(57)【要約】電磁ノイズ、振動、大音響、熱及び着目している特定の粒子線、電磁波以外の粒子線、電磁波によって発生する電気的雑音、機械的破壊並びに固体構成原子の反跳に対し耐性があり、検出手段の放射線被爆に対しても従来のエネルギー分解技術に比べて強い耐性を有する分光機能が劣化し難い電磁波・粒子線分光方法及び電磁波・粒子線分光装置を提供する。分光装置１０は入射スペクトルの強度をラプラス変換するラプラス変換フィルター１１と、前記入射スペクトルの透過強度を検出する検出素子１５と、検出された入射スペクトルの透過強度を逆ラプラス変換して、ラプラス変換フィルター１１に入射した入射スペクトルの入射強度を算出する演算装置１７を備える。
2009113606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射スペクトルをラプラス変換フィルターに入射して、同入射スペクトルの強度をラプラス変換する第１ステップと、
前記ラプラス変換フィルターを透過し、ラプラス変換された入射スペクトルを受光して、該入射スペクトルの透過強度を検出手段により検出する第２ステップと、
前記検出されたスペクトルの透過強度を逆ラプラス変換して、前記ラプラス変換フィルターに入射した入射スペクトルの強度を算出する第３ステップを含むことを特徴とする電磁波・粒子線分光方法。
【請求項２】
前記ラプラス変換フィルターは、自身の質量に応じて入射スペクトルを減衰する減衰体を含み、
前記第２ステップでは、前記入射スペクトルの光軸上の前記減衰体の質量が連続的に変化している状態で前記検出手段により前記入射スペクトルの透過強度を検出することを特徴とする請求項１に記載の電磁波・粒子線分光方法。
【請求項３】
前記第２ステップでは、前記入射スペクトルの光軸上の前記減衰体の質量を、時間的に連続的に変化させる質量変更手段にて変更させることを特徴とする請求項２に記載の電磁波・粒子線分光方法。
【請求項４】
前記減衰体の前記入射スペクトルの光軸上における質量が、該光軸と交差する方向においてリニアに変化するように設けられており、
前記質量変更手段が、前記ラプラス変換フィルターと、前記検出手段のうち少なくともいずれか一方を、前記光軸と交差する方向へ相対的に移動させることを特徴とする請求項３に記載の電磁波・粒子線分光方法。
【請求項５】
前記ラプラス変換フィルターは、自身の密度に応じてスペクトルを減衰する気体からなる減衰体を備えた気室を備え、
前記質量変更手段が、前記ラプラス変換フィルターの前記検出手段に対向する部位における前記減衰体の圧力を、連続的に変化させることにより、該気体の密度を連続的に変更させることを特徴とする請求項３に記載の電磁波・粒子線分光方法。
【請求項６】
前記第１ステップにおける減衰体が、強磁性体であって、前記入射スペクトルの光軸に対して所定の方向をなす磁場が印加された状態で前記入射スペクトルを入射し、
さらに、第３ステップで得られた入射スペクトルの強度に基づいて、偏極スペクトルの強度を算出する第４ステップを含むことを特徴とする請求項２乃至請求項４のうちいずれか１項に記載の電磁波・粒子線分光方法。
【請求項７】
入射スペクトルを入射して、同入射スペクトルの強度をラプラス変換するラプラス変換フィルターと、
前記ラプラス変換されたスペクトルを受光して、該スペクトルの透過強度を検出する検出手段と、
前記検出されたスペクトルの透過強度を逆ラプラス変換して、前記ラプラス変換フィルターに入射した入射スペクトルの強度を算出する逆ラプラス変換手段を含むことを特徴とする電磁波・粒子線分光装置。
【請求項８】
前記ラプラス変換フィルターは、自身の質量に応じてスペクトルを減衰する減衰体を含み、
前記入射スペクトルの光軸上の前記減衰体の質量を、時間的に連続的に変化させる質量変更手段を備えることを特徴とする請求項６に記載の電磁波・粒子線分光装置。
【請求項９】
前記ラプラス変換フィルターは、自身の質量に応じてスペクトルを減衰する減衰体を含み、
前記減衰体が、入射スペクトルの光軸に交差する方向に質量が変化するように構成され、
前記検出手段は、前記入射スペクトルの光軸に交差する方向に亘って配置されていることを特徴とする請求項７に記載の電磁波・粒子線分光装置。
【請求項１０】
前記減衰体の前記入射スペクトルの光軸上における質量が、該光軸と交差する方向においてリニアに変化するように設けられており、
前記質量変更手段が、前記ラプラス変換フィルターと、前記検出手段を、前記光軸と交差する方向へ相対的に移動させることを特徴とする請求項８に記載の電磁波・粒子線分光装置。
【請求項１１】
前記ラプラス変換フィルターは、自身の密度に応じてスペクトルを減衰する気体からなる減衰体を備えた気室を備え、
前記質量変更手段が、ラプラス変換されたスペクトルを受光する際に、時間的に連続的に前記気室内の圧力を変化させることを特徴とする請求項８に記載の電磁波・粒子線分光装置。
【請求項１２】
前記減衰体が強磁性体で構成され、
さらに、前記入射スペクトルの光軸に対して所定の方向をなす磁場を印加して前記強磁性体を磁化する磁場付与手段と、
逆ラプラス変換手段にて得られた入射スペクトルの強度に基づいて、偏極スペクトルの強度を算出する偏極スペクトル強度演算手段を備えることを特徴とする請求項８乃至請求項１０のうちいずれか１項に記載の電磁波・粒子線分光装置。
【請求項１３】
前記検出手段と、前記減衰体の間に前記検出手段に前記スペクトルの透過光が結像するためのピンホールが配置されていることを特徴とする請求項８乃至請求項１２のうちいずれか１項に記載の電磁波・粒子線分光装置。
【請求項１４】
前記検出手段が、無冷却検出手段であることを特徴とする請求項７乃至請求項１３のいずれか１項に記載の電磁波・粒子線分光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波・粒子線分光方法及び電磁波・粒子線分光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定のエネルギー分解能を有する従来の分光法は、電磁波、粒子線による固体の電子励起或いは光の干渉効果を応用している。これらの原理に基づいて、パルス波高分析器、超伝導検出器、並びに分光結晶、回折格子が既に実用化されている。【０００３】
現行の半導体検出器などこれまで開発されてきたエネルギー弁別法は、回路系の弁別時間内に受光する光子、粒子の数を１個以下に制限して受光エネルギーを電子パルスに変換して波高値を検出するようにしている。すなわち、波高分析の場合、波高弁別回路の処理能力で計数率が決まる。実際にはエネルギー分解能を定める波高精度と計数率は互いに拮抗し、最新の高計数率デジタル波高分析器では、最高計数率設定で１秒当たり250ｋカウント、５keVにおける分解能は１５０eVである。250ｋカウントの計数率は磁場閉じ込め高温プラズマの電子温度や重元素不純物の輸送を見積もる場合、２０msecの時間分解能に相当する。又、超伝導検出器の場合は光子１個のエネルギーを温度上昇に変換しているため、波高分析と同じく計数率に制限がある。【０００４】
又、Ｘ線スペクトル計測技術におけるエネルギー分解能の改善は波長程度の微小構造をより高精度で形成するか、或いは、励起子エネルギーが低い物質を受光素子として超低温冷却による熱雑音の低減によって達成している。【０００５】
なお、本件発明の電磁波・粒子線分光方法及び電磁波・粒子線分光装置は、既存の従来技術の分光法及び分光装置とは原理的に異なるため、先行技術を調査したが、近似した技術は見あたらなかった。
【発明の開示】
【０００６】
上記のような理由から波高分析や超伝導検出器の場合には容易に高計数率にはできないという問題がある。又、回折格子や分光結晶は分散能が大きくエネルギー分解能は良いが、逆に測定範囲は非常に狭く、１種類の原子から放射される特性Ｘ線全てを捉えることが困難である。
【０００７】
又、従来の分光方法や分光装置では、電磁ノイズ、振動、大音響、熱及び着目している特定の粒子線、電磁波以外の粒子線、電磁波によって発生する電気的雑音、機械的破壊並びに固体構成原子の反跳と検出手段の放射線被爆に対し耐性がなく、遮蔽を行わなければ分光機能が劣化し易いという問題がある。
【０００８】
本発明の目的は、測定する電磁波或いは粒子線に対し、受光素子への入射個数を制限することなく、高計数率かつ測定エネルギー範囲を幅広く捉えることができる電磁波・粒子線分光方法を提供することにある。又、本発明の目的は、電磁ノイズ、振動、大音響、熱及び着目している特定の粒子線、電磁波以外の粒子線、電磁波によって発生する電気的雑音、機械的破壊並びに固体構成原子の反跳に対し耐性があり、検出手段の放射線被爆に対しても従来のエネルギー分解技術に比べて強い耐性を有する分光機能が劣化し難い電磁波・粒子線分光方法を提供することにある。
【０００９】
又、本発明の他の目的は、電磁波或いは粒子線の入射スペクトルに対し、高計数率にすることができ、測定エネルギー範囲を幅広く捉えることができる電磁波・粒子線分光装置を提供することにある。又、本発明の他の目的は、電磁ノイズ、振動、大音響、熱及び着目している特定の粒子線、電磁波以外の粒子線、電磁波によって発生する電気的雑音、機械的破壊並びに固体構成原子の反跳に対し耐性があり、検出手段の放射線被爆に対しても従来のエネルギー分解技術に比べて強い耐性を有する分光機能が劣化し難い電磁波・粒子線分光装置を提供することにある。
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、入射スペクトルをラプラス変換フィルターに入射して、同入射スペクトルの強度をラプラス変換する第１ステップと、前記ラプラス変換フィルターを透過し、ラプラス変換されたスペクトルを受光して、該スペクトルの透過強度を検出手段により検出する第２ステップと、前記検出されたスペクトルの透過強度を逆ラプラス変換して、前記ラプラス変換フィルターに入射した入射スペクトルの強度を算出する第３ステップを含むことを特徴とする電磁波・粒子線分光方法を要旨とするものである。
【００１１】
ここで、本発明の電磁波・粒子線分光方法は、従来の既存の分光方法とは動作原理が全く異なっている。
まず、第１ステップでは、入射スペクトルの強度をハードウエアであるラプラス変換フィルターにより、ラプラス変換する。次に、第２ステップでは、ラプラス変換された入射スペクトルの透過強度を検出手段により検出する。第３ステップでは、検出手段により検出された透過強度を逆ラプラス変換することにより、ラプラス変換フィルターに入射した入射スペクトルの強度を算出する。
【００１２】
ラプラス変換フィルターは、具体的には入射スペクトルの減衰体を含み、前記減衰体における入射スペクトルの光軸上の質量を連続的に変化させつつ、減衰体を透過した入射スペクトルの透過強度を、検出手段により測定、すなわち検出する。
【００１３】
従来のＸ線スペクトル計測技術におけるエネルギー分解能の改善は波長程度の大きさの微小構造をより高精度で形成するか或いは励起子エネルギーが低い物質を受光素子として超低温冷却による熱雑音の低減によって達成している。それに対して、本発明の分光方法におけるエネルギー分解能はラプラス変換の積分精度と透過強度の統計誤差に依存する。従って、本発明の分光方法では、ラプラス変換フィルター、すなわち、光学素子を大型化して質量変化をより緩やかにすればエネルギー分解能が向上する。すなわち、光学素子を大型化して製造しやすくすると逆に分光精度が向上してエネルギー分解能が改善されるという大きな特徴がある。例えば、半導体Ｘ線検出器と本発明の方法とを比較すると、本発明の分光方法は光源強度が強くなるに従ってエネルギー分解能が同時に向上する。従って、大強度光源に対して有利な分光方法である。
【００１４】
本分光法は電磁波としては全領域、すなわち、電波からX線、γ線までの領域、粒子線としては素粒子、電子、原子核、原子、分子などの流れを全く同一の原理で分光する。尚、粒子としては陽電子、反陽子、反中性子等の反物質も含む。
【００１５】
電磁波、粒子線が物質に入射すると光軸上の透過強度は入射強度に比べて減衰する。その減衰比率は減衰体を構成する物質と電磁波、粒子線の種類とエネルギーに依存する。本分光法はその依存性の違いから着目する電磁波若しくは粒子線によって検出手段に生じた信号のみを選択的に取り出すことができるので、着目する電磁波及び粒子線以外によって生じた攪乱信号に対して耐性を有する。尚、減衰体に入射した電磁波、粒子線と減衰体との物理的相互作用については、減衰体構成原子・分子における光電子吸収、減衰体構成原子・分子・原子核・電子による散乱が挙げられ、減衰体構成原子核、電磁波の場合には電子の電場による対生成、粒子線の場合には減衰体構成原子核による捕獲が挙げられる。また、粒子線が陽電子、反陽子等の反物質であれば減衰体構成原子核、電子による対消滅も挙げられる。
【００１６】
図１８は、例えば、銅を減衰体とした場合の銅の吸収係数を縦軸にし、横軸を光子エネルギーとした場合の吸収係数のチャートである。前記縦軸、及び横軸は対数軸である。同図に示すように、入射光が減衰する場合、減衰する理由には、原子核電場による対生成、電子の電場による対生成、光電吸収、非干渉性散乱、干渉性散乱のように種々のものがある。又、光のエネルギーのレベルに応じて、その減衰の理由が相違する。
【００１７】
例えば、銅の吸収係数は、エネルギーが１０３〜１０５ｅＶの範囲では、光電吸収が総和と等しくなっている。すなわち、エネルギーがこのレベルでは、吸収係数は光電吸収によるものとなる。一方、銅の吸収係数は、エネルギーが１０７ｅＶを越える場合には、原子核電場による対生成が吸収係数の大部分を占める。
【００１８】
（本発明の原理）
以下に、本発明の電磁波・粒子線分光方法の数学的原理と物理学的原理を図２を参照して説明する。
【００１９】
本発明の電磁波・粒子線分光方法では、入射する電磁波、或いは粒子線の総エネルギー量を測る検出手段を、ラプラス変換フィルターの後方に設置して透過強度を測る。単色光である入射光のエネルギーをＥとし、減衰体２００の厚さをｔとすると、減衰体２００から出る出射光の出力信号Ｉ（ｔ）は入射光の入射強度Ｉ０（Ｅ）と減衰体２００の吸収係数α（Ｅ）、検出器の検出効率ｆ（Ｅ）を用いて式（１）により与えられる。なお、前記検出手段としては、例えば半導体検出器がある。
【００２０】
従って、入射する電磁波、或いは粒子線がスペクトルの場合は式（２）で表すことができる。又、式（２）はＸ線領域における減衰体２００の吸収係数α（Ｅ）が式（４）のとおり高精度でａ，ｂを定数としてべき乗関数で近似できる物理学的事実に帰着すると、検出器の検出効率ｆ（Ｅ）＝Ｅとした場合、式（３）の通りラプラス変換に帰着する。ｆ（Ｅ）＝Ｅは半導体検出器の例である。前記減衰体としては、例えば金属がある。なお、ａ，ｂは、ラプラス変換フィルターの減衰体に固有の定数である。従って、減衰体２００の吸収係数α（Ｅ）も減衰体に固有の値である。
【００２１】
従って、入射スペクトルの強度、すなわち、入射強度は逆ラプラス変換式（５）により一意的に求められることが数学的に証明される。なお、式中のｉは虚数単位、ｃは任意の正の実数である。しかしながら、式（５）は数学的厳密解であるにもかかわらず使用することができない。なぜなら測定値Ｉ（ｔ）は実数の厚さｔに対する実数値であり、式（５）は複素数の厚さｔに対する複素数値Ｉ（ｔ）を要求している。任意のＩ（ｔ）に対して関数形を見出すにも積分区間ｃ±ｉ∞に於いて高精度を確保できる保証はないため、式（６）の通り得られた測定値を直接積分する方法で解決する。
【００２２】
【数１】
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【００２３】
【数２】
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【００２４】
【数３】
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【００２５】
【数４】
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【００２６】
【数５】
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【００２７】
すなわち、式（６）及び式（８）は逆変換の実用式である。
特に式（８）はいわゆるメリン変換であり、測定値を一旦複素数の波束に分解する。式（６）は発明者が独自に導いた積分方程式（２）の数学的厳密解であり、積分によって波束を再びまとめて入射スペクトルを構成する。メリン変換によって実数の測定値から入射スペクトルを求めることができるだけでなく、式（２）の数学的厳密解として入射スペクトルを吸収係数α（Ｅ）で表すことができる。
【００２８】
なお、式（６）は物理学の分野に於いて発明者が初めて見出したものであり、本分光方法の実用化の重要な根拠となる。なお、式（９）中のΓはガンマ関数である。又、式（６）の積分は波数０のフリーエ成分のみを求める場合と同値である。
【００２９】
式（９）で定義されたＧ（ｓ）は物理学的に説明すると、減衰体を透過したエネルギーＥにおける単位強度線スペクトルの波束を意味する。従って、式（６）の積分記号内の割り算は入射スペクトルのエネルギーＥにおける強度算出を意味する。
【００３０】
【数６】
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【００３１】
【数７】
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【００３２】
【数８】
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【００３３】
【数９】
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【００３４】
実用式（６）、（７）、（８）、及び（９）から本分光方法の特性を導くことができる。まず、式（８）から求めるスペクトルの精度は測定誤差が小さくかつ測定中の減衰体２００の厚さｔの変化が微小であるほど良いことがわかる。又、図２に示すように減衰体２００の厚さｔが大きくなる程Ｉ（ｔ）が減衰して小さくなり、統計誤差が増える。なお、「ｓ」はｃ−ｉ∞からｃ＋ｉ∞まで変化する積分変数である。
【００３５】
しかし、ｔs-1項のｓが複素数であるため、減衰体２００の厚さｔが大きくなると高い周波数で正負が逆転して積分されるので、ｇ（ｓ）への統計誤差の蓄積寄与は、減衰体２００の厚さｔが小さい場合に較べて小さい。式（７）と式（６）は減衰体２００の吸収係数α（Ｅ）がエネルギーに対して変化している領域で分光が可能であることを示している。
【００３６】
なお、前記吸収係数α（Ｅ）のエネルギーに対する変化が単調でないエネルギー領域での分光には注意が必要である。まず吸収が大きく変化するところである吸収端については吸収係数α（Ｅ）の微分値が急激に変わり、計算精度の低下を避けるには吸収係数α（Ｅ）の高精度データが必要となる。更に、分光できない領域も発生する可能性がある。エネルギーがそれぞれ異なるｎ本の無限に狭い線スペクトル［エネルギーＥｉ（ｉ＝１，２，…ｎ）、強度Ｉｉ（ｉ＝１，２，…ｎ）］に対して式（６）を変形すると、式（１０）が得られる。なお、δはデルタ関数である。
【００３７】
【数１０】
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【００３８】
すなわち、δ（Ｅ−Ｅｉ）ではなく、δ（ｌｎ（α（Ｅ））−ｌｎ（α（Ｅｉ））ｄ／ｄＥ（ｌｎ（α（Ｅ））−ｌｎ（α（Ｅｉ））となってα（Ｅi）＝α（Ｅｊ）  （ｉ≠ｊ）となる吸収係数の等しい異なるエネルギー間で計算結果が混合される。すなわち、このような場合には、排他的分光領域が存在し、どちらか一方のスペクトル成分の入射を禁止すればよい。実際の排他的分光領域は後述する図３の通り吸収端付近にあることが示される。又、自明であるがラプラス変換フィルターによる１回の分光を行う時間内での光源のスペクトル強度は一定でなければならない。
【００３９】
図３は、ニッケルの場合を示しており、１keV付近のＸ線領域ではＬ吸収端とＭ吸収端の間の0.8〜8.0keVで分光が可能である。ニッケルの0.8〜8.0keVの区間における吸収係数は関数aＥb（a=8.29×1012、b=2．63)で変化し、分光が可能であることが分かる。ただし、より広範囲の分光領域を求める場合、吸収端近傍で吸収係数が等しくなるエネルギー帯（図中、Ａ１とＡ２の領域）が排他的分光領域となる。従って、どちらか一方のスペクトル成分の入射を禁止するようにすればよい。
【００４０】
ここで、減衰体における入射スペクトルの光軸上の質量が連続的に変化しているとは、入射スペクトルの光軸上の質量が時間的に連続して変化している場合と、同一時間内では質量が変化せずに、減衰体が形状的に変化している場合を含む趣旨である。減衰体における入射スペクトルの光軸上の質量が時間的に変化しているとは、例えば、単数又は複数の検出手段で入射スペクトルの透過強度を検出するようにし、入射スペクトルの光軸上の減衰体の質量を連続的に直線的に変化させる場合である。
【００４１】
一方、同一時間内では質量が変化せずに、形状的に変化している場合とは、例えば、減衰体が固体の場合、減衰体の厚みを連続してリニアに変化するように形成しておき、この厚みが変化する方向に複数の検出手段を併設して、該検出手段にて、厚みが変化している各部位の減衰体を透過した透過光の強度、すなわち、透過強度を同時に検出する場合である。
【００４２】
前記減衰体は電磁波の波長や粒子線の種類によって固体、液体或いは気体を使い分けることが好ましい。
ここで、固体の減衰体としては銅、ニッケル、ガドリニウム、アルミニウム等を挙げることができる。液体の減衰体としては、ガリウムを挙げることができる。気体の減衰体としては、アルゴンを挙げることができる。
【００４３】
ここで、減衰体が固体のとき、減衰体における入射スペクトルの光軸上の質量を連続的に変化させる場合、例えば、その固体の厚さを連続的に変化させる場合には、ラプラス変換の変数変換は、減衰体の厚さ寸法軸とスペクトルのエネルギー軸が互いに変換される変数に当たる。
【００４４】
又、減衰体が液体のとき、その深さを連続的に変化させる場合、ラプラス変換の変数変換は、減衰体の深さ寸法軸とスペクトルのエネルギー軸が互いに変換される変数に当たる。さらに、減衰体が気体の場合、その密度を連続的に変化させる場合には、ラプラス変換の変数変換は、減衰体の密度軸とスペクトルのエネルギー軸が互いに変換される変数に当たる。
【００４５】
さて、前記ラプラス変換フィルターは、自身の質量に応じて入射スペクトルを減衰する減衰体を含み、前記第２ステップでは、前記入射スペクトルの光軸上の前記減衰体の質量が連続的に変化している状態で前記検出手段により前記入射スペクトルの透過強度を検出することが好ましい。  このようにすると、入射スペクトルの光軸上の減衰体の質量が連続的に変化している状態で検出手段により入射スペクトルの透過強度を検出することにより、入射スペクトルをラプラス変換することができる。
【００４６】
又、前記第２ステップでは、前記入射スペクトルの光軸上の前記減衰体の質量を、時間的に連続的に変化させる質量変更手段にて変更させることが好ましい。
又、このようにすると、質量変更手段にて、入射スペクトルの光軸上の減衰体の質量を時間的に連続的に変化させることから、入射スペクトルをラプラス変換することができる。
【００４７】
減衰体が固体の場合、例えば、入射スペクトルの光軸上における減衰体の質量が時間的に連続的に変化させるように減衰体を移動することにより実現できる。減衰体が液体の場合、入射スペクトルの光軸上における減衰体の質量を連続的に変化させるには、減衰体の深さを時間的に連続的に変化させればよい。減衰体が気体の場合、入射スペクトルの光軸上における減衰体の質量を連続的に変化させるには、減衰体の密度を時間的に連続的に変化させる、すなわち、気体の圧力を時間的に連続的に変化させればよい。また、液体、気体の場合、容器内に光軸方向に移動できる検出器を置き、液体、気体を通過する光軸の長さを連続的に変化させることもできる。
【００４８】
又、前記減衰体の前記入射スペクトルの光軸上における質量が、該光軸と交差する方向においてリニア、すなわち、直線的に連続的に変化するように設けられていることが好ましく、前記質量変更手段が、前記ラプラス変換フィルターと、前記検出手段のうち少なくともいずれか一方を、前記光軸と交差する方向へ相対的に移動させることが好ましい。
【００４９】
少なくともいずれか一方を相対的に移動させるとは、ラプラス変換フィルターのみを移動させてもよく、或いは、検出手段のみを移動させてもよく、又は、両方を移動させてもよい。
【００５０】
こうすることにより、減衰体の入射スペクトルの光軸上における質量が、該光軸と交差する方向においてリニアに変化するように設けられており、質量変更手段が、ラプラス変換フィルターと、検出手段を、光軸と交差する方向へ相対的に移動させることから、入射スペクトルをラプラス変換することができる。
【００５１】
又、前記ラプラス変換フィルターは、自身の密度に応じてスペクトルを減衰する気体からなる減衰体を備えた気室を備え、前記質量変更手段が、前記ラプラス変換フィルターの前記検出手段に対向する部位における前記減衰体の圧力を、連続的に変化させることにより、該気体の密度を連続的に変更させることが好ましい。前述の通り、減衰体が気体の場合、その入射スペクトルの光軸上の質量を変化させるためには、気室における気体の圧力を変化させることによりその密度を変化させればよい。
【００５２】
こうすることにより、ラプラス変換フィルターは、自身の密度に応じてスペクトルを減衰する気体からなる減衰体を備えた気室を備え、第２ステップでは、ラプラス変換フィルターの検出手段に対向する部位における減衰体の圧力を、連続的に変化させる。この結果、気体の密度を連続的に変更させることにより、入射スペクトルをラプラス変換することができる。
【００５３】
又、前記第１ステップの前記減衰体が、強磁性体であって、前記入射スペクトルの光軸に対して所定の方向をなす磁場が印加された状態で前記入射スペクトルを入射し、さらに、第３ステップで得られた入射スペクトルの強度に基づいて、偏極スペクトルの強度を算出する第４ステップを含むことが好ましい。
【００５４】
すなわち、減衰体が強磁性体であり、磁場が入射スペクトルの光軸と所定方向をなす方向に印加されて磁化されたときのように、減衰体の吸収係数が電磁波、粒子線の偏極に対して依存性を示す場合は第４ステップにおいて、偏極成分のそれぞれを求めることができる。ここでは減衰体として、磁化された強磁性体を使用する場合に、減衰体の吸収係数が電磁波及び粒子の偏極に対して依存性を示す。
【００５５】
式（１１）から（１４）式中の＋と−は偏極を表す。また、Ｉ±（Ｅ）は偏極スペクトル、Ｊ±（ｔ）はラプラス変換フィルターを通過した透過強度である。特に、Ｘ線の偏光分光の場合は、吸収端における磁気円二色性だけでなく、内殻電子の離散的な励起状態と連続的励起状態の干渉によるFano効果によって吸収端から離れた領域でも磁気円二色性が残存する効果も利用できる。吸収端では１００％程度の磁気円二色性を示す場合もあるが、Fano効果よる残存は５%以下に減少する。しかし、偏光度が高い高輝度光か或いは定常な光源であれば式（１１）を用いて各偏光成分のスペクトルを評価することができる。ただし、磁気円二色性は吸収端で正負が反転することがある。符号が反転するエネルギー値をまたぐ場合、どちらか一方の領域におけるスペクトルの入射を禁止することが好ましい。
【００５６】
【数１１】
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【００５７】
【数１２】
2009113606.tif 000014
【００５８】
【数１３】
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【００５９】
【数１４】
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【００６０】
こうすることにより、減衰体の吸収係数が電磁波、粒子線の偏極に対して依存性を示す場合は、偏極成分のそれぞれを求めることができる電磁波・粒子線分光方法を提供することができる。
【００６１】
本発明の第２の態様によれば、入射スペクトルを入射して、同入射スペクトルの強度をラプラス変換するラプラス変換フィルターと、前記ラプラス変換されたスペクトルを受光して、該スペクトルの透過強度を検出する検出手段と、前記検出されたスペクトルの透過強度を逆ラプラス変換して、前記ラプラス変換フィルターに入射した入射スペクトルの強度を算出する逆ラプラス変換手段を含むことを特徴とした電磁波・粒子線分光装置が提供される。
【００６２】
このようにすると、電磁波或いは粒子線の入射スペクトルに対して、高計数率でありながら測定エネルギー範囲を幅広く捉えることができる。又、電磁ノイズ、振動、大音響、熱及び着目している特定の粒子線、電磁波以外の粒子線、電磁波によって発生する電気的雑音、機械的破壊並びに固体構成原子の反跳に対し耐性があり、検出手段の放射線被爆に対しても従来のエネルギー分解技術に比べて強い耐性を有して分光機能が劣化し難い電磁波・粒子線分光装置を提供できる。又、従来の半導体検出器、超電導検出器並びに結晶、回析格子の動作、性能が保証できない環境においても保守不要で安定して性能が確保でき、将来行われる高温プラズマ核融合実験向けの電磁波・粒子線分光方法として大いに期待できる装置となる。
【００６３】
前記ラプラス変換フィルターは、自身の質量に応じてスペクトルを減衰する減衰体を含み、前記入射スペクトルの光軸上の前記減衰体の質量を、時間的に連続的に変化させる質量変更手段を備える電磁波・粒子線分光装置とすることが好ましい。
【００６４】
減衰体が固体の場合、例えば、質量変更手段は、入射スペクトルの光軸上における減衰体の質量が時間的に連続的に変化させるように減衰体を移動することにより実現できる。
又、減衰体が液体の場合、前記質量変更手段は、減衰体の深さを時間的に連続的に変化させることにより入射スペクトルの光軸上における減衰体の質量を時間的に連続的に変化させることができる。
【００６５】
減衰体が気体の場合、例えば、質量変更手段は、減衰体の密度を時間的に連続的に変化させる、すなわち、気体の圧力を連続的に変化させることにより入射スペクトルの光軸上における減衰体の質量を時間的に連続的に変化させることができる。
【００６６】
又、減衰体が、液体、又は気体の場合、容器内に光軸方向に移動できる検出器を置き、液体、気体を通過する光軸の長さを連続的に変化させることによっても入射スペクトルの光軸上における減衰体の質量を時間的に連続的に変化させることができる。  このようにすると、質量変更手段にて、入射スペクトルの光軸上の減衰体の質量を時間的に連続的に変化させることから、入射スペクトルをラプラス変換することができる電磁波・粒子線分光装置を提供できる。
【００６７】
又、前記ラプラス変換フィルターは、自身の質量に応じてスペクトルを減衰する減衰体を含み、前記減衰体が、入射スペクトルの光軸に交差する方向に質量が変化するように構成され、前記検出手段は、前記入射スペクトルの光軸に交差する方向に亘って配置されていてもよい。
【００６８】
このように、ラプラス変換フィルターは、自身の質量に応じてスペクトルを減衰する減衰体を含み、減衰体が、入射スペクトルの光軸に交差する方向に質量が変化するように構成され、検出手段が入射スペクトルの光軸に交差する方向に亘って配置されていることにより、入射スペクトルをラプラス変換することができる電磁波・粒子線分光装置を提供できる。
【００６９】
又、電磁波・粒子線分光装置において、前記減衰体の前記入射スペクトルの光軸上における質量が、該光軸と交差する方向においてリニアに変化するように設けられることが好ましく、前記質量変更手段が、前記ラプラス変換フィルターと、前記検出手段を、前記光軸と交差する方向へ相対的に移動させることが好ましい。
【００７０】
こうすると、減衰体の入射スペクトルの光軸上における質量が、該光軸と交差する方向においてリニアに変化するように設けられており、質量変更手段がラプラス変換フィルターと、検出手段を光軸と交差する方向へ相対的に移動させるため、入射スペクトルをラプラス変換することができる電磁波・粒子線分光装置を提供できる。
【００７１】
又、電磁波・粒子線分光装置は、前記ラプラス変換フィルターは、自身の密度に応じてスペクトルを減衰する気体からなる減衰体を備えた気室を備え、前記質量変更手段は、ラプラス変換されたスペクトルを受光する際に、時間的に連続的に前記気室内の圧力を変化させることが好ましい。
【００７２】
このようにすると、ラプラス変換フィルターは、自身の密度に応じてスペクトルを減衰する気体からなる減衰体を備えた気室を備え、ラプラス変換フィルターの検出手段に対向する部位における減衰体の圧力を連続的に変化させる。この結果、気体の密度を連続的に変更させる圧力可変手段を備えることにより、入射スペクトルをラプラス変換することができる電磁波・粒子線分光装置を提供できる。
【００７３】
又、電磁波・粒子線分光装置は、前記減衰体が強磁性体で構成され、さらに、前記入射スペクトルの光軸に対して所定方向をなす磁場を印加して前記強磁性体を磁化する磁場付与手段と、逆ラプラス変換手段にて得られた入射スペクトルの強度に基づいて、偏極スペクトルの強度を算出する偏極スペクトル強度演算手段を備えることが好ましい。
【００７４】
又、このようにすると、減衰体の吸収係数が電磁波、粒子線の偏極に対して依存性を示す場合、偏極成分のそれぞれを求めることができる電磁波・粒子線分光装置を提供できる。
【００７５】
又、前記検出手段と、前記減衰体の間に前記検出手段に前記スペクトルの透過光が結像するためにピンホールが配置されていることが好ましい。
このようにすると、ピンホールにて透過光が検出手段に結像することから、結像した画像を検出手段により検出することができる。
【００７６】
又、前記検出手段が、無冷却検出手段であることが好ましい。このようにすると、無冷却検出手段で、透過光を検出できるため、冷却装置が必要でなく、分光装置のコスト低減と小型軽量化を図ることができる。
【００７７】
本発明によれば、電磁波或いは粒子線の入射スペクトルに対し、高計数率で測定エネルギー範囲を幅広く捉えることができる。又、本発明によれば、電磁ノイズ、振動、大音響、熱及び着目している特定の粒子線、電磁波以外の粒子線、電磁波によって発生する電気的雑音、機械的破壊並びに固体構成原子の反跳に対し耐性があり、検出手段の放射線線被爆に対しても従来のエネルギー分解技術に比べて強い耐性を有して分光機能が劣化し難い電磁波・粒子線分光方法を提供することができる。
【００７８】
この理由は、ラプラス変換フィルターはＸ線波長よりも桁違いに大きなバルク構造を利用するため機械的破壊や歪みに比較的強く、更に多光子検出を行うことから入射量を大きくとれる結果、受光エネルギーは非常に大きい。従って、大強度光源或いは大強度粒子源に対しラプラス変換フィルター後方の検出手段で検出する信号は電気的雑音よりもはるかに大きい。
【００７９】
又、検出手段として原子核が重い重金属や半導体化合物を用いることができ、この場合、Ｓｉ（Ｌｉ）やＧｅと較べて高速中性子の反跳による影響は少なく、雑音を比較的低く抑えることができる。本発明に使用する検出手段では、半導体検出器や超電導検出器とは異なり冷却不要であるため長期間にわたる検出手段の放射線被爆による放射化以外に取り換えが必要な保守はない。また、小型軽量化が可能なので取り換え及び廃棄処理の負担を軽減できる。
【００８０】
なお、従来の分光結晶や回析格子を使用する測定の場合も冷却不要であるが、振動による微小な分光角のずれが測定結果に影響し易い問題がある。この理由は分散能が非常に大きいからである。また、従来の分光結晶や回析格子は放射線に対する耐性が低い。この理由は、従来の分光結晶や回析格子では、Ｘ線を分光するために必要な固体構造は原子１個から１０個単位で構成されており、検出手段の放射被爆と反跳の影響を直接受け易いからである。それに対して、本発明ではこのような振動に対して悪影響を受けることがない。また、本発明では放射線の影響を受け難い。
【００８１】
このようにして、本発明では、従来の半導体検出器、超電導検出器並びに結晶、回析格子の動作、性能が保証できない環境においても保守不要で安定して性能が確保できる。このことから、将来行われる高温プラズマ核融合実験向けの電磁波・粒子線分光方法として大いに期待できる技術となる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】一実施形態の分光装置の概略図。
【図２】物質に対する電磁波、粒子線の透過の説明図。
【図３】ニッケルの吸収スペクトル。
【図４】σ＝０．０１の場合の解析領域を示す説明図。
【図５】ラプラス変換フィルターによる分光のグラフ。
【図６】同じく拡大図。
【図７】σを大きくした場合における解析結果の分光のグラフ。
【図８】プラズマＸ線分光で応用例を示し、不純物粒子の輸送評価を目的とした測定装置の模式的配置図。
【図９】アルゴン特性Ｘ線輝度径分布図。
【図１０】プラズマから放射されるＸ線スペクトル。
【図１１】アルゴン到達時間の実測径分布図。
【図１２】ラプラス変換フィルターの作成装置の概略図。
【図１３】比較例における一般的なＣＣＤによる硬Ｘ線ＣＣＤによる画像。
【図１４】Ｘ線スペクトルをラプラス変換した画像。
【図１５】第３実施形態の電磁波・粒子線分光装置の概略図。
【図１６】第４実施形態の電磁波・粒子線分光装置の概略図。
【図１７】第５実施形態の電磁波・粒子線分光装置の概略図。
【図１８】銅の吸収係数を表わすチャート。
【図１９】直線偏光における垂直偏光及び水平偏光の説明図。
【図２０】円偏光における右回り及び左り回りの説明図。
【図２１】粒子における上向きスピン、下向きスピンの説明図。
【図２２】磁気円二色性の場合の磁場の印加の説明図。
【図２３】磁気線二色性の場合の磁場の印加の説明図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００８３】
（第１実施形態）
以下、本発明の電磁波・粒子線分光方法及び電磁波・粒子線分光装置を具体化した第１実施形態を図１を参照して説明する。電磁波・粒子線分光装置を以下、単に分光装置という。【００８４】
図１に示すように分光装置１０は、ラプラス変換フィルター１１と、検出手段としての検出素子１５と、逆ラプラス変換手段としての演算装置１７と、表示手段としての表示装置１８とを備えている。前記検出素子１５は、ラプラス変換フィルター１１を挟むようにして光源と反対側に配置されている。本実施形態では、検出素子１５は、Ｘ線を検出可能である。【００８５】
ラプラス変換フィルター１１は円筒状の基体１２と基体１２の半分の円周面に蒸着された減衰体１４とを備えている。基体１２は、例えば、両端が図示しない軸受にて支持されてその軸心と同軸の回転軸１３を中心に回転可能となっている。又、基体１２はモータ１９及び減速機２０を介して作動連結され、前記モータ１９の駆動により、前記回転軸１３を中心に一定速度で回転する。【００８６】
減衰体１４は、固体の金属からなり、基体１２の円周面の周方向の半分に亘って蒸着されている。なお、減衰体１４の基体１２に対する形成は、蒸着に限定されるものではなく、他の方法によって行っても良い。前記金属の種類は、測定する電磁波の波長や粒子線の種類に応じて設けられている。例えば、金属としては、銅を挙げることができるがこの金属に限定されるものではない。最も厚い蒸着厚は、減衰体として遷移金属を材料とする場合には、100μｍ単位である。減衰体としての蒸着材は遷移金属の特性Ｘ線スペクトルを測定する場合、1keVから9eVの間に吸収端がない銅が最適である。【００８７】
減衰体１４の蒸着厚、すなわち、層厚は、一定の勾配をつけて作成されている。そして、ラプラス変換フィルター１１は前記モータ１９により一定の角速度で回転される。この結果、減衰体１４の層厚が最も薄い地点と厚い地点は１８０°離間しているので、１回転、すなわち３６０°の回転で２回分光できることになる。【００８８】
このようにして、ラプラス変換フィルター１１が前記回転軸１３の回りで一定の角速度で回転する際に、光軸１６上で、減衰体１４の層厚はリニアに変化する。すなわち、減衰体１４は、入射スペクトルの光軸１６上における層厚、すなわち、質量が、ラプラス変換フィルター１１の回転に伴って光軸１６と交差する方向においてリニアに連続的に変化するように設けられている。【００８９】
ここで、ラプラス変換フィルター１１を回転駆動させる前記モータ１９は質量変更手段に相当する。なお、この実施形態では、質量変更手段としては前記モータ１９としているが、前記モータ１９に限定されるものではなく、他の駆動源に置き換えてもよい。なお、モータ１９によるラプラス変換フィルター１１の回転速度は、定速度でも、可変速度でもよいが、後の演算処理を簡単にするためには定速度が好ましい。【００９０】
又、図１に示すように減衰体１４内には前記回転軸１３上にかつ光軸上にピンホール２１が設けられている。図示しない光源から入射する電磁波としてのＸ線スペクトルは、ピンホール２１により絞られ、前記検出素子１５に入射する。前記ピンホール２１は、検出素子１５上に画像形成するためのものである。なお、画像形成の必要でない場合には、ピンホール２１を省略してもよい。【００９１】
検出素子１５は、例えば半導体検出器からなり、具体的には、Ｘ線検出器として一般的なＣＣＤ（Charge Coupled Device）からなる。ここで、本実施形態では、検出素子１５には冷却設備を設けていない無冷却検出手段に相当する。本実施形態では、検出手段には、この冷却装置をもたないところが、従来のエネルギー分解技術と異なっている。【００９２】
例えば、従来技術の超伝導検出器は光子１個のエネルギーを温度上昇に変換している。このため、従来の超伝導検出器は熱ノイズを避けるため、環境温度を超低温にする必要がある。このため、従来の超伝導検出器は液体ヘリウム等による冷却設備が必要となる。しかし、本実施形態では、このような大がかりな冷却設備は必要としないところに特徴がある。【００９３】
演算装置１７は、コンピュータからなり、検出素子１５が検出、すなわち、測定した入射スペクトルの透過強度を入力する。本実施形態では、回転軸１３が１回転、すなわち、３６０°回転する時間を分光時間、すなわち、検出時間としている。従って、本実施形態の分光装置は、この分光時間で１回転し、２回分光できる。【００９４】
演算装置１７は、この分光時間で検出した入射スペクトルの透過強度を逆ラプラス変換して、ラプラス変換フィルター１１に入射した入射スペクトルの入射強度Ｉ０（Ｅ）を前記実用式（６）を用いて演算し、算出した結果である入射スペクトルの強度を表示装置１８に表示する。【００９５】
なお、本実施形態の場合、特性Ｘ線スペクトルの強度を演算するため、図示しないキーボード等の入力装置にて、演算装置１７には、吸収係数α（Ｅ）及びエネルギーＥが入力されている。エネルギーＥについては、具体的には、エネルギーＥに対する吸収係数α（Ｅ）がわかっているエネルギー領域で自由に選択入力することができ、例えば、銅を用いて1 keVから9 keVまでの特性Ｘ線を、10 eVきざみで分光したい場合は、E={1010,1020,1030,.....,9000}を入力する。このようにして、測定したいスペクトルのエネルギーＥの領域が予め入力される。【００９６】
さて、上記のように構成された分光方法及び分光装置１０は、下記の特徴がある。
（１）  本実施形態の分光方法では、第１ステップでは特性Ｘ線の入射スペクトルをラプラス変換フィルター１１に入射して、同入射スペクトルの強度をラプラス変換する。次の第２ステップでは、ラプラス変換フィルター１１を透過し、ラプラス変換された入射スペクトルを受光して、該入射スペクトルの透過強度を検出素子１５（検出手段）により検出する。続く第３ステップでは、前記検出されたスペクトルの透過強度を逆ラプラス変換して、ラプラス変換フィルター１１に入射した入射スペクトルの入射強度Ｉ０を算出する。【００９７】
この結果、本実施形態の分光方法では、特性Ｘ線の入射スペクトルを幅広く捉えることができる。又、本実施形態の分光方法では、電磁ノイズ、振動、大音響、熱及び着目している特定の粒子線、電磁波以外の粒子線、電磁波によって発生する電気的雑音、機械的破壊並びに固体構成原子の反跳に対し耐性があり、検出手段の放射被爆に対しても従来のエネルギー分解技術に比べて強い耐性を有する分光機能が劣化し難い効果がある。【００９８】
（２）  本実施形態の分光方法では、ラプラス変換フィルター１１は、自身の質量に応じて入射スペクトルを減衰、すなわち、吸収する減衰体１４を含むように構成されている。又、第２ステップでは、入射スペクトルの光軸１６上の減衰体１４の質量を、時間的に連続的に変化させるモータ１９（質量変更手段）にて変更させる。【００９９】
この結果、モータ１９にて、ラプラス変換フィルター１１を検出素子１５に対して時間的に連続的にかつ相対的に移動することにより、入射スペクトルの光軸１６上の減衰体１４の質量を連続的にリニアに変化させることができる。この減衰体１４の質量を連続的にリニアに変化させることにより、入射スペクトルをラプラス変換することができる。【０１００】
（２）  本実施形態の分光方法では、モータ１９（質量変更手段）にて、入射スペクトルの光軸１６上の減衰体１４の厚み、すなわち、質量を時間的に連続的に変化させることから、入射スペクトルをラプラス変換することができる。【０１０１】
（３）  本実施形態の分光方法では、減衰体１４の入射スペクトルの光軸１６上における層厚、すなわち、質量が、該光軸１６と交差する方向においてリニア、すなわち、連続的に変化するように設けられている。そして、モータ１９（質量変更手段）が、ラプラス変換フィルター１１を、検出素子１５（検出手段）に対して光軸１６と交差する方向へ相対的に移動させる。この結果、入射スペクトルを好適にラプラス変換することができる。【０１０２】
（４）  本実施形態の分光装置１０は、入射スペクトルの強度をラプラス変換するラプラス変換フィルター１１と、前記入射スペクトルの透過強度を検出する検出素子１５と、検出された入射スペクトルの透過強度を逆ラプラス変換して、ラプラス変換フィルター１１に入射した入射スペクトルの入射強度Ｉ０を算出する演算装置１７を備える。【０１０３】
この結果、本実施形態の分光方法では、特性Ｘ線の入射スペクトルを幅広く捉えることができる。又、本実施形態の分光方法では、電磁ノイズ、振動、大音響、熱及び着目している特定の粒子線、電磁波以外の粒子線、電磁波によって発生する電気的雑音、機械的破壊並びに固体構成原子の反跳に対して耐性があり、検出手段の放射被爆に対しても従来のエネルギー分解技術に比べて強い耐性を有する分光機能が劣化し難い効果がある。【０１０４】
（５）  本実施形態の分光装置１０は、Ｘ線の入射スペクトルを幅広く捉えることができ、特に異なる物質の特性X線を同時に測定することができる。又、本実施形態の分光装置１０は、電磁ノイズ、振動、大音響、熱及び着目している特定の粒子線、電磁波以外の粒子線、電磁波によって発生する電気的雑音、機械的破壊並びに固体構成原子の反跳に対し耐性があり、検出手段の放射被爆に対しても従来のエネルギー分解技術に比べて強い耐性を有する分光機能が劣化し難い電磁波・粒子線分光装置を提供できる。【０１０５】
（６）  本実施形態の分光装置１０は、モータ１９（質量変更手段）にて、入射スペクトルの光軸１６上の減衰体１４の層厚、すなわち、質量を時間的に連続的に変化させることから、入射スペクトルをラプラス変換することができる電磁波・粒子線分光装置を提供できる。【０１０６】
（７）  本実施形態の分光装置１０は、減衰体１４の入射スペクトルの光軸１６上における層厚、すなわち、質量が、光軸１６と交差する方向においてリニアに変化するように設けられており、モータ１９（質量変更手段）がラプラス変換フィルター１１を、検出素子１５（検出手段）に対して光軸１６と交差する方向へ相対的に移動させる。このため、本実施形態の分光装置１０は、入射スペクトルをラプラス変換することができる電磁波・粒子線分光装置を提供できる。【０１０７】
（８）  本実施形態の分光装置１０は、ピンホール２１にて透過光が検出素子１５（検出手段）に結像することから、結像した画像を検出素子１５により検出することができる。【０１０８】
（９）  本実施形態の分光装置１０は、検出素子１５を冷却することなしに透過光を検出できるため、冷却装置が必要でなく、分光装置１０のコスト低減及び小型軽量化を図ることができる。【０１０９】
（１０）  本実施形態では、ラプラス変換フィルター１１は、モータ１９、すなわち、駆動源により、回転させることにより、１回転で２回分光できる。従って、この回転速度、すなわち角速度を制御することにより、時間分解能を向上させることができる。又、ラプラス変換フィルター１１の分光性能としては、前記時間分解能と、元素の特性Ｘ線を区別できるエネルギー分解能を両立して確保できるものとなる。【０１１０】
ここで、実際の計算例について説明する。
（計算例）
入射スペクトルは前述したように数学的厳密解式（６）を用いて求めることができる。しかし、実際の解析は計算機を用いた有限領域に於ける数値演算となるため、式（６）の無限領域の積分を実行することはできない。このため、有限領域に於ける数値解析を実現するために式（６）の代わりに積分領域を有限化できる式（１５）を用いる。式（６）と式（１５）とは、式（１６）の通り、演算領域のパラメータσが0の場合、数学的に等しくなる。なお、「σ」は演算領域を決めるためのパラメータであり、σ＝０は演算領域が無限であることを意味する。【０１１１】
【数１５】
2009113606.tif 000017
【０１１２】
【数１６】
2009113606.tif 000018
【０１１３】
ここで入射スペクトルF（Ｅ）をデルタ関数δ（Ｅ−Ｅ０）で表わすと、式（１７）が得られる。解析結果のσ依存性をスペクトルが判明している入射光を用いて求めると、式（１８）となる。【０１１４】
【数１７】
2009113606.tif 000019
【０１１５】
【数１８】
2009113606.tif 000020
【０１１６】
【数１９】
2009113606.tif 000021
【０１１７】
演算領域のパラメータσを０にすると、式（１８）から式（２０）が得られる。【０１１８】
【数２０】
2009113606.tif 000022
【０１１９】
さらに、Xが単調減少或いは増加の場合、式（２０）から式（２１）が得られ、I0(E)は式（１７）で示されるF(E)と等しくなる。【０１２０】
【数２１】
2009113606.tif 000023
【０１２１】
前述したようにσ＝０は演算領域が無限であることを意味するが、演算領域を有限することによる解析結果Iσ(E)の入射スペクトルF(E)からのずれは式（１８）により評価できる。σ＝０．０１とすると演算領域は±500となる（図４参照）。【０１２２】
σ＝０．０１として一般的なパーソナルコンピューターによって解析した結果は図５に示される。図６は図５の5000 eV付近の拡大図である。入射スペクトルとしては、線幅が無限に狭く強度の等しい5010 eVと7010 eVの２つの線スペクトルを想定している。図６からわかるとおり、σを有限にして解析領域を有限にした結果、解析後の線幅が有限化することがわかる。線幅が有限化するのは式（１８）のexp[-(X/σ)2]項から発生する。なお、演算領域のパラメータσをあまり大きくしすぎると、式（１８）のexp(X/c)項により、解析結果は入射線スペクトルのエネルギーも強度も再現しないことが分かる（図７参照）。【０１２３】
解析結果の線幅及びエネルギー位置と吸収係数の関係は式（１８）から求められる。式（１８）の被積分関数を式（２２）の通りKσ(E)として、XをE-E0のまわりでテーラー展開すると、式（２３）が得られる。【０１２４】
【数２２】
2009113606.tif 000024
【０１２５】
【数２３】
2009113606.tif 000025
【０１２６】
有限解析によって生じる線幅の読み取り誤差をΔEとすると、式（２３）のガウス関数の項から式（２４）となることがわかる。【０１２７】
【数２４】
2009113606.tif 000026
【０１２８】
本計算例では、X線領域に於ける物質の吸収係数はα(E)=aE-bとなり、ニッケルを減衰体とした場合はb=2.63となる。従って、β(E)=-b/Eとなることからσ=0.01とすればE/ΔE=263となる。すなわち、吸収係数のエネルギーに対する相対的変化と数値演算を行う範囲から読み取りの相対誤差を得ることができる。但し、式（２４）の読み取り相対誤差は数値演算による限界値であり、その限界値を実現するにはスペクトル幅が非常に狭い高分解能単色光源で較正実験を行うことが好ましい。【０１２９】
なお、従来のエネルギー連続可変単色光源の分解能はE/ΔE=8000程度であり、本計算例による解析を一般的なパーソナルコンピューターによって数値演算する際の分解能よりも1桁以上大きく、実際に較正実験を行うことが可能である。  図５は、ラプラス変換フィルター１１により光子である入射スペクトルをラプラス変換した場合を想定したときの、計算例を図示したものである。同図において、横軸が、光子エネルギー、縦軸がスペクトル強度である。【０１３０】
この計算例は、5010eVと7010eVにある無限に狭い強度の等しい２つの線スペクトルに対するものである。すなわち、図５では、分解能に相当する線幅は40ｅＶである。従って、検出素子１５は光子数を測定することが前提のため、検出効率f(E)は1とする。実際の計算では積分が有限和となるため厳密には完全な干渉によって消滅すべき線スペクトルのない領域で強度が残る場合がある。【０１３１】
前記計算例の計算条件としては0keVと10.0keVの間を均等100分割、フィルターの減衰体の層厚を均等10000分割としている。
（第２実施形態）
本実施形態では、第１実施形態のハード構成は略同じであるため、同一構成又は相当する構成については同一符号を付す。【０１３２】
第２実施形態は、減衰体の吸収係数が電磁波、粒子線の偏極に対して依存性を示す場合における、入射スペクトルの偏極成分を求める場合の実施形態である。
直線偏光の場合、図１９に示すように光の進行方向、すなわち、光軸に対して垂直偏光と水平偏光とがあり、この成分を偏極として測定できる。又、円偏光の場合は、図２０に示すように光の進行方向、すなわち、光軸を中心にして右回り、及び左回りがあり、この右回り及び左回りの成分を偏極として測定できる。粒子線の場合は、図２１に示すように磁場を掛けた状態によって、入射する粒子２５０の上向きスピン、及び下向きスピンの確率を推定できる。【０１３３】
磁場付与手段は、永久磁石や、或いは電磁石で構成することができる。図２２及び図２３は、入射光子の例を示している。
図２２に示すように、入射側をＮとし、出射側をＳとなる磁場を形成するように磁場付与手段を配置して、入射スペクトルの光軸１６と同一方向に磁場を印加させる場合がある。【０１３４】
又、図２３に示すように、Ｎ，Ｓが入射スペクトルの光軸１６と垂直になるように磁場付与手段を配置して、磁場を前記光軸１６と垂直に印加させる場合がある。
前述の光軸１６に対して磁場、すなわち、定常磁場の掛ける方向、すなわち、光軸と同一方向、及び光軸１６と垂直方向は、請求項５、請求項１０における所定の方向に相当する。【０１３５】
このため、第２実施形態では、電磁波、粒子線の偏極に対し依存性を示す強磁性体としてのニッケルが減衰体１４として基体１２に対し蒸着されている。減衰体１４の層厚は、第１実施形態と同様に形成されている。なお、強磁性体としては、ニッケル以外にガドリウム等を挙げることができるが、勿論、ニッケル、ガドリウム以外の強磁性体に代えても良い。【０１３６】
そして、第２実施形態では、演算装置１７が、検出素子１５にて検出された透過強度Ｊ±（ｔ）に基づいて式（１１）を使用して偏極スペクトルを算出する。演算装置１７は偏極スペクトル強度演算手段に相当する。【０１３７】
なお、式（１１）は、式（１２）〜（１４）に基づくものであり、式（１１）で逆ラプラス変換、すなわち実用的には、メリン変換が行われている。又、透過強度Ｊ±（ｔ）は入射強度のラプラス変換式であり、それを示すのが式（１４）である。【０１３８】
なお、第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、図示しない入力装置にて、演算装置１７には、吸収係数α（Ｅ）及び測定したいスペクトルのエネルギーＥの領域が予め入力される。【０１３９】
（偏極測定の極性反転方法について）
ここで、偏極測定の極性反転方法について説明する。
図２２に示すように入射光子の進行方向、すなわち、光軸１６と同一方向、或いは図２３に示すように入射光子の進行方向、すなわち、光軸１６と垂直方向に定常磁場をかけることにより、強磁性体である減衰体１４を磁化して１回目のラプラス変換を行う。その後、前記定常磁場の磁場強度を一定に保ちつつその磁場の方向を180°反転して２回目のラプラス変換を行う。それらの結果は極性が反転しており、式（１４）のJ±(t)を得ることができる。この場合の入射光子は、例えば、粒子線、Ｘ線を除く他の光子を意味している。この場合、入射光子の光軸と同一方向に定常磁場をかけた場合には、図２２に示すように磁気円二色性による円偏光の特定ができる。ここで、極性反転は、１８０°磁場反転である。なお、１回目と２回目の分光中は入射スペクトル強度が一定でなければならない。又、図２３に示すように入射光子の光軸と垂直方向に定常磁場をかけた場合には、磁気線二色性による直線偏光の特定ができる。【０１４０】
なお、垂直偏光と水平偏光の割合を確認したい場合は、磁場反転の例外として下記のように行う。
（磁場反転の例外）
磁気線二色性の利用により垂直偏光と水平偏光を区別して分光することができる。尚、図１９に示すように前記垂直偏光と水平偏光は偏光面が90°ずれている。【０１４１】
まず、図２３に示すように入射スペクトルの進行方向、すなわち、光軸と垂直方向に定常磁場をかけ、強磁性体である減衰体を磁化して１回目のラプラス変換を行う。その後、前記定常磁場の磁場強度を一定に保ちつつ磁場の方向を光軸を中心として90°回転して２回目のラプラス変換を行う。それらの結果は極性が反転しており、式（１４）のJ±(t)を得ることができる。なお、１回目と２回目の分光中は入射スペクトル強度が一定でなければならない。【０１４２】
このようにして、減衰体１４として強磁性体であるニッケルを用いれば磁気円二色性或いは磁気線二色性による偏光の特定が可能となる。
さて、上記のように構成された分光方法及び分光装置１０は、下記の特徴がある。【０１４３】
（１）  第２実施形態の分光方法は、第４ステップとしてのステップにおいて、減衰体１４の吸収係数α（Ｅ）が電磁波、粒子線の偏極に対して依存性を示す場合は、偏極成分のそれぞれを求めるようにしている。このため、電磁波、粒子線の偏極に対して依存性を示す場合、偏極成分のそれぞれを求めることができる。【０１４４】
（２）  第２実施形態では、減衰体１４の吸収係数α（Ｅ）が電磁波、粒子線の偏極に対して依存性を示す場合、偏極成分のそれぞれを求めることができる電磁波・粒子線分光装置を提供することができる。【０１４５】
（応用例）
次に、応用例を図８〜１１を参照して説明する。
応用例としては核融合科学研究所の大型ヘリカル装置におけるＸ線計測を挙げることができる。図８は不純物粒子の輸送評価を目的とした分光装置１０の模式的配置図である。なお、前記第１実施形態と同一構成については同一符号を付す。なお、応用例では、検出素子１５として、一次元半導体アレイ、すなわち、一次元多素子型検出器を採用している。なお、図中、２２は演算装置１７に接続された記憶装置である。【０１４６】
図示しない大型ヘリカル装置のプラズマは特性Ｘ線の輝度が高く、検出素子１５の一次元多素子型検出器を用いれば分光装置１０としてエネルギー分解能、空間分解能及び時間分解能が同時に両立し、輸送評価を行うことができる。図８において、図示しない大型ヘリカル装置には、加熱装置２６により加熱されているプラズマＰに対してアルゴン等の不純物入射するための不純物入射装置２５が設けられている。【０１４７】
この応用例では、分光装置１０の測定によって、Ｘ線スペクトル空間分布の時間変化が測定されて、その結果を不純物輸送の評価に利用することができる。なお、プラズマＰはトーラス状であり、断面中心から最外殻に向かう径方向に沿って輸送分布を評価することができる。【０１４８】
図９〜１１は、従来の方法によって得られたデーターである。
図９は大型ヘリカル装置の典型的なプラズマから放射されるアルゴン特性Ｘ線（3.2keV）の輝度径分布である。横軸は規格化されたプラズマの径座標であり、0がプラズマ中心、1がプラズマ最外殻に相当する。1.5 s時にプラズマＰ中に入射されたアルゴン気体はプラズマＰの最外殻から徐々にプラズマＰの中心に向かって拡散していく。測定中の電子温度分布は一定であり、X線強度はアルゴン絶対量に比例する。ここで「径」とはトーラス状のプラズマＰの断面中心から最外殻に向かう座標である。図９の通り最も強度が強い場合のＸ線輝度は1012 photons/cm3/sに迫り、エネルギー分解能を１５０ eVとすれば時間分解能を10 msec程度にすることができる。【０１４９】
図１０は大型ヘリカル装置の典型的なプラズマから放射されるＸ線スペクトルであり、従来の半導体Ｘ線パルス波高分析器で測定したものである。
大型ヘリカル装置で発生する典型的なプラズマから放射される2.5keVから10keVまでのＸ線スペクトルをＫで示す。電子の制動放射による連続スペクトルの他にプラズマに不純物として含まれる遷移金属とアルゴンの特性Ｘ線が測定される。特に原子番号が2つ異なる遷移金属Ｃｒ，Ｆｅの特性Ｘ線は互いに1keV程度離れている。【０１５０】
従来は、検出器として半導体Ｘ線パルス波高分析器を用いており、計数率に限界があるため、厚さt1mmベリリウム平板フィルターと0.5 mmの直径を有するピンホールを持つ板を光軸上直列に互いに離して2つ並べることによりコリメーターとして使用して入射光の強度を桁違いに落としている。図１０中、ＦＬはベリリウム平板フィルターの透過率を示している。ベリリウム平板フィルターの吸収係数で補正すると実際のアルゴン特性Ｘ線強度はＦｅ（鉄）に較べて２桁程度大きい。図１０の場合は、500 eVのエネルギー分解能で原子番号が隣り合う遷移金属の特性Ｘ線が十分に区別できる。【０１５１】
図１１は定量的輸送評価に必要となる粒子のプラズマＰの最外殻からプラズマＰの径方向の各地点に到達するまでの時間分布である。同図において、横軸が空間軸、縦軸が時間軸であり、測定装置はエネルギー分解能の他に空間分解能と時間分解能が同時に両立していなければならないことがわかる。図１１に示すようにプラズマＰの径に対して放物線状の依存性を示す。プラズマＰの最外殻に近い程電子温度が低く特性X線強度が弱いため測定精度が低下するのが確認できる。【０１５２】
ここで、輸送評価とは拡散係数と対流速度を求めることであるが、それらが到達時間の勾配に依存するため、図１１の通り空間、時間に対して多数の測定点が必要となる。
従来は、Ｘ線パルス波高分析器を用いて輸送評価を行っているため時間分解能と空間分解能が両立せず、同じ放電条件のプラズマを10回程度実施して到達時間の径分布を測定する。Ｘ線パルス波高分析器の場合、計数率の限界で電子の制動放射強度が特に強い低エネルギー側のスペクトル強度をベリリウム平板フィルターで下げなくてはならない。図１０に示すようにアルゴン特性Ｘ線は3.2 keVとエネルギーが低く、強度は2桁下がっている。実際、図１１のSN比はＸ線パルス波高分析器の計数率不足で1/10、すなわち、1/100の平方根となっている。【０１５３】
応用例の分光装置１０は、ラプラス変換フィルターを用いているため、少なくとも入射強度を下げる平板フィルターは不要となりＸ線パルス波高分析器の10倍、すなわち、100の平方根のSN比以上で輸送評価を行うことができる。【０１５４】
特にプラズマ周辺部での輸送解析精度が向上する。又、高時間分解の多素子型検出器を用いれば1回の放電で輸送評価を行うことができる。
（ラプラス変換フィルターの作成方法）
次に、ラプラス変換フィルターの作成方法を図１２を参照して説明する。【０１５５】
図１２に示すように、ここでのラプラス変換フィルターは、円盤型蒸着基盤３１をベースとして使用する。
超高真空チェンバー１００は上部に図示しないモータによって回転駆動される基板冷却ホルダー１１０を備えるとともに、超高真空に達する真空引きが可能となっている。又、超高真空チェンバー１００は内部のものを取り出し可能なエアロック１２０を備えている。超高真空とは、例えば、10-8 Paに達する真空雰囲気である。【０１５６】
円盤型蒸着基盤３１は超高真空チェンバー１００内の基板冷却ホルダー１１０に保持された状態にするとともに、円盤型蒸着基盤３１の半円部分をシャッター４０で覆い隠した状態にする。そして、オペレータは円盤型蒸着基盤３１の中心を回転中心として一定の速度で基板冷却ホルダー１１０を図示しないモータを駆動して半回転させる。このときのモータの回転駆動の制御は、蒸着用駆動制御装置１５０により行われる。【０１５７】
この半回転中に、超高真空チェンバー１００内に設けられた電子ビーム蒸着炉１３０から、蒸発した遷移金属がシャッター４０で覆われていない部分に蒸着されることにより、蒸着厚が前記回転した方向において連続的に変化するラプラス変換フィルターが作成される。すなわち、円盤型蒸着基盤３１の半円部分において蒸着厚が前記回転した方向において連続的に変化する部分が形成される。【０１５８】
完成したラプラス変換フィルターの減衰体の層厚が最も薄い地点と最も厚い地点は回転方向において180°離間しているため、このラプラス変換フィルターでは、1回転、すなわち、360°回転で2回分光できる。最も厚い蒸着厚は遷移金属を材料とする場合、100 μm単位である。【０１５９】
蒸着材としては遷移金属の特性Ｘ線スペクトルを測定する場合、1 keVから9 keVの間に吸収端がない銅が最適であるが、銅に限定されるものではない。
（ラプラス変換フィルターの実施例）
以下に、ラプラス変換フィルターの実施例を説明する。【０１６０】
図１３は、Ｘ線の検出器として、20 keV 以上の硬Ｘ線に感度があるペルチェ冷却仕様の一般的な硬Ｘ線を用いた画像で、被写体はＬＨＤプラズマをＸ線光源として撮像したものであり、比較例となるものである。【０１６１】
図１４は、比較例と同じ被写体をラプラス変換フィルターを介して撮像したものの画像である。
この実施例におけるプラズマ光源の20 keV以上の硬X線強度はもともと弱く、データーとしてはフィルターが厚くなるに従って透過強度が減少していることを示している。しかし、逆に強度の低い信号であっても全く電磁ノイズ、防振対策を施していないにも関わらず安定して空間分解能が両立するX線スペクトル計測が可能であることが確認された。【０１６２】
実施例のラプラス変換フィルターの大きさは、50×30 mm2ラプラス変換フィルターとし、減衰体はアルミニウムを使用して切削によって作成されたものである。この場合の減衰体の厚さは、50μm〜500μmである。【０１６３】
なお、図１３、図１４において、左右に撮像された縦線は、プラズマを視認するための窓の枠である。
（第３実施形態）
次に、第３実施形態を図１５を参照して説明する。なお、本実施形態を含め以下の実施形態ではラプラス変換フィルターの構成が異なっているため、第１実施形態と同一構成については同一符号を付してその説明を省略する。なお、本実施形態を含め、図１５〜図１７においては、説明の便宜上、表示装置１８は省略されている。【０１６４】
ラプラス変換フィルター６０は、減衰体としての液体６４を収容するパッケージ６２を備えている。パッケージ６２の形状は、直方体、立方体、或いは円筒等の断面形状が高さ方向に同じである形状が好ましい。そして、パッケージ６２内には液体６４が、ポンプ６６を介して毎秒一定流量の流入が可能である。【０１６５】
減衰体としての液体６４としては、ガリウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
本実施形態では、分光時間は、パッケージ６２内に高さ０から所定の高さまで、液体６４が達するまでの時間としている。この時間中に、入射スペクトルの強度がラプラス変換されることになる。第３実施形態では、ポンプ６６が、質量変更手段に相当する。なお、演算装置１７における演算は、第１実施形態と同様であるため、説明を省略する。なお、この場合、実用式（６）、（７）、（８）、及び（９）において、「ｔ」を減衰体の厚さの代わりに、減衰体となる液体の深さと読み替えればよい。【０１６６】
（第４実施形態）
次に、第４実施形態を図１６を参照して説明する。
ラプラス変換フィルター７０は、減衰体としての気体７４を密封するパッケージ７２を備えている。パッケージ７２の形状は、底壁が平板であって直方体、立方体、或いは円筒等の断面形状が高さ方向に同じであることが好ましい。パッケージ７２は気室に相当する。そして、パッケージ６２内には減衰体としての気体７４が、ポンプ７６を介して毎秒一定流量の流入が可能である。ポンプ７６は圧力可変手段に相当する。【０１６７】
減衰体としての気体７４としては、アルゴン等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
本実施形態では、分光時間は、パッケージ７２内に圧力が低圧から所定の圧力まで高圧になるまで、気体７４が達するまでの時間としている。この時間中に、入射スペクトルの強度がラプラス変換されることになる。第４実施形態では、ポンプ７６が、質量変更手段に相当する。なお、演算装置１７における演算は、第１実施形態と同様であるため、説明を省略する。なお、この場合、実用式（６）、（７）、（８）、及び（９）において、「ｔ」を減衰体の厚さの代わりに、減衰体の質量、すなわち、密度と読み替えればよい。【０１６８】
（第５実施形態）
次に、第５実施形態を図１７を参照して説明する。本実施形態では、空間一次元の方向に強度が一様である光源の場合を想定したものである。【０１６９】
すなわち、その一次元方向に減衰体１４の質量が連続変化するように図１７に示すように断面が三角形の減衰体１４、すなわち、静止型光学素子を作成してもエネルギー軸を減衰体１４の厚さ寸法軸に変換することができる。なお、基体１２は、本実施形態では、電磁波・粒子線が通過可能な材質の平板である。【０１７０】
又、検出手段としては、前記一次元方向に配置された一次元半導体アレイからなる。このような構成された分光装置１０は、第１実施形態と異なり、ラプラス変換フィルター１１を回転させることがないため、分光時間はとても短い時間でスペクトルの強度を測定できる。【０１７１】
なお、前記実施形態を次のように変更してもよい。
○  第１実施形態では、検出素子１５を単数としているが、検出素子１５をラプラス変換フィルター１１の後方に多く配置すれば、空間分解能、第１実施形態の（１０）で述べた時間分解能、エネルギー分解能も全て合わせた能力を得ることができる。【０１７２】
又、検出素子１５をラプラス変換フィルター１１の後方に多く配置すれば、光源強度が第１実施形態と等しければ、エネルギー分解と時間分解能は拮抗する。
○  又、例えば、大型ヘリカル装置で発生させたプラズマであって、輝度１０12photons/cm3/sのプラズマＸ線光源とする場合、検出素子１５の直径0．5mm、視線の角度広がり1．0×１０-6ステラジアンとすると、プラズマ赤道面での視線の広がりは１２mmに相当するものとなる。【０１７３】
そして、直径150mmの円盤ラプラス変換フィルターを設けて、円盤中心を回転中心として図示しないモータにより回転させるようにし、該円盤の半円面に回転方向に減衰体をリニアに層厚が変化するように蒸着する。そして、このラプラス変換フィルターを20msecの周期、すなわち、１回転で２回分光できるようにして回転させればエネルギー分解能は１５０ eVとなり、時間分解能として10msec毎にスペクトルの測定ができる。【０１７４】
図１の実施形態では、ラプラス変換フィルター１１を回転させ、検出素子１５を固定したが、ラプラス変換フィルター１１を固定して、検出素子１５と図示しない光源を一定の、角速度で同期して、回転させるようにしてもよい。【０１７５】
図１の実施形態では、Ｘ線スペクトルの分光を行うための分光装置１０として説明したが、中性子線等の粒子線の分光を行うための分光装置として機能させるには、減衰体の材質を変更すればよい。例えば減衰体として固体であればホウ素を使用したり、或いは減衰体として気体であれば水素を使用することにより、中性子線等の粒子線の分光を行うことができる。【０１７６】
この場合の電磁波・粒子線分光方法によれば、入射スペクトル強度を制限する必要がないため、高計数率にすることができる。又、電磁ノイズ、振動、大音響、熱及び着目している特定の粒子線以外の粒子線、電磁波によって発生する電気的雑音、機械的破壊並びに固体構成原子の反跳に対し耐性があり、検出手段の放射被爆に対しても従来のエネルギー分解技術に比べて強い耐性を有する分光機能が劣化し難い効果がある。【０１７７】
図１の前記実施形態では、検出素子１５を冷却装置を設けないようにしたが、Ｘ線検出器としてペルチェ冷却仕様の一般的なＣＣＤを用いてもよい。しかし、冷却装置としては、大がかりな冷却装置を必要としない。【０１７８】
第３実施形態では、パッケージ６２内で液体６４を増量するようにポンプ６６を駆動したが、パッケージ６２内に所定高さまで、液体６４を予め収納しておき、その状態から、ポンプ６６を介して毎秒一定量吐出させるようにしてもよい。【０１７９】
第４実施形態では、パッケージ７２内で気体７４を増圧するようにポンプ７６を駆動したが、パッケージ７２内に所定圧力まで、気体７４を予め充填しておき、その状態から、ポンプ７６を介して、毎秒一定量吐出させて減圧するようにしてもよい。【０１８０】
１１…ラプラス変換フィルター、
１２…基盤、１３…回転軸、１４…減衰体、
１５…検出素子（検出手段、無冷却検出手段）、１６…光軸、
１７…演算装置（逆ラプラス変換手段、偏極スペクトル強度演算手段）、
１８…表示装置（表示手段）、
１９…モータ（質量変更手段）、６０…ラプラス変換フィルター、
６６…ポンプ（質量変更手段）、７０…ラプラス変換フィルター、
７２…パッケージ（気室）、７６…ポンプ（圧力可変手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2009113606.tif 000031
【図６】
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【図７】
2009113606.tif 000033
【図８】
2009113606.tif 000034
【図９】
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【図１０】
2009113606.tif 000036
【図１１】
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【図１２】
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【図１５】
2009113606.tif 000039
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
2009113606.tif 000050
2009113606.tif 000051