(57)【要約】  （Ａ）光重合性モノマー、（Ｂ）バインダポリマー、及び（Ｃ）光開始剤を含有する光導波路用樹脂組成物であって、（Ａ）光重合性モノマーが水酸基含有フッ素化モノ（メタ）アクリレート系化合物を含むことを特徴とする光導波路用樹脂組成物である。  １．３μmの波長において高透明性を有し、かつ厚膜形成や密着性に優れた光導波路用樹脂組成物、及びこれを用いた光導波路を提供すること【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）光重合性モノマー、（Ｂ）バインダポリマー、及び（Ｃ）光開始剤を含有する光導波路用樹脂組成物であって、（Ａ）光重合性モノマーが水酸基含有フッ素化モノ（メタ）アクリレート系化合物を含むことを特徴とする光導波路用樹脂組成物。
【請求項２】
前記水酸基含有フッ素化モノ（メタ）アクリレート系化合物が、下記一般式（Ｉ）で表される請求項１に記載の光導波路用樹脂組成物。
【化１】
2009063945.tif 000006
（式（Ｉ）中、Ｒ1は水素又は置換基を有していてもよい炭素数１〜４のアルキル基、Ｒ2は水酸基及びフッ素を含む１価の有機基である。）
【請求項３】
前記一般式（Ｉ）で示される化合物がエポキシ（メタ）アクリレートである請求項２に記載の光導波路用樹脂組成物。
【請求項４】
前記一般式（Ｉ）中のＲ2が、以下の式（ＩＩ）で示される請求項２に記載の光導波路用樹脂組成物。
【化２】
2009063945.tif 000007
（nは１〜２０の整数、Ｘは水素又はフッ素である。）
【請求項５】
前記（Ａ）光重合性モノマーが、さらに１種以上の多官能（メタ）アクリレートを含有する請求項１〜４のいずれかに記載の光導波路用樹脂組成物。
【請求項６】
（Ａ）成分中の水酸基含有フッ素化モノ（メタ）アクリレート系化合物の含有量が０．１〜１００質量％である請求項１〜５のいずれかに記載の光導波路用樹脂組成物。
【請求項７】
（Ｂ）バインダポリマーの含有量が、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計量に対して５〜９０質量％である請求項１〜６のいずれかに記載の光導波路用樹脂組成物。
【請求項８】
（Ｃ）光開始剤の含有量が、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対して、０．１〜１０質量部である請求項１〜７のいずれかに記載の光導波路用樹脂組成物。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の樹脂組成物と有機溶剤を含む光導波路形成用樹脂ワニス。
【請求項１０】
請求項１〜８のいずれかに記載の樹脂組成物を用いた光導波路形成用フィルム。
【請求項１１】
請求項１〜８のいずれかに記載の樹脂組成物をコア用材料として用いた光導波路。
【請求項１２】
請求項１〜８のいずれかに記載の樹脂組成物をクラッド用材料として用いた光導波路。
【請求項１３】
請求項９に記載の光導波路形成用樹脂ワニスをコア用材料として用いた光導波路。
【請求項１４】
請求項９に記載の光導波路形成用樹脂ワニスをクラッド用材料として用いた光導波路。
【請求項１５】
請求項１０に記載の光導波路形成用フィルムをコア用材料として用いた光導波路。
【請求項１６】
請求項１０に記載の光導波路形成用フィルムをクラッド用材料として用いた光導波路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長１．３μｍにおいて透明性に優れた光導波路用樹脂組成物及びこれを用いた光導波路に関する。
【背景技術】
【０００２】
インターネットやLAN（Local Area Network）の普及に伴う情報容量の増大に対応するため、幹線やアクセス系といった通信分野のみならず、ルータやサーバ装置内のボード間あるいはボード内の短距離信号伝送にも光信号を用いる光インターコネクション技術の開発が進められている。この場合の光伝送路としては、光ファイバーに比べ、配線の自由度が高く、かつ高密度化が可能な光導波路を用いることが望ましく、中でも、加工性や経済性に優れたポリマー材料を用いた光導波路が有望である。ポリマー光導波路は、ルータやサーバ装置内のボード間あるいはボード内の光信号伝送に用いられるため、電気配線板と共存する構造となる。このような光導波路材として、フッ素化ポリイミド（例えば特許文献１）、重水素化シリコーン樹脂（例えば非特許文献１）や、エポキシ樹脂（例えば非特許文献２）が提案されている。【０００３】
ところで、光導波路において最も重要な特性である透明性において、１．３μm付近には脂肪族ＣＨ基の特性吸収が存在するため、これを減少させるためにフッ素原子を導入する試みがなされている(特許文献２、非特許文献３)。しかしながら、フッ素含有樹脂は、成膜性、特に数十μmの厚膜の形成が難しいことや、基材やフッ素含有樹脂同士の密着性が悪いといった問題があった。【０００４】
【特許文献１】特許第３０８５６６６号公報
【特許文献２】特表２００３−５０２７１８号公報
【非特許文献１】IEEE Journal of Lightwave Technology、Vol.16、pp.1049-1055、1998
【非特許文献２】光学、31巻2号、pp.81-87、2002年
【非特許文献３】Proc. SPIE Int. Soc. Opt. Eng., Vol. 6331 63310P-1〜63310P-8 (2006)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、含フッ素樹脂は、耐水・耐油性に優れ、低摩擦性であるため、塗料や各種コート材として広く用いられている。しかしながら、表面張力が小さいため他材料との接着性に乏しく、また、厚膜形成が困難であるという欠点があった。さらに、フッ素樹脂は、非フッ素樹脂との相溶性が悪く、光学材料として用いる際、透明性の確保が困難であった。
本発明は、このような問題点に鑑み、１．３μｍの波長において高透明性を有し、かつ厚膜形成や密着性に優れた光導波路用樹脂組成物、及びこれを用いた光導波路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、上記問題点を解決すべく鋭意検討した結果、（Ａ）光重合性モノマー、（Ｂ）バインダポリマー、及び（Ｃ）光開始剤を含有する樹脂組成物であって、（Ａ）成分の光重合性モノマーとして、光重合性フッ素含有モノマーに水酸基を導入したものを用いることによって、接着性、厚膜形成性を向上させることができ、さらに透明性も確保することができることを見出した。本発明は、この知見に基づいて完成したものである。
すなわち本発明は、
（１）（Ａ）光重合性モノマー、（Ｂ）バインダポリマー、及び（Ｃ）光開始剤を含有する光導波路用樹脂組成物であって、（Ａ）光重合性モノマーが水酸基含有フッ素化モノ（メタ）アクリレート系化合物を含むことを特徴とする光導波路用樹脂組成物、
（２）前記水酸基含有フッ素化モノ（メタ）アクリレート系化合物が、下記一般式（Ｉ）で表される上記（１）に記載の光導波路用樹脂組成物、【０００７】
【化１】
2009063945.tif 000002
【０００８】
（式（Ｉ）中、Ｒ1は水素又は置換基を有していてもよい炭素数１〜４のアルキル基、Ｒ2は水酸基及びフッ素を含む１価の有機基である。）
（３）前記一般式（Ｉ）で示される化合物がエポキシ（メタ）アクリレートである上記（２）に記載の光導波路用樹脂組成物、
（４）前記一般式（Ｉ）中のＲ2が、以下の式（ＩＩ）で示される上記（２）に記載の光導波路用樹脂組成物、【０００９】
【化２】
2009063945.tif 000003
【００１０】
（nは１〜２０の整数、Ｘは水素又はフッ素である。）
（５）前記（Ａ）光重合性モノマーが、さらに１種以上の多官能（メタ）アクリレートを含有する上記（１）〜（４）のいずれかに記載の光導波路用樹脂組成物、
（６）（Ａ）成分中の水酸基含有フッ素化モノ（メタ）アクリレート系化合物の含有量が０．１〜１００質量％である上記（１）〜（５）のいずれかに記載の光導波路用樹脂組成物、
（７）（Ｂ）バインダポリマーの含有量が、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計量に対して５〜９０質量％である上記（１）〜（６）のいずれかに記載の光導波路用樹脂組成物、
（８）（Ｃ）光開始剤の含有量が、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対して、０．１〜１０質量部である上記（１）〜（７）のいずれかに記載の光導波路用樹脂組成物、
（９）上記（１）〜（８）のいずれかに記載の樹脂組成物と有機溶剤を含む光導波路形成用樹脂ワニス、
（１０）上記（１）〜（８）のいずれかに記載の樹脂組成物を用いた光導波路形成用フィルム、
（１１）上記（１）〜（８）のいずれかに記載の樹脂組成物をコア用材料として用いた光導波路、
（１２）上記（１）〜（８）のいずれかに記載の樹脂組成物をクラッド用材料として用いた光導波路、
（１３）上記（９）に記載の光導波路形成用樹脂ワニスをコア用材料として用いた光導波路、
（１４）上記（９）に記載の光導波路形成用樹脂ワニスをクラッド用材料として用いた光導波路、
（１５）上記（１０）に記載の光導波路形成用フィルムをコア用材料として用いた光導波路、及び
（１６）上記（１０）に記載の光導波路形成用フィルムをクラッド用材料として用いた光導波路、
を提供するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の光導波路用樹脂組成物は、各成分の相溶性に優れ、１．３μｍの波長において高い透明性を有し、かつ密着性に優れた厚膜を容易に形成することができる。また、この樹脂組成物を用いた光導波路は、１．３μｍの波長において高い透明性を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の光導波路用樹脂組成物は、（Ａ）光重合性モノマー、（Ｂ）バインダポリマー、及び（Ｃ）光開始剤を含有し、（Ａ）光重合性モノマーが水酸基含有フッ素化モノ（メタ）アクリレート系化合物を含むことを特徴とする。
水酸基含有フッ素化モノ（メタ）アクリレート系化合物（以下、単に「モノ（メタ）アクリレート系化合物」と記す。）は、分子中に水酸基及びフッ素原子を有する単官能の（メタ）アクリレート又は２−アルキルプロペノエート（アルキル基の炭素数が２以上で置換基を有していてもよい）であり、下記一般式（Ｉ）で表される化合物が好適に挙げられる。【００１３】
【化３】
2009063945.tif 000004
【００１４】
式（Ｉ）中、Ｒ1は水素又は置換基を有していてもよい炭素数１〜４のアルキル基であり、Ｒ2は水酸基及びフッ素を含む１価の有機基である。ここで、式（Ｉ）中のＲ1は、隣接する二重結合のラジカル重合性の観点から水素又はメチル基が好ましい。また、式（Ｉ）中のＲ2は、水酸基及びフッ素を含む１価の有機基であれば特に制限はないが、以下の式（ＩＩ）で示されるものが作製の容易さの点から好ましい。【００１５】
【化４】
2009063945.tif 000005
【００１６】
nは１〜２０の整数であり、好ましくは２〜１０の整数である。また、Ｘは水素又はフッ素である。【００１７】
上記一般式（Ｉ）で示されるモノ（メタ）アクリレート系化合物は、分子内に水酸基及びフッ素原子を有し、光重合性部位はモノ（メタ）アクリレート又はモノ２−アルキル（炭素数２〜４のアルキル基であって、置換基を有していてもよい）プロペノエートである。これらのうち、光ラジカル発生剤によって容易に反応し、さらに反応速度も早いという点でモノ（メタ）アクリレートが好ましい。なお、モノ２−アルキルプロペノエートのアルキル基における置換基としてはハロゲン原子などが挙げられる。
また、上記一般式（Ｉ）で示されるモノ（メタ）アクリレート系化合物の好ましい態様として、エポキシ（メタ）アクリレートが挙げられる。【００１８】
上記一般式（Ｉ）で示されるエポキシ（メタ）アクリレートとしては、３−パーフルオロメチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロエチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロプロピル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロブチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロペンチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロヘキシル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロヘプチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロオクチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロノニル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロデシル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−（２，２−ジフルオロエトキシ）−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−（２，２，３，３−テトラフルオロプロポキシ）−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−（１Ｈ，１Ｈ，４Ｈ−ヘキサフルオロブトキシ）−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−（１Ｈ，１Ｈ，５Ｈ−オクタフルオロペンチロキシ）−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−（１Ｈ，１Ｈ，６Ｈ−デカフルオロヘキシロキシ）−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−（１Ｈ，１Ｈ，７Ｈ−ドデカフルオロヘプチロキシ）−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−（１Ｈ，１Ｈ，８Ｈ−テトラデカフルオロオクチロキシ）−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−（１Ｈ，１Ｈ，９Ｈ−ヘキサデカフルオロノニロキシ）−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等の直鎖状フッ素化アルキル基が結合したエポキシ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。その他、枝分かれ状フッ素化アルキル基が結合したエポキシ（メタ）アクリレート、脂環式フッ素化アルキル基が結合したエポキシ（メタ）アクリレート、フッ素化芳香族基が結合したエポキシ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。なお、エポキシ（メタ）アクリレートは、上記構造以外に、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応時に副生する、１−(ヒドロキシメチル)−エチル（メタ）アクリレート構造との混合物であってもよい。中でも、作製の容易さの観点から、３−パーフルオロブチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロヘキシル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロオクチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のエポキシ（メタ）アクリレートが好ましい。【００１９】
また、上記一般式（Ｉ）で示されるモノ（メタ）アクリレート系化合物としては、エポキシ（メタ）アクリレート以外にも、３−ヒドロキシ−２，２−ジフルオロプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシ−２，２，３，３−テトラフルオロブチル（メタ）アクリレート、５−ヒドロキシ−１Ｈ，１Ｈ，５Ｈ，５Ｈ，−パーフルオロペンチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシ−１Ｈ，１Ｈ，６Ｈ，６Ｈ，−パーフルオロヘキシル（メタ）アクリレート、７−ヒドロキシ−１Ｈ，１Ｈ，７Ｈ，７Ｈ，−パーフルオロヘプチル（メタ）アクリレート、８−ヒドロキシ−１Ｈ，１Ｈ，８Ｈ，８Ｈ，−パーフルオロオクチル（メタ）アクリレート、９−ヒドロキシ−１Ｈ，１Ｈ，９Ｈ，９Ｈ，−パーフルオロノニル（メタ）アクリレート、１０−ヒドロキシ−１Ｈ，１Ｈ，１０Ｈ，１０Ｈ，−パーフルオロデシル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレート及びその枝分かれ体等が挙げられる。また、水酸基は２個以上含んでいてもよい。中でも、作製の容易さの観点から、５−ヒドロキシ−１Ｈ，１Ｈ，５Ｈ，５Ｈ，−パーフルオロペンチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシ−１Ｈ，１Ｈ，６Ｈ，６Ｈ，−パーフルオロヘキシル（メタ）アクリレート、７−ヒドロキシ−１Ｈ，１Ｈ，７Ｈ，７Ｈ，−パーフルオロヘプチル（メタ）アクリレート等のモノ（メタ）アクリレート系化合物が好ましい。【００２０】
（Ａ）成分中のモノ（メタ）アクリレート系化合物の含有量は０．１〜１００質量％であることが好ましい。モノ（メタ）アクリレート系化合物の含有量が０．１質量％以上であると、光導波路用樹脂組成物を構成する成分相互間の相溶性が確保できる。なお、モノ（メタ）アクリレート系化合物は、１種のものを単独で、又は２種以上のものを組み合わせて使用することができる。【００２１】
また、（Ａ）成分には上記モノ（メタ）アクリレート系化合物以外に、多官能（メタ）アクリレートを含有させることが好ましい。多官能（メタ）アクリレートを含有させることによって、３次元網目構造をとり、良好な硬化物が得られる。一方、多官能（メタ）アクリレートは、初期硬化性は優れるものの、最終的な反応率は低下し、１．３μｍでの透明性が低下する。また、マスクパターン露光後の現像性に劣るという欠点を有する。従って、（Ａ）成分中のモノ（メタ）アクリレート系化合物と多官能（メタ）アクリレートの含有量は、相溶性と硬化性のバランスを考慮する必要があり、（Ａ）成分中のモノ（メタ）アクリレート系化合物の含有量は、２０〜９５質量％が好ましく、３０〜９０質量％がさらに好ましい。
一方、（Ａ）光重合性モノマー中の多官能（メタ）アクリレートの含有量は、９９．９質量％以下が好ましく、５〜８０質量％がさらに好ましく、１０〜７０質量％が特に好ましい。【００２２】
（Ａ）光重合性モノマー中のモノ（メタ）アクリレート系化合物と多官能（メタ）アクリレートの配合比率は、１００／０〜０．１／９９．９（質量比）であることが好ましく、９５／５〜２０／８０（質量比）であることがさらに好ましく、質量比９０／１０〜３０／７０（質量比）であることが特に好ましい。モノ（メタ）アクリレート系化合物の比率が一定以上であると、相溶性が良好となり、波長１．３μｍでの透明性が向上する。【００２３】
上記多官能（メタ）アクリレートとしては、種々の２官能（メタ）アクリレート及び３官能以上の（メタ）アクリレートが用いられる。
２官能（メタ）アクリレートとしては、エトキシ化２−メチル−１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−へキサンジオールジ（メタ）アクリレート、２−メチル−１，８−オクタンジオールジアクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールＡジアクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジ（メタ）アクリレート等、及びこれらのフッ素、塩素などのハロゲン置換体等が挙げられる。【００２４】
また、３官能以上の（メタ）アクリレートとしては、エトキシ化イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、エトキシ化グリセリントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等、及びこれらのフッ素、塩素などのハロゲン置換体が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。
本発明においては、他組成物との相溶性の観点から、多官能（メタ）アクリレートとして、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−へキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート等の２官能（メタ）アクリレート、又は、エトキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の３官能以上の（メタ）アクリレートを用いることが好ましい。【００２５】
さらに、（Ａ）光重合性モノマー中には、（メタ）アクリレート以外のモノマーを含有させることもでき、例えば、エポキシ基、オキセタン基、ビニル基、ビニルエステル基、ビニルエーテル基などの反応性基を含むモノマーを含有していてもよい。以上のモノマーは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。【００２６】
本発明の（Ａ）光重合性モノマーとしては、３−パーフルオロブチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロヘキシル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−パーフルオロオクチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートから選ばれる１種以上の（メタ）アクリレートと、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−へキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートから選ばれる１種以上の多官能（メタ）アクリレートを、９５／５〜２０／８０（質量比）で用いることが硬化物の物性の観点から好ましい。中でも、相溶性の観点から、３−パーフルオロブチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートとエトキシ化イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレートとを、９５／５〜６０／４０（質量比）、３−パーフルオロブチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートと１，６−へキサンジオールジ（メタ）アクリレートとを、９５／５〜６０／４０（質量比）で用いることが好ましい。【００２７】
次に、本発明の（Ｂ）成分であるバインダポリマーは、フィルム等の硬化物を形成する場合に、その強度を確保するためのものであり、透明性を有することが必要である。バインダポリマーとして用いられる樹脂としては、例えば、（メタ）アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリアリルエーテル、ポリエーテルスルホン、ポリスチレン、スチレン／アクリロニトリル共重合体、スチレン／（メタ）アクリレート共重合体、ポリシアヌレート、脂環式樹脂等、あるいはこれらの誘導体などが挙げられる。これらのベースポリマーは１種単独でも、また２種以上を混合して用いてもよい。これらの樹脂は、（Ａ）光重合性モノマーとの相溶性が、該硬化物の透明性を確保するために重要であるが、この観点からは、繰り返し単位中にフッ素を含む（メタ）アクリル樹脂が好ましく、中でもメチルメタクリレート／フッ素化メタクリレート共重合体、メチルアクリレート／フッ素化メタクリレート共重合体等の樹脂がより好ましい。【００２８】
（Ｂ）バインダポリマーの分子量については、光信号伝送用光導波路等に要求される５０μｍ程度の厚膜のフィルムでも形成を可能とするため、数平均分子量で５０００以上であることが好ましく、さらに１００００以上が好ましく、特に３００００以上であることが好ましい。分子量の上限については、特に制限はないが、（Ａ）光重合性モノマーとの相溶性や露光現像性の観点から、１００００００以下であることが好ましく、さらには５０００００以下、特には３０００００以下であることが好ましい。【００２９】
（Ｂ）バインダポリマーの配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量に対して、５〜９０質量％とすることが好ましい。この配合量が、５質量％以上であると、厚膜のフィルムを容易に形成することができる。一方、９０質量％以下であると、（Ａ）光重合性モノマーを絡みこんで硬化させることが容易にできる。以上の観点から、（Ｂ）光重合性化合物の配合量は１０〜８０質量％とすることがさらに好ましい。【００３０】
本発明における（Ｃ）成分の光開始剤としては、特に制限はなく、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、１，２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン等の芳香族ケトン；２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナントラキノン、２−メチル１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド等のフォスフィンオキサイド類；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体；Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物などが挙げられる。【００３１】
また、前記２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体において、２つの２，４，５−トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は同一で対称な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と３級アミン化合物とを組み合わせてもよい。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。また、コア層及びクラッド層の透明性を向上させる観点からは、上記化合物のうち、芳香族ケトン及びフォスフィンオキサイド類が好ましく、中でも１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド等の樹脂がより好ましい。【００３２】
前記（Ｃ）光開始剤の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、０．１〜１０質量部とすることが好ましい。この配合量が０．１質量部以上であると、光感度が十分であり、一方１０質量部以下であれば、露光時に感光性樹脂組成物の表層での吸収が増大することがなく、内部の光硬化が十分となる。さらに、重合開始剤自身の光吸収の影響により伝搬損失が増大することもなく好適である。以上の観点から、（Ｃ）光開始剤の配合量は、０．２〜５質量部とすることがさらに好ましい。【００３３】
本発明の光導波路用樹脂組成物は、上記（Ａ）〜（Ｃ）成分を混合させることにより容易に製造することができる。
さらに、上記（Ａ）〜（Ｃ）成分以外に、室温での反応を抑制するための重合禁止剤や成膜性を向上させるための各種添加剤を加えることも可能であり、また、膜質を向上させるために、各種有機、無機フィラーを混合することも可能である。これらの化合物は、透明性を確保する範囲内で、任意の割合で混合することができる。【００３４】
本発明の光導波路用樹脂組成物は、有機溶剤を用いて希釈し、光導波路形成用樹脂ワニスとして使用してもよい。ここで用いる有機溶剤としては、該樹脂組成物を溶解し得るものであれば特に限定されず、例えば、アセトン、テトラヒドロフラン、メタノール、エタノール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トルエン、キシレン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドンなどが挙げられ、中でも樹脂の溶解性及び易揮発性の観点からは、アセトン、メチルエチルケトン、酢酸エチル等が好ましい。【００３５】
上記に示した有機溶剤は、単独でまたは２種類以上を組み合わせて使用することができる。また、樹脂ワニス中の固形分濃度は、通常２０〜９０質量％であることが好ましい。【００３６】
また、本発明の光導波路用樹脂組成物は、フィルム化して、光導波路形成用フィルムとして用いることもできる。光導波路形成用フィルムの製造法としては、上記光導波路形成用樹脂ワニスを好適なベースフィルム上に塗布し、溶媒を除去することにより製造することができる。また、光導波路用樹脂組成物を直接ベースフィルムに塗布して製造してもよい。
このようにして製造される光導波路形成用フィルムは、ベースフィルム上に光導波路形成用樹脂層が形成されたものであるが、さらにその上にカバーフィルムが形成されていてもよい。【００３７】
ベースフィルムとしては、特に制限はなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン；ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフィド、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリスルホン、液晶ポリマー等のフィルムが挙げられる。これらの中で、柔軟性及び強靭性の観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリスルホンのフィルムが好ましく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムがより好ましい。
また、ベースフィルムとしては、樹脂組成物層との剥離性向上の観点から、シリコーン系化合物、含フッ素化合物等により離型処理が施されたフィルムを必要に応じて用いてもよい。【００３８】
ベースフィルムの厚みは、目的とする柔軟性により適宜変えてよいが、３〜２５０μｍであることが好ましい。３μｍ以上であるとフィルム強度が十分であり、２５０μｍ以下であると十分な柔軟性が得られる。以上の観点から、５〜２００μｍであることがさらに好ましく、７〜１５０μｍであることが特に好ましい。詳細なコアパターン形成の観点からは、ベースフィルムの厚みは、５〜５０μｍであることが好ましく、１０〜４０μｍがより好ましく、２０〜３０μｍがさらに好ましい。【００３９】
ベースフィルム上に光導波路形成用樹脂ワニス又は光導波路用樹脂組成物を塗布して製造した光導波路形成用フィルムは、上述のように、必要に応じてカバーフィルムを樹脂層上に貼り付け、ベースフィルム、樹脂組成物層及びカバーフィルムからなる３層構造としてもよい。
なお、上記べーフィルム及びカバーフィルムは、使用方法に応じて、光導波路形成用フィルムの剥離を容易とするため、帯電防止処理等が施されていてもよい。【００４０】
カバーフィルムとしては、特に制限はないが、柔軟性及び強靭性の観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン等のフィルムが好適に挙げられ、これらの中で、特にポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムが好ましい。また、樹脂組成物層との剥離性向上の観点から、シリコーン系化合物、含フッ素化合物等により離型処理が施されたフィルムを必要に応じて用いてもよい。カバーフィルムの厚みは、目的とする柔軟性により適宜変えてよいが、１０〜２５０μｍであることが好ましい。１０μｍ以上であるとフィルム強度が十分であり、２５０μｍ以下であると十分な柔軟性が得られる。以上の観点から、１５〜２００μｍであることがさらに好ましく、２０〜１５０μｍであることが特に好ましい。【００４１】
本発明の光導波路形成用フィルムの樹脂組成物層の厚みについては特に限定されないが、乾燥後の厚みで、通常は５〜５００μｍである。５μｍ以上であると、厚みが十分であるため光導波路用形成用フィルム又はその硬化物の強度が十分であり、５００μｍ以下であると、乾燥が十分に行えるため光導波路用形成用フィルム中の残留溶媒量が増えることなく、光導波路用形成用フィルムの硬化物を加熱したときに発泡することがない。【００４２】
このようにして得られた光導波路形成用フィルムは、例えばロール状に巻き取ることによって容易に貯蔵することができる。【００４３】
次に、本発明の光導波路用樹脂組成物、光導波路形成用樹脂ワニス、光導波路形成用フィルムをクラッド材料、コア材料として用いた光導波路の形成方法について詳細に説明する。
本発明の光導波路の製造方法としては、基材上に下部クラッド層としての光導波路形成用樹脂層を形成する工程、コア層としての光導波路形成用樹脂層を形成する工程、所望のコアパターンを露光する工程、露光後に有機溶剤又はアルカリ性水溶液の現像液を用いて現像してコア部を形成する工程、上部クラッド層としての光導波路形成用樹脂層を形成する工程、を有する。【００４４】
本発明の光導波路に用いる基材は、特に制限はないが、その用途により種々の材料を用いることが可能であり、例えば、シリコンウエハ、ガラスエポキシ基板、プラスチック基板、金属基板、金属層付き基板等、及びこれらのリジッド配線板、ポリイミド基板、ＰＥＴフィルム等のプラスチックフィルム、樹脂層付きプラスチックフィルム、金属層付きプラスチックフィルム等、及びこれらのフレキシブル配線板、銅箔、ガラスなどが挙げられる。これら基板は、樹脂組成物との密着性を向上させるために、カップリング剤等の接着付与剤で処理したり、ＵＶ−オゾン処理やプラズマ処理等を施してもよい。また、各種接着剤を使用してもよい。また、基材に離型性を付与し、光導波路製造後、基材をはがすことも可能である。【００４５】
下部クラッド層、コア層、上部クラッド層としての、光導波路形成用樹脂層を形成する方法としては、特に制限はないが、例えば、本発明の光導波路形成用樹脂組成物又は光導波路形成用樹脂ワニスを、スピンコート法、ディップコート法、スプレー法、バーコート法、ロールコート法、カーテンコート法、グラビアコート法、スクリーンコート法、インクジェットコート法などにより塗布する方法が挙げられる。
光導波路用形成用樹脂ワニスを用いる場合は、必要に応じて樹脂層を形成後に、乾燥する工程を入れてもよい。乾燥方法として、例えば、加熱乾燥、減圧乾燥などが挙げられる。また、必要に応じてこれらを併用してもよい。【００４６】
また、光導波路形成用感光性樹脂層を形成するその他の方法として、本発明の光導波路形成用樹脂フィルムを用いて積層法により形成する方法が挙げられる。密着性及び追従性の見地から減圧下で積層することが好ましい。
これらの中で、生産性に優れた光導波路製造プロセスが提供可能という観点から、光導波路形成用樹脂フィルムを用いて積層法により製造する方法が好ましい。【００４７】
積層法により形成する方法としては、特に制限はないが、例えば、ロールラミネータ、又は平板型ラミネータを用いて加熱しながら圧着することにより積層する方法などが挙げられる。なお、本発明において平板型ラミネータとは、積層材料を一対の平板の間に挟み、平板を加圧することにより圧着させるラミネータのことを指し、例えば、真空加圧式ラミネータを好適に用いることができる。ここでの加熱温度は、２０〜１３０℃であることが好ましく、圧着圧力は、０．１〜１．０ＭＰａであることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
また、真空加圧式ラミネータによる積層の前に、ロールラミネータを用いて、あらかじめ下部クラッド層形成用感光性樹脂フィルムを基板上に仮貼りしておいてもよい。ここで、密着性および追従性向上の観点から、圧着しながら仮貼りすることが好ましく、圧着する際、ヒートロールを有するラミネータを用いて加熱しながら行っても良い。ラミネート温度は、２０〜１３０℃であることが好ましい。２０℃以上であれば下部クラッド層形成用感光性樹脂フィルムと基板との密着性が向上し、１３０℃以下であれば樹脂層がロールラミネート時に流動しすぎることがなく、必要とする膜厚が得られる。以上の観点から、４０〜１００℃であることがさらに好ましい。圧力は０．２〜０．９ＭＰａであることが好ましく、ラミネート速度は０．１〜３ｍ／ｍｉｎであることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。【００４８】
以下、より具体的に光導波路の製造方法について記載する。
まず、第１の工程として、上記基材上に、下部クラッド層形成用の光導波路形成用組成物又はそれを用いた光導波路形成用樹脂ワニスをスピンコート法等により塗布するか、又は、下部クラッド層形成用の光導波路形成用フィルムをラミネート等により積層する。下部クラッド層形成用の光導波路形成用樹脂フィルムにカバーフィルムが存在する場合には、カバーフィルムを除去後に又は除去しながら積層することが好ましい。
基板上に塗布又は積層された下部クラッド層形成用樹脂組成物層を光硬化し、下部クラッド層を形成する。下部クラッド層形成用の光導波路形成用樹脂フィルムにベースフィルムが存在する場合には、その後、除去してもよい。
下部クラッド層を形成する際の活性光線の照射量は、０．１〜５Ｊ／ｃｍ2とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、活性光線が基材を透過する場合、効率的に硬化させるために、両面から同時に活性光線を照射可能な両面露光機を使用することができる。また、加熱をしながら活性光線を照射してもよい。
なお、光硬化後の処理として、必要に応じて、５０〜２００℃の加熱処理を行ってもよい。【００４９】
下部クラッド層の厚みは１〜１００μｍであることが望ましい。厚みが１μｍ以上であると、光の閉じ込めが十分に行え、また、１００μｍ以下であると膜形成が容易である。以上の観点から、下部クラッドの厚みは３〜８０μｍの範囲であることが好ましく、５〜５０μｍであることが特に好ましい。【００５０】
次に、第２の工程として、第１の工程と同様な方法で、下部クラッド層上にコア部形成用の光導波路形成用樹脂組成物、又はそれを用いた光導波路形成用樹脂ワニス、又は光導波路形成用樹脂フィルムを塗布又は積層して、コア部形成用樹脂層を形成する。ここで、コア部形成用の光導波路形成用樹脂組成物は、下部クラッド層形成用の光導波路形成用樹脂組成物より高屈折率であるように設計され、活性光線によりコアパターンを形成し得る光導波路形成用樹脂組成物からなることが好ましい。また、光導波路形成用フィルムを用いる場合には、ロールラミネータを用いて積層することが好ましい。
コア部形成用樹脂層の膜厚は、光導波路の用途によって変化させることができるが、一般にマルチモード導波路の場合、２０〜８０μｍ程度が好ましい。【００５１】
続いて、第３の工程として、コア部（コアパターン）を露光する。コアパターンを露光する方法として、特に制限はないが、例えば、下部クラッド層上に形成したコア部形成用樹脂層に、好ましくは窒素雰囲気中などの脱酸素条件下で、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射する方法、レーザー直接描画を用いてフォトマスクを通さずに直接活性光線を画像上に照射する方法などが挙げられる。活性光線の光源としては、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライド灯等の紫外線を有効に放射する公知の光源が挙げられる。また、他にも写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射する光源も用いることができる。コア層の形成に光導波路形成用樹脂フィルムを用いる場合、ベースフィルムを剥がした後に露光しても、ベースフィルムを介して露光してもかまわない。
コアパターンを露光する際の活性光線の照射量は、０．０１〜１０Ｊ／ｃｍ2であることが好ましい。０．０１Ｊ／ｃｍ2以上であれば、硬化反応が十分に進行し、後述する現像工程によりコアパターンが流失することがなく、１０Ｊ／ｃｍ2以下であれば露光量過多によりコアパターンが太ることがなく、微細なコアパターンが形成でき好適である。以上の観点から、０．０５〜５Ｊ／ｃｍ2であることがさらに好ましく、０．１〜３Ｊ／ｃｍ2であることが特に好ましい。【００５２】
コアパターンの露光は、コア部形成用の光導波路形成用樹脂フィルムを用いた場合、カバーフィルムを介して行っても、カバーフィルムを除去してから行ってもよい。
また、露光後に、コアパターンの解像度及び密着性向上の観点から、必要に応じて露光後加熱を行ってもよい。紫外線照射から露光後加熱までの時間は、１０分以内であることが好ましい。１０分以内であれば紫外線照射により発生した活性種が失活することがない。露光後加熱の温度は４０〜１６０℃であることが好ましく、時間は３０秒〜１０分であることが好ましい。【００５３】
次いで、第４の工程として、ウエット現像、ドライ現像等で未露光部を除去して現像し、コアパターン（コア部）を製造する。コア部形成用の光導波路形成用樹脂フィルムを用いてベースフィルムを介して露光した場合は、これを除去した後に現像を行う。ウエット現像の場合は、有機溶剤、アルカリ性水溶液、水系現像液等の前記樹脂フィルムの組成に対応した現像液を用いて、例えば、スプレー法、揺動浸漬法、ブラッシング法、スクラッピング法、パドル法、スピン法等の公知の方法により現像する。また、必要に応じてこれらの現像方法を併用してもよい。
現像液としては、有機溶剤、アルカリ性水溶液等の安全かつ安定であり、操作性が良好なものが好ましく用いられる。前記有機溶剤系現像液としては、例えば、１，１，１−トリクロロエタン、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、γ−ブチロラクトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、各種アルコール類等が挙げられる。これらの有機溶剤は、引火防止のため、１〜２０質量％の範囲で水を添加してもよい。【００５４】
上記アルカリ性水溶液の塩基としては、例えば、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ；リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ；リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩；ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが用いられる。
また、現像に用いるアルカリ性水溶液としては、例えば、０．１〜５質量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５質量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１〜５質量％水酸化ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５質量％四ホウ酸ナトリウムの希薄溶液等が好ましく挙げられる。
また、現像に用いるアルカリ性水溶液のｐＨは９〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光性樹脂組成物の層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。【００５５】
上記水系現像液としては、水又はアルカリ水溶液と一種以上の有機溶剤とからなるものも挙げられる。ここでアルカリ物質としては、前記物質以外に、例えば、ホウ砂、メタケイ酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、エタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、２−アミノ−２−ヒドロキシメチル−１，３−プロパンジオール、１，３−ジアミノプロパノール−２−モルホリン等が挙げられる。
現像液のｐＨは、レジストの現像が充分にできる範囲でできるだけ小さくすることが好ましく、ｐＨ８〜１２とすることが好ましく、ｐＨ９〜１０とすることがより好ましい。【００５６】
上記有機溶剤としては、例えば、三アセトンアルコール、アセトン、酢酸エチル、炭素数１〜４のアルコキシ基をもつアルコキシエタノール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等が挙げられる。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
有機溶剤の濃度は、通常、２〜９０質量％とすることが好ましく、その温度は、現像性にあわせて調整することができる。また、水系現像液中には、界面活性剤、消泡剤等を少量混入させることもできる。【００５７】
現像後の処理として、必要に応じて６０〜２５０℃程度の加熱又は０．１〜１０００ｍＪ／ｃｍ2程度の露光を行うことによりコアパターンをさらに硬化して用いてもよい。【００５８】
次に、第５の工程として、コアパターンが形成された上に、さらにコアより屈折率の低い光導波路用樹脂組成物、又はこれを用いた樹脂ワニス、フィルムを用いて塗布又は積層法により、上部クラッド層を形成する。形成法は下部クラッド層の形成法と同様である。光導波路形成用フィルムを用いる場合には、ロールラミネータ、又は真空加圧式ラミネータを用いて積層することが好ましい。
【実施例】
【００５９】
以下に、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例によってなんら限定されるものではない。【００６０】
実施例１
含フッ素アクリルポリマー（ダイキン工業（株）製、商品名「オプトフロンＦＭ−４５０」）７５質量部、水酸基含有フッ素化メタクリレート（ダイキン工業（株）製、３−パーフルオロブチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、商品名「Ｍ−１４３３」）２０質量部、及び２官能アクリレート(Synquest Labs. Inc.製、2,2,3,3,4,4,5,5-オクタフルオロ-1,6-ヘキシルジアクリレート)５質量部を配合（溶剤としてメチルエチルケトンを１１２質量部使用）し、これに光開始剤（チバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製、商品名イルガキュア８１９、及びチバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製、商品名イルガキュア２９５９、質量比１：１混合物）を２質量部加え、クラッド用樹脂組成物を用意した。これをシリコンウエハ上にスピンコート法で塗布し、８０℃、１０分の条件にて乾燥して溶剤を揮発させた。このときのフィルムの厚さは、スピンコート回転数を調節することで５μmから５０μmの間で任意に調整可能であり、本実施例では２０μmとした。
これにＰＥＴフィルム（（株）東洋紡製、商品名「Ａ１５１７」）非処理面をラミネートし、超高圧水銀ランプ（大日本スクリーン製造（株）製、「ＭＡ−１０００」）を用いて１０００ｍＪ／ｃｍ2（波長３６５nm）光照射し、ＰＥＴフィルム剥離後、１２０℃で1時間加熱し下部クラッドを得た。【００６１】
次に、含フッ素アクリルポリマー（ダイキン工業（株）製、商品名「オプトフロンＦＭ−４５０」）１０質量部、水酸基含有フッ素化メタクリレート（ダイキン工業（株）製、３−パーフルオロブチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、商品名「Ｍ−１４３３」）６０質量部、及び３官能アクリレート（新中村化学（株）製、商品名「Ａ−９３００」）３０質量部を配合（溶剤としてメチルエチルケトンを１５質量部使用）し、これに光開始剤（チバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製、商品名イルガキュア８１９、及びチバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製、商品名イルガキュア２９５９、質量比１：１混合物）を２質量部加え、コア用樹脂組成物を用意した。これを先に作製した下部クラッド上にスピンコート法を用いて塗布し、８０℃、１０分の条件にて乾燥して溶剤を揮発させた。このときのフィルムの厚さはアプリケーターの間隙（ギャップ）を調節することで５μmから１００μmの間で任意に調整可能であり、本実施例では１０μmとした。
これにＰＥＴフィルム（（株）東洋紡製、商品名「Ａ１５１７」）非処理面をラミネートし、超高圧水銀ランプ（大日本スクリーン製造（株）製、「ＭＡ−１０００」）を用いて、１０００ｍＪ／ｃｍ2（波長３６５nm）光照射し、ＰＥＴフィルム剥離後、１２０℃で1時間加熱しコアを得た。【００６２】
コア層及びクラッド層の屈折率をＭｅｔｒｉｃｏｎ社製プリズムカプラー（Ｍｏｄｅｌ２０１０）で測定したところ、波長１３１０ｎｍにて、クラッド層が１．４０８、コア層が１．４４０であった。また、作製したスラブ光導波路の伝搬損失を、ＳＡＩＲＯＮ社製導波損失測定装置（ＳＰＡ−４０００）を用いて測定したところ、波長１３１０nmにおいて０．１７ｄＢ／ｃｍであった。【００６３】
実施例２
コア用樹脂組成物として、水酸基含有フッ素化メタクリレート（ダイキン工業（株）製、３−パーフルオロブチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、商品名「Ｍ−１４３３」）を７０質量部と、３官能アクリレート（共栄社化学（株）製、商品名「ＴＭＰ−Ａ」）２０質量部を用いたこと以外は、実施例１と同様にして導波路を作製した。その際のコア層の屈折率は、１．４２１であった。実施例１と同様に導波損失を測定したところ、０．４１ｄＢ／ｃｍであった。【００６４】
実施例３
コア用樹脂組成物として、水酸基含有フッ素化メタクリレート（ダイキン工業（株）製、３−パーフルオロブチル−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、商品名「Ｍ−１４３３」）を７０質量部と、２官能アクリレート（共栄社化学（株）製、商品名「1,6HX-A」）２０質量部を用いたこと以外は、実施例１と同様にして導波路を作製した。その際のコア層の屈折率は、１．４２２であった。実施例１と同様に導波損失を測定したところ、０．４２ｄＢ／ｃｍであった。【００６５】
実施例４
下部クラッドを実施例１と同様に作製し、その上に、実施例１と同様の樹脂組成物を用い、乾燥後厚みを５０μmになるようスピンコート回転数を調整し、８０℃、１０分の条件にて乾燥して溶剤を揮発させた。これにＰＥＴフィルム（（株）東洋紡製、商品名「Ａ１５１７」）非処理面をラミネートし、超高圧水銀ランプ（大日本スクリーン製造（株）製、「ＭＡ−１０００」）を用いて、ガラスマスクを介して２００ｍＪ／ｃｍ2（波長３６５nm）光照射し、ＰＥＴフィルム剥離後、８０℃で５分間加熱し、酢酸ノルマルブチルとイソプロパノール１：１（質量比）の混合溶剤を用いて現像し、幅５０μｍのコアパターンを得た。
下部クラッドと同様の樹脂組成物を、ＰＥＴフィルム（（株）東洋紡製、「「商品名Ａ１５１７」」非処理面上にキャスト法で塗布し、８０℃で１０分間乾燥させることにより、上部クラッド用フィルムを得た。フィルムの膜厚は８０μｍとした。コアパターンが形成された基板と、上部クラッドフィルムを、ロールラミネーター（日立化成工業（株）製、ＨＬＭ−１５００）を用い圧力０．４ＭＰａ、温度８０℃、ラミネート速度０．２ｍ／ｍｉｎでラミネートした。超高圧水銀ランプ（大日本スクリーン製造（株）製、「ＭＡ−１０００」）を用いて、１０００ｍＪ／ｃｍ2（波長３６５nm）光照射し、ＰＥＴフィルム剥離後、１２０℃で1時間加熱し、埋め込み型導波路を得た。
作製した光導波路の伝搬損失を、光源に１３１０ｎｍの半導体レーザー（（株）アドバンテスト社製、Ｑ８１２１１）を、受光センサに（株）アドバンテスト製、Ｑ８１２０６を用い、カットバック法（測定導波路長５、３、２ｃｍ、入射ファイバー；ＧＩ−５０／１２５マルチモードファイバー（ＮＡ＝０．２０）、出射ファイバー；ＧＩ−６２．５／１２５（ＮＡ＝０．２２））により測定したところ、０．２４ｄＢ／ｃｍであった。【００６６】
比較例１
実施例１のコア用樹脂組成物の水酸基含有フッ素化メタクリレートのかわりに水酸基を含まないフッ素化メタクリレート(ダイキン工業（株）製、商品名「Ｍ５２１０」)を用い、フィルムを作製したところ、乾燥後に白濁し、損失測定不能であった。【００６７】
比較例２
実施例１のコア用樹脂組成物の水酸基含有フッ素化メタクリレートのかわりに水酸基を含まないフッ素化メタクリレート(ダイキン工業（株）製、商品名「Ｍ１８２０」)を用い、フィルムを作製したところ、乾燥後に白濁し、損失測定不能であった。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明の光導波路用樹脂組成物は、各成分の相溶性に優れ、１．３μmの波長において高い透明性を有し、かつ密着性に優れた厚膜を容易に形成することができる。また、この樹脂組成物を用いた光導波路は、１．３μｍの波長において高い透明性を有する。
【国際調査報告】
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