(57)【要約】ジェット加工用のカートリッジアセンブリ装置は研磨材が予め充填された空洞を有する。カートリッジアセンブリは、カートリッジアセンブリの第１の端部から機械加工用の流体−研磨材混合物を加圧射出するように構成されている。カートリッジアセンブリの第１の端部はさらに、ジェット加工装置のカートリッジアセンブリインタフェースとの係合のためのものである。カートリッジアセンブリは、また、カートリッジアセンブリをカートリッジアセンブリインタフェースと係合して保持するために第１の端部から離隔した位置でプレスと係合するように配設されている。装置はまたカートリッジアセンブリインタフェースおよびプレスにも及ぶ。【選択図】      図６Ａ
2009541073.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジェット加工用のカートリッジアセンブリ装置であって、カートリッジアセンブリは、
研磨材が予め充填された空洞を有しており、前記カートリッジアセンブリはカートリッジアセンブリの第１の端部から機械加工用の流体−研磨材混合物を加圧射出するように構成されており、
該第１の端部は更にカートリッジアセンブリインタフェースと係合するように配設されており、
前記カートリッジアセンブリは、更に、前記カートリッジアセンブリを前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合して保持するために該第１の端部から離隔した位置でプレスと係合するように構成されていることを特徴とする、ジェット加工用のカートリッジアセンブリ装置。
【請求項２】
ジェット加工用の装置であって、
予め研磨材が充填された空洞を有するカートリッジアセンブリであって、該カートリッジアセンブリの第１の端部から機械加工用の流体−研磨材混合物を加圧射出するように構成された該カートリッジアセンブリと、
前記カートリッジアセンブリの該第１の端部と係合して、機械加工のために該カートリッジアセンブリから流体−研磨材混合物を配給するためのカートリッジアセンブリインタフェースと、
該第１の端部から離隔した位置で前記カートリッジアセンブリと係合し、該カートリッジアセンブリに保持力をかけて、該カートリッジアセンブリを前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合して保持するためのプレスと
を備えることを特徴とする、ジェット加工用の装置。
【請求項３】
前記カートリッジアセンブリは、前記第１の端部から離隔した該カートリッジアセンブリの端部にある位置で該プレスと係合するように構成されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記カートリッジアセンブリは、前記カートリッジアセンブリインタフェースの相補的表面と係合するように配設された表面を該第１の端部に有することを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の装置。
【請求項５】
前記カートリッジアセンブリは、前記カートリッジアセンブリインタフェースの実質的に平坦な表面と係合するように配設された実質的に平坦な表面を該第１の端部に有し、それによって該カートリッジアセンブリと該カートリッジアセンブリインタフェースとの間に凹凸のない連接面を付与することを特徴とする、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合するように配設された前記カートリッジアセンブリの平坦な表面は、該カートリッジアセンブリインタフェースと係合するために実質的に表面領域全体にわたって延在することを特徴とする、請求項４または５に記載の装置。
【請求項７】
前記カートリッジアセンブリインタフェースは、重力に逆らって流体−研磨材混合物を加圧射出するために前記カートリッジアセンブリと連接するように配設されていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載の装置。
【請求項８】
ジェット加工用の装置であって、
予め研磨材が充填された空洞を有するカートリッジアセンブリと、カートリッジアセンブリは前記カートリッジアセンブリの第１の端部から機械加工用の流体−研磨材混合物を加圧射出するために配設されており、
前記カートリッジアセンブリの該第１の端部と係合し、機械加工のために前記カートリッジアセンブリから流体−研磨材混合物を配給するためのカートリッジアセンブリインタフェースと、
前記カートリッジアセンブリを前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合して保持するための保持装置とを備えており、
前記カートリッジアセンブリは、重力に逆らって流体−研磨材混合物を加圧射出するように配設されてなることを特徴とする、ジェット加工用の装置。
【請求項９】
前記カートリッジアセンブリは、該カートリッジアセンブリの頂端部から流体−研磨材混合物を加圧射出するように配設されていることを特徴とする、請求項７または８に記載の装置。
【請求項１０】
前記カートリッジアセンブリおよび前記プレスまたは保持装置のうちの１方は凹面を有しており、該カートリッジアセンブリおよびプレスまたは保持装置のうちの他方のものは凹面と係合するための凸面を有することを特徴とする、請求項１〜９のいずれかに記載の装置。
【請求項１１】
前記カートリッジアセンブリは、前記カートリッジおよび圧力容器を含み、該カートリッジは前記圧力容器に直接入れられるように配設されていることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれかに記載の装置。
【請求項１２】
前記カートリッジは前記加圧容器の内面と相補的な外面を有するプラスチック材料の本体を備えることを特徴とする、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記カートリッジアセンブリは前記プレスまたは保持装置のキー溝と係合するためのキーを該カートリッジアセンブリの外面に有することを特徴とする、請求項１〜１２のいずれかに記載の装置。
【請求項１４】
前記カートリッジアセンブリは流体−研磨材混合物が予め充填された空洞を備えていることを特徴とする、請求項１〜１３のいずれかに記載の装置。
【請求項１５】
前記カートリッジアセンブリは加圧流体の進入および流体−研磨材混合物の射出のために空洞内部に配置された第１および第２の導管を備えており、該第１および第２の導管は前記カートリッジアセンブリインタフェースの対応する導管と嵌合するように配置されていることを特徴とする、請求項１〜１４のいずれかに記載の装置。
【請求項１６】
前記カートリッジアセンブリは、該カートリッジアセンブリの該第１の端部の開口と、該カートリッジアセンブリが前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合した時に前記開口を密閉するためのシールとを備えることを特徴とする、請求項１〜１５のいずれかに記載の装置。
【請求項１７】
前記開口は前記カートリッジの第１の端部に配設されており、前記シールは開口のまわりに配置された第１のシールを含むことを特徴とする、請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記カートリッジアセンブリは、前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合した時に該カートリッジアセンブリを密閉するためのシールを含むことを特徴とする、請求項１〜１７のいずれかに記載の装置。
【請求項１９】
前記カートリッジアセンブリインタフェースと係合した時に前記カートリッジアセンブリを密閉するためのシールは圧力容器に配設されていることを特徴とする、請求項１１〜１７のいずれかに従属する場合の請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記開口は該第１の端部の表面の外周縁の近傍に配設されていることを特徴とする、請求項１５〜１８のいずれかに記載の装置。
【請求項２１】
請求項１〜２０のいずれかの装置を用いてジェット加工を達成する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジェット加工に使用するためのカートリッジアセンブリ装置に関する。本発明はまた、ジェット加工に使用するための、研磨材が予め充填されたカートリッジアセンブリを有する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
精密機械加工が要求される多くの用途では研磨流体ジェットシステム（アブレシブジェットシステム）が使用されている。ある型式のアブレシブジェットシステムでは、貯留され、圧力容器から加圧下で放出されて、流体キャリヤと混合されて流体−研磨材混合物を形成する研磨材を用いている。その際、混合物は通常、ノズルによって加速され、例えば基板の切断の様な機械加工のための流体−研磨材ジェットを形成する。
【０００３】
そのような既存のシステムでは、流体−研磨材混合物を混合すること、および、混合物が噴出されるためのノズルへ配給することを要とする。混合物が確実に汚染されないように配慮しなければならず、さもなければ、ノズルもシステム全体も最善の稼動は為されないものである。例えば、ノズルは混合物の汚染物質によって詰まる可能性がある。
【０００４】
標準的な高精度ジェット加工システムは一般に、流体−研磨材混合物を圧力容器に充填するためにバッチプロセスを使用する。圧力容器には流体（例えば水）および研磨材が供給される。流体−研磨材混合物は、その後、加圧されノズルに配給されて、そこで混合物は高速でノズルから放出され、高精度の機械加工が達成される。流体−研磨材混合物の特定のバッチが使い果たされると、機械加工プロセスを停止しなければならず、プロセスを再開する前に混合物の新しいバッチを補給しなければならない。一般に、約１５リットルの容量の容器を直径約０．２５ｍｍのノズルとともに使用した場合、流体−研磨材混合物を約３０分の機械加工に供給することができる。流体−研磨材混合物の研磨材粒子のサイズは、一般に、最大でノズル直径の３分の１であり、それを超えるとノズルは過大粒子によって容易に詰まることになる。
【０００５】
また、より小さなサイズの研磨材粒子を使用すると、結果的にノズル口径の小さなノズルを使用することになることもわかっている。同様に、それに相当して、圧力容器の寸法／容量が減少することも理解されるものである。しかし、圧力容器の寸法が小さくなると、容器を充填するうえで問題となり得る。容器がより小さくなるにつれて、容器充填のための標準的な装置は相対的には大きくなるので、小さい容器を充填するためには不適格であるとみなされるものである。
【０００６】
また、沈降の問題もある。機械加工装置の作動においては、研磨材粒子が一般に内部または容器の底部に向けて沈降することを要する。「通常サイズの」粒子による流体−研磨材混合物の標準的なバッチが補給された後、適切な濃度の研磨材粒子が容器内部の底部に向けて配置されるまでに研磨材粒子が容器の底部に向けて沈降するにはわずか数分ほどしかかからない。しかし、より小さな直径のノズルで使用されるより小さな研磨材粒子は、沈降するのにかなり長い時間を要する。ノズル口の大きさを約５０ミクロンほどまで縮小した場合（そして粒子はノズル直径のせいぜい３分の１の大きさでなければならないという一般的経験則を適用すれば）、小さいサイズの研磨材粒子が流体−研磨材混合物において十分に沈降するために必要な沈降時間は多大な時間と成り得る。これは極めて望ましくない状況である。例えば、より小さなサイズの研磨材粒子を有する混合物を容器に装填し、機械加工が開始できる前に、混合物中の研磨材粒子が沈降するために何時間も待たなければならないことは、費用対効果がよいとは思われない。
【０００７】
これらの課題に対処しようとする１つのシステムがＷＯ９９／１４０１５に開示されている。予め充填された研磨材を収容する密封カートリッジがマイクロジェット加工装置に装填または接続される。予め充填されたカートリッジを使用することによって、カートリッジを保存することにより使用前に混合物を沈降させている。カートリッジは、単に、例えば一夜だけ保存した後、次の日に機械加工プロセスに使用することができる。さらに、カートリッジへの混合物の事前装填はきれいな環境で行うことができ、それによってＷＯ９９／１４０１５中のノズル16を詰まらせ得る物質で混合物が汚染される可能性を低減している。１００ミクロン未満のノズル直径の場合、１時間の機械加工のための研磨材貯留容器の容量は通常１リットル未満である。この容量の研磨材貯留容器の胴部は、オペレータが容易に取り扱うことができ、それによって、研磨材および流体を収容するカートリッジを変更することができる。
【０００８】
ＷＯ９９／１４０１５のシステムは、容器の内部形状に合致した外部形状を有する、高密度ポリエチレンのようなポリマー材製の、カートリッジを用いている。容器は一体に螺合する胴部および基部を有する。カートリッジは、導管との接続およびノズルへの配給のために基部の通路と嵌合する通路を含むネジ蓋を有する。カートリッジは使用中に直立するように構成されており、加圧された流体−研磨材混合物をカートリッジ底面の開口を介してカートリッジから射出するように構成されている。
【０００９】
この構成にはいくつかの問題点がある。第一に、このカートリッジの構成においては、望ましからぬ漏れを防止するために複雑な封止機構を要する。カートリッジおよび蓋は、カートリッジの内圧をカートリッジのネジ部分に作用させるように配設されたシール部材を有し、その内圧作用によって、そのシール部材を蓋のネジに合うように変形させて更なる封止を付与するものであるが、当然ながら、多くのシールと同様、これらは漏洩しがちであり、その問題は、出口開口がカートリッジの底面にあるという事実によってより一層悪化するが、つまり、その事実によって、あらゆる不良または摩耗シールに漏れを生じるということである。さらに、このネジ構成は扱いにくく、研磨材の何らかの浮遊粒子によって、特にそうした浮遊粒子がネジ山に入った場合、損傷を受ける可能性がある。一般に、ネジ構成は、混合物の汚染およびノズルの詰まりを回避しようとするためには理想的な形式の「クリーンルーム」環境には役立たない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】ＷＯ９９／１４０１５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本質的に、開示された上記構成は、故障を起こし易い多数の構成要素を伴う複雑な解決策を提供するものであるが、それによって装置に損傷をもたらし得るものである。
【００１２】
さらに、装置の保守は一般に、ネジ山／ネジの配設に起因する清掃上の現実問題を提起する問題であり、カートリッジ開口は使用中にカートリッジの底面に位置するように配設されている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は独立請求項に記載されている。本発明のいくつかの任意の特徴要件は従属請求項に記載されている。
【００１４】
カートリッジアセンブリの第１の端部（流体−研磨材混合物が加圧下に押し出される同じ端部）でカートリッジアセンブリインタフェース（装置の実施例ではマニホールドである）と係合するように配設されたカートリッジアセンブリを設けることによって、カートリッジアセンブリの第１の端部から離隔されカートリッジをインタフェースと係合して保持するためのプレスは、マニホールドとアセンブリとの係合を比較的単純な方法で達成することができる。これはきれいな環境に貢献し、結果として、汚染および漏れの恐れを低減するものである。さらに、カートリッジアセンブリとマニホールドとの間の単純なインタフェースに漏れがある場合も、あらゆる漏れの清掃は遥かに容易に行える。
【００１５】
さらに、流体−研磨材混合物が重力に逆らって（すなわち実質的に上方向に）カートリッジから射出するように構成することによって、不良または摩耗シールに関係する問題は軽減され得る。当然、これらのシール部材が不良である場合、それから生じる問題は、重力の下でカートリッジアセンブリの出口開口から離れたカートリッジアセンブリ底部に向けて沈降するという流体−研磨材混合物の自然な傾向によって軽減される。この構成は、混合物の射出のための開口が使用時においてカートリッジアセンブリの上面に位置するように配設された場合、特に有利であることがわかる。
【００１６】
装置の実施例によって、以下の更なる利点を説明する。脱着可能カートリッジはプラグアンドプレイ機能性（接続すれば直ぐに使用できる機能性）を備える消費アイテムとしてセット販売可能である。
【００１７】
汚染されたカートリッジは容易に処分することができる。汚染された従来の圧力容器は、汚染物質を除去するうえで相当の労力を費やし、従って保守するために極めてコストがかかる。
【００１８】
カートリッジはまた、非汚染を保証するためにクリーンルームで包装することができる。カートリッジは研磨材を予め充填することができ、その後に、流体を加えて流体−研磨材混合物を形成することができる。カートリッジは流体−研磨材混合物を予め充填して提供することができる。重要な考慮すべき点は、カートリッジアセンブリが設置された機械加工装置の作動前に流体−研磨材混合物を十分に沈降させるということである。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１Ａ】装置の第１の実施例を示す略図である。
【図１Ｂ】装置の第２の実施例を示す略図である。
【図２】カートリッジアセンブリの具体例を示す斜視図である。
【図３】カートリッジアセンブリインタフェース、カートリッジアセンブリおよびプレスの分解した状態を示す斜視図である。
【図４】カートリッジアセンブリインタフェース、カートリッジアセンブリおよびラムを組み立てたカートリッジアセンブリ装置の斜視図である。
【図５】カートリッジアセンブリ装置の封止構成の実施例を示す斜視図である。
【図６Ａ】カートリッジアセンブリ装置の実施例を示す縦断正面図である。
【図６Ｂ】カートリッジアセンブリ装置の実施例を示す縦断側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
ここで本発明を単なる一実施例として添付図面を参照して説明する。
【００２１】
ここで図１Ａおよび図１Ｂを参照すると、カートリッジアセンブリ装置を組み込んでいるジェット加工用の装置の略図が示されている。装置10は、機械加工用の流体−研磨材混合物を供給するために研磨材16が予め充填された空洞14を有するカートリッジ13を含むカートリッジアセンブリ12を有する（図１Ａに示されたように、カートリッジは完全に充填される必要はなく、部分的な事前充填で十分である）。カートリッジアセンブリ12はまた、単数または複数の開口34および単数または複数の導管32を通じて空洞14に流入する加圧流体からの加圧を受ける時にカートリッジ13を収容するための圧力容器18を備える。カートリッジは、単数または複数の開口28および単数または複数の導管30を通じたカートリッジアセンブリ12の第１の端部２６から流体−研磨材混合物を加圧射出するように構成されている。
【００２２】
また、カートリッジアセンブリ12の第１の端部26と係合し、機械加工のためにカートリッジアセンブリから流体−研磨材混合物を配給するためのカートリッジアセンブリインタフェース20（装置の実施例においてこれはマニホールドである）も示されている。導管30および32を、カートリッジアセンブリインタフェース20内の、少なくともその一部分に、設けることができる。
【００２３】
カートリッジアセンブリ12およびマニホールド20は、互いに係合および／または嵌合する実質的に平坦なまたは相補的な表面15、17を備える滑らかで凹凸のない連接面が得られるように配設されている。装置の実施例において、これらは（開口28、34を除き）実質的に連続的な表面であるように配設されている。装置の実施例において、カートリッジアセンブリインタフェース／マニホールドと係合するように配設されたカートリッジアセンブリの平坦な表面は、マニホールドと係合する実質的に表面領域全体にわたって延在し、それゆえ比較的単純な連接面を保証するものである。この構成は比較的単純な連接面をもたらし、それはまた比較的「クリーン」であり、容易な保守および清掃に貢献するものである。
【００２４】
装置の実施例において、カートリッジ13は加圧容器の内面と相補的な外面を有するプラスチック製の本体を備える。従って、カートリッジは圧力容器に精密に適合し、容器は加圧流体がカートリッジに導入された時にカートリッジの過度の変形を防止するものである。
【００２５】
また、カートリッジアセンブリの第１の端部26から離隔した位置23でのカートリッジアセンブリ12との係合のためのプレス22が示されている。プレス22がカートリッジアセンブリ12と係合する位置は、符号25によって示された通りカートリッジアセンブリ12の第１の端部26から離隔している。（装置の実施例において、第１の端部はマニホールド20と係合するカートリッジアセンブリの全体部分とみなすことができ、従って、プレス22とカートリッジアセンブリ12との間の係合の位置が第１の端部26から離隔している限り、カートリッジアセンブリ12とマニホールド20との間に比較的単純な連結が達成し得る。）装置の実施例において、位置23は、カートリッジアセンブリ12上の、第１の端部26の遠位に、例えば第１の端部に対向する端部に、配置されている。
【００２６】
プレスは、カートリッジアセンブリ12に保持力を加えて、カートリッジアセンブリ12がカートリッジアセンブリインタフェース20に係合した状態で、カートリッジアセンブリ12を保持する。プレス22は、方向24に移動してカートリッジアセンブリ12と係合し、アセンブリに保持力を加えることや、引き下がることによって、カートリッジアセンブリ12をカートリッジアセンブリインタフェース20へ挿入させたり、カートリッジアセンブリインタフェース20から後退させるように構成されている。装置の実施例は、プレスがネジによる構成または他の何らかの適切な構成によって、油圧式、空気圧式に駆動することができる。
【００２７】
プレスの代替位置が符号22aによって示されており、そこで代替位置22aのプレスは距離25aだけカートリッジアセンブリの第１の端部から離隔した位置でカートリッジアセンブリ12と係合する。代替位置22aのプレスは、図に示す24aの方向に移動して、保持力を及ぼすか、或いは、カートリッジアセンブリの取り外しを可能にするために後退するように構成されている。明確化のために省略されているが、装置の実施例において、代替位置22aのプレスはカートリッジアセンブリ12の外面の凹部と係合する。
【００２８】
装置の代替構成が図１Ｂによって示されており、ここにおいて同じ符号は図１Ａに示されたのと同じ部品を示す。この実施例において、カートリッジは、本体13bおよび、研磨材16および流体−研磨材混合物を空洞14に密閉するための密封クロージャ手段13aを備える。流体−研磨材混合物はクロージャ手段13aの開口（図示せず）によってカートリッジ13を出る。装置のこの実施例において、プレス自体が、カートリッジを収容し、カートリッジ13をカートリッジアセンブリインタフェース（マニホールド）20と係合させた状態で保持するように配設された圧力容器である。プレス22の駆動機構は、プレスを符号25aおよび25bの各距離の方向に駆動するように配設された符号22aおよび22bの位置に示された幾つかの手段のいずれかで作動されるものである。
【００２９】
装置の実施例において、カートリッジアセンブリは一体型の加圧ユニットである。
【００３０】
ここで図２を参照すると、装置の１実施例に基づくカートリッジアセンブリの構成要素の斜視図が示されている。カートリッジアセンブリ12は、密封カートリッジ13および、カートリッジ13を開口38に受け入れるための圧力容器18よりなる。カートリッジ13はカートリッジの第１の端部26に開口34、28を備える。装置のこの実施例において、圧力容器18はプレス（図示せず）と係合するための表面42を有する。圧力容器18本体の外面上に設けたキー44は、プレス（図示せず）に設けたキー溝（図示せず）と係合するように適応されている。さらに、圧力容器18には、圧力容器18の物理的操作、およびカートリッジアセンブリ12全体の物理的操作においてオペレータの助けとなるためのハンドル手段40が具備されている。
【００３１】
装置の実施例の分解斜視図を図３に示す。機械加工プロセス用の流体−研磨材混合物を配給するためのカートリッジアセンブリインタフェース（マニホールド）20が示されている。また図示の通り、カートリッジアセンブリ12は、本質的にカートリッジアセンブリ12の第１の端部26全体に延在する実質的に平坦な上面17をカートリッジアセンブリの第１の端部26に有する。実質的に平坦な上面17は、マニホールド20の下面20aの内部開口（図示せず）の対応する実質的に平坦な表面と係合して嵌合するためのものである。マニホールド20は、マニホールド本体を貫通し、上面52の開口50において突出する導管を、マニホールド20の上面52に有する。
【００３２】
また、この実施例では油圧ラムよりなるプレス22も示されている（ラムの動作のための油圧回路は明確化のために省略されているが）。ラム22はカートリッジアセンブリ12の凸面42と係合するための内部凹面43を有する。ラム22はまた、内方リップ48に、カートリッジアセンブリ12のキー44との係合のためのキー溝46を備える。キーとキー溝との組合せはラム22をカートリッジアセンブリ12に固定する手段を提供するものである。この係合手段の効果を達成させるために、オペレータはカートリッジアセンブリ12をラム22の内部開口に入れて、垂直平面におけるカートリッジアセンブリ12の縦軸（図示せず）を中心にカートリッジアセンブリ12を捻じって、キー44をキー溝46に係合させる。油圧ラム22は、その後カートリッジアセンブリ12をマニホールド20と係合させるように操作される。その後、加圧流体がマニホールド20の開口50、および、カートリッジアセンブリ12のカートリッジ13の上面26の開口34、28を通じてカートリッジアセンブリ12の空洞14（図示せず）に導入される。流体−研磨材混合物は、その後、機械加工での使用のためにカートリッジアセンブリから加圧射出するように配置される。
【００３３】
図４は、カートリッジアセンブリ12、ラム22およびマニホールド20からなる、組み立てられた状態の装置を示している。マニホールド20が、より大きなジェット加工装置の不可欠な部分を構成し得ることは言うまでもない。
【００３４】
図５は、カートリッジアセンブリの封止機能を例示するためのカートリッジアセンブリ12の拡大図を示している。開口34、28にはＯリングが挿入されるスロット54が備えられており、それによってカートリッジアセンブリ12がマニホールド20と係合した時に開口34、28の周りにシール部が得られる。開口34、28はカートリッジアセンブリ12の外周縁55の近傍に配設され、それによってＯリングシールからのカートリッジのあらゆる変形を最小限にしている。カートリッジアセンブリの公差は、カートリッジアセンブリ12がプレス22を操作することによってマニホールド20と係合した時に、Ｏリングがシール部を形成できる程度の公差である。これらのシール部は、圧力容器の内部が大気圧であるので、特に強力である必要はない。使用中、圧力容器およびカートリッジの内部全体が圧力容器内のカートリッジ側の遊嵌による助力によって同じ圧力となるまで水が注がれるので、スロット56内の圧力容器シール用のＯリングは、全作用圧力差を受ける。カートリッジ頂部のシール部は、カートリッジ内の所要の管路内に流れを誘導するために密閉するだけのものである。それだけで、それらは極めて小さな圧力差を受けるのみである。カートリッジアセンブリ12はまた、圧力容器18の周囲に配設されたＯリング用のスロット56を有する。この設計の利点は、（開口34、28の周りの、および、スロット56の）全てのシール部が、マニホールド20にではなくカートリッジアセンブリにあるということである。この構成は装置の保守をより容易にするものである。Ｏリングは長持ちする部品ではないので、新たな各カートリッジアセンブリ12が独自のＯリングを備えていてもよい。圧力容器の周りのスロット56内に配置された圧力容器シール用のＯリングは、必要な場合、極めて容易に取り替えることができる。
【００３５】
カートリッジアセンブリ12の頂部に穴が配設されているので、カートリッジアセンブリ12がマニホールドから取り外される時に、Ｏリング漏れによるあらゆる汚損の危険性は著しく低減する。
【００３６】
図６Ａおよび図６Ｂは、マニホールド20およびカートリッジアセンブリ12内部の導管の断面図を示している。流体−研磨材混合物の攪拌、混合および供給については、本願と共通の出願人による国際公開第ＷＯ０２／０８５５７３号公報に記載の通りであり、その公報を参照することにより開示の代用とする。図示の通り、図６Ａおよび図６Ｂの装置は、カートリッジ13および圧力容器18を備えるカートリッジアセンブリ12を含み、ラム22がキー44およびキー溝46によってカートリッジアセンブリ12と係合する。カートリッジアセンブリ12とマニホールド20との間の連接面が示されている。スロット54、56のＯリングシールはカートリッジアセンブリ12および導管60、62、64および66を密閉するために設けられている。
【００３７】
本発明を実施例によってのみ説明したが、本発明の範囲を逸脱することなく種々の設計変更が行い得ることは言うまでもない。本発明の１態様に関して提示された特徴が本発明の他の態様においても適用され得ることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００３８】
10  装置
12  カートリッジアセンブリ
13  カートリッジ
14  空洞
15  表面
16  研磨材
17  上面
18  圧力容器
20  マニホールド
20a  下面
22  ラム
22a  代替位置
22b  位置
23  位置
24  方向
24a  方向
25  距離
25a  距離
25b  距離
26  第１の端部
28、34  開口
30、32  導管
44  キー
46  キー溝
48  内方リップ
50  開口
52  上面
54  開口Ｏリング用スロット
55  外周縁
56  圧力容器Ｏリング用スロット
60、62、64、66  導管
【図１Ａ】
2009541073.tif 000003
【図１Ｂ】
2009541073.tif 000004
【図２】
2009541073.tif 000005
【図３】
2009541073.tif 000006
【図４】
2009541073.tif 000007
【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【国際調査報告】
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