(57)【要約】  絶縁保護コーティングが開示される。例えば、フッ素化薄膜が、電子及び自動車センサー、バイオチップ、埋め込み型センサー及び生化学デバイスを含み得る様々な高感度表面上に、気相重合により形成される。【選択図】  図１
2009527584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品の少なくとも一表面の少なくとも一部分上のコーティングであって、約５００Å〜約２５μｍの範囲の厚さを有する、
【化１】
2009527584.tif 000009
［式中、ｎは少なくとも２であり、Ｒ１及びＲ２はハロゲン及び水素の少なくとも一種である］で表されるポリマー被膜の少なくとも一層を含む、前記コーティング。
【請求項２】
物品が電子デバイスを含む、請求項１に記載のコーティング。
【請求項３】
物品が、ＬＥＤクラスター、加熱素子、地図センサー、可燃性ガスセンサー、タイヤ空気圧モニターシステム、燃料残量センサーからなる群から選択される電子デバイスである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項４】
物品がハイブリッド燃料システムのコンポーネントである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項５】
物品が、自動車電子システム、高周波数電子システム、微小電気機械システム、又はエレクトロウェッティングレンズシステムのコンポーネントである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項６】
物品がナノチューブである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項７】
物品がシリコンウエハービアホール又はウエハー接着パッドである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項８】
物品が埋め込み型医用デバイスを含む、請求項１に記載のコーティング。
【請求項９】
物品が、ステント、埋め込み型センサー、及びカテーテルからなる群から選択される埋め込み型医用デバイスを含む、請求項１に記載のコーティング。
【請求項１０】
物品が、バイオチップ又はそのコンポーネントである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項１１】
Ｒ１が水素を含む、請求項１に記載のコーティング。
【請求項１２】
Ｒ２が水素を含む、請求項１１に記載のコーティング。
【請求項１３】
Ｒ１がフッ素を含む、請求項１に記載のコーティング。
【請求項１４】
Ｒ２がフッ素を含む、請求項１３に記載のコーティング。
【請求項１５】
物品の表面にコーティングする方法であって、フッ素化パラシクロファン二量体を蒸発させ、蒸発したモノマー種を生成させ、そのモノマー種を表面の少なくとも一部分上に重合させて、約５００Å〜約２５μｍの範囲の厚さを有するポリマー材料からなる絶縁保護コーティングを形成することを含み、そのポリマー材料は式
【化２】
2009527584.tif 000010
［式中、ｎは少なくとも２であり、Ｒ１及びＲ２は水素又はハロゲンからなる］で表される、前記方法。
【請求項１６】
フッ素化パラシクロファン二量体が、オクタフルオロ−［２，２］−パラキシリレン及びパーフルオロ−［２，２］−パラキシリレンからなる群から選択される、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
Ｒ１及びＲ２の少なくとも１つがフッ素である、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
Ｒ１及びＲ２がフッ素である、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
Ｒ１及びＲ２の少なくとも１つが水素である、請求項１６に記載の方法。
【請求項２０】
物品がナノスケール構造を含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項２１】
物品が電子デバイスを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項２２】
物品が、地図センサー、タイヤ空気圧モニターシステムのコンポーネント、ＬＥＤクラスター、自動車電子システムのコンポーネント、及びエレクトロウェッティングレンズシステムのコンポーネントからなる群から選択される電子デバイスである、請求項１６に記載の方法。
【請求項２３】
物品が埋め込み型医用デバイスを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項２４】
物品が、ステント、埋め込み型センサー、バイオチップ、及びカテーテルからなる群から選択されるデバイス、又はそれらのコンポーネントを含む、請求項１５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はコーティングに関し、より具体的には、電子及び自動車用センサ、バイオチップ、埋め込み型センサ、並びに他の生化学デバイスのような様々な物品の表面上の薄膜に関する。
【背景技術】
【０００２】
パリレンポリマー類の有益な物理特性は、様々な用途におけるコーティングとして使用するのに理想的な選択肢となる。そのようなコーティングの作製方法は公知である。例えば、Ｏｌｓｏｎら（特許文献１）には、コーティング対象に対する、パリレンのようなコーティング材料の連続蒸着装置が開示されている。また、Ｄｏｌｂｉｅｒ，Ｊｒ．ら（特許文献２）には、オクタフルオロ−［２，２］−パラシクロファンの製造プロセスが開示されている。
【０００３】
【特許文献１】米国特許第５，４２４，０９７号明細書
【特許文献２】米国特許第５，５３６，８９２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、コーティングを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一以上の実施形態によれば、本発明は、物品の少なくとも一表面の少なくとも一部分上のコーティングに関し、約５００Å〜約２５μｍの範囲の厚さを有する、
【化１】
2009527584.tif 000003
【０００６】
［式中、ｎは少なくとも２であり、Ｒ１及びＲ２はハロゲン及び水素の少なくとも一種である］で表されるポリマー被膜の少なくとも一層を含む。
【０００７】
物品は、例えば、電子デバイスや埋め込み型医用デバイスであり得る。
【０００８】
一以上の実施形態によれば、本発明は、フッ素化パラシクロファン二量体を蒸発させ、蒸発したモノマー種を生成させ、そのモノマー種を表面の少なくとも一部分上に重合させて、約５００Å〜約２５μｍの範囲の厚さを有するポリマー材料からなる絶縁保護コーティングを形成することを含む、物品の表面にコーティングする方法に関し、そのポリマー材料は式
【化２】
2009527584.tif 000004
［式中、ｎは少なくとも２であり、Ｒ１及びＲ２は水素又はハロゲンからなる］で表される。フッ素化パラシクロファン二量体は、オクタフルオロ−［２，２］−パラキシリレン及びパーフルオロ−［２，２］−パラキシリレンからなる群から選択され得る。物品には、例えば、ナノスケール構造又は電子デバイスが含まれ得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
添付の図面は、一定の縮尺で描くことを意図したものではない。明確にする目的で、全ての構成要素には名前を付けない場合もある。本発明の好ましいがこれを限定しない実施形態が添付の図面を参照して説明されるであろう。
【００１０】
一以上の実施形態によれば、本発明は、例えば保護用、絶縁保護用、及び／又は機能性のコーティングとして機能し得る、様々な厚さのコーティングに関する。この発明は、その用途が、以下の明細書に記載され、又は図面で示されている要素の構成及び配置の細部に限定されるものではない。本発明は、本明細書中で例示的に挙げられる手段を超えた様々な手段により、実施形態を実施又は実行することができる。
【００１１】
本発明の一以上の態様は、物品上のコーティングを対象にし得る。物品は、任意の所望の物品とすることができ、例えば、電子及び自動車用センサ、バイオチップ、埋め込み型センサ、並びに限定するものではないが、生化学デバイスのような、本発明により適用されるコーティングを利用することで利益を享受し得るその他の物品が含まれる。本発明は、本明細書中に記載の手法を利用することにより、あるいはそれらの手法を組み合わせることにより実施することができる。また、本発明の一以上の特徴及び／又は利点をもたらすため、他の手法も利用することができる。しかし、本発明の態様のいくつかは、特に本明細書中に記載された手法を利用することによって達成し得る。例えば、物品上にフッ素化ポリマーコーティングをナノスケールで堆積させること、あるいはマイクロスケールで堆積させることでさえも、重合により本発明のポリマー材料となる前駆体種の堆積が必要となり得る。
【００１２】
本発明のいくつかの態様は、フッ素化種の堆積物を対象とし、さらに本発明は、表面上にポリマー材料を好ましくは層又はコーティングとして形成し、もしくは形成を少なくとも容易にする前駆体種の分子堆積技術を対象とする態様に関係する。まさに、本発明のいくつかの態様は、複数の次元、例えば３次元的に水平、平坦、もしくは均一な、好ましくはフッ素化されたポリマー材料を提供すること、及び／又は堆積させることを対象とし得る。本発明の要素、システム、及び／又は手法によって、これまでに開示されていない範囲の特徴、凸部及び／又は凹部を有する物品の表面上に均一な厚いコーティングを有利に提供される。本発明のいくつかの態様によれば、フッ素化されたポリマー材料を提供する気相堆積を対象とした手法によって、溶液又はキャリア他ベースの堆積／重合手法を含む手法と比較して、より薄く及び／又はより均一なコーティングが提供される。
【００１３】
本発明のいくつかの態様によれば、本発明は、物品の表面の少なくとも一部分にコーティングする方法又は手法を対象にし得る。この方法は、本発明の本態様に関するいくつかの実施形態によれば、コーティングの所定の厚さまでの制御された堆積速度を提供することを特徴とし得る。約５００Å〜約２５μｍの厚さ範囲のコーティングを生成するように、一以上の層を堆積することができる。得られるコーティングは欠陥無しか又は許容可能な量の欠陥を有するのが好ましい。例えば、コーティングはピンホール無しであるのが好ましい。コーティングがさらに望ましい誘電及びバリア特性を有するか提供する場合もあるが、化学的及び／又は生物学的不活性をも示すことがある。通常、コーティングを厚くすることにより付加的な効果は得られず、コーティングを薄くすることによりポリマーの堆積が足りないか全く無い領域等の欠陥を生じることもある。
【００１４】
故に、本発明のいくつかの態様によれば、本発明は、溶液ベースの堆積に特有の制限を克服する要素、システム、及び／又は手法をこのように提供することができる。本発明の手法は、コーティングを形成するポリマー材料の分子的堆積前駆体又はその誘導体によってポリマー材料を堆積させる物品のぬれ面に関連する制限を回避することができる。従って、このような特徴は、直接露出しない内部の、又は少なくとも部分的に閉塞された物品の表面の均一なコーティングを可能にする。内部に配置された物品の表面は、この表面が蒸発した前駆体材料源又はその誘導体と連通可能であれば、上記のようにしてコーティングすることもできる。
【００１５】
この方法は、物品の全表面にコーティングすることにもその一部分だけにコーティングすることにも用いることができる。記載した方法によりコーティングされる物品は、例えば、ナノスケール構造、電子デバイス又はその他の任意の高感度表面としてよい。
【００１６】
例えば、ポリマーコーティングを対象とする手法は、例えば、固体及び／又は液体二量体を含み得る一以上の前駆体材料を蒸発させるステップまたは動作を含んでいる。蒸発または昇華は、一以上の前駆体二量体を約１２０℃〜約２００℃の範囲の温度で加熱することによりなされ得る。次に、それを十分な温度、通常約５００℃〜約７００℃の範囲の温度にさらすことによって、例えばパラキシリレン等の一以上の単量体ジラジカル種を生じるように、二量体の開裂がなされ得る。開裂または熱分解は、例えば熱分解チューブでなされ得る。次に、一以上の単量体ジラジカル種の堆積は、例えば、コーティングされる一以上の物品を有する堆積チャンバ内でなされ得る。この堆積動作は、ほぼ室温で行うことができる。単量体ジラジカル種は、堆積表面上で吸着されつつ重合することによって均一な特性を有するコーティングを提供する。このようなコーティングは、上記のようにして三次元表面に均一に配置することができる。
【００１７】
通常、この堆積手法は液相を必要とせず、基板表面温度が実質的に周囲温度よりも上がることはない。例えば、ほぼ室温のままである。本発明のいくつかの実施形態では、堆積動作が減圧下、例えば大気圧未満で行われる。
【００１８】
本発明の一以上の態様によれば、フッ素化パラシクロファン二量体を蒸発させて蒸発したモノマー種を生成することができる。このフッ素化パラシクロファン二量体は、例えば、オクタフルオロ−［２，２］−パラキシリレン及び／又はパーフルオロ−［２，２］−パラキシリレンとし得る。次に、物品の表面上でこの単量体種を重合させて式
【化３】
2009527584.tif 000005
［式中、ｎは少なくとも２であり、Ｒ１及びＲ２のそれぞれは水素又はフッ素等のハロゲンである］で表されるポリマー材料の絶縁保護層を生成することができる。故に、本発明の態様は、ポリマー前駆体材料又はその誘導体の運動性を促進する溶剤または他のキャリアを用いることなく、物品の表面の少なくとも一部分上にポリマー材料を配置することを対象にし得る。本発明のいくつかの態様の特定の実施形態によれば、前駆体材料は単量体種へと蒸発可能なフッ素化二量体となるように選択され、表面上に堆積してナノスケール又はオングストロームスケールのドメインでポリマー材料の層を生成する。
【００１９】
本発明の別の態様は、分子的に堆積するフッ素化単量体または前駆体種を提供してフッ素化ポリマーコーティングを生成する。
【００２０】
本発明の一以上の実施形態は、図１に例示的に示したようなコーティング済みの物品１００を対象にし得る。コーティング１１０は、物品表面１２０に施される。コーティング１１０は、例えば、蒸着重合プロセスによって施された、ポリマーを含む一以上の層から構成し得る。故に、上述の通り、本発明の一以上の実施形態は、保護及び／又は絶縁保護コーティングを対象にすることができる。例えば、ポリマーはパリレン類の一以上の構成要素を含み得る。
【００２１】
本発明の一以上のコーティングを提供するために任意の適当な前駆体材料を用いることができる。実際には、前駆体化合物の組み合わせを用いて共重合体コーティングを提供することもできる。本発明の別の特定の例示的な実施形態は、蒸発した単量体種を生成するために蒸発し得る一以上のフッ素化パラシクロファン二量体を対象にし得る。フッ素化パラシクロファン二量体は、例えば、オクタフルオロ−［２，２］−パラキシリレン及び／又はパーフルオロ−［２，２］−パラキシリレンとし得る。次に、物品の表面上で単量体種を重合させて式
【化４】
2009527584.tif 000006
［式中、ｎは少なくとも２であり、Ｒ１及びＲ２のそれぞれは水素又はフッ素等のハロゲンである］で表されるポリマー材料の層を生成することができる。コーティング１１０は、約５００Å〜約２５μｍの範囲の厚さとすることができ、物品１００の全表面又はその一部分を被覆または別の方法で絶縁し得る。
【００２２】
開示された発明の実施形態は、自動車用途を含む電子機器の分野で多様な利用を見い出し得る。化学的不活性、高い抗張力及び／又は絶縁耐力、絶縁保護性、低透過性、低重量及び低い機械的応力が望ましい用途においては、本明細書に開示されたコーティングは、例えば、基板を保護または不活性とすること、及び／又は基板をその使用、保管、及び／又は作製中の環境から保護または防護することを対象とした特徴を有利に提供する。例えば、ポリマー材料は、室温でＡＳＴＭ  Ｄ１４９にしたがって求められるように、約４，０００〜５，０００ｖｏｌｔｓ／ｍｉｌ、通常は約５，４００ｖｏｌｔｓ／ｍｉｌの絶縁耐力を有することができる。誘電率等のポリマー材料のその他の電気的特性は、室温でＡＳＴＭ  Ｄ１５０にしたがって求められるように、約２〜約３、通常は約６０Ｈｚで約２．２１および約１ｋＨｚで約２．２０となり得る。
【００２３】
本発明のポリマー材料は、表１に記載された物理的特性を有することができる。
【表１】
2009527584.tif 000007
2009527584.tif 000008
【００２４】
本発明の一以上の実施形態によれば、コーティングは、それぞれが各種のポリマー材料からなる複数の層を含み得る。このコーティングを構成する複数の層は、物品の表面上に一以上の特性をもたらす又は提供するように選択することができる。例えば、物品は、第１の疎水性を示す第１のコーティングと、異なる挙動を示す第２のコーティングとを有することができる。第１及び第２のコーティングは、表面の接触するか、隣接するか又は離れた部分あるいは互いの上に配置することができる。また、第１又は第２のコーティングの被覆量又はその程度は変動させることができ、適応した挙動を有するコーティングを備えた物品が提供される。本発明により意図される別の実施形態には、複数タイプのフッ素化コーティングの利用が含まれ得る。故に、コーティングされた物品は、第１のフッ素化コーティングタイプでコーティングされたその表面の第１の領域と、第１の領域に隣接または接触して配置され得る第２のフッ素化コーティングタイプでコーティングされた第２の領域とを有することができる。例えば炭化ケイ素チップ、ＬＥＤクラスター、シリコンウエハービアホール及び微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）、並びに接着パッドに、このようにコーティングを施してこれらのデバイスまたはコンポーネントを環境劣化から防護することができる。
【００２５】
パリレンコーティングも、ＭＥＭＳ又はそのコンポーネントにおける化学的な保護および静止摩擦力の低減のために用いることができる。このコーティングで作成したナノチューブは、例えば、選択的に水素を抽出又は精製、及び／又は他の方法で水素の化学変換からの電気エネルギーの発生を促進するために利用可能な水素燃料電池の用途において有用となり得る。
【００２６】
パリレンの材料特性は周波数または温度の変化によって大きくは変動しないが、これによって自動車の衝突回避システム等の高周波数電子機器を保護するために有力な候補となる。パリレンコーティングは、例えば、自動車システムにおけるマニホールド又は地図センサー、ディーゼル燃料加熱素子、可燃性ガス又は燃料残量センサー、「Ｏ」リング、シール及びエンジン用ガスケット、タイヤ空気圧モニターシステム、ハイブリッド燃料システム及びボンネット内電子機器等のデバイス、部品および表面に適用可能である。
【００２７】
コーティングは、エレクトロウェッティングレンズ構造及びそのシステム上に配置することもできる。
【００２８】
本発明の実施形態は、医療分野においても多数の用途を有することができる。本発明のパリレンコーティングは、デバイス、部品及び表面が均一で、生物学的に不活性、且つ高い抗張力を示すべきところに有利に用いることが可能である。コーティングは、ドライフィルム潤滑性を付加し、生体液、薬品及び水分に対して優れたバリアとなる。コーティングは、ステント、バイオチップ、埋め込み型センサー、ゴム隔膜、カテーテル、マンドレル及びバッテリーを含む物品に適用することができる。また、軟質ゴム及びプラスチック表面並びにアルミニウム、窒素、タングステンカーバイド、ニッケル、チタン、クロム及び鋼鉄表面も、本発明の実施形態に従ってコーティングされた物品を構成することができる。故に、本発明のコンポーネント、システム、及び／又は手法は、ポリマー、例えばフッ素化ポリマー材料を柔軟並びに剛性の物品上に提供するために利用することができる。
【００２９】
本発明のいくつかの例示的な実施形態について説明してきたが、前述のものは単に例示的なものであって限定的でなく、ほんの一例として示されたに過ぎないことが、当業者には明らかなはずである。数値の変更や他の実施形態は、当技術分野における通常の技量の範囲内にあり、本発明の範囲内に収まるように意図されている。さらに、一実施形態との関連においてのみ論じられた動作、要素、特徴は、他の実施形態における類似の役割から除外されるようには意図されていない。故に、本発明はフッ素化ポリマー材料を開示するが、開示されたフッ素化ポリマー材料を含んだ共重合体を含む他のハロゲン化ポリマー材料は、本発明の範囲内にあるものと意図されている。実際には、塩素化／フッ素化パリレン共重合体材料は、塩素化及びフッ素化前駆体二量体を用いることにより、本発明のコーティングとして利用可能である。
【００３０】
当業者は、様々な変更、変形、改良を容易に想到し得ること、このような変更、変形、改良が本発明の開示の一部及び思想及び範囲内にあるよう意図されることについても理解されよう。
【００３１】
当業者は、本明細書に記載されたパラメータ及び構成が例示的であり、実際のパラメータ及び／又は構成は本発明のシステム及び手法が用いられる特定の用途に応じて決まることについても理解されたい。例えば、当業者は、関連する保護真空トラップを本発明のシステム及び手法において利用できることが分かるだろう。また、当業者は、日常の実験だけを用いても本発明の特定の実施形態の等価物を確認または究明可能であることを理解されたい。従って、本明細書に記載された実施形態がほんの一例として示されたに過ぎず、添付の特許請求の範囲及びその等価物の範囲内において、詳細に説明されたものとは別の方法で本発明を実施することができることが理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一以上の実施形態に従ってコーティングされた物品を説明する図である。
【符号の説明】
【００３３】
１００  物品
１１０  コーティング
１２０  物品表面
【図１】
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【手続補正書】
【提出日】平成20年1月2日(2008.1.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品の少なくとも一表面の少なくとも一部分上のコーティングであって、約５００Å〜約２５μｍの範囲の厚さを有する、
【化１】
2009527584.tif 000012
［式中、ｎは少なくとも２であり、Ｒ１及びＲ２の少なくとも１つがフッ素である］で表されるポリマー被膜の少なくとも一層を含む、前記コーティング。
【請求項２】
物品が電子デバイスを含む、請求項１に記載のコーティング。
【請求項３】
物品が、ＬＥＤクラスター、加熱素子、地図センサー、可燃性ガスセンサー、タイヤ空気圧モニターシステム、燃料残量センサーからなる群から選択される電子デバイスである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項４】
物品がハイブリッド燃料システムのコンポーネントである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項５】
物品が、自動車電子システム、高周波数電子システム、微小電気機械システム、又はエレクトロウェッティングレンズシステムのコンポーネントである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項６】
物品がナノチューブである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項７】
物品がシリコンウエハービアホール又はウエハー接着パッドである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項８】
物品が埋め込み型医用デバイスを含む、請求項１に記載のコーティング。
【請求項９】
物品が、ステント、埋め込み型センサー、及びカテーテルからなる群から選択される埋め込み型医用デバイスを含む、請求項１に記載のコーティング。
【請求項１０】
物品が、バイオチップ又はそのコンポーネントである、請求項１に記載のコーティング。
【請求項１１】
Ｒ１が水素を含む、請求項１に記載のコーティング。
【請求項１２】
Ｒ２が水素を含む、請求項１１に記載のコーティング。
【請求項１３】
Ｒ１がフッ素を含む、請求項１に記載のコーティング。
【請求項１４】
Ｒ２がフッ素を含む、請求項１３に記載のコーティング。
【請求項１５】
物品の表面にコーティングする方法であって、フッ素化パラシクロファン二量体を蒸発させ、蒸発したモノマー種を生成させ、そのモノマー種を表面の少なくとも一部分上に重合させて、約５００Å〜約２５μｍの範囲の厚さを有するポリマー材料からなる絶縁保護コーティングを形成することを含み、そのポリマー材料は式
【化２】
2009527584.tif 000013
［式中、ｎは少なくとも２であり、Ｒ１及びＲ２の少なくとも１つがフッ素である］で表される、前記方法。
【請求項１６】
フッ素化パラシクロファン二量体が、オクタフルオロ−［２，２］−パラキシリレン及びパーフルオロ−［２，２］−パラキシリレンからなる群から選択される、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
Ｒ１及びＲ２がフッ素である、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
Ｒ１及びＲ２の少なくとも１つが水素である、請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
物品がナノスケール構造を含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項２０】
物品が電子デバイスを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項２１】
物品が、地図センサー、タイヤ空気圧モニターシステムのコンポーネント、ＬＥＤクラスター、自動車電子システムのコンポーネント、及びエレクトロウェッティングレンズシステムのコンポーネントからなる群から選択される電子デバイスである、請求項１６に記載の方法。
【請求項２２】
物品が埋め込み型医用デバイスを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項２３】
物品が、ステント、埋め込み型センサー、バイオチップ、及びカテーテルからなる群から選択されるデバイス、又はそれらのコンポーネントを含む、請求項１５に記載の方法。
【国際調査報告】
2009527584.tif 000014