(57)【要約】所定時間幅内の入力信号を積分して得られる積分値に基づいて行うデータ処理において、積分を行う前処理段階で、入力信号に参照信号を時系列で乗じることによって、入力信号の信号レベルを時系列に変更し、変更した信号に基づいてデータ信号を行う。入力信号の信号レベルを時系列に変更することによって、各入力信号の波形の特徴を強調し、検出信号の時間的変化を反映した積分値を得る。積分値から各検出信号の時間的変化を選別することができ、測定対象の波形信号を抽出することができる。本発明によりデータ処理時間を短縮し、データ処理の構成を簡易なものとする。
2009040909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定時間幅内の入力信号を積分して得られる積分値に基づいて行うデータ処理において、
前記積分の前処理において、前記入力信号に参照信号を時系列で乗じ、当該入力信号の信号レベルを時系列に変更し、当該変更した信号に基づいてデータ信号を行うことを特徴とする、データ処理方法。
【請求項２】
前記データ処理は、積分値によって入力信号を選別し、検出対象の波形信号を抽出するデータ処理を含むことを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
【請求項３】
前記参照信号は、検出対象の波形信号と相似する波形形状を有することを特徴とする、請求項２に記載のデータ処理方法。
【請求項４】
所定時間幅内の入力信号を積分して得られる積分値に基づいて行うデータ処理装置において、
入力信号に参照信号を時系列で乗じて入力信号の信号レベルを変調する変調部と、
前記変調部の出力信号を積分し積分値を出力する積分部と、
前記積分値によって入力信号を選別する選別部とを備えることを特徴とする、データ処理装置。
【請求項５】
前記変調部は、入力信号に参照信号を時系列で乗ずる乗算手段と、
前記乗算手段で乗じる参照信号を出力する参照信号手段とを備えることを特徴とする、請求項４に記載のデータ処理装置。
【請求項６】
前記変調部は、複数の乗算手段と、当該複数の乗算手段に乗ずる参照信号を出力する複数の参照信号手段と、各乗算算手段の出力を加減算する加減算手段とを備え、
前記加減算手段は、各乗算手段の出力を任意の割合で加減算することを特徴とする、請求項４に記載のデータ処理装置。
【請求項７】
前記波形変調部は、同一の入力信号を分割して複数の乗算手段に入力することを特徴とする、請求項６に記載のデータ処理装置。
【請求項８】
前記参照信号は、時系列に編集自在であることを特徴とする、請求項４から請求項７の何れか一つに記載のデータ処理装置。
【請求項９】
前記波形変調部は、入力信号の時間変化と参照信号の時間変化を同期させ、前記乗算手段は入力信号と参照信号の同位相の信号を乗算することを特徴とする、請求項４から請求項８の何れか一つに記載のデータ処理装置。
【請求項１０】
測定対象に駆動信号を印加して駆動を制御する駆動制御手段と、
測定対象に対して電子線を走査する電子線源と、
前記測定対象から放出される二次電子を検出する検出器と、
前記検出器で検出される検出信号に参照信号を時系列で乗じて検出信号の信号レベルを変調する変調部と、
前記変調部の出力信号を積分し積分値を出力する積分部と、
前記積分値によって検出信号を選別する選別部とを備え、
選別部の選別結果に基づいて測定対象を検査する検査装置。
【請求項１１】
前記変調部は、検出信号に参照信号を時系列で乗ずる乗算手段と、
前記乗算手段で乗じる参照信号を出力する参照信号手段とを備えることを特徴とする、請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記変調部は、複数の乗算手段と、当該複数の乗算手段に乗ずる参照信号を出力する複数の参照信号手段と、各乗算算手段の出力を加減算する加減算手段とを備え、
前記加減算手段は、各乗算手段の出力を任意の割合で加減算することを特徴とする、請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１３】
前記波形変調部は、同一の検出信号を分割して複数の乗算手段に入力することを特徴とする、請求項１２に記載の検査装置。
【請求項１４】
前記参照信号は、時系列に編集自在であることを特徴とする、請求項１０から請求項１３の何れか一つに記載の検査装置。
【請求項１５】
前記波形変調部は、検出信号の時間変化と参照信号の時間変化を同期させ、前記乗算手段は検出信号と参照信号の同位相の信号を乗算することを特徴とする、請求項１０から請求項１４の何れか一つに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出信号の時間的変化を検出するデータ処理方法、データ処理装置、およびこのデータ処理によって検出信号を選別し、選別結果に基づいて基板等の欠陥を検出する欠陥検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＴＦＴアレイ検査装置等の種々の検査装置では、検査対象物にプローブ信号を印加することによって検出信号を取り出して検出し、この検出信号に対して種々の信号処理を施すことで各種検査を行っている。【０００３】
検査対象物としてＴＦＴアレイの例を説明する。ＴＦＴアレイは、例えば液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置の画素電極を選択するスイッチング素子として用いられる。【０００４】
液晶基板や有機ＥＬ基板等のＴＦＴアレイが形成された半導体基板の製造過程では、製造過程中において、基板のＴＦＴアレイ等を検査する検査工程、検査工程で見つかった基板欠陥を修正する工程、修正した欠陥を再検査する工程等を含んでいる。【０００５】
ＴＦＴアレイ基板の検査は、ＴＦＴアレイ基板の製造工程の後にＴＦＴアレイ基板検査工程として単独で設けられる他、製造工程内に組み込まれて行われる場合もある。このＴＦＴアレイ基板検査では、ＴＦＴアレイ基板に生成されたＴＦＴアレイに、例えば短絡や断線や付着物等の欠陥について、その有無、位置、欠陥種類等を判定し分類することが行われている。【０００６】
ＴＦＴアレイの欠陥検出は、液晶や有機ＥＬの表示状態を観察することによって行うことができるが、表示状態を観察することによってＴＦＴアレイを検査する場合には、例えば液晶パネルでは、ＴＦＴアレイ基板と対向電極との間に液晶層を挟んだ液晶表示装置の状態において検査する必要がある。液晶表示装置に至らない半製品の状態で検査するには、液晶層と対向電極を備えた検査治具をＴＦＴアレイ基板に取り付け、ＴＦＴアレイに欠陥検出用の駆動信号を入力し、そのときの電圧状態を正常状態の信号と比較するなどのデータ処理によって、欠陥の位置座標や欠陥状態を表す欠陥データを求める。【０００７】
このＴＦＴアレイにおいて、走査線（ゲートライン）や信号線（ソースライン）の断線、走査線（ゲートライン）と信号線（ソースライン）の短絡、画素を駆動するＴＦＴの特性不良による画素欠陥等の欠陥検査は、例えば、対向電極を接地し、ゲートラインの全部あるいは一部に、例えば、−１５Ｖ〜＋１５Ｖの直流電圧を所定間隔で印加し、ソースラインの全部あるいは一部に検査信号を印加することによって行っている。（例えば、特許文献１の従来技術。）【０００８】
欠陥検出で取得した欠陥データは、各基板の欠陥検出に用いる他、欠陥データを解析することによって、その欠陥の原因を解明し、基板の製造過程にフィードバックされる。【０００９】
また、ＴＦＴアレイの欠陥検出の検出信号を取得する方法として電子線を用いるものが知られている。この電子線を用いたＴＦＴアレイ検査では、欠陥に対応したパターンの駆動信号を用いてＴＦＴアレイを駆動しながらピクセル（ＩＴＯ電極）に対して電子線を照射して走査する。電子線照射によってピクセルから放出される二次電子を検出し、検出した二次電子の信号量の時間的変化に基づいて、ピクセルの欠陥の有無や欠陥位置等の欠陥検査を行う。【００１０】
上記したＴＦＴアレイ基板の検査に限らず種々の検査対象の検査では、検出信号の信号量の時間的変化を検出する信号処理が行われている。
【特許文献１】特開平５−３０７１９２号公報
【特許文献２】特開２００７−９３５０１号公報（段落００３２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
検出信号の信号量の時間的変化を検出する信号処理として、検出信号の波形信号を比較信号の波形信号と比較する信号処理が知られている。この波形比較において、所定時間幅内の信号値を積分して信号量を求め、この積分で得られた信号量を比較の指標とすることが行われる。なお、検出信号を信号処理する際に、検出信号の信号量を積分することは例えば特許文献２で知られている。【００１２】
上記したように、検出信号の信号量の時間的変化を積分値によって検出する場合には、信号量が時間的に変化する波形信号の積分値と、信号量が時間的に変化しない波形信号の積分値とが一致あるいは近似する場合があり、積分値によっては検出信号の信号量の時間的変化を検出することができないという問題がある。【００１３】
図２０は積分値による検出信号の信号量の比較を説明するための図である。図２０において、信号Ａは正常ピクセルから得られる波形信号を示し、信号Ｂは欠陥ピクセルから得られる波形信号を示している。なお、この波形信号は、説明を簡易とするために示す一例であって、必ずしも実際の波形信号を示すものではない。【００１４】
同一の時間範囲（例えば、図中の矢印で示す時間範囲）において、信号Ａを積分して得られる積分値∫Ａ(t)dtと、信号Ｂを積分して得られる積分値∫Ｂ(t)dtは同一の値となり、積分値によっては検出信号の信号量の時間的変化を検出することはできない。【００１５】
そのため、検出信号の時間的変化を検出する信号処理において、検出信号の積分値を用いる場合には、検出信号の信号量の時間的変化を検出することはできず、誤検出の要因となる場合がある。【００１６】
なお、二つの波形信号の波形比較において、両波波形信号の相関係数を求める手法も知られているが、この信号処理では複数のサンプル値について相関係数を求める演算処理を行う必要があり、演算時間が長くなるという問題がある。例えば、ＴＦＴ基板のピクセルの欠陥検出信号に適用する場合には、検出精度を高める等のために、各ピクセルにおいて複数のサンプル値を検出して相関関数を求める演算を複数回行うため、多量の演算を処理するために長時間の演算時間を要する。【００１７】
基板検査に限らず種々の検査では、多数の検査対象を短時間で処理することが求められており演算時間は短いほど望ましい。積分処理の演算時間は短時間ですむため、多量の演算処理に適している。【００１８】
したがって、検出信号の時間的変化を検出する信号処理を、積分値を用いて行う場合に、検出信号が時間的に変化しているにも係わらず積分値が一致し、積分値によっては検出ができないような場合であっても、簡易なデータ処理で、かつ短時間で、検出信号の信号量の時間的変化を検出することができることが求められる。【００１９】
そこで、本発明は上記課題を解決して、積分値を用いて検出信号の時間的変化を検出する信号処理において、検出信号の時間的変化を反映した積分値を得ることを目的とする。また、このデータ処理を短時間で行うことを目的とする。また、データ処理のための構成を簡易な構成とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、入力信号をデータ処理して出力するデータ処理に関し、データ処理方法、データ処理装置、および検査装置の各態様により実現することができる。本発明のこれらの各態様は、所定時間幅内の入力信号を積分して得られる積分値に基づいて行うデータ処理において、この積分を行う前処理段階で、入力信号に参照信号を時系列で乗じることによって、入力信号の信号レベルを時系列に変更し、変更した信号に基づいてデータ信号を行うことを共通する技術事項として備える。【００２１】
入力信号の信号レベルを時系列に変更することによって、各入力信号の波形の特徴を強調し、検出信号の時間的変化を反映した積分値を得ることができ、単に積分した場合には同一の積分値となる波形信号であっても、積分値をその波形形状に応じた異なる値とすることができる。これによって、積分値から各検出信号の時間的変化を選別することができ、測定対象の波形信号を抽出することができる。【００２２】
本発明のデータ処理方法の態様は、所定時間幅内の入力信号を積分して得られる積分値に基づいて行うデータ処理において、積分の前処理において、入力信号に参照信号を時系列で乗じ、これによって入力信号の信号レベルを時系列に変更し、変更した信号に基づいてデータ信号を行うものである。【００２３】
積分を行う前処理において、入力信号に参照信号を時系列で乗じることで、入力信号の信号レベルは参照信号によって変調される。時系列による乗算信号は、入力信号のサンプリング値と参照信号のサンプリング値とにおいて、同じサンプリング時点の値を乗算するデジタル演算を、時系列に沿って各サンプリング時点で行うことで求めることができる。【００２４】
この乗算で得られる信号レベルは、入力信号と参照信号との信号の大きさと符号に依存するため、時系列で求めた信号レベルは各入力信号の波形の特徴を反映した値となる。したがって、単に積分した場合には同一の積分値となる波形信号であっても、参照信号を乗算した後に積分を行うことで、積分値をその波形形状に応じた異なる値とすることができる。【００２５】
さらに、求めた積分値は入力信号の波形形状を反映しているため、この積分値を指標として入力信号を選別し、検出対象の波形信号を抽出することができる。【００２６】
発明のデータ処理装置の態様は、所定時間幅内の入力信号を積分して得られる積分値に基づいて行うデータ処理装置において、入力信号に参照信号を時系列で乗じて入力信号の信号レベルを変調する変調部と、この変調部の出力信号を積分し積分値を出力する積分部と、積分部が出力する積分値によって入力信号を選別する選別部とを備える。【００２７】
変調部は、入力信号に参照信号を時系列で乗じて入力信号の信号レベルを変調する構成部分であり、入力信号に参照信号を時系列で乗ずる乗算手段と、乗算手段で乗じる参照信号を出力する参照信号手段とを備える。【００２８】
この変調部が備える乗算手段と参照信号手段は、それぞれ一つの手段で構成する他、複数の乗算手段と、この複数の乗算手段に乗ずる参照信号を出力する複数の参照信号手段と、各乗算算手段の出力を加減算する加減算手段とを備える複数の手段で構成することができる。【００２９】
加減算手段は、各乗算手段の出力を任意の割合で加減算することができる。加減算手段で加減算する各乗算手段の出力の割合を変えることで、波形形状の特徴をより強調して積分値の差異を大きくすることができる。積分値の差異を大きくすることで、入力信号の選別を容易とすることができる。【００３０】
また、波形変調部は、同一の入力信号を分割して複数の乗算手段に入力する構成とすることができる。同一の入力信号を分割して複数の乗算手段に入力することによって、同一の入力信号に対して異なる参照信号あるいは同一の参照信号を乗算することができる。【００３１】
異なる参照信号を乗算する場合には、入力信号の波形形状をより強調するために適した参照信号を選別して使用することができる他、異なる参照信号に乗算で得られる複数の乗算出力を加減算することで、積分値の取得により好適な信号を得ることができる。【００３２】
一方、同一の参照信号を乗算する場合には、同一の参照信号に乗算で得られる複数の乗算出力を加算することで、信号対ノイズが良好な信号を得ることができる。【００３３】
また、参照信号は、時系列に編集自在とすることができる。参照信号を時系列に編集自在とすることによって、入力信号に応じた参照信号を形成することができる。【００３４】
また、波形変調部は、入力信号の時間変化と参照信号の時間変化を同期させ、乗算手段による乗算において、入力信号と参照信号の同位相の信号を乗算する。これによって、入力信号に参照信号を時系列で乗ずることができ、入力信号の信号レベルを時系列に変更することができる。【００３５】
本発明のデータ処理装置では、入力信号の波形形状をより特徴付ける積分値を得る構成として、乗算手段と参照信号手段とを含む波形変調部を備えることによって、簡易な構成で速い処理速度でデータ処理を行うことができる。【００３６】
発明の検査装置の態様は、測定対象に駆動信号を印加して駆動を制御する駆動制御手段と、測定対象に対して電子線を走査する電子線源と、測定対象から放出される二次電子を検出する検出器とを備える検査装置に、上述した本発明のデータ処理装置を適用した構成である。【００３７】
検査装置が備えるデータ処理装置は、検出器で検出される検出信号に参照信号を時系列で乗じて検出信号の信号レベルを変調する変調部と、変調部の出力信号を積分し積分値を出力する積分部と、積分値によって検出信号を選別する選別部とを備える。検査装置は、選別部の選別結果に基づいて測定対象を検査する。【００３８】
本発明の検査装置では、入力信号の波形形状をより特徴付ける積分値を得る構成として、乗算手段と参照信号手段とを含む波形変調部を備えることによって、簡易な構成で速い処理速度でデータ処理を行うことができる。そのため、検査装置では、検出器による検出信号の検出時と時間遅延を起こすことなく、リアルタイムで変調処理および積分処理を行うことができる。
【発明の効果】
【００３９】
本発明によれば、積分値を用いて検出信号の時間的変化を検出する信号処理において、検出信号の時間的変化を反映した積分値を得ることができる。【００４０】
また、このデータ処理を短時間で行うことができ、データ処理のための構成を簡易な構成とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明のデータ処理装置、および、このデータ処理装置を備える基板検査装置の概略構成を説明するための図である。
【図２】液晶基板に形成される一ピクセルの構成例を説明するための図である。
【図３】パネル基板の駆動信号例を説明するための図である。
【図４】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例を説明するための概略図である。
【図５】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の動作を説明するための信号図である。
【図６】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第１の態様を説明するための概略図である。
【図７】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第１の態様を説明するための概略図である。
【図８】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第１の態様の動作を説明するための信号図である。
【図９】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第２の態様を説明するための概略図である。
【図１０】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第２の態様の動作を説明するための信号図である。
【図１１】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第２の態様の動作を説明するための信号図である。
【図１２】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第２の態様の動作を説明するための概略図である。
【図１３】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第２の態様の動作を説明するための信号図である。
【図１４】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第３の態様の動作を説明するための概略図である。
【図１５】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第３の態様の動作を説明するための信号図である。
【図１６】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第３の態様の動作を説明するための信号図である。
【図１７】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第４の態様の動作を説明するための概略図である。
【図１８】本発明のデータ処理装置の変調部の構成例の第４の態様の動作を説明するための信号図である。
【図１９】本発明のデータ処理装置の変調部の別の構成例の動作を説明するための信号図である。
【図２０】積分値による検出信号の信号量の比較を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４２】
１…データ処理装置、２…制御部、３…変調部、４，４ａ，４ｂ…乗算手段、５，５ａ，５ｂ…参照信号手段、６…加算手段、７，７ａ，７ｂ…係数手段、８ａ、８ｂ…スイッチ、９…信号処理部、９ａ…積分手段、９ｂ…レベル判定手段、１０…基板検査装置、１１…電子線源、１２…二次電子検出器、１３…ステージ、１４…モータ、１６…ボールネジ、２１…ビーム制御部、２２…検出信号入力部、２３…パネル駆動部、２４…モータ制御部、２５…同期信号部、３０…パネル基板、３１…ゲート、３２…ＩＴＯ電極、３３…ソースライン、３４…ゲートライン、３５…コモンライン。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。【００４４】
図１は、本発明のデータ処理装置１、および、このデータ処理装置１を備える基板検査装置１０の概略構成を説明するための図である。ここでは、パネル基板を電子線で走査して得られる二次電子を検出し、検出信号に基づいてパネル基板の欠陥等の検査を行う検査装置を例として説明する。【００４５】
図１において、基板検査装置１０は、パネル基板３０に電子線を照射する電子線源１１、電子線照射によってパネル基板３０から放出された二次電子を検出する二次電子検出器１２、パネル基板３０をＸ，Ｙ方向に移動自在に支持するステージ１３、ステージ１３をＸ，Ｙ方向に移動するモータ１４およびボールネジ１５を備える。【００４６】
電子線源１１から照射された電子線は、電子線の照射経路に沿って配置された、図示していない偏向機構、およびステージ１３、モータ１４、およびボールネジ１５等からなる駆動機構によってパネル基板３０上を走査して、パネル基板３０上の面内を検査する。【００４７】
ビーム制御部２１は、電子線源１１を制御し、電子線照射の開始および停止、電子線の強度、ビームの振り等を制御する。検出信号入力部２２は、二次電子検出器１２から出力される検出信号を入力し、検出信号をデータ処理装置１に送る。パネル駆動部２３は、パネル基板３０に検査用の駆動信号を印加する。モータ制御部２４は、モータ１４を制御し、ステージ１３の移動を制御する。【００４８】
基板検査装置１０は、データ処理装置１を備え、上記した検出信号入力部２２から入力した検出信号をデータ処理する他、ビーム制御部２１，パネル駆動部２３，およびモータ制御部２４の制御を行う。【００４９】
データ処理装置１は、ビーム制御部２１，パネル駆動部２３，およびモータ制御部２４を制御する制御部２、検出信号入力部２２から入力した検出信号の信号レベルを変調する変調部３、変調部３でレベル変調した検出信号を信号処理する信号処理部９を備える。【００５０】
信号処理部９は、検出信号を所定時間幅内で積分演算手段（図示していない）、積分値を指標として検出信号を選別する選別手段（図示していない）を備える。基板検査においてパネルの欠陥を判定する場合には、選別手段で得られた結果に基づいて欠陥検査を行う。【００５１】
変調部３は、検出信号入力部２２から入力した検出信号に参照信号を乗算する乗算手段４と、参照信号を出力する参照信号手段５とを備える。変調部３は、検出信号に参照信号を時系列で乗算することで検出信号の波形を強調し、積分演算手段で得られる積分値に波形を反映させる。【００５２】
参照信号手段５は、参照信号の信号パターンを記憶手段（図示していない）に格納する構成とすることができる。この構成では、検出対象に応じて記憶手段から参照信号を読み出し、読み出した参照信号を乗算手段４に出力する。【００５３】
また、参照信号手段５は、パラメータに基づいて参照信号を形成する信号形成手段（図示していない）を備える構成とすることができる。この構成では、検出対象に対応するパターンを信号形成手段に入力することで参照信号を形成させ、形成した参照信号を乗算手段４に出力する。【００５４】
参照信号は、検出信号と時系列で乗算出力を行うため、検出信号と少なくも同数のデジタル値を用意する必要がある。検出信号は所定時間幅内においてサンプリングされるため、サンプリング間隔に応じた個数にデジタル値を有する。そこで、参照信号は、この検出信号が有するデジタル値と同数のデジタル値を用意する。参照信号のデジタル値は、検出信号が有するデジタル値と少なくとも同数であることが望ましいが、検出信号が有するデジタル値よりも少ない場合には、複数の検出信号に対して参照信号を複数回利用することで対応することができるが、乗算処理で得られる変調信号の精度が低下するおそれがある。【００５５】
また、検出信号と参照信号との乗算を時系列で行うには、検出信号と参照信号との信号間の対応関係が保持される必要がある。データ処理装置１は、この信号間の対応関係を保持するために、同期信号部２５を備える。同期信号部２５は、参照信号手段５，ビーム制御部２１，パネル駆動部２３、およびモータ制御部２４に同期信号を送る。同期信号は、参照信号手段５，ビーム制御部２１，パネル駆動部２３、およびモータ制御部２４の同期をとる。検出信号の時系列関係は、ビーム制御部２１，パネル駆動部２３、およびモータ制御部２４の駆動状態で定まる。また、参照信号の時系列関係は、参照信号手段５の出力状態で定まる。【００５６】
したがって、参照信号手段５，ビーム制御部２１，パネル駆動部２３、およびモータ制御部２４の同期をとることで、検出信号と参照信号の時系列関係を所定関係に保持することができる。【００５７】
ここで、図２，図３を用いて、パネル基板の駆動例について説明する。図２は液晶基板に形成される一ピクセルの構成例を示している。各ピクセルは、格子状の配列されるＴＦＴ３１とＩＴＯ電極３２を備える。ＴＦＴ３１のゲートＧは横方向に配置されるゲートライン（Gate）に接続され、ＴＦＴ３１のソースＳは縦方向に配置されるソースライン（Source）に接続され、ＴＦＴ３１のドレインＤはＩＴＯ電極３２に接続される。また、ＩＴＯ電極３２は、コモン容量を介してコモンライン（common）に接続される。【００５８】
この構成において、ＴＦＴ３１は、ゲートＧに駆動信号を印加することで、ソースライン３３の駆動信号をＩＴＯ電極３２に印加する。【００５９】
図３は、パネル基板の駆動信号例を示し、図３（ａ）はソース電圧を示し、図３（ｂ）はゲート電圧を示し、図３（ｃ）はＩＴＯ電極の電圧を示し、図３（ｄ）は正常ピクセルで検出されるＩＴＯ電極の電圧を示し、図３（ｅ）は欠陥ピクセルで検出されるＩＴＯ電極の電圧を示している。【００６０】
ＩＴＯ電極の電圧は、欠陥状態とパネル基板に印加される駆動信号の信号パターンに依存するため、この電圧状態から欠陥の有無や欠陥の種類を検出することができる。駆動信号の信号パターンは、ゲートとソースに印加する信号パターンで表すことができる。【００６１】
以下、本発明のデータ処理装置１が備える変調部３の構成、および動作例について説明する。【００６２】
変調部３は、乗算手段と参照信号手段とによって構成することができ、単一の乗算手段と参照信号手段とを組み合わせる形態と、複数の乗算手段と参照信号手段とを組み合わせる形態とすることができる。【００６３】
はじめに、変調部を単一の乗算手段と参照信号手段との組み合わせで構成する形態について説明する。【００６４】
図４、図５は、変調部を単一の乗算手段と参照信号手段との組み合わせで構成する例および信号図を示している。【００６５】
図４（ａ）において、変調部３は、入力信号Sに参照信号Rを乗算する乗算手段４と、参照信号Rを乗算手段４に出力する参照信号手段５とを備える。乗算手段４では、例えば入力信号Sをサンプリングして得られるデジタル値に、参照信号Rのデジタル値を演算処理によって乗算演算を行う。この乗算演算は、入力信号Sのサンプリングで得られるデジタル値と参照信号Ｒのデジタル値との同期をとることで、各乗算処理間において、入力信号と参照信号との対応関係が常に同一の信号関係となるように保持する。【００６６】
変調部３で変調された変調信号S*Rは、信号処理部９に出力される。信号処理部９において、積分手段９ａは変調信号S*Rを所定時間幅内で積分し、積分値∫S*Rをレベル判定手段９bに出力する。レベル判定手段９bは、積分値∫S*Rに基づいて検出信号Sを選別する。入力信号Sが欠陥検査装置で検出する検出信号である場合には、レベル判定手段９bは、積分値∫S*Rに基づいて欠陥の有無や欠陥種の判定を行う。なお、ここで“＊”は乗算演算を表す。【００６７】
図４（ｂ）および図５（ａ）〜（ｄ）は、入力信号Ｓが正常波形信号Aである場合の動作を示している。【００６８】
入力信号Sが正常波形信号Aである場合には、変調部３で変調された変調信号A*Rとなる。図５（ａ）は正常波形信号A(t)の一例を示し、図５（ｂ）は参照信号R(t)の一例を示している。参照信号R(t)は正常波形信号A(t)の波形信号と相似した波形形状とし、ここでは、＋１と−１の振幅に設定している。【００６９】
乗算手段４は、正常波形信号A(t)に参照信号R(t)を演算処理によって乗算し、変調信号A(t)*R(t)を出力する。図５（ｃ）は変調信号A(t)*R(t)の一例を示している。【００７０】
積分手段９ｂは、変調信号A(t)*R(t)を所定時間幅内で積分し、積分値∫A(t)*R(t)dtを出力する。図５（ｄ）は積分値∫A(t)*R(t)dtの一例を示している。【００７１】
正常波形信号A(t)に参照信号R(t)を乗算することによって、正常波形信号A(t)は信号レベルが時系列で変調され、波形形状の特徴が強調される。ここでは、レベル１の信号は、“１”から“−１”にレベルが変調される。積分手段９ａは、変調信号A(t)*R(t)を積分して積分値∫A(t)*R(t)dtを出力する。図５（ｄ）は積分値∫A(t)*R(t)dtを示している。【００７２】
一方、図４（ｃ）および図５（ｅ）〜（ｈ）は、入力信号Sが欠陥波形信号Bである場合の動作を示している。【００７３】
入力信号Sが欠陥波形信号Bである場合には、変調部３で変調された変調信号B*Rとなる。図５（ｅ）は欠陥波形信号B(t)の一例を示し、図５（ｆ）は参照信号R(t)の一例を示している。参照信号R(t)は、図５（ｂ）と同様に、正常波形信号A(t)の波形信号と相似した波形形状とし、ここでは、＋１と−１の振幅に設定している。【００７４】
乗算手段４は、欠陥波形信号B(t)に参照信号R(t)を演算処理によって乗算し、変調信号B(t)*R(t)を出力する。図５（ｇ）は変調信号B(t)*R(t)の一例を示している。【００７５】
欠陥波形信号B(t)に参照信号R(t)を乗算することによって、欠陥波形信号B(t)は信号レベルが時系列で変調され、波形形状の特徴が強調される。ここでは、レベル３の信号レベルは、“３”と“−３”に変調される。積分手段９ａは、変調信号B(t)*R(t)を所定時間幅内で積分して積分値∫B(t)*R(t)dtを出力する。図５（ｄ）は積分値∫B(t)*R(t)dtを示している。【００７６】
図５（ｄ）に示す正常波形信号Aの積分値∫A(t)*R(t)dtと、図５（ｈ）に示す欠陥波形信号Bの積分値∫B(t)*R(t)dtとを比較すると、正常波形信号Aは参照信号R(t)を乗算することによって、正方向のレベルを持つ分布の波形信号となり、その積分値は“４”のレベル範囲となる。一方、欠陥波形信号Bは参照信号R(t)を乗算することによって、レベル０の上下で分布する波形信号となり、その積分値は“０”のレベル範囲となる。【００７７】
したがって、参照信号を乗算して得られる変調信号を積分することによって、正常波形信号Aの積分値∫A(t)*R(t)dtと欠陥波形信号Bの積分値∫B(t)*R(t)dtとの値に差異を形成して、信号の選別が容易となる。【００７８】
次に、変調部を複数の乗算手段と参照信号手段との組み合わせで構成する形態について説明する。【００７９】
図６〜図１７は、変調部を複数の乗算手段と参照信号手段との組み合わせで構成する例を示している。なお、ここでは、変調部をそれぞれ二つの乗算手段と参照信号手段との組み合わせで構成する例を用いて説明する。【００８０】
この変調部の構成は、複数の態様で動作させることができる。第１の動作態様は、異なる参照信号がそれぞれに対応する正常波形信号を検出するものであり、第２の動作態様は、異なる参照信号が複数の正常波形信号を検出するものであり、第３の動作態様は、加算する変調信号の割合を変更するものである。また、第４の動作態様は、同じ参照信号を用いて信号量を増加させるものである。第１の動作態様は図７，８を用いて説明し、第２の動作態様は図９〜図１３を用いて説明し、第３の動作態様は図１４〜図１６を用いて説明し、第４の動作態様は図１７，１８を用いて説明する。【００８１】
図６は、二つの乗算手段と参照信号手段との組み合わせで構成される変調部の概略図である。【００８２】
図６（ａ）において、変調部３は、入力信号Sに参照信号Rを乗算する乗算手段４ａ、４ｂと、参照信号Rを乗算手段４ａ、４ｂに出力する参照信号手段５ａ，５ｂとを備える。乗算手段４ａ，４ｂでは、入力信号Sをサンプリングして得られるデジタル値に、参照信号手段５ａ，５ｂからそれぞれ出力される参照信号R1,R2のデジタル値を演算処理によって乗算演算を行う。この乗算演算は、入力信号Sのサンプリングで得られるデジタル値と参照信号R1,R2のデジタル値との同期をとることで、各乗算処理間において、入力信号と参照信号との対応関係が常に同一の信号関係となるように保持する。【００８３】
乗算手段４ａは入力信号Sに参照信号R1を乗算した乗算値S*R1を出力し、乗算手段４ｂは入力信号Sに参照信号R2を乗算した乗算値S*R2を出力する。乗算値S*R1は、係数手段７ａとスイッチ手段８ａを介して加算手段６に入力され、乗算値S*R2は、係数手段７ｂとスイッチ手段８ｂを介して加算手段６に入力される。【００８４】
係数手段７ａは乗算値S*R1に係数k1を乗じたk1*S*R1を出力し、係数手段７ｂは乗算値S*R2に係数k2を乗じたk2*S*R2を出力する。また、スイッチ手段８ａは乗算値K1*S*R1の加算手段６への入力を制御し、スイッチ手段８ｂは乗算値K2*S*R2の加算手段６への入力を制御する。加算手段６は、乗算値k1*S*R1と乗算値k2*S*R2とを加算し、加算値（k1*S*R1＋k2*S*R2）を変調信号として信号処理部９に出力する。【００８５】
なお、スイッチ手段８ａ，８ｂは、係数手段７ａ、７ｂの係数を設定することで省略することもできる。例えば、係数手段７ａ、７ｂの係数を“０”とすることで、スイッチ手段８ａ，８ｂをOFF状態と同様の状態とすることができる。【００８６】
信号処理部９において、積分手段９ａは変調信号（k1*S*R1＋k2*S*R2）を所定時間幅内で積分し、積分値∫（k1*S*R1＋k2*S*R2）dtをレベル判定手段９bに出力する。レベル判定手段９bは、積分値∫（k1*S*R1＋k2*S*R2）dtに基づいて検出信号Sを選別する。入力信号Sが欠陥検査装置で検出する検出信号である場合には、レベル判定手段９bは、積分値∫（k1*S*R1＋k2*S*R2）dtに基づいて欠陥の有無や欠陥種の判定を行う。【００８７】
図６（ｂ）はスイッチ８ａ，８ｂの切り替えによって、参照信号R1によって変調した変調信号S*R1と、参照信号R2によって変調した変調信号S*R2とを、それぞれ個別に処理する場合を示している。【００８８】
以下、この切り替え状態において、第１の動作態様を図７、８を用いて説明する。第１の動作態様は、異なる参照信号がそれぞれに対応する正常波形信号を検出するものである。ここでは、参照信号R1は正常波形信号A1の正常判定に使用する参照信号であり、参照信号R2は正常波形信号A2の正常判定に使用する参照信号である。【００８９】
図７（ａ）は正常波形信号A1を入力した状態を示し、図７（ｂ）は正常波形信号A2を入力した状態を示している。【００９０】
図７（ａ）において、スイッチ８ａをON状態としスイッチ８ｂをOFF状態として、参照信号手段５ａのみを用いて乗算値A1*R1を算出する。図８（ａ）は正常波形信号A1(t)および欠陥波形信号B(t)を示し、図８（ｂ）は参照信号R1(t)を示し、図８（ｃ）は正常波形信号A1(t)に参照信号R1(t)を乗算した乗算値A1(t)*R1(t)を示し、また、図８（ｄ）は欠陥信号B(t)が入力された時の乗算値B(t)*R1(t)を示している。【００９１】
参照信号R1(t)として正常波形信号A1(t)と相似する波形形状を用いることで、正常波形信号A1(t)はレベル変調され、図８（ｃ）に示す変調信号A1(t)*R1(t)が得られる。積分手段９ｂは、変調信号A1(t)*R1(t)を所定時間幅内で積分し、積分値∫A1(t)*R1(t)dtを出力する。図８（ｅ）中の実線は積分値∫A1(t)*R1(t)dtを示している。【００９２】
一方、入力手段として欠陥信号B(t)が入力された場合には、欠陥波形信号B(t)はレベル変調され、図８（ｄ）に示す変調信号B(t)*R1(t)が得られる。積分手段９ｂは、変調信号B(t)*R1(t)を所定時間幅内で積分し、積分値∫B(t)*R1(t)dtを出力する。図８（ｅ）中の破線は積分値∫B(t)*R1(t)dtを示している。【００９３】
参照信号を乗算することによって、正常波形信号A(t)と欠陥波形信号B(t)はそれぞれ図８（ｃ）、（ｄ）に示すように時系列でレベル変調される。このレベル変調は、図８（ｅ）に示すように積分値∫A1(t)*R1(t)dtと積分値∫B(t)*R1(t)dtとの差異を拡大し、正常波形信号A1(t)と欠陥波形信号B(t)との積分値による選別を容易とする。【００９４】
正常波形信号A2を入力した状態を示す図７（ａ）において、スイッチ８ａをOFF状態としスイッチ８ｂをOＮ状態として、参照信号手段５ｂのみを用いて乗算値A2*R2を算出する。図８（ｆ）は正常波形信号A2(t)および欠陥波形信号B(t)を示し、図８（ｇ）は参照信号R2(t)を示し、図８（ｈ）は正常波形信号A2(t)に参照信号R2(t)を乗算した乗算値A2(t)*R2(t)を示し、また、図８（ｉ）は欠陥信号B(t)が入力された時の乗算値B(t)*R2(t)を示している。【００９５】
参照信号R2(t)として正常波形信号A2(t)と相似する波形形状を用いることで、正常波形信号A2(t)はレベル変調され、図８（ｈ）に示す変調信号A2(t)*R2(t)が得られる。積分手段９ｂは、変調信号A2(t)*R2(t)dtを所定時間幅内で積分し、積分値∫A2(t)*R2(t)dtを出力する。図８（ｊ）中の実線は積分値∫A2(t)*R2(t)dtを示している。【００９６】
一方、入力手段として欠陥信号B(t)が入力された場合には、欠陥波形信号B(t)はレベル変調され、図８（ｉ）に示す変調信号B(t)*R2(t)が得られる。積分手段９ｂは、変調信号B(t)*R2(t)を所定時間幅内で積分し、積分値∫B(t)*R2(t)dtを出力する。図８（ｊ）中の破線は積分値∫B(t)*R2(t)dtを示している。【００９７】
参照信号を乗算することによって、正常波形信号A2(t)と欠陥波形信号B(t)はそれぞれ図８（ｈ）、（ｉ）に示すように時系列でレベル変調される。このレベル変調は、図８（ｊ）に示すように積分値∫A2(t)*R2(t)dtと積分値∫B(t)*R2(t)dtとの差異を拡大し、正常波形信号A2(t)と欠陥波形信号B(t)との積分値による選別を容易とする。【００９８】
次に、第２の動作態様を図９〜図１３を用いて説明する。第２の動作態様は、異なる参照信号が複数の正常波形信号を検出するものである。図９に示す例では、参照信号R1および参照信号R2は、共に正常波形信号A1とA2の波形信号に対応する参照信号であり、参照信号R1は正常波形信号A1およびA2の正常判定に使用する参照信号として使用することができ、また、参照信号R2についても正常波形信号A1およびA2の正常判定に使用する参照信号として使用することができる。【００９９】
次に、図９（ａ），（ｂ）はスイッチ８ａ，８ｂの切り替えによって、参照信号R1によって変調した変調信号S*R1と参照信号R2によって変調した変調信号S*R2とを、個別に処理する場合を示している。【０１００】
図９（ａ）は正常波形信号A1を入力した状態を示し、図９（ｂ）は正常波形信号A2を入力した状態を示している。【０１０１】
図９（ａ）において、スイッチ８ａをON状態としスイッチ８ｂをOFF状態とすることによって、参照信号手段５ａのみを用いて乗算値A1(t)*R1(t)を算出し、一方、スイッチ８ａをOFF状態としスイッチ８ｂをON状態とすることによって、参照信号手段５ｂのみを用いて乗算値A1(t)*R2(t)を算出する。【０１０２】
図１０（ａ）〜（ｃ）は参照信号手段５ａの参照信号R1(t)を用いて乗算値A1(t)*R1(t)を得る場合を示し、図１０（ｄ）〜（ｆ）は参照信号手段５ｂの参照信号R2(t)を用いて乗算値A1(t)*R2(t)を得る場合を示している。一方、図１１（ａ）〜（ｃ）は参照信号手段５ａの参照信号R1(t)を用いて乗算値A2(t)*R1(t)を得る場合を示し、図１１（ｄ）〜（ｆ）は参照信号手段５ｂの参照信号R2(t)を用いて乗算値A2(t)*R2(t)を得る場合を示している。ここで、参照信号R1(t)は正常波形信号A1(t)と相似する形状の波形信号とし、参照信号R2(t)は正常波形信号A1(t)と相似しない形状の波形信号としている。【０１０３】
また、図１２は欠陥波形信号Bを入力した状態を示している。図１２は、スイッチ８ａ，８ｂの切り替えによって、参照信号手段５ａのみを用いて乗算値B(t)*R1(t)を算出する状態と、参照信号手段５ｂのみを用いて乗算値B(t)*R2(t)を算出する状態を示している。積分手段９ａは、乗算値B(t)*R1(t)および乗算値B(t)*R2(t)を積分して積分値∫B(t)*R1(t)dtを出力し、レベル判定手段９ｂは積分手段９ａで積分した積分値∫B(t)*R1(t)dt，∫B(t)*R2(t)dtをレベル判定することで、欠陥判定を行う。【０１０４】
次に、図１３を用いて、変調信号の積分値を用いて、正常波形信号と欠陥波形信号とを選別し、欠陥検出する例について説明する。【０１０５】
図１３（ａ）は欠陥波形信号B(t)に参照信号R1(t)を乗算して得られる変調信号B(t)*R1(t)を示している。【０１０６】
図１３（ｂ）は、積分値∫A1(t)*R1(t)dt、積分値∫A1(t)*R2(t)dt、および積分値∫B(t)*R1(t)dtを比較するための図である。ここで、積分値∫A1(t)*R1(t)dtは、図１０（ｃ）で示した正常波形信号A1(t)と参照信号R1(t)による変調信号A1(t)*R1(t)を積分して得られる積分値であり、積分値∫A1(t)*R2(t)dtは、図１０（ｆ）で示した正常波形信号A1(t)と参照信号R2(t)による変調信号A1(t)*R2(t)を積分して得られる積分値であり、積分値∫B(t)*R1(t)dtは、欠陥波形信号B(t)と参照信号R1(t)とによる変調信号B(t)*R1(t)を積分して得られる積分値である。【０１０７】
図１３（ｂ）の各積分値の比較によれば、破線で示す積分値∫B(t)*R1(t)dtに対して、積分値∫A1(t)*R1(t)dtおよび積分値∫A1(t)*R2(t)dtの大きさは、十分識別することができる程度に差異があるため、その積分値の大きさに基づいて、正常波形信号A1(t)を欠陥波形信号B(t)から選別することができる。【０１０８】
また、図１３（ｃ）は欠陥波形信号B(t)に参照信号R2(t)を乗算して得られる変調信号B(t)*R2(t)を示し、図１３（ｄ）は、積分値∫A2(t)*R1(t)dt、積分値∫A2(t)*R2(t)dt、および積分値∫B(t)*R2(t)dtを比較するための図である。ここで、積分値∫A2(t)*R1(t)dtは、図１１（ｃ）で示した正常波形信号A2(t)と参照信号R1(t)による変調信号A2(t)*R1(t)を積分して得られる積分値であり、積分値∫A2(t)*R2(t)dtは、図１１（ｆ）で示した正常波形信号A2(t)と参照信号R2(t)による変調信号A1(t)*R2(t)を積分して得られる積分値であり、積分値∫B(t)*R2(t)dtは、欠陥波形信号B(t)と参照信号R2(t)とによる変調信号B(t)*R2(t)を積分して得られる積分値である。【０１０９】
図１３（ｄ）の各積分値の比較によれば、破線で示す積分値∫B(t)*R2(t)dtに対して、積分値∫A2(t)*R1(t)dtおよび積分値∫A2(t)*R2(t)dtの大きさは、十分識別することができる程度に差異があるため、その積分値の大きさに基づいて、正常波形信号A2(t)を欠陥波形信号B(t)から選別することができる。【０１１０】
したがって、図９〜図１３に示す第２の動作態様によれば、正常波形信号A1に対応する参照信号R1および正常波形信号A2に対応する参照信号R2を用いて、正常波形信号A1およびA2を欠陥波形信号Bから選別することができる。【０１１１】
次に、第３の動作態様について、図１４，１５を用いて説明する。第３の動作態様は、加算する変調信号の割合を変更するものである。【０１１２】
図１４において、変調部３は、入力信号Sに参照信号R1を乗算する乗算手段４ａ、および入力信号Sに参照信号R2を乗算する乗算手段４ｂと、参照信号R1を乗算手段４ａに出力する参照信号手段５ａ、および参照信号R2を乗算手段４ｂに出力する参照信号手段５ｂと、各乗算手段４ａ，４ｂの乗算出力S*R1，S*R2に係数k1,k2を掛ける係数手段７ａ,７ｂと、係数k1,k2を掛けた出力S*R1*K1，S*R2*K1を加算する加算手段６を備える。【０１１３】
乗算手段４ａ，４ｂでは、入力信号Sをサンプリングして得られるデジタル値に、参照信号手段５ａ，５ｂからそれぞれ出力される参照信号R1,R2のデジタル値を演算処理によって乗算演算を行う。この乗算演算は、入力信号Sのサンプリングで得られるデジタル値と参照信号R1,R2のデジタル値との同期をとることで、各乗算処理間において、入力信号と参照信号との対応関係が常に同一の信号関係となるように保持する。【０１１４】
乗算手段４ａは入力信号Sに参照信号R1を乗算した乗算値S*R1を出力し、乗算手段４ｂは入力信号Sに参照信号R2を乗算した乗算値S*R2を出力する。乗算値S*R1は、係数手段７ａを介して加算手段６に入力され、乗算値S*R2は、係数手段７ｂを介して加算手段６に入力される。【０１１５】
係数手段７ａは乗算値S*R1に係数k1を乗じたk1*S*R1を出力し、係数手段７ｂは乗算値S*R2に係数k2を乗じたk2*S*R2を出力する。加算手段６は、乗算値k1*S*R1と乗算値k2*S*R2とを加算し、加算値（k1*S*R1＋k2*S*R2）を変調信号として信号処理部９に出力する。【０１１６】
信号処理部９において、積分手段９ａは変調信号（k1*S*R1＋k2*S*R2）を所定時間幅内で積分し、積分値∫（k1*S*R1＋k2*S*R2）dtをレベル判定手段９bに出力する。レベル判定手段９bは、積分値∫（k1*S*R1＋k2*S*R2）dtに基づいて検出信号Sを選別する。入力信号Sが欠陥検査装置で検出する検出信号である場合には、レベル判定手段９bは、積分値∫（k1*S*R1＋k2*S*R2）dtに基づいて欠陥の有無や欠陥種の判定を行う。【０１１７】
ここで、係数k1,k2は任意に設定することができ、この係数k1,k2の設定に応じて乗算値S*R1と乗算値S*R2とを加減算する割合を変更することができる。この係数k1,k2の設定は、図示しない制御部２からの制御によって変更することができる。【０１１８】
図１５は、係数k1,k2を共に“１”に設定する例であり、この場合には、乗算値S*R1と乗算値S*R2とは同じ割合で加算される。一方、図１６は、係数k1を“１”に設定し、係数k2を“２”に設定する例である。この場合には、乗算値S*R1と乗算値S*R2との加算に比率を１：２に設定することができる。【０１１９】
図１５（ａ）は正常波形信号A1(t)および欠陥波形信号B(t)を示し、図１５（ｂ），（ｃ）は参照信号R1(t)，R2(t) を示し、図１５（ｄ），（ｅ）は正常波形信号A1(t)および欠陥波形信号B(t)に参照信号R1(t)，R2(t)を時系列に乗算して得られる乗算値S(t)*R1(t)，B(t)*R1(t)、乗算値S(t)*R2(t) ，B(t)*R2(t)を示し、図１５（ｆ）は乗算値S(t)*R1(t)と乗算値S(t)*R2(t)とを同比率で加算して得られる加算値（S(t)*R1(t)＋S(t)*R2(t)）を示し、図１５（ｇ）は乗算値B(t)*R1(t)と乗算値B(t)*R2(t)とを同比率で加算して得られる加算値（B(t)*R1(t)＋B(t)*R2(t)）を示している。また、図１５（ｈ）は、図１５（ｆ）の加算値を積分して得られる積分値∫（S(t)*R1(t)＋S(t)*R2(t)）dt（図中の実線で示す）と、図１５（ｇ）の加算値を積分して得られる積分値∫（B(t)*R1(t)＋B(t)*R2(t)）dt（図中の破線で示す）を示している。【０１２０】
図１６（ａ）は正常波形信号A1(t)および欠陥波形信号B(t)を示し、図１６（ｂ），（ｃ）は参照信号R1(t)，R2(t) を示し、図１６（ｄ），（ｅ）は正常波形信号A1(t)および欠陥波形信号B(t)に参照信号R1(t)，R2(t)を時系列に乗算して得られる乗算値S(t)*R1(t)，B(t)*R1(t)、乗算値S(t)*R2(t) ，B(t)*R2(t)を示し、図１６（ｆ）は乗算値S(t)*R1(t)と乗算値S(t)*R2(t)とを１：２の比率で加算して得られる加算値（S(t)*R1(t)＋2*S(t)*R2(t)）を示し、図１６（ｇ）は乗算値B(t)*R1(t)と乗算値B(t)*R2(t)とを１：２の比率で加算して得られる加算値（B(t)*R1(t)＋2*B(t)*R2(t)）を示している。また、図１６（ｈ）は、図１６（ｆ）の加算値を積分して得られる積分値∫（S(t)*R1(t)＋2*S(t)*R2(t)）dt（図中の実線で示す）と、図１６（ｇ）の加算値を積分して得られる積分値∫（B(t)*R1(t)＋2*B(t)*R2(t)）dt（図中の破線で示す）を示している。【０１２１】
図１５（ｇ）の積分値の比較と図１６（ｇ）の積分値の比較とを比較すると、加算比率を１：２として加算例によれば、破線で示す積分値∫（B(t)*R1(t)＋2*B(t)*R2(t)）dtに対して、実線で示す積分値∫（S(t)*R1(t)＋2*S(t)*R2(t)）dtの大きさは、加算比率が１：１の場合と比較してその差異を大きく、その積分値の大きさに基づいて、正常波形信号A2(t)を欠陥波形信号B(t)から容易に選別することができる。【０１２２】
次に、第４の動作態様について、図１７，１８を用いて説明する。第４の動作態様は、同じ参照信号を用いて信号量を増加させるものである。【０１２３】
図１７において、変調部３は、入力信号Sに参照信号R1を乗算する乗算手段４ａ、および入力信号Sに参照信号R1を乗算する乗算手段４ｂと、参照信号R1を乗算手段４ａに出力する参照信号手段５ａ、および参照信号R1を乗算手段４ｂに出力する参照信号手段５ｂと、各乗算手段４ａ，４ｂの乗算出力S*R1，S*R1を加算する加算手段６を備える。【０１２４】
この構成によれば、入力信号Sに参照信号R1を乗算して得られる乗算値S*R1を２倍した2* S*R1を取得することができ、信号対ノイズ比率を高めることができる。【０１２５】
図１８（ａ）は正常波形信号A1(t)および欠陥波形信号B(t)を示し、図１８（ｂ）は参照信号R1(t) を示し、図１８（ｃ），（ｄ）は正常波形信号A1(t)に参照信号R1(t)を時系列に乗算して得られる乗算値A1(t)*R1(t)と加算手段６から得られる加算値2* A1(t)*R1(t)を示し、図１８（ｅ）は欠陥波形信号B(t)に参照信号R1(t)を時系列に乗算して得られる乗算値B(t)*R1(t)と加算手段６から得られる加算値2* B(t)*R1(t)を示している。また、図１８（ｇ）は、図１５（ｃ）〜（ｆ）の加算値を積分して得られる各積分値∫（A1(t)*R1(t)）dt、∫（2*A1(t)*R1(t)）dt、∫（B(t)*R1(t)）dt、および∫（2*B(t)*R1(t)）dtを示している。【０１２６】
図１８（ｇ）によれば、加算値を積分して得られる積分値∫（2*A1(t)*R1(t)）dtは、加算しない乗算値を積分して得られる積分値∫（A1(t)*R1(t)）dtよりも信号量を大きくすることができ、欠陥波形信号B(t)の積分値∫（B(t)*R1(t)）dt、および∫（2*B(t)*R1(t)）dtとの差異を大きくすることができ、選別が容易となる。【０１２７】
上記各態様では、参照信号として正常波形信号を相似する波形信号を用いて、検出信号と参照信号と同期をとることで時系列に乗算する構成を示しているが、参照信号は正常波形信号を相似する波形信号を用いず、また、検出信号と参照信号との同期をとることなく乗算する構成としてもよい。図１９は、周期信号を参照信号として用いる例を示している。【０１２８】
図１９（ａ）は正常波形信号A(t)および欠陥波形信号B(t)を示し、図１９（ｂ）は周期信号による参照信号R(t)を示し、図１９（ｃ）は正常波形信号A(t)に参照信号R(t)を乗算した乗算値（A(t)*R(t)）を示し、図１９（ｄ）は欠陥波形信号B(t)に参照信号R(t)を乗算した乗算値（B(t)*R(t)）を示し、図１９（ｅ）は各乗算値を積分して得られる積分値∫（A(t)*R(t)）dt、∫（B(t)*R(t)）dtを示している。
【産業上の利用可能性】
【０１２９】
本発明のデータ処理は、液晶基板、有機ＥＬ基板、半導体基板等にの検査に適用することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【国際調査報告】
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