(57)【要約】  電気メッキ装置（３０）内でソーラーセル（２６）を処理するために、ソーラーセルを格子状又はトレイ形状の収容装置（１１）に挿入することが出来る。従ってソーラーセルは機械的に保持され、電気的な接触は、接触部（２４）を介してソーラーセルと行われる。個々のソーラーセル（２６）に代わって収容装置（１１）が、処理するための電気メッキ装置（３０）を介して、多数の挿入されたソーラーセルと共に移動される。この場合に電気的接触は、接触部（２４）と、収容部の縁部の細長い切片（１７）と共に突き出たアングル部分（１６）のフレーム辺部（１２、１４）とによって、ソーラーセル（２６）で成される。接触ローラ（４２）は、縁部の細長い切片に接触し、電源（４４）に接続される。
2009504906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一平面内に複数のフラットな基板（２６）を収容又は保持するための装置（１１）であって、
フレーム辺部（１２、１４）を備えたフレームを有し、
前記フレーム辺部（１２、１４）が、その近傍に又はその間に、凹所（２０）又は切り欠きを有する収容領域（２０）を形成し、
前記フレーム辺部（１２、１４）が、前記基板（２６）を機械的に保持するために、及び／又は添接する基板側面に電気的に接触（２４）するために、前記基板（２６）用の載置部（２２、２４）を有する、装置（１１）。
【請求項２】
前記載置部が、前記フレーム辺部（１２、１４）から突出る突出部（２２）であって、さらに詳細には、前記基板（２６）が前記突出部上に載置されて前記収容領域と又は前記フレーム辺部（１２、１４）とほぼ同一平面に位置するように、前記突出部（２２）は、前記フレーム辺部の平面の下方に延在することを特徴とする、請求項１に記載の収容装置。
【請求項３】
前記載置部（２２）が、上方に突出る接触部（２４）を、特に接触突起部又は接触尖端部を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の収容装置。
【請求項４】
前記フレーム辺部（１２、１４）の少なくとも一部分が、詳細には前記全てのフレーム辺部又は前記収容装置（１１）が、電気的に導通し、好ましくは金属から作られ、及び詳細には電気的に導通するフレーム辺部（１２、１４）が、電気的に導通するように相互接続されることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の収容装置。
【請求項５】
収容装置は、詳細にはそのフレーム辺部（１２、１４）が、それらの表面で、好ましくはコーティングによって、主要な部分が電気的に絶縁されることを特徴とする、請求項４に記載の収容装置。
【請求項６】
収容装置の外側領域から、特に外部のフレーム辺部（１２）から突出る部分（１６、１７）によって、好ましくは前記部分が、前記収容装置（１１）の平面から上方（１６）に、詳細には上方へ向かいその後、側面（１７）へ曲げられることを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載の収容装置。
【請求項７】
前記突出る部分（１６、１７）が、前記フレーム辺部（１２、１４）に、及び／又は前記添接する基板（２６）上の前記電気的な接触手段（２４）に電気的に導通するように接続され、詳細には前記部分が、電気的に導通する表面を有することを特徴とする、請求項６に記載の収容装置。
【請求項８】
一体的に、好ましくは一部材で形成されることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載の収容装置。
【請求項９】
基板（２６）が、前記フレーム辺部間の低圧力で液体が浸入することに対し、下向きに密閉する、又は閉鎖するように、隣接するフレーム辺部（１２、１４）間の収容領域（２０）内をシールする方法で設置されることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の収容装置。
【請求項１０】
前記挿入された基板（２６）に添接するために、前記フレーム辺部（１２、１４）の近傍でシールすることを特徴とする、請求項９に記載の収容装置。
【請求項１１】
並置され、連続する方法で、好ましくは等しい大きさの複数の収容領域（２０）があることを特徴とする、請求項１から１０のいずれか一項に記載の収容装置。
【請求項１２】
収容装置（１１）に固定することが可能なカバー装置において、挿入された基板（２６）が、前記収容装置（１１）と前記カバー装置の間に配置され、且つ抜け落ちないように固定され、詳細には前記カバー装置が、前記収容装置（１１）とほぼ等しい面積を覆うことを特徴とする、請求項１から１１のいずれか一項に記載の収容装置。
【請求項１３】
処理チャンバ（３２）を通る基板（２６）のための通過ルートを有する電気メッキ装置であって、
前記処理チャンバが、前記基板（２６）にコーティングの電気的な塗布のための、電解質のような処理媒体を有する前記電気メッキ装置において、
前記通過ルートが、請求項１から１２のいずれか一項に記載の収容装置（１１）を水平に移送するために、移送ローラ（３３）又は同様のものような、移送手段を有することを特徴とする、電気メッキ装置。
【請求項１４】
前記収容装置（１１）又は基板（２６）に上方から添接する圧接ローラ（３６）において、通過方向で基板（２６）の連続する列毎に少なくとも一つの圧接ローラ（３６）が設けられ、且つ詳細には前記圧接ローラが、非常に可撓性の、又は柔軟な構造を有することを特徴とする、請求項１３に記載の電気メッキ装置。
【請求項１５】
請求項１から１２のいずれか一項に記載の前記収容装置（１１）が、側方のアングル部分（１６、１７）によって、基板（２６）の平面から離れて上方へ突出し、電気的な接触手段（４２）へ、好ましくはさらに中間の水平の曲がりで延在し、詳細には前記電気的な接触手段が、添接する接触ローラを有することを特徴とする、請求項１３又は１４に記載の電気メッキ装置。
【請求項１６】
前記処理媒体の高さレベルが、収容装置（１１）内に配置された前記基板（２６）のちょうど下側まで延在することを特徴とする、請求項１３から１５のいずれか一項に記載の電気メッキ装置。
【請求項１７】
前記収容装置（１１）の上側に、特に前記圧接ローラ（３６）の間に複数の接触手段が配置され、好ましくは、回転する接触ローラの形態で、前記接触手段が、前記基板（２６）と電気的な接触を有することを特徴とする、請求項１３または１４に記載の電気メッキ装置。
【請求項１８】
前記接触手段が、移送方向に延在するフレーム辺部（１２、１４）に添接し、好ましくは、少なくとも一つの接触手段が、移送方向に延在する各フレーム辺部に添接し、詳細には前記フレーム辺部が、収容装置（１１）内の前記基板（２６）のレベルより高いことを特徴とする、請求項１７に記載の電気メッキ装置。
【請求項１９】
電気的な接触ブリッジが、前記フレーム辺部から延在し、前記フレーム辺部で前記接触手段が、そこに配置される前記基板（２６）に、好ましくは前記フレーム辺部から離れる方向に前記基板まで両側に及び弓形の方式で前記基板に添接し、詳細には前記基板が、前記接触ブリッジの端部上に載置されることを特徴とする、請求項１８に記載の電気メッキ装置。
【請求項２０】
接触ローラが、各一対の圧接ローラ（３６）の間に、好ましくは同一シャフト上に設けられることを特徴とする、請求項１７から１９のいずれか一項に記載の電気メッキ装置。
【請求項２１】
前記接触手段が、好ましくは接触ローラが、特に固い中央部分から弾性的に突出る接触面を備える、ばね変位する又は弾性的な構造を有することを特徴とする、請求項１７から２０のいずれか一項に記載の電気メッキ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面内に複数のフラットな基板を収容する又は保持する装置、及び処理チャンバを通る、上述の装置内に保持されている基板用の通過ルートを有する電気メッキ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばプリント回路板又は、特にソーラーセル又はウェファのような基板用の電気メッキ装置内で、基板はローラコンベヤの方式で移送ローラ上に置かれて移送されていた。しかしこれは、たとえば薄いソーラーセルのような、極めて敏感な基板の場合には問題をもたらすことがある。ここでは、基板を極めて薄いシリコンから形成することがあり、従って極めて敏感であり、又は壊れやすい。さらに、たとえば電気メッキ装置へ挿入する場合に、敏感な基板の取扱いは、極めて入念に行われなければならない。これは、多くの場合において、把持装置のための機械的な手間の増大か、あるいは取扱いの低速化を意味し、それは望ましくない遅延を意味する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の課題は、従来技術の問題を回避することができ、特に基板のより入念な加工と移送が可能である、冒頭で挙げた種類の、複数のフラットな基板を収容する又は保持する装置及びその加工に適した電気メッキ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この課題は、請求項１の特徴を有する装置および請求項１３の特徴を有する電気メッキ装置によって解決される。本発明の有利で好適な形態が、その他の請求項の主題であり、以下で詳細に説明される。請求項の文言は、明確に参照することによって明細書の内容とされる。
【０００５】
本発明によれば、装置はフレーム辺部を備えたフレームを有しており、そのフレーム辺部の間に収容領域が形成され、その場合にフレーム辺部によって切欠きないし切抜きが形成される。従ってフレーム辺部は、細分化手段として、特に外側フレームとその間のフレーム辺部とによって、たとえば格子状に延びている。フレーム辺部は、基板のための載置部を有しており、その載置部に、又はその載置部上に、基板が配置される。すなわち、基板の機械的保持及び/又は載置部に添接する基板への電気的接触が行われる。すなわち、複数のフラットな基板のための収容装置又はホルダを提供することができ、基板は収容領域へ挿入される。基板の種々の処理ステップのために、及び移送し、場合によっては保管するために、個々の基板が移動されるのではなく、収容装置全体が移動される。収容装置は、基板自体よりもずっと頑丈に形成することが出来るので、それ自体通常の把持装置などを問題なく使用することが出来る。さらに載置することにより、収容装置と基板との間で正確に定められた結合が存在し、その結合を所定の基板特性に合わせることが出来る。そして、多数の基板のための収容装置によって、個々の作業ステップによって一つの基板だけでなく、収容装置の基板全部を移動させることが可能である。収容装置又は載置部を介して基板への電気的接触が行われる場合に、場合によっては基板への付加的な接触装置を省くことが可能である。これはさらに、接触ローラ又はその他の接触装置による機械的負荷を削減する、又は回避することが出来るという利点を有している。従って特に好ましくは、収容装置によって、基板の機械的保持又は収容も、基板への電気的接触も行われる。
【０００６】
載置部は、例えば、フレーム辺部から張り出す、又は突出る突出部として形成することができる。その場合に突出部は、基板の面をできるだけ覆わないようにするために、比較的狭く、従ってほぼ点状に形成することが出来る。すなわち電気メッキ装置内の処理媒体との接触が、できるだけ大面積になって効果的である。代替として、収容部又はフレーム辺部上で基板の端縁領域によって基板を線形支持する形式にするために、突出部をもっと幅広くすることも出来る。それによって載置が分配されるので、特に敏感な基板の場合に、十分に安定した載置が可能である。突出部は、たとえば下方へ屈曲することによって、フレーム辺部面の下方に延びることができる。それによって載置される基板は、大体においてホルダないしフレーム辺部を有する平面内に位置することが可能である。その場合に突出部は、フレーム辺部の下側に形成される平面を越えて下方へ張り出すことも可能である。有利には、基板は、収容装置内に、又は基板の上側がフレーム辺部の上側面の下に位置しない方法で突出部上にあり、好ましくは特に少し突出るように載置される。それによって、上方から添接するローラなどが、すべての場合において基板の上側に添接し、基板を越えて突出するフレーム辺部には、大体において添接しないことを保証することが可能である。
【０００７】
電気的接触のために、上方へ立ち上がる特殊な接触部を、載置部に設けることが出来る。特に突出部に別に取り付けることが出来る接触部によって、突出部の材料又は構造に関係なく、電気的接触を改良することが出来る。接触部は、電気的に導通する表面を有する、接触突起、接触点又は接触ボタンの形式にすることが出来る。特に接触部は、有利には切替え接点のために使用される接触材料から作ることが出来る。本発明の形成において、基板が添接した場合に電気的接触が行われないように、接触部にシールを設けることが可能である。すなわち電気メッキプロセスにおいて、接点上の望ましくない付着を回避することが出来る。というのは、シールによって処理媒体が、直接接触部へ達することが出来ないからである。ここでは、たとえば接点を取り巻くカップ形状または鉢状のゴムシールが可能である。
【０００８】
多くのフレーム辺部又は全てのフレーム辺部が、電気的に導通可能であると、電気的な接触のために効果的である。特に収容装置全体が電気的に導通可能であって、たとえば収容装置は金属からなることが出来る。その場合に有利には、収容装置の全部の部品又はフレーム辺部が、導通するように相互接続されている。そのために、この種の収容部をたとえば薄板から格子状のトレイの形式で形成することができる。
【０００９】
本発明の他の形態において、収容部に電気的に絶縁するコーティング、たとえばラッカー塗装または被覆を設けることが可能である。すなわち、電気メッキプロセスの際に、収容部にコーティング材料の付着を回避することが出来る。その場合にこのコーティング材料の付着が、たとえば収容装置の露出した表面のような上述した接触部に起こる場合に、従来技術から当業者に知られているように、所定の時間間隔で前記接触部を掃除し、又は露出させなければならない。
【００１０】
外側において、特に外側領域において、又は外側のフレーム辺部から、装置の部分またはセクションを張り出すことが出来る。これは、有利には、ほぼ平坦な装置の平面から上方へ屈曲され、特にそれに連続してさらにもう一度側方へ屈曲される。前記張り出した部分が、基板と添接させるために、例えばフレーム辺部と、又は電気的な接触部と電気的に導通するように接続されている場合に、この部分を介して収容装置への電気的な接触を行うことが出来る。そのために、例えばこの部分は装置の他の部分と同一の材料から、例えば上述した薄板から形成することができる。好ましくは、収容装置全体を一部材で、又は一体的に形成することが可能である。さらにこの部分は、挿入された基板から少し離れた領域において収容装置を把持するために利用することも出来る。すなわち、装置を丁寧に扱うことが出来る。
【００１１】
本発明の他の形態においては、基板が、収容領域内で隣接するフレーム辺部の間で密閉されるように、収容装置を形成することが可能である。従って収容装置の全収容領域が基板で占められた場合に、収容領域は実質的に液密の面を形成する。密閉性に対する必要性は、処理媒体又は浴液を通って移動する場合に、少なくとも液体が下から基板とフレーム辺部との間の領域を通り抜けないことであり、その場合に、下からの液体の圧力が小さい場合にのみ言えることである。そのために、たとえばフレーム辺部に沿って、又は基板の側部がフレーム辺部に近接する領域に沿って、シールを設けることが出来る。それによって、基板と収容装置の上側とに、処理液が付着しないようにすることが可能である。これは特に、基板の下を向いた側においてのみ処理ないしコーティングを行おうとする場合に有利である。
【００１２】
有利には、収容装置は同一の基板のために形成されており、その場合に各基板は、同様に保持される。そのために有利には、複数の収容領域が、例えば全体として矩形の領域を備える連続的に並べて配置される。
【００１３】
本発明の他の形態において、収容装置にカバー装置を又はカバーを、特に移動可能に又はリンク的に固定することが出来る。収容装置内へ挿入された基板は、カバーによって固定され、又は抜け落ちたり緩んだりしないように確保することが出来る。その場合にカバーは、収容装置とほぼ等しい面積を覆う。有利にはカバーは、辺部とその間に位置する領域とを備えた同様な構造を有する。特に有利には、カバーは、収容装置と実質的に同様に又はほぼ同一に形成される。基板が収容装置内で上からも保持、又は固定されている場合に、基板を容易に移動させることができ、特に垂直に保持、又は回動することさえも出来る。カバーが複数の箇所において収容装置に固定される場合に、カバーはより弱く、又は薄く形成することが出来る。というのは、カバーは必ずしも独自の支持する構造を形成する必要がないからである。その役割は、基板を収容ホルダの収容領域内に保持することだけである。
【００１４】
本発明に基づく電気メッキ装置のために、基板が処理チャンバを通って走行することが提供される。処理チャンバは、基板にコーティングを電気メッキ塗布するために、処理媒体、例えば電解質を有する。その場合に基板は、有利には薄いプリント回路板であり、代替として、上述したように薄いソーラーセルであることが出来る。その場合に通過ルートは、移送手段、たとえば移送ローラ、移送歯車などを有する。この移送手段によって、上述の収容装置は移送され、又は通過ルート上で処理チャンバを通って走行する。その場合に、収容装置ないし基板上で、種々の別の機能のために、圧接ローラまたは圧接ホイールなどが添接することが出来る。基板の連続する列毎に、収容装置内で通過方向に少なくとも一つのこの種の圧接ローラを設けることが出来る。上述したように、基板が極めて敏感である場合には、基板を損傷しないために、圧接ローラは有利には特にソフトに形成される。
【００１５】
上述した収容装置は、基板面を越えて側方へ、又は基板面から離れる方向に張り出し、特に上方へ屈曲する。アングル部分は、上述した電気的接触部まで達し、その場合に接触部は有利には処理媒体と接触せず、又は電気メッキ装置の外部に配置される。その場合に特に有利には、収容ホルダを上方にそれからその後側方へ屈曲することであり、その結果、その端部が電気メッキ装置を越えて突き出る。電気的な接触は、添接する接触ローラ又は一緒に回転する接触クリップ又は接触ブラシのような他の接触部材を介して行うことが出来る。
【００１６】
有利には、処理媒体は、通過する基板の下側に又はこの基板まで延在する。基板の上側を乾いた又は清浄な状態に保つために、高さレベルを比較的正確に基板の下側へ達するようにすることが出来る。そのために、弱い波ないしその波立ちによって基板の下側へ達するために、処理媒体内である種の波を形成することも出来る。代替として、上述したように、基板を収容ホルダ内に密閉して配置することが出来る。
【００１７】
電気メッキプロセスのための電極などを、基板の下方に設けることが出来る。基板が処理媒体内に完全に浸かって走行する場合には、その上方に電極を設けることも出来る。
【００１８】
本発明の他の実施形態において、収容装置の上側に、たとえば圧接ローラの間に、基板と電気的な接触を形成する複数の接触手段を提供することが出来る。接触手段を周囲接触ローラとして形成することが出来る。そのために、接触手段は、例えばフレーム辺部に添接することができ、有利には移送方向に延びている。特に有利には、少なくとも一つの接触手段が、移送方向に延びる各フレーム辺部に設けられている。
【００１９】
接触手段が添接するこのフレーム辺部は、有利には、収容装置内の基板よりも高くすることが出来る。従ってフレーム辺部は、浴液のレベルの概ね上方にある。フレーム辺部は、電気的に導通することも出来る。基板を接触させるために、冒頭で挙げた、完全に導通するフレームの他に、接触手段を有するフレーム辺部からそこに配置される基板へ延在する接触ブリッジを提供することが出来る。接触ブリッジは、弓形又はブリッジ状の構造を有し、離れたフレーム辺部と基板とを相互に連結し、その場合に例えば基板は、接触ブリッジの端部に載置できる。すなわち、導通フレーム無しでさえも基板の電気的な接触を可能にする。
【００２０】
各場合において、一対の圧接ローラの間に、好ましくは同じシャフト上に、接触ローラを設けることができる。その場合に接触手段、好ましくは接触ローラを、特に堅固な中央部分から弾性的に張り出す接触面を備えて、ばね変位するように、又は弾性的に形成することが出来る。接触手段は、セグメント化することが出来るが、それは概ねより弾性的な形成を提供するためにのみ用いられる。
【００２１】
これらの特徴及びさらなる特徴を、請求項、明細書及び図面から得ることができ、その場合に個々の特徴を、それぞれそれ自体単独で、あるいは複数を互いに組み合わせる形式で、本発明の実施形態において及び他の分野において実施することができ、有利に、及びそれ自体保護可能な構造を表すことができ、そのための保護がここに請求される。本願を個々の部分および中見出しに分割することは、以下になされる説明の一般的な妥当性を決して限定するものではない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施形態が、添付の概略図面によって、以下で詳細に説明される。
【００２３】
図１には、ほぼトレイの形式で形成されている、収容装置１１が斜視図で示されている。外側に延在する外部フレーム辺部１２とその間に延在する内部フレーム辺部４が、ある種の格子を形成し、その間に収容領域２０として用いられる切欠きが設けられている。図から明らかなように、フレーム辺部１２と１４との間の全ての収容領域２０は、等しい大きさである。これは、異なっていてもよい。
【００２４】
右方向に、アングル部分１６が設けられている。ここでは、外部フレーム辺部１２はまず上方へ屈曲され、その後端縁細片１７によって再び側方まで延在する。収容装置１１は、金属から、特に金属薄板から形成することができる。さらに、収容装置は、コーティングまたは、電気メッキの際に通常使用される処理媒体に対して耐性を有するラッカー又はコーティングによって、絶縁性の被膜で覆われる。端縁細片１７は、少なくとも一方の側において覆われていないというより、電気的に導通する表面を有し、有利にはそれが両側である。
【００２５】
特に図２と３の拡大図により、フレーム辺部１２と１４の幾つかの箇所から、どのように突出部２２が張り出しているかが分かる。この突出部は、例えば溶接によって、後からフレーム辺部に固定することができる。代替として、突出部を打抜きプロセスなどによって、単一の金属薄板からフレーム辺部と共に形成することが出来る。図３の断面表示から明らかなように、突出部２２の厚みは、フレーム辺部の厚みよりも小さく、特に半分の厚みしかない。それによって、図２に破線で示すように、突出部２２の端部に配置された接触部２４上に、ソーラーセルないしシリコンウェファ２６が載置された場合に、ソーラーセルの上側が収容装置１１ないしフレーム辺部１２の上側を越えてあまり突出しないように意図される。これは、以下で図４と５を用いてさらに詳細に説明される。
【００２６】
接触部２４は、たとえば接点または接触先端であることができ、通常切替え接点などのために使用される接触材料又は同様の材料から作られ、従って突出部２２自体とは異なる材料からなる。これは、それによって収容領域２０内へ配置されるソーラーセルと又はその他の基板とのさらに良好な接触という利点を有している。
【００２７】
本発明の代替的な形態において、比較的小さい個々の突出部２２の代わりに、幅の広い細片が、フレーム辺部１２と１４から突き出し、ソーラーセル２６の幅の広い載置と、従って良好な機械的支持を可能にする。各収容領域２０に対して示された三つの突起部２２より多い突出部２２を有することも可能で、突起部２２は、特に全てのフレーム辺部に亘って分布する。数少ない突出部２２の利点は、製造が簡単なことにある。加えて、それによって処理媒体が、特に良好に基板又はソーラーセルの下側に塗布される。
【００２８】
本発明のさらに他の形態において、接触部２４が、ほぼ点状の領域でソーラーセル２６に添接するように、突出部２２の接触部２４の回りに円形のシール又は同様のシールを有することが考えられる。この添接領域は、シールによって包囲され、外側へ向かって遮蔽されて、その場合にシールは、添接領域をできるだけ小さく抑えるために、できるだけ接触部に近接される。この場合において、接触部は、処理媒体と接触することが防止され、従ってコーティングもされない。この種のシールの正確な形態は、当業者には一般に知られており、問題なく実施することができる。
【００２９】
図４の電気メッキ装置３０の表示において、壁３１が処理チャンバ３２を形成し、この処理チャンバ内に、ソーラーセル２６上に付着されるべき金属を溶解する処理媒体としての電解質が収納されている。図１に示す収容装置１１は、電気メッキ装置３０を介して移送ローラ３３上に置かれて移送される。移送ローラ３３は、駆動装置３４によって駆動される。図５から明らかなように、且つ一般に知られているように、多数の移送ローラ３３が連続的に配置されて、収容装置１１又はソーラーセル２６用の移送ルートを形成する。
【００３０】
各収容領域２０で収容装置１１は、ソーラーセル２６を載せる。圧接ローラ３６は、電気メッキ装置３０内でソーラーセル２６の上側に添接する。この圧接ローラ３６は、金属コア３８上で極めてソフトなゴムライニング３７からなり、圧接ローラもまた駆動装置３４を介して駆動される。圧接ローラ３６は、連続して配置されたソーラーセル２６の列に沿って、それぞれ比較的正確に中央に載置されるように配置される。圧接ローラ３６の機能は、ソーラーセル２６を収容装置１１又は収容領域２０内に保持し、下側で接触部２４の添接を保証することである。
【００３１】
収容装置１１のアングル部分１６は、処理チャンバ３２内の処理媒体の高さを少なくとも越えて上方に突出る。その場合に、右に突出ている端縁細片１７は、右の壁３１を越えて突出る。接触ローラ４２は下側に接触する。図５の移送ローラ３３及び圧接ローラ３６と同様に、複数の接触ローラ４２が通過ルートに沿っても設けられる。これらを介して端縁細片１７によって一定の電気的接触があり、従って収容装置１１への電気的接触が保証される。接触ローラ４２はさらに、電源４４又はそのマイナス極に接続される。電源４４のプラス極は、細長い電極４０に接続され、その電極は処理チャンバ３２内のソーラーセル２６の上下でローラの間に配置されている。
【００３２】
機能
ソーラーセル２６は、処理のために収容装置１１内に配置される。収容装置１１によってソーラーセル２６の電気的接触は、下側で添接する接触部２５を介して行われる。図示されていないカバー装置又は同様の装置によって、ソーラーセル２６を収容領域２０内に、例えばさらに、格子状のフレーム、クリップなどによって、堅固に保持することが出来る。本発明の他の形態において、ソーラーセル２６を収容領域２０内へ、又は接触部２４に対して押圧するばね又は同様のものを設けることができ、その場合に基板を挿入する時に自動的にロックされる。そして、例えば突出部２２の近傍に、小さい吸引カップ、すなわち真空保持手段などを設けることも可能である。それらはまた、上述したシール機能によって接触部２４を包囲することが可能である。
【００３３】
ソーラーセル２６は、有利にはシリコンからなり、又はシリコンウェファである。これまでソーラーセル２６は、接触材料としての銀ペーストによって、部分的に複雑な方法でプリントされていた。電気メッキ装置３０は、特にソーラーセルの前部に、接触層を電気的に付着させるために備えられる。従って処理チャンバ３２内の処理媒体は、それに応じた成分の接触材料、例えば銀を含んでいる。
【００３４】
その後、ソーラーセル２６を収納する収容装置１１は、電気メッキ装置３０内へ挿入される。収容装置１１は、前記処理チャンバ３２を通って移送ローラ３３上で移送ルートに沿って走行する。銀の付着をソーラーセル２６の下側のみで行おうとする場合には、処理媒体の高さをそれに応じて選択することができ、又は処理媒体がソーラーセル２６の下側にのみ延在するようにされる。
【００３５】
ソーラーセル２６は、アングル部分１６又は端縁細片１７によって、接触部２４と突出部２２及びフレーム辺部１２と１４を介して下側で電気的に導通するように接続さる。接触ローラ４２が端縁細片１７まで延在し、さらに電源４４のマイナス極に接続されるから、ソーラーセル２６の下側はこの電位となる。電源４４のマイナス極と接続される電極４０によって、ソーラーセル２６の下側に処理媒体から銀を付着するために、電圧が印加され、又はソーラーセル２６への電位勾配が構築される。処理媒体の通過速度と組成、及び電源４４の作動のような処理パラメータは、それぞれに所定の塗布の関数として選択されるべきであり、かつ当業者には何ら問題にならない。十分な銀の付着又はコーティング後に、ソーラーセル２６を有する収容装置１１は、電気メッキ装置３０から移動され又は取り出される。さらなる処理又は一時的貯蔵によって引継がれる。ソーラーセル２６が、個々に必要でない、又は加工されない限り、収容装置１１内に残しておくことが可能である。後者において、ソーラーセルを容易に移送し、保管し、且つ損傷から保護することが可能である。
【００３６】
コーティング材料が、収容装置１１にも付着されるから、少なくとも接触部２４においてそれらが保護されていない場合に、コーティングは、所定の時間間隔で除去されるべきである。このプロセスは、当業者の間で、「剥がし（Entstrippen）」と呼ばれている。収容装置１１が、接触部２４と端縁細片１７の近傍においてのみ、電気的に導通する表面を有する場合は、その他の領域においてコーティングが行われないから有利である。コーティングの上述した除去の代わりに、それを湿化学的に行うことも出来る。
【００３７】
図４には圧接ローラ３６が、どのようにそれぞれソーラーセル２６を収容領域２０内へ圧入するかが示されている。ソーラーセル２６の上側が、フレーム辺部１２と１４の上側を越えて少し突出している場合に、圧接ローラ３６が常に基板又はソーラーセル２６の上に添接し、従って接触部２４に対して下向きに、基板又はソーラーセル２６を押圧することが確保される。
【００３８】
電源４４に加えて、ソーラーセル２６の下方に光源を設けることもまたできる。光源は、適切な波長、好ましくは４００ｎｍと１１００ｎｍとの間の波長の光で、ソーラーセル２６を下から照射することによって、コーティングプロセスを支援することが出来る。場合によっては、光源のみによって必要とされる電気メッキ電流を発生させることが考えられる。しかし有利には、この種の光誘導の電流発生は、上述した制御された電源と組み合わせられる。
【００３９】
図６と７に示す代替の変形体において、後部フレーム辺部１１２と内部フレーム辺部１１４を有するフレーム形状の収容装置１１１に、基板１２６が収容されている。基板は、上述したのと同様の設備を介して移送ローラ１３３によって移送される。基板１２６は、圧接ローラ１３６によって収容装置１１１内に保持される。圧接ローラ１３６は、中間に設けられた接触ローラ１５２と同じシャフト１５０上に取り付けられている。接触ローラは、中央部分１５３から張り出す、ばね変位する接触領域１５４を有する。接触ローラ１５２又は接触領域１５４は、フレーム辺部１１４の上側に添接する。このフレーム辺部は、連続的に電気伝導性であり、又は然るべきコーティング又は載置部を有する。
【００４０】
前記電気的に導通するフレーム辺部１１４から、接触ブリッジ１５５が両側に突出る。接触ブリッジは、代替的に弓形部材として、あるいは同等に機能する形状を有することができる。接触ブリッジ１５５は端部１５６へ移行し、そこに基板１２６が載置されて、それによって上述した方法で接触部２４と電気的に接触がなされる。
【００４１】
ここで、フレームへの電気的な接触が、平面的に分配される中央方式、即ち一方の側からのみでなく行われることは有利である。従って、電流の勾配が無い。接触面が局所的に汚れた場合に、電流供給の中断の危険は非常に少なくなる。電解質から電気的に分離する、又は隔離するさらなる措置が講じられる場合に、個別の電流を通過方向で全てのフレーム辺部１１４に供給することもまた考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に基づく収容装置を示す斜視図である。
【図２】図１の収容装置の詳細を拡大して示す。
【図３】図１の収容装置の詳細を拡大して示す。
【図４】ソーラーセルのための本発明に基づく電気メッキ装置を断面で示す。
【図５】図４に基づく電気メッキ装置の側面図である。
【図６】別の本発明に基づく電気メッキ装置の斜視図である。
【図７】図６の収容装置への接触の詳細を拡大して示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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