(57)【要約】  液処理装置は、第１処理用流体を供給する第１供給源５２と、第２処理用流体を供給する第２供給源５３と、を備えている。第１処理用流体供給路６２ｕ，６２ｌと第２処理用流体供給路６３には、混合部２６で生成された混合流体を被処理体に供給する吐出口２７が連結されている。第１処理用流体供給路６２ｕに設けられた開閉弁２０の下流側には流量調整弁１０が設けられている。流量調整弁１０は、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部５１に連結され、弁駆動用流体と第１処理用流体とが協働することによって、その開閉速度が調整される。
2009098969.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を処理する液処理装置において、
処理用流体を供給する供給源と、
前記供給源に連結され、当該供給源から供給される処理用流体を案内する処理用流体供給路と、
前記処理用流体供給路に連結され、当該処理用流体供給路によって案内された処理用流体を前記被処理体に供給する吐出口と、
前記処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、
前記開閉弁の下流側に設けられた流量調整弁と、を備え、
前記流量調整弁は、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結され、弁駆動用流体と処理用流体とが協働することによって、その開閉速度が調整されることを特徴とする液処理装置。
【請求項２】
前記流量調整弁と前記吐出口の間に、処理用流体の流速が供給開始時に遅くされる緩衝部が設けられたことを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項３】
前記流量調整弁は、前記弁駆動用流体供給部から弁駆動用流体が供給される弁駆動用流体供給口と、前記処理用流体供給路内から処理用流体が案内される処理用流体流入口と、前記弁駆動用流体供給口と前記処理用流体流入口との間に配置されて往復自在な弁部と、を有することを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項４】
前記弁駆動用流体供給部と前記流量調整弁との間に、弁駆動用流体を案内する弁駆動用流体供給路が設けられ、
当該弁駆動用流体供給路に、弁駆動用流体の圧力を調整する圧力調整部が設けられたことを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項５】
被処理体を処理する液処理装置において、
第１処理用流体を供給する第１供給源と、
第２処理用流体を供給する第２供給源と、
前記第１供給源に連結され、当該第１供給源から供給される第１処理用流体を案内する第１処理用流体供給路と、
前記第２供給源に連結され、当該第２供給源から供給される第２処理用流体を案内する第２処理用流体供給路と、
前記第１処理用流体供給路と前記第２処理用流体供給路に連結され、前記第１処理用流体供給路によって案内された第１処理用流体と、前記第２処理用流体供給路によって案内された第２処理用流体とを混合して混合流体を生成する混合部と、
前記混合部に連結され、当該混合部内で生成された混合流体を前記被処理体に供給する吐出口と、
前記第１処理用流体供給路および前記第２処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、
前記第１処理用流体供給路の前記開閉弁の下流側に設けられた流量調整弁と、を備え、
前記流量調整弁は、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結され、弁駆動用流体と第１処理用流体とが協働することによって、その開閉速度が調整されることを特徴とする液処理装置。
【請求項６】
前記第１供給源から供給される第１処理用流体は気体からなり、
前記第２供給源から供給される第２処理用流体は液体からなることを特徴とする請求項５に記載の液処理装置。
【請求項７】
前記第１供給源から供給される第１処理用流体は液体からなり、
前記第２供給源から供給される第２処理用流体は気体からなることを特徴とする請求項５に記載の液処理装置。
【請求項８】
前記弁駆動用流体供給部から供給される弁駆動用流体は気体からなることを特徴とする請求項５に記載の液処理装置。
【請求項９】
前記流量調整弁と前記吐出口の間に、処理用流体の流速が供給開始時に遅くされる緩衝部が設けられたことを特徴とする請求項５に記載の液処理装置。
【請求項１０】
処理用流体を供給する供給源と、前記供給源に連結された処理用流体供給路と、前記処理用流体供給路に連結された吐出口と、前記処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、前記開閉弁の下流側に設けられるとともに、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結された流量調整弁と、を有する液処理装置を用いた液処理方法であって、
前記供給源によって、処理用流体が供給されることと、
前記処理用流体供給路によって、前記供給源から供給される処理用流体が案内されることと、
前記流量調整弁内で弁駆動用流体と処理用流体とが協働することによって、当該流量調整弁の開閉速度が調整されることと、
前記吐出口によって、前記処理用流体供給路によって案内された処理用流体が被処理体に供給されることと、
を備えたことを特徴とする液処理方法。
【請求項１１】
前記流量調整弁と前記吐出口の間に設けられた緩衝部によって、処理用流体の流速が遅くされることを特徴とする請求項１０に記載の液処理方法。
【請求項１２】
第１処理用流体を供給する第１供給源と、第２処理用流体を供給する第２供給源と、前記第１供給源に連結された第１処理用流体供給路と、前記第２供給源に連結された第２処理用流体供給路と、前記第１処理用流体供給路と前記第２処理用流体供給路に連結された混合部と、前記混合部に連結された吐出口と、前記第１処理用流体供給路および前記第２処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、前記第１処理用流体供給路の前記開閉弁の下流側に設けられるとともに、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結された流量調整弁と、を有する液処理装置を用いた液処理方法であって、
前記第１供給源によって、第１処理用流体が供給されることと、
前記第２供給源によって、第２処理用流体が供給されることと、
前記第１処理用流体供給路によって、前記第１供給源から供給される第１処理用流体が案内されることと、
前記第２処理用流体供給路によって、前記第２供給源から供給される第２処理用流体が案内されることと、
前記流量調整弁内で、弁駆動用流体と第１処理用流体とが協働することによって、当該流量調整弁の開閉速度が調整されることと、
前記混合部内で、第１処理用流体と第２処理用流体とが混合されて混合流体が生成されることと、
前記混合部内で生成された混合流体が被処理体に供給されることと、
を備えたことを特徴とする液処理方法。
【請求項１３】
前記流量調整弁と前記吐出口の間に設けられた緩衝部によって、第１処理用流体の流速が遅くされることを特徴とする請求項１２に記載の液処理方法。
【発明の詳細な説明】
【関連する出願の相互参照】
【０００１】
本願は、２００８年２月８日に出願された特願２００８−２９２３５号に対して優先権を主張し、当該特願２００８−２９２３５号のすべての内容が参照されてここに組み込まれるものとする。
【技術分野】
【０００２】
本発明は、被処理体に処理液を供給して、当該被処理体を処理する液処理装置および液処理方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
従来の液処理装置は、ノズル（吐出口）と、ノズル内に液体を供給する液体供給手段と、を備え、ノズルより被処理体に圧縮液体（加圧された処理液）を供給して液処理を行っている。そして、このように圧縮液体を供給する液処理装置においては、液体供給手段によって液体を供給し始める初期段階において、ノズルから圧縮液体が急速に供給され、この圧縮液体の過剰な勢いによってウエハに悪影響がでる可能性がある。【０００４】
また、従来の液処理装置のうち、ノズル内に圧縮気体を供給する圧縮気体供給手段をさらに備えた処理装置においては、液体供給手段から供給される液体と、圧縮気体供給手段から供給される圧縮気体とが混合し始める初期段階において（圧縮気体供給手段に設けられた開閉バルブを開いた際に）、圧縮気体が急速に噴出し、ノズルから供給される処理液（混合流体）のミストの粒子サイズが安定しない、という問題がある。【０００５】
このような問題に対しては、圧縮気体供給手段に、圧縮気体の流量を調整するマスフローコントローラなどを設けて、圧縮気体が急速に噴出しないようにすることもできる（特開２００５−３２７８３３号公報、参照）。【０００６】
しかしながら、多数（例えば２０個）のノズルを用いる液処理装置に対して、特開２００５−３２７８３３号公報に示されているようにノズル毎にマスフローコントローラを設けることは、コスト面で現実味が乏しいものとなっている。
【発明の開示】
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、低コストで、吐出口から被処理体に供給される混合流体の粒子サイズを均一にすることができる液処理装置や、低コストで、供給される液体の過剰な勢いによって被処理体に悪影響がでることを防止することができる液処理装置を提供する。また、このような液処理装置を用いた液処理方法も提供する。
【０００８】
本発明による液処理装置の第１の態様は、
被処理体を処理する液処理装置において、
処理用流体を供給する供給源と、
前記供給源に連結され、当該供給源から供給される処理用流体を案内する処理用流体供給路と、
前記処理用流体供給路に連結され、当該処理用流体供給路によって案内された処理用流体を前記被処理体に供給する吐出口と、
前記処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、
前記開閉弁の下流側に設けられた流量調整弁と、を備え、
前記流量調整弁が、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結され、弁駆動用流体と処理用流体とが協働することによって、その開閉速度が調整される。
【０００９】
このような構成により、低コストで、供給される液体の過剰な勢いによって被処理体に悪影響がでることを防止することができる。
【００１０】
本発明による液処理装置の第１の態様において、
前記流量調整弁と前記吐出口の間に、処理用流体の流速を供給開始時に遅くする緩衝部を設けることができる。
【００１１】
このような構成により、供給される液体の過剰な勢いによって被処理体に悪影響がでることを、より確実に防止することができる。
【００１２】
本発明による液処理装置の第１の態様において、
前記流量調整弁は、前記弁駆動用流体供給部から弁駆動用流体が供給される弁駆動用流体供給口と、前記処理用流体供給路内から処理用流体が案内される処理用流体流入口と、前記弁駆動用流体供給口と前記処理用流体流入口との間に配置されて往復自在な弁部と、を有することができる。
【００１３】
本発明による液処理装置の第１の態様において、
前記弁駆動用流体供給部と前記流量調整弁との間に、弁駆動用流体を案内する弁駆動用流体供給路を設け、当該弁駆動用流体供給路に、弁駆動用流体の圧力を調整する圧力調整部を設けることができる。
【００１４】
このような構成により、突発的な勢いで吐出口に処理用流体が供給されることを防止することができ、供給される液体の過剰な勢いによって被処理体に悪影響がでることを、より確実に防止することができる。
【００１５】
本発明による液処理装置の第２の態様は、
被処理体を処理する液処理装置において、
第１処理用流体を供給する第１供給源と、
第２処理用流体を供給する第２供給源と、
前記第１供給源に連結され、当該第１供給源から供給される第１処理用流体を案内する第１処理用流体供給路と、
前記第２供給源に連結され、当該第２供給源から供給される第２処理用流体を案内する第２処理用流体供給路と、
前記第１処理用流体供給路と前記第２処理用流体供給路に連結され、前記第１処理用流体供給路によって案内された第１処理用流体と、前記第２処理用流体供給路によって案内された第２処理用流体とを混合して混合流体を生成する混合部と、
前記混合部に連結され、当該混合部内で生成された混合流体を前記被処理体に供給する吐出口と、
前記第１処理用流体供給路および前記第２処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、
前記第１処理用流体供給路の前記開閉弁の下流側に設けられた流量調整弁と、を備え、
前記流量調整弁が、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結され、弁駆動用流体と第１処理用流体とが協働することによって、その開閉速度が調整される。
【００１６】
このような構成により、低コストで、吐出口から被処理体に供給される混合流体の粒子サイズを均一にすることができる。
【００１７】
本発明による液処理装置の第２の態様において、
前記第１供給源から供給される第１処理用流体は気体からなり、前記第２供給源から供給される第２処理用流体は液体からなってもよい。
【００１８】
本発明による液処理装置の第２の態様において、
前記第１供給源から供給される第１処理用流体は液体からなり、前記第２供給源から供給される第２処理用流体は気体からなってもよい。
【００１９】
本発明による液処理装置の第２の態様において、
前記弁駆動用流体供給部から供給される弁駆動用流体は気体からなってもよい。
【００２０】
本発明による液処理装置の第２の態様において、
前記流量調整弁と前記吐出口の間に、処理用流体の流速を供給開始時に遅くする緩衝部を設けることができる。
【００２１】
このような構成により、吐出口から被処理体に供給される混合流体の粒子サイズをより均一にすることができる。
【００２２】
本発明による液処理方法の第１の態様は、
処理用流体を供給する供給源と、前記供給源に連結された処理用流体供給路と、前記処理用流体供給路に連結された吐出口と、前記処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、前記開閉弁の下流側に設けられるとともに、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結された流量調整弁と、を有する液処理装置を用いた液処理方法であって、
前記供給源によって、処理用流体が供給されることと、
前記処理用流体供給路によって、前記供給源から供給される処理用流体が案内されることと、
前記流量調整弁内で弁駆動用流体と処理用流体とが協働することによって、当該流量調整弁の開閉速度が調整されることと、
前記吐出口によって、前記処理用流体供給路によって案内された処理用流体が被処理体に供給されることと、
を備えている。
【００２３】
このような方法により、低コストで、供給される液体の過剰な勢いによって被処理体に悪影響がでることを防止することができる。
【００２４】
本発明による液処理方法の第１の態様において、
前記流量調整弁と前記吐出口の間に設けられた緩衝部によって、処理用流体の流速を遅くしてもよい。
【００２５】
このような方法により、供給される液体の過剰な勢いによって被処理体に悪影響がでることを、より確実に防止することができる。
【００２６】
本発明による液処理方法の第２の態様は、
第１処理用流体を供給する第１供給源と、第２処理用流体を供給する第２供給源と、前記第１供給源に連結された第１処理用流体供給路と、前記第２供給源に連結された第２処理用流体供給路と、前記第１処理用流体供給路と前記第２処理用流体供給路に連結された混合部と、前記混合部に連結された吐出口と、前記第１処理用流体供給路および前記第２処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、前記第１処理用流体供給路の前記開閉弁の下流側に設けられるとともに、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結された流量調整弁と、を有する液処理装置を用いた液処理方法であって、
前記第１供給源によって、第１処理用流体が供給されることと、
前記第２供給源によって、第２処理用流体が供給されることと、
前記第１処理用流体供給路によって、前記第１供給源から供給される第１処理用流体が案内されることと、
前記第２処理用流体供給路によって、前記第２供給源から供給される第２処理用流体が案内されることと、
前記流量調整弁内で、弁駆動用流体と第１処理用流体とが協働することによって、当該流量調整弁の開閉速度が調整されることと、
前記混合部内で、第１処理用流体と第２処理用流体とが混合されて混合流体が生成されることと、
前記混合部内で生成された混合流体が被処理体に供給されることと、
を備えている。
【００２７】
このような方法により、低コストで、吐出口から被処理体に供給される混合流体の粒子サイズを均一にすることができる。
【００２８】
本発明による液処理方法の第２の態様において、
前記流量調整弁と前記吐出口の間に設けられた緩衝部によって、第１処理用流体の流速を遅くしてもよい。
【００２９】
このような方法により、吐出口から被処理体に供給される混合流体の粒子サイズをより確実に均一にすることができる。
【００３０】
本発明によれば、開閉弁の下流側に、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結された流量調整弁が設けられている。このため、低コストで、供給される液体の過剰な勢いによって被処理体に悪影響がでない液処理装置を提供することができる。また、低コストで、吐出口から被処理体に供給される混合流体の粒子サイズを均一にする液処理装置を提供することもできる。さらに、このような液処理装置を用いた液処理方法も提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態による液処理装置を示す構成図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態による液処理装置の流量調整弁を示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態による液処理装置の緩衝部の配置態様を示す断面図である。
【図４】図４は、本発明の第２の実施の形態による液処理装置を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
第１の実施の形態
以下、本発明に係る液処理装置および液処理方法の第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図３は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【００３３】
図１に示すように、液処理装置は、半導体ウエハ（以下、単にウエハとも呼ぶ）などの被処理体に窒素ガスなどの気体からなる第１処理用流体と、純水などの液体からなる第２処理用流体とを混合して生成された混合流体を供給して処理する。なお、以下では、第１処理用流体としてはその一例として挙げられる窒素ガスを用い、第２処理用流体としてはその一例として挙げられる純水を用いて説明する。
【００３４】
図１に示すように、液処理装置は、窒素ガスを供給する窒素ガス供給源（第１供給源）５２と、純水を供給する純水供給源（第２供給源）５３と、窒素ガス供給源５２に連結され、当該窒素ガス供給源５２から供給される窒素ガスを案内する窒素ガス供給路（第１処理用流体供給路）６２ｕ，６２ｌと、純水供給源５３に連結され、当該純水供給源５３から供給される純水を案内する純水供給路６３（第２処理用流体供給路）と、を備えている。なお、図１において、窒素ガス供給路６２ｕ，６２ｌのうち、流量調整弁１０よりも上流側を窒素ガス供給路６２ｕとし、流量調整弁１０よりも下流側を窒素ガス供給路６２ｌとしている。
【００３５】
また、図１に示すように、窒素ガス供給路６２ｌと純水供給路６３には、洗浄液供給部（流体供給部）２５が連結されている。そして、この洗浄液供給部２５は、窒素ガス供給路６２ｌによって案内された窒素ガスと純水供給路６３によって案内された純水とを混合して混合流体を生成する混合部２６と、混合部２６に連結されて当該混合部２６内で生成された混合流体を前記被処理体に供給する吐出口２７と、を有している。
【００３６】
また、図１に示すように、窒素ガス供給路６２ｕには窒素ガス開閉弁２０が設けられている。また、窒素ガス供給路６２ｕのうち窒素ガス供給源５２と窒素ガス開閉弁２０との間には、窒素ガス供給源５２から供給される窒素ガスに対する圧力を調整する窒素ガス圧力調整弁２２が設けられ、この窒素ガス圧力調整弁２２の下流側には、窒素ガス供給路６２ｕ内を流れる窒素ガスの流量を計測する窒素ガス流量計２３が設けられている。
【００３７】
また、図１に示すように、窒素ガス開閉弁２０にはエアー供給路６４，６４ａを介してエアー供給部５４が連結されている。そして、窒素ガス開閉弁２０には、エアー供給部５４からのエアーが流入され、このエアーから加えられる力によって、窒素ガス開閉弁２０の開閉状態が制御されるようになっている。
【００３８】
また、図１に示すように、エアー供給路６４にはエアー供給部５４から供給されるエアーに対する圧力を調整するエアー圧力調整弁４２が設けられ、このエアー圧力調整弁４２の下流側にはエアーの供給／停止（オン／オフ）を制御するエアー切替弁４１が、設けられている。
【００３９】
また、図１に示すように、純水供給路６３には、この純水供給路６３内を流れる純水の流量を計測する純水流量計３３が設けられ、この純水流量計３３の下流側には純水開閉弁３０が設けられている。そして、純水開閉弁３０には、エアー供給路６４ｂを介してエアー供給部５４からのエアーが流入され、このエアーから加えられる力によって、純水開閉弁３０の開閉状態が制御されるようになっている。
【００４０】
また、図１に示すように、窒素ガス供給路６２ｕ，６２ｌのうち窒素ガス開閉弁２０の下流側には、エアーなどの気体からなる弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部５１に弁駆動用流体供給路６１を介して連結された流量調整弁１０が設けられている。なお、以下では、弁駆動用流体としてはその一例として挙げられるエアーを用いて説明する。
【００４１】
この流量調整弁１０は、図２に示すように、弁駆動用流体供給路６１によってエアーが案内されるエアー供給口（弁駆動用流体供給口）７１と、窒素ガス供給路６２ｕによって窒素ガスが案内される窒素ガス流入口（処理用流体流入口）７２と、エアー供給口７１と窒素ガス流入口７２との間に配置されて往復自在な弁部７５と、窒素ガスを窒素ガス供給路６２ｌに流出する窒素ガス流出口（処理用流体流出口）７３と、を有している。
【００４２】
そして、この流量調整弁１０は、エアーと窒素ガスとが協働することによって、その開閉速度が調整される（図２参照）。すなわち、弁部７５の上部にはエアー供給口７１によって案内されるエアーによる押圧力が加わり、弁部７５の下部には窒素ガス流入口７２によって案内される窒素ガスによる押圧力が加わる。そして、弁部７５の上部に加わるエアーによる押圧力と、弁部７５の下部に加わる窒素ガスによる押圧力との均衡によって、弁部７５の開閉速度が調整されることとなる。
【００４３】
また、図１に示すように、窒素ガス供給路６２ｌのうち、流量調整弁１０の下流側であって洗浄液供給部２５の上流側には、内部が空洞になった緩衝部１５が設けられている。また、この緩衝部１５の下流側にはフィルタ４５が設けられている。
【００４４】
また、図１に示すように、弁駆動用流体供給路６１には弁駆動用流体供給部５１から供給されるエアーに対する圧力を調整するエアー圧力調整弁（圧力調整部）１２が設けられ、このエアー圧力調整弁の下流側にはエアーの供給／停止（オン／オフ）を制御する弁駆動用流体切替弁１１が、設けられている。
【００４５】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。
【００４６】
窒素ガス（第１処理用流体）について
最初に、窒素ガスが洗浄液供給部２５の混合部２６内に流入されるまでの工程について説明する。
【００４７】
まず、窒素ガス供給源５２によって、窒素ガスが供給される（第１処理用流体供給工程）（図１参照）。そして、この窒素ガスは、窒素ガス供給路６２ｕ，６２ｌによって案内される（第１処理用流体案内工程）（図１参照）。以下の各工程は、窒素ガスが窒素ガス供給路６２ｕ，６２ｌによって案内されている間に実施される。
【００４８】
窒素ガス供給源５２から供給された窒素ガスは、窒素ガス圧力調整弁２２と窒素ガス流量計２３とを順次経る（図１参照）。
【００４９】
次に、窒素ガスは、窒素ガス開閉弁２０に達する（図１参照）。この窒素ガス開閉弁２０の開閉状態は、エアー供給部５４から供給されるエアーにより加えられる力によって調整されている。
【００５０】
次に、窒素ガスは流量調整弁１０に達し、この流量調整弁１０の窒素ガス流入口７２から流入される（図２参照）。このとき、弁駆動用流体供給部５１から供給されるエアーがエアー供給口７１から流入され、弁部７５の上部にはエアー供給口７１から供給されるエアーによる押圧力が加わっている（図２参照）。
【００５１】
このように、弁部７５の上部にエアーによる押圧力が加わった状態で、弁部７５の下方から窒素ガスが流入されるので、エアーと窒素ガスとが協働することによって流量調整弁１０の開閉速度が調整され（流速調整工程）、窒素ガスが突発的な勢いで窒素ガス流出口７３から流出されることを防止することができる（図２参照）。
【００５２】
すなわち、従来技術であれば、窒素ガス開閉弁を開状態にしたときに、窒素ガスが突発的な勢いで洗浄液供給部に供給されることがあるが、本実施の形態によれば、流量調整弁１０が設けられ、この流量調整弁１０の弁部７５の上部にエアーによる押圧力が加わった状態で、流量調整弁１０の弁部７５の下方から窒素ガスが流入される（図２参照）。このため、窒素ガス開閉弁２０を開状態にしたときに窒素ガスが突発的な勢いで流量調整弁１０内に流れ込んだ場合であっても、流量調整弁１０をゆっくり開けることができ、突発的な勢いで洗浄液供給部２５に窒素ガスが供給されることを防止することができる。
【００５３】
ここで、図１に示すように、弁駆動用流体供給路６１には弁駆動用流体供給部５１から供給されるエアーに対する圧力を調整するエアー圧力調整弁１２が設けられている。このため、弁部７５の上部に加わるエアーによる押圧力を適宜調整することができ、突発的な勢いで洗浄液供給部２５に窒素ガスが供給されることを、より確実に防止することができる。
【００５４】
上述のようにして流量調整弁１０を経た窒素ガスは、内部が空洞になった緩衝部１５内に流入され、突発的な勢いで洗浄液供給部２５に供給されることをさらに防止できる。
【００５５】
緩衝部１５を経た窒素ガスは、フィルタ４５を通過した後、ウエハを処理することとなっている洗浄液供給部２５の混合部２６内に流入される（図１参照）。
【００５６】
純水（第２処理用流体）について
次に、純水が洗浄液供給部２５の混合部２６内に流入されるまでの工程について説明する。
【００５７】
まず、純水供給源５３によって、純水が供給される（第２処理用流体供給工程）（図１参照）。そして、この純水は、純水供給路６３によって案内される（第２処理用流体案内工程）（図１参照）。以下の各工程は、純水が純水供給路６３によって案内されている間に実施される。
【００５８】
純水供給源５３から供給された純水は、純水供給路６３内を流れる純水の流量を計測する純水流量計３３を経る（図１参照）。その後、純水は、純水開閉弁３０に達する。なお、この純水開閉弁３０の開閉状態は、エアー供給部５４から供給されるエアーによって加えられる力により調整される。
【００５９】
次に、純水は、ウエハを処理する洗浄液供給部２５の混合部２６内に流入される（図１参照）。なお、この洗浄液供給部２５は、窒素ガスが供給される洗浄液供給部２５と同一のものである。
【００６０】
混合流体の供給について
上述のようにして、所定の洗浄液供給部２５の混合部２６内に窒素ガスと純水が流入されると、当該混合部２６内で窒素ガスと純水とが混合されて混合流体が生成される（混合工程）（図１参照）。その後、混合部２６内で生成された混合流体が、吐出口２７を介して被処理体に噴出される（処理工程）（図１参照）。
【００６１】
上述のように、本実施の形態によれば、流量調整弁１０によって供給開始時に突発的な勢いで洗浄液供給部２５に窒素ガスが供給されることを防止することができる。さらに、このように吐出口２７を介して混合流体がウエハに噴出されるときに、混合流体の粒子サイズを均一にすることができる。
【００６２】
また、上述のように、緩衝部１５によって洗浄液供給部２５に突発的な勢いで窒素ガスが供給されることをより確実に防止することができる。さらに、ウエハに噴出される混合流体の粒子サイズを、より確実に均一にすることができる。
【００６３】
また、本実施の形態によれば、マスフローコントローラと比較して安価な流量調整弁１０を一つ設けるだけで、洗浄液供給部２５へ供給される窒素ガスの流速を調整することができる（窒素ガスが突発的な勢いで供給されることを防止することができる）（図１参照）。このため、特開２００５−３２７８３３号公報に示した従来技術のように、各洗浄液供給部にマスフローコントローラを設ける必要がなく、上述したような効果を低コストで実現することができる。
【００６４】
ところで、上記では緩衝部１５の配置態様については言及しなかったが、図３に示すように、窒素ガス供給路６２ｌの延在する方向に流入口１５ａが直交するように配置してもよい（なお、図３に示した矢印は窒素ガスの流れる方向を示している）。このように、緩衝部１５の流入口１５ａを配置することによって、窒素ガス供給路６２ｌを流れる窒素ガスは、緩衝部１５内により流入しやすくなる。
【００６５】
このため、供給開始時に、洗浄液供給部２５に突発的な勢いで窒素ガスが供給されることをさらに確実に防止することができ、ひいては、ウエハに噴出される混合流体の粒子サイズをさらに確実に均一にすることができる。
【００６６】
第２の実施の形態
次に、図４により、本発明の第２の実施の形態について説明する。図４に示す第２の実施の形態は、洗浄液供給部２５から加圧された洗浄液が供給され（本実施の形態では純水）、純水供給源（供給源）５３に連結された純水供給路６３ｕ，６３ｌに流量調整弁１０が設けられる。そして、本実施の形態では、弁駆動用流体供給部５１と流量調整弁１０との間に配置された部材の構成と、エアー供給部５４と流量調整弁１０との間に配置された部材の構成が、第１の実施の形態と略同一になっている。なお、図４において、純水供給路６３ｕ，６３ｌのうち、流量調整弁１０よりも上流側を純水供給路６３ｕとし、流量調整弁１０よりも下流側を純水供給路６３ｌとしている。
【００６７】
図４に示す第２の実施の形態において、図１乃至図３に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６８】
図４に示すように、本実施の形態では、純水供給路６３ｕ，６３ｌに流量調整弁１０が設けられており、当該流量調整弁１０によって洗浄液供給部２５に供給される純水の流速を調整することができ、第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００６９】
つまり、本実施の形態によれば、弁部７５の上部にエアーによる押圧力が加わった状態で、弁部７５の下方から純水が流入されるので、エアーと純水とが協働することによって流量調整弁１０の開閉速度が調整され（流速調整工程）、純水が突発的な勢いで純水流出口（処理用流体流出口）７３から流出されることを防止することができる（図２参照）。
【００７０】
すなわち、従来技術であれば、純水開閉弁を開状態にしたときに、純水が突発的な勢いで洗浄液供給部に供給されることがあるが、本実施の形態によれば、流量調整弁１０が設けられ、この流量調整弁１０の弁部７５の上部にエアーによる押圧力が加わった状態で、流量調整弁１０の弁部７５の下方から純水が流入される（図２参照）。このため、純水開閉弁３０を開状態にしたときに純水が突発的な勢いで流量調整弁１０内に流れ込んだ場合であっても、流量調整弁１０をゆっくり開けることができ、突発的な勢いで洗浄液供給部２５に純水が供給されることを防止することができる。また、従来技術で用いられたマスフローコントローラでは、気体の流量しか制御することができなかったのに対して、本実施の形態のような流量調整弁１０を用いると、液体の流量を制御することもできる。
【００７１】
また、流量調整弁１０を経た純水は、内部が空洞になった緩衝部１５内に流入され、供給開始時の純水の流速がさらに遅くされる（図４参照）。このため、供給開始時の純水の流速が、流量調整弁１０によって十分に遅くできなかった場合であっても、この緩衝部１５内で遅くすることができ、洗浄液供給部２５に突発的な勢いで純水が供給されることを、より確実に防止することができる。
【００７２】
このように、流量調整弁１０および緩衝部１５によって突発的な勢いで洗浄液供給部２５に純水が供給されることを防止することができるので、処理工程において、純水が過剰な勢いでウエハに供給されることを防止することができる。このため、過剰な勢いの純水によってウエハに悪影響がでることを防止することができる。
【００７３】
また、本実施の形態によっても、やはり、マスフローコントローラと比較して安価な流量調整弁１０を一つ設けるだけで、洗浄液供給部２５へ供給される純水の流速を調整することができる（純水が突発的な勢いで供給されることを防止することができる）（図４参照）。このため、上述したような効果を低コストで実現することができる。
【図１】
2009098969.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【手続補正書】
【提出日】平成23年1月21日(2011.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を処理する液処理装置において、
処理用流体を供給する供給源と、
前記供給源に連結され、当該供給源から供給される処理用流体を案内する処理用流体供給路と、
前記処理用流体供給路に連結され、当該処理用流体供給路によって案内された処理用流体を前記被処理体に供給する吐出口と、
前記処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、
前記開閉弁の下流側に設けられた流量調整弁と、を備え、
前記流量調整弁は、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結され、弁駆動用流体による押圧力と処理用流体による押圧力との均衡によって、その開閉速度が調整されることを特徴とする液処理装置。
【請求項２】
前記流量調整弁と前記吐出口の間に、処理用流体の流速が供給開始時に遅くされる緩衝部が設けられたことを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項３】
前記流量調整弁は、前記弁駆動用流体供給部から弁駆動用流体が供給される弁駆動用流体供給口と、前記処理用流体供給路内から処理用流体が案内される処理用流体流入口と、前記弁駆動用流体供給口と前記処理用流体流入口との間に配置されて往復自在な弁部と、を有することを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項４】
前記弁駆動用流体供給部と前記流量調整弁との間に、弁駆動用流体を案内する弁駆動用流体供給路が設けられ、
当該弁駆動用流体供給路に、弁駆動用流体の圧力を調整する圧力調整部が設けられたことを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項５】
被処理体を処理する液処理装置において、
第１処理用流体を供給する第１供給源と、
第２処理用流体を供給する第２供給源と、
前記第１供給源に連結され、当該第１供給源から供給される第１処理用流体を案内する第１処理用流体供給路と、
前記第２供給源に連結され、当該第２供給源から供給される第２処理用流体を案内する第２処理用流体供給路と、
前記第１処理用流体供給路と前記第２処理用流体供給路に連結され、前記第１処理用流体供給路によって案内された第１処理用流体と、前記第２処理用流体供給路によって案内された第２処理用流体とを混合して混合流体を生成する混合部と、
前記混合部に連結され、当該混合部内で生成された混合流体を前記被処理体に供給する吐出口と、
前記第１処理用流体供給路および前記第２処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、
前記第１処理用流体供給路の前記開閉弁の下流側に設けられた流量調整弁と、を備え、
前記流量調整弁は、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結され、弁駆動用流体による押圧力と第１処理用流体による押圧力との均衡によって、その開閉速度が調整されることを特徴とする液処理装置。
【請求項６】
前記第１供給源から供給される第１処理用流体は気体からなり、
前記第２供給源から供給される第２処理用流体は液体からなることを特徴とする請求項５に記載の液処理装置。
【請求項７】
前記第１供給源から供給される第１処理用流体は液体からなり、
前記第２供給源から供給される第２処理用流体は気体からなることを特徴とする請求項５に記載の液処理装置。
【請求項８】
前記弁駆動用流体供給部から供給される弁駆動用流体は気体からなることを特徴とする請求項５に記載の液処理装置。
【請求項９】
前記流量調整弁と前記吐出口の間に、処理用流体の流速が供給開始時に遅くされる緩衝部が設けられたことを特徴とする請求項５に記載の液処理装置。
【請求項１０】
処理用流体を供給する供給源と、前記供給源に連結された処理用流体供給路と、前記処理用流体供給路に連結された吐出口と、前記処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、前記開閉弁の下流側に設けられるとともに、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結された流量調整弁と、を有する液処理装置を用いた液処理方法であって、
前記供給源によって、処理用流体が供給されることと、
前記処理用流体供給路によって、前記供給源から供給される処理用流体が案内されることと、
前記流量調整弁内における弁駆動用流体による押圧力と処理用流体による押圧力との均衡によって、当該流量調整弁の開閉速度が調整されることと、
前記吐出口によって、前記処理用流体供給路によって案内された処理用流体が被処理体に供給されることと、
を備えたことを特徴とする液処理方法。
【請求項１１】
前記流量調整弁と前記吐出口の間に設けられた緩衝部によって、処理用流体の流速が遅くされることを特徴とする請求項１０に記載の液処理方法。
【請求項１２】
第１処理用流体を供給する第１供給源と、第２処理用流体を供給する第２供給源と、前記第１供給源に連結された第１処理用流体供給路と、前記第２供給源に連結された第２処理用流体供給路と、前記第１処理用流体供給路と前記第２処理用流体供給路に連結された混合部と、前記混合部に連結された吐出口と、前記第１処理用流体供給路および前記第２処理用流体供給路に設けられた開閉弁と、前記第１処理用流体供給路の前記開閉弁の下流側に設けられるとともに、弁駆動用流体を供給する弁駆動用流体供給部に連結された流量調整弁と、を有する液処理装置を用いた液処理方法であって、
前記第１供給源によって、第１処理用流体が供給されることと、
前記第２供給源によって、第２処理用流体が供給されることと、
前記第１処理用流体供給路によって、前記第１供給源から供給される第１処理用流体が案内されることと、
前記第２処理用流体供給路によって、前記第２供給源から供給される第２処理用流体が案内されることと、
前記流量調整弁内における弁駆動用流体による押圧力と第１処理用流体による押圧力との均衡によって、当該流量調整弁の開閉速度が調整されることと、
前記混合部内で、第１処理用流体と第２処理用流体とが混合されて混合流体が生成されることと、
前記混合部内で生成された混合流体が被処理体に供給されることと、
を備えたことを特徴とする液処理方法。
【請求項１３】
前記流量調整弁と前記吐出口の間に設けられた緩衝部によって、第１処理用流体の流速が遅くされることを特徴とする請求項１２に記載の液処理方法。
【国際調査報告】
2009098969.tif 000007
2009098969.tif 000008