(57)【要約】  熱処理中にガラス板（１３）が処理コンテナ（１５）内に垂直方向に保持される、板（１３）を熱処理する方法が開示されている。コンテナ（１５）は、底面支持部材（１７）、２つの側面支持部材（１９ａ，１９ｂ）、および上面支持部材（２１）を備えた、ガラス板（１３）を保持する支持装置を備えている。板（１３）は、その側縁（２３ａ，２３ｂ）と側面支持部材（１９ａ，１９ｂ）との間で接触せずに、コンテナ（１５）中に滑り込まされる。次いで、上面支持部材（２１）が、板の上縁（２５）と接触せずに、板（１３）の上部に滑らされる。特定の実施の形態において、ＨＥＰＡ濾過され、予熱されたフラッシングエアが、熱処理中にコンテナ（１５）に通される。本発明の方法を実施するための装置も開示されている。【選択図】なし
2009537864.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガラス板を熱処理する方法であって、
（ａ）  熱処理中に前記複数のガラス板を収容するためのコンテナを提供する工程であって、前記コンテナが、前記熱処理中の前記ガラス板を垂直方向に保持するための支持装置を備え、該支持装置が、底面支持部材、２つの側面支持部材、および上面支持部材を備えている工程、
（ｂ）  前記複数のガラス板の側縁を前記側面支持部材と接触させずに、該ガラス板を該側面支持部材に滑り込ませることによって、該板を前記コンテナ内に挿入する工程、
（ｃ）  前記複数のガラス板の上縁を前記上面支持部材と接触させずに、該板の上端に上面支持部材を滑らせる工程、および
（ｄ）  前記ガラス板に前記熱処理を施す工程、
を有してなる方法。
【請求項２】
前記熱処理中に前記コンテナにフラッシングガスを通す工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記フラッシングガスを前記コンテナの外側に配置された管に通すことによって、前記ガスを前記コンテナ中に導入する前に該ガスの温度を上昇させる工程を含むことを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記管の少なくとも一部が、（ａ）前記コンテナの外面に取り付けられ、（ｂ）前記ガスが通り抜ける管の長さを増加させるパターンで配置されていることを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記フラッシングガスが空気であり、該空気を前記コンテナ中に導入する前に、該空気をＨＥＰＡフィルタに通す工程を含むことを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項６】
前記空気が前記ＨＥＰＡフィルタを通り抜けた後であって、前記コンテナ中に導入される前に、該空気の温度を上昇させる工程を含むことを特徴とする請求項５記載の方法。
【請求項７】
前記空気を、前記コンテナの外部に配置された管に通すことによって、該空気の温度が上昇せしめられることを特徴とする請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記管の少なくとも一部が、（ａ）前記コンテナの外面に取り付けられ、（ｂ）前記ガスが通り抜ける管の長さを増加させるパターンで配置されていることを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項９】
（ａ）  前記コンテナが、該コンテナの内容積を画成する６つの壁を備え、
（ｂ）  前記６つの壁の各々が、合わせて該壁の表面積の少なくとも８０パーセントを形成する１つ以上の金属板を備え、
（ｃ）  前記金属板の各々が、１ミリメートル以下の厚さを有する、
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１０】
底面支持部材、２つの側面支持部材、および上面支持部材を備えた、熱処理中に複数のガラス板を垂直方向に保持するための支持装置であって、
（ａ）  前記上面支持部材が、前記支持装置の使用中に、前記ガラス板の上縁から内向きの位置のみで該板に接触する造形部材を備え、
（ｂ）  前記側面支持部材が、前記支持装置の使用中に、前記ガラス板の側縁から内向きの位置のみで該板に接触する造形部材を備える、
ことを特徴とする支持装置。
【請求項１１】
前記造形部材が、金属から構成され、１ミリメートル以下の厚さを有することを特徴とする請求項１０記載の支持装置。
【請求項１２】
前記造形部材が、６５０℃で実質的に酸化しない合金から構成されていることを特徴とする請求項１０記載の支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造において基板として用いられるガラス板などのガラス板を熱処理するための方法および装置に関する。より詳しくは、本発明は、熱処理中にガラス板を垂直方向に保持するための方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
「Closed Cassette and Method for Heat Treating Glass Sheets」と題する特許文献１に、ガラス板の熱処理に用いられるカセットが開示されている。特許文献１に説明されているように、ガラス板の製造業者は、多くの場合、顧客のプロセスに使用したときにガラス板が収縮しないか、もしくはわずかしか収縮しないように、ガラス板を、顧客への出荷前に熱処理する。そのような熱処理は、「前収縮(pre-shrinking)」、「前圧縮(pre-compacting)」、もしくは単に「圧縮(compacting)」として知られている。これらの熱処理は、低温、例えば、板を構成するガラスの歪み点よりも低い温度で行われるという点で、アニール処理とは異なる。
【０００３】
前収縮の必要性の一例として、液晶ディスプレイ、特に、ポリＳｉ技術を用いたものの製造に用いられるガラス基板は、ディスプレイ製造プロセス中に比較的高い温度に曝露される。前収縮されていない場合、その基板は、完成したディスプレイの品質に悪影響を及ぼすほど十分に大きい形状変化を被ることがある。基板を形成するガラス板を前収縮することによって、この問題の発生を著しく減少させることができる。
【０００４】
顧客のプロセスにおいて低レベルの残留圧縮を示すことに加え、液晶ディスプレイの製造、並びに他の電子用途に用いられるガラス基板は、様々な追加の厳しい基準を満たす必要がある。例えば、基板の表面には、完成したディスプレイの欠陥を生じことのあるガラス片および粒子がないことが必要である。また、基板は、反りおよび他の表面歪みのレベルが低い、実質的に平らな表面を有する必要がある。ディスプレイの動作は、ディスプレイに用いられる液晶材料の局所厚に依存するので、そのような平らな表面は、例えば、液晶ディスプレイにおいて重要である。
【０００５】
したがって、液晶ディスプレイ用途を含む電子用途に用いられるガラス板の前収縮は、この前収縮を行うために用いられる熱処理が他の問題の原因となってはならないので、取り組み甲斐のある課題になる。特に、前収縮は、ガラスの表面を汚染することのあるガラス片を生成せず、かつ空間的に不均一な加熱および／または冷却パターンにより板の表面の平面度を歪めずに、実施する必要がある。
【０００６】
特許文献１には、前収縮問題の難題の様々な態様に対処するカセットおよび熱処理プロセスが開示されている。特許文献１によれば、複数のガラス板が、特許文献１において「カセット」の「外囲区域」と称される複数のもの（特許文献１における参照番号４０６および４００を参照）の中に垂直方向に保持される。この「外囲区域」（本出願において「コンテナ」と称される）は、水平と垂直の支持棒（特許文献１における参照番号４２４および４２８を参照）を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００５／０１９３７７２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、ガラス板の熱処理に用いられる改良されたコンテナおよび支持装置を提供することに向けられる。本発明はまた熱処理を行う改良方法にも向けられており、この方法には、本発明の装置の態様の改良されたコンテナおよび支持装置を用いることが好ましいが、所望であれば、他の装置を用いても差し支えない。熱処理は、ガラス板の前収縮を行うために用いられることが好ましいが、他の目的、例えば、アニール処理に用いても差し支えない。本発明の装置および方法は、ここにその全ての内容を引用する特許文献１の全体の装置および方法に用いられることが好ましいが、所望であれば、他の装置および方法に関して用いることもできる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の態様によれば、本発明は、複数のガラス板（１３）を熱処理する方法であって、
熱処理中の複数のガラス板（１３）を収容するためのコンテナ（１５）を提供する工程であって、コンテナ（１５）は、ガラス板（１３）を熱処理中に垂直方向に保持するための支持装置を備え、支持装置は、底面支持部材（１７）、２つの側面支持部材（１９ａ，１９ｂ）、および上面支持部材（２１）を備えている工程、
複数の板（１３）の側縁（２３ａ，２３ｂ）を側面支持部材（１９ａ，１９ｂ）に接触させずに、ガラス板（１３）を側面支持部材（１９ａ，１９ｂ）に滑り込ませることによって、板（１３）をコンテナ（１５）内に挿入する工程、
複数のガラス板（１３）の上縁（２５）を上面支持部材（２１）に接触させずに、板（１３）の上部に上面支持部材（２１）を滑らせる工程、および
ガラス板（１３）に熱処理を施す工程、
を有してなる方法を提供する。
【００１０】
第２の態様によれば、本発明は、コンテナの内容積を画成する６つの壁（３１，３２，３３，３４，３５，３６）を備えた、熱処理中に複数のガラス板（１３）を保持するためのコンテナ（１５）であって、
６つの壁（３１，３２，３３，３４，３５，３６）の各々が、合わせて壁の表面積の少なくとも８０パーセント（好ましくは少なくとも９０パーセント、最も好ましくは少なくとも９５パーセント）を形成する１つ以上の金属板（３７）を備え、金属板（３７）の各々が、１ミリメートル以下（好ましくは０．７ミリメートル以下、より好ましくは約０．５ミリメートル）の厚さを有するコンテナ（１５）を提供する。
【００１１】
本発明のこの態様によれば、コンテナ（１５）の壁（３１，３２，３３，３４，３５，３６）を構成する金属板（３７）の全てが、壁（３１，３２，３３，３４，３５，３６）の各々の表面積の少なくとも８０パーセントが、１ミリメートル以下の厚さを有する金属板（３７）により形成されるという条件で、同じ厚さを有することが好ましいが、所望であれば、異なる厚さを有していても差し支えない。
【００１２】
ある実施の形態によれば、コンテナ（１５）は、フラッシングガス（例えば、ＨＥＰＡ濾過された空気）を搬送するための、コンテナの６つの壁（３１，３２，３３，３４，３５，３６）の内の少なくとも１つの外面に取り付けられた管（３９）を備えている。この管（３９）は、コンテナ（１５）の使用中にその中をフラッシングガスを通過する管（３９）の長さを増加させるパターン（例えば、蛇行パターン）を有することが好ましい。
【００１３】
第３の態様によれば、本発明は、底面支持部材（１７）、２つの側面支持部材（１９ａ，１９ｂ）、および上面支持部材（２１）を備えた、熱処理中に複数のガラス板（１３）を垂直方向に保持するための支持装置であって、
上面支持部材（２１）が、支持装置の使用中に、ガラス板（１３）の上縁（２５）から内向きの位置だけで板（１３）と接触する造形部材（２７）を備え、
側面支持部材（１９ａ，１９ｂ）が、支持装置の使用中に、ガラス板（１３）の側縁（２３ａ，２３ｂ）から内向きの位置だけで板（１３）と接触する造形部材（２７）を備えている支持装置を提供する。
【００１４】
本発明のこの態様によれば、上面支持部材（２１）および側面支持部材（１９ａ，１９ｂ）の造形部材は同じ形状を有することが好ましいが、異なる形状を有する造形部材をこれらの位置に使用しても差し支えない。いずれの場合にも、造形部材（２７，２９）は、金属からなることが好ましく、１ミリメートル以下（好ましくは０．７ミリメートル以下、より好ましくは約０．５ミリメートル）の厚さを有する。この造形部材は全て、同じ厚さを有することが好ましいが、所望であれば、異なる厚さを有していても差し支えない。
【００１５】
本発明の上述した態様の実施に用いられる材料は、熱処理されているガラスの歪み点で実質的に酸化しない金属（合金）であることが好ましく、例えば、その合金は、６５０℃で実質的に酸化しない。特に、コンテナ（１５）の壁（３１，３２，３３，３４，３５，３６）および上面と側面の支持部材（２１，１９ａ，１９ｂ）の造形部材（２７．２９）を形成するのに用いられる金属板（３７）がそのような合金から製造されることが好ましい。同様に、フラッシングガスのための管（３９）も、耐酸化性合金から製造されている。コンテナとそれに関連する装置の全ての構成部材に同じ合金を使用して差し支えなく、または所望に応じて異なる構成部材に異なる合金を使用しても差し支えない。
【００１６】
本発明の様々な態様の上述した概要に用いた参照番号は、読者の便宜のためのみであり、本発明の範囲を制限することは意図されておらず、またそのように解釈すべきではない。より一般に、先の一般的な説明および以下の詳細な説明の両方とも、本発明の単なる例示であり、本発明の性質および特徴を理解するために概要または構成を提供することが意図されているのが理解されよう。
【００１７】
本発明の追加の特徴および利点は、以下の詳細に説明の述べられており、その一部は、その説明から当業者には容易に明らかであるか、またはここに記載された本発明を実施することによって理解されるであろう。添付の図面は、本発明をさらに理解するために含まれており、この明細書に包含され、その一部を構成する。この明細書および図面に開示された本発明の様々な特徴は、任意と全ての組合せで使用できることが理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のある実施の形態により構成した複数のコンテナ（１５）およびカート（５１）を示す斜視側面図
【図２】図１のカート（５１）およびコンテナ（１５）の端面図
【図３】図１のカート（５１）およびコンテナ（１５）の斜視底面図
【図４】カバー（３６）がコンテナ（１５）のいくつかから取り外され、カバー（３６）と上面支持部材（２１）の両方がコンテナ（１５）の他のものから取り外されている、図１のカート（５１）およびコンテナ（１５）の斜視側面図
【図５】底面支持部材（１７）、２つの側面支持部材（１９ａ，１９ｂ）、および上面支持部材（２１）により支持された個々のガラス板（１３）を示す、コンテナの壁（３５）と平行な断面図
【図６】底面支持部材（１７）の斜視図
【図７】底面支持部材（１７）の幅を横切ってとられた図６の支持部材の断面図
【図８】側面支持部材（１９ａ）の斜視図
【図９】側面支持部材（１９ａ）の幅を横切ってとられた図８の支持部材の断面図
【図１０】ガラス板を側面支持部材（１９ａ）中に案内する支持部材の部分を示す、図８の支持部材の斜視図
【図１１】上面支持部材（２１）の斜視図
【図１２】上面支持部材（２１）の幅を横切ってとられた図１１の支持部材の断面図
【図１３】上面支持部材案内器具（１０１）および送込みアセンブリ（１１３）からなる上面支持部材案内アセンブリの斜視図
【図１４】図１３の送込みアセンブリ（１１３）をより詳細に示す斜視図
【図１５】案内器具に入る上面支持部材（２１）を示す、上面支持部材（２１）を複数のガラス板（１３）の上に滑らせるために図１３の上面支持部材案内アセンブリを使用することを示す斜視図
【図１６】ガラス板の上に滑らせられた後であるが、最終位置に下げられるまえの上面支持部材を示す、上面支持部材（２１）を複数のガラス板（１３）の上に滑らせるために図１３の上面支持部材案内アセンブリを使用することを示す斜視図
【図１７】最終位置まで下げられた後の上面支持部材を示す、上面支持部材（２１）を複数のガラス板（１３）の上に滑らせるために図１３の上面支持部材案内アセンブリを使用することを示す斜視図
【図１８】図１の実施の形態のフラッシング装置を示す概略図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
上述したように、本発明は、ガラス板１３をコンテナ１５内に装填し、次いで、熱処理中、例えば、ガラス板を前収縮させる熱処理中、ガラス板を垂直方向に保持するための方法および装置を提供する。
【００２０】
一般論として、コンテナ１５は、底面支持部材１７、２つの側面支持部材１９ａ，１９ｂ、および上面支持部材２１を含む、ガラス板の支持装置を備えている。板は、側縁２３ａ，２３ｂおよび側面支持部材の間で接触せずに、コンテナ１５に滑り込む。次いで、上面支持部材２１は、板の上縁２５に接触せずに、板の上部に滑らせられる。このようにして、板の上縁と側縁との接触の結果としてのガラス片の生成は最小になる。
【００２１】
コンテナおよび支持装置が、小さい熱質量を有し、熱処理中に用いられる温度で実質的に酸化しない１種類以上の合金からなることが好ましい。ある実施の形態において、ＨＥＰＡ濾過され、前加熱されたフラッシングエアが、熱処理中にコンテナ１５を通過させられる。
【００２２】
先の一般的な説明を背景として、これから、図面に示された本発明の代表的な実施の形態の議論に入る。ここで、いくつかの図面に亘り、同様の参照番号が同様のまたは対応する部品を指している。
【００２３】
図１〜４は、ガラス板１３を熱処理するために、断熱カート基部５５上に搭載されたカセット５３を備えたカート５１が用いられる本発明のある実施の形態を示している。このカートは、バッチ式の炉または連続炉のいずれでガラス板を熱処理するのにも使用できる。
【００２４】
カセット５３は、ガラス板を保持する多数の個々の外囲コンテナ１５（例えば、図１〜４においては５つのコンテナ）からなる。各コンテナ内のガラス板は、底面支持部材１７、２つの側面支持部材１９ａ，１９ｂ、および上面支持部材２１を備えた低質量支持装置によって、熱処理サイクル中に支持され、平らに維持される。以下により詳しく論じるように、ガラス板１３を収容した外囲コンテナ１５は、熱処理の前、最中および後に、コンテナ内で清浄な環境を維持するために、フラッシングガス、例えば、濾過された清浄な空気で連続的にフラッシングされる。
【００２５】
コンテナ１５は、カセット５３を形成するようにそれらの上面と底面で金属の枠組みによって互いに連結されている。連結されたコンテナは、特許文献１に述べられたように、コンテナを加熱するための熱気またはコンテナを冷却するための冷気を通過させるための流路として働く開放空間によって分離されている。コンテナの間の空間を流動する熱気または冷気は、対流熱伝達によってコンテナを均一に加熱または冷却する。
【００２６】
カセット５３は、断熱カート基部５５の上面で組み立てられている。カート基部は、ガラスを含むカセットの質量を支持し、カセットを熱処理炉への出入れで搬送するために用いられる。カート基部は、カセットの底面に熱を与え、よって、温度の均一性を改善するための、カート基部の上面とカセットの下に位置する加熱素子５７を備えることもできる。図示した実施の形態において、カート基部は、熱処理サイクル中に炉室の底面としても働く。
【００２７】
図３に最もよく見えるように、カート基部５５は、カート基部の断熱部分、並びにカセットを支持するアンダーフレーム・アセンブリ５９を備え、カートの機械設備と電気設備を担持している。アンダーフレーム・アセンブリは、ローラ・コンベヤ（図示せず）上にカートを支持するレール６１を備えている。搬送中にローラ・コンベヤを中心にカートを維持するために、４つの案内ホイール６３が用いられる。アンダーフレーム・アセンブリは、空気をコンテナに供給するフラッシングエア・ブロワー６５、空気を清浄にするためのＨＥＰＡフィルタを収容するフィルタ・アセンブリ６７、および固定されたパワーレール（図示せず）に接触し、ブロワー６５と加熱素子５７に電力を供給する電流コレクタ６９も担持している。電流コレクタおよびパワーレールを使用することにより、カートが炉の出入りに搬送されているときでさえも、電力をフラッシングエア・ブロワーに供給することができる。
【００２８】
次にコンテナ１５のことを考えると、上述したように、各コンテナは、底面支持部材、２つの側面支持部材、および上面支持部材（例えば、図５参照のこと）を含む支持装置を備えている。図６〜７は、底面支持部材の好ましい実施の形態を示している。ここに示したように、底面支持部材は、ガラスの質量を支持する底面プレート７１およびガラス板を収容する多数の造形部材７３を備えている。
【００２９】
底面支持部材は、ガラス板の底縁２６への損傷量を最小にして、ガラス板の質量を支持するように設計されている。このようにして、ガラス板の欠陥の原因となるガラス片の生成が最小になる。特に、図７に最もよく分かるように、造形部材７３は、造形部材および支持部材の底面プレート７１により形成されたスロット７５中にガラス板を円滑に案内するように構成されている。その上、スロット７５は、一旦板が底面支持部材に完全に挿入されたら、板の底縁への損傷を最小にするように、そのふもとに直角の角を有している。造形部材は、熱処理サイクル中にガラス板の反りを最小にするのに必要な支持および収容を提供する。底面支持部材は、コンテナの底面のピン（図示せず）の上に底面支持部材を位置決めする、底面プレートの各端部に孔７７を備えることが好ましい。底面支持部材は、洗浄のために、取り外せることが好ましい。
【００３０】
所望であれば、底面支持部材１７に、図６および７に示したもの以外の他の構成を用いることもできる。例えば、角形造形部材を使用する代わりに、丸形造形部材、例えば、平行に配置された半円柱の組を用いて、ガラス板をスロット７５中に導いても差し支えない。凹形形状を用いて、ガラス板をスロット中に導くこともできる。その上、板の底縁の全長に延びる代わりに、底面支持部材は、底縁の空間的に分離した部分と接触する複数の区画からなるものであって差し支えない。
【００３１】
図８〜１０は、側面支持部材１９ａ，１９ｂの好ましい実施の形態を示している（支持部材１９ａがこれらの図面に示されている；支持部材１９ｂは、同じ構造を有するが、例えば、図１５に示されているように、いくぶん高くても差し支えない）。図８〜１０に示されているように、各側面支持部材は、背面プレート７９、ガラス板を支持し収容する多数の造形部材２９および造形部材を整列させる多数の整列フォーク８３を備えている。
【００３２】
側面支持部材および特に、造形部材２９は、ガラス板がコンテナに挿入されたり、取り出されたりするときに、板の側縁２３ａ，２３ｂとの接触を防ぐように設計されている。図１０に最もはっきりと示されているように、造形部材２９の上端は、ガラス板を側面支持部材のスロット８５中に円滑に導くようにテーパー状になっている。ガラス片の主な発生源はガラス板の縁であるので、側面支持部材とガラスの縁との間の接触を避けることにより、ガラス板の欠陥の原因となるガラス片の生成が著しく減少する。ガラス板の側縁との接触を防ぐことに加え、造形部材は、熱処理サイクル中のガラス板の反りを最小にするのに必要なように板を支持し収容する。側面支持部材は、底面支持部材と同じピン（図示せず）で側面支持部材を位置決めする孔（図示せず）を背面プレート７９の底面に備えることが好ましい。これにより、側面支持部材と底面支持部材との間の整列が維持される。側面支持部材は、コンテナの上面で２つのピン９０で側面支持部材を位置決めする２つの孔８９を背面プレート７９の上端に備えることも好ましい。側面支持部材は、洗浄のために取り外せることが好ましい。
【００３３】
所望であれば、側面支持部材１９ａ，１９ｂに、図８〜１０に示されているもの以外の他の構成を使用しても差し支えない。例えば、別個の構成部材というよりもむしろ、造形部材および整列フォークを一体化することもできる。また、所望であれば、側面支持部材は、整列フォークを使用せずに構成しても差し支えない。一旦ガラス板が支持部材中に配置されたら、縁と造形部材との間の接触の可能性を最小にするように、板の縁から遠い地点で幅が狭く、板の縁に近い地点で幅が広いガラス収容スロットを形成するという条件で、それらの図面に示したもの以外の様々な構成を有する造形部材を使用して差し支えない。また、板の側縁の全長に延びる代わりに、側面支持部材は、板の側縁の空間的に分離した部分を制限する複数の区画からなっていても差し支えない。
【００３４】
図１１〜１２は上面支持部材２１の好ましい実施の形態を示している。これらの図面に示されているように、上面支持部材は、上面プレート９１、ガラス板を支持し収容する多数の造形部材２７、および造形部材を整列させる整列フォーク９５を備えている。上面支持部材は、上面支持部材を持ち上げるための取っ手９９も備えている。
【００３５】
図１３〜１４は、図１１〜１２の上面支持部材に使用するための上面支持部材案内器具１０１を示している。この器具は、上面支持部材を取り付け、位置決めするために用いられるヒンジ付きブラケット１０５が設けられたフレーム１０３を備えている。ブラケット１０５および上面支持部材の上げ下げに、プルロッド１０７およびアーム１０９が用いられる。前記ブラケットに、上面支持部材がコンテナ上の所定の位置に円滑に滑り込むように、ボールベアリング１１１が設けられている。
【００３６】
図１３〜１４は、上面支持部材および上面支持部材案内器具に使用される送込みアセンブリも示している。このアセンブリは、ボールベアリング１１５を備え、上面支持部材案内器具のブラケット１０５上に上面支持部材を導くために用いられる。
【００３７】
実際には、上面支持部材は、例えば、ガラス板を側面支持部材に整合させ、それらを底面支持部材と係合させる機械式ロボットを使用することにより、全てのガラス板をコンテナ内に装填した後に、取り付けられる。上面支持部材と上面支持部材の設置に用いられる取付手段により、その支持部材がガラス板の上縁２５に接触するのが防がれる。これにより、ガラス板の欠陥の原因となるガラス片の生成がさらに最小になる。
【００３８】
図１５〜１７は、上面支持部材を取り付けるための上面支持部材案内器具の使用を示している。図１５に示されているように、ブラケット１０５をその「上」位置に備えた上面支持部材案内器具が、コンテナの上面に配置され、側面支持部材を位置決めするのと同じピン９０を用いて位置決めされる。上面支持部材案内器具の送込み端部が、側面支持部材１９ａの上に配置される。上面支持部材の前縁が送込みアセンブリ１１３上に配置され、次いで、その支持部材は、ブラケット１０５上に滑らされ、コンテナの上端の上の位置に置かれる。図１６を参照のこと。
【００３９】
造形部材２７は、上面支持部材が所定の位置に滑り込まされるときに、ガラス板の上端を分離し、位置決めする。図１１〜１２に示されているように、造形部材は、上面支持部材が所定の位置に滑り込まされるときに、ガラス板の上縁に接触しないように構成される。図１１から分かるように、造形部材の前縁は、上面支持部材が所定の位置に滑り込まされるときに、ガラス板への損傷を防ぐかまたは最小にするような形状である。ガラス板の上縁との接触を防ぐことに加え、その造形部材は、熱処理サイクル中のガラス板の反りを最小にするのに必要なように板を支持し収容する。
【００４０】
上面支持部材がコンテナ上の所定の位置に置かれた後、ブラケット１０５がその「下」位置に下げられる。図１７を参照のこと。次いで、上面支持部材がコンテナの上面に載せられる。次いで、上面支持部材案内器具がコンテナから持ち上げられる。上面支持部材は、上面支持部材と側面支持部材との間の整合が維持されるように側面支持部材を位置決めするのと同じピン９０で位置決めされることが好ましい。熱処理中にコンテナの上面を閉じるために、カバー３６が用いられる。このカバーは、炉の空気がコンテナに入り込むのを防ぐための重複縁を備えることが好ましい。熱処理サイクル中にコンテナが経験する炉の高温（例えば、６５０℃）を考慮すると、気密シールは用いられない。
【００４１】
所望であれば、上面支持部材２１に、図１１〜１２に示したもの以外の他の構成を用いても差し支えない。例えば、別個の構成部材というよりもむしろ、造形部材および整列フォークを一体化することもできる。また、所望であれば、上面支持部材は、整列フォークを使用せずに構成しても差し支えない。一旦ガラス板が支持部材中に配置されたら、縁と造形部材との間の接触の可能性を最小にするように、板の縁から遠い地点で幅が狭く、板の縁に近い地点で幅が広いガラス収容スロットを形成するという条件で、それらの図面に示したもの以外の様々な構成を有する造形部材を使用して差し支えない。また、板の上縁の全長に延びる代わりに、上面支持部材は、板の上縁の空間的に分離した部分を制限する複数の区画からなっていても差し支えない。
【００４２】
同様に、図１３〜１４および１５〜１７に示したもの以外の他の設備および手段を用いて、上面支持部材をガラス板上に取り付けても差し支えない。例えば、一端からその上に上面支持部材を滑らせる代わりに、上面支持部材を２つの部分に分割し、ガラス板上にその両端から滑らせても差し支えない。そのような手法により、上面支持部材の大型ガラス板上への取付けを容易にすることができる。また、図面に示されたような手作業で操作される器具を使用する代わりに、本発明の実施に、自動化装置、例えば、空気圧装置を使用しても差し支えない。これらと同じ方針で、これらの図面に示されたもの以外の他の構成を持つカバーを本発明の実施に用いても差し支えない。例えば、所望であれば、コンテナの上面への自動取付けおよびそこからの自動取外しを容易にするためにテーパー状側面を有するカバーを用いても差し支えない。
【００４３】
上面、側面、および底面の支持部材が、ガラス板を把持せず、むしろ、単純にそれらを制限するのが好ましいことに留意されたい。したがって、これらの支持部材のガラス板のスロットは、ガラスの厚さよりも大きい（広い）。最小スロット幅のガラス厚に対する適切な比は、１．２５〜６．０，好ましくは２．０〜４．０である。
【００４４】
カート設計の重要な要素は、コンテナおよびガラス板支持部材の低質量設計である。低質量設計により、熱処理中のガラス板内の温度均一性が著しく向上する。熱処理中の温度均一性が良好である（例えば、ガラス板の使用可能（高品質）区域に亘る任意の２点間の最高温度差が、１５℃未満、好ましくは１０℃未満の大きさを有する均一性）と、ガラスの収縮が制御されて均一になり、ガラス板の反りが最小になる。それと同時に、コンテナおよび支持部材は、熱処理サイクル中にガラス板を平らに保持するために要求される支持を提供するのに十分に強靱である必要がある。
【００４５】
これらの２つの目的を達成するために、コンテナおよび支持部材は、非常に薄い（例えば、０．５ｍｍ）のＩＮＣＯＮＥＬ金属板から実質的に全体が製造されることが好ましい。所望であれば、コンテナおよび支持部材（またはその部分）の構造に、他の材料および／または他の厚さを用いても差し支えないが、そのような手法はそれほど好ましくない。そのような手法が用いられる場合、少なくとも、コンテナの壁の表面積の少なくとも８０パーセントが、１ミリメートル以下の厚さを有するべきである。
【００４６】
ＩＮＣＯＮＥＬ金属板を使用することは、高温での強度が提供され、コンテナ内の清浄な環境を高温（例えば、６５０℃）に維持するのに要求される耐食性（耐酸化性）も提供されるので、好ましい。様々なグレードのステンレス鋼は、６５０℃の範囲の温度を含む高温で使用することができ、それゆえ、コンテナおよび支持部材を構成するための通常の最適な材料であろうが、ステンレス鋼は、高温で十分な耐酸化性を有しておらず、それゆえ、ガラス板が相当なレベルで汚染する原因、例えば、液晶ディスプレイ用の基板として使用するのに板を適さなくするレベルに汚染する原因となり得る。
【００４７】
コンテナが複数の金属板（図面の参照番号３７を参照のこと）から製造されることが好ましい。歪みを最小にするために、金属板が互いにスポット溶接されることが好ましい。ガラスの支持部材は、支持部材の歪みを防ぐために最小の溶接で互いに接合される、別個に形成された金属板部品から組み立てられることが好ましい。先に論じたように、複数のコンテナ、例えば、５つのコンテナが互いに接続されて、カセットを形成する。コンテナは、例えば、その基部と上部で金属フレームにより接続することができる。金属フレームは、コンテナ並びにコンテナ内の上面、底面、および側面の支持部材を正確に位置決めするために使用できるように、精密機械加工されていることが好ましい。カセット全体は、様々な部品の組立てにより剛性に製造される。
【００４８】
実際には、ガラス板１３はクリーンルーム内でコンテナ中に装填されることが好ましい。ガラス板が装填され、カバーが取り付けられた後、コンテナは、ガラス板のための清浄な（例えば、クラス１００）の環境を提供するために、ＨＥＰＡ濾過空気で連続的にフラッシングすることができる。他のフラッシングガス、例えば、窒素を用いても差し支えないが、ＨＥＰＡ濾過空気よりも高価であり、よってそれほど好ましくない。
【００４９】
図１８に示したように、カートの下に取り付けられたフラッシングエア・ブロワー６５およびＨＥＰＡフィルタアセンブリ６７が清浄な空気をマニホールド１１７に供給することができる。金属管３９、例えば、ＩＮＣＯＮＥＬ管が、各コンテナをマニホールドに接続する。この金属管は、清浄な空気をマニホールドからカート基部の両側を通してコンテナ中に搬送する。炉の雰囲気からの熱を吸収し、それによって、清浄な空気がコンテナに入る前にこの空気を予熱するために、カート基部の上に、金属管を、例えば、蛇行パターン（例えば、図１を参照のこと）で形成することができる。これによって、コンテナ内の温度の均一性が向上する。ＨＥＰＡフィルタは、ガラス板を処理するのに用いられる高温（例えば、６５０℃）では動作できず、このため、許容できないほど大きい温度差がコンテナ内に生じるのを防ぐために、フラッシングエアがコンテナに入る前に、フラッシングエアへの熱伝達が少なくともある程度必要となることに留意すべきである。
【００５０】
フラッシングエアは、カートがクリーンルームから出る前に入れられることが好ましく、カートが、炉に運ばれているとき、熱処理サイクル中に炉の中にある間、および熱処理サイクル後に炉からクリーンルームに戻されているときに、連続的に供給される。コンテナとカバーの設計と共に、予熱された清浄なフラッシングエアをコンテナに供給する方法によって、コンテナ内に清浄な環境が提供され、これにより、ガラス板上の粒子欠陥が最小になる。
【００５１】
上述したことから、本発明の様々な態様および実施の形態により、以下の利点の内の少なくともいくつかが、好ましくは全てが達成されることが分かる：
（１）  均一なガラス圧密のための温度均一性
・  低質量金属板コンテナおよびコンテナ間の空気流路を含むカセットの設計によって、温度の均一性が向上する。  
・  低質量の支持装置によっても、フラッシングガスの予熱と同様に、温度の均一性が向上する。
【００５２】
（２）  ガラス表面品質の清浄度
・  ガスフラッシング装置と共に外囲コンテナにより、コンテナ内の清浄度が向上する。  
・  ガラス板の装填と取出しのときに、側面支持部材により、ガラス板の側縁との接触が防がれ、これにより、ガラス粒子の生成が減少する。  
・  上面支持部材の取付けと取外しのときに、上面支持部材および上面支持部材案内器具の使用により、ガラス板の上縁との接触が防がれ、これにより、ガラス粒子の生成が減少する。  
・  コンテナとカセットの取扱い中に、底面支持部材により、ガラス板の底縁の研磨が最小になり、これにより、ガラス粒子の生成が減少する。  
・  カセットは、清浄度を向上させるために、耐酸化性合金（例えば、ＩＮＣＯＮＥＬ６０１金属）から構成されている。
【００５３】
（３）  ガラスの平坦度を維持するためのガラス板の十分な支持
・  低質量支持部材で４面全てでガラスを支持することにより、板の平坦度が維持される。
【００５４】
本発明の特定の実施の形態を説明し図示してきたが、本発明の範囲および精神から逸脱しない様々な改変が、先の開示から当業者には明白であることが理解されよう。
【符号の説明】
【００５５】
１３    ガラス板
１５    コンテナ
１７    底面支持部材
１９ａ，１９ｂ    側面支持部材
２１    上面支持部材
２３ａ，２３ｂ    ガラス板の側縁
２５    ガラス板の上縁
２６    ガラス板の底縁
２７    上面支持部材の造形部材
２９    側面支持部材の造形部材
３１，３２，３３，３４，３５，３６    壁
３７    金属板
３９    管
５１    カート
５３    カセット
５５    カート基部
５７    加熱素子
５９    アンダーフレーム・アセンブリ
６１    レール
６３    ガイドホイール
６５    フラッシングエア・ブロワー
６７    フィルタアセンブリ
６９    電流コレクタ
７１    底面支持部材の底面プレート
７３    底面支持部材の造形部材
７５    底面支持部材のスロット
７７    底面支持部材の位置決め孔
７９    側面支持部材の背面プレート
８３    側面支持部材の造形部材のためのアライメントフォーク
８５    側面支持部材のスロット
８９    側面支持部材の上面にある位置決め孔
９０    側面支持部材の位置決めピン
９１    上面支持部材の上面プレート
９５    上面支持部材の造形部材のためのアライメントフォーク
９７    上面支持部材のスロット
９９    上面支持部材のハンドル
１０１    上面支持部材案内器具
１０３    上面支持部材案内器具のフレーム
１０５    上面支持部材案内器具のヒンジ付きブラケット
１０７    上面支持部材案内器具のプルロッド
１０９    上面支持部材案内器具のアーム
１１１    上面支持部材案内器具のブラケットのボールベアリング
１１３    送込みアセンブリ
１１５    送込みアセンブリのボールベアリング
１１７    マニホールド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【国際調査報告】
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