(57)【要約】  ０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末であって、不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする磁性材ターゲット用白金粉末。  不純物の少ない白金粉末を得ることを目的とし、コストを低減し、これによって得られた高純度スパッタリングターゲットを用いて、磁気記録媒体の製造に好適な材料を提供する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末であって、不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする磁性材ターゲット用白金粉末。
【請求項２】
白金イオン含有水溶液の電解還元により、０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末であって、不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【請求項３】
白金イオン含有水溶液として、塩化白金水溶液を使用することを特徴とする請求項１記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【請求項４】
白金粉の微細化のために、０．１〜１ｍｌのヒドラジン、ホルマリン、ギ酸、アスコルビン酸から選択した１成分又は２成分以上を還元剤として添加することを特徴とする請求項２又は３記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【請求項５】
電流密度を１〜５Ａ／ｄｍ２、溶解電圧を５〜３０Ｖとして、電解することを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【請求項６】
不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であり、０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末を、１０００〜１２００°Ｃ、プレス圧力３００〜６００ｋｇ／ｃｍ２で、ホットプレスすることを特徴とする白金焼結体からなる磁性材ターゲットの製造方法。
【請求項７】
不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする白金焼結体からなる焼結磁性材ターゲット。
【請求項８】
密度が９５％〜１００％であることを特徴とする請求項７記載の白金焼結体からなる焼結磁性材ターゲット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、白金−酸化物系の垂直磁気記録媒体用ターゲット材に使用される白金粉末、同粉末の製造方法、白金焼結体からなる磁性材ターゲットの製造方法及び同焼結磁性材ターゲットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体の記録面素材の一つとして、一般に白金が用いられる。近年磁気記録方式も平面方向から垂直方向へと移り変わっており、記録面へのスパッタリングターゲット材も従来の溶解品から金属粉末と酸化物の混合焼結品へとシフトしてきた。
金属粉末として必要とされる白金粉末は０．１〜５μｍ程度の粒径分布を持つが、他に要求される要素として不純物としてナトリウム、カリウム、カルシウムがほとんど含まれないことが要求される。【０００３】
これは、成膜操作中又は成膜後にこれらの不純物が酸化し易いために記録面に読み書きできないスポットを形成したり、成膜後にこれら不純物が酸化又は潮解して膜を浮き上がらせたりなど、膜の耐久性に問題を生じやすくなるためである。
また、他の不純物については成膜材質の磁気特性を保つためにもできる限り低いことが要求される。こういった課題を解決するために、前述の不純物が含まれない白金粉末が必要となる。【０００４】
従来の白金粉末の製造には、一般的には塩化白金酸アンモニウムの焙焼による方法や、白金イオンを含む水溶液をヒドラジンで還元する方法が取られてきた。
前者では、白金の粒径が粗い為に粉砕の必要があり、粉砕機からの不純物混入や粉砕・篩別といった工程によるコスト高につながるという問題があった。【０００５】
また、後者では、塩素や窒素といった成分が残留しやすいため更にＣａ化合物と混合しての高温焙焼で除去する必要があり、結局Ｃａが残留し、また焙焼による熔結を改善するために粉砕や篩別といった工程をはさむ必要があり、不純物による耐久性悪化の問題は解決できていなかった。前述の課題点を解決するためには従来の技術では難しく、新たな方法を用いて不純物の低減を図る必要があった。【０００６】
具体的な従来技術としては、例えば特許文献１がある。これは白金ブラックとアルカリ塩またはアルカリ土類金属塩から選んだ塩とを、湿式混合し、乾燥後、粉砕する工程を伴い、さらにその粉砕体を焼成してガス除去を行い、さらに希酸によって塩を溶解し、水洗除去した後、乾燥して白金粉末を得る技術に関する。【０００７】
また、下記特許文献２については、白金の水溶性化合物をｐＨ４以下に調整する工程、この溶液に、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウム、水酸化バリウム等を混合して、反応させる工程、反応させた後、不溶解固体を分別、乾燥する分別工程、これをさらに８００°Ｃ以上で加熱処理する工程、これによって得た固体を、酸処理し、酸処理後の金属粒子を分別する工程からなっている。【０００８】
これらの特許文献は、上記の問題点を含む技術の流れにあり、処理工程中に不純物が混入するという大きな問題を有している。さらに、工程も複雑なので、コストも高くなり、基本的な解決手段とは言えない。
【特許文献１】特開平１０−１０２１０３号公報
【特許文献２】特開２００６−１９９９８２公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記の問題点に鑑み、不純物の少ない白金粉末を得ることを目的とし、コストを低減し、これによって得られた高純度スパッタリングターゲットを用いて、磁気記録媒体の製造に好適な材料を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明者らは鋭意研究を行った結果、白金イオン含有水溶液について、高電流密度で電解還元を行うことにより、高純度の白金粉末を得ることができるとの知見を得た。【００１１】
この知見に基づき、次の発明を提供するものである。
１．０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末であって、不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする磁性材ターゲット用白金粉末【００１２】
２．白金イオン含有水溶液の電解還元により、０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末であって、不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
３．白金イオン含有水溶液として、塩化白金水溶液を使用することを特徴とする上記１記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法
４．白金粉の微細化のために、０．１〜１ｍｌのヒドラジン、ホルマリン、ギ酸、アスコルビン酸から選択した１成分又は２成分以上を還元剤として添加することを特徴とする上記２又は３記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法【００１３】
５．電流密度を１〜５Ａ／ｄｍ２、電解電圧を５〜３０Ｖとして、電解することを特徴とする上記２〜４のいずれか一項に記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法
６．不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であり、０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末を、１０００〜１２００°Ｃ、プレス圧力３００〜６００ｋｇ／ｃｍ２で、でホットプレスすることを特徴とする白金焼結体からなる磁性材ターゲットの製造方法
７．不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする白金焼結体からなる焼結磁性材ターゲット
８．密度が９５％〜１００％であることを特徴とする上記７記載の白金焼結体からなる焼結磁性材ターゲット
【発明の効果】
【００１４】
以上の本願発明の白金イオンを含む不純物濃度の低い水溶液を過電圧で電解還元することで得られる高純度の白金粉末は、不純物が極めて少なく、垂直磁気記録媒体の耐久性を大きく高める効果を有する。また、製造工程で混入する不純物が極めて少なく、かつ工程が簡単で、低コストで製造できる優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明は、不純物の少ない白金粉末を得る手段としては物理的な粉砕を用いずに比較的均一な粒径粉末が得られる湿式還元法で、同時に液成分からの不純物も比較的少なくてすむ電解還元法について検討を行った。
その結果、高電流密度で水素ガスを発生させながら白金の電解を行うことにより、不純物の少ない白金粉末を得ることが可能となった。このように、不純物の少ない白金の水溶液を用い、不純物の混入源として水溶液の成分のみに限定することで、不純物の少ない白金粉末が得られた。【００１６】
すなわち、本発明の磁性材ターゲット用白金粉末は、０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末であり、不純物のナトリウム、カリウム、カルシウム含有量を、全て２０ｗｔｐｐｍ未満とし、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満とすることが可能となった。このような高純度の白金は、従来技術に見ることはできない。【００１７】
本発明の磁性材ターゲット用白金粉末を製造するには、白金イオン含有水溶液の電解還元により行うことができる。白金イオン含有水溶液としては、塩化白金水溶液を使用することができるが、他に、塩化白金酸アンモニウム水溶液を使用することができる。
さらに、白金粉の微細化のために、０．１〜１ｍｌのヒドラジン、ホルマリン、ギ酸、アスコルビン酸から選択した１成分又は２成分以上を還元剤として添加することができる。しかし、これらは不純物の発生源となる可能性があるので、上記のように微量添加とすることが必要である。
電解による製造に際しては、電流密度を１〜５Ａ／ｄｍ２、溶解電圧を５〜３０Ｖとして、比較的高電流密度で電解することが好適である。なお、この電解条件は、効率的な製造条件を示すもので、この範囲を超える条件で製造することは、特に問題となるものではなく、本願これらを全て包含するものである。【００１８】
このように、不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であり、０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末を、１０００〜１２００°Ｃ、プレス圧力３００〜６００ｋｇ／ｃｍ２で、ホットプレスすることにより、白金焼結体からなる磁性材ターゲットを製造することが可能である。
このようにして製造したターゲットは、上記の通り高純度を達成できると共に、密度を９５％〜１００％とすることが可能となる。上記ホットプレスの条件は、高密度を達成するための好適な条件を示すものであって、これらの条件の範囲外でも、ターゲットを製造することは可能である。ターゲットの製造目的に合わせて、プレス条件を任意に設定することは、特に問題となるものではない。本願発明は、これらを包含する。
【実施例】
【００１９】
以下、実施例および比較例に基づいて説明する。なお、本実施例はあくまで好適な例を示すものであり、この例によって本願発明が制限されるものではない。すなわち、本発明は特許請求の範囲によってのみ制限されるものであり、本発明に含まれる実施例以外の種々の変形を包含するものである。【００２０】
（実施例１）
１０ｇ／Ｌの塩化白金酸水溶液１Ｌを電解槽に入れ、マグネチックスターラーで攪拌しながら、板状のＤＳＥ陽極板、Ｔｉ陰極板を用いて、並行板電解を実施した。
電解時の極間電圧は２５■、極間距離は５ｃｍに設定した。液温は恒温槽で３５°Ｃを保持した。この電解操作により槽底に沈殿した白金の粉末を得た。この白金について粒度分布測定を実施したところ、最小径が０．２５９μｍ、最大径が４．４７２μｍであった。得られた粒度分布を表１に示す。また、本粉末についてＧＤ−ＭＳによる不純物分析、ガス成分分析を実施し、表２に示されるような不純物分析値を得た。【００２１】
表１に示すように、粉末の殆どは０．５〜２．５μｍの範囲に存在していることが分かる。本発明においては、０．１〜５μｍの粒径分布を持つ粉末を使用するが、いずれも適合する粉末であった。製造条件によっては、稀に少量の規格外の粉末が混入することもあるが、それら極めて少量のため、無視することすら可能である。上記から、極めて微細な、白金粉末を製造することが可能であることが分かった。【００２２】
また、表２から明らかなように、不純物としての水素が３００ｗｔｐｐｍ、塩素が２９０ｗｔｐｐｍ、炭素が８５０ｗｔｐｐｍ、酸素が９８０ｗｔｐｐｍであった。これらは、いずれも本願発明の、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満の条件を満たしていた。
表２では、分析が可能である不純物元素を示しているが、表示していない不純物元素は、いずれも１ｗｔｐｐｍ以下である。これらの不純物も、同様に本願発明の条件、すなわちナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満の条件を満たしていた。従来技術において、混入され易いナトリウム、カリウム、カルシウムについては、分析すら困難である程度に、少量であった。【００２３】
【表１】
2009119196.tif 000002
【００２４】
【表２】
2009119196.tif 000003
【００２５】
（実施例２）
１０ｇの塩化白金酸水溶液１Ｌについて、あらかじめ０．１ｍｌの９８％ヒドラジン１水和物を添加したものを電解槽に入れ、マグネチックスターラーで攪拌しながら、板状のＤＳＥ陽極板、Ｔｉ陰極板を用いて、並行板電解を実施した。
電解時の極間電圧は２５■、極間距離は５ｃｍに設定した。液温は恒温槽で３５°Ｃを保持した。この電解操作により槽底に沈殿した白金の粉末について粒度分布測定を実施したところ最小径０．２５９μｍ、最大径１．９８１μｍであった。
得られた粒度分布を表３に示す。また、実施例２で得た粉末について、ＧＤ−ＭＳによる不純物分析、ガス成分分析を実施し、表４に示す不純物分析値を得た。【００２６】
【表３】
2009119196.tif 000004
【００２７】
【表４】
2009119196.tif 000005
【００２８】
表３に示すように、粉末の殆どは０．５未満と１．０〜２．５μｍの範囲に存在していることが分かる。このような微細化は、少量のヒドラジンの添加によるものであるが、ホルマリン、ギ酸、アスコルビン酸を添加しても同様の微細化を達成することができる。
本発明においては、０．１〜５μｍの粒径分布を持つ粉末を使用するが、いずれも適合する粉末であった。製造条件によっては、稀に少量の規格外の粉末が混入することもあるが、それら極めて少量のため、無視することすら可能である。上記から、極めて微細な、白金粉末を製造することが可能であることが分かった。【００２９】
また、表４から明らかなように、不純物としての水素が３２０ｗｔｐｐｍ、塩素が２７０ｗｔｐｐｍ、炭素が８４０ｗｔｐｐｍ、窒素が７９０ｗｔｐｐｍ、酸素が８９０ｗｔｐｐｍであった。これらは、いずれも本願発明の、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満の条件を満たしていた。
この中で、窒素が７９０ｗｔｐｐｍというのは、実施例１に比べて増加している。これはヒドラジンの添加によるものである。しかし、少量の添加であるため、基準値以下であり、特に問題となるレベルであることは、容易に理解できる。【００３０】
表４では、分析が可能である不純物元素を示しているが、表示していない不純物元素は、いずれも１ｗｔｐｐｍ以下である。これらの不純物も、同様に本願発明の条件、すなわちナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満の条件を満たしていた。従来技術において、混入され易いナトリウム、カリウム、カルシウムについては、分析すら困難である程度に、少量であった。【００３１】
本願発明において、これらの高純度粉末を使用して、１０００〜１２００°Ｃ、プレス圧力３００〜６００ｋｇ／ｃｍ２で、ホットプレスすることにより白金焼結体からなる磁性材ターゲットを製造することができる。そして、これにより密度が９５％〜１００％であり、不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満である白金焼結体からなる焼結磁性材ターゲットを得ることができる。【００３２】
この例に示す高純度白金ターゲットは、白金−酸化物系の垂直磁気記録媒体用ターゲット材として極めて有用である。この例では、白金ターゲットとしての例を示したが、他の元素との合金ターゲット又は白金と酸化物との複合ターゲットとしても有用である。
このような合金又は複合材においても、前記高純度白金としての特性は、そのまま活用することが可能であることは、容易に理解されるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明によって得られる白金粉末は、従来技術にない純度のものであり、これを用いて製造されるターゲット材および磁気記録媒体の耐久性が、磁気記録媒体用ターゲット材として、より信頼のおけるものになる。また、著しい効率化が可能となり、製造コストの面からも大きな利点を得ることが可能であり、資源の長寿命化に役立つものである。以上から、磁気記録媒体用材料として極めて有用である。
【手続補正書】
【提出日】平成21年10月1日(2009.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末であって、不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする磁性材ターゲット用白金粉末。
【請求項２】
白金イオン含有水溶液の電解還元により、高純度かつ０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末を製造する方法であって、不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【請求項３】
白金イオン含有水溶液として、塩化白金水溶液を使用することを特徴とする請求項２記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【請求項４】
白金粉の微細化のために、０．１〜１ｍｌのヒドラジン、ホルマリン、ギ酸、アスコルビン酸から選択した１成分又は２成分以上を還元剤として添加することを特徴とする請求項２又は３記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【請求項５】
電流密度を１〜５Ａ／ｄｍ２、溶解電圧を５〜３０Ｖとして、電解することを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【請求項６】
不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であり、０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末を、１０００〜１２００°Ｃ、プレス圧力３００〜６００ｋｇ／ｃｍ２で、ホットプレスすることを特徴とする白金焼結体からなる磁性材ターゲットの製造方法。
【請求項７】
不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする白金焼結体からなる焼結磁性材ターゲット。
【請求項８】
密度が９５％〜１００％であることを特徴とする請求項７記載の白金焼結体からなる焼結磁性材ターゲット。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月21日(2010.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末であって、不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする磁性材ターゲット用白金粉末。
【請求項２】
白金イオン含有水溶液の電解還元により、高純度かつ０．１〜５μｍの粒径分布を持つ白金の粉末を製造する方法であって、不純物であるナトリウム、カリウム、カルシウム含有量が全て２０ｗｔｐｐｍ未満、水素、塩素がそれぞれ５００ｗｔｐｐｍ未満、炭素、窒素、酸素がそれぞれ１０００ｗｔｐｐｍ未満、その他の不純物が、それぞれ単独で１０ｐｐｍ未満、合計で１００ｐｐｍ未満であることを特徴とする磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【請求項３】
白金イオン含有水溶液として、塩化白金水溶液を使用することを特徴とする請求項２記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【請求項４】
白金粉の微細化のために、０．１〜１ｍｌのヒドラジン、ホルマリン、ギ酸、アスコルビン酸から選択した１成分又は２成分以上を還元剤として添加することを特徴とする請求項２又は３記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【請求項５】
電流密度を１〜５Ａ／ｄｍ２、溶解電圧を５〜３０Ｖとして、電解することを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の磁性材ターゲット用白金粉末の製造方法。
【国際調査報告】
2009119196.tif 000006
2009119196.tif 000007
2009119196.tif 000008
2009119196.tif 000009