(57)【要約】  高精細化と低コスト化を実現するノズルシートの製造方法を提供することを目的とする。そのため、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに用いられるノズルシートの製造方法は、第１ダミー基板上にパターニングされた撥液膜上に第１樹脂シートを形成し、第１樹脂シートを貫通する第１ノズルを形成し、第１ダミー基板を剥離する工程を備えるものとする。
2009133794.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに用いられるノズルシートの製造方法において、
第１ダミー基板上にパターニングされた撥液膜上に第１樹脂シートを形成し、
該第１樹脂シートを貫通する第１ノズルを形成し、
前記第１ダミー基板を剥離することを特徴とするノズルシートの製造方法。
【請求項２】
前記第１樹脂シートが、光硬化性樹脂であることを特徴とする請求項１記載のノズルシートの製造方法。
【請求項３】
前記第１樹脂シートが、ドライフィルムレジストであることを特徴とする請求項１記載のノズルシートの製造方法。
【請求項４】
前記第１ノズルは、
前記第１樹脂シートにフォトマスクを介して紫外線を照射し、
ベークして架橋させ、
前記第１樹脂シートの架橋部分以外を現像液で溶解させて形成することを特徴とする請求項３記載のノズルシートの製造方法。
【請求項５】
前記第１ノズルの形成後であって前記第１ダミー基板の除去前に、
前記第１樹脂シート上に第２樹脂シートを形成し、
前記第２樹脂シートを貫通し、且つ前記第１ノズルと繋がり、且つ前記第１ノズルより大径の第２ノズルを形成することを特徴とする請求項１記載のノズルシートの製造方法。
【請求項６】
前記第２樹脂シートが、光硬化性樹脂であることを特徴とする請求項５記載のノズルシートの製造方法。
【請求項７】
前記第２樹脂シートが、ドライフィルムレジストであることを特徴とする請求項５記載のノズルシートの製造方法。
【請求項８】
前記第２ノズルは、
前記第２樹脂シートにフォトマスクを介して紫外線を照射し、
ベークして架橋させ、
前記第２樹脂シートの架橋部分以外を現像液で溶解させて形成することを特徴とする請求項７記載のノズルシートの製造方法。
【請求項９】
前記撥液膜のパターンは、第１ノズルの出口面積の５倍以上であることを特徴とする請求項１記載のノズルシートの製造方法。
【請求項１０】
前記撥液膜がパターニングされた前記第１ダミー基板は、
前記第１ダミー基板上に接着層を形成し、
撥液剤用マスクフィルムを貼着し、
該撥液剤用マスクフィルム上から撥液剤を被膜させ、
該撥液剤を乾燥固化させ、
前記撥液剤用マスクフィルムを剥離して作製し、
前記第１ダミー基板は、接着層用リムーバを用いて剥離することを特徴とする請求項１記載のノズルシートの製造方法。
【請求項１１】
前記撥液剤用マスクフィルムは、
第２ダミー基板上に犠牲層を形成し、
該犠牲層上にドライフィルムレジストからなるマスクフィルムを形成し、
該マスクフィルムにフォトマスクを介して紫外線を照射し、
ベークして架橋させ、
前記マスクフィルムの架橋部分以外を現像液で溶解させ、
犠牲層用リムーバを用いて前記第２ダミー基板を剥離して形成することを特徴とする請求項１０記載のノズルシートの製造方法。
【請求項１２】
請求項１記載のノズルシートの製造方法によって製造したノズルシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに用いられるノズルシート及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタが高速印刷、低騒音、高精細印刷、低コストなどの理由により、急速に普及している。インクジェットプリンタで高精細印刷を実現するためには、インクがノズル出口でメニスカスを形成し、印刷面へ安定して垂直に飛翔することが必要である。ノズルの出口面にインクが濡れ広がると安定したメニスカス形状が得られず、高精細印刷を実現することができない。そのため、一般的に、ノズルの出口面に撥液膜を設けることで対処している。例えば、ノズルがインクジェットヘッドの先端部品であるノズルプレートに形成されている場合、撥液膜はノズルプレートの出口面側に設ければよい。この撥液膜の形成方法については、様々な方法が提案されている。【０００３】
例えば、特許文献１には、多孔質のスポンジに撥液剤を含浸させ、ノズル出口面に転写する方法が開示されている。また、特許文献２には、ノズル板を撥液処理後、ダミー基板に貼り付けて、エッチングによりノズル穴を形成する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−１４３５８７号公報
【特許文献２】特開平５−３１８７４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の方法では、ノズルを形成した後に撥液剤を転写するという工程順序を採っている以上、ノズル内部に撥液剤が入り込む可能性がある。それを回避するように制御することは、非常に困難でありコストもかかる。また、多孔質のスポンジを用いているので、転写ムラが生じるおそれがある。【０００６】
また、特許文献２の方法では、ノズル板がガラス基板であるため厚みと強度が確保されているので、ダミー基板に貼り付ける前に撥液処理が可能であり、さらに、ノズル形成部付近に接着部がなくても保持可能である。しかしながら、薄型化と低コスト化を目的としたノズル板として、厚みと強度が確保されていない薄い樹脂シートを想定した場合、この方法では、ノズル形成時にノズル板が撓んでしまい、加工ができない。【０００７】
本発明は、上記問題点を解決するとともに、高精細化と低コスト化を実現するノズルシート及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明は、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに用いられるノズルシートの製造方法において、第１ダミー基板上にパターニングされた撥液膜上に第１樹脂シートを形成し、該第１樹脂シートを貫通する第１ノズルを形成し、前記第１ダミー基板を剥離することを特徴とする。【０００９】
上記のノズルシートの製造方法において、前記第１樹脂シートが、光硬化性樹脂であることが望ましい。【００１０】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記第１樹脂シートが、ドライフィルムレジストであってもよい。【００１１】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記第１ノズルは、前記第１樹脂シートにフォトマスクを介して紫外線を照射し、ベークして架橋させ、前記第１樹脂シートの架橋部分以外を現像液で溶解させて形成することが望ましい。【００１２】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記第１ノズルの形成後であって前記第１ダミー基板の除去前に、前記第１樹脂シート上に第２樹脂シートを形成し、前記第２樹脂シートを貫通し、且つ前記第１ノズルと繋がり、且つ前記第１ノズルより大径の第２ノズルを形成することが望ましい。【００１３】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記第２樹脂シートが、光硬化性樹脂であることが望ましい。【００１４】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記第２樹脂シートが、ドライフィルムレジストであってもよい。【００１５】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記第２ノズルは、前記第２樹脂シートにフォトマスクを介して紫外線を照射し、ベークして架橋させ、前記第２樹脂シートの架橋部分以外を現像液で溶解させて形成することが望ましい。【００１６】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記撥液膜のパターンは、第１ノズルの出口面積の５倍以上であることが望ましい。【００１７】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記撥液膜がパターニングされた前記第１ダミー基板は、前記第１ダミー基板上に接着層を形成し、撥液剤用マスクフィルムを貼着し、該撥液剤用マスクフィルム上から撥液剤を被膜させ、該撥液剤を乾燥固化させ、前記撥液剤用マスクフィルムを剥離して作製し、前記第１ダミー基板は、接着層用リムーバを用いて剥離することが望ましい。【００１８】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記撥液剤用マスクフィルムは、第２ダミー基板上に犠牲層を形成し、該犠牲層上にドライフィルムレジストからなるマスクフィルムを形成し、該マスクフィルムにフォトマスクを介して紫外線を照射し、ベークして架橋させ、前記マスクフィルムの架橋部分以外を現像液で溶解させ、犠牲層用リムーバを用いて前記第２ダミー基板を剥離して形成することが望ましい。【００１９】
また、本発明のノズルシートは、上記のノズルシートの製造方法によって製造するものとする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によると、第１ノズルの出口面にだけ撥液膜を形成することができるので、インクが第１ノズルの出口でメニスカスを形成し、インクが印刷面へ安定して垂直に飛翔し、高精細印刷を実現することができる。また、樹脂製のノズルシートを採用することにより、従来のガラスプレートより低コスト化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】（ａ）〜（ｅ）本発明の撥液剤用マスクの各製造工程における断面図である。
【図２】本発明の撥液剤用マスクフィルムの平面図である。
【図３】（ａ）〜（ｄ）本発明の撥液膜がパターニングされたダミー基板の各製造工程における断面図である。
【図４】本発明の撥液膜がパターニングされたダミー基板の平面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）本発明のノズルシートの各製造工程における断面図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）本発明のノズルシートの各製造工程における断面図である。
【図７】本発明のノズルシートの平面図である。
【図８】本発明のインクジェットプリンタのインクジェットヘッド付近の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
（１）撥液剤用マスクフィルムについて
まず、撥液膜の形成時のパターニング用マスクである撥液剤用マスクについて説明する。図１（ａ）〜（ｅ）は、撥液剤用マスクの各製造工程における断面図である。
【００２３】
最初、図１（ａ）に示すように、ダミー基板（第２ダミー基板）１０上に犠牲層（接着層）１１を形成する。ダミー基板１０の材料としては、平滑性及び耐熱性があればよく、例えば、Ｓｉ、ガラス、金属などを用いることができる。犠牲層１１としては、ダミー基板１０と後述するマスクフィルムを仮接着でき、後で除去できるものであればよく、例えば、ポジレジストなどを用いることができる。
【００２４】
次に、図１（ｂ）に示すように、犠牲層１１上にドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）からなるマスクフィルム１２を形成する。ＤＦＲとしては、例えば、化薬マイクロケム株式会社のＳＵ−８を用いることができる。ＤＦＲの厚みは、５〜２００μｍの範囲で、扱いやすさとコストとを考慮して決定すればよい。
【００２５】
次に、図１（ｃ）に示すように、マスクフィルム１２に所望の撥液膜のパターン１３ａを有したフォトマスク１３を介して所定強度の紫外線を所定時間照射する。パターン１３ａの形状としては、ここでは円形とするが、その形状には特に限定はなく、楕円形、多角形なども採用することができる。なお、紫外線の強度及び照射時間は、マスクフィルムの厚みに応じて適宜決定すればよい。次に、ホットプレートでベークし、マスクフィルム１２の紫外線が照射された部分を架橋させる。
【００２６】
次に、図１（ｄ）に示すように、ＤＦＲ用現像液でマスクフィルム１２の架橋部分以外を溶解させる。これにより、マスクフィルム１２にパターン１３ａの貫通穴１２ａが形成される。
【００２７】
次に、図１（ｅ）に示すように、犠牲層用リムーバに浸漬し、犠牲層１１を溶解させることでダミー基板１０を剥離する。これにより、貫通穴１２ａを有する撥液剤用マスクフィルム１２が得られる。
【００２８】
図２は、撥液剤用マスクフィルム１２の平面図である。図２では、撥液剤用マスクフィルム１２に４つの貫通穴１２ａが形成されているが、貫通穴１２ａの個数及び配置はノズルの配置に合わせて適宜決定されるべきであり、一列に多数配置したり、複数列に配置したりすることができる。
【００２９】
（２）撥液膜がパターニングされたダミー基板について
次に、ダミー基板への撥液膜の形成について説明する。図３（ａ）〜（ｄ）は、撥液膜がパターニングされたダミー基板の各製造工程における断面図である。
【００３０】
最初、図３（ａ）に示すように、ダミー基板（第１ダミー基板）２０上に接着層（犠牲層）２１を形成する。ダミー基板２０の材料としては、平滑性及び耐熱性があればよく、例えば、Ｓｉ、ガラス、金属などを用いることができる。接着層２１としては、ダミー基板２０と撥液剤用マスクフィルム１２を仮接着でき、後で除去できるものであればよく、例えば、ポジレジストなどを用いることができる。
【００３１】
次に、図３（ｂ）に示すように、接着層２１上に撥液剤用マスクフィルム１２貼着する。
【００３２】
次に、図３（ｃ）に示すように、撥液剤に浸漬し、一定の速度で引き上げることで、撥液剤用マスクフィルム１２表面及び貫通穴１２ａ内面及び貫通穴１２ａ内に露出している接着層２１表面を撥液剤で被膜させる。その後、撥液剤を乾燥固化させ、撥液膜２２を得る。
【００３３】
次に、図３（ｄ）に示すように、撥液剤用マスクフィルムを剥離する。これにより、貫通穴１２ａ内に露出している接着層２１表面にだけ撥液膜２２がパターニングされたダミー基板２０が得られる。
【００３４】
図４は、撥液膜２２がパターニングされたダミー基板２０の平面図である。図４では、ダミー基板２０の４箇所に撥液膜２２が形成されているが、撥液膜２２の個数及び配置はノズルの配置に合わせて適宜決定されるべきであり、一列に多数配置したり、複数列に配置したりすることができる。
【００３５】
なお、ダミー基板２０への撥液膜２２のパターニングの方法は、上記以外の方法を採用してもよい。例えば、液体レジストを使用したリフトオフ法であったり、撥液膜２２のパターンが凸加工されている金型に撥液剤を塗布してそれをダミー基板２０へ転写する方法であってもよい。
【００３６】
（３）ノズルシートについて
次に、ノズルシートへのノズルの形成について説明する。図５（ａ）〜（ｃ）、図６（ａ）〜（ｄ）は、ノズルシートの各製造工程における断面図である。
【００３７】
最初、図５（ａ）に示すように、撥液膜２２がパターニングされたダミー基板２０上に第１樹脂シート３０を形成する。第１樹脂シート３０の材料としては、ここではＤＦＲを用いるが、フォトリソプロセスを用いることができる他の光硬化性樹脂を用いてもよい。第１樹脂シート３０には径の小さなノズルの出口が形成されるため、その厚みは薄い方が好ましく、例えば、５〜５０μｍとすることができる。
【００３８】
次に、図５（ｂ）に示すように、第１樹脂シート３０に第１ノズルに相当する所望のノズル形状のパターン３１ａを有したフォトマスク３１を介して所定強度の紫外線を所定時間照射する。パターン３１ａの形状としては、ここでは円形とするが、その形状には特に限定はなく、楕円形、多角形なども採用することができる。なお、紫外線の強度及び照射時間は、第１樹脂シート３０の厚みに応じて適宜決定すればよい。次に、ホットプレートでベークし、第１樹脂シート３０の紫外線が照射された部分を架橋させる。
【００３９】
次に、図５（ｃ）に示すように、ＤＦＲ用現像液で第１樹脂シート３０の架橋部分以外を溶解させる。これにより、第１樹脂シート３０にパターン３１ａの貫通穴である第１ノズル３０ａが形成される。
【００４０】
次に、図６（ａ）に示すように、第１樹脂シート３０上に第２樹脂シート３２を形成する。第２樹脂シート３２の材料としては、ここではＤＦＲを用いるが、フォトリソプロセスを用いることができる他の光硬化性樹脂を用いてもよい。第２樹脂シート３２には第１ノズル３０ａと繋がり、且つ第１ノズル３０ａより大径の第２ノズルが形成される。その厚みは、例えば、５〜２００μｍとすることができる。
【００４１】
次に、図６（ｂ）に示すように、第２樹脂シート３２に第２ノズルに相当する所望のノズル形状のパターン３３ａを有したフォトマスク３３を介して所定強度の紫外線を所定時間照射する。パターン３３ａの形状としては、ここでは円形とするが、その形状には特に限定はなく、楕円形、多角形なども採用することができる。なお、紫外線の強度及び照射時間は、第２樹脂シート３２の厚みに応じて適宜決定すればよい。次に、ホットプレートでベークし、第２樹脂シート３２の紫外線が照射された部分を架橋させる。
【００４２】
次に、図６（ｃ）に示すように、ＤＦＲ用現像液で第２樹脂シート３２の架橋部分以外を溶解させる。これにより、第２樹脂シート３２にパターン３３ａの貫通穴である第２ノズル３２ａが形成される。
【００４３】
次に、図６（ｄ）に示すように、接着層用リムーバに浸漬し、接着層２１を溶解させることでダミー基板２０を剥離する。これにより、第２ノズル３２ａ及び第１ノズル３０ａ及び撥液膜２２の第１ノズル３０ａの出口部分が貫通したノズルシート４０が得られる。
【００４４】
図７は、ノズルシート４０の平面図である。図７では、ノズルシート４０の４箇所に撥液膜２２及び第１ノズル３０ａが形成されているが、それらの個数及び配置はノズルの配置に合わせて適宜決定されるべきであり、一列に多数配置したり、複数列に配置したりすることができる。
【００４５】
また、撥液膜２２のパターンの面積は、第１ノズル３０ａの出口面積の５倍以上であることが好ましい。これは、インクが第１ノズル３０ａの出口でメニスカスを形成するのに必要な面積比である。これにより、インクが印刷面へ安定して垂直に飛翔し、高精細印刷を実現することができる。
【００４６】
なお、上記では２枚の樹脂シートを用いたが、１枚でも３枚以上であってもよい。
【００４７】
このように、樹脂製のノズルシート４０を採用することにより、従来のガラスプレートより低コスト化を実現することができる。
【００４８】
なお、撥液膜２２がパターニングされたダミー基板２０へノズルシートを貼着した後のノズルの加工方法は、上記のフォトリソプロセス以外の方法を採用してもよい。例えば、機械加工やレーザ加工や金型を押しつけるインプリント法などを採用することができる。
【００４９】
（４）流路基板及びインクタンクについて
図８に、インクジェットプリンタのインクジェットヘッド付近の断面図を示す。上記のように作製したノズルシート４０は、インクの流路基板４１に貼り付けてインクジェットヘッドとし、さらにこのインクジェットヘッドはインクジェットプリンタ本体に取り付けられ、インクジェットヘッドにはインクタンク４２が取り付けられる。これにより、インクは流路基板４１内を流れ、各ノズルから吐出される。
【００５０】
（５）実施例
次に、具体的な実施例について説明する。なお、上記の実施形態と同様の部材には同符号を付すことで各図面に対応させる。
【００５１】
（５−１）撥液剤用マスクフィルムについて
まず、Ｓｉからなるダミー基板（第２ダミー基板）１０上に、厚さ１μｍのポジレジストからなる犠牲層（接着層）１１をスピンナ（２０００ｒｐｍ）で塗布する。
【００５２】
次に、犠牲層１１上に厚さ１５μｍのＤＦＲからなるマスクフィルム１２をラミネータで貼着する。
【００５３】
次に、マスクフィルム１２に直径２００μｍの円形の撥液膜のパターン１３ａを有したフォトマスク１３を介して３５ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射する。次に、９５℃のホットプレートで６分間ベークし、マスクフィルム１２の紫外線が照射された部分を架橋させる。
【００５４】
次に、ＤＦＲ用現像液に７分間浸漬してマスクフィルム１２の架橋部分以外を溶解させる。これにより、マスクフィルム１２にパターン１３ａの貫通穴１２ａが形成される。
【００５５】
次に、犠牲層用リムーバに浸漬し、犠牲層１１を溶解させることでダミー基板１０を剥離する。これにより、貫通穴１２ａを有する撥液剤用マスクフィルム１２が得られる。
【００５６】
（５−２）撥液膜がパターニングされたダミー基板について
最初、ガラスからなるダミー基板（第１ダミー基板）２０上に厚さ１μｍのポジレジストからなる接着層（犠牲層）２１をスピンナ（２０００ｒｐｍ）で塗布する。
【００５７】
次に、接着層２１上に撥液剤用マスクフィルム１２貼着する。
【００５８】
次に、撥液剤に浸漬し、一定の速度（１ｍｍ／秒）で引き上げることで、撥液剤用マスクフィルム１２表面及び貫通穴１２ａ内面及び貫通穴１２ａ内に露出している接着層２１表面を撥液剤で被膜させる。その後、室温で撥液剤を乾燥固化させ、撥液膜２２を得る。
【００５９】
次に、撥液剤用マスクフィルムを剥離する。これにより、貫通穴１２ａ内に露出している接着層２１表面にだけ撥液膜２２がパターニング（直径２００μｍ）されたダミー基板２０が得られる。
【００６０】
（５−３）ノズルシートについて
最初、撥液膜２２がパターニングされたダミー基板２０上に厚さ１５μｍのＤＦＲからなる第１樹脂シート３０をラミネータ（ローラ：１〜３ｋｐａ／ｃｍ２、温度６０℃）で貼着する。
【００６１】
次に、第１樹脂シート３０に第１ノズルに相当する直径１０μｍの円形のノズル形状のパターン３１ａを有したフォトマスク３１を介して３５ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射する。次に、９５℃のホットプレートで６分間ベークし、第１樹脂シート３０の紫外線が照射された部分を架橋させる。
【００６２】
次に、ＤＦＲ用現像液に７分間浸漬して第１樹脂シート３０の架橋部分以外を溶解させる。これにより、第１樹脂シート３０にパターン３１ａの貫通穴である第１ノズル３０ａが形成される。
【００６３】
次に、第１樹脂シート３０上に厚さ５０μｍのＤＦＲからなる第２樹脂シート３２をラミネータ（ローラ：１〜３ｋｐａ／ｃｍ２、温度６０℃）で貼着する。
【００６４】
次に、第２樹脂シート３２に第２ノズルに相当する直径４０μｍの円形のノズル形状のパターン３３ａを有したフォトマスク３３を介して７５ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射する。次に、９５℃のホットプレートで６分間ベークし、第２樹脂シート３２の紫外線が照射された部分を架橋させる。
【００６５】
次に、ＤＦＲ用現像液に７分間浸漬して第２樹脂シート３２の架橋部分以外を溶解させる。これにより、第２樹脂シート３２にパターン３３ａの貫通穴である第２ノズル３２ａが形成される。
【００６６】
次に、接着層用リムーバに浸漬し、接着層２１を溶解させることでダミー基板２０を剥離する。これにより、第２ノズル３２ａ及び第１ノズル３０ａ及び撥液膜２２の第１ノズル３０ａの出口部分が貫通したノズルシート４０が得られる。なお、ノズル間の距離は５００μｍに設定する。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明は、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに用いられるノズルシート及びその製造方法に利用できる。
【符号の説明】
【００６８】
１０    第１ダミー基板
１１    犠牲層
１２    撥液剤用マスクフィルム
１３、３１、３３    フォトマスク
２１    接着層
２２    撥液膜
３０    第１樹脂シート
３０ａ    第１ノズル
３２    第２樹脂シート
３２ａ    第２ノズル
４０    ノズルシート
【図１】
2009133794.tif 000003
【図２】
2009133794.tif 000004
【図３】
2009133794.tif 000005
【図４】
2009133794.tif 000006
【図５】
2009133794.tif 000007
【図６】
2009133794.tif 000008
【図７】
2009133794.tif 000009
【図８】
2009133794.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成22年9月7日(2010.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに用いられるノズルシートの製造方法において、
第１ダミー基板上にパターニングされた撥液膜上に第１樹脂シートを形成し、
該第１樹脂シートを貫通する第１ノズルを形成し、
前記第１樹脂シートから前記第１ダミー基板を剥離することを特徴とするノズルシートの製造方法。
【請求項２】
前記第１樹脂シートが、光硬化性樹脂であることを特徴とする請求項１記載のノズルシートの製造方法。
【請求項３】
前記第１樹脂シートが、ドライフィルムレジストであることを特徴とする請求項１記載のノズルシートの製造方法。
【請求項４】
前記第１ノズルは、
前記第１樹脂シートに第１フォトマスクを介して紫外線を照射し、
ベークして前記第１樹脂シートの紫外線が照射された部分を架橋させ、
前記第１樹脂シートの架橋部分以外を現像液で溶解させて形成することを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載のノズルシートの製造方法。
【請求項５】
前記第１ノズルの形成後であって、前記第１ダミー基板を前記第１樹脂シートから剥離する前に、
前記第１樹脂シート上に第２樹脂シートを形成し、
前記第２樹脂シートを貫通し、且つ前記第１ノズルと繋がり、且つ前記第１ノズルより大径の第２ノズルを形成することを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載のノズルシートの製造方法。
【請求項６】
前記第２樹脂シートが、光硬化性樹脂であることを特徴とする請求項５記載のノズルシートの製造方法。
【請求項７】
前記第２樹脂シートが、ドライフィルムレジストであることを特徴とする請求項５記載のノズルシートの製造方法。
【請求項８】
前記第２ノズルは、
前記第２樹脂シートに第２フォトマスクを介して紫外線を照射し、
ベークして前記第２樹脂シートの紫外線が照射された部分を架橋させ、
前記第２樹脂シートの架橋部分以外を現像液で溶解させて形成することを特徴とする請求項５から請求項７の何れかに記載のノズルシートの製造方法。
【請求項９】
前記撥液膜のパターンの面積は、第１ノズルの出口面積の５倍以上であることを特徴とする請求項１から請求項８の何れかに記載のノズルシートの製造方法。
【請求項１０】
前記撥液膜がパターニングされた前記第１ダミー基板は、
前記第１ダミー基板上に接着層を形成し、
該接着層上に撥液剤用マスクフィルムを貼着し、
該撥液剤用マスクフィルム上から撥液剤を被膜させ、
該撥液剤を乾燥固化させ、
前記撥液剤用マスクフィルムを剥離して作製することを特徴とする請求項１から請求項９の何れかに記載のノズルシートの製造方法。
【請求項１１】
接着層用リムーバを用いて前記第１樹脂シートから前記第１ダミー基板を剥離することを特徴とする請求項１０記載のノズルシートの製造方法。
【請求項１２】
前記撥液剤用マスクフィルムは、
第２ダミー基板上に犠牲層を形成し、
該犠牲層上にドライフィルムレジストからなるマスクフィルムを形成し、
該マスクフィルムに第３フォトマスクを介して紫外線を照射し、
ベークして前記マスクフィルムの紫外線が照射された部分を架橋させ、
前記マスクフィルムの架橋部分以外を現像液で溶解させ、
犠牲層用リムーバを用いて前記マスクフィルムから前記第２ダミー基板を剥離して形成することを特徴とする請求項１０記載のノズルシートの製造方法。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２の何れかに記載のノズルシートの製造方法によって製造したノズルシート。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明は、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに用いられるノズルシートの製造方法において、第１ダミー基板上にパターニングされた撥液膜上に第１樹脂シートを形成し、該第１樹脂シートを貫通する第１ノズルを形成し、前記第１樹脂シートから前記第１ダミー基板を剥離することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記第１ノズルは、前記第１樹脂シートに第１フォトマスクを介して紫外線を照射し、ベークして前記第１樹脂シートの紫外線が照射された部分を架橋させ、前記第１樹脂シートの架橋部分以外を現像液で溶解させて形成することが望ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記第１ノズルの形成後であって、前記第１ダミー基板を前記第１樹脂シートから剥離する前に、前記第１樹脂シート上に第２樹脂シートを形成し、前記第２樹脂シートを貫通し、且つ前記第１ノズルと繋がり、且つ前記第１ノズルより大径の第２ノズルを形成することが望ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記第２ノズルは、前記第２樹脂シートに第２フォトマスクを介して紫外線を照射し、ベークして前記第２樹脂シートの紫外線が照射された部分を架橋させ、前記第２樹脂シートの架橋部分以外を現像液で溶解させて形成することが望ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記撥液膜のパターンの面積は、第１ノズルの出口面積の５倍以上であることが望ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記撥液膜がパターニングされた前記第１ダミー基板は、前記第１ダミー基板上に接着層を形成し、該接着層上に撥液剤用マスクフィルムを貼着し、該撥液剤用マスクフィルム上から撥液剤を被膜させ、該撥液剤を乾燥固化させ、前記撥液剤用マスクフィルムを剥離して作製することが望ましい。さらに、接着層用リムーバを用いて前記第１樹脂シートから前記第１ダミー基板を剥離することが望ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、上記のノズルシートの製造方法において、前記撥液剤用マスクフィルムは、第２ダミー基板上に犠牲層を形成し、該犠牲層上にドライフィルムレジストからなるマスクフィルムを形成し、該マスクフィルムに第３フォトマスクを介して紫外線を照射し、ベークして前記マスクフィルムの紫外線が照射された部分を架橋させ、前記マスクフィルムの架橋部分以外を現像液で溶解させ、犠牲層用リムーバを用いて前記マスクフィルムから前記第２ダミー基板を剥離して形成することが望ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
次に、図３（ｂ）に示すように、接着層２１上に撥液剤用マスクフィルム１２を貼着する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
２０    第１ダミー基板
１１    犠牲層
１２    撥液剤用マスクフィルム
１３、３１、３３    フォトマスク
２１    接着層
２２    撥液膜
３０    第１樹脂シート
３０ａ    第１ノズル
３２    第２樹脂シート
３２ａ    第２ノズル
４０    ノズルシート
【国際調査報告】
2009133794.tif 000011
2009133794.tif 000012
2009133794.tif 000013
2009133794.tif 000014