(57)【要約】Ｘ線レンズアセンブリを含む装置であるＸ線レンズアセンブリとＸ線レンズアセンブリの製造方法とが記載される。Ｘ線アセンブリは、Ｘ線の導入開口部（９０）とＸ線の導出開口部（９４）とを含む管部材（５０）を有する。加えてアセンブリは、管部材（５０）の内部に取り付けられるキャピラリＸ線レンズ（２８）を有する。安定化材により、および／または一つ以上の分離した取り付け構造（９６Ａ，９６Ｂ）により、Ｘ線レンズ（２８）が管部材（５０）の内部に取り付けられる。
2009505110.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線の導入開口部（９０）およびＸ線の導出開口部（９４）を含む管部材（５０）と、
前記管部材（５０）の内部に取り付けられたキャピラリＸ線レンズ（２８）と、
を有するＸ線レンズアセンブリ。
【請求項２】
前記Ｘ線レンズ（２８）が安定化材により前記管部材（５０）の内部に取り付けられる、請求項１に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項３】
前記安定化材が接着剤を含む、請求項２に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項４】
さらに、前記導入開口部（９０）と前記導出開口部（９４）との間の範囲において前記Ｘ線レンズ（２８）と前記管部材（５０）との間に画定される少なくとも一つの室（９８）を有する、請求項１乃至３のいずれかに記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項５】
前記少なくとも一つの室（９８）に前記安定化材が充填される、請求項４に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項６】
さらに、前記導入開口部（９０）と前記導出開口部（９４）との間に配置された少なくとも一つの別の開口部（１００）を有し、該少なくとも一つの別の開口部（１００）が前記室（９８）と連通状態にある、請求項４または５に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項７】
前記安定化材が前記少なくとも一つの別の開口部（１００）から前記室（９８）へ充填されている、請求項５または６に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項８】
前記Ｘ線レンズ（２８）が一つ以上の取り付け構造（９６Ａ，９６Ｂ）により前記管部材（５０）の内部に取り付けられる、請求項１乃至７のいずれかに記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項９】
前記少なくとも一つの室（９８）が、軸方向に離間した二つの取り付け構造（９６Ａ，９６Ｂ）により前記管部材（５０）の軸方向に規定される、請求項８に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項１０】
前記一つ以上の取り付け構造が少なくとも一つの弾性部材（９６Ａ，９６Ｂ）を有する、請求項８または９に記載のＸ線レンズ。
【請求項１１】
前記少なくとも一つの弾性部材が弾性リング（９６Ａ，９６Ｂ）を有する、請求項１０に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項１２】
前記少なくとも一つの取り付け構造（９６Ａ，９６Ｂ）が、前記管部材（５０）の内部における前記Ｘ線レンズ（２８）の軸方向変位を可能にする、請求項８乃至１１のいずれかに記載のＸ線レンズ。
【請求項１３】
Ｘ線源（１２）と、
Ｘ線の導入開口部（９０）およびＸ線の導出開口部（９４）を有する管部材（５０）ならびに前記管部材（５０）の内部に取り付けられたキャピラリＸ線レンズ（２８）を有するＸ線レンズアセンブリと、
を有するＸ線装置。
【請求項１４】
Ｘ線の導入開口部（９０）およびＸ線の導出開口部（９４）を有する管部材（５０）を用意し、
キャピラリＸ線レンズ（２８）を用意し、
前記管部材（５０）の内部に前記Ｘ線レンズ（２８）を取り付ける、
Ｘ線レンズアセンブリの製造方法。
【請求項１５】
前記Ｘ線レンズ（２８）の取り付けが、
軸方向に離間した少なくとも二つのレンズ取り付け構造（９６Ａ，９６Ｂ）を前記管部材（５０）と前記Ｘ線レンズ（２８）との間に配置するステップ、
を含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１６】
前記Ｘ線レンズ（２８）の取り付けが、
前記管部材（５０）と前記Ｘ線レンズ（２８）との間に少なくとも一つの室（９８）を画定するステップと、
前記少なくとも一つの室（９８）に安定化材を充填するステップと、
を含む、請求項１６または１７に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線レンズアセンブリとかかるアセンブリを製造する方法とに関連する。本発明はさらに、Ｘ線レンズアセンブリを有するＸ線分光計またはＸ線回折計などのＸ線装置に関連する。
【背景技術】
【０００２】
２０年以上前のいわゆるＸ線レンズ（「クマコフレンズ」とも呼ばれる）の登場は、冶金学、地質学、化学、法医学の研究所および税関検査など様々な分野に広範囲の用途を持つ軽量の携帯用Ｘ線装置の基礎を形作った。従来の光学レンズが可視または近可視光子を方向修正するのと同じように、Ｘ線レンズはＸ線放射帯域の電磁放射を方向修正してＸ線ビームを平行にするか集束させる。
【０００３】
Ｘ線レンズは従来、複数のキャピラリ（毛細管）から形成される。各キャピラリはその前端部で捕捉されたＸ線を全外反射により他端部へ案内する。この法則は、前端部での入射角が臨界角を越えない限り、この原則が当てはまる。臨界角を超えると、Ｘ線はもはやキャピラリ内では捕捉されない。このような場合、キャピラリはＸ線に対して透過性となる。
【０００４】
Ｘ線レンズは当初、数メートルの範囲の寸法を持つかさばる装置であった。このように大きな寸法は、主として個々のキャピラリを所定箇所に保持するのに必要とされる独立した支持構造の結果であった。ガラスドロー技術を用いて一つ以上のガラスキャピラリ束からＸ線レンズが生産される場合には支持構造が省略されることが認められると、Ｘ線レンズの工業的使用は容易になった。キャピラリ外被部を一緒に溶融することにより、独立した支持構造が不要となった。
【０００５】
今日、Ｘ線レンズは、携帯用Ｘ線分光計、軽量Ｘ線回折計、および他の多くの小型装置に商業的に用いられている。このような装置は一般的に、Ｘ線源（Ｘ線管など）、Ｘ線レンズ、および検出器を有する。Ｘ線源から発せられたＸ線は、Ｘ線レンズによりサンプル上の小さな点に集束する。検出器は、サンプルから戻るＸ線を検出し、例えばサンプルに含有される化学元素を判断するためスペクトル分析される出力信号を発生させる。
【０００６】
Ｘ線装置では、Ｘ線装置の正しい動作を保証するようにＸ線レンズが確実に取り付けられなければならない。Ｘ線レンズはたいてい、レンズからＸ線源とサンプルの一方または両方のいずれかまでの距離が調節自在であるように取り付けられなければならない。キャピラリＸ線レンズの破損しやすさのため、Ｘ線レンズの運搬、取り付け、調節はたいてい難題である。Ｘ線レンズが様々な個々の寸法を持っているという事実のため、Ｘ線レンズの取り付けはさらに複雑である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、キャピラリＸ線レンズの運搬と取り付けと調節のうち少なくとも一つを容易にするＸ線レンズアセンブリが求められている。また、このようなＸ線レンズアセンブリを有するＸ線装置ならびにＸ線レンズアセンブリの製造方法が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様によれば、Ｘ線の導入開口部およびＸ線の導出開口部を有する管部材と、該管部材の内部に取り付けられるキャピラリＸ線レンズとを有するＸ線レンズアセンブリが提供される。
【０００９】
管部材は、任意の形状の内側および外側断面を持つ。断面は例えば円形、楕円形、多角形である。Ｘ線レンズは一つ以上のキャピラリを有する。キャピラリは一つまたはいくつかのキャピラリ束に分けられる。
【００１０】
一変形例では、Ｘ線レンズは安定化材（ｓｔａｂｉｌｉｚｉｎｇ  ａｇｅｎｔ）により管部材の内部に取り付けられる。安定化材（例えば接着剤）は、硬化性と相互結合性のうち少なくとも一方を備えていることが好ましい。
【００１１】
管部材の導入開口部と導出開口部との間の範囲では、Ｘ線レンズと管部材との間に少なくとも一つの室が画定される。少なくとも一つの室は、様々な目的を果たす。一実施形態では、少なくとも一つの室に安定化材が充填される。
【００１２】
管部材の導入開口部と導出開口部との間には、一つ以上の別の開口部が設けられている。一つ以上の別の開口部は、少なくとも一つの室と連通していることが好ましい。別の開口部は、室に安定化材を充填するのに用いられる。これに加えて、あるいはこれに代えて、一つ以上の開口部が（例えば管部材へのＸ線レンズの挿入時および／または室への安定化材の充填時に）空気導出として機能してもよい。
【００１３】
安定化材に加えて、または安定化材に代えて、管部材の内部にＸ線レンズを取り付けるために一つ以上の取り付け構造が設けられてもよい。管部材の軸方向に少なくとも一つの室を規定するため、軸方向に離間した二つの取り付け構造が設けられてもよい。
【００１４】
一つ以上の取り付け構造は、Ｘ線レンズが収容される略円形の開口部を有する。一つ以上の取り付け構造は、弾性リング（例えばＯリング）などの少なくとも一つの弾性部材を有する。
【００１５】
少なくとも一つの取り付け構造は、管部材の内部におけるＸ線レンズの軸方向変位を可能にする。管部材に対するＸ線レンズの位置を調節する時に軸方向変位が必要になる。さらに、Ｘ線源とＸ線で照射されるサンプルのうち少なくとも一方に対するＸ線レンズの位置決めに関連して軸方向調節が必要である。
【００１６】
管部材は、鋼などＸ線に対してほぼ透過性の材料から製作されることが好ましい。一実施形態では、管部材の軸方向長さはＸ線レンズの軸方向長さと等しいかこれより長い。
【００１７】
本発明の別の態様によれば、Ｘ線装置が提供される。Ｘ線装置は、Ｘ線源と、Ｘ線の導入開口部およびＸ線の導出開口部を有する管部材ならびに該管部材の内部に取り付けられるキャピラリＸ線レンズを有するＸ線レンズアセンブリとを有する。
【００１８】
本発明のまた別の態様によれば、Ｘ線レンズアセンブリを製造する方法が提供される。かかる方法は、Ｘ線の導入開口部およびＸ線の導出開口部を有する管部材を用意するステップと、キャピラリＸ線レンズを用意するステップと、管部材の内部にＸ線レンズを取り付けるステップとを有する。
【００１９】
Ｘ線レンズを管部材の内部に取り付けるステップは、管部材とＸ線レンズとの間の軸方向距離に少なくとも二つのレンズ取り付け構造を配置するサブステップを有していてもよい。これに加えて、またはこれに代えて、前記取り付けるステップは、管部材とＸ線レンズとの間に少なくとも一つの室を画定するサブステップと、少なくとも一つの室に安定化材を充填するサブステップとを有していてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の別の態様、効果、変形例を、好適な実施形態についての以下の説明および図面によって明らかにする。
【００２１】
以下では、安定化材が充填される室を画定する軸方向に離間した二つの取り付け構造を有するＸ線レンズアセンブリを有するＸ線分光計の形の好適な実施形態を参照して、発明を例示的に説明する。なお、本発明は、回折計など他のＸ線装置において、Ｘ線レンズを管部材の内部に取り付けるための異なる機構を用いて実行されてもよい。例えば、Ｘ線レンズと管部材との間における充分に信頼できる接続を取り付け構造が可能にする場合には、安定化材が省略されてもよい。代替例として、安定化材が管部材におけるＸ線レンズの確実かつ耐久性のある取り付けを可能にする場合には、取り付け構造が完全に省略（または後で除去）されてもよい。また、取り付け構造の数およびタイプは変化してもよい。
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態によるＸ線分光計１０の断面図を示す。分光計１０は、Ｘ線管で構成されるＸ線源１２を有する。分光計１０はさらに、シャッタ１４と、位置決め・遮蔽モジュール１６と、サンプル位置決めプラットフォーム２２にサンプル２０が配置されるサンプルハウジング１８と、検出器２４とを有する。
【００２３】
Ｘ線源１２の内部で発生され参照番号２６で示されるＸ線ビームは、光軸３０に沿ってシャッタ１４を通過する。管部材５０の内部に取り付けられたキャピラリＸ線（クマコフ）レンズ２８は、サンプル２０上の小さな点にＸ線ビームを集束させる（なお、図１の概略図では、サンプル２０のサイズは誇張されている）。検出器２４は、サンプル２０から反射したＸ線を収集して、サンプル２０に含有される化学元素を示すスペクトル信号を出力する。図１の図では、Ｘ線源１２とシャッタ１４とは、その構造をより良く図示するため、分光器１０の光軸３０を中心として９０°回転されている。
【００２４】
図１に見られる分光計１０は、小型の卓上型であり、現場での分析のため持ち運び可能である。サンプルは、固体、粉末、プレスペレット、液体、顆粒、フィルム、コーティングを含む広範囲の物理的形状で用意される。大気条件における分光計１０の一般的な元素検出の可能性は、アルミニウム（Ａ）からウラン（Ｕ）までである。分光計１０は、非常に低い元素濃度および２０μｍのサンプルサイズまでの質的および量的な元素分析を可能にする。
【００２５】
従来のＸ線管と同様に、Ｘ線源１２は、電子を放出する陰極３２と、陰極３２により放出された電子を収集する陽極３４とを含む。こうして、陰極３２と陽極３２にわたって接続された高電圧の結果、電流の流れが確立される。Ｘ線源１２の内部での電子の流れは、陽極３４上の非常に小さな点（「ホットスポット」）に集束する。陽極３４と衝突する電子の運動エネルギーの消滅時に「ホットスポット」３６で発生するＸ線の一部の漏出を可能にするように、陽極３４は、電子流に対する垂線から一般的に５乃至１５度離れた正確な角度を持つ。こうして発生されたＸ線ビーム２６は、基本的に電子流の方向に対して垂直に、基本的に光軸３０に沿って、「ホットスポット」３６から発散角度で放出される。
【００２６】
Ｘ線源１２から放出されたＸ線は、最初に、Ｘ線源１２のハウジング３８に装着されたシャッタ１４を通過する。シャッタ１４は、Ｘ線源１２の内部で発生されたＸ線ビーム２６を選択的に遮断し、こうしてサンプル２０の照射を「オン」または「オフ」に選択的に切り換えるための制御機構となる。
【００２７】
位置決め・遮蔽モジュール１６は（Ｘ線源１２について）シャッタ１４の下流に配置され、中間部材（図１には不図示）によりシャッタ１４に固定装着されている。位置決め・遮蔽モジュール１６は、Ｘ線遮蔽部品４０と、Ｘ線レンズ２８のための位置決め部品４２と、Ｘ線レンズ２８を備える管部材５０を位置決め部品４２に固定連結するためのレンズアセンブリ取り付け部品４４とを含む。図１に概略的にのみ示された個々の部品４０，４２，４４は、図２乃至図４の様々な図では一層詳細に図示されている。
【００２８】
図３および図４から明らかとなるように、Ｘ線遮蔽部品４０は、位置決め装置１６全体をシャッタ１４（そしてＸ線源１２）に固定装着するための二つのねじ孔４８を備える外側フランジ４６を有する。そのため外側フランジ４６は、シャッタ１４・Ｘ線源１２に対する位置決め・遮蔽モジュール１６の中間部材として機能する。Ｘ線遮蔽部品４０はさらに、Ｘ線ビームを基本的に管部材５０の導入開口部９０に制限するための構造要素を有する。
【００２９】
以下でさらに詳しく説明するように、Ｘ線レンズ２８は管部材５０の内部に固定取り付けされている。また管部材５０は取り付け部品４４に固定連結されている。取り付け部品４４は、位置決め部品４２に装着されるベース部材５２を有する。ベース部材５２は、管部材５０を収容するための中央開口部を有する。外側ねじ部分５６を備える複数の凸部５４が、ベース部材５２の開口部から管部材５０の軸方向に延出する。
【００３０】
レンズ取り付け部品４４はさらに、管部材５０が延在する中央開口部を備えるカラー部材５８を有する。カラー部材５８は、凸部５４にねじ止めされ、外側ねじ部分５６と協働する。管部材５０に対して垂直にカラー部材５８に延在する追加のねじ（不図示）により、ねじがカラー部材５８へねじ止めされると、凸部５４の少なくとも一つの自由端部は管形部材５０の方へ移動する。したがって、一方の管形部材５０と他方のレンズ取り付け部品４４との間のクランプ接続が確立される。
【００３１】
位置決め部品４２は、レンズ取り付け部品４４の上流に配置され、二つの平行移動ステージ６０，６２に加えて二つの角度計（角移動）ステージ６４，６６を含む。図２から分かるように、レンズ取り付け手段４４のベース部材５２は、第１平行移動ステージ６０の底部に装着されている。
【００３２】
個々の位置決めステージ６０，６２，６４，６６は前後に配置されている。最も下流の位置決めステージとしての第１平行移動ステージ６０から始まり、第２平行移動ステージ６２と、第１角度計ステージ６４と、最も上流の位置決めステージとしての第２角度計ステージ６６が続く。位置決めステージ６０，６２，６４，６８の各々は、管形部材５０が延在する中央Ｘ線通路６８，７０，７２，７４をそれぞれ有する。
【００３３】
組合せでは、第１平行移動ステージ６０と第２平行移動ステージ６２とはｘｙ平行移動ステージを形成する。したがって、第１平行移動ステージ６０は、図２では管形部材５０の軸に対して垂直かつ描画面に対して平行に延在する第１平行移動軸すなわちｘ軸を有する。第２平行移動ステージ６２は、ｘ軸に対して垂直かつ管形部材５０の軸に対して垂直に延在する第２平行移動軸すなわちｙ軸を有する。それぞれのノブにより、第１および第２平行移動ステージ６０，６２は相互に独立して作動する。図面に示されていない代替例では、第１および第２平行移動軸の両方に対して垂直に延在する第３平行移動軸（ｚ軸）を有する第３平行移動ステージが設けられてもよい。
【００３４】
二つの角度計ステージ６４，６６は、二つの平行移動ステージ６０，６２の上流に配置されている。組合せでは、第１角度計ステージ６４と第２角度計ステージ６６とは、共通回転中心の周りの二つの独立した回転を行うシータ・フィー角度計を形成する。この共通回転中心は、図１に示された「ホットスポット」３６、つまりＸ線源１２のＸ線放射部分により概ね構成される。
【００３５】
第１角度計ステージ６４の作動は、図１に示された「ホットスポット」３６を通り、光軸３０に対して垂直な図１の描画面に延在する第１傾斜軸を中心として、（Ｘ線レンズを備える）管部材５０を傾斜させる。第２角度計ステージ６６の作動は、やはり「ホットスポット」３６を通り、第１傾斜軸と図１の描画面の両方に対して垂直である第２傾斜軸を中心として管部材５０を傾斜させる。
【００３６】
Ｘ線遮蔽部品４０（図１には概略的にのみ示されているが図４には完全な形で示されている）は、フランジ部分４６（図４）の開口部９２に延在するねじを介して第２平行移動ステージ６６の上流端部に装着されている。遮蔽部品４０は、管形部材５０の上流（導入）開口部９０により画定される円形Ｘ線通路の外側のＸ線をすべて遮断する構造を持ち、こうして位置決め部品４２をＸ線から効果的に遮蔽する。したがって、位置決め部品４２（平行移動ステージ６０，６２および角度計ステージ６４，６６など）の個々の部品は、Ｘ線の安全問題なしで、概してＸ線に対して透過性であるかほぼ透過性である従来の材料（アルミニウムなど）から製造される。
【００３７】
図５は、管部材５０と、管部材５０の内部に取り付けられたキャピラリＸ線レンズ２８とを含むＸ線レンズアセンブリの断面図を示す。図２と４を参照してすでに説明したＸ線の導入開口部９０に追加して、管部材５０はさらにＸ線の導出開口部９４を含む。図５に示された実施形態では、管部材５０は、Ｘ線レンズ２８の長さよりも長い長さを有する。代替実施形態では、管部材５０の長さは、Ｘ線レンズ２８の長さと等しいかこれより短くなるように選択される。
【００３８】
図５に示されたＸ線レンズアセンブリは、弾性Ｏリングの形の二つの取り付け構造９６Ａ，９６Ｂを有する。第１取り付け構造２６Ａは管部材５０の導出開口部９４に近接して配置され、第２取り付け構造９６は導入開口部９０に近接して配置されている。二つの取り付け構造９６Ａ，９６Ｂは、管部材５０の内面とＸ線レンズ２８の外面との間に設けられる室９８を規定する。管部材５０におけるＸ線レンズ２８の位置を確実に安定化する硬化接着剤が室９８に充填される。接着剤は、二つの取り付け構造９６Ａ，９６Ｂの間の範囲の管部材５０の壁に設けられた開口部１００から室９８に充填されている。
【００３９】
図５に示されたＸ線レンズアセンブリは、以下のように製造することができる。最初に、二つの取り付け構造（つまりＯリング）９６Ａ，９６ＢがＸ線レンズ２８の本体に置かれ、前もって位置決めされる。その後、Ｘ線レンズ２８が取り付け構造９６Ａ，９６Ｂとともに管部材５０に導入される。次のステップでは、Ｘ線レンズ２８が管部材５０に対して正しい軸方向位置に置かれる。図５に示された実施形態では、管部材５０の導入開口部９０と同じ平面にＸ線レンズ２８の導入開口部１０２を配置することにより、正しい軸方向位置が得られる。この平面は、管部材５０およびＸ線レンズ２８の軸と直角に交差する。
【００４０】
Ｘ線レンズが管部材５０内の正しい軸方向位置に置かれてしまうと、取り付け構造９６Ａ，９６Ｂが管部材５０へ均一に押圧される。Ｘ線レンズ２８の樽形状（中央が両端部よりも厚い）のため、管部材５０へ（両側から）押入されると、弾性取り付け構造９６Ａ，９６Ｂは拡張する。この拡張により、Ｘ線レンズ２８は管部材５０にクランプされる。さらに、取り付け構造９６Ａ，９６Ｂは、室９８の横方向端部の流体密封終端部となる。取り付け構造９６Ａ，９６Ｂを管部材５０へ押入すると、Ｘ線レンズ２８は自動的にセンタリングされる。より詳しく述べると、Ｘ線レンズ２８の長手軸は管部材５０の長手軸に対して整合される。
【００４１】
次のステップでは、管部材５０に対するＸ線レンズ２８の軸方向位置が再度チェックされ、必要であれば補正される。最後のステップでは、管部材５０の壁の一つ以上の開口部１００から、粘性を持つ接着剤が室９８へ導入される。比較的高い粘性を持つ接着剤（シリコン接着剤など）を選択することにより、開口部１００の数および寸法を抑えることができる。開口部１００の数は４個以下まで抑えられることが好ましく、多くの場合には２個の開口部１００で充分である。
【００４２】
組立状態では、管部材５０は、運搬および／または取り付け部品４４への取り付けおよび／または位置決め部品４２による調節の間、キャピラリＸ線レンズ２８の機械的保護として機能する。管部材５０は異なる寸法のＸ線レンズ２８を収容できるため、取り付け部品４４を管部材５０の外径に予め適合させることができる。追加で、Ｘ線レンズ２８の調節の基準は、管部材５０の導入開口部９０または導出開口部９４により画定される平面となるように選択することができる。したがって、（たとえばＸ線レンズ２８の異なる導入焦点距離により）必要となるＸ線レンズ２８の軸方向位置の変動は、管部材５０内におけるＸ線レンズ２８の適切な軸方向位置を選択することにより対処される。したがって、異なるタイプのＸ線レンズ２８を調節するための付加的な特製フランジまたはアダプタの必要はない。管部材５０内におけるＸ線２８の軸方向位置について残る公差（一般的には±２．５ｍｍ以下）は、図１乃至４に示された位置決めユニット４２により補正される。
【００４３】
特定の実施形態に関して本発明を説明したが、本発明がここに説明および図示された具体的な実施形態に限定されないことは当業者に明らかである。そのため、本開示が単に例示的であることは言うまでもない。本発明は、添付の特許請求の範囲に記載された範囲のみにより限定されるものとする。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明のＸ線分光計の一実施形態の断面図を示す。
【図２】図１のＸ線分光計に含まれるレンズアセンブリの取り付け・位置決め装置の断面図を示す。
【図３】図２の装置の下流端部の斜視図を示す。
【図４】図２の装置の上流端部の斜視図を示す。
【図５】レンズ取り付けアセンブリの一実施形態の断面図を示す。
【図１】
2009505110.tif 000003
【図２】
2009505110.tif 000004
【図３】
2009505110.tif 000005
【図４】
2009505110.tif 000006
【図５】
2009505110.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月21日(2007.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線の導入開口部（９０）およびＸ線の導出開口部（９４）を含む管部材（５０）と、
安定化材によって前記管部材（５０）の内部に取り付けられたキャピラリＸ線レンズ（２８）と、
を有するＸ線レンズアセンブリ。
【請求項２】
前記安定化材が接着剤を含む、請求項１に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項３】
さらに、前記導入開口部（９０）と前記導出開口部（９４）との間の範囲において前記Ｘ線レンズ（２８）と前記管部材（５０）との間に画定される少なくとも一つの室（９８）を有する、請求項１または２に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項４】
前記少なくとも一つの室（９８）に前記安定化材が充填される、請求項３に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項５】
さらに、前記導入開口部（９０）と前記導出開口部（９４）との間に配置された少なくとも一つの別の開口部（１００）を有し、該少なくとも一つの別の開口部（１００）が前記室（９８）と連通状態にある、請求項３または４に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項６】
前記安定化材が前記少なくとも一つの別の開口部（１００）から前記室（９８）へ充填されている、請求項４または５に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項７】
前記Ｘ線レンズ（２８）が一つ以上の取り付け構造（９６Ａ，９６Ｂ）により前記管部材（５０）の内部に取り付けられる、請求項１乃至６のいずれかに記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項８】
前記少なくとも一つの室（９８）が、軸方向に離間した二つの取り付け構造（９６Ａ，９６Ｂ）により前記管部材（５０）の軸方向に規定される、請求項７に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項９】
前記一つ以上の取り付け構造が少なくとも一つの弾性部材（９６Ａ，９６Ｂ）を有する、請求項７または８に記載のＸ線レンズ。
【請求項１０】
前記少なくとも一つの弾性部材が弾性リング（９６Ａ，９６Ｂ）を有する、請求項９に記載のＸ線レンズアセンブリ。
【請求項１１】
前記少なくとも一つの取り付け構造（９６Ａ，９６Ｂ）が、前記管部材（５０）の内部における前記Ｘ線レンズ（２８）の軸方向変位を可能にする、請求項７乃至１０のいずれかに記載のＸ線レンズ。
【請求項１２】
Ｘ線源（１２）と、
Ｘ線の導入開口部（９０）およびＸ線の導出開口部（９４）を有する管部材（５０）ならびに安定化材によって前記管部材（５０）の内部に取り付けられたキャピラリＸ線レンズ（２８）を有するＸ線レンズアセンブリと、
を有するＸ線装置。
【請求項１３】
Ｘ線の導入開口部（９０）およびＸ線の導出開口部（９４）を有する管部材（５０）を用意し、
キャピラリＸ線レンズ（２８）を用意し、
安定化材によって前記管部材（５０）の内部に前記Ｘ線レンズ（２８）を取り付ける、
Ｘ線レンズアセンブリの製造方法。
【請求項１４】
前記Ｘ線レンズ（２８）の取り付けが、
軸方向に離間した少なくとも二つのレンズ取り付け構造（９６Ａ，９６Ｂ）を前記管部材（５０）と前記Ｘ線レンズ（２８）との間に配置するステップ、
を含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記Ｘ線レンズ（２８）の取り付けが、
前記管部材（５０）と前記Ｘ線レンズ（２８）との間に少なくとも一つの室（９８）を画定するステップと、
前記少なくとも一つの室（９８）に安定化材を充填するステップと、
を含む、請求項１３または１４に記載の方法。
【国際調査報告】
2009505110.tif 000008
2009505110.tif 000009