(57)【要約】  本明細書では、電気試験プローブおよび電気試験プローブを製造する方法が開示される。一実施形態では、電気試験プローブは、バレル、プランジャ、接触部材、およびばねを有する。バレルは、バレルの第１の端部にある停止係合部と開口部とによって規定された接触領域を有する。プランジャは、開口部、接触部材、および接触領域を通されて滑り可能に配置される。プランジャは、プランジャ延長部がそれらの間を延びるチップと停止突起部とを有する。接触部材は、接触領域内の、バレルとプランジャとの間に配置される。ばねはプランジャに動作可能に係合する。
2009539108.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気試験プローブにおいて、
第１の端部にある開口部と第１の停止係合部とによって規定された接触領域を有するバレルと、
前記開口部および前記接触領域を通されて滑り可能に配置され、プランジャ延長部がそれらの間を延びるチップと停止突起部とを有し、前記停止突起部が、前記第１の停止係合部の、前記開口部とは反対側に配置されたプランジャと、
前記接触領域内の、前記バレルと前記プランジャとの間に配置された接触部材であって、前記プランジャが前記接触部材を通されて滑り可能にかつ前記接触部材に接触するように配置された接触部材と、
前記プランジャに動作可能に係合するばねをと有するプローブ。
【請求項２】
前記接触領域はさらに、第２の係合部によって規定され、前記第２の係合部は、前記バレルの前記第１の端部の近くに配置され、
前記接触部材は、前記バレルと前記プランジャ延長部との間に配置される、請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記接触部材は、コイル状部材であって、前記コイル状部材は、該コイル状部材の小径部によって形成されたプランジャ延長部接触部を有する、請求項１〜２のいずれか一項に記載のプローブ。
【請求項４】
前記接触部材は、前記バレルおよび前記プランジャに連続して物理的に接触するように配置される、請求項１〜３のいずれか一項に記載のプローブ。
【請求項５】
前記プランジャは、前記停止突起部と第２の突起部との間に配置されたコネクタをさらに有し、前記バレルは、第２の係合部をさらに有し、前記第２の突起部は、前記第２の係合部の、前記第１の係合部とは反対側に配置される、請求項１〜４のいずれか一項に記載のプローブ。
【請求項６】
前記バレルの、前記開口部とは反対側の端部を通って延びる伝達プランジャをさらに有する、請求項１〜５のいずれか一項に記載のプローブ。
【請求項７】
約５０ミリオーム以下の抵抗をさらに有する、請求項１〜６のいずれか一項に記載のプローブ。
【請求項８】
前記抵抗は約２５ミリオーム以下である、請求項７に記載のプローブ。
【請求項９】
前記接触部材は、導電材料のコーティングをさらに有する、請求項１〜８のいずれか一項に記載のプローブ。
【請求項１０】
前記導電材料は、金、銀、白金、パラジウム、コバルト、ニッケル、およびこれらの導電材料のうちの少なくとも１つを含む組み合わせから成る群から選択される、請求項９に記載のプローブ。
【請求項１１】
前記導電材料は、白金、パラジウム、コバルト、およびこれらの導電材料のうちの少なくとも１つを含む組み合わせから成る群から選択される、請求項１０に記載のプローブ。
【請求項１２】
前記接触部材は、約１０巻き以下をさらに有する、請求項１〜１１のいずれか一項に記載のプローブ。
【請求項１３】
前記接触部材は、配置された導電コイル状接触部材である、請求項１〜１２のいずれか一項に記載のプローブ。
【請求項１４】
前記接触部材は、約１０巻き以下をさらに有する、請求項１〜１３のいずれか一項に記載のプローブ。
【請求項１５】
電気試験プローブを操作する方法であって、
バレルの第１の端部にある停止係合部と開口部とによって規定された接触領域を有する前記バレルと、
前記開口部および前記接触領域を通されて滑り可能に配置され、プランジャ延長部がそれらの間を延びるチップと停止突起部とを有し、前記停止突起部が、前記停止係合部の、前記開口部とは反対側に配置されるプランジャと、
前記接触領域内の、前記バレルと前記プランジャとの間に配置された接触部材であって、前記プランジャが前記接触部材を通されて滑り可能に配置された接触部材と、
を有する試験プローブを被試験体に物理的に接触するように配置することと、
電気信号を前記チップから前記プランジャを通過させて前記バレルまで伝わらせることと、
前記接触領域内で前記プランジャから前記バレルに伝わる前記電気信号を前記チップから前記プランジャを通過させて前記バレルまで伝わらせることを繰り返すこととを含む方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、２００６年６月１日に出願され引用によって本明細書に全体的に組み込まれる米国特許仮出願第６０／８０３６５２号の出願日付の利益を主張する。
背景
本開示は、集積回路および他の電子アセンブリを試験し、機器内のサブアセンブリを相互接続するのに使用できる電気試験プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
試験時には、集積回路（ＩＣ）パッケージが取り外し可能にソケットに取り付けられ、ソケットが、一般に被試験体ボードまたはＤＵＴボードと呼ばれる回路基板上に取り付けられる。ソケットは、試験すべきデバイスの各端子をＤＵＴボード上の個々の回線経路に電子的に接続する個々の試験プローブを収納する。ＤＵＴボードは、コンピュータ化された試験機器に電気的に接続される。
【０００３】
他の電子アセンブリは通常、試験プローブが機械的に作動させられる機構または真空作動機構に取り付けられる取り付け具において試験され、試験すべきアセンブリに係合させられる。取り付け具は、コンピュータ化された試験機器にも接続される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
試験機器から被試験体までの高信頼性信号経路を有し、かつ信号経路の全体的な抵抗が低く一様なものであることが望ましい。このことは、試験ソケットに収納された試験プローブを含む全体的な信号経路の各セグメントにも当てはまる。
【０００５】
電気試験プローブは、２つの電子サブアセンブリ間の相互接続機構として使用することもできる。動作時には、電気信号が一方のプローブチップからバレルを通過して他方のプローブチップから出る。試験プローブは通常、２つの電子サブアセンブリを分離するハウジング内に配置される。一定の予測可能なインピーダンス、低く一様な抵抗、および電気試験プローブを通過することのできる広範囲の周波数を有することが望ましい。
【０００６】
すべての場合に、試験機器から被試験体までの高信頼性信号経路を有し、かつ信号経路の全体的な抵抗が低く一様なものであることが望ましい。このことは、試験プローブを含む全体的な信号経路の各セグメントにも当てはまる。したがって、信頼性が高く、接触抵抗が低い電気試験プローブと、そのような電気試験プローブを製造する方法が依然として必要である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
簡単な概要
本明細書では、電気試験プローブおよび電気試験プローブを製造する方法が開示される。一実施態様では、電気試験プローブは、バレル、プランジャ、接触部材、およびばねを有する。バレルは、バレルの第１の端部にある停止係合部と開口部とによって規定される接触領域を有する。プランジャは、開口部、接触部材、および接触領域を通されて滑り可能に配置される。プランジャは、プランジャ延長部がそれらの間を延びるチップと停止突起部とを有する。ばねは、プランジャに動作可能に係合される。
【０００８】
一実施態様では、電子試験プローブを操作する方法は、プローブを被試験体に物理的に接触するように配置することと、電気信号を試験プローブの底部から試験プローブのチップに伝えることと、試験プローブのチップから底端部への電気信号を受け取ることとを含む。信号は、接触領域内でバレルとプランジャとの間を通過する。
【０００９】
上述および他の特徴を以下の図および詳細な説明によって例示する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】電気試験プローブの一実施形態の概略部分側面図である。
【図２】電気試験プローブの他の例示的な実施形態の部分切り取り側面図である。
【図３】図２の試験プローブの部分断面図である。
【図４】接触部材の例示的な実施形態の正面図である。
【図５】図４の接触部材の側面図である。
【図６】接触部材の他の例示的な実施形態の正面図である。
【図７】図６の接触部材の側面図である。
【図８】接触部材のさらに他の例示的な実施形態の正面図である。
【図９】図８の接触部材の側面図である。
【図１０】接触部材の他の例示的な実施形態の正面図である。
【図１１】図１０の接触部材の側面図である。
【図１２】例１において抵抗を試験される、接触部材を有さない試験プローブの断面図である。
【図１３】図１２に示されている種類の試験プローブについての平均抵抗とサイクルを示すグラフ表示である。
【図１４】図１２に示されている種類の５０個の試験プローブについての実際の抵抗とサイクルを示すグラフ表示である。
【図１５】図２および３に示されている種類の試験プローブについての平均抵抗とサイクルを示すグラフ表示である。
【図１６】図２および３に示されている種類の３個の試験プローブについての実際の抵抗とサイクルを示すグラフ表示である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
次に例示的なものであり制限的なものではない各図を参照する。各図において、同じ参照番号は同じものを表す。
詳細な説明
本明細書では、接触領域内での接触部材（たとえば、コイル状接触部材）とバレルとプランジャとの接触が連続して密着した（たとえば、物理的な）接触であるため、低く一様な抵抗を有する電気試験プローブが開示される。このような試験プローブを同軸環境における信号キャリアとして使用すると、信号は常に、接触領域において、バレルからプランジャへ、またはプランジャからバレルへと（すなわち、バレルとプランジャとの間を）送られ、その結果、予測可能で反復可能なインピーダンスを達成する。たとえば、試験プローブは、被試験体（ＤＵＴ）に物理的に接触するように配置することができる。この場合、電気信号を試験プローブの底部（ＤＵＴから離れる方向の端部）からバレルを横切って接触領域に送り、さらに接触領域にあるプランジャに送り、さらに試験プローブのチップまで送り、被試験体内に送り込むことができる。次に、試験プローブのチップにおいて試験中のデバイスから戻り電気信号を受け取ることができる。この戻り信号は、チップからプランジャを通過して接触領域に入り、バレルに伝わり、試験プローブとは反対側の端部に戻る。すでに指摘したように、電気信号は常に、接触領域内でバレルとプランジャとの間を通過する。
【００１２】
本構成は、リンギングまたは信号の損失も回避する。理論上の制限なしに、同軸相互接続のインピーダンス値は、周囲の接地場と比較した、信号経路の配置の結果として得られる。この配置の一貫性が高い場合、インピーダンスは一様になる。プランジャが作動させられたときに信号経路の配置が変化すると、インピーダンスは試験プローブの長さにしたがって変化する。
【００１３】
多くの試験プローブ構成では、信号がバレルとプランジャとの間を伝わる場合、バレルの主セグメントに沿った一次信号経路と、バレルの「終端」に沿った二次経路とがある。信号の、「終端」セグメントに沿って伝わる部分は、接触領域一次信号経路に反射される。高周波数用途では、この反射は真の信号を歪ませ、場合によっては、一般にスタブ効果と呼ばれる共鳴状況を生じさせる。しかし、本構成と同様に、信号経路が常に、チップの近くのバレルの端部にある接触領域を通過する場合、スタブセグメントは存在せず、反射による信号歪みは無くなる。
【００１４】
本明細書では、試験プローブが循環的に使用されるたびに試験プローブからバレルまでの電気信号の移動が同じ点の近くで（またはより具体的には同じ点で）行われるため、予測可能で反復可能なインピーダンスを有する電気試験プローブが開示される。試験プローブは、バレルの外側端部からバレルの開口部を通って、たとえば一定の直径を有する接触領域内へ延びる部分を有してよい。図１を参照すると、試験プローブ２は、バレル８の、伝達プランジャ１６とは反対側の端部を間にばね１４を配置させて通されて滑り可能に配置された受けプランジャ４を有している。ばねという言葉は、ばねと、受けプランジャがバレルに進入すること、さらにプランジャに力をかけてその元の位置に戻すことを可能にするばね状の機構と、を含むものであることに留意されたい。
【００１５】
受けプランジャ４は、プランジャ延長部２４の第１の端部に配置されたチップ６を有している。プランジャ延長部２４は、ほぼ一定の直径を有し、チップ６からバレル８の接触領域１２を通って停止突起部２０まで延びている。停止突起部２０の、プランジャ延長部２４とは反対側で、プランジャ部２６が停止突起部２０から第２の突起２８まで延びている。ばね１４は、バレル８を通って伝達プランジャ１６まで延びている。
【００１６】
図２および３は、試験プローブの他の実施形態のそれぞれ部分側面図および部分断面図を示している。この試験プローブ５２は、プランジャ延長部６０の第１の端部に配置されたチップ５６を含む受けプランジャ５４を有している。プランジャ延長部６０は、チップ５６から停止突起部７０までほぼ一定の直径を有してよい。バレル５８は、接触領域６２に結合された停止係合部６８および第２の係合部７２を有している。これらの係合部は、ロールクリンプなどであってよく、係合部においてバレル直径を十分に小さくして、停止突起部７０が接触領域６２に入るのを禁止し、接触部材１０を接触領域６２内に維持する。係合部は、プランジャ延長部６０の直径より大きい直径を有し、係合部６８、７２のいずれかにおいてバレル５８とプランジャ延長部６０との物理的および／または電気的な連絡を禁止することが望ましい。
【００１７】
接触領域６２内に接触部材１０が位置している。この構成では、受けプランジャ５４の直径はチップから単一の停止突起部７０まで一定である。プランジャ延長部６０の周りの、接触領域６２内に、バレル５８とプランジャ延長部６０との確実な電気的接点を形成する接触部材が位置している。
【００１８】
試験プローブ２、５２の使用時には、受けプランジャ４、５４のチップ６、５６が被試験体に接触し、プランジャ４、５４を被試験体から離れる方向にバレルとは反対側の端部に向かって、たとえば、伝達プランジャ１６に向かって作動させる。受けプランジャ４、５４がこのように移動すると、プランジャ延長部２４、６０の一部が接触領域１２、６２、接触部材１０を通過し、停止係合部１８、７２を越えて任意のバレル部３０に入る。プランジャ延長部２４が被試験体から離れる方向に移動すると、第２の突起部２８、７０が伝達プランジャ１６に向かって前進し、ばね１４を圧縮する。一方、電気信号が（試験プローブの底部から）伝達プランジャ１６を通って試験プローブのチップまで伝わり、かつ電気信号が逆に試験プローブのチップから伝達プランジャ１６に伝わり受け取られる。これらの電気信号は、開口部４０に配置された接触領域１２、６２内で、バレル８、５８と受けプランジャ４、５４（たとえば、プランジャ延長部２４、６０）との間を伝わる。
【００１９】
チップ６、５６が被試験体に係合すると、電気信号がチップ６、５６およびプランジャ延長部２４、６０を通過する。信号は、バレル８、５８に入るとき、プランジャ延長部２４、６０から接触部材１０を通ってバレル８、５８まで移動する。信号は次に、バレル８、５８に沿って受信器（不図示）まで伝わる。プランジャ延長部２４、６０の直径がほぼ一定であり、プランジャ延長部が常に同じ点、すなわち接触部材１０においてバレル８、５８に接触するため、信号は常に接触領域１２、６２内でバレルに伝えられる。その結果、電気試験プローブ２、５２のインピーダンスは予測可能で反復可能なものになる。しかし、付勢ばねおよび通常のプランジャに依存する構成では、バレルへの信号の転送点は固定点ではない。その結果、そのような構成のインピーダンスは予測可能で反復可能なものではなくなる。追加として、たとえば試験プローブ５２の抵抗は低下し、２０ミリオーム（ｍＯｈｍ）以下で反復可能である。
【００２０】
接触部材１０は、接触領域１２、６２内でプランジャ延長部２４、６０の周りに接触領域１２、６２に連続して物理的に接触して配置され、プランジャ延長部２４、６０から接触部材１０を通ってバレル８、５８に至る電気経路を形成する。この物理的接触は、所望の電気的連絡を可能にし、一方摩擦を最小限に抑えるのに十分な接触であることが望ましい。接触部材１０およびプランジャ延長部２４、６０の直径は、ある信号転送と別の信号転送との間の直径の変化（たとえば、プランジャ延長部２４、６０が円錐形である場合）によってインピーダンスが変化することのないようにほぼ一定である。接触部材１０は、プランジャ延長部２４、６０に物理的に滑り可能に接触するモノリシック部材（たとえば、リング、座金など）、コイル状部材などであってよい。
【００２１】
接触部材は、たとえば十分な導体であり（たとえば、プランジャ延長部２４、６０の導電率以上の導電率を有し）、十分な弾性度を有し、試験プローブが利用される条件に耐えることのできる材料で形成することができる。利用可能な材料には、ベリリウム（Ｂｅ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）など、プランジャおよび／またはバレルに使用される材料や、同様に、たとえばワイヤ（ステンレス鋼線、ピアノ線など）状の、前述の材料、鉄鋼材（鋼、ステンレス鋼など）、真鍮、および超合金の少なくとも１つを含む組み合わせが含まれる。これらの接触部材は、たとえば金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、コバルト（Ｃｏ）などと、これらの材料のうちの少なくとも１つを含む組み合わせで任意に被覆することもできる。たとえば、接触部材は、金めっきされたコイル状ＢｅＣｕ線、金めっきされたステンレス鋼線、またはＰｄＣｏめっきされたコイル状ＢｅＣｕ線を有してよい。コイル接触部材はたとえば、様々な技術（たとえば、コイル巻機、スタンピングなど）を使用して形成することができる。
【００２２】
コイル状接触部材１０の様々な例示的な構成が図４〜１１に示されている。図５、７、９、および１１は、接触領域１２、６２内でプランジャ延長部２４、６０の周りに配置することのできる例示的なコイル状接触部材を示している。これらの部材は、プランジャ延長部接触部３２を形成する小径部３６でプランジャ延長部２４、６０に接触するように構成され、一方、全直径部３８はバレル接触部３８を形成している。図４および６と図８および１０とを見ると分かるように、プランジャ延長部接触部は、プランジャ延長部の、小径部３６（図８および１０）内の部分の全周囲またはその一部（図４および６）にわたってプランジャ延長部に接触することができる。接触部材１０は、プランジャ延長部２４、６０と物理的に滑り可能に係合し、かつ接触領域１２、６２内でバレル８、５８に物理的に係合するのを可能にする構成を有している（図１〜３参照）。
【００２３】
コイル状接触部材１０は、様々な種類の終端コイル構成を有してよい（たとえば、コイルの端部は、開放端部、密閉端部、先細り端部、折り畳み端部、折り曲げ端部などとして構成された方形端部、丸い端部などを含む終端コイルなどの巻きの全部、２分の１、および４分の１を有してよい）。同様に、接触領域１２、６２内でプランジャ４とバレル８、５８との間の電気的連絡を可能にする接触部材およびプランジャ形状の他の構成を利用することができる。同様に、コイル状接触部材は、プランジャとバレルとの間に所望の電気的接触を実現するのに十分な巻き数を有している。一般に、巻き数は、部材のサイズを最小限に抑えるために約１０巻き以下であるが、これより多くの巻きが可能であり、考えられる。より具体的には、コイル状接触部材は、約７巻き以下を有してよい。
【００２４】
接触部材１０をバレル８、５８内の所望の位置に保持するために、リップ、クリンプ（たとえば、ロールクリンプ６８（図２〜３））、または他の小径バレル開口部４０（図１）が接触部材１０の一方の側に配置され、一方、停止係合部１８、７２が接触部材１０の他方の側に配置されている。受けプランジャ４、５４は、それぞれ停止係合部１８、７２の、接触部材１０とは反対側に配置された停止突起部２０、７０を有している。完全に延ばされた位置では（すなわち、受けプランジャ４、５４がその完全に延ばされた位置にあるときは）、停止突起部２０、７０は停止係合部１８、７２に係合することができ、それによって受けプランジャ４、５４がバレル８、５８の外にさらに延びるのが防止される。
【００２５】
停止突起部２０、７０の第２の側が作動ばね１４に係合することができるか、またはプランジャ部２６を停止突起部２０と第２の突起部２８との間に配置することができる。後者の実施形態、たとえば図１では、第２の突起部２８は、完全に延ばされたプランジャ位置では、一方の側で第２の係合部４２に係合し、第２の側でばね１４に係合することができる。（これに応じて）突起部２８、７０は、任意に第２の側から延びてばね１４を受け入れ、プローブの容易な組み立てを可能にするアンカー部材２２を有してよい。第２の側に配置され、ばねの端部を受け入れることができるボアのような、他の配置構成を使用することができる。
【００２６】
適切なバレル材料には、試験プローブを利用できる条件に耐えることのできる導電および伝熱材料が含まれる。バレルのために利用可能な材料には、銅、真鍮、ニッケル、鉄鋼材などと、鋼、ステンレス鋼、超合金のような、上記の材料のうちの少なくとも１つを含む組み合わせとを含めてよい。バレルは、管引き抜き、深絞り、自動旋盤加工のような様々な技術を使用して形成することができる。
【００２７】
適切なプランジャ材料には、プランジャの力に耐えるのに十分な強度を有し、試験プローブ動作条件に耐えることのできる任意の材料が含まれる。利用可能なプランジャ材料には、鉄鋼材、ベリリウム、銅、白金、コバルト、パラジウムなどと、これらの材料のうちの少なくとも１つを含む組み合わせ、たとえば、パラジウム−コバルトコーティングを有するチップを含む鋼製プランジャ延長部が含まれる。プランジャは、機械加工（たとえば、旋盤加工）、鋳造のような様々な技術を使用して形成することができる。
【００２８】
上記の圧縮ばねのいずれにも適切な材料には、付勢力をかけることができ、かつ試験プローブが利用される条件に耐えることができる任意の材料を含めてよい。ばねの適切な材料の例には、ステンレス鋼線、ピアノ線など、およびこれらの材料のうちの少なくとも１つを含む組み合わせのような、比較的引張り強度の高い材料が含まれるが、これらに限定されるわけではない。ばねは、様々な技術を使用して形成することができる（たとえば、コイル巻機など）。
【００２９】
任意に、試験プローブの構成部材（たとえば、バレル、プランジャ、チップ、接触部材、および／またはばね）には、その表面の一部の全体上の導電材料のコーティングを含めてよい。利用可能なコーティング材料には、金、銀、白金、パラジウム、コバルト、ニッケルなどと、これらの材料のうちの少なくとも１つを含む組み合わせが含まれる。
【００３０】
以下の例は、一例に過ぎず、本プローブをさらに例示するものであり、その範囲を限定するものではない。
例
抵抗および抵抗の再現性を様々な試験プローブ構成について試験した。
【００３１】
サンプル１は、図１２に示されている試験プローブであった。このプローブは、プランジャ延長部６０の第１の端部に配置されたチップ５６を有する受けプランジャ５４を有していた。プランジャ延長部６０は、一定の直径を有し、チップ５６から停止突起部７０まで延びていた。停止突起部７０の、プランジャ延長部６０とは反対側に、ばね１４を受け入れる配置部材があった。ばね１４は、バレル５８を通って延びていた。この試験プローブは、ロールクリンプ４２を含む、直径０．６８ｍｍ、長さ１１．１３ｍｍの金めっきされたニッケル−銀バレルを有していた。停止突起部（プランジャとも呼ばれる）は、直径が０．４１ｍｍで、バレルから外側に２．６ｍｍ延び、バレルの内側に２．５４ｍｍ入り込む金めっきされた硬化ＢｅＣｕであった。ばね１４は、金めっきされたステンレス鋼ばねであり、一方、停止突起部（プランジャとも呼ばれる）は、金めっきされた硬化ＢｅＣｕであった。
【００３２】
サンプル２は、図２および３に示されており、サンプル１と同じ材料および全径を有していた。接触領域は、長さが０．３９ｍｍであり、接触部材１０は７巻きの金めっきされたＢｅＣｕばねであった。
【００３３】
サンプル１および２の抵抗を数サイクルにわたって試験した。サンプル１の結果は図１３および１４に示されており、一方、サンプル２の結果は図１５および１６に示されている。これらの図を見ると明らかなように、サンプル１は平均接触抵抗が２４．４ｍＯｈｍであり、一方、サンプル２は平均接触抵抗が１７ｍＯｈｍであり、抵抗の低下率は２５％を超えた（実際には３０％の抵抗低下）。さらに、サンプル１の５０個の試験プローブの一様性を試験すると、８０ｍＯｈｍまでの抵抗の範囲が得られた（平均接触抵抗が２４．４ｍＯｈｍで、標準偏差が１７．６ｍＯｈｍ）（図１４参照）。（３個の試験プローブを使用する）サンプル２の結果はかなり良好な一様性を示し（平均接触抵抗が１７ｍＯｈｍで、標準偏差が３．５）、一様性はほぼ５倍に向上した。
【００３４】
本プローブ構成では、電気信号がばねに沿って伝わることがなく、その代わりプランジャからバレルのバレル開口部の近くまで移動するため、抵抗が小さくなる。たとえば、約５０ミリオーム以下、またはより具体的に約３５ミリオーム以下、あるいはさらに具体的には約２５ミリオーム以下、およびさらに具体的には２０ミリオーム以下の抵抗を実現可能であることが分かっている。これらの利点に加えて、試験プローブの構成のために、より小さくよりコンパクトなプローブを製造することが可能である。
【００３５】
本明細書に開示された範囲は包含的であり組み合わせ可能である（たとえば、「最大約２５ｖｏｌ％またはより具体的には約５ｖｏｌ％から約２０ｖｏｌ％の範囲」は、「約５ｖｏｌ％から約２５ｖｏｌ％」の範囲の終点およびすべての中間値を含む）。「組み合わせ」は、配合物、混合物、合金、反応生成物などを含む。さらに、本明細書の語「第１の」、「第２の」などは順序や数量や重要度を示すものではなく、ある部材を別の部材と区別するために使用されており、本明細書の「ａ」および「ａｎ」は数量の限定を示すものではなく、参照された品目が少なくとも１つ存在することを示すものである。数量に関連して使用される修飾語「約」は、状態値を含み、文脈によって決まる意味を有する（たとえば、特定の数量の測定に関連する誤差の程度を含む）。本明細書で使用される接尾辞「（ｓ）」は、それが修飾する品目の単数と複数の両方を含み、それによってその品目の１つまたは２つ以上を含むものである（たとえば、ｃｏｌｏｒａｎｔ（ｓ）（着色剤）は、１つまたは２つ以上の着色剤を含む）。本明細書全体にわたる「一実施形態」、「他の実施形態」、「実施形態」などの参照は、その実施形態に関連して説明する特定の部材（たとえば、機能、構造、および／または特性）が、本明細書に記載された少なくとも１つの実施形態に含まれ、かつ他の実施形態にもあってよい、またはあってはならないことを意味する。さらに、様々な実施形態において記載された部材同士を任意の適切な方法で組み合わせることができることを理解されたい。
【００３６】
本発明について好ましい実施形態を参照して説明したが、当業者には、本発明の範囲から逸脱せずに実施形態の各部材について様々な変更を施すことができ、かつ均等物で置き換えることができることが理解されよう。さらに、本発明の基本的な範囲から逸脱せずに本発明の教示に特定の状況または材料を適応させるように多くの修正を施すことができる。したがって、本発明は、本発明を実施するうえで考えられる最良の形態として開示された特定の実施形態に限定されず、本発明は、添付の特許請求の範囲内のすべての実施形態を含むものである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
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