(57)【要約】  水素プラズマに曝されても剥離しない金属配線膜を提供する。銅にＡｌが添加された密着層５１と、密着層５１上に配置され、純銅から成る金属低抵抗層５２とで金属配線膜２０ａを構成させる。密着層５１には、Ａｌと酸素とを含有する銅合金を含有させ、シリコン層と密着するソース電極膜２７とドレイン電極膜２８を構成させると、水素プラズマに曝されても、密着層５１とシリコン層の界面に銅が析出せず、密着層５１とシリコン層の間で剥離しない。Ａｌが多くなると、エッチング後に密着層５１と金属低抵抗層５２の幅が大きく異なってしまうので、エッチングできる最大の添加量が上限となる。
2009131035.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象物上にゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極上にゲート絶縁層を形成する工程と、
前記ゲート絶縁層上に半導体層を形成する工程と、
前記半導体層上にオーミックコンタクト層を形成する工程と、
前記オーミックコンタクト層上に金属配線膜を形成する工程と、
前記オーミックコンタクト層と前記金属配線膜をパターニングして、第一、第二オーミックコンタクト層と、ソース電極とドレイン電極とを形成する工程とを有する逆スタガー型の薄膜トランジスタの製造方法であって、
前記金属配線膜を形成する工程は、真空雰囲気中で、Ａｌと銅とを含有する銅合金ターゲットを、スパッタリングガスと酸化性ガスを含むガスを導入してスパッタリングし、前記オーミックコンタクト層上に、銅とＡｌと酸素とを含有する密着層を形成する工程を含む薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項２】
Ａｌを、前記銅合金ターゲットに５原子％以上３０原子％以下の割合で含有させる請求項１記載の薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項３】
前記金属配線膜を形成する工程は、前記密着層を形成した後、前記密着層よりも銅の含有率が高く、前記密着層よりも低抵抗の金属低抵抗層を前記密着層上に形成する工程を含む請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項４】
前記酸化性ガスにはＯ2ガスを用い、前記Ｏ2ガスは前記スパッタリングガス１００体積部に対し、０．１体積部以上１５体積部以下の範囲で含有させる請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項５】
前記酸化性ガスにはＣＯ2ガスを用い、前記ＣＯ2ガスは前記スパッタリングガス１００体積部に対し、０．２体積部以上３０体積部以下の範囲で含有させる請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項６】
前記酸化性ガスには、Ｈ2Ｏガスを用い、前記Ｈ2Ｏガスは前記スパッタリングガス１００体積部に対し、０．１体積部以上１５体積部以下の範囲で含有させる請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項７】
処理対象物上に形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極上に形成されたゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に形成された半導体層と、
前記半導体層上に形成され、分離されている第一、第二オーミックコンタクト層と、
前記第一、第二オーミックコンタクト層上にそれぞれ形成されたソース電極とドレイン電極と、を有する逆スタガー型の薄膜トランジスタであって、
前記ソース電極と前記ドレイン電極は、前記第一、第二オーミックコンタクト層との接触面に、Ａｌと、酸素とを含有する銅合金を含む密着層を有する、
薄膜トランジスタ。
【請求項８】
前記第一、第二オーミックコンタクト層は、ｎ型半導体層である請求項７に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項９】
前記密着層よりも銅の含有率が高く、前記密着層よりも低抵抗の金属低抵抗層が、前記密着層上に配置された請求項７又は請求項８のいずれか１項記載の薄膜トランジスタ。
【請求項１０】
前記密着層に含有される金属中、Ａｌは５原子％以上３０原子％以下の割合で含有された請求項７乃至請求項９のいずれか１項記載の薄膜トランジスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は銅合金から成る電極膜を有するトランジスタと、そのトランジスタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  ｆｉｌｍ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）等の電子回路の内部には、ＴＦＴのソース領域やドレイン領域に、金属の配線膜が接続されている。
近年では、ＴＦＴや配線膜が益々微細化されており、そのため、低抵抗の配線膜を得るために、銅を主成分とする配線膜が用いられている。【０００３】
しかしながら、銅を主成分とする配線膜は実験ではシリコンとの密着性が高くても、銅配線膜を用いてＴＦＴを製造すると、剥離が発生する場合があり、その原因の究明と対策が求められている。
【特許文献１】特開２００１−７３１３１号公報
【特許文献２】特開平１１−５４４５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の発明者等は、銅配線膜とシリコン層との密着性が悪化する原因は、ＴＦＴの製造工程に於いて、シリコン層のダメージを回復するための、シリコン層を水素プラズマに曝すＴＦＴの特性の改善処理にあることを突き止めた。【０００５】
純銅はシリコンとの密着性が悪いため、ソース電極膜やドレイン電極膜を形成するための金属配線膜は、マグネシウムと酸素が添加され、シリコンと密着性が高い銅合金から成る密着層と、純銅で構成され、密着層よりも低抵抗の金属低抵抗層の二層構造にされている。【０００６】
このような金属配線膜が水素プラズマに曝されると、密着層中の銅化合物が還元され、シリコンと密着層の界面に純Ｃｕが析出し、それが密着性を悪化させていると考えられる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の発明者等は、銅配線膜とシリコンの界面に純銅を析出させない添加物を調査研究した結果、Ａｌの酸化物を見出し、本発明を創作するに到った。【０００８】
即ち、本発明は、処理対象物上にゲート電極を形成する工程と、前記ゲート電極上にゲート絶縁層を形成する工程と、前記ゲート絶縁層上に半導体層を形成する工程と、前記半導体層上にオーミックコンタクト層を形成する工程と、前記オーミックコンタクト層上に金属配線膜を形成する工程と、前記オーミックコンタクト層と前記金属配線膜をパターニングして、第一、第二オーミックコンタクト層と、ソース電極とドレイン電極とを形成する工程とを有する逆スタガー型の薄膜トランジスタの製造方法であって、前記金属配線膜を形成する工程は、真空雰囲気中で、Ａｌと銅とを含有する銅合金ターゲットを、スパッタリングガスと酸化性ガスを含むガスを導入してスパッタリングし、前記オーミックコンタクト層上に、銅とＡｌと酸素とを含有する密着層を形成する工程を含む薄膜トランジスタの製造方法である。
本発明は薄膜トランジスタの製造方法であって、Ａｌを、前記銅合金ターゲットに５原子％以上３０原子％以下の割合で含有させる薄膜トランジスタの製造方法である。
本発明は薄膜トランジスタの製造方法であって、前記金属配線膜を形成する工程は、前記密着層を形成した後、前記密着層よりも銅の含有率が高く、前記密着層よりも低抵抗の金属低抵抗層を前記密着層上に形成する工程を含む薄膜トランジスタの製造方法である。
本発明は薄膜トランジスタの製造方法であって、前記酸化性ガスにはＯ2ガスを用い、前記Ｏ2ガスは前記スパッタリングガス１００体積部に対し、０．１体積部以上１５体積部以下の範囲で含有させる薄膜トランジスタの製造方法である。
本発明は薄膜トランジスタの製造方法であって、前記酸化性ガスにはＣＯ2ガスを用い、前記ＣＯ2ガスは前記スパッタリングガス１００体積部に対し、０．２体積部以上３０体積部以下の範囲で含有させる薄膜トランジスタの製造方法である。
本発明は薄膜トランジスタの製造方法であって、前記酸化性ガスには、Ｈ2Ｏガスを用い、前記Ｈ2Ｏガスは前記スパッタリングガス１００体積部に対し、０．１体積部以上１５体積部以下の範囲で含有させる薄膜トランジスタの製造方法である。
本発明は、処理対象物上に形成されたゲート電極と、前記ゲート電極上に形成されたゲート絶縁層と、前記ゲート絶縁層上に形成された半導体層と、前記半導体層上に形成され、分離されている第一、第二オーミックコンタクト層と、前記第一、第二オーミックコンタクト層上にそれぞれ形成されたソース電極とドレイン電極と、を有する逆スタガー型の薄膜トランジスタであって、前記ソース電極と前記ドレイン電極は、前記第一、第二オーミックコンタクト層との接触面に、Ａｌと、酸素とを含有する銅合金を含む密着層を有する薄膜トランジスタである。
本発明は薄膜トランジスタであって、前記第一、第二オーミックコンタクト層は、ｎ型半導体層である薄膜トランジスタである。
本発明は薄膜トランジスタであって、前記密着層よりも銅の含有率が高く、前記密着層よりも低抵抗の金属低抵抗層が、前記密着層上に配置された薄膜トランジスタである。
本発明は薄膜トランジスタであって、前記密着層に含有される金属中、Ａｌは５原子％以上３０原子％以下の割合で含有された薄膜トランジスタである。【０００９】
なお、本発明では、ポリシリコン、アモルファスシリコン等のシリコンを主成分とする半導体をシリコン層と呼んでいる。
【発明の効果】
【００１０】
水素プラズマに曝されても電極膜が剥離しないので歩留まりが向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１（ａ）】：本発明のトランジスタ製造方法を説明するための図
【図１（ｂ）】：本発明のトランジスタ製造方法を説明するための図
【図１（ｃ）】：本発明のトランジスタ製造方法を説明するための図
【図１（ｄ）】：本発明のトランジスタ製造方法を説明するための図
【図１（ｅ）】：本発明のトランジスタ製造方法を説明するための図
【図１（ｆ）】：本発明のトランジスタ製造方法を説明するための図
【図１（ｇ）】：本発明のトランジスタ製造方法を説明するための図
【図１（ｈ）】：本発明のトランジスタ製造方法を説明するための図
【図１（ｉ）】：本発明のトランジスタ製造方法を説明するための図
【図２】金属配線膜を説明するための図
【図３】本発明のトランジスタを製造する成膜装置を説明するための図
【符号の説明】
【００１２】
５……トランジスタ
１０……処理対象物
１２……ゲート電極
１６……シリコン層
１８……ｎ型シリコン層
２０ａ、２０ｂ……金属配線膜
２７……ソース電極膜
２８……ドレイン電極膜
３１……ソース領域
３２……ドレイン領域
５１……密着層
５２……金属低抵抗層
１１１……銅合金ターゲット
１１２……純銅ターゲット
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１(ａ)の符号１０は、本発明のトランジスタ製造方法が用いられる処理対象物を示している。
処理対象物１０を説明すると、該処理対象物１０は、ガラス等から成る透明基板１１を有しており、透明基板１１上には、ゲート電極１２と画素電極１３が離間して配置されている。【００１４】
透明基板１１上には、ゲート電極１２と画素電極１３を覆って、ゲート絶縁層１４と、シリコン層１６と、ｎ型シリコン層１８とが、透明基板１１側からこの順序で配置されている。ｎ型シリコン層１８は、不純物添加により、シリコン層１６よりも抵抗値が低くされたシリコン層である。ここではｎ型シリコン層１８とシリコン層１６は、アモルファスシリコンで構成されているが、単結晶や多結晶であってもよい。ゲート絶縁層１４は、窒化シリコン薄膜等の絶縁膜であり、酸窒化シリコン膜や他の絶縁膜でもよい。【００１５】
図３の符号１００は、その処理対象物１０の表面に金属配線膜を形成する成膜装置を示している。
成膜装置１００は、搬出入室１０２と、第一の成膜室１０３ａと、第二の成膜室１０３ｂとを有している。搬出入室１０２と第一の成膜室１０３ａの間と、第一の成膜室１０３ａと第二の成膜室１０３ｂの間は、ゲートバルブ１０９ａ、１０９ｂを介してそれぞれ接続されている。【００１６】
搬出入室１０２と、第一、第二の成膜室１０３ａ、１０３ｂには、真空排気系１１３、１１４ａ、１１４ｂがそれぞれ接続されており、ゲートバルブ１０９ａ、１０９ｂを閉じ、第一、第二の成膜室１０３ａ、１０３ｂの内部を真空排気しておく。
次いで、搬出入室１０２と大気の間の扉を開け、搬出入室１０２の内部に処理対象物１０を搬入し、扉を閉じ、搬出入室１０２の内部を真空排気した後、ゲートバルブ１０９ａを開け、処理対象物１０を第一の成膜室１０３ａの内部に移動させ、基板ホルダ１０８に保持させる。【００１７】
第一、第二の成膜室１０３ａの内部の底壁側には、銅合金ターゲット１１１と、純銅ターゲット１１２がそれぞれ配置されており、処理対象物１０は、ｎ型シリコン層１８が各ターゲット１１１、１１２と対面できるように、基板ホルダ１０８に保持される。
第一、第二の成膜室１０３ａ、１０３ｂにはガス導入系１０５ａ、１０５ｂがそれぞれ接続されており、第一の成膜室１０３ａの内部を真空排気しながらガス導入系１０５ａからスパッタリングガスと酸化性ガスを導入し、銅合金ターゲット１１１をスパッタリングすると、銅合金ターゲット１１１の構成材料から成るスパッタリング粒子がｎ型シリコン層１８の表面に到達し、ｎ型シリコン層１８と接触した密着層が形成される。【００１８】
銅合金ターゲット１１１は、Ａｌ(アルミニウム)と銅とを含有している。銅合金ターゲット１１１には、必要に応じて銅とＡｌ以外の金属（例えばＴｉ、Ｃｉ、Ｚｒ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｍｎのうちいずれか１種以上）を添加金属として添加することもできる。【００１９】
銅の原子数と、Ａｌの原子数と、他の添加金属の原子数の合計を１００とした場合に、銅合金ターゲット１１１中にＡｌは５以上３０以下含まれる。即ち、銅合金ターゲット１１１中に、Ａｌは５原子％以上３０原子％以下の割合で含有されている。
酸化性ガスはＡｌを酸化させ、Ａｌの酸化物を生成するガスであり、銅合金ターゲット１１１がスパッタリングされると、処理対象物１０の表面には、銅を主成分とし、Ａｌの酸化物が含有された密着層が形成される。【００２０】
次に、処理対象物１０が保持された基板ホルダ１０８を第二の成膜室１０３ｂに移動させ、ガス導入系１０５ｂからスパッタリングガスを導入し、純銅ターゲット１１２をスパッタリングすると、処理対象物１０の表面に、純銅ターゲット１１２の構成材料である銅原子から成るスパッタリング粒子が到達し、密着層の表面に純銅から成る金属低抵抗層が形成される。第二の成膜室１０３ｂでは、酸化性ガスは導入しない。【００２１】
図１(ｂ)の符号２０ａは、密着層と金属低抵抗層とで構成される金属配線膜を示しており、図２の符号５１、５２は、それぞれ密着層と金属低抵抗層を示している。
金属配線膜２０ａのゲート電極１２上に位置する部分の表面にレジスト膜を配置し、金属配線膜２０ａと、ｎ型シリコン層１８と、シリコン層１６とから成る積層膜をエッチングし、積層膜のレジスト膜で覆われていない部分を除去する。【００２２】
図１(ｃ)は、積層膜のエッチング後、レジスト膜を除去した状態であり、符号２０ｂはレジスト膜で覆われて残った金属配線膜を示している。
次に、図１(ｄ)に示すように、金属配線膜２０ｂ上にパターニングしたレジスト膜２２を配置し、レジスト膜２２の開口２４の底面に、金属配線膜２０ｂの表面が露出させた状態で、リン酸・硝酸・酢酸の混合液、硫酸・硝酸・酢酸の混合液、又は塩化第二鉄の溶液等のエッチング液に浸漬すると、金属配線膜２０ｂの露出部分がエッチングされ、金属配線膜２０ｂがパターニングされる。【００２３】
金属低抵抗層５２は銅を主成分とするので、密着層５１中のＡｌの割合が大きくなりすぎると、パターニング後に、金属低抵抗層５２と密着層５１の幅が大きく異なってしまう。従って、密着層５１中のＡｌの割合は、密着層５１と金属低抵抗層５２を同時にエッチングできる最大の添加量が上限となる。
このパターニングによって、金属配線膜２０ｂのゲート電極１２上の部分に底面にｎ型シリコン層１８が露出する開口２４が形成され、金属配線膜２０ｂは開口２４によって分離され、図１(ｅ)に示すように、ソース電極膜２７とドレイン電極膜２８が形成され、本発明のトランジスタ５が得られる。【００２４】
次いでエッチング装置内に搬入して開口２４底面に露出するｎ型シリコン層１８をエッチングガスのプラズマに曝してエッチングし、ｎ型シリコン層１８に形成した開口２４の底面にシリコン層１６を露出させる。
ｎ型シリコン層１８に形成された開口２４はゲート電極１２の上方に位置しており、開口２５によって、ｎ型シリコン層１８は、ソース領域３１とドレイン領域３２に分離される（図１(ｆ)）。【００２５】
開口２５の底面には、シリコン層１６の表面が露出しており、シリコン層１６がｎ型シリコン層１８をエッチングする際のエッチングガスプラズマに曝されると、シリコン層１６表面から水素原子が失われ、ダングリングボンドが形成されてしまう。【００２６】
このダングリングボンドはリーク電流などのＴＦＴの特性不良の原因となる。ダングリングボンドを水素で再修飾するために、図１(ｇ)に示すように、ソース電極膜２７とドレイン電極膜２８とを露出させた状態で、水素を導入して水素プラズマを発生させ、開口２５の底部に露出するシリコン層１６を水素ガスプラズマに曝すと、シリコン層１６表面のシリコン原子は水素と結合し、ダングリングボンドは消滅する。【００２７】
本発明の金属配線膜２０ａ(２０ｂ)では、ソース電極膜２７やドレイン電極膜２８が、銅を主成分とし、５原子％以上３０原子％以下の割合でＡｌが含有された密着層５１を有している。ここで、密着層５１中のＡｌの割合とは、密着層５１に含まれるＡｌの原子数から、密着層５１に含まれる金属成分（銅、Ａｌ、及び他の添加金属）の合計原子数を除した値に１００を乗じた値である。密着層５１中のＡｌの割合は、銅合金ターゲット１１１中のＡｌの割合と等しくなる。【００２８】
その密着層５１がトランジスタのシリコンや二酸化シリコンと密着しており、ソース電極膜２７とドレイン電極膜２８が水素プラズマに曝されても、ｎ型シリコン層１８(ソース領域３１やドレイン領域３２)との界面に銅は析出せず、ソース電極膜２７やドレイン電極膜２８等の金属配線膜２０ａ(２０ｂ)で構成されている電極膜は剥離しない。【００２９】
水素プラズマの処理を行なった後、 図１(ｈ)に示すように、パッシベーション膜３４を形成し、パッシベーション膜３４にコンタクトホール３７を形成した後、同図(ｉ)に示すように、ソース電極膜２７又はドレイン電極膜２８と画素電極１３等の間を接続する透明電極膜３６を形成すると、液晶表示パネルが得られる。【００３０】
なお、シリコン層（ポリシリコン層、アモルファスシリコン層を含む）のエッチングに使用可能なガスは、Ｃｌ2、ＨＢｒ、Ｃｌ2、ＨＣｌ、ＣＢｒＦ3、ＳｉＣｌ4、ＢＣｌ3、ＣＨＦ3、ＰＣｌ3、ＨＩ、Ｉ2等がある。これらのハロゲンガスは１種類を単独でエッチングガスに用いてもよいし、２種類以上を混合してエッチングガスに用いてもよい。更に、エッチングガスに、Ｏ2、Ｎ2、ＳＦ6、Ｎ2、Ａｒ、ＮＨ3等ハロゲンガス以外の添加ガスを添加してもよい。【００３１】
窒化ケイ素（ＳｉＮ）や、酸化ケイ素（ＳｉＯ2）ＧａＡｓ、ＳｎＯ2、Ｃｒ、Ｔｉ、ＴｉＮ、Ｗ、Ａｌ等の他のエッチング対象物をエッチングする際にも、上記ハロゲンガスを用いることが可能である。
ポリシリコンのエッチングガスとしては、例えばＣｌ2、Ｃｌ2＋ＨＢｒ、Ｃｌ2＋Ｏ2、ＣＦ4＋Ｏ2、ＳＦ6、Ｃｌ2＋Ｎ2、Ｃｌ2＋ＨＣｌ、ＨＢｒ＋Ｃｌ2＋ＳＦ6等がある。【００３２】
Ｓｉのエッチングガスとしては、例えばＳＦ6、Ｃ4Ｆ8、ＣＢｒＦ3、ＣＦ4＋Ｏ2、Ｃｌ2、ＳｉＣｌ4＋Ｃｌ2、ＳＦ6＋Ｎ2＋Ａｒ、ＢＣｌ2＋Ｃｌ2＋Ａｒ、ＣＦ4、ＮＦ3、ＳｉＦ4、ＢＦ3、ＸｅＦ2、ＣｌＦ3、ＳｉＣｌ4、ＰＣｌ3、ＢＣｌ3、ＨＣｌ、ＨＢｒ、Ｂｒ2、ＨＩ、Ｉ2等がある。【００３３】
アモルファスシリコンのエッチングガスとしては、例えばＣＦ4＋Ｏ2、Ｃｌ2＋ＳＦ6等がある。
スパッタリングガスはＡｒに限定されず、Ａｒ以外にもＮｅ、Ｘｅ等を用いることもできる。【００３４】
また、本発明により形成された密着層５１は、ＴＦＴのソース電極、ドレイン電極だけでなく、ＴＦＴのゲート電極、半導体素子や配線板等の他の電子部品のバリア膜や電極（配線膜）に用いることができる。
【実施例】
【００３５】
スパッタリングガスにアルゴンガスを用い、酸化性ガスに酸素ガスを用いて銅合金ターゲット１１１をスパッタリングし、ガラス基板上に密着層を５０ｎｍ形成した後、アルゴンガスを用いて純銅ターゲット１１２をスパッタリングし、密着層上に金属低抵抗層を３００ｎｍ形成し、二層構造の金属配線膜を得た。基板温度は１００℃、スパッタリングガスはＡｒガス、スパッタリング圧力は０．４Ｐａであった。【００３６】
形成した金属配線膜の表面を露出させ、水素プラズマに暴露した後、その表面に窒化シリコン膜を形成した。
水素ガスプラズマ処理は、水素ガス流量５００sccm、圧力２００Ｐａ、基板温度２５０℃、パワー３００Ｗ、時間６０秒である。【００３７】
シリコン窒化膜は、基板を配置したＣＶＤ装置内に、ＳｉＨ4：２０ｓｃｃｍ、ＮＨ3ガス３００ｓｃｃｍ、Ｎ2ガス５００ｓｃｃｍの割合で各ガスを導入し、圧力１２０Ｐａ、基板温度２５０℃、パワー３００Ｗで形成した。【００３８】
水素プラズマに暴露する前の金属配線膜の密着性(as depo. 密着性)と、水素プラズマに暴露した後、その表面に窒化シリコン膜を形成した後の密着性(Ｈ2プラズマ処理後密着性)を粘着テープを接着した後、剥離するテープテストによって測定し、ガラス基板表面が露出したものを「×」とし、それ以外を「○」として評価した。【００３９】
銅合金ターゲット１１１中のＡｌの含有割合と酸化性ガスの導入割合を異ならせ、実験した。評価結果は「密着性」として、銅合金ターゲット１１１中のＡｌの含有割合と、酸化性ガスの導入割合と共に、下記表１〜３に示す。【００４０】
また、上記と同じ金属配線膜をシリコンウェハ表面に形成した後、真空雰囲気中でアニール処理をし、金属配線膜をエッチング除去した後、その表面をＳＥＭで観察し、シリコン中への銅の拡散の有無を観察した。
上記各実験では、スパッタリングガスはアルゴンガス、酸化性ガスは酸素ガス、スパッタリング雰囲気中のスパッタリングガス分圧は０．４Ｐａである。【００４１】
また、酸素ガスに替え、ＣＯ2ガスとＨ2Ｏガスを酸化性ガスに用いてＡｌを含有するターゲットをスパッタリングした。スパッタリングガスにはＡｒガスを用い、密着性とバリア性を評価した。
観察結果を下記表１(酸化性ガスが酸素ガスの場合)と、表２(酸化性ガスがＣＯ2の場合)と、表３（酸化性ガスがＨ2Ｏガスの場合）中に「バリア性」として示す。拡散が観察されたものを「×」、観察されなかったものを「○」と記載した。【００４２】
【表１】
2009131035.tif 000003
【００４３】
【表２】
2009131035.tif 000004
【００４４】
【表３】
2009131035.tif 000005
【００４５】
以上の結果により、Ａｌは銅合金ターゲット１１１中に５原子％以上含有されていると、密着性(Ｈ2プラズマ処理前及び後の密着性)とバリア性が良好であることが分かる。
また、酸化性ガスはアルゴンガス１００体積部の導入量に対し、０．１体積部以上３０体積部以下の範囲で導入すればよいことがわかる。【００４６】
次に、酸化性ガスとして酸素ガスを用いて得られた金属配線膜をエッチング液に浸漬し、金属低抵抗層５２と密着層５１の両方が同じエッチング液でエッチングできるかどうかを観察した。エッチング液には、燐硝酢酸(Ｈ3ＰＯ4：ＨＮＯ3：ＣＨ3ＣＯＯＨ：Ｈ2Ｏ)＝１６：１：２：１を用い、エッチング液の液温は４０℃にした。【００４７】
エッチングの観察結果を下記表４に示す。エッチング後に密着層と金属低抵抗層の幅が同等となったものを「○」、エッチング後に密着層と金属低抵抗層の幅が異なったものを「×」とした。観察結果と、銅合金ターゲット１１１中のＡｌの含有割合とを下記表４に記載した。【００４８】
【表４】
2009131035.tif 000006
【００４９】
表４から、密着層と金属低抵抗層の幅が大きく異なってしまうので、銅合金ターゲット１１１中のＡｌの添加量は３０原子％以下が望ましいことが分かる。
なお、密着層５１はシリコンやシリコン酸化物との密着性の他、金属低抵抗層５２との密着性が高い方が望ましいので、本発明の密着層５１は金属低抵抗層５２の成分である銅を５０％以上含有する。
【図１（ａ）】
2009131035.tif 000007
【図１（ｂ）】
2009131035.tif 000008
【図１（ｃ）】
2009131035.tif 000009
【図１（ｄ）】
2009131035.tif 000010
【図１（ｅ）】
2009131035.tif 000011
【図１（ｆ）】
2009131035.tif 000012
【図１（ｇ）】
2009131035.tif 000013
【図１（ｈ）】
2009131035.tif 000014
【図１（ｉ）】
2009131035.tif 000015
【図２】
2009131035.tif 000016
【図３】
2009131035.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成22年9月14日(2010.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第一、第二の成膜室１０３ａ、１０３ｂの内部の底壁側には、銅合金ターゲット１１１と、純銅ターゲット１１２がそれぞれ配置されており、処理対象物１０は、ｎ型シリコン層１８が各ターゲット１１１、１１２と対面できるように、基板ホルダ１０８に保持される。
第一、第二の成膜室１０３ａ、１０３ｂにはガス導入系１０５ａ、１０５ｂがそれぞれ接続されており、第一の成膜室１０３ａの内部を真空排気しながらガス導入系１０５ａからスパッタリングガスと酸化性ガスを導入し、銅合金ターゲット１１１をスパッタリングすると、銅合金ターゲット１１１の構成材料から成るスパッタリング粒子がｎ型シリコン層１８の表面に到達し、ｎ型シリコン層１８と接触した密着層が形成される。
【国際調査報告】
2009131035.tif 000018
2009131035.tif 000019