(57)【要約】  本発明は、圧電アクチュエータを作製する方法に関し、ここでは焼結した圧電積層体（１）にメタライゼーションペーストが被着され、このペーストにさらにフレキシブル金属電極（２５）が載置される。これに続く焼成プロセスでは上記のメタライゼーションペーストからベースメタライゼーション（２０）が形成される。このベースメタライゼーションは、上記の圧電積層体（１）としっかりと接続され、また上記のフレキシブル金属電極（２５）にも接続される。択一的にはメタライゼーションペーストをベースに被着することもでき、このベースを引き続いて焼結して、最初の焼結プロセスの際にすでにベースメタライゼーション（２０）の第１層（１２０）を形成する。この第１層（１２０）には同様にメタライゼーションペーストを被着してこれにフレキシブル金属電極（２５）を載置する。このフレキシブル金属電極は、第２の焼成プロセスによって固定される。
2009534825.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電層（３）を有する圧電アクチュエータを作製する方法であって、
前記の圧電層の間に1つずつの金属製の内部電極（５，５′）が配置されることによって圧電積層体（１）が形成されており、
前記の内部電極（５，５′）は交互に圧電積層体（１）の表面の相異なる部分面に導かれている形式の、圧電アクチュエータを作製する方法において、
−  焼結された圧電積層体（１）の表面の１部分にメタライゼーションペーストを被着し、
−  当該のメタライゼーションペーストにフレキシブル金属電極（２５）を載置し、
−  当該の圧電アクチュエータを焼成することによって、前記のメタライゼーションペーストにより、圧電積層体（１）の表面に接続されるベースメタライゼーションが形成されるようにし、前記のフレキシブル金属電極（２５）とベースメタライゼーション（２０）とを材料接続的に接続することを特徴とする、
圧電アクチュエータを作製する方法。
【請求項２】
複数の圧電層（３）を有する圧電アクチュエータを作製する方法であって、
前記の圧電層の間には１つずつの金属内部電極（５，５′）が配置されることによって圧電積層体（１）が形成されており、
前記の内部電極（５，５′）は交互に圧電積層体（１）の表面の相異なる部分面に導かれている形式の、圧電アクチュエータを再生する方法において、
−  焼結していない圧電積層体（１）（未焼結体）の表面の１部分にメタライゼーションペーストの第１層を被着し、
−  当該の圧電積層体（１）を焼結し、ここで前記のメタライゼーションペーストの第１層と、圧電積層体（１）の表面とを接続して、ベースメタライゼーション（２０）の第１層（１２０）を形成し、当該の第１層により、前記の内部電極（５，５′）の１部分との電気接続を形成し、
−  前記メタライゼーションペーストの別の層を前記ベースメタライゼーション（２０）の第１層（１２０）に被着し、
−  フレキシブル金属電極（２５）を当該のメタライゼーションペーストの別の層に載置し、
−  当該の圧電アクチュエータを焼成して、前記のベースメタライゼーションペーストの別の層によって、ベースメタライゼーション（２０）の第２層（２２０）を形成し、前記のフレキシブル金属電極（２５）とベースメタライゼーション（２０）とを材料接続的に接続することを特徴とする、
複数の圧電層（３）を有する圧電アクチュエータを作製する方法。
【請求項３】
前記のメタライゼーションペーストは、圧電積層体（１）に被着する際には液状である、
請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記の圧電積層体（１）の焼成を３００℃以上、有利には７００〜８００℃の温度で行う、
請求項１または２に記載の方法。
【請求項５】
前記のベースメタライゼーション（２０）またはフレキシブル金属電極（２５）の酸化を阻止する保護ガスの下で前記の焼成を行う、
請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記の保護ガスは、窒素、アルゴンまたは別の希ガスである、
請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記のメタライゼーションペーストを２つの層に塗り、
第１の層を前記の圧電積層体（１）に直接被着する、
請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記のベースメタライゼーション（２０）の第２層（２２０）は、第１層（１２０）の２０〜８０％、有利には３０〜７０％を覆う、
請求項２または７に記載の方法。
【請求項９】
前記のベースメタライゼーション（２０）の第２層（２２０）を平行なストライプで被着する、
請求項２，７または８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記の圧電積層体は伸張方向（７）を有しており、
前記のベースメタライゼーション（２０）の第２層（２２０）のストライプは、前記の伸張方向（７）に対して垂直な面に対して傾けられている、
請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記の第１層（１２０）が乾燥してはじめて前記のベースメタライゼーション（２０）の第２層（２２０）を被着する、
請求項７から１０までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
前記のベースメタライゼーション（２０）の第２層（２２０）を形成するメタライゼーションペーストがまだ液状の間に当該のメタライゼーションペーストに前記のフレキシブル金属電極（２５）を載置する、
請求項２または７から１０までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
前記の圧電積層体（１）には、メタライゼーションペーストを被着する前に
−  前記の圧電積層体（１）を焼結し、
−  前記の圧電積層体（１）の表面における領域のうちで少なくとも、前記のメタライゼーションペーストを被着しようとする領域を研磨して、前記のメタライゼーションペーストと、当該領域にて前記表面に導かれる内部電極（５，５´）との間で電気接続が行われるようにする、
請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
複数の圧電層（３）を有する圧電アクチュエータであって、
当該の圧電層間に１つずつの金属製の内部電極（５，５´）が配置されることによって圧電積層体（１）が形成されており、
前記の内部電極（５，５´）は交互に圧電積層体（１）の表面の相異なる部分面に案内されており、
前記圧電アクチュエータはさらに少なくとも２つの外部電極（１０，１０´）を有しており、該外部電極は、前記の圧電積層体（１）の表面に被着されかつ前記の内部電極（５，５´）の一部分にそれぞれ電気接続されており、
該外部電極（１０，１０´）は、前記の圧電積層体（１）に被着されるベースメタライゼーション（２０）と、当該ベースメタライゼーションに被着されるフレキシブル金属電極（２５）とから構成される形式の圧電アクチュエータにおいて、
前記のフレキシブル金属電極（２５）が、ベースメタライゼーション（２０）に焼き入れられていることを特徴とする
圧電アクチュエータ。
【請求項１５】
前記のベースメタライゼーション（２０）には２つの層（１２０，２２０）が含まれており、
第１層（１２０）は、前記圧電積層体（１）に直接被着されており、
第２層（２２０）は、当該の第１層（１２０）の３０〜７０％だけを覆っている、
請求項１４に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１６】
前記の第２層（２２０）は、ベースメタライゼーション（２０）の第１層（１２０）にストライプ状に被着されている、
請求項１５に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１７】
前記のベースメタライゼーション（２０）の第２層のストライプは、前記の圧電積層体（１）の伸張方向軸（７）に対して垂直な面に対して傾けられて形成されている、
請求項１６に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１８】
前記のフレキシブル金属電極（２５）は、第２層（２２０）が第１層（１２０）を覆っている箇所だけにて、前記のベースメタライゼーション（２０）に電気接続されている、
請求項１５から１７までのいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１９】
前記のフレキシブル金属電極（２５）は、インバーから作製される、
請求項１４に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項２０】
前記のフレキシブル金属電極（２５）は、インバー線から作製される、
請求項１９に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項２１】
前記のフレキシブル金属電極（２５）は銀メッキされている、
請求項１９または２０に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項２２】
前記のベースメタライゼーションの金属製構成部材は、銀または銀を含有する合金である、
請求項２１に記載の圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
従来の技術
本発明は、例えば公開特許DE 199 28 189 A1から公知の圧電アクチュエータを出発点とする。このような圧電アクチュエータは、多層アクチュエータとして構成される。すなわちこの圧電アクチュエータは、多数の圧電作動のセラミック層から構成されるのである。これらの層間には、金属製の内部電極が平坦に構成されており、これらの内部電極は交互に表面の領域に案内される。この領域においてこれらの内部電極は少なくとも２つの外部電極に接触接続し、これらの外部電極によって電圧が内部電極に加えられて、それぞれ隣り合う内部電極間に上記の圧電作動の層を貫通する電場を発生させることができるのである。この電場の強度に応じて、すなわち、加えられる電圧の大きさおよび極性に応じて、圧電セラミック層の厚さが変化して、全体としての圧電アクチュエータの長さが変化するのである。
【０００２】
ここで上記の外部電極は、圧電アクチュエータに直接被着されるベースメタライゼーションと、多くの場合に網または布状をしかつベースメタライゼーションとはんだ付けされるフレキシブル金属電極とから構成される。このようにする理由は、圧電アクチュエータの長さ変化により、直接載置されるベースメタライゼーションに亀裂が入ることがあるため、内部電極に電圧を一貫して導き入れることが保証できなくなってしまうおそれがあるためである。しかしながら種々異なる点においてベースメタライゼーションに接続される上記のフレキシブル金属電極により、このベースメタライゼーションにたとえ亀裂が生じた場合であっても上記の電圧が導かれるため、内部電極全体に上記の各電圧が供給されるのである。
【０００３】
圧電アクチュエータを作製する際には、まずいわゆるグリーンシートを積層し続けて、所望数の圧電層とこれに対応する内部電極とによって圧電積層体を形成する。この圧電積層体は、引き続いて焼結されて硬いセラミックが形成される。ベースメタライゼーションを載置するためには、焼結プロセスによってこの圧電積層体の表面に形成されるいわゆる焼結膜（Sinterhaut）を前もって除去しておかなければならない。作製時に生じる電気絶縁層を除去しない場合には、上記の内部電極の電気的な接触接続ができないかまたはできたとしても不十分になってしまう。この焼結膜を取り除いた後、平坦なベースメタライゼーションを被着する。これは、例えば、スパッタリング、電着またはメタライゼーションペーストの焼成または印刷などのさまざまな方法によって実現することができ、ここで最後のメタライゼーションペーストの焼成がプロセス技術的には最も有利である。
【０００４】
ベースメタライゼーションに対する金属構成部材として有利には銀または銀−パラジウム−合金が使用される。上記のメタライゼーションペーストには付加的に別の材料が混ぜ合わされ、ここでこの材料は、接着促進剤として使用される。これ材料がなければ焼結済みの圧電セラミックとベースメタライゼーションとの間の確実な接合はできなくなるおそれもある。このようにして得られるベースメタライゼーション部を焼成した後、ふつう上記のフレキシブル金属電極がはんだ付けによって被着される。しかしながらこれは付加的であり、コストがかかり、また困難なプロセスステップである。それは、はんだ付けプロセスの後、残ったフラックス材料を除去するために有機溶媒による徹底的な浄化プロセスが必要だからである。これによって圧電アクチュエータが高価になり、またひいてはディーゼル噴射の領域におけるその適用可能性があってもそれを高価なものにしてしまうのである。
【０００５】
発明の開示
発明の利点
これに対して多数の圧電作動セラミック層および相応の金属内部電極を有する圧電アクチュエータの本発明による作製方法は、上記のベースメタライゼーションおよびフレキシブル金属電極がただ１つのプロセスステップによって圧電積層体に接続されるという利点を有する。ここでこの方法は、２つの択一的な選択肢に分けられる。すなわち、第１の択一的な選択肢では、圧電積層体はグリーンシートから構成され、引き続いて焼結される。焼結されたこの圧電積層体は研磨され、この研磨された部分にベースメタライゼーションの第１層で被着される。この第１層が乾燥した後、第２層が被着され、この第２層がまだ液状の間にこの第２層に上記のフレキシブル金属電極が載置される。続いてこの圧電アクチュエータが焼成され、一方ではベースメタライゼーションの第２層と第１層とが、他方では上記のフレキシブル金属電極とベースメタライゼーションとが材料接続的（stoffschluessig）に接続されるのである。
【０００６】
上記の方法における第２の択一的な選択肢ではすでにベースボディに、すなわちグリーンシートによって構成される圧電積層体に上記のベースメタライゼーションの第１層が被着される。続いて上記のグリーンボディが焼結されて硬いセラミックが得られ、ベースメタライゼーションの第１層と圧電積層体の表面とがここですでに接続される。このベースメタライゼーションにより、この個所における焼結膜の形成が阻止されるため、この圧電アクチュエータの引き続いての研磨が省略される。引き続いて上記のメタライゼーションペーストの第２層を被着し、これがベースメタライゼーションの第２層を構成するのである。この湿式の層にはさらに上記のフレキシブル外部電極が載置され、この湿式の層が乾燥した後、焼成プロセスによって上記のフレキシブル金属電極とベースメタライゼーションとを接続する。
【０００７】
本発明の有利な発展形態では、有利には３００℃以上の温度で上記の焼成が行われる。これは有利には例えば窒素、アルゴンまたは別の希ガスなど保護ガスの下で行われるため、金属電極の酸化が阻止される。上記のベースメタライゼーションを形成するメタライゼーションペーストが、上記のフレキシブル金属電極を載置する際に液状になっている場合、フレキシブル金属電極の載置点にメニスカスが形成されるため、焼成の後、機械的に耐性がありかつ良好な導電性を有する接続が上記のフレキシブル金属電極とベースメタライゼーションとの間に得られるのである。
【０００８】
本発明による方法の別の有利な実施形態では上記のベースメタライゼーションの第２層は、第１層の２０〜８０％に、有利には３０〜７０％に被着される。この第２層は、有利には平行なストライプで被着され、ここでこれらの平行なストライプは、圧電積層体の伸張方向に対して垂直な平面に対して傾けられている。このようにすることの利点は、つぎのような領域、すなわちベースメタライゼーションの層厚が比較的大きくかつこれに相応してベースメタライゼーションに裂け目があまり生じない領域が得られることである。ベースメタライゼーションに裂け目が生じる場合には、この裂け目は圧電アクティブ層に対してもっぱらまさに平行に生じるため、この裂け目は続いてベースメタライゼーションの入り、そこで金属の接続ひいては電気線路を断絶させてしまうのであるが、上記のフレキシブル電極に接続される第２層の上記のストライプにより、ベースメタライゼーションのすべての領域において電圧が導かれる。これは、第２層の平行なストライプと、圧電積層体の伸張方向に対して垂直な面との間に囲まれる角度によって保証されるのである。
【０００９】
本発明の方法によって作製される圧電アクチュエータも同様に本発明の対象である。ここでは上記のフレキシブル金属電極はベースメタライゼーションに焼き付けられるため、ふつうは必要になるはんだ付けプロセスを省略することができる。
【００１０】
上記のフレキシブル金属電極は有利には、これが上記の焼付けによってベースメタライゼーションの第２層とだけ接続されるように形成される。すでに述べた本発明の方法におけるベースメタライゼーションの第２層のストライプ状パターンは、ここでも殊に有利である。上記のフレキシブル金属電極とベースメタライゼーションとの間の良好な電気接続を得るために殊に有利であるのは、銀メッキしたインバーからなる金属電極を使用することである。インバーは、殊に熱膨張率が小さくひいては圧電セラミックとほぼと同じ熱膨張率を有する金属合金である。これにより、この圧電アクチュエータを内燃機関に使用した際に必然的に曝されることになる温度変動による発生する機械的な応力が小さくなる。上記のインバーを銀メッキすることにより、フレキシブル金属電極と、有利には銀または銀−パラジウム−合金からなるベースメタライゼーションとの間の良好な接続を保証することができるのである。
【００１１】
図面
本発明の圧電アクチュエータおよびその作製方法のさまざまなプロセスステップを図面に示す。ここで、
図１は、本発明の圧電アクチュエータを斜視図で略示しており、
図２は、第１プロセスステップにおける圧電アクチュエータの側面図を示しており、
図３，４および５は、圧電アクチュエータを作製する際のこれに続くプロセスステップを示しており、
図６は、本発明の圧電アクチュエータの断面図を示している。
【００１２】
本発明の実施形態
図１には本発明の圧電アクチュエータが斜視図で略示されている。この圧電アクチュエータは、多数の圧電層３からなる圧電積層体１を有している。図１ではわかりやすくするため、わずかな圧電層３だけしか示していない。実際に使用される圧電アクチュエータは、多くの場合に１００〜２００個のこのような圧電層３を有する。２つずつの圧電層の間には金属内部電極５ないしは５´があり、これらは交互に圧電積層体の片方の側面に案内される。内部電極５，５´は、半分ずつ、圧電積層体１の表面に取り付けられた外部電極１０，１０´に電気接触接続する。外部電極１０は、ベースメタライゼーション２０と、ふるいまたは網状のフレキシブルな金属電極２５とからなり、ベースメタライゼーションは圧電積層体１の表面に直接取り付けられており、また金属電極はベースメタライゼーション２０に接続されている。フレキシブル金属電極２５は最後に電気端子１２，１２´に接続され、この電気端子を介して電圧を加えることができる。
【００１３】
電気端子１２，１２´間に電圧を加えることにより、圧電積層体１の一方の側において外側に向かって案内される内部電極５と、圧電積層体１の他方の側において表面まで案内される他の半分の内部電極５´との間に電場が発生する。これによって内部電極５，５´間には圧電層３を貫通する比較的均一な電場が生じる。この電場の強度および極性に応じて、圧電層３の厚さが変化し、ひいては全体として圧電積層体１の長さが変化する。圧電積層体１は、伸張方向軸７に沿って伸張または収縮する。ここで伸張方向軸７の方向は、圧電セラミックの極性方向によって決定される。
【００１４】
上記の圧電アクチュエータの作製はつぎのような方法によって行われる。すなわち、この圧電アクチュエータを形成するため、グリーンシートを積層してラミネートする。このグリーンシートは、ポリマ状の接着混合物を有する圧電セラミック粉末からなり、この接着混合物には金属印刷層が設けられているため、交互に圧電セラミック層と金属電極とを有する積層体、いわゆる未焼成体（Gruenkoerper）が得られる。引き続いてこの未焼成体を接着剤除去して焼結する。すなわち、高温度で焼成して有機ポリマ接着剤を気化させてセラミック粉末を固体の圧縮されたセラミックに変化させ、これを最終的に圧電作動にするのである。図２にはこのようにして得られる圧電積層体１の平面図が示されており、ここでは圧電層３および内部電極５ないしは５´の配置構成が明らかになっている。燃料噴射装置に使用される圧電アクチュエータでは、２００個以上の圧電層３はふつうである。個々の圧電層３の層厚は、約0.1mmであるのに対して、内部電極５，５´の層圧はわずかに数μｍである。
【００１５】
ベースメタライゼーションを載置するため、圧電積層体１を焼結した後、研磨して焼結膜を除去する。このようにしないとこの焼結膜により、内部電極５，５´との電気接触接続が困難になるか、またはできなくなってしまうおそれがある。引き続いてメタライゼーションペーストを被着する。このメタライザーションペーストにより、上記のベースメタライゼーション２０の第１層１２０が形成される。図３にはこれに合わせてベースメタライゼーション部２０の第１層１２０が示されており、これは圧電積層体１の片側を完全に覆っている。上記のメタライゼーションペーストは被着の際に液状であるため、さらなるプロセスステップの前にはこの第１層１２０が乾くまで待機する。引き続いてベースメタライゼーション２０の第２層２２０を図４に示したように被着する。この第２層２２０は、ストライプ状に被着される。このストライプは圧電積層体１の伸張方向軸７に対して斜めに傾いている。ここでベースメタライゼーション２０の第２層は、第１層１２０の２０〜８０％、有利には３０〜７０％を覆う。
【００１６】
つぎのプロセスステップではフレキシブル金属電極２５が、図５に示したようにベースメタライゼーション２０の、まだ液状の第２層２２０に載置される。ここでこのフレキシブル金属電極２５は、網状またはふるい状に線から有利にはインバー線から構成することができる。それはインバー線がセラミックと同様の小さな熱膨張率を有するからである。ベースメタライゼーション２０の第２層２２０はまだ液状であるため、フレキシブル金属電極の接触点にメニスカス２７が形成される。このメニスカスによって、フレキシブル金属電極２５と、ベースメタライゼーション２０の第２層２２０との良好な電気接続が形成される。図６にはこれに合わせて圧電積層体１の断面図が示されており、ここではその効果が明確に示されている。
【００１７】
ベースメタライゼーション２０の第２層２２０をストライプ状に載置することにより、フレキシブル金属電極２５とベースメタライゼーション２０との間の電気接触接続はこの箇所だけで行われる。フレキシブル金属電極２５とベースメタライゼーション２０とは一緒に外部電極１０，１０´を形成する。外部電極１０，１０´を固定するため、引き続いて圧電積層体１を焼成して、フレキシブル金属電極２５とメタライゼーションペーストとが、またこれそのものが圧電積層体１にしっかりと接続されるようにする。このようにして形成される圧電アクチュエータには端子電極１２，１２´が設けられて完成する。
【００１８】
ベースメタライゼーション２０を構成するメタライゼーションペーストは、有利には銀または銀−パラジウム合金からなり、これにはさらに鉛またはビスマスを含有するガラスフリット、ビスマス酸化物および／または鉛フリーのガラス粉末を定着剤として混ぜ合わせる。この混ぜ合わせは、焼結済みの圧電セラミックとのしっかりした接続を形成するために必要である。そうでなければこのような接続は得ることはできないおそれがある。フレキシブル金属電極２５とベースメタライゼーション２０とを機械的および電気的に良好に接続するため、銀の層でコーティングされたインバー線が有効であることが判明している。
【００１９】
圧電積層体１の択一的な作製方法では、ベースメタライゼーション２０の第１層１２０は、焼結の前にすでに未焼成体に被着される。引き続いてこの未焼成体が焼結されて、圧電積層体１が形成される。この圧電積層体は、すでにベースメタライゼーション２０の第１層１２０を有しており、この層によってこの領域における焼結膜の形成が抑止される。これに続いて、上記および図４に示したようにベースメタライゼーション２０の第２層２２０を被着する。フレキシブル金属電極２５を被着した後、ここでも焼成プロセスが行われ、ベースメタライゼーション２０の第２層２２０と第１層とが、またフレキシブル金属電極２５とベースメタライゼーション２０とがしっかりと接続される。
【００２０】
フレキシブル金属電極２５がインバー線から構成される場合、有利には５０〜１００μｍのワイヤ直径を有するワイヤが使用される。銀または銀を含有する合金からなるメタライゼーションペーストを使用する場合、銀めっきしたインバー線を使用するのが有利である。それは、これによってワイヤとベースメタライゼーション２０との電気的および機械的な接続が改善されるからである。ベースが銅であるメタライゼーションペーストを使用する場合、このインバー線を相応に銅でコーティングすることが可能である。
【００２１】
金属ペースト形態のベースメタライゼーション２０の被着は、例えば印刷により、シルクスクリーン印刷法またはタンポン印刷または別の有利な方法などで行うことができる。
【００２２】
ベースメタライゼーション２０を形成するためのメタライゼーションペーストの焼成は、有利には保護ガス雰囲気下で、すなわち例えば窒素またはアルゴン雰囲気下で行われるが別の希ガスでもよい。これには容易に解重合可能な接着剤ベースのメタライゼーションペーストが必要である。このためにはポリメタクリレートが殊に有利である。このメタライゼーションペーストは、金属粉末、例えば銀、銀−パラジウム、銅、ニッケルまたはこれらの混合物、アクリル接着剤ならびに溶媒の他にガラス粉末を有する。このガラスは、鉛フリーのアルミニウム酸化物（Al2O3）を含有しかつSiO2の割合が５０％と高いアルカリ−アルカリ土類−ホウケイ酸であり、またこれはｄ50（５〜１０μｍ）およびｄ99（３５μｍまで）の範囲の粒子に粉末化することができ、ペーストの無機固形物の２〜２０体積％になる。
【００２３】
上記のメタライゼーションペーストが焼結の前にすでに被着される場合、セラミックにおける焼結特性、すなわち例えばＰＺＴセラミックの焼結特性に調整された銀または銀−パラジウム−ペーストが必要であり、これはガラスを含まないが、少量のセラミックオキシドないしはメタルオキシド（ZrO2，TiO2）を含有する。銅の内部電極を有するアクチュエータでは、銅ペーストを有する変化形態も考えられる。上記のベースメタライゼーション２０の第２層２２０に使用されるメタライゼーションペーストはここではガラス成分を必ずしも必要としない。それは金属表面だけをメタライゼーションペーストからなる金属で焼結すればよいからである。
【００２４】
すなわち本発明のしたがって作製される圧電アクチュエータは、これが比較的少なくかつコスト的に有利なプロセスステップで作製されるという利点を有する。ここではフレキシブル金属電極２５をはんだ付けする場合とは異なり、圧電アクチュエータを格段に高価にしてしまうコストのかかる浄化プロセスが省略される。上記の圧電アクチュエータは、さらなる処理なしに後続のプロセスステップに供給することができるのである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の圧電アクチュエータの概略斜視図である。
【図２】第１プロセスステップにおける圧電アクチュエータの側面図である。
【図３】圧電アクチュエータを作製する際のプロセスステップを示す図である。
【図４】圧電アクチュエータを作製する際の後続のプロセスステップを示す図である。
【図５】圧電アクチュエータを作製する際のさらに後続のプロセスステップを示す図である。
【図６】本発明の圧電アクチュエータの断面図である。
【図１】
2009534825.tif 000003
【図２】
2009534825.tif 000004
【図３】
2009534825.tif 000005
【図４】
2009534825.tif 000006
【図５】
2009534825.tif 000007
【図６】
2009534825.tif 000008
【国際調査報告】
2009534825.tif 000009
2009534825.tif 000010
2009534825.tif 000011
2009534825.tif 000012
2009534825.tif 000013
2009534825.tif 000014
2009534825.tif 000015
2009534825.tif 000016