(57)【要約】  排ガス中の微粒子濃度の増減に対し、プラズマによる電極表面の酸化作用と、電極に付着する微粒子量とを個別に制御する。  排ガスｇ中に設置する少なくとも一対の電極２ａ，２ｂと、該電極２ａ，２ｂ間に非熱平衡プラズマを発生させるための高電圧を周期的に印加する電源３とを備え、該電源は、高電圧保持時間が短い電圧波形と高電圧保持時間が長い電圧波形とを出力することができ、かつ、前記電極間に高電圧保持時間が短い電圧波形と高電圧保持時間が長い電圧波形とを一定周波数にて任意のサイクル比率で発生させる。
2009119845.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排ガス中に設置する少なくとも一対の電極と、該電極間に非熱平衡プラズマを発生させるための高電圧を周期的に印加する電源とを備え、該電源は、高電圧保持時間が短い電圧波形と高電圧保持時間が長い電圧波形とを出力することができ、かつ、前記電極間に高電圧保持時間が短い電圧波形と高電圧保持時間が長い電圧波形とを一定周波数において任意のサイクル比率で発生させることを特徴とする排ガス浄化装置。
【請求項２】
電源を、４個のスイッチング素子ＡＰ、ＡＮ、ＢＰ、ＢＮによって構成されたＨブリッジ回路と高周波トランスにより形成したことを特徴とする請求項１記載の排ガス浄化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンジンの排ガス、或いは、ボイラの排ガスなどに含まれるススを主とする微粒子を削減する排ガス浄化装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
排ガス浄化装置としては、例えば、下記の発明を挙げることができる。すなわち、
（ａ）日本国特開２００７−２４５０９４号公報（特許文献１）には、帯電部と集塵部を備えた二段構成の電気集塵機において、集塵部の電極に高圧の交流電圧を加えることにより、集塵部で集塵された帯電粒子が剥離され、再飛散することを抑制することが記載されている。
（ｂ）日本国特開２００２−２１３２２８号公報（特許文献２）には、プラズマを発生させて微粒子を帯電させる帯電部と、帯電した微粒子を集塵するためにアース電位に固定された集塵部とを備えた排ガス浄化装置が記載されている。
（ｃ）日本国特開２００６−２６１０４０号公報（特許文献３）には、排ガスの流れ方向に２つ以上のプラズマ発生電極を設け、それぞれ独立した電源でプラズマを発生させることが記載されている。
（ｄ）日本国特開２００７−２３８６１号公報（特許文献４）には、放電期間と放電休止期間を設定して放電を間欠的に行い、排ガス中の微粒子濃度が増加した場合には、放電電圧と周波数を高くし、また、排ガス流量が増加した場合には、放電休止期間を短くして対応することが記載されている。【０００３】
しかし、特許文献１のように、微粒子を帯電させる帯電部と、帯電した微粒子を集塵する集塵部に機能分離した場合、電極と電源が２組必要になり、装置全体のサイズとコストが大きくなる欠点がある。また、微粒子を集塵した電極の定期的清掃も必要になる。【０００４】
特許文献２のように、集塵部に電源を用いない場合、電源を複数用意する必要はないが、電極が帯電部と集塵部に分かれるため、構造が複雑になる。また、集塵部に集塵した微粒子の酸化除去能力は、上流側の帯電部のプラズマで生成された活性物質の量に依存するが、活性物質の量を増やすために帯電部のプラズマを強くすると、集塵部に集塵される微粒子の量も増えるため、排ガス中の微粒子濃度が高い場合には、集塵部に微粒子が堆積する危険がある。【０００５】
特許文献３には、帯電部や集塵部という表現がないが、電極と電源を複数使うため、装置全体のサイズとコストが大きくなる欠点がある。特許文献４のように、微粒子濃度が増加した場合に放電電圧を高くすると、排ガスの浄化効率を高めることができるが、電極に吸着される微粒子量も増えてしまうため、排ガスの微粒子濃度が高い場合には、電極に微粒子が堆積していく危険がある。また、放電電圧を高くすると、電極などに印加される電圧が高くなるため、装置全体のサイズとコストが大きくなる欠点がある。【０００６】
また、放電周波数を変化させる場合、電力を一定にするためには、放電電圧やバースト期間を変化させる必要があるので、制御が複雑になる。また、放電周波数は、高周波トランスを含めた電源回路と電極との発振系の整合性を乱さない範囲に制限されるため、１組の電源と電極で選択できる周波数範囲は必ずしも十分ではない。【０００７】
ところで、ススを主とする微粒子を含む排ガスを通気した少なくとも一対の電極に、サイン波またはサイン波に近い電圧波形の交番電圧を印加して非熱平衡プラズマを発生させた場合、微粒子は、プラズマによって帯電して電極表面に吸引され、一部が電極に吸着する。電極表面に吸着した微粒子は、プラズマによって生成されたオゾンやＮＯ２によってＣＯ２やＨ２Ｏなどに酸化されてガス化し、排ガスの一部として排出される。【０００８】
排ガス中の微粒子濃度が高い場合、プラズマによる電極表面の酸化能力を超える多量の微粒子が電極表面に吸着し、やがて電極表面が微粒子で被われてしまう。そうなると、正常な非熱平衡プラズマを発生させることが難しくなる。プラズマによる電極表面の酸化能力を高めようとしてプラズマ電力を大きくすると、電極に電気的に吸着する微粒子の量も増えるので、プラズマ電力だけで電極表面の酸化能力と、吸着する微粒子の量の大小関係を変えることが難しい。
【特許文献１】日本国特開２００７−２４５０９４号公報
【特許文献２】日本国特開２００２−２１３２２８号公報
【特許文献３】日本国特開２００６−２６１０４０号公報
【特許文献４】日本国特開２００７−２３８６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記のような問題を解消するためになされたものであり、その目的とするところは、装置全体のサイズとコストを抑制する一方、排ガス中の微粒子濃度の増減に対して、プラズマによる電極表面の酸化作用と、電極に付着する微粒子の量とを個別に制御することができる排ガス浄化装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の排ガス浄化装置は、排ガス中に設置する少なくとも一対の電極と、該電極間に非熱平衡プラズマを発生させるための高電圧を周期的に印加する電源とを備え、該電源は、高電圧保持時間が短い電圧波形と高電圧保持時間が長い電圧波形とを出力することができ、かつ、前記電極間に高電圧保持時間が短い電圧波形と高電圧保持時間が長い電圧波形とを一定周波数において任意のサイクル比率で発生させることを特徴とするものである。【００１１】
本発明の排ガス浄化装置は、電源を、４個のスイッチング素子ＡＰ、ＡＮ、ＢＰ、ＢＮによって構成されたＨブリッジ回路と高周波トランスにより形成したことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、燃焼モードのプラズマは、高電圧をパルス的に発生させるため、帯電した微粒子を電極へ吸引する時間が短く、微粒子の吸着能力が小さい。プラズマは、電極の電圧が変化する時に発生するため、高電圧印加時間が短くても活性種の生成に不都合がない。従って、プラズマ電力を大きくしても微粒子の吸着量をあまり増やすことなく、電極表面の酸化能力を高めることができる。【００１３】
一方、吸着モードのプラズマは、高電圧を印加している時間が長いため、プラズマによって生成されたイオンを電界によって加速することにエネルギーの一部を消費するため、同じ電力で比較した燃焼モードのプラズマよりも電極表面の酸化能力は、若干、低い。しかし、微粒子の吸着能力が高いため、プラズマ電力を大きくすると、微粒子の吸着量を大きく増やすことができる。【００１４】
この燃焼モードのプラズマと吸着モードのプラズマを出力サイクル毎に選択できる電源を用い、燃焼モードのプラズマと吸着モードのプラズマの出力サイクル数の比率と、合計電力を個別に設定することで、排ガス中の微粒子濃度の増減に対して、プラズマによる電極表面の酸化作用と、電極に付着する微粒子の量とを個別に制御することができる。【００１５】
その結果、微粒子濃度が高い排ガスを処理した場合でも、電極表面が微粒子で被われることがなく、連続的に微粒子を吸着して酸化することができる。また、消費電力を低く抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は本発明に係る排ガス浄化装置の概略構成図である。
【図２】図２は燃焼モードおよび吸着モードの電圧波形の定義を示す図である。
【図３】図３は燃焼モード時の電極間の帯電粒子の動きを示す図である。
【図４】図４は吸着モード時の電極間の帯電粒子の動きを示す図である。
【図５】図５はＨブリッジを含む本発明に係る排ガス浄化装置の概略構成図である。
【図６】図６は燃焼モードの電圧電流波形とスイッチング素子動作の関係を示す図である。
【図７】図７は吸着モードの電圧電流波形とスイッチング素子動作の関係を示す図（例１）である。
【図８】図８は吸着モードの電圧電流波形とスイッチング素子動作の関係を示す図（例２）である。
【図９】図９は期間１のＨブリッジの動作を示す図である。
【図１０】図１０は期間２のＨブリッジの動作を示す図である。
【図１１】図１１は期間３のＨブリッジの動作を示す図である。
【図１２】図１２は期間４のＨブリッジの動作を示す図である。
【図１３】図１３は期間５のＨブリッジの動作を示す図である。
【図１４】図１４は期間６のＨブリッジの動作を示す図である。
【図１５】図１５は期間７のＨブリッジの動作を示す図である。
【図１６】図１６は電極表面の酸化作用と電極に吸着する微粒子の量とを制御する方法を示す図（その１）である。
【図１７】図１７は電極表面の酸化作用と電極に吸着する微粒子の量とを制御する方法を示す図（その２）である。
【図１８】図１８はプラズマ電極のスタック構造を示す図である。
【図１９】図１９は実施例の実験装置を示す図である。
【図２０】図２０は実施例における実験結果を示す図である。
【図２１】図２１は吸着モードの電圧波形（実施例の電極にて、０．７５ｋＷ、３ｋＨｚの場合。）を示す図である。
【図２２】図２２は燃焼モードの電圧波形（実施例の電極にて、０．７５ｋＷ、３ｋＨｚの場合。）を示す図である。
【図２３】図２３は燃焼モードのプラズマと吸着モードのプラズマを交互に３サイクルずつ出力した例を示す図である。
【符号の説明】
【００１７】
ｇ  排ガス
２ａ，２ｂ  電極
３  電源
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。図１に示すように、本発明の排ガス浄化装置１は、少なくとも一対の電極２ａ，２ｂと、当該電極２ａ，２ｂ間に非熱平衡プラズマ、つまり、活性種の生成、或いは微粒子の帯電に優れた効果を持つプラズマ（便宜的に、燃焼モードのプラズマと称する。）と、帯電した微粒子の電気的吸着に優れた効果を持つプラズマ（便宜的に、吸着モードのプラズマと称する。）とを一定周波数において任意のサイクル比率で発生させる電源装置３とを備えている。【００１９】
電極２ａは、電源装置３に接続し、電極２ｂは、アース４に接続している。また、電極（電極板）は、２枚のアルミナ製セラミック板の間にＳＵＳ３０４製の金属板を挟んだものが好ましいが、これに限定されない。【００２０】
燃焼モードのプラズマとは、プラズマを発生させるために電極に高電圧を印加した後、速やかに電圧が低下する電圧波形を持つプラズマであり、「電極に発生する電圧が、最大値の５０％以上である期間および最小値の５０％以下である期間の合計が１サイクル中で３０％以下である電圧波形」と定義される（図２参照。）。【００２１】
このプラズマを発生させた場合、電極間に発生する高い電界によって電極間にストリーマ放電が形成され、放電によって発生した高エネルギーの電子によって各種原子のラジカルやＯ３などの活性物質が発生する。また、ＮＯＸを含む排ガスにおいては、ＮＯがＮＯ２に酸化されたり、或いはＮＯＸがＮ２に還元されたりする。【００２２】
図３に示すように、排ガスｇ中に存在する微粒子ｍは、プラズマで発生した電子、或いは、イオンと結合して正負どちらかに帯電し、電極２ａ，２ｂ間の高電界を受けて正負どちらかの電極に電気的に吸引される。しかし、高電圧印加時間が短いため、電極表面に到達する前に電界による加速が終了してしまう。そして、次の逆電界のプラズマによる反対側の電極への電気的吸引力により、先程近づいた電極から遠ざけられる。以後、このような振幅動作を繰り返すため、帯電した微粒子ｍの大部分が電極２ａ，２ｂに吸着されることなく、電極を通り抜ける。【００２３】
吸着モードのプラズマとは、プラズマを発生させるために電極に高電圧を印加した後も高い電圧を長時間保持する電圧波形を持つプラズマであり、「電極に発生する電圧が、最大値の５０％以上である期間および最小値の５０％以下である期間の合計が１サイクル中の７０％以上である電圧波形」と定義される（図２参照。）。【００２４】
このプラズマを発生させた場合、図４に示すように、帯電した微粒子ｍが十分長い時間、電極２ａ，２ｂへと電気的に吸引されて遂には電極表面に吸着されるため、帯電した微粒子ｍの大部分を電極２ａ，２ｂに吸着することができる。【００２５】
上記の電源装置３は、図５に示すように、４個のスイッチング素子ＡＰ、ＡＮ、ＢＰ、ＢＮによって構成されたＨブリッジ回路５と高周波トランス６との組み合わせにより、少なくとも一対の電極２ａ，２ｂ間に周期的な高電圧を発生させることができる電源回路を具備することになる。【００２６】
上記のスイッチング素子ＡＰ、ＡＮ、ＢＰ、ＢＮをＯｎ／Ｏｆｆするタイミングをコンピュータ（制御装置）によって適切に設定することにより、少なくとも一対の電極２ａ，２ｂ、つまり、プラズマ電極部２Ａに発生する高電圧波形および一定周波数におけるサイクル比率を容易に変えることができる。【００２７】
スイッチング素子ＡＰ、ＡＮ、ＢＰ、ＢＮをＯｎ／Ｏｆｆするタイミングと、プラズマ電極部に発生する電圧ＶＰ、電流ＩＰの関係を図６〜図８に示す。また、図６〜図８の図中に丸括弧付き数字で示した各期間について、Ｈブリッジ回路内部の電流ＩＨを図９〜図１５の点線で示す。なお、図９〜図１５では、図５に示したＨブリッジ回路以外の部分であるトランス６とプラズマ電極部２Ａを、それぞれコイルとコンデンサに置き換えて回路を簡略に記述した。【００２８】
ところで、図６〜図８の期間１１（丸括弧付き数字１１の期間）〜期間１７（丸括弧付き数字１７の期間）は、それぞれ期間１（丸括弧付き数字１の期間）〜期間７（丸括弧付き数字７の期間）の逆位相に該当する。すなわち、図９〜図１５の説明文中のＡＰをＢＰに、ＢＰをＡＰに、ＡＮをＢＮに、ＢＮをＡＮに、それぞれ読み替えることで、コイルとコンデンサに流れる電流ＩH の向きが逆になるスイッチング動作を説明する図になる。【００２９】
（ａ）期間１（丸括弧付き数字１の期間）のＨブリッチ回路の動作は、ＡＰとＢＮがＯｎとなり、図９に示すように、電源電圧によりコンデンサが充電されてコンデンサの電圧が上昇する。【００３０】
（ｂ）期間２（丸括弧付き数字２の期間）のＨブリッチ回路の動作は、ＡＰとＢＮがＯｎとなり、図１０に示すように、ＢＮ側を短絡すると同時に、ＡＰ側に電源電圧を印加してコンデンサの電圧を急速に逆転させる。【００３１】
（ｃ）期間３（丸括弧付き数字３の期間）のＨブリッチ回路の動作は、ＢＮのみがＯｎとなり、図１１に示すように、電源電圧を遮断してもコイルのインダクタンスにより、暫くは図のループ電力が流れる。電流がゼロになるまでコンデンサの電圧が上昇する。【００３２】
（ｄ）期間４（丸括弧付き数字４の期間）のＨブリッチ回路の動作は、全てのトランジスタ（スイッチング素子）がＯｆｆとなり、図１２に示すように、コンデンサの高電圧が保持される（実際には、トランス二次側は、一次側とは隔離されたＬＣループ構造なので、時定数に応じてゆっくりとコンデンサの電圧が低下する。）。【００３３】
（ｅ）期間５（丸括弧付き数字５の期間）のＨブリッチ回路の動作は、ＢＰのみがＯｎとなり、図１３に示すように、ＬＣ共振周波数から求まる周期の凡そ１／４時間（半波の半分）だけコンデンサを放電し、コイルにエネルギーを蓄える。【００３４】
（ｆ）期間６（丸括弧付き数字６の期間）のＨブリッチ回路の動作は、全てのトランジスタ（スイッチング素子）がＯｆｆとなり、図１４に示すように、コイルに蓄えたエネルギーを電源回路のコンデンサＣ０に回生する。Ｃ０は容量が大きいので、Ｃ０の電圧上昇は小さい。【００３５】
（ｇ）期間７（丸括弧付き数字７の期間）のＨブリッチ回路の動作は、全てのトランジスタ（スイッチング素子）がＯｆｆとなり、図１５に示すように、電圧ゼロが保持される（電圧が僅かに残ることもある。）。【００３６】
上記のように、燃焼モードのプラズマと吸着モードのプラズマとを出力サイクル毎に選択できる電源装置３を用い、燃焼モードのプラズマと吸着モードのプラズマの出力サイクル数の比率と、合計電力とを個別に設定することで、排ガス中の微粒子濃度の増減に対して、プラズマによる電極表面の酸化作用と、電極に付着する微粒子の量とを個別に制御することができる。その結果、微粒子濃度が高い排ガスを処理した場合でも、電極表面が微粒子で被われることがなく、連続的に微粒子を吸着して酸化することができる。また、消費電力を低く抑えることができる。【００３７】
更に、図１６を用いて微粒子濃度の高い排ガスの微粒子を処理する例を説明する。棒グラフで示す全体粒子量の約３０％であるハッチングを施した部分を処理したい場合、両モードの微粒子酸化量が３０％になる電力よりも若干大きな電力Ｐ１を選択する。両モードを混在して出力すると、電極表面の酸化能力と電極に吸着する微粒子の量は、両モードの中間的な値になるため、例えば、燃焼モードを５サイクル、吸着モードを２サイクルの組み合わせで（便宜的に、サイクル比率５：２と称する。）プラズマを出力すると、電極表面の酸化能力を電極に吸着する微粒子の量より大きくすることができる。【００３８】
若し、燃焼モードのプラズマ、あるいは燃焼モードと類似波形のプラズマしか出力できない電源装置を用いている場合、電力Ｐ１では、望みの微粒子処理量を得ることができないため、より大きな電力Ｐ２を投入しなければならない。【００３９】
また、吸着モードのプラズマ、あるいは吸着モードと類似波形のプラズマしか出力できない電源装置を用いている場合、電力Ｐ１ではプラズマによるで電極表面の酸化作用に比べて電極に吸着する微粒子の量が多すぎるため、やがて、電極は、微粒子で被われてしまう。電極に吸着する微粒子の量が全微粒子の約３０％になるように電力をＰ３まで減らすと、電極表面に酸化能力も減少するため、やはり、電極は微粒子で被われてしまう。【００４０】
エンジンの運転状態が変わって、排ガスの微粒子濃度が図１６から図１７の状態へと低くなった場合を考える。電極で酸化除去する微粒子の量を一定に保つ場合には、図１６と同じ電力Ｐ１を選択することで、電極表面の酸化能力を図１６と同じにすることができる。【００４１】
しかし、サイクル比率が５：２のままでは、電極に吸着する微粒子の量が少なくなってしまうので、例えば、サイクル比率を１：３に設定して吸着モードのプラズマの割合を増やすことで、プラズマ電力を増加させることなく、電極に吸着する微粒子の量を一定に保つことができる。【００４２】
若し、サイクル比率が５：２のプラズマ、あるいは、電極表面の酸化能力と電極に吸着する微粒子の量がサイクル比率が５：２のプラズマと同等のプラズマしか出力できない電源装置を用いている場合、電極で酸化除去する微粒子の量を一定に保つためには、より大きな電力Ｐ４を投入しなければならない。【００４３】
なお、上記の説明では、本装置で酸化除去する微粒子の量を一定に保つ場合について説明したが、本装置を出た後の排ガス中の微粒子量（棒グラフの白い部分。）を一定に保つ制御を行う場合にも、同様の考え方を適用することができる。
【実施例】
【００４４】
厚さ１ｍｍの２枚のアルミナ製セラミック板１０の間に厚さ０．０５ｍｍのＳＵＳ３０４製の金属板１１を挟んだものを１枚の電極板１２とし、この電極板１７枚をそれぞれ１．５ｍｍのギャップを設けて積層し、１６層のギャップ（電極空間）を持つ電極スタック２２を形成した（図１８参照。）。また、互いに向かい合う電極板１２ａ，１２ｂの一方を高電圧発生源１３に接続し、他方をアース１４に接続した。電極板１枚の放電面積は、１１０ｍｍ×９５ｍｍである。【００４５】
上記電極スタック２２を函体２０内に設置し（図１９参照。）、ディーゼルエンジン排ガスｇを通気して実験を行った。実験には、ＤＥＵＴＺ社（三井造船マシナリーサービス社）製のディーゼル機関ＭＡＣ−３０（型式Ｆ３Ｌ９１２、排気量２．８２７Ｌ、出力２６．５ｋＷ、回転数１５００ｒｐｍ、使用燃料油は低硫黄Ａ重油。）を使用し、エンジン出力４ｋＷで運転して排ガスｇの一部を分流して函体２０に流した。【００４６】
微粒子濃度として、本実施例では、ＡＶＬ社のスモークメータ、形式４１５Ｓを用いて電極スタック２２の下流側排ガス流路から排ガスを吸引し、ろ紙の濃色度から同社推奨の換算式を用いてスス濃度（ｍｇ／Ｎｍ３）を算出した。また、スス低減率をプラズマを発生させた時のスス濃度をＡ（ｍｇ／Ｎｍ３）、プラズマを発生させない時のスス濃度をＢ（ｍｇ／Ｎｍ３）として、次式で求めた。なお、Ｂの値は、各実験でおよそ５（ｍｇ／Ｎｍ３）であった。
スス低減率（％）＝（（Ｂ−Ａ）÷Ｂ）×１００【００４７】
実験結果を［表１］および図２０に示す。【００４８】
【表１】
2009119845.tif 000003
【００４９】
同じプラズマ電力で比較すると、燃焼モードよりも、燃焼モードと吸着モードを３：３の比率で出力した混合モードの方がスス低減率が大きくなった。電極部で測定した電圧波形の例を図２１〜図２３に示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
2009119845.tif 000021
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【手続補正書】
【提出日】平成22年1月25日(2010.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排ガス中に設置する少なくとも一対の電極と、該電極間に非熱平衡プラズマとしての燃焼モードのプラズマ及び吸着モードのプラズマを発生させるための高電圧を周期的に印加する電源装置とを備え、該電源装置は、高電圧保持時間が短い電圧波形と高電圧保持時間が長い電圧波形とを出力することができ、かつ、前記電極間に高電圧保持時間が短い電圧波形と高電圧保持時間が長い電圧波形とを一定周波数において任意のサイクル比率で発生させることを特徴とする排ガス浄化装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の排ガス浄化装置は、排ガス中に設置する少なくとも一対の電極と、該電極間に非熱平衡プラズマとしての燃焼モードのプラズマ及び吸着モードのプラズマを発生させるための高電圧を周期的に印加する電源装置とを備え、該電源装置は、高電圧保持時間が短い電圧波形と高電圧保持時間が長い電圧波形とを出力することができ、かつ、前記電極間に高電圧保持時間が短い電圧波形と高電圧保持時間が長い電圧波形とを一定周波数において任意のサイクル比率で発生させることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【国際調査報告】
2009119845.tif 000027
2009119845.tif 000028
2009119845.tif 000029
2009119845.tif 000030