(57)【要約】  本発明の超音波探触子２およびその製造方法では、有機圧電素子２１は、シート状であって、複数の無機圧電素子２２のうちの一部または全体に亘って直接または間接的に積層されている。このため、より少ない工数で超音波探触子２を製造することが可能となる。そして、本発明の超音波診断装置は、このような超音波探触子２を備えている。このため、そのコストを低減することが可能となる。
2009069379.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機圧電材料を備え、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる複数の無機圧電素子と、
有機圧電材料を備え、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる有機圧電素子とを備え、
前記有機圧電素子は、前記複数の無機圧電素子のうちの一部または全体に亘って直接または間接的に積層されるシート状であること
を特徴とする超音波探触子。
【請求項２】
前記有機圧電素子は、少なくとも一方面に複数の電極を備えること
を特徴とする請求項１に記載の超音波探触子。
【請求項３】
前記無機圧電素子の個数と前記有機圧電素子の前記電極の個数とは、異なること
を特徴とする請求項２に記載の超音波探触子。
【請求項４】
前記有機圧電素子の前記電極の個数は、前記無機圧電素子の個数より多いこと
を特徴とする請求項３に記載の超音波探触子。
【請求項５】
前記複数の無機圧電素子は、電気信号が入力され、前記電気信号を超音波信号に変換することによって前記超音波信号を送信すること
を特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の超音波探触子。
【請求項６】
前記有機圧電素子は、超音波信号が受信され、前記超音波信号を電気信号に変換することによって前記電気信号を出力すること
を特徴とする請求項１ないし請求項５の何れか１項に記載の超音波探触子。
【請求項７】
前記複数の無機圧電素子は、第１電気信号が入力され、前記第１電気信号を第１超音波信号に変換することによって前記第１超音波信号を送信し、
前記有機圧電素子は、前記第１超音波信号の高調波である第２超音波信号が受信され、前記第２超音波信号を第２電気信号に変換することによって前記第２電気信号を出力すること
を特徴とする請求項１ないし請求項４の何れか１項に記載の超音波探触子。
【請求項８】
前記第２超音波信号は、前記第１超音波信号の第２および第３高調波であること
を特徴とする請求項７に記載の超音波探触子。
【請求項９】
無機圧電材料を備え、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる複数の無機圧電素子を製造する工程と、
有機圧電材料を備え、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができるシート状の有機圧電素子を製造する工程と、
前記複数の無機圧電素子のうちの一部または全体に亘って直接または間接的に前記有機圧電素子を積層する工程とを備えること
を特徴とする超音波探触子製造方法。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の超音波探触子を備えること
を特徴とする超音波診断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波を送受信可能な超音波探触子およびこの超音波探触子の製造方法に関する。そして、本発明は、この超音波探触子を備えた超音波診断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波は、通常、１６０００Ｈｚ以上の音波をいい、非破壊および無害でその内部を調べることが可能なことから、欠陥の検査や疾患の診断等の様々な分野に応用されている。その一つに、被検体内を超音波で走査し、被検体内からの超音波の反射波（エコー）から生成した受信信号に基づいて当該被検体内の内部状態を画像化する超音波診断装置がある。この超音波診断装置では、被検体に対して超音波を送受信する超音波探触子が用いられている。この超音波探触子は、圧電現象を利用することによって、送信の電気信号に基づいて機械振動して超音波を発生し、被検体内部で音響インピーダンスの不整合によって生じる超音波の反射波を受けて受信の電気信号を生成する複数の圧電素子を備え、これら複数の圧電素子が例えばアレイ状に２次元配列されて構成されている（例えば、特許文献１（Ｄ１）参照）。【０００３】
そして、近年では、超音波探触子から被検体内へ送信された超音波の周波数（基本周波数）成分ではなく、その高調波周波数成分によって被検体内の内部状態の画像を形成するハーモニックイメージング（Harmonic Imaging）技術が研究、開発されている。このハーモニックイメージング技術は、基本周波数成分のレベルに比較してサイドローブレベルが小さく、Ｓ／Ｎ比（signal to noise ratio）が良くなってコントラスト分解能が向上すること、周波数が高くなることによってビーム幅が細くなって横方向分解能が向上すること、近距離では音圧が小さくて音圧の変動が少ないために多重反射が抑制されること、および、焦点以遠の減衰が基本波並みであり高周波を基本波とする場合に較べて深速度を大きく取れること等の様々な利点を有している。【０００４】
このハーモニックイメージング用の超音波探触子は、基本波の周波数から高調波の周波数までの広い周波数帯域が必要とされ、その低周波側の周波数領域が基本波を送信するための送信用に利用され、その高周波側の周波数領域が高調波を受信するための受信用に利用される。このようなハーモニックイメージング用の超音波探触子は、例えば、特許文献２（Ｄ２）に開示の装置がある。【０００５】
図１０は、特許文献２に開示の超音波探触子における圧電部の構造図である。図１１は、特許文献２に開示の超音波探触子における圧電部の製造方法の説明図である。【０００６】
図１０において、この特許文献２に開示の超音波探触子５００は、音響吸収層５０１と、この音響吸収層５０１の前面に配置された第１圧電層５０２と、この第１圧電層５０２の前面に配置された第２圧電層５０３と、この第２圧電層５０３の前面に配置された音響整合層５０４とを備えている。第１圧電層５０２は、配列された複数の第１圧電素子５０２１からなり、第１圧電層５０２は、基本周波数ｆ１の超音波を送受信するように、基本周波数ｆ１に対応するその第１圧電層５０２の固有な音速から算出される波長λ１の１／２倍の厚さを有している。第２圧電層５０３は、第１圧電層５０２に配列された第１圧電素子５０２１の配列ピッチと同一のピッチで配列された複数の第２圧電素子５０３１からなり、第２圧電層５０３は、基本周波数ｆ１の２倍の周波数ｆ２の超音波を受信するように、この周波数ｆ２に対応するその第２圧電層５０３の固有な音速から算出される波長λ２の１／４倍の厚さを有している。そして、第１圧電層５０２と第２圧電層５０３との間には、第１圧電素子５０２１と第２圧電素子５０３１とに共通の第１電極５０５１がこれら第１圧電素子５０２１や第２圧電素子５０３１と同一ピッチで同数配列されている。第１圧電層５０２と音響吸収層５０１との間には、複数の第１圧電素子５０２１に共通の第２電極５０６が形成されている。そして、第２圧電層５０３と音響整合層５０４との間には、複数の第２圧電素子５０３１に共通の第３電極５０７が形成されている。この特許文献２に開示の超音波探触子５００は、被検体ＬＢにあてがわれ、このような構成によって広い周波数帯域で超音波を送受信することができる。【０００７】
そして、このような構成の特許文献２に開示の超音波探触子５００は、次の各工程によって製造される。図１０および図１１において、完成後に第１圧電層５０２となる第１圧電セラミック板５０２０と完成後に第２圧電層５０３となる第２圧電セラミック板５０３０とが、完成後に第１電極５０５１となる電極形成物質を塗布した導電性メッシュシートをその間に挟んで重ね合わされ、焼成される。第１圧電セラミック板５０２０の背面には第２電極５０６が予め形成されている。次に、２枚重ねの圧電セラミック板５０２０、５０３０が、音響吸収層５０１上に固定され、スリット５０１１が形成される。これによって第１圧電セラミック板５０２０が複数の第１圧電素子５０２１の配列に分離されると共に、第２圧電セラミック板５０３０が複数の第２圧電素子５０３１の配列に分離される。さらに、配列された第１電極５０５１も形成される。次に、第１電極５０５１を切断しない程度に、第２圧電セラミック板５０３０にスリット５０１２が形成される。次に、これらスリット５０１１およびスリット５０１２に樹脂が注入される。樹脂の硬化後に、第２圧電セラミック板５０３０の前面が平面に削られ、メッキや蒸着等によって第３電極５０７が形成される。そして、第３電極５０７上に音響整合層５０４が重ねられる。【０００８】
このように超音波探触子は、第１および第２圧電素子が積層されるハーモニックイメージング用の超音波探触子も、圧電板から複数の圧電素子を形成しこれら各圧電素子を機能分割して各圧電素子を個別に動作させるために、圧電板に溝（間隙、隙間、ギャップ、スリット）を形成する工程が必要である。このため、超音波探触子の製造コストがかかっていた。
【特許文献１】特開２００４−０８８０５６号公報
【特許文献２】特開平１１−２７６４７８号公報
【発明の開示】
【０００９】
本発明は、上述の事情に鑑みて為された発明であり、その目的は、より少ない工数で製造可能な超音波探触子およびこの超音波探触子の製造方法ならびにこの超音波探触子を備えた超音波診断装置を提供することである。
【００１０】
本発明にかかる超音波探触子およびその製造方法では、有機圧電素子は、シート状であって、複数の無機圧電素子のうちの一部または全体に亘って直接または間接的に積層されている。このため、より少ない工数で超音波探触子を製造することが可能となる。そして、本発明にかかる超音波診断装置は、このような超音波探触子を備えている。このため、そのコストを低減することが可能となる。
【００１１】
上記並びにその他の本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な記載と添付図面から明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態における超音波診断装置の外観構成を示す図である。
【図２】前記超音波診断装置の電気的な構成を示すブロック図である。
【図３】前記超音波診断装置における超音波探触子の構成を示す断面図である。
【図４】前記超音波診断装置における超音波探触子の製造工程を示す工程図（その１）である。
【図５】前記超音波診断装置における超音波探触子の製造工程を示す工程図（その２）である。
【図６】前記超音波診断装置における超音波探触子の製造工程を示す工程図（その３）である。
【図７】前記超音波診断装置における超音波探触子の製造工程を示す工程図（その４）である。
【図８】前記超音波診断装置における超音波探触子の他の構成を示す断面図である。
【図９】前記超音波診断装置における他の構成の超音波探触子の製造工程を示す工程図である。
【図１０】特許文献２に開示の超音波探触子における圧電部の構造図である。
【図１１】特許文献２に開示の超音波探触子における圧電部の製造方法の説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る実施の一形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。【００１４】
（超音波診断装置および超音波探触子の各構成および動作）
図１は、実施形態における超音波診断装置の外観構成を示す図である。図２は、実施形態における超音波診断装置の電気的な構成を示すブロック図である。図３は、実施形態の超音波診断装置における超音波探触子の構成を示す図である。【００１５】
超音波診断装置Ｓは、図１および図２に示すように、図略の生体等の被検体に対して超音波（第１超音波信号）を送信すると共に、この被検体で反射した超音波の反射波（エコー、第２超音波信号）を受信する超音波探触子２と、超音波探触子２とケーブル３を介して接続され、超音波探触子２へケーブル３を介して電気信号の送信信号を送信することによって超音波探触子２に被検体に対して第１超音波信号を送信させると共に、超音波探触子２で受信された被検体内から来た第２超音波信号に応じて超音波探触子２で生成された電気信号の受信信号に基づいて被検体内の内部状態を超音波画像として画像化する超音波診断装置本体１とを備えて構成される。【００１６】
超音波診断装置本体１は、例えば、図２に示すように、診断開始を指示するコマンドや被検体の個人情報等のデータを入力する操作入力部１１と、超音波探触子２へケーブル３を介して電気信号の送信信号を供給して超音波探触子２に超音波を発生させる送信回路１２と、超音波探触子２からケーブル３を介して電気信号の受信信号を受信する受信回路１３と、受信回路１３で受信した受信信号に基づいて被検体内の内部状態の画像（超音波画像）を生成する画像処理部１４と、画像処理部１４で生成された被検体内の内部状態の画像を表示する表示部１５と、これら操作入力部１１、送信回路１２、受信回路１３、画像処理部１４および表示部１５を当該機能に応じて制御することによって超音波診断装置Ｓの全体制御を行う制御部１６とを備えて構成される。【００１７】
超音波探触子（超音波プローブ）２は、無機圧電材料を備えて成り、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる複数の無機圧電素子と、有機圧電材料を備えて成り、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる有機圧電素子とを備えている。そして、注目すべきは、本超音波探触子２では、有機圧電素子は、複数の無機圧電素子のうちの一部または全体に亘って直接または間接的に積層されるシート状であることである。【００１８】
このような構成の超音波探触子２は、例えば、図３に示す構成の超音波探触子２Ａを例示することができる。この超音波探触子２Ａは、平板状の音響制動部材２３と、この音響制動部材２３の一方主面上に積層された複数の無機圧電素子２２と、これら複数の無機圧電素子２２における隙間に充填される音響吸収材２４と、これら複数の無機圧電素子２２上に積層された共通接地電極層２５と、この共通接地電極層２５上に積層される中間層２６と、この中間層２６上に積層される有機圧電素子２１と、この有機圧電素子２１上に積層される音響整合層２７とを備えて構成される。【００１９】
音響制動部材２３は、超音波を吸収する材料から構成され、複数の無機圧電素子２２から音響吸収部材２３方向へ放射される超音波を吸収するものである。【００２０】
複数の無機圧電素子２２における各無機圧電素子２２は、無機圧電材料から構成される圧電体（素圧電体）２０１１における互いに対向する両面にそれぞれ電極（素電極）２０２１、２０３１を備えて構成される。複数の無機圧電素子２２は、互いに所定の間隔を空けて平面視にて２次元アレイ状に音響制動部材２３上に配列されている。複数の無機圧電素子２２は、超音波の反射波を受信するように構成されてもよいが、本実施形態における超音波探触子２Ａおよび超音波診断装置Ｓでは、超音波を送信するように構成されている。より具体的には、複数の無機圧電素子２２には、送信回路１２からケーブル３を介して電気信号が入力される。この電気信号は、無機圧電素子２２の素電極２０２１と素電極２０３１とに入力される。複数の無機圧電素子２２は、この電気信号を超音波信号に変換することによってこの超音波信号を送信する。【００２１】
音響吸収材２４は、超音波を吸収する材料から構成され、これら複数の無機圧電素子２２の相互干渉を低減するためのものである。音響吸収材２４によって各無機圧電素子２２間におけるクロストークの低減が可能となる。【００２２】
共通接地電極層２５は、導電性の材料から構成され、図略の配線によって接地されており、そして、複数の無機圧電素子２２上に積層されることによってこれら複数の無機圧電素子２２における各素電極２０２１と電気的に接続されている。したがって、共通接地電極層２５によって複数の無機圧電素子２２における各素電極２０２１は、接地される。【００２３】
中間層２６は、複数の無機圧電素子２２と有機圧電素子２１とを積層するための部材であり、複数の無機圧電素子２２と有機圧電素子２１との音響インピーダンスを整合させるものである。【００２４】
有機圧電素子２１は、所定の厚さを持った平板状の有機圧電材料から成る圧電体１０１と、この圧電体１０１の一方主面に形成された互いに分離した複数の電極（素電極）１０２と、この圧電体１０１の他方主面に略全面に亘って一様に形成された電極層１０３とを備えて構成されたシート状の圧電素子である。このように複数の素電極１０２が圧電体１０１の一方主面に形成されることによって、有機圧電素子２１は、１個の素電極１０２と圧電体１０１と電極層１０３とから成る圧電素子を複数備えることができ、これら各圧電素子が個別に動作することができる。このように有機圧電素子２１における複数の圧電素子は、個別に機能させるために無機の圧電素子のように個々に分離する必要がなく、一体的なシート状で構成することが可能である。したがって、有機圧電素子２１の製造工程において、有機圧電材料から成るシート状の板状体に溝（間隙、隙間、ギャップ、スリット）を形成する工程が必要なく、有機圧電素子２１の製造工程がより単純化され、より少ない工数で有機圧電素子２１を形成することができる。なお、有機圧電素子２１は、複数の圧電素子を備えるために、電極層１０３に代え、複数の素電極１０２とそれぞれ一対となる複数の素電極で構成されてもよい。【００２５】
有機圧電素子２１は、図３に示す例では、複数の無機圧電素子２２の全体に亘って、共通接地電極層２５および中間層２６を介して間接的に複数の無機圧電素子２２に積層されている。なお、有機圧電素子２１は、複数の無機圧電素子２２の一部に亘って積層されてもよい。【００２６】
また、有機圧電素子２１の素電極１０２の個数と無機圧電素子２２の個数とは、同一でもよいが、本実施形態では、有機圧電素子２１の素電極１０２の個数と無機圧電素子２２の個数とは、異なっている。すなわち、有機圧電素子２１が備える圧電素子の個数と無機圧電素子２２の個数とは、異なっている。このため、複数の無機圧電素子２２の面積と複数の圧電素子を備える有機圧電素子２１の面積とが同一であっても、１個の無機圧電素子２２が占有する面積と有機圧電素子２１における１個の圧電素子が占有する面積とをそれぞれ独立に設定することが可能となる。したがって、無機圧電素子２２をその無機圧電素子２２に要求される仕様に応じて設計することができると共に、有機圧電素子２１をその有機圧電素子２１に要求される仕様に応じて設計することが可能となる。【００２７】
そして、本実施形態では、有機圧電素子２１の電極１０２の個数は、無機圧電素子２２の個数より多くなっている。すなわち、有機圧電素子２１が備える圧電素子の個数は、無機圧電素子２２の個数より多くなっている。このため、１個の無機圧電素子２２のサイズ（大きさ）を大きくすることが可能となり、無機圧電素子２２を送信用に用いる場合に、その送信パワーを大きくすることができると共に、有機圧電素子２１が備える圧電素子の個数を多くすることが可能となり、有機圧電素子２１を受信用に用いる場合に、その受信分解能を向上することができる。【００２８】
そして、有機圧電素子２１は、超音波を送信するように構成されてもよいが、本実施形態における超音波探触子２Ａおよび超音波診断装置Ｓでは、超音波の反射波を受信するように構成されている。より具体的には、有機圧電素子２１は、反射波の超音波信号が受信され、この超音波信号を電気信号に変換することによってこの電気信号を出力する。この電気信号は、有機圧電素子２１における素電極１０２と電極層１０３とから出力される。この電気信号は、ケーブル３を介して受信回路１３へ出力される。【００２９】
音響整合層２７は、無機圧電素子２２の音響インピーダンスと被検体の音響インピーダンスとの整合をとると共に、有機圧電素子２１の音響インピーダンスと被検体の音響インピーダンスとの整合をとる部材である。そして、音響整合層２７は、円弧状に膨出した形状とされる、被検体に向けて送信される超音波を収束する音響レンズを含んでいる。【００３０】
このような構成の超音波診断装置Ｓでは、例えば、操作入力部１１から診断開始の指示が入力されると、制御部１６の制御によって送信回路１２で電気信号の送信信号が生成される。この生成された電気信号の送信信号は、ケーブル３を介して超音波探触子２へ供給される。より具体的には、この電気信号の送信信号は、超音波探触子２における複数の無機圧電素子２２へそれぞれ供給される。この電気信号の送信信号は、例えば、所定の周期で繰り返される電圧パルスである。複数の無機圧電素子２２は、それぞれ、この電気信号の送信信号が供給されることによってその厚み方向に伸縮し、この電気信号の送信信号に応じて超音波振動する。この超音波振動によって、複数の無機圧電素子２２は、共通接地電極層２５、中間層２６、有機圧電素子２１および音響整合層２７を介して超音波を放射する。超音波探触子２が被検体に例えば当接されていると、これによって超音波探触子２から被検体に対して超音波が送信される。【００３１】
なお、超音波探触子２は、被検体の表面上に当接して用いられてもよいし、被検体の内部に挿入して、例えば、生体の体腔内に挿入して用いられてもよい。【００３２】
この被検体に対して送信された超音波は、被検体内部における音響インピーダンスが異なる１または複数の境界面で反射され、超音波の反射波となる。この反射波には、送信された超音波の周波数（基本波の基本周波数）成分だけでなく、基本周波数の整数倍の高調波の周波数成分も含まれる。例えば、基本周波数の２倍、３倍および４倍などの２次高調波成分、３次高調波成分および４次高調波成分なども含まれる。この反射波の超音波は、超音波探触子２で受信される。より具体的には、この反射波の超音波は、音響整合層２７を介して有機圧電素子２１で受信され、有機圧電素子２１で機械的な振動が電気信号に変換されて受信信号として取り出される。この取り出された電気信号の受信信号は、ケーブル３を介して制御部１６で制御される受信回路１３で受信される。【００３３】
ここで、上述において、各無機圧電素子２２から順次に超音波が被検体に向けて送信され、被検体で反射した超音波が有機圧電素子２１で受信される。【００３４】
そして、画像処理部１４は、制御部１６の制御によって、受信回路１３で受信した受信信号に基づいて、送信から受信までの時間や受信強度などから被検体内の内部状態の画像（超音波画像）を生成し、表示部１５は、制御部１６の制御によって、画像処理部１４で生成された被検体内の内部状態の画像を表示する。本実施形態における超音波探触子２Ａおよび超音波診断装置Ｓでは、上述したように基本波の高調波が受信されるので、ハーモニックイメージング技術によって超音波画像を形成することが可能となる。このため、本実施形態における超音波探触子２Ａおよび超音波診断装置Ｓは、より高精度な超音波画像の提供が可能となる。そして、比較的パワーの大きい２次および３次高調波が受信されるので、より鮮明な超音波画像の提供が可能となる。【００３５】
また、本実施形態における超音波探触子２Ａおよび超音波診断装置Ｓでは、複数の無機圧電素子２２は、超音波を送信するように構成されている。このように送信パワーを大きくすることが可能な無機圧電素子２２によって超音波信号が送信されるので、超音波探触子２Ａおよび超音波診断装置Ｓは、比較的簡単な構造で送信パワーを大きくすることができる。したがって、本実施形態における超音波探触子２Ａおよび超音波診断装置Ｓは、高調波のエコーを得るために比較的大きなパワーで基本波を送信することが必要なハーモニックイメージング技術に好適であり、より高精度な超音波画像の提供が可能となる。【００３６】
また、本実施形態における超音波探触子２Ａおよび超音波診断装置Ｓでは、有機圧電素子２１は、超音波の反射波を受信するように構成されている。一般に、無機圧電材料の圧電素子は、基本波の周波数に対する２倍程度の周波数の超音波しか受信することができないが、有機圧電材料の圧電素子は、基本波の周波数に対する例えば４〜５倍程度の周波数の超音波を受信することができ、受信周波数帯域の広帯域化に適している。このような超音波を広い周波数に亘って受信可能な特性を持つ有機圧電素子２１によって超音波信号が受信されるので、本実施形態における超音波探触子２Ａおよび超音波診断装置Ｓは、比較的簡単な構造で周波数帯域を広帯域にすることができる。このため、本実施形態における超音波探触子２Ａおよび超音波診断装置Ｓは、基本波の高調波を受信することが必要なハーモニックイメージング技術に好適であり、より高精度な超音波画像の提供が可能となる。【００３７】
（超音波探触子の製造方法）
本超音波探触子２は、無機圧電材料を備えて成り、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる複数の無機圧電素子２２を製造する工程と、有機圧電材料を備えて成り、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができるシート状の有機圧電素子２１を製造する工程と、前記複数の無機圧電素子のうちの一部または全体に亘って直接または間接的に前記有機圧電素子を積層する工程とによって製造される。すなわち、超音波探触子２は、大略、まず、無機圧電素子２２および有機圧電素子２１がそれぞれ別々に形成され、そして、無機圧電素子２２と有機圧電素子２１とが積層されることによって製造される。【００３８】
より具体的には、例えば、図３に示す構成の超音波探触子２Ａは、次のように製造される。図４ないし図７は、実施形態の超音波診断装置における超音波探触子の製造工程を示す工程図（その１ないしその４）である。図４ないし図７の各図は、図４（Ｄ）および図５（Ｅ）を除き、断面図である。図４（Ｄ）は、図４（Ｃ）の斜視図であり、図５（Ｅ）は、図５（Ｄ）の斜視図である。【００３９】
まず、図４（Ａ）に示すように、所定の厚さを持った平板状の有機圧電材料から成る圧電体１０１が用意される。圧電体１０１の厚さは、例えば、受信すべき超音波の周波数や有機圧電材料の種類等によって適宜に設定されるが、例えば、中心周波数８ＭＨｚの超音波を受信する場合では、圧電体１０１の厚さは、約５０μｍである。有機圧電材料は、例えば、フッ化ビニリデンの重合体を用いることができる。また例えば、有機圧電材料は、フッ化ビニリデン（ＶＤＦ）系コポリマを用いることができる。このフッ化ビニリデン系コポリマは、フッ化ビニリデンと他の単量体との共重合体（コポリマ）であり、他の単量体としては、３フッ化エチレン、テトラフルオロエチレン、パーフルオロアルキルビニルエーテル（ＰＦＡ）、パーフルオロアルコキシエチレン（ＰＡＥ）およびパーフルオロヘキサエチレン等を用いることができる。フッ化ビニリデン系コポリマは、その共重合比によって厚み方向の電気機械結合定数（圧電効果）が変化するので、例えば、超音波探触子の仕様等に応じて適宜な共重合比が採用される。例えば、フッ化ビニリデン／３フッ化エチレンのコポリマの場合では、フッ化ビニリデンの共重合比が６０ｍｏｌ％〜９９ｍｏｌ％が好ましく、有機圧電素子を無機圧電素子に積層する複合素子の場合では、フッ化ビニリデンの共重合比が８５ｍｏｌ％〜９９ｍｏｌ％がより好ましい。また、このような複合素子の場合では、他の単量体は、パーフルオロアルキルビニルエーテル（ＰＦＡ）、パーフルオロアルコキシエチレン（ＰＡＥ）およびパーフルオロヘキサエチレンが好ましい。また例えば、有機圧電材料は、ポリ尿素を用いることができる。このポリ尿素の場合では、蒸着重合法で圧電体を作成することが好ましい。ポリ尿素用のモノマとして、一般式、Ｈ２Ｎ−Ｒ−ＮＨ２構造を挙げることができる。ここで、Ｒは、任意の置換基で置換されてもよいアルキレン基、フェニレン基、２価のヘテロ環基、ヘテロ環基を含んでもよい。ポリ尿素は、尿素誘導体と他の単量体との共重合体であってもよい。好ましいポリ尿素として、４，４’−ジアミノジフェニルメタン（ＭＤＡ）と４，４’−ジフェニルメタンジイソシアナート（ＭＤＩ）を用いる芳香族ポリ尿素を挙げることができる。【００４０】
次に、図４（Ｂ）に示すように、この有機圧電材料から成る圧電体１０１の一方主面に互いに分離した複数の素電極１０２（１０２−１１〜１０２−４８）が例えばスクリーン印刷、蒸着あるいはスパッタ等によって形成される。これら複数の素電極１０２は、平面視にて線形独立な２方向に、例えば互いに直交する２方向にｍ行×ｎ列の２次元アレイ状に配列するように形成される（ｍ、ｎは、正の整数である）。素電極１０２は、例えば、平面視にて矩形状とされ、そのサイズは、例えば分解能等によって適宜に設定されるが、例えば、約０．１ｍｍ×０．１ｍｍとされる。【００４１】
なお、本明細書において、総称する場合には添え字を省略した参照符号で示し、個別の構成を指す場合には添え字を付した参照符号で示す。【００４２】
そして、図４（Ｃ）および図４（Ｄ）に示すように、この有機圧電材料から成る圧電体１０１の他方主面に略全面に亘って電極層１０３が例えばスクリーン印刷、蒸着あるいはスパッタ等によって形成される。これによってｍ行×ｎ列の２次元アレイ状に配列された複数の素電極１０２を一方主面に備えると共に他方主面に略全面に亘って電極層１０３を備える有機圧電素子２１が形成される。このような構成の有機圧電素子２１は、素電極１０２と、これに対向する電極層１０３と、これら素電極１０２と電極層１０３との間に介在する有機圧電材料の圧電体１０１とから１個の圧電素子が構成されることから、複数の圧電素子を含む。【００４３】
このように本実施形態における超音波探触子２Ａの製造方法では、有機圧電材料から成るシート状の圧電体１０１に、分離した複数の素電極１０２をその表面に形成することによって複数の圧電素子が形成される。このため、複数の圧電素子を形成するためにシート状の圧電体１０１に溝（間隙、隙間、ギャップ、スリット）を形成する工程が必要ない。したがって、このような構成の超音波探触子２Ａでは、有機圧電素子２１に対して溝を形成する工程が必要ではないため、有機圧電素子２１の製造工程がより単純化され、より少ない工数で超音波探触子２Ａを製造することが可能となる。【００４４】
なお、上述では、圧電体１０１の一方主面に複数の素電極１０２が形成された後に、圧電体１０１の他方主面に電極層１０３が形成されたが、圧電体１０１の他方主面に電極層１０３が形成された後に、圧電体１０１の一方主面に複数の素電極１０２が形成されてもよい。【００４５】
一方、図５（Ａ）に示すように、所定の厚さを持った平板状の無機圧電材料から成る圧電体２０１が用意される。無機圧電材料は、例えば、いわゆるＰＺＴ、水晶、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、ニオブ酸タンタル酸カリウム（Ｋ（Ｔａ，Ｎｂ）Ｏ３）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）およびチタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ３）等である。【００４６】
次に、図５（Ｂ）に示すように、互いに対向するように、この無機圧電材料から成る圧電体２０１の両主面に略全面に亘ってそれぞれ電極層２０２、２０３が例えばスクリーン印刷、蒸着あるいはスパッタ等によって形成される。これによって、両面に電極層２０２、２０３を持った圧電体２０１から構成される無機圧電体２１０が形成される。【００４７】
次に、図５（Ｃ）に示すように、無機圧電体２０１が平板状の音響制動部材２３に積層される。音響制動部材２３は、超音波を吸収する平板状の超音波吸収体３０１を備えて構成され、無機圧電体２０１の音響制動部材２３に接する面から放射される超音波を吸収するものである。この超音波吸収体３０１内には、積層方向に超音波吸収体３０１を貫通するように、送信の電気信号を伝送するための複数の信号線３０２（３０２−１１〜３０２−４６）が形成されており、無機圧電体２０１を音響制動部材２３に積層する際には、これら各信号線３０２は、圧電体２０１の一方主面に形成された電極層（本実施形態では例えば電極層２０３）に電気的に接続される。【００４８】
次に、図５（Ｄ）および図５（Ｅ）に示すように、音響制動部材２３が露出するまで積層方向に溝（隙間、間隙、ギャップ、スリット）２４１が無機圧電体２１０に例えばダイシングソ等によって形成される。溝２４１は、平面視にて線形独立な２方向に、例えば互いに直交する２方向にｐ行×ｑ列で配列する２次元アレイ状の複数の無機圧電素子２２（２２−１１〜２２−４６）を構成するように、これら２方向に複数形成される（ｐ、ｑは、正の整数である）。このような溝２４１が形成されることによって、一方の電極層２０２が複数の素電極２０２１に分割され、無機材料から成る圧電体２０１が複数の素圧電体２０１１に分割され、そして、他方の電極層２０３が複数の素電極２０３１に分割される。素電極２０２１（素圧電体２０１１、素電極２０３１）は、例えば、平面視にて矩形状とされ、そのサイズは、例えば分解能等によって適宜に設定されるが、例えば、約０．４ｍｍ×０．４ｍｍとされる。これら線形独立な２方向に複数の溝２４１を形成することによって、無機圧電体２１０は、素電極２０２１とこれに対向する素電極２０３１とこれら素電極２０２１、２０３１の間に介在する無機圧電材料の素圧電体２０１１とから構成される複数の無機圧電素子２２に分割される。【００４９】
次に、図６（Ａ）に示すように、無機圧電体２１０を複数の圧電素子２２に分割する各溝２４１に、これら複数の無機圧電素子２２の相互干渉を低減するために、超音波を吸収する例えば樹脂等の音響吸収材２４が充填される。このような樹脂は、例えば、ポリイミド樹脂やエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂等が用いられる。各溝２４１に音響吸収材２４が充填されることによって、各無機圧電素子２２間におけるクロストークの低減が可能となる。【００５０】
次に、図６（Ｂ）に示すように、複数の無機圧電素子２２の前面に、複数の無機圧電素子２２の音響制動部材２３に接する面と対向する面に略全面に亘って、共通接地電極となる共通接地電極層２５が例えばスクリーン印刷、蒸着あるいはスパッタ等によって層状に形成される。複数の無機圧電素子２２における各電極であって、複数の無機圧電素子２２の前面に形成されている各電極２０２１は、この共通接地電極層２５と電気的に接続される。【００５１】
次に、図６（Ｃ）に示すように、共通接地電極層２５上に略全面に亘って中間層（バッファ層）２６が層状に積層される。【００５２】
次に、図６（Ｄ）に示すように、中間層２６上に、上述したように別工程で製造したシート状の有機圧電素子２１が積層される。例えば、有機圧電素子２１は、接着で無機圧電素子２２上に固定される。図３に示す構成の超音波探触子２Ａでは、有機圧電素子２１における、略全面に亘って形成された電極層１０３が中間層２６に接するように、有機圧電素子２１が中間層２６上に積層される。【００５３】
次に、図７（Ａ）に示すように、有機圧電素子２１上に、音響整合層２７が形成される。図３に示す構成の超音波探触子２Ａでは、有機圧電素子２１における２次元アレイ状に配列された複数の素電極１０２１上に、音響整合層２７が形成される。音響整合層２７は、必要に応じて単層または複数層で構成される。例えば、受信周波数帯域を広帯域化する場合では、音響整合層２７は、複数層で構成されることが好ましい。【００５４】
そして、図７（Ｂ）に示すように、音響制動部材２３の背面上に、音響制動部材２３の複数の無機圧電素子２２に接する面に対向する面上に複数の導電パッド３０２１が形成される。これら各導電パッド３０２１は、超音波吸収体３０１内を貫通する各信号線３０２と電気的に接続される。これによって図３に示す構成の超音波探触子２Ａが製造される。【００５５】
このように本実施形態における超音波探触子２の製造方法では、上述のように有機圧電素子２１の製造工程が単純化されるなどによって、より少ない工数で超音波探触子２を製造することが可能となる。したがって、本実施形態における超音波診断装置Ｓでは、より少ない工数で製造された超音波探触子２を備えた装置が提供され、そのコストを低減することが可能となる。【００５６】
図８は、実施形態の超音波診断装置における超音波探触子の他の構成を示す断面図である。図９は、実施形態の超音波診断装置における他の構成の超音波探触子の製造工程を示す工程図である。【００５７】
なお、上述の実施形態では、超音波探触子２は、略全面に亘って形成された電極層１０３を複数の無機圧電素子２２へ向けて有機圧電素子２１が中間層２６および共通接地電極層２５を介して複数の無機圧電素子２２上に積層される構成の超音波探触子２Ａであったが、図８に示すように、複数の素電極１０２を複数の無機圧電素子２２へ向けて有機圧電素子２１が複数の無機圧電素子２２上に直接的に積層される構成の超音波探触子２Ｂであってもよい。このような構成の超音波探触子２Ｂは、共通接地電極層２５および中間層２６が不要であるから、図３に示す構成の超音波探触子２Ａに較べてさらに工数を低減することができ、その製造コストの低減が可能となる。【００５８】
この図８に示す構成の超音波探触子２Ｂは、次のように製造される。まず、図４（Ａ）ないし図４（Ｄ）を参照しながら説明した上述と同様の製造工程に従って有機圧電素子２１が製造される。一方、図５（Ａ）ないし図５（Ｅ）を参照しながら説明した上述と同様の製造工程に従って、音響制動部材２３上に積層された複数の無機圧電素子２２が製造される。そして、図６（Ａ）を参照しながら説明した上述と同様の製造工程に従って、無機圧電体２１０を複数の圧電素子に分割する各溝２４１に、超音波を吸収する例えば樹脂等の音響吸収材２４が充填される。【００５９】
次に、図９（Ａ）に示すように、無機圧電素子２２上に、無機圧電素子２２の音響制動部材２３に接する面と対向する面上（前面上）に、別工程で製造したシート状の有機圧電素子２１が積層される。例えば、有機圧電素子２１は、接着で無機圧電素子２２上に固定される。この図８に示す構成の超音波探触子２Ｂでは、有機圧電素子２１における、複数の素電極１０２が無機圧電素子２２の各圧電素子２２１における各素電極２０２１にそれぞれ接するように、有機圧電素子２１が無機圧電素子２２上に積層される。このため、有機圧電素子２１における素電極１０２の配列と無機圧電素子２２における圧電素子２２１の配列とは、略同一とされる。図８に示す構成の超音波探触子２Ｂでは、ｍ＝ｐ、ｎ＝ｑとされている。【００６０】
次に、図９（Ｂ）に示すように、有機圧電素子２１上に、音響整合層２７が形成される。図８に示す構成の超音波探触子２Ｂでは、有機圧電素子２１における略全面に亘って形成された電極層１０３上に、音響整合層２７が形成される。【００６１】
そして、図９（Ｃ）に示すように、音響制動部材２３の背面上に複数の導電パッド３０２１が形成される。これら各導電パッド３０２１は、超音波吸収体３０１内を貫通する各信号線３０２と電気的に接続される。これによって図８に示す構成の超音波探触子２Ｂが製造される。【００６２】
また、上述の実施形態では、無機圧電素子２２は、両面に各素電極２０２１、２０３１が形成された素圧電体２０１１の単層（一層）で構成されたが、両面に各素電極２０２１、２０３１が形成された複数の素圧電体２０１１を積層した複数層（多層）で構成されてもよい。また、上述の実施形態では、有機圧電素子２１は、両面に素電極１０２１および電極層１０３が形成された圧電体１０１の単層で構成されたが、同様に、両面に素電極１０２１および電極層１０３が形成された複数の圧電体１０１を積層した複数層で構成されてもよい。もちろん、無機圧電素子２２が単層で構成されると共に、有機圧電素子２１が複数層で構成されてもよく、また、無機圧電素子２２が複数層で構成されると共に、有機圧電素子２１が単層で構成されてもよい。複数層とすることによって、超音波を送信する場合には、そのパワーを大きくすることが可能となり、超音波を受信する場合には、受信感度を向上させることが可能となる。【００６３】
本明細書は、上記のように様々な態様の技術を開示しているが、そのうち主な技術を以下に纏める。【００６４】
一態様にかかる超音波探触子は、無機圧電材料を備え、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる複数の無機圧電素子と、有機圧電材料を備え、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる有機圧電素子とを備え、前記有機圧電素子は、前記複数の無機圧電素子のうちの一部または全体に亘って直接または間接的に積層されるシート状である。【００６５】
このような構成の超音波探触子では、超音波を送受信する圧電素子が有機圧電素子と複数の無機圧電素子との２層の積層体で構成されるが、その有機圧電素子は、複数の無機圧電素子のうちの一部または全体に亘って直接または間接的に積層されるシート状である。有機圧電材料では、有機圧電材料から成るシート状の板状体に、分離した複数の電極をその表面に形成することによって複数の圧電素子を形成することが可能であり、複数の圧電素子を形成するためにシート状の板状体に溝（間隙、隙間、ギャップ、スリット）を形成する工程が必要ない。したがって、このような構成の超音波探触子では、有機圧電素子に対して溝を形成する工程が必要ではないため、有機圧電素子の製造工程がより単純化され、より少ない工数で超音波探触子を製造することが可能となる。【００６６】
また、他の一態様では、上述の超音波探触子において、前記有機圧電素子は、少なくとも一方面に複数の電極を備える。【００６７】
この構成によれば、有機圧電素子が少なくとも一方面に複数の電極を備えるので、前記有機圧電素子は、複数の圧電素子を備えることとなる。したがって、このような構成の超音波探触子は、超音波を被検体に対して走査することができる。【００６８】
また、他の一態様では、上述の超音波探触子において、前記無機圧電素子の個数と前記有機圧電素子の前記電極の個数とは、異なる。【００６９】
この構成によれば、無機圧電素子の個数と有機圧電素子が備える圧電素子の個数とを異ならせることが可能となる。このため、複数の無機圧電素子の面積と複数の圧電素子を備える有機圧電素子の面積とが同一であっても、１個の無機圧電素子が占有する面積と有機圧電素子における１個の圧電素子が占有する面積とをそれぞれ独立に設定することが可能となる。したがって、無機圧電素子をその無機圧電素子に要求される仕様に応じて設計することができると共に、有機圧電素子をその有機圧電素子に要求される仕様に応じて設計することが可能となる。【００７０】
また、他の一態様では、上述の超音波探触子において、前記有機圧電素子の前記電極の個数は、前記無機圧電素子の個数より多い。【００７１】
この構成によれば、無機圧電素子の個数は、有機圧電素子が備える圧電素子の個数より少ない。このため、１個の無機圧電素子のサイズ（大きさ）を大きくすることが可能となり、無機圧電素子を送信用に用いる場合に、その送信パワーを大きくすることができると共に、有機圧電素子が備える圧電素子の個数を多くすることが可能となり、有機圧電素子を受信用に用いる場合に、その受信分解能を向上することができる。したがって、このような構成の超音波探触子は、より高精度な超音波画像の提供が可能となる。【００７２】
また、他の一態様では、これら上述の超音波探触子において、前記複数の無機圧電素子は、電気信号が入力され、前記電気信号を超音波信号に変換することによって前記超音波信号を送信する。【００７３】
この構成によれば、送信パワーを大きくすることが可能な無機圧電素子によって超音波信号が送信されるので、送信パワーを比較的簡単な構造で大きくすることが可能となる。このため、このような構成の超音波探触子は、高調波のエコーを得るために比較的大きなパワーで基本波の超音波を送信することが必要なハーモニックイメージング技術に好適であり、より高精度な超音波画像の提供が可能となる。【００７４】
また、他の一態様では、これら上述の超音波探触子において、前記有機圧電素子は、超音波信号が受信され、前記超音波信号を電気信号に変換することによって前記電気信号を出力する。【００７５】
この構成によれば、超音波を比較的広い周波数に亘って受信可能な特性を持つ有機圧電素子によって超音波信号が受信されるので、周波数帯域を比較的簡単な構造で広帯域にすることが可能となる。このため、このような構成の超音波探触子は、高調波の超音波を受信することが必要なハーモニックイメージング技術に好適であり、より高精度な超音波画像の提供が可能となる。【００７６】
また、他の一態様では、これら上述の超音波探触子において、前記複数の無機圧電素子は、第１電気信号が入力され、前記第１電気信号を第１超音波信号に変換することによって前記第１超音波信号を送信し、前記有機圧電素子は、前記第１超音波信号の高調波である第２超音波信号が受信され、前記第２超音波信号を第２電気信号に変換することによって前記第２電気信号を出力する。【００７７】
この構成によれば、基本波の高調波が受信されるので、ハーモニックイメージング技術によって超音波画像を形成することが可能となる。このため、このような構成の超音波探触子は、より高精度な超音波画像の提供が可能となる。【００７８】
また、他の一態様では、上述の超音波探触子において、前記第２超音波信号は、前記第１超音波信号の２次および３次高調波である。【００７９】
この構成によれば、比較的パワーの大きい２次および３次高調波を受信するので、このような構成の超音波探触子は、より鮮明な超音波画像の提供が可能となる。【００８０】
そして、他の一態様にかかる超音波探触子製造方法は、無機圧電材料を備え、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる複数の無機圧電素子を製造する工程と、有機圧電材料を備え、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができるシート状の有機圧電素子を製造する工程と、前記複数の無機圧電素子のうちの一部または全体に亘って直接または間接的に前記有機圧電素子を積層する工程とを備える。【００８１】
この構成によれば、複数の無機圧電素子と有機圧電素子とが別々の製造工程によって製造され、複数の無機圧電素子上にシート状の有機圧電素子が積層され、超音波探触子が製造される。上述したように、有機圧電材料では、有機圧電材料から成るシート状の板状体に、分離した複数の電極をその表面に形成することによって複数の圧電素子を形成することが可能であり、複数の圧電素子を形成するためにシート状の板状体に溝（間隙、隙間、ギャップ、スリット）を形成する工程が必要ない。したがって、このような構成の超音波探触子の製造方法では、有機圧電素子の製造工程において、溝を形成する工程が必要ないため、有機圧電素子の製造工程がより単純化され、より少ない工数で超音波探触子を製造することが可能となる。【００８２】
そして、他の一態様にかかる超音波診断装置は、これら上述のうちのいずれかの超音波探触子を備える。【００８３】
この構成によれば、より少ない工数で製造された超音波探触子を備えた超音波診断装置が提供される。このため、超音波診断装置のコストを低減することが可能となる。【００８４】
この出願は、２００７年１１月２６日に出願された日本国特許出願特願２００７−３０４９２３を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。【００８５】
本発明を表現するために、上述において図面を参照しながら実施形態を通して本発明を適切且つ十分に説明したが、当業者であれば上述の実施形態を変更および／または改良することは容易に為し得ることであると認識すべきである。したがって、当業者が実施する変更形態または改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベルのものでない限り、当該変更形態または当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明によれば、超音波を送受信可能な超音波探触子およびこの超音波探触子の製造方法、ならびに、この超音波探触子を備えた超音波診断装置を提供することができる。
【図１】
2009069379.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【手続補正書】
【提出日】平成22年2月2日(2010.2.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機圧電材料を備えて成り、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる複数の無機圧電素子と、
有機圧電材料を備えて成り、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる有機圧電素子とを備え、
前記有機圧電素子は、前記複数の無機圧電素子のうちの一部または全体に亘って直接または間接的に積層されるシート状であり、
前記有機圧電素子は、少なくとも一方面に複数の電極を備え、
前記無機圧電素子の個数と前記有機圧電素子の前記電極の個数とは、異なること
を特徴とする超音波探触子。
【請求項２】
前記有機圧電素子の前記電極の個数は、前記無機圧電素子の個数より多いこと
を特徴とする請求項１に記載の超音波探触子。
【請求項３】
前記複数の無機圧電素子は、電気信号が入力され、前記電気信号を超音波信号に変換することによって前記超音波信号を送信すること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載の超音波探触子。
【請求項４】
前記有機圧電素子は、超音波信号が受信され、前記超音波信号を電気信号に変換することによって前記電気信号を出力すること
を特徴とする請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載の超音波探触子。
【請求項５】
前記複数の無機圧電素子は、第１電気信号が入力され、前記第１電気信号を第１超音波信号に変換することによって前記第１超音波信号を送信し、
前記有機圧電素子は、前記第１超音波信号の高調波である第２超音波信号が受信され、前記第２超音波信号を第２電気信号に変換することによって前記第２電気信号を出力すること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載の超音波探触子。
【請求項６】
前記第２超音波信号は、前記第１超音波信号の第２および第３高調波であること
を特徴とする請求項５に記載の超音波探触子。
【請求項７】
無機圧電材料を備え、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができる複数の無機圧電素子を製造する工程と、
有機圧電材料を備え、圧電現象を利用することによって電気信号と超音波信号との間で相互に信号を変換することができるシート状の有機圧電素子を製造する工程と、
前記複数の無機圧電素子のうちの一部または全体に亘って直接または間接的に前記有機圧電素子を積層する工程とを備え、請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の超音波探触子を製造すること
を特徴とする超音波探触子製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の超音波探触子を備えること
を特徴とする超音波診断装置。
【国際調査報告】
2009069379.tif 000014
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