(57)【要約】高周波用配線基板４は、誘電体基板４ａと、誘電体基板４ａの第１表面に接続端４ｂｃから終端４ｂａにかけて形成された高周波信号伝送用の線路導体４ｂと、線路導体４ｂと間隔を設けて、線路導体４ｂの片側４ｂｂに沿わせて配置され、終端４ｂａより線路導体４ｂの線路方向に平行に延長される仮想の延長線上を横切るように配設された接地導体４ｃと、線路導体４ｂの終端部と接地導体４ｃとを電気的に接続する終端抵抗体４ｄとを具備している。
2009096568.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１表面を有する誘電体基板と、
前記第１表面に終端を有する高周波信号伝送用の線路導体と、
前記線路導体と間隔を設けて前記線路導体の片側に沿わせて配置され、前記線路導体の前記終端より前記線路導体の線路方向に平行に延長される仮想の延長線上を横切るように配設された接地導体と、
前記線路導体の終端部と前記接地導体とを電気的に接続する終端抵抗体と、
を具備していることを特徴とする高周波用配線基板。
【請求項２】
前記接地導体は、前記線路導体の前記終端と前記接地導体との間の距離が、前記線路導体の前記片側における前記接地導体との距離以下となるように形成されていることを特徴とする請求項１記載の高周波用配線基板。
【請求項３】
前記線路導体の前記終端部に、抵抗体が配置されていることを特徴とする請求項１または２記載の高周波用配線基板。
【請求項４】
前記抵抗体は、前記線路導体の線路方向と直交する方向の幅が狭く形成された領域を有することを特徴とする請求項３記載の高周波用配線基板。
【請求項５】
前記抵抗体の前記領域は前記線路導体の終端より離間する位置に設けられていることを特徴とする請求項４記載の高周波用配線基板。
【請求項６】
前記線路導体は、前記線路導体の線路方向と直交する方向の幅が狭く形成された領域を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の高周波用配線基板。
【請求項７】
前記誘電体基板の前記第１表面の裏側に位置する第２表面に、前記接地導体層と電気的に接続された接地導体層が形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の高周波用配線基板。
【請求項８】
基体と、
該基体の上面に載置された請求項１乃至７のいずれかに記載の高周波用配線基板と、
前記上面の外周部に前記高周波用配線基板を囲繞するように接合された枠体とを具備していることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
【請求項９】
請求項８記載の電子部品収納用パッケージと、
該電子部品収納用パッケージ内に載置された電子部品と、
前記枠体の上面に接合された蓋体と、を具備したことを特徴とする電子装置。
【請求項１０】
請求項９記載の電子装置を具備したことを特徴とする通信機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、終端抵抗により高周波信号を終端する機能を有する高周波用配線基板、特に２０ＧＨｚ以上の高周波帯域で使用される高周波用配線基板、およびこれを用いた装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の高周波用配線基板の使用例として、光通信や無線通信分野に用いられる半導体装置を例に説明する。
各種半導体素子を収納する半導体素子収納用パッケージには、半導体素子を電気的に接続するために、絶縁体表面に導体パターンによる線路導体が設けられた高周波用配線基板が内蔵されている。このような半導体素子収納用パッケージの断面図および平面図を図７Ａ，図７Ｂに示す。半導体素子収納用パッケージは、基体１０１、金属製の枠体１０２、蓋体１０３、高周波用配線基板１０４、および線路導体１０４ｂを有する。
基体１０１の上側主面には、ＩＣ，ＬＳＩ，半導体レーザ（ＬＤ），フォトダイオード（ＰＤ）等の半導体素子１０６や、高周波用配線基板１０４が載置されている。半導体素子１０６は、その電極が高周波用配線基板１０４上の線路導体１０４ｂにボンディングワイヤ１０７ｂを介して電気的に接続される。
さらに、線路導体１０４ｂの終端を延長した部分に設けられた接地導体１０４ｃと線路導体１０４ｂの終端とは終端抵抗体１０４ｄを介して終端接続されている。接地導体１０４ｃは、高周波用配線基板１０４の側面および下面にそれぞれ形成された接続導体１０４ｈ，接地導体１０４ｆを介して基体１０１に電気的に接続されている。終端抵抗体１０４ｄは、線路導体１０４ｂに流れる高周波信号の反射を少なくし、半導体素子１０６が誤動作するのを防ぐ目的を有している（たとえば、特開２００２−３１９６４５号公報参照）。
これに対し、図８に示す高周波用配線基板２０４が提案されている。図８において、２０４ｂは高周波用基板２０４の上面に形成された線路導体であり、２０４ｃは線路導体２０４ｂの片側面に沿わせて一定の間隔を持って形成された接地導体、２０４ｄは線路導体２０４ｂの終端部片側面において接地導体２０４ｃと線路導体２０４ｂとを接続する終端抵抗体である。線路導体２０４ｂと接地導体２０４ｃとの容量結合を大きくすることにより、終端抵抗体２０４ｄによる寄生インダクタンス成分の影響を小さくし、終端特性を改善することを目的としている（たとえば、特開２００５−１５９１２７号公報参照）。
しかしながら、図８に示した従来の高周波基板２０４を使用した半導体素子収納用パッケージにおいて、半導体素子２０６のさらなる高周波化が進むにつれ、線路導体２０４ｂの終端特性が不十分となり、半導体素子２０６が正常に動作しなくなる場合があるという新たな問題が発生してきた。
【発明の開示】
【０００３】
本発明は上記問題点に鑑み完成されたものであり、その目的は、高周波帯においても良好な終端特性を有し、電子素子が正常に動作する高周波用配線基板、電子部品収納用パッケージおよびこれを用いた装置を提供することにある。
本発明の一実施形態に係る高周波用配線基板は、第１表面を有する誘電体基板と、前記第１表面に終端を有する高周波信号伝送用の線路導体と、前記線路導体と間隔を設けて配設された接地導体と、前記線路導体の終端部と前記接地導体とを電気的に接続する終端抵抗体と、を具備している。前記接地導体は、前記線路導体と間隔を設けて前記線路導体の片側に沿わせて配置され、前記線路導体の前記終端より前記線路導体の線路方向に平行に延長される仮想の延長線上を横切るように配設されている。
また、本発明の一実施形態に係る電子部品収納用パッケージは、基体と、該基体の上面に載置された上記本発明の高周波用配線基板と、前記上面の外周部に前記高周波用配線基板を囲繞するように接合された枠体とを具備している。
本発明の一実施形態に係る電子装置は、上記本発明の一実施形態に係る電子部品収納用パッケージと、該電子部品収納用パッケージ内に載置された電子部品と、前記枠体の上面に接合された蓋体とを具備している。
本発明の一実施形態に係る通信機器は、上記電子装置を具備している。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
本発明の目的、特色、および利点は、下記の詳細な説明と図面とからより明確になるであろう。
【図１Ａ】本発明の電子装置の実施の形態の一例を示す断面図である。
【図１Ｂ】図１Ａに示した電子装置の平面図である。
【図２】本発明の電子装置の実施の形態の他の例を示す平面図である。
【図３Ａ】本発明の高周波用配線基板の実施の形態の他の例を示す平面図である。
【図３Ｂ】本発明の高周波用配線基板の実施の形態のさらに他の例を示す平面図である。
【図４Ａ】本発明の電子装置の実施の形態の他の例を示す断面図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示した電子装置の平面図である。
【図５】本発明の通信機器の実施の形態の一例を示す回路ブロック図である。
【図６】本発明の高周波用配線基板の一実施形態を示す平面図である。
【図７Ａ】従来の半導体装置の例を示す断面図である。
【図７Ｂ】図７Ａに示した従来の半導体装置の平面図である。
【図８】従来の半導体装置の他の例を示す平面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
以下、図を用いながら、本発明について詳細に説明する。図１Ａ，図１Ｂは本発明の電子装置の実施の形態の一例を示し、図１Ａは断面図、図１Ｂは平面図である。図２は本発明の電子装置における高周波用配線基板の実施形態の他の例を示す平面図である。図３Ａは高周波用配線基板の実施の形態の他の例を示す要部平面図であり、図３Ｂはさらに他の例を示す要部平面図である。図４Ａは本発明の一実施形態に係る電子装置の実施の形態の他の例を示す断面図、図４Ｂはその平面図である。図１Ａ，図４Ａは、それぞれ図１Ｂ，図４Ｂの断面Ａ−ＡＡ，Ｂ−ＢＢを示す。なお、図１Ｂ，図２，図３Ａ，図３Ｂ，図４Ｂにおいて、判りやすくするため、線路導体４ｂ，接地導体４ｃ，終端抵抗体４ｄ等の導体部分にはハッチングを付している。したがって、これらハッチングは断面を示すものではない。
これらの図に示すように、電子装置は、基体１、枠体２、蓋体３、本発明の高周波用配線基板４、および、電子部品の例としての半導体素子６を有する。以下、電子部品６として高周波半導体素子６を用いた例を説明する。
本実施形態に係る電子部品収納用パッケージは主として基体１，高周波用配線基板４および枠体２とで構成され、この電子部品収納用パッケージに半導体素子６を載置して蓋体３で電子部品収納用パッケージ（以下、単にパッケージともいう）の内側を封止することによって電子装置が構成される。
また、本高周波用配線基板４は、誘電体基板４ａと、誘電体基板４ａの一主面（上面）に半導体素子６の電極と接続される接続端から終端４ｂａにかけて形成された高周波信号伝送用の線路導体４ｂとを有する。また、高周波用配線基板４は、誘電体基板４ａの一主面に配置され、線路導体４ｂの片側４ｂｂから終端４ｂａ側にかけて回り込むように形成された線路状の接地導体４ｃと、線路導体４ｂの終端部と接地導体４ｃとを電気的に接続する終端抵抗体４ｄとをさらに有する。
線路導体４ｂは、高周波伝送に適したインピーダンスとなる線幅を有した導体パターンによって形成される。線路導体４ｂの終端４ｂａ（他方端４ｂａ）は、図１Ａ，図１Ｂに示すように、開放端とされ、終端４ｂａと反対側の接続端４ｂｃ（一方端４ｂｃ）には半導体素子６の電極がボンディングワイヤ７ｂ等を介して接続される。
この線路導体４ｂの線路方向に沿う側面のうち、片方側面４ｂｂに沿って一定間隔Ｌを隔てた位置に、線路導体４ｂと同一面に線路状の接地導体４ｃが配置される。接地導体４ｃは、線路導体４ｂの片側４ｂｂに沿わせて形成され、線路導体４ｂの終端４ｂａより距離Ｍだけ長く延設された後、線路導体４ｂの終端４ｂａ側に直角に回り込むように延設される。そして、少なくとも線路導体４ｂの片側４ｂｂと反対側の側面４ｂｄの延長線上まで延設された後に、開放端として終端される。
なお、接地導体４ｃは、所定幅の配線として線路導体４ｂの片側４ｂｂから終端４ｂａにかけて回り込むように形成されてもよいし、線路導体４ｂの片側４ｂｂ，終端４ｂａから所定距離を隔てた位置から誘電体基板４ａの側面位置まで広い幅で形成されてもよい。また、接地導体４ｃは、線路導体４ｂの終端４ｂａからさらに線路導体４ｂの側面４ｂｄ側へ回り込むように形成してもよいのであるが、図１Ｂに示すように、終端４ｂａと対向する位置へ回り込ませるように形成すれば十分である。
終端抵抗体４ｄは、線路導体４ｂの終端４ｂａ側の終端部において、線路導体４ｂの片側４ｂｂと接地導体４ｃの片側４ｂｂと対向している部分との間に形成され、線路導体４ｂの終端部と接地導体４ｃとを接続する。終端抵抗体４ｄは、通常、図１Ｂに示すように、線路導体４ｂの終端４ｂａ位置に終端抵抗体４ｄの端面を合わせるようになるべく線路導体４ｂの端に形成されるが、必要に応じ、接続端４ｂｃ側にシフトさせて形成してもよい。
線路導体４ｂの終端４ｂａにおいて、線路導体４ｂの延長方向を遮るように接地導体４ｃが配設されているので、線路導体４ｂの終端部４ｂａの電磁界が、接地導体４ｃに強く結合する。これにより、線路導体４ｂの終端と接地導体４ｃとの間で容量結合させ、終端抵抗体４ｄ部分に寄生するインダクタンス成分による影響を少なくすることができる。その結果、２０ＧＨｚ以上の高周波信号を伝送させても、終端抵抗体４ｄの終端特性が良好なものとなる。また、線路導体４ｂの終端４ｂａにおいて、線路導体４ｂと接地導体４ｃとの結合が強くなるので、電磁波が終端４ｂａからパッケージ内部に放射され難くなる。これによって、パッケージ内への電磁波の放射や放射された電磁波による半導体素子６等の動作に与える影響を少なくすることができる。
このとき、線路導体４ｂの終端４ｂａと接地導体４ｃとの間の距離Ｍが、線路導体４ｂの片側４ｂｂにおける接地導体４ｃとの間の距離Ｌ以下となるように距離Ｍの方を狭く形成すると、線路導体４ｂの終端４ｂａおよび終端抵抗体４ｄの容量結合も強くなり、終端抵抗体４ｄが持つ寄生インダクタンス成分をさらに打ち消す結果、終端抵抗体４ｄの終端特性がより良好なものとなる。
また好ましくは、図２に示すように、線路導体４ｂの終端部４ｂａに、抵抗体４ｅが配置される。線路導体４ｂの終端４ｂａ側において、終端抵抗体４ｄが接続される片側４ｂｂとは反対側の線路導体４ｂの側面４ｂｄを切り欠くようにして線路導体４ｂの線幅を細くし、この切り欠かれた部分を埋めるように抵抗体４ｅが配置される。抵抗体４ｅは、線路導体４ｂの導体部分と側面において接触し、その他の部分は開放端としていずれの導体とも接触しないようにすることによって、接地電位から浮かせて設けられる。
抵抗体４ｅを設けることにより、線路導体４ｂの終端４ｂａから終端抵抗体４ｄ、接地導体４ｃにかけて線路導体４ｂと直交方向に発生する共振を減衰させて抑えることができる。その結果、線路導体４ｂ終端４ｂａ部での高周波信号の反射や高周波用配線基板４外への放射を抑えることができるので、さらなる高周波信号においても良好な終端特性が得られる。その結果、半導体素子６を正常に作動させることができる。また、パッケージ内への電磁波の放射や放射された電磁波によるパッケージ内における共振をより少なくすることができる。
抵抗体４ｅは、図３Ａに示すように、線幅（線路導体４ｂの線路方向と直交する方向の幅）が一定ではなく、抵抗体４ｅの一部において抵抗体４ｅを切り欠いたように幅が狭くなる領域４ｅａを設けてもよい。領域４ｅａを設けることにより、抵抗体４ｅが持つ接地に対する容量成分を細かく調整することができ、終端抵抗体４ｄのインピーダンスマッチングをより細かく行なうことができるので、より良好な終端特性を得ることができる。
この容量調整の領域４ｅａは、抵抗体４ｅの内側または線路導体４ｂの導体部分と接触する部分に設けてもよいが、線路導体４ｂの側面４ｂｄ側に設けるのが好ましい。また、抵抗体４ｅの接続端４ｂｃ側（線路導体４ｂの一端側４ｂｃに近い側）に設けるのが好ましい。これは、抵抗体４ｅと接地導体４ｃの線路導体４ｂ終端４ｂａ側へ回り込ませた部分との間での容量結合部の外に領域４ｅａを設けるためである。これによって、良好な終端特性を得ながらインピーダンスマッチングの調整を行なうことができる。
また、図３Ｂのように、抵抗体４ｅに幅が狭くなる領域４ｅａを設ける代わりに、線路導体４ｂの一部に幅が狭くなる領域４ｂｅを設けることによって容量成分を調整してもよい。
高周波用配線基板４は、図４Ａ、図４Ｂに示すように、誘電体基板４ａの他主面（下面）に、接地導体層４ｆを設けるのが好ましい。接地導体層４ｆは、少なくとも線路導体４ｂおよび接地導体層４ｃの他主面への投影面内に連続した面として設けられる。通常は、この投影面よりも広く、たとえば、誘電体基板４ａの下面全面に設けられる。そして、接地導体層４ｃと接地導体層４ｆとは接続導体４ｇによって接続される。図４Ａ，図４Ｂにおいては、この接続導体４ｇを誘電体基板４ａ内に設けた貫通導体４ｇによって実現する例を示している。図示していないが、勿論、接地導体層４ｆおよび接地導体層４ｃを誘電体基板４ａの側面まで形成し、誘電体基板４ａの側面に設けた接続導体４ｇ（側面導体）によって実現してもよい。
接地導体層４ｆを設け、高周波用配線基板４を基体１に金属ろう材等で接合することにより、接地導体４ｃおよび線路導体４ｂの接地電位が安定し、高周波信号においても、良好な伝送特性が得られる。
基体１は、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等の金属やＣｕ−Ｗ焼結材等の金属やセラミックスまたは樹脂等の誘電体から成る四角板状体であり、たとえば金属インゴットに圧延加工や打ち抜き加工等の従来周知の金属加工法、または射出成形と切削加工等を施すことによって、所定の形状に製作される。基体１は四角板状体に限定されるものではなく、円形または多角形板状体であってもよい。基体１の上側主面の中央部には、半導体素子６等の高周波用電子部品６、および高周波用配線基板４等が載置され、これらが、たとえばＡｇろう，Ａｇ−Ｃｕろう等のろう材やＡｕ−Ｓｎ半田，Ｐｂ−Ｓｎ半田等の半田、樹脂系接着剤によって強固に基体１上面に接着固定される。なお、半導体素子６としては、ＩＣ，ＬＳＩ，ＬＤ（Laser Diode），ＰＤ（Photo-Diode），その他ダイオードおよび／またはアンプ等が挙げられる。他の電子部品６としては、例えば、ＬｉＮｂＯ３（ニオブ酸リチウム）を用いた光変調素子等が挙げられる。
なお、基体１がセラミックス等の誘電体材料から成る場合、その表面にメタライズ層等の導体層が形成されているのが好ましい。基体１が、金属から成るか、または表面に導体層が形成された誘電体材料から成ることにより、基体１を介して内部の半導体素子６に接地電位を提供することができる。これによって、半導体素子６の動作を安定化させることが可能となる。
半導体素子６は、その電極が高周波用配線基板４の上面に被着形成されている線路導体４ｂおよび他の高周波用配線基板５等の他の線路導体５ｂにそれぞれボンディングワイヤ７ａ，７ｂ，７ｃを介して電気的に接続される。
高周波用配線基板４は、誘電体基板４ａ上に線路導体４ｂ等を形成することによって作製され、たとえば、誘電体基板４ａがアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）質セラミックスから成る場合、以下のようにして作製される。
まず、Ａｌ２Ｏ３，酸化珪素（ＳｉＯ２），酸化カルシウム（ＣａＯ），および酸化マグネシウム（ＭｇＯ）等の原料粉末に適当な有機バインダや可塑剤，分散剤，溶剤等を添加混合して泥漿状となす。これを従来周知のドクターブレード法等でシート状となすことによってセラミックグリーンシートを得る。しかる後、このセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すことによって所定の形状に成形する。または、Ａｌ２Ｏ３，ＳｉＯ２，ＣａＯ，およびＭｇＯ等の原料粉末を金型に充填しプレス成型することによって所定の形状に成形する。そして、このセラミックグリーンシートの上面に線路導体４ｂ，接地導体４ｃとなる金属ペーストを印刷塗布し、還元雰囲気中で約１６００℃の温度で焼成することによって製作される。
線路導体４ｂおよび接地導体４ｃとなる金属ペーストは、Ｗ，モリブデン（Ｍｏ），またはマンガン（Ｍｎ）等の高融点金属粉末に適当な有機バインダや溶剤を添加混合してペースト状となしたものを従来周知のスクリーン印刷法を採用して誘電体基板４ａとなるセラミックグリーンシートまたは焼成後のセラミックスから成る誘電体基板４ａに印刷塗布される。
なお、線路導体４ｂおよび接地導体４ｃは薄膜形成法によって形成されていても良く、その場合、線路導体４ｂおよび接地導体４ｃは、窒化タンタル（Ｔａ２Ｎ），ニクロム（Ｎｉ−Ｃｒ合金），チタン（Ｔｉ），パラジウム（Ｐｄ），白金（Ｐｔ），またはＡｕ等から形成され、セラミックグリーンシートを焼成した後に真空蒸着法等によって誘電体基板４ａの一主面に形成される。
また、終端抵抗体４ｄおよび抵抗体４ｅは、たとえば、Ｔａ２Ｎ，Ｎｉ−Ｃｒ合金等の材料から成り、高周波用配線基板４に印刷塗布された後に焼成されて形成されるか、薄膜形成法により形成される。また、終端抵抗体４ｄの終端抵抗値および抵抗体４ｅの抵抗値は、伝送される高周波信号の周波数や線路導体４ｂの特性インピーダンスに応じて、終端抵抗体４ｄまたは抵抗体４ｅの厚みや幅，形状を適宜設定することによって、所望の値に設定される。たとえば、抵抗値を微小調整するために、終端抵抗体４ｄまたは抵抗体４ｅの一部をレーザ加工によって除去し、精度よく抵抗値を調整することもできる。
本実施形態に係る電子部品収納用パッケージは、基体１の上側主面の外周部に、半導体素子等の電子部品６および高周波用配線基板４等が載置される載置部１ａを囲繞するようにして枠体２が立設するように接合されている。枠体２は基体１とともにその内側に半導体素子６を収容する空所を形成する。この枠体２は、基体１と同様にＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金やＣｕ−Ｗの焼結材等の金属やセラミックス等の誘電体から成り、基体１と一体成形されるか、または基体１にＡｇろう等のろう材を介したろう付け、またはシーム溶接法等の溶接法により接合される。これによって、枠体２は基体１の上側主面の外周部に立設される。
なお、枠体２は、セラミックス等の誘電体材料から成る場合、その表面にメタライズ層等の導体層が形成されているのが好ましい。枠体２は、金属から成るか、または表面に導体層が形成された誘電体材料から成ることにより、内部の半導体素子６によって発生する放射ノイズまたは枠体２の外側から侵入して来る放射ノイズを遮蔽することができる。
また、外部より半導体素子６に駆動信号等を入力させる入出力端子として、たとえば同軸端子が枠体２に設置される。同軸端子は、枠体２の側面に貫通孔２ａを形成し、貫通孔２ａ内にガラスビーズ等の絶縁体１１を嵌め込むとともにＡｕ−Ｓｎ半田やＰｂ−Ｓｎ半田等の封着材を貫通孔２ａとの隙間に挿入して接合し、ガラスビーズ等の絶縁体１１の中心軸にＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等の金属から成る中心導体１１ａが固定されて成るものである。この中心導体１１ａは半田等から成る導電性接着材を介して高周波用配線基板５の線路導体５ｂに電気的に接続される。
また、半導体素子６の電極と高周波用配線基板５の上面に形成された線路導体５ｂとがボンディングワイヤ７ａにより電気的に接続され、線路導体５ｂと中心導体１１ａとが半田等の導電性接着材を介して電気的に接続される。
そして、基体１および枠体２から成るパッケージ内部に半導体素子６を収容し、枠体２の上面に蓋体３をろう付け法やシームウエルド法等の溶接法により接合し、パッケージ内部を気密に封止することによって製品としての電子装置となる。
さらに、本発明の一実施形態に係る通信機器は、たとえば、図５に示すような通信機器の送受信回路ブロックにおいて上記電子装置が用いられるものである。図５において、アイソレータ、カプラーまたはミキサー回路が含まれるが、これら回路部品を構成する半導体素子６などを集積化するとともに、これら半導体素子６が終端される場合の電子装置として用いられる。
本発明の一実施形態に係る通信機器は、本発明の電子装置が用いられることにより、通信機器内の他の部品やシステムと干渉することなく、安定した通信ができる通信機器を提供することができる。
【実施例】
【０００６】
本発明の高周波用配線基板４として、比誘電率が９．６のアルミナ質セラミックスからなる縦２ｍｍ×横３ｍｍの基板上に、図１Ａ，図１Ｂに示すような、幅が０．５１ｍｍ、長さが１．２５ｍｍ、厚みが０．００２ｍｍの線路導体４ｂを配置し、線路導体４ｂの片側４ｂｂから終端４ｂａにかけて、線路導体４ｂの終端４ｂａを回り込むように接地導体４ｃを配置した。線路導体４ｂの終端４ｂａおよび片側４ｂｂと接地導体４ｃとの間の間隔（ＭおよびＬ）は、０．１５ｍｍとした。また、接地導体４ｃは、高周波用配線基板４の下面に形成した接地導体４ｆとスルーホールによって電気的に接続した。試料１をこのように設定した。
次に、本発明の高周波用配線基板４として、比誘電率が９．６のアルミナ質セラミックからなる縦２ｍｍ×横３ｍｍの基板上に、図２に示すような、幅が０．５１ｍｍ、長さが１．２５ｍｍ、厚みが０．００２ｍｍの線路導体４ｂを配置し、さらに、線路導体４ｂの終端部に切り欠きを設け、抵抗体４ｅを配置した。切欠きの幅は０．１ｍｍ（線幅方向）、長さ（線路方向）は０．２ｍｍであり、この部分に厚みが０．００２ｍｍの抵抗体４ｅを配置した。また、線路導体４ｂの片側４ｂｂから終端４ｂａにかけて、線路導体４ｂの終端部を回り込むように接地導体４ｃを配置した。線路導体４ｂの終端４ｂａおよび片側４ｂｂと接地導体４ｃとは０．１５ｍｍの間隔（ＭおよびＬ）を持つように設定した。また、接地導体４ｃは、高周波用配線基板４の下面に形成した接地導体４ｆとスルーホールによって電気的に接続した。試料２をこのように設定した。
一方、比較例として、比誘電率が９．６のアルミナ質セラミックからなる縦２ｍｍ×横３ｍｍの高周波用配線基板２０４上に、図７Ａ，図７Ｂに示すような、幅が０．５１ｍｍ、長さが１．２５ｍｍ、厚みが０．００２ｍｍの線路導体２０４ｂを配置し、線路導体２０４ｂの片側に沿って、線路導体２０４ｂと０．１５ｍｍの間隔を持った接地導体２０４ｃを配置した。また、接地導体２０４ｃは、高周波用配線基板２０４の下面に形成した接地導体とスルーホールによって電気的に接続した。試料３をこのように設定した。
これら、試料１〜３を、高周波３次元構造シミュレータ（Ａｎｓｏｆｔ社製ＨＦＳＳ）を用いて０．５ＧＨｚ〜５０ＧＨｚの帯域における反射損失Ｓ１１を計算した。
その結果、比較例である試料３については、反射損失Ｓ１１が−２０ｄＢ以下である周波数範囲は１３ＧＨｚ以下であるのに対し、試料１では反射損失Ｓ１１が−２０ｄＢ以下である周波数範囲は３６．５ＧＨｚ以下となり、試料２では反射損失Ｓ１１が−２０ｄＢ以下である周波数範囲は５０ＧＨｚ以下となり、本発明の高周波用配線基板４では高周波帯まで良好な終端特性が得られることが分かった。
なお、本発明は、上述の実施の形態の一例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。たとえば、上記実施の形態例では高周波半導体素子６を収納した半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置を示したが、ＬｉＮｂＯ３（ニオブ酸リチウム）を用いた光変調素子のような高周波電子素子６を収納する電子部品収納用パッケージおよび電子装置，通信機器等にも用いることができる。また、電子部品６はパッケージの基体１に直接接合される例を示したが、電子部品搭載基板を介して電子部品６が載置される場合もある。
たとえば、本バイアスＴ機能を付加した高周波用配線基板４を図６に示す。この高周波用配線基板４において、線路導体４ｂにはＲＦカット用抵抗体１３を介してバイアス線路１０が接続されている。ＲＦカット用抵抗体１３の接続点から見て、線路導体４ｂの終端４ｂａ側にはＤＣカット用キャパシタ１２が接続されている。ＤＣカット用キャパシタ１２は、バイアス線路１０から供給される直流が接地導体４ｃへ流れないようにするものである。また、ＲＦカット用抵抗体１３は線路導体４ｂを流れるＲＦ信号がバイアス線路１０側へ流れ難くするものである。このようにバイアス線路１０を線路導体４ｂに接続することによって、バイアスＴ機能を付加した高周波用配線基板４は、線路導体４ｂの接続端４ｂｃに接続される電子部品６に直流バイアスを容易に提供することができる。
また、上記実施の形態の説明において上下左右という用語は、単に図面上の位置関係を説明するために用いたものであり、実際の使用時における位置関係を意味するものではない。
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施できる。したがって、前述の実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、本発明の範囲は特許請求の範囲に示すものであって、明細書本文には何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲に属する変形や変更は全て本発明の範囲内のものである。
【図１Ａ】
2009096568.tif 000003
【図１Ｂ】
2009096568.tif 000004
【図２】
2009096568.tif 000005
【図３Ａ】
2009096568.tif 000006
【図３Ｂ】
2009096568.tif 000007
【図４Ａ】
2009096568.tif 000008
【図４Ｂ】
2009096568.tif 000009
【図５】
2009096568.tif 000010
【図６】
2009096568.tif 000011
【図７Ａ】
2009096568.tif 000012
【図７Ｂ】
2009096568.tif 000013
【図８】
2009096568.tif 000014
【国際調査報告】
2009096568.tif 000015
2009096568.tif 000016