(57)【要約】  過酷な条件下での使用における変位量の低下を改善した積層型圧電素子を提供する。  そのために、積層型圧電素子は、複数の圧電体と複数の内部電極とを有し、圧電体と内部電極とが交互に積層された積層体と、該積層体の側面に形成された外部電極と、を備えた積層型圧電素子であって、外部電極は、基部と、該基部から外側に向かって突出する第１の凸部とを有している。
2009082006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電体と複数の内部電極とを有し、前記圧電体と前記内部電極とが交互に積層された積層体と、該積層体の側面に形成された外部電極と、を備えた積層型圧電素子であって、
前記外部電極は、基部と、該基部から外側に向かって突出する第１の凸部とを有していることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項２】
前記第１の凸部は、前記基部の表面において積層方向に直交しかつ前記第１の凸部の外周に接する２つの直線間の間隔によって定義される縦方向長が、前記基部の表面において積層方向に平行でかつ前記第１の凸部の外周に接する２つの直線間の間隔によって定義される横方向長より小さいことを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電素子。
【請求項３】
前記第１の凸部の長手方向が積層方向に直交することを特徴とする請求項２に記載の積層型圧電素子。
【請求項４】
前記第１の凸部は、前記基部の一方の端部から他方の端部まで延びていることを特徴とする請求項２又は３に記載の積層型圧電素子。
【請求項５】
前記第１の凸部は、前記内部電極の端部に対向するように形成されたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の積層型圧電素子。
【請求項６】
前記第１の凸部は、積層方向に複数並置されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の積層型圧電素子。
【請求項７】
前記複数の第１の凸部は、一定の規則に従って配置されていることを特徴とする請求項６に記載の積層型圧電素子。
【請求項８】
前記外部電極は、前記第１の凸部と対応する位置に内側に向かって突出する第２の凸部を有していることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の積層型圧電素子。
【請求項９】
前記積層体は、前記圧電体層及び前記内部電極と平行であって前記圧電体層及び前記内部電極と比較して剛性が低い低剛性層を備え、前記第１の凸部は、少なくとも前記低剛性層の側方に位置することを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の積層型圧電素子。
【請求項１０】
前記低剛性層は、空隙を介して互いに離隔した複数の金属部を有していることを特徴とする請求項９に記載の積層型圧電素子。
【請求項１１】
前記内部電極及び前記低剛性層のそれぞれの側方に前記第１の凸部を有し、前記低剛性層の側方に位置する前記第１の凸部の高さが、前記内部電極の側方に位置する前記第１の凸部の高さよりも大きいことを特徴とする請求項９又は１０に記載の積層型圧電素子。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれかに記載の積層型圧電素子と噴射孔とを備え、前記積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から液体を吐出させることを特徴とする噴射装置。
【請求項１３】
高圧燃料を備えるコモンレールと、このコモンレールに蓄えられた燃料を噴射する請求項１２に記載の噴射装置と、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御システムとを備えたことを特徴とする燃料噴射システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、駆動素子（圧電アクチュエータ）、センサ素子及び回路素子に用いられる積層型圧電素子（以下、素子ともいう）に関するものである。駆動素子としては、例えば、自動車エンジンの燃料噴射装置、インクジェットのような液体噴射装置、光学装置のような精密位置決め装置、振動防止装置が挙げられる。センサ素子としては、例えば、燃焼圧センサ、ノックセンサ、加速度センサ、荷重センサ、超音波センサ、感圧センサ及びヨーレートセンサが挙げられる。また、回路素子としては、例えば、圧電ジャイロ、圧電スイッチ、圧電トランス及び圧電ブレーカーが挙げられる。
【背景技術】
【０００２】
従来の積層型圧電素子における外部電極としては、特許文献１に開示されているように、銀などの導電材とガラスとを備えた導電性ペーストが用いられている。この導電性ペーストを積層体の側面に塗布し、焼き付けを行うことで外部電極が形成される。【０００３】
積層型圧電素子は、小型化が進められると同時に、大きな圧力下において大きな変位量を確保するように求められている。そのため、より高い電界が印加され、しかも長時間連続駆動させる過酷な条件下で使用できることが要求されている。
【特許文献１】特開２００５−１７４９７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の外部電極を用いた積層型圧電素子では、高電界、高圧力又は長時間の連続駆動のような過酷な条件下での使用において、外部電極の一部が積層体の側面から剥離する可能性がある。【０００５】
これは、通電によって素子が積層方向に伸長するとともに積層方向に直交する方向に収縮するためである。この伸縮により、積層体の側面に反りが生じて、積層体側面と外部電極との接合部に応力が加わる。この応力により、外部電極にも反りが生じて積層体の側面から剥離する場合があり、内部電極の一部が通電されず、積層型圧電素子の変位量が低下する可能性がある。【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、上記の過酷な条件下での使用における変位量の低下を改善した積層型圧電素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以上の目的を達成するために、本発明の積層型圧電素子は、複数の圧電体と複数の内部電極とを有し、前記圧電体と前記内部電極とが交互に積層された積層体と、該積層体の側面に形成された外部電極と、を備えた積層型圧電素子であって、前記外部電極は、基部と、該基部から外側に向かって突出する第１の凸部とを有している。【０００８】
また、本発明の噴射装置は、上記いずれかに記載の積層型圧電素子と噴射孔とを備え、前記積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から液体を吐出させることを特徴とする。【０００９】
さらに、本発明の燃料噴射システムは、高圧燃料を備えるコモンレールと、このコモンレールに蓄えられた燃料を噴射する上記の噴射装置と、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御システムと、を備えている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の積層型圧電素子によれば、外部電極が外側に向かって突出する第１の凸部を有していることにより、外部電極での反りが抑制される。そのため、外部電極の積層体からの剥離が抑えられる。結果、内部電極に安定して通電することができるので、積層型圧電素子の変位量の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる積層型圧電素子を示す斜視図である。
【図２】第１の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、積層方向に平行な断面における断面図である。
【図３】図２における第１の凸部が備えられた部分の拡大断面図である。
【図４Ａ】本発明の第２の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、第１の凸部が備えられた部分の側面図である。
【図４Ｂ】本発明の第３の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、第１の凸部が備えられた部分の側面図である。
【図４Ｃ】本発明の第４の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、第１の凸部が備えられた部分の側面図である。
【図５】本発明の第５の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、第１の凸部が備えられた部分の拡大断面図である。
【図６】本発明の第６の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、第１の凸部が備えられた部分の拡大断面図である。
【図７Ａ】本発明の第７の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、積層方向に直交する面であって低剛性層を含む断面における断面図である。
【図７Ｂ】本発明の第８の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、積層方向に直交する面であって低剛性層を含む断面における断面図である。
【図８】本発明の第９の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、第１の凸部が備えられた部分の拡大断面図である。
【図９】本発明の一実施形態にかかる噴射装置を示す概略断面図である。
【図１０】本発明の一実施形態にかかる燃料噴射システムを示す概略ブロック図である。
【符号の説明】
【００１２】
１・・・積層型圧電素子（素子）
３・・・圧電体層
５・・・内部電極
７・・・積層体
９・・・外部電極
９ａ・・・基部
９ｂ・・・第１の凸部
９ｃ・・・第２の凸部
１１・・・低剛性層
１３・・・空隙
１５・・・金属部
１７・・・セラミック部
１９・・・噴射装置
２１・・・噴射孔
２３・・・収納装置
２５・・・ニードルバルブ
２７・・・流体通路
２９・・・シリンダ
３１・・・ピストン
３３・・・皿バネ
３５・・・燃料噴射システム
３７・・・コモンレール
３９・・・圧力ポンプ
４１・・・噴射制御ユニット
４３・・・燃料タンク
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の積層型圧電素子について図面を参照して詳細に説明する。【００１４】
図１は、本発明の第１の実施形態にかかる積層型圧電素子を示す斜視図である。図２は、図１に示す素子の、積層方向に平行な断面における断面図である。図３は、図２における第１の凸部が備えられた部分の拡大断面図である。【００１５】
図１〜３に示すように、本実施形態にかかる素子１は、複数の圧電体層３と複数の内部電極５とを備え、圧電体層３と内部電極５が交互に積層された積層体７を有している。外部電極９は、積層体７の対向する２つの側面にそれぞれ位置し、内部電極５の端部と一層おきに互い違いに電気的に導通している。そして、外部電極９が、基部９ａと、基部９ａから外側に向かって突出する第１の凸部９ｂを有している。【００１６】
このように、外部電極９が第１の凸部９ｂを有することにより、下記の理由から外部電極９の反りが抑制され、外部電極９の積層体７からの剥離が抑制される。具体的には、素子１の駆動時において、素子１の側面が反るため、外部電極９に反りを生じさせる応力が働く。しかしながら、外部電極９が外側に向かって突出する第１の凸部９ｂを備えていることにより、第１の凸部９ｂが添え木のような役割を果たすため、上記の応力に対する高い反発力（抵抗力）を有することができる。そのため、積層体７及び外部電極９の反りが抑制される。これにより、外部電極９の積層体７からの剥離が抑制される。【００１７】
図３に示すように、第１の凸部９ｂの高さ（大きさ）Ｈは、０．５μｍ以上であることが好ましい。これにより、第１の凸部９ｂの添え木としての効果が高まり、外部電極９の反りをより小さくできる。また、第１の凸部９ｂの添え木としての効果をさらに高めるため、第１の凸部９ｂの高さは、５μｍ以上であることがさらに好ましい。なお、本実施形態において第１の凸部９ｂの高さとは、図３に示すように、基部９ａの表面を基準にした第１の凸部９ｂの頂部の高さをいう。また、基準となる基部９ａの表面に凹凸（表面粗さ）がある場合には、基部の表面粗さ曲線における中心線が基準とされる。【００１８】
ここで、表面粗さによる凹凸に含まれる凸部と、第１の凸部９ｂとは、以下のように明確に区別することができる。
すなわち、表面粗さによる凹凸に含まれる凸部は、外部電極９の表面における外部電極９を構成する結晶粒子の隆起、外部電極９の表面の研磨処理および外部電極９の熱処理等による外部電極９を構成する結晶粒子の脱離によって形成されるため、凸部の大きさが外部電極９を構成する結晶粒子のサイズとほぼ同等の大きさとなる。これに対して、第１の凸部９ｂは、基部９ａの表面に導電性ペーストを塗布すること等によってパターンを形成するために、その大きさは外部電極９を構成する結晶粒子のサイズよりも遙かに大きなサイズとなる。
従って、基部９ａの表面および第１の凸部９ｂの表面を顕微鏡によって観察することにより、それらの表面に表面粗さによる凹凸に含まれる凸部を確認することができるため、第１の凸部９ｂと表面粗さによる凹凸に含まれる凸部とは容易に区別することができる。【００１９】
なお、図１においては、外部電極９は積層体７の対向する２つの側面にそれぞれ位置しているが、積層体７の隣接する２つの側面にそれぞれ位置しているか、又は同一の側面に位置してもよい。【００２０】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図４Ａは、第２の実施形態にかかる積層型圧電素子における第１の凸部が備えられた部分の側面図である。【００２１】
第２の実施形態では、図４Ａに示すように、第１の凸部９ｂとして、積層方向Ｓに平行な方向の幅と、積層方向Ｓに直交する方向Ｐの幅とが略等しい半球状の形状のものが設けられている。また、図４Ａに示すように、素子１を側面視した時に、基部９ａと第１の凸部９ｂとの境界が曲線である場合には、この境界の一部分に応力が局所的に集中することが抑制される。これにより、応力を広範囲に分散させることができる。【００２２】
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図４Ｂは、第３の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、第１の凸部が備えられた部分の側面図である。【００２３】
図４Ｂに示すように、第１の凸部９ｂは、積層方向Ｓに平行な方向の縦方向長Ｌ１よりも、積層方向Ｓに直交する方向Ｐの横方向長Ｌ２が大きいことが好ましい。外部電極９の基部９ａの積層体７への焼き付け時において、外部電極９には収縮によって積層方向Ｓに直交する方向に対して反るような応力が作用する。そのため、上記の形状である第１の凸部９ｂを有することにより、第１の凸部９ｂの添え木としての効果をさらに高めることができる。【００２４】
ここで、本明細書において、縦方向長Ｌ１及び横方向長Ｌ２は以下のように定義して使用する。
すなわち、縦方向長Ｌ１は、外部電極９の基部９ａの表面において積層方向Ｓに直交しかつ第１の凸部９ｂの外周に接する２つの直線を仮想的に引いたときのその２つの仮想線の間隔によって定義される。
また、横方向長Ｌ２は、外部電極９の基部９ａの表面において積層方向Ｓに平行でかつ第１の凸部９ｂの外周に接する２つの直線を仮想的に引いたときのその２つの仮想線の間隔によって定義される。尚、外部電極９の基部９ａの表面は、外部電極９が形成されている積層体７の側面に実質的に平行な平面である。【００２５】
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。図４Ｃは、第４の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、第１の凸部が備えられた部分の側面図である。【００２６】
図４Ｃに示すように、第１の凸部９ｂは、積層体７の積層面と平行、すなわち、第１の凸部９ｂの長手方向が積層方向Ｓに直交するように形成されていることがさらに好ましい。このような形状の第１の凸部９ｂを有することにより、外部電極９の基部９ａに関する積層方向Ｓに直交する方向Ｐに対して反るような収縮をより一層抑制することができる。【００２７】
また、図１に示すように、第１の凸部９ｂは、外部電極９の幅方向の一方の端部から他方の端部にかけて形成されていることが好ましい。外部電極９の幅方向の一方の端部及び他方の端部は比較的剥離しやすいが、この部分に第１の凸部９ｂがあるので、外部電極９における幅方向の一方の端部及び他方の端部が積層体７から剥離する可能性を低減できる。【００２８】
そして、外部電極９の幅方向の一方の端部及び他方の端部にかけて第１の凸部９ｂが形成されていることにより、幅方向における上記の反りの偏りを小さくすることができる。そのため、外部電極９の一部に応力が集中することを抑制できる。結果として、外部電極９の積層体７からの剥離の生じる可能性をさらに低減できる。【００２９】
次に、本発明の第５の実施形態について説明する。図５は、第５の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、第１の凸部が備えられた部分の拡大断面図である。【００３０】
図５に示すように、第１の凸部９ｂは内部電極５の端部に対向するように内部電極５の側方に位置することが好ましい。基部９ａの反りを抑制して外部電極９と積層体７の接合性を高める第１の凸部９ｂが内部電極５の側方に位置していることにより、内部電極５と外部電極９の接合性を高めることができる。これにより、安定して外部電極９を介して内部電極５に電圧を印加することができるため、長時間の素子１の使用に際しても、変位量の低下が抑制される。【００３１】
また、図１に示す第１の実施形態のように、第１の凸部９ｂが、積層方向Ｓに複数並置して設けられていることが好ましい。第１の凸部９ｂを複数有することにより、それぞれの第１の凸部９ｂに応力を分散させることができる。また、第１の凸部９ｂが積層方向Ｓに複数存在することにより、下記の理由から外部電極９の積層方向Ｓにおける広い範囲で反りを抑制することができる。【００３２】
具体的には、第１の凸部９ｂが一つである場合、第１の凸部９ｂから離れるほど外部電極９に反りが生じやすい。しかし、積層方向Ｓに複数の第１の凸部９ｂを有している場合には、２つの第１の凸部９ｂに挟まれた部位は、積層方向Ｓの両端においてそれぞれ第１の凸部９ｂで反りが抑制されるため、この部位全体で反りを大幅に低減することができる。つまり、これら２つの第１の凸部９ｂが、別々に作用して外部電極９の反りを抑制するのではなく、相互に作用して外部電極９の反りを抑制する。【００３３】
また、第１の凸部９ｂが、積層体７における内部電極５の全層数の１／２以下の層数毎、好ましくは全層数の１／８以下の層数毎、より好ましくは、全層数の１／１５以下の層数毎にそれぞれ設けられていることがよい。第１の凸部９ｂが積層体７における内部電極５の全層数の１／２以下の層数毎に形成されていることにより、第１の凸部９ｂの数が多くなるので、外部電極９の積層方向Ｓにおける接合強度のばらつきを小さくすることができる。【００３４】
また、このとき、第１の凸部９ｂは、規則的に複数存在すること、すなわち一定の規則に従って複数配置されていることが好ましい。このように第１の凸部９ｂを規則的に複数有することにより、積層体７と外部電極９の接合面に加わる応力のばらつきを小さくして、積層体７と外部電極９の接合面の一部分への応力の集中を抑制できる。そして、積層体７の内部における応力のばらつきを小さくできるので、圧電体層３や内部電極５にクラックが発生する可能性を小さくできる。【００３５】
ここで、第１の凸部９ｂが規則的に複数配置されているとは、複数の第１の凸部９ｂが配置されている間隔が全て同じである場合はもちろんのこと、積層体７の側面において、積層方向Ｓに対して略均一に且つ強固に外部電極９を接合できる程度に、各々の第１の凸部９ｂの配置間隔が近似している場合も含む概念である。具体的には、第１の凸部９ｂの配置間隔は、各第１の凸部９ｂの配置間隔の平均値に対して好ましくは±２０％の範囲内、より好ましくは±１５％の範囲内、さらに好ましくはすべて同じであるのがよい。第１の凸部９ｂは、特に、圧電変位量の大きい、積層体７の積層方向Ｓの中央部分において規則的に配置されることが好ましい。さらに、第１の凸部９ｂの間隔が端部に向かって順次狭く又は広くなるような配置等をいう。【００３６】
また、図５に示す第５の実施形態のように、外部電極９は、第１の凸部９ｂと対応する位置に内側に向かって突出する第２の凸部９ｃを有していることが好ましい。このような第２の凸部９ｃを有することにより、外部電極９が部分的により大きな厚みを有することができる。そのため、第１の凸部９ｂ及び第２の凸部９ｃによる添え木としての効果が得られる。また、第２の凸部９ｃが積層体７に埋入している場合には、この第２の凸部９ｃがクサビとして作用する。そのため、積層体７と外部電極９の接合性を向上させることができる。【００３７】
次に、本発明の第６の実施形態について説明する。図６は、第６の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、第１の凸部が備えられた部分の拡大断面図である。【００３８】
図６に示すように、積層体７は、圧電体層３及び内部電極５と比較して剛性が低い低剛性層１１を備えていることが好ましい。低剛性層１１は、内部電極５及び圧電体層３よりも剛性が低い。そのため、素子１に応力が加わった場合に、低剛性層１１が優先的に破断される。このように低剛性層１１を破断させることにより、圧電体層３及び内部電極５に加わる応力を小さくできるため、内部電極５や圧電体層３が破損する可能性を低減できる。【００３９】
第６の実施形態において低剛性層１１とは、圧電体層３及び内部電極５と比較して層内の結合力及び／又は隣接する層との結合力が弱く、剛性が小さい層をいう。低剛性層１１として具体的に、圧電体層３及び内部電極５よりも剛性の低い材質により形成されたものや、圧電体層３及び内部電極５と比較して空隙を多く含有することによって層としての剛性を小さくしたものが挙げられる。【００４０】
低剛性層１１、圧電体層３及び内部電極５の剛性は、例えば素子１に対して、積層方向Ｓに直交する方向Ｐから荷重を加えることにより容易に比較できる。具体的には、ＪＩＳ３点曲げ試験（ＪＩＳ  Ｒ  １６０１）などにより、素子１に対して積層方向Ｓに直交する方向Ｐから荷重を加えることで判断できる。上記の試験を行ったときに、どの部分で素子１が破断するかを確認すればよいからである。その破断箇所が素子１のなかで最も剛性が低い箇所である。【００４１】
第６の実施形態の素子１は低剛性層１１を備えているので、ＪＩＳ３点曲げ試験を行なうと、圧電体層３及び内部電極５よりも、この低剛性層１１又は低剛性層１１と圧電体層３との界面で破断が起きやすい。そのため、破断した箇所が圧電体層３又は内部電極５であるか、若しくは、低剛性層１１又は低剛性層１１と圧電体層３との界面であるかにより、低剛性層１１の有無を確認することができる。【００４２】
なお、試験片が小さく、上記ＪＩＳ３点曲げ試験を用いることができない場合には、以下の方法により確認すればよい。即ち、上記のＪＩＳ３点曲げ試験に準拠して、素子１を長方形の角柱となるように加工して試験片を作製する。そして、この試験片を一定距離に配置された２支点上に置く。さらに、支点間の中央の１点に荷重を加える。以上により、低剛性層１１の有無を確認することができる。【００４３】
また、図６に示すように、第１の凸部９ｂが、少なくとも低剛性層１１の側方に位置することがさらに好ましい。上記のように、低剛性層１１を破断させることにより素子１にかかる応力を緩和している。一方で、低剛性層１１で生じたクラックにより、外部電極９のうちで低剛性層１１の側方に位置する部分には、相対的にクラックが生じやすい。しかしながら、本実施形態では、少なくとも低剛性層１１の側方に厚みの大きな第１の凸部９ｂが位置していることにより、このクラックの伸展による外部電極９、特に基部９ａの破断の可能性を低減できる。【００４４】
次に、本発明の第７の実施形態について説明する。図７Ａは、第７の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、積層方向Ｓに直交する面であって低剛性層を含む断面における断面図である。【００４５】
図７Ａに示すように、低剛性層１１が、空隙１３を介して互いに離隔した複数の金属部１５を有していることが好ましい。金属成分は変形しやすいので、応力を緩和する効果が大きいからである。また、積層方向Ｓに隣接する圧電体層３を構成する圧電体粒子とは異なる材質であるので、金属部１５で発生したクラックが金属部１５の内部又は金属部１５の表面までに留められやすい。その結果として、圧電体層３にクラックが伸展することを抑制できる。【００４６】
さらに、複数の金属部１５が空隙１３を介して互いに離隔していることにより、各々の金属部１５がより変位しやすくなる。また、低剛性層１１が空隙１３を有していることにより、外部電極９の一部を空隙１３に入り込ませやすくなる。そのため、アンカー効果によって外部電極９と積層体７の側面とをより強固に接合することができる。【００４７】
次に、本発明の第８の実施形態について説明する。図７Ｂは、第８の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、積層方向Ｓに直交する面であって低剛性層を含む断面における断面図である。【００４８】
図７Ｂに示すように、低剛性層１１が空隙１３を介して互いに離隔した複数のセラミック部１７を有していることも有効である。複数のセラミック部１７が空隙１３を介して互いに離隔しているため、各々のセラミック部１７が変形しやすい。そのため、剛性を小さくして、圧電体層３及び内部電極５にかかる応力を小さくすることができる。【００４９】
また、万が一、低剛性層１１から積層方向Ｓに隣り合う内部電極５までクラックが伸展したとしても、絶縁体であるセラミック部１７により低剛性層１１が構成されているので、電気的な短絡が生じる可能性を低減できる。【００５０】
さらに、セラミック部１７が圧電体層３と同じ成分で構成されていることがより好ましい。これにより、低剛性層１１と圧電体層３との接合性を高めることができるので、素子１の外形を維持しやすくなる。【００５１】
次に、本発明の第９の実施形態について説明する。図８は、第９の実施形態にかかる積層型圧電素子であって、第１の凸部が備えられた部分の拡大断面図である。【００５２】
図８に示すように、内部電極５及び低剛性層１１のそれぞれの側方に位置する複数の第１の凸部９ｂを有し、低剛性層１１の側方に位置する第１の凸部９ｂの高さが、内部電極５の側方に位置する第１の凸部９ｂの高さよりも大きいことが好ましい。【００５３】
既に示したように、第１の凸部９ｂが側方に位置する部分は、この第１の凸部９ｂによって反りが抑制されることから、接合性が高い。また一方で、内部電極５に通電させるため、内部電極５と基部９ａとの接合性を高める必要がある。また、本実施形態では低剛性層１１にクラックを発生させている。そして、積層体７と外部電極９の接合性の高い部分に応力が集中しやすい。そのため、上記のような形態の第１の凸部９ｂを有することで、低剛性層１１により応力を緩和しつつも内部電極５と外部電極９の接合性を高めることができる。また、このとき、第５の実施形態と同様に、第１の凸部９ｂと対向する位置に内側に向かって突出する第２の凸部９ｃを有していることが好ましい。【００５４】
次に、本実施形態にかかる積層型圧電素子１の製法について説明する。【００５５】
まず、圧電体層３となるセラミックグリーンシートを作製する。具体的には、圧電セラミックスの仮焼粉末と、アクリル系、ブチラール系等の有機高分子からなるバインダーと、可塑剤とを混合してスラリーを作製する。そして、周知のドクターブレード法やカレンダーロール法等のテープ成型法を用いることにより、このスラリーからセラミックグリーンシートが作製される。圧電セラミックスとしては圧電特性を有するものであればよく、例えば、ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３からなるペロブスカイト型酸化物などを用いることができる。また、可塑剤としては、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ）、フタル酸ジオチル（ＤＯＰ）などを用いることができる。【００５６】
次に、内部電極５となる導電性ペーストを作製する。具体的には、銀−パラジウム合金等の金属粉末にバインダー及び可塑剤を添加混合することで、導電性ペーストを作製することができる。この導電性ペーストを上記のセラミックグリーンシート上にスクリーン印刷法を用いて配設し、後述するように、焼成することで圧電体層３及び内部電極５を形成することができる。【００５７】
低剛性層１１は、例えば、内部電極５となる導電性ペーストよりも多くのバインダーが加えられたスラリー、圧電体層３となるスラリーよりも多くのバインダーが加えられたスラリー、若しくは、内部電極５となる導電性ペースト又は圧電体層３となるスラリーにアクリルビーズが混入されたスラリーを用いることで形成することができる。【００５８】
セラミックグリーンシート上にスクリーン印刷法を用いて上記の低剛性層１１となるスラリーを配設することにより、焼成や脱脂の工程でバインダー及びアクリルビーズの飛散成分が飛散するので、空隙１３を介して互いに離隔した金属部１５又はセラミック部１７を形成することができる。【００５９】
また、低剛性層１１を形成する方法は、上記の方法に限られない。例えば、スクリーンのメッシュの度数や、パターン形状を変更することによっても上記のような形態の低剛性層１１を形成することができる。【００６０】
また、スクリーンに導電性ペーストを通さないようにマスキングすることによっても、同様に導電性ペーストの通過が不十分となるので、上記のような低剛性層１１を形成することができる。マスキングの開口部の形状は、楕円や円形といった略円形が応力を緩和する効果が高いので好ましい。【００６１】
その後、積層型圧電素子１の外表面に端部が露出する圧電体層３と導通が得られるように外部電極９を形成する。この外部電極９は、銀粉末とガラス粉末に、バインダーを加えて銀ガラスペーストを作製し、これを印刷し乾燥接着あるいは、焼き付けることによって得ることができる。【００６２】
第１の凸部９ｂを形成するには、基部９ａとなる部分に銀ガラス導電性ペーストをスクリーン印刷した後に、第１の凸部９ｂとなる部分にのみに再度、銀ガラス導電性ペーストをスクリーン印刷すればよい。即ち、第１の凸部９ｂを形成する方法の一つとして、第１の凸部９ｂ以外の部分をマスキングしたスクリーンを用いればよい。【００６３】
第２の凸部９ｃを形成するには、積層型圧電素子１の外表面の第２の凸部９ｃを形成する位置にダイシング等の装置を用いて、溝を形成し、その上に、銀ガラス導電性ペーストをスクリーン印刷することにより、該溝部に銀ガラス導電性ペーストが配設されて、第２の凸部９ｃを形成することができる。【００６４】
また、空隙１３を介して金属部１５やセラミック部１７を備えている低剛性層１１を設けた場合には、毛細管現象により、銀ガラス導電性ペーストの一部が空隙１３の一部に充填される。このようにして、第２の凸部９ｃを形成することができる。この時、銀ガラス導電性ペーストの焼き付け温度は、銀ガラス導電性ペーストを空隙１３に充填させやすくするために、銀ガラス導電性ペースト中に含まれるガラス成分の軟化点以上の温度であることが好ましい。【００６５】
次に、シリコーンゴムからなる外装樹脂を含む樹脂溶液に、外部電極９を形成した積層体７を浸漬する。そして、樹脂溶液を真空脱気することにより、積層体７の外周側面の凹凸部にシリコーン樹脂を密着させ、その後、樹脂溶液から積層体７を引き上げる。これにより、積層体７の側面にシリコーン樹脂がコーティングされる。そして、外部電極９に通電部としてリード線を導電性接着剤等で接続する。【００６６】
一対の外部電極９に０．１〜３ｋＶ／ｍｍの直流電圧を印加し、積層体７を分極することによって、本実施形態の積層型圧電素子１が完成する。リード線を介して外部電極９と外部の電源とを接続して、圧電体層３に電圧を印加することにより、各圧電体層３を逆圧電効果によって大きく変位させることができる。これにより、例えばエンジンに燃料を噴射供給する自動車用燃料噴射弁として機能させることが可能となる。【００６７】
次に、本発明の一実施形態にかかる噴射装置について説明する。図９は、本発明の一実施形態にかかる噴射装置を示す概略断面図である。【００６８】
図９に示すように、本実施形態の噴射装置１９は、一端に噴射孔２１を有する収納装置２３の内部に上記の実施形態に代表される素子１が収納されている。【００６９】
収納装置２３内には、噴射孔２１を開閉することができるニードルバルブ２５が配設されている。噴射孔２１には流体通路２７がニードルバルブ２５の動きに応じて連通可能になるように配設されている。この流体通路２７は外部の流体供給源に連結され、流体通路２７に常時高圧で流体が供給されている。従って、ニードルバルブ２５が噴射孔２１を開放すると、流体通路２７に供給されていた流体が外部または隣接する容器、例えば内燃機関の燃料室（不図示）に、噴出されるように構成されている。【００７０】
また、ニードルバルブ２５の上端部は径が大きくなっており、収納装置２３に形成されたシリンダ２９と摺動可能なピストン３１が配置されている。そして、収納装置２３内には、上記した素子１が収納されている。【００７１】
このような噴射装置１９では、素子１が電圧を印加されて伸長すると、ピストン３１が押圧され、ニードルバルブ２５が噴射孔２１を閉塞し、流体の供給が停止される。また、電圧の印加が停止されると素子１が収縮し、皿バネ３３がピストン３１を押し返し、噴射孔２１が流体通路２７と連通して流体の噴射が行なわれるようになっている。【００７２】
なお、素子１に電圧を印加することによって流体流路３３を開放し、電圧の印加を停止することによって流体流路３３を閉鎖するように構成しても良い。【００７３】
また、本発明の噴射装置１９は、噴射孔２１を有する容器と、上記の素子１とを備え、容器内に充填された流体を素子１の駆動により噴射孔２１から吐出させるように構成されていてもよい。すなわち、素子１が必ずしも容器の内部にある必要はなく、素子１の駆動によって容器の内部に圧力が加わるように構成されていればよい。なお、本発明において、流体とは、燃料、インクなどの他、種々の液状流体（導電性ペースト等）および気体が含まれる。噴射装置１９を用いる事によって、流体の流量および噴出タイミングを制御することができる。【００７４】
本実施形態の素子１を採用した噴射装置１９を内燃機関に用いれば、従来の噴射装置１９に比べてエンジン等の内燃機関の燃料室に燃料をより長い期間精度よく噴射させることができる。【００７５】
次に、本発明の一実施形態にかかる燃料噴射システムについて説明する。図１０は、本発明の一実施形態にかかる燃料噴射システムを示す概略図である。【００７６】
図１０に示すように、本実施形態の燃料噴射システム３５は、高圧流体を蓄えるコモンレール３７と、このコモンレール３７に蓄えられた流体を噴射する複数の上記噴射装置１９と、コモンレール３７に高圧の流体を供給する圧力ポンプ３９と、噴射装置１９に駆動信号を与える噴射制御ユニット４１と、を備えている。【００７７】
噴射制御ユニット４１は、外部情報または外部からの信号に基づいて流体噴射の量やタイミングを制御する。例えば、エンジンの燃料噴射に噴射制御ユニットを用いた場合、エンジンの燃焼室内の状況をセンサ等で感知しながら燃料噴射の量やタイミングを制御することができる。圧力ポンプ３９は、燃料タンク４３から流体燃料を高圧でコモンレール３７に送り込む役割を果たす。例えばエンジンの燃料噴射システムの場合には１０００〜２０００気圧（約１０１ＭＰａ〜約２０３ＭＰａ）程度、好ましくは１５００〜１７００気圧（約１５２ＭＰａ〜約１７２ＭＰａ）程度にしてコモンレール３７に燃料を送り込む。コモンレール３７では、圧力ポンプ３９から送られてきた燃料を蓄え、適宜噴射装置１９に送り込む。噴射装置１９は、上述したように噴射孔２１から一定の流体を噴射装置１９から外部または隣接する容器に噴射する。例えば、エンジンの場合には燃料を燃焼室内に霧状に噴射する。【００７８】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を行うことは何ら差し支えない。
【実施例】
【００７９】
積層型圧電素子１を備えた圧電アクチュエータを以下のようにして作製した。まず、平均粒径が０．４μｍのチタン酸ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）を主成分とする圧電セラミックの仮焼粉末、バインダー、及び可塑剤を混合したスラリーを作製した。このスラリーを用いてドクターブレード法により厚み１５０μｍの圧電体層３となるセラミックグリーンシートを作製した。【００８０】
また、銀−パラジウム合金にバインダーを加えて、内部電極５となる導電性ペーストＡを作製した。さらに、導電性ペーストＡに平均粒径０．５μｍのアクリルビーズを銀−パラジウム合金１００体積％に対して２００体積％となるように加えた。このようにして、空隙１３を介して互いに離隔する金属部１５を備えた低剛性層１１となる導電性ペーストＢを作製した。【００８１】
上記セラミックグリーンシートの片面に、導電性ペーストＡ又は導電性ペーストＢをスクリーン印刷法により印刷した。また、これらの導電性ペーストＡ，Ｂが印刷されたシートを３００枚積層した。そして、９８０〜１１００℃で焼成することにより積層体７を得た。【００８２】
試料番号１及び２においては、上記セラミックグリーンシートの片面に、導電性ペーストＡをスクリーン印刷法により厚み４μｍで印刷した。そして、この導電性ペーストＡが印刷されたセラミックグリーンシートを３００枚積層した。さらに、９８０〜１１００℃で焼成することにより積層体７を得た。【００８３】
また、試料番号３においては、上記セラミックグリーンシートの片面に、導電性ペーストＡ又は導電性ペーストＢをスクリーン印刷法により厚み４μｍで印刷した。そして、導電性ペーストＡが印刷されたセラミックグリーンシート２０層毎に導電性ペーストＢが印刷されたセラミックグリーンシートが配設されるように、これら導電性ペーストＡ，Ｂが印刷されたセラミックグリーンシートを３００枚積層した。さらに、９８０〜１１００℃で焼成することにより積層体７を得た。【００８４】
次に、平均粒径２μｍの銀粉末と残部が平均粒径２μｍのケイ素を主成分とする軟化点が６５０℃のガラス粉末との混合物にバインダー添加することにより、外部電極９となる銀ガラスペーストを作製した。そして、積層体７の側面に、この銀ガラスペーストをスクリーン印刷によって３０μｍの厚みで配設した。【００８５】
また、試料番号２及び３においては、第１の凸部９ｂが位置する部分に再度、銀ガラスペーストを印刷することにより、第１の凸部９ｂを７μｍの厚みで形成した。その後、７００℃にて３０分焼き付けを行うことにより、外部電極９を形成した。【００８６】
また、試料番号３においては、空隙１３を有する低剛性層１１を備えていたため、低剛性層１１に相当する部分に銀ガラスペーストが埋入されて内側に突出した第２の凸部９ｃが形成されていた。【００８７】
その後、外部電極９にリード線を接続し、正極及び負極の外部電極９にリード線を介して３ｋＶ／ｍｍの直流電界を１５分間印加して分極処理を行なった。このようにして積層型圧電素子１を用いた圧電アクチュエータを作製した。得られた圧電アクチュエータに１６０Ｖの直流電圧を印加したところ、積層方向Ｓに変位量４０μｍが得られた。さらに、この圧電アクチュエータを室温で０Ｖ〜＋１６０Ｖの交流電圧を１５０Ｈｚの周波数で印加して、１×１０９回、及び、１×１０１０回まで連続駆動した試験を行った。得られた結果を表１に示す。【００８８】
表１
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【００８９】
試料番号１の圧電アクチュエータでは、外部電極９の外表面が平坦であって、第１の凸部９ｂを有していなかった。そして、表１に示すように、１×１０９回の駆動後においては、変位量が４０μｍから３０μｍにまで低下していた。【００９０】
これは、試料番号１の圧電アクチュエータにおいては、外部電極９に第１の凸部９ｂを有していないため、外部電極９の一部が積層体７の側面から剥離してしまったためである。これにより内部電極５の一部と外部電極９の間で断線が生じ、一部の圧電体層３に電圧が供給されなくなったために、変位量が低下したものである。【００９１】
一方、試料番号２及び３は、外部電極９において第１の端部９ｂを有している。そのため、積層体７と外部電極９の接合強度を高めることができた。実際に、１×１０９回の駆動後においても、変位量の低下が確認されず、いずれも連続駆動試験前と同様の変位量４０μｍが得られた。【００９２】
また、１×１０１０回まで連続駆動させた試験後においては、試料番号１は、変位量が１０μｍまで低下していた。また、試料番号２は、変位量が３５μｍに低下していた。一方で、第１の凸部９ｂ及び第２の凸部９ｃを有する試料番号３は、１×１０１０回まで連続駆動した試験後においても変位量の低下が確認されなかった。このように、試料番号３は試料番号２と比較して、さらに高い耐久性を有していることが分かった。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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