(57)【要約】半導体試験に関する方法およびシステムである。一実施例では、半導体試験方法は、半導体試験に関するルールを定義するステップと、前記ルールを評価するステップと、前記ルールを他のルールとまとめるステップと、前記ルールを他のルールと相関させるステップと、前記ルールを発行するステップと、前記ルールを現実化するステップとの１以上のステージを含む。一実施例では、半導体試験システムは、ルール生成モジュールと、分析モジュールと、シミュレーションモジュールと、リアルタイム製造モジュールと、オフライン製造モジュールとの１以上を具える。一実施例では、ユーザフレンドリなグラフィカルユーザインタフェースを用いて、ルールのブロック構築を定義したり、および／または当該ルールが属する任意の階層カテゴリを確認することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体試験に関するルールセットを生成するシステムにおいて、
半導体試験に関するルールを、１以上の予め定められた基準に基づいて、１以上の他の半導体試験に関するルールと比較するよう構成された比較部と；
前記比較部により前記ルールと前記１以上の他のルールとの間に検出された問題のある関係を解決するよう構成された解決部と；
すべての問題のある関係が解決された後に現実化するために前記ルールを含むルールセットを準備するよう構成された発行部とを具えることを特徴とするシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のシステムにおいて、さらに、前記ルールセットを現実化する現実化モジュールを具えることを特徴とするシステム。
【請求項３】
請求項２に記載のシステムにおいて、前記現実化モジュールは、前記ルールセットをシミュレーションを通して現実化するよう構成されたモジュールであることを特徴とするシステム。
【請求項４】
請求項２に記載のシステムにおいて、前記現実化モジュールは、前記ルールセットをリアルタイム製造で現実化するよう構成されたモジュールであることを特徴とするシステム。
【請求項５】
請求項２に記載のシステムにおいて、前記現実化モジュールは、前記ルールセットをオフライン製造間に現実化するよう構成されたモジュールであることを特徴とするシステム。
【請求項６】
請求項１に記載のシステムにおいて、前記基準は、冗長性、優先性、アクション間の競合、ルール種類間の競合、他の競合、矛盾、相互依存性、およびタイミング実行、を含む群から選択された１以上であることを特徴とするシステム。
【請求項７】
請求項１に記載のシステムにおいて、さらに、前記ルールセットを一緒にまとめるバンドラを具えるとともに、前記１以上の他のルールは前記ルールセット内のルールを含むことを特徴とするシステム。
【請求項８】
請求項７に記載のシステムにおいて、前記バンドラは、ルールを分類するのに用いるカテゴリ階層内の１以上の同じカテゴリを共有するルールセットへルールを一緒にまとめるよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項９】
請求項８に記載のシステムにおいて、前記同じカテゴリは、試験プログラムに関連することを特徴とするシステム。
【請求項１０】
請求項７に記載のシステムにおいて、前記バンドラは、共通のトリガを共有するルールを一緒にまとめるよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項１１】
請求項７に記載のシステムにおいて、前記バンドラは、用途の種類が共通する現実化モジュールを共有するものと一緒にルールをまとめるよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項１２】
請求項１に記載のシステムにおいて、前記１以上の他のルールが、前記ルールとは異なるルールセット内にまとめられたルールを含み、前記ルールおよび前記異なるようにまとめられたルールセットが互いに関連するが異なる種類の現実化モジュールに関連付けられることを特徴とするシステム。
【請求項１３】
請求項１に記載のシステムにおいて、さらに、前記ルールを定義する手段を具えることを特徴とするシステム。
【請求項１４】
請求項１３に記載のシステムにおいて、前記定義する手段が、少なくとも前記ルールを部分的に過去の試験結果の分析を通して定義するよう構成された分析モジュールを備えることを特徴とするシステム。
【請求項１５】
請求項１３に記載のシステムにおいて、さらに、ユーザが少なくとも部分的に前記ルールを定義できるよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項１６】
請求項１５に記載のシステムにおいて、さらに、前記ルールに関連する１以上の設定を保存するよう構成されたレポジトリと、前記レポジトリからの設定をフィルタするよう構成され前記ユーザが前記ルールの定義で使用しうるフィルタとを具えることを特徴とするシステム。
【請求項１７】
請求項１６に記載のシステムにおいて、さらに、現実化モジュールを具え、前記レポジトリが前記現実化モジュールにカスタマイズされることを特徴とするシステム。
【請求項１８】
請求項１３に記載のシステムにおいて、前記定義する手段が、前記ルールの現実化の間にレバレッジされうるモニタされたデータを定義するよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項１９】
請求項１８に記載のシステムにおいて、前記モニタされたデータは、リソグラフィー、欠陥および粒子（defects and particles）、他の製造測定値、Ｅ試験の試験結果、ソート結果、焼き入れ結果、最終試験結果、システム評価の結果、他の試験ソケットの結果、他の試験結果、隣接（neighbors）、配列（geography）、前のロット、前のウェハ、現在のダイ、他のルールの状態、同じ材料で異なるオペレーションのデータ、異なる材料で同じオペレーションのデータ、を含む群から選択される１以上であることを特徴とするシステム。
【請求項２０】
半導体試験に関するルールを生成するシステムにおいて、
ユーザから半導体試験に関するルール用のパラメータの仕様を受け取るよう構成されたユーザインタフェースであって、この仕様は最終的な値のパラメータを提供するものではないユーザインタフェースと、
前記パラメータの最終的な値を定量化するために異なる値のパラメータで複数回前記ルールをシミュレートするよう構成されたシミュレータとを具えることを特徴とするシステム。
【請求項２１】
請求項２０に記載のシステムにおいて、さらに、前記ルールを前記最終的なパラメータ値で現実化するよう構成された現実化モジュールを具えることを特徴とするシステム。
【請求項２２】
請求項２０に記載のシステムにおいて、前記ユーザインタフェースはまた、ユーザから前記ルールとは一致しない半導体試験に関する第２のルールの定義を受け取るよう構成され、前記シミュレータは、前記ルールおよび前記第２のルールをシミュレーションし、前記シミュレーションに基づいて前記ルール吐前記第２のルールのうちの一方を保持し、前記ルールと前記第２のルールのうちの他方を破棄するよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項２３】
半導体試験に関するルールを生成するシステムにおいて、
半導体のルールの１以上のパラメータを提供する手段であって、前記１以上のパラメータは前記ルールの現実化の条件を規定する手段と、
前記条件が存在すると仮定しこれに応じて前記半導体試験の現実化または非現実化をシミュレートするシミュレータとを具えることを特徴とするシステム。
【請求項２４】
請求項２３に記載のシステムにおいて、さらに、前記シミュレーションされたルールを製造で現実化する手段を具えることを特徴とするシステム。
【請求項２５】
請求項２３に記載のシステムにおいて、前記条件は、ポピュレーション、エントリ条件、アクション、有効条件、実行ポイント、エンドポイント、範囲、アルゴリズムオブジェクト、ルール状態、リソグラフィー、欠陥と粒子、他の製造測定値、Ｅ試験の試験結果、ソート結果、焼き入れ結果、最終試験結果、システム評価の結果、他の試験ソケットの結果、他の試験結果、近隣、配列、前のロット、前のウェハ、現在のダイ、他のルールの状態、同じ材料で異なるオペレーションのデータ、異なる材料で同じオペレーションのデータ、を含む群からの１以上であることを特徴とするシステム。
【請求項２６】
請求項２３に記載のシステムにおいて、さらに、前記複数のルールのシミュレーションに基づいて、前記半導体のルールを含む複数のルールの投資リターン基準の予測値を決定する手段と、
前記複数のルールの現実化に基づいて前記複数のルールの前記投資リターン基準の現実の値を決定する手段と、
前記予測値と前記現実の値を比較する手段とを具えることを特徴とするシステム。
【請求項２７】
請求項２６に記載のシステムにおいて、前記投資リターン基準は、製造ロス防止、試験時間短縮、品質向上、信頼性増大、試験漏れ防止、試験フレートヘルス、および統計プロセス制御、を含む群から選択される１以上であることを特徴とするシステム。
【請求項２８】
請求項２６に記載のシステムにおいて、さらに、必要に応じて、前記比較する手段からの出力に基づいて、前記複数の定義されたルールの１以上を適合させる手段を具えることを特徴とするシステム。
【請求項２９】
請求項２３に記載のシステムにおいて、さらに、前記ルールをオフライン製造で現実化する手段と、前記ルールの現実化を分析する手段を具え、前記シミュレータ、前記特定する手段、前記オフライン製造で現実化する手段、前記現実化を分析する手段が、互いに統合されていることを特徴とするシステム。
【請求項３０】
半導体試験システムにおいて、
半導体試験に関する第１のルールを実現するよう構成された第１の現実化モジュールと、
半導体試験に関する第２のルールを実現するよう構成された第２の現実化モジュールとを具え、前記第２のルールは前記第１のルールを参照することを特徴とするシステム。
【請求項３１】
請求項３０に記載のシステムにおいて、前記第２の現実化モジュールは、前記第２のルールの現実化の際に前記第１のルールの結果を用いるよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項３２】
請求項３０に記載のシステムにおいて、前記第２の現実化モジュールは，前記第１のルールが実行されたら、前記第２のルールを現実化するよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項３３】
請求項３０に記載のシステムにおいて、前記第１の現実化モジュールは、必要に応じて前記第２のルールの結果に基づいて調整動作を実行するよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項３４】
請求項３０に記載のシステムにおいて、前記第１の現実化モジュールは、前記第１のルールをリアルタイム製造で現実化するよう構成され、前記第２の現実化モジュールは、前記第２のルールをオフライン製造で現実化するよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項３５】
請求項３４に記載のシステムにおいて、さらに、前記第１のルールをリアルタイム製造で現実化するよう構成された第３の現実化モジュールを具え、前記第２のルールは、前記第１と第３の現実化モジュールのそれぞれにより現実化された前記第１のルールを比較することを特徴とするシステム。
【請求項３６】
請求項３５に記載のシステムにおいて、前記第２のルールは、リアルタイム現実化モジュールに関連する１以上の試験ステーションのパフォーマンスのチェックに関連し、ここで前記１以上の試験ステーションの試験結果は前記第２のルールを現実化する際に処理されることを特徴とするシステム。
【請求項３７】
請求項３０に記載のシステムにおいて、さらに、前記第１および第２のルールをシミュレーションするよう構成されたシミュレーション現実化モジュールを具えることを特徴とするシステム。
【請求項３８】
請求項３７に記載のシステムにおいて、前記シミュレーション現実化モジュールが、前記第２のルールをシミュレーションする際、必要な場合に、前記第１のルールに関して創作した仮定を提供されることを特徴とするシステム。
【請求項３９】
請求項３０に記載のシステムにおいて、さらに、前記第１および第２のルールを定義する手段を具えることを特徴とするシステム。
【請求項４０】
半導体試験に関するルールセットを生成する方法において、
半導体試験に関するルールを、１以上の予め定められた基準に基づいて、１以上の他の半導体試験に関するルールと比較するステップと、
比較部により前記ルールと前記１以上の他のルールとの間に検出された問題のある関係を解決するステップと、
すべての問題のある関係が解決された後に現実化するために前記ルールを含むルールセットを準備するステップとを具えることを特徴とする方法。
【請求項４１】
請求項４０に記載の方法において、さらに、前記ルールセットを現実化するステップを具えることを特徴とする方法。
【請求項４２】
請求項４０に記載の方法において、前記基準は、冗長性、優先性、アクション間の競合、ルール種類間の競合、他の競合、矛盾、相互依存性、およびタイミング実行、を含む群から選択された１以上であることを特徴とする方法。
【請求項４３】
請求項４０に記載の方法において、さらに、前記ルールを定義するステップを具えることを特徴とする方法。
【請求項４４】
請求項４３に記載の方法において、前記定義するステップは、前記ルールの現実化の間にレバレッジされうるモニタされたデータを定義するステップを具えることを特徴とする方法。
【請求項４５】
請求項４４に記載の方法において、前記モニタされたデータは、リソグラフィー、欠陥および粒子（defects and particles）、他の製造測定値、Ｅ試験の試験結果、ソート結果、焼き入れ結果、最終試験結果、システム評価の結果、他の試験ソケットの結果、他の試験結果、隣接（neighbors）、配列（geography）、前のロット、前のウェハ、現在のダイ、他のルールの状態、同じ材料で異なるオペレーションのデータ、異なる材料で同じオペレーションのデータ、を含む群から選択される１以上であることを特徴とする方法。
【請求項４６】
半導体試験に関するルールを生成する方法において、
半導体試験に関するルールのパラメータの仕様を受け取るステップであって、この仕様は最終的な値のパラメータを提供するものではないステップと、
前記パラメータの最終的な値を定量化するために異なる値のパラメータで複数回前記ルールをシミュレートするステップとを具えることを特徴とする方法。
【請求項４７】
請求項４６に記載の方法において、さらに、前記最終的なパラメータ値で前記ルールを現実化するステップを具えることを特徴とする方法。
【請求項４８】
半導体試験に関するルールを生成する方法において、
半導体のルールの１以上のパラメータを提供するステップであって、前記１以上のパラメータは前記ルールの現実化の条件を規定するステップと、
前記条件が存在すると仮定しこれに応じて前記半導体試験の現実化または非現実化をシミュレートするステップとを具えることを特徴とする方法。
【請求項４９】
請求項４８に記載の方法において、前記シミュレートされたルールを製造で現実化するステップを具えることを特徴とする方法。
【請求項５０】
請求項４８に記載の方法において、前記条件は、ポピュレーション、エントリ条件、アクション、有効条件、実行ポイント、エンドポイント、範囲、アルゴリズムオブジェクト、ルール状態、リソグラフィー、欠陥と粒子、他の製造測定値、Ｅ試験の試験結果、ソート結果、焼き入れ結果、最終試験結果、システム評価の結果、他の試験ソケットの結果、他の試験結果、近隣、配列、前のロット、前のウェハ、現在のダイ、他のルールの状態、同じ材料で異なるオペレーションのデータ、異なる材料で同じオペレーションのデータ、を含む群からの１以上であることを特徴とする方法。
【請求項５１】
請求項４８に記載の方法において、さらに、前記複数のルールのシミュレーションに基づいて、前記半導体のルールを含む複数のルールの投資リターン基準の予測値を決定するステップと、
前記複数のルールの現実化に基づいて前記複数のルールの前記投資リターン基準の現実の値を決定するステップと、
前記予測値と前記現実の値を比較するステップとを具えることを特徴とする方法。
【請求項５２】
請求項５１に記載の方法において、前記投資リターン基準は、製造ロス防止、試験時間短縮、品質向上、信頼性増大、試験漏れ防止、試験フレートヘルス、および統計プロセス制御、を含む群から選択される１以上であることを特徴とする方法。
【請求項５３】
請求項５１に記載の方法において、さらに、必要な場合、前記比較に基づいて、前記複数の定義されたルールの１以上を適合させる手段を具えることを特徴とする方法。
【請求項５４】
半導体試験に関するルールを生成する方法において、半導体試験に関する第１のルールを現実化するよう構成された第１の現実化モジュールと、半導体試験に関する第２のルールを現実化するよう構成された第２の現実化モジュールとを具え、前記第２のルールは前記第１のルールを参照することを特徴とする方法。
【請求項５５】
請求項５４に記載の方法において、前記第２のルールを現実化する際に、前記第１のルールの結果を用いることを特徴とする方法。
【請求項５６】
請求項５４に記載の方法において、前記第２の現実化モジュールは，前記第１のルールが実行されたら、現実化されることを特徴とする方法。
【請求項５７】
請求項５４に記載の方法において、さらに、前記第１の現実化モジュールは、必要に応じて前記第２のルールの結果に基づいて調整動作を実行することを特徴とする方法。
【請求項５８】
請求項５４に記載の方法において、前記第１のルールの現実化はリアルタイム製造で行われ、前記第２のルールの現実化はオフライン製造で行われることを特徴とする方法。
【請求項５９】
請求項５４に記載の方法において、さらに、前記第１および第２のルールを必要があれば１以上の創造した仮定を用いてシミュレートするステップを具えることを特徴とする方法。
【請求項６０】
半導体試験方法であって、
半導体試験に関するルールを定義するステップと、
前記ルールを評価するステップと、
前記ルールを他のルールとまとめるステップと、
前記ルールを他のルールと相関させるステップと、
前記ルールを発行するステップと、
前記ルールを現実化するステップとを具えることを特徴とする方法。
【請求項６１】
請求項６０に記載の方法において、前記現実化はシミュレーションによるものであり、さらに、
前記現実化を分析するステップと、
前記ルールを製造のために発行するステップと、
前記ルールを製造で現実化するステップとを具えることを特徴とする方法。
【請求項６２】
請求項６０に記載の方法において、前記定義するステップは、少なくとも一部は過去の試験結果の分析を介して定義されることを特徴とする方法。
【請求項６３】
請求項６０に記載の方法において、前記定義するステップは、ユーザから入力を受け取るステップを具えることを特徴とする方法。
【請求項６４】
請求項６０に記載の方法において、さらに、前記現実化をフォローアップするステップを具えることを特徴とする方法。
【請求項６５】
半導体試験システムにおいて、
半導体試験に関するルールを定義する手段と、
前記ルールを評価する手段と、
前記ルールを他のルールとまとめる手段と、
前記ルールを他のルールと相関させる手段と、
前記ルールを発行する手段と、
前記ルールを現実化する手段とを具えることを特徴とするシステム。
【請求項６６】
半導体試験に関するルールを生成するシステムにおいて、
半導体試験ルールに関するカテゴリの階層をユーザに提供する手段と、
前記ユーザから前記階層内の半導体試験に関する新たなルールの位置を受け取る手段と、
前記位置に基づいて、前記ルールに関する複数のパラメータの仕様を決定し前記ユーザに提供する手段とを具えることを特徴とするシステム。
【請求項６７】
請求項６６に記載のシステムにおいて、さらに、前記ユーザから前記複数のパラメータの１以上の仕様を受け取る手段を具えることを特徴とするシステム。
【請求項６８】
請求項６７に記載のシステムにおいて、前記仕様は、前記ルールの現実化の間にレバレッジされる情報を特定するとともに、前記システムがさらに、前記情報を用いて前記新たなルールを現実化する手段を具えることを特徴とするシステム。
【請求項６９】
請求項６６に記載のシステムにおいて、さらに、前記新たなルールを他のルールとまとめる手段を具え、前記位置は前記他のルールが前記新たなルールとどこに一緒にまとめられるかに影響することを特徴とするシステム。
【請求項７０】
請求項６６に記載のシステムにおいて、さらに、前記新たなルールを他のルールと相関させる手段を具え、前記位置は前記他のルールが前記新たなルールとどこに相関されるかに影響することを特徴とするシステム。
【請求項７１】
請求項６６に記載のシステムにおいて、さらにレポジトリとフィルタとを具え、前記階層を提供する手段および前記パラメータを提供する手段が、前記レポジトリから前記フィルタを介して前記階層と前記パラメータを受け取るよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項７２】
請求項７１に記載のシステムにおいて、前記フィルタは、前記階層とパラメータを前記新たなルールを現実化する目的とする手段に適したものにするよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項７３】
半導体に関するルールを生成する更なる方法において、
半導体試験ルールに関するカテゴリの階層をユーザに提供するステップと、
前記ユーザから前記階層内の半導体試験に関する新たなルールの位置を受け取るステップと、
前記位置に基づいて、前記ルールに関する複数のパラメータの仕様を決定し前記ユーザに提供するステップとを具えることを特徴とする方法。
【請求項７４】
半導体試験システムにおいて、
ウェハマップの形式で１以上の層の情報を有するデータアクセス層と、
半導体試験中に前記データアクセス層からの情報にアクセスするよう構成された製造実行部とを具えることを特徴とするシステム。
【請求項７５】
請求項７４に記載のシステムにおいて、前記層は、ダイが１のウェハ上にあるように同じｘ−ｙ座標位置のダイに関する情報を具えることを特徴とするシステム。
【請求項７６】
請求項７４に記載のシステムにおいて、前記データアクセス層は２以上の層を有し、各々が異なるオペレーションに関連することを特徴とするシステム。
【請求項７７】
請求項７４に記載のシステムにおいて、前記データアクセス層は２以上の層を有し、それぞれが異なるパラメータに関連することを特徴とするシステム。
【請求項７８】
請求項７４に記載のシステムにおいて、前記実行部はステーションコントローラであり、さらに試験モジュールを具え、前記ステーションコントローラが前記データアクセス層おからの情報を用いて前記試験モジュールを制御するよう構成されることを特徴とするシステム。
【請求項７９】
請求項７４に記載のシステムにおいて、前記実行部はオフライン製造実行部であることを特徴とするシステム。
【請求項８０】
半導体試験方法において、
ウェハマップの形式で１以上の層の情報を有するデータアクセス層を提供するステップと、
半導体試験中に前記データアクセス層からの情報にアクセスするステップとを具えることを特徴とする方法。
【請求項８１】
半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、
コンピュータに、１以上の予め定められた基準に基づいて、半導体試験に関するルールを１以上の他の半導体試験に関するルールと比較させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、比較部により前記ルールと前記１以上の他のルールとの間に検出された問題のある関係を解決させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、すべての問題のある関係が解決された後に実現するために前記ルールを含むルールセットを準備させるプログラムコードとを具えることを特徴とするコンピュータプログラム製品。
【請求項８２】
半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、
コンピュータに、ユーザから半導体試験に関するルール用のパラメータであって前記仕様は最終的な値のパラメータを提供するものではないパラメータを受け取らせるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、前記パラメータの最終的な値を定量化するために異なる値のパラメータで複数回前記ルールをシミュレートさせるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードとを具えることを特徴とするコンピュータプログラム製品。
【請求項８３】
半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、
コンピュータに、半導体のルールの１以上のパラメータであって前記ルールの実現条件を規定する１以上のパラメータを提供させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、前記条件が存在すると仮定しこれに応じて前記半導体試験の実現または非実現をシミュレートさせるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードとを具えることを特徴とするコンピュータプログラム製品。
【請求項８４】
半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、
コンピュータに、半導体試験に関する第１のルールを現実化するよう構成された第１の現実化モジュールを実行させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、半導体試験に関する第２のルールを現実化するよう構成された第２の現実化モジュールを実行させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードとを具え、前記第２のルールは前記第１のルールを参照することを特徴とするコンピュータプログラム製品。
【請求項８５】
半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、
コンピュータに、半導体試験に関するルールを定義させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、前記ルールを評価させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、前記ルールと他のルールをまとめさせるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、前記ルールを他のルールと相関させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、前記ルールを発行させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、前記ルールを現実化させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードとを具えることを特徴とするコンピュータプログラム製品。
【請求項８６】
半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、
コンピュータに、半導体試験ルールに関するカテゴリの階層をユーザに提供させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、前記ユーザから前記階層内の半導体試験に関する新たなルールの位置を受け取らせるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、
コンピュータに、前記位置に基づいて、前記ルールに関する複数のパラメータの仕様を決定し前記ユーザに提供させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードとを具えることを特徴とするコンピュータプログラム製品。
【請求項８７】
半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、
コンピュータに、ウェハマップの形式で１以上の層の情報を有するデータアクセス層を提供させるコンピュータ読み取り可能なプログラムと、
コンピュータに、半導体試験中に前記データアクセス層からの情報にアクセスさせるコンピュータ読み取り可能なプログラムとを具えるコンピュータプログラム製品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体の試験に関する。
【背景技術】
【０００２】
より進歩した、信頼性の高い、費用対効果のある半導体製品のための鍵となる制約として、試験が重要である。半導体処理技術の進歩により、チップ設計者は１億のトランジスタを具える高密度チップ製造が可能となった。エキスパートは、今後数年間でこれが１０億以上となると予測する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
半導体処理技術はムーア法の特徴があり、これは所定の表面積内のトランジスタの数は１８ヶ月毎に倍になるというものである。この密度増加は、線幅または配置の減少による。今日では、９０ｎｍの装置が普通であり、２５ｎｍ設計が開発されている（１ナノメートルは１メートルの１００万分の１、または人毛の幅の１／１２００である）。これらの進歩により試験されるべきトランジスタが増え、試験システムに歪みが生じた。この指数的な像率はまた、プロセス、設計、および製造の複雑度を継続的に増加させ、これにより品質、生産高、および製品の信頼性に影響する体系的な問題も増加した。これらすべての要素により試験にとってより多くの試験時間や総合的な試験が必要となり、試験の費用が集積回路の製造コスト全体の重要な要素となってきた。
【０００４】
他に規定しない限り、本書に記載の技術および科学用語は、本発明が属する分野における当業者が共通して理解する意味と同じ意味である。一般に（不要であっても）、ここで以下に用いる名称は、この技術分野でよく知られ共通に用いられるものである。したがって、以下において提供される定義は理解のためのみの明確化であり、限定の意味ではない。
【０００５】
・集積回路（ＩＣ）は、半導体材料で製造される小型の電子デバイスである。
・ウェハは、シリコンなどの半導体材料の薄片であり、この上にドーピング（例えば拡散またはイオン注入）、エッチング、および多様な材料の蒸着により微細回路が製造される。
・ウェハは、通常ダイス（１単位ではダイ、２以上の単位でダイス）とも呼ばれる複数の単位で構成される。製造プロセスが完了したら、ウェハは組立プロセス中にカットされ、各ダイは通常はダイの縁部周辺にあるパッドに半田付けされたアルミ（または時として金）のワイヤを用いてパッケージに接続される。
・様々な試験ステージがある。例えば、ソート（ウェハプローブとしても知られる）は、ユニットがまだウェハレベルにある間に行われる。例えば、最終試験は、ユニットがパッケージングされた後に行われる。
・「タッチダウン」とは、インタフェースユニット（ソート−プローブカードまたは最終試験−接触部）が試験対象ユニットに「接触」するときに用いられる語である。並行試験では、同時に試験されるユニットは同じタッチダウンとなる。
・デバイスの語は、半導体試験において例えば集積回路、製品種類、ウェハ、またはダイなどの多くの意味を有し、その意味は文脈に従う。
・ロットの語も、半導体試験において１以上の意味を有する。通常は、限定しないが、製造およびソート試験においてロットは同時に製造される複数のウェハをいい、組立／最終試験においてロットは、限定しないが、同じバッチで試験される複数のユニットをいう。
【０００６】
ある試験の構成では、１またはそれ以上の試験ステーションがある。各ステーションはテスタ（試験器具）とプローブまたはハンドラ（プローブはウェハは扱うよう構成され、ハンドラは個々のユニットを扱うよう構成される）とを具える。テスタおよびプローブ／ハンドラはともに、試験モジュールと考えることができる。プローブ／ハンドラの上には、ウェハまたは個々のパッケージングされたユニットを保持するよう構成されたインタフェースユニット−プローブカードまたは接触器が座している。１またはそれ以上のステーションコントローラが、テスタとプローブ／ハンドラを制御する。例えば、１のステーションコントローラがテスタとプローブ／ハンドラの双方を制御してもよい。別の例では、１のステーションコントローラがテスタを制御し、別のステーションコントローラがプローブ／ハンドラを制御してもよい。制御ステーションコントローラからの命令を受けると、プローブ／ハンドラはデバイスをテスタへと運び、テスタがデバイス
試験することができる。通常、必須ではないが、このテスタおよびステーションコントローラは、実行時にテスタやステーションコントローラがプログラムに従って試験を実行するためのプログラムを有する。
【０００７】
現在、試験は２つの基本の方法により実行される。デバイスは一度に１つが連続して試験されるか、複数が同時に「並行して」試験される。単一試験はＣＰＵなどの複雑な製品で多く用いられ、一方でメモリデバイスは多くの場合に並行して試験される。ただし、これらの例は拘束ではない。一般に、所定の製品について、試験フローをともに含む種々の試験ソケット（オペレーションやステージとしても知られる）がある。１の試験ソケットは、特定の試験環境において特定の試験種別により区別される１のオペレーションである。例えば、所定のソケットでは、所定温度で一連の試験が実行され、別のソケットでは、同じ（または類似の）試験が異なる温度で行われる。他の例としては、第１のソケットで機能試験が行われ、第２のソケットで構造試験が行われる。試験ソケットは（再び、拘束しないが）、Ｅ試験（またはパラメータ電気試験）、ソート（またはウェハプローブ試験）、焼き付け（Burn-in）、最終試験、およびシステム評価がある。各ソケットは、例えばソート１、ソート２、およびソート３のような様々なサブステップを具えてもよい。ソートは、ダイス（デバイスまたはユニットとしても知られる）がウェハレベルであるときに行われ、一方で最終試験において半導体デバイスはパッケージングされている。この特定のステージの主たるゴールは、潜在的に良好なデバイスを試験で失格となったものと分けることである。電気パラメータ試験がウェハスクライブライン（ダイス間）に行われ、通常はトランジスタパラメトリック特性を測定する。パッケージングの後に、デバイスに長期にわたり高電圧をかけつつ（焼き付けオーブン内で）高温のストレスをかけることで寿命が延びるよう擬態させるために、焼き付けが行われる。いくつかの方法は単にデバイスを高温で「焼く」だけであるが、他は同時に高電圧をかけ、いくつかはこれらすべてをデバイスのＩＯに（高いトグルカバレッジの）関数パターン（functional pattern）を実行しながら行う。システム評価は通常最終ステージで、デバイスを「カスタマモード」で試験することにより行われる。例えば、ＣＰＵデバイスは実際のマザーボード上に配置され、オペレーティングシステムを用いて「ブートアップ」され、同様に他のソフトウェアアプリケーションが試験される。要約すると、すべての製品が異なるフローで行われる。さらに、同じ製品のすべてのデバイスが全体フローで行われるものでもない。例えば、焼き付けとシステム評価は、デバイスが「サンプルモード」で試験されるよい例である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によると、半導体試験に関するルールセットを生成するシステムが提供され、これは、半導体試験に関するルールを、１以上の予め定められた基準に基づいて、１以上の他の半導体試験に関するルールと比較するよう構成された比較部と、前記比較部により前記ルールと前記１以上の他のルールとの間に検出された問題のある関係を解決するよう構成された解決部と、すべての問題のある関係が解決された後に実現するために前記ルールを含むルールセットを準備するよう構成された発行部と、を具える。
【０００９】
本発明によると、半導体試験に関するルールを生成するシステムが提供され、これは、ユーザから半導体試験に関するルール用のパラメータの仕様を受け取るよう構成されたユーザインタフェースであって、この仕様は最終的な値のパラメータを提供するものではないユーザインタフェースと、前記パラメータの最終的な値を定量化するために異なる値のパラメータで複数回前記ルールをシミュレートするよう構成されたシミュレータとを具える。
【００１０】
本発明によると、さらに、半導体試験に関するルールを生成するシステムが提供され、これは、半導体のルールの１以上のパラメータを提供する手段であって、前記１以上のパラメータは前記ルールの実現条件を規定する手段と、前記条件が存在すると仮定しこれに応じて前記半導体試験の実現または非実現をシミュレートするシミュレータとを具える。
【００１１】
本発明によると、さらに、半導体試験システムが提供され、これは半導体試験に関する第１のルールを実現するよう構成された第１の現実化モジュールと、半導体試験に関する第２のルールを実現するよう構成された第２の現実化モジュールとを具え、前記第２のルールは前記第１のルールを参照する。
【００１２】
本発明によると、半導体試験に関するルールセットを生成する方法が提供され、これは半導体試験に関するルールを、１以上の予め定められた基準に基づいて、１以上の他の半導体試験に関するルールと比較するステップと、比較部により前記ルールと前記１以上の他のルールとの間に検出された問題のある関係を解決するステップと、すべての問題のある関係が解決された後に実現するために前記ルールを含むルールセットを準備するステップとを具える。
【００１３】
本発明によると、半導体試験に関するルールを生成する方法が提供され、これは半導体試験に関するルールのパラメータの仕様を受け取るステップであって、この仕様は最終的な値のパラメータを提供するものではないステップと、前記パラメータの最終的な値を定量化するために異なる値のパラメータで複数回前記ルールをシミュレートするステップとを具える。
【００１４】
本発明によると、半導体試験に関するルールを生成する方法が提供され、これは半導体のルールの１以上のパラメータを提供するステップであって、前記１以上のパラメータは前記ルールの実現条件を規定するステップと、前記条件が存在すると仮定しこれに応じて前記半導体試験の実現または非実現をシミュレートするステップとを具える。
【００１５】
本発明によると、半導体試験に関するルールを生成する方法が提供され、これは半導体試験に関する第１のルールを実現するよう構成された第１の現実化モジュールと、半導体試験に関する第２のルールを実現するよう構成された第２の現実化モジュールとを具え、前記第２のルールは前記第１のルールを参照する。
【００１６】
本発明によると、半導体試験に関するルールを生成する方法が提供され、これは半導体試験に関するルールを定義するステップと、前記ルールを評価するステップと、前記ルールと他のルールをまとめる（bundling）ステップと、前記ルールを他のルールと相関させるステップと、前記ルールを発行する（publishing）ステップと、前記ルールを現実化するステップとを具える。
【００１７】
また本発明によると、半導体試験システムが提供され、これは半導体試験に関するルールを定義する手段と、前記ルールを評価する手段と、前記ルールを他のルールとまとめる手段と、前記ルールを他のルールと相関させる手段と、前記ルールを発行する手段と、前記ルールを現実化する手段とを具える。
【００１８】
さらに本発明によると、半導体試験に関するルールを生成するシステムが提供され、これは半導体試験ルールに関するカテゴリの階層をユーザに提供する手段と、前記ユーザから前記階層内の半導体試験に関する新たなルールの位置を受け取る手段と、前記位置に基づいて、前記ルールに関する複数のパラメータの仕様を決定し前記ユーザに提供する手段とを具える。
【００１９】
本発明によると、半導体に関するルールを生成する更なる方法が提供され、これは半導体試験ルールに関するカテゴリの階層をユーザに提供するステップと、前記ユーザから前記階層内の半導体試験に関する新たなルールの位置を受け取るステップと、前記位置に基づいて、前記ルールに関する複数のパラメータの仕様を決定し前記ユーザに提供するステップとを具える。
【００２０】
本発明によると、半導体試験システムが提供され、これは、ウェハマップの形式で１以上の層の情報を有するデータアクセス層と、半導体試験中に前記データアクセス層からの情報にアクセスするよう構成された製品製作部とを具える。
【００２１】
また本発明によると、半導体試験方法が提供され、これはウェハマップの形式で１以上の層の情報を有するデータアクセス層を提供するステップと、半導体試験中に前記データアクセス層からの情報にアクセスするステップとを具える。
【００２２】
本発明によると、さらに、半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、前記コンピュータプログラム製品が、コンピュータに、１以上の予め定められた基準に基づいて、半導体試験に関するルールを１以上の他の半導体試験に関するルールと比較させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに、比較部により前記ルールと前記１以上の他のルールとの間に検出された問題のある関係を解決させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに、すべての問題のある関係が解決された後に実現するために前記ルールを含むルールセットを準備させるプログラムコードとを具える。
【００２３】
本発明によると、さらに、半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、前記コンピュータプログラム製品が、コンピュータに、ユーザから半導体試験に関するルール用のパラメータであって前記仕様は最終的な値のパラメータを提供するものではないパラメータを受け取らせるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに、前記パラメータの最終的な値を定量化するために異なる値のパラメータで複数回前記ルールをシミュレートさせるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードとを具える。
【００２４】
本発明によると、さらに、半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、前記コンピュータプログラム製品が、コンピュータに、半導体のルールの１以上のパラメータであって前記ルールの実現条件を規定する１以上のパラメータを提供させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに、前記条件が存在すると仮定しこれに応じて前記半導体試験の実現または非実現をシミュレートさせるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードとを具える。
【００２５】
本発明によると、半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、前記コンピュータプログラム製品が、コンピュータに半導体試験に関する第１のルールを実現するよう構成された第１の現実化モジュールを実行させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに半導体試験に関する第２のルールを実現するよう構成された第２の現実化モジュールを実行させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードとを具え、前記第２のルールは前記第１のルールを参照する。
【００２６】
また、本発明によると、半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、前記コンピュータプログラム製品が、コンピュータに半導体試験に関するルールを定義させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに前記ルールを評価させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに前記ルールと他のルールをまとめさせるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに前記ルールを他のルールと相関させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに前記ルールを発行させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに前記ルールを現実化させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードとを具える。
【００２７】
本発明によると、さらに、半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、前記コンピュータプログラム製品が、コンピュータに、半導体試験ルールに関するカテゴリの階層をユーザに提供させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに前記ユーザから前記階層内の半導体試験に関する新たなルールの位置を受け取らせるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードと、コンピュータに、前記位置に基づいて、前記ルールに関する複数のパラメータの仕様を決定し前記ユーザに提供させるコンピュータ読み取り可能なプログラムコードとを具える。
【００２８】
本発明によると、さらに、半導体試験に関するルールセットを生成するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムコードを有するコンピュータ利用可能な媒体を有するコンピュータプログラム製品において、前記コンピュータプログラム製品が、コンピュータに、ウェハマップの形式で１以上の層の情報を有するデータアクセス層を提供させるコンピュータ読み取り可能なプログラムと、コンピュータに、半導体試験中に前記データアクセス層からの情報にアクセスさせるコンピュータ読み取り可能なプログラムとを具える。
【００２９】
これらのおよび他の本発明の特徴および利点は、添付の図面とともに以下の発明の詳細な説明を考慮することにより明らかとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下は、半導体試験にかかる本発明の実施例である。
【００３１】
本書において、本発明の例示的な実装例を記述する「例えば」、「のような」およびこれらの派生形は、本質的に例示であって限定ではない。
【００３２】
図面を参照すると、図１は本発明の一実施例にかかる半導体試験方法１００のフローチャートである。本発明の別の実施例では、図１に示すものより少ない、多い、または異なるステージを実行してもよい。これらのステージは、図１に示す以外の順番で実行されてもよいし、および／または、いくつかの実施例では１またはそれ以上のステージが同時に行われてもよい。方法１００の各ステージは、（ユーザの介入なく）自動的に行われてもよいし、半自動および／またはマニュアルで行われてもよい。
【００３３】
図１について、図２と一緒に説明する。図２は、方法１００を実行する半導体試験システム２００のブロック図であり、本発明の一実施例によると、ルール生成モジュール２１０、および／または１以上の種類の現実化モジュール２３０、および／または分析モジュール２６０を具える。説明の容易のために、現実化モジュール２３０はここおよび以下において単一形態で参照するが、この参照はシステム２００の現実化モジュール２３０が単数の場合と複数の場合を含むと理解されたい。モジュール２００の各システムは、本書に定義され説明される機能を実行する様々なソフトウェア、ハードウェア、および／またはファームウェアの組み合わせで作成することができる。システム２００のモジュールは、１つの場所にあるか、２以上の場所に分散してもよい。例えば、一実施例では、システム２００の１以上の機能が同じエンクロージャの中、例えば１のサーバ内にある。別の例ででは、一実施例では、システム２００の１以上のモジュールがローカルエリアネットワークＬＡＮまたは他の適切なネットワークで接続される。
【００３４】
本発明の別の実施例では、システム２００は図２に示すより少ない、多い、および／または異なるモジュールを具えてもよい。例えば一実施例では、例えばシステム２００以外でルールの現実化が行われる場合、システム２００にはルール生成モジュール２１０のみがあってもよい。別の実施例では、例えばシステム２００以外でルールが生成される場合、システム２００には現実化モジュール２３０のみがあればよい。別の実施例では、ルールがルール生成モジュール２１０および／または分析モジュール２６０を用いないどこかで定義される場合、分析モジュール２６０を省略してもよい。
【００３５】
ステージ１０４で、半導体試験ルール（以下、試験アルゴリズムとも称す）が定義される。以下で読者にさらに明確となるが、半導体試験ルールは、試験、試験の一部、ｉｆ−ｔｈｅｎシナリオ、試験シーケンス、試験の結果または試験シーケンスの結果としてもアクション、および／または、半導体試験において様々な必要な相が明記される。一実施例では、ユーザの入力有り、または無しでルール生成モジュール２１０によりルールが定義される。ここ以下では単数形式のユーザしか用いないが、読者はいくつかの場合では１より多いユーザがルールの生成に参加してもよいことを理解されたい。
【００３６】
別の実施例では、ルール生成モジュール２１０の外側で一部または全部のルールのルール定義１０４が行われてもよい。例えば一実施例では、ルール定義１０４は分析モジュール２６０で行われるが、これはルール生成モジュール２１０によりサポートされる形式でである。この実施例では、ヒストリック試験結果を用いて、分析モジュール２６０がルールを定義する。例えば、分析モジュール２６０は、いずれの試験が履歴的にフォールアウトが低いかを分析し、ステージ１０４にて低いフォールアウト試験を除去する。分析モジュール２６０に定義されたルールはその後、ルール生成モジュール２１０に提供され、ルール生成モジュール２１０を用いて例えば評価（ステージ１０８）、まとめ（ステージ１１２）、相関（ステージ１１６）、および／または発行（ステージ１２０）が行われ、あるいは定義されたルールはルール現実化モジュール２３０に直接提供される。ルール定義１０４中にモジュール２６０で行われる分析は、いくつかの実施例では多様なサブステップを含んでもよく、例えば１より多い分析の実行、分析中の１より多い点での結果の参照、分析中の多くの点での決定を下すこと、等である。
【００３７】
一実施例では、定義されたルールはリアルタイムの製造に関連するよう、または例えばオフラインなどの他の状況に関連するようタグ付けされる。オフラインは、「リアルタイムでない」と判断され、ルールの現実化をオフラインで実行してもリアルタイムの試験製品に影響しないことを意味する。例えば、オフラインルールはテストモジュールには実行されない。この実施例では、リアルタイムと他の状況に関連してタグ付けされた双方のルールが、シミュレーションで現実化される。別の実施例では、一部または全部のルールが、そのルールがリアルタイム製造に関連するか否か、期間について柔軟に定義されてもよい。
【００３８】
ステージ１０８では、ステージ１０４で定義されたルールが、ルール生成モジュール２１０により評価される。評価により、定義されたルールがシステム２００にとって以下に詳述するように適切かが確実になる。例えば、製品に関するビン（bins）のみ、試験モジュールがサポートするアクション（クリーン、再ソート、再試験、量など）などが有効である。
【００３９】
いくつかのケースでは、ステージ１０４、１０８がともに実行され、例えばユーザはルール定義中にシステム２００に有効なパラメータをルール生成モジュール２１０に入力できるのみである。ステージ１１２で、ルール生成モジュール２１０はここで定義されたルールを、ルール生成モジュール２１０または他の手段を介して定義された他のルールと一緒に１のルールセットへとまとめる。以下、ルールセットとは、複数の半導体試験ルールを含む意味で用いる。ステージ１１６で、ルールはルール生成モジュール２１０により、例えばこのルールを含んでまとめられたルールセット内の一部または全部の他のルールなどの１以上の他のルールに対して相関される。ステージ１２０で、定義されたルールが、いくつかの場合はまとめられたルールセットの一部として、ルール生成モジュール２１０により発行される。以下の説明する目的のため、発行とは定義されたルールを現実化するための準備することと理解されるべきである。ステージ１２４で、ルールは現実化モジュール２３０により現実化される。後述するが、いくつかのルール現実化において、いくつかの場合は、一部又は全部の場合でこれらのルールの現実化を阻害する、またはしない他の要素に従属してもよい。別の実施例では、ルール現実化ステージ１２４は、ルール１０８の後、すなわちルールセットへまとめられる前に行われてもよい。ステージ１３０で、ルール現実化のフォローアップを行う。フォローアップ１３０は、以下の事項の１以上を含むことができる：現実化の分析、豊富尾１００をそのままにする／終了させる、ルールを適合させる、ルールにタグ付けする、ルールを放棄する、ルールを報告する、ルールを最適化する、そのルールまたは同じ種類の現実化モジュール２３０を用いて適合させたバージョンのルールの現実化を継続する、そのルールまたは異なる種類の現実化モジュール２３０で適合させたバージョンのルールを現実化させる、ルールの結果を監視する、または他の様々な適切なアクション。フォローアップ１３０は実施例により、ルール生成モジュール２１０、現実化モジュール２３０、および／または分析モジュール２６０で行うことができる。一実施例では、フォローアップステージ１３０は、方法１００の１以上のステージを繰り返すステップを含む。
【００４０】
ルール定義（ステージ１０４）と、他のステージとの相互関連についてより詳細に説明する。本発明の一実施例では、試験ルールは、そのルールが属するカテゴリの階層により特徴付けられる。本実施例では、階層はとりわけ、ルールの定義（ステージ１０４）、ルールのまとめ（ステージ１１２）、および／または他のルールに対するそのルールの相関（ステージ１１６）に役立つ。
【００４１】
いくつかの実施例では、カテゴリの階層は製品に基づく。通常、必須ではないが、実質的に類似するユニットまたはデバイスは同じ製品と考えられる。この実施例では、階層は（最上レベルから下へ）以下のカテゴリを具える：製品、範囲（area）、オペレーション（ソケット）、試験プログラム（バージョン）、ルールセット（バージョン）、ファミリー、ルール種類、および単一エンティティ（ルール）。本例では、ユーザが階層を利用したいと考えた場合、ユーザはステージ１０４で最初に製品を特定することによりルールを定義する。次に、そのユーザは範囲を特定する。次に、ユーザはソケット／オペレーションを特定する。読者が理解するように、ソケットは試験の場所と種類を定義する。ソケットの例は、以下の１以上の相互−、Ｅ試験、ソート（１，２，３等）焼き付け、最終試験（１，２，３等）、および、システム評価を含む。次に、ユーザは試験プログラムのバージョンを特定する。読者は分かるように、試験プログラムは、テスタで実行されるプログラムである。次に、ユーザはルールセットのバージョンを特定する。次にユーザはファミリーとルール種類を特定する。次にユーザは、後に詳述する（単一エンティティ）ルール自体を特定する。ユーザによる仕様は様々な適切な方法で実現することができ、例えばメニューから選択、フリーモード入力等がある。別の実施例では、階層中のカテゴリの一部または全部が、ユーザ入力なしで自動的に特定される。一実施例では、ツリー階層がカテゴリの一部または全部の説明、特徴、および／または属性を含む。これらの説明、特徴、および／または属性の例はとりわけ、アクティブ／非アクティブ、前／現在／先、試験種類、温度等を含む。一実施例では、このツリーは、１以上の可変の説明、特徴、および／または属性に応じて実行される「フィルタ」機構または「グループ分け（group by）」機能を有してもよい。一実施例では、オペレーションが、例えば、試験種類（機能的、構造的、光学的）、温度（暑い、寒い、実際の温度）等の試験ソケットのすべての必要な条件を記述してもよい。
【００４２】
上述したように、この説明で提供されるすべての例は説明目的であり、限定と考えてはならない。この意図において、いくつかのルールファミリーや当該ファミリー内のルール種類の例がここに提供され、ルールファミリーの例は：ビンＳＰＣ（統計プロセス制御）、パラメトリックＳＰＣ（統計プロセス制御）、試験時間縮小（ＴＴＲ）、品質＆信頼性、および処理後＆配置を含む。
【００４３】
ルールファミリーおよびルール種類の例は、ソート動作とともに説明されるが、同様の方法で（例えば最終試験で「ウェハ」がないなど僅かな変更で）、同様の例を様々なソケット／オペレーション（Ｅ試験、焼き付け、最終試験、システム評価等）に用いることができる。
【００４４】
ビンＳＰＣルールは、例えばＣＢＬ（連続ビンリミット）、ＴＢＬ（合計ビンリミット）、およびＳＢＬ（統計ビンリミット）などのルールを含む。連続ビンリミットルールの一種は、リアルタイムで実行され特定の障害サイン（例えば、同じビン）を受けるユニットが連続的である場合に「トリガ」される。これが生じると、このルールは調整アクションとなり、例えばプローブにプローブカードの洗浄や、ルールのトリガとなった最後のＸだけ連続するビンの再試験を命令する。さらなる種類のアクションは、試験を待って技術者にアラームを与えることである。さらに、ＣＢＬ関連ルールは、機器エンティティ（１のエンティティは、例えばテスタ、プローブカード、またはテスタとプローブカードの組み合わせである）ごとのＣＢＬの発生量を監視して比較することを含む。このルールは、「アウトライア」機器（ＣＢＬ発生数が有意に多いもの）の表示を提供し、必須ではないが通常はオフラインで実行される。オフライン実行の間、ここの試験器具間で比較が行われる。ＣＢＬルールは単独試験に限られず、同様に並行試験で行ってもよい。この場合、ユニット間またはタッチダウン間で「連続実行」してもよい。
【００４５】
統計ビンリミットルールは、ウェハの終点またはロットの終点で実行され、特定の障害サイン（例えばビン）が通常より高いかが確認される。このルールがトリガされると、アラームをトリガして、例えば異なる試験システム（再ソートとも呼ばれる）でウェハを再試験する、工学配置用にウェハを保持する、ウェハを破棄する、将来参照するために「タグ付け」する等の多様なアクションを実行させる。
【００４６】
合計ビンリミットルールは統計便リミットルールと似ているが、「ウェハ／ロットイベント」の終点である必要がない。このルールは、必須でないが通常はリアルタイムで実行され、所定の材料量（例えば５０ユニットの領域サイズ）の試験において同じ障害サイン（例えばビン）を有するダイスの量が（連続的でなく）通常より高くなった場合に「トリガ」される。ビンにトリガされるさらなる統計プロセス制御ルールは、ビンの切り替えまたはより正確には再試験または再ソートアクションの原因となるダイのゲインを確認することを含む。
【００４７】
パラメトリックＳＰＣは、パラメトリック試験におけるアウトライア、トレンド、周辺（marginalities）、およびフリーズを含んでもよい。パラメトリック試験の結果は通常、「フロート」タイプの値で特徴付けられ、ＳＰＣチャートを用いてモニタすることができる。
【００４８】
図３は、本発明の一実施例にかかるＳＰＣチャートである。アウトライア３０２、周辺３０４、トレンド３０６の特定は、ユニット、ウェハ、またはロットレベルで行うことができる。フリーズ３０８は通常ユニットレベルで行われる。このルールがリアルタイムで実行される場合のユニットレベルでの「調整」アクションは、アラーム、デバイスの再試験、デバイスの再ストレス、またはこれを「止める（kill）」ことである。ビンＳＰＣと同様に、オフラインで実行されるルールは、試験器具毎のアウトライア、トレンド、周辺、またはフリーズの発生数を確認し比較することができる。
【００４９】
試験時間の短縮（ＴＴＲ）は、ダイのスキップ、試験のスキップ、最適化サーチリミットなどのルールを含んでもよい。ダイを試験することなくダイをスキップし、既知の状況に基づいてビンを割り当てる（assigning）ことは、試験時間短縮技術のよい例である。別の例は、状況によって試験（ただし全体の試験フローではない）をスキップすることである。別の例は、状況によってサーチ試験のサーチウィンドウを調整することである。どのように、および／またはどうやってルールを現実化するかを決定する際にどのような状況が確認されるかは以下を参照されたい。
【００５０】
品質＆信頼性向上ルールは、試験フローへの試験の追加、ストレス試験におけるストレス特性の変更、パラメトリック試験の力の値の変更、またはすべて前の経験に基づくパラメトリック試験の停止リミットの変更、を含む。ルールを介してユニット毎に許される試験の量や、特定の時間枠におけるプローブカード毎に許されるクリーニングイベントの量の制御は、プロセス品質制御ルールの他の例である。
【００５１】
処理＆配置後のルールは、ビン情報を特定のデバイス用に変更することを含む。例えば、他のすべてのユニットが駄目な状態のなかに１の良好なユニットがある範囲にある場合、この良好なユニットは「汚染され」駄目なものとなる。追加のルールは、次のソケット目的（例えばソートから組み立て、またはソートから焼き付け）のためにユニット属性を変更することを含む。
【００５２】
一実施例では、いくつかのルールは試験プログラムを実行し、他のルールは実行の前に試験プログラムのパラメータを変更し、これは以下にさらに説明される。
【００５３】
別の実施例では、製品から始まる別の階層があってもよい。
【００５４】
別の実施例では、例えばテスタ、プローブ／ハンドラ、またはテスタとプローブ／ハンドラの組み合わせに基づく、試験モジュールに基づくルールの階層があってもよい。例えば、これらの実施例の一つでは、この階層は（最上レベルから下へと）試験モジュールの次にルールの種類の次に単一エンティティ（ルール）がある。この階層におけるルールの種類は、とりわけ温度、配列、真空、およびクリーンカウンタの１以上を含む。
【００５５】
別の実施例では、この階層は例えばオフライン製造に用いるクロスモジュールおよび／またはクロス製品である。例えば一実施例では、階層は（最上レベルから下へ）ソケット／オペレーション、次にルール種類、次に単一エンティティ（ルール）を含む。この階層でのルール種類はとりわけ、収率（yield）、迅速性（fleet）、および操作性（operational）を含む。
【００５６】
いくつかの実施例では、階層構造によりルールまとめステージ１１２を容易にする。これらの実施例の一つでは、ルールを特徴付けるのに用いられるカテゴリ階層の１以上の同じカテゴリを共有するルールは、一緒にまとめられる。一実施例では、同じ試験プログラム用のルールが一緒にまとめられる。別の実施例では、同じ製品、同じ試験モジュール、同じソケット／オペレーション、同じルール種類、同じファミリー、同じルールセットのバージョン等のルールが一緒にまとめられる。
【００５７】
本発明の一実施例では、ステージ１１６で階層構造により相関が容易となる。例えば、一実施例では、同じファミリーに属する１のルールセット内のルールのみが干渉および／または冗長の可能性をチェックされる。別の例として、一実施例では、階層構造に基づいて同じルールセットに一緒にまとめられたルールのみが、互いに相関される。
【００５８】
階層の有無に拘わらず、ユーザ入力を介しておよび／または自動的に、ルールのパラメータがステージ１０４で定義される。
【００５９】
本発明のいくつかの実施例では、特定のルールのパラメータの組み合わせが、ルールのすべてを定義するか何も定義しない。例えば、あるルールのパラメータは、ステージ１２４でいつルールが現実化されるか否かの条件を定義する。これらの実施例の一つでは、特定のルールを所定の時点で現実化する条件は、とりわけ過去の試験結果（特定のルールおよび／または他のルールについて）、製造の「Ｆａｂ」測定（fabrication "Fab" measurements）、および／または１以上の別のルールの状態を含む。過去の試験結果の例はとりわけ、Ｅ試験の試験結果（インラインとライン終点）、他の試験ソケットの結果、他の試験結果、前のロットとウェハ、多様な種類（近接、幾何学、リソグラフィー露光、タッチダウン（並行露光）等）の近隣、および／または現在のダイを含む。例えば、レバレッジ情報は、一実施例では同じ材料で異なるオペレーション（リソグラフィー、欠陥および粒子、Ｅ試験（またはパラメトリック電気試験）、ソート（またはウェハプローブ試験）、焼き付け、最終試験、およびｆシステム評価等）に関するデータを含む。別の実施例では、レバレッジ情報は、一実施例では同じオペレーションによる異なる材料（前のロット、ウェハ、ダイ／ダイス等）に関する情報を含む。いくつかの場合、発明の仮定条件が、実際の試験結果、測定、および／または例えばシミュレーションなどの状態との置換としてレバレッジされる。例えば、ルールにより規定されるアクションの反動が仮定される（発明される）。これらの実施例の別のケースでは、条件は代わりにまたはさらに、パラメータ（例えば、ポピュレーション、エントリ条件、有効条件、実行ポイント、終点、範囲、アルゴリズム対象物、ルール状態等、より詳細に後述する）により規定される他の相を含んでもよい。以下は、なにをレバレッジできるかのいくつかの例であり、読者の理解のためだけに与えられる。これらの例は、それ故、すべてを網羅していると考えてはならない。
【００６０】
例えば、レバレッジ可能なＦａｂ測定は、とりわけ以下の１以上を含む：
【００６１】
１．リソグラフィー：これは層ごとのリソグラフィー露光を定義する。各層は、重要、半分重要、非重要に分けられる。製造プロセスにより、数ダースの層があってもよい。
【００６２】
ｉ．用法（Usage）：この情報は近隣に関するリソグラフィーを規定できる。これらのダイスは同様の特性を示す。例えば、リソグラフィー露光（３×３）中に９のダイスがあり、最大周波数（Ｆｍａｘ）測定がこのうち５つであると仮定する。残りの４つは通常その５つのダイスに非常に近い測定値を有する。
【００６３】
２．欠陥＆粒子：これらは本質的に試験結果ではないが、ウェハ毎またはリソグラフィー露光毎の欠陥／粒子の量／密度を反映している。
【００６４】
ｉ．用法：ウェハの「より清潔な」領域を消極的に試験するのに対し、欠陥となりがちな「汚い」領域がさらに試験される。
【００６５】
例えばＥ試験結果は、とりわけ以下の１以上を含みレバレッジされうる：
１．インライン＆ライン終点：これらは試験結果である。電気試験がウェハのスクライブライン（ダイス間）に行われる。この試験ソケットの主目的は、プロセスの健全性をチェックすることであって各ダイのロジックではない。インラインＥ試験は、ウェハ製造中であってウェハが完全に製造される前にＦａｂ内で行われ（複数の層の間で実行され）るのに対し、終点Ｅ試験はウェハが完全に製造されてから実行される。
【００６６】
ｉ．用法：種々のＥ試験パラメータは、ソート／最終試験で試験される試験パラメータと非常によく相関する。これ（Ｅ試験）情報は、以降のソケットで試験を「微調整」すべくレバレッジされる。
【００６７】
例えば、別の試験ソケット結果は、とりわけ以下の１以上を含んでもよい：
１．ソート：ウェハがまだ「そのままの状態」のときに実行される試験ソケットであるい。ソートは、複数のソケットまたはオペレーションを含んでもよい。
２．焼き付け：部品に所定期間高い電圧＆温度を導入することにより、初期失敗率の減少／排除を目的とするパッケージング後に行われる試験ソケットである。
３．最終試験：すべてのユニット（またはダイスまたはデバイス）がパッケージされた後に実行される試験ソケットである。最終試験は複数のソケットまたはオペレーションを含んでもよい。
４．システム評価：システムレベルで実行される試験ソケットである。デバイスは「実際のシステム」（例えばマザーボード）内に置かれる。
【００６８】
すべての材料が必ず各ソケットを通る必要はないことを理解されたい（例えば、いくつかの場合はシステム評価は追加のモニタとしてすべての材料のＸ％に実行される）
【００６９】
追加の情報（特定のソケット／オペレーションに関連しない）が、とりわけ以下の１以上を含んでレバレッジされうる：
１．利用可能な試験結果は、現在の材料での前の試験ソケットまたは前の材料での同じソケット（またはその組み合わせ）からの結果を含む。
【００７０】
ｉ．ウェハｘのソートソケットｎの間、ウェハｘのソートソケットからの試験結果がレバレッジされる。
ａ．データは「現在のダイ」についてレバレッジされる
ｉｉ．ウェハｘのソートソケットｎの間、ウェハｘ−１のソートソケットｎ（同じソケット）からの試験結果がレバレッジできる。例えば、ロット毎に２５のウェハがあり、ソートの間、最初の５のウェハが「収率ゼロ」の場合、残りの２０のウェハについて試験を止めてもよい。
ｉｉｉ．前の材料は、ロット、ウェハ、または種々の近隣を含んでもよい。
【００７１】
２．近隣の種類
ｉ．近接の近隣（近接レベルは、１ダイ、２ダイ、半径とも称される）
ｉｉ．タッチダウン近隣（並行試験）
ａ．タッチダウン内のダイス
ｂ．全タッチダウン中の１のタッチダウン内の同じダイ位置
ｃ．近接タッチダウン：互いに隣接する（近接ダイと同じ）
ｉｉｉ．リソグラフィー露光近隣
ａ．露光内のダイス
ｂ．全露光中の１の露光内の同じダイ位置
ｃ．近接露光：互いに隣接する（近接ダイと同じ）
ｉｖ．「Ｚ」近隣：同じオペレーションのウェハ／ロットにわたる１のウェハ内の同じＸ／Ｙ位置
ａ．上記近隣種類：近接、タッチダウン、リソグラフィー等のそれぞれの追加の近隣属性として追加可能
ｖ．チェックボード近隣（レベル：全ウェハ、リソグラフィー露光内、またはタッチダウン内）
ｖｉ．予測の近隣（２つのオプションあり）。図４４参照、本発明の一実施例による、試験下ウェハ、試験途中、のプローブシーケンスを示す。このプローブシーケンスでは、試験されるダイスからの情報を、未試験のダイの試験を定義するのに利用できる。この例では、ダイスは２１，２２，２３，３０と記されたダイが、該当するダイの予測近隣である。
ａ．予測近隣−右
・ＸＸＸ
・？Ｘ
ｂ．予測近隣−左
・ＸＸＸ
・Ｘ？
【００７２】
３．配列種類
ｉ．リング、ドーナツ等を含んでもよい
ｉｉ．位置固定されたダイスは、必須ではないが通常は近隣とは考えず、これは層である。
ｉｉｉ．いくつかの実施例ではオペレーションが異なれば異なる層が生成される。
【００７３】
システム２００によりルールを定義できるため現実化を条件付きとでき、希望によりカスタマイズ（すなわち調整可能な）ルールの現実化を行うことができる。例えば、一実施例では、ルールが「ｉｆ−ｔｈｅｎ」の条件として定義されると、このルールは「ｉｆ」の条件が満たされた場合のみ現実化することとなる。
【００７４】
読者は、本発明ではカスタマイズが可能であるため、希望により、試験の効率を犠牲にすることなく、可能なルールの蓄積が大きくなりうることを理解するであろう。
【００７５】
読者はまた、ルールは、例えば特定の試験モジュール、特定の製品種類、特定のロット、特定のウェハ、特定のダイ、ダイ内での特定の領域など、様々なレベルで適用しうることを理解するであろう。１のルールはまた、あるいは代わりに、以下の１より多いものに適用することができる：モジュール、製品種類、ロット、ウェハ、ダイ、ダイ内の領域等。１のルールを代わりに製品および／またはモジュールにわたり適用してもよい。
【００７６】
図４は、現実化モジュール２３０のいくつかの要素のブロック図であり、これはパラメータの組み合わせが条件依存で実現化するルールを（ステージ１０４で）規定するルールを現実化するよう構成される。単純化のため、現実化モジュール２３０内の条件依存に関するこれらのモジュールだけが図４に示されている。図４に示すモジュールは、本書で規定され開示される機能を実行するソフトウェア、ハードウェア、ファームウェアの様々な組み合わせを具えてもよい。本発明の別の実施例では、図４の機能は、図４に示すものより少ない、多い、および／または異なるモジュールを具えてもよい。
【００７７】
ルール審査部４１０が特定のルールを審査し、そのルールの現実化を制限する条件がなにかあるかを確認する。比較部４２０がそのルール特有の条件が条件審査部４３０により特定される既存の条件に合致するかを判断する。ここで合致すると、決定部４４０がステージ１２４で現実化しないことを決定する（または逆に、ルールが現実化すべきところを規定する場合であってこれに合致した場合、決定部はステージ１２４で現実化することを決定する）。
【００７８】
現実化が他のルール（同じ現実化モジュール２３０により実行される）の状態について条件付けられているルールの例では、毎回洗浄を実行する最初のルールは、特定のビンのＣＢＬであると仮定する。同じルールはまた、クリーニングが実行された後にストリングを再試験する。また、ウェハ毎またはロット毎に許された洗浄料はＸであることを示す同じ現実化モジュール２３０（例えばリアルタイムで）で実行される第２のルールを仮定する。この第２のルールは、第１のルールが各テスタで「洗浄」を計測した場合にトリガされる。この例では、ルール審査部４２０は、第２のルールの審査で当該ルールが第１のルールの実行との条件付きであると知り、比較部４２０が第１のルールが生じたかを決定し、これがｙｅｓの場合に、決定部３３０が第２のルールを実行する。
【００７９】
現実化が他のルールの状態の条件となるルールの例として、第１の現実化モジュールでリアルタイムに実行される第１のルールで、連続ビンストリングの確認と例えば再試験または洗浄および再試験などの適切なアクションを実行すると仮定する。第２の現実化モジュール２３０は第１のルールに関するデータを受け取り、機器エンティティ毎に生じるＣＢＬ量をモニタリングし比較する第２のルールを実行する。この例では、第２の現実化モジュールのルール審査部４１０は、第２のルールの審査時に、ルールは連続的でありこのルールが第１のルールの実行により条件付けられることが判明した場合、比較部４２０は第１のルールが生じたことを検出し、ｙｅｓの場合、決定部４４０が第２のルールを実行する。
【００８０】
図５を参照すると、本発明の一実施例にかかる、とりわけステージ１０４であるルールに規定されるべき可能なパラメータが示されている。
【００８１】
このパラメータは、ルールのブロックを積み上げるものと考えられる。実施例に応じてパラメータ名の一部または全部は、ユーザに可視または不可視である。いくつかの実施例では、パラメータの一部または全部が内部要素である。例えばこれらの一実施例では、アルゴリズムオブジェクトおよびルールステージはユーザに可視であり、いくつかのルールがすべてのパラメータを含む一方で他のルールがパラメータの一部のみを含んでもよい。このパラメータは、本書に図示し説明するシーケンスの順序通りに入力される必要はない。すべてのパラメータは単一の形態で記述されるが、適切な限り単一または複数の形式を含むと理解されたい。図５に示すパラメータは以下の通りである：
【００８２】
１．監視データ：もしあれば、レバレッジされる情報である。例えば、監視データは欠陥密度（Ｆａｂ測定値）、Ｅ試験パラメータ、現オペレーションのビン結果（ＣＢＬの場合）、または本書に記載のおよび／または読者に既知の他のレバレッジ情報であってもよい。可能なレバレッジ情報のさらなる説明は上述されている。
【００８３】
２．ポピュレーション（population）：このポピュレーションは、ルールが実行される材料セットおよびレベルを含む。ポピュレーションは、製品全体、所定のロット、ウェハ、ダイ、ダイ内の領域、近隣、位置、または予め定められる他のセットである。
【００８４】
３．エントリ条件：エントリ条件は除外条件を含んでもよく、所定のシナリオおよび所定のポピュレーションにおける内包／除外（include/exclude）条件とも呼ばれる。
【００８５】
４．ルールアクション：ルールアクションは、ルール条件が合致した場合に何を実行するかを定義する。アクションの種類はとりわけ、オンライン製造中、オフライン製造中、または製造外（例えばシミュレーション中）に、実行されるアクションを含む。例としてはとりわけ、再試験、洗浄、再試験＋洗浄、アラーム（ステーションコントロールおよび／またはエンジニアリング）、除外材料／領域、スキップダイ、ビン割り当て、パラメータ割り当て、試験プログラム関連（試験をバイパス／実行、試験リミットを上／下に変更、サーチリミットを上／下に変更、力の値を変更、データログのオン／オフ切り替え、大域変数の更新等）、ワークフロー関連（再ソート、ホールド、破棄、「タグ付け」等）
【００８６】
５．有効条件：この有効条件は基本的に、そのルールがまだ適用可能かを評価するためにルール計算とルールアクションの間にチェックされる条件である。
【００８７】
６．実行ポイント：この実行ポイントは、ルールをトリガするイベントである。このルールは、このイベントが生じた場合に「自身で計算」する。例としてとりわけ：ダイの終点、タッチダウンの終点、ウェハの終点、ロットの終点などがある。
【００８８】
７．終点：この終点は、ルールが準備完了となるイベントである。このルールは、このイベントが到達される前に「計算」を完了しなければならず、このイベントが到達する時間までに指示を出さなければならない。実施例はとりわけ：ダイのスタート、タッチダウンのスタート、ウェハのスタート等がある。
【００８９】
８．ルールの範囲：この範囲は基本的に、ルールの「イベントのタイムフレーム」である。このルールはこのタイムフレームに「適用可能」である。このタイムフレームが完了すると、ルールはそれ自身で再始動する（カウンタがリセットされる）。実施例はとりわけ：ウェハ、ロット等がある。
【００９０】
９．名前、記述、コメント、およびルールＩＤ
【００９１】
１０．アルゴリズムオブジェクトは、基本的にルール種類毎のブラックボックスのアルゴリズムである。
【００９２】
１１．ルール状態：ルール状態は、多様な内部フラッグを含む（ルール状態：入力なし、向こう、すべて試験合格、一部の試験合格、すべての試験失格、不能、スキップ、イネーブル＆アイドル）。
【００９３】
例えば、もしＣＢＬビン１５が３より大きい場合、ロットがエンジニアリングロットであって通常の製品でない限り、洗浄して再試験を行うべきとルールを記述できる。この例において、位置実施例では実行ポイントはダイの終点を規定することができ、終点はダイのスタートを規定することができ、範囲はウェハとして規定することができ、ポピュレーションはこの製品の全ロット内のすべてのユニットを規定することができ、監視データはビン１５のように規定することができ、除外条件は例えば「ロットがエンジニアリングロットである限り」のように規定することができ、アクションは再試験と洗浄のように規定することができる。
【００９４】
別の実施例では、図５に示すより少ない、多い、および／または他のパラメータを定義してもよい。別の実施例では、パラメータは図５で用いるのとは異なる名前であってもよい（図２３乃至４２の説明を参照）。実施例によって、パラメータの値はユーザ入力で規定されてもよいし、自動的またはユーザ入力と自動付与の双方で定義されてもよい。
【００９５】
本発明のいくつかの実施例では、ルールのすべてのパラメータがステージ１０４で決定的に定義されない。例えば、これらの位置実施例は、１以上のパラメータは不確定であり、および／または値に幅を持たせて規定される。これらの位置実施例では、パラメータの値は確定されないか値の幅をもたせて規定されるパラメータの値は、ステージ１２８のルールの現実化の間に例えばシミュレーションを通じて決定される。
【００９６】
図６は、本発明の一実施例にかかる現実化モジュール２３０のいくつかの要素のブロック図であり、ステージ１０４で不確定か幅をもって規定されるルールの１以上のパラメータを定量化（quantify）するよう構成されている。単純化の目的のみのため、現実化モジュール２３０における定量化に関するこれらのモジュールが図６に示されている。図６に示すモジュールは、本書で定義し説明する機能を実行する様々なソフトウェア、ハードウェア、およびファームウェアの組み合わせでもよい。本発明の別の実施例では、図６の機能は、図６に示すより少ない、多い、および／または異なるモジュールで提供されてもよい。ステージ１２４では、ルール審査部６０５が、ルールが１以上の不明確なパラメータおよび／または幅をもたせて規定されたパラメータを有すると判断したら、セレクタ６１０が不確定または幅をもたせて規定された各パラメータについて１の可能なパラメータ値を選択し、この選択はデフォルトであっても様々な適切な基準を用いてもよい。実行部６２０が、選択されたパラメータ値でそのルールを実行する。いくつかの場合、実行部６２０からパラメータ値選択部６１０へフィードバックがあり、例えば実行が将来の選択に影響を及ぼす場合である。このフィードバックは例えば実行からの実際の影響、または実行からの推測された影響である。ステージ１３０において、比較部６３０はそのルールの結果を、異なる選択値での実行と比較し、定量部６４０は各パラメータの値を比較に基づい
て定量化し、この定量化は様々な適切な基準に基づいてもよい。別の実施例では、異なる値を用いたルールの結果が保存され、モジュール２３０の外、例えばルール生成モジュール２１０や分析モジュール２６０で比較と定量化が行われる（すなわち、比較部６３０と定量部６４０は選択部と実行部６２０から分離される）。一実施例では、不確定か幅をもたせて規定されたルールの１以上のパラメータの定量化が、シミュレーション用に構成された現実化モジュール２３０で行われる。
【００９７】
ユーザがルールの一部または全部を規定する本発明の一実施例では、ユーザは、利用可能なすべてのルールカテゴリとパラメータについてユーザを段階的に導くウィザードを選択することができる。ユーザがルールの一部または全部の定義を入力する別の実施例では、ユーザはルールカテゴリとパラメータを入力すべく順番を選択することができる。
【００９８】
一実施例では、ユーザはたまにルール定義ステージ１０４で、ルールの評価関連基準および／または相関関連基準を定義してもよい。例えば、ユーザはあるルールの重要度を高くして、ルールが競合した場合に可能であれば優先させることができる。
【００９９】
上述したように、ルールのカテゴリおよび／またはパラメータの一部または全部は、ユーザによらず自動的に指定されるようにしてもよい。例えば、すべての試験環境に標準的および／またはシステム２００の試験環境に標準的なルールカテゴリおよび／またはパラメータがある。この場合、カテゴリおよび／またはパラメータの一部または全部についてユーザ入力が必要と考えられない実施例では、このルールのカテゴリおよび／またはパラメータは自動的に定義されてもよい。
【０１００】
別の例として、ユーザ入力および／または自動的にルールが前もって、かつルールのフォローアップステージ１３０に基づいて定義されていると仮定すると、調整が必要と考える。この例では、フォローアップステージ１３０は、いくつかのケースでは自動的に、ルールの再定義（ステージ１０４の再実行）を含んでもよい。
【０１０１】
上述のように、分析モジュール２６０をステージ１０４で用いて、ルールセット正西部２１０でサポートされた形式でルールを定義してもよい。
【０１０２】
本発明の一実施例では、例えばルールが前もって既に定義されている場合などに、ステージ１０４（ルール定義）をスキップしてもよい。この前もって定義されたルールは、例えばルールライブラリに含まれ、これが特にシステム２００用に、および／または標準的に前もって定義されたルールを含んでもよい。ルールライブラリは、公開されてもプライベートであってもよい。一実施例では、実現化モジュール２３０の異なる種類用に個別のルールライブラリがあってもよい。別の実施例では、このルールの定義はステージ１０４の前の実行時に行われてもよく、このため方法１００の１またはそれ以上のステージのみが以降に（前に定義されたルールを用いて）方法１００の実行時に実行する必要がある。
【０１０３】
ここで、ルール評価ステージ１０８と他のステージとの相互関係のいくつかの実施例をより詳細に説明する。いくつかの実施例では、ルール評価は、ルール定義ステージ１０４に続いて実行される。例えば、定義されたルールは定義直後に評価されてもよい。例えば、定義されたルールは、例えば他のルールとの相関（ステージ１６０）やルールの現実化（ステージ１２４）その定義の直後に評価がチェックされてもよい。別の実施例では、例えば自動的に評価されるルールを定義する、および／またはユーザに有効なルールを定義するよう制限することにより、ルール評価はルール定義ステージ１０４と同時に実行されてもよい。この実施例によると、有効なルールは、１以上の半導体試験で有効なルール、またはシステム２００で実行されうる半導体試験に有効なルールである。本例によると、（例えばステージ１０８がステージ１０４と同時に実行されて）、有効でないルールが生成されるのを回避することができ、修正され、破棄され、報告され、および／またはシステム２００に適切な方法で扱われる。
【０１０４】
図７，８を通してさらなる説明目的と仮定すると、ルール評価ステージ１０８がルール生成ステージ１０４と同時に実行される実施例では、ユーザが有効なルールを定義するよう制限されている。
【０１０５】
図７を参照すると、本発明の一実施例にかかる、ルール生成モジュール２１０のいくつかの要素が示されている。単純化のため、モジュール２１０において、ここで説明するルール評価機能を担うこれらのモジュールのみが示されている。図７に示すモジュールは、本書に規定され説明された機能を実行するソフトウェア、ハードウェア、ファームウェアの様々な組み合わせを含んでもよい。本発明の別の実施例では、図７の機能は、図７に示すものより少ない、多いおよび／または異なるモジュールで提供されてもよい。図示された実施例では、ステージ１０４でルールを定義する際に、ユーザにはインタフェース７０２を通して予め定められた選択リストが提供される。例えば、この選択は階層内のカテゴリの許容値および／またはルール自体の許容パラメータに関するものがある。図示された実施例では、汎用設定レポジトリ７２０はとりわけ、すべての既知のカテゴリおよび／またはパラメータを含む。例えばレポジトリ７２０はとりわけ：製品（名前、ＩＤ、種類）、試験ソケット（名前、ＩＤ、種類）、試験プログラム（名前、ＩＤ、改訂、現在の製品、試験モジュール）、ビン（名前、ＩＤ、グループ）、パラメータ（名前、ＩＤ、種類）、試験モジュール（名前、試験種別のＩＤ、プローブ種類、ハンドラ種類）、位置レイヤ（名前、ＩＤ、データ種類（値またはブールの））、レイヤ種類（（試験または非試験）、パラメータ）、ロットフラッグ（エンジニアリング、エクスカージョン）、およびアクション（モジュール種類毎）を含む。
【０１０６】
任意のフィルタ７１０の選択肢がレポジトリ７２０からユーザに、ユーザによる前の選択に基づいて提供される。例えば図３の階層を仮定すると、ユーザが前に特定の製品を選択したとすると、前に選択された特定の製品のみが有効となったソケットが当該ユーザに選択肢として提供される。別の例では、ユーザが特定のルールのパラメータを定義したら、これらのパラメータのみが有効となった特定のルールが当該ユーザの選択肢として提供される。１の選択肢のみが可能な場合、例えば特定のカテゴリおよび／またはパラメータの値のみが許される場合、一実施例ではその唯一の値が予め選択されるか（ユーザの確認なし）、ユーザに確認のために表示される。
【０１０７】
図８を参照すると、本発明の別の実施例にかかるルール生成モジュール２１０の要素が示されている。単純化のため、モジュール２１０において、ここで説明するルール評価機能を担うこれらのモジュールのみが示されている。図８に示すモジュールは、本書に規定され説明された機能を実行するソフトウェア、ハードウェア、ファームウェアの様々な組み合わせを含んでもよい。本発明の別の実施例では、図８の機能は、図８に示すものより少ない、多いおよび／または異なるモジュールで提供されてもよい。図示された実施例では、ステージ１０４でルールを定義する際に、ユーザにはインタフェース８０２を通して予め定められた選択リストが提供される。例えば、この選択は階層内のカテゴリの許容値および／またはルール自体の許容パラメータに関するものがある。図７に示す実施例とは対称的に、図８ではシステム２００用にカスタマイズされたカテゴリ値および／またはパラメータを含むカスタム設定レポジトリ８２０がある。例えばレポジトリ８２０のカテゴリ値および／またはパラメータは、現実化モジュール２３０の特性により変動してもよい。例えばレポジトリ８２０はとりわけ：製品（名前、ＩＤ、種類）、試験ソケット（名前、ＩＤ、種類）、試験プログラム（名前、ＩＤ、改訂、現在の製品、試験モジュール）、ビン（名前、ＩＤ、グループ）、パラメータ（名前、ＩＤ、種類）、試験モジュール（名前、試験種別のＩＤ、プローブ種類、ハンドラ種類）、位置レイヤ（名前、ＩＤ、データ種類（値またはブールの））、レイヤ種類（（試験または非試験）、パラメータ）、ロットフラッグ（エンジニアリング、エクスカージョン）、およびアクション（モジュール種類毎）を含む。
【０１０８】
任意のフィルタ８１０の選択肢がレポジトリ８２０からユーザに、ユーザによる前の選択に基づいて提供される。例えば図３の階層を仮定すると、ユーザが前に特定の製品を選択した場合、前に選択された特定の製品および特定のシステム２００に有効なソケットのみが当該ユーザに選択肢として提供される。別の例では、ユーザが特定のルールのパラメータを定義するとき、特定のシステム２００用の特定のルールで有効なパラメータのみが当該ユーザの選択肢として提供される。１の選択肢のみが可能な場合、例えば特定のカテゴリおよび／またはパラメータの値のみが許される場合、一実施例ではその唯一の値が予め選択されるか（ユーザの確認なし）、ユーザに確認のために表示される。
【０１０９】
別の実施例では、例えばそのルールが有効であることを先験的に知っている場合などは、ルール評価１０８をスキップしてもよい。別の例として、有効でないルールの発見と解決は、ステージ１２４および／または１３０で異なってもよい（現実化および／またはフォローアップ）。
【０１１０】
ルールを一緒にまとめるステージ１１２のいくつかの例を、以下に説明する。上述のように、階層を用いる実施例では、ルールのまとめが容易になる。これらの実施例の一つでは、階層内カテゴリの少なくとも１を占めるルールを一緒にまとめることができる。例えば、まとめは製品階層の試験プログラムに基づいてもよいし、および／またはモジュール階層の試験モジュールに基づいてもよい。別の例として、同じ製品および／または試験モジュールを共有するルールを一緒にまとめるようにしてもよい。
【０１１１】
一実施例では、ルールまとめ１１２は代わりに、あるいはさらに、現実化モジュール２３０の(用途の)種類に従属してもよい。例えば、ルールがリアルタイム製造のものである場合、このルールはリアルタイム製造で現実化されるルールとまとめることができる。別の例では、ルールがオフライン製造で現実化されるものである場合、そのルールはさらにオフライン製造で現実化されるルールとまとめることができる。
【０１１２】
一実施例では、ルールまとめ１１２は代わりに、またはさらに、ルールのトリガに基づいてもよい。例えば、同じ監視されたデータに関連するすべてのルールを一緒にまとめてもよい。
【０１１３】
いくつかの実施例では、例えばシミュレーションにより１のルールのみが現実化されるような場合は、ルールまとめステージ１１２をスキップすることができる。
【０１１４】
ステージ１１６のいくつかのステージにおいて、他のルールに関するルールのまとめは、他の相互関連ステージに関して以下に記述されている。このルールは１または他のルール（「まとまったルールセット」）について分析され、冗長性、優先性、アクションの競合、ルール種別の競合、他の競合、矛盾、相互従属性、レポジトリでの評価、他の制限での評価、タイミング実行、または他のルールとの様々な関係を含む。
【０１１５】
図９は、本発明の一実施例にかかる、相関機能を有するルール生成モジュール２１０のいくつかの要素を示す図である。単純化のため、モジュール２１０において、ここで説明する相関機能を担うこれらのモジュールのみが示されている。図９に示すモジュールは、本書に規定され説明された機能を実行するソフトウェア、ハードウェア、ファームウェアの様々な組み合わせを含んでもよい。本発明の別の実施例では、図９の機能は、図９に示すものより少ない、多いおよび／または異なるモジュールで提供されてもよい。
【０１１６】
ルール選択モジュール９１０が他の１以上のルールに対して相関されるべきルールを選択する。実施例によって、単一のルールが単一の別のルールと相関されてもよいし、単一のルールが別の複数のルールに対して相関されてもよいし、複数のルールが複数の他のルールに対して相関されてもよい。以下の説明では、相関とは、１以上のルールを含む相関ルールセットに対する相関であることを前提とする。実施例によって、すべてのルールは他のルールに相関可能であるか、所定の基準を満たす特定のルールのみが他のルールに対して相関されてもよい。ルールセットセレクタ９２０が、選択されたルールが相関される対象となる相関ルールセットを選択する。実施例によって、ルールの分析が行われる選択ルールセットは例えば：そのルールを含むまとめられたルールセット内の他のルールの一部または全部、（そのルールに関連する）ルールの一部または全部であるがそのルールとは異なる現実化モジュール用に指定されまとめられたルールセットに含まれるもの、１以上のルールライブラリ内のルールの一部または全部、そのルールと同じ１以上のカテゴリを共有するルールの一部または全部、および／または、他の様々なルール群が含まれる。例えば、一実施例では、リアルタイム製造／シミュレーションで現実化されるルールの相関ルールセットは、そのルールとともに当該ルールに関連するオフライン製造用にまとめられたルールセット内のルールの一部または全部を含んでもよい。
【０１１７】
いくつかの実施例では、相関ルールセット内の各ルールが当該相関ルールセット内の他のそれぞれのルールに対してのみ相関されることを意味する固定の相関ルールセットがあり、一方で他の実施例では相関ルールセットは各ルールとは個別に決定される。比較部９３０が、選択されたルールを１以上の特定の基準用にまとめられたルールに対して比較し、解決部９４０が、まとめられたルールセット内の１以上のルールの関係に関連する様々な問題を解決する。
【０１１８】
例えば、一実施例では、比較部９３０は選択されたルールを、以下にリストされ以降の段落で具体例とともに説明する１以上の基準用のまとめルールセットに対して比較する：
１．冗長性
２．優先度
３．アクション間の競合−ルール種類
ａ．マシンルール
ｂ．統計プロセス管理ルール
ｃ．試験時間短縮ルール
４．種類間の競合
ａ．「強さ（strength）」ごとに−「危険」（ハードウェアを保護）、「後退アクション」、「前進アクション」
５．他の競合
６．矛盾
７．相互従属度
８．タイミング実行（次のイベントでルール停止、ルールを停止しカウンタをリセット、演算を継続し終了させる）
【０１１９】
読者が上記列挙した基準をさらに理解するのを補助すべく、どのように解決部９４０がいくつかの実施例で上記基準に関する問題を解決するかのさらなる具体例を以下に提供する。
【０１２０】
例えば、少なくとも２つのルールがあると仮定し、少なくとも一方は冗長で、すなわち例えばこれらのルールが同一であったり１のルールが他のルールを包含するものとする。このｒ影で続けると、２つのルールはそれぞれ３より大きいＣＢＬ、５より大きいＣＢＬとなり、後者の５より大きいＣＢＬは絶対にトリガされない冗長なものとなる。この場合、解決部９４０は冗長なルールの破棄、冗長なルールの報告、または他の適切なアクションをとることで解決する。
【０１２１】
ステージ１１６の一実施例では、解決部９４０は、相関されたルール間の競合を解決すべく優先基準を決定する。あるケースでは、優先度はアクションおよび／またはルール種類による。例えば、試験（試験モジュール）を停止するアクションは、ときにより試験を継続するアクションおよび／または他のアクションより優先される。他の例では、前のアクションが他のルールのエントリ基準を変更してしまうため、いくつかの場合、前に戻ることが必要な逆方アクションをもつルールは、次のデバイスへ移ることが必要な前方アクションをもつルールより優先される。別の例として、ＳＰＣルールはプロセスの健全性に影響するため、ＳＰＣルールはいくつかの場合に（もし既に優先されていない場合）ＴＴＲルールより優先される。別の実施例では、優先基準はさらに、または代替的に、上述したステージ１０４のルール精製時にユーザにより規定されてもよい。
【０１２２】
他のルール間の競合（ルールアクションおよび／またはルール種類に限らない）を解決部９４０で解決するようにしてもよい。
【０１２３】
解決部９４０はまた、ルールや相関ルールの間の矛盾を解決するようにしてもよい。例えば、１の相関ルールセットが、ステージ１１２でまとめられたルールを含んでおり、当該ルールが現実化モジュール２３０の１つの種類を対象としており、且つ、他のルールが現実化モジュール２３０の別の種類に関連してまとめられている場合を仮定する。本例では、解決部９４０は現実化モジュールの種類に応じてルールをまとめ直したり、矛盾するルールを取り除いたり、矛盾するルールを報告したり、この矛盾に適した様々なアクションを実行したりする。別の実施例では、ルール生成モジュール２１０がステージ１１２で異なる種類の現実化モジュール２３０に関連するルールを一緒にまとめるのを許可しないようにしてもよい。
【０１２４】
別の例では、１のルールと、当該ルールを実行させないという他の１以上のルール間の矛盾があると仮定する。例えば、１のルールが同じイベントについて逆のアクションを与える場合がある。このような例では、１のルールが次のダイをスキップするというアクションを与えるのに対し、第２のルールが前のダイを試験するアクションを与えることがある。この例では、解決部９４０は所定の基準（システム定義および／またはユーザ定義とすることができる）に従ってこれらの矛盾するルールから選択したり、矛盾するルールに優先度をつけたり、矛盾を報告したり、他の様々な適切なアクションを実行してもよい。
【０１２５】
いくつかの場合、ルールは、１のルールが他のルールから情報を要求するように相互従属してもよい。例えば、エンティティルール毎のＣＢＬ発生は、ＣＢＬルールから情報を要求する。別の例として、ルールの従属ツリーがあり、他のルールに従属するルールが当該他のルールの後に実行されるようにしてもよい。例えば、いくつかの場合に制御ルールが解決部９４０にタグ付けされ（既にタグ付けされていない場合）、これにより当該制御ルールを参照するルールの前に現実化され、その結果必要なときに制御ルールが整っているようにすることができる。
【０１２６】
タイミング実行の例として、ルールの演算が許容時間よりも時間がかかる場合、このルールは一実施例において解決部９４０により除去されてもよい。本例の場合、ソート試験中に、いくつかのルールが「インデキシング時間」と呼ばれるダイス試験間に演算され、これはプローブが次のダイに「移動」して「接触」する時間である。このインデキシング時間フレームは固定であり、いくつかのルールは、実行が必要なアクションの前に演算を完了する必要がある。
【０１２７】
一実施例では、例えばルール間の関係についての問題の発見と解決がステージ１２４および／または１３０（すなわち、現実化および／またはフォローアップ）と異なる場合などは、ルール相関ステージ１１６をスキップしてもよい。
【０１２８】
発行ステージ１２０のいくつかの実施例を以下に説明する。一実施例では、ルール発行は、例えばルールセットの一部として、対象となる現実化モジュール２３０へのルールの転送の準備を含む。
【０１２９】
読者は、ルール転送の準備の一部として、このルールが対象となる現実化モジュール２３０で実行可能となるように修正することが必要であることを理解するであろう。対象となる現実化モジュールは、ルールにサービスおよび関連データを提供し当該ルールを実行できるように、当該ルールを理解することができる。
【０１３０】
別の例では、ルール生成モジュール２１０が、ユーザインタフェースと関連付けるルール記述子であるテンプレートを具える。例えば、このテンプレートはダイナミックリンクライブラリｄｌｌを用いて記述されることができる。これらのテンプレートは、現実化モジュール２３０に送られる前に、コード、ルール、またはｘｍｌフォーマットに変換される。一実施例では、データログで実行されるパールのようなポストプロセッシングスクリプトを用いる必要がないという利点がある。以下は、ルールのテンプレートを示すＧＵＩのいくつかの例示し、このＧＵＩは例えば相棒チェック（buddy check）や「ドキュメンテーション」、「制御プロセス変更」等である。
【０１３１】
いくつかの実施例では、例えば特定の種類の現実化モジュール２３０への転送準備が必要ない場合に、ルール発行ステージ１２０をスキップしてもよい。
【０１３２】
いくつかの実施例では、方法１００が終了し、現実化（ステージ１２４）とフォローアップ（ステージ１３０）がシステム２００の別のどこかで実行されるようにしてもよい。別の実施例では、現実化ステージ１２４はシステム２００以外のどこかで実行され、方法１００がフォローアップステージ１３０で取り上げるようにしてもよい。
【０１３３】
いくつかの実施例では、定義ステージ１０４からルール発行ステージ１２０がシステム２００以外のどこかで実行され、システム２００用の方法１００は現実化ステージ１２４から開始してもよい。
【０１３４】
ルール現実化ステージ１２４のいくつかの実施例について説明する。
【０１３５】
図１０は、本発明の一実施例にかかる現実化モジュール２３０を示す。図１０に示すモジュールは、本書に規定され説明された機能を実行するソフトウェア、ハードウェア、ファームウェアの様々な組み合わせを含んでもよい。本発明の別の実施例では、図１０の機能は、図１０に示すものより少ない、多いおよび／または異なるモジュールで提供されてもよい。付加的または代替的に、使用する現実化モジュール２３０の種類により、図１０に示すものより少ない、多い、および／または異なる機能が設けられてもよい。例えば、一実施例では、ある種類の現実化モジュール２３０において、パラメータセレクタ１０７０、比較部１０６２、および／または定量化部１０６４を省略してもよい。
【０１３６】
データベース１０１０は、ルール生成モジュール２１０から受ける情報１０１２を有する。モジュール２１０からの情報１０１２は、例えば、発行されたルールまたはルールセット、汎用レポジトリ７２０またはカスタマイズされたレポジトリ８２０からの設定、または、汎用レポジトリ７２０またはカスタマイズレポジトリ８２０からの設定サブセット、ルールに最適値が規定されていない場合のパラメータ値の範囲等を含む。情報１０１２の一部または全部は、発行ステージ１２０の後に、および／または、より早い時点で受信されてもよい。例えば、一実施例では、現実化モジュール２３０に前もって転送された設定および／または他のデータは、新たなルールセットが発行されるまで再送される必要はない。
【０１３７】
実施例（および／または現実化モジュール２３０の種類）によって、データベース１０１０、生成モジュール２１０からの情報１０１２は、これ以下または以上の情報を含んでもよい。例えば、一実施例では、情報１０１２はルール生成モジュール２１０がアクセスした場所のすべての情報を含んでもよい。別の実施例では、情報１０１２はルール生成モジュール２１０がアクセスした、現実化モジュール２３０によりルールが現実化されたすべての製品に関する情報を含んでもよい。別の実施例では、情報１０１２はルール生成モジュール２１０がアクセスした、発行ルールセット／ルールに関するすべての情報含んでもよい。別の実施例では、情報１０１２は上記列挙したものより少ない情報を含んでもよい。例えば、これらの実施例のいくつかでは、現実化モジュール２３０がリアルタイム製造で用いられる場合、リアルタイム試験の速度を上げるために現実化モジュール２３０内に少ないデータが保存される。このような一実施例では、例えば、現在のロットデータベース１０１０それぞれについてルール生成モジュール２１０から現在のロットおよび、現在のルールセット／ルールをリアルタイム製造で実行するのに必要な前のロットに関する情報１０１２のみを受け取る。
【０１３８】
データベース１０１０はまた、代替的または付加的に、ルールの現実化に利用可能な他の様々な情報を含んでもよく、例えばレバレッジ可能なデータ（現実または想像の）、パラメータに関するデータ等である。上述したように、所定の時点で特定のルールを現実化する条件は、とりわけ、レバレッジデータおよび／または他のパラメータに関するデータで規定される。ここでデータベース１０１０に保存される他のデータは、当該他の情報のソースに応じて、情報１０１２として、他の入力１０１４、実行部からの出力１０１６、および／または定量化部１０６４からの出力１０１８となる。例えば、一実施例では、現実化モジュール２３０による１以上のルールの以前の実行の試験結果が、他の出力１０１６として受信されてもよく、他方で異なる現実化モジュール２３０による以前の実行の試験結果、ＦＡＢ測定値、分析、およびオフラインアルゴリズム結果が、他の入力１０１４および／またはルール生成モジュール２１０かｒなお情報１０１２として受信されてもよい。別の例では、一実施例として、入力１０１４は試験結果の仮定条件（assumtions）（創造）、測定値および／または状態を含み、これらが例えば現実化モジュール２３０がシミュレータの場合に提供される。この例で続けると、入力１０１４は一実施例ではアクションの反動の仮定条件（創造）を含む。（別の例では、現実化モジュール２３０は代替的または付加的に、例えば現実化モジュール２３０内の仮定条件の生成を介して、入力されていない創造した仮定条件を提供してもよい。）別の例では、一実施例では保存されたパラメータ値が、ルール生成モジュール２１０および／または（ルール生成モジュールによりパラメータが定義されていないか範囲で定義されている場合）定量化部１０１８からの出力１０１８として受信されてもよい。
【０１３９】
一実施例では、データベース１０１０またはその一部がデータアクセス層ＤＡＬの形式であり、これが図１５乃至１７を参照して以下に説明される。
【０１４０】
入力１０１２、１０１４、１０１６、および／または１０１８、１０１６は、いくつかの場合はデータベース１０１０に保存される前にロードされ変換されて、特定のデータベース１０１０に適切な構造となる。
【０１４１】
図示する実施例では、例えばルール審査部１０３０（いくつかの例ではルール審査部４１０の機能を含む）により、現実化が望まれるルールがデータベース１０１０から抽出される。このルールの現実化が条件従属である場合、条件審査部１０４０（いくつかの実施例では条件審査部４３０と同一であってよい）がデータベースから関連する条件を抽出する。評価部１０５０（いくつかの例では比較部４２０と同一）が、条件審査部１０４０により審査された条件に関連してルールを評価する。この評価結果は実行部１０６０（いくつかの実施例では決定部４４０の機能を含む）による実行に用いられる。例えば、ルールが実行される際に当該ルールに必要な条件があるとの評価に基づく条件があると仮定すると、実行部１０６０はこのルールを実行するか否かを決定する。付加的または代替的に、評価部１０５０は、リアルタイム製造またはオフライン製造中または（シミュレーション中に）仮定される方に生じるトリガ１０４２を受け取る。トリガ１０４２の例はとりわけ、ダイの開始／終点、タッチダウンの開始／終点、ウェハの開始／終点、ロットの開始／終点、試験の開始／終了、時間スケジュールを含む。例えばどのようにトリガ１０４２がルールに影響するのかに関する、トリガ１０４２に関する評価部１０５０の評価に基づいて、実行部１０６０は適切なアクションを実行する、あるいはしない。
【０１４２】
一実施例において、実行部１０６０は１以上の以下のアクションを、とりわけ評価部１０５０による評価に基づいて行う：再試験、洗浄、再試験＋洗浄、アラーム（ステーションコントロールおよび／またはエンジニアリング）、材料／範囲の除外、ダイをスキップ、ビンの割り当て、パラメータ割り当て、試験プログラム関連（試験を避ける／実行する、上側／下側試験リミットを変更、上側／下側サーチリミットを変更、力の値を変更、データログのオン／オフ切り替え、大域変数の更新等）、ワークフロー関連（再ソート、ホールド、破棄、「タグ付け」等）。
【０１４３】
ルールが条件従属ではなくトリガ１０４２がない場合、このルールは評価部１０５０を経ずにいくつかの場合直接実行部１０６０に送られてもよい。
【０１４４】
実行部１０６０は、付加的または代替的に、抽出部１０８０によって抽出され、例えば実行を修正するのに必要な設定などのルールの正しい実行を可能にする他のデータを受信してもよい。一実施例では、例えば、試験される製品のウェハ毎のダイスの数を示す設定が、実行部１０６０に提供されてもよい。
【０１４５】
いくつかの実施例では、実行部１０６０は、ルールの実行に必要なオンライン演算を実行するよう構成される。
【０１４６】
現実化モジュール２３０のいくつかの実施例では、現実化モジュール２３０は、例えばシミュレーションにおいて、不確定なパラメータ値または値の範囲を有するルールを現実化してもよい。これらの実施例の一つでは、ルール実行部１０３０（いくつかのケースではルール実行部６０５お機能を有する）はまた、不確定なパラメータ値または可能な値の範囲により規定されたパラメータを有する特定のルールを同定するよう構成されてもよい。この場合、パラメータセレクタ１０７０は（いくつかの実施例ではパラメータ値セレクタ６１０と同一）、不確定または幅をもたせて規定された各パラメータの可能なパラメータ値の一つを選択し、ここでこの選択はデフォルト値であっても適切な基準を用いてもよい。実行部１０６０（いくつかの実施例では実行部６２０の機能を有する）は、選択されたパラメータ値でルールを実行する。いくつかの場合、例えば実行が将来の選択に影響を及ぼす場合など、実行部からパラメータ値セレクタ１０７０へフィードバックがある。一実施例では、比較部１０６２および定量化部１０６４は実行部１０６０から離れており、異なる値を用いたルールの結果１０１６がデータベース１０１０に保存され、例えば分析モジュール２６０やルール生成モジュール２１０などの同じモジュール２３０外で比較や定量化が実行される。別の実施例では、比較部１０６２（いくつかの場合に比較部６３０の機能を有する）と定量化部１０６４（いくつかの場合に定量化部６４０の機能を有する）が分析モジュール２３０に含まれる。この別の実施例では、比較部１０６２が、異なるよう選択された値で実行するためのルールの結果を比較し、定量化部が各パラメータを前記比較に基づいて値を定量化し、ここでこの定量化は様々な適切な基準に基づいて行われてもよく、定量化された値１０１８はデータベース１０１０に保存される。
【０１４７】
上記のように、例えばルール現実化がシステム２００以外のどこかで実行される場合は、ルール現実化ステージ１２４はスキップしてもよい。
【０１４８】
フォローアップステージ１３０のいくつかの実施例を以下に説明する。上記のように、フォローアップステージ１３０はとりわけ：現実化の分析、なにもしない／方法１００を終了させる、ルールを調整、ルールをタグ付け、ルールを破棄、ルールを報告、ルールを最適化、ルールの現実化または当該ルールの調整したバージョンを異なる種類の現実化モジュール２３０での現実化を継続、ルールの結果を監視、方法１００の１以上のステージの繰り返し、等を含んでもよい。特定の実施例におけるフォローアップステージ１３０を実行する手段は、当該特定の実施例に必要なフォローアップを実行しうるソフトウェア、ハードウェア、および／またはファームウェアの様々な組み合わせを含んでもよい。フォローアップ１３０を実行する手段は、実施例に応じて、ルール生成モジュール２１０、分析モジュール２６０、および／または現実化モジュール２３０に含まれてもよい。
【０１４９】
一実施例では、フォローアップステージ１３０をスキップして、方法１００が現実化ステージ１２４の後に終了してもよい。
【０１５０】
さらなる理解のため、フォローアップステージ１３０の異なる可能性は、図１１を参照すると、本発明の一実施例にかかる、システム２００の一つの可能な例である半導体試験システム１１００シメされている。システム１１００は、ルール生成モジュール２１０、分析モジュール２６０、および１以上の以下の現実化モジュール２３０を具える：ルールが製造のオフラインで現実化される１以上のオフライン製造現実化モジュール１１５０、ルールが製造のリアルタイムで現実化される１以上のリアルタイム製造現実化モジュール１１２０、ルールがシミュレーションされる１以上のシミュレーション現実化モジュール１１４０。一実施例において、ルール生成モジュール２１０により生成されたルールは、例えば上記発行ステージ１２０におて現実化モジュール１１２０、１１４０、および／または１１５０の１以上に発行される。説明の容易のため、オフライン現実化モジュール１１５０、リアルタイム製造現実化モジュール１１２０、およびシミュレーション現実化モジュール１１４０の殆ど各種類がシステム１１００にあるが、別の実施例では１またはそれ以上の種類があってもよいことは明らかである。
【０１５１】
図１１に示す各モジュールは、本書で規定され説明された機能を実行するソフトウェア、ハードウェア、および／またはファームウェアの様々な組み合わせであってよい。本発明の別の実施例では、システム１１００は、図１１に示すより少ない、多い、および／または異なるモジュールを具えてもよい。例えば、実施例によっては、現実化モジュール１１２０、１１４０、１１５０のうちの０、１、２、または３つ全部があってもよい。辺ｔの例では、一実施例において、現実化モジュールの種類１１２０、１１４０、１１５０に付加的または代替的に、１またはそれ以上の種類の現実化モジュールがあってもよい。別の例では、いくつかの実施例ではルール生成モジュール２１０はなく、現実化モジュールの種類１１２０、１１４０、１１５０の１以上が、どこかおよび／または分析モジュール２６０内で生成されたルールを現実化してもよい。別の例では、一実施例で分析モジュール２６０がなく、現実化モジュールの種類１１２０、１１４０、１１５０の１以上が、ルール制せモジュール２１０および／またはどこかで生成されたルールを現実化してもよい。システム１１００のモジュールは１カ所に集められていてもよいし、１より多い場所に分散していてもよい。いくつかの実施例では、システム１１００の１以上のモジュールの機能が同じエンクロージャー内に配置されてもよい。例えば、これらの実施例の１つは、シミュレータ１１４０と分析モジュール２６０の機能が統合されてもよい。別の例では、これらの実施例の１つではルール生成モジュール２１０、オフライン製造モジュール１１５０、シミュレーション現実化モジュール１１４０、分析モジュール２６０の機能が同じサーバ上に配置されてもよい。
【０１５２】
いくつかの実施例では、システム１１００の１以上のモジュールが、ローカルエリアネットワークＬＡＮまたは他の適切な通信ネットワークで接続されてもよい。これらの実施例の１つでは、モジュール間通信はルール生成モジュール２１０を介してもよい。これらの実施例の別のものでは、システム１１００の２以上のモジュール間の通信は、ルール生成モジュール２１０を通さずに直接行われてもよい。
【０１５３】
上記のように、フォローアップステージ１３０は、いくつかの場合に、現実化の分析を含んでもよい（別のケースでは、例えば現実化の結果がもう分かっている場合や行われなかった場合など分析が不要と考えられる場合に、分析をスキップしてもよい）。分析は、ルールに対しておよび／または当該ルールを含むルールセットに対して行われる。説明の単純化のため、ルールの分析をここに記載したが、必要な変更を加えて本説明をルールセットの分析に適用することができる。一実施例では分析を行う手段は分析モジュール２６０に含まれる。別の実施例では、分析はモジュール２１０、２３０で実行されてもよいし、および／またはシステム２００外で分析を行ってもよい。分析は、現実化に基づいてとりわけ以下の決定を含む：ルールが正確な試験を提供するか、ルールが必要な試験を提供するか、ルールが最適な試験を提供するか、分析されたルールと置換しうるよりよいルールがあるか、ルールの利点、ルールの欠点、ルールの費用対効果、ルールを用いて予測される試験結果等。
【０１５４】
例えば、あるルールに定義される試験が常にパスされる場合、一実施例ではそのルールは不要なものと決定してもよい。別の例では、あるルールに定義される試験が常に失敗する場合、一実施例ではそのルールは不正確と決定してもよい。別の例では、一実施例で１以上のルールがステージ１２４で（シミュレーション現実化モジュール１１４０を用いて）履歴情報に基づいてシミュレーションされ、所定の基準に基づくステージ１３０の分析の一部で最適および／またはよりよりルールが決定される。別の例では、一実施例ではルールがりっれきじょうほうを用いてステージ１２４でシミュレーションされ、分析１３０の一部として効率および／または有効性のモニタリング、および／または継続的な改善を可能とする１以上の投資条件のリターンが決定される。本例で続けると、後に、同じルールの現実化１２４が製造中に生じたら、分析１３０が現在の結果を用いて得られる投資のリターンについて行われ、投資で得られるリターンを、前のシミュレーションで決定された投資条件のリターンと比較する。
【０１５５】
投資リターンＲＯＩ条件の可能な例はとりわけ：生産ロス防止、試験時間短縮、品質向上、信頼性向上、試験漏れ防止、試験フリートヘルス（test fleet health）、および統計プロセス制御を含む。さらにＲＯＩコンセプトを説明するため、列挙されたＲＯＩのとりわけいくつかの可能な例が以下に提供される。
【０１５６】
一実施例では、生産ロス防止は、例えばｘＢＬルール（すなわちＣＢＬ、ＴＢＬ、またはＳＢＬ）によりどのダイスが再試験されるべきか（いくつかの場合はダイスの再ソートを含む）を規定し、これにより「得られるダイ」の量（不良から良のビンに変わったダイス）を算出することができる。この再試験はいくつかの場合に、全体生産高が高い結果となる。本例を続けると、特定のビンストリングスの再試験と再試験のＸ％の潜在的利得であるＣＢＬルールからの利益は定量化しうるＲＯＩを提供し、ここでＲＯＩは例えば生産利得パーセンテージを規定することができる。
【０１５７】
一実施例では、試験時間の短縮は例えば特定のポピュレーションの試験の除去、および／または特定のユニットの試験を行わないことで実現しうる。試験時間を短縮するといくつかの場合に費用を低減する結果となる。ＲＯＩは例えば試験時間の短縮を規定し、これは必要に応じて、一定量の材料の試験に必要な試験器具の数を低減できることとなる。
【０１５８】
一実施例では、品質向上ＲＯＩは、１００万分の１のダイスで規定できる。例えば、特定量の連続ユニットのパラメトリック試験の「フリーズイベント」は、試験されるダイスが不正確なものとなる機器不良によるものかもしれない。その結果のダイスは１００万分の１のダイ（die per million （ＤＰＭ））で定量化できる品質量（quality issue）を呈する。このＲＯＩは例えば、ルールが適用されて「救出された」（またはルールの適用により巣くわれた）ユニットの数として規定できる。
【０１５９】
一実施例では、信頼性向上ＲＯＩは、１００万分の１のダイスで規定できる。例えば、信頼性の疑念があるユニットに試験が加えられたら、「特別処置」を受ける「影響のあるダイス」とも呼ばれる「影響を受けたポピュレーション」は、定量化される。このＲＯＩは、例えば「影響のあるダイス」の量で規定できる。
【０１６０】
一実施例において、試験漏れ防止ＲＯＩは、１００万分の１のダイスで規定できる。例えば、十分な試験ソケットフロー（例えば、ソート１−＞ソート２−＞ソート３）内の特定のロットを確かめるルールがある場合、このフローを通らないロット／ウェハ／ダイスの量は、潜在的に確認漏れとなる。このＲＯＩは、例えばルールの適用により「救済」された（すなわち漏れなかった）（または救われた）ユニットの数として規定できる。
【０１６１】
一実施例では、試験フリートヘルスＲＯＩは、特定の時間フレーム内であがる機器不良の数で定義されうる。例えば、特定のテスタが試験フレートにおいて他のテスタと比較して再試験レートが高い場合、このルールはこのイベントに着目する。ＲＯＩは例えば、時間フレーム毎の「防止した」（または防止された）不良数または本ルールを適用したことによる機器数で規定することができる。
【０１６２】
一実施例では、統計プロセス制御アルゴリズムを、１以上のＲＯＩに用いてもよい。
【０１６３】
シミュレーション後の分析１３０において、別の実施例では、付加的または代替的に、様々な試験シナリオ、ルール、およびアルゴリズムの潜在的な利益の比較可能な定量化が存在しうる。
【０１６４】
現実化１２４後の分析について、この分析は特定の実施例でルールが任意の適切な回数現実化されたら行われると仮定する。例えば一実施例では、特定のルールの分析は、ルールの現実化の数が分析の有意なポピュレーションになった場合に行われる（ここで「有意な」は所定の適切な基準に基づき、および／または共通の統計演算による）。この例で続けると、分析は、例えば所定の追加的な現実化や、所定の期間等の後など、任意の適切な介在期間の後に特定のルールの後に任意で繰り返される。
【０１６５】
いくつかの実施例においてフォローアップステージ１３０の態様をさらに展開するために、例えば特定のルール用の現実化ステージ１２４が、製品現実化モジュール１１２０および／または１１５０（例えば所定の時間数）の１以上を用いて実行され、現実化の際にこの特定のルールに何も問題がないと仮定する。この例で続けると、一実施例では、フォローアップステージ１３０は、最初に前のステージ１０４乃至１２０を再実行することなく必要に応じて現実化ステージ１２４を繰り返すことを含む。
【０１６６】
この例で続けると、いくつかの実施例では、フォローアップステージ１３０は、以前に規定された投資リターン基準をモニタするよう、現実化の分析を含む。モニタされた投資リターンおよび／または他の分析に基づいて、ルールはステージ１３０で分析を通じて、不要／不正確／最適以下のいずれかに決定される。一実施例では、ステージ１３０は、このルールが不要／不正確／最適以下である報告を含む。別の実施例では、付加的あるいは代替的に、フォローアップステージ１３０においてルールを破棄、タグ付け、最適化、または調整（例えば方法１００の１以上のステージを反復）してもよい。
【０１６７】
別の例では、ステージ１２４でルールを現実化する代わりに、例えば製品種類現実化モジュール１１２０および／または１１５０による製造中に現実化される前に、シミュレーション現実化モジュール１１４０で生じると仮定する。さらに、ステージ１２４でシミュレートされたルールが、ステージ１３０の分析を通して不要または不正確と判断されたと仮定する。例えば、ルールは１以上の他のルールとともにシミュレートされてもよく、他のルールの１つがこのルールより「より良い」と判断されるかもしれない。フォローアップステージ１３０の一実施例では、このルールは破棄され、またはルール生成モジュール２１０により不要／不正確としてタグ付けされ、これによりこのルールは製造用に現実化モジュール２２０または２５０に送られない（すなわち、方法１００の１以上のステーｊの反復を通じて）。別の実施例では、このルールはフォローアップステージ１３０で調整され、改善されたルールが代わりに現実化モジュール１１２０および／または１１５０に送られ製造が現実化される（すなわち、現実化モジュール１１２０および／または１１５０による現実化ステージ１２４を含む、方法１００の１以上のステージの反復を通じて）。付加的あるいは代替的に、このルールの破棄、タグ付け、または調整が、フォローアップステージ１３０で報告されてもよい。
【０１６８】
同じ例で続けると、代わりにステージ１２４のシミュレーションにおけるステージ１３０の分析を通じて、このルールは良好なルールと判定されたとする。一実施例では、このルールはフォローアップステージ１３０に送られて現実化モジュール１１２０および／または１１５０が現実化する（すなわち、現実化モジュール１１２０および／または１１５０による現実化ステージ１２４を含む、方法１００の１以上のステージの繰り返しがある）。付加的または代替的に、このルールが良好であるとの決定はフォローアップステージ１３０で報告される。
【０１６９】
同じ例で続けると、代わりにステージ１２４のシミュレーション現実化モジュール１１４０におけるシミュレーションと、分析ステージ１３０で最適なルールが決定されたとする。この最適なルールはフォローアップステージ１３０で明示され、これによりこの最適ルールが製造用に現実化モジュール１１２０および／または１１５０に送られる（すなわち、現実化モジュール１１２０および／または１１５０による現実化ステージ１２４を含む、方法１００の１以上のステージの繰り返しがある）。付加的または代替的に、このルールが良好であるとの決定はフォローアップステージ１３０で報告される。
【０１７０】
同じ例で続けると、代わりにステージ１２４のシミュレーションとステージ１３０の分析を通じて、投資リターン基準が決定されたとする。ここで決定された投資リターン条件は一実施例では、現実化モジュール１１２０および／または１１５０により製造のルール現実化から現実の試験結果を用いてモニタされる。
【０１７１】
分析、モニタリング、および報告がフォローアップステージ１３０の一部として現れているが、別の実施例では、分析、モニタリング、および／または報告は代替的または付加的に、方法１００の別の１以上のステージに含まれてもよい。
【０１７２】
図１２は、本発明の一実施例にかかる半導体試験方法１２００を示す。方法１２００は、方法１００の異なるステージが、システム１１００のモジュールを用いて実行または再実行されるかを示す。本発明の別の実施例では、図１２に示すものより少ない、多い、または異なるステージを実行してもよい。これらのステージは、図１２に示す以外の順番で実行されてもよいし、および／または、いくつかの実施例では１またはそれ以上のステージが同時に行われてもよい。図１２の説明において、再実行と方法１００の同じステージと区別しるうために、方法１００の繰り返しステージに連続的なレタリングを用いる。さらに、フォローアップステージ１３０は広範であるため、図１２ではどのステージもこのように特定されないが、読者は図１２の１以上のステージがフォローアップステージ１３０に含まれてもよいことを理解されたい。方法１２００はルールセット（複数ルール）について説明するが、読者はこれに必要な修正を加えて単一のルールに適用できることを理解されたい。
【０１７３】
図１２に示す実施例では、ルールが定義され（ステージ１０４）、評価され(ステージ１０８）、互いにまとめられ（ステージ１１２）、相関され（ステージ１１６）、例えばルール生成モジュール２１０および／または分析モジュール２６０を用いてシミュレータ現実化モジュール１１４０へ発行される(ステージ１２０ａ）。これらのルールは次に、シミュレーション現実化モジュールを用いてシミュレートされる（ステージ１２４ａ）。このシミュレーションは次に、例えば分析モジュール２６０を用いて分析され（ステージ１２０１）、その結果がステージ１２０２で報告される。ルールに問題がある場合（ステージ１２０４）、ルールが製造用に整ったとみなされるまでステージ１０４からステージ１２０４が繰り返される。ルールが製造用に整ったら、このルールはステージ１２０ｂで例えばルール生成モジュール２１０により発行され、現実化モジュール１１２０および／または１１５０の製造へと送られる。ステージ１２４ｂでは、ルールはリアルタイム現実化モジュール１１２０および／またはオフライン現実化モジュール１１５０をそれぞれ用いて、オンラインおよび／またはオフライン製造試験で実行される。ステージ１２０６では、例えば分析モジュール２６０によりルールが分析され、その結果がステージ１２０８で報告される。製造実行(ステージ１２４ｂ）、分析（ステージ１２０６）、および報告（ステージ１２０８）は新たなルールセットが望まれるまで繰り返され(ステージ１２１０）、ここで方法１２００が最初から再実行される。
【０１７４】
いくつかの実施例では、ステージ１２４ｂはいくつかの場合に、システム１１００に同時に存在する現実化モジュール１１２０および／または現実化モジュール１１５０で実行される１以上のルールセットを含んでもよい。
【０１７５】
例えば一実施例では、システム１１００の２つのリアルタイム現実化モジュール１１２０が異なる製品を試験および／または異なる種類の試験モジュールで試験している場合、これら２つの現実化モジュール１１２０はおそらく異なるルールセットをステージ１２４ｂで現実化する。しかしながら本実施例では、２つのリアルタイム現実化モジュール１１２０が代わりに同じ製品を同じ種類の試験モジュールで試験する場合、２つの現実化モジュール１１２０はおそらくステージ１２４ｂで同じルールセットを現実化する。
【０１７６】
別の例として、一実施例では、ステージ１２４ｂにおいて１以上のオフライン製造モジュール１１５０が、１以上のリアルタイム製造モジュール１１２０により現実化されるルールセットに関連する１以上のルールセットを現実化する。１のオフライン製造もウール１１５０の例を仮定すると、複数のリアルタイム製造モジュール１１２０（同じ製品を同じ種類の試験モジュールで試験する）と、ＣＢＬの例がある。各リアルタイム製造モジュール１１２０で実行される基本ルールが、連続ビンストリングを個別にチェックし、例えば再試験、洗浄および再試験などの適切なアクションを実行する。オフライン製造モジュール１１５０は、リアルタイム製造モジュール１１２０のすべてに関連するデータを受信し、このためリアルタイム製造モジュール１１２０の一つに接続された試験システムが、他のリアルタイム製造モジュール１１２０に接続された他の試験システムと統計的に異なる場合を同定する。例えば、オフライン製造１１５０は、機器エンティティ毎のＣＢＬの発生量を監視して比較するルールを実行してもよい。オフライン製造モジュール１１５０により実行される追加のＣＢＬ関連ルールは、例えばプローブカードがどれくらい頻繁に洗浄が必要かをよく理解するために、２つのＣＢＬストリングス間を通る時間をチェックするＣＢＬイベントフリーウィンドウである。
【０１７７】
例えば、オフライン製造モジュール１１５０が、機器エンティティ毎のＣＢＬ発生数にアウトライアを発見した場合、オフライン製造モジュール１１５０は任意の適切なアクションを実行してもよい。例えば、一実施例ではオフラインモジュール１１５は機器不良の可能性を告げるエンジニアリングアラームを提供してもよい（ページャ、ｓｍｓ、電子メール等）。別の実施例では、オフラインモジュール１１５は付加的または代替的に、ワークフローアクション（ホールド、再ソート、破棄、タグ付け等）、ビンまたはパラメータの変更、その他のデータベースの変更等を実行してもよい。
【０１７８】
方法１２００は、ルールセットの可能な寿命の唯一の例である。例えば、一実施例では、ルールまたはルールセットがステージ１２４ａでシミュレートされステージ１２０１で分析されると、分析はルールまたはルールセットの製造（ステップ１２０ｂ）用の発行へ進むことなく他の目的で用いてもよい。別の例では、一実施例において、１以上のルールのシミュレーション（ステージ１２４ａ）は、方法１２００の早い時期に行われてもよい。別の例では、例えば投資リターン基準を監視することによりステージ１２０６で結果が分析され、ステージ１２０８で報告されたら、ルールセット内の１以上のルールを製造用に実行を繰り返すよりも調整することが望ましい、あるいは必要となる。
【０１７９】
さらなる説明のために、図１３乃至１６は、本発明の一実施例にかかる、ルール生成モジュール２１０、分析モジュール２６０と組み合わせられたシミュレーション現実化モジュール１１４０、リアルタイム製造現実化モジュール１１２０、およびオフライン製造現実化モジュール１１５０の関連する要素のいくつかを示す。
【０１８０】
図１３は、本発明の一実施例にかかるルール生成モジュールの一例を示す。図１３に示すモジュールは、本書で規定され開示される機能を実行するソフトウェア、ハードウェア、ファームウェアの様々な組み合わせを具えてもよい。本発明の別の実施例では、図１３の機能は、図１３に示すものより少ない、多い、および／または異なるモジュールを具えてもよい。図１３に示す実施例では、モジュール生成モジュール２１０は、製品中心１３０２（とりわけ設定を含む製品データ）、試験プログラム中心１３０４（とりわけ試験プログラム設定を含む試験プログラムのデータ）、試験フレート中心１３０６（とりわけ試験モジュール設定を含む試験モジュールのデータ）、およびサイト設定１３０８とを含む。製品中心１３０２、試験プログラム中心１３０４、試験フレート中心１３０６、サイト設定１３０８の組み合わせの一実施例は、汎用レポジトリ７２０および／またはカスタマイズドレポジトリ８２０に対応する。図１３に示す例では、ルール生成モジュール２１０はまた、リアルタイム、オフラインおよび／またはシミュレーション実行でルールを作成するために用いるルールセット生成部１３１０を具える。上記のように、一実施例ではルールセット生成部１３１０で作成されたすべてのルールはシミュレートされるが、各ルールはリアルタイムまたはオフライン製造用にタグ付けられる。別の実施例では、特定のルールがオフラインおよびリアルタイム製造のためにタグ付けされる。例えば、一実施例ではルールセット生成部１３１０はとりわけ、上述した機能の一部または全部を、以下の１以上について具える：比較部６３０、定量化部６４０、ユーザインタフェース７０２および／または８０２、フィルタ７１０および／または８１０、ルールセレクタ９１０、比較部９３０、ルールセットセレクタ９２０、および解決部９４０。図１３に示す実施例では、ルール生成モジュール２１０はまた、ルールをルールセットにまとめ、および／または設定および／またはルールセットを発行する発行部１３１２を具え、とりわけ生データ、試験結果、および／またはシステム設定の基本レポートを提供するレポート生成部を具える。図１３に示す例では、ルール生成モジュールはさらに、例えばとりわけデータベース接続してデータを抽出／更新し、および／またはライセンスおよびセキュリティ管理を含む一般サービスを提供するフレームワーク１３１６と、ロット評価と、生成したルールおよび／または試験結果を保存するデータベース１３１８とを具える。例えばデータベース１３１８は、一実施例ではパブリック、プライベート、製品、およびルールのシミュレーションライブラリを具える。本発明の実施例によって、図１３の機能は、図１３に示すものより少ない、多い、および／または異なるモジュールを具えてもよい。図１３に示すモジュールは一カ所に集中してもよいし、１より多い場所に分散してもよい。
【０１８１】
図１４は、本発明の一実施例にかかる、分析モジュール２６０に接続されたシミュレーション現実化モジュール１１４０の一例を示す。図１４に示す各モジュールは、本書で規定および説明する機能を実行するハードウェア、ソフトウェアおよび／またはファームウェアの様々な組み合わせを含んでもよい。図１４に示す実施例では、シミュレーション／分析モジュール１１４０／２６０は、例えばルール生成モジュール２１０および／またはシミュレーション／分析モジュール１１４０／２６０により生成されたルールまたはルールセット１４０２を具える。図１４に示す実施例では、モジュール１１４０／２６０は、例えばとりわけデータおよび／またはライセンスを抽出／更新するとともにセキュリティ管理を行う一般的なサービスを提供するフレームワーク１４１６と、とりわけ生データ、試験結果および／またはシステム設定の基本的な報告を提供する報告ジェネレータ１４１４とを具える。シミュレーション／分析モジュール１１４０／２６０は、図１４に示すように、シミュレータ１４０６および／または現実化ステージ１２４を実行する実行シミュレータ１４０８と、ルール定義ステージ１０４および／または分析ステージ１３０／１２０１／１２０６を具える。一実施例では、各シミュレータ１４０６および／または実行シミュレータ１４０８、またはこの組み合わせはとりわけ、以下の１以上について上述した機能の一部または全部を具える：ルール審査部１４０、比較部４２０、条件審査部４３０、決定部４４０、ルール審査部６０５、パラメータ値セレクタ６１０、ルール実行部６２０、比較部６３０、定量化部６４０、条件審査部１０４０、ルール実行部１０３０、パラメータセレクタ１０７０、評価部１０５０、実行部１０６０、その他データ抽出部１０８０、比較部１０６２、および定量化部１０６４。例えば一実施例では、シミュレータ１４０６はとりわけ、以下の１以上を含む：履歴結果に基づくルールセット実行部、結果分析ツール、投資リターンアルゴリズム（例えばとりわけ以下の１以上を含む：生産ロス防止、試験時間短縮、品質改善、信頼性向上、試験漏れ防止、統計プロセス制御）、アルゴリズム衝撃仮定（algorithm impact assumptions）、シミュレーション実行スケジューラ、シミュレーション結果ビューワ、シナリオとは（what is scenario）、ルール設定の最適化。本例で続けると、この実施例では、実行シミュレータ１４０８が、ルールまたはルールセットが実際に決定論的な回数指定された製造モジュール１１２０および／または１１５０で実行されたら、リアルタイム実行環境を提供する。図１４に示すように、例えばシミュレーション／分析モジュール１１４０／２６０はまた、例えばシミュレーションステージ１２４および／または分析結果、および／またはルール生成モジュール２１０および／または他の入力から受信する保存データを保存するデータベース１４２０を具える。例えば、いくつかの実施例でデータベース１４２０はとりわけデータベース１０１０に保存された情報の一部または全部を保存する。本例で続けるとこれらの実施例の一つでは、データベース１４２０はとりわけ、ルール生成モジュール２１０へアクセス可能なすべての情報を含む。
【０１８２】
実施例により、シミュレーション／分析モジュール１１４０／２６０をとりわけ以下の１以上の間に用いてもよい：上述したルール定義（ステージ１０４）、現実化ステージ（１２４）、分析ステージ（１３０、１２０１、１２０６）、報告（１３０、１２０２、１２０８）。実施例に応じて、シミュレーション／分析モジュール１１４０／２６０は、単一のルールまたはルールセット（複数のルール）にシミュレーションを実行してもよい。一実施例では、シミュレーション／分析モジュール１１４０／２６０は最適化技術と、ｗｈａｔ−ｉｆ機能を具える（例えば編集レンジ、インクリメント等）。一実施例では、シミュレーションはスケジュールにより実行されてもよい。多様な実行の種類はとりわけ：ユーザのトリガ（いくつかの場合にはデフォルトのオプション）、スケジュールされたトリガ（Ｘで実行、Ｙごとに実行等）、イベントトリガ（Ｙロットの後に実行等）。一実施例では、シミュレーションは以下の１以上の要素／ステップを含んでもよい：ポピュレーション（生および／または統計データ）、アルゴリズムと公式（例えば除外条件、多様な例外等）、成功条件、実行種別（例えばユーザトリガ、スケジュールトリガ、イベントトリガ等）。
【０１８３】
本発明の別の実施例では、図１４の機能は、図１４に示すより少ない、多い、および／または異なるモジュールで提供されてもよい。例えば一実施例では、シミュレータ１４０６および実行シミュレータ１４０８は組み合わされてもよい。図１４に示すモジュールは、１カ所に集中していてもよいし、１より多い箇所に分散してもよい。一実施例では、分析２６０に関連するモジュールは、シミュレーションモジュール１１４０に関連するモジュールから分離していてもよい。
【０１８４】
図１５は、本発明の一実施例にかかる、リアルタイム製造モジュール１１２０と、リアルタイム製造モジュール１１２０からテスタ１５１０およびプローブまたはハンドラ１５４０への接続の一例を示す。一実施例では、リアルタイム製造モジュール１１２０およびプローブ／ハンドラ１５４０間、および／またはリアルタイム製造モジュール１１２０およびテスタ１５１０間の通信は、ＩＥＥＥ通信規格に準ずる。図１５に示す各モジュールは、本書で規定および説明する機能を実行するハードウェア、ソフトウェアおよび／またはファームウェアの様々な組み合わせを含んでもよい。図１５の実施例では、リアルタイム現実化モジュール１１２０は、ルールセット１５０２とデータアクセス層ＤＡＬ１５２０とを具え、これがとりわけ、製造設定、ＦＡＢ履歴結果、Ｅ試験の試験結果、直前のソート動作結果、および／または分析とオフラインアルゴリズム結果（例えばベースライン）を含む層として管理された蓄積データセットを保存する。例えばいくつかの実施例では、ＤＡＬ１５２０はとりわけ、ルールセット１５２０を現実化するのに有用なデータベース１０１０に保存された情報の一部または全部を保存する。これらの実施例の一つでは、ＤＡＬ１５２０はルール生成モジュール２１０から、それぞれ現在のロットについて、当該現在のロットに関連するデータとリアルタイム製造でルールセット１５０２を実行するのに必要な直前のロットのみを受信する。ＤＡＬ１５２０は、以降にさらに詳述する。
【０１８５】
図１５に示す実施例では、リアルタイム製造モジュール１１２０は、例えばデータの抽出／更新、ライセンスおよびセキュリティ管理、およびロット評価に接続可能なデータエースを含む一般的なサービスを提供するフレームワーク１５１６を具える。図示する実施例では、リアルタイム現実化モジュール１１２０は、テスタ１５１０およびプローブ／ハンドラ１５４０を制御するステーションコントローラＳＣ１５０６を具え、これによりルールにしたがって試験が実行される。ＳＣ１５０６には、ビジネスロジックマネージャＢＬＭ１５０４は、ユーザ間、モジュールおよび製造中（例えば上述したトリガ１０４２によって、予想しない実行等によって）に生じるモジュールやルールセットの競合を解決する。例えばＢＬＭ１５０４は一実施例ではとりわけ、上述の評価部１０５０で説明した機能の一部またｈ全部を含んでもよい。ＢＬＭ１５０４、ＳＣ１５０６は以下の１以上について上述した機能の一部または全部を具えてもよい：ルール実行部４１０、比較部４２０、条件審査部４３０、決定部４４０、条件審査部１０４０、ルール審査部１０３０、評価部１０５０、実行部１０６０、および他のデータ抽出部１０８０。
【０１８６】
一実施例では、テスタ１５１０はプロキシ１５１２と、試験プログラム１０１４と、結果用のデータベース１５１６とを具える。プロキシ１５１２は例えばリアルタイムのリード／ライト接続を試験結果、テスタのオペレーティングシステムＯＳ、メモリインターセプション、および試験プログラムＴＰの接続性に提供する。一実施例では、データベース１５１０は現在の試験の現在のロットの結果を保持し、ロットの結果が完了したら試験結果（例えばデータログで）はルール生成モジュール２１０に送られ、データベース１３１８（および／またはシステム１１００における他のモジュールに付随するデータベース）が更新される。
【０１８７】
一実施例では、試験プログラム１５１４は、試験下のデバイスが良好か不良かを判定するために次から次へ実行された試験のまとめを含む。いくつかの場合、ルールは試験プログラム１５１４で例えば試験フロー、ビン、試験条件等において変化してもよく、これにより試験プログラム１０１４がどのように実行されるかが変わる。これらの変化はいくつかの場合ユニット毎であり、各ユニットが異なる試験を受けることもある。一実施例では試験プログラム１０１４は内部に「スイッチ」（試験プログラム１０１４）を具え、これがＳＣ１５０６からアクセス可能であり、必要に応じてデフォルト値から変数が切り替わる。ルールは、変数を切り替えるべくＳＣ１５０６に命令を設定する。
【０１８８】
本発明の別の実施例では、図１５の機能は図１５に示すより少ない、多い、および／または異なるモジュールで提供されてもよい。図１５に示すモジュールは、１カ所に集中していてもよいし、１より多い箇所に分散してもよい。
【０１８９】
図１６は、本発明の一実施例にかかるオフライン製造現実化モジュール１１５０の一例を示す。図１６に示す各モジュールは、本書で規定および説明する機能を実行するハードウェア、ソフトウェアおよび／またはファームウェアの様々な組み合わせを含んでもよい。オフライン製造現実化モジュール１１５０は、１または複数のルールセット１６０２を含む。例えば、オフラインモジュール１１５０が複数の製品の製造および／または複数の試験モジュールを監視するとき、このオフラインモジュール１１５０はおそらく複数のルールセットを同時に実行する。
【０１９０】
いくつかの実施例では、オフライン製造現実化モジュール１１５０は、とりわけ製造設定、ＦＡＢ履歴結果、Ｅ試験結果、前のソート動作結果、および／または分析とオフラインアルゴリズム結果（例えばベースライン）を含む層として管理された、蓄積されたデータセットを保存するデータアクセス層ＤＡＬ１６２０を具える。例えばこれらの実施例のうちのいくつかは、ＤＡＬ１６２０はとりわけ、データベース１０１０に保存され現実化ルールセット１６０２に有用な情報の一部または全部を保存する。これらの実施例の一つでは、ＤＡＬ１６２０はルール生成モジュール２１０から、ルールセット１６０２を実行するのに必要なだけの複数のロットに関連するデータを受信する。ＤＡＬ１６２０については以降に詳述する。
【０１９１】
いくつかの実施例では、オフライン製造現実化モジュール１１５０が、ＤＡＬ１６２０の代わりに、あるいは付加的にデータベース１６３０を具える。例えばこれらの一実施例では、データベース１６３０はとりわけ、データベース１０１０に保存された情報の一部または全部を保存する。一実施例では、データベース１６３０はとりわけ、ルール生成モジュールからアクセス可能なすべてのデータを具える。図１６に示す例は、オフライン現実化モジュール１１５０はまた、ユーザ間の競合を解決するためのＢＬＭ１６０４を有する実行部１６２４と、モジュールと、製造中に生じるルールセット（例えば上記トリガ１０４２による）とを具える。例えばＢＬＭ１６０４は一実施例において、とりわけ上述した評価部１０５０の機能の一部または全部を具えてもよい。ＢＬＭ１６０４に加えて、実行部１６２４は上述した以下の１以上の機能の一部または全部を具えてもよい：ルール審査部４１０、比較部４２０条件審査部４３０、決定部４４０、条件審査部１０４０、ルール審査部１０３０、評価部１０５０、実行部１０６０、およびその他のデータ抽出部１０８０。一実施例では、オフライン現実化モジュール１１５０はまた、例えばとりわけデータ抽出／更新および／またはライセンスおよびセキュリティ管理用のデータベース接続を含む一般的なサービスを提供するフレームワーク１６１６と、ロット評価と、（例えばステージ１２０８その他の様々なステージで）報告を作成する報告作成部とを具える。図１６に示す一実施例では、オフライン現実化モジュールはまた、すべてのセミＳＴＤＦ形式、データログ等、およびホールド、ロットオナー（エンジニアリング／製造）等を含むワークフロー設定を含む履歴試験結果のデータローダおよびコンバータ１６０６を具える。一実施例では、データローダおよびコンバータ１６０６は、システム２００の外部のシステムから情報をロードしうる。例えば、ロット特性（例えばオナー等）といったデータは、製造試験設備内でロットを管理するワークフローシステムからロードされうる。別の例では、ロットが工学的なレビューのために保持される必要がある場合、データローダはこのシステムへインタフェースしうる。
【０１９２】
一実施例では、データローダ１６０６は、１以上のリアルタイム現実化モジュール１１２０で実行された製造試験の結果を受信する。例えば、１のオフライン現実化モジュール１１５０は、例えば直接、ルール生成モジュール２１０を介して、または他のモジュールを介して、１またはそれ以上のリアルタイム現実化モジュール１１２０の結果を受け取る。オフライン現実化モジュール１１５０はその後、フレートヘルス（すべての試験ステーションのパフォーマンスをチェックする）を試験しうる１以上のルールセットを現実化する。フォローアップステージ１３０では、現実化の結果が分析され、報告され、必要に応じて１以上のリアルタイム現実化モジュール１１２０で調整アクションが行われる。
【０１９３】
別の実施例では図１６の機能は図１６に示すより少ない、多い、および／または異なるモジュールで提供されてもよい。図１６に示すモジュールは、１カ所に集中していてもよいし、１より多い箇所に分散してもよい。
【０１９４】
本発明のいくつかの実施例ではＤＡＬ１５２０および／または１６２０の使用が利点となる。ＤＡＬ１５２０または１６２０は、特別な形式、例えばウェハマップで、情報、データおよびロット、ウェハ、およびダイスの結果を有する。一実施例ではＤＡＬ１５２０または１６２０は、各層が１の動作と１のパラメータで特徴付けられる層として「構成」され管理される。一実施例では、ＤＡＬ１５２０または１６２０は、すべての動作（過去、現在、未来）と、ルールにより参照されるすべてのパラメータを含む。いくつかの実施例では、ＤＡＬ１５２０とＤＡＬ１６２０の違いは、これらに蓄積されるロットの量である。例えば、これらの実施例の一つは、ＤＡＬ１５２０が試験下の現在のロットの情報とともに、試験された前のロットの情報を具える。この構造により、ルールが前のウェハまたは前のロットを参照することができる。本例では、ＤＡＬ１６２０が大きなベースラインを実現すべく有意に多いロットを含む。一実施例では、ＤＡＬ１５２０または１６２０は製品とプログラムの特性であり、すなわちＤＡＬ１５２０とＤＡＬ１６２０は試験下の製品の情報を含む。本例では、オフライン現実化モジュール１１５０が１より多い製品および／または１より多い試験モジュールを同時に観察している場合、ここには並列管理される１より多いＤＡＬ１６２０がある。一実施例では、オフライン現実化モジュール１１５０は多くのテスタを「支持」し、例えば各テスタは異なるＤＡＬ１６２０に対応する異なる製品を試験し、それ故に現実化モジュール１１５０はすべての関連するＤＡＬ１６２０を継続的に更新する必要がある。別の実施例では、単一のＤＡＬ１５２０または１６２０が１より多い製品および／または試験プログラムに関連する情報を有してもよい。
【０１９５】
図１７を参照すると、いくつかの実施例でＤＡＬ１５２０および／または１６２０に含まれる層の様々な例が示されている。別の実施例では、ＤＡＬ１５２０および／または１６２０にはより多い、少ない、および／または異なる層が含まれてもよい。図１７に示す層について説明する：
層１．１
・動作：ソート
・パラメータ：試験ダイス
層１．２
・動作：ソート３
・パラメータ：タッチダウン定義＆シーケンス
層１．３
・動作：ソート
・パラメータ：プローブシーケンス
層１．４
・動作：ソート２
・パラメータ：ハードビン
層１．５
・動作：メタル１（Ｆａｂ）
・パラメータ：リソグラフィ露光定義
層１．６
・動作：ソート１
・パラメータ：Ｖｃｃ継続
【０１９６】
これ故、現実化モジュール１１２０または１１５０による情報取得は、ＤＡＬ１５２０または１６２０をそれぞれ用いることにより容易となる。各層が異なる動作および／またはパラメータを表し、ウェハ上の任意のダイのｘ−ｙ座標が既知であるため、現実化モジュール１１２０または１１５０は、適切な層の適切なｘ−ｙ位置から特定のダイに関するパラメータ／動作の情報を取得することができる。一実施例では、ＤＡＬ１５２０または１６２０のｘ−ｙ位置の層は、ウェハ内のダイのｘ−ｙ位置と一緒である。別の実施例では、ＤＡＬ１５２０または１６２０のｘ−ｙ位置の層は、ウェハ内のダイのｘ−ｙ位置と異なるが、その対応関係は現実化モジュール１１２０または１１５０が知っている。
【０１９７】
例えば、前の情報に基づくルールがウェハの特定のダイスをスキップすることを決定したとする。この例では、ルールの決定はウェハの試験前に既知である。各ダイの演算を行う代わりに、この情報はＤＡＬ１５２０の層に「０」と「１」を含んで保存される。現実化モジュール１１２０はすべての「０」のダイをスキップし、「１」のダイにルールを実行する。リーダにはこの種類のストレージが極めて効果的であることが理解できるであろう。
【０１９８】
別の例として、ビンデータを想定すると、モニタリングの結果がテスタ１５１０が作成するデータログ（例えば試験結果１５１６）内に保存される。データログはほぼリアルタイムに更新されるが、テスタ１５１０がファイルに書き込むためリアルタイムではない。このデータログはいくつかの場合に多くのデータを含み、このためリアルタイムでデータを扱い解析するのは困難である。先験的に、モニタリングの結果が必要であり、その結果はＤＡＬ１５２０内に現実化モジュール１１２０が知っている前述の構造で保存することができる。
【０１９９】
上記の例は説明目的であり、他の実施例は様々な情報をウェハマップ形式で保存してもよく、とりわけ：特定の試験の測定結果、あるユニットが試験されたシーケンスの識別子、情報が正しいとの動作の関連する情報を含む。
【０２００】
本発明の一実施例は、半導体試験産業において、ユーザフレンドリな方法で試験シナリオを開発しうる共通の試験言語を提供する。ルール生成モジュール２１０を用いて読者にさらにルール定義（ステージ１０４）を説明するために、図１８乃至４２は本発明の一実施例にかかるグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩを示す。本発明は図１８乃至４２のＧＵＩの内容または形式に捕らわれるものではなく、またユーザ入力データの説明された順番に制限されるものでもない。
【０２０１】
図１８は、本発明の一実施例にかかる、製品１：１８０２と製品２：１８０４のカテゴリの階層ツリー構造を示す。各製品１８０２、１８０４において、ここに含まれる範囲／動作は列挙／隠されている。例えば製品１：１８０２では、Ｅ試験１８０６、ソート１８０８、焼き付け１８１０、最終試験１８１２、およびシステム評価１８１４が動作としてリストされている。各範囲では、試験プログラムが列挙／隠されている。例えばソート１８０８下では、試験プログラムＴＰ１１：１８２０およびＴＰ１２：１８２２が列挙されている。
【０２０２】
図１９は、本発明の一実施例にかかる、特定の試験プログラム用のルールファミリのルールセットを示す。各試験プログラムにおいて、含まれるルールセットは列挙／隠されている。各ルールセットの下、含まれるルールファミリは列挙／隠されている。ルールセット４：１９００用のＴＰ１１：１８２０の下、ルールファミリ・ビンＳＰＣ１９０２、パラメトリックＳＰＣ１９０４、ＴＴＲ１９０６、品質・信頼性１９０８、制御ルール１９１０、配列１９１２、ポストプロセッシング１９１４、および相関１９１６が列挙されている。
【０２０３】
図２０は、本発明の一実施例にかかる、ルールファミリ用のルール種類を示す。各ルールファミリの下、含まれるルール種類は列挙／隠されている。例えばビンＳＰＣ１９０２の下、以下のルール種類が列挙される：エンティティ毎のＣＢＬ発生数２００４、ＣＢＬ再試験ビンスイッチング２００６、ＣＢＬイベントフリーウィンドウ２００８、ＴＢＬ２０１０、エンティティ毎のＴＢＬ発生数２０１２、ＴＢＬ再試験ビンスイッチング２０１４、ＳＢＬ２０１６、エンティティ毎の再ソート率２０１８、ＳＢＬ再ソートビンスイッチング２０２０、ＳＢＬ再試験ビンスイッチング２０２２、再試験リミットコントロール２０２４、洗浄リミットコントロール２０２６、および汎用再試験ビンスイッチング２０２８。
【０２０４】
図２１は、本発明の一実施例にかかる、他のルールファミリ用のルール種類を示す。各ルールファミリの下、含まれるルール種類は列挙／隠されている。例えばパラメトリックＳＰＣ１９０４の下、以下のルール種類が列挙される：アウトライアユニットレベル２１０２、アウトライアウェハレベル２１０４、アウトライア発生数２１０６、エンティティユニットレベルによるアウトライア分析２１０８、エンティティウェハレベルによるアウトライア分析２１１０、トレンドユニットレベル３２２３、トレンドウェハレベル２１１４、トレンド発生数２１１６、エンティティユニットレベルによるトレンド分析２１１８、エンティティウェハレベルによるトレンド分析２１２０、末端（marginality）ユニットレベル２１２２、末端ウェハレベル２１２４、末端発生数２１２６、エンティティユニットレベルによる末端分析２１２８、エンティティウェハレベルによる末端分析２１３０、フリーズ２１３２、フリーズ発生数２１３４、エンティティによるフリーズ分析２１３６、エンジニアリングリミットユニットレベル２１３８、およびエンジニアリングリミットウェハレベル２１４０。
【０２０５】
図２２は、本発明の一実施例にかかる、別のファミリ用のルール種類を示す。各ルールファミリの下、含まれるルール種類は列挙／隠される。図２２では、ルールファミリＴＴＲ１９０６用のルール種類、品質・信頼性１９０８、制御ルール１９１０、配列１９１２が列挙されている。簡潔のため、図２２に示すルールファミリはここで繰り返さない。
【０２０６】
図２３乃至４３は、本発明の一実施例にかかるルール定義の２つの例を示すＧＵＩである。一実施例においてこれらのＧＵＩは、ルール生成モジュール２１０用のユーザインタフェース７０２および／または８０２の一部である。読者の理解を補助するためにいくつかの例を提供するが、これが典型例および／または限定するものと理解されてはならない。いくつかの場合に図５に示すものとルールのパラメータ（構成ブロック）に異なる名前、および／またはパラメータの異なる順番を用いるが、読者の便宜のためクロスリファレンスが提供される。
【０２０７】
図２３乃至３３に示される第１の例は、連続ビンを監視し対応して動作するＣＢＬルールに関する。
【０２０８】
いくつかの実施例では、ユーザはカテゴリ階層内でＣＢＬ２３０６を選択することにより新規ルールの位置を特定しているものとする。その後これらの実施例のいくつかにおいて、このルールに付随するパラメータ２３０８がユーザに提供される（実施例に応じて、例えばたのパラメータが自動的に定義されないため、このルールに付随してユーザに提供されない他のパラメータもある、またはない）。
【０２０９】
ポピュレーションパラメータ（図５で定義）は、試験下の現在のダイであってユーザに不可視のものである（すなわち、ルール生成モジュール２１０が自動的に定義する）。このルールは製品すべてのダイスに実行される。
【０２１０】
図２３に示すステップ２３（ルールパラメータ）では、ユーザはモニタされたビン２３０２（ここでは「ビン１５」とする）と連続リミット２３０４（ここでは「３」）を特定する。本例におけるモニタされたビン２３０２は、図５を参照して説明したモニタされたデータパラメータに対応することを理解されたい。本例では、ルールは３つの連続するビン１５の「ストリング」が生じたらトリガされる。
【０２１１】
図２４に示すステップ２４００（動作パラメータ）では、ユーザは、ルールがトリガされたときに生じるルール動作を定義する。この場合、動作は、「プレート」２４０２を用いてプローブカードを洗浄し、「ＣＢＬストリングの最後のダイスを再試験する」（ここでは「３」）２４０４。一実施例では、試験モジュール設定に基づいて洗浄の種類２４０２が自動的に選択されるが、別の実施例ではユーザが選択してもよい。
【０２１２】
図１５に示すステップ２５００（アラームパラメータ）では、ユーザはルールアラームを選択する。一実施例では、２種類のアラームがある。第１はリアルタイム現実化モジュール１１２０で生じ、第２はオフライン現実化モジュール１１５０で生じる。第１のアラームは例えば技術者にメッセージを発し、および／または例えば試験モジュールを中止する。このメッセージは技術者に調整動作を実行させることができる。第２のアラーム（エンジニアリングアラームとも呼ばれる）は、試験フロアにいない個人に重大なメッセージを例えば電子メール、ページャ等を介して送る。図２５に示す例では、例えば他の仲介または通知なくユーザが前のステップで自動的に動作を実行することを決定したら、アラームは定義されない。
【０２１３】
動作パラメータ２４００とアラームパラメータ２５００は、図５を参照して説明したルール動作パラメータに対応することに留意されたい。
【０２１４】
図２６に示すステップ２６００（ルールリミットパラメータ）では、ユーザはルールにリミット２６０２を規定する。リミット２６０２は特定の範囲内でルールが生じる期間に関する。この場合にルールリミットは「３」２６０４と規定される。このため、ビン１５に３のＣＢＬが３回あると、ルール行動２６０６が実行される。この場合、ルール行動２６０６は「ディセーブル」すなわちルールがディセーブルとなりアラームが生じる（ステップ２５００で規定されるすべてのアラームと区別される）。このステップの理論的解釈は、例えば機器関連でなく材料関連の問題がある場合にプローブカードの洗浄を避けることである（このルールリミット２６００は、ルールの発生回数のカウンタを規定し、このカウンタは図５で上述した有効条件に一部が対応する。この有効条件の残りはユーザに不可視でありルール現実化にのみ関連する）。
【０２１５】
図２７に示すステップ２７００（パラメトリックフィルタパラメータ）では、追加のパラメトリックフィルタが規定される。本質的に、このステップモニタされるビンの追加条件である。本例では、このルールのトリガは、関係２７０４が「１より大きい」と規定された接触抵抗「ｃｒｅｓ」測定値２７０２を有する３つの連続するビン１５を観測することである。
【０２１６】
図２８に示すステップ２８００（機能フィルタパラメータ）では、追加の機能フィルタが規定される。このステップは、図２７のパラメトリックフィルタの論理と似ているが、機能データの一部である故障チャネルを参照する。本例では、フィルタリングは選択されない。
【０２１７】
図２９に示すステップ２９００（除外条件パラメータ）では、除外条件が規定される。例えば、ルールが「ｉｆ−ｔｈｅｎ」記述に基づくとすると、除外条件は当該ルールに付随する「ｕｎｌｅｓｓ（〜するまで）」に対応する。本例では、除外条件が規定されず、このルールですべての材料が試験される（除外条件が定義される別の実施例では、ルールは、ユニット、ウェハ、またはロットが特定の材料種類２９０２、例えばエンジニアリング材料、ウェハの特定範囲等の場合にトリガされない）。
【０２１８】
パラメトリックフィルタパラメータ２７００、機能フィルタパラメータ２８００、除外および条件パラメータ２９００は、図５を参照して説明したエントリ条件パラメータに対応することに留意されたい。本例では、ビンの頂部にパラメトリックフィルタがある。
【０２１９】
図３０に示すステップ３０００（範囲パラメータ）では、ルールの範囲が定義される。この範囲はルールが開始すると規定される。本例では、この範囲は「すべての」ウェハ３００２と規定され、ウェハごとにすべてのカウンタがリセットされることを意味する。例えば、発生カウンタがリセットされ、ルールリミットがリセットされる。一実施例では、ウェハ毎のカウンタの合理的な後方リセットは、ロット内のウェハが僅かに異なって処理され（製造され）、そのためその特性が異なるという事実による。例えば、１のウェハ内に４つのＣＢＬが生じたら、これはおそらく実施の材料の問題であり機器の問題ではないため、「洗浄＆リセット」を中止するよう決定する。試験が次のウェハに開始されたら、新たなウェハに生じるＣＢＬが、前のウェハで特定された同じ材料の問題によるものか、「通常の」機器の問題によるものかが分からないため、発生カウンタをリセットすることが望ましい。範囲パラメータ３０００は、図５を参照して説明した範囲パラメータに対応する。
【０２２０】
図３１に示す最終ステップ（名前パラメータ）では、ルールに名前３１０２がつけられ、任意のコメント３１０４が入力される。名前パラメータ３１００は、図５を参照して説明した名前パラメータに対応する。
【０２２１】
図５を参照して説明した実行ポイント、エンドポイント、およびルール状態パラメータは、ユーザに不可視である（すなわち、ルール生成モジュール２１０が自動的に設定する）。本例では、実行ポイントはダイの終点であり、エンドポイントはダイの開始である。図５に関して説明したアルゴリズムオブジェクトは、既に選択されたルール種類「ＣＢＬ」２３０６（図２３）に対応する。ルール状態は、当該ルールの現実化中にのみ関連する。
【０２２２】
図３２は、本発明の一実施例にかかる、ルール定義後のグリッド形式３２００のルールを示す。代替実施例では、グリッド形式は代替的または付加的にルールを定義する際に用いられる（図２３乃至３１を置換）。
【０２２３】
図３３は、本発明の一実施例にかかる、ルール定義の別の技術を示す。上の階層のレベルにタッチすると、例えばビンＳＰＣ１９０２はタッチされた要素に規定されたすべてのルールのリストを提供する。本例では上で定義したいＣＢＬルール３３０２がリストされている。
【０２２４】
図３４乃至４２に示す第２の例は、最適ルールすなわち試験を最適化すべく試験値を更新したルールの作成に関する。
【０２２５】
いくつかの実施例では、ユーザは、カテゴリ階層内のサーチ最適化３４０６を選択することにより、新規ルールの位置を特定する。その後これらの実施例のいくつかでは、このルールに付随するパラメータ３４０８がユーザに示される（実施例により、このルールに付随する他のパラメータが、これらの他のパラメータが自動的に定義される故に、ユーザに示され、あるいは示されない）。
【０２２６】
図３４に示すステップ３４００（条件パラメータ）では、エントリ条件が規定される。エントリ条件は、ルールがレバレッジされようとする前の知識を定義する。オペレーションでは、このオペレーションからのパラメータや論理条件が適宜される。本例では、現在のダイ３４０４のＥ試験動作からの「ＡＣＬＥＮ」パラメータ３４０２（Ｎ−ＭＯＳトランジスタ用の有効チャネル長さ）が２乃至４であるとルールがトリガされる。このステップは「ソース情報」と把握することができる。「ＡＣＬＥＮ」パラメータは、図５を参照して説明したモニタされたデータに対応する。
【０２２７】
図３５に示すステップ３５（ターゲットポピュレーションパラメータ）では、ターゲットパラメータ３５０２とポピュレーション３５０４が定義される。このステップでは、ルールがトリガされたときに、誰および／または何が生じるのかを定義しうる。本例では、ルールエントリ基準に合致したら、影響するユニットは現在のダイ３５０４となり（図５に記載のポピュレーションパラメータに対応）、変更が必要なパラメータは「Ｆｍａｘ」（ソートスピード）である。このステップはまた、「ターゲット情報」ととらえることもできる。このルールは製品のすべてのダイスに実行されることに注意されたい。
【０２２８】
図３６に示すステップ３６００（グローバルパラメータ）では、「Ｆｍａｘ」パラメータ３５０２の設定が規定される。本例では、Ｆｍａｘ３５０２用に分布するサーチウィンドウの最低値が「５０」３６０２から最大値「１００」３６０４まである。
【０２２９】
変更されるパラメータ３５０２とグローバルパラメータ３６００は、図５を参照して説明したルールアクションパラメータに対応する。
【０２３０】
図３７に示すステージ３７００（制御ルールパラメータ）では、追加の制御ルールが定義される。いくつかの場合に制御ルールはエントリ条件として動作する追加のルールを含む。本例では「評価ルール」３７０２が生じたら、現在定義されている最適化ルールが破棄される。
【０２３１】
図３８に示すステージ３８００（除外基準パラメータ）では、除外基準が定義される。例えばルールが「ｉｆ−ｔｈｅｎ」記述に基づく場合、除外条件は当該ルールに付随する「ｕｎｌｅｓｓ（〜まで）」に対応する。本例では、除外条件が規定されず、このルールですべての材料が試験される（除外条件が定義される別の実施例では、ルールは、ユニット、ウェハ、またはロットが特定の材料種類２９０２、例えばエンジニアリング材料、ウェハの特定範囲等の場合にトリガされない）。
【０２３２】
制御ルールパラメータ３７００および除外条件パラメータ３８００は、図５を参照して説明したエントリ条件パラメータに対応する。
【０２３３】
図３９に示すステージ３９００（名前パラメータ）では、ルールに名前３９０２がつけられ、任意のコメント３９０４が入力される。名前パラメータ３９００は、図５を参照して説明した名前パラメータに対応する。
【０２３４】
有効条件、実行ポイント、エンドポイント、およびルール状態パラメータは（図５を参照して説明したように）、ユーザに不可視である（すなわち、ルール生成モジュール２１０が自動的に設定する）。本例では、実行ポイントはダイの終点であり、エンドポイントはダイの開始である。ルール状態は当該ルールの現実化中にのみ関連する。図５を参照して説明した範囲パラメータは本例には関係しない。図５を参照して説明したアルゴリズムオブジェクトは、ルール種類「サーチ最適化」４００２（図４０）である。
【０２３５】
図４０は、本発明の一実施例にかかる、ルール定義後のグリッドモード４０００のルールである。代替実施例では、グリッドフォームは、代替的または付加的に、ルール定義時に用いてもよい（図３４乃至３９を置換）。
【０２３６】
図４１は、本発明の一実施例にかかる、階層内の新たな一葉である新規ルール４１０２を示す。
【０２３７】
図４２は、本発明の一実施例にかかる、別のルール定義技術を示す。高いレベルの階層をタッチすると、例えばＴＴＲ１９０６がタッチされた要素に規定されたすべてのルールのリストを提示する。本例では、上述したサーチ最適化ルール４２０２がリストされている。
【０２３８】
図４３は、本発明の一実施例にかかる、図４２の技術であるが階層内の高いレベルについてを示す。ルールセット４：１９００の階層をタッチすると、タッチされた要素に規定されたすべてのルールのリストが提示される。本例では、上記定義したＣＢＬルールと最適化ルールを含む３つのルールが、ルールセット４：１９００に属するものとして提示される。
【０２３９】
本発明にかかるシステムは適切にプログラムされたコンピュータであってもよいと理解される。同様に、本発明は、本発明の方法を実行するコンピュータ読み取り可能なプログラムを含む。本発明はさらに、本発明の方法を実行させる機械実行可能な命令のプログラムを具現化する機械読み取り可能なメモリを含む。
【０２４０】
本発明を特定の実施例について図示し説明したが、これは限定ではない。読者は本発明の範囲内で様々な変更、調整、改善を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【０２４１】
【図１】図１は、本発明の一実施例にかかる半導体試験方法のフローチャートである。
【図２】図２は、本発明の一実施例にかかる半導体試験システムのブロック図である。
【図３】図３は、本発明の一実施例にかかる、統計的なプロセス制御チャートである。
【図４】図４は、本発明の一実施例にかかる、実現化モジュールのいくつかの要素のブロック図である。
【図５】図５は、本発明の一実施例にかかる、ルールに定義可能なパラメータのリストである。
【図６】図６は、本発明の一実施例にかかる、実現化モジュールのいくつかの要素のブロック図である。
【図７】図７は、本発明の一実施例にかかる、ルール生成モジュールのいくつかの要素のブロック図である。
【図８】図８は、本発明の別の実施例にかかる、ルール生成モジュールのいくつかの要素のブロック図である。
【図９】図９は、本発明の一実施例にかかる、ルール生成モジュールのいくつかの要素のブロック図である。
【図１０】図１０は、本発明の一実施例にかかる、実現化モジュールのブロック図である。
【図１１】図１１は、本発明の一実施例にかかる、半導体試験システムのブロック図である。
【図１２】図１２は、本発明の一実施例にかかる、半導体試験方法のフローチャートである。
【図１３】図１３は、本発明の一実施例にかかる、ルール生成モジュールのブロック図である。
【図１４】図１４は、本発明の一実施例にかかる、分析モジュールに接続されたシミュレーション実現化モジュールのブロック図である。
【図１５】図１５は、本発明の一実施例にかかる、テスタおよびプローブまたはハンドラに接続可能なリアルタイム製造モジュールのブロック図である。
【図１６】図１６は、本発明の一実施例にかかる、オフライン製造実現化モジュールのブロック図である。
【図１７】図１７は、本発明の一実施例にかかる、データアクセス層内の層の様々な例を示す概略図である。
【図１８】図１８は、本発明の一実施例にかかる、製品の階層ツリーを示すグラフィカルユーザインタフェースである。
【図１９】図１９は、本発明の一実施例にかかる、試験プログラム用のルールファミリーのルールセットを示すグラフィカルユーザインタフェースである。
【図２０】図２０は、本発明の一実施例にかかる、ルールファミリー用のルール種類を示すグラフィカルユーザインタフェースである。
【図２１】図２１は、本発明の一実施例にかかる、別のルールファミリー用のルール種類を示すグラフィカルユーザインタフェースである。
【図２２】図２２は、本発明の一実施例にかかる、別のファミリー用のルール種類を示すグラフィカルユーザインタフェースである。
【図２３】図２３は、本発明の一実施例にかかる、連続ビン限界ルール（consecutive bin limit rule）を定義するためのグラフィカルユーザインタフェースである。
【図２４】図２４は、本発明の一実施例にかかる、連続ビン限界ルールを定義するための別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図２５】図２５は、本発明の一実施例にかかる、連続ビン限界ルールを定義するための別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図２６】図２６は、本発明の一実施例にかかる、連続ビン限界ルールを定義するための別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図２７】図２７は、本発明の一実施例にかかる、連続ビン限界ルールを定義するための別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図２８】図２８は、本発明の一実施例にかかる、連続ビン限界ルールを定義するための別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図２９】図２９は、本発明の一実施例にかかる、連続ビン限界ルールを定義するための別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図３０】図３０は、本発明の一実施例にかかる、連続ビン限界ルールを定義するための別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図３１】図３１は、本発明の一実施例にかかる、連続ビン限界ルールを定義するための別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図３２】図３２は、本発明の一実施例にかかる、グリッド形式で連続ビン限界ルールを示すグラフィカルユーザインタフェースである。
【図３３】図３３は、本発明の一実施例にかかる、ルール定義の技術を示すグラフィカルユーザインタフェースである。
【図３４】図３４は、本発明の一実施例にかかる、最適ルールを定義するためのグラフィカルユーザインタフェースである。
【図３５】図３５は、本発明の一実施例にかかる、最適ルールを定義する別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図３６】図３６は、本発明の一実施例にかかる、最適ルールを定義する別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図３７】図３７は、本発明の一実施例にかかる、最適ルールを定義する別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図３８】図３８は、本発明の一実施例にかかる、最適ルールを定義する別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図３９】図３９は、本発明の一実施例にかかる、最適ルールを定義する別のグラフィカルユーザインタフェースである。
【図４０】図４０は、本発明の一実施例にかかる、グリッドモードの最適ルールを示すグラフィカルユーザインタフェースである。
【図４１】図４１は、本発明の一実施例にかかる、階層中の新たな葉（leaf）としての最適ルールを示すグラフィカルユーザインタフェースである。
【図４２】図４２は、本発明の一実施例にかかる、ルール定義の技術を示すグラフィカルユーザインタフェースである。
【図４３】図４３は、本発明の一実施例にかかる、図４２の技術であるが階層中の高いレベルを示すグラフィカルユーザインタフェースである。
【図４４】図４４は、本発明の一実施例にかかる、試験下のウェハのプローブシーケンスを示す図である。
【図１】
2009532695.tif 000003
【図２】
2009532695.tif 000004
【図３】
2009532695.tif 000005
【図４】
2009532695.tif 000006
【図５】
2009532695.tif 000007
【図６】
2009532695.tif 000008
【図７】
2009532695.tif 000009
【図８】
2009532695.tif 000010
【図９】
2009532695.tif 000011
【図１０】
2009532695.tif 000012
【図１１】
2009532695.tif 000013
【図１２】
2009532695.tif 000014
【図１３】
2009532695.tif 000015
【図１４】
2009532695.tif 000016
【図１５】
2009532695.tif 000017
【図１６】
2009532695.tif 000018
【図１７】
2009532695.tif 000019
【図１８】
2009532695.tif 000020
【図１９】
2009532695.tif 000021
【図２０】
2009532695.tif 000022
【図２１】
2009532695.tif 000023
【図２２】
2009532695.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
2009532695.tif 000026
【図２５】
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【図２６】
2009532695.tif 000028
【図２７】
2009532695.tif 000029
【図２８】
2009532695.tif 000030
【図２９】
2009532695.tif 000031
【図３０】
2009532695.tif 000032
【図３１】
2009532695.tif 000033
【図３２】
2009532695.tif 000034
【図３３】
2009532695.tif 000035
【図３４】
2009532695.tif 000036
【図３５】
2009532695.tif 000037
【図３６】
2009532695.tif 000038
【図３７】
2009532695.tif 000039
【図３８】
2009532695.tif 000040
【図３９】
2009532695.tif 000041
【図４０】
2009532695.tif 000042
【図４１】
2009532695.tif 000043
【図４２】
2009532695.tif 000044
【図４３】
2009532695.tif 000045
【図４４】
2009532695.tif 000046
【国際調査報告】
2009532695.tif 000047
2009532695.tif 000048
2009532695.tif 000049