(57)【要約】  流体速度センサは、流路壁によって規定される低抵抗流路を通って流れる流体の流体特性を検出するためのセンサダイを含む。１つまたは複数のタップは、チャネル壁によって規定される流路を通って流れる流体の連続した流れの方向に面して向きを合わせることができ、ここで（複数）タップは、流れをセンサダイへ導く低抵抗流路に通じる。少なくとも１つまたは複数の他のタップは、センサダイを通り過ぎた後の流体が、流れの方向に垂直にまたはそれに向かい合って面する他の（複数）タップまで低抵抗経路をたどり続けるように、流れの方向に垂直に面するように設置できる。流体速度センサは、単方向または双方向の流体の流れの構成内に配置できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体速度センサ装置であって、
流路壁によって規定される低抵抗流路を通って流れる流体の流体特性を検出するためのセンサダイと、
流路壁によって規定される流路を通って流れる流体の流れの方向に面する少なくとも１つのタップとを含み、前記少なくとも１つのタップによって特定される圧力と少なくとも１つの他のタップによって特定される圧力との間の差に基づいて速度圧を測定するために、前記少なくとも１つのタップが、前記流体の流れを前記センサダイへ導く前記低抵抗流路に導き、前記センサダイを通り過ぎた後の前記流体が、前記流れの方向に垂直に面する前記少なくとも１つの他のタップまで低抵抗経路をたどり続ける、流体速度センサ装置。
【請求項２】
前記少なくとも１つのタップが、前記流路の上流位置内に向きを合わせられる上流タップを含み、前記上流タップが、前記流路を通る前記流体の前記流れの方向に面し、前記上流タップが前記流体の停滞圧力を感知し、
前記少なくとも１つの他のタップが、前記流体の前記流れに垂直に面するように向きを合わせられる下流タップを含み、前記下流タップが静的圧力を感知し、前記停滞圧力と前記静的圧力との間の差が前記速度圧を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記流路と関連する少なくとも１つの整流機構をさらに含み、前記少なくとも１つの整流機構が、前記流路を通る流体の双方向の流れを促進する、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つの整流機構が、圧力不安定性を作り出す流れの渦を防止する、狭くて引き伸ばされた突起の形状を含む、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
流体速度センサ装置であって、
流路壁によって規定される低抵抗流路を通って流れる流体の流体特性を検出するためのセンサダイと、
流路壁によって規定される流路を通って流れる流体の流れの方向に面する少なくとも１つのタップとを含み、前記少なくとも１つのタップによって特定される圧力と少なくとも１つの他のタップによって特定される圧力との間の差に基づいて速度圧を測定するために、前記少なくとも１つのタップが、前記流体の流れを前記センサダイへ導く前記低抵抗流路に導き、前記センサダイを通り過ぎた後の前記流体が、前記流れの方向に垂直に面する前記少なくとも１つの他のタップまで低抵抗経路をたどり続け、
前記流体速度センサ装置はさらに、前記流路と関連する少なくとも１つの整流機構を含み、前記流路を通る流体の双方向の流れを促進する、流体速度センサ装置。
【請求項６】
前記少なくとも１つの整流機構が、圧力不安定性を作り出す流れの渦を防止する、狭くて引き伸ばされた突起の形状を含む、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記少なくとも１つのタップが、前記流路の上流位置内に向きを合わせられる上流タップを含み、前記上流タップが、前記流路を通る前記流体の前記流れの方向に面し、前記上流タップが前記流体の停滞圧力を感知し、
前記少なくとも１つの他のタップが、前記流体の前記流れに垂直に面するように向きを合わせられる下流タップを含み、前記下流タップが静的圧力を感知し、前記停滞圧力と前記静的圧力との間の差が前記速度圧を含む、請求項５に記載の装置。
【請求項８】
流体速度センサ装置であって、
流路壁によって規定される低抵抗流路を通って流れる流体の流体特性を検出するためのセンサダイと、
流路壁によって規定される流路を通って流れる流体の流れの方向に面する少なくとも１つのタップとを含み、前記流体の速度を測定するために、前記少なくとも１つのタップが、前記流体の流れを前記センサダイへ導く前記低抵抗流路に導き、前記センサダイを通り過ぎた後の前記流体が、前記流れの方向に垂直に面する前記少なくとも１つの他のタップまで低抵抗経路をたどり続ける、流体速度センサ装置。
【請求項９】
流体速度センサ装置を形成するための方法であって、
流路壁によって規定される低抵抗流路を通って流れる流体の流体特性を検出するためのセンサダイを提供するステップと、
流路壁によって規定される流路を通って流れる流体の流れの方向に面する少なくとも１つのタップを設置するステップとを含み、前記少なくとも１つのタップによって特定される圧力と少なくとも１つの他のタップによって特定される圧力との間の差に基づいて速度圧を測定するために、前記少なくとも１つのタップが、前記流体の流れを前記センサダイへ導く前記低抵抗流路に導き、前記センサダイを通り過ぎた後の前記流体が、前記流れの方向に垂直に面する前記少なくとも１つの他のタップまで低抵抗経路をたどり続ける、流体速度センサ装置を形成するための方法。
【請求項１０】
前記流路の上流位置内に向きを合わせられる上流タップを含むように前記少なくとも１つのタップを構成するステップであって、前記上流タップが、前記流路を通る前記流体の前記流れの方向に面し、前記上流タップが前記流体の停滞圧力を感知する、前記少なくとも１つのタップを構成するステップと、
前記流体の前記流れに垂直に面するように向きを合わせられる下流タップを含むように前記少なくとも１つの他のタップを構成するステップであって、前記下流タップが静的圧力を感知し、前記停滞圧力と前記静的圧力との間の差が前記速度圧を含む、前記少なくとも１つの他のタップを構成するステップとをさらに含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記センサダイがＭＥＭＳセンサを含む、請求項９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
実施形態は一般に、感知デバイスおよび方法に関する。実施形態はまた、流体速度測定の分野にも関する。
【背景技術】
【０００２】
多くのプロセスおよびデバイスは、移動する流体を使用する。いくつかの例には、様々な気体の使用および流れに頼る製造プロセスと同様に、移動する空気を使用する暖房および換気システムもある。典型的には、これらのプロセスおよび／またはデバイスのためには、流体の流速が正確に測定されることが重要である。したがって、流体の流速を測定するための様々な技術が開発されてきた。
【０００３】
流量センサが特定の有用性を見出す１つの領域は、医療用人工呼吸器にある。医療用人工呼吸器システムは、自力で普通に呼吸することができない患者に酸素補給支援を提供するために長く使用されてきた。そのようなデバイスは典型的には、流体導管を通じて患者に流体が流れるように接続される加圧空気または酸素を豊富に含む空気の供給源を含む。
【０００４】
人工呼吸器は、様々な健康状態にある患者によって使用される。人工呼吸器の主要な用途は、閉塞性睡眠時無呼吸による呼吸問題を取り除くことであり、その用途では患者は、彼らの気道に加えられる正の空気圧から恩恵を受ける。携帯型家庭用人工呼吸器機械は、睡眠中に気道を広げる助けをするために連続的な圧力または変調された圧力を提供する。他の患者は、彼らが支援を受けずに呼吸することを妨げ、侵襲的人工呼吸を必要とするという弱い生理的属性を有する。侵襲的人工呼吸支援は一般に、患者が、患者の気管内に配置された気管切開チューブかまたは気管内チューブのどちらかを有することを必要とする。そのような処置は一般に病院で行われ、救急治療状態または術後回復状態において施される。
【０００５】
医療用人工呼吸器設備の製造業者は、効率的な送風運転を保証するために低い圧力降下を必要とする。人工呼吸器内の流体の流れを監視するために、Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ流路筐体ＡＷＭ７２０などの製品が利用できる。ＡＷＭ７２０デバイスの一例は、２００３年１２月２日にＳｐｅｌｄｒｉｃｈ等に発行され、Ｈｏｎｅｗｅｌｌ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｉｎｃ．に譲渡される、「Ｆｌｏｗ  Ｒａｔｅ  Ｍｏｄｕｌｅ  ａｎｄ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｆｌｏｗ  Ｒｅｓｔｒｉｃｔｏｒ」と題する、米国特許第６６５５２０７号で開示される。米国特許第６６５５２０７号は、参照により全体として本明細書に組み入れられる。米国特許第６６５５２０７号で開示されるデバイスは一般に、感知素子およびその感知素子の上に整列された流路を有する基板と並列に小さな圧力降下を作り出すための絞り機構を有する流量センサに関する。感知素子は、流体の少なくとも１つの特性を感知する。感知領域を横切る流路は、正確にかつ精密に配列されて、複数の流量センサの間で信頼性のある、低原価の、一貫性のある結果を容易にする。
【０００６】
このタイプの技術は、医療用人工呼吸器との関連で利用されるとき、典型的には主流路内の流れのごく少量を駆動して質量空気流量センサを通過させるために、バイパス流路と並列に低い圧力降下の絞り機構を利用する。この技術は主流路の質量流量率を測定し、体積流量率は、流体の密度を知ることによって推測できる。Ｈ２Ｏ換算で２の範囲内の小さな圧力降下だけがシステムに加えられるが、それは、医療用人工呼吸器用途では望ましくない。
【０００７】
医療用人工呼吸器用途での流量感知の必要性に対処するためには、改善された流量センサが実施されるべきであると信じられる。本明細書で開示される改善された流体速度センサは、これらのおよび他の継続する必要性に対処できると信じられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
下記の概要は、開示される実施形態に特有の革新的な特徴のいくつかの理解を容易にするために提供され、完全な記述であることを意図されない。明細書全体、特許請求の範囲、図面、および要約を全体として受け取ることによって、実施形態の様々な態様の完全な認識を得ることが可能である。
【０００９】
したがって、改善されたセンサを提供することが、本発明の１つの態様である。
【００１０】
低圧力降下を持つ流体速度センサを提供することが、本発明のもう１つの態様である。
【００１１】
低圧力降下を持つ双方向の流体速度センサおよびそれの方法論を提供することが、本発明のさらなる態様である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
先述の態様ならびに他の目的および利点は、以下に本明細書で述べられるように達成可能である。流体速度センサおよび方法は、流路壁によって規定される低抵抗流路を通って流れる流体の流体特性を検出するためのセンサダイを含む、一実施形態により開示される。少なくとも１つのタップは、流路壁によって規定される流路を通って流れる流体の連続した流れの方向に面して向きを合わせることができ、ここで（複数）タップは、流体の流れをセンサダイへ導く低抵抗流路に通じる。少なくとも１つの他のタップは、複数タップによって特定される圧力間の差に基づいて速度圧を測定するために、センサダイを通り過ぎた後の流体が、流れの方向に垂直に面する他の（複数）タップまで低抵抗経路をたどり続けるように、流れの方向に垂直に面するように設置できる。
【００１３】
代替実施形態により、整流機構は流路と関連付けることができ、ここで整流機構は、流路を通る流体の双方向の流れを促進する。整流機構は、圧力不安定性を作り出す流れの渦を防止する、狭くて引き伸ばされた突起の形状をした絞り機構として提供可能である。
【００１４】
一方向の流体速度を感知することは、上流（複数）タップを気体の流れの方向に面するように向きを合わせ、下流（複数）タップを気体の流れに垂直に面するように向きを合わせることによって達成できる。上流タップは、気体の停滞圧力（即ち、気体が停止するときの衝撃）を感知し、下流タップは、流路内の全ての方向に及ぼされる静止圧力を感知する。圧力間の差は、バイパス流路を通る流れを流量センサへ駆動する速度圧である。ピトー管は、例えばこの現象に基づいている。歴史的には、ピトー管はそのような小さな圧力降下を生成するけれども、それは伝統的に、効率的な測定のための電子回路へ容易には組み込まれない傾斜マノメータと一緒に使用された。流量センサまたは超低圧センサを使用すると、速度圧は、電子的に感知可能である。その上、速度圧を感知するこの技術は、流量を測定するためにシステムに圧力降下を加える必要性を取り除く。
【００１５】
流体速度センサはまた、測定される連続した流れの方向に面する１つのタップまたは複数タップを利用することによって、双方向の流れを感知するように構成されてもよい。タップは、流れを流量センサへ導く低抵抗流路に通じる。流路は、流れを制御し、層流化するように設計される。流量センサを通り過ぎた後、流路は、流れの方向に向かい合って面する１つの排出タップまたは複数タップまで低抵抗経路をたどり続ける。別法として、タップは、差動型低圧センサによって測定されるべき終端流路へ導かれてもよい。この構成でのタップの向きは、流体の速度に関連付けできる、停滞圧と抗力圧との間の差を生成する。
【００１６】
流路内の流体速度を測定するためにこのタイプのセンサを使用することによって、流路内の体積流量率が推測可能である。
【００１７】
同様の参照番号が、個々の図全体にわたって同一のまたは機能的に似た要素を示し、明細書の一部分に組み込まれ、明細書の一部分を形成する添付の図は、さらに実施形態を例示し、詳細な記述と一緒に、本明細書で開示される実施形態を説明するのに役立つ。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
これらの限定されない実施例で論じられる特定の値および構成は、変更可能であり、単に少なくとも１つの実施形態を例示するために挙げられ、それの範囲を限定することを意図されていない。
【００１９】
図１は、それを通って流体が矢印１０２で示されるように流れることができる流路１０５を含む流体速度センサ装置１００を例示する。本明細書で用いられるように、術語「流体」は、液体または気体を指すことに留意されたい。流路１０５は、流路壁１０３によって規定可能である。１つまたは複数の上流タップ１０４、１０６、１０８、１１０、１１２、１１４、および１１６は、流体（例えば、気体）の流れの方向に面して流路１０５内の上流側に向きを合わせることができる。タップ１０４、１０６、１０８、１１０、１１２、１１４、および１１６は、矢印１０２によって示される流体の流れに面する入口タップとして実施可能である。本明細書で用いられるように、術語「タップ」は、液体または気体の流れを許可する小さな開口を指すことがある。
【００２０】
装置１００はその上、流体の流れに垂直に面する１つまたは複数の下流タップ１１８、１２０、１２２、１２４、１２６、１２８、および１３０を含む。下流タップ１１８、１２０、１２２、１２４、１２６、１２８、および１３０は、排出タップとして機能することができる。下流タップ１１８、１２０、１２２、１２４、１２６、１２８、および１３０は、流体の流れに垂直に面する。上流タップ１０４、１０６、１０８、１１０、１１２、１１４、および１１６は、流体の停滞圧力（即ち、気体が停止するときの衝撃）を感知することができ、下流タップ１１８、１２０、１２２、１２４、１２６、１２８、および１３０は、流路１０５内の全ての方向に及ぼされる静止圧力を感知することができる。停滞圧力と静止圧力との間の差は速度圧を構成し、それは、流体の流れを、バイパス流路１４２を通って、例えば、ＭＥＭＳ型空気流量センサとして実施可能なセンサダイ１４４まで駆動する。もちろん、センサダイは、ＭＥＭＳ型構成ばかりではなく、他の型のセンサ設計との関連で構成されてもよいことが理解できる。
【００２１】
本明細書で用いられるように、頭字語「ＭＥＭＳ」は一般に、術語「微小電気機械システム」を指すことに留意されたい。ＭＥＭＳデバイスは、マイクロメータ寸法の機械部品を指し、様々な幾何学形状の３Ｄリソグラフィの特徴を含む。それらは典型的には、表面マイクロマシニングおよび／またはバルクマイクロマシニングなどの半導体プロセスに似たプレーナ処理を用いて製造される。これらのデバイスは一般に、寸法が１マイクロメータ（１メータの百万分の１）から１ミリメータ（１メータの千分の１）までの範囲にある。これらの寸法の尺度では、人間の直観的な物理的過程の感覚が常に当てはまるとは限らない。ＭＥＭＳの大きな表面積対体積比のために、静電気および湿潤などの表面効果は、慣性または熱的質量などの体積効果より優勢である。ＭＥＭＳデバイスは、変更されたシリコン製作技術（電子機器を作るために使用される）、成型およびメッキ、ウエットエッチング（ＫＯＨ、ＴＭＡＨ）およびドライエッチング（ＲＩＥおよびＤＲＩＥ）、放電加工（ＥＤＭ）、ならびに非常に小さなデバイスを製造できる他の技術を用いて製作できる。ＭＥＭＳはときには、マイクロメカニックス、マイクロマシン、またはマイクロシステム技術（ＭＳＴ）と呼ばれている。
【００２２】
装置１００の設計はそれ故に、測定されるべき連続した流れの方向に面する１つまたは複数のタップ１０４、１０６、１０８、１１０、１１２、１１４、および１１６を必要とする。タップ１０４、１０６、１０８、１１０、１１２、１１４、および１１６は、流体の流れをセンサダイ１４４（例えば、ＭＥＭＳセンサ）へ導くことができる１つまたは複数の低抵抗流路１０７、１０９に通じる。センサダイ１４４および流路１４２は、筐体部品１４０に隣接して設置され、それは筐体領域１３７によって保護され、それは次いで筐体１３９内に置かれる。
【００２３】
低抵抗流路１０７、１０９は、流体の流れを制御し、層流化するように設計できる。流路１４２への流体の流れは、矢印１３６によって示され、一方、流路１４２から出る流体の流れは、矢印１３８によって示されることに留意されたい。それ故に、流路１０７から流路１４２内へおよびその後流路１０９内への流体の流れは、矢印１３６および１３８によって表される。センサダイ１４４を通り過ぎた後、流体は、流体の流れの方向に垂直に面する１つまたは複数の排出タップ１１８、１２０、１２２、１２４、１２６、１２８、および１３０まで低抵抗経路をたどり続ける。別法として、タップ１１８、１２０、１２２、１２４、１２６、１２８、および１３０は、差動ＭＥＭＳ型低圧センサ（図１で示されず）によって測定されるべき終端流路（また図１で示されず）へ導かれてもよい。装置１００はそれ故に、流体の流れを測定するために絞り機構を用いて圧力降下を加える必要性を取り除く。
【００２４】
図２は、代替だが好ましい実施形態により実施可能である流体速度センサ装置２００の切断断面図を例示する。前述の通り、図１の装置１００は、流体の流れを測定するために絞り機構を用いて圧力降下を加える必要性を取り除くことができる。装置１００の構成はしかしながら、一方向の流量測定を可能にするだけである。装置２００は、装置１００のそれと似ているが、双方向の流体の流れを可能にする構成を提示する。装置２００は一般に、１つまたは複数の入口または上流のタップ２０４、２０６、２０８、２１０、および２１２ならびに１つまたは複数の出口または下流のタップ２１８、２２０、２２４、２２６、および２２８を含む。
【００２５】
流路２０５もまた提供され、それは、流路２０５を通じて流れる流体の、図１で描かれるセンサダイ１４４に似た流量センサ２４４（例えば、ＭＥＭＳ流量センサ）との接触をもたらす。流路２０５は、低抵抗流路として提供可能である。上流タップ２０４、２０６、２０８、２１０、および２１２は、筐体２０１内に設置され、流体（即ち、気体または液体）の流れの方向に面するように向きを合わせられる。筐体２０１は全体的に、上方へかつ筐体２０１を保持するための一段高くなった台２０９に垂直に延びる。タップ２０４、２０６、２０８、２１０、および２１２は、バイパスの流れを流量センサ２４４へ導くように制御できる低抵抗流路２０５に通じる。流量センサ２４４を通り過ぎた後、流体のバイパスの流れは、低抵抗流路内を進み続け、流れの方向に向かい合って向きを合わせられるタップ２１８、２２０、２２４、２２６、および２２８を通じて排出する。室３０４もまた、図２においてポートまたはタップ２０４、２０６、２０８、２１０、および２１２とポートまたはタップ２１８、２２０、２２４、２２６、および２２８との間に示される。室３０４は、射出成型の一部として設計できることに留意されたい。室または空間３０４は、設計面の考察に依存して、内部流路を構築するための成型プロセスの助けとなることができる。室３０４はそれ故に、実施形態の重大な態様とは考えられない。
【００２６】
図３は、代替だが好ましい実施形態による、図２で描かれる流体速度センサ装置２００の斜視図を例示する。図２〜３では、同じまたは同様の部分または要素は同じ参照番号で全体的に示されることに留意されたい。それ故に、入口ポート２０４、２０６、２０８、２１０、および２１２もまた、図３で例示される。矢印３０２は、入口ポート２０４、２０６、２０８、２１０、および２１２へ向かうならびにその中への流体の流れの全体的な方向を示す。室３０４もまた図４で描かれる。ポート２１８、２２０、２２４、２２６、および２２８は、図３で示される斜視図のために、図３では明瞭に見ることができないけれども、ポート２１８、２２０、２２４、２２６、および２２８の全体的な位置３０６は図３で示される。
【００２７】
図４は、代替実施形態による、整流機構４０２、４０４を持つ流体速度センサ装置４００の斜視図を例示する。図２〜５では、同じまたは同様の部分または要素は同じ参照番号で全体的に示されることに留意されたい。図４で描かれる装置４００は、整流機構４０２および４０４を加えると、先述の装置２００に似ている。先に示されたように、入口ポートまたはタップ２０４、２０６、２０８、２１０、および２１２は、矢印３０２で示される流れの方向に面し、一方、タップ２１８、２２０、２２４、２２６、および２２８は、流れの方向に向かい合って面する。装置４００はそれ故に、先述の装置２００の代替版を例示する。
【００２８】
図５は、代替実施形態による、図４で描かれる流体速度センサ装置４００の切断断面図を例示する。図５で示されるように、流量センサ２４４は、筐体２０１によって全体的に保持される。整流機構４０２は、タップ２０４、２０６、２０８、２１０、および２１２に隣接して設置され、一方、整流機構４０４はタップ２１８、２２０、２２４、２２６、および２２８に隣接して設置される。図１〜５は、装置１００、２００、４００を一般的に例示するだけでなく、またそのようなデバイスを構築するための一般的な方法論も示すことに留意されたい。図２〜５は、流れに向かい合う方向に面する下流タップを持つ双方向センサ手法を一般的に例示することに留意されたい。
【００２９】
図６〜７は、代替実施形態により実施可能である流体速度センサ装置６００のそれぞれ切断図および斜視図を全体的に例示する。図６〜７は、図２〜５で描かれる双方向センサ構造と異なり、図１で描かれる装置１００の構造に似て、単方向センサ構造を例示することに留意されたい。図６〜７で描かれる構成はそれ故、もう１つの方法論および／または単方向構造の実施形態を例示する。図６〜７における特徴のいくつかは、図２〜５で示されるものに似ている。例えば、台２０９は、センサダイまたはセンサ部品２４４に加えて図６〜７で描かれる。装置６００は、複数のポートまたはタップ６０４、６０６、６０８、６１０、および６１２ならびに複数の出口ポートまたはタップ６１８、６２０、６２４、６２６、および６２８を含む。通路または流れ領域６０６もまた、先述の室３０４に似た室３０４に加えて図６〜７で描かれる。図６〜７で描かれるセンサ構造は、装置６００が多岐管型の架台に配置されることを除いて、図１で開示される構造のそれに似ている。装置１００と６００との間の差はそれ故に、わずかだが、各型のセンサがどのように機能するかということに対しては重要である。
【００３０】
上述のならびに他の特徴および機能、またはそれらの別法は、多くの他の異なるシステムまたは用途に望ましく組み合わせられてもよいことが理解されるであろう。次の特許請求の範囲によって包含されることもまた意図される、様々の、現在は予見できないまたは予期しない代替形態、変更形態、変形形態またはそれらにおける改善が、当業者によって続いて行われてよいこともまた理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】好ましい実施形態により実施可能である、流体速度センサ装置を例示する図である。
【図２】代替だが好ましい実施形態により実施可能である、流体速度センサ装置の切断断面図を例示する図である。
【図３】代替だが好ましい実施形態による、図２で描かれる流体速度センサ装置の斜視図を例示する図である。
【図４】代替実施形態による、整流機構を持つ流体速度センサ装置の斜視図を例示する図である。
【図５】代替実施形態による、図４で描かれる流体速度センサ装置の切断断面図を例示する図である。
【図１】
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【図２】
2009527738.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2009527738.tif 000007
【図６】
2009527738.tif 000008
【図７】
2009527738.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成20年10月17日(2008.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体速度センサ装置であって、
流路壁によって規定される低抵抗流路を通って流れる流体の流体特性を検出するためのセンサダイと、
流路壁によって規定される流路を通って流れる流体の流れの方向に面する少なくとも１つのタップとを含み、前記少なくとも１つのタップによって特定される圧力と少なくとも１つの他のタップによって特定される圧力との間の差に基づいて速度圧を測定するために、前記少なくとも１つのタップが、前記流体の流れを前記センサダイへ導く前記低抵抗流路に導き、前記センサダイを通り過ぎた後の前記流体が、前記流れの方向に垂直に面する前記少なくとも１つの他のタップまで低抵抗経路をたどり続ける、流体速度センサ装置。
【請求項２】
流体速度センサ装置であって、
流路壁によって規定される低抵抗流路を通って流れる流体の流体特性を検出するためのセンサダイと、
流路壁によって規定される流路を通って流れる流体の流れの方向に面する少なくとも１つのタップとを含み、前記少なくとも１つのタップによって特定される圧力と少なくとも１つの他のタップによって特定される圧力との間の差に基づいて速度圧を測定するために、前記少なくとも１つのタップが、前記流体の流れを前記センサダイへ導く前記低抵抗流路に導き、前記センサダイを通り過ぎた後の前記流体が、前記流れの方向に垂直に面する前記少なくとも１つの他のタップまで低抵抗経路をたどり続け、
前記流体速度センサ装置はさらに、前記流路と関連する少なくとも１つの整流機構を含み、前記流路を通る流体の双方向の流れを促進する、流体速度センサ装置。
【請求項３】
流体速度センサ装置であって、
流路壁によって規定される低抵抗流路を通って流れる流体の流体特性を検出するためのセンサダイと、
流路壁によって規定される流路を通って流れる流体の流れの方向に面する少なくとも１つのタップとを含み、前記流体の速度を測定するために、前記少なくとも１つのタップが、前記流体の流れを前記センサダイへ導く前記低抵抗流路に導き、前記センサダイを通り過ぎた後の前記流体が、前記流れの方向に垂直に面する前記少なくとも１つの他のタップまで低抵抗経路をたどり続ける、流体速度センサ装置。
【請求項４】
流体速度センサ装置を形成するための方法であって、
流路壁によって規定される低抵抗流路を通って流れる流体の流体特性を検出するためのセンサダイを提供するステップと、
流路壁によって規定される流路を通って流れる流体の流れの方向に面する少なくとも１つのタップを設置するステップとを含み、前記少なくとも１つのタップによって特定される圧力と少なくとも１つの他のタップによって特定される圧力との間の差に基づいて速度圧を測定するために、前記少なくとも１つのタップが、前記流体の流れを前記センサダイへ導く前記低抵抗流路に導き、前記センサダイを通り過ぎた後の前記流体が、前記流れの方向に垂直に面する前記少なくとも１つの他のタップまで低抵抗経路をたどり続ける、流体速度センサ装置を形成するための方法。
【国際調査報告】
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