(57)【要約】  部品Ｐの吸着異常および装着異常を高精度に検出することが可能な部品実装機１を提供する。本発明の部品実装機１では、部品装着ヘッド１０は、負圧源１４ａと各吸着ノズル１８とを連通する分岐流路１４ｂの負圧源１４ａ側に負圧源１４ａに吸入される空気流量ＱＮを測定する流量センサ１００を有し、吸着異常検出部５１４は、複数の吸着ノズル１８のうちの一の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着してから次の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着するまでの空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮが所定閾値を超えているときに吸着異常であると判断する。
2013145228.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の部品を吸着して基板に装着する複数の吸着ノズルを有する部品装着ヘッドと前記部品の吸着異常を検出する吸着異常検出部とを備える部品実装機であって、
前記部品装着ヘッドは、負圧源と各前記吸着ノズルとを連通する分岐流路の前記負圧源側に前記負圧源に吸入される空気流量を測定する流量センサを有し、
前記吸着異常検出部は、前記複数の吸着ノズルのうちの一の吸着ノズルが部品を吸着してから次の吸着ノズルが部品を吸着するまでの前記空気流量の変化量が所定閾値を超えているときに前記吸着異常であると判断することを特徴とする部品実装機。
【請求項２】
前記複数の吸着ノズルの先端部にそれぞれ吸着される前記部品を撮像する部品認識用カメラをさらに備え、
前記吸着異常検出部は、前記撮像される前記部品の吸着状態に基づいて前記吸着異常であるか否かを判断する請求項１に記載の部品実装機。
【請求項３】
複数の部品を吸着して基板に装着する複数の吸着ノズルを有する部品装着ヘッドと前記部品の装着異常を検出する装着異常検出部とを備える部品実装機であって、
前記部品装着ヘッドは、正圧源と各前記吸着ノズルとを連通する分岐流路の前記正圧源側に前記正圧源から供給される空気流量を測定する流量センサを有し、
前記装着異常検出部は、前記複数の吸着ノズルのうちの一の吸着ノズルが部品を装着してから次の吸着ノズルが部品を装着するまでの前記空気流量の変化量が所定閾値未満のときに前記装着異常であると判断することを特徴とする部品実装機。
【請求項４】
前記部品装着ヘッドは、前記複数の吸着ノズルが軸線と同芯の円周上において回動可能に保持されているロータリヘッドである請求項１〜３のいずれか一項に記載の部品実装機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の部品を基板に実装する部品実装機に関し、より詳細には、部品の吸着異常および装着異常を検出する部品実装機に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品の吸着異常を検出する部品実装機の一例として、例えば、特許文献１に挙げられる部品実装装置が知られている。特許文献１に記載の部品実装装置は、真空発生源と多連ノズルとを連通するマニホールドに真空圧センサを備えている。そして、電子部品を順次実装する際に多連ノズルの移動前後のマニホールド内の真空圧を測定し、真空圧の差が所定閾値を超えているときに、多連ノズルから電子部品が落下したと判断している。この場合、部品実装装置は、当該電子部品の実装を行わない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２７２４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の部品実装装置では、多連ノズルの先端部から離間して配される真空圧センサを用いて、多連ノズルから電子部品が落下したか否かを判断している。真空圧センサが多連ノズルの先端部から離間して配されていると、多連ノズルの配管径は非常に小さいので、多連ノズルの先端部の圧力変動を正確に検出することは困難である。【０００５】
また、部品実装装置では、部品の装着に失敗して多連ノズルに部品が吸着されたままの状態になる所謂部品の持ち帰りなどの装着異常が生じることがある。例えば、圧力センサを用いてこのような部品の装着異常を検出しようとすると、多連ノズルのノズル面と部品吸着面の状態や静電気の影響などにより、必ずしも部品の装着可否を正しく検出できるとは限らない。また、多連ノズルの先端部を撮像して部品の装着異常を検出しようとすると、撮像部のために部品実装機が大型化し、高コスト化する。【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みて為されたものであり、部品の吸着異常および装着異常を高精度に検出することが可能な部品実装機を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る部品実装機は、複数の部品を吸着して基板に装着する複数の吸着ノズルを有する部品装着ヘッドと前記部品の吸着異常を検出する吸着異常検出部とを備える部品実装機であって、前記部品装着ヘッドは、負圧源と各前記吸着ノズルとを連通する分岐流路の前記負圧源側に前記負圧源に吸入される空気流量を測定する流量センサを有し、前記吸着異常検出部は、前記複数の吸着ノズルのうちの一の吸着ノズルが部品を吸着してから次の吸着ノズルが部品を吸着するまでの前記空気流量の変化量が所定閾値を超えているときに前記吸着異常であると判断することを特徴とする。【０００８】
請求項２に係る部品実装機は、請求項１に記載の部品実装機において、前記複数の吸着ノズルの先端部にそれぞれ吸着される前記部品を撮像する部品認識用カメラをさらに備え、前記吸着異常検出部は、前記撮像される前記部品の吸着状態に基づいて前記吸着異常であるか否かを判断する。【０００９】
請求項３に係る部品実装機は、複数の部品を吸着して基板に装着する複数の吸着ノズルを有する部品装着ヘッドと前記部品の装着異常を検出する装着異常検出部とを備える部品実装機であって、前記部品装着ヘッドは、正圧源と各前記吸着ノズルとを連通する分岐流路の前記正圧源側に前記正圧源から供給される空気流量を測定する流量センサを有し、前記装着異常検出部は、前記複数の吸着ノズルのうちの一の吸着ノズルが部品を装着してから次の吸着ノズルが部品を装着するまでの前記空気流量の変化量が所定閾値未満のときに前記装着異常であると判断することを特徴とする。【００１０】
請求項４に係る部品実装機は、請求項１〜３のいずれか一項に記載の部品実装機において、前記部品装着ヘッドは、前記複数の吸着ノズルが軸線と同芯の円周上において回動可能に保持されているロータリヘッドである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る部品実装機によれば、部品装着ヘッドは、負圧源と各吸着ノズルとを連通する分岐流路の負圧源側に負圧源に吸入される空気流量を測定する流量センサを有している。そして、吸着異常検出部は、負圧源側の空気流量の変化量から部品の吸着異常を検出する。部品が安定した状態で吸着ノズルに吸着されている場合は、吸着ノズルの先端部の吸入口は部品によって適切に塞がれるので、空気流量の変化量は小さくなる。逆に、吸着ノズルに対して部品が不安定な状態で吸着されている場合は、吸着ノズルの先端部の吸入口と部品との間に間隙が生じて、空気流量の変化量は大きくなる。つまり、吸着異常検出部は、空気流量の変化量から部品の吸着異常を検出することができるので、部品の吸着状態が安定しているか否かの判断が容易である。【００１２】
また、吸着異常検出部は、複数の吸着ノズルのうちの一の吸着ノズルが部品を吸着してから次の吸着ノズルが部品を吸着するまでの空気流量の変化量が所定閾値を超えているときに吸着異常であると判断するので、すでに部品を吸着している吸着ノズルのエアーのリーク状態に依存することなく、吸着異常を検出することができる。そのため、部品の吸着異常を高精度に検出することができる。【００１３】
請求項２に係る部品実装機によれば、吸着異常検出部は、部品認識用カメラによって撮像される部品の吸着状態に基づいて吸着異常であるか否かを判断する。そのため、部品が正規の吸着姿勢で吸着ノズルに吸着されているか否かを認識することができ、吸着異常の検出精度を向上させることができる。【００１４】
請求項３に係る部品実装機によれば、部品装着ヘッドは、正圧源と各吸着ノズルとを連通する分岐流路の正圧源側に正圧源から供給される空気流量を測定する流量センサを有している。そして、装着異常検出部は、正圧源側の空気流量の変化量から部品の装着異常を検出する。部品が基板に装着された場合、部品を装着した吸着ノズルの吸入口は部品を吸着していないので、正圧源側の空気流量の変化量は大きくなる。逆に、部品の持ち帰りなどの装着異常が生じると、吸着ノズルの吸入口は部品によって塞がれているので、正圧源側の空気流量の変化量は小さくなる。【００１５】
したがって、装着異常検出部は、正圧源側の空気流量の変化量から部品の装着異常を検出することができ、流量センサ下流側のエアー経路の影響を受けることなく、部品の装着異常を検出することができる。そのため、部品の装着異常を高精度に検出することができる。また、正圧源側に設けられる流量センサを用いて装着異常を検出するので、吸着ノズルの先端部を撮像して部品の装着異常を検出する場合と比べて、部品実装機を小型化、低コスト化することができる。【００１６】
請求項４に係る部品実装機によれば、部品装着ヘッドは、複数の吸着ノズルが軸線と同芯の円周上において回動可能に保持されているロータリヘッドである。ロータリヘッドは、一般に吸着異常を検出する検出センサが吸着ノズルの先端部から離間して配される。このようなロータリヘッドにおいても、吸着異常検出部は、空気流量の変化量から部品の吸着異常を検出することができ、部品の吸着異常を高精度に検出することができる。また、本発明では、分岐流路の負圧源側に流量センサを１つ設ければ良いので、吸着ノズルの各先端部にそれぞれ流量センサを設ける場合と比べて、部品実装機を低コスト化することができる。【００１７】
また、装着異常検出部は、複数の吸着ノズルのうちの一の吸着ノズルが部品を装着してから次の吸着ノズルが部品を装着するまでの正圧源側の空気流量の変化量が所定閾値未満のときに部品の装着異常であると判断するので、すでに部品を装着済みの吸着ノズルのエアーのリーク状態に依存することなく、装着異常を検出することができる。そのため、ロータリヘッドにおいて、部品の装着異常を高精度に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】部品実装機１の一例を示す斜視図である。
【図２】図１の部品装着ヘッド１０を示す正面図である。
【図３】正圧・負圧供給装置１４の一例を模式的に示す構成図である。
【図４】流量センサ１００の出力特性の一例を示す図である。
【図５】部品Ｐの吸着状態を示す側面画像の一例である。（Ａ）は、部品Ｐが正規の吸着姿勢で吸着ノズル１８に吸着されている状態を示す側面画像である。（Ｂ）は、部品Ｐが傾斜した姿勢で吸着ノズル１８に吸着されている状態を示す側面画像である。
【図６】制御ブロックの一例を示すブロック図である。
【図７】部品吸着の際の吸着ノズル１８のノズル番号Ｎと空気流量ＱＮの関係の一例を示す図である。
【図８】部品装着の際の吸着ノズル１８のノズル番号Ｎと空気流量ＱＰの関係の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。各図は概念図であり、細部構造の寸法まで規定するものではない。
【００２０】
（１）部品実装機１の構成
図１は、部品実装機１の一例を示す斜視図である。図２は、図１の部品装着ヘッド１０を示す正面図である。図１に示すように、部品実装機１は、部品供給装置７０、基板搬送装置６０および部品移載装置８０を備えている。部品供給装置７０は、基枠９０上に複数のカセット式フィーダ７１が並設されている。カセット式フィーダ７１は、基枠９０に着脱可能に取付けられる本体７２と、本体７２の後部に設けられる供給リール７３と、本体７２の先端に設けられる部品取出部７４を備えている。供給リール７３には部品Ｐが所定ピッチで封入される細長いテープが巻回保持され、テープが図示しないスプロケットにより所定ピッチで引き出され、部品Ｐが封入状態を解除されて部品取出部７４に順次送り込まれる。
【００２１】
部品供給装置７０と基板搬送装置６０の間には、部品Ｐの保持位置を検出するＣＣＤカメラ７５が設けられている。ＣＣＤカメラ７５は、吸着された部品Ｐの吸着ノズル１８に対する位置ずれ及び角度ずれを検出することができる。位置ずれ及び角度ずれの検出結果は、部品Ｐの装着位置を補正する際に用いることができる。
【００２２】
基板搬送装置６０は、プリント基板を図１に示すＸ軸方向に搬送するもので、第１搬送装置６１および第２搬送装置６２を２列並設した、いわゆるダブルコンベアタイプのものである。第１搬送装置６１および第２搬送装置６２には、基台６３上にそれぞれ一対のガイドレール６４ａ、６４ｂ、６５ａ、６５ｂを互いに平行に対向させてそれぞれ水平に並設されている。第１搬送装置６１および第２搬送装置６２には、ガイドレール６４ａ、６４ｂ、６５ａ、６５ｂによりそれぞれ案内されるプリント基板を支持して搬送する一対の図示しないコンベアベルトが互いに対向して並設されている。また、基板搬送装置６０には所定位置まで搬送されたプリント基板を押し上げてクランプする図示しないクランプ装置が設けられている。クランプ装置によってプリント基板が部品装着位置で位置決め固定される。
【００２３】
部品移載装置８０はＸＹロボットタイプのものであり、基枠９０上に装架されて基板搬送装置６０および部品供給装置７０の上方に配設され、Ｙ軸サーボモータ１１によりＹ軸方向に移動されるＹ軸スライダ１２を備えている。Ｙ軸スライダ１２には、図２に示すように、Ｘ軸スライダ１３がＹ軸方向と直交するＸ軸方向に移動可能に案内されている。
【００２４】
Ｘ軸スライダ１３は、Ｙ軸スライダ１２に固定されたＸ軸方向に延びる一対のガイドレール１２ａと、Ｘ軸スライダ１３に固定された一対のガイドブロック１３ａと、を介して、Ｙ軸スライダ１２に対して移動可能に保持されている。Ｙ軸スライダ１２には、図示しないＸ軸サーボモータが固定され、Ｘ軸サーボモータの出力軸には、Ｘ軸方向に延びるボールねじ軸１２ｂが連結されている。ボールねじ軸１２ｂは、図示しないボールを介して、Ｘ軸スライダ１３に固定されたボールナット１３ｂに螺合されている。これにより、Ｘ軸サーボモータが回転するとボールねじ軸１２ｂが回転し、Ｘ軸スライダ１３はボールナット１３ｂを介してガイドレール１２ａに案内されてＸ軸方向に移動する。
【００２５】
Ｘ軸スライダ１３上には、部品Ｐを吸着してプリント基板に装着する部品装着ヘッド１０が取付けられている。部品装着ヘッド１０は、正圧・負圧供給装置１４、Ｒ軸モータ１５、インデックス軸１６、ノズルホルダ１７、吸着ノズル１８、θ軸モータ１９、Ｚ軸モータ２０および部品認識用カメラ２１を備えている。
【００２６】
図２に示すように、Ｘ軸スライダ１３には、水平方向に延びる第１フレーム２５および第２フレーム２６が上下方向（Ｚ軸方向）に離間して一体的に設けられ、第１フレーム２５にＲ軸モータ１５が固定されている。Ｒ軸モータ１５の出力軸には、鉛直軸線ＡＬの回り（Ｒ軸方向）に回転可能に支持されたインデックス軸１６が接続されている。インデックス軸１６上には、従動ギヤ２７とθ軸ギヤ２９を形成する回転体２８が回転可能に支持されている。インデックス軸１６の下端部には、円筒状のノズルホルダ１７が固定されている。
【００２７】
ノズルホルダ１７には、鉛直軸線ＡＬと同芯の円周上において、複数の吸着ノズル１８がＺ軸方向に移動可能に保持されている。各吸着ノズル１８は、ノズルホルダ１７にＺ軸方向に摺動可能に支持されるノズルスピンドル３３の下端部に取付けられている。ノズルスピンドル３３の下端部には大径部３３ａが形成され、ノズルスピンドル３３の上端部にはノズルギヤ３４が固定されている。ノズルギヤ３４とノズルホルダ１７との間には圧縮スプリング３５が設けられ、圧縮スプリング３５によって、ノズルスピンドル３３および吸着ノズル１８が上方に付勢されるとともに、大径部３３ａがノズルホルダ１７の下面に当接することにより、ノズルスピンドル３３および吸着ノズル１８の上方への移動が規制されている。各吸着ノズル１８には、ノズルスピンドル３３を介して正圧・負圧供給装置１４から負圧が供給され、各吸着ノズル１８は、先端部１８ａで部品Ｐを吸着することができる。
【００２８】
ノズルホルダ１７の下端中央部には、光を反射可能な円筒状の反射体３１が固定されている。ノズルホルダ１７および反射体３１は、インデックス軸１６とともに鉛直軸線ＡＬの回りに回動される。これにより、Ｒ軸モータ１５を回転させると、インデックス軸１６を介して複数の吸着ノズル１８を保持したノズルホルダ１７を鉛直軸線ＡＬの回り（Ｒ軸方向）に回動させることができ、複数の吸着ノズル１８を作業位置Ｓ１に順次、割出すことができる。
【００２９】
図３は、正圧・負圧供給装置１４の一例を模式的に示す構成図である。正圧・負圧供給装置１４は、負圧源１４ａ、負圧分岐流路１４ｂ、スプールバルブ１４ｃ、正圧源１４ｄおよび正圧分岐流路１４ｅを有している。負圧源１４ａは、負圧の発生源であり、負圧分岐流路１４ｂは、負圧源１４ａと各吸着ノズル１８とを連通する。正圧源１４ｄは、正圧の発生源であり、正圧分岐流路１４ｅは、正圧源１４ｄと各吸着ノズル１８とを連通する。スプールバルブ１４ｃは、負圧分岐流路１４ｂおよび正圧分岐流路１４ｅをそれぞれ開閉することができる。
【００３０】
負圧分岐流路１４ｂの本流側の先端部には負圧源１４ａが接続され、負圧分岐流路１４ｂの支流側には吸着ノズル１８がそれぞれ接続されている。負圧源１４ａは、例えば、公知の真空ポンプを用いることができ、各吸着ノズル１８に負圧を供給することができる。負圧分岐流路１４ｂの支流側には、スプールバルブ１４ｃが設けられており、スプールバルブ１４ｃを開閉することにより、負圧源１４ａと各吸着ノズル１８との間の負圧分岐流路１４ｂを開閉することができる。なお、同図では、２つの吸着ノズル１８、１８が図示されているが、鉛直軸線ＡＬと同芯の円周上に配されるすべての吸着ノズル１８が負圧分岐流路１４ｂによって負圧源１４ａと連通可能になっている。
【００３１】
正圧分岐流路１４ｅの本流側の先端部には正圧源１４ｄが接続され、正圧分岐流路１４ｅの支流側はスプールバルブ１４ｃに接続されている。正圧源１４ｄは、例えば、公知の圧縮機（コンプレッサ）を用いることができ、各吸着ノズル１８に正圧を供給することができる。正圧分岐流路１４ｅの支流側は、スプールバルブ１４ｃに接続されており、スプールバルブ１４ｃを開閉することにより、正圧源１４ｄと各吸着ノズル１８との間の正圧分岐流路１４ｅを開閉することができる。負圧分岐流路１４ｂと同様に、鉛直軸線ＡＬと同芯の円周上に配されるすべての吸着ノズル１８が正圧分岐流路１４ｅによって正圧源１４ｄと連通可能になっている。
【００３２】
スプールバルブ１４ｃには、図示しないスプールがノズルホルダ１７の外周側部分において上下方向（Ｚ軸方向）に相対移動可能に嵌合されている。スプールバルブ１４ｃには、各吸着ノズル１８への負圧および正圧の供給を阻止する初期位置と、吸着ノズル１８への正圧の供給を遮断するとともに吸着ノズル１８への負圧の供給を許容する負圧供給位置と、吸着ノズル１８への負圧の供給を遮断するとともに吸着ノズル１８への正圧の供給を許容する正圧供給位置と、が設けられている。また、スプールバルブ１４ｃには、図示しない摩擦リングが嵌合されており、スプールと摩擦リングとの摩擦力によって、スプールは、初期位置、負圧供給位置または正圧供給位置に保持される。スプールバルブ１４ｃは、ノズルスピンドル３３毎に設けられている。
【００３３】
作業位置Ｓ１に割出されたノズルスピンドル３３に対向する位置には、図示しないモータによって上下動される押圧部材が設けられている。部品吸着位置において、押圧部材が上下方向に移動すると、押圧部材の上下方向の移動に伴って作業位置Ｓ１に割出されたノズルスピンドル３３および吸着ノズル１８が上下方向に移動する。これに伴って、スプールバルブ１４ｃのスプールは、初期位置から負圧供給位置へ移動して保持され、作業位置Ｓ１に割出された吸着ノズル１８と負圧源１４ａとの間の負圧分岐流路１４ｂが開路される。そして、作業位置Ｓ１に割出された吸着ノズル１８に負圧が供給され、部品Ｐを吸着することができる。次の吸着ノズル１８が割出されると、同様に、対応するスプールバルブ１４ｃのスプールが初期位置から負圧供給位置へ移動して保持され、割出された吸着ノズル１８に負圧が供給され、部品Ｐを吸着する。これをすべての吸着ノズル１８について繰り返すことにより、各吸着ノズル１８に対して順に負圧を供給して部品Ｐを吸着することができる。
【００３４】
一方、部品装着位置において、押圧部材が上下方向に移動すると、押圧部材の上下方向の移動に伴って作業位置Ｓ１に割出されたノズルスピンドル３３および吸着ノズル１８が上下方向に移動する。これに伴って、スプールバルブ１４ｃのスプールは、負圧供給位置から正圧供給位置へ移動して保持され、作業位置Ｓ１に割出された吸着ノズル１８と正圧源１４ｄとの間の正圧分岐流路１４ｅが開路される。そして、作業位置Ｓ１に割出された吸着ノズル１８に正圧が供給され、割出された吸着ノズル１８内の負圧を消失して部品Ｐを解放することができる。次の吸着ノズル１８が割出されると、同様に、対応するスプールバルブ１４ｃのスプールが負圧供給位置から正圧供給位置へ移動して保持され、割出された吸着ノズル１８に正圧が供給され、部品Ｐが解放される。これをすべての吸着ノズル１８について繰り返すことにより、各吸着ノズル１８から部品Ｐを解放してプリント基板に装着することができる。なお、次回の部品吸着までの間に、各スプールバルブ１４ｃのスプールは、初期位置に復帰される。
【００３５】
負圧分岐流路１４ｂの負圧源１４ａ側には、流量センサ１００が設けられている。正圧分岐流路１４ｅの正圧源１４ｄ側には、流量センサ１０１が設けられている。流量センサ１００、１０１は、例えば、公知のマスフローセンサを用いることができる。流量センサ１００は、吸着ノズル１８から負圧源１４ａに吸入される空気流量ＱＮを測定することができる。流量センサ１０１は、正圧源１４ｄから吸着ノズル１８に供給される空気流量ＱＰを測定することができる。
【００３６】
図４は、流量センサ１００の出力特性の一例を示す図である。横軸は、流量センサ１００によって測定される空気流量ＱＮを示し、縦軸は、流量センサ１００の出力電圧Ｖを示している。流量センサ１００は、空気流量ＱＮの測定結果を出力電圧Ｖとして出力する。流量センサ１００の出力電圧Ｖは、後述する制御装置５１に送信され、制御装置５１は、流量センサ１００の出力電圧ＶをＡ／Ｄ変換する。制御装置５１のメモリには、予め同図に示す特性がマップ、テーブル、関係式などにより記憶されており、制御装置５１は、デジタル値に変換された流量センサ１００の出力電圧Ｖから流量センサ１００を通過する空気流量ＱＮを換算することができる。例えば、制御装置５１は、流量センサ１００の出力電圧ＶがＶ１のとき、出力電圧Ｖ１に対応する空気流量Ｑ１をマップから取得する。これらのことは、流量センサ１０１についても同様である。
【００３７】
第１フレーム２５にはθ軸モータ１９が固定され、θ軸モータ１９の出力軸には駆動ギヤ３６が固定されている。駆動ギヤ３６は、インデックス軸１６に回転可能に支持された回転体２８上の従動ギヤ２７に噛合されている。また、回転体２８上には軸方向の所定長さに亘ってθ軸ギヤ２９が形成され、θ軸ギヤ２９は、ノズルスピンドル３３に固定された各ノズルギヤ３４にそれぞれ摺動可能に噛合されている。これにより、θ軸モータ１９を回転させると、駆動ギヤ３６、従動ギヤ２７、θ軸ギヤ２９およびノズルギヤ３４を介して、全ての吸着ノズル１８をノズルホルダ１７に対して自転させることができる。
【００３８】
また、第１フレーム２５にはＺ軸モータ２０が固定され、Ｚ軸モータ２０の出力軸にはボールねじ軸３７が接続されている。ボールねじ軸３７は、第１フレーム２５に固定された軸受３８および第２フレーム２６に固定された軸受３９によって、鉛直軸線ＡＬと平行な軸線回りに回転可能に支持されている。ボールねじ軸３７には、図示しないボールを介して、Ｚ軸モータ２０の回転運動を直線運動に変換するボールナット４０が螺合されている。ボールナット４０は、第１フレーム２５および第２フレーム２６に固定される上下方向に延びるガイド４２に上下方向に摺動可能に案内されたノズルレバー４１に固定されている。
【００３９】
ノズルレバー４１には、作業位置Ｓ１に割出されたノズルスピンドル３３の上端に当接して、ノズルスピンドル３３をＺ軸方向の下方に押圧する押圧部４１ａが突設されている。これにより、Ｚ軸モータ２０を回転させると、ボールねじ軸３７が回転し、ノズルレバー４１はボールナット４０を介してガイド４２に案内されて上下に移動する。ノズルレバー４１が上下に移動すると、押圧部４１ａに対応するノズルスピンドル３３および吸着ノズル１８を上下に移動させることができる。
【００４０】
ノズルレバー４１の押圧部４１ａは、ノズルホルダ１７の回転方向に作業位置Ｓ１を中心として所定幅を有しており、吸着ノズル１８が作業位置Ｓ１の前後の所定の角度範囲に位置している状態において、吸着ノズル１８のノズルスピンドル３３の上端に押圧部４１ａが当接可能になっている。これにより、作業位置Ｓ１の前後の所定の角度範囲において、ノズルホルダ１７の回動動作中に吸着ノズル１８の上下方向（Ｚ軸方向）の移動を可能にしている。
【００４１】
第２フレーム２６には支持ブラケット４３が懸架され、支持ブラケット４３には、１台の部品認識用カメラ２１が備えられている。部品認識用カメラ２１は、側面撮像カメラであり、例えば、公知のＣＣＤカメラを用いることができる。部品認識用カメラ２１は、ノズルホルダ１７の回転方向において、作業位置Ｓ１より１ピッチ先方の先行位置Ｓ１＋１に割出された吸着ノズル１８と、その吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着された部品Ｐと、の先行位置側面像を反射体３１により反射された反射光により撮像することができる。これと同時に、部品認識用カメラ２１は、ノズルホルダ１７の回転方向において、作業位置Ｓ１より１ピッチ後方の後行位置Ｓ１−１に割出された吸着ノズル１８と、その吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着された部品Ｐと、の後行位置側面像を反射体３１により反射された反射光により撮像することができる。
【００４２】
図５は、部品Ｐの吸着状態を示す側面画像の一例である。（Ａ）は、部品Ｐが正規の吸着姿勢で吸着ノズル１８に吸着されている状態を示す側面画像である。（Ｂ）は、部品Ｐが傾斜した姿勢で吸着ノズル１８に吸着されている状態を示す側面画像である。同図に示すように、部品認識用カメラ２１は、先行位置側面画像７７ａおよび後行位置側面画像７７ｂを一画面７８上に取得することができる。先行位置側面画像７７ａは、先行位置側面像を撮像した画像であり、後行位置側面画像７７ｂは、後行位置側面像を撮像した画像である。
【００４３】
（２）吸着異常および装着異常の検出方法
部品実装機１は、制御装置５１によって制御される。制御装置５１は、図示しないＣＰＵおよびメモリを有しており、メモリに記憶されているプログラムを実行することによって、部品実装機１を駆動させることができる。図６は、制御ブロックの一例を示すブロック図である。制御装置５１は、制御ブロックとして捉えると、実装制御部５１１、流量算出部５１２、画像認識部５１３、吸着異常検出部５１４および装着異常検出部５１５を有している。実装制御部５１１は、所定の部品装着プログラムに基づいて、基板搬送装置６０、部品供給装置７０および部品移載装置８０を駆動して、プリント基板に部品Ｐを装着する。
【００４４】
各吸着ノズル１８に部品Ｐが吸着される際に、流量算出部５１２は、一の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着してから次の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着するまでの空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮを算出する。流量算出部５１２は、すべての吸着ノズル１８について空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮを算出する。画像認識部５１３は、部品認識用カメラ２１によって撮像される部品Ｐと吸着ノズル１８の先行位置側面画像７７ａおよび後行位置側面画像７７ｂを画像認識する。吸着異常検出部５１４は、流量算出部５１２の算出結果および画像認識部５１３の認識結果に基づいて、部品Ｐの吸着異常を検出する。
【００４５】
また、部品Ｐがプリント基板に装着される際に、流量算出部５１２は、一の吸着ノズル１８が部品Ｐを装着してから次の吸着ノズル１８が部品Ｐを装着するまでの空気流量ＱＰの変化量ΔＱＰを算出する。流量算出部５１２は、すべての吸着ノズル１８について空気流量ＱＰの変化量ΔＱＰを算出する。装着異常検出部５１５は、流量算出部５１２の算出結果に基づいて、部品Ｐの装着異常を検出する。
【００４６】
以下、部品実装機１によって、部品Ｐをプリント基板に装着する手順について説明し、併せて部品Ｐの吸着異常および装着異常の検出方法について説明する。まず、実装制御部５１１からの指令に基づいて、基板搬送装置６０のコンベアベルトが駆動され、プリント基板がガイドレール６４ａ、６４ｂ（６５ａ、６５ｂ）に案内されて所定の位置まで搬送される。そして、クランプ装置により、プリント基板が押し上げられてクランプされ、所定位置に位置決め固定される。続いて、Ｙ軸サーボモータ１１およびＸ軸サーボモータが駆動されて、Ｙ軸スライダ１２およびＸ軸スライダ１３が移動され、部品装着ヘッド１０が部品取出部７４まで移動される。その後、Ｒ軸モータ１５が回転されて、ノズルホルダ１７が１ピッチ回動され、後行位置Ｓ１−１に割出されていた吸着ノズル１８を装着したノズルスピンドル３３が作業位置Ｓ１に割出される。
【００４７】
ノズルホルダ１７が１ピッチ回動する間にＺ軸モータ２０が正転されることにより、ノズルスピンドル３３は、ノズルレバー４１により圧縮スプリング３５の付勢力に抗して下方に押下げられて下降する。ノズルスピンドル３３が下降端に位置する前にノズルホルダ１７は、ノズルスピンドル３３を作業位置Ｓ１に割出して回転を停止する。その状態でノズルスピンドル３３は、吸着ノズル１８の先端部１８ａが部品取出部７４に搬送された部品Ｐに接近する位置まで押下げられ、正圧・負圧供給装置１４から吸着ノズル１８に負圧が供給されて、吸着ノズル１８の先端部１８ａに部品Ｐが吸着保持される。
【００４８】
その後、Ｚ軸モータ２０が逆転されることにより、ノズルレバー４１が上方に移動され、圧縮スプリング３５の付勢力により吸着ノズル１８が上昇端位置まで押上げられる。吸着ノズル１８が上昇端位置に後退する前に、ノズルホルダ１７がＲ軸モータ１５により回動され、作業位置Ｓ１に割出されていた吸着ノズル１８が後行位置Ｓ１＋１に割出される。このような動作を繰り返すことにより、複数の吸着ノズル１８に部品Ｐが順次吸着保持される。これにより、ノズルホルダ１７の回転割出し動作中に、吸着ノズル１８の上下方向の進退移動を同時に行わせる、いわゆる同時動作制御が可能になり、部品Ｐを吸着するサイクルタイムを短縮して、生産性を向上することができる。
【００４９】
流量算出部５１２は、各吸着ノズル１８が上昇端位置まで押上げられたときに、流量センサ１００を用いて、吸着ノズル１８から負圧源１４ａに吸入される空気流量ＱＮを測定する。図７は、部品吸着の際の吸着ノズル１８のノズル番号Ｎと空気流量ＱＮの関係の一例を示す図である。横軸は、吸着ノズル１８のノズル番号Ｎを示し、縦軸は、空気流量ＱＮを示している。複数の吸着ノズル１８のうち最初に部品Ｐを吸着する吸着ノズル１８をノズル番号Ｎ１の吸着ノズル１８とする。そして、ノズル番号Ｎ１の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着して上昇端位置まで押上げられたときに測定される空気流量ＱＮをＱ１とする。ノズル番号Ｎ１の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着すると、その吸着ノズル１８の吸入口は部品Ｐによって塞がれ、負圧源１４ａに吸入される空気流量ＱＮ１は飽和する。同図は、ノズル番号Ｎ１の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着して、空気流量Ｑ１が飽和して一定になっている状態を示している。
【００５０】
その後、実装制御部５１１によりノズルホルダ１７が回動され、次のノズル番号Ｎ２の吸着ノズル１８が割出される。そして、ノズル番号Ｎ２の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着して上昇端位置まで押上げられたときに空気流量ＱＮが測定される。このときの空気流量ＱＮをＱ２とする。以下、同様にして、最後に部品Ｐを吸着する吸着ノズル１８まで順に空気流量ＱＮを測定する。同図では、ノズル番号Ｎ６の吸着ノズル１８まで空気流量ＱＮが測定されたときの空気流量ＱＮの変化を曲線Ｌ１で示している。同図に示すように、負圧源１４ａに吸入される空気流量ＱＮは、吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着する毎に階段状に増加している。
【００５１】
流量算出部５１２は、複数の吸着ノズル１８のうちの一の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着してから次の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着するまでの空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮを算出する。但し、ノズル番号Ｎ１の吸着ノズル１８の変化量ΔＱ１は、空気流量Ｑ１とする。例えば、ノズル番号Ｎ２の吸着ノズル１８の変化量ΔＱ２は、ノズル番号Ｎ２の吸着ノズル１８の空気流量Ｑ２からノズル番号Ｎ１の吸着ノズル１８の空気流量Ｑ１を減算して算出することができる。ノズル番号Ｎ３の吸着ノズル１８の変化量ΔＱ３は、ノズル番号Ｎ３の吸着ノズル１８の空気流量Ｑ３からノズル番号Ｎ２の吸着ノズル１８の空気流量Ｑ２を減算して算出することができる。以下、同様にして、最後に部品Ｐを吸着する吸着ノズル１８まで空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮを算出する。
【００５２】
吸着異常検出部５１４は、流量算出部５１２によって算出される吸着ノズル１８の空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮが所定閾値を超えているか否かを判断する。例えば、ノズル番号Ｎ３の空気流量ＱＮの変化量ΔＱ３は所定閾値以下であるとする。これに対して、ノズル番号Ｎ４の空気流量ＱＮの変化量ΔＱ４は、同図に示すように変化量ΔＱ３と比べて大きく、所定閾値を超えているとする。この場合、吸着異常検出部５１４は、ノズル番号Ｎ４の吸着ノズル１８が吸着異常であると判断する。同様にして、吸着異常検出部５１４は、すべての吸着ノズル１８について、空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮが所定閾値を超えているか否かを判断して、吸着異常の有無を検出する。なお、所定閾値は、部品Ｐが正規の吸着姿勢で吸着ノズル１８に吸着されているときに許容されるエアーのリーク流量であり、予めシミュレーション、実機による測定等によって導出することができる。所定閾値は、制御装置５１のメモリに記憶されている。
【００５３】
ノズルホルダ１７が回転停止され、作業位置Ｓ１に割出された吸着ノズル１８が下降して部品Ｐを吸着している間に、先行位置Ｓ１＋１に割出された吸着ノズル１８と部品Ｐの先行位置側面画像７７ａが部品認識用カメラ２１によって撮像される。これと同時に、後行位置Ｓ１−１に割出された吸着ノズル１８と部品Ｐの後行位置側面画像７７ｂが部品認識用カメラ２１によって撮像される。先行位置側面画像７７ａおよび後行位置側面画像７７ｂは、一画面７８上に取得される。先行位置側面画像７７ａおよび後行位置側面画像７７ｂは、画像認識部５１３に入力されて、画像認識される。
【００５４】
吸着異常検出部５１４は、先行位置側面画像７７ａおよび後行位置側面画像７７ｂの部品Ｐの吸着状態に基づいて吸着異常であるか否かを判断する。例えば、吸着異常検出部５１４は、先行位置側面画像７７ａに基づいて吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着された部品Ｐの高さを測定し、部品Ｐの表裏が反対に吸着されていないかを判断する。また、吸着異常検出部５１４は、後行位置側面画像７７ｂに基づいて部品Ｐの吸着の有無を判断する。吸着異常検出部５１４は、部品Ｐが正規の吸着姿勢で吸着されていないときに吸着異常であると判断することができる。
【００５５】
図５（Ａ）は、部品Ｐが正規の吸着姿勢で吸着ノズル１８に吸着されている状態を示している。この場合、吸着異常検出部５１４は、吸着異常でないと判断する。同図（Ｂ）は、部品Ｐが傾斜した姿勢で吸着ノズル１８に吸着されている状態を示している。この場合、吸着異常検出部５１４は、吸着異常であると判断する。これにより、吸着異常の検出精度を向上させることができる。特に、空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮが所定閾値以下であり、部品Ｐの吸着状態が安定しているが、正規の吸着姿勢で部品Ｐが吸着されていない場合に、撮像される部品Ｐの吸着状態に基づいて吸着異常を検出することができ、吸着異常の検出精度を向上させることができる。
【００５６】
吸着異常検出部５１４は、吸着ノズル１８の空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮが所定閾値以下であり、かつ、撮像される部品Ｐの吸着状態が正常であるときに、部品Ｐが吸着ノズル１８に正常に吸着されていると判断する。吸着異常検出部５１４は、少なくとも一方の条件を充足しない場合に吸着異常であると判断する。同様にして、吸着異常検出部５１４は、すべての吸着ノズル１８について吸着異常であるか否かを判断する。実装制御部５１１は、吸着異常検出部５１４によって吸着異常が検出されると、吸着異常が検出された吸着ノズル１８を用いた部品Ｐの装着を中止する。なお、実装制御部５１１は、部品装着ヘッド１０の移動速度を低下させて、吸着異常が検出された吸着ノズル１８を用いた部品Ｐの装着を継続することもできる。
【００５７】
すべての吸着ノズル１８に部品Ｐが吸着されると、Ｙ軸サーボモータ１１およびＸ軸サーボモータが駆動されてＹ軸スライダ１２およびＸ軸スライダ１３が移動される。これにより、部品装着ヘッド１０は、ＣＣＤカメラ７５上に移動され、複数の吸着ノズル１８に吸着保持された部品ＰがＣＣＤカメラ７５によって撮像される。ＣＣＤカメラ７５は、部品Ｐの吸着ノズル１８に対する位置ずれ、角度ずれを検出することができる。その後、部品装着ヘッド１０は、Ｙ軸サーボモータ１１およびＸ軸サーボモータにより、所定位置に位置決めされたプリント基板上に移動される。このとき、部品装着ヘッド１０は、ＣＣＤカメラ７５によって検出された位置ずれ、角度ずれに応じて移動位置が補正される。
【００５８】
続いて、θ軸モータ１９の回転により、作業位置Ｓ１に割出された吸着ノズル１８に吸着保持された部品Ｐの角度ずれが補正されて、所定の姿勢に制御される。また、Ｚ軸モータ２０が正転されて、ノズルレバー４１によってノズルスピンドル３３が圧縮スプリング３５の付勢力に抗して下方に押下げられ、吸着ノズル１８の先端部１８ａに吸着された部品Ｐがプリント基板に装着されるまで押下げられる。このとき、部品Ｐがプリント基板に到達する付近で、割出された吸着ノズル１８に対して正圧・負圧供給装置１４から正圧が供給される。
【００５９】
これにより、割出された吸着ノズル１８内の負圧を消失させて、吸着ノズル１８から部品Ｐを順に解放してプリント基板に装着することができる。その後、Ｚ軸モータ２０が逆転されることにより、ノズルレバー４１が上方に移動され、圧縮スプリング３５の付勢力により吸着ノズル１８が最上端に移動した状態まで押上げられる。部品装着ヘッド１０が装着位置に移動すると、ノズルホルダ１７の回転割出し動作中に吸着ノズル１８の上下方向（Ｚ軸方向）の進退移動が同時に行われる。
【００６０】
流量算出部５１２は、各吸着ノズル１８が上昇端位置まで押上げられたときに、流量センサ１０１を用いて、正圧源１４ｄから吸着ノズル１８に供給される空気流量ＱＰを測定する。図８は、部品装着の際の吸着ノズル１８のノズル番号Ｎと空気流量ＱＰの関係の一例を示す図である。横軸は、吸着ノズル１８のノズル番号Ｎを示し、縦軸は、空気流量ＱＰを示している。複数の吸着ノズル１８のうち最初に部品Ｐを装着する吸着ノズル１８をノズル番号Ｎ１の吸着ノズル１８とする。そして、ノズル番号Ｎ１の吸着ノズル１８が部品Ｐを装着して上昇端位置まで押上げられたときに測定される空気流量ＱＰをＱ１１とする。
【００６１】
プリント基板の装着位置に部品Ｐの装着が終了すると、実装制御部５１１によりＹ軸サーボモータ１１およびＸ軸サーボモータが駆動される。そして、部品装着ヘッド１０は、プリント基板上の次の装着位置に移動する。その後、ノズルホルダ１７が回動され、次のノズル番号Ｎ２の吸着ノズル１８が割出される。そして、ノズル番号Ｎ２の吸着ノズル１８が部品Ｐを装着して上昇端位置まで押上げられたときに空気流量ＱＰが測定される。このときの空気流量ＱＰをＱ２とする。以下、同様にして、最後に部品Ｐを装着する吸着ノズル１８まで順に空気流量ＱＰを測定する。同図では、ノズル番号Ｎ５の吸着ノズル１８まで空気流量ＱＰが測定されたときの空気流量ＱＰの変化を曲線Ｌ２で示している。同図に示すように、正圧源１４ｄから吸着ノズル１８に供給される空気流量ＱＰは、吸着ノズル１８が部品Ｐを装着する毎に階段状に増加している。
【００６２】
流量算出部５１２は、複数の吸着ノズル１８のうちの一の吸着ノズル１８が部品Ｐを装着してから次の吸着ノズル１８が部品Ｐを装着するまでの空気流量ＱＰの変化量ΔＱＰを算出する。但し、ノズル番号Ｎ１の吸着ノズル１８の変化量ΔＱ１１は、空気流量Ｑ１１とする。例えば、ノズル番号Ｎ２の吸着ノズル１８の変化量ΔＱ１２は、ノズル番号Ｎ２の吸着ノズル１８の空気流量Ｑ１２からノズル番号Ｎ１の吸着ノズル１８の空気流量Ｑ１１を減算して算出することができる。ノズル番号Ｎ３の吸着ノズル１８の変化量ΔＱ１３は、ノズル番号Ｎ３の吸着ノズル１８の空気流量Ｑ１３からノズル番号Ｎ２の吸着ノズル１８の空気流量Ｑ１２を減算して算出することができる。以下、同様にして、最後に部品Ｐを装着する吸着ノズル１８まで空気流量ＱＰの変化量ΔＱＰを算出する。
【００６３】
装着異常検出部５１５は、流量算出部５１２によって算出される吸着ノズル１８の空気流量ＱＰの変化量ΔＱＰが所定閾値未満であるか否かを判断する。例えば、ノズル番号Ｎ３の空気流量ＱＰの変化量ΔＱ１３は所定閾値以上であるとする。これに対して、ノズル番号Ｎ４の空気流量ＱＰの変化量ΔＱ１４は、同図に示すように変化量ΔＱ１３と比べて小さく、所定閾値未満であるとする。この場合、装着異常検出部５１５は、ノズル番号Ｎ４の吸着ノズル１８が装着異常であると判断する。同様にして、装着異常検出部５１５は、すべての吸着ノズル１８について、空気流量ＱＰの変化量ΔＱＰが所定閾値未満であるか否かを判断して、装着異常の有無を検出する。
【００６４】
なお、所定閾値は、部品Ｐの持ち帰りなどの装着異常がなく部品Ｐをプリント基板に装着するときに許容されるエアーのリーク流量であり、予めシミュレーション、実機による測定等によって導出することができる。所定閾値は、制御装置５１のメモリに記憶されている。装着異常検出部５１５によって装着異常が検出されると、実装制御部５１１は、部品装着ヘッド１０を停止させる。なお、部品装着ヘッド１０の移動速度を低下させて、他の部品Ｐの装着を継続することもできる。
【００６５】
本実施形態では、部品装着ヘッド１０は、負圧源１４ａと各吸着ノズル１８とを連通する負圧分岐流路１４ｂの負圧源１４ａ側に負圧源１４ａに吸入される空気流量ＱＮを測定する流量センサ１００を有している。そして、吸着異常検出部５１４は、負圧源１４ａ側の空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮから部品Ｐの吸着異常を検出する。部品Ｐが安定した状態で吸着ノズル１８に吸着されている場合は、吸着ノズル１８の先端部１８ａの吸入口は部品Ｐによって適切に塞がれるので、空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮは小さくなる。逆に、吸着ノズル１８に対して部品Ｐが不安定な状態で吸着されている場合は、吸着ノズル１８の先端部１８ａの吸入口と部品Ｐとの間に間隙が生じて、空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮは大きくなる。つまり、吸着異常検出部５１４は、空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮから部品Ｐの吸着異常を検出することができるので、部品Ｐの吸着状態が安定しているか否かの判断が容易である。
【００６６】
また、吸着異常検出部５１４は、複数の吸着ノズル１８のうちの一の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着してから次の吸着ノズル１８が部品Ｐを吸着するまでの空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮが所定閾値を超えているときに吸着異常であると判断するので、すでに部品Ｐを吸着している吸着ノズル１８のエアーのリーク状態に依存することなく、吸着異常を検出することができる。そのため、部品Ｐの吸着異常を高精度に検出することができる。
【００６７】
さらに、吸着異常検出部５１４は、部品認識用カメラ２１によって撮像される部品Ｐの吸着状態に基づいて吸着異常であるか否かを判断する。そのため、部品Ｐが正規の吸着姿勢で吸着ノズル１８に吸着されているか否かを認識することができ、吸着異常の検出精度を向上させることができる。
【００６８】
本実施形態では、部品装着ヘッド１０は、正圧源１４ｄと各吸着ノズル１８とを連通する正圧分岐流路１４ｅの正圧源１４ｄ側に正圧源１４ｄから供給される空気流量ＱＰを測定する流量センサ１０１を有している。そして、装着異常検出部５１５は、正圧源１４ｄ側の空気流量ＱＰの変化量ΔＱＰから部品Ｐの装着異常を検出する。部品Ｐがプリント基板に装着された場合、部品Ｐを装着した吸着ノズル１８の吸入口は部品Ｐを吸着していないので、正圧源１４ｄ側の空気流量ＱＰの変化量ΔＱＰは大きくなる。逆に、部品Ｐの持ち帰りなどの装着異常が生じると、吸着ノズル１８の吸入口は部品Ｐによって塞がれているので、正圧源１４ｄ側の空気流量ＱＰの変化量ΔＱＰは小さくなる。
【００６９】
したがって、装着異常検出部５１５は、正圧源１４ｄ側の空気流量ＱＰの変化量ΔＱＰから部品Ｐの装着異常を検出することができ、流量センサ１０１下流側のエアー経路の影響を受けることなく、部品Ｐの装着異常を検出することができる。そのため、部品Ｐの装着異常を高精度に検出することができる。また、正圧源１４ｄ側に設けられる流量センサ１０１を用いて装着異常を検出するので、吸着ノズル１８の先端部１８ａを撮像して部品Ｐの装着異常を検出する場合と比べて、部品実装機１を小型化、低コスト化することができる。
【００７０】
本実施形態では、部品装着ヘッド１０は、複数の吸着ノズル１８が鉛直軸線ＡＬと同芯の円周上において回動可能に保持されているロータリヘッドである。ロータリヘッドにおいて、吸着異常検出部５１４は、空気流量ＱＮの変化量ΔＱＮから部品Ｐの吸着異常を検出することができ、部品Ｐの吸着異常を高精度に検出することができる。また、本実施形態では、負圧分岐流路１４ｂの負圧源１４ａ側に流量センサ１００が１つ設けられているので、吸着ノズル１８の各先端部１８ａにそれぞれ流量センサ１００を設ける場合と比べて、部品実装機１を低コスト化することができる。
【００７１】
また、装着異常検出部５１５は、複数の吸着ノズル１８のうちの一の吸着ノズル１８が部品Ｐを装着してから次の吸着ノズル１８が部品Ｐを装着するまでの正圧源１４ｄ側の空気流量ＱＰの変化量ΔＱＰが所定閾値未満のときに部品Ｐの装着異常であると判断するので、すでに部品Ｐを装着済みの吸着ノズル１８のエアーのリーク状態に依存することなく、装着異常を検出することができる。そのため、ロータリヘッドにおいて、部品Ｐの装着異常を高精度に検出することができる。
【００７２】
（３）その他
本発明は上記し且つ図面に示した実施形態のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施することができる。例えば、本実施形態では、吸着異常検出部５１４は、先行位置側面画像７７ａおよび後行位置側面画像７７ｂの２つの側面画像を用いて、部品Ｐの吸着異常を検出したが、吸着異常検出部５１４は、１つの側面画像を用いて部品Ｐの吸着異常を検出することもできる。また、吸着異常検出部５１４は、３つ以上の側面画像を用いて部品Ｐの吸着異常を検出することもできる。
【符号の説明】
【００７３】
１：部品実装機、
１０：部品装着ヘッド、
１００，１０１：流量センサ、
１４ａ：負圧源、１４ｂ：負圧分岐流路、
１４ｄ：正圧源、１４ｅ：正圧分岐流路、
１８：吸着ノズル、
２１：部品認識用カメラ、
５１４：吸着異常検出部、
５１５：装着異常検出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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