(57)【要約】  シュラウドと、仕上げ部材とワイピング装置とを含むガラス板の縁部処理装置。仕上げ部材はシュラウドにより実質的に囲まれている。本装置は、ワイピング装置内の少なくとも１つのスロットにより放出された加圧空気を用いて、縁部処理により生じる汚染物質がガラス板の表面に沈降および／または付着することを防止する。ワイピング装置は、ガラス板の表面および処理縁部をさらに洗浄するために、ガラス板に向けられた洗浄流体の噴流を含み得る。
2009521386.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シュラウド内に実質的に封入された仕上げ部材で、縁部に隣接する１対のほぼ平行な表面を有するガラス板の縁部を処理するステップと、
加圧空気の流れを少なくとも１つのスロットから前記ガラス板に向けて、前記処理により生じる汚染物質を前記ガラス板の表面から除去するステップと、
を含むことを特徴とするガラス板の縁部を処理する方法。
【請求項２】
前記加圧空気が複数のスロットから前記ガラス板に向けられることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
衝突と同時に洗浄流体の流れを前記縁部に向けるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
縁部に隣接する１対のほぼ平行な表面を有するガラス板の縁部を処理する仕上げ部材と、
前記仕上げ部材を実質的に取り囲むように構成されたシュラウドと、
前記１対の表面のうちの一方に近接して配置された少なくとも１つのワイピング装置と、
を備えたガラス板の縁部を処理する装置であって、
前記少なくとも１つのワイピング装置が、前記ワイピング装置内のスロットから加圧空気を放出して、前記処理により生じる汚染物質を前記ガラス板の表面から除去することを特徴とする装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つのワイピング装置が、前記ガラス板に衝突する洗浄流体の噴流を放出することを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記加圧空気が、前記ガラス板の面に対して約２５°〜９０°の角度αで前記スロットから出ることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項７】
前記ワイピング装置が加圧空気を放出する複数のスロットを備えることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項８】
冷却流体の流れを、前記仕上げ部材と前記ガラス板との接点に近接した前記仕上げ部材に向ける冷却流体供給部材をさらに備え、前記冷却流体の流れが前記ガラス板の縁部にほぼ平行であることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項９】
前記ワイピング装置が、真空がかけられる真空スロットをさらに備えることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項１０】
前記スロットにより放出される前記加圧空気の速度が、前記スロットの長さに沿って変化することを特徴とする請求項４に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の説明】
【０００１】
本出願は、米国特許法第１１９条（ｅ）項に基づき２００５年１２月２１日に出願された米国仮特許出願第６０／７５２，８５８号の優先権の利益を主張するものであり、この出願の全体を参照により本明細書に援用する。
【技術分野】
【０００２】
本発明は、ガラス板の縁部の処理装置および方法に関する。特に、本発明は、フラットパネルディスプレイに用いることができる、ガラス板の縁部を研削または研磨する装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）は、照明用外部光源に依存するパッシブ・フラットパネルディスプレイである。これらはセグメント化ディスプレイとして、または２つの基本構成の１つで製造される。２つのマトリックスタイプの基板の必要条件（透明であるとともに、表示処理中に曝される化学的条件に耐え得ること以外）は異なる。第１のタイプは、液晶材料の閾値特性に依存する内的（ｉｎｔｒｉｎｓｉｃ）マトリックス駆動型である。第２のタイプは、ダイオード、金属−絶縁体−金属（ＭＩＭ）デバイス、または薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）のアレイが電子スイッチを各画素に提供する、外的（ｅｘｔｒｉｎｓｉｃ）マトリックスまたはアクティブマトリックス（ＡＭ）駆動型である。いずれの場合も２枚のガラスがディスプレイの構造を形成する。２枚の間の間隔は５〜１０μｍ程度の限界間隙寸法である。個々のガラス基板シートは通例、厚さ約０．７ｍｍ未満である。
【０００４】
フラットパネルディスプレイで用いられるものと同様な高品質表面仕上げを必要とするガラス板の処理は通例、ガラス板を所望の形状に切断することと、その後切断ガラス板の縁部を研削および／または研磨してあらゆる鋭角部を除去することとを含む。研削および研磨ステップは例えば、二重エッジャーまたは二重縁取り機として既知の装置で行われる。このような二重縁取り機は既知であり、坂東機工株式会社、三菱重工株式会社、福山株式会社、および、ガラスマシナリー・エンジニアリング（Ｇｌａｓｓ  Ｍａｃｈｉｎｅｒｙ  Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ）から入手可能である。
【０００５】
二重縁取り機を用いたガラス板の縁部の研削および研磨中、ガラス板は通例、２つのネオプレンまたはゴムベルト間に挟持されている。ベルトはガラス板の両面と接触し、且つ協働して、ガラス板の縁部が研削砥石によって研削または研磨されている間にガラス板を適所に保持する。また、ベルトは、ガラス板を機械の供給部、機械の研削または研磨部、および機械の端部中を搬送する。
【０００６】
この二重縁取り機を用いたガラス板の把持、処理および輸送方法にはいくつかの欠点がある。第１に、縁部仕上げ中に生じる粒子はガラス板の表面上の主な汚染源であり得る。このため、ガラス板は、生成粒子を清浄および洗浄するための仕上げ工程の最後に大規模な洗浄および乾燥を必要とする。当然、仕上げ工程の最後のさらなる洗浄および乾燥ステップは、仕上げラインの当初のコストに影響を与え、製造コストを上昇させる。第２に、ベルトとガラス板との間に挟まれた粒子およびチップは、ガラス板の表面に深刻な損傷を与える恐れがある。場合によっては、この損傷は、後続の処理ステップ中の破損の原因となり、顧客へ出荷できる高品質のものが減少するため歩留まりの悪化を生じる恐れがある。
【０００７】
清浄度の問題に対処するために、損傷および汚染を防止するのに役立つプラスチックフィルムによりガラス板の表面を保護してもよい。しかし、汚染源をなくすかまたは最小限に抑えることができれば、プラスチックフィルムは必要なく、仕上げ工程のコストおよび複雑さを低減することになる。
【０００８】
特許文献１には、加圧空気が対向多孔板を通して分配されて、縁部処理によって生じる微粒子がガラス板を汚染しないようにすることにより、プラスチックコーティングの必要性をなくす、ガラス板の縁部を研削および／または研磨する方法および装置が記載されている。しかし、この向上にもかかわらず、多孔板は低気流を受けて、微粒子汚染を防止する際の板の有効性を限定する。さらにまた、低気流速度で効果的な封止を得るためには、板は比較的幅広くなければならず、そのため、ガラス支持体上に突出して板間に保持されるガラス量を増さなければならない。他の欠点は、多孔板から流出する気流が非指向性であり、研削粒子および冷媒を含むとその有効性が低下することである。
【０００９】
ＬＣＤディスプレイ装置で用いられるような薄膜ガラス板の場合、過剰な突起により振動が許容できない粗い処理縁部を生じる恐れがある。
【特許文献１】米国特許出願公開第２００５／００９０１８９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従って、縁部仕上げ中に生じる粒子および他の汚染物質がガラス板の両面を汚染または損傷を与えることを防止するのに役立つ一方で、清浄でチップのない処理縁部を提供する装置および方法が必要である。さらにまた、生成粒子レベルを最小限に抑えることは、下流側の洗浄装置への負荷を低減することになる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
フュージョンダウンドロー法は、成長中の発光フラットパネルディスプレイ産業にとって理想的な薄く（厚さ約０．７ｍｍ未満程度の）清純なガラス板の作製が可能である。ガラス板の縁部の仕上げなどのガラス板形成動作の下流の製造ステップは、縁部処理中に生じるガラス微粒子または他の仕上げに関連するごみで板を汚染する場合がある。そのため、汚染物質の生成を低減することにより、または汚染物質の有効な除去方法を利用することにより、このような汚染をなくすことは重要な問題である。従って、本発明の実施形態は、板の清純な性質を回復および維持しつつ、材料、好適にはガラス材料の板の縁部を処理する方法および装置を提供する。
【００１２】
簡単に説明すると、とりわけこの方法および装置の実施形態を本明細書に記載するように実施することができる。このような一実施形態において、ガラス板の縁部を処理する仕上げ部材を備える、ガラス板などの材料の板の縁部を処理（例えば研削または研磨）する装置が提供される。ガラス板は縁部に隣接する１対のほぼ平行な表面を有する。本装置は、仕上げ部材を実質的に取り囲むように構成且つ配置されたシュラウドをさらに含む。少なくとも１つのワイピング装置が１対の表面の一方に近接して配置されている。ワイピング装置は少なくとも１つのスロットから加圧空気を放出して、処理により生じる汚染物質をガラス板の表面から除去する。
【００１３】
本発明による装置は、冷却流体の流れを仕上げ部材および／またはガラス板に向ける冷却流体供給部材を搭載してもよい。冷却流体の流れはガラス板の縁部にほぼ平行であることが好ましい。
【００１４】
本装置は、ガラス板が処理されるときに、ワイピング装置が材料板の両側に隣接して配置されるように、間隙δを挟んで対向して配置された１対のワイピング装置を含んでもよい。
【００１５】
いくつかの実施形態において、本装置は、洗浄流体の流れを材料板上に向けてもよい。洗浄流体は、約３５°〜４５°の角度でガラス板上に衝突することが好ましい。
【００１６】
シュラウドは、ワイピング装置と協働して、仕上げ部材およびガラス板の縁部の一部を実質的に取り囲むことが好ましく、冷媒、洗浄流体および処理動作により生じる微粒子が、ガラス板に付着することを防止するのに役立つ。シュラウドは、排気路を含んでもよく、本装置から離れる汚染物質を回収して排出する排出路も含むことが好ましい。排気路は汚染物質除去を助けるために真空をかけられてもよい。シュラウドは、シュラウド内の圧力を均等にするための開口または口を含んでもよい。
【００１７】
他の実施形態において、縁部に隣接する１対のほぼ平行な表面を有するガラス板の縁部を処理する仕上げ部材と、仕上げ部材を実質的に取り囲むように構成且つ配置されたシュラウドと、ガラス板が通過可能に対向して配置されるとともに、各々少なくとも１つのスロットから加圧空気を放出して、処理により生じる汚染物質をガラス板の表面から除去する１対のワイピング装置とを備える装置が提供される。
【００１８】
本発明のさらに他の広い態様において、シュラウド内に実質的に封入された仕上げ部材で、縁部に隣接する１対のほぼ平行な表面を有するガラス板の縁部を処理するステップと、加圧空気の流れを少なくとも１つのスロットからガラス板に向けて、処理により生じる汚染物質をガラス板表面から除去するステップとが含まれる。
【００１９】
添付の図を参照して、何ら限定を意味することなく提示された以下の説明において、本発明はより容易に理解されるとともに、その他の目的と、特徴と、詳細と、利点とがより明瞭に明らかになろう。このような更なるシステム、方法、特徴および利点はすべてこの説明内に含まれ、本発明の範囲内にあり、添付の特許請求の範囲により保護されるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下の詳細な説明において、限定ではなく説明の目的のため、具体的な詳細を開示する例示的実施形態が記載されて本発明の完全な理解を提供する記載する。しかし、本開示の利益を得た当業者には、本発明が本明細書に開示された具体的な詳細から逸脱する他の実施形態で本発明が実施され得ることは明らかであろう。さらにまた、本発明の説明を分かりにくくしないように周知の装置、方法および材料が省略されている場合がある。最後に、該当する場合には、同様な参照番号は同様な要素を指す。
【００２１】
図１〜２を参照すると、本発明の例示的実施形態によれば、ガラス板の縁部を処理する装置が開示されている。装置１０は、ガラス板の縁部を研削または研磨するために用いられるものとして本明細書で説明されているが、装置１０を用いて、プレキシグラス（ｐｌｅｘｉ−ｇｌａｓｓ）（商標）または金属などの他のタイプの材料を処理することもできる。従って、本発明の装置１０は限定的に解釈するべきではない。
【００２２】
装置１０はシュラウド１２と、少なくとも１つのワイピング装置１４と、ガラス板の縁部を処理（例えば研削または研磨）可能な処理装置１６とを含む。本発明の実施形態によれば、処理装置１６は、処理装置１６を備える砥石などの仕上げ部材１８によりガラス板を処理する。処理装置１６は、例えば仕上げ部材１８を回転させる電気モータ１９を備え得る。少なくとも１つのワイピング装置１４は、処理装置１６がガラス板の縁部を処理する際に生成され得る粒子または他の汚染物質をガラス板の表面から除去可能である。ガラス板の片面のみを清浄に維持すればよい場合には、単一のワイピング装置のみを用いればよい。しかし、ガラス板の両面を清浄する必要がある場合、ワイピング装置をガラス板の両面上で用い得る。
【００２３】
図２〜３に図示する実施形態において、ワイピング装置１４（エアナイフ１４）は、第１の端２２と第２の端２４とを有するマニホールド２０を備える。マニホールド２０は第１の端および第２の端２２、２４の間に、マニホールド２０内を長手方向に延びる少なくとも１つのプレナム２６をさらに備える。第１のスロット２８が面３０からマニホールド２０内に延び、プレナム２６の長さに沿ってプレナム２６と接続している。第１のスロット２８も面３０にわたって長手方向に延びていることが好ましい。端部キャップ３２、３４をマニホールド２０の端部にボルト締めすることなどにより端部キャップをそれぞれ端部２２および２４に嵌合して、端部２２、２４においてスロット２８の部分を封止し得る。プレナム２６が加圧空気源（図示せず）に接続され得るように、端部キャップの一方または両方にプレナム２６へのアクセスを設ける。すなわち、プレナム２６には、プレナムの一端または両端から加圧空気が供給され得る。スロット２８は面３０の長さに沿って露出されているとともに、面３０に対して所定の角度で面３０に進入することが好ましい。
【００２４】
マニホールド２０は、これも第１および第２の端２２、２４の間に本体内に長手方向に延びる第２のプレナム３６を含み得る。第２のプレナムが含まれている場合には、第２のスロット３８がスロット２８と同様に面３０から第２のプレナム３６に延びている。２つのプレナムおよび２つのスロットを前提として以下に本実施形態を説明する。しかし、当業者には、より少ないまたはより多いスロットおよび／またはプレナムが本発明の範囲内にあることは理解されよう。
【００２５】
ワイピング装置１４は、洗浄流体の噴流を被処理ガラス板に向ける口４２をさらに備え得る。口４２はマニホールド２０の内部の貫通路などの、圧力下で口４２に供給される洗浄流体の供給源（図示せず）に接続されている。しかし、口４２は、マニホールド２０とは別の導管を容易に備えることもできる。例えば、洗浄流体の供給管はマニホールド２０に近接して位置してガラス板へ洗浄流体流を提供することもできる。口４２はスロット２８が口４２を越えて少なくとも約５ｃｍ延びるように端部２２または端部２４から内側にあって、スロットから流出する加圧空気による水滴の除去を向上させ、ガラス板の完全な乾燥を確実にすることが好ましい。洗浄流体はろ過されていることが好ましく、例えばミネラル残留物をガラス板上に形成させないように脱イオン水であり得る。必要に応じて洗浄流体は化学洗浄剤を含み得る。
【００２６】
第１のプレナム２６および第２のプレナム３６の両方とも、端部２２、２４（端部キャップ３２、３４）を介して加圧空気源に接続し得る。あるいは、プレナムを通路４０のみ、または両端部２２、２４および通路４０（図３に図示）を介して加圧空気に接続し得る。複数の通路４０はマニホールド２０の外面から各プレナムに延びていてもよく、必要に応じて各プレナムの長さに沿って個々にプレナム２６、３６に注入される加圧空気を提供する。このため、各プレナム内の加圧空気の制御を、各プレナムの長さに沿った位置に応じて制御することができる。例えば、洗浄流体が供給される場合のように、場合によっては、例えば複数の通路４０にわたり供給圧力を変化させて、スロットにより放出される空気の速度をスロットの長さに沿って変化させることにより、プレナムの長さに沿って異なる圧力で各プレナムに加圧空気を供給することが望ましい場合がある。清浄通路に近い各スロットを出る空気の高流出速度が、ガラス板の縁部の板の内側部分を濡らす可能性がある、洗浄流体の不要な「しぶき」を生じ得ることが確認された。このような場合、洗浄流体の付近のスロットにより放出される空気が、スロットの長さに沿った他の箇所の空気より遅い速度でスロットを出るように、より低い空気圧をプレナムの部分に供給することが望ましい場合がある。
【００２７】
図４は、各プレナム間の関係、さらにプレナム３６に対してプレナムと通路４０との間の関係をさらに示す、ワイピング装置１４の断面端面図である。すなわち、図４は、スロット２８、３８が面３０からプレナム２６、３６にそれぞれ延びていることを図示しており、図４に示した断面切片において、通路４０はマニホールド２０の外面からプレナム３６まで通じている。通路４０は図３に互い違いに示されているため、プレナムに接続する単一の通路４０のみが示されている。図１の実施形態に示され、上記に簡単に説明したように、装置１０はガラス板の両面から汚染物質を除去するために２つのワイピング装置１４を備え得る。一対のワイピング装置の配置は図５を用いてより良好に図示されている。
【００２８】
図５は、対向してガラス板４６の両側に配置された２つのワイピング装置１４の断面端面図である。２つの面３０は平行且つ間隙δだけ離間していることが好ましい。間隙δは２つの面の間に配置されたガラス板の厚さによって決まる。ディスプレイ用途の場合、ガラス板は通例厚さ１ｍｍ未満であり、より典型的には厚さ約０．７ｍｍ未満である。δは約２〜５ｍｍであることが好ましい。ガラス板４６は２つのワイピング装置面３０間に垂直方向に支持され、距離ｈだけ面を越えて上方に延びている。ｈは約２．５ｃｍ未満であることが好ましく、約２ｃｍ未満であることがより好ましく、約１ｃｍ〜２ｃｍであることが最も好ましい。ガラス板４６は従来の真空チャックにより支持され得るかまたは、ガラス板４６は、ガラス板４６が垂直状態にまたは装置１０がそのように配向されている場合には水平位置に、２面水軸受けを用いて支持され得る。必要に応じて水軸受けを真空バーと組み合わせて用いることができる。２面水軸受け構造において、シュラウドは、研削ごみが水軸受けとガラス面との間に進入してガラス表面を傷付ける危険を防止するため有利である。支持装置は、ガラス板４６を支持し、仕上げ部材１８に対してガラス板４６を併進させるために用い得る。例えば、支持装置をレールまたはトラック上に載置し、線形モータ（例えばステッパモータ）により移動し得る。関連技術で既知のガラス板と処理装置との間の相対移動を提供する他の方法を採用し得る。ガラス板の移動は自動化されていることが好ましく、通例コンピュータ制御システム（図示せず）により制御される。垂直構成で示されているが、装置１０およびガラス板４６を例えば垂直などの他の配向で配置することができる。
【００２９】
図６は、単一のワイピング装置１４に対する面３０およびスロット２８、３８の詳細図であり、スロットとガラス板４６との間の関係を示す。各ワイピング装置１４は、面３０内に開口する際の各スロットの長軸が、ガラス板の表面に平行な面と角度αをなすように載置されることが好ましい。すなわち、スロットから流出する空気が、実質的に角度αでガラス板４６の表面に衝突しなければならない。実質的が意味するものは、スロットを離れた後に空気が方向的にある程度拡散されることであるが、面３０の表面における気流の一般的な方向は角度αである。典型的な配置において、面３０はガラス板の面と平行であり、通路２６、２８は各々板の面と角度αをなす。しかし、面３０が板の面と平行でない場合、スロットから放出される空気が板に角度αで衝突しさえすればよい。各スロットから放出された空気は、ガラス板４６の隣接面に対して少なくとも約２５°の角度αでガラス板に衝突することが好ましく、約２５°〜９０°であることがより好ましく、約３５°〜４５°であることが最も好ましい。同様に、洗浄流体の噴流は、用いられる場合には、約３５°〜４５°のガラス板４６の面との角度をなさなければならない。各スロットを出る空気および口４２を出る洗浄流体の方向は、シュラウド１２内へとガラス板の縁部４８に向かうとともに板の本体とは離れる方向であるため、ワイピング装置から内側の板の汚染を制限する。縁部４８に隣接するガラス板４６の表面のそれらの部分も洗浄および乾燥される。
【００３０】
各ワイピング装置１４は、ガラス板の近くに真空を供給するなどの他のスロットをさらに含み得る。図７は、加圧空気をガラス板４６の表面に加圧空気を向ける２つのスロット２８、３８に接続された２つのプレナム２６、２８と、スロット２８および３８間に配置されたスロット５２と流体連通している第３のプレナム５０とを備えるワイピング装置１４の断面図を図示する。スロット５２は、マニホールド２０の長さに沿って端部２２から端部２４に延びていることが好ましい。真空をプレナム５０に、それによりスロット５２に供給することにより、スロット２８および３８によって放出された加圧空気によって除去されなかったまたは付着が防止されなかった微粒子をガラス板から除去することによって、ガラス板の清浄度を向上させる。
【００３１】
上述したように、ワイピング装置１４には、スロット２８、３８を介して面３０を出る加圧空気が供給される。その結果生じる高圧および１対のワイピング装置面間の狭い間隙δにおいておよびガラス板４６のほぼ平行な表面に対して生成される気流は、偏向してガラスおよび研削粒子ならびにガラス板縁部４８の仕上げから生じる他の汚染物質（例えば洗浄および冷却流体）を板の内面に到達しないように排除する。縁部４８の処理中に生じる微粒子および口４２から放出される洗浄流体はシュラウド１２内に向けられる。
【００３２】
装置１０が図１に示すように垂直配向している場合、シュラウド１２が実質的に閉鎖されていることが好ましい。実質的に閉鎖されるということが意味するものは、シュラウドボックスがすべての面で閉鎖されるということであるが、排出路用の様々な開口、冷却流体入口、およびシュラウドボックス内の仕上げ部材とワイピング装置間に延びるガラス板との接触を含む。シュラウド１２はそのため、シュラウド内部５６と流体連通している排気路５４と、排気口とシュラウド内部との間に接続された少なくとも１つの排出路５８とを備え得る。少なくとも１つの排出路５８は、シュラウド内部から微粒子および液体を回収し、それを排気路に向けるのに役立つ。装置１０の垂直配向において、真空が排気路５４にかけられて、シュラウド内部から微粒子および洗浄流体を除去するのに役立ち得る。シュラウドカバー６０はシュラウド１２を閉鎖し、開口の数を減らすのに役立つ。装置１０が水平配向にある場合には、カバー６０を外すことにより、その結果生じる、シュラウドの底部になる開口を介して流体および微粒子を回収することができる。
【００３３】
ここで図８〜９を参照すると、ガラス縁部４８と仕上げ部材１８との接触面を潤滑にして冷却し、さらに低い程度であるが接触面に近接した領域から微粒子を除去する冷却流体供給部材６２をシュラウドボックス１２内に挿入し得る。冷却流体供給部材６２は冷却流体、通例水の供給源（図示せず）と流体連通しており、冷却流体は圧力下で冷却流体供給部材６２に送達される。仕上げ部材１８への冷却流体の送達は、冷却流体供給部材６２により放出される冷却流体６４の流れがガラス板４６の縁部４８とほぼ平行（仕上げ部材とガラス板との接点における接線と平行）になるように好適に発生して、より乾燥したガラス隣接縁部４８を生じることが分かっている。すなわち、冷却流体の流れと、図９に図示した仕上げ部材１８の回転軸６８および仕上げ部材１８が縁部４８と接する点７０を通って引いた線との間の角度βが約９０°であることが好ましい。ガラス縁部にほぼ平行に（例えば線７２に沿って）向けられた冷却流体６４の流れは、回転仕上げ部材によりシュラウド１２内に戻されるように向けられやすく、ここで排気路５４によって除去できるためこの位置合わせは好ましい。冷却流体の流れがガラス縁部に向かう方向に向けられれば、例えば回転仕上げ部材はその流れは、エアナイフにより放出された空気のカーテンを通してガラス板上に向けられやすい。理想的には、冷却流体６４の流れは、仕上げ部材とガラス板の縁部４８との接触を示す点７０に向けられる。しかし、実際問題として、ガラス板の縁部は冷却流体供給部材６２の障害となり、そのため冷却流体供給部材６２はその代わりに、概して流体の流れとガラス縁部との間の上述した平行関係（例えば線７２と平行）を維持しつつ、接触点７０の僅か前方の（仕上げ部材の回転方向に対して）仕上げ部材上の点に向けられる。いくつかの実施形態において、さらなる冷却流体供給部材を利用し得る。この例では、第１の冷却流体供給部材をガラス板の上方に配置し得る一方で、第２の冷却流体供給部材をガラス板の下方に配置する。
【００３４】
シュラウド１２は、閉鎖位置と開放位置との間で動作可能なカバー（図示せず）を有する少なくとも１つの圧力平均開口７４をさらに含むことが好ましく、圧力平均開口７４を用いてシュラウド内の環境をシュラウドボックスの外側の外気圧に対して確実に負圧にし得る。シュラウドボックス内の負圧は、被処理ガラス板の縁部からシュラウドボックス内への物質（例えば洗浄流体、ガラス微粒子等）の流れを容易にする。砥石などの急速回転仕上げ部材１８は、排気路５４と連動して、シュラウドボックス内に正圧を生成する役目をすることが分かった。回転仕上げ部材により生じる気流と開放排気路との間の高速水流速度により発生するヴェンチュリ（Ｖｅｎｔｕｒｉ）によると考えられるこの効果は、冷媒および／または洗浄流体の追加により悪化する。圧力平均化開口７４の開放はこの問題を軽減するのに役立つ。
【００３５】
本発明の上記の実施形態、特に任意の「好適な」実施形態は単に可能な実現例であり、本発明の原理の明瞭な理解のため記載されているに過ぎないことを強調しなければならない。実質的に本発明の要旨と原理とから逸脱することなく、本発明の上記の実施形態に多くの変形および変更をなし得る。例えば、本明細書に記載の例示的実施形態は垂直構成で示されているが、本発明は水平配向で同等に効果的であり得る。このような変更および変形のすべては、本開示および本発明の範囲内に含まれ、冒頭の特許請求の範囲により保護されることを意図するものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】処理装置、仕上げ部材、１対のワイピング装置およびシュラウドを示す本発明による装置の実施形態の斜視図である。
【図２】図１のワイピング装置の全体的に見た分解組立図である。
【図３】端部キャップのない図２に示したものと反対端から見た図２のワイピング装置の斜視図である。
【図４】図２のワイピング装置の断面図である。
【図５】ガラス板が通過し得る間隙δを生成する対向して配置された１対のワイピング装置の断面側面図である。
【図６】加圧空気がガラス板上に衝突する角度を示すワイピング装置の部分断面図である。
【図７】真空がかけられ得る第３のプレナムおよびスロット組を含む図１のワイピング装置の断面図である。
【図８】冷却流体供給部材を示す図１の装置の部分斜視図である。
【図９】仕上げ部材に対する供給部材とガラス板との幾何学的関係を示す、図８の冷却流体供給部材の概略図である。
【図１】
2009521386.tif 000003
【図２】
2009521386.tif 000004
【図３】
2009521386.tif 000005
【図４】
2009521386.tif 000006
【図５】
2009521386.tif 000007
【図６】
2009521386.tif 000008
【図７】
2009521386.tif 000009
【図８】
2009521386.tif 000010
【図９】
2009521386.tif 000011
【国際調査報告】
2009521386.tif 000012