(57)【要約】  リニアモータの駆動用マグネットを磁気スケールとして共用するリニアモータにおいて、磁気センサが出力する信号を理想的な正弦波に近づけることができるリニアモータを提供する。  本発明のリニアモータは、Ｎ極及びＳ極が交互に形成されるように並べられると共に、列方向と直交する方向に各駆動用マグネット５のＮ極及びＳ極が形成される複数の駆動用マグネット５と、駆動用マグネット５にすきまを介して対向した状態で、駆動用マグネット５の列方向に相対的に直線運動する電機子１０と、電機子１０と共に前記複数の駆動用マグネット５に対して相対的に直線運動しながら駆動用マグネット５の磁界を検出する磁気センサ１２と、を備える。複数の駆動用マグネット５の平面図において、各駆動用マグネット５の磁気センサが通過する部分の形状は、電機子１０の移動方向の中央部１８の横幅Ｗ２が両端部１９の横幅Ｗ１よりも広いことを特徴とする。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｎ極及びＳ極が交互に形成されるように並べられると共に、列方向と直交する方向に各駆動用マグネットのＮ極及びＳ極が形成される複数の駆動用マグネットと、
前記駆動用マグネットにすきまを介して対向した状態で、前記駆動用マグネットの列方向に相対的に直線運動する電機子と、
前記電機子と共に前記複数の駆動用マグネットに対して相対的に直線運動しながら前記駆動用マグネットの磁界を検出する磁気センサと、を備え、
前記複数の駆動用マグネットの平面図において、少なくとも各駆動用マグネットの前記磁気センサが通過する部分の形状は、前記電機子の移動方向の中央部の横幅が両端部の横幅よりも広いリニアモータ。
【請求項２】
前記複数の駆動用マグネットの平面図において、各駆動用マグネットの幅方向の端部が、円弧形状又は多角形形状に形成されることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記複数の駆動用マグネットの平面図において、少なくとも各駆動用マグネットの前記磁気センサが通過する部分の形状は、前記電機子の移動方向に直交する線に対して対称であることを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
Ｎ極及びＳ極が交互に形成されるように並べられると共に、列方向と直交する方向に各駆動用マグネットのＮ極及びＳ極が形成される複数の駆動用マグネットと、
前記駆動用マグネットにすきまを介して対向した状態で、前記駆動用マグネットの列方向に相対的に直線運動する電機子と、
前記電機子と共に前記複数の駆動用マグネットに対して相対的に直線運動しながら前記駆動用マグネットの磁界を検出する磁気センサと、を備え、
前記複数の駆動用マグネットの側面図において、少なくとも各駆動用マグネットの前記磁気センサが通過する部分の形状は、前記電機子の移動方向の中央部の高さが両端部の高さよりも高いリニアモータ。
【請求項５】
前記複数の駆動用マグネットの側面図において、少なくとも各駆動用マグネットの前記磁気センサが通過する部分の形状は、略半円柱形状であることを特徴とする請求項４に記載のリニアモータ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のリニアモータと、
磁気センサが出力する９０°の位相差を持つ正弦波状信号及び余弦波状信号に基づいて、前記電機子の位置信号を生成する位置信号生成手段と、
上位指令器からの指令及び前記位置信号生成手段が生成する位置信号に基づいて、前記リニアモータの電機子に供給する電流を制御する制御器と、を備えるリニアモータシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マグネットに発生する磁界とコイルに流れる電流によって直線運動するための推力を得るリニアモータに関し、特に位置センサとして磁気式のエンコーダを用いたリニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
リニアモータの位置センサには、光学式のリニアエンコーダ及び磁気式のリニアエンコーダがある。光学式のエンコーダは、発光ダイオードを光源とし、一定間隔の直線的に配列されたスリットを通して断続的に光量を反対側のホトダイオードに到達させ、パルス信号から移動距離を検出する。この光学式のエンコーダには、位置の測定精度が高いという利点がある反面、スケールのスリットに汚れが付着すると誤差が発生するという欠点がある。【０００３】
他方、磁気式のエンコーダにおいては、ＭＲセンサ、ホール素子などの磁気センサがＮ極及びＳ極が交互に配列された磁気スケールが発生する磁界強度（磁束密度）を検出し、磁気センサが出力する正弦波状信号及び余弦波状信号から位置情報が算出される。この磁気式のエンコーダには、磁気スケールが汚れても誤差が発生しにくいという利点がある。【０００４】
磁気式のエンコーダを位置センサとして用いる場合、リニアモータを駆動させる駆動用マグネット以外に位置センサ用の磁気スケールが必要になる。しかし、リニアモータの固定子又は可動子に駆動用マグネット及び磁気スケールの二つのマグネットを取り付けたのでは、リニアモータが大型化したり、コストがかかったりするという問題がある。【０００５】
この問題を解決するために、特許文献１には、リニアモータの駆動用マグネットを磁気スケールとして共用し、磁気センサで駆動用マグネットの磁界を測定するリニアモータが開示されている。
【特許文献１】特開２００４−５６８９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、リニアモータには、図１５に示されるように、複数の円柱状のマグネット３１を各マグネット３１のＮ極同士及びＳ極同士が向かい合うようにロッド３２内に並べたロッドタイプのリニアモータと、図１６に示されるように、複数の板状のマグネット３３をバックヨーク３４上に並べたフラットタイプのリニアモータと、がある。フラットタイプのリニアモータにおいて、複数のマグネット３３はＮ極及びＳ極が交互に形成されるように並べられる。そして、ロッドタイプのリニアモータにおいて、可動子の移動方向に各マグネット３１のＮ極及びＳ極が形成されるのに対して、フラットタイプのリニアモータにおいては、可動子の移動方向と直交する上下方向に各マグネット３３のＮ極及びＳ極が形成される。【０００７】
磁気センサでロッドタイプのリニアモータのマグネットの磁界強度を測定してみると、理想的な正弦波に比較的近い磁界強度の分布３５が得られる。しかし、フラットタイプのリニアモータを測定してみると、本来は磁界強度のピークにしたい各マグネット３３の中央部分が凹んだような台形の波形３６になってしまう。各マグネット３３のエッジ部分の磁界強度が高くなるのが原因である。各マグネット３３のエッジ部分は、反対の極性を持つ隣接するマグネット３３のエッジ部分に近いので、磁気抵抗が低くなる。磁気センサが出力する信号が理想的な正弦波から歪んだ形状になると、正確な位置を算出することができなくなる。【０００８】
そこで本発明は、リニアモータの駆動用マグネットを磁気スケールとして共用するリニアモータにおいて、磁気センサが出力する信号を理想的な正弦波に近づけることができるリニアモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、Ｎ極及びＳ極が交互に形成されるように並べられると共に、列方向と直交する方向に各駆動用マグネットのＮ極及びＳ極が形成される複数の駆動用マグネットと、前記駆動用マグネットにすきまを介して対向した状態で、前記駆動用マグネットの列方向に相対的に直線運動する電機子と、前記電機子と共に前記複数の駆動用マグネットに対して相対的に直線運動しながら前記駆動用マグネットの磁界を検出する磁気センサと、を備え、前記複数の駆動用マグネットの平面図において、少なくとも各駆動用マグネットの前記磁気センサが通過する部分の形状は、前記電機子の移動方向の中央部の横幅が両端部の横幅よりも広いリニアモータである。【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のリニアモータにおいて、前記複数の駆動用マグネットの平面図において、各駆動用マグネットの幅方向の端部が、円弧形状又は多角形形状に形成されることを特徴とする。【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のリニアモータにおいて、前記複数の駆動用マグネットの平面図において、少なくとも各駆動用マグネットの前記磁気センサが通過する部分の形状は、前記電機子の移動方向に直交する線に対して対称であることを特徴とする。【００１２】
請求項４に記載の発明は、Ｎ極及びＳ極が交互に形成されるように並べられると共に、列方向と直交する方向に各駆動用マグネットのＮ極及びＳ極が形成される複数の駆動用マグネットと、前記駆動用マグネットにすきまを介して対向した状態で、前記駆動用マグネットの列方向に相対的に直線運動する電機子と、前記電機子と共に前記複数の駆動用マグネットに対して相対的に直線運動しながら前記駆動用マグネットの磁界を検出する磁気センサと、を備え、前記複数の駆動用マグネットの側面図において、少なくとも各駆動用マグネットの前記磁気センサが通過する部分の形状は、前記電機子の移動方向の中央部の高さが両端部の高さよりも高いリニアモータである。【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のリニアモータにおいて、前記複数の駆動用マグネットの側面図において、少なくとも各駆動用マグネットの前記磁気センサが通過する部分の形状は、略半円柱形状であることを特徴とする。【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載のリニアモータと、磁気センサが出力する９０°の位相差を持つ正弦波状信号及び余弦波状信号に基づいて、前記電機子の位置信号を生成する位置信号生成手段と、上位指令器からの指令及び前記位置信号生成手段が生成する位置信号に基づいて、前記リニアモータの電機子に供給する電流を制御する制御器と、を備えるリニアモータシステムである。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載の発明によれば、磁気センサが出力する信号を理想的な正弦波に近づけることができる。このため、正確な位置を検出することができる。【００１６】
請求項２又は３に記載の発明によれば、磁気センサが出力する信号をより正弦波に近づけることができる。【００１７】
請求項４に記載の発明によれば、磁気センサが出力する信号を理想的な正弦波に近づけることができる。このため、正確な位置を検出することができる。【００１８】
請求項５に記載の発明によれば、磁気センサが出力する信号をより正弦波に近づけることができる。【００１９】
請求項６に記載の発明によれば、リニアモータの位置のフィードバック制御が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態におけるリニアモータの斜視図
【図２】リニアモータの正面図
【図３】電機子の移動方向に沿った断面図
【図４】駆動用マグネットの平面図（図中（ａ）は複数枚の駆動用マグネットの平面図を示し、図中（ｂ）は各駆動用マグネットの平面図を示す）
【図５】シミュレーションにより計算した磁界強度（磁束密度）と正弦波を比較したグラフ
【図６】駆動用マグネットのが長方形の場合の比較例を示す平面図
【図７】駆動用マグネットが長方形の場合のシミュレーションの結果を示したグラフ
【図８】駆動用マグネットの他の例を示す平面図
【図９】駆動用マグネットの側面形状の他の例を示す側面図
【図１０】駆動用マグネットの側面形状のさらに他の例を示す側面図
【図１１】磁気センサが出力する電圧信号を示す図
【図１２】リニアモータの制御装置の構成図
【図１３】インターポレータの概略回路図
【図１４】ルックアップテーブルデータのメモリ構成図
【図１５】従来のロッドタイプリニアモータのマグネットの配列を示す断面図
【図１６】従来のフラットタイプリニアモータのマグネットの配列を示す側面図
【符号の説明】
【００２１】
５…駆動用マグネット
５ａ〜５ｊ…駆動用マグネットの端部（駆動用マグネットの磁気センサが通過する部分）６…駆動用マグネット
６ａ…駆動用マグネットの中央部
６ｂ…両端部
１０…電機子
１２…磁気センサ
１８…駆動用マグネットの中央部
１９…駆動用マグネットの両端部
２４…インターポレータ（位置信号生成手段）
Ｗ１…駆動用マグネットの両端部の横幅
Ｗ２…駆動用マグネットの中央部の横幅
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付図面に基づいて本発明の実施形態を詳細に説明する。図１及び図２は本発明の一実施形態におけるリニアモータの全体図を示す。図１はリニアモータの斜視図（テーブルの断面図を含む）を示し、図２は正面図を示す。細長く伸びるベース４上には、板状の複数枚の駆動用マグネット５が一列に並べられる。これら複数枚の駆動用マグネット５がリニアモータの固定子となる。ベース４は、底壁部４ａと、底壁部４ａの幅方向の両側に設けられる一対の側壁部４ｂとから構成される。底壁部４ａの上面に駆動用マグネット５が取り付けられる。【００２３】
各駆動用マグネット５には、列方向と直交する方向（図中上下方向）にＮ極及びＳ極が形成される。複数枚の駆動用マグネット５の表面に交互にＮ極及びＳ極が形成されるように、各駆動用マグネット５は隣接する一対の駆動用マグネット５に対して、磁極を反転させた状態で並べられる。【００２４】
ベースの側壁部４ｂの上面には、リニアガイド９の軌道レール８が取り付けられる。軌道レール８には、移動ブロック７がスライド可能に組み付けられる。軌道レール８と移動ブロック７との間には、転がり運動可能に複数のボールが介在される（図示せず）。移動ブロック７には、複数のボールを循環させるためのサーキット状のボール循環経路が設けられる。軌道レール８に対して移動ブロック７がスライドすると、複数のボールがこれらの間を転がり運動し、また複数のボールがボール循環経路を循環する。これにより、移動ブロック７の円滑なスライドが可能になる。【００２５】
リニアガイド９の移動ブロック７の上面には、テーブル３が取り付けられる。テーブル３は例えばアルミなどの非磁性材料からなる。テーブル３には、移動対象が取り付けられる。テーブル３の下面には、リニアモータの可動子である電機子１０が吊り下げられる。図２の正面図に示されるように、駆動用マグネット５と電機子１０との間にはすきまｇが設けられる。リニアガイド９は、電機子１０が駆動用マグネット５に対して相対的に移動するときにも、このすきまｇを一定に維持する。【００２６】
図３は、電機子１０の移動方向に沿った断面図を示す。テーブル３の下面には、断熱材１３を介して電機子１０が取り付けられる。電機子１０は、珪素鋼などの磁性材料からなるコア１４と、コア１４の突極１４ａ，１４ｂ，１４ｃに巻かれる三相コイル１６ａ，１６ｂ，１６ｃと、から構成される。三相コイル１６ａ，１６ｂ，１６ｃそれぞれには、１２０度の位相差をもつ三相交流電流が供給される。突極１４ａ，１４ｂ，１４ｃに三相コイル１６を巻いた後、三相コイル１６は樹脂封止される。【００２７】
テーブル３の下面には、電機子１０を挟んで一対の補助コア１７が取り付けられる。補助コア１７は、リニアモータに発生するコギングを低減するために設けられる。【００２８】
図２に示されるように、電機子１０には、ＭＲセンサ、ホール素子などの磁気センサ１２が取り付けられる。磁気センサ１２は、電機子１０と共に移動しながら固定子である複数枚の駆動用マグネット５の磁界強度（磁束密度）を検出する。【００２９】
固定子である駆動用マグネット５の形状及び駆動用マグネット５が発生する磁界強度の分布について説明する。図４（ａ）は、複数枚の駆動用マグネット５の平面図を示し、図４（ｂ）は各駆動用マグネット５の幅方向の端部の平面図を示す。この実施形態では、駆動用マグネット５の磁気センサ１２が通過する部分Ｌ１である端部５ａ（正確にいえば磁気センサ１２が通過する部分Ｌ１の下方にある端部５ａ）は、円弧形状に形成される。そして、この端部５ａが円弧形状に形成されるので、電機子１０の移動方向の中央部１８の横幅Ｗ２が両端部１９の横幅Ｗ１よりも広い。【００３０】
図５は、シミュレーションにより計算した磁界強度（磁束密度）と正弦波を比較したものである。磁気センサ１２は、駆動用マグネット５の円弧形状の端部５ａの上方数ｍｍの位置を移動する。この図５には、磁気センサ１２が移動する位置における磁界強度の分布が示されている。駆動用マグネット５の中央部１８の横幅を両端部１９よりも広くすることで、駆動用マグネット５の中央部１８に磁界強度のピークをもってくることができ、両端部１９の磁界強度を小さくすることができる。したがって、シミュレーションによって得られる磁界強度の分布が正弦波に近くなる。【００３１】
図６は、駆動用マグネット５が長方形の場合の比較例を示す。図７は、駆動用マグネット５の幅方向の中央部の磁界強度を計算した結果である。シミュレーションの結果、駆動用マグネット５が長方形の場合、磁界強度の分布が太った波形になり、理想的な正弦波から歪んだ。可動子の移動方向の中央部の磁界強度が両端部の磁界強度に近くなり、ピークがでにくくなっていることが原因だと思われる。【００３２】
図８は、各駆動用マグネット５の他の例を示す。図８（ａ）は第一の実施形態のリニアモータと同様に、駆動用マグネット５の幅方向の端部５ａが円弧形状に形成される例を示す。図８（ａ）の二点鎖線は、駆動用マグネット５の幅方向の両端部５ａ，５ｂを円弧形状に形成した例を示す。このようにすると、コイルの有効長さの全長にわたって駆動用マグネット５の磁界強度の分布を正弦波に近づけることができる。このため、リニアモータに発生するコギングを低減することができる。【００３３】
図８（ｂ）は、駆動用マグネット５の幅方向の端部５ｃを三角形状に尖らせた例を示す。図８（ｂ）中の二点鎖線は、コギングを低減するために幅方向の両端部５ｃ，５ｄを三角形状に尖らせた例を示す。【００３４】
図８（ｃ）は、駆動用マグネット５の幅方向の端部５ｅを台形形状に尖らせた例を示す。図８（ｃ）中の二点鎖線は、コギングを低減するために幅方向の両端部５ｅ，５ｆを台形形状に尖らせた例を示す。【００３５】
図８（ｄ）は、駆動用マグネット５の幅方向の端部５ｇを楕円形状に丸めた例を示す。
図８（ｄ）中の二点鎖線は、コギングを低減するために幅方向の両端部５ｇ，５ｈを楕円形状に丸めた例を示す。【００３６】
図８（ｅ）はコギングを低減するために、駆動用マグネット５の全体を斜めに傾けた例を示す。駆動用マグネット５の幅方向の端部５ｉの平面形状は、円弧形状に形成されると共に、可動子の移動方向に直交する線Ｌ２に対して対称である。端部５ｉの平面形状を線対称に形成することで、磁界強度の分布を正弦波に近づけることができる。【００３７】
図８（ｆ）はコギングを低減するために、駆動用マグネット５の全体を斜めに傾けた例を示す。この例では、駆動用マグネット５の端部５ｊは、円弧形状に形成されると共に、傾けた中心線Ｌ３に対して対称に形成される。【００３８】
図９は、駆動用マグネットのさらに他の例を示す。この例の駆動用マグネット６は、側面図において、各駆動用マグネット６の磁気センサ１２が通過する部分の形状（正確には磁気センサ１２が通過する部分の下方の形状）は、半円形状に形成され、可動子の移動方向の中央部６ａの高さが両端部６ｂの高さよりも高い。駆動用マグネット６の中央部６ａの高さを高く、両端部６ｂの高さを低くすることで、駆動用マグネット６の中央部６ａに磁界強度のピークをもってくることができ、両端部６ｂの磁界強度を小さくすることができる。したがって、シミュレーションによって得られる磁界強度の分布２０も正弦波に近くなる。【００３９】
駆動用マグネット６を幅方向（図９の紙面の直交方向）に断面一定の半円柱形状にすることで、磁気センサ１２の幅方向の取付け位置によらず、磁界強度の分布を正弦波に近づけることができる。また、駆動用マグネット６の全体に発生する磁界の分布が正弦波に近づくので、コギングも低減できる。【００４０】
図１０は、駆動用マグネット６の側面形状のさらに他の例を示す。図１０（ａ）は、図９の例と同様に、駆動用マグネットの側面形状を半円柱形状に形成した例を示す。図１０（ｂ）は三角形状に形成した例を、図１０（ｃ）は台形形状に形成した例を、図１０（ｄ）は四角形の角に面取りを形成した例を示す。図１０（ｅ）は駆動用マグネット６の側壁６ｃを直線形状にし、上部６ｄを円弧形状にした例を示す。図１０（ｆ）は駆動用マグネット６の側壁６ｅを直線形状にし、上部６ｆを直線と円弧の組み合わせで構成した例を示す。いずれの例においても、可動子の移動方向の中央部の高さが両端部の高さよりも高く設定される。【００４１】
図１１に示されるように、磁気センサ１２は、９０度位相がずれた正弦波状及び余弦波状の電圧信号を出力する。図１２に示されるように、磁気センサ１２が出力する電圧信号は、位置信号生成手段であるインターポレータ２４に出力される。インターポレータ２４は、正弦波状及び余弦波状の電圧信号に基づいて、可動子である電機子１０の位置情報を算出する。インターポレータが算出した位置情報は、制御器２６に出力される。制御器２６は、上位の指令器２３からの位置指令どおりに可動子が移動するように、ＰＷＭインバータ(PWM:Pulse Width Modulation)などの電力変換器２１を制御し、最終的にはリニアモータ２２の電機子１０に供給する電流を制御する。制御器２６の制御系は、位置制御を行う位置制御ループと、速度制御を行う速度制御ループと、電流制御を行う電流制御ループと、から構成される。【００４２】
図１３は、インターポレータ２４の概略回路図を示す。インターポレータ２４は、９０°位相が異なる正弦波状信号及び余弦波状信号にディジタル的な内挿処理を加えて高分解能の位相角データを算出する。９０°位相が異なる正弦波状信号及び余弦波状信号それぞれは、Ａ／Ｄ変換器２７に入力される。Ａ／Ｄ変換器２７は、正弦波状信号及び余弦波状信号それぞれを所定の周期でディジタルデータＤＡ，ＤＢにサンプリングする。【００４３】
インターポレータ２４の信号処理部２５は、ディジタルデータＤＡ，ＤＢをそれぞれｘ，ｙアドレスとしてルックアップテーブルデータを検索し、ｘ，ｙアドレスに対応した位相角データｕを得る。これにより、１波長（０から２πまでの区間）内を分割・内挿することが可能になる。ルックアップテーブルメモリ２８を用いる替わりに、ｕ＝ＴＡＮ-1（ＤＢ／ＤＡ）の演算をして、位相角データｕを算出することにより、１波長（０から２πまでの区間）内を分割・内挿してもよい。【００４４】
図１４は、メモリ構成の一例として、８ビット×８ビットのアドレス空間に１周期１０００分割の位相角データを持たせる場合のルックアップテーブルメモリを示す。図１４に示されるように、あらかじめルックアップテーブルメモリ２８には、逆正接関数（ＴＡＮ-1）を用いた次の式に基づいて作成されたルックアップテーブルデータが記録されている。
ｕ＝ＴＡＮ-1（ＤＢ／ＤＡ）【００４５】
図１３に示されるように、信号処理部２５は、位相角データｕからＡ相エンコーダパルス信号及びＢ相エンコーダパルス信号を生成し、１周期に１度のＺ相パルス信号を生成する。信号処理部２５が出力するＡ相パルス信号、Ｂ相パルス信号、Ｚ相パルス信号は、リニアモータの制御器２６に出力される。上述したように、制御器２６はこの位置信号に基づいて、電力変換器２１を制御する。【００４６】
なお、本発明は上記実施形態に限られることなく、本発明の要旨を変更しない範囲で種々変更できる。例えば、上記実施形態では、電機子が移動し、駆動用マグネットが固定されているが、駆動用マグネットが移動し、電機子が固定されてもよい。【００４７】
また、平面図において、駆動用マグネットの幅方向の端部が円弧形状に形成されると共に、側面図において、駆動用マグネットの側面形状が半円柱形状に形成されてもよい。【００４８】
本明細書は、２００７年１０月３１日出願の特願２００７-２８４４５６に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
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