(57)【要約】【課題】ワークと顕微鏡対物レンズとの相対的な傾きを変化させることなく、ワーク形状を精度良く測定することを可能にするデータ補正装置及びデータ補正プログラムを提供する。【解決手段】本発明のデータ補正装置は、白色光干渉を用いた形状測定装置１０により測定される領域の傾斜角度と当該領域の高さデータを補正するための補正値とを関連付けた情報を記憶している記憶部と、形状測定装置１０によりワークＷを測定して得られる所定領域の高さデータを取得する取得部と、取得部により高さデータが取得された所定領域の傾斜角度を算出する算出部と、記憶部に記憶されている情報を用いて、算出部により算出された傾斜角度に対応する補正値を決定する決定部と、決定部により決定された補正値を用いて、取得部により取得された高さデータを補正する補正部と、を有するデータ補正装置である。【選択図】図３
2013084565.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学式の形状測定装置により測定されるワーク上の小領域の傾斜角度と当該小領域の高さデータを補正するための補正値とを関連付けた情報を記憶している記憶部と、
前記形状測定装置によりワークを測定して得られる所定領域の高さデータを取得する取得部と、
前記取得部により高さデータが取得された前記所定領域の傾斜角度を算出する算出部と、
前記記憶部に記憶されている前記情報を用いて、前記算出部により算出された前記傾斜角度に対応する補正値を決定する決定部と、
前記決定部により決定された前記補正値を用いて、前記取得部により取得された高さデータを補正する補正部と、
を有するデータ補正装置。
【請求項２】
前記情報は、関数である請求項１に記載のデータ補正装置。
【請求項３】
前記情報は、ルックアップテーブルである請求項１に記載のデータ補正装置。
【請求項４】
前記情報は、形状が既知である原器を測定して得られる請求項１〜３のいずれか１項に記載のデータ補正装置。
【請求項５】
前記原器は、球面原器である請求項４に記載のデータ補正装置。
【請求項６】
前記形状測定装置にはエリアセンサが備えられ、前記所定領域は、前記エリアセンサの撮像領域の一部の領域であり、
前記補正値は、前記撮像領域内における前記所定領域の位置とさらに関連付けられ、
前記情報は、前記傾斜角度と前記位置と前記補正値とを関連付けた情報であり、
前記決定部は、前記情報を用いて、前記傾斜角度及び前記位置に対応する補正値を決定する請求項１〜５のいずれか１項に記載のデータ補正装置。
【請求項７】
光学式の形状測定装置によりワークを測定して得られる所定領域の高さデータを取得する手順（ａ）と、
前記手順（ａ）において高さデータが取得された前記所定領域の傾斜角度を算出する手順（ｂ）と、
前記形状測定装置により測定されるワーク上の小領域の傾斜角度と当該小領域の高さデータを補正するための補正値とを関連付けた情報を用いて、前記手順（ｂ）において算出された前記傾斜角度に対応する補正値を決定する手順（ｃ）と、
前記手順（ｃ）において決定された前記補正値を用いて、前記手順（ａ）において取得された高さデータを補正する手順（ｄ）と、
をコンピューターに実行させるデータ補正プログラム。
【請求項８】
前記情報は、関数である請求項７に記載のデータ補正プログラム。
【請求項９】
前記情報は、ルックアップテーブルである請求項７に記載のデータ補正プログラム。
【請求項１０】
前記情報は、形状が既知である原器を測定して得られる請求項７〜９のいずれか１項に記載のデータ補正プログラム。
【請求項１１】
前記原器は、球面原器である請求項１０に記載のデータ補正プログラム。
【請求項１２】
前記形状測定装置にはエリアセンサが備えられ、前記所定領域は、前記エリアセンサの撮像領域の一部の領域であり、
前記補正値は、前記撮像領域内における前記所定領域の位置とさらに関連付けられ、
前記情報は、前記傾斜角度と前記位置と前記補正値とを関連付けた情報であり、
前記手順（ｃ）において、前記情報を用いて、前記傾斜角度及び前記位置に対応する補正値が決定される請求項７〜１１のいずれか１項に記載のデータ補正プログラム。
【請求項１３】
請求項７〜１２のいずれか１項に記載のデータ補正プログラムを記録したコンピューター読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、データ補正装置及びデータ補正プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラやレーザービームプリンターの高性能化に伴い、これらに内蔵された光学素子の形状を高精度に測定することが求められている。光学素子を高精度に測定する形状測定装置として、白色光干渉を用いた形状測定装置が知られている。白色光干渉を用いた形状測定装置は、白色光光源から出射される白色光を顕微鏡対物レンズによりワーク表面に集光させて白色光干渉縞を発生させ、白色光干渉縞をエリアセンサにより撮像して、エリアセンサの撮像領域に含まれる画素の高さデータを算出する。【０００３】
ところで、形状測定装置の顕微鏡対物レンズは、ワーク表面が光軸に対して垂直のとき、収差が最小となるよう設計されている。このため、ワークの測定対象領域が傾斜面である場合、顕微鏡対物レンズの収差の影響が大きくなり、測定精度の低下が招かれている。【０００４】
この問題を解決するために、下記の特許文献１には、顕微鏡対物レンズを回転可能な回転機構を有する形状測定装置が開示されている。このような構成によれば、ワークの傾斜面に対して光軸が垂直となるように顕微鏡対物レンズが回転されるため、顕微鏡対物レンズの収差による誤差が抑制され、ワーク形状を精度良く測定することができる。【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の形状測定装置は回転機構を有するため、装置が大型化するという問題や、回転機構の回転誤差に起因する測定誤差が発生するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１６５６２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、ワークと顕微鏡対物レンズとの相対的な傾きを変化させることなく、ワーク形状を精度良く測定することを可能にするデータ補正装置及びデータ補正プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の上記目的は、下記の手段により達成される。【０００９】
（１）光学式の形状測定装置により測定されるワーク上の小領域の傾斜角度と当該小領域の高さデータを補正するための補正値とを関連付けた情報を記憶している記憶部と、前記形状測定装置によりワークを測定して得られる所定領域の高さデータを取得する取得部と、前記取得部により高さデータが取得された前記所定領域の傾斜角度を算出する算出部と、前記記憶部に記憶されている前記情報を用いて、前記算出部により算出された前記傾斜角度に対応する補正値を決定する決定部と、前記決定部により決定された前記補正値を用いて、前記取得部により取得された高さデータを補正する補正部と、を有するデータ補正装置。【００１０】
（２）前記情報は、関数である上記（１）に記載のデータ補正装置。【００１１】
（３）前記情報は、ルックアップテーブルである上記（１）に記載のデータ補正装置。【００１２】
（４）前記情報は、形状が既知である原器を測定して得られる上記（１）〜（３）のいずれか１つに記載のデータ補正装置。【００１３】
（５）前記原器は、球面原器である上記（４）に記載のデータ補正装置。【００１４】
（６）前記形状測定装置にはエリアセンサが備えられ、前記所定領域は、前記エリアセンサの撮像領域の一部の領域であり、前記補正値は、前記撮像領域内における前記所定領域の位置とさらに関連付けられ、前記情報は、前記傾斜角度と前記位置と前記補正値とを関連付けた情報であり、前記決定部は、前記情報を用いて、前記傾斜角度及び前記位置に対応する補正値を決定する上記（１）〜（５）のいずれか１つに記載のデータ補正装置。【００１５】
（７）光学式の形状測定装置によりワークを測定して得られる所定領域の高さデータを取得する手順（ａ）と、前記手順（ａ）において高さデータが取得された前記所定領域の傾斜角度を算出する手順（ｂ）と、前記形状測定装置により測定されるワーク上の小領域の傾斜角度と当該小領域の高さデータを補正するための補正値とを関連付けた情報を用いて、前記手順（ｂ）において算出された前記傾斜角度に対応する補正値を決定する手順（ｃ）と、前記手順（ｃ）において決定された前記補正値を用いて、前記手順（ａ）において取得された高さデータを補正する手順（ｄ）と、をコンピューターに実行させるデータ補正プログラム。【００１６】
（８）前記情報は、関数である上記（７）に記載のデータ補正プログラム。【００１７】
（９）前記情報は、ルックアップテーブルである上記（７）に記載のデータ補正プログラム。【００１８】
（１０）前記情報は、形状が既知である原器を測定して得られる上記（７）〜（９）のいずれか１つに記載のデータ補正プログラム。【００１９】
（１１）前記原器は、球面原器である上記（１０）に記載のデータ補正プログラム。【００２０】
（１２）前記形状測定装置にはエリアセンサが備えられ、前記所定領域は、前記エリアセンサの撮像領域の一部の領域であり、前記補正値は、前記撮像領域内における前記所定領域の位置とさらに関連付けられ、前記情報は、前記傾斜角度と前記位置と前記補正値とを関連付けた情報であり、前記手順（ｃ）において、前記情報を用いて、前記傾斜角度及び前記位置に対応する補正値が決定される上記（７）〜（１１）のいずれか１つに記載のデータ補正プログラム。【００２１】
（１３）上記（７）〜（１２）のいずれか１つに記載のデータ補正プログラムを記録したコンピューター読み取り可能な記録媒体。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、ワークの測定対象領域が傾斜面であることに起因する高さデータの誤差が傾斜角度に応じて補正されるため、ワークと顕微鏡対物レンズとの相対的な傾きを変化させることなく、ワーク形状を精度良く測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る形状測定システムの概略構成を示す図である。
【図２】図１に示される情報処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図３】情報処理装置により実行される高さデータ補正処理の手順を示すフローチャートである。
【図４】ワークの傾斜角度と反射光との関係を示す図である。
【図５】情報処理装置により実行される関数作成処理の手順を示すフローチャートである。
【図６】傾斜角度を算出する処理を説明するための図である。
【図７】ルックアップテーブルの一例を示す図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る高さデータ補正処理の手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、図面の寸法比率は、説明の都合上、誇張されて実際の比率とは異なる場合がある。
【００２５】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る形状測定システム１の概略構成を示す図である。
【００２６】
図１に示されるように、本実施形態に係る形状測定システム１は、形状測定装置１０及び情報処理装置２０を備える。
【００２７】
形状測定装置１０は、白色光干渉を用いてワーク表面を測定する。形状測定装置１０は、顕微鏡本体部１１に顕微鏡対物レンズ１２が取り付けられて構成される。顕微鏡対物レンズ１２は、顕微鏡本体部１１から供給される白色光をワーク表面に集光させ、白色光干渉縞を発生させる。また、顕微鏡対物レンズ１２は、ピエゾ素子により光軸方向に移動される。顕微鏡本体部１１の上部にはエリアセンサ１３が備えられ、ワーク表面に白色光を照射することにより発生する白色光干渉縞を撮像する。ピエゾ素子により顕微鏡対物レンズ１２を移動させつつ、エリアセンサ１３により白色光干渉縞を撮像して得られる複数の画像データは、情報処理装置２０に送信される。
【００２８】
情報処理装置２０は、形状測定装置１０の動作を制御するとともに、形状測定装置１０から受信した画像データを解析して、エリアセンサ１３の撮像領域に含まれる画素の高さデータを算出する。また、情報処理装置２０は、データ補正装置として、後述する傾斜角度と誤差を補正するための補正値とを関連付けた情報を用いて、撮像領域に含まれる画素の高さデータを補正する。
【００２９】
図２は、情報処理装置２０の概略構成を示すブロック図である。情報処理装置２０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）２１、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）２２、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）２３、ハードディスク２４、入力部２５、表示部２６、及び送受信部２７を有する。これらの各部は、バス２８を介して相互に接続されている。
【００３０】
ＣＰＵ２１は、形状測定装置１０から受信した画像データに対して、種々の演算及び処理を実行する。ＣＰＵ２１は、解析部、取得部、算出部、決定部及び補正部として機能する。
【００３１】
ここで、解析部は、形状測定装置１０から受信した画像データを解析して、画素の高さデータを算出する。取得部は、解析部により算出された各画素の高さデータを取得する。算出部は、取得部により取得された画素の高さデータに基づいて、画素の傾斜角度を算出する。決定部は、ハードディスク２４に記憶された情報を用いて、算出部により算出された傾斜角度に対応する補正値を決定する。補正部は、決定部により決定された補正値を用いて、画素の高さデータを補正する。なお、各部の具体的な処理内容については、後述する。
【００３２】
ＲＯＭ２２は、各種プログラムや各種データを予め記憶する。ＲＡＭ２３は、作業領域として、プログラムやデータを一時的に記憶する。
【００３３】
ハードディスク２４は、オペレーティングシステムを含む各種プログラムや各種データを格納する。ハードディスク２４には、傾斜角度から補正値を計算する関数が格納されている。
【００３４】
また、ハードディスク２４は、形状測定装置１０から受信した画像データを解析して画素の高さデータを算出するための解析プログラム、画素の高さデータを取得するための取得プログラム、画素の傾斜角度を算出するための算出プログラム、傾斜角度に対応する補正値を決定するための決定プログラム及び画素の高さデータを補正するための補正プログラムを格納する。
【００３５】
入力部２５は、たとえば、キーボード、タッチパネル、及びマウス等のポインティングデバイスであり、各種情報の入力に用いられる。表示部２６は、たとえば、液晶ディスプレイであり、各種情報を表示する。
【００３６】
送受信部２７は、たとえば、インターフェースであり、形状測定装置１０からの画像データを受信する。また、送受信部２７は、形状測定装置１０の動作を制御するための各種指令を出力する。
【００３７】
なお、形状測定装置１０及び情報処理装置２０は、上述した構成要素以外の構成要素を含んでいてもよく、あるいは、上述した構成要素のうちの一部が含まれていなくてもよい。
【００３８】
以上のとおり構成される形状測定システム１では、形状測定装置１０から受信した画像データが、情報処理装置２０により解析され、画像データの各画素の高さデータが算出される。そして、各画素の高さデータが傾斜角度に応じて補正される。以下、図３及び図４を参照して、本実施形態に係る情報処理装置２０の動作について説明する。
【００３９】
図３は、情報処理装置２０により実行される高さデータ補正処理の手順を示すフローチャートである。なお、図３のフローチャートにより示されるアルゴリズムは、情報処理装置２０のハードディスク２４にプログラムとして記憶されており、ＣＰＵ２１によって実行される。
【００４０】
Ｓ０１では、形状測定装置１０から受信した画像データが解析され、各画素の高さデータが算出される。具体的には、形状測定装置１０から受信した複数の画像データが解析され、白色光干渉縞のピーク強度位置が求められることにより、各画素の高さデータが算出される。たとえば、エリアセンサの撮像領域が２５６×２５６個の画素であるとき、全ての画素について高さデータが算出される。なお、画像データを解析して、画素ごとに高さデータを算出する技術自体は公知な技術であるため、詳細な説明は省略する。
【００４１】
Ｓ０２では、Ｓ０１において高さデータが算出された複数の画素の中から１つの画素が選択される。そして、当該１つの画素及び当該１つの画素の周辺画素を含む小領域の画素群が選択され、当該画素群の高さデータが取得される。たとえば、２５６×２５６個の画素の中から１つの画素が選択される。そして、当該１つの画素及び当該１つの画素の上下左右４つの画素を含む小領域の画素群が選択され、当該画素群の高さデータが取得される。
【００４２】
Ｓ０３では、Ｓ０２において高さデータが取得された画素群の高さデータにより、Ｓ０２において選択された１つの画素の傾斜角度が算出される。具体的には、たとえば、画素群の高さデータを用いて画素のＸ方向の傾斜角度とＹ方向の傾斜角度とが算出される。なお、Ｘ方向及びＹ方向は、形状測定装置１０の光軸（Ｚ軸）に垂直なステージの移動方向を示す。
【００４３】
Ｓ０４では、ハードディスク２４に記憶されている関数を用いて、Ｓ０３において算出された傾斜角度に対応する補正値が決定される。
【００４４】
補正値ｆ（ｘt，ｙt）を決定する関数は、画素のＸ方向の傾斜角度をｘt、Ｙ方向の傾斜角度をｙtとしたとき、たとえばｎ次の多項式関数を用いて、下記（１）式のように表される。ここで、ａijは傾斜補正の係数配列である。（１）式の関数がハードディスク２４に記憶されている。下記（１）式のｘtにＸ方向の傾斜角度を、ｙtにＹ方向の傾斜角度をそれぞれ代入することにより、補正値ｆが決定される。
【００４５】
【数１】
2013084565.tif 000003
【００４６】
Ｓ０５では、Ｓ０４において決定された補正値ｆを用いて、Ｓ０２において取得された画素の高さデータが補正される。具体的には、高さデータから補正値が加算または減算される。
【００４７】
Ｓ０６では、すべての画素の高さデータの補正が終了したか否かが判断される。具体的には、たとえば、エリアセンサ１３に含まれる２５６×２５６個の画素の高さデータが、すべて補正されたか否かが判断される。
【００４８】
すべての画素の高さデータの補正が終了していないと判断される場合（Ｓ０６：ＮＯ）、Ｓ０２の処理に戻る。そして、エリアセンサ１３のすべての画素の高さデータが補正されるまで、Ｓ０２以下の処理が繰り返される。
【００４９】
一方、Ｓ０６において、すべての画素の高さデータの補正が終了したと判断される場合（Ｓ０６：ＹＥＳ）、処理が終了される。
【００５０】
以上のとおり、図３に示されるフローチャートの処理によれば、エリアセンサ１３の撮像領域に含まれる画素の高さデータが、傾斜角度に基づいて補正される。
【００５１】
次に、図４を参照して、データ補正処理の効果について説明する。図４は、ワークＷの傾斜角度と反射光との関係を示す図である。
【００５２】
図４（Ａ）に示されるように、ワーク表面に対して光軸Ｓが垂直のとき、顕微鏡対物レンズ１２により集光されワーク表面で反射される白色光Ｌ１については、すべての反射光が顕微鏡対物レンズ１２に戻る。
【００５３】
一方、図４（Ｂ）及び（Ｃ）に示されるように、ワーク表面が光軸Ｓの垂直方向に対して傾斜しているとき、顕微鏡対物レンズ１２により集光されワーク表面で反射される白色光Ｌ２，Ｌ３については、一部の反射光は顕微鏡対物レンズ１２に戻らず、これに起因する高さデータの測定誤差が生じる。なお、ワーク表面の傾斜角度が大きいほど、測定誤差は大きくなる。
【００５４】
本実施形態のデータ補正処理によれば、各画素に対応するワークＷの傾斜角度に応じて各画素の高さデータが補正されるため、ワークＷの測定対象領域が傾斜面であっても、ワーク形状を精度良く測定することができる。
【００５５】
また、本実施形態の形状測定システム１によれば、ワークＷと顕微鏡対物レンズ１２との相対的な傾きを変化させることなく、ワーク形状を精度良く測定することができる。
【００５６】
以上のとおり、ハードディスク２４に記憶された関数を用いて、ワークＷの高さデータを補正する処理について述べた。以下では、関数を作成する処理について説明する。
【００５７】
図５は、情報処理装置２０により実行される関数作成処理の手順を示すフローチャートである。なお、図５のフローチャートにより示されるアルゴリズムは、情報処理装置２０のハードディスク２４にプログラムとして記憶されており、ＣＰＵ２１によって実行される。
【００５８】
関数の作成に先立って、形状が既知である球面原器が用意され、形状測定装置１０により球面原器の複数の領域が測定される。
【００５９】
Ｓ１１では、形状測定装置１０により球面原器を測定して得られた複数の画像データが解析され、球面原器の複数の領域の高さデータが算出される。
【００６０】
Ｓ１２では、Ｓ１１において算出された複数の領域の高さデータについて、当該高さデータと球面原器の実際の高さデータとの差分が算出され、高さデータの補正値が画素ごとに算出される。ここで、実際の高さデータは、球面原器の半径及び測定位置から幾何学的に算出される。
【００６１】
Ｓ１３では、Ｓ１２において補正値が算出された各画素について、当該画素に対応する領域の傾斜角度が、球面原器の半径及び測定位置から幾何学的に算出される。具体的には、球面原器Ｂの接平面Ｐの法線ベクトルＶを算出することにより、傾斜角度が算出される（図６参照）。なお、本実施形態とは異なり、傾斜角度は、図３のＳ０３と同様に、周辺画素の高さデータを用いて算出されてもよい。この場合、高周波除去フィルタや微分処理が用いられてもよい。
【００６２】
Ｓ１４では、Ｓ１２及びＳ１３において算出された補正値及び傾斜角度に基づいて、補正値が傾斜角度の関数として定義される。たとえば、ｎ次の多項式近似が行われ、上述した（１）式に示される係数配列ａｉｊが算出される。なお、（１）式ではｎ次の多項式が記載されているが、関数として、Ｚｅｒｎｉｋｅ多項式が用いられてもよい。
【００６３】
Ｓ１５では、Ｓ１４において算出された関数がハードディスク２４に記憶される。
【００６４】
以上のとおり、本実施形態によれば、球面原器を測定することにより、傾斜角度から補正値を算出する関数が作成される。
【００６５】
＜変形例＞
なお、上述した実施形態では、傾斜角度から補正値を計算する関数を用いて、各画素の傾斜角度に対応する補正値が決定された。しかしながら、ルックアップテーブルを用いて、各画素の傾斜角度に対応する補正値が決定されてもよい。
【００６６】
図７は、ルックアップテーブル１００の一例を示す図である。ルックアップテーブル１００は、図７に示されるように、画素のＸ方向及びＹ方向の傾斜角度と補正値とを対応付ける情報である。たとえば、図３のＳ０３において算出された傾斜角度がＸ方向に対して３１°、Ｙ方向に対して３０°であるとき、ルックアップテーブル１００から補正値は６ｎｍと決定される。なお、対応する傾斜角度がルックアップテーブル１００に存在しない場合は、内挿により補正値が決定され得る。内挿は、たとえば、数値Ｎ１と数値Ｎ２との間が直線的であるとして、数値Ｎ１と数値Ｎ２との間の数値を算出する線形補間である。
【００６７】
＜第２実施形態＞
次に、図８を参照して、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、各画素の高さデータを補正する補正値に、エリアセンサ１３の撮像領域内における画素の位置がさらに関連付けられている実施形態である。
【００６８】
図８は、本実施形態に係る高さデータ補正処理の手順を示すフローチャートである。Ｓ２１〜Ｓ２３は、図３のＳ０１〜Ｓ０３と同様であるため説明を省略する。
【００６９】
Ｓ２４では、ハードディスク２４に記憶されている傾斜角度と画素の位置と補正値とを関連付けた関数を用いて、Ｓ２３において算出された傾斜角度及び画素の位置に対応する補正値が決定される。
【００７０】
補正値ｇ（ｘt，ｙt，ｘp，ｙp）を決定する関数は、画素のＸ方向の傾斜角度をｘt、Ｙ方向の傾斜角度をｙt、画素のＸ座標をｘp、画素のＹ座標をｙpとしたとき、たとえば、ｎ次の多項式関数を用いて、下記（２）式のように表せる。ここで、ｂijklは傾斜及び位置補正の多項式の係数配列である。（２）式の関数がハードディスク２４に記憶されている。下記（２）式のｘtにＸ方向の傾斜角度を、ｙtにＹ方向の傾斜角度を、ｘpに画素のＸ座標を、ｙpに画素のＹ座標をそれぞれ代入することにより、補正値ｇが決定される。なお、下記（２）式は、（１）式と同様に、球面原器を測定して算出される。
【００７１】
【数２】
2013084565.tif 000004
【００７２】
Ｓ２５及びＳ２６は、図３のＳ０５及びＳ０６と同様であるため説明を省略する。
【００７３】
以上のとおり、本実施形態によれば、ワークＷの測定対象領域が傾斜面であることに起因する誤差に加え、エリアセンサ１３の測定領域内における画素の位置に起因する誤差も補正することができる。画素の位置に起因する誤差は、傾斜角度が大きいほど顕著になり、同じ傾斜角度であっても、エリアセンサ１３の中央部に位置する画素の補正値とエリアセンサ１３の角部に位置する画素の補正値とが異なる場合がある。本実施形態によれば、ワークＷの傾斜角度が大きい場合であっても、ワーク形状を精度良く測定することができる。
【００７４】
なお、第１実施形態の変形例と同様に、ルックアップテーブルにより、傾斜角度と画素の位置と補正値とが関連付けられていてもよい。
【００７５】
本発明は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲内において、種々改変することができる。
【００７６】
たとえば、上述した第１及び第２実施形態では、エリアセンサ１３の撮像領域に含まれる画素の高さデータが１つの画素ごとに補正された。しかしながら、エリアセンサ１３の撮像領域（たとえば２５６×２５６個の画素）が複数のブロック（たとえば８×８＝６４ブロック）に分割され（たとえば１ブロックは３２×３２個の画素）、ブロック単位で高さデータが補正されてもよい。この場合、データ処理速度が向上する効果が挙げられる。
【００７７】
また、上述した第１及び第２実施形態では、各画素におけるワークＷの傾斜角度は、画素の高さデータに基づいて算出された。しかしながら、ワークＷの所定領域の傾斜角度は、ワークのＣＡＤデータを用いて算出されてもよい。さらには、測定対象領域が設計式で表現される場合、当該設計式が用いられてもよい。
【００７８】
また、上述した第１及び第２実施形態では、球面原器が用いられていた。しかしながら、原器には、形状が既知である凹凸面や傾斜角が既知の傾斜面を有する原器が用いられてもよい。
【００７９】
また、上述した第１及び第２実施形態では、ハードディスク２４に記憶されたプログラムをＣＰＵ２１が実行することによって、高さデータが補正された。しかしながら、高さデータを補正する処理はＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）等のハードウエア回路によって実行されてもよい。この場合、並列処理により複数の画素の高さデータが同時に補正される。
【００８０】
また、上述した第１及び第２実施形態に係る形状測定システム１における各種処理を行う手段および方法は、専用のハードウエア回路、またはプログラムされたコンピューターのいずれによっても実現することが可能である。上記プログラムは、たとえば、フレキシブルディスクおよびＣＤ−ＲＯＭ等のコンピューター読み取り可能な記録媒体によって提供されてもよいし、インターネット等のネットワークを介してオンラインで提供されてもよい。この場合、コンピューター読み取り可能な記録媒体に記録されたプログラムは、通常、ハードディスク等の記憶部に転送され記憶される。また、上記プログラムは、単独のアプリケーションソフトとして提供されてもよいし、形状測定システム１の一機能としてその装置のソフトウエアに組み込まれてもよい。
【符号の説明】
【００８１】
１  形状測定システム、
１０  形状測定装置、
１１  顕微鏡本体部、
１２  顕微鏡対物レンズ、
１３  エリアセンサ、
２０  情報処理装置、
２１  ＣＰＵ、
２２  ＲＯＭ、
２３  ＲＡＭ、
２４  ハードディスク、
２５  入力部、
２６  表示部、
２７  送受信部、
２８  バス、
１００  ルックアップテーブル、
Ｗ  ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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