(57)【要約】  本発明の課題は、液晶表示パネルの基板間に混入した導電性の異物による短絡が不安定な場合であっても、これを確実に短絡させて導電性異物による表示欠陥を顕在化させることができる液晶表示パネルの異物検出方法を提供することである。  本発明に係る異物検出方法は、一対の可撓性の基板（２１，２６）間に液晶が介在された液晶表示パネル（２０）の該基板間に混入した導電性の異物の有無を検出する異物検出方法であって、液晶表示パネルの一方の面に設けられた液晶表示パネルを支持する一対の支持ローラ（３，３）と、他方の面に設けられた支持ローラ間に位置して液晶表示パネルを押圧する押圧ローラ（４）との間に液晶表示パネルを通過させて、液晶表示パネルに撓みを起こして基板同士が面方向において互いにずらされるようにしたことにより、基板間に混入した導電性の異物による表示欠陥を顕在化させるものである。
2009119239.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した導電性の異物の有無を検出する異物検出方法であって、前記液晶表示パネルの一方の面に設けられた前記液晶表示パネルを支持する一対の支持部材と、他方の面に設けられた前記支持部材間に位置して前記液晶表示パネルを押圧する押圧部材との間に前記液晶表示パネルを通過させて、前記液晶表示パネルに撓みを起こして前記基板同士が面方向において互いにずらされるようにしたことにより、前記基板間に混入した導電性の異物による表示欠陥を顕在化させることを特徴とする液晶表示パネルの異物検出方法。
【請求項２】
前記支持部材は円筒形状を有する回転自在な支持ローラであると共に、前記押圧部材は円筒形状を有する回転自在な押圧ローラであることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの異物検出方法。
【請求項３】
前記基板がガラス製である場合において、前記支持ローラと前記押圧ローラの少なくとも一方のローラの表面がナイロン製の樹脂層により覆われていることを特徴とする請求項２に記載の液晶表示パネルの異物検出方法。
【請求項４】
前記ナイロン製の樹脂層は、その周方向に沿って複数の隙間が形成されることにより、弾性が付与されたクッション層として構成されていることを特徴とする請求項３に記載の液晶表示パネルの異物検出方法。
【請求項５】
前記液晶表示パネルを撓ませる撓み量が０．５ｍｍ〜２ｍｍであることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の液晶表示パネルの異物検出方法。
【請求項６】
前記支持部材と前記押圧部材との間を通過させた液晶表示パネルを点灯検査することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の液晶表示パネルの異物検出方法。
【請求項７】
一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した導電性の異物の有無を検出する異物検出装置であって、前記液晶表示パネルの一方の面には前記液晶表示パネルを支持する一対の支持部材と、他方の面には前記支持部材間に位置して前記液晶表示パネルを押圧する押圧部材とを備え、前記液晶表示パネルをこれら支持部材と押圧部材との間に通過させた際には、前記液晶表示パネルに撓みを起こして前記基板同士が面方向において互いにずらされるようにしたことにより、前記基板間に混入した導電性の異物による表示欠陥を顕在化させることを特徴とする液晶表示パネルの異物検出装置。
【請求項８】
前記支持部材は円筒形状を有する回転自在の支持ローラであると共に、前記押圧部材は円筒形状を有する回転自在の押圧ローラであることを特徴とする請求項７に記載の液晶表示パネルの異物検出装置。
【請求項９】
前記支持ローラを回転駆動する手段が備えられていることを特徴とする請求項８に記載の液晶表示パネルの異物検出装置。
【請求項１０】
前記基板がガラス製である場合において、前記支持ローラと前記押圧ローラの少なくとも一方のローラの表面がナイロン製の樹脂層により覆われていることを特徴とする請求項８または９に記載の液晶表示パネルの異物検出装置。
【請求項１１】
前記ナイロン製の樹脂層は、その周方向に沿って複数の隙間が形成されることにより、弾性が付与されたクッション層として構成されていることを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示パネルの異物検出装置。
【請求項１２】
前記液晶表示パネルを撓ませる撓み量が０．５ｍｍ〜２ｍｍであることを特徴とする請求項７から１１のいずれか一項に記載の液晶表示パネルの異物検出装置。
【請求項１３】
前記支持部材と前記押圧部材との間を通過させた液晶表示パネルを点灯検査する点灯検査手段を備えていることを特徴とする請求項７から１２のいずれか一項に記載の液晶表示パネルの異物検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルの基板間に混入した導電性の異物の有無を検出する異物検出方法および異物検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータやテレビなどの家電製品の表示部として、液晶表示パネルが広く用いられている。液晶表示パネルは、一般には薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイ基板とカラーフィルタ（ＣＦ）基板とからなる一対の基板が所定の間隔を置いて平行に対向配置され、両基板間に液晶が充填された構成をなしている。ＴＦＴアレイ基板には複数の画素電極がマトリクス状に形成され、ＣＦ基板にはほぼ全面に共通電極が形成されており、これら電極間に印加する電圧を変化させることで、液晶を配向制御することができるようになっている。【０００３】
このような液晶表示パネルは、ＴＦＴアレイ基板およびＣＦ基板をそれぞれ製作した後に、両基板を貼り合わせ、それら基板間に液晶を封止することにより製造される。通常、製造された液晶表示パネルは、点灯検査等の品質検査が行われる。点灯検査では、液晶表示パネルの背面から光を照射すると共に、ＴＦＴアレイ基板の画素電極とＣＦ基板の共通電極にそれぞれ検査用の信号電圧を印加して全画素を点灯状態にすることにより、液晶表示パネルの表示画面に検査用画像を可視状態にして、作業者が目視等により欠陥画素の有無が検査される。【０００４】
この場合、ＴＦＴアレイ基板に形成されたソース電極、ゲート電極、画素電極と、ＣＦ基板に形成された共通電極との間に導電性の異物が混入して両電極間が短絡している場合は、ライン状や点状の表示欠陥として表示される。このような点灯検査では、導電性異物の大きさがＴＦＴアレイ基板の各電極とＣＦ基板の共通電極の間隔を越えるものであれば両電極間が導電性異物により短絡した欠陥箇所を検出することができるが、導電性異物の大きさがＴＦＴアレイ基板の各電極とＣＦ基板の共通電極の間隔程度のものでは、導電性異物による両電極間の短絡が不安定で常時発生しない場合があり、このような導電性の異物が混入した箇所のライン状や点状の表示欠陥として検出することができないことがあった。このような点灯検査では検出されなかった導電性異物による両電極間の短絡が不安定な状態を有した液晶表示パネルが市場において表示欠陥を発生するおそれがある。【０００５】
そこで、これを改善するため、特開昭６３−２９３５８１号公報に記載されるように、液晶表示パネルの表面を図１０に示されるようなゴムローラ治具５０で押圧して、上述した導電性異物により両電極間の短絡が不安点な状態から短絡させた状態にすることによって表示欠陥として顕在化させることが行われている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図１１は、導電性の異物が混入した液晶表示パネル２０の断面構造を示した図である。図示されるようにＴＦＴアレイ基板２１は、可撓性のガラス基板２２の上面に画素電極２３がマトリクス状に形成された構成となっている。画素電極２３の上には、絶縁膜２５が形成されている。また、ＣＦ基板２６は、同じく可撓性のガラス基板２７の下面に共通電極２８が形成された構成となっている。そして、これら両電極２３，２８間には、液晶２４が封入されている。【０００７】
また、ＴＦＴアレイ基板２１には複数本のゲート電極３１と同じく複数本のソース電極３２とが交差するように形成され、隣り合うゲート電極３１，３１と隣り合うソース電極３２，３２とで囲まれた領域にはそれぞれ上述した画素電極２３が形成されている。更に、ゲート電極３１とソース電極３２の交差部近傍には薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）３３が形成されている。ＴＦＴ３３はゲート電極３１に印加されるゲート信号電圧によりオン・オフされて、ソース電極３２からのソース信号電圧が半導体層３４とドレイン電極３５を介して画素電極２３に印加されるようになっている。また、ＣＦ基板２６には、上述したゲート電極３１とソース電極３２を遮光するように格子形状のブラックマトリクス３６が形成されており、隣り合うブラックマトリクス３６，３６で囲まれた領域には、赤、青、緑等の着色層３７が形成されている。【０００８】
図１１に示されるように、何らかの理由により、導電性異物３８が画素電極２３上に混入し、その状態で絶縁膜２５が形成されているため、導電性異物３８は絶縁膜２５で覆われている。この場合、導電性異物３８の大きさは画素電極２３と共通電極２８の間の間隔程度の大きさを有している。図示されるように、この状態では導電性異物３８による両電極２３，２８間の短絡は発生していないが、何らかの理由で絶縁膜２５が剥がれて導電性異物３８の先端が共通電極２８に接触すると両電極２３，２８間の短絡が発生するという不安定な状態となっている。【０００９】
このような導電性異物３８による両電極２３，２８間の短絡が不安点な状態から両電極２３，２８間を短絡させた状態にするために上述したゴムローラ治具５０で液晶表示パネル２０の表面を押圧して両電極間２３，２８の間隔を狭めても、導電性異物３８を覆う絶縁膜２５が介在しているため、図１２に示されるように導電性異物３８の先端が共通電極２８に接触せず、両電極２３，２８間の短絡による表示欠陥が発生しない場合があった。したがって、ゴムローラ治具５０を用いて液晶表示パネル２０の表面を押圧するだけでは、このような両電極２３，２８間の短絡が不安定な導電性異物３８の混入を検出することができない。【００１０】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、液晶表示パネルの基板間に混入した導電性の異物による短絡が不安定な場合であっても、これを確実に短絡させて導電性異物による表示欠陥を顕在化させることができる液晶表示パネルの異物検出方法および異物検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため本発明は、一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した導電性の異物の有無を検出する異物検出方法であって、前記液晶表示パネルの一方の面に設けられた前記液晶表示パネルを支持する一対の支持部材と、他方の面に設けられた前記支持部材間に位置して前記液晶表示パネルを押圧する押圧部材との間に前記液晶表示パネルを通過させて、前記液晶表示パネルに撓みを起こして前記基板同士が面方向において互いにずらされるようにしたことにより、前記基板間に混入した導電性の異物による表示欠陥を顕在化させることを要旨とするものである。【００１２】
このような構成の液晶表示パネルの異物検出方法によれば、液晶表示パネルの一方の面に設けられた液晶表示パネルを支持する一対の支持部材と、他方の面に設けられた支持部材間に位置して液晶表示パネルを押圧する押圧部材との間に液晶表示パネルを通過させることにより、液晶表示パネルに撓みを起こして基板同士が面方向において互いにずらされることになる。したがって、例えば図１１に示したように電極２３，２８間に混入した導電性異物３８の先端が絶縁膜２５で覆われていて両電極２３，２８に短絡が発生していない不安定な状態でも、図５に示されるように導電性異物３８の先端の絶縁膜２５が擦らされることにより剥がすことができ、両電極２３，２８を導電性異物３８による短絡を発生させることができる。また、図５に示される構成とは逆にＣＦ基板側から導電性異物が突き出している場合も、ＴＦＴアレイ基板の電極上の絶縁膜を剥がして両電極の短絡を発生させることができる。【００１３】
これにより、従来用いられてきたゴムローラ治具による液晶表示パネルの一方の面への押圧では顕在化させることができなかった基板間に混入した導電性の異物による表示欠陥を顕在化させることができる。【００１４】
この場合、前記支持部材は円筒形状を有する回転自在な支持ローラであると共に、前記押圧部材は円筒形状を有する回転自在な押圧ローラである構成にすれば、液晶表示パネルをこれらローラ間に通過させ易くなると共に、簡便に液晶表示パネルに撓みを起こして基板同士を面方向において互いにずらすことができる。【００１５】
また、前記基板がガラス製である場合において、前記支持ローラと前記押圧ローラの少なくとも一方のローラの表面がナイロン製の樹脂層により覆われている構成にすれば、ガラス製の基板と帯電列において順位が近いナイロンでローラ表面が覆われていることにより、両者を帯電し難くすると共に帯電量も少なくすることができる。帯電列とは、異種の材料間で接触、摩擦が生じた場合に、正（＋）に帯電し易い材料と、負（−）に帯電し易い材料を順に表したもので、液晶表示パネルを構成する基板がガラス製である場合に、これに接触、摩擦されるローラの表面を帯電列においてガラスと順位が近いナイロン製の樹脂層で覆うことで、液晶表示パネルが帯電してしまうことが抑制される。通常、液晶表示パネルが帯電してしまうとムラとなって表示されてしまうことがあり、液晶表示パネルの点灯検査の際の妨げになってしまうが、これを防止することができる。この場合、支持ローラと押圧ローラの双方の表面をナイロン製の樹脂層により覆うのが好ましく、液晶表示パネルが帯電してしまうことが更に防止されることになる。【００１６】
更に、このようなローラの表面を覆うナイロン製の樹脂層は、その周方向に沿って複数の隙間が形成されることにより、弾性が付与されたクッション層として構成されているようにすれば、例えば、液晶表示パネル表面に異物が付着した場合に、ローラ表面がクッション層として機能するので、異物による液晶表示パネル表面への傷つきが防止されることになる。【００１７】
そして、前記液晶表示パネルを撓ませる撓み量が０．５ｍｍ〜２ｍｍである構成にすれば、液晶表示パネルを構成する対になった可撓性の基板のそれぞれの板厚が一般的な０．７ｍｍ程度のガラス基板であれば、液晶表示パネルを破損させることなく撓ませることが可能である。【００１８】
また、前記支持部材と前記押圧部材との間を通過させた液晶表示パネルを点灯検査する構成にすれば、撓まされることにより導電線異物による表示欠陥が顕在化された液晶表示パネルの表示欠陥を検出することができる。【００１９】
また、上記課題を解決するため本発明は、一対の可撓性の基板間に液晶が介在された液晶表示パネルの該基板間に混入した導電性の異物の有無を検出する異物検出装置であって、前記液晶表示パネルの一方の面には前記液晶表示パネルを支持する一対の支持部材と、他方の面には前記支持部材間に位置して前記液晶表示パネルを押圧する押圧部材とを備え、前記液晶表示パネルをこれら支持部材と押圧部材との間に通過させた際には、前記液晶表示パネルに撓みを起こして前記基板同士が面方向において互いにずらされるようにしたことにより、前記基板間に混入した導電性の異物による表示欠陥を顕在化させることを要旨とするものである。【００２０】
このような構成の液晶表示パネルの異物検出装置によれば、液晶表示パネルの一方の面には液晶表示パネルを支持する一対の支持部材と、他方の面には支持部材間に位置して液晶表示パネルを押圧する押圧部材とを備え、液晶表示パネルをこれら支持部材と押圧部材との間に通過させた際には、液晶表示パネルに撓みを起こして基板同士が面方向において互いにずらされるようにしたことにより、基板間に混入した導電性の異物による表示欠陥を顕在化させるので、例えば図１１に示したような電極２３，２８間に混入した導電性異物３８の先端が絶縁膜２５で覆われていて両電極２３，２８に短絡が発生していない不安定な状態でも、図５に示されるように導電性異物３８の先端の絶縁膜２５が擦らされることにより剥がすことができ、両電極２３，２８間の導電性異物３８による短絡を発生させることができる。これにより、従来用いられてきたゴムローラ治具による液晶表示パネルの表面の押圧では顕在化させることができなかった基板間に混入した導電性の異物による表示欠陥を顕在化させることができる。【００２１】
この場合、前記支持部材は円筒形状を有する回転自在の支持ローラであると共に、前記押圧部材は円筒形状を有する回転自在の押圧ローラである構成にすれば、液晶表示パネルをこれらローラ間に通過させ易くなると共に、簡便に液晶表示パネルに撓みを起こして基板同士を面方向において互いにずらすことができる。【００２２】
また、前記支持ローラを回転駆動する手段が備えられている構成にすれば、液晶表示パネルをこれらローラ間に通過させつつ搬送することができるので、簡便に液晶表示パネルに撓みを起こして基板同士を面方向において互いにずらすことができると共に、従来用いられてきたゴムローラ治具による液晶表示パネルの表面を押圧する作業よりも作業者への負担が少ない上に時間も短縮される。【００２３】
また、前記基板がガラス製である場合において、前記支持ローラと前記押圧ローラの少なくとも一方のローラの表面がナイロン製の樹脂層により覆われている構成にすれば、ガラス製の基板と帯電列において順位が近いナイロンでローラ表面が覆われていることにより、両者を帯電し難くすると共に帯電量も少なくすることができる。これにより、液晶表示パネルが帯電してしまうことが抑制されるので、ムラとなって表示されてしまうことが防止される。この場合、支持ローラと押圧ローラの双方の表面をナイロン製の樹脂層により覆うのが好ましく、液晶表示パネルが帯電してしまうことが更に防止されることになる。【００２４】
更に、このようなローラの表面を覆うナイロン製の樹脂層は、その周方向に沿って複数の隙間が形成されることにより、弾性が付与されたクッション層として構成されているようにすれば、例えば、液晶表示パネルに異物が付着した場合に、ローラ表面がクッション層として機能するので、ローラ間を通過させた際の異物による液晶表示パネルへの傷つきが防止されることになる。【００２５】
そして、前記液晶表示パネルを撓ませる撓み量が０．５ｍｍ〜２ｍｍである構成にすれば、液晶表示パネルを構成する対になった可撓性の基板のそれぞれの板厚が一般的な０．７ｍｍ程度のガラス基板であれば、液晶表示パネルを破損させることなく撓ませることが可能である。【００２６】
また、前記支持部材と前記押圧部材との間を通過させた液晶表示パネルを点灯検査する点灯検査手段を備えている構成にすれば、撓まされることにより導電線異物による表示欠陥が顕在化された液晶表示パネルの表示欠陥を検出することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明に係る液晶表示パネルの異物検出方法および異物検出装置によれば、液晶表示パネルに撓みを起こして基板同士が面方向において互いにずらされるようにしたことにより、基板間に混入した導電性の異物による表示欠陥を顕在化させるので、従来用いられてきたゴムローラ治具による液晶表示パネルの一方の面への押圧では顕在化させることができなかった基板間に混入した導電性の異物による表示欠陥を顕在化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施形態に係る液晶表示パネルの異物検出装置の概略構成を示した上面図である。
【図２】図１に示した異物検出装置が備える支持ローラと押圧ローラによって液晶表示パネルを撓ませる手順を側方から見た側面図である。
【図３】図２に示した支持ローラと押圧ローラによって液晶表示パネルを撓ませる次の手順を側方から見た側面図である。
【図４】図３に示した支持ローラと押圧ローラによって液晶表示パネルを撓ませる次の手順を側方から見た側面図である。
【図５】液晶表示パネルが撓まされた際に基板同士がずられる状態を示した断面図である。
【図６】本発明に係る異物検出装置を経た液晶表示パネルを点灯検査する点灯検査手段の概略構成を示した側面図である。
【図７】支持ローラの第１の変形例を示した断面図である。
【図８】異種の材料間で接触、摩擦が生じた場合に、正（＋）に帯電し易い材料と、負（−）に帯電し易い材料を順に表した帯電列図である。
【図９】支持ローラの第２の変形例を示した断面図である。
【図１０】従来用いられてきた液晶表示パネルの表面を押圧するゴムローラ治具を示した外観斜視図である。
【図１１】液晶表示パネルの基板間に導電性異物が混入された状態を示した断面図である。
【図１２】図１１の液晶表示パネルを図１０のゴムローラ治具により押圧した後の状態を示した断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に、本発明に係る液晶表示パネルの異物検出方法および異物検出装置の実施の形態ついて、図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明に係る液晶表示パネルの異物検出装置の概略構成を示す上面図、図２〜図４は図１の異物検出装置が液晶表示パネルを搬送しつつ撓ませる動作を順に示した側面図、図５は基板間に導電性異物が混入した液晶表示パネルの基板同士がずらされた状態の概略構成を示した断面図である。尚、以下の説明においては、図１１および図１２で説明した液晶表示パネル２０を構成する部材と同一の構成については同符号を付して説明は省略する。【００３０】
図１に示されるように異物検出装置１には、液晶表示パネル２０を下面から水平に支持する２本の支持ローラ３，３と、これら２本の支持ローラ３，３間のほぼ中央に位置して液晶表示パネル２０を上面から押圧する１本の押圧ローラ４とが、装置フレーム５，６の中央に備えられている。【００３１】
支持ローラ３は、ニトリルゴム材料からなる円筒形状の２本のゴムローラ３ａ，３ａが中央で連結部３ｂを介して連結された構成となっている。この場合、ゴムローラ３ａは、直径が約６０ｍｍでゴム硬度が約Ｈｓ７０のものが用いられている。また支持ローラ３，３間の距離は約１００ｍｍとなっている。【００３２】
このような支持ローラ３の両端からはそれぞれ支軸３ｃ，３ｄが突設されている。一方の支軸３ｃは、図中下側に設けられた装置フレーム５に回転可能に支持されている。他方の支軸３ｄは、図中上側に設けられた装置フレーム６に回転可能に支持されると共に、その先端には歯車７が取り付けられ、この歯車７に噛合する歯車８が軸部材９に取り付けられている。この軸部材９は、モータ１０の駆動により回転するようになっており、モータ１０の駆動に伴って支持ローラ３は回転するようになっている。これにより支持ローラ３，３上に載置された液晶表示パネル２０を、この場合図示されるように図中右側から左側へと搬送することができようになっている。【００３３】
また、押圧ローラ４は、同じくニトリルゴム材料からなる円筒形状の２本のゴムローラ４ａ，４ａが中央で連結部４ｂを介して連結された構成となっている。この場合、ゴムローラ４ａは、直径が約３０ｍｍでゴム硬度が約Ｈｓ７０のものが用いられている。また、押圧ローラ４の両端からはそれぞれ支軸４ｃ，４ｄが突設されている。支軸４ｃ，４ｄは、それぞれ支持ブラケット１１により回転自在に支持されている。図２に示されるように、支持ブラケット１１はエアシリンダ１２の伸縮自在なシリンダロッド１２ａの先端に固定されている。この場合、エアシリンダ１２はシリンダロッド１２ａの伸縮方向が液晶表示パネル２０の上面に対して垂直方向となるように上方に設けられた装置フレーム１３に固定されている。したがって、押圧ローラ４は、エアシリンダ１２の動作により支持ローラ３，３上に支持された液晶表示パネル２０に対して相対的に上下に移動することが可能となっている。【００３４】
これら支持ローラ３，３と押圧ローラ４の前後には液晶表示パネル２０の下面を水平に支持する複数本の搬送ローラ１４が備えられている。各搬送ローラ１４の両端からはそれぞれ支軸１４ａ，１４ｂが突設されており、それぞれ装置フレーム５，６に回転可能に支持されている。【００３５】
次に、このような構成の異物検出装置１の動作の手順について図２〜図４を用いて説明する。図２に示されるように、先ず、支持ローラ３，３の右側に設けられた搬送ローラ１４の上に液晶表示パネル２０を載置し、その液晶表示パネル２０の左端部が２本の支持ローラ３，３の上に位置するように搬送する。このとき、押圧ローラ４はまだ支持ローラ３，３の上方位置に離間されており、液晶表示パネル２０の上面をまだ押圧していない状態になっている。【００３６】
そして、図３に示されるように、エアシリンダ１２の駆動により押圧ローラ４が上方から下降されると、支持ローラ３，３に支持された領域の中央位置において液晶表示パネル２０の上面が押圧される。このとき、押圧ローラ４の下端の水平面と支持ローラ３，３の上端の水平面の差が約１ｍｍ重なる位置まで押圧ローラ４はエアシリンダ１２により下降される。したがって、支持ローラ３，３の間に支持された領域の液晶表示パネル２０は、図示されるように支持ローラ３，３と押圧ローラ４によって下側に約１ｍｍ変位するように撓まされることになる。【００３７】
次に、支持ローラ３，３をモータ１０の駆動により回転動させると、図４に示されるように、液晶表示パネル２０の全面が支持ローラ３，３と押圧ローラ４との間を撓まされつつ通過することなる。【００３８】
このように支持ローラ３，３と押圧ローラ４との間を撓まされつつ通過した液晶表示パネル２０の基板２１，２６間に上述した図１１に示されるような導電性異物３８が混入していた場合について説明する。【００３９】
図３および図４に示されるように、支持ローラ３，３と押圧ローラ４により液晶表示パネル２０が撓まされることによって液晶表示パネル２０に曲げ応力が加えられるので、液晶表示パネル２０の下側の基板（ＴＦＴアレイ基板）２１と上側の基板（ＣＦ基板）２６のそれぞれの曲率半径の差によって、基板２１，２６同士が面方向においてずらされることなる。具体的には、図示されるように、右側の支持ローラ３と押圧ローラ４の間における液晶表示パネル２０は、下側の基板２１の曲率半径と上側の基板２６の曲率半径の差によって、下側の基板２１は左方向へ、上側の基板２６は右方向へとずらされることになる。【００４０】
また、同じく左側の支持ローラ３と押圧ローラ４の間における液晶表示パネル２０は、下側の基板２１の曲率半径と上側の基板２６の曲率半径の差によって、下側の基板２１は右方向へ、下側の基板２６は左方向へとずらされることになる。【００４１】
図５はこのような左側の支持ローラ３と押圧ローラ４の間を通過する際に基板２１，２６同士が面方向においてずらされた状態の液晶表示パネル２０の断面構造を示している。図示されるように液晶表示パネル２０の下側の基板（ＴＦＴアレイ基板）２１は右方向へずらされ、上側の基板（ＣＦ基板）２６は左方向へとずらされている。このように基板２１，２６同士が面方向においてずらされるので、図１１に示したように電極２３，２８間に混入した導電性異物３８の先端が絶縁膜２５で覆われていて両電極２３，２８に短絡が発生していない不安定な状態でも、図５に示されるように、その導電性異物３８の先端の絶縁膜２５が擦らされることにより剥がすことができる。これにより、絶縁膜２５が剥がされて先端が露出された導電性異物３８と共通電極２８が接触されることで、両電極２３，２８間の導電性異物３８による短絡を発生させることができる。【００４２】
このように、両電極２３，２８間に混入した導電性異物３８の先端が絶縁膜２５で覆われていて両電極２３，２８間に短絡が発生していない不安定な状態の部分を有した液晶表示パネル２０でも、上述した支持ローラ３，３と押圧ローラ４との間を通過させることで、撓みを起こして曲げ応力を発生させることにより、基板２１，２６同士が面方向において互いにずらされるようにしたので、基板２１，２６間に混入した導電性異物３８による表示欠陥を顕在化させることができる。【００４３】
次に上述した異物検出装置１による処理が行われた後の液晶表示パネル２０を点灯検査する点灯検査手段について説明する。図６に示されるように点灯検査手段４０には、液晶表示パネル２０の画像表示領域が露出するように矩形状に開口されて、液晶表示パネル２０が載置されるステージ４１と、このステージ４１に載置された液晶表示パネル２０に向かって下方から光を照射するバックライト４２が備えられている。また、ステージ４１に載置された液晶表示パネル２０の端部に形成された信号入力部に検査信号を入力する信号入力ピン４３を有したフレーム４４が備えられている。【００４４】
このような点灯検査手段４０による点灯検査の手順について説明する。先ず、上述した異物検出装置１によって撓まされることにより導電性異物３８による表示欠陥が顕在化された液晶表示パネル２０をステージ４１上に載置する。次に、フレーム４４を下降させて液晶表示パネル２０の信号入力部にその信号入力ピン４３を当接させる。これにより図示しない検査信号を発生する回路と液晶表示パネル２０の信号入力部が信号入力ピン４３を介して電気的に接続された状態になる。【００４５】
そして、バックライト４２を点灯させた状態で、液晶表示パネル２０の信号入力部に検査信号を入力することにより、液晶表示パネル２０の画像表示領域の全ての画素が可視状態にされる。可視状態にされた液晶表示パネル２０に表示された検査画像が作業者の目視により観察されて、その検査画像中に上述した導電性異物３８が原因のライン状の表示欠陥や点状の表示欠陥がある場合は不良品とされる。【００４６】
このような液晶表示パネル２０の点灯検査では、図１２に示されるようにゴムローラ治具５０で押圧された状態の液晶表示パネル２０については混入した導電性異物３８による欠陥が発見されない場合においても、図５に示されるように異物検出装置１によって撓まされた状態の液晶表示パネル２０については混入した導電性異物３８による欠陥が発見されることになる。したがって、導電性異物３８による両電極２３，２８間の短絡が不安定な状態を有した液晶表示パネル２０は、異物検出装置１によって両電極２３，２８間の短絡が顕在化され、点灯検査で確実に不良とされるので、このような液晶表示パネルが市場に流出することが防止される。【００４７】
以上説明したように本発明に係る異物検出装置１によれば、液晶表示パネル２０の一方の面には液晶表示パネル２０を支持する２本の支持ローラ３，３と、他方の面には支持ローラ３，３間に位置して液晶表示パネル２０を押圧する押圧ローラ４とを備えており、液晶表示パネル２０をこれら支持ローラ３，３と押圧ローラ４との間に通過させた際には、液晶表示パネル２０に撓みを起こして基板２１，２６同士が面方向において互いにずらされるようになっている。【００４８】
これにより図１１に示したようにＴＦＴアレイ基板２１の画素電極２３とＣＦ基板２６の共通電極２８との間に混入した導電性異物３８の先端が絶縁膜２５で覆われていて両電極２３，２８間に短絡が発生していない不安定な状態でも、図５に示されるように導電性異物３８の先端の絶縁膜２５が擦らされることにより剥がすことができるので、両電極２３，２８間の導電性異物３８による短絡を発生させることができる。【００４９】
したがって、図１０に示したようなゴムローラ治具５０による液晶表示パネル２０の表面の押圧では顕在化させることができなかった基板２１，２６間に混入した導電性異物３８による表示欠陥を顕在化させることが可能になる。【００５０】
この場合、上述したようにモータ１０により支持ローラ３，３が回転駆動されるので、液晶表示パネル２０をこれら支持ローラ３，３と押圧ローラ４との間に通過させつつ搬送することができるので、簡便に液晶表示パネル２０に撓みを起こして基板２１，２６同士を面方向において互いにずらすことができる。したがって、ゴムローラ治具５０による液晶表示パネル２０の表面の全てを押圧する場合よりも作業者への負担が少ない上に時間も短縮される。【００５１】
また、上述したように支持ローラ３，３間に位置する領域の液晶表示パネル２０が、図３および図４に示されるように支持ローラ３，３と押圧ローラ４によって下側に約１ｍｍ変位するように撓まされるので、一般的に用いられている液晶表示パネル２０を構成する対になった基板２１，２６のそれぞれの板厚が０．７ｍｍ程度の可撓性を有するガラス基板等であれば、液晶表示パネル２０を破損させることなく撓ませることができる。【００５２】
次に、上述した異物検出装置１が備える支持ローラ３の第１の変形例について図７の断面図を用いて説明する。図示されるように支持ローラ３は、金属製のシャフト３ｅを中心軸としたゴムローラ３ａの表面に所定の厚みを有する円筒形状のナイロン製の樹脂層１６が形成された構成を有している。これはガラス製であるガラス基板２２と帯電列において順位が近いナイロンで支持ローラ３表面を覆うことにより、両者を帯電し難くすると共に帯電量も少なくするための構成である。【００５３】
帯電列とは、図８の帯電列図に示されるような、異種の材料間で接触、摩擦が生じた場合に、正（＋）に帯電し易い材料と、負（−）に帯電し易い材料を順に表したもので、電子を放ち易い材料、或いは、電子を受け取り易い材料の序列を示している。【００５４】
この場合、図８に示されるように正（＋）に帯電し易い材料を上位にし、負（−）に帯電し易い材料を下位にして並べられている。例えば、帯電列より任意のＡ材料とＢ材料を擦り合わせた場合に、Ａ材料がＢ材料より＋側に近い場合は、Ａ材料は＋側に帯電しＢ材料は−側に帯電することを示している。したがって、帯電列上で順位が近い位置にある材料同士が接触、摩擦した場合には、比較的帯電量が少なく、遠い位置にある材料同士が接触、摩擦した場合には、帯電量が多くなることが知られている。【００５５】
上述した液晶表示パネル２０の構成部材であるガラス基板はガラス製であることから、これに帯電列上で順位が遠い位置になるゴム材料からなる支持ローラ３を接触させると、ガラス基板が正（＋）に帯電すると共に、その帯電量が多くなるおそれがある。通常、液晶表示パネル２０が帯電してしまうとこれがムラ（静電ムラ）となって表示されてしまうことがあり、液晶表示パネル２０の上述した点灯検査の際の妨げになってしまう。【００５６】
そこで、上述した異物検出装置１によって液晶表示パネル２０に接触、摩擦される支持ローラ３の表面を図示される帯電列図においてガラスと順位が近いナイロン製の樹脂層１６で一様に覆うことで、液晶表示パネル２０が帯電してしまうことが抑制される。【００５７】
特に、上述した異物検出装置１を通過する際に支持ローラ３が接触される液晶表示パネル２０のＴＦＴ基板２１には、画素電極２３やゲート電極３１などの各種電極が形成されているため帯電され易いが、この支持ローラ３の表面をナイロン製の樹脂層１６で覆うことで、そのような帯電を抑制することが可能である。【００５８】
尚、図示しないが、押圧ローラ４も、その表面を支持ローラ３と同様にナイロン製の樹脂層１６で覆う構成とすることで、更に液晶表示パネル２０が帯電してしまうことを抑制することができることから、これら支持ローラ３と押圧ローラ４の双方の表面をナイロン製の樹脂層１６により覆うのが好ましい。【００５９】
次に、支持ローラ３の第２の変形例について図９（ａ）を用いて説明する。図示されるように支持ローラ３は、金属製のシャフト３ｅを中心にその外周が図７に示したナイロン製の樹脂層１６よりも厚みが大きい円筒形状を有するナイロン製の樹脂層１７に覆われた構成となっている。【００６０】
このナイロン製の樹脂層１７の表面から所定の深さの部位には、断面円形状の隙間１７ａと断面鼓形状の隙間１７ｂがその周方向に沿って交互に複数開口形成されており、この隙間１７ａ，１７ｂが形成された部分は、弾性が付与されたクッション層として機能するようになっている。【００６１】
このようなナイロン製の樹脂層１７の表面にクッション性を持たせることで、例えば、液晶表示パネル２０の支持ローラ３が接触する面に異物が付着していた場合に、支持ローラ３がその異物上に乗り上げられた際に、支持ローラ３表面がその異物の形状に沿って内側に窪むことで、異物による液晶表示パネル２０への局所的な応力が緩和されるようになっている。したがって、異物検出装置１が備えるローラ３，４間に液晶表示パネル２０を通過させた際のそのような異物による液晶表示パネル２０への傷つきが防止されることになる。【００６２】
このようなナイロン製の樹脂層１７の表面にクッション性を持たせる構造としては、図９（ｂ）に示されるような構造もある。この場合、図示される隙間１７ｃ，１７ｃ，１７ｃ，・・・は、その開口断面が略Ｄ字形状に形成されており、この場合、このような支持ローラ３の回転方向を図中矢印で示されるようなＤ字形状の隙間１７ｃの右側方向とすることで、上述した異物に乗り上げた際の表面を内側に窪みさせ易く、クッション層として効果的に機能させることができる。【００６３】
尚、図示しないが、押圧ローラ４も、その表面を図９（ａ）および（ｂ）に示した支持ローラ３と同様に隙間１７ａ，１７ｂ（１７ｃ）を有したナイロン製の樹脂層１７で覆う構成とすることで、更に液晶表示パネル２０が帯電してしまうことを抑制することができる上に、液晶表示パネル２０の押圧ローラ４が接触する面に異物が付着していた場合にも、押圧ローラ４がその異物上に乗り上げられた際に、押圧ローラ４表面がその異物の形状に沿って内側に窪むことで、異物による液晶表示パネル２０への局所的な応力が緩和させることができる。したがって、これら支持ローラ３と押圧ローラ４の双方の表面を隙間１７ａ，１７ｂ（１７ｃ）を有したナイロン製の樹脂層１７により覆うのが好ましい。【００６４】
尚、図９（ｃ）に示されるように、このようなナイロン製の樹脂層１７が形成された支持ローラ３を図１に示したものよりも更に長手方向に複数分割して構成することで、隙間１７ａ，１７ｂ（１７ｃ）を有したナイロン製の樹脂層１７を樹脂成形し易い形状とすることが可能である。【００６５】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施できることは勿論である。例えば、２本のゴムローラ３ａ，３ａが直線状に連結された構成の支持ローラや２本のゴムローラ４ａ，４ａが直線状に連結された構成の押圧ローラ４について説明したが、連結部分がない１本である構成や、３本以上が連結された構成でもよく、上述した実施の形態には限定されない。また、上述した２本の支持ローラ３，３と１本の押圧ローラ４を備えた構成についても、これらの本数には限定されず、更に多くの支持ローラ３と押圧ローラ４を備えた構成でもよい。【００６６】
また、ナイロン製の樹脂層１７の内部に形成された隙間１７ａ，１７ｂ（１７ｃ）の断面形状についても、上述した円形状、鼓形状、Ｄ字形状の他に、ナイロン製の樹脂層１７の表面にクッション性を付与する構成として種々なる断面形状が採用できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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