(57)【要約】  Ｘ線遮蔽装置（４０）及び係る装置を備えるＸ線装置が記載される。装置（４０）は、孔を有する固定部材（９４）と、固定部材（９４）に対して移動可能であるとともに、Ｘ線遮蔽材料から製作された一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）とを備える。一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）は、孔より小さいＸ線通路（９０）を孔の中に画定する。一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）の移動は、固定部材（９４）に対する各位置において、少なくともＸ線通路（９０）の外側の領域で孔を被覆するように制限される。
2009505112.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
調節可能なＸ線通路（９０）を有するＸ線遮蔽装置（４０）であって、
孔（１００）を有する固定部材（９４）と、
該固定部材（９４）に対して移動可能であるとともに、Ｘ線遮蔽材料で製作される一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）とを備え、該一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）が、前記孔（１００）より小さいＸ線通路（９０）を前記孔（１００）の中に画定するとともに、該一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）の移動が、前記固定部材（５４）に対する各位置において、少なくとも前記Ｘ線通路（９０）の外側の領域で前記孔（１００）を被覆するように制限されるＸ線遮蔽装置（４０）。
【請求項２】
前記固定部材（５４）に対する前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）の移動を案内するための案内機構を更に備え、
該案内機構が、
前記固定部材（９４）及び前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）の一方に連結された被案内要素（１０８，１１０）と、
前記固定部材（９４）及び前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）の他方に連結された案内構造（１０６，１１２）とを備え、該案内構造（１０６，１１２）が、前記被案内要素（１０８，１１０）のための止め部を画定する請求項１に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項３】
前記案内構造が、前記固定部材（４４）または前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）の縁部（１０６，１１２）により構成されている請求項２に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項４】
前記案内構造が、前記固定部材（９４）の前記孔（１００）の縁部（１１２）により構成されている請求項３に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項５】
前記被案内要素が、前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６）に連結された突出部（１１０）により構成されている請求項２乃至請求項４のいずれかに記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項６】
前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）がディスク形状である請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項７】
前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）が環状リングプレートにより構成されている請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項８】
前記Ｘ線遮蔽装置（４０）が、第１開口部（１０４）を備える第１遮蔽部材（９８）と、第２開口部（１０２）を備える第２遮蔽部材（９６）とを備え、前記第２開口部（１０２）が、前記第１開口部（１０４）より小さいサイズを有するとともに、前記Ｘ線通路（９０）の領域を実質的に画定する請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項９】
前記第１遮蔽部材（９８）が第１外径を有し、前記第２遮蔽部材（９６）が第２外径を有し、該第２外径が前記第１外径よりも小さい請求項８に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項１０】
前記第１及び第２遮蔽部材（９６，９８）が、前後に配置されるとともに、前記Ｘ線通路（９０）の領域を除いて前記孔（１００）を共同で被覆する請求項８または請求項９に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項１１】
前記Ｘ線遮蔽装置（４０）が、前記第１及び第２遮蔽部材（５６，９８）を貫通して延びる管部材（５０）を備え、該管部材（５０）が、前記第１及び第２開口部（１０２，１０４）のうち小さい方の直径に基本的に対応する直径を有する請求項８乃至請求項１０のいずれかに記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項１２】
前記管部材がＸ線レンズにより構成される、または、前記管部材（５０）がＸ線レンズ（２８）を収容するように構成されている請求項１１に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項１３】
前記第１及び第２遮蔽部材（９６，９８）の一方または両方に対する前記管部材（５０）の軸方向位置が調節可能である請求項１１または１２に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項１４】
Ｘ線源（１２）と、
前記Ｘ線源（１２）から放出されたＸ線をリダイレクトするためのＸ線レンズ（２８）と、
前記Ｘ線レンズに向かって、または、前記Ｘ線レンズを通過してＸ線を選択的に伝達するためのＸ線遮蔽部品（４０）とを備え、該Ｘ線遮蔽部品（４０）が、孔（１００）を有する固定部材（９４）と、該固定部材（９４）に対して移動可能であるとともに、Ｘ線遮蔽材料から製作される一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）とを備え、該一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）が、前記孔（１００）より小さいＸ線通路（９０）を前記孔（１００）の中に画定するとともに、前記一つ以上の遮蔽部材（５６，９８）の移動が、前記固定部材（９４）に対する各位置において少なくとも該Ｘ線通路（９０）の外側の領域で前記孔（１００）を被覆するように制限されるとを備えるＸ線装置（１０）。
【請求項１５】
前記Ｘ線レンズ（２８）が一つ以上のキャピラリ束を備える請求項１４に記載のＸ線装置。
【請求項１６】
前記Ｘ線装置（１０）が更に、前記Ｘ線レンズ（２８）のための位置決め部品（４２）を備え、該位置決め部品（４２）が、前記遮蔽部品（４０）の下流に配置されるとともに、Ｘ線を実質的に透過する材料から製作されている請求項１４または請求項１５に記載のＸ線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線を遮蔽するための装置に関連する。更に本発明は、Ｘ線分光計またはＸ線回折計などの、Ｘ線遮蔽装置を包含するＸ線装置に関連する。
【背景技術】
【０００２】
２０年以上前のいわゆるＸ線レンズ（「クマノフレンズ」とも呼ばれる）の登場は、冶金学、地質学、化学、法医学の研究所及び税関検査など様々な分野に広範囲の用途を持つ、軽量の携帯用Ｘ線装置の基礎を形作った。従来の光学レンズが可視または近可視の光子をリダイレクト（ｒｅｄｉｒｅｃｔ）するのと同じように、Ｘ線レンズは、Ｘ線放射帯域の電磁放射をリダイレクトして、Ｘ線ビームを平行にするか合焦させる。
【０００３】
Ｘ線レンズは、従来、複数のキャピラリ（毛細管）から形成される。各キャピラリは、その前端部で捕捉されたＸ線を全外反射により他端部へ案内する。前端部での入射角が臨界角を越えない限り、この原則が当てはまる。臨界角を超えると、Ｘ線は、もはやキャピラリ内では捕捉されない。このような場合、キャピラリはＸ線を透過するようになる。
【０００４】
Ｘ線レンズは、当初、数メートルに至る寸法を持つ巨大装置であった。このように大きな寸法は、主として個々のキャピラリを所定箇所に保持するのに必要とされる独立した支持構造によるものであった。ガラスドロー技術を用いて一つ以上のガラスキャピラリ束からＸ線レンズが生産される場合に支持構造が省略できることが認識されると、Ｘ線レンズの工業的使用は実現可能になった。キャピラリ外被部を一緒に溶融することにより、独立した支持構造が不要となった。
【０００５】
今日、Ｘ線レンズの工業的用途は、携帯用Ｘ線分光計、軽量Ｘ線回折計、及び他の多くの小型装置を備える。このような装置は、一般的に、Ｘ線源（Ｘ線管など）と、Ｘ線レンズと、検出器とを備える。Ｘ線源から発せられたＸ線は、Ｘ線レンズによりサンプル上の小さな点に合焦する。検出器は、サンプルから戻るＸ線を検出し、例えばサンプルに含有される化学元素を判断するためスペクトル分析される出力信号を発生させる。
【０００６】
周知のように、Ｘ線への暴露は、Ｘ線分光計、Ｘ線回折計、その他のＸ線装置のオペレータなどの人間にとって危険である。従って、このような装置の構造はＸ線安全性についての配慮を必要とする。
【０００７】
Ｘ線装置のＸ線放射により生じる危険に対処するには、様々な方法がある。一つの方法は、遮蔽材料を備えることである。Ｘ線装置が固定部品のみを備える場合には、固定遮蔽壁によって非常に容易に遮蔽を実施できる。しかし、Ｘ線レンズのための位置決め機構などの可動部品を備える装置では、大抵、調節可能なＸ線通路を備える、より精巧な遮蔽機構を設ける必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、調節可能なＸ線通路を有するＸ線遮蔽装置が必要である。また、調節可能なＸ線通路を備えるＸ線遮蔽装置を備えるＸ線装置が必要である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、調節可能なＸ線通路を有するＸ線遮蔽装置が提供される。Ｘ線遮蔽装置は、孔を有する固定部材と、固定部材に対して移動可能であるとともにＸ線遮蔽材料で製作される一つ以上の遮蔽部材とを備える。一つ以上の遮蔽部材は、孔より小さいＸ線通路を孔の中に画定し、一つ以上の遮蔽部材の移動が、固定部材に対する各位置において、少なくともＸ線通路の外側の領域で孔を被覆するように制限される。
【００１０】
Ｘ線通路は、例えば、単一の遮蔽部材の開口部により、または、いくつかの遮蔽部材の開口部の共通部分により画定される。一変形例では、一つ以上の遮蔽部材は、Ｘ線通路の外側の領域で孔を完全に被覆する。別の変形例では、遮蔽要件に応じて、完全にではなく、少なくともＸ線通路を囲繞する部分で、孔を被覆することで充分である。
【００１１】
固定部材に対して、少なくとも一つの遮蔽部材の移動を案内するための案内機構が設けられる。案内機構は、固定部材及び少なくとも一つの遮蔽部材の一方に連結された被案内要素を備える。被案内要素は、少なくとも一つの遮蔽部材に連結された突出部により構成される。更に、案内機構は、固定部材及び少なくとも一つの遮蔽部材の他方に連結され、被案内要素のための止め部を画定する案内構造を備える。案内構造は、例えば、固定部材または少なくとも一つの遮蔽部材の縁部により構成される。一実施形態では、案内構造は固定部材の孔の縁部により構成される。
【００１２】
一つ以上の遮蔽部材は、様々な形状を有する。遮蔽部材は、実質的に平坦な形状（ディスクまたは座金など）を有することが好ましい。一例において、少なくとも一つの遮蔽部材は、環状リングプレートにより構成される。
【００１３】
上述したように、Ｘ線遮蔽装置は、単一の遮蔽部材または複数の個々の遮蔽部材を備える。二つ以上の遮蔽部材が設けられる場合には、個々の遮蔽部材は前後に配置されて、Ｘ線通路の領域を除いて共同で孔を被覆する。一実施例では、Ｘ線遮蔽装置は、第１開口部を備える第１遮蔽部材と、第２開口部を備える第２遮蔽部材とを備える。第２開口部は、第１開口部よりも小さなサイズを有し、これにより、Ｘ線通路を実質的に画定する。更に、第１遮蔽部材は第１外径を有し、第２遮蔽部材は、第１外径より実質的に小さい第２外径を有する。
【００１４】
Ｘ線遮蔽装置は、第１及び第２（及び更に別の）遮蔽部材を貫いて延びる管部材を備える。一実施形態では、管部材は、第１及び第２（及び更に別の）開口部のうち最小のものの直径に基本的に対応する直径を有する。管部材は、Ｘ線レンズにより構成されるか、Ｘ線レンズを収容する構造を持つことが好ましい。第１及び第２遮蔽部材の一方または両方に対する管部材の軸方向位置は、（例えばＸ線レンズの入口焦点または出口焦点の位置決めのために）調節可能であっても良い。
【００１５】
本発明の別の態様によれば、Ｘ線装置が提供される。Ｘ線装置は、Ｘ線源と、Ｘ線源から放出されるＸ線をリダイレクトするためのＸ線レンズと、Ｘ線レンズに向かって、または、Ｘ線レンズを通過してＸ線を選択的に伝達するためのＸ線遮蔽部品とを備える。Ｘ線遮蔽部品は、孔を有する固定部材と、固定部材に対して移動可能であるとともにＸ線遮蔽材料から製作される一つ以上の遮蔽部材とを備え、一つ以上の遮蔽部材は、孔より小さなＸ線通路を孔の中に画定し、一つ以上の遮蔽部材の移動が、固定部材に対する各位置において、少なくともＸ線通路の外側の領域で孔を被覆するように制限される。
【００１６】
Ｘ線レンズは、一つ以上のキャピラリ束を備えても良い。更に、Ｘ線装置は、遮蔽部品の下流に配置されるとともに、基本的にＸ線を透過する材料（アルミニウムなど）から製作される、Ｘ線レンズのための位置決め部品を備える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の別の態様、長所、変形は、好適な実施形態についての以下の説明及び図面から明らかとなるだろう。
【００１８】
以下、一つの固定部材と二つの可動遮蔽部材とを備えるＸ線遮蔽装置を備えるＸ線分光計の形の好適な実施形態を参照して、本発明を例示的に説明する。回折計など他のＸ線装置、または、異なる構造（例えば、固定部材を一つ以上備える、及び／または、遮蔽部材を一つ、三つ、または、それ以上備える）を有する遮蔽装置においても、本発明を実施できることに注意すべきである。また、以下で、中央円形開口部を有する遮蔽部材について本発明を説明するが、代替例として、偏心開口部を有する、または、Ｘ線通路を画定するための他の種類の手段を有する遮蔽部材により、Ｘ線通路が画定されてもよい。
【００１９】
図１は、本発明の実施形態に係るＸ線分光計１０の断面図を示す。分光計１０は、Ｘ線管により構成されるＸ線源１２を備える。分光計１０は、更に、シャッタ１４と、位置決め／遮蔽モジュール１６と、サンプル位置決めプラットフォーム２２にサンプル２０が配置されるサンプルハウジング１８と、検出器２４とを備える。
【００２０】
Ｘ線源１２の内部で発生し参照番号２６で示されるＸ線ビームは、光軸３０に沿ってシャッタ１４を通過する。Ｘ線（またはクマノフ）レンズ２８は、サンプル２０上の小さな点にＸ線ビームを合焦させる（図１の概略図ではサンプル２０のサイズが誇張されていることに注意）。検出器２４は、サンプル２０から反射したＸ線を集光して、サンプル２０に含有される化学元素を示すスペクトル信号を出力する。図１において、Ｘ線源１２及びシャッタ１４は、その構造をより良く図示するため、分光計１０の光軸３０を中心として９０°回転される。
【００２１】
図１に示された分光計１０は、小型の卓上設計を有し、その場分析のため持ち運び可能である。サンプルは、固体、粉体、加圧ペレット、液体、顆粒、フィルム、コーティングを備える様々な物理的形状で用意される。大気条件における分光計１０の一般的な元素検出能力は、アルミニウム（Ａｌ）からウラン（Ｕ）までである。分光計１０は、極低元素濃度までの、及び、サンプルサイズが２０μｍまでの定性及び定量元素分析を可能にする。
【００２２】
従来のＸ線管と同様に、Ｘ線源１２は、電子を放出する陰極３２と、陰極３２により放出された電子を収集する陽極３４とを備える。こうして、陰極３２と陽極３４とにわたって接続された高電圧の結果、電流が確立される。Ｘ線源１２の内部での電子の流れは、陽極３４上の非常に小さな点（「ホットスポット」）３６に集束する。陽極３４と衝突する電子の運動エネルギーが消滅する時に「ホットスポット」３６で発生するＸ線の一部が漏出できるように、陽極３４は、電子流に対する垂線から一般的に５度乃至１５度離れた正確な角度を持つ。こうして発生されたＸ線ビーム２６は、基本的に電子流の方向に対して垂直に、基本的に光軸３０に沿って、「ホットスポット」３６から発散角度で放出される。
【００２３】
Ｘ線源１２から放出されたＸ線は、最初に、Ｘ線源１２のハウジング３８に装着されたシャッタ１４を通過する。シャッタ１４は、Ｘ線源１２の内部で発生されたＸ線ビーム２６を選択的に遮断する。従って、サンプル２０への照射を「オン」または「オフ」に選択的に切り換えるための制御機構となる。
【００２４】
位置決め・遮蔽モジュール１６は、（Ｘ線源１２に対して）シャッタ１４の下流に配置され、インターフェース部材（図１には不図示）によりシャッタ１４に固定装着される。位置決め・遮蔽モジュール１６は、Ｘ線遮蔽部品４０と、Ｘ線レンズ２８のための位置決め部品４２と、Ｘ線レンズ２８を位置決め部品４２に固定連結するためのレンズ取付部品４４とを備える。図１に概略的にのみ示された個々の部品４０，４２，４４は、図２乃至図６の様々な面で、より詳細に図示される。
【００２５】
図３乃至図６から明らかとなるように、Ｘ線遮蔽部品４０は、位置決め装置１６全体をシャッタ１４（その結果Ｘ線源１２）に固定装着するための二つのねじ孔４８を備える外側フランジ４６を有する。そのため、外側フランジ４６は、シャッタ１４・Ｘ線源１２に対する位置決め・遮蔽モジュール１６のインターフェース部材として機能する。Ｘ線遮蔽部品４０は、更に、Ｘ線ビームを、基本的にＸ線レンズ２８の導入開口部に制限するための構造要素を備える。これらの構造要素については、以下でより詳細に説明する。
【００２６】
Ｘ線レンズ（図２乃至図６には不図示）は、管部材５０の内部に固定取付される。また管部材５０は、レンズ取付部品４４に固定連結される。レンズ取付部品４４は、位置決め部品４２に装着されるベース部材５２を備える。ベース部材５２は、管部材５０を収容するための中央開口部を有する。外側ねじ部分５６を備える複数の凸部５４が、ベース部材５２の開口部から管部材５０の軸方向に延びる。
【００２７】
レンズ取付部品４４は、更に、管部材５０が貫通して延びる中央開口部を備えるカラー部材５８を備える。カラー部材５８は、凸部５４にねじ止めされ、外側ねじ部分５６と協働する。管部材５０に対して垂直に、かつ、カラー部材５８を貫通して延びる追加のねじ（不図示）により、ねじがカラー部材５８にねじ止めされると、凸部５４の少なくとも一つの自由端部が管部材５０の方へ移動する。この結果、一方の管部材５０と他方のレンズ取付部品４４との間のクランプ接続が確立される。
【００２８】
位置決め部品４２は、レンズ取付部品４４の上流に配置され、二つの平行移動ステージ６０，６２、及び、二つの角度計ステージ６４，６６を備える。図２から分かるように、レンズ取付手段４４のベース部材５２は、第１平行移動ステージ６０の底部に装着される。
【００２９】
個々の位置決めステージ６０，６２，６４，６６は前後に配置される。最下流の位置決めステージである第１平行移動ステージ６０から始まり、第２平行移動ステージ６２と、第１角度計ステージ６４と、最上流の位置決めステージである第２角度計ステージ６６とが続く。位置決めステージ６０，６２，６４，６８の各々は、管部材５０が貫いて延びる中央Ｘ線通路６８，７０，７２，７４をそれぞれ有する。
【００３０】
第１平行移動ステージ６０及び第２平行移動ステージ６２は組み合わせられて、ｘｙ平行移動ステージを形成する。この結果、第１平行移動ステージ６０は、図２において管部材５０の軸に対して垂直に、かつ、描画面に対して平行に通る第１平行移動軸、すなわち、ｘ軸を有する。第２平行移動ステージ６２は、ｘ軸に対して垂直に、かつ、管部材５０の軸に対して垂直に通る第２平行移動軸、すなわち、ｙ軸を有する。それぞれのノブにより、第１及び第２平行移動ステージ６０，６２は、相互から独立して作動する。図面に示されない代替の実施形態では、第１及び第２平行移動軸の両方に対して垂直に延びる第３平行移動軸（ｚ軸）を有する第３平行移動ステージが設けられる。
【００３１】
二つの角度計ステージ６４，６６は、二つの平行移動ステージ６０，６２の上流に配置される。第１角度計ステージ６４及び第２角度計ステージ６６は組み合わせられて、共通回転中心の周りで二つの独立した回転を行うシータ・フィー角度計を形成する。この共通回転中心は、図１に示された「ホットスポット」３６、すなわち、Ｘ線源１２のＸ線放出部分により実質的に構成される。
【００３２】
第１角度計ステージ６４の作動により、図１に示された「ホットスポット」３６を通り、光軸３０に対して垂直な図１の描画面にある第１傾斜軸を中心として、（Ｘ線レンズを備える）管部材５０が傾斜される。第２角度計ステージ６６の作動により、同様に「ホットスポット」３６を通り、第１傾斜軸と図１の描画面の両方に対して垂直である第２傾斜軸を中心として、管部材５０が傾斜される。
【００３３】
Ｘ線遮蔽部品４０は、フランジ部分４６の開口部９２を貫通して延びるねじを介して、第２平行移動ステージ６６の上流端部に装着される（図４）。遮蔽部品４０は、管部材５０の上流（入口）開口部９０により画定される円形Ｘ線通路の外側のＸ線をすべて遮断するように構成され、これにより位置決め部品４２をＸ線から効果的に遮蔽する。この結果、位置決め部品４２（例えば、平行移動ステージ６０，６２及び角度計ステージ６４，６６など）の個々の部品は、Ｘ線の安全上の問題を伴わずに、Ｘ線を実質的に透過する、または、ほぼ透過する従来の材料（例えばアルミニウムなど）から製造される。
【００３４】
Ｘ線遮蔽部品４０の構造について、特に図２、図５及び図６を参照して説明する。本実施形態では、Ｘ線遮蔽部品４０は、３つの別々の部材、すなわち、固定部材９４と、二つの可動遮蔽部材９６，９８とを備える。固定部材９４及び遮蔽部材９６，９８は、鋼などのＸ線遮蔽材料から製作される。
【００３５】
固定部材９４は、フランジ４６と一体的に形成され、底部に中央円形孔１００を備える鉢形状を有する（図２）。固定部材１００は、二つの遮蔽部材９６，９８のハウジングを形成する。二つの遮蔽部材９６，９８の各々は、ディスク形状であり、中央円形開口部１０２，１０４を有する。
【００３６】
遮蔽部材９６，９８は、固定部材９４により画定されるハウジング内において、前後に配置される。下流側の遮蔽部材９８の外径は、上流側の遮蔽部材９６の外径よりも大きい。更に、下流側遮蔽部材９８の開口部１０４の直径は、上流側遮蔽部材９６の開口部１０２の直径よりも大きい。
【００３７】
管部材５０は、遮蔽部材の開口部１０２，１０４を貫通し、固定部材９４の孔１００を貫通して延びる。上流側遮蔽部材９６の開口部１０２の直径は、基本的に管部材５０の外径に対応する。上流側遮蔽部材９６は、圧入接続により管部材５０に取り付けられる。圧入は完全には固定されていないため、管部材５０に対する上流側遮蔽部材９６の軸方向位置を調節することができる。下流側遮蔽部材９８の中央開口部１０４の直径は、管部材５０の外径よりも実質的に大きい。この結果、下流側遮蔽部材９８は管部材５０に緩く連結されているに過ぎず、管部材５０に対して径方向に移動可能である。
【００３８】
遮蔽部材９６，９８の外径及びそれぞれの開口部１０２，１０４、並びに、固定部材９４の孔１００の外径は、固定部材９４に対する各位置において、遮蔽部材９６，９８が管部材５０の入口開口部９０により画定されるＸ線通路の外側の領域で孔１００を完全に被覆するように選択される。これは図４及び図６から分かる。
【００３９】
固定部材９４に対する遮蔽部材９６，９８の移動は、鉢形状の固定部材９４の内縁部１０６と、下流側遮蔽部材９８の外縁部１０８と、管部材５０の外面と、孔１００の縁部１１２とを備える案内機構により案内される。いずれの遮蔽部材９６，９８も、管部材５０の入口開口部９０を囲繞する領域で、孔１００が被覆されない位置まで（位置決め部品４２の作動により）移動しないことが、案内機構により保証される。このため、遮蔽部材９８の外縁部１０８は、固定部材９４の内縁部１０６と協働し、管部材５０の外面は、孔１００の内縁部１１２と環状に協働する。
【００４０】
この結果、導入開口部９０の外側の孔１００をＸ線が通過することにより生じるＸ線の安全性の問題を伴わずに、（遮蔽部材４０をこうして「操作する」位置決め部品４２により）管部材５０を任意で位置決めすることができる。更に、Ｘ線の安全上の問題を伴わずに、Ｘ線を透過するアルミニウムから、位置決め部品４２の個々の部分を製造することができる。
【００４１】
本発明を特定の実施形態について説明したが、当業者であれば、本発明が本明細書中に説明され図示された特定の実施形態に限定されないことを認識するだろう。そのため、本開示が例示的なものに過ぎないことは言うまでもない。本発明は、本明細書に添付された特許請求の範囲のみにより限定されるものとする。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明のＸ線分光計の実施形態の断面図を示す。
【図２】図１のＸ線分光計に含まれる位置決め装置及び遮蔽装置の断面図を示す。
【図３】図２の装置の下流端部の斜視図を示す。
【図４】図２の装置の上流端部の斜視図を示す。
【図５】図２の遮蔽装置の下流端部の斜視図を示す。
【図６】図２の遮蔽装置の上流端部の斜視図を示す。
【図１】
2009505112.tif 000003
【図２】
2009505112.tif 000004
【図３】
2009505112.tif 000005
【図４】
2009505112.tif 000006
【図５】
2009505112.tif 000007
【図６】
2009505112.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月21日(2007.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
調節可能なＸ線通路（９０）を有するＸ線遮蔽装置（４０）であって、
孔（１００）を有する固定部材（９４）と、
前記固定部材（９４）に対して移動可能であるとともに、Ｘ線遮蔽材料から製作される一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）と、
Ｘ線レンズにより構成される、または、Ｘ線レンズ（２８）を収容するように構成される管部材（５０）とを備え、
前記一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）が、前記孔（１００）より小さいＸ線通路（９０）を前記孔（１００）の中に画定する開口部（１０２，１０４）を有するとともに、前記一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）の移動が、前記固定部材（５４）に対する各位置において、少なくとも前記Ｘ線通路（９０）の外側の領域において前記孔（１００）を被覆するように制限され、
前記管部材（５０）が、前記遮蔽部材（９６）の前記開口部（１０２）を貫通し、前記固定部材（９４）の前記孔（１００）を貫通して延びるように、前記一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）の一つが前記管部材（５０）に取り付けられるＸ線遮蔽装置（４０）。
【請求項２】
前記固定部材（５４）に対する前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）の移動を案内するための案内機構を更に備え、
該案内機構が、
前記固定部材（９４）及び前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）の一方に連結された被案内要素（１０８，１１０）と、
前記固定部材（９４）及び前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）の他方に連結された案内構造（１０６，１１２）とを備え、該案内構造（１０６，１１２）が、前記被案内要素（１０８，１１０）のための止め部を画定する請求項１に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項３】
前記案内構造が、前記固定部材（４４）または前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）の縁部（１０６，１１２）により構成されている請求項２に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項４】
前記案内構造が、前記固定部材（９４）の前記孔（１００）の縁部（１１２）により構成されている請求項３に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項５】
前記被案内要素が、前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６）に連結された突出部（１１０）により構成されている請求項２乃至請求項４のいずれかに記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項６】
前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）がディスク形状である請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項７】
前記少なくとも一つの遮蔽部材（９６，９８）が環状リングプレートにより構成されている請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項８】
前記Ｘ線遮蔽装置（４０）が、第１開口部（１０４）を備える第１遮蔽部材（９８）と、第２開口部（１０２）を備える第２遮蔽部材（９６）とを備え、前記第２開口部（１０２）が、前記第１開口部（１０４）より小さいサイズを有するとともに、前記Ｘ線通路（９０）の領域を実質的に画定する請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項９】
前記第１遮蔽部材（９８）が第１外径を有し、前記第２遮蔽部材（９６）が第２外径を有し、該第２外径が前記第１外径よりも小さい請求項８に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項１０】
前記第１及び第２遮蔽部材（９６，９８）が、前後に配置されるとともに、前記Ｘ線通路（９０）の領域を除いて前記孔（１００）を共同で被覆する請求項８または請求項９に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項１１】
前記管部材（５０）が、前記第１及び第２遮蔽部材（５６，９８）を貫通して延びるとともに、前記第１及び第２開口部（１０２，１０４）のうち小さい方の直径に基本的に対応する直径を有する請求項８乃至請求項１０のいずれかに記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項１２】
前記第１及び第２遮蔽部材（９６，９８）の一方または両方に対する前記管部材（５０）の軸方向位置が調節可能である請求項１１に記載のＸ線遮蔽装置。
【請求項１３】
Ｘ線源（１２）と、
前記Ｘ線源（１２）から放出されたＸ線をリダイレクトするためのＸ線レンズ（２８）と、
前記Ｘ線レンズに向かって、または、前記Ｘ線レンズを通過してＸ線を選択的に伝達するためのＸ線遮蔽部品（４０）とを備え、
該Ｘ線遮蔽部品（４０）が、孔（１００）を有する固定部材（９４）と、該固定部材（９４）に対して移動可能であるとともに、Ｘ線遮蔽材料から製作される一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）とを備え、該一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）が、前記孔（１００）より小さいＸ線通路（９０）を前記孔（１００）の中に画定する開口部（１０２，１０４）を有するとともに、前記一つ以上の遮蔽部材（５６，９８）の移動が、前記固定部材（９４）に対する各位置において、少なくとも前記Ｘ線通路（９０）の外側の領域で前記孔（１００）を被覆するように制限され、
前記Ｘ線遮蔽部品（４０）が、Ｘ線レンズにより構成される、または、Ｘ線レンズ（２８）を収容するように構成される管部材（５０）を更に備え、該管部材（５０）が前記遮蔽部材（９６）の前記開口部（１０２）を貫通し、前記固定部材（９４）の前記孔（１００）を貫通して延びるように、前記一つ以上の遮蔽部材（９６，９８）の一つが前記管部材（５０）に取り付けられるＸ線装置（１０）。
【請求項１４】
前記Ｘ線レンズ（２８）が一つ以上のキャピラリ束を備える請求項１３のＸ線装置。
【請求項１５】
前記Ｘ線装置（１０）が更に、前記Ｘ線レンズ（２８）のための位置決め部品（４２）を包含し、該位置決め部品（４２）が、前記遮蔽部品（４０）の下流に配置されるとともに、Ｘ線に対して実質的に透過性である材料から製作されている請求項１３または請求項１４のＸ線装置。
【国際調査報告】
2009505112.tif 000009
2009505112.tif 000010