(57)【要約】  面状体２のアライメント装置１０は、面状体２に設けられた非回転対称形状のアライメントマークＭの画像を撮像する撮像部１１と、その画像からアライメントマークＭの位置を検出する位置検出部１３と、検出されたアライメントマークＭの位置に基づいて所定の基準位置と面状体Ｍとの相対位置を調整する位置調整部１４と、画像に撮像されたアライメントマークＭの非回転対称性に基づいて面状体２の向きを検出する方向検出部１４を備える。
2009122529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
面状体に設けられた非回転対称形状のアライメントマークの画像を撮像する撮像部と、
前記画像から前記アライメントマークの位置を検出する位置検出部と、
前記アライメントマークの位置に基づいて、所定の基準位置と前記面状体との相対位置を調整する位置調整部と、
前記画像に撮像されたアライメントマークの非回転対称性に基づいて前記面状体の向きを検出する方向検出部と、
を備える前記面状体のアライメント装置。
【請求項２】
前記アライメントマークは、それぞれ前記位置検出部によって位置が検出される各前記アライメントマーク毎に非回転対称性を有する請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項３】
前記面状体の縦方向及び横方向の寸法が異なり、
前記アライメントマークの形状は、前記縦方向及び横方向のいずれか一方に沿った線について線対称でない請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項４】
前記アライメントマークの形状は、非線対称である請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項５】
前記アライメントマークは、４つの象限にそれぞれ１つずつ配置される４つの図形の集合を含み、少なくともそのうち１つを他の図形と異なる形状とすることによって、非回転対称性を備える請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項６】
前記アライメントマークは、回転対称性を有する図形と、その中に設けられた非回転対称の図形とを組み合わせて形成される請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項７】
請求項１に記載の前記アライメント装置を有し、透明である複数の前記面状体を貼り合わせて多層部品を製造する前記多層部品の製造装置であって、
前記アライメント装置は、前記複数の面状体の貼り合わせの際にこれら面状体同士の位置合わせを行うともに、前記製造装置へセットされた前記面状体の少なくとも１つの向きを検出し、
前記製造装置は、前記検出された向きに基づいて、前記面状体が正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する判定部を有する製造装置。
【請求項８】
請求項１に記載の前記アライメント装置を有し、透明である前記面状体を加工して面状透明部品を製造する製造装置であって、
前記アライメント装置は、前記製造装置にセットされた前記面状体の位置決めを行うとともに、前記製造装置へセットされた前記面状体の向きを検出し、
前記製造装置は、前記検出された向きに基づいて、前記面状体が正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する判定部を有する製造装置。
【請求項９】
請求項１に記載の前記アライメント装置を有し、前記面状体としての基板を加工し及び／又はこの基板に電子部品を装着して回路基板を製造する回路基板の製造装置であって、
前記アライメント装置は、前記製造装置にセットされた前記基板の位置決めを行うとともに、前記製造装置へセットされた前記基板の向きを検出し、
前記製造装置は、前記検出された向きに基づいて、前記基板が正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する判定部を有する製造装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の前記アライメント装置を有し、マスクを用いて半導体ウエハに回路パターンの転写を行う半導体集積回路装置の製造装置であって、
前記アライメント装置は、前記製造装置にセットされた前記面状体としての前記マスクと前記半導体ウエハとの位置合わせを行うとともに、前記製造装置へセットされた前記マスク及び／又は前記半導体ウエハの向きを検出し、
前記製造装置は、前記検出された向きに基づいて、前記マスク及び／又は前記半導体ウエハが正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する判定部を有する製造装置。
【請求項１１】
面状体に設けられた非回転対称形状のアライメントマークの画像を撮像し、
前記画像から前記アライメントマークの位置を検出し、
前記アライメントマークの位置に基づいて、所定の基準位置と前記面状体との相対位置を調整し、
前記画像に撮像されたアライメントマークの非回転対称性に基づいて前記面状体の向きを検出する前記面状体のアライメント方法。
【請求項１２】
前記アライメントマークは、各前記アライメントマーク毎に非回転対称性を有する請求項１１に記載のアライメント方法。
【請求項１３】
前記面状体の縦方向及び横方向の寸法が異なり、
前記アライメントマークの形状は、前記縦方向及び横方向のいずれか一方に沿った線について線対称でない請求項１１に記載のアライメント方法。
【請求項１４】
前記アライメントマークの形状は、非線対称である請求項１１に記載のアライメント装方法。
【請求項１５】
前記アライメントマークは、４つの象限にそれぞれ１つずつ配置される４つの図形の集合を含み、少なくともそのうち１つを他の図形と異なる形状とすることによって、非回転対称性を備える請求項１１に記載のアライメント方法。
【請求項１６】
前記アライメントマークは、回転対称性を有する図形と、その中に設けられた非回転対称の図形とを組み合わせて形成される請求項１１に記載のアライメント方法。
【請求項１７】
請求項１１に記載の前記アライメント方法によって前記面状体の位置決めを行う、透明である複数の前記面状体を貼り合わせて多層部品を製造する前記多層部品の製造装置により前記多層部品を製造する製造方法であって、
前記アライメント方法によって、前記複数の面状体の貼り合わせの際にこれら面状体同士の位置合わせを行うともに、前記製造装置へセットされた前記面状体の少なくとも１つの向きを検出し、
前記検出された向きに基づいて、前記面状体が正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する製造方法。
【請求項１８】
請求項１１に記載の前記アライメント方法によって前記面状体の位置決めを行う、透明である前記面状体を加工して面状透明部品を製造する製造装置により前記面状透明部品を製造する製造方法であって、
前記アライメント方法によって前記製造装置にセットされた前記面状体の位置決めを行うとともに、前記製造装置へセットされた前記面状体の向きを検出し、
前記検出された向きに基づいて、前記面状体が正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する製造方法。
【請求項１９】
請求項１１に記載の前記アライメント方法によって前記面状体の位置決めを行う、前記面状体としての基板を加工し及び／又はこの基板に電子部品を装着して回路基板を製造する回路基板の製造装置により前記回路基板を製造する製造方法であって、
前記アライメント方法によって前記製造装置にセットされた前記基板の位置決めを行うとともに、前記製造装置へセットされた前記基板の向きを検出し、
前記検出された向きに基づいて、前記基板が正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する製造方法。
【請求項２０】
請求項１１に記載の前記アライメント方法によって前記面状体としてのマスクと半導体ウエハとの位置合わせを行う、前記マスクを用いて前記半導体ウエハに回路パターンの転写を行う半導体集積回路装置の製造装置により半導体集積回路装置を製造する製造方法であって、
前記アライメント方法によって前記製造装置にセットされた前記マスクの位置決めを行うとともに、前記製造装置へセットされた前記マスク及び／又は前記半導体ウエハの向きを検出し、
前記検出された向きに基づいて、前記マスク及び／又は前記半導体ウエハが正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル、電子ペーパや有機ＥＬ（Electro-Luminescence）のような透明な板やシート、又は回路基板や半導体集積回路などの製造工程において、これら面状の部品や、例えば半導体集積回路製造工程において使用されるホトマスクのような面状の物体のアライメントを行う装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶、電子ペーパ及び有機ＥＬ等の加工や貼り合わせを行う製造装置、回路基板の加工や組み立てを行う製造装置、半導体集積回路製造装置等といった、板状体やシート、基板、半導体ウエハ等の面状のワークピースや、ホトマスク等の面状の部材を取り扱う製造装置においては、これら面状のワークピースや部材の位置を自動的に検出してアライメントを行っている。簡単のため以下の説明に置いて、板状体やシート、基板、半導体ウエハ等のワークピースや、ホトマスク等の製造装置側の部材を単に「ワークピース」と記すことがある。【０００３】
下記特許文献１及び２には、それぞれプリント基板及びガラス板に設けられたマークを検出してプリント基板及びガラス板の位置合わせを行うことが開示されている。
下記特許文献３には、液晶表示パネルとフレキシブル基板にそれぞれアライメントマークを設けてこれらの位置合わせを行うことが開示されている。
下記引用文献４には、位置決めマークを複数用いてプリント基板の配置方向を検出することが開示されている。【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２４３４１２号公報
【特許文献２】特開２００５−３１７８０６号公報
【特許文献３】特開２００６−１１９３２１号公報
【特許文献４】特開２００６−５１８７号公報
【発明の開示】
【０００５】
上述の製造装置に面状のワークピースをセットする際に、これらワークピースが正しい方向に向けられた状態で製造装置にセットされる必要がある。ワークピースの向きが誤ったまま作業が続行されれば、不良品が発生し製造歩留まりが低下する原因となる。
特許文献４には、プリント基板に設けられた位置決めマークを用いてプリント基板が置かれた方向を検出することが記載されているが、プリント基板の向きを検出するために複数の位置決めマークが必要である。
【０００６】
このため、ワークピースの向きを検出するために複数の位置決めマークが必要であり、離間した複数のマークを撮像するために余計にカメラを設けるか、カメラの移動機構を設ける必要があり、装置側のコストを増加させていた。また、カメラの移動機構はアライメント精度が悪化する原因となっていた。
そこで開示の装置及び方法は、ワークピースが置かれた方向を検出ためにワークピースのアライメントマークを利用する際に存在していた、上述の諸問題を解決することを目的とする。
【０００７】
上記目的を達成するために、開示される面状体のアライメント装置及びアライメント方法は、面状体に設けられた非回転対称形状のアライメントマークの画像を撮像し、撮像された画像からアライメントマークの位置を検出し、アライメントマークの位置に基づいて所定の基準位置と面状体との相対位置を調整し、撮像されたアライメントマークの画像の非回転対称性に基づいて面状体の向きを検出する。
【０００８】
アライメントマークを非回転対称形状とすることにより、少なくとも１個のアライメントマークを撮像すれば、そのアライメントマークが設けられた面状体が置かれている向きを検出することが可能となる。このため、ワークピースの向きを検出するために複数の位置決めマークが必要であることから生じていた上記の問題が解決できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本アライメント装置の実施例の構成図である。
【図２】アライメントマークの第１例を示す図である。
【図３】本アライメント方法の第１例のフローチャートである。
【図４Ａ】アライメントマークの第２例を示す図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示すアライメントマークによる位置決定方法を説明する図である。
【図５】本アライメント方法の第２例のフローチャートである。
【図６Ａ】図２に示すマークを面状体に配置する配置例を示す図である。
【図６Ｂ】図６Ａに示す面状体を反時計回りに９０°回転した状態を示す図である。
【図６Ｃ】図６Ａに示す面状体を１８０°回転した状態を示す図である。
【図６Ｄ】図６Ａに示す面状体を時計回りに９０°回転した状態を示す図である。
【図６Ｅ】図６Ａに示す面状体を裏返した状態を示す図である。
【図６Ｆ】図６Ｅに示す状態の面状体を反時計回りに９０°回転した状態を示す図である。
【図６Ｇ】図６Ｅに示す状態の面状体を１８０°回転した状態を示す図である。
【図６Ｈ】図６Ｅに示す状態の面状体を時計回りに９０°回転した状態を示す図である。
【図７】図２に示すアライメントマークに関する線対称性を説明する図である。
【図８Ａ】図４Ａに示すアライメントマークの配置例を示す図である。
【図８Ｂ】図４Ａに示すアライメントマークに関する線対称性を説明する図である。
【図９Ａ】図２に示すマークを長方形の面状体に配置する配置例を示す図である。
【図９Ｂ】図９Ａに示す面状体を１８０°回転した状態を示す図である。
【図９Ｃ】図９Ａに示す面状体を裏返した状態を示す図である。
【図９Ｄ】図９Ｃに示す状態の面状体を１８０°回転した状態を示す図である。
【図１０Ａ】図２に示すマークの変形例を示す図である。
【図１０Ｂ】図４Ａに示すマークの変形例を示す図である。
【図１１Ａ】図１０Ａに示すマークを面状体に配置する配置例を示す図である。
【図１１Ｂ】図１１Ａに示す面状体を反時計回りに９０°回転した状態を示す図である。
【図１１Ｃ】図１１Ａに示す面状体を１８０°回転した状態を示す図である。
【図１１Ｄ】図１１Ａに示す面状体を時計回りに９０°回転した状態を示す図である。
【図１１Ｅ】図１１Ａに示す面状体を裏返した状態を示す図である。
【図１１Ｆ】図１１Ｅに示す状態の面状体を反時計回りに９０°回転した状態を示す図である。
【図１１Ｇ】図１１Ｅに示す状態の面状体を１８０°回転した状態を示す図である。
【図１１Ｈ】図１１Ｅに示す状態の面状体を時計回りに９０°回転した状態を示す図である。
【図１２Ａ】アライメントマークの他の例を示す図である。
【図１２Ｂ】アライメントマークの他の例を示す図である。
【図１３】本アライメント装置が適用される製造装置の第１構成例を示す構成図である。
【図１４】図１３に示す製造装置による製造方法のフローチャートである。
【図１５】本アライメント装置が適用される製造装置の第２構成例を示す構成図である。
【図１６】図１５に示す製造装置による製造方法のフローチャートである。
【図１７】本アライメント装置が適用される製造装置の第３構成例を示す構成図である。
【図１８】図１７に示す製造装置による製造方法のフローチャートである。
【図１９】本アライメント装置が適用される製造装置の第４構成例を示す構成図である。
【図２０】図１９に示す製造装置による製造方法のフローチャートである。
【符号の説明】
【００１０】
１    ＸＹステージ
２    ワークピース
Ｍ    アライメントマーク
１１    撮像部
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図１は本アライメント装置の実施例の構成図である。図１は、本アライメント装置の実施例の構成図である。アライメント装置１０は、図示のＸＹ平面に沿って置かれた板状体やシート等の面状の物体である面状体２を所定の基準位置に対して位置合わせする装置である。【００１２】
アライメント装置１０は、面状体２の表面に設けられた所定のアライメントマークＭを撮像する撮像部１１と、撮像部１１が得た画像からアライメントマークＭの位置を検出する位置検出部１２と、位置検出部１２が検出したアライメントマークＭの位置に基づいて基準位置と面状体２との相対位置を調整する位置調整部１３と、撮像されたアライメントマークの画像に基づいて面状体２の向きを検出する方向検出部１４と、を備える。【００１３】
図１に示す構成例では、位置調整部１３は、面状体２が置かれた移動ステージ１を駆動することによって面状体２を移動させて、面状体２と位置合わせされる相手の部材や部品の位置（すなわち基準位置）と面状体２との間の相対位置を調整する。しかし、基準位置と面状体２との相対位置の調整は、面状体２を動かすだけでなく、これに代えて又はこれに加えて、面状体２と位置合わせされる相手の部材や部品を移動させることによって行ってもよい。【００１４】
図２は、アライメントマークの第１例を示す図である。位置検出部１２は、アライメントマークＭ１の参照符号Ｐの部分の位置を画像処理によって検出して、アライメントマークＭ１の位置とする。位置検出部１２は、予め記憶されたアライメントマークＭ１と同じ形状の画像と、撮像部１１が得た画像とのパターンマッチングを行い、撮像部１１が得た画像内におけるアライメントマークＭ１の位置Ｐを検出する。【００１５】
また図示のとおり、アライメントマークＭ１は非回転対称の形状を有しており、撮像部１１が得たアライメントマークＭ１の画像の参照符号Ａで示した部分がいずれの方向を向いているかによって、面状体２が置かれている向きを検出することができる。
ここで、面状体２が置かれている「向き」や「方向」というときは、面状体２が置かれている平面、すなわちアライメントマークＭ１が付されている面と平行な平面（図１に示す例ではＸＹ平面）内の方位を示す。
これに加えて、面状体２が透明であるなどの理由によりアライメントマークＭ１を面状体２の裏面から見ることができる場合には、面状体２の表面及び裏面の何れの面が撮像部１１側に向いているかを示すために、「向き」や「方向」の用語を使用することもある。【００１６】
方向検出部１４は、予め記憶されたアライメントマークＭ１と同じ形状の画像を所定のステップ角で順次回転させながら、撮像部１１が得た画像とのパターンマッチングを行い、撮像部１１が得た画像内におけるアライメントマークＭ１の方向を検出する。方向検出部１４によって検出された方向を示す情報は、判定部１５に出力される。判定部１５は、方向検出部１４によって検出された方向に基づいて、面状体２が正しい方向に置かれているか否かを判定する。【００１７】
図３は、本アライメント方法の第１例のフローチャートである。ステップＳ１０において、図１に示す面状体２の上に配置されたアライメントマークＭの画像を撮像部１１が撮像し、方向検出部１４が、アライメントマークＭの画像の向きを検出することによって面状体２が置かれた向きを検出する。
ステップＳ１１において判定部１５は、方向検出部１４によって検出された方向に基づいて、面状体２が正しい方向に置かれているか否かを判定する。面状体２が正しい方向に置かれていない場合には、ステップＳ１２にて判定部１５はアラームを出力する。そしてステップＳ１０に処理が戻る。【００１８】
面状体２が正しい方向に置かれている場合には、ステップＳ１３において、位置検出部１２は、撮像部１１が得た画像内におけるアライメントマークＭの位置を検出する。その後、位置検出部１２は、既知である撮像部１１の視野の絶対位置からアライメントマークＭの絶対位置を決定する。
ステップＳ１４において、位置調整部１３は、位置検出部１２が検出したアライメントマークＭの位置に基づいて基準位置と面状体２との位置ずれ量を決定する。ステップＳ１５において、位置調整部１３は、基準位置と面状体２とを相対的に移動させ、基準位置に対する面状体２の相対位置を調整する。【００１９】
図４Ａは、アライメントマークの第２例を示す図である。アライメントマークＭ２は、図形Ｆ１〜Ｆ４の集合を含み、これら図形Ｆ１〜Ｆ４は、基準点ＢＰを原点とする４つの象限にそれぞれ配置されている。図示するとおり図形Ｆ２〜Ｆ４は９０°ずつ回転角が異なる同一形状の図形であるが、図形Ｆ１の形状は図形Ｆ２〜Ｆ４の形状と異なるため、アライメントマークＭ２全体は非回転対称形状である。
図２に示すアライメントマークＭ１の場合と同様に、位置検出部１２は、アライメントマークＭ２の参照符号Ｐの部分の位置を画像処理によって検出して、アライメントマークＭ２の位置とする。また、撮像部１１が得たアライメントマークＭ２の画像の参照符号Ａで示した部分がいずれの方向を向いているかによって、面状体２が置かれている向きを検出することができる。【００２０】
図５は、図４Ａに示すアライメントマークＭ２を使用した本アライメント方法のフローチャートである。ステップＳ２０において、面状体２の上に配置されたアライメントマークＭ２の画像を撮像部１１が撮像する。方向検出部１４は、アライメントマークＭ２の図形Ｆ１〜Ｆ４をパターンマッチングを用いて認識する。【００２１】
ステップＳ２１において方向検出部１４は、図形Ｆ１が認識できたか否かを判定し、図形Ｆ１が認識できた場合には、ステップＳ２２において方向検出部１４は、図形Ｆ１の認識結果によってアライメントマークＭ２の方向を検出する。例えば、図形Ｆ１自体が非回転対称形状である場合には、パターンマッチングの際に図形Ｆ１の方向を検出して、これに基づいてアライメントマークＭ２の方向を検出する。図形Ｆ１自体が非回転対称形状でない場合には、他の図形Ｆ２〜Ｆ４のうちの２つと図形Ｆ１との相対位置関係に基づいてアライメントマークＭ２の方向を検出する。【００２２】
図形Ｆ１が認識できなかった場合には、ステップＳ２３において方向検出部１４は、他の図形Ｆ２〜Ｆ４同士の位置関係からアライメントマークＭ２の方向を検出する。３つの象限にそれぞれ配置された図形Ｆ２〜Ｆ４同士の位置関係は、面状体２が置かれた向きに応じて変化するため、図形Ｆ１が認識できない場合でも、図形Ｆ２〜Ｆ４同士の位置関係から面状体２が置かれた向きを検出することができる。【００２３】
ステップＳ２４において方向検出部１４は、ステップＳ２２又はステップＳ２３で検出したアライメントマークＭ２の検出結果に基づいて面状体２の置かれた方向を検出する。ステップＳ２５において判定部１５は、方向検出部１４によって検出された方向に基づいて、面状体２が正しい方向に置かれているか否かを判定する。面状体２が正しい方向に置かれていない場合には、ステップＳ２６にて判定部１５はアラームを出力する。そしてステップＳ２０に処理が戻る。【００２４】
ステップＳ２７において、位置検出部１２は、撮像部１１が得た画像内におけるアライメントマークＭ２の位置を検出する。図４Ｂは、図４Ａに示すアライメントマークによる位置決定方法を説明する図である。
アライメントマークＭ２自体が示す位置Ｐ０と、アライメントマークＭ２内の各図形Ｆ１〜Ｆ４の位置Ｐ１〜Ｐ４との間のそれぞれの距離及び方向データを、アライメントマークＭ２の設定データから決定し、図示しないメモリに記憶しておく。位置検出部１２は、記憶された距離及び方向データに基づいて、撮像された画像内において認識に成功した図形Ｆ１〜Ｆ４の位置Ｐ１〜Ｐ４から、それぞれアライメントマークＭ２の仮の位置Ｐ０を決定し、これらの平均値をアライメントマークＭ２の位置として決定する。このとき図形Ｆ１〜Ｆ４の位置Ｐ１〜Ｐ４から求めた仮位置のいずれかが、既定値よりも閾値以上外れた場合には、この仮位置を除いて平均値を算出してもよい。その後、位置検出部１２は、既知である撮像部１１の視野の絶対位置からアライメントマークＭ２の絶対位置を決定する。【００２５】
ステップＳ２８において、位置調整部１３は、位置検出部１２が検出したアライメントマークＭ２の位置に基づいて基準位置と面状体２との位置ずれ量を決定する。ステップＳ２９において、位置調整部１３は、基準位置と面状体２とを相対的に移動させ、基準位置に対する面状体２の相対位置を調整する。【００２６】
図６Ａは、図２に示すマークＭ１を面状体２に配置する配置例を示す図である。図６Ａに示す面状体２の例は正方形であり縦方向及び横方向の寸法がほぼ同じである。このため面状体２が誤った方向に置かれる場合としては、１８０°回転した状態に加えて、時計回り及び反時計回りにそれぞれ９０°回転した状態が考えられる。
図６Ｂは図６Ａに示す面状体２を反時計回りに９０°回転した状態を示し、図６Ｃは図６Ａに示す面状体２を１８０°回転した状態を示し、図６Ｄは図６Ａに示す面状体２を時計回りに９０°回転した状態を示す。
上記の通り、マークＭ１は非回転対称形状を有するので、図６Ａ〜図６Ｄの何れの場合においてもマークＭ１の向きが異なり、面状体２が何れの向きに向いているかを識別することができる。図４Ａに示すマークＭ２の場合も同様である。【００２７】
図７は、図２に示すアライメントマークＭ１に関する線対称性を説明する図である。アライメントマークＭ１は、図示のＸ軸方向及びＹ軸方向に対しては非線対称性を有する一方、図示の直線Ｌについては線対称である。
したがって、面状体２が透明であるなどの理由によって、面状体２の裏面からアライメントマークＭ１が見える場合には、面状体２が何れの向きに向いているかを識別できなくなる場合がある。【００２８】
図６Ｅは図６Ａに示す面状体を裏返した状態を示し、図６Ｆは図６Ｅに示す状態の面状体を反時計回りに９０°回転した状態を示し、図６Ｇは図６Ｅに示す状態の面状体を１８０°回転した状態を示し、図６Ｈは図６Ｅに示す状態の面状体を時計回りに９０°回転した状態を示す。
図示するとおり、図６Ａと図６Ｆの間、図６Ｂと図６Ｇの間、図６Ｃと図６Ｈの間、図６Ｄと図６Ｅの間で、それぞれアライメントマークＭ１の向きが同一となり、これらの状態を区別することができない。【００２９】
図８Ａは、図４Ａに示すアライメントマークＭ２を面状体２に配置する配置例を示す図であり、図８Ｂは、図４Ａに示すアライメントマークに関する線対称性を説明する図である。アライメントマークＭ２も、図示のＸ軸方向及びＹ軸方向に対しては非線対称性を有する一方、図示の直線Ｌについては線対称である。
したがって、図６Ａ〜６Ｈ及び図７を参照して説明したアライメントマークＭ１の場合と同様に、面状体２の裏面からアライメントマークＭ２が見える場合にも、面状体２が何れの向きに向いているかを識別できなくなる場合がある。【００３０】
図９Ａは、図２に示すアライメントマークＭ１を長方形の面状体に配置する配置例を示す図である。図９Ｂは図９Ａに示す面状体を１８０°回転した状態を示し、図９Ｃは図９Ａに示す面状体を裏返した状態を示し、図９Ｄは図９Ｃに示す状態の面状体を１８０°回転した状態を示す図である。
面状体２の縦方向及び横方向の寸法が相違する場合には、誤って９０°回転しておかれることが考えにくいため、面状体２が誤った方向に置かれる場合としては１８０°回転した状態のみが考えられる。
したがって、面状体２の裏面からアライメントマークＭ１が見える場合であっても、図９Ａ〜図９Ｄに示すとおり、それぞれアライメントマークＭ１の向きが異なり、面状体２が何れの向きに向いているかを識別できる。図４Ａに示すアライメントマークＭ２の場合も同様である。【００３１】
図１０Ａは、図２に示すアライメントマークＭ１の変形例を示す図である。アライメントマークＭ１を変形した形状を有するアライメントマークＭ１’は、非回転対称であり、且つあらゆる方向線について非線対称である。
図１０Ｂは、図４Ａに示すアライメントマークＭ２の変形例を示す図である。アライメントマークＭ２を変形した形状を有するアライメントマークＭ２’は、非回転対称であり、且つあらゆる方向線について非線対称である。アライメントマークＭ２に含まれる図形Ｆ１を変形して形成されたＦ１’もまたあらゆる方向線について非線対称である。【００３２】
図１１Ａは図１０Ａに示すアライメントマークＭ１’を面状体に配置する配置例を示し、図１１Ｂは図１１Ａに示す面状体を反時計回りに９０°回転した状態を示し、図１１Ｃは図１１Ａに示す面状体を１８０°回転した状態を示し、図１１Ｄは図１１Ａに示す面状体を時計回りに９０°回転した状態を示し、図１１Ｅは図１１Ａに示す面状体を裏返した状態を示し、図１１Ｆは図１１Ｅに示す状態の面状体を反時計回りに９０°回転した状態を示し、図１１Ｇは図１１Ｅに示す状態の面状体を１８０°回転した状態を示し、図１１Ｈは図１１Ｅに示す状態の面状体を時計回りに９０°回転した状態を示す。【００３３】
図１１Ａ〜図１１Ｈに示すとおり、何れの場合もアライメントマークＭ１’の向きが異なっている。
したがって、面状体２が１８０°回転した状態、時計回り及び反時計回りにそれぞれ９０°回転した状態で誤って置かれる可能性があり、かつ面状体２の裏面からアライメントマークＭ１’が見える場合であっても、面状体２が何れの向きに向いているかを区別できる。図１０Ｂに示すアライメントマークＭ２’の場合も同様である。【００３４】
図１２Ａ及び図１２Ｂは、アライメントマークの他の例を示す図である。図１２Ａに示すように、アライメントマークは、円形の図形Ｆ１内に他の円形の図形Ｆ２を配置することにより非回転対称形状に形成してよい。
また図１２Ｂに示すように、回転対称及び線対称の図形Ｆ０の中に、図形Ｆ１〜Ｆ４の集合からなる非回転対称図形を設けることによって非回転対称なアライメントマークを形成してもよい。さらに図形Ｆ１〜Ｆ４の集合からなるマークを非回転対称かつ非線対称図形にするなどにより、アライメントマーク全体も非回転対称かつ非線対称図形にしてもよい。【００３５】
図１３は、本アライメント装置が適用される製造装置の第１構成例を示す構成図である。製造装置５０は、液晶、電子ペーパ及び有機ＥＬなどといった２枚の透明シートやガラスのような透明の板を貼り合わせて、多層構造を有する部品を製造する装置である。以下、図１３及び図１４を参照して行う説明において、透明シートや透明の板を総称して「透明シート」と記載することがある。【００３６】
製造装置５０は、ワークピースである第１及び第２透明シート１００及び１０１をそれぞれ保持するためのポーラスチャック５１及び５２と、ポーラスチャック５１及び５２に負圧を与える真空ポンプ５３と、ポーラスチャック５１を２次元方向に移動させるためのＸＹステージ５４と、ＸＹステージ５４を昇降させるＺステージ５５と、ポーラスチャック５２を回転させて、ポーラスチャック５２をポーラスチャック５１の上まで移動させ、ポーラスチャック５１及び５２に保持された第１及び第２透明シート１００及び１０１を重ね合わせるロータリアクチュエータ５６と、第１及び第２透明シート１００及び１０１を貼り合わせた後にこれらに塗布された塗布接着剤を硬化させるための紫外線（ＵＶ）照射装置５７を、備える。【００３７】
また、製造装置５０は、製造装置５０の制御を行うコンピュータ等である制御部５８と、カメラ６１及び６２と、制御部５８から作業者へのメッセージやカメラ６１及び／又は６２の撮影画像を出力するための表示装置や印刷装置である出力部５９を備える。【００３８】
第１及び第２透明シート１００及び１０１には、図２、図４Ａ、図１０Ａ、図１０Ｂ、図１２Ａ及び図１２Ｂなどを参照して説明したアライメントマークが付されており、カメラ６１及び／又は６２は、ポーラスチャック５１に保持された第１透明シート１００に付されたアライメントマークを撮像する。また、カメラ６１及び／又は６２は、ポーラスチャック５２がポーラスチャック５１の上にある時に、ポーラスチャック５２に保持された第２透明シート１０１に付されたアライメントマークを撮像する。【００３９】
制御部５８は、図１を参照して説明したアライメント装置１０及び判定部１５と同様の処理を実行するアライメント部６０及び判定部６３を有する。制御部５８は所定のプログラムをコンピュータで実行することにより、アライメント部６０及び判定部６３を実現してもよく、専用のハードウエアを備えることにより、アライメント部６０及び判定部６３を実現してもよい。【００４０】
アライメント部６０は、カメラ６１及び／又は６２により撮像された、ポーラスチャック５１及び５２に保持された第１及び第２透明シート１００及び１０１にそれぞれ付されたアライメントマークの画像を入力し、ＸＹステージ５４を移動させて第１及び第２透明シート１００及び１０１の間の位置合わせを行うとともに、ポーラスチャック５１及び５２に保持された透明シート１００及び１０１の方向を検出する。
判定部６３は、アライメント部６０により検出された第１及び第２透明シート１００及び１０１の方向に基づいて、第１及び第２透明シート１００及び１０１がポーラスチャック５１及び５２へ正しい方向で保持されているか否かを判定し、第１及び第２透明シート１００及び１０１の保持方向が誤っている場合には、出力部５９へアラーム信号を出力する。【００４１】
透明シートを重ね合わせる場合や、ＣＯ2レーザにより透明シートにレーザ加工を行う場合には、これら透明シートが透明であり、また透明シートに描かれた電極パターンが見えにくい半透明であるため、作業者がポーラスチャック５１及び５２に透明シートを置くときに、透明シートの方向を認識しにくいという問題があった。
本製造装置５０では、アライメント部６０にて透明シートの方向が識別され、もし透明シートが誤った方向に置かれていた場合には出力部５９にアラームが表示されるので、作業者による確認作業の負担が軽減され作業効率が向上する。【００４２】
図１４は、図１３に示す製造装置による製造方法のフローチャートである。ステップＳ３０において、作業者が、ポーラスチャック５１に第１透明シート１００を、ポーラスチャック５２に第２透明シート１０１をセットする。
ステップＳ３１において、カメラ６１及び／又は６２によって、第１透明シート１００に付されたアライメントマークの画像を撮像し、アライメント部６０は撮像された画像から第１透明シート１００が置かれた方向と、予定位置からの第１透明シート１００の位置ずれ量を検出する。【００４３】
ステップＳ３２において、判定部６３は、第１透明シート１００が置かれた方向が正常であるか否かを判定する。第１透明シート１００が誤った方向で置かれている場合には、ステップＳ３３において、判定部６３はアラーム信号を出力部５９へ出力し、第１透明シート１００を置き直すように作業者に促す。その後、処理はステップＳ３０へ戻る。【００４４】
第１透明シート１００が置かれた方向が正常である場合には、ステップＳ３４において、ロータリアクチュエータ５６を回転させて、第２透明シート１０１を第１透明シート１００の上に移動させる。
ステップＳ３５において、第１及び第２透明シート１００及び１０１に各々設けられたアライメントマークが、カメラ６１及び６２の被写界深度に入るように、Ｚステージ５５を上昇させてＸＹステージ５４に設けられたカメラ６１、６２及び第１透明シート１００を第２透明シート１０１に接近させる。そして、第２透明シート１０１に付されたアライメントマークの画像を撮像し、アライメント部６０は撮像された画像から第２透明シート１０１が置かれた方向と、予定位置からの第２透明シート１０１の位置ずれ量を検出する。
このとき、第１透明シート１００に設けられたアライメントマークと及び第２透明シート１０１に設けられたアライメントマークが重なって、第２透明シート１０１に設けられたアライメントマークが見えないときは、ＸＹステージ５４により第１透明シート１００を移動させて、第１透明シート１００に設けられたアライメントマークと及び第２透明シート１０１に設けられたアライメントマークが重ならない位置を探す。【００４５】
ステップＳ３６において、判定部６３は、第２透明シート１０１が置かれた方向が正常であるか否かを判定する。第２透明シート１０１が誤った方向で置かれている場合には、ステップＳ３３において、判定部６３はアラーム信号を出力部５９へ出力し、第２透明シート１０１を置き直すように作業者に促す。その後、処理はステップＳ３０へ戻る。
ステップＳ３７においてアライメント部６０は、第１及び第２透明シート１００及び１０１の各位置ずれ量から、第１及び第２透明シート１００及び１０１の間の位置ずれ量を決定する。そしてアライメント部６０は、決定した位置ずれ量がゼロになるようにＸＹステージ５４を移動させ、第１及び第２透明シート１００及び１０１の位置合わせを行う。【００４６】
ステップＳ３８において、Ｚステージ５５が上昇して第１及び第２透明シート１００及び１０１に圧力を印加し、これらを貼り合わされる。
ステップＳ３９において、ＵＶ照射装置５７が第１及び第２透明シート１００及び１０１へ紫外線を照射し、各シート１００及び１０１に予め塗布されていた塗布接着剤を硬化させ、これらシートのずれを防止する。
ステップＳ４０において、ポーラスチャック１０１による吸着を停止した後に、Ｚステージ５５及びポーラスチャック１０１を定位置に戻す。【００４７】
図１５は、本アライメント装置が適用される製造装置の第２構成例を示す構成図である。製造装置７０は、液晶、電子ペーパ及び有機ＥＬなどといった２枚の透明シートやガラスのような透明の板にレーザ加工を施して面状透明部品を製造する製造装置であるか、又はレーザにより基板に穴をあける等の加工を施して回路基板を製造する製造装置である。以下、図１５及び図１６を参照して行う説明において、ワークピースである透明シートや透明の板、基板を総称して「基板」と記載することがある。【００４８】
製造装置７０は、基板１１０が載置されて２次元方向に移動するためのＸＹステージ７１と、基板１１０をレーザ加工するレーザ光を発生させるレーザ光源７２と、製造装置７０の制御を行うコンピュータ等である制御部７３と、カメラ７６及び７７と、制御部７３から作業者へのメッセージやカメラ７６及び／又は７７の撮影画像を出力するための表示装置や印刷装置である出力部７４を備える。
基板１１０には、図２、図４Ａ、図１０Ａ、図１０Ｂ、図１２Ａ及び図１２Ｂなどを参照して説明したアライメントマークが付されており、カメラ７６及び／又は７７は、ＸＹステージ７１上に置かれた基板１１０に付されたアライメントマークを撮像する。【００４９】
制御部７３は、図１を参照して説明したアライメント装置１０及び判定部１５と同様の処理を実行するアライメント部７５及び判定部７８を有する。制御部７３は所定のプログラムをコンピュータで実行することにより、アライメント部７５及び判定部７８を実現してもよく、専用のハードウエアを備えることにより、アライメント部７５及び判定部７８を実現してもよい。【００５０】
アライメント部７５は、カメラ７６及び／又は７７により撮像された基板１１０に付されたアライメントマークの画像を入力し、ＸＹステージ７１を移動させてレーザ光源７２に対する基板１１０の位置合わせをするとともに、基板１１０の方向を検出する。なお、ＸＹステージ７１により基板１１０を移動させるのに代えて又はこれに加えてレーザ光源７２を移動させて、レーザ光源７２に対する基板１１０の位置合わせをしてもよい。
判定部７８は、アライメント部７５により検出された基板１１０の方向に基づいて、基板１１０がＸＹステージ７１に正しい方向で置かれているか否かを判定し、基板１１０が置かれている方向が誤っている場合には、出力部７４へアラーム信号を出力する。【００５１】
図１６は、図１５に示す製造装置による製造方法のフローチャートである。ステップＳ５０において、作業者が、ＸＹステージ７１上に基板１１０をセットする。
ステップＳ５１において、カメラ７６及び／又は７７によって、基板１１０に付されたアライメントマークの画像を撮像し、アライメント部７５は撮像された画像から基板１１０が置かれた方向と、予定位置からの基板１１０の位置ずれ量を検出する。【００５２】
ステップＳ５２において、判定部７８は、基板１１０が置かれた方向が正常であるか否かを判定する。基板１１０が誤った方向で置かれている場合には、ステップＳ５３において、判定部７８はアラーム信号を出力部７４へ出力し、基板１１０を置き直すように作業者に促す。その後、処理はステップＳ５０へ戻る。【００５３】
基板１１０が置かれた方向が正常である場合には、ステップＳ５４において、基板１１０の位置ずれ量がゼロになるようにＸＹステージ７１を移動させ、若しくはレーザ光源７２を移動させて、基板１１０とレーザ光源７２との位置合わせを行う。
ステップＳ５５において、レーザ光源７２から基板１１０へレーザ光を照射して基板１１０にレーザ加工を施す。【００５４】
図１７は、本アライメント装置が適用される製造装置の第３構成例を示す構成図である。製造装置８０は、基板１２０に電子部品１２１を装着して回路基板を製造する製造装置である。
製造装置８０は、ワークピースである基板１２０が置かれ、基板１２０を２次元方向に移動させるためのＸＹステージ８１と、電子部品１２１を運搬して基板１２０上に装着する装着ヘッド８２と、製造装置８０の制御を行うコンピュータ等である制御部８３と、カメラ８６及び８７と、制御部８３から作業者へのメッセージやカメラ８６及び／又は８７の撮影画像を出力するための表示装置や印刷装置である出力部８４を備える。【００５５】
基板１２０には、図２、図４Ａ、図１０Ａ、図１０Ｂ、図１２Ａ及び図１２Ｂなどを参照して説明したアライメントマークが付されており、カメラ８６及び／又は８７は、ＸＹステージ８１上に置かれた基板１２０に付されたアライメントマークを撮像する。
制御部８３は、図１を参照して説明したアライメント装置１０及び判定部１５と同様の処理を実行するアライメント部８５及び判定部８８を有する。制御部８３は所定のプログラムをコンピュータで実行することにより、アライメント部８５及び判定部８８を実現してもよく、専用のハードウエアを備えることにより、アライメント部８５及び判定部８８を実現してもよい。【００５６】
アライメント部８５は、カメラ８６及び／又は８７により撮像された基板１２０に付されたアライメントマークの画像を入力し、ＸＹステージ８１を移動させて装着ヘッド８２に対する基板１２０の位置合わせをするとともに、基板１２０の方向を検出する。なお、ＸＹステージ８１により基板１２０を移動させるのに代えて又はこれに加えて装着ヘッド８２を移動させて、装着ヘッド８２に対する基板１２０の位置合わせをしてもよい。
判定部８８は、アライメント部８５により検出された基板１２０の方向に基づいて、基板１２０がＸＹステージ８１に正しい方向で置かれているか否かを判定し、基板１２０が置かれている方向が誤っている場合には、出力部８４へアラーム信号を出力する。【００５７】
図１８は、図１７に示す製造装置による製造方法のフローチャートである。ステップＳ６０において、作業者が、ＸＹステージ８１上に基板１２０をセットする。
ステップＳ６１において、カメラ８６及び／又は８７によって、基板１２０に付されたアライメントマークの画像を撮像し、アライメント部８５は撮像された画像から基板１２０が置かれた方向と、予定位置からの基板１２０の位置ずれ量を検出する。【００５８】
ステップＳ６２において、判定部８８は、基板１２０が置かれた方向が正常であるか否かを判定する。基板１２０が誤った方向で置かれている場合には、ステップＳ６３において、判定部８８はアラーム信号を出力部８４へ出力し、基板１２０を置き直すように作業者に促す。その後、処理はステップＳ６０へ戻る。【００５９】
基板１２０が置かれた方向が正常である場合には、ステップＳ６４において、基板１２０の位置ずれ量がゼロになるようにＸＹステージ８１を移動させ、若しくは装着ヘッド８２を移動させて、基板１２０と装着ヘッド８２との位置合わせを行う。
ステップＳ６５において、装着ヘッド８２を駆動して基板１２０へ電子部品１２１を装着する。【００６０】
図１９は、本アライメント装置が適用される製造装置の第４構成例を示す構成図である。製造装置９０は、光源９３からの光をホトマスク１３０を経由して半導体ウエハ１３１へ照射させて、半導体ウエハ１３１の表面に塗布されたフォトレジストの露光を行い、半導体ウエハに回路パターンの転写を行う半導体集積回路装置の製造装置である。【００６１】
製造装置９０は、半導体ウエハ１３１が置かれこれを３次元方向に移動させるためのＸＹＺステージ９１と、ホトマスク１３０が置かれホトマスク１３０を２次元方向に移動させるためのマスクステージ９２と、光源９３と、製造装置９０の制御を行うコンピュータ等である制御部９４と、カメラ９７及び９８と、制御部９４から作業者へのメッセージやカメラ９７及び／又は９８の撮影画像を出力するための表示装置や印刷装置である出力部９５を備える。【００６２】
ホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１には、図２、図４Ａ、図１０Ａ、図１０Ｂ、図１２Ａ及び図１２Ｂなどを参照して説明したアライメントマークが付されており、カメラ９７及び／又は９８は、ホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１に付されたアライメントマークを撮像する。
制御部９４は、図１を参照して説明したアライメント装置１０及び判定部１５と同様の処理を実行するアライメント部９６及び判定部９９を有する。制御部９４は所定のプログラムをコンピュータで実行することにより、アライメント部９６及び判定部９９を実現してもよく、専用のハードウエアを備えることにより、アライメント部９６及び判定部９９を実現してもよい。【００６３】
アライメント部９６は、カメラ９７及び／又は９８により撮像された、ホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１にそれぞれ付されたアライメントマークの画像を入力し、ＸＹＺステージ９１及び／又はマスクステージ９２を移動させて、ホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１の間の位置合わせを行うとともに、ホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１が置かれた方向を検出する。【００６４】
判定部９９は、アライメント部９６により検出されたホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１の方向に基づいて、ホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１がそれぞれマスクステージ９２及びＸＹＺステージ９１へ正しい方向で置かれているか否かを判定し、ホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１が置かれた方向が誤っている場合には、出力部９５へアラーム信号を出力する。【００６５】
図２０は、図１９に示す製造装置による製造方法のフローチャートである。ステップＳ７０において、作業者が、マスクステージ９２にホトマスク１３０を、ＸＹＺステージ９１へ半導体ウエハ１３１をセットする。
ステップＳ７１において、ホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１に各々設けられたアライメントマークが、カメラ９７及び９８の被写界深度に入るように、ＸＹＺステージ９１を上昇させてホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１を接近させる。
ステップＳ７２において、カメラ９７及び／又は９８によって、ホトマスク１３０に付されたアライメントマークの画像を撮像し、アライメント部９６は撮像された画像からホトマスク１３０が置かれた方向と、予定位置からのホトマスク１３０の位置ずれ量を検出する。【００６６】
ステップＳ７３において、判定部９９は、ホトマスク１３０が置かれた方向が正常であるか否かを判定する。ホトマスク１３０が誤った方向で置かれている場合には、ステップＳ７４において、判定部９９はアラーム信号を出力部９５へ出力し、ホトマスク１３０を置き直すように作業者に促す。その後、処理はステップＳ７０へ戻る。【００６７】
ホトマスク１３０が置かれた方向が正常である場合には、ステップＳ７５において、カメラ９７及び／又は９８によって、半導体ウエハ１３１に付されたアライメントマークの画像を撮像し、アライメント部９６は撮像された画像から半導体ウエハ１３１が置かれた方向と、予定位置からの半導体ウエハ１３１の位置ずれ量を検出する。
ステップＳ７６において、判定部９９は、半導体ウエハ１３１が置かれた方向が正常であるか否かを判定する。半導体ウエハ１３１が誤った方向で置かれている場合には、ステップＳ７４において、判定部９９はアラーム信号を出力部９５へ出力し、半導体ウエハ１３１を置き直すように作業者に促す。その後、処理はステップＳ７０へ戻る。【００６８】
半導体ウエハ１３１が置かれた方向が正常である場合には、ステップＳ７７において、ホトマスク１３０と半導体ウエハ１３１との間隔が露光に必要な適正な間隔となるように、ＸＹＺステージ９１を降下させてホトマスク１３０と半導体ウエハ１３１とを離間させる。
ステップＳ７８においてアライメント部９６は、ホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１の各位置ずれ量から、ホトマスク１３０と半導体ウエハ１３１との間の位置ずれ量を決定する。そしてアライメント部９６は、決定した位置ずれ量がゼロになるようにＸＹＺステージ９１及び／又はマスクステージ９２を移動させ、ホトマスク１３０及び半導体ウエハ１３１の位置合わせを行う。
ステップＳ７９において、光源９３からの光をホトマスク１３０を経由して半導体ウエハ１３１へ照射させて、半導体ウエハ１３１の表面に塗布されたフォトレジストの露光を行う。【００６９】
以上、本発明の好適な実施態様について詳述したが、当業者が種々の修正及び変更をなし得ること、並びに、特許請求の範囲は本発明の真の精神および趣旨の範囲内にあるこの様な全ての修正及び変更を包含することは、本発明の範囲に含まれることは当業者に理解されるべきものである。
【図１】
2009122529.tif 000003
【図２】
2009122529.tif 000004
【図３】
2009122529.tif 000005
【図４Ａ】
2009122529.tif 000006
【図４Ｂ】
2009122529.tif 000007
【図５】
2009122529.tif 000008
【図６Ａ】
2009122529.tif 000009
【図６Ｂ】
2009122529.tif 000010
【図６Ｃ】
2009122529.tif 000011
【図６Ｄ】
2009122529.tif 000012
【図６Ｅ】
2009122529.tif 000013
【図６Ｆ】
2009122529.tif 000014
【図６Ｇ】
2009122529.tif 000015
【図６Ｈ】
2009122529.tif 000016
【図７】
2009122529.tif 000017
【図８Ａ】
2009122529.tif 000018
【図８Ｂ】
2009122529.tif 000019
【図９Ａ】
2009122529.tif 000020
【図９Ｂ】
2009122529.tif 000021
【図９Ｃ】
2009122529.tif 000022
【図９Ｄ】
2009122529.tif 000023
【図１０Ａ】
2009122529.tif 000024
【図１０Ｂ】
2009122529.tif 000025
【図１１Ａ】
2009122529.tif 000026
【図１１Ｂ】
2009122529.tif 000027
【図１１Ｃ】
2009122529.tif 000028
【図１１Ｄ】
2009122529.tif 000029
【図１１Ｅ】
2009122529.tif 000030
【図１１Ｆ】
2009122529.tif 000031
【図１１Ｇ】
2009122529.tif 000032
【図１１Ｈ】
2009122529.tif 000033
【図１２Ａ】
2009122529.tif 000034
【図１２Ｂ】
2009122529.tif 000035
【図１３】
2009122529.tif 000036
【図１４】
2009122529.tif 000037
【図１５】
2009122529.tif 000038
【図１６】
2009122529.tif 000039
【図１７】
2009122529.tif 000040
【図１８】
2009122529.tif 000041
【図１９】
2009122529.tif 000042
【図２０】
2009122529.tif 000043
【手続補正書】
【提出日】平成22年5月28日(2010.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
面状体に設けられた非回転対称形状のアライメントマークの画像を撮像する撮像部と、
前記画像から前記アライメントマークの位置を検出する位置検出部と、
前記アライメントマークの位置に基づいて、所定の基準位置と前記面状体との相対位置を調整する位置調整部と、
前記画像に撮像されたアライメントマークの非回転対称性に基づいて前記面状体の向きを検出する方向検出部と、
を備える前記面状体のアライメント装置。
【請求項２】
前記アライメントマークは、それぞれ前記位置検出部によって位置が検出される各前記アライメントマーク毎に非回転対称性を有する請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項３】
前記アライメントマークの形状は、非線対称である請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項４】
請求項１に記載の前記アライメント装置を有し、透明である複数の前記面状体を貼り合わせて多層部品を製造する前記多層部品の製造装置であって、
前記アライメント装置は、前記複数の面状体の貼り合わせの際にこれら面状体同士の位置合わせを行うともに、前記製造装置へセットされた前記面状体の少なくとも１つの向きを検出し、
前記製造装置は、前記検出された向きに基づいて、前記面状体が正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する判定部を有する製造装置。
【請求項５】
請求項１に記載の前記アライメント装置を有し、透明である前記面状体を加工して面状透明部品を製造する製造装置であって、
前記アライメント装置は、前記製造装置にセットされた前記面状体の位置決めを行うとともに、前記製造装置へセットされた前記面状体の向きを検出し、
前記製造装置は、前記検出された向きに基づいて、前記面状体が正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する判定部を有する製造装置。
【請求項６】
面状体に設けられた非回転対称形状のアライメントマークの画像を撮像し、
前記画像から前記アライメントマークの位置を検出し、
前記アライメントマークの位置に基づいて、所定の基準位置と前記面状体との相対位置を調整し、
前記画像に撮像されたアライメントマークの非回転対称性に基づいて前記面状体の向きを検出する前記面状体のアライメント方法。
【請求項７】
請求項６に記載の前記アライメント方法によって前記面状体の位置決めを行う、透明である複数の前記面状体を貼り合わせて多層部品を製造する前記多層部品の製造装置により前記多層部品を製造する製造方法であって、
前記アライメント方法によって、前記複数の面状体の貼り合わせの際にこれら面状体同士の位置合わせを行うともに、前記製造装置へセットされた前記面状体の少なくとも１つの向きを検出し、
前記検出された向きに基づいて、前記面状体が正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する製造方法。
【請求項８】
請求項６に記載の前記アライメント方法によって前記面状体の位置決めを行う、透明である前記面状体を加工して面状透明部品を製造する製造装置により前記面状透明部品を製造する製造方法であって、
前記アライメント方法によって前記製造装置にセットされた前記面状体の位置決めを行うとともに、前記製造装置へセットされた前記面状体の向きを検出し、
前記検出された向きに基づいて、前記面状体が正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する製造方法。
【請求項９】
請求項６に記載の前記アライメント方法によって前記面状体の位置決めを行う、前記面状体としての基板を加工し及び／又はこの基板に電子部品を装着して回路基板を製造する回路基板の製造装置により前記回路基板を製造する製造方法であって、
前記アライメント方法によって前記製造装置にセットされた前記基板の位置決めを行うとともに、前記製造装置へセットされた前記基板の向きを検出し、
前記検出された向きに基づいて、前記基板が正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する製造方法。
【請求項１０】
請求項６に記載の前記アライメント方法によって前記面状体としてのマスクと半導体ウエハとの位置合わせを行う、前記マスクを用いて前記半導体ウエハに回路パターンの転写を行う半導体集積回路装置の製造装置により半導体集積回路装置を製造する製造方法であって、
前記アライメント方法によって前記製造装置にセットされた前記マスクの位置決めを行うとともに、前記製造装置へセットされた前記マスク及び／又は前記半導体ウエハの向きを検出し、
前記検出された向きに基づいて、前記マスク及び／又は前記半導体ウエハが正常な向きで前記製造装置にセットされているか否かを判定する製造方法。
【国際調査報告】
2009122529.tif 000044
2009122529.tif 000045
2009122529.tif 000046
2009122529.tif 000047