(57)【要約】  優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具を提供する。  Ａｇから成る第１被膜層（２４）と、Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＭｂの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層（２６）とが、交互に２層以上積層した多層膜であり、第２被膜層（２６）に係るＭはＳｉ、Ｖ、Ｗのうち少なくとも１種類を含むものであり、第２被膜層（２６）に係る原子比ａは０．２以上０．５以下の範囲内、ｂは０より大きく０．３以下の範囲内であり、第１被膜層（２４）と第２被膜層（２６）との積層周期ｄ３は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚Ｄは０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内であることから、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。
2013145233.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削工具の表面に被覆して設けられる切削工具用硬質被膜であって、
Ａｇから成る第１被膜層と、
Ａｌ1-a-bＣｒaＭbの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層とが、交互に２層以上積層した多層膜であり、
前記第２被膜層に係るＭはＳｉ、Ｖ、Ｗのうち少なくとも１種類を含むものであり、
前記第２被膜層に係る原子比ａは０．２以上０．５以下の範囲内、ｂは０より大きく０．３以下の範囲内であり、
前記第１被膜層と前記第２被膜層との積層周期は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、
且つ、総膜厚は０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内である
ことを特徴とする切削工具用硬質被膜。
【請求項２】
請求項１に記載の切削工具用硬質被膜が表面に被覆して設けられた硬質被膜被覆切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削工具の表面に被覆して設けられる切削工具用硬質被膜及びその硬質被膜が設けられた硬質被膜被覆切削工具に関し、特に、耐摩耗性及び耐溶着性を共に向上させるための改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
ドリルやタップ等の切削工具には、耐摩耗性を向上させるために硬質被膜が被覆して設けられる。この切削工具用硬質被膜としては、ＴｉＮ系、ＴｉＣＮ系、ＴｉＡｌＮ系、及びＡｌＣｒＮ系のコーティングが広く用いられており、その性能を更に向上させるために改良が図られている。例えば、特許文献１に記載された硬質積層被膜がそれである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−７６０８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、前述したような従来の技術により硬質被膜が形成された切削工具では、その切削加工に際して被削材の種類や切削条件によっては耐溶着性が不十分となるおそれがあった。すなわち、被削材等の溶着により工具の寿命が短くなる場合があり、改良の余地があった。このため、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具の開発が求められていた。【０００５】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
斯かる目的を達成するために、本第１発明の要旨とするところは、切削工具の表面に被覆して設けられる切削工具用硬質被膜であって、Ａｇから成る第１被膜層と、Ａｌ1-a-bＣｒaＭbの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層とが、交互に２層以上積層した多層膜であり、前記第２被膜層に係るＭはＳｉ、Ｖ、Ｗのうち少なくとも１種類を含むものであり、前記第２被膜層に係る原子比ａは０．２以上０．５以下の範囲内、ｂは０より大きく０．３以下の範囲内であり、前記第１被膜層と前記第２被膜層との積層周期は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚は０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内であることを特徴とするものである。【０００７】
前記目的を達成するために、本第２発明の要旨とするところは、上記第１発明の切削工具用硬質被膜が表面に被覆して設けられたことを特徴とする硬質被膜被覆切削工具である。
【発明の効果】
【０００８】
このように、前記第１発明によれば、Ａｇから成る第１被膜層と、Ａｌ1-a-bＣｒaＭbの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層とが、交互に２層以上積層した多層膜であり、前記第２被膜層に係るＭはＳｉ、Ｖ、Ｗのうち少なくとも１種類を含むものであり、前記第２被膜層に係る原子比ａは０．２以上０．５以下の範囲内、ｂは０より大きく０．３以下の範囲内であり、前記第１被膜層と前記第２被膜層との積層周期は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚は０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内であることから、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜を提供することができる。【０００９】
前記第２発明によれば、前記第１発明の切削工具用硬質被膜が表面に被覆して設けられたものであるため、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた硬質被膜被覆切削工具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の硬質被膜被覆切削工具の一実施例であるドリルを軸心に垂直な方向から見た正面図である。
【図２】図１に示すドリルを切れ刃が設けられた先端側から見た拡大底面図である。
【図３】図１のドリルのボデーにおける表面付近の拡大断面図であり、本発明の切削工具用硬質被膜の一実施例である硬質被膜の構成を例示するものである。
【図４】図３の硬質被膜のコーティング方法の一例を説明する図である。
【図５】本発明の効果を検証するために本発明者等が行った穴空け試験に用いられた各試料の被膜構造及びそれぞれの試験結果を併せて示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の切削工具用硬質被膜は、エンドミル、ドリル、正面フライス、総型フライス、リーマ、タップ等の回転切削工具の他、バイト等の非回転式の切削工具等、種々の切削工具の表面コーティングに好適に適用される。工具基材すなわち硬質被膜が設けられる部材の材質としては、超硬合金や高速度工具鋼が好適に用いられるが、他の材料でもよく、例えばサーメット、セラミックス、多結晶ダイヤモンド、単結晶ダイヤモンド、多結晶ＣＢＮ、単結晶ＣＢＮ等、種々の材料から構成された切削工具に本発明の切削工具用硬質被膜は広く適用される。
【００１２】
本発明の切削工具用硬質被膜は、切削工具の一部乃至全部の表面に被覆して設けられるものであり、好適には、その切削工具において切削加工に関与する刃部に設けられる。更に好適には、少なくともその刃部における切れ刃乃至すくい面を被覆するように設けられる。
【００１３】
前記２被膜層は、ＭをＳｉ、Ｖ、Ｗのうち少なくとも１種類を含むものとした場合に、Ａｌ1-a-bＣｒaＭbの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物、或いはこれらの相互固溶体にて構成される。具体的には、ＡｌＣｒＳｉＮ、ＡｌＣｒＳｉＯ、ＡｌＣｒＳｉＢ、ＡｌＣｒＳｉＶＮ、ＡｌＣｒＳｉＷＣＮ、ＡｌＣｒＳｉＶＷＢ、ＡｌＣｒＶＮ、ＡｌＣｒＶＣ、ＡｌＣｒＶＷＯ、ＡｌＣｒＷＮ、ＡｌＣｒＷＣＮ等から成るものである。
【００１４】
前記第１被膜層及び第２被膜層の膜厚は、組成等に応じて個々に定められるが、それ等を複数層繰り返し積層する場合には、それぞれ一定の膜厚でも良いし、連続的或いは段階的に変化させることもできる。前記第１被膜層、第２被膜層の各平均膜厚は、コーティングする部材や被膜の組成等によって異なるが、例えば０．１〜５０ｎｍ程度の範囲内が適当である。
【００１５】
前記第１被膜層、第２被膜層は、例えばアークイオンプレーティング法やイオンビーム蒸着法、スパッタリング法、ＰＬＤ（Pulse Laser Deposition) 法、ＩＢＡＤ（Ion Beam Assisted Deposition；イオンビーム支援蒸着）法等のＰＶＤ法によって好適に設けられるが、他の成膜法を採用することもできる。
【実施例】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明する。以下の説明に用いる図面に関して、各部の寸法比等は必ずしも正確に描かれていない。【００１７】
図１は、本発明の硬質被膜被覆切削工具の一実施例であるドリル１０を示す図であり、軸心Ｏに垂直な方向から見た正面図である。図２は、図１に示すドリル１０を、切れ刃１２が設けられた先端側から（すなわち矢印IIで示す方向に）見た拡大底面図である。これら図１及び図２に示す本実施例のドリル１０は、２枚刃のツイストドリルであり、シャンク１４及びボデー１６を軸心Ｏ方向に一体に備えている。斯かるボデー１６には、軸心Ｏの右まわりにねじれた一対の溝１８が形成されている。前記ボデー１６の先端には、前記一対の溝１８に対応して一対の切れ刃１２が設けられており、前記ドリル１０が前記シャンク１４側から見て軸心Ｏの右まわりに回転駆動されることにより、前記切れ刃１２によって被削材に穴が切削加工されると共に、その穴を切削加工する際に生じる切屑が前記溝１８を通ってシャンク１４側へ排出されるように構成されている。【００１８】
図３は、前記ドリル１０のボデー１６における表面付近の拡大断面図であり、本発明の切削工具用硬質被膜の一実施例である硬質被膜２２の構成を例示するものである。前記ドリル１０は、例えば、高速度工具鋼（ハイス）製の工具基材（工具母材）２０の表面に、図３に示すような硬質被膜２２がコーティングされて構成されたものである。この硬質被膜２２は、例えば図３に示すように、前記工具基材２０の表面に第１被膜層２４と、第２被膜層２６とが、交互に２層以上積層した多層膜である。図３においては、前記第１被膜層２４が前記工具基材２０の表面に設けられる最下層を、前記第２被膜層２６が前記硬質被膜２２の表面（外表面）に相当する最上層をそれぞれ構成する例を示しているが、前記第２被膜層２６が最下層、前記第１被膜層２４が最上層をそれぞれ構成するものであってもよい。【００１９】
前記第１被膜層２４は、不可避的不純物を含むＡｇから成るものである。前記第２被膜層２６は、不可避的不純物を含むＡｌ1-a-bＣｒaＭbの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物、或いはこれらの相互固溶体である。このＭは、Ｓｉ、Ｖ、Ｗのうち少なくとも１種類を含むものである。すなわち、前記第２被膜層２６は、具体的には、ＡｌＣｒＳｉＮ、ＡｌＣｒＳｉＯ、ＡｌＣｒＳｉＢ、ＡｌＣｒＳｉＶＮ、ＡｌＣｒＳｉＷＣＮ、ＡｌＣｒＳｉＶＷＢ、ＡｌＣｒＶＮ、ＡｌＣｒＶＣ、ＡｌＣｒＶＷＯ、ＡｌＣｒＷＮ、ＡｌＣｒＷＣＮ等から成るものである。前記第２被膜層２６に係る原子比（混晶比）ａは、０．２以上０．５以下の範囲内（０．２≦ａ≦０．５）、ｂは０より大きく０．３以下の範囲内（０＜ｂ≦０．３）である。【００２０】
前記硬質被膜２２において、好適には、前記第１被膜層２４及び第２被膜層２６がそれぞれ予め定められた一定の膜厚（平均膜厚）で形成される。前記第１被膜層２４及び第２被膜層２６それぞれの平均膜厚は、コーティングする部材や被膜の組成等に応じて個別に設定されるが、好適には、前記第１被膜層２４の平均膜厚ｄ１は、０．１〜２５．０ｎｍの範囲内で、前記第２被膜層２６の平均膜厚ｄ２は、０．１〜７５．０ｎｍの範囲内で、それぞれ適宜定められる。前記第１被膜層２４と前記第２被膜層２６との積層周期ｄ３は、０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内である。前記第１被膜層２４及び前記第２被膜層２６の積層数（第１被膜層２４及び第２被膜層２６の層数の合計）は、好適には、４４〜６５００の範囲内である。すなわち、前記第１被膜層２４及び前記第２被膜層２６それぞれの層数は、好適には、２２〜３２５０の範囲内である。前記硬質被膜２２の総膜厚Ｄは、０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内である。【００２１】
図４は、前記硬質被膜２２のコーティング方法の一例を説明する図である。前記ドリル１０等に対する前記硬質被膜２２のコーティングは、例えば図４に示すようなスパッタリング装置３０を用いてコントローラ３６の制御により行われる。好適には、先ず、前処理としてのエッチング工程において、前記スパッタリング装置３０のチャンバ３２内に配置された前記工具基材２０に、バイアス電源３４により負のバイアス電圧が印加される。これにより、正のアルゴンイオンＡｒ+が前記工具基材２０に衝突させられ、その工具基材２０の表面が粗面化させられる。【００２２】
次に、スパッタリング工程において、例えば前記硬質被膜２２の第２被膜層２６を構成するＡｌＣｒＳｉ等のターゲット３８に電源４０により負の一定のバイアス電圧（例えば−５０〜−６０Ｖ程度）が印加されるとともに、前記バイアス電源３４により工具基材２０に負の一定のバイアス電圧（例えば−１００Ｖ程度）が印加されることにより、アルゴンイオンＡｒ+が前記ターゲット３８に衝突させられ、これによりＡｌＣｒＳｉ等の構成物質が叩き出される。前記チャンバ３２内には、アルゴンガスの他に窒素ガス（Ｎ2）や炭化水素ガス（ＣＨ4、Ｃ2Ｈ2）の反応ガスが所定の流量で導入され、その窒素原子Ｎや炭素原子Ｃが前記ターゲット３８から叩き出されたＡｌＣｒＳｉ等と結合してＡｌＣｒＳｉＮ等となり、前記工具基材２０の表面に前記硬質被膜２２における第２被膜層２６等として付着させられる。或いは、Ａｌ、Ｃｒ、Ｓｉ等の単体それぞれに対応してターゲットを構成し、それら複数のターゲットを用いて同時にスパッタリングを行うことで、ＡｌＣｒＳｉＮ等から成る前記第２被膜層２６を形成するものであってもよい。前記スパッタリング工程においては、前記工具基材２０に正の電圧を印加するようにしてもよい。以上のようにして、前記第１被膜層２４と、前記第２被膜層２６とが交互に前記工具基材２０の表面に付着させられることで、その工具基材２０の表面に前記硬質被膜２２が形成される。【００２３】
続いて、本発明の効果を検証するために本発明者等が行った穴空け試験について説明する。図５は、この試験に用いられた本発明品及び試験品の被膜構造と、それぞれの試験結果（加工穴数及び判定）とを、併せて示す図である。本発明者等は、工具径８．３ｍｍφの超硬ドリルに図５に示す各被膜構造及び膜厚の硬質被膜をコーティングして試料である本発明品１〜１１及び試験品１〜６を作成し、各試験品について以下の切削条件で切削試験を行った。この図５に示す試料のうち、本発明品１〜１１が本実施例の硬質被膜２２が適用された本発明品に相当し、試験品１〜６が本発明の要件を満たさない（請求項１の要件から外れている）硬質被膜が適用された非発明品に相当する。図５における「Ａ層」、「Ｂ層」は、それぞれ前記第１被膜層２４、第２被膜層２６に対応する。図５に示す加工穴数は、逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの穴数であり、合格判定基準は、逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が２０穴以上である。【００２４】
［加工条件］
・工具形状：φ８．３超硬ドリル
・被削材：インコネル（登録商標）７１８
・切削機械：立型Ｍ／Ｃ
・切削速度：１０ｍ／ｍｉｎ
・送り速度：０．１ｍｍ／ｒｅｖ
・加工深さ：３３ｍｍ（止まり）
・ステップ量：ノンステップ
・切削油：油性【００２５】
図５に示すように、前記本発明品１〜１１は、何れもＡｇから成る第１被膜層（Ａ層）２４と、Ａｌ1-a-bＣｒaＭbの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層（Ｂ層）２６とが、交互に２層以上積層した多層膜であり、前記第２被膜層２６に係るＭはＳｉ、Ｖ、Ｗのうち少なくとも１種類を含むものであり、前記第２被膜層２６に係る原子比ａは０．２以上０．５以下の範囲内、ｂは０より大きく０．３以下の範囲内であり、前記第１被膜層２４と前記第２被膜層２６との積層周期ｄ３は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚Ｄは０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内である。すなわち、本発明の請求項１の要件を満たす硬質被膜２２が適用されたものである。図５に示す試験結果から明らかなように、斯かる本実施例の硬質被膜２２が適用された本発明品１〜１１においては、何れの試料においても逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が２０穴以上となり、合格基準を満たしている。【００２６】
特に、前記第２被膜層２６がＡｌＣｒＳｉＮ（組成Ａｌ0.2Ｃｒ0.5Ｓｉ0.3）から成り、前記第１被膜層２４及び第２被膜層２６の平均膜厚が何れも８．５ｎｍ、積層周期が１７．０ｎｍ、層数が６５０、総膜厚が５．５μｍである本発明品５で加工穴数４０、前記第２被膜層２６がＡｌＣｒＳｉＯ（組成Ａｌ0.3Ｃｒ0.5Ｓｉ0.2）から成り、前記第１被膜層２４の平均膜厚が０．５ｎｍ、前記第２被膜層２６の平均膜厚が３．５ｎｍ、積層周期が４．０ｎｍ、層数が１０００、総膜厚が２．０μｍである本発明品８で加工穴数３５、前記第２被膜層２６がＡｌＣｒＷＣＮ（組成Ａｌ0.6Ｃｒ0.3ＳｉＷ0.1）から成り、前記第１被膜層２４の平均膜厚が５．０ｎｍ、前記第２被膜層２６の平均膜厚が１５．０ｎｍ、積層周期が２０．０ｎｍ、層数が３２５、総膜厚が３．２μｍである本発明品３で加工穴数３４、前記第２被膜層２６がＡｌＣｒＳｉＶＷＢ（組成Ａｌ0.5Ｃｒ0.3ＳｉＶＷ0.2）から成り、前記第１被膜層２４の平均膜厚が６．０ｎｍ、前記第２被膜層２６の平均膜厚が３．０ｎｍ、積層周期が９．０ｎｍ、層数が５４５、総膜厚が２．５μｍである本発明品４で加工穴数３２、前記第２被膜層２６がＡｌＣｒＶＮ（組成Ａｌ0.3Ｃｒ0.4Ｖ0.3）から成り、前記第１被膜層２４の平均膜厚が２０．０ｎｍ、前記第２被膜層２６の平均膜厚が４０．０ｎｍ、積層周期が６０．０ｎｍ、層数が４４、総膜厚が１．３μｍである本発明品６で加工穴数３１と、何れも逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が３０穴以上となり、とりわけ良好な切削性能を示していることがわかる。【００２７】
前記試験品１は、総膜厚が１０．５μｍであり、本発明の請求項１の要件である総膜厚０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲を逸脱している。前記試験品２は、総膜厚が０．１５μｍであり、本発明の請求項１の要件である総膜厚０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲を逸脱している。前記試験品３は、前記第２被膜層２６がＡｌＣｒＳｉＣ（組成Ａｌ0.6Ｃｒ0.1Ｓｉ0.3）から成るものであり、本発明の請求項１の要件であるＣｒの原子比ａが０．２以上０．５以下である範囲を逸脱している。前記試験品４は、前記第２被膜層２６がＡｌＣｒＶＯ（組成Ａｌ0.4Ｃｒ0.2Ｖ0.4）から成るものであり、本発明の請求項１の要件であるＭ（＝Ｖ）の原子比ｂが０より大きく０．３以下である範囲を逸脱すると共に、積層周期が０．１８ｎｍであり、本発明の請求項１の要件である積層周期０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲を逸脱している。前記試験品５は、積層周期が１２０．０ｎｍであり、本発明の請求項１の要件である積層周期０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲を逸脱している。前記試験品６は、前記第２被膜層２６がＡｌＣｒＳｉＣＮ（組成Ａｌ0.5Ｃｒ0.1Ｓｉ0.4）から成るものであり、本発明の請求項１の要件であるＣｒの原子比ａが０．２以上０．５以下である範囲を逸脱している。図５に示す試験結果から明らかなように、これら試験品１〜６においては、何れも逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が２０未満となり、前記本発明品１〜１１と比べて切削性能に劣るものであることがわかる。これは、本発明の請求項１の要件を満たさない硬質被膜では、耐溶着性が十分ではなく、溶着や剥離等により早期寿命に至るためであると考えられる。【００２８】
このように、本実施例によれば、Ａｇから成る第１被膜層２４と、Ａｌ1-a-bＣｒaＭbの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層２６とが、交互に２層以上積層した多層膜であり、前記第２被膜層２６に係るＭはＳｉ、Ｖ、Ｗのうち少なくとも１種類を含むものであり、前記第２被膜層２６に係る原子比ａは０．２以上０．５以下の範囲内、ｂは０より大きく０．３以下の範囲内であり、前記第１被膜層２４と前記第２被膜層２６との積層周期ｄ３は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚Ｄは０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内であることから、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜２２を提供することができる。【００２９】
本実施例によれば、前記硬質被膜２２が表面に被覆して設けられた超硬被膜被覆切削工具としてのドリル１０であることから、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えたドリル１０を提供することができる。【００３０】
以上、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更が加えられて実施されるものである。
【符号の説明】
【００３１】
１０：ドリル（硬質被膜被覆切削工具）、１２：切れ刃、１４：シャンク、１６：ボデー、１８：溝、２０：工具基材、２２：硬質被膜（切削工具用硬質被膜）、２４：第１被膜層、２６：第２被膜層、３０：スパッタリング装置、３２：チャンバ、３４：バイアス電源、３６：コントローラ、３８：ターゲット、４０：電源
【図１】
2013145233.tif 000003
【図２】
2013145233.tif 000004
【図３】
2013145233.tif 000005
【図４】
2013145233.tif 000006
【図５】
2013145233.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成24年8月23日(2012.8.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削工具の表面に被覆して設けられる切削工具用硬質被膜であって、
Ａｇである第１被膜層と、
Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＭｂの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物である第２被膜層とが、交互に４４層以上積層した多層膜であり、
前記第２被膜層に係るＭはＳｉ、Ｖ、Ｗのうち少なくとも１種類を含むものであり、
前記第２被膜層に係る原子比ａは０．２以上０．５以下の範囲内、ｂは０より大きく０．３以下の範囲内であり、
前記第１被膜層と前記第２被膜層との積層周期は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、
且つ、総膜厚は０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内である
ことを特徴とする切削工具用硬質被膜。
【請求項２】
請求項１に記載の切削工具用硬質被膜が表面に被覆して設けられた硬質被膜被覆切削工具。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
［０００６］
斯かる目的を達成するために、本第１発明の要旨とするところは、切削工具の表面に被覆して設けられる切削工具用硬質被膜であって、Ａｇである第１被膜層と、Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＭｂの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物である第２被膜層とが、交互に４４層以上積層した多層膜であり、前記第２被膜層に係るＭはＳｉ、Ｖ、Ｗのうち少なくとも１種類を含むものであり、前記第２被膜層に係る原子比ａは０．２以上０．５以下の範囲内、ｂは０より大きく０．３以下の範囲内であり、前記第１被膜層と前記第２被膜層との積層周期は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚は０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内であることを特徴とするものである。
［０００７］
前記目的を達成するために、本第２発明の要旨とするところは、上記第１発明の切削工具用硬質被膜が表面に被覆して設けられたことを特徴とする硬質被膜被覆切削工具である。
発明の効果
［０００８］
このように、前記第１発明によれば、Ａｇである第１被膜層と、Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＭｂの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物である第２被膜層とが、交互に４４層以上積層した多層膜であり、前記第２被膜層に係るＭはＳｉ、Ｖ、Ｗのうち少なくとも１種類を含むものであり、前記第２被膜層に係る原子比ａは０．２以上０．５以下の範囲内、ｂは０より大きく０．３以下の範囲内であり、前記第１被膜層と前記第２被膜層との積層周期は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚は０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内であることから、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜を提供することができる。
［０００９］
前記第２発明によれば、前記第１発明の切削工具用硬質被膜が表面に被覆して設けられたものであるため、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高
【国際調査報告】
2013145233.tif 000008
2013145233.tif 000009