(57)【要約】  本マイクロシステム（１）は、平らな基板に実現されて、懸架バネ（３ａ、３ｂ）によって基板に接続された２つの振動質量体（２ａ、２ｂ）を備える。振動質量体（２ａ、２ｂ）は、振動質量体（２ａ、２ｂ）の励振が予め決められた励振方向（Ｏｘ）で行われたとき、前記振動質量体（２ａ、２ｂ）の逆位相運動を引き起こすように剛体結合バー（１１）によって結合されている。結合バー（１１）は、振動質量体（２ａ、２ｂ）の相対する側（７ａ、７ｂ）に配置された対応する懸架バネ（３ａ、３ｂ）の中間領域に接続されている。中間領域は、対応する振動質量体（２ａ、２ｂ）に固定された懸架バネ（３ａ、３ｂ）の第１の端と、対応する取付け点（４ａ、４ｂ）で基板に固定された懸架バネ（３ａ、３ｂ）の第２の端との間に配置されている。
2009520970.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平らな基板に作られ、さらに、
弾性懸架手段によって前記基板に接続された少なくとも２つの振動質量体（２ａ、２ｂ）と、
前記振動質量体（２ａ、２ｂ）の励振が予め決められた励振方向（０ｘ）で行われたとき、前記振動質量体（２ａ、２ｂ）の逆位相運動を引き起こすことができる２つの近接した振動質量体（２ａ、２ｂ）を結合する手段と、を備えるマイクロシステム（１）であって、
本マイクロシステムが、２つの近接した振動質量体（２ａ、２ｂ）の相対する側（７ａ、７ｂ）に配置され、かつ前記励振方向（０ｘ）に向けられた最小剛性の軸を有する少なくとも一対の弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）を備え、
前記結合手段が、前記一対の弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）の中間領域を接続し、
各中間領域は、前記対応する振動質量体（２ａ、２ｂ）に固定された、前記関連した弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）の第１の端と、対応する取付け点（４ａ、４ｂ）によって前記基板に固定された、前記関連した弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）の第２の端との間に配置され、
前記結合手段によって接続された前記中間領域が、前記励振方向（０ｘ）に平行な軸（ＡＡ）の両側に配置されていることを特徴とするマイクロシステム。
【請求項２】
各中間領域が、前記関連した弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）の最後のブランチの可動端によって形成され、前記最後のブランチが前記対応する取付け点（４ａ、４ｂ）に固定されていることを特徴とする、請求項１に記載のマイクロシステム。
【請求項３】
前記結合手段が、前記基板にしっかり固定されたピボット（１２）のまわりに回転する状態で関節式に連結され、かつ前記関連した弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）の前記中間領域にそれぞれ接続された２つの部分（１１ａ、１１ｂ）を含む剛体結合バー（１１）を備えることを特徴とする、請求項１および２の一項に記載のマイクロシステム。
【請求項４】
前記結合バー（１１）が、
前記バー（１１）の前記部分（１１ａ、１１ｂ）が固定されている剛体フレーム（１３）であって、前記ピボット（１２）が前記フレーム（１３）の中心に配置されている剛体フレーム（１３）と、
前記フレーム（１３）の内側に配置され、各々前記フレーム（１３）に接続された少なくとも１つの第１の端および前記ピボット（１２）に接続された少なくとも１つの第２の端を含む連結バネ（１４）と、を備えることを特徴とする、請求項３に記載のマイクロシステム。
【請求項５】
前記結合バー（１１）が、前記ピボット（１２）の両側に配置され、かつ前記励振方向（０ｘ）に対して垂直に向けられた最小剛性の軸を有する少なくとも２つの第１の連結バネ（１４ａ）を備えることを特徴とする、請求項４に記載のマイクロシステム。
【請求項６】
前記結合バー（１１）が、前記第１の連結バネ（１４ａ）に対して垂直に前記ピボット（１２）の両側に配置され、かつ前記励振方向（０ｘ）に向けられた最小剛性の軸を有する２つの第２の連結バネ（１４ｂ）を備えることを特徴とする、請求項５に記載のマイクロシステム。
【請求項７】
前記連結バネ（１４）が、蛇行の形をしたバネであることを特徴とする、請求項４から６のいずれか一項に記載のマイクロシステム。
【請求項８】
２つの近接した振動質量体（２ａ、２ｂ）の前記相対する側（７ａ、７ｂ）が、各々、互いに向かい合って配置された２つの弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）を備えることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載のマイクロシステム。
【請求項９】
互いに向かい合って配置された前記弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）の前記取付け点（４ａ、４ｂ）が、互いに向かい合って配置された前記弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）の中心を通過する、前記励振方向に平行な前記軸（ＡＡ）の両側にあり、さらに前記結合手段が、互いに向かい合って配置された弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）の各対の前記中間領域を接続することを特徴とする、請求項８に記載のマイクロシステム。
【請求項１０】
互いに向かい合って配置された前記弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）の前記取付け点（４ａ、４ｂ）が、前記励振方向に平行な前記軸（ＡＡ）の同じ側で互いに向かい合い、さらに前記結合手段が、前記マイクロシステム（１）の中心を実質的に通過する前記軸（ＡＡ）の両側に配置された前記弾性懸架手段（３ａ、３ｂ）の前記中間領域を接続することを特徴とする、請求項８に記載のマイクロシステム。
【請求項１１】
前記弾性懸架手段が、蛇行の形をした懸架バネ（３ａ、３ｂ）であることを特徴とする、請求項１から１０のいずれか一項に記載のマイクロシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平らな基板に作られ、さらに、
・弾性懸架手段（ｅｌａｓｔｉｃ  ｓｕｓｐｅｎｓｉｏｎ  ｍｅａｎｓ）によって基板に接続された少なくとも２つの振動質量体（ｏｓｃｉｌｌａｔｉｎｇ  ｍａｓｓｅｓ）と、
・前記振動質量体の励振（ｅｘｃｉｔａｔｉｏｎ）が予め決められた励振方向で行われるとき、前記振動質量体の逆位相運動を引き起こすことができる２つの近接した振動質量体を結合する手段と、を備えるマイクロシステム、より詳細には、マイクロジャイロメータに関する。
【背景技術】
【０００２】
センサまたはアクチュエータ型のマイクロシステムの分野では、回転速度の慣性測定にマイクロジャイロメータを使用することは知られている。速度を測定するために、マイクロジャイロメータは、従来、回転の効果のために振動質量体によって生成されるコリオリの力を使用する。コリオリの力は、励起振動と回転軸に対して垂直な方向に生成される。
【０００３】
マイクロジャイロメータは、好ましくは基板の面に微細機械加工された、従来は任意の適切な励振手段によって同じ振動方向であるが逆の運動方向（逆位相運動）へ動かされる少なくとも２つの振動質量体を備える部品である。振動質量体は、従来、コリオリの力の検出のために設計された検出素子をその構造の中に一体化している。
【０００４】
２つの主要な検出系統が存在する。第１の系統は、マイクロジャイロメータが製作される基板の面内での検出にあり、回転軸が基板に対して垂直になっている。第２の系統は、基板の面に対して垂直な検出にあり、回転軸が基板の面内にある。
【０００５】
簡単さとコストの技術的理由のために、検出が基板の面内にあるマイクロジャイロメータは、通常、使用されない。例えば、文献国際公開第９６０５４８０号、国際公開第２００４０４２３２４号および米国特許第６７５２０１７号は、各々、基板の面内に励振および検出を有するマイクロジャイロメータを記載している。
【０００６】
文献国際公開第２００４０４２３２４号は、特に、検出が単一方向で行われことを可能にするバネによる振動質量体の結合を含むマイクロジャイロメータを記載している。しかし、この型の結合は、マイクロジャイロメータの感度をかなり低下させる。
【０００７】
米国特許第６７５２０１７号は、特に、同相および逆位相モードの振動が分離されることを可能にする振動質量体の結合システムを備えるマイクロジャイロメータを記載している。しかし、測定効率は比較的低く、マイクロジャイロメータの動作は最適でない。
【０００８】
マイクロジャイロメータの動作を改善するために、差動測定を行うこと、すなわち、振動質量体が逆位相で励振されたときコリオリの力の測定を行うことが知られている。したがって、質量体の振動は、強制的に基本周波数よりも高い周波数にされなければならない。
【０００９】
例えば、米国特許第５６３５６３８号、５７２８９３６号および５２４１８６１号は、各々、振動モードが強制的に逆位相モードにされるマイクロジャイロメータを提案する。
【００１０】
米国特許第５６３５６３８号は、特に、励振および検出が基板の面内にあり、質量体（ｍａｓｓ）の結合システムが梁によっているマイクロジャイロメータを記載している。
【００１１】
米国特許第５７２８９３６号および５２４１８６１号は、各々、振動モードを強制的に逆位相モードにするために振動質量体の対向する角を回転リンクによって接続することに基づいた結合システムを備えるマイクロジャイロメータを記載している。しかし、この型のマイクロジャイロメータは、実現するのが非常に難しく、さらに、検出は、マイクロジャイロメータの慣性質量（ｉｎｅｒｔｉａｌ  ｍａｓｓ）に関係していないので、非常に効率よくならない。
【００１２】
上で述べられたマイクロジャイロメータは、基本周波数以外の周波数で動作するか、振動質量体の等しいが逆の強制運動で動作するかであり、このことは、マイクロジャイロメータ製造技術の制御に関して非常に制限的であることが分かっている。
【００１３】
さらに、文献米国特許出願公開第２００４／１５４３９７号は、また、特に回転速度を決定するために逆位相モードで振動するように設計された２つの振動質量体を備えるマイクロジャイロメータを記載している。振動質量体は、連結バーで互いに結合された懸架手段によって基板に接続されている。しかし、そのようなマイクロジャイロメータは、基板の面に対して垂直な検出を行い、連結バーの位置は非対称である。このことは、特に、マイクロジャイロメータの乱された動作をもたらす。
【００１４】
文献米国特許出願公開第２００５／０７２２３１号は、また、変形可能な相互接続ブランチによって、さらに剛体相互接続ブランチによって接続された２つの振動質量体を基板上に備えるマイクロシステム、より詳細には角速度センサを記載している。しかし、剛体ブランチによる振動質量体のそのような接続は、特に、逆位相モードの２つの振動質量体の完全同一運動を強要し、これは、動作の観点から実際的に不可能である。
【００１５】
したがって、知られているマイクロジャイロメータが何であろうとも、最適な動作を実現しない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明の目的は、全ての上で言及された欠点を取り除くこと、および、簡単な設計で実現し易く、かつ最適動作を示す、結合された振動質量体を備えるマイクロシステム、より詳細には、２つの振動質量体を備えるマイクロジャイロメータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の目的は、添付の特許請求の範囲によって、より詳細には、
・マイクロシステムが、２つの近接した振動質量体の相対する側に配置され、かつ前記励振方向に向けられた最小剛性の軸を有する少なくとも一対の弾性懸架手段を備え、
・前記結合手段が、前記一対の弾性懸架手段の中間領域を接続し、
・各中間領域が、対応する振動質量体に固定された関連した弾性懸架手段の第１の端と、対応する取付け点（ａｎｃｈｏｒｉｎｇ ｐｏｉｎｔ）によって基板に固定された関連した弾性懸架手段の第２の端との間に配置され、
・結合手段によって接続された前記中間領域が、励振方向に平行な軸の両側に配置されていることによって、達成される。
【００１８】
他の有利点および特徴は、ただ単に限定しない例として与えられ、かつ添付の図面に表された本発明の特定の実施形態についての以下の説明からいっそうはっきりと明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１から６を参照して、マイクロシステム１は、より詳細には、機械的に結合された振動質量体の振動を測定することによって回転速度を決定するように設計されたマイクロジャイロメータである。マイクロジャイロメータ１は、例えば、図１から６の図示の面を画定する、平らな基板（明瞭さのために図に示されていない）内の微細機械加工によって実現される。
【００２０】
図１に示された特定の実施形態では、マイクロジャイロメータ１は、好ましくは、実質的に長方形の全体的形状をした、好ましくはそれら自体が互いに同一で対称的である２つの振動質量体２ａ、２ｂを備える。各振動質量体２ａ、２ｂは、懸架バネ３ａ、３ｂによって基板に弾性的に取り付けられている。
【００２１】
図１および２において、懸架バネ３ａ、３ｂは、基板に平行な同一面内に１つまたは複数の連続したＵ字状ブランチを示す蛇行の形をしたバネである。懸架バネ３ａ、３ｂは、それらの第１の端が振動質量体２ａ、２ｂに固定され、それらの第２の端が対応する取付け点４ａ、４ｂによって基板に固定されている。
【００２２】
図１において、各振動質量体２ａ、２ｂは、４つの懸架バネ３ａ、３ｂおよび４つの対応する取付け点４ａ、４ｂによってそれぞれ基板に取り付けられている。例えば、振動質量体２ａを基板に接続する取付け点４ａは、実質的に振動質量体２ａの中心部分の近くに配置されている。振動質量体２ｂを基板に接続する取付け点４ｂは、振動質量体２ｂの外側の近くで、振動質量体２ｂの４つの角全てに配置されている。
【００２３】
各振動質量体２ａ、２ｂは、各振動質量体２ａ、２ｂの各側に配置された例えばインターディジタル容量櫛状部５によって、矢印Ｆ１の方向の励振方向Ｏｘに強制的に振動させられる。
【００２４】
図１に示されるように、各振動質量体２ａ、２ｂは、懸架バネ３ａ、３ｂおよびインターディジタル容量櫛状部５の第１の端が固定される励振フレーム６ａ、６ｂを構成する。したがって、フレーム６ａ、６ｂは、それぞれ、励振方向Ｏｘに対して垂直な２つの相対する側７ａ、７ｂを示す。相対する側７ａ、７ｂは、機械的結合されるように設計され、好ましくは各々２つの懸架バネ３ａ、３ｂが設けられる。
【００２５】
また、振動質量体２ａ、２ｂは、各々、慣性質量に関係し、励振フレーム６ａ、６ｂで囲繞され、さらに可動検出要素８ａ、８ｂから成る検出手段を備える。
【００２６】
各可動検出要素８ａ、８ｂは、軸Ｏｙに沿った自由度を与える弾性戻しバネ１０ａ、１０ｂによって対応する励振フレーム６ａ、６ｂに接続されている。各可動電極８ａ、８ｂは、矢印Ｆ２（図１）の方向に、方向Ｏｙで振動し、振動質量体２ａ、２ｂの振動によって生成されるコリオリの力の検出軸を画定する。
【００２７】
このようにして、基板によって画定される面Ｏｘ／Ｏｙに対して垂直な軸Ｏｚに沿って基板の回転が行われるとき、可動検出要素８ａ、８ｂは、矢印Ｆ１の方向の振動質量体２ａ、２ｂの励振と同じ周波数で、矢印Ｆ２の方向で振動する。そのとき、検出要素８ａ、８ｂの運動が、次に回転速度を決定するために測定される。
【００２８】
図２の特定の実施形態では、マイクロジャイロメータ１の２つの振動質量体２ａ、２ｂは、それらの励振が励振方向Ｏｘで行われたとき逆位相の運動を引き起こすように機械的に結合されている。
【００２９】
振動質量体２ａに関連した励振フレーム６ａの側７ａの各懸架バネ３ａは、振動質量体２ｂに関連した励振フレーム６ｂの反対側７ｂに振動質量体２ａに面して配置された他の懸架バネ３ｂに結合されている（図１および２）。図１および２において、懸架バネ３ａ、３ｂは、それらの最小剛性の軸が励振方向Ｏｘに向けられており、振動質量体２ａ、２ｂの相対する側７ａ、７ｂに配置された各懸架バネ３ａ、３ｂは、それに面する他の懸架バネ３ａ、３ｂに結合されている。
【００３０】
図２において、懸架バネ３ａ、３ｂは、複数の連続したＵ字状ブランチを有する蛇行の形をしている。各懸架バネ３ａ、３ｂの一方の端は、励振フレーム６ａ、６ｂにそれぞれしっかり固定され、各懸架バネ３ａ、３ｂの他方の端は、対応する取付け点４ａ、４ｂによって基板にしっかり固定されている。
【００３１】
図２において、２つのバネ３ａ、３ｂは、バネ３ａ、３ｂにそれぞれ接続された２つの部分１１ａ、１１ｂを示す剛体結合バー１によって結合されている。結合バー１１は、基板にしっかり固定された垂直ピボット１２のまわりに回転する状態で関接式に連結されている。
【００３２】
懸架バネ３ａ、３ｂの最後のブランチは、対応する取付け点４ａ、４ｂに固定された第１の端および可動性の第２の端を示す。結合バー１１は、好ましくは、懸架バネ３ａ、３ｂの最後のＵ字状ブランチの可動端に接続する。
【００３３】
さらに、図２に示されるように、懸架バネ３ａ、３ｂのＵ字状ブランチの端の組は、好ましくは、懸架バネ３ａ、３ｂの各Ｕ字状ブランチに実質的な固体ベース１５を形成するようにより厚い断面を有している。したがって、懸架バネ３ａ、３ｂのブランチの組は、静止位置で平行であり、局部的な無変形領域を形成するブランチのベース１５によって接合されている。そして、懸架バネ３ａ、３ｂの引っ張りまたは圧縮応力は、結果として、Ｕ字状ブランチの２つの連続したベース１５の間だけでブランチの変形、すなわちブランチの曲がりを生じさせる。
【００３４】
図２に示されるように、結合バー１１は、好ましくは、懸架バネ３ａ、３ｂの最後のブランチの厚い可動端に接続されている。結合バー１１は、懸架バネ３ａ、３ｂの中心を実質的に通る軸ＡＡに対して対称に懸架バネ３ａ、３ｂを接続して、関連した振動質量体２ａ、２ｂの逆位相の運動が起こったとき、特に懸架バネ３ａ、３ｂの同一の運動を可能にする。
【００３５】
さらに、互いに向かい合って配置された懸架バネ３ａ、３ｂの中心を実質的に通過する、励振方向に平行な軸ＡＡの両側に、関連した振動質量体２ａ、２ｂの取付け点４ａ、４ｂが、互いに反対に配置されている（図２）図１から５の特定の実施形態では、懸架バネ３ａ、３ｂは、結合バー１１の垂直ピボット１２に対して対称な領域に接続されている。それによって、懸架バネ３ａ、３ｂの最後のブランチの可動端は、軸ＡＡの両側に配置されて、懸架バネ３ａ、３ｂの最小剛性の軸を画定している（図１および２）。したがって、懸架バネ３ａ、３ｂの最後のブランチは、「反対に」向けられている。
【００３６】
振動質量体２ａ、２ｂの懸架バネ３ａ、３ｂが、結合バー１１によって、運動の同じ振幅を有する領域に対称的なやり方で「反対に」接続されているそのような構成は、そのとき、マイクロジャイロメータ１の最適動作を実現し、懸架バネ３ａ、３ｂの運動の振幅は２つの振動質量体２ａ、２ｂで同一である。
【００３７】
マイクロジャイロメータ１の各結合バー１１の回転する状態の連結（ａｒｔｉｃｕｌａｔｉｏｎ）の特定の実施形態を示す図３において、結合バー１１は、例えば正方形の剛体フレーム１３を備え、その剛体フレームにバー１１の部分１１ａ、１１ｂの第１の端が接続されている。対応する懸架バネ３ａ、３ｂに接続された部分１１ａ、１１ｂの第２の端は、明瞭さのために図３から５では示されていない。
【００３８】
例えば正方形の垂直ピボット１２は、フレーム１３の中心に配置され、フレーム１３の内側に配置された４つの弾性連結バネ１４によってフレーム１３に接続されている。連結バネ１４は、好ましくは、振動質量体２ａ、２ｂの懸架バネ３ａおよび３ｂと同一である。２つの第１の連結バネ１４ａは、励振方向Ｏｘに対して垂直に向けられた最小剛性の軸を有し、ピボット１２の両側に、励振方向Ｏｘに対して平行なやり方で配置されている。各連結バネ１４ａは、フレーム１３に接続された第１の端およびピボット１２に接続された第２の端を備える。
【００３９】
第１の連結バネ１４ａに対して垂直に、すなわち結合バー１１の長手方向に配置された２つの第２の連結バネ１４ｂは、ピボット１２の両側に配置され、励振方向Ｏｘに向けられた最小剛性の軸を有する。各連結バネ１４ｂは、フレーム１３に接続された第１の端およびピボット１２に接続された第２の端を備える。連結バネ１４ａ、１４ｂのこの構成は、特に、結合バー１１の回転する状態の優れた連結を可能にする。
【００４０】
図４に示される代替実施形態では、結合バー１１は、実質的に長方形の剛体フレーム１３の点で、および連結バネ１４の数の点で、前に説明されたものと異なっている。フレーム１３は、実際は、フレーム１３の内側でピボット１２の両側に配置された２つの連結バネ１４ａだけによって、フレームの中心に配置されたピボット１２に接続されている。２つの連結バネ１４ａは、好ましくは、図３に示された連結バネ１４ａと同一である。連結バネ１４ａのこの構成は、振動質量体２ａ、２ｂの振動が起こったとき軸Ｏｙに沿った結合バー１１の運動が無い場合に、特に使用される。
【００４１】
図３および４において、連結バネ１４ａ、１４ｂは、好ましくは、振動質量体２ａ、２ｂの懸架バネ３ａ、３ｂと同じ型であり、すなわち、基板に平行な同一面内に１つまたは複数の連続したＵ字状ブランチを示す蛇行の形をしている。
【００４２】
図５に示される代替実施形態では、結合バー１１は、連結バネ１４の点で図３および４に示される結合バー１１と異なっている。図５において、図３に示されるように互いに垂直に配置された連結バネ１４ａおよび１４ｂは、各々、フレーム１３の中心に配置されたピボット１２に接続された第１の端１５およびフレーム１３に接続された２つの他の端１６を備える。
【００４３】
これによって、各連結バネ１４は、ピボット１２に接続されたバネ１４のブランチの端１５に対して対称な２つのＵ字状ブランチを有するいっそう小型のバネを形成する。１つの端１５がピボット１２に接続され、２つの端１６がフレーム１３に接続されている懸架バネ１４のそのような構成は、特に、結合バー１１の回転中にシステムが対称であることを可能にする。
【００４４】
図６において、マイクロジャイロメータ１の代替実施形態は、振動質量体２ａ、２ｂの懸架バネ３ａ、３ｂを接続する結合バー１１の点で、図１に示されたマイクロジャイロメータ１と異なっている。各振動質量体２ａ、２ｂは、それの側７ａ、７ｂに２つの懸架バネ３ａ、３ｂを備える。すなわち、相対する側７ａ、７ｂの各縁部の近くに１つの懸架バネ３ａ、３ｂを備える。結合バー１１は、側７ａの第１の縁部の近くに配置された振動質量体２ａの懸架バネ３ａを、反対側７ｂの第２の縁部の近くに配置された振動質量体２ｂの懸架バネ３ｂに接続する。
【００４５】
これによって、結合バー１１は、相対する側７ａおよび７ｂに反対に配置され、かつ励振方向Ｏｘに対して平行に振動質量体２ａ、２ｂの中心部分を通過する軸ＡＡの両側に配置された２つの懸架バネ３ａ、３ｂを接続する。したがって、結合バー１１は、図１に示された結合バー１１よりも長く、結合バー１１の回転する状態の連結は、図３から５に示された異なる実施形態に従って、前と同じやり方で行われる。
【００４６】
図６の特定の実施形態では、振動質量体２ａ、２ｂの懸架バネ３ａ、３ｂの取付け点４ａ、４ｂは、振動質量体２ａ、２ｂの中心部分の近くに配置される。したがって、振動質量体２ａ、２ｂの全ての懸架バネ３ａ、３ｂは、結合バー１１に対して対称である。このことによって、特に、結果として、そのようなマイクロジャイロメータ１の製造がいっそう簡単にされる。
【００４７】
さらに、取付け点４ａ、４ｂは、マイクロジャイロメータ１の中心を実質的に通過する励振方向に平行な軸ＡＡの両側で、マイクロジャイロメータ１の実質的に中心に置かれ、結合バー１１は、軸ＡＡの両側に置かれた関連した懸架バネ３ａ、３ｂの最後のブランチの、好ましくは図２に示されるようなブランチの残り部分よりも厚い可動端を、関連した振動質量体２ａ、２ｂの相対する側７ａ、７ｂに接続する。前のように、運動の同じ振幅を持つ懸架バネ３ａ、３ｂの予め決められた領域の対称的な交差結合を備えるマイクロジャイロメータ１のこの構成は、特に、マイクロジャイロメータ１の動作を最適化するために懸架バネ３ａ、３ｂの同一の運動が維持されることを可能にする。
【００４８】
一般に、マイクロジャイロメータ１の実施形態（図１および６）が何であろうと、また結合バー１１の回転する状態の連結の実施形態（図３から５）が何であろうと、懸架バネ３ａ、３ｂは、励振フレーム６ａ、６ｂに固定された懸架バネの端と対応する取付け点４ａ、４ｂに固定された懸架バネの端との間にある点によって画定される中間接続領域のレベルで結合される。
【００４９】
懸架バネ３ａ、３ｂによる結合は、特に、２つの振動質量体２ａ、２ｂの正確に同一の運動を含む必要なしに、振動質量体２ａ、２ｂの結合が得られることを可能にする。そのとき、マイクロジャイロメータ１は、２つの振動質量体２ａ、２ｂの間の僅かな技術的変化に順応する。
【００５０】
さらに、回転する状態の連結ピボット１２（図３から５）は、２つの振動質量体２ａ、２ｂの運動を強制的に逆位相モードにし、この逆位相モードは、そのとき、マイクロジャイロメータ１（図１および６）の第１の共振モードに対応する。このことは、振動の振幅に関してある特定の自由度をもたらし、これは、マイクロジャイロメータ１にいっそうの適応性を与える。
【００５１】
懸架バネ３ａ、３ｂの「反対の」結合（図１および図６）は、これによって、逆位相モードの強制的な運動でマイクロジャイロメータ１の動作が最適化されることを可能にする。その上、結合バー１１および回転する状態の連結ピボット１２は、マイクロジャイロメータ１に向上された動作適応性を与える（図３から５）。
【００５２】
さらに、回転する状態の結合バー１１の運動は、特に懸架バネ３ａ、３ｂを構成する蛇行のＵ字状ブランチの数に応じて振動質量体２ａ、２ｂの運動に対して減少される。そのとき、回転する状態の連結の機械的剛性は、あまりクリティカルでない。
【００５３】
これによって、図１および６に示されるようなマイクロジャイロメータは、特に懸架バネ３ａ、３ｂのレベルでの振動質量体２ａ、２ｂの機械的結合のせいで、最適化された動作を示す。その上、剛体結合バー１１および回転する状態の連結ピボット１２は、コリオリの力測定の優れた効率を保証するように振動モードが強制的に逆位相モードにされることを可能にする。
【００５４】
本発明は、上で説明された様々な実施形態に限定されない。結合バー１１の接続用の対応する懸架バネ３ａ、３ｂの中間領域の位置は、振動モードが振動質量体２ａ、２ｂの逆位相モードに強制されることを可能にする限りで、異なってもよい。
【００５５】
振動質量体２ａ、２ｂのインターディジタル容量櫛状部５は、励振方向Ｏｘに振動質量体２ａ、２ｂの振動を引き起こすどんな他の励振手段に取り替えられてもよい。
【００５６】
懸架バネ３ａ、３ｂは、振動質量体２ａ、２ｂの機械的結合およびマイクロジャイロメータ１の最適動作を可能にする限りで、どんな他の型の弾性懸架手段に取り替えられてもよい。
【００５７】
連結バネ１４の形および型は、結合バー１１の回転する状態の優れた連結を可能にする限りで、異なってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】２つの機械的に結合された振動質量体を備えた本発明に従ったマイクロシステム、より詳細にはマイクロジャイロメータの実施形態を模式的に示す上面図である。
【図２】図１に従ったマイクロジャイロメータの振動質量体の結合手段を模式的に示す非常に拡大された部分上面図である。
【図３】図１および２に従ったマイクロジャイロメータの結合手段の回転する状態の連結の異なる代替実施形態を示す図である。
【図４】図１および２に従ったマイクロジャイロメータの結合手段の回転する状態の連結の異なる代替実施形態を示す図である。
【図５】図１および２に従ったマイクロジャイロメータの結合手段の回転する状態の連結の異なる代替実施形態を示す図である。
【図６】２つの機械的に結合された振動質量体を備えた本発明に従ったマイクロシステム、より詳細にはマイクロジャイロメータの代替実施形態を模式的に示す上面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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