(57)【要約】  本発明は、シロキサン系樹脂および特定の構造を有するイミドシラン化合物を含有するシロキサン系樹脂組成物である。また、本発明は、アルコキシシラン化合物と特定の構造を有するイミドシラン化合物とを加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物であるシロキサン系樹脂を含有するシロキサン系樹脂組成物である。本発明によれば、接着性に優れる硬化膜を形成することができる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）シロキサン系樹脂および（ｂ）下記一般式（４）で表されるイミドシラン化合物を含有するシロキサン系樹脂組成物。
【化１】
2009096050.tif 000032
（一般式（４）中、Ｒ７は同じでも異なってもよく、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシル基、フェニル基、フェノキシ基またはそれらの置換体を表す。Ｒ１０は同じでも異なってもよく、炭素数３〜３０の３価の有機基を表す。Ｒ１１は同じでも異なってもよく、水素原子、またはケイ素原子を含まない炭素数１〜２０の１価の有機基を表す。αは１〜３の整数を表す。）
【請求項２】
前記（ａ）シロキサン系樹脂が、（ａ−１）下記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される１種以上のアルコキシシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物である請求項１記載のシロキサン系樹脂組成物。
Ｒ１Ｓｉ（ＯＲ２）３          （１）
（一般式（１）中、Ｒ１は水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表す。Ｒ２は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。）
Ｒ３Ｒ４Ｓｉ（ＯＲ５）２        （２）
（一般式（２）中、Ｒ３およびＲ４は、それぞれ水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表す。Ｒ５は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。）
Ｓｉ（ＯＲ６）４              （３）
（一般式（３）中、Ｒ６は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。）
【請求項３】
前記（ａ−１）の反応生成物が、シリコン化合物粒子、アルミニウム化合物粒子、スズ化合物粒子、チタン化合物粒子およびジルコニウム化合物粒子からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物粒子の存在下、前記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される１種以上のアルコキシシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物である請求項２記載のシロキサン系樹脂組成物。
【請求項４】
（ａ）シロキサン系樹脂を含有するシロキサン系樹脂組成物であって、前記（ａ）シロキサン系樹脂が、（ａ−２）下記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される１種以上のアルコキシシラン化合物と下記一般式（５）で表されるイミドシラン化合物とを加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物であるシロキサン系樹脂組成物。
【化２】
2009096050.tif 000033
（一般式（５）中、Ｒ８およびＲ９はそれぞれ同じでも異なってもよく、水素原子あるいは炭素数１〜６のアルキル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。Ｒ１０は同じでも異なってもよく、炭素数３〜３０の３価の有機基を表す。Ｒ１１は同じでも異なってもよく、水素原子、またはケイ素原子を含まない炭素数１〜２０の１価の有機基を表す。βは１〜３の整数、γは０〜２の整数を表す。ただし、β＋γ＜４である。）
Ｒ１Ｓｉ（ＯＲ２）３          （１）
（一般式（１）中、Ｒ１は水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表す。Ｒ２は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。）
Ｒ３Ｒ４Ｓｉ（ＯＲ５）２        （２）
（一般式（２）中、Ｒ３およびＲ４は、それぞれ水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表す。Ｒ５は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。）
Ｓｉ（ＯＲ６）４              （３） 
（一般式（３）中、Ｒ６は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。）
【請求項５】
前記（ａ−２）の反応生成物が、シリコン化合物粒子、アルミニウム化合物粒子、スズ化合物粒子、チタン化合物粒子およびジルコニウム化合物粒子からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物粒子の存在下、前記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される１種以上のアルコキシシラン化合物と前記一般式（５）で表されるイミドシラン化合物とを加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物である請求項４記載のシロキサン系樹脂組成物。
【請求項６】
前記（ａ）シロキサン系樹脂がフッ素を含有する請求項１〜５いずれか記載のシロキサン系樹脂組成物。
【請求項７】
さらに（ｃ）酸発生剤または塩基発生剤を含有する請求項１〜６いずれか記載のシロキサン系樹脂組成物。
【請求項８】
さらに（ｄ）下記一般式（６）または（７）で表される基を有する、ケイ素原子を有さない架橋性化合物、および／または下記一般式（８）で表される架橋性化合物を含有する請求項１〜７いずれかに記載のシロキサン系樹脂組成物。
【化３】
2009096050.tif 000034
（一般式（６）中、Ｒ１２は同じでも異なってもよく、水素原子または１価の有機基を示す。ｎは１〜４の整数を表す。一般式（７）中、Ｒ１３およびＲ１４は水素原子または１価の有機基を示す。一般式（８）中、Ｒ１５およびＲ１６はそれぞれ同じでも異なってもよく、炭素数１〜４のアルキル基、フェニル基またはそれらの置換体を示す。ただし、ｐ個のＲ１５およびＲ１６のうち少なくとも１つはフェニル基またはその置換体である。）
【請求項９】
請求項１〜８いずれか記載のシロキサン系樹脂組成物を含む固体撮像素子用材料。
【請求項１０】
請求項１〜９いずれか記載のシロキサン系樹脂組成物を硬化させてなる硬化膜。
【請求項１１】
請求項１０記載の硬化膜を有する光学物品。
【請求項１２】
請求項１０記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
【請求項１３】
下記一般式（４）または一般式（５）で表されるイミドシラン化合物を含有する接着改良剤。
【化４】
2009096050.tif 000035
（一般式（４）〜（５）中、Ｒ７は同じでも異なってもよく、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシル基、フェニル基、フェノキシ基またはそれらの置換体を表す。Ｒ８およびＲ９はそれぞれ同じでも異なってもよく、水素原子あるいは炭素数１〜６のアルキル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。Ｒ１０は同じでも異なってもよく、炭素数３〜３０の３価の有機基を表す。Ｒ１１は同じでも異なってもよく、水素原子、またはケイ素原子を含まない炭素数１〜２０の１価の有機基を表す。αは１〜３の整数を表す。βは１〜３の整数、γは０〜２の整数を表す。ただし、β＋γ＜４である。）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シロキサン系樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラやカメラ付携帯電話等の急速な発展に伴って、固体撮像素子をはじめとする光学物品の小型化、高画素化が要求されている。固体撮像素子の小型化は感度低下を招くことから、入射光の取り込み効率を向上するために、様々な工夫がなされている。例えば、固体撮像素子の最外部に集光レンズ（以下マイクロレンズと呼ぶ）を配置することで、光を効率的に集光し、感度の低下を防いでいる。また、金属元素酸化物で被覆された酸化チタン粒子、硬化性化合物、硬化触媒を含有するマイクロレンズ反射防止膜用硬化性組成物により、空気媒体とマイクロレンズとの屈折率差に起因する光の反射を抑制することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、受光部とカラーフィルターの間や、カラーフィルターとマイクロレンズの間などの屈折率差に起因する光の反射を抑制し、下地段差を平坦化する目的で、屈折率が調節された様々な平坦化膜が使用されている。このような平坦化膜用のコーティング材料として、例えば、金属化合物粒子の存在下、アルコキシシラン化合物を加水分解、縮合反応させて得られるシロキサン系樹脂組成物（例えば、特許文献２参照）や、フッ素含有シラン化合物およびエポキシ基含有シラン化合物を共重合成分とするフッ素含有シロキサンポリマーを含有する熱硬化性樹脂組成物（例えば、特許文献３参照）が開示されている。【０００３】
こうした、平坦化膜用途に用いられるコーティング材料には、下地段差を完全に被覆し平坦化する特性だけでなく、下地金属や無機物で構成される基板表面や樹脂表面、素子表面との十分な接着性が求められる。一般に、接着性を改善するために、シランカップリング剤を含有することが知られている（例えば、特許文献４〜５参照）。しかしながら、これらに開示されたシランカップリング剤をシロキサン系樹脂組成物に添加しても、十分な接着性を得ることができなかった。
【特許文献１】特開２００５−２８３７８６号公報
【特許文献２】特開２００７−２４６８７７号公報
【特許文献３】特開２００７−１１９７４４号公報
【特許文献４】特開２００３−４３６８８号公報（００３２段落）
【特許文献５】特開２００５−４９６９１号公報（０１０９段落）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記のような事情に基づいてなされたものであり、接着性に優れる硬化膜を得ることができるシロキサン系樹脂組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、（ａ）シロキサン系樹脂および（ｂ）下記一般式（４）で表されるイミドシラン化合物を含有するシロキサン系樹脂組成物である。また、本発明は、（ａ）シロキサン系樹脂を含有するシロキサン系樹脂組成物であって、前記（ａ）シロキサン系樹脂が、（ａ−２）下記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される１種以上のアルコキシシラン化合物と下記一般式（５）で表されるイミドシラン化合物とを加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物であるシロキサン系樹脂組成物である。【０００６】
【化１】
2009096050.tif 000002
【０００７】
一般式（４）中、Ｒ７は同じでも異なってもよく、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシル基、フェニル基、フェノキシ基またはそれらの置換体を表す。Ｒ１０は同じでも異なってもよく、炭素数３〜３０の３価の有機基を表す。Ｒ１１は同じでも異なってもよく、水素原子、またはケイ素原子を含まない炭素数１〜２０の１価の有機基を表す。αは１〜３の整数を表す。【０００８】
Ｒ１Ｓｉ（ＯＲ２）３          （１）
一般式（１）中、Ｒ１は水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表す。Ｒ２は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。【０００９】
Ｒ３Ｒ４Ｓｉ（ＯＲ５）２        （２）
一般式（２）中、Ｒ３およびＲ４は、それぞれ水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表す。Ｒ５は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。【００１０】
Ｓｉ（ＯＲ６）４              （３）
一般式（３）中、Ｒ６は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。【００１１】
【化２】
2009096050.tif 000003
【００１２】
一般式（５）中、Ｒ８およびＲ９はそれぞれ同じでも異なってもよく、水素原子あるいは炭素数１〜６のアルキル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。Ｒ１０は同じでも異なってもよく、炭素数３〜３０の３価の有機基を表す。Ｒ１１は同じでも異なってもよく、水素原子、またはケイ素原子を含まない炭素数１〜２０の１価の有機基を表す。βは１〜３の整数、γは０〜２の整数を表す。ただし、β＋γ＜４である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のシロキサン系樹脂組成物によれば、接着性に優れる硬化膜を形成することができる。本発明のシロキサン系樹脂組成物を用いて得られる硬化膜は、固体撮像素子やディスプレイ用光学フィルターなどの光学物品に好適に用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明のシロキサン系樹脂組成物は、特定の構造を有するイミドシラン化合物を用いるものであり、イミドシラン化合物の導入方法により次の２種の態様に分類できる。第一の態様は、（ａ）シロキサン系樹脂および（ｂ）前記一般式（４）で表されるイミドシラン化合物を含有するシロキサン系樹脂組成物である。後述する（ｂ）成分のイミドシラン化合物を含有することにより、得られる硬化膜の接着性を飛躍的に向上させることができる。第二の態様は、前記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される１種以上のアルコキシシラン化合物と前記一般式（５）で表されるイミドシラン化合物とを加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物であるシロキサン系樹脂を含有するシロキサン系樹脂組成物である。一般式（５）で表されるイミドシラン化合物を用いてシロキサン系樹脂を合成することにより、後述するイミドシラン化合物に由来する特定構造をシロキサン系樹脂に導入することができ、得られる硬化膜の接着性を飛躍的に向上させることができる。すなわち、一般式（４）または（５）で表されるイミドシラン化合物が、接着改良剤となる。なお、本発明においてシロキサン系樹脂とは、シロキサン樹脂および後述する粒子表面グラフトポリシロキサンの両方を指す。【００１５】
まず、（ａ）シロキサン系樹脂について説明する。【００１６】
本発明のシロキサン系樹脂組成物の第一の態様において、（ａ）シロキサン系樹脂は、連続したシロキサン結合を骨格とする樹脂であれば特に限定されない。一例として、（ａ−１）下記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される１種以上のアルコキシシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物であるシロキサン樹脂が挙げられる。【００１７】
Ｒ１Ｓｉ（ＯＲ２）３          （１）
一般式（１）中、Ｒ１は水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表す。アルキル基およびアルケニル基の炭素数は１〜４が好ましく、アリール基の炭素数は６〜１４が好ましい。また、置換体に導入される置換基としては、ハロゲン含有基、エポキシ含有基、アミノ含有基、（メタ）アクリロイル含有基、シアノ含有基、フルオレン含有基、ビニル基などが挙げられる。Ｒ２は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。ブチル基はｎ−ブチル基が好ましい。【００１８】
Ｒ３Ｒ４Ｓｉ（ＯＲ５）２        （２）
一般式（２）中、Ｒ３およびＲ４は、それぞれ水素、アルキル基、アルケニル基、アリール基またはそれらの置換体を表す。アルキル基およびアルケニル基の炭素数は１〜４が好ましく、アリール基の炭素数は６〜１４が好ましい。また、置換体に導入される置換基としては、ハロゲン含有基、エポキシ含有基、アミノ含有基、（メタ）アクリロイル含有基、ビニル基などが挙げられる。Ｒ５は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。ブチル基はｎ−ブチル基が好ましい。【００１９】
Ｓｉ（ＯＲ６）４              （３）
一般式（３）中、Ｒ６は同じでも異なってもよく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基またはブチル基を表す。メチル基またはエチル基が好ましい。【００２０】
一般式（１）で表される３官能性アルコキシシラン化合物としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリイソプロポキシシラン、ナフチルトリメトキシシラン、ナフチルトリエトキシシラン、ナフチルトリイソプロポキシシラン、アントラセニルトリメトキシシラン、アントラセニルトリエトキシシラン、アントラセニルトリイソプロポキシシラン、フェナントリルトリメトキシシラン、フェナントリルトリエトキシシラン、フェナントリルトリイソプロポキシシラン、ビフェニルトリメトキシシラン、ビフェニルトリエトキシシラン、ビフェニルトリイソプロポキシシラン、フルオレニルトリメトキシシラン、フルオレニルトリエトキシシラン、フルオレニルトリイソプロポキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−（Ｎ，Ｎ−ジグリシジル）アミノプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、β−シアノエチルトリエトキシシラン、グリシドキシメチルトリメトキシシラン、グリシドキシメチルトリエトキシシラン、α−グリシドキシエチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシエチルトリメトキシシラン、β−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、α−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、α−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリプロポキシシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリイソプロポキシシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリブトキシシラン、α−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、β−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリメトキシシラン、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリプロポキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリブトキシシ���ン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、３−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルトリメトキシシラン、３−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルトリエトキシシラン、４−（３，４−エポキシシクロヘキシル）ブチルトリメトキシシラン、４−（３，４−エポキシシクロヘキシル）ブチルトリエトキシシラン、トリフルオロメチルトリメトキシシラン、トリフルオロメチルトリエトキシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリエトキシシラン、パーフルオロプロピルエチルトリメトキシシラン、パーフルオロプロピルエチルトリエトキシシラン、パーフルオロペンチルエチルトリメトキシシラン、パーフルオロペンチルエチルトリエトキシシラン、トリデカフルオロオクチルトリメトキシシラン、トリデカフルオロオクチルトリエトキシシラン、トリデカフルオロオクチルトリプロポキシシラン、トリデカフルオロオクチルトリイソプロポキシシラン、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロデシルトリエトキシシランなどが挙げられる。これらのうち、得られる硬化膜の耐クラック性の観点から、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、およびフェニルトリエトキシシランが好ましい。【００２１】
一般式（２）で表される２官能性アルコキシシラン化合物としては、例えば、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、メチルビニルジメトキシシラン、メチルビニルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、グリシドキシメチルジメトキシシラン、グリシドキシメチルメチルジエトキシシラン、α−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、α−グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、β−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、β−グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、α−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、α−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジプロポキシシラン、β−グリシドキシプロピルメチルジブトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジ（メトキシエトキシ）シラン、γ−グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルエチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルビニルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルビニルジエトキシシラン、トリフルオロプロピルメチルジメトキシシラン、トリフルオロプロピルメチルジエトキシシラン、トリフルオロプロピルエチルジメトキシシラン、トリフルオロプロピルエチルジエトキシシラン、トリフルオロプロピルビニルジメトキシシラン、トリフルオロプロピルビニルジエトキシシラン、ヘプタデカフルオロデシルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジエトキシシラン、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、オクタデシルメチルジメトキシシランなどが挙げられる。これらのうち、得られる硬化膜に可とう性を付与させる目的には、ジメチルジアルコキシシランが好ましく用いられる。【００２２】
一般式（３）で表される４官能性アルコキシシラン化合物としては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシランなどが挙げられる。【００２３】
これら一般式（１）〜（３）のいずれかで表されるアルコキシシラン化合物は、単独で用いても、２種以上を組み合わせて用いてもよい。【００２４】
次に、本発明のシロキサン系樹脂組成物の第二の態様において、（ａ）シロキサン系樹脂は、（ａ−２）前記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される１種以上のアルコキシシラン化合物と下記一般式（５）で表されるイミドシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物である。前記アルコキシシラン化合物、イミドシラン化合物はいずれも２種以上組み合わせて用いてもよい。【００２５】
【化３】
2009096050.tif 000004
【００２６】
一般式（５）中、Ｒ８およびＲ９はそれぞれ同じでも異なってもよく、水素原子あるいは炭素数１〜６のアルキル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。Ｒ１０は同じでも異なってもよく、炭素数３〜３０の３価の有機基を表す。Ｒ１１は同じでも異なってもよく、水素原子、またはケイ素原子を含まない炭素数１〜２０の１価の有機基を表す。βは１〜３の整数、γは０〜２の整数を表す。ただし、β＋γ＜４である。【００２７】
一般式（５）で表されるイミドシラン化合物を用いて（ａ−２）反応生成物を合成することにより、得られる硬化膜の接着性を飛躍的に向上させることができる。一般式（５）で表されるイミドシラン化合物は、耐溶剤性、接着性、柔軟性に優れたイミド部位を有する。イミドシラン化合物のＳｉ−［ＯＲ９］β部分が、一般式（１）〜（３）のいずれかで表されるアルコキシシラン化合物との加水分解・縮合反応により反応生成物に取り込まれる。これにより、硬化膜の柔軟性と耐溶剤性が向上する。さらに、イミドシラン化合物がＳｉ−［ＯＲ９］β部分によりシロキサン骨格に取り込まれることから、イミド基中の窒素原子は硬化膜中で外側（基板上に硬化膜を有する構成においては基板側）を向くと考えられる。このため、窒素原子の孤立電子対と、シリコンなどの基板上に一般的に存在する水酸基とが効率良く水素結合などの相互作用をし、接着性が向上するものと考えられる。また、熱により閉環するアミド酸構造を有する化合物に比べて、イミド部位は硬化収縮が抑えられることから、本発明のシロキサン系樹脂組成物は、優れた平坦化特性を有する。【００２８】
上記一般式（５）中、Ｒ８およびＲ９の具体例としては、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、フェニル基などが挙げられる。また、これらの置換体として、アルコキシアルキル基、アルキルフェニル基、アルコキシフェニル基などが挙げられる。【００２９】
前記一般式（１）〜（３）のいずれかで表されるアルコキシシラン化合物との反応性の観点から、γは０が好ましい。また、接着性の観点から、β＋γ≦２が好ましい。【００３０】
上記一般式（５）中、Ｒ１０は同じでも異なってもよく、炭素数３〜３０の３価の有機基を表し、酸無水物含有シラン化合物における酸無水物の残基である。Ｒ１０を構成する酸無水物は、芳香族環または脂肪族環を含有することが好ましい。このような酸無水物の具体例としては、無水マレイン酸、無水フタル酸、メチル無水フタル酸、無水コハク酸、グルタル酸無水物、４−メチルシクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸無水物、シス−４−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水物、シス−１，２−シクロヘキサンジカルボン酸無水物、１，８−ナフタル酸無水物、メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸無水物、“リカシッド（登録商標）”ＨＮＡ（商品名、新日本理化（株）社製）、“リカシッド”ＨＮＡ−１００（商品名、新日本理化（株）社製）や、これら酸無水物の一部の水素原子を炭素数１〜１０の１価の有機基で置換したものを挙げることができる。炭素数１〜１０の１価の有機基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ペンチル基などのアルキル基、オキシメチル基、オキシエチル基、オキシｎ−プロピル基、オキシｎ−ブチル基、オキシｎ−ペンチル基などのオキシアルキル基などが挙げられる。なかでも、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基が、容易に作製できる点で好ましい。前記酸無水物のうち、無水フタル酸、無水コハク酸、グルタル酸無水物、４−メチルシクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸無水物、１，８−ナフタル酸無水物、５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、メチル無水フタル酸や、これらを炭素数１〜１０の１価の有機基で置換したものが好ましい。なかでも、無水フタル酸、無水コハク酸、グルタル酸無水物が、透明性、接着性の観点からより好ましい。【００３１】
上記一般式（５）中、Ｒ１１は同じでも異なってもよく、水素原子、またはケイ素原子を含まない炭素数１〜２０の１価の有機基を表す。有機基の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、シクロヘキシル基などのアルキル基、２−ヒドロキシエチル基などのヒドロキシアルキル基、フェニル基などのアリール基、メトキシフェニル基などのアルコキシアリール基、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基などのアルコキシル基などが挙げられる。合成の容易性からイソプロピル基、ｔ−ブチル基、シクロヘキシル基、メトキシ基またはエトキシ基が好ましい。また、接着性の観点から、水素原子や、メチロール基、エチロール基などのヒドロキシアルキル基、硬化時に分解して水素原子となるｉ−プロピル基、ｔ−ブチル基、フェニル基が好ましい。さらに好ましくは、水素原子、ｉ−プロピル基、ｔ−ブチル基である。【００３２】
一般式（５）で表されるイミドシラン化合物の具体例として、下に示す化合物や、一般式（４）で表されるイミドシラン化合物の例として後述する化合物を挙げることができる。【００３３】
【化４】
2009096050.tif 000005
【００３４】
本発明において、（ａ−２）の反応生成物に用いられる一般式（５）で表されるイミドシラン化合物量は、一般式（１）〜（３）のいずれかで表されるアルコキシシラン化合物と一般式（５）で表されるイミドシラン化合物の総量１００重量部に対して、５重量部以上が好ましく、硬化膜の接着性、耐クラック性や耐溶剤性がより向上する。さらに、１０重量部以上がより好ましく、硬化収縮率を低減し、耐クラック性をより向上させることができる。また、５０重量部以下が好ましく、硬化膜の透明性を高く保つことができる。【００３５】
本発明のシロキサン系樹脂組成物において、（ａ）シロキサン系樹脂が前記（ａ−１）の反応生成物である場合、シリコン化合物粒子、アルミニウム化合物粒子、スズ化合物粒子、チタン化合物粒子およびジルコニウム化合物粒子からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物粒子の存在下、前記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される１種以上のアルコキシシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物である粒子表面グラフトポリシロキサンであることが好ましい。また、前記（ａ−２）の反応生成物である場合、シリコン化合物粒子、アルミニウム化合物粒子、スズ化合物粒子、チタン化合物粒子およびジルコニウム化合物粒子からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物粒子の存在下、前記一般式（１）〜（３）のいずれかで表される１種以上のアルコキシシラン化合物と前記一般式（５）で表されるイミドシラン化合物とを加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物である粒子表面グラフトポリシロキサンであることが好ましい。これらの化合物粒子を含有させることにより、得られる塗膜および硬化膜の屈折率を容易に調整することができる。【００３６】
化合物粒子としては、シリコン、アルミニウム、スズ、チタンまたはジルコニウムの酸化物、硫化物、水酸化物などが挙げられる。目的とする塗膜、硬化膜の屈折率に応じて、化合物粒子を適宜選択すればよい。例えば、屈折率を１．６０〜１．８０の範囲にするためには、酸化ジルコニウム粒子、酸化スズ粒子、酸化チタン粒子およびこれらの複合粒子が好ましく用いられる。中でも、酸化チタン粒子および酸化ジルコニウム粒子は屈折率向上効果が高いため好ましく、酸化チタン粒子がより好ましい。一方、屈折率を１．６０未満にするためには、シリカ粒子、酸化アルミニウム粒子およびこれらの複合粒子が好ましく用いられる。中でも、シリカ粒子は屈折率をより低くすることができるため好ましい。これら化合物粒子を２種以上用いてもよい。また、アルコキシシラン化合物やイミドシラン化合物と反応しやすくするため、表面にアルコキシシラン化合物やイミドシラン化合物と反応し得る水酸基などの基を有する化合物粒子が好ましい。【００３７】
化合物粒子の数平均粒子径は、得られる硬化膜の耐クラック性の観点から１ｎｍ以上が好ましい。また、導波路用埋め込み材料として使用する場合、埋め込み性の観点から４０ｎｍ以下が好ましい。硬化膜の耐クラック性と透明性、埋め込み性を両立するためには、数平均粒子径は１ｎｍ〜３０ｎｍがより好ましい。ここで、化合物粒子の数平均粒子径は、ガス吸着法や動的光散乱法、Ｘ線小角散乱法、透過型電子顕微鏡や走査型電子顕微鏡により粒子径を直接測定する方法などに測定することができるが、本発明における数平均粒子径とは、動的光散乱法により測定した値をいう。【００３８】
シロキサン系樹脂組成物における化合物粒子の含有量は、（ａ−１）や（ａ−２）の反応生成物中５重量％以上が好ましく、１０重量％以上がより好ましい。また、９０重量％以下が好ましく、７０重量％以下がより好ましい。この範囲内であれば、透過率と耐クラック性のより良好な硬化膜を得ることができる。さらに、硬化収縮率を小さくするためには、（ａ−１）や（ａ−２）の反応生成物中２０重量％以上が好ましい。【００３９】
化合物粒子の例としては、市販されている金属化合物粒子としては、酸化スズ−酸化チタン複合粒子の“オプトレイク（登録商標）”ＴＲ−５０２、“オプトレイク”ＴＲ−５０４、“オプトレイク”ＴＲ−５２０、“オプトレイク”ＴＲ−５１３、酸化ケイ素−酸化チタン複合粒子の“オプトレイク”ＴＲ−５０３、“オプトレイク”ＴＲ−５２７、“オプトレイク”ＴＲ−５２８、“オプトレイク”ＴＲ−５２９、酸化チタン粒子の“オプトレイク”ＴＲ−５０５（以上、商品名、触媒化成工業（株）製）、酸化ジルコニウム粒子（（株）高純度化学研究所製）、酸化スズ−酸化ジルコニウム複合粒子（触媒化成工業（株）製）、酸化スズ粒子（（株）高純度化学研究所製）が挙げられる。また、シリコン化合物粒子としては、イソプロパノールを分散媒とした数平均粒子径１２ｎｍのＩＰＡ−ＳＴ、メチルイソブチルケトンを分散媒とした数平均粒子径１２ｎｍのＭＩＢＫ−ＳＴ、プロピレングリコールモノメチルエーテルを分散媒とした数平均粒子径１５ｎｍのＰＧＭ−ＳＴ（以上商品名、日産化学工業（株）製）、γ−ブチロラクトンを分散媒とした数平均粒子径１２ｎｍのオスカル１０１、プロピレングリコールモノメチルエーテルを分散媒とした数平均粒子径１６ｎｍのクォートロンＰＬ−２Ｌ−ＰＧＭＥ、γ−ブチロラクトンを分散媒とした数平均粒子径１７ｎｍのクォートロンＰＬ−２Ｌ−ＢＬ、ジアセトンアルコールを分散媒とした数平均粒子径１７ｎｍのクォートロンＰＬ−２Ｌ−ＤＡＡ、分散溶液が水である数平均粒子径１８〜２０ｎｍのクォートロンＰＬ−２Ｌ、ＧＰ−２Ｌ（以上商品名、扶桑化学工業（株）製）等が挙げられる。【００４０】
本発明に用いられる（ａ−１）や（ａ−２）は、前記アルコキシシラン化合物および必要によりイミドシラン化合物（以下、これらをあわせてシラン化合物とよぶ）を加水分解し、該加水分解物を縮合反応させて得られる反応生成物である。前記化合物粒子の存在下でシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合反応させることが好ましい。【００４１】
加水分解反応は、溶媒中、酸触媒により行うことが好ましい。具体的には、溶媒中、前記シラン化合物に酸触媒および水を１〜１８０分かけて添加した後、室温〜１１０℃で１〜１８０分反応させることが好ましい。このような条件で加水分解反応を行うことにより、急激な反応を抑制することができる。反応温度は、より好ましくは４０〜１０５℃である。【００４２】
また、加水分解反応によりシラノール化合物を得た後、５０℃以上、溶媒の沸点以下の温度で反応液を１〜１００時間加熱し、縮合反応を行うことが好ましい。また、反応生成物の重合度を上げるために、再加熱もしくは塩基触媒の添加を行ってもよい。【００４３】
加水分解における各種条件は、反応スケール、反応容器の大きさ、形状などを考慮して、例えば酸濃度、反応温度、反応時間などを設定することによって、目的とする用途に適した物性を得ることができる。【００４４】
加水分解反応に用いる酸触媒としては、塩酸、酢酸、蟻酸、硝酸、蓚酸、塩酸、硫酸、リン酸、ポリリン酸、多価カルボン酸あるいはその無水物、イオン交換樹脂などの酸触媒が挙げられる。特に蟻酸、酢酸またはリン酸を用いた酸性水溶液が好ましい。【００４５】
これら酸触媒の好ましい含有量は、加水分解反応時に使用される全シラン化合物１００重量部に対して、好ましくは、０．０５重量部以上、より好ましくは０．１重量部以上であり、好ましくは１０重量部以下、より好ましくは５重量部以下である。ここで、全シラン化合物量とは、シラン化合物、その加水分解物およびその縮合物の全てを含む量を指し、以下同じとする。酸触媒の量を０．０５重量部以上とすることでスムーズに加水分解が進行し、また１０重量部以下とすることで加水分解反応の制御が容易となる。【００４６】
溶媒は特に限定されないが、シロキサン系樹脂組成物の安定性、濡れ性、揮発性などを考慮して適宜選択する。溶媒は１種のみならず２種以上用いることも可能である。溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、イソブタノール、ｔ−ブタノール、ペンタノール、４−メチル−２−ペンタノール、３−メチル−２−ブタノール、３−メチル−３−メトキシ−１−ブタノール、ジアセトンアルコールなどのアルコール類；エチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコール類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｔ−ブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチルエーテルなどのエーテル類；メチルエチルケトン、アセチルアセトン、メチルプロピルケトン、メチルブチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジイソブチルケトン、シクロペンタノン、２−ヘプタノンなどのケトン類；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドなどのアミド類；エチルアセテート、プロピルアセテート、ブチルアセテート、イソブチルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチルなどのアセテート類；トルエン、キシレン、ヘキサン、シクロヘキサンなどの芳香族あるいは脂肪族炭化水素のほか、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルスルホキシドなどを挙げることができる。これらのうち、硬化膜の透過率、耐クラック性等の点で、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｔ−ブチルエーテル、γ−ブチロラクトン等が好ましく用いられる。また、加水分解反応終了後に、さらに溶媒を添加することにより、樹脂組成物として適切な濃度に調整することも好ましい。また、加水分解後に加熱および／または減圧下により生成アルコール等の全量あるいは一部を留出、除去し、その後好適な溶媒を添加してもよい。【００４７】
加水分解反応時に使用される溶媒の量は、全シラン化合物１００重量部に対して５０重量部以上が好ましく、８０重量部以上がより好ましい。また、５００重量部以下が好ましく、２００重量部以下がより好ましい。溶媒の量を５０重量部以上とすることでゲルの生成を抑制できる。また５００重量部以下とすることで加水分解反応が速やかに進行する。【００４８】
また、加水分解反応に用いる水は、イオン交換水が好ましい。水の量は任意に選択可能であるが、シラン化合物１モルに対して、１．０〜４．０モルの範囲が好ましい。【００４９】
次に、（ｂ）下記一般式（４）で表されるイミドシラン化合物について説明する。本発明のシロキサン系樹脂組成物の第一の態様において、このようなイミドシラン化合物を含有することにより、得られる硬化膜の接着性を飛躍的に向上させることができる。（ｂ）一般式（４）で表されるイミドシラン化合物は、耐溶剤性、接着性、柔軟性に優れたイミド部位を有する。シロキサン系樹脂組成物を硬化させる際に、Ｓｉ−［Ｒ７］α部分が（ａ）成分のシロキサン系樹脂により形成されるシロキサンマトリックスと反応し、イミド部位が有機結合により硬化膜に取り込まれるものと考えられる。これにより、硬化膜の柔軟性と耐溶剤性が向上する。さらに、イミドシラン化合物がＳｉ−［Ｒ７］α部分によりシロキサンマトリックスに取り込まれることから、イミド基中の窒素原子は硬化膜中で外側（基板上に硬化膜を有する構成においては基板側）を向くと考えられる。このため、窒素原子の孤立電子対と、シリコンなどの基板上に一般的に存在する水酸基とが効率良く水素結合などの相互作用をし、接着性が向上するものと考えられる。また、熱により閉環するアミド酸構造を有する化合物に比べて、イミド部位は硬化収縮が抑えられることから、本発明のシロキサン系樹脂組成物は、優れた平坦化特性を有する。本発明において、（ｂ）成分のイミドシラン化合物を２種以上含有してもよい。また、本発明のシロキサン系樹脂組成物の第二の態様においても、このような（ｂ）イミドシラン化合物を含有することが好ましい。【００５０】
【化５】
2009096050.tif 000006
【００５１】
一般式（４）中、Ｒ７は同じでも異なってもよく、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシル基、フェニル基、フェノキシ基またはそれらの置換体を表す。Ｒ１０は同じでも異なってもよく、炭素数３〜３０の３価の有機基を表す。Ｒ１１は同じでも異なってもよく、水素原子、またはケイ素原子を含まない炭素数１〜２０の１価の有機基を表す。αは１〜３の整数を表す。【００５２】
上記一般式（４）中、Ｒ７のアルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基が挙げられる。合成の容易性からメチル基またはエチル基が好ましい。また、アルコキシル基の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基が挙げられる。合成の容易性からメトキシ基またはエトキシ基が好ましい。また、これらの置換体の例としては、Ｒ８〜Ｒ９において置換体の例として挙げた基や、４−メチルフェノキシ基や４−エチルフェノキシ基などのアルキルフェノキシ基、４−メトキシフェノキシ基、４−エトキシフェノキシ基などのアルコキシフェノキシ基が挙げられる。【００５３】
上記一般式（４）中、Ｒ１０およびＲ１１は、一般式（５）において説明したとおりである。また、接着性の観点から、α≦２が好ましい。【００５４】
一般式（４）で表されるイミドシラン化合物としては、次に示す化合物を挙げることができる。【００５５】
【化６】
2009096050.tif 000007
【００５６】
【化７】
2009096050.tif 000008
【００５７】
【化８】
2009096050.tif 000009
【００５８】
一般式（４）または（５）で表されるイミドシラン化合物は、下記一般式（９）で表される一級アミン化合物と、一般式（１０）または（１１）で表される酸無水物含有シラン化合物から、公知のアミド酸を経由したイミド化法により、容易に得ることができる。【００５９】
【化９】
2009096050.tif 000010
【００６０】
一般式（９）中、Ｒ１１は水素原子、またはケイ素原子を含まない炭素数１〜２０の１価の有機基を表す。【００６１】
一般式（１０）〜（１１）中、Ｒ７は同じでも異なってもよく、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシル基、フェニル基、フェノキシ基またはそれらの置換体を表す。Ｒ８およびＲ９はそれぞれ同じでも異なってもよく、水素原子あるいは炭素数１〜６のアルキル基、フェニル基またはそれらの置換体を表す。Ｒ１０は同じでも異なってもよく、炭素数３〜３０の３価の有機基を表す。αは１〜３の整数を表す。βは１〜３の整数、γは０〜２の整数を表す。ただし、β＋γ＜４である。【００６２】
本発明のシロキサン系樹脂組成物の第一の態様において、（ｂ）一般式（４）で表されるイミドシラン化合物の含有量は、（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して０．１重量部以上が好ましく、硬化膜の接着性、耐クラック性や耐溶剤性をより向上させることができる。さらに、４重量部以上がより好ましく、硬化収縮率を低減し、耐クラック性をより向上させることができる。また、２０重量部以下が好ましく、硬化膜の透明性を高く保つことができる。【００６３】
本発明のシロキサン系樹脂組成物の第二の態様において、（ｂ）一般式（４）で表されるイミドシラン化合物を含有する場合、その含有量は、（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して０．１重量部以上が好ましく、硬化膜の接着性、耐クラック性や耐溶剤性をより向上させることができる。また、１０重量部以下が好ましく、硬化膜の透明性を高く保つことができる。また、（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して、一般式（５）で表されるイミドシラン化合物の残基および（ｂ）一般式（４）で表されるイミドシラン化合物の総量は１．１重量部以上が好ましく、接着性、耐クラック性や耐溶剤性をより向上させることができる。さらに、５重量部以上がより好ましく、硬化収縮率を低減し、耐クラック性をより向上させることができる。また、５０重量部以下が好ましく、硬化膜の透明性を高く保つことができる。【００６４】
本発明のシロキサン系樹脂組成物は、（ｃ）酸発生剤または塩基発生剤を含有することが好ましい。これにより硬化を促進し、１２０℃〜２００℃の温度範囲で硬化膜を形成することが可能となる。低温で硬化が終了するため、その後の高温熱処理における分子運動が小さく、硬化収縮が小さくなる。このため、熱ストレスを低減し、耐クラック性がより向上する。【００６５】
酸発生剤は、光により酸を発生する化合物（以下、光酸発生剤と呼ぶ）と、熱により酸を発生する化合物（以下、熱酸発生剤と呼ぶ）がある。また、塩基発生剤は、光により塩基を発生する化合物（以下、塩基発生剤と呼ぶ）と、熱により塩基を発生する化合物（以下、熱塩基発生剤と呼ぶ）がある。【００６６】
光酸発生剤としては、オニウム塩化合物、ハロゲン含有化合物、ジアゾケトン化合物、ジアゾメタン化合物、スルホン化合物、スルホン酸エステル化合物、スルホンイミド化合物などを例として挙げることができる。これらを２種以上用いてもよい。【００６７】
オニウム塩化合物の具体的な例としては、ジアゾニウム塩、アンモニウム塩、ヨードニウム塩、スルホニウム塩、ホスホニウム塩、オキソニウム塩などを挙げることができる。例えば、ジフェニルヨードニウムトリフレート、ジフェニルヨードニウムピレンスルホネート、ジフェニルヨードニウムドデシルベンゼンスルホネート、トリフェニルスルホニウムトリフレート（商品名「ＴＰＳ−１０５」みどり化学（株）製）、４−ｔ−ブチルフェニルジフェニルスルホニウムトリフレート（商品名「ＷＰＡＧ−３３９」和光純薬工業（株）製）、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフレート（商品名「ＷＰＡＧ−３７０」和光純薬工業（株）製）、トリフェニルスルホニウムノナフレート（商品名「ＴＰＳ−１０９」みどり化学（株）製）、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムナフタレンスルホネート、（ヒドロキシフェニル）ベンジルメチルスルホニウムトルエンスルホネートなどが挙げられる。【００６８】
ハロゲン含有化合物としては、１，１−ビス（４−クロロフェニル）−２，２，２−トリクロロエタン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ナフチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどが挙げられる。【００６９】
ジアゾケトン化合物としては、１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸と２，２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノンとのエステル、１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸と１，１，１−トリス（４−ヒドロキシフェニル）エタンとのエステルなどが挙げられる。【００７０】
ジアゾメタン化合物としては、ジアゾメタン、メチルスルホニル−ｐ−トルエンスルホニルジアゾメタン、シクロヘキシルスルホニル（１，１−ジメチルエチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（１，１−ジメチルエチルスルホニル）ジアゾメタン、フェニルスルホニル（ベンゾイル）ジアゾメタンなどが挙げられる。【００７１】
スルホン化合物としては、ベンゾイントシレート、ピロガロールトリメシレート、ニトロベンジル−９，１０−ジエトキシアントラセン−２−スルホネートなどが挙げられる。【００７２】
その他、５−ノルボルネン−２，３−ジカルボキシイミジルトリフレート（商品名「ＮＤＩ−１０５」みどり化学（株）製）、５−ノルボルネン−２，３−ジカルボキシイミジルナフタルイミジルブタンスルフォネート、５−ノルボルネン−２，３−ジカルボキシイミジルトシレート（商品名「ＮＤＩ−１０１」みどり化学（株）製）、４−メチルフェニルスルフォニルオキシイミノ−α−（４−メトキシフェニル）アセトニトリル（商品名「ＰＡＩ−１０１」みどり化学（株）製）、トリフルオロメチルスルフォニルオキシイミノ−α−（４−メトキシフェニル）アセトニトリル（商品名「ＰＡＩ−１０５」みどり化学（株）製）、９−カンファースルフォニルオキシイミノ  α−４−メトキシフェニルアセトニトリル（商品名「ＰＡＩ−１０６」みどり化学（株）製）、１，８−ナフタルイミジルブタンスルフォネート（商品名「ＮＡＩ−１００４」みどり化学（株）製）、１，８−ナフタルイミジルトシレート（商品名「ＮＡＩ−１０１」みどり化学（株）製）、１，８−ナフタルイミジルトリフレート（商品名「ＮＡＩ−１０５」みどり化学（株）製）、１，８−ナフタルイミジル  ノナフルオロブタンスルフォネート（商品名「ＮＡＩ−１０９」みどり化学（株）製）等を挙げることができる。【００７３】
光酸発生剤の含有量は通例、（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して１〜１０重量部であり、より好ましくは１〜７重量部である。１重量部以上であれば、１２０℃〜２００℃の温度範囲で硬化膜を形成する場合にも硬化促進効果が十分得られ、耐クラック性および耐溶剤性がより向上する。１０重量以下であれば、硬化膜の透明性を高く保つことができる。【００７４】
さらに、これらの光酸発生剤は、増感剤として、９，１０−二置換アントラセン系化合物と組み合わせて用いることが好ましい。９，１０−二置換アントラセン系化合物は光退色反応で着色を生じないため、硬化膜に残存した場合においても、高透明性を維持できる。【００７５】
９，１０−二置換アントラセン系化合物としては、９，１０−ジフェニルアントラセン、９，１０−ビス（４−メトキシフェニル）アントラセン、９，１０−ビス（トリフェニルシリル）アントラセン、９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジプロポキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、９，１０−ジペンタオキシアントラセン、２―ｔ−ブチル−９，１０−ジブトキシアントラセン、９，１０−ビス（トリメチルシリルエチニル）アントラセンなどが挙げられる。これらの中で、特に好ましいのは、９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジプロポキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセンである。これらの増感剤は２種以上用いてもよい。【００７６】
増感剤の含有量は通例、（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して０．０５〜５重量部であり、より好ましくは０．１〜３重量部である。０．０５重量部以上であれば、光による酸発生効率が向上し、１２０℃〜２００℃の温度範囲で硬化膜を形成する場合にも硬化促進効果が十分得られ、耐クラック性や耐溶剤性がより向上する。５重量部以下であれば、硬化膜の透明性を高く保つことができる。【００７７】
熱酸発生剤の具体的な例としては、ＳＩ−６０、ＳＩ−８０、ＳＩ−１００、ＳＩ−１１０、ＳＩ−１４５、ＳＩ−１５０、ＳＩ−６０Ｌ、ＳＩ−８０Ｌ、ＳＩ−１００Ｌ、ＳＩ−１１０Ｌ、ＳＩ−１４５Ｌ、ＳＩ−１５０Ｌ、ＳＩ−１６０Ｌ、ＳＩ−１８０Ｌ（いずれも三新化学工業（株）製）、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウム、ベンジル−４−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウム、２−メチルベンジル−４−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウム、２−メチルベンジル−４−アセチルフェニルメチルスルホニウム、２−メチルベンジル−４−ベンゾイルオキシフェニルメチルスルホニウム、これらのメタンスルホン酸塩、トリフルオロメタンスルホン酸塩、カンファースルホン酸塩、ｐ−トルエンスルホン酸塩が挙げられる。より好ましくは４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウム、ベンジル−４−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウム、２−メチルベンジル−４−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウム、２−メチルベンジル−４−アセチルフェニルメチルスルホニウム、２−メチルベンジル−４−ベンゾイルオキシフェニルメチルスルホニウム、これらのトリフルオロメタンスルホン酸塩、カンファースルホン酸塩、ｐ−トルエンスルホン酸塩である。なお、これらの化合物は２種以上組み合わせて使用してもよい。【００７８】
熱酸発生剤の含有量は通例、（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して０．０１〜１０重量部であり、より好ましくは０．０１〜５重量部である。０．０１重量部以上であれば、１２０℃〜２００℃の温度範囲で硬化膜を形成する場合にも硬化が十分進行し、耐クラック性や耐溶剤性がより向上する。１０重量部以下であれば、硬化膜の透明性を高く保つことができる。【００７９】
光塩基発生剤の好ましい例としては、プロピオニルアセトフェノンオキシム、プロピオニルベンゾフェノンオキシム、プロピオニルアセトンオキシム、ブチリルアセトフェノンオキシム、ブチリルベンゾフェノンオキシム、ブチリルアセトンオキシム、アジポイルアセトフェノンオキシム、アジポイルベンゾフェノンオキシム、アジポイルアセトンオキシム、アクロイルアセトフェノンオキシム、アクロイルベンゾフェノンオキシム、アクロイルアセトンオキシム、［［（２−ニトロベンジル）オキシ］カルボニル］シクロヘキシルアミン、ビス［［（２−ニトロベンジル）オキシ］カルボニル］ヘキサメチレンジアミン、ビス［［（α，α−ジメチル−３，５−ジメトキシベンジル）オキシ］カルボニル］ヘキサメチレンジアミンなどが挙げられる。これらを２種以上用いてもよい。【００８０】
光塩基発生剤の含有量は通例、（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して１〜１０重量部であり、より好ましくは１〜７重量部である。１重量部以上であれば、１２０℃〜２００℃の温度範囲で硬化膜を形成する場合にも硬化促進効果十分得られ、耐クラック性や耐溶剤性がより向上する。１０重量部以下であれば、硬化膜の透明性を高く保つことができる。【００８１】
また、増感剤として、前記光酸発生剤の増感剤として挙げたものを組み合わせて用いることが好ましい。増感剤の含有量は通例、（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して０．０５〜５重量部であり、より好ましくは０．１〜３重量部である。０．０５重量部以上であれば、１２０℃〜２００℃の温度範囲で硬化膜を形成する場合にも硬化促進効果が十分得られ、耐クラック性や耐溶剤性がより向上する。５重量部以下であれば、硬化膜の透明性を高く保つことができる。【００８２】
熱塩基発生剤の具体的な例としては、１−メチル−１−（４−ビフェニルイル）エチルカルバメート、１，１−ジメチル−２−シアノエチルカルバメートなどのカルバメート誘導体、尿素やＮ，Ｎ−ジメチル−Ｎ’−メチル尿素などの尿素誘導体、１，４−ジヒドロニコチンアミドなどのジヒドロピリジン誘導体、有機シランや有機ボランの四級化アンモニウム塩、ジシアンジアミドなどが挙げられる。これらを２種以上用いてもよい。これらのうち、１−メチル−１−（４−ビフェニルイル）エチルカルバメート、１，１−ジメチル−２−シアノエチルカルバメート、Ｎ，Ｎ−ジメチル−Ｎ’−メチル尿素、１，４−ジヒドロニコチンアミドが好ましい。【００８３】
熱塩基発生剤の含有量は通例、（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して０．０１〜１０重量部であり、より好ましくは０．０１〜５重量部である。０．０１重量部以上であれば、１２０℃〜２００℃の温度範囲で硬化膜を形成する場合にも硬化促進効果が十分得られ、耐クラック性や耐溶剤性がより向上する。１０重量部以下であれば、硬化膜の透明性を高く保つことができる。【００８４】
本発明のシロキサン系樹脂組成物は、固形分が適当な濃度となるよう溶媒を含んでもよい。具体的には、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｔ−ブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル等のエーテル類、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピルアセテート、ブチルアセテート、イソブチルアセテート、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル等のアセテート類、アセチルアセトン、メチルプロピルケトン、メチルブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、２−ヘプタノン等のケトン類、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、イソブチルアルコール、ペンタノール、４−メチル−２−ペンタノール、３−メチル−２−ブタノール、３−メチル−３−メトキシ−１−ブタノール、ジアセトンアルコール等のアルコール類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチルピロリジノン等が挙げられる。これらを２種以上用いてもかまわない。これらのうち、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｔ−ブチルエーテル、ジアセトンアルコール、γ−ブチロラクトン等が好ましい。【００８５】
本発明のシロキサン系樹脂組成物における全溶媒の含有量は、（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して１００〜９９００重量部が好ましく、より好ましくは１００〜５０００重量部である。【００８６】
本発明のシロキサン系樹脂組成物には、塗布時におけるフロー性や膜厚の均一性向上のために、各種界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤の種類に特に制限はなく、例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ポリアルキレンオキシド系界面活性剤、ポリ（メタ）アクリレート系界面活性剤などを用いることができる。これらを２種以上含有してもよい。フロー性や膜厚均一性の観点から、フッ素系界面活性剤が好ましい。【００８７】
フッ素系界面活性剤としては、“メガファック（登録商標）”Ｆ１７２（商品名、大日本インキ化学工業（株）製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（以上、商品名、裕商（株）製）、ＮＢＸ−１５、ＦＴＸ−２１８（以上、商品名、（株）ネオス製）がフロー性や膜厚均一性の観点から特に好ましい。【００８８】
シリコーン系界面活性剤の市販品としては、ＳＨ２８ＰＡ、ＳＨ７ＰＡ、ＳＨ２１ＰＡ、ＳＨ３０ＰＡ、ＳＴ９４ＰＡ（いずれも東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）、ＢＹＫ−３３３（ビックケミー・ジャパン（株）製）などが挙げられる。その他の界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンジステアレートなどが挙げられる。【００８９】
界面活性剤の含有量は、（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して、通常０．００１〜１０重量部である。【００９０】
本発明のシロキサン系樹脂組成物には、必要に応じて、粘度調整剤、安定化剤、着色剤、ガラス質形成剤などを含有することができる。【００９１】
また、本発明のシロキサン系樹脂組成物には、シロキサン系樹脂組成物の硬化を促進させる、あるいは硬化を容易ならしめる、（ｄ）下記一般式（６）または（７）で表される基を有するケイ素原子を有さない架橋性化合物、および／または下記一般式（８）で表される架橋性化合物を含有してもよい。このような架橋性化合物を含有することにより、本発明のシロキサン系樹脂組成物を硬化すると、マトリックス材料である（ａ）シロキサン系樹脂が強固に結合し、高いヒートサイクル性が得られ、耐クラック性に優れた硬化膜を形成することができる。これらを２種以上含有してもよい。【００９２】
【化１０】
2009096050.tif 000011
【００９３】
一般式（６）中、Ｒ１２は同じでも異なってもよく、水素原子または１価の有機基を示す。ｎは１〜４の整数を表す。一般式（７）中、Ｒ１３およびＲ１４は水素原子または１価の有機基を示す。Ｒ１２〜Ｒ１４の具体例としては水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などのアルキル基、フェニル基などのアリール基等が挙げられる。樹脂組成物の経時安定性と架橋性化合物の反応性の観点から、メチル基、エチル基が好ましい。一般式（８）中、Ｒ１５およびＲ１６はそれぞれ同じでも異なってもよく、炭素数１〜４のアルキル基、フェニル基またはそれらの置換体を示す。ただし、ｐ個のＲ１５およびＲ１６のうち少なくとも１つはフェニル基またはその置換体である。アルキル基またはフェニル基の置換体の置換基としては、ＣＦ３基、ＣＨ２ＣＦ３基、Ｃ２Ｈ４ＣＦ３基、Ｃ６Ｈ４ＣＨ３基、Ｃ６Ｈ４ｔ−Ｂｕ基などを挙げることができる。屈折率を向上させ、耐クラック性をより向上させる観点から、Ｒ１５およびＲ１６はメチル基またはフェニル基が好ましい。ｐは４以上２０以下の整数を示す。【００９４】
一般式（６）で表される基を有する、ケイ素原子を有さない架橋性化合物の具体例を示す。【００９５】
【化１１】
2009096050.tif 000012
【００９６】
【化１２】
2009096050.tif 000013
【００９７】
一般式（７）で表される基を有する、ケイ素原子を有さない架橋性化合物の具体例を示す。【００９８】
【化１３】
2009096050.tif 000014
【００９９】
上記の中でも、一般式（６）で表される基を有する２，２−ｄｉｍｅｔｈｏｘｙｍｅｔｈｙｌ−４−ｔ−ｂｕｔｙｌ  ｐｈｅｎｏｌ、２，２−ｄｉｍｅｔｈｏｘｙｍｅｔｈｙｌ−ｐ−ｃｒｅｓｏｌ、ＴＭＬ−ＢＰＡ、ＴＭＯＭ−ＢＰ、ＨＭＬ−ＴＰＨＡＰ、一般式（７）で表される基を有する “ＮＩＫＡＬＡＣ（登録商標）”ＭＸ−２８０、“ＮＩＫＡＬＡＣ”ＭＸ−２７０（以上、商品名、（株）三和ケミカル製）が耐クラック性の観点から好ましい。さらに、２８０℃以上の高温で硬化膜を形成する場合、硬化膜の透明性の観点からフェノール性水酸基を含まないものが好ましく、“ＮＩＫＡＬＡＣ”ＭＸ−２８０、“ＮＩＫＡＬＡＣ”ＭＸ−２７０が好ましい。【０１００】
以下に、一般式（８）で表される架橋性化合物の具体例を示す。このような架橋性化合物は、フェニル基を有するため、得られる組成物の屈折率を高く保ちながら透過率をより向上させることができる。また、かかる架橋性化合物を含有することにより、該化合物を縮合反応させた反応生成物を含有する場合と異なり、架橋性化合物が組成物の熱処理時に硬化反応することから、耐クラック性をより向上させることができる。【０１０１】
【化１４】
2009096050.tif 000015
【０１０２】
一般式（８）で表される架橋性化合物のうち、Ｒ１５およびＲ１６におけるフェニル基に対するアルキル基のモル比（アルキル基／フェニル基）が０〜１であると、透過率および耐クラック性をより向上させることができるため好ましい。具体的には、Ｓ−３、Ｓ−４、Ｓ−１１、Ｓ−１２、Ｓ−１３、Ｓ−１４、Ｓ−１５が好ましい。【０１０３】
一般式（６）または（７）で表される基を有する架橋性化合物は、ケイ素原子を有しない有機系化合物であり、含有量が少なくても耐クラック性向上効果が顕著に現れる。本発明において、これらの架橋性化合物の含有量は、シロキサン系樹脂組成物中の（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して、０．１重量部以上が好ましく、０．５重量部以上がより好ましい。また、２０重量部以下が好ましく、１０重量部以下がより好ましい。この範囲であれば、熱処理による架橋性化合物の酸化劣化を抑え、透過率および屈折率をより高いレベルで維持することができる。また、硬化収縮率を小さくするためには、３重量部以上が好ましい。【０１０４】
一方、一般式（８）で表される架橋性化合物は、ケイ素原子を有する化合物であり、一般式（６）または（７）で表される架橋性化合物に比べて多量に含有することが好ましい。具体的には、シロキサン系樹脂組成物中の（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して、１０重量部以上が好ましく、２０重量部以上がより好ましい。１０重量部以上含有することで、耐クラック性をより向上させることができる。また、硬化収縮率を小さくするためには３０重量部以上が好ましい。一方、５０重量部以下が好ましく、４０重量部以下がより好ましい。【０１０５】
上記架橋性化合物を併用する場合、これらの総含有量は、シロキサン系樹脂組成物中の（ａ）シロキサン系樹脂１００重量部に対して、１０重量部以上が好ましく、２０重量部以上がより好ましい。また、４０重量部以下がより好ましい。この場合、一般式（６）または（７）で表される架橋性化合物の含有量は、シロキサン系樹脂組成物中の固形分全量に対して、０．１重量％以上が好ましく、０．５重量％以上がより好ましい。また、２０重量％以下が好ましく、１０重量％以下がより好ましい。【０１０６】
本発明において、上記架橋性化合物を前記（ｃ）酸発生剤または塩基発生剤とともに含有する場合、これらの相乗効果により耐クラック性を大幅に向上させることができる。【０１０７】
次に、本発明のシロキサン系樹脂組成物の製造方法を説明する。（ａ）シロキサン系樹脂と、第一の態様においては（ｂ）イミドシラン化合物、および必要に応じて（ｃ）酸発生剤または塩基発生剤、架橋性化合物、界面活性剤等を混合することにより、本発明のシロキサン系樹脂組成物を得ることができる。この際、任意の溶媒で希釈してもよい。混合温度に特に制限はないが、操作の簡便さから５〜５０℃の範囲が好ましい。【０１０８】
本発明のシロキサン系樹脂組成物は、固体撮像素子用材料として好適に用いられる。例えば、屈折率が１．６０〜１．８０の場合は導波路用埋め込み平坦化膜材料として、屈折率が１．６未満の場合はカラーフィルターの平坦化膜材料として好適に用いられる。【０１０９】
本発明のシロキサン系樹脂組成物は、基材上に塗布して塗布膜を得、これを硬化させることにより硬化膜を形成することができる。塗布膜を硬化させる方法としては加熱が一般的であり、必要に応じて加熱により塗布膜を乾燥してもよい。【０１１０】
本発明におけるシロキサン系樹脂組成物の塗布方法としては、マイクログラビアコーティング、スピンコーティング、ディップコーティング、カーテンフローコーティング、ロールコーティング、スプレーコーティング、流し塗り法などを好ましく用いることができる。【０１１１】
加熱および乾燥条件は、適用される基材および樹脂組成物に応じて適宜選択されるが、通常は室温以上４００℃以下の温度で、０．５分間〜２４０分間の処理を行うことが好ましい。特に好ましい硬化温度は１００〜４００℃、さらに好ましくは１５０〜４００℃である。【０１１２】
塗布膜および硬化後の膜厚に特に制限はないが、ともに０．００１〜１００μｍの範囲にあるのが一般的である。【０１１３】
本発明のシロキサン系樹脂組成物により形成された塗膜および硬化膜は、固体撮像素子、液晶ディスプレイ等のディスプレイ用光学フィルター等の光学物品に好適に用いられる。より詳しくは、固体撮像素子の平坦化膜や導波路用埋め込み平坦化膜に用いることができる。また、光学フィルターの反射防止膜や反射防止板などの低屈折率層、高屈折率層およびハードコート層に用いることができる。
【実施例】
【０１１４】
以下、実施例および技術をあげて本発明を説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。なお、実施例中の樹脂組成物の評価は、以下の方法により行った。【０１１５】
（１）硬化膜の作製
６インチシリコンウエハ上または４０ｍｍ角ガラス基板上に、シロキサン系樹脂組成物をスピンコーター（ミカサ（株）製１Ｈ−３６０Ｓ）を用いて任意の回転数で塗布し、ついでホットプレート（大日本スクリーン製造（株）製ＳＣＷ−６３６）を用いて、空気雰囲気下で１２０℃で３分プリベークすることにより、膜厚２μｍの塗布膜を得た。【０１１６】
光酸発生剤または光塩基発生剤を含む樹脂組成物の場合は、得られた塗布膜を、露光機（キャノン（株）社製コンタクトアライナーＰＬＡ５０１Ｆ）を用いて紫外線強度約５ｍＷ／ｃｍ２（波長３６５ｎｍ換算）で３分間紫外線全波長全面露光（ブリーチング露光  主用波長：３６５ｎｍ、４０５ｎｍ、４３６ｎｍ）した。ついで、空気雰囲気下のホットプレート上で２５０℃で５分加熱した後、３００℃で５分加熱して硬化膜を得た。【０１１７】
光酸発生剤または光塩基発生剤を含まない樹脂組成物の場合は、得られた塗布膜を、空気雰囲気下のホットプレート上で２５０℃で５分加熱した後、３００℃で５分加熱して硬化膜を得た。【０１１８】
（２）屈折率および膜厚の測定
前記（１）に記載の方法で作製した６インチシリコンウエハ上の硬化膜について、プリズムカプラーＭＯＤＥＬ２０１０（Ｍｅｔｒｉｃｏｎ（株）製）を用いて、２３℃での６３３ｎｍ（Ｈｅ−Ｎｅレーザー使用）における膜面に対して垂直方向の屈折率（ＴＥ）および膜厚を測定した。【０１１９】
（３）透過率の測定
前記（１）に記載の方法で４０ｍｍ角ガラス基板上に作製した硬化膜について、紫外−可視分光光度計ＵＶ−２６０（島津製作所（株）製）を用いて、４００ｎｍの透過率を測定し、膜厚１．０μｍに換算して透過率を算出した。【０１２０】
（４）耐クラック性の評価
前記（１）に記載の方法で６インチシリコンウエハ上に作製した硬化膜について、以下の温度履歴でヒートサイクル試験を行い、各温度において光学顕微鏡でクラックの有無を観察した。加熱は空気雰囲気下のホットプレート上で行った。
ヒートサイクル試験の温度履歴
２５０℃５分→室温（２３℃）５分→２８０℃５分→室温（２３℃）５分→３００℃５分→室温（２３℃）５分→３２０℃５分→室温（２３℃）５分→３４０℃５分→室温（２３℃）５分→３６０℃５分→室温（２３℃）５分→３８０℃５分→室温（２３℃）５分→４００℃５分→室温（２３℃）５分→４２０℃５分→室温（２３℃）５分→４４０℃５分→室温（２３℃）５分→４６０℃５分→室温（２３℃）５分。【０１２１】
（５）接着性の評価
前記（１）に記載の方法で４０ｍｍ角ガラス基板上に作製した硬化膜について、ＪＩＳ  Ｋ５４００  ８．５．２（１９９０）碁盤目テープ法に準じて接着性を評価した。すなわち、硬化膜つき４０ｍｍ角ガラス基板上の薄膜表面に、カッターナイフでガラス板の素地に到達するように、直交する縦横１１本ずつの平行な直線を１ｍｍ間隔で引いて、１ｍｍ×１ｍｍのマス目を１００個作製した。切られた薄膜表面にセロハン粘着テープ（幅＝１８ｍｍ、粘着力＝３．７Ｎ／１０ｍｍ）を張り付け、消しゴム（ＪＩＳ  Ｓ６０５０合格品）で擦って密着させ、テープの一端を持ち、板に直角に保ち瞬間的に剥離した際のマス目の残存数を目視によって評価した。【０１２２】
（６）平坦化性能の評価
前記（１）記載の方法でシリコンウエハ上に作製した硬化膜について、キュア前後の硬化収縮率を算出した。この値が０〜１５％の場合、平坦化性能は良好といえる。硬化収縮率は以下の式に従って算出した。
硬化収縮率（％）＝（１−キュアで得られた硬化膜の膜厚÷塗布膜の膜厚）×１００  。【０１２３】
合成例１  イミドシラン化合物（ｉ）の合成
プロピレングリコールモノメチルエーテル４００ｇに３−トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物４１．９７ｇ（１６０ｍｍｏｌ）とｔ−ブチルアミン１１．７０ｇ（１６０ｍｍｏｌ）を加えて室温にて３０分撹拌した後、６０℃にて２時間撹拌した。その後、１４０℃まで昇温し、プロピレングリコールモノメチルエーテルと水を共沸させながら、６時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が２０重量％になるようにジアセトンアルコールで希釈して、下記構造で表されるイミドシラン化合物（ｉ）の溶液を得た。【０１２４】
【化１５】
2009096050.tif 000016
【０１２５】
合成例２  イミドシラン化合物（ii）の合成
ジアセトンアルコール４００ｇに２−トリメトキシシリルエチルフタル酸無水物２３．７１ｇ（８０ｍｍｏｌ）とモノエタノールアミン４．８９ｇ（８０ｍｍｏｌ）を加えて室温にて３０分間撹拌した後、６０℃にて２時間撹拌した。その後、１４０℃まで昇温し、プロピレングリコールモノメチルエーテルと水を共沸させながら、６時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が２０重量％になるようにジアセトンアルコールで希釈して、下記構造で表されるイミドシラン化合物（ii）の溶液を得た。【０１２６】
【化１６】
2009096050.tif 000017
【０１２７】
合成例３  イミドシラン化合物（iii）の合成
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４００ｇに３−トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物２０．９９ｇ（８０ｍｍｏｌ）とアニリン７．４５ｇ（８０ｍｍｏｌ）を加えて室温にて３０分間撹拌した後、６０℃にて２時間撹拌した。その後、１６０℃まで昇温し、プロピレングリコールモノメチルエーテルと水を共沸させながら、６時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が２０重量％になるようにジアセトンアルコールで希釈して、下記構造で表されるイミドシラン化合物（iii）の溶液を得た。【０１２８】
【化１７】
2009096050.tif 000018
【０１２９】
合成例４  イミドシラン化合物（iv）の合成
γ−ブチロラクトン４０ｇにイソシアネートプロピルトリメトキシシラン３２．８４ｇ（１６０ｍｍｏｌ）を加えて撹拌し溶解させた。フタル酸無水物２３．７０ｇ（１６０ｍｍｏｌ）を加えて室温にて３０分間撹拌した後、１４０℃にて２時間撹拌した。得られた溶液を固形分濃度が２０％重量になるようにγ−ブチロラクトンで希釈して、下記構造で表されるイミドシラン化合物（iv）の溶液を得た。【０１３０】
【化１８】
2009096050.tif 000019
【０１３１】
合成例５  イミドシラン化合物（ｖ）の合成
ジアセトンアルコール４００ｇにアミノプロピルトリエトキシシラン３５．４２ｇ（１６０ｍｍｏｌ）と、無水コハク酸１６．０１ｇ（１６０ｍｍｏｌ）を加えて室温にて３０分間撹拌した後、６０℃にて２時間撹拌した。その後、１６０℃まで昇温し、ジアセトンアルコールと水を共沸させながら、６時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が２０重量％になるようにジアセトンアルコールで希釈して、下記構造で表されるイミドシラン化合物（ｖ）の溶液を得た。【０１３２】
【化１９】
2009096050.tif 000020
【０１３３】
合成例６  芳香族ビスイミドオリゴマー（vi）の合成
撹拌機、還流冷却管、および窒素導入管を備えた容器に、無水フタル酸３２．５８ｇ（２２０ｍｍｏｌ）、γ−ピコリン１．３９ｇ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（以下ＮＭＰと略す）１３０．３ｇを添加し、ここに、１，３−ビス（３−アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン２４．８ｇ（１００ｍｍｏｌ）をＮＭＰ９９．４ｇに溶解したものを滴下し、窒素、窒素雰囲気下で２時間撹拌した。その後、無水酢酸４０．８ｇ（４００ｍｍｏｌ）を添加し、窒素雰囲気下で撹拌しながら７０℃まで加熱昇温し７０℃で４時間反応させた。反応終了後室温まで冷却し、２０００ｍｌの水に投入し、ビスイミド粉４３．２４ｇを得た。このビスイミド粉の赤外吸収スペクトルを測定したところ、１７２０ｃｍ−１、１７８０ｃｍ−１にイミド環の特性吸収が確認された。得られたビスイミド粉を、固形分濃度が２０重量％になるようにγ−ブチロラクトンに溶解して、下記構造で表される芳香族ビスイミドオリゴマー（vi）の溶液を得た。【０１３４】
【化２０】
2009096050.tif 000021
【０１３５】
合成例７  シリコーンポリイミド前駆体（vii）の合成
γ−ブチロラクトン４０ｇにアミノプロピルトリエトキシシラン３５．４２ｇ（１６０ｍｍｏｌ）を加えて撹拌し溶解させた。４，４’−オキシジフタル酸二無水物２４．８２ｇ（８０ｍｍｏｌ）を加えて室温にて３０分間撹拌した後、４０℃にて２時間撹拌した。得られた溶液を固形分濃度が２０重量％になるようにγ−ブチロラクトンで希釈して、下記構造で表されるシリコーンポリイミド前駆体（vii）の溶液を得た。【０１３６】
【化２１】
2009096050.tif 000022
【０１３７】
合成例８  イミドシラン化合物（viii）の合成
プロピレングリコールモノメチルエーテル４００ｇにジメトキシシリル−３，３’−ビス（プロピルコハク酸無水物）２９．８０ｇ（８０ｍｍｏｌ）とｔ−ブチルアミン１１．７０ｇ（１６０ｍｍｏｌ）を加えて室温にて３０分撹拌した後、６０℃にて２時間撹拌した。その後、１４０℃まで昇温し、プロピレングリコールモノメチルエーテルと水を共沸させながら、６時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が２０重量％になるようにジアセトンアルコールで希釈して、下記構造で表されるイミドシラン化合物（viii）の溶液を得た。【０１３８】
【化２２】
2009096050.tif 000023
【０１３９】
合成例９  イミドシラン化合物（ix）の合成
ジアセトンアルコール４００ｇにジメトキシシリル−２，２’−ビス（エチルフタル酸無水物）３５．２４ｇ（８０ｍｍｏｌ）とモノエタノールアミン９．７８ｇ（１６０ｍｍｏｌ）を加えて室温にて３０分間撹拌した後、６０℃にて２時間撹拌した。その後、１４０℃まで昇温し、プロピレングリコールモノメチルエーテルと水を共沸させながら、６時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が２０重量％になるようにジアセトンアルコールで希釈して、下記構造で表されるイミドシラン化合物（ix）の溶液を得た。【０１４０】
【化２３】
2009096050.tif 000024
【０１４１】
合成例１０  イミドシラン化合物（ｘ）の合成
プロピレングリコールモノメチルエーテル４００ｇにメトキシシリル−３，３’，３”−トリス（プロピルコハク酸無水物）２４．１３ｇ（５０ｍｍｏｌ）とｉ−プロピルアミン８．８７ｇ（１５０ｍｍｏｌ）を加えて室温にて３０分撹拌した後、６０℃にて２時間撹拌した。その後、１４０℃まで昇温し、プロピレングリコールモノメチルエーテルと水を共沸させながら、６時間反応させた。得られた溶液を固形分濃度が２０重量％になるようにジアセトンアルコールで希釈して、下記構造で表されるイミドシラン化合物（ｘ）の溶液を得た。【０１４２】
【化２４】
2009096050.tif 000025
【０１４３】
実施例１
メチルトリメトキシシラン  ２０．４ｇ（０．１５ｍｏｌ）、フェニルトリメトキシシラン  ６９．４ｇ（０．３５ｍｏｌ）、数平均粒子径１５ｎｍの“オプトレイク”ＴＲ−５２１（商品名、触媒化成工業（株）製  組成：酸化チタン粒子３０重量％、γ−ブチロラクトン７０重量％）７０．６ｇ、γ−ブチロラクトン  ４４．１ｇを反応容器に入れ、この溶液に、水３０．６ｇおよびリン酸０．４８ｇを、撹拌しながら、反応温度が４０℃を越えないように滴下した。滴下後、フラスコに蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温１０５℃で２．５時間加熱撹拌して加水分解により生成したメタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温１３０℃でさらに２時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ａ（固形分５５重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ａ１０ｇに、γ−ブチロラクトン１０ｇおよびイミドシラン化合物（ｉ）の溶液２．５ｇ（固形分０．５ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物１を得た。【０１４４】
得られたシロキサン系樹脂組成物１を用い、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１４５】
実施例２
メチルトリメトキシシラン  ８．２ｇ（０．０６ｍｏｌ）、フェニルトリメトキシシラン  ５５．５ｇ（０．２８ｍｏｌ）、ジメチルジメトキシシラン  ７．２ｇ（０．０６ｍｏｌ）、数平均粒子径１５ｎｍの“オプトレイク”ＴＲ−５２１  ７１．１ｇ、γ−ブチロラクトン  ２３．９ｇを反応容器に入れ、この溶液に、水３４．５ｇおよびリン酸１．０ｇを、撹拌しながら、反応温度が４０℃を越えないように滴下した。滴下後、フラスコに蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温１０５℃で２．５時間加熱撹拌して加水分解により生成したメタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温１３０℃でさらに２時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｂ（固形分４８重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｂ１０ｇに、γ−ブチロラクトン１０ｇ、架橋性化合物である“ニカラック”ＭＸ−２７０（三和ケミカル（株）製）０．２４ｇおよびイミドシラン化合物（ii）の溶液３．６ｇ（固形分０．７２ｇ）を加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物２を得た。【０１４６】
得られたシロキサン系樹脂組成物２を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１４７】
実施例３
ニカラックＭＸ−２７０を用いなかった他は実施例２と同様にしてシロキサン系樹脂組成物３を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物３を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１４８】
実施例４、
“オプトレイク”ＴＲ−５２１  ７１．１ｇの替わりに、数平均粒子径３０ｎｍの酸化ジルコニウム粒子のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート分散液（酸化ジルコニウム３０重量％、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７０重量％）７０．０ｇを用いた以外は実施例２と同様の操作を行い、ポリマー溶液Ｃ（固形分４６重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｃ１０ｇにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５ｇおよびイミドシラン化合物（ｉ）の溶液２．０５ｇ（固形分０．４１ｇ）を加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物４を得た。【０１４９】
得られたシロキサン系樹脂組成物４を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１５０】
実施例５
“オプトレイク”ＴＲ−５２１  ７１．１ｇの替わりに、数平均粒子径３０ｎｍの酸化アルミニウム粒子のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート分散液（酸化アルミニウム３０重量％、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７０重量％）４５．０ｇを用いた以外は実施例２と同様の操作を行い、ポリマー溶液Ｄ（固形分４０％重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｄ１０ｇに、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート２０ｇ、熱酸発生剤であるベンジル−４−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムトリフルオロメタンスルフォネート（ＢＨＰＭＴ）０．１２ｇおよびイミドシラン化合物（ｉ）の溶液１．８ｇ（固形分０．３６ｇ）を加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物５を得た。【０１５１】
得られたシロキサン系樹脂組成物５を用いて硬化膜を作製し前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１５２】
実施例６
ＢＨＰＭＴを用いなかった他は実施例５と同様にしてシロキサン系樹脂組成物６を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物６を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１５３】
実施例７
メチルトリメトキシシラン  ８．２ｇ（０．０６ｍｏｌ）、フェニルトリメトキシシラン  ５５．５ｇ（０．２８ｍｏｌ）、テトラエトキシシラン  ５．４ｇ（０．０２６ｍｏｌ）、“オプトレイク”ＴＲ−５２１  ５２．４ｇ、γ−ブチロラクトン２０．５ｇを反応容器に入れ、この溶液に、水３４．５ｇおよびリン酸１．０ｇを、撹拌しながら、反応温度が４０℃を越えないように滴下した。滴下後、フラスコに蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温１０５℃で２．５時間加熱撹拌して加水分解により生成したメタノールおよびエタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温１３０℃でさらに２時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｅ（固形分６０重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｅ２０ｇに、γ−ブチロラクトン４０ｇ、光酸発生剤である５−ノルボルネン−２，３−ジカルボキシイミジルトシレート（商品名ＮＤＩ−１０１、みどり化学（株）製）０．４８ｇ、増感剤である９，１０−ジブトキシアントラセン（ＤＢＡ）０．０３６ｇおよびイミドシラン化合物（ii）の溶液０．１２ｇ（固形分０．０２４ｇ）を加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物７を得た。【０１５４】
得られたシロキサン系樹脂組成物７を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１５５】
実施例８
ＮＤＩ−１０１およびＤＢＡを用いなかった他は実施例７と同様にしてシロキサン系樹脂組成物８を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物８を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１５６】
実施例９
メチルトリメトキシシラン  １２．３ｇ（０．１５ｍｏｌ）、フェニルトリメトキシシラン  ４１．６ｇ（０．３５ｍｏｌ）、数平均粒子径１５ｎｍの“オプトレイク”ＴＲ−５２７（商品名、触媒化成工業（株）製  組成：酸化チタン粒子２０重量％、メタノール８０重量％）１９３ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート９４．０ｇを反応容器に入れ、この溶液に、水１６．２ｇおよびリン酸０．２７ｇを、撹拌しながら、反応温度が４０℃を越えないように滴下した。滴下後、フラスコに蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温１０５℃で２．５時間加熱撹拌して加水分解により生成したメタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温１１５℃でさらに２時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｆ（固形分４４重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｆを２０ｇ取り、光塩基発生剤である［［（２−ニトロベンジル）オキシ］カルボニル］シクロヘキシルアミン（ＮＣＡ）０．３５２ｇ、イミドシラン化合物（i）の溶液３．９６ｇ（固形分０．７９２ｇ）、イミドシラン化合物（iii）の溶液３．９６ｇ（固形分０．７９２ｇ）、増感剤である９，１０−ジプロポキシアントラセン（ＤＰＡ）０．０４４ｇおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物９を得た。【０１５７】
得られたシロキサン系樹脂組成物９を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１５８】
実施例１０
ＮＣＡおよびＤＰＡを用いなかった他は実施例９と同様にしてシロキサン系樹脂組成物８を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物１０を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１５９】
実施例１１
実施例９で用いたポリマー溶液Ｆ２０ｇに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５ｇ、イミドシラン化合物（iii）の溶液１．７６ｇ（固形分０．３５２ｇ）、および架橋性化合物である２，２−ジメトキシメチル−４−ｔ−ブチルフェノール（商品名、ＤＭＯＭ−ＰＴＢＰ、本州化学工業（株）製）０．２６４ｇおよび熱酸発生剤である２−メチルベンジル−４−アセチルフェニルメチルスルホニウムトリフルオロメタンスルフォネート（ＭＢＡＰＭＴ）０．０８８ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物１１を得た。【０１６０】
得られたシロキサン系樹脂組成物１１を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１６１】
実施例１２
ＤＭＯＭ−ＰＴＢＰおよびＭＢＡＰＭＴを用いなかった他は実施例１１と同様してシロキサン系樹脂組成物１２を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物１２を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１６２】
実施例１３
実施例９で用いたポリマー溶液Ｆ２０ｇに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５ｇ、イミドシラン化合物（iii）の溶液１．７６ｇ（固形分０．３５２ｇ）、架橋性化合物であるＳ−３  ２．６４ｇおよび熱酸発生剤であるベンジル−４−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムトリフルオロメタンスルフォネート（ＢＨＰＭＴ）０．０１７６ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物１３を得た。【０１６３】
得られたシロキサン系樹脂組成物１３を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１６４】
実施例１４
Ｓ−３を用いなかった他は実施例１３と同様にしてシロキサン系樹脂組成物１４を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物１４を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１６５】
実施例１５
実施例９で用いたポリマー溶液Ｆ２０ｇに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５ｇ、イミドシラン化合物（iii）の溶液１．７６ｇ（固形分０．３５２ｇ）、架橋性化合物である“ニカラック”ＭＸ−２７０（三和ケミカル（株）製）０．８８ｇおよび熱塩基発生剤である１−メチル−１−（４−ビフェニルイル）エチルカルバメート（ＭＢＥＣ）０．１７６ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物１５を得た。【０１６６】
得られたシロキサン系樹脂組成物１５を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１６７】
実施例１６
ＭＢＥＣを用いなかった他は実施例１５と同様にしてシロキサン系樹脂組成物１６を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物１６を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１６８】
実施例１７
実施例９で用いたポリマー溶液Ｆ２０ｇに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５ｇ、イミドシラン化合物（iii）の溶液１．７６ｇ（固形分０．３５２ｇ）、架橋性化合物であるＴＭＬ−ＢＰＡ（本州化学工業（株）製）１．３２ｇおよび熱酸発生剤であるベンジル−４−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムトリフルオロメタンスルフォネート（ＢＨＰＭＴ）０．４４ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物１７を得た。【０１６９】
得られたシロキサン系樹脂組成物１７を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１７０】
実施例１８
メチルトリメトキシシラン  ２４．５ｇ（０．１８ｍｏｌ）、フェニルトリメトキシシラン  ８３．３ｇ（０．４２ｍｏｌ）、γ−ブチロラクトン１２４．０ｇを反応容器に入れ、撹拌しながら、水３８ｇおよびリン酸０．５７ｇを反応温度が３０℃を越えないように滴下した。滴下後、フラスコに蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温１０５℃で２．５時間加熱撹拌して加水分解により生成したメタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温１３０℃でさらに２時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｇ（固形分３２重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｇを１０．０ｇとり、これにイミドシラン化合物（ｉ）の溶液１．９２ｇ（固形分０．３８４ｇ）、およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して撹拌し、シロキサン系樹脂組成物１８を得た。【０１７１】
得られたシロキサン系樹脂組成物１８を用い、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１７２】
実施例１９
イミドシラン化合物（ｉ）の溶液を０．３２ｇ（固形分０．０６４ｇ）に変更した他は実施例１８と同様にしてシロキサン系樹脂組成物１９を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物１９を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１７３】
実施例２０
メチルトリメトキシシラン  １２．３ｇ（０．１５ｍｏｌ）、フェニルトリメトキシシラン  ４１．６ｇ（０．３５ｍｏｌ）、数平均粒子径２０ｎｍの シリカ粒子ジアセトンアルコール溶剤分散液“クォートロン”ＰＬ−２Ｌ−ＤＡＡ（商品名、扶桑化学工業（株）製：固形分２６．４重量％）を１４６．２１ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート９４．０ｇを反応容器に入れ、この溶液に、水１６．２ｇおよびリン酸０．２７ｇを、撹拌しながら、反応温度が４０℃を越えないように滴下した。滴下後、フラスコに蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温１０５℃で２．５時間加熱撹拌して加水分解により生成したメタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温１１５℃でさらに２時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｈ（固形分４４重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｈを２０ｇ取り、架橋性化合物であるＳ−１１（商品名、ＰＤＳ−９９３１（ゲレスト（株）製））３．５２ｇ、イミドシラン化合物（iii）の溶液２．２ｇ（固形分０．４４ｇ）、およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物２０を得た。【０１７４】
得られたシロキサン系樹脂組成物２０を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１７５】
実施例２１
Ｓ−１１を用いなかった他は実施例２０と同様にしてシロキサン系樹脂組成物２１を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物２１を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１７６】
実施例２２
トリフルオロプロピルトリメトキシシラン  １５２．６７ｇ（０．７モル）、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン  ７０．８９ｇ（０．３モル）をプロピレングリコールモノブチルエーテル（沸点１７０℃）２８０．２２ｇに溶解し、これに、水５４．０ｇ、リン酸１．１２ｇを撹拌しながら加えた。得られた溶液をバス温１０５℃で２時間加熱し、内温を９０℃まで上げて、主として副生するメタノールからなる成分を留出せしめた。次いでバス温１３０℃で４．０時間加熱し、内温を１１８℃まで上げて、主として水とプロピレングリコールモノブチルエーテルからなる成分を留出せしめた後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｉ（固形分濃度４５重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｉを２０ｇ取り、イミドシラン化合物（ｉ）の溶液０．９ｇ（固形分０．１８ｇ）、熱酸発生剤である２−メチルベンジル−４−アセチルフェニルメチルスルホニウムトリフルオロメタンスルフォネート（ＭＢＡＰＭＴ）０．１８ｇおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物２２を得た。【０１７７】
得られたシロキサン系樹脂組成物２２を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１７８】
実施例２３
ＭＢＡＰＭＴを用いなかった他は実施例２２と同様にしてシロキサン系樹脂組成物２３を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物２３を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１７９】
実施例２４
トリデカフルオロオクチルトリメトキシシラン  ２３４．０５ｇ（０．５モル）、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン  １２３．２ｇ（０．５モル）をプロピレングリコールモノメチルエーテル（沸点１２１℃）４７１．０９ｇに溶解し、これに、水６３．０ｇ、リン酸１．７９ｇを撹拌しながら加えた。得られた溶液をバス温１０５℃で２時間加熱し、内温を９０℃まで上げて、主として副生するメタノールからなる成分を留出せしめた。次いでバス温１１５℃で４．０時間加熱し、内温を１１８℃まで上げて、主として水とプロピレングリコールモノメチルエーテルからなる成分を留出せしめた後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｊ（固形分濃度４３重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｊを２０ｇ取り、イミドシラン化合物（ｉ）の溶液０．９ｇ（固形分０．１８ｇ）、架橋性化合物である“ニカラック”ＭＸ−２８０（三和ケミカル（株）製）０．１８ｇおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物２４を得た。【０１８０】
得られたシロキサン系樹脂組成物２４を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１８１】
実施例２５
トリフルオロプロピルトリメトキシシラン  ３２．７２ｇ（０．１５ｍｏｌ）、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン  ８２．７１ｇ（０．３５ｍｏｌ）、シリカ粒子ジアセトンアルコール溶剤分散液“クォートロン”ＰＬ−２Ｌ−ＤＡＡを１４６．２１ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート９４．０ｇを反応容器に入れ、この溶液に、水１６．２ｇおよびリン酸０．２７ｇを、撹拌しながら、反応温度が４０℃を越えないように滴下した。滴下後、フラスコに蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温１０５℃で２．５時間加熱撹拌して加水分解により生成したメタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温１１５℃でさらに２時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｋ（固形分４４重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｋを２０ｇ取り、イミドシラン化合物（ｉ）の溶液０．８８ｇ（固形分０．１７６ｇ）、光酸発生剤であるα−４−メトキシフェニルアセトニトリル（商品名、ＰＡＩ−１０６、みどり化学（株）製）０．１７６ｇおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物２５を得た。【０１８２】
得られたシロキサン系樹脂組成物２５を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１８３】
実施例２６
ＰＡＩ−１０６を用いなかった他は実施例２５と同様してシロキサン系樹脂組成物２６を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物２６を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１８４】
実施例２７
イミドシラン化合物（iii）の溶液を９．７ｇ（固形分１．９４ｇ）に変更した他は実施例１２と同様にしてシロキサン系樹脂組成物２７を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物２７を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１８５】
実施例２８
イミドシラン化合物（ｉ）の溶液を４．０ｇ（固形分０．８ｇ）に変更した他は実施例１８と同様にしてシロキサン系樹脂組成物２８を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物２８を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１８６】
実施例２９
イミドシラン化合物（ｉ）の溶液を０．０３６ｇ（固形分０．００７２ｇ）に変更した他は実施例２３と同様にしてシロキサン系樹脂組成物２９を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物２９を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１８７】
実施例３０
メチルトリメトキシシラン  ２０．４ｇ（０．１５ｍｏｌ）、フェニルトリメトキシシラン  ３９．６６ｇ（０．２０ｍｏｌ）、イミドシラン化合物（ｉ）の溶液２３８．０９ｇ（固形分４７．６２ｇ、０．１５ｍｏｌ）、数平均粒子径１５ｎｍの“オプトレイク”ＴＲ−５２１  ７０．６ｇ、γ−ブチロラクトン  ４４．１ｇを反応容器に入れ、この溶液に、水３０．６ｇおよびリン酸０．４８ｇを、撹拌しながら、反応温度が４０℃を越えないように滴下した。滴下後、フラスコに蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温１０５℃で２．５時間加熱撹拌して加水分解により生成したメタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温１３０℃でさらに２時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｌ（固形分５５重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｌ １０ｇに、γ−ブチロラクトン１０ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物３０を得た。【０１８８】
得られたシロキサン系樹脂組成物３０を用い、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１８９】
実施例３１
実施例３０で用いたポリマー溶液Ｌ １０ｇに、γ−ブチロラクトン１０ｇおよびイミドシラン化合物（ｉ）の溶液２．５ｇ（固形分０．５ｇ）を加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物３１を得た。【０１９０】
得られたシロキサン系樹脂組成物３１を用い、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１９１】
実施例３２
メチルトリメトキシシラン  ２４．５ｇ（０．１８ｍｏｌ）、フェニルトリメトキシシラン  ４３．６３ｇ（０．２２ｍｏｌ）、イミドシラン化合物（ii）の溶液３３９．４２ｇ（固形分６７．８８ｇ、０．２０ｍｏｌ）、γ−ブチロラクトン１２４．０ｇを反応容器に入れ、撹拌しながら、水３８ｇおよびリン酸０．５７ｇを反応温度が３０℃を越えないように滴下した。滴下後、フラスコに蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温１０５℃で２．５時間加熱撹拌して加水分解により生成したメタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温１３０℃でさらに２時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｍ（固形分３２重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｍを１０．０ｇとり、これにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して撹拌し、シロキサン系樹脂組成物３２を得た。【０１９２】
得られたシロキサン系樹脂組成物３２を用い、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１９３】
実施例３３
メチルトリメトキシシラン  ２４．５ｇ（０．１８ｍｏｌ）、フェニルトリメトキシシラン  ４３．６３ｇ（０．２２ｍｏｌ）、イミドシラン化合物（ii）の溶液３３９．４２ｇ（固形分６７．８８ｇ）（０．２０ｍｏｌ）、γ−ブチロラクトン１２４．０ｇを反応容器に入れ、撹拌しながら、水３８ｇおよびリン酸０．５７ｇを反応温度が３０℃を越えないように滴下した。滴下後、フラスコに蒸留装置を取り付け、得られた溶液をバス温１０５℃で２．５時間加熱撹拌して加水分解により生成したメタノールを留去しつつ反応させた。その後、溶液をバス温１３０℃でさらに２時間加熱撹拌した後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｍ（固形分３２重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｍを１０．０ｇとり、これにイミドシラン化合物（ｉ）の溶液１．９２ｇ（固形分０．３８４ｇ）およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して撹拌し、シロキサン系樹脂組成物３３を得た。【０１９４】
得られたシロキサン系樹脂組成物３３を用い、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１９５】
実施例３４
トリフルオロプロピルトリメトキシシラン  １５２．６７ｇ（０．７モル）、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン  ４７．２６ｇ（０．２モル）、イミドシラン化合物（ii）の溶液１３９．７１ｇ（固形分３３．９４ｇ、０．１ｍｏｌ）をプロピレングリコールモノブチルエーテル（沸点１７０℃）２８０．２２ｇに溶解し、これに、水５４．０ｇ、リン酸１．１２ｇを撹拌しながら加えた。得られた溶液をバス温１０５℃で２時間加熱し、内温を９０℃まで上げて、主として副生するメタノールからなる成分を留出せしめた。次いでバス温１３０℃で４．０時間加熱し、内温を１１８℃まで上げて、主として水とプロピレングリコールモノブチルエーテルからなる成分を留出せしめた後、室温まで冷却し、ポリマー溶液Ｎ（固形分濃度４５重量％）を得た。得られたポリマー溶液Ｎを２０ｇ取り、イミドシラン化合物（ｉ）の溶液０．９ｇ（固形分０．１８ｇ）、熱酸発生剤である２−メチルベンジル−４−アセチルフェニルメチルスルホニウムトリフルオロメタンスルフォネート（ＭＢＡＰＭＴ）０．１８ｇおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０ｇを加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物３４を得た。【０１９６】
得られたシロキサン系樹脂組成物３４を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１９７】
実施例３５
実施例１で用いた得られたポリマー溶液Ａ１０ｇに、γ−ブチロラクトン１０ｇおよびイミドシラン化合物（viii）の溶液２．５ｇ（固形分０．５ｇ）を加えて溶解し、シロキサン系樹脂組成物３５を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物３５を用い、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１９８】
実施例３６
イミドシラン化合物（viii）をイミドシラン化合物（ix）に変更した以外は実施例３５と同様にしてシロキサン系樹脂組成物３６を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物３６を用い、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０１９９】
実施例３７
イミドシラン化合物（viii）をイミドシラン化合物（ｘ）に変更した以外は実施例３５と同様にしてシロキサン系樹脂組成物３７を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物３７を用い、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２００】
実施例３８
実施例３３で用いたポリマー溶液Ｍを１０．０ｇとり、これにイミドシラン化合物（viii）の溶液１．９２ｇ（固形分０．３８４ｇ）、およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して撹拌し、シロキサン系樹脂組成物３８を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物３８を用い、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２０１】
実施例３９
実施例３３で用いたポリマー溶液Ｍを１０．０ｇとり、これにイミドシラン化合物（ｘ）の溶液１．９２ｇ（固形分０．３８４ｇ）、およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して撹拌し、シロキサン系樹脂組成物３９を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物３９を用い、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２０２】
比較例１
イミドシラン化合物（ｉ）を用いなかった他は実施例１と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ１を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ１を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２０３】
比較例２
イミドシラン化合物（ｉ）を用いなかった他は実施例４と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ２を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ２を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２０４】
比較例３
イミドシラン化合物（ｉ）を用いなかった他は実施例５と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ３を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ３を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２０５】
比較例４
イミドシラン化合物（ii）を用いなかった他は実施例７と同様してシロキサン系樹脂組成物Ａ４を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ４を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２０６】
比較例５
イミドシラン化合物（iii）を用いなかった他は実施例１５と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ５を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ５を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２０７】
比較例６
イミドシラン化合物（ｉ）を用いなかった他は実施例１８と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ６を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ６を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２０８】
比較例７
イミドシラン化合物（ｉ）を用いなかった他は実施例２２と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ７を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ７を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２０９】
比較例８
イミドシラン化合物（ｉ）を用いなかった他は実施例２４と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ８を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ８を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２１０】
比較例９
イミドシラン化合物（ｉ）を用いなかった他は実施例２５と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ９を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ９を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２１１】
比較例１０
イミドシラン化合物（ｉ）をイミドシラン（iv）に変更した他は実施例１と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ１０を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ１０を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２１２】
比較例１１
イミドシラン化合物（iii）をイミドシラン（ｖ）に変更した他は実施例１１と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ１１を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ１１を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２１３】
比較例１２      
イミドシラン化合物（ｉ）を芳香族ビスイミドオリゴマー（vi）に変更した他は実施例１８と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ１２を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ１２を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２１４】
比較例１３
イミドシラン化合物（ｉ）をシリコーンポリイミド前駆体（vii）に変更した他は実施例２５と同様にしてシロキサン系樹脂組成物Ａ１３を得た。得られたシロキサン系樹脂組成物Ａ１３を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２１５】
比較例１４
冷却管と撹拌装置を装着した２Ｌのセパラブルフラスコに、ｍ−クレゾール１７２．８ｇ（１．６ｍｏｌ）、２．３−ジメチルフェノール３６．６ｇ（０．３モル）、３．４−ジメチルフェノール１２．２ｇ（０．１ｍｏｌ）、３７重量％ホルムアルデヒド水溶液１２．６ｇ（ホルムアルデヒド：１．５ｍｏｌ）、シュウ酸２水和物１２．６ｇ（０．１ｍｏｌ）及びメチルイソブチルケトン５５４ｇを加え、３０分撹拌した後、１時間静置した。２層に分離した上層をデカンテーションによって除去し、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル（ＨＰＥ）を加え、残存メチルイソブチルケトン、水を減圧濃縮によって除去し、ＨＰＥ樹脂溶液を得た。得られたＨＰＥ樹脂溶液にさらにＨＰＥを加えてノボラック樹脂溶液（固形分４３重量％）を得た。得られたノボラック樹脂溶液を２０ｇ取り、イミドシラン化合物（ｉ）０．７７ｇ、光酸発生剤であるα−４−メトキシフェニルアセトニトリル（商品名、ＰＡＩ−１０６、みどり化学（株）製）０．１７２ｇおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０ｇを加えて溶解し、ノボラック系樹脂組成物Ｂ１を得た。【０２１６】
得られたノボラック系樹脂組成物Ｂ１を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２１７】
比較例１５
２，２’−アゾビス（２,４−ジメチルバレロニトリル）５ｇ、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル（ＥＤＭ）２００ｇを５００ｍＬの三口フラスコに仕込んだ。引き続きスチレン２５ｇ、メタクリル酸２０ｇ、メタクリル酸グリシジル４５ｇ、トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン−８−イルメタクリレート１０ｇを仕込み、室温で３０分間撹拌した後、フラスコ内を窒素置換した。その後、フラスコを７０℃のオイルバスに浸けて、５時間加熱撹拌した。得られたＥＤＭ樹脂溶液に、さらにＥＤＭを加えてアクリル樹脂溶液（固形分４３重量％）を得た。なお、得られたアクリルポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は１５０００であった。得られたアクリル樹脂溶液を２０ｇ取り、イミドシラン化合物（ii）０．７７ｇ、架橋性化合物“ニカラック”ＭＸ−２７０  ０．２５８ｇ、およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０ｇを加えて溶解し、アクリル系樹脂組成物Ｂ２を得た。【０２１８】
得られたアクリル系樹脂組成物Ｂ２を用いて硬化膜を作製し、前記方法で屈折率、透過率、耐クラック性、接着性、平坦化性能について評価を行った。【０２１９】
実施例１〜３９および比較例１〜１５の組成を表１〜４に、評価結果を表５〜６に示す。【０２２０】
【表１】
2009096050.tif 000026
【０２２１】
【表２】
2009096050.tif 000027
【０２２２】
【表３】
2009096050.tif 000028
【０２２３】
【表４】
2009096050.tif 000029
【０２２４】
【表５】
2009096050.tif 000030
【０２２５】
【表６】
2009096050.tif 000031
【産業上の利用可能性】
【０２２６】
本発明のシロキサン系樹脂組成物により形成された硬化膜は、固体撮像素子、液晶ディスプレイ等のディスプレイ用光学フィルター等の光学物品に好適に用いられる。より詳しくは、固体撮像素子の平坦化膜や導波路用埋め込み平坦化膜に用いることができる。また、光学フィルターの反射防止膜や反射防止板などの低屈折率層、高屈折率層およびハードコート層に用いることができる。
【国際調査報告】
2009096050.tif 000036
2009096050.tif 000037
2009096050.tif 000038
2009096050.tif 000039