(57)【要約】  圧電アクチュエータは、圧電材料から形成された圧電素子（１２）のスタック（１０）と、使用中に正と負の内部電極（１４、１６）の両端間に加えられる電圧に反応する圧電材料の能動領域を画定するように複数の負内部電極（１６）と互いに噛み合わされた複数の正内部電極（１４）と、正内部電極（１４）に接続する外部正電極（１８）と、負内部電極（１６）に接続する外部負電極と、を備える。スタック（１０）は、非能動スタック領域（２２）の外部周囲面（２４、２６）および／または内部周囲面に付けられた抵抗材料の皮膜の形の抵抗素子（２４、２４ａ、２６、７０、７４）を画定する非能動スタック領域（２２）を含み、抵抗素子は、電荷がスタック（１０）から散逸することができるようにするために外部正電極（１８）と外部負電極（７２）の間に接続するように配列されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料から形成された圧電素子（１２）のスタック（１０）と、
正と負の内部電極（１４、１６）の両端間に加えられる電圧に反応する前記圧電材料の能動領域を画定するように複数の前記負内部電極（１６）と互いに噛み合わされた複数の前記正内部電極（１４）と、
前記正内部電極（１４）に接続する外部正電極（１８）と、
前記負内部電極（１６）に接続する外部負電極（７２）と、を備える圧電アクチュエータであって、
前記スタック（１０）は、非能動スタック領域（２２）の外部周囲面（２４、２６）および／または内部周囲面に付けられた抵抗材料の皮膜の形の抵抗素子（２０、２４、２４ａ、２６、７０、７４）を画定する前記非能動スタック領域（２２）を含み、さらに、前記抵抗素子は、電荷が前記スタック（１０）から散逸することができるようにするために、前記外部正電極（１８）と前記外部負電極（７２）の間に接続するように配列されている、圧電アクチュエータ。
【請求項２】
前記非能動スタック領域（２２）は、前記スタック（１０）の長さに沿って部分的に位置付けされている、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記非能動スタック領域（２２）は、スタック端面（２６）を画定するように前記スタック領域の端に位置付けされている、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
抵抗材料の前記皮膜は、前記外部周囲面（２４、２６）の部分（２４ａ）の上だけに形成されている、請求項１から３のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】
前記非能動スタック領域（２２）の前記各面（２４、２６）に付けられた抵抗皮膜は、前記正外部電極（１８）と前記負外部電極の間に入り組んだ抵抗経路を画定する、請求項１から４のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項６】
前記入り組んだ抵抗経路は、前記抵抗皮膜の全体にわたって分布された少なくとも１つの絶縁材料の領域（２８、３０）によって画定される、請求項５に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項７】
前記非能動スタック領域（２２）は、圧電材料から形成されている、請求項１から６のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項８】
前記抵抗素子は、前記正外部電極と負外部電極の間の接続を完成するように前記外部正電極（１８）および前記外部負電極に直接接続している、請求項１から７のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項９】
前記非能動スタック領域（２０、２２）は、セラミックまたは重合体材料から形成されている、請求項１から８のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１０】
前記非能動スタック領域（２０、２２）は、炭化珪素材料から形成されている、請求項１から９のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１１】
前記非能動スタック領域（２０、２２）は、黒鉛または炭素繊維充填剤で硬化された重合体を含む、請求項１から１０のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１２】
前記抵抗素子の抵抗は、少なくとも１００ｋΩである、請求項１から１１のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１３】
前記抵抗皮膜は、導電性インクである、請求項１から１２のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１４】
複数の非能動スタック領域（２２）を含む、請求項１から１３のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１５】
内燃機関で使用するための燃料噴射器であって、前記燃料噴射器は、前記スタック（１０）の両端間の電圧および／または電荷移動によった請求項１から１４のいずれか一項に記載のアクチュエータの制御の下で前記内燃機関への燃料の噴射を制御するように動作可能な弁を含み、前記抵抗素子（２０）の抵抗は、噴射のための電圧および／または電荷移動に実質的に影響を及ぼさないように電荷が比較的長い期間にわたって前記抵抗素子を介して散逸するように選ばれる、燃料噴射器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スタックに配列された複数の圧電素子を備える圧電アクチュエータに関する。特に、本発明は、これだけに限られないが、内燃機関の燃料噴射システムの燃料噴射器で使用するための圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、複数の内部電極１４、１６で隔離された複数の圧電層または素子１２から形成された圧電スタック構造１０を備える圧電アクチュエータの模式図である。図１は、例示に過ぎず、実際には、スタック構造１０は、示されたものよりも多い数の層および電極を遥かに小さな間隔で含むだろう。内部電極は、正のグループの電極（このうちの２つだけが１４で識別されている）と負のグループの電極（このうちの２つだけが１６で識別されている）の２つのグループに分けられる。正のグループの電極１４は、負のグループの電極１６と互いに噛み合わされ、正グループの電極はアクチュエータの正外部電極１８に接続し、負グループの電極は、スタック１０の正外部電極１８と反対の側面のアクチュエータの負外部電極（図示されない）に接続している。
【０００３】
正および負の外部電極１８は、使用中に、強度が急速に変化する断続的な電界を互いに噛み合わされた隣り合った電極の間に生成する印加電圧を受け取る。印加電界を変えることで、スタック１０は印加電界の方向に沿って伸びたり縮んだりするようになる。一般に、素子１２が形成される圧電材料は、当業者によってＰＺＴとしても知られているジルコン酸チタン酸鉛のような強誘電体材料である。アクチュエータ構造は、反対極性の内部電極間に能動領域の存在をもたらす。使用中に、これらの外部電極の両端間に電圧が加えられたとき、これらの能動領域は伸びるようになり、スタック長の伸びをもたらす。
【０００４】
アクチュエータは、スタックの上端（図示された向きで）に電気コネクタ（図示されない）を備え、これによって、スタック１０の両端間に電圧が加えられる。コネクタピンの両端間に並列に接続された「シャント」抵抗器を電気コネクタに備え付けることは知られており、このシャント抵抗器は、比較的長い期間にわたって、しかし正常動作の比較的短い継続時間の電流パルスに影響を及ぼすことなしに、スタック１０の中に蓄積した電荷を流出させるのに役立つ。他のアクチュエータでは、抵抗器は、電気コネクタ自体の中に設けられないが、同じ電荷流出機能を実現するために、例えば溶接または半田付けによってそれらのスタック外部電極の両端間に並列に接続されている。
【０００５】
上述の抵抗器のどちらかを使用しなければならないという１つの不利点は、外部電極への電気接続のほかに、別個の電気接続がアクチュエータ回路に行われなければならないことである。（例えば、コネクタが取り付けられるとき）製造プロセスの比較的終わり近くまで抵抗器がスタック１０に容易に接続されるはずがないので、スタック１０が製造プロセスの大部分で保護されないか、スタック１０を保護するための追加の対策が製造中に適用される必要があることは、また、不利点である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、前述の問題が軽減されるか、完全に取り除かれるアクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様に従って、圧電材料から形成された圧電素子のスタックと、使用中に正と負の内部電極の両端間に加えられる電圧に反応する材料の能動領域を画定するように複数の負内部電極と互いに噛み合わされた複数の正内部電極と、を備える圧電アクチュエータが提供される。外部正電極は正内部電極に接続し、外部負電極は負内部電極に接続する。このスタックは、非能動スタック領域の外部周囲面および／または内部周囲面に付けられた抵抗材料の皮膜の形の抵抗素子を画定する非能動スタック領域を含み、抵抗素子は、電荷がスタックから散逸することができるようにするために、外部正電極と外部負電極の間に接続するように配列されている。
【０００８】
非能動スタック領域は、好ましくは、スタック端の一方または他方に位置付けされる。圧電スタックの端の素子は、従来のアクチュエータスタックでは一般に圧電材料から形成され非能動スタック領域を画定するが、１つの特に好ましい実施形態では、抵抗素子を画定する。
【０００９】
代わりの実施形態では、スタックの非能動領域は、スタックの両端に形成されることがある。
【００１０】
さらに他の代わりの実施形態では、スタックの非能動領域は、スタックの能動領域または素子が非能動スタック領域の両側に位置付けされるように、スタック長さに沿って部分的に形成される。しかし、製造の容易さために、非能動領域は、スタックの端または各端に形成されることが好ましい。
【００１１】
一実施形態では、抵抗素子は、外部正電極と外部負電極の両方に直接接続する（すなわち、外部正電極と外部負電極の間の接続をそれ自体で完成するように）。好ましくは、例えば、正外部電極および負外部電極は、それぞれの組の内部電極（正または負）を抵抗素子で接続するようにスタックのそれぞれの側面の上に重なっている。
【００１２】
一実施形態では、第１の非能動スタック領域はスタックの一方の端に形成され、第２の非能動スタック領域はスタックの他方の端に形成され、非能動領域の各々は外部正電極と外部負電極の間に接続された抵抗素子である。
【００１３】
一実施形態では、非能動スタック素子の外部周囲面は、外部電極間の抵抗経路が非能動スタック領域の外部周囲面のまわりに延びるように、抵抗材料の皮膜を備える。
【００１４】
他の例では、または追加して、非能動スタック領域の端面は、抵抗経路がスタックの端面全体にわたって延びるように、抵抗材料の皮膜を備える。この場合、各外部電極と端面の間の接続を完成するために（したがって、外部電極間の接続を完成するために）、非能動スタック領域の外部周囲面の部分の上に抵抗皮膜を形成することが必要であることもある。しかし、他の実施形態では、正外部電極および負外部電極は、非能動スタック領域の端面に付けられた抵抗皮膜に直接接続することがある。
【００１５】
一実施形態では、非能動スタック領域の表面または各表面に付けられた抵抗皮膜は、正外部電極と負外部電極の間に入り組んだ抵抗経路を画定する。入り組んだ抵抗経路は、正外部電極と負外部電極の間に増加された抵抗経路長を画定するように、被覆された表面に絶縁領域を形成することによって画定されてもよい。
【００１６】
好ましい実施形態では、絶縁領域は、抵抗被膜の材料の全体にわたって分布された絶縁材料の互いに噛み合わされた領域によって画定されてもよい。
【００１７】
非能動スタック領域は、スタック素子の残りのものが形成される圧電材料であってもよく、抵抗皮膜が外部電極間の抵抗経路を形成する。しかし、非能動スタック領域は、また、セラミックまたは重合体材料のような他の材料、例えば、炭化珪素材料または、黒鉛または炭素繊維充填材で硬化された重合体から形成されてもよい。
【００１８】
本発明の実施形態のどれにおいても、正外部電極と負外部電極の間に伝導経路を完成するために、抵抗素子のほかに、追加の導電材料が供給されてもよい。また、その表面の少なくとも一方に抵抗皮膜を被覆されたものを除いて、それ自体スタックの非能動素子である（例えば、スタックのタイルの１つを形成する）抵抗素子を形成することもできる。
【００１９】
抵抗素子の抵抗は、好ましくは、少なくとも１００ｋΩであるか、または少なくとも、正常動作で（例えば、圧電作動燃料噴射器の噴射事象を始動するために）必要とされる電荷変化の短い継続時間に比べて比較的長い期間にわたって電荷が散逸されることを保証することができるだけ十分に高い抵抗値である。好ましくは、抵抗素子を形成する抵抗皮膜は、製造中にスタックの選ばれた圧電素子にスクリーン印刷されてもよい導電性インクである。そのような導電性インクは、所望の形に、例えば入り組んだ抵抗経路を形成するように、印刷され得るというさらなる利益をもたらす。さらに他の利益は、抵抗素子が広い面積にわたってスタックと接触するので、この配列は、シャント抵抗器の知られた形に比べて改善された熱散逸を実現することである。
【００２０】
好ましくは、導電性インクは、ガラス状マトリックス中に懸濁されてもよいルテニウム化合物を含む。さらに好ましくは、導電性インクは酸化ルテニウムである。
【００２１】
本発明の第２の態様に従って、内燃機関で使用するための燃料噴射器が提供され、本燃料噴射器は、スタックの両端間の電圧および／または電荷移動による、本発明の第１の態様に従ったアクチュエータの制御を受けて、機関への燃料の噴射を制御するように動作可能な弁を含む。噴射のための電圧および／または電荷移動に実質的に影響を及ぼさないように電荷が比較的長い期間にわたって抵抗素子を介して散逸するように、抵抗素子の抵抗は選ばれる。
【００２２】
理解されることであろうが、本発明の第１の態様のアクチュエータの好ましい、かつ／または随意の特徴は、本発明の第２の態様の噴射器の中に、単独で、または適切な組合せで組み込まれる可能性がある。
ここで本発明は、添付の図面に関連して、単に例として説明される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の圧電アクチュエータは、圧縮点火内燃機関用の燃料噴射器で使用するのに適している。例として、本発明者らの同時係属ヨーロッパ特許出願第ＥＰ１１７４６１５号は、圧電アクチュエータが機関中への燃料の噴射を制御するように噴射器針弁の動きを制御する燃料噴射器を記載している。針弁の動きは、図２に示されるものなどの圧電アクチュエータの両端間の電圧および／または電荷移動によって制御される。
【００２４】
アクチュエータは、「層」とも呼ばれる複数の能動圧電素子１２を含み、これらの素子１２はスタック１０に配列され、図１の従来技術のアクチュエータのように、そのスタック全体にわたって１組の負内部電極１６が１組の正内部電極１４と互いに噛み合わされている。正外部電極１８は、正内部電極１４に接続するようにスタック１０の一方の側面の上に重なっている。正外部電極１８は、スタック１０のほぼ全長に沿って延び、スタックの狭い隙間が各スタック端に露出されたままになっている。同様なやり方で、負外部電極（図示されない）は、負内部電極１６に接続するようにスタック１０の反対の側面の上に重なっている。
【００２５】
使用中に、互いに噛み合わされた反対極性の隣り合った電極の間に、強度が急速に変化する断続的な電界を生成する電圧が、正内部電極１４と負内部電極１６の間に加えられる。反対極性の内部電極間のスタック１０の能動領域は、伸びるようになり、スタック長の伸びをもたらす。電圧が取り除かれたとき、スタック長は縮む。スタック１０の両端間の電圧を制御し、それでスタック長を変えることによって、噴射器の針弁は、弁座の方に向かって、また弁座から離れるように動かされて噴射を制御する。
【００２６】
スタック１０は、また、スタック上端面が非能動素子２０の表面によって画定されるようにスタック１０の上端に位置付けされた非能動スタック素子またはタイル２０の形の非能動領域を含む。非能動素子２０は、能動スタック素子１２の圧電材料の抵抗率に比べて比較的低抵抗率を有するが他の導体および抵抗材料の抵抗率に比べて比較的高い抵抗率を有する材料から形成された抵抗素子の形をとる。正および負の外部電極は、能動スタック素子１２の上だけでなくスタックの上端の抵抗素子２０の一部の上にも重なるように十分に長い。したがって、抵抗素子２０は、各スタック側面の正および負の外部電極と直接接続するので、これらの外部電極間に、したがって、正内部電極１４と負内部電極１６の間に伝導経路を完成する。
【００２７】
一般に、噴射事象を実現するために必要な電流パルスの比較的短い継続時間に比べて比較的長い時間規模にわたって、スタック１０内に蓄積した電荷が、正外部電極１８から負外部電極へ抵抗素子２０を通して減衰するように、抵抗素子２０は、少なくとも１００ｋΩの抵抗値を有する。例えば、抵抗素子２０の抵抗は、一般に、スタック１０の電荷が数秒（例えば、最高で３０秒）の期間で流出することができるようにする値であるように選ばれる。１つの噴射事象（噴射の開始から噴射の終了）では、一般に、何分の１ミリ秒（例えば、０．２５ミリ秒）の期間に電圧移動が起こるので、外部電極間にまたがる抵抗素子２０の存在は噴射プロセスに悪影響を及ぼさない。
【００２８】
従来のアクチュエータでは、スタックの端の非能動素子は、一般に、能動素子と同じ圧電材料から形成されるか、またはアルミナのような材料から形成された。非能動素子は、スタックの端の負荷によって引き起こされる不均一な応力が、比較的脆い能動圧電材料に影響を及ぼす前に均等化され得ることを保証する。比較的長い時間規模にわたってスタック１０から電荷を流出させるように正外部電極と負外部電極の両端間に高抵抗経路を形成するために、スタックの端の非能動素子を高抵抗率の材料から形成することは、これまで提案されていなかった。しかし、そうすることで、スタックの両端間に外部で、またはアクチュエータのコネクタピンの中で接続されるシャント抵抗器の必要が回避されるので、アクチュエータの全体的な構造は簡略化される。スタック自体の素子が、スタック１０の両端間に高抵抗電荷減衰経路を形成するので、この高抵抗電荷減衰経路はまた、製造プロセスの全体を通して存在している。
【００２９】
図２の実施形態の代わりの実施形態（図示されない）では、スタック１０の下端の非能動素子は、また、そのような抵抗素子２０の形をとることができる。各端に抵抗素子を形成することによって、各個々の非能動素子がいっそう高い抵抗値を持つことができる。
【００３０】
図３を参照すると、他の実施形態では、スタック１０の上端の非能動素子２２は、圧電材料（例えば、能動スタック素子１２と同じ材料）から形成され、正外部電極と負外部電極の間に高抵抗経路を形成する抵抗皮膜または層を備える。非能動素子２２の外部周囲面２４は、正外部電極１８がスタック１０全体の正内部電極の上だけでなく外部周囲面２４の抵抗皮膜の一部の上にも重なるように、抵抗皮膜を備える。
【００３１】
負外部電極（図示されない）は、同様なやり方で、スタック１０の他方の側面の抵抗皮膜の上に重なっている。抵抗皮膜２４は、いくつかの材料の１つ、例えば、炭化珪素、カーボン、サーメット、薄い金属膜、静的エネルギー散逸性重合体またはゴムから形成されてもよい。
【００３２】
圧電材料から形成される上部スタック素子２２の代わりとして、この上部スタック素子２２は、スタックに対する不均一な負荷を均等化するのに適した他の材料（例えば、アルミナ）から形成されてもよい。
【００３３】
他の変形では、両方のスタック端に外部電極間の抵抗経路を形成するように、スタック１０の上端と下端の両方の非能動領域に、抵抗皮膜が付けられることがある。
【００３４】
図４を参照すると、他の実施形態では、非能動素子２２の上端面２６は、それぞれの外部電極への接続を完成するためのスタックの各側面の外部周囲面２４の一部と共に、抵抗皮膜または層を備える。外周面２４の被覆部分２４ａの一方だけが図４に示されている。スタック１０の「正」側面に被覆された外部周囲面２４の部分２４ａは正外部電極１８に接続し、またスタック１０の「負」側面に被覆された外部周囲面２４の部分（図示されない）は負外部電極に接続している。外部周囲面２４の被覆部分２４ａおよび被覆端面２６は、比較的長い時間規模にわたるアクチュエータの電荷流出経路を形成するために、それらの外部電極の両端間に高抵抗経路（一般に、１００ｋΩを超える）を画定する。
【００３５】
図３の実施形態と図４のそれの両方において、それぞれの外部電極に接続する抵抗皮膜を非能動素子２２の外部周囲面２４の部分２４ａに形成する必要は、使用される特定の外部電極構成に依存する。例えば、端面２６の皮膜の側面領域を介してか、または外部電極が上端２６自体の表面部分に直接接続するためかのどちらかで、外部電極が被覆端面２６に直接接触する場合には、外部周囲面２４のどの部分にも抵抗皮膜を形成する必要がない。
【００３６】
図３に示された実施形態の変形物の図５を参照すると、正外部電極と負外部電極の間に延長された抵抗経路長を画定するパターンで皮膜を付けることによって、外部周囲面２４の抵抗皮膜の抵抗が高められることがある。複数の互いに噛み合わされた絶縁領域２８が、非能動素子２２の上および下の縁から延びて、スタック１０の一方の側面の皮膜と正外部電極１８の間の接触点と、スタック１０の他方の側面の皮膜と負外部電極（図示されない）の間の接触点と、の間に入り組んだ抵抗経路を画定している。これらの外部電極間の抵抗経路は、図３に比べて延長された長さであるので、所定の皮膜材料に対してより高い抵抗値が可能である。
【００３７】
図６の実施形態は、素子２２の上面２６が被覆されている場合に、正外部電極と負外部電極の間の抵抗経路長を増すために図５に示されたものと同様な技術を利用する。さらに、互いに噛み合わされた絶縁領域３０が素子２２の相対する側面から（すなわち、外部電極と外部電極の間の側面から）延びて、スタック１０の一方の側面の皮膜と正外部電極１８の間の接触点と、スタック１０の他方の側面の皮膜と負外部電極の間の接触点と、の間に入り組んだ抵抗経路を画定している。端面２６の両端間の入り組んだ抵抗経路は、所定の皮膜材料および厚さに対してより高い抵抗値を生成するように、これらの外部電極間に増加された抵抗経路長を実現する。
【００３８】
図５および６の実施形態では、入り組んだ抵抗経路は、非能動スタック素子２２の外部周囲面２４または端面２６に所望のパターンで導電性インクを印刷することによって、圧電スタック１０に形成されてもよい。あるいは、非能動スタック素子２２の外部周囲面２４または端面２６の全表面積に抵抗層が付けられてもよく、そして次に、要求される入り組んだ経路長を生成するようにこの抵抗層をトリミングするためにレーザが使用されてもよい。適切な導電性インクをもたらす材料の例は、酸化ルテニウムである。好ましくはガラス状マトリックスに構成された他のルテニウム化合物、例えば、ルテニウム酸バリウムおよびルテニウム酸ビスマスもまた適切であるが、理解されるべきことであるが、本発明は前述の材料を使用することに限定されない。
【００３９】
図７に示されるようなさらに他の実施形態は、図示された向きで一番上の非能動素子の外部周囲面の一部の抵抗皮膜を特徴とする上述の実施形態の変形物を表す。図７の実施形態では、一番上の非能動素子２２は、層または皮膜の形の抵抗素子７０を下側の面に持っている。言い換えると、抵抗層７０は、図３から６の実施形態のように外部周囲面に付けられる代わりに、非能動素子２２の内部周囲面に付けられる。抵抗層７０は、正外部電極１８と負外部電極７２の両方に接触するようにスタック１０の幅全体を横切って延びている。
【００４０】
非能動素子２２の内部周囲面に抵抗層７０を含むことに加えて、スタック１０は、また、２つの圧電素子１２の間にサンドイッチ状に挟まれるようにスタック１０の中に位置付けされた他の抵抗層７４も含み、したがって、これら２つの圧電素子は非能動にされる。また、必要であれば、より多くの数の抵抗経路を設けるために、２以上の抵抗層７４がスタック１０の中に形成されてもよい。
【００４１】
抵抗層７０および７４は、スタック１０の組立段階（または「グリーンシート段階」）中に、抵抗皮膜を圧電素子の表面にスクリーン印刷し、さらにこの抵抗皮膜の上に他の圧電素子を張り付けることによって、付けられる。次に、スタック全体が共に焼成され、これが、抵抗層７０、７４をスタック１０と一体化する。
【００４２】
理解されることであるが、添付の特許請求の範囲に述べられる本発明の範囲から逸脱することなしに、前述の実施形態に対して様々な修正が可能である。例えば、図３から６のように、外部電極両端間の抵抗経路が皮膜で形成される実施形態で、スタック１０の上端の素子２２は、能動素子のうちの端のものと別個の素子である必要はなく、代わりに、能動領域（反対極性の内部電極の間に画定される）と非能動領域の両方を有するスタック素子であってもよく、この場合には、この素子の非能動領域の少なくとも一部が被覆される。
【００４３】
さらに他の代わりの実施形態では、抵抗素子２０または抵抗皮膜は、一方または両方の端ではなく、スタック１０の長さに沿って部分的に組み込まれてもよい。この場合、スタックの長さに沿って部分的に非能動素子または領域を収容するために、互いに噛み合わされた内部電極１４、１６の規則正しい間隔は中断される。前述の実施形態の場合のように、非能動領域は、抵抗材料の別個の素子によって画定されるか（例えば、図２のように）、非能動素子または領域の外部周囲面２４が抵抗皮膜を備える（例えば、図３から６のように）。
【００４４】
さらに、理解されるべきことであるが、本発明概念は、図３から６および図７の実施形態の組合せを含み、この場合には、スタック１０は、ｉ）スタック１０の上端および／または下端に形成された抵抗素子、および／またはｉｉ）外部周囲面に抵抗皮膜を形成された非能動素子、および／またはスタック１０の内部に、また長さに沿って形成された抵抗層、を含んでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】従来技術で知られている圧電アクチュエータを示す模式図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の圧電アクチュエータを示す模式図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の圧電アクチュエータを示す模式図である。
【図４】本発明の第３の実施形態の圧電アクチュエータを示す模式図である。
【図５】図３のアクチュエータの変形物である、本発明の第４の実施形態の圧電アクチュエータを示す模式図である。
【図６】図４のアクチュエータの変形物である、本発明の第５の実施形態の圧電アクチュエータを示す模式図である。
【図７】本発明の第６の実施形態の圧電アクチュエータを示す模式図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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2009518841.tif 000011