(57)【要約】  ヘッドスライダ（２３）を備える完成品のフレキシャユニットがベース（４６）の表面に着脱自在に固定される。フレキシャ（３５）上でヘッドスライダ（２３）の電磁変換素子には予め配線パターンが電気的に接続される。フレキシャユニットではヘッドサスペンションに実際に実装された状態と同じ状態が実現される。ヘッドの特性試験にあたってヘッドスライダ（２３）は磁気ディスク（４３）の表面に向き合わせられる。電磁変換素子は磁気ディスク（４３）から磁気情報を読み出す。読み出された磁気情報は配線パターンから出力される。接触抵抗の発生は回避される。安定的に電磁変換素子の特性試験が実施される。しかも、不良のヘッドスライダ（２３）が検出されると、フレキシャユニットが廃棄される。例えばヘッドサスペンションアセンブリ自体が廃棄される場合に比べて、廃棄物はできる限り抑制される。コスト面の損失はできる限り回避される。
2009044490.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシャ、前記フレキシャ上に固定されて電磁変換素子を有するヘッドスライダ、および、前記フレキシャ上に配置されて前記電磁変換素子に電気的に接続される配線パターンを備えるフレキシャユニットを、ベースの表面に着脱可能に固定する工程と、回転する磁気ディスクの表面に前記ヘッドスライダを向き合わせて、前記電磁変換素子で前記磁気ディスクから磁気情報を読み出す工程と、前記電磁変換素子で読み出された磁気情報を前記配線パターンから出力する工程とを備えることを特徴とするヘッド試験方法。
【請求項２】
請求項１に記載のヘッド試験方法において、前記ヘッドスライダの向き合わせにあたって、前記ヘッドスライダの背後で前記フレキシャに突起を突き当てて前記ヘッドスライダを背後から受け止める工程をさらに備えることを特徴とするヘッド試験方法。
【請求項３】
請求項２に記載のヘッド試験方法において、前記磁気情報の読み出しにあたって、前記突起の弾性変位に基づき前記ヘッドスライダの浮上高さを調整する工程をさらに備えることを特徴とするヘッド試験方法。
【請求項４】
請求項２に記載のヘッド試験方法において、前記磁気情報の読み出しにあたって、前記ベースの弾性変位に基づき前記ヘッドスライダの浮上高さを調整する工程をさらに備えることを特徴とするヘッド試験方法。
【請求項５】
請求項１に記載のヘッド試験方法において、前記フレキシャはスポット溶接の予定域で前記ベースの表面に固定されることを特徴とするヘッド試験方法。
【請求項６】
電磁変換素子を有するヘッドスライダの背後で姿勢変化自在にフレキシャを受け止める突起と、表面にフレキシャを着脱自在に固定するベースと、ベースの表面に向き合わせられる磁気ディスクと、磁気ディスクを回転駆動する回転駆動機構と、フレキシャの表面に形成されて電磁変換素子に導体で接続される配線パターンから磁気情報を取り出す制御回路とを備えることを特徴とするヘッド試験装置。
【請求項７】
請求項６に記載のヘッド試験装置において、弾性変位自在に前記突起を受け止めるばねをさらに備えることを特徴とするヘッド試験装置。
【請求項８】
請求項６に記載のヘッド試験装置において、弾性変位自在に前記ベースを支持する支持機構をさらに備えることを特徴とするヘッド試験装置。
【請求項９】
請求項６に記載のヘッド試験装置において、前記ベースの表面に形成されて、フレキシャに規定されるスポット溶接の予定域に向き合わせられる吸気口と、吸気口に接続されて前記ベース内を延びる吸気路と、吸気路に接続される真空ポンプとをさらに備えることを特徴とするヘッド試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドスライダに埋め込まれる電磁変換素子の特性を試験するヘッド試験方法およびヘッド試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ヘッドスライダに埋め込まれる電磁変換素子の特性試験にあたっていわゆるヘッドサスペンションアセンブリが用意される。ヘッドサスペンションアセンブリはヘッドサスペンションを備える。ヘッドサスペンション上にはフレキシャが接合される。フレキシャ上にはヘッドスライダが固定される。ヘッドスライダにはフレキシャ上を延びる配線パターンが接続される。言い替えれば、ヘッドサスペンションアセンブリはキャリッジアームの先端に取り付け可能な状態で用意される。こうしたヘッドサスペンションアセンブリは所定の支持部材に支持される。このとき、回転する磁気ディスクに電磁変換素子で磁気情報が書き込まれる。書き込まれた磁気情報が読み出される。こうして電磁変換素子の特性が試験される。【０００３】
その一方で、特許文献１に開示されるように、電磁変換素子の特性を試験するヘッド試験装置は知られる。このヘッド試験装置では、磁気ディスクの表面にヘッドスライダが向き合わせられる。ヘッドスライダは単体で姿勢変化自在に支持ステージに支持される。ヘッドスライダの端面に形成される導電パッドには接点に基づき配線パターンが接続される。導電パッドは電磁変換素子に接続される。前述と同様に、回転する磁気ディスクに電磁変換素子で磁気情報が書き込まれる。書き込まれた磁気情報は電磁変換素子で読み出される。こうして電磁変換素子の特性が試験される。
【特許文献１】国際公開第０３／０１２７８１号パンフレット
【発明の開示】
【０００４】
ヘッドサスペンションアセンブリの状態で特性試験が実施される場合、例えば所定の基準を満たさない電磁変換素子が検出される。ヘッドスライダはフレキシャ上に強固に接着されることから、ヘッドスライダはフレキシャから取り外されることができない。無理な取り外しはフレキシャを変形させてしまう。その結果、基準を満たさない電磁変換素子を備えるヘッドサスペンションアセンブリはヘッドサスペンションアセンブリごと廃棄される。この場合、ヘッドスライダのみならずフレキシャやヘッドサスペンションといった大量の廃棄物が生成されてしまう。コスト面で甚大な損失が計上される。
【０００５】
その一方で、特許文献１のヘッド試験装置にはヘッドスライダ単体が装着される。したがって、ヘッドスライダの着脱にあたって、ヘッドスライダの導電パッドには接点が接触するに過ぎない。導電パッドおよび接点の間で十分な接続が確立されるとはいえない。磁気情報の書き込みや読み出しにあたってヘッドスライダは例えば磁気ディスクの表面のうねりに伴って姿勢変化する。その結果、ヘッドスライダの姿勢変化時に導電パッドおよび接点の間で接触抵抗の発生を抑制することは難しい。こうした接触抵抗は、電磁変換素子で読み出される磁気情報の出力に損失を与える。しかも、ヘッドスライダの姿勢変化を柔軟に支持することは非常に困難を伴う。
【０００６】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、廃棄物の生成を極力抑えて安定的に電磁変換素子の特性を試験することができるヘッド試験方法およびヘッド試験装置を提供することを目的とする。
【０００７】
上記目的を達成するために、フレキシャ、前記フレキシャ上に固定されて電磁変換素子を有するヘッドスライダ、および、前記フレキシャ上に配置されて前記電磁変換素子に電気的に接続される配線パターンを備えるフレキシャユニットを、ベースの表面に着脱可能に固定する工程と、回転する磁気ディスクの表面に前記ヘッドスライダを向き合わせて、前記電磁変換素子で前記磁気ディスクから磁気情報を読み出す工程と、前記電磁変換素子で読み出された磁気情報を前記配線パターンから出力する工程とを備えることを特徴とするヘッド試験方法が提供される。
【０００８】
こうしたヘッド試験方法によれば、ヘッドスライダを備える完成品のフレキシャユニットがベースの表面に着脱自在に固定される。ヘッドスライダは電磁変換素子を備える。フレキシャ上で電磁変換素子には予め配線パターンが電気的に接続される。こうしてフレキシャユニットではヘッドサスペンションに実際に実装された状態と同じ状態が実現される。ヘッドの特性試験にあたってヘッドスライダは磁気ディスクの表面に向き合わせられる。ヘッドスライダの電磁変換素子は磁気ディスクから磁気情報を読み出す。読み出された磁気情報は配線パターンから出力される。接触抵抗の発生は回避される。安定的に電磁変換素子の特性試験が実施される。しかも、不良のヘッドスライダが検出されると、フレキシャ、ヘッドスライダおよび配線パターンのみが廃棄される。例えばヘッドサスペンションアセンブリ自体が廃棄される場合に比べて、廃棄物の生成はできる限り抑制される。
【０００９】
こうしたヘッド試験方法は、ヘッドスライダの向き合わせにあたって、ヘッドスライダの背後でフレキシャに突起を突き当ててヘッドスライダを背後から受け止める工程をさらに備えてもよい。こうした突起の働きでフレキシャすなわちヘッドスライダは姿勢を変化させることができる。磁気ディスクの回転に基づき生成される気流に応じてヘッドスライダの姿勢変化は許容される。ヘッドスライダは磁気ディスクの表面から安定的に浮上し続けることができる。
【００１０】
ヘッド試験方法は、磁気情報の読み出しにあたって、突起の弾性変位に基づきヘッドスライダの浮上高さを調整する工程をさらに備えてもよい。その一方で、ヘッド試験方法は、磁気情報の読み出しにあたって、ベースの弾性変位に基づきヘッドスライダの浮上高さを調整する工程をさらに備えてもよい。こうした突起やベースの弾性変位に基づき、磁気ディスクの表面に向かってヘッドスライダに作用する押し付け力は一定に制御される。ヘッドスライダは磁気ディスクの表面から安定的に浮上し続けることができる。
【００１１】
フレキシャはスポット溶接の予定域でベースの表面に固定されればよい。こうしてフレキシャがスポット溶接の予定域でベースの表面に固定されれば、フレキシャユニットではヘッドサスペンションに実際に実装された状態と同じ状態が実現される。ヘッドの特性試験は良好な条件で実施されることができる。
【００１２】
上記目的を達成するために、電磁変換素子を有するヘッドスライダの背後で姿勢変化自在にフレキシャを受け止める突起と、表面にフレキシャを着脱自在に固定するベースと、ベースの表面に向き合わせられる磁気ディスクと、磁気ディスクを回転駆動する回転駆動機構と、フレキシャの表面に形成されて電磁変換素子に導体で接続される配線パターンから磁気情報を取り出す制御回路とを備えることを特徴とするヘッド試験装置が提供される。
【００１３】
こうしたヘッド試験装置によれば、ヘッドスライダを備えるフレキシャがベースの表面に着脱自在に固定される。ヘッドスライダは、回転する磁気ディスクの表面に向き合わせられる。ヘッドスライダの電磁変換素子は磁気ディスクから磁気情報を読み出す。磁気情報は、電磁変換素子に電気的に接続される配線パターンから取り出される。接触抵抗の発生は回避される。安定的に電磁変換素子の特性試験が実施される。しかも、不良のヘッドスライダが検出されると、フレキシャ、ヘッドスライダおよび配線パターンのみが廃棄される。例えばヘッドサスペンションアセンブリ自体が廃棄される場合に比べて、廃棄物はできる限り抑制される。
【００１４】
ヘッド試験装置は、弾性変位自在に突起を受け止めるばねをさらに備えてもよい。その一方で、ヘッド試験装置は、弾性変位自在にベースを支持する支持機構をさらに備えてもよい。こうした突起やベースの弾性変位に基づき、磁気ディスクの表面に向かってヘッドスライダに作用する押し付け力が制御される。ヘッドスライダは磁気ディスクの表面から安定的に浮上し続けることができる。
【００１５】
ヘッド試験装置は、ベースの表面に形成されて、フレキシャに規定されるスポット溶接の予定域に向き合わせられる吸気口と、吸気口に接続されてベース内を延びる吸気路と、吸気路に接続される真空ポンプとをさらに備えてもよい。
【００１６】
真空ポンプが吸気路から空気を吸い出すと、フレキシャはスポット溶接の予定域で吸気口に吸着する。こうしてフレキシャはベースの表面に固定される。その結果、フレキシャが実際にヘッドサスペンションの表面に固定される場合と同様の状況が実現される。ヘッドの特性試験は良好な条件で実施されることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】記憶媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の内部構造を概略的に示す平面図である。
【図２】一具体例に係るヘッドサスペンションアセンブリの構造を概略的に示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るヘッド試験装置の構造を概略的に示す斜視図である。
【図４】一具体例に係るベースの構造を概略的に示す拡大斜視図である。
【図５】一具体例に係るベースの構造を概略的に示す断面図である。
【図６】ヘッド試験装置の制御系を示すブロック図である。
【図７】ベース上にフレキシャユニットが固定される様子を概略的に示す斜視図である。
【図８】磁気ディスクに向かってベースを移動させる様子を概略的に示す側面図である。
【図９】磁気ディスクの表面にヘッドスライダが向き合わせられる様子を概略的に示す側面図である。
【図１０】磁気ディスクの表面にヘッドスライダが向き合わせられる様子を概略的に示す側面図である。
【図１１】一変形例に係るベースの構造を概略的に示す断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態に係るヘッド試験装置の構造を概略的に示す斜視図である。
【図１３】ベースの構造を概略的に示す拡大斜視図である。
【図１４】ベース上にフレキシャユニットが固定される様子を概略的に示す斜視図である。
【図１５】磁気ディスクに向かってベースを移動させる様子を概略的に示す側面図である。
【図１６】磁気ディスクの表面にヘッドスライダが向き合わせられる様子を概略的に示す側面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明する。【００１９】
図１は記憶媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１は筐体すなわちハウジング１２を備える。ハウジング１２は箱形のベース１３およびカバー（図示されず）から構成される。ベース１３は例えば平たい直方体の内部空間すなわち収容空間を区画する。ベース１３は例えばアルミニウムといった金属材料から鋳造に基づき成形されればよい。カバーはベース１３の開口に結合される。カバーとベース１３との間で収容空間は密閉される。カバーは例えばプレス加工に基づき１枚の板材から成形されればよい。【００２０】
収容空間には、記憶媒体としての１枚以上の磁気ディスク１４が収容される。磁気ディスク１４はスピンドルモータ１５の回転軸に装着される。スピンドルモータ１５は例えば５４００ｒｐｍや７２００ｒｐｍ、１００００ｒｐｍ、１５０００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１４を回転させることができる。【００２１】
収容空間にはキャリッジ１６がさらに収容される。キャリッジ１６はキャリッジブロック１７を備える。キャリッジブロック１７は、垂直方向に延びる支軸１８に回転自在に連結される。キャリッジブロック１７には、支軸１８から水平方向に延びる複数のキャリッジアーム１９が区画される。キャリッジブロック１７は例えば押し出し成型に基づきアルミニウムから成型されればよい。【００２２】
個々のキャリッジアーム１９の先端にはヘッドサスペンションアセンブリ２１が取り付けられる。取り付けには例えばかしめ技術が用いられればよい。かしめにあたってキャリッジアーム１９の先端に区画される孔とヘッドサスペンションアセンブリ２１の後端に区画される孔とが位置合わせされればよい。ヘッドサスペンションアセンブリ２１はヘッドサスペンション２２を備える。ヘッドサスペンション２２はキャリッジアーム１９の先端から前方に延びる。ヘッドサスペンション２２の前端には浮上ヘッドスライダ２３が支持される。浮上ヘッドスライダ２３にはヘッドすなわち電磁変換素子が搭載される。【００２３】
磁気ディスク１４の回転に基づき磁気ディスク１４の表面で気流が生成されると、気流の働きで浮上ヘッドスライダ２３には正圧すなわち浮力および負圧が作用する。浮力および負圧とヘッドサスペンション２２の押し付け力とが釣り合うことで磁気ディスク１４の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２３は浮上し続けることができる。【００２４】
こういった浮上ヘッドスライダ２３の浮上中にキャリッジ１６が支軸１８回りで回転すると、浮上ヘッドスライダ２３は磁気ディスク１４の半径線に沿って移動することができる。その結果、浮上ヘッドスライダ２３上の電磁変換素子は最内周記録トラックと最外周記録トラックとの間でデータゾーンを横切ることができる。こうして浮上ヘッドスライダ２３上の電磁変換素子は目標の記録トラック上に位置決めされる。【００２５】
キャリッジブロック１７には例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２４といった動力源が接続される。このＶＣＭ２４の働きでキャリッジブロック１７は支軸１８回りで回転することができる。こうしたキャリッジブロック１７の回転に基づきキャリッジアーム１９およびヘッドサスペンション２２の揺動は実現される。【００２６】
図１から明らかなように、キャリッジブロック本体１７上にはフレキシブルプリント基板ユニット２５が配置される。フレキシブルプリント基板ユニット２５は、フレキシブルプリント基板２６に実装されるヘッドＩＣ（集積回路）２７を備える。磁気情報の読み出し時には、このヘッドＩＣ２７から電磁変換素子の読み出しヘッド素子に向けてセンス電流は供給される。読み出しヘッド素子には例えばＣＰＰ構造読み取り素子が用いられる。同様に、磁気情報の書き込み時には、ヘッドＩＣ２７から電磁変換素子の書き込みヘッド素子に向けて書き込み電流は供給される。書き込みヘッド素子には例えば薄膜磁気ヘッド素子が用いられる。【００２７】
ヘッドＩＣ２７には、収容空間内に配置される小型の回路基板２８や、ベース１３の底板の裏側に取り付けられるプリント回路基板（図示されず）からセンス電流や書き込み電流は供給される。こうしたセンス電流や書き込み電流の供給にあたってフレキシブルプリント基板２９が用いられる。フレキシブルプリント基板２９はフレキシブルプリント基板ユニット２５に接続される。【００２８】
図２はヘッドサスペンションアセンブリ２１の構造を概略的に示す。ヘッドサスペンションアセンブリ２１は、キャリッジアーム１９の先端に取り付けられるベースプレート３１と、ベースプレート３１から前方に所定の間隔で隔てられるロードビーム３２とを備える。ベースプレート３１は例えばかしめに基づきキャリッジアーム１９に固定される。ベースプレート３１およびロードビーム３２の表面にはヒンジプレート３３が固定される。ヒンジプレート３３はベースプレート３１の前端およびロードビーム３２の後端の間で弾性変形部３４を区画する。こうしてヒンジプレート３３はベースプレート３１およびロードビーム３２を連結する。ベースプレート３１、ロードビーム３２およびヒンジプレート３３はヘッドサスペンション２２を構成する。【００２９】
ヘッドサスペンション２２の表面にはフレキシャ３５が部分的に固定される。固定にあたって例えば複数の接合スポット３６でスポット溶接が実施されればよい。スポット溶接には例えばＹＡＧレーザが用いられればよい。フレキシャ３５の表面には前述のフレキシブルプリント基板２９が形成される。フレキシブルプリント基板２９は配線パターンを構成する。フレキシャ３５はヘッドサスペンション２２の基端から後方に延びる。フレキシャ３５の後端はフレキシブルプリント基板ユニット２５まで延びる。すなわち、ヘッドサスペンションユニット２１はいわゆるロングテール型を構成する。フレキシブルプリント基板２９は、例えばフレキシャ３５上に順番に積層される絶縁層、導電層および保護層を備えればよい。導電層には例えば銅といった導電材料が用いられればよい。絶縁層および保護層には例えばポリイミド樹脂といった樹脂材料が用いられればよい。【００３０】
フレキシャ３５は、表面で浮上ヘッドスライダ２３を受け止める支持板３７と、ロードビーム３２およびヒンジプレート３３の表面に固定される固定板３８とを区画する。浮上ヘッドスライダ２３は支持板３７の表面に接着されればよい。浮上ヘッドスライダ２３およびフレキシブルプリント基板２９は導体３９で電気的に接続される。導体３９は、浮上ヘッドスライダ２３の空気流出側端面に区画される導電パッドに受け止められる。この導電パッドは電磁変換素子に接続される。同様に、導体３９は、フレキシブルプリント基板２９上に区画される導電パッドに受け止められる。ここで、フレキシャ３５、浮上ヘッドスライダ２３、フレキシブルプリント基板２９および導体３９は本発明のフレキシャユニットを構成する。【００３１】
浮上ヘッドスライダ２３の背後で支持板３７は、ロードビーム３２の表面に形成されるドーム状の突起（図示されず）に受け止められる。前述の弾性変形部３４は所定の弾性力すなわち曲げ力を発揮する。この曲げ力の働きでロードビーム３２の前端には磁気ディスク１４の表面に向かう押し付け力が付与される。この押し付け力は突起の働きで支持板３７の背後から浮上ヘッドスライダ２３に作用する。浮上ヘッドスライダ２３は、気流の働きで生成される浮力に基づき姿勢を変化させることができる。突起は浮上ヘッドスライダ２３すなわち支持板３７の姿勢変化を許容する。【００３２】
図３は本発明の第１実施形態に係るヘッド試験装置４１の構造を概略的に示す。このヘッド試験装置４１は、回転軸回りで回転する磁気ディスク４３を備える。磁気ディスク４３は回転駆動機構すなわちスピンドルモータ４４の働きで回転駆動されればよい。磁気ディスク４３には支持機構４５が関連付けられる。支持機構４５はベース４６を備える。ベース４６は、垂直軸Ｘ１に沿って垂直方向の上下移動、垂直軸Ｘ１回りの回転移動を実現することができる。同時に、ベース４６は、水平軸Ｘ２回りに揺動することができる。水平軸Ｘ２は磁気ディスク４３の表面に平行に規定される。【００３３】
図４に示されるように、ベース４６の表面４７には複数の吸気口４８が形成される。ベース４６には、表面４７から一段下がる段差面４９が規定される。段差面４９にはプッシュピン５１が組み込まれる。図５を併せて参照し、吸気口４８には、ベース４６内を延びる吸気路５２が接続される。吸気路５２は真空ポンプ５３に接続される。真空ポンプ５３は吸気路５２から空気を吸引することができる。プッシュピン５１の基端は例えばコイルばね５４といった弾性部材に受け止められる。こうしてプッシュピン５１はその軸心に沿ってベース４６に相対移動自在に組み込まれる。【００３４】
図６に示されるように、ヘッド試験装置４１は制御回路５６を備える。制御回路５６には、浮上ヘッドスライダ２３上の読み出しヘッド素子にセンス電流を供給する第１電流供給回路５７や、書き込みヘッド素子に書き込み電流を供給する第２電流供給回路５８が組み込まれる。第１電流供給回路５７や第２電流供給回路５８は前述のヘッドＩＣ２７と同様に構成されればよい。制御回路５６には、前述のスピンドルモータ４４、支持機構４５および真空ポンプ５３が接続される。制御回路５６から出力される制御信号に基づきスピンドルモータ４４、支持機構４５および真空ポンプ５３の駆動が制御される。【００３５】
次に、ヘッド試験装置４１で実施されるヘッド試験方法を簡単に説明する。まず、図７に示されるように、ヘッドサスペンション２２に取り付け可能な完成品のフレキシャユニットが用意される。フレキシャ３５上に固定される浮上ヘッドスライダ２３は導体３９でフレキシブルプリント基板２９に電気的に接続される。フレキシャ３５は固定板３８でベース４６の表面４７に受け止められる。フレキシャ３５およびベース４６の表面４７の間にはヘッドサスペンション２２は挟み込まれない。吸気口５３はスポット溶接の予定域すなわち接合スポット３６に向き合わせられる。真空ポンプ５３が駆動されると、真空ポンプ５３は吸気路５２から空気を吸い出す。固定板３８は吸気口５３に吸い付く。その結果、フレキシャ３５すなわちフレキシャユニットは接合スポット３６でベース４６の表面４７に固定される。【００３６】
フレキシャ３５上のフレキシブルプリント基板２９は第１電流供給回路５７や第２電流供給回路５８に接続される。磁気ディスク４３が回転軸回りで回転すると、図８に示されるように、支持機構４５の働きでベース４６は垂直軸Ｘ１に沿って移動する。こうして、図９に示されるように、ベース４６は磁気ディスク４３の裏面から所定の距離に配置される。ベース４６の表面４７は例えば水平面に平行に水平姿勢を確立すればよい。プッシュピン５１の先端は浮上ヘッドスライダ２３の背後で支持板３７に突き当てられる。浮上ヘッドスライダ２３は所定の押し付け力で磁気ディスク４３の裏面に押し付けられる。浮上ヘッドスライダ２３は所定の浮上高さで磁気ディスク４３の裏面から浮上し続ける。こうして磁気ディスク４３の裏面から浮上ヘッドスライダ２３のロードが実施される。このとき、コイルばね５４の働きでプッシュピン５１は軸心に沿って弾性変位する。こうしたプッシュピン５１の弾性変位に基づき押し付け力は一定に調整される。【００３７】
垂直軸Ｘ１回りのベース４６の回転に基づき浮上ヘッドスライダ２３は磁気ディスク４３上の所定の記録トラック上に位置決めされる。ここでは、浮上ヘッドスライダ２３は例えば磁気ディスク４３の外周側に位置決めされる。電磁変換素子の読み出しヘッド素子は、読み出しにあたって第１電流供給回路５７は読み出しヘッド素子にセンス電流を供給する。読み出しヘッド素子の出力に基づき支持機構４５は垂直軸Ｘ１回りにベース４６を揺動させる。その結果、浮上ヘッドスライダ２３の読み出しヘッド素子は所定の記録トラック上を辿る。このとき、電磁変換素子の書き込みヘッド素子は記録トラックに磁気情報を書き込む。書き込みにあたって第２電流供給回路５８から書き込みヘッド素子に電流が供給される。【００３８】
磁気情報の書き込み後、浮上ヘッドスライダ２３の読み出しヘッド素子は、書き込まれた磁気情報を読み出す。読み出された磁気情報はフレキシブルプリント基板２９から制御回路５６に出力される。出力された磁気情報は制御回路５６で解析される。こうして磁気ディスク４３の外周側の記録トラック上で電磁変換素子の特性が試験される。その後、支持機構４５の働きでベース４６は垂直軸Ｘ１回りに揺動する。浮上ヘッドスライダ２３は磁気ディスク４３上の内周側に位置決めされる。内周側の記録トラック上で電磁変換素子の特性試験が実施される。同様に、外周側および内周側の間に規定される記録トラック上で電磁変換素子の特性試験が実施される。ただし、磁気情報の書き込みおよび読み出しは外周側でのみ実施されてもよい。【００３９】
特性試験が終了すると、支持機構４５の働きでベース４６は垂直軸Ｘ１に沿って移動する。ベース４６は磁気ディスク４３の裏面から引き離される。こうして磁気ディスク４３の裏面から浮上ヘッドスライダ２３のアンロードが実施される。ベース４６が磁気ディスク４３の裏面から十分に離れると、ベース４６の移動は停止する。真空ポンプ５３の駆動は停止する。その結果、フレキシャ３５はベース４６の表面４７から簡単に取り外される。磁気情報の書き込みおよび読み出しが所定の基準を満たすと、その浮上ヘッドスライダ２３すなわちフレキシャユニットは特性試験に合格する。特性試験に合格したフレキシャユニットはヘッドサスペンション２２上に取り付けられる。ヘッドサスペンション２２はキャリッジアーム１９の先端に取り付けられる。こうしてキャリッジ１６が製造される。その一方で、所定の基準を満たさない不良のフレキシャユニットが検出されると、そのフレキシャユニットは廃棄される。【００４０】
以上のようなヘッド試験装置４１では、ベース４６にフレキシャユニットが着脱自在に固定される。フレキシャ３５には浮上ヘッドスライダ２３やフレキシブルプリント基板２９、導体３９が予め組み付けられる。磁気情報の書き込みおよび読み出しにあたってフレキシブルプリント基板２９が利用される。浮上ヘッドスライダ２３およびフレキシブルプリント基板２９は導体３９で接続される。接触抵抗の発生は回避される。安定的に電磁変換素子の特性試験が実施される。しかも、フレキシャユニットが廃棄されることから、例えばヘッドサスペンションアセンブリ２１自体が廃棄される場合に比べて、廃棄物の量は著しく削減される。コスト面の損失はできる限り回避される。【００４１】
図１０に示されるように、浮上ヘッドスライダ２３が磁気ディスク４３の表面に向き合わせられる際、ベース４６は水平軸Ｘ２回りで揺動してもよい。こうしてベース４６は磁気ディスク４３の裏面から所定の距離に配置されればよい。このとき、垂直軸Ｘ１に沿った垂直方向の上下移動が組み合わされてもよい。水平軸Ｘ２はベース４６の先端寄りに配置されてもよい。その他、フレキシャ３５の固定にあたって、吸気口４８、吸気路５２および真空ポンプ５３に代えて、フレキシャ３５を容易に着脱自在の粘着材が用いられてもよい。【００４２】
以上のような、ヘッド試験装置４１では、浮上ヘッドスライダ２３のロードやアンロードに先立って、垂直軸Ｘ１に沿った垂直方向の位置が予め調整されれば、垂直軸Ｘ１回りの回転移動および水平軸Ｘ２回りの揺動のみでロードやアンロードが実施されることができる。同様に、ヘッド試験装置４１では、浮上ヘッドスライダ２３のロードやアンロードに先立って、水平軸Ｘ２回りの位置が予め調整されれば、垂直軸Ｘ１に沿った上下移動および垂直軸Ｘ１回りの回転移動のみでロードやアンロードが実施されることができる。【００４３】
その他、図１１に示されるように、プッシュピン５１の基端にはコイルばね５４に代えて荷重センサ５９が組み込まれてもよい。荷重センサ５９は、浮上ヘッドスライダ２２すなわち支持板３７からプッシュピン５１に作用する荷重を検出することができる。荷重センサ５９には例えばポリビニリデンフロライド（ＰＶＤＦ）の圧電フィルムが用いられればよい。圧電フィルムは例えば１００μｍ以下に設定される。圧電フィルムの表面および裏面には例えばゴムの薄板が重ね合わせられればよい。【００４４】
こうした荷重センサ５９では荷重に応じて圧電フィルムに歪みすなわち厚みの変化が生じる。歪みに基づき圧電フィルムでは電圧が発生する。電圧は、圧電フィルムに接続される配線から引き出される。こうした電圧に基づき荷重が検出される。検出された荷重に基づき、制御回路５６は、垂直軸Ｘ１に沿った垂直方向のベース４６の上下移動、または、水平軸Ｘ２回りのベース４６の揺動に基づき荷重を制御する。その結果、浮上ヘッドスライダ２３の押し付け力は一定に制御されることができる。【００４５】
図１２は本発明の第２実施形態に係るヘッド試験装置４１ａの構造を概略的に示す。このヘッド試験装置４１ａには、前述のベース４６に代えて、ベース６１が組み込まれる。ベース６１は、前述のベース４６と同様に、垂直軸Ｘ１に沿って垂直方向の上下移動、垂直軸Ｘ１回りの回転移動を実現することができる。その一方で、ベース６１には例えばコイルばね（図示されず）が連結される。コイルばねの働きでベース６１は水平軸Ｘ２回りに所定の範囲にわたって基準位置から弾性変位することができる。基準位置では、ベース６１の表面は例えば水平面に沿って規定される。【００４６】
図１３に示されるように、ベース６１の表面には吸気口６２が形成される。前述と同様に、吸気口６２は、フレキシャ３５の接合スポット３６の位置に対応して形成される。吸気口６２にはベース６１内を延びる吸気路が接続される。吸気路には真空ポンプが接続される。吸気路および真空ポンプは前述のベース４６と同様に構成されればよい。ベース６１の表面にはドーム状の突起６３が形成される。突起６３は、ヘッドサスペンション２２上に形成される前述の突起と同様に構成される。その他、前述と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。【００４７】
次に、ヘッド試験装置４１ａで実施されるヘッド試験方法を簡単に説明する。図１４に示されるように、ベース６１の表面にはヘッドサスペンション２２に取り付け可能な完成品のフレキシャユニットが固定される。フレキシャ３５およびベース６１の表面の間にはヘッドサスペンション２２は挟み込まれない。フレキシャ３５は固定板３８でベース６１の表面に受け止められる。吸気口６２は接合スポット３６に向き合わせられる。真空ポンプの駆動に基づき固定板３８は吸気口６２に吸い付く。その結果、フレキシャ３５はベース６１の表面に固定される。突起６３は浮上ヘッドスライダ２３の背後で支持板３７に突き当てられる。【００４８】
図１５に示されるように、支持機構４５の働きでベース６１は垂直軸Ｘ１に沿って移動する。その結果、図１６に示されるように、浮上ヘッドスライダ２３は磁気ディスク４３の裏面に向き合わせられる。突起６３の働きで浮上ヘッドスライダ２３は所定の押し付け力で磁気ディスク４３の裏面に押し付けられる。浮上ヘッドスライダ２３は所定の浮上高さで磁気ディスク４３の裏面から浮上し続ける。コイルばねのばね力の働きで水平軸Ｘ２回りにベース６１は弾性変位する。その結果、押し付け力は一定に調整される。前述と同様に、電磁変換素子に基づき磁気情報の書き込みおよび読み出しが実施される。電磁変換素子の特性の検査が実施される。【００４９】
以上のようなヘッド試験装置４１ａでは、前述のヘッド試験装置４１と同様に、ベース６１にフレキシャ３５が固定される。フレキシャ３５には浮上ヘッドスライダ２３やフレキシブルプリント基板２９、導体３９が予め組み付けられる。磁気情報の書き込みおよび読み出しにあたってフレキシブルプリント基板２９が利用される。浮上ヘッドスライダ２３およびフレキシブルプリント基板２９は導体３９で接続される。接触抵抗の発生は回避される。安定的に電磁変換素子の特性試験が実施される。しかも、フレキシャユニットが廃棄されることから、ヘッドサスペンションアセンブリ２１自体が廃棄される場合に比べて、廃棄物の量は著しく削減される。コスト面の損失はできる限り回避される。
【図１】
2009044490.tif 000003
【図２】
2009044490.tif 000004
【図３】
2009044490.tif 000005
【図４】
2009044490.tif 000006
【図５】
2009044490.tif 000007
【図６】
2009044490.tif 000008
【図７】
2009044490.tif 000009
【図８】
2009044490.tif 000010
【図９】
2009044490.tif 000011
【図１０】
2009044490.tif 000012
【図１１】
2009044490.tif 000013
【図１２】
2009044490.tif 000014
【図１３】
2009044490.tif 000015
【図１４】
2009044490.tif 000016
【図１５】
2009044490.tif 000017
【図１６】
2009044490.tif 000018
【国際調査報告】
2009044490.tif 000019
2009044490.tif 000020