(57)【要約】  金属製基材から成る、摩耗の危険を有する部材に、金属マトリックス（７）に含有されたセラミックス粒子（６）を有する少なくとも１つの層（３）から構成される摩耗防止層（２）を塗装する際、基材（１）の融点よりも低い融点を有する材料で前記マトリックス（７）を構成することによって、高い負荷能力が得られるとともに、当該基材の損傷が回避される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械、特に２サイクル大型ディーゼルエンジンの金属製基材から構成される部材のための摩耗防止装置であって、
当該摩耗防止装置は基材上に塗布可能な、少なくとも１つの層（３）を有するコーティング（２）として形成されており、当該コーティングは基材の融点よりも低い融点を有する、合金の要素として少なくともリンを含有するニッケル合金から構成される金属マトリックス（７）と、前記合金に含有されるセラミックス粒子（６）と、を含み、前記コーティングを形成する材料を含む粉末を熱によるコーティングプロセスで基材の表面に塗布することによって得られ、前記セラミックス粒子（６）は球形を成しており、その直径は４０〜１６０μで、硬度は３０００ＨＶである摩耗防止装置。
【請求項２】
前記マトリックス（７）を形成するニッケル合金が、基材（１）の融点よりも低い融点を有することを特徴とする請求項１に記載の摩耗防止装置。
【請求項３】
前記マトリックス（７）を形成するニッケル合金が、鋳鉄の融点よりも少なくとも２００℃は低い融点を有することを特徴とする請求項２に記載の摩耗防止装置。
【請求項４】
前記マトリックス（７）がリンを１〜１５体積％、ケイ素を１〜６体積％、残部としてニッケルを含むことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の摩耗防止装置。
【請求項５】
前記マトリックス（７）がリンを３．６５体積％、ケイ素を２．１５体積％、残部としてニッケルを含むことを特徴とする請求項４に記載の摩耗防止装置。
【請求項６】
セラミックス粒子（６）とマトリックス（７）との体積比が少なくとも６０対４０であり、および／または重量比が少なくとも７５対２５であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の摩耗防止装置。
【請求項７】
前記セラミックス粒子（６）が少なくとも部分的に炭化タングステン（ＷＣ）から構成されることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の摩耗防止装置。
【請求項８】
前記コーティング（２）が多層構造となっており、下部と上部（４もしくは５）とにおいて、層には比較的少ないセラミックス粒子（６）が含まれているか、あるいはセラミックス粒子（６）が含まれていないことを特徴とする請求項１から請求項７に記載の摩耗防止装置。
【請求項９】
前記下部層（４）および前記上部層（５）が少なくとも部分的に、好適には全て、前記マトリックス（７）の基盤となる材料から構成されることを特徴とする請求項８に記載の摩耗防止装置。
【請求項１０】
前記コーティング（２）は前記基材（１）上に焼結が行われる焼結体として形成されることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の摩耗防止装置。
【請求項１１】
前記コーティング（２）が、ピストンリング、ピストンリング装着溝、シリンダーブシュ、ピストン、２サイクル大型ディーゼルエンジンのガイドのような、熱に敏感な材料、好適には鋳鉄、から構成される部材に設けられることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の摩耗防止装置。
【請求項１２】
機械、特に２サイクル大型ディーゼルエンジンの金属製基材（１）から構成される部材のための摩耗防止装置を製造するための方法であって、
当該摩耗防止装置は前記基材（１）上に塗布可能なコーティング（２）として形成されており、当該コーティングは前記基材（１）の融点よりも低い融点を有する、低融点ニッケル合金から構成される金属マトリックス（７）と、当該マトリックスに含有されるセラミックス材料の粒子（６）と、を含んでおり、特に請求項１から１１のいずれか１項に記載された摩耗防止装置を製造する方法において、
前記基材（１）のコーティングが行われる領域において局所的に前記基材（１）の融点をわずかに下回る温度まで加熱を行うステップと、
当該加熱プロセスと同時または直接それに引き続いて前記基材（１）の局所的に加熱された表面に、当該マトリックス（７）の基盤となる材料と前記セラミックス粒子（６）を含有する粉末状混合材料を塗布するステップと、
当該基材（１）に局所的に供給される熱によって、当該基材上で焼結を行うステップを備え、
その都度塗布される混合材料の量は、前記基材（１）に供給される熱が、塗布される混合材料に含まれるマトリックス材料を溶解するのに十分であるように測定されるステップと、
前記基材（１）の加熱および前記コーティング材料を含有する粉末状混合物の供給に際し、局所的な加熱を行うために設けられた熱源と、コーティングが行われる表面との間の、表面に平行する相対運動を設定するステップと、
前記マトリックス（７）の基盤となる材料と前記セラミックス粒子とを含有する粉末状混合物とを、加熱された各加熱点に直接続く加熱点に、または加熱された各加熱点に直接供給するステップと、
を備えることを特徴とする摩耗防止装置の製造方法。
【請求項１３】
第一の焼結プロセスの後、少なくとも材料の供給を伴わない加熱プロセスが行われることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
コーティングが行われる表面に、少なくとも焼結プロセスの間は防護ガスが噴霧されることを特徴とする請求項１２または請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記基材（１）上に塗布される混合材料には、塗布プロセスの前、および／または塗布プロセスの間、予熱が加えられることを特徴とする請求項１２から請求項１４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１６】
前記コーティング（２）は複数の、上下に重なり合う層（４、３、５）として塗布されることを特徴とする請求項１２から請求項１５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
前記上下に重なり合う層（４、３、５）の材料の組成は異なることを特徴とする請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
下部層に接着層（４）および／または上部層に保護層（５）が設けられており、当該層は少なくとも非常に少量のセラミックスを含むか、好適には全くセラミックスを含有せず、好適には前記マトリックス（７）の基盤となる材料から構成されることを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第一の発明思想によれば、機械、特に２サイクル大型ディーゼルエンジンの、金属製基材から成る部材のための摩耗防止装置に関するものであり、当該装置は基材上に設けられるコーティングとして形成され、当該コーティングは、金属マトリックス中に含まれたセラミックス粒子を有する少なくとも１つの層で構成される。
さらなる発明思想は、こうした種類の摩耗防止装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１からは、摩耗防止装置および上述した種類の方法が知られている。このとき、セラミックス粒子を含有するマトリックスは、ニッケル、クロム、ホウ素、ケイ素の合金として形成される。当該物質の融点は１３００℃以上と非常に高く、少なくとも通常基材に使用される鋳鉄などの物質の融点よりも高くなる。鋳鉄の融点は１１００℃に過ぎない。当該マトリックスの融点が高いため、通常セラミックス粒子を形成する炭化物（カーバイド）が分解する危険、またはより大きさが小さく硬度の低い、構造の異なる炭化物に変化する危険が存在する。こうした分解または変化は、所望された摩耗の防止を阻害する可能性があるゆえに望ましくない。さらに、上記のマトリックス材料が使用される場合、前記コーティングにおける炭化物の割合は著しく制限される。知られている構成では、最大５０％と設定されている。従来技術のさらなる短所は、基材上に設けられるコーティング材料の温度が、マトリックス材料の融点が高いために非常に高くなり、その結果、基材の損傷もしくは基材の望ましくない歪み、および基材内の応力が発生し、亀裂の形成を助長しうるという点にある。これを防ぐために、コーティング材料の塗布およびコーティングの冷却にあたり、高いコストが必要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】独国特許出願公開第１０３１９１４１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の点に鑑み、本発明の課題は、冒頭に述べた短所を回避しつつ種類に応じた摩耗防止装置を改善し、高い負荷能力を保障するだけではなく、基材へのネガティブな影響を回避することにある。さらなる課題は、本発明に係る摩耗防止装置の容易で安価な製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の課題の摩耗防止装置に関連する部分は、基材の融点よりも低い融点の物質でマトリックスを構成することで解決される。
【発明の効果】
【０００６】
上記の手段により、冒頭に述べた短所は確かに回避されうる。マトリックス材料の融点が比較的低くなることで、炭化物の割合を大きく設定できるだけではなく、存在している炭化物の望ましくない変化もしくは分解も懸念されない。したがって、本発明に係る手段は、すぐれた負荷能力へとつながるものである。また、異物が混入する可能性が少ないため、寿命が長くなる。さらに、基材の歪みならびに冷却時の応力と亀裂が生じないことが保障される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】摩耗防止コーティングを備えた部材の部分図である。
【図２】作動状態における摩耗防止コーティングの部分図を、図１に対して拡大したものである。
【図３】ピストンリング装着溝において摩耗防止コーティングを行う際の複数のプロセスを示した図である。
【図４】ピストンリング装着溝において摩耗防止コーティングを行う際の複数のプロセスを示した図である。
【図５】ピストンリング装着溝において摩耗防止コーティングを行う際の複数のプロセスを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
上記の手段の有利な実施態様と、合理的なさらなる実施態様とは、個々の従属請求項に記載されている。合理的には前記マトリックスは、添加成分として少なくともリン（Ｐ）を含むニッケル合金から構成されうる。リン（Ｐ）を添加することによって、ニッケル（Ｎｉ）の融点を約１４００℃から約８５０℃へと下げることが可能であり、それによって、鋳鉄またはその他の通常基材に使用される物質の融点よりも低い融点とすることができる。リン（Ｐ）とケイ素（Ｓｉ）とを化合させると、当該利点はより大きくなる。
【０００９】
実験により最適とされたマトリックス材料の有利な組成は、リンが１〜１５Ｖｏｌ％、好適には３．６５Ｖｏｌ％、ケイ素が１〜６Ｖｏｌ％、好適には２．１５Ｖｏｌ％で、残りに少なくともニッケルが含まれる。
【００１０】
セラミックス粒子が互いにより近接すればするほど、異物が混入する可能性は少なくなる。したがって、コーティング材料は合理的には、主にセラミックス粒子で構成される。有利には、セラミックスとマトリックスとの体積比は最低でも６０対４０、もしくは、重量比は最低でも７５対２５である。
【００１１】
当該利点は、様々な大きさのセラミックス粒子が存在することでより大きくなる。小さい方の粒子は、大きい方の粒子どうしの空間に入り込むことができるからである。したがって、セラミックス粒子は合理的にはほぼ球形に形成されうる。粒子の直径は３０〜４００μに設定することができ、好適には４０〜１６０μとなる。硬度は好適には３０００ＨＶである。
【００１２】
さらなる有利な手段は、コーティングを多層構造とすることでありうる。このとき、当該コーティングは下部と上部とにおいて、セラミックス粒子を比較的少なく備えるか、あるいは全く備えない。多層とすることで、容易にコーティング全体の層厚を大きくすることができる。セラミックスを含有しない層は好適には、基材への付着を促進する薄い下部接着層と、後続の加工を容易とする上部保護層とでありうる。
【００１３】
マトリックス材料の融点が低いため、コーティングは有利には、基材上に焼結される焼結体として形成されうる。
【００１４】
本発明に係る方法に関連する課題は、基材の少なくともコーティングが行われる領域において基材の融点をわずかに下回る温度まで加熱が行われること、当該加熱プロセスと同時または直接それに引き続いて基材の加熱された表面に、当該マトリックスの材料およびセラミックス粒子から成る混合材料が塗布されること、及び基材に供給される熱によって、当該基材上で焼結が行われること、によって解決される。
【００１５】
マトリックス材料の融点が低いと、有利には、供給された熱を利用してコーティングを直接焼結することが可能となる。それゆえ、コーティング材料は有利には、固く凝集した状態で基材に供給される。それによって、特に作業が容易となる。
【００１６】
上位の請求項に記載の手段の有利な実施態様と、合理的なさらなる実施態様とは、個々の従属請求項に記載されている。塗布される混合材料の量は、混合材料に含まれるマトリックス材料を溶解するに足る熱が基材に供給されるように、合理的に測定することができる。この結果、焼結プロセスが確実にもたらされる。
【００１７】
有利には、第一の焼結プロセスの後、少なくともさらなる加熱プロセスが実施されうる。それによって有利には、表面付近の領域の硬化および表面の平滑な形成がもたらされる。
【００１８】
合理的には、前記混合材料は粉末として基材上に塗布されうる。それによって塗布プロセスが容易となる。
【００１９】
上位の請求項に記載の手段のさらなる実施態様では、コーティングが行われる表面に、少なくとも焼結プロセスの間、防護ガスが噴霧されうる。それによって酸化が防止される。
【００２０】
さらなる合理的な手段は、基材上に塗布される混合材料に、塗布プロセスの前および／または塗布プロセスの間、予熱を加えることでありうる。それによって焼結が加速される。
【００２１】
上位の請求項に記載の手段のさらなる合理的な実施態様およびさらなる有利な実施態様は、残りの従属請求項と後続の詳細な説明に記載されている。本発明の実施例については、以下に図を用いて詳細に説明する。
【００２２】
本発明は、摩耗の危険を有する部材の摩耗を軽減または防止することが部材にとって重要であれば、どの部材へでも適用可能である。本発明が適用されるのは、主に大型エンジン、特に２サイクル大型ディーゼルエンジンにおけるピストンリング装着溝の支承面、ピストンリングの軸受面、シリンダーブシュ、ピストン、クロスヘッドガイドなどである。
【００２３】
図１に示されているように、上記の種類の部材は鋳鉄などの金属製基材１から構成されており、摩耗の危険がある表面の領域では、基材１上にコーティング２が設けられている。図１に示された実施例では、コーティング２は多層構造となっている。いずれの場合も、中間層として形成された支持層３が設けられており、支持層３はセラミックス材料、好適には炭化タングステン（ＷＣ）から構成される粒子を含み、当該粒子は金属材料から構成されるマトリックスに含有されている。図示された例では、支持層３の下には接着層４が設けられ、支持層３の上には保護層５が設けられている。接着層４は、コーティング２の基材１への付着を強化するという役割を果たす。保護層５は、後に続くコーティング２の加工を容易にするという役割を有する。
【００２４】
保護層５を剥離した後、すなわち通常の作動状態において、支持層３は図2に示すように露出され、当該部材の摩耗の危険に曝露された外面を成す。上記のように、支持層３は金属マトリックス７に含有されたセラミックス粒子６から構成される。セラミックス粒子６は、合理的には球形に形成されうる。粒子の直径は３０〜４００μに設定することができる。好適には粒子の直径は４０〜１６０μとなる。このようにして図２に示すように、大きい方の粒子６の間に、小さい方の粒子６が位置することができる。それによって、支持層３におけるセラミックスの含有率を高めることが可能となる。支持層３は主にセラミックス粒子で構成されうる。合理的には、セラミックス粒子６とマトリックス７の体積比は最低でも６０対４０である。また、後段で説明する材料を用いる際には、重量比は最低でも７５対２５である。
【００２５】
図２に示された燃えかすや剥離された材料といった異物８は、鋭利な先端を有しうるものであり、摩耗の危険がある表面に力Ｆで押圧され、当該表面に対して速度ｖで移動させられるが、当該表面に侵入する可能性は低い。図２で明らかなように、大きいセラミックス粒子６も、小さい方のセラミックス粒子６の集結体も、異物８をそらすからである。
【００２６】
セラミックス粒子６は好適には上記のように、炭化タングステンから成り、硬度は３０００ＨＶ以上である。マトリックス７を形成する材料は、合理的には、ニッケル（Ｎｉ）の他に少なくともリン（Ｐ）を含有するニッケル合金から成る。有利には、さらにケイ素（Ｓｉ）も加えることができる。リンまたはケイ素と化合したリンによって、ニッケルの融点は約１４００℃から約８５０℃に低下し、明らかに基材１の融点よりも低くなる。例えば、鋳鉄の融点は約１１００℃である。
【００２７】
リンが１〜１５体積％、ケイ素が１〜６体積％で、残りにニッケルが含まれる材料が、マトリックス７を形成するのに適している。実験で確認できたところによると、リンが３．６５体積％、ケイ素が２．１５体積％で、残りがニッケルという組成で、特に良好な結果が得られる。
【００２８】
支持層３の領域では、セラミックス粒子６の濃度はほぼ均一となる。この濃度は、コーティング２の上部および下部に近づくにつれて小さくなる。合理的には、接着層４と保護層５とは、セラミックスが封入されていないマトリックス材料のみから構成される。当然のことながら、接着層４および／または保護層５の形成に、マトリックス材料ではなく他の適切な金属を使用することも考えられる。
【００２９】
合理的には、コーティング２は基材１上に焼結される焼結体として形成される。このために、基材１の表面のコーティングが行われる領域において、基材１の融点をわずかに下回る温度まで加熱が行われる。したがって、基材１に鋳鉄を使用する場合は、高くても１１００℃の少々手前、例えば約１０５０度までは加熱してもよい。当該加熱プロセスに直接引き続き、または当該プロセスと同時に、コーティング２を形成する材料が基材１上に塗布される。このとき、所望の濃度でマトリックス材料とセラミックス粒子とを含有する物は、混合粉末でありうる。
【００３０】
当該混合粉末は、機械によって、または空気圧によって塗布されうる。しかしまた、マトリックス材料とセラミックス粒子とを所望の濃度で含有する粉末状混合材料から、焼結によって、導線、テープ、あるいはコーティングが行われる表面の形状に適応したプレフォームを形成し、コーティングが行われる表面に載置することも考えられる。このとき、有利には溶接などによって、確実な固定が可能である。粉末状混合材料を固定するためには、焼結プロセス中に消失する水ガラスなどの接着剤を用いることができる。
【００３１】
いずれの場合でも重要なのは、塗布される混合材料の量が、加熱プロセスにおいて供給される熱によって溶解しうるマトリックスの量を超過しないことである。当該条件を遵守すれば、確実な焼結プロセスが得られる。
【００３２】
熱の供給は何段階かに分けて行うことも可能である。それゆえ、第一の加熱プロセスを利用して、塗布された材料の予備焼結を行うことができる。そして、後続のさらなる加熱プロセスでは、最終焼結が行われうる。コーティング２が比較的厚い場合、加熱および材料の供給プロセスは複数回に渡り、連続して実施される。このとき、組成が同じまたは異なる材料を用いることができる。合理的には、材料の供給と加熱とは、プロセスが次々と続く場合、互いに交差する方向で行われる。
【００３３】
材料の組成は、その都度機能に合わせられる。図１から明らかになる種類の多層コーティングの場合は、いずれにしてもコーティングプロセスを複数に分けることが必要である。つまり、第一のプロセスでは接着層４のみが、少なくとも１つ以上のさらなるプロセスでは支持層３が、そして最後に保護層５が塗布される。表面を平滑化するために、引き続いて加熱プロセスを実行することも考えられうる。
【００３４】
当該加熱プロセスは様々な方法で行われうる。選択される装置は各場合の条件に適応可能である。例えば、アクセスしにくい領域の加熱には誘導コイルの使用が考えられる。これは例えば、ピストンリング装着溝の場合に特に適している。しかしまた、コーティングが行われる部材を炉の中で、またはガスの炎で、またはレーザ光線などで加熱することも考えられる。炉で加熱する場合は、コーティング２を形成する混合材料は、炉に部材を搬入する前か、あるいは部材を炉から搬出した直後に塗布されうる。ガスの炎やレーザ光線、あるいは誘導コイルのような、局所的な加熱を行う熱源は、合理的にはコーティングが行われる部材に対して、一定の速度で移動させられる。このとき、コーティング材料の供給は、移動する加熱点にしたがって当該加熱点のすぐ横か、あるいは当該加熱点において直接行われる。レーザ光線を使用する場合は、コーティング材料は合理的には、レーザ光線によって生成される加熱点に直接供給される。
【００３５】
コーティングを形成する混合材料に予熱を加えることも可能である。この場合、焼結を可能とするために基材１に供給される熱は減少するが、それにもかかわらず良好な焼結プロセスが実現する。多くの場合では、塗布される混合材料は、すでにマトリックス材料の溶解が完了するまで加熱されていることもありうる。その場合、当該基材に加える必要のある熱を著しく減少させるか、または全く加熱を行わないことが可能となる。
【００３６】
図３から５は、２サイクル大型ディーゼルエンジンにおけるピストン１０のピストンリング装着溝９の支承面に対するコーティングを示したものである。複数の連続して配置されたピストンリング装着溝９が備えられたピストン１０の上部は通常、鋳鉄で構成されている。図示された例では、図３などから明らかなように、鋳鉄で形成された基材を加熱するために誘導コイル１１が使用される。誘導コイル１１はピストンリング装着溝９のコーティングが行われる表面の上方に配置される。複数の誘導コイル１１を、ピストンリング装着溝９の全周にわたって配置することも考えられる。しかしながら通常は、ただ溝の外周の一部領域のみにわたって伸びた誘導コイル１１が、周回するように移動すれば十分である。当然のことながら、誘導コイル１１を固定して配置し、誘導コイル１１の代わりにピストン１０を回転させることも考えられる。重要なのは、相対運動が生じ、それによって局所的な加熱点を加熱する誘導コイルが連続し、コーティングが行われる表面の全域が加熱可能になることである。
【００３７】
ここでは、コーティングを形成する混合材料は、粉末状に供給される。混合材料の供給のために、吹きつけノズル１２が設けられており、当該ノズルによって粉末状混合材料は、誘導コイル１１によって生成された加熱点の領域に直接、あるいは当該加熱点に直接続く領域に供給される。
【００３８】
合理的には前記混合材料が供給される領域に防護ガスが噴霧される。また、混合材料を空気圧で搬送するために防護ガスが用いられる。図示された例では、吹きつけノズル１２に付随して副次的に、防護ガスノズル１３が備えられている。
【００３９】
図１に示した多層構造のコーティング２を作製するために、上記のプロセスが複数回繰り返される。接着層４および保護層５を作製するときは、マトリックス材料を含有する粉末のみが供給される。支持層３が厚く、一度で作製できない場合は、支持層３の作製にも上記の複数のプロセスが実施される。多くの場合には、支持層３を形成する混合材料全てを塗布した後、材料を塗布せずにさらなる加熱プロセスを行うことが合理的でありうる。当該場合は図４に示されている。ここでは、誘導コイル１１が作動している。酸化を防ぐために、保護ガスを供給するノズル１３も作動可能である。このとき、コーティング材料を供給するための吹きつけノズル１２は作動していない。こうした付加的な加熱プロセスは有利には、表面に近い領域においても確実な焼結を可能とし、表面の平滑化をもたらす。
【００４０】
コーティングプロセスの完了後、図５に示すように、塗布されたコーティング２は冷却プロセスのために、鋼板などで形成された保護エレメント１４によって覆われ、冷却プロセス中の酸化が防止される。合理的には保護エレメント１４の、コーティング２の表面に接着する面は、取り付けの前に分離剤で処理され、それによって冷却プロセス完了後には容易に分離可能となる。
【００４１】
図示された例では、コーティング２は、ピストンリング装着溝９の径方向内側のランド１５からピストンリング装着溝９の径方向外縁に延在する袋状の凹部１６に設けられており、径方向外側に向かって開放されている。径方向外縁の領域でも確実なコーティングを可能にするために、凹部１６はコーティング２が作製される間、回転する薄板１７で閉鎖される。閉鎖用薄板１７はコーティング２が作製された後、取り除かれる。そのため、閉鎖用薄板１７の内側は分離剤で処理される。コーティングプロセスを行う際、ランド１５と、ピストンリング装着溝９でランド１５の背面に位置する領域との汚染を防ぐために、図示された例では保護エレメント１８が設けられている。保護エレメント１８はコーティングプロセス中、ピストンリング装着溝９の径方向内側の領域に設置される。ここでも、分離剤による処理が合理的である。
【符号の説明】
【００４２】
１  基材
２  コーティング
３  支持層
４  接着層
５  保護層
６  セラミックス粒子
７  マトリックス
８  異物
９  ピストンリング装着溝
１０  ピストン
１１  誘導コイル
１２  吹きつけノズル
１３  防護ガス供給ノズル
１４  保護エレメント
１５  ランド
１６  凹部
１７  閉鎖用薄板
１８  保護エレメント
Ｆ  力
ｖ  速度
【図１】
2009537694.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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2009537694.tif 000009
2009537694.tif 000010
2009537694.tif 000011
2009537694.tif 000012
2009537694.tif 000013