(57)【要約】本発明は対象物の工程進行と同時に対象物の背面に噴射ノズルを通じて液体を噴射させて背面クリーニングをすることができる対象物背面の洗浄装置に関するものである。本発明による対象物背面の洗浄装置は、駆動軸を回転させるスピンドルモーターと;  前記スピンドルモーターによって回転する駆動軸と;前記スピンドルモーターの中央及び駆動軸を貫通して設置され, 水路を形成する水路管と;  前記水路管の末端部に設置される多数の噴射ノズルと;対象物が装着され、駆動軸の回転によって回転する対象物装着部と;対象物の枠を固定するガイドと;前記対象物装着部及びガイドを前記駆動軸と連結する駆動軸連結部とを含んで構成されることを特徴とする。本発明を通じて水路と繋がれている噴射ノズルを通じて液体を噴射させて対象物の背面をクリーニングするようにして、工程を進行しながら同時に背面クリーニングが可能なので、工程時間の短縮及び背面のクリーニングにより不良率を減少させることができる。【選択図】図２
2009538732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動軸を回転させるスピンドルモーターと;
前記スピンドルモーターによって回転する前記駆動軸と;
前記スピンドルモーターの中央及び駆動軸を貫通して設置され、水路を形成する水路管と;
前記水路管の末端部に設置される多数の噴射ノズルと;
対象物が装着され、前記駆動軸の回転によって回転する対象物装着部と;
前記対象物の枠を固定するガイドと;
前記対象物装着部及び前記ガイドを前記駆動軸と連結する駆動軸連結部とを含んで構成されることを特徴とする対象物背面の洗浄装置。
【請求項２】
前記多数の噴射ノズルは、前記対象物装着部及び前記ガイドによって形成される前記対象物の下部に位置することによって、前記対象物背面を洗浄することを特徴とする、請求項１に記載の対象物背面の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は対象物背面の洗浄装置に関するものであり、より詳細には、対象物の工程進行と同時に対象物の背面に噴射ノズルを通じて液体を噴射させて背面クリーニングをすることができる対象物背面の洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の対象物を安着させて工程を処理する装置は、図1に図示したように、真空ホール(Vacuum Hole)を利用したコンタクト方式のスピンチャック(Spin Chuck)を使うから、対象物の下部には空間を形成していなかった。
【０００３】
したがって、対象物のトップ工程進行と同時に対象物の背面をクリーニングするということは不可能なので、クリーニングをする場合には対象物の工程を中断させて別途のクリーニング段階を経るか、または、クリーニング段階なしに工程を進行するしかなくて、不良率が高くなる問題点を持っている。
【０００４】
また、スピンチャックに繋がれているモーターシフト軸にはただ真空ホールだけ形成されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、本発明の目的は、スピンドルモーターの中央及び駆動軸を貫通する水路を形成して対象物の背面に水路と繋がれている噴射ノズルを通じて液体を噴射させて対象物の背面をクリーニングすることができる対象物背面の洗浄装置の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を果たすための本発明の対象物背面の洗浄装置は、駆動軸を回転させるスピンドルモーターと;前記スピンドルモーターによって回転する駆動軸と;前記スピンドルモーターの中央及び駆動軸を貫通して設置され, 水路を形成する水路管と;前記水路管の末端部に設置される多数の噴射ノズルと;  対象物が装着され、駆動軸の回転によって回転する対象物装着部と; 前記対象物の枠を固定するガイドと;前記対象物装着部及びガイドを前記駆動軸と連結する駆動軸連結部とを含んで構成されることを特徴とする。
【０００７】
望ましくは、前記噴射ノズルは、対象物装着部及びガイドによって装着されて空間が確保された対象物の下部に位置して洗浄をすることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
前記ように構成される本発明による対象物背面の洗浄装置は、水路と繋がれている噴射ノズルを通じて液体を噴射させて対象物の背面をクリーニングするようにして、工程を進行しながら同時に背面クリーニングが可能なので、工程時間の短縮及び背面のクリーニングにより不良率を減少させることができる效果がある。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】従来の対象物を安着させて工程を処理する真空(Vacuum)方式の装置を現わす斜視図である。
【図２】本発明による対象物背面の洗浄装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付された図面を参照して本発明による対象物背面の洗浄装置の望ましい実試例を詳細に説明する。
【００１１】
図２は本発明による対象物背面の洗浄装置の断面図である。
【００１２】
図２に図示したように、本発明による対象物背面の洗浄装置は、駆動軸を回転させるスピンドルモーター110と；前記スピンドルモーターによって回転する駆動軸120と；前記スピンドルモーターの中央及び駆動軸120を貫通して設置され、水路を形成する水路管130と；前記水路管130の末端部に設置される多数の噴射ノズル140と；対象物が装着され、駆動軸の回転によって回転する対象物装着部150と、対象物の枠を固定するガイド160と;前記対象物装着部及びガイドを前記駆動軸と連結する駆動軸連結部170とを含んで構成されることを特徴とする。
【００１３】
ここで、前記噴射ノズル140は、対象物装着部150及びガイド160によって装着されて空間が確保された対象物の下部に位置して洗浄をすることを特徴とする。
【００１４】
図１に図示したように、従来の方式は真空ホール(Vacuum Hole)を利用したコンタクト方式のスピンチャック(Spin Chuck)を使うため、対象物の下部には空間を全然形成していなくて背面を洗浄するということは不可能である。
【００１５】
したがって、図２に図示したように、前記真空ホール(Vacuum Hole)を利用したコンタクト方式のスピンチャック(Spin Chuck)代りに対象物装着部150及びガイド160を使って対象物を載せられておく。こんな構成を通じて対象物の下部(背面)に空間を確保することができるし、確保された空間に前記噴射ノズル140を位置させて水路管を通じて供給される液体を噴射ノズル140を通じて対象物の背面をクリーニングするようになる。
【００１６】
また、スピンドルモーター110の駆動によって駆動軸120が回転して駆動軸連結部170が回転するようになるので、駆動軸連結部170と繋がれている対象物装着部150及びガイド160が一緒に回転するようになって、対象物装着部150及びガイド160に装着された対象物が回転するようになる。
【００１７】
この時、前記噴射ノズル140は回転される対象物の背面に液体を噴射して洗浄するようになる。
【００１８】
従来には、洗浄装置があるが、対象物の背面を洗浄するのではないし、本発明が吸入式固定装置を採択しないから、対象物を取ってくれる真空吸入手段代りに水路管及び噴射ノズルを構成して対象物(Wafer、マスク)の背面を洗浄することができるようになる。
【００１９】
一方、本発明の構成及び作用を通じて対象物の工程進行と同時に対象物の背面に噴射ノズル140を通じて液体を噴射させて背面のクリーニングができる長所を持つようになる。
【００２０】
以上で説明したものは、本発明による対象物背面の洗浄装置を実施するための一つの実施例に過ぎないものであり、本発明は前記一実施例に限定されずに、本発明の特許の請求範囲で請求するように本発明の要旨を抜け出すことがなく、当該発明が属する分野で通常の知識を有した者ならば誰でも多様な変更実施が可能な範囲まで本発明の技術的精神があるということができる。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明は対象物の工程進行と同時に対象物の背面に噴射ノズルを通じて液体を噴射させて背面クリーニングをすることができる対象物背面の洗浄装置に関するものである。
【図１】
2009538732.tif 000003
【図２】
2009538732.tif 000004
【国際調査報告】
2009538732.tif 000005
2009538732.tif 000006