(57)【要約】  平衡−不平衡変換機能を有し、第１，第２の平衡端子間における信号の平衡度が改善された弾性波フィルタ装置を提供する。  不平衡端と、第１，第２の平衡端とを有する縦結合共振子型の弾性波フィルタ部６と、弾性波共振子１８とを備え、弾性波フィルタ部６の第１，第２の平衡端に接続された第１，第２の信号ライン１６，１７にＩＤＴ１９の第１，第２分割電極部１９ａ，１９ｂがそれぞれ接続されており、第１分割電極部１９ａと第１の平衡端とを結んでいる線路の距離と、第２分割電極部１９ｂと第２の平衡端とを結んでいる線路の距離が略等しくされており、第１分割電極部１９ａと第２分割電極部１９ｂとが異ならされている、弾性波フィルタ装置。
2009044585.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
不平衡端子と、第１，第２の平衡端子とを有する平衡−不平衡変換機能を備えた縦結合共振子型の弾性波フィルタ装置であって、
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、前記不平衡端子に接続されている不平衡端と、出力される信号の位相が１８０°異なる電極端部である第１，第２の平衡端とを有する縦結合共振子型の弾性波フィルタ部と、
前記圧電基板上に形成されており、対向し合う第１，第２のバスバーを有するＩＤＴ電極と、前記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に配置された一対の反射器とを有する弾性波共振子と、
前記弾性波フィルタ部の前記第１，第２の平衡端に一端がそれぞれ接続されており、他端が第１，第２の平衡端子に接続された第１，第２の信号ラインとを備え、
前記弾性波共振子が、該弾性波共振子のＩＤＴ電極の第１のバスバーが弾性波伝搬方向に二分割されることにより設けられた第１，第２分割電極部を有し、該第１，第２分割電極部が弾性波伝搬方向において前記第２のバスバーにより直列に接続されており、
前記第１分割電極部の前記第２のバスバーと反対側の端部が前記第１の信号ラインに接続されており、
前記第２分割電極部の前記第２のバスバーと反対側の端部が前記第２の信号ラインに電気的に接続されており、
前記第１分割電極部と第１の平衡端とを結んでいる線路の距離と、前記第２分割電極部と第２の平衡端とを結んでいる線路の距離が等しくされており、かつ前記第１分割電極部と、前記第２分割電極部とが異ならされていることを特徴とする、弾性波フィルタ装置。
【請求項２】
前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を有し、該奇数個のＩＤＴ電極のうち弾性波伝搬方向において中央に位置するＩＤＴ電極が、弾性波伝搬方向に二分割されて設けられた第１，第２の分割ＩＤＴ部を有し、該第１，第２の分割ＩＤＴ部が前記第１，第２の平衡端を有し、中央に位置するＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に隣接する２つのＩＤＴ電極が、前記不平衡端子に接続される不平衡端を有する、請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項３】
前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、
前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を有し、該奇数個のＩＤＴ電極のうち、弾性波伝搬方向において中央に位置するＩＤＴ電極が前記不平衡端子に接続されており、該中央に位置するＩＤＴ電極の両側のＩＤＴ電極が、それぞれ、第１，第２の平衡端子に接続されている、請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項４】
前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、
前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を有する縦結合共振子型の第１の弾性波フィルタユニットと、
前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を有する縦結合共振子型の第２の弾性波フィルタユニットとを有し、
前記第１の弾性波フィルタユニットの奇数個のＩＤＴ電極のうち中央に位置するＩＤＴ電極の一端が前記不平衡端または第１の平衡端であり、前記中央に位置するＩＤＴ電極の両側の２つのＩＤＴ電極の各一端が前記第１の平衡端または前記不平衡端であり、
前記第２の弾性波フィルタ部の奇数個のＩＤＴ電極のうち弾性波伝搬方向において中央に位置するＩＤＴ電極の一端が前記不平衡端または第２の平衡端であり、該ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に配置された２つのＩＤＴ電極の各一端が前記第２の平衡端または前記不平衡端である、請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項５】
前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、
前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を備えた第１の縦結合共振子型の弾性波フィルタユニットと、
前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を有する縦結合共振子型の第２の弾性波フィルタユニットとを有し、
前記第１の弾性波フィルタユニットと、前記第２の弾性フィルタユニットとが、各弾性波フィルタユニットの弾性波伝搬方向と直交する方向に並べられて配置されており、かつ二段縦続接続されており、
第１，第２の弾性波フィルタユニットの中央のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向における両側を第１の側及び第２の側としたときに、第１の弾性波フィルタユニットの中央のＩＤＴ電極の第１の側に隣接するＩＤＴの一端と、前記第２の弾性波フィルタユニットにおける中央のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向の第１の側に隣接するＩＤＴとの一端とが前記第１の信号ラインにより接続されており、
前記第１の弾性波フィルタユニットの中央のＩＤＴ電極の前記第２の側に隣接するＩＤＴの一端と、前記第２の弾性波フィルタユニットの中央に位置するＩＤＴ電極の前記第２の側に隣接するＩＤＴの一端とが、前記第２の信号ラインにより接続されており、
前記第１の信号ラインを伝搬する電気信号と、前記第２の信号ラインを伝搬する電気信号とが逆位相とされており、
第１の弾性波フィルタユニットの中央のＩＤＴ電極の一端が前記不平衡端であり、該ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に隣接する各ＩＤＴの各一端が前記第１，第２の平衡端とされており、前記第１，第２の平衡端と前記第１，第２の平衡端子が、それぞれ前記第２の弾性波フィルタユニットを介して前記第１，第２の信号ラインにより接続されている、請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項６】
前記弾性波共振子が、前記第２の弾性波フィルタユニットの後段において、前記第１，第２の信号ラインに接続されている、請求項５に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項７】
前記弾性波共振子が、前記第２の弾性波フィルタユニットの前段であって、第１，第２の弾性波フィルタユニット間の段間において前記第１，第２の信号ラインに接続されている、請求項５に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項８】
前記第１分割電極部の電極指の本数と、前記第２分割電極部の電極指の本数とが異ならされている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項９】
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部において、弾性波伝搬方向において中央に位置するＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側を第１，第２の側としたときに、中央に位置するＩＤＴ電極と、第１の側において隣接するＩＤＴ電極とが隣接する部分において、第１の側において隣接している該ＩＤＴ電極の最外側電極指であって中央に位置するＩＤＴ電極側の最外電極指がホット側電位に接続される電極指とされており、前記第１分割電極部の電極指の本数が、前記第２分割電極部の電極指の本数よりも多くされている請求項１〜８のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項１０】
前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部において、弾性波伝搬方向において中央に位置するＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側を第１，第２の側としたときに、中央に位置するＩＤＴ電極と、第１の側において隣接するＩＤＴ電極とが隣接する部分において、第１の側において隣接しているＩＤＴ電極の最外側電極指であって中央に位置するＩＤＴ電極側の最外電極指がグランド側電位に接続される電極指とされており、前記第１分割電極部の電極指の本数が、前記第２分割電極部の電極指の本数よりも少なくされている請求項１〜８のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項１１】
前記第１分割電極部のメタライゼーションレシオと、前記第２分割電極部のメタライゼーションレシオとが異ならされている、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項１２】
前記第１分割電極部の電極指ピッチと、前記第２分割電極部の電極指ピッチとが異ならされている、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項１３】
前記弾性波共振子の前記第２のバスバーがグランド電位に接続されている請求項１〜１２のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項１４】
前記弾性波共振子の共振周波数−反共振周波数間の帯域が、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部の通過帯域を含んでいる、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項１５】
前記弾性波が弾性表面波であり、従って、弾性表面波フィルタ装置である、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項１６】
前記弾性波が弾性境界波であり、従って、弾性境界波フィルタ装置が構成されている、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平衡−不平衡変換機能を有する弾性波フィルタ装置に関し、より詳細には、縦結合共振子型の弾性波フィルタ部に、１ポート型弾性波共振子が接続されている弾性波フィルタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話機等のＲＦ段では、平衡−不平衡変換機能を有する帯域フィルタが求められている。この種の帯域フィルタとして、従来、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置が用いられている。【０００３】
例えば下記の特許文献１には、図１３に示す電極構造を有する弾性表面波フィルタ装置が開示されている。弾性表面波フィルタ装置１００１では、不平衡端子１００２と、第１，第２の平衡端子１００３，１００４との間に図示の電極構造が接続されている。不平衡端子１００２に、１ポート型弾性表面波共振子１００５が接続されている。弾性表面波共振子１００５の他端には、第１，第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１００６，１００７が接続されている。弾性表面波フィルタ１００６，１００７は、いずれも、３ＩＤＴ電極型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタである。【０００４】
弾性表面波フィルタ１００６，１００７の中央に位置しているＩＤＴ電極が、それぞれ、共通接続され、上記弾性表面波共振子１００５に接続されている。他方、弾性表面波フィルタ１００６の中央のＩＤＴ電極の両側に位置しているＩＤＴ電極が共通接続され、１ポート型弾性表面波共振子１００８を介して第１の平衡端子１００３に接続されている。同様に、弾性表面波フィルタ１００７の、両側のＩＤＴ電極の各一端が共通接続され、１ポート型ＳＡＷ共振子１００９を介して第２の平衡端子１００４に接続されている。ここでは、弾性表面波フィルタ１００６と、第１の平衡端子１００３とを接続している第１の信号線１０１０と、弾性表面波フィルタ１００７と第２の平衡端子１００４とを接続している第２の信号線１０１１とで、伝送される信号の位相が１８０度異なるように、弾性表面波フィルタ１００６，１００７が構成されている。【０００５】
また、第１，第２の信号線１０１０，１０１１間に、弾性表面波共振子１０１２が接続されている。すなわち、１ポート型弾性表面波共振子１０１２の一方のバスバーが、第１の信号線１０１０に接続されており、第１のバスバーとは反対側の第２のバスバーが、第２の信号線１０１１に接続されている。【０００６】
上記１ポート型弾性表面波共振子１０１２の共振周波数は、弾性表面波フィルタ１００６，１００７の通過帯域の低域側に位置されており、それによって、通過帯域外減衰量の拡大が図られている。また、特許文献１では、弾性表面波共振子１０１２は、第１，第２の信号線１０１０，１０１１を接続しているため、平衡端子１００３及び１００４への影響がほぼ等しくなるため、平衡度の悪化を抑制することができるとされている。【０００７】
他方、下記の特許文献２には、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置の第１，第２の平衡端子の内、一方の平衡端子にリアクタンス成分が付加されている。リアクタンス成分の付加により、位相平衡度の改善が図られるとされている。特許文献２の図１９では、上記リアクタンス成分を付加する構造として、くし型電極が用いられている。すなわち、くし型電極の容量により、上記リアクタンス成分が一方の平衡端子に付加されている。
【特許文献１】特開２００１−３０８６７２号公報
【特許文献２】特開２００４−９６２４４号公報
【発明の開示】
【０００８】
特許文献１に記載の上記弾性表面波フィルタ装置１００１では、弾性表面波共振子１０１２の接続により、通過帯域外減衰量の拡大が図られている。しかしながら、弾性表面波共振子１０１２の対向し合う第１，第２のバスバーの内、一方のバスバーが第１の信号線１０１０に接続されており、第２のバスバーが第２の信号線１０１１に接続されている。すなわち、対向している第１，第２のバスバーからそれぞれ配線が引き出されているため、圧電基板上における配線構造が複雑になりがちであった。よって、小型化を進めることが困難であった。また、前述したように、平衡端子１００３，１００４への弾性表面波共振子１０１２の接続の影響がほぼ等しいため、平衡度はさほど悪化しないとされていたが、この構造は、平衡度を積極的に改善するものではなかった。従って、特許文献１に記載の構成では、第１，第２の平衡端子１００３，１００４間における信号の平衡度を十分に高めることはできなかった。
【０００９】
他方、特許文献２に記載の構成では、上記くし型電極によりリアクタンス成分が一方の平衡端子に付加されている。それによって、位相平衡度が改善されるとされている。しかしながら、平衡度は改善されるものの、リアクタンス成分の付加による寄生容量の増加により、挿入損失が増加するという問題があった。また、上記リアクタンス成分を付加するために、圧電基板上における電極面積が増大し、弾性表面波フィルタチップが大きくならざるを得なかった。
【００１０】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、平衡−不平衡変換機能を有し、通過帯域外における減衰量の拡大を図り得るだけでなく、第１，第２の平衡端子間における信号の平衡度を高めることが可能である、弾性波フィルタ装置を提供することにある。
【００１１】
本発明によれば、不平衡端子と、第１，第２の平衡端子とを有する平衡−不平衡変換機能を備えた縦結合共振子型の弾性波フィルタ装置であって、圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、前記不平衡端子に接続されている不平衡端と、出力される信号の位相が１８０°異なる電極端部である第１，第２の平衡端とを有する縦結合共振子型の弾性波フィルタ部と、前記圧電基板上に形成されており、対向し合う第１，第２のバスバーを有するＩＤＴ電極と、前記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に配置された一対の反射器とを有する弾性波共振子と、前記弾性波フィルタ部の前記第１，第２の平衡端に一端がそれぞれ接続されており、他端が第１，第２の平衡端子に接続された第１，第２の信号ラインとを備え、前記弾性波共振子が、該弾性波共振子のＩＤＴ電極の第１のバスバーが弾性波伝搬方向に二分割されることにより設けられた第１，第２分割電極部を有し、該第１，第２分割電極部が弾性波伝搬方向において前記第２のバスバーにより直列に接続されており、前記第１分割電極部の前記第２のバスバーと反対側の端部が前記第１の信号ラインに接続されており、前記第２分割電極部の前記第２のバスバーと反対側の端部が前記第２の信号ラインに電気的に接続されており、前記第１分割電極部と第１の平衡端とを結んでいる線路の距離と、前記第２分割電極部と第２の平衡端とを結んでいる線路の距離が等しくされており、かつ前記第１分割電極部と、前記第２分割電極部とが異ならされていることを特徴とする。
【００１２】
本発明に係る弾性波フィルタ装置において、上記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部は、適宜変形され得る。本発明のある特定の局面では、前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を有し、該奇数個のＩＤＴ電極のうち弾性波伝搬方向において中央に位置するＩＤＴ電極が、弾性波伝搬方向に二分割されて設けられた第１，第２の分割ＩＤＴ電極部を有し、該第１，第２の分割ＩＤＴ電極部が前記第１，第２の平衡端を有し、中央に位置するＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に隣接する２つのＩＤＴ電極が、前記不平衡端子に接続される不平衡端を有する。
【００１３】
また、本発明の他の特定の局面では、前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を有し、該奇数個のＩＤＴ電極のうち、弾性波伝搬方向において中央に位置するＩＤＴ電極が前記不平衡端子に接続されており、該中央に位置するＩＤＴ電極の両側のＩＤＴ電極が、それぞれ、第１，第２の平衡端子に接続されている。
【００１４】
本発明のさらに他の特定の局面では、前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、前記圧電基板上において弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を有する縦結合共振子型の第１の弾性波フィルタユニットと、前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を有する縦結合共振子型の第２の弾性波フィルタユニットとを有し、前記第１の弾性波フィルタユニットの奇数個のＩＤＴ電極のうち中央に位置するＩＤＴ電極の一端が前記不平衡端または第１の平衡端であり、前記中央に位置するＩＤＴ電極の両側の２つのＩＤＴ電極の各一端が前記第１の平衡端または前記不平衡端であり、前記第２の弾性波フィルタ部の奇数個のＩＤＴ電極のうち弾性波伝搬方向において中央に位置するＩＤＴ電極の一端が前記不平衡端または第２の平衡端であり、該ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に配置された２つのＩＤＴ電極の各一端が前記第２の平衡端または前記不平衡端である。
【００１５】
本発明のさらに別の特定の局面では、前記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部が、前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を備えた第１の縦結合共振子型の弾性波フィルタユニットと、前記圧電基板上において、弾性波伝搬方向に沿って配置された３以上の奇数個のＩＤＴ電極を有する縦結合共振子型の第２の弾性波フィルタユニットとを有し、前記第１の弾性波フィルタユニットと、前記第２の弾性フィルタユニットとが、各弾性波フィルタユニットの弾性波伝搬方向と直交する方向に並べられて配置されており、かつ二段縦続接続されており、第１，第２の弾性波フィルタユニットの中央のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向における両側を第１の側及び第２の側としたときに、第１の弾性波フィルタの中央のＩＤＴ電極の第１の側に隣接するＩＤＴ電極の一端と、前記第２の弾性波フィルタユニットにおける中央のＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向の第１の側に隣接するＩＤＴ電極との一端とが前記第１の信号ラインにより接続されており、前記第１の弾性波フィルタユニットの中央のＩＤＴ電極の前記第２の側に隣接するＩＤＴ電極の一端と、前記第２の弾性波フィルタユニットの中央に位置するＩＤＴ電極の前記第２の側に隣接するＩＤＴ電極の一端とが、前記第２の信号ラインにより接続されており、前記第１の信号ラインを伝搬する電気信号と、前記第２の信号ラインを伝搬する電気信号とが逆位相とされており、第１の弾性波フィルタユニットの中央のＩＤＴ電極の一端が前記不平衡端であり、該ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に隣接する各ＩＤＴ電極の各一端が前記第１，第２の平衡端とされており、前記第１，第２の平衡端と前記第１，第２の平衡端子が、それぞれ前記第２の弾性波フィルタユニットを介して前記第１，第２の信号ラインにより接続されている。
【００１６】
この場合、前記弾性波共振子が、前記第２の弾性波フィルタユニットの後段において、前記第１，第２の信号ラインに接続されていてもよい。また、前記弾性波共振子が、前記第２の弾性波フィルタユニットの前段であって、第１，第２の弾性波フィルタユニット間の段間において前記第１，第２の信号ラインに接続されていてもよい。
【００１７】
また、本発明に係る弾性波フィルタ装置では、上記弾性波共振子の第１分割電極部と第２分割電極部とが異ならされているが、異ならされる構成の態様については、特に限定されない。すなわち、第１分割電極部の電極指の本数と、第２分割電極部の電極指の本数とが異ならされていてもよい。その場合には、電極指の本数を異ならされるだけで、容易に第１，第２分割電極部を異ならせ、平衡度の改善を図ることができる。
【００１８】
また、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部において、弾性波伝搬方向において中央に位置するＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側を第１，第２の側としたときに、中央に位置するＩＤＴ電極と、第１の側において隣接するＩＤＴ電極とが隣接する部分において、第１の側に隣接しているＩＤＴ電極の最外側電極指であって、中央に位置するＩＤＴ電極側の最外電極指がホット側電位に接続される電極指とされており、前記第１分割電極部の電極指の本数が、前記第２分割電極部の電極指の本数よりも多くされてもよい。その場合にも平衡度の改善を図ることができる。
【００１９】
あるいは、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部において、弾性波伝搬方向において中央に位置するＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側を第１，第２の側としたときに、中央に位置するＩＤＴ電極と、第１の側において隣接するＩＤＴ電極とが隣接する部分において、第１の側に隣接しているＩＤＴ電極の最外側電極指であって、中央に位置するＩＤＴ電極側の最外電極指がグランド側電位に接続される電極指とされており、前記第１分割電極部の電極指の本数が、前記第２分割電極部の電極指の本数よりも少なくされていてもよい。
【００２０】
また、上記第１分割電極部のメタライゼーションレシオと、第２分割電極部のメタライゼーションレシオとが異ならされていてもよく、その場合には、メタライゼーションレシオを電極形成時に異ならせるだけで、本発明に従って平衡度の改善を図ることができる。
【００２１】
さらに、第１分割電極部の電極指ピッチと、第２分割電極部の電極指ピッチとを異ならせてもよい。この場合においても、電極指ピッチを異ならせるだけで容易に平衡度の改善を図ることができる。
【００２２】
また、本発明に係る弾性波フィルタ装置では、前記弾性波共振子の前記第２バスバーがグラウンド電位に接続されていてもかまわない。この場合にも平衡度の改善を図ることができる。
【００２３】
また、好ましくは、前記弾性波共振子の共振周波数−反共振周波数間の帯域が、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部の通過帯域を含んでいる。弾性表面波共振子の共振−反共振周波数域では、弾性表面波共振子は誘導性となるため、上記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部の通過帯域内において弾性波共振子が容量性とならず、挿入損失の劣化を抑制することができる。
【００２４】
本発明の弾性波フィルタ装置は、弾性表面波を用いているものであってもよく、その場合には、本発明に従って、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ装置が得られ、また弾性境界波を用いてもよく、その場合には、本発明に従って縦結合共振子型の弾性境界波フィルタ装置が得られる。
（発明の効果）
【００２５】
本発明に係る弾性波フィルタ装置では、上記弾性波共振子の第１の分割電極部と、第１の平衡端とを結んでいる線路の距離と、前記第２分割電極部と、第２の平衡端とを結んでいる線路の距離とが等しくされているため、第１，第２の信号ラインから弾性波共振子に伝送される信号の位相シフト量がほぼ同じとされる。そのため、第１，第２の平衡端子間における位相平衡度及び振幅平衡度を効果的に改善することが可能となる。
【００２６】
加えて、上記弾性波共振子の第１分割電極部と第２分割電極部とが異ならされているので、異ならせ方を調整することにより、第１，第２の平衡端子間の信号の振幅平衡度や位相平衡度をより細やかに調整することができ、それによって平衡度をさらに改善することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。
【図２】図２は、第１の実施形態及び比較例の弾性波フィルタ装置の振幅平衡度−周波数特性を示す図である。
【図３】図３は、第１の実施形態及び比較例の弾性波フィルタ装置の位相平衡度−周波数特性を示す図である。
【図４】図４は、第１，第２分割電極部を有する弾性表面波共振子における第１，第２分割電極部における位相の関係を説明するための模式的平面図である。
【図５】図５は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。
【図６】図６は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。
【図７】図７は、本発明の第４の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。
【図８】図８は、本発明の第５の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。
【図９】図９は、本発明の第６の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。
【図１０】図１０は、本発明の第７の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。
【図１１】図１１は、本発明で用いられる弾性表面波共振子の変形例を示す模式的平面図である。
【図１２】図１２は、本発明で用いられる弾性表面波共振子の他の変形例を示す模式的平面図である。
【図１３】図１３は、従来の弾性表面波フィルタ装置を説明するための模式的平面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１…弾性波フィルタ装置
２…圧電基板
３…不平衡端子
４，５…第１，第２の平衡端子
６…弾性波フィルタ部
１１〜１３…ＩＤＴ電極
１４，１５…反射器
１６，１７…第１，第２の信号ライン
１８…弾性波共振子
１９…ＩＤＴ電極
２０ａ，２０ｂ…反射器
２１…弾性波フィルタ装置
２２ａ，２２ｂ…分割バスバー
２３…共通バスバー
２４ａ，２４ｂ…接続配線
２５ａ，２５ｂ…接続点
２７，２８…弾性波フィルタ
３０…ＩＤＴ電極
３０ａ，３０ｂ…第１，第２の分割電極部
３１…弾性波フィルタ装置
４１…弾性波フィルタ装置
５１…弾性波フィルタ装置
６１…弾性波フィルタ装置
７１…弾性波フィルタ装置
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面を参照しつつ本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。【００３０】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。本実施形態の弾性波フィルタ装置１は、弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタ装置である。【００３１】
圧電基板２上に、模式的に示す図示の電極構造が形成されている。本実施形態では、圧電基板２は、ＬｉＴａＯ３基板からなる。より具体的には、表面波伝搬方向は結晶軸がＸ軸方向であり、カット角がＹ軸回転角度４０±５°であるＬｉＴａＯ３単結晶基板が用いられている。もっとも、圧電基板２は、他の結晶方位のＬｉＴａＯ３または他の圧電単結晶を用いて形成されてもよい。さらに、圧電基板２は、圧電セラミックスからなるものであってもよい。【００３２】
圧電基板２上に、１０ｎｍの厚みのＴｉ膜と、３１７ｎｍのＡｌ膜を積層してなる積層膜により、図示の電極構造が形成されている。【００３３】
弾性波フィルタ装置１は、不平衡端子３と、第１，第２の平衡端子４，５との間に、縦結合共振子型弾性波フィルタ部６が接続されている。縦結合共振子型弾性波フィルタ部６は、中央に配置された第１のＩＤＴ電極１１と、第１のＩＤＴ電極１１の弾性表面波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴ電極１２，１３とを有する。ＩＤＴ電極１１〜１３が設けられている領域の弾性表面波伝搬方向両側に、反射器１４，１５が配置されている。すなわち、弾性波フィルタ部６は、縦結合共振子型の３ＩＤＴ電極型の弾性表面波フィルタである。【００３４】
第２，第３のＩＤＴ電極１２，１３の各一端が共通接続されて、上記不平衡端子３に電気的に接続されており、ＩＤＴ電極１２，１３の他端はグラウンド電位に接続されている。第１のＩＤＴ電極１１は、弾性波伝搬方向にＩＤＴ電極が２分割されて設けられた第１，第２の分割ＩＤＴ電極部１１ａ，１１ｂを有する。すなわち、ＩＤＴ電極の一方のバスバーを２分割することにより、第１，第２の分割ＩＤＴ電極部１１ａ，１１ｂが形成されている。分割されていない側のバスバーは、共通バスバーとされており、それによって、第１，第２の分割ＩＤＴ電極部１１ａ，１１ｂは直列に接続されている。第１の分割ＩＤＴ電極部１１ａが、第１の信号ライン１６により第１の平衡端子４に接続されており、第２の分割ＩＤＴ電極部１１ｂが第２の信号ライン１７により第２の平衡端子５に接続されている。【００３５】
ここでは、第１の信号ライン１６から第１の平衡端子４に伝送される信号の位相に対し、第２の信号ライン１７から第２の平衡端子５に伝送される信号の位相が１８０°異なるように、ＩＤＴ電極１２の極性に対し、ＩＤＴ電極１３の極性が反転されている。それによって、平衡−不平衡変換機能が実現されている。【００３６】
ＩＤＴ電極１２，１３の各一端が、不平衡端であり、ＩＤＴ電極１１の分割ＩＤＴ電極部１１ａ，１１ｂの各一端が、第１，第２の平衡端である。本発明において、第１，第２の平衡端とは、出力される信号の位相が１８０°異なる電極端部をいうものとする。従って、本実施形態では、第１の分割ＩＤＴ電極部１１ａの一端である分割バスバーの端部及び第２の分割ＩＤＴ電極部１１ｂの分割バスバーの端部がそれぞれ、第１，第２の平衡端である。【００３７】
本実施形態の特徴は、上記第１の信号ライン１６と第２の信号ライン１７との間に、弾性波共振子１８が接続されていることにある。弾性波共振子１８は、ＩＤＴ電極１９と、ＩＤＴ電極１９の弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器２０ａ，２０ｂとを有する。ＩＤＴ電極１９は、対向し合う一対のバスバーの内の一方のバスバーを弾性表面波伝搬方向に分割することにより設けられた第１分割バスバー２２ａと、第２分割バスバー２２ｂとを有し、それによって第１，第２の分割電極部１９ａ，１９ｂが形成されている。第１，第２の分割バスバー２２ａ，２２ｂと対向し合う反対側のバスバーは共通バスバー２３とされている。【００３８】
第１分割バスバー２２ａが、接続配線２４ａにより第１の信号ライン１６に接続点２５ａにおいて接続されている。また、第２分割バスバー２２ｂが、接続点２５ｂにおいて、第２の信号ライン１７に、接続配線２４ｂにより接続されている。【００３９】
なお、特に限定されるものではないが、第１，第２の分割バスバー２２ａ，２２ｂが、弾性波フィルタ部６側に配置されており、共通バスバー２３は、弾性波フィルタ部６から遠い側に配置されている。従って、第１分割バスバー２２ａと、第１の信号ライン１６との電気的接続のための接続配線２４ａ及び第２分割バスバー２２ｂと第２の信号ライン１７とを接続している接続配線２４ｂの長さを短くすることができる。それによって、弾性波フィルタ装置１の小型化を図ることが可能とされている。【００４０】
なお、第１の信号ライン１６及び第２の信号ライン１７を伝送される信号の位相が反転されており、第１，第２の信号ライン１６，１７間に上記弾性波共振子１８が接続されているため、フィルタ特性の急峻性を高めることができ、かつ通過帯域幅を広くすることが可能とされている。すなわち、前述した特許文献１に記載の弾性波フィルタ装置と同様に、第１の信号ラインに伝送される信号の位相と、第２の信号ライン１７を伝送される信号の位相とが反転されている。そして、上記第１，第２の信号ライン１６，１７間に弾性波共振子１８が接続されているので、第１の信号ライン１６から弾性波共振子１８に伝送されてくる信号と、第２の信号ライン１７から弾性波共振子１８に伝送されてくる信号とが相殺される。そのため、フィルタ特性の急峻性が高められる。【００４１】
加えて、上記弾性波共振子１８の共振周波数が、好ましくは、上記縦結合共振子型の弾性波フィルタ部６を通過帯域よりも低域側に位置され、それによって、通過帯域低域側における減衰量の拡大を図ることもできる。【００４２】
より好ましくは、上記弾性波共振子の共振周波数−反共振周波数を、上記弾性波フィルタ部６の通過帯域を含んでいることが望ましい。その場合には、弾性波フィルタ部６の通過帯域において弾性波共振子１８は誘導性となり、容量性とならないため、リアクタンスによる挿入損失の劣化を抑制することができる。【００４３】
本実施形態の弾性波フィルタ装置１の特徴は、上記第１分割電極部１９ａと、弾性波フィルタ部６の第１の平衡端である第１の分割ＩＤＴ電極部１１ａとの間の線路の距離と、第２分割電極部１９ｂと、弾性波フィルタ部６の第２の平衡端である第２の分割ＩＤＴ電極部１１ｂとの間を結んでいる線路の距離が等しくされていること、並びに第１分割電極部１９ａと、第２分割電極部１９ｂとが異ならされていることにある。すなわち、第１分割電極部１９ａと、上記第１の平衡端との間の配線距離と、第２分割電極部１９ｂと上記第２の平衡端との間の配線の距離がほぼ等しくされているため、第１，第２の信号ライン１６，１７から弾性波共振子１８に伝送される信号の位相シフト量がほぼ同じとされる。そのため、第１，第２の平衡端子４，５間における信号の平衡度が効果的に改善される。【００４４】
加えて、第１分割電極部１９ａと、第２分割電極部１９ｂとを異ならせることにより、第１，第２の平衡端子４，５間の信号の平衡度をより確実に改善することが可能となる。【００４５】
これを、具体的な実験例に基づき、明らかにする。【００４６】
上記弾性波フィルタ装置１を、圧電基板上に以下の仕様で各電極を形成することにより製造した。【００４７】
弾性波フィルタ部６における電極指交叉幅：９０μｍ
反射器１４，１５における電極指の本数：各８０本
反射器１４，１５における電極指ピッチ：２．１３６μｍ
反射器１４，１５におけるメタライゼーションレシオ：０．６６
ＩＤＴ電極１２，１３における電極指の対数：それぞれ１１．５対、電極指の本数２４本
ＩＤＴ電極１２，１３における電極指のピッチ：２．１１５μｍ
ただし、ＩＤＴ電極１２の電極指の内、ＩＤＴ電極１１側に近い４本の電極指、ＩＤＴ電極１３のＩＤＴ電極１１側に位置している４本の電極指においては、電極指ピッチを１．９９８μｍとした。すなわち、ＩＤＴ電極１２，１３に、それぞれ、上記電極指ピッチを有する狭ピッチ電極指部を設けた。【００４８】
ＩＤＴ電極１２，１３におけるメタライゼーションレシオ：０．６５、ただし狭ピッチ電極指部では０．６３。【００４９】
ＩＤＴ電極１１の電極指の対数：９．５対、電極指の本数は２０本
ＩＤＴ電極１１の電極指ピッチ：２．１２μｍ
ただし、ＩＤＴ電極１１において、両端に、それぞれ、狭ピッチ電極指部を設けた。狭ピッチ電極指部は、電極指ピッチが１．９６８μｍである６本の電極指により構成した。【００５０】
ＩＤＴ電極１１のメタライゼーションレシオ：０．６５、ただし狭ピッチ電極指部では０．６３とした。【００５１】
ＩＤＴ電極１１とＩＤＴ電極１２との間隔及びＩＤＴ電極１２とＩＤＴ電極１３との間隔：隣り合うＩＤＴ電極の隣り合う電極指中心間距離で０．７２μｍ
ＩＤＴ電極−反射器間の間隔：隣り合う電極指の中心間距離で０．５７μｍ
弾性波共振子１８における電極指交叉幅：８０μｍ
弾性波共振子１８における反射器２０ａ，２０ｂの電極指の本数：各３０本
反射器２０ａ，２０ｂ及びＩＤＴ電極１９における電極指ピッチ：２．１６０μｍ
反射器２０ａ，２０ｂのメタライゼーションレシオ：０．５０
第１分割電極部１９ａにおける電極指の本数：２８本
第２分割電極部１９ｂの電極指の本数：２４本
上記のようにして設計された本実施形態の弾性波フィルタ装置１の特性を測定した。比較のために、特許文献１と同様に、第１，第２の信号ライン間に、弾性表面波共振子を接続したことを除いては、上記実施形態と同様にして設計された弾性波フィルタ装置の特性を測定した。なお、比較例では、弾性波共振子の反射器の構成は上記実施形態の場合と同様とし、中央に位置するＩＤＴ電極の電極指の本数は５２本とし、電極指ピッチ及びメタライゼーションレシオは上記実施形態の弾性波共振子と同様とした。【００５２】
図２及び図３は、上記実施形態及び比較例の各弾性波フィルタ装置の振幅平衡度周波数特性及び位相平衡度周波数特性を示す。図２及び図３において、実線が上記実施形態の結果を、破線が比較例の結果を示す。図２の位相平衡度−周波数特性では、通過帯域である９２５−９６０ＭＨｚにおいて、上記実施形態によれば、位相平衡度が０ｄＢ付近にあり、比較例に比べて、位相平衡度が効果的に高められていることがわかる。【００５３】
また、図３から明らかなように、同じく９２５−９６０ＭＨｚにおいて、上記実施形態によれば、位相平衡度が、１８０°付近にあり、１７６°付近にある比較例に比べて、位相平衡度が効果的に改善されていることがわかる。【００５４】
これは、上述したように、第１分割電極部１９ａと、第１の平衡端との間の線路の距離及び第２分割電極部１９ｂと第２の平衡端との間の線路の距離が略等しくされていることにより、第１，第２の信号ライン１６，１７から弾性波共振子１８に伝送される信号の位相シフト量がほぼ等しくされているため、並びに第１分割電極部１９ａ及び第２分割電極部１９ｂの電極指の本数が異ならされていることによる。【００５５】
すなわち、図４に模式的に示すように、弾性波共振子において、ＩＤＴ電極３０が電極指の本数が異なる第１分割電極部３０ａと、第２分割電極部３０ｂを有するとする。この場合、図４の下方に示すように、第１分割電極部３０ａ部分では、位相が＋９０°、第２分割電極部３０ｂでは位相が−９０°とすると、両者の間の中間点である中性点では位相が０°となる。そして、この中性点に対し、非対称にＩＤＴ電極３０が構成されているため、第１，第２の平衡端子に対するリアクタンス分が上記第１，第２の分割電極部３０ａ，３０ｂの電極指の本数を異ならせることにより調整され得る。すなわち、第１の平衡端及び第２の平衡端から出力される信号の強度差による平衡度の劣化を、上記分割電極部３０ａ，３０ｂの電極指の本数を異ならせることにより調整することができる。【００５６】
本実施形態では、第１の平衡端及び第２の平衡端から出力される信号の強度差による平衡度の劣化が相殺されるように、第１，第２の分割電極部１９ａ，１９ｂの電極指の本数が異ならされている。【００５７】
図５は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波フィルタ装置２１を示す模式的平面図である。ここでは、第１の実施形態の弾性波フィルタ装置１の弾性波フィルタ部６に代えて、２段縦続接続構造の弾性波フィルタ部６Ａが設けられていることを除いては、第１の実施形態と同様に構成されている。従って、縦結合共振子型の弾性波フィルタ部６Ａのみを説明し、他の部分の説明については、第１の実施形態の説明を援用することとする。【００５８】
縦結合共振子型の弾性波フィルタ部６Ａは、第１の縦結合共振子型の弾性波フィルタ２７と、第２の縦結合共振子型の弾性波フィルタ２８とを縦続接続することにより形成されている。各弾性波フィルタ２７，２８は、それぞれ第１のＩＤＴ電極２７ａ，２８ａと、第１のＩＤＴ電極２７ａ，２８ａの弾性表面波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴ電極２７ｂ，２７ｃ，２８ｂ，２８ｃとを有する。また、ＩＤＴ電極２７ａ〜２７ｃが設けられている領域の弾性表面波伝搬方向両側には、反射器２７ｄ，２７ｅが配置されており、同様に、ＩＤＴ電極２８ａ〜２８ｃが設けられている領域の表面波伝搬方向両側に、反射器２８ｄ，２８ｅが設けられている。【００５９】
第１のＩＤＴ電極２７ａの一端が不平衡端子３に、他端がグラウンド電位に接続されている。第２，第３のＩＤＴ電極２７ｂ，２７ｃの一端がグラウンド電位に接続されており、ＩＤＴ電極２７ｂ，２７ｃの各他端は、それぞれ、第２の弾性波フィルタ２８の第２，第３のＩＤＴ電極２８ｂ，２８ｃの一端に、接続されている。ＩＤＴ電極２８ｂ，２８ｃの各他端はグラウンド電位に接続されている。ＩＤＴ電極２８ａは、第１の実施形態の弾性波フィルタ部６の第１のＩＤＴ電極１１と同様に構成されている。すなわち、ＩＤＴ電極２８ａは、第１，第２の分割ＩＤＴ電極部を有する。従って、この第１，第２の分割ＩＤＴ電極部は、第１の実施形態の場合と同様に、１１ａ，１１ｂの参照番号を付することにより、第１の実施形態の説明を援用することとする。【００６０】
第２の実施形態においても、上記第１，第２の信号ライン１６，１７が、第１，第２の平衡端と第１，第２の平衡端子４，５とを接続しており、かつ第１の実施形態と同様に弾性波共振子１８が接続されている。すなわち、弾性波共振子の第１分割電極部１９ａと、第１の平衡端との間の距離、第２分割電極部１９ｂと第２の平衡端との距離が略等しくされており、かつ第１分割電極部１９ａの電極指の本数と、第２分割電極部１９ｂの電極指の本数とが異ならされている。従って、第１の実施形態と同様に、第１，第２の平衡端子間における信号の平衡度を効果的に改善することができる。【００６１】
図６は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波フィルタ装置を示す模式的平面図である。第３の実施形態の弾性波フィルタ装置３１では、図１の弾性波フィルタ部６に代えて、不平衡端子３に並列に接続された第１，第２の縦結合共振子型の弾性波フィルタ部３３，３４が用いられていることを除いては、第１，第２の１の実施形態と同様に構成されている。従って、同一部分について、同一の参照番号を付することにより、その説明を省略する。【００６２】
ここでは、第１の弾性波フィルタ部３３は、第１のＩＤＴ電極３３ａと、第１のＩＤＴ電極３３ａの弾性表面波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴ電極３３ｂ，３３ｃと、ＩＤＴ電極３３ａ〜３３ｃが設けられている領域の表面波伝搬方向両側に配置された反射器３３ｄ、３３ｅとを有する。第２の弾性波フィルタ部３４もまた、同様に構成されており、第１〜第３のＩＤＴ電極３４ａ〜３４ｃと、反射器３４ｄ，３４ｅとを有する。【００６３】
不平衡端子３に、第１の弾性波フィルタ部３３の第１のＩＤＴ電極３３ａの一端が接続されており、ＩＤＴ電極３３ａの他端がグラウンド電位に接続されている。第２，第３のＩＤＴ電極３３ｂ，３３ｃの各一端がグラウンド電位に接続されており、各他端は共通接続されて、第１の平衡端子４に接続されている。【００６４】
第２の弾性波フィルタ部３４の第１のＩＤＴ電極３４ａの一端が不平衡端子３に、他端がグラウンド電位に接続されている。第２，第３のＩＤＴ電極３４ｂ，３４ｃの各一端がグラウンド電位に接続されており、各他端は共通接続されて、第２の平衡端子５に接続されている。【００６５】
ここでは、ＩＤＴ電極３３ａ，３４ａの各一端が不平衡端であり、ＩＤＴ電極３３ｂ，３３ｃの各他端が第１の平衡端であり、ＩＤＴ電極３４ｂ，３４ｃの各他端が第２の平衡端である。【００６６】
第１の平衡端と第１の平衡端子４を接続している第１の信号ライン１６を伝送する信号の位相に対し、上記第２の平衡端と第２の平衡端子５とを接続している第２の信号ライン１７を伝送される信号の位相とが１８０°異なっている。そして、本実施形態においても、第１，第２の信号ライン間に、第１の実施形態と同様にして、弾性波共振子１８が接続されているので、第１の実施形態と同様に、第１，第２の平衡端子４，５間における信号の平衡度を効果的に改善することができる。【００６７】
図７は、第４の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。第４の実施形態の弾性波フィルタ装置４１は、第３の実施形態の弾性波フィルタ装置３１の変形例に相当する。異なるところは、弾性波フィルタ部３３の中央に位置している第１のＩＤＴ電極３３ａの両側に位置している第２，第３のＩＤＴ電極３３ｂ，３３ｃの各一端が共通接続されて不平衡端子３に接続されており、各他端がグラウンド電位に接続されており、同様に、第２，第３のＩＤＴ電極３４ｂ，３４ｃの各一端が共通接続されて不平衡端子３に接続されており、中央に位置している第１のＩＤＴ電極３３ａ，３４ａの各一端が第１，第２の平衡端子４，５に接続されていることにある。その他の点は、第３の実施形態と同様である。従って、第４の実施形態の弾性波フィルタ装置４１においても、第１，第２の平衡端子４，５間における信号の平衡度を効果的に改善することができる。【００６８】
図８は、第５の実施形態の弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。第５の実施形態の弾性波フィルタ装置５１は、第１の実施形態の弾性波フィルタ装置１の縦結合共振子型の弾性波フィルタ部６に代えて、５ＩＤＴ電極型の縦結合共振子型の弾性波フィルタ部５２が設けられていることを除いては、第１の実施形態と同様に構成されている。【００６９】
弾性波フィルタ部５２は、中央に位置している第１のＩＤＴ電極５２ａと、ＩＤＴ電極５２ａの弾性波伝搬方向両側に配置された第２，第３のＩＤＴ電極５２ｂ，５２ｃと、第１〜第３のＩＤＴ電極５２ａ〜５２ｃが設けられている領域の表面波伝搬方向両側に配置された第４，第５のＩＤＴ電極５２ｄ，５２ｅとを有する。ＩＤＴ電極５２ａ〜５２ｅが設けられている領域の表面波伝搬方向両側には、反射器５２ｆ，５２ｇが設けられている。ここでは、第１のＩＤＴ電極５２ａ及び第４，第５のＩＤＴ電極５２ｄ，５２ｅの各一端が不平衡端であり、共通接続されて、不平衡端子３に接続されている。ＩＤＴ電極５２ａ，５２ｄ，５２ｅの各他端はグラウンド電位に接続されている。【００７０】
第２のＩＤＴ電極５２ｂに対し、第３のＩＤＴ電極５２ｃの極性が反転されている。そして、第２のＩＤＴ電極５２ｄの一端がグラウンド電位に、他端が第１の平衡端子４に接続されている。同様に、第３のＩＤＴ電極５２ｃの一端がグラウンド電位に、他端が第２の平衡端子５に接続されている。ここでは、ＩＤＴ電極５２ｂの上記他端が第１の平衡端を構成しており、ＩＤＴ電極５２ｃの他端が第２の平衡端を構成している。【００７１】
第５の実施形態においても、第１の実施形態と同様にして、弾性波共振子１８が第１，第２の信号ライン間に接続されているので、同様に第１，第２の平衡端子４，５間の信号の平衡度を効果的に改善することができる。【００７２】
図９は、本発明の第６の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。弾性波フィルタ装置６１は、第５の実施形態の弾性波フィルタ装置５１の変形例に相当する。異なるところは、５ＩＤＴ電極型の縦結合共振子型の弾性波フィルタ部５２において、第２，第３のＩＤＴ電極５２ｂ，５２ｃの各一端が不平衡端であり、これらは共通接続されて不平衡端子３に接続されており、第１，第４及び第５のＩＤＴ電極５２Ａ，５２ｄ，５２ｅが平衡端子側に接続されていることにある。【００７３】
ここでは、中央の第１のＩＤＴ電極５２Ａは、表面波伝搬方向に２分割されて設けられた第１，第２の分割ＩＤＴ電極５２Ａ１及び５２Ａ２を有する。【００７４】
第１の平衡端子４には、第４のＩＤＴ電極５２ｄの一端と、上記第１の分割ＩＤＴ電極部５２Ａ１の一端とが接続されている。ここで、第１の平衡端とは、第４のＩＤＴ電極５２ｄと、第１の分割ＩＤＴ電極部５２Ａ１の各一端であり、これらは接続点６２で共通接続されている。ＩＤＴ電極５２ｄの他端はグラウンド電位に接続されている。【００７５】
また、第２の分割ＩＤＴ電極部５２Ａ２の一端と、第５のＩＤＴ電極５２ｅの一端とが第２の平衡端であり、これらは接続点６３により共通接続されている。該接続点６３が第２の信号ライン１７により第２の平衡端子５に接続されている。第５のＩＤＴ電極５２ｅの他端はグラウンド電位に接続されている。【００７６】
第６の実施形態においても、第１，第２の信号ライン間に、弾性波共振子１８が第１の実施形態と同様に接続されているため、第１，第２の平衡端子４，５間の信号の平衡度を効果的に高めることができる。【００７７】
図１０は、本発明の第７の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の模式的平面図である。第７の実施形態の弾性波フィルタ装置７１は、図５に示した第２実施形態の弾性波フィルタ装置２１と同様に、２段縦続接続された第１，第２の縦結合共振子型の弾性波フィルタ２７，２８を有する。従って、同一部分については同一の参照番号を付することよりその説明を省略する。もっとも、図５では、弾性波共振子１８は、第２の弾性波フィルタ２８の出力側に接続されており、かつ物理的には、第２の弾性波フィルタ２８を挟んで、第１の弾性波フィルタと２７と反対側に弾性波共振子１８が配置されていた。【００７８】
これに対して、第７の実施形態の弾性波フィルタ装置７１では、弾性波共振子１８は、第１の弾性波フィルタ２７と、第２の弾性波フィルタ２８との間の段間において、第１，第２の信号ラインに接続されている。また、物理的レイアウトにおいても、第１の弾性波フィルタ２７、第２の弾性波フィルタ２８との間の領域に弾性波共振子１８が配置されている。このように、複数段構成の弾性波フィルタ部を用いる場合、段間に弾性表面波共振子が配置されていてもよい。【００７９】
ここでは、第２の実施形態と異なる部分のみを説明し、同一部分については、図５に示した弾性波フィルタ装置２１の説明を援用することにより省略する。【００８０】
第１の弾性波フィルタ２７の第２，第３のＩＤＴ電極２７ｂ，２７ｃの各一端がグラウンド電位に接続されており、各他端は第２の弾性波フィルタ２８の第２，第３のＩＤＴ電極２８ｂ，２８ｃの各一端にそれぞれ接続されているだけでなく、第１，第２の分割電極部１９ａ，１９ｂにもそれぞれ電気的に接続されている。【００８１】
より具体的には、ＩＤＴ電極２７ｂの他端は、第１の信号ラインにより、ＩＤＴ電極２８ｂに接続されている。なお、ここで、第１の平衡端とは、ＩＤＴ電極２７ｂのグラウンド電位に接続される側とは反対側のバスバーの端部をいい、第２の平衡端とは、ＩＤＴ電極２７ｃのグラウンド電位に接続される側とは反対側のバスバー端をいうものとする。これは、第２の実施形態と同様に、ＩＤＴ電極２７ｂ，２７ｃから出力される信号の位相が１８０°異ならされていることによる。すなわち、第１，第２の平衡端とは、縦結合共振子型の弾性波フィルタ部において、一方の伝送信号の位相が、他方の伝送信号の位相と１８０°異ならされた部分の出力側端部をいうものとする。【００８２】
従って、図１０では、第１の信号ラインとは、上記第１の平衡端と第１の平衡端子４とを結ぶ部分をいい、より具体的には、ＩＤＴ電極２７ｂの端部と、ＩＤＴ電極２８ｂとを接続している配線部分１６ａと、第１の分割ＩＤＴ電極部１１ａと第１の平衡端子４とを接続している配線部分１６ｂの双方を含むものとする。同様に、第２の信号ライン１７とは、ＩＤＴ電極２７ｃの端部とＩＤＴ電極２８ｃとを結んでいる配線部分１７ａだけでなく、第２の分割ＩＤＴ電極部１１ｂと第２の平衡端子５とを結んでいる配線部分１７ｂをも含むものとする。そして、第１，第２の信号ライン１６，１７間の段間において、弾性波共振子１８が第２の実施形態と同様にして接続されている。より具体的には、接続点２６に、弾性波共振子１８の第１分割電極部１９ａが接続されており、第２の接続点３５に、第２分割電極部１９ｂが接続されている。【００８３】
本実施形態においても、第１，第２の信号ライン間に、第１の実施形態と同様に、弾性表面波共振子が接続されているため、より具体的には、第１の平衡端と、第１の接続点２６との間の距離及び平衡端と第２の接続点３５との間の距離が略等しくされており、かつ第１，第２の分割電極部１９ａ，１９ｂの電極指の本数が異ならされているため、第１，第２の平衡端子４，５間の信号の平衡度を効果的に改善することができる。【００８４】
なお、図１に示した実施形態では、ＩＤＴ電極１９において、共通バスバーは浮かされていたが、図１１に示すように、ＩＤＴ電極１９の共通バスバーをグラウンド電位に接続し、それによって中心点をグラウンド電位に接続してもよい。【００８５】
また、上述した実施形態及び変形例では、第１分割電極部１９ａの電極指の本数と第２分割電極部１９ｂの電極指の本数が異ならされていたが、電極指の本数以外の要素を異ならせることにより、第１，第２の分割電極部の構造異ならせてもよい。例えば、図１２に示すように、第１分割電極部２９Ａの電極指ピッチと、第２分割電極部２９Ｂの電極指ピッチを異ならせてもよい。あるいは、第１分割電極部のメタライゼーションレシオと、第２分割電極部のメタライゼーションレシオを異ならせてもよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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