(57)【要約】  記録層に接するように樹脂層が形成されている情報記録媒体の製造方法である。樹脂層の形成方法は少なくとも、２種類以上の紫外線光硬化樹脂によって形成される。１種類の樹脂層は、スクリーン印刷により形成される。スクリーン印刷で形成された樹脂層の上に、樹脂層の表面性を補うように、もう１種類の樹脂層が形成される。したがって、樹脂層の表面性が向上する。
2009066414.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報記録層を有する情報記録媒体にレーザ光を入射して信号の記録再生を行い、前記レーザ光が入射される側の樹脂層が少なくとも２種類以上の紫外線硬化樹脂から形成されている情報記録媒体の製造方法であって、
前記情報記録層上に、液体状の第１の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷工法で塗布して第１の樹脂層を形成する工程と、
前記第１の樹脂層に接するように、前記第１の紫外線硬化樹脂よりも粘度の小さな第２の紫外線硬化樹脂を塗布して第２の樹脂層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記樹脂層の形成方法において、
前記第１の樹脂層の厚みが、前記第２の樹脂層の厚みより大きいことを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記第２の樹脂層の形成方法が、スクリーン印刷工法であることを特徴とする請求項１または２に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記第２の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数は、前記第１の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数より大きいことを特徴とする請求項３に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記第２の樹脂層の形成方法が、インクジェット工法であることを特徴とする請求項１または２に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記第２の樹脂層の形成方法が、スピンコート工法であることを特徴とする請求項１または２に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記第１の樹脂層をスクリーン印刷工法で形成した後で、液体上の前記第１の紫外線硬化樹脂が塗布された情報記録媒体と表面が平坦な基板を真空雰囲気下で貼り合せる工程と
前期情報記録媒体と前記平坦な基板を貼り合せた状態で紫外線を照射する工程と
前記情報記録媒体と前記平坦な基板とを剥離する工程とを
含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項８】
前記樹脂層の形成方法において、
前記第１の紫外線硬化樹脂を形成した後の工程で、第１の紫外線硬化樹脂を硬化させる目的で、紫外線を照射することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項９】
情報記録層を有し、前記情報記録層の上には樹脂層が形成されている情報記録媒体において、
前記樹脂層が２層以上の樹脂で形成されており、
前記樹脂層のうち、前記情報記録層上に形成されている第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが前記第１の樹脂層以外の樹脂層表面の中心線平均粗さより大きいことを特長とする情報記録媒体。
【請求項１０】
前記情報記録媒体において、前記第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが、最表面の樹脂層の中心線平均粗さより大きいことを特徴とする請求項９に記載の情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、再生または記録再生を目的とした情報記録媒体とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器・映像音響機器等が必要とされる情報量の拡大化に伴い、データアクセスの容易さ、大容量データの蓄積、機器の小型化に優れている光ディスクなどの情報記録媒体が注目され、記録情報の高密度化がなされている。例えば、光ディスクの高密度化の手段として、レーザ光の波長を約４００〜４０５ｎｍとし、レーザ光を絞り込むための集光レンズとして開口数（ＮＡ）を０．８５の再生ヘッドを用いて、単層で２５ＧＢ程度、２層で５０ＧＢ程度の容量の光記録媒体が提案され、市場で「ブルーレイ・ディスク」として発売されている。
図２に、容量２５ＧＢ単層のブルーレイ・ディスクの断面図を示している。このブルーレイ・ディスクは、片面に凹凸形状からなるピットや案内溝の情報面が転写形成された信号基板２０１と、薄膜層２０２と、透明基板２０４と、透明層２０３により構成されている。薄膜層２０２は、信号基板２０１の凹凸形状が設けられた面上に配置されている。透明層２０３は、薄膜層２０２と透明基板２０４とを貼り合わせるために設けられている。【０００３】
信号基板２０１は、一般的に射出圧縮成形等により作製され、スタンパと呼ばれる金型によって片面に情報面が転写形成されている。この上面の上に、薄膜層が形成されることで、情報記録層が形成されている。信号基板２０１の厚みは１．１ｍｍ程度である。薄膜層２０２は、記録膜や反射膜を含んでおり、信号基板２０１のピットや案内溝が形成された面側にスパッタリングや蒸着等の方法により形成されている。透明基板２０４は、記録再生光に対して透明な（透過性を有する）材料からなり、厚みが０．１ｍｍ程度である。透明層２０３は、２枚の透明基板２０４，２０５を互いに接着するために設けられており、光硬化樹脂や感圧接着剤等の接着剤から形成されている。透明基板２０４と透明層２０３を合わせてカバー層ともいう。透明基板を貼り付けることなく透明層を硬化させることのみでカバー層を形成することもある。このような多層情報記録媒体の記録再生は、透明基板２０４側から記録再生レーザ光を入射することによって行う。【０００４】
このような情報記録媒体においては、カバー層は、紫外線硬化樹脂などを用いてスピンコート法により作製されることが多い（例えば特許文献１）。
【特許文献１】特開２００５−２５９３３１号公報
【発明の開示】
【０００５】
しかしながら、スピンコート法によって、カバー層を形成したりすることは、周方向の細かな膜厚変動や、半径方向の大きな膜厚変動を発生してしまうという課題がある。また、被塗布基板の端面まで樹脂が行き渡るので、スピン回転を停止させて光照射によって樹脂を硬化させるときに被塗布基板の端面部において、樹脂が表面張力による盛り上がりが発生し膜厚が厚く構成されてしまう。これにより、レーザを用いて媒体への信号の記録再生を行う際に以下の問題が生じる。膜厚変動により発生する球面収差によって、光スポットの絞りの変動が生じたり、情報面上へ光スポットのフォーカス制御、信号列に光スポットを追従させるトラッキング制御に影響を与えたりしてしまう。また、スピンコート法では、塗布厚みの均一性を実現するための条件の制御が複雑であり、１層ずつスピンコートを実施することによりタクト時間が長くなってしまう。
【０００６】
一方で、スクリーン印刷技術を応用し、スキージをスクリーン上で摺動せることにより紫外線硬化樹脂などを基板の情報面に塗布（印刷）し、樹脂層を形成する手法がある。この方法には、タクト時間短縮が比較的容易によりなり、さらにスクリーンの形状を制御することで所望の箇所に樹脂が塗布できる等の長所がある。
しかしながら、スクリーン印刷は、スクリーンの網目を通過して樹脂が基板に付着するため、スクリーンを構成している線の部分や、線同士が交わっている交点部分では樹脂が基板に付着しにくい。このため、樹脂の塗布面には、スクリーンの形状を反映した凹凸が発生する。
【０００７】
先に述べたように、レーザを用いて信号を記録再生する場合は、樹脂の盛り上がりがレーザ光のフォーカス制御、トラッキング制御に悪影響をもたらす。したがって、スクリーン印刷は、タクト時間の短縮は容易である反面、樹脂表面の表面性に課題があると考えられる。
本発明の目的は、安定した再生信号が得られる記録情報媒体を安価に作成できる、情報記録媒体およびその製造方法を提供することにある。
【０００８】
本発明の情報記録媒体のカバー層の製造方法は、情報記録膜を有する情報記録媒体にレーザ光を入射して信号の記録再生を行い、レーザ光が入射される側の樹脂層が少なくとも２種類以上の紫外線硬化樹脂から形成されている情報記録媒体の製造方法であって、以下の工程を含んでいる。
◎情報記録膜上に、液体状の第１の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷工法で塗布して、第１の樹脂層を形成する工程
◎第１の樹脂層に接するように、第１の紫外線硬化樹脂よりも粘度の小さな第２の紫外線硬化樹脂を塗布して第２の樹脂層を形成する工程
第１の樹脂層の厚みが、第２の樹脂層の厚みより大きいことが好ましい。
第２の樹脂層の形成方法が、スクリーン印刷工法であることが好ましい。
第２の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数が、第１の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数より大きいことが好ましい。
第２の樹脂層の形成方法が、インクジェット工法であることが好ましい。
第２の樹脂層の形成方法が、スピンコート工法であることが好ましい。
また、以下の工程をさらに含んでいることが好ましい。
◎第１の樹脂層をスクリーン印刷工法で形成した後で、液体上の第１の紫外線硬化樹脂が塗布された情報記録媒体と表面が平坦な基板を真空雰囲気下で貼り合せる工程
◎情報記録媒体と平坦な基板を貼り合せた状態で紫外線を照射する工程
◎情報記録媒体と平坦な基板とを剥離する工程
第１の紫外線硬化樹脂を形成した後の工程で、第１の紫外線硬化樹脂を硬化させる目的で、紫外線を照射することが好ましい。
【０００９】
上記のような製造方法で情報記録媒体を作製すれば、樹脂層を形成に要する時間が短縮できるため、高い生産性が期待できる。また、生産に用いる設備構成が比較的単純なためメンテナンス頻度を低減することができる。このため、大容量の情報記録媒体をより安価に市場に提供することが可能である。
本発明の他の見地に係る情報記録媒体は、情報記録層を有し、情報記録層の上には樹脂層が形成されている情報記録媒体において、樹脂層が２層以上の樹脂で形成されている。樹脂層のうち、情報記録層上に形成されている第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが第１の樹脂層以外の樹脂層表面の中心線平均粗さより大きい。
情報記録媒体において、第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが、最表面の樹脂層の中心線平均粗さより大きいことが好ましい。
【００１０】
本発明の情報記録媒体およびその製造方法によれば、短時間で記録層上の樹脂層を形成することができる。また、２層目の樹脂層表面の中心線平均粗さは微小であるため、信号を記録再生するレーザ光のフォーカス制御、トラッキング制御が安定化し、良好に信号の記録再生が行える情報記録媒体を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態における樹脂の塗布工程の一例を示す断面図。
【図２】Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃの構成模式図。
【図３】記録膜の構成を説明する断面図。
【図４】情報記録媒体の信号の記録再生装置の構成を示した図。
【図５】情報記録媒体の表面凹凸と再生レーザ光の入射角度を示す模式図。
【図６】本発明の実施の形態におけるスクリーンと信号基板の図。
【図７】本発明の実施の形態におけるスクリーンの拡大図と樹脂の断面図。
【図８】スクリーン印刷を行った場合の樹脂粘度と表面粗さの関係を示すグラフ。
【図９】本発明の実施の形態における貼り合わせ工程の一例を示す断面図。
【図１０】本発明の実施の形態におけるインクジェット工程を示す模式図。
【図１１】本発明の実施の形態における２種類目の紫外線硬化樹脂を塗布する説明図。
【図１２】本発明の実施形態における多層の情報記録媒体の断面図。
【図１３】本発明の実施形態における多層の情報記録媒体の記録膜の構成を説明する断面図。
【図１４】本発明の実施の形態における樹脂の塗布工程の一例を示す断面図。
【符号の説明】
【００１２】
１０１    スキージ固定冶具
１０２    スキージ
１０３    １種類目の紫外線硬化樹脂
１０４    スクリーン
１０５    スクリーン枠
１０６    テーブル
１０７    信号基板
１０８    薄膜層
１０９    矢印
１１０    １種類目の樹脂層
１１１    紫外線照射機
１１２    ２種類目の紫外線硬化樹脂
１１３    スクリーン
１１４    スキージ固定冶具
１１５    スキージ
１１６    矢印
１１７    ２種類目の樹脂層
１１８    紫外線照射機
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態は光ディスク形状の情報記録媒体の構造例について説明するが、生産される商品としては、光ディスクの形状に限定されない。以下、高速、かつ樹脂層の厚みを均一に形成できる製造方法、製造装置を提案するものである。
記録媒体の作製、および情報の記録再生を行う工程は、複数のプロセスにまたがっているため、それぞれのプロセスについて、図を用いて説明する。
まず、Ｂｌｕ-ｒａｙ  Ｄｉｓｃにおいて、カバー層を形成する前までのプロセスを図
２を参照しながら説明する。
信号基板２０１は、反りや剛性を良くして、さらにＣＤやＤＶＤなどの光ディスクと厚み互換を有するように、外径φ１２０ｍｍ、厚さが１．０〜１．１ｍｍ程度のポリカーボネイトやアクリル系樹脂の円板から形成されている。信号基板２０１には、スタンパと呼ばれる金型を用いて、射出圧縮成形等の樹脂成形によって片面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が作製されている。基板の中心部にはプレーヤが信号を記録再生する際に、ディスクを保持して回転させるために用いる直径φ１５ｍｍの中心穴が設けられている（図示せず）。本実施の形態においては代表例としてポリカーボネイトを用いた場合について説明する。【００１４】
信号基板２０１の上には、光硬化樹脂材料からなる透明層２０３などが積層形成されるので、情報記録媒体の形状は光硬化樹脂特有の特徴といえる光硬化収縮によって、例えば情報面を上にした場合は凹形状の反りとなってしまう。したがって、信号基板２０１の反りは予め情報面を上にして凸形状の反りに形成することでカバー層を積層した後で情報記録媒体の反りが平坦になるように成形している。
薄膜層２０２は、情報記録媒体の目的がＲＯＭの場合、再生されるレーザ光に対して反射の特性を有する。例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ、ＳｉＯ２などの金属や半導体、誘電体をスパッタリングや蒸着等の方法を用いて薄膜形成する。
情報記録媒体の目的とすることがＷｒｉｔｅ  Ｏｎｃｅ型の場合の記録膜の構成について図３を用いて以下に説明する。情報面３０２は、ピットや案内溝を有している。第１信号基板３０１上の情報面３０２に対して、ＡｌＣｒからなる反射膜３０３、ＺｎＳ膜３０４、ＴｅＯＰｄ記録膜３０５、ＺｎＳ膜３０６が順次形成されている。また、これら膜は、スパッタリングや蒸着等の方法により形成されている。本代表例として反射膜３０３としてＡｌを使用した場合について説明しているが、ＲＯＭと同様に、ＡｇやＡｕ等の金属を主成分とする材料を用いても良い。また、薄膜層として色素膜等を含む構成を用いることでも実現できる。【００１５】
工程としては、反射膜、あるいは記録膜が形成されている信号基板上に、カバー層を形成するが、この工程は、詳しく後述するので、先に情報記録媒体の記録／再生方法を説明する。
ここで、図４の多層情報記録媒体の記録／再生装置の模式図を用いて、多層情報記録媒体から情報を記録／再生方法、および記録／再生装置の機構の１例を説明する。
この図では、情報記録媒体４０１を装着した状態を示している。この記録／再生装置は、以下に列記する各装置を有している。スピンドルモーター４０２は、情報記録媒体４０１を装着して回転させる。コントローラー４０３は各種制御を実行する。変調器４０４は、記録するデータを記録信号に変換する。レーザ駆動回路４０５は、記録信号に従って半導体レーザを駆動する。光学ヘッド４０６は、半導体レーザを有し、レーザ光を媒体に集光し、情報の記録を行うと共に、反射光から再生信号を得る。プリアンプ４０７は、再生信号を増幅し、情報再生信号４０７Ｓ、フォーカスエラー信号４０７Ｆ、トラッキングエラー信号４０７Ｔを生成する。２値化回路４０８は、情報再生信号４０７Ｓを２値化信号に変換する。データ復調回路４０９は、２値化信号からデータを復調する。信号品質判定器４１０は、媒体のテスト記録領域において特定のデータを試験的に記録した信号の品質を判定する。記録条件格納手段４１１は、学習動作によって得られた最適な記録条件を格納する。パルス条件設定手段４１２は、前記記録条件に従ってレーザパルスを制御する。記録トラック情報格納手段４１３は、情報記録媒体４０１から読み出した記録トラック情報を格納する。フォーカス制御回路４１４は、レーザ光が情報記録媒体４０１の記録層に焦点を合わせるようにフォーカスエラー信号４０７Ｆに基づいて光学ヘッド４０６を制御する。トラッキング制御回路４１５は、レーザ光が情報記録媒体４０１のトラックを適切に走査するように、トラッキングエラー信号４０７Ｔに基づいて光学ヘッド４０６を制御する。移動手段４１６は、光学ヘッド４０６を情報記録媒体４０１の径方向に移動させる。【００１６】
ここで、フォーカスエラー信号４０７Ｆは、非点収差法と呼ばれる一般的な方法で生成される。トラッキングエラー信号４０７Ｔは、プッシュプル法と呼ばれる一般的な方法で生成される。
最初に、起動工程において、情報記録媒体４０１をスピンドルモーター４０２に装着し、回転させた後、情報記録媒体４０１上に光学ヘッド４０６によって情報再生用のレーザ光を照射し、記録層に焦点を合わせる。
記録トラック情報等の再生は、情報再生信号４０７Ｓを２値化回路４０８で２値化した信号を、データ復調回路４０９で復調し、コントローラー４０３に取り込んで行う。情報再生信号４０７Ｓは、光学ヘッド４０６で情報記録媒体４０１からの反射光から得られる。２値化回路４０８は予め定められた２値化スライスレベルに設定されている。このようにして、情報記録媒体に記録された記録トラック情報を読み出される。【００１７】
また、記録の際は、コントローラー４０３から出力された特定データを変調器４０４でレーザ駆動信号に変換し、レーザ駆動回路４０５は、レーザ駆動信号に従って光学ヘッド４０６に設置された半導体レーザを駆動する。光学ヘッド４０６によって、情報記録媒体４０１の記録領域に信号の記録を行う。具体的には、半導体レーザから出射された光を情報記録媒体４０１に集光し、記録トラック情報に基づいてトラックのグルーブ部またはランド部にレーザ光をトラッキングする。
多層の情報記録媒体４０１から、正しく、信号が記録／再生することができるかを判定するためには、以下の方法を用いる。上述のように記録されたデータの再生信号を２値化回路４０８で２値化した信号と、記録の際にコントローラー４０３から出力されたデータを比べる。【００１８】
なお、再生専用の多層情報記録媒体では、多層情報記録媒体上に情報となる凹凸で形成されたピットが形成されており、トラッキングエラー信号４０７Ｔは、ディファレンシャルプッシュプル法と呼ばれる一般的な方法で生成される。したがって、レーザ光がピット列にトラッキングして、情報の再生のみが行われる。
また、図５（Ａ）および（Ｂ）の再生時の記録媒体断面図を用いて、カバー層の表面荒れの有無により、情報の信頼性が失われる機構を説明する。図５（Ａ）では、情報記録媒体のカバー層に表面荒れが発現していない場合を表し、図５（Ｂ）では、情報記録媒体のカバー層に表面荒れが発現している場合を表す。なお、図５では、記録層が１層しかない単層構造の情報記録媒体で説明するが、この現象は、記録層を複数保有するような多層情報記録媒体でも起こりえる。【００１９】
図中で、５０１は片面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が形成された基板である信号基板を表している。この現象は、信号基板５０１上に形成された凹凸が、ピットであろうが、案内溝でも両方とも発生するが、この図では、案内溝の場合を説明する。信号基板５０１に形成された凹凸において、レーザ光入射面側から見て凸である部分をグルーブ部５０３、凹である部分をランド部５０２と呼ぶ。なお、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃの場合、２５ＧＢのディスク容量では、トラックピッチが３２０ｎｍ程度である。よって、この一組のグルーブ部５０３とランド部５０２の長さは３２０ｎｍ程度である。ランド部５０２とグルーブ部５０３の大きさがほぼ同程度の場合は、グルーブ部の幅は１６０ｎｍ程度となる。５０９は信号基板５０１面の情報面が形成された薄膜層を表し、５０４は薄膜層５０９上に形成されたカバー層を表す。また、カバー層表面を５０５と記す。なお、この図では、カバー層を１層の樹脂で形成した場合を表している。５０７は情報を再生および記録するためのレーザ光、５０６は薄膜層５０９上に集光されたビームスポット部、５０８はレーザ光５０７を薄膜層５０９上に集光させる対物レンズで、通常光学ヘッド中（記載せず）に配置されている。【００２０】
以下は、情報記録媒体より、情報を再生する際の欠陥部の影響を説明するが、記録の際にも同様の現象が起こる。
情報記録媒体より、信号を再生する際には、レーザ光５０７のフォーカスを所望の薄膜層に合わせる。図中では、ビームスポット部５０６に集光させる。
ここで、レーザ光の通過経路を追ってみると、まず、対物レンズ５０８により集光されたレーザ光５０７は、入射光量にカバー層５０４の透過率分を乗じた光量だけ通過する。このとき、空気とカバー層５０４の屈折率が異なるため、レーザ光の入射角度とカバー層５０４の屈折角度の正弦比が異なる。
なお、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃに使用されているレーザ光の波長は４０５ｎｍ近傍で、この波長に対する屈折率は、空気で１．００であり、カバー層５０４に使用される屈折率は、その材料にもよるが、一般的には１．４５以上１．７０以下程度の樹脂やシートが用いられている。【００２１】
カバー層５０４を通過したレーザ光５０７は、薄膜層５０９に集光され、入射光とは逆方向に帰ってきて、光の強弱を電気信号に変換するディテクター（図示せず）に入射される。レーザ光５０７は、照射された光量に薄膜層５０９の反射率を乗じた光量が薄膜層５０９で反射されて、再度、カバー層５０４の透過率分だけ光量が減少される。この結果、データが読み出される。
情報記録媒体の再生／記録方法では、より正確に信号の記録再生を行うために、各種の収差が小さくなるようにレンズが設計されている。さらに、記録密度を高める目的で、小さな記録マークでもばらつきが小さくなるために、薄膜層５０９上の光スポット径が小さくなるようにフォーカス制御回路４１４が働いている。
図５（Ａ）のように、カバー層５０４の表面に、表面荒れが存在しない場合は、上記光路を経由することで、所望の情報層から、信号を再生することができる。【００２２】
一方、図５（Ｂ）の場合は、カバー層表面５１２上に表面荒れが存在している。図ではカバー層の表面中に角度αだけカバー層表面が傾いている場合を図示している。この場合、レーザ光５０７はカバー層５０４に対して本来入射されるべき入射角度よりも、αだけ傾いて入射され、カバー層５０４の内部を本来通過するべき経路を通らない。この入射角度のずれにより、本来焦点を結ぶべきビームスポット５１０とは、異なる箇所５１１に光の焦点を集めてしまうことになる。これは、正確に信号を記録／再生する際の大きな障害となる。一般的には、本来焦点を結ぶべきビームスポット５１０と異なる箇所５１１の半径方向ずれ量をオフトラック量と呼び、ディスクの厚み方向のずれ分をデフォーカス量と呼ぶ。
通常のＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃでは、グルーブ部５０３の幅は１６０ｎｍ前後であることから、この値に比べて、オフトラック量が十分小さいことが好ましい。また、通常のＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃの記録／再生装置では、５ｕｍ程度のデフォーカス量に対する余裕が確保されている。そのため、デフォーカス量は５ｕｍに比べて十分小さいことが好ましい。すなわち、オフトラック量のほうが、約３０倍小さいことが要求されるため、表面荒れの最小値を決定するのは、デフォーカス量よりもオフトラック量であるといえる。このため、カバー層表面５１２上の凹凸は、オフトラック量が所望の大きさ以下になるように、できるだけ小さいことが好ましい。
以上が、多層記録媒体の製造方法の一例と、情報の記録再生方法の一例である。以下の、実施の形態では、具体例として、カバー層の製造方法を詳細に説明し、発明の効果を述べる。【００２３】
（実施の形態１）
以下に、本発明の多層情報記録媒体のカバー層の製造方法について図１を用いて説明する。
図１は本発明の実施の形態における樹脂の塗布工程の一例を示す図である。
図１（Ａ）〜（Ｄ）によって、カバー層を構成する１種類目の樹脂層を形成する工法の模式図を示し、図１（Ｅ）〜（Ｈ）によって、２種類目の樹脂層を形成する工法の模式図を示す。【００２４】
図１（Ａ）で、スキージ固定治具１０１、スキージ１０２、紫外線硬化樹脂１０３、スクリーン１０４、スクリーン枠１０５、テーブル１０６、信号基板１０７が示されている。薄膜層１０８は、信号基板１０７に形成された単層の薄膜である。
スクリーン印刷装置を使用して、樹脂を塗布する場合、まず、印刷装置の設定を行う。最初に、スキージ固定治具１０１にスキージ１０２を取り付ける。このとき、テーブル１０６に対する、スキージ１０２底面の平行度が小さくなるように調整する。この平行度が、ディスク面内の樹脂層の厚みムラに影響するため、スキージ１０２とテーブル１０６間の平行度は小さいほど、好ましい。
スキージ固定治具１０１はステンレスのように、剛性に優れた材料が好ましい。
スキージ１０２は、紫外線硬化樹脂１０３に対して化学的に安定であり、かつ、ゴム状弾性を示すような材料が好ましい。印刷中は、スキージ１０２は紫外線硬化樹脂１０３と接触した状態で、スクリーン１０４の紗と何度も摩擦を繰り返すためである。【００２５】
次に、スクリーン１０４を設置する。これも、スキージ１０２と同様に、テーブル１０６との水平度が重要である。
次に、信号基板１０７の上部表面には、ピットや案内溝の情報面が形成された面にスパッタリングや蒸着等の方法により記録膜材料や反射膜材料を含んだ薄膜層１０８が形成される。さらに、必要に応じて、信号基板１０７の薄膜層１０８が形成された面とは反対側の面が、バキューム等の手段によってテーブル１０６上に固定される。
一方、スクリーン１０４面は、開口部を通過する紫外線硬化樹脂１０３の量を制限することによって膜厚を均一に形成できるように設けられている。
次にスクリーン１０４の作製方法について説明する。スクリーン枠１０５に、スクリーン材料となる紗を張り、その上に感光乳剤をコーティングする。次いで、コーティングされたスクリーン用材料の所定の位置（複数の穴を形成する位置）以外を遮光マスクによりマスクし、スクリーン用材料に露光装置を用いて紫外線を一定時間照射する。紫外線照射によって露光された感光乳剤を水噴射などによって水洗することにより現像して、スクリーン１０４を得る。【００２６】
スクリーンと信号基板の塗布領域の関係を、図６を用いて説明する。
本実施例においては、遮光マスクにより、感光乳剤を紗上に残した部分が６０２Ａ、および６０２Ｂの領域に該当し、露光により紗が露出した部分が６０３に該当する。
なお、スクリーン枠６０１には、例えば、木材、アルミ、ステンレス、プラスチックなどの材料を用いることができるが、なかでも、軽量かつ剛性の高いアルミニウムが好ましい。スクリーン材料となる紗は、シルク、ナイロン（登録商標）、テトロン（登録商標）、Ｖスクリーン（登録商標）、ステンレスなどを用いることができる。ただし、スクリーンは信号基板の表面に直接触れるものであるので、柔らかい材質のものが好ましい。そのため、ステンレスのような金属材料よりも、ナイロンなどの有機材料のほうが好ましい。感光乳剤には、例えば、ジアゾニウム塩または重クロム酸塩を、ＰＶＡまたは酢酸ビニルエマルジョンに混合し溶解させたものなどを用いることができる。スクリーン材料の所定の位置におけるメッシュ数（１インチあたりの線材の本数）は、５０〜６００であると好ましい。メッシュ数がこの範囲内にあれば、樹脂含有塗料の通過不良や塗布ムラを生じさせることなく、樹脂含有材料と塗布できる。なお、スクリーンの穴は網目に限定されない。【００２７】
なお、本実施の形態においてはスクリーン枠６０１として軽量かつ剛性の高いアルミを使用し、信号基板への負荷が小さくなるようにＶスクリーンを使用した場合について説明するが、他の材料を用いても実現することができる。
樹脂の粘度が低い場合は塗布後の樹脂の流動が発生し、端面への樹脂はみ出しや樹脂盛り上がりを生じてしまう。樹脂粘度が高い場合はスクリーンを通って樹脂が転移し難くなる。工程中の温湿度変化による樹脂粘度の低下影響等を考慮すると、樹脂の粘度は３０ｃｐｓから１００００ｃｐｓ範囲内であることが好ましい。
スクリーン６０４は、開口部の形成領域６０３を選択することにより、紫外線硬化樹脂の信号基板６０６上への塗布範囲を制限することが可能である。よって、本実施の形態においては、開口部の形成領域６０３と感光乳剤を紗上に残した部分６０２Ａの境界位置を変えることで、形成する樹脂の端部位置を制御することができる。【００２８】
信号基板６０５上に、スクリーン６０４を用いたスクリーン印刷工法により、樹脂の塗布を行った場合は、樹脂の塗布領域が６０６のようになる。本実施の形態においては、信号基板６０５は、内径穴６０７の直径が１５ｍｍで、外径の直径が１２０ｍｍのものを使用する。スクリーン６０４は、感光乳剤を紗上に残した部分６０２Ａと開口部の形成領域６０３の境界位置が直径２０ｍｍ、感光乳剤を紗上に残した部分６０２Ｂと開口部の形成領域６０３の境界位置が直径１１９．８ｍｍである。
次に、図１（Ａ）に示すように、紫外線硬化樹脂１０３は、スキージ１０２の進行方向に対して手前に滴下しておく。本形態の工程では、紫外線硬化樹脂１０３の粘度は４０００ｃｐｓであり、スクリーン１０４のメッシュ数が７０である。なお、第１の樹脂層を形成するための紫外線硬化樹脂の粘度は、５００〜１００００ｃｐｓであることが好ましい。【００２９】
図１（Ｂ）において、矢印１０９の方向に、スキージ１０２をスクリーン１０４に押し込みながら、摺動させることによって、信号基板１０７上に、紫外線硬化樹脂１０３を塗布する。この動作によって、スクリーン１０４の糸と糸の間のオープニングエリアに１種類目の紫外線硬化樹脂１０３を押し込み下方に通過させ、これを薄膜層１０８に接触させることにより、樹脂の塗布が可能になる。
図１（Ｃ）において、１種類目の樹脂層１１０が形成された様子を表す。この塗布工程により、平均厚みが８０μｍの１種類目の樹脂層１１０を形成することができる。１種類目の樹脂層１１０の表面形状は、スクリーン１０４の版離れ、および紫外線硬化樹脂１０３の特性によるところが大きい。このとき、紫外線硬化樹脂１０３を形成した直後の表面の中心線平均粗さＲａは１４μｍである。１種類目の樹脂層１１０の表面形状については、後述で詳細に述べる。【００３０】
図１（Ｄ）において、１種類目の樹脂層１１０の上部から紫外線照射機１１１を使用して、１種類目の樹脂層１１０を硬化させる。
図１（Ｅ）において、硬化した１種類目の樹脂層１１０を上にした状態で、信号基板１０７を、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２を塗布するスクリーン１１３の下方に移動させる。この工程では、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２の粘度が１００ｃｐｓであり、スクリーン１１３のメッシュ数が３００のである。先の工程と同様に、スキージ固定冶具１１４によって、スキージ１１５が固定されている。
図１（Ｆ）において、図１（Ｂ）工程と同様に、スキージ固定冶具１１４とスキージ１１５をスクリーン１１３に押し込みながら、矢印１１６の方向に移動させる。スクリーン１１３の糸と糸の間のオープニングエリアに、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２を通過させ、硬化した１種類目の樹脂層１１０上に２種類目の樹脂層１１７を形成する。【００３１】
図１（Ｇ）において、１種類目の樹脂層１１０に接する形で、２種類目の樹脂層１１７が平均２０μｍの厚みで形成されている様子を表す。このとき、２種類目の樹脂層１１７は粘度が低いため、１種類目の樹脂層１１０の凹部を埋め、１種類目の樹脂層１１０の表面粗さを補正する形でレベリングする。なお、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２に表面張力の大きな紫外線硬化樹脂を選択すると、２種類目の樹脂層１１７の表面積、すなわち、大気の接触面積を小さくする力が大きくなることから、レベリング効果を上げる効果がある。また、２種類目の樹脂層１１７の塗布から、樹脂の硬化までの時間を長く置くことで、２種類目の樹脂層１１７が移動し、表面性を向上させることができる。
図１（Ｈ）において、２種類目の樹脂層１１７を塗布し、レベリングが終了した後に、紫外線照射機１１８を用いて、紫外線を浴びせ、２種類目の樹脂層１１７を硬化させる。硬化させた後の２種類目の樹脂層１１７の中心線平均粗さは１μｍ以下である。【００３２】
このように、１種類目の樹脂層１１０と２種類目の樹脂層１１７からなるカバー層において、２種類目の樹脂層１１７表面の中心線平均粗さは、１種類目の樹脂層１１０表面の中心線平均粗さより大きい。
なお、スクリーン印刷工法を用いて、本実施例にあるような８０μｍ前後の樹脂層の厚
膜を形成し、かつ、表面性を向上させるには、１層目の樹脂の粘度が２層目の樹脂の粘度よりも大きいことが重要である。
また、次の条件としては、２層目もスクリーン印刷工法で樹脂層を形成する場合は、１層目の樹脂層の形成時に用いるスクリーンのメッシュ数が、２層目の樹脂層の形成時に用いるスクリーンのメッシュ数より小さいことが重要である。
以上の条件に従って、１層目の樹脂層の厚みによって、所望の厚みの半分以上の厚みを形成する。【００３３】
このように、第２の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数が、第１の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数より大きいので、以下の優れた効果が得られる。第１の樹脂層を形成する際には、目の粗いスクリーンによって厚みの大きな第１の樹脂層を短時間で形成できる。この場合、樹脂の粘度が大きい方が効果的である。第２の樹脂層を形成する際には、目の細かいスクリーンに粘度の小さな樹脂を通すことによって第２の樹脂層を形成する。第２の樹脂層は、すぐれた表面性を確保している。この結果、記録情報媒体において、安定した再生信号が得られる。
第１の樹脂層を形成するのに用いられたスクリーンのメッシュ数は７０であるが、５０〜８０の範囲にあることが好ましい。第２の樹脂層を形成するのに用いられたスクリーンのメッシュ数は３００であるが、１５０〜４５０の範囲にあることが好ましい。【００３４】
第１の樹脂層の厚みは樹脂層全体の８０％であるが、５０％以上であることが好ましい。より好ましくは、第１の樹脂層の厚みは樹脂層全体の８０〜９０％の範囲にある。
次に、各樹脂層の表面性について説明する。本実施の形態において、１種類目の樹脂層１１０の表面の中心線平均粗さＲａは先に述べたように１４μｍである。なお、この中心線平均粗さの測定は、規格番号ＪＩＳＢ０６０１を元に行う。この中心線平均粗さＲａは、スクリーン印刷の場合、一般的に塗布膜厚に比例する。これは、厚い膜厚の樹脂層を塗布しようとすると、太い糸で、粗い目のスクリーンを用いることで、大きなオープニングエリアを得る必要があるからである。
樹脂の塗布厚みとスクリーンのメッシュ形状について、図７を用いて説明する。図７（Ａ）はスクリーンの網目部の拡大図を表している。スクリーンを形成する１本の糸を７０１で表しており、７０２の線径を有している。また、７０３は、糸と糸の間隔幅を表している。スクリーンを切断し、その断面を表しているのが、図７（Ｂ）である。図７（Ｂ）中で、７０４の幅は糸の線径を表し、７０５は糸と糸の間隔幅を表している。また、７０６は乳剤を含んだスクリーンの厚みを表す。スクリーンの厚み７０６は、線径７０４と密接な関係があり、糸の線径７０４が太ければ、スクリーンの厚み７０６も厚くなる。さらに、図７（Ｃ）にはこのスクリーンを使用して、基板７０９上に樹脂層７０８が形成されている図を表している。樹脂層の厚みは７０７の大きさであるとする。スクリーンと樹脂層の厚みが図７のように、定義されている場合、樹脂層の厚み７０７は次式で表すことができる。
（樹脂層の厚み７０７）＝（糸と糸の間隔幅７０３）２×（スクリーンの厚み７０６）÷（糸と糸の間隔幅７０３＋線径７０４）２【００３５】
なお、実際のスクリーン印刷では、糸と糸の間隔幅の中に注入された樹脂全部が、基板に付着して樹脂層を形成するわけではないので、計算式よりは、何割か少ない樹脂体積で、基板７０９上に樹脂層が形成される。
よって、樹脂層の厚み７０７を、より大きな値にしようとする場合、スクリーンの厚み７０６が大きい、すなわち、大きな線径７０４を有するスクリーンのほうが適している。
また、スクリーンの糸７０１と基板７０９が接触する部分には、樹脂層が形成されにくく、糸と糸の間隔部７０５と基板７０９が接触する部分には、樹脂層が形成される。したがって、形成される樹脂層７０８の表面の凹凸は、このスクリーン形状を大きく反映するものとなる。すなわち、線径７０４の大きなスクリーンを使用した場合は、基板上に樹脂層が形成されにくい面積が大きくなり、かつ、スクリーンの厚み７０６が増える。その結果、糸と糸の間隔幅内に包括される樹脂体積量が増えるので、形成される樹脂層７０８の凹凸幅が大きくなる。【００３６】
つまり、スクリーン印刷を用いて、厚みの大きい樹脂層を形成する場合には、形成される樹脂層の表面凹凸が大きくなる。このため、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃなどのレーザ光の入射側の樹脂層のように、高い表面性が求められる樹脂層の形成には不向きであった。
そこで、本実施例のように、２種類以上の粘度の異なる樹脂層を使用し、１層目で表面性が悪いながらも、樹脂層の厚みをかせぎ、２層目の粘度の低い樹脂層を形成し、レベリングすることで、１層目の表面性を良化させている。この結果、所望の樹脂層の表面性を確保することが可能になる。
なお、本実施例では、２種類の紫外線硬化樹脂を使用したが、以下の問題が想定される。レーザ光を入射して、信号の記録、再生を実施する場合、レーザ光は２つの紫外線硬化樹脂の界面を通過する。このとき、２種類の紫外線硬化樹脂の屈折率が大きく異なってしまうと、２つの紫外線硬化樹脂の界面で、レーザ光の乱反射が起こり、出力したレーザ光のエネルギーを損失してしまう。そのため、記録の際に明瞭なマークが記録できないなどの障害が起こる。この問題を生じさせないためには、記録、再生に用いるレーザ光の波長に対して、２種類の紫外線硬化樹脂の屈折率の差は小さいほど好ましい。少なくとも、記録、再生に用いるレーザ光の波長に対する紫外線硬化樹脂の屈折率の差は０．１以下であることがより好ましい。【００３７】
図８にスクリーン印刷で、４０〜１０００ｃｐｓの粘度の樹脂を塗布した際の表面粗さを表す。粘度が高くなるとレベリング特性が悪くなるため、表面性が劣化する。信号を正確に再生しようとする際には、表面粗さは３μｍ以内であることが好ましい。このため、表面性向上の目的で形成する２層目の樹脂の粘度は５００ｃｐｓより小さいことが好ましい。また、実際にスクリーン印刷をする場合には、３０ｃｐｓから１００００ｃｐｓが好ましいため、２層目の樹脂層の粘度範囲は、３０ｃｐｓより大きく、５００ｃｐｓより小さいことが好ましい。【００３８】
（実施の形態２）
本実施の形態では、実施の形態１と同様に、２種類の紫外線硬化樹脂を形成する工程を説明する。ただし、１層目の樹脂層を硬化する方法が実施の形態１とは異なる。この実施形態では、１層目の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷工法で形成した後に、真空雰囲気中で表面性の高い基板と貼り合せることで、１層目の紫外線硬化樹脂の表面性を改善させる。また、２層目の紫外線硬化樹脂の作製には、スクリーン印刷工法ではなく、スピン工法を用いる形態を説明する。スピン工法は、基板の内周部に紫外線硬化樹脂を滴下し、基板を回転することによって、内周部の紫外線硬化樹脂を延伸する工法である。
図９を用いて、１層目の紫外線硬化樹脂の表面性を向上させるための貼り合わせ工法を説明する。まず、図９（Ａ）において、貼り合せ工程における、サンプルの設置方法を説明する。実施の形態１と同様に、信号基板８０１上に、記録層８０２が形成されており、記録層８０２に接するように、スクリーン印刷工法で樹脂層８０３を形成する。この樹脂層８０３の表面性はスクリーン印刷工法を使用して塗布したため、あまり良くない。この信号基板を貼り合せ装置内のテーブル８０４に設置する。このテーブル８０４には、位置調整用の芯だし棒８０５がついていて、信号基板８０１の内穴の直径よりも数十μｍ小さい直径の棒になっている。また、表面性の高い転写基板８０６を用意し信号基板８０１と向かい合う形に、設置する。図中では、信号基板８０１が上方を向いていて、転写基板８０６がその上方に設置する方法があるので、転写基板固定器具８０７などを用いて、転写基板８０６を固定する。信号基板８０１と転写基板８０６を真空チャンバー８０８内に設置を完了した後、真空チャンバー８０８を密閉する。【００３９】
なお、転写基板８０６は、後工程である紫外線照射工程において、転写基板８０６を通して、樹脂層８０３を硬化する必要があるため、転写基板８０６は、紫外線において、透過率が高いことが望ましい。そのため、樹脂材料では、例えば、厚みの薄いポリカーボネイト材料やアクリル材料や、紫外線に対して高い透過率を有する石英ガラス材料などが好ましい。
次に、図９（Ｂ）において、ロータリーポンプやメカニカルブースターポンプなどの真空ポンプ８０９などによって、真空チャンバー８０８内の空気が排気され、短時間で真空雰囲気となる。本実施の形態においては、真空チャンバー８０８内が１００Ｐａ以下の真空度に達したときに、転写基板８０６を信号基板８０１上に重ね合わせている。このとき、転写基板８０６の上部に設置されている転写基板固定器具８０７が、加圧プレートの役目を果たし、転写基板８０６を加圧することによって樹脂層８０３表面に転写基板８０６表面形状が転写される。真空チャンバー８０８内が真空雰囲気であることから、樹脂層８０３と転写基板８０６の間には気泡が混入することなく貼り合せることが可能となる。【００４０】
貼り合せ工程が終わった後に、真空チャンバー８０８内を大気圧に戻し、貼り合わされた信号基板８０１と転写基板８０６は真空チャンバー８０８から取り出す。図９（Ｃ）に示すように、転写基板８０６の上部に配置されている紫外線照射装置８１０によって紫外線が照射され、転写基板８０６を介して全面を照射することにより樹脂層８０３が硬化される。次いで、樹脂層８０３と転写基板８０６の界面から転写基板８０６を剥離するために、転写基板８０６と樹脂層８０３の間に圧縮エアーを吹き込む。
図９（Ｄ）に示すように、上記工程を経て、硬化した樹脂層８１１が形成される。
なお、このとき、スクリーン印刷工法によって塗布した直後の樹脂層８０３の表面の中心線平均粗さＲａは、１４μｍ程度である。一方、この貼り合せ工程を経てから、得られた硬化した樹脂層８１１の表面の中心線平均粗さＲａは７μｍと、大きな表面性の改善が検出できる。【００４１】
次に、２種類目の紫外線硬化樹脂の塗布工程として、スピン工程を説明する。
図１０（Ａ）において、信号基板９０１上に、記録膜９０３が形成されており、記録膜９０３は１種類目の樹脂層９０４により覆われている。通常、信号基板９０１の中心には、信号基板９０１を保持、回転させるために、中心穴９０２が形成されている。信号基板９０１の中心部に２種類目の紫外線硬化樹脂９０５を滴下する。滴下位置は、中心穴９０２より外側で、かつ信号領域よりも内側であって、滴下形状は円形状に、３６０度を塗布すれば、信号領域を覆う形で樹脂を塗布することができる。樹脂の滴下後に、信号基板９０１を回転方向９０６に回転させる。本実施の形態では、粘度１００ｃｐｓの２種類目の紫外線硬化樹脂９０５を回転数３０００ｒｐｍで２０秒回転させ、図１０（Ｂ）に示すように、２種類目の樹脂層９０７を形成することができる。以上の場合、遠心力を利用して樹脂を塗布すると、樹脂は下地の１種類目の樹脂層９０４の表面凹部を埋めていく。その結果、表面性に優れた樹脂層を形成することができる。２種類目の樹脂層９０７の厚みは１０μｍであり、樹脂層中心線平均粗さＲａは１μｍである。【００４２】
この実施形態では、１層目の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷工法で形成した後に、真空雰囲気中で表面性の高い基板と貼り合せることで、１層目の紫外線硬化樹脂の表面性を改善させる方法を採用しているので、１種類目の樹脂層９０４の表面中心線平均粗さが実施の形態１に比べて小さくなっている。したがって、２種類目の樹脂層９０７の表面中心線平均粗さがより小さくなる、あるいは、同じ表面中心線平均粗さを得るための条件が緩和される。
このように、１種類目の樹脂層９０４と２種類目の樹脂層９０７からなるカバー層において、２種類目の樹脂層９０７表面の中心線平均粗さは、１種類目の樹脂層９０４表面の中心線平均粗さより小さい。【００４３】
（実施の形態３）
本実施の形態では、実施の形態１と同様に、２種類の紫外線硬化樹脂を形成する工程を説明するが、２層目の紫外線硬化樹脂の作製には、インクジェット工法を用いる形態を説明する。
実施の形態１、２と同様にして、記録膜の上に１種類目の紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線を照射して、硬化させる。インクジェット工法では、図１１に示すように、ノズル９１５が樹脂９１６を吐出して、表面性の改善を図る。インクジェット工法での樹脂の粘度は１〜１０ｃｐｓであるため、１種類目の樹脂層の粗い表面性を改善できる。
本実施の形態では、スクリーンのメッシュ数が１インチあたり、５０本のスクリーンを用い、粘度２５００ｃｐｓの１種類目の紫外線硬化樹脂を使用して、記録膜を覆う形で、８０μｍ塗布する。また、インクジェット工法では、粘度３ｃｐｓの紫外線硬化樹脂を用い、１種類目の紫外線樹脂層を覆う形で、２種類目の紫外線硬化樹脂を２０μｍの厚みで形成する。【００４４】
（実施の形態４）
なお、本実施の形態においては、単層構造の光情報記録媒体を例にとって説明したが、記録層を複数層保有し、各記録層の間に樹脂層が形成されている多層構造の情報記録媒体でも、同様に実現することができる。
図１２は本発明の実施の形態における多層情報記録媒体の断面図である。本発明の多層情報記録媒体は、以下の構成を備えている。第１信号基板１００１は、片面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が形成された厚みの大きい基板である。第１薄膜層１００２は、第１信号基板１００１の情報面上に配置されている。第２信号基板１００３は、第１信号基板１００１と反対側の面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が形成されている。第２薄膜層１００４は、第２信号基板１００３の情報面上に配置されている。第３信号基板１００５は、第２信号基板１００３と反対側の面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が形成されている。第３薄膜層１００６は、第３信号基板１００５の情報面上に配置されている。第４信号基板１００７は、第３信号基板１００５と反対側の面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が形成されている。第４薄膜層１００８は、第４信号基板１００７の情報面上に配置されている。透明層１００９は、第４薄膜層１００８の上に配置されている。【００４５】
第１信号基板１００１は情報記録媒体の反りや剛性を良くして、さらにＣＤやＤＶＤ、Ｂｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃなどの光ディスクと厚み互換を有するように、外径φ１２０ｍｍ、厚さが１．０〜１．１ｍｍ程度のポリカーボネイトやアクリル系樹脂の円板から形成されており、射出圧縮成形等の樹脂成形によって片面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が作製されている。基板の中心部にはプレーヤが信号を記録再生する際に、ディスクを保持して回転させるために用いる直径φ１５ｍｍの中心穴が設けられている（図示せず）。本実施の形態においては代表例としてポリカーボネイトを用いた場合について説明する。
第１信号基板１００１の上には、光硬化性樹脂材料からなる中間層である第２信号基板１００３，第３信号基板１００５，第４信号基板１００７や透明層１００９が積層形成されている。そのため、積層後の情報記録媒体の形状は光硬化性樹脂特有の特徴といえる光硬化収縮によって、例えば情報面を上にした場合は凹形状の反りとなってしまう。従って、第１信号基板１００１の反りは、予め情報面を上にして凸形状の反りに形成している。この結果、第２信号基板１００３，第３信号基板１００５，第４信号基板１００７や透明層１００９の積層後に、情報記録媒体の反りが平坦になる。【００４６】
第１薄膜層１００２、第２薄膜層１００４および第３薄膜層１００６は、情報記録媒体の目的がＲＯＭの場合、再生されるレーザ光に対して反射の特性を有する。例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ、ＳｉＯ２などの金属や半導体、誘電体をスパッタリングや蒸着等の方法を用いて薄膜形成する。
情報記録媒体の目的とすることがＷｒｉｔｅ Ｏｎｃｅ型の場合の記録膜の構成について図１３を用いて以下に説明する。ここで説明に用いるのは、第１薄膜層１００２である。まず第１信号基板１００１上に形成されたピットや案内溝などの情報面１１０２に対して、スパッタリングや蒸着等の方法により、以下の膜が順次形成されている。ＡｌＣｒからなる反射膜７０３、ＺｎＳ膜１１０４、ＴｅＯＰｄ記録膜１１０５、ＺｎＳ膜１１０６である。本代表例として反射膜１１０３としてＡｌを使用した場合について説明しているが、ＲＯＭと同様に、ＡｇやＡｕ等の金属を主成分とする材料を用いても良い。また、薄膜層として色素膜等を含む構成を用いることでも実現できる。第２薄膜層１００４、第３薄膜層１００６および第４薄膜層１００８についても、上記第１薄膜層１００２と同様の薄膜が形成されている。記録再生される際の光学特性によっては反射膜１１０３の厚みを調整することや、反射膜１１０３自体の除去、ＺｎＳ膜１１０４やＴｅＯＰｄ記録膜１１０５の厚みを調整することもある。【００４７】
第２信号基板１００３は、記録再生光に対してほぼ透明（透過性を有する）で、例えばアクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂から形成されている。紫外線硬化樹脂は、以下の二つの特徴を有しているので、樹脂層の形状制御において有効である。第一に、紫外線硬化樹脂は、硬化光波長を紫外線帯域に設けているので、紫外線以外の波長に対して硬化を防ぐことができる。第二に、紫外線硬化樹脂は、任意の機会で紫外線を照射することにより硬化させることができる。この実施形態では、液体の紫外線硬化樹脂を第１薄膜層１００２の上に塗布した後に、凹凸形状で形成されたピットや案内溝などの情報面を有する基板などの信号転写基板を押し当てる。その後に、紫外線を照射することによって紫外線硬化樹脂を硬化させて、最後に信号転写基板を紫外線硬化樹脂との界面から剥離することによって第２信号基板１００３が形成される。紫外線硬化樹脂の塗布は第１信号基板１００１の外径よりも小さく、また第１信号基板１００１の中心穴よりも大きく形成されている（図示せず）。第３信号基板１００５および第４信号基板１００７についても、上記第２信号基板１００３と同様の方法および形状で形成されている。透明層１００９は、記録再生光に対してほぼ透明（透過性を有する）で、例えばアクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂から形成されている。紫外線硬化樹脂には液体を使用し、第４薄膜層１００８の上に塗布することによって形成される。形成された紫外線硬化樹脂は、各信号基板や薄膜層を覆うように形成され、内周部と外周部において第１信号基板と接着するように形成されている。【００４８】
ここで、複数の記録層多層記録媒体でも、従来の光ディスクの構造を採用すると、透明層１００９の最表面から第１薄膜層１００２までの長さが１００μｍ程度であることが好ましい。この場合、各薄膜層を分離する目的で最低１０μｍの第２信号基板１００３、第３信号基板１００５、第４信号基板１００７を保有すると仮定すると、透明層１００９の樹脂層の厚みは６０μｍ以下ということになる。
本実施例では、透明層１００９の形成方法について記述する。なお、この形成方法は、第１信号基板１００１，第2信号基板１００３，第３信号基板１００５，第４信号基板１００７の形成方法にも適用可能である。特に、第２信号基板１００３、第３信号基板１００５、第４信号基板１００７は厚みが１０μｍ程度であるため、スクリーン印刷を用いて第１の樹脂層を形成することが効果的である。【００４９】
図１４（Ａ）で、スキージ固定治具１０１、スキージ１０２、紫外線硬化樹脂１０３、スクリーン１０４、スクリーン枠１０５、テーブル１０６、信号基板１０７が示されている。なお、多層薄膜層１０８’は、複数の薄膜層と信号基板が交互に並んで構成されている。
スクリーン印刷装置を使用して、樹脂を塗布する場合、まず、印刷装置の設定を行う。スキージ固定治具１０１にスキージ１０２を取り付ける。このとき、テーブル１０６に対する、スキージ１０２底面の平行度が小さくなるように調整する。この平行度が、ディスク面内の樹脂層の厚みムラに影響するため、スキージ１０２とテーブル１０６間の平行度は小さいほど、好ましい。
なお、スキージ固定治具１０１はステンレスのように、剛性に優れた材料が好ましい。【００５０】
なお、スキージ１０２は、紫外線硬化樹脂１０３に対して化学的に安定であり、かつ、ゴム状弾性を示すような材料が好ましい。印刷中は、スキージ１０２は紫外線硬化樹脂１０３と接触した状態で、スクリーン１０４の紗と何度も摩擦を繰り返すためである。
次に、スクリーン１０４を設置する。これも、スキージ１０２と同様に、テーブル１０６との水平度が重要である。
次に、信号基板１０７の上部表面には、ピットや案内溝の情報面が形成された面にスパッタリングや蒸着等の方法により記録膜材料や反射膜材料を含んだ情報層が間に中間層を挟んで形成され、これにより多層薄膜層１０８’が形成される。さらに、必要に応じて、多層薄膜層１０８’が形成された面とは反対側の面が、バキューム等の手段によってテーブル１０６上に固定される。【００５１】
一方、スクリーン１０４面は、開口部を通過する紫外線硬化樹脂１０３の量を制限することによって膜厚を均一に形成できるように設けられている。
なお、スクリーン１０４の作製方法については前記場合と同様であるので、説明を省略する。また、スクリーンと信号基板の塗布領域の関係も前記実施形態と同様であるので、説明を省略する。
図１４（Ａ）に示すように、紫外線硬化樹脂１０３は、スキージ１０２の進行方向に対して手前に滴下しておく。本形態の工程では、紫外線硬化樹脂１０３の粘度が４０００ｃｐｓであり、スクリーン１０４のメッシュ数が７０である。なお、第１の樹脂層を形成するための紫外線硬化樹脂の粘度は、５００〜１００００ｃｐｓであることが好ましい。
図１４（Ｂ）において、矢印１０９の方向に、スキージ１０２をスクリーン１０４に押し込みながら、摺動させることによって、信号基板１０７上に、紫外線硬化樹脂１０３を塗布する。この動作によって、スクリーン１０４の糸と糸の間のオープニングエリアに１種類目の紫外線硬化樹脂１０３を押し込み下方に通過させ、これを多層薄膜層１０８’に接触させることにより、樹脂の塗布が可能になる。【００５２】
図１４（Ｃ）において、１種類目の樹脂層１１０が形成された様子を表す。この塗布工程により、平均厚みが５５μｍの１種類目の樹脂層１１０を形成することができる。１種類目の樹脂層１１０の表面形状は、スクリーン１０４の版離れ、および紫外線硬化樹脂１０３の特性によるところが大きい。このとき、紫外線硬化樹脂１０３を形成した直後の表面の中心線平均粗さＲａは１４μｍである。
図１４（Ｄ）において、１種類目の樹脂層１１０の上部から紫外線照射機１１１を使用して、１種類目の樹脂層１１０を硬化させる。
図１４（Ｅ）において、硬化した１種類目の樹脂層１１０を上にした状態で、信号基板１０７を、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２を塗布するスクリーン１１３の下方に移動させる。この工程では、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２の粘度は１００ｃｐｓであり、スクリーン１１３のメッシュ数は３００である。先の工程と同様に、スキージ固定冶具１１４によって、スキージ１１５が固定されている。【００５３】
図１４（Ｆ）において、図１（Ｂ）工程と同様に、スキージ固定冶具１１４とスキージ１１５をスクリーン１１３に押し込みながら、矢印１１６の方向に移動させる。スクリーン１１３の糸と糸の間のオープニングエリアに、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２を通過させ、硬化した１種類目の樹脂層１１０上に２種類目の樹脂層を形成する。
図１４（Ｇ）において、１種類目の樹脂層１１０に接する形で、２種類目の樹脂層１１７が平均５μｍの厚みで形成されている様子を表す。このとき、２種類目の樹脂層１１７は粘度が低いため、１種類目の樹脂層１１０の凹部を埋め、１種類目の樹脂層１１０の表面粗さを補正する形でレベリングされる。なお、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２に表面張力の大きな紫外線硬化樹脂を選択すると、２種類目の樹脂層１１７の表面積、すなわち、大気の接触面積を小さくする力が大きくなることから、レベリング効果を上げる効果がある。また、２種類目の樹脂層１１７の塗布から、樹脂の硬化までの時間を長く置くことで、２種類目の樹脂層１１７が移動し、表面性を向上させることができる。【００５４】
図１４（Ｈ）において、２種類目の樹脂層１１７を塗布し、レベリングが終了した後に、紫外線照射機１１８を用いて、紫外線を浴びせ、２種類目の樹脂層１１７を硬化させる。硬化させた後の２種類目の樹脂層１１７の中心線平均粗さは１μｍ以下である。
このように、１種類目の樹脂層１１０と２種類目の樹脂層１１７からなるカバー層において、２種類目の樹脂層１１７表面の中心線平均粗さが１種類目の樹脂層１１０表面の中心線平均粗さより小さい。
なお、スクリーン印刷工法を用いて、本実施例にあるような６０μｍ前後の樹脂層の厚
膜を形成し、かつ、表面性を向上させるには、１層目の樹脂の粘度が２層目の樹脂の粘度よりも大きいことが重要である。
また、次の条件としては、２層目もスクリーン印刷工法で樹脂層を形成する場合は、１層目の樹脂層の形成時に用いるスクリーンのメッシュ数が、２層目の樹脂層の形成時に用いるスクリーンのメッシュ数より小さいことが重要である。【００５５】
以上の条件に従って、１層目の樹脂層の厚みによって、所望の厚みの半分以上の厚みを形成する。
次に、各樹脂層の表面性について説明する。本実施の形態において、１種類目の樹脂層１１０の表面の中心線平均粗さＲａは先に述べたように１４μｍである。なお、この中心線平均粗さの測定は、規格番号ＪＩＳＢ０６０１を元に行う。この中心線平均粗さＲａは、スクリーン印刷の場合、一般的に塗布膜厚に比例する。これは、厚い膜厚の樹脂層を塗布しようとすると、太い糸で、粗い目のスクリーンを用いることで、大きなオープニングエリアを得る必要があるからである。
樹脂の塗布厚みとスクリーンのメッシュ形状について前記実施形態と同様であるので説明を省略する。
以上に述べた実施形態でも前記実施形態と同様の効果が得られる。【００５６】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
実施の形態２では、１層目の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷工法で形成した後に、真空雰囲気中で表面性の高い基板と貼り合せることで、１層目の紫外線硬化樹脂の表面性を改善させる方法が開示されている。この方法は、スクリーン印刷工法とスクリーン印刷工法の組み合わせ（実施の形態１）やスクリーン印刷工法とインクジェット工法の組み合わせ（実施の形態３）にも適用できる。
実施の形態４では、カバー層のみならず中間層である信号基板を作製するのに、スクリーン印刷工法とスクリーン印刷工法を組み合わせている。中間層である信号基板を作製するのにも、スクリーン印刷工法とスピンコート工法の組合せ（実施の形態２）、またはスクリーン印刷工法とインクジェット工法の組合せ（実施の形態３）を用いても良い。【００５７】
前記実施形態では、二回の樹脂塗布工程によって、カバー層または中間層を形成している。樹脂塗布工程は三回以上行っても良く、その場合は２種類以上の紫外線硬化樹脂が用いられる。この場合に、最後に塗布される樹脂の粘度は、他の樹脂の粘度より小さいことが好ましく、最初に塗布される樹脂の粘度よりも小さいことが必要である。この結果、最表面の樹脂層の中心線平均粗さは、第１の樹脂層表面の中心線平均粗さより小さくなる。
または、樹脂層のうち、情報記録層上に形成されている第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが第１の樹脂層以外の樹脂層表面の中心線平均粗さより大きい場合も前述の効果が得られる。特に、第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが、最表面の樹脂層の中心線平均粗さより大きいことが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明に係る多層記録媒体およびその製造方法は、欠陥が少ない多層記録媒体を高速で製造することが可能であり、正確に大容量情報を再生可能な多層記録媒体、均一に液状の樹脂を塗布する手段等として有用である。また、大容量メモリーの製造等の用途にも応用できる。
【図１】
2009066414.tif 000003
【図２】
2009066414.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【手続補正書】
【提出日】平成21年2月9日(2009.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報記録層を有する情報記録媒体にレーザ光を入射して信号の記録再生を行い、前記レーザ光が入射される側の樹脂層が少なくとも２種類以上の紫外線硬化樹脂から形成されている情報記録媒体の製造方法であって、
前記情報記録層上に、液体状の第１の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷工法で塗布して第１の樹脂層を形成する工程と、
前記第１の樹脂層に接するように、前記第１の紫外線硬化樹脂よりも粘度の小さな第２の紫外線硬化樹脂を塗布して第２の樹脂層を形成する工程とを含み、
前記樹脂層の形成方法において、前記第１の樹脂層の厚みが、前記第２の樹脂層の厚みより大きく、
前記第２の樹脂層の形成方法が、スクリーン印刷工法である、情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
（削除）
【請求項３】
（削除）
【請求項４】
前記第２の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数は、前記第１の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数より大きいことを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
（削除）
【請求項６】
（削除）
【請求項７】
前記第１の樹脂層をスクリーン印刷工法で形成した後で、液体上の前記第１の紫外線硬化樹脂が塗布された情報記録媒体と表面が平坦な基板を真空雰囲気下で貼り合せる工程と
前期情報記録媒体と前記平坦な基板を貼り合せた状態で紫外線を照射する工程と
前記情報記録媒体と前記平坦な基板とを剥離する工程とを
含むことを特徴とする請求項１または４に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項８】
前記樹脂層の形成方法において、
前記第１の紫外線硬化樹脂を形成した後の工程で、第１の紫外線硬化樹脂を硬化させる目的で、紫外線を照射することを特徴とする請求項１、４および７いずれかに記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項９】
情報記録層を有し、前記情報記録層の上には樹脂層が形成されている情報記録媒体において、
前記樹脂層が２層以上の樹脂で形成されており、
前記樹脂層のうち、前記情報記録層上に形成されている第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが前記第１の樹脂層以外の樹脂層表面の中心線平均粗さより大きいことを特長とする情報記録媒体。
【請求項１０】
前記情報記録媒体において、前記第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが、最表面の樹脂層の中心線平均粗さより大きいことを特徴とする請求項９に記載の情報記録媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月17日(2010.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報記録層を有する情報記録媒体にレーザ光を入射して信号の記録再生を行い、前記レーザ光が入射される側の樹脂層が少なくとも２種類以上の紫外線硬化樹脂から形成されている情報記録媒体の製造方法であって、
前記情報記録層上に、液体状の第１の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷工法で塗布して第１の樹脂層を形成する工程と、
前記第１の樹脂層に接するように、前記第１の紫外線硬化樹脂よりも粘度の小さな第２の紫外線硬化樹脂を塗布して第２の樹脂層を形成する工程と、を含み、
前記樹脂層の形成方法において、前記第１の樹脂層の厚みが、前記第２の樹脂層の厚みより大きく、
前記第２の樹脂層の形成方法が、スクリーン印刷工法である、情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記第２の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数は、前記第１の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数より大きいことを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記第１の樹脂層をスクリーン印刷工法で形成した後で、液体上の前記第１の紫外線硬化樹脂が塗布された情報記録媒体と表面が平坦な基板を真空雰囲気下で貼り合せる工程と、
前期情報記録媒体と前記平坦な基板を貼り合せた状態で紫外線を照射する工程と、
前記情報記録媒体と前記平坦な基板とを剥離する工程と、
を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記樹脂層の形成方法において、
前記第１の紫外線硬化樹脂を形成した後の工程で、第１の紫外線硬化樹脂を硬化させる目的で、紫外線を照射することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
情報記録層を有し、前記情報記録層の上には樹脂層が形成されている情報記録媒体において、
前記樹脂層が２層以上の樹脂で形成されており、
前記樹脂層のうち、前記情報記録層上に形成されている第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが前記第１の樹脂層以外の樹脂層表面の中心線平均粗さより大きいことを特徴とする情報記録媒体。
【請求項６】
前記情報記録媒体において、前記第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが、最表面の樹脂層の中心線平均粗さより大きいことを特徴とする請求項５に記載の情報記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】      明細書
【発明の名称】  情報記録媒体およびその製造方法
【技術分野】
【０００１】
本発明は、再生または記録再生を目的とした情報記録媒体とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器・映像音響機器等が必要とされる情報量の拡大化に伴い、データアクセスの容易さ、大容量データの蓄積、機器の小型化に優れている光ディスクなどの情報記録媒体が注目され、記録情報の高密度化がなされている。例えば、光ディスクの高密度化の手段として、レーザ光の波長を約４００〜４０５ｎｍとし、レーザ光を絞り込むための集光レンズとして開口数（ＮＡ）を０．８５の再生ヘッドを用いて、単層で２５ＧＢ程度、２層で５０ＧＢ程度の容量の光記録媒体が提案され、市場で「ブルーレイ・ディスク」として発売されている。
図２に、容量２５ＧＢ単層のブルーレイ・ディスクの断面図を示している。このブルーレイ・ディスクは、片面に凹凸形状からなるピットや案内溝の情報面が転写形成された信号基板２０１と、薄膜層２０２と、透明基板２０４と、透明層２０３により構成されている。薄膜層２０２は、信号基板２０１の凹凸形状が設けられた面上に配置されている。透明層２０３は、薄膜層２０２と透明基板２０４とを貼り合わせるために設けられている。
【０００３】
信号基板２０１は、一般的に射出圧縮成形等により作製され、スタンパと呼ばれる金型によって片面に情報面が転写形成されている。この上面の上に、薄膜層が形成されることで、情報記録層が形成されている。信号基板２０１の厚みは１．１ｍｍ程度である。薄膜層２０２は、記録膜や反射膜を含んでおり、信号基板２０１のピットや案内溝が形成された面側にスパッタリングや蒸着等の方法により形成されている。透明基板２０４は、記録再生光に対して透明な（透過性を有する）材料からなり、厚みが０．１ｍｍ程度である。透明層２０３は、２枚の透明基板２０４，２０５を互いに接着するために設けられており、光硬化樹脂や感圧接着剤等の接着剤から形成されている。透明基板２０４と透明層２０３を合わせてカバー層ともいう。透明基板を貼り付けることなく透明層を硬化させることのみでカバー層を形成することもある。このような多層情報記録媒体の記録再生は、透明基板２０４側から記録再生レーザ光を入射することによって行う。
【０００４】
このような情報記録媒体においては、カバー層は、紫外線硬化樹脂などを用いてスピンコート法により作製されることが多い（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【特許文献１】特開２００５−２５９３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、スピンコート法によって、カバー層を形成したりすることは、周方向の細かな膜厚変動や、半径方向の大きな膜厚変動を発生してしまうという課題がある。また、被塗布基板の端面まで樹脂が行き渡るので、スピン回転を停止させて光照射によって樹脂を硬化させるときに被塗布基板の端面部において、樹脂が表面張力による盛り上がりが発生し膜厚が厚く構成されてしまう。これにより、レーザを用いて媒体への信号の記録再生を行う際に以下の問題が生じる。膜厚変動により発生する球面収差によって、光スポットの絞りの変動が生じたり、情報面上へ光スポットのフォーカス制御、信号列に光スポットを追従させるトラッキング制御に影響を与えたりしてしまう。また、スピンコート法では、塗布厚みの均一性を実現するための条件の制御が複雑であり、１層ずつスピンコートを実施することによりタクト時間が長くなってしまう。
【０００６】
一方で、スクリーン印刷技術を応用し、スキージをスクリーン上で摺動せることにより紫外線硬化樹脂などを基板の情報面に塗布（印刷）し、樹脂層を形成する手法がある。この方法には、タクト時間短縮が比較的容易によりなり、さらにスクリーンの形状を制御することで所望の箇所に樹脂が塗布できる等の長所がある。
しかしながら、スクリーン印刷は、スクリーンの網目を通過して樹脂が基板に付着するため、スクリーンを構成している線の部分や、線同士が交わっている交点部分では樹脂が基板に付着しにくい。このため、樹脂の塗布面には、スクリーンの形状を反映した凹凸が発生する。
先に述べたように、レーザを用いて信号を記録再生する場合は、樹脂の盛り上がりがレーザ光のフォーカス制御、トラッキング制御に悪影響をもたらす。したがって、スクリーン印刷は、タクト時間の短縮は容易である反面、樹脂表面の表面性に課題があると考えられる。
【０００７】
本発明の目的は、安定した再生信号が得られる記録情報媒体を安価に作成できる、情報記録媒体およびその製造方法を提供することにある。
本発明の情報記録媒体のカバー層の製造方法は、情報記録膜を有する情報記録媒体にレーザ光を入射して信号の記録再生を行い、レーザ光が入射される側の樹脂層が少なくとも２種類以上の紫外線硬化樹脂から形成されている情報記録媒体の製造方法であって、以下の工程を含んでいる。
◎情報記録膜上に、液体状の第１の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷工法で塗布して、第１の樹脂層を形成する工程
◎第１の樹脂層に接するように、第１の紫外線硬化樹脂よりも粘度の小さな第２の紫外線硬化樹脂を塗布して第２の樹脂層を形成する工程
第１の樹脂層の厚みが、第２の樹脂層の厚みより大きいことが好ましい。
【０００８】
第２の樹脂層の形成方法が、スクリーン印刷工法であることが好ましい。
第２の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数が、第１の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数より大きいことが好ましい。
第２の樹脂層の形成方法が、インクジェット工法であることが好ましい。
第２の樹脂層の形成方法が、スピンコート工法であることが好ましい。
また、以下の工程をさらに含んでいることが好ましい。
◎第１の樹脂層をスクリーン印刷工法で形成した後で、液体上の第１の紫外線硬化樹脂が塗布された情報記録媒体と表面が平坦な基板を真空雰囲気下で貼り合せる工程
◎情報記録媒体と平坦な基板を貼り合せた状態で紫外線を照射する工程
◎情報記録媒体と平坦な基板とを剥離する工程
第１の紫外線硬化樹脂を形成した後の工程で、第１の紫外線硬化樹脂を硬化させる目的で、紫外線を照射することが好ましい。
【０００９】
上記のような製造方法で情報記録媒体を作製すれば、樹脂層を形成に要する時間が短縮できるため、高い生産性が期待できる。また、生産に用いる設備構成が比較的単純なためメンテナンス頻度を低減することができる。このため、大容量の情報記録媒体をより安価に市場に提供することが可能である。
本発明の他の見地に係る情報記録媒体は、情報記録層を有し、情報記録層の上には樹脂層が形成されている情報記録媒体において、樹脂層が２層以上の樹脂で形成されている。樹脂層のうち、情報記録層上に形成されている第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが第１の樹脂層以外の樹脂層表面の中心線平均粗さより大きい。
情報記録媒体において、第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが、最表面の樹脂層の中心線平均粗さより大きいことが好ましい。
【００１０】
本発明の情報記録媒体およびその製造方法によれば、短時間で記録層上の樹脂層を形成することができる。また、２層目の樹脂層表面の中心線平均粗さは微小であるため、信号を記録再生するレーザ光のフォーカス制御、トラッキング制御が安定化し、良好に信号の記録再生が行える情報記録媒体を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】  本発明の実施の形態における樹脂の塗布工程の一例を示す断面図。
【図２】  Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃの構成模式図。
【図３】  記録膜の構成を説明する断面図。
【図４】  情報記録媒体の信号の記録再生装置の構成を示した図。
【図５】  情報記録媒体の表面凹凸と再生レーザ光の入射角度を示す模式図。
【図６】  本発明の実施の形態におけるスクリーンと信号基板の図。
【図７】  本発明の実施の形態におけるスクリーンの拡大図と樹脂の断面図。
【図８】  スクリーン印刷を行った場合の樹脂粘度と表面粗さの関係を示すグラフ。
【図９】  本発明の実施の形態における貼り合わせ工程の一例を示す断面図。
【図１０】  本発明の実施の形態におけるインクジェット工程を示す模式図。
【図１１】  本発明の実施の形態における２種類目の紫外線硬化樹脂を塗布する説明図。
【図１２】  本発明の実施形態における多層の情報記録媒体の断面図。
【図１３】  本発明の実施形態における多層の情報記録媒体の記録膜の構成を説明する断面図。
【図１４】  本発明の実施の形態における樹脂の塗布工程の一例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態は光ディスク形状の情報記録媒体の構造例について説明するが、生産される商品としては、光ディスクの形状に限定されない。以下、高速、かつ樹脂層の厚みを均一に形成できる製造方法、製造装置を提案するものである。
記録媒体の作製、および情報の記録再生を行う工程は、複数のプロセスにまたがっているため、それぞれのプロセスについて、図を用いて説明する。
まず、Ｂｌｕ-ｒａｙ  Ｄｉｓｃにおいて、カバー層を形成する前までのプロセスを図２を参照しながら説明する。
信号基板２０１は、反りや剛性を良くして、さらにＣＤやＤＶＤなどの光ディスクと厚み互換を有するように、外径φ１２０ｍｍ、厚さが１．０〜１．１ｍｍ程度のポリカーボネイトやアクリル系樹脂の円板から形成されている。信号基板２０１には、スタンパと呼ばれる金型を用いて、射出圧縮成形等の樹脂成形によって片面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が作製されている。基板の中心部にはプレーヤが信号を記録再生する際に、ディスクを保持して回転させるために用いる直径φ１５ｍｍの中心穴が設けられている（図示せず）。本実施の形態においては代表例としてポリカーボネイトを用いた場合について説明する。
【００１３】
信号基板２０１の上には、光硬化樹脂材料からなる透明層２０３などが積層形成されるので、情報記録媒体の形状は光硬化樹脂特有の特徴といえる光硬化収縮によって、例えば情報面を上にした場合は凹形状の反りとなってしまう。したがって、信号基板２０１の反りは予め情報面を上にして凸形状の反りに形成することでカバー層を積層した後で情報記録媒体の反りが平坦になるように成形している。
薄膜層２０２は、情報記録媒体の目的がＲＯＭの場合、再生されるレーザ光に対して反射の特性を有する。例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ、ＳｉＯ2などの金属や半導体、誘電体をスパッタリングや蒸着等の方法を用いて薄膜形成する。
情報記録媒体の目的とすることがＷｒｉｔｅ  Ｏｎｃｅ型の場合の記録膜の構成について図３を用いて以下に説明する。情報面３０２は、ピットや案内溝を有している。第１信号基板３０１上の情報面３０２に対して、ＡｌＣｒからなる反射膜３０３、ＺｎＳ膜３０４、ＴｅＯＰｄ記録膜３０５、ＺｎＳ膜３０６が順次形成されている。また、これら膜は、スパッタリングや蒸着等の方法により形成されている。本代表例として反射膜３０３としてＡｌを使用した場合について説明しているが、ＲＯＭと同様に、ＡｇやＡｕ等の金属を主成分とする材料を用いても良い。また、薄膜層として色素膜等を含む構成を用いることでも実現できる。
【００１４】
工程としては、反射膜、あるいは記録膜が形成されている信号基板上に、カバー層を形成するが、この工程は、詳しく後述するので、先に情報記録媒体の記録／再生方法を説明する。
ここで、図４の多層情報記録媒体の記録／再生装置の模式図を用いて、多層情報記録媒体から情報を記録／再生方法、および記録／再生装置の機構の１例を説明する。
この図では、情報記録媒体４０１を装着した状態を示している。この記録／再生装置は、以下に列記する各装置を有している。スピンドルモーター４０２は、情報記録媒体４０１を装着して回転させる。コントローラー４０３は各種制御を実行する。変調器４０４は、記録するデータを記録信号に変換する。レーザ駆動回路４０５は、記録信号に従って半導体レーザを駆動する。光学ヘッド４０６は、半導体レーザを有し、レーザ光を媒体に集光し、情報の記録を行うと共に、反射光から再生信号を得る。プリアンプ４０７は、再生信号を増幅し、情報再生信号４０７Ｓ、フォーカスエラー信号４０７Ｆ、トラッキングエラー信号４０７Ｔを生成する。２値化回路４０８は、情報再生信号４０７Ｓを２値化信号に変換する。データ復調回路４０９は、２値化信号からデータを復調する。信号品質判定器４１０は、媒体のテスト記録領域において特定のデータを試験的に記録した信号の品質を判定する。記録条件格納手段４１１は、学習動作によって得られた最適な記録条件を格納する。パルス条件設定手段４１２は、前記記録条件に従ってレーザパルスを制御する。記録トラック情報格納手段４１３は、情報記録媒体４０１から読み出した記録トラック情報を格納する。フォーカス制御回路４１４は、レーザ光が情報記録媒体４０１の記録層に焦点を合わせるようにフォーカスエラー信号４０７Ｆに基づいて光学ヘッド４０６を制御する。トラッキング制御回路４１５は、レーザ光が情報記録媒体４０１のトラックを適切に走査するように、トラッキングエラー信号４０７Ｔに基づいて光学ヘッド４０６を制御する。移動手段４１６は、光学ヘッド４０６を情報記録媒体４０１の径方向に移動させる。
【００１５】
ここで、フォーカスエラー信号４０７Ｆは、非点収差法と呼ばれる一般的な方法で生成される。トラッキングエラー信号４０７Ｔは、プッシュプル法と呼ばれる一般的な方法で生成される。
最初に、起動工程において、情報記録媒体４０１をスピンドルモーター４０２に装着し、回転させた後、情報記録媒体４０１上に光学ヘッド４０６によって情報再生用のレーザ光を照射し、記録層に焦点を合わせる。
記録トラック情報等の再生は、情報再生信号４０７Ｓを２値化回路４０８で２値化した信号を、データ復調回路４０９で復調し、コントローラー４０３に取り込んで行う。情報再生信号４０７Ｓは、光学ヘッド４０６で情報記録媒体４０１からの反射光から得られる。２値化回路４０８は予め定められた２値化スライスレベルに設定されている。このようにして、情報記録媒体に記録された記録トラック情報を読み出される。
【００１６】
また、記録の際は、コントローラー４０３から出力された特定データを変調器４０４でレーザ駆動信号に変換し、レーザ駆動回路４０５は、レーザ駆動信号に従って光学ヘッド４０６に設置された半導体レーザを駆動する。光学ヘッド４０６によって、情報記録媒体４０１の記録領域に信号の記録を行う。具体的には、半導体レーザから出射された光を情報記録媒体４０１に集光し、記録トラック情報に基づいてトラックのグルーブ部またはランド部にレーザ光をトラッキングする。
多層の情報記録媒体４０１から、正しく、信号が記録／再生することができるかを判定するためには、以下の方法を用いる。上述のように記録されたデータの再生信号を２値化回路４０８で２値化した信号と、記録の際にコントローラー４０３から出力されたデータを比べる。
【００１７】
なお、再生専用の多層情報記録媒体では、多層情報記録媒体上に情報となる凹凸で形成されたピットが形成されており、トラッキングエラー信号４０７Ｔは、ディファレンシャルプッシュプル法と呼ばれる一般的な方法で生成される。したがって、レーザ光がピット列にトラッキングして、情報の再生のみが行われる。
また、図５（Ａ）および（Ｂ）の再生時の記録媒体断面図を用いて、カバー層の表面荒れの有無により、情報の信頼性が失われる機構を説明する。図５（Ａ）では、情報記録媒体のカバー層に表面荒れが発現していない場合を表し、図５（Ｂ）では、情報記録媒体のカバー層に表面荒れが発現している場合を表す。なお、図５では、記録層が１層しかない単層構造の情報記録媒体で説明するが、この現象は、記録層を複数保有するような多層情報記録媒体でも起こりえる。
【００１８】
図中で、５０１は片面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が形成された基板である信号基板を表している。この現象は、信号基板５０１上に形成された凹凸が、ピットであろうが、案内溝でも両方とも発生するが、この図では、案内溝の場合を説明する。信号基板５０１に形成された凹凸において、レーザ光入射面側から見て凸である部分をグルーブ部５０３、凹である部分をランド部５０２と呼ぶ。なお、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃの場合、２５ＧＢのディスク容量では、トラックピッチが３２０ｎｍ程度である。よって、この一組のグルーブ部５０３とランド部５０２の長さは３２０ｎｍ程度である。ランド部５０２とグルーブ部５０３の大きさがほぼ同程度の場合は、グルーブ部の幅は１６０ｎｍ程度となる。５０９は信号基板５０１面の情報面が形成された薄膜層を表し、５０４は薄膜層５０９上に形成されたカバー層を表す。また、カバー層表面を５０５と記す。なお、この図では、カバー層を１層の樹脂で形成した場合を表している。５０７は情報を再生および記録するためのレーザ光、５０６は薄膜層５０９上に集光されたビームスポット部、５０８はレーザ光５０７を薄膜層５０９上に集光させる対物レンズで、通常光学ヘッド中（記載せず）に配置されている。
【００１９】
以下は、情報記録媒体より、情報を再生する際の欠陥部の影響を説明するが、記録の際にも同様の現象が起こる。
情報記録媒体より、信号を再生する際には、レーザ光５０７のフォーカスを所望の薄膜層に合わせる。図中では、ビームスポット部５０６に集光させる。
ここで、レーザ光の通過経路を追ってみると、まず、対物レンズ５０８により集光されたレーザ光５０７は、入射光量にカバー層５０４の透過率分を乗じた光量だけ通過する。このとき、空気とカバー層５０４の屈折率が異なるため、レーザ光の入射角度とカバー層５０４の屈折角度の正弦比が異なる。
なお、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃに使用されているレーザ光の波長は４０５ｎｍ近傍で、この波長に対する屈折率は、空気で１．００であり、カバー層５０４に使用される屈折率は、その材料にもよるが、一般的には１．４５以上１．７０以下程度の樹脂やシートが用いられている。
【００２０】
カバー層５０４を通過したレーザ光５０７は、薄膜層５０９に集光され、入射光とは逆方向に帰ってきて、光の強弱を電気信号に変換するディテクター（図示せず）に入射される。レーザ光５０７は、照射された光量に薄膜層５０９の反射率を乗じた光量が薄膜層５０９で反射されて、再度、カバー層５０４の透過率分だけ光量が減少される。この結果、データが読み出される。
情報記録媒体の再生／記録方法では、より正確に信号の記録再生を行うために、各種の収差が小さくなるようにレンズが設計されている。さらに、記録密度を高める目的で、小さな記録マークでもばらつきが小さくなるために、薄膜層５０９上の光スポット径が小さくなるようにフォーカス制御回路４１４が働いている。
図５（Ａ）のように、カバー層５０４の表面に、表面荒れが存在しない場合は、上記光路を経由することで、所望の情報層から、信号を再生することができる。
【００２１】
一方、図５（Ｂ）の場合は、カバー層表面５１２上に表面荒れが存在している。図ではカバー層の表面中に角度αだけカバー層表面が傾いている場合を図示している。この場合、レーザ光５０７はカバー層５０４に対して本来入射されるべき入射角度よりも、αだけ傾いて入射され、カバー層５０４の内部を本来通過するべき経路を通らない。この入射角度のずれにより、本来焦点を結ぶべきビームスポット５１０とは、異なる箇所５１１に光の焦点を集めてしまうことになる。これは、正確に信号を記録／再生する際の大きな障害となる。一般的には、本来焦点を結ぶべきビームスポット５１０と異なる箇所５１１の半径方向ずれ量をオフトラック量と呼び、ディスクの厚み方向のずれ分をデフォーカス量と呼ぶ。
通常のＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃでは、グルーブ部５０３の幅は１６０ｎｍ前後であることから、この値に比べて、オフトラック量が十分小さいことが好ましい。また、通常のＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃの記録／再生装置では、５ｕｍ程度のデフォーカス量に対する余裕が確保されている。そのため、デフォーカス量は５ｕｍに比べて十分小さいことが好ましい。すなわち、オフトラック量のほうが、約３０倍小さいことが要求されるため、表面荒れの最小値を決定するのは、デフォーカス量よりもオフトラック量であるといえる。このため、カバー層表面５１２上の凹凸は、オフトラック量が所望の大きさ以下になるように、できるだけ小さいことが好ましい。
【００２２】
以上が、多層記録媒体の製造方法の一例と、情報の記録再生方法の一例である。以下の、実施の形態では、具体例として、カバー層の製造方法を詳細に説明し、発明の効果を述べる。
（実施の形態１）
以下に、本発明の多層情報記録媒体のカバー層の製造方法について図１を用いて説明する。
図１は本発明の実施の形態における樹脂の塗布工程の一例を示す図である。
図１（Ａ）〜（Ｄ）によって、カバー層を構成する１種類目の樹脂層を形成する工法の模式図を示し、図１（Ｅ）〜（Ｈ）によって、２種類目の樹脂層を形成する工法の模式図を示す。
【００２３】
図１（Ａ）で、スキージ固定治具１０１、スキージ１０２、紫外線硬化樹脂１０３、スクリーン１０４、スクリーン枠１０５、テーブル１０６、信号基板１０７が示されている。薄膜層１０８は、信号基板１０７に形成された単層の薄膜である。
スクリーン印刷装置を使用して、樹脂を塗布する場合、まず、印刷装置の設定を行う。最初に、スキージ固定治具１０１にスキージ１０２を取り付ける。このとき、テーブル１０６に対する、スキージ１０２底面の平行度が小さくなるように調整する。この平行度が、ディスク面内の樹脂層の厚みムラに影響するため、スキージ１０２とテーブル１０６間の平行度は小さいほど、好ましい。
スキージ固定治具１０１はステンレスのように、剛性に優れた材料が好ましい。
スキージ１０２は、紫外線硬化樹脂１０３に対して化学的に安定であり、かつ、ゴム状弾性を示すような材料が好ましい。印刷中は、スキージ１０２は紫外線硬化樹脂１０３と接触した状態で、スクリーン１０４の紗と何度も摩擦を繰り返すためである。
【００２４】
次に、スクリーン１０４を設置する。これも、スキージ１０２と同様に、テーブル１０６との水平度が重要である。
次に、信号基板１０７の上部表面には、ピットや案内溝の情報面が形成された面にスパッタリングや蒸着等の方法により記録膜材料や反射膜材料を含んだ薄膜層１０８が形成される。さらに、必要に応じて、信号基板１０７の薄膜層１０８が形成された面とは反対側の面が、バキューム等の手段によってテーブル１０６上に固定される。
一方、スクリーン１０４面は、開口部を通過する紫外線硬化樹脂１０３の量を制限することによって膜厚を均一に形成できるように設けられている。
次にスクリーン１０４の作製方法について説明する。スクリーン枠１０５に、スクリーン材料となる紗を張り、その上に感光乳剤をコーティングする。次いで、コーティングされたスクリーン用材料の所定の位置（複数の穴を形成する位置）以外を遮光マスクによりマスクし、スクリーン用材料に露光装置を用いて紫外線を一定時間照射する。紫外線照射によって露光された感光乳剤を水噴射などによって水洗することにより現像して、スクリーン１０４を得る。
【００２５】
スクリーンと信号基板の塗布領域の関係を、図６を用いて説明する。
本実施例においては、遮光マスクにより、感光乳剤を紗上に残した部分が６０２Ａ、および６０２Ｂの領域に該当し、露光により紗が露出した部分が６０３に該当する。
なお、スクリーン枠６０１には、例えば、木材、アルミ、ステンレス、プラスチックなどの材料を用いることができるが、なかでも、軽量かつ剛性の高いアルミニウムが好ましい。スクリーン材料となる紗は、シルク、ナイロン（登録商標）、テトロン（登録商標）、Ｖスクリーン（登録商標）、ステンレスなどを用いることができる。ただし、スクリーンは信号基板の表面に直接触れるものであるので、柔らかい材質のものが好ましい。そのため、ステンレスのような金属材料よりも、ナイロンなどの有機材料のほうが好ましい。感光乳剤には、例えば、ジアゾニウム塩または重クロム酸塩を、ＰＶＡまたは酢酸ビニルエマルジョンに混合し溶解させたものなどを用いることができる。スクリーン材料の所定の位置におけるメッシュ数（１インチあたりの線材の本数）は、５０〜６００であると好ましい。メッシュ数がこの範囲内にあれば、樹脂含有塗料の通過不良や塗布ムラを生じさせることなく、樹脂含有材料と塗布できる。なお、スクリーンの穴は網目に限定されない。
【００２６】
なお、本実施の形態においてはスクリーン枠６０１として軽量かつ剛性の高いアルミを使用し、信号基板への負荷が小さくなるようにＶスクリーンを使用した場合について説明するが、他の材料を用いても実現することができる。
樹脂の粘度が低い場合は塗布後の樹脂の流動が発生し、端面への樹脂はみ出しや樹脂盛り上がりを生じてしまう。樹脂粘度が高い場合はスクリーンを通って樹脂が転移し難くなる。工程中の温湿度変化による樹脂粘度の低下影響等を考慮すると、樹脂の粘度は３０ｃｐｓから１００００ｃｐｓ範囲内であることが好ましい。
スクリーン６０４は、開口部の形成領域６０３を選択することにより、紫外線硬化樹脂の信号基板６０６上への塗布範囲を制限することが可能である。よって、本実施の形態においては、開口部の形成領域６０３と感光乳剤を紗上に残した部分６０２Ａの境界位置を変えることで、形成する樹脂の端部位置を制御することができる。
【００２７】
信号基板６０５上に、スクリーン６０４を用いたスクリーン印刷工法により、樹脂の塗布を行った場合は、樹脂の塗布領域が６０６のようになる。本実施の形態においては、信号基板６０５は、内径穴６０７の直径が１５ｍｍで、外径の直径が１２０ｍｍのものを使用する。スクリーン６０４は、感光乳剤を紗上に残した部分６０２Ａと開口部の形成領域６０３の境界位置が直径２０ｍｍ、感光乳剤を紗上に残した部分６０２Ｂと開口部の形成領域６０３の境界位置が直径１１９．８ｍｍである。
次に、図１（Ａ）に示すように、紫外線硬化樹脂１０３は、スキージ１０２の進行方向に対して手前に滴下しておく。本形態の工程では、紫外線硬化樹脂１０３の粘度は４０００ｃｐｓであり、スクリーン１０４のメッシュ数が７０である。なお、第１の樹脂層を形成するための紫外線硬化樹脂の粘度は、５００〜１００００ｃｐｓであることが好ましい。
【００２８】
図１（Ｂ）において、矢印１０９の方向に、スキージ１０２をスクリーン１０４に押し込みながら、摺動させることによって、信号基板１０７上に、紫外線硬化樹脂１０３を塗布する。この動作によって、スクリーン１０４の糸と糸の間のオープニングエリアに１種類目の紫外線硬化樹脂１０３を押し込み下方に通過させ、これを薄膜層１０８に接触させることにより、樹脂の塗布が可能になる。
図１（Ｃ）において、１種類目の樹脂層１１０が形成された様子を表す。この塗布工程により、平均厚みが８０μｍの１種類目の樹脂層１１０を形成することができる。１種類目の樹脂層１１０の表面形状は、スクリーン１０４の版離れ、および紫外線硬化樹脂１０３の特性によるところが大きい。このとき、紫外線硬化樹脂１０３を形成した直後の表面の中心線平均粗さＲａは１４μｍである。１種類目の樹脂層１１０の表面形状については、後述で詳細に述べる。
【００２９】
図１（Ｄ）において、１種類目の樹脂層１１０の上部から紫外線照射機１１１を使用して、１種類目の樹脂層１１０を硬化させる。
図１（Ｅ）において、硬化した１種類目の樹脂層１１０を上にした状態で、信号基板１０７を、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２を塗布するスクリーン１１３の下方に移動させる。この工程では、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２の粘度が１００ｃｐｓであり、スクリーン１１３のメッシュ数が３００のである。先の工程と同様に、スキージ固定冶具１１４によって、スキージ１１５が固定されている。
図１（Ｆ）において、図１（Ｂ）工程と同様に、スキージ固定冶具１１４とスキージ１１５をスクリーン１１３に押し込みながら、矢印１１６の方向に移動させる。スクリーン１１３の糸と糸の間のオープニングエリアに、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２を通過させ、硬化した１種類目の樹脂層１１０上に２種類目の樹脂層１１７を形成する。
【００３０】
図１（Ｇ）において、１種類目の樹脂層１１０に接する形で、２種類目の樹脂層１１７が平均２０μｍの厚みで形成されている様子を表す。このとき、２種類目の樹脂層１１７は粘度が低いため、１種類目の樹脂層１１０の凹部を埋め、１種類目の樹脂層１１０の表面粗さを補正する形でレベリングする。なお、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２に表面張力の大きな紫外線硬化樹脂を選択すると、２種類目の樹脂層１１７の表面積、すなわち、大気の接触面積を小さくする力が大きくなることから、レベリング効果を上げる効果がある。また、２種類目の樹脂層１１７の塗布から、樹脂の硬化までの時間を長く置くことで、２種類目の樹脂層１１７が移動し、表面性を向上させることができる。
図１（Ｈ）において、２種類目の樹脂層１１７を塗布し、レベリングが終了した後に、紫外線照射機１１８を用いて、紫外線を浴びせ、２種類目の樹脂層１１７を硬化させる。硬化させた後の２種類目の樹脂層１１７の中心線平均粗さは１μｍ以下である。
【００３１】
このように、１種類目の樹脂層１１０と２種類目の樹脂層１１７からなるカバー層において、２種類目の樹脂層１１７表面の中心線平均粗さは、１種類目の樹脂層１１０表面の中心線平均粗さより大きい。
なお、スクリーン印刷工法を用いて、本実施例にあるような８０μｍ前後の樹脂層の厚膜を形成し、かつ、表面性を向上させるには、１層目の樹脂の粘度が２層目の樹脂の粘度よりも大きいことが重要である。
また、次の条件としては、２層目もスクリーン印刷工法で樹脂層を形成する場合は、１層目の樹脂層の形成時に用いるスクリーンのメッシュ数が、２層目の樹脂層の形成時に用いるスクリーンのメッシュ数より小さいことが重要である。
以上の条件に従って、１層目の樹脂層の厚みによって、所望の厚みの半分以上の厚みを形成する。
【００３２】
このように、第２の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数が、第１の樹脂層を形成するスクリーン印刷工法に用いられるスクリーンのメッシュ数より大きいので、以下の優れた効果が得られる。第１の樹脂層を形成する際には、目の粗いスクリーンによって厚みの大きな第１の樹脂層を短時間で形成できる。この場合、樹脂の粘度が大きい方が効果的である。第２の樹脂層を形成する際には、目の細かいスクリーンに粘度の小さな樹脂を通すことによって第２の樹脂層を形成する。第２の樹脂層は、すぐれた表面性を確保している。この結果、記録情報媒体において、安定した再生信号が得られる。
第１の樹脂層を形成するのに用いられたスクリーンのメッシュ数は７０であるが、５０〜８０の範囲にあることが好ましい。第２の樹脂層を形成するのに用いられたスクリーンのメッシュ数は３００であるが、１５０〜４５０の範囲にあることが好ましい。
【００３３】
第１の樹脂層の厚みは樹脂層全体の８０％であるが、５０％以上であることが好ましい。より好ましくは、第１の樹脂層の厚みは樹脂層全体の８０〜９０％の範囲にある。
次に、各樹脂層の表面性について説明する。本実施の形態において、１種類目の樹脂層１１０の表面の中心線平均粗さＲａは先に述べたように１４μｍである。なお、この中心線平均粗さの測定は、規格番号ＪＩＳＢ０６０１を元に行う。この中心線平均粗さＲａは、スクリーン印刷の場合、一般的に塗布膜厚に比例する。これは、厚い膜厚の樹脂層を塗布しようとすると、太い糸で、粗い目のスクリーンを用いることで、大きなオープニングエリアを得る必要があるからである。
樹脂の塗布厚みとスクリーンのメッシュ形状について、図７を用いて説明する。図７（Ａ）はスクリーンの網目部の拡大図を表している。スクリーンを形成する１本の糸を７０１で表しており、７０２の線径を有している。また、７０３は、糸と糸の間隔幅を表している。スクリーンを切断し、その断面を表しているのが、図７（Ｂ）である。図７（Ｂ）中で、７０４の幅は糸の線径を表し、７０５は糸と糸の間隔幅を表している。また、７０６は乳剤を含んだスクリーンの厚みを表す。スクリーンの厚み７０６は、線径７０４と密接な関係があり、糸の線径７０４が太ければ、スクリーンの厚み７０６も厚くなる。さらに、図７（Ｃ）にはこのスクリーンを使用して、基板７０９上に樹脂層７０８が形成されている図を表している。樹脂層の厚みは７０７の大きさであるとする。スクリーンと樹脂層の厚みが図７のように、定義されている場合、樹脂層の厚み７０７は次式で表すことができる。
【００３４】
（樹脂層の厚み７０７）＝（糸と糸の間隔幅７０３）2×（スクリーンの厚み７０６）÷（糸と糸の間隔幅７０３＋線径７０４）2
なお、実際のスクリーン印刷では、糸と糸の間隔幅の中に注入された樹脂全部が、基板に付着して樹脂層を形成するわけではないので、計算式よりは、何割か少ない樹脂体積で、基板７０９上に樹脂層が形成される。
よって、樹脂層の厚み７０７を、より大きな値にしようとする場合、スクリーンの厚み７０６が大きい、すなわち、大きな線径７０４を有するスクリーンのほうが適している。
また、スクリーンの糸７０１と基板７０９が接触する部分には、樹脂層が形成されにくく、糸と糸の間隔部７０５と基板７０９が接触する部分には、樹脂層が形成される。したがって、形成される樹脂層７０８の表面の凹凸は、このスクリーン形状を大きく反映するものとなる。すなわち、線径７０４の大きなスクリーンを使用した場合は、基板上に樹脂層が形成されにくい面積が大きくなり、かつ、スクリーンの厚み７０６が増える。その結果、糸と糸の間隔幅内に包括される樹脂体積量が増えるので、形成される樹脂層７０８の凹凸幅が大きくなる。
【００３５】
つまり、スクリーン印刷を用いて、厚みの大きい樹脂層を形成する場合には、形成される樹脂層の表面凹凸が大きくなる。このため、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃなどのレーザ光の入射側の樹脂層のように、高い表面性が求められる樹脂層の形成には不向きであった。
そこで、本実施例のように、２種類以上の粘度の異なる樹脂層を使用し、１層目で表面性が悪いながらも、樹脂層の厚みをかせぎ、２層目の粘度の低い樹脂層を形成し、レベリングすることで、１層目の表面性を良化させている。この結果、所望の樹脂層の表面性を確保することが可能になる。
なお、本実施例では、２種類の紫外線硬化樹脂を使用したが、以下の問題が想定される。レーザ光を入射して、信号の記録、再生を実施する場合、レーザ光は２つの紫外線硬化樹脂の界面を通過する。このとき、２種類の紫外線硬化樹脂の屈折率が大きく異なってしまうと、２つの紫外線硬化樹脂の界面で、レーザ光の乱反射が起こり、出力したレーザ光のエネルギーを損失してしまう。そのため、記録の際に明瞭なマークが記録できないなどの障害が起こる。この問題を生じさせないためには、記録、再生に用いるレーザ光の波長に対して、２種類の紫外線硬化樹脂の屈折率の差は小さいほど好ましい。少なくとも、記録、再生に用いるレーザ光の波長に対する紫外線硬化樹脂の屈折率の差は０．１以下であることがより好ましい。
【００３６】
図８にスクリーン印刷で、４０〜１０００ｃｐｓの粘度の樹脂を塗布した際の表面粗さを表す。粘度が高くなるとレベリング特性が悪くなるため、表面性が劣化する。信号を正確に再生しようとする際には、表面粗さは３μｍ以内であることが好ましい。このため、表面性向上の目的で形成する２層目の樹脂の粘度は５００ｃｐｓより小さいことが好ましい。また、実際にスクリーン印刷をする場合には、３０ｃｐｓから１００００ｃｐｓが好ましいため、２層目の樹脂層の粘度範囲は、３０ｃｐｓより大きく、５００ｃｐｓより小さいことが好ましい。
（実施の形態２）
本実施の形態では、実施の形態１と同様に、２種類の紫外線硬化樹脂を形成する工程を説明する。ただし、１層目の樹脂層を硬化する方法が実施の形態１とは異なる。この実施形態では、１層目の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷工法で形成した後に、真空雰囲気中で表面性の高い基板と貼り合せることで、１層目の紫外線硬化樹脂の表面性を改善させる。また、２層目の紫外線硬化樹脂の作製には、スクリーン印刷工法ではなく、スピン工法を用いる形態を説明する。スピン工法は、基板の内周部に紫外線硬化樹脂を滴下し、基板を回転することによって、内周部の紫外線硬化樹脂を延伸する工法である。
【００３７】
図９を用いて、１層目の紫外線硬化樹脂の表面性を向上させるための貼り合わせ工法を説明する。まず、図９（Ａ）において、貼り合せ工程における、サンプルの設置方法を説明する。実施の形態１と同様に、信号基板８０１上に、記録層８０２が形成されており、記録層８０２に接するように、スクリーン印刷工法で樹脂層８０３を形成する。この樹脂層８０３の表面性はスクリーン印刷工法を使用して塗布したため、あまり良くない。この信号基板を貼り合せ装置内のテーブル８０４に設置する。このテーブル８０４には、位置調整用の芯だし棒８０５がついていて、信号基板８０１の内穴の直径よりも数十μｍ小さい直径の棒になっている。また、表面性の高い転写基板８０６を用意し信号基板８０１と向かい合う形に、設置する。図中では、信号基板８０１が上方を向いていて、転写基板８０６がその上方に設置する方法があるので、転写基板固定器具８０７などを用いて、転写基板８０６を固定する。信号基板８０１と転写基板８０６を真空チャンバー８０８内に設置を完了した後、真空チャンバー８０８を密閉する。
【００３８】
なお、転写基板８０６は、後工程である紫外線照射工程において、転写基板８０６を通して、樹脂層８０３を硬化する必要があるため、転写基板８０６は、紫外線において、透過率が高いことが望ましい。そのため、樹脂材料では、例えば、厚みの薄いポリカーボネイト材料やアクリル材料や、紫外線に対して高い透過率を有する石英ガラス材料などが好ましい。
次に、図９（Ｂ）において、ロータリーポンプやメカニカルブースターポンプなどの真空ポンプ８０９などによって、真空チャンバー８０８内の空気が排気され、短時間で真空雰囲気となる。本実施の形態においては、真空チャンバー８０８内が１００Ｐａ以下の真空度に達したときに、転写基板８０６を信号基板８０１上に重ね合わせている。このとき、転写基板８０６の上部に設置されている転写基板固定器具８０７が、加圧プレートの役目を果たし、転写基板８０６を加圧することによって樹脂層８０３表面に転写基板８０６表面形状が転写される。真空チャンバー８０８内が真空雰囲気であることから、樹脂層８０３と転写基板８０６の間には気泡が混入することなく貼り合せることが可能となる。
【００３９】
貼り合せ工程が終わった後に、真空チャンバー８０８内を大気圧に戻し、貼り合わされた信号基板８０１と転写基板８０６は真空チャンバー８０８から取り出す。図９（Ｃ）に示すように、転写基板８０６の上部に配置されている紫外線照射装置８１０によって紫外線が照射され、転写基板８０６を介して全面を照射することにより樹脂層８０３が硬化される。次いで、樹脂層８０３と転写基板８０６の界面から転写基板８０６を剥離するために、転写基板８０６と樹脂層８０３の間に圧縮エアーを吹き込む。
図９（Ｄ）に示すように、上記工程を経て、硬化した樹脂層８１１が形成される。
なお、このとき、スクリーン印刷工法によって塗布した直後の樹脂層８０３の表面の中心線平均粗さＲａは、１４μｍ程度である。一方、この貼り合せ工程を経てから、得られた硬化した樹脂層８１１の表面の中心線平均粗さＲａは７μｍと、大きな表面性の改善が検出できる。
【００４０】
次に、２種類目の紫外線硬化樹脂の塗布工程として、スピン工程を説明する。
図１０（Ａ）において、信号基板９０１上に、記録膜９０３が形成されており、記録膜９０３は１種類目の樹脂層９０４により覆われている。通常、信号基板９０１の中心には、信号基板９０１を保持、回転させるために、中心穴９０２が形成されている。信号基板９０１の中心部に２種類目の紫外線硬化樹脂９０５を滴下する。滴下位置は、中心穴９０２より外側で、かつ信号領域よりも内側であって、滴下形状は円形状に、３６０度を塗布すれば、信号領域を覆う形で樹脂を塗布することができる。樹脂の滴下後に、信号基板９０１を回転方向９０６に回転させる。本実施の形態では、粘度１００ｃｐｓの２種類目の紫外線硬化樹脂９０５を回転数３０００ｒｐｍで２０秒回転させ、図１０（Ｂ）に示すように、２種類目の樹脂層９０７を形成することができる。以上の場合、遠心力を利用して樹脂を塗布すると、樹脂は下地の１種類目の樹脂層９０４の表面凹部を埋めていく。その結果、表面性に優れた樹脂層を形成することができる。２種類目の樹脂層９０７の厚みは１０μｍであり、樹脂層中心線平均粗さＲａは１μｍである。
【００４１】
この実施形態では、１層目の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷工法で形成した後に、真空雰囲気中で表面性の高い基板と貼り合せることで、１層目の紫外線硬化樹脂の表面性を改善させる方法を採用しているので、１種類目の樹脂層９０４の表面中心線平均粗さが実施の形態１に比べて小さくなっている。したがって、２種類目の樹脂層９０７の表面中心線平均粗さがより小さくなる、あるいは、同じ表面中心線平均粗さを得るための条件が緩和される。
このように、１種類目の樹脂層９０４と２種類目の樹脂層９０７からなるカバー層において、２種類目の樹脂層９０７表面の中心線平均粗さは、１種類目の樹脂層９０４表面の中心線平均粗さより小さい。
（実施の形態３）
本実施の形態では、実施の形態１と同様に、２種類の紫外線硬化樹脂を形成する工程を説明するが、２層目の紫外線硬化樹脂の作製には、インクジェット工法を用いる形態を説明する。
【００４２】
実施の形態１、２と同様にして、記録膜の上に１種類目の紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線を照射して、硬化させる。インクジェット工法では、図１１に示すように、ノズル９１５が樹脂９１６を吐出して、表面性の改善を図る。インクジェット工法での樹脂の粘度は１〜１０ｃｐｓであるため、１種類目の樹脂層の粗い表面性を改善できる。
本実施の形態では、スクリーンのメッシュ数が１インチあたり、５０本のスクリーンを用い、粘度２５００ｃｐｓの１種類目の紫外線硬化樹脂を使用して、記録膜を覆う形で、８０μｍ塗布する。また、インクジェット工法では、粘度３ｃｐｓの紫外線硬化樹脂を用い、１種類目の紫外線樹脂層を覆う形で、２種類目の紫外線硬化樹脂を２０μｍの厚みで形成する。
（実施の形態４）
なお、本実施の形態においては、単層構造の光情報記録媒体を例にとって説明したが、記録層を複数層保有し、各記録層の間に樹脂層が形成されている多層構造の情報記録媒体でも、同様に実現することができる。
【００４３】
図１２は本発明の実施の形態における多層情報記録媒体の断面図である。本発明の多層情報記録媒体は、以下の構成を備えている。第１信号基板１００１は、片面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が形成された厚みの大きい基板である。第１薄膜層１００２は、第１信号基板１００１の情報面上に配置されている。第２信号基板１００３は、第１信号基板１００１と反対側の面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が形成されている。第２薄膜層１００４は、第２信号基板１００３の情報面上に配置されている。第３信号基板１００５は、第２信号基板１００３と反対側の面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が形成されている。第３薄膜層１００６は、第３信号基板１００５の情報面上に配置されている。第４信号基板１００７は、第３信号基板１００５と反対側の面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が形成されている。第４薄膜層１００８は、第４信号基板１００７の情報面上に配置されている。透明層１００９は、第４薄膜層１００８の上に配置されている。
【００４４】
第１信号基板１００１は情報記録媒体の反りや剛性を良くして、さらにＣＤやＤＶＤ、Ｂｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃなどの光ディスクと厚み互換を有するように、外径φ１２０ｍｍ、厚さが１．０〜１．１ｍｍ程度のポリカーボネイトやアクリル系樹脂の円板から形成されており、射出圧縮成形等の樹脂成形によって片面に凹凸で形成されたピットや案内溝などの情報面が作製されている。基板の中心部にはプレーヤが信号を記録再生する際に、ディスクを保持して回転させるために用いる直径φ１５ｍｍの中心穴が設けられている（図示せず）。本実施の形態においては代表例としてポリカーボネイトを用いた場合について説明する。
第１信号基板１００１の上には、光硬化性樹脂材料からなる中間層である第２信号基板１００３，第３信号基板１００５，第４信号基板１００７や透明層１００９が積層形成されている。そのため、積層後の情報記録媒体の形状は光硬化性樹脂特有の特徴といえる光硬化収縮によって、例えば情報面を上にした場合は凹形状の反りとなってしまう。従って、第１信号基板１００１の反りは、予め情報面を上にして凸形状の反りに形成している。この結果、第２信号基板１００３，第３信号基板１００５，第４信号基板１００７や透明層１００９の積層後に、情報記録媒体の反りが平坦になる。
【００４５】
第１薄膜層１００２、第２薄膜層１００４および第３薄膜層１００６は、情報記録媒体の目的がＲＯＭの場合、再生されるレーザ光に対して反射の特性を有する。例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ、ＳｉＯ2などの金属や半導体、誘電体をスパッタリングや蒸着等の方法を用いて薄膜形成する。
情報記録媒体の目的とすることがＷｒｉｔｅ Ｏｎｃｅ型の場合の記録膜の構成について図１３を用いて以下に説明する。ここで説明に用いるのは、第１薄膜層１００２である。まず第１信号基板１００１上に形成されたピットや案内溝などの情報面１１０２に対して、スパッタリングや蒸着等の方法により、以下の膜が順次形成されている。ＡｌＣｒからなる反射膜７０３、ＺｎＳ膜１１０４、ＴｅＯＰｄ記録膜１１０５、ＺｎＳ膜１１０６である。本代表例として反射膜１１０３としてＡｌを使用した場合について説明しているが、ＲＯＭと同様に、ＡｇやＡｕ等の金属を主成分とする材料を用いても良い。また、薄膜層として色素膜等を含む構成を用いることでも実現できる。第２薄膜層１００４、第３薄膜層１００６および第４薄膜層１００８についても、上記第１薄膜層１００２と同様の薄膜が形成されている。記録再生される際の光学特性によっては反射膜１１０３の厚みを調整することや、反射膜１１０３自体の除去、ＺｎＳ膜１１０４やＴｅＯＰｄ記録膜１１０５の厚みを調整することもある。
【００４６】
第２信号基板１００３は、記録再生光に対してほぼ透明（透過性を有する）で、例えばアクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂から形成されている。紫外線硬化樹脂は、以下の二つの特徴を有しているので、樹脂層の形状制御において有効である。第一に、紫外線硬化樹脂は、硬化光波長を紫外線帯域に設けているので、紫外線以外の波長に対して硬化を防ぐことができる。第二に、紫外線硬化樹脂は、任意の機会で紫外線を照射することにより硬化させることができる。この実施形態では、液体の紫外線硬化樹脂を第１薄膜層１００２の上に塗布した後に、凹凸形状で形成されたピットや案内溝などの情報面を有する基板などの信号転写基板を押し当てる。その後に、紫外線を照射することによって紫外線硬化樹脂を硬化させて、最後に信号転写基板を紫外線硬化樹脂との界面から剥離することによって第２信号基板１００３が形成される。紫外線硬化樹脂の塗布は第１信号基板１００１の外径よりも小さく、また第１信号基板１００１の中心穴よりも大きく形成されている（図示せず）。第３信号基板１００５および第４信号基板１００７についても、上記第２信号基板１００３と同様の方法および形状で形成されている。透明層１００９は、記録再生光に対してほぼ透明（透過性を有する）で、例えばアクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂から形成されている。紫外線硬化樹脂には液体を使用し、第４薄膜層１００８の上に塗布することによって形成される。形成された紫外線硬化樹脂は、各信号基板や薄膜層を覆うように形成され、内周部と外周部において第１信号基板と接着するように形成されている。
【００４７】
ここで、複数の記録層多層記録媒体でも、従来の光ディスクの構造を採用すると、透明層１００９の最表面から第１薄膜層１００２までの長さが１００μｍ程度であることが好ましい。この場合、各薄膜層を分離する目的で最低１０μｍの第２信号基板１００３、第３信号基板１００５、第４信号基板１００７を保有すると仮定すると、透明層１００９の樹脂層の厚みは６０μｍ以下ということになる。
本実施例では、透明層１００９の形成方法について記述する。なお、この形成方法は、第１信号基板１００１，第2信号基板１００３，第３信号基板１００５，第４信号基板１００７の形成方法にも適用可能である。特に、第２信号基板１００３、第３信号基板１００５、第４信号基板１００７は厚みが１０μｍ程度であるため、スクリーン印刷を用いて第１の樹脂層を形成することが効果的である。
【００４８】
図１４（Ａ）で、スキージ固定治具１０１、スキージ１０２、紫外線硬化樹脂１０３、スクリーン１０４、スクリーン枠１０５、テーブル１０６、信号基板１０７が示されている。なお、多層薄膜層１０８’は、複数の薄膜層と信号基板が交互に並んで構成されている。
スクリーン印刷装置を使用して、樹脂を塗布する場合、まず、印刷装置の設定を行う。スキージ固定治具１０１にスキージ１０２を取り付ける。このとき、テーブル１０６に対する、スキージ１０２底面の平行度が小さくなるように調整する。この平行度が、ディスク面内の樹脂層の厚みムラに影響するため、スキージ１０２とテーブル１０６間の平行度は小さいほど、好ましい。
なお、スキージ固定治具１０１はステンレスのように、剛性に優れた材料が好ましい。
【００４９】
なお、スキージ１０２は、紫外線硬化樹脂１０３に対して化学的に安定であり、かつ、ゴム状弾性を示すような材料が好ましい。印刷中は、スキージ１０２は紫外線硬化樹脂１０３と接触した状態で、スクリーン１０４の紗と何度も摩擦を繰り返すためである。
次に、スクリーン１０４を設置する。これも、スキージ１０２と同様に、テーブル１０６との水平度が重要である。
次に、信号基板１０７の上部表面には、ピットや案内溝の情報面が形成された面にスパッタリングや蒸着等の方法により記録膜材料や反射膜材料を含んだ情報層が間に中間層を挟んで形成され、これにより多層薄膜層１０８’が形成される。さらに、必要に応じて、多層薄膜層１０８’が形成された面とは反対側の面が、バキューム等の手段によってテーブル１０６上に固定される。
【００５０】
一方、スクリーン１０４面は、開口部を通過する紫外線硬化樹脂１０３の量を制限することによって膜厚を均一に形成できるように設けられている。
なお、スクリーン１０４の作製方法については前記場合と同様であるので、説明を省略する。また、スクリーンと信号基板の塗布領域の関係も前記実施形態と同様であるので、説明を省略する。
図１４（Ａ）に示すように、紫外線硬化樹脂１０３は、スキージ１０２の進行方向に対して手前に滴下しておく。本形態の工程では、紫外線硬化樹脂１０３の粘度が４０００ｃｐｓであり、スクリーン１０４のメッシュ数が７０である。なお、第１の樹脂層を形成するための紫外線硬化樹脂の粘度は、５００〜１００００ｃｐｓであることが好ましい。
図１４（Ｂ）において、矢印１０９の方向に、スキージ１０２をスクリーン１０４に押し込みながら、摺動させることによって、信号基板１０７上に、紫外線硬化樹脂１０３を塗布する。この動作によって、スクリーン１０４の糸と糸の間のオープニングエリアに１種類目の紫外線硬化樹脂１０３を押し込み下方に通過させ、これを多層薄膜層１０８’に接触させることにより、樹脂の塗布が可能になる。
【００５１】
図１４（Ｃ）において、１種類目の樹脂層１１０が形成された様子を表す。この塗布工程により、平均厚みが５５μｍの１種類目の樹脂層１１０を形成することができる。１種類目の樹脂層１１０の表面形状は、スクリーン１０４の版離れ、および紫外線硬化樹脂１０３の特性によるところが大きい。このとき、紫外線硬化樹脂１０３を形成した直後の表面の中心線平均粗さＲａは１４μｍである。
図１４（Ｄ）において、１種類目の樹脂層１１０の上部から紫外線照射機１１１を使用して、１種類目の樹脂層１１０を硬化させる。
図１４（Ｅ）において、硬化した１種類目の樹脂層１１０を上にした状態で、信号基板１０７を、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２を塗布するスクリーン１１３の下方に移動させる。この工程では、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２の粘度は１００ｃｐｓであり、スクリーン１１３のメッシュ数は３００である。先の工程と同様に、スキージ固定冶具１１４によって、スキージ１１５が固定されている。
【００５２】
図１４（Ｆ）において、図１（Ｂ）工程と同様に、スキージ固定冶具１１４とスキージ１１５をスクリーン１１３に押し込みながら、矢印１１６の方向に移動させる。スクリーン１１３の糸と糸の間のオープニングエリアに、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２を通過させ、硬化した１種類目の樹脂層１１０上に２種類目の樹脂層を形成する。
図１４（Ｇ）において、１種類目の樹脂層１１０に接する形で、２種類目の樹脂層１１７が平均５μｍの厚みで形成されている様子を表す。このとき、２種類目の樹脂層１１７は粘度が低いため、１種類目の樹脂層１１０の凹部を埋め、１種類目の樹脂層１１０の表面粗さを補正する形でレベリングされる。なお、２種類目の紫外線硬化樹脂１１２に表面張力の大きな紫外線硬化樹脂を選択すると、２種類目の樹脂層１１７の表面積、すなわち、大気の接触面積を小さくする力が大きくなることから、レベリング効果を上げる効果がある。また、２種類目の樹脂層１１７の塗布から、樹脂の硬化までの時間を長く置くことで、２種類目の樹脂層１１７が移動し、表面性を向上させることができる。
【００５３】
図１４（Ｈ）において、２種類目の樹脂層１１７を塗布し、レベリングが終了した後に、紫外線照射機１１８を用いて、紫外線を浴びせ、２種類目の樹脂層１１７を硬化させる。硬化させた後の２種類目の樹脂層１１７の中心線平均粗さは１μｍ以下である。
このように、１種類目の樹脂層１１０と２種類目の樹脂層１１７からなるカバー層において、２種類目の樹脂層１１７表面の中心線平均粗さが１種類目の樹脂層１１０表面の中心線平均粗さより小さい。
なお、スクリーン印刷工法を用いて、本実施例にあるような６０μｍ前後の樹脂層の厚膜を形成し、かつ、表面性を向上させるには、１層目の樹脂の粘度が２層目の樹脂の粘度よりも大きいことが重要である。
また、次の条件としては、２層目もスクリーン印刷工法で樹脂層を形成する場合は、１層目の樹脂層の形成時に用いるスクリーンのメッシュ数が、２層目の樹脂層の形成時に用いるスクリーンのメッシュ数より小さいことが重要である。
【００５４】
以上の条件に従って、１層目の樹脂層の厚みによって、所望の厚みの半分以上の厚みを形成する。
次に、各樹脂層の表面性について説明する。本実施の形態において、１種類目の樹脂層１１０の表面の中心線平均粗さＲａは先に述べたように１４μｍである。なお、この中心線平均粗さの測定は、規格番号ＪＩＳＢ０６０１を元に行う。この中心線平均粗さＲａは、スクリーン印刷の場合、一般的に塗布膜厚に比例する。これは、厚い膜厚の樹脂層を塗布しようとすると、太い糸で、粗い目のスクリーンを用いることで、大きなオープニングエリアを得る必要があるからである。
樹脂の塗布厚みとスクリーンのメッシュ形状について前記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００５５】
以上に述べた実施形態でも前記実施形態と同様の効果が得られる。
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
実施の形態２では、１層目の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷工法で形成した後に、真空雰囲気中で表面性の高い基板と貼り合せることで、１層目の紫外線硬化樹脂の表面性を改善させる方法が開示されている。この方法は、スクリーン印刷工法とスクリーン印刷工法の組み合わせ（実施の形態１）やスクリーン印刷工法とインクジェット工法の組み合わせ（実施の形態３）にも適用できる。
実施の形態４では、カバー層のみならず中間層である信号基板を作製するのに、スクリーン印刷工法とスクリーン印刷工法を組み合わせている。中間層である信号基板を作製するのにも、スクリーン印刷工法とスピンコート工法の組合せ（実施の形態２）、またはスクリーン印刷工法とインクジェット工法の組合せ（実施の形態３）を用いても良い。
【００５６】
前記実施形態では、二回の樹脂塗布工程によって、カバー層または中間層を形成している。樹脂塗布工程は三回以上行っても良く、その場合は２種類以上の紫外線硬化樹脂が用いられる。この場合に、最後に塗布される樹脂の粘度は、他の樹脂の粘度より小さいことが好ましく、最初に塗布される樹脂の粘度よりも小さいことが必要である。この結果、最表面の樹脂層の中心線平均粗さは、第１の樹脂層表面の中心線平均粗さより小さくなる。
または、樹脂層のうち、情報記録層上に形成されている第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが第１の樹脂層以外の樹脂層表面の中心線平均粗さより大きい場合も前述の効果が得られる。特に、第１の樹脂層表面の中心線平均粗さが、最表面の樹脂層の中心線平均粗さより大きいことが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明に係る多層記録媒体およびその製造方法は、欠陥が少ない多層記録媒体を高速で製造することが可能であり、正確に大容量情報を再生可能な多層記録媒体、均一に液状の樹脂を塗布する手段等として有用である。また、大容量メモリーの製造等の用途にも応用できる。
【符号の説明】
【００５８】
１０１    スキージ固定冶具
１０２    スキージ
１０３    １種類目の紫外線硬化樹脂
１０４    スクリーン
１０５    スクリーン枠
１０６    テーブル
１０７    信号基板
１０８    薄膜層
１０９    矢印
１１０    １種類目の樹脂層
１１１    紫外線照射機
１１２    ２種類目の紫外線硬化樹脂
１１３    スクリーン
１１４    スキージ固定冶具
１１５    スキージ
１１６    矢印
１１７    ２種類目の樹脂層
１１８    紫外線照射機
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【図２】
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【図３】
2009066414.tif 000019
【図４】
2009066414.tif 000020
【図５】
2009066414.tif 000021
【図６】
2009066414.tif 000022
【図７】
2009066414.tif 000023
【図８】
2009066414.tif 000024
【図９】
2009066414.tif 000025
【図１０】
2009066414.tif 000026
【図１１】
2009066414.tif 000027
【図１２】
2009066414.tif 000028
【図１３】
2009066414.tif 000029
【図１４】
2009066414.tif 000030
【国際調査報告】
2009066414.tif 000031
2009066414.tif 000032
2009066414.tif 000033
2009066414.tif 000034