(57)【要約】  三次元積層される圧電素子（１１、２１、３１、４１、５１、６１）は、積層される圧電素子の少なくとも１つの面（１２、２２、３２、４２、５２、６２）が、少なくとも上記面の断面が圧電素子の積層方向に平行でないように、積層体の層面（８ａ）に対して直角になされるように作製される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基礎構造に取り付けられる三次元積層型の圧電素子（１１、２１、３１、４１、５１、６１）を有する圧電アクチュエータであって、
積層型の前記圧電素子の少なくとも１つの成形表面（１２、２２、３２、４２、５２、６２）が、積層体の層面（８ａ）に対して垂直に二次元的または三次元的に成形され、
少なくとも１つの前記成形表面（１２、２２、３２、４２、５２、６２）が、前記アクチュエータが取り付けられる基礎構造の輪郭に適合される、圧電アクチュエータ。
【請求項２】
積層型の前記圧電素子における前記少なくとも１つの成形表面（１２、２２、３２、４２、５２、６２）が、少なくとも断面において前記圧電素子の積層方向に平行でないことを特徴とする、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
積層型の前記圧電素子の前記少なくとも１つの成形表面（１２、２２、３２、４２、５２、６２）が、湾曲していることを特徴とする、請求項１または２に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
積層型の前記圧電素子が、ｄ３３圧電素子であることを特徴とする、請求項１から３の一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】
前記少なくとも１つの成形表面（１２、２２、３２、４２、５２、６２）が、切断加工、詳細には鋸引き、研削、穿孔、旋削、ブローチ削り、ラッピングおよび／またはフライス削りによって形成されることを特徴とする、請求項１から４の一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項６】
前記成形表面が、少なくとも１つの平面内で二次元または三次元加工によって成形されることを特徴とする、請求項１から５の一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項７】
前記圧電素子の前記少なくとも１つの成形表面（１２、２２、３２、４２、５２、６２）の設計が、前記圧電素子により付与される基礎構造の作用に適合されることを特徴とする、請求項１から６の一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項８】
三次元の前記圧電素子の前記少なくとも１つの成形表面（１２、２２、３２、４２、５２、６２）の設計が、前記圧電素子について予想される機械的応力に適合されることを特徴とする、請求項１から７の一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項９】
前記アクチュエータが、三次元積層型の前記圧電素子からなる少なくとも２つのセグメントを含むことを特徴とする、請求項１から８の一項に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１０】
前記セグメントの積層方向の方向付けが、変化することを特徴とする、請求項９に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１１】
前記セグメントが、互いから独立して動作できることを特徴とする、請求項９または１０に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１から１１の一項に記載の圧電アクチュエータを有する空気力学的外形。
【請求項１３】
前記アクチュエータが、前記外形が本質的に滑らかな表面を有するように前記外形の中に組み込まれることを特徴とする、請求項１２に記載の空気力学的外形。
【請求項１４】
相互に独立して動作可能な方法で前記外形上または前記外形中のさまざまな位置で設けられる、いくつかの圧電アクチュエータが設けられることを特徴とする、請求項１２または１３に記載の空気力学的外形。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
圧電素子の使用は、一般に知られている。このような圧電素子は、例えば、圧電素子が構成要素に取り付けられ、圧電素子が構成要素に発生する変形と共に動かされるときに構成要素の変形を検出するために使用される。この場合、圧電素子の変形中に電荷移動がこの圧電素子の中で引き起こされることは利用される。他方、圧電素子は、対象となる方法で構成要素に作用を及ぼすためにも使用され、具体的には、圧電素子は、反対に圧電素子が電圧の供給を受け、その結果として起こる変形が利用されることにより構成要素を変形させる。圧電素子は、特殊で複雑な変形のプロセスが構成要素に必要とされかつ構成要素の表面が変形状態全てにおいてできる限り無傷で滑らかであるべきときに主に使用される。適用例は、空気力学的外形(aerodynamic profile)の場合は例えば航空工学に存在するが、大きな凹面鏡については例えば望遠鏡などにも存在する。
【０００２】
例えば、航空工学の分野では、圧電素子は、形状がそれら形状の周りの流れに関して検査されることになるときに空気力学的外形を検査するために使用される。独国特許文献である特許文献１は、圧電アクチュエータが、空気力学的外形の中の少なくとも一部に挿入されている配置を説明しており、これらの圧電アクチュエータの長さの変化は、電気的に作用を受けるときに外形のカバー外皮の平面の方向に基本的に発生し、この外形は、下降流の中に位置される前方外形領域および後方外形領域を有し、外形の後縁において合流する圧力側および吸込み側のカバー外皮によって界接される。回路接続に加えて、使用される圧電アクチュエータは、いわゆる縦効果（ｄ３３効果）を有する圧電素子を含み、その場合は、圧電性の材料の長さの変化は、電場の方向に起こり、空気力学的外形の中への力の効果的な導入を可能にする。ｄ３３効果を利用する独国特許文献である特許文献１の中で使用される圧電アクチュエータの場合は、圧電性の材料の長さの変化は、電場の方向であり、圧電効果（ｄ３１効果）よりも大きく、この場合、長さの変化は、電場に対して垂直に起こる。
【０００３】
独国特許文献である特許文献１で使用されるｄ３３アクチュエータは、積層状の圧電素子を縦方向に切断することによって平らなディスクの中に製造され、次いでこの平らなディスクは、湾曲した構造の上へまたは湾曲した構造の中に、具体的には空気力学的外形の上へまたは空気力学的中に設置される。アクチュエータは、狭い厚さを有し、基本的にプレート状であり、または平らな方形の平行六面体であり、それゆえアクチュエータは、空気力学的状態に作用を及ぼさず、または空気力学的状態に単にほとんど作用を及ぼさない。しかし、圧電アクチュエータは、湾曲した外形または成形した外形の上に取り付けられることまたは後者の中に配置されることになり、かつ空気力学的外形での空力抵抗を発生させることになるので、圧電アクチュエータの中に含まれる圧電素子は、しばしば曲げられまたは湾曲されなければならず、それにより圧電素子は、特にｄ３３圧電材料それ自体が比較的脆いので、そのような湾曲した構造上に適合中または取付中に容易に破損するという結果になる。さらに、圧電素子の層は、互いに対して変位されまたは変形され得る可能性があり、それは、圧電材料の精度および動作能力に影響することがある。
【０００４】
したがって、従来のｄ３１圧電素子は、頻繁に使用され、この場合において長さの変化は、電場に対して垂直に起こり、このため従来のｄ３１圧電素子は、より薄いデザインを有し、変形に対してより柔軟である。しかし、圧電効果または達成可能な変形がより少なく、その結果、ｄ３１圧電素子の性能は、しばしば目標とする方法で構成要素に作用を及ぼすために十分でない。
【特許文献１】独国特許出願公開第１０３０４５３０号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、上述に基づいて、圧電素子と、機械的構成要素に作用を及ぼすためにこの圧電素子を用いてデザインされるアクチュエータであって高性能のアクチュエータであり、構成要素の形状ならびに／あるいは発生する負荷および／または加えられる負荷の形に適合されるアクチュエータと、を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的は、請求項１の特徴を有する三次元積層型圧電素子によって、および請求項５の特徴を有する圧電アクチュエータによって達成される。好ましい実施形態は、従属請求項の中に示される。
【０００７】
方形の平行六面体形状の初期の積層型圧電素子の表面に対応する積層型圧電素子の表面であって積層の層面に対して垂直、すなわち積層方向に平行に延在する表面が成形されることの結果として、積層型圧電素子は、三次元形状を有することができ、これにより空気力学的外形のデザインに適合できる。圧電効果は、層面に対して垂直、すなわち積層方向に生じるものなので、圧電素子の性能は、その形状にも関わらず作用を受けない。
【０００８】
成形表面とは、例えば表面が平面とは異なって設計されることを意味しており、すなわち、積層型圧電素子の初期の積層の方形の平行六面体の一外側面が、例えば湾曲した、波状のまたは他の設計された表面によって置き換えられる。代替として、平面の表面は、成形表面であるが成形表面が積層方向に対して（０°とは異なる）ある角度で配設され、例えば全体としてプリズムの形状を有する圧電素子になる成形表面を形成してもよい。２つの相互に向かい合う平行な積層表面の代わりに、この場合は、２つの対向する表面は、互いに対して０°に等しくなくかつ９０°に等しくないある角度で配設される。いずれの場合も、積層型圧電素子を形成する導電性材料の各層は、全て同じ形状を有するわけではない。すなわち、表面の成形とは、積層型圧電素子を個々の導電層に仮に分解した場合に、積層体のプレートそれぞれは、異なるプレート形状を有することを意味する。表面のデザインについては、特殊な制限がない。それどころか、表面は、必要に応じて圧電素子の対応する用途に適合できる。
【０００９】
したがって、成形表面は、二次元（２Ｄ）または三次元（３Ｄ）的に加工される任意の積層体の素子であり、二次元加工は、さまざまな厚さの積層体をもたらす積層型圧電素子の一平面内での加工を示し、三次元加工は、積層型圧電素子のいくつかの平面内での加工を示し、そこから自由に設計可能な上昇形状および下降形状を有するほとんど任意の輪郭の積層型圧電素子が生成される。三次元加工の場合は、圧電素子の輪郭は、空間中の３つの方向全ての関数であり、一方、二次元加工の場合は、圧電素子の輪郭は、空間中の３つの次元のうちの１つにおいて変化しない。
【００１０】
成形表面の成形は、圧電素子の構成後に行われ、その際に、例えば加工プロセス、詳細には例えば、鋸引き、研削、穿孔、旋削、ブローチ削り、ラッピングおよび／またはフライス削りのプロセス、あるいはこれらのプロセスの組合せが用いられる。
【００１１】
したがって、ｄ３３圧電アクチュエータについて、従来、まず圧電素子は、積層体として構成され、すなわちこの圧電素子は、形状に適合されない形態で、例えば同時に層面の表面である２つのほぼ正方形の外側面を有する方形の平行六面体として構成されてよい。その後、構成要素上に取り付けるる前、またはアクチュエータとしての使用前に、積層体の少なくとも１つの表面が、構成要素の形状、圧電素子の予想される負荷または圧電素子によってかけられる負荷、あるいはこれらの要求の組合せに適合され、この点において積層方向に平行である方形の平行六面体の形状における積層体の少なくとも１つの表面が、例えば機械的に、加工される。
【００１２】
空気力学的用途の場合において、例えば、圧電アクチュエータの形状適合される表面、具体的には空気力学的外形の外側部に面する表面は、その表面が外形の輪郭に対応するように湾曲されることが好ましい。結果として、外形の空気力学的形状は、圧電素子を用いた空気力学的構成要素の作用が発生し得るにも関わらず基本的に作用を受けないままとなり得る。厚さ方向において、例えば圧電素子は、一定の厚さを有してよく、これは、成形表面の反対側に位置した表面が、例えば圧電素子が凹状に湾曲したおよび凸状に湾曲した外面を有するように、同様に呼応して成形されることを意味する。代替として、例えば圧電素子は、例えば他の表面で成形が行われないまたは別の成形が行われるという点で多様な厚さを有してよい。
【００１３】
厚さの変化によって、例えば圧電素子は、構成要素で生じる負荷および圧電素子の中に導入される負荷に適合できる。また、三次元の外形の場合は、構成要素の三次元の作用は、圧電素子の多様な厚さによって実現できる。
【００１４】
好ましくは、使用される圧電素子は、圧電効果が積層体の層に対して垂直な方向、すなわち積層方向に生じるｄ３３積層型圧電素子である。アクチュエータを成形または積層型圧電素子を成形することにより、アクチュエータは、取付け中にさらに曲げられるまたは変形される必要がなく、その結果、例えば接着、締付けまたは螺着による層の曲げおよび変形または互いに対する層の曲げおよび変形が原因の取付け中の破損の危険が避けられる。結果として、圧電アクチュエータの能力は維持され、圧電アクチュエータの磨耗は低減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下において、本発明を、添付図面を用いて一例として説明することにする。
【００１６】
図１ａおよび図１ｂは、「圧電積層体(piezo stack)」とも称される積層体状の圧電素子８の概略図である。いずれの場合も、圧電素子は、交互配置された導電性および圧電性の材料層で構成される。図１ａおよび図１ｂにおける積層体それぞれの場合、層は、方形の平行六面体の形状であり、積層方向に対して垂直な方向に同じ断面形状を有する。導電性の材料の層は、電極８ａを表す。電場Ｅは、図１ａにおける圧電素子に対して圧電素子８の積層方向すなわち縦方向に存在する。電場Ｅは、電極８ａによって印加される。圧電性の材料は、電場Ｅの結果として電場Ｅの方向に拡張する。この長さの変化ΔＬは、図１ａ中に示される。積層の寸法、典型的には積層方向に対して垂直な積層素子の表面の側面の長さは、約５〜６０ｍｍに相当し、積層方向の高さｂと同じである。
【００１７】
図１ａに示される圧電素子８、いわゆるｄ３３圧電素子の場合は、電場が印加されるときの長さの変化ΔＬは、ｄ３１効果（図１ｂ参照）を有する圧電素子の場合の長さの変化ΔＬより大きく、この場合は、長さの変化ΔＬが、電場Ｅに対して横方向に起こる。
【００１８】
独国特許文献である特許文献１によれば、層厚ｄを有する層を図１ａによる積層体から切断し、それらの積層体を例えば空気力学的外形に適用することが知られている。
【００１９】
図１ａにおけるｄ３３圧電積層体に基づいて本発明を実施するために、積層体を形成する層（すなわち、プレート状の素子）の少なくとも一部分の、積層の層面に対して垂直である少なくとも１つの外側面は、例えば材料除去によって機械的に加工される。鋸引き、研削、穿孔、旋削、ブローチ削り、ラッピングおよび／またはフライス削りなどの成形プロセスが使用できる。これにより成形した圧電素子となり、この場合、少なくとも１つの外側面は、例えば湾曲され、または平面であっても積層方向に対してある角度をなしており、その結果、外側面は、積層方向に対してもはや平行ではなく、圧電素子全体は、もはや方形の平行六面体の形状を有しない。これは、層面それぞれが、もはや積層方向に対して垂直な方向に同じ断面形状を有しないことを意味する。
【００２０】
好ましくはｄ３３効果を有する積層型圧電素子が使用されるそのような積層型圧電素子は、付随する電気配線が周知の方法で補われているので圧電アクチュエータとして使用できる。各使用例を図２ａから図７ｂに示す。
【００２１】
図２ａは、２つのプリズム形状の圧電素子、すなわち図２ａに示すように三角形の断面または変化する厚さを有する圧電素子それぞれが、曲げ可能なキャリアプレート１０の上側および底側にどのように適用されるかを示す。それぞれ、１つの圧電素子１１は、キャリアプレート１０の上側に取り付けられ、１つの圧電素子１１は、キャリアプレート１０の底側に取り付けられる。図２ａに示した実施形態において、圧電素子は、相互に鏡面対称である。動作は、各圧電素子が、逆の方法で駆動されるようなものであり、これは、一方の圧電アクチュエータが拡張するのに対して、同時に他方が収縮することを意味する。結果として、曲げがプレート１０の中に導入でき、例えばプレートの曲げ挙動は、検査または制御されることができる。代替として、圧電素子は、圧電素子の中で引き起こされる長さの変化によって発生する電流の流れが測定されるので、プレートでの負荷の検出にも使用できる。
【００２２】
図２ａに示した実施形態の場合は、圧電素子１１の形状は、例えば複合材料から製造されるキャリアプレート１０の中に導入される負荷に適合される。圧電素子１１は、例えば接着によってキャリアプレート１０と接続される。代替として、変形可能な構成要素を得るために、圧電素子１１を互いに直接接続することも考えられる。
【００２３】
図２ｂに示した実施形態では、曲げプレートを曲げさせる目的も有する圧電素子１１の設計は、圧電素子の断面の中でベンディングビーム１０でのモーメント線がトレースされるので、導入される負荷に対してさらによりよく適合される。少なくとも１つの曲面を有する圧電素子１１を成形する結果として、作用を受ける構成要素、ここでは曲げプレートの中に導入される負荷に圧電素子１１の形状を適合することが可能になる。
【００２４】
積層体８の成形表面１２は、図２ａおよび図２ｂそれぞれにおける断面図中の上部および底部にある圧電素子１１の表面であり、これらの圧電素子の場合は、積層体の一平面が、二次元的に加工される。
【００２５】
図３ａおよび図３ｂは、例えば望遠鏡用の凹面鏡などのシェル型の構成要素２０のための本発明において成形される圧電素子２１の使用例を示す。図３ａは、図１ａにおける圧電積層体８の少なくとも２つの表面２２が加工されている配置であって、いずれの場合も曲面、具体的には、一方の側において表面２２がシェル構成要素２０の上に取り付けられ、その表面２２の反対側に表面２２が位置する配置を示している。一方、図３ｂにおいて、積層体８の表面２２のうちの一方のみは、その輪郭がシェル構成要素２０の輪郭に適合されるように加工される。いずれにしても、湾曲した構成要素上に取り付けられている間に圧電素子のいかなる機械的応力もなくｄ３３効果を有する圧電素子を湾曲した構成要素２０と接続することが考えられる。２つの曲面２２によって形成される図３ａによる圧電アクチュエータを製造するときには、まず構成要素２０に面する凹形状が成形され、その後に反対側が凸状のアーチ形が得られるように切り落される。
【００２６】
図３ａにおける成形表面は、シェル形の構成要素に対して置かれているまたはシェル形の構成要素から離れるように向いている凹状および凸状に湾曲した表面２２であり、図３ｂの実施形態において、成形表面は、シェル形の構成要素に面する表面だけである。
【００２７】
したがって、圧電アクチュエータは、図３ａおよび図３ｂによる圧電アクチュエータを用いて、曲げが圧電素子を損傷する可能性があり得る取り付け中に圧電アクチュエータが曲げられなければならないということを必要とせずに、曲面に適用できる。鏡などのシェル型の構成要素用の圧電アクチュエータの使用により、例えば望遠鏡の鏡について、アーチ形の輪郭が、他の装置によっては達成不可能な精度で調整でき、それにより望遠鏡の鏡の機能を明らかに改善することを可能にする。圧電アクチュエータは、シェル要素２０の輪郭、特に湾曲に完全に適合できる。
【００２８】
また、例えば、図４ａおよび図４ｂに示されるように、圧電アクチュエータが空気力学的外形３０に作用を及ぼすために使用される場合において、これは有利である。図４ａは、均一な厚さを有する圧電アクチュエータ３１を示しており、一方、図４ｂの圧電アクチュエータ３１は、導入される負荷に適合される、あるいは構成要素の変形または作用に適合される厚さを有する。例えば、空気力学的外形３０は、そのような圧電アクチュエータ３１を用いて空気力学的外形の表面に目に見えるほど作用を及ぼすことなく曲げられ、張出され、またはアーチとされ得る。結果として、空気力学的外形の周囲の流れの特性は、検査または変更できる。圧電素子３１が、それ自体曲げられることによって形状に適合されなければならないということを必要とせずに圧電アクチュエータ３１の輪郭が空気力学的外形の外面に完全に適合されるので、ほとんど任意の形状の構成要素は、そのような圧電アクチュエータを用いて高効率で、および圧電アクチュエータ３１の厚さが負荷のタイプに適合されるときには外側の輪郭を何ら変形することなく作用を受けられまたは変形できる。
【００２９】
成形表面は、空気力学的外形の輪郭をトレースする表面３２に対応する。図４ｂにおいて、下側の輪郭の表面は、空気力学的外形３０の中に導入される負荷に応じて選択され、その結果、外形３０の三次元的な作用が考えられる。
【００３０】
図５は、シェル形または円筒形の構成要素４０が、例示した実施形態の中の一定の厚さを有する圧電アクチュエータ４１を用いて捻ることおよび凹ませることによって応力を受け得るものとなっている配置を示す。
【００３１】
好ましくは、圧電素子４１の成形は、三次元的に行われ、すなわち、この圧電素子４１は、図１ａに示されている本来の圧電積層体８から成形するものであり、三次元のボディは、切断除去によって形成される一方、層の表面は、互いに対して変位せず、または拡張されず、あるいは引っ張りまたは張力によって応力を受けない。
【００３２】
図６は、それぞれ適合した表面形状を有するいくつかのｄ３３圧電アクチュエータ５１がセグメントの形態でそれぞれ配置されている空気力学的外形５０を示す。空気力学的外形５０の外側の輪郭は、圧電アクチュエータの将来の外面５２が積層の機械的加工によって同様に形状適合されるので、圧電アクチュエータ５１によって乱されない。空気力学的外形５０上の圧電アクチュエータの配置は、ｄ３３効果の方向があるセグメントから次のものにかけて異なることがありかつ構成要素５０の目標とする三次元的な作用がそれにより可能になるようなものである。図６中の上部にある圧電アクチュエータ５１の作用の方向は、（長さの変化の方向に対応する）矢印によって示される。したがって、圧電アクチュエータ５１は、適当な幾何学的形状が積層体８から切断され、それら幾何学的形状の伸長方向が加えられる作用に適合されもしている構造の中に圧電アクチュエータ５１が輪郭に完全に適合されるように組み込まれる。必要に応じて、作用の方向は、例えばこの目的のために使用される材料の基礎構造の異方性特質と併用もでき、その結果、伸長方向は、ある一定の作用を圧電アクチュエータ５１によって空気力学的外形５０の中に導入するために目標とする方法の中で利用される。
【００３３】
最終的に、圧電アクチュエータの幾何学的形状の適当な選択の結果として、圧電アクチュエータそれ自体が三次元形状の選択の結果として予想される力またはモーメントに対するその剛性および負荷吸収能力に関して適合されるという点で、基本構成要素の中に導入される負荷に対して後者が可能な限り影響を受けないようにさせることも可能となる。
【００３４】
最後に、図７ａおよび図７ｂは、三次元的に形状適合される圧電アクチュエータを示し、図７ｂにおいては、圧電アクチュエータがいくつかの形の積層体で形成され、それ自体セグメント化されるので、ｄ３３効果がさまざまな方向を有するセグメント状の圧電アクチュエータが与えられる。ｄ３３効果の方向（伸長方向）は、矢印によって示される。圧電アクチュエータ６１および７１それぞれは、起伏があり、多様な厚さも有することが例示されている。対象に対応するｄ３３効果のアクティブな方向の向きによって、特に追加のセグメント化があるときに、ほとんど任意の作用が、構成要素の中に導入できる。
【００３５】
本発明の本質的な態様は、従来の方形の平行六面体形状の圧電性の材料および電極の積層の代わりに、積層後のそのような積層が、積層面に対して垂直である、少なくとも積層の一表面上で、圧電アクチュエータが、それによって発生する負荷および／または圧電アクチュエータに同様に予想される負荷に対して構成要素の形状に適合されるように形成されるというものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１ａ】ｄ３３効果を説明するための積層状の圧電素子の概略図である。
【図１ｂ】ｄ３１効果を説明するための積層状の圧電素子の概略図である。
【図２ａ】プレートを曲げるための本発明による２つの三次元積層型圧電素子を有する、本発明による圧電アクチュエータの図である。
【図２ｂ】プレートを曲げるための別の圧電アクチュエータの図である。
【図３ａ】シェルを曲げるための本発明による圧電アクチュエータの図である。
【図３ｂ】シェルを曲げるための本発明による代替の圧電アクチュエータの図である。
【図４ａ】曲げ、張出しまたはアーチングによって空気力学的外形に作用を及ぼすための圧電アクチュエータの図である。
【図４ｂ】曲げ、張出しまたはアーチングによって外形に作用を及ぼすための代替の圧電アクチュエータの図である。
【図５】捻りおよび凹ませることによって構成要素に作用を及ぼすための本発明による圧電アクチュエータの図である。
【図６】空気力学的外形上の本発明による圧電アクチュエータの配置の斜視図である。
【図７ａ】本発明による多様な輪郭の三次元積層型圧電素子の図である。
【図７ｂ】本発明によるセグメント化された三次元積層型圧電素子の図である。
【符号の説明】
【００３７】
８  圧電素子，積層体，圧電積層体
８ａ    層面，電極
１０    プレート，キャリアプレート
１１，２１，３１，４１，５１，６１    圧電素子，積層型圧電素子，圧電アクチュエータ
１２    成形表面，表面
２０    構成要素，シェル構成要素
２２    曲面，表面
３０    空気力学的外形
３２    表面
４０    構成要素
４２    表面
５０    空気力学的外形，構成要素
５２    表面，外面
６２    表面
【図１ａ】
2009521104.tif 000003
【図１ｂ】
2009521104.tif 000004
【図２ａ】
2009521104.tif 000005
【図２ｂ】
2009521104.tif 000006
【図３ａ】
2009521104.tif 000007
【図３ｂ】
2009521104.tif 000008
【図４ａ】
2009521104.tif 000009
【図４ｂ】
2009521104.tif 000010
【図５】
2009521104.tif 000011
【図６】
2009521104.tif 000012
【図７ａ】
2009521104.tif 000013
【図７ｂ】
2009521104.tif 000014
【国際調査報告】
2009521104.tif 000015
2009521104.tif 000016
2009521104.tif 000017
2009521104.tif 000018
2009521104.tif 000019
2009521104.tif 000020