(57)【要約】本発明の集束液滴噴霧器は、実質的に一定である所定の大きさの液滴を作り出す。液滴は、チャンバの収縮により小さな排出口から押し出される。液滴は、ドリフトチューブ内の実質的に分岐しない通路上で搬送することができる。圧電制御膜方式のマイクロポンプは、前記排出口から液滴を強制的に排出するための電気的な制御信号に応答して作動する。好ましい実施形態のＥＬＳＤ装置のドリフトチューブ内における実質的に分岐しない通路に沿って、所定の大きさを有する個々の液滴の流れが進むことができるような周波数において、前記噴霧器は動作することができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスマニホールドに取り付けられ、電気的な制御信号に応答する圧電制御膜を有する圧電制御膜方式のマイクロポンプと、
前記圧電制御膜の拡張動作により液体流出物を受け入れるための流出物流入部と、
前記圧電制御膜の反対の動作により所定の大きさの液体流出物の液滴を吐き出すための液滴排出口と、
前記ガスマニホールド内へ搬送ガスを受け入れ、前記液滴排出口から吐き出された液体流出物の液滴を搬送するための搬送ガス流入部と、を備えた集束液滴噴霧器。
【請求項２】
前記搬送ガスが、前記液滴排出口の周囲に同心となるように導かれるようにしてある請求項１の噴霧器。
【請求項３】
前記液滴排出口は、前記所定の大きさを１０μｍと１００μｍとの間の範囲とするような大きさを有する請求項１の噴霧器。
【請求項４】
１又は複数の液滴排出口を有する請求項１に係る噴霧器と、
前記流出物流入部への流出物供給部と、
前記搬送ガスと、前記液滴排出口から出力された液滴とを受け入れるドリフトチューブと、
光学検出セルと、
前記電気的な制御信号を所定の周波数で供給する制御部と、を備えた蒸発光散乱検出器。
【請求項５】
前記流出物供給部は、液体クロマトグラフィーカラムを含む、請求項４の検出器。
【請求項６】
前記液体クロマトグラフィーカラムから前記噴霧器への液体流出物の流れを低減するためのフローサンプリング手段をさらに備えた、請求項４の検出器。
【請求項７】
液体流出物チャンバと、
電気的な制御信号に応答して前記液体流出物チャンバを拡張および収縮させるための手段と、
前記液体流出物チャンバの拡張に応答して液体流出物を受け入れる注入口と、
前記液体流出物チャンバの収縮に応答して液体流出物の液滴を吐き出す少なくとも１つの液滴排出口と、を備えた集束液滴噴霧器。
【請求項８】
前記少なくとも１つの液滴排出口からの前記液体流出物の液滴を受け入れるドリフトチューブと、
前記ドリフトチューブを通る実質的に分岐しない通路上で前記液体流出物の液滴を搬送する搬送ガス供給部と、をさらに備えた請求項７の噴霧器。
【請求項９】
前記少なくとも１つの液滴排出口と、前記チャンバとが、１０μｍと１００μｍとの間の範囲の所定の大きさの液体流出物の液滴を作り出すような大きさを有する、請求項７の噴霧器。
【請求項１０】
ガスマニホールドに取り付けられ、且つ、電気的な制御信号に応答する圧電制御膜を有する圧電制御膜方式のマイクロポンプと、前記圧電制御膜の拡張動作により液体流出物を受け入れる流出物流入部と、前記圧電制御膜の反対の動作により所定の大きさの液体流出物の液滴を吐き出す液滴排出口と、を有する集束液滴噴霧器と、
搬送ガスと、前記液滴排出口から出力される前記液滴とを受け入れるドリフトチューブと、
前記液滴からの散乱光を測定するための光学検出セルと、を備えた蒸発光散乱検出器。
【請求項１１】
前記電気的な制御信号を所定の周波数で供給する制御部をさらに備えた、請求項１０の蒸発光散乱検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸発光散乱検出の分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
液体クロマトグラフ（ＬＣ）分析には、蒸発光散乱検出器（ＥＬＳＤ）が一般的に使用される。ＥＬＳＤにおいて、液体のサンプルは噴霧器によって液滴に変えられる。液滴がドリフト管を通り抜けるとき、液滴の溶媒部分が蒸発して、揮発性に乏しい被検出物が残される。サンプルは検出セルに移動し、そこで、サンプルの光散乱が測定される。ＥＬＳＤは、幅広い種類のサンプルを分析するために使用することができる。
【０００３】
本発明の発明者は、噴霧器がＥＬＳＤの検出能力の有効性を制限していることを特定している。従来の噴霧器に関する１つの問題は、ドリフト管内において溶媒が完全に蒸発しないことである。従来の噴霧器により作り出される液滴は、軌道が拡大して大きさが変わりやすいため、蒸発が不完全となり、測定性能が不安定となる。液滴は、検出セルに入り、検出される散乱を引き起こす。従来のＥＬＳＤにおいては、検体が存在しなくても多くの散乱が検出されるという事実により、液滴が散乱することが示唆されている。液滴の散乱は、大きなレベルの背景ノイズを生み出す。したがって、一般的なＥＬＳＤでは、検体からの散乱が、完全に揮発していない溶媒の液滴からの散乱よりもずっと大きいことから、散乱の差異を測定することが可能なだけである。
【０００４】
従来の噴霧器により生産される液滴においては、小さすぎて十分に検体を搬送できない液滴も生産される。液滴が小さいと、検体の微粒子が小さすぎて検出信号に寄与できない。しかしながら、液滴が小さいと、ドリフトチューブ内における溶媒の蒸気圧が増大する。蒸気圧が高くなると、ドリフトチューブ内の蒸発が遅れてしまう。蒸発が不完全になると、上述した液滴による散乱が起こることから背景ノイズがもたらされる。
【０００５】
従来のＥＬＳＤ噴霧器において液滴の大きさの分布と蒸発率が変わらなければ、結果として測定においてある程度の背景ノイズが起こる。しかしながら、不完全な液滴の蒸発の比率と、液滴の分布（大きさと個数）は、時間とともに不規則に変わりやすい。このため、相当レベルの背景ノイズに加えて、検体の信号の不確実性がもたらされる。
【０００６】
従来の噴霧器の液滴の分布の問題を解決するための従来の１つの対策は、比較的大きな液滴を取り除くことである。大きな液滴を途中で捕まえるために、従来のＥＬＳＤのドリフトチューブ内で衝突体が使用され、これにより、大きな液滴が集められて、排出管を通ってドリフトチューブから出る。噴霧器からの噴霧が分岐すると、ドリフトチューブの壁面にさらなる凝縮が集まり、排出管から流れ出る。排出管を経由して排出される一定割合の分岐した噴霧には、検体を備えた適正な大きさの液滴が含まれる。液滴の分布は、３つの要因、すなわち移動相の組成、移動相の流速、及び搬送ガスの流速に強く依存するため、従来の噴霧器により生産される大きな液滴を排除することは、実際には困難であることが分かる。依存状態は相互に大きく作用するため、噴霧を制御したりモデル化したりすることは困難である。このような望ましくない噴霧器の特性は、ＥＬＳＤユニットの構造上の設計に関して多くの要求を招き、その設計が非常に複雑になり高コストを招いてしまう。
【発明の開示】
【０００７】
本発明の集束液滴噴霧器は、実質的に一定である所定の大きさの液滴を作り出す。液滴は、チャンバの収縮により小さな排出口から押し出される。液滴は、ドリフトチューブ内の実質的に分岐しない通路上で搬送することができる。圧電制御膜方式のマイクロポンプは、前記排出口から液滴を強制的に排出するための電気的な制御信号に応答して作動する。好ましい実施形態のＥＬＳＤ装置のドリフトチューブ内における実質的に分岐しない通路に沿って、所定の大きさを有する個々の液滴の流れが進むことができるようにする周波数において、前記噴霧器は動作することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
従来の噴霧器の使用に特有の問題は、最終的に蒸発光散乱検出器（ＥＬＳＤ）の動作を制限する。また、従来の噴霧器によれば、大きさ、複雑性およびコストも不利に作用する。本発明は、集束液滴噴霧器を提供する。本発明の噴霧器は、実質的に一定の大きさの液滴を作り出す。また、好ましい実施形態の噴霧器は、精密に制御された液滴生産速度を提供し、集束された通路に沿って液滴を搬送する。本発明のＥＬＳＤは、背景ノイズを低減してＥＬＳＤの検出の状態を改善するために集束液滴噴霧器を使用する。
【０００９】
好ましい実施形態の集束液滴噴霧器は、圧電制御膜方式のマイクロポンプを有する。圧電制御膜方式のマイクロポンプは、逆止弁を備えた注入口を有し、逆止弁により、液体がポンプ内へ一方向に流れることができる。圧電制御膜が膨張すると、液体がポンプへくみ上げられ、圧電制御膜が収縮すると、液体は非常に小さな排出口から強制的に排出される。これにより、小さな一つの液滴が作り出される。逆止弁により、液体が注入口を通って逆流することはほとんど又は全くないようにしてある。液滴の排出は、電気信号により厳密に制御される。他の実施形態においては、平行な液滴の流れを作り出すために排出口及び／又は圧電制御膜要素が複数使用される。
【００１０】
集束液滴噴霧器の寸法は、所定の大きさの液滴を生み出すように設定される。例えば、一般的にＥＬＳＤシステムに有利な大きさである、おおよそ約１０μｍ〜約１００μｍの範囲内の直径を備えた液滴を生み出すように、寸法を設定することができる。本発明に係る具体的な実施形態における液滴は、一般的には相対標準偏差５％（すなわち変動係数５％）といった非常に狭い分布の大きさを有する。ＥＬＳＤに適用すると、略全ての液滴が検出信号に寄与する。液滴生産速度は、マイクロポンプに供給される周期信号等の電気信号によって独立して制御される。したがって、液滴の形成速度は、ＳＮ比を最適化するように容易に変更できる。液滴の大きさは、液滴生産速度から独立しており、液体組成に強くは依存しない。液滴の通路には実質的に分岐がなく、一般的に標準偏差は１〜２度である。作用は、搬送ガスの流速から独立し得る。圧電要素のマイクロポンプは、比較的低コストであり、広範囲の有機液体および水性液体を許容し、比較的長寿命である。
【００１１】
本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。本発明を説明するために特定の典型例に係る装置が使用されるが、本発明は、特定の説明された装置に限定されるものではない。
【００１２】
図１は、集束液滴噴霧器を有する好ましい実施形態に係るＥＬＳＤを示す。液体クロマトグラフィーカラム１００は、流出物１０２（移動相ともいう。）を集束液滴噴霧器１０４に供給する。集束液滴噴霧器にはまた、搬送ガス１０６が供給される。制御部１０７は、集束液滴噴霧器１０４の液滴生産を制御する。制御部１０７からの信号の制御に基づき、噴霧器１０４は、所定の大きさの液滴を作り出し、その所定の大きさは、集束液滴噴霧器の圧電制御膜方式のマイクロポンプの物理的特性に依存する。例えば、ＥＬＳＤシステムに有利な、おおよそ１０〜１００μｍの範囲の液滴が、圧電制御膜方式のマイクロポンプにより容易に作り出される。
【００１３】
集束液滴噴霧器１０４は、制御部１０７の制御に基づき、実質的に一定の大きさの液滴、例えば、一般的には相対標準偏差５％（すなわち変動係数５％）といった非常に狭い分布の大きさを有する液滴を作り出す。液滴の生産速度は、例えば周期信号等の電気信号により容易に制御され、その電気信号は、制御部１０７によりマイクロポンプに供給される。液滴の形成速度は、供給される搬送ガス１０６の流速と温度に関するＳＮ比を最適化する（例えばベースラインのノイズを最小限に抑える）ように、制御部１０７により変更することができる。これは、制御部１０７によりもたらされる自動的な最適化であってもよいし、操作者が制御部１０７に入力することで実行される最適化であってもよい。液滴の大きさは、液滴の生産速度から独立しており、液体組成から実質的に独立している。
【００１４】
集束液滴噴霧器１０４は、一般的には標準偏差１〜２度の、実質的に分岐のない集束された通路にある一定の大きさの液滴を、ドリフトチューブ１０８の搬送ガスの流れに送る。ドリフトチューブ１０８は、搬送ガスと液滴が流れるチューブ状の加熱部であり、ドリフトチューブ１０８において蒸発が起こる。移動相（溶媒）は、液滴の流れがドリフトチューブ１０８に沿って進むときに蒸発する。ガスの流れは、ユニットの検出モジュールである光学セル１１０に入る。ガスの流れは、セル１１０を通過し、廃棄ガスの流れ１１４として排出口１１２から排出される。
【００１５】
検出方法の基準は、検出セル１１０内で散乱する光の量である。観念的に、散乱は移動相に溶解された材料（検体）からのみ生じ、移動相からの散乱は本質的にごく僅かである。この観念的な場合において、全ての移動相の分子は、ドリフトチューブ１０８において気体に変化し、光学セル１１０内においてほとんど又は全く散乱を生み出さない。検体は、存在していれば、蒸発せずに浮遊微小粒子として残され、それらが光学セル１１０を通過するとき実質的な光散乱を生み出す。したがって、移動相１０２が検体を含む場合、セル１１０内で光散乱が観測されるのに対して、移動相１０２が検体を含まない場合、セル１１０内で光散乱はほとんど又は全く観測されない。この状況で、検体がＬＣカラムから出るときはいつでも、検体のピーク（粒子による強い散乱）がベースライン（溶媒による弱い散乱）を上回って観測される。
【００１６】
図１のＥＬＳＤにおいては、蒸発が非常に効率的に起こり、集束液滴噴霧器１０４が、実質的に分岐しない通路に沿って進む略一定の大きさの液滴を生み出す。液滴の大きさのばらつきと分岐する噴霧とを含む従来の噴霧器の問題は回避され、検出信号における背景ノイズは実質的に低減される。従来の噴霧器は、分岐する噴霧において小さすぎるか又は大きすぎる多数の液滴を生み出すスプレーノズルを有する。小さすぎる粒子は、信号に寄与せず、溶媒の蒸気圧を増大させ、溶媒の蒸発を遅らせることによりドリフトチューブの性能を低減させる。大きな液滴は、蒸発が不完全になりやすく、それらの分布（大きさ及び個数）は時間とともに不規則に変化する。したがって、検体の信号の不確実性に加えて、検体が存在しないときのベースラインのノイズを生み出す。図１のＥＬＳＤはそのような問題を解決する。
【００１７】
図２は、図１の集束液滴噴霧器１０４の作用を示す。集束液滴噴霧器は、圧電制御膜方式のマイクロポンプ２０２を使用する。圧電制御膜（ダイヤフラムともいう。）方式のマイクロポンプは、例えば、ダイヤフラム（膜）として圧電セラミック素子を使用する。圧電制御膜方式のマイクロポンプは、多数の商業的供給源から容易に入手できる。
【００１８】
集束液滴噴霧器１０４内において、圧電制御膜方式のマイクロポンプ２０２は、移動相１０２を受ける。移動相１０２は、ガスマニホールド２０４の中央に取り付けられたマイクロポンプ２０２に入る。搬送ガス２０６はマニホールド２０４に入り、マイクロポンプ２０２の周りに同心となるように配置されたドリフトチューブ１０８へ出る。ガスマニホールドは、ドリフトチューブ１０８へ液滴を搬送するガスの一定の流れを与える。所定の大きさとなるように且つ制御部１０７からマイクロポンプの圧電素子に供給される信号の周波数により定められる速度となるように、実質的に一定の液滴２１０がマイクロポンプ２０２により生産される。液滴の通路は、図示のように実質的に分岐することなく一方向であり、搬送ガスの流れ２０８によって搬送される。
【００１９】
図３Ａと図３Ｂは、噴霧器１０４のマイクロポンプ２０２のさらなる詳細と作用を示す。マイクロポンプ２０２は、チャンバ３０３を形成するボディ３０２を有する。注入口３０４と排出口３０６はそれぞれ、逆止弁３０８を有する。圧電制御膜（ダイヤフラム）３１０はチャンバボディ３０２の不可欠の部分である。図３Ａは、液体吸い込み作用を示す。電気信号（パルス）は、制御部１０７から圧電制御膜３１０に送られ、これにより、膜３１０は、チャンバの容量が増大し液体が注入口３０４を通ってチャンバボディ内に引き込まれるように動く。排出口３０６の逆止弁３０８は、排出口３０６からチャンバへ入る流れを排除する。図３Ｂは、液滴の形成と排出を示し、圧電制御膜３１０が、チャンバの容量が減少し液体が液滴の形で排出口を通って排出されるように動いたときに、液滴の形成と排出が起こる。注入口３０４の逆止弁３０８は、注入口３０４を通る液体の逆流を排除する。液滴の形成速度は、パルス速度によって制御され、パルス速度は、１つの例では最大で約２０ｋＨｚであり、別の例では最大で約５ｋＨｚである。各パルスは、ドロップオンデマンドの作用としてポンプにより吐き出される１粒の液滴をもたらす。実質的に一定である所定の液滴の大きさは、チャンバ３０３の大きさと排出口３０６の直径とによって制御される。
【００２０】
液滴の大きさが実質的に一定であり、通路が実質的に分岐しないことにより、従来の装置の大きな液滴が排除されるため、図１のＥＬＳＤではノイズが低減する。また、液滴が一定の大きさを有し、略全ての液滴が検出信号に寄与するように通路において増殖されるため、ＥＬＳＤは比較的高い検出信号を有する。搬送ガスの速度は比較的遅くする必要がある。また、集束液滴噴霧器１０４の１つの実施形態は、一般的な従来の噴霧器と比べて小さい。蒸発が一層効率的であるため、ドリフトチューブ１０８の内部の大きさを小さくすることができ、ドリフトチューブを従来の一般的な商用デバイスよりも低い温度で操作することができる。より低い温度で操作することにより、しばしば半揮発性といわれる、部分的に気化しやすい検体に対する信号損失を最小限に抑えることができる。
【００２１】
図１のＥＬＳＤにおいて、集束液滴噴霧器１０４は、従来の噴霧器に使用される速度よりも遅い速度でＬＣカラム１００からの流出物を受ける。一般的な従来の商用噴霧器は、ある範囲の移動相の流速を許容し、例えば５ｍＬ／ｍｉｎといった経験的な液体の流速と一致した液滴の噴霧を送る。しかしながら、本発明の集束液滴噴霧器１０４は、噴霧器１０４の所定の液滴の大きさと、制御部により供給される制御信号の周波数とに依存する一定の流速で液滴を搬送する圧電制御膜方式のマイクロポンプを使用する。
【００２２】
例えば、信号が８ｋＨｚである場合、１００ピコリットル（ｐＬ）の液滴は約０．０５ｍＬ／ｍｉｎの液体流入速度を必要とし、その速度は、従来のＥＬＳＤ装置に使用される一般的なＬＣ液体流速よりもずっと小さい。修正されていない一般的なＬＣカラム１００を想定すると、何分の１かのわずかなカラムの流出物しか集束液滴噴霧器１０４によって使用されない。移動相の流出物をサンプリングすると、瞬間的に流出物の実際の組成を表すことができ、全容量の流出物がマイクロポンプを通過する必要がない。したがって、集束液滴噴霧器１０４は、適切にサンプリングすれば一般的な従来のＬＣカラムとともに使用することができ、または、低速度に修正されたＬＣカラムを使用することもできる。
【００２３】
集束液滴噴霧器１０４への流れが低減された流出物をサンプリングすることは、種々の技術によって成し遂げられる。低減された流れをサンプリングするための構成が図４に示されている。図４において、流出物１０２はＴ字部４０２を通過し、Ｔ字部４０２では、集束液滴噴霧器１０４がＴ字部４０２の比較的短いチューブ４６に取り付けられている。集束液滴噴霧器１０４は、マイクロポンプの排出口３０６を通してＥＬＳＤのドリフトチューブ１０８（図４において図示せず。）へ液体を送る。Ｔ字部４０２のもう１つのチューブ４０８は、実質的により幅が広く、流出物１０２の主要部分を受け入れる。また、チューブ４０６は比較的短く、これにより、背圧を比較的低く維持し、集束液滴噴霧器の圧電制御膜方式のマイクロポンプが、必要な量の液体をＴ字部４０２から引き込めるようにしてある。チューブ４０６，４０８の相対的な直径は、集束液滴噴霧器１０４の流れを制限するように設定される。
【００２４】
低減された流れをサンプリングするための別の構成が図５に示されている。図５の構成は、図４の構成よりも大きな流れに対処することができる。集束液滴噴霧器１０４は非常に小さな直径のサンプリングチューブ５０２に取り付けられ、サンプリングチューブ５０２は、流出物１０２を搬送するチューブ５０４の内側へ突き抜けるように取り付けられている。集束液滴噴霧器１０４は、必要な量の液体を引き込み、排出口３０６から集束液滴を出力する。
【００２５】
低減された流れをサンプリングするための別の構成が図６に示されている。小径のサンプリングチューブ６０２が、流出物１０２を搬送するメインフローチューブ６０４に取り付けられている。フロー制御部６０６は、小容量の液体をＴ字部６０８に送る。集束液滴噴霧器１０４は、Ｔ字部６０８の一方のチューブに取り付けられ、過剰な液体は廃棄チューブ６１０へ流れ出る。フロー制御部６０６は、集束液滴噴霧器１０４が過度の背圧を受けないことを保証する。
【００２６】
検体は、ドリフトチューブ１０８を越えた後に光学セル１１０に入る。光学セルは図７Ａと図７Ｂに示されている。平面図（図７Ａ）に見られるように、光源７０２は、光線７０４を作り出し、光線７０４は、セル１１０を通って進み、検体による散乱の方向に干渉し得る逸れた光を最小限に抑えるライトトラップ７０６に入る。ガスの流れ７０８は、図示のようにセル１１０を通って、通常は光線７０４へ流れる。側面図（図７Ｂ）において光線７０４は、図示されていないが、紙面に垂直である。したがって、セル１１０内のガスの流れ７０８は、断面７１０内においてセルの中央近傍で光線に衝突する。検体の粒子は光を散乱させ、散乱した光７１２の一部は、レンズ７１４により焦点が再び合わされ、これにより、焦点が再び合わされた光７１６は光学検出器７１８に突き当たる。この検出される光が測定され、その検出される光に基づいて検体が評価される。
【００２７】
本発明の具体的な実施形態が図示および説明されているが、他の変更、置換及び代替が当業者にとって明白であることは言うまでもない。そのような変更、置換及び代替は、添付の請求項から定められるべき本発明の精神および範囲から逸脱しない限り可能である。
【００２８】
本発明の種々の特徴は添付の請求項に記述されている。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の好ましい実施形態に係る集束液滴噴霧器を備えた蒸発光散乱検出器（ＥＬＳＤ）を示す図である。
【図２】図１の集束液滴噴霧器を示す図である。
【図３Ａ】図１と図２の噴霧器の圧電制御膜方式のマイクロポンプを示す図である。
【図３Ｂ】図１と図２の噴霧器の圧電制御膜方式のマイクロポンプを示す図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る流出物の低減された流れのサンプリングの構成を示す図である。
【図５】本発明の別の実施形態に係る流出物の低減された流れのサンプリングの構成を示す図である。
【図６】本発明の別の実施形態に係る流出物の低減された流れのサンプリングの構成を示す図である。
【図７Ａ】図１のＥＬＳＤの光学検出セルを示す図である。
【図７Ｂ】図１のＥＬＳＤの光学検出セルを示す図である。
【符号の説明】
【００３０】
１００：液体クロマトグラフィーカラム、１０２：流出物、１０４：集束液滴噴霧器、１０６：搬送ガス、１０７：制御部、１０８：ドリフトチューブ、１１０：光学セル、１１２：排出口、１１４：排気ガスの流れ、２０２：マイクロポンプ、２０４：ガスマニホールド、２０６：搬送ガス、２０８：搬送ガスの流れ、２１０：液滴、３０４：注入口、３０６：排出口、３０８：逆止弁、３１０：圧電制御膜、４０２：Ｔ字部、４０６：短いチューブ、４０８：別のチューブ、５０２：非常に小さな直径のサンプリングチューブ、５０４：チューブ、６０２：小径のサンプリングチューブ、６０４：メインフローチューブ、６０６：フロー制御部、６０８：Ｔ字部、７０２：光源、７０４：光線、７０６：光トラップ、７０８：ガスの流れ、７１２：分散光、７１４：レンズ、７１６：集束光、７１８：光学検出器。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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