(57)【要約】集積回路を含む複数の電子デバイスをテストするテスト手順を設定する方法が開示されている。デバイスの参照グループを規定し（１１０）、次いで、かかるグループ中のデバイスに実施予定の全てのテストを実施する（１２０）。夫々のテストにおいて、テスト結果が集計され、デバイスのグループからテストの故障検出率測定基準が抽出される（１３０）。次いで、テストの故障検出率測定基準とテスト時間との比として導かれる、夫々のテストについてテストベネフィットが算出される（１４０）。テスト手順は、テストベネフィットに基づき、テスト手順の故障検出率の全体が所定の判断基準の閾値に達する（１７０）まで、テスト手順にテストを繰り返し追加する（１６０）ことで構築される。その結果、テストに要する費用について最適化されたテスト手順となる。
2009505096.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のデバイスをテストするための複数のテストからテスト手順を設定する方法であって、該方法は、
前記複数のデバイスのフラクションに対し夫々のテストを実施するステップ（１１０、１２０）と、
夫々のデバイスにおいて、夫々に実施されたテストの該フラクションとしてテスト結果を集計するステップ（１２０）と、
夫々に実施されたテストについて集計されたテスト結果から、該フラクションの故障検出率測定基準を決定するステップ（１３０）と、
該テストの故障検出率測定基準を該テストのテスト実行時間で割ることを含む更なる方程式から、夫々に実施されたテストのテストベネフィットを算出するステップ（１４０）と、
所定の判断基準を満たしたテストベネフィットを有する第一のテストを手順に追加することによりテスト手順を設定するステップ（１５０、３３０）とを含むテスト手順設定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、前記テストグループの手順に、所定の更なる判断基準を満たすテストベネフィット、及び既に手順に追加されているテストの故障検出率測定基準には含まれない故障検出率測定基準を有する更なるテストを追加するステップ（１６０）を更に含むことを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法であって、該方法は、
グループ内のテストにおけるテストの初期化特性の共通性に基づき、複数のテストを複数のテストグループに分類するステップ（３１０）と、
グループ内の夫々のテストの故障検出率測定基準の和集合をグループ内の夫々のテストのテスト実行時間で割ることを含む方程式から、夫々のグループのグループベネフィットを算出するステップ（３２０）を更に含み、
前記第一のテストを手順に追加するステップ（３３０）には、所定の判断基準を満たすグループベネフィットを有する、該第一のテストを含む第一のテストグループを手順に追加することを含むことを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項４】
請求項３に記載の方法であって、更なるテストグループを手順に追加するステップ（３５０）を更に含み、該更なるテストグループは所定の更なる判断基準を満たすグループベネフィットを有することを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の方法であって、前記複数のテストを複数のテストグループに分類するステップ（３１０）において、該グループに既に追加されているテストの故障検出率測定基準には含まれない故障検出率測定基準を有するテストをテストグループに追加することを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項６】
請求項１に記載の方法であって、前記テスト実行時間は、テスト初期化時間とテスト時間との和であることを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項７】
請求項３〜５のいずれか一項に記載の方法であって、夫々のグループにおけるテストを、テストベネフィットの降順に構成するステップ（４１０）を更に含むことを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項８】
請求項７に記載の方法であって、高位のテストにおける故障検出率測定基準の総計を増加させることのない低位のテストを取り除き、夫々のグループの最適化を図るステップ（４２０、４３０、４５０）を更に含むことを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法であって、前記高位のテストは、前記低位のテストのグループのグループベネフィットよりも大きなグループベネフィットを有するグループのテストを含むことを特徴とする方法。
【請求項１０】
請求項４に記載の方法であって、前記テスト手順のテストグループを、グループベネフィットの降順に構成するステップを更に含むことを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項１１】
請求項３又は４に記載の方法であって、前記共通する初期化特性に、共通する初期化時間を含め、前記方程式のテスト時間の合計に、該共通の初期化時間を追加することを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項１２】
請求項４に記載の方法であって、前記更なるテストグループを手順に追加するステップ（３５０）は、第一テストグループのテストの故障検出率測定基準には含まれない故障検出率測定基準を有するテストをその夫々に含む複数のテストグループから、更なるテストグループを選択することを含み、該更なるテストグループは、そのグループベネフィットに基づき複数のテストグループから選択するものであることを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項１３】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法であって、テストベネフィット値に基づき、第二の更なるテストをテスト手順に追加するステップ（１７５、３７５）を更に含み、該第二の更なるテストは、手順に既に追加されているテストの故障検出率測定基準を含むことを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項１４】
請求項１から４のいずれか一項に記載の方法であって、該方法のステップを、複数のデバイスの製造工程の第一のステージにて実施し、また、該方法のステップは、該製造工程のそれ以後のステージにて繰り返し実施することを特徴とするテスト手順設定方法。
【請求項１５】
複数のデバイスをテストするテスト手順を設計する設計ツールであって、該設計ツールは、
デバイスのフラクションに実施された夫々のテストから集められたテスト結果を含むデータセットから故障検出率測定基準を決定するアルゴリズムと、
実施された夫々のテストについて、テストの故障検出率測定基準をテスト実行時間で割ることを含む更なる方程式を用いて、夫々のテストベネフィットを算出するアルゴリズムと、
所定の判断基準を満たすテストベネフィットを有する第一のテストを手順に追加することで、テスト手順を設定するアルゴリズムとを実行することを特徴とする設計ツール。
【請求項１６】
請求項１５に記載の設計ツールであって、テストグループの手順に更なるテストを追加するアルゴリズムを更に実行し、該更なるテストは、所定の更なる判断基準を満たすテストベネフィット、及び既に手順に追加されているテストの故障検出率測定基準には含まれない故障検出率測定基準を含むことを特徴とする設計ツール。
【請求項１７】
請求項１５に記載の設計ツールであって、該設計ツールは、
グループ内のテストにおいて、テストの初期化特性の共通性に基づき、複数のテストを複数のテストグループに分類するアルゴリズムと、
グループ内の夫々のテストの故障検出率測定基準の和集合を、グループ内の夫々のテストのテスト実行時間で割ることを含む方程式から、夫々のグループのグループベネフィットを算出するアルゴリズムとを更に含み、
前記第一のテストを手順に追加するアルゴリズムは、該第一のテストを含む第一のテストグループを手順に追加することを含み、該第一のテストグループは、所定の判断基準を満たすグループベネフィットを有することを特徴とする設計ツール。
【請求項１８】
請求項１７に記載の設計ツールであって、更なるテストグループが、第一のテストグループのテストの故障検出率測定基準に含まれない故障検出率測定基準を有する場合に、テストグループの手順に、該更なるテストグループを追加するアルゴリズムを更に実行することを特徴とする設計ツール。
【請求項１９】
請求項１５〜１８のいずれか一項に記載の設計ツールを記録したことを特徴とするデータキャリア。
【請求項２０】
複数の電子デバイスをテストする自動デバイステスト装置であって、請求項１５〜１８のいずれか一項に記載の設計ツールによるテストを行うことを特徴とする自動デバイステスト装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数のデバイスをテストするテスト手順を設定する方法に関する。更に、この発明は、かかる手順を利用可能とするテストプログラムを制御する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造環境においてデバイスをテストすることは、複雑で高価な工程となる。典型例の集積回路などの電子デバイスは、所望の仕様にて作動することを確認するためにテストしなければならない。それらデバイスは、更に複雑化していることから、デバイスにてシリコン又はメタライズ層のショートや縮退故障などといった、多くの欠陥が発生する可能性がある。夫々の欠陥を円滑に検出するためには、１つのテストが特定の欠陥のみを対象に検出することから、夫々のデバイスに対し、多数のテストを実施しなければならない。それらテストの夫々が、デバイスの全テスト工程に要する費用に加算されることとなるので、テスト数が多いと、その分、テストに要する費用が高くなる。
【０００３】
これらテストが実施される手順は、一般にアドホックな方法により設定される。一般に、テストは、特定のテスト中のデバイス（ＤＵＴ）にて発生することが知られている欠陥を対象に検出する、公知のテストから選択される。しかし、かかるテスト手順では、多数のテストが同一の欠陥を検出するなどの、多数の重複したテストを実施することとなる虞がある。
【０００４】
かかる余分なテスト手順を減少させることを目的とする解決策がある。かかる解決策には、例えば、拒絶修正分析（ＲＯＡ）と呼ばれる機能性を有するＰＤＦ／Ｓｏｌｕｔｉｏｎ社製のＤａｔａＰｏｗｅｒ製品がある。その詳細は、２００５年９月１０日にインターネットで検索した結果ではあるが、以下のＵＲＬwww.idsusa.com/site/products/dpc_core.htmlにて参照ことができる。かかる機能性は、ＤＵＴ上にて最も多くの欠陥を明らかにする複数のテストにおけるテスト手順の基礎をなす。しかし、かかるテスト手順では、テスト時間、ひいてはテストに要する費用について必ずしも最適化されていない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そのことから、この発明の目的は、複数の電子デバイスをテストする複数のテストからテスト手順を設定する方法の改善を図ることで、テストの重複性を減少させ、テスト時間を短縮することにある。
【０００６】
また、この発明の更なる目的は、かかる方法を採用した装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は、請求項１に記載したように、複数の電子デバイスをテストするテスト手順を規定する方法を提供する。必要なテスト数を最小とし、故障検出率を最適化する上述のＲＯＡ法に比べ、テストベネフィットを使用してテスト手順を決定することにより、最も短縮したテスト時間にて最大の故障検出率が得られることを確実とする。ＲＯＡ法は、単一のテストにより得られるテスト検出率が複数のその他のテストによっても得られる場合に、単一のテストが複数のその他のテストよりも複雑で高価であっても、単一のテストが選択されてしまうという欠点がある。この問題は、テストベネフィットに基づきテスト手順の最適化することにより解消される。
【０００８】
また、更に好適な方法は、請求項３に記載の方法により提供される。かかる方法は、同一のテスト装置にて類似のテストセットアップ時間を有するなどの、共通するテスト初期化特性に基づきテストをグループわけすることで、テストを夫々に初期化することなく、単一の初期化ステップを経ることでグループ内のテストを実行して、テスト手順に要する時間を更に短縮することができる。更に、適当な故障検出率／テスト時間比に基づきテストグループを選択することで、（略）最適化されたテスト手順となる。
【０００９】
更にまた、複数のテストを複数のグループに分類するステップは、既に手順に追加されているテストの故障検出率測定基準には含まれない故障検出率測定基準を有する更なるテストを追加することが好ましい。このことにより、テストグループ中に重複したテストが存在することを回避することができる。
【００１０】
テストグループは、テストグループの切り捨てを促進するために、テストはテストベネフィットの降順に並べられ、かかる切り捨ては、高位のテストにおける故障検出率測定基準の総計を増加させることのない低位のテストを取り除くことにより達成される。かかる切り捨ては、グループのグループベネフィットを更に向上させ、例えば欠陥ストラテジーを取り止めることができ、テストを低価格としつつも、テストに高い処理能力を付与することが可能となる。
【００１１】
かかる切り捨てステップは、低位のテストのグループと、高いグループベネフィットを有するテストのグループとの比較を更に含み、このことは、高いグループベネフィットのグループのテストの故障検出率とオーバーラップし、重複したテストを追加する低位のテストを取り除く点で有利である。
【００１２】
また、かかる方法は、テスト手順において、テストグループをグループベネフィットの降順に構成するステップを含むことが好ましい。このことは、手順によるテストベネフィットが充分ではないグループを完全に取り除くことで、テスト手順の効率的な切り捨てを促進する。
【００１３】
更に、この発明に従う方法は、第二の更なるテストグループに含まれ得る第二の更なるテストを、テスト（又はグループ）のベネフィット値に基づき追加するステップを含むものである、第二の更なるテスト（グループ）は、既に手順に追加されているテストの故障検出率測定基準を含むものである。複数の電子デバイスのフラクションから得られた故障検出率測定基準は、複数の電子デバイス全てにおける測定基準と同一ではないため、いくつかのテストの重複は意図的に追加されている。フラクションにおける故障検出率測定基準に基づきテスト手順に重複するテストを追加することは、テスト手順により複数の電子デバイスの全てについてテストが実施されたときに故障したデバイスが検出されない可能性を小さくする。
【００１４】
更にまた、かかる方法は、かかる方法のステップを、複数のデバイスの製造工程の第一のステージに実施し、また、かかる方法のステップは、製造工程のそれ以後のステージにて繰り返されることが好ましい。また、例えば、製造工程の初期ステージにて発生する故障のタイプが、より成熟したステージにて発生する故障のタイプと異なるものであることから、この発明は、電子デバイスの製造工程の所定のステージにおけるテスト手順の（略）最適化を実現することに基づくものであり、製造工程のその他のステージでの（略）最適化は必ずしも必要では無い。言い換えると、故障検出率測定基準は工程の成熟度によって異なることから、例えば、テスト手順が大幅に改善されると、テスト手順を再度最適化することが好ましい。
【００１５】
また、この発明は、請求項１５に記載の設計ツールを提供するものである。かかる設計ツールは、ＣＤ−ＲＯＭ又はＤＶＤなどのデータキャリアにて提供される、あるいは、必要な変更を加え、上記した方法における有利な点と同様に、この発明に従う方法及びベネフィットを提供する自動テスト装置にて実行される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、この発明を限定するものではないが、図面を参照しつつ、この発明を詳細に説明する。
【００１７】
なお、図面は単に概略的なものであり、程度、寸法を示すものではないことには留意されたい。また、全ての図面を通して、同一の部分及び類似の部分に対し、同一の参照符号が付されていることにも留意されたい。
【００１８】
図１に示す、この発明に従う方法の実施例によれば、複数の電子デバイスをテストするテスト手順は、テスト手順によりテストに供される全ての電子デバイスのフラクションを選択する第一のステップ１１０から開始する。かかるフラクションは、テストに供される電子デバイスの完全なバッチの参照グループとなる。そのため、デバイスの統計的に代表的な散らばりが得られるよう気にしなければならない。このことは、単一のウエハ上の異なる領域又は異なるウエハ上の領域にてバッチとして電子デバイスから選択することにより達成され、デバイスを製造工程にて変更させることができる可能性を大きくし、その結果、異なる欠陥が生じる傾向にある。
【００１９】
次のステップ１２０では、参照グループの全ての電子デバイス、すなわちフラクションは、テストのテスト手順に含まれる可能性のある、全ての実施し得るテストに供される。夫々のテストにおいて、参照グループにおけるテストのテスト結果が集められ、ステップ１３０にて参照グループにおけるテストの故障検出率測定基準が算出される。
【００２０】
このことは、図２を参照しつつ、より詳細に説明することができ、参照グループにおける５個の電子デバイスＤ１〜Ｄ５における６回のテストＴ１〜Ｔ６の結果はマトリックス２００にて表され、電子デバイスＤ１〜Ｄ５は、縦列２１０を画定し、６回のテストＴ１〜Ｔ６は横列２２０を画定する。横列Ｍと縦列Ｎの領域における数値は、テストの結果ＭをデバイスＮに提供し、「０」は、テストＭに合格したデバイスＮを表し、「１」は、テストＭが不合格であったデバイスＮを表す。この実施例では、参照グループにてＤ２が唯一良好なデバイスであり、その他のデバイスには欠陥がある。６回のテスト及び５個のデバイスを選択したことは、発明を明確とするための一実施例であり、一般にはより多くのテスト及び電子デバイスに関するものであることには留意されたい。マトリックス２００からは、故障検出率測定基準が、例えば、以下の式により算出される。
【数１】
2009505096.tif 000003
【００２１】
再度、図１を参照すると、かかる測定基準は、ステップ１４０にて、夫々のテストのテストベネフィットを算出するために使用することができる。一般に、テストのテストベネフィット（ＴＢ）は、ＴＣとそのテスト時間（ＴＤ）との比にて表される。テスト時間は、テスト実行時間のみ、あるいはテスト初期化時間を含めた時間に基づくものであり、すなわち、例えば、初期化時間が無視できない場合には、ＴＤ＝初期化時間（Ｔｉｎｉｔ）＋実行時間（Ｔｅｘｅ）となる。テストＴ１〜Ｔ６にて実行されたステップ１４０は、表１に示す。
【００２２】
【表１】
2009505096.tif 000004
【００２３】
表１から明らかなように、Ｔ１は最も多くの検出率を含むテストであるにもかかわらず、テスト時間が長すぎることから、そのテストベネフィットはそんなに好ましくない。このことから、テスト検出率のみに重点をおいたテスト手順のテストの選択は、好ましくないテスト手順、すなわちテスト費用が高価になることに容易に至ることを実証している。
【００２４】
次のステップ１５０により、テスト手順の構築は、所定の判断基準に基づき、テスト手順に追加される第一のテストを選択することで開始される。かかる判断基準は、「複数のテストから最も好適なテストベネフィットを有するテストを選択する」又は「複数のテストから少なくとも０．０２のテストベネフィットを有するテストを選択する」などとすることができる。第一のテストの選択後、例えば上記した実施例のＴ４では、かかる方法のステップ１６０にて、好適には同一の所定の判断基準により、次のテストをテスト手順に追加することができる。かかるテストを追加する前に、既にテスト手順に追加されているテストの故障検出率の和集合、及び追加予定のテストの故障検出率が、既にテスト手順に追加されているテストの故障検出率とは異なることを確認することが好ましい。すなわち、かかる確認を行うことは、実施予定のテストが、既にテスト手順に追加されているテストにより検出されていない故障を検出するか否かを判定するための確認となる。
【００２５】
例えば、テスト手順にＴ４を追加した後には、Ｔ２のテストベネフィットが０．０２であることから、Ｔ２を追加することが予想される。Ｔ４及びＴ２の和集合（Ｕ）は、以下の式から算出される。
【数２】
2009505096.tif 000005
そうすると、Ｔ２は、テストのバッチにおいて、更なる故障デバイスの検出は追加しないことがわかる。このことから、Ｔ２はテスト手順に追加する必要が無い。Ｔ５のテストベネフィットは、Ｔ２と同様、０．０２であり、Ｔ４とＴ５間におけるテスト検出率の重複について同様に調べると、それらの和集合は以下の式により算出される。
【数３】
2009505096.tif 000006
そうすると、Ｔ５はＤ３の故障の検出をテスト手順の全体の故障検出率に追加するので、Ｔ３を手順に追加することができる。
【００２６】
あるいは、テストの選択工程にて、急いで故障検出率の和集合を算出するのではなく、任意選択的なステップ１５５にて、テスト手順の範囲外の第ｎのテストにおけるテストベネフィットを以下の式により再計算することができる。
【数４】
2009505096.tif 000007
説明すると、夫々のテストにおいて、テスト手順（ＴＣ（Ｔｔｓ））に既に追加されているテストによる故障検出率に対し、追加された故障検出率を、そのテスト時間で割っている。例えば、既に手順に追加されているテストＴ４の実施例において、残りのテストは、以下の表２に示すような結果となる。
【００２７】
【表２】
2009505096.tif 000008
【００２８】
かかる表からわかるように、Ｔ３の初期テストベネフィットがＴ５の初期テストベネフィットよりも小さいが、Ｔ３及びＴ５がともに選択されるに適当な候補であることは明らかである。残りの特性は、この発明に従う方法のステップ１６０にて、いずれのテストがテスト手順に追加されるかを決定するために使用される。このとき、かかる実施の相互関係から、故障検出率測定基準は、電子デバイスのバッチにおけるテストの故障検出率、又はテストグループのテストにおける追加的な故障検出率であることには留意されたい。ステップ１５５の手順は、テスト手順のテストの故障検出率測定基準の総計が所定の判断基準、例えば「全ての故障し得るデバイスの９９％が同定される」に到るまで、テストが手順に追加される度に繰り返すことができる。この確認は、この発明に従う方法のステップ１７０にて行われる。所定の判断基準に充分に到達していない場合には、ステップ１６０又はステップ１５５に戻り、テスト手順に別のテストを追加する。
【００２９】
テスト手順にて上記した判断基準が満たされたことがステップ１７０にて確認されると、手順は完了したものとみなされ、ステップ１８０にて示すように、手順は終了する。任意選択的には、手順の選択手段が終了する前に、ステップ１７５にて、一つ以上のテストが、手順に追加され、手順にテストの重複を追加する。それら重複したテストは、ステップ１４０にて算出されたテストのテストベネフィットに基づき選択される。テスト手順に重複したテストを追加することは、かかる方法のステップ１１０にて確定されるデバイスのバッチにて故障検出率測定基準を満たしていたとしても、テスト手順にて多くの電子デバイスの故障が見過ごされるような、複数の電子デバイスの完全なテスト手順の実施におけるリスクを減らすことにつながる。このことは、例えば、電子デバイスの選択された参照グループが、例えば、処理のバリエーションに起因した、デバイス特性のばらつきを適当に反映しないときに起こり得る。参照グループに重複するテストを追加することは、複数の電子デバイス全てについての重複とはならずに、これらテストの追加は、全ての電子デバイスに関する故障検出率を向上させる。
【００３０】
この発明に従う方法の更なる実施例を図３に示す。前述のステップ１１０、１２０、１３０及び１４０を実施した後に、ステップ３１０にて複数のテストが複数のテストグループに構成され、夫々のグループにおける全てのテストは共通のテスト特性を有する。この発明において、共通のテスト特性としては、グループとして実行されるテストのテスト時間を利用する特性を表し、すなわち、連続的な手順とすることで、それらテストの夫々のテストのテスト時間を合計するよりもテスト時間が短縮される。かかるテスト特性の第一の実施例は、テストのセットアップ又は初期化の時間であり、例えば、同一のテスト器具に対し全てのテストが実施される場合には、かかる器具のセットアップは、テストがＮ回夫々に実施されるのではなく、グループ内のＮ回のテスト全てについて一度で済み、それ故に、テストグループの（Ｎ−１）＊Ｔｉｎｉｔテストのセットアップ時間Ｔが短縮され、テストに要する費用を低下させることができる。
【００３１】
夫々のテストに基づきテスト手順を設定するよりも、図３に示す実施例のように、ステップ３１０にて形成されたグループに基づきテスト手順を設定することが好ましい。この目的を達成するために、ステップ３２０にてグループベネフィットが算出される。Ｎ回のテストを含むグループのグループベネフィット（Ｇｂ）は、以下の方程式により算出される。
【数５】
2009505096.tif 000009
【数６】
2009505096.tif 000010
説明すると、グループの故障検出率Ｇｃｏｖは、故障検出率測定基準の和集合を、グループ内のテストの総テスト実行時間Ｔｅｘｅｃと、テストに共通の初期化時間Ｔｉｎｉｔとの和で割ることで確定する。なお、このとき、ＴｉｎｉｔよりもＴｅｘｅｃが大きい場合にはＴｉｎｉｔを無視することができる。
【００３２】
次のステップ３３０において、第一のテストグループは、形成されたテストグループから選択され、「グループベネフィットは最小値ｘを有する必要がある」又は「最も大きなグループベネフィットを有するグループを選択する」などの、所定の判断基準を満たしたグループベネフィットに基づきテスト手順に追加される。その他の適当な判断基準も同様に採用し得る。
【００３３】
次のステップ３４０では、手順に追加されたテストの第一のグループが、デバイスの参照グループにて適当な故障検出率を提供しているかどうかの評価がなされる。このとき、テストの選択工程は、ステップ３８０にて終了するが、その前に、任意選択的なステップ３７５にて、前述したように、テストの重複を手順に追加するために、故障検出率は（顕著には）向上しないが、複数のテスト及び／又はテストグループがテスト手順に追加される。このように、追加される夫々のテスト又はテストグループは、夫々初期に算出されたテストベネフィット及びグループベネフィットに基づき、選択することができる。
【００３４】
ステップ３４０にて、テスト手順に追加されたグループにより提供される故障検出率が、例えば、「故障し得るデバイスの９９％が検出される」などの、所定の閾値に達しているかどうかの評価がなされると、ステップ３５０にて、更なる判断基準となるグループベネフィットに基づき、更なるテストのグループがテスト手順に追加される。更なる判断基準は、選択された第一のテストグループに基づく判断基準と同一の判断基準とすることもできるが、例えば、「複数のグループのうち、まだテスト手順に追加されていない最も大きなグループベネフィットを有するグループを選択する」などとすることができる。
【００３５】
図１に示す任意選択的なステップ１５５と同様、更なるテストグループの選択に先立って、任意選択的なステップ３４５にて、まだテスト手順に追加されていないグループのグループベネフィットを再計算して、アップデートすることができる。一般に、した後に、次なるグループｊのアップデートされたグループベネフィット（Ｇｂ’）は、Ｇｃｏｖ（ｓｅｑ）の故障検出率の和集合を有するテスト手順に既に含まれている、Ｋテストグループの故障検出率の和集合と、（Ｇｃｏｖ（ｊ）にて示される）更なるグループのＭテストの故障検出率の和集合との差を、更なるグループのＭテストのテスト実行時間と、必要に応じてそのグループの初期化時間との和により割ることで求められる。
【数７】
2009505096.tif 000011
【数８】
2009505096.tif 000012
その後、ステップ３２０にて算出されたグループベネフィットではなく、アップデートされたグループベネフィットＧｂ’を用いてステップ３５０が実施される。ステップ３５０の後、すなわち、テスト手順に更なるグループを追加した後には、ステップ３４０の評価の判断基準に達するまで、評価のステップ３４０と、更なるグループの追加が繰り返され、その後、ステップ３７５及びステップ３８０が実行される。図１に示す方法と同様に、図３に示す方法は、電子デバイスの製造工程の多様な成熟ステージにて繰り返され、前述のように、性質を変化させ、デバイス故障の発生頻度に対応させることができる。
【００３６】
ステップ３３０を実行する前、すなわち、テスト手順に追加する第一のテストグループの選択する前には、図４に示す中間的な処理により、ステップ３２０にて形成されたテストグループが最適化される。第一のステップ４１０では、夫々のテストグループのテストは、グループ内の低位のテストと高位のテストの故障検出率の和集合が算出された後に、テストベネフィットの降順に構成される。言い換えると、ステップ１５５と同様に、高位のテストの和集合、すなわち、グループの故障検出率の総計と比較して、低位のテストのテストベネフィットは、追加して検出される故障数に基づき再計算される。ステップ４３０では、高位のテストの故障検出率の和集合に対し、低位のテストが貢献しているかを評価する。故障検出率が向上している場合には、低位のテストは、ステップ４４０にてテストグループに含まれるが、そうでない場合には、ステップ４５０にてテストグループから削除される。ステップ４６０に示すように、この工程は、最適化が完了するステップ４７０に至るまで、グループ内の全てのテストについて繰り返し実行される。
【００３７】
この中間的な処理は、ステップ３２０にて形成されたテストグループのテストの重複を効果的に取り除く。かかる処理は、形成後のテストグループに実施される。あるいは、中間的な処理は、「早急」に実施され、すなわち、既にグループに割り当てられているテストのテスト特性が共通することが同定された夫々の更なるテストについて、更なるテストが、グループの故障検出率の総計を向上させているかを確認し、故障検出率の総計を向上させるテストのみが追加される。また、様々に異なる方法、例えば、グループ内のテストはグループベネフィットの昇順に並べ、それに従い評価する方法、あるいは、かかるストラテジーの組み合わせを実行する方法、あるいは、実施予定のテストのグループよりも大きなグループベネフィットを有するグループのテストを、故障検出率の総計の算出に含め、グループ間のテストの重複を少なくする方法などにより、グループの最適化を図り得ることには留意されたい。
【００３８】
このとき、この発明に従う方法（における異なるステップ）は、かかる方法の多様なステップを適当なアルゴリズムとして書き出して、テスト手順設計ツールに、容易に取り込み得ることには留意されたい。かかる書き出しは単純であり、その更なる精緻化は必要とされない。かかる設計ツールは、ＣＤ−ＲＯＭ又はＤＶＤディスクなどに記録したり、あるいはインターネットなどのリモートメモリからダウンロードさせるようにしたりできる。あるいは、設計ツールは自動テスト装置に組み込まれていてもよい。
【００３９】
なお、この発明の詳細な説明により電子デバイスのテスト手順の定義が開示されているが、これは単に一実施例に過ぎないことには留意されたい。また、この発明は、複数のテストによりテストに供さなければならない任意の製造工程に適用することができる。
【００４０】
また、図示し、上述した実施形態は、この発明を制限するものではなく、請求項に記載のこの発明の範囲内であれば、当業者は様々な代替的な実施形態を設計し得ることには留意されたい。請求項に記載の語句間の符号は請求項を制限するものではない。また、「具える（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」という語句は、請求項に記載されている以外の要素又はステップを除外するものではない。単数として表記されているものを複数のものとして扱うことも可能である。この発明は、複数の異なる要素を有するハードウェア手段として実施することができる。複数の手段を列挙したデバイスの請求項においては、これら複数の手段は、ハードウェアの、１つのそして同一のアイテムとして実施することができる。かかる測定方法は、相互に異なる独立請求項にて引用されているが、これら測定方法の組み合わせを有利に使用してはならないわけではないことには留意されたい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】この発明に従う方法の実施例のフローチャートを示した図である。
【図２】故障検出率マトリックスの実施例を示す図である。
【図３】この発明に従うその他の方法の実施例のフローチャートを示した図である。
【図４】図３に示す実施例についての任意選択的な側面をフローチャートに示した図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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