(57)【要約】  被試験デバイスを試験する試験装置であって、複数の信号生成部および被試験デバイスの良否を判定する判定部を備え、それぞれの信号生成部は、被試験デバイスの対応するピンに試験信号を供給するドライバ部と、試験信号に応じて被試験デバイスが出力する信号に基づいて、ドライバ部が出力する信号の直流電圧を検出する電圧測定部と、電圧測定部が検出した直流電圧に応じて、ドライバ部が出力する信号のデューティー比を調整する出力側調整部とを有し、それぞれのレベル測定部は、被試験デバイスに所定の電流を供給したときに、被試験デバイスに印加される電圧レベルを測定可能に設けられる。
2009072509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスの対応するピンに試験信号を供給するドライバ部と、
前記試験信号に応じて前記被試験デバイスが出力する応答信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
前記ドライバ部が出力する信号の直流レベルを検出するレベル測定部と、
前記レベル測定部が検出した前記直流レベルに応じて、前記ドライバ部が出力する信号のデューティー比を調整する出力側調整部と
を備える試験装置。
【請求項２】
前記ドライバ部、前記レベル測定部、および、前記出力側調整部をそれぞれ有する複数の信号生成部を備える
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
それぞれの前記レベル測定部は、前記被試験デバイスに所定の電流を供給したときに、前記被試験デバイスに印加される電圧レベルを測定可能に設けられる
請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
それぞれの前記信号生成部は、前記ドライバ部が前記被試験デバイスに前記試験信号を供給する前に、対応する前記ドライバ部に予め定められたパターンの調整用信号を出力させるパターン発生部を更に有し、
前記出力側調整部は、前記ドライバ部が前記調整用信号を出力したときに、前記レベル測定部が検出した前記直流レベルに応じて、前記ドライバ部が出力する信号のデューティー比を予め調整する
請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
前記ドライバ部は、入力される差動の信号をシングルエンドの信号に変換して出力し、
前記出力側調整部は、前記ドライバ部に入力される反転側信号および非反転側信号に与えられるべきバイアスレベルの少なくとも一方を、前記レベル測定部が検出した前記直流レベルに応じて調整することにより、前記ドライバ部が出力すべき前記試験信号のデューティー比を調整する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
それぞれの前記パターン発生部は、対応する前記ドライバ部に略同時に前記調整用信号を出力させ、
それぞれの前記レベル測定部は、対応する前記ドライバ部が出力する前記調整用信号の前記直流レベルを略同時に検出する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項７】
前記出力側調整部は、前記被試験デバイスに供給すべき前記試験信号の周波数を変更する場合に、前記ドライバ部が出力する信号のデューティー比を、当該周波数に応じて予め調整する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項８】
前記出力側調整部は、前記ドライバ部の温度に更に応じて、前記ドライバ部が出力する信号のデューティー比を調整する
請求項７に記載の試験装置。
【請求項９】
前記信号生成部は、前記レベル測定部を、前記ドライバ部および前記被試験デバイスの間の伝送路に接続するか否かを切り替える切替部を更に有する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項１０】
前記切替部は、前記ドライバ部におけるデューティー比を調整する場合に、ローパスフィルタを用いて、前記伝送路を伝送する信号を前記レベル測定部に測定させ、前記被試験デバイスに印加される電圧レベルを測定する場合に、前記ローパスフィルタを用いずに、前記伝送路を伝送する信号を前記レベル測定部に測定させる
請求項９に記載の試験装置。
【請求項１１】
前記パターン発生部は、Ｈ論理に固定されたＨ固定調整用信号、Ｌ論理に固定されたＬ固定調整用信号、および、Ｈ論理およびＬ論理が交互に繰り返される基準調整用信号を前記ドライバ部に順次出力させ、
前記出力側調整部は、前記基準調整用信号に対して前記レベル測定部が検出する前記直流レベルが、前記Ｈ固定調整用信号および前記Ｌ固定調整用信号に対して前記レベル測定部が検出した前記直流レベルの略中間のレベルとなるように、前記ドライバ部における前記デューティー比を調整する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項１２】
前記パターン発生部は、前記被試験デバイスに供給すべき前記試験信号の周波数より低い周波数の低周波調整用信号、および、前記被試験デバイスに供給すべき前記試験信号の周波数と略同一の周波数の基準調整用信号を前記ドライバ部に順次出力させ、
前記出力側調整部は、前記基準調整用信号に対して前記レベル測定部が検出する前記直流レベルが、前記低周波調整用信号に対して前記レベル測定部が検出した前記直流レベルと略同一のレベルとなるように、前記ドライバ部における前記デューティー比を調整する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項１３】
前記試験装置は、前記被試験デバイスが出力する前記応答信号に応じた波形を出力するレベル比較部を更に備え、
前記信号生成部は、前記レベル比較部に、前記出力側調整部により予めデューティー比が調整された調整用信号を入力し、前記調整用信号に応じた波形を出力させ、
前記試験装置は、前記調整用信号に応じて前記レベル比較部が出力する波形のデューティー比が、前記信号生成部が出力する前記調整用信号のデューティー比と略同一となるように前記レベル比較部を調整する測定側調整部を更に備える
請求項４に記載の試験装置。
【請求項１４】
それぞれ被試験デバイスの対応するピンに試験信号を供給する複数のドライバ部と、前記試験信号に応じて前記被試験デバイスが出力する信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置における前記試験信号のデューティー比を調整するキャリブレーション方法であって、
前記ドライバ部が出力する信号の直流レベルを検出し、
検出した前記直流レベルに応じて、前記ドライバ部が出力する信号のデューティー比を調整するキャリブレーション方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置および試験装置のキャリブレーション方法に関する。本出願は、下記の米国出願に関連し、下記の米国出願からの優先権を主張する出願である。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
出願番号  １１／９５１，３３５    出願日  ２００７年１２月６日
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体回路等の高速化が著しい。これに伴い、半導体回路等を試験する試験装置においても高速化が要求されており、数ＧＨｚの試験信号を生成する試験装置が製品化されている。このような試験装置においては、試験信号が高周波数であるので、試験信号のデューティー比を高精度に調整する必要がある。試験信号のデューティー比を調整するには、まず試験信号のデューティー比を測定することが考えられる。【０００３】
例えば、試験装置の出力ピンにプローブを接触させ、試験信号の各エッジタイミングを測定することにより、試験信号のデューティー比を測定することができる。試験装置に複数の出力ピンが設けられている場合、当該プローブを各出力ピンに順次接触させることで、各出力ピンからの試験信号のデューティー比を測定することができる。なお、関連する先行技術文献として、以下の特許文献がある。
【特許文献１】特開平１１−３０６６８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、数ＧＨｚの試験信号のデューティー比を測定する場合、数ｐｓ程度の誤差範囲でエッジタイミングを測定しなければならず、非常に高精度のタイミング測定器を用いなければならない。また、信号劣化の少ないプローブを用いなければならない。このため、試験コストが上昇してしまう。【０００５】
また、半導体回路等のピン数に応じて、試験装置には多数の出力ピンが設けられる。このため、プローブを各ピンに順次接触させて試験信号のデューティー比を測定すると、試験時間が増大してしまう。【０００６】
そこで本発明の１つの側面においては、上記の課題を解決することのできる試験装置およびキャリブレーション方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスの対応するピンに試験信号を供給するドライバ部と、試験信号に応じて被試験デバイスが出力する応答信号に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部と、ドライバ部が出力する信号の直流レベルを検出するレベル測定部と、レベル測定部が検出した直流レベルに応じて、ドライバ部が出力する信号のデューティー比を調整する出力側調整部とを備える試験装置を提供する。【０００８】
第２の態様においては、それぞれ被試験デバイスの対応するピンに試験信号を供給する複数のドライバ部と、試験信号に応じて被試験デバイスが出力する信号に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置における試験信号のデューティー比を調整するキャリブレーション方法であって、ドライバ部が出力する信号の直流レベルを検出し、検出した直流レベルに応じて、ドライバ部が出力する信号のデューティー比を調整するキャリブレーション方法を提供する。【０００９】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施形態に係る試験装置１００の構成を、被試験デバイス２００と共に示す図である。
【図２】試験装置１００の動作例を説明するフローチャートを示す。
【図３】図２のＳ１０６に関連して説明した、目標値を予め取得する方法例を説明する図である。
【図４】目標値を予め取得する方法の他の例を説明する図である。
【図５】電圧測定部２０の構成例を示す図である。
【図６】ドライバ部１８に入力される差動の試験信号の一例を示す図である。
【図７】出力側調整部２４によりバイアス電圧が調整された試験信号の一例を示す図である。
【図８】切替部２２の他の構成例を示す図である。
【図９】試験装置１００の他の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００１１】
１０・・・信号生成部、１２・・・パターン発生部、１４・・・タイミング発生部、１６・・・波形成形部、１８・・・ドライバ部、１９・・・伝送路、２０・・・電圧測定部、２２・・・切替部、２４・・・出力側調整部、２６・・・ローパスフィルタ、２８・・・ＡＤコンバータ、４０・・・信号測定部、４２・・・レベル比較部、４４・・・タイミング比較部、５０・・・判定部、６０・・・デューティー測定部、７０・・・測定側調整部、８０・・・キャリブレーションボード、１００・・・試験装置、２００・・・被試験デバイス
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明の（一）側面を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１３】
図１は、実施形態に係る試験装置１００の構成を、被試験デバイス２００と共に示す図である。試験装置１００は、半導体回路等の被試験デバイス２００を試験する装置であって、複数の信号生成部１０、複数の信号測定部４０、および、複数の判定部５０を備える。【００１４】
試験装置１００は、それぞれの信号生成部１０が出力する信号の直流電圧を測定することで、当該信号のデューティー比を精度よく検出する。ここで、直流電圧とは直流レベルの一例である。そして、当該デューティー比が所定の値となるように、信号生成部１０を調整する。このような構成により、各信号生成部１０が出力する信号のデューティー比を精度よく調整することができる。【００１５】
まず、試験装置１００の概要を説明する。それぞれの信号生成部１０は、被試験デバイス２００のいずれかの入力ピンに接続される。それぞれの信号生成部１０は、試験信号を生成して、対応する入力ピンを介して被試験デバイスに供給する。試験信号は、例えば被試験デバイス２００のデジタル回路に入力されるべきデジタル信号、被試験デバイス２００のアナログ回路に入力されるべきアナログ信号、被試験デバイス２００の制御回路に入力されるべき制御信号、被試験デバイス２００のクロック端子に入力されるべきクロック信号、または、被試験デバイス２００を駆動する電源電力として供給される信号等であってよい。信号生成部１０の構成および動作は後述する。【００１６】
被試験デバイス２００は、与えられる試験信号に応じて動作して、応答信号を出力する。応答信号は、デジタル信号であってよく、アナログ信号であってもよい。【００１７】
それぞれの信号測定部４０は、被試験デバイス２００のいずれかの出力ピンに接続される。それぞれの信号測定部４０は、対応する出力ピンから出力される応答信号を測定する。例えば信号測定部４０は、応答信号の論理パターンを測定してよく、応答信号のアナログ波形を測定してもよい。また、信号測定部４０は、応答信号のエッジタイミング等のタイミング情報を測定してもよい。【００１８】
複数の判定部５０は、複数の信号測定部４０と一対一に対応して設けられる。それぞれの判定部５０は、対応する信号測定部４０における測定結果に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。例えば判定部５０は、信号測定部４０において測定された応答信号の論理パターンが、所定の期待値パターンと一致するか否かにより、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。なお、以上においては一つの被試験デバイス２００を試験する例を説明したが、試験装置１００は、複数の被試験デバイス２００を同時に試験してもよい。【００１９】
次に、信号生成部１０が出力する信号のデューティー比を調整する方法を説明する。それぞれの信号生成部１０は、パターン発生部１２、タイミング発生部１４、波形成形部１６、ドライバ部１８、伝送路１９、電圧測定部２０、切替部２２、および、出力側調整部２４を有する。ここで、電圧測定部２０は、レベル測定部の一例である。【００２０】
パターン発生部１２は、信号生成部１０が出力する信号が有するべき論理パターンを生成する。例えばパターン発生部１２は、使用者等により与えられる試験プログラムに応じて動作することで、所定の論理パターンを生成してよい。【００２１】
タイミング発生部１４は、信号生成部１０が出力する信号のタイミング情報を生成する。例えばタイミング発生部１４は、信号生成部１０が出力する信号の周期またはビットレートを規定するクロックを生成してよい。【００２２】
波形成形部１６は、パターン発生部１２が生成した論理パターンと、タイミング発生部１４が生成したタイミング情報とに基づいて、試験信号の波形を成形する。例えば波形成形部１６は、タイミング発生部１４が生成したクロックと略同一のビットレートを有しており、且つ、パターン発生部１２が生成した論理パターンを有する試験信号を生成してよい。【００２３】
ドライバ部１８は、波形成形部１６が生成した試験信号を、被試験デバイス２００の対応する入力ピンに供給する。またドライバ部１８は、被試験デバイス２００が消費する電流を供給してよい。また、ドライバ部１８は、波形成形部１６から差動の試験信号を受け取り、シングルエンドの信号に変換して被試験デバイス２００に供給してもよい。【００２４】
伝送路１９は、ドライバ部１８の出力端子と、被試験デバイス２００の入力端子との間に設けられ、ドライバ部１８が出力する試験信号を、被試験デバイス２００に伝送する。切替部２２は、伝送路１９と電圧測定部２０との間に設けられ、電圧測定部２０を伝送路１９に接続するか否かを切り替える。【００２５】
電圧測定部２０は、ドライバ部１８が出力する信号の直流電圧を検出する。信号の直流電圧は、信号のデューティー比に応じて定まる。例えば、デューティー比が５０％のクロック信号の直流電圧は、Ｈ論理の信号電圧と、Ｌ論理の信号電圧との中間電圧となる。このため、電圧測定部２０によりドライバ部１８が出力する信号の直流電圧を検出することで、当該信号のデューティー比を検出することができる。【００２６】
出力側調整部２４は、電圧測定部２０が検出した直流電圧に応じて、ドライバ部１８が出力する信号のデューティー比を調整する。例えば出力側調整部２４は、電圧測定部２０が検出した直流電圧と、予め定められた目標値との差分を減少させるように、ドライバ部１８が出力する信号のデューティー比を調整してよい。【００２７】
出力側調整部２４は、ドライバ部１８を調整することで当該デューティー比を調整してよく、また、ドライバ部１８に入力される信号を調整することで当該デューティー比を調整してもよい。一般に、パターン発生部１２およびタイミング発生部１４が、デューティー比が５０％となる設定で試験信号を生成しても、回路内の誤差および雑音等の影響で、生成された試験信号のデューティー比が５０％とならない場合がある。出力側調整部２４は、係るデューティー比の誤差を調整してよい。【００２８】
また、それぞれの電圧測定部２０は、電流印加電圧測定を行うときに用いられる回路と共通の回路であってよい。つまり、電圧測定部２０は、被試験デバイス２００に所定の電流を供給したときに、被試験デバイス２００に印加される電圧レベルを測定可能に設けられてよい。電流印加電圧測定を行う場合、判定部５０は、電圧測定部２０が測定した電圧レベルに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。【００２９】
このように、それぞれの信号生成部１０に電圧測定部２０および出力側調整部２４を設けることで、それぞれの信号生成部１０が出力する信号のデューティー比を同時に測定して調整することができる。つまり、それぞれの信号生成部１０に測定プローブ等を順次接触させずとも、それぞれの信号生成部１０が生成する信号のデューティー比を測定することができる。【００３０】
この場合、それぞれのパターン発生部１２およびタイミング発生部１４は、対応するドライバ部１８に略同時に調整用信号を出力させる。また、それぞれの電圧測定部２０は、対応するドライバ部１８が出力する調整用信号の直流電圧を略同時に検出する。【００３１】
また、電圧測定部２０において、信号の直流電圧を検出することで、信号のデューティー比を測定しているので、簡易な構成で当該デューティー比を精度よく測定することができる。例えば、Ｈ論理の電圧レベルＶｈが１Ｖ、Ｌ論理の電圧レベルＶｌが０Ｖ、周期Ｔが３０８ｐｓ（３．２５ＧＨｚ）の信号を測定する場合において、電圧測定部２０の電圧測定分解能が１ｍＶとする。このときのデューティー測定の時間分解能は、
Ｔ／（Ｖｈ−Ｖｌ）＝３０８／（１０００−０）＝０．３０８ｐｓ
となり、信号のデューティーを精度よく測定することができる。【００３２】
また、上式から明らかなように、信号の直流電圧を検出してデューティーを測定する場合、信号の周期Ｔが小さくなるほど、デューティー測定の時間分解能が精細となり、デューティーを精度よく測定することができる。つまり、本例の試験装置１００は、高周波の信号ほど、デューティーを精度よく測定することができる。【００３３】
また上述したように、電圧測定部２０は、電流印加電圧測定を行う回路と共通化できる。このため試験装置１００の回路構成を増大させずに、デューティー比の調整を容易に行うことができる。【００３４】
また、出力側調整部２４は、被試験デバイス２００の試験を行う前に、予めデューティー比を調整する。また、被試験デバイス２００に供給する試験信号が、例えばクロック信号のように繰り返しのパターンを有する場合には、出力側調整部２４は、被試験デバイス２００の試験中にデューティー比を調整してもよい。また、電圧測定部２０は、信号の直流電圧を検出できればよいので、切替部２２は、広帯域の信号を通過できなくともよい。【００３５】
なお、図１では、電圧測定部２０が出力側調整部２４を、直接的に制御している構成を示しているが、電圧測定部２０は、制御系およびコンピュータ等を介して出力側調整部２４を制御してよい。この場合、当該コンピュータは、被試験デバイス２００の試験を行う前に、電圧測定部２０が測定した調整用信号の直流電圧の値を、制御系を介して受け取る。【００３６】
そして、当該コンピュータは、受け取った直流電圧の値から、出力側調整部２４に与えるべき補正データを生成して、制御系を介して出力側調整部２４に設定する。出力側調整部２４は、ドライバ部１８が出力する信号のデューティー比を、受け取った補正データに基づいて調整する。【００３７】
また、制御系およびコンピュータ等は、被試験デバイス２００の試験を行う前に、ドライバ部１８が出力する信号のデューティー比を予め調整してよい。以下では、上述した制御系およびコンピュータ等を省略した構成を用いて、試験装置１００の機能を説明する。また、被試験デバイス２００の試験を行う前に、ドライバ部１８におけるデューティー比を予めキャリブレーションする場合について説明する。【００３８】
図２は、試験装置１００の動作例を説明するフローチャートを示す。本例の試験装置１００は、被試験デバイス２００の試験を行う前に、ドライバ部１８が出力する信号のデューティー比を予め調整する。【００３９】
まず、ドライバ部１８が被試験デバイス２００に試験信号を供給する前に、それぞれの信号生成部１０において、パターン発生部１２、タイミング発生部１４、および、波形成形部１６は、ドライバ部１８に予め定められたパターンの調整用信号を出力させる（Ｓ１０２）。当該調整用信号は、例えば被試験デバイス２００の試験時に生成されるべき試験信号と略同一の周期を有するクロック信号であってよい。【００４０】
次に、電圧測定部２０は、ドライバ部１８が出力する調整用信号の直流電圧を検出する（Ｓ１０４）。そして、出力側調整部２４は、ドライバ部１８が調整用信号を出力したときに電圧測定部２０が検出した直流電圧が、目標値と一致したか否かを判定する（Ｓ１０６）。ここで、目標値とは、設定すべきデューティー比に応じて、使用者等により予め設定される値であってよく、試験装置１００が予め測定した値であってもよい。【００４１】
Ｓ１０６において直流電圧が目標値と一致しない場合、出力側調整部２４は、ドライバ部１８が出力する調整用信号のデューティー比を調整して（Ｓ１０８）、Ｓ１０４からの処理を繰り返す。また、Ｓ１０６において直流電圧が目標値と一致した場合、試験装置１００は、デューティー比の調整を終了して、被試験デバイス２００の試験を開始する（Ｓ１１０）。このような動作により、ドライバ部１８が出力する信号のデューティー比を予め調整することができる。【００４２】
図３は、図２のＳ１０６に関連して説明した、目標値を予め取得する方法例を説明する図である。本例では、パターン発生部１２およびタイミング発生部１４は、Ｈ論理に固定されたＨ固定調整用信号、Ｌ論理に固定されたＬ固定調整用信号、および、Ｈ論理およびＬ論理が交互に繰り返される基準調整用信号をドライバ部１８に順次出力させる。図３では、基準調整用信号を実線で示す。【００４３】
電圧測定部２０は、Ｈ固定調整用信号およびＬ固定調整用信号の信号電圧（Ｈ電圧およびＬ電圧）を予め測定する。そして、出力側調整部２４は、基準調整用信号に対して電圧測定部２０が検出する直流電圧が、Ｈ電圧およびＬ電圧に対して所定の相対レベルとなるように、ドライバ部１８におけるデューティー比を調整する。例えば、デューティー比を５０％に設定する場合、出力側調整部２４は、基準調整用信号の直流電圧が、Ｈ電圧およびＬ電圧の略中間のレベルとなるように、ドライバ部１８におけるデューティー比を調整する。【００４４】
図４は、目標値を予め取得する方法の他の例を説明する図である。本例では、パターン発生部１２およびタイミング発生部１４は、被試験デバイス２００に供給すべき試験信号の周波数より低い周波数であり、且つ、試験信号と略同一のデューティー比の低周波調整用信号、および、被試験デバイス２００に供給すべき試験信号の周波数と略同一の周波数の基準調整用信号をドライバ部１８に順次出力させる。【００４５】
電圧測定部２０は、低周波調整用信号の直流電圧Ｖｒｅｆを予め測定する。そして、出力側調整部２４は、基準調整用信号に対して電圧測定部２０が測定する直流電圧ＶＤＣが、低周波調整用信号の直流電圧Ｖｒｅｆと略同一のレベルとなるように、ドライバ部１８におけるデューティー比を調整する。【００４６】
低周波の信号については、信号周期に対するエッジタイミングの誤差が相対的に小さくなるので、エッジタイミングの誤差により生じるデューティー比の誤差は小さくなる。このため、比較的に低周波の信号の直流電圧を目標値として、基準調整用信号の直流電圧を調整することで、基準調整用信号のデューティー比を精度よく調整することができる。【００４７】
図５は、電圧測定部２０の構成例を示す図である。本例の電圧測定部２０は、ローパスフィルタ２６およびＡＤコンバータ２８を有する。ローパスフィルタ２６は、伝送路１９を伝送する調整用信号を分岐して受け取り、直流成分を含む低周波成分を通過させる。ローパスフィルタ２６は、予め設定される周波数範囲で、直流成分の近傍の周波数成分を通過させてよい。【００４８】
ＡＤコンバータ２８は、ローパスフィルタ２６が通過させたアナログ信号の信号電圧をデジタル値に変換する。また、ＡＤコンバータ２８は、変換したデジタル値を、出力側調整部２４に供給する。【００４９】
出力側調整部２４は、ＡＤコンバータ２８から受け取ったデジタル値に応じて、ドライバ部１８が出力する信号のデューティー比を調整する。本例の出力側調整部２４は、波形成形部１６からドライバ部１８に与えられる試験信号のバイアス電圧を、ＡＤコンバータ２８から受け取ったデジタル値に応じて調整する。より具体的には、出力側調整部２４は、波形成形部１６からドライバ部１８に試験信号を伝送する伝送路に与えるバイアス電流を調整することで、試験信号のバイアス電圧を調整する。ここで、バイアス電圧とは、バイアスレベルの一例である。【００５０】
また、本例のドライバ部１８は、差動の試験信号を受け取り、シングルエンドの試験信号に変換して出力する。この場合、出力側調整部２４は、非反転側の伝送路、および、反転側の伝送路のそれぞれに対して設けられ、それぞれの伝送路に与えるバイアス電流を調整してよい。【００５１】
図６は、ドライバ部１８に入力される差動の試験信号の一例を示す図である。図６においては、試験信号の非反転側信号を実線で、試験信号の反転側信号を点線で示す。差動の試験信号のデューティー比は、非反転側信号および反転側信号のクロスポイントの間隔比Ｔ１：Ｔ２により定まる。【００５２】
パターン発生部１２およびタイミング発生部１４が、デューティー比が５０％（Ｔ１：Ｔ２＝１：１）の設定で試験信号を生成しても、回路内の誤差の影響で、図６に示すようにデューティー比が５０％とならない場合がある。本例の出力側調整部２４は、反転側信号および非反転側信号に与えられるべきバイアス電圧の少なくとも一方を、電圧測定部２０が検出した直流電圧に応じて調整することにより、ドライバ部１８が出力する信号のデューティー比を調整する。【００５３】
図７は、出力側調整部２４によりバイアス電圧が調整された試験信号の一例を示す図である。本例の出力側調整部２４は、反転側信号のバイアス電圧を調整する。図７に示すように、差動信号のバイアス電圧を調整することで、差動信号のデューティー比を、所定の値に調整することができる。【００５４】
また、出力側調整部２４は、被試験デバイス２００に供給すべき試験信号の周波数を変更する場合に、当該試験信号を被試験デバイス２００に供給する前に、ドライバ部１８が出力する信号のデューティー比を、当該周波数に応じて予め調整してよい。例えば、信号生成部１０は、被試験デバイス２００に供給すべき試験信号の周波数を変更する毎に、当該周波数に応じた周波数の調整用信号を用いて、ドライバ部１８におけるデューティー比を調整してよい。【００５５】
また、信号生成部１０は、それぞれの周波数毎に出力側調整部２４が生成すべきバイアス電圧を示すテーブルを予め生成してもよい。電圧測定部２０は、例えば周波数の異なる複数の調整用信号を順次ドライバ部１８から出力させ、それぞれの直流電圧を検出することで、当該テーブルを生成してよい。【００５６】
また、出力側調整部２４は、ドライバ部１８の温度に更に応じて、ドライバ部１８が出力する信号のデューティー比を調整してもよい。例えば出力側調整部２４は、電圧測定部２０のＡＤコンバータ２８から与えられるデジタル値に、ドライバ部１８の温度に応じた係数を乗算した値に応じて、差動信号のバイアス電圧を調整してよい。【００５７】
図８は、切替部２２の他の構成例を示す図である。本例の切替部２２は、ドライバ部１８におけるデューティー比を調整する場合に、伝送路１９を伝送する信号を、ローパスフィルタ２６を用いて電圧測定部２０に測定させる。また、電流印加電圧測定において、被試験デバイス２００に印加される直流電圧のレベルを測定する場合には、伝送路１９を伝送する信号を、ローパスフィルタ２６を用いずに電圧測定部２０に測定させる。これにより、電圧測定部２０の周波数特性を、測定対象に応じて調整することができる。なお、電流印加電圧測定を行う場合、ＡＤコンバータ２８は、入力される電圧レベルを変換したデジタル値を、判定部５０に供給してよい。判定部５０は、当該デジタル値に応じて被試験デバイス２００の良否を判定してよい。【００５８】
図９は、試験装置１００の他の構成例を示す図である。本例の試験装置１００は、信号測定部４０に入力される波形のデューティー比に対して、信号測定部４０が出力する波形のデューティー比の誤差を補正する。具体的には、図１から図８に関連して説明したように、予めデューティー比の調整がなされた信号生成部１０から信号測定部４０に対して、所定のデューティー比の調整用信号を供給させる。そして、信号測定部４０が出力する波形のデューティー比が、当該所定のデューティー比と略同一となるように、信号測定部４０を調整する。【００５９】
本例の試験装置１００は、図１から図８に関連して説明した試験装置１００の構成に加え、複数のデューティー測定部６０、複数の測定側調整部７０、および、キャリブレーションボード８０を更に備える。また、信号測定部４０は、レベル比較部４２およびタイミング比較部４４を有する。【００６０】
レベル比較部４２は、試験時に被試験デバイス２００が出力する応答信号を受け取り、受け取った信号に応じた波形を出力する。例えばレベル比較部４２は、受け取った信号の信号電圧と、与えられる参照電圧との比較結果を示す波形を出力してよい。【００６１】
より具体的には、レベル比較部４２は、受け取った信号の信号電圧が、参照電圧以上である場合にＨ論理を示して、受け取った信号の信号電圧が、参照電圧より小さい場合にＬ論理を示す波形を出力する。また、レベル比較部４２は、シングルエンドの信号を受け取り、当該信号の信号電圧と参照電圧との比較結果を示す波形を、差動の波形で出力してよい。【００６２】
タイミング比較部４４は、レベル比較部４２が出力する波形の論理値を、順次与えられるストローブタイミングで順次検出する。判定部５０は、タイミング比較部４４が検出した論理パターンと、期待値パターンとを比較してよい。【００６３】
キャリブレーションボード８０は、被試験デバイス２００の試験前に用いられ、信号生成部１０と、信号測定部４０とを接続する。キャリブレーションボード８０は、一つの信号生成部１０に複数の信号測定部４０を接続してよく、信号生成部１０および信号測定部４０を一対一に接続してもよい。【００６４】
信号生成部１０は、出力側調整部２４により予めデューティー比が調整された調整用信号を出力する。信号生成部１０は、被試験デバイス２００が出力する応答信号が有するべき周波数と略同一の周波数の調整用信号を出力してもよい。キャリブレーションボード８０は、信号生成部１０が出力する調整用信号をレベル比較部４２に入力して、レベル比較部４２から調整用信号に応じた波形を出力させる。【００６５】
デューティー測定部６０は、レベル比較部４２が出力する波形のデューティー比を測定する。本例のデューティー測定部６０は、タイミング比較部４４が出力する論理パターンに基づいて、当該デューティー比を測定する。より具体的には、デューティー測定部６０は、当該論理パターンにおいて論理値が遷移するタイミング間隔から、当該デューティー比を測定してよい。【００６６】
測定側調整部７０は、デューティー測定部６０が測定したデューティー比が、信号生成部１０が出力した調整用信号のデューティー比と略同一となるように、レベル比較部４２が出力する波形のデューティー比を調整する。例えば測定側調整部７０は、図５および図６に関連して説明した出力側調整部２４と同様の機能および構成を有してよい。例えば測定側調整部７０は、レベル比較部４２が出力する差動信号のバイアス電圧を調整することで、当該デューティー比を調整してよい。このような構成により、信号測定部４０におけるデューティー比も、容易に調整することができる。【００６７】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。【００６８】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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