(57)【要約】本発明は、相対位置を監視し、かつ／または少なくとも２つのサブ・システムを含むシステムにおける相対位置を測定しかつ評価するデバイスに関する。前記デバイスは、複数の設備（２０、３０）を備え、その少なくとも一方（２０）は、振動隔離器（２、３）が設けられる。本発明のデバイスは、また、設備（２０、３０）の相対位置を決定するための少なくとも１つの構成部品（９）と、設備（２０、３０）の測定された相対位置が、公差間隔内にあるかどうかを検査するための解析デバイス（４０）とを備える。
2009512222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
いくつかのデバイス（２０、３０）を用いて、いくつかのデバイス（２０、３０）の相対位置を監視する装置であって、その少なくとも１つのデバイス（３０）が、振動隔離デバイス（２、３）と、前記デバイス（２０、３０）の前記相対位置を決定するための少なくとも１つのデバイス（９）と、前記デバイス（２０、３０）の測定された相対位置が、公差間隔内にあるかどうかを検査する評価デバイス（４０）とを有する装置。
【請求項２】
前記デバイス（２０、３０）が、異なる剛性値を有する振動隔離デバイスを有することを特徴とする請求項１に記載の監視装置。
【請求項３】
前記振動隔離デバイス（２、３）が、受動振動隔離デバイスであることを特徴とする請求項１または２に記載の監視装置。
【請求項４】
各振動隔離デバイス（２、３）が、少なくとも１つのばね緩衝器要素を含むことを特徴とする請求項３に記載の監視装置。
【請求項５】
前記デバイス（２０、３０）が、共通基準システム（４）、特にベース・プレート上に搭載されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の監視装置。
【請求項６】
前記決定デバイス（６）が、前記基準システムに対する前記デバイス（２０、３０）の前記位置を決定するように設計され、かつ前記評価デバイス（４０）が、互いに対する前記デバイス（２０、３０）の前記位置を決定するように設計されることを特徴とする請求項５に記載の監視装置。
【請求項７】
前記決定デバイス（６）が、互いに対する前記デバイス（２０、３０）の前記位置を決定することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の監視装置。
【請求項８】
前記デバイス（９）が、前記相対位置を決定するための少なくとも１つの位置センサを有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の監視装置。
【請求項９】
前記位置センサが、機械的、光学的、誘導的、容量的、または圧電性センサであることを特徴とする請求項８に記載の監視装置。
【請求項１０】
少なくとも１つのデバイス（２０、３０）は、ワークステーション（３０）、特にロボット・システムであり、前記評価デバイス（９）の結果に応答して前記ワークステーション（３０）の動作状態を決定する制御デバイス（１１）が設けられることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の監視装置。
【請求項１１】
前記制御デバイス（１１）が、前記ワークステーション（３０）を安全動作状態に移すことができ、かつ／または前記評価デバイス（９）の前記結果に応答して前記デバイス（２０、３０）の再配置を制御することを特徴とする請求項１０に記載の監視装置。
【請求項１２】
前記決定デバイスが、規則的な間隔でかつ／または連続して前記デバイス（２０、３０）の前記相対位置を決定し、かつ前記デバイス（２０、３０）の前記測定された相対位置が、前記公差間隔内にあるかどうかについて規則的な間隔でかつ／または連続して検査することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の監視装置。
【請求項１３】
いくつかのデバイス（２０、３０）の相対位置を監視する方法であって、少なくとも１つのデバイス（３０）が、受動振動隔離デバイスを有し、前記デバイス（２０、３０）の前記相対位置を決定するステップと、少なくとも１つの公差範囲を固定するステップと、前記デバイス（２０、３０）の前記相対位置が、少なくとも１つの調整可能な公差範囲内にあるかどうかを検査するステップとを含む方法。
【請求項１４】
共通基準システムに対する前記デバイス（２０、３０）の前記位置が決定され、前記決定された相対位置に関して、各デバイスが、前記対応する相対位置が関連付けられる公差範囲内にあるかどうかについて検査されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
互いに対する前記デバイス（２０、３０）の前記位置が、決定され、かつ前記決定された相対位置が前記関連付けられる公差範囲内にあるかどうかについて検査され、前記公差範囲が、２次元公差窓を呈することができることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記デバイス（２０、３０）の前記相対位置が、規則的な間隔でかつ／または連続して決定されることを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動隔離されたデバイスの相対位置を監視する処置、および特にいくつかのデバイスの相対位置を監視するデバイスならびに方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
以下で第１のサブ・システムとも呼ばれる第１の振動隔離されたデバイス、および類似する振動隔離された設定を有することができる第２のサブ・システムを有する、以下でシステムまたは装置とも呼ばれる設備が知られている。第１のサブ・システムは、リソグラフィ・デバイスを含むことができ、一方、第２のサブ・システムは、例えば、リソグラフィ・デバイスへウェハを装填するロボット・システムを有する。
【０００３】
サブ・システムは、直接互いに機械的に接続されないが、代わりに相互の交換にあずかる。この交換は、例えば、材料交換、材料移送、または同様にサブ・システム、あるいはロボット・アームなどのサブ・システムの構成部品の他のサブ・システム内への挿入であり得る。リソグラフィ・デバイスへのウェハの装填は、また、材料交換として考えられる。
【０００４】
少なくとも１つのサブ・システムは、本明細書では振動隔離された設定を有する。例えば、第１のサブ・システムは、それを構造伝搬振動に対して隔離するために、柔軟なばね緩衝器要素を介して基準システムに接続される。第２のサブ・システムは、例えば、増大された剛性を有するばね緩衝器要素を介して同一の基準システムに取り付けられ、振動隔離されることもできる。１つのサブ・システムで振動隔離されるサブ・システムに作用する内／外力および／または質量変位は、相対位置に顕著な変化を導くことがある。
【０００５】
設置の誤差がなくまたは通常の動作を保証することを可能にするために、十分な精度で規定された方法で互いに対して両方のサブ・システムの位置を維持する必要がある。したがって、例えばリソグラフィ・デバイスによるその処理の間に、サブ・システムおよびそれらの構成部品について、ならびにまた交換される材料についての両方の危険は妨げられなければならない。
【０００６】
誤差がない動作を可能にするサブ・システムの必要な相対位置を維持することは、能動的な、すなわち調整され振動隔離されたサブ・システムを用いて達成されることができる。この目的のために、相対位置は、動作の間に監視され、かつ所定の公差範囲内に維持される。この処置は、複雑であり、したがって高価な制御機構および保守作業を必要とするので、この方法は価格が高い。
【０００７】
代替または補足的な方法に従って、相対位置は、設備の作動前に１回調べられ、所定の所望値に設定される。動作の間、サブ・システムの監視および位置の制御は行われない。代わりに、受動的な振動隔離されたサブ・システムの相対位置が、もはや著しく変化しないとの事実に信頼が置かれる。サブ・システムは、その位置が調整されないとき、受動的に振動隔離される。
【０００８】
そのような設備において、振動隔離されたサブ・システムの相対移動は、例えば絶対移動余裕を画定する端部停止部によって、または時間制限する結合および／または固定機構によって機械的に制限されることができる。
【０００９】
しかしながら、移動制限の作用は、振動隔離に反してサブ・システムに影響を与えることができ、必ずしも設備の通常の動作を提供しない。
【００１０】
これらの設備において、同時の最適化された振動隔離のための動作の間にサブ・システムの相対位置の検査はない。すなわち、２つのサブ・システムの所望位置が互いに対して維持されているかどうか、したがって誤差がないまたはほぼ誤差がない動作が行われるかどうかは決定されることができない。例えば、一方のサブ・システムから他方のサブ・システムへのウェハの移送、およびリソグラフィ・デバイスによるウェハの処理などの動作の前および動作中の誤差機能は、除外されまたは妨げられることができない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、したがって、知られているシステムの欠点を避ける問題に基づく。特に、簡単でかつ経済的な構成部品を用いて間違った動作を妨げることができる、いくつかのデバイスの相対位置を監視するための装置および方法が、示される。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
中核となる概念は、以下において基準変位制御（ＲＤＣ）として示される少なくとも２つのサブ・システムを含む、システムにおける相対位置を監視するための、および／または相対位置を測定しかつ評価するための装置またはデバイスを示すことに見られるべきである。ＲＤＣは、好ましくは連続して少なくとも２つのデバイスまたはサブ・システムの相対位置を決定しかつ評価するために、ならびに異なるインタフェースを介して評価された情報を転送するために、適切な測定原理を利用する。
【００１３】
サブ・システムは、例えば、異なる剛性値を有する振動隔離デバイスによって共通の基準システム上に搭載されることができる。これらサブ・システム内およびこれらサブ・システムの外側から作用する初期力を通して、サブ・システムは、互いに対するサブ・システムの必要な位置が、分散されまたは分散されることができるように偏向されることができる。
【００１４】
位置センサが使用され、位置センサの信号は、アナログまたはデジタル測定および／または評価ユニットによって処理される。個別センサの測定結果、およびまた全ての位置センサの組合せが決定され、個別センサまたは全てのセンサの値が、例えば、垂直または水平方向の公差範囲などのパラメータ化可能な窓内に位置するかどうかの情報が、これら信号から導出される。この情報は、デジタルＩ／Ｏインタフェースを介しておよびまた視覚表示器を介してＲＤＣに提供される。
【００１５】
サブ・システムの位置における変化またはサブ・システムが、設定によって導出される自由度で測定されることができるように、センサが取り付けられる。
【００１６】
他のインタフェースは、測定された状態およびまた評価された状態の両方を含むことができる全ての情報を送信する。評価された状態は、評価デバイスによる検査後に提供される情報に対応する。ＲＤＣは、単純な端子および／またはソフトウエアを用いてこのインタフェースを介して読み出されかつ制御されることができる。
【００１７】
システムは、このように、相対位置または互いに対するサブ・システムとも呼ばれる両方のデバイスの相対位置が、材料の交換または他方へのある構成部品の挿入が、材料または構成部品を危険にさらすことなく行われることができる窓内でまたは公差間隔内にあるかどうかを知らされる。
【００１８】
例えば、ＲＤＣ自体が誤差関数を有するので、システムの監視がもはや保証されない状況が、ハート・ビート関数によって妨げられる。この関数は、センサと評価ユニットとの間の連続するデータ・トラフィックを示し、かつインタフェースおよび／または視覚表示器を介して使用されることもできる。ハート・ビート関数およびまた評価信号の両方は、適切な対抗処置、例えば、システムのオフへの切り替えおよび／または再調整、すなわちサブ・システムの新たな位置決めのためのトリガ信号として使用されることができる。
【００１９】
ＲＤＣを使用して、個別の固定または可動デバイスの位置、あるいはデバイスの相対位置が決定されることができる。これは、特に、隔離システムまたは振動隔離デバイスの位置安定性の監視を可能にする。
【００２０】
広範に自由にプログラムされることができる、測定側の位置センサおよび評価側のファームウエアなどの独立の構成部品の設定は、位置決定および位置監視の分野における他の応用に関する多くの目的に適合可能でありかつ使用可能なＲＤＣを作る。
【００２１】
上述のタスクは、第１にいくつかのデバイスの相対位置を監視するための装置によって達成される。装置は、少なくとも１つのデバイスが受動振動隔離デバイスを有するサブ・システムとも呼ばれるいくつかのデバイスを有する。本明細書で、受動とは、振動隔離デバイスが制御されないことを意味する。装置は、デバイスの相対位置を決定する少なくとも１つのデバイスと、デバイスの測定された相対位置が、公差間隔内にあるかどうかを検査するための評価デバイスとをさらに含む。
【００２２】
相対位置を監視する装置はまた、以下でシステムとして特定される。その相対位置が監視されるデバイスは、以下でサブ・システムとしても特定される。
【００２３】
いくつかのデバイスそれぞれは、振動隔離デバイスを有するなら、これらは、異なる剛性値を有することができる。したがって、デバイスは、異なる振動応答を生じることができる。これは、デバイスの相対位置が、公差間隔の外側に入ることができる結果の可能な原因である。装置は、特にこの状態を認識すべきである。
【００２４】
デバイスの相対位置は、互いに対する個別のデバイスの位置を記載する。本明細書で、相対位置を決定する位置決定デバイスは、直接、デバイスの相対位置を決定または測定することを必ずしも必要としない。代わりに、デバイスの個別の位置は、基準点に対して決定されまたは測定され、かつデバイスの相対位置が、以降の処理ステップだけで決定されることも可能である。
【００２５】
以降の処理ステップは、例えば、評価デバイスによって実行されることができる。基準点は、デバイスが配置されるベース・プレートであり得る。
【００２６】
特に、デバイスの垂直および／または水平方向相対位置が決定される。
【００２７】
相対位置を決定するデバイスは、例えば少なくとも１つの位置を決定するためのセンサを有することができる。以下で位置センサとも呼ばれるこのセンサは、要件に従って、例えば機械的、光学的、誘導的、容量的、および／または圧電性センサであることができる。個別の位置センサの性能特徴に応じて、全ての６個の自由度の全体またはそれらの変化が、位置センサによってまたはいくつかの位置センサによって、および／またはデバイス上の位置のそれらの配置によって検出されることができる。
【００２８】
公差間隔または公差範囲は、その間で相対位置の値が変わることができる上限値および下限値によって好ましくは固定される。
【００２９】
監視された相対位置の値が、公差間隔の外側にあるなら、これは、デバイスに対する損傷および間違った動作を導くことがある。この状態を妨げるために、相対位置は、この公差間隔内の値だけを有することができる。
【００３０】
評価デバイスは、位置決定デバイスによって提供される信号に応答して、デバイスの相対位置が公差間隔内にあるかどうかを検査する、対応するハードウエアおよび／またはソフトウエア構成要素を含む。
【００３１】
受動振動隔離デバイスは、知られているばねおよび／または緩衝要素、ならびに発振または振動の隔離のために使用される重い質量を含むことができる。例えば振動隔離デバイスの剛性などのパラメータが、作動前に設定される。受動振動隔離デバイスのパラメータは、手動でまたは電子的に設定されることができ、または環境状態の変化に従って再調整されることができる。
【００３２】
デバイスは、ワークステーションを有することができ、ワークステーションは、次に、ロボット・システムまたはウェハ処理のためのリソグラフィ・デバイスを含むことができる。
【００３３】
１つの好ましい例示的な実施形態において、少なくとも１つのデバイスは、ワークステーションとして形成され、評価デバイスの結果の応答としてワークステーションの動作状態を決定する制御デバイスが設けられる。
【００３４】
ワークステーションは、他のデバイスまたは複数の他のデバイスと相互作用する作業を実行する。例えば、ワークステーションは、サンプル・テーブルを有することができる他のデバイスおよびリソグラフィ・デバイスにウェハを配置する、または他のデバイスからウェハを受けるロボット・システムを含むことができる。
【００３５】
評価デバイスは、デバイスの相対位置を検査する。相対位置が公差間隔内にあるなら、ロボット・システムは、ウェハを他のデバイスに配置することができる。対照的に、デバイスの相対位置が、それら相対位置が公差間隔の外側にあるように、対応する混乱のために、特に衝撃または振動のために変化するなら、ウェハは、間違った位置で把持するロボット・システムによって引っ掻かれるまたは破壊されることがある。
【００３６】
制御デバイスは、情報、例えば評価デバイスが送信する緊急オフ信号に応答してワークステーションの動作状態を決定するハードウエアおよび／またはソフトウエア構成要素を含む。動作状態は、デバイスをオフに切り替えるおよびデバイスを始動することを含むことができる。特に、制御デバイスは、安全動作状態、オフに切り替える状態にワークステーションを移すまたは保持することができる。
【００３７】
１つまたは複数のデバイスが、安全動作状態に配置された後、振動隔離デバイスのパラメータおよび／または互いに対するデバイスの位置はリセットされることができる。次に、動作は開始または再開されることができる。
【００３８】
この目的のために、制御デバイスは、評価デバイスの結果に応答してデバイスの再配置を制御することができる。
【００３９】
さらに、本発明の範囲内で、いくつかのデバイスの相対位置を監視する方法もあり、少なくとも１つのデバイスは、受動振動隔離デバイスを有する。方法は、好ましくは少なくとも１つの位置決定のためのデバイスによって、デバイスの相対位置を決定するステップと、デバイスの測定された相対位置が、公差間隔内にあるかどうかを検査するステップとを含む。
【００４０】
この目的のために、好ましくは少なくとも１つの公差範囲が画定される。
【００４１】
しかしながら、１つの有利な実施形態によれば、サブ・システムとも呼ばれる各デバイスに関して、別個の公差範囲は、共通基準システムに対するその位置に関して画定されることができる。この場合、共通基準システムに対する各デバイスの相対位置が決定されることができる。さらに、各決定された相対位置に関して、次に、各相対位置、すなわち対応するデバイスが、関連付けられた公差範囲内にあるかどうかが検査される。
【００４２】
代わりに、デバイスの位置は、互いに対して決定されることができ、次に、決定された相対位置が、関連付けられた公差範囲内にあるかどうかが検査される。
【００４３】
各画定された公差範囲は、デバイスの許容可能な水平および垂直方向位置を固定する２次元公差窓を呈することができる。
【００４４】
信頼可能な位置監視を許容することができるために、共通基準システムに対するデバイスの位置および／または互いに対するデバイスの位置は、規則的な間隔でおよび／または連続して決定されかつ評価される。
【００４５】
好ましくは、本発明は、対応する振動隔離デバイスを必要とする、デバイスの使用および／または設備または装置における方法にも関する。本発明は、図面に関連して実施形態を参照して以下により詳細に説明される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
図１ａは、互いに対するそれらの位置が、図２ａで詳細に示される回路構成で監視される２つのデバイス２０および３０を有する例示的な実施を示す。デバイス２０および３０は、相対位置を決定するための基準システムとして使用されるベース・プレート４上に配置される。
【００４７】
デバイス２０は、例えば、４つの振動隔離器３およびこれらの隔離器に搭載された質量２を有する少なくとも１つの振動隔離デバイスを含む。振動隔離器３は、ばね緩衝器要素であることができる。１つのデバイス１が、振動隔離された方法で質量２上に配置される。振動隔離されたデバイス１は、例えば、ウェハ・ホルダおよび／またはリソグラフィ・デバイスを含むことができる。
【００４８】
デバイス３０は、ワークステーションであり、ワークステーションは、機能デバイス６を好ましくは有し、かつ振動隔離器５上に搭載される。デバイス２０の振動隔離器３の剛性は、デバイス３０の振動隔離器５の剛性より低いことができる。
【００４９】
示されていない実施形態において、ワークステーション３０または機能デバイス６は、ベース・プレート４上に直接、すなわち振動隔離器５なしで配置されることができる。機能デバイス６は、例えばウェハを移送するためのロボット・システムであることができ、このシステムは、サンプル・ホルダ上にウェハを置き、またはそれをホルダから受けることができる。
【００５０】
図１ｂは、次に図１ａによる設備を示す。図１ｂは、さらに、水平方向の所望位置ｄと、垂直方向の所望位置７ｂと、デバイス２０、３０の相対位置の垂直方向公差範囲とを示す。垂直方向公差範囲は、ベース・プレート４から測定された、垂直方向最大位置７ｃと垂直方向最小位置７ａによって固定される。さらに、水平方向の所望位置ｄが示される。これは、示されていない最大水平方向位置および最小水平方向位置内の値±Δｄだけ変化することができる。より詳細に以下に記載されるように、設備は、設備が作動する前に固定されたデバイス２０および３０の相対位置が、水平方向および垂直方向公差範囲内にある限り、通常に動作されることができる。
【００５１】
図２ａは、例えば、評価デバイス４０と、評価デバイス４０に測定値を供給する位置センサ９を含むブロック回路図を示す。デバイス２０、３０の位置を測定する位置センサ９として、好ましくは近接センサが、使用されることができる。位置センサ９は、１つのデバイス上に、２つのデバイス上に、および／またはベース・プレート４上に配置されることができる。
【００５２】
例えば、本明細書ではアナログ信号の形態の位置センサ９の情報が、評価デバイス４０に供給される。評価デバイス４０は、アナログ／デジタル変換器１０、例えばＣＰＵとして形成される制御デバイス１１、好ましくは開放コレクタ回路として実現されるデジタル入力および／または出力１３、例えばＲＳ２３２インタフェースなどのシリアル・インタフェース１４、および／または視覚ＬＥＤ表示器１５を有することができる。ＬＥＤ表示器は、設備の動作状態を示すためにいくつかのＬＥＤ要素を有することができる。例えば、１つのＬＥＤ要素は、設備の通常の動作を示すことができ、一方、他のＬＥＤ要素は、設備のオフに切り替えられたまたは欠陥状態を知らせることができる。ＬＥＤ表示器１５は、ＣＰＵ１１によって駆動され、ＣＰＵ１１は、デバイスの相対位置が、画定された公差範囲内にあるかまたは範囲外にあるかを、位置センサ９によって供給される測定値から決定する。制御デバイス１１は、デバイス２０および３０の相対位置が、動作の間に公差範囲の外に出るときに、設備、特にデバイス３０のロボット・システム６を、自動的にオフに切り替えされることも可能にする。
【００５３】
示される実施形態において、アナログ／デジタル変換器１０は、評価デバイス４０に割り当てられる。他の示されていない実施形態において、アナログ／デジタル変換器１０は、独立した構成部品または位置センサ９に割り当てられる。位置センサ９のアナログ信号は、ＡＤ変換器１０によってデジタル化され、制御デバイス１１に供給される。
【００５４】
評価デバイス４０の関連付けられる機能回路図が、図２ｂに示される。制御デバイス１１は、各位置信号が、パラメータ化可能な時間にわたって最小位置と最大位置との間に既に配置されているかどうかを検査する。少なくとも１つの測定された位置値が、これらの制限の外側にあるなら、すなわち、それが、最小値より小さいまたは最大値より大きいなら、あるいはそれが、少なくとも画定された時間期間の間に制限値内にないなら、誤差の場合が存在する。この誤差の場合は、状態値として外界、例えばオペレータに利用可能にされることができ、状態値は、ＲＳ２３２インタフェース１４を介して評価デバイス４０によって質問されることができ、および／または視覚情報として表示デバイス１５で利用可能にされることができる。さらに、位置情報は、またＲＳ２３２インタフェース１４を介して、連続してまたは所定の時点で質問されることができ、したがって追加の監視および／または診断の可能性を許容する。
【００５５】
評価デバイス４０またはＲＤＣは、ＲＳ２３２インタフェース１４を介して、簡単な端末プログラムの使用により構成されることもできる。端末プログラムにおいて、例えば、以下の特徴が構成されることができる。すなわち、誤差状態の定義、センサの線形化および較正、ケーブル破損またはプロセッサの停止などの安全が保証された動作の状態、標準の設定および開始状態、および／または測定精度および測定頻度である。
【００５６】
上述された実施形態は、実施例として理解されるべきであることは、当業者には明らかである。本発明は、それらに制限されず、代わりに本発明の精神から離れることなく多数の方法で変更されることができる。個別に示される特徴は、互いに組み合わされることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１ａ】その相対位置が監視される２つのデバイスの例示的な実施形態である。
【図１ｂ】水平方向の所望位置と、垂直方向の所望位置と、最大および最小位置によって画定される垂直方向公差範囲とを有して拡大された、図１ａによる実施形態である。
【図２ａ】評価デバイスおよび相対位置を監視する接続された位置センサのブロック回路図である。
【図２ｂ】評価デバイスの簡略化された機能回路図である。
【符号の説明】
【００５８】
１  振動隔離されたデバイス
２  支持された質量
３  振動または発振隔離器
４  ベース・プレート
５  振動または発振隔離器
６  機能デバイス
７ａ  垂直方向最小位置
７ｂ  垂直方向の所望位置
７ｃ  垂直方向最大位置
９  相対位置を決定するためのデバイス
１０  アナログ／デジタル変換器
１１  ＣＰＵ
１２  デジタル入力および／または出力
１４  ＲＳ２３２ラインのためのインタフェース
１５  視覚ＬＥＤ表示器
２０  デバイス
３０  ワークステーション
４０  評価デバイス
ｄ  水平方向の所望位置
【図１ａ】
2009512222.tif 000003
【図１ｂ】
2009512222.tif 000004
【図２ａ】
2009512222.tif 000005
【図２ｂ】
2009512222.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成20年1月31日(2008.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
トラフィック領域における距離測定のための装置は、「Ｋｅｅｐｉｎｇ  ｔｈｅ  ａｐｐｒｏｐｒｉａｔｅ  Ｄｉｓｔａｎｃｅ  Ｓｅｎｓｏｒ  ｃｏｎｔｒｏｌｅｄ（制御された適切な距離センサの維持）」（ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｃｏｎｔｉｔｅｖｅｓｎａ．ｃｏｍ／ｗｏｒｄ／ｐｒｅｓｓ／Ｋｉｔｓ／Ｆｒａｎｋｆｕｒｔ／）の会議概要に記載される。この刊行物は、自動車における距離測定のためのシステム（Ａｄａｐｔｉｖｅ  Ｃｒｕｉｓｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌ＝ＡＣＣ）に関する。記載されたシステムにおいて、２台の自動車間の距離は、レーダまたは赤外によって測定される。先行する車両への距離が、所定の最小距離未満になることを、システムが決定するなら、後続の車両の速度は、所定の制限内に設定されることができる最小距離が、再び達成されるまで自動的に減速される。通りが再び妨げがないなら、速度は、所望の速度に到達するまで加速される。
本発明とは対照的に、自動車は、機器の一部を呈さない。
ステップ毎の動作を有する照明デバイスを有するリソグラフィ・デバイスが、ロボット・システムによって装填される（米国特許第４２６７０１０号明細書）。アイドル時間を低減するために、マスクとウェハとの相対位置が測定され、測定値範囲における変化を表す距離値が計算され、計算された値が、臨界値と比較される。臨界値は、照明装置のステップ毎に移動によって生じる振動の減衰に関する。
一般に、サブ・システムは、直接互いに機械的に接続されないが、代わりに相互の交換にあずかる。この交換は、例えば、材料交換、材料移送、または同様にサブ・システム、あるいはロボット・アームなどのサブ・システムの構成部品の他のサブ・システム内への挿入であり得る。リソグラフィ・デバイスへのウェハの装填は、また、材料交換として考えられる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
これらの設備において、同時の最適化された振動隔離のための動作の間にサブ・システムの相対位置の検査はない。すなわち、２つのサブ・システムの所望位置が互いに対して維持されているかどうか、したがって誤差がないまたはほぼ誤差がない動作が行われるかどうかは決定されることができない。例えば、一方のサブ・システムから他方のサブ・システムへのウェハの移送、およびリソグラフィ・デバイスによるウェハの処理などの動作の前および動作中の誤差機能は、除外されまたは妨げられることができない。
【特許文献１】米国特許第４２６７０１０号明細書
【非特許文献１】「Ｋｅｅｐｉｎｇ  ｔｈｅ  ａｐｐｒｏｐｒｉａｔｅ  Ｄｉｓｔａｎｃｅ  Ｓｅｎｓｏｒ  ｃｏｎｔｒｏｌｅｄ（制御された適切な距離センサの維持）」の会議概要（ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｃｏｎｔｉｔｅｖｅｓｎａ．ｃｏｍ／ｗｏｒｄ／ｐｒｅｓｓ／Ｋｉｔｓ／Ｆｒａｎｋｆｕｒｔ／）
【手続補正書】
【提出日】平成20年6月23日(2008.6.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
いくつかのリソグラフィ・デバイス（２０、３０）の相対位置を監視する装置であって、前記いくつかのリソグラフィ・デバイス（２０、３０）の少なくとも１つのデバイス（２０）は受動振動隔離デバイス（２、３）を有し、前記装置は、
前記デバイス（２０、３０）の前記相対位置を決定する少なくとも１つのデバイス（９）と、
前記デバイス（２０、３０）の測定された相対位置が公差間隔内にあるかを検査する評価デバイス（４０）とを含み、
前記デバイス（２０、３０）は、共通基準システム（４）、特にベース・プレート上に搭載される装置。
【請求項２】
前記決定デバイス（６）が前記基準システムに対する前記デバイス（２０、３０）の位置を決定するように設計され、かつ前記評価デバイス（４０）が、互いに対する前記デバイス（２０、３０）の前記位置を決定するように設計されることを特徴とする請求項１に記載の監視装置。
【請求項３】
前記少なくとも１つのデバイス（２０、３０）は、ワークステーション（３０）、特にロボット・システムであり、そして、前記決定デバイス（９）の結果に応答して前記ワークステーション（３０）の動作状態を決定する制御デバイス（１１）が前記装置に設けられることを特徴とする請求項１または２に記載の監視装置。
【請求項４】
前記制御デバイス（１１）は、前記ワークステーション（３０）を安全動作状態に移すことができ、かつ／または、前記決定デバイス（９）の前記結果に応答して前記デバイス（２０、３０）の再配置を制御することができることを特徴とする請求項３に記載の監視装置。
【請求項５】
前記デバイス（２０、３０）は、異なる剛性値を有する振動隔離デバイスを有することを特徴とする請求項１に記載の監視装置。
【請求項６】
各振動隔離デバイス（２、３）は少なくとも１つのばね緩衝器要素を含むことを特徴とする請求項５に記載の監視装置。
【請求項７】
前記決定デバイス（９）は、互いに対する前記デバイス（２０、３０）の位置を決定することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の監視装置。
【請求項８】
前記デバイス（９）は、前記相対位置を決定する少なくとも１つの位置センサを有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の監視装置。
【請求項９】
前記位置センサは、機械的、光学的、誘導的、容量的、または圧電性センサであることを特徴とする請求項８に記載の監視装置。
【請求項１０】
いくつかのリソグラフィ・デバイス（２０、３０）の相対位置を監視する方法であって、前記いくつかのリソグラフィ・デバイス（２０、３０）のうちの少なくとも１つのデバイス（２０）は受動振動隔離デバイスを有しており、前記方法が、
前記デバイス（２０、３０）の前記相対位置を決定するステップと、
少なくとも１つの公差範囲を固定するステップと、
前記デバイス（２０、３０）の前記相対位置が少なくとも１つの調整可能な公差範囲内にあるかを検査するステップとを含み、
共通基準システムに対する前記デバイス（２０、３０）の位置が決定されることを特徴とする方法。
【請求項１１】
前記デバイス（２０、３０）の相対位置を決定するステップは規則的な間隔で実行されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記デバイス（２０、３０）の相対位置を決定するステップは連続して実行されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記決定された相対位置が前記関連付けられる公差範囲内にあるかが検査され、そして、前記公差範囲は２次元公差窓であることを特徴とする請求項１１または１２に記載の方法。
【国際調査報告】
2009512222.tif 000007
2009512222.tif 000008
2009512222.tif 000009
2009512222.tif 000010
2009512222.tif 000011
2009512222.tif 000012