(57)【要約】  機械フレーム（１０）、基板ボディを支持する、基板支持体面（１９）を備えた基板支持体（１２）および光学ユニット（２２）を備えた露光装置（２０）を有し、その場合に光学ユニットと機械フレームが互いに対して第１の方向と第２の方向に移動可能であるので、第１の方向と第２の方向におけるこの相対移動によって感光コーティングが露光可能である、基板支持体面上に感光コーティング（１８）を支持する、基板ボディ（１６）のための露光設備を、第１と第２の方向に極めて大きい広がりを有する基板ボディにもかかわらずコンパクトな構造が可能であるように改良するために、露光装置が、露光装置の、光学ユニットを支持する少なくとも１つのガイドキャリッジ（７２、７４）のためのガイドクロスメンバ（３０）を有し、ガイドキャリッジが、ガイドクロスメンバに接して第１の方向に移動可能に案内されており、かつガイドクロスメンバが、機械フレームに第２の方向に移動可能に配置されていることが提案される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板ボディ（１６）のための基板表面上に感光コーティング（１８）を支持する、露光設備であって、
機械フレーム（１０）と、基板ボディ（１６）を支持する、基板支持体面（１４）を備えた基板支持体（１２）と、光学ユニット（２２）を備えた露光装置（２０）と、を有し、
光学ユニット（２２）と機械フレーム（１０）が、互いに対して、基板支持体面（１４）に対して平行な第１の方向（Ｘ）と、基板支持体面（１４）に対して平行かつ第１の方向（Ｘ）に対して横方向に延びる第２の方向（Ｙ）に移動可能であって、
第１の方向（Ｘ）と第２の方向（Ｙ）におけるこの相対移動によって、光学ユニット（２２）を用いて生成可能な露光スポット（２３０）により感光コーティング（１８）を局所選択的に露光することができる、ものにおいて、
露光装置（２０）が、露光装置（２０）の、光学ユニット（２２）を支持する少なくとも１つのガイドキャリッジ（７２、７４）のためのガイドクロスメンバ（３０）を有し、
ガイドキャリッジ（７２、７４）が、ガイドクロスメンバ（３０）に接して第１の方向（Ｘ）に移動可能に案内されており、かつ
ガイドクロスメンバ（３０）が、機械フレーム（１０）に第２の方向（Ｙ）に移動可能に配置されている、
ことを特徴とする露光設備。
【請求項２】
ガイドクロスメンバ（３０）が、機械フレーム（１０）に、空気軸受を形成する脚部材（３２、３４）を用いて移動可能に軸承されている、ことを特徴とする請求項１に記載の露光設備。
【請求項３】
ガイドクロスメンバ（３０）が、機械フレーム（１０）に対して、第２の方向（Ｙ）における移動に抗して固定可能である、ことを特徴とする請求項１または２に記載の露光設備。
【請求項４】
ガイドクロスメンバ（３０）が、脚部材（３２、３４）を機械フレーム（１０）上に据えることによって機械フレームに固定可能である、ことを特徴とする請求項３に記載の露光設備。
【請求項５】
ガイドクロスメンバ（３０）の脚部材（３２、３４）が空気軸受を形成する場合に、脚部材を機械フレーム（１０）にそのために設けられている走行面（３６、３８）上に据えるために、空気軸承をオフにすることができる、ことを特徴とする請求項４に記載の露光設備。
【請求項６】
機械フレーム（１０）上に据えられた脚部材（３２、３４）が、ガイドクロスメンバ（３０）を機械フレーム（１０）に対して力結合で固定する、ことを特徴とする請求項４または５に記載の露光設備。
【請求項７】
ガイドクロスメンバ（３０）が、感光コーティング（１８）の露光を実施するために、機械フレーム（１０）に対して固定可能である、ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項８】
ガイドクロスメンバ（３０）が、機械フレーム（１０）に配置された少なくとも１つの送り駆動装置（４６、４８）によって第２の方向（Ｙ）に移動可能である、ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項９】
少なくとも１つの送り駆動装置が、リニアドライブ（４６、４８）である、ことを特徴とする請求項８に記載の露光設備。
【請求項１０】
ガイドクロスメンバ（３０）を第２の方向（Ｙ）に移動させるための制御（２９０）が設けられており、前記制御が、第２の方向（Ｙ）におけるガイドクロスメンバ（３０）の移動を、送り移動とそれに続く送り休止の形式で実施する、ことを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項１１】
制御（２９０）が、送り休止においてガイドクロスメンバ（３０）を機械フレーム（１０）に対して固定する、ことを特徴とする請求項１０に記載の露光設備。
【請求項１２】
基板ボディ（１６）の感光コーティング（１８）の正確な露光が、送り休止において行われる、ことを特徴とする請求項１０または１１に記載の露光設備。
【請求項１３】
送り駆動装置（４６、４８）が、送り相においてはオフにできる、ことを特徴とする請求項１０から１２のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項１４】
送り駆動装置（４６、４８）は、機械フレーム（１０）にガイドクロスメンバ（３０）が固定されている場合に、オフにできる、ことを特徴とする請求項１３に記載の露光設備。
【請求項１５】
送り駆動装置（４６、４８）が、ガイドクロスメンバ（３０）が機械フレーム（１０）に固定されている間、静止状態制御モードで制御可能である、ことを特徴とする請求項１４に記載の露光設備。
【請求項１６】
ガイドクロスメンバ（３０）に対する露光スポット（２３０）の位置が、第２の方向（Ｙ）に調節可能である、ことを特徴とする請求項１の前文または請求項１から１５のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項１７】
ガイドクロスメンバ（３０）に対する露光スポット（２３０）の位置が、制御可能な位置決め装置（１５２、２３２）によって調節可能である、ことを特徴とする請求項１６に記載の露光設備。
【請求項１８】
制御可能な位置決め装置（１５２、２３２）が、露光スポット（２３０）を第２の方向（Ｙ）に調節するために、測定システムと結合されている、ことを特徴とする請求項１７に記載の露光設備。
【請求項１９】
位置決め装置（１５２）が、光学ユニット（２２）に作用する、ことを特徴とする請求項１７または１８に記載の露光設備。
【請求項２０】
位置決め装置（１５２）が、光学ユニット（２２）をガイドキャリッジ（７２、７４）のキャリッジフレーム（１３０）に対して位置決めする、ことを特徴とする請求項１９に記載の露光設備。
【請求項２１】
位置決め装置（２３２）が、光波ガイドケーブル（１９６、１９８）を結像光学系（２２０）に対して第２の方向（Ｙ）に位置決めする、ことを特徴とする請求項１６から２０のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２２】
位置決め装置（１５２、２３２）によって、第１の方向（Ｘ）における露光スポット（２３０）の動的位置決めにおいて、露光スポットを第２の方向（Ｙ）に動的に位置決めすることが実施可能である、ことを特徴とする請求項１６から２１のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２３】
少なくとも１つのガイドキャリッジ（７２、７４）が、動的な運動軸（１２０）によって第１の方向（Ｘ）にガイドクロスメンバ（３０）に対して移動可能である、ことを特徴とする請求項１の前文または請求項１から２２のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２４】
少なくとも１つのガイドキャリッジ（７２、７４）が、動的な運動軸（１２０）によって第１の方向（Ｘ）にガイドクロスメンバ（３０）に沿って振動移動可能である、ことを特徴とする請求項２３に記載の露光設備。
【請求項２５】
少なくとも１つのガイドキャリッジが、リニアドライブ（１２０）によってガイドクロスメンバ（３０）に沿って第１の方向（Ｘ）に移動可能である、ことを特徴とする請求項２３または２４に記載の露光設備。
【請求項２６】
少なくとも１つのガイドキャリッジが、リニアモータ（１２０）によってガイドクロスメンバ（３０）に対して第１の方向（Ｘ）に移動可能である、ことを特徴とする請求項２３から２５のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２７】
少なくとも１つのガイドキャリッジ（７２、７４）が、ガイドクロスメンバ（３０）に接して側方を案内されている、ことを特徴とする請求項１から２６のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２８】
少なくとも１つのガイドキャリッジが、ガイドクロスメンバ（３０）の、基板支持体面（１４）とは逆の上側（８０）上で案内されている、ことを特徴とする請求項１から２７のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項２９】
少なくとも１つのガイドキャリッジ（７２、７４）が、空気軸受を用いてガイドクロスメンバ（３０）において案内されている、ことを特徴とする請求項１から２８のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項３０】
少なくとも１つのガイドキャリッジ（７２、７４）が、ガイドクロスメンバ（３０）に沿って第１の方向（Ｘ）に移動可能かつこのガイドクロスメンバに接して案内されるガイドフレーム（１３０）を有している、ことを特徴とする請求項１から２９のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項３１】
少なくとも１つのガイドキャリッジ（７２、７４）が、ガイドフレーム（１３０）に対して移動可能な、光学ユニット（２２）のための支持フレーム（１４０）を有している、ことを特徴とする請求項３０に記載の露光設備。
【請求項３２】
支持フレーム（１４０）が、ガイドフレーム（１３０）に対して、基板支持体面（１４）に対して横方向に延びる第３の方向（Ｚ）に変位可能である、ことを特徴とする請求項３１に記載の露光設備。
【請求項３３】
支持フレーム（１４０）が、空気ガイドによってガイドフレーム（１３０）に接して第３の方向（Ｚ）に移動可能に案内されている、ことを特徴とする請求項３２に記載の露光設備。
【請求項３４】
支持フレーム（１４０）が、ガイドフレーム（１３０）に固定可能である、ことを特徴とする請求項３３に記載の露光設備。
【請求項３５】
露光設備（２０）の放射源（１８２）が、ガイドキャリッジ（７２、７４）上に配置されていない、ことを特徴とする請求項１の前文または請求項１から３４のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項３６】
放射源（１８２）が、ガイドクロスメンバ（３０）の側方に配置された放射発生ユニット（１８０）内に配置されている、ことを特徴とする請求項３５に記載の露光設備。
【請求項３７】
放射発生ユニット（１８０）が、ガイドクロスメンバ（３０）と共に第２の方向（Ｙ）に移動可能である、ことを特徴とする請求項３６に記載の露光設備。
【請求項３８】
放射発生ユニット（１８０）が、そのために別に設けられているガイド（１９０）上で案内されている、ことを特徴とする請求項３７に記載の露光設備。
【請求項３９】
放射発生ユニット（１８０）が、リニアドライブ（１９４）によって第２の方向（Ｙ）に移動可能である、ことを特徴とする請求項３７または３８に記載の露光設備。
【請求項４０】
放射発生源（１８０）が、機械フレーム（１０）の外部に配置されたガイド（１９０）上で移動可能である、ことを特徴とする請求項３５から３９のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項４１】
放射発生源（１８０）が、ガイドクロスメンバ（３０）の前側（１９２）の側方隣りに配置されている、ことを特徴とする請求項４０に記載の露光設備。
【請求項４２】
放射発生源（１８０）から少なくとも１つのフレキシブルな光波ガイドケーブル（１９６、１９８）が光学ユニット（２２）へ案内されている、ことを特徴とする請求項３５から４１のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項４３】
フレキシブルな光波ガイドケーブル（１９６、１９８）が、ガイドクロスメンバ（３０）に設けられた、それぞれのガイドキャリッジ（７２、７４）へ通じるドラッグガイド（２０２、２０４）内で案内されている、ことを特徴とする請求項４２に記載の露光設備。
【請求項４４】
ドラッグガイド（２０２、２０４）が、ガイドクロスメンバ（３０）に設けられた収容部（２０６）内に延びている、ことを特徴とする請求項４３に記載の露光設備。
【請求項４５】
収容部（２０６）が、ガイドクロスメンバ（３０）内に設けられた通路として形成されている、ことを特徴とする請求項４４に記載の露光設備。
【請求項４６】
光波ガイドケーブル（１９６、１９８）の端部（２１８）が、調節可能な位置決め装置（２３２）を用いて結像光学系（２２８）に対して位置決め可能である、ことを特徴とする請求項４２から４５のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項４７】
位置決め装置（２３２）が次のように、すなわち結像光学系（２２０）から発生された少なくとも１つの露光スポット（２３０）を感光コーティング（１８）上で、コーティングの表面（１５４）に対して平行な少なくとも１つの方向（Ｘ、Ｙ）に摺動させることを許すように、形成されている、ことを特徴とする請求項４６に記載の露光設備。
【請求項４８】
位置決め装置（２３２）が次のように、すなわち結像光学系（２２０）から発生された少なくとも１つの露光スポット（２３０）を感光コーティング（１８）上で、コーティング（１８）の表面（１５４）に対して平行な、互いに対して横方向に延びる２つの方向（Ｘ、Ｙ）に摺動させることを許すように、形成されている、ことを特徴とする請求項４７に記載の露光設備。
【請求項４９】
位置決め装置（２３２）によって、光波ガイドケーブル（１９６、１９８）のための収容ユニット（２２８）が結像光学系（２２０）に対して次のように、すなわち感光コーティング（１８）上に形成可能な少なくとも１つの露光スポット（２３０）の直径が可変であるように、移動可能である、ことを特徴とする請求項４２から４８のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項５０】
結像光学系（２２０）に、オートフォーカスシステム（２３８）が設けられている、ことを特徴とする請求項１から４９のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項５１】
位置決め装置（１５２、２３２）が、サーボドライブとしてピエゾドライブを有している、ことを特徴とする請求項１７から５０のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項５２】
ガイドクロスメンバ（３０）に、２つのガイドキャリッジ（７２、７４）が配置されている、ことを特徴とする請求項１の前文または請求項１から５１のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項５３】
ガイドクロスメンバ（３０）が、第２の方向（Ｙ）において対向する側に、それぞれガイドキャリッジ（７２、７４）を支持している、ことを特徴とする請求項５２に記載の露光設備。
【請求項５４】
ガイドキャリッジ（７２、７４）が、第１の方向（Ｘ）に同期して走行可能である、ことを特徴とする請求項５２または５３に記載の露光設備。
【請求項５５】
ガイドキャリッジ（７２、７４）が、第１の方向（Ｘ）において逆方向に走行可能である、ことを特徴とする請求項５２または５４に記載の露光設備。
【請求項５６】
ガイドキャリッジ（７２、７４）が、第１の方向に同方向に走行可能である、ことを特徴とする請求項５２から５４のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項５７】
少なくとも１つのガイドキャリッジ（７２、７４）に対して逆方向に、バランス質量（１６０）がガイドクロスメンバ（３０）に接して移動可能である、ことを特徴とする請求項５２から５６のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項５８】
バランス質量（１６０）が、ガイドクロスメンバ（３０）内に設けられたガイド通路（１６２）内で移動可能に案内されている、ことを特徴とする請求項５７に記載の露光設備。
【請求項５９】
バランス質量（１６０）が、リニアドライブ（１６６）によって駆動される、ことを特徴とする請求項５７または５８に記載の露光設備。
【請求項６０】
バランス質量（１６０）が、少なくとも１つのガイドキャリッジ（７２、７４）に対して同期して、かつ逆方向に移動可能である、ことを特徴とする請求項５２から５９のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項６１】
ガイドキャリッジ（７２、７４）の１つが、光学ユニット（２２）を支持しており、ガイドキャリッジ（７２、７４）の１つが、光学ユニット（２２）の質量に相当するバランス質量（３１０）を有している、ことを特徴とする請求項５２から６０のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項６２】
ガイドキャリッジ（７２、７４）の各々が、光学ユニット（２２）を支持している、ことを特徴とする請求項５２から６０のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項６３】
空気軸受が、載置方向に付勢された空気軸受として形成されている、ことを特徴とする請求項２から６２のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項６４】
空気軸受の付勢が、磁気的な付勢装置（１０２、１０４、１０６、１５６、１５８）によって行われる、ことを特徴とする請求項６３に記載の露光設備。
【請求項６５】
光学ユニット（２２）が移動する場合に常に第１の方向（Ｘ）における光学ユニット（２２）の位置を検出する、測定システム（２８０）が設けられている、ことを特徴とする請求項１から６４のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項６６】
光学ユニット（２２）が移動する場合に常に、第２の方向（Ｙ）における光学ユニット（２２）の位置を検出する、測定システム（２８０）が設けられている、ことを特徴とする請求項１から６５のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項６７】
測定システム（２８０）が、光学的な測定システムである、ことを特徴とする請求項６５または６６に記載の露光設備。
【請求項６８】
第１の方向（Ｘ）および第２の方向（Ｙ）における光学ユニット（２２）の位置が、干渉計測的に検出可能である、ことを特徴とする請求項１から６７のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項６９】
光学ユニット（２２）を支持する支持フレーム（１４０）が、干渉計測的に検出可能である、ことを特徴とする請求項６８に記載の露光設備。
【請求項７０】
露光スポット（２３０）を動的に移動させるための制御（２９０）が設けられており、前記制御が、第１の方向（Ｘ）における校正走行によって、ガイドクロスメンバ（３０）に設けられたガイドによって定められるパス（２９２）に沿った光学ユニットの移動推移を検出する、ことを特徴とする請求項１の前文または請求項１から６９のいずれか１項に記載の露光設備。
【請求項７１】
制御（２９０）が、露光のために理論的に定められた、第１の方向（Ｘ）におけるパス（２９４）からの、ガイドクロスメンバ（３０）によって定められるパス（２９２）の偏差を検出する、ことを特徴とする請求項７０に記載の露光設備。
【請求項７２】
制御（２９０）が、第２の方向に有効な動的な位置決め装置（１５２、２３２）によって露光スポット（２３０）の移動を次のように、すなわち光学ユニット（２２）が第１の方向に移動する場合に、露光スポットが理論的に定められたパス（２９４）上を移動するように、補正する、ことを特徴とする請求項７１に記載の露光設備。
【請求項７３】
制御（２９０）によって、第２の方向に有効な位置決め装置（１５２、２３２）により各露光スポット（２３０）が第２の方向（Ｙ）に何回も変位可能であって、かつそれぞれ第２の方向における新しい位置において、第１の方向（Ｘ）に対して平行に移動可能である、ことを特徴とする請求項１から７２のいずれか１項に記載の露光設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機械フレーム、基板ボディを支持する、基板支持体面を備えた基板支持体および光学ユニットを備えた露光装置を有する、基板表面上に感光性のコーティングを支持する基板ボディ用の露光設備に関するものであって、その場合に光学ユニットと機械フレームが互いに対して基板支持体面に対して平行な第１の方向と、基板支持体面に対して平行かつ第１の方向に対して横方向に延びる第２の方向に移動可能であるので、第１の方向および第２の方向におけるこの相対運動によって、感光コーティングが局所選択的に、光学ユニットによって発生可能な露光スポットによって露光可能である。
【背景技術】
【０００２】
この種の露光装置は、従来技術、たとえば特許文献１から知られている。
【０００３】
この露光装置において、基板自体は、光学ユニットに対する相対運動を達成するために、少なくとも軸に沿って移動される。
【０００４】
しかし、その結果、特に基板が大きい場合には、露光設備のために大きい空間需要が生じる。
【特許文献１】欧州特許公開ＥＰ１３８９９８４Ａ
【特許文献２】国際公開ＷＯ９８／００７６０
【特許文献３】欧州特許公開ＥＰ１３１９９８４Ａ２
【特許文献４】国際公開ＷＯ２００４／０２９７２１Ａ２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従って本発明の課題は、この種概念の種類の露光設備を、極めて大きい広がりを有する基板ボディにもかかわらず、第１と第２の方向にコンパクトな構造が可能であるように、改良することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題は、冒頭で説明した種類の露光設備において、露光装置が、光学ユニットを支持する露光装置の少なくとも１つのガイドキャリッジのためのガイドクロスメンバを有しており、ガイドキャリッジがガイドクロスメンバに接して第１の方向に移動可能に案内されており、かつガイドクロスメンバが機械フレームに第２の方向に移動可能に配置されていることによって、解決される。
【０００７】
本発明に基づく解決の利点は、ガイドクロスメンバ自体の移動により、かつ光学ユニットがガイドクロスメンバに沿って移動することによって、光学設備のわずかな空間需要において、簡単な方法で相対移動を発生させることができることに、見られる。
【０００８】
その場合に、ガイドクロスメンバが、空気軸受を形成する脚部材を用いて機械フレームに移動可能に軸承されていると、特に効果的である。というのは、それによってガイドクロスメンバは摩耗なしで、かつスムーズに移動できるからである。
【０００９】
感光コーティングを露光する際の精度を改良するために、好ましくは、ガイドクロスメンバは機械フレームに対して第２の方向の移動に抗して固定可能である。それによって、ガイドクロスメンバが固定されている場合に測定プロセスまたは露光プロセスを高い精度で実施する可能性が生じる。
【００１０】
その場合に、機械フレームに、ガイドクロスメンバを固定するためのブレーキ装置を設けることも、考えられる。
【００１１】
しかし、特に簡単な解決においては、ガイドクロスメンバは、脚部材を機械フレーム上に据えることによって、機械フレームに固定可能である。
【００１２】
特に、空気軸受を形成する、ガイドクロスメンバの脚部材において、脚部材を機械フレームにそのために設けられている走行面上に据えるために、空気軸承がオフにできると、効果的である。
【００１３】
脚部材を据える場合に、理論的には脚部材を機械フレームに対して相補形状で固定することができる。
【００１４】
しかし、機械フレーム上に据えられた脚部材がガイドクロスメンバを機械フレームに対して力結合で固定するので、各任意の位置で固定が可能であると、特に効果的である。
【００１５】
ガイドクロスメンバが固定された場合に実施すべき機能に関して、これまでは、詳細な説明はなされなかった。
【００１６】
特に効果的な解決においては、感光コーティングの露光を実施するために、ガイドクロスメンバが機械フレームに対して固定可能であり、すなわちこの場合に感光コーティングの露光は、ガイドクロスメンバが機械フレームに対して固定されている場合に行われる。この解決は、それによって機械フレームに対するガイドクロスメンバの正確かつ安定した位置決めが存在し、従って、特にたとえばガイドキャリッジの加速によって、ガイドクロスメンバへ導入される力も機械フレームによって一緒に吸収することができ、従って感光コーティングに対する光学ユニットのできる限り正確な相対的位置決めに、その力が及ぼす悪影響が著しく減少されることによっても、露光の精度を向上させることができる、という大きな利点を有している。
【００１７】
露光の際の特に大きい精度は、すべての高精度の構造の露光はガイドクロスメンバが固定されている場合にだけ行われ、ガイドクロスメンバが移動する場合には露光が行われないか、あるいは精度の劣る構造のみが露光される場合に、保証される。
【００１８】
さらに、ガイドクロスメンバを簡単な方法で移動させることができるようにするために、ガイドクロスメンバは機械フレームに配置された少なくとも１つの送り駆動装置によって第２の方向に移動することができる。
【００１９】
この種の送り駆動装置は、原則的に任意の方法で形成することができる。好ましい解決においては、少なくとも１つの送り駆動装置が、リニアドライブである。この種のリニアドライブは、たとえば、スピンドルナットを有する、駆動されるねじスピンドルであることができる。
【００２０】
しかし、リニアドライブが、一方で高い動特性を可能にし、他方で十分に大きい位置決め精度を可能にする、電気的なリニアモータとして形成されていると、特に効果的である。
【００２１】
特に好ましい解決においては、ガイドクロスメンバを第２の方向に移動させるために制御が設けられており、その制御は、第２の方向におけるガイドクロスメンバの移動を、送り移動とそれに続く送り休止の形式で実施する。
【００２２】
その場合に好ましくは、送り休止においてガイドクロスメンバと機械フレームの間にできるだけしっかりとした結合を得るために、制御は、送り休止において機械フレームに対してガイドクロスメンバを固定する。
【００２３】
その場合に、特に正確な作業方法においては、送り休止において基板ボディの感光コーティングの正確な露光が行われる。
【００２４】
その場合に大きい広がりを有する感光コーティングの露光は、好ましくは制御がガイドクロスメンバを常に送り移動とそれに続く送り休止を繰り返して移動させ、それぞれ送り休止において少なくとも感光コーティングの正確な露光が行われるようにして、行われる。
【００２５】
たとえば、送り移動の間に同様に、より低い精度要請を有する露光を許すことが考えられ、高い精度要請を有する露光は、送り休止においてだけ行われる。
【００２６】
送り駆動装置に関して、送り休止に関連して詳細な説明はなされていない。好ましい解決においては、送り駆動装置は送り休止においてオフにすることができる。
【００２７】
送り休止においてガイドクロスメンバの定められた方向付けを維持するために、好ましくは、送り駆動装置は、ガイドクロスメンバが機械フレームに固定されている場合には、オフにすることができる。
【００２８】
ガイドクロスメンバを機械フレームに固定する間、同様に送り駆動装置によるガイドクロスメンバの位置決めも維持することができるようにするために、好ましくは、送り駆動装置はガイドクロスメンバを機械フレームに固定する間、静止状態制御モードで制御可能であって、同モードにおいてはガイドクロスメンバの力結合による固定にもかかわらず、ガイドクロスメンバの位置決めの精度を損なう、過度の制御力または制御過渡振動は発生しない。
【００２９】
他方で、送り駆動装置はガイドクロスメンバの移動の間は、移動制御モードにおいて制御可能であって、同モードにおいては、送り移動の推移においてガイドクロスメンバを移動させるためにできるだけ高い運動動特性を実現することができる。
【００３０】
露光スポットをガイドクロスメンバに対して調節可能にすることに関して、これまで詳細な記載はなされていない。すなわち、好ましい解決においては、ガイドクロスメンバに対する露光スポットの位置を第２の方向に調節することができる。それが、露光スポットを、静止しているガイドクロスメンバに対しても調節することを、許す。
【００３１】
その場合に、ガイドクロスメンバに対する露光スポットの位置が、制御可能な位置決め装置によって調節可能であると、特に効果的である。
【００３２】
位置決め装置による調節を正確に検出するために、第２の方向に露光スポットを調節するための位置決め装置が測定システムと結合されていると、特に効果的である。
【００３３】
その場合に好ましい解決においては、位置決め装置が光学ユニットに作用し、従って光学ユニットを全体として第２の方向に摺動させる。
【００３４】
その場合に、位置決め装置が光学ユニットをガイドキャリッジのキャリッジフレームに対して位置決めし、それに伴って第２の方向における調節可能性をもたらすと、特に効果的である。
【００３５】
その代わりに、あるいはそれに加えて、好ましい実施例においては、位置決め装置は光波ガイドケーブルを結像光学系に対して第２の方向に位置決めする。
【００３６】
位置決め装置によって、光学ユニットが移動する場合の位置決めエラーを補正する可能性も得るために、好ましくは、第１の方向における露光スポットの移動の流れにおいて、第２の方向における露光スポットの動的な位置決めを実施することができる。
【００３７】
第１の方向における少なくとも１つのガイドキャリッジの移動に関して、これまで詳しい説明はなされていない。すなわち、好ましい解決においては、少なくとも１つのガイドキャリッジが動的な移動軸によって第１の方向にガイドクロスメンバに沿って移動することができる。
【００３８】
特に、少なくとも１つのガイドキャリッジが動的な移動軸によって第１の方向にガイドクロスメンバに沿って常に双方向に移動するように、すなわち振動して移動できると、効果的であって、それいよって感光コーティングのできる限り効率的な露光が得られる。
【００３９】
その場合に、少なくとも１つのガイドキャリッジが、リニアドライブによってガイドクロスメンバに沿って第１の方向に移動可能であると、特に効果的である。
【００４０】
この種のリニアドライブは、ねじスピンドルであることができる。特に、少なくとも１つのガイドキャリッジが電気的なリニアモータによってガイドクロスメンバに対して第１の方向に移動可能であると、効果的である。
【００４１】
少なくとも１つのガイドキャリッジをガイドクロスメンバに接して案内することに関して、同様にこれまで詳しい説明はなされていない。すなわち、好ましい解決においては、少なくとも１つのガイドキャリッジが側方においてガイドクロスメンバに接して案内されている。
【００４２】
さらに、少なくとも１つのガイドキャリッジが、ガイドクロスメンバの、基板支持体面とは逆の上側上で案内されていると、効果的である。
【００４３】
少なくとも１つのガイドキャリッジの軸承に関して、同様に詳しい説明はなされていない。原理的に、従来の軸受を設けることができる。特に好ましい解決においては、少なくとも１つのガイドキャリッジが、空気軸受を用いてガイドクロスメンバにおいて案内されている。
【００４４】
少なくとも１つのガイドキャリッジの構造に関しても、これまで詳細な説明はなされていない。特に好ましい解決においては、少なくとも１つのガイドキャリッジは、ガイドクロスメンバに沿って第１の方向に移動可能かつこのガイドクロスメンバに接して案内されるガイドフレームを有している。
【００４５】
その場合に特に、少なくとも１つのガイドキャリッジが、ガイドフレームに対して移動可能な、光学ユニットのための支持フレームを有しているので、それによって簡単な方法でガイドフレームに対する光学ユニットの位置決めが可能であると、効果的である。
【００４６】
さらに、好ましい解決においては、支持フレームはガイドフレームに対して、基板支持体面に対して横方向に延びる第３の方向に変位することができる。
【００４７】
その場合に好ましくは、支持フレームは、空気ガイドによってガイドフレームに接して第３の方向に移動可能に案内されるように、形成されている。
【００４８】
ガイドフレームに対する支持フレームの位置決めを維持するために、好ましくは、支持フレームはガイドフレームに固定可能である。
【００４９】
この種の固定は、様々な方法で行うことができる。好ましい解決においては、空気ガイドをオフにすることによって、支持フレームがガイドフレームに固定可能である。
【００５０】
露光装置およびガイドキャリッジに対する放射源の配置に関して、これまで詳細な説明はなされていない。原則的に、放射源をガイドキャリッジ上に配置することが、考えられる。
【００５１】
しかし、放射源の領域の熱発生に基づいて、露光装置の放射源がガイドキャリッジ上に配置されていないと、効果的である。
【００５２】
その場合に特に、放射源が、ガイドクロスメンバの側方に配置された放射源発ユニット内に配置されていると、効果的である。
【００５３】
ガイドクロスメンバの側方に放射発生ユニットを配置することに関して、これまで詳細な説明はなされていない。たとえば、放射発生ユニットを固定的に配置して、フレキシブルな接続を介して放射をガイドキャリッジ上の光学ユニットへ伝送することが、考えられる。
【００５４】
しかし、特に好ましい解決においては、放射発生ユニットはガイドクロスメンバと共に第２の方向に移動することができる。
【００５５】
その場合に、放射発生ユニットは、ガイドクロスメンバに接して案内することができる。
【００５６】
しかし、放射発生ユニットが、そのために別に設けられているガイド上で案内されると、特に効果的である。
【００５７】
しかし、ガイドクロスメンバの移動を簡単な方法で行うことができるようにするために、１つには、放射発生ユニットをガイドクロスメンバの移動によって連動させることが、考えられる。
【００５８】
しかし、これは、ガイドクロスメンバに付加的な力が作用する、という欠点を有する。
【００５９】
この理由から、放射発生ユニットは、リニアドライブによって第２の方向に移動することができる。
【００６０】
その場合に、特に好ましい解決においては、放射発生ユニットは、機械フレームの外部に配置されたガイド上で移動することができる。
【００６１】
放射発生ユニットは、ガイドクロスメンバの側方隣りに配置される場合に、効果的に配置される。
【００６２】
放射源の放射を光学ユニットへ最適に供給することができるようにするために、好ましくは、フレキシブルな光波ガイドケーブルが、放射発生ユニットから光学ユニットへ案内されている。
【００６３】
その場合に好ましくは、フレキシブルな光波ガイドケーブルは、ガイドクロスメンバに設けられた、それぞれのガイドキャリッジへ通じるドラッグガイド内で案内されている。
【００６４】
ドラッグガイドは、特に好ましくはガイドクロスメンバにおいて、ドラッグガイドがガイドクロスメンバに設けられた収容部内に延びている場合に、実現される。
【００６５】
その場合に、最も簡単なケースにおいては、収容部は、ガイドクロスメンバに設けられた通路として形成されている。
【００６６】
特に、光波ガイドケーブルが調節可能な位置決め装置を用いて結像光学系に対して位置決め可能であるので、それによって結像光学系に対する光波ガイドケーブルの調節が可能であると、効果的である。
【００６７】
好ましくは、位置決め装置は、結像光学系から発生される少なくとも１つの露光スポットを感光コーティング上で、コーティングの表面に対して平行な少なくとも１つの方向に摺動させることを許すように、形成されている。
【００６８】
さらに、位置決め装置が、結像光学系から発生された少なくとも１つの露光スポットを感光コーティング上で、コーティングの表面に対して平行な、互いに対して横方向に延びる２つの方向に摺動させることを許すように、形成されていると、効果的である。
【００６９】
それによって、感光コーティング上での露光スポットの位置の調節が、簡単な方法で可能である。
【００７０】
さらに、他の実施形態においては、位置決め装置によって光波ガイドケーブルの端部が結像光学系に対して、感光コーティング上に形成可能な露光スポットの直径が可変であるように、移動可能である。
【００７１】
さらに、結像光学系に、オートフォーカスシステムが設けられていると、効果的である。
【００７２】
位置決め装置の具体的な形成に関して、これまで詳細な説明はなされていない。すなわち、各種のサーボドライブ、たとえばねじスピンドルまたは歯付きロッドを備えた機械的なサーボドライブを使用することができる。
【００７３】
特に効果的な解決において、位置決め装置は、サーボドライブとしてピエゾドライブを有している。
【００７４】
実施例のこれまでの説明に関連して、ガイドクロスメンバが少なくとも１つのガイドキャリッジを支持していることについてだけ、詳細に説明されている。
【００７５】
しかし、特に好ましい解決においては、ガイドクロスメンバに２つのガイドキャリッジが軸承されている。２つのガイドキャリッジを設けることが、ガイドキャリッジの移動にもかかわらず露光のできる限り高い精度を得るために、多数の他の可能性、たとえば露光する場合の柔軟性の向上、場合によっては露光出力の増大あるいはモーメントバランスの改良、をもたらす。
【００７６】
できる限りモーメントのない駆動を得るために、ガイドクロスメンバが第２の方向において対向する側に、それぞれガイドクロスメンバを支持していると、特に効果的である。
【００７７】
その場合に好ましくは、２つのガイドクロスメンバは第１の方向に同期して走行可能である。
【００７８】
この種の同期した走行は、衝撃補償を実現することができるようにするために、ガイドキャリッジが第１の方向に逆方向に走行可能であることによって、行うことができる。
【００７９】
他の好ましい解決においては、ガイドキャリッジは第１の方向に同方向に走行することができる。
【００８０】
特にガイドキャリッジが同方向である場合に、衝撃補償を改良するために、ガイドクロスメンバに接してバランス質量が、少なくとも１つのガイドキャリッジに対して逆方向に移動可能であって、そのバランス質量によって衝撃補償が達成可能である。
【００８１】
バランス質量は、たとえば同様に、ガイドクロスメンバの外側に配置することができる。
【００８２】
特に好ましい解決においては、バランス質量は、ガイドクロスメンバに設けられたガイド通路内で案内されている。
【００８３】
バランス質量の運動に関して、たとえば伝導機構部材を介して、機械的なカップリングを設けることが、考えられる。この種の効果的かつ好ましく使用することができる解決において、バランス質量はリニアドライブによって駆動され、その場合にリニアドライブは、最も簡単な場合において、電気的なリニアモータによって形成されている。
【００８４】
特に好ましい衝撃補償においては、バランス質量は、少なくとも１つのガイドキャリッジに対して、あるいは２つのガイドキャリッジに対して、同期しかつ逆方向に移動することができる。
【００８５】
２つのガイドキャリッジにおける光学ユニットの配置に関して、これまで詳しい説明はなされていない。すなわち、好ましい実施例においては、ガイドキャリッジの一方が光学ユニットを支持し、ガイドキャリッジの一方は光学ユニットの質量に相当するバランス質量を支持するので、それによって、露光の精度を向上させるために、良好なモーメントバランスを得ることができる。
【００８６】
もちろん、露光出力を増大させようとする場合には、好ましくは、ガイドキャリッジの各々が光学ユニットを支持する。この解決は、より高い精度を可能にする。というのは、質量に基づいてモーメント補償を行うことができ、他方で、２つの光学ユニットによって同時に露光できることにより、露光出力の増大を行うことができるからである。
【００８７】
空気軸受に関して、これまで詳細な説明はなされていない。
【００８８】
すなわち、好ましい実施形態においては、空気軸受は、載置方向に付勢された空気軸受として形成されている。
【００８９】
好ましくは、空気軸受の付勢は、磁気的な付勢装置によって行われる。
【００９０】
光学ユニットの位置の検出に関して、これまで詳細な説明はなされていない。すなわち、好ましい解決においては、光学ユニットが移動する場合に常に第１の方向における光学ユニットの位置を検出する、測定システムが設けられている。
【００９１】
さらに、好ましくは、光学ユニットが移動する場合に、第２の方向における光学ユニットの位置を検出する、測定システムも設けられている。
【００９２】
その場合に好ましくは、測定システムは、光学的な測定システムとして形成されている。
【００９３】
特に好ましい解決においては、第１の方向と第２の方向における光学ユニットの位置が、干渉計測的に検出可能である。
【００９４】
好ましくは、光学ユニットの位置の検出は、光学ユニットを支持する支持フレームの位置が、干渉計測的に検出可能であることによって、行われる。
【００９５】
露光スポットの移動の制御に関して、これまで詳しい説明はなされていない。すなわち、特に好ましい解決においては、露光スポットの動的な移動のための制御が設けられており、その制御は、第１の方向における校正走行によって、ガイドクロスメンバにガイドによって定められたリアルパスに沿った光学ユニットの移動推移を検出する。
【００９６】
この種のリアルパスは、好ましくは、第１の方向に対して理想的に平行ではなく、第１の方向から変位している。
【００９７】
この理由から、制御が、第１の方向において露光のために理論的に定められたパスからの、ガイドクロスメンバによって定められるリアルなパスの偏差を検出するので、それによって制御のために、リアルパスが理論的に定められたパスからどのくらい強く変位しているか、が認識可能であると、効果的である。
【００９８】
その場合に特に、制御が、第２の方向に有効な動的な位置決め装置によって、露光スポットの移動を次のように、すなわち光学ユニットが第１の方向に移動する場合に露光スポットが理論的に定められたパス上を移動するように、補正すると、効果的である。
【００９９】
この種の補正によって、理論的に定められたパスを位置決め精度の枠内に維持し、それによってたとえば、ガイドクロスメンバの不正確な直線ガイドまたは斜め位置による各種の偏差を補正する、可能性が生じる。
【０１００】
さらに、好ましい解決において、制御により、第２の方向に有効な位置決め装置によって、各露光スポットが第２の方向に何回も変位可能であって、かつそれぞれ第２の方向における新しい位置において、第１の方向に対して平行に移動可能である。これが、たとえば送り休止の間、ガイドクロスメンバが静止している場合に、第１の方向と第２の方向に広がる領域内で感光コーティング上に露光を行うことを許し、その場合にそれによってたとえば、ガイドクロスメンバが静止している場合に、第２の方向に並べて配置され、かつ第１の方向に延びる多数の行内で露光を実施することができる。
【０１０１】
本発明の他の特徴と利点は、以下の説明および実施例の図面表示の対象である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０１０２】
図１に示す、本発明に基づく露光設備の第１の実施例は、機械フレーム１０を有し、その機械フレームが基板支持体１２を有しており、その基板支持体に基板支持体面１４が設けられており、その基板支持体面上に全体を符号１６で示す基板ボディが載置可能であって、それによってこの基板ボディによって支持され、基板ボディ１６の、基板支持体面１４とは逆の側に配置された感光性のコーティング１８を露光することができる。
【０１０３】
そのために、全体を符号２０で示す露光装置が設けられており、その露光装置は、図１に示すように、光学ユニット２２を有しており、その光学ユニットが、機械フレーム１０に対して、従って基板支持体１２に対しても、基板支持体面１４に対して平行に延びる第１の方向Ｘと、同様に基板表面１４に対して平行に延びる第２の方向Ｙに移動可能であり、それによって感光性のコーティング１８全体上に、選択的な露光とそれに伴って露光による感光性のコーティングの変換によって、構造を発生させることができる。
【０１０４】
図２に示すように、基板支持体１２は、大きい比重、わずかな熱膨張および高い剛性を有する歪みのない材料、たとえば花崗岩の中実のブロックから形成されている。花崗岩は、その大きい比重に基づいて大きい緩衝作用する質量であることによっても、効果的である。
【０１０５】
さらに、花崗岩、または歪みのない高精度で加工可能な材料が、緩衝する脚部材、好ましくは空気弾性を有する脚部材２４を用いて、スタンド面２６、たとえば露光設備が設置されている部屋の床上に支持されるので、振動は脚部材２４を介して床から基板支持体１２へ伝達されず、その大きい質量と脚部材２４に基づいて緩衝される。
【０１０６】
機械フレーム１０上に、特に基板支持体１２の表面２８から距離をもって、露光装置２０に同様に含まれる、全体を符号３０で示すガイドクロスメンバが配置されており、そのガイドクロスメンバは基板支持体面１４から距離をおいて、かつ感光性コーティング１８から距離をおいて、基板ボディ１６を越えて延びており、その場合に好ましくは第１の方向Ｘに対して平行に延びる。
【０１０７】
ガイドクロスメンバ３０は、基板支持体１２の場合に挙げた同じ理由から、熱膨張の少ない、剛性の高い、歪みのない材料、特に花崗岩から形成されている。
【０１０８】
その場合にガイドクロスメンバ３０は、基板支持体面１４の両側において、脚部材３２、３４によって、基板支持体１２上に設けられた走行面３６、３８上に支持されており、その走行面は第２の方向Ｙに対して平行に延びている。
【０１０９】
その場合に、走行面３６、３８は、たとえば、基板支持体１２上に設けられた、研磨されて、磨き上げられた面として、形成されている。
【０１１０】
脚部材３２、３４は、走行面３６、３８上でエアクッションを発生させるように、形成されているので、脚部材３２、３４は、走行面３６、３８に沿ってガイドクロスメンバ３０を移動させるために走行面３６、３８の上方で空気軸承されて滑り移動する。
【０１１１】
走行面３６、３８に対して平行に、基板支持体１２上に、全体を符号４６、４８で示す電気的なリニアモータのステータ４２、４４が設けられており、その場合にこのリニアモータ４６、４８のアクター５２、５４がガイドクロスメンバ３０と堅固に結合されているので、この電気的なリニアモータ４６、４８によってガイドクロスメンバ３０が第２の方向Ｙに駆動可能である。
【０１１２】
その場合にリニアモータ４６、４８は、好ましくは専用の距離測定システムを有しており、かつガイドクロスメンバ３０のためのアクティブなパラレルガイドをもたらすように、駆動可能であるので、ガイドクロスメンバ３０はリニアモータ４６、４８によって第１の方向Ｘに対して平行にアクティブに方向づけされて移動可能である。
【０１１３】
さらに、特にリニアモータ４６、４８によるパラレルガイドがもはやアクティブではない場合に、別体のガイドによって第１の方向Ｘに対してガイドクロスメンバ３０を平行に方向付けすることを保証するために、基板支持体面１４の両側に、互いに向き合ったガイド部材５６、５８が設けられており、その場合にガイド部材５６は、基板支持体面１４に対して横方向に延びる端面４０に設けられた走行面６２に添接し、この走行面も同様に基板支持体１２に研磨されて、磨き挙げられた面として形成されており、ガイド部材５８は、走行面６４に添接し、この走行面も同様に基板支持体面１４に対して横方向に延びているが、凹部６６の側壁として形成されており、その凹部は基板支持体１２の上側２８から基板支持体内へ延びており、たとえば走行面３８と基板支持体面１４の間に延びている。
【０１１４】
走行面６２、６４と協働するガイド部材５６と５８は、好ましくは同様に空気ガイドのガイド部材として形成されており、そのガイド部材はその逆方向の作用によって、第１の方向Ｘに対して平行に、第２の方向Ｙにおけるガイドクロスメンバ３０の正確なガイドを保証し、その場合にさらに、ガイド部材５６、５８の少なくとも１つは、第２の方向Ｙにおいてそれぞれの走行面６２または６４に接して十分なガイド長さにわたって案内されており、従って、基板支持体面１４に対して平行な平面内で第１の方向Ｘに対して平行な方向付けから揺動することに対する、ガイドクロスメンバ３０のガイドの十分な強度も保証する。
【０１１５】
図１、２および３に示すように、ガイドクロスメンバ３０に接して２つのガイドキャリッジ７２と７４が案内されており、その場合にガイドキャリッジ７２、７４の各々は、基板支持体面１４に対して横方向および第１の方向Ｘに対して平行に延びる、ガイドクロスメンバ３０の側面７６、７８と、基板支持体面１４とは逆の、第１の方向Ｘに対して平行に延びる、ガイドクロスメンバ３０の表面８０に配置された走行面８２、８４および８６によって、然るべきガイド部材９２、９４および９６により滑り移動するように案内され、その場合にガイド部材９２、９４および９６は、ガイド部材９２、９４および９６によって発生されるエアクッションを介して走行面８２、８４、８６上に支持されている。
【０１１６】
その場合に、ガイド部材と走行面の各ペアリング９２、８２；９４、８４；９６、８６の各々に、図４に示すように、それぞれ磁気的な付勢装置１０２、１０４、１０６が対応づけられており、その付勢装置の各々が、ガイドクロスメンバ３０に保持された磁気細片１１２と、それぞれのガイドキャリッジ７２、７４に保持された磁気ボディ１１４を有しており、それらが協働して、ガイド部材と走行面のそれぞれのペアリング９２、８２；９４、８４；９６、８６内に、それぞれのガイド部材９２、９４、９６がそれぞれの走行面８２、８４、８６の方向に一定の力を供給されるように、力の作用が生じる。
【０１１７】
好ましくは、磁気細片１１２または磁気ボディ１１４の少なくとも１つは、磁気的に硬い材料からなる永久磁石を有している。
【０１１８】
従ってそれぞれのガイドキャリッジ７２、７４がそれぞれの側面７６、７８の方向および付加的にガイドクロスメンバ３０の表面８０の方向に力を供給され、従って側面７６、７８およびガイドクロスメンバ３０の表面８０に沿って確実に案内される。
【０１１９】
ガイドキャリッジ７２、７４を、ガイドクロスメンバ３０の長手方向に対して平行に、かつそれに伴って第１の方向Ｘに移動させるために、それぞれ全体を符号１２０で示す電気的なリニアモータが設けられており、そのリニアモータは、それぞれの側面７６、７８に配置されたステータ１２２と、ロータ１２４を有しており、そのロータがそれぞれにガイドキャリッジ７２、７４に保持されて、たとえばステータ１２２内へ嵌入する。
【０１２０】
たとえば、この種のリニアドライブは、走行面８２と８４の間に位置している。
【０１２１】
図４と５に示すように、ガイドキャリッジ７２、７４の各々は、ガイドフレーム１３０を有しており、それが直接ガイドクロスメンバ３０に接して第１の方向Ｘの方向に移動可能に案内されており、その場合にガイドフレーム１３０は、走行面８２、８４、８６の各々のためにそれぞれ２つの、第１の方向Ｘに互に距離をおいて配置されたガイド部材９２、９４および９６を有しており、それらガイド部材がそれぞれの走行面８２、８４、８６に添接し、従ってガイドフレーム１３０をガイドクロスメンバ３０に対して支持して案内する。
【０１２２】
ガイドフレーム１３０は、付勢装置１０２、１０４、１０６の磁気ボディ１１４も支持しており、それら磁気ボディはガイドキャリッジ７２、７４の各々とそれぞれのロータ１２４に作用する。しかし、光学ユニット２２は直接ガイドフレーム１３０に配置されておらず、支持フレーム１４０上に配置されており、その支持フレームはガイドフレーム１３０に対して、さらに基板支持体面１４に対して垂直に延びる第３の方向Ｚに摺動することができる。
【０１２３】
そのために、ガイドフレーム１３０は、同様に、第３の方向Ｚに対して平行に延びる走行面１３２を有しており、その走行面上に、支持フレーム１４０と結合されたガイド部材１４２が載置されて、この走行面に対して滑り移動することができる。
【０１２４】
ガイド部材１４２も、好ましくは空気ガイドのガイド部材であって、それが走行面１３２上にエアクッションを介して支持され、それによってガイド部材１４２が走行面１３２に対して滑り移動することができる。
【０１２５】
好ましくは、第３の方向Ｚにおいて、走行面１３２の各々の上に、互いに距離をもって配置された２つのガイド部材１４２が設けられており、さらに、第１の方向Ｘにおいて、互いに距離をもって延びる２つの走行面１３２がガイドフレーム１３０に設けられており、その走行面上に該当するガイド部材１４２が支持される。
【０１２６】
支持フレーム１４０を第３の方向Ｚに摺動させるために、ガイドフレーム１３０にリニアドライブ１４４が設けられており、そのリニアドライブは駆動モータ１４６とねじスピンドル１４８を有しており、その場合にねじスピンドル１４８は、支持フレーム１４０を第３の方向Ｚに摺動させるために、支持フレーム１４０と堅固に結合されたスピンドルナットと協働する。
【０１２７】
このように、支持フレーム１４０がガイドフレーム１３０に対して摺動できることによって、光学ユニット２２は、基板ボディ１６に対する、そして特に、基板ボディ１６の感光コーティング１８の、基板ボディ１６とは逆の表面１５４に対して、その高さを調節され、特に基板ボディ１６のそれぞれの厚みに適合させて、感光コーティング１８の上方の光学ユニット２２の位置の前調節が実施される。
【０１２８】
その場合に、リニアドライブ１４４を用いて光学ユニット２２の位置を前調節することは、露光プロセスの開始時に１回、それぞれの基板ボディ１６に、特にその厚みに適合させて行われ、次に、ガイドフレーム１３０に対して支持フレーム１４０が固定される。これはたとえば、ガイドフレーム１３０に対して支持フレーム１４０を固定するためにガイド部材１４２からもはやエアクッションが発生されないことによって行うことができるので、ガイド部材１４２は摩擦結合で走行面１３２上に取り付けられ、その場合に付加的に、磁気的な付勢装置１５６、１５８によって走行面１３２に対して圧接されるので、支持フレーム１４０がガイド部材１４２を介して摩擦結合で走行面１３２上に、従ってガイドフレーム１３０に対して固定可能である。
【０１２９】
支持フレーム１４０が第３の方向Ｚに移動可能であることに加えて、支持フレーム１４０は、ガイドフレーム１３０に対してさらに第２の方向Ｙにも移動することができる。
【０１３０】
そのために、ガイド部材１４２は、それぞれの支持フレーム１４０に対して、位置決め装置１５２を介して第２の方向Ｙに対して平行に変位可能であり、従って支持フレーム１４０全体もそれぞれのガイドフレーム１３０に対して第２の方向に移動可能である。好ましくは、位置決め装置１５２は、組み込まれた距離測定システムを備えたピエゾドライブを有しているので、ガイドフレーム１３０に対する支持フレーム１４０の位置を正確に制御して定めることができる。
【０１３１】
２つのガイドキャリッジ７２と７４に加えてさらに、ガイドクロスメンバ３０に接して、全体を符号１６０で示すバランス質量が、第１の方向Ｘに対して平行に移動可能に案内されている。
【０１３２】
そのために、ガイドクロスメンバ３０に、ガイドクロスメンバ３０の長手方向およびそれに伴って第１の方向Ｘに延びるガイド通路１６２が設けられており、そのガイド通路内に長手ガイド１６４が延びており、その長手ガイドに接してバランス質量１６０が移動可能に案内されている。
【０１３３】
さらに、長手ガイド１６４に、リニアモータ１６６が対応づけられており、そのリニアモータは、長手ガイド１６４に保持されたステータ１６８と、バランス質量１６０に保持されたアクター１７０を有しているので、バランス質量１６０が長手ガイド１６４に沿って制御されて移動することができる。
【０１３４】
露光装置２０は、さらに、放射発生ユニット１８０を有しており、その放射発生ユニットは多数の放射源１８２と放射源供給ユニット１８４および放射源制御１８６を有しており、それらがハウジング１８８内に配置され、そのハウジングは、第２の方向Ｙに対して平行に延びる端面６０の側方において機械フレーム１０の隣りに配置されており、かつ、第２の方向Ｙに対して平行に延びる、スタンド面２６上に配置されたガイド１９０上で第２の方向Ｙに移動可能に案内されている。
【０１３５】
好ましくはハウジング１８８は、特に図１と３に明らかなように、ガイドクロスメンバ３０の前側１９２の領域において、ガイドクロスメンバ３０によって第２の方向Ｙに連動可能であるように、配置されている。
【０１３６】
そのために、たとえば端面６０に、好ましくは電気的なリニアモータとして形成された、リニアドライブ１９４が設けられており、そのリニアドライブによってハウジング１８８がガイドクロスメンバ３０とほぼ同期して、かつ第２の方向Ｙに対して平行に移動することができる。
【０１３７】
多数の放射源１８２から光波ガイドケーブル１９６と１９８がフレキシブルな導線ドラッグチェーン２０２と２０４へ延びており、その導線ドラッグチェーンは、一方で、ガイドクロスメンバ３０内の収容部２０６内で案内されており、その場合に収容部２０６はガイドクロスメンバ３０の表面８０から始まってガイドクロスメンバ内へ凹部として広がっており、他方では、方向変換アーチ２１２および２１４を介して、ガイドキャリッジ７２および７４と結合された端部２１６および２１８へ延びており、その端部から光波ガイドケーブル１９６と１９８が再び出て、光学ユニット２２へ向かって延びているので、その光学ユニットにそれぞれ多数の放射源１８２から発生された放射が供給可能であって、その場合に放射源１８２は、好ましくはレーザーユニット、特に半導体レーザーユニットであって、レーザー放射を発生し、その強度は放射源制御１８６によって定められて制御可能である。
【０１３８】
各光学ユニット２２は、図６に示すように、結像光学系２２０を有しており、それが支持フレーム１４０上に配置されており、従って第３の方向Ｚに移動可能である。
【０１３９】
結像光学系２２０は、対物レンズ２２２を有しており、その対物レンズが結像光学系２２０のチューブシステム２２４と結びついて、この光学ユニット２２へ案内される光波ガイドケーブル１９６の個々の光波ガイドのための収容ユニット２２８の個々の放射出射面２２６を、感光コーティング１８上に個々の露光スポット２３０として合焦して結像させることができ、その場合に露光スポット２３０は、通常、数百ナノメートルの直径を有している。
【０１４０】
その場合に好ましくは、結像光学系２２０は、定められたパターン、特に第２の方向Ｙに対して好ましくはほぼ平行に延びる列２３１で配置された、約５０から約１０００の数の放射出射面２２６を、それに応じたパターンで配置された対応する露光スポット２３０に同時に結像させ、その場合に放射出射面２２６の各々は、好ましくはそのために設けられている光源１８２と結合されており、その放射源の強度は個々に制御可能である。
【０１４１】
感光コーティング１８上の露光スポット２３０の位置を細かく制御することができるようにするために、放射出射面２２６の全体を有する収容ユニット２２８が、全体を符号２３２で示す位置決め装置によって、チューブシステム２２４および対物レンズ２２２に対して第２の方向Ｙ０に、場合によっては第２の方向Ｙ０と特に第３の方向Ｚ０に摺動することができる。
【０１４２】
その場合に、位置決め装置２３２は、好ましくは、チューブシステム２２４を保持する、結像光学系２２０のハウジング２３４上に取り付けられており、収容ユニット２２８とそれに伴ってその収容ユニットに設けられている放射出射面２２６を、ハウジング２３４に対して移動させることを、許す。
【０１４３】
Ｘ０軸とＹ０軸が、第１の軸Ｘに対して、かつ第２の軸Ｙに対して平行に延びている場合に、位置決め装置２３２によって直接、感光コーティング１８上の露光スポット２３０のこの方向における摺動が得られ、従ってたとえば、位置決め装置２３２によって直接、第１の方向Ｘと第２の方向Ｙにおける露光スポット２３０の位置の補正も行われる。
【０１４４】
従って、位置決め装置２３２によって、支持フレーム１４０に対して露光スポット２３０の位置の１回の調節を実施することができる。しかしまた、たとえば、第１の方向Ｘまたは第２の方向Ｙにおける光学ユニット２２の直線的な運動からの偏差を補償するために、位置決め装置２３２によって動的に、露光スポット２３０の位置を第１の方向Ｘまたは第２の方向Ｙにおいて調節することも、考えられる。
【０１４５】
さらに、第３の方向Ｚ０における放射出射面２２６の摺動が、光学的な合焦からの偏差とそれに伴って焦点ぼけを補償することを可能にする。というのは、焦点ぼけは光学的な合焦とは異なり、感光コーティング１８上の露光スポット２３０のより大きな直径および／または感光コーティング１８内へのより少ない進入深さとその結果としての相互作用の悪化をもたらすからである。
【０１４６】
さらに、位置決め装置２３２がさらに、Ｚ０方向、Ｘ０方向およびＹ０方向を中心とする収容ユニット２２８とそれに伴ってパターンの、特に列２３１の回転または傾動を許すと効果的であるので、放射出射面２２６の全体を片側に傾けることが可能であって、かつ放射出射面２２６に対する結像光学系２２０全体の付加的な、最適な調整可能性が生じる。
【０１４７】
対物レンズ２２２による個々の露光スポット２３０上へのレーザー放射の最適な合焦を維持するために、対物レンズはさらに、チューブシステム２２４およびそれに伴ってハウジング２３４に対して操作部材２３６によって変位することができるので、感光コーティング１８の表面１５４からの対物レンズ２２２の距離は、常に調整可能である。
【０１４８】
そのために、オートフォーカスシステム２３８が設けられており、それがセンサ２４０によって感光コーティング１８からの距離を検出して、操作部材２３６の駆動によって対物レンズ２２２を感光コーティング１８の表面１５４から最適な合焦距離に位置決めし、かつ結像光学系２２０の移動の際に案内する。
【０１４９】
結像光学系２２０には、さらに、照明光学系２４２と観察光学系２４４が対応づけられており、それらすべてが結像光学系２２０と次のように、すなわち露光スポット２３０の領域における感光コーティング１８の照明と、露光スポット２３０の領域における感光コーティング１８の観察が可能であるように、結合されている。
【０１５０】
そのために、たとえば、観察光学系２４４に結像部材２４５とカメラチップ２４６が設けられており、そのカメラチップを介してマイクロスコープ光学系２２２を通して露光スポット２３０の観察が可能である。
【０１５１】
さらに、照明光学系２４２は、長波の光源２４８と結像部材２４７を有しており、その場合に光源２４８は光波ガイドの終端面であることもできるので、照明光学系２４２のための光を同様に放射発生ユニット１８０から光波ガイドケーブル１９６を介して供給することができる。
【０１５２】
図７に例示するように、個々の光波ガイド２２９のための収容ユニット２２８は、ベース２５０を有しており、そのベース上の終端領域２５２に収容プレート２５４が取り付けられており、その収容プレートが多数の凹部２５６、たとえば溝を有しており、その溝内へ個々の光波ガイド２２９を挿入して、それによって固定することができる。
【０１５３】
その場合に、個々の光波ガイド２２９の個々の終端面２５８は、第２の方向Ｙに対して好ましくは平行に延びる、方向２６０に延びる列２３１内にあって、その列は、収容部２５４内の終端面２５８の正確な位置決めを有する個々の光波ガイド２２９の固定配置によって定められている。
【０１５４】
個々の終端面２５８から、発散する放射フィールドが出射し、その場合に終端面２５８の１つから出る個々の発散する放射フィールドは、それに個々に対応づけられたコリメーションレンズ２６２によって、コリメートされた放射フィールドに成形される。
【０１５５】
コリメートされた放射フィールドは、円柱光学系２６４によって、たとえば層導波管として形成された、導波管２７０内へ結合されて、そこから再び出射し、その場合に他の円柱光学系２６６が設けられており、それが再びコリメートされた放射フィールドを形成し、その放射フィールドが、部材２７２と２７４によって形成されるテレスコープ２７１を通して出射するコリメートされた放射フィールド２７６を生成し、それがその後チューブシステム２２４内へ入射する。
【０１５６】
その場合に、部材２７４は、放射出射面２２６を有しており、その放射出射面は収容ユニット２２８全体が結像光学系２２０に対して移動することによって、位置決めされる。
【０１５７】
上述した解決において、収容プレート２５４も、コリメーションレンズ２６２、円柱光学系２６４と２６６およびテレスコープ２７１の部材２７２と２７４も、ベース２５０上に据えられており、かつこのベースに対して固定的に配置されている。
【０１５８】
特に、コリメーションレンズ２６２と円柱光学系２６４と２６６およびテレスコープ２７１の部材２７２と２７４は、それぞれマイクロレンズアレイにまとめられて、ベース２５０上に固定的に位置決めされている。
【０１５９】
導波管２７０は、特に電気光学的な方向変換ユニットとして形成されており、それによってそれぞれ個々の放射を、方向２６０に対して平行かつ好ましくは同様に第２の方向Ｙに対して平行に延びる方向２７８に方向変換させることができる。
【０１６０】
従ってその場合に、方向２７８に方向変換することは、露光スポット２３０の列において、各個々の露光スポット２３０を列の次の露光スポット２３０の方向へ移動させ、それに伴って方向２７８の方向変換を適切に制御することによって、方向変換ユニットが有効でない場合に方向変換されない露光スポット２３０の間の間隙内においても、感光コーティング１８を露光することを許す。
【０１６１】
方向２７８に放射を方向変換させることが必要とならない、簡略化された解決においては、円柱光学系２６４と２６６および導波管２７０を省くことができる。
【０１６２】
基板ボディ１６に対する、かつ基板支持体１２に対する光学ユニット１２の位置を正確に検出するために、光学ユニット２２と堅固に結合されている支持フレーム１４０に、干渉計ヘッド２８０が配置されており、その干渉計ヘッドは、支持体フレーム１４０とそれに伴って基板支持体１２に対する光学ユニット１２の位置を正確に定めることができる（図１０）。
【０１６３】
その場合に、干渉計ヘッド２８０は、図１と２に示す、第１の方向Ｘに対して平行に延び、かつ基板支持体１２に固定配置された鏡面２８２および第２の方向Ｙに対して平行に延びて、基板支持体１２に固定配置された鏡面２８４と次のように、すなわち干渉計ヘッド２８０を介してそれぞれ、それぞれの鏡面２８２および／または２８４からの間隔を干渉計測的に定めることができるように、協働する。
【０１６４】
本発明に基づく露光設備を駆動するために、全体を符号２９０で示す制御が設けられており、その制御は、感光コーティング１８上の露光スポット２３０の位置とその感光コーティング上に当接する放射強度を制御することができる。
【０１６５】
露光された構造を発生させることは、たとえば、光学ユニットと感光コーティング１８を有する基板ボディ１６の相対移動の原理によって、特許文献２に記載されているように行われる。感光コーティング１８の露光の改良された種類が、特許文献３に、さらに改良された解決が特許文献４に記載されている。従って、露光された構造の発生、結像光学系の形成および駆動に関する詳細は、これらの文献が内容全体で参照される。
【０１６６】
感光コーティング１８の所望の局所的露光と組み合わせた光学ユニット２２の運動は、制御２９０によって制御可能であって、その場合に制御２９０は、露光される構造の形状と大きさの設定に従って、光学ユニット２２の移動と協働して、自動的に感光コーティング１８の露光を実施する。
【０１６７】
その場合に、本発明に基づく露光設備は、たとえば次のように作動する：
【０１６８】
感光コーティング１８を有する基板ボディ１６が、基板支持体面１４上に載置された後に、感光コーティング１８を有する基板ボディ１６の厚みの検出と、それに伴って、支持フレーム１４０をガイドフレーム１３０に対して摺動させながら、第３の方向Ｚにおける支持フレーム１４０の位置の調節が行われ、そのためにガイド部材１４２が能動化されるので、このガイド部材が自らと走行面１２２との間にエアクッションを発生させ、そのエアクッションによって支持フレーム１４０がリニアドライブ１４４を用いて第３の方向Ｚに摺動可能であって、従って感光コーティング１８からのマイクロスコープ光学系２２２の間隔が前調節可能である。
【０１６９】
前調節位置に達した後に、ガイドフレーム３０への支持フレーム１４０の固定が次のことによって、すなわち一方で、位置がリニアドライブ１４４によって維持され、他方ではガイド部材１４２がもはやエアクッションを発生させず、従って走行面１３２上に摩擦結合で据えられることによって、行われ、好ましくはその場合にさらに、磁気的な付勢装置１５６、１６８によって力が供給され、その付勢装置は支持フレーム１４０にガイドフレーム１３０の方向に力を供給し、それによってガイド部材１４２が力を供給されて走行面１３２に添接する。
【０１７０】
感光コーティング１８の露光を開始する前に、ガイドクロスメンバ３０を摺動させることによってガイドクロスメンバの位置決めが、光学ユニット２２の少なくとも１つによって感光コーティング１８の予め定められた領域が露光可能であるように、行われる。
【０１７１】
そのために、脚部材３２、３４が能動化されるので、これらが自らと走行面３６、３８との間にエアクッションを発生させ、その結果ガイドクロスメンバ３０が第２の方向Ｙに摺動することができる。
【０１７２】
さらに、ガイド部材５６、５８が能動化され、それらが同様に自らと走行面６２、６４との間にエアクッションを発生させ、それによってガイドクロスメンバ３０が第２の方向Ｙに対して平行な方向に、基板支持体１２に対して正確に案内され、特にガイドクロスメンバ３０が第１の方向Ｘに移動することと、ガイドクロスメンバ３０が、第１の方向Ｘに対して平行な位置から、第１の方向Ｘに対して斜めの位置へ揺動することが防止される。
【０１７３】
それによって、ガイドクロスメンバ３０は、摺動運動によって所望の位置へ、たとえば、一方のガイドキャリッジ７２、７４の光学ユニット２２あるいは両方のガイドキャリッジ７２、７４の光学ユニット２２が、感光コーティング１８に露光スポット２３０を供給し、それによって露光することができる位置へ、摺動することができる。
【０１７４】
その場合にガイドクロスメンバ３０の摺動は、第２の方向Ｙに延びるリニアモータ４６、４８を用いて行われる。
【０１７５】
図示の実施例において、ガイドクロスメンバ３０が適切な位置へ達した場合に、送り休止が行われ、かつこの送り休止において、ガイドクロスメンバ３０が基板支持体１２に対して、ガイド部材３２と４３が無効に切り替えられ、すなわちクッションの形成がオフにされることによって固定されるので、脚部材３２、３４が走行面３６、３８上に据えられて、その場合に生じる摩擦に基づいて走行面３６、３８上に、かつそれに伴って基板支持体１２に対して脚部材３２、３４の固定が行われる。
【０１７６】
空気クッションを崩壊させて、脚部材３２、３４を走行面３６、３８上に着地させるために必要な期間の間、リニアモータ４６、４８が、その運動のために設けられている運動制御モードから静止状態制御モードへ切り替えられ、その静止状態制御モードは、達成された位置を維持するのに適しているが、もちろん、走行面３６、３８上に脚部材３２、３４を力結合で固定することが生じる場合に、過度の電流上昇および／または制御過渡振動を防止する。
【０１７７】
走行面３６、３８上に脚部材３２、３４が完全に摩擦結合で固定された後に、電気的なリニアモータ４６、４８のオフが行われる。
【０１７８】
従って、基板支持体１２に対してガイドクロスメンバ３０を固定することによって、ガイドクロスメンバ３０の初期位置が達成され、その初期位置において感光コーティング１８の露光を行うことができる。
【０１７９】
その場合にまず、校正走行において、ガイドキャリッジ７２、７４が第１の方向Ｘに基板ボディ１６全体を越えて移動され、この校正走行の枠内で干渉計ヘッド２８０によって、ガイドキャリッジ７２、７４のガイドのみによって光学ユニット２２がガイドクロスメンバ３０に接して第１の方向Ｘに対して平行にどのくらい移動したか、が検出される。
【０１８０】
方向付けがわずかに誤っている場合、たとえばガイドクロスメンバ３０がねじれた場合に、図９に示すように、たとえば第１の方向Ｘに対して平行な方向から角度αだけ変位した、パス２９２に沿った光学ユニット２２の、この場合には干渉計ヘッド２８０の、運動が検出され、その場合に第１の方向Ｘは、干渉計測的に走査された鏡面２８２によって定められている。
【０１８１】
図９に示すように、パス２９２が、第２の方向Ｙにおける運動を含む斜め走行によって、第１の方向Ｘから変位した場合に、この変位が計算機によって求められて、第２の方向Ｙにおける光学ユニット２２の位置のための補正量ＫＹによって補正される。
【０１８２】
その場合に補正量ＫＹは、一方で、位置決め装置１５２を駆動するために使用することができ、その位置決め装置によって第２の方向Ｙにおけるガイドフレーム１３０に対する支持フレーム１４０の位置を変化させることができる。しかしまた、この補正量ＫＹを、位置決め装置２３２を駆動するために使用することも考えられ、その位置決め装置によって同様に、露光スポット２３０が第２の方向Ｙに変位される。
【０１８３】
好ましくは、位置決め装置１５２の駆動が行われるので、第１の方向Ｘに沿ったそれぞれの光学ユニット２２の位置に従って、その位置の補正が、第２の方向Ｙにおける摺動によって行われるので、第１の方向Ｘにおける基板ボディ１６を越える光学ユニット１２の運動が、図１０に示すように、補正されたパス２９４をもたらし、その場合にこの補正されたパス２９４は、干渉計ヘッド２８０の測定精度の枠内で第１の方向Ｘに対して平行に延びている。
【０１８４】
しかし、補正量ＫＹは、第１の方向Ｘに対するパス２９２の斜め走行を補正するためだけでなく、湾曲した、あるいは波打った走行も補正して、光学ユニット２２が基板ボディ１６を越えて移動する場合に光学ユニット２２の、測定精度の枠内で直線的に延びる補正されたパス２９４が得られるようにするために、使用することもできる。
【０１８５】
校正走行後に、図１０に５つの露光スポット２３０の例で図式的に示すように、収容ユニット２２８内に並べられた光波ガイド１９６の数によって予め定められる、列２３１の方向に並べられた多数の露光スポット２３０が第１の方向Ｘに移動し、その場合に、列２３１内にある多数の露光スポットは、同時に移動される露光スポット２３０のセット２９６を示し、多数は、基板ボディ１６を越える約５０から１０００の露光スポット２３０を有しているので、露光スポット２３０のセット２９６によって、マクロ行２９８に含まれる行の内部の露光を実施することができる。その場合に、それぞれのガイドキャリッジ７２、７４が第１の方向Ｘにおける第１の移動方向Ｘ１にガイドクロスメンバ３０に沿って走行することによって、マクロ行２９８の内部の行を露光するための第１の方向Ｘにおける移動が行われ、その後第２の方向Ｙに移動することによって、他のマクロ行２９８への交代が行われ、その交代は位置決め装置１５２または２３２を適切に駆動することによって実施することができ、そして次に、次のマクロ行２９８内の行を露光するために、第１の方向Ｘにおける、第１の移動方向Ｘ１とは逆方向に延びる第２の移動方向Ｘ２の移動が行われる。従って全体として、ガイドクロスメンバ３０が基板支持体１２上に静止している場合に、直接互いに連続して並べられたマクロ行２９８のグループＧの内部で、感光コーティング１８の露光のために必要な全部の露光ステップが実施可能であって、それによって感光コーティング１８内に所望の露光された構造が得られる。その場合に、グループＧに含まれるマクロ行２９８の数は、位置決め装置１５２、２３２によって可能な距離に依存する。
【０１８６】
その場合に、本発明に基づく解決の利点は、露光プロセスの間ガイドクロスメンバ３０が基板支持体１２に対して静止して配置されており、かつ第２の方向Ｙにおける摺動が位置決め装置１５２または２３２の駆動のみによって行われることにより、最大可能な精度が達成できることに見られる。
【０１８７】
光学ユニット２２の正確な位置の検出は、位置決め装置１５２が駆動される場合に、直接干渉計ヘッド２８０によって行うことができ、その干渉計ヘッドは鏡面２８２および２８４に対する支持フレーム１４０の位置を正確に測定することができ、位置決め装置２３２が駆動される場合には、その内部の距離測定システムが、干渉計ヘッド２８０によって求められた位置データを補足するように利用される。
【０１８８】
グループＧの内部に直接並べて配置されたマクロ行２９８の露光後に、露光プロセスの調節と後続の、第２の方向におけるガイドクロスメンバ３０の摺動が行われる。
【０１８９】
そのために、脚部材３２と３４およびガイド部材５６と５８が能動化されるので、ガイドクロスメンバ３０が再びエアクッションを介して支承されて、第２の方向Ｙに移動することができる。ガイド部材５６と５８の能動化の間、リニアモータ４６と４８の駆動がその静止状態制御モードで行われ、次に運動制御モードへの切替えが行われ、その運動制御モードにおいて、第２の方向Ｙにおけるガイドクロスメンバ３０の、次の位置への制御された移動が可能であって、その位置において再び、脚部材３２、３４が走行面３６、３８上に摩擦結合で据えられることによって、基板支持体１２に対するガイドクロスメンバの固定が行われ、それによってその後再び校正プロセスを通過した後に、ガイドクロスメンバ３０が基板支持体１２に対して固定された場合に、直接互いに連続して並べられた、次のグループＧの行２９８の露光が行われる枠内で、感光コーティング１８の露光が行われる。
【０１９０】
その代りに、第１の方向Ｘに光学ユニット２２を移動させることにより露光が連続的に行われる間に、ガイドクロスメンバ３０を脚部材３２、３４によって走行面３６、３８の上方に空気軸承して第２の方向Ｙにわずかな速度で移動させることも考えられる。しかし、このやり方は、精度が劣る欠点を有している。
【０１９１】
さらに、露光プロセスのこれまでの説明に関連して、ガイドキャリッジ７２と７４を移動させるための詳細な説明はなされていない。
【０１９２】
２つのガイドキャリッジ７２と７４を使用する場合に、好ましい実施形態において、２つのガイドキャリッジ７２と７４がその上に取り付けられた光学ユニット２２と共に第１の方向Ｘに同期してかつ同方向に移動される。この場合において、その際に発生し、ガイドクロスメンバ３０へ作用する加速度の補償は、ガイド通路１６２内でバランス質量１６０を、リニアモータ１６６によって駆動して、逆方向に移動させ、特に加速させることによって行われる。
【０１９３】
その代わりに、２つのガイドキャリッジ７２、７４を使用する場合に、それらを同期して、しかし逆方向に移動させることが考えられ、その場合にはもちろんガイドクロスメンバ３０にトルクが作用し、そのトルクは、第１の方向Ｘにおけるガイドキャリッジのガイドの精度にマイナスに作用する。
【０１９４】
図１２に示す、第２の実施例において、ガイドキャリッジ７２、７４の一方の上にそれぞれ使用される光学ユニット２２が配置され、ガイドキャリッジ７２、７４の他方には、光学ユニット２２の質量に相当するバランス質量３１０が配置されるので、２つのガイドキャリッジ７２、７４の移動によって、第１の方向Ｘにおけるガイドの精度を向上させることができる。
【０１９５】
その他において、第２の実施例は第１の実施例に相当するので、同じ部分について同一の参照符号が使用され、これに関しては第１の実施例についての説明が内容全体で参照される。
【図面の簡単な説明】
【０１９６】
【図１】本発明に基づく露光設備の実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の矢印Ａの方向に見た図である。
【図３】図２の矢印Ｂの方向における上面図である。
【図４】図３の４−４線に沿った断面図である。
【図５】図２に示すガイドキャリッジを有する光学ユニットを部分的に拡大して示している。
【図６】図５に示す光学ユニットの縦断面図である。
【図７】収容ユニットを示す上面図である。
【図８】図７の矢印６の方向における収容ユニットの側面図である。
【図９】図８の領域ＤとＥを拡大して示す、図８と同様の図である。
【図１０】予め定められた、第１の方向に対して平行に延びるパスに比較して、露光スポットを通過するリアルパスを図式的に示している。
【図１１】第１の実施例における感光コーティングの露光の実施を図式的に示している。
【図１２】第２の実施例を、図３と同様に示す上面図である。
【図１】
2009527781.tif 000003
【図２】
2009527781.tif 000004
【図３】
2009527781.tif 000005
【図４】
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【図５】
2009527781.tif 000007
【図６】
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【図７】
2009527781.tif 000009
【図８】
2009527781.tif 000010
【図９】
2009527781.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【手続補正書】
【提出日】平成20年10月23日(2008.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１３】
さらに、特にリニアモータ４６、４８によるパラレルガイドがもはやアクティブではない場合に、別体のガイドによって第１の方向Ｘに対してガイドクロスメンバ３０を平行に方向付けすることを保証するために、基板支持体面１４の両側に、互いに向き合ったガイド部材５６、５８が設けられており、その場合にガイド部材５６は、基板支持体面１４に対して横方向に延びる端面６０に設けられた走行面６２に添接し、この走行面も同様に基板支持体１２に研磨されて、磨き挙げられた面として形成されており、ガイド部材５８は、走行面６４に添接し、この走行面も同様に基板支持体面１４に対して横方向に延びているが、凹部６６の側壁として形成されており、その凹部は基板支持体１２の上側２８から基板支持体内へ延びており、たとえば走行面３８と基板支持体面１４の間に延びている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３５】
好ましくはハウジング１８８は、特に図１と３に明らかなように、ガイドクロスメンバ３０の前側１９２の領域において、ガイドクロスメンバ３０によって第２の方向Ｙに連動可能であるように、配置されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４１】
感光コーティング１８上の露光スポット２３０の位置を細かく制御することができるようにするために、放射出射面２２６の全体を有する収容ユニット２２８が、全体を符号２３２で示す位置決め装置によって、チューブシステム２２４および対物レンズ２２２に対して第１の方向Ｘ０に、場合によっては第２の方向Ｙ０と特に第３の方向Ｚ０に摺動することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６２】
基板ボディ１６に対する、かつ基板支持体１２に対する光学ユニット１２の位置を正確に検出するために、光学ユニット２２と堅固に結合されている支持フレーム１４０に、干渉計ヘッド２８０が配置されており、その干渉計ヘッドは、支持体フレーム１４０とそれに伴って基板支持体１２に対する光学ユニット１２の位置を正確に定めることができる（図１）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８５】
校正走行後に、図１に５つの露光スポット２３０の例で図式的に示すように、収容ユニット２２８内に並べられた光波ガイド１９６の数によって予め定められる、列２３１の方向に並べられた多数の露光スポット２３０が第１の方向Ｘに移動し、その場合に、列２３１内にある多数の露光スポットは、同時に移動される露光スポット２３０のセット２９６を示し、多数は、基板ボディ１６を越える約５０から１０００の露光スポット２３０を有しているので、露光スポット２３０のセット２９６によって、マクロ行２９８に含まれる行の内部の露光を実施することができる。その場合に、それぞれのガイドキャリッジ７２、７４が第１の方向Ｘにおける第１の移動方向Ｘ１にガイドクロスメンバ３０に沿って走行することによって、マクロ行２９８の内部の行を露光するための第１の方向Ｘにおける移動が行われ、その後第２の方向Ｙに移動することによって、他のマクロ行２９８への交代が行われ、その交代は位置決め装置１５２または２３２を適切に駆動することによって実施することができ、そして次に、次のマクロ行２９８内の行を露光するために、第１の方向Ｘにおける、第１の移動方向Ｘ１とは逆方向に延びる第２の移動方向Ｘ２の移動が行われる。従って全体として、ガイドクロスメンバ３０が基板支持体１２上に静止している場合に、直接互いに連続して並べられたマクロ行２９８のグループＧの内部で、感光コーティング１８の露光のために必要な全部の露光ステップが実施可能であって、それによって感光コーティング１８内に所望の露光された構造が得られる。その場合に、グループＧに含まれるマクロ行２９８の数は、位置決め装置１５２、２３２によって可能な距離に依存する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2009527781.tif 000015
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2009527781.tif 000016
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
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【国際調査報告】
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