(57)【要約】  ショートスキャンは、ガントリの３６０°のフル回転に代わって、約１８０°回転からのデータのみを使用する。提供されるショートスキャン心臓ＣＴにおいて、周期的な軸方向の焦点スポット移動が、ガントリ回転中に実施され、画像再構成のために使用される取得されたデータは、１８０°のガントリ回転からもたらされる。データ取得後、近似再構成が実施される。好適な実施例において、焦点スポットは、ショートスキャンサドル軌道を移動する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
関心対象を検査する検査装置であって、
前記関心対象の周りの走査経路上を移動し、前記関心対象に電磁放射を放出する放射線源と、
前記関心対象からの画像データを検出する検出器ユニットと、
近似再構成プロシージャに基づいて前記画像データを再構成する再構成ユニットと、
を有し、
前記放射線源の移動中、前記放出される電磁放射の焦点スポットの軸方向における周期的移動を行うように適応される、検査装置。
【請求項２】
前記近似再構成プロシージャは、ファンビームから平行ビームへのリビニング、事前重み付け、１次元フィルタリング及び３次元逆投影を含む、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記焦点スポットの周期的な軸方向移動は、正弦波運動である、請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記焦点スポットは、λ０を任意の開始角度とし、γをファン角度として、ショートスキャン間隔λｓｈｏｒｔ＝［λ０，λ０＋π＋γ］からもたらされるショートスキャンサドル軌道上を移動する、請求項１に記載の検査装置。
【請求項５】
前記ショートスキャン間隔は、回顧的にゲーティングされる心臓スキャンのゲーティングウインドウに関連する、請求項１に記載の検査装置。
【請求項６】
前記検査装置は、心臓ＣＴスキャナシステムとして構成される、請求項１に記載の検査装置。
【請求項７】
前記検査装置は、取得スピードを上げるために第１のＸ線管及び第２のＸ線管を有する複数の放射線管のＣＴスキャナシステムとして構成され、
前記第１のＸ線管は、第１の焦点スポットを有し、前記第２のＸ線管は、第２の焦点スポットを有し、
前記第１の焦点スポットは、第１の軌道上で第１の軸方向移動を行い、前記第２の焦点スポットは、第２の軌道上で第２の軸方向移動を行い、
前記第１の軌道は、交差ポイントにおいて前記第２の軌道と交わる、請求項１に記載の検査装置。
【請求項８】
前記第１の軌道が、前記第２の軌道と基本的に同じである、請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記１次元フィルタリングが、さまざまな曲線上で実施される、請求項１に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記取得された画像データは、最小ショートスキャン間隔より大きい間隔からもたらされ、それによって前記取得された画像データの冗長をもたらし、
前記再構成ユニットは、前記冗長を取り除くように適応される、請求項１に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記取得された画像データの前記冗長は、すべての平行ビーム投影角度からの寄与が同じであることを確実にするパーカー重み付けに基づいて取り除かれる、請求項９に記載の検査装置。
【請求項１２】
手荷物検査装置、医用アプリケーション装置、材料試験装置及び材料科学解析装置を含むグループのうちの１つとして構成される、請求項１に記載の検査装置。
【請求項１３】
前記電磁放射線源と前記検出器ユニットとの間に配されるコリメータを更に有し、
前記コリメータは、コーンビームを形成するために前記電磁放射線源によって放出される電磁放射ビームをコリメートする、請求項１に記載の検査装置。
【請求項１４】
関心対象を検査するための画像処理装置であって、
前記関心対象の画像データを記憶するためのメモリと、
近似再構成プロシージャを基づいて前記画像データを再構成する再構成ユニットと、を有し、
前記検査装置は、前記放射線源の移動中、前記放出される電磁放射の焦点スポットの軸方向における周期的移動を行うように適応される、画像処理装置。
【請求項１５】
関心対象の検査方法であって、
前記関心対象の周りの走査経路上を移動する放射線源によって、前記関心対象に電磁放射を放出するステップと、
前記放射線源の移動中、前記放出される電磁放射の焦点スポットの軸方向における周期的移動を行うステップと、
検出器ユニットによって、前記関心対象の画像データを検出するステップと、
再構成ユニットによって、近似再構成プロシージャに基づいて前記画像データを再構成するステップと、
を含む方法。
【請求項１６】
前記再構成するステップが、ファンビームから平行ビームへのリビニング、事前重み付け、１次元フィルタリング、及び３次元逆投影と、を含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
関心対象を検査するためのコンピュータプログラムが記憶されたコンピュータ可読媒体であって、前記コンピュータプログラムは、プロセッサによって実行されるとき、
前記関心対象の周りの走査経路上を移動する放射線源によって、前記関心対象に電磁放射を放出するステップと、
前記放射線源の移動中、前記放出される電磁放射の焦点スポットの軸方向における周期的移動を行うステップと、
検出器ユニットによって、前記関心対象の画像データを検出するステップと、
再構成ユニットによって、近似再構成プロシージャに基づいて前記画像データを再構成するステップと、
を行うように適応される、コンピュータ可読媒体。
【請求項１８】
関心対象を検査するためのプログラムであって、プロセッサによって実行されるとき、
前記関心対象の周りの走査経路上を移動する放射線源によって、前記関心対象に電磁放射を放出するステップと、
前記放射線源の移動中、前記放出される電磁放射の焦点スポットの軸方向における周期的移動を行うステップと、
検出器ユニットによって、前記関心対象の画像データを検出するステップと、
再構成ユニットによって、近似再構成プロシージャに基づいて前記画像データを再構成するステップと、
を行うように適応される、プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トモグラフィックイメージングの分野に関する。特に、本発明は、関心対象を検査する検査装置、画像処理装置、関心対象の検査方法、コンピュータ可読媒体、及びプログラム要素に関する。
【背景技術】
【０００２】
実際のＣＴ検出器技術は、心臓全体をカバーし、軸方向の心臓イメージングを支援することが可能な大きい検出器を考慮する。しかしながら、取得されたデータは、アーチファクトのない再構成にとって十分でないことがある。この状況は、画像がいわゆるショートスキャンから再構成されなければならない場合一層悪化する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ショートスキャンは、ガントリの３６０°のフル回転に代わって、約１８０°の回転からのデータのみを使用する。ショートスキャンは、改善された時間分解能のため、心臓イメージングの場合に非常に望ましい。軸方向ファンビームＣＴの純粋な画像品質を乗り越える１つのやり方は、サドル軌道を使用することである。これは、取得の間、Ｘ線焦点スポットの軸方向における移動を必要とする。サドル軌道上でのスキャニングは、正確な再構成に必要なすべてのデータを取得する。
【０００４】
しかしながら、これらの方法は、フルスキャンを必要とし、心臓ＣＴのショートスキャン要求と両立できない。
【０００５】
ショートスキャンＣＴのための改善された再構成を有することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の例示的な実施例によれば、関心対象を検査する検査装置であって、関心対象の周りの走査経路上を移動し、関心対象に電磁放射を放出する放射線源と、関心対象からの画像データを検出する検出器ユニットと、近似再構成プロシージャに基づいて画像データを再構成する再構成ユニットと、を有し、前記検査装置が、放射線源の移動中、放出される電磁放射の焦点スポットの軸方向における周期的な移動を行うように適応される、検査装置が提供されうる。
【０００７】
従って、本発明のこの例示的な実施例によれば、データ取得は、焦点スポットの往復運動に基づいて実施され、そののち近似画像再構成が行われる。焦点スポットの軸方向の移動は、スキャナ回転と同期されなくてよい。
【０００８】
これは、たった１８０°のガントリ回転しか実施されない場合にさえ改善された画像品質を提供することができる。
【０００９】
本発明の別の例示的な実施例によれば、近似再構成プロシージャは、ファンビームから平行ビームへのリビニング、事前重み付け、１次元フィルタリング及び３次元逆投影を含む。
【００１０】
こうして、近似再構成は、フィルタリングされた逆投影に基づいて実施される。
【００１１】
本発明の別の例示的な実施例によれば、焦点スポットの周期的な移動は、正弦波運動である。
【００１２】
本発明の別の例示的な実施例によれば、焦点スポットは、ショートスキャン間隔λｓｈｏｒｔ＝［λ０，λ０＋π＋γ］からもたらされるショートスキャンサドル軌道上を移動する。ここで、λ０は、任意の開始角度であり、γは、ファン角度である。
【００１３】
この間隔は、本発明の別の例示的な実施例によれば、回顧的にゲーティングされる心臓スキャンのゲーティングウィンドウに関連する。
【００１４】
本発明の別の例示的な実施例によれば、検査装置は、心臓ＣＴスキャナシステムとして適応される。
【００１５】
本発明の別の例示的な実施例によれば、検査装置は、取得スピードを上げるために第１のＸ線管及び第２のＸ線管を有する複数管のＣＴスキャナシステムであって、第１のＸ線管が、第１の焦点スポットを有し、第２のＸ線管が、第２の焦点スポットを有し、第１の焦点スポットが、第１の軌道上で第１の軸方向移動を行い、第２の焦点スポットが、第２の軌道上で第２の軸方向移動を行い、第１の軌道が、交差ポイントにおいて第２の軌道と交わる、ＣＴスキャナシステムとして適応される。
【００１６】
複数のＸ線管を使用することによって、取得スピードは、大幅に高められることができる。
【００１７】
本発明の別の例示的な実施例によれば、第１の焦点スポットの第１の軌道及び第２の焦点スポットの第２の軌道は、基本的に同じ軌道である。例えば、２つの軌道は、以下の定数だけ異なりうる。
【数１】
2009512481.tif 000003
【００１８】
本発明の別の例示的な実施例によれば、１次元フィルタリングは、さまざまな曲線上で実施される。
【００１９】
更に、本発明の別の例示的な実施例によれば、検出器ユニットによって検出される取得された画像データは、最小ショートスキャン間隔より大きい間隔からもたらされ、その結果、取得された画像データの冗長を生じさせ、再構成ユニットが、この冗長を取り除くように適応される。
【００２０】
例えば、取得された画像データは、ショートスキャン間隔λｓｈｏｒｔ＝［λ０，λ０＋π＋γ］からもたらされるのではなく、より大きい間隔からもたらされる。これは、画像品質を更に改善することができる。
【００２１】
本発明の別の例示的な実施例によれば、取得された画像データの冗長は、すべての平行ビーム投影角度からの寄与が同じであることを確実にするパーカー重み付けに基づいて取り除かれる。
【００２２】
これは、投影間隔端部における不連続性からのアーチファクトを低減させることができる。
【００２３】
本発明の別の例示的な実施例によれば、検査装置は、手荷物検査装置、医用アプリケーション装置、材料試験装置又は材料科学解析装置として応用されることができる。本発明の規定される機能は、材料の安全であり高速であり信頼性が高い非常に正確な解析を可能にしうるので、本発明の応用分野は、材料科学解析であってもよい。
【００２４】
本発明の別の例示的な実施例によれば、検査装置は更に、電磁放射線源と検出器ユニットとの間に配置されるコリメータを有することができ、コリメータは、ファンビームを形成するために電磁放射線源によって放出される電磁放射ビームをコリメートするように適応される。
【００２５】
更に、本発明の別の例示的な実施例によれば、放射線源は、多色放射ビームを放出するように適応されることができる。
【００２６】
本発明の別の例示的な実施例によれば、関心対象の検査のための画像処理装置であって、関心対象の画像データを記憶するメモリを有する画像処理装置が提供されることができる。更に、画像処理装置は、近似再構成プロシージャに基づいて画像データを再構成するように適応される再構成ユニットを有することができ、検査装置は、放射線源の移動中、放出される電磁放射線の焦点スポットの軸方向における周期的移動を行うように適応される。
【００２７】
従って、ショートスキャンＣＴの改善された画像再構成のために適応される画像処理装置が、提供されることができる。
【００２８】
本発明の別の例示的な実施例によれば、関心対象の周りの走査経路上を移動する放射線源によって、関心対象に電磁放射線を放出するステップと、検出器ユニットによって、関心対象の画像データを検出するステップと、再構成ユニットによって、近似再構成プロシージャに基づいて画像データを再構成するステップと、を含む、関心対象の検査方法が提供されることができる。画像の取得中、放出される電磁放射の焦点スポットの軸方向における周期的な移動が実施される。
【００２９】
この方法は、ショートスキャン心臓ＣＴのための改善された画像再構成を提供することができると確信される。
【００３０】
本発明の別の例示的な実施例によれば、関心対象を検査するためのコンピュータプログラムが記憶されたコンピュータ可読媒体であって、プログラムが、プロセッサによって実行されるとき、上述の方法ステップを行うように適応されるコンピュータ可読媒体が、提供されることができる。
【００３１】
更に、本発明は、コンピュータ可読媒体に記憶されることができる、関心対象を検査するためのプログラム要素に関する。プログラム要素は、関心対象に電磁放射を放出するステップと、関心対象の画像データを検出するステップと、近似再構成プロシージャに基づいて画像データを再構成するステップと、を行うように適応されることができ、画像データは、軸方向における焦点スポットの周期的な移動の間に取得される。
【００３２】
プログラム要素は、好適には、データプロセッサの作業メモリへロードされることができる。データプロセッサは、こうして、本発明の方法の例示的な実施例を実行するための能力を具えうる。コンピュータプログラムは、例えばＣ＋＋のような任意の適切なプログラミング言語で書かれることができ、ＣＤ−ＲＯＭのようなコンピュータ可読媒体に記憶されることができる。更に、コンピュータプログラムは、ワールドワイドウェブのようなネットワークから入手可能でありえ、コンピュータプログラムは、かかるネットワークから、画像処理ユニット又はプロセッサに、又は任意の適切なコンピュータに、ダウンロードされることができる。
【００３３】
焦点スポットが例えばショートスキャンサドル軌道上を移動するように、周期的な軸方向の焦点スポット移動が、ガントリの回転中に実施され、画像再構成のために使用される取得されたデータが、ガントリの（１８０°＋ファン角度）の回転からもたらされることが、本発明の例示的な実施例の要旨とみなされることができる。データ取得ののち、近似再構成が実施される。
【００３４】
本発明のこれら及び他の見地は、以下に記述される実施例から明らかであり、それらに関して説明される。
【００３５】
本発明の例示的な実施例が、添付の図面を参照して以下に記述される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
図面の記載は概略的である。それぞれの異なる図面において、同様の又は同一の構成要素は、同じ参照数字を与えられている。
【００３７】
図１は、本発明の例示的な実施例によるＣＴスキャナシステムの例示的な実施例を示している。この例示的な実施例に関して、本発明は、医用イメージングにおけるアプリケーションについて記述される。本発明は、このアプリケーションに制限されず、手荷物検査又は材料試験のような他の産業アプリケーションの分野においても応用されることができることに留意すべきである。
【００３８】
図１に示されるコンピュータトモグラフィ装置１００は、ファンビームＣＴスキャナである。図１に示されるＣＴスキャナは、回転軸１０２を中心に回転可能なガントリ１０１を有する。ガントリ１０１は、モータ１０３によって駆動される。参照数字１０４は、例えばＸ線源のような放射線源を示し、かかる放射線源は、本発明の１つの見地により、多色放射線を放出する。
【００３９】
参照数字１０５は、放射線源から放出される放射ビームを、ファン（扇）形状の放射ビーム１０６に形成するアパーチャシステムを示す。ファンビーム１０６は、ガントリ１０１の中央、すなわちＣＴスキャナの検査領域に配置される関心対象１０７を通り抜け、検出器１０８上に当たるように向けられる。図１から分かるように、検出器１０８は、検出器１０８の表面がファンビーム１０６によってカバーされるように、放射線源１０４の反対側のガントリ１０１上に配置される。図１に示される検出器１０８は、複数の検出器素子１２３を有し、各検出器素子は、エネルギー分解する態様で、関心対象１０７を通り抜けたＸ線又は個別の光子を検出する能力をもつ。
【００４０】
関心対象１０７のスキャン中、放射線源１０４、アパーチャシステム１０５及び検出器１０８は、矢印１１６によって示される方向に、ガントリ１０１に沿って回転される。放射線源１０４、アパーチャシステム１０５、及び検出器１０８を有するガントリ１０１の回転のために、モータ１０３が、モータ制御ユニット１１７に接続され、モータ制御ユニット１１７は、計算又は再構成ユニット１１８に接続される。
【００４１】
図１において、関心対象１０７は、コンベアベルト１１９上に配置される患者又は手荷物アイテムでありうる。関心対象１０７のスキャン中、ガントリ１０１が、手荷物アイテム１０７の周りを回転する一方、コンベアベルト１１９は、ガントリ１０１の回転軸１０２と平行な方向に沿って、関心対象１０７を移動させる。これによって、関心対象１０７は、ヘリカル走査経路に沿ってスキャンされる。コンベアベルト１１９は、スキャンの間、止められてもよく、それによってシングルスライスを測定することもできる。例えば関心対象１０７が患者である医用アプリケーションにおいては、コンベアベルト１１９を設ける代わりに、可動テーブルが、使用されることができる。しかしながら、記述されるケースの全てにおいて、例えば放射線源−検出器機構の２倍の周波数でテーブルを周期的に前後に移動させることによって、サドル軌道のような他の走査経路を実現することも可能であることに留意すべきである。
【００４２】
検出器１０８は、再構成ユニット１１８に接続されることができる。再構成ユニット１１８は、検出結果、すなわち検出器１０８の検出器素子１２３から読み出し値を受け取ることができ、読み出し値に基づいてスキャニング結果を決定することができる。更に、再構成ユニット１１８は、モータ１０３及び１２０によりガントリ１０１及びコンベアベルト１１９の移動を調整するために、モータ制御ユニット１１７と通信する。
【００４３】
本発明の例示的な実施例によれば、再構成ユニット１１８は、ファンビームから平行ビームへのリビニング、事前重み付け、１次元フィルタリング及び３次元逆投影に基づいて、画像データを再構成するように適応されることができ、検査装置１００は、放射線源１０４の移動中、放出される電磁放射の焦点スポットの軸方向における周期的な移動を実現するように適応される。再構成ユニット１１８によって生成される再構成された画像は、インタフェース１２２を介してディスプレイ（図１に図示せず）に出力されることができる。
【００４４】
再構成ユニット１１８は、検出器１０８の検出器素子１２３からの読み出し値を処理するように、データプロセッサによって実現されることができる。
【００４５】
更に、図１から分かるように、再構成ユニット１１８は、スピーカ１２１に接続されることができ、それによって、例えば手荷物アイテム１０７の中に疑わしい材料を検出する場合に自動的にアラームを出力することが可能である。
【００４６】
コンピュータトモグラフィ装置１００は、関心対象１０７にＸ線を放出するＸ線源１０４を有する。電磁放射線源１０４及び検出素子１２３の間に設けられるコリメータ１０５は、コーンビームを形成するために電磁放射線源１０４から放出される電磁放射ビームをコリメートする。検出素子１２３は、マルチスライス検出器アレイ１０８を形成する。
【００４７】
図２は、本発明による関心対象の検査方法の例示的な実施例のフローチャートを示している。
【００４８】
方法は、関心対象に電磁放射を放出することによってステップ１から始まる。電磁放射のこの放出は、関心対象の周りの走査経路上を移動する放射線源によって実施される。放射線源は、ガントリの回転中、焦点スポットの軸方向における周期的移動を支援する心臓ＣＴスキャナシステムの一部でありうる。
【００４９】
放射線源の移動中の、放出される電磁放射の焦点スポットの軸方向における周期的な移動は、ステップ２において実施される。
【００５０】
このような軌道は、例えば以下のような正弦波運動でありうる。
【数２】
2009512481.tif 000004
ここで、
2009512481.tif 000005
は、λによってパラメータ化される軌道であり、Ｒは、放射線源半径であり、Ｄは、軸方向移動の振幅である。Ｔは、右辺のベクトルが転置されることを示す。
【００５１】
ステップ３において実施される以下の画像再構成のために、ショートスキャン間隔λｓｈｏｒｔ＝［λ０，λ０＋π＋γ］からのデータが使用される。ここで、λ０は、任意の開始角度であり、γは、ファン角度である。この間隔は、回顧的にゲーティングされる心臓スキャンのゲーティングウインドウに関連しうる。
【００５２】
再構成は、
−ファンビームから平行ビームへのリビニング、
−事前重み付け及び１次元フィルタリング、並びに
−３次元逆投影
を含む。以下において、再構成ステップが、更に詳しく記述される。
【００５３】
平行リビニング
測定されたコーンビームデータｇ（）は、擬似平行ビームにリビニングされる：
ｇＰ（θ，ｕ，ｖ）＝ｇ（λ，γ，ｓ）
ここで、θ＝λ＋γは、新しい角度変数であり、γはファン角度であり、ｓは、検出器行の軸方向位置である。新しい仮想検出器の座標は、ｕ＝Ｒｓｉｎγ及びｖ＝ｓのように簡潔である。しかしながら、他のマッピングも可能でありうる。このマッピングは、フィルタステップの影響を有することができ、逆投影の間、効果的なビームジオメトリを規定することができる。
【００５４】
事前重み付け
ｇＰＷ＝（θ，ｕ，ｖ）＝ｇＰ（θ，ｕ，ｖ）ｃｏｓ（φ（ｕ，ｖ））
ここで、φ（ｕ，ｖ）は、コーン角度である。
【００５５】
フィルタリング
ｇＰＷＦ＝（θ，ｕ，ｖ）＝ｇＰＷ（θ，ｕ，ｖ）＊ｈ（ｕ）
ここで、ｈ（ｕ）は、ランプフィルタ又は変更されたランプフィルタである。
【００５６】
逆投影
【数３】
2009512481.tif 000006
ここで、ｕＸ，ｖＸは、投影ｇＰＷＦ（）へのオブジェクトポイントｆ（ｘ）の投影の検出器座標である。
【００５７】
上述した基本の方法のいくつかの例示的な実施例が実現可能である。例えば、方法は、取得スピードを上げるために複数のＸ線管が使用される複数管ＣＴシステムに適用されることができる。このようなシステムにおいて、すべての焦点スポットは、軸方向移動を行うことができるとともに、同じ軌道を共有し又は少なくとも交差ポイントをもつことができる。
【００５８】
更に、データのフィルタリングは、さまざまな曲線上で実施されることができる。
【００５９】
更に、方法は、最小軌道間隔より大きい間隔を利用することができる。取得されたデータ内の結果として生じる冗長は、すべての平行ビーム投影角度からの寄与が同じであることを確実にしうるいわゆるパーカー重み付けを用いて取り除かれることができる。パーカー重み付けは、Parker, D. L.による「Optimal Short Scan Convolution Reconstruction for Fan-beam CT」（1982, Medical Physics 9(2), 254-257）に記述されており、その内容は、参照によって本願明細書に盛り込まれるものとする。これは更に、投影間隔端部における不連続性からのアーチファクトを低減することもできる。
【００６０】
図３は、本発明による方法の例示的な実施例を実施するためのプロセッサ４０１の例示的な実施例を示している。
【００６１】
図３に示される処理装置４００は、例えば心臓又は他の組織若しくは器官部分のような関心対象を表す画像を記憶するためのメモリ４０２に接続されるプロセッサ４０１を有する。データプロセッサ４０１は、複数の入力／出力ネットワーク又はＣＴ装置のような診断装置に接続されることができる。データプロセッサ４０１は更に、データプロセッサ４０１において計算され又は適応化された情報又は画像を表示するために、コンピュータモニタのような表示装置４０３に接続されることができる。オペレータ又はユーザは、図３に図示されないキーボード４０４及び／又は他の出力装置を介してデータプロセッサ４０１と対話することができる。
【００６２】
更に、バスシステム４０５を介して、画像処理及び制御プロセッサ４０１を、例えば関心対象の移動を監視する移動モニタに接続することも可能でありうる。例えば患者の肺がイメージングされる場合、移動センサは、呼気センサでありうる。心臓がイメージングされる場合、移動センサは心電図でありうる。
【００６３】
本発明の例示的な実施例は、ＣＴスキャナコンソール、イメージングワークステーション又はＰＡＣＳワークステーションに対するソフトウェアオプションとして販売されることができる。
【００６４】
「有する、含む」なる語は、他の構成要素又はステップを除外せず、単数形で示される構成要素は、その複数性を除外せず、単一のプロセッサ又はシステムは、請求項に列挙されるユニットのいくつかの手段の機能を果たすことができることに留意すべきである。更に、それぞれ異なる実施例に関連して記述される構成要素が、組み合わせられることもできる。
【００６５】
更に、請求項におけるいかなる参照符号も、請求項の範囲を制限するものとして解釈されるべきでないことに留意すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の例示的な実施例による検査装置の簡略化された概略図。
【図２】本発明による例示的な方法のフローチャート。
【図３】本発明による方法の例示的な実施例を実施するための本発明による画像処理装置の例示的な実施例を示す図。
【図１】
2009512481.tif 000007
【図２】
2009512481.tif 000008
【図３】
2009512481.tif 000009
【国際調査報告】
2009512481.tif 000010
2009512481.tif 000011
2009512481.tif 000012
2009512481.tif 000013