(57)【要約】【課題】一方にミラーを回動させつつ、安定的に他方にミラーを回動させることができるミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置およびレーザレーダを提供する。【解決手段】ミラーアクチュエータ１は、アクチュエータフレーム２１と、インナーユニットフレーム１１と、パンシャフト１２と、ミラー１２３と、チルトコイル２２１、２３１およびチルトマグネット１５１、１６１と、パンコイル１７１、１８１およびパンマグネット１３１、１４１と、を備える。パンマグネット１３１、１４１は、インナーユニットフレーム１１に配置され、パンコイル１７１、１８１がパンシャフト１２に配置される。パンマグネット１３１、１４１とパンコイル１７１、１８１は、インナーユニットフレーム１１がチルト方向に回動することに伴って、一体的に回動する。【選択図】図１２
2013080625.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
第１回動軸について回動可能なように前記ベースに支持された第１回動部と、
前記第１回動軸に垂直な第２回動軸について回動可能なように前記第１回動部に支持された第２回動部と、
前記第２回動部に配されたミラーと、
前記第１回動部を前記第１回動軸の周りに回動させる第１駆動部と、
前記第２回動部を前記第２回動軸の周りに回動させる第２駆動部と、を備え、
前記第２駆動部は、コイル部と、前記コイル部に磁界を付与する磁石部とを有し、前記コイル部と前記磁石部の一方が前記第１回動部に配置され、他方が前記第２回動部に配置される、
ことを特徴とするミラーアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のミラーアクチュエータにおいて、
前記第２回動部は、前記第２回動軸について回動可能なように前記第１回動部に回動可能に支持された軸部を備え、
前記ミラーは、前記軸部に装着され、
前記コイル部は、前記軸部と前記第１回動部のうち一方に配置され、
前記磁石部は、前記軸部と前記第１回動部のうち他方に配置されている、
ことを特徴とするミラーアクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載のミラーアクチュエータにおいて、
前記磁石部は、前記第２の回動軸の周りに磁極が区分された磁石を含み、
前記コイル部は、前記第２の回動軸から放射状に延びる直線部分を含む複数のコイルを含み、互いに隣り合う前記直線部分が前記磁石の一つの前記磁極に向き合うように、前記複数のコイルが形成され、
前記コイルと前記磁石は、前記第２回動軸に平行な方向に所定の隙間をおいて並ぶように配置される、
ことを特徴とするミラーアクチュエータ。
【請求項４】
請求項３に記載のミラーアクチュエータにおいて、
前記磁石部は、外周が前記第２回動軸を中心とする円形状となるように形成される、
ことを特徴とするミラーアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１ないし４の何れか一項に記載のミラーアクチュエータにおいて、
前記コイル部は、前記第２回動部に配置され、
前記磁石部は、前記第１回動部に配置されている、
ことを特徴とするミラーアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れか一項に記載のミラーアクチュエータと、
前記ミラーアクチュエータのミラーにレーザ光を供給するレーザ光源と、を備える、
ことを特徴とするビーム照射装置。
【請求項７】
請求項１ないし５の何れか一項に記載のミラーアクチュエータと、
前記ミラーアクチュエータのミラーにレーザ光を供給するレーザ光源と、
目標領域から反射された前記レーザ光を受光する受光部と、
前記受光部からの出力に基づき前記目標領域における物体を検出する検出部と、
を備える、
ことを特徴とするレーザレーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの軸を回動軸としてミラーを回動させるミラーアクチュエータ、および、このミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置およびレーザレーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、目標領域の状況を監視するために、レーザレーダが用いられている。一般に、レーザレーダは、レーザ光を目標領域内でスキャンさせ、各スキャン位置における反射光の有無から、各スキャン位置における物体の有無を検出する。さらに、各スキャン位置におけるレーザ光の照射タイミングから反射光の受光タイミングまでの所要時間をもとに、物体までの距離が検出される。【０００３】
目標領域においてレーザ光を走査させるためのアクチュエータとして、たとえば、２つの軸を回動軸としてミラーを回動させるムービングコイル方式のミラーアクチュエータを用いることができる（特許文献１）。このミラーアクチュエータを用いる場合、レーザ光は、斜め方向からミラーに入射される。２つの軸を回動軸としてミラーが水平方向と鉛直方向に回動されると、目標領域内においてレーザ光が水平方向と鉛直方向に振られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１４６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記２つの軸を回動軸としてミラーを回動させるミラーアクチュエータの場合、一方のミラーの回動が、他方のミラーの回動に影響を及ぼし易い。たとえば、１つの方形状の枠部材に取り付けられたコイルと、その外側に配置された磁石によって、ミラーを２つの軸の方向に回動させる構成が取られ得る。このような場合、ミラーが一方に回動されると、これに伴って、ミラーを他方に回動するためのコイルも一体的に回動される。そうすると、枠部材に取り付けられたコイルと外側に配置された磁石との位置関係がずれ、一方のミラーの回動が、他方のミラーの回動に悪影響を及ぼす惧れがある。【０００６】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、一方にミラーを回動させつつ、安定的に他方にミラーを回動させることができるミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置およびレーザレーダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の局面はミラーアクチュエータに関する。第１の局面に係るミラーアクチュエータは、ベースと、第１回動軸について回動可能なように前記ベースに支持された第１回動部と、前記第１回動軸に垂直な第２回動軸について回動可能なように前記第１回動部に支持された第２回動部と、前記第２回動部に配されたミラーと、前記第１回動部を前記第１回動軸の周りに回動させる第１駆動部と、前記第２回動部を前記第２回動軸の周りに回動させる第２駆動部と、を備える。前記第２駆動部は、コイル部と、前記コイル部に磁界を付与する磁石部とを有し、前記コイル部と前記磁石部の一方が前記第１回動部に配置され、他方が前記第２回動部に配置される。【０００８】
本発明の第２の局面はビーム照射装置に関する。第２の局面にかかるビーム照射装置は、前記第１の局面に係るミラーアクチュエータと、前記ミラーアクチュエータのミラーにレーザ光を供給するレーザ光源と、を有する。【０００９】
本発明の第３の局面はレーザレーダに関する。第３の局面にかかるレーザレーダは、前記第１の局面に係るミラーアクチュエータと、前記ミラーアクチュエータのミラーにレーザ光を供給するレーザ光源と、目標領域から反射された前記レーザ光を受光する受光部と、前記受光部からの出力に基づき前記目標領域における物体を検出する検出部と、を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、一方にミラーを回動させつつ、安定的に他方にミラーを回動させることができるミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置およびレーザレーダを提供することができる。【００１１】
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態に係るミラーアクチュエータの分解斜視図を示す図である。
【図２】実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。
【図３】実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。
【図４】実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。
【図５】実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。
【図６】実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。
【図７】実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。
【図８】実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。
【図９】実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。
【図１０】実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。
【図１１】実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。
【図１２】実施の形態に係るミラーアクチュエータを示す図である。
【図１３】実施の形態に係るミラーアクチュエータの回動時の作用を示す図である。
【図１４】実施の形態に係るミラーアクチュエータの回動時のパンマグネットとパンコイルの位置関係を示す図である。
【図１５】実施の形態に係るミラーアクチュエータの回動時のパンマグネットとパンコイルの位置関係を示す図である。
【図１６】実施の形態に係るサーボ光学系の構成および作用を説明する図である。
【図１７】実施の形態に係るレーザレーダの回路構成を示す図である。
【図１８】変更例に係るミラーアクチュエータの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は、本実施の形態に係るミラーアクチュエータ１の分解斜視図である。図示の如く、ミラーアクチュエータ１は、インナーユニット１０と、アウターユニット２０を備えている。
【００１４】
図２は、ミラーアクチュエータ１のインナーユニット１０の分解斜視図である。図示の如く、インナーユニット１０は、インナーユニットフレーム１１と、パンシャフト１２と、パンマグネットユニット１３、１４と、チルトマグネットユニット１５、１６と、パンコイルユニット１７、１８と、サスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄを備えている。
【００１５】
図３（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、インナーユニットフレーム１１を上側および下側から見たときの斜視図である。
【００１６】
インナーユニットフレーム１１は、正面視において長方形の輪郭の枠部材からなっている。インナーユニットフレーム１１は、軽量な樹脂等で形成されている。また、インナーユニットフレーム１１は、左右対称な形状となっている。
【００１７】
インナーユニットフレーム１１の上側面には、パンマグネット１３１を装着するためのマグネット装着溝１１ａが設けられている。マグネット装着溝１１ａには、チルトマグネットホルダ１５２を固定するためのネジ穴１１ｂ、１１ｃが形成されている。同様に、インナーユニットフレーム１１の下側面には、パンマグネット１４１を装着するためのマグネット装着溝１１ｄが設けられており、マグネット装着溝１１ｄには、パンマグネットホルダ１４２を固定するためのネジ穴１１ｅ、１１ｆが形成されている。また、インナーユニットフレーム１１の左側面には、チルトマグネット１５１を装着するためのマグネット装着溝１１ｇが設けられている。マグネット装着溝１１ｇには、チルトマグネットホルダ１５２を固定するためのネジ穴１１ｈ、１１ｉが形成されている。同様に、インナーユニットフレーム１１の右側面にはチルトマグネット１６１を装着するためのマグネット装着溝１１ｊが設けられており、マグネット装着溝１１ｊには、チルトマグネットホルダ１６２を固定するためのネジ穴１１ｋ、１１ｌが形成されている。
【００１８】
また、インナーユニットフレーム１１には、左右に並ぶ軸孔１１ｍと、上下に並ぶ軸孔１１ｎが形成されている。軸孔１１ｍは、左右の側面の中心位置に配置され、軸孔１１ｎは、上下の側面の中心に配置されている。
【００１９】
さらに、インナーユニットフレーム１１の底面には、左端に鍔部１１ｑが設けられている。鍔部１１ｑの背面（下方向）には、凸部１１ｒが形成されている。同様に、インナーユニットフレーム１１の底面には、右端に鍔部１１ｓが設けられ、鍔部１１ｓの背面（下方向）には、凸部１１ｔが形成されている。
【００２０】
図４は、パンシャフト１２の構成を示す図である。図４（ａ）は、パンシャフト１２を前側から見た斜視図、図４（ｂ）は、パンシャフト１２を後側から見た斜視図である。
【００２１】
パンシャフト１２には、パンコイル１７１、１８１とＬＥＤ１２２を電気的に接続する導線を通すための孔１２ａと、ミラー１２３を嵌め込むための段部１２ｂが形成されている。また、パンシャフト１２内は、パンコイル１７１、１８１とＬＥＤ１２２を電気的に接続する導線を通すため、空洞となっている。また、パンシャフト１２の両端は、周面が、４カ所において、平面状に切欠かれた嵌合部１２ｃが形成され、この嵌合部１２ｃに端部１２ｄが続いている。なお、パンシャフト１２は、後述するように、ミラー１２３をＰａｎ方向に回動させる回転軸として利用される。
【００２２】
パンシャフト１２の裏側にはＬＥＤ１２２が装着されている。ＬＥＤ１２２は、拡散タイプ（広指向タイプ）であり、広い範囲に光を拡散させることができる。ＬＥＤ１２２からの拡散光は、後述するように、走査用のレーザ光の目標領域内での走査位置を検出するために利用される。ＬＥＤ１２２は、ＬＥＤ基板１２１に取り付けられている。ＬＥＤ基板１２１は、後方向から、パンシャフト１２に取り付けられる。
【００２３】
図５は、パンマグネットユニット１３の構成を示す図である。図５（ａ）は、パンマグネット１３１の構成を示す図、図５（ｂ）は、パンマグネットホルダ１３２の構成を示す図、図５（ｃ）は、パンマグネット１３１とパンマグネットホルダ１３２とが組み立てられた状態を示す図である。
【００２４】
パンマグネットユニット１３は、パンマグネット１３１と、パンマグネットホルダ１３２を備えている。パンマグネット１３１は、略円形形状であり、周方向に４つの領域に均等に分割されている。また、パンマグネット１３１は、ミラーアクチュエータ１が組み立てられた状態においてパンコイル１７１（図２参照）に電流を印加することにより、パンシャフト１２を軸とする回動力が生じるように極性と配置が調整されている。パンマグネット１３１は、隣り合う領域が互いに異なる極性を持っている。
【００２５】
パンマグネットホルダ１３２は、磁性体で構成されており、パンマグネット１３１に発生する磁界の作用を強める。パンマグネットホルダ１３２は、パンマグネット１３１に引きつけられて固定される。パンマグネットホルダ１３２に対するパンマグネット１３１の配置調整が完了した後、パンマグネットホルダ１３２に形成された４つの孔１３２ｃを介して接着剤が流入され、パンマグネット１３１がパンマグネットホルダ１３２に接着固定される。また、パンマグネットホルダ１３２は、インナーユニットフレーム１１に固定するためのネジ孔１３２ａ、１３２ｂが形成されている。
【００２６】
パンマグネットユニット１４は、パンマグネットユニット１３と同様にして構成され、パンマグネット１４１と、パンマグネットホルダ１４２を備えている（図２参照）。パンマグネットホルダ１４２にも、ネジ孔１４２ａ、１４２ｂが形成されている。
【００２７】
チルトマグネットユニット１５も、パンマグネットユニット１３と同様の構成を有する（図２参照）。チルトマグネットユニット１５は、チルトマグネット１５１と、チルトマグネットホルダ１５２とを備えている。チルトマグネット１５１は、略円形形状であり、４つの領域に均等に分割されている。また、チルトマグネット１５１は、ミラーアクチュエータ１が組み立てられた状態においてチルトコイル２２１（図１０（ｂ）参照）に電流を印加することにより、チルトシャフト２５（図１参照）を軸とする回動力が生じるように極性と配置が調整される。チルトマグネット１５１は、隣り合う領域が互いに異なる極性を持っている。
【００２８】
チルトマグネットホルダ１５２は、磁性体で構成されており、チルトマグネット１５１に発生する磁界の作用を強める。チルトマグネットホルダ１５２は、チルトマグネット１５１に引きつけられて固定される。チルトマグネットホルダ１５２に対するチルトマグネット１５１の配置調整が完了した後、チルトマグネットホルダ１５２に形成された４つの孔を介して接着材が流入され、チルトマグネット１５１がチルトマグネットホルダ１５２に接着固定される。また、チルトマグネットホルダ１５２は、インナーユニットフレーム１１に固定するためのネジ孔１５２ａ、１５２ｂが形成されている。
【００２９】
チルトマグネットユニット１６は、チルトマグネットユニット１５と同様にして構成され、チルトマグネット１６１と、チルトマグネットホルダ１６２とを備えている。チルトマグネットホルダ１６２にも、ネジ孔１６２ａ、１６２ｂが形成されている。
【００３０】
図６は、パンコイルユニット１７の構成を示す図である。図６（ａ）は、パンコイルユニット１７を下側から見たときの分解斜視図、図６（ｂ）は、パンコイルホルダ１７２を上側から見たときの斜視図、図６（ｃ）は、パンコイルユニット１７を上側から見たときの斜視図である。なお、パンコイルユニット１８の構成はパンコイルユニット１７と略同じであるため、図６には、パンコイルユニット１７の各部の番号とともに、これらに対応するパンコイルユニット１８の各部の番号が付されている。ここでは、便宜上、パンコイルユニット１７について説明する。
【００３１】
図６（ａ）を参照して、パンコイルユニット１７は、パンコイル１７１と、パンコイルホルダ１７２と、ヨーク１７３と、サスペンションワイヤー固定基板１７４を備えている。
【００３２】
パンコイルホルダ１７２は、樹脂材料からなっている。パンコイルホルダ１７２には、４つのパンコイル装着部１７２ａが設けられている。パンコイル装着部１７２ａは、上下に貫通する略扇形の開口の周りに壁が形成された構成となっている。これら４つのパンコイル装着部１７２ａには、それぞれ、パンコイル１７１が壁に沿って巻回されるようにして固着される。４つのパンコイル１７１は、略扇形の同じ形状を有している。４つのパンコイル１７１が、それぞれ、対応するパンコイル装着部１７２ａに装着されると、パンコイル１７１全体の輪郭は、平面視において略円形形状になる。この状態で、４つのパンコイル１７１は、扇形の辺が互いに隣接するように、円周方向に均等に並ぶ。４つのパンコイル１７１は、一続きとなっており、ミラーアクチュエータ１が組み立てられた状態において電流を流入することにより、それぞれのパンコイル１７１に同じ回転方向の電磁駆動力が発生するよう、巻き方向が調整されている。
【００３３】
また、パンコイルホルダ１７２の中央には、パンシャフト１２の端部を通すための軸孔１７２ｂが設けられている。軸孔１７２ｂは、パンシャフト１２の嵌合部１２ｃと嵌合するよう、平面視において正方形の頂角が丸みを帯びた形状の輪郭を有している。また、ヨーク１７３の中央には、パンシャフト１２の端部１２ｄを通すための軸孔１７３ａが設けられている。ヨーク１７３は、対向するパンマグネット１３１の磁界の作用を強める。
【００３４】
また、パンコイルホルダ１７２の隅は台状に盛り上がっており、この部分に、サスペンションワイヤー１９ａ、１９ｂを通すための２つのワイヤー孔１７２ｃと、サスペンションワイヤー１９ｃ、１９ｄを通すための２つのワイヤー孔１７２ｄが形成されている。ワイヤー孔１７２ｃ、１７２ｄは、上下に貫通している。サスペンションワイヤー固定基板１７４は、長方形の薄板形状を有している。
【００３５】
サスペンションワイヤー固定基板１７４は、ガラスエポキシ樹脂からなっている。サスペンションワイヤー固定基板１７４には、ワイヤー孔１７２ｃ、１７２ｄに対応する位置に、サスペンションワイヤー１９ａ、１９ｂを通すための２つの端子穴１７４ｂと、サスペンションワイヤー１９ｃ、１９ｄを通すための２つの端子穴１７４ｃが形成されている。端子穴１７４ｂ、１７４ｃは、上下に貫通している。また、図６（ｃ）に示すように、サスペンションワイヤー固定基板１７４上面の端子穴１７４ｂ、１７４ｃの周りには、半田を載せるための凹部が形成されている。
【００３６】
また、パンコイルホルダ１７２の上面には、図６（ｂ）に示すように、円柱状の凸部１７２ｅ、１７２ｆが形成されている。ヨーク１７３には、凸部１７２ｅに対応する位置に、２つの孔１７３ｂが形成されている。凸部１７２ｅに孔１７３ｂが通されることにより、ヨーク１７３がパンコイルホルダ１７２に位置決めされる。この状態で、ヨーク１７３がパンコイルホルダ１７２の上面に接着固定される。
【００３７】
サスペンションワイヤー固定基板１７４には、凸部１７２ｆに対応する位置に、２つの孔１７４ａが形成されている。サスペンションワイヤー固定基板１７４は、凸部１７２ｆに孔１７４ａが通されることにより、パンコイルホルダ１７２に対して位置決めされる。この状態で、サスペンションワイヤー固定基板１７４が、パンコイルホルダ１７２の上面に接着固定される。これにより、図６（ｃ）に示すパンコイルユニット１７が完成する。
【００３８】
この状態で、パンコイルホルダ１７２の軸孔１７２ｂの位置は、ヨーク１７３の軸孔１７３ａの位置に合わされる。また、パンコイルホルダ１７２のワイヤー孔１７２ｃの位置は、サスペンションワイヤー固定基板１７４の端子穴１７４ｂの位置に合わされ、パンコイルホルダ１７２のワイヤー孔１７２ｄの位置は、サスペンションワイヤー固定基板１７４の端子穴１７４ｃの位置に合わされる。
【００３９】
パンコイルユニット１８は、パンコイルユニット１７と略同様にして構成されている。ただし、パンコイルユニット１８のサスペンションワイヤー固定基板１８４には、サスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄが通されないため、パンコイルホルダ１８２にはワイヤー孔が設けられておらず、また、サスペンションワイヤー固定基板１８４には端子穴が設けられない。
【００４０】
図２に戻り、サスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄは、りん青銅、ベリリウム銅等からなり、導電性に優れ、ばね性を有する。サスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄは、断面が円形状となっている。サスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄは、互いに同じ形状および特性を持ち、パンコイル１７１、１８１とＬＥＤ１２２への電流供給と、ミラー１２３のＰａｎ方向の回動時において、安定した負荷を与えるために利用される。なお、サスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄは、長手方向に力が加えられたとしても、略伸縮することはない。
【００４１】
図７は、サスペンションワイヤー固定基板１９１、１９２の構成を示す図である。図７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、サスペンションワイヤー固定基板１９１を上側および下側から見たときの斜視図である。図７（ｃ）、（ｄ）は、それぞれ、サスペンションワイヤー固定基板１９２を上側および下側から見たときの斜視図である。
【００４２】
図７（ａ）を参照して、サスペンションワイヤー固定基板１９１は、ガラスエポキシ樹脂等からなる回路基板であり、可撓性を有している。サスペンションワイヤー固定基板１９１には、サスペンションワイヤー１９ａ、１９ｂを通すための２つの端子穴１９１ａと、サスペンションワイヤー２７ａ、２７ｂを通すための２つの端子穴１９１ｂが形成されている。また、サスペンションワイヤー固定基板１９１には、端子穴１９１ａと、端子穴１９１ｂを電気的に接続するための回路パターン１９１ｃが形成されている。
【００４３】
また、サスペンションワイヤー固定基板１９１には、孔１９１ｄが形成されている。サスペンションワイヤー固定基板１９１は、インナーユニットフレーム１１の底面に形成された凸部１１ｒ（図３（ｂ）参照）に孔１９１ｄが通されて、インナーユニットフレーム１１の底面に接着固定される。
【００４４】
サスペンションワイヤー固定基板１９２は、サスペンションワイヤー固定基板１９１と左右対称に構成されている。図７（ｃ）、（ｄ）を参照して、サスペンションワイヤー固定基板１９２には、２つの端子穴１９２ａと、２つの端子穴１９２ｂと、回路パターン１９２ｃと、孔１９２ｄが形成されている。サスペンションワイヤー固定基板１９２は、インナーユニットフレーム１１の底面に形成された凸部１１ｔ（図３（ｂ）参照）に孔１９２ｄが通されて、インナーユニットフレーム１１の底面に接着固定される。
【００４５】
図２を参照して、インナーユニット１０の組立時には、まず、パンシャフト１２が、軸孔１１ｎに通され、インナーユニットフレーム１１内に収容される。そして、パンシャフト１２の段部１２ｂにミラー１２３が嵌め込まれ、パンシャフト１２の両端の軸に軸受け１１ｐが取り付けられる。そして、この状態で、２つの軸受け１１ｐが、インナーユニットフレーム１１に形成された軸孔１１ｎに嵌め込まれる。また、チルトシャフト２５、２６のための２つの軸受け１１ｏが、インナーユニットフレーム１１に形成された軸孔１１ｍに嵌め込まれる。これにより、図８（ａ）に示す組立体が完成する。なお、図８（ａ）〜（ｄ）では、便宜上、ミラー１２３が図示省略されている。また、図８（ａ）の状態において、インナーユニットフレーム１１の下面には、上記のように、サスペンションワイヤー固定基板１９１、１９２が装着されている。
【００４６】
その後、図８（ｂ）のように、パンマグネットホルダ１３２が、インナーユニットフレーム１１のマグネット装着溝１１ａに嵌め込まれ、ネジ孔１３２ａ、１３２ｂと、ネジ穴１１ｂ、１１ｃが合わされる。この状態で、ネジ孔１３２ａ、１３２ｂを介してネジ１３ａ、１３ｂがネジ穴１１ｂ、１１ｃに螺着される。これにより、パンマグネットユニット１３がインナーユニットフレーム１１に固着される。同様にして、パンマグネットユニット１４が、ネジ１４ａ、１４ｂによりインナーユニットフレーム１１に固着される。
【００４７】
そして、図８（ｃ）に示すように、チルトマグネットホルダ１６２が、インナーユニットフレーム１１のマグネット装着溝１１ｊに嵌め込まれ、ネジ孔１６２ａ、１６２ｂと、ネジ穴１１ｋ、１１ｌが合わされる。この状態で、ネジ孔１６２ａ、１６２ｂを介してネジ１６ａ、１６ｂがネジ穴１１ｋ、１１ｌに螺着される。これにより、チルトマグネットユニット１６がインナーユニットフレーム１１に固着される。同様にして、チルトマグネットユニット１５が、ネジ１５ａ、１５ｂによりインナーユニットフレーム１１に固着される。
【００４８】
次に、パンコイルユニット１７、１８が、パンシャフト１２両端の嵌合部１２ｃに通されて、パンコイルユニット１７、１８が、それぞれ、パンシャフト１２の両端に装着される。これにより、図８（ｄ）の組立体が完成する。そして、パンシャフト１２両端の端部１２ｄに、それぞれ、ナット１２４、１２５が装着され、パンコイルユニット１７、１８が、それぞれ、パンシャフト１２の両端に固着される。これにより、パンコイルユニット１７、１８が、パンシャフト１２と一体的に回動可能となる。
【００４９】
この状態で、サスペンションワイヤー固定基板１７４の端子穴１７４ｂが、サスペンションワイヤー固定基板１９１の端子穴１９１ａに対向し、サスペンションワイヤー固定基板１７４の端子穴１７４ｃが、サスペンションワイヤー固定基板１９２の端子穴１９２ａに対向する。そして、サスペンションワイヤー１９ａ、１９ｂが、サスペンションワイヤー固定基板１７４の端子穴１７４ｂと、パンコイルホルダ１７２のワイヤー孔１７２ｃを介して、サスペンションワイヤー固定基板１９１の端子穴１９１ａに通される。同様に、サスペンションワイヤー固定基板１７４の端子穴１７４ｃと、パンコイルホルダ１７２のワイヤー孔１７２ｄを介して、サスペンションワイヤー固定基板１９２の端子穴１９２ａに通される。サスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄは、それぞれ、パンコイル１７１、１８１と、ＬＥＤ１２２に電流を供給するための導線とともにサスペンションワイヤー固定基板１７４、１９１、１９２に半田付けられる。
【００５０】
これにより、図９に示すように、インナーユニット１０の組立が完了する。図９（ａ）は、組み立てられたインナーユニット１０を前側から見た斜視図であり、図９（ｂ）は、組み立てられたインナーユニット１０を後側から見た斜視図である。この状態で、ミラー１２３は、パンシャフト１２の周りにＰａｎ方向に回動可能となる。なお、パンコイルユニット１７、１８は、ミラー１２３のＰａｎ方向の回動に伴って、Ｐａｎ方向に回動する。他方、サスペンションワイヤー固定基板１９１、１９２は、インナーユニット１０の下面に固着されているため、ミラー１２３のＰａｎ方向の回動に伴って、Ｐａｎ方向に回動しない。
【００５１】
図１に戻り、アウターユニット２０は、アクチュエータフレーム２１と、チルトコイルユニット２２、２３と、サーボユニット２４と、チルトシャフト２５、２６と、サスペンションワイヤー２７ａ〜２７ｄとを備えている。
【００５２】
図１０を参照して、アクチュエータフレーム２１は、前方が開いた枠部材からなっている。アクチュエータフレーム２１の左右の側面の中央には、チルトシャフト２５、２６を通すための軸孔２１ａ、２１ｄが形成されている。また、アクチュエータフレーム２１の左右の側面には、チルトコイルユニット２２、２３を固定するためのネジ穴２１ｂ、２１ｃ、２１ｅ、２１ｆが形成されている。また、アクチュエータフレーム２１の後側面には、サーボユニット２４のピンホール箱２４４を通すための開口２１ｇと、サーボユニット２４を固定するためのネジ穴２１ｈ、２１ｉが形成されている。
【００５３】
図１０（ｂ）は、チルトコイルユニット２２の構成を示す図である。なお、チルトコイルユニット２３の構成はチルトコイルユニット２２と同じであるため、図１０には、チルトコイルユニット２２の各部の番号とともに、これらに対応するチルトコイルユニット２３の各部の番号が付されている。ここでは、便宜上、チルトコイルユニット２３について説明する。
【００５４】
図１０（ｂ）を参照して、チルトコイルユニット２２は、チルトコイル２２１と、チルトコイルホルダ２２２とを備えている。
【００５５】
チルトコイルホルダ２２２は、樹脂材料からなっている。チルトコイルホルダ２２２には、４つのチルトコイル装着部２２２ａが設けられている。チルトコイル装着部２２２ａは、上下に貫通する略扇形の開口の周りに壁が形成された構成となっている。これら４つのチルトコイル装着部２２２ａには、それぞれ、チルトコイル２２１が壁に沿って巻回されるようにして固着される。４つのチルトコイル２２１は、略扇形の同じ形状を有している。４つのチルトコイル２２１が、それぞれ、対応するチルトコイル装着部２２２ａに装着されると、チルトコイル２２１全体の輪郭は、平面視において略円形形状になる。この状態で、４つのチルトコイル２２１は、扇形の辺が互いに隣接するように、円周方向に均等に並ぶ。４つのチルトコイル２２１は、一続きとなっており、ミラーアクチュエータ１が組み立てられた状態において電流を流入することによりそれぞれのチルトコイル２２１とチルトマグネットユニット１５との間に同じ回転方向の電磁駆動力が発生するよう、巻き方向が調整されている。
【００５６】
チルトコイルホルダ２２２の中央には、チルトシャフト２５を通すための円形の軸孔２２２ｂが設けられている。また、チルトコイルホルダ２２２の両端には、アクチュエータフレーム２１に固定するためのネジ孔２２２ｃ、２２２ｄが形成されている。
【００５７】
チルトコイルユニット２３は、チルトコイルユニット２２と同様にして構成されている。ここでは、各部の詳細な説明は省略する。
【００５８】
また、図１０（ｃ）を参照して、サーボユニット２４は、ＰＳＤ基板２４１と、ＰＳＤ２４２と、バンドパスフィルタ２４３と、ピンホール箱２４４とを備えている。
【００５９】
ＰＳＤ基板２４１には、ＰＳＤ基板２４１をアクチュエータフレーム２１に固定するための２つのネジ孔２４１ａ、２４１ｂが形成されている。ＰＳＤ基板２４１の背面には、サスペンションワイヤー２７ａ、２７ｂを通すための２つの端子穴２４１ｃ（図１０（ｃ）には図示せず。図１２（ｂ）参照）が形成されている。また、ＰＳＤ基板２４１の背面には、サスペンションワイヤー２７ｃ、２７ｄを通すための２つの端子穴２４１ｄ（図１０（ｃ）には図示せず。図１２（ｂ）参照）が形成されている。ＰＳＤ基板２４１には、ＰＳＤ２４２が装着されている。ＰＳＤ２４２は、サーボ光の受光位置に応じた信号を出力する。
【００６０】
バンドパスフィルタ２４３は、ＬＥＤ１２２から出射される波長帯域の光のみを透過し、それ以外の波長帯域の迷光を除去する。バンドパスフィルタ２４３は、ＰＳＤ２４２の表面に取り付けられ、接着固定される。
【００６１】
ピンホール箱２４４は、図１０（ｄ）に示すように、内部が空洞となっており、中央にピンホール２４４ａが形成されている。ピンホール２４４ａは、ＬＥＤ１２２から出射された拡散光のうち、一部の光を透過させる。ピンホール箱２４４は、遮光性のある物質からなり、ピンホール２４４ａを透過する光以外の迷光が、ＰＳＤ２４２に入射することを防ぐ。ピンホール箱２４４は、ＰＳＤ基板２４１に取り付けられ、接着固定される。
【００６２】
図１０（ａ）に戻り、アウターユニット２０の組立時には、まず、チルトコイルユニット２２、２３が、アクチュエータフレーム２１の左右側面に取り付けられる。この状態で、ネジ孔２２２ｃ、２２２ｄを介して、ネジ２２ａ、２２ｂをネジ穴２１ｂ、２１ｃに螺着する。これにより、チルトコイルユニット２２がアクチュエータフレーム２１に固着される。同様に、ネジ孔２３２ｃ、２３２ｄを介して、ネジ２３ａ、２３ｂをネジ穴２１ｅ、２１ｆに螺着する。これにより、チルトコイルユニット２３がアクチュエータフレーム２１に固着される。
【００６３】
次に、ＰＳＤ基板２４１が、アクチュエータフレーム２１の背面に取り付けられる。この状態で、ネジ孔２４１ａ、２４１ｂを介して、ネジ２４ａ、２４ｂをネジ穴２１ｈ、２１ｉに螺着する。これにより、サーボユニット２４がアクチュエータフレーム２１に固着される。こうして、図１に示す構成体が組み立てられる。
【００６４】
図１１（ａ）は、チルトシャフト２５と、磁気バネ用マグネットホルダ２５１と、磁気バネ用マグネット２５２の構成を示す分解斜視図、図１１（ｂ）は、これらが組み合わされた状態を示す斜視図である。なお、チルトシャフト２５、磁気バネ用マグネットホルダ２５１および磁気バネ用マグネット２５２の構成は、チルトシャフト２５、磁気バネ用マグネットホルダ２５１および磁気バネ用マグネット２５２の構成と同じであるため、図１１には、便宜上、チルトシャフト２６、磁気バネ用マグネットホルダ２６１および磁気バネ用マグネット２６２の対応する各部の番号が付されている。
【００６５】
チルトシャフト２５は、アクチュエータフレーム２１の軸孔２１ａの径よりもやや小さい段部２５ａと、インナーユニットフレーム１１の軸受け１１ｏの径よりもやや小さい段部２５ｂと、磁気バネ用マグネットホルダ２５１の径よりもやや小さい段部２５ｃが形成されている。
【００６６】
磁気バネ用マグネットホルダ２５１は、力が加えられても変形しないよう、固い素材（たとえば、樹脂材料）で構成されている。磁気バネ用マグネットホルダ２５１には、円柱状の胴部２５１ａと、胴部２５１ａの底面に形成された鍔部２５１ｂと、胴部２５１ａの中心を貫通する円形の孔２５１ｃが形成されている。孔２５１ｃの径は、チルトシャフト２５の段部２５ｃの径と略同じである。
【００６７】
磁気バネ用マグネット２５２は、円板形状を有し、中央に円形の孔２５２ａが形成されている。孔２５２ａの径は、磁気バネ用マグネットホルダ２５１の胴部２５１ａの径よりもやや大きい。磁気バネ用マグネット２５２は、周方向に４つの領域に均等に分割されており、図１２に示す組立状態において、チルトマグネット１５１（図２参照）と対向して、互いに引き付けあうように、各領域の極性が調整されている。図１２に示す組立状態において、磁気バネ用マグネット２５２の領域分割の位置は、チルトマグネット１５１（図５（ａ）参照）の領域分割の位置と対応するように配置される。
【００６８】
磁気バネ用マグネット２５２は、孔２５２ａが胴部２５１ａに嵌め込まれ、底面が鍔部２５１ｂに載置された状態で、磁気バネ用マグネットホルダ２５１に接着固定される。さらに、磁気バネ用マグネットホルダ２５１の孔２５１ｃがチルトシャフト２５の段部２５ｃに圧入され、段部２５ｃの先端が胴部２５１ａの上面に接着される。図１１（ｂ）は、磁気バネ用マグネット２５２と、磁気バネ用マグネットホルダ２５１と、チルトシャフト２５が一体化された状態を示している。ただし、実際の組立時には、磁気バネ用マグネットホルダ２５１とチルトシャフト２５との間に、アウターユニット２０のアクチュエータフレーム２１と、チルトコイルユニット２２が介在する。
【００６９】
チルトシャフト２６は、チルトシャフト２５と同様にして構成されている。磁気バネ用マグネットホルダ２６１は、磁気バネ用マグネットホルダ２５１と同様にして構成されている。磁気バネ用マグネット２６２は、磁気バネ用マグネット２５２と同様にして構成されている。チルトシャフト２６と、磁気バネ用マグネットホルダ２６１と、磁気バネ用マグネット２６２も、上記と同様にして一体化される。
【００７０】
図１に戻り、サスペンションワイヤー２７ａ〜２７ｄは、りん青銅、ベリリウム銅等からなり、導電性に優れ、ばね性を有する。サスペンションワイヤー２７ａ〜２７ｄは、断面が矩形状となっている。サスペンションワイヤー２７ａ〜２７ｄは、互いに同じ形状および特性を持ち、パンコイル１７１、１８１とＬＥＤ１２２への電流供給のために利用される。サスペンションワイヤー２７ａ〜２７ｄは、通常の状態において、後方に湾曲した形状を有している。
【００７１】
インナーユニット１０とアウターユニット２０の組立時には、まず、インナーユニット１０が、アウターユニット２０内に収容される。左から、チルトシャフト２５の段部２５ａがアクチュエータフレーム２１の軸孔２１ａに通され、段部２５ｂが、インナーユニットフレーム１１の軸受け１１ｏに通される。その後、磁気バネ用マグネットホルダ２５１が、チルトシャフト２５の段部２５ｃに通され、接着固定される。
【００７２】
また、同様にして、右から、チルトシャフト２６の段部２６ａがアクチュエータフレーム２１の軸孔２１ｄに通され、段部２６ｂが、インナーユニットフレーム１１の軸受け１１ｏに通される。そして、磁気バネ用マグネットホルダ２６１が、チルトシャフト２６の段部２６ｃに通され、接着固定される。
【００７３】
この状態で、チルトシャフト２５、２６が回動され、磁気バネ用マグネット２５２、２６２の回転方向の位置が調整される。具体的には、インナーユニット１０が鉛直方向に直立した状態で、磁気バネ用マグネット２５２、２６２の各磁極領域が、チルトマグネット１５１、１６１の対応する磁極領域に正対向する位置に、磁気バネ用マグネット２５２、２６２の位置が調整される。かかる調整が終了した後、チルトシャフト２５、２６が、アクチュエータフレーム２１に接着固定される。
【００７４】
これにより、インナーユニットフレーム１１がＴｉｌｔ方向に回動しても、チルトシャフト２５、２６と磁気バネ用マグネット２５２、２６２は、回動しないよう固定される。他方、チルトマグネット１５１、１６１は、インナーユニットフレーム１１と一体となって回動する。
【００７５】
インナーユニットフレーム１１が回動していないとき、磁気バネ用マグネット２５２、２６２の各領域の境界の位置と、チルトマグネット１５１、１６１の各領域の境界の位置は一致している。また、磁気バネ用マグネット２５２、２６２の各領域の極性は、対向するチルトマグネット１５１、１６１の各領域の極性と異なっている。したがって、チルトマグネット１５１、１６１は、それぞれ、右方向、左方向に引き付けられ、これにより、インナーユニットフレーム１１に右方向および左方向の力が働く。これら２つの力は、互いに釣り合っている。このため、インナーユニットフレーム１１は左右何れか一方の方向に付勢されることなく、アウターフレーム２１に支持された状態にある。
【００７６】
こうして、インナーユニット１０がアウターユニット２０に回動可能に取り付けられると、図１２（ｂ）に示すように、サスペンションワイヤー２７ａ、２７ｂの一端が、サスペンションワイヤー固定基板１９１の端子穴１９１ｂに通され、半田付けられる。また、サスペンションワイヤー２７ａ、２７ｂの他端が、ＰＳＤ基板２４１の２つの端子穴２４１ｃに通され、半田付けられる。
【００７７】
同様に、サスペンションワイヤー２７ｃ、２７ｄの一端が、サスペンションワイヤー固定基板１９２の端子穴１９２ｂに通され、半田付けられる。また、サスペンションワイヤー２７ｃ、２７ｄの他端が、ＰＳＤ基板２４１の２つの端子穴２４１ｄに通され、半田付けられる。サスペンションワイヤー２７ａ〜２７ｄは、図１２（ａ）のようにミラー１２３のミラー面が水平方向に対して垂直であるときに、通常の状態から略変形することなく端子穴１９１ｂ、１９２ｂと、端子穴２４１ｃ、２４１ｄとを繋ぐように、後方に湾曲した形状を有する。これにより、サスペンションワイヤー２７ａ〜２７ｄは、インナーユニットフレーム１１に極力、不要な力を加えずに、インナーユニットフレーム１１がＴｉｌｔ方向に回動するときに必要な長さを有することできる。また、サスペンションワイヤー２７ａ〜２７ｄにより、インナーユニットフレーム１１に取り付けられたパンコイル１７１、１８１、およびＬＥＤ１２２に対して、電流が供給される。
【００７８】
また、図示しないが、チルトコイル２２１、２３１には、ＰＳＤ基板２４１から、導線が直接接続され、電流が供給される。なお、チルトコイル２２１、２３１は、回動しないアクチュエータフレーム２１に取り付けられているため、導線が直接接続されたとしても、ミラー１２３の回動には、影響しない。
【００７９】
こうして、ミラーアクチュエータ１の組立が完了する。図１２（ａ）は、ミラーアクチュエータ１を前方から見た斜視図、図１２（ｂ）は、ミラーアクチュエータ１を後方から見た斜視図である。この状態で、インナーユニットフレーム１１は、チルトシャフト２５、２６の周りにＴｉｌｔ方向に回動可能となる。なお、パンコイルユニット１７、１８とサスペンションワイヤー固定基板１９１、１９２は、インナーユニットフレーム１１のＴｉｌｔ方向の回動に伴って、Ｔｉｌｔ方向に回動する。
【００８０】
図１２に示すアセンブル状態において、パンコイル１７１、１８１に電流を流すと、パンコイル１７１、１８１と、パンマグネット１３１、１４１に生じる電磁駆動力によってパンコイルユニット１７、１８とともにパンシャフト１２が回動し、これにより、ミラー１２３が、パンシャフト１２を軸としてＰａｎ方向に回動する。
【００８１】
ミラー１２３がＰａｎ方向に回動すると、パンコイルユニット１７、１８は一体的に回動し、サスペンションワイヤー固定基板１９１、１９２は回動しない。したがって、サスペンションワイヤー１９ａ、１９ｂと、サスペンションワイヤー１９ｃ、１９ｄは、それぞれ、長手方向に引っ張られながら、パンシャフト１２を中心として、ねじれの位置に位置付けられる。このとき、サスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄは、長手方向に伸縮しないため、可撓性を有するサスペンションワイヤー固定基板１９１、１９２が上方向に引っ張られる。こうすると、サスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄとサスペンションワイヤー固定基板１９１、１９２のばね性により、パンシャフト１２を中心とした、ミラー１２３のＰａｎ方向の回動方向と逆向きのトルクが発生する。このモーメントは、サスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄとサスペンションワイヤー固定基板１９１、１９２のばね定数とパンシャフト１２を中心としたミラー１２３の回動位置とによって算出可能な所定の値となる。このように、ミラー１２３がＰａｎ方向に回動した状態では、常に逆向きのトルクが発生するため、パンコイル１７１、１８１への電流の印加を中止すると、ミラー１２３は、回動前の位置に戻される。
【００８２】
図１２に示すアセンブル状態において、チルトコイル２２１、２３１に電流を流すと、チルトコイル２２１、２３１と、チルトマグネット１５１、１６１に生じる電磁駆動力によってパンコイルユニット１７、１８とともにインナーユニットフレーム１１がチルトシャフト２５、２６を軸とするチルト方向に回動し、これにより、ミラー１２３が、チルト方向に回動する。
【００８３】
インナーユニットフレーム１１がＴｉｌｔ方向に回動すると、チルトマグネット１５１は、インナーユニットフレーム１１に伴って回動するが、磁気バネ用マグネット２５２は、チルトシャフト２５に固定されているため、回動しない。このため、チルトマグネット１５１の領域分割の位置と、磁気バネ用マグネット２５２の領域分割の位置が周方向にずれる。これにより、チルトマグネット１５１のＮ極の領域の一部が、磁気バネ用マグネット２５２のＮ極の領域の一部に向かい合い、チルトマグネット１５１のＳ極の領域の一部が、磁気バネ用マグネット２５２のＳ極の領域の一部に向かい合う。このため、チルトマグネット１５１の各領域に、チルトマグネット１５１を回動前の位置に引き戻す磁力が発生する。これにより、インナーユニットフレーム１１に、チルト中立位置へと向かうトルク（抗力）が加わる。このトルク（抗力）は、チルトマグネット１５１と磁気バネ用マグネット２５２の間に発生する磁力の強さと、インナーユニットフレーム１１の回動位置とによって算出可能な所定の値となる。
【００８４】
このように、ミラー１２３がインナーユニットフレーム１１と一体になってチルト中立位置から回動すると、常に逆向きのトルクが発生するため、チルトコイル２２１、２３１への電流の印加を中止すると、ミラー１２３は、チルト中立位置に戻される。
【００８５】
図１３（ａ）は、ミラー１２３が回動していないときのパンマグネット１３１とパンコイル１７１の周辺を示した一部拡大図である。図１３（ｂ）は、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動したときのパンマグネット１３１とパンコイル１７１の周辺を示した一部拡大図である。図１３（ｃ）、図１３（ｄ）には、アクチュエータフレーム２１がインナーユニットフレーム１１の上部まで延び、アクチュエータフレーム２１の上部にパンマグネット１３１が固定されている場合の比較例が示されている。図１３（ｃ）は、ミラー１２３が回動していないときの比較例のパンマグネット１３１とパンコイル１７１の周辺を示した一部拡大図である。図１３（ｄ）は、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動したときの比較例のパンマグネット１３１とパンコイル１７１の周辺を示した一部拡大図である。なお、パンマグネット１４１とパンコイル１８１も、以下と同様の関係となるが、ここでは、パンマグネット１３１とパンコイル１７１の関係のみについて説明する。
【００８６】
図１３（ａ）を参照して、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動していない場合、インナーユニットフレーム１１に取り付けられたパンマグネット１３１と、パンシャフト１２に取り付けられたパンコイル１７１は、所定の隙間をおいて互いに平行となるように、上下方向に並んでいる。したがって、パンマグネット１３１とパンコイル１７１間の距離は略一定である。また、パンマグネット１３１とパンコイル１７１の中心は一致している。
【００８７】
図１３（ｂ）に示すように、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動すると、パンマグネット１３１とパンコイル１７１は、インナーユニットフレーム１１と一体的に回動する。したがって、パンマグネット１３１とパンコイル１７１は、互いに平行に並んだ状態で、水平面から傾く。よって、インナーユニットフレーム１１がＴｉｌｔ方向に回動しても、パンマグネット１３１とパンコイル１７１との間の距離は、回動前と同じく略一定である。また、パンマグネット１３１とパンコイル１７１の中心も一致したままである。したがって、インナーユニットフレーム１１がＴｉｌｔ方向に回動しても、パンコイル１７１には、回動前と同じく、安定した磁界が供給される。このため、インナーユニットフレーム１１がＴｉｌｔ方向に回動しても、ミラー１２３をＰａｎ方向に適正に回動させることができる。
【００８８】
他方、図１３（ｃ）に示す比較例の場合、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動していないとき、図１３（ａ）と同様に、パンマグネット１３１とパンコイル１７１は、所定の隙間をおいて互いに平行となるように、上下方向に並んでいる。したがって、パンマグネット１３１とパンコイル１７１間の距離は略一定である。また、パンマグネット１３１とパンコイル１７１の中心は一致している。
【００８９】
しかしながら、図１３（ｄ）に示すように、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動すると、パンコイル１７１は、インナーユニットフレーム１１と一体的に回動し、パンマグネット１３１は、アクチュエータフレーム２１に固定されているため、回動しない。したがって、パンコイル１７１のみが、水平面からに傾く。よって、インナーユニットフレーム１１がＴｉｌｔ方向に回動した状態では、パンマグネット１３１とパンコイル１７１間の距離は、前から後に向かって、大きくなる。また、パンコイル１７１の中心は、パンマグネット１３１の中心より右側にずれた位置に位置付けられる。
【００９０】
このように、比較例の場合、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動すると、パンマグネット１３１とパンコイル１７１間の距離が、前から後に向かって、大きくなっているため、電磁駆動力の強さが、前方向と後方向とで異なり、パンコイル１７１に供給される磁界が不安定となる。したがって、比較例の場合、インナーユニットフレーム１１をＴｉｌｔ方向に回動させた状態において、ミラー１２３をＰａｎ方向に回動させると、ミラー１２３の回動が不安定となってしまう。
【００９１】
上記のように、本実施の形態では、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動しても、パンマグネット１３１、１４１とパンコイル１７１、１８１の距離は、変わらない。したがって、インナーユニットフレーム１１がＴｉｌｔ方向にどのように回動しても、パンマグネット１３１、１４１とパンコイル１７１、１８１に生じる電磁駆動力の強さも変わらない。
【００９２】
図１４（ａ）、（ｂ）は、図１３（ｂ）に示すようにミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動したときの上方向から見たパンマグネット１３１とパンコイル１７１の位置関係を模式的に示す図である。図１４（ｃ）、（ｄ）は、図１３（ｄ）に示す比較例の場合において、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動したときの上方向から見たパンマグネット１３１とパンコイル１７１の位置関係を模式的に示す図である。なお、パンマグネット１４１とパンコイル１８１も、以下と同様の関係となるが、ここでは、パンマグネット１３１とパンコイル１７１の関係のみについて説明する。
【００９３】
図１４（ａ）を参照して、ミラー１２３がＰａｎ方向に回動していないとき、パンマグネット１３１の中心の位置とパンコイル１７１の中心の位置は、共にパンシャフト１２であり、一致している。この場合において、パンコイル１７１の直線部分１７１ａ、１７１ｂは、共に、パンマグネット１３１のＳ極のみに対向している。この状態でパンコイル１７１に電流が流入され、これにより、直線部分１７１ａ、１７１ｂに同じ方向に電流が流れると、直線部分１７１ａ、１７１ｂには、同じ方向に、均等な駆動力が励起される。この駆動力によって、パンコイル１７１がＰａｎ方向に回動し、図１４（ｂ）に示す状態となる。
【００９４】
図１４（ｂ）に示した状態においても、パンマグネット１３１の中心の位置とパンコイル１７１の中心の位置は、共にパンシャフト１２であり、一致している。この場合においても、パンコイル１７１の直線部分１７１ａ、１７１ｂは、共に、パンマグネット１３１のＳ極のみに対向している。よって、この状態からさらにパンコイル１７１に電流が供給された場合にも、直線部分１７１ａ、１７１ｂには、安定した駆動力が励起される。よって、本実施の形態では、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動し、且つ、Ｐａｎ方向に回動した状態においても、直線部分１７１ａ、１７１ｂに、安定した駆動力が励起される。
【００９５】
他方、比較例の場合、図１３（ｄ）のようにインナーユニットフレーム１１がＴｉｌｔ方向に回動すると、図１４（ｃ）のように、パンコイル１７１の中心の位置が、アクチュエータフレーム２１に固定されたパンマグネット１３１の中心の位置からずれる。この場合において、パンコイル１７１の直線部分１７１ａは、パンマグネット１３１のＳ極のみに対向しているが、直線部分１７１ｂは、一部がＮ極に対向している。この状態でパンコイル１７１に電流が流れると、直線部分１７１ａにかかる駆動力と、直線部分１７１ｂにかかる駆動力は不均等となる。このため、パンコイル１７１に加わる駆動力は不安定になる。
【００９６】
インナーユニットフレーム１１の回動が進み、パンコイル１７１とパンマグネット１３１の位置関係は、図１４（ｄ）に示す状態になると、パンコイル１７１の中心の位置が、パンマグネット１３１の中心の位置からさらに大きくずれる。この場合、パンコイル１７１の直線部分１７１ａは、パンマグネット１３１のＳ極のみに対向したままであるが、直線部分１７１ｂは、Ｐａｎ方向に回動する前よりも、Ｎ極に対向する部分が大きくなっている。この状態でパンコイル１７１に電流が流れると、直線部分１７１ａにかかる駆動力と、直線部分１７１ｂにかかる駆動力はさらに不均等となる。このため、パンコイル１７１に加わる駆動力はさらに不安定になる。
【００９７】
このように、比較例の場合、インナーユニットフレーム１１がＴｉｌｔ方向に回動すると、パンマグネット１３１とパンコイル１７１の位置関係が変わり、パンコイル１７１に加わる駆動力が不安定になる。したがって、インナーユニットフレーム１１をＴｉｌｔ方向に回動させた状態において、ミラー１２３をＰａｎ方向に回動させると、ミラー１２３の回動が不安定となる。また、インナーユニットフレーム１１の回動位置の変化に応じて、パンコイル１７１に加わる駆動力が変化するため、Ｐａｎ方向におけるミラー１２３の制御が難しくなる。
【００９８】
他方、本実施の形態では、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動しても、パンマグネット１３１とパンコイル１７１の位置関係は、変わらない。したがって、ミラー１２３をＴｉｌｔ方向に回動させた状態においても、ミラー１２３を安定的にＰａｎ方向に回動させることができる。また、Ｐａｎ方向におけるミラー１２３の制御を容易に行うことができる。
【００９９】
また、パンマグネット１３１、１４１とチルトマグネット１５１、１６１は、共に略円形形状であり、パンコイル１７１、１８１とチルトコイル２２１、２３１は、共に略円形形状であるため、ミラー１２３をＴｉｌｔ方向またはＰａｎ方向に回動させても、パンマグネット１３１、１４１とパンコイル１７１、１８１が対向する領域の面積、およびチルトマグネット１５１、１６１とチルトコイル２２１、２３１が対向する領域の面積は略変わらない。したがって、ミラー１２３に均一な回動力を与えることができ、安定的にミラー１２３を回動させることできる。
【０１００】
図１５は、実施の形態に係るミラーアクチュエータ１が装着された状態のレーザレーダ３００の構成を示す図である。
【０１０１】
図１５（ａ）は、レーザレーダ３００の内部を側面から透視した図、図１５（ｂ）は、レーザレーダ３００の外観斜視図である。
【０１０２】
図１５（ａ）を参照して、レーザレーダ３００は、筐体３０１と、投射／受光窓３０２と、投射ユニット４００と、受光ユニット５００と、回路基板６００とを備える。
【０１０３】
筐体３０１は、立方体形状をしており、内部に、投射ユニット４００と、受光ユニット５００と、回路基板６００とを収容する。筐体３０１の正面には、投射／受光窓３０２が装着される。
【０１０４】
投射／受光窓３０２は、図１２（ｂ）に示すように、表面が湾曲した曲面状の透明な板からなっている。投射／受光窓３０２は、透明性の高い材料からなり、また、入射面と出射面に反射防止膜（ＡＲコート）が付されている。
【０１０５】
投射ユニット４００は、レーザホルダ４０１と、レーザ光源４０２と、ビーム整形レンズ４０３と、ミラーアクチュエータ１とを備える。
【０１０６】
レーザホルダ４０１は、レーザ光源４０２およびビーム整形レンズ４０３よりも径がやや大きい円筒状であり、内部にレーザ光源４０２を保持し、正面にビーム整形レンズ４０３が装着される。
【０１０７】
レーザ光源４０２は、波長９００ｎｍ程度のレーザ光を出射する。レーザ光源４０２は、ミラー１２３のＰａｎ方向の回動による目標領域におけるレーザ光の走査範囲を大きくするため、レーザ光の出射方向が、鉛直方向（Ｙ軸正方向）からＹＺ平面の面内方向においてミラー１２３側に傾くよう、配置される。レーザ光源４０２は、回路基板４０２ａに電気的に接続される。
【０１０８】
ビーム整形レンズ４０３は、ビーム整形レンズ４０３の光軸がレーザ光源４０２の出射光軸に一致するようにレーザホルダ４０１に装着される。また、ビーム整形レンズ４０３は、出射レーザ光が、目標領域において所定の形状となるよう、出射レーザ光を収束させる。たとえば、目標領域（本実施の形態では、投射／受光窓３０２から前方数１０ｍ程度の位置に設定される）におけるビーム形状が、縦２ｍ、横０．２ｍ程度の楕円形状となるように、ビーム整形レンズ４０３が設計される。
【０１０９】
ミラーアクチュエータ１は、ミラー１２３が中立位置にあるとき、ミラーアクチュエータ１のミラー１２３のミラー面とレーザ光源４０２から出射されるレーザ光の入射角が所定の角度（たとえば６０度）となるように設置される。なお、「中立位置」とは、ミラー１２３がミラーアクチュエータ１によって回動されず、図１の前後方向に垂直となる位置をいう。中立位置において、ビーム整形レンズ４０３からのレーザ光は、ミラー１２３の略中心に入射する。
【０１１０】
受光ユニット５００は、鏡筒５０１と、バンドパスフィルタ５０２と、受光レンズ５０３と、光検出器５０４とを備える。
【０１１１】
鏡筒５０１は、内部にバンドパスフィルタ５０２と、受光レンズ５０３と、光検出器５０４が装着される。
【０１１２】
バンドパスフィルタ５０２は、誘電体多層膜で構成されており、出射レーザ光の波長帯域の光のみを透過させる。なお、バンドパスフィルタ５０２は、反射光が略平行光の状態で入射されるため、簡素な膜構成のものが用いられる。
【０１１３】
受光レンズ５０３は、フレネルレンズであり、目標領域から反射された光を集光する。フレネルレンズは、凸レンズを同心円状の領域に分割し厚みを減らしたレンズである。
【０１１４】
光検出器５０４は、ＡＰＤ（アバランシェ・フォトダイオード）またはＰＩＮフォトダイオードからなり、回路基板５０４ａに装着されている。光検出器５０４は、受光光量に応じた大きさの電気信号を回路基板５０４ａに出力する。光検出器５０４の受光面は、複数の領域に分割されておらず、単一の受光面からなっている。また、光検出器５０４の受光面は、迷光の影響を抑えるため、縦横の幅が狭く構成されている（例えば１ｍｍ前後）。
【０１１５】
レーザ光源４０２から出射されたレーザ光は、ビーム整形レンズ４０３によって収束作用を受け、目標領域において所定の形状に整形される。ビーム整形レンズ４０３を透過したレーザ光は、ミラーアクチュエータ１のミラー１２３に入射し、ミラー１２３によって目標領域に向かって反射される。
【０１１６】
図１５（ｂ）に示す如く、ミラーアクチュエータ１によってミラー１２３がＰａｎ方向およびＴｉｌｔ方向に駆動されることにより、出射レーザ光が目標領域内においてスキャンされる。レーザ光は、目標領域において、Ｘ−Ｚ平面に平行な複数の走査ラインに沿ってスキャンされる。各走査ラインに沿ってレーザ光を走査させるために、ミラー１２３は、Ｐａｎ方向の他、Ｔｉｌｔ方向にも駆動される。また、走査ラインを変更するために、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に駆動される。
【０１１７】
図１５（ａ）に戻り、目標領域からの反射光は、出射レーザ光が目標領域へと向かう光路を逆行して、ミラー１２３に入射する。ミラー１２３に入射した反射光は、ミラー１２３により反射され、レーザホルダ４０１と鏡筒５０１との間の隙間を介して、受光レンズ５０３に入射する。
【０１１８】
かかる反射光の挙動は、ミラー１２３がどのような回動位置にあっても同じである。すなわち、ミラー１２３がどのような回動位置にあっても、目標領域からの反射光は、出射レーザ光の光路を逆行し、ビーム整形レンズ４０３の光軸に平行に進んで、受光レンズ５０３に入射する。
【０１１９】
回路基板６００は、レーザ光源４０２用の回路基板４０２ａと、光検出器５０４用の回路基板５０４ａと、ミラーアクチュエータ１のＰＳＤ基板２４１と電気的に接続されている。回路基板６００は、ＣＰＵやメモリ等を備え、レーザ光源４０２およびミラーアクチュエータ１を制御する。さらに、回路基板６００は、光検出器５０４からの信号に基づいて、目標領域における物体の有無および物体までの距離を測定する。具体的には、レーザ光が出射されたタイミングと、光検出器５０４から信号が出力されたタイミングとの時間差から、この物体までの距離が測定される。レーザレーダ３００の回路構成は、追って図１７を参照して説明する。
【０１２０】
図１６（ａ）、図１６（ｂ）は、ミラー１２３の位置を検出するためのサーボ光学系を説明する図である。図１６（ａ）には、ミラーアクチュエータ１の一部断面図とレーザ光源４０２のみが示されている。
【０１２１】
図１６（ａ）を参照して、上述のように、ミラーアクチュエータ１には、ＬＥＤ１２２と、ピンホール箱２４４と、ＰＳＤ基板２４１と、ＰＳＤ２４２が配されている。
【０１２２】
ＬＥＤ１２２、ＰＳＤ２４２およびピンホール２４４ａは、ミラーアクチュエータ１のミラー１２３が上記中立位置にあるときに、ＬＥＤ１２２がピンホール箱２４４のピンホール２４４ａとＰＳＤ２４２の中心に向き合うように配置されている。すなわち、ミラー１２３が中立位置にあるとき、ＬＥＤ１２２から出射されピンホール２４４ａを通るサーボ光が、ＰＳＤ２４２の中心に垂直に入射するよう、ピンホール箱２４４およびＰＳＤ２４２が配置されている。また、ピンホール箱２４４は、ＬＥＤ１２２とＰＳＤ２４２の中間位置よりもＰＳＤ２４２に近い位置に配置されている。
【０１２３】
ここで、ＬＥＤ１２２から拡散するように発せられたサーボ光は、その一部が、ピンホール２４４ａを通過し、ＰＳＤ２４２によって受光される。ピンホール２４４ａ以外の領域に入射されたサーボ光は、ピンホール箱２４４によって遮光される。ＰＳＤ２４２は、サーボ光の受光位置に応じた電流信号を出力する。
【０１２４】
たとえば、図１６（ｂ）のようにミラー１２３が破線で示す中立位置から矢印方向に回動すると、ＬＥＤ１２２の拡散光（サーボ光）のうちピンホール２４４ａを通る光の光路は、ＬＰ１からＬＰ２へと変位する。その結果、ＰＳＤ２４２上におけるサーボ光の照射位置が変化し、ＰＳＤ２４２から出力される位置検出信号が変化する。この場合、ＬＥＤ１２２からのサーボ光の発光位置と、ＰＳＤ２４２の受光面上におけるサーボ光の入射位置は一対一に対応する。したがって、ＰＳＤ２４２にて検出されるサーボ光の入射位置によって、ミラー１２３の位置を検出することができ、結果、目標領域における走査レーザ光の走査位置を検出することができる。
【０１２５】
図１７は、レーザレーダ３００の回路構成を示す図である。なお、同図には、便宜上、レーザレーダ３００の主要な構成が併せて示されている。図示の如く、レーザレーダ３００は、ＰＳＤ信号処理回路６０１と、サーボＬＥＤ駆動回路６０２と、アクチュエータ駆動回路６０３と、スキャンＬＤ駆動回路６０４と、ＰＤ信号処理回路６０５と、ＤＳＰ６０６を備えている。
【０１２６】
ＰＳＤ信号処理回路６０１は、ＰＳＤ２４２からの出力信号をもとに求めた位置検出信号をＤＳＰ６０６に出力する。サーボＬＥＤ駆動回路６０２は、ＤＳＰ６０６からの信号をもとに、ＬＥＤ１２２に駆動信号を供給する。アクチュエータ駆動回路６０３は、ＤＳＰ６０６からの信号をもとに、ミラーアクチュエータ１を駆動する。具体的には、目標領域においてレーザ光を所定の軌道に沿って走査させるための駆動信号がミラーアクチュエータ１に供給される。
【０１２７】
スキャンＬＤ駆動回路６０４は、ＤＳＰ６０６からの信号をもとに、レーザ光源４０２に駆動信号を供給する。具体的には、目標領域にレーザ光を照射するタイミングで、パルス状の駆動信号（電流信号）がレーザ光源４０２に供給される。
【０１２８】
ＰＤ信号処理回路６０５は、光検出器５０４の受光光量に応じた電圧信号を増幅およびデジタル化してＤＳＰ６０６に供給する。
【０１２９】
ＤＳＰ６０６は、ＰＳＤ信号処理回路６０１から入力された位置検出信号をもとに、目標領域におけるレーザ光の走査位置を検出し、ミラーアクチュエータ１の駆動制御や、レーザ光源４０２の駆動制御等を実行する。また、ＤＳＰ６０６は、ＰＤ信号処理回路６０５から入力される電圧信号に基づいて、目標領域内のレーザ光照射位置に物体が存在するかを判定し、同時に、レーザ光源４０２から出力されるレーザ光の照射タイミングと、光検出器５０４にて受光される目標領域からの反射光の受光タイミングの間の時間差をもとに、物体までの距離を測定する。
【０１３０】
以上、本実施の形態によれば、ミラー１２３をＴｉｌｔ方向に回動させつつ、安定的にＰａｎ方向にミラー１２３を回動させることができる。
【０１３１】
また、本実施の形態によれば、パンマグネット１３１、１４１とチルトマグネット１５１、１６１が略円形形状で構成され、また、パンコイル１７１、１８１とチルトコイル２２１、２３１が略円形形状で構成されている。したがって、ミラー１２３をより安定的に回動させることができる。
【０１３２】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施の形態も上記以外に種々の変更が可能である。
【０１３３】
たとえば、上記実施の形態では、パンマグネット１３１、１４１を固定し、パンコイル１７１、１８１を回動させる、いわゆる、ムービングコイル方式の駆動部が用いられたが、図１８の変更例に示すように、ムービングマグネット方式の駆動部に本発明が用いられても良い。
【０１３４】
図１８は、この場合の変更例を示す図である。図１８（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、前方向から見たパンマグネット１３１とパンコイル１７１の位置関係を模式的に示す図である。図１８（ｃ）、（ｄ）は、上方向から見たパンマグネット１３１とパンコイル１７１の位置関係を模式的に示す図である。なお、パンマグネット１４１とパンコイル１８１も、以下と同様の関係となるが、ここでは、パンマグネット１３１とパンコイル１７１の関係のみについて説明する。
【０１３５】
図１８（ａ）を参照して、パンマグネット１３１は、パンシャフト１２と一体的に回動可能なように取り付けられており、パンコイル１７１は、インナーユニットフレーム１１と一体的に回動可能なように取り付けられている。
【０１３６】
図１８（ｂ）に示すように、本変更例において、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動しても、上記実施の形態同様、パンマグネット１３１とパンコイル１７１の位置関係は変わらない。
【０１３７】
図１８（ｃ）を参照して、ミラー１２３がＰａｎ方向に回動していないとき、パンマグネット１３１の中心の位置とパンコイル１７１の中心の位置は、共にパンシャフト１２であり、一致している。この場合において、パンコイル１７１の直線部分１７１ａは、１７１ｂは、共に、パンマグネット１３１のＳ極のみに対向している。この状態でパンコイル１７１に電流が流れると、直線部分１７１ａ、１７１ｂに、均等な同じ方向の駆動力が励起される。
【０１３８】
図１８（ｄ）は、上記駆動力によりパンマグネット１３１がＰａｎ方向に回動した状態を示している。この状態においても、パンマグネット１３１の中心の位置とパンコイル１７１の中心の位置は、共にパンシャフト１２であり、一致している。また、パンコイル１７１の直線部分１７１ａ、１７１ｂは、共に、パンマグネット１３１のＳ極のみに対向している。
【０１３９】
したがって、本変更例の構成では、ミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動し、且つ、Ｐａｎ方向に回動した状態においても、直線部分１７１ａ、１７１ｂには、回動前と同様の磁界が印加される。よって、これら回動の際にも、直線部分１７１ａ、１７１ｂには安定した駆動力が励起され、その反力によって、パンマグネット１３１に安定した駆動力が付与される。
【０１４０】
このように、本変更例においても、上記実施の形態同様、ミラー１２３をＴｉｌｔ方向に回動させつつ、安定的にＰａｎ方向にミラー１２３を回動させることができる。
【０１４１】
また、上記実施の形態では、パンマグネット１３１、１４１およびチルトマグネット１５１、１６１は、４つの領域に分割されたが、２つの領域に分割されても良い。
【０１４２】
また、上記実施の形態では、パンマグネット１３１、１４１およびチルトマグネット１５１、１６１は円形形状のものが用いられたが、方形形状のものが用いられても良い。なお、パンマグネット１３１、１４１およびチルトマグネット１５１、１６１は回転するため、上記実施の形態のように、円形形状の方が望ましい。
【０１４３】
また、上記実施の形態では、４つのパンコイル１７１が、電気的に一続きとなるように互いに接続されていたが、４つのパンコイル１７１が、互いに電気的に分離され、それぞれのパンコイル１７１に個別に電流が供給されても良い。同様に、４つのパンコイル１８１が互いに分離されていても良い。請求項３に記載の「複数のコイル」は、各コイルが互いに電気的に接続されている形態と、互いに分離されている形態の両方を含むものである。また、パンコイル１７１、１８１の数は、４つに限らず、２つまたはその他の数でも良い。すなわち、パンマグネット１３１、１４１の磁極の区分の数に応じて適宜変更され得る。また、パンコイル１７１、１８１の形状は扇形に限らず、直線部分が対応する磁極に位置付けられれば、他の形状であっても良い。なお、以上の事項は、チルトコイル２２１、２３１についても同様である。
【０１４４】
また、上記実施の形態では、パンコイル１７１、１８１およびＬＥＤ１２２に電流を供給するために、４本の断面が円形形状のサスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄが用いられたが、サスペンションワイヤーの数がこれに限られるものではない。たとえば、上記実施の形態において、給電に用いられないサスペンションワイヤーをさらに配置しても良い。また、サスペンションワイヤー１９ａ〜１９ｄは、断面が矩形状のものが用いられても良い。
【０１４５】
また、上記実施の形態では、サーボ光を拡散発光するための光源として、拡散タイプ（広指向タイプ）のＬＥＤ１２２が用いられたが、拡散タイプでないＬＥＤが用いられるようにしても良い。この場合、拡散タイプでないＬＥＤの光出射側には、光拡散作用を有する拡散レンズが配置されるようにしても良い。また、拡散タイプでないＬＥＤが、光拡散作用を有するキャップにより覆われるようにしても良い。
【０１４６】
さらに、上記実施の形態では、インナーユニットフレーム１１がＴｉｌｔ方向に回動し、このインナーユニットフレーム１１に対してミラー１２３がＰａｎ方向に回動するように、ミラーアクチュエータ１が構成されたが、インナーユニットフレーム１１がＰａｎ方向に回動し、このインナーユニットフレーム１１に対してミラー１２３がＴｉｌｔ方向に回動するように、ミラーアクチュエータ１が構成されても良い。
【０１４７】
この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【０１４８】
１  …  ミラーアクチュエータ
１１  …  インナーユニットフレーム（第１回動部）
１２  …  パンシャフト（第２回動部、軸部）
１２３  …  ミラー
１３１、１４１  …  パンマグネット（磁石部、磁石）
１７、１８  …  パンコイルユニット（コイル部）
１７１、１８１  …  パンコイル（コイル）
１７１ａ、１７１ｂ  …  直線部
２１  …  アクチュエータフレーム（ベース）
３００  …  レーザレーダ
４００  …  投射ユニット（ビーム照射装置）
【図１】
2013080625.tif 000003
【図２】
2013080625.tif 000004
【図３】
2013080625.tif 000005
【図４】
2013080625.tif 000006
【図５】
2013080625.tif 000007
【図６】
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【図７】
2013080625.tif 000009
【図８】
2013080625.tif 000010
【図９】
2013080625.tif 000011
【図１０】
2013080625.tif 000012
【図１１】
2013080625.tif 000013
【図１２】
2013080625.tif 000014
【図１３】
2013080625.tif 000015
【図１４】
2013080625.tif 000016
【図１５】
2013080625.tif 000017
【図１６】
2013080625.tif 000018
【図１７】
2013080625.tif 000019
【図１８】
2013080625.tif 000020
【国際調査報告】
2013080625.tif 000021
2013080625.tif 000022
2013080625.tif 000023
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