(57)【要約】  本発明は、基板キャリヤを開放するための方法、システム及び装置を提供する。本発明は、基板キャリヤ搬送システムから基板キャリヤを受け取るための新規なロードポートを提供する。このロードポートは、ドア開放機構に対して基板キャリヤドアを保持するために真空圧を使用するように適応されたドア開放機構を含む。このロードポートは、更に、潜在的汚染物質が基板キャリヤに入らないようにするために基板キャリヤの周辺へガス流を加えるように適応される。他の種々な特徴部が設けられる。【選択図】      図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板キャリヤを開放するためのシステムにおいて、
１つ以上の基板を保持するように適応された基板キャリヤと、
基板キャリヤ搬送システムから基板キャリヤを受け取るためのロードポートと、
を備え、
上記ロードポートは、ドア開放機構を含み、上記ドア開放機構は、基板キャリヤドアを上記ドア開放機構に対して保持するために真空圧を使用するように適応される、
システム。
【請求項２】
上記ドア開放機構は、真空圧を真空源から上記基板キャリヤのドアへ加えるように適応されたポートを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
上記ドア開放機構は、更に、真空圧を上記真空源から上記基板キャリヤのドアへと向けるように適応された１つ以上のチャネルを含む、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
上記ドア開放機構は、更に、上記基板キャリヤのドアと結合し、上記ドアを上記ドア開放機構と整列させるように適応された１つ以上のキネマチック（kinematic）特徴部を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
上記ドアは、上記ドア開放機構が上記ドアに隣接しているときに、上記ドア開放機構と整列するように配設される１つ以上のカップ特徴部を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
上記１つ以上のカップ特徴部は、上記ドア開放機構に対するシールを生成するよう適応される、請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
上記ロードポートは、更に、上記基板キャリヤが上記ロードポートに隣接して配設されるときに、上記基板キャリヤの周辺にガス流を加えるように適応される、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
ロードポートにて基板キャリヤを受け取るステップと、
上記ロードポートのドアオープナーを上記基板キャリヤのドアと整列させるステップと、
上記ドアを保持するため上記ドアオープナーを介して上記ドアへ真空圧を加えるステップと、
を備えた方法。
【請求項９】
上記基板キャリヤの周辺にガス流を加えるステップを更に備えた、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
上記基板キャリヤから上記ドアを取り外すステップを更に備えた、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
上記基板キャリヤから基板を取り外すステップを更に備えた、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
上記基板キャリヤへ基板を挿入するステップを更に備えた、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
上記基板キャリヤのあるレベルより下へ上記ドアを下降させるステップを更に備えた、請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
上記ドアを上記基板キャリヤと整列させるために上記基板キャリヤの上記ドアを上昇させるステップを更に備えた、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
上記ドアから上記真空圧を取り除き、上記ドアを上記ドアオープナーから解放させるようにするステップを更に備えた、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
上記基板キャリヤの上記ドアから上記ドアオープナーを外すステップを更に備えた、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
基板キャリヤに使用するための装置において、
ドア開放機構を含むロードポートを備え、上記ドア開放機構は、基板キャリヤドアを上記ドア開放機構に対して保持するため真空圧を使用するように適応される、装置。
【請求項１８】
上記ドア開放機構は、真空圧を真空源から上記基板キャリヤの上記ドアへと加えるように適応されたポートを含む、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
上記ドア開放機構は、更に、真空圧を上記真空源から上記基板キャリヤの上記ドアへと向けるように適応された１つ以上のチャネルを含む、請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
上記ドア開放機構は、上記基板キャリヤの上記ドアに結合し、上記ドアを上記ドア開放機構と整列させるように適応された１つ以上のキネマチック特徴部を含む、請求項１７に記載の装置。
【請求項２１】
上記ドアは、上記ドア開放機構が上記ドアに隣接しているときに、上記ドア開放機構のポートと整列するように配設される１つ以上のカップ特徴部を含む、請求項１７に記載の装置。
【請求項２２】
上記１つ以上のカップ特徴部は、上記ドア開放機構に対するシールを生成するよう適応される、請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
上記ロードポートは、上記基板キャリヤが上記ロードポートに隣接して配設されるときに、上記基板キャリヤの周辺にガス流を加えるように適応される、請求項１７に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【０００１】
本願は、２００５年１２月１６日に出願され、「SMALL LOT SIZE SUBSTRATE CARRIERS」と題する米国仮特許出願第６０／７５１，０８５号（代理人管理番号９６０４／Ｌ／ＳＹＮＸ／ＳＹＮＸ）に基づく優先権を主張しており、この仮特許出願明細書の記載は、そのままここに援用される。
【０００２】
本願は、以下の同一人へ譲渡された米国特許出願と関連しており、これら米国特許出願の明細書の記載は、ここにそのまま援用される。
【０００３】
２００５年１１月２１日に出願され、「APPARATUS AND METHODS FOR A SUBSTRATE CARRIER HAVING AN INFLATABLE SEAL」と題する米国仮特許出願第６０／７３８，５４２号（代理人管理番号９６１１）。
【０００４】
２００４年２月５日に出願され、「SMALL LOT SIZE SUBSTRATE CARRIERS」と題する米国仮特許出願第６０／５４２，５１９号（代理人管理番号８８２７／Ｌ２／ＪＢ）。
【０００５】
２００４年１月２６日に出願され、「OVERHEAD TRANSFER FLANGE AND SUPPORT FOR SUSPENDING A SUBSTRATE CARRIER」と題する米国特許出願第１０／７６４，８２０号（代理人管理番号８０９２）。
【０００６】
２００３年１月２７日に出願され、「OVERHEAD TRANSFER FLANGE AND SUPPORT FOR SUSPENDING WAFER CARRIER」と題する米国仮特許出願第６０／４４３，１５３号（代理人管理番号８０９２／Ｌ）。
【０００７】
２００３年８月２８日に出願され、「System For Transporting Substrate Carriers」と題する米国特許出願第１０／６５０，３１０号（代理人管理番号６９００）。
【０００８】
２００３年８月２８日に出願され、「Method and Apparatus for Using Substrate Carrier Movement to Actuate Substrate Carrier Door Opening/Closing」と題する米国特許出願第１０／６５０，３１２号（代理人管理番号６９７６）。
【０００９】
２００３年８月２８日に出願され、「Method and Apparatus for Unloading Substrate Carriers from Substrate Carrier Transport Systems」と題する米国特許出願第１０／６５０，４８１号（代理人管理番号７０２４）。
【００１０】
２００３年８月２８日に出願され、「Method and Apparatus for supplying Substrates to a Processing Tool」と題する米国特許出願第１０／６５０，４７９号（代理人管理番号７０９６）。
【００１１】
２００２年８月３１日に出願され、「End Effector Having Mechanism For Reorienting A Wafer Carrier Between Vertical And Horizontal Orientations」と題する米国特許出願第６０／４０７，４５２号（代理人管理番号７０９７／Ｌ）。
【００１２】
２００２年８月３１日に出願され、「Wafer Loading Station with Docking Grippers at Docking Stations」と題する米国特許出願第６０／４０７，３３７号（代理人管理番号７０９９／Ｌ）。
【００１３】
２００３年８月２８日に出願され、「Substrate Carrier Door having Door Latching and Substrate Clamping Mechanism」と題する米国特許出願第１０／６５０，３１１号（代理人管理番号７１５６）。
【００１４】
２００３年８月２８日に出願され、「Substrate Carrier Handler That Unloads Substrate Carriers Directly From a Moving Conveyor」と題する米国特許出願第１０／６５０，４８０号（代理人管理番号７６７６）。
【００１５】
２００３年１月２７日に出願され、「Methods and Apparatus for Transporting Wafer Carriers」と題する米国仮特許出願第６０／４４３，０８７号（代理人管理番号７１６３／Ｌ）。
【００１６】
２００３年１月２７日に出願され、「System and Methods for Transporting Wafer Carriers Between Processing Tools」と題する米国仮特許出願第６０／４４３，００１号（代理人管理番号８２０１／Ｌ）。
【００１７】
２００３年１月２７日に出願され、「Apparatus and Method for Storing and Loading Wafer Carriers」と題する米国仮特許出願第６０／４４３，１１５号（代理人管理番号８２０２／Ｌ）。
【発明の分野】
【００１８】
本発明は、電子装置の製造に係り、より詳細には、基板キャリヤドアを開閉することに関する装置及び方法に関する。
【背景】
【００１９】
一般的に、基板（例えば、パターン形成又は非パターン形成半導体ウエハ、ガラスパネル、ポリマー基板、レチクル、マスク、ガラスプレート、等）は、どのような潜在的汚染粒子に対しても曝されないように保護されるのが好ましい。従って、このような基板は、気密容器に貯蔵されている場合がある。しかしながら、これら基板は、典型的には、電子装置製造施設内で種々な処理ツールへと搬送されねばならない。従って、密閉容器にて基板を搬送するための方法及び装置、並びにそれら基板を潜在的汚染粒子に曝すことなくそれら基板にアクセスするためのシステム及び方法が必要とされている。
【発明の概要】
【００２０】
ある態様において、本発明によれば、基板キャリヤを開放するためのシステムにおいて、１つ以上の基板を保持するように適応された基板キャリヤと、基板キャリヤ搬送システムから基板キャリヤを受け取るためのロードポートと、を備え、上記ロードポートは、ドア開放機構を含み、上記ドア開放機構は、基板キャリヤドアを上記ドア開放機構に対して保持するため真空圧を使用するように適応されるシステムが提供される。
【００２１】
他の態様において、本発明によれば、基板キャリヤをロードポートで受け取り、上記ロードポートのドアオープナーを上記基板キャリヤのドアと整列させ、上記ドアを保持するために上記ドアオープナーを介して上記ドアに真空圧を加えることを含む方法が提供される。
【００２２】
本発明の更に他の態様において、基板キャリヤに使用するための装置において、ドア開放機構を含むロードポートを備え、上記ドア開放機構は、基板キャリヤを上記ドア開放機構に対して保持するために真空圧を使用するように適応される装置が提供される。
【００２３】
本発明の他の特徴及び態様は、以下の詳細な説明、特許請求の範囲の記載及び添付図面からより十分に明らかとなろう。
【詳細な説明】
【００２４】
本発明は、基板キャリヤドアを基板キャリヤの他の部分からアンラッチングするために及び／又はそのドアを開放している間そのドアにそのドア開放機構を結合しておくために真空を使用するドア開放機構を提供する。ある実施形態では、基板キャリヤの周辺は、この基板キャリヤがドア開放機構を使用しているロードポートにおいて開放されるとき、清浄な乾燥空気又は他の非汚染ガス（例えば、Ｎ２）で洗い流される。
【００２５】
添付図面及び以下の説明は、前述したような本発明の態様を実施する特定の構成についてものである。従って、図１から図１２の特定の構成は、単に典型的なものに過ぎず、本発明に従って機能する別の種々な構成を設計きることが理解されよう。
【００２６】
図１は、オーバーヘッド移送フランジ１１３ａを有し且つ単一基板を搬送するように適応された基板キャリヤ２０１ａの典型的な実施形態である。本発明は、又、２つ以上の基板を保持するように適応された基板キャリヤにも適用できる。基板キャリヤ２０１ａは、この基板キャリヤ２０１ａ内に貯蔵された基板へアクセスできるように取り外される（以下に更に説明されるように）ドア２０３を含む。図示された典型的な実施形態では、ドア２０３は、基板キャリヤ２０１ａの他の部分に対するこのドア２０３の固定及び基板キャリヤ２０１ａの他の部分からのこのドア２０３の取り外しが選択的に行えるようにするラッチ２０５ａ、ｂを含む。このドア２０３は、基板キャリヤ２０１ａの内部へアクセスしたいとき（例えば、この基板キャリヤ２０１ａから基板を取り出すため又はこの基板キャリヤ２０１ａへ基板をロードするため）、ドア２０３がドア開放機構（後述される）によってしっかりと保持されるようにする金属又は他の磁気透過性領域（例えば鉄、ステンレス鋼等）の如き領域２０７を含む。この基板キャリヤ２０１ａの他の部分は、ポリカーボネート、Victrex PEEK（ビクトレックスピーク）（商標名）又は別の適当な材料で形成することができる。基板キャリヤの高さは、その基板キャリヤの基板容量の増大につれて増大されることに注意されたい。
【００２７】
図２Ａから図２Ｌは、基板キャリヤ２０１ａのドア２０３を開放するためのドア開放機構２０９の第１の典型的な実施形態を例示している。図２Ａから図２Ｌを参照するに、基板キャリヤ２０１ａは、（例えば、基板キャリヤが高いパッキング密度で積み重ねられるように）ブレードレシーバー１２１ａ、１２１ｂ及びオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを使用してロードポート位置２１１に支持されている。このドア開放機構２０９は、後述するように、基板キャリヤ２０１ａのドア２０３に接触して支持し且つそのドア２０３を基板キャリヤ２０１ａの他の部分の下方へと（例えば、ハウジング２１５内へと）旋回させるように適応された支持部材２１３を含む。ドア開放機構２０９及び／又はロードポート位置２１１のロードポート２１９に対して基板キャリヤをドッキング／アンドッキングするため、リニアアクチュエータ又は他のアクチュエータ２１７（例えば、空気圧、モータ駆動等のアクチュエータ）を使用することができる。
【００２８】
動作において、基板キャリヤ２０１ａは、図２Ａ及び図２Ｂに示されるように、ブレード１２１ａ、１２１ｂにより（基板キャリヤ２０１ａのオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを介して）ロードポート位置２１１に支持される。それから、基板キャリヤ２０１ａのドア２０３は、アクチュエータ２１７を介して支持部材２１３の方へと移動させられ、この支持部材２１３と接触させられる（図２Ｃ及び図２Ｄ）。以下に更に説明されるように、支持部材２１３は、このようなドッキング移動に応答して、ドア２０３をアンラッチングし、そして、支持することができる。
【００２９】
ドア２０３のアンラッチングに続いて、基板キャリヤ２０１ａは、支持部材２１３によって支持されたドア２０３を残して、ロードポート２１９から遠ざかるように移動させられる（図２Ｅ及び図２Ｆ）。それから、支持部材２１３は、（例えば、図示していない作動機構を介して）ハウジング２１５内へと下降させられる（図２Ｇから図２Ｊ）。この位置において、ドア２０３は、基板キャリヤ２０１ａより下に位置しており、図示した実施形態では、実質的に水平面にある。このような実施形態によれば、ドア２０３を収容するのに必要とされる空間量を減ずることができる（例えば、ロードポート積み重ねをより近いところとすることができる）。ドアが下降されたとき、基板キャリヤ２０１ａは、図２Ｋ及び図２Ｌに示されるように、（例えば、基板２２１をそこから取り出すことができるように）ロードポート２１９に再ドッキングされる。前述の構成においては、支持部材２１３は、ドア２０３の上方に位置しており、ドア２０３が基板キャリヤ２０１ａのドッキング又はアンドッキング中に生成される粒子によって汚染されないようにしていることに注意されたい。支持部材２１３は、任意の適当な材料（例えば、アルミニウム等の如き金属）で形成することができる。
【００３０】
図３Ａから図３Ｌは、基板キャリヤ２０１ａのドア２０３を開放するためのドア開放機構２０９′の第２の典型的な実施形態を例示している。図３Ａから図３Ｌを参照するに、基板キャリヤ２０１ａは、（例えば、基板キャリヤが高いパッキング密度で積み重ねられるように）ブレードレシーバー１２１ａ、１２１ｂ及びオーバーヘッド移送フランジ１１３ａを使用してロードポート位置２１１で支持されている。このドア開放機構２０９′は、以下に更に説明されるように、基板キャリヤ２０１ａのドア２０３に接触して支持し、、そのドア２０３を基板キャリヤ２０１ａの他の部分より下に旋回させるように適応された支持部材２１３を含む。ドア開放機構２０９′及び／又はロードポート位置２１１のロードポート２１９に対して、基板キャリヤをドッキング／アンドッキングするため、リニアアクチュエータ又は他のアクチュエータ２１７（例えば、空気圧、モータ駆動等のアクチュエータ）を使用することができる。図３Ａから図３Ｌのドア開放機構２０９′は、図３Ｇから図３Ｌに示されるように、支持部材２１３が下方に旋回されるときにドア２０３が基板キャリヤ２０１ａの方に向いている以外は、図２Ａから図２Ｌのドア開放機構２０９と同様に動作する。このような構成では、ドア２０３は、基板キャリヤ２０１ａのドッキング／アンドッキング中に生成される粒子に対して曝されることになる。
【００３１】
図４Ａ及び図４Ｂは、基板キャリヤ２０１ａのドア２０３を開放するためのドア開放機構２０９′′の第３の典型的な実施形態を例示している。図４Ａ及び図４Ｂを参照するに、このドア開放機構２０９′′は、基板キャリヤ２０１ａのドア２０３（図４Ａ及び図４Ｂにおいては見えない）をアンラッチングし支持する（図２Ａから図２Ｌ及び図３Ａから図３Ｌに関して説明したのと同様な仕方にて）支持部材（図示していない）を含む。しかしながら、このドア開放機構２０９′′は、ドア２０３の中心軸の周りに（及び／又は支持部材（図示していない）の中心軸の周りに）ドア２０３を回転させるように適応された回転装置（例えば、モータ）と、ドア（及び／又は支持部材）を基板キャリヤ２０１ａの下方へと下降させるように適応されたリニアアクチュエータ４０３と、を含む。このようにして、ドア２０３は、取り外され、回転されて、ほぼ水平とされ、基板キャリヤ２０１ａより下へと下降させられることができるのである。ドア２０３は、リニアアクチュエータ４０３を介して下降させられた後に回転させることができることに注意されたい。少なくとも１つの実施形態では、回転装置４０１は、ドア２０３と共に上昇及び／又は下降移動できる。
【００３２】
図５Ａから図５Ｅは、基板キャリヤ２０１ａのドア２０３を開放するためのドア開放機構２０９′′′の第４の典型的な実施形態を例示している。図５Ａから図５Ｅを参照するに、このドア開放機構２０９′′′は、以下に更に説明するように、基板キャリヤ２０１ａのドア２０３に接触して支持し、そのドア２０３を基板キャリヤ２０１ａの他の部分より下へと旋回させるように適応された支持部材２１３を含む。ロードポート２１１の１つ以上の側部には、支持部材２１３の１つ以上の特徴部５０３（１つの側部のみで示している）（例えば、カムホロワ）を受け入れるように適応されたチャネル５０１（１つの側部のみで示している）（例えば、カムスロット）が設けられる。このチャネル５０１は、基板キャリヤ２０１ａのドア２０３をその基板キャリヤ２０１ａの他の部分に対して下降させ旋回させるのに使用される。
【００３３】
動作において、基板キャリヤ２０１ａは、支持部材２１３と接触するようにドッキングされる。図示した実施形態では、支持部材２１３のアンラッチング特徴部５０５が、基板キャリヤ２０１ａのラッチ（以下に説明する）に係合し、ドア２０３をアンラッチングする。基板キャリヤドア２０３が基板キャリヤ２０１ａから遠ざかるように移動されるとき、係合特徴部５０７（例えば、図示した実施形態では電磁石）がそのドア２０３に接触しそのドア２０３を保持する（図５Ａ）。それから、作動機構（図示していない）が、支持部材２１３のチャネル５０５及び特徴部を使用して、その支持部材２１３及びドア２０３を基板キャリヤ２０１ａの下へと下降させることができる（図５Ｂ）。少なくとも１つの実施形態では、アンラッチング特徴部５０５を同時に移動させるために、リンク５０９（図５Ｄ）を使用することができる。
【００３４】
図６Ａから図６Ｇは、典型的な基板キャリヤ２０１ａの種々な構成部分を例示している。図６Ａから図６Ｇを参照するに、基板キャリヤ２０１ａは、上部６０１及び底部６０３を含む。ドア２０３の前面斜視図及び背面斜視図は、それぞれ図６Ｄ及び図６Ｅに示されている。このドアは、前述したようなラッチ２０５ａ、ｂ及び領域２０７、並びにこのドアがラッチングされているときに基板キャリヤ２０１ａ内に配置された基板に接触し支持するように適応された基板支持部材６０５（図６Ｅ）を含む。
【００３５】
図６Ｇは、ラッチ２０５ｂの拡大部分である。図６Ｇに示されるように、ラッチ２０５ｂは、基板キャリヤドアオープナーのアンラッチング機構によって係合されて回転される回転部分６０７を含む。この回転部分６０７の第１及び第２の延長部６０９ａ、６０９ｂは、この回転部分から半径方向に延長して、基板キャリヤ２０１ａのガイド特徴部６１１ａ、６１１ｂに係合する。これらガイド特徴部６１１ａ、６１１ｂは、（例えば、延長部６０９ａ、６０９ｂが図６Ｇに例示されたような位置にあるとき）ドア２０３を所定位置にラッチング（ロッキング）することができる。ドアをアンラッチングするのには、回転部分６０７は、延長部６０９ａ、６０９ｂがガイド特徴部６１１ａ、６１１ｂから外れるように、（図６Ｇの実施形態では時計方向に）回転される。少なくとも１つの実施形態では、回転部分６０７は、延長部６０９ａ、６０９ｂがほぼ水平面内にくるように、約９０度だけ回転することができる。回転部分６０７を既知の位置に保持するように延長部６０９ａ、６０９ｂのうちの１つに係合する保持特徴部６１３を設けることができる。このような位置において、ドア２０３は、基板キャリヤ２０１ａから取り外すことができる。
【００３６】
図７Ａから図７Ｅは、本発明の一実施形態による複数の基板キャリヤを貯蔵するための装置２４０１を例示している。図７Ａから図７Ｅを参照するに、この装置２４０１は、複数の基板キャリヤ２４０９−２４１３をドッキング又はアンドッキングするように適応された積み重ね構成における複数のロードポート２４０３−２４０７を含む。これらロードポート２４０３−２４０７は、単一基板又はより多くの基板を貯蔵する基板キャリヤをドッキング／アンドッキングするように適応される。少なくとも１つの実施形態では、この装置２４０１は、最も低いロードポート２４０３に配置された基板キャリヤ２４０９に貯蔵された底部基板が２５基板の基板キャリヤにおける最も低い基板に対応し、最も高いロードポート２４０７に配置された基板キャリヤに貯蔵された上部基板が２５基板キャリヤにおける最も高い基板に対応するような寸法とすることができる。このようにして、この装置２４０１は、従来の２５基板の基板キャリヤが占めるスペースと同じスペースにて複数の基板キャリヤ２４０９−２４１３を貯蔵することができる。他のロードポート間隔を使用することもできる。これらロードポート２４０３−２４０７の構造は、前述したロードポート２１９と同様であり、これらロードポート２４０３−２４０７は、前述したのと同様の仕方で基板キャリヤ２４０９−２４１３を支持する。
【００３７】
これらロードポート２４０３−２４０７の各々は、本発明の一実施形態による基板キャリヤドアを取り外すためのドア開放機構２４１５を含む。この装置２４０１は、各ドア開放機構２４１５に対応する及び／又は各ドア開放機構に結合されるフイッティング２４１９を含む。各フイッティング２４１９は、ドア開放機構２４１５の１つへ真空を与えるように適応されている。更に又、この装置２４０１は、各ドア開放機構２４１５に対応する及び／又は各ドア開放機構２４１５に結合されるアクチュエータ２４２１を含む。（モータ又は同様のアクチュエータのような）各アクチュエータ２４２１は、（例えば、水平位置から垂直位置へ又はその逆に）以下に更に説明するように、ドア開放機構２４１５を回転させるように適応されている。基板キャリヤドア２４１７の詳細については、図８Ａから図８Ｃに関して以下に説明し、ドア開放機構２４１５の詳細について、図９Ａから図１２に関して以下に説明する。
【００３８】
図７Ｃ及び図７Ｄは、本発明の一実施形態による装置２４０１の側面図及び側断面図をそれぞれ例示している。図７Ｃ及び図７Ｄを参照するに、前述したロードポート２１９と同様に、ロードポート２４０３−２４０７の各々は、前述したブレードレシーバー１２１ａ、１２１ｂと同様の１つ以上のブレードレシーバー２４２５を含むことができる。更に又、基板キャリヤ２４０９−２４１３の各々は、前述したオーバーヘッド移送フランジ１１３ａと同様のオーバーヘッド移送フランジ２４２７を含む。このようにして、ロードポート２４０３−２４０７のブレードレシーバー２４２５は、オーバーヘッド移送フランジ２４２７を介して基板キャリヤ２４０９−２４１３を支持することができる。基板キャリヤ２４０９−２４１３をロードポート２４０３−２４０７のブレードレシーバー２４２５へロードするために（又は、基板キャリヤ２４０９−２４１３をそこからアンロードするために）、エンドエフェクタ２４２９を使用することができる。
【００３９】
図７Ｅは、本発明の一実施形態による装置２４０１の背面図を例示している。この図７Ｅを参照するに、ロードポート２４０３−２４０７は、基板キャリヤ２４０９−２４１３がロードポート２４０３−２４０７に貯蔵されるとき、基板キャリヤ２４０９−２４１３とロードポート２４０３−２４０７との間に、基板キャリヤ２４０９−２４１３を実質的に取り巻くスペース２４３０が与えられるような寸法とされる。ある実施形態では、基板キャリヤ２４０９−２４１３の周りの環境を清浄に維持するため、清浄な空気又は別の清浄なガス（例えば、窒素、アルゴン等）が装置２４０１の前において下方へ吹き出される。このような実施形態では、装置２４０１の前面に高圧領域が生成される。従って、清浄な空気は、ロードポート２４０３−２４０７の前面から各スペース２４３０を通してロードポート２４０３−２４０７の背面へと流れる。このようにして、基板キャリヤ２４０９−２４１３の外側表面は、このような空気（又は他のガス）によって洗い流される。これにより、粒子又は他の汚染物質は、（基板キャリヤが開放されているとき）基板キャリヤ２４０９−２４１３に入らず、更に／又は装置２４０１に結合され、そこから基板を受け取るように適応された処理ツールに入らないようにさせられる。
【００４０】
図８Ａから図８Ｃは、図７Ａのドア２４１７の典型的な実施形態を例示している。これら図８Ａから図８Ｃを参照するに、基板キャリヤ２４０９−２４１３を密閉するための典型的なドア２４１７は、ロードポート２４０３−２４０７のドア開放機構２４１５の対応するレジストレーション特徴部に結合するように適応された１つ以上の特徴部２４３１（例えば、ソケット、スロット等）を含む。これら特徴部２４３１は、（例えば、図９Ａ及び図９Ｂに関して以下に説明するようなドア２４１７の特徴部２４３１とドア開放機構２４１５の対応する特徴部２６０３との間のキネマチック整列を介して）ドア２４１７をドア開放機構２４１５に対して適切に整列させるようにする。一実施形態では、特徴部２４３１は、円又は楕円形状であってよい。しかしながら、これら１つ以上の特徴部は、ことなった形状とすることもできる。ドア２４１７は２つの特徴部２４３１を含むのであるが、より多くの又はより少ない数の特徴部２４３１を使用することもできる。
【００４１】
ドア２４１７は、ドア開放機構２４１５から真空圧を受けて、この真空圧に応答して、基板キャリヤ２４０９−２４１３の他の部分から解放され（例えば、アンラッチング又はアンロッキングされ）、更に／又はドア開放機構２４１５に結合される（例えば、固着される）ように適応されている。例えば、ドア２４１７（例えば、ドア２４１７の外側方向に向いた面）は、真空圧を受け入れるための１つ以上の通路２４３３を含むことができる。ある実施形態では、これら通路２４３３は、基板キャリヤ２４０９−２４１３の本体にドア２４１７を固定又は密閉するのに使用されるドア２４１７の周辺の周りのブラダー（図示せず）に結合される。１つの特定の実施形態では、ドア２４１７は、そのブラダーが膨張している間には、基板キャリヤ２４０９−２４１３から取り外すことができず、ブラダーが収縮している間に、基板キャリヤ２４０９−２４１３から取り外すことができる。別の仕方として、通路２４３３は、ドア２４１７を基板キャリヤ２４０９−２４１３の本体からアンラッチングするための異なる機構（例えば、異なる真空作動機構）に通じるようにされるか、又は、この通路は、ドア２４１７がドア開放機構２４１５により真空を介して保持されるようにドア２４１７の中心平面Ａ（図８Ｃ）の方へ単に通じるようにされる。
【００４２】
ドア２４１７は、通路２４３３に真空が維持されるようにするためのシール２４３５を各通路２４３３の周り（例えば、各通路と同心に）含む。各シール２４３５の部分２４３７は、ドア２４１７から延び出している。各シール２４３５は、ゴム、別の弾性材料、又は任意の他の適当な材料で形成することができる。ある実施形態では、ドア２４１７は、シール２４３５を含み、従って、これらシール２４３５は、これらシールがドア開放機構２４１５にある場合よりも、より容易に交換できる。しかしながら、１つ以上のシール２４３５をドア開放機構２４１５に含ませることもできる。
【００４３】
図９Ａ及び図９Ｂは、本発明の一実施形態によるドア開放機構２４１５の前面斜視図を例示している。これら図９Ａ及び９Ｂを参照するに、ドア開放機構２４１５は、ベアリング２６０１を含み、ドア開放機構２４１５を装置２４０１に結合するシャフト（図示していない）がそのベアリング２６０１を通して挿入される。このベアリング２６０１は、ドア開放機構２４１５が、後述するように、装置２４０１に対して旋回できるようにする。
【００４４】
ドア開放機構２４１５の前面側２６０２は、ドア２４１７の各特徴部２４３１（図８Ａ）に対応する１つ以上の特徴部２６０３（例えば、パッド又はピン）を含む。これら特徴部２６０３は、ドア２４１７の対応する特徴部２４３１と組み合って、ドア２４１７をドア開放機構２４１５と適切に整列するようにさせるように適応されている（従って、そのような寸法及び形状とされている）。これら特徴部２６０３は円又は楕円形状として図示されているが、他の形状とすることもできる。
【００４５】
ドア開放機構２４１５の前面側２６０２は、ドア２４１７に含まれた１つ以上の通路２４３３（図８Ａ）に対応する１つ以上の孔２６０５を含む。図１０Ａ及び図１０Ｂは、ドア開放機構２４１５の背面斜視図を例示している。これら図１０Ａ及び図１０Ｂを参照するに、ドア開放機構２４１５の背面側２７０３にポケット２７０１が形成されている。このポケット２７０１は、１つ以上の孔２６０５が結合されるチャネル２７０５を含む。ドア開放機構２４１５は、通路２７０９を介してチャネル２７０５に結合されるフイッティング２７０７を含む。ドア開放機構２４１５のこのフイッティング２７０７は、（例えば、真空源に結合するため）装置２４０１の対応するフイッティング２４１９（図７Ａ）に結合される。カバー２７１１がドア開放機構２４１５の背面側２７０３に結合され（例えば、接着される）、チャネル２７０５を密閉する。カバー２７１１及び／又はドア開放機構２４１５の他の部分は、任意の適当な材料で形成することができる。少なくとも１つの実施形態では、チャネル２７０５は、幅ｗ１及び高さｈを有するＵ字形状とすることができる。このチャネル２７０５は、その他の形状とすることもできる。
【００４６】
図１１は、図９Ｂの線１１−１１に沿ってとったドア開放機構２４１５の側断面図である。１つ以上の実施形態では、この特徴部２６０３は、半径ｒ１及び幅ｗ２を有する。図１２は、ドア開放機構２４１５が基板キャリヤドア２４１７に結合されているときのドア開放機構２４１５の（図９Ｂの線１２−１２に沿って切断した）側断面図である。
【００４７】
動作において、アクチュエータ（図１２には示されておらず、図９Ａ及び図９Ｂでは参照符号２４２１で示されている）により、ドア開放機構２４１５がドア２４１７に結合する（例えば、ドア２４１７と組み合う）ように、ドア開放機構２４１５が回転させられる。より具体的には、アクチュエータ２４２１は、ドア開放機構２４１５を回転させ、ドア開放機構２４１５の特徴部２６０３がドア２４１７の各対応する特徴部２４３１に結合し、ドア開放機構２４１５の孔２６０５がドア２４１７の通路２４３３に整列し、シール２４３５がドア開放機構２４１５の前面側２６０２の領域（例えば、孔２６０５と同中心の）に対して結合／密閉されるようにする。
【００４８】
ドア開放機構２４１５が基板キャリヤ２４０９−２４１３のドア２４１７に結合されている間、（例えば、真空源（図示せず）により）装置２４０１のフイッティング２４１９（及びドア開放機構２４１５のフイッティング２７０７、通路２７０９及びチャネル２７０５）を介して孔２６０５へ真空が与えられる。従って、孔２６０５は、ドア２４１７の通路２４３３へ真空を与え、ドア２４１７は、ドア開放機構２４１５に対して保持される。それから、アクチュエータ２４２１は、ドア２４１７を回転させて各基板キャリヤ本体との係合から外れるようにし、ドア２４１７がほぼ水平となるようにし、ドア２４１７を各ロードポート２４０３−２４０７より下方へと（例えば、ハウジング内へと）下げる。
【００４９】
更に又、ドア２４１７を基板キャリヤ２４０９−２４１３の他の部分からアンラッチング又はアンロッキングするための機構（例えば、真空作動機構）に通路２４３３が結合されるような実施形態では、ドア作動機構２４１５によって与えられる真空により、このようなドアアンラッチング機構を作動させるようにすることもできる。例えば、膨張させられているときに基板キャリヤ２４０９−２４１３の本体に対してドア２４１７を固定しているドア２４１７の周辺の周りのブラダーを、ドア作動機構２４１５によって（孔２６０５を介して）与えられる真空により収縮させることができ、これにより、ドア２４１７が取り外されるようにすることができる。
【００５０】
本発明の典型的な実施形態についてのみ前述してきたのであるが、当業者には、本発明の範囲内に入る前述の装置及び方法の種々な変形が可能であることは容易に明らかであろう。例えば、オーバーヘッドキャリヤ支持体１１１ａ及びオーバーヘッド移送フランジ１１３ａは、任意の適当な材料（例えば、自由にスライドでき且つ長期間に亘って耐摩耗性を示す材料）で形成することができる。オーバーヘッドキャリヤ支持体及び／又はオーバーヘッド移送フランジのための典型的な材料としては、金属（例えば、ステンレス鋼、アルミニウム等）、プラスチック（例えば、ポリカーボネート、ポリエチレン、他の超高分子量又は高密度プラスチック、ナイロン、ＰＴＦＥ等）、又は他の同様の材料がある。プラスチック構成部分は、成型することもできるし、他の仕方で製造することもできる。又、前述の実施形態では、装置２４０１のフイッティング２４１９、ドア開放機構２４１５のフイッティング２７０７、通路２７０９及びチャネル２７０５を介してドア開放機構２４１５の孔２６０５へ真空が与えられているのであるが、他の実施形態では、異なる経路を通して孔２６０５へ真空を与えることもできる。ある実施形態では、基板キャリヤに対してドアをロッキング及びアンロッキングするためラッチを作動させるのに真空圧を使用することができる。
【００５１】
従って、本発明を典型的な実施形態に関して説明してきたのであるが、特許請求の範囲の記載により限定されるような本発明の精神及び範囲内に入る他の種々な実施形態が可能であることは理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】オーバーヘッド移送フランジを有し、単一基板を搬送するように適応されている基板キャリヤの典型的な実施形態である。
【図２Ａ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図２Ｂ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図２Ｃ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図２Ｄ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図２Ｅ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図２Ｆ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図２Ｇ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図２Ｈ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図２Ｉ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図２Ｊ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図２Ｋ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図２Ｌ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第１の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ａ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ｂ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ｃ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ｄ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ｅ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ｆ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ｇ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ｈ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ｉ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ｊ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ｋ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図３Ｌ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第２の典型的な実施形態を例示している。
【図４Ａ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第３の典型的な実施形態を例示している。
【図４Ｂ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第３の典型的な実施形態を例示している。
【図５Ａ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第４の典型的な実施形態を例示している。
【図５Ｂ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第４の典型的な実施形態を例示している。
【図５Ｃ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第４の典型的な実施形態を例示している。
【図５Ｄ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第４の典型的な実施形態を例示している。
【図５Ｅ】基板キャリヤのドアを開放するためのドア開放機構の第４の典型的な実施形態を例示している。
【図６Ａ】典型的な基板キャリヤの種々な構成部分を例示している。
【図６Ｂ】典型的な基板キャリヤの種々な構成部分を例示している。
【図６Ｃ】典型的な基板キャリヤの種々な構成部分を例示している。
【図６Ｄ】典型的な基板キャリヤの種々な構成部分を例示している。
【図６Ｅ】典型的な基板キャリヤの種々な構成部分を例示している。
【図６Ｆ】典型的な基板キャリヤの種々な構成部分を例示している。
【図６Ｇ】典型的な基板キャリヤの種々な構成部分を例示している。
【図７Ａ】本発明の一実施形態による複数の基板キャリヤを貯蔵するための装置を例示している。
【図７Ｂ】本発明の一実施形態による複数の基板キャリヤを貯蔵するための装置を例示している。
【図７Ｃ】本発明の一実施形態による複数の基板キャリヤを貯蔵するための装置を例示している。
【図７Ｄ】本発明の一実施形態による複数の基板キャリヤを貯蔵するための装置を例示している。
【図７Ｅ】本発明の一実施形態による複数の基板キャリヤを貯蔵するための装置を例示している。
【図８Ａ】本発明の一実施形態による基板キャリヤを密閉するための典型的なドアを例示している。
【図８Ｂ】本発明の一実施形態による基板キャリヤを密閉するための典型的なドアを例示している。
【図８Ｃ】本発明の一実施形態による基板キャリヤを密閉するための典型的なドアを例示している。
【図９Ａ】本発明の一実施形態によるドア開放機構の前面斜視図を例示している。
【図９Ｂ】本発明の一実施形態によるドア開放機構の前面斜視図を例示している。
【図１０Ａ】本発明の一実施形態によるドア開放機構の背面斜視図を例示している。
【図１０Ｂ】本発明の一実施形態によるドア開放機構の背面斜視図を例示している。
【図１１】本発明の一実施形態によるドア開放機構の側断面図である。
【図１２】本発明の一実施形態による基板キャリヤを密閉するためのドアに結合されたドア開放機構の側断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１１３ａ…オーバーヘッド移送フランジ、１２１ａ…ブレードレシーバー、１２１ｂ…ブレードレシーバー、２０１ａ…基板キャリヤ、２０３…ドア、２０５ａ…ラッチ、２０５ｂ…ラッチ、２０７…磁気透過性領域、２０９…ドア開放機構、２０９′…ドア開放機構、２０９′′…ドア開放機構、２０９′′′…ドア開放機構、２１１…ロードポート位置、２１３…支持部材、２１５…ハウジング、２１７…アクチュエータ、２１９…ロードポート、２２１…基板、４０１…回転装置、４０３…リニアアクチュエータ、５０１…チャネル、５０３…特徴部、５０５…アンラッチング特徴部、５０７…係合特徴部、５０９…リンク、６０１…基板キャリヤの上部、６０３…基板キャリヤの底部、６０５…基板支持部材、６０７…回転部分、６０９ａ…延長部、６０９ｂ…延長部、６１１ａ…ガイド特徴部、６１１ｂ…ガイド特徴部、６１３…保持特徴部、２４０１…基板キャリヤを貯蔵するための装置、２４０３…ロードポート、２４０５…ロードポート、２４０７…ロードポート、２４０９…基板キャリヤ、２４１１…基板キャリヤ、２４１３…基板キャリヤ、２４１５…ドア開放機構、２４１７…基板キャリヤドア、２４１９…フイッティング、２４２１…アクチュエータ、２４２５…ブレードレシーバー、２４２７…オーバーヘッド移送フランジ、２４２９…エンドエフェクタ、２４３０…基板キャリヤを取り巻くスペース、２４３１…特徴部、２４３３…通路、２４３５…シール、２４３７…シールの部分、２６０１…ベアリング、２６０２…ドア開放機構の前面側、２６０３…特徴部、２６０５…孔、２７０１…ポケット、２７０３…ドア開放機構の背面側、２７０５…チャネル、２７０７…フイッティング、２７０９…通路、２７１１…カバー
【図１】
2009520352.tif 000003
【図２Ａ】
2009520352.tif 000004
【図２Ｂ】
2009520352.tif 000005
【図２Ｃ】
2009520352.tif 000006
【図２Ｄ】
2009520352.tif 000007
【図２Ｅ】
2009520352.tif 000008
【図２Ｆ】
2009520352.tif 000009
【図２Ｇ】
2009520352.tif 000010
【図２Ｈ】
2009520352.tif 000011
【図２Ｉ】
2009520352.tif 000012
【図２Ｊ】
2009520352.tif 000013
【図２Ｋ】
2009520352.tif 000014
【図２Ｌ】
2009520352.tif 000015
【図３Ａ】
2009520352.tif 000016
【図３Ｂ】
2009520352.tif 000017
【図３Ｃ】
2009520352.tif 000018
【図３Ｄ】
2009520352.tif 000019
【図３Ｅ】
2009520352.tif 000020
【図３Ｆ】
2009520352.tif 000021
【図３Ｇ】
2009520352.tif 000022
【図３Ｈ】
2009520352.tif 000023
【図３Ｉ】
2009520352.tif 000024
【図３Ｊ】
2009520352.tif 000025
【図３Ｋ】
2009520352.tif 000026
【図３Ｌ】
2009520352.tif 000027
【図４Ａ】
2009520352.tif 000028
【図４Ｂ】
2009520352.tif 000029
【図５Ａ】
2009520352.tif 000030
【図５Ｂ】
2009520352.tif 000031
【図５Ｃ】
2009520352.tif 000032
【図５Ｄ】
2009520352.tif 000033
【図５Ｅ】
2009520352.tif 000034
【図６Ａ】
2009520352.tif 000035
【図６Ｂ】
2009520352.tif 000036
【図６Ｃ】
2009520352.tif 000037
【図６Ｄ】
2009520352.tif 000038
【図６Ｅ】
2009520352.tif 000039
【図６Ｆ】
2009520352.tif 000040
【図６Ｇ】
2009520352.tif 000041
【図７Ａ】
2009520352.tif 000042
【図７Ｂ】
2009520352.tif 000043
【図７Ｃ】
2009520352.tif 000044
【図７Ｄ】
2009520352.tif 000045
【図７Ｅ】
2009520352.tif 000046
【図８Ａ】
2009520352.tif 000047
【図８Ｂ】
2009520352.tif 000048
【図８Ｃ】
2009520352.tif 000049
【図９Ａ】
2009520352.tif 000050
【図９Ｂ】
2009520352.tif 000051
【図１０Ａ】
2009520352.tif 000052
【図１０Ｂ】
2009520352.tif 000053
【図１１】
2009520352.tif 000054
【図１２】
2009520352.tif 000055
【国際調査報告】
2009520352.tif 000056