(57)【要約】  液滴塗布装置（２）において、塗布対象物（Ｋ１、Ｋ２）に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッド（２ｄ）と、塗布対象物（Ｋ１、Ｋ２）と塗布ヘッド（２ｄ）とを相対移動させる移動機構（２ｃ）と、複数の液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内で塗布対象物（Ｋ１、Ｋ２）を回転させる回転機構（２ｂ）とを備える。
2009060884.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドと、
前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させる移動機構と、
前記複数の液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内で前記塗布対象物を回転させる回転機構と、
を備えることを特徴とする液滴塗布装置。
【請求項２】
前記回転機構は、前記塗布液が塗布された前記塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせるときに前記第１塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向と前記第２塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように前記塗布対象物を回転させることを特徴とする請求項１記載の液滴塗布装置。
【請求項３】
前記回転機構は、前記平面内で前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとの相対移動方向に対して前記塗布対象物を傾けることを特徴とする請求項１又は２記載の液滴塗布装置。
【請求項４】
塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドにより前記複数の液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内で前記塗布対象物を回転させる工程と、
前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させながら、前記塗布ヘッドにより前記塗布対象物に前記塗布液を塗布する工程と、
を有することを特徴とする液滴塗布方法。
【請求項５】
前記回転させる工程では、前記塗布液が塗布された前記塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせるときに前記第１塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向と前記第２塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように前記塗布対象物を回転させることを特徴とする請求項４記載の液滴塗布方法。
【請求項６】
前記回転させる工程では、前記平面内で前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとの相対移動方向に対して前記塗布対象物を傾けることを特徴とする請求項４又は５記載の液滴塗布方法。
【請求項７】
塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッド、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させる移動機構、及び前記複数の液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内で前記塗布対象物を回転させる回転機構を具備する液滴塗布装置と、
前記塗布液が塗布された前記塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせる貼り合わせ装置と、
を備えることを特徴とする液晶表示パネルの製造装置。
【請求項８】
前記回転機構は、前記貼り合わせ規定に基づいて、前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせるときに前記第１塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向と前記第２塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように前記塗布対象物を回転させることを特徴とする請求項７記載の液晶表示パネルの製造装置。
【請求項９】
前記回転機構は、前記平面内で前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとの相対移動方向に対して前記塗布対象物を傾けることを特徴とする請求項７又は８記載の液晶表示パネルの製造装置。
【請求項１０】
塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドにより前記複数の液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内で前記塗布対象物を回転させる工程と、
前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させながら、前記塗布ヘッドにより前記塗布対象物に前記塗布液を塗布する工程と、
前記塗布液が塗布された前記塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせる工程と、
を有することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項１１】
前記回転させる工程では、前記貼り合わせ規定に基づいて、前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせるときに前記第１塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向と前記第２塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように前記塗布対象物を回転させることを特徴とする請求項１０記載の液晶表示パネルの製造方法。
【請求項１２】
前記回転させる工程では、前記平面内で前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとの相対移動方向に対して前記塗布対象物を傾けることを特徴とする請求項１０又は１１記載の液晶表示パネルの製造方法。
【請求項１３】
塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドと、
前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを前記塗布対象物の表面に沿う方向に相対移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、前記塗布液が塗布された前記塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせるときに前記第１塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向と前記第２塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させることを特徴とする液滴塗布装置。
【請求項１４】
塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドと前記塗布対象物とを相対移動させながら、前記塗布ヘッドにより前記塗布対象物に前記塗布液を塗布する工程を有し、
前記塗布する工程では、前記塗布液が塗布された前記塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせるときに前記第１塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向と前記第２塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させることを特徴とする液滴塗布方法。
【請求項１５】
塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドと、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを前記塗布対象物の表面に沿う方向に相対移動させる移動機構とを具備する液滴塗布装置と、
前記塗布液が塗布された前記塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせる貼り合わせ装置と、
を備え、
前記移動機構は、前記貼り合わせ規定に基づいて前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせるときに前記第１塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向と前記第２塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させることを特徴とする液晶表示パネルの製造装置。
【請求項１６】
塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドと前記塗布対象物とを相対移動させながら、前記塗布ヘッドにより前記塗布対象物に前記塗布液を塗布する工程と、
前記塗布液が塗布された前記塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせる工程と、
を有し、
前記塗布する工程では、前記貼り合わせ規定に基づいて前記第１塗布対象物及び前記第２塗布対象物を貼り合わせるときに前記第１塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向と前記第２塗布対象物に対して前記複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように、前記塗布対象物と前記塗布ヘッドとを相対移動させることを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴塗布装置、液滴塗布方法、液晶表示パネルの製造装置及び液晶表示パネルの製造方法に関し、特に、塗布対象物に液滴を吐出して塗布する液滴塗布装置及び液滴塗布方法と、液晶表示パネルを製造する液晶表示パネルの製造装置及び液晶表示パネルの製造方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴塗布装置は、液晶表示パネル等の表示装置を製造する場合等、塗布対象物としての基板上に例えば配向膜等の塗布膜を形成する際に用いられている（例えば、特許文献１参照）。この液滴塗布装置は、基板に向けて塗布液を複数の吐出孔（ノズル）からそれぞれ液滴として吐出（噴射）する塗布ヘッドを備えている。液滴塗布装置は、ステージ上の基板と塗布ヘッドとを相対移動させながら、その塗布ヘッドにより基板の塗布面に複数の液滴を順次着弾させ、基板の塗布面上に配向膜等の塗布膜を形成する。【０００３】
液晶表示パネルの製造工程では、貼り合わす２枚の基板の各々の表示領域上に配向膜が液滴塗布装置により形成される。その後、それらの基板のいずれか一方の基板上に表示領域を囲むようにシール剤が塗布され、その塗布されたシール剤の囲み領域内に液晶が滴下される。最後に、真空チャンバ等内の真空雰囲気中で滴下後の基板と他方の基板との位置合わせが行われた後、滴下後の基板と他方の基板とが加圧されて貼り合わされ、液晶表示パネルが生成される。
【特許文献１】特開平９−１０５９３７号公報
【発明の開示】
【０００４】
しかしながら、前述の製造工程において、貼り合わす２枚の基板に対して同じ縦方向に各液滴を順次塗布しているため、２枚の基板を貼り合わせた液晶表示パネルでは筋状（縞状）の表示ムラ（目視ムラ）が目立つ傾向にあり、液晶表示パネルの品質を低下させている。
【０００５】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、筋状の表示ムラに起因する液晶表示パネルの品質低下を防止することができる液滴塗布装置、液滴塗布方法、液晶表示パネルの製造装置及び液晶表示パネルの製造方法を提供することである。
【０００６】
本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴塗布装置において、塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドと、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させる移動機構と、複数の液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内で塗布対象物を回転させる回転機構とを備えることである。
【０００７】
本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、液滴塗布方法において、塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドにより複数の液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内で塗布対象物を回転させる工程と、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させながら、塗布ヘッドにより塗布対象物に塗布液を塗布する工程とを有することである。
【０００８】
本発明の実施の形態に係る第３の特徴は、液晶表示パネルの製造装置において、塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッド、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させる移動機構、及び複数の液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内で塗布対象物を回転させる回転機構を具備する液滴塗布装置と、塗布液が塗布された塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる貼り合わせ装置とを備えることである。
【０００９】
本発明の実施の形態に係る第４の特徴は、液晶表示パネルの製造方法において、塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドにより複数の液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内で塗布対象物を回転させる工程と、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させながら、塗布ヘッドにより塗布対象物に塗布液を塗布する工程と、塗布液が塗布された塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる工程とを有することである。
【００１０】
本発明の実施の形態に係る第５の特徴は、液滴塗布装置において、塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドと、塗布対象物と塗布ヘッドとを塗布対象物の表面に沿う方向に相対移動させる移動機構とを備え、移動機構は、塗布液が塗布された塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせるときに第１塗布対象物に対して複数の液滴が順次着弾した塗布方向と第２塗布対象物に対して複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させることである。
【００１１】
本発明の実施の形態に係る第６の特徴は、液滴塗布方法において、塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドと塗布対象物とを相対移動させながら、塗布ヘッドにより塗布対象物に塗布液を塗布する工程を有し、塗布する工程では、塗布液が塗布された塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせるときに第１塗布対象物に対して複数の液滴が順次着弾した塗布方向と第２塗布対象物に対して複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させることである。
【００１２】
本発明の実施の形態に係る第７の特徴は、液晶表示パネルの製造装置において、塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドと、塗布対象物と塗布ヘッドとを塗布対象物の表面に沿う方向に相対移動させる移動機構とを具備する液滴塗布装置と、塗布液が塗布された塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる貼り合わせ装置とを備え、移動機構は、貼り合わせ規定に基づいて第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせるときに第１塗布対象物に対して複数の液滴が順次着弾した塗布方向と第２塗布対象物に対して複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させることである。
【００１３】
本発明の実施の形態に係る第８の特徴は、液晶表示パネルの製造方法において、塗布対象物に向けて塗布液を複数の液滴として吐出する塗布ヘッドと塗布対象物とを相対移動させながら、塗布ヘッドにより塗布対象物に塗布液を塗布する工程と、塗布液が塗布された塗布対象物としての第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせる工程とを有し、塗布する工程では、貼り合わせ規定に基づいて第１塗布対象物及び第２塗布対象物を貼り合わせるときに第１塗布対象物に対して複数の液滴が順次着弾した塗布方向と第２塗布対象物に対して複数の液滴が順次着弾した塗布方向とが交差するように、塗布対象物と塗布ヘッドとを相対移動させることである。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の実施の一形態に係る液晶表示パネルの製造装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、図１に示す液晶表示パネルの製造装置が備える液滴塗布装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【図３】図３は、図２に示す液滴塗布装置が行う塗布動作時の各塗布ヘッドと基板との位置関係を概略的に示す平面図である。
【図４】図４は、図１に示す液晶表示パネルの製造装置が備えるラビング装置の概略構成を示す模式図である。
【図５】図５は、図１に示す液晶表示パネルの製造装置が備えるシール剤塗布装置の概略構成を示す模式図である。
【図６】図６は、図１に示す液晶表示パネルの製造装置が備える液晶滴下装置の概略構成を示す模式図である。
【図７】図７は、図１に示す液晶表示パネルの製造装置が備える貼り合わせ装置の概略構成を示す模式図である。
【図８】図８は、図１に示す液晶表示パネルの製造装置が行う製造動作の流れを示すフローチャートである。
【図９】図９は、図８に示す液晶表示パネルの製造装置が行う製造動作に基づく液滴塗布及び貼り合わせを説明するための説明図である。
【図１０】図１０は、図２に示す液滴塗布装置の変形例である液滴塗布装置が行う塗布動作時の各塗布ヘッドと基板との位置関係を概略的に示す平面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。【００１６】
図１に示すように、液晶表示パネルの製造装置１は、塗布対象物としての第１基板Ｋ１及び第２基板Ｋ２（以下、単に基板Ｋ１、Ｋ２とする）に液滴を塗布する液滴塗布装置２と、液滴が塗布された基板Ｋ１、Ｋ２に対してベーク処理を行うベーク装置３と、ベーク処理が行われた基板Ｋ１、基板Ｋ２に対してラビング処理を行うラビング装置４と、ラビング処理が行われた基板Ｋ１に対してシール剤を塗布するシール剤塗布装置５と、シール剤が塗布された基板Ｋ１に対して液晶を滴下する液晶滴下装置６と、液晶が滴下された基板Ｋ１とラビング処理が行われた基板Ｋ２との貼り合わせを行う貼り合わせ装置７と、貼り合わされた基板Ｋ１及び基板Ｋ２である液晶表示パネルＰに対してシール剤硬化を行うシール剤硬化装置８と、各部を制御する制御装置９とを備えている。【００１７】
液滴塗布装置２は、図２に示すように、基板Ｋ１、Ｋ２が水平状態（図２中、Ｘ軸方向とそれに直交するＹ軸方向に沿う状態）で載置されるステージ２ａと、そのステージ２ａをθ方向（図２中、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に沿う平面内での回転方向）に回転させる回転機構２ｂと、その回転機構２ｂを介してステージ２ａをＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構２ｃと、ステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２に向けて塗布液を複数の液滴としてそれぞれ吐出する複数の塗布ヘッド２ｄと、それらの塗布ヘッド２ｄを支持する支持部材２ｅと、各部を制御する制御部２ｆと、Ｙ軸移動機構２ｃ及び支持部材２ｅを支持する架台２ｇとを備えている。【００１８】
ステージ２ａは回転機構２ｂ上に載置され、θ方向にその中心を回転中心として回転可能に設けられている。このステージ２ａは回転機構２ｂによりθ方向に回動する。なお、ステージ２ａには、基板Ｋ１、Ｋ２が自重により載置されるが、これに限るものではなく、例えば、その基板Ｋ１、Ｋ２を保持するため、静電チャックや吸着チャック等の機構を設けるようにしてもよく、また、基板Ｋ１、Ｋ２を支持する出没可能な複数の支持ピン等を設けるようにしてもよい。【００１９】
回転機構２ｂはＹ軸移動機構２ｃ上に載置され、Ｙ軸方向に移動可能に設けられている。この回転機構２ｂは、ステージ２ａと共にＹ軸移動機構２ｃによりＹ軸方向に移動する。回転機構２ｂは制御部２ｆに電気的に接続されており、その駆動が制御部２ｆにより制御される。なお、回転機構２ｂとしては、例えば、モータを駆動源とする回転機構等を用いる。【００２０】
Ｙ軸移動機構２ｃは架台２ｇ上に載置され、回転機構２ｂをステージ２ａと共にＹ軸方向に案内して移動させる移動機構である。このＹ軸移動機構２ｃは制御部２ｆに電気的に接続されており、その駆動が制御部２ｆにより制御される。なお、Ｙ軸移動機構２ｃとしては、例えば、リニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構等を用いる。【００２１】
各塗布ヘッド２ｄは、支持部材２ｅに例えば直線状又は千鳥状に配設されている。これらの塗布ヘッド２ｄは、液滴を吐出する複数の吐出孔にそれぞれ連通する複数の液室及びそれらの液室の容積をそれぞれ変える複数の圧電素子（いずれも図示せず）を各々内蔵している。各吐出孔は、所定のピッチ（間隔）で直線状に並べて塗布ヘッド２ｄの吐出面に形成されている。例えば、吐出孔の数は数十個から数百個程度であり、吐出孔の直径は数μｍから数十μｍ程度であり、さらに、吐出孔のピッチは数十μｍから数百μｍ程度である。各塗布ヘッド２ｄは制御部２ｆに電気的にそれぞれ接続されており、それらの駆動が制御部２ｆにより制御される。【００２２】
塗布ヘッド２ｄは、各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、各圧電素子により各液室の容積を変化させ、各液室内の塗布液をそれらの液室にそれぞれ連通する吐出孔から液滴として吐出する。配向膜形成用の塗布液は、その塗布液を貯留する液体タンクからチューブ等を介して液体タンクから各液室内に供給される。これにより、各液室は塗布液により満たされている。この状態で、圧電素子が駆動されると、駆動した圧電素子に対応する液室内の塗布液がその液室に連通する吐出孔から押し出され、液滴として吐出される。なお、配向膜形成用の塗布液としては、例えばポリイミド（ＰＩ）溶液を用いる。【００２３】
支持部材２ｅは、各塗布ヘッド２ｄを支持する門型のコラムである。この支持部材２ｅは、その延伸部がＸ軸方向に沿うように位置付けられ、その脚部が架台２ｇの上面に固定されて架台２ｇ上に設けられている。なお、各塗布ヘッド２ｄは延伸部の前面（図２中の手前側の面）に設けられている。【００２４】
制御部２ｆは、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータと、塗布に関する塗布情報や各種のプログラム等を記憶する記憶部と（いずれも図示せず）を備えている。この制御部２ｆは架台２ｇ内に設けられている。塗布情報は、ドットパターン等の所定の塗布パターン、塗布ヘッド２ｄの吐出周波数及び基板Ｋ１、Ｋ２の移動速度に関する情報等を含んでいる。このような制御部２ｆは、塗布動作を行う場合、塗布情報に基づいて回転機構２ｂ、Ｙ軸移動機構２ｃ及び各塗布ヘッド２ｄを制御する。【００２５】
塗布動作では、制御部２ｆは、回転機構２ｂを制御し、図３に示すように、各塗布ヘッド２ｄから複数の液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内、例えば吐出方向に直交する平面内（図３中、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に沿う平面内）で、各塗布ヘッド２ｄと基板Ｋ１、Ｋ２との相対移動方向（図３中の矢印：主走査方向）に対してステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２を傾ける。すなわち、制御部２ｆは回転機構２ｂによりθ方向に所定角度だけステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２を回転させる。この状態で、制御部２ｆは、Ｙ軸移動機構２ｃ及び各塗布ヘッド２ｄを制御し、Ｙ軸移動機構２ｃにより各塗布ヘッド２ｄとステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２とを相対移動させながら、各塗布ヘッド２ｄによりステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２に各液滴を塗布し、基板Ｋ１、Ｋ２上に複数の配向膜Ｍを形成する。これらの配向膜Ｍは、多面取りを目的として基板Ｋ１、Ｋ２に設けられた複数の表示領域上にそれぞれ形成される。【００２６】
図１に戻り、ベーク装置３はホットプレートあるいはベーク炉等を備えている。このベーク装置３は、各配向膜Ｍが塗布された基板Ｋ１、Ｋ２に対してベーク処理を行い、その基板Ｋ１、Ｋ２上の各配向膜Ｍを乾燥させる。【００２７】
ラビング装置４は、図４に示すように、基板Ｋ１、Ｋ２が載置されるステージ４ａと、そのステージ４ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２の各配向膜Ｍに対してラビング布４ｂによりラビングするラビングローラ４ｃとを備えている。ステージ４ａ及びラビングローラ４ｃは基板Ｋ１、Ｋ２の平面方向に相対移動可能に形成されている。ラビング布４ｂはラビングローラ４ｃに巻回されて設けられている。このラビング装置４は、ステージ４ａとラビングローラ４ｃとを相対移動させ、相対移動するステージ４ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２に対してラビング処理を行う。これにより、基板Ｋ１、Ｋ２の各配向膜Ｍの表面には、所定方向に伸びる微少な傷（溝状の傷）が多数形成される。その結果、基板Ｋ１、Ｋ２の各配向膜Ｍは多数の傷の延伸方向に液晶分子を配向させることができる。【００２８】
シール剤塗布装置５は、図５に示すように、ラビング処理が行われた基板Ｋ１が載置されるステージ５ａと、そのステージ５ａ上の基板Ｋ１の各配向膜Ｍの周囲にシール剤Ｂを塗布するシール剤塗布ヘッド５ｂとを備えている。ステージ５ａ及びシール剤塗布ヘッド５ｂは基板Ｋ１の平面方向に相対移動可能に形成されている。シール剤塗布ヘッド５ｂはシール剤Ｂを吐出するためのノズルＮ１を有しており、相対移動するステージ５ａ上の基板Ｋ１に対してシール剤Ｂを塗布する。このシール剤塗布装置５は、シール剤の塗布パターンに基づいてステージ５ａとシール剤塗布ヘッド５ｂとを相対移動させ、相対移動するステージ５ａ上の基板Ｋ１に対してシール剤塗布ヘッド５ｂによりシール剤Ｂを塗布する。このとき、シール剤塗布ヘッド５ｂは、基板Ｋ１の各配向膜Ｍの周囲、すなわち各表示領域を囲むようにシール剤Ｂを塗布する。これにより、基板Ｋ１の各配向膜Ｍの周囲には、表示領域を囲む矩形状のシール剤Ｂのパターンが形成される。【００２９】
液晶滴下装置６は、図６に示すように、シール剤Ｂが塗布された基板Ｋ１が載置されるステージ６ａと、そのステージ６ａ上の基板Ｋ１の各表示領域（シール剤Ｂにより囲まれた各領域）上に液晶を滴下する液晶滴下ヘッド６ｂとを備えている。ステージ６ａ及び液晶滴下ヘッド６ｂは基板Ｋ１の平面方向に相対移動可能に形成されている。液晶滴下ヘッド６ｂは液晶を滴下するためのノズルＮ２を有しており、ステージ６ａ上の基板Ｋ１に対して液晶を滴下する。この液晶滴下装置６は、ステージ６ａと液晶滴下ヘッド６ｂとを相対移動させて液晶滴下ヘッド６ｂを所定の滴下位置に位置付け、ステージ６ａ上の基板Ｋ１に対して液晶滴下ヘッド６ｂにより液晶を滴下する。このとき、液晶滴下ヘッド６ｂは、必要な液晶量に応じて、基板Ｋ１の各表示領域上、すなわちシール剤Ｂにより囲まれた各領域上に液晶を数回滴下する。これにより、基板Ｋ１の各表示領域上には、必要量の液晶が滴下される。【００３０】
貼り合わせ装置７は、図７に示すように、真空容器である真空チャンバ７ａと、その真空チャンバ７ａ内に設けられ基板Ｋ１を水平状態（図７中、Ｘ軸方向とそれに直交するＹ軸方向に沿う状態）で保持する第１基板保持部としての第１ステージ７ｂと、真空チャンバ７ａ内に設けられ基板Ｋ２を水平状態で保持する第２基板保持部としての第２ステージ７ｃと、第１ステージ７ｂをＸＹθ方向に移動させる第１ステージ移動機構７ｄと、第１ステージ７ｂに対して第２ステージ７ｃを接離方向であるＺ軸方向に移動させる第２ステージ移動機構７ｅと、真空チャンバ７ａ内を減圧する減圧部７ｆとを備えている。【００３１】
真空チャンバ７ａは、開閉可能に形成された開閉扉Ｄを有している。この開閉扉Ｄから基板Ｋ１及び基板Ｋ２が真空チャンバ７ａ内に搬入されてそれぞれ第１ステージ７ｂ及び第２ステージ７ｃに供給される。この開閉扉Ｄが閉じられた状態で真空チャンバ７ａの内部が減圧部７ｆにより減圧されて真空状態（大気圧より低い圧力の状態）になる。【００３２】
この真空チャンバ７ａの下方には、基板位置合わせ用の複数の撮像部Ｃ１、Ｃ２が設けられている。これらの撮像部Ｃ１、Ｃ２としては、例えばＣＣＤカメラ等を用いる。また、真空チャンバ７ａには、透光性を有する複数の透光部Ｔ１、Ｔ２が設けられており、第１ステージ７ｂには、それらの透光部Ｔ１、Ｔ２にそれぞれ対向する複数の貫通孔Ａ１、Ａ２が設けられている。各透光部Ｔ１、Ｔ２及び各貫通孔Ａ１、Ａ２は、各撮像部Ｃ１、Ｃ２が、基板Ｋ１の端部及び基板Ｋ２の端部にそれぞれ付与された複数のアライメントマーク（位置合わせ用マーク）を撮像可能に位置付けられ設けられている。【００３３】
第１ステージ７ｂは、吸引吸着や静電吸着等の保持機構により基板Ｋ１を保持する下ステージである。基板Ｋ１は第１ステージ７ｂの保持面に載置され、保持機構により保持される。なお、基板Ｋ１の貼り合わせ面（第２ステージ７ｃに対向する面）には、各配向膜Ｍ及び枠状のシール剤Ｂが塗布されており、さらに、液晶も滴下されている。【００３４】
第２ステージ７ｃは、吸引吸着や静電吸着等の保持機構により基板Ｋ１に対向させて基板Ｋ２を保持する上ステージである。基板Ｋ２は第２ステージ７ｃの保持面に載置され、保持機構により保持される。なお、基板Ｋ２の貼り合わせ面（第１ステージ７ｂに対向する面）には、各配向膜Ｍが塗布されている。【００３５】
第１ステージ移動機構７ｄは、第１ステージ７ｂをＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθ方向（図７中、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に沿う平面内での回転方向）に移動させる機構である。この第１ステージ移動機構７ｄは、第１ステージ７ｂをＸＹθ方向に移動させ、離間した状態の基板Ｋ１と基板Ｋ２との位置合わせを行う。なお、位置合わせは、基板Ｋ１の端部に位置するアライメントマーク及び基板Ｋ２の端部に位置するアライメントマークが各撮像部Ｃ１、Ｃ２により撮像され、それらの画像に基づいて行われる。【００３６】
第２ステージ移動機構７ｅは、第２ステージ７ｃをＺ軸方向に移動させる機構である。この第２ステージ移動機構７ｅは、真空チャンバ７ａが真空状態であるとき、第２ステージ７ｃをＺ軸方向に移動させ、第１ステージ７ｂと第２ステージ７ｃとを接近させ、シール剤Ｂを介して基板Ｋ１と基板Ｋ２とを貼り合わせる。【００３７】
減圧部７ｆは、真空チャンバ７ａ内の雰囲気（気体）を排気するための排気配管としての排気パイプＨにより真空チャンバ７ａに接続されている。この減圧部７ｆとしては、例えば真空ポンプ等を用いる。減圧部７ｆは、真空チャンバ７ａ内の雰囲気を排気パイプＨを介して吸引して排気し、真空チャンバ７ａ内を減圧して真空状態にする。【００３８】
図１に戻り、シール剤硬化装置８は、貼り合わせが行われた基板Ｋ１及び基板Ｋ２である液晶表示パネルＰに対して紫外線照射を行う紫外線照射装置である。これは、シール剤Ｂとして、紫外線硬化型のシール剤を用いた場合であり、他のシール剤を用いた場合には、他のシール剤硬化装置を用いる。このシール剤硬化装置８により紫外線が液晶表示パネルＰに照射され、液晶表示パネルＰ中のシール剤Ｂが硬化される。【００３９】
制御装置９は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータと、液晶表示パネル製造に関する製造情報や各種のプログラム等を記憶する記憶部（いずれも図示せず）とを備えている。この制御装置９は、製造情報及び各種のプログラムに基づいて、液滴塗布装置２、ベーク装置３、ラビング装置４、シール剤塗布装置５、液晶滴下装置６、貼り合わせ装置７及びシール剤硬化装置８等を制御する。なお、これらの装置間の基板Ｋ１、Ｋ２の搬送はロボットやベルトコンベア等の搬送装置（図示せず）により行われる。この搬送装置も制御装置９により制御される。【００４０】
次に、前述の液晶表示パネルＰの製造装置１が行う製造動作について説明する。なお、製造装置１の制御装置９が各種のプログラムに基づいて製造処理を実行する。【００４１】
図８に示すように、制御装置９は液滴塗布装置２により基板Ｋ１、Ｋ２に対して液滴塗布を行う（ステップＳ１）。制御装置９は、例えば、液滴塗布装置２に液滴塗布動作を実行する命令信号を送信する。液滴塗布装置２の制御部２ｆは、制御装置９による制御に応じて（命令信号を受信して）液滴塗布処理を実行する。【００４２】
液滴塗布装置２の制御部２ｆは、基板Ｋ１、Ｋ２がステージ２ａに載置されると、塗布情報に基づいて回転機構２ｂを制御し、ステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２をθ方向に回転させて所定の角度で停止させる（図３参照）。次いで、制御部２ｆは塗布情報に基づいてＹ軸移動機構２ｃを制御し、ステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２を所定の塗布開始位置に移動させる。その後、制御部２ｆは塗布情報に基づいてＹ軸移動機構２ｃ及び各塗布ヘッド２ｄを制御し、ステージ２ａをＹ軸方向に移動させながら各塗布ヘッド２ｄに塗布液を複数の液滴として吐出させ、ステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２の塗布面（塗布面上の各表示領域）に各液滴を塗布する。このとき、各塗布ヘッド２ｄは、Ｙ軸方向に移動するステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２の塗布面に向けて液滴を吐出し、Ｘ軸方向に並ぶドット列をＹ軸方向に順次塗布する。これにより、複数の配向膜Ｍが基板Ｋ１、Ｋ２の塗布面上に形成される。なお、各塗布ヘッド２ｄは基板Ｋ１、Ｋ２の移動方向に直交するＸ軸方向に基板Ｋ１、Ｋ２の幅全体を網羅するように並べて設けられているので、基板Ｋ１、Ｋ２の塗布面の各表示領域に各配向膜Ｍを一度で形成することができる。【００４３】
このようにして、図９に示すように、基板Ｋ１、Ｋ２上には、各配向膜Ｍが形成される。ステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２の移動方向に対して基板Ｋ１、Ｋ２がθ方向に傾いているので（図３参照）、各配向膜Ｍの塗布方向は斜めになる（図９中の斜線参照）。【００４４】
ここで、基板Ｋ１は、例えば、複数のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）及び複数の画素電極等を含む電気回路を表示領域毎に有するアレイ基板である。また、基板Ｋ２は、例えば対向電極やカラーフィルタ等を表示領域毎に有する対向基板である。基板Ｋ１上の各ＴＦＴ及び各画素電極と、基板Ｋ２上のカラーフィルタにおける各着色層及びブラックマトリクスとの位置関係は設計上決定されているため、基板Ｋ１と基板Ｋ２との組み合わせも予め決定されている。したがって、その組み合わせを規定する貼り合わせ規定に基づいて基板Ｋ１と基板Ｋ２との貼り合わせが行われる。すなわち、貼り合わせ規定は、塗布後の基板Ｋ１及び基板Ｋ２を貼り合わせる場合の組み合わせ規定であり、２枚の基板Ｋ１、Ｋ２をどのような向きで、どちらの面を対向させて貼り合わせるのか、ということを規定している。【００４５】
例えば、図９では、塗布後の基板Ｋ２は裏返され、その基板Ｋ２上の各配向膜Ｍを基板Ｋ１上の各配向膜Ｍに対向させて基板Ｋ１に貼り合わされる。すなわち、基板Ｋ１及び基板Ｋ２は、基板Ｋ１の左上の配向膜Ｍと基板Ｋ２の右上の配向膜Ｍとが対向し、基板Ｋ１の中央上の配向膜Ｍと基板Ｋ２の中央上の配向膜Ｍとが対向し、基板Ｋ１の右上の配向膜Ｍと基板Ｋ２の左上の配向膜Ｍとが対向し、基板Ｋ１の左下の配向膜Ｍと基板Ｋ２の右下の配向膜Ｍとが対向し、基板Ｋ１の中央下の配向膜Ｍと基板Ｋ２の中央下の配向膜Ｍとが対向し、基板Ｋ１の右下の配向膜Ｍと基板Ｋ２の左下の配向膜Ｍとが対向するように貼り合わされる。このような貼り合わせは貼り合わせ規定に基づいて行われる。【００４６】
したがって、回転機構２ｂは、基板Ｋ１と基板Ｋ２との組み合わせを規定する貼り合わせ規定に基づいて、塗布後の基板Ｋ１及び基板Ｋ２を貼り合わせる場合に基板Ｋ１に対して各液滴が順次着弾した塗布方向（配向膜Ｍの塗布方向）と基板Ｋ２に対して各液滴が順次着弾した塗布方向（配向膜Ｍの塗布方向）とが交差するように、各塗布ヘッド２ｄと基板Ｋ１、Ｋ２との相対移動方向（主走査方向）に対して基板Ｋ１、Ｋ２を傾ける回転動作を行っている。なお、回転機構２ｂは必ずしもステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２を一回転以上回転させるものではなく、少なくとも基板Ｋ１と基板Ｋ２の塗布方向を交差させることが可能な程度にステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２を調整することができるように構成されていればよい。【００４７】
次いで、制御装置９はベーク装置３により配向膜形成後の基板Ｋ１、Ｋ２に対してベーク処理を行う（ステップＳ２）。ベーク装置３は、制御装置９による制御に応じて、各配向膜Ｍが形成された基板Ｋ１、Ｋ２に対してベーク処理を行う。これにより、基板Ｋ１、Ｋ２上の各配向膜Ｍは乾燥する。【００４８】
さらに、制御装置９はラビング装置４によりベーク処理後の基板Ｋ１、Ｋ２に対してラビング処理を行う（ステップＳ３）。ラビング装置４は、基板Ｋ１、Ｋ２がステージ４ａ上に載置されると、制御装置９による制御に応じて、ステージ４ａとラビングローラ４ｃとを相対移動させ、相対移動するステージ４ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２に対してラビング処理を行う（図４参照）。これにより、基板Ｋ１、Ｋ２の各配向膜Ｍの表面には、所定方向に伸びる微少な傷（溝状の傷）が多数形成される。【００４９】
その後、制御装置９はシール剤塗布装置５によりラビング処理後の基板Ｋ１に対してシール剤塗布を行う（ステップＳ４）。このシール剤塗布装置５は、基板Ｋ１がステージ５ａ上に載置されると、制御装置９による制御に応じて、シール剤Ｂの塗布パターンに基づいてステージ５ａとシール剤塗布ヘッド５ｂとを相対移動させ、相対移動するステージ５ａ上の基板Ｋ１に対してシール剤塗布ヘッド５ｂによりシール剤Ｂを塗布する（図５参照）。このとき、シール剤塗布装置５は、基板Ｋ１の各配向膜Ｍの周囲、すなわち所定の各表示領域を囲むようにシール剤Ｂを塗布する。これにより、基板Ｋ１の各配向膜Ｍの周囲には、シール剤Ｂが表示領域を囲むように塗布される。【００５０】
さらに、制御装置９は液晶滴下装置６によりシール剤塗布後の基板Ｋ１に対して液晶滴下を行う（ステップＳ５）。この液晶滴下装置６は、基板Ｋ１がステージ６ａ上に載置されると、制御装置９による制御に応じて、ステージ６ａと液晶滴下ヘッド６ｂとを相対移動させて液晶滴下ヘッド６ｂを所定の滴下位置に位置付け、ステージ６ａ上の基板Ｋ１に対して液晶滴下ヘッド６ｂにより液晶を滴下する。このとき、液晶滴下装置６は、必要な液晶量に応じて、基板Ｋ１の各表示領域上、すなわちシール剤Ｂにより囲まれた各領域上に液晶を数回滴下する。これにより、シール剤Ｂにより囲まれた各領域内には、必要量の液晶が滴下される。【００５１】
その後、制御装置９は貼り合わせ装置７により液晶滴下後の基板Ｋ１とラビング処理後の基板Ｋ２との貼り合わせを行う（ステップＳ６）。貼り合わせ装置７は、基板Ｋ１及び基板Ｋ２が第１ステージ７ｂ及び第２ステージ７ｃ上にそれぞれ保持されると、制御装置９による制御に応じて、減圧部７ｆにより真空チャンバ７ａ内の雰囲気を排気パイプＨを介して吸引して排気し、真空チャンバ７ａ内を減圧して真空状態にする（図７参照）。その状態で、貼り合わせ装置７は、第２ステージ７ｃをＺ軸方向に移動させ、第１ステージ７ｂと第２ステージ７ｃとを近接させ、シール剤Ｂを介して基板Ｋ１と基板Ｋ２とを貼り合わせ、液晶表示パネルＰを形成する。なお、貼り合わせ前の基板Ｋ１及び基板Ｋ２は真空チャンバ７ａの開閉扉Ｄから第１ステージ７ｂ及び第２ステージ７ｃにそれぞれ供給され、貼り合わせ後の液晶表示パネルＰは真空チャンバ７ａの開閉扉Ｄから取り出される。【００５２】
この貼り合わせ工程では、前述のように、図９に示すような基板Ｋ２が裏返されて、基板Ｋ２上の各配向膜Ｍを基板Ｋ１上の各配向膜Ｍに対向させて基板Ｋ１に貼り合わされる。このような貼り合わせは貼り合わせ規定に基づいて行われる。これにより、図９に示すように、基板Ｋ１に対する塗布方向と基板Ｋ２に対する塗布方向とが菱形の格子状に交差することになる。【００５３】
最後に、制御装置９はシール剤硬化装置８により液晶表示パネルＰ中のシール剤硬化を行う（ステップＳ７）。シール剤硬化装置８は、制御装置９による制御に応じて、貼り合わせ後の基板Ｋ１及び基板Ｋ２である液晶表示パネルＰに対して紫外線照射を行う。これにより、紫外線が液晶表示パネルＰに照射され、液晶表示パネルＰ中のシール剤Ｂが硬化される。【００５４】
このような製造動作において、塗布工程では、基板Ｋ１及び基板Ｋ２の貼り合わせ規定に基づいて、塗布後の基板Ｋ１及び基板Ｋ２を貼り合わせる場合に基板Ｋ１の塗布方向と基板Ｋ２の塗布方向とが交差するように、基板Ｋ１、Ｋ２と各塗布ヘッド２ｄとの相対移動方向（主走査方向）に対して基板Ｋ１、Ｋ２が傾けられる。すなわち、ステージ２ａは回転機構２ｂによりθ方向に所定の角度だけ傾斜され、ステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２がθ方向に回転して停止する。この状態で、ステージ２ａがＹ軸移動機構２ｃによりＹ軸方向に移動しながら、各塗布ヘッド２ｄにより各液滴がステージ２ａ上の基板Ｋ１、Ｋ２に順次塗布される。【００５５】
その後、貼り合わせ工程では、図９に示すように、塗布後の基板Ｋ２が裏返されて、基板Ｋ２上の各配向膜Ｍを基板Ｋ１上の各配向膜Ｍに対向させて基板Ｋ１に貼り合わされる。この貼り合わせは貼り合わせ規定に基づいて行われる。これにより、基板Ｋ１に対する塗布方向と基板Ｋ２に対する塗布方向とが菱形の格子状に交差することになる。したがって、各基板Ｋ１、Ｋ２の配向膜Ｍに塗布方向に沿う筋状の塗布ムラが生じたとしても、これらの筋状の塗布ムラが２枚の基板Ｋ１、Ｋ２の貼り合わせによって重なり合い強調されて表示ムラとなって現れることが防止され、従来の筋状（縦縞状）の表示ムラに比べて目立たなくなるので、液晶表示パネルＰの品質低下を防止することができる。【００５６】
以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、各液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内で基板Ｋ１、Ｋ２を回転させる回転機構２ｂを設けることによって、塗布後の基板Ｋ１及び基板Ｋ２を貼り合わせる場合に基板Ｋ１に対する塗布方向と基板Ｋ２に対する塗布方向とが交差するように基板Ｋ１、Ｋ２に対して各液滴を順次塗布することが可能となる。これにより、各配向膜Ｍが形成された基板Ｋ１及び基板Ｋ２が貼り合わされると、基板Ｋ１に対する塗布方向と基板Ｋ２に対する塗布方向とが交差するので、各基板Ｋ１、Ｋ２の配向膜Ｍに塗布方向に沿う筋状の塗布ムラが生じたとしても、これらの筋状の塗布ムラが２枚の基板Ｋ１、Ｋ２の貼り合わせによって重なり合い強調されて表示ムラとなって現れることが防止され、従来の筋状（縦縞状）の表示ムラに比べ目立たなくなる。その結果、筋状の表示ムラに起因する液晶表示パネルＰの品質低下を防止することができる。特に、回転機構２ｂは、塗布後の基板Ｋ１及び基板Ｋ２を貼り合わせる場合の貼り合わせ規定に基づいて、塗布後の基板Ｋ１及び基板Ｋ２を貼り合わせるときに基板Ｋ１に対する塗布方向と基板Ｋ２に対する塗布方向とが交差するように基板Ｋ１、Ｋ２を回転させる。【００５７】
また、回転機構２ｂは、各液滴が吐出される吐出方向に交差する平面内で基板Ｋ１、Ｋ２と各塗布ヘッド２ｄとの相対移動方向に対して基板Ｋ１、Ｋ２を傾けることによって、各配向膜Ｍの塗布方向は斜めになり、各配向膜Ｍが形成された基板Ｋ１及び基板Ｋ２が貼り合わされると、基板Ｋ１に対する塗布方向と基板Ｋ２に対する塗布方向とが菱形や正方形等の格子状に交差するので、配向膜Ｍに塗布方向に沿う筋状の塗布ムラが生じたとしても、これらの塗布ムラが２枚の基板Ｋ１、Ｋ２の貼り合わせによって強調されて表示ムラとなって現れることが防止され、液晶表示パネルＰの表示ムラを目立たなくすることができる。【００５８】
（他の実施の形態）
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。【００５９】
例えば、本発明の実施の形態においては、基板Ｋ１及び基板Ｋ２に対して斜めに液滴を順次塗布し、それらの基板Ｋ１及び基板Ｋ２を貼り合せているが、これに限るものではない。例えば、基板Ｋ１に縦列状に液滴を順次塗布し、基板Ｋ２に横列状に液滴を順次塗布し、それらの基板Ｋ１及び基板Ｋ２を貼り合わせるようにしてもよい。この場合にも、上述した実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。さらに、基板Ｋ１に格子状に液滴を順次塗布し、基板Ｋ２にジグザグ状（例えば、三角波状等）に液滴を順次塗布し、それらの基板Ｋ１及び基板Ｋ２を貼り合わせるようにしてもよく、加えて、基板Ｋ１に菱形の格子状に液滴を順次塗布し、基板Ｋ２にジグザグ状に液滴を順次塗布し、それらの基板Ｋ１及び基板Ｋ２を貼り合わせるようにしてもよい。これらの場合には、回転機構２ｂが格子状やジグザグ状の塗布パターンに基づいて制御部２ｆにより制御される。【００６０】
また、前述の実施の形態においては、塗布ヘッド２ｄに対して基板Ｋ１、Ｋ２を移動させるようにしているが、これに限るものではなく、基板Ｋ１、Ｋ２に対して塗布ヘッド２ｄを移動させるようにしてもよく、基板Ｋ１、Ｋ２と塗布ヘッド２ｄとを相対移動させるようにすればよい。【００６１】
さらに、前述の実施の形態においては、基板Ｋ１、Ｋ２の移動方向に直交するＸ軸方向に基板Ｋ１、Ｋ２の幅全体を網羅するように複数の塗布ヘッド２ｄを並べて用いているが、これに限るものではなく、一つの塗布ヘッド２ｄを用いるようにしてもよく、あるいはＸ軸方向に基板Ｋ１、Ｋ２の幅全体より短く複数の塗布ヘッド２ｄを並べて用いるようにしてもよい。これらの場合には、基板Ｋ１、Ｋ２の塗布面全体に複数回に分けて塗布液を塗布する制御を行う。【００６２】
また、前述の実施の形態においては、各種の数値を挙げているが、それらの数値は例示であり、限定されるものではない。【００６３】
最後に、前述の実施の形態においては、塗布方向の変更を塗布対象物である基板Ｋ１、Ｋ２の回転によって行っているが、これに限るものではなく、例えば、基板Ｋ１、Ｋ２と塗布ヘッド２ｄとの相対移動方向の変更によって行うようにしてもよい。この場合には、例えば、図１０に示すように、各塗布ヘッド２ｄをＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構１１を支持部材２ｅに設け、このＸ軸移動機構１１をＹ軸移動機構２ｃによる基板Ｋ１、Ｋ２のＹ軸方向移動中に駆動して、各塗布ヘッド２ｄをＸ軸方向に所定の移動速度で移動させる。このように、塗布ヘッド２ｄ及び基板Ｋ１、Ｋ２のどちらか一方をＸ軸方向に、その他方をＹ軸方向に同時に移動させながら塗布を行うことによって、塗布方向は斜めとなる。例えば、Ｘ軸方向とＹ軸方向の移動速度を同じ速度とし、塗布ヘッド２ｄと基板Ｋ１、Ｋ２とを相対移動させれば、基板Ｋ１、Ｋ２に対する塗布方向は４５°となる。また、Ｘ軸方向とＹ軸方向の移動速度を１：４の比にすれば、塗布方向は約１４°となる。
【産業上の利用の可能性】
【００６４】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、具体例を例示したに過ぎず、特に本発明を限定するものではなく、各部の具体的構成等は、適宜変更可能である。また、実施形態に記載された作用及び効果は、本発明から生じる最も好適な作用及び効果を列挙したに過ぎず、本発明による作用及び効果は、本発明の実施形態に記載されたものに限定されるものではない。本発明は、例えば、塗布対象物に液滴を吐出して塗布する塗布装置や塗布方法、また、液晶表示パネルを製造する製造装置や製造方法等で用いられる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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