(57)【要約】  磁気ヘッドを備えるヘッドスライダの浮上量の高精度な制御と、ヘッドスライダの効率的な冷却との両立を図ることが可能なヘッドスライダ支持サスペンションおよびヘッドサスペンション組立体を提供する。  本発明に係るヘッドサスペンション組立体は、ヘッドスライダと、該ヘッドスライダを支持して媒体上を浮動させるサスペンションと、を有するヘッドサスペンション組立体であって、前記サスペンションは、ロードビームと、ヘッドスライダ搭載部と、該ロードビーム上の浮上面および浮上面支持部と、サスペンション側端子部とを備え、前記ヘッドスライダは、前記ヘッドスライダ搭載部に固定され、素子部と、該素子部および前記サスペンション側端子部と電気的に接続されたスライダ側端子部とを備える。
2009063558.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドスライダと、該ヘッドスライダを支持して媒体上を浮動させるサスペンションと、を有するヘッドサスペンション組立体であって、
前記サスペンションは、ロードビームと、ヘッドスライダ搭載部と、該ロードビーム上の浮上面および浮上面支持部と、サスペンション側端子部と、を備え、
前記ヘッドスライダは、前記ヘッドスライダ搭載部に固定され、素子部と、該素子部および前記サスペンション側端子部と電気的に接続されたスライダ側端子部と、を備えること
を特徴とするヘッドサスペンション組立体。
【請求項２】
前記浮上面および浮上面支持部は、前記サスペンションのプレス加工により形成されていること
を特徴とする請求項１に記載のヘッドサスペンション組立体。
【請求項３】
前記浮上面支持部は、前記ロードビームの長手方向に貫通する貫通孔を有すること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載のヘッドサスペンション組立体。
【請求項４】
ヘッドスライダと、該ヘッドスライダを支持して媒体上を浮動させるサスペンションと、を有するヘッドサスペンション組立体であって、
浮上面を備えた浮上面スライダを有し、
前記サスペンションは、ヘッドスライダ搭載部と、浮上面スライダ搭載部と、サスペンション側端子部と、を備え、
前記ヘッドスライダは、前記ヘッドスライダ搭載部に固定され、素子部と、該素子部および前記サスペンション側端子部と電気的に接続されたスライダ側端子部と、を備え、
前記浮上面スライダは、前記浮上面スライダ搭載部に固定されていること
を特徴とするヘッドサスペンション組立体。
【請求項５】
前記浮上面スライダは、加熱素子部を有すること
を特徴とする請求項４に記載のヘッドサスペンション組立体。
【請求項６】
前記スライダ側端子部は、前記ヘッドスライダの、前記媒体の回転により発生する気流の流入端側に形成されていること
を特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載のヘッドサスペンション組立体。
【請求項７】
ヘッドスライダ搭載部と、サスペンション側端子部と、ロードビームと、を有するサスペンションであって、
前記ロードビームは、プレス加工により形成された浮上面および浮上面支持部を備えること
を特徴とするサスペンション。
【請求項８】
前記浮上面支持部は、前記ロードビームの長手方向に貫通する貫通孔を有すること
を特徴とする請求項７に記載のサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドサスペンション組立体およびサスペンションに関し、さらに詳細には、ヘッドスライダを支持して媒体上を浮動させるサスペンションおよびこれを有するヘッドサスペンション組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
情報の記録・再生を行う磁気ディスク装置は、磁気ディスクと、磁気ディスクにアクセスするための磁気ヘッドとを備える。磁気ヘッドはヘッドスライダに設けられ、さらにヘッドスライダはサスペンションによって支持されて、ヘッドサスペンション組立体として構成される。
上記構成を備えて、ヘッドスライダは、記録媒体（磁気ディスク）が高速回転することにより発生する空気流による浮上力と、サスペンションによって記録媒体方向に付勢されるバネ圧とのバランスで、微小な間隙を保って磁気ディスク上を浮上して、磁気ディスクにデータの記録・再生を行う。
ところで、近年、磁気ディスク装置等のディスク装置の記憶容量は顕著に増大する傾向にあるが、このような記憶容量の増加は、媒体の磁気記録面の記録密度の増加が主たるものである。この記録密度を増加させる方法には二通りあり、一つは、磁気ヘッドのコア幅を小さくして媒体の半径方向のトラック密度を増加させる方法であり、もう一つは、媒体の円周方向に詰めて情報を記録することでビット方向の記録密度を増加させる方法である。
さらに、ディスク装置の使用環境によっては、より一層記憶容量を増加させるために、磁気ヘッドのヘッド浮上量を少なくして再生ヘッド素子の再生信号におけるＳ／Ｎ比（信号対雑音比）をできる限り大きくすることが必要となってきている。
このため、再生ヘッド素子（または記録ヘッド素子）の近傍に配置されたヒータ素子を含むヒータ加熱機能付きの磁気ヘッドを搭載したディスク装置が開発されている（特許文献１参照）。このような構造のディスク装置においては、使用環境に応じて再生ヘッド素子の再生信号のＳ／Ｎ比を大きくするために、ヒータ素子により再生ヘッド素子の近傍の部分を加熱して再生ヘッド素子の磁気記録面への突き出し量を意図的に大きくし、再生ヘッド素子と媒体との間の磁気スペースが相対的に小さくなるように制御することが可能である。
【特許文献１】特開２００７−２３４１１３号公報
【発明の開示】
【０００３】
本発明は、磁気ヘッドを備えるヘッドスライダの浮上量の高精度な制御と、ヘッドスライダの効率的な冷却との両立を図ることが可能なヘッドスライダ支持サスペンションおよびヘッドサスペンション組立体を提供することを目的とする。
本発明は、以下に記載するような解決手段により、前記課題を解決する。
このヘッドサスペンション組立体は、ヘッドスライダと、該ヘッドスライダを支持して媒体上を浮動させるサスペンションと、を有するヘッドサスペンション組立体であって、前記サスペンションは、ロードビームと、ヘッドスライダ搭載部と、該ロードビーム上の浮上面および浮上面支持部と、サスペンション側端子部と、を備え、前記ヘッドスライダは、前記ヘッドスライダ搭載部に固定され、素子部と、該素子部および前記サスペンション側端子部と電気的に接続されたスライダ側端子部と、を備えることを要件とする。
また、前記浮上面および浮上面支持部は、前記サスペンションのプレス加工により形成されていることを要件とする。
また、浮上面を備えた浮上面スライダを有し、前記サスペンションは、ヘッドスライダ搭載部と、浮上面スライダ搭載部と、サスペンション側端子部と、を備え、前記ヘッドスライダは、前記ヘッドスライダ搭載部に固定され、素子部と、該素子部および前記サスペンション側端子部と電気的に接続されたスライダ側端子部と、を備え、前記浮上面スライダは、前記浮上面スライダ搭載部に固定されていることを要件とする。
また、前記浮上面スライダは、加熱素子部を有することを要件とする。
また、前記スライダ側端子部は、前記ヘッドスライダの、前記媒体の回転により発生する気流の流入端側に形成されていることを要件とする。
また、このサスペンションは、ヘッドスライダ搭載部と、サスペンション側端子部と、ロードビームと、を有するサスペンションであって、前記ロードビームは、プレス加工により形成された浮上面および浮上面支持部を備えることを要件とする。
また、前記ヘッドサスペンション組立体もしくは前記サスペンションにおける前記浮上面支持部は、前記ロードビームの長手方向に貫通する貫通孔を有することを要件とする。
【０００４】
発明の効果
請求項１、４、７によれば、ヘッドスライダのサスペンション長手方向の寸法を、従来比で１／３程度とすることが可能となる。また、浮上面を備えて記録媒体の回転による気流による十分な浮上力が確保されつつ、ヘッドスライダの製造コストの低減を図ることが可能となる。
請求項２によれば、サスペンションすなわちロードビームをプレス加工（切り曲げ加工もしくは絞り加工等）することによって、浮上面および浮上面支持部を容易に形成することが可能となる。
請求項３、８によれば、媒体回転により発生した気流をスライダ側端子部およびサスペンション側端子部に直接導く作用を生じさせることができ、特にそれら端子部の冷却効率を高めることが可能となる。
請求項５によれば、加熱素子部を備えて記録媒体を加熱することによって、記録媒体の磁性膜の保持力を低下させることが可能となると共に、当該加熱素子部を磁気ヘッドの素子部と分離させて設けることによって、加熱素子部の発熱による磁気ヘッドの素子部への影響を防止することが可能となる。
請求項６によれば、スライダ側端子部およびサスペンション側端子部を気流の流入端側に配置し、媒体回転により発生した気流をダイレクトに当てることで、特に当該スライダ端子部およびサスペンション側端子部近傍部を効率良く冷却することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
【図１】図１Ａ、Ｂは、本発明の実施の形態に係るヘッドサスペンション組立体の例を示す概略図である。
【図２】図１のヘッドサスペンション組立体の磁気ヘッドの素子部の構成を示す概略図である。
【図３】図１のヘッドサスペンション組立体のヘッドスライダおよび浮上面近傍の拡大図である。
【図４】図４Ａ〜Ｄは、図１のヘッドサスペンション組立体の素子部とスライダ側端子部とを接続する配線構造の例を示す概略図である。
【図５】図５Ａ、Ｂは、本発明の第二の実施の形態に係るヘッドサスペンション組立体の例を示す概略図である。
【図６】図６Ａ、Ｂは、図５のヘッドサスペンション組立体の変形例を示す概略図である。
【図７】図７Ａ、Ｂは、図５のヘッドサスペンション組立体の変形例を示す概略図である。
【図８】図７のヘッドサスペンション組立体を磁気ディスク装置に搭載するに際して媒体に対する浮上面の角度が最適となるように構成した例を示す概略図である。
【図９】図９Ａ、Ｂは、本発明の第三の実施の形態に係るヘッドサスペンション組立体の例を示す概略図である。
【図１０】図１０Ａ、Ｂは、図９のヘッドサスペンション組立体の変形例を示す概略図である。
【図１１】図１１Ａ、Ｂは、図９のヘッドサスペンション組立体の変形例を示す概略図である。
【図１２】従来の実施の形態に係るヘッドサスペンション組立体の例を示す概略図である。
【図１３】図１２のヘッドサスペンション組立体のヘッドスライダの媒体対向面の構成を示す概略図である。
【図１４】図１２のヘッドサスペンション組立体の構成を示す概略図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
まず、従来のヒータ加熱機能付きの磁気ヘッドを搭載したディスク装置の例である磁気ヘッド２００を図１２に示す（特許文献１参照）。
磁気ヘッド２００は、図１２に示すように、媒体１００の媒体表面（すなわち、磁気記録面）１１０から磁気ヘッド２００を浮上させた状態に保持するために、ヘッド支持部２１０の先端のヘッドスライダ２０５に磁気ヘッド２００が実装されている。より具体的には、磁気ヘッド２００のヘッド浮上面（媒体対向面ともいい、ＡＢＳと表記する。）と媒体１００の媒体表面１１０との間に、予め規定された磁気スペースＭＳが設けられている。さらに、磁気ヘッド２００内の再生ヘッド素子（不図示）の近傍にヒータ素子２５０を配置することによって、ヒータ加熱機能付きの磁気ヘッドが形成されている。通常、磁気ヘッド２００は、記録ヘッド素子や再生ヘッド素子やヒータ素子等（以下、素子部という）を保護するために、アルミナ等からなる非磁性絶縁層（不図示）により全体的に覆われている。ここで、ヒータ素子２５０により再生ヘッド素子の近傍の部分を加熱した場合、アルミナ等が膨張し、ヘッドスライダ２０５または磁気ヘッド２００のヘッド浮上面（ＡＢＳ）が媒体表面１１０の方へ突き出てくる。それゆえに、磁気ヘッド２００内の再生ヘッド素子の媒体表面１１０への突き出し量が増加し、磁気ヘッド２００（ここでは再生ヘッド素子）と媒体１００との間の磁気スペースＭＳが相対的に小さくなるように上記突き出し量が制御される。この結果として、再生ヘッド素子の再生信号のＳ／Ｎ比を大きくすることが可能になるというものである。
なお、図１３はヘッドスライダ２０５の媒体対向面ＡＢＳの拡大図であり、図１４は、ヘッドスライダ２０５の媒体対向面ＡＢＳを上にして記載した従来のヘッドサスペンション組立体の概略図である。図中Ｗは記録媒体の回転により生じる気流の方向を示し、ヘッドスライダ２０５に対する図中Ｉの位置を気流の流入端側と言い、図中Ｏの位置を気流の流出端側と言う。図１４に示すように、配線２６０がヘッドスライダの流出端側に設けられる端子部２７０に接続される構成を例示している。
ところで、ヒータ加熱機能付きのディスク装置においては、一例としてヒータは最大許容範囲で瞬間的ではあるが２４０℃程度まで加熱されるため、磁気ヘッドが固定されるヘッドスライダ自身の発熱が生じ易く、その結果、ヘッドスライダ自身の発熱によって、ヘッドスライダへの配線接続に採用されているＳＢＢ(半田ボールボンディング) 部の半田が溶解するという事象が確認されている。そのため、ヘッドスライダの効果的な冷却が要請されている。
一方、ヘッドスライダは磁気記録媒体の回転による気体潤滑によって浮上し、この気体潤滑により発生した気流を受けることによって、素子部およびＳＢＢ部を備えるヘッドスライダが冷却されるため、気流による浮上と冷却とを効果的に両立させて、ヘッドスライダの浮上量の高精度な制御とヘッドスライダの効率的な冷却を実現することが要請されている。
以下に開示する、サスペンション１０およびこれを有するヘッドサスペンション組立体１は、ヘッドスライダ４の浮上量の高精度な制御とヘッドスライダ４の効率的な冷却の実現を図るものである。
本発明の第一の実施の形態に係るヘッドサスペンション組立体１１の構成について、図１Ａの正面図および図１Ｂの平面図を用いて説明する。
サスペンション１０は、ロードビーム１２と、ヘッドスライダ搭載部１３と、該ロードビーム１２上の浮上面１５および浮上面支持部１６と、サスペンション側端子部１８とを備えて構成される。
ここで、浮上面１５をヘッドスライダ４とは別体に設ける構成とした。すなわち、図１Ａ、図１Ｂに示すように、浮上面１５は、ヘッドスライダ４に隣接させて、浮上面支持部１６に支持されて、ロードビーム１２上に設ける構成である。本実施の形態においては、浮上面１５および浮上面支持部１６は、サスペンション１０のプレス加工により形成される。より具体的には、サスペンション１０すなわちロードビーム１２の切り曲げ加工によって、図１Ａに示す形状に加工される。
なお、浮上面１５は、プレス加工により形成した面にエッチング加工を施して形成する。もしくは、サスペンション１０をエッチングした後、プレス加工を行う。さらに、その面に、アルミナもしくは潤滑剤によるコーティングを施すことによって、記録媒体との接触時のキズ、破壊等を防止することが可能となる。
本実施の形態においては、サスペンション１０のロードビーム１２に段差部１２ａを設けて、ヘッドスライダ４を当該段差部に一部埋め込むように配設する構成を採用している。ただし、このような埋め込み構造には限定されず、平板状のロードビーム１２上にヘッドスライダ４を載置する構造であっても構わない。なお、段差部１２ａは一例として、プレス加工により形成される。
次に、ヘッドスライダ４の構成について説明する。
ヘッドスライダ４は、図３に示すように、ヘッドスライダ搭載部１３に固定され、素子部２６（図２参照）と、該素子部２６およびサスペンション側端子部１８と電気的に接続されたスライダ側端子部２３とを備えて構成される。なお、符号２２は電気配線である。
まず、素子部２６の基本的な構成について説明する。
図２は、本実施の形態における、磁気ヘッド２の構成例を示す断面図である。一例として水平磁気記録方式による磁気ヘッドとしている。なお、この図２は、磁気ヘッド２の媒体対向面ＡＢＳに垂直な方向であって記録媒体（磁気ディスク）の回転方向（円周方向）に沿った断面図である。
図２に示すように、磁気ヘッド２は、書き込み用の薄膜インダクティブ型ヘッド素子等の記録ヘッド素子２４と、読み出し用の磁気抵抗効果素子等の再生ヘッド素子３０と、記録ヘッド素子２４または再生ヘッド素子３０の近傍に配置されるヒータ素子２５とを具備している。
図２の磁気ヘッド２において、記録ヘッド素子２４では、磁気ディスクに対する情報の書き込みに必要な磁界を生成するための薄膜コイル２９が形成される。この薄膜コイル２９は、エポキシ樹脂層（不図示）により覆われている。さらに、この薄膜コイル２９により生成される磁界を集束して磁気ディスクの磁気記録面の任意の位置に効率良く供給するための磁性材料からなる薄膜コア２７が、薄膜コイル２９に近接して配置される。さらに、薄膜コア２７を通過した磁界を磁気ディスクの磁気記録面の任意の位置（不図示）に供給するために、媒体対向面側にギャップＧを設けている。一般に、上記の記録ヘッド素子２４内の薄膜コイル２９および薄膜コア２７等の構成要素は、アルミナ等からなる非磁性絶縁層３１により覆われている。
図２の磁気ヘッド２において、磁気ディスクの磁気記録面の任意の位置に情報を記録したい場合、薄膜コイル２９に所定の電流を流すことによって、情報の書き込みに必要な磁界を生成する。この薄膜コイル２９にて生成された磁界は、薄膜コア２７を通過し、ギャップＧを介して、磁気ディスクの磁気記録面に平行な方向の記録磁界として磁気ディスクの磁気記録面の任意の位置に印加される。上記の薄膜コア２７および磁気ディスクの磁気記録面により磁気回路が形成される。この磁気回路およびギャップＧを利用して、磁気ディスクの磁気記録面に平行な方向の磁化（情報）を上記磁気記録面の任意の位置に記録することができる。
さらに、図２の磁気ヘッド２において、磁気抵抗効果素子等の再生ヘッド素子３０の周囲の部分には、この再生ヘッド素子３０の上に非磁性絶縁層（不図示）を介して形成された磁性材料よりなる上部シールド層３２と、アルチック（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）等のセラミック材料よりなる非磁性基板３４上に形成された磁性材料よりなる下部シールド層３３とが配置される。上部シールド層３２および下部シールド層３３は、外部からの浮遊磁界が再生ヘッド素子内に侵入するのを抑制する機能を有している。上記の再生ヘッド素子３０として、異方性磁気抵抗効果素子（ＡＭＲ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ  ｅｆｆｅｃｔ）素子とも称する）、巨大磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ（Ｇｉａｎｔ  Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ  ｅｆｆｅｃｔ）素子ともよばれる）、またはトンネル磁気抵抗効果素子（ＴＭＲ（Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ  Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ  ｅｆｆｅｃｔ）素子ともよばれる）等の磁気抵抗効果を示す感磁性膜を用いた素子を用いることができる。
ここで、従来のヘッドスライダ４は図１３、図１４に示すように、記録媒体の回転による気体潤滑によって浮上するための浮上面２１５がヘッドスライダ２０５と一体に設けられている。
これに対し、本実施の形態におけるヘッドスライダ４は、別体に形成される浮上面１５によって主たる浮上量が確保されるため、浮上量を補助的に確保あるいは浮上量の微小調整を行う浮上パッド１１が媒体対向面に数箇所設けられる構成となっている。
上記のように、浮上面１５をヘッドスライダ４とは別体に設ける構成によって、ヘッドスライダ４のサスペンション長手方向の寸法を、従来比で１／３程度とすることが可能となる。小型化されることによって、製造に要する材料費のコストダウンを図ることが可能となる。さらに、素子部２６とスライダ側端子部２３との距離が短縮されるためヘッドスライダ製造プロセスでの加工が容易となる。
ところで、ヘッドスライダ４自身に浮上面１５を持たなくなることから、微少な浮上高さのコントロールが困難になるという新たな課題が生じ得る。そのため磁気ヘッド２に設けられるヒータ素子２５により突き出し高さをコントロールすることで高さを適正に保つ必要がある。
ここで、ヒータ素子２５の構成・作用について説明する。
ヒータ素子２５は、図２に示すように、磁気ヘッド２の素子部２６に設けられて、μｍオーダでベースアップコントロールを行うものである。
より詳しくは、図２に示す磁気ヘッド２において、導体の薄膜抵抗素子等からなるヒータ素子２５が、記録ヘッド素子２４や再生ヘッド素子３０の近傍に配置されている。前述のように、磁気ヘッド２は、記録ヘッド素子２４や再生ヘッド素子３０やヒータ素子２５等を保護するために、アルミナ等の非磁性絶縁層３１により全体的に覆われている。さらに、ディスクの磁気記録面から磁気ヘッド２を浮上させた状態に保持するために、磁気ヘッド２がスライダ２０に実装されている。
図２の磁気ヘッド２において、再生ヘッド素子３０の再生信号のＳ／Ｎ比を大きくすることが要求される場合、ヒータ素子２５に電力が供給され、再生ヘッド素子３０の近傍の部分が加熱されてることでアルミナ等が膨張し、スライダ２０または磁気ヘッド２のヘッド浮上面（ＡＢＳ）がディスク１０の媒体表面の方へ突き出る作用が生じる。これによって、再生ヘッド素子３０の媒体表面への突き出し量が増加し、磁気ヘッド２とディスク１０との間の磁気スペースが減少して、再生ヘッド素子の再生信号のＳ／Ｎ比が向上する。
ここで、前述の通り、従来のヘッドスライダ４においては、ヒータ素子２５は最大許容範囲で瞬間的ではあるが２４０℃程度まで加熱されるため、磁気ヘッド２が固定されるヘッドスライダ４自身の発熱が生じ易く、その結果、ヘッドスライダ４自身の発熱によって、ヘッドスライダ４への配線接続に採用されているＳＢＢ(半田ボールボンディング)部の半田が溶解するという課題が生じ得るものであったが、本実施の形態においては、ヘッドスライダ４を１／３程度の体積にすることで内部の熱が気流により冷却されやすくなるという作用効果を奏している。
これに加えて、ヘッドスライダ４において、特にＳＢＢ部の効率的な冷却を図るため、本実施の形態で開示するように、ＳＢＢ部の位置を現行の気流の流出端Ｏ側から反対に位置する流入端Ｉ側に設ける構成とすることも考えられる（図１Ａ、１Ｂ参照）。すなわち、従来は、図１４に示すようにＳＢＢ部（端子部２７０）が流出側となり、気体潤滑により発生した気流をダイレクトに受けることができないという点で冷却効果が低かったが、本実施の形態に係る構成によれば、ＳＢＢ部を流入端Ｉ側に配置し、媒体回転により発生した気流をダイレクトに当てることで効率良く冷却することが可能となる。ただし、ＳＢＢ部を流入端Ｉ側に限定するものではない。
ここで、素子部２６とＳＢＢ部のスライダ側端子部２３とを接続する配線構造の例を図４Ａ〜図４Ｄに示す。図４Ａは、ＳＢＢ部のスライダ側端子部２３を流入端Ｉ側に配置する場合の例であり、図４Ｃ、図４Ｄはその変形例である。一方、図４Ｂは、ＳＢＢ部のスライダ側端子部２３を流出端Ｏ側に配置する場合の例である。
さらに、浮上面支持部１６は、図１Ｂ等に示すようにサスペンション１０（ロードビーム１２）の長手方向に貫通する貫通孔１７が設けられる構成を備える。それにより、媒体回転により発生した気流をＳＢＢ部に直接導く作用を生じさせることができ、特に当該ＳＢＢ部の冷却効率を高めることが可能となる。前述の課題であるＳＢＢ部の溶け出しによる抵抗異常、ショート等が回避できるという顕著な効果を奏するものである。
加えて、ＳＢＢ部の積極的な気流の冷却によって上記の課題が解消されるため、さらにヒータ素子２５に対して従来よりも素子突き出しのためパワーが高く、且つ長くかけられるという相乗効果も奏し得る。
ここで、本実施の形態に係るサスペンション組立体における解決すべき課題の一つとして、サスペンション１０のプレス加工精度では１０μｍ程度の高精度を保証することができない点が挙げられる。この課題に対しては、図３において符号Ａで示される距離だけ、浮上面１５の媒体側表面をヘッドスライダ４上面から数μｍ程度、記録媒体側に高く出す構成を採用し、ベースアップ用のヒータ素子２５によってμｍオーダの突き出し量コントロールを行うことで解決を図る構成としている。
続いて、第二の実施の形態に係るヘッドサスペンション組立体１について説明する。図５Ａは正面図、図５Ｂは平面図である。
本実施の形態は、浮上面１５をヘッドスライダ４とは別体に、当該ヘッドスライダ４に隣接させて設けられる構成であると共に、浮上面支持部１６に支持されて、ロードビーム１２上に設けられる構成である点は、前記第一の実施の形態と同様であるが、浮上面１５および浮上面支持部１６が、図５Ａに示すように、サスペンション１０のプレス加工によって、いわゆる両持ち支持状に形成される点が相違する。
より具体的には、浮上面１５および浮上面支持部１６は、サスペンション１０すなわちロードビーム１２の絞り加工によって加工される。なお、切り曲げ加工等を併用する加工によることも考えられる。
この構成により、前述の第一の実施の形態に係る浮上面１５および浮上面支持部１６では、形成時の寸法精度がばらついてしまう恐れがあるのに対して、より高精度の寸法精度で加工することが可能となる効果を奏する。
また、従来の浮上面２１５（図１３等参照）、および第一の実施の形態に係る浮上面１５（図１Ｂ等参照）と比較して、浮上面１５の面積を広く確保することができるため（図５Ｂ等参照）、安定した浮上が可能となる。
また、第一の実施の形態にも言えることであるが、ヘッドスライダ４とは別体に、サスペンション１０に浮上面１５を加工することによって、当該浮上面１５の設計が容易になる効果も奏する。
例えば、図８に示すように、浮上面１５の有効面積、媒体３と浮上面１５の角度、浮上面１５の気流流入端Ｉ側の形状(Ｒ形状、テーパ形状等)を最適に且つ容易に形成することが可能となる。
以上の構成によって、小型化したヘッドスライダ４を採用しつつ、浮上高さを安定させて有効浮上高さを確保すると共に、ヒータ素子２５の加熱による突き出しにより媒体との適切な間隔精度を確保することが可能となる。
なお、変形例として、図６Ａの正面図および図６Ｂの平面図に示すように、ＳＢＢ部を流出端Ｏ側に設ける構成、もしくは図７Ａの正面図および図７Ｂの平面図に示すように、ヘッドスライダ４の固定部に段差部を設けない構成が考えられる。
続いて、第三の実施の形態に係るヘッドサスペンション組立体１について説明する。
本実施の形態は、図９Ａの正面図および図９Ｂの平面図に示すように、サスペンション１０が、ヘッドスライダ搭載部１３と、浮上面スライダ搭載部１９と、サスペンション側端子部１８とを備え、浮上面スライダ４１は、浮上面１５を備え、浮上面スライダ搭載部１９に固定される構成である。なお、浮上面スライダ４１の上面に設けられる浮上面１５はエッチング等で加工されて形成される。
ここで、浮上面スライダ４１には、加熱素子部４２が設けられる。加熱素子部４２の作用は記録媒体を加熱し、記録媒体の磁性膜の保持力を低下させることにある。この加熱素子部４２にはコイルに通電し発熱させるＤＦＨ方式、またはレーザ光線を使用する加熱方式等の採用が考えられる。
浮上面スライダ４１をヘッドスライダ４に隣接させて別体に設ける本実施の形態によれば、従来のヘッドスライダと加熱素子部とが一体の構造で課題となっていた、例えば、レーザ光線を用いる場合のレーザを導く溝、穴、光線を屈曲させるプリズムにおける制約や、材料の選択の制約等の解消を図ることが可能となる。すなわち、設計の自由度を大幅に向上させることが可能となる。
また、磁気ヘッド２の素子部２６と熱アシストの加熱素子部４２とを分離してそれぞれ独立に設けることによって、加熱素子部４２からの発熱による磁気ヘッド２（素子部２６）への影響を防止することが可能となる。
なお、記録・再生特性に重要となる記録媒体との間の高さの厳密なコントロールは第一の実施の形態と同様に、ヒータ素子２５による素子部２６の突き出しにより行う。
なお、本実施の形態では、ＳＢＢ部の位置を流入端Ｉ側に設けている。ただし、流入端Ｉ側に限定されるものではなく、例えば、流出端Ｏ側等に設ける構成としてもよい（図１０Ａの正面図および図１０Ｂの平面図を参照）。
また、本実施の形態では、サスペンション１０のロードビーム１２に段差部１２ａを設けて、ヘッドスライダ４を当該段差部１２ａに一部埋め込むように配設する構成を採用している。ただし、そのような埋め込み構造には限定されず、平板状のロードビーム１２上に載置する構造であっても構わない（図１１Ａの正面図および図１１Ｂの平面図を参照）。
以上、本実施の形態に係るサスペンションおよびこれを有するヘッドサスペンション組立体によれば、磁気記録媒体の回転に伴い発生した気流によるヘッドスライダの浮上量の高精度な制御と当該ヘッドスライダの効率的な冷却とを効果的に両立することが可能となる。
その結果、従来の課題となっていたＳＢＢ部の溶け出しによる抵抗異常、ショート等の回避が可能になると共に、従来よりも素子突き出し用ヒータ素子のパワーを高く且つ長くかけることが可能となる。
また、スライダ寸法を１／３程度に小型化することが可能となり、材料費のコストダウンが図れると共に、設計の自由度を向上させることが可能となる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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