(57)【要約】無線通信装置の機械的な入力装置をテストするためのシステムが、提供されている。このシステムは、圧力空気調整器（１００）を具備し、この圧力空気調整器は、供給アパチャ（１０６）とこの供給アパチャに接続された少なくとも１つの排出アパチャ（１１０）を有した第１の接触面（１３６）とを備えている受入れユニット（１０２）と、この受入れユニットに対して回転可能に支持された分配ユニット（１０４）とを有している。この分配ユニットは、第１の接触面に接触する第２の接触面（１３８）を有し、前記少なくとも１つの排出アパチャの回転経路（１１２）に配置された少なくとも２つの入口アパチャ（１１４Ａ，１１４Ｂ）を有し、更に、少なくとも２つの分配アパチャ（１１６Ａ，１１６Ｂ）を有している。これら分配アパチャの各々は、入口アパチャの各々に接続されて、この入口アパチャが前記排出アパチャ（１１０）とオーバーラップしたときに圧力空気を供給する。
2009522543.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無線通信装置の機械的な入力装置をテストするためのシステムにおいて、
圧力空気調整器（１００）を具備し、この圧力調整器は、
受入れユニット（１０２）と、
この受入れユニット（１０２）に対して回転可能な分配ユニット（１０４）と、
前記受入れユニット（１０２）と分配ユニット（１０４）との相対的な回転を生じさせるための回転手段（１１８）とを有し、
前記受入れユニットは、供給アパチャ（１０６）と、この供給アパチャ（１０６）に接続された少なくとも１つの排出アパチャ（１１０）を有する第１の接触面（１３６）とを備え、また、前記分配ユニット（１０４）は、第２の接触面（１３８）を有し、この第２の接触面（１３８）は、前記第１の接触面（１３６）に接触し、前記少なくとも１つの排出アパチャ（１１０）の回転経路（１１２）に位置された少なくとも２つの入口アパチャ（１１４Ａ，１１４Ｂ）を有し、また、前記分配ユニット（１０４）は、少なくとも２つの分配アパチャ（１１６Ａ，１１６Ｂ）を有し、これら分配アパチャの各々は、前記入口アパチャ（１１４Ａ，１１４Ｂ）の各々に接続されて、入口アパチャ（１１４Ａ，１１４Ｂ）が前記排出アパチャ（１１０）とオーバーラップしたときに圧力空気を供給することを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記第１の接触面（１３６）と前記第２の接触面（１３８）とは、前記排出アパチャ（１１０）に対して非オーバーラップ位置にある前記入口アパチャ（１１４Ａ，１１４Ｂ）へと圧力空気が漏れるのを減じるために、入口アパチャ（１１４Ａ，１１４Ｂ）近くに気密性のあるカップリングを形成するように配置されていることを特徴とする請求項１のシステム。
【請求項３】
前記分配アパチャ（１１６Ａ，１１６Ｂ）に各々が接続された、圧力空気を搬送するためのパイプ（１２４Ａ，１２４Ｂ）と、
前記機械的な入力装置のキーを圧力空気により押圧するための遠隔アクチュエータアレイ（１２６）とを更に具備し、この遠隔アクチュエーターアレイ（１２６）は、複数の遠隔シリンダー（１２８Ａ，１２８Ｂ）と複数の遠隔ピストン（１３０Ａ，１３０Ｂ）とを有し、これら遠隔シリンダー（１２８Ａ，１２８Ｂ）の各々は、前記パイプ（１２４Ａ，１３４Ｂ）の各々に接続されていることを特徴とする請求項１のシステム。
【請求項４】
前記機械的な入力装置のキーを圧力空気により押圧するための一体的なアクチュエーターアレイ（２４２）を更に具備し、この一体的なアクチュエータアレイ（２４２）は、前記圧力空気調整器（１００）に組み込まれ、前記分配ユニット（１０４）に動作的にカップリングされ、また、この一体的なアクチュエータアレイ（２４２）は、複数の一体的なシリンダー（２４８Ａ，２４８Ｂ）と複数のピストン（２４４Ａ，２４４Ｂ）とを有し、これら一体的なシリンダー（２４８Ａ，２４８Ｂ）の各々は、前記分配アパチャ（１１６Ａ，１１６Ｂ）の各々に動作的に接続されていることを特徴とする請求項１のシステム。
【請求項５】
前記一体的なシリンダー（１１６Ａ，１１６Ｂ）を前記入口アパチャ（１１４Ａ，１１４Ｂ）に接続するための少なくとも１つの搬送チャネル（１Ａないし１Ｌ）を更に具備し、前記搬送チャネル（１Ａないし１Ｌ）は、前記第２の接触面（１３８）のレベルで圧力空気を搬送するように配置されていることを特徴とする請求項４のシステム。
【請求項６】
前記分配ユニット（１０４）と前記アクチュエータアレイ（２４２）との間に搬送ユニット（２４０）を有し、この搬送ユニット（２４０）は、搬送ユニット（２４０）の面に形成された溝部としての前記少なくとも１つの搬送チャネル（１Ａないし１Ｌ）を有していることを特徴とする請求項５のシステム。
【請求項７】
前記分配ユニット（１０４）は、円形対称のチャンバ（３０２）を形成するように設けられ、前記受入れユニット（１０２）は、前記円形対称のチャンバ（３０２）中に装着された円形のディスク状の構造体を有していることを特徴とする請求項１のシステム。
【請求項８】
前記分配ユニット（１０４）は、前記円形のチャンバ（３０２）の側壁を通る吸気口（２０４）を更に有し、この吸気口（２０４）と前記供給アパチャ（１０６）とは、前記分配ユニット（１０４）と前記受入れユニット（１０２）との所定の回転角度で接触するように配置されていることを特徴とする請求項７のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無線通信装置の機械的な入力装置をテストするためのテストシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
無線通信装置の製造は、無線通信装置が様々なテスト段階を受ける場合の複雑なテスト手順を含んでいる。１つのテスト段階では、機械的な入力装置が、機械的なタイプ入力のシーケンスを機械的な入力装置に導いて、このタイプ入力の反応を分析することにより、テストされる。
【０００３】
圧力空気と、シリンダー及びピストンとの配置は、代表的に、機械的なタイプ入力を生じさせるために用いられる。機械的なタイプ入力のシーケンスは、代表的に、シリンダーとカップリングされ電気的に制御されたバルブにより実施される。
【０００４】
しかし、機械的な入力装置の非常に多くのキーは、非常に多くのバルブと、これに関連した制御電子回路とを含む複雑なバルブシステムを必要とする。
【０００５】
従って、無線通信装置の機械的な入力装置をテストするための技術を検討することが、実用的である。
【発明の開示】
【０００６】
本発明の目的は、無線通信装置の機械的な入力装置をテストするための改良されたシステムを提供することである。本発明の態様に係われば、受入れユニットと、この受入れユニットに対して回転可能に支持された分配ユニットと、この分配ユニットと受入れユニットとの相対的な回転を生じさせるための回転手段とを有する圧力空気調整器を具備し、前記受入れユニットは、供給アパチャと、この供給アパチャに接続された少なくとも１つの排出アパチャを有する第１の接触面とを備え、また、前記分配ユニットは、第２の接触面を有し、この第２の接触面は、第１の接触面に接触し、前記少なくとも１つの排出アパチャの回転経路に配置された少なくとも２つの入口アパチャを有し、前記分配ユニットは、少なくとも２つの分配アパチャを更に有し、これら分配アパチャの各々は、入口アパチャの各々に接続されて、入口アパチャが排出アパチャと重なっているときに圧力空気を供給する、無線通信装置の機械的な入力装置をテストするためのシステムが提供される。
【０００７】
本発明は、様々な利点を与えている。本発明は、シンプルなメカニズムが、圧力空気を単一の圧力空気源から複数のアクチュエータに分配することを可能にしている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明は、実施形態と添付図面とを参照してより詳細に以下に説明される。
【０００９】
図１には、圧力空気調整器１００を有するテストシステムの分解図が、示されている。この圧力空気調整器１００は、受入れユニット１０２と、分配ユニット１０４とを有している。
【００１０】
前記受入れユニット１０２は、空気ポンプ又はガス容器のような圧力空気源から圧力空気１０８を受け入れるための供給アパチャ１０６を有している。
【００１１】
この受入れユニット１０２は、供給アパチャ１０６に接続された排出アパチャ１１０を更に有し、かくして、供給アパチャ１０６が圧力空気源に接続されたときに圧力空気１０８を与える。
【００１２】
この受入れユニット１０２は、前記排出アパチャ１１０を有する第１の接触面１３６を更に有している。
【００１３】
前記分配ユニット１０４は、圧力空気調整器１００が組み合わされているときに前記第１の接触面１３６に接触する第２の接触面１３８を有している。
【００１４】
組み合わされているとき、この分配ユニット１０４は、受入れユニット１０２に対して回転可能に支持され(pivoted)、かくして、受入れユニット１０２と分配ユニット１０４との回転軸線１２２を中心とした相対的な回転１３４が、可能である。このような相対的な回転１３４の間に、前記排出アパチャ１１０は、前記第２の接触面１３８上の回転経路１１２に沿って回転する。
【００１５】
前記分配ユニット１０４は、回転経路１１２に位置された少なくとも２つの入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂと、これら入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂに各々が接続された分配アパチャ１１６Ａ，１１６Ｂとを有している。図１の例では、分配アパチャ１１６Ａ，１１６Ｂが、入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂに夫々接続されている。
【００１６】
所定の相対的な回転角度で、前記排出アパチャ１１０は、入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂの回転位置に応じて入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂの１つずつにオーバーラップし、かくして、この入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂに対応した分配アパチャ１１６Ａ，１１６Ｂを圧力空気源に接続する。オーバーラップが果たされていない時の回転角度では、入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂは、前記第１の接触面１３６に接触し、圧力空気１０８の入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂ中への流れが、減じられる。
【００１７】
前記第１の接触面１３６と第２の接触面１３８とは、これら第１の接触面１３６と第２の接触面１３８とが、入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂ近くで、非オーバーラップの入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂへと圧力空気１０８を漏らすのを減じるために気密性のあるカップリングを形成するように、互いに適合されている。気密の必要性は、圧力空気１０８の圧力と、駆動メカニズムのような圧力空気１０８を使用したアクチュエータの感知性のような他の特徴とにより決定される。従って、気密の概念は、絶対的な方法ではなく、相対的な方法である。
【００１８】
図１は、前記受入れユニット１０２と分配ユニット１０４との相対的な回転１３４を生じさせるための回転手段１１８を更に示している。この回転手段１１８は、相対的な回転１３４を生じさせ得る電気モータ、圧力空気モータ、又は他のメカニズムであり得る。
【００１９】
本発明の実施形態では、この回転手段は、前記分配ユニット１０４に固定された本体と、前記受入れユニット１０２にカップリングされた回転部材とを有している。この回転部材は、前記本体に対して回転し、かくして受入れユニット１０２を分配ユニット１０４に対して回転させる。
【００２０】
前記受入れユニット１０４は、代表的に、金属、プラスチック、又はセラミックのような固体材料から製造されている。
【００２１】
前記圧力空気調整器１００は、圧力空気１０８が、入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂの構成と、受入れユニット１０２及び分配ユニット１０４の相対的な回転速度とにより決定された調整シーケンスに従って分配アパチャ１１６Ａ，１１６Ｂから供給されるのを、可能にしている。各分配アパチャ１１６Ａ，１１６Ｂにより出力された圧力空気１０８は、機械力をアクチュエータ内に生じさせて、テストを受ける機械的な入力装置１４０にこの機械力を与えるように、適用されることができる。
【００２２】
前記受入れユニット１０２は、複数の供給アパチャ１０６と排出アパチャ１１０とを有しても良く、これらアパチャの各々は、特定の回転経路１１２を有して良い。また、前記分配ユニット１０４は、異なる回転経路１１２で、入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂと分配アパチャ１１６Ａ，１１６Ｂとを有しても良い。
【００２３】
本発明の実施形態では、テストシステムは、圧力空気１０８を搬送するためのパイプ１２４Ａ，１２４Ｂと、この圧力空気１０８により機械的な入力装置１４０のキー１３２Ａ，１３２Ｂを押圧するための遠隔アクチュエータアレイとを有している。
【００２４】
前記機械的な入力装置１４０は、代表的に、無線通信装置のユーザから機械的な入力を受けるためのキーボード又はキーパッドのような機械的なインターフェイスである。この機械的な入力装置１４０は、少なくとも１つのキー１３２Ａ，１３２Ｂを有している。前記キー１３２Ａ，１３２Ｂは、電気スイッチ又は光スイッチに接続されて、機械的な入力を電気信号又は光信号に変換することができる。
【００２５】
前記無線通信装置は、また、移動電話、携帯電話、ユーザ機器、移動局、携帯端末、並びに/若しくは無線通信モデムとして称されることもできる。しかし、本解決策は、記載された装置に限定されず、無線通信ネットワークに接続可能な無線通信装置に適用されることができる。
【００２６】
前記遠隔アクチュエータアレイ１２６は、複数の遠隔シリンダー１２８Ａ，１２８Ｂと、これら遠隔シリンダー１２８Ａ，１２８Ｂの各々の内の遠隔ピストン１３０Ａ，１３０Ｂとを有している。各遠隔シリンダー１２８Ａ，１２８Ｂは、パイプ１２４Ａ，１２４Ｂに接続されて、調整シーケンスに従って圧力空気源から圧力空気１０８を受け取る。この圧力空気１０８は、機械的な入力装置１４０のキー１３２Ａ，１３２Ｂを押圧する遠隔ピストン１３０Ａ，１３０Ｂを駆動させる。
【００２７】
前記パイプ１２４Ａ，１２４Ｂは、例えば圧力空気１０８を搬送するのに適した剛性又は可撓性の金属、プラスチック、又はゴムのパイプであり得る。これらパイプ１２４Ａ，１２４Ｂと、遠隔アクチュエータアレイ１２６との使用により、圧力空気調整器１００は、テスト用の配置の実際のテストポイントから離れて位置されることができる。更に、パイプ１２４Ａ，１２４Ｂと、遠隔アクチュエータアレイ１２６との使用により、圧力空気の出力は、単一の圧力空気調整器１００から複数のアクチュエータアレイ１２６に案内されることができる。
【００２８】
遠隔アクチュエータアレイ１２６の遠隔シリンダー１２８Ａ，１２８Ｂの構成は、代表的に、キー１３２Ａ，１３２Ｂの構成に基づいて選択される。
【００２９】
この遠隔アクチュエータアレイ１２６は、代表的に、プラスチック又は金属のような固体の材料で形成されている。
【００３０】
本発明の実施形態の図２ないし４では、分配ユニット１０４は、円形対称(spherically symmetric)のチャンバ３０２を形成し、また、受入れユニット１０２は、この円形対称のチャンバ３０２中に装着された円形のディスク状の構造体を有している。円形対称のチャンバ３０２の円形対称と、受入れユニット１０４のディスク状の構造体の装着とは、受入れユニット１０２と分配ユニット１０４との相対的な回転１３４を可能にしつつ、２つのユニット間の気密性のある適合を与えている。
【００３１】
図２は、受入れユニット１０２と、分配ユニット１０４とを示している。受入れユニット１０２の一部分は、分配ユニット１０４の上部を超え、また、受入れユニット１０２の他の部分は、分配ユニット１０４中に形成された円形対称のチャンバ内に配置されている。図２は、受入れユニット１０２と分配ユニット１０４との相対的な回転位置を監視するために使用されるスイッチ２００と表示用の溝部２０２とを更に示している。スイッチ２００は、回転手段１１８を制御する制御電子回路に接続されることができる。受入れユニット１０２は、軸２０６により分配ユニット１０４に装着されることができる。
【００３２】
図３では、分配ユニット１０４は、回転経路１１２に位置された複数の入口アパチャ３０２を有することができる。図３は、円形対称のチャンバ３０２の内面３００の位置を更に示している。
【００３３】
図４を参照すると、円形対称のチャンバ３０２は、側壁２０８の内面３００により規定されている。受入れユニット１０２は、円形対称のチャンバ３０２内に装着された円形のディスク状の構造体を有している。この円形のディスク状の構造体は、円形のディスク状の構造体が、円形対称のチャンバ３０２内で回転され得るようなディメンションであることができ、円形のディスク状の構造体と前記内面３００とは、空気絶縁接触を形成している。
【００３４】
図４の例を更に参照すると、分配ユニット１０４は、円形対称のチャンバ３０２の側壁２０８を通る吸気口２０４を有している。この吸気口２０４と、受入れユニット１０２の側部に形成された供給アパチャ１０６とは、分配ユニット１０４と受入れユニット１０２との所定の回転角度で互いに接触するように、位置されている。
【００３５】
受入れユニット１０２は、この受入れユニット１０２の周りに中空バンド３０４を有することができる。この中空バンド３０４は、受入れユニット１０２と分配ユニット１０４との相対的な回転位置で、吸気口２０４からの圧力空気１０８を受けることができる。供給アパチャ１０６は、中空バンド３０４に接続され、空気チャネルが、受入れユニット１０２と分配ユニット１０４との特定の相対的な回転位置において、吸気口２０４と分配アパチャ１１６Ａとの間で開成する。
【００３６】
図５並びに６を参照すると、供給アパチャ１０６は、受入れユニット１０２の上部に位置されることができる。図６の例では、受入れユニット１０２は、回転軸線１２２の所に位置されたアダプター２２０にカップリングされても良いし、このアダプターに一体的であっても良い。このアダプター２２０は、例えば空気ホースにより圧力空気源に接続されることができる。この空気ホースは、空気ホースとアダプター２２０との相対的な回転を可能にする回転自由メカニズム(rotation free-mechanism)により、アダプター２２０に接続されることができる。
【００３７】
図６は、軸外の排出アパチャ１１０を軸上の供給アパチャ１０６に接続している空気チャネル２３０を示している。この空気チャネル２３０は、圧力空気を径方向へと搬送し、第１の接触面１３６に設けられる排出アパチャ１１０の径方向位置を選択する自由を可能にしている。図６では、空気チャネル２３０は、受入れユニット１０２内に形成されている。
【００３８】
図７並びに８は、アキシャルアダプター２２２を軸外の供給アパチャ１０６に接続しているチューブのような外側の空気チャンネル２１０を有した圧力空気調整器１００の実施形態を示している。
【００３９】
本発明の実施形態の図９を参照すると、テストシステムは、圧力空気１０８により機械的な入力装置１４０のキー１３２Ａ，１３２Ｂを押圧するための一体的なアクチュエータアレイ(integrated actuator array)２４２を更に有している。この一体的なアクチュエータアレイ２４２は、圧力空気調整器１００中に組み込まれ、分配ユニット１０４に動作的にカップリングされている。
【００４０】
この一体的なアクチュエータアレイ２４２は、複数の一体的なシリンダー２４８Ａ，２４８Ｂとピストン２４４Ａ，２４４Ｂとを有している。これら一体的なシリンダー２４８Ａ，２４８Ｂの各々は、分配アパチャ１１６Ａ，１１６Ｂに動作的に接続されている。
【００４１】
圧力空気調整器１００と一体的なアクチュエータアレイ２４２との一体構造が、テストシステムのテストチャンバ内に位置され得るコンパクトな機能ユニットを提供している。このような一体構造は、テストチャンバ中の圧力空気入力部分の数を最小限にすることができ、かくして、テストチャンバの構造を簡単にしている。
【００４２】
一体的なアクチュエータアレイ２４２は、代表的に、プラスチック、セラミック、又は金属のような固体の材料で形成されている。また、一体的なアクチュエータアレイ２４２は、ボルト又は他の取外し可能な組み立て手段により圧力空気調整器１００内に装着されるディスク状の構造体であることができ、かくして、異なる一体的なアクチュエータアレイ２４２が単一の圧力空気調整器１００に適用されることができる。一体的なアクチュエータアレイ２４２は、テストされる機械的な入力テスト装置１４０に従って構成されることができる。
【００４３】
図９並びに１０を参照すると、このテストシステムは、一体的なシリンダー１４８Ａ，２４８Ｂを入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂに接続するための少なくとも１つの搬送チャネル１Ａないし１Ｌを有することができる。前記搬送チャネル１Ａないし１Ｌは、第２の接触面１３８のレベルで圧力空気１０８を搬送する。図１０は、搬送チャネル１Ａないし１Ｌの構成を受入れユニット１０２の方向から示している。搬送チャネル１Ａないし１Ｌから一体的なシリンダー２４８Ａ，２４８Ｂへの開口部が、黒色点で示されている。搬送チャネル１Ａないし１Ｌは、回転経路１１２にオーバーラップしている。図１０は、また、入口アパチャ１１４Ａ，１１４Ｂに直接通じる開口部２Ａ，２Ｂを示している。
【００４４】
図９並びに１の圧力空気調整器１００は、図２ないし４に示されたものに類似することができる。
【００４５】
前記搬送チャネル１ＡないしＡＬは、一体的なシリンダー２４８Ａ，２４８Ｂが、テストされる機械的な入力テスト装置１４０のキー構成に従って自由に位置されることを可能にしている。
【００４６】
本発明の実施形態では、テストシステムは、分配ユニット１０４とアクチュエータアレイ２４２との間に搬送ユニット２４０を有している。この搬送ユニット２４０は、搬送ユニット２４０の面に溝部としての搬送チャネル１Ａないし１Ｌを有している。搬送ユニット２４０の溝部側は、分配ユニット１０４に面し、また、開口部を有した側は、一体的なアクチュエータアレイ２４２に面している。この搬送ユニット２４０は、代表的に、プラスチック、セラミック、又は金属のような固体材料で形成されている。この搬送ユニット２４０は、ボルト又は他の取外し可能な組み立て手段により圧力空気調整器１００内に装着されるディスク状の構造体でありことができ、かくして異なる一体的なアクチュエータアレイ２４２が、単一の圧力空気調整器１００に適用されることができる。この搬送ユニット２４０は、テストされる機械的な入力テスト装置１４０に従って構成されることができる。
【００４７】
本発明の実施形態では、搬送チャネル１Ａないし１Ｌは、分配ユニット１０４の面に形成されている。このような場合、分離した搬送ユニット２４０は、必要とされ得ない。
【００４８】
本発明の実施形態では、搬送チャネル１Ａないし１Ｌは、一体的なアクチュエータアレイ２４２の面に形成されている。
【００４９】
図１１を参照すると、一体的なアクチュエータアレイ２４２は、一体的なアクチュエータアレイ２４２の外側装置に圧力空気を供給するための圧力空気出力部分３Ａないし３Ｇを、一体的なアクチュエータアレイ２４２の両側に有している。図１１は、一体的なアクチュエータアレイ２４２を圧力空気調整器に固定するための組み立てボルト４Ａないし４Ｄを更に示している。
【００５０】
ピストン２６０が、テストされる機械的な入力テスト装置１４０に従って形成されている。
【００５１】
本発明は、添付図面に従った一例を参照して上に説明されたが、本発明が、これに限定されず、添付の請求項の範囲内で様々な形態に変更され得ることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】テストシステムの構造の第１の例を示している。
【図２】本発明の第１の実施形態に係わる圧力空気調整器の第１の例を示している。
【図３】本発明の第１の実施形態に係わる圧力空気調整器の第２の例を示している。
【図４】本発明の第１の実施形態に係わる圧力空気調整器の第３の例を示している。
【図５】本発明の第２の実施形態に係わる圧力空気調整器の第１の例を示している。
【図６】本発明の第２の実施形態に係わる圧力空気調整器の第２の例を示している。
【図７】本発明の第３の実施形態に係わる圧力空気調整器の第１の例を示している。
【図８】本発明の第３の実施形態に係わる圧力空気調整器の第２の例を示している。
【図９】本発明の実施形態に係わるテストシステムの第１の例を示している。
【図１０】本発明の実施形態に係わるテストシステムの第２の例を示している。
【図１１】本発明の実施形態に係わるテストシステムの第３の例を示している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009522543.tif 000009
【図８】
2009522543.tif 000010
【図９】
2009522543.tif 000011
【図１０】
2009522543.tif 000012
【図１１】
2009522543.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月3日(2008.12.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図３では、分配ユニット１０４は、回転経路１１２に位置された複数の入口アパチャ３０６を有することができる。図３は、円形対称のチャンバ３０２の内面３００の位置を更に示している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2009522543.tif 000014
【国際調査報告】
2009522543.tif 000015
2009522543.tif 000016
2009522543.tif 000017
2009522543.tif 000018