(57)【要約】  多層誘電体基板２に形成されて複数の高周波回路１０、１１，１２を搭載する接地導体４と、シールド蓋材３とを電気的に接続して構成したキャビティ５と、高周波回路１０、１１，１２を搭載する接地導体４上に形成され、キャビティ５に電気的に結合する導波管開口３０と、多層誘電体基板２の積層方向に形成され、導波管開口３０に接続された、信号波の基板内実効波長の略１／４の長さを有する先端短絡の誘電体導波管４０とを備え、単一キャビティを用いた安価かつ簡単な構成によって、複数の高周波回路間の空間アイソレーションを確保する。
2009139210.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多層誘電体基板上に搭載する複数の高周波回路を収納する高周波収納ケースにおいて、
少なくとも、多層誘電体基板に形成されて前記複数の高周波回路を信号伝搬方向に配列して搭載する接地導体と、前記複数の高周波回路を空間的に覆うシールド蓋材と、を電気的に接続して構成した電磁シールドによって形成され、かつ前記複数の高周波回路の配置方向と垂直となる方向の長さが、前記高周波回路から発生される第１の信号波の基板内実効波長の１／２より短い寸法を有するキャビティと、
高周波回路を搭載する前記接地導体上に形成され、前記キャビティに電気的に結合する導波管開口と、
前記導波管開口に接続され、多層誘電体基板の積層方向に形成された、前記高周波回路から発生される前記第１の信号波の周波数のＮ倍（Ｎ≧２）である第２の信号波の基板内実効波長の略１／４の長さを有する先端短絡の誘電体導波管と、
を備えることを特徴とする高周波収納ケース。
【請求項２】
前記キャビティは、前記接地導体と、前記シールド蓋材と、前記多層誘電体基板の表面の前記シールド蓋材の当接面に形成される表層接地導体と、表層接地導体と前記複数の高周波回路を搭載する接地導体とを接続するスルーホールとを電気的に接続することにより構成される請求項１に記載の高周波収納ケース。
【請求項３】
前記誘電体導波管は、内層接地導体と、前記接地導体および内層接地導体に接続される複数のスルーホールとにより構成されることを特徴とする請求項１または２に記載の高周波収納ケース。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一つに記載の高周波収納ケースと、
前記第１の信号波を発生する前記高周波回路としての発振回路と、前記発振回路から発生される第１の信号波をＮ逓倍し、前記第２の信号波を発生する前記高周波回路としての逓倍回路と、
を備え、前記発振回路と逓倍回路とを前記導波管開口を挟んで前記キャビティ内に分離配置したことを特徴とする高周波モジュール。
【請求項５】
請求項１〜３の何れか一つに記載の高周波収納ケースと、
前記導波管開口および先端短絡誘電体導波管が反射回路として機能する信号周波数帯を増幅する、前記高周波回路としての２つ以上の増幅回路と、
を備え、前記各増幅回路を前記導波管開口を挟んで前記キャビティ内に分離配置したことを特徴とする高周波モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の高周波回路が搭載される多層誘電体基板と、この多層誘電体基板を覆うシールド蓋材とによって電磁的にシールドされた空間であるキャビティを構成した高周波収納ケースおよび高周波モジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
マイクロ波帯、ミリ波帯などの高周波帯で動作する高周波回路が搭載される高周波パッケージにおいては、その動作安定性、ＥＭＩ（放射性スプリアス）規格などを考慮し、金属フレームなどにより電気的にシールドされたキャビティ内に搭載されることが多い。【０００３】
特許文献１においては、異なる機能の半導体チップ間の空間干渉を避けるために、パッケージアセンブリをシールリングや個別の蓋材によって複数の区画（キャビティ）に分割し、分割した各区画に半導体チップを機能別に搭載し、フィードスルーを用いて区画間の半導体チップを電気接続している。【０００４】
【特許文献１】特開平１０−４１４２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、この従来のパッケージ構造では、シールリング、蓋等の部材点数の増加や、パッケージへの半田接合、蓋の溶接等の製造工程が複雑化するなど、コスト、信頼性に関する問題が多い。また、ミリ波帯等の高周波帯では、チップサイズが波長オーダ（〜1mm程度）になってくるため、実質的にカットオフとなるキャビティ物理寸法での遮蔽、区画が実現できなくなるため、抵抗体／磁性体等の高価な吸収材を用いざるを得なかった。このように、マイクロ波帯、ミリ波帯などの高周波帯でもアイソレーションが確保可能な単純な構造のパッケージ構造、モジュール構成が望まれていた。【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、単一キャビティを用いた安価かつ簡単な構成によって、複数の高周波回路間の空間アイソレーションを確保できる高周波収納ケースおよび高周波モジュールを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、多層誘電体基板上に搭載する複数の高周波回路を収納する高周波収納ケースにおいて、少なくとも、多層誘電体基板に形成されて前記複数の高周波回路を信号伝搬方向に配列して搭載する接地導体と、前記複数の高周波回路を空間的に覆うシールド蓋材と、を電気的に接続して構成した電磁シールドによって形成され、かつ前記複数の高周波回路の配置方向と垂直となる方向の長さが、前記高周波回路から発生される第１の信号波の基板内実効波長の１／２より短い寸法を有するキャビティと、高周波回路を搭載する前記接地導体上に形成され、前記キャビティに電気的に結合する導波管開口と、前記導波管開口に接続され、多層誘電体基板の積層方向に形成された、前記高周波回路から発生される前記第１の信号波の周波数のＮ倍（Ｎ≧２）である第２の信号波の基板内実効波長の略１／４の長さを有する先端短絡の誘電体導波管とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、導波管開口および先端短絡の誘電体導波管を備え、この導波管開口および先端短絡の誘電体導波管をキャビティを伝搬する信号に対して、反射回路として動作させるようにしたので、単一キャビティを用いた安価かつ簡単な構成によって、複数の高周波回路間の空間アイソレーションを確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、この発明の実施の形態にかかる高周波モジュールを示す斜視図である。
【図２】図２は、この発明の実施の形態にかかる高周波モジュールを示す断面図である。
【図３】図３は、この発明の実施の形態にかかる高周波モジュール示す平面図である。
【図４】図４は、実施の形態の高周波モジュールのキャビティ内の伝搬特性を示す図である。
【図５】図５は、実施の形態の高周波モジュールの表層信号線路の伝搬特性を示す図である。
【符号の説明】
【００１０】
１  高周波モジュール
２  多層誘電体基板
３  シールド蓋材
４  接地導体
５  キャビティ
６  ＩＣ搭載凹部
７  表層接地導体
８  スルーホール
１０  発振回路
１１  増幅回路
１２  逓倍・増幅回路
２０  ワイヤ
２１  表層信号線路
２２  導体パッド
３０  導波管開口
４０  先端短絡誘電体導波管
４１  内層接地導体
４２  スルーホール
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に、本発明にかかる高周波収納ケース（或いは高周波パッケージ）および高周波モジュールの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。【００１２】
図１〜図３は、本発明にかかる高周波モジュールの実施の形態の構成を示す図である。高周波モジュール１には、マイクロ波帯、ミリ波帯などの高周波帯で動作する複数の高周波回路が搭載されており、この高周波モジュール１は、例えば、ＦＭ−ＣＷレーダに適用すると好適である。なお、通信用機器や、マイクロ波レーダ等に利用されても良い。【００１３】
この実施の形態においては、高周波回路として、周波数ｆ０の高周波信号を発生する発振回路１０と、発振回路１０の出力を増幅する増幅回路１１と、増幅回路１１の出力をＮ逓倍し（Ｎ≧２）、周波数Ｎ・ｆ０の逓倍信号を増幅して出力する逓倍・増幅回路１２などを搭載している。高周波回路は、電界効果トランジスタや高電子移動度トランジスタ等の半導体素子、或いは半導体素子およびセラミック基板等の外部基板により構成されたＭＩＣ（マイクロ波集積回路）やＭＭＩＣ（モノリシックマイクロ波集積回路）から成る。【００１４】
これらの高周波回路は、シールド蓋材３（図中では、蓋材の内壁のみを図示）、多層誘電体基板２などによって形成された気密でかつ電磁的に遮蔽された空間であるキャビティ５内に実装される。シールド蓋材３は、高周波回路を空間的に覆うものであり、金属によって構成してもよいし、内壁面に金属層を形成するようにしてもよい。多層誘電体基板２上には、複数の高周波回路を搭載するための複数の凹部（以下、ＩＣ搭載凹部という）６が形成されている。ＩＣ搭載凹部６は多層誘電体基板２の上位層（図の例では第１層）２ａに刳り貫き部を形成することによって形成される。ＩＣ搭載凹部６の底面には、その表面に接地導体４が形成されている。この実施の形態では、接地導体４は、図２に示すように、多層誘電体基板２における上位層の誘電体層２ａとその下層の誘電体層２ｂとの間に形成されたベタグランドであり、この接地導体４上に発振回路１０、増幅回路１１、逓倍・増幅回路１２などの高周波回路が搭載される。【００１５】
この実施の形態においては、ＩＣ搭載凹部６の底面に形成した接地導体４上に、発振回路１０、増幅回路１１、逓倍・増幅回路１２などの高周波回路を搭載するようにしているので、シールド蓋材３と接地導体４とを電気的に接続するために、シールド蓋材３が少なくとも多層誘電体基板２の表面と当接する箇所に表層接地導体７を形成し、この表層接地導体７と接地導体４とを複数のスルーホール８によって接続している。すなわち、この実施の形態においては、シールド蓋材３、表層接地導体７、複数のスルーホール８、接地導体４によって、遮蔽空間としてもキャビティ５を形成している。【００１６】
高周波回路間は、金などで構成されるワイヤ２０によって、ワイヤボンディング接続されている。ワイヤの代わりに、金リボンやはんだボールのような他の導電性接続部材を用いても良い。増幅回路１１と逓倍・増幅回路１２との間は、フィードスルーではなく、図３に示すように、ワイヤ２０、さらには表層の誘電体層２ａ上に形成されたマイクロストリップ線路やコプレーナ線路などの信号線路２１によって電気的な入出力接続がなされている。多層誘電体基板２の表層には、ＤＣバイアス電圧を供給したり、あるいは高周波回路間で制御信号を入出力するための導体パッド２２が形成されている。なお、導体パッド２２と各高周波回路との間はワイヤによって接続されるが、図１ではその図示を略している。【００１７】
ここで、周波数ｆ０で動作する増幅回路１１と、周波数Ｎ・ｆ０で動作する逓倍・増幅回路１２との間には、高周波回路が搭載される接地導体４の抜きパターンとしての導波管開口３０を形成している。さらに、導波管開口３０の先には、多層誘電体基板２の積層方向に延び、信号波の基板内実効波長λｇの略１／４（の奇数倍）の長さを有する先端短絡の誘電体導波管４０が形成されている。誘電体導波管４０は、導波管開口３０から略λｇ／４（の奇数倍）の深さ位置に形成された内層接地導体４１と、高周波回路が搭載される接地導体４と内層接地導体４１とを接続するスルーホール（グランドビア）４２と、これら内層接地導体４１および複数のスルーホール４２で囲まれた部分に配される誘電体によって構成され、先端に短絡面を有する誘電体導波路として機能する。【００１８】
このように本実施の形態においては、多層誘電体基板２とシールド蓋材３により単一のキャビティ５が形成された高周波収納ケース内に、発振回路１０、増幅回路１１、逓倍・増幅回路１２等の複数の動作周波数帯で動作する複数の高周波回路を導波管開口３０および誘電体導波管４０を挟んで信号伝送方向に（縦列一次元的に）配置し、高周波モジュールを形成している。また、逓倍前の周波数ｆ０で動作する発振器１０、増幅器１１と、逓倍後の周波数Ｎ・ｆ０で動作する逓倍・増幅回路１２とを、導波管開口３０および誘電体導波管４０を挟んで、分離配置している。なお、縦列に配列された高周波回路の周囲（横方向）に、他の高周波回路を配置して、縦長でありつつも、２次元的に高周波回路を配置しても良い。【００１９】
このように、キャビティ５内に高周波回路を信号伝送方向に配置する場合、高周波回路の動作周波数に対応する波長の略１／２（カットオフ寸法）よりも、キャビティ幅Ｌが十分に小さくないと、空間的に信号が伝搬してしまい、帰還・結合により高周波回路の誤動作（不要発振、周波数変動）を引き起こす。特に扱う高周波信号の周波数が高いほど、上記のカットオフ寸法は、収納する高周波回路の物理サイズに近接してくるため、空間帰還、結合が起こりやすくなる。なお、キャビティ幅Ｌとは、複数の高周波回路の配置方向に垂直な方向に沿ったキャビティ５の長さである。【００２０】
そこで、本実施の形態では、キャビティ幅Ｌは、逓倍前の周波数ｆ０で動作する発振器１０、増幅器１１等に対してカットオフとなる寸法より短い寸法、すなわち周波数ｆ０の信号波の基板内実効波長λの略１／２より小さい寸法（例えば波長λの１／２の７０〜８０％）を選ぶ。このような寸法選択は、逓倍後のＮ・ｆ０の周波数で動作する逓倍・増幅回路１２に対してカットオフとなる寸法を選ぶ場合に比べ、周波数が1／Ｎ以下となるため、カットオフ寸法を物理的に容易に実現することができる。【００２１】
このようなキャビティ幅Ｌの選択により、周波数ｆ０および周波数ｆ０よりも低い周波数帯域の信号はキャビティ５内を伝搬することはできなくなり、これにより逓倍前の発振器１０、増幅器１１は空間的にアイソレーションが確保され、周波数ｆ０および周波数ｆ０よりも低い周波数帯域の信号の帰還・結合による誤動作を防ぐことが可能となる。【００２２】
つぎに、導波管開口３０の開口寸法は、逓倍・増幅回路１２から出力される逓倍後の周波数Ｎ・ｆ０の高周波信号に対して、キャビティ５に電気的に結合する寸法を選ぶ。また、誘電体導波管４０の長さλｇ／４も、逓倍・増幅回路１２から出力される逓倍後の周波数Ｎ・ｆ０の高周波信号に対して、反射リアクタンス回路として機能するように設定する。すなわち、λｇは、周波数Ｎ・ｆ０の高周波信号に対応する波長である。【００２３】
このような、導波管開口３０および誘電体導波管４０の寸法選択により、導波管開口３０および誘電体導波管４０がキャビティを伝搬する信号に対して、誘電体の反射スタブとして働き、キャビティ５内の逓倍・増幅回路１２から空間を帰還し、逓倍前の発振器１０、増幅器１１へ結合するＮ倍波信号を抑えることができ、発振器、増幅器の誤動作を防止することができる。【００２４】
なお、導波管開口３０の寸法および先端短絡誘電体導波管４０の長さ（図３に示した寸法Ｗ）は、誘電体導波管４０内でＮ倍波信号の高次モード共振が発生しない寸法（例えは、Ｎ倍波信号の管内実効波長のλ/4未満）を選ぶようにしたほうが望ましい。また、導波管開口３０は、キャビティ壁との間で、対象（逓倍）信号周波数帯で共振が発生しない位置に配置するようにしたほうが望ましい。【００２５】
図４は、図１〜図３に示した高周波モジュールのキャビティ５内の伝搬特性を示すもので、×が反射特性を、○が通過特性を示している。Ｎ＝２としている。図４から判るように、キャビティ幅Ｌを逓倍前の周波数ｆ０に対してカットオフとなる寸法に設定しているので、周波数ｆ０および周波数ｆ０よりも低い周波数帯域の信号はキャビティ５内を伝搬することはできなくなり、また、逓倍後の周波数２・ｆ０の高周波信号に対して反射リアクタンス回路として機能する導波管開口３０および誘電体導波管４０を設けているので、周波数２・ｆ０の高周波信号に対しては全反射で、通過特性は２５ｄＢ以上減衰している。【００２６】
図５は、図１〜図３に示した高周波モジュールにおいて、表層信号線路２１の伝搬特性を示すもので、×が反射特性を、○が通過特性を示している。逓倍・増幅回路１２は、増幅回路１１から出力される周波数ｆ０の信号を、表層信号線路２１を介して入力し、これをＮ逓倍して増幅する回路であるため、表層信号線路２１は少なくとも周波数ｆ０の信号に対し良好な通過特性を持つ必要があるが、図５に示すように、表層信号線路２１の伝搬特性としては、各周波数域に亘って良好な通過特性が得られている。【００２７】
このように本実施の形態にかかる高周波収納ケースによれば、導波管開口３０および先端短絡の誘電体導波管４０を備え、この導波管開口３０および先端短絡の誘電体導波管４０をキャビティを伝搬する信号に対して、反射回路として動作させるようにしたので、高価なシールリングや蓋材およびフィードスルーを用いることなく、単一キャビティを用いた安価かつ簡単な構成によって、複数の高周波回路間の空間アイソレーションを確保することができる。【００２８】
また、本実施の形態にかかる高周波モジュールによれば、導波管開口３０および先端短絡の誘電体導波管４０から成る反射回路を挟んで源振チップと逓倍チップを分割レイアウトすることで、各チップ間のアイソレーションが確保できるため、送信波（逓倍波）の源振チップへの空間帰還を抑圧できる。すなわち、発振器等は、自身の基本波はカットオフ、逓倍波は反射回路により遮断されているため、空間負荷の影響を受けない安定動作が期待できる。【００２９】
なお、上記実施の形態においては、単一のキャビティ５内に収納する複数の高周波回路として、発振回路と逓倍回路とを採用するようにしたが、各高周波回路間の動作周波数は、自然数倍に限るわけではなく、動作周波数帯が異なる第１、第２の高周波回路を導波管開口３０および先端短絡の誘電体導波管４０から成る反射回路を挟んで分離配置するように構成してもよい。【００３０】
また、上記実施の形態では、多層誘電体基板２内に形成したＩＣ搭載凹部６内に高周波回路を収容する構成の高周波モジュールに本発明を適用するようにしたが、本発明は、ＩＣ搭載凹部６を持たない平坦な多層誘電体基板２の表層に高周波回路を搭載するような構成の高周波モジュールにも適用することができる。このような平坦な表層の多層誘電体基板２をもつ高周波モジュールの場合、多層誘電体基板２の表層に形成されて高周波回路が搭載される接地導体とシールド蓋材３によってキャビティ５を形成することができる。【００３１】
また、本実施の形態の高周波収納ケースは、縦列接続により空間帰還が問題となる多段増幅器チップの段間のアイソレーションを確保する場合に有効である。すなわち、この場合は、単一のキャビティ５内に、同一周波数帯で動作する２つ以上の増幅回路をそれぞれ導波管開口３０および先端短絡の誘電体導波管４０から成る反射回路を挟んで分離配置することで、縦列接続により空間帰還が問題となる各増幅回路間のアイソレーションを簡易に確保することができ、発振防止が期待できる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
以上のように、本発明にかかる高周波収納ケースおよび高周波モジュールは、異なる周波数帯で動作する複数の高周波回路を搭載する場合に有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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