(57)【要約】  電流読み出し手段は、温度の変化に応じて出力電流が変化する電流源の出力電流を検出し、該出力電流に比例する値を出力する。電流源の出力電流に比例する電流読み出し手段の出力値に対応する電流源の温度を実測し、電流読み出し手段の出力値及び該出力値に対応する電流源の温度の実測値から、出力値を温度の情報に変換するための媒介変数を決定する。そして、決定した媒介変数を用いて電流読み出し手段の出力値を温度の情報に変換する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度の変化に応じて出力電流が変化する電流源と、
前記電流源の出力電流を検出し、該出力電流に比例する値を出力する電流読み出し手段と、
前記電流読み出し手段の出力値を温度の情報に変換するための媒介変数を決定する媒介変数決定手段と、
前記媒介変数を用いて前記電流読み出し手段の出力値を温度の情報に変換する温度変換手段と、
前記媒介変数の決定に用いる、前記電流読み出し手段の出力値に対応する前記電流源の温度を実測する基準温度測定手段と、
を有する温度測定装置。
【請求項２】
前記電流源にトランジスタを備え、
前記電流源の出力電流は、前記トランジスタのオフリーク電流である請求項１記載の温度測定装置。
【請求項３】
前記媒介変数決定手段は、
２種類の媒介変数を用いて前記電流読み出し手段の出力値を温度の情報に変換する請求項２記載の温度測定装置。
【請求項４】
前記媒介変数決定手段は、
前記電流読み出し手段の出力値をＯＵＴとし、前記基準温度測定手段で実測された前記電流源の温度をＴとしたとき、
ＯＵＴ＝Ａ’ｅｘｐ（−ＢＴ）
の関係を満たすＡ’及びＢを前記媒介変数として算出する請求項３記載の温度測定装置。
【請求項５】
前記媒介変数決定手段は、
前記電流読み出し手段の出力値をＯＵＴとし、前記基準温度測定手段で実測された前記電流源の温度をＴとしたとき、
ＯＵＴ＝Ａ’Ｔ２ｅｘｐ（Ｂ／Ｔ）
の関係を満たすＡ’及びＢを前記媒介変数として算出する請求項３記載の温度測定装置。
【請求項６】
前記媒介変数決定手段は、
任意の温度における前記電流読み出し手段の出力値から前記媒介変数Ｂを一意に求め、
前記電流読み出し手段の出力値ＯＵＴと前記基準温度測定手段で実測された前記電流源の温度Ｔの関係を示す数式を用いて前記媒介変数Ａ’を求める請求項４または５記載の温度測定装置。
【請求項７】
前記媒介変数決定手段は、
第１の温度における前記電流読み出し手段の第１の出力値及び第２の温度における前記電流読み出し手段の第２の出力値から、前記電流読み出し手段の出力値ＯＵＴと前記基準温度測定手段で実測された前記電流源の温度Ｔの関係を示す数式を用いて前記媒介変数Ａ’及びＢをそれぞれ求める請求項４または５記載の温度測定装置。
【請求項８】
前記電流読み出し手段は、
前記電流源の出力電流を、該出力電流に比例する時間の情報に変換して出力する請求項２から７のいずれか１項記載の温度測定装置。
【請求項９】
温度の変化に応じて出力電流が変化する電流源の出力電流を検出し、
該出力電流に比例する値を出力し、
前記出力電流に比例する出力値に対応する前記電流源の温度を実測し、
前記出力値及び該出力値に対応する前記電流源の温度の実測値から、前記出力値を温度の情報に変換するための媒介変数を決定し、
前記媒介変数を用いて前記出力値を温度の情報に変換する温度測定方法。
【請求項１０】
前記電流源にトランジスタを備え、
前記電流源の出力電流は、前記トランジスタのオフリーク電流である請求項５記載の温度測定方法。
【請求項１１】
前記媒介変数決定手段は、
２種類の媒介変数を用いて前記電流源の出力電流に比例する値を温度の情報に変換する請求項１０記載の温度測定方法。
【請求項１２】
前記電流源の出力電流に比例する値をＯＵＴとし、前記電流源の温度の実測値をＴとしたとき、
ＯＵＴ＝Ａ’ｅｘｐ（−ＢＴ）
の関係を満たすＡ’及びＢを前記媒介変数として算出する請求項１１記載の温度測定方法。
【請求項１３】
前記電流源の出力電流に比例する値をＯＵＴとし、前記電流源の温度の実測値をＴとしたとき、
ＯＵＴ＝Ａ’Ｔ２ｅｘｐ（Ｂ／Ｔ）
の関係を満たすＡ’及びＢを前記媒介変数として算出する請求項１１記載の温度測定方法。
【請求項１４】
任意の温度における前記電流源の出力電流に比例する値から前記媒介変数Ｂを一意に求め、
前記電流源の出力電流に比例する値ＯＵＴと前記電流源の温度の実測値Ｔの関係を示す数式を用いて前記媒介変数Ａ’を求める請求項１２または１３記載の温度測定方法。
【請求項１５】
第１の温度における前記電流源の出力電流に比例する第１の値及び第２の温度における前記電流源の出力電流に比例する第２の値から、前記電流源の出力電流に比例する値ＯＵＴと前記電流源の温度の実測値Ｔの関係を示す数式を用いて前記媒介変数Ａ’及びＢをそれぞれ求める請求項１２または１３記載の温度測定方法。
【請求項１６】
前記電流源の出力電流に比例する値が、該出力電流に比例する時間の情報である請求項９から１５のいずれか１項記載の温度測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置の温度を測定するための温度測定装置及びその方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の技術の発展に伴って、半導体装置は小型化や高密度実装化が進み、半導体装置が動作することによる発熱が問題となってきている。発熱によって半導体装置が高温になると、性能劣化や熱破壊等が起きる可能性があるため、そのような問題を防止するための技術が必要になる。【０００３】
性能劣化や熱破壊等を防止する技術としては、半導体装置の温度を温度測定装置で検出し、所定の温度を超えた場合に半導体装置の動作を省電力モードに切り替える方法、半導体装置を冷却するための冷却装置の能力を該半導体装置の温度によって制御する方法、あるいはそれらを組み合わせた方法等がある。【０００４】
温度測定装置については、例えば特開２００７−２８１１３９号公報（以下、特許文献１と称す）、特開２００４−２１９４１０号公報（以下、特許文献２と称す）及び特開２００７−０６７２７５号公報（以下、特許文献３と称す）に記載された構成がある。特許文献１〜３には、温度に依存して特性が変化する半導体装置を温度センサとして用いる温度測定装置の構成例が記載されている。【０００５】
特許文献１には、所定の設定温度に対応する温度検出部の出力値（設定値）を予め保存しておき、温度検出部の出力値が設定値を超えた場合に冷却動作を開始する温度制御システムが記載されている。【０００６】
また、特許文献２には、温度センサの出力値と絶対温度を対応付けたルックアップテーブルを予め作成しておき、該ルックアップテーブルを参照して温度センサの出力値を絶対温度の情報に変換する構成が記載されている。【０００７】
特許文献３には、温度センサとして用いる半導体装置の既知の温度特性を利用して、しきい値電圧の温度特性が異なる複数の温度センサを作成し、基準電圧と各温度センサの出力値とを比較することで絶対温度の情報を取得する構成が記載されている。【０００８】
しかしながら、上記特許文献１〜３に開示された温度測定装置には以下のような問題がある。【０００９】
特許文献１に記載された温度測定装置は、温度検出部の出力値が設定値を超えたか否かを判断する構成であるため、絶対温度を得るためには設定値を掃引する必要がある。したがって、絶対温度を得るために必要な回路規模が増大すると共に処理手順も複雑になってしまう。【００１０】
特許文献２に記載された温度測定装置は、上記ルックアップテーブルを参照して温度センサの出力値を絶対温度に変換するため、ルックアップテーブルに格納されていない温度センサの出力値に対応する絶対温度は得られない。また、精細に絶対温度を検出するためにはルックアップテーブルに多数のデータを格納しておく必要があるため、ルックアップテーブルを備えるメモリの容量が増大してしまう。なお、ルックアップテーブルに無い温度センサの出力値から線形方程式や非線形方程式を用いて対応する絶対温度を算出することで、ルックアップテーブルに格納する情報を削減する方法も考えられる。しかしながら、その場合は温度センサの出力値を絶対温度に変換する変換式の精度が問題となるため、正確な温度を検出できるとは限らない。【００１１】
特許文献３に記載の温度測定装置は、温度センサとして用いる各半導体装置のパラメータを既知の温度特性に基づいて決定しているが、製造工程に起因する特性のばらつきを考慮していない。そのため、測定精度がばらついてしまう問題がある。
【発明の開示】
【００１２】
そこで、本発明は、製造上の特性のばらつきを考慮することなく、半導体装置の絶対温度を、比較的精度よく、簡易に測定することができる温度測定装置及び温度測定方法を提供することを目的とする。
【００１３】
上記目的を達成するため本発明の温度測定装置は、温度の変化に応じて出力電流が変化する電流源と、
前記電流源の出力電流を検出し、該出力電流に比例する値を出力する電流読み出し手段と、
前記電流読み出し手段の出力値を温度の情報に変換するための媒介変数を決定する媒介変数決定手段と、
前記媒介変数を用いて前記電流読み出し手段の出力値を温度の情報に変換する温度変換手段と、
前記媒介変数の決定に用いる、前記電流読み出し手段の出力値に対応する前記電流源の温度を実測する基準温度測定手段と、
を有する。
【００１４】
一方、本発明の温度測定方法は、温度の変化に応じて出力電流が変化する電流源の出力電流を検出し、
該出力電流に比例する値を出力し、
前記出力電流に比例する出力値に対応する前記電流源の温度を実測し、
前記出力値及び該出力値に対応する前記電流源の温度の実測値から、前記出力値を温度の情報に変換するための媒介変数を決定し、
前記媒介変数を用いて前記出力値を温度の情報に変換する方法である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の温度測定装置の一構成例を示すブロック図である。
【図２】図２は、図１に示した電流源及び電流読み出し手段の実施例の構成を示す回路図である。
【図３】図３は、図２に示した電流源及び電流読み出し手段の動作を示すタイミングチャートである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に本発明について図面を参照して説明する。【００１７】
図１は本発明の温度測定装置の一構成例を示すブロック図である。【００１８】
図１に示すように、本実施形態の温度測定装置は、電流源１０１、電流読み出し手段１０２、基準温度測定手段１０３、媒介変数決定手段１０４及び温度変換手段１０５を有する構成である。【００１９】
電流源１０１は、温度の変化に応じて出力電流が変化する半導体装置で構成される。電流源１０１は、監視対象である半導体装置の温度を検出する温度センサとして用いられる。【００２０】
電流読み出し手段１０２は、電流源１０１の出力電流を検出し、検出した電流値、検出した電流値に比例する値、あるいは検出した電流値に対応する情報を出力する。電流読み出し手段１０２は、電流源１０１の出力電流の検出結果をデジタル値で出力することが望ましい。デジタル値で出力すれば、配線等が備える抵抗、インダクタンス、キャパシタンス等の影響を低減できるため、電流読み出し手段１０２は、より正確な検出結果を出力できる。【００２１】
温度変換手段１０５は、電流読み出し手段１０２の出力値を絶対温度を示す温度情報に変換する。【００２２】
基準温度測定手段１０３は電流源１０１の温度を実測する。基準温度測定手段１０３は、例えば周知の温度ダイオードを用いて構成すればよい。温度ダイオードを用いた温度検出回路については、例えば、Michiel  A.P.  Pertijs,  Gerard  C.M.Meijer,  Johan  H.Huijsing,  “Precision  temperature  measurement  using  CMOS  substrate  pnp  transistors”,  IEEE  Sensors  Journal,  Volume  4,  No  3,  June  2004,  page  294  -  300.に詳細に記載されている。基準温度測定手段１０３として上記温度検出回路を用いる場合、該基準温度測定手段１０３は電流源１０１の近傍に配置することが好ましい。本実施形態の温度測定装置は、電流源１０１の出力電流が温度に依存することを利用して絶対温度を検出するため、基準温度測定手段１０３を電流源１０１の近傍に配置すれば、電流源１０１の温度をほぼ正確に測定できる。【００２３】
媒介変数決定手段１０４は、電流読み出し手段１０２の出力値と基準温度測定手段１０３で実測された温度とを用いて、電流読み出し手段１０２の出力値を絶対温度に変換するための媒介変数を決定する。このように温度の実測値を用いて媒介変数を求めることで、製造工程に起因する半導体装置の特性のばらつきの情報を含む媒介変数を求めることができる。【００２４】
基準温度測定手段１０３及び媒介変数決定手段１０４は、媒介変数を決定するときや媒介変数を更新するときに用いられ、通常の温度測定では使用されない。【００２５】
媒介変数決定手段１０４によって媒介変数が決定すると、該媒介変数は温度変換手段１０５で保持され、以降、温度変換手段１０５による電流読み出し手段１０２の出力値から絶対温度への変換処理に利用される。【００２６】
なお、基準温度測定手段１０３は、上述したように媒介変数の決定時や媒介変数の更新時にのみ使用するものであるため、上記温度検出回路に代えて、例えばオペレータが周知の温度計等を用いて電流源１０１の温度を測定してもよい。その場合、オペレータは温度測定結果を不図示の入力装置を用いて媒介変数決定手段１０４に入力すればよい。【００２７】
媒介変数決定手段１０４及び温度変換手段１０５は、プログラムにしたがって動作するＣＰＵ、ＤＳＰ、あるいは論理回路等を組み合わせることで実現できる。【００２８】
温度センサとして用いる電流源１０１は、例えばトランジスタを用いて構成できる。その場合、温度の変化に応じて変化する電流には、例えばトランジスタのオフリーク電流を利用すればよい。【００２９】
また、電流源１０１として、例えばサイズが異なる複数のトランジスタを用意しておき、セレクタ等を用いてそれらのトランジスタから任意のトランジスタを選択できるようにすれば、電流源１０１の出力電流の量を調整できる。また、電流源１０１として、サイズが同一の複数のトランジスタを用意しておき、セレクタ等を用いてそれらのトランジスタから任意の数のトランジスタを選択できるようにすれば、電流源１０１の出力電流の量を調整できる。さらに、電流源１０１は、これらの構成を組み合わせてもよい。トランジスタのサイズは、ゲート幅を変えることで変更できる。このように電流源１０１の出力電流量を調整することで、温度の変化に対する電流の変化量を調整できるため、所望の温度分解能やダイナミックレンジを有する温度測定装置が得られる。【００３０】
電流読み出し手段１０２は、例えば電流源１０１から出力された電流量を該電流量に比例する時間情報へ変換し、その時間幅をカウンタ等で読み取る構成を採用できる。このとき、カウンタに供給するクロックの周波数を変更すれば、温度分解能やダイナミックレンジを調整できる。【００３１】
なお、本実施形態の温度測定装置は、同一の半導体チップ内に複数備えていてもよい。その場合、基準温度測定手段１０３、媒介変数決定手段１０４及び温度変換手段１０５は、各温度測定装置で共通に用いてもよい。温度測定装置を同一の半導体チップ内に複数配置した場合、各温度測定装置が備える電流源１０１はほぼ同じ特性になるため、同一の媒介変数を共通に使用できる。
（実施例）
次に本発明の実施例について図面を用いて説明する。【００３２】
本実施例では図１に示した電流源１０１及び電流読み出し手段１０２の具体例を示す。【００３３】
図２は図１に示した電流源及び電流読み出し手段の実施例の構成を示す回路図である。【００３４】
図２に示すように、本実施例の電流読み出し手段１０２は、キャパシタ２０２、インバータ２０４、２０５、カウンタ２０７及びスイッチ２０８を備えた構成である。また、本実施例の電流源２０１は、ｐＭＯＳトランジスタを備え、該ｐＭＯＳトランジスタのオフリーク電流Ｉｏｆｆを電流源２０１の出力電流とする。【００３５】
このオフリーク電流Ｉｏｆｆは、温度Ｔおよび２種類の媒介変数Ａ、Ｂを用いた関数で精度よく表現することが可能であり、一般に以下の近似式（１）で表されることが知られている。【００３６】
Ｉｏｆｆ＝Ａｅｘｐ（ＢＴ）…（１）
キャパシタ２０２を電流源２０１から出力されたオフリーク電流Ｉｏｆｆで充電することで、オフリーク電流Ｉｏｆｆを時間情報の信号に変換する。ここで、キャパシタ２０２の充電時間Ｔｉｍｅは、キャパシタ２０２の充電電圧をＶｃｈａｒｇｅとすると、以下の式（２）のように表現できる。【００３７】
Ｔｉｍｅ＝Ｃ×Ｖｃｈａｒｇｅ／Ｉｏｆｆ…（２）
キャパシタ２０２の充電電圧Ｖｃｈａｒｇｅはインバータ２０４に入力される。【００３８】
インバータ２０４、２０５は、キャパシタ２０２の充電電圧Ｖｃｈａｒｇｅが所定のしきい値電圧Ｖｔｈに到達すると（Ｖｃｈａｒｇｅ＝Ｖｔｈ）、出力信号を反転させる。すなわち、インバータ２０５の出力からは、キャパシタ２０２の充電時間Ｔｉｍｅと等しい幅のパルス信号が得られる。【００３９】
このパルス信号の幅Ｗは、上記式（１）、（２）より
Ｗ＝Ａ’ｅｘｐ(−ＢＴ)…（３）
で表される。ここで、
Ａ’＝Ｃ×Ｖｔｈ／Ａ…（４）
である。【００４０】
カウンタ２０７は、外部から供給されるクロックを用いてパルス信号の幅Ｗをカウントし、オフリーク電流Ｉｏｆｆに対応する時間情報をカウント値として出力する。【００４１】
スイッチ２０８は、キャパシタ２０２の充放電動作を制御するためのものであり、スイッチ２０８がオフのとき、キャパシタ２０２はオフリーク電流Ｉｏｆｆで充電し、スイッチ２０８がオンのとき、キャパシタ２０２は蓄積した電荷を放電する。スイッチ２０８及びカウンタ２０７の動作は、外部から供給される制御信号によって制御される。【００４２】
図２に示す電流源及び電流読み出し手段の各ノードの信号波形を図３に示す。【００４３】
図３は図２に示した電流源及び電流読み出し手段の動作を示すタイミングチャートである。【００４４】
温度を測定していないとき、スイッチ２０８は制御信号によってＯＮされる。このとき、ノード２０３（キャパシタ２０２の出力）は低電位源（Ｖｓｓ）に接続され、キャパシタ２０２の出力電圧はＶＳＳとなる。この場合、インバータ２０４はＨｉｇｈレベルを出力し、インバータ２０５はＬｏｗレベルを出力する。【００４５】
温度の測定を開始すると、スイッチ２０８は制御信号２０９によってＯＦＦされ、キャパシタ２０２は電流源２０１から出力されるオフリーク電流Ｉｏｆｆにより充電を開始する。そして、ノード２０３の電圧がインバータ２０４のしきい値電圧Ｖｔｈに到達すると、インバータ２０４及び２０５の出力信号がそれぞれ反転し、ノード２０６（インバータ２０５の出力）の電位がＨｉｇｈレベルとなる。カウンタ２０７は、スイッチ２０８がＯＦＦされてからノード２０６の電位が反転するまでの時間をカウントする。【００４６】
このとき、図３に示すように、量子化ノイズによってノード２０６の電位がばたつくことがあるが、本実施例のカウンタ２０７は、ノード２０６の電位がＬｏｗレベルである全ての期間でカウント動作を実行する。【００４７】
カウント終了後、制御信号２０９によりスイッチ２０８がＯＮすると、キャパシタ２０２に蓄積された電荷が放電され、カウンタ２０７のカウント値がリセットされて初期値に戻る。【００４８】
本実施例では、以上の処理により温度に依存する定式化された出力値がカウンタ２０７から得られる。【００４９】
カウンタ２０７の出力値ＯＵＴ（＝Ｗ）と温度Ｔは、上記式（３）より
ＯＵＴ＝Ａ’ｅｘｐ（−ＢＴ）…（５）
で表される。ここで、媒介変数「Ｂ」は電流源２０１に用いるｐＭＯＳトランジスタのデバイスパラメータであり、予め特性を測定して算出しておくことができる。なお、ｐＭＯＳトランジスタの構造によっては、デバイスパラメータ（媒介変数）「Ｂ」の値がトランジスタ毎に異なることがある。しかしながら、その場合でも媒介変数「Ｂ」の値は、任意の温度Ｔおける出力値ＯＵＴ毎に一意に決まり、かつ、そのトランジスタの媒介変数「Ｂ」の値は温度Ｔが変動しても不変である、という性質を有している。そのため、予めｐＭＯＳトランジスタの特性を測定しておき、カウンタ２０７の出力値ＯＵＴから媒介変数「Ｂ」の値への変換式、あるいは変換テーブルを用意しておけば、媒介変数「Ｂ」の値をカウンタ２０７の出力値ＯＵＴから決定できる。【００５０】
したがって、図２に示した電流源及び電流読み出し手段を温度測定装置として用いる場合、一度任意の温度におけるカウンタ２０７の出力値を取得すれば、パラメータ「Ａ’」を決定できる。すなわち、媒介変数決定手段１０４は、例えば常温時に、図１に示した基準測定手段１０３を用いて温度を実測し、その温度に対応するカウンタ２０７の出力値を取得すれば、パラメータ「Ａ’」を求めることができる。【００５１】
パラメータ「Ａ’」が求まると、以降、温度変換手段１０５は、上記式（５）を用いて、カウンタ２０７の出力値ＯＵＴから絶対温度Ｔを求めることができる。【００５２】
本実施例では、媒介変数決定手段１０４で決定する媒介変数が一つ（パラメータ「Ａ’」）であり、製造工程による特性のばらつきの情報を含む媒介変数を、温度測定を一度実施するだけで決定できる。したがって、恒温層等を用いて温度測定装置の温度特性を測定する必要がない。【００５３】
なお、図２では、電流源２０１として、ソースが高電位源（Ｖｄｄ）に接続されたｐＭＯＳトランジスタを用いる例を示しているが、電流源２０１にはソースが低電位源（Ｖｓｓ）に接続されたｎＭＯＳトランジスタを用いることができる。その場合、スイッチ２０８が備える、キャパシタ２０２と接続されない他方の入力端は高電位源（Ｖｄｄ）に接続すればよい。また、キャパシタ２０２は、ノード２０３と高電位源（Ｖｄｄ）間に接続すればよい。【００５４】
また、キャパシタ２０２にはノード２０３の寄生容量を用いることも可能である。【００５５】
また、図２では、キャパシタ２０２の充電電圧Ｖｃｈａｒｇｅがインバータ２０４のしきい値電圧Ｖｔｈを超えた時点でカウンタ２０７によるカウント動作を停止する構成を示しているが、インバータ２０４に代えて比較器を備え、充電電圧Ｖｃｈａｒｇｅが比較器に入力される基準電圧を超えた時点でカウンタ２０７によるカウント動作を停止する構成であってもよい。【００５６】
また、図２に示した構成に加えて、カウンタ２０７の出力値を予め設定した設定値と比較する比較器を設ければ、該比較器の出力から所望の温度を超えたか否かの判定結果を得ることができる。【００５７】
さらに、図２に示した電流源及び電流読み出し手段は、同一の半導体チップ内に複数設けることも可能である。その場合、カウンタ２０７及びカウンタ２０７の出力値と設定値を比較する比較器は各温度測定装置に備えていてもよく、セレクタ等を用いて各温度測定装置が備えるインバータ２０５の出力信号を切り替えればカウンタ２０７及び比較器を各温度測定装置で共有できる。【００５８】
本発明によれば、電流読み出し手段１０２の出力値と温度の関係を示す媒介変数を求めることで精度の高い温度測定が可能となる。また、媒介変数には製造工程に起因する特性のばらつきの情報が含まれているため、回路設計時に製造上のばらつきを考慮する必要がない。さらに、求める媒介変数が一つであるため、媒介変数を決定するのに必要な測定も常温下で温度測定装置毎に一度だけで済む。【００５９】
したがって、製造上の特性のばらつきを考慮することなく、半導体装置の絶対温度を、比較的精度よく、簡易に測定することができる。【００６０】
なお、上記説明では、カウンタ２０７の出力値ＯＵＴ（＝Ｗ）と温度Ｔが式（５）で示した関係にあるとしているが、上述したようにトランジスタのオフリーク電流を利用して温度を測定し、絶対温度の算出に２つの媒介変数（「Ａ’」、「Ｂ」）を用い、さらに媒介変数「Ｂ」の値が任意の温度Ｔにおけるカウンタ２０７の出力値ＯＵＴによって一意に決まり、かつ、そのトランジスタの媒介変数「Ｂ」の値は温度Ｔが変動しても不変である、という性質を有していれば、本発明はカウンタ２０７の出力値ＯＵＴ（＝Ｗ）と温度Ｔが上記式（５）で示した関数でない場合にも適用できる。【００６１】
例えば、Weiping  Liao,  Lei  He,  Kevin  M.  Lepak,  “Temperature  and  Supply  Voltage  Aware  Performance  and  Power  Modeling  at  Microarchitecture  Level”,  IEEE  Transactions  on  Computer-Aided  Design  of  Integrated  Circuits  and  Systems,  Vol.24,  No.7,  pp.1042-1053,  July,  2005.の記載によれば、
カウンタ２０７の出力値ＯＵＴ（＝Ｗ）と温度Ｔは、
ＯＵＴ=Ａ’Ｔ２ｅｘｐ（Ｂ／Ｔ）…（６）
で表される。【００６２】
しかしながら、この式（６）でも、媒介変数「Ｂ」の値は任意の温度Ｔにおけるカウンタ２０７の出力値ＯＵＴによって一意に決まる値であるため、上記と同様に２つのパラメータ「Ａ’」及び「Ｂ」を求めることができる。【００６３】
さらに、媒介変数「Ｂ」の値を予め予測することが困難な場合でも、媒介変数が２つであることを利用して、第１の温度Ｔ１でカウンタ２０７の出力値ＯＵＴを測定し（このときの値をＯＵＴ１とする）、第２の温度Ｔ２でカウンタ２０７の出力値ＯＵＴの値を測定（このときの値をＯＵＴ２とする）すれば、媒介変数「Ｂ」及び「Ａ’」の値を一意に決定できる。【００６４】
以上、実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施形態に限定されものではない。本願発明の構成や詳細は本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更が可能である。【００６５】
この出願は、２００７年１２月２８日に出願された特願２００７−３４０３６１号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
【図１】
2009084352.tif 000003
【図２】
2009084352.tif 000004
【図３】
2009084352.tif 000005
【国際調査報告】
2009084352.tif 000006
2009084352.tif 000007