(57)【要約】  囲い部及びドアを含むフロントオープンウエハ収納容器。一対の間隔があけられた片持ちウエハ棚を含むウエハ支持システムが備えられており、各ウエハ棚は一対の対向傾斜ランプ部を含む。ランプ部は、ウエハが棚に受入れられた時に、ウエハがその下側外縁角部においてランプ上で支持されるように協働的に位置決めされると共に構成され、ウエハの他の全ての部分は、ウエハ支持システムと接触していない。各ウエハ棚は概ね凹状の上面を有してよく、またランプの傾斜は、ウエハ棚の凹状上面と連続する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１個のウエハと、
上面、底面、対向側面、背面、及びドア枠によって画定される開放前面を含む囲い部と。
前記開放前面を密封閉鎖するために、前記ドア枠に選択的に受け入れ可能なドアと、
前記ウエハを受け入れ且つ支持する前記囲い部のウエハ支持システムとを含み、該ウエハ支持システムは、一対の間隔があけられた片持ちウエハ棚を含み、各ウエハ棚は一対の対向する傾斜ランプ部を含み、該ランプ部は、該ウエハが該棚に受入れられた時に、該ウエハが該ウエハの下側外周角部において、前記ランプ上で支持されるように、協働的に位置決めされると共に構成され、該ウエハの他の全ての部分は、該ウエハ支持システムと接触していない
ことを特徴とするウエハ収納容器。
【請求項２】
前記ランプは、水平面に対して１度から９度の間に傾斜させられることを特徴とする請求項１のウエハ収納容器。
【請求項３】
前記ランプは、水平面に対して３度から７度の間に傾斜させられることを特徴とする請求項１のウエハ収納容器。
【請求項４】
前記ランプは、水平面に対して約５度傾斜させられることを特徴とする請求項１のウエハ収納容器。
【請求項５】
各ウエハ棚は、概ね凹状の上面を有することを特徴とする請求項１のウエハ収納容器。
【請求項６】
前記ランプの傾斜は、前記ウエハ棚の凹状上面と連続していることを特徴とする請求項５のウエハ収納容器。
【請求項７】
前記ウエハ支持システムは一対のウエハ支持構造体を含み、且つ各ウエハ支持構造体は支柱を含み、前記ウエハ棚対の一方が該支柱から延出することを特徴とする請求項１のウエハ収納容器。
【請求項８】
前記ウエハ支持構造体の各々は、複数の固定具で、前記囲い部に固定されることを特徴とする請求項７のウエハ収納容器。
【請求項９】
前記ウエハ支持構造体は、オーバモルド加工を用いて、前記囲い部に一体成形されることを特徴とする請求項７のウエハ収納容器。
【請求項１０】
前記支柱及びウエハ棚は、一片となるように一体形成されることを特徴とする請求項７のウエハ収納容器。
【請求項１１】
複数のウエハと、
上面、底面、対向側面、背面、及びドア枠によって画定される開放前面を含む囲い部と、
前記開放前面を密封閉鎖するために、前記ドア枠に選択的に受け入れ可能なドアと、
前記囲い部において、前記複数のウエハを水平配向離間軸方向整列配置で受け入れ且つ支持するウエハ支持システムとを含み、該ウエハ支持システムは、一対の間隔があけられて対向するウエハ支持構造体を含み、各ウエハ支持構造体は支柱を含み、複数の間隔があけられた片持ちウエハ棚は該支柱から延出し、該ウエハ支持構造体の第１支持構造体のウエハ棚各々は、複数の水平配向溝を画定するために、他方のウエハ支持構造体のウエハ棚
の一個と水平方向に合わせられており、各々は、複数のウエハの一個を受入れ、各ウエハ棚は、該ウエハと接触する一対の対向する傾斜ランプ部を含み、該ランプ部は、該ウエハが前記溝に受入れられた時に、該ウエハが該ウエハの下側外周角部において該ランプ上で支持されるように、協働的に位置決めされると共に構成され、該ウエハの他の全ての部分は、該ウエハ支持システムと接触していない
ことを特徴とするウエハ。
【請求項１２】
前記ランプは、水平面に対して１度から９度で傾斜させられることを特徴とする請求項１１のウエハ収納容器。
【請求項１３】
前記ランプは、水平面に対して３度から７度で傾斜させられることを特徴とする請求項１１のウエハ収納容器。
【請求項１４】
前記ランプは、水平面に対して約５度傾斜させられることを特徴とする請求項１１のウエハ収納容器。
【請求項１５】
各ウエハ棚は概ね凹状の上面を有することを特徴とする請求項１１のウエハ収納容器。
【請求項１６】
前記ランプの傾斜は、前記ウエハ棚の凹状上面と連続していることを特徴とする請求項１５のウエハ収納容器。
【請求項１７】
ウエハ収納容器であって、
少なくとも１個のウエハと、
上面、底面、対向側面、背面、及びドア枠によって画定される開放前面を含む囲い部と、
前記開放前面を密封閉鎖するために、前記ドア枠に選択的に受け入れ可能なドアと、
前記ウエハを前記囲い部で支持する手段とを含み、該手段は該ウエハを、該ウエハの下側外周角部に沿って間隔があけられた複数位置において支持し、該ウエハの他の全ての部分は前記収納容器と接触していない
ことを特徴とするウエハ収納容器。
【請求項１８】
前記ウエハを前記囲い部で支持する手段は、複数のウエハ支持構造体を含むことを特徴とする請求項１７のウエハ収納容器。
【請求項１９】
各ウエハ支持構造体は支柱を含み、複数の間隔があけられた片持ちウエハ棚は該支柱から延出しており、各ウエハ棚は、前記ウエハと接触する一対の対向傾斜ランプ部を含むことを特徴とする請求項１８のウエハ収納容器。
【請求項２０】
前記ランプは、水平面に対して約５度傾斜させられることを特徴とする請求項１９のウエハ収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ収納容器に関し、特に、ウエハ収納容器内でウエハを支持するシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器で使用される半導体及び磁気部品は、一般的にシリコンウエハ、磁気基板等を意味する「ウエハ」から製造される。これらウエハを完成機器となるように加工する際に、多くの工程が実施されなければならず、またウエハは設備から設備へ、且つ設備内部へ搬送されなければならないことが頻繁にある。ウエハは概して、物理的及び電気的衝撃に敏感である。また、ウエハは、特に加工工程が完了した後には、極めて高価である。
【０００３】
保護をもたらすべく、加工の前、加工中及び加工後に、数束のウエハを搬送及び保管する特殊なキャリアが開発されている。一般的に使用される２種類の特殊なウエハ収納容器は、ＦＯＵＰ（フロントオープン一体型ポッド）、及びＦＯＳＢ（フロントオープンシッピングボックス）として知られている。これらの収納容器は、収納容器の内部に、多量のウエハを水平方向に軸方向に離間させられた配置で保持するために、内部ウエハ支持体を備えた収納容器部を有する。収納容器は、ウエハの挿入及び取り出しを可能にする前側ドアを有しており、またドアは、ウエハ収納容器と密封係合すると共に、所定位置に留められてよい。このようなボックスは、例えば特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４に開示される。これらの文献全ては、本願の所有者によって所有されており、この結果、参照することによりここに完全に組み入れられる。
【０００４】
一般的な従来のフロントオープンキャリアは、図１に図示される。ウエハ収納容器は、自動加工機器２５に載置された状態で示されており、概して囲い部２０及びドア２２を含む。囲い部２０は開放前面２４、上面２３、一対の側面２８，２９、背面３２、及び底面３４を有する、ドア枠３６は開放前面２４を画定すると共に、ドア２２を受入れるように構成される。囲い部２０はロボット操作フランジ４２を有してよい。囲い部２０の内部にあるウエハ支持体４６は、水平方向に配向されて、積み重ね空隙配列で整列させられたウエハ（図示なし）を支持する。ドア２２は外方対向側面５０、内方対向側面５２、及び周縁５４を有する。周縁５４は、外方対向側面にラッチスロット５８を有する。外側パネル６２は、ドアの主要構造パネルであってよく、鍵穴６８と連動させられると共に、ラッチ部材（図示なし）を有するラッチ機構（図示なし）を覆い、このラッチ部材は、ラッチスロット５８の外まで延出する。
【０００５】
搬送の間に、ウエハは、収納容器への物理的衝撃に呼応して、移動するかもしれない。ウエハのウエハ支持体上での移動は、ウエハ又はウエハが載る支持体からパーティクルを剥離させるかもしれない。このパーティクルは、たとえ極めて小さくても、フォトリソグラフィー及び他の加工工程において、欠陥を生じさせるかもしれない。従って、パーティクルの形成は、望ましくは排除される。
【０００６】
パーティクルの形成を軽減させる幾つかの従来の試みは、収納容器に使用されるプラスチック材料に焦点をあててきた。例えば、特許文献５及び特許文献６は、パーティクル形成の可能性を低減させるウエハ支持体の製作に使用される様々な高分子材料及び方法を開示している。この結果、これらの特許は、参照することによりここに完全に組み入れられる。
【０００７】
ウエハ収納容器におけるパーティクルの形成を低減させる他の試みは、ウエハ支持体及
び緩衝材の物理的構造に向けられている。例えば、特許文献７及び特許文献８は、このような支持体及び緩衝システムを開示しており、またその結果、参照することによりここに完全に組み入れられる。
【０００８】
しかしながら、これら従来の試行は、ウエハ収納容器内におけるパーティクルの形成を取り除くのに完全に成功していない。従って、本産業において必要とされているのは、パーティクルの形成を更に制限するための特徴を有するウエハ収納容器である。
【０００９】
本参照における別の傾向としては、できるだけより大きな直径及びより薄いウエハに向けられてきた。１５０、２００、及び３００ミリメートルの半導体ウエハが、この産業では概ね標準的であるが、４５０ミリメートル程度のより大きなウエハ直径、またそれよりも大きいものが、現今企図されており且つ使用されている。しかしながら、より大きなウエハ寸法の欠点としては、従来のウエハ収納容器のように、ウエハの外周縁が棚に支持された時に、重力の撓み又は弛みが、ウエハに生じることである。このウエハの弛みは、ウエハの中心において、ウエハ間の間隙を減少させると共に、ウエハの中心近くにおいてウエハ間に挿入された標準的なロボット工具による、収納容器への挿入及び収納容器からの取り外しのためのウエハへの接近を困難にするかもしれない。従って、本産業で更に必要とされるのは、より大きな直径のウエハを収容する一方で、重力の弛みを減少させるウエハ収納容器である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】米国特許第６，２１６，８７４号明細書
【特許文献２】米国特許第６，２０６，１９６号明細書
【特許文献３】米国特許第６，０１０，００８号明細書
【特許文献４】米国特許第５，９４４，１９４号明細書
【特許文献５】米国特許第５，７８０，１２７号明細書
【特許文献６】米国特許第６，８０８，６６８号明細書
【特許文献７】米国特許第６，２６７，２４５号明細書
【特許文献８】米国特許第６，６４４，４７７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、ウエハ収納容器内におけるパーティクル汚染を更に制限すると共に、より大きな直径のウエハの重力弛みを低減させる収納容器、ウエハ支持システム、及びその方法を提供することにより、前記本産業の要求を実質的に満たす。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の実施形態は更に、ウエハの下側外周角部においてのみ、支持接触領域をもたらし、支持されたウエハ及びウエハ支持体間の接触を減少させることにより、ウエハの破損及び汚染を最小減にする傾斜ウエハ支持部分を有するウエハ支持面を提供する。
【００１３】
ウエハ支持体は、ウエハ収納容器と別個に、又は一体的に形成されてよい。別個に形成されるならば、ウエハ支持体は、ウエハ収納容器の予備成形構造体に嵌め込まれてよく、及び／又は接合具によって、そこに固定されてよい。収納容器と別個に形成されるならば、本発明のウエハ支持体は、射出成形のような加工によって一体形成されてよく、或いは、その構成部品は、別個に形成されてよい。別個に形成されるならば、構成部品は組み付けられてよく、また接合具によって、組み付けられた形態で固定されてよい。収納容器と一体形成されるならば、ウエハ支持体は、オーバモルドのような周知の加工によって形成されてよい。
【００１４】
一実施形態によれば、ウエハ収納容器は、上面、底面、対向側面、背面、及びドア枠によって画定される開放前面を備えた囲い部を含む。ドアは、開放前面を密封閉鎖するために、ドア枠に選択的に受け入れ可能である。ウエハ支持システムは、少なくとも１個のウエハを受け入れ且つ支持するために、囲い部に備えられており、ウエハ支持システムは、一対の間隔があけられた片持ちウエハ棚を含み、各ウエハ棚は、一対の対向傾斜ランプ部を含む。ランプ部は、ウエハが棚に受入れられた時に、ウエハがその下側外周角部においてランプ上で支持されるように、協働的に位置決めされると共に構成され、ウエハの他の全ての部分は、ウエハ支持システムと接触していない。ランプは水平面に対して１度から９度の間で、３度から７度の間で、或いは約５度で傾斜させられてよい。各ウエハ棚は、概ね凹状の上面を有してよく、また幾つかの実施形態において、ランプの傾斜は、ウエハ棚の凹状上面と連続する。
【００１５】
本発明の実施形態において、ウエハ支持システムは、一対のウエハ支持構造体を含んでおり、各ウエハ支持構造体は支柱を含み、ウエハ棚対の一方はそこから延出する。ウエハ支持構造体は、複数の固定具によって、囲い部に固定されてよく、或いは、オーバモルド加工を用いて、囲い部と一体的に成形されてよい。支柱及びウエハ棚は、一片となるように一体形成されてよく、或いは別個の小片として成形され、後で組み立てられてもよい。
【００１６】
一実施形態において、複数のウエハを水平方向配向離間軸方向整列配置で支持するウエハ収納容器は、上面、底面、対向側面、背面、及びドア枠によって画定される開放前面を有する囲い部を含む。ドアは、開放前面を密封閉鎖するために、ドア枠に選択的に受入れ可能である。ウエハ支持システムは、ウエハを受け入れ且つ支持するために、囲い部に設けられており、ウエハ支持システムは、一対の離間対向ウエハ支持構造体を含み、各ウエハ支持構造体は支柱を含み、複数の間隔があけられた片持ちウエハ棚はそこから延出する。第１のウエハ支持構造体の各ウエハ棚は、複数の水平配向溝を画定するために、他方のウエハ支持構造体のウエハ棚の一個と水平方向に合わせられており、各々は、複数のウエハの一個を受入れる。各ウエハ棚は、ウエハと接触する一対の対向傾斜ランプ部を含み、ランプ部は、ウエハが溝に受入れられた時に、ウエハがウエハの下側外周角部においてランプ上で支持されるように、協働的に位置決めされると共に構成され、ウエハの他の全ての部分は、ウエハ支持システムと接触していない。
【００１７】
一実施形態によれば、ウエハ収納容器は、上面、底面、対向側面、背面、及びドア枠によって画定される開放前面を有する囲い部を含む。ドアは、開放前面を密封閉鎖するために、ドア枠に選択的に受け入れ可能である。収納容器は更に、少なくとも１個のウエハを囲い部で支持する手段を含み、この手段は、ウエハの下側外周角部に沿った複数の離れた部分で、ウエハを支持するものであり、ウエハの他の全ての部分は、収納容器と接触していない。
【００１８】
本発明のこれら及び他の目的、特徴、及び効果は、以下の説明から、添付の図面を考慮した時に理解される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】加工機器上に位置決めされた従来技術のウエハ収納容器を示す斜視図。
【図２】本発明の一実施形態に係るウエハ収納容器を示す斜視図。
【図３】本発明の一実施形態に係るウエハ収納容器を示す前面図。
【図３ａ】図３のウエハ収納容器及びウエハ支持システムにおいて、図３の３Ａ−３Ａ線視断面側面図。
【図４】本発明の一実施形態に係るウエハ支持部材を示す斜視図。
【図５】オーバモルドにより形成された本発明のウエハ収納容器の別の実施形態を示す斜視図。
【図６】ウエハ支持部材が別々に形成された部品から組み立てられる本発明のウエハ収納容器の別の実施形態を示す斜視図。
【図７】図６の実施形態のウエハ支持体を示す斜視図。
【図８】図７のウエハ支持体の一部を示す断片斜視図。
【図９】本発明の一実施形態に係るウエハ支持ランプを示す断片斜視図。
【図１０】図９のウエハ支持ランプにおいて、図９の１０−１０線視断面図。
【図１１】ランプがウエハ支持部材の凹状上面と連続している本発明の一実施形態に係るウエハ支持ランプを示す断片断面図。
【００２０】
本発明は、様々な変形物及び代替形状に従うが、その特性は、図面に一例として図示されており、且つ詳細に説明される。しかし、当然のことながら、本発明は、本発明を記載される特定の実施形態に限定するものではない。反対に、本発明は、添付の請求の範囲によって定義される本発明の精神及び範囲内にある全ての変形物、同等物、及び代替物を包含する。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
当該技術分野に属する通常の知識を有する者であれば、容易に理解し得ることであるが、本発明の様々な実施形態に示される個々の構成部品は、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、相互に取替え可能であると共に、他の実施形態に加えられ、或いは相互に取り換えられてもよい。本発明に適用可能な半導体ウエハ収納容器及び様々な構成部品の一般的な詳細は、米国特許第６，９５１，２８４号明細書、第６，９５５，３８２号明細書、第６，８８０，７１８号明細書、第６，８１１，０２９号明細書、第６，７５８，３３９号明細書、第６，７３６，２６８号明細書、ＲＥ３８，２２１号明細書及び第６，４６４，０８１号明細書に記載されている。これら文献全ては本発明の所有者によって所有されており、この明細書にて開示されたものとする。
【００２２】
本発明の実施形態に係るウエハ収納容器７０は、図２から図１０に図示されている。ウエハ収納容器７０は概して、囲い部７２及びドア７４を含む。囲い部７２は概して、上壁７８、対向する底壁８０、側壁８２，８４、背壁８６、及び開放前面８８を有する単体外殻７６を含み、開放前面８８は、ドア枠９０によって画定される。キネマティックカップリング９２は、収納容器７０を加工機器（図示なし）上に位置決めするために、底壁８０に受入れられてよく、一方、ロボット操作フランジ９４は、収納容器７０の自動操作を可能にするために、上壁７８に受入れられてよい。
【００２３】
ドア７４は、収納容器７０を密封閉鎖するために、ドア枠９０に受け入れ可能であり、また概して、ドア７４を所定位置に留めるために、ラッチ機構（図示なし）の包囲空間を画定する外壁９６及び内壁９８を含む。ラッチ機構は、外壁９６に画定された鍵穴１００を介して操作可能である。
【００２４】
ウエハ支持システム１０２は、複数のウエハ１０４を、水平方向離間軸方向整列配置で受入れるために、囲い部７２に設けられる。ウエハ支持システム１０２は概して、側壁８２，８４各々に近接して、しかそこから離間させられて位置決めされる一対のウエハ支持体１０６を含む。図３、図３ａ、図４、図９、及び図１０に示す実施形態において、ウエハ支持体１０６は概して、一体取付ビーム１１０，１１２を有する後支柱１０８を含み、片持ち棚１１４は一体取付ビーム１１０，１１２の間において、一定の間隔が空けられている。各片持ち棚１１４及び下側取付ビーム１１２は、一対の対向するウエハ支持ランプ１１６，１１８を画定する。更に、図３ａに示すように、片持ち棚１１４の上面１２０及び下側取付ビーム１１２は、僅かに凹状となっており、下点からランプ１１６，１１８へ向かう各方向において、上方へ傾斜している。図３に示すように、ウエハ支持体１０６対
の片持ち棚１１４は、複数の水平溝１２３を画定するように、水平方向に合わされており、各々はウエハ１０４を受入れるものである。当然のことながら、囲い部７２及びウエハ支持体１０６は、１個から３０個、或いはそれ以上まで、所望数の溝１２３を設けるように構成されてよい。
【００２５】
図示する実施形態において、ランプ１１６，１１８は、水平面から約５度傾斜させられている。しかしながら、ランプ１１６，１１８の他の傾斜角度は、他の実施形態に適当であってよく、また本発明の範囲内にある。例えば、幾つかの実施形態において、ランプ１１６，１１８は、水平面から３度から７度の間に傾斜させられてよく、また他の実施形態において、水平面から約１度から９度の間に傾斜させられてよい。
【００２６】
取付ビーム１１０，１１２はボス１２６，１２８，１３０を含み、ウエハ支持体１０６を囲い部７２に固定する。一実施形態において、各ボス１２６，１２８，１３０は、外殻７６から延出する固定部（図示なし）を受入れるボア１３２を画定する。ウエハ１０４からの静電気散逸のために、電気伝導をもたらすべく、固定具は伝導性であってよく、またボス１２８，１３０からキネマティックカップリング９２まで、或いはキネマティックカップリング９２を貫通し延出してもよい。当該技術分野に属する者には周知であるように、キネマティックカップリング９２は、地面への電路をもたらすべく、電導性材料又は静電気散逸材料から部分的に、或いは全体的に作られてよい。
【００２７】
本発明の実施形態によれば、図９及び図１０に示すように、ウエハ１０４の下側外周角部１２４は、ランプ１１６，１１８に載っており、その結果、各ウエハ１０４は４個の最小接触領域１３８でのみ、本質的にはウエハ１０４の下側外周角部１２４によって画定される線で支持される。この支持形態は、収納容器７０に保管されるウエハ１０４及びウエハ支持システム１０２の間の接触を最小化する。接触の最小化は、別の方法では、より広範囲に亘る接触に起因して生じかねないウエハの破損及びパーティクル汚染を排除し、或いは大きく最小化する。
【００２８】
図３ａに見られるように、片持ち棚１１４の上面１２０の凹部及び下側取付ビーム１１２は、２個の接触領域１３８を除き、ウエハ１０４及び上面１２０の間のギャップ即ち間隙１２６のためにある。間隙１２６は、ウエハ１０４及び上面１２０の間を接触させることなく、僅かな量の重力によって誘発される弛みがウエハ１０４に生じるのを可能にする。当然のことながら、本発明の他の実施形態において、上面１２０の凹状の程度は、ランプ１１６，１１８が上面１２０の凹部によって画定されるように増加させられてよい。図１１に示すように、上面１２０の傾斜は、ランプと協働する一方で、更にウエハ１０４及び片持ち棚１１４並びに下側取付ビーム１１２の間の下側外周角部１２４における線接触を可能にするように連続的であってよい。
【００２９】
ウエハ支持体１０６は、当該技術分野に属する者に周知の幾つかの方法によって形成されてよい。例えば、ウエハ支持体は、射出成形、オーバモルド等によって、高分子材料から形成されてよい。適当な材料は、適当な耐磨耗性及び化学特性を備えたいかなる材料であってよい。特に、ＰＥＥＫ又はＰＥＩポリマーが使用されてよく、またウエハ支持体１０６における電気伝導及び静電気散逸特性を可能にするために、炭素繊維等の他の材料と組み合わされてもよい。
【００３０】
本発明の別の実施形態において、ウエハ支持体１０６は、図５に示すように、オーバモルドによって、囲い部７２と一体形成されてよい。この実施形態において、キネマティックカップリング９２を介してウエハ支持体１０６を接地するための電気伝導は、囲い部７２の底壁８０を通り、又は上述したような導電性固定具を通り延出するウエハ支持体１０６の一部によって果たされてもよい。
【００３１】
本発明の更なる実施形態において、ウエハ支持体１０６は、図６から図８に示すように、独立した部品に形成されてもよい。この実施形態において、ウエハ支持体１０６は概ね、間隔があけられた切欠１４２及び独立した片持ち棚１４４を画定する支柱１４０を含む。各片持ち棚１４４は、片持ち棚１４４を支柱１４０に取り付けるために、切欠１４２の一個に受入れられるタブ構造１４６を画定する。各支柱１４０は更に、その上端及び下端において、ウエハ支持体１０６を囲い部７２に固定するために、固定具１５０を受入れるように、ボア１４８を画定する。或いは、支柱１４０は、オーバモルド、接着等の他の適当な手段によって、囲い部７２に固定されてよい。上述のように、片持ち棚１４４は僅かに凹状の上面１５２を有してよく、またウエハ１０４との線接触を可能にするために、ランプ１１６，１１８を画定してよい。材料の低減及び軽量化を目的として、棚１４４は、図８に示すように、陥凹１５３又はコア１５３ａを備えて形成されてよい。
【００３２】
有利には、ウエハ支持体１０６は側面８２，８４から内方に位置決めされ、その結果、ウエハ１０４の一部１５４が、ウエハ支持体１０６の外縁１５６を越えて外方に延出する。これにより、接触領域１３８間においてより大きな距離が可能になり、ウエハ１０４における重力弛み量が低減する。更に、外縁１５６及び側面８２，８４の間の空間は、持上げ部１５４によってウエハ１０４を囲い部７２から挿入し且つ取り出すために、ロボットピックアップツールがこの空間に挿入されるのを可能にする。
【００３３】
上記実施形態は、例証を目的としており、限定するものではない。付加的な実施形態は、請求項の範囲内に包括される。本発明は、特定の実施形態を参照して説明されているが、当該技術分野に属する者であれば認識し得るように、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、形状及び細部において、変更がなされてもよい。本発明のために請求の範囲を解釈することを目的として、米国特許法第１１２条第６パラグラフの規定は、請求の範囲において、特定の用語「〜の手段」又は「〜の工程」が列挙されていなければ援用されないことが明白に言及される。
【図１】
2009543374.tif 000003
【図２】
2009543374.tif 000004
【図３】
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【図３Ａ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2009543374.tif 000009
【図７】
2009543374.tif 000010
【図８】
2009543374.tif 000011
【図９】
2009543374.tif 000012
【図１０】
2009543374.tif 000013
【図１１】
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【国際調査報告】
2009543374.tif 000015