(57)【要約】洗浄用スポンジローラ１は、湿潤状態で弾性を有するポリビニルアセタール系多孔質素材によって構成され、略円筒形状のロール体３と、ロール体３の外周面３ａ上に一体形成された複数の突起５とを有し、これら複数の突起５を被洗浄面に回転接触させて被洗浄面を洗浄する。突起５の外面は、突起５の内部組織が露出した状態で洗浄時に被洗浄面と接触する頂部外面（内部露出面）５ａを有する。
2010001761.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
湿潤状態で弾性を有するポリビニルアセタール系多孔質素材によって構成され、略円筒形状のロール体と該ロール体の外周面上に一体形成された複数の突起とを有し、該突起を被洗浄面に回転接触させて該被洗浄面を洗浄する洗浄用スポンジローラであって、
前記突起の外面は、該突起の内部組織が露出した状態で洗浄時に前記被洗浄面と接触する内部露出面を有する
ことを特徴とする洗浄用スポンジローラ。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄用スポンジローラであって、
前記内部露出面の開口率は、５０％以上である
ことを特徴とする洗浄用スポンジローラ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の洗浄用スポンジローラであって、
前記ロール体の外周面は、前記内部露出面よりも開口率が低い表皮層で覆われている
ことを特徴とする洗浄用スポンジローラ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の洗浄用スポンジローラであって、
前記突起の外周面は、前記内部露出面よりも開口率が低い表皮層で覆われている
ことを特徴とする洗浄用スポンジローラ。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の洗浄用スポンジローラであって、
前記突起の回転方向の前側では、前記内部露出面が前記ロール体の外周面に向かって傾斜している
ことを特徴とする洗浄用スポンジローラ。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の洗浄用スポンジローラであって、
前記内部露出面は、前記突起の頂部外面である
ことを特徴とする洗浄用スポンジローラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体電子デバイスウェハ、シリコンウェハ、ハードディスク等のエレクトロニクス部品の製造工程のうち、主に洗浄工程のスクラブ洗浄で用いられる洗浄用スポンジローラに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のエレクトロニクス工業では、各種部品の精密度が飛躍的に進み、それに伴って製造環境の清浄性に関する要求も高まっている。特に部品表面の化学的汚染や付着粒子は、製品の歩留まりや動作の信頼性に大きな影響を与えるため、製造工程における洗浄工程の重要性は非常に大きく、様々な洗浄方法が開発、実施されている。【０００３】
例えば、半導体電子デバイスウェハ、シリコンウェハ、ハードディスク等の被洗浄体の表面（被洗浄面）を洗浄する方法として、例えば、ポリビニルアセタール系多孔質素材によって構成され、回転軸の外周に固着された弾性を有する略円筒状のロール体と、ロール体の外周面上に一体形成された複数の突起と、を有するスポンジローラによるスクラブ洗浄が知られている。スクラブ洗浄とは、ロール体の外周部分の複数の突起を被洗浄面に接触させて、両者の接触部分に水その他の洗浄液を供給しながら回転軸を介してスポンジローラを回転させることにより、擦り洗いするものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３３７８０１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、スポンジローラを最初に使用する際には、スポンジローラ自身（特に、突起の外面のうち被洗浄面と接触する領域）の清浄度を高める必要があり、被洗浄面のスクラブ洗浄を行う前に、スポンジローラの洗浄が行われる。具体的には、スポンジローラを洗浄装置に装着し、ダミーの被洗浄面に対してスクラブ洗浄を行う。また、スクラブ洗浄中は、被洗浄面から除去された粒径の比較的小さいパーティクルや、研磨剤等の粒径の比較的大きいパーティクルが、洗浄液とともに流通する。【０００６】
しかし、突起の外面が、突起の内部組織に比べて気孔率が低い表皮層に覆われていると、表皮層の表面における開口率も自ずと低くなり、洗浄水が流通し難い。このため、スポンジローラ自身の洗浄に時間がかかり、立ち上げ時間（ブレークイン時間）が増大してしまう。【０００７】
また、開口率が低い表皮層の表面では、スクラブ洗浄時において、表皮層の開口よりも粒径が小さいパーティクルが表皮層の表面の開口から突起の内部（表皮層の内部）に進入した場合、そのパーティクルが突起の内部に捕捉され易く、製品のライフサイクルの低下を招いてしまう。【０００８】
さらに、開口率が低い表皮層の表面では、スポンジローラの素材の存在比率（面積比率）が高く、洗浄時に粒径の比較的大きいパーティクルが捕捉され易い。このため、捕捉されたパーティクルが被洗浄面に接触してダメージを与えてしまう可能性が生じる。【０００９】
そこで、本発明は、洗浄工程の立ち上げ時間の短縮化、製品のライフサイクルの向上、及び被洗浄面に対するダメージの低減を図ることが可能な洗浄用スポンジローラの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の洗浄用スポンジローラは、湿潤状態で弾性を有するポリビニルアセタール系多孔質素材によって構成され、略円筒形状のロール体と該ロール体の外周面上に一体形成された複数の突起とを有し、これら複数の突起を被洗浄面に回転接触させて被洗浄面を洗浄する。突起の外面は、突起の内部組織が露出した状態で洗浄時に被洗浄面と接触する内部露出面を有する。なお、突起の外面とは、頂部外面や外周面を含む突起の表面全域を意味し、この表面全域の少なくとも一部に内部露出面が形成されている。【００１１】
内部露出面の開口率は、５０％以上が好ましく、６０％以上がさらに好ましい。【００１２】
内部露出面は、突起の頂部のうち少なくとも回転方向前方の領域を含んでいればよく、突起の頂部外面を内部露出面として形成してもよい。さらに、突起は、外周面から頂部外面までの高さよりも大きい直径を有する円柱形状であってもよい。【００１３】
また、全て突起の頂部外面の面積の合計は、各突起の外端上を通る仮想接触外周面の面積に対して、５０％以下が好ましい。さらに、被洗浄面が直径３００ｍｍウェハの場合、突起の数は１００以上であることが好ましい。【００１４】
ここで、一般に、内部組織が表皮層によって覆われたポリビニルアセタール系多孔質素材の場合、表皮層は内部組織に比べて気孔率が低く、表皮層の表面は内部組織が露出している場合に比べて開口率が低くなる。このため、表皮層の方が内部組織に比べて洗浄水が流通し難い。【００１５】
この点に関し、上記構成では、突起の外面は、表皮層よりも気孔率（開口率）が高い突起の内部組織が露出した内部露出面を有し、この内部露出面が洗浄時に被洗浄面と接触する。このため、スポンジローラを最初に使用する際に、スポンジローラ自身（特に、突起の外面のうち被洗浄面と接触する領域）の清浄度を高める目的でダミーの被洗浄面に対してスクラブ洗浄を行う時間（立ち上げ時間・ブレークイン時間）を短縮することができる。【００１６】
また、内部露出面では、開口率が比較的高いため、内部露出面の開口よりも粒径が小さいパーティクルが内部露出面の開口から突起の内部に進入した場合であっても、そのパーティクルが突起の内部に捕捉され難く、製品のライフサイクルを向上させることができる。【００１７】
さらに、内部露出面では、開口率が比較的高く、洗浄用スポンジローラの素材（ポリビニルアセタール系多孔質素材）の存在比率（面積比率）が低い。このため、洗浄時に粒径の比較的大きいパーティクルが捕捉され難く、捕捉されたパーティクルによって被洗浄面がダメージを受けてしまうことを抑制することができる。【００１８】
ロール体の外周面は、突起の内部露出面よりも開口率が低い表皮層で覆われていてもよい。【００１９】
上記構成では、ロール体の外周面が開口率の低い表皮層によって覆われているため、洗浄用スポンジローラの内側から外側に向かう洗浄液は、ロール体の外周面よりも突起の内部露出面から流出し易い。このため、ブレークイン時間の短縮、製品のライフサイクルの向上、及び被洗浄面へのダメージの付与の抑制を、さらに図ることができる。【００２０】
突起の外周面は、内部露出面よりも開口率が低い表皮層で覆われていてもよい。【００２１】
上記構成では、突起の外周面が開口率の低い表皮層によって覆われているため、洗浄用スポンジローラの内側から突起を介して外側に向かう洗浄液は、突起の外周面よりも内部露出面から流出し易い。このため、ブレークイン時間の短縮、製品のライフサイクルの向上、及び被洗浄面へのダメージの付与の抑制を、さらに図ることができる。【００２２】
突起の回転方向の前側では、内部露出面がロール体の外周面に向かって傾斜していてもよい。【００２３】
上記構成では、スクラブ洗浄時において、内部露出面が被洗浄面に接触し易いため、ブレークイン時間の短縮、製品のライフサイクルの向上、及び被洗浄面へのダメージの付与の抑制を、さらに図ることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る洗浄用スポンジローラによれば、洗浄工程の立ち上げ時間の短縮化、製品のライフサイクルの向上、及び被洗浄面に対するダメージの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態に係るスポンジローラによって被洗浄面を洗浄する状態を示す斜視図である。
【図２】図１のスポンジローラの側面図である。
【図３】図２のスポンジローラの突起のIII−III線矢視断面図である。
【図４】図３の突起の外観斜視図である。
【図５】図２のスポンジローラの使用状態を模式的に示す側面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係るロール体の外周面の一部を展開して示す平面図である。
【図７】図５の要部拡大図である。
【図８】図２のスポンジローラを成形するための型を示す斜視図である。
【図９】表皮層によって覆われたロール体の外周面を撮影した電子顕微鏡写真である。
【図１０】表皮層が除去された突起の頂部外面を撮影した電子顕微鏡写真である。
【図１１】突起の他の態様を示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の一実施形態に係る洗浄用スポンジローラ（以下、単にスポンジローラと称する）を、図面に基づいて説明する。
【００２７】
図１は本実施形態に係るスポンジローラによって被洗浄面を洗浄する状態を示す斜視図、図２は図１のスポンジローラの側面図、図３は図２のスポンジローラの突起のIII−III線矢視断面図、図４は図３の突起の外観斜視図、図５は図２のスポンジローラの使用状態を模式的に示す側面図、図６は図５の要部拡大図、図７は図２のスポンジローラを成形するための型を示す斜視図、図８は図２のスポンジローラの製造方法を示す断面図である。なお、図１では突起の図示を省略している。
【００２８】
図１〜図６に示すように、スクラブ洗浄の対象となる被洗浄体１０は、薄厚円盤状のウェハであり、被洗浄面１０ａは、被洗浄体１０の表面及び裏面である。
【００２９】
スクラブ洗浄を行う上下一対のスポンジローラ１は、略円筒形状のロール体３と、ロール体３の外周面３ａ上に一体成形された複数の突起５とを有する。各突起５は、円柱形状であり、頂部外面５ａと外周面５ｂとを有する。各ロール体３には、金属やプラスチックなどの硬質な材料によって形成された略円柱状の回転軸２がそれぞれ装着される。なお、突起５の形状は、円柱形状に限定されるものではない。
【００３０】
スクラブ洗浄は、上下の回転軸２を所定距離だけ離間させて略平行に配置し、被洗浄面１０ａを回転軸２と略平行に配置した状態で上下のロール体３の間（上側のロール体３の突起５と下側のロール体３の突起５との間）に被洗浄体１０を挟み、被洗浄面１０ａに洗浄液を供給し、回転軸２をそれぞれ回転させる（回転方向を矢印７で示す）とともに、回転軸２と略直交する回転軸６を中心に被洗浄面１０ａを回転させる（回転方向を矢印８で示す）ことにより行われる。すなわち、回転する被洗浄面１０ａにロール体３の突起５の頂部外面５ａが回転接触することにより、被洗浄面１０ａがスクラブ洗浄される。
【００３１】
なお、一対のスポンジローラ１の配置は、上述のような上下位置に限定されるものではなく、例えば、一対のスポンジローラ１をそれぞれ起立状態とし左右に配置したり、斜め方向に配置するなど、様々な態様で配置することが可能である。また、被洗浄体１０の回転軸６は、スポンジローラ１の回転軸２と略直交するように設定すればよく、例えば、一対のスポンジローラ１及びその回転軸２を略鉛直方向に起立させた場合には、被洗浄体１０の回転軸６を略水平方向に配置すればよい。
【００３２】
スポンジローラ１（ロール体３及び突起５）は、含水状態で弾性を有するポリビニルアセタール系多孔質素材（ＰＶＡｔ系多孔質素材）から成る。ＰＶＡｔ系多孔質素材は、乾燥状態で硬化し、湿潤状態で軟化する。また、ＰＶＡｔ系多孔質素材は、吸水性及び保水性に優れ、湿潤時に好ましい柔軟性と適度な反発弾性を示し、耐磨耗性にも優れている。回転軸２はロール体３の内径部に挿通され、ロール体３を固定的に支持する。例えば、回転軸２の外周面とロール体３の内周面とを接着剤によって固着してもよく、また、回転軸２の外径をロール体３の内径よりも大きく形成し、回転軸２をロール体３の内径部に圧入することにより、ロール体３の弾性力によってロール体３を回転軸２に固定的に支持させてもよい。さらには、ロール体３を製造する際に、図７に示す芯棒２９の代わりに回転軸２を使用することによって、ロール体３を回転軸２に固着または支持させてもよい。この場合、反応後のスポンジローラ１（ロール体３）は、回転軸２を伴った状態のまま型２１から取り出され水洗される。このような固定的な支持により、ロール体３は、回転軸２と共に回転する。
【００３３】
図３に示すように、突起５の頂部外面５ａは、突起５（スポンジローラ１）の回転方向７の前側がロール体３の外周面３ａに向かって傾斜する湾曲面形状である。頂部外面５ａの最頂端（外端）と最下端（突起５の外周面５ｂの上端）との距離ｈは、０．２ｍｍ以上が好適である。なお、本実施形態の頂部外面５ａは、スポンジローラ１を反転させた場合も同様の条件下でスクラブ洗浄を行うことができるように、突起５の回転方向の前後両側がそれぞれロール体３の外周面３ａに向かって対称的に傾斜する湾曲面形状に設定されている。
【００３４】
突起５の直径Ｄは、突起５の高さＨ（ロール体３の外周面３ａから頂部外面５ａの最頂端までの距離）よりも大きく設定されている。
【００３５】
複数の突起５は、ロール体３の外周面３ａのほぼ全域において同じ配列パターンで配置されている。突起５の数及び大きさは、全て突起５の頂部外面５ａの面積の合計が、各突起５の頂部外面５ａの外端上を通る仮想接触外周面（図５に示すように突起５の頂部外面５ａの回転軌跡９が規定する周面）の面積に対して、５０％以下となるように設定されている。また、被洗浄面１０ａが直径３００ｍｍウェハの場合、突起の数は１００以上であることが好ましい。
【００３６】
突起５の頂部外面５ａは、突起５の内部組織が露出する内部露出面である。頂部外面５ａの開口率は、５０％以上であり、より好ましくは、６０％以上である。これに対し、ロール体３の外周面３ａ及び突起５の外周面５ｂは、ロール体３及び突起５の内部組織よりも気孔率が低い表皮層４によって覆われている。表皮層４の表面の開口率は、突起５の頂部外面５ａの開口率よりも低く、例えば２０％以下である。
【００３７】
ここで、頂部外面５ａの開口率とは、頂部外面５ａの所定範囲内において、（頂部外面５ａで開口している全ての気孔の総面積／頂部外面５ａの所定範囲の面積）×１００によって算出される値であり、外周面３ａ，５ｂの開口率とは、外周面３ａ，５ｂの所定範囲内において、（外周面３ａ，５ｂで開口している全ての気孔の総面積／外周面３ａ，５ｂの所定範囲の面積）×１００によって算出される値である。各開口率は、例えば、以下の測定方法によって求めることができる。
【００３８】
スポンジローラ１の表面（頂部外面５ａ、外周面３ａ，５ｂ）を電子顕微鏡で撮影（倍率：１００倍）し、その撮影写真を２倍に拡大する（計２００倍）。次に、２００倍の撮影写真の上に、縦横の複数の境界線によって所定数の升目（５ｍｍ角）に区画された透明シートを載せる。次に、透明シート上から撮像写真を目視し、各升目において、開口部分（気孔部分）の面積が全面積の半分以上を占めているか否かを判定し、開口部分の面積が全面積の半分以上を占めている升目を開口領域と見做し、その升目数を数える。最後に、（開口領域と見做した升目数／総升目数）×１００を、開口率として算出する。
【００３９】
ＰＶＡｔ系多孔質素材から成るスポンジローラ１は、例えば平均重合度５００〜３０００でケン化度８０％以上のポリビニルアルコール（原料）を一種又はそれ以上混合して水溶液とし、この水溶液に架橋剤としてアルデヒド類、触媒として鉱酸類、及び気孔形成材として澱粉等を加え、これらの混合液を、図７及び図８に示すような所定の型２１内に注入し、４０〜８０℃で反応させて型２１から取り出した後、水洗により気孔形成材等を除去することによって得られる。
【００４０】
型２１は、外型２３と内型２５と底板２７と芯棒２９とキャップ３１とを有する。外型２３及び内型２５は、共に円筒状に形成されている。内型２５は、外型２３の内径と同一か又はそれよりも僅かに小さい外径を有し、外型２３内に挿入される。芯棒２９は、内型２５のほぼ中心に挿入される。底板２７は、外型２３及び内型２５の下端を塞ぐと共に、芯棒２９の下端を支持する。キャップ３１は、外型２３の上端の内周面に嵌合される。芯棒２９は、底板２７とキャップ３１とによって位置決めされる。
【００４１】
内型２５の内周面と芯棒２９の外周面との間には、ロール体３を形成するための略円筒状の空間３３が区画される。内型２５には、突起５を形成するための貫通孔３５が複数形成され、各貫通孔３５は空間３３と連通する。混合液は、外型２３とキャップ３１との間に挿入された注型ノズル４３から空間３３へ注入され、空間３３から各貫通孔３５へ流入する。同時に、貫通孔３５内の空気は、空間３３へ移動し、空間３３の上端から大気へ放出される。これにより、混合液が貫通孔３５の末端まで確実に充填される。
【００４２】
ここで、型２１から取り出した後のスポンジローラ１の外面（型２１との接触面）には、開口部を有する皮膜状の組織（表皮層４）が存在する。表皮層４は、スポンジローラ１の内部組織に比べて、気孔率が低く、且つ平均気孔径が小さい。また、表皮層４の表面は、スポンジローラ１の内部組織が露出した内部露出面に比べて、開口率が低く、且つ平均開口径が小さい。
【００４３】
本実施形態では、スポンジローラ１を型２１から取り出して水洗した後、ロール体３の内径部に回転支軸（図示省略）を挿入し、回転支軸にスポンジローラ１を固定的に支持させ、回転支軸を回転駆動してスポンジローラ１を回転させながら、突起５の頂部外面５ａを覆う表皮層４に切削工具を押し当てて、頂部外面５ａの表皮層４を除去する。この後加工により、突起５の頂部外面５ａには、スポンジローラ１（突起５）の内部組織が露出し、その開口率が５０％以上となる。また、頂部外面５ａの平均開口径は、表皮層４の外面の平均開口径よりも大きい。一方、ロール体３の外周面３ａ及び突起５の外周面５ｂは、表皮層４によって覆われているため、その開口率は頂部外面５ａの開口率よりも低い状態のまま維持され、且つ気孔の平均開口径も頂部外面５ａの平均開口径よりも小さい状態のまま維持される。また、上記後加工を施すことによって、頂部外面５ａが上記湾曲面形状となる。なお、上記後加工は、スポンジローラ１を湿潤状態及び乾燥状態の何れの状態として行っても良い。
【００４４】
図９は、表皮層４によって覆われた外周面３ａを撮影した電子顕微鏡写真であり、図１０は、表皮層４が除去された頂部外面５ａを撮影した電子顕微鏡写真である。両者を比較すると、気孔（開口）を区画するＰＶＡｔ系素材の領域（白色又は灰色の領域）は、外周面３ａ（図９）の方が頂部外面５ａ（図１０）よりも著しく広いことが分かる。すなわち、頂部外面５ａの方が外周面３ａよりも開口率が著しく高く、且つ平均開口径が大きいことが分かる。
【００４５】
なお、本実施形態では、上記後加工によって頂部外面５ａにスポンジローラ１の内部組織を露出させたが、上記後加工に代えて、例えば、スポンジローラ１の成形に際して頂部外面５ａを形成する外型２３の内周面が、外型２３の材質自体を上記表皮層４を形成し難い特性を有するように、外型２３の材質を選定したり、外型２３の内周面に表面処理を施してもよい。また、本実施形態では、突起５の頂部外面５ａのみで内部組織を露出させたが、突起５の外周面５ｂやロール体３の外周面３ａでも内部組織を露出させてもよい。
【００４６】
また、本実施形態では、突起５の頂部外面５ａの全域を内部露出面としたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、図１１に示すように、突起５の頂部上面５ａの中間位置から回転方向前方（矢印７方向）の下方に向かって斜め方向に突起５の頂部を部分的に切除して、内部露出面としての傾斜面５ｃを形成するなど、突起５の頂部に内部露出面が設けられていればよい。
【００４７】
また、適正含水状態におけるスポンジローラ１の有する３０％圧縮応力（物性値）は、２ｋＰａ以上２０kＰａ以下のものが好適である。適正含水状態とは、ＰＶＡｔ系多孔質素材が適正な弾力を発揮し得る含水状態をいい、含水率（乾燥状態に対する含水状態の重量％）が、およそ１００％〜１５００％の範囲で得られる。また、３０％圧縮応力とは、適正含水状態のＰＶＡｔ系多孔質素材を、両端面間の距離（長手方向の高さ）が３０ｍｍとなるように切断し、端面全体に荷重がかかるようにデジタル式荷重測定器にセットし、長手方向に３０％（９ｍｍ）押し潰した時の荷重を計測し、該荷重を端面の面積で割った値として得られる。
【００４８】
また、ＰＶＡｔ系多孔質素材としては、その内部組織の気孔率が８０％以上９５％以下、平均気孔径が５０μｍ以上２００μｍ以下のものが好適である。
【００４９】
気孔率が８０％より小さいと、湿潤時の柔軟性が不十分となり、また、気孔率が９５％より大きいと、実用的強度に乏しく、何れも洗浄用途には適さないためである。また、平均気孔径が５０μｍよりも小さいと、湿潤時の弾性が不足して十分なブラッシング効果が得られず、２００μｍを超えると、目が粗すぎて精密洗浄には不適当なためである。
【００５０】
上記気孔率とは、乾燥機で十分に乾燥された乾燥状態の直方体のＰＶＡｔ系多孔質素材を乾式自動密時計にて測定し、直方体の見掛け体積と真体積とから、次式（１）にて算出される値である。
【００５１】
気孔率（％）＝（見掛け体積−真体積）／見掛け体積×１００…（１）
【００５２】
また、上記平均気孔径は、ＰＶＡｔ系多孔質素材の内部組織に存在する複数の気孔の径の平均値である。本実施形態では、複数の気孔から所定の基準で抽出した所定数の気孔の長径（各気孔の長手方向の距離）の平均値を平均気孔径と定義し、例えば、以下の測定方法によって求めることができる。
【００５３】
スポンジローラ１を所定位置で切断し、その切断面に露出した内部組織を電子顕微鏡で撮影する。次に、撮影写真に所定の測定範囲を設定し、その測定範囲内に存在する複数の気孔の中から長径が大きい順に２０個の気孔を抽出する。次に、抽出した２０個の気孔の各長径を測定する。最後に、２０個の測定値のうち大きい方から数えて１１番目から２０番目までの測定値の平均を、平均気孔径として算出する。
【００５４】
なお、内部露出面の平均開口径や表皮層４の表面の平均開口径についても、上記平均気孔径と同様に定義してもよい。すなわち、複数の開口から所定の基準で抽出した所定数の開口の長径（各開口の長手方向の距離）の平均値を平均開口径と定義し、上記平均気孔径と同様の測定方法によって求めてもよい。この場合、電子顕微鏡で内部露出面や表皮層４の表面を撮影した後、その撮影写真（図９及び図１０参照）の所定の測定範囲内に存在する複数の開口の中から長径が大きい順に２０個の開口を抽出し、抽出した２０個の開口の各長径を測定し、２０個の測定値のうち大きい方から数えて１１番目から２０番目までの測定値の平均を、平均開口径として算出すればよい。
【００５５】
さらに、ＰＶＡｔ系多孔質素材としては、見掛け密度が０．０６ｇ／ｃｍ３以上であり、保水率が６００％以上のものが好適である。
【００５６】
上記見掛け密度は、所定形状（例えば矩形）のＰＶＡｔ系多孔質素材の乾燥状態での重量（ドライ重量）と適正含水状態での外形寸法とを測定し、外形寸法から体積（ウエット体積）を算出し、ドライ重量をウエット体積で割った値として得られる。
【００５７】
また、保水率は、ＰＶＡｔ系多孔質素材の乾燥状態での重量（乾燥重量）と充分に含水した状態での重量（ウエット重量）とを測定し、次式（２）によって算出される値である。
【００５８】
保水率（％）＝（ウエット重量−ドライ重量）／ドライ重量×１００…（２）
【００５９】
以上説明したように、本実施形態によれば、突起５の頂部外面５ａは、表皮層４よりも気孔率（開口率）が高い突起５の内部組織が露出した内部露出面であり、この頂部外面５ａが洗浄時に被洗浄面１０ａと接触する。このため、スポンジローラ１を最初に使用する際に、スポンジローラ１自身（特に、突起５の外面のうち被洗浄面１０ａと接触する領域）の清浄度を高める目的でダミーの被洗浄面に対してスクラブ洗浄を行う時間（立ち上げ時間・ブレークイン時間）を短縮することができる。
【００６０】
また、頂部外面５ａでは、開口率が比較的高いため、頂部外面５ａの開口よりも粒径が小さいパーティクルが頂部外面５ａの開口から突起５の内部に進入した場合であっても、そのパーティクルが突起５の内部に捕捉され難く、製品のライフサイクルを向上させることができる。
【００６１】
さらに、頂部外面５ａでは、開口率が比較的高く、スポンジローラ１の素材（ポリビニルアセタール系多孔質素材）の存在比率（面積比率）が低い。このため、洗浄時に粒径の比較的大きいパーティクルが捕捉され難く、捕捉されたパーティクルによって被洗浄面１０ａがダメージを受けてしまうことを抑制することができる。
【００６２】
また、ロール体３の外周面３ａ及び突起５の外周面５ｂが開口率の低い表皮層４によって覆われているため、スポンジローラ１の内側から外側に向かう洗浄液は、ロール体３の外周面３ａ及び突起５の外周面５ｂよりも突起５の頂部外面５ａから流出し易い。このため、ブレークイン時間の短縮、製品のライフサイクルの向上、及び被洗浄面へのダメージの付与の抑制を、さらに図ることができる。
【００６３】
また、突起５の回転方向の前側では、頂部外面５ａがロール体３の外周面３ａに向かって傾斜しているので、スクラブ洗浄時において、頂部外面５ａが被洗浄面１０ａに接触し易い。このため、ブレークイン時間の短縮、製品のライフサイクルの向上、及び被洗浄面へのダメージの付与の抑制を、さらに図ることができる。
【００６４】
なお、本発明は、一例として説明した上述の実施形態、及びその変形例に限定されることはなく、上述の実施形態等以外であっても、本発明に係る技術的思想を逸脱しない範囲であれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明の洗浄用スポンジローラは、エレクトロニクス部品の製造工程のうち、主に洗浄工程のスクラブ洗浄に好適に用いられる。
【符号の説明】
【００６６】
１…スポンジローラ、２…回転軸、３…ロール体、３ａ…外周面、４…表皮層、５…突起、５ａ…頂部外面（内部露出面）、５ｂ…外周面、５ｃ…傾斜面（内部露出面）、１０…被洗浄体、１０ａ…被洗浄面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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