブをネジきり部分４６の上で上下に移動させる働きをする。取付け板１４内の位置調整機構の開口部５４の床面にある受容部に係合するボール端部取付け部５２が、板１４に対して可動台１６を移動させる。
【００２０】
軸方向の調整は、例えば、位置調整機構４０の１／４−８０精密ピッチ調整ねじ部分４８を利用して行うことができる。交差ローラ・レールのセット３２、３４のローラ（図示せず）は、ゼロ「スロップ」及び厳密スライドのために予め組み込むことができる。締付けワッシャ４２、４４を有する精密ピッチ調整ねじはまた、取り付け中に、調整位置決めねじ４０が完全に外れるのを防止する働きをすることもできる。このことは、この器具が過度に締め付けられる場合、損傷は調整位置決めねじに生じ、光学アセンブリには生じないことを保証することができる。
【００２１】
エキシマ又は他のガス放電レーザ、例えばＤＵＶ範囲内で動作するレーザが高出力（３０Ｗ及びそれ以上）で動作するとき、ＯＰｕＳミラーによる光の吸収がこれらのミラー及び周囲ガスを加熱する可能性がある。この温ガスは、光ビーム経路内で移動して光経路内で屈折率の不均一な乱れを生成する。結果として、この乱れた領域を通して伝搬するビームは、指向の変化及び発散の増加を被る。結果として、出力ビームは、その発散プロフィルの分裂を示す可能性がある。
【００２２】
開示対象の一実施形態の態様によると、上述のガス・マニホルド及びバッフル・アセンブリ、又は他の類似物を、それぞれのＯＰｕＳミラー近傍に取り付けて、ミラー表面及びビーム経路から温ガスを連続的に取り除くことができる。好ましい実施形態において、パージ・ガスはＮ2である。パルス・ストレッチャ内の２つの例証的な遅延経路の各々について、下流ハウジング６０内のパージされたミラー２０Ｄ及び２０Ｂのみが示されるが、各々の遅延経路内の全部で４つのミラーまでパージすることができ、即ち、同じ又は類似のパージ・アセンブリをまた、例証的なパルス・ストレッチャ内の２つの遅延経路の各々のミラー２０Ａ及び２０Ｃを収容する例証的な上流筐体６０´の中に組み込むこともできる。パージ・ガスは、例えばパージ・ガス流がなければミラー表面近傍に蓄積し易い、加熱ガス層を除去するのに十分な量及び流速でミラーの反射表面全域に流すことができる。図７は、開示対象の一実施形態の態様による実施例として、パージ・ガス・マニホルド２００を示すが、このパージ・ガス・マニホルド２００は、下流タワー・ミラー筐体６０、ビーム・スプリッタ筐体７０及び上流タワー・ミラー筐体６０´のそれぞれへのパージ・ガス・ライン２０２、２０４及び２０６に供給することができる。マニホルド２００には、ＤＵＶレーザ・システムにおいてはＤＵＶ放射の吸収を防止する典型的には窒素であるパージ・ガスを、レーザ・システムの窒素／他のパージ・ガス源（図示せず）からガス供給取付け部品２１２を通してマニホルド分配管２０８中に供給することができる。マニホルド管２０８からつながる各々のガス供給取付け部品２０９は、上述の高圧ワッシャ１５８を有することができる。エルボ取付け部品２１０は、各々のマニホルド管の出口をそれぞれの供給ライン２０２、２０４及び２０６に接続する。
【００２３】
図１１は、開示対象の一実施形態の態様による、パルス・ストレッチャの一部分を部分的に概略的に、かつ、部分的に拡大した形で示す。実施例として、図１１に示したパルス・ストレッチャの一部分において、ミラー位置調整機構１５とパージ・ガス・アセンブリ１６０、１７０の両方が、上流タワー光遅延ミラー筐体６０´内に組み立てられた状態で示されている。このことはまた下流タワー光遅延経路ミラー筐体６０内で行うこともでき、及び／又は代替的に下流タワー光遅延経路ミラー筐体６０内でのみ行うことができることを理解されたい。代替的に、開示対象の一実施形態の態様によると、光遅延経路ミラー位置調整機構１５は、筐体６０又は筐体６０´のいずれかの中に組み込むことができ、そしてミラー・ガス・パージ・システム１６０、１７０は、筐体６０、６０´の両方の中に組み込むか又はミラー位置調整機構１５が組み込まれたのと反対側の筐体中にのみ組み込むことができる。
【００２４】
当業者であれば、光遅延ライン・ミラーと、光遅延ライン・ミラーの表面全域にパージ・ガスを誘導するパージ・ガス供給システムを含むことができる光遅延ライン・ミラー・ガス・パージ・アセンブリと、を含むことができるパルス・ストレッチャを含むことができる、高出力エキシマ又は分子状フッ素ガス放電レーザＤＵＶ光源システム、例えば、フォトリソグラフィ・プロセスの光源用の６０Ｗ又はそれ以上の、そして薄膜アニール・プロセス光源用の１８０ワット又はそれ以上の光源システムを含むことができる装置及び方法が開示されること、を理解するであろう。光遅延経路ミラーの表面全域に誘導されるパージ・ガスは、例えば、ミラー自体の熱変形による、又はミラー表面上に蓄積してレーザ・ビーム波面を歪ませる加熱されたパージ・ガス（ＤＵＶ光の吸収を減少させるために挿入された）の層による、パルス・ストレッチャ内の光遅延経路を通過するレーザ・ビームの歪みを特に減少させることができる。光遅延ライン・ミラーは複数の光遅延ライン・ミラーを含むことができ、パージ・ガス供給システムは、複数の光遅延ライン・ミラーの各々の表面全域にパージ・ガスを誘導することができ、ここで、例えばその複数のミラーは、パルス・ストレッチャ内の全てのミラー、又は複数の遅延経路を有するパルス・ストレッチャの一光遅延経路内の全てのミラー、又はパルス・ストレッチャの一端にある、ミラーを保持する筐体内の全てのミラー、又はパルス・ストレッチャの一端にある少なくとも１つのミラー若しくは１対のミラー、とすることができる。パージ・ガス供給システムは、パージ・ガス供給ラインと、それぞれの光遅延経路ミラーの表面全域にパージ・ガスを誘導することができるパージ・ガス分配及び誘導機構と、を含むことができる。パージ・ガス供給システムは、パージ・ガス供給ラインと、それぞれの光遅延経路ミラーの表面全域にパージ・ガスを誘導することができるパージ・ガス分配マニホルド及びバッフル装置と、を含むことができる。バッフルは、それぞれの光遅延経路ミラーをその遅延経路内の光ビームに曝す光透過開口部を含むことができる。分配マニホルドは、接合させたとき又は他の方法で、パージ・ガス注入口プレナムをガス・マニホルドのガス分配開口部に接続する内部チャネルを形成する上部プレート及び底部プレートを含むことができる。この装置及び方法は、光遅延経路の位置合せの誤差を補正するように、光遅延経路ミラーの位置を調整するミラー位置調整機構を含むことができる。ミラー位置調整機構は、例えば、経路に沿って又は経路に直角に光遅延経路ミラーを光遅延経路に対して移動させるための、光遅延経路筐体壁に移動可能に接続された光遅延経路ミラー取付け台を含むことができる。開示対象の一実施形態の態様によると、ミラー・パージ・ガス分配システム及びミラー位置決めシステムは、パルス・ストレッチャの端部、例えば上流タワーの端部若しくは下流タワーの端部の同じ筐体中に、又は上流若しくは下流の２つのこうした筐体の一方の中だけに収容することができ、或いは、それらの組合せ、例えば、位置決めシステムを上流及び下流タワー筐体の一方の中に且つパージ・ガス遅延経路ミラー分配システムを他方の中に、若しくはパージ・ガス・システムをパルス・ストレッチャのそれぞれの端部にあるそれぞれの筐体中に且つ位置決めシステムをパルス・ストレッチャの一方の端部にのみ、若しくは位置決めシステムを両方の筐体中に且つパージ・ガス・システムを一方の中にのみ、収容することができる。
【００２５】
当業者であれば、上述の開示対象の実施形態の態様は、好ましい実施形態のみを意図したものであり、決して開示対象の開示を限定するものではなく、特に特定の好ましい実施形態だけに限定することを意図したものではないことを理解するであろう。当業者であれば理解し認識することになる多くの変更及び修正を、開示された本発明の実施形態の開示された態様に加えることができる。添付の特許請求の範囲は、範囲及び趣旨において、開示対象の実施形態の開示された態様ばかりでなく、そのような均等物並びに当業者には明らかとなる他の修正及び変更を含むことが意図されている。上述の開示対象の実施形態の開示され請求された態様に対する変更及び修正に加えて、他の変更及び修正を実施することができる。例えば、ミラー表面のパージは、両方の筐体６０及び６０´中で、又は上流筐体６０´若しくは下流筐体６０のいずれかであり得る一方の中においてのみ実行することができる。さらに、ミラー位置決め調整機構は、それぞれの遅延経路内の２つのミラーだけに対するもの、又は４つのミラー全てに対するものとすることができ、前者の場合、一つのミラー取付けアセンブリを上流筐体６０´内に、そして一つを下流筐体６０内に調整可能に配置して、例えば、図５のシャフト９０によって示されるような取付けブロックを貫通する拡張部の必要性を除くことができる。
【００２６】
本特許出願において、米国特許法第１１２条（３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．§１１２）を満たすのに必要なように詳細に説明され、図示された「パルス・ストレッチャを有する高出力エキシマ・レーザ」の実施形態の特定の態様は、上記の実施形態の態様により解決されるべき問題又はそれに関するあらゆる他の理由又は対象に関する、あらゆる上述の目的を十分に達成することができるが、当業者であれば、本開示対象の説明された実施形態に関する本明細書に記述された態様は、単に例示的且つ例証的なものであり、開示対象によって幅広く企図される対象の典型に過ぎないことを理解されたい。本明細書で説明され特許請求される実施形態の態様の範囲は、本明細書の教示に基づいて、当業者にはいまや明らかであるか又は明らかとなり得る他の実施形態を完全に包含する。本発明「パルス・ストレッチャを有する高出力エキシマ・レーザ」の範囲は、添付の特許請求の範囲によってのみ、専ら且つ完全に限定され、添付の特許請求の範囲の説明以外のなにものにも限定されない。これら特許請求の範囲の要素に対する単数形での言及は、それら請求要素「１つ及び１つのみ」を、そのように明記されない限り、意味することを意図したものではなく、又はそのように解釈することを意味したものでもなく、むしろ「１つ又はそれ以上」を意味することを意図したものである。当業者には既知であるか又は後に既知となる、実施形態の上述の態様の要素のいずれかに対する全ての構造的及び機能的均等物は、引用により本明細書に明示的に組み入れられ、本特許請求の範囲に包含されることが意図されている。本明細書及び／又は特許請求の範囲において用いられ、本出願における本明細書及び／又は特許請求の範囲において意味が明示的に与えられる如何なる用語も、これら用語に関する如何なる辞書的意味又は他の一般に用いられる意味には関りなく、その意味を有するものとされる。本出願において開示される実施形態の態様により解決されることが求められる各々の且つ全ての問題に対処するための実施形態のいずれかの態様として本明細書において論じられる装置又は方法に関しては、それが本特許請求の範囲に含まれることは意図されておらず、また必要でもない。本開示におけるいかなる要素、コンポーネント、又は方法ステップも、それら要素、コンポーネント、又は方法ステップが特許請求の範囲において明示的に説明されているかどうかに関りなく、公共に向けられることを意図したものではない。添付の特許請求の範囲における特許請求のどの要素も、その要素が「するための手段」という語句を用いて明示的に説明されない限り、又は方法の請求項の場合には、要素が「行為」ではなく「ステップ」として説明されない限り、米国特許法第１１２条（３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．§１１２）第６段落の規定の下で解釈されるべきではない。
【００２７】
当業者であれば、米国特許法の履行において、出願人は、本出願における本明細書に添付されたいずれかのそれぞれの請求項において説明された各々の発明に関する少なくとも１つの可能で実用的な実施形態を、或いは幾つかの場合には１つのみを開示したことを理解するであろう。特許出願の長さ及び製図時間を減らし、本特許出願を発明者及び第三者により読みやすくする目的で、出願人は、時により又は本出願を通して、開示される対象の実施形態の行為又は機能の態様／特徴／要素を定義する際に、及び／又はその態様／特徴／要素のいずれかの他の定義を記載する際に、限定的動詞（例えば、「である」、「である」、「行う」、「有する」、「含む」等）及び／又は他の限定的動詞（例えば、「生成する」、「引き起こす」、「サンプリングする」、「読み取る」、「信号を送る」等）及び／又は動名詞（例えば、「生成すること」、「用いること」、「取ること」、「維持すること」、「作成すること」、「決定すること」、「測定すること」、「計算すること」等）を用いた。いずれかのこのような限定的な単語又は語句等を用いて、本明細書において開示された１つ又はそれ以上の実施形態のいずれかの態様／特徴／要素、即ちいずれかの特徴、要素、システム、サブシステム、コンポーネント、サブコンポーネント、プロセス又はアルゴリズム・ステップ、特定の材料等が説明されている場合には必ず、出願人が発明し、特許請求した対象の範囲を解釈する目的で、以下の制限的な語句、即ち「例として」、「例えば」、「一例として」、「例証的にのみ」、「例証としてのみ」等の１つ又はそれ以上、或いはその全てを前に置き、及び／又は「であり得る」、「となり得る」、「である可能性がある」、「となる可能性がある」等の語句のいずれか１つ又はそれ以上、或いはその全てを含むように、読まれるべきである。全てのこのような特徴、要素、ステップ、材料等は、１つ又はそれ以上の開示される実施形態の可能な態様としてのみ記述されていると考えるべきであり、たとえ特許法の要件の履行において出願人が、特許請求される対象の一実施形態又は任意の実施形態の任意のそのような態様／特徴／要素の単一の可能な実施例のみを開示する場合でも、特許請求される対象のいずれかの実施形態及び／又は唯一の可能な実施形態のいずか１つ又はそれ以上の態様／特徴／要素の唯一の可能な実施として考えるべきではない。本出願又は本出願の遂行において明白且つ具体的にそのように記述されない限り、本出願人は、特許請求される対象のいずれかの開示された実施形態又はいずれかの特定の開示された実施形態の特定の態様／特徴／要素は、特許請求される対象又はいずれかのそれら請求項において説明されたいずれかの態様／特徴／要素を実施する１つの且つ唯一の方法になると確信しており、出願人は、本特許出願又は全実施形態において特許請求される対象のいずれかの開示された実施形態のいずれかの開示された態様／特徴／要素のいずれかの説明は、特許請求され対象又はそのいずれかの態様／特徴／要素を実施する１つの且つ唯一の方法であり、従って特許請求される対象の他の可能な実施を伴ういずれかのこのような開示された実施を含むのに十分幅広いいずれかの請求項を、そのような開示された実施形態のそのような開示された態様／特徴／要素、又はそのような開示された実施形態に限定するものと解釈されることを意図していない。親請求項又はそれが直接的若しくは間接的に従属する請求項において説明される対象のいずれかの態様／特徴／要素、ステップ等のいずれかのさらなる詳細を有する従属請求項をそれに従属するものとして有するいずれかの請求項は、親請求項における説明が他の実施を伴う従属請求項におけるさらなる詳細を含むのに十分に広範であることを意味するものと解釈され、そして、さらなる詳細は、いずれかのそれら親請求項において特許請求される態様／特徴／要素を実施する唯一の方法ではなく、従っていずれかのそれら従属請求項に説明されるいずれかのそれら態様／特徴／要素に限定されるものではなく、従属項のさらなる詳細を親請求項に組み込むことなどにより、いずれかのそれら親請求項の広範の態様／特徴／要素の範囲を決して限定するものではないことを意味するものと解釈されることを、出願人は具体的、明示的、且つ明確に意図する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】開示対象の一実施形態の態様によるパルス・ストレッチャの略式の説明図を示す。
【図２】開示対象の一実施形態の態様による、ミラー筐体及びビーム・スプリッタ筐体及び封入管を含むパルス・ストレッチャ・タワーの分解斜視図を示す。
【図３Ａ】開示対象の一実施形態の態様の分解斜視図を示す。
【図３Ｂ】開示対象の一実施形態の態様の分解斜視図を示す。
【図４Ａ】開示対象の一実施形態の態様によるミラー筐体本体の位置調整機構の側面図を示す。
【図４Ｂ】開示対象の一実施形態の態様によるミラー筐体本体の位置調整機構の斜視図を示す。
【図４Ｃ】開示対象の一実施形態の態様によるミラー筐体本体の位置調整機構の斜視図を示す。
【図５】開示対象の一実施形態の態様によるミラー位置調整アセンブリの斜視図を示す。
【図６】開示対象の一実施形態の態様によるミラー位置調整機構の斜視図を示す。
【図７】開示対象の一実施形態の態様によるパージ・ガス分配マニホルドの斜視図を示す。
【図８】開示対象の一実施形態の態様によるミラー位置決めツールの斜視図を示す。
【図９】開示対象の一実施形態の態様によるミラー・ガス分配アセンブリの斜視図を示す。
【図１０】開示対象の一実施形態の態様によるガス分配アセンブリの別の態様の斜視図を示す。
【図１１】開示対象の一実施形態の別の態様を示す斜視図を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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