(57)【要約】  本発明は、ハンド部（１０）上に載置された基板Ｗを、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置（１００）において、前記ハンド部（１０）の一端である根元側を支持すると共に、前記ハンド部（１０）をその延長方向に往復移動させる移動手段（２０）と、前記ハンド部（１０）に前記基板を載置した際の撓みに伴う前記ハンド部（１０）の先端部の水平方向に対する傾きを検出する傾き検出手段（３０）と、前記ハンド部（１０）の前記先端部の傾きをキャンセルするように、前記ハンド部（１０）全体をピッチング揺動させる傾き補正手段（４０）と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置（１００）を提供する。
2009072199.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置において、
前記ハンド部の一端である根元側を支持すると共に、前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、
前記ハンド部に前記基板を載置した際の撓みに伴う前記ハンド部の先端部の水平方向に対する傾きを検出する傾き検出手段と、
前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルするように、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正手段と、
を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置において、
上下２段に設けられる前記ハンド部と、
上側の前記ハンド部及び下側の前記ハンド部の一端である各根元側を支持すると共に、それぞれの前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、
それぞれの前記ハンド部に前記基板を載置した際の撓みに伴う前記ハンド部の先端部の水平方向に対する傾きを検出する傾き検出手段と、
それぞれの前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルするように、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正手段と、
を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
前記移動手段が、
前記ハンド部の幅方向一方側に設けられ、前記ハンド部の前記根元側を支持すると共に、前記ハンド部を往復移動させるベルト駆動機構と、
前記ハンド部の幅方向他方側に設けられ、前記ハンド部の前記根元側を支持すると共に、前記ハンド部の往復移動をガイドするガイド部と、
前記ベルト駆動機構及び前記ガイド部をその上面に載置するベース部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記移動手段が、
前記上側のハンド部の幅方向一方側に設けられ、前記上側のハンド部の前記根元側を支持すると共に、前記上側のハンド部を往復移動させる上側ベルト駆動機構と、
前記上側のハンド部の幅方向他方側に設けられ、前記上側のハンド部の前記根元側を支持すると共に、前記上側のハンド部の往復移動をガイドする上側ガイド部と、
前記下側のハンド部の幅方向他方側に設けられ、前記下側のハンド部の前記根元側を支持すると共に、前記下側のハンド部を往復移動させる下側ベルト駆動機構と、
前記下側のハンド部の幅方向一方側に設けられ、前記下側のハンド部の前記根元側を支持すると共に、前記下側のハンド部の往復移動をガイドする下側ガイド部と、
前記上側ベルト駆動機構、前記上側ガイド部、前記下側ベルト駆動機構及び前記下側ガイド部をその上面に載置するベース部と、
を有することを特徴とする請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記傾き補正手段が、
前記ベース部の下方に設けられ、前記ベース部全体をピッチング揺動させるアクチュエータであることを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記アクチュエータが、
前記ベース部全体をピッチング揺動させる偏芯カム機構と、その偏芯カム機構の偏芯カムを回転させる偏芯カムモータと、
を有することを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記ベース部の下面が前記ハンド部の延長方向に傾斜した傾斜面であり、
前記アクチュエータが、
前記傾斜面に沿って設けられるガイドレールと、回転自在に水平固定されるボールネジ軸と、そのボールネジ軸を回転駆動させるボールネジモータと、前記ボールネジ軸に螺合され、前記ガイドレールに沿ってスライド移動するボールネジナットと、
を有することを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記ハンド部、前記移動手段、前記傾き検出手段、及び前記傾き補正手段を昇降させる昇降機構を更に備えた請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
前記移動手段全体を前記ハンド部の延長方向に往復移動させる第２移動手段を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
前記移動手段全体を前記ハンド部の延長方向に往復移動させる第２移動手段を更に備え、
前記ベース部が、上下に離間して配置された上ベースと下ベースとを備え、
前記第２移動手段が、前記上ベースの下面に固定されるスライダと、前記下ベースに固定され、そのスライダを前記ハンド部の延長方向に往復移動させるスライド機構とを有し、
前記アクチュエータを前記下ベースの下方に設けたことを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記スライド機構が、前記下ベースに回転自在に固定されるボールネジ軸と、そのボールネジ軸を回転駆動させるボールネジモータと、を備え、
前記スライダが、前記ボールネジ軸に螺合され、前記上ベースの下面に固定される前記ボールネジナットであることを特徴とする請求項１０に記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
前記ハンド部の前記先端部の高さを計測する高さ計測手段を更に備え、
前記昇降機構は、
前記高さ計測手段の計測結果に基づいて、前記傾き補正手段による前記ハンド部のピッチング揺動に伴う前記ハンド部の前記先端部の高さ変動を補正するように、前記ハンド部、前記移動手段、前記傾き検出手段、及び前記傾き補正手段を昇降することを特徴とする請求項８に記載の基板搬送装置。
【請求項１３】
前記上側及び下側のハンド部、前記移動手段、前記傾き検出手段、及び前記傾き補正手段を昇降させる昇降機構と、
前記上側のハンド部及び前記下側のハンド部の各々の前記先端部の高さを計測する高さ計測手段と、を更に備え、
前記昇降機構は、
前記高さ計測手段の計測結果に基づいて、前記傾き補正手段による前記上側又は下側のハンド部のピッチング揺動に伴う前記上側又は下側のハンド部の前記先端部の高さ変動を補正するように、前記上側及び下側のハンド部、前記移動手段、前記傾き検出手段、及び前記傾き補正手段を昇降することを特徴とする請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項１４】
前記傾き検出手段は、
前記ハンド部の先端近傍に設けられ、ハンド部の先端部の延長方向と平行に光線を照射する照射手段と、
前記光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項１５】
前記傾き検出手段は、
前記ハンド部の先端部に向けて光線を照射する照射手段と、
前記ハンド部の先端近傍に設けられ、前記光線を反射する反射手段と、
前記反射手段により反射された光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項１６】
前記高さ計測手段は、
前記ハンド部の先端近傍に設けられ、ハンド部の先端部の延長方向と平行に光線を照射する照射手段と、
前記光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出手段と、
を有することを特徴とする請求項１２に記載の基板搬送装置。
【請求項１７】
基板が載置されるハンド部と、前記ハンド部の一端である根元側を支持すると共に、前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、を備え、前記ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置の制御方法において、
前記ハンド部に前記基板を載置した際の撓みに伴う前記ハンド部の先端部の水平方向に対する傾きを検出する傾き検出工程と、
前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルするように、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正工程と、
を備えたことを特徴とする基板搬送装置の制御方法。
【請求項１８】
前記傾き補正工程を、前記移動手段により前記ハンド部をその延長方向に移動している間に実行することを特徴とする請求項１７に記載の基板搬送装置の制御方法。
【請求項１９】
前記基板搬送装置が、前記ハンド部及び前記移動手段を昇降させる昇降機構を備え、
前記制御方法は、
前記傾き補正工程により前記ハンド部のピッチング揺動を行った後、前記ハンド部の前記先端部の高さを計測する高さ計測工程と、
前記高さ計測工程の検出結果に基づいて、前記傾き補正工程による前記ハンド部のピッチング揺動に伴う前記ハンド部の前記先端部の高さ変動を補正するように、前記昇降機構によって前記ハンド部及び前記移動手段を昇降することを特徴とする請求項１７に記載の基板搬送装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の基板を搬送する基板搬送装置及び基板搬送装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等の基板を搬送するロボットは、一般に片持ち支持された、基板を載置するフォークを有するハンドを備える。近年、基板が大型化してきたため該フォークも必然的に長くなってきている。フォーク自体は軽量で剛性の高いカーボンで製作されており、撓みを軽減するように配慮されているが、ロボット本体、つまり重心からハンドが離れれば離れるほどハンド前端に自重や基板の重みによる撓みが発生してしまう。従って、基板を次工程となる処理装置やカセットに搬送する際に、基板がそれらに干渉して故障の原因となったり、基板に傷が付いたりする可能性があるため、ハンドの撓みを補正する種々の技術が提案されている。【０００３】
例えば、日本特開平７−９９２２５号公報では、ハンドに基板を載置する際に、偏心カムをエアシリンダによって回転させてハンドを支持部回りに回動させることにより、基板を載置した際に生じる撓み方向と逆の方向にハンドの傾斜角度を補正する技術が開示されている。【０００４】
また、国際公開第２００５／００４２３０号公報では、ハンドに基板を載置する際に、スクリューねじをモータによって回転させてハンドが固定された傾斜台を傾斜させることにより、ハンドの傾斜角度を補正する技術が開示されている。【０００５】
ここで、ハンドの撓み量は、搬送する基板の重さ等により変化する。この点について、日本特開平７−９９２２５号公報で開示されている技術では、ハンドの撓み量が一定であることを前提としているため、重さが異なる基板を搬送する場合には適用できない。一方、国際公開第２００５／００４２３０号公報は、各基板の重さによるハンドの撓み量に関する情報を予め記憶しておき、搬送する基板と、記憶した情報とに基づいてハンドの傾斜角度を補正することを開示している。しかし、各基板の重さによるハンドの撓み量に関する情報を予め記憶しておくことは煩雑であり、情報が記憶されていない基板を搬送する際には、ハンドの傾斜角度の補正ができない。
【発明の開示】
【０００６】
本発明の目的は、実際に発生しているハンドの撓みを測定し、リアルタイムに補正しながらハンド上に載置された基板を水平状態でより簡易に搬送することにある。
【０００７】
本発明によれば、ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置において、前記ハンド部の一端である根元側を支持すると共に、前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、前記ハンド部に前記基板を載置した際の撓みに伴う前記ハンド部の先端部の水平方向に対する傾きを検出する傾き検出手段と、前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルするように、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置が提供される。
【０００８】
また、本発明によれば、ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置において、上下２段に設けられる前記ハンド部と、上側の前記ハンド部及び下側の前記ハンド部の一端である各根元側を支持すると共に、それぞれの前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、それぞれの前記ハンド部に前記基板を載置した際の撓みに伴う前記ハンド部の先端部の水平方向に対する傾きを検出する傾き検出手段と、それぞれの前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルするように、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置が提供される。
【０００９】
また、本発明によれば、基板が載置されるハンド部と、前記ハンド部の一端である根元側を支持すると共に、前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、を備え、前記ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置の制御方法において、前記ハンド部に前記基板を載置した際の撓みに伴う前記ハンド部の先端部の水平方向に対する傾きを検出する傾き検出工程と、前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルするように、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正工程と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置の制御方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００の全体斜視図である。
【図２】図１で示す基板搬送装置１００の正面図である。
【図３】図１で示す基板搬送装置１００の側面図である。
【図４】移動部２０の部分断面図である。
【図５】傾き補正部４０の上面図である。
【図６】昇降機構５０の部分断面図である。
【図７】ハンド部１０の拡大側面図である。
【図８】基板搬送装置１００の制御部３００の構成を示すブロック図である。
【図９】基板搬送装置１００の作動開始前の状態を示す拡大側面図である。
【図１０】基板搬送装置１００の作動途中の状態を示す拡大側面図である。
【図１１】基板搬送装置１００の作動完了時の状態を示す拡大側面図である。
【図１２】第２の実施形態に係る基板搬送装置２００の拡大側面図である。
【図１３】第１の実施形態に係る基板搬送装置１００の制御部３００の動作手順を示すフローチャートである。
【図１４】第２の実施形態に係る基板搬送装置２００の制御部３００の動作手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
＜第１の実施形態＞
［全体構成］
図１は、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００の全体斜視図であり、図２は、図１で示す基板搬送装置１００の正面図であり、図３は、図１で示す基板搬送装置１００の側面図である。また、図４は、移動部２０の部分断面図である。【００１２】
基板搬送装置１００は、ハンド部１０上に載置された基板（例えば、ガラス基板）を、処理装置又は所定の収容部に搬送する装置である。処理装置は、例えば、基板の洗浄、乾燥、その他の処理を行う装置である。収容部は、例えば、その内部に複数枚の基板を収納可能な収納カセットである。また、基板搬送装置１００は、モータ等の駆動部Ｍを駆動させることによって、レールＲに沿って移動させることができ、また、回動軸Ａを中心に基板搬送装置１００全体を回動させることができる。【００１３】
基板搬送装置１００は、上下２段に設けられるハンド部１０（上側のハンド部を上側ハンド部１１、下側のハンド部を下側ハンド部１２とする。）と、上側及び下側ハンド部１１、１２の一端である各根本側１１ｂ、１２ｂを支持すると共に、それぞれの上側及び下側ハンド部１１、１２をその延長方向に往復移動させる移動部２０と、上側又は下側ハンド部１１、１２のいずれか一方を前進させた際、及び基板Ｗを載置した際の撓みに伴う上側又は下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａの水平方向に対する傾きを検出する傾き検出部３０と、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａの傾きをキャンセルするように、ハンド部１０全体をピッチング揺動させる傾き補正部４０と、を備える。【００１４】
上側及び下側ハンド部１１、１２は、独立して動作可能に所定間隔で離間して配設される。また、上側及び下側ハンド部１１、１２は、それぞれが、平行に等間隔で配設された複数本のフォーク部材１１ｃ、１２ｃと、フォーク部材１１ｃ、１２ｃの根本側（後端部側）１１ｂ、１２ｂを支持する束ね部材１１ｄ、１２ｄと、で構成される。フォーク部材１１ｃ、１２ｃの素材には、例えば高強度な材料特性を有する炭素繊維を用いることができる。【００１５】
移動部２０は、図４で示すように、上側ハンド部１１の幅方向一方側に設けられた上側ベルト駆動機構２１と、上側ハンド部１１の幅方向他方側に設けられた上側ガイド部２２と、下側ハンド部１２の幅方向他方側に設けられた下側ベルト駆動機構２３と、下側ハンド部１２の幅方向一方側に設けられた下側ガイド部２４と、上側ベルト駆動機構２１、上側ガイド部２２、下側ベルト駆動機構２３及び下側ガイド部２４をその上面に載置する上ベース２５と、を有する。【００１６】
上側ベルト駆動機構２１は、モータ２１ｂの出力軸２１ｂ’がプーリ２１ｃに連結され、プーリ２１ｃの回転によりベルト２１ｄが駆動する構成となっている。上側ハンド部１１の束ね部材１１ｄを支持する一方のフレーム部材２１ａがベルト２１ｄに連結され、他方のフレーム部材２１ａ’が上側ガイド部２２に連結されることで上側ハンド部１１を往復移動させる。【００１７】
下側ベルト駆動機構２３は、モータ２３ｂの出力軸２３ｂ’がプーリ２３ｃに連結され、プーリ２３ｃの回転によりベルト２３ｄが駆動する構成となっている。下側ハンド部１２の束ね部材１２ｄを支持する一方のフレーム部材２３ａは、ベルト２３ｄに連結され、他方のフレーム部材２３ａ’は、下側ガイド部２４に連結されることで下側ハンド部１２を往復移動させる。【００１８】
本実施形態では、移動部２０を載置する上ベース２５をハンド部１０の延長方向に往復移動させる第２移動部７０を更に備える。第２移動部７０は、図３で示すように、上ベース２５の下面に固定されるスライダ７１と、後述の下ベース７３の上面に固定され、スライダ７１をハンド部１０の延長方向に往復移動させるスライド機構７２と、上ベース２５の下方に所定距離だけ離間して配された下ベース７３と、を有する。【００１９】
スライダ７１は、本実施形態では、上ベース２５の下面に固定され、後述のボールネジ軸７２ａに螺合されるボールネジナット７１ａで構成される。スライド機構７２は、下ベース７３に回転自在に固定されるボールネジ軸７２ａと、ボールネジ軸７２ａを回転駆動させるボールネジモータ７２ｂと、ボールネジ軸７２ａの端部に配され、ボールネジ軸７２ａを回転可能に支持する軸受７２ｃと、を備える。【００２０】
これにより、ハンド部１０は、２段階で伸縮可能な構成となり、ハンド部１０をより遠方まで伸ばすことができる。このため、大型の基板を搬送することが可能となる。一方、大型の基板を搬送する場合には、ハンド部１０を前進させた際の撓みがより一層大きくなるため、本発明を適用することが重要となる。
なお、移動部２０は、上ベース２５にボルト固定された防塵カバーＸに全体を覆われており、また、第２移動部７０は、下ベース７３にボルト固定された防塵カバーＹに全体を覆われている。【００２１】
ただし、防塵カバーＸには、上側ハンド部１１を支持するフレーム部材２１ａ、２１ａ’、及び下側ハンド部１２を支持するフレーム部材２３ａ、２３ａ’が上面から突出して移動できるように、それらの可動範囲にはスリットが設けられている。また、防塵カバーＹについても、ボールネジナット７１ａが上面から突出して移動できるように、可動範囲にはスリットが設けられている。【００２２】
傾き検出部３０は、図２及び図３で示すように、フォーク部材１１ｃ、１２ｃの先端部１１ａ、１２ａ近傍に設けられ、フォーク部材１１ｃ、１２ｃの延長方向と平行に光線を照射する照射部３１ａ、３１ｂと、光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出部３２ａ、３２ｂと、を有する。
ずれ量検出部３２ａ、３２ｂは、本実施形態では、光線を受光する受光装置と、受光位置と受光基準位置とのずれ量を演算する演算装置とで構成される。演算装置で演算された結果が後述の制御部３００に信号として送信される。【００２３】
なお、ずれ量検出部３２ａ、３２ｂは、本実施形態では、受光装置だけでなく、演算装置をも有しており、演算されたずれ量を後述の制御部３００に送信するものとしたが、ずれ量検出部３２ａ、３２ｂは、受光装置だけを有しており、受光位置の情報を制御部３００に送信し、制御部３００でずれ量が演算されるものとしてもよい。【００２４】
ここで、ハンド部１０は、フォーク部材１１ｃ、１２ｃの先端部１１ａ、１２ａに近接するほど傾斜量が大きくなる。このため、最も傾斜量が大きいフォーク部材１１ｃ、１２ｃの先端部１１ａ、１２ａに照射部３１ａ、３１ｂを設けることにより、ハンド部１０の最大傾斜量をより確実に検出することができる。【００２５】
照射部３１ａ、３１ｂには、例えば、赤外線やレーザ等を用いることができる。予め定めた基準位置としては、例えば、フォーク部材１１ｃ、１２ｃの根本側１１ｂ、１２ｂにおける上面の高さに設定することができる。上側及び下側ハンド部１１、１２が撓んでいない場合には、根本側１１ｂ、１２ｂの高さと、フォーク部材１１ｃ、１２ｃの先端部１１ａ、１２ａの高さと、が同一の高さであるからである。【００２６】
図５は、傾き補正部４０の上面図である。傾き補正部４０（以下、アクチュエータ４０とも言う。）は、下ベース７３の下方に設けられ、下ベース７３全体をピッチング揺動させる。アクチュエータ４０は、回転軸４１ｂによって連結された２つの偏心カム４１ａ、４１ａ’を有する偏芯カム機構４１と、支持部５２ｂの上面に固定され、出力軸４２ａを有する偏芯カムモータ４２と、下ベース７３を傾斜させる際に支点となるヒンジ部４３と、を有する。【００２７】
偏心カム４１ａ、４１ａ’の回転軸４１ｂは、支持部５２ｂに固定された軸受４１ｃ、４１ｃ’に支持される。偏心カムモータ４２の出力軸４２ａには、減速機４４が連結され、減速機４４は、更に偏心カム４１ａ、４１ａ’の回転軸４１ｂに連結される。これにより、偏心カムモータ４２の出力が偏心カム４１ａ、４１ａ’の回転軸４１ｂに伝達され、偏心カム４１ａ、４１ａ’を回転させることができる。【００２８】
ヒンジ部４３は、下ベース７３の下面に固定されたプレート４３ａと、後述の支持部５２ｂの上面に固定されたプレート４３ｂと、これらのプレート４３ａ、４３ｂを回動自在に連結する回転軸４３ｃと、を有する。ヒンジ部４３は、回転軸４３ｃを中心として、下ベース７３を支持部５２ｂに対して、回動可能に支持する。【００２９】
従って、ヒンジ部４３が下ベース７３と支持部５２ｂとを回動可能に連結し、偏心カム４１ａ、４１ａ’が下ベース７３を上下動可能に支持するため、偏心カムモータ４２を駆動させることにより、ヒンジ部４３の回転軸４３ｃ（図３参照）を中心として下ベース７３をピッチング揺動させることができる。【００３０】
なお、傾き補正部４０は、後述の支持部５２ｂに固定された防塵カバーＺにより側面及び上面を覆われているが、その上面には、偏心カム４１ａ、４１ａ’及びプレート４３ｂの可動範囲と干渉しないような寸法でスリットが設けられている。
また、傾き補正部４０は、上述の駆動構造に限定されるものではなく、下ベース７３の下面を傾斜面として、支持部５２ｂが下ベース７３を支持する箇所を前後に移動させることで下ベース７３を揺動させてもよい。【００３１】
昇降機構５０は、枠状のフレーム５１と、フレーム５１に上下方向にスライド移動可能に係合されるキャリッジ５２と、を有する。フレーム５１は、前述した回転軸Ａに回動自在に接続され、水平に設けられるベース部材５１ａと、ベース部材５１ａに対して垂直に設けられるマスト５１ｂ、５１ｂ’と、マスト５１ｂ、５１ｂ’を上端で連結する連結部材５１ｃとを有する。【００３２】
また、キャリッジ５２は、マスト５１ｂ、５１ｂ’のフレーム５１の内側に係合され、垂直に設けられる昇降部５２ａ、５２ａ’と、各昇降部５２ａ、５２ａ’を連結する支持部５２ｂと、を有する。【００３３】
図６は、昇降機構５０の部分断面図である。昇降機構５０は、マスト５１ｂ、５１ｂ’の内壁に固定されたラック５３と、昇降部５２ａ、５２ａ’に固定されたモータ等の駆動部５４と、駆動部５４の出力軸５４’に連結され、ラック５３に歯合するピニオンギヤ５５と、を更に有する。従って、駆動部５４が駆動することによりピニオンギヤ５５が回転し、上側及び下側ハンド部１１、１２、移動部２０、傾き検出部３０、及び傾き補正部４０を昇降させることができる。【００３４】
図７は、ハンド部１０の拡大側面図である。図１乃至図３では図示を省略したが、上側及び下側ハンド部１１、１２のフォーク部材１１ｃ、１２ｃの各上面１１ｄ、１２ｄには、基板吸着部材１３が複数設けられる。ここでは、上側ハンド部１１についてのみ説明するが、下側ハンド部１２も同様の構成である。【００３５】
基板吸着部材１３は、皿状の本体部１３ａと、緩衝体であるベローズ部１３ｂとで構成される。本体部１３ａの中央には、吸引孔１３ａ’が貫通して設けられる。この吸引孔１３ａ’は、ベローズ部１３ｂの内部空間１３ｂ’を通じて、フォーク部材１１ｃの内部に設けた吸引通路１１ｃ’と連通している。【００３６】
吸引通路１１ｃ’は、真空ポンプ等で構成される排気部（不図示）に接続される。基板吸着部材１３に基板Ｗが載置された際は、排気部により吸引通路１１ｃ’及び内部空間１３ｂ’を通じて、吸引孔１３ａ’内の雰囲気ガスが吸引され、真空状態となる。
これにより、基板Ｗがフォーク部材１１ｃ、１２ｃに吸着（密着）され、基板Ｗがハンド部１０から滑り落ちることを防止することができる。【００３７】
なお、本実施形態では、基板吸着部材１３内を真空状態とすることにより、基板Ｗがハンド部１０から滑り落ちることを防止したが、摩擦力のみで同様の効果を得られるのであれば、真空状態としなくても構わない。また、例えば、基板Ｗの縁を支持するピンを設けることにより、基板Ｗがハンド部１０から滑り落ちることを防止しても構わない。【００３８】
図８は、基板搬送装置１００の制御部３００の構成を示すブロック図である。制御部３００は、基板搬送装置１００全体の制御を司るＣＰＵ３０１と、ＣＰＵ３０１のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるＲＡＭ３０２と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるＲＯＭ３０３と、を備える。ＲＡＭ３０２、ＲＯＭ３０３は、他の記憶手段を採用可能である。【００３９】
入力インターフェース（Ｉ／Ｆ）３０４は、ＣＰＵ３０１と各種のセンサ（例えば、ずれ量検出部３２ａ、３２ｂ等）とのインターフェースであり、入力Ｉ／Ｆ３０４を介して、ＣＰＵ３０１は、各種のセンサの検出結果を取得する。出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）３０５は、ＣＰＵ３０１と各種のモータ（例えば、モータ２１ｂ、２３ｂ、偏心カムモータ４２、及びボールネジモータ７２ｂ等）とのインターフェースであり、出力Ｉ／Ｆ３０４を介して、ＣＰＵ３０１は、各種のモータを制御する。【００４０】
通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）３０６は、基板搬送装置１００全体を制御するホストコンピュータ４００とＣＰＵ３０１とのインターフェースであり、ＣＰＵ３０１は、ホストコンピュータ４００からの指令に応じて、基板搬送装置１００を制御することになる。【００４１】
［動作説明］
図９は、基板搬送装置１００の作動開始前の状態を示す拡大側面図であり、図１０は、基板搬送装置１００の作動途中の状態を示す拡大側面図であり、図１１は、基板搬送装置１００の作動完了時の状態を示す拡大側面図である。ここでは、移動部２０は、上側ハンド部１１を移動させる状況を想定するが、下側ハンド部１２についても同様の動作で説明することができる。【００４２】
まず、図９で示すように、本実施形態では、傾き検出部３０が、常時、基板Ｗが載置された上側ハンド部１１の先端部１１ａの傾きを検出している。すなわち、傾き検出部３０のずれ量検出部３２ａが、照射部３１ａが照射する光線の受光位置Ｃと予め定めた受光基準位置Ｄとのずれ量を常時検出している。
ここで、予め定めた受光基準位置とは、ハンド部１０に撓みが生じていない状態、すなわち、ハンド部１０に基板Ｗを載置する前の状態でずれ量検出部３２ａが受光する位置（基準位置Ｄ）である。【００４３】
なお、フォーク部材１１ｃ、１２ｃには、本実施形態では、炭素繊維等の高強度部材が用いられるため、ハンド部１０の自重による撓みは、無視できるほど小さいが、他の材料からなる部材を用いたことにより、この撓みが無視できないような場合には、基板Ｗをハンド部１０に載置しない状態で受光位置Ｃと受光基準位置Ｄとが一致するように、予め補正しておけばよい（ゼロ点補正）。【００４４】
次に、図１０で示すように、第２移動部７０のボールネジモータ７２ｂを駆動させて、ボールネジナット７１ａをハンド部１０の延長方向に向かってスライド移動させる。これに伴って、上ベース２５が前方に向かって移動する。この動作と並行して、移動部２０の上側ベルト駆動機構２１を駆動させてベルト２１ｄを駆動状態とし、フレーム部２１ａを前方に向かって移動させる。これに伴って、基板Ｗが載置された上側ハンド部１１が前方に向かって移動する。【００４５】
この時、傾き補正部４０は、傾き検出部３０の検出結果に基づいて、上側ハンド部１１の先端部１１ａの傾きをキャンセルするように、ハンド部１０全体をピッチング揺動させる。すなわち、傾き補正部４０は、偏芯カム４１ａが下ベース７３を支持する位置を調整することにより、下ベース７３の傾斜角度を変更する。【００４６】
偏芯カムモータ４２は、回転角度を常に検出しており、その検出結果に基づいて制御部３００により制御されるため、偏芯カム４１ａの回転角度を任意に調整することができる。また、受光位置が受光基準位置からずれたことを傾き検出部３０が検出すると、偏芯カムモータ４２を駆動し、偏心カム４１ａを時計回りに回転させる。【００４７】
このピッチング揺動は、上側ハンド部１１の先端部１１ａの傾きがキャンセルされるまで、つまり、ずれ量検出部３２ａによって、ずれ量が０であることを検出する（受光位置Ｃと受光基準位置Ｄとが一致する）まで継続される。なお、ハンド部１０を傾かせる処理は、移動部２０がハンド部１０を水平方向に移動する間、常に行われる。これにより、搬送する基板サイズが異なる場合であっても、搬送する基板重量や撓み量等の傾き補正データ自体をその都度修正する必要が無い。【００４８】
また、ハンド部１０が移動時に振動した場合であっても、常に上側又は下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａの傾きを検出するため、リアルタイムにずれ量が０を検出するまでハンド部１０の傾きを補正して、振動を軽減させることができる。これにより、振動時であっても、基板を水平に保持しながら、次工程に確実に搬送することが可能となる。【００４９】
このように、上側ハンド部１１の傾きを補正しながら、上側ハンド部１１を水平方向に移動、伸長させることで、図１１に示す最大伸長状態まで上側ハンド部１１が伸長した際には、受光位置Ｃと受光基準位置Ｄとが一致した状態となっている。つまり、上側ハンド部１１の先端部１１ａの傾きがキャンセルされた状態で、上側ハンド部１１が最大伸長される。【００５０】
以上述べた通り、本実施形態によれば、傾き補正部４０が、傾き検出部３０で検出された傾きをキャンセルするように、水平方向に対してハンド部１０及び移動部２０を傾斜するため、ハンド部１０の撓みを補正しながらハンド部１０上に載置された基板Ｗを水平状態でより簡易に搬送することができる。  なお、本実施形態では、上側ハンド部１１のフォーク部材１１ｃは、束ね部材１１ｄによって、上方から支持され、下側ハンド部１２のフォーク部材１２ｃは、束ね部材１２ｄによって、下方から支持されるものとしたが、フォーク部材１１ｃ、１２ｃのいずれも下方又は上方から支持される構造としても構わない。【００５１】
なお、上述の第１の実施形態の変形例１として、傾き検出部３０を次のように構成してもよい。すなわち、傾き検出部３０は、予め定められた位置（例えば、支持部５２ｂ）に設けられ、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａに向けて光線を照射する照射部と、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａ近傍に設けられ、光線を反射する反射部（リフレクター）と、反射部により反射された光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出部と、を有する。【００５２】
すなわち、本変形例では、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａ近傍に照射部の代わりに反射部を設けて、投光及び受光一体型のセンサ（反射型センサ）を受光基準位置に設け、その反射光が受光基準位置からずれた場合に傾き補正を行う。
ここで、上述の第１の実施形態のように、照射部とずれ量検出部とが分離されているもの（分離型）を用いる場合には、それぞれが比較的小型であるが、変形例１のように、反射型センサを用いる場合には、分離型と比べて大型となる。このため、設置スペースを広く確保する必要がある。【００５３】
従って、設置スペースが確保できないような場合には、投光及び受光一体型センサを用いるのではなく、分離型を用いて、照射部とずれ量検出部とを異なる位置に配設してもよい。【００５４】
本変形例によれば、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａに照射部ではなく、反射部を設けたため、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａに負荷される荷重を軽減することができる。これにより、ハンド部１０の撓みを抑制することができる。また、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａに照射部の配線を施す必要がないため、ハンド部１０を簡素化して、設備故障率を低減することができる。【００５５】
＜第２の実施形態＞
上述の第１の実施形態では、昇降機構５０は、ハンド部１０、移動部２０、傾き検出部３０、傾き補正部４０を予め定められた高さ方向の位置に昇降するために用いたが、本実施形態では、これに加えて、傾き補正部４０によって、ハンド部１０の傾きが調整された結果として生じる高さ方向の位置のずれを調整するために用いる点で異なる。なお、第１の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。【００５６】
図１２は、第２の実施形態に係る基板搬送装置２００の側面図である。傾き検出部３０は、本実施形態では、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａから離間した位置（予め定めた部位）の、水平方向に対する傾斜量を検出する水平度検出計（傾斜計）３０ａ、３０ｂである。ここで、予め定めた部位としては、例えば、上側及び下側ハンド部１１、１２の各フォーク部材１１ｃ、１２ｃの長さの中間位置と、先端部１１ａ、１２ａとの間の範囲とする。この範囲は、上側及び下側ハンド部１１、１２の撓みが最も大きく、傾斜量が大きいためである。また、傾き検出部３０は、基板Ｗが載置される面より突出して、基板Ｗと干渉しないように配設する。【００５７】
ここで、水平度検出計３０ａ、３０ｂが水平状態を示すまで傾きを補正してもよいが、この場合、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａを水平にすることは可能であるが、予め設定された高さで基板Ｗを搬送できない場合がある。そこで、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａの高さを計測する高さ計測部６０が必要となる。【００５８】
高さ計測部６０は、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａに設けられ、上側及び下側ハンド部１１、１２の延長方向と平行に光線を照射する照射部６１ａ、６１ｂと、光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出部６２ａ、６２ｂと、を有する。予め定めた受光基準位置は、ハンド部１０に撓みが生じない場合に、ハンド部１０及び移動部２０が傾斜していない状態でずれ量検出部６２ａ、６２ｂが受光する位置である。【００５９】
昇降機構５０は、本実施形態では、高さ計測部６０の計測結果に基づいて、傾き補正部４０による上側又は下側ハンド部１１、１２のピッチング揺動に伴う上側又は下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａの高さ変動を補正するように、上側及び下側ハンド部１１、１２、移動部２０、傾き検出部３０、及び傾き補正部４０を昇降する。
すなわち、昇降機構５０は、傾き補正部４０の動作により、基板Ｗの予め定められた搬送高さと実際の搬送高さとの間にずれが生じた場合に、そのずれ量が０となるように調整するものである。例えば、図１２で示すように、検出位置Ｆと受光基準位置Ｇとが距離Ｅだけ離れていた場合には、昇降機構５０は、距離Ｅだけ、上側及び下側ハンド部１１、１２、移動部２０、傾き検出部３０、及び傾き補正部４０を下降させる。【００６０】
本実施形態によれば、傾き補正部４０によってハンド部１０及び移動部２０を傾斜させることで基板Ｗの上下方向の高さが変化した場合に、昇降機構５０でハンド部１０、移動部２０、傾き検出部３０、及び傾き補正部４０を下降させて基板Ｗの上下方向の位置を調整することができる。【００６１】
なお、高さ計測部６０の照射部６１ａ、６１ｂは、本実施形態では、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａに設けることとしたが、基板Ｗの実際の搬送高さをより正確に検出するため、ハンド部１０の素材等によって変化する撓みの程度に応じて、取付位置を任意に変更してもよい。例えば、照射部６１ａ、６１ｂは、上側及び下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａと根本側（後端部）１１ｂ、１２ｂとの間の中間位置に設けることができる。【００６２】
＜その他の実施形態＞
上述の第１の実施形態に係る基板搬送装置１００を制御する制御方法にも本発明を適用することができる。基板搬送装置１００は、前述の通り、基板Ｗが載置される上側及び下側ハンド部１１、１２と、上側及び下側ハンド部１１、１２の一端である根本側１１ｂ、１２ｂを支持すると共に、上側及び下側ハンド部１１、１２のそれぞれをその延長方向に往復移動させる移動部１０と、を備えており、上側又は下側ハンド部１１、１２上に載置された基板Ｗを処理装置又は所定の収容部に搬送する装置である。ここでは、上側ハンド部１１を移動させる場合を想定して説明するが、下側ハンド部１２についても同様に説明することができる。【００６３】
図１３は、基板搬送装置１００の制御部３００の動作手順を示すフローチャートである。まず、ステップＳ１０１において、傾き検出部３０から上側又は下側ハンド部１１、１２に基板Ｗを載置した際の撓みに伴う上側又は下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａの水平方向に対する傾きを検出した検出結果が制御部３００に入力される。【００６４】
次に、ステップＳ１０２において、制御部３００に傾き検出部３０での検出結果が入力されたか否かを判定する。ステップＳ１０２で検出結果が入力されていないと判定された場合には、一連の処理を終了する。一方、ステップＳ１０２で検出結果が入力されたと判定された場合には、ステップＳ１０３において、傾き検出部３０での検出結果に基づいて、上側又は下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａの傾きをキャンセルするように、ハンド部１０全体をピッチング揺動させる。【００６５】
次に、ステップＳ１０４において、傾き検出部３０で傾斜量が０を検出したか否かを判定する。ステップＳ１０４で傾斜量が０を検出していないと判定された場合には、ステップＳ１０３に戻り、移動部２０の傾斜処理を継続する。一方、ステップＳ１０４で傾斜量が０を検出したと判定された場合には、一連の処理を終了する。なお、ステップＳ１０１からステップＳ１０４に渡る一連の処理は、移動部２０によりハンド部１０をその延長方向に移動している間に、傾き補正処理を実行するものである。【００６６】
また、第２の実施形態に係る基板搬送装置２００を制御する制御方法にも本発明を適用することができる。基板搬送装置２００は、前述の通り、ハンド部１０及び移動部２０を昇降させる昇降機構５０を備える。【００６７】
図１４は、第２の実施形態に係る基板搬送装置２００の制御部３００の動作手順を示すフローチャートである。まず、ステップＳ２０１において、傾き補正工程によりハンド部１０のピッチング揺動を行った後、高さ計測部６０によって、上側又は下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａの高さを計測した計測結果が制御部３００に入力される。【００６８】
次に、ステップＳ２０２において、制御部３００に高さ計測部６０での検出結果が入力されたか否かを判定する。ステップＳ２０２で検出結果が入力されていないと判定された場合には、一連の処理を終了する。一方、ステップＳ２０２で検出結果が入力されたと判定された場合には、ステップＳ２０３において、高さ計測部６０での計測結果に基づいて、傾き補正工程によるハンド部１０のピッチング揺動に伴う、上側又は下側ハンド部１１、１２の先端部１１ａ、１２ａの高さ変動（基準位置とのずれ量）を補正するように、昇降機構５０によってハンド部１０及び移動部２０を昇降する。【００６９】
次に、ステップＳ２０４において、傾き検出部３０で傾斜量が０を検出したか否かを判定する。ステップＳ２０４で傾斜量が０を検出していないと判定された場合には、ステップＳ２０３に戻り、ハンド部１０及び移動部２０の傾斜処理を継続する。一方、ステップＳ２０４で傾斜量が０を検出したと判定された場合には、一連の処理を終了する。
【図１】
2009072199.tif 000003
【図２】
2009072199.tif 000004
【図３】
2009072199.tif 000005
【図４】
2009072199.tif 000006
【図５】
2009072199.tif 000007
【図６】
2009072199.tif 000008
【図７】
2009072199.tif 000009
【図８】
2009072199.tif 000010
【図１３】
2009072199.tif 000011
【図１４】
2009072199.tif 000012
【図９】
2009072199.tif 000013
【図１０】
2009072199.tif 000014
【図１１】
2009072199.tif 000015
【図１２】
2009072199.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成21年7月8日(2009.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置において、
前記ハンド部の一端である根元側を支持すると共に、前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、
前記ハンド部を往復移動させる際の、前記ハンド部の撓みに伴うその先端部の水平方向に対する傾きをリアルタイムに検出する傾き検出手段と、
前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルする方向に、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正手段と、
前記ハンド部の先端部の傾きがキャンセルされた状態で前記ハンド部を移動させるべく、前記傾き補正手段のピッチング揺動を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記傾き検出手段は、
前記ハンド部の先端近傍に設けられ、前記ハンド部の先端部の延長方向と平行に光線を照射する照射手段と、
前記光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記傾き検出手段は、
前記ハンド部の先端部に向けて光線を照射する照射手段と、
前記ハンド部の先端近傍に設けられ、前記光線を反射する反射手段と、
前記反射手段により反射された光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記傾き検出手段は、
前記ハンド部の先端部から前記ハンド部の中間位置までの範囲内の部位に設けられ、該部位の水平方向に対する傾斜量を検出する傾斜計であることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記移動手段が、
前記ハンド部の幅方向一方側に設けられ、前記ハンド部の前記根元側を支持すると共に、前記ハンド部を往復移動させるベルト駆動機構と、
前記ハンド部の幅方向他方側に設けられ、前記ハンド部の前記根元側を支持すると共に、前記ハンド部の往復移動をガイドするガイド部と、
前記ベルト駆動機構及び前記ガイド部をその上面に載置するベース部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記傾き補正手段が、
前記ベース部の下方に設けられ、前記ベース部全体をピッチング揺動させるアクチュエータであることを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記アクチュエータが、
前記ベース部全体をピッチング揺動させる偏芯カム機構と、その偏芯カム機構の偏芯カムを回転させる偏芯カムモータと、
を有することを特徴とする請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記ハンド部、前記移動手段、前記傾き検出手段、及び前記傾き補正手段を昇降させる昇降機構を更に備えた請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
前記移動手段全体を前記ハンド部の延長方向に往復移動させる第２移動手段を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
前記移動手段全体を前記ハンド部の延長方向に往復移動させる第２移動手段を更に備え、
前記ベース部が、上下に離間して配置された上ベースと下ベースとを備え、
前記第２移動手段が、前記上ベースの下面に固定されるスライダと、前記下ベースに固定され、そのスライダを前記ハンド部の延長方向に往復移動させるスライド機構とを有し、
前記アクチュエータを前記下ベースの下方に設けたことを特徴とする請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記スライド機構が、前記下ベースに回転自在に固定されるボールネジ軸と、そのボールネジ軸を回転駆動させるボールネジモータと、を備え、
前記スライダが、前記ボールネジ軸に螺合され、前記上ベースの下面に固定される前記ボールネジナットであることを特徴とする請求項１０に記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
前記ハンド部、前記移動手段、前記傾き検出手段、及び前記傾き補正手段を昇降させる昇降機構と、
前記ハンド部の前記先端部の高さを計測する高さ計測手段と、を更に備え、
前記昇降機構は、
前記高さ計測手段の計測結果に基づいて、前記傾き補正手段による前記ハンド部のピッチング揺動に伴う前記ハンド部の前記先端部の高さ変動を補正するように、前記ハンド部、前記移動手段、前記傾き検出手段、及び前記傾き補正手段を昇降することを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。
【請求項１３】
（削除）
【請求項１４】
（削除）
【請求項１５】
（削除）
【請求項１６】
前記高さ計測手段は、
前記ハンド部の先端近傍に設けられ、ハンド部の先端部の延長方向と平行に光線を照射する照射手段と、
前記光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出手段と、
を有することを特徴とする請求項１２に記載の基板搬送装置。
【請求項１７】
基板が載置されるハンド部と、前記ハンド部の一端である根元側を支持すると共に、前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、を備え、前記ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置の制御方法において、
前記移動手段が前記ハンド部を往復移動させる際の、前記ハンド部の撓みに伴うその先端部の水平方向に対する傾きをリアルタイムに検出する傾き検出工程と、
前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルする方向に、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正工程と、
前記傾き補正工程により前記ハンド部全体を前記キャンセルする方向にピッチング揺動させ、前記先端部の傾きがキャンセルされるようピッチング揺動を制御し、前記ハンド部の傾きを補正しながら、前記ハンド部を水平方向に移動、伸長させる制御工程と、
を有することを特徴とする基板搬送装置の制御方法。
【請求項１８】
（削除）
【請求項１９】
前記基板搬送装置が、前記ハンド部及び前記移動手段を昇降させる昇降機構を備え、
前記制御方法は、
前記傾き補正工程により前記ハンド部のピッチング揺動を行った後、前記ハンド部の前記先端部の高さを計測する高さ計測工程を有し、
前記高さ計測工程の検出結果に基づいて、前記傾き補正工程による前記ハンド部のピッチング揺動に伴う前記ハンド部の前記先端部の高さ変動を補正するように、前記昇降機構によって前記ハンド部及び前記移動手段を昇降することを特徴とする請求項１７に記載の基板搬送装置の制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
の撓み量に関する情報を予め記憶しておくことは煩雑であり、情報が記憶されていない基板を搬送する際には、ハンドの傾斜角度の補正ができない。
発明の開示
［０００６］
本発明の目的は、実際に発生しているハンドの撓みを測定し、リアルタイムに補正しながらハンド上に載置された基板を水平状態でより簡易に搬送することにある。
［０００７］
本発明によれば、ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置において、前記ハンド部の一端である根元側を支持すると共に、前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、前記ハンド部を往復移動させる際の、前記ハンド部の撓みに伴うその先端部の水平方向に対する傾きをリアルタイムに検出する傾き検出手段と、前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルする方向に、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正手段と、前記ハンド部の先端部の傾きがキャンセルされた状態で前記ハンド部を移動させるべく、前記傾き補正手段のピッチング揺動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置が提供される。
［０００８］
［０００９］
また、本発明によれば、基板が載置されるハンド部と、前記ハンド部の一端である根元側を支持すると共に、前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、を備え、前記ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置の制御方法において、前記移動手段が前記ハンド部を往復移動させる際の、前記ハンド部の撓みに伴うその先端部の水平方向に対する傾きをリアルタイムに検出する傾き検出工程と、前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルする方向に、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正工程と、前記傾き補正工程により前記ハンド部全体を前記キャンセルする方向にピッチング揺動させ、前記先端部の傾きがキャンセルされるようピッチング揺動を制御し、前記ハンド部の傾きを補正しながら、前記ハンド部を水平方向に移動、伸長させる制御工程と、を有することを特徴とする基板搬送装置の制御方法が提供される。
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月13日(2010.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置において、
前記ハンド部の一端である根元側を支持すると共に、前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、
前記ハンド部を往復移動させる際の、前記ハンド部の撓みに伴うその先端部の水平方向に対する傾きをリアルタイムに検出する傾き検出手段と、
前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルする方向に、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正手段と、
前記ハンド部の先端部の傾きがキャンセルされた状態で前記ハンド部を移動させるべく、前記傾き補正手段のピッチング揺動を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記傾き検出手段は、
前記ハンド部の先端近傍に設けられ、前記ハンド部の先端部の延長方向と平行に光線を照射する照射手段と、
前記光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記傾き検出手段は、
前記ハンド部の先端部に向けて光線を照射する照射手段と、
前記ハンド部の先端近傍に設けられ、前記光線を反射する反射手段と、
前記反射手段により反射された光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記傾き検出手段は、
前記ハンド部の先端部から前記ハンド部の中間位置までの範囲内の部位に設けられ、該部位の水平方向に対する傾斜量を検出する傾斜計であることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記移動手段が、
前記ハンド部の幅方向一方側に設けられ、前記ハンド部の前記根元側を支持すると共に、前記ハンド部を往復移動させるベルト駆動機構と、
前記ハンド部の幅方向他方側に設けられ、前記ハンド部の前記根元側を支持すると共に、前記ハンド部の往復移動をガイドするガイド部と、
前記ベルト駆動機構及び前記ガイド部をその上面に載置するベース部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記傾き補正手段が、
前記ベース部の下方に設けられ、前記ベース部全体をピッチング揺動させるアクチュエータであることを特徴とする請求項５に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記アクチュエータが、
前記ベース部全体をピッチング揺動させる偏芯カム機構と、その偏芯カム機構の偏芯カムを回転させる偏芯カムモータと、
を有することを特徴とする請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記ハンド部、前記移動手段、前記傾き検出手段、及び前記傾き補正手段を昇降させる昇降機構を更に備えた請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
前記移動手段全体を前記ハンド部の延長方向に往復移動させる第２移動手段を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
前記移動手段全体を前記ハンド部の延長方向に往復移動させる第２移動手段を更に備え、
前記ベース部が、上下に離間して配置された上ベースと下ベースとを備え、
前記第２移動手段が、前記上ベースの下面に固定されるスライダと、前記下ベースに固定され、そのスライダを前記ハンド部の延長方向に往復移動させるスライド機構とを有し、
前記アクチュエータを前記下ベースの下方に設けたことを特徴とする請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記スライド機構が、前記下ベースに回転自在に固定されるボールネジ軸と、そのボールネジ軸を回転駆動させるボールネジモータと、を備え、
前記スライダが、前記ボールネジ軸に螺合され、前記上ベースの下面に固定される前記ボールネジナットであることを特徴とする請求項１０に記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
前記ハンド部、前記移動手段、前記傾き検出手段、及び前記傾き補正手段を昇降させる昇降機構と、
前記ハンド部の前記先端部の高さを計測する高さ計測手段と、を更に備え、
前記昇降機構は、
前記高さ計測手段の計測結果に基づいて、前記傾き補正手段による前記ハンド部のピッチング揺動に伴う前記ハンド部の前記先端部の高さ変動を補正するように、前記ハンド部、前記移動手段、前記傾き検出手段、及び前記傾き補正手段を昇降することを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。
【請求項１３】
前記高さ計測手段は、
前記ハンド部の先端近傍に設けられ、ハンド部の先端部の延長方向と平行に光線を照射する照射手段と、
前記光線を受光して、その受光位置と予め定めた受光基準位置とのずれ量を検出するずれ量検出手段と、
を有することを特徴とする請求項１２に記載の基板搬送装置。
【請求項１４】
基板が載置されるハンド部と、前記ハンド部の一端である根元側を支持すると共に、前記ハンド部をその延長方向に往復移動させる移動手段と、を備え、前記ハンド部上に載置された基板を、処理装置又は所定の収容部に搬送する基板搬送装置の制御方法において、
前記移動手段が前記ハンド部を往復移動させる際の、前記ハンド部の撓みに伴うその先端部の水平方向に対する傾きをリアルタイムに検出する傾き検出工程と、
前記ハンド部の前記先端部の傾きをキャンセルする方向に、前記ハンド部全体をピッチング揺動させる傾き補正工程と、
前記傾き補正工程により前記ハンド部全体を前記キャンセルする方向にピッチング揺動させ、前記先端部の傾きがキャンセルされるようピッチング揺動を制御し、前記ハンド部の傾きを補正しながら、前記ハンド部を水平方向に移動、伸長させる制御工程と、
を有することを特徴とする基板搬送装置の制御方法。
【請求項１５】
前記基板搬送装置が、前記ハンド部及び前記移動手段を昇降させる昇降機構を備え、
前記制御方法は、
前記傾き補正工程により前記ハンド部のピッチング揺動を行った後、前記ハンド部の前記先端部の高さを計測する高さ計測工程を有し、
前記高さ計測工程の検出結果に基づいて、前記傾き補正工程による前記ハンド部のピッチング揺動に伴う前記ハンド部の前記先端部の高さ変動を補正するように、前記昇降機構によって前記ハンド部及び前記移動手段を昇降することを特徴とする請求項１４に記載の基板搬送装置の制御方法。
【国際調査報告】
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