(57)【要約】【課題】光学装置を小型化及び低コスト化可能な光導波路を提供すること、良品を高能率に製造可能な光導波路の製造方法を提供すること。【解決手段】クラッドフィルム１０と、クラッドフィルム１０と一体に形成されたコア２０とをもって光導波路１Ａを構成する。コア２０は、クラッドフィルム１０の片面に形成された導光部２１と、クラッドフィルム１０に開設された貫通孔１１，１２内に形成された入光部２２及び出光部２３とからなり、導光部２１と入光部２２との接続部分、及び導光部２１と出光部２３との接続部分にはミラー面２４，２５を形成する。製造時には、金型３０の凹溝形成面にクラッドフィルム１０を密着し、クラッドフィルム１０に開設された貫通孔１２から凹溝３４内に紫外線硬化性樹脂を加圧注入する。【選択図】図１
2009066699.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面に導光部を形成するための凹溝が形成された凹溝形成部材と、前記凹溝の両端部と対応する位置に第１及び第２の貫通孔が開設されたクラッドフィルムとを密着した後、前記第１貫通孔から、前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内の空気を吸引しつつ、前記第２貫通孔から、前記第２貫通孔内、前記凹溝内及び前記第１貫通孔内にコア形成用の高分子材料を加圧充填する工程を含むことを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項２】
前記凹溝形成部材が、光導波路とは別体の金型であることを特徴とする請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項３】
前記凹溝形成部材が、前記クラッドフィルムと共に光導波路のクラッドを構成する他のクラッドフィルムであることを特徴とする請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項４】
前記凹溝形成部材の片面に前記凹溝を形成する際、前記凹溝の両端部に傾斜面からなるミラー面を一体に形成することを特徴とする請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項５】
前記凹溝形成部材に対する前記凹溝及び前記ミラー面の形成後、前記凹溝の底面及び前記ミラー面のうちの少なくとも前記ミラー面に反射膜を形成することを特徴とする請求項４に記載の光導波路の製造方法。
【請求項６】
前記凹溝形成部材が金型である場合において、前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内に加圧充填されたコア形成用の高分子材料を硬化した後、金型である前記凹溝形成部材を前記コアから剥離する際、前記反射膜を前記コアの底面及びミラー面のうちの少なくともミラー面に転写することを特徴とする請求項５に記載の光導波路の製造方法。
【請求項７】
前記凹溝形成部材の片面に複数の前記凹溝を形成すると共に、前記クラッドフィルムの片面に、前記第１及び第２の貫通孔と、前記凹溝形成部材に形成された１の凹溝の一端と他の凹溝の一端とを繋ぐ連結凹溝とを形成し、前記複数の凹溝の端部と前記連結凹溝の端部を合致させ、かつ前記第１及び第２の貫通孔をそれぞれ前記１の凹溝の他端と前記他の凹溝の他端とに位置付けた後、前記第１貫通孔から、前記第１貫通孔内、前記１の凹溝内、前記連結凹溝内、前記他の凹溝内及び前記第２貫通孔内の空気を吸引しつつ、前記第２貫通孔から、前記第２貫通孔内、前記他の凹溝内、前記連結凹溝内、前記１の凹溝内及び前記第１貫通孔内にコア形成用の高分子材料を加圧充填することを特徴とする請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項８】
導光部を形成するための凹溝が形成された金型と、クラッドフィルムと、前記凹溝の両端と対応する位置に樹脂注入口及び排気口が開設された押さえ治具を準備する工程と、
前記金型の凹溝形成面に前記クラッドフィルムを密着する工程と、
前記クラッドフィルムの前記凹溝の両端と対応する位置に入光部及び出光部を形成するための第１及び第２の貫通孔を開設する工程と、
前記クラッドフィルム上に前記押さえ治具を置き、前記クラッドフィルムに開口された第１及び第２の貫通孔と前記押さえ治具に開設された前記樹脂注入口及び前記排気口とを合致する工程と、
前記押さえ治具を用いて前記金型と前記クラッドフィルムとを固定した後、前記排気口から、前記排気口内、前記第２貫通孔内、前記凹溝内、前記第１貫通孔内及び前記樹脂注入口内の空気を吸引しつつ、前記樹脂注入口から、前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の高分子材料を加圧充填する工程と、
前記凹溝内に充填された高分子材料並びに前記第１及び第２の貫通孔内に充填された高分子材料のみを選択的に硬化してコアを形成し、前記樹脂注入口内に充填された高分子材料及び前記排気口内に充填された高分子材料を未硬化のまま残す工程と、
前記クラッドフィルムの表面から前記押さえ治具を取り外し、前記金型からコアが一体形成された前記クラッドフィルムを剥離する工程
とを含むことを特徴とする請求項２に記載の光導波路の製造方法。
【請求項９】
前記押さえ治具として、透明材料をもって形成され、少なくとも前記樹脂注入口の壁面及び前記排気口の壁面を含む所要の部分に遮光膜が選択的に形成されたものを用いると共に、前記コア形成用の高分子材料として、紫外線硬化性樹脂を用い、前記樹脂注入口から、前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した後、前記押さえ治具の全面に樹脂硬化光を照射することを特徴とする請求項８に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１０】
前記押さえ治具として、不透明材料をもって形成され、前記樹脂注入口及び前記排気口の開設位置とは異なる位置に露光用孔が開設されたものを用いると共に、前記コア形成用の高分子材料として、紫外線硬化性樹脂を用い、前記樹脂注入口から前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した後、前記押さえ治具を移動して前記露光用孔と前記クラッドフィルムに開設された前記第１貫通孔又は前記第２貫通孔とを合致させ、前記露光用孔を通して、前記各貫通孔内に充填された紫外線硬化性樹脂及び前記凹溝内に充填された紫外線硬化性樹脂に樹脂硬化光を照射することを特徴とする請求項８に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１１】
前記押さえ治具として、不透明材料をもって形成され、前記樹脂注入口及び前記第１貫通孔に連通する位置並びに前記排気口及び前記第２貫通孔に連通する位置に樹脂注入経路及び露光経路の切換手段が備えられ、かつ前記切換手段に連通する露光用孔が形成されたものを用いると共に、
前記コア形成用の高分子材料として、紫外線硬化性樹脂を用い、
前記切換手段を、前記樹脂注入口と前記第１貫通孔とを連通する位置及び前記排気口と前記第２貫通孔とを連通する状態に切り換えて、前記樹脂注入口から前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した後、
前記切換手段を、前記露光用孔と前記第１貫通孔又は前記第２貫通孔とを連通する状態に切り換え、前記露光用孔を通して前記第１及び第２の貫通孔内に充填された紫外線硬化性樹脂及び前記凹溝内に充填された紫外線硬化性樹脂に樹脂硬化光を照射することを特徴とする請求項８に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１２】
前記樹脂注入経路及び露光経路の切換手段が、前記押さえ治具に形成されたスライダ挿入空間と、当該スライダ挿入空間内に挿入可能に構成されたスライダとからなることを特徴とする請求項１１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１３】
傾斜するミラー面を両端に有する導光部を形成するための凹溝が形成された第１のクラッドフィルムと、前記凹溝の両端と対応する位置に入光部及び出光部を形成するための第１及び第２の貫通孔が開設された第２のクラッドフィルムとを準備する工程と、
前記凹溝の両端部に前記第１貫通孔と第２貫通孔とを対向させて前記第１のクラッドフィルムの凹溝形成面に前記第２のクラッドフィルムを貼り合わせる工程と、
前記第１貫通孔又は前記第２貫通孔を通じて前記凹溝内及び他方の貫通孔内にコア形成用の高分子材料を充填する工程と、
前記充填された高分子材料を硬化し、前記入光部、前記導光部、前記出光部、前記入光部から入射された光を前記導光部に導く第１ミラー面及び前記導光部を伝播した光を前記出光部に導く第２ミラー面を有するコアを前記第１及び第２のクラッドフィルムと一体に形成する工程、
とを含むことを特徴とする請求項３に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１４】
前記第１のクラッドフィルム及び前記第２のクラッドフィルムを準備する工程では、前記凹溝が長さ方向に所定の間隔で多数形成されたリボン状の第１のクラッドフィルムを作製して第１リールに巻回すると共に、前記第１及び第２の貫通孔が長さ方向に所定の間隔で多数形成されたリボン状の第２のクラッドフィルムを作製して第２リールに巻回し、前記第１のクラッドフィルムの凹溝形成面に前記第２のクラッドフィルムを貼り合わせる工程では、前記第１リールから引き出された前記第１のクラッドフィルム及び前記第２リールから引き出された前記第２のクラッドフィルムを貼り合わせることを特徴とする請求項１３に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１５】
前記第１のクラッドフィルムの作製は、前記凹溝に対応する凸条が形成された金型と、前記第１のクラッドフィルムの元になるフィルム基材とを準備し、加熱下で前記金型の凸条形成面に前記フィルム基材を押し付け、前記フィルム基材の片面に前記凸条に対応する前記凹溝を転写することにより形成することを特徴とする請求項１３又は請求項１４に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１６】
前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内にコア形成用の高分子材料を充填する工程では、前記第１のクラッドフィルムの下面をフィルム保持具にて保持すると共に、前記第２のクラッドフィルムの表面を前記第１貫通孔に対応する樹脂注入口及び前記第２貫通孔に対応する排気口が開設された樹脂充填治具にて押圧し、前記排気口を通して前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内の空気を吸引しつつ、前記樹脂注入口を通して前記第２貫通孔内、前記凹溝内及び前記第１貫通孔内にコア形成用の高分子材料を加圧充填することを特徴とする請求項１３に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１７】
前記充填された高分子材料を硬化する工程では、前記第２貫通孔内、前記凹溝内及び前記第１貫通孔内に充填された高分子材料のみを選択的に硬化し、前記樹脂注入口及び前記排気口内に充填された高分子材料を未硬化のまま残すことを特徴とする請求項１６に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１８】
クラッドフィルムと、当該クラッドフィルムと一体に形成された高分子材料からなるコアとを備えた光導波路において、前記コアは、前記クラッドフィルムの片面に形成された導光部と、前記クラッドフィルムに開設された貫通孔内に形成され、前記導光部の両端部に接続された入光部及び出光部とを有することを特徴とする光導波路。
【請求項１９】
前記導光部の両端に、前記入光部から入射された光を前記導光部に導くミラー面と、前記導光部を伝播した光を前記出光部に導くミラー面とを形成したことを特徴とする請求項１８に記載の光導波路。
【請求項２０】
前記導光部と前記入光部と前記出光部は、断面形状及び断面積が略同等であることを特徴とする請求項１８及び請求項１９のいずれか１項に記載の光導波路。
【請求項２１】
前記コアが、紫外線硬化性樹脂をもって形成されていることを特徴とする請求項１８乃至請求項２０のいずれか１項に記載の光導波路。
【請求項２２】
前記コアの導光部が、２枚の前記クラッドフィルムにて覆われていることを特徴とする請求項１８乃至請求項２１のいずれか１項に記載の光導波路。
【請求項２３】
前記ミラー面に、反射層が形成されていることを特徴とする請求項１９に記載の光導波路。
【請求項２４】
前記導光部が、前記２枚のクラッドフィルムの一方に形成された複数の第１導光部と、前記２枚のクラッドフィルムの他方に形成され、前記複数の第１導光部の端部と直接又は所要の連結導光部を介して光学的に連結される第２導光部とからなることを特徴とする請求項２２に記載の光導波路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブルなクラッドフィルムに高分子材料からなるコアが一体に形成された光導波路の構造とその製造方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の光導波路としては、図１３に示すように、クラッドフィルム１０１の片面にコア１０２が形成され、コア１０２の入光面１０２ａ及び出光面１０２ｂが、クラッドフィルム１０１の端面と面一に切り揃えられたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。【０００３】
この光導波路は、図１４に示すように、（ａ）製造しようとするコアに対応する凸部２０１が形成された原盤２００をフォトリソグラフィ法などにより作製する工程、（ｂ）原盤２００に形成された凸部２０１を鋳型形成用硬化性樹脂に転写し、凸部２０１に相当する凹部２０２が形成された硬化樹脂層２０３を作製する工程、（ｃ）硬化樹脂層２０３に形成された凹部２０２の端部に貫通孔２０４，２０５を開設し、樹脂製の鋳型２０６を作製する工程と、（ｄ）鋳型２０６の凹部２０２形成面側にクラッドフィルム１０１を密着させた後、貫通孔２０４からコア形成用硬化性樹脂２０７を入れながら、貫通孔２０５から減圧吸引して、凹部２０２内にコア形成用硬化性樹脂２０７を充填する工程、（ｅ）鋳型２０６からクラッドフィルム１０１を剥離し、クラッドフィルム１０１の片面にコア１０２と貫通孔２０４，２０５内で硬化した樹脂部分２０８とが形成された中間品２０９を得る工程、（ｆ）中間品２０９の樹脂部分２０８をダイサー等で切断し、クラッドフィルム１０１の片面にコア１０２が形成された光導波路１００を得る工程を経て製造される（例えば、特許文献１参照。）。【０００４】
また、この種の光導波路の他の例としては、２枚のフレキシブルなクラッドフィルムの間に高分子材料からなるコアが一体に形成されたものも知られており、この光導波路の製造方法として、所望のコア（導波路パターン）を形成するための溝が形成されたクラッド基材と、コアを覆うクラッド被覆材とを金型を使用して成型しておき、これらクラッド基材とクラッド被覆材を重ね合わせることによって形成される空洞内に毛細管現象を利用して高屈折率樹脂を充填し、しかる後に充填された高屈折率樹脂を硬化して、コアがクラッド基材とクラッド被覆材とによって完全に被覆保護された光導波路を製造する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。【０００５】
この製造方法によれば、クラッド基材にコアを形成するための溝を予め形成しておくので、コアがクラッド基材とクラッド被覆材とによって完全に被覆保護された光導波路を比較的高能率に製造することができる。
【特許文献１】特開２００５−２０２２３０号公報
【特許文献２】特開平４−７７７０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図１３に示した従来の光導波路１００は、コア１０２の入光面１０２ａ及び出光面１０２ｂが、クラッドフィルム１０１の端面側に配置されているので、入光面１０２ａに対する発光側装置のアライメント及び出光面１０２ｂに対する受光側装置のアライメントが困難で、光導波路１００を備えた光学装置が大型化したり、高コスト化するという問題がある。即ち、クラッドフィルム１０１は、厚みが５０〜１００μｍ程度のフレキシブルな樹脂フィルムからなるので、その端面に発光側装置及び受光側装置を直接設定することが事実上不可能であり、何らかの治具が必要であることから、部品点数が増加し、光導波路１００を備えた光学装置が大型化及び高コスト化する。また、光導波路１００と発光側装置及び受光側装置との間に何らかの治具を設ける必要があることから、コア１０２の入光面１０２ａ及び出光面１０２ｂに対して発光側装置及び受光側装置を正確にアライメントするためには、コア１０２の入光面１０２ａ及び出光面１０２ｂに対して発光側装置及び受光側装置を３次元方向に移動しなくてはならず、各部材の組立に多大の労力を要し、この点からも光導波路１００を備えた光学装置が高コスト化する。【０００７】
また、図１４に示した従来の光導波路の製造方法は、クラッドフィルム１０１の片面にコア１０２と貫通孔２０４，２０５内で硬化した樹脂部分２０８とが形成された中間品２０９を得た後、樹脂部分２０８をダイサー等で切断する必要があるので、工程が複雑となり、良品を効率良く製造することが困難であるという問題がある。即ち、コア１０２となる部分に供給されたコア形成用硬化性樹脂２０７のみが選択的に硬化されるようにコア形成用の型材及び露光方法を工夫すれば、良品をより効率良く製造することができるのであって、この点に改善の余地がある。【０００８】
一方、特許文献２に記載の製造方法は、クラッド基材とクラッド被覆材とを貼り合わせた後、その積層体の端面から空洞内に毛細管現象を利用して高屈折率樹脂を充填するというものであるので、製造工程が所謂バッチ処理となり、光導波路の製造効率をより以上に高めることが難しいという問題もある。【０００９】
本発明は、かかる技術的課題を解決するためになされたものであり、その目的は、コアの入光面及び出光面に対する発光側装置及び受光側装置の設定が容易で、光学装置を小型化及び低コスト化可能な光導波路を提供すること、及びこの種の光導波路を高能率に製造可能な光導波路の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、前記課題を解決するため、光導波路の製造方法に関して第１に、片面に導光部を形成するための凹溝が形成された凹溝形成部材と、前記凹溝の両端部と対応する位置に第１及び第２の貫通孔が開設されたクラッドフィルムとを密着した後、前記第１貫通孔から、前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内の空気を吸引しつつ、前記第２貫通孔から、前記第２貫通孔内、前記凹溝内及び前記第１貫通孔内にコア形成用の高分子材料を加圧充填する工程を含むという構成にした。【００１１】
かかる構成によると、凹溝が形成された凹溝形成部材と第１及び第２の貫通孔が開設されたクラッドフィルムとを密着するので、これら凹溝形成部材とクラッドフィルムとの間に、凹溝並びに第１及び第２の貫通孔に相当する高分子材料充填用のキャビティが形成される。したがって、当該キャビティ内に高分子材料を加圧充填することによって、両端部に入光部及び出光部を備えた導光部を成形することができる。また、樹脂の加圧充填時に、第１貫通孔から、第１貫通孔内、凹溝内及び第２貫通孔内の空気を吸引しつつ、第２貫通孔から、第２貫通孔内、凹溝内及び第１貫通孔内にコア形成用の高分子材料を加圧充填するので、高分子材料の充填を高能率に行えると共に、高分子材料内への気泡の混入を防止でき、良品を高能率に製造することができる。【００１２】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第２に、前記第１の光導波路の製造方法において、前記凹溝形成部材が、光導波路とは別体の金型であるという構成にした。【００１３】
金型はコアの形成後に光導波路から剥離されるので、凹溝形成部材として光導波路とは別体の金型を用いると、コアの片面側にのみクラッドフィルムを備えた光導波路を作製することができる。【００１４】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第３に、前記第１の光導波路の製造方法において、前記凹溝形成部材が、前記クラッドフィルムと共に光導波路のクラッドを構成する他のクラッドフィルムであるという構成にした。【００１５】
かかる構成によると、コアの表裏両面がクラッドフィルムにて覆われた光導波路を、簡単に作製することができる。  【００１６】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第４に、前記第１の光導波路の製造方法において、前記凹溝形成部材の片面に前記凹溝を形成する際、前記凹溝の両端部に傾斜面からなるミラー面を一体に形成するという構成にした。【００１７】
凹溝の両端部にミラー面を形成すると、入光部から入射された光をミラー面で反射させて導光部に導くことができると共に、導光部を伝播した光をミラー面で反射させて出光部に導くことができるので、入光部から入射された光を効率良く出光部に導くことができ、光の伝播効率が高い光導波路とすることができる。【００１８】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第５に、前記第４の光導波路の製造方法において、前記凹溝形成部材に対する前記凹溝及び前記ミラー面の形成後、前記凹溝の底面及び前記ミラー面のうちの少なくとも前記ミラー面に反射膜を形成するという構成にした。【００１９】
ミラー面に反射膜を形成すると、ミラー面における光の反射効率を高めることができるので、コアとクラッドフィルムとの屈折率差を十分に大きくできない場合にも、光の伝播効率が高い光導波路とすることができる。【００２０】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第６に、前記第５の光導波路の製造方法において、前記凹溝形成部材が金型である場合において、前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内に加圧充填されたコア形成用の高分子材料を硬化した後、金型である前記凹溝形成部材を前記コアから剥離する際、前記反射膜を前記コアの底面及びミラー面のうちの少なくともミラー面に転写するという構成にした。【００２１】
反射膜は、アルミニウム、銀、金などの、光導波路で用いる波長において反射率の高い金属材料からなり、真空蒸着法などを用いてコアのミラー面に直接形成することもできるし、金型のミラー面に形成された反射膜をコアのミラー面に転写することもできるが、後者の方法によると、コアの形成とミラー面に対する反射膜の形成とを同時に完了できるので、光導波路の製造をより効率化することができる。なお、反射膜は、ミラー面にのみ形成すれば足りるが、光導波路の製造コストを抑制するため、コアの底面に反射膜を形成することも許容される。即ち、反射膜をミラー面にのみ形成するためには、反射層の形成範囲をミラー面にのみ限定するためのマスクが必要になったり、不要部分に付着した反射膜を除去するための後処理が必要になるので、コアの底面に反射膜を形成することを許容すれば、これらが不要となり、光導波路の製造コストを抑制することができる。【００２２】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第７に、前記第１の光導波路の製造方法において、前記凹溝形成部材の片面に複数の前記凹溝を形成すると共に、前記クラッドフィルムの片面に、前記第１及び第２の貫通孔と、前記凹溝形成部材に形成された１の凹溝の一端と他の凹溝の一端とを繋ぐ連結凹溝とを形成し、前記複数の凹溝の端部と前記連結凹溝の端部を合致させ、かつ前記第１及び第２の貫通孔をそれぞれ前記１の凹溝の他端と前記他の凹溝の他端とに位置付けた後、前記第１貫通孔から、前記第１貫通孔内、前記１の凹溝内、前記連結凹溝内、前記他の凹溝内及び前記第２貫通孔内の空気を吸引しつつ、前記第２貫通孔から、前記第２貫通孔内、前記他の凹溝内、前記連結凹溝内、前記１の凹溝内及び前記第１貫通孔内にコア形成用の高分子材料を加圧充填するという構成にした。【００２３】
凹溝は、幅及び深さが数十μｍ程度の微細なものであり、精度を保つためには長さが数十ｍｍ程度で作成されることが多く、それ以上に長いコアを形成することはかなり困難である。これに対して、凹溝形成部材の片面に複数の前記凹溝を形成すると共にクラッドフィルムの片面に連結凹溝とを形成し、これら凹溝と連結凹溝とを相互に連結すると、任意の長さのコアを形成することができるので、この種の光導波路の適用範囲を拡大することができる。【００２４】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第８に、前記第２の光導波路の製造方法において、導光部を形成するための凹溝が形成された金型と、クラッドフィルムと、前記凹溝の両端と対応する位置に樹脂注入口及び排気口が開設された押さえ治具を準備する工程と、前記金型の凹溝形成面に前記クラッドフィルムを密着する工程と、前記クラッドフィルムの前記凹溝の両端と対応する位置に入光部及び出光部を形成するための第１及び第２の貫通孔を開設する工程と、前記クラッドフィルム上に前記押さえ治具を置き、前記クラッドフィルムに開口された第１及び第２の貫通孔と前記押さえ治具に開設された前記樹脂注入口及び前記排気口とを合致する工程と、前記押さえ治具を用いて前記金型と前記クラッドフィルムとを固定した後、前記排気口から、前記排気口内、前記第２貫通孔内、前記凹溝内、前記第１貫通孔内及び前記樹脂注入口内の空気を吸引しつつ、前記樹脂注入口から、前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の高分子材料を加圧充填する工程と、前記凹溝内に充填された高分子材料並びに前記第１及び第２の貫通孔内に充填された高分子材料のみを選択的に硬化してコアを形成し、前記樹脂注入口内に充填された高分子材料及び前記排気口内に充填された高分子材料を未硬化のまま残す工程と、前記クラッドフィルムの表面から前記押さえ治具を取り外し、前記金型からコアが一体形成された前記クラッドフィルムを剥離する工程とを含むという構成にした。【００２５】
金型の凹溝形成面にクラッドフィルムを密着した後に、クラッドフィルムの凹溝の両端と対応する位置に入光部及び出光部を形成するための第１及び第２の貫通孔を開設すると、凹溝の両端部に対して第１及び第２の貫通孔を高精度に開設することができ、所要形状のコアを高精度に形成することができる。また、予め第１及び第２の貫通孔が開設されたクラッドフィルムを金型に密着する場合とは異なり、凹溝の両端部と第１及び第２の貫通孔とのアライメントが不要になるので、所要の光導波路を高能率に製造することができる。また、クラッドフィルム上に押さえ治具を置いて、金型及びクラッドフィルムに適度の圧力を付与すると、以後の工程において金型とクラッドフィルムとの位置ずれを確実に防止することができるので、良品を高能率に製造することができる。さらに、排気口から排気口内、第２貫通孔内、凹溝内、第１貫通孔内及び樹脂注入口内の空気を吸引しつつ、樹脂注入口から前記各部内にコア形成用の高分子材料を加圧充填すると、高分子材料の充填を高能率に行えると共に、高分子材料内への気泡の混入を防止できるので、良品を高能率に製造することができる。加えて、充填された全ての高分子材料を硬化するのではなく、凹溝内に充填された高分子材料並びに第１及び第２の貫通孔内に充填された高分子材料のみを選択的に硬化すると、不要な硬化部分の後処理を行う必要がないので、光導波路の製造を高能率に行うことができる。【００２６】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第９に、前記第８の光導波路の製造方法において、前記押さえ治具として、透明材料をもって形成され、少なくとも前記樹脂注入口の壁面及び前記排気口の壁面を含む所要の部分に遮光膜が選択的に形成されたものを用いると共に、前記コア形成用の高分子材料として、紫外線硬化性樹脂を用い、前記樹脂注入口から、前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した後、前記押さえ治具の全面に樹脂硬化光を照射するという構成にした。【００２７】
かかる構成によると、遮光膜により、押さえ治具に開設された樹脂注入口及び排気口内における紫外線硬化性樹脂の硬化を防止することができるので、硬化した紫外線硬化性樹脂の除去に要する後処理を不要にすることができ、１つの押さえ治具を用いて多数の光導波路の製造を連続的に行うことができる。また、押さえ治具の全面に樹脂硬化光を照射するので、必要箇所における紫外線硬化性樹脂の硬化を容易かつ高能率に行うことができる。【００２８】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第１０に、前記第８の光導波路の製造方法において、前記押さえ治具として、不透明材料をもって形成され、前記樹脂注入口及び前記排気口の開設位置とは異なる位置に露光用孔が開設されたものを用いると共に、前記コア形成用の高分子材料として、紫外線硬化性樹脂を用い、前記樹脂注入口から前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した後、前記押さえ治具を移動して前記露光用孔と前記クラッドフィルムに開設された前記第１貫通孔又は前記第２貫通孔とを合致させ、前記露光用孔を通して、前記各貫通孔内に充填された紫外線硬化性樹脂及び前記凹溝内に充填された紫外線硬化性樹脂に樹脂硬化光を照射するという構成にした。【００２９】
紫外線硬化性樹脂の充填後、押さえ治具を移動して、押さえ治具に開設された露光用孔とクラッドフィルムに開設された第１貫通孔又は第２貫通孔とを合致させ、露光用孔を通して各貫通孔内に充填された紫外線硬化性樹脂及び凹溝内に充填された紫外線硬化性樹脂に樹脂硬化光を照射すると、１の貫通孔から入射された樹脂硬化光が、当該１の貫通孔内に充填された紫外線硬化性樹脂、凹溝内に充填された紫外線硬化性樹脂、及び他方の貫通孔内に充填された紫外線硬化性樹脂に伝播されるので、各貫通孔内に充填された紫外線硬化性樹脂及び凹溝内に充填された紫外線硬化性樹脂を確実に硬化することができる。また、押さえ治具に開設された樹脂注入口及び排気口は、紫外線硬化性樹脂の露光時に、露光部分から移動されるので、これらの各口内に残留した紫外線硬化性樹脂の硬化を確実に防止することができる。【００３０】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第１１に、前記第８の光導波路の製造方法において、前記押さえ治具として、不透明材料をもって形成され、前記樹脂注入口及び前記第１貫通孔に連通する位置並びに前記排気口及び前記第２貫通孔に連通する位置に樹脂注入経路及び露光経路の切換手段が備えられ、かつ前記切換手段に連通する露光用孔が形成されたものを用いると共に、前記コア形成用の高分子材料として、紫外線硬化性樹脂を用い、前記切換手段を、前記樹脂注入口と前記第１貫通孔とを連通する位置及び前記排気口と前記第２貫通孔とを連通する状態に切り換えて、前記樹脂注入口から前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した後、前記切換手段を、前記露光用孔と前記第１貫通孔又は前記第２貫通孔とを連通する状態に切り換え、前記露光用孔を通して前記第１及び第２の貫通孔内に充填された紫外線硬化性樹脂及び前記凹溝内に充填された紫外線硬化性樹脂に樹脂硬化光を照射するという構成にした。【００３１】
かかる構成によると、切換手段を適宜切り換えることにより、第１及び第２の貫通孔内並びに凹溝内への紫外線硬化性樹脂の供給と、これらの各部に充填された紫外線硬化性樹脂の硬化とが可能になるので、押さえ治具によってクラッドフィルムと金型に圧力をかけたままで処理することが可能となり、クラッドフィルムと金型とのずれを防止でき、さらに押さえ治具に形成された露光用孔とクラッドフィルムに開設された貫通孔とのアライメントが不要になるのみならず、不必要な部分を露光して樹脂を硬化させてしまうことも防止でき、光導波路の製造をより効率的なものにすることができる。【００３２】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第１２に、前記第１１の光導波路の製造方法において、前記樹脂注入経路及び露光経路の切換手段が、前記押さえ治具に形成されたスライダ挿入空間と、当該スライダ挿入空間内に挿入可能に構成されたスライダとからなるという構成にした。【００３３】
かかる構成によると、押さえ治具に形成されたスライダ挿入空間内でスライダを摺動するだけで、第１及び第２の貫通孔内並びに凹溝内への紫外線硬化性樹脂の供給と、これら第１及び第２の貫通孔内並びに凹溝内に充填された紫外線硬化性樹脂の露光が可能になるので、押さえ治具の移動を容易なものとすることができ、光導波路の製造をより効率的なものにすることができる。【００３４】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第１３に、前記第３の光導波路の製造方法において、傾斜するミラー面を両端に有する導光部を形成するための凹溝が形成された第１のクラッドフィルムと、前記凹溝の両端と対応する位置に入光部及び出光部を形成するための第１及び第２の貫通孔が開設された第２のクラッドフィルムとを準備する工程と、前記凹溝の両端部に前記第１貫通孔と第２貫通孔とを対向させて前記第１のクラッドフィルムの凹溝形成面に前記第２のクラッドフィルムを貼り合わせる工程と、前記第１貫通孔又は前記第２貫通孔を通じて前記凹溝内及び他方の貫通孔内にコア形成用の高分子材料を充填する工程と、前記充填された高分子材料を硬化し、前記入光部、前記導光部、前記出光部、前記入光部から入射された光を前記導光部に導く第１ミラー面及び前記導光部を伝播した光を前記出光部に導く第２ミラー面とを有するコアを前記第１及び第２のクラッドフィルムと一体に形成する工程とを含んで光導波路を製造するという構成にした。【００３５】
かかる構成によると、第２のクラッドフィルムに開設された第１貫通孔又は第２貫通孔を通じて凹溝内及び他方の貫通孔内にコア形成用の高分子材料を充填するので、高分子材料の充填前に第１及び第２のクラッドフィルムの成型を完了する必要が無く、連続処理による光導波路の製造が可能になる。よって、第１及び第２のクラッドフィルムでコアが完全に被覆保護された光導波路を高能率に製造することができる。【００３６】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第１４に、前記第１３の光導波路の製造方法において、前記第１のクラッドフィルム及び前記第２のクラッドフィルムを準備する工程では、前記凹溝が長さ方向に所定の間隔で多数形成されたリボン状の第１のクラッドフィルムを作製して第１リールに巻回すると共に、前記第１及び第２の貫通孔が長さ方向に所定の間隔で多数形成されたリボン状の第２のクラッドフィルムを作製して第２リールに巻回し、前記第１のクラッドフィルムの凹溝形成面に前記第２のクラッドフィルムを貼り合わせる工程では、前記第１リールから引き出された前記第１のクラッドフィルム及び前記第２リールから引き出された前記第２のクラッドフィルムを貼り合わせるという構成にした。【００３７】
かかる構成によると、第１及び第２のクラッドフィルムの製造、これら第１及び第２のクラッドフィルムの貼り合わせ、貼り合わされた第１及び第２のクラッドフィルムへの高分子材料の充填、並びに充填された高分子材料の硬化を全て連続的に行うことができるので、光導波路の製造効率をより一層高めることができる。【００３８】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第１５に、前記第１３または前記第１４の光導波路の製造方法において、前記第１のクラッドフィルムの作製は、前記凹溝に対応する凸条が形成された金型と、前記第１のクラッドフィルムの元になるフィルム基材とを準備し、加熱下で前記金型の凸条形成面に前記フィルム基材を押し付け、前記フィルム基材の片面に前記凸条に対応する前記凹溝を転写することにより形成するという構成にした。【００３９】
金型に形成された微細な凹凸パターンを樹脂フィルムに熱転写する技術は、所謂「熱インプリント」として確立されている。そして、この技術によると、微細な凹凸パターンを高能率かつ高精度にフィルム基材に転写できるので、高性能の光導波路を安価に製造することができる。【００４０】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第１６に、前記第１３の光導波路の製造方法において、前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内にコア形成用の高分子材料を充填する工程では、前記第１のクラッドフィルムの下面をフィルム保持具にて保持すると共に、前記第２のクラッドフィルムの表面を前記第１貫通孔に対応する樹脂注入口及び前記第２貫通孔に対応する排気口が開設された樹脂充填治具にて押圧し、前記排気口を通して前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内の空気を吸引しつつ、前記樹脂注入口を通して前記第２貫通孔内、前記凹溝内及び前記第１貫通孔内にコア形成用の高分子材料を加圧充填するという構成にした。【００４１】
かかる構成によると、第１のクラッドフィルムの下面及び第２のクラッドフィルムの表面をフィルム保持具及び樹脂充填治具にて保持するので、第１貫通孔内、凹溝内及び第２貫通孔内への高分子材料の充填を安定に行うことができる。【００４２】
本発明は、光導波路の製造方法に関して第１７に、前記第１６の光導波路の製造方法において、前記充填された高分子材料を硬化する工程では、前記第２貫通孔内、前記凹溝内及び前記第１貫通孔内に充填された高分子材料のみを選択的に硬化し、前記樹脂注入口及び前記排気口内に充填された高分子材料を未硬化のまま残すという構成にした。【００４３】
かかる構成によると、樹脂注入口及び排気口内に充填された高分子材料を未硬化のまま残すので、硬化部分の後処理を行うことなく、同一の第２保持治具を用いて高分子樹脂材料の充填を連続的に繰り返すことができ、光導波路の製造を高能率に行うことができる。【００４４】
一方、本発明は、前記課題を解決するため、光導波路に関して第１に、クラッドフィルムと、当該クラッドフィルムと一体に形成された高分子材料からなるコアとを備えた光導波路において、前記コアは、前記クラッドフィルムの片面に形成された導光部と、前記クラッドフィルムに開設された貫通孔内に形成され、前記導光部の両端部に接続された入光部及び出光部とを有するという構成にした。【００４５】
かかる構成によると、光導波路の入光面及び出光面をクラッドフィルムの表面に向けて配置することができるので、クラッドフィルムの表面に直接発光側装置及び受光側装置を取り付けることができ、何らの治具も必要としないので、部品点数の減少による光導波路を備えた光学装置の小型化及び低コスト化を図ることができる。また、クラッドフィルムの表面に直接発光側装置及び受光側装置を取り付けられることから、光導波路の入光面及び出光面に対する発光側装置及び受光側装置のアライメントは、クラッドフィルムの表面に沿う２次元方向に関してのみ行えば良く、光導波路を備えた光学装置の組立を簡便なものにすることができる。さらに、光導波路の入光面及び出光面がクラッドフィルムに開設された貫通孔を貫通して、クラッドフィルムの表面側に露出されるので、発光側装置からの光を直接コア内に導くことができると共に、コアを伝播した光を直接受光側装置に導くことができ、光の伝播効率が高い光導波路とすることができる。【００４６】
本発明は、光導波路に関して第２に、前記第１の光導波路において、前記導光部の両端に、前記入光部から入射された光を前記導光部に導くミラー面と、前記導光部を伝播した光を前記出光部に導くミラー面とを形成するという構成にした。【００４７】
かかる構成によると、ミラー面によって光を全反射することができるので、入光部から入射された光を効率良く出光部に導くことができ、光の伝播効率が高い光導波路とすることができる。【００４８】
本発明は、光導波路に関して第３に、前記第１又は第２の光導波路において、前記導光部と前記入光部と前記出光部は、断面形状及び断面積が略同等であるという構成にした。【００４９】
かかる構成によると、各部の断面積の変化に起因するコア内部での光のロスを回避又は抑制することができるので、光の伝播効率が高い光導波路とすることができる。なお、「略同等」とは、導光部、入光部及び出光部の形成上、やむをえない誤差の範囲内であることを意味する。【００５０】
本発明は、光導波路に関して第４に、前記第１乃至第３の光導波路において、前記コアが、紫外線硬化性樹脂をもって形成されているという構成にした。【００５１】
コアは、透光性に優れた任意の高分子材料をもって形成することができるが、紫外線硬化性樹脂をもって形成すると、所定波長の樹脂硬化光を照射するだけで所要のコアを形成することができるので、光導波路の製造を容易に行うことができる。また、第１及び第２のクラッドフィルムに化学的及び物理的な影響を及ぼすことがないので、良品を高歩留まりで製造することができる。さらに、樹脂硬化光の照射範囲を制限することにより、所望の部分のみを選択的に硬化することが可能になるので、不必要な部分が硬化してしまうことによって必要となる切断や洗浄などの後処理を回避することができ、光導波路の製造を容易なものにすることができる。【００５２】
本発明は、光導波路に関して第５に、前記第１乃至第４の光導波路において、前記コアの導光部が、２枚の前記クラッドフィルムにて覆われているという構成にした。【００５３】
かかる構成によると、コアの導光部が２枚のクラッドフィルムにて覆われているので、クラッドフィルムを１枚のみ用いる場合に比べて、コアからの光漏れが抑制され、より光の伝播効率が高い光導波路とすることができる。【００５４】
本発明は、光導波路に関して第６に、前記第２の光導波路において、前記ミラー面に、反射層が形成されているという構成にした。【００５５】
かかる構成によると、ミラー面に反射膜を形成するので、ミラー面における光の反射効率を高めることができ、コアとクラッドフィルムとの屈折率差を十分に大きくできない場合にも、光の伝播効率が高い光導波路とすることができる。【００５６】
本発明は、光導波路に関して第７に、前記第５の光導波路において、前記導光部が、前記２枚のクラッドフィルムの一方に形成された複数の第１導光部と、前記２枚のクラッドフィルムの他方に形成され、前記複数の第１導光部の端部と直接又は所要の連結導光部を介して光学的に連結される第２導光部とからなるという構成にした。【００５７】
かかる構成によると、導光部を、一方のクラッドフィルムに形成された複数の第１導光部と、他方のクラッドフィルムに形成された第２導光部との連結体をもって構成するので、導光部を任意の長さに形成することができ、この種の光導波路の適用範囲を拡大することができる。
【発明の効果】
【００５８】
本発明に係る光導波路の製造方法は、樹脂の加圧充填時に、第１貫通孔から、第１貫通孔内、凹溝内及び第２貫通孔内の空気を吸引しつつ、第２貫通孔から、第２貫通孔内、凹溝内及び第１貫通孔内にコア形成用の高分子材料を加圧充填するので、高分子材料の充填を高能率に行えると共に、高分子材料内への気泡の混入を防止でき、良品を高能率に製造することができる。また、クラッドフィルムに開設された第１貫通孔又は第２貫通孔を通じて凹溝形成部材に形成された凹溝内にコア形成用の高分子材料を充填するので、高分子材料の充填前にクラッドフィルムの成型を完了する必要が無く、連続処理による光導波路の製造が可能になり、所要の光導波路を高能率に製造することができる。【００５９】
本発明に係る光導波路は、クラッドフィルムの片面に形成された導光部と、クラッドフィルムに開設された貫通孔内に形成され、導光部の両端部に接続された入光部及び出光部とを有する構成としたので、クラッドフィルムの表面に直接発光側装置及び受光側装置を取り付けることができ、光導波路を備えた光学装置の小型化及び低コスト化を図ることができる。また、クラッドフィルムの表面に直接発光側装置及び受光側装置を取り付けられることから、光導波路の入光面及び出光面に対する発光側装置及び受光側装置のアライメントを容易化できて、光導波路を備えた光学装置の低コスト化を図ることができる。さらに、光導波路の入光面及び出光面が、クラッドフィルムの表面側に露出されるので、発光側装置とコアとの間、及びコアと受光側装置との間の光の伝播効率が高い光導波路とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６０】
〈光導波路の第１実施形態及び第２実施形態〉
本発明の第１実施形態及び第２実施形態に係る光導波路を、図１及び図２に基づいて説明する。図１は第１実施形態に係る光導波路の断面図であり、図２は第２実施形態に係る光導波路の断面図である。【００６１】
図１に示すように、第１実施形態に係る光導波路１Ａは、クラッドフィルム１０と、当該クラッドフィルム１０と一体に形成された高分子材料からなるコア２０とからなり、コア２０は、クラッドフィルム１０の片面に形成された導光部２１と、クラッドフィルム１０に開設された２つの貫通孔１１，１２内に形成され、導光部２１の両端部にそれぞれ接続された入光部２２及び出光部２３と、導光部２１と入光部２２との接続部分に形成されたミラー面２４と、導光部２１と出光部２３との接続部分に形成されたミラー面２５とから構成されている。入光部２２の端面２２ａは、クラッドフィルム１０の表面と面一に配置されており、この面２２ａが入光面となる。また、出光部２３の端面２３ａも、クラッドフィルム１０の表面と面一に配置されており、この面２３ａが出光面となる。なお、コア２０のいずれの一端を入光部２２とし、他端を出光部２３とするかは、必要に応じて適宜設定することができる。【００６２】
ミラー面２４は、入光部２２から入射された光を全反射して導光部２１に導くためのものであり、導光部２１及び入光部２２に対して４５°の角度で傾斜する傾斜面をもって形成される。一方、ミラー面２５は、導光部２１を伝播した光を全反射して出光部２３に導くためのものであり、導光部２１及び出光部２３に対して４５°の角度で傾斜する傾斜面をもって形成される。このように、コア２０の所要の部分にミラー面２４，２５を形成すると、入光部２２から入射された光を効率良く出光部２３に導くことができるので、光導波路１Ａにおける光の伝播効率を高めることができる。【００６３】
図２に示すように、第２実施形態に係る光導波路１Ｂは、コア２０の導光部２１を、第２のクラッドフィルム１０ａにて覆ったことを特徴とする。本例の光導波路１Ｂは、コア２０の導光部２１を第２のクラッドフィルム１０ａにて覆ったので、クラッドフィルム１０のみを備えた場合に比べてコア２０からの光漏れをより確実に抑制することができて光の伝播効率が高められると共に、物理的及び化学的な耐性を高めることができる。その他の部分については、第１実施形態に係る光導波路１Ａと同じであるので、対応する部分に同一の符号を付して説明を省略する。なお、第２のクラッドフィルム１０ａは、剥離を防止するため、クラッドフィルム１０に接着することが特に望ましい。【００６４】
クラッドフィルム１０及び第２のクラッドフィルム１０ａは、光導波路１Ａ，１Ｂを備えた光学装置の用途に応じ、屈折率などの光学的特性、機械的強度、耐熱性、コア２０及び後に説明する金型との密着性、フレキシビリティ及び吸水性等を考慮して材料が選択される。具体的には、コア２０との屈折率差を確保するため、屈折率が１．５５よりも小さく、厚みが５０μｍ〜１００μｍ程度の脂環式アクリル樹脂フィルムや脂環式オレフィン樹脂フィルムなどを用いることができる。【００６５】
コア２０は、所要の屈折率と光透過性とを有するものであれば、公知に属する任意の高分子材料をもって形成することもできるが、樹脂硬化光の照射範囲を規制することにより、所要の部分のみを選択的に硬化させることができ、コア２０ひいては光導波路１Ａ，１Ｂの製造を容易化できるので、紫外線硬化性樹脂が特に好適である。コア２０の断面形状は矩形であり、その幅及び高さは、光導波路１Ａ，１Ｂを備えた光学装置の用途に応じて、１５μｍ〜１００μｍ程度に形成される。導光部２１と入光部２２と出光部２３とは、コア２０の内部における光のロスを回避又は抑制するため、断面形状及び断面積が略同等に形成される。なお、１枚のクラッドフィルム１０に複数本のコア２０を形成することも可能であり、実用的には、１枚のクラッドフィルム１０に複数本のコア２０が形成されたものの方が、むしろ一般的である。【００６６】
第１及び第２の実施形態に係る光導波路１Ａ，１Ｂは、入光面２２ａ及び出光面２３ａをクラッドフィルム１０の表面に向けて配置するので、クラッドフィルム１０の表面に図示しない発光側装置及び受光側装置を直接取り付けることができる。よって、光導波路１Ａ，１Ｂと発光側装置及び受光側装置との間に何らかの治具を備える場合に比べて、光導波路１Ａ，１Ｂを備えた光学装置の小型化及び低コスト化を図ることができる。また、クラッドフィルム１０の表面に直接発光側装置及び受光側装置を取り付け可能であることから、光導波路１Ａ，１Ｂの入光面２２ａ及び出光面２３ａに対する発光側装置及び受光側装置のアライメントを容易化することができ、光導波路１Ａ，１Ｂを備えた光学装置の組立を簡便なものにすることができる。さらに、光導波路１Ａ，１Ｂの入光面２２ａ及び出光面２３ａがクラッドフィルム１０に開設された貫通孔１１，１２を貫通して、クラッドフィルム１０の表面側に露出されるので、発光側装置からの光を直接コア２０内に導くことができると共に、コア２０を伝播した光を直接受光側装置に導くことができ、光の伝播効率が高い光導波路とすることができる。【００６７】
次に、第１実施形態及び第２実施形態に係る光導波路の製造方法について説明する。【００６８】
図３は第１実施形態及び第２実施形態に係る光導波路の製造方法の第１実施形態を示す図であって、この図から明らかなように、本例の光導波路の製造方法は、透明な押さえ治具を用い、金型内に充填された紫外線硬化性樹脂を押さえ治具の外側から樹脂硬化光を全面照射することにより硬化することを特徴とする。【００６９】
まず、図３（ａ）に示すように、導光部２１に相当する溝部３１とミラー面２４，２５に相当する傾斜面３２，３３とを有する溝状の凹溝３４が形成された金型３０を準備する。金型３０は、樹脂の剥離性が良好で、所要の導光部２１を高精度に形成できることから、例えばニッケル又はニッケル合金などをもって形成される。この金型３０に対する凹溝３４の形成は、レーザ加工等により素材となるニッケル板又はニッケル合金板に直接凹溝３４をカッティングすることもできるし、フォトリソグラフィ技術を用いて、ガラス基板上に導光部２１に相当するフォトレジスト製の突条が形成された原盤を作製した後、電鋳を利用した転写技術を用いて、原盤に形成された突条をニッケル金型又はニッケル合金金型に転写するという方法で行うこともできる。なお、溝部３１及び傾斜面３２，３３には、コア２０の剥離を容易にするための離型材を塗布することもできる。【００７０】
次に、図３（ｂ）に示すように、金型３０の凹溝３４の形成面にクラッドフィルム１０を密着した後、このクラッドフィルム１０の傾斜面３２，３３と対応する位置に、レーザ加工等により入光部２２及び出光部２３を形成するための第１及び第２の貫通孔１１，１２を開設する。【００７１】
次に、図３（ｃ）に示すように、ガラス板や樹脂板などの透明材料をもって構成され、前記クラッドフィルム１０に開設された貫通孔１１，１２と対応する位置に樹脂注入口４１及び排気口４２が開設され、これら樹脂注入口４１及び排気口４２の壁面に遮光膜４３が形成された押さえ治具４０を置き、貫通孔１１と樹脂注入口４１、及び貫通孔１２と排気孔４２とがそれぞれ合致するように押さえ治具４０をアライメントする。しかる後に、樹脂供給装置のヘッド５１及び吸引装置のヘッド５２を、樹脂注入口４１及び排気口４２にそれぞれ連結し、吸引装置により貫通孔１１，１２内及び凹溝３４内の空気を吸引して凹溝３４内を減圧し、凹溝３４内の圧力が所定値以下に減圧された段階で、樹脂供給装置から貫通孔１１，１２内及び凹溝３４内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を注入する。これにより、貫通孔１１，１２内及び凹溝３４内への紫外線硬化性樹脂の充填が高能率に行われると共に、コア２０内への気泡の混入が防止され、良品の製造を高能率に行うことが可能になる。貫通孔１１，１２内及び凹溝３４内に紫外線硬化性樹脂が充填された段階で、樹脂供給装置からの樹脂の供給を停止し、押さえ治具４０の外面全面から紫外線硬化性樹脂の硬化光Ｌを照射する。前述のように、樹脂注入口４１及び排気口４２の壁面には遮光膜４３が形成されているので、この樹脂硬化光Ｌを全面照射した後においても、樹脂注入口４１内及び排気口４２内に残留した紫外線硬化性樹脂は硬化せず、貫通孔１１，１２内及び凹溝３４内に注入された紫外線硬化性樹脂のみが選択的に硬化される。【００７２】
最後に、図３（ｄ）に示すように、クラッドフィルム１０の表面から押さえ治具４０を除去し、金型３０とクラッドフィルム１０の界面を剥離して、製品である光導波路を取り出す（図１参照）。また、第２実施形態に係る光導波路については、前記光導波路を取り出した後に、導光部２１の表面を他のクラッドフィルム１０ａにて覆うことにより、製造することができる（図２参照）。【００７３】
本例の光導波路の製造方法は、金型３０の凹溝形成面にクラッドフィルム１０を密着した後に、クラッドフィルム１０に第１及び第２の貫通孔１１，１２を開設するので、凹溝３４の両端部に対して第１及び第２の貫通孔１１，１２を高精度に開設することができ、所要形状のコア２０を高精度に形成することができる。また、予め第１及び第２の貫通孔１１，１２が開設されたクラッドフィルム１０を金型に密着する場合とは異なり、凹溝３４の両端部と第１及び第２の貫通孔１１，１２とのアライメントが不要になるので、所要の光導波路を高能率に製造することができる。また、クラッドフィルム１０上に押さえ治具４０を置いて、金型３０及びクラッドフィルム１０に適度の圧力を付与すると、以後の工程において金型とクラッドフィルムとの位置ずれを確実に防止することができるので、良品を高能率に製造することができる。さらに、遮光膜４３により、押さえ治具４０に開設された樹脂注入口４１及び排気口４２内における紫外線硬化性樹脂の硬化を防止することができるので、硬化した紫外線硬化性樹脂を除去する等の後処理を行う必要が無く、１つの押さえ治具４０を用いて多数の光導波路の製造を連続的に行うことができる。また、押さえ治具４０の全面に樹脂硬化光Ｌを照射するので、コア２０の硬化を容易かつ高能率に行うことができる。【００７４】
図４は第１実施形態及び第２実施形態に係る光導波路の製造方法の第２実施形態を示す図であって、この図から明らかなように、本例の光導波路の製造方法は、露光用孔を有する不透明な押さえ治具を用い、金型内に充填された紫外線硬化性樹脂を露光用孔を通して当該紫外線硬化性樹脂に伝播される樹脂硬化光にて硬化することを特徴とする。【００７５】
本例の光導波路の製造方法に使用される押さえ治具４０は、金属板などの不透明材をもって形成されており、所要の部位に樹脂注入口４１と排気口４２と露光用孔４４とが開設されている。金型３０及びクラッドフィルム１０については、前述した第１実施形態に係る光導波路の製造方法と同じである。【００７６】
本例の光導波路の製造方法も、第１及び第２の貫通孔１１，１２内及び凹溝３４内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を注入するまでは、第１実施形態に係る光導波路の製造方法と同じ手順で作業が行われる。第１及び第２の貫通孔１１，１２内及び凹溝３４内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂が注入されたときの状態を、図４（ａ）に示す。この図から明らかなように、この状態においては、露光用孔４４と貫通孔１１，１２とが、互いに面方向にずれた位置に配置されている。【００７７】
次いで、この状態から、図４（ｂ）に示すように、押さえ治具４０を面方向に移動し、露光用孔４４を第１貫通孔１１又は第２貫通孔１２（図４（ｂ）の例では、第２貫通孔１２）に合致させる。しかる後に、露光用孔４４内に、例えば一端が光源に接続された光ファイバなどの露光手段（図示省略）を挿入し、露光用孔４４を通して第２貫通孔１２に樹脂硬化光Ｌを照射する。第２貫通孔１２に照射された樹脂硬化光は、第２貫通孔１２、凹溝３４、第１貫通孔１１の順に伝播し、この中に充填された紫外線硬化性樹脂を硬化する。これにより、所要のコア２０が形成される。以下、第１実施形態に係る光導波路の製造方法と同様に、クラッドフィルム１０の表面から押さえ治具４０を除去した後、金型３０とクラッドフィルム１０の界面を剥離して、製品である光導波路を取り出す（図１参照）。また、第２実施形態に係る光導波路については、前記光導波路を取り出した後に、導光部２１の表面を他のクラッドフィルム１０ａにて覆うことにより、製造することができる（図２参照）。【００７８】
本例の光導波路の製造方法は、第１実施形態に係る光導波路の製造方法と同様の効果を有するほか、不透明な押さえ治具４０を用いるので、遮光膜４３の形成が不要になり、押さえ治具４０ひいては光導波路１Ａ，１Ｂの製造コストを低減することができる。【００７９】
図５は本発明に係る光導波路の製造方法の第３実施形態を示す図であって、この図から明らかなように、本例の光導波路の製造方法は、スライダ挿入空間と当該空間内に挿入されるスライダとからなる樹脂注入経路及び露光経路の切換手段を有する不透明な押さえ治具を用いたことを特徴とする。【００８０】
本例の光導波路の製造方法に使用される押さえ治具４０は、金属板などの不透明材をもって形成されており、所要の部分に樹脂注入口４１及び第１貫通孔１１に連通する第１スライダ挿入空間４５、排気口４２及び第２貫通孔１２に連通する第２スライダ挿入空間４６、並びに第１及び第２のスライダ挿入空間４５，４６のいずれか（図５の例では、第２スライダ挿入空間４６）に連通する露光用孔４４を有し、第１スライダ挿入空間４５内に樹脂注入口４１と第１貫通孔１１とを連通する第１樹脂通過孔４７ａが開設された第１スライダ４７が摺動可能に挿入され、かつ第２スライダ挿入空間４６内に排気口４２と第２貫通孔１２とを連通する第２樹脂通過孔４８ａが開設された第２スライダ４８が摺動可能に挿入されている。金型３０及びクラッドフィルム１０については、前述した第１実施形態に係る光導波路の製造方法と同じである。【００８１】
本例の光導波路の製造方法は、金型３０の凹溝形成面に密着されたクラッドフィルム１０に第１及び第２の貫通孔１１，１２を開設した後、図５（ａ）に示すように、クラッドフィルム１０の表面に押さえ治具４０を載せて第１貫通孔と樹脂注入口４１とが合致し、かつ第２貫通孔１２と排気口４２とが合致するように、クラッドフィルム１０に対する押さえ治具４０のアライメントを行うと共に、第１樹脂通過孔４７ａが樹脂注入口４１及び第１貫通孔１１と合致し、かつ第２樹脂通過孔４８ａが排気口４２及びと第２貫通孔１２と合致するように、押さえ治具４０に対する第１及び第２のスライダ４７，４８のアライメントを行う。この状態で、第１実施形態に係る光導波路の製造方法と同様に、図示しない樹脂供給装置から樹脂注入口４１を通して第１及び第２の貫通孔１１，１２内及び凹溝３４内に紫外線硬化性樹脂を注入する。【００８２】
次いで、この状態から、図５（ｂ）に示すように、第１及び第２のスライダ４７，４８をそれぞれ第１及び第２のスライダ挿入空間４５，４６内の所定の位置、即ち、樹脂注入口４１と第１貫通孔１１との間に第１スライダ４７が介在せず、かつ排気口４２と第２貫通孔１２との間に第２スライダ４８が介在しない位置まで移動させ、押さえ治具４０に開設された露光用孔４４を第２スライダ挿入空間４６に連通させる。この状態から、露光用孔４４を通して第２スライダ挿入空間４６内に、一端が光源に接続された光ファイバなどの露光手段（図示省略）を挿入し、露光用孔４４及び第２スライダ挿入空間４６を通して第２貫通孔１２に樹脂硬化光Ｌを照射する。第２貫通孔１２に照射された樹脂硬化光は、第２貫通孔１２、凹溝３４、第１貫通孔１１の順に伝播し、この中に充填された紫外線硬化性樹脂を硬化する。これにより、所要のコア２０が形成される。以下、第１実施形態に係る光導波路の製造方法と同様に、クラッドフィルム１０の表面から押さえ治具４０を除去した後、金型３０とクラッドフィルム１０の界面を剥離して、製品である光導波路を取り出す（図１参照）。また、第２実施形態に係る光導波路については、前記光導波路を取り出した後に、導光部２１の表面を他のクラッドフィルム１０ａにて覆うことにより、製造することができる（図２参照）。【００８３】
本例の光導波路の製造方法は、第１及び第２のスライダ挿入空間４５，４６が形成され、当該各空間４５，４６内に第１及び第２のスライダ４７，４８が摺動可能に挿入された押さえ治具４０を用い、第１及び第２のスライダ挿入空間４５，４６内で第１及び第２のスライダ４７，４８の設定位置を適宜切り換えることにより、第１及び第２の貫通孔１１，１２内並びに凹溝３４内への紫外線硬化性樹脂の供給と、露光用孔４４及び第１又は第２のスライダ挿入空間４５，４６を通しての第１及び第２の貫通孔１１，１２内並びに凹溝３４内に充填された紫外線硬化性樹脂の露光とが可能になるので、押さえ治具４０に形成された露光用孔４４とクラッドフィルム１０に開設された第１又は第２の貫通孔１１，１２とのアライメントが不要になり、光導波路の製造をより効率的なものにすることができる。【００８４】
図６は本発明に係る光導波路の製造方法の第４実施形態を示す図であって、この図から明らかなように、本例の光導波路の製造方法も、スライダ挿入空間と当該空間内に挿入されるスライダとからなる樹脂注入経路及び露光経路の切換手段を有する不透明な押さえ治具を用いたことを特徴とする。【００８５】
本例の光導波路の製造方法に使用される押さえ治具４０は、金属板などの不透明材をもって形成されており、所要の部分に樹脂注入口４１及び第１貫通孔１１に連通する第１スライダ挿入空間４５、排気口４２及び第２貫通孔１２に連通する第２スライダ挿入空間４６、並びに第１及び第２のスライダ挿入空間４５，４６のいずれか（図６の例では、第２スライダ挿入空間４６）に連通する露光用孔４４を有し、第１スライダ挿入空間４５内に樹脂注入口４１と第１貫通孔１１とを連通する第１樹脂通過孔４７ａが開設された第１スライダ４７が摺動可能に挿入され、かつ第２スライダ挿入空間４６内に排気口４２と第２貫通孔１２とを連通する第２樹脂通過孔４８ａ及び露光用孔４４と連通する第２露光用孔４９が開設された第２スライダ４８が摺動可能に挿入されている。金型３０及びクラッドフィルム１０については、前述した第１実施形態に係る光導波路の製造方法と同じである。【００８６】
本例の光導波路の製造方法は、金型３０の凹溝形成面に密着されたクラッドフィルム１０に第１及び第２の貫通孔１１，１２を開設した後、クラッドフィルム１０の表面に押さえ治具４０を載せて第１貫通孔と樹脂注入口４１とが合致し、かつ第２貫通孔１２と排気口４２とが合致するように、クラッドフィルム１０に対する押さえ治具４０のアライメントを行うと共に、第１樹脂通過孔４７ａが樹脂注入口４１及び第１貫通孔１１と合致し、かつ第２樹脂通過孔４８ａが排気口４２及び第２貫通孔１２と合致するように、押さえ治具４０に対する第１及び第２のスライダ４７，４８のアライメントを行う。スライダ４７，４８のアライメントは、図６（ａ）に示すように、第１及び第２のスライダ４７，４８の一側端をそれぞれ第１及び第２のスライダ挿入空間４５，４６の一壁面に突き当てることにより、自動的に行うことができる。この状態で、第１実施形態に係る光導波路の製造方法と同様に、図示しない樹脂供給装置から樹脂注入口４１を通して第１及び第２の貫通孔１１，１２内及び凹溝３４内に紫外線硬化性樹脂を注入する。【００８７】
次いで、この状態から、図６（ｂ）に示すように、第１及び第２のスライダ４７，４８の他の一側端がそれぞれ第１及び第２のスライダ挿入空間４５，４６の他の一壁面に突き当てられる位置まで第１及び第２のスライダ４７，４８を移動する。これにより、樹脂注入口４１と第１貫通孔１１とが第１スライダ４７によって遮断されると共に、排気口４２と第２貫通孔１２とが第２スライダ４８によって遮断される。この場合にも、露光用孔４４と第２スライダ４８に開設された第２露光用孔４９との連通は、第２スライダ挿入空間４６を介して維持される。【００８８】
この状態から、露光用孔４４、第２スライダ挿入空間４６及び第２露光用孔４９内に、一端が光源に接続された光ファイバなどの露光手段（図示省略）を挿入し、これらの各孔４４，４６，４９を通して第２貫通孔１２に樹脂硬化光Ｌを照射する。第２貫通孔１２に照射された樹脂硬化光は、第２貫通孔１２、凹溝３４、第１貫通孔１１の順に伝播し、この中に充填された紫外線硬化性樹脂を硬化する。これにより、所要のコア２０が形成される。以下、第１実施形態に係る光導波路の製造方法と同様に、クラッドフィルム１０の表面から押さえ治具４０を除去した後、金型３０とクラッドフィルム１０の界面を剥離して、製品である光導波路を取り出す（図１参照）。また、第２実施形態に係る光導波路については、前記光導波路を取り出した後に、導光部２１の表面を他のクラッドフィルム１０ａにて覆うことにより、製造することができる（図２参照）。【００８９】
本例の光導波路の製造方法は、第３実施形態に係る光導波路の製造方法と同様の効果を有するほか、第１及び第２のスライダ４７，４８の所要の一側端をそれぞれ第１及び第２のスライダ挿入空間４５，４６の所要の一壁面に突き当てることにより、樹脂注入時及び樹脂硬化時におけるスライダ４７，４８のアライメントを行うので、これらの各工程におけるスライダ４７，４８のアライメント作業を容易化でき、光導波路の製造を効率化することができる。【００９０】
以下に、本発明に係る光導波路のより具体的な実施例を挙げる。【００９１】
〈実施例１〉
電鋳を利用した転写技術を用いて、幅が５０μｍ、深さが５０μｍ、長さが５０ｍｍの溝部が２５０μｍピッチで１２本形成され、各溝部の両端部に傾斜面が４５°の角度で形成されたニッケル金型を作製した。また、ガラス板を用いて、所要の部分に樹脂注入口及び排気口が開設され、かつ、これら各口が遮光膜にて覆われた透明な押さえ治具を作製した。ニッケル金型の溝部形成面には、ダイキン工業製のフッ素系離型材「オプツール」を塗布した。クラッドフィルムとしては、ＪＳＲ製の厚さが１００μｍで、屈折率が約１．５１の「アートンフィルム」を用い、使用前に表面に酸素プラズマ洗浄を施した。ニッケル金型の溝部形成面にクラッドフィルムを密着した後、クラッドフィルムの傾斜面と対応する部分にレーザ加工にて第１及び第２の貫通孔を開設した。クラッドフィルム上に押さえ治具を置き、適度な圧力を金型とクラッドフィルムとに付与した状態で、第１及び第２の貫通孔内並びに溝部内に、硬化後の屈折率が約１．５５で粘度が６００ｍＰａ・ｓのコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した。しかる後に、高圧水銀灯を利用して、押さえ治具の外側から充填された紫外線硬化樹脂に２Ｊ／ｃｍ２の強度の樹脂硬化光を照射した。【００９２】
〈実施例２〉
電鋳を利用した転写技術を用いて、幅が５０μｍ、深さが５０μｍ、長さが５０ｍｍの溝部が２５０μｍピッチで１２本形成され、各溝部の両端部に傾斜面が４５°の角度で形成されたニッケル金型を作製した。また、金属板を用いて、所要の部分に樹脂注入口と排気口と露光用孔とが開設された押さえ治具を作製した。ニッケル金型の溝部形成面には、ダイキン工業製のフッ素系離型材「オプツール」を塗布した。クラッドフィルムとしては、ＪＳＲ製の厚さが１００μｍで、屈折率が約１．５１の「アートンフィルム」を用い、使用前に表面に酸素プラズマ洗浄を施した。ニッケル金型の溝部形成面にクラッドフィルムを密着した後、クラッドフィルムの傾斜面と対応する部分にレーザ加工にて第１及び第２の貫通孔を開設した。クラッドフィルム上に押さえ治具を置き、適度な圧力を金型とクラッドフィルムとに付与した状態で、第１及び第２の貫通孔内並びに溝部内に、硬化後の屈折率が約１．５５で粘度が６００ｍＰａ・ｓのコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した。しかる後に、押さえ治具を移動して、露光用孔とクラッドフィルムに開設された第２貫通孔とを合致させ、露光用孔内に光ファイバの先端部を差し込んで、充填された紫外線硬化樹脂に波長が３７５ｎｍの紫外線発光ダイオードの光を照射した。【００９３】
なお、前記第３及び第４の実施形態においては、樹脂注入経路及び露光経路の切換手段として、スライダ挿入空間と当該空間内に挿入されるスライダとからなるものを用いたが、本発明の要旨はこれに限定されるものではなく、他の切換手段を用いることももちろん可能である。一例としては、樹脂注入経路と露光経路とを有する回転駒と、当該回転駒を回転可能に収納する空間部とからなるものなどを挙げることができる。【００９４】
図７は本発明に係る光導波路の製造方法の第５実施形態を示す図であって、この図から明らかなように、本例の光導波路の製造方法は、第２実施形態に係る光導波路の製造方法に関するものである。【００９５】
まず、図７（ａ）に示すように、片面にコア２０の導光部２１に相当する凹溝１３が形成された第２のクラッドフィルム１０ａを用意する。また、これと共に、図７（ｂ）に示すように、凹溝１３の両端部に相当する位置に第１及び第２の貫通孔１１，１２が開設された第１のクラッドフィルム１０を用意する。【００９６】
なお、片面に凹溝１３が形成された第２のクラッドフィルム１０ａの製造は、所謂熱インプリント技術を応用することにより行うことができる。即ち、凹溝１３とは大きさが同じで凹凸の向きが逆向きになった凸条を有する金型を作製し、この金型の凸条形成面に第２のクラッドフィルム１０ａの元になるフィルム基材を過熱化で押し付けて、凸条の反転パターンを樹脂シートに転写する。この場合、金型からの第２のクラッドフィルム１０ａの離型性を良くするため、金型の表面に離型材を塗布することもできる。金型は、樹脂の剥離性が良好で、所要の導光部２１を高精度に形成できることから、例えばニッケル又はニッケル合金などをもって形成される。金型は、レーザ加工等により素材となるニッケル板又はニッケル合金板に直接凸条をカッティングすることもできるし、フォトリソグラフィ技術を用いて、ガラス基板上に導光部２１に相当するフォトレジスト製の凹部が形成された原盤を作製した後、電鋳を利用した転写技術を用いて、原盤に形成された凹部をニッケル金型又はニッケル合金金型に転写するという方法で行うこともできる。【００９７】
一方、第１のクラッドフィルム１０に対する第１及び第２の貫通孔１１，１２の開設は、レーザ加工等により行うことができる。【００９８】
次に、図７（ｃ）に示すように、凹溝１３を内側にし、かつ凹溝１３の両端部と対向に第１及び第２の貫通孔１１，１２を位置決めして、第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａを貼り合わせる。これら第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａの貼り合わせは、接着又は熱圧着により行われる。【００９９】
次に、図７（ｄ）に示すように、これら第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａの貼り合わせ体をフィルム保持具５３に載置し、第２のクラッドフィルム１０ａの下面をフィルム保持具５３にて保持すると共に、第１のクラッドフィルム１０の表面に押さえ治具４０を当接して、これらフィルム保持具５３と押さえ治具４０とで、第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａの貼り合わせ体を適度な圧力で押圧する。押さえ治具４０には、第１貫通孔１１に対応する樹脂注入口４１及び第２貫通孔１２に対応する排気口４２が開設されており、押圧時には、これら第１貫通孔１１と樹脂注入口４１及び第２貫通孔１２と排気口４２が一致するように、位置決めが行われる。【０１００】
最後に、図７（ｅ）に示すように、押さえ治具４０の樹脂注入口４１及び排気口４２にそれぞれ樹脂供給装置のヘッド５１及び吸引装置のヘッド５２を連結し、吸引装置により貫通孔１１，１２内及び凹溝１３内の空気を吸引して凹溝１３内を減圧し、凹溝１３内の圧力が所定値以下に減圧された段階で、樹脂供給装置から貫通孔１１，１２内及び凹溝１３内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を注入する。これにより、貫通孔１１，１２内及び凹溝１３内への紫外線硬化性樹脂の充填が高能率に行われると共に、コア２０内への気泡の混入が防止され、良品の製造を高能率に行うことが可能になる。貫通孔１１，１２内及び凹溝１３内に紫外線硬化性樹脂が充填された段階で、樹脂供給装置からの樹脂の供給を停止し、押さえ治具４０からヘッド５１，５２を取り外す。また、第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａの貼り合わせ体の表面から、押さえ治具４０を取り外す。そして、この状態で、図７（ｆ）に示すように、第１のクラッドフィルム１０の外面から紫外線硬化性樹脂の硬化光Ｌを照射する。これにより、図２に示す光導波路１Ｂが形成される。【０１０１】
なお、前記実施形態では、第２貫通孔１２を通して凹溝１３内の空気を排出し、第１貫通孔１１を通して高分子材料の充填を行ったが、これとは逆に、第１貫通孔１１を通して凹溝１３内の空気を排出し、第２貫通孔１２を通して樹脂の充填を行うことも勿論可能である。【０１０２】
本例の光導波路の製造方法は、第１のクラッドフィルム１０に開設された第１貫通孔１１又は第２貫通孔１２を通じて凹溝１３内及び貫通孔１１，１２内にコア形成用の高分子材料を充填するので、第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａの貼り合わせ並びに貼り合わされたクラッドフィルム１０，１０ａへの高分子材料の充填を連続処理にて行うことが可能で、第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａにてコア２０が完全に被覆保護された光導波路１を高能率に製造することができる。また、本例の光導波路の製造方法は、所謂ファインプリント技術を応用してコア２０の導光部２１に相当する凹溝１３を形成するので、微細な凹溝１３を有する第１のクラッドフィルムを高能率かつ高精度に製造することができ、高性能の光導波路を安価に製造することができる。さらに、本例の光導波路の製造方法は、貫通孔１１，１２及び凹溝１３内への高分子材料の充填時に、該空間内を真空引きしつつ高分子材料の加圧充填を行うので、貫通孔１１，１２及び凹溝１３内への高分子材料の充填を高能率に行えると共に、高分子材料内への気泡の混入を防止でき、良品を高能率に製造することができる。加えて、本例の光導波路の製造方法は、第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａの貼り合わせ体をフィルム保持具５３及び樹脂充填治具４０にて保持する貫通孔１１，１２及び凹溝１３内への高分子材料の充填を安定に行うことができ、良品の歩留まりを高めることができる。また、本例の光導波路の製造方法は、樹脂注入口４１及び排気口４２内に充填された高分子材料を未硬化のまま残すので、樹脂充填治具４０にコア形成用の高分子材料が硬化して付着せず、したがって硬化部分を除去するなどの後処理が必要となることがない。したがって、同一の樹脂充填治具４０を用いて高分子樹脂材料の充填を連続的に繰り返すことができ、光導波路１の製造を高能率に行うことができる。【０１０３】
図８は第５実施形態に係る光導波路の製造方法のより実際的な実施形態を示す図である。この図から明らかなように、本例の光導波路の製造方法は、凹溝１３が形成された第２のクラッドフィルム１０ａ並びに第１及び第２の貫通孔１１，１２が開設された第１のクラッドフィルム１０を長尺のリボン状に形成して、それぞれ第１及び第２のリール６１，６２に巻回する。そして、これらの各リール６１，６２から引き出された第２のクラッドフィルム１０ａ及び第１のクラッドフィルム１０を貼り合わせローラなどのフィルム貼り合わせ手段６３、吸引装置及び樹脂供給装置とからなる樹脂充填装置６４、高圧水銀灯などの樹脂硬化ランプ６５及び巻き取りローラ６６を備えたラインに供給して、光導波路１の連続体を製造する。巻き取りローラ５６に巻き取られた光導波路１の連続体は、図示しない切断工程に移送され、所望の光導波路１に切断・成型される。【０１０４】
本例の光導波路の製造方法は、第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａの製造並びに貼り合わせ、それに貼り合わされた第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａへの高分子材料の充填並びにその硬化を連続的に行うことができるので、光導波路の製造をより高能率化することができる。【０１０５】
以下に、本発明に係る光導波路のより具体的な実施例を挙げる。【０１０６】
電鋳を利用した転写技術を用いて、幅が５０μｍ、高さが５０μｍ、長さが５０ｍｍの凸条が２５０μｍピッチで１２本平行に形成され、各凸条の両端部に傾斜面が４５°の角度で形成されたニッケル金型を作製した。また、第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａの元になるフィルム基材として、厚さが１００μｍで、屈折率が約１．５１のＪＳＲ社製のノルボルネン系耐熱透明樹脂「アートンフィルム」を用意した。第１のクラッドフィルム１０の製造に際しては、ニッケル金型の溝部形成面にダイキン工業製のフッ素系離型材「オプツール」を塗布すると共に、フィルム基材の表面に酸素プラズマ洗浄を施した。第１のクラッドフィルム１０の製造は、加熱されたニッケル金型の凸条形成面にフィルム基材を押し付けることにより行った。一方、第２のクラッドフィルム１０ａについては、前記フィルム基材に第１及び第２の貫通孔１１，１２をレーザ加工することにより製造した。次いで、これら第１及び第２のクラッドフィルム１０，１０ａを接着剤を介して貼り合わせ、フィルム保持具５３と樹脂充填治具４０との間で適度な圧力を付与しながら、第１及び第２の貫通孔内１１，１２並びに凹溝１３内に、硬化後の屈折率が約１．５５で粘度が６００ｍＰａ・ｓのコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した。しかる後に、高圧水銀灯を利用して、押さえ治具の外側から充填された紫外線硬化樹脂に２Ｊ／ｃｍ２の強度の樹脂硬化光を照射した。【０１０７】
〈光導波路の第３実施形態及び第４実施形態〉
本発明の第３実施形態及び第４実施形態に係る光導波路を、図９及び図１０に基づいて説明する。図９は第３実施形態に係る光導波路の断面図であり、図１０は第４実施形態に係る光導波路の断面図である。【０１０８】
図９に示すように、第３実施形態に係る光導波路１Ｃは、第１実施形態に係る光導波路のミラー面２４，２５に反射膜７０を形成したものであり、第４実施形態に係る光導波路１Ｄは、第２実施形態に係る光導波路のミラー面２４，２５に反射膜７０を形成したものである。【０１０９】
反射膜７０は、アルミニウムや銀などの反射率の高い金属材料又はこれらの金属材料を主成分とする合金材料を、ミラー面２４，２５に真空蒸着することによって形成される。また、光導波路が金型３０を用いて製造される場合（図３〜図６参照）には、金型３０のミラー面２４，２５と対応する部分に反射膜７０を真空蒸着し、コア２０から金型３０を剥離する工程で、その反射膜７０をコア２０のミラー面２４，２５に転写するという方法をとることもできる。なお、反射膜７０は、ミラー面２４，２５のみに形成するだけで足りるが、光導波路の製造コストを抑制するため、必ずしもミラー面２４，２５のみに限定されるものではなく、導光路２１の底面に形成することも許容される。即ち、反射膜７０をミラー面２４，２５にのみ形成するためには、反射層７０の形成範囲をミラー面２４，２５にのみ限定するためのマスクが必要になったり、不要部分に付着した反射膜７０を除去するための後処理が必要になったりするので、これを省略することによって光導波路のコスト低下を図るため、導光路２１の底面に反射膜７０を形成することが許容される。【０１１０】
このように、コア２０のミラー面２４，２５に反射膜７０を形成すると、ミラー面２４，２５における光の反射効率を高めることができるので、コア２０とクラッドフィルム１０，１０ａとの屈折率差を十分に大きくできない場合にも、光の伝播効率が高い光導波路とすることができる。【０１１１】
〈光導波路の第５実施形態〉
本発明の第５実施形態を、図１１に基づいて説明する。図１１は第５実施形態に係る光導波路の断面図である。【０１１２】
図１１に示すように、第５実施形態に係る光導波路１Ｅは、２枚のクラッドフィルム１０，１０ａを有しており、一方のクラッドフィルム１０ａには、複数（図１１の例では、２本）の第１導光部２１ａが形成され、他方のクラッドフィルム１０には、これら複数の第１導光部２１ａの端部を直接連結する第２導光部２１ｂが形成されている。また、第１導光部２１ａ及び第２導光部２１ｂに形成された各ミラー部には、反射膜７０が形成されている。その他については、第４実施形態に係る光導波路と同じであるので、対応する部分に同一の符号を付して、説明を省略する。【０１１３】
本例の光導波路１Ｅは、導光部を、一方のクラッドフィルム１０ａに形成された複数の第１導光部２１ａと、他方のクラッドフィルム１０に形成された第２導光部２１ｂとの連結体をもって構成するので、導光部を任意の長さに形成することができ、この種の光導波路の適用範囲を拡大することができる。【０１１４】
第５実施形態に係る光導波路１Ｅは、一方のクラッドフィルム１０ａの片面に複数の第１導光部２１ａに相当する凹溝３１を形成すると共に、他方のクラッドフィルム１０の片面に、第１及び第２の貫通孔１１，１２と、前記一方のクラッドフィルム１０ａに形成された１の凹溝の一端と他の凹溝の一端とを繋ぐ、第２導光部２１ｂに相当する連結凹溝１３とを形成し、各凹溝３１の端部と連結凹溝１３の端部を合致させ、かつ第１及び第２の貫通孔１１，１２をそれぞれ１の凹溝の他端と他の凹溝の他端とに位置付けた後、第１貫通孔１１から、第１貫通孔１１内、凹溝３１内、連結凹溝１３内及び第２貫通孔１２内の空気を吸引しつつ、第２貫通孔１２から、第２貫通孔１２内、凹溝３１内、連結凹溝１３内及び第１貫通孔１１内にコア形成用の高分子材料を加圧充填することによって、作製することができる。【０１１５】
〈光導波路の第６実施形態〉
本発明の第６実施形態を、図１２に基づいて説明する。図１２は第６実施形態に係る光導波路の断面図である。【０１１６】
図１２に示すように、第６実施形態に係る光導波路１Ｆは、３枚のクラッドフィルム１０，１０ａ，１０ｂを有しており、第２のクラッドフィルム１０ａには、複数（図１１の例では、２本）の第１導光部２１ａが形成され、第１のクラッドフィルム１０には、第２導光部２１ｂが形成され、第３のクラッドフィルム１０ｂには、第１導光部２１ａの端部と第２導光部２１ｂの端部とを連結する連結導光部２１ｃが形成されている。また、第１導光部２１ａ及び第２導光部２１ｂに形成された各ミラー部には、反射膜７０が形成されている。その他については、第４実施形態に係る光導波路と同じであるので、対応する部分に同一の符号を付して、説明を省略する。本例の光導波路１Ｆも、第５実施形態に係る光導波路１Ｅとほぼ同一の効果を有する。【０１１７】
第６実施形態に係る光導波路１Ｆは、第２のクラッドフィルム１０ａの片面に複数の第１導光部２１ａに相当する凹溝３１を形成すると共に、第１のクラッドフィルム１０の片面に、第１及び第２の貫通孔１１，１２と、第２導光部２１ｂに相当する連結凹溝１３とを形成する。また、第３のクラッドフィルム１０ｂに、連結導光部２１ｃに相当する貫通孔１４を開設する。そして、これらの各クラッドフィルムを、第２のクラッドフィルム１０ａ、第３のクラッドフィルム１０ｂ、第１のクラッドフィルム１０の順に重ね合わせ、各凹溝３１の端部と貫通孔１４の一端部、並びに貫通孔１４の他端部と第１及び第２の貫通孔１１，１２とを相互に合致させる。しかる後に、第１貫通孔１１から、第１貫通孔１１内、貫通孔１４内、凹溝３１内、連結凹溝１３内及び第２貫通孔１２内の空気を吸引しつつ、第２貫通孔１２から、第２貫通孔１２内、貫通孔１４内、凹溝３１内、連結凹溝１３内及び第１貫通孔１１内にコア形成用の高分子材料を加圧充填する。これにより、第６実施形態に係る光導波路１Ｆを作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１８】
【図１】第１実施形態に係る光導波路の断面図である。
【図２】第２実施形態に係る光導波路の断面図である。
【図３】第１実施形態に係る光導波路製造方法の工程説明図である。
【図４】第２実施形態に係る光導波路製造方法の工程説明図である。
【図５】第３実施形態に係る光導波路製造方法の工程説明図である。
【図６】第４実施形態に係る光導波路製造方法の工程説明図である。
【図７】第５実施形態に係る光導波路製造方法の工程説明図である。
【図８】本発明に係る光導波路製造方法のより実際的な実施形態を示す図である。
【図９】第３実施形態に係る光導波路の断面図である。
【図１０】第４実施形態に係る光導波路の断面図である。
【図１１】第５実施形態に係る光導波路の断面図である。
【図１２】第６実施形態に係る光導波路の断面図である。
【図１３】従来例に係る光導波路の斜視図である。
【図１４】従来例に係る光導波路製造方法の工程説明図である。
【符号の説明】
【０１１９】
１Ａ〜１Ｆ    光導波路
１０，１０ａ，１０ｂ    クラッドフィルム
１１，１２    貫通孔
２０    コア
２１    導光部
２２    入光部
２２ａ    入光面
２３    出光部
２３ａ    出光面
２４，２５    ミラー面
３０    金型
３１    凹溝
４０    押さえ治具
４１    樹脂注入口
４２    排気口
４３    遮光膜
４４    露光用孔
４５，４６    スライダ挿入空間（切換手段）
４７，４８    スライダ（切換手段）
４７ａ，４８ａ    樹脂通過孔
５１    樹脂供給装置のヘッド
５２    吸引装置のヘッド
６１，６２    リール
６３    フィルム貼り合わせ手段
６４    樹脂充填装置
６５    樹脂硬化ランプ
６６    巻き取りローラ
【図１】
2009066699.tif 000003
【図２】
2009066699.tif 000004
【図３】
2009066699.tif 000005
【図４】
2009066699.tif 000006
【図５】
2009066699.tif 000007
【図６】
2009066699.tif 000008
【図７】
2009066699.tif 000009
【図８】
2009066699.tif 000010
【図９】
2009066699.tif 000011
【図１０】
2009066699.tif 000012
【図１１】
2009066699.tif 000013
【図１２】
2009066699.tif 000014
【図１３】
2009066699.tif 000015
【図１４】
2009066699.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月19日(2010.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面に導光部を形成するための凹溝が形成された凹溝形成部材と、前記凹溝の両端部と対応する位置に第１及び第２の貫通孔が開設されたクラッドフィルムとを密着した後、前記第１貫通孔から、前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内の空気を吸引しつつ、前記第２貫通孔から、前記第２貫通孔内、前記凹溝内及び前記第１貫通孔内にコア形成用の高分子材料を加圧充填する工程を含むことを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項２】
前記凹溝形成部材が、光導波路とは別体の金型であることを特徴とする請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項３】
前記凹溝形成部材が、前記クラッドフィルムと共に光導波路のクラッドを構成する他のクラッドフィルムであることを特徴とする請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項４】
前記凹溝形成部材の片面に前記凹溝を形成する際、前記凹溝の両端部に傾斜面からなるミラー面を一体に形成することを特徴とする請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項５】
前記凹溝形成部材に対する前記凹溝及び前記ミラー面の形成後、前記凹溝の底面及び前記ミラー面のうちの少なくとも前記ミラー面に反射膜を形成することを特徴とする請求項４に記載の光導波路の製造方法。
【請求項６】
前記凹溝形成部材が金型である場合において、前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内に加圧充填されたコア形成用の高分子材料を硬化した後、金型である前記凹溝形成部材を前記コアから剥離する際、前記反射膜を前記コアの底面及びミラー面のうちの少なくともミラー面に転写することを特徴とする請求項５に記載の光導波路の製造方法。
【請求項７】
前記凹溝形成部材の片面に複数の前記凹溝を形成すると共に、前記クラッドフィルムの片面に、前記第１及び第２の貫通孔と、前記凹溝形成部材に形成された１の凹溝の一端と他の凹溝の一端とを繋ぐ連結凹溝とを形成し、前記複数の凹溝の端部と前記連結凹溝の端部を合致させ、かつ前記第１及び第２の貫通孔をそれぞれ前記１の凹溝の他端と前記他の凹溝の他端とに位置付けた後、前記第１貫通孔から、前記第１貫通孔内、前記１の凹溝内、前記連結凹溝内、前記他の凹溝内及び前記第２貫通孔内の空気を吸引しつつ、前記第２貫通孔から、前記第２貫通孔内、前記他の凹溝内、前記連結凹溝内、前記１の凹溝内及び前記第１貫通孔内にコア形成用の高分子材料を加圧充填することを特徴とする請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項８】
導光部を形成するための凹溝が形成された金型と、クラッドフィルムと、前記凹溝の両端と対応する位置に樹脂注入口及び排気口が開設された押さえ治具を準備する工程と、
前記金型の凹溝形成面に前記クラッドフィルムを密着する工程と、
前記クラッドフィルムの前記凹溝の両端と対応する位置に入光部及び出光部を形成するための第１及び第２の貫通孔を開設する工程と、
前記クラッドフィルム上に前記押さえ治具を置き、前記クラッドフィルムに開口された第１及び第２の貫通孔と前記押さえ治具に開設された前記樹脂注入口及び前記排気口とを合致する工程と、
前記押さえ治具を用いて前記金型と前記クラッドフィルムとを固定した後、前記排気口から、前記排気口内、前記第２貫通孔内、前記凹溝内、前記第１貫通孔内及び前記樹脂注入口内の空気を吸引しつつ、前記樹脂注入口から、前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の高分子材料を加圧充填する工程と、
前記凹溝内に充填された高分子材料並びに前記第１及び第２の貫通孔内に充填された高分子材料のみを選択的に硬化してコアを形成し、前記樹脂注入口内に充填された高分子材料及び前記排気口内に充填された高分子材料を未硬化のまま残す工程と、
前記クラッドフィルムの表面から前記押さえ治具を取り外し、前記金型からコアが一体形成された前記クラッドフィルムを剥離する工程
とを含むことを特徴とする請求項２に記載の光導波路の製造方法。
【請求項９】
前記押さえ治具として、透明材料をもって形成され、少なくとも前記樹脂注入口の壁面及び前記排気口の壁面を含む所要の部分に遮光膜が選択的に形成されたものを用いると共に、前記コア形成用の高分子材料として、紫外線硬化性樹脂を用い、前記樹脂注入口から、前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した後、前記押さえ治具の全面に樹脂硬化光を照射することを特徴とする請求項８に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１０】
前記押さえ治具として、不透明材料をもって形成され、前記樹脂注入口及び前記排気口の開設位置とは異なる位置に露光用孔が開設されたものを用いると共に、前記コア形成用の高分子材料として、紫外線硬化性樹脂を用い、前記樹脂注入口から前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した後、前記押さえ治具を移動して前記露光用孔と前記クラッドフィルムに開設された前記第１貫通孔又は前記第２貫通孔とを合致させ、前記露光用孔を通して、前記各貫通孔内に充填された紫外線硬化性樹脂及び前記凹溝内に充填された紫外線硬化性樹脂に樹脂硬化光を照射することを特徴とする請求項８に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１１】
前記押さえ治具として、不透明材料をもって形成され、前記樹脂注入口及び前記第１貫通孔に連通する位置並びに前記排気口及び前記第２貫通孔に連通する位置に樹脂注入経路及び露光経路の切換手段が備えられ、かつ前記切換手段に連通する露光用孔が形成されたものを用いると共に、
前記コア形成用の高分子材料として、紫外線硬化性樹脂を用い、
前記切換手段を、前記樹脂注入口と前記第１貫通孔とを連通する位置及び前記排気口と前記第２貫通孔とを連通する状態に切り換えて、前記樹脂注入口から前記樹脂注入口内、前記第１貫通孔内、前記凹溝内、前記第２貫通孔内及び前記排気口内にコア形成用の紫外線硬化性樹脂を充填した後、
前記切換手段を、前記露光用孔と前記第１貫通孔又は前記第２貫通孔とを連通する状態に切り換え、前記露光用孔を通して前記第１及び第２の貫通孔内に充填された紫外線硬化性樹脂及び前記凹溝内に充填された紫外線硬化性樹脂に樹脂硬化光を照射することを特徴とする請求項８に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１２】
前記樹脂注入経路及び露光経路の切換手段が、前記押さえ治具に形成されたスライダ挿入空間と、当該スライダ挿入空間内に挿入可能に構成されたスライダとからなることを特徴とする請求項１１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１３】
傾斜するミラー面を両端に有する導光部を形成するための凹溝が形成された第１のクラッドフィルムと、前記凹溝の両端と対応する位置に入光部及び出光部を形成するための第１及び第２の貫通孔が開設された第２のクラッドフィルムとを準備する工程と、
前記凹溝の両端部に前記第１貫通孔と第２貫通孔とを対向させて前記第１のクラッドフィルムの凹溝形成面に前記第２のクラッドフィルムを貼り合わせる工程と、
前記第１貫通孔又は前記第２貫通孔を通じて前記凹溝内及び他方の貫通孔内にコア形成用の高分子材料を充填する工程と、
前記充填された高分子材料を硬化し、前記入光部、前記導光部、前記出光部、前記入光
部から入射された光を前記導光部に導く第１ミラー面及び前記導光部を伝播した光を前記出光部に導く第２ミラー面を有するコアを前記第１及び第２のクラッドフィルムと一体に形成する工程、
とを含むことを特徴とする請求項３に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１４】
前記第１のクラッドフィルム及び前記第２のクラッドフィルムを準備する工程では、前記凹溝が長さ方向に所定の間隔で多数形成されたリボン状の第１のクラッドフィルムを作製して第１リールに巻回すると共に、前記第１及び第２の貫通孔が長さ方向に所定の間隔で多数形成されたリボン状の第２のクラッドフィルムを作製して第２リールに巻回し、前記第１のクラッドフィルムの凹溝形成面に前記第２のクラッドフィルムを貼り合わせる工程では、前記第１リールから引き出された前記第１のクラッドフィルム及び前記第２リールから引き出された前記第２のクラッドフィルムを貼り合わせることを特徴とする請求項１３に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１５】
前記第１のクラッドフィルムの作製は、前記凹溝に対応する凸条が形成された金型と、前記第１のクラッドフィルムの元になるフィルム基材とを準備し、加熱下で前記金型の凸条形成面に前記フィルム基材を押し付け、前記フィルム基材の片面に前記凸条に対応する前記凹溝を転写することにより形成することを特徴とする請求項１３又は請求項１４に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１６】
前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内にコア形成用の高分子材料を充填する工程では、前記第１のクラッドフィルムの下面をフィルム保持具にて保持すると共に、前記第２のクラッドフィルムの表面を前記第１貫通孔に対応する樹脂注入口及び前記第２貫通孔に対応する排気口が開設された樹脂充填治具にて押圧し、前記排気口を通して前記第１貫通孔内、前記凹溝内及び前記第２貫通孔内の空気を吸引しつつ、前記樹脂注入口を通して前記第２貫通孔内、前記凹溝内及び前記第１貫通孔内にコア形成用の高分子材料を加圧充填することを特徴とする請求項１３に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１７】
前記充填された高分子材料を硬化する工程では、前記第２貫通孔内、前記凹溝内及び前記第１貫通孔内に充填された高分子材料のみを選択的に硬化し、前記樹脂注入口及び前記排気口内に充填された高分子材料を未硬化のまま残すことを特徴とする請求項１６に記載の光導波路の製造方法。
【請求項１８】
クラッドフィルムと、当該クラッドフィルムと一体に形成された高分子材料からなるコアとを備えた光導波路において、前記コアは、前記クラッドフィルムの片面に形成された導光部と、前記クラッドフィルムに開設された貫通孔内に前記導光部と同一の工程で形成され、前記導光部の両端部に接続された入光部及び出光部とを有することを特徴とする光導波路。
【請求項１９】
前記導光部の両端に、前記入光部から入射された光を前記導光部に導くミラー面と、前記導光部を伝播した光を前記出光部に導くミラー面とを形成したことを特徴とする請求項１８に記載の光導波路。
【請求項２０】
前記導光部と前記入光部と前記出光部は、断面形状及び断面積が略同等であることを特徴とする請求項１８及び請求項１９のいずれか１項に記載の光導波路。
【請求項２１】
前記コアが、紫外線硬化性樹脂をもって形成されていることを特徴とする請求項１８乃至請求項２０のいずれか１項に記載の光導波路。
【請求項２２】
前記コアの導光部が、２枚の前記クラッドフィルムにて覆われていることを特徴とする請求項１８乃至請求項２１のいずれか１項に記載の光導波路。
【請求項２３】
前記ミラー面に、反射層が形成されていることを特徴とする請求項１９に記載の光導波路。
【請求項２４】
前記導光部が、前記２枚のクラッドフィルムの一方に形成された複数の第１導光部と、前記２枚のクラッドフィルムの他方に形成され、前記複数の第１導光部の端部と直接又は所要の連結導光部を介して光学的に連結される第２導光部とからなることを特徴とする請求項２２に記載の光導波路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
一方、本発明は、前記課題を解決するため、光導波路に関して第１に、クラッドフィルムと、当該クラッドフィルムと一体に形成された高分子材料からなるコアとを備えた光導波路において、前記コアは、前記クラッドフィルムの片面に形成された導光部と、前記クラッドフィルムに開設された貫通孔内に前記導光部と同一の工程で形成され、前記導光部の両端部に接続された入光部及び出光部とを有するという構成にした。
【国際調査報告】
2009066699.tif 000017
2009066699.tif 000018
2009066699.tif 000019
2009066699.tif 000020