(57)【要約】  回路基板上に絶縁層と配線パターン層とが積層されたビルドアップ基板を製造するための方法であって、（ｉ）配線パターンを備えた回路基板の両面または片面に対して、光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、その光反応性の金属酸化物前駆体原料を乾燥処理に付して絶縁膜を形成する工程、（ｉｉ）絶縁膜を露光および現像処理に付すことを通じて絶縁膜にバイアホール用開口部を形成する工程、（ｉｉｉ）絶縁膜を熱処理に付して絶縁膜を無機金属酸化物膜とし、それによって無機金属酸化物膜から成るビルドアップ絶縁層を得る工程、ならびに、（ｉｖ）ビルドアップ絶縁層に対してめっき処理を施すことによってバイアホールを形成すると共に金属層を形成し、その金属層にエッチング処理を施してビルドアップ配線パターンを形成する工程を含んで成り、（ｖ）前記の（ｉ）〜（ｉｖ）工程を少なくとも１回以上繰返し行う、ビルドアップ基板の製造方法。
2013145043.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板上に絶縁層と配線パターン層とが積層されたビルドアップ基板の製造方法であって、
（ｉ）配線パターンを備えた回路基板の両面または片面に対して、光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、該光反応性の金属酸化物前駆体原料を乾燥処理に付して絶縁膜を形成する工程、
（ｉｉ）前記絶縁膜を露光および現像処理に付すことを通じて該絶縁膜にバイアホール用開口部を形成する工程、
（ｉｉｉ）前記絶縁膜を熱処理に付して該絶縁膜を金属酸化物膜とし、それによって該金属酸化物膜から成るビルドアップ絶縁層を得る工程、ならびに
（ｉｖ）前記ビルドアップ絶縁層に対してめっき処理を施すことによって前記開口部にバイアホールを形成すると共に前記ビルドアップ絶縁層上に金属層を形成し、該金属層にエッチング処理を施してビルドアップ配線パターンを形成する工程
を含んで成り、
（ｖ）前記（ｉ）〜（ｉｖ）の工程を少なくとも１回以上繰返し行う、ビルドアップ基板の製造方法。
【請求項２】
前記工程（ｉｉｉ）における前記絶縁膜の前記熱処理を５００℃以下かつ１００℃以上の温度で行うことを特徴とする、請求項１に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項３】
前記工程（ｉｉｉ）における前記絶縁膜の前記熱処理を真空下もしくは不活性ガス雰囲気下で行うことを特徴とする、請求項１に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項４】
前記工程（ｉ）で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、感光性ゾルゲル原料を含んで成ることを特徴とする、請求項１に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項５】
前記工程（ｉ）で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、アルコキシド化合物を含んで成ることを特徴とする、請求項４に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項６】
前記（ｉｉｉ）では、前記アルコキシド化合物の加水分解反応を通じて、該アルコキシド化合物から前記金属酸化物膜を得ることを特徴とする、請求項５に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項７】
前記工程（ｉ）で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、無機ネットワーク中に有機官能基を含んだハイブリッド材料を含んで成ることを特徴とする、請求項１に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項８】
前記ハイブリッド材料が、有機官能基を含んだシロキサンオリゴマーであることを特徴とする、請求項７に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項９】
前記工程（ｉ）では、前記光反応性の金属酸化物前駆体原料の前記塗布をスプレー法またはスリットコータ法によって行うことを特徴とする、請求項１に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項１０】
前記回路基板が、配線パターンを備えた金属箔または有機フィルムから構成されており、
前記工程（ｉ）では、前記回路基板の片面に前記光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、また
前記工程（ｖ）の後において、前記金属箔または前記有機フィルムを除去することを特徴とする、請求項１に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項１１】
前記工程（ｉｖ）に代えて、（ｉｖ）’として、前記ビルドアップ絶縁層の表面にレジストを形成した後で該ビルドアップ絶縁層および該レジストに対して全体的にめっき処理を施し、最終的に該レジストを除去することによって、該レジストの非形成部に前記バイアホールおよび前記ビルドアップ配線パターンを設けることを特徴とする、請求項１に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項１２】
ビルドアップ基板であって、
配線パターンを備えた回路基板の両面または片面にてビルドアップ絶縁層とビルドアップ配線パターンとが積層しており、
前記ビルドアップ絶縁層が、光反応性の金属酸化物前駆体原料から形成された金属酸化物膜から成る、ビルドアップ基板。
【請求項１３】
前記ビルドアップ絶縁層の前記金属酸化物膜が、酸化アルミニウム、酸化ケイ素および酸化マグネシウムから成る群から選択される少なくとも１種の金属酸化物を含んで成ることを特徴とする、請求項１２に記載のビルドアップ基板。
【請求項１４】
前記ビルドアップ絶縁層が１μｍ以上かつ２０μｍ以下の厚さを有していることを特徴とする、請求項１２に記載のビルドアップ基板。
【請求項１５】
前記回路基板の絶縁性基板部が有機材料から成り、該絶縁性基板部を貫通する少なくとも１つの貫通スルーホールが該回路基板に設けられていることを特徴とする、請求項１２に記載のビルドアップ基板。
【請求項１６】
前記絶縁性基板部の前記有機材料が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂およびポリイミド樹脂から成る群から選択される少なくとも１種を含んで成ることを特徴とする、請求項１５に記載のビルドアップ基板。
【請求項１７】
前記回路基板の絶縁性基板部が無機材料から成り、該絶縁性基板部を貫通する少なくとも１つの貫通スルーホールが該回路基板に設けられていることを特徴とする、請求項１２に記載のビルドアップ基板。
【請求項１８】
前記絶縁性基板部の前記無機材料が、ガラス成分およびセラミック成分から成る群から選択される少なくとも１種を含んで成ることを特徴とする、請求項１７に記載のビルドアップ基板。
【請求項１９】
前記ガラス成分が、硼ケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラスおよびアルミノ硼ケイ酸ガラスから成る群から選択される少なくとも１種のガラス成分であることを特徴とする、請求項１８に記載のビルドアップ基板。
【請求項２０】
前記セラミック成分が、アルミナ、ムライトおよびジルコニアから成る群から選択される少なくとも１種のセラミック成分となっていることを特徴とする、請求項１８に記載のビルドアップ基板。
【請求項２１】
前記ビルドアップ基板にトランジスタ素子が設けられており、
前記ビルドアップ絶縁層の前記金属酸化物膜の少なくとも一部がゲート絶縁膜として作用し、
前記ビルドアップ基板が、
前記金属酸化物膜の上にて金属酸化物半導体から構成された半導体膜、
前記半導体膜上と接するように前記ビルドアップ配線パターンの少なくとも一部から構成されたソース電極・ドレイン電極、および
前記ゲート絶縁膜の前記半導体膜を形成した面の反対面側に位置する前記ビルドアップ配線パターンの少なくとも一部から構成されたゲート電極
を有して成ることを特徴とする、請求項１２に記載のビルドアップ基板。
【請求項２２】
請求項１２に記載のビルドアップ基板を有して成る半導体集積回路パッケージであって、
バンプを介して前記ビルドアップ絶縁層上の前記ビルドアップ配線パターンに対して半導体ベアチップがフリップチップ実装されている、半導体集積回路パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ビルドアップ基板およびその製造方法ならびに半導体集積回路パッケージに関する。より詳細には、本発明は、ビルドアップ絶縁層が実質的に無機材料から構成されたビルドアップ基板に関すると共に、かかるビルドアップ基板を製造するための方法にも関する。更には、本発明は、ビルドアップ基板から得られる半導体集積回路パッケージにも関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器の進展に伴って、コンピュータのＣＰＵやＧＰＵ、および、デジタルテレビやスマートフォンなどに用いられる半導体集積回路（ＬＳＩ）は高速化が進んでいる。特に画像処理ＬＳＩなどは高速化と共に、高集積化も進んでおり、小型化およびＩ／Ｏ端子の増大への対応があわせて望まれている。【０００３】
小型化とＩ／Ｏ端子数の増大とが同時進行している状況においては、端子ピッチの小型／狭ピッチ化が更に進み、半導体集積回路のパッケージ配線基板への実装が困難になりつつある。【０００４】
ＬＳＩのパッケージ用配線基板としては、従来から熱伝導性に優れたセラミック基板が利用されている。セラミック基板は、耐熱性および耐湿性に優れているだけでなく、熱膨張係数も小さく、かつ基板反りが小さいため、はんだ等の金属接合に向いている。しかしながら、セラミック基板は大きなサイズでの焼成が困難であり、また割れなどが生じ易く薄型化には向かない。【０００５】
一般的には、エポキシ樹脂などの有機系のコア基板の両面に、層間絶縁層、バイアホールおよび銅箔配線層から構成されるビルドアップ層が複数積層したビルドアップ配線基板がＬＳＩのパッケージ用配線基板として利用されている。例えば、特許文献１などでは、感光性のビルドアップ樹脂絶縁材を用いてビア穴形成（フォトビアプロセス法）を行い、銅めっきにて配線を形成するビルドアップ基板が開示されている（図１３も併せて参照のこと）。また、特許文献２では、ビルドアップ絶縁層にレーザ加工によってビア穴形成（レーザビアプロセス法）を行ない、同様に銅めっきにて配線を形成するビルドアップ基板が開示されている。更に特許文献３においては、予め銅箔をエッチング法に付して開口部を設け、その開口部にレーザ加工法で微細なビア穴を形成する工法（コンフォーマルプロセス法）が開示されている（図１４も併せて参照のこと）。【０００６】
最新のＣＰＵでは、微細化が２２ｎｍまで進化し、Ｉ／Ｏ端子の増大、回路の大規模化の進展が著しく、サーバー用途では、むしろ半導体集積回路チップの大型化が進んでいるといえる。このように大型のチップが利用されるようになると、通常のビルドアップ基板であっても、生産工程上の反りや、ＬＳＩチップ実装における熱履歴による反りなどで、接合部のはんだ接合部が剥がれてしまうことが懸念される。また、微細化の進展で小径ビア穴加工や、微細配線ピッチの進展により、絶縁信頼性が低下し、絶縁不良や絶縁耐圧の低下を招いてしまうという懸念もある。近年では、更なる薄型化の要望もあり、コア基板を用いずビルドアップ層だけで基板を構成するケースも増えており、薄型化に対応した高い信頼性を有する絶縁材が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平４−１４８５９０号公報
【特許文献２】特開平３−２３３９９７号公報
【特許文献３】特開平８−２７９６７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
“大型”において高集積半導体をベアチップ搭載する場合、微細な配線ピッチと小径ビア接続とを有するビルドアップ基板が必須であるものの、前述の３通りのビルドアップ基板では高い信頼性を得ることは極めて困難である。【０００９】
具体的には、第１のフォトビアプロセス法では、感光性樹脂材料を用いて一括露光してビア穴を形成するために穴間の相対的位置精度が高く、タクトも短いことが利点であるものの、感光性樹脂材料に感光性を付与するために絶縁性に難があり、また、めっき法により形成した銅電極との接着強度が低い点が懸念される。第２のレーザビアプロセス法では、“レーザ加工法による穴明け”であるため、穴形成時のゴミの影響は受け難くい利点を有するものの、小径化にはレーザの絞り精度の問題で向かない。また、順次穴加工を行うためタクトが長く、設備コストも大きいなどの欠点を有している。位置精度もフォトビアプロセス法よりは相対的に良くないといえる。そして、第３のコンフォーマルプロセス法は、ビルドアップ樹脂が塗布された銅箔を積層して接着し、銅箔に予めビア穴形成する場所だけ開口すべくエッチングで取り除き、その開口径よりも小さいスポット径のレーザビームを照射してビア穴を開口する手法であり、それゆえ、銅とのレーザの吸収率差を利用するために小径化に向く。更に銅箔を予め接着させるので密着性に優れた配線が得られる。そうではあるものの、コンフォーマルプロセス法は、レーザビアプロセス法のように順次穴加工のため、タクトおよび設備コストの点で難があり、位置精度が悪いという欠点を有している。【００１０】
このように、感光性樹脂材料を用いた第１の従来法では、微細な配線化・薄型化に伴う絶縁材料の絶縁信頼性の点が問題となり得、レーザ加工法でバイアホール加工を行う第２および第３の従来法では、レーザ加工装置のコストが高く、また、加工位置精度がレンズ収差などの影響で良くない点が問題となる。更には、第２および第３の従来法では、小径化の点で難があり、また、各バイアホール加工が一括でなく順次加工であるために加工タクトなどの点で問題となり得、総じてレーザ加工装置に伴う問題が多いといえる。【００１１】
また、ビルドアップ基板においては、最新半導体ベアチップが搭載された基板の反り影響を排除することが困難である。これはビルドアップ基板の絶縁材が、有機材料からなるため、高い弾性率が得られないからである。一般的に高い弾性率を有するセラミック基板の利用が有効であり、セラミック基板は、高い弾性率の点でビルドアップ基板より有利といえるところ、大きなサイズの基板が得られないことと、その結果として高コストであることなどが課題となっている。例えば１００ｍｍ×１００ｍｍ程度のセラミック基板サイズに対して、ビルドアップ基板を代表例とするプリント基板サイズが３４０ｍｍ×５１０ｍｍ程度となっており、ビルドアップ基板のような生産性は得られない。この点、セラミック基板サイズを単に大きくすることが考えられるものの、セラミック基板サイズを単に大きくするだけでは、上述したように基板の割れや欠けを引き起こす要因となり、そのような割れ・欠けを防止しようとするとプロセス上搬送が困難となってしまうか、必要以上に厚みを大きくしなければならない。また、大型セラミック基板の製造に用いる焼成用セッターは、そもそも製作困難である。更には、そのような焼成用セッターを仮に製作できたとしても、非常に高価となるか、あるいは、セラミック基板のそりに直接影響するため平滑性問題で厳密性が要求される。【００１２】
本発明はかかる事情に鑑みて為されたものである。即ち、本発明の主たる目的は、生産性向上に寄与し得る大型のビルドアップ基板であって、更には、微細配線化および絶縁層の薄層化にも向く、高い信頼性を有する大型ビルドアップ基板を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明では、回路基板上に絶縁層と配線パターン層とが積層されたビルドアップ基板を製造するための方法であって、
（ｉ）配線パターンを備えた回路基板の両面または片面に対して、光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、その光反応性の金属酸化物前駆体原料を乾燥処理に付して絶縁膜を形成する工程、
（ｉｉ）絶縁膜を露光・現像処理に付すことを通じて絶縁膜にバイアホール用開口部を形成する工程、
（ｉｉｉ）「バイアホール用開口部が形成された絶縁膜」を熱処理に付して絶縁膜を無機金属酸化物膜とし、それによって無機金属酸化物膜から成るビルドアップ絶縁層を得る工程、ならびに
（ｉｖ）ビルドアップ絶縁層に対して全体的にめっき処理を施すことによって前記開口部にバイアホールを形成すると共にビルドアップ絶縁層上に金属層を形成し、その金属層にはエッチング処理を施してビルドアップ配線パターンを形成する工程
を含み、
（ｖ）前記の工程（ｉ）〜（ｉｖ）を少なくとも１回以上繰返し行う、ビルドアップ基板の製造方法が提供される。【００１４】
本発明の製造方法の特徴の１つは、ビルドアップ絶縁層原料として「感光性の金属酸化物前駆体原料」を用いることである。より具体的には、「感光性の金属酸化物前駆体原料」を塗布および乾燥処理して形成された絶縁膜に対して露光・現像処理を含むリソグラフィーを行ってバイアホールを形成し、次いで、かかる絶縁膜を加熱処理して金属酸化物絶縁膜とすることによって、薄く絶縁信頼性に優れたビルドアップ絶縁層を得る。【００１５】
本明細書における「ビルドアップ」といった用語は、本発明の対象となる基板が積層構造を有している態様に鑑みて用いている。例えば、“ビルドアップ”は、配線パターンを備えた回路基板（コア層とも呼ぶ）などの基板上に対して絶縁層および配線パターンなどが積層している態様に鑑みている（尚、本発明における“ビルドアップ”は、コア基板が設けられている態様に必ずしも限定されず、コア基板が最終的に除去された態様をも包含する）。【００１６】
また、本明細書における「光反応性」といった用語は、光の照射に応じて、被照射部の物理的性質または化学的性質などが変化する特性のことを意味している。【００１７】
本発明では、上述の製造方法から得られるビルドアップ基板も提供される。かかる本発明のビルドアップ基板は、配線パターンを備えた回路基板の両面または片面にてビルドアップ絶縁層とビルドアップ配線パターンとが積層しており、
ビルドアップ絶縁層が、光反応性の金属酸化物前駆体原料から形成された無機金属酸化物膜から構成されている。【００１８】
かかる本発明に係るビルドアップ基板の特徴の１つは、ビルドアップ絶縁層が「光反応性の金属酸化物前駆体原料を用いて形成された金属酸化物の無機膜」から成ることである。【００１９】
本発明では、上述のビルドアップ基板を利用した半導体集積回路パッケージも提供される。かかる本発明の半導体集積回路パッケージは、バンプを介してビルドアップ絶縁層上のビルドアップ配線パターンに対して半導体ベアチップがフリップチップ実装されている。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係るビルドアップ基板の製造方法では、「感光性の金属酸化物前駆体原料」を用いており、その結果、薄く絶縁信頼性に優れたビルドアップ絶縁膜を得ることができる。また、「感光性の金属酸化物前駆体原料」はペースト状または液体状の原料であり得るので、スプレー法やスリットコータ法によって塗布することができ、均一な製膜を大きな基板サイズで簡易に実現することができる。更には、「感光性の金属酸化物前駆体原料」ゆえに、その塗布膜（より具体的には「塗布後に乾燥処理して得られた絶縁膜」）に対して、一括して露光・現像処理することができ、その結果、一括してバイアホール加工を行うことができる。それゆえ、バイアホール位置精度が良好となる。つまり、大きな基板サイズであっても小径化バイアホールを安価に簡易に得ることができる。【００２１】
また本願発明の製造方法では、金属酸化物前膜を得るための加熱温度が比較的低温であり、それゆえ、コア用回路基板の選択自由度が高くなっている。例えば、コア基板の種類によっては、ビルドアップ基板にとって望ましい弾性率あるいは屈曲性を供すことができる。あくまでも例示にすぎないが、コアとなる回路基板の絶縁材（絶縁性基板部）を有機材料から成るものとした場合、ある程度の屈曲性を発揮させることができ、高い絶縁信頼性と柔軟性とを備えたビルドアップ基板を得ることができる。一方、コアとなる回路基板の絶縁材（絶縁性基板部）を無機材料から成るものとした場合、ビルドアップ絶縁層およびビルドアップ配線パターンの全てが実質的に無機材料から成り得るため、基板としての信頼性が増し、そのうえ熱膨張係数もシリコン半導体に近いため、高い実装信頼性を得ることができる。【００２２】
更に本発明では、“金属酸化物の無機膜”ゆえに、その厚さが１μｍ以上かつ２０μｍ以下の薄さでも高い弾性率を呈する緻密なビルドアップ絶縁層が供されており、モバイル用途などにとって好適な薄型半導体パッケージが実現される。【００２３】
更には、本発明に係るビルドアップ基板は、大型の薄い基板とした場合であっても、高い弾性と適度な熱膨張性のため、ビルドアップ基板の割れやクラックなどが抑制されている。それゆえ、本発明に従えばプリント基板の製造インフラを利用してビルドアップ基板の製造を好適に行うこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１（ａ）〜（ｆ）は、製造プロセス態様１に係る本発明の製造プロセス態様を模式的に示した工程断面図である。
【図２】図２（ａ）〜（ｂ）は、製造プロセス態様１に係る本発明の製造プロセス態様を模式的に示した工程断面図である。
【図３】図３は、スプレー法の態様を模式的に表した断面図である。
【図４】図４は、スリットコータ法の態様を模式的に表した断面図である。
【図５】図５（ａ）〜（ｇ）は、製造プロセス態様２に係る本発明の製造プロセス態様を模式的に示した工程断面図である。
【図６】図６（ａ）〜（ｄ）は、製造プロセス態様２に係る本発明の製造プロセス態様を模式的に示した工程断面図である。
【図７】図７（ａ）〜（ｈ）は、製造プロセス態様３に係る本発明の製造プロセス態様を模式的に示した工程断面図である。
【図８】図８は、本発明のビルドアップ基板１００の構成を模式的に示した断面図である。
【図９】図９は、本発明の半導体集積回路パッケージ４００の構成を模式的に示した断面図である。
【図１０】図１０は、本発明のビルドアップ基板１００’の構成を模式的に示した断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の半導体集積回路パッケージ４００’の構成を模式的に示した断面図である。
【図１２】図１２は、トランジスタを備えた本発明のビルドアップ基板１００'''の構成を模式的に示した断面図である。
【図１３】図１３は、感光性樹脂を用いたプロセスの態様を表した工程断面図である（従来技術）。
【図１４】図１４は、コンフォーマル・プロセスの態様を表した工程断面図である（従来技術）。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。図面においては、説明の簡略化のため、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照番号で示している。また、各図における寸法関係（長さ、幅、厚さなど）は実際の寸法関係を反映するものではない。更に、本明細書で間接的に触れる“上下方向”は、便宜上、図中における上下方向に対応した方向に相当する。
【００２６】
［本発明のビルドアップ基板の製造方法］
（製造プロセス態様１）
製造プロセス態様１として、図１および図２を参照しながら本発明のビルドアップ基板の製造方法について説明する。
【００２７】
本発明の製造方法の実施に際しては、まず工程（ｉ）を実施する。即ち、配線パターンを備えた回路基板の両面または片面に対して、光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、その塗布した原料を乾燥処理に付して絶縁膜を形成する。具体的には、図１（ａ）に示すように、両面または片面に配線パターン１０３を有する回路基板１０４を準備する。例えば、両面に配線パターン１０３を有する回路基板１０４は、例えばガラス織布にエポキシ樹脂を含浸した基材１０１の両面に銅箔からなる金属層を積層して加熱加圧することで一体化させ、更にフォトリソグラフィー法でエッチングして配線パターン１０３を形成することにより得ることができる。銅箔の積層後に、ドリルによる穴加工とめっき工法とを施すことによって層間接続するスルーホール１０２を設けてもよい（図１（ａ）参照）。
【００２８】
次いで、回路基板１０４の両面に「光反応性の金属酸化物前駆体原料」を塗布し、その「光反応性の金属酸化物前駆体原料」を乾燥処理に付して絶縁膜１０５を形成する（図１（ｂ）参照）。「光反応性の金属酸化物前駆体原料」は、例えば有機溶剤などを含んでおり、ペースト形態または液体形態を有し得る。ペースト形態の場合、「光反応性の金属酸化物前駆体原料」は、例えば室温（２５℃）およびずり速度１０００［１／ｓ］において１ｍＰａ・ｓ〜５０Ｐａ・ｓ程度（特に１０ｍＰａ・ｓ〜５０Ｐａ・ｓ程度）の粘度を有している。このような範囲に粘度を有すると、塗布領域における原料の濡れ広がりをより効果的に防止できる。本発明では「光反応性の金属酸化物前駆体原料」がペースト形態または液体形態であるがゆえ、スプレー法（図３）またはスリットコータ法（図４）を利用して原料を塗布することができる。
【００２９】
スプレー法では、図３に示すように、貯留タンク２０４中の「光反応性の金属酸化物前駆体原料２０５」を供給配管２０６を通してスプレーノズル２０３に供給する一方、圧縮ポンプ２０７から配管２０８を介して、キャリアガスとして圧縮空気をスプレーノズル２０３に供給する。これにより、スプレーノズル２０３からキャリアガスと共に一定量の「光反応性の金属酸化物前駆体原料」がステージ２０１上に配された回路基板２０２に対してスプレー２０９され、その結果、「光反応性の金属酸化物前駆体原料」の塗布膜２１０が形成される。回路基板２０２上に形成された塗布膜２１０の厚さは、例えば、好ましくは４μｍ〜５０μｍ、より好ましくは６μｍ〜３０μｍ、更に好ましくは８μｍ〜２０μｍ（例えば約１０μｍ）であってよい。このようなスプレー法は、簡易かつ高速に塗布膜２１０を形成できる。
【００３０】
一方、スリットコータ法では、図４に示すように、貯留タンク３０６から「光反応性の金属酸化物前駆体原料」が配管３０７を介してポンプ３０８によりスリットコータノズル３０３へと供給される。スリットコータノズル３０３へと供給された「光反応性の金属酸化物前駆体原料」は、マニホールド３０４に一旦貯められた後、スリット３０５からステージ３０１上の回路基板３０２へと直接的に塗布される。スリットコータノズル３０３は、回路基板３０１との間の距離を任意に設定することができる。それゆえ、「回路基板３０１との間のギャップ距離の調整」と「光反応性の金属酸化物前駆体原料を供給するポンプ圧力の調整」とによって、塗布膜厚を好適に制御できる。スリットコータ法は、スプレー法よりも比較的厚い塗布膜３１０を大きなサイズで実現することができ、かつ、一定厚みで塗布することができる。スリットコータ法では、例えば３０μｍ〜５０μｍ程度の厚みの塗布膜３１０を形成できる。
【００３１】
尚、「光反応性の金属酸化物前駆体原料」には、金属酸化物、特に金属酸化物粒子（金属酸化物の粉末）を添加しておいてもよい。何故なら、最終的に形成される“金属酸化物膜”につき絶縁性向上や熱的性質（熱膨張・熱伝導度）の制御が可能となり得るからである。金属酸化物粒子としては、例えば、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＭｇＯおよびＴｉＯ２から成る群から選択される材料を含んで成る粒子であってよい（それゆえ、例えば金属酸化物粒子はＡｌ２Ｏ３粒子、ＳｉＯ２粒子、ＭｇＯ粒子またはＴｉＯ２粒子などであってよい）。金属酸化物粒子の粒径自体は例えば約０．１μｍ〜約０．５μｍ程度である。
【００３２】
塗布された「光反応性の金属酸化物前駆体原料」（塗布膜）は、乾燥に付されることによって、それに含まれている有機溶剤などが減じられ、結果的に絶縁膜（金属酸化物の前駆体膜）が形成される。つまり、乾燥により有機溶剤などの気化成分が金属酸化物前駆体原料から抜けていく。尚、「光反応性の金属酸化物前駆体原料」への熱付与により乾燥させることに必ずしも限定されず、有機溶剤が気化するのであれば他の手段を用いてもよく、例えば、塗布された「光反応性の金属酸化物前駆体原料」を減圧下または真空下に置いてもよい。
【００３３】
熱付与により乾燥を行う場合では、例えば、塗布された「光反応性の金属酸化物前駆体原料」を大気圧下で５０〜２００℃程度（好ましくは６０℃〜１５０℃）の温度条件下に付すことが好ましい。また、減圧下または真空下に置く場合では、減圧度または真空度は有機溶剤の飽和蒸気圧以下に維持することによって有機溶剤の蒸発を進行させることになる。例えば、７〜０．１Ｐａ程度の減圧下または真空下に付すことが好ましい。必要に応じて「熱付与」と「減圧下または真空下」とを組み合わせて乾燥を実施してもよい。
【００３４】
“乾燥”により形成される絶縁膜は、その厚さが好ましくは１μｍ〜４０μｍ、より好ましくは２μｍ〜１５μｍ、更に好ましくは３μｍ〜１０μｍ（例えば約４μｍ）であってよい。塗布方法および塗布膜との関係で例示すると、スプレー法では８〜１２μｍ程度の厚みの塗布膜を形成し、乾燥の後に３〜５μｍ程度の厚みとなるようにしてよく、一方、スリットコータ法では３０〜５０μｍ程度の厚みの塗布膜を形成し、乾燥の後に２０〜３０μｍ程度の厚みとなるようにしてよい。
【００３５】
工程（ｉ）に引き続いて工程（ｉｉ）を実施する。つまり、絶縁膜１０５を露光および現像処理に付すことを通じて絶縁膜１０５にバイアホール用開口部１０７を形成する（図１（ｃ）および（ｄ）参照）。例えば、露光および現像を含んだリソグラフィーを実施することによって、絶縁膜１０５にバイアホール用開口部１０７を形成してよい（リソグラフィーの態様は、特に制限されるものではなく、露光および現像後に、リンスおよびエッチング処理などを含む態様であってもよい）。
【００３６】
露光は、例えば、所望のパターンを備えたフォトマスクを絶縁膜に配して行う態様の他、そのようなマスクを用いないダイレクト露光の態様であってもよい。いずれの態様であっても、適当な光を所望のパターンで絶縁膜に対して照射する。照射する光は、常套のリソグラフィーに用いられているものであれば、特に制限はない。例えば、照射光は、紫外線（ＵＶ）、可視光、Ｘ線、赤外線、放射光などのいわゆる“光”の認識に相当するものであってよい他、必要に応じてイオンビームや電子線なども用いてよい。１つ例示すると、ＵＶ光を用いてマスク露光を行う（例えば、約３６０〜３７０ｎｍの波長のＵＶ光につき８０〜１２０ｍＪ／ｃｍ２の光量であってよい）。また、露光形態は、特に限定されず、密着露光、近接露光および投影露光などのいずれの形態であってもよい。
【００３７】
露光処理に引き続いて、現像処理を行う。かかる現像処理も常套のリソグラフィーで採用されている処理であれば、特に制限はない。つまり、絶縁膜の露光領域が現像液に溶け出す“ポジ型”に相当するものであれば、それに適した現像液で処理すればよく、その逆で、絶縁膜の露光領域が現像液に溶解しないで残る“ネガ型”に相当するものであれば、それに適した現像液で処理すればよい。現像の処理形態なども特に制限はなく、浸漬法、スプレー法およびパドル法などを利用してよい。このような現像処理によって、絶縁膜１０５にバイアホール用開口部１０７が形成される。尚、必要に応じて、現像後においてリンスやエッチング処理などを付加的に行ってもよい。
【００３８】
工程（ｉｉ）に引き続いて、工程（ｉｉｉ）を実施する。つまり、絶縁膜１０５を熱処理に付して無機金属酸化物膜とし、それによって無機金属酸化物膜から成るビルドアップ絶縁層１０６を得る（図１（ｅ）参照）。
【００３９】
かかる熱処理では、絶縁膜１０５が加熱されることに起因して、絶縁膜１０５において反応または形態変化などが進行し、最終的に無機金属酸化物膜が形成される。あくまでも例示にすぎないが、「光反応性の金属酸化物前駆体原料」が感光性ゾルゲル原料を含んで成るものである場合、加水分解反応および／または縮合反応などが進行して最終的に無機金属酸化物膜が形成される。
【００４０】
工程（ｉｉｉ）の熱処理の温度は、比較的低い温度である。具体的に例示すると、工程（ｉｉｉ）の熱処理の温度は、５００℃以下、好ましくは４００℃以下、より好ましくは３００℃以下（例えば２５０℃以下）であってよい。このような熱処理の温度の下限値は、特に制限はないものの、同様に例示すると、２００℃、好ましくは１５０℃、より好ましくは１２０℃（例えば１００℃）であってよい。
【００４１】
絶縁膜１０５を熱処理に付す時間は、金属酸化物の無機膜が最終的に得られるものであれば、特に制限はない（一般的には、必要な反応に要する熱量などを考慮することになり、加熱温度や原料の種類などによって好適な加熱時間を決定すればよい）。熱処理手段としては、例えば、焼成炉のような加熱チャンバーを用いてよい。この場合、加熱チャンバー内に「絶縁膜１０５が形成された回路基板１０４」を供することによって、絶縁膜１０５を全体的に熱処理できる。
【００４２】
１つ例示すると、工程（ｉ）にて８０℃〜１２０℃程度の乾燥温度とし、工程（ｉｉ）でＵＶ光を用いてマスク露光を行った場合（例えば、約３６０〜３７０ｎｍの波長のＵＶ光につき８０〜１２０ｍＪ／ｃｍ２の光量とした場合）などでは、１８０℃〜２２０℃程度の温度で焼成を行うことで、金属酸化物膜よりなるビルドアップ絶縁層１０６を得ることができる。
【００４３】
工程（ｉｉｉ）に引き続いて、工程（ｉｖ）を実施する。つまり、ビルドアップ絶縁層１０６に対してめっき処理を施すことによって開口部１０７にバイアホール１０９を形成すると共にビルドアップ絶縁層１０６上に金属層１０８を形成し（図１（ｆ）参照）、その金属層１０８にエッチング処理を施してビルドアップ配線パターン１１０を形成する（図２（ａ）参照）。
【００４４】
１つ例示すると、バイアホール用の開口部１０７を設けたビルドアップ絶縁層１０６に対して、無電解めっき法および電解めっき法を実施して金属銅層１０８を形成する。無電解めっきでは銅を利用することができ、更に電解銅めっきを行うことにより、ビルドアップ絶縁層１０６上だけでなく、開口部１０７にも選択的に厚く銅めっきすることが可能となる。つまり、開口部１０７を埋めるとともに、ビルドアップ層へも平坦な銅めっきを施すことができる。
【００４５】
開口部１０７が銅めっきで充填されることでバイアホール１０９が形成されるが、開口部１０７にはデスミア処理や粗化処理などを行って銅層との密着性を改善してよい。また、無電解めっきを行う前にスパッタ法でＴｉなどの下地層を形成してもよい。これにより銅層とビルドアップ層との接着性が良好となり得る。形成された金属層１０８はフォトリソグラフィー法および化学的エッチング法などに付し、それによって、図２（ａ）に示すように金属層１０８からビルドアップ配線パターン１１０を形成してよい。
【００４６】
以上のような工程を経ることによって、回路基板１０４上にビルドアップ絶縁層１０６およびビルドアップ配線パターン１１０を形成することができる（図２（ａ）参照）。引き続いて、工程（ｖ）として上記の工程（ｉ）〜（ｉｖ）を繰返し行うと、回路基板１０４上に複数のビルドアップ絶縁膜１０６とビルドアップ配線パターン１１０とを形成することができ、最終的にビルドアップ基板１００が得られることになる（図２（ｂ）参照）。つまり、ビルドアップ基板１００として、無機絶縁膜を備えた多層基板が得られる。
【００４７】
（製造プロセス態様２）
次に、製造プロセス態様２として、図５および図６を参照して本発明のビルドアップ基板の製造方法について説明する（説明の重複を避けるため“製造プロセス態様１”と同様の事項は原則除いて説明する）。
【００４８】
まず、図５（ａ）に示すように、離型キャリア５００を供する。かかる離型キャリア５００は、最終的に除去することになる部材である。ここで、離型キャリア５００としては、後に剥離しやすいような有機フィルムを利用することができ、例えばＰＥＴやＰＰＳなどから成る有機フィルムを利用してよい。また別法にて、離型キャリア５００としては、化学的に溶かして除去することが可能な金属箔も利用することができ、例えば銅箔などを利用してよい。離型キャリア５００は、“キャリア”として以降の工程で有る程度の搬送などに耐えるように、８０〜１２０μｍ程度の厚みを有していることが好ましい。図５（ｂ）に示すように、離型キャリア５００上には配線パターン５０１を形成する。例えば、無電解銅めっきを０．３〜０．７μｍ程度の厚みで実施し、その導電性を利用して電解銅めっきを３〜７μｍ程度の厚み行ってよい。次いで、銅めっき処理を行って得られた金属層を化学エッチング法に付して配線パターン５０１を形成する。引き続いて、「光反応性の金属酸化物前駆体原料」を塗布して乾燥に付し、それによって、絶縁膜１０５たる金属酸化物前駆体膜を形成する（図５（ｃ）参照）。かかる塗布は、上述したようなスプレー法またはスリットコータ法を利用してよいし、あるいは、ドクターブレード法またはバーコータ法などを利用してもよい。それ以降に実施する工程（図５（ｄ）〜６（ｂ）に示される工程）は、上述の工程（ｉｉ）〜（ｖ）と実質的に同様である。つまり、絶縁膜１０５を露光・現像処理に付すことを通じて絶縁膜１０５にバイアホール用開口部１０７を形成する（図５（ｄ）および（ｅ）参照）。次いで、絶縁膜１０５を熱処理に付して無機金属酸化物膜とし、それによって無機金属酸化物膜から成るビルドアップ絶縁層１０６を得る（図５（ｆ）参照）。次いで、ビルドアップ絶縁層１０６に対してめっき処理などを施すことによってバイアホール１０９を形成すると共に金属層１０８を形成し（図５（ｇ）参照）、その金属層１０８にエッチング処理を施してビルドアップ配線パターン１１０を形成する（図６（ａ）参照）。以降、そのような処理を繰り返して実施することによって、離型キャリア５００上に複数のビルドアップ絶縁膜１０５とビルドアップ配線パターン１１０とを積層させることができる（図６（ｂ）および（ｃ）参照）。最終的には、図６（ｃ）および（ｄ）に示すように、離型キャリア５００を剥離すると、極薄の多層ビルドアップ基板１００’を得ることができる。
【００４９】
（製造プロセス態様３）
次に、製造プロセス態様３として、図７（ａ）〜（ｈ）を参照して本発明のビルドアップ基板の製造方法について説明する（説明の重複を避けるため“製造プロセス態様１”および“製造プロセス態様２”と同様の事項は原則除いて説明する）。
【００５０】
かかる製造プロセス態様３は、上述の工程（ｉｖ）に代えて、（ｉｖ）’として、「ビルドアップ絶縁層の表面にレジストを形成した後でビルドアップ絶縁層およびレジストに対して全体的にめっき処理を施し、レジストを最終的に除去することによって、レジストの非形成部にバイアホールおよびビルドアップ配線パターンが設けられる態様」を実施する。
【００５１】
まず、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、上述の工程（ｉ）〜（ｉｉｉ）を実施する。つまり、配線パターン７０３を備えた回路基板７０４の両面または片面に対して光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、その原料を乾燥処理に付して絶縁膜７０５を形成する（図７（ａ）および（ｂ）参照）。次いで、絶縁膜７０５を露光・現像処理に付すことを通じて絶縁膜７０５にバイアホール用開口部７０７を形成する（図７（ｃ）参照）。次いで、熱処理に付して絶縁膜７０５を無機金属酸化物膜とし、それによって無機金属酸化物膜から成るビルドアップ絶縁層７０６を得る（図７（ｄ）参照）。
【００５２】
バイアホール用開口部７０７を設けたビルドアップ層に、後の工程で行う銅などの電解めっきに供するため１０ｎｍから１００ｎｍ程度の薄膜電極を形成してよい（薄いため図示せず）。かかる薄膜電極の形成は、例えばＰｄ触媒液に浸し乾燥の後、無電解ニッケルめっきを全体に行う方法で形成することができる。このように全体を薄く金属層で無電解めっきする手法の他に、金属銅や金属ニッケル、金属銅や金属チタン又は金属ニッケルとクロムの合金などをスパッタして形成してもよい。このようにして形成した金属ニッケル層やチタン層上に、以降にて電解銅めっきを施したくない部分にフォトリソグラフィー法によりフォトレジスト７０８を形成する（図７（ｅ）参照）。フォトレジスト７０８は基板全面レジストを塗布した後、マスクパターン露光、レジスト現像処理を行って形成することができる。フォトレジスト層７０８の厚みは所望の銅電極の厚みである５μｍ以上であることが望ましい。次いで、先に形成したニッケル層を共通電極とし、図７（ｆ）に示すように電解銅めっきにより厚い銅層７１０を形成する。尚、開口部７０７には電解銅めっきにより充填されることでバイアホール７１１が形成される。この際、開口部にはデスミア処理、粗化処理などを行って銅層との密着性を改善してよい。電解銅めっきの後では、図７（ｇ）のようにレジスト７０８を剥離し、全面を薄くエッチングすることで、銅表面と下地のニッケル層やチタン層を除去して完成とする。以降は、上記処理を繰り返して実施することによって、回路基板７０４上において複数のビルドアップ絶縁層７０６とビルドアップ配線パターン７１０とを積層させる（図７（ｈ）参照）。
【００５３】
（その他の製造プロセス態様）
本発明の製造方法では、工程（ｉｉｉ）における絶縁膜の加熱処理（例えば焼成処理）が２５０℃以下であることが望ましい。なぜなら、配線パターンを有する回路基板の選択肢が広がるからである。例えばガラスエポキシ樹脂に限らず、ＰＰＳ、ＰＥＮなどの有機フィルムをベースとするフレキシブル基板を利用することが可能となる。また、工程（ｉｉｉ）における絶縁膜の加熱処理（例えば焼成処理）は、その雰囲気条件が真空雰囲気もしくは不活性ガス雰囲気であることが望ましい。なぜなら、銅などの配線パターンの酸化を防止できるからである。
【００５４】
（光反応性の金属酸化物前駆体原料）
次の本発明の特徴部分の１つである「光反応性の金属酸化物前駆体原料」について詳述する。
【００５５】
本発明の製造方法では、工程（ｉ）で用いる光反応性の金属酸化物前駆体原料が、感光性ゾルゲル原料を含んで成るものであってよい。一般にゾルゲル原料は、金属酸化物の前駆体溶液から出発し、熱処理などを通じて、加水分解・縮重合などの化学反応を経てゲル（ゼリー状の固体）化し、更に熱処理をすることにより内部に残された溶媒を取り除き、緻密化を促進させることによってガラスやセラミックスなどの無機金属酸化物とすることができる。このような原料を用いた“ゾルゲル法”では、セラミックスの焼成膜や、ガラス膜など、他の方法と比較して低温かつ容易に金属酸化物膜を作成することができる。また、“ゾルゲル法”では、化学反応を利用し、低温で作製することが可能であるので有機物と無機物との複合化が可能となる。具体的な作製方法は、例えば無機・有機金属塩の溶液を出発溶液とする。この溶液を加水分解および縮重合反応に付してコロイド溶液（Ｓｏｌ）とし、さらに反応を促進させることにより流動性を失った固体（Ｇｅｌ）とする。このＧｅｌを熱処理すると金属酸化膜を作製することができる。
【００５６】
特に本発明の製造方法で用いる感光性ゾルゲル原料は、アルコキシド化合物を含んで成るものであってよい。かかる場合、アルコキシド化合物を含んだ前駆体溶液が加水分解反応および／または縮重合反応などを経ることによって、最終的に無機金属酸化物膜のビルドアップ絶縁層とすることができる。アルコキシド化合物としての金属アルコキシドは、Ｍ(ＯＲ)ｘで表される化合物である（Ｍは金属、Ｒはアルキル基および／またはアルキレン基）。例えば、金属アルコキシドとしてのＳｉ（ＯＣ２Ｈ５)４(テトラエチルシラン)を出発原料とし、適度な水を添加して加水分解を引き起こさせる。ただし水による反応は非常に遅いため、酸と塩基触媒を用いて、短時間で加水分解反応を促進する方法を利用してもよい。そのために、本発明では、光酸発生剤を前駆体原料に添加してよく、ＵＶ照射された部分だけ、反応が進み、それ以外の部分は反応が遅くなるように調整してよい。
【００５７】
上記のような原料は、ペースト形態ないしは液体形態を有し得るので、スプレー法またはスリットコータ法で塗布を行うことができる（図２または図３参照）。原料がゲル化した前駆体膜（即ち絶縁膜１０５，７０５）をＵＶ露光、溶媒エッチングし、更に加熱することで金属酸化物である酸化ケイ素の膜を得ることができる。即ち、酸化ケイ素膜から成るビルドアップ絶縁層（１０６，７０６）を得ることができる。
【００５８】
本発明においては、ビルドアップ絶縁層は、酸化ケイ素膜に特に限定されるわけではなく、用いる金属アルコキシドの種類などに応じて、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムおよびそれらの化合物から成る群から選択される金属酸化物の膜を形成することができる。酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウムおよびそれらの化合物から成る群から選択される金属酸化物は、電気絶縁性と熱伝導性とに優れる点で望ましい（“熱伝導性”についていうと、例えば約２０Ｗ／ｍＫ以下の良好な熱伝導性を実現することができる）。
【００５９】
本発明において、感光性ゾルゲル原料は、無機ネットワーク（無機網目構造）中に分子レベルで有機官能基を含んだハイブリッド材料（複合材料）を含んで成るものであってよい。なぜなら、容易に感光性などの機能を付与することが可能であって、無機材料としての耐熱性、配線パターンとの接着性などの利点を踏襲しながら、容易なバイアホール加工性を有し得るからである。上記ハイブリッド材料（複合材料）は、例えば「有機官能基を含んだシロキサンオリゴマー」であってよい。このようなハイブリッド材料は、分子レベルの組成制御が可能であり、各種の適当な有機官能基の導入などにより、光学特性や、絶縁性、誘電率制御など電子分野への応用が容易となる。例えば、導入する有機官能基によって感光性や透明性などの各種の機能を付与することができる。「有機官能基を含んだシロキサンオリゴマー」を例にとると、シルセスキオキサンを使用して、有機官能基としてマレイミド基、メタクリロキシ基および／またはフェニル基などを導入してよい。マレイミド基を導入すれば“感光性”を付与でき、メタクリロキシ基を導入すれば“低温硬化性”を付与でき、そして、フェニル基を導入すれば“絶縁膜の製膜性または柔軟性”が向上し得る。
【００６０】
尚、本発明においては、感光性ゾルゲル原料が「β−ジケトンなどで化学修飾された金属アルコキシド」を含んで成るであってもよい。例えば、感光性ゾルゲル原料が、アセチルアセトンまたはベンゾイルアセトンなどで化学修飾された金属アルコキシドを含んで成るものであってよい。このような感光性ゾルゲル原料を用いると、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ３を含んで成る無機金属酸化物膜を形成することができる。より具体的に説明すると、適当な金属アルコキシドに対して、化学修飾剤としてβ−ジケトン（例えばアセチルアセトンまたはベンゾイルアセトン）、増感剤（例えばベンゾフェノンまたはアセトフェノン）および溶剤（例えばイソプロピルアルコールなどのアルコール類）などを加えて調製される原料を用いてよく、その原料を塗布して得られる原料膜に対してＵＶ光などを照射することを通じて、上記の金属酸化物膜を形成することができる。
【００６１】
［本発明のビルドアップ基板および半導体集積回路パッケージ］
次に、本発明のビルドアップ基板および半導体集積回路パッケージについて説明する。
【００６２】
（ビルドアップ基板の基本構成）
本発明のビルドアップ基板１００は、上述の製造方法で得られる基板である。図８に示されるように、配線パターン１０３を備えた回路基板１０４の両面または片面にてビルドアップ絶縁層１０６とビルドアップ配線パターン１１０（電極層）とが積層しており、ビルドアップ絶縁層１０６が、「光反応性の金属酸化物前駆体原料から形成された無機金属酸化物膜」から構成されている。ビルドアップ層１０６は、１層に限らず、複数の層設けられていてよい（尚、ビルドアップ層に設けられているバイアホール１０９は、異なる層の配線パターン層同士を電気的に相互接続するために供されている）。上述したように、本発明のビルドアップ基板１００では、ビルドアップ絶縁層１０６の“金属酸化物の無機膜”が、例えば、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウムおよびそれらの化合物から成る群から選択される少なくとも１種を含んで成っている。また、ビルドアップ絶縁層１０６は、その厚さが好ましくは１μｍ以上かつ２０μｍ以下、より好ましくは１μｍ以上かつ１５μｍ以下、更に好ましくは１μｍ以上かつ１０μｍ以下となっている（場合によってはビルドアップ絶縁層の厚さは１μｍ未満にも成り得る）。このようなビルドアップ絶縁層は、絶縁性および熱伝導性に優れる層としてより好適に機能を発揮し得る。また、薄いビルドアップ絶縁層に起因して、モバイル用途における電子機器の薄型化には大きく貢献する（あくまでも１つの例示にすぎないが、ビルドアップ絶縁層が２０μｍの厚さであった場合、それが１０層積層しても積層厚さが０．２ｍｍ程度になるにすぎず、薄い基板が実現される）。
【００６３】
尚、ビルドアップ絶縁層の原料となる「光反応性の金属酸化物前駆体原料」に金属酸化物粒子（金属酸化物の粉末）が含まれる場合、ビルドアップ絶縁層がその金属酸化物粒子を含んで成る。かかる場合、例えばビルドアップ絶縁層はＡｌ２Ｏ３粒子、ＳｉＯ２粒子、ＭｇＯ粒子および／またはＴｉＯ２粒子（粒径：約０．１μｍ〜約０．５μｍ）を含んで成る。
【００６４】
ビルドアップ基板１００は、所望のサイズにカットされ、半導体ベアチップが搭載されることで、図９に示すような半導体集積回路パッケージ４００が得られることになる。
【００６５】
図９における半導体集積回路パッケージ４００は、本発明のビルドアップ基板１００に半導体ベアチップ４１４をＣ４（Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｃｏｌｌａｐｓｅ  Ｃｈｉｐ  Ｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎ）実装法で搭載して得ることができる。このような半導体集積回路パッケージ４００は、ビルドアップ絶縁層に無機金属酸化物膜と銅配線とで積層された構成となっているので、各種の熱履歴に対して基板反り変化が極めて少なく、また基板が半導体ベアチップと近い熱膨張係数となるため、フリップチップ実装の信頼性が高く良好となる。更には、熱伝導度も通常のビルドアップ基板よりも良好であり、半導体ベアチップで生じる熱を速やかに逃がすこともできる。そして何よりも、薄いビルドアップ絶縁層に起因して、通常の半導体集積回路パッケージよりも薄くすることができる。
【００６６】
ここで、本発明の特徴の１つとなる“基板の大型化”について説明しておく。従来において無機材料よりなる通常のセラミック基板では、１辺が１００ｍｍ程度の焼結体しか得られなかったが、本発明ではプリント基板業界での一般的サイズである３３０ｍｍ×５００ｍｍ、又は５００ｍｍ×５００ｍｍなどといったサイズの大型基板とした場合であっても容易に塗布および熱処理して基板を得ることができる。従って、本発明は、プリント基板業界、特にビルドアップメーカのインフラがそのまま利用できるという工業上極めて優れた利点を有している。
【００６７】
尚、配線パターンを備えた回路基板１０４は、有機材料を絶縁材とするものであってよく、その基板を貫通する貫通スルーホールを少なくとも１つ備えたものであってよい。かかる場合、上記の有機材料が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂のいずれか、またはそれらの組み合わせよりなるものが好ましい。安価な有機材料よりなる回路基板を利用できるからである。
【００６８】
また、配線パターンを備えた回路基板１０４は、無機材料を絶縁材とするものであってよく、その基板を貫通する貫通スルーホールを少なくとも１つ備えたものであってよい。ビルドアップ基板の実質全ての材料構成を無機材とすることが可能となり、優れた絶縁性および熱伝導性がもたらされるうえ、耐熱性、ヒートサイクルなど高い信頼性を有する回路基板が得られるからである。上記の無機材料は、ガラス、セラミックのいずれか、またはそれらの混合物よりなるとよい。更にいえば、上記のガラスが、硼ケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラスおよびアルミノ硼ケイ酸ガラスから成る群から選択される少なくとも１種のガラスであるものが好ましい。このように回路基板がガラス基板であると、ビルドアップ絶縁層及び配線パターンの全てが無機材料からなるため、基板としての信頼性が増すばかりか、熱膨張係数もシリコン半導体に近いため、高い実装信頼性が得られる。また近年薄いガラス板（２５〜５０μｍ程度）が供給されつつあり、全体として曲げに耐えるビルドアップ基板が得られることになる。また、上記のセラミックは、アルミナ、ムライトおよびジルコニアから成る群から選択される少なくとも１種のセラミックであることが好ましい。回路基板のセラミック基板であると、ガラス基板と同様、シリコン半導体と同程度の熱膨張係数となり、高い信頼性を有するビルドアップ基板が得られる。また、熱伝導度に優れたビルドアップ基板が得られるという格別の効果もある。
【００６９】
（極薄ビルドアップ基板）
本発明では、極めて薄いビルドアップ基板が提供される。かかる基板は、上述の「製造プロセス態様２（図５〜６参照）」で得られる多層ビルドアップ基板１００’である（図１０参照）。
【００７０】
このような、極めて薄いビルドアップ基板１００’は、高い信頼性と相俟って、半導体集積回路パッケージ４００’として用いるうえで好適である（図１１参照）。また、その製造時にて離型キャリアのサイズを選ばないため、プリント基板業界での一般的サイズである３３０ｍｍ×５００ｍｍ、又は５００ｍｍ×５００ｍｍなどの大型サイズを有する基板としても容易に実現可能である。
【００７１】
（トランジスタを備えたビルドアップ基板）
本発明のビルドアップ基板は、ビルドアップ絶縁層が「光反応性の金属酸化物前駆体原料」に起因して、極めて薄くなっており、有機系絶縁材では得られない高い絶縁性を有しているので、更に高い機能を発揮させることができる。例えば、図１２に示すように、トランジスタをビルドアップ基板内又は表層に備えたビルドアップ基板が実現される。
【００７２】
図１２に示す構成においては、「ビルドアップ絶縁層６０１ａ、６０１ｂ、６０１ｃ、６０１ｄ上に形成した配線パターン６０５ａ，６０５ｂ，６０５ｃと、配線パターン６０６ａ，６０６ｂ，６０６ｃとの上にて、それらと接するように金属酸化物半導体膜６０４ａ、６０４ｂ、６０４ｃがそれぞれ形成されており、これにより、電界効果型トランジスタが供されている。図１２に示す構成を備えたビルドアップ基板では、配線パターン６０５ａ，６０５ｂ，６０５ｃと、配線パターン６０６ａ，６０６ｂ，６０６ｃがソース又はドレイン、金属酸化物半導体膜６０４ａ、６０４ｂ、６０４ｃが半導体層、金属酸化物の無機膜６０１ａ、６０１ｂ、６０１ｃが、ゲート絶縁膜として機能し得、このゲート絶縁膜の直上又は直下の配線パターンがゲート電極として機能し得る。尚、金属酸化物半導体６０４ａ，６０４ｂ，６０４ｃとしては、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系もしくはＩｎ−Ｚｎ−Ｏ系の金属酸化物半導体が利用できる。金属酸化物半導体は、スパッタ法で作製できるが、本発明におけるビルドアップ絶縁層の形成のように金属酸化物前駆体原料の塗布を通じて得ることもできる。
【００７３】
本願発明においては、ビルドアップ絶縁層が例えば約１μｍ程度の薄い無機金属酸化物膜より形成されているため、ソース電極及びドレイン電極となる配線層上に形成された金属酸化物半導体膜上のビルドアップ絶縁層がゲート絶縁膜として作用し、更にその上部に形成された配線パターンがゲート電極として機能する。これによりソース電極とドレイン電極間に電圧を印加した状態で、ゲート電極に電位を加えると、それにより金属酸化物半導体膜がスイッチし、ドレイン電流を制御することができる。このようにビルドアップ基板内もしくは表層に半導体素子を形成することができ、能動素子内蔵のビルドアップ基板が実現される。
【００７４】
さらに本発明では、薄いビルドアップ絶縁膜を利用してコンデンサなどが供されることは言うまでもない。つまり、薄い絶縁層上に更に所望の配線パターンを形成することで、コンデンサを形成することが可能となる。本発明では、絶縁層が薄く絶縁性に優れ、有機系材料よりも誘電率を高くすることが可能なため、高容量のコンデンサをビルドアップ基板内もしくは表層に設けることができる。その結果、能動素子は勿論のこと、コンデンサや抵抗体などの受動素子も機能内蔵することが可能となる。更には、上述の「製造プロセス態様２（図５〜６参照）」で得られる多層ビルドアップ基板１００’、即ち、回路基板を備えていないビルドアップ層および配線パターンを有する基板が、上記のような電界効果トランジスタを有していても良いことは言うまでもない。付言しておくと、通常、金属酸化物半導体は、本発明のように金属酸化物半導体の前駆体原料を塗布・加熱処理して得ることができるが、５５０℃程度の温度が必要とされている。このような高温に耐えるビルドアップ基板は従来では無いものの、本発明のように無機系の金属酸化物としてのビルドアップ絶縁膜と金属配線層とから構成される無機系のビルドアップ基板であれば、そのような不都合が回避される。更に、本発明では、ビルドアップ基板に半導体ベアチップが搭載されると、内蔵した電界効果トランジスタが保護素子として機能したり、電源電圧の変動を抑制するコンデンサを有する、極めて高機能な半導体集積回路パッケージを実現することができる。
【００７５】
最後に、本発明は下記の態様を有するものであることを確認的に付言しておく。
第１態様：回路基板上に絶縁層と配線パターン層とが積層されたビルドアップ基板の製造方法であって、
（ｉ）配線パターンを備えた回路基板の両面または片面に対して、光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、該光反応性の金属酸化物前駆体原料を乾燥処理に付して絶縁膜を形成する工程、
（ｉｉ）前記絶縁膜を露光および現像処理に付すことを通じて該絶縁膜にバイアホール用開口部を形成する工程、
（ｉｉｉ）前記絶縁膜を熱処理に付して該絶縁膜を金属酸化物膜とし、それによって該金属酸化物膜から成るビルドアップ絶縁層を得る工程、ならびに
（ｉｖ）前記ビルドアップ絶縁層に対してめっき処理を施すことによって前記開口部にバイアホールを形成すると共に前記ビルドアップ絶縁層上に金属層を形成し、該金属層にエッチング処理を施してビルドアップ配線パターンを形成する工程
を含んで成り、
（ｖ）前記（ｉ）〜（ｉｖ）の工程を少なくとも１回以上繰返し行う、ビルドアップ基板の製造方法。
第２態様：上記第１態様において、前記工程（ｉｉｉ）における前記絶縁膜の前記熱処理を５００℃以下かつ１００℃以上の温度で行うことを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。例えば、絶縁膜の熱処理を好ましくは４００℃以下、より好ましくは３００℃以下、例えば２５０℃以下の温度で行ってよい。これにつき１つ例示すると、“焼成”に付すことによって絶縁膜を金属酸化物絶縁膜とし、それによってビルドアップ絶縁膜を得てよい。
第３態様：上記第１態様または第２態様において、前記工程（ｉｉｉ）における前記絶縁膜の前記熱処理を真空下もしくは不活性ガス雰囲気下で行うことを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第４態様：上記第１態様〜第３態様のいずれかにおいて、前記工程（ｉ）で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、感光性ゾルゲル原料を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第５態様：上記第４態様において、前記工程（ｉ）で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、アルコキシド化合物を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第６態様：上記第５態様において、前記（ｉｉｉ）では、前記アルコキシド化合物の加水分解反応を通じて、該アルコキシド化合物から前記金属酸化物膜を得ることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第７態様：上記第１態様〜第６態様のいずれかにおいて、前記工程（ｉ）で用いる前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、無機ネットワーク中に有機官能基を含んだハイブリッド材料を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第８態様：上記第７態様において、前記ハイブリッド材料が、有機官能基を含んだシロキサンオリゴマーであることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第９態様：上記第１態様〜第８態様のいずれかにおいて、前記工程（ｉ）では、前記光反応性の金属酸化物前駆体原料の前記塗布をスプレー法またはスリットコータ法によって行うことを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。これは「感光性の金属酸化物前駆体原料」がペースト形態ないしは液体形態を有し得るので、光反応性の金属酸化物前駆体原料をスプレー法またはスリットコータ法によって塗布することができることを意味している。
第１０態様：上記第１態様〜第９態様のいずれかにおいて、前記回路基板が、配線パターンを備えた金属箔または有機フィルムから構成されており、
前記工程（ｉ）では、前記回路基板の片面に前記光反応性の金属酸化物前駆体原料を塗布し、また
前記工程（ｖ）の後において、前記金属箔または前記有機フィルムを除去することを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。かかる第１０態様の製造方法では、コア基板の無いビルドアップ基板を得ることができる。つまり、極めて薄い多層ビルドアップ基板を得ることができる。
第１１態様：上記第１態様〜第１０態様のいずれかにおいて、前記工程（ｉｖ）に代えて、（ｉｖ）’として、前記ビルドアップ絶縁層の表面にレジストを形成した後で該ビルドアップ絶縁層および該レジストに対して全体的にめっき処理を施し、最終的に該レジストを除去することによって、該レジストの非形成部に前記バイアホールおよび前記ビルドアップ配線パターンを設けることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。つまり、本発明の製造方法では、バイアホールおよびビルドアップ配線パターンは、レジストを用いることを通じて形成してもよい。
第１２態様：上記第１態様〜第１１態様のいずれかにおいて、前記光反応性の金属酸化物前駆体原料が、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＭｇＯおよびＴｉＯ２から成る群から選択される材料から成る粒子（粒径：０．１μｍ〜０．５μｍ）を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板の製造方法。
第１３態様：ビルドアップ基板であって、
配線パターンを備えた回路基板の両面または片面にてビルドアップ絶縁層とビルドアップ配線パターンとが積層しており、
前記ビルドアップ絶縁層が、光反応性の金属酸化物前駆体原料から形成された金属酸化物膜から成る、ビルドアップ基板。
第１４態様：上記第１３態様において、前記ビルドアップ絶縁層の前記金属酸化物膜が、酸化アルミニウム、酸化ケイ素および酸化マグネシウムから成る群から選択される少なくとも１種の金属酸化物を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板。
第１５態様：上記第１３態様または第１４態様において、前記ビルドアップ絶縁層が１μｍ以上かつ２０μｍ以下の厚さを有していることを特徴とするビルドアップ基板。つまり、本発明におけるビルドアップ絶縁層は、その厚さが例えば１μｍ以上かつ２０μｍ以下と非常に薄い絶縁層を成し得る。
第１６態様：上記第１３態様〜第１５態様のいずれかにおいて、前記回路基板の絶縁性基板部（絶縁部）が有機材料から成り、該絶縁性基板部（絶縁部）を貫通する少なくとも１つの貫通スルーホールが該回路基板に設けられていることを特徴とするビルドアップ基板。
第１７態様：上記第１６態様において、前記絶縁性基板部の前記有機材料が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂およびポリイミド樹脂から成る群から選択される少なくとも１種を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板。
第１８態様：上記第１３態様〜第１５態様のいずれかにおいて、前記回路基板の絶縁性基板部（絶縁部）が無機材料から成り、該絶縁性基板部（絶縁部）を貫通する少なくとも１つの貫通スルーホールが該回路基板に設けられていることを特徴とするビルドアップ基板。
第１９態様：上記第１８態様において、前記絶縁性基板部の前記無機材料が、ガラス成分およびセラミック成分から成る群から選択される少なくとも１種を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板。
第２０態様：上記第１９態様において、前記ガラス成分が、硼ケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラスおよびアルミノ硼ケイ酸ガラスから成る群から選択される少なくとも１種のガラス成分であることを特徴とするビルドアップ基板。
第２１態様：上記第１９態様において、前記セラミック成分が、アルミナ、ムライトおよびジルコニアから成る群から選択される少なくとも１種のセラミック成分となっていることを特徴とするビルドアップ基板。
第２２態様：上記第１３態様〜第２１態様のいずれかにおいて、前記ビルドアップ基板にトランジスタ素子が設けられており、
前記ビルドアップ絶縁層の前記金属酸化物膜の少なくとも一部がゲート絶縁膜として作用し、
前記ビルドアップ基板が、
前記金属酸化物膜の上にて金属酸化物半導体から構成された半導体膜、
前記半導体膜上と接するように前記ビルドアップ配線パターンの少なくとも一部から構成されたソース電極・ドレイン電極、および
前記ゲート絶縁膜の「前記半導体膜を形成した面の反対面側」に位置する前記ビルドアップ配線パターンの少なくとも一部から構成されたゲート電極
を有して成ることを特徴とするビルドアップ基板。
第２３態様：上記第１３態様〜第２２態様のいずれかにおいて、前記ビルドアップ絶縁層の前記金属酸化物膜が、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＭｇＯおよびＴｉＯ２から成る群から選択される材料から成る粒子（粒径：０．１μｍ〜０．５μｍ）を含んで成ることを特徴とするビルドアップ基板。
第２４態様：上記第１３態様〜第２３態様のいずれかのビルドアップ基板を有して成る半導体集積回路パッケージであって、
バンプを介して前記ビルドアップ絶縁層上の前記ビルドアップ配線パターンに対して半導体ベアチップがフリップチップ実装されている、半導体集積回路パッケージ。
【００７６】
以上、本発明について説明してきたが、本発明の適用範囲のうちの典型的態様を例示したにすぎない。従って、本発明ではこれに限定されず、種々の態様が付加的または代替的に考えられることを当業者は容易に理解されよう。
【００７７】
最後に、本発明において奏し得る効果について、下記に纏めて述べておく。
●  本発明に係るビルドアップ基板の製造方法では、コアとなる回路基板の両面または片面にて感光性の金属酸化物前駆体溶液から絶縁膜を形成し、バイアホール用開口部の加工を行った後、焼成などの加熱処理により金属酸化物絶縁膜を得るので、薄く絶縁信頼性に優れたビルドアップ絶縁膜を得ることができる。
●  感光性の金属酸化物前駆体溶液を塗布し、乾燥の後、一括してマスク露光し、更に現像処理で一括してバイアホール用開口部の加工が行えるので、バイアホールの位置精度が良好であり、且つ５〜２０μｍ程度の小径化バイアホールが安価に大型基板サイズで簡易に得ることができる。さらに、ビルドアップ絶縁膜として緻密な金属酸化物絶縁膜が得られるので、有機物のような残渣が生じず、ビルドアップ基板のようなデスミア処理は不要となる。加えて、金属酸化物前駆体溶液を塗布する工程が、スプレー法やスリットコータ法によって行うことできるので、均一な製膜が大きさサイズで簡易に行うことができる。
●  本願発明の製造方法によれば、金属酸化物前駆体膜の焼成を好ましくは２５０℃以下の低温度で行うことができる。このため、各種のコア用回路基板の選択が自由である。本発明の基板構成としては絶縁材料層と配線パターン層とが積層しており、絶縁材料層が、感光性の無機金属酸化物前駆体膜を焼成して得られる無機ビルドアップ絶縁材からなり、それゆえ、緻密で絶縁性及び絶縁信頼性に優れている。このように、本発明に係るビルドアップ基板は、薄く微細な配線パターンに対応でき、かつ高い弾性率と高い信頼性の絶縁膜を備えている。
●  無機のビルドアップ絶縁層は、焼成などの加熱処理により酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウムなどから形成され得るので、絶縁信頼性に優れるばかりか、高い熱伝導性がもたらされ、高集積半導体パッケージ用のビルドアップ基板として望ましい。また例えば、ビルドアップ絶縁層が、無機ネットワーク中に分子レベルで有機官能基を有する無機／有機ハイブリッド材料より構成される場合では、容易に感光性などの機能を付与することが可能で、無機材料としての耐熱性、配線パターンとの接着性などの利点を踏襲しながら、容易なバイアホール加工性が得られる。また、金属酸化物膜のビルドアップ絶縁膜であるため、１μｍ以上かつ２０μｍ以下の薄さでも高い弾性率と緻密絶縁膜とを具備した基板が得られることになり、モバイル用途などに好適な薄型半導体パッケージが実現される。
●  本発明の基板構成では、配線パターンを有する回路基板として、有機材料を絶縁材とするものが利用できるので、ある程度の屈曲性を発揮できる。これにより高い絶縁信頼性と柔軟性とを備えたビルドアップ基板が実現される。一方、配線パターンを有する回路基板が、無機材料のガラス基板の場合、ビルドアップ絶縁層及び配線パターンの全てが無機材料からなるため、基板としての信頼性が増すばかりか、熱膨張係数もシリコン半導体に近いため、高い実装信頼性が得られる。さらに、回路基板の絶縁材がセラミック基板であると、ガラス基板と同様、シリコン半導体と同程度の熱膨張係数となり、高い信頼性を有するビルドアップ基板が実現され、かつ熱伝導度に優れたビルドアップ基板が実現される。
●  本発明では、無機金属酸化膜から成る絶縁材料層が好適に利用されたトランジスタ素子を含んだビルドアップ基板を実現することができ、能動素子も含む多機能なビルドアップ基板が供される。
●  本発明では、ビルドアップ基板に半導体ベアチップがバンプを介してフリップチップ実装されている半導体集積回路パッケージも提供されるが、基板部分が無機金属酸化物膜と配線パターンとで構成されているため、耐熱性と熱伝導性に優れ、かつ半導体チップの熱膨張とほぼ一致した高い実装信頼性を有す高集積した半導体パッケージを実現することができる。
●本発明に係るビルドアップ基板は、大型の薄い基板とした場合であっても、高い弾性および適度な熱膨張性のため、ビルドアップ基板の割れやクラックなどが抑制されている。このように、本発明のビルドアップ基板は薄く大型化しても割れ・クラックや反りなどが抑制されるので、本発明に従えばプリント基板の製造インフラを利用してビルドアップ基板の製造を好適に行うことができる。
●  更には、本発明のビルドアップ基板は、金属酸化物の絶縁材として利用するので、種々の誘電率を選択できる（１つ例示すると、ε＝２．５程度）。低誘電率材を選択した場合、高周波特性に優れた基板となり得る。
●  このように、本発明では、従来のビルドアップ基板では得られない格別な効果がある。即ち、本発明の無機系ビルドアップ絶縁膜は、微細な配線化、薄型化に伴う絶縁材料の絶縁信頼性に優れ、かつ感光性と現像、加熱処理により一括してバイアホール形成が行えるので、レーザ加工法のような高価な装置が不要であり、高い加工位置精度が実現できるばかりか、バイアホールの好適な小径化（１つ例示すると、径サイズ２０μｍ以下）を実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明に係るビルドアップ基板は、薄型のモバイル機器の基板や、放熱性を必要とする高輝度ＬＥＤ用の基板として好適に用いられると共に、電子部品が高密度実装された電子機器の基板などとしても好適に用いられる。【００７９】
特に本発明に係るビルドアップ基板は、薄型及び高い信頼性を要望される機器に適しており、これを用いた半導体パッケージ用ビルドアップ基板として放熱性、寸法安定性、高い信頼性を有している。それゆえ、本発明のビルドアップ基板は、コンピュータやサーバーなどのＣＰＵ半導体集積回路を実装する半導体パッケージ用基板としても有用である。
【関連出願の相互参照】
【００８０】
本出願は、日本国特許出願第２０１２−７１９９６号（出願日：２０１２年３月２７日、発明の名称「ビルドアップ基板およびその製造方法ならびに半導体集積回路パッケージ」）に基づくパリ条約上の優先権を主張する。当該出願に開示された内容は全て、この引用により、本明細書に含まれるとする。
【符号の説明】
【００８１】
１００、１００’、１００''、１００'''  ビルドアップ基板
１０１  絶縁性基板部
１０２  バイアホール／ビア／貫通スルーホール
１０３  配線パターン
１０４  回路基板
１０５  絶縁膜（金属酸化物前駆体膜）
１０６  ビルドアップ絶縁膜（金属酸化物の無機膜）
１０７  バイアホール用開口部
１０８  金属層
１０９  めっき充填バイアホール／ビア
１１０  ビルドアップ配線パターン
２０１  ステージ
２０２  基板
２０３  スプレーノズル
２０４  貯留タンク
２０５  金属酸化物前駆体原料
２０６  供給配管
２０７  圧縮ポンプ
２０８  配管
２０９  スプレー噴霧
２１０  スプレー法で形成される塗布膜
３０１  ステージ
３０２  基板
３０３  スリットコータノズル
３０４  マニホールド
３０５  スリット
３０６  貯留タンク
３０７  配管
３０８  ポンプ
３１０  スリットコータ法で形成される塗布膜
４００、４００’  半導体集積回路パッケージ（高集積半導体パッケージ）
４１４、４１４’  半導体チップ
４１５、４１５’  はんだバンプ
５００  離型キャリア
５０１  配線パターン
６０１ａ〜ｄ  ビルドアップ絶縁層（無機金属酸化物膜）
６０２  バイアホール／ビア
６０３  配線パターン
６０４ａ〜ｃ  金属酸化物半導体
６０５ａ〜ｃ  ドレイン電極
６０６ａ〜ｃ  ソース電極
６０７ａ〜ｃ  ゲート電極
６０８  コンデンサ層
７０１  絶縁性基板部
７０２  バイアホール
７０３  配線パターン
７０４  回路基板
７０５  絶縁膜（金属酸化物前駆体膜）
７０６  ビルドアップ絶縁膜（無機金属酸化物膜）
７０７  バイアホール用開口部
７０８  レジスト
７１０  金属層／ビルドアップ配線パターン
７１１  めっき充填バイアホール／ビア
【図１】
2013145043.tif 000003
【図２】
2013145043.tif 000004
【図３】
2013145043.tif 000005
【図４】
2013145043.tif 000006
【図５】
2013145043.tif 000007
【図６】
2013145043.tif 000008
【図７】
2013145043.tif 000009
【図８】
2013145043.tif 000010
【図９】
2013145043.tif 000011
【図１０】
2013145043.tif 000012
【図１１】
2013145043.tif 000013
【図１２】
2013145043.tif 000014
【図１３】
2013145043.tif 000015
【図１４】
2013145043.tif 000016
【国際調査報告】
2013145043.tif 000017
2013145043.tif 000018
2013145043.tif 000019
2013145043.tif 000020