(57)【要約】  接続端子１０において、第１誘電体層１上面に、第１線路導体１１とこの第１線路導体１１の両側に隣り合わせて設けられた第１接地用線路導体１２とを有し、第３誘電体層３上面に、第３線路導体３１とこの第３線路導体３１の両側に隣り合わせて設けられた第３接地用線路導体３２とを有する。これらが第２誘電体層２上面に設けられた第２線路導体２１とこの第２線路導体２１の両側に隣り合わせて設けられた第２接地用線路導体２２とにそれぞれ接続されている。高周波信号に対応可能で小形な接続端子１０を実現できる。【選択図】  図１
2009057691.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１乃至第３誘電体層が順次積層され、第１端部と第２端部とを有する積層体と、
前記第１誘電体層の中央部から前記第１端部に向けて配設され、前記第１端部において露出された第１線路導体と、
該第１線路導体の両側に隣り合わせて設けられ、前記第１端部において露出された第１接地用線路導体と、
前記第２誘電体層の中央部から前記第２端部に向けて配設され、前記第２端部において露出された２本の第２線路導体と、
該第２線路導体のそれぞれの両側に隣り合わせて設けられ、前記第２端部において露出された第２接地用線路導体と、
前記第３誘電体層の中央部から前記第１端部に向けて配設され、前記第１端部において露出された第３線路導体と、
前記第３線路導体の両側に隣り合わせて設けられ、前記第１端部において露出された第３接地用線路導体と、
前記中央部において、前記第１線路導体と２本の前記第２線路導体のうち一方の前記第２線路導体とを、および前記第３線路導体と２本の前記第２線路導体のうち他方の前記第２線路導体とを接続する各々の接続導体と、
を備えた接続端子。
【請求項２】
前記第１端部と前記第２端部とは前記積層体の相対する側にあることを特徴とする請求項１記載の接続端子。
【請求項３】
前記第２線路導体は前記第１または第３線路導体よりも線幅が狭いことを特徴とする請求項１記載の接続端子。
【請求項４】
前記第１線路導体の直上に前記第３接地用線路導体が配置されていることを特徴とする請求項１記載の接続端子。
【請求項５】
前記第１線路導体または前記第３線路導体は互いに平行に配設された差動線路とされていることを特徴とする請求項１記載の接続端子。
【請求項６】
前記第１線路導体と前記第３線路導体との間の前記第２誘電体層または前記第３誘電体層に接地層が形成されていることを特徴とする請求項１記載の接続端子。
【請求項７】
前記第１端部の側面において、前記接地層と前記第１接地用線路導体および前記第３接地用線路導体とがキャスタレーション導体によって接続されていることを特徴とする請求項６に記載の接続端子。
【請求項８】
前記接地層と前記第１接地用線路導体および前記第３接地用線路導体とがビアホール導体によって接続されていることを特徴とする請求項６記載の接続端子。
【請求項９】
キャビティを有する基体の壁部に前記キャビティの内外を導通する請求項１乃至８のいずれかに記載の接続端子を備えたパッケージ。
【請求項１０】
請求項９に記載のパッケージと、前記キャビティ内部に搭載された電子素子と、前記キャビティ内部を封止する蓋体とを具備した電子装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高密度配線が可能な接続端子及びこれを用いた高周波半導体素子またはこれら高周波素子を搭載する電子回路が収納されるパッケージ並びに電子装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報通信機器において情報量が増大するにつれ、信号伝送用の電子回路が高周波化するとともに配線数が増加している。電子部品を収納するパッケージにおいても、高周波化とともにパッケージ内外を接続する端子数が増加する傾向にある。電子部品をパッケージ内部に気密封止して収納した電子装置の一例を図８に示す。図８（ａ）はパッケージの平面図、図８（ｂ）はパッケージの断面を示す構造図である。【０００３】
図８に示すパッケージにおいて、入出力端子１０３は、上面の枠体１０２の外側の一辺から対向する枠体１０２内側の他辺にかけて第１の線路導体１１１が形成されたセラミックからなる第１の平板部１０３ａと、第１の線路導体１１１と平行で且つ第１の線路導体１１１と上下方向で重ならないように延びる第２の線路導体１１２が形成されたセラミックスから成る第２の平板部１０３ｂと、を具備するものがあった（例えば、特開２００４−３５６３９１号公報参照）。【０００４】
このように第１の線路導体１１１と第２の線路導体１１２とを上下方向で重ならないように交互に配置することで、線路導体１１１，１１２の本数が増えても入出力端子１０３の大型化を避けることができる。【０００５】
しかしながら、近年、電子部品がより高周波の電気信号で作動するようになってきている。第１の線路導体１１１および第２の線路導体１１２を伝送する電気信号が高周波となると、従来の入出力端子およびこれを用いたパッケージでは十分に対応できない問題点があった。
【発明の開示】
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は高密度配線が可能で、高周波でも対応できる接続端子及びこれを用いたパッケージ並びに電子装置を提供することにある。
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明の一実施形態にかかる接続端子は、第１乃至第３誘電体層が順次積層され、第１端部と第２端部とを有する積層体に形成される。前記積層体には、前記第１誘電体層の中央部から前記第１端部に向けて配設され、前記第１端部において露出された第１線路導体と、該第１線路導体の両側に隣り合わせて設けられ、前記第１端部において露出された第１接地用線路導体と、前記第２誘電体層の中央部から前記第２端部に向けて配され、前記第２端部において露出された２本の第２線路導体と、該第２線路導体のそれぞれの両側に隣り合わせて設けられ、前記第２端部において露出された第２接地用線路導体と、前記第３誘電体層の中央部から前記第１端部に向けて配設され、前記第１端部において露出された第３線路導体と、前記第３線路導体の両側に隣り合わせて設けられ、前記第１端部において露出された第３接地用線路導体とを有している。さらに、前記積層体の前記中央部において、前記第１線路導体と２本の前記第２線路導体のうち一方の前記第２線路導体とを、および前記第３線路導体と２本の前記第２線路導体のうち他方の前記第２線路導体とを接続する各々の接続導体を備えている。
【０００８】
本発明の一実施形態にかかるパッケージは、キャビティを有する基体の壁部に前記キャビティの内外を導通する上記いずれかの接続端子を備えているものである。
【０００９】
本発明の一実施形態にかかる電子装置は、前記キャビティ内部に搭載された電子素子と、前記キャビティ内部を封止する蓋体とを具備している。
【００１０】
本発明の一実施形態にかかる接続端子は、第１線路導体の両側に隣り合わせて第１接地用線路導体が設けられ、第２線路導体の両側に隣り合わせて第２接地用線路導体が設けられ、第３線路導体の両側に隣り合わせて第３接地用線路導体が設けられ、これらが接続導体で電気的に接続されていることにより、高周波信号でも良好に導通させることができる。また、第１線路導体と第３線路導体とは第１誘電体層と第３誘電体層とに上下に分けて配線されるので高密度配線に対応することができる。
【００１１】
本発明の一実施形態にかかるパッケージは、キャビティを有する基体の壁部にキャビティの内外を導通する上記いずれかの接続端子を備えていることから、パッケージのキャビティ内外で高密度に配線された線路導体によって高周波信号を導通させることができ、高周波で多端子を設けることが可能な小型のパッケージを提供することができる。
【００１２】
本発明の一実施形態にかかる電子装置は、キャビティ内部に搭載された電子素子と、キャビティ内部を封止する蓋体とを具備していることから、小型な高周波電子装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態にかかる接続端子を示す図であり、図１（ａ）は接続端子の斜視図、図１（ｂ）は接続端子の分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかる接続端子の分解斜視図である。
【図３】（ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明の一実施形態にかかる接続端子を示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態の接続端子を示す図であり、（ａ）は接続端子の断面図、（ｂ）は接続端子の平面図、（ｃ）は接続端子の正面図である。
【図５】（ａ）〜（ｅ）は図４に示す接続端子の各誘電体層における導体パターンを示す平面図である。
【図６】本発明の一実施形態にかかる接続端子を示す図であり、（ａ）は、線路導体と接地導体とをＧ（接地）−Ｓ（信号）−Ｓ（信号）−Ｇ（接地）の順序で配置した例の平面図である。また、（ｂ）は、（ａ）に示す接続端子の正面図である。
【図７】本発明の一実施形態にかかるパッケージおよび電子装置の斜視図である。
【図８】従来の入出力端子の例を示す図であり、（ａ）はパッケージの平面図、（ｂ）はパッケージの断面を示す構造図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の一実施形態にかかる接続端子１０及びこれを用いたパッケージ並びに電子装置について、以下に詳細に説明する。【００１５】
接続端子１０において、平板部としての第１誘電体層１の上面に第２誘電体層および第３誘電体層３が順次積層されている。第１誘電体層１の上面には中央部１ｂから第１端部１ａ（以下、一端１ａともいう）に向けて、所定周波数の電気信号が伝送される第１線路導体１１が配設され、第１端部１ａにおいて露出されている。第１線路導体１１の両側には、隣り合わせて外部接地回路と電気的に接続される第１接地用線路導体が配設され、第１端部１ａにおいて露出されている。換言すると、第２誘電体層２は、第１線路導体１１および第１接地用線路導体１２の一端部１１ａ，１２ａが露出されるように第１誘電体層１の上面に積層されている。第２誘電体層２の中央部２ｂから第２端部２ｃ（以下、他端２ｃともいう）に向けては２本の第２線路導体２１が配設され、第２端部２ｃにおいて露出されている。第２線路導体２１のそれぞれの両側には隣り合わせて第２接地用線路導体２２が設けられ、第２端部において露出されている。換言すると、第３誘電体層３は第２線路導体２１および第２接地用線路導体２２の他端２１ｃ，２２ｃ部が露出されるように他端２１ｃ，２２ｃ部を除いて第２誘電体層２上面に接合されている。第３誘電体層の中央部３ｂから一端３ａに向けては所定周波数の電気信号が伝送される第３線路導体３１が配設され、一端３ａにおいて露出されている。第３線路導体３１の両側には第３接地用線路導体３２が隣り合わせて設けられ、一端３ａにおいて露出されている。第１線路導体１１の他端１１ｃと２本の第２線路導体２１のうち一方の第２線路導体２１の一端２１ａとは接続導体４０で接続されている。また、第３線路導体３１の他端３１ｃと２本の第２線路導体のうち他方の第２線路導体の一端２１ａとは接続導体４０で接続されている。【００１６】
なお、第３誘電体層３上面にはさらに第３線路導体３１の一端３１ａ部および第３接地用線路導体３２の一端３２ａ部を露出するように第４誘電体層４が設けられることにより、接続端子１０の上面側に金属導体等が配置される場合においても、第３接地用線路導体３２及び第３線路導体３１を絶縁することができる。また、この第４誘電体層４によって接続端子１０の一端側１ａと他端側１ｃとを気密に遮断することができ、内部の気密信頼性を要するパッケージの接続端子１として好適に用いることができる。また、第１誘電体層１の下面に下面接地導体６、第４誘電体層４の上面に上面接地導体７が設けられることによって、第１乃至第３線路導体１１，２１，３１を外部ノイズから遮蔽するとともに、接続端子１０をロウ付けによって金属等と接合することができる。【００１７】
接続端子１０において、図１に示すように、第１線路導体１１の両側には第１線路導体１１と所定間隔を隔てて第１接地用線路導体１２が平行するように設けられる。第２線路導体２１の両側には第２線路導体２１と所定間隔を隔てて第２接地用線路導体２２が平行するように設けられる。また、第３線路導体３１の両側には第３線路導体３１と所定間隔を隔てて第３接地用線路導体３２が平行するように設けられる。これによって、第１線路導体１１および第１接地用線路導体１２、第２線路導体２１および第２接地用線路導体２２、そして第３線路導体３１および第３接地用線路導体３２は、いわゆるＧ（接地）−Ｓ（信号）−Ｇ（接地）のコプレーナ線路構造を構成している。Ｇ−Ｓ−Ｇのコプレーナ線路構造とすることにより、第１線路導体１１、第２線路導体２１および第３線路導体３１を伝送する電気信号が高周波であっても良好に伝送させることができる。【００１８】
第１線路導体１１と第１接地用線路導体１２とは、第１誘電体層１上面に交互に複数本が配置されることによって、１本の第１線路導体１１の両側には第１接地用線路導体１２が配置され、コプレーナ線路構造が構成される。第３線路導体３１および第３接地用線路導体３２も同様にコプレーナ線路構造とされている。【００１９】
第２線路導体２１は、第２誘電体層２上面に一列に並べて配置され、第１線路導体１１の他端１１ｂから接続導体４０を介して第１線路導体１１に接続されている。また、その隣の第２線路導体２１は、第３線路導体３１から接続導体４０を介して第３線路導体３１に接続されている。第２線路導体２１の間には第２接地用線路導体２２が配置される。このようにして第２線路導体２１と第２接地用線路導体２２とが交互に並べられる。【００２０】
隣り合わせの２本のうち、一方の第２線路導体２１は下方の第１線路導体１１と接続導体４０を介して接続され、他方の第２線路導体２１は上方の第３線路導体３１と接続導体４０を介して接続され、第２線路導体２１は第１線路導体１１と第３線路導体３１との間の位置に配置される。このように第２線路導体２１から見て、第１線路導体１１および第３線路導体３１は対称的に配置されているので、第１線路導体１１と接続された第２線路導体２１および第３線路導体３１と接続された第３線路導体３１双方の線路におけるインピーダンスのバランスを取り易い。【００２１】
また、第１線路導体１１と第３線路導体３１とが第２線路導体２１の上下２段に配置されているのに対して、第２線路導体２１は１段の同じ面内に配置されたものに変換されている。これによって、第２線路導体２１と電子部品５５等とを接続する際の接続作業は容易となる。【００２２】
第２線路導体２１は、第１線路導体１１および第３線路導体３１よりも線幅を狭くすることによって、隣り合う第１線路導体１１同士、および隣り合う第３線路導体３１同士の間隔を狭くすることができ、高密度配線が容易となる。また、第２線路導体２１の線幅を狭くすることによって、第２線路導体２１と第２接地用線路導体２２との間の所定間隔も短くすることができ、高密度配線の観点からは有利である。【００２３】
第３接地用線路導体３２が第１接地用線路導体１２の直上に配置されている場合、第２誘電体層２および第３誘電体層３の一端２ａ，３ａ側の側面に、後述するキャスタレーション導体５ｂを第１接地用線路導体１２から第３接地用線路導体３２まで形成することによって、第１接地用線路導体１２と第３接地用線路導体３２とを接地電位（基準電位）に接続することができるため、接地電位が安定する。【００２４】
好ましくは、第１線路導体１１の直上に第３接地用線路導体３２を配置するのがよい。これによって、第１線路導体１１の直上に接地電位を有する第３接地用線路導体３２が配置され、第１線路導体１１の高周波特性を安定させることができる。また、第１線路導体１１の直上に第３線路導体３１が配置される場合に比べて、第１線路導体１１と第３線路導体３１との距離を隔てることができるので、第１線路導体１１と第３線路導体３１との混信を少なくすることができる。【００２５】
図２は、本発明の一実施形態にかかる接続端子１０を示す図であり、第１線路導体３１と第３線路導体３１との間の第２誘電体層および第３誘電体層から成る誘電体層の内部に接地層５ａを有している。図２に示すように、接地層５ａと第１接地用線路導体１２及び第３接地用線路導体３１との間には、キャスタレーション導体５ｂが形成され、第１接地用線路導体１２及び第３接地用線路導体３２は電気的に接続されているのがよい。【００２６】
このように、接地層５ａが設けられることによって、第１接地用導体１２と第３接地用導体３２との間に基準となる接地電位を提供することができる。また、外部から接続端子１に進入するノイズ成分を当該接地層５ａにより遮蔽することもできる。【００２７】
ここで、図２に示すように、第３接地用線路導体３２は第１線路導体１１の直上に位置するように配置されるとともに、第１接地用線路導体１２は第３線路導体３１の直下に位置するように配置されている。また、第３接地用線路導体３２から第１線路導体１１の直上に近づくようにキャスタレーション導体５ｂが配置されるようになることから、第１線路導体１１直上の接地電位を安定なものとすることができ、第１線路導体１１に高周波信号が効率良く伝送できるようになる。また、第１接地用線路導体１２は第３線路導体３１の直下に近づくようにキャスタレーション導体５ｂが配置されるようになることから、第３線路導体３１直下の接地電位を安定なものとすることができ、第３線路導体３１を高周波信号が効率良く伝送できるようになる。さらに、第１線路導体１１と第３線路導体３１との間の距離が遠ざかり、第１線路導体１１と第３線路導体３１のそれぞれを伝送する高周波信号が干渉し難くなる。【００２８】
図３（ａ）は、本発明の他の実施形態にかかる接続端子１０を示す斜視図で、第１線路導体１１，第２線路導体２１，第３線路導体３１をそれぞれ２本に分割し、その両側の接地用線路導体１２，２２，３２との間でＧ−Ｓ−Ｓ−Ｇの線路構造を構成する例を示したものである。【００２９】
そして、２本の第１線路導体１１、２本の第２線路導体２１、２本の第３線路導体３１は、それぞれ１組で差動線路として機能させることができる。差動線路とすれば、２本で１組の線路導体を伝送する電気信号同士を結合させて伝送できるようになり、線路導体１１，２１，３１を伝送する電気信号に透過損失等の伝送損失が生じ難くなる。よって、線路導体１１，２１，３１において高周波電気信号を伝送させることができる。【００３０】
なお、図３（ａ）においては、第１線路導体１１、第２線路導体２１、第３線路導体３１のいずれをも差動線路とする例を示すが、第１線路導体１１または第３線路導体３１のいずれか一方と、これに接続される第２線路導体２１のみを差動線路としたり、複数配列された第１線路導体１１または第３線路導体３１のうちのいくつかを差動線路としたりしても構わない。【００３１】
図３（ｂ）は、図１の接続端子１０をさらに多層化した実施形態の例を示す斜視図である。上述において、第１誘電体層１乃至第３誘電体層３の例を示したが、さらにｎ層に多層化し、第１乃至第ｎ誘電体層１〜ｎのそれぞれの表面に上述の第１線路導体１１または第３線路導体３１のように第１線路導体１１を配設し、それらの両側に隣り合わせて第１接地用線路導体１２を配設し、誘電体層１〜ｎの間の中間層２Ａの他端側にｎ本の第２線路導体２１および第２接地用線路導体２２を配設し、これら各々を接続導体４０で接続する構成とすることもできる。【００３２】
第１乃至第４誘電体層１〜４には、例えばセラミックス等の誘電体を用い、従来周知のセラミックグリーンシート積層法を用いることによって寸法精度の高い接続端子１０が作製できる。【００３３】
例えば、図５（ａ）〜（ｅ）に示すように、直方体形状の第１誘電体層１の上面に、一端１ａ側の長辺から中央部１ｂにかけてタングステン（Ｗ），モリブデン（Ｍｏ），マンガン（Ｍｎ）等のメタライズ層を印刷することによって、所定周波数の電気信号が伝送される第１線路導体１１と、この第１線路導体１１に隣り合わせて設けられ、外部接地回路と電気的に接続される第１接地用線路導体１２とを形成する。なお、図５（ｄ）に示すように、第１接地用線路導体１２は、第１線路導体１１を取り囲むようにし、第１誘電体層１の他端１ｃ側長辺まで面状に塗布しておくのがよい。【００３４】
また、図５（ｃ）に示すように、別に用意した第２誘電体層２の上面にも、Ｗ，Ｍｏ，Ｍｎ等のメタライズ層によって、所定周波数の電気信号が伝送される第２線路導体２１と、この第２線路導体２１に隣り合って設けられ、外部接地回路と電気的に接続するための第２接地用線路導体２２となるメタライズペーストのパターンを形成する。さらに図５（ｂ）に示すように、第３誘電体層３の上面にも同様に第３線路導体３１および第３接地用線路導体３２を形成する。【００３５】
第１線路導体１１，第２線路導体２１、第３線路導体３１及び第１接地用線路導体１２，第２接地用線路導体２２，第３接地用線路導体３２は、例えば、Ｗ，Ｍｏ，Ｍｎ等の粉末に有機溶剤、溶媒を添加混合して得た金属ペーストを、第１〜第４誘電体層１〜４となるセラミック生成形体の上面に、予め従来周知のスクリーン印刷法により所定パターンに印刷塗布することにより形成される。【００３６】
なお、図５（ａ）には、第３誘電体層３の上面に第４誘電体層４を積層する場合の第４誘電体層４を示している。第４誘電体層４は上面全面にメタライズペーストが塗布される。【００３７】
また、図５（ｅ）には、第１誘電体層１の下面を示している。第１誘電体層１には下面全面にメタライズペーストが塗布される。【００３８】
そして、これら誘電体層を順に積み重ねて接合し、焼成することによって接続端子１０が作製される。図４は、このようにして作製された接続端子１０を示す。図４において、図４（ａ）は断面図、図４（ｂ）は平面図、図４（ｃ）は正面図を示す。【００３９】
第２誘電体層２および第３誘電体層３の厚みを変えることによって、第1線路導体１１または第３線路導体３１から第２線路導体２１へ接続される接続導体４０の長さを変えることができる。例えば、第１線路導体１１の一端１１ａから第２線路導体２１までの電気長と、第３線路導体３１の一端３１ａから第２線路導体２１までの電気長とがマッチするように調整することができる。なお電気長とは、線路導体１１，３１上における高周波電気信号の１波長の長さを単位にした長さを意味する。【００４０】
キャスタレーション導体５ｂは、上記各誘電体層となるセラミック生成形体の一端側の側面に予め溝状のキャスタレーション（切り欠き）を形成しておき、このキャスタレーション内面にＷ，Ｍｏ，Ｍｎ等の粉末に有機溶剤、溶媒を添加混合して得た導体ペーストを吸引印刷法によって塗布しておく。なお、キャスタレーション導体５ｂは、第１線路導体１１の線路方向と交わる一端側１ａの一側面に設けられていればよい。従って、図１および図４乃至図６においては、一側面にのみキャスタレーションが形成されている例を示しているが、これに限られることはなく、第１線路導体１１の線路方向と交わる一端側１ａおよび他端側１ｃの二側面に設けられていても構わない。【００４１】
キャスタレーション導体５ｂが一端側１ａの一側面に設けられている場合は、後述するパッケージの外側に位置する側面に設けるのがよい。この構成により、パッケージの外部から内部に侵入しようとする外部ノイズ信号をキャスタレーション導体５ｂによってシールドすることができる。【００４２】
また、図４乃至図６に示すように、第１線路導体１１の線路方向と交わる一端側１ａの側面において、キャスタレーション導体５ｂを第３接地用線路導体３１の端部と接続しておくのが好ましく、第３接地用線路導体３１にリード３１ｅをＡｇ−Ｃｕロウ，Ａｇロウ等によるロウ付け接合する場合、キャスタレーション導体５ｂの内面とリード３１ｅとの間に、ロウ材フィレットを形成することができる。その結果、リード３１ｅを第３接地用線路導体３１に強固に接合することができる。【００４３】
キャスタレーション導体５ｂを第１線路導体１１の線路方向と交わる一端側１ａおよび他端側１ｃの二側面に設けておくと、第１線路導体１１及び第２線路導体２１におけるインピーダンス特性の整合性をより一層よいものとすることができる。【００４４】
また、第１線路導体１１の他端１１ｃと第２線路導体２１の一端２１ｂとを、および第３線路導体３１の一端３１ａと第２線路導体２１の一端２１ｂとを電気的に接続するために、接続導体４０がビアホール導体として形成される。【００４５】
ビアホール導体は、図５（ｂ），図５（ｃ）に示すように、第３誘電体層３となるセラミック生成形体の第３線路導体３１の先端または第２誘電体層２となるセラミック生成形体の第２線路導体２１の先端に貫通孔を設けておき、ここに導体ペーストを埋め込んでおくことによって形成される。【００４６】
さらに、第１接地用線路導体１２、第２接地用線路導体２２、第３接地用線路導体および接地層５ａ同士はビアホール導体５ｃによって互いに接続しておくとよい。これらビアホール導体５ｃも、図５（ｂ）〜（ｅ）に示すように、各誘電体層となるセラミック生成形体の所定位置に貫通孔を設け、ここに導体ペーストを埋め込んでおくことによって形成される。【００４７】
これらビアホール導体５ｃは、図５（ｂ）〜（ｅ）に示されるように、第１線路導体１１、第２線路導体２１、第３線路導体３１の近くに線路上の高周波信号の波長λより短い間隔で、例えばλ／４以下の間隔で配置される。【００４８】
なお、第１線路導体１１と第３線路導体３１との間に配置される接地層５ａは、例えば、図５（ｃ）に示されている第２接地用線路導体２２の一端側のメタライズ層によって実現される。【００４９】
誘電体層１〜４，ｎは、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）質セラミックス，窒化アルミニウム（ＡｌＮ）質セラミックス，ムライト（３Ａｌ２Ｏ３・２ＳｉＯ２）質セラミックス等の誘電体から成り、好ましくは、セラミックグリーンシート積層法によって形成されるのがよい。すなわち、樹脂やガラス等の他の誘電体材料に比べ気密信頼性が高いセラミックスを用いることで接続端子１内外の気密信頼性を向上させることができる。【００５０】
例えば、接続端子１がＡｌ２Ｏ３質焼結体の場合は、Ａｌ２Ｏ３，酸化珪素（ＳｉＯ２），酸化マグネシウム（ＭｇＯ），酸化カルシウム（ＣａＯ）等の原料粉末に適当な有機バインダ，溶剤，可塑剤，分散剤等を混合添加してペースト状とし、ドクターブレード法やカレンダーロール法を採用することによって誘電体層１〜４，ｎとなるセラミックグリーンシート（セラミック生シート）を形成する。【００５１】
接続端子１０の第１線路導体１１，第３線路導体３１，第１接地用線路導体１２，第３接地用線路導体３２には、それぞれリード（第１リード１１ｅ，第３リード３１ｅ，第１接地用リード１２ｅ，第３接地用リード３２ｅ）を接続することによって、外部回路との電気的接続を行なうことができる。第１リード１１ｅとその両側の第１接地用リード１２ｅおよび第３リード３１ｅとその両側の第３接地用リード３２ｅとでリード部分においてもＧ−Ｓ−Ｇ構造が構成されている。【００５２】
これらのリード１１ｅ，３１ｅ，１２ｅ，３２ｅは、従来周知の導電性材料を用いることができるが、特に抵抗率の小さい銅（Ｃｕ）を用いることが望ましい。また、その表面に耐蝕性に優れかつロウ材との濡れ性に優れる金属、例えば厚み０．５〜９μｍのＮｉ層と、厚さ０．５〜５μｍの金（Ａｕ）層とを順次メッキ法により被着させておくのがよく、リード１１ｅ，３１ｅ，１２ｅ，３２ｅが酸化腐食するのを防止できるとともに、リード１１ｅ，３１ｅ，１２ｅ，３２ｅをロウ材によって強固に接合することができる。【００５３】
次に、図７は、本発明の一実施形態にかかる接続端子１０を用いたパッケージ及びそれを用いた電子装置の実施の形態の一例を示す概略斜視図である。【００５４】
本発明の一実施形態にかかるパッケージは、上述した接続端子１０と、キャビティを有する基体の壁部にキャビティに通じる開口部５０ａを有した容器体５０と、を備え、開口部５０ａに接続端子１０がキャビティの内外において電気信号を導通するように接合されている。【００５５】
このような構成によれば、高周波電気信号を導通させる小型のパッケージを実現することができる。【００５６】
ここで、容器体５０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ），銅（Ｃｕ），銅（Ｃｕ）−タングステン（Ｗ），銅（Ｃｕ）−モリブデン（Ｍｏ），鉄（Ｆｅ）−ニッケル（Ｎｉ）−コバルト（Ｃｏ）合金等の金属から成る。【００５７】
この容器体５０は、金属のインゴットを圧延加工やプレス加工，切削加工等の金属加工を施すことにより所定形状に一体成形してもよいし、容器体の底部を成す基板５１と壁部５２とを別々に準備し、この基板５１の上面に銀（Ａｇ）−銅（Ｃｕ）ロウ等のロウ材を介して壁部５２を接合してもよい。この場合、壁部５２と基板５１との接合は基板５１上面と壁部５２の下面とを、基板５１上面に敷設したプリフォーム状のＡｇ−Ｃｕロウ等のロウ材を介して接合される。【００５８】
壁部５２には、電子素子５５と外部電子回路とを電気的に接続する接続端子１０を挿着するための開口部５０ａが形成される。【００５９】
また、容器体５０にセラミックス等の誘電体を用いてもよい。セラミックス製の容器体５０とする場合は、例えば、容器体５０の基板部５１となるセラミックグリーンシート上に壁部５２となり、キャビティとなる貫通開口を設けたセラミックグリーンシートを積層し、これらを焼成することによって作製される。【００６０】
なお、壁部５２となるグリーンシートを複数層に分け、各層の接続端子１０が配置される部分に図５に示すパターンの導体ペーストを被着させておけば、接続端子１０と一体のパッケージとすることができる。【００６１】
また、例えば電子素子５５として半導体レーザ（ＬＤ），フォトダイオード（ＰＤ）等の電子素子５５を収納する場合のパッケ−ジにおいては、壁部５２の一部に電子素子５５と光結合するための光伝送路である光信号入出力窓が形成される。【００６２】
また、容器体５０は、その表面に耐蝕性に優れかつロウ材との濡れ性に優れる金属、具体的には厚さ０．５〜９μｍのＮｉ層と、厚さ０．５〜５μｍの金（Ａｕ）層とを順次メッキ法により被着させておくのがよく、容器体が酸化腐食するのを有効に防止できるとともに、容器体上面に電子素子１５を強固に接着固定することができる。【００６３】
最後に、上述したパッケージを用いた電子装置について以下に説明する。【００６４】
本発明の一実施形態に係る電子装置は、上述したパッケージと、キャビティ内部に搭載された電子素子１５と、キャビティ内部を封止する蓋体２０とを具備する。そして、パッケージ外部はリード１１ｅ，３１ｅ，１２ｅ，３２ｅ等によって外部回路基板と接続され、パッケージ内部では第２線路導体２１および第２接地用線路導体２２と電子部品５５の端子とがワイヤボンディング等で接続される。【００６５】
このような構成によれば、高周波伝送特性に優れた小型の電子装置を提供することができる。【００６６】
このように、本発明の一実施形態にかかる電子装置は、小型で広帯域な情報処理に好適なものである。【００６７】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を施すことは何等支障ない。
【図１】
2009057691.tif 000003
【図２】
2009057691.tif 000004
【図３】
2009057691.tif 000005
【図４】
2009057691.tif 000006
【図５】
2009057691.tif 000007
【図６】
2009057691.tif 000008
【図７】
2009057691.tif 000009
【図８】
2009057691.tif 000010
【国際調査報告】
2009057691.tif 000011
2009057691.tif 000012