(57)【要約】  エッチング倍率が高く、かつ、固体電解質を含浸した場合でも高い静電容量を得ることができる電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板を製造するにあたって、アルミニウム純度が99.98質量%以上のアルミニウム板に対して、交流による電気化学的エッチングを行い、エッチング部位（３）の嵩比重が0.6〜1.2である電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板（１）を得る。エッチング部位（３）は、表面から20μmより深い位置の平面断面を画像解析装置で測定したとき、各測定面において、円形に換算したときのピット径で0.01〜1μmφのピット数が当該測定面内における全ピット数の70%以上存在しており、エッチング倍率が高く、かつ、固体電解質を含浸した場合でも高い静電容量を得ることができる。
2009063532.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム板に対して交流による電気化学的エッチングを施して拡面化してなる電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板において、
エッチング部位の嵩比重が0.6〜1.2であることを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【請求項２】
前記エッチング部位の厚さが100μm以上であることを特徴とする請求項１に記載の電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【請求項３】
前記エッチング部位の厚さが120m以上であることを特徴とする請求項１に記載の電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【請求項４】
電解質として機能性高分子が用いられるアルミニウム電解コンデンサの陽極として用いられることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【請求項５】
前記電気化学的エッチングが施された面に誘電体膜が形成され、当該誘電体膜上に機能性高分子層が形成されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルミニウム板をエッチングしてなる電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータや情報機器などの電子機器のデジタル化、高周波化が進むにつれて、電解コンデンサには、低背化、低インピーダンス化、低ＥＳＲに加えて、低ＥＳＬ化、高容量化が求められている。それらに対応すべく電解コンデンサの開発が進められているが、電解コンデンサの低インピーダンス化や低ＥＳＲ化は、機能性高分子などの固体電解質や、エッチング部位に固体電解質を充填（含浸）する技術に負うところが大きい。このため、従来は、例えば、厚さが70〜120μmのアルミニウム箔に対して約30〜35μm程度の深さにエッチングしたものが用いられており、かかる深さであれば、従来の固体電解質や含浸技術でも、含浸性については大きな問題が発生していない。【０００３】
しかしながら、厚さが70〜120μmのアルミニウム箔に対して約30〜35μm程度の深さにエッチングした電極箔では、十分な静電容量が得られない。このため、電解コンデンサを製作する際、電極箔を複数枚、積層して用いており、その結果、製造コストが増大するとともに、電解コンデンサの厚さ寸法が増大し、低背化を図ることができない。【０００４】
そこで、アルミニウム箔を厚くするとともに深くまでエッチングを行なうことにより、静電容量を高め、電極箔の積層枚数を低減することが提案されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−１５０７０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の方法でアルミニウム箔を厚くするとともにエッチング部位を深くすると、エッチング部位に固体電解質が十分に含浸されず、エッチング倍率が高くても十分な静電容量を得ることができないという問題点がある。また、エッチング部位に固体電解質が十分に充填されないと、ＥＳＲが増大するなどの問題点もある。【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の目的は、エッチング倍率が高く、かつ、固体電解質を含浸した場合でも高い静電容量を得ることができる電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願発明者らは、エッチング倍率が十分高く、かつ、含浸率が十分高いという条件を的確に規定できるパラメータとしてエッチング部位の体積重量に着目し、かかる値を所定の範囲に設定することにより、固体電解質を含浸した場合でも高い静電容量を得ることができる電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板を提供する。本明細書において、「アルミニウムエッチド板」は150μm以上の厚さのものをいう。【０００８】
すなわち、本発明では、アルミニウム板を交流による電気化学的エッチングして拡面化してなる電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板において、エッチング部位の嵩比重が0.6〜1.2であることを特徴とする。【０００９】
本発明では、アルミニウム板を交流により電気化学的エッチングすることにより、エッチングにより、1平方ミリメートルあたり、数千〜数十万の海綿状のピットを穿孔した際、エッチング部位の嵩比重を0.6〜1.2としたため、十分な表面積を有し、かつ、固体電解質の含浸性がよいので、固体電解質を含浸した場合でも高い静電容量を得ることができる。【００１０】
固体電解質を含浸した場合の静電容量は、以下の理由から、エッチング倍率だけでは十分に規定できない。エッチング倍率は、電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板を陽極酸化した後、アジピン酸アンモニウム水溶液中で静電容量を測定することにより求めることができる。但し、電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板を陽極酸化した後、固体電解質を含浸した後の静電容量（電解コンデンサに用いた状態での静電容量）は、エッチング倍率と固体電解質の含浸性とによって支配され、概ね、以下の値
エッチング倍率×固体電解質の含浸性（含浸率）
に比例する。含浸率は、容量出現率とも称せられ、アジピン酸アンモニウム水溶液中で測定した静電容量が、固体電解質を含浸した状態でどのレベルまで出現するかを示す。【００１１】
一般に、エッチング電気量が少ない場合、エッチングが浅い分、固体電解質が充填されやすいが、エッチング倍率が低い。これに対して、エッチング電気量が多い場合には、エッチングが深くなる分、エッチング倍率が高くなる一方、固体電解質が奥まで充填されにくくなるので、含浸率が低下する傾向にある。従って、固体電解質を含浸した後の静電容量は、含浸性が高くてもエッチング倍率が低い場合には、固体電解質を含浸した後、高い静電容量を得ることができず、エッチング倍率が高くても含浸率が低い場合にも、高い静電容量を得ることができないことになる。【００１２】
また、エッチングの電気量や、アルミニウム板の状態からのエッチング減量で規定した場合には、エッチング部位の三次元的な形状を十分規定できず、固体電解質を含浸した後の静電容量を十分制御できない。例えば、細かいピットが多数形成された場合には、エッチング倍率が高くなるが、固体電解質が奥まで充填されにくくなるので、含浸率が低下する結果、固体電解質を含浸した後、高い静電容量を得ることができない。これに対して、大きなピットが多く形成された場合には、固体電解質が充填されやすいが、エッチング倍率が低いので、固体電解質を含浸した後、高い静電容量を得ることができない。【００１３】
しかるに本発明では、エッチング部位の嵩比重によって規定したため、エッチング部位の三次元的な形状を確実に規定でき、固体電解質を含浸した後の静電容量を確実に制御できる。【００１４】
ここで、エッチング部位の嵩比重と、エッチング倍率、含浸率および固体電解質を含浸した場合の静電容量の関係を各々、図１に点線Ｌ１、一点鎖線Ｌ２および実線Ｌ３で示す。この図から分るように、エッチング部位の嵩比重が増大するほど、エッチング倍率が上昇するが（点線Ｌ１参照）、含浸率が低下するため（一点鎖線Ｌ２参照）、固体電解質を含浸した場合の静電容量は、実線Ｌ３で示すように変化する。すなわち、エッチング部位の嵩比重が0.6未満では、固体電解質が充填されやすいが、エッチング倍率が低く、エッチング部位の嵩比重が1.2を超えると、エッチング倍率が高いが、固体電解質が奥まで充填されにくくなる。それ故、エッチング部位の嵩比重が0.6〜1.2であることが重要である。【００１５】
本発明において、前記エッチング部位の厚さ（深さ）が100μm以上、好ましくは120μm以上であることが好ましい。かかる構成によれば、エッチング倍率が高く、かつ、固体電解質が奥まで充填されやすいエッチング部位が深くまで存在するので、固体電解質を含浸した後の静電容量が高い。【００１６】
本発明を適用した電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板は、電解質として機能性高分子が用いられるアルミニウム電解コンデンサの陽極として用いられる。すなわち、本発明を適用した電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板は、表面に誘電体膜が形成され、当該誘電体膜上に機能性高分子層が形成されて、電解コンデンサに用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明を適用した電解コンデンサ電極用アルミニウムエッチド板におけるエッチング部位の体積重量と、エッチング倍率、含浸率および固体電解質を含浸した場合の静電容量の関係を示す説明図である。
【図２】本発明を適用した電解コンデンサ電極用アルミニウムエッチド板の断面写真を表す図である。
【図３】本発明を適用した電解コンデンサ電極用アルミニウムエッチド板を用いて電解コンデンサを製作するときの説明図である。
【符号の説明】
【００１８】
１  電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板
２  芯部
３  エッチング部位
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態として、本発明を適用した電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板の構成および製造方法を説明する。【００２０】
本発明では、アルミニウム板を交流による電気化学的エッチングして拡面化してなる電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板において、エッチング部位の嵩比重が0.6〜1.2であることを特徴とする。また、エッチング部位の厚さが100μm以上、より好ましくは120μm以上であることが好ましい。【００２１】
本形態に係る電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板は、アルミニウム純度が99.98質量%以上からなるアルミニウム板をエッチングしてなる。このような純度のアルミニウム板を用いることによって、靭性が高く、電解コンデンサを製造する際の取り扱いが容易となる。アルミニウム純度が下限値未満であると、硬度が増して靭性が低下し、取り扱い中に割れ等の損傷が生じる虞があり、好ましくない。【００２２】
エッチング処理に供されるアルミニウム板の厚さは目的によって種々の厚さとすればよいが、例えば、150μm乃至1mm、通常は300〜400μmのものが用いられる。そして、アルミニウム板に一次電解処理として低濃度塩酸水溶液で交流エッチングを施す。前処理としてアルミニウム板を脱脂洗浄や軽度のエッチングにより、表面酸化膜の除去を施すと好ましい。【００２３】
一次電解処理で電解液として用いる低濃度塩酸水溶液は、例えば、割合として1.5〜2.5モル/リッタの塩酸と0.05〜0.5モル/リッタの硫酸とを含有する水溶液であり、下記条件、即ち、液温度は40〜55℃、周波数は10〜25Hz、交流波形は正弦波形、矩形波形、交直重畳波形等、電流密度は40〜50A/dm2、処理時間30〜60秒の条件でエッチング処理し、アルミニウム板表面に多数のピットを穿孔する。【００２４】
一次電解処理を施した後に主電解処理を施して海綿状に穿孔しエッチングを進行させる。この主電解処理で用いる電解液は、例えば、割合として4〜6モル/リッタの塩酸と0.05〜0.5モル/リッタ硫酸を含有する水溶液中で、下記条件、即ち、液温度は一次処理より低い20〜35℃、周波数は30〜60Hz、交流波形は正弦波形、矩形波形、交直重畳波形等、電流密度は一次電解処理より低い20〜30A/dm2、処理時間は所定のエッチング部位厚さまで処理できる時間に設定し、一次電解処理で穿孔したピットを更に穿孔する。このような方法を採用すれば、アルミニウム板表面のピット形成に寄与しない溶解を少なくして、特定サイズの径のピットを多数穿孔した海綿状のエッチング部位を深くまで形成することができる。【００２５】
一次電解処理を行った後、主電解処理を行う前に主電解処理が確実に進行するように交直重畳波形を用い、一次電解処理で穿孔したピット表面を活性化させてから主電解処理に移行させてもよい。かかる処理では、デューティー比が約0.7〜0.9で、電流密度が12〜17A/dm2の条件で60秒程度、エッチング処理する。このような電解エッチング方法を用いれば厚さ70μm以上、好ましくは100μm以上の海綿状のエッチング部位を形成することができる。【００２６】
ここで、エッチング部位の嵩比重を0.6〜1.2とすると、以下のピットの径や数を有するエッチング部位が形成される。ピットの径や数は画像解析装置で測定できる。即ち、エッチングされた表面を深さ方向に所定の間隔毎に研磨した後、各研磨面の孔径と数を画像解析装置で測定し、0.01〜1μmφのピット数の占める割合を算出することによって、各層における特定サイズ径のピットの占める割合を測定でき、本発明では、エッチング部位に対して一様に、特定サイズ径のピットが数多く穿孔されていることが判定できる。即ち、少なくとも片面が表面から深さ方向で70μm以上、100m以上、さらには120μm以上のエッチング部位を有し、平面断面において画像解析装置で測定して0.01〜1μmφのピット数が各面における全ピット数の70%以上、好ましくは75%以上存在する電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板を始めて得ることができ、このような電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板を用いれば、ESRの低い電解コンデンサを実現することができる。0.001μmφ未満のピットは静電容量の向上に寄与しないから、画像解析装置で測定する径は0.001μmφ以上とする。【００２７】
エッチング部位の厚さに関しては、少なくとも片面で、好ましくは両面の各々の面で、表面から深さ方向に70μm以上、好ましくは100μm以上、さらに好ましくは120μm以上のエッチング部位が形成されていることが好ましく、エッチング部位の厚さが上記の値未満である場合、静電容量を考慮すると、積層数を増やす必要があり電解コンデンサの小型化が期待できない。【００２８】
ピット径が1μmφを超えたピットが多数存在すると静電容量を低下させる。好ましくは0.1μmφ以下である。このようなサイズのピットの存在量は各面における全ピット数の70%以上、好ましくは75%以上存在することによって、ESRの低い電解コンデンサを製作できる。更に好ましくは80%以上である。【００２９】
特定サイズのピットの測定位置は、表面近くは電解エッチング時に表面積拡大に寄与しない溶解があり、ピットとピットを連結させピット径を徒に大きくするので、表面から20μmより深い位置とする。また、エッチング部位と芯部との境界面は凹凸があって一定しないので、エッチング深さを定めた位置（エッチング部位と芯部との境界）から表面に10μm浅い位置とする。【００３０】
固体電解質としては特に限定するものでなく公知の固体電解質でよく、例えば、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン等が使用できる。【００３１】
また、本発明を適用した電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板のアルミニウム純度が99.98質量%以上からなり、粒径が球相当で0.01〜1.0μmφのFe含有金属間化合物の数が1×107〜1010/cm3を含有するものであるときは、前記特定サイズ径のピットの占める割合を高くできるだけでなく、ESRがより低いコンデンサを製作できる。これは金属間化合物が多い割には粒径が小さいので、化成皮膜がピット表面に均等な厚さで形成され、固体電解質が含浸され易くなるためと考えられる。【００３２】
アルミニウム純度が99.98質量%以上からなるアルミニウム板は、Al以外の元素として、その含有量を限定するものではないが、好ましい組成としては、例えば、Fe50ppm以下、好ましくは40ppm以下、Cu40ppm以下、Si60ppm以下、好ましくは40ppm以下とするのがよい。これはFe、Siが上限値を超えると、Fe、Siを含有する粗大な金属間化合物の晶出物および析出物が生じ、漏れ電流が大きくなるからである。Siの場合は単体Siも生じるので、同様の理由で好ましくない。Cuが上限値を超えるとマトリックスの腐食電位を大きく貴に変移させるので、好ましいエッチングができなくなる虞がある。【００３３】
これに対して、Feの5〜50pppmの含有はAlmFe、Al6Fe、Al3Fe、Al-Fe-Si、Al-(Fe、M)-Si(Mはその他の金属)等の金属間化合物を生じさせ、交流エッチングのピット起点になりやすいので好ましい。Cuの5〜40ppmの含有は、Feの存在のもとでマトリックスの腐食電位を安定化でき、特定サイズのピットを穿孔し易くなって好ましい。その他の元素としては、Ni、Ti、Zrは夫々10ppm以下、好ましくは3ppm以下とするのがよい。更に、その他の不純物は3ppm以下が好ましい。これにより前記の交流エッチング方法でピットの起点となるためか海綿状に特定サイズの径のピットを穿孔し易くなる。【００３４】
それ故、アルミニウム板は、アルミニウム純度が99.98質量%以上でFe5〜50ppm、Cu5〜40ppmを含有するとともに、残部が不可避的不純物からなり、球形に換算したときの粒径が0.01〜1.0μmφのFe含有金属間化合物を1×107〜1010/cm3の数、含有することが好ましい。【００３５】
このような高純度のアルミニウムは電解一次地金を精製して製造される。このとき用いる精製方法としては三層式電解法や結晶分別法が広く採用され、これらの精製法により、アルミニウム以外の元素の大半が除去される。しかしながら、FeおよびCuに関しては、不純物としてではなく微量合金元素として利用できるため、精製後の各元素の含有量を測定し、FeおよびCuの含有量が所定量未満の場合は、スラブ鋳造時、溶湯中にAl-Fe、Al- Cu母合金等を添加することによってFeあるいはCuの含有量を調節することができる。【００３６】
前記の粒径が球相当で0.01〜1.0μmφのFe含有金属間化合物の数が1×107〜1010/cm3を含有するアルミニウム板を得るには、例えば、アルミニウム純度が99.98質量%以上で、Fe含有量を調整したアルミニウム溶湯を半連続鋳造してスラブを得た後、530℃以上の温度で均質化処理し、板温度領域がFe含有金属間化合物の析出し易い範囲（300〜400℃）に相当するパス回数を3回以上、あるいは30分以上60分以下保持した熱間圧延板を冷間圧延のみで所定の厚さとしてエッチングに供する方法が挙げられる。特に前記組成のアルミニウム溶湯を前記のように鋳造、圧延すると好ましい大きさで、かつ所定数のFeを含む金属間化合物が容易に得られる。Feを含む金属間化合物の大きさと数は、画像解析装置で測定できる。【００３７】
Feを含む金属間化合物の粒径が球相当で0.01μmφ未満では公知の方法でエッチングピットの核になり難い傾向がある。また、1.0μmφを超えるとコンデンサを組み立てたときに、漏電流に影響し易くなる。また、粒径が球相当で0.01〜1.0μmφのFeを含む金属間化合物の数が1×107/cm3未満では、特定サイズのピットの占める割合が少なく、1×1010/cm3を超えると過剰な溶解が多くなる。【００３８】
（実施例）
図２は、本発明を適用した電解コンデンサ電極用アルミニウムエッチド板の断面写真を表す図である。図３は、本発明を適用した電解コンデンサ電極用アルミニウムエッチド板を用いて電解コンデンサを製作するときの説明図である。【００３９】
アルミニウム溶湯を半連続鋳造して厚さ560mmのスラブを得、550℃で10時間加熱して均一処理し、熱延工程中350℃に保持時間を変えて保持し、次いで熱延および圧延して厚さ0.4mmのアルミニウム板とした。組成を表１に示す。【００４０】
【表１】
2009063532.tif 000003
【００４１】
前記厚さ0.4mmのAl純度99.98質量%以上のアルミニウム板を用い、下記条件で両面エッチング処理し、図２に示す電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板を得た。かかる電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板１は、芯部２の両側にエッチング部位３を備えている。【００４２】
（エッチング条件）
10%苛性ソーダ水溶液で軽度のエッチング処理を施して脱脂、表面酸化物を除去後、一次エッチング処理として、電解液として2モル/リッタの塩酸と0.02モル/リッタの硫酸を含有する水溶液中で、液温度50℃、周波数20Hz、交流正弦波交流、電流密度は45A/dm2、処理時間45秒で処理し、アルミニウム板表面に多数のピットを穿孔した。次いで主電解処理として電解水溶液として6モル/リッタの塩酸と0.05モル/リッタの硫酸を含有する水溶液中で、液温30℃、周波数は種々任意に設定できるが、例えば、50Hz、正弦波交流、電流密度は25A/dm2、処理時間は種々変えて一次処理で穿孔したピットを更に穿孔し、各種厚さの海綿状のエッチング部位を得、該エッチング部位の厚さを測定した。結果を表２〜７に示す。【００４３】
（嵩比重の測定方法）
種々厚みにエッチングされたエッチド板(中央の芯部を含む)に対して、縦、横、エッチング厚さ、芯部厚さ、および全質量を測定し、芯部の比重を2.7としてエッチング部位の嵩比重を計算した。その結果を表２〜７に示す。【００４４】
（ピット径の測定）
次に、ピット径とその割合を画像解析装置で測定した。測定は試料のエッチング深さ方向で表面から20μmの面と、エッチング深さを定めた位置（エッチング部位と芯部との境界）から表面側に10μm浅い位置との面間距離を４等分(但し、片面のエッチング層の厚さが35μmの場合は２面)したときの５面に相当する位置を表面から順次研磨して各表面を画像解析装置で測定した。ピット径とその割合については、各測定面での10点の平均をその測定面の値とした。２面または５面に対する測定結果のうち、円形に換算したときのピット径で0.01〜1μmφのピット数が当該測定面内における全ピット数に対して占める割合が一番少ない値を表２〜７に示す。【００４５】
次に、電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板をアジピン酸アンモニウム水溶液中で５V化成処理し、次いで、下記に示すように、ポリピロールを常法に従って含浸させて機能性高分子層を形成し、2.5V/330μFの電解コンデンサを作製し、ESR(100KHz)、静電容量、漏れ電流を測定した。その結果を表２〜７に示す。【００４６】
（ポリピロールの含浸）
ポリピロールを含浸するにあたっては、ピット内にピロールモノマーのエタノール溶液を滴下し、さらに過硫酸アンモニウムおよび2-ナフタレンスルホン酸ナトリウム水溶液を滴下して化学重合させ、ポリピロールからなるプレコート層を形成する。次いで、この電極板をピロールモノマーおよび2-ナフタレンスルホン酸ナトリウムを含有するアセトニトリル電解液中に浸漬し、先に形成させた化学重合ポリピロール層の一部にステンレスワイヤを接触させて陽極とする一方、ステンレス板を陰極として電解重合を行い、機能性高分子層となる電解重合ポリピロールを形成させる。なお、ポリピロールに代えて、ポリチオフェンやポリアニリンを用いても同等の特性を得ることができる。【００４７】
（電解コンデンサの作製方法）
エッチングされた前記電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板を用いて電解コンデンサを作製するには、図３に示すように、両面をエッチングした電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板１に陽極酸化を行なった後、電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板１の側端面を露出させ、その芯部２の側端面４に対して、リード線などの陽極リード６を接合する。接合方法としてはスポット径を芯部の厚さ未満に絞ったレーザ溶接５を用いた。スポット径は20〜100φであった。【００４８】
次に、前記陽極酸化を行なった電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板１の表面に前記機能性高分子層を形成した後、該機能性高分子層を形成したエッチド板の表面にカーボンペーストや銀ペーストなどを用いて陰極を形成し、電極体を構成し、前記の如くESR(100KHz)、静電容量、漏れ電流を測定した。その結果を表２〜７に示す。【００４９】
【表２】
2009063532.tif 000004
【００５０】
【表３】
2009063532.tif 000005
【００５１】
【表４】
2009063532.tif 000006
【００５２】
【表５】
2009063532.tif 000007
【００５３】
【表６】
2009063532.tif 000008
【００５４】
【表７】
2009063532.tif 000009
【００５５】
表２〜７に示すように、エッチング部位の嵩比重が0.6〜1.2である電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板であれば、ESRが低く、静電容量が高く、漏洩電流の低い電解コンデンサを得ることができる。しかも、エッチング部位の厚さが厚くても同様に、ESRが低く、静電容量が高く、漏洩電流の低い電解コンデンサが得られるから、積層枚数を低減でき低背コンデンサを提供できることが判る。【００５６】
一方、嵩比重の大きい試料番号2-1、3-1、4-1、5-1、6-1、7-1は、ESRが高く、静電容量が低く、漏れ電流の高いことが判る。また、嵩比重の小さい試料番号2-6、3-6、4-6、5-6、6-6、7-6は、静電容量が低いことが判る。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明では、アルミニウム板を交流により電気化学的エッチングすることにより、エッチングにより、1平方ミリメートルあたり、数千〜数十万の海綿状のピットを穿孔した際、エッチング部位の嵩比重を0.6〜1.2としたため、十分な表面積を有し、かつ、固体電解質の含浸性がよいので、固体電解質を含浸した場合でも高い静電容量を得ることができる。
【図１】
2009063532.tif 000010
【図２】
2009063532.tif 000011
【図３】
2009063532.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成20年3月17日(2008.3.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム板に対して交流による電気化学的エッチングを施して拡面化してなる電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板において、
少なくとも片面側に、厚さが１００μｍ以上のエッチング部位を備え、
当該エッチング部位の嵩比重が０．６〜１．２であることを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【請求項２】
前記エッチング部位は、表面から２０μｍより深い位置の平面断面を画像解析装置で測定したとき、各測定面において、円形に換算したときのピット径で０．０１〜１μｍφのピット数が当該測定面内における全ピット数の７０％以上存在していることを特徴とする請求項１に記載の電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【請求項３】
前記エッチング部位の厚さが１２０μｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載の電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【請求項４】
前記エッチング部位は、表面から２０μｍより深い位置の平面断面を画像解析装置で測定したとき、各測定面において、円形に換算したときのピット径で０．０１〜１μｍφのピット数が当該測定面内における全ピット数の７０％以上存在していることを特徴とする請求項３に記載の電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【請求項５】
アルミニウム板に対して交流による電気化学的エッチングを施して拡面化してなる電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板において、
前記エッチング部位の嵩比重が０．６〜１．２であり、
当該エッチング部位は、表面から２０μｍより深い位置の平面断面を画像解析装置で測定したとき、各測定面において、円形に換算したときのピット径で０．０１〜１μｍφのピット数が当該測定面内における全ピット数の７０％以上存在していることを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【請求項６】
電解質として機能性高分子が用いられるアルミニウム電解コンデンサの陽極として用いられることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【請求項７】
前記電気化学的エッチングが施された面に誘電体膜が形成され、当該誘電体膜上に機能性高分子層が形成されていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の電解コンデンサ用アルミニウムエッチド板。
【国際調査報告】
2009063532.tif 000013
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