(57)【要約】  像平面（ＩＰ）において所定の位置に設定される感光性コーティング層上に物体平面（ＯＰ）において所定の位置に設定されるマスクの像を投影する働きをするマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ（１００）であって、投影対物レンズは、液浸モードで動作するように設計されており、少なくとも１つの中間像（ＩＭＩ）を生成し、像平面側投影比βiで前記中間像（ＩＭＩ）を像平面に投影する像平面側の光学サブシステム（１３０）を備えており、ここで前記像平面側投影比βiは少なくとも０．３の絶対値を有する。
2009521000.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
像平面において所定の位置に設定される感光性コーティング層上に物体平面において所定の位置に設定されるマスクの像を投影するマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、投影対物レンズは液浸モードで動作するように設計されており、
・投影対物レンズ（１００、２００、３００）は、少なくとも１つの中間像（ＩＭＩ）を生成し、像平面側投影比βiで前記中間像（ＩＭＩ）を像平面（ＩＰ）に投影する像平面側の光学サブシステム（１３０、２３０、３３０）を備えており、
・前記像平面側投影比βiは少なくとも０．３の絶対値を有する、投影対物レンズ。
【請求項２】
像平面側投影比βiは、条件０．３≦βi≦１．２、好ましくは０．３５≦βi≦１．０、そしてよりいっそう好ましくは０．４≦βi≦０．８を満たすことを特徴とする、請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項３】
像平面において所定の位置に設定される感光性コーティング層上に物体平面において所定の位置に設定されるマスクの像を投影するマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、投影対物レンズは液浸モードで動作するように設計されており、
・投影対物レンズ（１００、２００、３００）は、少なくとも１つの中間像（ＩＭＩ）を生成し、像平面側投影比βiで前記中間像を像平面に投影する像平面側の光学サブシステム（１３０、２３０、３３０）を備えており、
・前記像平面側投影比βiは、条件、
０．８×ＮＡIMI＜ＮＡIP×ｎIMI／ｎLL＜１．２×ＮＡIMI
を満たすように選定され、式中、ＮＡIMIは中間像（ＩＭＩ）の場所における開口数を表し、ＮＡIPは像側の開口数を表し、ｎIMIは中間像（ＩＭＩ）の場所における屈折率を表し、そしてｎLLは像平面側の最終光学素子（１３８、２３８、３３９）の屈折率を表す、投影対物レンズ。
【請求項４】
投影対物レンズ（１００、２００、３００）は、少なくとも２つのクリスタルレンズを備え、固有複屈折による前記クリスタルレンズのそれぞれのリターデーションが反対の代数的符号を有することを特徴とする、前記請求項のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項５】
投影対物レンズ（１００、２００、３００）は、投影対物レンズの動作波長で１．６より大きい、好ましくは１．７より大きい、よりいっそう好ましくは２より大きい屈折率ｎLLを有する像平面側の最終光学素子（１３８、２３８、３３９、６４２）を備えることを特徴とする、請求項１〜４のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項６】
像平面側の前記最終光学素子（１３８、２３８、３３９、６４２）は、ルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）、イットリウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｙ3Ａｌ5Ｏ12）、リチウムバリウムフッ化物（ＬｉＢａＦ3）、スピネル特にマグネシウムスピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を含む群から選択される材料で作られることを特徴とする、請求項５に記載の投影対物レンズ。
【請求項７】
投影対物レンズは少なくとも１つのさらなる光学素子（６１７、６３１）を備えており、その材料、ジオメトリ、位置は上側と下側コマ光線（０ＫR、ＵＫR）間の像平面側の最終光学素子（６４２）に存在する経路差が前記さらなる光学素子（６１７、６３１）によって少なくとも部分的に補償されるように選定されることを特徴とする、請求項５又は６に記載の投影対物レンズ。
【請求項８】
前記さらなる光学素子は少なくともフィールド平面の近くに配置されることを特徴とする、請求項７に記載の投影対物レンズ。
【請求項９】
前記さらなる光学素子と像平面側の最終光学素子は、それぞれ、反対の代数的符号を有する固有複屈折のためにリターデーションを生じることを特徴とする、請求項７又は８に記載の投影対物レンズ。
【請求項１０】
前記さらなる光学素子と像平面側の最終光学素子は、それぞれ、同じ代数的符号を有する固有複屈折のためにリターデーションを生じることを特徴とする、請求項７又は８に記載の投影対物レンズ。
【請求項１１】
前記さらなる光学素子は、フッ化物結晶材料、好ましくはフッ化カルシウム（ＣａＦ2）で作られていることを特徴とする、請求項７〜１０のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１２】
投影対物レンズは、フッ化物結晶材料、好ましくはフッ化カルシウム（ＣａＦ2）で作られている像平面側の隣接最終光学素子（１３７、２３７、３３８）を備えることを特徴とする、前記請求項のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１３】
投影対物レンズは光軸（ＯＡ）を有しており、中間像（ＩＭＩ）の場所における主光線と光軸（ＯＡ）との間の角度は、１０°より小さく、好ましくは７°より小さく、よりいっそう好ましくは５°より小さいことを特徴とする、前記請求項のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１４】
投影対物レンズは、光軸（ＯＡ）を有し、かつフッ化物結晶材料、好ましくはフッ化カルシウム（ＣａＦ2）の複数のレンズ（１２３、１３１、１３７、２２０、２２４、２３１、２３７、３２３、３２４、３３１、３３８）を有することを特徴とする、前記請求項のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項１５】
前記レンズのうちの少なくとも１つの場所における、又は好ましくは前記レンズの全部の場所における主光線と光軸（ＯＡ）との間の角度が、１０°より小さく、好ましくは７°より小さく、よりいっそう好ましくは５°より小さい、請求項１４に記載の投影対物レンズ。
【請求項１６】
前記レンズ（１２３、１３１、１３７、２２０、２２４、２３１、２３７、３２３、３２４、３３１、３３８）のうちの少なくとも１つ、又は好ましくは前記レンズの全部が、光軸（ＯＡ）が結晶学的＜１００＞方向にほぼ平行であるような結晶カット方位で作られていることを特徴とする、請求項１４又は１５に記載の投影対物レンズ。
【請求項１７】
前記レンズのうちの少なくとも１つ、又は好ましくは前記レンズの全部が、光軸（ＯＡ）が結晶学的＜ｌｌｌ＞方向にほぼ平行であるような結晶カット方位で作られていることを特徴とする、請求項１４又は１５に記載の投影対物レンズ。
【請求項１８】
像平面において所定の位置に設定される感光性コーティング層上に物体平面において所定の位置に設定されるマスクの像を投影するマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、投影対物レンズ（６００）は液浸モードで動作するように設計されており、
・像平面側の最終光学素子（６４２）と、
・少なくとも１つのさらなる光学素子（６１７、６３１）とを備えており、その位置、ジオメトリ、材料は像平面側の前記最終光学素子（６４２）における上側と下側コマ光線（ＯＫR、ＵＫR）間に存在する光路差が前記さらなる光学素子（６１７、６３１）によって少なくとも部分的に補償される、投影対物レンズ。
【請求項１９】
投影対物レンズ（６００）の動作波長での像平面側の最終光学素子（６４２）は、１．６より大きい、好ましくは１．７より大きい、よりいっそう好ましくは２より大きい屈折率ｎLLを有することを特徴とする、請求項１８に記載の投影対物レンズ。
【請求項２０】
像平面側の最終光学素子（６４２）は、ルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）、イットリウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｙ3Ａｌ5Ｏ12）、リチウムバリウムフッ化物（ＬｉＢａＦ3）、スピネル特にマグネシウムスピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を含む群から選択される材料で作られることを特徴とする、請求項１９に記載の投影対物レンズ。
【請求項２１】
像平面において所定の位置に設定される感光性コーティング層上に物体平面において所定の位置に設定されるマスクの像を投影するマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、投影対物レンズは液浸モードで動作するように設計されており、投影対物レンズは光軸（ＯＡ）を有し、かつ少なくとも１つの中間像（ＩＭＩ）を生成し、
・投影対物レンズ（１００、２００、３００）は、像側の開口数ＮＡIPを有し、投影対物レンズの動作波長で屈折率ｎLLを有する像平面側の最終光学素子（１３８、２３８、３３９）を備えており、
・投影対物レンズの少なくとも２つのレンズ（１２３、１３１、１３７、１３８、２２０、２２４、２３１、２３７、２３８、３２３、３２４、３３１、３３８、３３９）は、光軸（ＯＡ）に沿って、υmax、すなわち光軸（ＯＡ）に対する最大光線角度の正弦関数が条件υmax＞０．９×ＮＡIP／ｎLLを満たす場所に配置されている、投影対物レンズ。
【請求項２２】
像平面側の最終光学素子（１３８、２３８、３３９）は、動作波長について、１．６より大きい、好ましくは１．７より大きい、よりいっそう好ましくは２より大きい屈折率（ｎLL）を有することを特徴とする、請求項２１に記載の投影対物レンズ。
【請求項２３】
前記レンズ（１２３、１３１、１３７、２２０、２２４、２３１、２３７、３２３、３２４、３３１、３３８）のうちの少なくとも１つは、フッ化物結晶材料、好ましくはフッ化カルシウム（ＣａＦ2）で作られていることを特徴とする、請求項２１又は２２に記載の投影対物レンズ。
【請求項２４】
前記レンズ（１２３、１３１、２２４、２３１、２３２、３２４、３３１）のうちの少なくとも１つは中間像（ＩＭＩ）に隣接して配置されることを特徴とする、請求項２１〜２３のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２５】
前記レンズ（１２３、１３１、２２０、２２４、２３１、２３２、３２４、３３１）のうちの少なくとも１つは投影対物レンズ（１００、２００、３００）のウエストに隣接して配置されることを特徴とする、請求項２１〜２４のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２６】
前記レンズのうちの少なくとも１つの場所における、又は好ましくは前記レンズの全部の場所における主光線と光軸（ＯＡ）との間の角度が、１０°より小さく、好ましくは７°より小さく、よりいっそう好ましくは５°より小さいことを特徴とする、請求項２１〜２５のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２７】
投影対物レンズ（１００、２００、３００）は、固有複屈折によるそれぞれのリターデーションが反対の代数的符号を有する少なくとも２つのクリスタルレンズを備えることを特徴とする、前記請求項のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２８】
投影対物レンズは、フッ化物結晶材料、好ましくはフッ化カルシウム（ＣａＦ2）の複数のレンズ（１２３、１３１、１３７、２２０、２２４、２３１、２３７、３２３、３２４、３３１、３３８）を備えることを特徴とする、請求項２１〜２７のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項２９】
前記レンズ（１２３、１３１、１３７、２２０、２２４、２３１、２３７、３２３、３２４、３３１、３３８）において固有複屈折によって生じるリターデーションは、像平面側の最終光学素子（１３８、２３８、３３９）の材料において固有複屈折によって生じるリターデーションと反対の代数的符号を有することを特徴とする、請求項２８に記載の投影対物レンズ。
【請求項３０】
開口光線は、前記レンズ（１２３、１３１、１３７、２２０、２２４、２３１、２３７、３２３、３２４、３３１、３３８）における第１の経路長ｄ1及び、像平面側の最終光学素子（１３８、２３８、３３９）における第２の経路長ｄ2を進み、前記第１及び第２の経路長は条件（０．７×｜Δ2｜×ｄ2）＜（｜Δ1｜×ｄ1）＜（１．３×｜Δ2｜×ｄ2）が満たされるように選定され、式中、Δ1はフッ化物結晶材料において複屈折によって前記光線について生じたリターデーションを表し、Δ2は像平面側の最終光学素子の材料において複屈折によって前記光線について生じたリターデーションを表すことを特徴とする、請求項２９に記載の投影対物レンズ。
【請求項３１】
開口光線は、像平面側の最終光学素子（１３８、２３８、２３９）において前記開口光線が進む経路長のほぼ１０倍の大きさである前記レンズにおける経路長を進むことを特徴とする、請求項２８〜３０のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３２】
マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、投影対物レンズは液浸モードで動作するように設計され少なくとも１．０の像側開口数を有しており、投影対物レンズ（１００、２００、３００）は、投影対物レンズによって生じた２つの直交偏光状態間のリターデーションが投影対物レンズの動作波長の大きさの０．２５倍未満であるように偏光の光学的補償を有する、投影対物レンズ。
【請求項３３】
投影対物レンズ（１００、２００、３００）は、投影対物レンズの動作波長でのその屈折率ｎLLが１．６より大きく、好ましくは１．７より大きく、よりいっそう好ましくは２より大きい単結晶材料で作られた最終光学素子（１３８、２３８、３３９）を像平面側に備えることを特徴とする、請求項３２に記載の投影対物レンズ。
【請求項３４】
マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、投影対物レンズは固有複屈折の結果として少なくとも２５ｎｍ／ｃｍの最大リターデーションを生じる少なくとも１つのレンズを備えており、投影対物レンズは、投影対物レンズによって生じたリターデーションが投影対物レンズの動作波長の大きさの０．２５倍未満であるように偏光の光学的補償を有する、投影対物レンズ。
【請求項３５】
投影対物レンズは、少なくとも１．０、好ましくは少なくとも１．２、よりいっそう好ましくは少なくとも１．４の像側開口数を有することを特徴とする、前記請求項のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３６】
投影対物レンズの動作波長は、２５０ｎｍ未満、好ましくは２００ｎｍ未満、よりいっそう好ましくは１６０ｎｍ未満であることを特徴とする、前記請求項のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３７】
投影対物レンズ（１００、２００、３００）は純屈折設計によるものであることを特徴とする、前記請求項のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３８】
投影対物レンズはカタディオプトリック設計によるものであることを特徴とする、請求項１〜３６のうちの１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項３９】
投影対物レンズはカタディオプトリック設計のサブシステムを物体平面側に備えることを特徴とする、請求項３８に記載の投影対物レンズ。
【請求項４０】
照明装置（９０１）及び投影対物レンズ（９０２）を備えるマイクロリソグラフィ投影露光装置であって、投影対物レンズ（９０２）は前記請求項のうちの１項に従って設計されている、マイクロリソグラフィ投影露光装置。
【請求項４１】
微細構造化部品の製造方法であって、以下のステップ、
・感光性材料のコーティングが少なくとも一部に設けられている基板（９０６）を用意するステップと、
・像が形成されるべき構造を保持するマスク（９０４）を用意するステップと、
・請求項４０に従った投影露光装置（９００）を用意するステップと、
・マスク（９０４）の少なくとも一部を投影露光装置（９００）によってコーティングの領域上に投影するステップとを含む、方法。
【請求項４２】
請求項４１に従った方法で製造された微細構造化部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロリソグラフィは、例えば集積回路又は液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）といった微細構造の部品の製造に使用されている。マイクロリソグラフィプロセスは、照明システムと投影対物レンズを備えるいわゆる投影露光装置において実行される。照明システムによって照明されるマスク（レチクルとも呼ばれる）の像は、感光性コーティング（例えばフォトレジスト）で被われ投影対物レンズの像平面にセットされた基板（例えばシリコンウエーハ）上に投影対物レンズによって投影され、それによってマスク構造が基板の感光性コーティングへ転写される。
【０００３】
現在の形式のマイクロリソグラフィ対物レンズにおいて、特に１．０以下の開口数（ＮＡ）を備える液浸対物レンズにおいて、特に像側の最終光学素子に高屈折率の材料を使用する必要性がますます増えている。この文脈において、屈折率は、石英に対して所定の波長、すなわち１９３ｎｍの波長に対して約１．５６を超えている場合、高いと言われる。ＤＵＶ（深紫外）やＶＵＶ（真空紫外）波長（＜２５０ｎｍ）で屈折率が１．６より大きい多くの材料が知られており、例えば、１９３ｎｍで約１．８７の屈折率を有するマグネシウムスピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）、又は１９３ｎｍで約２．１４の屈折率を有するルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）がある。
【０００４】
これらの材料をレンズ材料として使用する際に遭遇する問題は、それらの立方晶結晶学的構造のために、波長が短くなるにつれて、固有複屈折が大きくなるということである。例えばマグネシウムスピネルでは、測定は、固有複屈折のために５２ｎｍ／ｃｍのリターデーションを、そしてルテチウム‐アルミニウム‐ガーネットの場合３０．１ｎｍ／ｃｍのリターデーションを示している。この文脈における用語「リターデーション」は、偏光の２つの直交（すなわち相互に垂直な）状態についてのそれぞれの光路長間の差を意味する。
【０００５】
例えば特許文献１に記載の通り、フッ化物結晶レンズにおける固有複屈折が光学像に及ぼす好ましくない影響を低減する一法は、対物レンズにおいて第２の立方晶結晶性材料のレンズを使用することであり、この場合、第２の立方晶結晶性材料の固有複屈折の代数的符号はフッ化物結晶レンズの固有複屈折の代数的符号と反対であり、それにより２つの材料における固有複屈折によるリターデーションは少なくとも部分的に互いに打ち消し合う。
【０００６】
【特許文献１】米国特許第２００４／０１７９２７２Ａ１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、固有複屈折の否定的な影響を制限すると同時に高屈折率を備える結晶材料の使用を可能にするマイクロリソグラフィ投影露光装置のための投影対物レンズを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
マイクロリソグラフィ投影露光装置の一部であり、像平面において所定の位置に設定される感光性コーティング層上に、物体平面において所定の位置に設定されるマスクの像を投影する働きをし、液浸モードで動作するように設計されている、本発明に従った投影対物レンズは、少なくとも１つの中間像を生成し、像平面側投影比βiで中間像を像平面に投影する像平面側の光学サブシステムを備えており、ここで像平面側投影比βiの絶対値は少なくとも０．３である。
【０００９】
ここで使用される用語「光学サブシステム」は、実物体が実像又は中間像に投影されるという特性を備える光学素子の配列を意味する。言い換えれば、各々のサブシステムは必ず、特定の物体平面又は中間像平面から次の実像又は中間像までの全部の光学素子を含む。
【００１０】
投影対物レンズが少なくとも１つの中間像及び、少なくとも０．３の絶対値を有する像平面側投影比βiで中間像を像平面に投影する像平面側の光学サブシステムを有するという事実のために、本発明は、高屈折率の結晶性材料に起因する固有複屈折が、特に像側の高屈折力の最終レンズのために、効率的に補償できる装置を提供する。この補償機能を果たすために、投影対物レンズは、前述の中間像のごく近傍に１つ以上の補償レンズを有し、この場合、補償レンズの材料は補償されるべきレンズ（すなわち例えば像平面側の最終レンズ）と反対の代数的符号の固有複屈折を有する。同時に、本発明に従って指定された投影比は、対物レンズが、補償レンズの場所における光線角度が固有複屈折の極めて効率的な補償に適切であることを可能にする設計を有することを保証する。
【００１１】
本発明は、特に、大きい開口数を備える投影対物レンズの像平面側の最終レンズにおいて生じる相対的に大きい光線角度が、補償レンズにおける効果的な補償のために与えなければならない光線角度も同様に大きいという帰結をもたらすという観察に基づいている。
【００１２】
固有複屈折を補償されるべきレンズ（例えば最終レンズ）をある特定の角度で通過する光線に理想的な補償が生じるために、同じ光線は、同じカット（例えば結晶学的１００カット）のものである適切な補償レンズ（例えば反対の代数的符号の固有複屈折を備えるレンズ）を同じ角度で通過しなければならず、この条件は、固有複屈折が最大であるようなそうした光線角度での固有複屈折の効果的な補償にとって最も重要である。例えば結晶学的１００方位のカットにおける固有複屈折が材料の結晶学的座標系に関して４５°の光線角度で最大値を有する時、高屈折力の素子における固有複屈折の理想的な補償にとって、関係する補償レンズ（すなわち反対の代数的符号の固有複屈折を有するレンズ）も同様に類似の大きな光線角度で横断されることが特に重要である。
【００１３】
本発明はさらに、そのような大きい大きさの光線角度は、その中間像に後続する光学サブシステムの投影比が適切に選定されていれば、特に中間像において実現されるという観察を利用している。像平面の前で生成された最終中間像における光線角度と像平面における光線角度との間の同等は、特に条件、
０．８×ＮＡIMI＜ＮＡIP×ｎIMI／ｎLL＜１．２×ＮＡIMI    （式１）
が満たされた場合に実現される。式中、ＮＡIMIは中間像の場所における開口数を表し、ＮＡIPは像側の開口数を表し、ｎIMIは中間像の場所における屈折率を表し、そしてｎLLは像平面側の最終光学素子の屈折率を表す。好ましい実施態様において、像平面側投影比βiは上述の条件（１）が満たされるように選定される。
【００１４】
いかなる光学素子も中間像の場所に存在しない、すなわちｎIMI≒１の場合、上述の条件は以下の通り単純化される。
０．８×ＮＡIMI＜ＮＡIP／ｎLL＜１．２×ＮＡIMI    （式２）
【００１５】
従って、像平面側の最終光学素子についてｎLL＝２の屈折率であれば、像平面側の最終光学サブシステムの最適投影比について以下の結果が得られる。
βIP＝ＮＡIMI／ＮＡIP＝０．５    （式３）
【００１６】
光経路を高屈折率の液浸媒体に接続するために、投影対物レンズは好ましくは、投影対物レンズの動作波長で、少なくとも１．６、好ましくは１．７より大きい、そしてよりいっそう好ましくは２より大きい屈折率ｎLLを有する像平面側の最終光学素子を有する。像平面側の最終光学素子が光経路を高屈折率の液浸媒体に接続するために適格であるｎLL≒２の対応する高い屈折率を有すると仮定し、そして像平面側の最終光学サブシステムのβIP≒０．５の投影比によれば、偏光の光学的補償に必要である大きい光線角度もまた中間像の場所に存在し、その結果、像平面側の最終光学素子を通過する光線が中間像に配置された補償レンズをほぼ等しい角度で通過することができるので、偏光の良好な光学的補償がこの中間像の近傍でレンズによってもたらされる。
【００１７】
好ましい実施態様において、像平面側の投影比βiは、条件０．３≦｜βi｜≦１．２、好ましくは０．３５≦｜βi｜≦１．０、そしてよりいっそう好ましくは０．４≦｜βi｜≦０．８を満たす。
【００１８】
本発明によれば、補償は、中間像の領域（すなわち中間像の直前及び直後）にほぼ共心のメニスカスレンズを使用することによってもたらされる。この形式のレンズは光線角度の変化をほとんど生じず、それにより中間像において生じた光線角度は本質的にこれらのメニスカスレンズの材料においても生じる（すなわち、例えば中間像における４５°の光線角度もまた、それがメニスカスレンズの材料に進入した後、本質的に再び変化しない）。反対に、より小さい投影比が像平面側の最終光学サブシステムについて選定された場合、中間像の領域においてより小さい光線角度を得ることになり、例えば同じ材料において４５°の光線角度を生じるために、極めて強く湾曲した面を要求し、それゆえ製造誤差、中心ずれなどにあまり許容性のないより限界的な設計を必要とするであろう。他方、より大きい投影比が像平面側の最終光学サブシステムについて選択された場合、中間像の領域においてメニスカスレンズ以外のレンズを使用することも可能である。この場合、中間像における光線角度が４５°よりも大きく、光線が光軸の方へ偏向されなければならないことから、中間像に隣接してより強力な屈折面を備える正レンズが適格である。
【００１９】
好ましい実施態様において、像平面側の最終光学素子は、ルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12、１９３ｎｍで約２．１４の屈折率）で作られている。さらなる実施態様において、像平面側の最終光学素子は、イットリウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｙ3Ａｌ5Ｏ12）、リチウムバリウムフッ化物（ＬｉＢａＦ3）、又はスピネル、特にマグネシウムスピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）で作られている。
【００２０】
好ましい実施態様において、中間像の直前に配置されるレンズ及び／又は中間像の直後に配置されるレンズは、フッ化物結晶材料、好ましくはフッ化カルシウムで作られている。これは、一方でフッ化カルシウムが、例えば固有複屈折に関してルテチウム‐アルミニウム‐ガーネットの適格な補償相手であり、他方で前述の背景に鑑みて、本発明に従った配列における中間像の直前又は直後の配置が固有複屈折の効果的な補償に特に良好に適しているという事実を利用するためである。
【００２１】
好ましい実施態様において、投影対物レンズは、固有複屈折によるそれぞれのリターデーションが反対の代数的符号を有する少なくとも２つのクリスタルレンズを有する。
【００２２】
好ましい実施態様において、投影対物レンズは、フッ化物結晶材料、好ましくはフッ化カルシウム（ＣａＦ2）で作られている像平面側の隣接最終光学素子を有する。これは、そこで見られる光線角度も一般に極めて大きいので、像平面側の隣接最終位置が同様に効果的な補償に適格である限りにおいて有利である。
【００２３】
好ましい実施態様における投影対物レンズは光軸を有しており、中間像の場所での主光線と光軸との間の角度は１０°より小さく、好ましくは７°より小さく、そしてよりいっそう好ましくは５°より小さい。この文脈における用語「光軸」は、それが横切る光学成分の曲率中心を通過する直線又は一連の線分を意味する。
【００２４】
好ましい実施態様における投影対物レンズは、フッ化物結晶材料、好ましくはフッ化カルシウムで作られている複数のレンズを有しており、これらのレンズのうちの少なくとも１つの場所における、しかし好ましくはこれらのレンズの全部の場所における主光線と光軸との間の角度は、１０°より小さく、好ましくは７°より小さく、そしてよりいっそう好ましくは５°より小さい。
【００２５】
小さい主光線角度による設計構成は、主光線角度の適切な選定が、複屈折を補償されるべきレンズにおける光線角度と補償の役を果たすレンズにおける光線角度との間の最良に可能な合致のために特に重要であることがわかっている限りにおいて有利である。像側の（一般に所与の）テレセントリック性により、この主光線は像平面の軸に平行に延びており、それにより主光線角度は像平面側の最終光学素子の場所において小さい。従って、この主光線もまた（例えば中間像の近傍における、又は他の場所においても）補償に使用されるレンズを小さい角度で通過すれば有利である。例えば、共心メニスカスレンズが固有複屈折の補償のために中間像の近くにセットされた場合、これらのレンズの材料における主光線角度は小さいはずである。
【００２６】
好ましい実施態様において、これらのレンズの少なくとも１つ、しかし好ましくは全部は、光軸が結晶学的＜１００＞方向にほぼ平行である結晶学的カットで作られている。
【００２７】
さらなる好ましい実施態様では、これらのレンズの少なくとも１つ、しかし好ましくは全部は、光軸が結晶学的＜ｌｌｌ＞方向にほぼ平行である結晶学的カットで作られている。
【００２８】
好ましい実施態様における投影対物レンズは、少なくとも１つのさらなる光学素子を有しており、その材料、ジオメトリ、位置は像平面側の最終光学素子に存在する上側と下側コマ光線間の経路差が前記さらなる光学素子によって少なくとも部分的に補償されるように選択される。
【００２９】
さらなる態様によれば、本発明は、像平面に設定される感光性コーティング上に物体平面に設定されるマスクの像を投影する働きをするマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズに関連しており、投影対物レンズは液浸モードで動作するように設計されており、像平面側の最終光学素子及び、少なくとも１つのさらなる光学素子を備えており、その材料、ジオメトリ、位置は像平面側の最終光学素子に存在する上側と下側コマ光線間の光路差が前記さらなる光学素子によって少なくとも部分的に補償されるように選択される。
【００３０】
好ましい実施態様において、像平面側の最終光学素子は、投影対物レンズの動作波長で、少なくとも１．６、好ましくは１．７より大きい、そしてよりいっそう好ましくは２より大きい屈折率ｎLLを有する。
【００３１】
好ましい実施態様において、像平面側のその最終光学素子は、ルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）、イットリウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｙ3Ａｌ5Ｏ12）、リチウムバリウムフッ化物（ＬｉＢａＦ3）、スピネル特にマグネシウムスピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を含む群から選択される材料で作られている。
【００３２】
好ましい実施態様は少なくとも1つのレンズを有し、このレンズと像平面側の最終光学素子が、反対の代数的符号の固有複屈折のためにそれぞれのリターデーションを生じるように設計される。
【００３３】
さらなる態様によれば、本発明は、像平面に設定される感光性コーティング上に物体平面に設定されるマスクの像を投影する働きをするマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズに関連しており、投影対物レンズは液浸で動作するように設計されており、投影対物レンズは光軸を有し、少なくとも１つの中間像を生成し、投影対物レンズは、像側開口数ＮＡIP及び、投影対物レンズの動作波長で屈折率ｎLLを有する像平面側の最終光学素子を有しており、投影対物レンズの少なくとも２つのレンズは、υmax、すなわち光軸（ＯＡ）に対する最大光線角度の正弦関数が条件υmax＞０．９×ＮＡIP／ｎLLを満たす光軸（ＯＡ）に沿った場所に配置されている。
【００３４】
好ましい実施態様では、動作波長での像平面側の最終光学素子の屈折率ｎLLは、１．６より大きく、好ましくは１．７より大きく、そしてよりいっそう好ましくは２より大きい。
【００３５】
好ましい実施態様において、これらのレンズのうちの少なくとも１つは、フッ化物結晶材料、好ましくはフッ化カルシウム（ＣａＦ2）で作られている。
【００３６】
好ましい実施態様では、これらのレンズのうちの少なくとも１つは中間像に隣接して配置されている。
【００３７】
好ましい実施態様において、これらのレンズのうちの少なくとも１つは投影対物レンズのウエストに隣接して配置されている。これは、固有複屈折の効果的な補償が、そこでも同様に生じている大きい光線角度のために明白なウエストに生じる限りにおいて、有利である。
【００３８】
ウエストは、この用語がここで使用される場合、投影対物レンズを通過する電磁放射の横断面直径の明白な局所最小値を備える投影対物レンズの著しく狭くされた箇所を意味する。「明白な」局所最小値は、投影対物レンズを通過する電磁放射の直径が、ウエストの上流に位置する膨らみと下流に位置する膨らみに比べて８０％未満、特に６０％未満、特に４０％よりも小さい投影対物レンズの光軸に沿った場所を意味する。用語「膨らみ」は、投影対物レンズを進行する電磁放射の直径が局所最大値を有する投影対物レンズの区分を意味する。
【００３９】
好ましい実施態様において、これらのレンズのうちの少なくとも１つの場所における、しかし好ましくはこれらのレンズの全部の場所における主光線と光軸との間の角度は、１０°より小さく、好ましくは７°より小さく、そしてよりいっそう好ましくは５°より小さい。
【００４０】
好ましい実施態様において、投影対物レンズは、フッ化物結晶材料、好ましくはフッ化カルシウム（ＣａＦ2）の複数のレンズを有する。固有複屈折によってこれらのレンズに生じるリターデーションは好ましくは、像平面側の最終光学素子において固有複屈折によって生じるリターデーションと反対の代数的符号を有する。
【００４１】
好ましい実施態様において、開口光線は、これらのフッ化物結晶レンズにおける第１の経路長ｄ1と、像平面側の最終光学素子における第２の経路長ｄ2とを進み、第１及び第２の経路長は条件（０．７×｜Δ2｜×ｄ2）＜（｜Δ1｜×ｄ1）＜（１．３×｜Δ2｜×ｄ2）が満たされるように選定され、式中、Δ1はフッ化物結晶材料において複屈折によってその光線について生じたリターデーションを表し、そしてΔ2は像平面側の最終光学素子の材料において複屈折によってその光線について生じたリターデーションを表す。
【００４２】
好ましい実施態様において、開口光線は、像平面側の最終光学素子におけるその開口光線の経路長の長さの本質的に１０倍であるフッ化物結晶レンズにおける経路長を進む。これは、フッ化カルシウムにおいて固有複屈折に起因する最大リターデーションが１９３ｎｍの典型的な動作波長で約３．４ｎｍ／ｃｍであり、従って例えば、１９３ｎｍ時に約３０．１ｎｍ／ｃｍであるルテチウム‐アルミニウム‐ガーネットにおいて生じる固有複屈折による最大リターデーションより一桁小さい限り、そしてまた、同じ結晶方位及び等しい光線角度を備えるこれらの２つの材料が反対の代数的符号のリターデーションを生じる限り、有利である。
【００４３】
さらなる態様によれば、本発明は、液浸で動作するように設計されており、少なくとも１．０の像側開口数を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズに関連しており、投影対物レンズは、投影対物レンズによって生じた２つの直交偏光状態間のリターデーションが投影対物レンズの動作波長の大きさの０．２５倍未満であるように偏光の光学的補償を有する。
【００４４】
さらなる態様によれば、本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズに関連しており、投影対物レンズは固有複屈折のために少なくとも２５ｎｍ／ｃｍの最大リターデーションを生じる少なくとも１つのレンズを有しており、投影対物レンズは、投影対物レンズによって生じたリターデーションが投影対物レンズの動作波長の大きさの０．２５倍未満であるように偏光の光学的補償を有する。
【００４５】
投影対物レンズは好ましくは、少なくとも１．０、好ましくは少なくとも１．２、そしてよりいっそう好ましくは少なくとも１．４の像側開口数を有する。
【００４６】
投影対物レンズの動作波長は、２５０ｎｍ未満、特に２００ｎｍ未満、より詳細には１６０ｎｍ未満とすることができる。
【００４７】
１実施態様において、投影対物レンズは純屈折設計によるものである。
【００４８】
また、投影対物レンズはカタディオプトリック設計によるものとし、特に物体平面に向かう側にカタディオプトリック設計のサブシステムを含むことができる。
【００４９】
本発明はさらに、マイクロリソグラフィ投影露光装置、微細構造化部品のマイクロリソグラフィ製造のための方法とともに、微細構造化部品に関連する。
【００５０】
本発明のさらなる発展は、説明ばかりでなく従属する請求の範囲において見ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５１】
本発明は、添付図面に例示された事例によって以下でさらに詳細に説明する。
【００５２】
図１は、本発明の第１の実施形態に従った投影対物レンズ１００を例示している。
【００５３】
この投影対物レンズ１００の設計データは表１に記載されている。表の縦列１は各々の屈折性又は別に具体的に識別された光学表面の参照番号を記載し、縦列２は表面の半径ｒを（ｍｍ単位で）示しており、縦列３は次の後続する表面までのその表面の距離（厚さと呼ぶ）を（ｍｍ単位で）示しており、縦列４はその表面に続く材料を示しており、縦列５はλ＝１９３ｎｍでのその材料の屈折率を記載しており、そして縦列６は光学成分の光学的に使用可能な自由半直径を示している。用語「トラック長」は物体平面から像平面までの投影対物レンズの長さを意味する。
【００５４】
図１において短い横線によりマークされ、表２において特定的に指示された表面は、非球面に湾曲しており、これらの表面の率曲は非球面の以下の式によって記述される。
【００５５】
【数１】
2009521000.tif 000003
【００５６】
この式において、Ｐは光軸に平行なそれぞれの表面のサジタル高さを表し、ｈは光軸からの径方向距離を表し、ｒはそれぞれの表面の曲率半径を表し、Ｋは円錐定数を表し、そしてＣｌ、Ｃ２、．．．は表２に記載された非球面定数を表す。
【００５７】
図１によれば、純屈折設計による第１の実施形態の投影対物レンズ１００は、第１の光学サブシステム１１０と第２の光学サブシステム１３０を有する。
【００５８】
第１の光学サブシステム１１０は、光軸ＯＡに沿った順序で、２つのレンズ１１１、１１２の第１の負レンズ群ＬＧｌ、レンズ１１３〜１１６の第２の正レンズ群ＬＧ２、レンズ１１７〜１１９の第３の負レンズ群ＬＧ３を備える。第３のレンズ群ＬＧ３は投影対物レンズ１００の第１のウエストＷｌを含む。
【００５９】
第１のサブシステム１１０は、光軸ＯＡに沿ってさらに、レンズ１２０〜１２２の第４の正レンズ群ＬＧ４とともに第１の正メニスカスレンズ１２３を備えており、その後に中間像ＩＭＩが生成される。中間像ＩＭＩは、（第５のレンズ群ＬＧ５による）第２の光学サブシステム１３０によって像平面ＩＰに投影される。
【００６０】
第２のサブシステム１３０は、正レンズ１３２〜１３８の配列が後続する第２の正メニスカスレンズ１３１を備える。２つのメニスカスレンズ１２３と１３１の間に、投影対物レンズ１００の第２のウエストＷ２が存在する。プレーナ凸レンズ１３８は投影対物レンズ１００の像平面側の最終レンズである。システムが液浸モードで動作している場合、この最終レンズ１３８の光射出面と像平面ＩＰに配置された感光性コーティングとの間の空間は、本例ではシクロヘキサンである液液浸体（図面には図示せず）によって占められている。
【００６１】
図１の投影対物レンズ１００において、像平面側の最終レンズ１３８は、結晶学的＜１００＞カット（すなわち、光軸は結晶学的＜１００＞方向又は結晶学的＜１００＞方向に等価な方向にほぼ平行に延びる）のルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）で作られている。メニスカスレンズ１２３、１３１、１３７は、同様に結晶学的＜１００＞カットのフッ化カルシウム（ＣａＦ2）で作られている。投影対物レンズ１００の他のレンズは、非晶質石英（ＳｉＯ2）で作られている。
【００６２】
図１に図示された設計構成において、フッ化カルシウム（ＣａＦ2）で作られたメニスカスレンズの全部、すなわち１２３、１３１、１３７は実質的に、偏光光学部品によって、ルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）で作られている像平面側の最終レンズ１３８における固有複屈折に起因するリターデーションを補償する。表３は、選定された光線について、フッ化カルシウム（ＣａＦ2）で作られている３つのメニスカスレンズ１２３、１３１、１３７の場所における、そしてルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）で作られている像平面側の最終レンズ１３８の場所におけるそれぞれの光線角度とともに、これらのレンズの内部の経路長を記載している。選定された光線はこの場合、（見出しＹＯＢ＝０によって識別された）光軸と交差した点の物体フィールドから発して４５°の角度で最終レンズ１３８を横切る光線とともに、（見出しＹＯＢ＝２８．０によって識別された）物体フィールドの縁の点から発して、それぞれ４５°及び−４５°のほか、主光線について対応する値の角度で最終レンズ１３８を横切る２つの光線よりなる。
【００６３】
この場合、４５°及び−４５°の角度で最終レンズを通過する光線が特に重要である。なぜなら、固有複屈折によるリターデーションは、物体フィールドの中心（ＹＯＢ＝０）から発する光線束についての図４ａ、及び物体フィールド（ＹＯＢ＝２８．０）の縁から発する光線束についての図４ｂにおいてわかるように、最終レンズ１３８におけるこれらの光線角度で最大値を有するからである。
【００６４】
三次元表現による図５は、比較のために、光軸が結晶学的＜１００＞方向で向けられている場合にフッ化カルシウム結晶材料における固有複屈折が結晶学的方向にどのように依存するかを例示している。図面は、その光軸が結晶学的＜１００＞方向に向けられているフッ化カルシウムの円形のプレーナ平行板５０１を図示している。結晶学的＜１００＞方向のほかに、結晶学的方向＜１０１＞、＜１１￣０＞、＜１０１￣＞、＜１１０＞が同様に矢線によって示されている。固有複屈折は、その表面積が光線のそれぞれの光線方向の固有複屈折の量を示す４つのパドルによって図式的に表現されている。図から明らかなように、固有複屈折の最大量は、＜１１０＞方向だけでなく、＜１１０＞方向に等価な結晶学的方向において生じる。従って、結晶学的＜１００＞方位でカットされたフッ化カルシウムレンズにおいて、すなわち光軸が結晶学的＜１００＞方向に平行であるレンズにおいて、最大値は光軸に対して４５°の光線角度で生じる。（訳注”￣”はその前の数字の上にある）
【００６５】
再び図１の投影対物レンズ１００に関して、表３から明らかであるように、光軸（ＹＯＢ＝０）から発する光線について、メニスカスレンズ１２３、１３１、１３７において生じる「理想的な」４５°光線角度からのずれの最大絶対値は、約５．１°である。物体フィールドの縁（ＹＯＢ＝２８．０）から発する２つの上述の光線の場合、メニスカスレンズ１２３、１３１、１３７において生じる「理想的な」４５°光線角度からのずれの最大絶対値は、約７．７°である。
【００６６】
表３においてさらにわかるように、光軸（ＹＯＢ＝０）から発する上述の光線がメニスカスレンズ１２３、１３１、１３７において進む総経路長は２２８．２２ｍｍであり、すなわち最終レンズ１３８においてこの光線が進む２３．０５ｍｍの経路長の大きさの約９．９倍である。
【００６７】
物体フィールドの縁の点（ＹＯＢ＝２８．０）から発する２つの上述の光線の場合、メニスカスレンズ１２３、１３１、１３７において進む総経路長は、（＋４５°の角度で最終レンズ１３８を横切る光線について）２２１．６４ｍｍ、及び（−４５°の角度で最終レンズ１３８を横切る光線について）２３０．３０ｍｍであり、それぞれ２つの光線について、最終レンズ１３８において同じ光線が進む経路長の大きさの約１１．９倍と８．５倍である。
【００６８】
すでに検討した通り、補償されるべきレンズ（図１の場合レンズ１３８である）における光線角度と補償の働きをするレンズにおける光線角度との間で最良の可能な一致を達成するために、特に重要な要因は、主光線を適切な角度に設定することであり、その角度は、固有複屈折に関して補償されるべき最終レンズの場所において（像平面側のテレセントリック性のゆえに）小さく、それゆえ同様に補償の働きをするレンズ（図１の例ではレンズ１２３、１３１、１３７である）の場所において小さくなければならない。投影対物レンズ１００において、主光線角度は中間像ＩＭＩの場所で４．４°である。主光線角度は、ＣａＦ2レンズの全部において１０°より小さく、レンズ１３７において６°より小さく、そしてレンズ１３１において２°より小さい。
【００６９】
図４ａ、４ｂは、物体フィールドの中心から発する光線束（図４ａ）と、物体フィールドの縁から発する光線束（図４ｂ）について像平面側の最終レンズ１３８においてのみ固有複屈折を考慮している図１の投影対物レンズ１００におけるリターデーションを表している。リターデーション（ナノメートル単位での）は、液浸媒体の屈折率とｘ方向とｙ方向での光線角度の正弦との積の関数として示されている。
【００７０】
図４ｃ及び４ｄは、比較のために、物体フィールドの中心から発する光線束（図４ｃ）と物体フィールドの縁から発する光線束（図４ｄ）について、本発明に従った固有複屈折の補償を考慮している図１の投影対物レンズ１００における結果として生じるリターデーションを表している。図４ｅは、４５°断面での補償を伴う場合及び伴わない場合のそれぞれのリターデーションの比較を示している。
【００７１】
投影対物レンズ１００において、像平面側の最終レンズ１３８は、光軸（ＹＯＢ＝０）から発する光線について、固有複屈折のために７９．１ｎｍのリターデーションを生じ、それはＣａＦ2レンズ１２３、１３１、１３７によって、投影対物レンズ１００全体によりこの光線において生じた固有複屈折に起因するなお残りのリターデーションが、たかだか４．２ｎｍであるような程度まで補償される。物体フィールドの縁の点（ＹＯＢ＝２８．０）から発する光線について、像平面側の最終レンズ１３８は固有複屈折のために８６．８ｎｍのリターデーションを生じ、それはＣａＦ2レンズ１２３、１３１、１３７によって、投影対物レンズ１００全体によりこの光線において生じた固有複屈折に起因するなお残りのリターデーションが、たかだか１４．６ｎｍであるような程度まで補償される。
【００７２】
図２は、本発明の第２の実施形態に従った投影対物レンズ２００を例示している。この投影対物レンズ２００の設計データは、表１に類似の書式で表４に記載されており、半径と厚さはやはりミリメートル（ｍｍ）単位で与えられている。図２で短い横線によってマークされ表５で特定的に指示された表面は、非球面に湾曲しており、これらの表面の率曲は前に与えられた非球面の式（４）によって記述される。
【００７３】
やはり純屈折設計での第２の実施形態の投影対物レンズ２００は、第１の光学サブシステム２１０と第２の光学サブシステム２３０を有する。
【００７４】
第１の光学サブシステム２１０は、光軸ＯＡに沿った順序で、レンズ２１１と２１２の第１の負レンズ群ＬＧｌ、レンズ２１３〜２１６の第２の正レンズ群ＬＧ２、レンズ２１７、２１８、２１９の第３の負レンズ群ＬＧ３を備える。第３のレンズ群ＬＧ３は投影対物レンズ２００の第１のウエストＷｌを含む。
【００７５】
第１のサブシステム２１０は、光軸ＯＡに沿ってさらに、レンズ２２０〜２２４の第４の正レンズ群ＬＧ４を備えており、それらの後に中間像ＩＭＩが生成される。中間像ＩＭＩは、レンズ２３１〜２３８を備える（第５のレンズ群ＬＧ５による）第２の光学サブシステム２３０によって像平面ＩＰに投影される。システムが液浸モードで動作している時、最終レンズ２３８の光射出面と像平面ＩＰに配置された感光性コーティングとの間の空間は、本例ではシクロヘキサンである液液浸体（図面には図示せず）によって占められている。
【００７６】
図１の投影対物レンズ１００と同様、図２の投影対物レンズ２００における像平面側の最終レンズ２３８は同じくルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）で作られている。しかし、投影対物レンズ１００とは対照的に、投影対物レンズ２００は、メニスカスレンズ２２４、２３１、２３７に加えて第１のウエストＷｌの近くに位置する第１のメニスカスレンズ２２０もまたフッ化カルシウム（ＣａＦ2）で作られているので、フッ化カルシウム（ＣａＦ2、やはり＜１００＞方位カットで）の４つのレンズを有する。投影対物レンズ２００の他のレンズは、非晶質石英（ＳｉＯ2）で作られている。
【００７７】
図２に図示された設計構成において、４つのＣａＦ2レンズの全部、すなわち２２０、２２４、２３１、２３７は実質的に、偏光光学部品によって、ルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）で作られている像平面側の最終レンズ２３８において固有複屈折によって生じたリターデーションの補償をもたらす。メニスカスレンズ２２０を第１のウエストＷｌの近くに（それゆえまた大きい光線角度の領域に）配置する結果として、投影対物レンズ２００において、ＣａＦ2で作られている他のメニスカスレンズ、すなわち２２４、２３１、２３７の厚さを投影対物レンズ１００との比較で低減することが可能であった（表４参照）。
【００７８】
表６は、表３の文脈ですでに定義された選定された光線について、４つのＣａＦ2レンズ２２０、２２４、２３１、２３７の場所における、そしてまたルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）で作られている像平面側の最終レンズ２３８の場所におけるそれぞれの光線とともに、これらのレンズの内部の経路長を記載している。
【００７９】
表６から明らかであるように、光軸（ＹＯＢ＝０）から発して４５°の角度で最終レンズ２３８を横切る光線について、ＣａＦ2レンズ２２０、２２４、２３１、２３７において生じる「理想的な」４５°光線角度からのずれの最大絶対値は、約６．１°である。物体フィールドの縁（ＹＯＢ＝２８．０）から発する２つの光線の場合、ＣａＦ2レンズ２２０、２２４、２３１、２３７において生じる「理想的な」４５°光線角度からのずれの最大絶対値は、約８．８°である。
【００８０】
表６においてさらにわかるように、光軸（ＹＯＢ＝０）から発する光線がＣａＦ2レンズ２２０、２２４、２３１、２３７において進む総経路長は２３１．９０ｍｍであり、すなわち最終レンズ２３８においてこの光線が進む２３．２４ｍｍの経路長の大きさの約９．９倍である。
【００８１】
物体フィールドの縁の点（ＹＯＢ＝２８．０）から発する２つの上述の光線の場合、ＣａＦ2レンズ２２０、２２４、２３１、２３７において進む総経路長は、（＋４５°の角度で最終レンズ２３８を横切る光線について）２１４．６７ｍｍと（−４５°の角度で最終レンズ２３８を横切る光線について）２４７．７７ｍｍであり、それぞれ２つの光線について、最終レンズ２３８において同じ光線が進む経路長の大きさの約１１．４倍と９．１倍である。
【００８２】
投影対物レンズ２００において、主光線角度は中間像ＩＭＩの場所で５．２°である。
【００８３】
図３は、本発明の第３の実施形態に従った投影対物レンズ３００を例示している。この投影対物レンズ３００の設計データは、表１と表４に類似の書式で表７に記載されており、半径と厚さはやはりミリメートル（ｍｍ）単位で与えられている。図３で短い横線によってマークされ表８で特定的に指示された表面は、非球面に湾曲しており、これらの表面の率曲は前に与えられた非球面の式（４）によって記述される。
【００８４】
やはり純屈折設計での第３の実施形態の投影対物レンズ３００は、第１の光学サブシステム３１０と第２の光学サブシステム３３０を有する。
【００８５】
第１の光学サブシステム３１０は、光軸ＯＡに沿った順序で、レンズ３１１と３１２の第１の負レンズ群ＬＧｌ、レンズ３１３〜３１６の第２の正レンズ群ＬＧ２、レンズ３１７と３１８の第３の負レンズ群ＬＧ３を備える。第３のレンズ群ＬＧ３は投影対物レンズ３００の第１のウエストＷｌを含む。第１のサブシステム３１０は、光軸ＯＡに沿ってさらに、レンズ３１９〜３２４の第４の正レンズ群ＬＧ４を備えており、それらの後に中間像ＩＭＩが生成される。
【００８６】
中間像ＩＭＩは、レンズ３３１〜３３９を備える（第５のレンズ群ＬＧ５による）第２の光学サブシステム３３０によって像平面ＩＰに投影される。システムが液浸モードで動作している時、最終レンズ３３９の光射出面と像平面ＩＰに配置された感光性コーティングとの間の空間はやはり、本例ではシクロヘキサンである液液浸体（図面には図示せず）によって占められている。
【００８７】
投影対物レンズ１００、２００と同様、投影対物レンズ３００における像平面側の最終レンズ３３９は同じくルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）で作られている。投影対物レンズ２００と同様、投影対物レンズ３００は、固有複屈折の結果として最終レンズ３３９によって生じたリターデーションを補償する働きをする４つのフッ化カルシウムレンズ３２３、３２４、３３１、３３８を有する（第１のウエストＷｌの領域におけるＣａＦ2レンズの代わりに、この場合、中間像ＩＭＩの領域にさらなるＣａＦ2レンズが存在する）。投影対物レンズ２００とは対照的に、中間像ＩＭＩの近くに配置された投影対物レンズ３００におけるレンズ３３１は、（例えば密着によって）分離空隙を伴わずに次の後続のレンズ３３２と接続されている。従って、レンズ３３１は、それによって全反射を生じることなく負レンズとして設計することができ、それはフィールドにわたる経路長のプロフィールに肯定的な効果を及ぼす。代替設計によれば、中間像ＩＭＩの近くに配置されたレンズ３３１はまた、光軸ＯＡに沿って次に後続するレンズ３３２から、例えばシクロヘキサンなどの高屈折率の液体で満たされた薄い間隙によって分離させることもできる。
【００８８】
表９は、表３の文脈ですでに定義された選定された光線について、４つのＣａＦ2レンズ３２３、３２４、３３１、３３８の場所における、そしてまたルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）で作られている像平面側の最終レンズ３３９の場所におけるそれぞれの光線とともに、これらのレンズの内部の経路長を記載している。
【００８９】
表９から明らかであるように、光軸（ＹＯＢ＝０）から発して４５°の角度で最終レンズ３３９を横切る光線について、ＣａＦ2レンズ３２３、３２４、３３１、３３８において生じる「理想的な」４５°光線角度からのずれの最大絶対値は、約６．２°である。物体フィールドの縁（ＹＯＢ＝２８．０）から発する２つの光線の場合、ＣａＦ2レンズ３２３、３２４、３３１、３３８において生じる「理想的な」４５°光線角度からのずれの最大絶対値は、約７．７°である。
【００９０】
表９においてさらにわかるように、光軸（ＹＯＢ＝０）から発する光線がＣａＦ2レンズ３２３、３２４、３３１、３３８において進む総経路長は１８９．２７ｍｍであり、すなわち最終レンズ３３９においてこの光線が進む１９．６１ｍｍの経路長の大きさの約９．６倍である。
【００９１】
物体フィールドの縁の点（ＹＯＢ＝２８．０）から発する２つの上述の光線の場合、ＣａＦ2レンズ３２３、３２４、３３１、３３８において進む総経路長は、（＋４５°の角度で最終レンズ３３９を横切る光線について）２２１．０７ｍｍと（−４５°の角度で最終レンズ３３９を横切る光線について）１６６．５３ｍｍであり、それぞれ２つの光線について、最終レンズ３３９において同じ光線が進む経路長の大きさの約９．５倍と１０．８倍である。
【００９２】
投影対物レンズ３００において、主光線角度は中間像ＩＭＩの場所で０．６°である。全部のＣａＦ2レンズにおける主光線角度は６°未満であり、そしてレンズ３２３と３３１において５°未満である。
【００９３】
図６は、本発明の第４の実施形態に従った投影対物レンズ６００を例示している。この投影対物レンズ６００の設計データは、表１、４、７に類似の書式で表１０に記載されており、半径と厚さはやはりミリメートル（ｍｍ）単位で与えられている。図６で短い横線によってマークされ表１１で特定的に指示された表面は、非球面に湾曲しており、これらの表面の率曲は前に与えられた非球面の式（４）によって記述される。
【００９４】
カタディオプトリック設計による図６の投影対物レンズ６００は、第１の光学サブシステム６１０、第２の光学サブシステム６２０、第３の光学サブシステム６３０を有する。
【００９５】
第１の光学サブシステム６１０は屈折レンズ６１１〜６１７の配列を備える。第１の光学サブシステム６１０は、物体平面“ＯＰ”を第１の中間像ＩＭＩｌに投影し、その近似長さが図６において矢線で指示されている。
【００９６】
この第１の中間像ＩＭＩｌは、第２の光学サブシステム６２０によって中間像ＩＭＩ２に投影される。そのおおよその長さは同じく図６において矢線で指示されている。第２の光学サブシステム６２０は第１の凹面ミラー６２１と第２の凹面ミラー６２２を備えており、その両方とも、凹面ミラー６２１、６２２の反射面から光を像平面ＩＰに伝えるために光軸に垂直に切断されている。
【００９７】
第２の中間像ＩＭＩ２は第３の光学サブシステム６３０によって像平面ＩＰに投影される。第３の光学サブシステム６３０は屈折レンズ６３１〜６４２の配列を備える。この例ではシクロヘキサンである液液浸体（図面には図示せず）が、最終レンズ６４２の光射出面と像平面ＩＰに配設された感光性コーティングとの間に存在する。
【００９８】
図６の投影対物レンズ６００において、像平面側の最終レンズ６４２は、結晶学的＜１００＞カットのルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）で作られている。第３の光学サブシステム６３０の第１のレンズ６３１、すなわち第２の光学サブシステム６２０に後続するレンズも同じく結晶学的＜１００＞カットのルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12）で作られている。第１の光学サブシステム６１０の最終レンズ及び、それゆえ第２の光学サブシステム６２０の直前に配置されたレンズを表すメニスカスレンズ６１７は、同様に結晶学的＜１００＞カットのフッ化カルシウム（ＣａＦ2）で作られている。投影対物レンズ６００の他のレンズは非晶質石英（ＳｉＯ2）で作られている。
【００９９】
投影対物レンズ６００は別の課題の解決策を提供する。すなわち、像平面側の最終光学素子６４２に進入する光線が入る曲面のために、光線は、図７に図式的に示された通り、これらの光線が素子６４２を横切る角度と場所に依存して異なる光路長を有する。図８から明らかであるように、これは、固有複屈折の可変フィールド変動（すなわち像フィールドの中心から縁にわたって変化する固有複屈折の量）を生じる。
【０１００】
図７は、像平面側の最終レンズ６４２において主光線（ＨＳ）とともに上側と下側コマ光線（ＯＫとＵＫ）が進む典型的な経路を示している。フィールドの中心に到る主光線はＨＳMとして識別されており、フィールドの縁に到る主光線はＨＳRとして識別されている。フィールドの中心に到るコマ光線はＯＫMとＵＫMとして識別されており、フィールドの縁に到るコマ光線はＯＫRとＵＫRとして識別されている。（図７において点線によって表現された）フィールドの中心に到る光線のうち、上側コマ光線ＯＫMと下側コマ光線ＵＫMがレンズ６４２を同じ距離だけ進むのに対し、（図７において実線によって表現された）フィールドの縁に到る光線の場合、上側コマ光線と下側コマ光線ＯＫR、ＵＫRの光路長は互いに異なる。このように、フィールドの縁に到る上側コマ光線ＯＫRは、フィールドの中心に進む上側コマ光線ＯＫMよりもレンズ６４２の材料において長い距離を進むのに対し、フィールドの縁に到る下側コマ光線ＵＫRはフィールドの中心に到る下側コマ光線ＵＫMよりも短い距離を進む。その結果、フィールドの縁における瞳のリターデーションは、図８ａ、８ｂから明らかな通り、「傾け」られる。図８ａは、フィールドの中央（点線）とフィールドの縁（実線）についての投影対物レンズ６００の像平面側の最終レンズ６４２における子午断面で複屈折によって生じたリターデーションを図示している。図８ｂは、フィールドの中心とフィールドの縁についての固有複屈折に起因する２つのリターデーション間の差を図示している。
【０１０１】
図６に図示された投影対物レンズ６００の実施形態によれば、ルテチウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｌｕ3Ａｌ5Ｏ12、ＬｕＡＧ）のさらなるレンズ６３１とともにＣａＦ2のレンズ６１７が適切な位置にセットされており、それにより（図７によればフィールド縁に到る上側コマ光線ＯＫRよりも最終レンズ６４２において短い距離を進む）フィールド縁に到る下側コマ光線ＵＫRにおけるリターデーションは、フィールド縁に到る上側コマ光線ＯＫRと比較して増大する。図６に従った上述のさらなるＬｕＡＧレンズ６３１は、光の進行方向で見た時に、第１の凹面ミラー６２１と第２の凹面ミラー６２２よりなる第２のサブシステム６２０の直後に、すなわち、フィールドの縁に到る下側コマ光線ＵＫRが相対的に大きな光線角度を有し、上側コマ光線ＯＫRよりもレンズ内を長い距離進む場所に配置されている。上述のＣａＦ2レンズ６１７は、ミラー群６２０の直前に、すなわちフィールドの縁に到る下側コマ光線が相対的に小さい光線角度を有するのに対し上側コマ光線が大きい光線角度を有する場所に配置されている。本発明に従った補償は、この場合、２つのレンズ６１７、６３１の組合せによって達成される。
【０１０２】
一般的に言えば、像側の最終レンズの固有複屈折のフィールド依存性の補償のための本発明の原理は、以下のように述べることができる。すなわち、前記フィールド依存性の補償に使用される付加的な単数又は複数のレンズの材料（及びそれゆえ固有複屈折の代数的符号）、位置とジオメトリは、結果として前記フィールド依存性について補償効果が達成されるように選定される。
【０１０３】
これは例えば、コマ光線（上側又は下側）のどちらが固有複屈折について補償されるべき最終レンズにおいてより長い距離を進むとしても、付加的なレンズが像側の最終レンズに関して反対の代数的符号の固有複屈折を有するならば、フィールド依存性の補償に使用される付加的なレンズでもやはりより長い距離を進むことを意味する。他方、付加的なレンズが像側の最終レンズと同じ代数的符号の固有複屈折を有するならば、フィールド依存性を補償するために使用される前記付加的なレンズについてのジオメトリと位置は、コマ光線（上側又は下側）のどちらが固有複屈折について補償されるべき最終レンズにおいてより長い距離を進むとしても、前記付加的なレンズにおいてより短い距離を進むことを保証する手段として働く。従って、像側の最終レンズにおける固有複屈折がフィールド依存性を補償するために使用される付加的なレンズの場合と同じ代数的符号を有するならば、前記付加的なレンズについての位置は、そのジオメトリを考慮に入れながら、上側と下側コマ光線の光路長に対するそれぞれの作用が像側の最終レンズに関して付加的なレンズにおいて切り替えられるようにして選択される。
【０１０４】
フィールド依存性を補償するために使用される付加的なルテチウム‐アルミニウム‐ガーネットの単数又は複数のレンズの好ましい位置は詳細には、フィールド平面、特に中間像平面の近傍にあるとしてよく、なぜならこの場合、異なるフィールド点が異なる条件又は異なる角度を有し、それにより上側と下側コマ光線が異なる角度を有するであろうと思われるからである。中間像の近くとみなされる場所の数量的基準としては、物体フィールドに対する縁点の主光線高さがその場所においてレンズ半径の５０％超であることを前提とすることができる。
【０１０５】
図９ａは、図６の投影対物レンズ６００全体について、フィールドの中心（点線）とフィールドの縁（実線）に関する固有複屈折によるリターデーションを図示している。図９ｂは、フィールドの中心とフィールドの縁について固有複屈折による２つのリターデーションの差を図示している。図９ｂとび８ｂのグラフを比較することによって、瞳の領域の大部分にわたってフィールドの中心とフィールドの縁について固有複屈折によるリターデーション間の差の著しい低減が存在することが明白になる。
【０１０６】
投影対物レンズ６００における固有複屈折によるリターデーションのフィールド依存性は、２つのレンズ６３１、６１７の組み合わされた効果によって低減される。ほぼ一定である固有複屈折の残りの量は、適切な手段によって（例えばポアンカレ素子を使用することによって）さらに補償することができる。
【０１０７】
すでに述べた通り、図６の前述の例におけるレンズ６３１は、像平面側の最終レンズと同じ材料から構成されており、フィールドの縁に到るコマ光線について、像平面側の最終レンズ６４２においてより小さいリターデーションを有する光線（すなわち図７の光線ＵＫR）のリターデーションが像平面側の最終レンズ６４２におけるより大きいリターデーションを有する他方のコマ光線（すなわち図７の光線ＯＫR）と比較して増大する、すなわち上述のフィールド依存性が低減されるようにして、光経路に配置される。固有複屈折のフィールド依存性を低減するためのこの原理は、付加的なレンズ６３１において同一材料を使用することに限定されない。つまり、十分に透明であり固有複屈折の同じ代数的符号を有する（ＬｕＡＧに関して本例では正）適格な別の材料を使用することも可能である。固有複屈折のフィールド依存性がＬｕＡＧレンズにおいて低減されるべきであるこの場合、補償に使用される前記別のレンズのための他の適格な材料はまた、フッ化バリウム（ＢａＦ2）、ＳｒＦ2、ＭｇＯ、スピネル、ＹＡＧ、ＬｉＢａＦ3を含む。
【０１０８】
すでに述べた通り、フィールド依存性を補償するために使用される付加的な単数又は複数のレンズの位置は、適切に選定される必要がある。図１０は、補償用最終レンズ（この場合ＬｕＡＧ）と比較して反対の代数的符号の固有複屈折を備える材料（この場合ＣａＦ2）で作られていると同時に、固有複屈折のフィールド依存性を低減するために適格な形態を有し適格な位置にセットされているレンズ７００を図式的に例示している。図７に例示された状態は、像平面側の最終レンズにおける固有複屈折の補償において考慮されるべき光線の基礎としてやはり使用される。図１０によれば、ＣａＦ2のレンズ７００は、そのジオメトリを考慮に入れながら、フィールドの縁に到る上側コマ光線ＯＫRがフィールドの縁に到る下側コマ光線ＵＫRよりも相対的に長い距離をレンズ７００において進むようにして光経路に配置されている。フィールドの縁に到る上側コマ光線ＯＫRは、光軸ＯＡに対して約４５°という相対的に大きい角度でレンズ７００のＣａＦ2材料を横切る。フィールドの縁に到る下側コマ光線ＵＫRは、光軸ＯＡに対してほぼ０°の相対的に小さい角度でレンズ７００のＣａＦ2材料を横切る。図６の投影対物レンズ６００において、フィールドの縁に到る上側コマ光線ＯＫRにそのような大きい光線角度を付与するための適格な場所は、（光伝搬の方向で）例えば第２の光学サブシステム６２０の直前に位置する。一般に、種々のカタディオプトリックシステムでは、それらの設計、ミラーの数などに依存して、適格な位置は異なるであろうし、さらにレンズのジオメトリを考慮に入れる適格な選択によって左右されることには留意する必要がある。
【０１０９】
このように、図１０に図式的に例示された構成によるＣａＦ2レンズ７００は、像平面側の最終レンズ６４２において生じた固有複屈折を補償する結果となることに加え、図７の文脈において説明したフィールド依存性について像平面側の最終レンズ６４２を少なくとも部分的に補償するリターデーションのフィールド依存性を有する。
【０１１０】
固有複屈折のフィールド依存性が固有複屈折自体を補償するためにも使用される同じレンズにより低減される図１０によって説明した原理は同様に、上述したＣａＦ2やＬｕＡＧの材料の組合せに限定されない。それどころか、像平面側の最終レンズはまた、例えばイットリウム‐アルミニウム‐ガーネット（Ｙ3Ａｌ5Ｏ12）又はスピネル、特にマグネシウムスピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）で作ることができる。固有複屈折を補償すると同時にフィールド依存性を低減するために使用されるレンズ７００もまた、例えばＣａＯといったＣａＦ2以外の適格な材料で作ることができる。
【０１１１】
図１１はマイクロリソグラフィ投影露光装置の全体レイアウトを図式的に例示している。
【０１１２】
図１１に図示された投影露光装置９００は、照明装置９０１と投影対物レンズ９０２を有する。投影対物レンズ９０２は、図式的に略示されただけのレンズ配列９０３を備えており、それは光軸ＯＡを規定する。マスクホルダ９０５によって光経路に保持されているマスク９０４が照明装置９０１と投影対物レンズ９０２との間に配置されている。マスク９０４は、投影対物レンズ９０２によって像平面ＩＰに投影され例えば４又は５分の１に縮小されるマイクロメートルないしナノメートル範囲の構造を保持している。その位置が基板ホルダ９０７によって規定される感光性基板９０６又はウエーハが像平面ＩＰに保持される。
【０１１３】
たとえ本発明が特定の実施形態の提示によって説明されているが、当業者は、例えば個々の実施形態の特徴を組合せ、かつ／又は交換することによって、変種及び他の実施形態の多数の可能性を認識するであろう。従って、そのような変種及び他の実施形態が本発明に包含されているとみなされるとともに、本発明の範囲が添付の特許請求の範囲及びそれらの等価物によってのみ限定されることが理解されるであろう。
【０１１４】
【表１】
2009521000.tif 000004
【０１１５】
【表２】
2009521000.tif 000005
【０１１６】
【表３】
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【０１１７】
【表４】
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【０１１８】
【表５】
2009521000.tif 000008
【０１１９】
【表６】
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【０１２０】
【表７】
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【０１２１】
【表８】
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【０１２２】
【表９】
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【０１２３】
【表１０】
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【０１２４】
【表１１】
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【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】本発明の第１の実施形態に従った純屈折設計の完全な投影対物レンズの子午断面図を表す。
【図２】本発明の第２の実施形態に従った純屈折設計の完全な投影対物レンズの子午断面図を表す。
【図３】本発明の第３の実施形態に従った純屈折設計の完全な投影対物レンズの子午断面図を表す。
【図４ａ】物体フィールドの中心から発する光線束について、像平面側の最終レンズにおいてだけ固有複屈折を考慮している図１の投影対物レンズにおけるリターデーションを表す。
【図４ｂ】物体フィールドの縁から発する光線束について、像平面側の最終レンズにおいてだけ固有複屈折を考慮している図１の投影対物レンズにおけるリターデーションを表す。
【図４ｃ】物体フィールドの中心から発する光線束について、本発明に従った固有複屈折の補償を考慮している図１の投影対物レンズにおける結果として生じるリターデーションを表す。
【図４ｄ】物体フィールドの縁から発する光線束について、本発明に従った固有複屈折の補償を考慮している図１の投影対物レンズにおける結果として生じるリターデーションを表す。
【図４ｅ】４５°断面での補償を伴う場合及び伴わない場合のそれぞれのリターデーションの比較を例示している。
【図５】結晶の（１００）断面におけるフッ化カルシウムレンズの結晶学的方向への固有複屈折の依存性を視覚化する働きをする三次元略図を示す。
【図６】本発明のさらなる実施形態に従ったカタディオプトリック設計の完全な投影対物レンズの子午断面図を表す。
【図７】図６の投影対物レンズの像平面側の最終レンズにおける主光線ならびに上側と下側コマ光線の典型的な進行経路の概略図を示す。
【図８】フィールドの中心とフィールドの縁についての固有複屈折によって生じたリターデーション（図８ａ）とともに、図６の投影対物レンズの像平面側の最終レンズにおけるフィールドの中心とフィールドの縁についての固有複屈折による２つのリターデーションの差（図８ｂ）を例示している。
【図９】図６の投影対物レンズ全体について、フィールドの中心とフィールドの縁についての固有複屈折によって生じたリターデーション（図９ａ）とともに、フィールドの中心とフィールドの縁についての固有複屈折による２つのリターデーションの差（図９ｂ）を例示している。
【図１０】固有複屈折を補償すると同時に固有複屈折のフィールド依存性を低減するために本発明のさらなる実施形態に従った投影対物レンズにおいて使用されるレンズを図式的に例示している。
【図１１】マイクロリソグラフィ投影露光装置の全体設計構造を図式的に例示している。
【符号の説明】
【０１２６】
１００、２００、３００、６００  投影対物レンズ
１３０、２３０、３３０  光学サブシステム
１２３、１３１、１３７、１３８、２２０、２２４、２３１、２３２、２３７、２３８、３２３、３２４、３３１、３３８、３３９、６１７、６３１、６４２  レンズ
９００  投影露光装置
９０１  照明装置
９０２  投影対物レンズ
９０３  レンズ配列
９０４  マスク
９０５  マスクホルダ
９０６  感光性基板
９０７  基板ホルダ
ＯＡ  光軸
ＩＰ  像平面
ＩＭＩ  中間像
【図１】
2009521000.tif 000015
【図２】
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【図３】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図４ｃ】
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【図４ｄ】
2009521000.tif 000021
【図４ｅ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2009521000.tif 000028
【図１１】
2009521000.tif 000029
【国際調査報告】
2009521000.tif 000030
2009521000.tif 000031
2009521000.tif 000032