(57)【要約】  本発明は、ストッカーであって、従来よりも数が少ない空気清浄装置でも、チャンバーが存在することにより、チャンバーの開口部の下流側における空気の流れにおいて、無風の部分やよどみの発生を無くすことができる。したがって、従来よりも数が少ない空気清浄装置でも上記不具合の発生を防ぐことができ、製造工場の建設・運営コストを低下させることができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
棚の前面側に搬入口を有する保管部と、
空気を濾過し、濾過された空気を供給する空気清浄装置と、を有するストッカーであって、
前記棚の背面側にチャンバーを有し、
前記チャンバーの前記保管部と対向する第１壁部には、複数の開口部が設けられ、
前記第１壁部と対向する前記チャンバーの第２壁部に、前記チャンバー内に空気を供給する前記空気清浄装置が設けられるストッカー。
【請求項２】
前記空気清浄装置は、前記棚及び前記保管部における発塵特性に基づく分布で配置される請求項１に記載のストッカー。
【請求項３】
前記開口部は、前記棚及び前記保管部における発塵特性に基づく分布で配置される請求項１に記載のストッカー。
【請求項４】
前記開口部の径は、前記棚及び前記保管部における発塵特性に基づく大きさで形成される請求項１に記載のストッカー。
【請求項５】
前記空気清浄装置は、ファンフィルタユニットである請求項１に記載のストッカー。
【請求項６】
前記棚及び前記保管部は複数段設けられ、前記チャンバーは、複数段の前記棚及び前記保管部に跨る大きさで設けられる請求項１に記載のストッカー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、棚の前面側に搬入口を有する保管部を備えたストッカーに関わり、特に空気を濾過し、濾過された空気を供給する空気清浄装置を有するストッカーに関する。
本願は、２００８年６月１１日に日本に出願された特願２００８−１５３１７６号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスやディスプレイ用パネル等の製造工場においては、上記製品やその材料を一時的に保管しておくためのストッカーが用いられている。
半導体デバイスやディスプレイ用パネル等の製造において、その製造工場内の塵埃の数が増加する程、製造における歩留まり等が生じやすく、製品の信頼性も大きく低下する。そのため、上記のような製造工場においては、工場内の塵埃の数を所定の数以下に抑える為に、空気清浄装置を製造工場内や工場内の装置に設けることが必須の条件となっている。
これらの理由により、上記ストッカーは、前述のような不具合を避ける為、保管対象物を保管する保管部と、上記保管部に対して濾過された空気を供給する空気清浄装置とを有している。
例えば、１つの保管部に対して、１つの空気清浄装置を設けているストッカーを開示している先行技術文献として、下記の特許文献１を提示する。
【特許文献１】特許第３１５６６６６号公報（第８頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記の従来技術において、空気清浄装置により濾過された空気は、上記保管部に供給される。しかし、この供給された空気の流れにおいて、無風の部分やよどみが発生することを出来る限り避けなければならない。これは、無風の部分やよどみが発生することにより、その部分に塵埃が集まり、それら塵埃が前述のような不具合を引き起こす為である。
一方、近年、テレビやパソコン用モニタ等のディスプレイは大型化し、それに伴いディスプレイ用パネル等及びその材料（ガラス基板等）も大型化している。そして、それら製品及び材料を保管するための保管部も大型化している。その結果、特許文献１に示すように、１つの保管部に対して１つの空気清浄装置を設けるだけでは、保管部において空気が充分に行き届かない空間が生じる、すなわち、空気清浄装置によって空気を供給できる範囲に限界がある。従って、供給された空気の流れに無風の部分やよどみが発生し、前述のような不具合が発生する可能性があった。
そのため、従来、大型化した製品の製造工場においては、１つの保管部に対して複数の空気清浄装置を互いに隣接して設置することにより、供給された空気の流れに無風の部分やよどみが発生しないようにしていた。
しかし、上記の空気清浄装置は高価であり、設置される空気清浄装置の数が増えることで、製造工場の建設・運営コストが上昇してしまうという問題があった。【０００４】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、大型化した製品の製造工場において、設置される空気清浄装置の数を従来必要とされる数より相対的に減少させ、製造工場の建設・運営コストを低下させることができるストッカーを提案する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を採用する。
すなわち、本発明は、ストッカーに係る第１の解決手段として、棚の前面側に搬入口を有する保管部と、空気を濾過し、濾過された空気を供給する空気清浄装置とを有するストッカーであって、棚の背面側にチャンバーを有し、チャンバーの保管部と対向する第１壁部には、複数の開口部が設けられ、第１壁部と対向するチャンバーの第２壁部に、チャンバー内に空気を供給する空気清浄装置が設ける、という手段を採用する。【０００６】
このような手段を採用することによって、本発明では、１つの保管部に対して複数の空気清浄装置を互いに隣接させることなく設置し、設置される空気清浄装置の数を従来必要とされる数より相対的に減少させたとしても、チャンバーが存在することにより、空気清浄装置における空気の供給口の大きさに対応する部分だけでなく、それ以外の範囲であって、チャンバーの開口部に対応する部分に対しても、空気を供給することができる。
そのため、チャンバーの開口部の下流側における空気の流れにおいて、無風の部分やよどみの発生を無くすことができる。【０００７】
また、ストッカーに係る第２の解決手段として、上記第１の解決手段において、空気清浄装置は、棚及び保管部における発塵特性に基づく分布で配置される、という手段を採用する。
このような手段を採用することによって、本発明では、空気清浄装置は、棚及び保管部において塵埃が発生しやすい箇所に対して、濾過した空気を供給できる位置に重点的に配置される。そのため、上記箇所に供給される空気の流量を増加させ、無風の部分やよどみの発生を無くすことができ、効率よく塵埃を流動させることができる。
なお、棚及び保管部における前記発塵特性とは、塵埃の発生確率の分布を指す。【０００８】
また、ストッカーに係る第３の解決手段として、上記第１の解決手段において、開口部は、棚及び保管部における発塵特性に基づく分布で配置される、という手段を採用する。
このような手段を採用することによって、本発明では、開口部は、棚及び保管部において塵埃が発生しやすい部分に対応する第１壁部上の所定の箇所に、重点的に配置される。
そのため、上記箇所に供給される空気の流量を増加させ、無風の部分やよどみの発生を無くすことができ、効率よく塵埃を流動させることができる。【０００９】
また、ストッカーに係る第４の解決手段として、上記第１の解決手段において、開口部の径は、棚及び保管部における発塵特性に基づく大きさで形成される、という手段を採用する。
このような手段を採用することによって、本発明では、棚及び保管部において塵埃が発生しやすい部分に対応する第１壁部上の所定の箇所における開口部の径を大きくする。
そのため、上記箇所に供給される空気の流量を増加させ、無風の部分やよどみの発生を無くすことができ、効率よく塵埃を流動させることができる。【００１０】
また、ストッカーに係る第５の解決手段として、上記第１の解決手段において、空気清浄装置は、ファンフィルタユニットである、という手段を採用する。
このような手段を採用することによって、本発明では、空気を導入・供給する働きを持つファンと、空気を濾過する働きを持つフィルタとを一体的に構成したファンフィルタユニットを用いる。
そのため、空気清浄装置が占有する空間を少なくすることができ、結果として製造工場内の空間を節約することができる。【００１１】
また、ストッカーに係る第６の解決手段として、上記第１の解決手段において、棚及び保管部は複数段設けられ、チャンバーは、複数段の棚及び保管部に跨る大きさで設けられる、という手段を採用する。
このような手段を採用することによって、本発明では、１つのチャンバーが複数段の棚及び保管部を跨る大きさで棚の背面側に設けられるため、棚及び保管部の各段ごとにそれぞれチャンバーを設ける必要がなくなり、チャンバーの製造コスト及び工場建設時におけるチャンバー設置の手間を減少させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るストッカーによれば、以下の効果を得ることができる。
前述の通り、本発明では、従来技術と比べて設置される空気清浄装置の数を従来必要とされる数より相対的に減少させたとしても、チャンバーが存在することにより、チャンバーの開口部の下流側における空気の流れにおいて、無風の部分やよどみの発生を無くすことができる。
そのため、本発明では、従来よりも数が少ない空気清浄装置にて上記不具合の発生を防ぐことができる為、製造工場、特に、大型化した製品の製造工場の建設・運営コストを低下させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態におけるストッカーの斜視図である。
【図２】本実施形態におけるストッカーの側面図である。
【図３】図２のチャンバー及びその周囲の拡大図である。
【図４】図３のＡ矢視図である。
【図５】本実施形態におけるストッカーＳ内外の空気流動に関するシミュレーションの結果である。
【符号の説明】
【００１４】
Ｓ…ストッカー、１…棚、１１…保管部、１２…搬入口、５…チャンバー、５１…第２ファンフィルタユニット（空気清浄装置）、５２…第１壁部、５２Ａ…第１開口部（開口部）、５２Ｂ…第２開口部（開口部）、５３…第２壁部
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。図１は、本実施形態におけるストッカーＳの斜視図である。
本実施形態におけるストッカーＳは、ディスプレイ用パネルの製造工場内に設置されるものである。ストッカーＳは、棚１と、スタッカクレーン２とを備えている。【００１６】
棚１は、ディスプレイ用パネルの製品又はその材料（ガラス基板等）を、複数枚収納できるカセットＣを保管するための保管部１１を有する。また、水平面における下記ガイドレール２１の延設方向には複数の保管部１１が設けられ、垂直方向には２段または、それ以上の保管部１１が設けられている。棚１は、柱状部材で構成されており、壁面等を有していない。【００１７】
スタッカクレーン２は、製造工場の床面に設けられるとともに棚１に沿って平行に延設された２条のガイドレール２１と、ガイドレール２１上に、このガイドレール２１に沿って走行可能に設けられた走行台車２２と、走行台車２２に下端側が繋がり垂直方向に立設された正面視で略矩形枠状のガイドフレーム２３と、ガイドフレーム２３の内側に昇降可能に支持されて設けられた昇降台２４と、昇降台２４上に設けられたスライドフォーク等の移載装置２５と、を備えている。
なお、以下、水平面における棚１の配列方向をＸ方向とし、水平面におけるＸ方向と直交する方向をＹ方向とし、Ｘ−Ｙ面と直交する方向をＺ方向として説明する。【００１８】
図２は、本実施形態におけるストッカーＳの側面図である。図２に示すように、ストッカーＳは、図１で示した構成要素以外に、ストッカー天井部４と、チャンバー５と、を備えている。ストッカー天井部４、チャンバー５及び製造工場の床面によりストッカー空間Ｓ１が形成され、このストッカー空間Ｓ１は、その外側の空間であるストッカー外部空間Ｓ２と区別される。このストッカー空間Ｓ１には、棚１及びスタッカクレーン２が設置されている。また、スタッカクレーン２は、ストッカー空間Ｓ１の中央部に設けられ、２条のガイドレール２１は、Ｘ方向に延びて設置されている。【００１９】
棚１は、ガイドレール２１を挟んで対向し、かつＸ方向に延びて設置されている。この棚１には、カセットＣを保管するための保管部１１が設けられており、保管部１１は、Ｚ方向に２段分または、それ以上、形成されている。保管部１１は、棚１の前面側（スタッカクレーン２が存在する側）に搬入口１２を有する。
ストッカー天井部４は、板状に形成され、その中央部には厚さ方向に貫通する孔部（図示せず）を有している。上記孔部には、ストッカー空間Ｓ１にダウンフローを発生させるための空気を供給するファンと、空気を濾過するフィルタと、を一体的に構成した、第１ファンフィルタユニット４１（以下、第１ファン４１と称する）が嵌合されている。【００２０】
図３は、図２のチャンバー５及びその周囲の拡大図であり、図４は、図３のＡ矢視図である。
図３に示すように、チャンバー５は、第１壁部５２と、第２壁部５３と、支柱５５と、規制板５６と、を有している。第１壁部５２は、板状に形成され、保管部１１に対向して設置されている。第２壁部５３は、板状に形成され、第１壁部５２に対向して設置されている。本実施形態の場合、第１壁部５２と第２壁部５３との間隔は、およそ１００ｍｍで形成されている。第１壁部５２及び第２壁部５３は、Ｘ方向へは複数の保管部１１に跨り、Ｚ方向へは２段の保管部１１に跨る大きさである。【００２１】
第１壁部５２及び第２壁部５３は、それらの上端側がストッカー天井部４と連結し、それらの下端側が規制板５６と連結している。第１壁部５２と、第２壁部５３と、ストッカー天井部４と規制板５６とによって閉じられた空間であるチャンバー空間５４が形成されている。
規制板５６は、板状に形成され、第２壁部５３の下端部から保管部１１の下方にまで延びて形成されている。
支柱５５は、下端側が工場の床面に繋がりＺ方向に立設され、上端側が第１壁部５２及び第２壁部５３に連結している。また、支柱５５は柱状に形成されており、壁面等を有していない。【００２２】
第２壁部５３には、その厚さ方向に貫通する複数の孔部（図示せず）が形成されており、上記の孔部１つに対し、１つの第２ファンフィルタユニット５１（空気清浄装置、以下第２ファン５１と称する）が嵌合されている。第２ファン５１は、各保管部１１の上端部及び下端部に対向する箇所に設置され、Ｘ方向に延びて４列に並んで設置されている。第２ファン５１は、チャンバー空間５４に空気を供給するための空気供給口５１Ａを有している。【００２３】
第１壁部５２には、パンチングによって複数の第１開口部５２Ａ及び複数の第２開口部５２Ｂが厚さ方向に貫通して形成されている。第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂは、第１壁部５２上に均一に分布され、かつ、等しい大きさで形成されている。本実施形態の場合、第１壁部５２の保管部１１に対向する面の面積に対する、第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂの開口部分の面積の割合はおよそ６０％である。
なお、第１開口部５２Ａは、第１開口部５２において、第２ファン５１の空気供給口５１Ａに対向する部分に設けられている。一方、第２開口部５２Ｂは、第２壁部５２において、空気供給口５１Ａに対向する部分以外の部分に設けられている。【００２４】
後述するスタッカクレーン２によるカセットＣの移載動作によって、保管部１１の周辺部では塵埃が発生する。そして、特にその塵埃が発生する箇所としては、例えばスタッカクレーン２の移載装置２５が挿入される保管部１１の上端部および下端部等が挙げられる。このことから、本実施形態では、上記の発塵特性に基づき、第２壁部５３上において、各保管部１１の周辺部のうち上端部及び下端部に対向する箇所に第２ファン５１を重点的に設置している。
図４に示すように、第２ファン５１は、第２壁部５３上において、各保管部１１の上端部に対向する箇所に２つ、下端部に対向する箇所に２つ、それぞれ設置されている。【００２５】
続いて、本実施形態おけるストッカーＳの動作・作用について説明する。まず、本実施形態おけるストッカーＳの、スタッカクレーン２によるカセットＣの移載動作について説明する。
走行台車２２は駆動装置（図示せず）を備えており、ガイドレール２１に沿ってＸ方向に移動できる。上記駆動装置の作動により、スタッカクレーン２は移載を行う保管部１１の搬入口１２に対して水平移動する。また、昇降台２４は昇降装置（図示せず）を備えており、上記昇降装置の作動により、昇降台２４は移載を行う保管部１１の搬入口１２に対して昇降移動する。この水平移動及び昇降移動により、棚１の前面側における所定の位置において、移載装置２５を作動させ、保管部１１との間で、カセットＣの移載動作を行う。【００２６】
次に、本実施形態において、ストッカー空間Ｓ１の空気流動に関するストッカーＳの、動作・作用について説明する。【００２７】
第２ファン５１の作動により、濾過された空気がチャンバー空間５４に供給される。供給された空気は、第１壁部５２の第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂを通過し、ストッカー空間Ｓ１に供給される。
ここで前述の通り、第１開口部５２Ａは、第２ファン５１の空気供給口５１Ａに対向する部分に設けられており、第２開口部５２Ｂは、空気供給口５１Ａに対向する部分以外の部分に設けられている。その結果、第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂの流動抵抗により、チャンバー５内の圧力分布が略均一に保たれるため、供給された空気は、第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂからほぼ均一な流量でストッカー空間Ｓ１に供給される。
すなわち、第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂから供給される空気は、ストッカー空間Ｓ１の保管部１１及びその周辺部において、無風の部分やよどみを発生させない十分な流量を維持してストッカー空間Ｓ１に供給される。【００２８】
チャンバー５の第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂからストッカー空間Ｓ１に供給された空気は、保管部１１及びその周辺部を通り抜け、棚１の背面側から前面側（スタッカクレーン２が存在する側）に流動する。
そのため、供給された空気が、保管部１１及びその周辺部に存在する塵埃を流動させる。
さらに、棚１の背面側から前面側に流動した空気は、第１ファン４１が発生させたダウンフローと合流し、ストッカー空間Ｓ１の中央部をＺ方向の下方に流動する。【００２９】
チャンバー５を支持している支柱５５は、柱状に形成されている為、支柱５５のみが存在する箇所でストッカー空間Ｓ１とストッカー外部空間Ｓ２とは繋がっている。そして、第２ファン５１により、ストッカー外部空間Ｓ２の空気をストッカー空間Ｓ１に供給しているため、ストッカー外部空間Ｓ２の気圧は、ストッカー空間Ｓ１の気圧より低くなっている。その為、ストッカー空間Ｓ１の工場の床面近辺にある空気は、支柱５５のみが存在する箇所を通って、ストッカー外部空間Ｓ２に流動する。この時、規制板５６は、流動している空気が保管部１１側に逆流するのを防いでいる。
なお、ストッカー外部空間Ｓ２に流動した塵埃を含む空気は、第２ファン５１の作動により吸引・濾過され、再びチャンバー５内に供給される。【００３０】
最後に、本実施形態と同一の条件を用いて、ストッカーＳ内外の空気流動に関するシミュレーションを行った結果を示す。図５は、本実施形態におけるストッカーＳ内外の空気流動に関するシミュレーションの結果である。【００３１】
図５中の濃淡は空気の流速を示しており、薄い色は大きな流速を示す。また、図５中の矢印は、空気が流動する向きを示している。その結果、ストッカー空間Ｓ１に供給された空気の流速は、保管部１１に設置されたカセットＣの周辺部では、特に棚１の背面側から前面側までの間の空間において、相対的に大きな値を示している。
すなわち、チャンバー５から保管部１１側に供給された空気は、保管部１１に設置されたカセットＣの周辺部を、棚１の背面側から前面側に向けて、無風の部分やよどみを発生させることなく流動している。
上述のように、このシミュレーションの結果より、第２ファン５１を、棚１の背面側のＺ軸方向に４列に、かつＸ方向に延びるように配置させただけでも、ストッカー空間Ｓ１に無風の部分やよどみが発生していないことがわかる。【００３２】
したがって、上記の本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
本実施形態では、複数の空気清浄装置を互いに隣接させることなく設置し、１つの保管部１１に対して４つの第２ファン５１を設けているのみである。しかしながら、チャンバー５が存在することにより、空気供給口５１Ａに対向する第１開口部５２Ａからだけでなく、それ以外の範囲に存在する第２開口部５２Ｂからも、ストッカー空間Ｓ１に空気を供給することができる。
そのため、本実施形態では、チャンバー５の第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂの下流側における空気の流れにおいて、無風の部分やよどみの発生を無くすことができる。【００３３】
結果として、本実施形態では、大型化した製品の製造工場において、設置される第２ファン５１の数を従来必要とされる数より相対的に減少させることができ、製造工場の建設・運営コストを低下させることができる。【００３４】
次に、本実施形態では、第２ファン５１は、カセットＣの移載動作によって発塵しやすい部分に対向する箇所に重点的に配置されている。そのため、本実施形態では、上記部分に供給される空気の流量を増加させ、無風の部分やよどみの発生を無くすことができ、効率よく塵埃を流動させることができる。【００３５】
また、本実施形態では、空気清浄装置として、第２ファンフィルタユニット５１が用いられている。そのため、本実施形態では、空気を導入・供給する働きを持つファンと、空気を濾過する働きを持つフィルタとを一体的に構成したファンフィルタユニットを用いることで、空気清浄装置が占有する空間を少なくすることができ、結果として製造工場内の空間を節約することができる。【００３６】
さらに、本実施形態では、第１壁部５２及び第２壁部５３は、Ｘ方向へは複数の保管部１１に跨り、Ｚ方向へは２段の保管部１１に跨る大きさで形成されている。そのため、本実施形態では、保管部１１の各段ごとにそれぞれチャンバー５を設ける必要がなく、チャンバー５の製造コスト及び工場建設時におけるチャンバー５設置の手間を減少させることができる。【００３７】
なお、前述した実施の形態において示した動作手順、あるいは各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲においてプロセス条件や設計要求等に基づき種々変更可能である。【００３８】
例えば、上記実施形態では、１つの保管部１１に対して４つの第２ファン５１を設けているが、この個数は、チャンバー５の第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂの下流側に無風の部分やよどみを発生させない範囲で適宜増減してもよい。【００３９】
また、上記実施形態では、各保管部１１の周辺部のうち、上端部及び下端部に対向する箇所に第２ファン５１を重点的に設置しているが、棚１及び保管部１１における発塵特性に基づいて適宜分布及び配置箇所を変更してもよい。【００４０】
また、上記実施形態では、第１壁部５２に形成されている第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂは均一に分布されているが、棚１及び保管部１１における発塵特性に基づいて適宜分布及び配置箇所を変更してよい。
例えば、第１壁部５２の、カセットＣの移載動作によって発塵しやすい部分に対向する箇所に、第１開口部５２Ａ又は第２開口部５２Ｂを多く分布させることで、上記部分に供給される空気の流量を増加させ、無風の部分やよどみの発生を無くすことができる。したがって、効率よく塵埃を流動させることができる。【００４１】
また、上記実施形態では、第１壁部５２に形成されている第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂの径は、等しい大きさで形成されているが、棚１及び保管部１１における発塵特性に基づいて適宜大きさを変更してよい。また、第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂは、円形、楕円及び多角形等いずれの形状であってもよい。
例えば、第１壁部５２の、カセットＣの移載動作によって発塵しやすい部分に対向する箇所に形成されている第１開口部５２Ａ又は第２開口部５２Ｂの径を大きくすることで、上記部分に供給される空気の流量を増加させ、無風の部分やよどみの発生を無くすことができる。したがって、効率よく塵埃を流動させることができる。【００４２】
また、上記実施形態では、第１壁部５２は、板状の部材にパンチングによって第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂが形成されているが、第１壁部５２は空気の流れに流動抵抗を生じさせる形状になっていればよく、例えば針金等を編んで形成されたメッシュ等を複数枚重ね合わせた構成となっていてもよい。【００４３】
また、上記実施形態では、第１壁部５２と第２壁部５２との間隔はおよそ１００ｍｍで形成されているが、チャンバー５の第１開口部５２Ａ及び第２開口部５２Ｂの下流側に無風の部分やよどみを発生させない範囲で適宜変更してよい。【００４４】
また、上記実施形態では、空気清浄装置としてファンフィルタユニットが用いられているが、その他の空気清浄装置を用いてもよい。【００４５】
また、上記実施形態では、ストッカーＳは、ディスプレイ用パネルの製造工場内に設置されるが、その他の製造工場内に設置されてもよい。また、ストッカーＳの保管部の段数は、製造工場又は製造工程に合わせ適宜変更してよい。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、ストッカーであって、設置される空気清浄装置の数を従来必要とされる数より相対的に減少させても、チャンバーが存在することにより、チャンバーの開口部の下流側における空気の流れにおいて、無風の部分やよどみの発生を無くすことができる。したがって、本発明のストッカーでは、従来よりも数が少ない空気清浄装置でも上記不具合の発生を防ぐことができる為、製造工場（特に大型化した製品の製造工場）の建設・運営コストを低下させることができる。
【図１】
2009151046.tif 000003
【図２】
2009151046.tif 000004
【図３】
2009151046.tif 000005
【図４】
2009151046.tif 000006
【図５】
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【国際調査報告】
2009151046.tif 000008
2009151046.tif 000009