(57)【要約】【課題】スイッチ内の圧力状態を遠隔で測定すること。【解決手段】高電圧真空デバイス内の高圧状況を検出する方法は、蛇腹または可撓性を有するダイヤフラムなどの移動可能な構造体の位置を検出することを含む。高圧での位置は、光ビームの中断または反射によって電気的に検出され、または、歪みゲージを介して接点閉鎖または偏差を検知することによって光学的に検出することができる。電気的な検知は、高圧デバイスポテンシャルで動作する超小型回路によって提供され、RF信号または光学的信号を通じて圧力情報が伝送される。【選択図】  図1
2009520328.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
1000ボルトより大きいAC電圧である高電圧の高電圧真空デバイス内で圧力に応じて移動可能な構造体の位置を検知し、かつ
当該移動可能な構造体の当該位置に応じた出力を提供すること
を含む、高電圧真空デバイス内の高圧状況を検出する方法。
【請求項２】
当該高電圧真空デバイスは、高電圧真空スイッチである、請求項1に記載の方法。
【請求項３】
当該高電圧真空デバイスは、高電圧真空キャパシターである、請求項1に記載の方法。
【請求項４】
当該移動可能な構造体の当該位置を検知することは、更に、当該移動可能な構造体の少なくとも一部によって、光ビームの少なくとも一部をブロックすることを含む、請求項1に記載の方法。
【請求項５】
当該移動可能な構造体の当該位置を検知することは、更に、当該移動可能な構造体の少なくともに一部によって、光学的伝送デバイスから光学的受信デバイスまでの光ビームの少なくとも一部を反射することを含む、請求項1に記載の方法。
【請求項６】
当該移動可能な構造体の当該位置を検知することは、更に、第一接点と、当該移動可能な構造体の少なくとも導電部分と、第二接点とを通る電流を検知することを含む、請求項1に記載の方法。
【請求項７】
当該電流が検知されるときに、当該RF信号が、伝送される、請求項6に記載の方法。
【請求項８】
当該電流が検知されるときに、光学的信号が、伝送される、請求項6に記載の方法。
【請求項９】
1000ボルトより大きいAC電圧である高電圧の高電圧真空デバイス内で圧力に応じて位置する移動可能な構造体と、
当該移動可能な構造体の位置に応じて出力するセンサと、を含む高圧真空デバイス内の高圧力状況を検出する装置。
【請求項１０】
当該高電圧真空デバイスは、高電圧真空スイッチである、請求項9に記載の装置。
【請求項１１】
当該高電圧真空デバイスは、高電圧真空キャパシターである、請求項9に記載の装置。
【請求項１２】
当該センサは、
第一光ケーブルと、
当該第一光ケーブルに対向配置されている第二光ケーブルと、を含み、
当該第一光ケーブルから当該第二光ケーブルまで通る光ビームの少なくとも一部が、当該高圧状況のときに当該移動可能な構造体によってブロックされる、請求項9に記載の装置。
【請求項１３】
当該センサは、
第一光ケーブルと、
第二光ケーブルと、を含み、
当該第二光ケーブルは、当該第一光ケーブルから放出される光ビームの少なくとも一部が、当該高圧状況のときに当該移動可能な構造体の外面の一部からの反射によって当該第二光ケーブルに向けられるように配置されている、請求項9に記載の装置。
【請求項１４】
当該センサは、
第一接点と、
第二接点と、
当該第一および第二接点に電気的に結合され、当該第一および第二接点との間に電位を提供し、当該第一および第二接点を通る電流を検知可能な超小型回路とを含み、
電気的導通が、当該高圧状況のときに当該移動可能な構造体の導電部分によって当該第一接点と第二接点との間に提供される、請求項9に記載の装置。
【請求項１５】
当該超小型回路は、RF信号を通じて情報を伝送する、請求項14に記載の装置。
【請求項１６】
当該超小型回路は、光学的信号を通じて情報を伝送する、請求項14に記載の装置。
【請求項１７】
当該超小型回路は、当該超小型回路に伝送されるRF信号によって電力が供給される、請求項14に記載の装置。
【請求項１８】
当該超小型回路は、当該高電圧真空デバイスを通じて導電される電流によって電力が供給される、請求項14に記載の装置。
【請求項１９】
更に、第一端板、第二端板および当該第一端板を当該第二端板に結合させている蛇腹壁部によってガス漏れしない筐体が形成され、当該第一端板が当該ガス容器内の圧力に依存して当該第二端板に対して移動するガス容器と、
当該高電圧真空デバイス内の当該圧力が当該ガス容器の当該圧力にほぼ等しいように、当該第一端板と当該第一端板に対して固定されている当該高電圧真空デバイスとの間に取り付けられている強固な流体管と、
当該第二端板に取り付けられている当該移動可能な構造体と、
を含む、請求項12に記載の装置。
【請求項２０】
更に、第一端板、第二端板および当該第一端板を当該第二端板に結合させている蛇腹壁部によってガス漏れしない筐体が形成され、当該第一端板が当該ガス容器内の圧力に依存して当該第二端板に対して移動するガス容器と、
当該高電圧真空デバイス内の当該圧力が当該ガス容器の当該圧力にほぼ等しいように、当該第一端板と当該第一端板に対して固定されている当該高電圧真空デバイスとの間に取り付けられている強固な流体管と、
当該第二端板に取り付けられている当該移動可能な構造体と、
を含む、請求項13に記載の装置。
【請求項２１】
更に、第一端板、第二端板および当該第一端板を当該第二端板に結合させている蛇腹壁部によってガス漏れしない筐体が形成され、当該第一端板が当該ガス容器内の圧力に依存して当該第二端板に対して移動するガス容器と、
当該高電圧真空デバイス内の当該圧力が当該ガス容器の当該圧力にほぼ等しいように、当該第一端板と当該第一端板に対して固定されている当該高電圧真空デバイスとの間に取り付けられている強固な流体管と、
当該第二端板に取り付けられている当該移動可能な構造体と、
を含む、請求項14に記載の装置。
【請求項２２】
当該センサは、当該移動可能な構造体の少なくとも一部に機械的に結合されていて、当該出力を行う歪みゲージ・デバイスを備える、請求項9に記載の装置。
【請求項２３】
更に、RF信号を通じて情報を伝送可能な、当該歪みゲージ・デバイスに電気的に結合されている、超小型回路を含む、請求項22に記載の装置。
【請求項２４】
更に、光学的信号を通じて情報を伝送可能な、当該歪みゲージ・デバイスに電気的に結合されている、超小型回路を含む、請求項22に記載の装置。
【請求項２５】
内部で真空圧状況を規定しているボトルと、
充電部材が密に隣接して配置された第一位置と当該充電部材が相互に間隔を空けて配置される第二位置との間で相対的に移動するように前記ボトル内に実装されていて、前記充電部材が1000ボルト上回る電位でこれらの第一位置と第二位置との間で移動するときに、前記ボトル内の真空圧状況が前記充電部材間の電気アークを防止する当該充電部材と、
第一および第二面を有し、ボトルと関連し、前記第一面が前記ボトルの真空圧状況に曝され、かつ、前記第二面が前記ボトルの外部の第二圧状況に曝され、前記ボトルの前記真空圧状況の損失に応じて移動する移動可能な構造体と、
前記充電部材がそれらの第一および第二位置のいずれかに存在するときに、前記ボトルの真空圧状況の損失を検出するために前記移動可能な構造体の移動を検知するためのモニタと、
を含む、真空圧損失検出特性を有する真空ボトルタイプの電気デバイス。
【請求項２６】
前記移動可能な構造体は、前記ボトルの真空状況の損失に応じて前記ボトルに対して移動するように実装されている強固な部材である、請求項25のデバイス。
【請求項２７】
前記移動可能な構造体は、追加的に実装されるフレキシブル部材であり、前記移動可能な構造体は、前記ボトルの真空圧状況の損失に応じて、その形状形態を変更する、請求項25のデバイス。
【請求項２８】
前記移動可能な構造体は、前記ボトルの真空状況の損失に応じて、前記ボトルに対して移動するように実装されている蛇腹デバイスである、請求項25に記載のデバイス。
【請求項２９】
前記モニタは、光源および光検出センサを含む、請求項25に記載のデバイス。
【請求項３０】
前記光源、前記光検出センサ、および、前記移動可能な構造体は、前記ボトルの真空圧状況の損失に応じて前記移動可能な構造体の移動が、前記光源から前記光検出センサまでの光の伝送をブロックするように配置されている、請求項29のデバイス。
【請求項３１】
前記光源、前記光検出センサ、および、前記移動可能な構造体は、前記ボトルの真空圧状況の損失に応じて前記移動可能な構造体の移動が、前記レーザ光源から前記光検出センサまでの光を伝送可能に配置されている、請求項29のデバイス。
【請求項３２】
前記モニタは、前記ボトルの真空圧状況の損失を検出したときに信号を生成する、請求項25のデバイス。
【請求項３３】
前記モニタは、前記ボトルの真空圧状況の一部が損失したときに信号を生成する、請求項32のデバイス。
【請求項３４】
前記モニタは、前記ボトルの真空圧状況が完全に損失したときにのみ信号を生成する、請求項32のデバイス。
【請求項３５】
前記信号は、RF通信リンクを介して前記モニタから通信される、請求項32のデバイス。
【請求項３６】
前記信号は、光ファイバーケーブルを介して前記モニタから通信される、請求項32のデバイス。
【請求項３７】
前記モニタは、前記移動可能な構造体の移動を検知し、かつ、前記ボトルの真空圧状況の損失を示す移動可能な構造体の移動に応じて信号を生成する、前記移動可能な構造体に実装されているセンサを含む、請求項25のデバイス。
【請求項３８】
前記センサは、前記ボトルの真空圧状況の損失に応じて前記移動可能な構造体の移動体に電気的に接続されている機械的接点ポイントを含む、請求項37のデバイス。
【請求項３９】
前記充電部材は、電気的接点ポイントを含み、かつ、前記デバイスは、スイッチング機構を構成する、請求項25のデバイス。
【請求項４０】
前記充電部材は、電荷を蓄積するためのキャパシタープレートを含み、かつ、前記デバイスは、キャパシターを構成する、請求項25のデバイス。
【請求項４１】
内部で真空圧状況を規定するボトルと、
充電部材が密に隣接して配置された第一位置と当該充電部材が間隔を空けて配置される第二位置との間で相対的に移動するように前記ボトル内に実装されている充電部材とを含み、前記ボトルの真空は、前記充電部材が1000ボルトを上回る電位でそれらの第一位置と第二位置との間を移動するときに前記充電部材間の電気アークを防止する、真空圧タイプの電気デバイスにおける真空の損失を検出する方法であって、
第一および第二面を有する移動可能な構造体と前記ボトルとを有効に関連付けし、
前記移動可能な構造体の第一面を前記ボトルの真空圧状況に曝し、
前記ボトルの真空圧状況の損失に応じて移動する前記移動可能な構造体の第二面を、ボトル外部の第二圧力状況の外側に曝し、
前記充電部材がそれらの第一位置と第二位置とのいずれかに存在するときに、前記ボトルの真空圧状況の損失を検出する移動可能な構造体の移動をモニタリングする方法。
【請求項４２】
更に、前記ボトルの圧力状況の損失が検出されるときに信号を生成することを含む、請求項41に記載の方法。
【請求項４３】
更に、RF通信リンクを介して前記信号を通信することを含む、請求項42に記載の方法。
【請求項４４】
更に、光ファイバー通信リンクを介して前記信号を通信することを含む、請求項42の方法。
【請求項４５】
前記信号は、前記ボトルの真空圧の一部が損失するときに生成される、請求項42の方法。
【請求項４６】
前記信号は、前記ボトルの真空圧が完全に損失するときにのみ生成される、請求項42の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大電力電気スイッチング・デバイスの故障状況の検出に関し、特に、高電圧真空遮断器、スイッチ、および、キャパシターにおける高圧状況の検出に関する。
【背景技術】
【０００２】
北アメリカにおける電力供給網の信頼性が、特に、消費者および産業界による電力需要が増加して来ているので、ここ数年間、厳しく精査されている。電力供給網における一つの部品の故障が、システムの全体の至る所に次々と悲惨な停電を引き起こすことさえありうる。電力供給網に利用されている基本部品の1つは、高電圧AC電源の高電流の流れをオン／オフするために用いられる機械的スイッチである。この用途では、半導体デバイスがある程度利用されつつあるが、非常に高い電圧と大きい電流とが組合される用途においては、未だに、機械的スイッチが、好まれている。
【０００３】
基本的には、これらの大電力機械的スイッチには、油充填形態、ガス充填形態、および、真空形態という3つの一般的な形態が存在している。これらのスイッチは、遮断器としても、知られている。油充満スイッチは、高絶縁耐力を有する炭化水素ベースの流体に浸漬されている接点を利用する。この高絶縁耐力は、各スイッチング接点が回路を遮断するために開放する際に、各スイッチング接点でのアーク電位に耐えられることが要求されている。高電圧運転状況に起因して、油の絶縁破壊中に生じる爆発性ガスの形成を防止するために、油を定期的に補充することが、要求されている。回路をシャットダウンさせるという定期的な作業が要求されるが、それは不都合、かつ、高価となりうる。炭化水素油は有毒となる可能性があり、かつ、炭化水素油が環境に流出してしまうと、深刻な環境問題を起こすことさえありうる。ガス充満を用いたものは、1絶対気圧より上の圧力でSF6を利用する。環境へのSF6のリークは望ましくないので、SF6よりも性能が劣るガスを充満させた遮断器も使用されている。SF6を充満させた遮断器がガス漏れにより故障すると、その結果生じるアークは、過剰圧力状況、または、格納容器の破損および深刻な局所的汚染を引き起こす可能性がある爆発性のある副産物を生じる。他の形態のスイッチは、スイッチング接点の周辺での真空環境を利用する。スイッチング接点を取り囲んでいる圧力が十分に低い場合には、スイッチング接点に対するアークおよびダメージは、防止できる。このタイプの遮断器において真空が失われると、各接点が負荷をスイッチする際に、接点間に重大なアークが生じるので、スイッチが破壊されてしまう。真空遮断器が、長期間、待機中の状態に置かれるような用途もある。真空が失われていることは、真空遮断器を運転するまで、検出することができないので、それを最も必要とするときに、スイッチがすぐに故障する結果になる。したがって、接点アークによるスイッチ故障が生じる前に、遮断器内で真空が低下していることを、予め知ることができるようにすることは、関心事であろう。現状では、これらのデバイスは、パッケージ化されているので、検査をすることが困難でありかつ高価になる。検査によっては、このデバイスが接続されている回路への電力を遮断することを要求するかもしれないが、これを行うことが、不可能である場合もあろう。
スイッチ内の圧力状態を遠隔から測定することは、直接的な検査が必要なくなるので、好ましいことであろう。さらに、スイッチが動作電位で運転中に、スイッチ内の圧力を周期的にモニタすることも好ましいことであろう。
【０００４】
おそらく一見したところでは、これらの遮断器デバイスの真空エンベロープ内における圧力の測定は、従来技術のデバイスによって適切にカバーされているように見えるかもしれない。しかしながら、これらのデバイスの実際の動作環境は、本発明以前には、この問題の現実的な解決を達成することを困難にしていた。この点に関する主要なファクタは、このデバイスが、電位がグランドに対し7〜100キロボルトの高いAC電圧、および、極めて大きい電流を制御するために用いられる点にある。これは、従来技術の圧力測定デバイスを用いることを、非常に困難にしかつ高価にする。コストおよび安全制約の面から、従来技術の複雑な高電圧絶縁技術は、不適切である。遮断器のような高電圧真空デバイスの高圧状況を、好ましくはこのデバイスから離れた場所で、かつ好ましくはこのデバイスに動作電位が印加されている状態で、安全でかつ安価に測定する、有用な方法および装置が必要とされている。これらの真空デバイスが、パワーダウンしているときに、待機中に、または、使用前の保管中に、これらの圧力状態をモニタできるようにすることは、更なる関心事となるであろう。
【０００５】
図1は、従来技術の真空遮断器の第一例の断面図100である。この特殊なユニットは、カリフォルニア州のサンノゼのジェニングズ・テクノロジー社によって製造されている。接点102および104が、スイッチング機能の役割を果たしている。領域114内の接点付近と、キャップ108、キャップ110、蛇腹112、および、絶縁体スリーブ106によって囲まれたエンベロープの範囲内とは、真空（通常、10−4トール以下）状態である。蛇腹112は、固定されている接点102に対し、接点104が移動して、電気的接続を形成または切断することを可能にしている。
【０００６】
図2は、従来技術の真空遮断器の第二例の断面図200である。このユニットも、カリフォルニア州のサンノゼのジェニングズ・テクノロジー社によって製造されている。従来技術のこの実施例では、接点202および204が、スイッチング機能を果たしている。領域214内の接点付近と、キャップ208、キャップ210、蛇腹212、および、絶縁体スリーブ206によって囲まれたエンベロープの範囲内とは、真空（通常、10−4トール以下）状態である。蛇腹112は、固定されている接点204に対して、接点202が移動して、電気的接続を形成または切断することを可能にしている。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の目的は、1000ボルトより高いAC電圧の高電圧真空デバイス内の圧力に応じて移動可能な構造体の位置を検知することを含む、高電圧真空デバイス内の高圧状況を検出する方法を提供すること、および、移動可能な構造体の位置に応答する出力を提供することである。
【０００８】
本発明の別の目的は、
内部で真空圧状況を規定しているボトルと、充電部材が密に隣接して配置された第一位置と当該充電部材が相互に間隔を空けて配置される第二位置との間で相対的に移動するように前記ボトル内に実装されている充電部材とを含み、前記充電部材が1000ボルトを上回る電位でこれらの第一位置と第二位置との間を移動するときに、前記ボトル内の真空が充電部材間の電気的なアークを防止する、真空圧型の電気デバイスの真空の損失を検出する方法を提供することである。この方法は、第一および第二の側面を有する移動可能な構造体とボトルとを有効に関連付けし、移動可能な構造体の第一面をボトルの真空圧状況に曝し、ボトルの真空圧状況の損失に応じて移動する前記移動可能な構造体の第二の側面を、ボトル外部の第二圧力状況に曝し、充電部材がそれらの第一位置と第二位置とのいずれかに存在するときに、ボトルの真空圧状況の損失を検出する移動可能な構造体の移動をモニタすることとを含む。
【０００９】
本発明の別の目的は、1000ボルトより大きいAC電圧の高電圧真空デバイス内の圧力に応じて位置する移動可能な構造体と、移動可能な構造体の位置に応じて出力するセンサとを含む、高電圧真空デバイス内で高圧状況を検出する装置を提供することである。本発明の他の目的は、ボトルの内部の真空圧状況を規定しているボトルと、充電部材に密に隣接して配置された第一位置と充電部材相互に離れて配置されている第二位置との間を移動するために実装されたボトル内の充電部材であって、ボトルの真空圧状況が1000ボルトを上回る電位で、第一位置と第二位置との間を相対的に移動するときに、充電部材間の電気的アークを防止する充電部材と、第一面および第二面を有するボトルと関連付けし、第一面をボトルの真空圧条件に曝し、かつ、第二面をボトル外部の第二圧力条件に曝す、ボトルの真空圧条件のロスに応じて移動する、移動可能な構造体と、充電部材がそれらの第一位置と第二位置とのいずれかのボトルの真空圧条件のロスを検出するために移動可能な構造体の移動を検知するためのモニタと、を含む、真空圧損失検出特性を有する真空ボトルタイプの電気的デバイスを提供することにある。
【００１０】
本発明は、以下の詳細な説明の考察により、より良く理解されるであろう。
【発明の実施の形態】
【００１１】
この種の説明は、添付の図面を参照して行う。
本発明は、高電圧の真空遮断器内の圧力測定方法および装置を提供することを目的とする。この開示において、用語「真空遮断器」と「高電圧真空スイッチ」とは、同義である。通常の用法において、用語「真空遮断器」とは、特殊なタイプのスイッチまたはその応用例を意味する場合がある。これらの制約は、本発明で開示された実施例が、高電位に対する絶縁を補助するような1気圧（絶対気圧）より低い内部ガス圧力を利用する、いかなる高電圧デバイスにも適用することができるので、本発明の実施例には無関係である。「高電圧」とは、好ましくは1000ボルトを超え、より好ましくは、5000ボルトを超える、AC（交流）電圧である。一例として、後述する各種実施形態は、図1に示されている遮断器とともに、または、図1に示されている遮断器内に採用される。このことは、本発明の例示の実施例が、図2に示されるデバイスにも、または、たとえば高電圧の真空絶縁キャパシターなどのいかなる類似のデバイスにも、同等に適用可能であるので、前述したことが、本発明の実施例がこの遮断器の形態の用途のみに限定されることを、意味することにはならない。
【００１２】
図3は、本発明の一実施例による、アーク接点を検出するためのデバイスの部分的な断面図300である。領域114の圧力が上昇するにつれて、増加した圧力によって形成されるガスのイオン化に起因して、接点104と接点102との間に、アークが、生じるであろう。電気的に絶縁されたフォト検出器310は、個々の接点104および102ごとに、ギャップ306で生成される放出光304を観測するために使用される。フォト検出器310は、ソリッドステート・フォト・ダイオードまたはフォト・トランジスタ・タイプの検出器としても良いし、または、光電子倍増管タイプの検出器としても良い。コストを考慮すると、ソリッドステート・デバイスが好まれる。フォト検出器310は、フォト検出器310からの信号を有用な情報に変換すべく要求される必要な構成部品（コンピュータプロセッサ、メモリ、アナログ・アンプ、アナログディジタル変換器または他の所要の回路を含む）を有する、制御およびインターフェイス回路312に結合されている。フォト検出器310は、光ファイバーケーブル308によって透明窓302に光学的に結合されている。ケーブル308は、遮断器における高い作動電圧に対する必要な物理的かつ電気的な絶縁を提供する。一般に、ケーブル308は、光学的に透明な、ガラス、プラスチックまたはセラミック材料を備え、かつ、非導電性である。窓302は、遮断器用の筐体に、好ましくは、絶縁体スリーブ106に実装される。窓302は、要求があれば或いは都合がよければ、キャップ（たとえば108）に実装してもよい。窓302は、これらに限定されるわけではないが、ガラス、クォーツ、プラスチックまたはセラミックを含む、光学的に透明な物質から形成される。図示されていないが、窓302は、たとえば、3つの位相接触器における3つの遮断器のいずれかの状態をモニタする一つのフォト検出器310内の多数のケーブル308に結合させることが望ましいであろう。同様に、窓302は、一つの制御装置312内の、各々が別々のケーブル308を有する、3つのフォト検出器310に結合させることが望ましいであろう。本実施例における1つの利点は、制御装置312および／またはフォト検出器310が遮断器から遠隔配置できる点である。これにより、回路から電力を除去することなく、遮断器を都合よくモニタリングすることが可能となる。部材308、310および312が、図面内の他の部材に対して一定の比率で示されているわけではない点に留意されたい。
【００１３】
接点102、104のアークによって生成される光304の測定値は領域114内の圧力の間接的な測定値であるが、そうであってとしても、それは、遮断器内の故障を生成する手法の直接的な観測である。充分に低い圧力では、背景分圧による残余ガスのイオン化が支持されないはずであるので、本質的な接点アークは、観測されないであろう。この圧力が上昇するにつれて、アークによる発光は、増加するであろう。フォト検出器310は、アーク接点からの放出光の輝度、周波数（色）および／または継続時間を観測することができる。既知の圧力状況の下での接点アークによって生成されるデータ間の相関関係は、「トリガーレベル」つまり警報状況を出現させるために用いることができる。フォト検出器310によって生成される観測データは、警報状況を生成するために、制御装置312に蓄積されている参照データと比較される。光度、光色、波形形状、および、継続時間の特性の各々は、故障状況を示すために、単独でまたは組み合わせて、用いることができる。これに代えて、プラズマ物理学の第一原則から生成されるデータを、参照データとして用いてもよい。
【００１４】
図4は、本発明の一実施例による、低圧状態のときのシリンダ作動光学的圧力スイッチ404の部分的な断面図400である。図5は、本発明の一実施例による、高圧状態のときのシリンダ作動光学的圧力スイッチ404の部分的な断面図500である。これらの実施例では、圧力検知シリンダデバイス404は、バネ410に結合されているピストン406を備える。チャンバ408は、領域416の圧力を検知するための遮断器402の内部と、流体学的に結合されている。シャフト412は、ピストン406に取り付けられている。反射デバイス414は、シャフト412に取り付けているが、シャフト412の取り付けは、光学ケーブル418から放出される光ビームの一部を、光学ケーブル420まで反射させるために適切な、いずれの面としてもよい。シャフト412は、低圧のときには、図4に示されるように、バネ410が伸びた状態で、シリンダ404内に格納される。光ファイバーケーブル418および420は、フォト放出器422、フォト検出器424、および、制御装置426と連携して、シャフト412の位置を検出する。バネ410は、高圧のときには、反射型デバイス414が光ファイバーケーブル418から（フォト放出器422を介して）生じている光ビームを遮断して、ケーブル420を介して、フォト検出器424まで戻る反射ビームを送信する位置まで、シャフト412を伸長させている。フォト検出器424が遮断器402の高圧状況を示す信号を受信するときに、警報状態が、生成される。光ビームを遮断するためにシャフト412を伸長させる圧力は、バネ410のバネ定数とピストン406の断面積とによって決定される。より固いバネは、より低い圧力で警報状況を生成するであろう。光ファイバーケーブル418および420は、デバイス422−426の回路に対して、必要な電気絶縁を提供する。前述の実施例は反射ビームを伝送および検出する光ファイバーケーブルを示したが、これに類似する配置は、各光ケーブル418および420の端部を互いに対抗させることによって利用可能となることは明白なはずである。この場合、シャフト412の端部は、2つのケーブルの間に差し込まれ、伸長位置のときに、ビームをブロックする。そのビームがブロックされると、警報状況が生成される。
【００１５】
図6は、本発明の一実施例による、低圧状態のときの蛇腹作動光学的圧力スイッチの部分的な断面図600である。図7は、本発明の一実施例による、高圧状態のときの蛇腹作動光学的圧力スイッチの部分的な断面図である。蛇腹602は、遮断器402内に実装されていて、かつ、遮断器402の内部に対する真空シールを保持するために、遮断器の内壁に対して封止されている。蛇腹の内部604は、遮断器の外側の大気圧に流体連通されている。これは、シャフト606の周辺に大きいクリアランスを提供する、または、遮断器の外部の壁を通じて蛇腹602の内部から付加的な通路を提供することによって実現することができる（図示せず）。蛇腹602は、図7に示されているように、蛇腹内側の圧力が蛇腹の外側の圧力と等しいときに、圧潰位置となるように構成されている。蛇腹が外側に真空引きされると、蛇腹は遮断器402の領域416の内部に向けて伸長される。図7に示す警報（高）圧力状況では、反射型デバイス608が、ケーブル418からの光ビームを遮断し、かつ、そのビームの少なくとも一部を、ケーブル420を通じて検出器424に戻すように反射させる位置に置かれるように、シャフト606を、延在させる。蛇腹の直径とその「剛性」とが、警報圧力レベルを決定する。より固い蛇腹物質は、結果として、より低いアラーム圧力レベルをもたらすであろう。光ファイバーケーブル418および420は、デバイス422−426の回路に対して、必要な電気絶縁を提供する。前述の実施例は、反射ビームを伝送および検出する光ファイバーケーブルを示したが、これに類似する配置は、各光ケーブル418および420の端部を互いに対向させることによって利用可能となることは明白である。この場合、シャフト606の端部は、2つのケーブルの間に差し込まれ、伸長位置のときに、ビームをブロックする。そのビームがブロックされると、警報状況が生成される。
【００１６】
図8は、本発明の一実施例による、電気的接点からスパッタされた破片を検出するための光デバイスの部分的な断面図800である。遮断器内の圧力が増加するにつれて、接点102と接点104との間のギャップ306に、アークが、生じるであろう。このアークは、接触面から物質を「スパッタ」して、様々な内面上に物質を堆積させるであろう。特に、スパッタの破片は、表面802と窓302の内面808とに堆積されるであろう。光学ケーブル418から放出された光ビームは、窓302を通じて反射面802に伝送される。反射面802は、光学ケーブル420に、そのビームの一部を反射する。窓表面808のスパッタされた破片の量は、光ビーム806の減衰度を決定するであろう。そのビームが特定量以下に減衰する場合には、警報が、制御装置426によって生成される。加えて、スパッタの破片は、さらに、反射面802を曇らせるので、その結果、更にビームが減衰する。ポート804は、いかなるスパッタされた物質の窓表面への移動を補助するために、窓302付近に置かれている。この実施例は、遮断器内部での真空の緩やかな劣化を検出するための連続監視機能を提供する能力を有している。ビーム輝度は、遮断器内部における真空状況の悪化の予防的なメンテナンスを計画するために、連続的にモニタし、かつ、制御装置426を介して報告することができる。
【００１７】
図9は、本発明の一実施例による、自己電力式光学的伝送超小型回路902の部分的な断面図900である。超小型回路902は、基板904と、フォト伝送デバイス906と、圧力測定部品908と、増幅および論理回路910と、誘導電力供給電源912とを含む。超小型回路902は、モノリシックなシリコン集積回路、セラミック基板と複数のシリコン集積回路とその上に相互接続された個別部品とを有するハイブリッド集積回路、または、プリント基板ベースのデバイス、とすることができる。領域114および114’の遮断器内の圧力は、基板904上の回路に相互接続されている、モノリシック圧力トランスジューサ908によって測定される。増幅および論理回路910は、光学的放出器デバイス906による伝送のため、圧力トランスジューサ908からの信号情報を変換する。デバイス906からの光伝送は、窓302を通じ、光ケーブル420を介して、遮断器の外側に位置する制御装置426に供給される。光伝送は、アナログ伝送とデジタル伝送のいずれとすることもできるが、デジタル伝送とすることが好ましい。超小型回路902は、連続的な圧力情報、高圧警戒情報、またはこれらの両方を供給することができる。誘導電力供給電源912は、遮断器における発振磁場から、その電力を取得する。これは、導電ループ（図示せず）を基板904に置くことによって実現され、この結果、導電ループから取得される誘電AC電圧が整流され、かつ、フィルタリングされる。当業者に公知であるように、フォト伝送デバイス906は、発光ダイオードまたはレーザダイオードとすることができる。基板904上の部品の構成は、事実上、モノリシックとしてもよいし、ハイブリッドとしてもよい。デバイス902の回路のいずれもがグランドに接地されていないので、高電圧絶縁は不要である。本発明の前の実施例で説明したように、デバイス424、426に対する高電圧絶縁は、光ケーブル420によって提供される。
【００１８】
図10は、本発明の実施例による、自己電力式RF伝送超小型回路1002の部分的な断面図1000である。超小型回路1002は、基板1004と、圧力測定部品1006と、増幅論理およびRF伝送回路1008と、誘導電力供給電源1010とを含む。超小型回路1002は、モノリシックなシリコン集積回路、セラミック基板と複数のシリコン集積回路とその上に相互接続された個別部品とを有するハイブリッドな集積回路、または、プリント基板ベースのデバイス、とすることができる。領域114および114’の遮断器内の圧力は、基板1004上の回路に相互接続されている、モノリシック圧力トランスジューサ1006によって測定される。増幅および論理回路は、回路1008内に集積化されたRF送信機による伝送のため、圧力トランスジューサ1006からの信号情報を変換する。デバイス906からのRF伝送は、絶縁体106を通じ、遮断器の外側に位置する、受信器ユニット1014に供給される。当業者に周知であるように、集積回路工学からRF伝送に適した様々なプロトコルおよび方法とすればよい。この開示の目的によれば、RF伝送は、マイクロ波、および、ミリ波伝送を含む。受信器ユニット1014は、超小型回路1002に含まれる送信機内であれば、遮断器からいかに都合のよい距離に配置してもよい。受信器ユニットは、多数の遮断器デバイスに固有の一つまたは複数の超小型回路からの伝送をモニタするように設定することができる。ユニット1014は、要求に応じて伝送および問題警報およびその他の情報に必要なプロセッサ、メモリ、アナログ回路、モニタインターフェイス回路を含む。誘導電力供給電源1010は、遮断器内の発振磁場から、その電力を取得する。これは、導電ループ（図示せず）を基板904に置くことによって実現され、この結果、導電ループから取得される誘電AC電圧が整流され、かつ、フィルタリングされる。
【００１９】
図11は、本発明の一実施例による、低圧状態でのダイヤフラム作動光学的圧力スイッチの模式図1100である。図12は、本発明の一実施例による、高圧状態でのダイヤフラム作動光学的圧力スイッチの模式図1200である。遮断器内で高圧を検出するための低コストである別の実施例は、ダイヤフラム1101を用いることによって取得することができる。ダイヤフラム1101は、一般的に、中空かつ管体形状の構造体1104に固定されている。構造体1104は、結局、遮断器セグメント1106の一部に固定される。これに代えて、ダイヤフラム1101は、都合がよければ、遮断器の外面に直接取り付けてもよい。薄いドーム物質の脆弱な性質に起因して、構造体1104は、遮断器のより厚い金属構造体に対する、溶接界面または鑞接界面として機能する。場合によっては、構造体1104は、絶縁部（たとえば従来例の図の参照符号106）のポートに鑞接してもよい。図11に示すように、遮断器内部の低圧では、圧潰位置にドーム1101が存在するであろう。ドーム1101は、高圧では、図12の伸長位置に存在するであろう。ドームが圧潰位置から伸長位置まで移行する圧力は、2〜14．7psiaの範囲内、好ましくは2〜7psiaの範囲内である。ドーム位置は、部品418−426によって検出される。低い圧力状態では、圧潰ドームは、相対的に平坦な表面1102を生成する。放出器デバイス422によって生成される光ビームは、光ケーブル418を介して表面1102に伝送される。反射ビームは、光ケーブル420を介して、表面1102から光学的検出器デバイス424まで戻る。高圧状況では、ドームは、その表面1202の実質的な湾曲を有する、ほぼ半球状の伸長形状となる。この湾曲は、ケーブル420の受信端から間隔をおいて配置される光ケーブル418の端部から放出された光ビームの方向を変え、検出器424における信号の損失を引き起こし、かつ、デバイス426の回路内で警報状況を生成する。ほぼ平坦な位置に引き下がるときに信号の損失を生成するように、ドームがその伸長位置付近に接近したことを検出すべく、光ケーブル418および420を用いて論理を反転させることも可能である。これに代えて、ドームの位置は、図4−図7の実施例に示されているように、一端がドームの外面に接触させて置かれていて、反対の端が光学ビームを遮断する機械的なシャフト（図示せず）によって、検出してもよい。
【００２０】
図13は、本発明の一実施例による、外部に実装された圧力検知蛇腹1306および伝送光学的検出器を有する高圧真空スイッチ1301の部分的な断面図1300である。この実施例は、接続チューブ1302を介して真空スイッチ1301の内部圧力と流体連通している、外部に実装された蛇腹容器1306を利用した高圧状況（または真空の損失）の測定を可能にする。蛇腹容器1306は、より高い内圧で長さが伸長し、かつ、低い内部圧力で長さが収縮するように設計されている。蛇腹の伸長に要求されるバネ力は、蛇腹1306の中または外部に位置するバネによって提供することができ（図示せず）、かつ、当業者にとって既知の方法によって蛇腹に取り付けることができる。蛇腹容器1306は、選択される物質と組立方法とのいずれかまたは両方によって、伸長バネ力が蛇腹容器の壁構造物に組み込まれる手法で構成されていることが好ましい。任意に、蛇腹容器1306の伸長は、特定の真空スイッチ圧力範囲での応答を最適化するために、または、様々な大気圧状況を補償するために、その伸長を強めるまたは弱めることを目的として、外部バネを付加することによって、調整または修正してもよい（図示せず）。蛇腹容器1306は、プラスチック、ガラス、クォーツ、および、金属を含む、いかなる適切なガス不浸透性の物質で構成してもよい。金属を用いることが好ましい。ステンレス鋼合金321またはニッケルの合金を用いることが、より好ましい。アライメント・デバイス1304は、蛇腹容器1306のハウジングとして役立ち、かつ、光伝送デバイス1312および1308の取着に対する支持を提供する。光伝送デバイス1312および1308は、たとえば、プラスチック、セラミックまたはガラスまたはそれらを組み合わせた誘電材料からなる光ファイバーケーブルとすることが好ましい。蛇腹容器1306の一端に追加される構造体1310は、蛇腹1306の伸長に応じて移動する。蛇腹容器1306は、スイッチ1301内が低圧（高真空）では、圧縮（非伸長）状態となるので、構造体1310は、伝送デバイス1312と伝送デバイス1308との間の光路が妨害されず、当該デバイス間を光ビームが伝送可能となるような位置に配置される。蛇腹容器1306は、高圧（低真空）では、長さが伸長し、伝送デバイス1312と伝送デバイス1308との間の光路に構造体1310を移動させ、光ビームをブロックさせるか減衰させることになる。ブロックされた光ビームの検出は、すでに開示される実施例における、たとえば、フォト放出器422、フォト検出器424、および、制御装置426によって、提供することができる（図示せず）。
【００２１】
図14は、本発明の一実施例による、外部に実装された圧力検知蛇腹1306および反射型光学的検出器を有する高電圧真空スイッチ1301の部分的な断面図1400である。光伝送デバイス1402および1404は、アライメント・デバイス1304に実装されている。この特定の実施例では、構造体1310は、反射面1406を備える。反射面1406は、蛇腹1306が高圧状況で伸長されるときに、一方の光学的伝送デバイス（たとえば1402）から発せられた光ビームを、他方の光伝送デバイス（たとえば1404）に反射させる位置に置かれている。たとえば、デバイス1402とデバイス1404との間の透過した光ビームの検出は、すでに開示された実施例における、フォト放出器422、フォト検出器424、および、制御装置426によって提供することができる（図示せず）。光伝送デバイス1402および1404は、たとえば、プラスチック、セラミックまたはガラスまたはそれらを組み合わせた誘電材料からなる光ファイバーケーブルとすることが好ましい。
【００２２】
図15は、本発明の一実施例による、外部に実装された圧力検知蛇腹1506および接点閉鎖検知超小型回路1514を有する高電圧真空スイッチの部分的な断面図1500である。蛇腹容器1506は、より高い内圧で長さが伸長し、かつ、低い内部圧力で長さが収縮するように設計されている。蛇腹の伸長に要求されるバネ力は、蛇腹1506の中または外部に位置するバネによって提供することができ（図示せず）、かつ、当業者にとって既知の方法によって蛇腹に取り付けることができる。蛇腹容器1506は、選択されると物質と組立方法のいずれかまたは両方によって、伸長バネ力が蛇腹容器の壁構造物に組み込まれる手法で構成されることが好ましい。オプションとして、蛇腹容器1506の伸長は、特定の真空スイッチ圧力範囲での応答を最適化するために、または、様々な大気圧状況を補償するために、その伸長を強めるまたは弱めることを目的として、外部バネを付加することによって、調整または修正してもよい（図示せず）。蛇腹容器1506は、プラスチック、ガラス、クォーツ、および、金属を含む、いかなる適切なガス不浸透性の物質で構成してもよい。金属を用いることが好ましい。ステンレス鋼合金321またはニッケルの合金を用いることが、より好ましい。アライメント・デバイス1504は、蛇腹容器1306のハウジングとして役立ち、かつ、超小型回路支持部1512に取り着けられる超小型回路の取着に対する支持を提供する。蛇腹容器1506の一端に添付される構造体1510は、蛇腹1306の伸長に応じて移動する。蛇腹が非導電性であるか誘電物質により構成される場合、構造体1510は、粘着剤、接着剤、圧入または公知の他のいかなる適切な取着技術を用いて、残りの蛇腹1506に接合される電気的導電性物質により構成することが好ましい。構造体1510は、上部表面が電気めっき法または蒸着などの適切な被覆プロセスを利用して、導体でメッキされている非導電性ベースの物質により構成することもできる。超小型回路1514に電気的に結合されている電気的接点1508は、構造体1510の導電表面が2つ以上の接点と係合するときに、蛇腹1506の伸長位置（高圧状況）を検出するように配置されている。これにより、当業者に周知の方法によって検出することができる、超小型回路1514の電流の流れが生じる。
【００２３】
超小型回路1514は、電力供給電源、通信／伝送回路、および、電流検知回路を含む。超小型回路1514は、モノリシックなシリコン集積回路、セラミック基板と複数のシリコン集積回路とその上に相互接続された個別部品とを有するハイブリッドな集積回路、または、スルーホールまたは表面実装型部品を有するプリント基板ベースのデバイスなどの、適切な構成とされる。誘導デバイスなどの電力供給電源は、高圧真空スイッチ（すでに上記の実施例において開示）を流れる電流からの導出電力と、好ましくはRF信号を伝送している外部RF電源から電力を受信しているRFデバイスとのいずれかから、適切に構成される。外部RF電力伝送供給源の使用によって、超小型回路は、問い合わせがあるまで停止中の状態を維持し、かつ、たとえ真空スイッチがパワーダウンまたは保管中であったとしても利用可能となる。これに代えて、電力は、バッテリ、太陽電池、または、超小型回路1514に集積可能な或いは支持部1512に集積可能な他の適切な電源によって供給してもよい。通信／伝送回路は、RF伝送ベースまたは光伝送ベースのものとしてよい。RF伝送は、マイクロ波、および、ミリ波伝送を含む。光伝送は、超小型回路1514に集積され、または、基板1512に取り付けられる、ソリッドステート光源によって実現することができる（図示せず）。図9に示した実施例のような光学受信デバイス（図示せず）は、超小型回路1514からの光伝送を検出するために利用することができる。この種の受信器は、光ケーブルを用いて回路1514に直接結合され、または、見通し線によって伝送をピックアップするように配置される。RF受信器ユニット（図示せず）は、超小型回路1514に含まれる送信機内であれば、真空スイッチからいかに都合よい距離に配置してもよい。RF受信器ユニットは、RF伝送能力を含むものでもよいし、含まないものでもよい。両方のタイプの受信器ユニット（光学タイプまたはRFタイプ）は、多数の高電圧真空デバイスに固有の一つまたは複数の超小型回路からの伝送をモニタするように設定することができ、かつ、これは、固定式であっても移動式であってもよい。受信器は、要求に応じて、モニタ伝送および問題警報およびその他の情報に必要なプロセッサ、メモリ、アナログ回路、インターフェイス回路を含む。超小型回路1514は、高圧が真空スイッチで検知されるときに、または、回路1514までの待ち時間がそれに伝送される信号によって問い合わせられたときに、信号を直ちに伝送するようにプログラムすることができる。本実施例の主要な利点としては、超小型回路1514が真空スイッチのポテンシャルでフロートすることと、超小型回路から或いは超小型回路への情報（および、電力）の伝送がスイッチの高電圧ポテンシャルによって障害を生じさせないこととである。
【００２４】
図16は、本発明の一実施例による、低圧のときの外部に実装された圧力測定チャンバ1604および接点閉鎖検知超小型回路1514を有する高圧真空スイッチの部分的な断面図1600である。図17は、本発明の一実施例による、高圧のときの外部に実装された圧力測定チャンバ1604および接点閉鎖検知超小型回路1514を有する高圧真空スイッチの部分的な断面図1700である。圧力測定チャンバ1604は、導管1602を介して高電圧真空スイッチ内部の圧力に、流体学的に結合されている。移動可能な構造体1606は、チャンバ1604の格納容器の壁の一部に置かれている。移動可能な構造体1606は、チャンバ1604内の高圧により、外側に歪む（参照符号1702）。構造体1606は、一般に、薄いダイヤフラムまたは薄膜とされ、これは、好ましくは、金属、または、金属または他の電気導電性物質によって上部コーティングされた非金属物質などの、いかなる適切な物質からなる。接点1508は、わずかな歪みを少なくとも2つの接点を介した電気的導通によって検出できるように、構造体1606に近接させて置かれている。構造体1606は、低い差動圧でドーム形状を生成するような方法で組み立てられる。ドームの外側の圧力が増加するにつれて（または、ドーム内部の圧力が減少するにつれて）、ドームは、ほぼ平面形状に押し戻される。所定の圧力差に対する歪み量は、周知のように、壁厚、物質のタイプ、および、他の物質特性に依存する。この実施例の利点は、構造体1606付近に基板1512を置くことによって、非常に少ない歪みを検出することが可能となるので、圧力感度を増加させられる点である。
【００２５】
超小型回路1514についての説明および限定は、上述のとおりである。
【００２６】
本発明の代替実施例では、移動可能な構造体1606の歪みは、構造体1606の外面に固定されている歪みゲージ・デバイスによって検出される（図示せず）。超小型回路1514は、すでに開示した電力供給電源および通信／伝送回路を含み、接点閉鎖検知回路が、歪みゲージ・デバイスを有するインターフェイスのために適切な回路に置き換えられる。歪みゲージ・デバイスは、ワイヤーによって超小型回路1514に接続することができ、または、超小型回路1514との通信は、光伝送またはRF伝送といったワイヤレス技術よって実現することができる。これに代えて、歪みゲージ・デバイスは、構造体1606の表面に固定されている、同一基板上の電力供給電源および伝送／受信回路などの他の回路に集積化してもよい。本発明のこの実施例に対する利点は、非常に小さい偏差を検出することが出来るので、高電圧真空デバイス内の圧力変化を高感度に検出することができる点である。この実施例によって、さらに、起こりうる故障状況の事前警告を提供するために利用できる、時間関数としての圧力の連続的な（または定期的な）測定とモニタリングとが可能となるので、ユーザは、実際に故障が発生する前に、運転中のデバイスの内から圧力がリークしているデバイスを見つけだし、かつ、それを除去するために、積極的に行動することが可能となる。
【００２７】
本発明は、これまで記載されている前述の実施例又は前述の例に制限されるものではない。むしろ、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲およびこれに等価なものとともに考慮される、これらの記載によって規定されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】従来技術の真空遮断器の第一例の断面図である。
【図２】従来技術の真空遮断器の第二例の断面図である。
【図３】本発明の一実施例による、アーク接点を検出するためのデバイスの部分的な断面図である。
【図４】本発明の一実施例による、低圧状態のときのシリンダ作動光学的圧力スイッチの部分的な断面図である。
【図５】本発明の一実施例による、高圧状態のときのシリンダ作動光学的圧力スイッチの部分的な断面図である。
【図６】本発明の一実施例による、低圧状態のときの蛇腹作動光学的圧力スイッチの部分的な断面図である。
【図７】本発明の一実施例による、高圧状態のときの蛇腹作動光学的圧力スイッチの部分的な断面図である。
【図８】本発明の一実施例による、電気的接点からスパッタされた破片を検出するための光デバイスの部分的な断面図である。
【図９】本発明の一実施例による、自己電力式光学的伝送超小型回路の部分的な断面図である。
【図１０】本発明の一実施例による、自己電力式RF伝送超小型回路の部分的な断面図である。
【図１１】本発明の一実施例による、低圧状態のときのダイヤフラム作動光学的圧力スイッチの模式図である。
【図１２】本発明の一実施例による、高圧状態のときのダイヤフラム作動光学的圧力スイッチの模式図である。
【図１３】本発明の一実施例による、外部に実装された圧力検知蛇腹および伝送光学的検出器を有する高電圧真空スイッチの部分的な断面図である。
【図１４】本発明の一実施例による、外部に実装された圧力検知蛇腹および反射光学的検出器を有する高電圧真空スイッチの部分的な断面図である。
【図１５】本発明の一実施例による、外部に実装された圧力検知蛇腹および接点閉鎖検知超小型回路を有する高電圧真空スイッチの部分的な断面図である。
【図１６】本発明の一実施例による、低圧のときの外部に実装された圧力測定チャンバおよび低圧での接点閉鎖検知超小型回路を有する高電圧真空スイッチの部分的な断面図である。
【図１７】本発明の一実施例による、高圧のときの外部に実装された圧力測定チャンバおよび高圧での接点閉鎖検知超小型回路を有する高圧真空スイッチの部分的な断面図である。
【符号の説明】
【００２９】
102，104  接点
108，306  キャップ
302  透明窓
304  放出光
308  光ファイバーケーブル
310  フォト検出器
312，426  制御装置
321  ステンレス鋼合金
402  遮断器
404  シリンダ作動光学的圧力スイッチ
406  ピストン
408  チャンバ
410  バネ
412，606  シャフト
414  反射デバイス
418，420  光学ケーブル
422，424  フォト放出器
602  蛇腹
604  蛇腹内部
608  反射型デバイス
802，1406  反射面
804  ポート
806  光ビーム
808  窓表面
902，1002  自己電力式光学的伝送超小型回路
904，1004  基板
906，  フォト伝送デバイス
908，1006  圧力測定部品（モノリシック圧力トランスジューサ）
910，  増幅および論理回路
912，1010  誘導電力供給電源
1008  増幅論理およびRF伝送回路
1014  受信器ユニット
1101  ダイヤフラム（ドーム）
1106  遮断器セグメント
1306，1506  圧力検知蛇腹
1301  高圧真空スイッチ
1302  接続チューブ
1304，1504  アライメント・デバイス
1308，1312，1402，1404  光伝送デバイス
1508  電気的接点
1512  支持部
1514  接点閉鎖検知超小型回路
1602  導管
1604  圧力測定チャンバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【国際調査報告】
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