(57)【要約】  ガラス粉末の粉末射出成形によってガラスまたはガラスセラミック物品を製造する方法が、連続混合方法において成分を一緒に混合する工程であって、ガラス粉末とバインダーとを含む混合物を形成する、工程と、ここで、この成分が、得られた混合物の少なくとも５０体積％に等しい十分な相対量のガラス粉末と、熱可塑性ポリマー、望ましくは熱可塑性エラストマーとワックスとを含むバインダーとを含み、この混合物を形成された構造物に形成する工程と、形成された構造物を脱結合および焼結する工程とを含む。本方法は、望ましくは二軸スクリュー押出機内で混合することによって、望ましくは、高強度混合方法によって混合する工程を必要とする。形成プロセスが、混合物をペレット化する工程と、ペレット化された混合物を射出成形して形成された構造物を形成する工程とを含んでもよい。混合物の成分は望ましくは、得られた混合物の少なくとも７０体積％に等しい十分な相対量のガラス粉末を含む。ガラス粉末は望ましくは、不規則な形状を有する少なくとも若干のガラス粒子を含有する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス粉末の粉末射出成形によってガラスまたはガラスセラミック物品を製造する方法において、
連続混合プロセスにおいて成分を一緒に混合して、ガラス粉末とバインダーとを含む混合物を形成する工程であって、前記成分が、得られた混合物の少なくとも５０体積％に等しい十分な相対量のガラス粉末、および熱可塑性ポリマーとワックスとを含むバインダーを含むものである工程と、
前記混合物から第１の形成された構造物を形成するように前記混合物を形成する工程と、
前記第１の形成された構造物を脱結合および焼結する工程と、
を含む方法。
【請求項２】
一緒に混合する前記工程が、連続高強度混合方法によって混合する工程を含むことを特徴とする、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記高強度混合方法が、二軸スクリュー押出機、連続ミキサ、またはニーダー内で混合する工程を含むことを特徴とする、請求項２記載の方法。
【請求項４】
形成する前記工程が、前記混合物をペレット化する工程と、ペレット化された混合物を射出成形して前記第１の形成された構造物を形成する工程とを含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項記載の方法。
【請求項５】
前記成分が、前記得られた混合物の少なくとも７０体積％に等しい十分な相対量のガラス粉末を含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項記載の方法。
【請求項６】
前記成分が、前記得られた混合物の７５体積％に等しい十分な相対量のガラス粉末を含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項記載の方法。
【請求項７】
前記成分が、不規則な形状を有するガラス粒子を含むガラス粉末を含むことを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項記載の方法。
【請求項８】
前記成分が、不規則な形状を有するガラス粒子から主になるガラス粉末を含むことを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項記載の方法。
【請求項９】
脱型の後および脱結合の前に、前記第１の形成された構造物に第２の構造物を積層する工程をさらに含み、焼結が、前記第１の形成された構造物と前記第２の構造物とを一緒に付着させることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項記載の方法。
【請求項１０】
前記第２の構造物が第２の形成された構造物であることを特徴とする、請求項９記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の説明】
【０００１】
本出願は、２００５年１２月３１日に出願された米国仮特許出願第６０／７５５，６３７号明細書および２００６年３月３１日に出願された米国特許出願第１１／３９４，６９２号明細書に対する優先権を主張する。
【技術分野】
【０００２】
本発明は一般に、粉末射出成形によるガラス粉末からのガラスおよびガラスセラミック物品の製造、および特に、粉末射出成形によるガラスおよびガラスセラミック物品の製造のための改良された、より効率的方法、それによって製造された物品に関する。
【背景技術】
【０００３】
ガラスおよびガラスセラミック材料は、多くの用途のために有益な性質を有する。多くのガラス系材料の化学的および物理的耐久性、生物学的不活性、高温安定性、および透明性などの優れた性質は、化学および生物学研究所および製造プロセスにおいてのこのような材料の広範囲の用途につながっている。ガラス材料は、例えば、生物学的ウェルプレート、「ラボ・オン・チップ」、マイクロリアクターにおいて、および他の流体およびマイクロ流体用途において使用されているか、またはその使用に提案されている。また、ガラスおよびガラスセラミック物品は、多くの他の産業用途においておよび様々な消費製品において広い用途がある。
【０００４】
これらのおよび多くの他の用途において、ガラスまたはガラス−セラミック材料から形成された物品が複雑な形態または形状を有することがしばしば望ましいことがある。しかし、このような材料において複雑な形状を製造することは非常に難しいことがあり、いくつか理由を挙げると、このような材料を望ましくするまさにその耐久性および不活性のために、それらをエッチング、機械加工、あるいは他の方法で減法形成プロセスによって形成することが難しくなるからである。これらの理由のために、これらの材料を複雑な形状に成形することができることが望ましい場合がある。
【０００５】
ガラスおよびガラス−セラミックスを複雑な形状に成形するために有用である可能性がある技術は、粉末射出成形である。粉末射出成形において、粉末にポリマーバインダーを混合し、次に、混合物を射出成形する。脱型した後、得られた物品を脱結合し、焼結する。高粉末配合量（高い率の粉末および低い率のバインダー）は、完成製品の過度の多孔度、ワーピング、および過度の収縮を避けるために望ましい。粉末射出成形は金属形成に広範囲におよびセラミック形成プロセスにおいてある程度は適用されているが、ガラス系材料の粉末射出成形にはほとんど注意は払われていない。これは、ガラス粉末粒子は典型的に非常に不規則であるからであると思われるが、他方、粉末射出成形のための理想的な粒子形状は、粉末およびバインダー混合物の流動および充填能力を最大にするために、小さなアスペクト比を有する球状であると一般に理解されている。
【０００６】
（本出願の譲受人に譲渡された）特許文献１、「粉末形成のための可逆的なポリマーゲルバインダー（Ｒｅｖｅｒｓｉｂｌｅ  Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｇｅｌ  Ｂｉｎｄｅｒｓ  ｆｏｒ  Ｐｏｗｄｅｒ  Ｆｏｒｍｉｎｇ）」（’１９７号特許）には、金属粉末、セラミック粉末、およびガラス粉末など、様々な粉末タイプを用いて粉末射出成形のためのバインダー組成物および方法またはプロセスが開示されている。そこに開示されたプロセスは、高い粉末配合量（５０〜７５体積％）を達成するが、製造または生産環境により適応可能でなおかつ高い粉末配合量などの良い性能を示しうる、より効率的なプロセスが望ましい。
【特許文献１】米国特許第５，６０２，１９７号明細書
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の１つの態様において、ガラス粉末の粉末射出成形によってガラスまたはガラスセラミック物品を製造する方法が提供される。本方法は、連続混合方法において成分を一緒に混合して、ガラス粉末とバインダーとを含む混合物を形成する工程であって、この成分が、得られた混合物の少なくとも５０体積％に等しい十分な相対量のガラス粉末と、熱可塑性ポリマーとワックスとを含むバインダーとを含むものである工程と、この混合物を形成された構造物に形成する工程と、形成された構造物を脱結合および焼結する工程とを含む。本方法は、望ましくは二軸スクリュー押出機内で混合することによって、望ましくは、高強度混合プロセスによって混合する工程を必要とする。形成プロセスは、混合物をペレット化する工程と、ペレット化された混合物を射出成形して形成された構造物を形成する工程とを含んでもよい。混合物の成分は望ましくは、得られた混合物の少なくとも７０体積％、最高７５％に等しい十分な相対量のガラス粉末を含む。ガラス粉末は望ましくは、不規則な形状を有するガラス粒子の少なくとも若干を含有し、それらから主になってもよい。
【０００８】
本発明の方法の別の１つの実施態様によって、方法は、脱型の後および脱結合の前に、形成された構造物に別の構造物を積層する工程と、２つの構造物を焼結し、それによってそれらを一緒に付着させる工程とをさらに含んでいてもよい。他の構造物は、場合により、元の形成された構造物と同じプロセスによって形成された構造物であってもよい。このプロセスによって、複雑な密閉幾何学形状を形成してもよい。
【０００９】
さらなる別の実施態様として、脱結合および焼結の工程は、形成された構造物を予備焼結して、予備焼結された形成された構造物を製造する工程と、予備焼結された形成された構造物に別の構造物を積層する工程と、積層された構造物を焼結してそれらを一緒に付着させる工程とをさらに含んでもよい。この変型は、比較的長い独立範囲が最終構造物中の大きな領域を密閉することが意図される場合に利点を提供することがある。
【００１０】
熱可塑性ポリマーは望ましくは熱可塑性エラストマー、例えば、クラトン（Ｋｒａｔｏｎ）（登録商標）Ｇ１６５０およびＧ１６５２として販売されているようなトリ−ブロックスチレン−エチレン／ブチレン−スチレンコポリマーまたはそれらの組合せである。ワックスは望ましくは、ヘキサデカノールおよびオクタデカノールの１つまたは複数である。
【００１１】
本発明の方法は、微細な構造物および密閉された空間または他の複雑な形状を有する物品など、構造化ガラス物品の高処理量製造を提供する。得られた物品は、良い形状保持および表面の性質を有することが示されている。
【００１２】
本発明の様々な実施態様のさらに別の特徴および利点は以下の詳細な説明に示され、ある程度、当業者にはその説明からすぐに明らかであり、または特許請求の範囲に続く詳細な説明、ならびに添付された図面など、本明細書に記載されるように本発明を実施することによって認識されるであろう。
【００１３】
前述の一般的な説明および以下の詳細な説明は本発明を示し、請求されるように本発明の性質と特徴を理解するための概要または枠組みを提供することを意図するものであることは理解されるはずである。添付した図面は、本発明のさらなる理解を提供するために与えられ、本明細書に組み込まれ、その一部を成す。図面は、本発明の様々な実施態様を示し、説明とともに、本発明の原理および作用を明らかにするのに役立つ。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の好ましい実施態様への参照をここで詳細に行うが、その実施例は、添付した図面に示される。可能な場合はいつも、同じ参照符号を図面の全体にわたって用いて同じかまたは同様な部分を指す。本発明の方法の１つの実施態様が図１に示され、参照符号１０によってほぼ全体にわたり示される。
【００１５】
図１に示された方法１０は、連続混合方法において成分を一緒に混合して、ガラス粉末とバインダーとの混合物を形成する、工程２０を含む。工程２０のための成分は、得られた混合物の少なくとも５０体積％に等しい十分な相対量のガラス粉末材料と、熱可塑性ポリマーとワックスとを含むバインダー材料とを含有し、カップリング剤および分散剤または剥離剤を含有してもよい。混合した後、得られた供給原料は、望ましくは、ペレット化されることによって工程２２において形成され、次いで工程２４において射出成形されて所望の構造物を形成する。次に、得られた形成された構造物は工程２６において脱型され、工程２８において脱結合および焼結される。
【００１６】
工程２０に戻ると、ガラス粉末材料は、焼結時に結晶化している、相分離している、ならびに非晶質のままであるタイプ、またはこれらの組合せなど、どんな望ましいタイプであってもよい。本発明の方法は、１０μｍ未満の粒子９０％を有する粒子から６０μｍ未満の粒子９０％を有する粒子まで、およびさらに大きい粒度の相当な範囲の粒度について良い性能を示しているので、粉末粒度および粒度分布は、一つには、形成される構造物のサイズによって決定されてもよい。
【００１７】
熱可塑性ポリマーは望ましくは、熱可塑性エラストマー、最も好ましくは、米国テキサス州、ヒューストンのクラトン・ポリマー（Ｋｒａｔｏｎ  Ｐｏｌｙｍｅｒｓ，  Ｈｏｕｓｔｏｎ，  Ｔｅｘａｓ  ＵＳＡ）から入手可能な「クラトン」Ｇ１６５０またはＧ１６５２もしくはそれらの混合物などのトリ−ブロックスチレン−エチレン／ブチレン−スチレンコポリマーである。ワックスは望ましくは、１つまたは複数のヘキサデカノールおよびオクタデカノールである。カップリング剤は望ましくは、ネオアルコキシチタネートまたはＴＲＩ（ジオクチルホスファト）チタネートなどのオルガノチタネートであり、鉱油中で３：１に希釈されてもよく、粉末材料に０．８重量％の率で添加されてもよい。剥離剤は望ましくはポリエチレンワックスである。ワックス、ポリマー、および剥離剤成分は望ましくは、約６０重量％のワックス、３０重量％の「クラトン」、および１０重量％の剥離剤の比において混合デバイスに提供される。
【００１８】
工程２０のために用いられた混合デバイスは望ましくは、強化された混合のために設計されたスクリューを有する二軸スクリュー押出機である。上に記載されたガラス粉末およびバインダー混合物を二軸スクリュー押出機内で混合することによって、様々なタイプの大量生産の需要に容易に適応可能な単一工程、連続混合方法を提供する。５０体積％を超える粉末配合量、および最高７０〜７５体積％が、均質な、仕様に従った供給原料を製造する。
【００１９】
対照的に、先の１９７号特許によって、粉末スラリーを提供するために粉末分散剤および分散剤のための溶剤を用いて［焼結可能な粉末を配合することによって］高い粉末配合量が達成される。溶融ワックス中のポリマーの均一な溶液または分散体を含むワックス／ポリマー混合物を提供するために、別個の容器および別個の混合工程において、バインダーに混入するために選択された熱可塑性ポリマーに選択された低融点ワックス成分をワックスの融解温度を超える温度において配合する。次に、粉末スラリーにワックス／ポリマー混合物を配合し、配合物を、ワックスの融解温度を超える温度において一緒に混合する。混合は、バインダー混合物中の粉末の均質な分散体を提供するために少なくとも十分な時間続けられるが、スラリーから溶剤成分をできる限り蒸発させるために十分である。乾燥ミル添加としてではなくスラリーとして粉末成分を混入することによって、バインダー中の粉末の配合量をより高くすることができる。
【００２０】
上に記載された’１９７号特許の方法とは反対に、本発明による方法は、強化された混合のために特に設計されたスクリューを有する二軸スクリュー押出機内で望ましくは行なわれた単一連続工程２０において、ガラス粉末材料を混合物の他の成分と混合する。驚くべきことに’１９７号特許の上記の教示を考慮して、良い成形性能を維持したまま、５０体積％以上、７０〜７５体積％までの高粉末配合量が本発明によって達成される。
【００２１】
図２は、本発明のプロセスまたは方法の別の実施態様を示し、それによって、ここで２８ａと記された工程２８の別の変型において、脱型された構造物を最初に積層し、次いで脱結合し、焼結する。本発明のこの実施態様を用いて、図４および５に示されるような、密閉マイクロ流体構造物などの密閉構造物を製造することができる。
【００２２】
図４は、３つの別個の構造物３２、３４、および３６を示す。３つの全ては、望ましくは、図２の工程２６によって、本発明の射出成形工程段階によって製造される。次に、３つの全ては、工程２８ａによって、図４に示されるように整列および一緒に積層される。積層した後、次いで構造物３２、３４、および３６の３つの全てを同時に脱結合および焼結してもよく、３つの構造物３２、３４、および３６が融着して図５に示されるような単一構造物３８になり、従って内部空間３９の気密シールおよび液密シールをもたらす。従って、図２の方法は、ガラスまたはガラス−セラミック物品中の複雑な内部構造物の効率的および簡単な形成をもたらし、それ故に、マイクロリアクターおよびマイクロ熱交換器等のマイクロ流体デバイスの形成において有用である。
【００２３】
本発明の方法の別の実施態様が図３に示される。図３の方法は、図４および５に示された物品に似た物品の製造のために最適化されているが、さらにより大きな全長の内部エンクロージャを必要とする。このような物品については、脱結合および焼結の間にたるみが生じる可能性が存在する。それ故に図３において、工程２８ｂは、当然、適切な構造用支持材を用いて、成形製品を脱結合および予備焼結する工程を有する。工程２８ｂにおいて予備焼結した後、個々の製品は、積層および工程３０においての最終焼結のために準備ができている。このようにして、大きな全長の内部エンクロージャにわたっても、積層された層間の良いシールがたるみを全く伴わずに得られる。
【００２４】
他の変型によって、脱結合および焼結は、必要とされるかまたは望ましい場合には全て同時にまたは別々におよび独立に行なわれて最終製品の多孔度の所望の程度（または欠如）を提供することができる。部分的焼結も意図的に用いて、開口細孔構造物を作り出してフィルターまたは他の高表面積デバイスを提供することができる。
【実施例】
【００２５】
実施例１
コーニングガラスコード７７４０、７９１３、７７６１（米国、ニューヨーク州、コーニング）の粉末などの様々なガラス粉末を用いて、上に記載された方法によって供給原料を調製した。粉末粒度は、９０％＜１０μｍから９０％＜６０μｍまで様々であった。（射出成形による）製品成形、積層、脱結合および焼結が行なわれた。本発明の方法は、ガラスのタイプ、粒度、およびこれらの範囲内の粒度分布に関係なく良い性能を提供した。焼結の間に非晶質のままである組成物、相分離する組成物、および結晶化する組成物などのガラスの様々な組成物を用いて焼結と、積層に次いで焼結との両方について良好な結果が得られ、ガラスとガラス−セラミック材料との両方の物品を形成する方法の多用性および広い用途を示す。
【００２６】
図１〜３と共に上に記載された方法をさらに使用して図４〜５に一部が示されたタイプの密閉マイクロ流体構造物を製造した。米国、ニューヨーク州、コーニングのコーニング・インコーポレーテッド（Ｃｏｒｎｉｎｇ  Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ）から入手可能なコード７７６１ガラスを用いて上に記載されたように作製された成形製品を、米国、ニューヨーク州、フロリダのザーカー・レフラクトリー・コンポジッツ（Ｚｉｒｃａｒ  Ｒｅｆｒａｃｔｏｒｙ  Ｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓ）製の多孔性アルミナセッターボード上に平らな面を下にして置いて、押込空気流を有する電気炉内で脱結合したが、以下の脱結合計画を用いた：１時間２００℃まで増加、１時間保持、７時間６３０℃まで増加、１時間保持、炉の自然速度で周囲温度まで冷却。次に、脱結合された製品をアルミナセッターボード上に平らな面を下にして電気焼成真空炉内で焼結したが、以下の焼結計画を用いた：３０℃において６時間保持−真空に引く、８時間８００℃まで増加、１時間保持、０．５時間保持−真空を解除、炉の自然速度で周囲温度まで冷却。多層の接合のために、焼結された層をアルミナセッターボード上に積層し、約２００ｇの重さの別のアルミナセッターを上に載せ、次いで、以下の計画を用いて電気炉内で一緒に融着した：２．５時間８００℃まで増加、０．５時間保持、炉の自然速度で周囲温度まで冷却。
【００２７】
実施例２
図１〜３と共に上に記載されたプロセスをさらに用いて、米国、ニューヨーク州、コーニングのコーニング・インコーポレーテッドから入手可能なコード７９１３ガラスを用いて一部が図４〜７に示されたタイプの密閉マイクロ流体構造物を製造した。成形製品を脱結合し、以下の計画を用いて電気炉内で焼結した：２℃／分において２２５℃まで増加、１時間保持、２℃／分において１１０５℃まで増加、６０分保持、炉の自然速度で周囲温度まで冷却。
【００２８】
図６は、得られた一緒に焼結された層４０および４２の断面デジタル画像を示す。層は、最初は層４０上に立つ壁構造物４４において付着される。図７は、層４０および層４２が壁構造物４４によって接合される接合部の１つの拡大を示し、接合位置にある接合部は矢印Ｊによって示される。図からわかるように、接合部の領域は十分にシールされ、十分に接合される。これは、マイクロリアクターまたはマイクロ熱交換器などのマイクロ流体構造物を含めて、密閉構造物などの数個構成構造物の形成のための本発明の方法の適性を示す。
【００２９】
実施例３
５７の単一層成形製品を射出成形し、５７の製品からサンプル抽出された１０の製品を、上に記載された方法によって焼結した。焼結後の寸法の変動は、長さにおいて１３８．１４±０．３６ｍｍ（０．２６％）および幅において９１．８０±０．２７ｍｍ（０．２９％）に限られた。１０の試料については、焼結収縮は、製品の表面にわたって１１の選択された局所寸法について９．１±０．３％であった。
【００３０】
実施例４
貫通孔を有する層が本発明の方法によって良好に製造された。ガラスマイクロ流体デバイス中に貫通孔を掘削する必要を除くことによってかなりの製造出費を節約することができる。図８は、貫通孔４８を有する層４６の一部のデジタル画像である。
【００３１】
実施例５
本発明の方法によって、焼結後の寸法２００μｍの幅、１０μｍの深さ、および５６ｍｍの長さのマイクロチャネルを、約２．５ｃｍ×７．５ｃｍ×１ｍｍの寸法を有する層に製造した。コーニングコード７９１３（米国、ニューヨーク州、コーニング）ガラス粉末を使用した。図９は、流体リザーバ５０およびマイクロチャネル５２の一部を示す、得られた構造物の一部のデジタル画像である。焼結されたマイクロ流体チャネルの品質を評価するために、入口および出口のために打ち抜かれた適切な孔を有する流体基材上にＰＤＭＳカバーを置いた。ＩＰＡで清浄にした後、ガラス基材へのシリコーンの適切なシールが流体チャネルの周りに得られた。次に、バイオ分離のために使用された典型的な基質ゲルを調製し、マイクロ流体入口孔に適用した。毛管力のために、このゲルは、出口孔までずっと流体チャネル全体を充填することが観察された。これは、焼結された製品の表面の品質（表面ゼータ電位など）がバルクガラスの表面の品質に近づくことを示唆し、従って、本発明の射出成形および焼結方法によって機能性ガラスマイクロ流体毛管チャネルを粉末材料から製造することができることを示す。
【００３２】
実施例６
本発明の方法の実施態様によって約１５〜２０ｍｍの高さ、４〜７ｍｍの直径および１ｍｍの壁厚さのオーダーの寸法を有する先細中空円筒構造物を射出成形し、焼結した。未処理、脱結合および完全に焼結された製品を比較した。図１４は、未処理構造物５４、脱結合された構造物５６、および焼結された構造物５８を比較のために並んで示す、構造物の３つのデジタル画像である。図１４の画像からわかるように、構造物５４から構造物５８まで若干の異方性収縮が生じるが、エッジの鋭さなどを含めて形状全体が構造物５４から構造物５８まで構造物によく維持されている。図からわかるように、本発明のこの実施態様において、脱結合された構造物５６は未処理構造物５４のサイズの約９４％を維持し、他方、焼結された構造物５８は未処理構造物５６の幅の約８４％および高さの７４％を維持する。
【００３３】
比較的高アスペクト比の構造物のこのすぐれた形状保持は、上に記載された好ましいバインダー材料の性質に少なくとも一部は起因すると考えられる。図１０および１１は、図１４の構造物５４に似た未処理構造物の破砕断面の異なった倍率（それぞれ５０×および１０００×）を示す。図からわかるように、バインダー材料は、ガラス粉末の不規則造形粒子の周りおよび間にフィラメントのウェブを形成する。図１２および１３は、図１４の構造物５６に似た脱結合された構造物の破砕断面の異なった倍率（それぞれ５０×および１０００×）を示す。図からわかるように、ウェブ状バインダー材料はもはや存在しないが、ガラス粉末の不規則造形粒子はここで互いによく付着されている。
【００３４】
粒子のある程度の不規則性は、保持または生強度および所望の最終焼結形状のために望ましいと考えられる。対照的な実施例として、丸いシリカ煤粒子だけから本質的になるガラス粉末の本発明においての使用は、得られた形成された物品が脱結合時に粉砕する傾向を示した。従って、ガラス粉末中の不規則粒子のある最小部分を維持することが望ましいと考えられる。
【００３５】
本発明の範囲および精神から逸脱することなく、本発明に様々な改良および変更が実施できることは当業者には明らかであろう。従って、本発明は、本発明の改良および変型を、それらが添付された特許請求の範囲およびそれらの等価物の範囲内にあるならば網羅することを意図する。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の方法の１つの実施態様の工程系統図である。
【図２】本発明の方法の別の実施態様の工程系統図である。
【図３】本発明の方法のさらに別の実施態様の工程系統図である。
【図４】本発明の方法の実施態様によって製造されたデバイスの実施態様の断面図である。
【図５】最終焼結工程の後の図４の断面図である。
【図６】本発明の１つの方法によって製造された構造物のデジタル画像である。
【図７】図６の構造物の拡大デジタル画像である。
【図８】本発明の別の方法によって製造された構造物のデジタル画像である。
【図９】本発明の別の方法によって製造された構造物のデジタル画像である。
【図１０】本発明の方法の実施態様によって製造された未処理（脱結合されていない）構造物の破砕断面のデジタル画像である。
【図１１】本発明の方法の実施態様によって製造された未処理（脱結合されていない）構造物の破砕断面のデジタル画像である。
【図１２】図１０および１１の脱結合されていない構造物と同様な脱結合された構造物の破砕断面のデジタル画像である。
【図１３】図１０および１１の脱結合されていない構造物と同様な脱結合された構造物の破砕断面のデジタル画像である。
【図１４】本発明の実施態様を用いて得られた良い形状および形態保持を示すデジタル画像である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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