(57)【要約】  電気機械変換素子と、駆動部材と、移動部材と、駆動回路とを有する駆動装置において、駆動回路は、移動部材の駆動速度が最大となる周波数より低い周波数の駆動電圧を出力し、駆動電圧の駆動周波数を、周囲温度と負の相関関係を有するように変化させ、負の相関関係における駆動周波数の周囲温度の変化に対する変化率は、移動部材の駆動速度が最大となる周波数の周囲温度の上昇に対する変化率より大きく、且つ、周囲温度が上昇すると移動部材の駆動速度が上昇するような変化率とする。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の伸縮によって往復変位する駆動部材と、前記駆動部材に摺動可能に保持された移動部材と、前記電気機械変換素子に周期的に変動する駆動電圧を印加する駆動回路とを有し、
前記駆動回路は、前記移動部材の駆動速度が最大となる周波数より低い周波数の前記駆動電圧を出力し、
前記駆動電圧の駆動周波数を、周囲温度と負の相関関係を有するように変化させ、
前記負の相関関係における前記駆動周波数の前記周囲温度の変化に対する変化率は、前記移動部材の駆動速度が最大となる周波数の前記周囲温度の上昇に対する変化率より大きいことを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記相関関係における前記駆動周波数の前記周囲温度の変化に対する変化率は、さらに、前記周囲温度が上昇すると前記移動部材の駆動速度が上昇するような変化率であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記相関関係における前記駆動周波数の前記周囲温度の変化に対する変化率は、前記周囲温度が変化したときの前記移動部材の駆動速度と、前記周囲温度が所定の基準温度であるときの前記移動部材の駆動速度の平均値との誤差の平均値が最小となる変化率より小さく、前記周囲温度が変化したときの前記移動部材の推力と、前記周囲温度が所定の基準温度であるときの前記移動部材の推力の平均値との誤差の平均値が最小となる変化率より大きいことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記駆動周波数をｆｄ（Ｈｚ）、前記周囲温度が所定の基準温度であるときの前記駆動周波数をｆｏ（Ｈｚ）、前記周囲温度の前記基準温度との差をΔＴ（℃）とすると、
前記駆動周波数は、係数Ｂを用いて、
ｆｄ＝ｆｏ−ｆｏ・Ｂ・ΔＴとして表され、
０．０００５≦Ｂ≦０．００４、であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記駆動周波数は、前記周囲温度を予め定めた区分に分類し、前記区分の代表温度に基づいて決定することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項６】
前記駆動電圧の周波数は、前記駆動回路を制御するためのクロックの周波数を前記周囲温度に応じて変化させることにより決定することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、特に、圧電素子を用いた振動型アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子の非対称な伸縮によって軸状の駆動部材を軸方向に非対称に振動させ、駆動部材に摩擦係合する移動部材を一方向にすべり移動させる振動型アクチュエータが公知である。圧電素子の伸縮特性は周囲温度に影響されるため、温度変化によってアクチュエータの駆動速度が変化してしまうという問題がある。【０００３】
特許文献１には、圧電素子を用いた超音波モータにおいて、駆動時の周囲温度において、駆動速度が最大となる周波数を選択して駆動することが記載されている。通常、周囲温度が上昇すると、駆動速度の最大値も上昇するという問題がある。また、振動型アクチュエータにおいて、駆動速度の周波数特性と駆動推力の周波数特性とは一致しないので、周囲温度に応じた駆動周波数の変化によって駆動推力も変動してしまうという問題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１−２６４５７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記問題点に鑑みて、本発明は、温度変化に対して駆動速度および駆動推力が安定した駆動装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するために、本発明による駆動装置は、電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の伸縮によって往復変位する駆動部材と、前記駆動部材に摺動可能に保持された移動部材と、前記電気機械変換素子に周期的に変動する駆動電圧を印加する駆動回路とを有し、前記駆動回路は、前記移動部材の駆動速度が最大となる周波数より低い周波数の前記駆動電圧を出力し、前記駆動電圧の駆動周波数を、周囲温度と負の相関関係を有するように変化させ、前記負の相関関係における前記駆動周波数の前記周囲温度の変化に対する変化率は、前記移動部材の駆動速度が最大となる周波数の前記周囲温度の上昇に対する変化率より大きいものとする。【０００７】
この構成によれば、駆動速度が最大となる周波数より低い周波数で駆動するので、固体間の駆動速度のばらつきが小さい。また、この駆動装置では、温度変化に対して、駆動速度が最大となる周波数の変化率より大きく周波数を変化させるので、駆動速度が大きく変化しない。【０００８】
また、本発明の駆動装置において、前記相関関係における前記駆動周波数の前記周囲温度の変化に対する変化率は、さらに、前記周囲温度が上昇すると前記移動部材の駆動速度が上昇するような変化率であってもよい。【０００９】
この構成によれば、周囲温度の温度上昇に対して駆動速度も上昇させるので、駆動推力の変動が小さい。【００１０】
また、本発明の駆動装置において、前記相関関係における前記駆動周波数の前記周囲温度の変化に対する変化率は、前記周囲温度が変化したときの前記移動部材の駆動速度と、前記周囲温度が所定の基準温度であるときの前記移動部材の駆動速度の平均値との誤差の平均値が最小となる変化率より小さく、前記周囲温度が変化したときの前記移動部材の推力と、前記周囲温度が所定の基準温度であるときの前記移動部材の推力の平均値との誤差の平均値が最小となる変化率より大きくてもよい。【００１１】
振動型アクチュエータの駆動速度の調整値の個体差は、高い周波数域において急激にバラツキが増大する。このため、駆動装置を多数製造した場合、周囲温度が変化したときの移動部材の駆動速度の基準温度での駆動速度に対する偏差の平均値が最小となるような周波数の補正値よりも小さい補正をすることで、駆動装置の製品毎のバラツキを抑制できる。また、駆動推力の調整効果は、駆動速度の調整効果のピークよりも低い周波数においてピークとなり、ピーク位置よりも低周波域において個体間のバラツキがより大きくなる。よって、駆動速度の平均偏差（調整誤差の平均値）が最小となる傾きより小さく、駆動推力の平均偏差が最小となる傾きより大きい範囲で、周波数を補正すれば、駆動速度と駆動推力との両方の調整効果のバラツキが小さく、駆動特性にバラツキのない駆動装置を提供できる。【００１２】
また、本発明の駆動装置において、前記駆動周波数をｆｄ（Ｈｚ）、前記周囲温度が所定の基準温度であるときの前記駆動周波数をｆｏ（Ｈｚ）、前記周囲温度の前記基準温度との差をΔＴ（℃）とすると、前記駆動周波数は、係数Ｂを用いて、ｆｄ＝ｆｏ−ｆｏ・Ｂ・ΔＴとして表され、０．０００５≦Ｂ≦０．００４、であってもよい。【００１３】
小型のカメラモジュール等に使用される圧電アクチュエータでは、周囲温度に対する駆動周波数傾きが０．０００５のときに駆動推力の平均偏差が略最小で、周囲温度に対する駆動周波数傾きが０．００４のときに駆動速度の平均偏差が略最小になる。このため、この間の傾きで駆動周波数を補正すれば、駆動特性にバラツキのない駆動装置を提供できる。【００１４】
また、本発明の駆動装置において、前記駆動電圧の周波数は、前記周囲温度を予め定めた区分に分類し、前記区分の代表温度に基づいて決定してもよい。【００１５】
この構成によれば、制御が簡素化できる。【００１６】
また、本発明の駆動装置において、前記駆動電圧の周波数は、前記駆動回路を制御するためのクロックの周波数を前記周囲温度に応じて変化させることにより決定してもよい。【００１７】
この構成によれば、通常の発振器が温度に対して負の変化特性を示すので、この特性を利用することで、駆動特性にバラツキがなく、温度変化に対して安定な駆動装置を提供できる。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように、本発明によれば、周囲温度の上昇に対して、駆動速度が僅かに上昇するように駆動周波数を調整するので、周囲温度の変化に対して、駆動推力の落ち込みや、駆動装置間の駆動速度のバラツキを小さくして、総合的に駆動特性の安定した駆動装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態の駆動装置の概略図。
【図２】図１の駆動装置の駆動速度の温度による周波数特性の違いを示す図。
【図３】図１の駆動装置の駆動速度の周波数による個体ごとのバラツキを示す図。
【図４】図１の駆動装置の駆動推力の温度による周波数特性の違いを示す図。
【図５】図１の駆動装置の駆動周波数の補正率による駆動速度と駆動推力との調整誤差を示す図。
【図６】本発明の第実施形態の駆動装置の駆動速度の温度変化を示すグラフ。
【図７】本発明の第実施形態の駆動装置の駆動推力の温度変化を示すグラフ。
【図８】本発明の第実施形態の駆動装置の駆動電流の温度変化を示すグラフ。
【図９】本発明の第３実施形態の駆動装置の概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
これより、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
図１に、本発明の駆動装置１の構成を示す。駆動装置１は、圧電アクチュエータ２と圧電アクチュエータ２に周期的な駆動電圧を印加する駆動回路３と、駆動回路３の動作を制御して駆動電圧の波形および周波数を決定する制御装置４と、圧電アクチュエータ２の周囲温度を検出する温度センサ５とを有する。
【００２２】
圧電アクチュエータ２は、入力された駆動電圧に応じて伸縮する圧電素子（電気機械変換素子）６と、圧電素子６の一端に固定された錘７と、圧電素子６の他端に一端が固定された軸状の駆動部材８と、駆動部材８に摩擦力によって係合する移動部材９とを有する。駆動部材８は、圧電素子６の伸縮によって軸方向に往復変位する。移動部材９は、駆動部材８が緩慢に移動するときは駆動部材８と共に移動するが、駆動部材８が急峻に移動するときは慣性力によって駆動部材８に対してすべり変位する。
【００２３】
そのため、移動部材９を軸先端に移動させるときは、駆動部材８に緩慢な伸張と急峻な収縮の往復変位を繰り返しさせる。また、移動部材９を圧電素子６側に移動させるときは、駆動部材８に急峻な伸張と緩慢な収縮の往復変位を繰り返しさせる。
【００２４】
図２に、駆動装置１の駆動速度、つまり、移動部材９の駆動（変位）速度の複数の周囲温度における周波数特性を示す。図示するように、駆動装置１の駆動速度の周波数特性は、周囲温度が低くなるほどそのピーク周波数が高くなり、そのピーク速度が低下する。
【００２５】
駆動装置１では、図中に示すように、周囲温度の上昇に従って、最大速度の変化率より小さい度合いで駆動速度が上昇するように、駆動周波数を低下させる。より詳しくは、駆動周波数ｆｄ（Ｈｚ）は、基準温度Ｔｏにおける定格周波数をｆｏ（Ｈｚ）、周囲温度の定格温度Ｔｏとの偏差をΔＴ（℃）とし、定数である温度補正率Ｂ（＝０．００１２）を用いて、ｆｄ＝ｆｏ−ｆｏ・Ｂ・ΔＴと表される。なお、駆動装置１では、周囲温度２０℃を基準温度Ｔｏとし、基準温度Ｔｏにおける性能を定格値としている。
【００２６】
図２を見ると、駆動装置１において、周囲温度に応じて駆動速度が変化しないように、駆動周波数を調整すれば、位置決め制御が容易になるように思われるかもしれない。しかしながら、駆動装置１を工業的に多数製造すると個々の駆動速度にバラツキが出る。図３に、基準温度における平均駆動速度（Ｖａｖｅ）および平均駆動速度±３σ（標準偏差）の周波数特性を示す。図示するように、駆動装置１の駆動速度のバラツキは、高周波域において大きくなる。このため、駆動装置１では、駆動速度が最大となる周波数より低い周波数を定格周波数ｆｏとしている。
【００２７】
図４に、周囲温度による、駆動装置１の駆動推力（移動部材の移動トルク）の違いを示す。駆動推力は、温度が高くなるとピーク周波数が低下するが、駆動速度のように、温度によってそのピーク値に大きな差は出ない。
【００２８】
図５に、駆動装置１の温度補正率Ｂを変化させた場合の、ある温度偏差ΔＴにおける平均駆動速度と基準温度Ｔｏでの平均駆動速度との差、並びに、ある温度偏差ΔＴにおける駆動速度および駆動推力の基準温度Ｔｏでの平均駆動速度および平均駆動推力に対する偏差の二乗平均、つまり、速度および推力の調整誤差の大きさを示す。
【００２９】
図示するように、駆動速度の調整誤差は、温度補正率Ｂが０．００４のときに最小となり、温度補正率Ｂが０．００４より大きくなると急速に増大する。また、駆動推力は、温度補正率Ｂが０．０００５のときに最小となる。これより、駆動装置１において、駆動速度だけでなく駆動推力の変化が小さくなるようにするには、温度補正率Ｂを０．０００５以上、０．００４以下にすればよいことが分かる。
【００３０】
また、駆動装置１において、駆動周波数ｆｄの温度補正は、周囲温度を予め定めた区分に分類し、各区分の代表温度に基づいて駆動周波数を決定してもよい。
【００３１】
図６から８に、基準温度Ｔｏ＝３５℃、定格周波数ｆｏ＝１３７ｋＨｚであり、２０℃未満の低温区分、２０℃以上５０℃以下の常温区分、５０度超の高温区分の３つの区分に分類した第２実施形態の駆動装置の温度特性を示す。
【００３２】
本実施形態では、常温区分の代表温度が基準温度Ｔｏ＝３５℃であり、低温区分の代表温度が５℃、高温区分の代表温度が６５℃である。また、常温区分における駆動周波数は定格周波数ｆｏ＝１３７ｋＨｚであり、低温区分における駆動周波数は１４２ｋＨｚ、高温区分における駆動周波数は１４７ｋＨｚである。本実施形態における温度補正率Ｂは、約０．００１２である。
【００３３】
図６に示すように、本実施形態では、駆動速度は、周囲温度と共に上昇するが、２０℃および５０℃において温度区分が変わる際に、不連続に変更される。これにより、各区分における駆動速度の差を小さくするようにしている。同様に、図７に示すように、駆動推力も各区分における変動範囲が大きく異ならないようになっている。さらに、図８に示すように、この駆動周波数の補正によって、駆動電流の大きさも区分毎に不連続になる。
【００３４】
本実施形態のように、駆動周波数を温度の周囲温度の区分に応じて調整することで、駆動周波数の頻繁な変更が必要なく、制御が容易になる。
【００３５】
図９に、本発明の第３実施形態の駆動装置１ａの構成を示す。本実施形態の説明では、第１実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付して重複する説明を省略する。駆動装置１ａは、温度センサを有していないが、温度が上昇すると発振周波数が低下する温度遷移クロック１０を、圧電アクチュエータ２の近傍に配設し、温度遷移クロック１０の出力するクロック信号によって制御装置が動作するようになっている。
【００３６】
一般に、水晶発振器などのクロック発振器は、温度上昇によって発信周波数が低下しやすい特性を有し、各メーカは温度によって周波数が変化しないような工夫をしている。しかしながら、本実施形態では、意図的に、温度上昇によってクロック周波数が上昇するようにすることで、駆動装置１ａの駆動速度と駆動推力とが安定するようにしている。
【符号の説明】
【００３７】
１…駆動装置
２…圧電アクチュエータ
３…駆動回路
４…制御装置
５…温度センサ
６…圧電素子（電気機械変換素子）
７…錘
８…駆動部材
９…移動部材
１０…温度遷移クロック
【図２】
2009150937.tif 000003
【図３】
2009150937.tif 000004
【図４】
2009150937.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図１】
2009150937.tif 000009
【図８】
2009150937.tif 000010
【図９】
2009150937.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月22日(2010.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の伸縮によって往復変位する駆動部材と、前記駆動部材に摺動可能に保持された移動部材と、前記電気機械変換素子に周期的に変動する駆動電圧を印加する駆動回路とを有し、
前記駆動回路は、前記移動部材の駆動速度が最大となる周波数より低い駆動周波数の前記駆動電圧を出力し、
前記駆動周波数を、周囲温度と負の相関関係を有するように変化させ、
前記相関関係における前記駆動周波数は、前記周囲温度の上昇に従って、前記移動部材の最大駆動速度の変化率より小さい度合いで駆動速度が上昇するように低下させることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記相関関係における前記駆動周波数の前記周囲温度の変化に対する変化率は、前記周囲温度が変化したときの前記移動部材の駆動速度と、前記周囲温度が所定の基準温度であるときの前記移動部材の駆動速度の平均値との誤差の平均値が最小となる変化率より小さく、前記周囲温度が変化したときの前記移動部材の推力と、前記周囲温度が所定の基準温度であるときの前記移動部材の推力の平均値との誤差の平均値が最小となる変化率より大きいことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記駆動周波数をｆｄ（Ｈｚ）、前記周囲温度が所定の基準温度であるときの前記駆動周波数をｆｏ（Ｈｚ）、前記周囲温度の前記基準温度との差をΔＴ（℃）とすると、
前記駆動周波数は、係数Ｂを用いて、
ｆｄ＝ｆｏ−ｆｏ・Ｂ・ΔＴとして表され、
０．０００５≦Ｂ≦０．００４、であることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記駆動周波数は、前記周囲温度を予め定めた区分に分類し、前記区分の代表温度に基づいて決定することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記駆動周波数は、前記駆動回路を制御するためのクロックの周波数を前記周囲温度に応じて変化させることにより決定することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記駆動回路を制御するためのクロックは、温度が上昇すると発信周波数が低下する温度遷移クロックであることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記電気機械変換素子の周囲温度を測定する温度センサを有し、温度センサの出力に応じて前記駆動周波数を制御することを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
前記課題を解決するために、本発明による駆動装置は、電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の伸縮によって往復変位する駆動部材と、前記駆動部材に摺動可能に保持された移動部材と、前記電気機械変換素子に周期的に変動する駆動電圧を印加する駆動回路とを有し、前記駆動回路は、前記移動部材の駆動速度が最大となる周波数より低い周波数の前記駆動電圧を出力し、前記駆動周波数を、周囲温度と負の相関関係を有するように変化させ、前記相関関係における前記駆動周波数は、前記周囲温度の上昇に従って、前記移動部材の最大駆動速度の変化率より小さい度合いで駆動速度が上昇するように低下させるものとする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
この構成によれば、駆動速度が最大となる周波数より低い周波数で駆動するので、個体間の駆動速度のばらつきが小さい。また、この駆動装置では、周囲温度の上昇に従って、移動部材の最大駆動速度の変化率より小さい度合いで駆動速度が上昇するように駆動周波数を低下させるので、駆動速度が大きく変化しない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
この構成によれば、通常の発振器が温度に対して負の変化特性を示すので、この特性を利用することで、駆動特性にバラツキがなく、温度変化に対して安定な駆動装置を提供できる。
また、本発明の駆動装置において、前記駆動回路を制御するためのクロックは、温度が上昇すると発信周波数が低下する温度遷移クロックであってもよい。この構成によれば、駆動速度と駆動推力とが安定した駆動装置を提供できる。
さらに、本発明の駆動装置において、前記電気機械変換素子の周囲温度を測定する温度センサを有し、温度センサの出力に応じて前記駆動周波数を制御してもよい。この構成によれば、周囲温度の変化に対して、駆動推力の落ち込みや、駆動装置間の駆動速度のバラツキを小さくして、総合的に駆動特性の安定した駆動装置を提供できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態の駆動装置の概略図。
【図２】図１の駆動装置の駆動速度の温度による周波数特性の違いを示す図。
【図３】図１の駆動装置の駆動速度の周波数による個体ごとのバラツキを示す図。
【図４】図１の駆動装置の駆動推力の温度による周波数特性の違いを示す図。
【図５】図１の駆動装置の駆動周波数の補正率による駆動速度と駆動推力との調整誤差を示す図。
【図６】本発明の第２実施形態の駆動装置の駆動速度の温度変化を示すグラフ。
【図７】本発明の第２実施形態の駆動装置の駆動推力の温度変化を示すグラフ。
【図８】本発明の第２実施形態の駆動装置の駆動電流の温度変化を示すグラフ。
【図９】本発明の第３実施形態の駆動装置の概略図。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
駆動装置１では、図中に示すように、周囲温度の上昇に従って、最大速度の変化率より小さい度合いで駆動速度が上昇するように、駆動周波数を低下させる。より詳しくは、駆動周波数ｆｄ（Ｈｚ）は、基準温度Ｔｏにおける定格周波数をｆｏ（Ｈｚ）、周囲温度の基準温度Ｔｏとの偏差をΔＴ（℃）とし、定数である温度補正率Ｂ（＝０．００１２）を用いて、ｆｄ＝ｆｏｆｏ・Ｂ・ΔＴと表される。なお、駆動装置１では、周囲温度２０℃を基準温度Ｔｏとし、基準温度Ｔｏにおける性能を定格値としている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図２を見ると、駆動装置１において、周囲温度に応じて駆動速度が変化しないように、駆動周波数を調整すれば、位置決め制御が容易になるように思われるかもしれない。しかしながら、駆動装置１を工業的に多数製造すると個々の駆動速度にバラツキが出る。図３に、駆動装置１を多数製造した場合の、基準温度における平均駆動速度（Ｖａｖｅ）および平均駆動速度±３σ（標準偏差）の周波数特性を示す。図示するように、駆動装置１の駆動速度のバラツキは、高周波域において大きくなる。このため、駆動装置１では、駆動速度が最大となる周波数より低い周波数を定格周波数ｆｏとしている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
図５に、駆動装置１の温度補正率Ｂを変化させた場合の、ある温度偏差ΔＴにおける平均駆動速度と基準温度Ｔｏでの平均駆動速度との差、並びに、ある温度偏差ΔＴにおける駆動速度および駆動推力の基準温度Ｔｏでの平均駆動速度および平均駆動推力に対する偏差の二乗平均、つまり、速度および推力の調整誤差の大きさを示す。上記において、平均駆動推力とは、駆動装置１を多数製造した場合の平均推力を指す。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
一般に、水晶発振器などのクロック発振器は、温度上昇によって発振周波数が低下しやすい特性を有し、各メーカは温度によって周波数が変化しないような工夫をしている。しかしながら、本実施形態では、意図的に、温度上昇によってクロック周波数が下降するようにすることで、駆動装置１ａの駆動速度と駆動推力とが安定するようにしている。
【国際調査報告】
2009150937.tif 000012
2009150937.tif 000013
2009150937.tif 000014
2009150937.tif 000015