(57)【要約】【解決手段】半導体ファブ内で、第１ネットワークインターフェースに連結されたホストと第２ネットワークインターフェースに連結されたツールの間でパケットを交信するために、２つのネットワークインターフェースの間を連結するアドレストランスペアレント装置が開示されている。代わりのやり方としては、アドレストランスペアレント装置は、半導体ファブにおいて、第１ネットワーク上のホストと第２ネットワーク上のツールの間でパケットを交信するために、２つのネットワークの間を連結する。本発明の第１の態様では、アドレストランスペアレント装置は、何れのプロトコルからも独立して、第１ネットワークと第２ネットワークの間でパケットをルーティングする。アドレストランスペアレント装置は、第１ネットワークを通してホストに、そして第２ネットワークを通してツールに連結され、このアドレストランスペアレント装置には、IPアドレスを有しない第１ポートと、サブネットIPアドレスを有する第２ポートがある。本発明の第２の態様では、アドレストランスペアレント装置は、アドレストランスペアレント装置の内部又は外部に在るデータ消費部によるローカル使用のために、パケットを傍受する。アドレストランスペアレント装置は、データストリームの全部を傍受することもできるし、データストリームの一部を傍受して他の部分を宛先に送ることもできる。元のパケットのヘッダは、傍受されたパケットに対する返信を送るために後で使用するのに備えて記憶される。本発明の第３の態様では、アドレストランスペアレント装置は、受信したパケットのヘッダを変えることによって、別の宛先にパケットを再ルーティングする。元のパケットのヘッダは変更され、元のヘッダの情報が宛先の装置のヘッダ情報に置き換えられる。元のパケットのヘッダは、再ルーティングされたパケットへの返信を送るために後で使用するのに備えて記憶される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ネットワークインターフェースと第２ネットワークインターフェースの間に連結されたアドレストランスペアレント装置を動作させるための方法において、
アドレストランスペアレント装置により、第１ヘッダを有し、前記アドレストランスペアレント装置とは異なる装置にアドレス指定されているパケットをリッスンし、受け取る段階と、
前記パケットを前記アドレストランスペアレント装置によって分析し、アドレス指定されている通りに転送するために、ローカル処理のために傍受するために、又は前記アドレス指定された装置とは異なるアドレス宛先を有する宛先に再ルーティングするために、前記第１ヘッダを読み取ることにより前記パケットをフィルタリングする段階と、から成る方法。
【請求項２】
前記第１ヘッダは、第１宛先MACアドレスと、第１発信元MACアドレスを備えている、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１ヘッダは、第１宛先MACアドレス、第１発信元MACアドレス、第１宛先IPアドレス、第１発信元IPアドレス、第１宛先ポート、及び第１発信元ポートを備えている、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記傍受する段階は、追加的なサービスを提供するために、データ消費部によるローカル使用のために前記パケットを傍受する段階を備えている、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記傍受されたパケットを、前記傍受されたパケット内の前記データを処理するための追加的機能を提供しているデータプロセッサに送る段階を更に備えている、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記データプロセッサは、少なくとも１つの機能を、前記第１ネットワークインターフェースに連結されたホストに加える、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記データプロセッサは、少なくとも１つの機能を、前記第２ネットワークインターフェースに連結されたツールに加える、請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記再ルーティングの段階は、第２宛先MACアドレス、第２発信元MACアドレス、第２宛先IPアドレス、第２発信元IPアドレス、第２宛先ポート、及び第２発信元ポートを含んでいる第２ヘッダを有するパケットを再ルーティングする段階を含んでいる、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記分析する段階は、前記パケットを前記アドレストランスペアレント装置から、前記第１ヘッダでアドレス指定されている宛先に転送する段階を含んでいる、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記分析する段階の前に、前記パケットがデータ通信返信から傍受されたパケットに送られているか否かを判定する段階を更に含んでいる、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記分析する段階の前に、前記パケットがデータ通信返信から再ルーティングされたパケットに送られているか否かを判定する段階を更に含んでいる、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記判定する段階の前に、前記アドレストランスペアレント装置がスニファモードにあるか否かをチェックする段階を更に含んでおり、前記アドレストランスペアレント装置は、前記スニファモードにあれば、ローカル使用のために前記パケットをコピーする、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記チェックする段階の前に、ブロードキャストストームの存在を検出する段階を更に備えている、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記受け取る段階の前に、前記第１ネットワークインターフェースを介してホストに連結され、前記第２ネットワークインターフェースを介してツールに連結された前記アドレストランスペアレント装置を構成する段階を更に備えている、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
アドレストランスペアレント装置を動作させる方法において、
第１及び第２インターフェースを有するアドレストランスペアレント装置を物理的ネットワーク回路内に設置する段階と、
前記アドレストランスペアレント装置において、前記第１インターフェース上で第１アドレス空間のパケットをリッスンする段階と、
少なくとも何らかのブロードキャストパケットを、前記第２インターフェースを介して転送することによって、前記第１アドレス空間パケットを処理する段階と、
前記第１アドレスパケットの宛先に基づいて、アドレス指定通りに転送するか、ローカル処理のために傍受するか、又はアドレス指定された装置とは異なるアドレス宛先を有する宛先に再ルーティングするか、を決定する段階と、から成る方法。
【請求項１６】
前記第２インターフェース上で前記第１アドレス空間のパケットをリッスンする段階を更に含んでいる、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記第２インターフェース上で前記第２アドレス空間のパケットをリッスンする段階を更に含んでいる、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
フェイルセーフモードで動作しているアドレストランスペアレント装置を介して処理すること無く、前記第１及び第２インターフェースに跨って前記物理的ネットワーク回路を物理的に接続する段階を更に含んでいる、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
アドレストランスペアレント装置において、
IPアドレスを持っていない第１ポートと、
第２ポートと、
少なくとも１つのパケットを受け取るようになっているフィルタであって、前記パケットをアドレス指定通りに転送するために、前記パケットをローカル処理のために傍受するために、又は、前記パケットを前記アドレストランスペアレント装置とは異なるアドレス宛先を有する宛先に再ルーティングするために、前記パケットを分析するフィルタと、を備えている装置。
【請求項２０】
前記アドレストランスペアレント装置の前記第２ポートは、IPアドレスを持っていない、請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記アドレストランスペアレント装置の前記第２ポートは、事前に設定されたIPアドレスを持っている、請求項１９に記載の装置。
【請求項２２】
前記第１ポートに連結された第１ネットワークインターフェースを更に備えている、請求項１９に記載の装置。
【請求項２３】
前記第１ネットワークインターフェースに連結されたホストを更に備えている、請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
前記第２ポートに連結された第２ネットワークインターフェースを更に備えている、請求項２３に記載の装置。
【請求項２５】
前記第２ネットワークインターフェースに連結されたツールを更に備えている、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
前記アドレストランスペアレント装置の第３ポートに連結された第１ポートと、前記アドレストランスペアレント装置の第４ポートに連結された第２ポートと、前記第１ネットワークインターフェースに結合された第３ポートと、前記第２ネットワークインターフェースに連結された第４ポートを有するフェイルセーフスイッチを更に備えており、前記フェイルセーフスイッチの前記第３及び第４ポートは、前記アドレストランスペアレント装置が正しく機能しなくなったとき、ホストターミナルと前記ツールの間に直接連結される、請求項２５に記載のシステム。
【請求項２７】
前記第１ネットワークは、ツールネットワークを備えている、請求項２２に記載のシステム。
【請求項２８】
前記第２ネットワークは、ファブネットワークを備えている、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２９】
前記第２ネットワークインターフェースは、プライベートネットワークインターフェースを備えている、請求項２７に記載のシステム。
【請求項３０】
前記アドレストランスペアレント装置、前記ホスト、及び前記ツールは、半導体ファブ環境において動作する、請求項２５に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概括的には、半導体製造の工程を管理することに、より具体的には、半導体ファブ内にサービスを追加する際に費用対効果の高い解決法を提供することに関する。
【背景技術】
【０００２】
ムーアの法則では、コンピュータの能力は価格を削りながら指数関数的に成長することが約束されている。処理能力のこの躍動的な成長は、人に、半導体製造は石油の試掘井の様な投機的な事業であるという考えを起こさせるかもしれない。真実は全く逆である。製造バッチは非常に高価であり、製造工程は些細な誤りにさえ敏感であることから、半導体素子製造は保守的な事業である。新しい機器の資格認定サイクルと標準及び古い機器の修正は、冗長的で注文が多い。僅かな変更であっても、製造に導入される前に、広範に入念に検査される。
【０００３】
半導体製造業のファブによって使用されるキーとなる構成要素としては、ツール（例えば、成長室、反応器）、ツールを監視するセンサ（例えば、FTIRセンサ、質量分析器、熱電対）、及びツールの動作に関して各センサから送られるデータを記憶し分析するホスト又は分散型プロセッサ、が挙げられる。
【０００４】
ホストとツールの間でメッセージを交信するための、試料IPアドレスを有する従来の半導体ファブ１００を、図１に示している。IPアドレス10.10.10.5を有する第１ホスト１１０は、IPアドレス10.10.10.7を有するツール１３０に、ネットワーク１４０上でスイッチ１５０とスイッチ１７０を介して接続されている。IPアドレス10.10.10.6を有する第２ホスト１２０は、ツール１３０に、ネットワーク１４０上でスイッチ１６０と１７０を介して接続されている。第１ホスト１１０がツール１３０にアクセスを試みるとき、第１ホスト１１０は、特定のポート、例えばポート5000で、ツール１３０にアクセスするように構成されている。
【０００５】
或る先行出願には、センサからのデータをリッスンし(listen)、イーサネット（登録商標）上のTCP/IPの様な高速且つ耐エラー性の技術を使用して、そのデータをホスト又は分散型プロセッサに提供するというトランスペアレントな方法が記載されている。この先行出願は、発明者Uzi Lev-Ami並びにYossef Ilan Reichによる、２００１年８月２２日出願の出願番号第０９／９３５，２１３号「ホスト対ツールの通信を監視する方法及び装置」であり、本出願を参考文献として援用する。この先行出願には、光学的に隔離されているコネクタを使用して、ツール又はセンサからのシリアル通信を傍受することのできるリスニングポストが記載されている。傍受方式を使用すると、ファブの通信及びデータ収集インフラが、ツール又はセンサに修正を加える必要なく、少ないリスクで、アップグレードできることが証明できるであろう。現行の通信インフラを解体することなくアップグレードを実行できる可能性が実証することができるであろう。
【０００６】
ファブ器具及びバックエンド分析能力の次の改革では、センサの分析特性を置き換えたり変更したりする必要無しに、プロセスＩ／Ｏ制御装置の様なインテリジェント制御装置を加えて、プロセスＩ／Ｏ制御装置の一方の側のツール及びセンサと、他方の側のツールホスト又は分散型プロセッサとの間の通信を仲介をさせることが関与することになろう。プロセッサの能力が増大し、記憶装置の費用が低下したことで、以前ならファブ環境では実用的とはいえなかった構成を模索する機会が生まれる。発明者Uzi Lev-Ami、Guenter Sifnatsch、並びにMark Attwoodによる第２の先行出願である２００４年４月７日出願の米国特許出願第１０／８１９，９０３号、「ファブアプリケーションのためのスマートセンサからのデータ収集を仲介するための制御装置と方法」には、様々な能力を有するインテリジェント制御装置が記載されている。記載されているインテリジェント制御装置に欠けているのは、統計学的に反復可能な応答性を提供しながら、ツールホストと協働で様々な機能を同時に実行する能力である。コマンドが開始されるとき又は完了するときのジッタは、現在のソフトウェアアーキテクチャではうまく制御されていない。
【０００７】
データ収集と臨界制御を、ツールホスト又は分散型プロセッサからプロセスＩ／Ｏ制御装置に委譲することによって、処理室に適用される制御モデルを変える好機が生まれた。更によいことに、構成及び制御が簡単になればなるほど、統計学的に反復可能な応答性を備えたより回復力に富む構成要素が得られる。
【０００８】
【特許文献１】米国特許出願第０９／９３５，２１３号
【特許文献２】米国特許出願第１０／８１９，９０３号
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では、半導体ファブ内において、第１ネットワークインターフェースに連結されたホストと第２ネットワークインターフェースに連結されたツールの間でパケットを交信するために、２つのネットワークインターフェースの間を連結するアドレストランスペアレント装置を説明している。代わりのやり方としては、アドレストランスペアレント装置は、半導体ファブにおいて、第１ネットワーク上のホストと第２ネットワーク上のツールの間でパケットを交信するために、２つのネットワークの間を連結する。本発明の第１の態様では、アドレストランスペアレント装置は、何れのプロトコルからも独立して、第１ネットワークと第２ネットワークの間でパケットをルーティングする。アドレストランスペアレント装置は、第１ネットワークを介してホストに、そして第２ネットワークと介してツールに、連結され、このアドレストランスペアレント装置には、IPアドレスを持たない第１ポートと、IPアドレスが無いか、又は所定のIPアドレスを有するかいずれかである第２ポートがある。
【００１０】
本発明の第２の態様では、アドレストランスペアレント装置は、アドレストランスペアレント装置の内部又は外部に在るデータ消費部によるローカル使用のためのパケットを傍受する。アドレストランスペアレント装置は、データストリームの全部を傍受し、又はデータストリームの一部を傍受して他の部分を宛先に転送することができる。元のパケットのヘッダは、傍受されたパケットに対する返信を送るために後で使用するのに備えて記憶される。
【００１１】
本発明の第３の態様では、アドレストランスペアレント装置は、受け取ったパケットのヘッダを変えることによって、別の宛先にパケットをルーティングする。元のパケットのヘッダは変更され、元のヘッダの情報が宛先装置のヘッダ情報に置き換えられる。元のパケットのヘッダは、再ルーティングされたパケットへの返信を送るために後で使用できるように記憶される。
【００１２】
本発明は、アドレストランスペアレント装置に不具合が生じた場合、又はアドレストランスペアレント装置内部のソフトウェアが正常に機能しなくなった場合に起動されるフェイルセーフスイッチも提供している。
【００１３】
おおまかに述べると、システムは、第１ネットワークインターフェースと、第２ネットワークインターフェースと、第１及び第２ネットワークインターフェースの間に連結されており少なくとも１つのパケットを受信できるようになっているアドレストランスペアレント装置とを備えており、アドレストランスペアレント装置は、第１ネットワークに連結される第１ポートと、第２ネットワークに連結される第２ポートを有しており、アドレストランスペアレントの第１ポートはIPアドレスを持っていない。
【００１４】
好都合に、本発明は、新たに挿入される装置のための新規IPアドレスを取得することに伴う著しい遅延や料金無しに製造環境内にサービスを追加するための、費用対効果の高い解決法を提供している。むしろ、アドレストランスペアレント装置は、ホストとツールとセンサの間を容易に連結すると共に、一方で、第１及び第２ネットワークに連結されている装置の間でパケットを転送し、傍受し、又はルーティングするための手段を提供する、プラグ・アンド・プレイ・ボックスの様な機能を果たす。
【００１５】
本発明に関する構造と方法は、以下の詳細な説明に開示されている。要約は、本発明を定義するものではない。本発明は特許請求の範囲によって定義される。本発明の上記及びその他の実施形態、特徴、態様、及び利点は、以下の説明、特許請求の範囲、及び添付図面を参照すればより深く理解頂けるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
半導体ファブ及び製造会社内のツール又は他の自動式又は半自動式機器によって使用されているＳＥＣＳメッセージプロトコル、通信インフラ、及びホスティングモードは、通信速度及びプロセッサ速度が比較的限定されている何年も前に開発された。ファブアプリケーション用のＳＥＣＳメッセージプロトコルは、低速シリアル通信を利用するために設計されたものである。それらメッセージプロトコルは、低速通信であっても速く送信できる構造化されたメッセージを含んでいた。構造化されたメッセージは、解釈し理解するのが難しかったが、まだそのままの状況に置かれている。第１メッセージが応答のコンテキストを設定し、第２の応答メッセージがそのコンテキストを繰り返していない場合には、難しさは更に悪化し、即ち、コンテキストに敏感な応答は、対応するコンテキスト設定メッセージと対になっている場合しか意味をなさない。通信は、通常、ＲＳ２３２又は匹敵するシリアル通信を介して、端末及び時分割コンピュータ用のモデムや電話回線と同様の専用のチャネルに沿って行われた。ホストシステムは、メインフレーム、ミニコンピュータ、又はワークステーション上で実行された。ホストシステムは、通常はモノリシックであり、ファブ内のツールの全て又は殆どのセットを制御し監視していた。ホストシステムは、ツール及びセンサとインターフェースをとるにはアダプタに依存していた。ホストシステムは、通常、ツールからデータを受信し、ツールに対して制御命令を出した。ホストシステムは、しばしば、膨大な量のシリアル通信メッセージを受信し生成した。
【００１７】
ツールホスト又はホストという用語は、ツール制御ホストと、より限定的又は柔軟性のある分散型プロセッサを、共に含むよう広義に使用されている。ツールホストは、包括的統合型ツール制御機能を備えたホストと、より限定的なタスク特有の機能を備えた分散型プロセッサ上で実行されるホストを共に含んでいる。ツールホストには、顧客独自の事業プロセスの集中定義(centralized definition)によって駆動される単一の包括的工場管理システムを提供するものとして記述されているConsiliumのFAB300（商標）ソフトウェアの様な製品が含まれる。このカテゴリーのツールホストは、異なる供給業者によって提供されるツールを制御するように設計された従来の製造実行システムに置き換えるために設計されたものである。従来の製造実行システムから見てツールホストスペクトル(spectrum)の反対側の端では、構成要素の処理が分散型プロセッサ上で実行され、包括的管理システムであることを要求すること無く、様々な特定の機能を取り扱うことができる。スペクトルに沿って、ConsiliumのFAB300（商標）ソフトウェアの様な製品は、或る目的にとってはツール制御ホストであり、他の目的にとっては分散型プロセッサ上で実行されているプロセスであると見なすことができる。
【００１８】
上で引用した出願には、１つ又はそれ以上のツールホストと１つ又はそれ以上のツールとの間の有線通信チャネルを監視することができる取り外し可能なリスニング装置が説明されている。リスニング装置は受動的である。それは、リスニング装置が発生させるノイズから通信チャネルを守るために、随意的に、標準的な隔離装置を含んでいてもよい。この隔離装置としては、光学的アイソレータ、高インピーダンス増幅器、又は有線通信チャネルをリスニング装置から効果的に隔離するその他の構成要素が挙げられる。有線通信チャネルは、RS232、RS422、又はCAN準拠チャネルであってもよいし、これまでに言及した通信チャネルの何れであってもよい。
【００１９】
別の先行出願には、インテリジェント制御装置及びスマートコンテキスト認識センサを使用した取り組みが開示されている。インテリジェント制御装置は、ツール及び／又はツールが処理している被加工品（例えば、ウェーハ又はレチクル）の状態を認識している。上記型式の制御装置では、ツール及び被加工品の情報に反応するスマートセンサと交信する。ツール及び被加工品状態が変化した際の再構成命令に依存するのではなく、センサが、状態変化をリッスンし、応答する。それらは、再構成命令を必要とするのではなく、事前プログラム化方式で状態変化に反応する。
【００２０】
別の型式のインテリジェント制御装置は、ツール、センサ、制御装置、及びデータユーザー毎に動作モデルを変える。制御装置は、何れにせよ、ツール及び被加工品の状態を認識している。制御装置は、ツールを制御する命令を傍受するか中継する。代わりのやり方では、ツールはその状態を制御装置に知らせる。或いは、制御装置は、ツールの状態について問い合わせを行うが、これは周期的に又は更なる問い合わせが必要であると認識される事象に応えての何れかで行われる。制御装置は、状態情報をセンサに伝達する。状態情報は、ツール又は被加工品に関係する。センサは、状態情報に応答するように事前に構成されている。状態情報に応えて、センサは、データ収集計画を調整し、それらを較正し、出力範囲を設定し、又はデータを現在の状態情報と関係付ける。制御装置は、センサから収集されたデータをデータユーザーに伝達する。データユーザーは、メインフレーム上で実行されている従来のツールホストでもよいし、分散型プロセッサ上で実行されているより新しいソフトウェアでもよい。データユーザーは、モノリシックシステムでも、独立的又は協働的に作動している連合型パッケージでもよい。制御装置は、更に、センサからのデータを監視し、関心の或る事象を識別し、監視されたデータに基づいて、既に収集されている別のデータを要求するか又はセンサの収集計画を変更する。
【００２１】
図２は、本発明の態様が特に有用である環境を示している。これは、処理室２２５、処理室に対する各種入出力、加えて、センサ、制御チャネル、及び制御装置を示している。室２２５は、成長、洗浄、エッチング、注入、アッシングなどの様な様々な反応に使用される。本図には示していないが、他の型式のツールも、本発明の態様から有益であるかもしれない。
【００２２】
恐らくはインターネット、仮想プライベートネットワーク、又は広域ネットワーク２１２を介してアクセス可能であるファブネットワーク２１１は、制御装置、ファイアウォール、又は他のコネクタ２６２を介して、ツールネットワーク２１２に対するアクセスが制御されている。本図のツールネットワークは、処理室２２５に影響を与える制御部とセンサをリング型に接続していることが示されている。当業者には理解頂けるように、このアーキテクチャは、例示に過ぎず、ファブでは、シリアル通信、イーサネット（登録商標）又は階層状通信の方がリング型よりも使用される傾向が高い。
【００２３】
反応室２２５へのガス入力には、ガスボックス圧力トランスデューサ２１３と質量流量制御装置(MFC)２１４を通過するガスが含まれる。ガスの一部はオゾン生成部２３３を通過することができる。他のガス又は混合ガスは、反応ガス生成器２１５とガス組成モニタ２１７を通過することができる。反応ガス生成器２１５は、処理室２２５の内部又は外部の何れかでプラズマを生成することができる。ガス組成モニタ２１７は、反応ガス発生装置と直列又は並列に配置されることができる。質量流量制御装置２１４は、反応ガス発生装置２１５及びガス組成モニタ２１７と気体連通しており、最終的に又は直接、処理室２２５と気体連通している。ガス入力装置２１３、２１４、２３３、２１５、２１７は、１つ又はそれ以上のデジタル制御装置２４２、室制御装置２５２、及び接続点２６２と通信している。この通信には、通常、制御と遠隔測定の両方が含まれる。それら装置は、装置の動作か、又はガス入力及び／又は出力、の何れかに応答する制御部とセンサを共に含むことができる。
【００２４】
他の入力としては、材料送達部２３４、冷却サブシステム２４５、及び各種パワー注入部２５３、２５４、及び２５５が挙げられる。反応室２２５は、成長室、エッチング器、熱処理器又は他の型式の反応器である。反応室の型式により、材料送達システム２３４は、例えば、被加工品２３６上に成長させる材料を供給する。殆どの化学反応は温度に敏感な速度で進行することから、冷却サブシステム２４５が室２２５内の温度を調整するのを助ける。室に供給される電力としては、マイクロワット電力２５３、プラズマ生成に使用されるＲＦ電力２５４、プラズマ生成及び室又は室に供給されるガス又は他の材料を加熱するのに使用されるＤＣ電力２５５が挙げられる。ガス入力の様な他の入力は、１つ又はそれ以上のデジタル制御装置２４２、室制御装置２５２、及び接続点２６２と通信している。この通信は、通常、制御と遠隔測定を共に含んでいる。これらの装置は、装置の動作の制御又はそれらの入力及び／又は出力の感知の何れかに応答する制御部とセンサを共に含んでいる。
【００２５】
センサは、室の状態に応答するか、又は室からの排気に反応するかの何れかであるものとすることができる。室の状態に応答するセンサとしては、ウインドウ２２６越しに室２２５を覗いて、膜厚、パターン、及び他の特性を観察するウェーハモニター２１６（例えば、EPI-Online（商標））、エッチング処理制御用の干渉フィルタ又は干渉計を有する光学発光モニタの様な処理モニタ２２７、及び圧力トランスデューサ２３７が挙げられる。室２２５からの排気に反応するセンサとしては、漏出検出器２４６、真空ゲージ２５７、及び排気モニタ２５８が挙げられる。これらのセンサは、圧力制御装置２４８及び制御弁２４７と、そして真空構成要素及び／又はサブシステム２５６と相互作用する。それらは、更に、ポンプ及び／又は図には表れていない排気ガススクラバと相互作用する。これらのセンサは、１つ又はそれ以上のデジタル制御装置２４２、室制御装置２５２、及び接続点２６２と通信している。この通信には、通常、制御と遠隔測定の両方が含まれる。装置は、センサ、例えば、２４７、２４８、２５６と通信しており、制御部とセンサを共に含んでいる。
【００２６】
図２には示していないが、第１装置又はファブ側ネットワークの様なネットワークと第２装置又はツールネットワークの様なネットワークの間に中間装置が配置されている場合には、何時でも、中間装置無しに互いに通信できるフェイルセーフスイッチが適用されている。ツール又はセンサからの読み値を収集し、それらを記憶し、要求に応じて利用できるようにする制御装置は、一例である。センサから入手できるデータを補充する制御装置が、もう１つの例である。１つのフォーマット、例えばSECSから、別のフォーマット、例えば、タグ付きXMLフォーマットにデータを変換する制御装置は、更に別の例である。当業者には、中間装置の故障が、第１及び第２装置又はネットワークのフェイルセーフ直接接続によって対処される他の状況が認識頂けるであろう。
【００２７】
次に図３には、半導体ファブ３００に配備されているアドレストランスペアレント装置（ATD）３１０の簡略図が示されている。アドレストランスペアレント装置３１０は、第１及び第２ホスト１２０、１３０と、ツール１３０、第１センサ３３０、及び第２センサ３４０との間の通信を円滑にするために、第１ネットワーク１４０と第２ネットワーク３４０の間に、第１ネットワーク１４０とは第１ポート３２０とスイッチ３３５を介して、そして第２ネットワーク３４０とは第２ポート３３０とスイッチ３７０を介して、連結されている。ツール１３０は、スイッチ１７０とツール１３０の間に接続されたケーブル３２２を切り離すことによって、第１ネットワーク１４０とはもはや接続しておらず、代わりに、ツール１３０は、スイッチ３９０を介して第２ネットワーク３２０に連結されている。アドレストランスペアレント装置３１０は、第１ホスト１１０がツール１３０にアクセスするのに使用したのと同じポート、即ちポート5000で、ツール１３０にアクセスする。ポート5000は、この実施形態ではHSMS通信のHTTPポートを表しているが、当業者には理解頂けるように、ポート5000はHSMS通信には限定されない。
【００２８】
アドレストランスペアレント装置３１０は、第１ネットワーク１４０を介して第１ホスト１１０に連結され、第２ネットワーク３４０を介してツール１３０に連結されており、このアドレストランスペアレント装置３１０は、IPアドレスを持っていない第１ポートと、IPアドレスを持っていないか又は事前に決められたIPアドレスを持っているか何れかの第２ポート３３０を有している。
【００２９】
第１ホスト１１０がツール１３０にアクセスを試みるときには、第１ホスト１１０がARP（アドレス解決プロトコル）要求を送ると、ARP要求によるIPアドレスが、ARPルックアップテーブルによってツール１３０の物理的MAC（媒体アクセス制御）アドレスにマッピングされる。アドレストランスペアレント装置３１０は、以前にツール１３０を指していた宛先アドレス10.10.10.7:5000を第２ポート３３０に今は持っているので、アドレストランスペアレント装置３１０は、第１ホスト１１０から送られたパケットを傍受する。第１ネットワーク１４０上での第１ホスト１１０とツール１３０の間の元の接続は、もはや存在せず、第１ホスト１１０とアドレストランスペアレント装置３１０の間に新たな接続が確立される。
【００３０】
アドレストランスペアレント装置３１０の２つのポート３２０、３３０は、第１ポート３２０と第２ポート３３０の間を配線３２５で接続する１つのケーブルとして効果的に働く。アドレストランスペアレント装置３１０は、第１ホスト１１０とツール１３０の間の双方向通信を行う。アドレストランスペアレント装置３１０は、第１ホスト１１０から受信したツール１３０宛に送られたパケットを転送する。逆に、アドレストランスペアレント装置３１０は、ツール１３０から受信した第１ホスト１１０宛てに送られたパケットを転送する。アドレストランスペアレント装置３１０は、第１ホスト１１０から宛先アドレス10.10.10.7:5000に宛てて送られたパケットを傍受した後、そのパケットをツール１３０に転送する。ツールが返信すると、パケットはツール１３０からホスト１１０に送られる。アドレストランスペアレント装置３１０は、半導体ファブ３００内で、第１ネットワーク１４０と第２ネットワーク３２０の間で動作し、これらに限定されるわけではないが、TCP/IP（伝送制御プロトコル及びインターネットプロトコル）、IPX（インターネットワークパケット交換）、及びAppleTalkを含むあらゆるプロトコルから独立である。
【００３１】
本発明にはブロードキャストストームの特徴も提供されている。アドレストランスペアレント装置３１０は、ブロードキャストストームパケットの存在を検出する。ブロードキャストストームが検知されると、アドレストランスペアレント装置３１０は、ブロードキャストストームを発生させたと考えられるパケットを廃棄する。
【００３２】
随意的なデータプロセッサ３９５が、様々なやり方でデータの処理に追加的な機能を提供する際に、アドレストランスペアレント装置３１０に連結される。データプロセッサ３９５は、アドレストランスペアレント装置３１０から傍受されたパケットを受信した後、傍受されたパケット内のデータを処理して、ホスト１１０とツール１３０を含むファブ全体の環境に対する機能を強化する。データプロセッサ３９５は、アドレストランスペアレント装置３１０を使用することによって、ホスト１１０とツール１３０に、又は第１ネットワーク１４０又は第２ネットワーク３４０に連結されている他の装置に、機能を追加する。一つの特徴では、データプロセッサ３９５は、１つ又はそれ以上の傍受されたパケットにデータ圧縮を実行した後、圧縮されたデータを宛先に送る。別の特徴では、データプロセッサ３９５は、傍受されたパケットを受信し、傍受されたパケットから所望のデータを抽出し、傍受されたパケットを宛先に送る。別の特徴では、データプロセッサ３９５は、傍受されたパケットからデータを選択的に取り出して、傍受されたパケットのデータの置換え又は付加物として新しい変数を作成する。一例では、データプロセッサ３９５は、時間内の瞬間値の報告が入っている傍受されたパケットを受信して、その時間内の瞬時値を指数加重移動平均に変える。データプロセッサ３９５は、更に、ツール１３０に第１の機能を、そしてホスト１１０に第２の機能をという様に、様々な装置に様々な機能を追加する。別の例では、ホスト１１０は、ツール１３０宛を意図した１０個のSVIDを、アドレストランスペアレント装置３１０に送る。アドレストランスペアレント装置３１０は、４個のSVIDを第１センサ３５０に送り、６個のSVIDをツール１３０に送る。第１センサ３５０に送られた４個のSVIDは、アドレストランスペアレント装置３１０により傍受されており、データプロセッサ３９５は、追加的な機能（例えば、センサ測定圧力）を傍受されたパケットに追加する。従って、データプロセッサ３１０は、設備の変更や外部データソースの必要無しに、追加的な機能をホストとツールに提供する。アドレストランスペアレント装置３１０がネットワークに見えないというだけでなく、データプロセッサ３９５も見えない。データプロセッサ３９５は、アドレストランスペアレント装置３１０が見えないために、見えないのである。
【００３３】
図４は、半導体ファブ４００のフェイルセーフスイッチの動作の一実施形態を示す簡略図である。アドレストランスペアレント装置３３０に、停電のようなハードウェア障害又はソフトウェア障害の何れかを原因とする故障が生じた場合、アドレストランスペアレント装置３１０の第１ポート３２０へのリンク４１０と第２ポート３３０へのリンク４２０は接続解除される。フェイルセーフスイッチ４３０を通して、第１ネットワーク１４０と第２ネットワーク３４０の間にリンクが確立され、第１ホスト３１０とツール３１０の間で通信が維持される。従って、制御装置に機能障害が出て、中間制御装置無しでも通信が可能である２つの装置の間で、この制御装置がもはや有用な役目を果たさないという事態になれば、それら両装置、例えば、ホスト１１０とツール１３０の間には直接、接続性が確立される。一実施形態では、単純なマイクロコントローラを内蔵したスイッチが使用されている。スイッチは、切り替わったときに、安心させる「クリック音」を出すリレーを含んでいる。スイッチのマイクロコントローラが、直列、並列、ＵＳＢ、ファイヤワイヤ、イーサネット（登録商標）、その他の様な接続を介して、制御装置からのハートビート信号をリッスンする。フェイルセーフスイッチに設けられている論理及びリソースによっては、ハートビート以外の他のプロトコルを使用してもよい。例えば、フェイルセーフスイッチは、制御装置に対して周期的な問い合わせを行って、エラー状態表示又は応答時間切れの何れかに応答するようにしてもよい。上記問い合わせは、定期的なものでもよいし、高トラフィック、低トラフィック、及び／又関心のある他の作動条件の何らかの測定に対するアダプティブなものでもよい。マイクロコントローラ制御式のスイッチは、二極双投式スイッチに似ており、制御装置をホスト１１０との回路に入れるか回路から切り離す。正常なモードでは、制御装置は物理的に回路に接続されている。フェイルセーフモードでは、ホストとツール／センサは、直接接続されている。代わりに、電子式スイッチングを採用して、リレーの安心させるクリック音を捨ててもよい。
【００３４】
ハートビート及びフェイルセーフ接続を実装するためのソフトウェアとしては、パケットアドレスを設定するデバイスドライバ、ネットワークインターフェースが入り乱れたモードで実行されている場合にパケットを捕捉するためのカーネルフック、ウオッチドッグデーモン、及びユーザースペースプログラムが挙げられる。以下の説明はLinux指向性のものである。BSDの変種、Unix（登録商標）の変種、又はWindows（登録商標）の様な他のオペレーティングシステムを使用してもよい。システムは、Java（登録商標）のリアルタイムバージョンの様な仮想機械上で実行されるように書かれておればよく、そうすれば、低級ネットワーキング機能を制御する場合に、ソフトウェアを１つのオペレーティングシステムから別のオペレーティングシステムに移植するために、ソフトウェアに対してして行う必要のある変更も軽微で済む。
【００３５】
図５は、アドレストランスペアレント装置５００による、転送、傍受、又は再ルーティングの場合のパケットのフィルタリングを示している。この実施形態では、アドレストランスペアレント装置５００は、フィルタ５１０とデータ消費部５２０を備えており、第１ポートがホスト１１０に結合され、第２ポート３３０がツール１３０に結合されている。アドレストランスペアレント装置５００がパケットを受信すると、フィルタ５１０は、受信したパケットを、（１）ローカル使用のためのデータ消費部５２０へのパケットを傍受することにより、（２）パケットをツール５４０に再ルーティングすることにより、又は（３）パケットを別のネットワークに送信することにより、受信したパケットをフィルタリングする。ホスト１１０とフィルタ５１０の間の通信は、矢印５３０で示すように双方向であり、フィルタ５１０とツール１３０の間の通信も矢印５５０で示すように双方向であり、フィルタ５１０とデータ消費部５２０の間の通信も矢印５２０で示すように双方向である。
【００３６】
図６は、データパケットに付けるためのパケットヘッダ６００のフォーマットの一例を示している。ヘッダ６００は、宛先MACアドレス６１２、発信元MACアドレス６１４、宛先IP６２２、発信元IP６２４、宛先ポート６３２、及び発信元ポート６３４の６つのフィールドに分割されている。最初の２つのフィールドである宛先MACアドレス６１２と発信元MACアドレス６１４は、組み合わせてイーサネット（登録商標）ヘッダ６１０を表している。次の４つのフィールドである、宛先IP６２２、発信元IP６２４、宛先ポート６３２、及び発信元ポート６３４は、組み合わせてIPヘッダ６２０を表している。最後の２つのフィールドである宛先ポート６３２と発信元ポート６３４は、TCP/IPヘッダ６３０と呼ばれることもあり、IPヘッダ６２０の一部として定義されている。
【００３７】
アドレストランスペアレント装置３１０による再ルーティング方式において、第２ホスト１２０から第２センサ３６０に送られたパケット内でヘッダがどの様に変更されるかの一例を、図７Ａから図７Ｄに示している。アドレストランスペアレント装置３１０の無い従来の半導体ファブでは、第１ホスト１１０又は第２ホスト１２０は、ツール１３０にアクセスすることができるが、第１センサ３５０又は第２センサ３６０にアクセスすることはできない。アドレストランスペアレント装置３１０を加えることで、第１及び第２センサ３５０、３６０は、第１及び第２ホスト１１０、１２０とパケットを通信するのに、ツール１３０のIPアドレスにピギーバックすることができる。
【００３８】
第１に、IPアドレス10.10.10.6の第２ホストが、ポート番号3236の第２センサ３６０にパケットを送る。この時点でのヘッダ７００を図７Ａに示しており、第１フィールド７０２にはツールMACアドレス、第２フィールド７０４にはホストMACアドレス、第３フィールド７１０にはツールMACのIPアドレス10.10.10.10.7、第４フィールド７１２には第２ホストのIPアドレス10.10.20.6、第５フィールド７１４にはツールのポート番号5000、そして第６フィールド７１６には第２ホスト１２０のポート番号3236が入っている。
【００３９】
第２に、アドレストランスペアレント装置１２０は、第２ホスト１２０からパケットを受け取り、そのパケットを第２センサ３６０へと再ルーティングする。元のヘッダ７００は、ここで、図７Ｂに示す様にヘッダ７２０に変更され、第１フィールド７２２には第２センサMACアドレス、第２フィールド７２４にはATD MACアドレス、第３フィールド７３０には第２センサ３６０のサブネットIPアドレス192.168.2.3、第４フィールド７３２にはATD３１０のサブネットIPアドレス192.168.2.1、第5フィールド７３４には第２センサ３６０のポート番号5001、そして第６フィールド７３６にはATD３１０のポート番号6526が入っている。
【００４０】
第３に、第２センサ３６０は、アドレストランスペアレント装置１２０からパケットを受け取り、アドレストランスペアレント装置３１０に返信を送る。ヘッダ７２０は、ここで、再度、図７Ｃに示す様にヘッダ７４０に変更され、第１フィールド７４２にはATD MACアドレス、第２フィールド７４４にはセンサMACアドレス、第３フィールド７５０にはATD３１０のサブネットIPアドレス192.168.2.1、第４フィールド７５２には第２センサ３６０のサブネットIPアドレス192.168.2.3、第５フィールド７５４にはATD３１０のポート番号6526、そして第６フィールド７５６には第２センサ３６０のポート番号5001が入っている。
【００４１】
第４に、アドレストランスペアレント装置３１０は、第２センサ３６０から返信パケットを受け取り、この返信パケットを第２ホスト３６０に送る。ヘッダ７４０は、もう一度、図７Ｄに示す様にヘッダ７６０に変更され、第１フィールド７６２にはホストMACアドレス、第２フィールド７６４にはツールMACアドレス、第３フィールド７７０には第２ホスト１２０のIPアドレス10.10.10,6、第４フィールド７７２にはツール１３０のIPアドレス10.10.10.7、第５フィールド７７４には第２ホスト１２０のポート番号3236、そして第６フィールド７７６にはツール１３０のポート番号5000が入っている。本発明のアドレストランスペアレント装置３１０の再ルーティング特性は、センサの様な追加的サービスが、新たに加えられる装置に割り当てられる追加的なIPアドレスを必要とするという出費無しに、半導体ファブに追加できるようにしている。
【００４２】
図８は、パケットを分析する際にアドレストランスペアレント装置３１０が行うフィルタリングプロセス８００を示すフローチャートである。ステップ８１０で、アドレストランスペアレント装置３１０がまず起動され、その内部設定を調べる。設定が自動モードに変わると、プロセス８００は、学習モードで動作して、ホスト１１０、ツール１３０、及びポート5000を含む設定データをステップ８１４で検出する。例えば、アドレストランスペアレント装置３１０は、ネットワークトラフィックを傍受して、その自動設定のためのIPアドレス及びHSMSパケットのポート番号を検索するなど、適切な情報をパケットから取り出すためにパケットを解釈する。自動設定が検出されなかった場合、ステップ８１２で、アドレストランスペアレント装置３１０は、半導体ファブ３００のネットワークを設定するために、ホスト１１０の様なソースによって供給された設定ファイルを読み出す。設定調整が確立された後、アドレストランスペアレント装置３１０は、ステップ８２０で、第１ポート３２０又は第２ポート３３０の何れかを通してパケットが到着するのを待つ。ステップ８２２では、アドレストランスペアレント装置３１０は、第１ネットワーク１４０又は第２ネットワーク３４０の何れかからパケットを受信する。アドレストランスペアレント装置３１０は、ステップ８３０で、ブロードキャストストームの存在を検出する。ブロードキャストストームが存在すると判明すれば、アドレストランスペアレント装置３１０は、ステップ８３６で、そのパケットを廃棄する。アドレストランスペアレント装置３１０は、ブロードキャストストームが存在しないと判定すれば、ステップ８３２で、スニファ(sniffer)モードが設定されているか否かを調べる。アドレストランスペアレント装置３１０は、スニファモードが設定されていたら、パケットのコピーをローカル使用に提供する。或いは、アドレストランスペアレント装置３１０が、スニファモードが設定されていないことを検出した場合は、プロセス８００は、次のステップにすすむ。
【００４３】
ステップ８４０では、アドレストランスペアレント装置３１０は、受信したパケットが傍受されたか又は再ルーティングされたパケットに対する返信であるか否かを判定する。受信したパケットが返信である場合には、ステップ８４２で、アドレストランスペアレント装置３１０は、受信したパケットのヘッダを元のパケットのヘッダに基づいて変更する。ステップ８４４で、アドレストランスペアレント装置８４４は、パケットを、元のパケットの発信元であるソースに戻す。プロセス８００は、ステップ８２０に戻って、次のパケットを待つ。
【００４４】
アドレストランスペアレント装置３１０は、受信したパケットが傍受されたか又は再ルーティングされたパケットに対する返信ではない場合は、受信したパケットを、ステップ８５０で分析する。アドレストランスペアレント装置３１０による分析の結果、パケットは、傍受されるべきか、再ルーティングされるべきか、又は他の使用に回されるべきかが判定される。判定の結果がパケットの傍受であった場合は、ステップ８６０で、アドレストランスペアレント装置３１０は、パケットをローカル的に使用するために受け入れ、つまり、パケットはデータ消費部５２０によって使用される。パケットのヘッダは、ステップ８６２で保存される。判定が、パケットの再ルーティングであった場合は、アドレストランスペアレント装置３１０は、ステップ８７０でパケットのヘッダを変更し、ステップ８７２でヘッダを保存し、ステップ８７４でそのパケットを宛先に送る。アドレストランスペアレント装置３１０は、パケットの判定が他の使用であった場合は、ステップ８７６でパケットを別のネットワークに転送する。プロセス８００は、ヘッダを保存した後にステップ８６２から、又はパケットが別のネットワークに送信された後ステップ８７４から、の何れかからステップ８２０に戻る。
【００４５】
図９は、アドレストランスペアレント装置９１０とフェイルセーフスイッチ９２０の実装の代わりの実施形態を示す半導体ファブ９００のブロック図である。アドレストランスペアレント装置９２０は、LAN１ポート、LAN２ポート、第３ポート、及び第４ポートを備えている。フェイルセーフスイッチ９２０は、アドレストランスペアレント装置９２０の第３ポートに接続されている第１ポート９２１と、アドレストランスペアレント装置９２０の第４ポートに接続されている第２ポート９２２と、第１ネットワークインターフェース１４０に接続されている第３ポート９２３と、第２ネットワークインターフェース３４０に接続されている第４ポート９２４を有している。半導体ファブ９００の継続運転を維持するための予防手段として、ハードウェアの機能障害又はソフトウェアの立ち往生によって引き起こされた障害がアドレストランスペアレント装置９１０によって検出されたとき、アドレストランスペアレント装置９２０の第３ポート９２３と第４ポート９２４は、第１ネットワーク１４０と第２ネットワーク３４０の間に接続を確立するために起動される。
【００４６】
分析ステップ９５０からの再ルーティングの例を、パケットのヘッダを置き換える場合について、下に示している。６つのフィールド６１２、６１４、６２２、６２４、６３２、６３４は、パケットを再ルーティングする際に置き換えられ、即ち、宛先MACアドレスは新しい宛先MACアドレスに置き換えられ、発信元MACアドレスは新発信元MACアドレスに置き換えられ、宛先IPアドレスは新IPアドレスで置き換えられ、発信元IPアドレスは新発信元IPアドレスで置き換えられ、宛先ポートは新宛先ポートに置き換えられられ、発信元ポートは新ポートに置き換えられる。アドレストランスペアレント装置３１０は、どのヘッダ情報がどのヘッダ情報と置き替えられるかを示すテーブルを有する設定調整を有している。例えば、発信元は、宛先と通信しており、以下の６つの設定入力、即ち、パケットは＜ネットワーク＞、＜ip＞、＜ポート＞に送られる、及び＜ネットワーク＞、＜ip＞、＜ポート＞に再ルーティングされる、を含んでおり、ここで＜ネットワーク＞は、LAN１又はLAN２を指し、＜ip＞は、IPアドレスを指し、＜ポート＞はポート番号を指す。LAN２のアドレス空間は、192.182.2.xと表され、ローカルのアドレス空間は、127.0.0.1であり、ローカルは、データ消費部５２０によりローカル使用のためのパケットの受け入れを意味する。
【００４７】
第１例では、パケットがLAN１から宛先（宛先IP及び宛先ポート）10.10.10.7:5000に向け送られる場合、パケットは、LAN２：192.168.2.3:80に再ルーティングされる。第２例では、パケットがLAN１から10.10.10.7:5000に送られる場合、パケットは、当該パケットをローカル：127.0.0.1:5000に再ルーティングする。第１ネットワーク１４０に連結されているホスト１１０は、同じIPアドレスであるが異なるポート番号を使用して、第２ネットワーク３４０に連結されている複数の装置にパケットを送ることもできる。第３例では、ホスト１１０は、次式、LAN1, 10.10.10.7:5000⇒LAN２：192.168.2.3.:80に示すように、第１パケットを、ポート番号８０が割り当てられた第１センサ３５０に送る。ホスト１１０は、次いで、次式、LAN2, 10.10.10.7.:5001⇒LAN２：192.168.2.3.:23により示されるように第２パケットを、第２センサ３６０に送る。
【００４８】
本発明のアドレストランスペアレント装置３１０は、OSI（開放型システム間相互接続）モデルのTCP/IP積層のトランスポート層におけるレイヤ４スイッチングで動作するように実装することができる。当業者には自明のように、本発明は、MAC（メディアアクセスコントロール）層で作動するレイヤ２スイッチングで、又はパケットをIPアドレスに基づいてスイッチングしてネットワーク層で動作するレイヤ３スイッチングで動作するように実装することもできる。
【００４９】
以上、本発明を、特定の代表的な実施形態について説明してきた。本発明の精神と範囲から逸脱することなく、各種修正、改造、及び変更を加えることができる。例えば、本発明を半導体ファブで示しているが、当業者には理解頂けるように、アドレストランスペアレント装置のシステムと方法は、他の種類の製造、工場、又はコンピュータ処理環境にも適用可能である。従って、本明細書及び図面は、本発明の原理を説明するものであり、本発明に何ら制限を課すものではなく、本発明は、特許請求の範囲によって定義される。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】ホストとツールの間の通信のための従来の半導体ファブを示す簡略化したブロック図である。
【図２】本発明の態様が特に有用である環境を説明しているブロック図である。
【図３】本発明による、半導体ファブ内に配備されたアドレストランスペアレント装置を示している簡略化したブロック図である。
【図４】本発明による、アドレストランスペアレント装置に連結されたフェイルセーフスイッチの一実施形態を示す簡略化したブロック図である。
【図５】本発明による、アドレストランスペアレント装置によるパケットのフィルタリングを示す簡略化したブロック図である。
【図６】本発明による、データパケットに付加するパケットヘッダのフォーマットの一例を示す簡略化したブロック図である。
【図７Ａ】本発明による、パケットを再ルーティングする際のパケットヘッダの例を示す簡略化したブロック図である。
【図７Ｂ】本発明による、パケットを再ルーティングする際のパケットヘッダの例を示す簡略化したブロック図である。
【図７Ｃ】本発明による、パケットを再ルーティングする際のパケットヘッダの例を示す簡略化したブロック図である。
【図７Ｄ】本発明による、パケットを再ルーティングする際のパケットヘッダの例を示す簡略化したブロック図である。
【図８】本発明による、パケットを分析する際にアドレストランスペアレント装置が実行するフィルタリングプロセスを示す簡略化したフローチャートである。
【図９】本発明による、アドレストランスペアレント装置とフェイルセーフスイッチの実装の一例を示す簡略化したブロック図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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