(57)【要約】  本発明は、出発材料を破砕することにより、前記出発シリコン材料を回収および／またはリサイクルするための方法に関する。回収またはリサイクルされた材料は溶融され、結晶は、例えばシリコンブロック、チューブ、またはストリップとして得られた融液から成長する。何の問題もなく同じものを搬送するために高いアスペクト比を有する出発材料を用いることを可能にするために、５＜ＡI≦３０のアスペクト比ＡIを有する粒子を含有する、破いた多結晶ニードル状Ｓｉ材料（材料Ｉ）を出発材料として用いる。材料Ｉを、破砕した粒子（材料ＩＩ）が実質的にＡII＜３のアスペクト比を有するように破砕する。あるいは、砕いたＳｉウエハを用い、これは、破砕した粒子（ＩＩＩ）が本質的にＡIII＜３のアスペクト比を有するように破砕した層状粒子から成る。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
出発材料を破砕することにより、前記出発材料を回収および／またはリサイクルするための方法であって、前記回収またはリサイクルされた材料を溶融し、融液から、結晶がシリコンブロック、チューブまたはストリップとして成長するように製造され、前記出発材料として、砕いた多結晶の、少なくとも部分的にニードル状のＳｉ材料（材料Ｉ）を用い、これは５＜ＡI≦３０のアスペクト比を有する粒子を含有し、前記材料Ｉを破砕した粒子（材料ＩＩ）が本質的にＡII＜３のアスペクト比を有するように破砕し、または前記出発材料として、層状粒子から成る砕いたＳｉウエハを用い、これは破砕した粒子（材料ＩＩＩ）が本質的にＡIII＜３のアスペクト比ＡIIIを有するように破砕されていることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記材料Ｉを、前記材料ＩＩが前記材料Ｉよりも１０％〜２０％高いかさ密度を有するように破砕することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記材料Ｉをカッティングミル内で破砕することを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
融液中に供給される材料が、既知のドーピングを伴うリサイクルされる出発材料の特定の量を混合することにより所望のドーピングを有することを特徴とする請求項１〜３の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項５】
前記材料ＩＩＩを製造するために用いられる前記出発材料を、材料特性、例えば体積抵抗またはドーピングによって別個に収集することを特徴とする請求項１〜４の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項６】
前記出発材料の破砕を、前記出発材料を砕く、刻む、または割る回転破砕ツールの使用を通じて行うことを特徴とする請求項１〜５の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項７】
カッティングミルを破砕ツールとして用いることを特徴とする請求項１〜６の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項８】
前記破砕ツールは、少なくとも前記出発材料と接触するこのデバイスの壁に関しては、破砕される前記材料の汚染を防止するまたは本質的に防止するようにライニングまたはコーティングが提供されているように構成されていることを特徴とする請求項１〜７の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項９】
前記破砕ツールの内壁が、Ｓｉ、ＳｉＣ、ＳｉＮおよび／またはＷＣから作られている層を有することを特徴とする請求項１〜８の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１０】
コーティングとして、０．５ｍｍ〜５０ｍｍ、好ましくは５ｍｍ〜１０ｍｍの厚さを有し、純シリコンまたは焼結した若しくは固体ＣＶＤ沈着ＳｉＣ若しくはＳｉ3Ｎ4、またはＷＣから作られている一枚壁（solid wall）を用いることを特徴とする請求項１〜９の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記破砕した材料を、スクリーン、例えば穿孔プレートを使用することなく、前記カッティングツールから取り出すことを特徴とする請求項１〜１０の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１２】
使用に適した前記材料ＩＩの割合、または使用に適した前記材料ＩＩＩの割合を、回転するカッティングツールの回転スピードにより決定することを特徴とする請求項１〜１１の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１３】
使用に適した前記材料ＩＩまたは前記材料ＩＩＩの割合を高めるために、前記カッティングツール、例えばカッティングブレードの回転速度ＲＰＭを、前記材料ＩＩを取り出すためには５００ＲＰＭ〜４０００ＲＰＭ、好ましくは３０００ＲＰＭ〜３５００ＲＰＭ、および前記材料ＩＩＩを取り出すためには２０００ＲＰＭ〜２５００ＲＰＭに設定することを特徴とする請求項１〜１２の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１４】
本質的に多角形の層状形状を特徴とする前記材料ＩＩＩは、０．１ｍｍ≦Ｌ≦１０ｍｍ、好ましくは０．５ｍｍ≦Ｌ≦３の最大長さＬ、および／または０．０５ｍｍ≦Ｄ≦３ｍｍ、好ましくは０．１ｍｍ≦０．６ｍｍの厚さを有することを特徴とする請求項１〜１３の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記材料ＩＩＩとして、１Ωｃｍ≦Ｒv≦２０００Ωｃｍの体積抵抗Ｒvを有する材料を用いることを特徴とする請求項１〜１４の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１６】
前記破砕ツールの壁に、耐摩耗性プラスチック、例えば Vulkollan（登録商標）、Teflon（登録商標）、Halar（登録商標）、および／またはポリオキシメチレンを用いてライニングを施すことを特徴とする請求項１〜１５の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１７】
前記出発材料を、好ましくはシリンダ状の貯蔵器、例えばドラム内に入れ、これを回転させて前記出発材料に変化する応力を及ぼすことを特徴とする請求項１〜１６の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１８】
前記出発材料に加えて、前記出発材料に影響を与えるＳｉからできている固体を、前記出発材料に加えて前記貯蔵器の中に入れることを特徴とする請求項１〜１７の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項１９】
固体シリンダまたは四角（four-cornered）カラムを前記固体として用いることを特徴とする請求項１〜１８の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項２０】
スクリーニングファブリックにより覆われている開口部を有する前記貯蔵器を用い、この開口部を通じて、前記破砕された出発材料を取り出すことを特徴とする請求項１〜１９の少なくとも一項に記載の方法。
【請求項２１】
砕いた多結晶ニードル形状シリコン材料であって、５＜ＡI≦３０のアスペクト比ＡIを有する粒子を含むもの、および／または層状粒子から成る砕いたＳｉウエハを破砕するためのカッティングミルであって、前記カッティングミル（１０）は、シリコンおよび／またはプラスチックを用いてライニングを施されている内部空間（１１）を有し、前記カッティングミルは、多面体カラムとして構成されている回転体（３０）を有し、前記カッティングミルの前記内部空間は、シリコンによりライニングが施されている、またはシリコンを特徴とし、および前記回転体の長手方向のエッジ（longitudinal edge）と平行に走り、前期回転体の回転領域内に配置されているブレード（４６，４８）は、前記カッティングミルの内部空間内に配置されており、前記回転体に関連させて調節できることを特徴とするカッティングミル。
【請求項２２】
前記ブレード（４６，４８）は、炭化タングステン、炭化ケイ素、またはシリコンを溶浸（infiltrate）させた硬質材料から作られていることを特徴とする請求項２１に記載のカッティングミル。
【請求項２３】
固体炭化タングステンからできているカッターバー（３８，４０，４２）が、前記回転体（３０）の外面上に配置されていることを特徴とする請求項２１または２２に記載のカッティングミル。
【請求項２４】
前記カッティングバー（３８，４０，４２）が、前記回転体（３０）の長手方向のエッジから伸びていることを特徴とする請求項２１〜２４の少なくとも一項に記載のカッティングミル。
【請求項２５】
前記カッティングミル（１０）が、スクリーンを伴わないフリー材料出口（free material outlet）を有することを特徴とする請求項２１〜２４の少なくとも一項に記載のカッティングミル。
【発明の詳細な説明】
【発明の開示】
【０００１】
本発明は、塊のシリコン出発材料を、この出発材料を破砕することにより回収および／またはリサイクルするための方法に関し、回収されたまたはリサイクルされた材料を溶融し、この融液から、例えばシリコンブロック、チューブ、またはストリップとして結晶を成長させる。
【０００２】
シリコン結晶を生成させるのには大きな屑片が通常用いられ、例えば、ポリ−Ｓｉ製造から残ったフラグメントまたは塊、チョクラルスキーまたは浮遊帯結晶の切り落とした端部、廃棄ブロックからのエッジピース、および球状または破片形の砕いた材料である。
【０００３】
Ｓｉブロックキャスティング法には、るつぼの充填の間、隙間および中空のスペースに充填するために、細かいＳｉ粒子が必要とされ、高い充填率を達成している。
【０００４】
チョクラルスキー（ＣＺ）製造方法では、Ｓｉ塊（数センチメートルの直径を有する大きなピース）を充填に用いる。後充填のために、０．２〜５ｍｍの粒径を有するいくつかの球状の材料も用いる。このような粒子は通常は、流動層分離法を用いて製造される。サイズが約１ミリメートルであるこの材料を用いて、かなり細かなグラデーション（finer gradation）が充填において達成される。
【０００５】
また、縁端限定成長（edge-defined film-fed growth）（ＥＦＧ）法では、多角形チューブの形態にあるＳｉ−ウエハを溶融液から直接的に引き出し、ミリメートル範囲にある粒径を有する粒子を用いる。というのは、るつぼの体積のために、より密な充填が必要とされるためである。現代の技術においては、球状材料を今のところもっぱら用いている。
【０００６】
この球状材料に加えて、固体の多結晶シリコンを破砕することにより生じ得る、対応するサイズの不ぞろいな形の粒子が存在する。この材料は、製造方法によって（ロッド上でのガス相からの熱分解成長）によって約０．１％〜１０％（平均値１％）のパーセンテージを示し、高いアスペクト比（長さに対する測定したものの最も低い高さ；以後、長さに対する幅の簡略化した比を用いる）を有する非常に長い構造を示す。この物質は１をはるかに超えるアスペクト比（長さ：幅）を有するニードル、および１０〜３０のアスペクト比を有する粒子を含有する材料から認識される。これらをろ過して除去するのは困難である。しかし、細長い構造は、小さい直径を有するパイプまたはカーブおよび角部を有するパイプを通して運ぶ際に不利である。
【０００７】
ＷＯ−Ａ−２００５／０８８６８０からは、規則的な幾何学形状を有する固体粒子を最初に添加することにより、大きなアスペクト比を有し、かつパイプを通って運ぶことができる不規則な形状の固体粒子を搬送するための方法が知られている。円滑な搬送を確実にするために、不規則な幾何学的形状を有する固体粒子は、≦３のアスペクト比を有する必要がある。
【０００８】
リサイクルされたＣｚ結晶のＳｉ−ブロック残部、塊、および断片は、その大きさのため、ばら材料中に中空空間を生じ、従って嵩密度は比較的低い。
【０００９】
従ってこれらの中空空間は、細かな、かつ上記した通りしばしば球状の材料を用いて充填される。
【００１０】
ＵＳ−Ａ−４，０８４，０２４は、高純度シリコンの製造方法を記載している。製造されるシリコン材料は均一な形状を示す。必要とされるドーピングを伴う単結晶シリコンブロックを製造するために、ＷＯ−Ａ−８６／０６７６４によれば、様々なシリコン出発材料の混合物が用いられる。
【００１１】
ＵＳ−Ａ−５，３０４，２４１によれば、二酸化ケイ素から成るパウダー混合物を、電子部品用のシール剤のための充填剤として用いている。粉末材料を得るために、二酸化ケイ素粒子を粉砕機を用いて破砕するが、これは汚染を防ぐためにセラミック層で覆われている。この粉末粒子のアスペクト比は１．２〜１．４に渡る。
【００１２】
本発明の目的は、先に述べたタイプの方法を発展させることであり、従って、高いアスペクト比を有するニードルを含む出発材料は、一方では特に小さい直径を有するパイプまたは角度を有するパイプを通じての問題を生じることのない搬送に適しており、他方では、その嵩密度のために、必要とされる程度までの溶融液の後充填における使用に適しているであろう。
【００１３】
この目的を達成するために、本発明は、出発材料として、少なくとも数パーセントのニードル形状の粒子を有する砕いた多結晶シリコン材料（材料Ｉ）であって５≦ＡI≦３０のアスペクト比ＡIを有するものを用い、この材料Ｉは、破砕した粒子（材料ＩＩ）が本質的にＡII＜３のアスペクト比を有するように粉砕されており、または砕いたシリコンウエハを用い、これは粉砕された粒子（材料ＩＩＩ）が本質的にＡIII＜３nのＡIIIのアスペクト比を有するように粉砕された層状粒子から成る。材料Ｉは、ガス相または溶融物から取り出したシリコンであり得る。
【００１４】
本発明によれば、シリコン材料は破砕され、砕かれて、ＡII＜３の均一のアスペクト比ＡIIを有する、高いパーセントの粒子を得る。これは特にカッティングミル中での設定された破砕を通じて行われる。材料Ｉの処理、および達成される材料ＩＩのより小さくより均一なアスペクト比によって、カーブを通じての、角の周囲での、またはより小さな直径のパイプを通じての輸送が可能であり、規則的な外部形状を有する粒子の添加を必要としない。さらに、材料Ｉと比較して、１０％〜２０％高い層密度（layer density）が存在し、これはるつぼおよびインゴット型のより緻密な充填が可能となる。
【００１５】
あるいは、リサイクルのための出発材料として、砕いたＳｉウエハを用いることができ、これはドープされたおよび／またはドープされていない層状シリコン材料から成る輸送できるＳｉ粒質、例えば砕いて、選別されたシリコンウエハであって、のこ引きされたチョクラルスキーウエハまたは多結晶ブロックキャスティング法（block casting method）から、およびＥＦＧ法によって引き上げられたウエハから、ＥＦＧ法若しくは他のストリップ引き上げ法、例えばＥＳＢ若しくはＲＳＧ法（リボン成長基板）から生じる多角材からの角部および端部の廃材から、および一般的に結晶ウエハから製造される。粉砕された砕いたＳｉウエハであって、その粒子が本質的にＡIII＜３、好ましくはＡIII≒１のアスペクト比ＡIIIを有するものを、ウエハ製造ラインに戻すことができ、この際に、本発明の着想に基づくリサイクルは、以下に説明するように高純度のリサイクルである。
【００１６】
必要とされるドーピングを伴う材料を充填するために、必要とされた範囲の既知のドーピングを伴うリサイクルされる出発材料を混合することが提供される。特に材料ＩＩＩを製造するためには、砕いたウエハを事前に分類し、例えばたるの中に集めることが提供され、ここで、事前の分類は、出発材料の特性に従って行われる。
【００１７】
これに出発材料の適切な分類が続き、ここで、例えば、砕いたウエハを、抵抗性のグループ、および／または純度に従って集めて、別個に貯蔵する。本発明のさらなる開発において、ドーピングまたは由来または最初の製造方法に基づいて材料を集めることが可能であり、従って、ドーピングが所望の範囲内で均一である材料、または由来若しくは最初の製造方法が同じである材料を、１つのクラスに割り当てる。それに加えて、割り当ておよびクラスのタイプを、意図された目的により定める。
【００１８】
このようにして、材料が肉眼で見える混入物を含む場合でも、対応する材料のクラスを定める。例えばＥＦＧ八角形を切断することにより生じる残りのシリコンは、時として、プロセスの開始時には、容易に除去できない元素を含み得る。しかしながら、これら元素はさらなる加工の前に除去することができ、従って、材料は次の工程の前に精製される。
【００１９】
クラスによる出発材料の系統的な収集を破砕した後に行うことができ、続いて異なるクラスからの材料の混合を通じて所望の質を伴う充填材料を生じることができる。
【００２０】
特に、本質的に多角形の層状形状を特徴とする材料ＩＩＩは、０．１ｍｍ≦Ｌ≦１０ｍｍ、好ましくは０．５ｍｍ≦Ｌ≦３ｍｍの最大長さＬ、および／または０．５ｍｍ≦Ｄ≦３ｍｍ、好ましくは０．１ｍｍ≦Ｄ≦０．６ｍｍの厚さを有するということが提供される。
【００２１】
材料ＩＩＩとしては、１μΩｃｍ≦Ｒv≦２０００Ωｃｍの体積抵抗Ｒvを有する材料を好ましくは用いるべきである。
【００２２】
本発明のさらなる開発は、回転破砕手段により好ましくは作動する破砕機により破砕が行われることを提供する。砕いたウエハのようなフラットな材料サンプルには、ウエハのサイズに関らず、カッティングミルを好ましくは用いる。
【００２３】
カッティングミルは、１ｃｍ〜３ｃｍの範囲の寸法を有する比較的フラットな、針状の粒質物、すなわち材料Ｉまたは材料ＩＩにも適している。大きい、またはかさばる固体の屑片は、好ましくはジョークラッシャーに送られ、材料をカッティングミルに適切であるサイズにまで砕く。
【００２４】
用いる手段に関らず、続く再利用を可能にし得る程度にまで破砕を行う。この破砕工程は、製品中での大量のシリコン屑の生成またはシリコン屑の堆積を回避するように行われる。このようなシリコン屑は粉砕（grinding）プロセスから特に生じる可能性があり、従って、粉砕および磨耗を破砕プロセスにおいては回避する。しかしながら材料の細断および破砕の場合には、わずかな屑の堆積が存在する。
【００２５】
用いる手段に関らず、破砕機は出発材料の粒径を、粒子がその長手方向において、１０ｍｍを超えず、好ましくは５ｍｍとなるように減じる。
【００２６】
破砕中でのリサイクルされる材料の制御不能な汚染（これは、破砕手段またはカッティングミルの内壁の腐食を通じて起こり得る）をなくすことを確実にするために、破砕機の少なくとも内壁を、シリコン材料、または機械的に安定であり引っかき抵抗性のあるセラミック材料、例えばＳｉＣ、ＳｉＮまたはＷＣ（固体）を用いてライニングを施す。層は、溶射プロセス、プラズマ溶射、真空法等を用いて設けることができる。しかしながら、好ましくは、純粋なシリコン、または焼結した若しくは固体のＣＶＤ−コートされたＳｉＣ若しくはＳｉ3Ｎ4から成る、０．５ｍｍ〜５０ｍｍ、好ましくは５ｍｍ〜１０ｍｍの厚さを有する一枚壁が存在する。ライニングは、適切な固着材料、例えば接着剤を用いて内壁に設けることができ、これは、ライニングが剥がれた場合にも、壁のライニングからの材料のみが破砕され、リサイクルされる材料中に混合し得るものであり、破砕機自体の本体からの金属汚染は存在しないであろう。
【００２７】
代替となる提案は、壁に、耐摩耗性の合成材料、例えば Vulkollan（登録商標）、Teflon（登録商標）、Halar（登録商標）、および／またはポリオキシメチレンを用いてライニングを施すことが提供される。
【００２８】
リサイクルされる材料の汚染を回避するために、その他には、破砕した出発材料をスクリーン、例えば穿孔した金属プレートを通すことなくカッティングミルから排出することを通常用いることがさらに提供される。
【００２９】
このようにして、現在の技術において、破砕した材料のサイズを、穿孔された金属プレートまたはスクリーンであって、この材料をカッティングミルからこれらを通じて放出するものの開口により決定しているために起こる汚染を回避する。対応するプレートまたはスクリーンは磨耗される。というのは、破砕したＳｉ−粒子は、絶え間なく、穿孔した金属プレートまたはスクリーンからの、およびこれらに設けられた磨耗保護コーティングからの材料をすり減らすためである。
【００３０】
最大範囲（材料ＩＩの長さまたは材料ＩＩＩの対角線）の粒子のパーセントは、カッティングまたはローターナイフ（図６）の回転スピードに依存する。これを達成するためには、対応する破砕機を通常の作動よりもより速い回転速度で作動させて、ここで、５００回転／分〜４０００回転／分の好ましい回転速度が、カッティングミルの場合には指定され、材料ＩＩについては好ましくは３０００〜３５００ＲＰＭ、材料ＩＩＩについては好ましくは２０００〜２５００ＲＰＭが指定される。
【００３１】
本発明のさらなる提案によれば、出発材料を貯蔵器、例えば合成材料から作製されるドラム中に入れることにより破砕し、続いてその貯蔵器を回転運動させることを提供する。この目的のために、貯蔵器、例えばたるをローラーブロック上に置いた後、ローラーブロックを用いてその軸回りに回転させることができる。回転運動のため、貯蔵器中の材料は絶え間なく、変化する荷重下におかれて、従って破砕される。例えば、丸いチョクラルスキー引き上げ固体シリンダ、または角部をのこ引いたシリコン固体を貯蔵器に入れることにより破砕効果を強めることができ、固体シリンダまたは固体は、その重さと回転運動のため、出発材料に絶え間く荷重をかけ、これを破砕する。
【００３２】
貯蔵器に合成材料を用いており、壁から金属材料が混入しないため、破砕した材料は高い純度を有する。粉砕運動から生じる細かいダストは、破砕プロセス中に貯蔵器の内部から即座に除去すべきである。このことは、貯蔵器における１以上の開口部を、最も大きい許容される粒子のためのスクリーニングファブリック（例えば、１〜３ｍｍのメッシュ幅）によって覆うことにより行うことができる。このようにして、細かい粒子はメッシュを通じて貯蔵器から除かれ、さらに小さいサイズにまで破砕され得ない。細かなダストの生成をこのようにして防ぐ。
【００３３】
さらに、貯蔵器に連続して材料を加えることができ、従って、連続する作業が可能である。特に、自動供給デバイスを用いて、回転する貯蔵器の対称軸から連続して供給し、例えばＳｉを、指定した回転速度により必要とされる量で供給することができる。
【００３４】
破砕したら即座に、材料を篩い分け機により適切な粒子サイズのフラクション、例えば０≦ＫＧ１（短寸法（under-dimensioned particle））≦０．３ｍｍ／０．３ｍｍ≦ＫＧ２（生成物フラクション）≦３．０ｍｍ／３．０ｍｍ≦ＫＧ３（長寸法（over-dimensioned particle））に分ける。
【００３５】
本発明の他の詳細、利点および特性は請求項およびこれらから導かれる特性からのみでなく、図面を用いて提供される説明からも個々に、または請求項と組み合わせて明らかである。
【００３６】
リサイクルされる材料、または本発明に従ってリサイクルされた材料（上記材料は溶融液（ここからシリコン結晶が成長し得る）中に加えられる）の特性を、図または写真とこれに含まれる食像を参照して説明する。例としてほんの２〜３例の製造方法を挙げると、チョクラルスキー法またはＥＦＧプロセスにより結晶を製造することができる。
【００３７】
本発明の教示によれば、固体多結晶シリコンから砕くことにより生じ得る不規則な形状の粒子は、さらなる処理を受ける。製造方法（ガス相またはロッドからの熱分解成長）のため、材料は、高いアスペクト比（長さに対する測定したものの最も短いもの；以後、簡略化する目的で長さに対する幅と定義する）を有する非常に長い構造を有する。固体多結晶シリコンから生じる対応する材料は、この材料が、１をはるかに超えるニードルのアスペクト比（長さ：幅）を有するニードルを含むという事実、および従って、１０〜３０のアスペクト比を有する粒子が殆ど存在しないという事実により特徴付けられる。これらを篩い分けするのは困難であり、このことは、本明細書中で材料Ｉと呼ぶ材料の輸送に際しては、対応する粒子は、特に材料が小さい直径を有するパイプ、または曲がりパイプを通って、および角周りで搬送される際に、妨害効果を有するということを意味する。
【００３８】
本発明によれば、材料Ｉは破砕されて、均一なアスペクト比ＡII＜３を有する高い割合の粒子を得るためにさらに処理される。このことは、目的とする破砕を、カッティングミルのようなカッティング装置を用いることにより行われる。
【００３９】
材料ＩおよびＩＩのアスペクト比の違いを示すために、図１を参照する。これは、アスペクト比による粒子の相対度数を示す。例え異なる形状寸法が光学的にすでに目に見えても、この検証は、光学粒子分析デバイスを用いて行う。破砕した多結晶シリコンからなる出発材料が、そのアスペクト比が１０を超える、特に１０〜３０の範囲にある、わずかな割合の粒子を含むということが観察できる。材料が下記の方法で破砕される場合には、アスペクト比は、特にＡII＜１０にまで低下し得る。このことは、材料Ｉと比べて材料ＩＩについてのより優れた搬送特性をもたらす。
【００４０】
材料Ｉを破砕することは、材料ＩＩのより高いかさ密度、従ってるつぼまたはインゴットモールドのより緻密な充填の可能性をもたらす。材料ＩＩのさらなる特性は、研磨したシリコンサンプルの食像に示される。図２は、研磨し、化学的にエッチングしたＳｉ粒子を示し、これは、材料におけるはっきりと分かれた粒界により特徴付けられる。材料Ｉは気相析出を通じて得られ、粒界割れ目（grain-boundary gap）は析出条件に依存する。材料Ｉを破砕することから生じる材料ＩＩは、典型的な微細構造により認識され、これは、材料Ｉのものと一致しており、図３から見ることができる。結果として、材料Ｉと材料ＩＩとの差は微細構造にはなく、むしろ粒子形状のみにあり、材料ＩＩはより小さなアスペクト比を有する。
【００４１】
材料Ｉから作製される材料ＩＩの破砕された粒子は、図３に示す通り、よりわずかなニードル状形状であって、より円形の外観を主に示す。
【００４２】
しかしながら本発明によれば、熱分解成長を通じてガス相から生じた多結晶シリコンだけでなく、砕いたＳｉウエハから生じた材料を融液に加えるために用いる。これは、ドープされたおよび／またはドープさらない層状シリコン材料から作られている搬送不能なＳｉ粒質、例えば砕いた、または砕いていない廃棄されたシリコンウエハであって、例えば１５６ｍｍ×１５６ｍｍ、１２５ｍｍ×１２５ｍｍ、または１００ｍｍ×１００ｍｍのもの、またはのこ引きされたチョクラルスキーウエハ、若しくは多結晶ブロックキャスト（block-cast）ウエハ、およびＥＦＧプロセスを用いて成長させたウエハ、およびＥＦＧプロセスからの多角形から切断した角および端から、引き抜き加工（例えばＥＳＰ）またはＲＧＳ（リボン成長基板）法から、一般的に単結晶および多結晶ウエハから生じるシリコンウエハのフラグメントを含む。本発明の教示によれば、このウエハ屑を、製造サイクル中に効果的に再導入することができる。
【００４３】
アスペクト比を、光学粒子分析デバイスにより決定することができる。これは、図１に示す通り、材料ＩＩと比較して、かなり低いアスペクト比（長さ：幅）を示す。アスペクト比ＡIIIの値は、通常ＡIII＜３であり、これはまれに上回るのみである。
【００４４】
材料ＩＩＩは、少なくとも高い割合の粒子の実質的に一定の厚さにより特徴付けられる。さらに、機械的な研磨および化学的なエッチングを通じて、典型的な粒子および欠陥構造を材料ＩＩＩにおいて見いすことができ、図２および３と、図４および５の比較が示す通り、これは、材料ＩおよびＩＩのものと極めて明らかに異なる。
【００４５】
図５の左は、材料ＩＩＩを示し、これはリサイクルされたＥＦＧウエハから製造されたものであり、さらなる処理のために融液から引き出された材料の例である。材料は、約５０μｍ〜４５０μｍ、好ましくは２５０μｍ〜３５０μｍの範囲のスライス厚さを有する。これは割れて長方形の破片になり、大多数の粒子においてＥＦＧプロセスの非常に典型的である双結晶粒形成を示す（図４右側）
左側の図５は、さらなる処理のための材料ＩＩＩを示し、これは、多結晶ウエハ、および例えばブロックキャスティング法により生じるものから製造される。この材料は、５０μｍ〜４５０μｍ、好ましくは２５０μｍ〜３５０μｍのウエハ厚を有する。これは割れて多角形長方形状（polygonal rectangular）および三角形状の破片になり、左側の食像が示す通り、インゴットキャスティング法に典型的である粒界の形成を示す。本明細書中において、破砕した粒子のサイズが、材料に特有な約１ｃｍ〜２ｃｍの粒径以下であるため、この粒界構造は、この材料において頻度は低いが認められるということを特筆しておく。材料は好ましくは粒界において割れるため、その結果、粒子構造は、ミリメートル範囲の非常に小さい構造を有する領域におけるわずかな破片においてのみ決定することができる。
【００４６】
材料ＩＩＩからの多角形状の粒子のため、材料Ｉの値を１５％〜２０％上回る、高いかさ密度が達成される。
【００４７】
以下の表は、材料Ｉ、ＩＩおよびＩＩＩのかさ密度およびタップ密度を示し、これらは、単に例としてのみ理解される。
【表１】
2009528970.tif 000003
【００４８】
表から、材料ＩＩＩのリサイクルされたシリコンのかさ密度およびタップ密度は、同程度のスクリーンフラクションおよび材料Ｉよりも１５〜２０％高い密度を有するフラットなウエハをもたらすことが見いだされた。
【００４９】
材料ＩおよびＩＩは、製造方法（高純度気相析出）のため、通常ドープされていないが、ドープされた多結晶の析出が、当該技術分野の現状では原理上は可能である。
【００５０】
再溶融材料を材料Ｉのための出発物質として用いる場合には、ドーピングを考慮しなければならなく、前もって測定しておく必要がある。この場合に、材料ＩおよびＩＩは出発材料のドーピングによって、ｐ導電性またはｎ導電性であり得る。
【００５１】
材料ＩＩＩはドープされていない、またはドープされたｐ導電性および／またはｎ導電性粒子を含み得る。出発材料のタイプおよびドーピング濃度の度合いが分かれば、所望のドーピング濃度を、異なる濃度の粒子の適切な混合を通じて調節することができる。ドー
ピング濃度を、自動化されたテストアセンブリ（例えば、４−ピーク測定、熱電能、マイクロ波反射、ＩＲ吸収）を用いて、また、質量分析、ＡＡＳ（原子吸光分析）、ＴＸＲＦ（全反射蛍光Ｘ線分析）等の化学分析を通じて測定することができる。
【００５２】
材料の所望されるドーピングを、計算された量の異なってドープされた、またはドープされていない材料を加えることにより達成することができる。このようにして、様々な成分を混合することによって、所望の全ドーパント濃度を有する原料を作製することが可能となる。こうして、残りの高度にドープされたウエハ、例えばｎ、ｐ＞５×１０18ｃｍ-3を、ドープされていない融液をドープするために直接的に用いることができる。
【００５３】
材料ＩＩＩを製造するために、あらゆる可能なタイプの砕いたウエハをドラムに集める。蓄積の初期の段階において所望の特性を考慮して材料を集めた場合に、その地点で、材料の品質の理解が存在するため、有利であることが見いだされた。
【００５４】
従って、材料の適切な分類を収集の段階で行うべきであり、従って、材料を規則的な方法で、例えば抵抗性のグループに従って、またはドーピング率、または純度のクラスに従って分類して収集することができる。このようにして、例えば、抵抗性のグループにより収集することができ、これによって、抵抗が２のファクタの範囲内にあることを確認する。クラスへの振り分けおよびクラス特性は、材料の意図される最終用途により決定され得る。
【００５５】
材料が肉眼的に識別可能な不純物を含む場合ですら、対応する材料のクラスをこのために決定することができる。例えば、切り取ったＥＦＧ八角形から残ったシリコンは、プロセスの開始時には即座に除くことができない成分を時として含む。しかしながら、これらの成分をさらなる処理の前に除去することができ、従って、材料をプロセスを続ける前に浄化することができる。
【００５６】
同じ特性を有するクラスに従った出発材料の目的とする収集を通じて、所望の特性を有する材料を、この材料の破砕および混合後に製造することができる。
【００５７】
破砕は破砕機において行い、これは、好ましくは、回転破砕ツールにより作動する。フラットな材料サンプル、例えば砕いたウエハの場合には、カッティングミルがウエハのサイズに関わり無く用いられ得る。
【００５８】
カッティングミルが、１〜３ｃｍの比較的フラットで、ニードル状の粒質を用いた使用に適している。大きいか、体積の大きい固体の屑片には、例えばジョークラッシャーがより適しており、これを用いて、材料をカッティングミルにより処理することのできるサイズにまで破砕することができる。この破砕プロセスの目的は、材料の続いて用いることができる大きさにまで小さくすることである。破砕プロセスの間、従って材料は数ミリメートルから数センチメートルの範囲の大きさにまで小さくされる。破砕プロセスの目的は、０．１ｍｍ〜２０ｍｍ、好ましくは０．３ｍｍ〜３．０ｍｍの範囲の粒径である。
【００５９】
シリコンダストの製造は可能な限り回避すべきであり、または、作用は製造におけるＳｉダストの蓄積を妨げるように行うべきである。Ｓｉシリコンダストはしばしば、粉砕プロセスにより生じ、これが、摩耗や粉砕を製造プロセス中で回避すべきである理由である。他方では、材料を刻みおよび砕くことが好ましく、この際はほとんどダスト生成がないためである。
【００６０】
シリコン、シリカガラス、およびセラミックスは壊れやすく、硬い材料であるため、破砕装置、例えばカッティングミルの側壁上の摩耗を通じて入り込む汚染物質の危険性が存在する。標準測定として、全ての摩耗保護層、例えば炭化タングステンを、ミルの壁に溶射法またはプラズマ溶射法を用いて設ける。しかしながら、これらの層は、破砕プロセス中にシリコン様の硬い材料によりすり減り、これは、摩耗保護コーティングの構造によって、例えばＦｅ、Ｎｉ、およびＷＣの１０００〜１０，０００ｐｐｂａの汚染濃度をもたらす。破砕した材料を篩落とすために機械に通常取り付けられている穿孔したスクリーンの表面が特に摩耗される。
【００６１】
この問題は、ミルの内壁をシリコン材料、または機械的に安定であり傷つきにくいセラミック化合物、例えばＳｉＣ、ＳｉＮ、ＷＣ、または超硬合金（固体）によりコーティングすることによって解決する。層は通常、真空中での溶射プロセス、プラズマ溶射等により設けることができる。
【００６２】
しかしながら、純シリコン、または焼結若しくは固体ＣＶＤ沈着したＳｉＣ、またはＳｉ3Ｎ4から作った０．５〜５０ｍｍ、好ましくは５〜１０ｍｍの厚さを有する一枚壁がより適している。破砕した材料がシリカガラスから成る場合には、壁ライニングは石英プレートから成る。壁ライニングを強力接着剤を用いて壁に貼り、壁が摩耗した際に、壁ライニングをなしている材料のみが破砕材料中に導入され、金属汚染物質が導入されないことを確実にする。
【００６３】
しかしながら、耐摩耗材料、例えば Vulkollan（登録商標）、Teflon（登録商標）、Halar（登録商標）、および／またはポリオキシメチレンで壁をコーティングすることも可能である。
【００６４】
通常、カッティングミルの場合には、切断される材料のサイズを、穿孔プレートにおける開口部により決定する。しかしながら、このようなプレートは、Ｓｉ粒子がこの全域に渡って引っ掻くために摩耗に供され、穿孔プレートを作っている材料、およびそれに設けられている耐摩耗コーティングの連続的な摩耗を招く。特に激しい摩耗に供され、硬質材料を設けることのみができ、固体の壁ライニングを設けられないので、穿孔プレートなしの作業が本発明の特徴である。
【００６５】
本発明の１つの実施形態において、穿孔プレートを省く。切断する材料の粒子のサイズを、代わりに、ローターナイフの回転速度によって制御する。このことは、通常の回転速度よりも早いカット法をもたらす。しかしながら、高速回転カッティングミルの生成物は、その中に入れる粒子の形、特に粒子の厚み、および粒子の長さにより強く影響を受ける。
【００６６】
材料ＩＩＩを製造するのに用いられる比較的大きくて薄い充填材料、砕いたウエハは、より小さくより厚い粒質（材料Ｉ）と比較して、より遅い回転スピードにおいてさえ高い収率を達成し、これから、タイプＩＩの材料を製造する（図６）。収率は、カッティングナイフ間隔を用いることにより主として調節される。
【００６７】
一般的に、生成物フラクション収率は、回転スピードと共に向上し、長寸法の粒子のパーセントは低下する。異なる材料の正確な依存度は、それぞれ個々のケースについて決定すべきである。
【００６８】
それにもかかわらず、図６は基本的に、生成物フラクションにおける変化および個々の材料の長寸法の粒子に当てはまる条件を反映し、これは、カッティングツールの回転速度に依存する。カーブ１および２は、材料ＩＩＩにあてはまる。上昇するカーブ１は、生成物フラクションに関連した変化を示し、これはカッティングツールの回転スピードが上がるにつれて上昇する。従って、２の印のカーブは、望ましくない長寸法の粒子の特性であり、すなわち、長寸法の粒子の割合は、回転スピードが上昇するにつれて低下する。
【００６９】
材料Ｉ／ＩＩに関して、カーブ３および４は、生成物フラクションもより高い回転スピードにつれて上昇し（カーブ３）、一方、長寸法の粒子（カーブ４）の割合は低下する。
【００７０】
材料を割ることがより容易であるほど、高い割合の所望の粒径を得るために必要である回転スピードはより低くなる。最大長さの観点で、導入される材料がより小さいほど、所望の生成物フラクションを達成するために必要な回転スピードはより速くなり、そうして長寸法の粒子を最小にする。
【００７１】
材料の形状は、破砕プロセスを通じて達成される粒径分布を決定する。高いアスペクト比を有する材料は、より速い回転スピードを必要とする。同様に、容易に開裂しにくい粒子は、速い回転速度を必要とする。
【００７２】
穿孔したスクリーンを含まない作業方法により、細かい粒子フラクション（短寸法粒子）は１％以下の値にまで大幅に低下する。０．５ｍｍ未満の粒径を有する細かく破砕された材料は、その大きな表面積のため、表面に付着しているより多くの汚染粒子を取り込むため、このことは非常に有利である。回転速度が速まり、穿孔プレートを伴わない場合には、約８０％にまで生成物フラクション収率を高めることが可能であった。
【００７３】
生成物の純度は、穿孔プレートを伴わないとより良好である。最終的には、ほとんど汚染材料は、２つの理由のためウエハに導入されない：
１．穿孔プレートによる摩耗は完全に存在しなくなり、従って、大部分の汚染物質が導入されない。  
２．より低いパーセントの短寸法粒子のため、表面積がより小さい。
【００７４】
表２は、確実な改善により達成される改善効果を示す。シリコンにより壁にライニングを施すことは、ＦｅおよびＮｉ、すなわちカッティングミルのクロスビーターを構成している材料の汚染物質濃度における有意な低下を生じる。ＷＣは、ＦｅおよびＮｉ中に包埋されている。ＷＣによりコーティングされた穿孔プレートを省くことにより、検出限界以下である炭化タングステンの濃度における低減をもたらす。これによってＷＣは、Ｆｅ、Ｎｉ層に包埋される。
【表２】
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【００７５】
このようにして達成される材料純度は、１４％〜１５％を超える太陽電池効率を生じるのに十分高い。
【００７６】
材料を破砕するための他の方法は、シリコンをプラスチック製ドラムまたはローラーブロック内に入れた後、        ローラーブロックの動作のため、ドラムをゆっくりと回転させる。ドラムが回転するため、材料は連続的に変化する荷重に供され、これが材料を砕く。破砕効果は、ドラムに丸い、ＣＺ−のこ引きした固体のシリンダ、またはぎざぎざにのこ引きされた固体シリコン体を入れることにより著しく強まる。というのは、結晶は絶えず荷重に供され、その重さおよびＳｉ材料の回転運動によって砕かれるためである。
【００７７】
壁から金属材料が入り込まないため、この材料は高度の純度を有する。破砕工程中、粉砕運動からもたらされる細かいダストを、ドラムの内部から可能な限り即座に除く。
【００７８】
このことは、最も大きい許容される粒子のメッシュ幅（例えば、１ｍｍ〜２ｍｍ、好ましくは３ｍｍのメッシュ幅）を有するスクリーニングファブリックにより覆われたドラムの本体における開口部により達成される。細かな粒子はメッシュを通じて落ちてドラムの外に出て、より細かに砕かれることはなく、後のプロセスに使用可能である。自動供給デバイスを用いることができ、回転する貯蔵器の対称軸から供給される。この場合、必要とされるだけのＳｉをドラムに加えて、特定のスピードにおいて連続的な作動を維持する。
【００７９】
破砕した後即座に、材料を、スクリーニングマシーンにより適切な粒径フラクション、例えば０≦ＫＧ１（短寸法粒子）≦０．３ｍｍ／０．３ｍｍ≦ＫＧ２（生成物フラクション）≦３．０ｍｍ／３．０ｍｍ≦ＫＧ３（長寸法粒子）に分ける。
【００８０】
上記した材料リサイクル、またはリサイクルされた材料のコンセプトは、結晶を成長させるために溶融される材料の回収を含む。言い換えれば、出発材料は、必ずしも予め用いられたシリコン材料でなければならないわけでない。
【００８１】
加えて、本発明は、例え好ましいケースであったとしても、融液に加えられる材料ＩＩおよびＩＩＩに破砕される材料に限定されるわけでない。むしろ、もっと正確に言えば、本発明は、るつぼに入れられる材料ＩＩおよびＩＩＩに適用され、融液は前もってその中に存在していない。
【００８２】
図７は、カッティングミル１０の概略図であり、これを用いて、材料ＩおよびＩＩＩを、３未満の所望のアスペクト比が達成されるような程度に破砕し、汚染を引き起こすダストの生成を最小限にする。と同時に、あらゆる生成するダストを、例えば、防爆吸引（explosion-proof suction）デバイス中に吸引することが可能である。
【００８３】
概略図において漏斗１３と一体となっている立法形の内部空間１１により示されるカッティングミル１０は、金属、好ましくはアルミニウムから成るハウジング１２を特徴とする。立法形状を有する内部空間１１は、４つの約２ｃｍ厚の壁板１４，１６により形成されており、これらはハウジング１２にねじで取り付けられている。ハウジング１２の内壁、すなわちプレート１４および１６は、約５〜１０ｍｍ厚のシリコンプレート１８、２０、２２、２４を用いてライニングが施されている。これは、シリコンプレート１８、２０、２２、２４をアルミニウムプレート１４、１６上に接着剤でつけることにより行うことができる。このことは、壁１４、１６の内部表面が均一であることを必要とする。
【００８４】
プレート１４、１６により取り囲まれている内部空間１１において、カッティングツール２８を回転自在に配置する。カッティングツール２８は回転体３０であり、これは、三角形、四角形、または六角形のベース領域を好ましくは有する多面体カラムの形態を取る。回転体３０の長手方向の表面は、５ｍｍ〜１００ｍｍ厚のシリコンプレート３２、３４，３６により被覆されている。示す実施形態において、回転体は、三角形状カラムの幾何学形状を取る。
【００８５】
カッターバー３８、４０、４２は、シリコンプレート３２、３４、３６に付着しており、上記カッターバーは好ましくは、固体炭化タングステンまたはシリコンを溶浸（infiltrate）させた硬質材料から成る。カッターバー３８、４０、４２は、好ましくは、ねじを用いて回転体３０にねじで取り付けられる。シリコンプレート３２、３４、３６は、対応するボアホールを含む。ねじ頭は、ブレード３８、４０、４２中に皿穴を開け、露出面をテフロン（登録商標）テープにより覆う。
【００８６】
さらに、ブレード４４および４６は外側壁、これは回転体３０の長手方向のエッジ（longitudinal edge）に平行に走っていて参照番号１４、１６の印をつけているもの、から延びており、またはそのライニング１８、２０、２２、２４から延びている。ブレードは同様に固体炭化タングステンから成り、直接的に外側壁１６および１８に固定されている。
【００８７】
ブレード４４、４６の間のすき間、およびこれらを通り越して動く回転体３０の長手方向の端、または上記端から現れるカッターバー３８、４０、４２を調節することができる。この目的のため、立法形の幾何学形状を特徴とするブレード４４、４６を、ハウジング壁１４、１６を通じて外側から通じているねじを用いて固定されているスチール部分５０、５２に溶接する。その後、すき間を、さらに記載しないがスぺーサーを用いて調節することができる。
【００８８】
ブレード４４、４６は、ライニング１８、２０、２２、２４の間に位置し、または皿穴に埋め、破砕するまたは砕かれる材料は、シリコンおよび炭化タングステンにのみ接触する。
【００８９】
さらに、回転体３０から現れるカッターバー３８、４０、４２および／またはブレード４４、４６は、約４００μｍに傾斜しており、傷を付けることを回避している。
【００９０】
一般的なカッティングミルと比較して、漏斗１３の出口には穿孔プレートがなく、これは、ともすれば汚染源であり得る。
【００９１】
回転体３０それ自体は、５００ｒｐｍ〜４０００ｒｐｍの範囲の高速で回転し、加えられる材料の所望の破壊または破砕を達成する。
【００９２】
本発明の配置の利点は、明らかにより少ない割合の短寸法粒子（０．３〜０．５ｍｍよりも小さい）であり、これは通常非常に汚染され、廃棄されることが必要である。測定が示す通り、穿孔プレートを用いない場合には割合は１％〜１０％である一方、通常の穿孔プレートを用いた場合には、短寸法粒子の割合は、１０％〜２０％にある。
【００９３】
材料Ｉ〜ＩＩＩを破砕するために、これらを漏斗５４の頭側を通じて加える。漏斗５４の領域において、壁は、５ｍｍ〜１０ｍｍ厚であるシリコンプレートを用いてライニングを施されている。
【００９４】
ハウジング１２は好ましくは、シリコン材料を用いて完全にライニングを施されている一方で、より小さい応力を受ける表面はプラスチックプレートを有し得ることも可能である。対応するプラスチックプレートは、所定の位置に接着剤でつけるか、ねじ止めされる。
【００９５】
カッティングミル１０から落ちる材料を、炭化タングステンから構成されるブレード３８、４０、４２、および４６、４８の間で刻まれた後、シリコン、炭化シリコン、またはシリコンを浸透された硬質材料、またはプラスチックプレートによりライニングを施されている下方の漏斗１３中に落ちる。
【００９６】
ここから、材料をスクリーニングマシーンに運ぶことができ、これは、後の工程に必要とされるフラクション（例えば、短寸法粒子＜０．３ｍｍ；生成物フラクション０．５ｍｍ〜３．０ｍｍ、長寸法粒子＞３ｍｍ）に選別される。対応する値は例としてのみであり、使用のケースに応じて変化させることができる。集められるダストは吸引されて出される。
【００９７】
カッティングミルの寸法に依存して、３０ｋｇ／ｈ、１００ｋｇ／ｈ、またはそれ以上の処理能力が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】リサイクルされる材料、またはリサイクルした材料のアスペクト比のグラフ。
【図２】リサイクルされる材料の粒子形状の写真および食像。
【図３】リサイクルした材料の粒子形状の写真および食像。
【図４】追加の材料の粒子形状の写真および食像。
【図５】追加の材料の粒子形状の写真および食像。
【図６】カッティング手段の回転スピードに依存する粒形分布の略図。
【図７】カッティングミルの概略図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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2009528970.tif 000014
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