(57)【要約】［課題］樹脂構造物（特には樹脂製のレプリカモールド）をロール  トゥー  ロールで大量生産するために、樹脂製モールドの端部同士を接合するにあたり、接合部の強度を充分に強固にすることができるとともに、接合部に段差が生じることがなく、これにより所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンの転写を良好に行うことができる樹脂製モールドの接合方法およびこの接合方法で製造されたロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体を提供する。［解決手段］所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された樹脂製モールドの端部間を突合せて接合するにあたり、前記樹脂製モールドの端部の突合せ部の隙間に剥離性の樹脂を装填し、前記剥離性の樹脂の硬化により、前記樹脂製モールドの端部間を一体的に接合することを特徴とする。
2013031460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された樹脂製モールドの端部間を突合せて接合する樹脂製モールドの接合方法であって、
前記樹脂製モールドの端部の突合せ部の隙間に剥離性の樹脂を装填し、前記剥離性の樹脂の硬化により、前記樹脂製モールドの端部間を一体的に接合することを特徴とする樹脂製モールドの接合方法。
【請求項２】
前記樹脂製モールドの突合せ部の隙間が、０．５μｍ〜３ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の樹脂製モールドの接合方法。
【請求項３】
前記剥離性の樹脂が、シリコーン樹脂であることを特徴とする請求項１に記載の樹脂製モールドの接合方法。
【請求項４】
所望とする微細な凹凸パターンが形成された樹脂構造物をロール  トゥー  ロールで多量に複製するためのロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体であって、
前記ロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体は、
前記所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された複数個の樹脂製モールドと、
前記複数個の樹脂製モールドを平面的に並べて配置し、前記平面的に並べられた複数個の樹脂製モールド間の隙間に充填された剥離性の樹脂と、
を備え、
前記充填された剥離性の樹脂が硬化することにより、前記複数個の樹脂製モールドが一体化されてなることを特徴とするロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体。
【請求項５】
前記樹脂構造物が、レプリカモールドであることを特徴とする請求項４に記載のロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体。
【請求項６】
前記樹脂製モールドが、
両面粘着テープ上に並べて配置されていることを特徴とする請求項５に記載のロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体。
【請求項７】
前記樹脂製モールドと前記両面粘着テープの長尺方向における端部の位置がずれていることを特徴とする請求項６に記載のロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂製モールドの接合方法およびこの接合方法で製造されたロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体に関し、詳しくは、原版となる１つのモールドから多量の樹脂構造物（特には樹脂製のレプリカモールド）を連続的に作成する場合に好適な樹脂製モールドの接合方法およびこの接合方法で製造されたロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体に関する。
【背景技術】
【０００２】
インプリント技術とは、所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンを有するモールドを、基板上の液状樹脂等の転写材料へ押し付け、これによりモールドの反転パターンを転写材料に転写する微細加工技術である。【０００３】
微細な凹凸パターンの反転パターンとしては、１０ｎｍレベルのナノスケールのものから、１００μｍ程度のものまで存在し、半導体材料，光学材料，記憶メディア，マイクロマシン，バイオ，環境等、様々な分野で用いられている。【０００４】
ところで、１つのモールドから多量のレプリカモールドを製造する場合、フレキシブルで転写材料に対して追従性のある樹脂製モールドを用いてロール  トゥー  ロールにより連続転写して形成すれば、金属ロールの表面を切削加工して所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンを形成する場合と比べて安価に製造できる。【０００５】
また、金属ロールでは達成することができないナノオーダーレベルの要求であっても樹脂製モールドであれば、短時間で多量かつ安価に製造することができる。【０００６】
このように樹脂製モールドを用いてロール  トゥー  ロールにより多量のレプリカモールドを生産する場合には、多数の樹脂製モールドをシート上に並べて配置し、これを１つのユニットとして転写用ロールに巻回するようにしている。【０００７】
すなわち、多数の樹脂製モールドを転写用ロールの周面に並べて配置すれば、転写用ロールが一回転する間に、多数のレプリカモールドを同時に形成することができる。【０００８】
ここで、多数の樹脂製モールドを転写用ロールに配置する技術として、特許文献１に記載の技術が知られている。【０００９】
この特許文献１には、例えば図１２（Ａ）に示したように、突き合わされた樹脂フィルム２０，２０の端部を一対のヒータ１４，１４で挟み込み、このヒータ１４，１４で加圧融着する技術、あるいは図１２（Ｂ）に示したように、接合する樹脂フィルム２０，２０の端部を重ね合わせた状態に配置し、この状態から該当する部分を加圧融着する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】ＷＯ２０１１／０４９０９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、図１２（Ａ）に示したように、樹脂フィルム２０，２０の端部を互いに突合せて加圧融着した場合には、接合部を十分に接合することができず、後に離反してしまうという問題があった。【００１２】
実験によれば、図１２（Ａ）に示したような突合せ状態で樹脂フィルム２０，２０間を加圧融着し、これを転写用ロールに巻きつけて、ロール  トゥー  ロールでインプリント用モールドを作成した場合には、４時間ほどの連続運転で樹脂フィルム２０，２０間の接合部で剥離が生じてしまった。【００１３】
一方、図１２（Ｂ）に示したように、接合すべき樹脂フィルム２０，２０の端部間を一部重ね合わせた状態にしてから、該当する部分を加圧融着した場合には、両者の接合性は向上するものの、接合部に段差が生じてしまうものであった。【００１４】
このように接合部に段差が生じてしまうと、後に行う反転パターンの転写に悪影響が生じてしまう。【００１５】
本発明は、このような実情に鑑み、樹脂構造物（特には樹脂製のレプリカモールド）をロール  トゥー  ロールで大量生産するために、樹脂製モールドの端部同士を接合するにあたり、接合部の強度を強固にすることができるとともに、接合部に段差が生じることがなく、これにより所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンの転写を良好に行うことができる樹脂製モールドの接合方法およびこの接合方法で製造されたロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、前述したような従来技術における問題点を解決するために発明されたものであって、
本発明の樹脂製モールドの接合方法は、
所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された樹脂製モールドの端部間を突合せて接合する樹脂製モールドの接合方法であって、
前記樹脂製モールドの端部の突合せ部の隙間に剥離性の樹脂を装填し、前記剥離性の樹脂の硬化により、前記樹脂製モールドの端部間を一体的に接合することを特徴とする。【００１７】
このような樹脂製モールドの接合方法であれば、樹脂製モールドの端部の突合せ部を強固に接合することができる。【００１８】
さらに、突合せ部の隙間に剥離性樹脂が充填されているため、転写材料の樹脂が隙間内に入り込んでしまうことがない。【００１９】
また、確実な接合が行われることから、接合部が部分的に剥がれてしまうなどの不具合を防止することができる。【００２０】
また、実験によれば、転写用ロールに巻きつけ、ロール  トゥー  ロールでレプリカモールドを作成した場合には、８時間ほどの連続運転を行うことが可能であった。【００２１】
また、本発明の樹脂製モールドの接合方法は、
前記樹脂製モールドの突合せ部の隙間が、０．５μｍ〜３ｍｍであることを特徴とする。【００２２】
このような隙間であれば、隙間に装填される剥離性樹脂の硬化により、接合部の強度を十分に保持することが可能となり、加えて接合作業を良好に実施することができる。【００２３】
さらにこのような隙間が設けられていれば、転写に悪影響が出るような段差が、突合せ部に形成されることはない。【００２４】
また、実験によれば、段差を３０μｍ以下にすることができ、この段差では転写に影響がでることはなかった。【００２５】
また、本発明の樹脂製モールドの接合方法は、
前記剥離性の樹脂が、シリコーン樹脂であることを特徴とする。【００２６】
このようにシリコーン樹脂であれば、安価で容易に入手できるとともに、ロール  トゥー  ロールにより凹凸パターンの反転パターンが転写される転写材料に対して剥離性を充分に発揮することが可能である。【００２７】
また、本発明のロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体は、
所望とする微細な凹凸パターンが形成された樹脂構造物をロール  トゥー  ロールで多量に複製するためのロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体であって、
前記ロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体は、
前記所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された複数個の樹脂製モールドと、
前記複数個の樹脂製モールドを平面的に並べて配置し、前記平面的に並べられた複数個の樹脂製モールド間の隙間に充填された剥離性の樹脂と、
を備え、
前記充填された剥離性の樹脂が硬化することにより、前記複数個の樹脂製モールドが一体化されてなることを特徴とする。【００２８】
このように構成されていれば、大量生産に適する転写用ロールの径に対応して大型化することができ、しかも安価に作成することができる。また、長時間の連続運転に耐えることができ、これにより効率的に多量の樹脂構造物を形成することが可能となる。【００２９】
さらに転写用ロールへの巻装の際、ロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体の端部同士を重ね合わせる必要がないため、段差を生じさせることがない。【００３０】
また、本発明のロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体は、
前記樹脂構造物が、レプリカモールドであることを特徴とする。【００３１】
このように樹脂構造物がレプリカモールドであれば、本発明のロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体を用いて、効率的に多量のレプリカモールドを形成することが可能となる。【００３２】
また、本発明のロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体は、
前記樹脂製モールドが、
両面粘着テープ上に並べて配置されていることを特徴とする。【００３３】
このような構成であれば、転写用ロールに対するロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体の設置が容易である。【００３４】
また、本発明のロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体は、
前記樹脂製モールドと前記両面粘着テープの長尺方向における端部の位置がずれていることを特徴とする。【００３５】
このように構成されていれば、転写用ロールにロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体を巻装する際に、段差を生じさせることなく、互いの間を確実に接合することができる。
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、樹脂構造物（特には樹脂製のレプリカモールド）をロール  トゥー  ロールで大量生産するために、樹脂製モールドの端部同士を接合するにあたり、接合部の強度を強固にすることができるとともに、接合部に段差が生じることがなく、これにより所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンの転写を良好に行うことができる樹脂製モールドの接合方法およびこの接合方法で製造されたロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】図１は本発明の一実施例による樹脂製モールドの概略斜視図である。
【図２】図２は図１に示した樹脂製モールドの拡大断面図である。
【図３】図３はロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体を形成するために支持体としてのＰＥＴフィルム上に樹脂製モールドを多数並べて配置したときの概略平面図である。
【図４】図４は図３の状態から樹脂製モールドの表面に保護テープを貼り付けたときの概略平面図である。
【図５】図５は図４の状態からＰＥＴフィルムを剥がして、そこに両面粘着テープを貼り付けたときの概略断面図である。
【図６】図６は図５の状態から表面側の保護テープを剥離したときの概略断面図である。
【図７】図７（Ａ）は、本発明の一実施例による樹脂製モールドの接合方法を示す概略断面図、図７（Ｂ）は図７（Ａ）の方法で接合されたロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体の概略断面図である。
【図８】図８は本発明の一実施例で形成されたロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体を転写用ロールに貼り付け、ロール  トゥー  ロールでレプリカモールドを複製する場合の概略斜視図である。
【図９】図９（Ａ）は、本発明の他実施例に係わり、樹脂製モールドの上面に保護テープを張り付け、さらに、長尺方向の端部に設けられた樹脂製モールドの下面側に、他の保護テープを貼り付けた状態を示す概略断面図、図９（Ｂ）は図９（Ａ）の状態から下面側に両面粘着テープを貼り付けた状態を示す概略断面図、図９（Ｃ）は図９（Ｂ）の状態から下面側に貼着された保護テープを、両面粘着テープとともにカッターで切除して取り除いた状態を示す概略断面図、図９（Ｄ）は図９（Ｃ）の状態から上面側の保護テープを剥がし、さらに露出した樹脂製モールドの間に光硬化性シリコーン樹脂を充填してロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体を作製したときの概略断面図である。
【図１０】図１０は図９（Ｄ）で作製されたロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体を転写用ロールに巻き付け、突合せ部に相当する樹脂製モールド間の隙間を光硬化性シリコーン樹脂で埋めたときの概略斜視図である。
【図１１】図１１は図１０の概略側断面図である。
【図１２】図１２（Ａ），（Ｂ）は、それぞれ従来のロール  トゥー  ロールでレプリカモールドを複製するために樹脂フィルム同士を接合する一例として、特許文献１に開示された例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、図面を参照しながら本発明の好ましい実施の形態について具体的に説明する。
【００３９】
本実施例に係る樹脂製モールドの接合方法を実施するに先立って、先ず、図１に示したように、所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された略矩形状の樹脂製モールド２が予め１枚または複数枚用意される。
【００４０】
この樹脂製モールド２は、公知のインプリント技術により形成されたもので、後に樹脂構造物（特には樹脂製のレプリカモールド）を多量に形成するための原版となるものである。
【００４１】
この樹脂製モールド２は、図２に拡大して示したようにフレキシブルな基板４上に、所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンを有する樹脂層６が具備されている。
【００４２】
基板４としては、樹脂基板、ガラス基板、シリコン基板、サファイア基板、炭素基板およびＧａＮ基板の中から選択される１種が挙げられる。
【００４３】
中でも樹脂基板は、柔軟性を有する樹脂製モールド２の形成に好ましく、具体的には、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、環状ポリオレフィンおよびポリエチレンナフタレートからなる群から選ばれる１種からなるものである。
【００４４】
一方、樹脂層６を形成する樹脂としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂が挙げられる。
【００４５】
熱可塑性樹脂として、好ましくは、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、オレフィン系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル系樹脂が挙げられる。
【００４６】
熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂としては、好ましくは、エポキシ樹脂が挙げられる。さらに好ましくは、ポリメタクリル酸メチル、シクロオレフィン樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート、オリエチレンテレフタレートが挙げられる。
【００４７】
また、樹脂層６には、離型剤と結合可能な置換基を有するとともに上記した樹脂と相溶性を有する置換基とを有し、樹脂に対するブリード性を有する添加剤を用いることができる。
【００４８】
添加剤としては、例えば下記一般式（１）で表わされる化合物またはその加水分解物が挙げられる。
【００４９】
Ｙ3−ｎ（ＣＨ3）ｎＳｉＡＸ                （１）
（式（１）中、Ｙはメトキシ基またはエトキシ基、Ａは単結合、エチレン基またはプロピル基、Ｘはエポキシ基、グリシドキシ基、置換基を有していてもよいフェニル基およびアミノ基からなる群から選ばれる１種、ｎは０または１である。）
ここで、Ｙまたはその加水分解された基は前記離型剤と結合可能である基であると考えられ、またＸは、上記した溶媒可溶性樹脂と相溶性を有する基であると考えられる。
【００５０】
樹脂層６を形成する樹脂としては、添加剤との相溶性の観点からＸと同種の置換基を有する構成単位を有する上記記載の熱可塑性樹脂が好ましい。Ｘと同種の置換基を有する構成単位は、樹脂の全構成単位中好ましくは１〜１５重量％、より好ましくは２〜１０重量％含まれる。
【００５１】
このような範囲であると、樹脂と添加剤とが分離することがない一方で、添加剤の樹脂層表面へのブリードアウトが生じると考えられる。
【００５２】
添加剤は、樹脂および添加剤の合計を１００重量部とすると、１〜１３重量部、好ましくは２〜９重量部の割合で添加される。
【００５３】
上記した樹脂層６の厚さは、通常５０ｎｍ〜１ｍｍ、好ましくは、５００ｎｍ〜５００μｍである。このような厚さとすれば、インプリント加工が行い易い。
【００５４】
樹脂層６の表面形状（凹凸パターンの反転パターン）に特に制限はないが、周期１０ｎｍ〜２ｍｍ、深さ１０ｎｍ〜５００μｍ、転写面１．０〜１．０×１０６ｍｍ2のものが好ましく、周期２０ｎｍ〜２０μｍ、深さ５０ｎｍ〜１μｍ、転写面１．０〜０．２５×１０６ｍｍ2のものがより好ましい。
【００５５】
このように設定すれば、転写体に充分な凹凸パターンの反転パターンを転写することができる。表面形状としては、モスアイ、線、円柱、モノリス、円錐、多角錐、マイクロレンズが挙げられる。
【００５６】
樹脂層６の表面は、転写体との付着を防止するための剥離処理がされていてもよく、剥離処理は剥離層（図示せず）を形成するものであってもよい。
【００５７】
剥離層（図示せず）を形成する離型剤としては、好ましくはフッ素系シランカップリング剤、アミノ基又はカルボキシル基を有するパーフルオロ化合物およびアミノ基又はカルボキシル基を有するパーフルオロエーテル化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種からなり、より好ましくは、フッ素系シランカップリング剤、片末端アミン化パーフルオロ（パーフルオロエーテル）化合物ならびに片末端カルボキシル化パーフルオロ（パーフルオロエーテル）化合物の単体または単体および複合体の混合物からなる群から選ばれる少なくとも１種からなる。
【００５８】
離型剤として上記のものを用いると、樹脂層６への密着が良好であるとともに、インプリントを行う樹脂との剥離性が良好である。
【００５９】
剥離層（図示せず）の厚さは、好ましくは０．５〜２０ｎｍ、より好ましくは０．５〜１０ｎｍ、最も好ましくは０．５〜５ｎｍの範囲内である。
【００６０】
剥離層（図示せず）は、樹脂層６の表面近傍に偏在する添加剤の離型剤と結合可能な基と離型剤とが化学的に結合することにより、樹脂層６と接合しているものと考えられる。化学的な結合としては、縮合であると考えられる。
【００６１】
上記した添加剤が、一般式（１）で表わされる場合、置換基Ｙまたはその加水分解された基が、離型剤の置換基（加水分解を生じた基も含む）と化学的に結合しているものと考えられる。化学的な結合としては、縮合であると考えられる。
【００６２】
このような材料から形成された本実施例の樹脂製モールド２は、例えば縦の長さＡ×横の長さＢが、８０ｍｍ×８０ｍｍ、厚さｔが１３０μｍである。
【００６３】
ここで、ロール  トゥー  ロールでレプリカモールドを連続的に形成すれば、従来行っていた樹脂製モールドを転写材料にスタンプ式でプレスする場合に比べて、極めて効率的にレプリカモールドを複製することができる。
【００６４】
また、レプリカモールドを貼付する転写用ロールの径を大きくすればするほど、生産効率を高めることができる。
【００６５】
その場合には、１つの樹脂製モールド２を用いるのではなく、多数の樹脂製モールド２を用いることが好ましく、これらの樹脂製モールド２を板状に整列させた後、転写用ロール４２に巻回することが好ましい。
【００６６】
すなわち、転写用ロール４２の周面に多数の樹脂製モールド２が配置されていれば、転写用ロール４２の回転で、連続的に多数個のレプリカモールドを形成することができる。
【００６７】
本実施例では、転写用ロール４２に巻回されるロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０が製造される。
【００６８】
すなわち、本実施例では、先ず、図３に示したように、微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された例えば２０枚の樹脂製モールド２が、互いに隣接し合うようにＰＥＴフィルム１２の上に２列に並べられる。
【００６９】
次いで、図４に示したように、隣接して並べられた樹脂製モールド２の所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された表面を覆うように保護テープ３４が貼着される。
【００７０】
樹脂製モールド２の微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された表面側に保護テープ３４が貼着されたら、さらに、図５に示したように、裏面側の支持フィルムとして使用したＰＥＴフィルム１２を取り外すとともに、その位置すなわち樹脂製モールド２の裏面側に、片面ずつ物性の異なる（強粘着性／再剥離性）両面粘着テープ３６の強粘着側を貼り付ける。
【００７１】
なお、この両面粘着テープ３６は、ＰＥＴ樹脂を基材３６ａとし、少なくとも片面に離型フィルム３６ｂを具備したものである。
【００７２】
このように、片面が離型フィルム３６ｂで被覆された両面粘着テープ３６が樹脂製モールド２の裏面側に貼り付けられる。このときに樹脂製モールド２と両面粘着テープ３６の長尺方向における端部は、ずらして配置した方が転写用ロール４２に巻回したときに接合部分の段差を生じなくすることができるか、または段差を少なくできるので好ましい。
【００７３】
なお、別の態様として、ＰＥＴフィルム１２の両面に片面ずつ物性の異なる粘着剤層（強粘着性／再剥離性）が形成されていても良い。強粘着性の粘着剤層は樹脂製モールド２の裏面に貼り付けられる。この場合には、両面粘着テープ３６は省略することができる。
【００７４】
また、この場合でも樹脂製モールド２とＰＥＴフィルム１２の長尺方向における端部はずらした方が、転写用ロール４２に巻回したときに接合部分の段差を生じなくすることができるか、または段差を少なくできるので好ましい。
【００７５】
さらに、次の工程で、図６に示したように、表面側の保護テープ３４を剥離する。本実施例では、この保護テープ３４の剥離により露出された樹脂製モールド２，２間の隙間に、図７に拡大して示したように、剥離性樹脂８がマイクロピペット１０で充填される。
【００７６】
なお、樹脂製モールド２ａと、これに隣接する他の樹脂製モールド２ｂとの離間距離Ｓは、０．５μｍ〜３ｍｍ、好ましくは１μｍ〜２．５ｍｍ、より好ましくは２μｍ〜２ｍｍである。
【００７７】
剥離性樹脂８は、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、アルキッド樹脂、長鎖アルキル化合物、およびワックスなどを用いることができ、中でもシリコーン樹脂が好ましい。
【００７８】
シリコーン樹脂であれば、安価で容易に入手できるとともに、ロール  トゥー  ロールにより凹凸パターンの反転パターンが転写される転写材料に対して剥離性を充分に発揮することが可能である。
【００７９】
このような剥離性樹脂８が隙間内に装填されることにより、時間の経過に伴って自然に、あるいは紫外線照射により積極的に剥離性樹脂８を硬化させることができる。剥離性樹脂８により一体化された樹脂製モールド２ａ，２ｂの接合部では、隙間が剥離性樹脂８で固結されていることから、この部分に他の樹脂などが入り込むこともない。
【００８０】
剥離性樹脂８の充填時の厚みは、図２に示した樹脂製モールド２を構成する基板４の厚さに近いほど好ましい。なお、基板４の厚さに比べ±３０μｍを超えると転写材料が堆積しやすくなるので好ましくない。
【００８１】
そして、ＵＶ照射などを行うことにより、剥離性樹脂８を硬化させる。
【００８２】
これにより、図７（Ｂ）に示したように、ロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０が形成される。剥離性樹脂８が完全に硬化した後、図７（Ｂ）に示した両面粘着テープ３６の裏面側の離型フィルム３６ｂが剥がされる。
【００８３】
本実施例では、このようにして形成されたロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０が、図８に示したように、転写用ロール４２の表面にループ状に巻回される。
【００８４】
巻回されたロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０の巻頭と巻末との繋ぎ目に隙間が生じた場合には、剥離性樹脂８を装填することが好ましい。
【００８５】
このようにして、転写用ロール４２の周面にロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０が一体的に貼着されたら、図８において矢印Ｄで示したように図の左方から右方に搬送されてくる転写材料４６に対し、転写用ロール４２が時計方向に回転することにより、多数（実施例では２０個）の樹脂製モールド２の微細な凹凸パターンの反転パターンが、下流側の転写材料４６'に連続的に転写され、所望とする微細な凹凸パターンが形成された樹脂構造物が得られる。
【００８６】
得られた樹脂構造物は、レプリカモールドとして使用されるのが好ましいが、反射防止膜として使用することもできる。
【００８７】
このように本実施例では、ロール  トゥー  ロールにより樹脂製モールド２を用いたインプリントを連続的に行うことができる。さらに、実験によれば、連続運転した場合に８時間の連続稼動に耐えることが確認できた。
【００８８】
以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明はこの実施例に何ら限定されない。
【００８９】
例えば、上記実施例では、２０個の樹脂製モールド２を転写用ロール４２に巻回しているが、例えば、原版として一枚の大型の樹脂製モールドが形成されている場合には、この一枚の大型の樹脂製モールドを転写用ロール４２にループ状に巻き付け、その両端部間の接合に、剥離性樹脂８を介在させて互いの端部を接合すれば良い。
【００９０】
以下、実際に行った実施例について説明する。
【実施例】
【００９１】
［実施例１］
＜ロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０の作製＞
樹脂製モールド２として、国際出願番号ＰＣＴ／ＪＰ２０１１／０６７７６９号に記載の実施例１と同じ構成のものを用意した（基板４：１２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレート製フィルム、樹脂層６：メチルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、および３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを含む混合物、剥離層：パーフロロポリエーテル系）。【００９２】
この樹脂製モールド２を、テンプレートを用いて正確に８０ｍｍ角にカットしたものを２０枚作製した。【００９３】
別途用意したＰＥＴフィルム１２の上に、微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された面を上向きにした樹脂製モールド２を、樹脂製モールド２同士の隙間が１ｍｍ程度となるように並べた。【００９４】
微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された面に保護テープ３４を貼り付けた後、反転させてＰＥＴフィルム１２を取り外し、樹脂製モールド２の裏面に、ラミネーターを用いて片面ずつ物性の異なる（強粘着性／再剥離性）両面粘着テープ３６の強粘着性粘着剤側を貼り付けた。【００９５】
次いで、保護テープ３４を剥がし、樹脂製モールド２同士の隙間に、剥離性のある光硬化性シリコーン樹脂（剥離性樹脂８）を塗り込み、ＵＶ光で硬化させて、長尺状のロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０を作製した。【００９６】
両面粘着テープ３６の再剥離性粘着剤側に積層されていた離型フィルム３６ｂを剥がしながら、φ２５０ｍｍのＳＵＳ製ロール（転写用ロール４２）に、ロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０を貼り付けた。【００９７】
ロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０の巻頭と巻末の繋ぎ目は、前記と同じ光硬化性シリコーン樹脂（剥離性樹脂８）で埋めた。【００９８】
＜ロール  トゥー  ロール連続転写の結果＞
ＰＥＴ素材の転写基材の上に、ダイコーターを用いて転写樹脂（東洋合成社製、ＰＡＫ−０２）を塗布して（膜厚１２５μｍ）、転写材料４６を作製した。【００９９】
次いで、送り速度１ｍ／ｍｉｎでロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０を巻き付けた転写用ロール４２を回転させ、前記転写材料４６に樹脂製モールド２を押し付け、ＵＶ光で硬化させた後、離型する工程を繰り返し行なった。【０１００】
その結果、樹脂製モールド２の突合せ部の隙間に転写樹脂が入り込んで堆積することはなく、また樹脂製モールド２の樹脂層６の欠陥は発生せず、８時間以上の連続転写が可能であった。【０１０１】
転写面積については、樹脂製モールド２の反転パターン面積の９７％が確保できた。形状については、樹脂製モールド２および転写品を電子顕微鏡で観察したところ、樹脂製モールド２は、８時間連続転写した後も表面の汚染が無く形状の破壊や変形がないこと、転写品は転写初期と終期で同等な形状であることが確認できた。【０１０２】
［実施例２］
＜ロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０の作製＞
実施例１と同じく、テンプレートを用いて正確に８０ｍｍ角にカットした樹脂製モールド２を、２０枚作製した。作成した２０枚の樹脂製モールド２は、別途用意したＰＥＴフィルム１２の上に、所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された面を上向きにし、樹脂製モールド２同士の隙間が１ｍｍ程度となるように並べた。【０１０３】
所望とする微細な凹凸パターンの反転パターンが形成された面に保護テープ３４を貼り付けた後、反転させてＰＥＴフィルム１２を取り外し、並べられた樹脂製モールド２の長尺方向の一方の端部に、図９（Ａ）に模式的に示したように、５ｍｍ幅の保護テープ３４’を貼った。【０１０４】
その後、図９（Ｂ）に示したように、樹脂製モールド２の裏面に、ラミネーターを用いて、片面ずつ物性の異なる（強粘着性／再剥離性）両面粘着テープ３６の強粘着性粘着剤側を貼り付けた。【０１０５】
その後、図９（Ｃ）に示したように、カッターを用いて保護テープ３４’および保護テープ３４’に積層された部分の両面粘着テープ３６の一部を切除した。【０１０６】
これによって、長尺方向においては、樹脂製モールド２と両面粘着テープ３６との端部の位置をずらすことができた。【０１０７】
次いで、図９（Ｄ）に示したように、保護テープ３４を剥がし、樹脂製モールド２同士の隙間に剥離性のある光硬化性シリコーン樹脂を塗り込み、ＵＶ光で硬化させて、長尺状のロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０を作製した。【０１０８】
しかる後、両面粘着テープ３６の再剥離性粘着剤側に積層されていた離型フィルム３６ｂを剥がしながら、φ２５０ｍｍでＳＵＳ製の転写用ロール４２に、ロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０を貼り付けた（図１０参照）。【０１０９】
ロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０の巻頭と巻末のつなぎ目では、両面粘着テープ３６のつなぎ目Ｐと、樹脂製モールド２のつなぎ目がずれた状態になっており、樹脂製モールド２のつなぎ目のみ、前記と同じ光硬化性シリコーン樹脂からなる剥離性樹脂８’で埋めた（図１１参照）。【０１１０】
＜ロール  トゥー  ロール連続転写の結果＞
送り速度１ｍ／ｍｉｎでロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体４０を巻き付けた転写用ロール４２を回転させ、実施例１と同じ転写材料４６に樹脂製モールド２を押し付け、ＵＶ光で硬化させた後、離型する工程を繰り返し行なった。【０１１１】
その結果、樹脂製モールド２の突合せ部の隙間に、転写樹脂が入り込んで堆積することはなく、また樹脂製モールド２の樹脂層６の欠陥は発生せず、８時間以上の連続転写が可能であった。【０１１２】
転写面積については、樹脂製モールド２の反転パターン面積の９７％が確保できた。【０１１３】
形状については、樹脂製モールド２および転写品を電子顕微鏡で観察したところ、樹脂製モールド２は、８時間連続転写した後も表面の汚染が無く形状の破壊や変形がないこと、転写品は転写初期と終期で同等な形状であることが確認できた。
【符号の説明】
【０１１４】
２      樹脂製モールド
２ａ    樹脂製モールド
２ｂ    樹脂製モールド
４      基板
６      樹脂層
８      剥離性樹脂
８’    剥離性樹脂
１０      マイクロピペット
１２      ＰＥＴフィルム
１４      ヒータ
２０      樹脂フィルム
３４      保護テープ
３４’    保護テープ
３６      両面粘着テープ
３６ａ    基材
３６ｂ    離型フィルム
４０      ロール  トゥー  ロール用連続モールド構成体
４２      転写用ロール
４６      転写材料
４６’    転写材料
Ｐ      つなぎ目
Ｓ      離間距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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