(57)【要約】  ハニカム体における欠陥を検出するための装置および方法。動作時には、微粒子が、ハニカムの壁および／または栓に存在する欠陥を通ってハニカム体の出口端面に現れ、かつスクリーンのような透過性部材を通過し、そこで照明される。上記透過性部材は、上記出口端面に近接して、好ましくは接して配置される。この透過性部材の使用により、上記欠陥がより容易に検出されるように、信号対雑音比が改善される。透過性部材は反射防止表面を備えていることが好ましい。
2009532671.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハニカムフィルタにおける欠陥を検出する装置であって、
前記ハニカムフィルタの入口端面に微粒子を提供する微粒子源、
前記ハニカムフィルタの出口端面に近接して配置された透過性部材、および
該透過性部材を通して現れる微粒子を照明するために、前記透過性部材から隔離された光源、
を備えてなることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記透過性部材が、前記出口端面に接するスクリーンであることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記透過性部材が反射防止表面を備えていることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項４】
前記反射防止表面が、白色光源を利用した１から２５６までの目盛上で２４０未満の光度を示すことを特徴とする請求項３記載の装置。
【請求項５】
前記反射防止表面が２１５未満の光度を示すことを特徴とする請求項４記載の装置。
【請求項６】
前記反射防止表面が１８０未満の光度を示すことを特徴とする請求項５記載の装置。
【請求項７】
前記スクリーンが暗い色調を有することを特徴とする請求項２記載の装置。
【請求項８】
ハニカム体における欠陥を検出する方法であって、
微粒子を含むガス流を前記ハニカム体の入口端面に提供し、
該ハニカム体の出口端面を出るガス流部分を、透過性部材を通して流し、そして
該透過性部材を出る微粒子の何れをも光源を用いて照明する、
諸ステップを含むことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概して物品の欠陥を検出するための装置および試験法に関するものである。より詳細には、本発明は、ハニカム微粒子フィルタにおける欠陥を検出するための方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
壁流通ハニカムフィルタが、排気ガス流などの流体から固体微粒子を除去するのに用いられている。従来技術である図１は、従来の典型的な壁流通ハニカムフィルタ１００を示す。このハニカムフィルタ１００は、流入ガス流を受け入れるための入口端面１０２と、流出ガス流を排出するための出口端面１０４と、入口端面１０２から出口端面１０４まで長手方向に延びるほぼ平行な相互接続された多孔質の壁１０６からなるアレーとを有する。相互接続された多孔質の壁１０６は、流入セル通路１０８および流出セル通路１１０からなる格子を画成している。流出セル通路１１０は、入口端面１０２に接する部位で多孔質の栓１１２によって閉塞されており、かつ出口端面１０４に接する部位において開口している。これと反対に、流入セル通路１０８は、出口端面１０４に接する部位において多孔質の栓（不図示）によって閉塞されており、かつ入口端面１０２に接する部位において開口している。このようなフィルタ１００は、一般に柔軟なマット内に固定され、かつ剛体の容器（不図示）内に収容される。ハニカムフィルタ１００の入口端面１０２に導かれた流体は、流入セル通路１０８に入り、相互接続された多孔質の壁１０６を通過して流出セル通路１１０に入り、出口端面１０４においてハニカムフィルタ１００を出る。
【０００３】
典型的なセル構造においては、流入セル通路１０８がその一側または複数の側面において流出セル通路１１０に隣接しており、その反対も同様である。流入および流出セル通路１０８，１１０は、図１に示すように正方形の断面形状を有していても、あるいは、例えば円形、長方形、三角形、六角形、八角形等のその他の形状を有していてもよい。ディーゼル微粒子フィルタは一般に、コージェライト、チタン酸アルミニウム、ムライトまたは炭化珪素などのセラミック材料から作製される。排気ガス中に存在する煤などの微粒子がハニカムフィルタ１００の相互接続された多孔質の壁１０６を通過するときに、流体流中の微粒子の一部が相互接続された多孔質の壁１０６上または壁内に留められる。ハニカムフィルタ１００の効率は、流体からの微粒子の濾過における相互接続された多孔質の壁１０６の有効性に関係する。８０重量％を超える微粒子濾過の有効性は、ハニカムフィルタによって達成される。しかしながら、濾過効率またはハニカムフィルタの完全性は、壁または栓における孔またはクラック（亀裂のような）等のような種々の欠陥によって劣化せしめられる。このような欠陥は、正常な濾過が行なわれずに流体の通過を許容してしまう。したがって、ハニカムフィルタの製造においては、濾過効率または完全性に悪影響を与える可能性があるこのような欠陥の存在に関するハニカムフィルタの試験を行なうことが望ましい。欠陥が検出されたハニカムは修復されるが、修復が不能であれば廃棄される。
【０００４】
欠陥を検出するための方法および装置が、「微粒子流体を用いるハニカム体における欠陥の検出方法および装置」と題して２００５年７月２９日付けで提出された同時係属の特許文献１に記載されている。この欠陥検出方法は、霧を発生させ、この霧をフィルタの入口端面に導き、フィルタ内に流入させる。壁または栓に欠陥を有するセルは、隣接するセルに霧が直ちに流入しまたは欠陥を有する栓を通過するのを許容する。したがって、欠陥を有する壁／栓からは、フィルタの他の部分から現れる霧よりも多量の霧がハニカムの出口端面に現れる。レーザー光源のような光源を配置して、フィルタの出口端面の僅か上方に平らなシート状の光を放射して、現れる霧に光を当てる。好ましくはフィルタの上方に撮像カメラを取り付けて、光平面が霧によって遮られることによって形成された画像を撮影する。より明るい輝点は欠陥を包含する壁／栓に対応する。上記輝点に対応する壁／栓が特定されるとこれらは修復される。
【特許文献１】米国仮特許出願第６０／７０４,１７１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
試験中に遭遇する一つの問題は、フィルタを出る霧の背景のレベルが、欠陥を有するセルの画像が不明瞭になる程度に高過ぎることである。飽和する程長い時間フィルタが霧に曝された場合に、このことが特に当てはまる。したがって、フィルタにおける欠陥がより容易に検出され得るように、信号対雑音比をさらに高める方法および装置が必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ここに記載された実施の形態によれば、本発明は、ハニカムフィルタにおける、例えばハニカムフィルタの栓および／または壁における欠陥を検出するための装置に関するものである。この装置は、上記ハニカムフィルタの入口端面に微粒子を提供する微粒子源、上記ハニカムフィルタの出口端面に近接して配置されたスクリーンなどの透過性部材、およびこの透過性部材を通して現れる微粒子を照明するために、上記透過性部材から隔離された光源を備えている。上記透過性部材は、欠陥検出の改善が可能になるように、信号対雑音比を改善し、かつ上記出口端面を通って現れる流れを真直ぐにもする。上記透過性部材は反射防止性を有することが好ましい。これは、透過性部材の表面に対し、艶無しまたは艶消し黒色のような反射防止黒色が最も好ましい色を与えることによって達成される。１インチ（２５．４ｍｍ）当たり５０本よりも多い網目を有する細かいメッシュのスクリーンが極めて効果的であることが判明している。上記微粒子源は、空気などのガス中に浮遊する微粒子を発生させるのが好ましい。例えば、上記微粒子は、ガス中に浮遊する水の粒子、すなわち霧である。
【０００７】
さらなる実施の形態によれば、本発明はハニカム体における欠陥を検出する方法であって、微粒子を含むガス流を上記ハニカム体の入口端面に提供し、このハニカム体の入口端面を出るガス流部分を、スクリーンなどの透過性部材を通して流し、そしてこの透過性部材を出る微粒子の何れをも光源を用いて照明する、諸ステップを含む。このようにすると、漏洩／欠陥の位置が輝点として現れるので、欠陥を有するセル／栓は直ちに特定される。照明された微粒子は、デジタルカメラなどの撮像手段によって画像化されることが好ましい。次にこの画像は出口端面の画像と比較されて、どのセルが欠陥を有するかが決定される。上記透過性部材は、ハニカムの端面のセル構造の画像が得られるように、第１の位置から第２の位置まで移動可能であることが好ましい。
【０００８】
上記透過性部材は、画像化されるガス流の信号対雑音比を効果的に向上させることを可能にし、これにより、欠陥検出をより容易にする。特に、上記透過性部材を使用すると、ハニカム端面からの背景反射が分断されるのを可能にする。これに加えて、透過性部材を使用すると、より高い圧力で装置を作動させることが可能になり、処理能力が向上する。作動圧力は、例えば３０Ｐａを超えることが可能である。
【０００９】
本発明のその他の特徴および効果は、下記の図面、詳細な説明および添付の請求項から明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明は、添付の図面に示されているような僅かな好ましい実施の形態を参照して、ここに詳細に説明されている。下記の記載において、本発明を完全に理解するために、多くの特定の詳細内容が説明されている。しかしながら、本発明が、これらの特定の詳細内容のいくつかまたは全てを伴わなくても実施可能であることは、当業者には明らかであろう。その他の場合では、本発明を不必要に曖昧にしないために、周知の特徴および／または処理工程が詳細には記載されていない。本発明の特徴および効果は、下記の図面、説明および添付の請求項を参照することにより、より良く理解されるであろう。
【００１１】
図２に最も良く示されているように、本発明の装置は、壁流通フィルタまたはディーゼル微粒子フィルタなどの、端部が選択的に栓をされた多数のセル（通路）を有するハニカム体１００における欠陥を検出するための装置２０を提供する。ハニカム体１００における内部壁および／または栓は多孔質である。これら多孔質の壁および／または栓は、それらの特性に悪影響を与え得る欠陥の存在に関して試験されるのが好ましい。例えば壁は、隣接するセル間の制限されない流れを許容するクラック（亀裂のような）または孔を備えて、これによって、濾過効率を低下させ、あるいはフィルタの完全性に悪影響を与える。これに加えて、栓が、不完全部分、孔またはクラックのような欠陥を備え、さらには、抜けていたり、壁から離れていたりする。本発明の方法および装置は、このような欠陥を容易に検出することを可能にする。
【００１２】
本発明の検査試験装置２０は、浮遊する微粒子を含んだガス流（矢印２２で示されている）を供給するように動作する微粒子源２４を備えている。微粒子を浮遊させたガスは、ハニカム体１００の入口端面１０２に提供される。ガス中に浮遊する微粒子はセル通路内を通過し、ハニカム体１００の多孔質の壁および／または栓を抜け、出口端面１０４を通って流出する。微粒子を含むガスは、出口端面１０４に隣接して取り付けられた、そして出口端面１０４に直接接しているのが好ましいスクリーンなどの透過性部材２８を出口端面１０４の直上において通過する。ガス流中の微粒子は、透過性部材２８を出た後、透過性部材２８の近傍に投射された、部材２８に平行でかつこの部材と僅かな距離をおいた（上方が好ましい）光平面３０によって照明されるのが好ましい。次に、ハニカム体１００の栓および／または壁における欠陥は、微粒子と光平面３０との干渉の検査によって、信頼性をもって検出される。
【００１３】
一つの好ましい実施の形態において、欠陥を有するセルの位置を示す画像は、例えばカメラなどの撮像手段３４を用いて記録することによって生成される。欠陥を有するセルの位置に対応する画像は、コンピュータのメモリ内に格納され、および／またはディスプレー３８上にも表示される。壁および／または栓における欠陥は、ハニカム体１００の上方の画像中の輝点、すなわち光平面３０と交差する点として現れる。したがって、輝点の位置は、ハニカム体１００の欠陥セルの位置に対して容易に関連付けられる。特に、ハニカム体１００の頂面上に透過性部材２８を載せる以前において、端面１０４の以前の画像が記録され、これによって、ハニカムセル構造の画像、すなわち、端面１０４上の外周縁の輪郭ならびにセルおよび栓のそれぞれの位置の座標空間（端面１０４の面に沿った）における位置の画像を捕捉する。次に、この画像が、輝点を示す他の画像と関連付けられて、欠陥を有する種々のセルを指定する。
【００１４】
動作時には、液体粒子などの微粒子が、最も好ましくは極めて細かい液体粒子が、微粒子源２４の微粒子発生器２５によって室３１内に形成される。微粒子は、細いノズルを通じて液体を噴霧化またはスプレーすることによって生成される。この液体は、水を主成分とするものでも、グリコールを主成分とするものでもよく、このようにして霧に含まれる。水が最も好ましい。しかしながら、煙その他の浮遊する微粒子物質を用いても差し支えなく、それらも本発明に有用である。微粒子はハウジング２６内に収容されているのが好ましく、微粒子源２４とハニカム体１００の入口端面１０２との間の、パイプ４２によって画成されるのが好ましい通路を通じて加圧されて供給される。パイプ４２は円形の断面形状を有することが好ましく（しかしながら、正方形、長方形等のような他の断面形状を有するものでもよい）、ハニカム体１００に対してほぼ同軸的に配置されるのが好ましい。さらに、微粒子を含んだガスが入口端面１０２に供給される地点（パイプの上端近傍）におけるパイプ４２の内法Ｄ（すなわち内径）は、ハニカム体１００の最大外形ｄよりも大きいことが好ましい。この特徴は、入口端面１０２に供給されるガス流の分布における境界層の影響を低減することによって、流れの速度輪郭の一様性が改善されることにある。３０Ｐａを超えることが好ましい印加圧力（入口と大気との間の相対圧力）は、空気をハウジング２６内に圧入するファン４３によって得られる。実施の形態によっては、この圧力が３０Ｐａと７０Ｐａとの間である。室３１内の圧力変動を最少にするために、孔の開いた仕切り４４が用いられる。
【００１５】
ガス流に含まれている微粒子は、ハニカム体の通過に続いて透過性部材２８を通過する。この透過性部材２８は、例えばスクリーン、網、布または孔開きシートであり、アセンブリ２７に含まれているのが好ましい。透過性部材２８は、ハニカム１００の出口端面１０４に近接して、好ましくは接して配置される。図２および図３に最も良く示されているアセンブリ２７は、フレーム２９に取り付けられた透過性部材２８を備えている。この透過性部材２８は、多方向に配向された撚糸またはワイヤを備えた、織られたまたは絡み合わされた撚糸などの繊維質の材料から製造されるのが好ましい。撚糸はほぼ直角になるように配向されるが、この配向が必要であることはない。例えば、透過性部材が鎖状に織られたものであってもよい。ワイヤクロスまたはワイヤメッシュは特に効果的であることが判明している。ステンレス鋼製ワイヤクロスのような金属ワイヤクロスも使用可能である。透過性部材２８は、１インチ（２５．４ｍｍ）当たり約５０本を超える、さらには１インチ（２５．４ｍｍ）当たり１２５本を超える、実施の形態によっては１インチ（２５．４ｍｍ）当たり約２５０本を超えるメッシュ密度を有することが好ましい。網またはクロスを形成するワイヤ（繊維）の直径は、約０．００５インチ未満（約１２７μｍ未満）、約０．００４インチ未満（約１０２μｍ未満）、または約０．００２インチ未満（約５１μｍ未満）である。典型的な実施の形態においては、１インチ（２５．４ｍｍ）当たり約５０本のメッシュ密度を有し、ワイヤ（繊維）の直径は約０．００４インチ未満（約１０２μｍ未満）であるのが好ましい。直径３０μｍおよび１インチ（２５．４ｍｍ）当たり３２５本を有する細かいスクリ−ンは極めて良好に働くことが判明した。透過性部材２８はまた、シフォンまたはその他のニットクロスまたは網、またはその他の細かく編まれた、絡み合った、または格子を形成す布材料であってもよい。部材２８は、平面を構成するようにフレーム２９にピンと張られていることが好ましく、かつ調節可能な直径を有するリングを形成するように調節可能な外側フレーム２９ｂによって内側フレーム２９ａに支持されているのが好ましい。
【００１６】
これに加えて、部材２８は反射防止表面を備えているのが好ましい。反射防止表面は、照明に用いられる光源の波長の光を実質的に吸収する。例えば、スクリーンは、艶無しブラックまたは艶消しブラック、またはブラウンまたはネービーブルーなどのその他の吸収性の色が好ましい暗い表面色に塗られているのが好ましい。実施の形態では、黒色酸化膜のような被膜を備えていてもよい。暗い色の被膜は、信号とそれよりも低い背景雑音との間の信号対雑音比のレベルを向上させるのに役立つ。
【００１７】
図８に最も良く示されているように、透過性部材の形式に対する光度が示されており、表面色が指示されている。白色光源を用いた１から２５６までの段階目盛上で、２４０未満、より好ましくは２１５未満、さらには１８０未満の表面光度を示す場合に、部材の良好な反射防止特性が達成されることが判明した。
【００１８】
黒色酸化膜で被覆されたステンレス鋼製ワイヤクロスが良好に動作することが判明した。微粒子を含んだガス流をあまり偏向させない、したがって欠陥の検出が可能な別の形式の透過性部材を用いてもよい。もし部材２８が粗すぎるメッシュ密度を有している場合には、端面１０４からの反射が十分に低減されない。同様に、もし部材２８が細か過ぎるメッシュ密度を有している場合には、ガス流が抵抗を受ける。部材２８における開口面積は、３０％と８０％との間が最も望ましい。
【００１９】
一つの実施の形態において、照明システム５０は、ハニカム１００の出口端面１０４の近傍に、かつそこからも部材２８からも僅かに離れた光平面３０を生成させる光源５２を備えている。光源５２の一例は赤色または緑色レーザーなどのレーザーである。光源５２は、回転するファセット・ミラー５８などの、光ビームを光平面３０に変換する光学素子と協働するのが好ましい。ミラー５８は回転され、かつ例えば１０個の切子面を備えて、角度約７２度に亘って拡がる光平面を生成させる。ミラー５８は、モータ６０によって例えば５００rpm を超える速度で回転される。このようにして照明システム５０は、端面１０４およびスクリーン２８とほぼ平行でかつハニカム１００の端面１０４の直径よりも十分に大きい光平面を形成する。切子面の数は、ハニカム体のサイズに応じて角度範囲を拡大または縮小するために変えられる。ハニカム体１００の出口端面１０４に亘って一様な光平面３０を形成するために、随意的にさらに１個以上の光源が用いられる。例えば、「施栓されたハニカム構造体における欠陥セルの検出方法および装置」と題して２００４年１２月２１日付けでＬ．Ｚｏｅｌｌｅｒにより提出された米国仮特許出願第６０／６３８,２０１号明細書には、光平面を生成させる光源リングが記載されている。光源５２は部材２８から現れる微粒子を照明する。
【００２０】
あるいは、光平面３０の拡がりをコントロールするのが望ましいことがあり得る。その場合には、直立板５１にスロット３２が形成され、良好に画成された光平面３０が出口端面１０４の上方に投影されるように、上記スロット３２を通じて光平面３０が拡散される。光平面３０の拡がりをコントロールするために、直立板５１上のスロット３２の幅が選択される。直立板５１は渦電流をコントロールし、かつハニカム１００の周囲の流れの乱れを最少にする。光平面３０と出口端面１０４との間の距離は、出口端面１０４から現れる微粒子がなおも十分な運動量をもって光平面３０を横切るようにするのが好ましい。したがって、光平面３０は、端面１０４および部材２８に対してそれらと干渉しない限りできるだけ接近していなければならない。一つの実施の形態において、光平面３０とスクリーン２８との間の距離は、１／１６インチ（１．６ｍｍ）から１／２インチ（１２．７ｍｍ）までの範囲内にある。例えば紫外線レーザーまたは赤外線レーザーのような、良好に画成された光平面を提供する他の光源も同様に使用可能であることを認識すべきである。
【００２１】
部材２８から現れた後、上述の照明システム５０が上記流れの中の微粒子を照明し、かつ好ましくは上記撮像手段３４が用いられて、ハニカム体１００の出口端面１０４から現れる微粒子と光平面３０との干渉による照明された微粒子（輝点）のＸＹ位置の画像が捉えられる。撮像手段３４は、部材２８から現れる流れの干渉パターンの画像、好ましくはデジタル画像を記録する。次にこの画像が処理されて、欠陥を有するセル／栓の存在および位置を、それらの修復が可能なように検出する。上記処理は、画素ごとの画像を強度閾値と比較することを含む。予め選択された閾値を超えると欠陥の存在が示される。カメラまたはビデオカメラのような撮像手段３４は、ハニカムフィルタ１００の出口端面１０４の上方に位置決めされている。撮像手段３４は、端面１０４の外を流れる照明された微粒子の画像を捉える。特に、欠陥が示された領域は、画像中の輝点として明確に示される。単一の欠陥の場合、輝点は、微粒子流が増大された（欠陥のために）セルの上方のドットである。このようにして、施栓を目的として欠陥の位置を直ちに特定することができる（上記処理工程により）。撮像手段３４は、照明された領域上に合焦させるためのレンズなどの光学系をさらに備えている。撮像手段３４は、この撮像手段３４によって収集された情報を画像ファイルに処理して、その画像ファイルをメモリに格納する内部プロセッサを備えまたはコンピュータ３６に取り付けられている。上記プロセッサは、ＴＩＦＦおよびＪＰＥＧなどの種々の形式の画像ファイルフォーマットに対応する。コンピュータシステム３６は、ビデオモニタ３８ならびにキーボードやマウス（不図示）などのシステムと相互作用を行なうのに必要な周辺装置を備えている。これらの周辺装置は当業者が周知であり、これ以上の説明はしない。撮像手段３４からの画像ファイルは、さらなる処理のためにビデオモニタ３８に表示される。
【００２２】
撮像手段３４は、白色光以外の色彩の検出が可能である。例えば撮像手段３４は、例えば赤、青および緑から選ばれた一つまたは複数の色彩の検出が可能である。後者の場合、光平面３０が、撮像手段３４によって検出されるのに適した例えば赤などの色彩を有することが可能である。光平面３０は、出口端面１０４の上方に位置決めされているので、出口端面１０４に現れる微粒子が光平面３０を横切った位置における微粒子を照明する。
【００２３】
ハニカム体１００における欠陥を有するセルは、欠陥を有しないセルよりもより多量でかつより大きい微粒子を排出する。輝点のサイズは、ハニカムフィルタ１００における欠陥のサイズを示すことができる。もし画像が一様に現れれば、ハニカムフィルタ１００内に欠陥は存在しない。部材２８を用いることは、画像の全体の背景レベルを低下させ、これにより、欠陥に伴う輝点がより容易に検出できるように信号対雑音比を効果的に高める。換言すれば閾値がより低くなる。さらに、より僅かな欠陥も検出される。
【００２４】
如何なる欠陥も位置が特定されかつ修復が可能なように、欠陥を有するセルの位置および欠陥のサイズの決定を容易にするために、ハニカム体１００の外周輪郭１０１および出口端面１０４をも画像化することが望ましい。端面の画像は、ハニカム体１００の端面に関するセル、栓およびセル壁の位置ならびに外周輪郭１０１との関係を示す。この端面画像は、ハニカム体１００の端面上に部材２８を取り付ける以前にまたは取り外した後に得ることが好ましい。このようにして、欠陥の位置がハニカム１００に関係付けられる。スクリーン２８を用いると、出口端面１０４に存在する微粒子の流動分布を実際に真直ぐにすることによって、検出された欠陥の位置と実際の欠陥の位置との全体の相関関係が改善される。
【００２５】
従来のシステムの流動分布が図４に示されている。図４から明らかなように、検査工程において、流れの中の微粒子の流線（符号３３が付されている）は出口端面１０４を出て直線路から離れる。したがって、光平面３０の位置に置いては、光平面３０内に示された欠陥を有するセルの位置３３ａは、欠陥を有するセル３５の直上ではなく、そこから距離ａだけ僅かにずれている。したがって、ハニカム体１００における欠陥３７に基づく欠陥を有するセル３５の位置を正しく規定するためには、端面１０４上の実際の欠陥を有するセルの位置と、示された欠陥を有するセルの位置３３ａとの相関関係を求める相関マトリクスが必要になる。欠陥を有するセル３５からの多量の微粒子の流れ（太線で示されている）３３ｂは、ハニカム１００における壁の欠陥３７を流れが殆ど制限されないで通過することによって生成される。
【００２６】
ここで図５を参照すると、ハニカム１００の端面１０４に接する部材２８の追加により、流線３３、特に壁の欠陥１０６ａによる比較的多量の微粒子の流れ３３ｂが真直ぐにされ、図示のように光平面３０内に示された欠陥セルの位置３３ａが欠陥セル３５の実際の位置のほぼ上方になる。したがって、実際のセル位置３５と示された位置３３ａとの相関関係が求め易くなる。この効果は、周辺部のセルにおいて最も顕著である。したがって、部材２８を用いると、画像の質の向上（信号対雑音比の増大による）に加えて、実際の欠陥を有するセルおよび／または栓の位置を決める能力をも改善する。このようにして、欠陥がより正確に検出される。特に、部材２８を用いると、欠陥を有するセルからの信号をさほど弱めることなしに、全体の背景（雑音）信号を低下させる。部材２８は、端面から発生する反射成分を濾過することによってこれを行なう。したがって、図６に示されているように、スクリーンを用いないそのままのフィルタの試験に比較して信号対雑音比が改善される。特に、信号対雑音比（ＳＮＲ）は下記のように表される。すなわち、
ＳＮＲ＝（信号−雑音）／雑音
【００２７】
本発明によってＳＮＲは、従来技術のように部材２８を使用しない検査方法に比較して、１．５倍以上、さらには２倍以上も高められた。例えば図６は、黒色シフォン布がＳＮＲを約８０％まで、さらには１００％を超えるまで高めることを示している。同様に、黒くされた網または黒色ニットを部材２８として用いた場合、ＳＮＲが１００％を超える。他の実例は、２００％を超える、さらには３００％を超えるＳＮＲを示した。例えば、０．９ミル（約２３μｍ）の黒色の線を１インチ（２５．４ｍｍ）当たり３２５本備え、開口面積４９％の網は４００％のＳＮＲを有する。
【００２８】
検査装置２０を示す図７に最もよく示されているように、動作時には、透過性部材２８およびフレーム２９を備えたスクリーン・アセンブリ２７が、適当な移動手段によって、第１の位置５５（破線で示されている）から、ハニカム１００の出口端面１０４に近接する位置まで、そして好ましくは接触する位置まで移動せしめられる。例えば、アセンブリ２７は、アーム５７を回転駆動するモータ５８によって第１の位置５５から移動せしめられる。このように、スクリーン・アセンブリ２７は、ハニカム１００の出口端面１０４のセル構造の何者にも遮られていない画像を撮影することが可能な邪魔にならない位置へ移動することができ、したがって、セル構造および外周縁に対する位置を画像化することができる。この画像は、部材２８および光平面３０の存在する流れ中の微粒子の干渉により画像化された検出された欠陥に対して相関マトリクスを通じて関連付けられる。このようにして、欠陥を有するセルが検出され、ハニカム体１００はオフラインに移動せしめられ、ロボット等によって修復される。これに加えて、部材２８が第１の位置５５に移動せしめられたときに、クリ−ナ５６によってスクリーン２８が清掃されて、スクリーン２８上の水分および／または塵が除去される。クリーナ５５は、例えばバキューム発生器（不図示）にヘッドが取り付けられたバキュームクリーナがよい。随意的に部材２８は、例えばエラストマー製ワイパーブレードによる拭取り、圧搾空気またはガスによる吹飛ばし、あるいは布または吸取り紙のような吸取り部材による吸取りのような別な方法で清掃されてもよい。アーム５７および部材２８が第１の位置に位置決めされている間に、光平面３０において検出される欠陥が、ハニカム１００の出口端面１０４上の実際のセルの位置と関連付けられるように、撮像手段３４が外周輪郭およびセル構造（セル壁および栓の位置）を画像化することができる。
【００２９】
以上、数の限られた実施の形態について説明したが、ここに開示された本発明の範囲から離れることなしに他の実施の形態を実施し得ることは、本発明の恩恵に浴する当業者であれば理解するであろう。したがって、本発明の範囲は、添付の請求項によってのみ規定されるべきものである。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】従来技術のハニカムフィルタの斜視図
【図２】本発明の実施の形態による、ハニカム体における欠陥を検出するための装置の概略的正面図
【図３】本発明の実施の形態による装置のスクリーン・アセンブリを示す平面図
【図４】従来技術の装置を示す断面側面図
【図５】本発明の実施の形態による装置を示す断面側面図
【図６】従来技術と比較した本発明の種々の実施の形態の信号対雑音比を示すグラフ
【図７】検査試験後スクリーンを取り除きかつ清掃するための本発明の実施の形態による装置を示す部分的正面図
【図８】本発明の実施の形態による透過性部材に対する光度を示すグラフ
【符号の説明】
【００３１】
２０    検査装置
２４    微粒子源
２７    スクリーン・アセンブリ
２８    透過性部材（スクリーン）
３０    光平面
３４    撮像手段
３６    コンピュータ
３７    欠陥
３８    ビデオモニタ
５０    照明システム
５２    光源
１００    ハニカムフィルタ（ハニカム体）
１０２    入口端面
１０４    出口端面
１０６    多孔質の壁
１０８    流入セル通路
１１０    流出セル通路
１１２    多孔質の栓
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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