(57)【要約】  炉でのバッチ式熱処理のためにウェーハ支持タワー（２０）を挿入することができる中央孔部を形成するために、シリコン・ステーブ（８２，８６）から形成され、円形パターンに配置される管状部材。ステーブは、軸方向に延びるフック（８０，８８）が、隣接するステーブ上のフックの背面に形成されている軸方向に延びるキャッチと係合する連動キー溝構造と一緒に軸に沿って形成される。シリカ形成剤およびシリコン粉末のような接着剤が、組立ての前にキー溝構造にコーティングされ、ステーブを接着するように組立ての後で硬化する。隣接する部分間に形成された連動構造（１１４，１１６）を含む小さな部分（１１０，１１２）のアレイからプレート構造を形成するために、類似の構造を使用することができる。【選択図】      図９
2009524243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジョイントに隣接して接着される隣接部材間の前記ジョイントで交わる複数の部材を有する構造であって、各ジョイントが、両方の隣接部材内および部材間に形成された連動構造を含む構造。
【請求項２】
前記各部材が、他の部材のフックが係合しているフックの背面に２つのフックおよび２つのキャッチを含む、請求項１に記載の構造。
【請求項３】
前記部材が、接着した場合に、一次元アレイを形成する、請求項１に記載の構造。
【請求項４】
前記接着した部材が、ほぼ平らなプレートを形成する、請求項３に記載の構造。
【請求項５】
前記各部材が、他の部材のフックが係合しているフックの背面に２つのフックおよび２つのキャッチを含む、請求項４に記載の構造。
【請求項６】
前記フックが、前記部材の主面に対して傾斜した角度で延びる、請求項５に記載の構造。
【請求項７】
前記フックの凸状の隅の曲率半径が、前記キャッチの対応する凹状の隅の曲率半径より大きい、請求項５に記載の構造。
【請求項８】
前記接着した部材が、孔部を囲む閉じた管状形に配置される、請求項１に記載の構造。
【請求項９】
前記部材が、シリコン部材である、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の構造。
【請求項１０】
前記部材が、前記ジョイント内に配置されるシリカ形成剤およびシリコン粉末の硬化合成物により接着される、請求項９に記載の構造。
【請求項１１】
軸に沿って延びる管状部材であって、前記軸に対して平行に延び、前記軸の周囲に配置される複数のステーブを備え、前記ステーブの内側の前記軸に沿って延びる孔部を含み、前記ステーブのうちの隣接しているステーブが、各連動接合部で相互に接着される管状部材。
【請求項１２】
前記連動接合部が、隣接する各ステーブ内に形成され、前記隣接するステーブのうちの一方のステーブのキャッチが、前記隣接するステーブの他方のステーブのフックを受け入れるように整合しているフックおよびキャッチを備える、請求項１１に記載の部材。
【請求項１３】
前記ステーブが、シリコン・ステーブである、請求項１１に記載の部材。
【請求項１４】
前記ステーブが、スピン・オン・グラスとシリコン粉末との硬化合成物により接着される、請求項１１乃至１３のいずれか１項に記載の部材。
【請求項１５】
前記ステーブが、接着された場合に、周方向のネックを有する端部を含む、請求項１１乃至１３のいずれか１項に記載の部材。
【請求項１６】
前記ネックが、前記各ステーブの端部上に少なくとも３つの平坦な領域を有する、請求項１５に記載の部材。
【請求項１７】
前記連動接合部が、それらの間に所定の隙間を有するように機械加工された前記ステーブの一部から形成される、請求項１１に記載の部材。
【請求項１８】
前記ステーブが、前記隙間内を満たしているシリカ形成剤およびシリコン粉末の硬化合成物により接着されているシリコン・ステーブである、請求項１７に記載の部材。
【請求項１９】
縦軸に沿って延び、前記軸に平行に延び、前記軸の周囲に配置されている複数のステーブを含む管状部材であって、前記ステーブのうちの隣接しているステーブが相互に接着され、接着された場合に、周方向のネックを有する端部を含む管状部材。
【請求項２０】
前記ネックが、前記各ステーブの前記端部に少なくとも３つの平坦な領域を有する、請求項１９に記載の管状部材。
【請求項２１】
前記ネックが、実質的に円形である、請求項１９に記載の管状部材。
【請求項２２】
前記ステーブが、シリコン・ステーブである、請求項１９乃至２１のいずれか１項に記載の管状部材。
【請求項２３】
複数のウェーハを支持しているタワーを収容する熱処理オーブンで使用するためのシリコン・ライナーであって、隣接する縁部に連動構造を有し、管状形で接着される複数のシリコン・ステーブを備えるシリコン・ライナー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概して、基板を熱処理する際に使用する装置に関する。特に、本発明は、加熱炉で使用する管状ライナーのような半導体処理の際に使用する大型の構造物に関する。
【背景技術】
【０００２】
バッチ式熱処理は、依然としてシリコン集積回路の製造のいくつかの段階で使用されている。ある低温熱処理の場合には、約７００℃の範囲内の温度の前駆体ガスとして通常クロロシランおよびアンモニアを使用する化学蒸着法により窒化シリコンの層を堆積させる。他の高温プロセスは、例えば、通常、１０００℃またはさらに１３５０℃よりも高い温度を使用する酸化、アニーリング、シリサイド化、および他のプロセスを含む。
【０００３】
大量商業生産の場合には、縦型炉および炉内で多数のウェーハを支持している垂直方向に配置されているウェーハ・タワーが、多くの場合、図１の概略断面図に示す構成で通常使用される。炉１０は、電源（図示せず）から電力の供給を受けている抵抗加熱コイル１４を支持している断熱ヒータ・キャニスタ１２を含む。通常、石英により構成されるベルジャー１６は、ルーフを含み、加熱コイル１４内に取り付けられる。端部が開いているライナー１８は、ベルジャー１６内に取り付けられる。支持タワー２０は、ペデスタル２２上に位置し、処理中、ペデスタル２２および支持タワー２０は、一般に、ライナー１８により囲まれている。支持タワー２０は、バッチ・モードで熱処理される複数の水平方向に配置されているウェーハ１９を保持するための垂直方向に配置されているスロットを含む。
【０００４】
ライナー１８の内部の軸方向に延びる孔の直径は、ウェーハ１９および支持タワー２０を収容することができるように十分大きなものでなければならない。すなわち、２００ｍｍウェーハを処理するために、２００ｍｍよりもかなり大きなものでなければならないし、３００ｍｍウェーハを処理するために、３００ｍｍよりかなり大きなものでなければならない。ガス・インジェクタ２４は、主としてライナー１８間に配置され、ライナー１８内に処理ガスを噴射するためにその上端部上に出口を有する。真空ポンプ（図示せず）は、ベルジャー１６の底部を通して処理ガスを除去する。ヒータ・キャニスタ１２、ベルジャー１６およびライナー１８は、タワー２０との間でウェーハを移送することができるように垂直に立てることができる。しかし、ある構成の場合には、これらの要素は固定され、エレベータが、ペデスタル２２、およびウェーハを含むタワー２０を炉１０の底部との間で上下に移動させる。
【０００５】
その上端部が閉じているベルジャー１６、１８は、炉１０に炉の中央部および上部で温度をほぼ均一な高温にする働きをする。この領域は、最適化した熱処理になるように温度が制御されているホットゾーンと呼ばれる。しかし、ベルジャー１８の開放下端部およびペデスタル２２の機械的支持体により、炉の低端部の温度は、多くの場合、化学蒸着のような熱処理が効果的でないような十分低い温度になる。ホットゾーンは、タワー２０の下部スロットのいくつかを含んでいなくてもよい。
【０００６】
従来、低温用途の場合には、タワー、ライナーおよびインジェクタは、石英または溶融シリカにより構成されていた。しかし、石英タワーおよびインジェクタの代わりに、シリコン・タワー、ライナーおよびインジェクタが使用されるようになってきている。種々の用途用の若干異なる構成のシリコン・タワーおよびシリコン・インジェクタが、それぞれ米国特許第６，４５０，３４６号および２００５年７月８日付けで出願され、米国特許出願公開第２００６／０１８５５８９号として公開されている米国特許出願第１１／１７７，８０８号に開示されていて、カリフォルニア州サニーベール所在のＩｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃ．社から市販されている。シリコン・ライナーは製造が難しい。何故なら、その直径が非常に大きく、このように大きなサイズの高純度シリコンを入手するのは通常困難であるからである。しかし、Ｂｏｙｌｅ他は、２００１年９月２６日出願で、参照によりその全文を本明細書に組み込むものとする米国特許公報第２００４／０１２９２０３号として公開されている米国特許出願第１０／６４２，０１３号に、シリコン・ステーブからシリコン・ライナーを製造するための効果的な方法を開示している。バージン・ポリシリコン（電子等級シリコン）の形で、それ故、非常に低いレベルの不純物を含む、非常に高純度のシリコンを入手することができる。しかし、シリコン部材は、少なくとも９５原子％、好適には少なくとも９９原子％のケイ素元素を含むものと定義されている。
【０００７】
シリコン・ライナー３０は、図２の断面図に示すように、例えば、厚さ４ｍｍ、長さ１ｍのような長くて薄い１６個程度のシリコン・ステーブ３２を接着することにより形成することができる。初期の図面は、ステーブの薄さを正確に示していないことに留意されたい。これらのものは、一般に、矩形の形をしているが、幾分台形の形をしている多角形により近く似ている。これらのものは、中心３６を中心とした閉じた多角形（ほぼ円形）に配置され接着されて、木製のワイン樽の形状に似た形状を有する管状部材を形成する。３００ｍｍのウェーハを支持しているタワーを収容するために、ライナー３０は、約３５０ｍｍの内径を有する必要がある。シリコン・ステーブを接着するための非常に効果的な接着剤は、Ｂｏｙｌｅ他の米国特許第７，０８３，６９４号に開示されているように、スピン・オン・グラス（ＳＯＧ）およびシリコン粉末を合成したものである。
【０００８】
おそらく、ステーブは、平らな端接面を有することができるだろう。しかし、ステーブは、接着剤の高温硬化中、相互に整合していなければならない。したがって、２つの各ステーブ４０、４２が、Ｖ字形の雄さね４４およびＶ字形の雌さね４６の対向側面上に平坦な領域４８を含む雄さね４４および雌さね２６により形成されている、図３の断面図に示すさね継ぎの設計が開発された。第１のステーブ４０の雄さね４４は、第２のステーブ４４の雌さね１８の方を向いていてそれと嵌合する。接着剤はステーブを組み立てる前に嵌合面に塗布され、次に、接着剤を硬化させるために高温でアニーリングされる。このようなシリコン・ライナーは今までも製造されてきたが、その組立ては時間がかかり、難しく、歩留まりは低いままである。
【０００９】
【特許文献１】米国特許第６，４５０，３４６号
【特許文献２】米国特許出願公開第２００６／０１８５５８９号（米国特許出願第１１／１７７，８０８号）
【特許文献３】米国特許出願公開第２００４／０１２９２０３号（米国特許出願第１０／６４２，０１３号）
【特許文献４】米国特許第７，０８３，６９４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
多部品構造部材(multi-part structural member)は、接着した部品により形成され、特に、管状部材は、ジョイントが、部品またはステーブの面に対して少なくとも一部が横方向に延びる連動部材で形成される閉鎖型パターンに接着されるステーブにより形成される。接合剤は、組立てる前にジョイントに塗布することができる。連動ジョイントにより、ジョイントを横切る運動が抑制され、整合が容易になる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
連動機構の一実施形態は、ステーブまたは他の部品の各側面上に軸方向に延びるフックおよびフックの背面のキャッチを含む。あるステーブまたは部品のフックは、近接しているステーブまたは部品のキャッチと係合し、連動する。都合のよいことに、フックの隅の曲率半径は、キャッチの曲率半径より大きいので、そのため隅に大きな隙間を形成する。
【００１２】
本発明は、半導体産業で使用するバッチ式熱処理炉で使用するシリコン・ライナーおよび他の大型シリコン・チューブを形成する場合に特に役に立つ。シリコン部材用の接合剤は、スピン・オン・グラスおよびシリコン粉末の組合せであってもよい。
管状組立体の場合には、あるステーブ上のフックは、組立てを容易にするために外側の主面から内側に垂直に延びることができる。
【００１３】
本発明は、また、小さな部材から平面プレートを形成する際に役に立つ。平面組立体の連動ジョイントは、部材の主面に垂直に延びることができ、またはある用途の場合には、有利に傾斜することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
発明者らは、ジョイント・エリアに塗布した硬化していない接着剤により８つのステーブを支持し、整合するための治具を開発した。治具は、その底部でアーク状の基部により異なる角度で支持され、その頂部でいくつかのステーブを支持している少なくとも２組のＴ字形スタッドを含む。治具で支持され、ステーブ間の硬化していない接着剤をサンドイッチ状に挟んでいるステーブは、硬質の半管状部材を形成するためにアニーリングされる。次に、他の半分を形成し、それを第１の半分に接合するためにこのプロセスが反復される。接着剤が溜まり、硬化するステーブ間の隙間は、薄い状態に維持しなければならない。好適には、この隙間は約３５μｍであることが好ましい。発明者らは、硬化していない管状組立体の全長および全周にわたって隙間の間隔および適切な向きの両方を維持するのは非常に難しいことに気が付いた。標準設計のライナーの１６個のステーブに対する必要な累積精度は、約８０μｍであり、角度分解能は約±０．０１°である。発明者らは、角度精度を空間的精度から切り離すべきであると考えている。
【００１５】
ジョイントの統合性の全基準は、ジョイントが破壊する前のせん断トルクである。図４は、ｄｙｎｅ／ｃｍ２単位の種々のジョイントに対するせん断トルク制限の棒グラフを示す。比較した場合、アニーリングしたバージンポリシリコン（電子級シリコン）の固体片は約１１０，０００で破断する。溶融プロセスの有効性を測定するために、平面界面を横切って２つの矩形シリコン部材が溶融される試験スタッド手順を開発した。発明者らは、約６０００の標準を適用したが、通常は、約６０，０００を超える。何故なら、プロセスが固化するからである。しかし、２つの同一平面のステーブに対するさね継ぎ構成は、通常、約４０００で破断する。
【００１６】
第１のアプローチの場合には、治具が角度分解能を提供し、ジョイントが空間分解能を提供することができるように、玉継手をエミュレートするように試みる。図５の断面図に示すように、各ステーブ５０は、それらの間の隙間５６を満たしている接着剤により相互に嵌合する凸状Ｖ字形側面５２および凹状Ｖ字形側面５４と一緒に形成される。Ｖ字形の縁部上には、実質的に平坦な領域は存在しない。試験ステーブは、一般に、トルク試験を簡単にするために平面組立体を形成する矩形をしている。この設計により、隙間５６を大きく不均一にしないで、治具により決まる実質的な角運動が可能となる。図４のせん断試験は、約４０００で破断が起きる好ましくない結果を示した。
【００１７】
第２のアプローチは、先端がもっと円くなるように、凸状Ｖ字形の側面５２の鋭角の端部５８を除去する。しかし、せん断試験はもっと望ましくない結果を示した。
【００１８】
好適な第３のアプローチは、図６の断面図に示すキー溝設計を使用する。ステーブ６０、６２は、連動フック構造を有する端部と一緒に形成される。各ステーブ６０、６２は、フック６４、および他のステーブ６２、６０のフック６４を保持するためのフック６４の背面のキャッチ６６を含む。すなわち、フック６４は、２つのステーブ６０、６２を一緒に一対に組み立てた場合に異なる方向を向く。組立てたフック６４およびキャッチ６６は、連動ジョイントから離れているステーブ６０、６２の主面に平行な方向にそれらが分離するのを防止する２つのステーブ６０、６２間にジョイントを形成する。この実施形態の場合には、フック６４およびキャッチ６６の両方は、保持側面が、ステーブ６０、６２が相互の上をスライドすることができる側面に垂直になるように、実質的に矩形の形をしている。フック６４およびキャッチ６６は、２つのステーブ６０、６２を、隙間６８を満たしている接着剤により予め満たされているそれらの間に、所定の隙間６８と一緒に組立てることができるような大きさを有する。隙間６８は、通常、図の隙間より狭い。この設計の場合には、公称隙間は約３５μｍであるが、機械加工および表面研磨および洗浄完了後の最終隙間は約６０〜７０μｍになる。４０〜１００μｍの最終隙間は、許容できる隙間であると考えられている。接着剤技術のさらなる進歩により、この隙間をさらに狭くすることができる。
【００１９】
第３のアプローチ用の試験構造を作成し、溶融した。図３のトルク試験は、キー溝設計に対する４０，０００以上の強度を示している。すなわち、この強度は、さね継ぎおよび試験スタッド標準の強度より実質的に高く、高度試験スタッドについて観察した結果とほぼ同じである。一般に、試験構造は、大きな剛性を示し、おそらくキャッチ６６の背面の薄いシリコン・アーム内と思われるシリコンで破断する傾向を示す。
【００２０】
発明者らは、本発明が発明者らの理解によって制限されるわけではないけれども、キー溝ジョイントの強度の一部は、フック６６の各側面上の２つの直角の曲がりにより外部から分離されている盲継手７０のシリコンへの接着剤の溶融によるものと考えている。
【００２１】
図６の平面試験構造は、チューブの閉じた多角形に適合しなければならないし、ステーブを正確に組み立てなければならない。図７の正射図、図８の分解図および図９の軸方向断面図は、あるキーロックされたチューブ８０を示す。図１０および図１１は、図９の分解図であり、図１２は、図１０のキー溝ジョイントのもう１つの分解図である。キーロックされたチューブ８０は、２つのタイプの交互ステーブを必要とするが、他の実施形態の場合には１つのタイプだけで十分である。ステーブ８２は、内向きフック８４を有する。ステーブ８６は、外向きフック８８を有する。組立てた時、フック８４、８８は、ステーブ８２、８６の全長に沿って、およびチューブ８０の中心軸に沿って、隆起部として軸方向に延びる。さらに、両方のフック８４、８８は、組立てた時、ステーブ８２の主面に垂直に延びる。フックおよび関連するキャッチの向きにより、組立てを外側から行う場合には、チューブを完成するために、隣接する２つのすでに整合しているフック外側のステーブ８６上への最後のフック内側のステーブ８２の組立てが容易になる。フックが、最後に組立てたステーブの主面に垂直に延びる場合には、内側からの組立てが容易になる。
【００２２】
図１３のキー溝ジョイントのもう１つの拡大断面図は、組立てを行うことができるようにし、ある量の接着剤を含むことができるフック８４、８８の周囲のステーブ８２、８６間の所定の小さな隙間９０を示す。さらに、拡大した隅の隙間９６が、その平坦部分がキー溝ジョイントに大部分の機械的強度を提供する隙間９０の平坦部分からの接着剤の溢れを収容することができるように、フック８４、８８の凸状の隅９２の半径は、キャッチの対応する凹状の隅９４の半径より大きい。
【００２３】
図７および図８を見れば分かるように、ステーブ８２、８６は、ライナー８０の低い外側面上の任意の外側のネック１００を形成するように形づくることができる。ネック１００は、いくつかのタイプの炉で使用する図１のペデスタル２２の頂部の円形ステンレス鋼または他のタイプのカラー内のその下端部でライナー８０を保持することができるような大きさをしている。しかし、他の炉は、ネック１００を必要としない支持プラットフォームを含む。ネック１００は、図８に最もはっきり示すように、ステーブ８２、８６の主外面から延びる中央平坦隆起部１０６を含む２つの側部面取り１０２、１０４を有するように、ステーブ８２、８６の下端部を機械加工することにより形成することができる。面取り１０２、１０４および隆起部１０６は、等しい周方向の幅を有し、ライナー８０が組立てられたとき、面取り１０２、１０４および中央平坦領域１０６が、ネック１００の円形の対称面に近づくように、ライナーの中心３６に対して等しい角度の方向を向いている。ステーブ８２、８６は、円に近づくために４つ以上のこのような角度が異なる部分に形成することができ、必要に応じて、ステーブ８２、８６を、純粋に円形状のネック１００を有するように機械加工することができる。
【００２４】
チューブ８０の構造はいくつかの利点を有する。治具により整合することができるある程度の角度についての柔軟性をステーブ間に有する。図１３に示すように、隣接するフック８４、８８間の二重盲の平形ジョイント１０８、すなわち、外部に対して２つの鋭角の曲がりを有するジョイントにより、硬化した合成接着剤によりステーブ８２、８８間をうまく融合することができる。ステーブ８２、８８間の隙間のサイズ、すなわち接着剤の厚さのほとんどは、ステーブ８２、８６の最初の機械加工により決まる。連動フックを使用すれば、周方向ならびに半径方向にある程度の自己組立ておよび自己整合を行うことができるので、組立ておよび整合が容易になる。
【００２５】
他の設計も使用することができる。各ステーブは、２つの端部上の対向方向を向いているフックと一緒に形成することができる。この設計を使用すれば、ステーブの製造および在庫が簡単になるが、最後の閉鎖ステーブの組立てが難しくなる。追加のフックおよびキャッチを各端部に追加することができる。フックおよびキャッチは、完全な矩形である必要はない。
【００２６】
本発明は、管状シリコン部材を溶融する際に特に役に立つが、本発明は他の用途にも適用することができる。連動機構は、一次元または二次元アレイのもっと大きな平面構造に接合する必要がある平面部材に適用することができる。図１４の断面図に示すように、２つの同一平面のシリコン・プレート１１０、１１２は、プレート１１０、１１２が他のプレート１１２、１１０のフック１１６、１１４とそれぞれ係合している、各フック１１４、１１６およびキャッチ１１８、１２０を含む連動機構で接合される。プレート１１０、１１２は平面シートを形成するために接着される。二重盲ジョイント１２２は、２つのプレート１１０、１１２の強力な接着を促進する。類似の連動機構を、大きなシート、または３つ、４つまたはそれ以上のプレートを形成するために、プレート１１０、１１２の１つまたは両方の他の側面に塗布することができる。その結果、大きなシリコン・シートを、プレートのうちの隣接するプレート間で整合および所定の隙間の両方を提供する連動機構により、小さなシリコン・プレートから融合することができる。２００６年１０月３０日付けで実用特許出願第１１／５５４，１５４号として再出願された、２００６年２月３日出願の仮出願第６０／７６５，０１３号にＣａｄｗｅｌｌ他により開示されているガス・シャワーヘッドまたはライナー・カバーを形成するために、大きな接着シートを使用することができる。
【００２７】
２つ以上のプレート１１０、１１２の溶融は、硬化していない接着剤でプレート１１０、１１２間のキー溝ジョイントをコーティングし、プレート１１０、１１２の底面１２６を支持している組立テーブル１２４上で予めコーティングしたプレート１１０、１１２を組立てることにより行うことができる。圧着プレート１２８は、プレート１１０、１１２を整合し、ジョイントから余分な接着剤を押し出すために、プレート１１０、１１２の頂面１３０に圧力を加える。接着剤の必要な硬化によりプレート同士が接着してシートになった後で、複数のシャワーヘッドの噴出孔でその主面間でシートを、例えば、円くおよび孔開けのように機械加工することができるし、またはライナー・カバーにアパーチャを形成するために機械加工することもできる。
【００２８】
図１４の連動機構の場合には、フックおよびキャッチが、プレート１１０、１１２の主面にほぼ垂直に延びていた。図１５の断面図のもう１つの連動機構は、平面シートを形成するためにプレートを組立てるのに特に役に立つ。２つのほぼ平らな部分１４０、１４２は、傾斜している鋭角のフック１４４、１４６および相互に垂直であるが、部分１４０、１４２の対向主面１５２、１５４に対して傾斜している面を有する対応するキャッチ１４８、１５０と一緒に形成される。２つ以上の部分１４０、１４２のキー溝ジョイントを硬化していない接着剤で予めコーティングした後で、これらジョイントは、固定支持体と係合している例えば図のハンガー・フックを含む機械的保持手段により上から支持されている最も上の部分１４０、および対応するキャッチ１４８、１５０と係合しているフック１４４、１４６と一緒に垂直に組み立てられる。組立テーブルも圧着プレートも必要としない。必要に応じて、傾斜している下向きの垂直荷重を一番下の部分１４２にさらに加えることができる。重力を受けている傾斜しているフック１４４、１４６およびキャッチ１４８、１５０および任意の下向きの荷重により、部分１４０、１４２が整合し、フック１４４、１４６が他の部分１４０、１４２の各隅１５６、１５８に押しつけられる。図１５には、接着剤で満たされている部分１４０、１４２間の所定の隙間がはっきりと図示されていない。部分１４０、１４２が引っ張られる二重盲の平形ジョイント１６０は、硬化した接着剤を横切ってよく溶融した接合のためのものである。
【００２９】
別の方法としては、図１６の断面図に示すように、部分１４０、１４２を、水平面から角度θで傾斜していて、部分１４０、１４２の底面を支持している組立テーブル１７０上で接着し、組み立てることができる。一番上の部分１４０は、傾斜しているテーブル１７０上の下方へのスライドに対して固定され、一番下の部分１４２上に追加の部分的下方への荷重を加えることができ、それによりこれらの部分をテーブル１７０上で強制的に接合し、整合することができる。追加の圧着プレートを使用することができるが、そうしなくてもよい。
【００３０】
キー溝インターロックにより接合された組み立てられた部分の材料は、シリコンでなくてもよい。本発明は、バージン・ポリシリコン・ステーブ、またはシリコン・ステーブまたは他のシリコン部材に限定されない。他の材料を使用することもできる。さらに、組立体を連動するための方法は、特にライナーの場合に必要な管状構造に、電気またはレーザ手段により溶接される整合部材にも適用することができる。
それ故、本発明は、組立てを促進し、接着する部分を確実に整合させるための比較的簡単な手段を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】ウェーハのバッチ式熱処理に使用し、およびそれと一緒に本発明のライナーを使用することができる炉の断面図である。
【図２】多角形チューブを形成するために、接着したステーブから形成されているライナーの概略断面図である。
【図３】ステーブ間のさね継ぎの断面図である。
【図４】本発明のキー溝ジョイントを含む異なるタイプのジョイントの強度のグラフである。
【図５】ステーブ間のＶ字形ジョイントの断面図である。
【図６】２つの同一平面の部材間のキー溝ジョイントの断面図である。
【図７】キー溝ジョイントと一緒に形成されていて、任意のネックを含むライナーの正射図である。
【図８】図７のネックの分解正射図である。
【図９】キー溝ジョイントの一実施形態を含むライナーの断面図である。
【図１０】キー溝ジョイントを形成する２つのタイプのステーブを示す、図９のライナーの２つの領域の分解断面図である。
【図１１】キー溝ジョイントを形成する２つのタイプのステーブを示す、図９のライナーの２つの領域の分解断面図である。
【図１２】図９のライナーのキー溝ジョイントの断面図である。
【図１３】ステーブ間の隙間を示す、図１２のキー溝ジョイントのもう１つの断面図である。
【図１４】平面シートを組み立てる際に使用するキー溝ジョイントの断面図である。
【図１５】大きな平面プレートを形成する際に特に役に立つ傾斜キー溝ジョイントの断面図を示し、さらに水平テーブル上のその組立てを示す。
【図１６】傾斜キー溝ジョイントおよび傾斜テーブル上のその組立ての断面図である。
【図１】
2009524243.tif 000003
【図２】
2009524243.tif 000004
【図３】
2009524243.tif 000005
【図４】
2009524243.tif 000006
【図５】
2009524243.tif 000007
【図６】
2009524243.tif 000008
【図７】
2009524243.tif 000009
【図８】
2009524243.tif 000010
【図９】
2009524243.tif 000011
【図１０】
2009524243.tif 000012
【図１１】
2009524243.tif 000013
【図１２】
2009524243.tif 000014
【図１３】
2009524243.tif 000015
【図１４】
2009524243.tif 000016
【図１５】
2009524243.tif 000017
【図１６】
2009524243.tif 000018
【国際調査報告】
2009524243.tif 000019