(57)【要約】本発明は、少なくとも２つのテストフィンガー１を使用する、コンポーネント化されていない印刷回路基板の検査のためのフィンガーテスターであって、テストフィンガーの各々はテストプローブ２を有しており、テストプローブ２の上に、テストプローブ２の少なくとも一つの接触チップの位置を光学的に検出するための検出装置２０が備えられているフィンガーテスターに関する。２またはそれ以上のテストフィンガー１の検出装置２０は垂直に隔てられている異なる平面に配列され、少なくともテストプローブ２の上に位置している検出装置の領域が互いに上に位置して接触なしに垂直に整列されている。
2009524071.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つのテストフィンガー（１）を使用する、コンポーネント化されていない印刷回路基板の検査のためのフィンガーテスターであって、
前記テストフィンガー（１）の各々はテストプローブ（２）を有しており、
前記テストプローブ（２）の上に、前記テストプローブ（２）の少なくとも一つの接触チップの位置を光学的に検出するための検出装置（２０）が備えられており、
前記少なくとも２つのテストフィンガー（１）の前記検出装置（２０）は、垂直方向で隔てられた異なる平面に配列され、それによって、少なくとも前記テストプローブ（２）の上に位置した前記検出装置の領域が、互いに上下に位置し、接触なしに垂直方向に整列されている、フィンガーテスター。
【請求項２】
前記検出装置の各々は、検査対象の回路基板の表面から検出表面へ光を偏向させるための偏向エレメント（３０）を有するライトガイドユニット（２３）を備えており、
前記検査対象の回路基板の表面から前記各々の検出表面までの距離は、前記異なる検出装置に対して一定である、請求項１に記載されたフィンガーテスター。
【請求項３】
前記各検出装置（２０）は、
上部に検出表面が提供されているカメラモジュール（２２）と、
前記テストプローブ（２）の領域内に前記回路基板の前記表面から反射した前記光の入射のための穴（２９）を有する前記各ライトガイドユニット（２３）と、
前記カメラの光学検出表面に前記光をフォーカスする前記偏向エレメント（３０）によって偏向された前記光の経路に備えられた対物レンズ（３１）と、を含み、
前記回路基板の表面から前記偏向エレメント（３０）へ、そして前記偏向エレメント（３０）から前記検出表面への前記光の経路は、前記回路基板上の前記ライトガイドユニット（２３）の高さに関係なく一定に維持され、
前記ライトガイドユニット（２３）及び／または前記偏向エレメント（３０）から前記検出表面までの距離は、より高いライトガイドユニットを補償するために、その高いライトガイドユニットに対応して短く設定される、請求項２に記載されたフィンガーテスター。
【請求項４】
前記偏向エレメントは、鏡、プリズム、またはライトガイドの形態である、請求項２または３に記載されたフィンガーテスター。
【請求項５】
前記検出装置（２０）上には少なくとも一つの照明装置（３９）が備えられており、前記照明装置（３９）は、放散光を前記検査対象の回路基板に送り、前記テストプローブ（２）によって接触された、前記検査対象の回路基板の領域を照射する、請求項１〜４のいずれかに記載されたフィンガーテスター。
【請求項６】
前記検出装置（２０）は、前記検査対象の回路基板の表面から反射した前記光の入射のための前記穴（２９）が備えられたケーシングを有しており、
前記照明装置は、前記穴（２９）に隣接している、請求項５に記載されたフィンガーテスター。
【請求項７】
前記照明装置は、
側面で発光する光源と、
前記検査対象の回路基板の表面に向けて前記光を偏向させるための鏡（４２）と、を有し、
前記鏡は、光沢のない、または粗い表面を有している、請求項５または６に記載されたフィンガーテスター。
【請求項８】
前記照明装置は、１またはそれ以上の発光ダイオード（３９）を光源として有している、請求項５〜７のいずれかに記載されたフィンガーテスター。
【請求項９】
前記ライトガイドユニット（２３）は、前記カメラモジュール（２２）の前側（２５）から離れるように延びるとともに、管状であって、
前記カメラモジュール（２２）から離れるように延びる第１管状体（２６）と、
管状体であって、その中には前記偏向エレメント（３０）と前記対物レンズ（３１）とが装着され、前記第１管状体（２６）の自由端に位置するライトガイドユニットヘッド（２７）と、を有する、請求項２〜８のいずれかに記載されたフィンガーテスター。
【請求項１０】
前記テストプローブ（２）はレバー配列（４）上に装着され、前記レバー配列（４）は、プローブマイクロチップ（３）によってアクチュエーティング装置（５）に固定されている、請求項１〜９のいずれかに記載されたフィンガーテスター。
【請求項１１】
前記レバー配列（４）は、実質的にＬ字状の第１支持アーム（７）、アクチュエーティングアーム（８）、トップレール（９）、及びプローブマイクロチップマウント（１０）を有する独立式のレバー配列（４）であって、実質的に長方形のレバー配列（４）を形成して、前記支持アーム（７）と前記アクチュエーティングアーム（８）との間、前記支持アーム（７）と前記トップレール（９）との間、前記アクチュエーティングアーム（８）と前記プローブマイクロチップマウント（１０）との間、前記トップレール（９）と前記プローブマイクロチップマウント（１０）との間の各々にヒンジ（１１、１２、１３、１４）が備えられている、請求項１０に記載されたフィンガーテスター。
【請求項１２】
前記レバー配列（４）は、略長細い長方形であり、
前記Ｌ字状の支持アーム（７）の長いＬ脚（７a）を通して案内され、また、前記支持アーム（７）の長いＬ脚（７a）の下に位置した前記アクチュエーティングアーム（８）に連結されるアクチュエーティングロッド（１５）を備えており、
前記アクチュエーティングロッド（１５）と前記アクチュエーティングアーム（８）とが持ち上げられたときに、前記アクチュエーティングアーム（８）が前記フィルムヒンジ（１１）の周りで旋回し、前記プローブマイクロチップマウント（１０）が前記フィルムヒンジ（１３、１４）の周りで反対方向に下側に旋回されて、テストプローブ（２）が回路基板上に置かれる、請求項１１に記載されたフィンガーテスター。
【請求項１３】
前記光学検出装置（２０）は、テストアレイに対して直角の視点の方向に整列されて、検査対象のコンポーネント化されていない回路基板を検出する、請求項１〜１２のいずれかに記載されたフィンガーテスター。
【請求項１４】
前記フィンガーテスターは、当該フィンガーテスターが移動可能に装着される数個のクロスバーを有しており、
前記テストフィンガー（１）の前記検出装置（２０）が配列される平面であって垂直方向に隔てられた異なる平面の数は、クロスバーごとにテストフィンガーの数の２倍である、請求項１〜１３のいずれかに記載されたテストフィンガー。
【請求項１５】
回路基板用のフィンガーテスターを使用する、回路基板の検査のための方法であって、
前記フィンガーテスターは、テストフィンガー（１）と光学検出装置（２０）とを有しており、
前記少なくとも２つのテストフィンガー（１）の各々は、回路基板検査点の順次接触のためのテストプローブ（２）を有しており、
前記光学検出装置（２０）は、前記テストフィンガー（１）の前記テストプローブ（２）の接触チップの位置を光学的に検出するための各々の場合に備えられており、
前記方法は、
前記テストプローブ（２）は、移動装置によって検査対象の回路基板の表面に沿って移動され、
前記テストフィンガー（１）の前記検出装置（２０）は、前記回路基板の前記表面から異なる平面上に、または異なる高さで配列され、
前記検出装置（２０）の垂直の範囲において前記テストプローブ（２）の位置決めをするとき、前記検査対象の回路基板からさらに遠く位置する少なくとも一つの第１検出装置（２０）が、前記回路基板にさらに近く位置する第２検出装置（２０）によって前記回路基板に対して遮られた場合に、前記第２検出装置（２０）によって決定した光学データが、前記第１検出装置（２０）を有する前記テストフィンガー（１）の前記テストプローブ（２）の位置決めのために使用される、方法。
【請求項１６】
前記回路基板から反射する光が、前記回路基板から鏡（３０）までの長い距離によって前記光の経路が増加するほど、前記鏡（３０）と対物レンズ（３１）との間の距離を短くすることで、前記回路基板から前記検出装置（２０）との高さに対する補償をもって、前記鏡（３０）によって偏向され前記対物レンズ（３１）に案内されることによって、
前記回路基板表面から前記各検出装置（２０）の検出表面への前記光の経路は、前記回路基板上の前記検出装置（２０）の高さに関係なく同一の距離で維持される、請求項１５に記載された方法。
【請求項１７】
前記フィンガーテスターは、少なくとも２つのテストフィンガー（１）を使用する、コンポーネント化されていない印刷回路基板の検査のためのフィンガーテスターであって、
前記テストフィンガー（１）の各々はテストプローブ（２）を有しており、
前記テストプローブ（２）の上に、前記テストプローブ（２）の少なくとも一つの接触チップの位置を光学的に検出するための検出装置（２０）が備えられており、
前記少なくとも２つのテストフィンガー（１）の前記検出装置（２０）は、垂直方向で隔てられた異なる平面に配列され、それによって、少なくとも前記テストプローブ（２）の上に位置した前記検出装置の領域が、互いに上下に位置し、接触なしに垂直方向に整列されている、請求項１５または１６に記載された方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンポーネント化されていない印刷回路基板の検査のためのフィンガーテスターに関する。また、かかるフィンガーテスターを使用する、コンポーネント化されていない印刷回路基板の検査のための方法に関する。特に、本発明は、検査対象の回路基板の回路基板検査点と接触するように自動に動く数個のテストフィンガーを有するフィンガーテスターに関する。
【背景技術】
【０００２】
回路基板の検査のためのテスターは、基本的に、フィンガーテスター（フライングプローブ）グループと並列テスターグループとの２つのグループに分けられる。並列テスターは、アダプターによって、検査対象の回路基板の全体または少なくとも大部分の接触点と同時に接触するテスターである。フィンガーテスターは、コンポーネント化されていない印刷回路基板またはコンポーネント化されている印刷回路基板の検査のためのテスターであり、２またはそれ以上のテストフィンガーを使用して順次に個々の接触点を走査する。
【０００３】
テストフィンガーは、一般的にクロスバーに沿って移動され得るスライドに取り付けられており、一方、クロスバーはガイドレール上で順に案内され、動き得る。よって、スライドは、一般的に長方形のテストアレイのいかなる所定地点にも位置し得る。検査対象の回路基板の接触点と接触するために、スライドはクロスバー上を垂直に移動するように設計されたり、テストプローブがスライド上を垂直に移動可能となり、テストフィンガーは上から及び／また下から回路基板の接触点上に配置されることが可能であり、また回路基板検査点上に配置され得る。
【０００４】
フィンガーテスターは、欧州特許公開０４６８１５３に記載されており、フィンガーテスターを使用する、回路基板の検査のための方法は、欧州特許公開０８５３２４２に記載されている。
【０００５】
フィンガーテスター用のテストプローブは、欧州特許登録１４５１５９４、米国特許登録６３８４６１４、及び欧州特許公開０９９０９１２に開示されている。
【０００６】
欧州特許登録１４５１５９４は、独立的な駆動方式を有していない回路基板の検査のためのフィンガーテスター用のテストプローブを開示している。テストプローブは、検査針を備えており、検査針のプローブチップは、回路基板検査点に接触させられる。検査針は、少なくとも２対のスプリングが伸縮可能に取り付けられた保持アームによってマウントにピボット可能に固定され、そのうちで少なくとも一つの保持アームは伸縮可能に電気導電材料から製造され、検査針に電気的に連結される。上記から見るように、２対の保持アームが三角形状をスパンするため、回路基板と接触する間に、非常に重みの少ないテストプローブは、接触過程でプローブチップが滑ることを防止するための高いねじり剛性を有している。
【０００７】
国際公開番号ＷＯ０３／０９６０３７は、フィンガーテスター及びフィンガーテスターの補助の下で回路基板を検査する方法を開示している。各テストフィンガーが検査針のプローブチップにフォーカスされたカメラに割り当てられる。そのため、カメラは、接触される回路基板検査点に対してプローブチップのいかなる偏差を検出するのにも使用される。そして、回路基板の平面においてテストフィンガーの位置は安定的に補正される。この文書において、カメラは、各プローブチップの上に垂直整列で概略的に示されている。実際には、それにもかかわらず、これらのカメラがプローブチップの上に垂直整列で配列されておらず、代わりに側面に僅かにオフセットされており、そのため、それらのプローブチップの視点の方向が、垂直面に略３０゜ないし５０゜の角度をなしている。よって、カメラは、検査針のプローブチップを角度をもって見ている。たとえテストフィンガーが非常に近くにある２つの回路基板検査点と同時に接触しなければならなくても、テストフィンガーはそれらのカメラに衝突しないことが、この手段によって信頼できるように保証される。プローブチップの位置を補正するためのこの器具及び対応する方法は、実際に非常に有効であることが証明された。また、本方法は、検査針の接触チップと、検査対象の回路基板の物理的な回路基板検査点との間の位置的関係を決定する校正データを得るのに使用され得る。
【０００８】
また、回路基板検査点が検査針によって接触される実際の検査工程の前に、回路基板の表面を完全にカバーし、テストフィンガーから分離しているカメラを有するフィンガーテスターを備えているものが公知である。この目的のために、カメラはテストフィンガーと同様に表面に平行に移動される。このカメラは、回路基板の表面に向けて垂直に見えるように整列される。この手段によって、回路基板の表面の完全なイメージが得られる。カメラが回路基板の表面を垂直に見るように整列されるため、回路基板の表面の記録されたイメージは、テストフィンガー上に斜めに装着されたカメラからなる場合より、顕著に少ない歪曲を有している。回路基板の表面に垂直に整列された視点の方向が望ましく、その理由は、この方法で回路基板の表面のイメージの質がさらに向上し、回路基板のフルイメージが生成されて、直後の光学分析で処理するのにさらに容易であるためである。
【０００９】
よって、カメラが回路基板に対して垂直方向の視点を有して検査針のプローブチップの位置を検出するように配列される場合に、フィンガーテスターは回路基板のすべてのイメージを撮るための付加的なカメラを省き得るため、大きい利点を有している。この付加的なカメラは、フィンガーテスターにおいて大変なスペースを占める個別駆動メカニズムを要する。回路基板のかかるすべてのイメージは、テストフィンガーに割り当てられたカメラによって撮られる。
【００１０】
欧州特許公開１１２２５４６に基づいて公知であるのは、回路基板の検査のためのテスターである。このテスターは、個々のカメラが備えられている。カメラは、斜めに装着された鏡によってテスト標本の表面を走査する。発光ダイオードは光源として鏡に近接して位置している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、コンポーネント化されていない印刷回路基板の、非常に近くにある回路基板検査点が衝突の危険なしに検出可能であり、このフィンガーテスターが従来のテスターに比べて費用効果の高いように、国際公開番号ＷＯ０３／０９６０３７によるフィンガーテスターを改善する問題点に基づいている。
【００１２】
上記問題点は、請求項１の特徴によって解決される。有利な改良については、従属項に記載されている。
【００１３】
また、本発明は、器具を使用する回路基板の検査のために、使用上迅速で信頼できる方法を考案する問題点に基づいている。
【００１４】
この問題点は、請求項１１の特徴によって解決される。有利な改良については、関係のある従属項に記載している。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明によるフィンガーテスターは、２またはそれ以上のテストフィンガーによって個々の接触点の連続的な走査を提供する。テストフィンガーは各々の場合に、根本的に公知の方法で、クロスバーに沿って移動され得るスライドによって取り付けられている。各テストフィンガーは、当該テストフィンガーによってチェックされる隣の領域を光学的に走査する光学検出装置を有しているため、ここでは光学検出装置の間で衝突の可能性がない。本発明で使用される検出装置は、カメラとライトガイドユニットとを含む。ライトガイドユニットは、測定点の領域で上側方向に反射する光を垂直位置から水平位置に偏向させ、テストプローブから離れてスライド上に装着されたカメラに光を供給する。
【００１６】
本発明による光学検出装置は、検査対象の回路基板の測定点または検査対象の回路基板の表面から異なる距離に配列されており、高さにおいて異なる平面上に配列されている。ここで、距離は、異なる平面が遠く離れるように設定されており、互いに非常に近く動くスライドとテストプローブとを有していても、各ライトガイドユニットが、相互の衝突の危険なしに、一つが他の一つの上に配列されている。
【００１７】
テストフィンガーの接触チップからのライトガイドユニットの異なる高さのため、ライトガイドユニットの視点を回路基板の表面に垂直に向けるようにすることが可能である。角度のある位置は不要である。こうして、記録されたイメージの質は、斜めに配置されたカメラから得られたイメージの質よりさらに向上する。
【００１８】
テストプローブの接触チップからのライトガイドユニットの異なる高さのため、そして測定点からのライトガイドユニットの異なる高さのため、光が測定点からカメラまで移動しなければならない距離は、長さが通常変わる。しかし、ライトガイドユニットとカメラとは、測定点にフォーカスされなければならないため、これは他の接眼レンズを要する。しかし、接眼レンズは高価であり、異なるフォーカシングを有する接眼レンズを異なる平面に配列されたライトガイドユニットに割り当てることは、大変時間がかかり、費用が非常にかかる。
【００１９】
さらに、本発明は、測定点からの高さにおける差を補償するように、ライトガイドユニットの長さが修正され、よって、その長さは、ライトガイドユニットが回路基板の上で装着される高さを減らすように、水平方向への偏向後にライトガイドユニットにおいて光によってカバーされる距離であることが提供される。結果的に、ライトガイドユニットは、回路基板に一番近く位置している光学検出装置から上に装着された検出装置に行くほどさらに短くなる。これは、本発明によると、同一の対物レンズと同一のレンズ配置が常に使用されることが可能であり、器具の費用を非常に減らすことを意味する。
【００２０】
ライトガイドユニットが異なる高さまたは異なる平面に配列されているため、測定活動の過程において、互いに非常に近いテストプローブが測定しなければならないことが可能である。かかる場合において、さらに高い位置にある光学検出装置のライトガイドユニットとカメラとは、さらに下の光学検出装置の対応するライトガイドユニットと対応するカメラとによって遮られる。
【００２１】
本発明による方法は、非常に近く近接した回路基板検査点が、異なるテストフィンガーで同時に測定される場合において、また第１ライトガイドユニットの上に装着された１またはそれ以上のライトガイドユニットの遮りがある場合において、遮られるライトガイドユニットを有している領域におけるすべてのテスターフィンガーの光学的制御と、すべてのテストフィンガーの監視とのために、さらに下のライトガイドユニットとさらに下のカメラとのイメージの使用が提供される。
【００２２】
本発明による器具において、単純な設計測定を通して、費用効果の高い設計が得られ、これは、発生し得る衝突に対して保護する必要がほぼないため、信頼できる測定とともにさらに迅速な測定を許容するという利点を有している。
【００２３】
本発明による器具において、数個のテストフィンガーの光学的制御と数個のテストフィンガーの監視とにおいて一つのカメラと一つのカメライメージの使用を通して、測定が非常に加速化するという利点を有している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明によるテストフィンガー１はテストプローブとして検査針２を有しており、これはプローブマイクロチップ３の上にあるレバー配列４に装着されている。かかるプローブマイクロチップは、欧州特許登録１４５１５９４と米国特許公開２００５-００１６３９各々に基づいて公知である。これらの文書のすべての内容が参照されている。レバー配列４は順にアクチュエーティング装置５に固定されており、このアクチュエーティング装置５はスライドに固定するためのファスニング装置６を有している。
【００２５】
スライドは、欧州特許公開０４６８１５３によって例として開示されているように、フィンガーテスターの部品である。スライドは各フィンガーテスターに備えられており、検査対象の回路基板が装着されるテストアレイを橋渡ししているクロスバーに沿って移動され得る。
【００２６】
レバー配列４は、独立式のレバー配列４であって、実質的にＬ字状の第１支持アーム７、アクチュエーティングアーム８、トップレール９、プローブマイクロチップマウント１０からなっている。
【００２７】
Ｌ字状の支持アーム７は、それの長いＬ脚７ａによってアクチュエーティング装置５の下側に固定されており、アクチュエーティング装置５から遠くなるように延びている。短いＬ脚７ｂは長いＬ脚７ａから下方に延びており、一方、アクチュエーティングアーム８は短いＬ脚７ｂから遠くなる同一の方向に長いＬ脚７ａに略平行に延びている。アクチュエーティングアーム８はフィルムヒンジ１１によって短いＬ脚７ｂに取り付けられている。アクチュエーティングアーム８は略三角形の形状であり、支持アーム７の長いＬ脚７ａの向かい側で広くなっており、短いＬ脚７ｂの向かい側で端８ａほど先細くなっている。アクチュエーティングアーム８は、アクチュエーティング装置５を越えて外方に延びており、かつ、長いＬ脚７ａを超えて延びている。トップレール９は、支持アーム７の自由端７ｃで短いＬ脚７ｂの反対位置にフィルムヒンジ１２で位置している。
【００２８】
トップレール９は、長いＬ脚７ａ及びアクチュエーティングアーム８に平行に延びており、それの自由端９ａは、アクチュエーティングアーム８の自由端８ａを越えて僅かに延びている。プローブマイクロチップマウント１０は略Ｌ字状であり、長いＬ脚１０ｂの自由端１０ａによってトップレールにフィルムヒンジ１３を介して連結されており、この長いＬ脚１０ｂは支持アーム７の短いＬ脚７ｂに平行に延びている。短いＬ脚１０ｃはトップレール９に平行にアクチュエーティングアーム８に向けて進み、フィルムヒンジ１４を介してアクチュエーティングアーム８に連結されている。支持アーム７、アクチュエーティングアーム８、トップレール９、及びプローブマイクロチップマウント１０は、独立式のレバー配列４を形成する。プローブマイクロチップ３は、プローブマイクロチップマウント１０の短いＬ脚１０ｃの下側に位置している。
【００２９】
アクチュエーティングロッド１５は、アクチュエーティング装置５から支持アーム７の長いＬ脚７ａを通して延びており、横ボルト１６を介してアクチュエーティングアーム８に取り付けられている。この横ボルト１６は、アクチュエーティングロッド１５を通してアクチュエーティングアーム８の領域に到逹している。アクチュエーティングロッド１５がアクチュエーティング装置５に向けて移動するとき、アクチュエーティングアーム８はフィルムヒンジ１１の周りでピボットし、プローブマイクロチップマウント１０が反対方向にあるフィルムヒンジ１３、１４の周りで下側へピボットするようにし、このために、検査針２は回路基板上に置かれ得る。この連結において、レバー配列４、またはレバー配列を形成するアームとレールは、検査針２の接触チップが、水平移動または横移動ではない、実質的に単に垂直移動を行うように設計される。要するに、アクチュエーティングロッド１５がアクチュエーティング装置５によって締め付けられるとき、プローブマイクロチップマウント１０は、検査針２の接触チップが下側へ移動するようにピッチング移動を行う。
【００３０】
光学検出装置２０は、順にテストフィンガーとプローブマイクロチップマウント１０とトップレール９との上に装着されている。
【００３１】
検出装置２０は保持装置２１を有しており、この保持装置２１はアクチュエーティング装置の前側５ａに位置している。検出装置２０は、保持装置２１からトップレール９とアクチュエーティングアーム８との各々に平行に延びている。保持装置２１に近い検出装置２０はカメラモジュール２２を有している。ライトガイドユニット２３は、カメラモジュール２２から検査針２の上の位置へトップレール９に平行に延びる。
【００３２】
検出装置２０（図６ないし図１２）は、既に説明したように、カメラモジュール２２とライトガイドユニット２３とからなっている。カメラモジュール２２は根本的に公知であるカメラモジュール２２である。一方、ライトガイドユニット２３はカメラモジュール２２の前側２５から離れるように延びている。ライトガイドユニット２３は実質的に管状であり、カメラモジュール２２から離れるように延びる第１管状体２６と、管状体２６の自由端に合わせられるライトガイドユニットヘッド２７とを有している。ライトガイドユニットヘッド２７は、同様に管状体であり、自由端２８の領域で下側に（言い換えれば、検査針２に向けて）向けて形成されている穴２９（例えば、正方形または長方形）を有している。管状ヘッド２７の内に穴２９の上側に偏向鏡３０が備えられており、これは穴２９を通過する光を水平に偏向させる。偏向鏡３０は、管状体２６に近接したヘッド２７の内に装着されている対物レンズ３１に光を案内する。検査針２の領域から穴２９を通して鏡３０の上に落ちる光は、水平方向に偏向させられ、対物レンズ３１に案内される。案内される光は対物レンズ３１からカメラモジュール２２の光電層または光電領域へフォーカスされる。カメラモジュール２２は、主に光学検出表面及び付加的な対物レンズとともに光学センサー（ＣＣＤエレメント）を有している。検査針のチップのイメージは、対物レンズ３１と、適用可能な場合にはカメラモジュール２２に備えられる付加的な対物レンズとによって光学センサー上で形成される。光の経路は、図１及び図８の各々に矢３２で示されている。これらから、走査される回路基板の表面に向けるカメラモジュール２２の視点の方向が、偏向鏡３０の補助の下で、回路基板の表面に直角であり、回路基板を含むテストアレイに直角であることが視認できる。
【００３３】
２つのテストプローブが使用される場合には（図４）、第１テストプローブの検出装置２０（図４の右側）は検査針２にさらに近い第１平面の領域に位置しており、一方、第２テストプローブ（図４の左側）の検出装置２０はさらに高い平面上に装着されている。その結果、両検出装置２０は、互いに衝突しないように、遠く離れて垂直に隔てられている。
【００３４】
回路基板表面（図示しない）からカメラモジュール２２の光学検出表面（図示しない）まで光の経路が同一の長さを有するため、検査針２のプローブチップからさらに遠い距離にある検出装置２０（図８、９）は、鏡３０が引かれているヘッド２７を有するように設計される。よって、対物レンズ３１にさらに近い光の偏向点は、検査針２のプローブチップにさらに遠く位置している検出装置２０（図８、９）の場合である。こうして、検査針２のチップから光学検出表面までの光の光学経路は、フィンガーテスターのすべてのテストフィンガーに対して一定に維持される。
【００３５】
これは、もちろん、検出装置２０が、さらに短いヘッド２７を補償するために、検査針２の方向にアクチュエーティング装置５に対してさらに前側に装着されることを要する。検出装置２０は、それらの鏡３０とともに、関係のある検査針２のチップと垂直整列で各々配列されている。
【００３６】
検出装置２０の有利な改良において（図１０ないし図１２）、ヘッド２７は、穴２９に近く、かつ、穴２９のいずれかに水平のワイドニング３５を有している。このワイドニング３５は、回路基板の下側に向ける開口３６やウインドー３６を有している。チャンバー３８は開口に装着されたり、ウインドー３６の裏側に装着されており、この装着位置は、光学レンズを保持し、穴２９を境界付けるチューブ３７のうちのいずれか一方である。各々のチャンバー３８は、１またはそれ以上の発光ダイオード３９を含む。発光ダイオード３９は、例えばチューブ３７の側壁に近接して位置している壁４０に装着されている。粗いまたは光沢のない表面を有する鏡４２は、チャンバー３８の向かい側の側壁４１の上に、かつチャンバー３８の向かい側の側壁４１の前側に装着される。同時に鏡４２は、方向が合わせられており、そのため、発光ダイオード３９から放出される光が、粗いまたは光沢のない表面のため得られる放散光とともに、回路基板まで案内される。回路基板の表面から反射する光は、穴２９を通して案内され、鏡３０によって偏向されて、対物レンズ３１を通してカメラモジュール２２の適切な層や適切な領域に案内される。この変形において、評価と測定とのための器具の信頼性は、光が放散されて光学経路に近接している点からもたらされる事実によって、非常に向上するという利点を有している。
【００３７】
上述した実施形態において、鏡３０は光学偏向エレメントとして使用される。本発明の範囲内には、光の偏向のために鏡３０の代わりに、プリズムや湾曲した光学纎維の束を備えることも可能である。
【００３８】
フィンガーテスターにおいて、クロスバーごとに２またはそれ以上のテストフィンガーを備えることが普通である（例えば、国際公開番号ＷＯ０３／０９６０３７）。ここで、特定のテストフィンガーはクロスバー上の近接したテストフィンガーに衝突することが可能であり、または近接したクロスバーのテストフィンガーに衝突することが可能である。クロスバーが、例えば正確に２つのテストフィンガーを有している場合に、テストフィンガーのある衝突も確実に避けることが可能であり、検出装置２０が４つの異なるレベルや高さで配列される場合に、一つのクロスバーの２つのテストフィンガーは、２つの異なるレベル上にあり、近接したクロスバーのテストフィンガーは順に２つのさらに異なるレベル上にある。さらに別のクロスバーの検出装置は、それらが近接したクロスバーの上に検出装置のように同一のレベル上にない限り、他のクロスバーの検出装置のように同一のレベルに再び配列され得る。クロスバーごとに２つのテストフィンガーを有する回路基板検査点に対して、たとえフィンガーテスターが５つのクロスバーに分配された数個の（例えば、１０個）テストフィンガーを一方に有していても、４つのレベルなら十分である。よって、異なるレベルの数として、クロスバーごとにテストフィンガーの数の２倍を有していれば十分である。
【００３９】
本発明による方法は、検査針２が回路基板（図示しない）の上で互いに近接して測定するこの事実のため、さらに上の検出装置２０（図４の左側）がさらに下の検出装置２０（図４の右側）のライトガイドユニット２３によって遮られる状況と、さらに下の検出装置２０のイメージが遮られることが発見された場合に、さらに上の検出装置２０に属するテストフィンガー１はまた、さらに上の検出装置２０の制御のために使用されるように構成される制御システムとを提供する。
【００４０】
２つ以上のテストプローブが使用され、そして、２つ以上の検出装置がそれらのライトガイドユニットで陰った場合に、制御操作は、すべての遮られた検出装置がそれらの制御のための特別な場合において、一番下の検出装置のイメージを使用するまで続けられる。
【００４１】
本発明によるフィンガーテスターの場合において、検査対象の回路基板の表面は、回路基板に直角の視点の方向に走査され得る利点を有している。この特徴の結果として、回路基板の表面の記録されたイメージは、回路基板が垂直面に斜めな視点の方向に走査される場合より顕著に少ない歪曲を有している。これは、この方法で記録されたイメージの分析を単純化させる。この方法で設計された検出装置は、一方では、回路基板検査点と接触するときに検査針の位置決めの制御を許容し、他の一方では別の分析のための（例えば、検査対象の回路基板のＣＡＤデータから生成された合成イメージとの比較のための）イメージの記録の制御を許容する。これに関して、ドイツ特許１０２００６００５８００.３.が参照された。
【００４２】
本発明は、国際公開番号ＷＯ０３／０９６０３７の方法と器具との改良を表す。よって、この文書のすべての内容が参照されており、本出願に反映されている。
【００４３】
本発明に係るフィンガーテストの場合においては、多数のテストプローブは、個々の接眼レンズのフォーカシングを変更する必要なしに、コンポーネント化されていない印刷回路基板の検査のための器具において、簡単で費用効果の高い方法として使用され得る利点を有している。
【００４４】
本方法において、数個のテストフィンガーを有している数個のテストセンサーが使用されることが可能であり、陰る場合でも非常に迅速な制御が可能であり、またすべてのテストフィンガーが遮られることにもかかわらず使用し得るという利点を有している。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明によるフィンガーテスター用のテストフィンガーの概略側面図。
【図２】図１のテストフィンガーの正面図。
【図３】図１のテストフィンガーの斜視図。
【図４】一つが他の一つの上に配列されているライトガイドユニットを有し互いに近く近接して測定を行う、図１による２つのテストフィンガー。
【図５】互いにさらに上に動かれた、図４によるテストフィンガー。
【図６】ライトガイドユニット及びカメラを有する、さらに下の光学検出装置の部分断面図。
【図７】図６の装置を下から見た部分断面図。
【図８】ライトガイドユニット及びカメラを有する、さらに上の光学検出装置の概略部分断面側面図。
【図９】図８の装置を下から見た部分断面図。
【図１０】さらに有利な実施形態において付加的な照明ユニットとともにライトガイドユニットとカメラとを有する光学検出装置を下から見た部分断面図。
【図１１】図１０の装置の部分断面側面図。
【図１２】図１０及び図１１の装置を付加的な照明ユニットの領域でライトガイドユニットを通して見た横断面図。
【符号の説明】
【００４６】
１…テストフィンガー
２…検査針
３…プローブマイクロチップ
４…レバー配列
５…アクチュエーティング装置
６…ファスニング装置
７…支持アーム
７a…Ｌ-脚
７b…Ｌ-脚
７c…支持アーム７の自由端
８…アクチュエーティングアーム
８ａ…アクチュエーティングアーム８の端
９…トップレール
１０…プローブマイクロチップマウント
１１…フィルムヒンジ
１２…フィルムヒンジ
１３…フィルムヒンジ 
１４…フィルムヒンジ
１５…アクチュエーティングロッド
２０…検出装置
２１…保持装置 
２２…カメラモジュール
２３…ライトガイドユニット
２５…前側
２６…管状体
２７…ライトガイドユニットヘッド
２８…ライトガイドユニットヘッド２７の自由端 
２９…穴
３０…鏡
３１…対物レンズ
３２…矢
３５…ワイドニング
３６…開口／ウインドー
３７…チューブ
３８…チャンバー
３９…発光ダイオード
４０…壁
４１…側壁
４２…鏡
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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