(57)【要約】  迅速な簡易検査ができ、かつ必要に応じて即座に精密検査することが可能なＸ線検査装置を提供する。コーンビーム状に照射領域を持つＸ線源と、検査対象ワークの保持機構と、平面型撮像面を備えたＸ線カメラを有するＸ線検査装置。検査対象ワークの基準面とＸ線カメラの撮像面を互いに平行な面に配置すると共にＸ線源から照射されるＸ線の光軸が検査対象ワークの基準面を斜めにとおり撮像面に入射するよう配置し、これら三者の相互の配置関係を維持しつつ検査対象ワーク及びＸ線源のいずれか一方とＸ線カメラとを装置の中心軸線を中心に円軌道に沿って回転する機構を有するＸ線カメラの撮像面をその中心法線（撮像面中心軸）の回りに投影データの所望の取得角度に応じて回転ないし設定自在な撮像面回転機構を有する。撮像面回転機構は、前記撮像面を常時中心軸線に関し所定の方位を保持した状態において作動可能である。（図１）
2009078415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コーンビーム状に照射領域を持つＸ線源と、検査対象ワークの保持機構と、平面型撮像面を備えたＸ線カメラを有するＸ線検査装置であって、
検査対象ワークの基準面とＸ線カメラの撮像面を互いに平行な面に配置すると共にＸ線源から照射されるＸ線の光軸が検査対象ワークの基準面を斜めにとおり撮像面に入射するよう配置し、これら三者の相互の配置関係を維持しつつ検査対象ワーク及びＸ線源のいずれか一方とＸ線カメラとを装置の中心軸線を中心に円軌道に沿って回転する機構を有すること、及び
Ｘ線カメラの撮像面をその中心法線（撮像面中心軸）の回りに投影データの所望の取得角度に応じて回転ないし設定自在な撮像面回転機構を有すること、を特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記撮像面回転機構は、前記撮像面を常時前記中心軸線に関し所定の方位を保持した状態において作動可能であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記撮像面回転機構は、前記撮像面を常時前記中心軸線に向かって一定の方位関係で保持して前記中心軸線の回りを回転させる第１のモードを有することを特徴とする請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記撮像面回転機構は、前記撮像面を常時互いに平行な方向に配向しつつ前記中心軸線の回りを回転させる第２のモードを有することを特徴とする請求項２または３に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
Ｘ線源を固定し、検査対象ワークとＸ線カメラとを前記中心軸線を中心にそれぞれ回転させる検査対象ワーク回転機構及びＸ線カメラ回転機構を有する
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
検査対象ワークを固定し、Ｘ線源とＸ線カメラとを前記中心軸線を中心にそれぞれ回転させるＸ線源回転機構及びＸ線カメラ回転機構を有する
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
簡易断層撮影と精密ＣＴ画像再構成とを切替撮影するための切替制御部をさらに有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記精密ＣＴ画像再構成は、傾斜型ＣＴ画像再構成であり、前記簡易断層撮影はラミノグラフィないしトモシンセシスであることを特徴とする請求項７に記載のＸ線検査装置。
【請求項９】
目視によるモニタ観察がしやすいように（遠近法表示に）射影変換する変換部を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【請求項１０】
検査対象ワークを載置し、検査観察目標部位へ移動・保持する検査対象ワーク移動・保持機構を備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【請求項１１】
Ｘ線源からの照射Ｘ線、検査対象ワークを透過させ平面型撮像面を備えたＸ線カメラで撮像するＸ線検査方法であって、
検査対象ワークの基準面とＸ線カメラの撮像面を互いに平行な面に配置すると共にＸ線源から照射されるＸ線の光軸が検査対象ワークの基準面を斜めにとおり撮像面に入射するよう配置し、これら三者の相互の配置関係を維持しつつ検査対象ワーク及びＸ線源のいずれか一方とＸ線カメラとを装置の中心軸線を中心に円軌道に沿って回転した位置で撮像すること、
を特徴とするＸ線検査方法。
【請求項１２】
Ｘ線カメラの撮像面をその中心法線（撮像面中心軸）の回りに投影データの所望の取得角度に応じて回転ないし設定自在として撮像面回転により撮像面方位を配向すること、
を特徴とする請求項１１に記載のＸ線検査方法。
【請求項１３】
前記撮像面回転は、前記撮像面を常時前記中心軸線に関し所定の方位を保持した状態において作動可能であることを特徴とする請求項１２に記載のＸ線検査方法。
【請求項１４】
前記撮像面回転は、前記撮像面を常時前記中心軸線に向かって一定の方位関係で保持して前記中心軸線の回りを回転させる第１のモードにより行うことを特徴とする請求項１２に記載のＸ線検査方法。
【請求項１５】
前記撮像面回転は、前記撮像面を常時互いに平行な方位に配向しつつ前記中心軸線の回りを回転させる第２のモードにより行うことを特徴とする請求項１２または１３に記載のＸ線検査方法。
【請求項１６】
Ｘ線源を固定し、検査対象ワークとＸ線カメラとを前記中心軸を中心にそれぞれ回転させること
を特徴とする請求項１１〜１５のいずれかに記載のＸ線検査方法。
【請求項１７】
検査対象ワークを固定し、Ｘ線源とＸ線カメラとを前記中心軸を中心にそれぞれ回転させること
を特徴とする請求項１１〜１５のいずれかに記載のＸ線検査方法。
【請求項１８】
簡易断層撮影と精密ＣＴ画像再構成とを切替撮影することを特徴とする請求項１１〜１７のいずれかに記載のＸ線検査方法。
【請求項１９】
前記精密ＣＴ画像再構成は、傾斜型ＣＴ画像再構成であり、前記簡易断層撮影はラミノグラフィないしトモシンセシスであることを特徴とする請求項１８に記載のＸ線検査方法。
【請求項２０】
目視によるモニタ観察がしやすいように（遠近法表示に）射影変換することを特徴とする請求項１１〜１９のいずれかに記載のＸ線検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［関連出願の記載］
本発明は、日本国特許出願：特願２００７−３２４８３１号（２００７年１２月１７日出願）の優先権主張に基づくものであり、同出願の全記載内容は引用をもって本書に組み込み記載されているものとする。
本発明は、物体、特に全体的には、平たい形状の物体の検査に関し、特にプリント基板の半田付け部の検査等、平たい形状であるが凹凸等の立体構造を有する物体の欠陥の検出に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一例として厚みが薄いプリント基板のような板状の検査対象ワークの半田接合部位を検査する場合、傾斜方向からのＸ線画像の目視による観察や、断層解析があり、後者では傾斜ＣＴによる断層観察が用いられ、大量に検査するための自動検査では、ラミノグラフィやトモシンセシスを用いて特定の断層のみを検査する簡易断層検査装置が、主流であった。【０００３】
ＣＴ断層法の一種として、特許文献１に偏心断層合成法が記載されている。これは、一つの検査対象上の複数の関心領域（Ａ，Ｂ，Ｃ）に対する偏軸Ｘ線画像を一つのＸ線検出器上の異なった隣接受光領域（スポット）として得るものであり、複数の関心領域（Ａ，Ｂ，Ｃ）を通過した偏心ビームを受取るように構成される。放射線源は定置するか又は(複数の)関心領域をビーム内に配置するために偏心移動可能である。この場合、Ｘ線源の移動は、垂直軸に直交する水平経経路に沿って偏心範囲内で行われる。【０００４】
【特許文献１】特表２００４−５１５７６２（ＷＯ２００２／０４６７２９）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
なお、上記特許文献の全開示内容はその引用をもって本書に繰込み記載する。以下の分析は、本発明によって与えられたものである。
以下の分析は、本願発明により与えられる。これらの手法には以下の特徴がある。
［目視による検査］
（１）観察方向やＸ線画像の倍率を任意に変え、検査部位を詳細に観察できる。
（２）目視による検査のため定量できでなく、個人差により、検出精度が異なる。
（３）大量に検査することができない。
［傾斜ＣＴによる検査］
（１）精度の高い断層像ができるため、その断層像を利用して３Ｄ表示することにより、クラックのような微細な欠陥も検査できる。
（２）良好な断層像を得るためには、撮影光軸角を大きくとる必要がある。
（３）１カ所の検査に、多くの投影データが必要であり、撮影および再構成演算に時間がかかる。
（４）傾斜型ＣＴは、カメラの撮像面を光軸と直角に配向することが一般的であり、カメラを十分検査ワークに近づけることができず、一般的に高倍率検査が主流である。
［ラミノグラフィ、トモシンセシスによる簡易断層検査］
（１）ＣＴと比較し、少数のプロジェクションで、ノイズの少ない断層画像が再構成できる。
（２）撮影光軸角が比較的浅く（小さく）ても再構成できる。
（３）投影データが少ないため、再構成画像の画質は傾斜ＣＴに劣る。
（４）カメラ（撮像面）を検査ワークに平行に配置するため、板状のワークの場合、カメラを近づけやすく、低倍率の検査が可能。【０００６】
前述のように既知の各方式には、一長一短があり、一方で高精度を求めると検査時間がかかり、他方で検査時間を求めると、ラミノグラフィやトモシンセシスのような簡易断層による検査になってしまう。また従来簡易断層を利用した装置で検査しても、検出できない欠陥が存在することがあり、また検出しても詳細に分析する場合は、解析用の別のＸ線装置で時間をかけて検査する必要があった。【０００７】
なお、特許文献１に記載の方法は、検査対象の複数の異なった関心領域（Ａ，Ｂ，Ｃ．．．）に対応して偏心ビームを対応偏心位置のＸ線源から照射し、一つの検出器（定置）の受光面内に収まる範囲内に偏心した隣接受光領域（スポットＡ，Ｂ，Ｃ．．．）として対応像を求めるものである。【０００８】
この方法では、検査対象内の法線に対し大きな斜め角度でのＸ線光軸は得られず斜めＣＴを実現することはできない。そのため、迅速な簡易検査が可能であり、かつ必要に応じて即座に精密検査することも可能なX線装置及び検査方法等を実現することが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
検査対象ワークとＸ線カメラを平行に配置し、円軌道に沿って回動させることにより、ラミノグラフィやトモシンセシス等の簡易断層の撮影を行えると同時に、円軌道と同期してＸ線カメラを水平に回転できる機構により、ラミノグラフィやトモシンセシス等の簡易断層撮影と同一の箇所を、高画質の傾斜ＣＴで観察できるようにする。【００１０】
また射影変換することにより、人間が認識しやすい遠近感のある画像を作成し、モニタに表示することにより、ラミノグラフィないしトモシンセシスや傾斜ＣＴでの再構成結果をもとに、目視による観察も可能とする。【００１１】
本発明の第１の視点によれば、Ｘ線検査装置は、コーンビーム状に照射領域を持つX線源と、検査対象ワークの保持機構と、平面型撮像面を備えたX線カメラを有するX線検査装置であって、検査対象ワークの基準面とX線カメラの撮像面を互いに平行な面に配置すると共にＸ線源から照射されるＸ線の光軸が検査対象ワークの基準面（中心）を斜めにとおり撮像面（の中心）に入射するよう配置し、これら三者の相互の配置関係を維持しつつ検査対象ワーク及びX線源のいずれか一方とX線カメラとを装置の中心軸線を中心に円軌道に沿って回転する機構を有すること、及び精密ＣＴ画像再構成と簡易断層撮影、Ｘ線カメラの撮像面をその中心法線（撮像面中心軸）の回りに投影データの所望の取得角度に応じて回転ないし設定自在な撮像面回転機構を有すること、を特徴とする。(装置基本構成、形態１)
本発明の第２の視点によれば、Ｘ線検査方法が提供される。このＸ線検査方法は、X線源からの照射Ｘ線を、検査対象ワークを透過させ平面型撮像面を備えたX線カメラで撮像するX線検査方法であって、
検査対象ワークの基準面とX線カメラの撮像面を互いに平行な面に配置すると共にＸ線源から照射されるＸ線の光軸が検査対象ワークの基準面を斜めにとおり撮像面に入射するよう配置し、これら三者の相互の配置関係を維持しつつ検査対象ワーク及びX線源のいずれか一方とX線カメラとを装置の中心軸線を中心に円軌道に沿って回転した位置で撮像すること、を特徴とする。（方法基本構成、方法形態１）
さらに、X線カメラの撮像面をその中心法線（撮像面中心軸）の回りに投影データの所望の取得角度に応じて回転ないし設定自在として撮像面回転により撮像面方位を配向すること、を特徴とする。（方法形態２）
【発明の効果】
【００１２】
本発明の基本的構成により、迅速な簡易検査が可能であり、かつ必要に応じて即座に精密検査することも可能なＸ線装置及び検査方法が実現される。【００１３】
さらに、本願に開示された展開形態及び図面の記載に基づきそれぞれ付加的な効果が達成される。【００１４】
簡易検査としては、ラミノグラフィないしトモシンセシスが、さらに精密検査としては、傾斜型ＣＴ画像再構成が、一つの装置によってワークの他の装置への移動再セッティング等を要することなく有利に適用される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態を示す概念図である。
【図２】本発明の他の一実施形態を示す概念図である。
【図３】本発明のX線カメラの撮像面の一回転態様（中心軸線を指向）を示す概念図である。
【図４】本発明のX線カメラの撮像面の他の一回転態様（互いに平行な配向）を示す概念図である。
【図５】本発明の一撮像形態を比較例と対比して示す概念図であり、それぞれ（Ａ）Ｘ線撮像断面の一例、（Ｂ）本発明による平行面撮像の一例、（Ｃ）遠近法的表示の一例を示す。
【図６】本発明の他の一実施例の斜視概念図である。
【図７】本発明の他の一実施例の正面から見たＺ軸を含む概念図である。
【図８】本発明の他の一実施例の斜視概念図である。
【図９】射影変換式を導くための説明図である。
【図１０】射影変換式を導くための説明図である。
【図１１】従来の三次元Ｘ線ＣＴ画像再構成ための座標系についての説明図である。
【図１２】本発明に係わるＸ線の照射方向を任意の方向に設定し、検出器も任意の方向に配置した座標系についての説明図である。
【図１３】φ＝９０°、ψ＝３０°、θ＝３０°の場合の座標系についての説明図である。検出面は点線で構成した面である。
【図１４】（ａ）ファントム、（ｂ）［図３］の装置で検出した投影データ画像に対して、本発明の手法で再構成した三次元画像の中心部縦断面、（ｃ）［図１］の装置で検出した投影データ画像に対して、ＦＤＫ法で再構成した三次元画像の中心部縦断面。
【図１５】φ＝９０°、ψ＝３０°、θ＝４５°として得られた実験結果、即ち、ファントム、各手法で再構成した三次元画像の中心部縦断面像及びこれら断面像の中心線に沿ったプロファイルである。
【図１６】図５と同様な角度条件で、再構成した三次元画像の中心部断面像及びこれらの断面像の端部に近い位置における点線に沿ったプロファイル。
【図１７】本発明の三次元ＣＴ画像再構成手順の一実施例を示すフローチャート。
【図１８】本発明の装置（システム）を総合的に示す概念図である。
【図１９】本発明の装置（システム）の制御システムを総合的に示すブロック図である。
【発明の実施の形態】
【００１６】
前記撮像面回転機構は、前記撮像面を常時前記中心軸線に関し所定の方位を保持した状態において作動可能にできる。(形態２)
前記撮像面回転機構は、前記撮像面を常時前記中心軸線に向かって一定の方位関係で保持して前記中心軸線の回りを回転させる第１のモードを有することができる。(形態３)
前記撮像面回転機構は、前記撮像面を常時互いに平行な方向に配向しつつ前記中心軸線の回りを回転させる第２のモードを有することができる。(形態４)
X線源を固定し、検査対象ワークとX線カメラとを前記中心軸線を中心にそれぞれ回転させる検査対象ワーク回転機構及びＸ線カメラ回転機構を有することができる。(形態５)
検査対象ワークを固定し、X線源とX線カメラとを前記中心軸線を中心にそれぞれ回転させるX線源回転機構及びＸ線カメラ回転機構を有することができる(形態６)
簡易断層撮影と精密ＣＴ画像再構成とを切替撮影するための切替制御部を有することが好ましい。（形態７）
前記精密ＣＴ画像再構成は、傾斜型ＣＴ画像再構成であり、前記簡易断層撮影はラミノグラフィなし、トモシンセシスである。（形態８）
目視によるモニタ観察がしやすいように（遠近法表示に）射影変換する変換部を有することができる。（形態９）
検査対象ワーク（測定物）を載置し、検査観察目標部位へ移動・保持する検査対象ワーク移動・保持機構（ステージ装置）を備えることができる。(形態１０)
Ｘ線検査装置において、検査対象ワークの中心法線に対しＸ線を０度より大きい角度で照射して撮像面で投影画像データを検出し、検出した投影データ画像から画像再構成を行い、検査対象ワークの内部構造を表示するＣＴ画像再構成装置を含み、該ＣＴ画像再構成装置は、
（Ａ）投影画像データに所定の重みを掛ける手段、
（Ｂ）重みを掛けた投影画像データに対してフィルタを掛ける手段、
（Ｃ）フィルタ後のデータに対し三次元再構成空間において所定の方式で逆投影を行う手段、を含むこと、が好ましい。（形態１１）
Ｘ線検査方法において、
（１）検査対象ワークの中心法線に対しＸ線を０度より大きい角度で照射して撮像面で投影画像データを検出する工程、及び
（２）検出した投影データ画像から画像再構成を行い、検査対象ワークの内部構造を表示する工程を含むＣＴ画像再構成工程を含み、該ＣＴ画像再構成工程は、
（Ａ）投影画像データに所定の重みを掛けること、
（Ｂ）重みを掛けた投影画像データに対してフィルタを掛けること、
（Ｃ）フィルタ後のデータに対し三次元再構成空間において所定の方式で逆投影を行うこと、が好ましい。（方法形態３）
［装置の構成概要］
（１）Ｘ線カメラの回転機構（Ｘ−Ｙ平面内θｃ）と、Ｘ線源又は検査対象ワークの少なくともいずれか一方の回転機構（Ｘ−Ｙ平面内θ１又はθｓ）とを備える。
（２）Ｘ線カメラに投影データ取得角と同期して撮像面をその中心軸（中心法線）のまわりに回転できるθ軸（θｃカメラのｚ軸）を追加する。
（３）ラミノグラフィないしトモシンセシスと傾斜ＣＴが同一系で再構成できる再構成機能を備える。
（４）射影変換して、モニタにあたかも光軸直角で撮影したかのように遠近感のある画像を生成して、モニタ表示し、観察を可能にする機能も備える。
（５）Ｘ線光軸角（装置中心軸線と光軸のなす角α）の可変調節機構も備える。
（６）検査対象ワークの移動・保持機構（少なくともＸ−Ｙ２次元，任意にさらにＺ軸や回転軸θｓ）を備える。
（７）ラミノグラフィ・トモシンセシスなど簡易断層画像再構成機能を備える。
（８）ＣＴ画像再構成機能を備えると共に各撮像ないし再構成方式の切替制御機能を備える。
【実施例１】
【００１７】
図１は、本発明のＸ線検査装置の一実施例を示す概念図である。図１において、定置のＸ線源１の照射Ｘ線コーンビーム６の中心軸線（＝装置の中心軸線）をＸ軸として示し、検査対象ワーク３（３ａ）を斜めに透過する照射Ｘ線光軸６ａを受光するカメラ２の位置２ａにおける撮像面の配向方向（Ｚ軸を指向）を矢印で示している。ワーク３は、その出発位置３ａから３ｂ−３ｃ−３ｄと円軌道５に沿って回転移動可能に構成され、それに同期して、カメラ２は位置２ａ−２ｂ−２ｃ−２ｄと回転し、その際撮像面の配向方向は各矢印に示すとおりＺ軸（即ち、照射Ｘ線コーンビームの中心軸線）を指向している。このような角度的に同期するカメラ回転機構によって円軌道４に沿って、カメラの撮像面のなす平面内において、カメラ（その撮像面）が回転移動する。即ち、Ｚ軸はワーク３及びカメラ２の回転の中心軸線を成す。なお、ワーク３の配向は、回転によっては不変（一定の方向を指向）に保たれるので、これによって、ワーク３への照射Ｘ線の光軸は、それぞれの回転角度位置において、ワーク３に対し、異なった斜め角度（方位）から（一回転すれば３６０度）ワークの基準面と交叉することにより、それぞれの（３ａ−３ｂ−３ｃ−３ｄ或いは任意の中間位置）位置において所望の角度（方位）からの斜めの透視像を得ることができる。【００１８】
一方カメラ２は、ワーク３の回動に角度的に同期して、常に矢印で示す撮像面の配向方向を中心軸線（Ｚ軸）に向けて、かつ撮像面をワークの基準面と平行に保ちつつ回転され、その都度（Ｚ軸回りの）回転角度位置（２ａ〜２ｄ、或いは任意の角度位置）において、ワークの斜め透視像を撮像することができる。【００１９】
なお、カメラの円軌道４に沿った移動はＸ−Ｙ面内でのＸ、Ｙ軸駆動装置の数値制御によって行うことができ、任意の光軸角αへの対応も併せて可能である。しかし、必要に応じ中心軸線回りの回転ガイド機構を用いることもできる。回転ガイド機構としては、例えば回転可能な半径（ないし直径）方向アームにカメラの半径方向スライド機構を設けたものでもよい。【００２０】
これによって、ワークの基準面に対し、任意の異なった方位角度からの斜め透視像を得ることができる。自動検査のためには、ラミノグラフィないしトモシンセシスなどの簡易断層像を得ることができる。【００２１】
さらに、後述の「ＣＴ画像再構成方法及び装置」によって、Ｘ線照射方向と検出器の配向を任意な方向に設定してＣＴ画像再構成を行うことができる。このＣＴ画像再構成方法を、上述の実施例（他の実施例、態様についても同様）について適用することによって、所望の高精度ＣＴ再構成画像を効率よく、得ることができる。（以下、「ＣＴ画像再構成」という）
なお、Ｚ軸に対するＸ線光軸の角度αは所望の値に可変調節可能であり、Ｘ線源からの照射Ｘ線のコーンビームの拡がり角度に応じて、その範囲内で任意の角度に選択・設定できる。【００２２】
中心軸線からの傾斜角αの範囲は斜めＣＴ用としては、できるだけ広い傾斜角が好ましく、通例４５〜６０°であり、ラミノグラフィ（ないしトモシンセシス）は比較的浅い傾斜角３０〜４５°で用いられるが、これに限定されない（ワークによっては例えば６０°もありうる）。【００２３】
対象ワーク３は、観察対象を所望観察視野に導入して位置調節しかつ保持するステージ（ないし、テーブル）機構に載置される。このステージ機構は、少なくともＸ−Ｙ２次元の駆動機構を有し、ワーク３の基準面をセット・保持する機能を有する。【００２４】
２次元（ないし3次元）の位置調節は既知のステージ機構を用いることができる。ただし、ワーク3を円軌跡に沿って回転する際、ワークの基準平面内での方位（指向性）は本実施例では一定に保持する。（三角マーク参照）（なお、ワーク基準面の方位を矢印で示すと、各位置３ａ〜３ｄにおいて、矢印は平行に保たれる）これに対応する、回転に伴う一定方位維持機構は、種々の形式のものが可能であるが、ワーク基準面中心に、基準面に対する中心法線Ｎを立て、この中心法線Ｎを中心として、ワークの水平回転角度θに同期して、それと反対方向に（−θ）回転させる自転軸を設けることにより、実現される。最も簡単な仕組みは装置ベースに対し回転を拘束する機構である。【００２５】
このような駆動機構自体は、既知のメカニズム原理を応用でき、詳述は省略する。【００２６】
図１の実施例において、ワークに照射される照射Ｘ線の光軸について、ワークのＸ−Ｙ面内水平移転とこれに同期するカメラのＸ−Ｙ面内水平回転（いずれも装置中心軸線たるＺ軸を中心とする）の際、倍率は一定に保たれる。【００２７】
なお、倍率設定のため、Ｘ線源（発生器）はＺ軸に沿って、移動可能とすることが好ましい（特に、ワーク（ステージ）にＺ軸調節機能がない場合など）。
【実施例２】
【００２８】
図２は、図１に示す実施例１に比べ、ワーク３を固定し（例えばその基準面の中心ＯはステージのＸＹ移動調節・設定によりＸＹＺ座標系の原点におく）、Ｘ線源１（Ｘ線発生器１ａ）を所定半径γ（調節可）の円軌道に沿って中心軸線（Ｚ軸）を中心に回転するＸ線源回転機構を有する。Ｘ線源回転機構もＸ−Ｙ２次元数値制御によることができるが、カメラの場合と同様回転ガイド機構を用いることもできる。【００２９】
そして、Ｘ線源１とワーク３の基準面中心Ｏを結ぶ照射Ｘ線光軸は、所定倍率をもって配されたカメラの撮像面２ａ（その中心）に至る。同様に１ｂ−Ｏ−２ｂ、１ｃ−Ｏ−２ｃ、１ｄ−Ｏ−２ｄがワークの基準面の各位置（１ａ〜１ｄ）と撮像面の各位置（２ａ〜２ｄ）の間で、三者間の相対的距離関係即ち倍率（両面間の平行関係も）を維持して配される。【００３０】
なお、倍率は図５に示すとおり、Ｘ線源（焦点位置）とＸ線源光軸のワーク基準面との交叉位置の間の距離をＦＯＤとし、Ｘ線源と撮像面との間の距離をＦＩＤとすると、ＦＩＤ／ＦＯＤで与えられる。【００３１】
本実施例の場合、カメラ２’（その撮像面２）は、Ｘ線源の回転（１ａ〜１ｄ）に応じて、これに同期して、円軌道４に沿って、撮像面をワーク３の基準面に平行に保ちつつ、回転される。その際、撮像面の配向（矢印で示す）は、互いに平行（矢印が互いに平行）になるように維持される。【００３２】
この相対位置関係の下における同期回転によって、ワーク３の基準面に対するＸ線光軸の斜め透過が、３６０°の異なった方位（回転方位）をもって、実現される。これにより、実施例１と同様な透過Ｘ線画像が撮像され、さらにトモグラフィ等やＣＴ画像再構成も可能である。【００３３】
カメラ２’の円軌道４に沿った公転（軌道上回転）に対し、撮像面の方位を一定に維持するには、実施例１のワーク３について説明したのと同じ機構を用いることができる。その一例としては、図６に示すとおり、カメラＺ軸としてＺｃ軸をカメラＸ軸ＸｃとカメラＹ軸Ｙｃの交点に直交して設け、Ｚｃ軸の回りに回転可能とする（θｃ軸）。【００３４】
この実施例の場合、ワーク載置ステージ（テーブル）の構造が実施例１よりも簡単になるという利点がある。ワーク位置調節ステージは、少なくともＸ，Ｙ２軸（場合により、さらに面の角度調節用回転軸）に関し位置調節可能に構成し、Ｚ＝０で、かつＸ−Ｙ面に平行なワーク基準面を、所定の倍率で設定できるようにする。ワーク載置ステージの一例としては、図６に示すとおり、Ｘ−Ｙ面内で一方向（例えばＸ方向）に移動（例えばスライド）可能なコンベア式（例えばガイドレールによる）のものが有用である。なお、ステージにはさらにＺ軸調節機能を付加することもできる。【００３５】
本実施例では、Ｘ線源から放射されるＸ線照射コーンビームの使い方が、実施例１とは、やや異なる。実施例１では、固定位置のＸ線発生器（Ｘ線源）から直接出射形成されるコーンビームをその中心軸線をＺ軸として用いればよいが、実施例２では、Ｚ軸は、Ｘ線源の円軌道６に沿った軌道回転により形成されるＸ線光軸の軌跡（包絡線）により形成される仮想的コーンの中心軸線をもってＺ軸となす。このＺ軸は、カメラ２の回転軌道４に沿った回転の中心軸線である。（＝装置の中心軸線）
（カメラ回転系）
カメラ（その撮像面）の回転方式の代表例は図３，図４に示す通りである。【００３６】
図３は、図１の場合と同様であり、撮像面は常にＺ軸の方向を指向（矢印で示す）しつつ円軌道に沿って回転する。【００３７】
図４は、それに対し、図２の場合と同様であり、撮像面は常にＸ−Ｙ面の一定の方向に指向（図示の場合矢印がＹ軸に平行に設定されている）して、互いに平行に推移（平行移動）する。【００３８】
図４のカメラ回転系を図１の実施例のカメラ２の回転系に代えて用いることもでき、また図３のカメラ回転系を図２の実施例のカメラ２の回転系に代えて用いることもできる。いずれも、ワークに対する撮像面の配列関係の必要性ないしカメラ撮像面の有効利用度を考慮して選定できる。【００３９】
例えば、図１の実施例では、ワーク３の各位置３ａ〜３ｄの平面形状（ないし基準面の形状）が、そのままカメラ撮像面２の各位置２ａ〜２ｄに写像的に反映するので、撮像面の利用効率並びに撮像面のカメラ座標系Ｘｃ，Ｙｃの、ワーク３の座標系Ｘｗ，Ｙｗとの対応関係がとり易く変換も容易であるという利点がある。【００４０】
一方、図２の実施例の場合には、定置（固定）セットされたワーク３の座標系Ｘｗ，Ｙｗに対し、カメラの撮像面の各位置２ａ〜２ｄ（Ｘ線源の位置１ａ〜１ｄに対応、同期）での座標系Ｘｃ，Ｙｃは、互いに平行関係にあり、変換が容易である。【００４１】
なお、ワーク３の寸法に対し、カメラ撮像面２の寸法に余裕がある場合には、両者の座標系間に所定の対応関係（可及的に簡単な数式をもって変換可能があることが好ましい）を条件として、図１，２の実施例に示す組み合わせには、必ずしも限定されないことが、判る。
（具体的適用例）  
図６，図７に具体的適用例を斜視図及び正面図として示す。図６において、装置の基本系たるＸＹＺ座標系たるＸ線発生器１’のＸ線源１は、装置の中心軸線たるＺ軸の方向にその照射Ｘ線のコーンビーム中心線を一致させて配置される。装置基本系に加え、ワークのＸ軸Ｘｗ，Ｙ軸Ｙｗ、Ｚ軸Ｚｗから成るワーク座標系（Ｘｗ，Ｙｗ，Zｗ）が示される。【００４２】
一方カメラには、カメラのＸ軸Ｘｃ，Ｙ軸Ｙｃ，Ｚ軸Ｚｃから成る座標系（Ｘｃ，Ｙｃ，Ｚｃ）があり、カメラＺｃ軸は、水平回転軸（θ軸）と合致している（を構成している）。【００４３】
検査ワーク３はワークステージ７の搬送レール（ないしコンベア）７ａに載置されている。ワークステージ７は各ワーク軸ないしステージ軸（Ｘｗ，Ｙｗ，Ｚｗ）の方向へ、各移動（位置調節）可能に構成され、ワーク３を所定検査位置へ導くと共に、その位置に保持する。ワーク３は矢印８ａ，８ｂの方向へ移動（搬送）可能であり矢印８ａの方向から導入（装入）され検査終了後矢印８ｂの方向へ送出される。なお、ワークステージの各軸駆動機構、回転駆動機構は図示を省略する。【００４４】
アライメント認識・位置確認用カメラ９は、ワーク（ないしステージ）のアライメントマークの確認により、ワーク（ステージ）の位置決めを行う。【００４５】
図７に、ワークの一例構造を示すと共に、照射Ｘ線光軸に沿った、焦点・受光間距離ＦＩＤ、焦点・オブジェクト（ワーク）間距離ＦＯＤの関係を、撮影光軸角αと共に示す。各照射光軸は、ワークの基準面３’（点線で示す）の中心と斜交し、中心軸Ｚからのオブジェクト円軌道半径ＯＲを規定する。【００４６】
照射光軸についての倍率はＦＩＤ／ＦＯＤにより定まる。【００４７】
図示のとおりオブジェクト（ワーク）の基準面は、Ｚ軸と直交する。【００４８】
一方、カメラ２’の影像面２は、Ｚ軸と直交する平面内にあり、Ｚ軸からのカメラ半径軌道半径ＣＲを確定する。【００４９】
垂直方向に関しては、焦点オブジェクト間垂直距離ＷＤ焦点カメラ間垂直距離ＦＣＤがそれぞれ規定される。【００５０】
焦点カメラ間垂直距離ＦＣＤがそれぞれ規定される。【００５１】
図８には、図１の実施例１に対応する具体例（Ｘ線発生器１’、ワーク３とカメラ２’を備える）を、斜視図をもって示した。ワーク３は円形軌道５に沿って、カメラ２’は円形軌道４に沿って、それぞれＺ軸の回りを（角度的に）同期回転する。ワークとしては、平板状基板に電子部品を実装し表面が凹凸構造をなす、回路基板の一例を示す。各円軌道４，５の形成する平面は、Ｘ−Ｙ面に平行である。
（射影変換機能）
透過観察（遠近法による立体視）のために、本発明では、さらに、射影（投影）変換（さらに任意的にシェーディング、即ち、陰影付与の補正）を行うことができる。これにより、あたかも平面型Ｘ線センサ（ＦＰＤ）ないしＸ線撮像面を照射光軸に対し直角に配置したかのごとく画像を表示できる。これにより、画像は遠近法に依拠したものがえられ、遠近感を生じ、見やすい画像を得ることができる。【００５２】
図５に、射影変換の原理を概念的に示す。【００５３】
Ｘ線焦点位置（＝Ｘ線源）から発し、水平に置いた検査ワーク３の基準面３’〔上面とする〕に斜交する照射光軸について中心光軸Ａｃに対し左、右側の光軸をＡ１，Ａ２とする。【００５４】
水平撮像面２の場合、Ａ１，Ａ２についての倍率Ｍ１，Ｍ２はＭ１＝ＦIＤ１／ＦOＤ１、Ｍ２＝ＦIＤ２／ＦOＤ２となりＭ１＝Ｍ２となる。その結果、水平撮像面２の画像パターンは、ワーク３の基盤目パターンがそのまま一定倍率で写像されたものとなる。（図５（C））
それに対し、中心光軸Ａｃに直交する撮像面２Ｒの場合、光軸Ａ１についての倍率Ｍ１’＝ＦＩＤ１／ＦＯＤ１，光軸Ａ２については、Ｍ２’＝ＦＩＤ２／ＦＯＤ２。ここにＦＯＤ１＜ＦＯＤ２であるので、Ｍ１’＞Ｍ２’となり、図５（Ｂ）に示すような画像パターンとなる。即ち、画面上部は大きく拡大され画面下部は拡大率が小さく、遠近法的なパターンとなる。この場合、立体視の感が強くなるので、物体構造の視認には、好都合である。【００５５】
本発明の射影変換機能によれば、目視の認識効果を高めるため、図５（Ｂ）に示すような遠近法的パターンをディスプレイに表示することができる。【００５６】
なお、図５（Ｂ），（Ｃ）はパターンの類型的差異を示すものであり、各表示倍率は、図５（Ａ）の配置関係に直接対応するものではない。【００５７】
図５（Ｂ）では、太字で囲んだ部分を考えると、撮像面枠全体に対し下縁部及び左右両縁部（マージン）に有効利用されない領域がある。このため撮像面（受光面）の利用効率は、最大とはいえずかなり低いことがわかる。【００５８】
それに対し、図５（C）では、碁盤状舛目は、画面全体に及び撮像面の利用効率は高い。ただし、遠近感はない。【００５９】
この射影変換機能は、実際に撮像面を機械的に光軸に直行される必要はなく、水平撮像面２による撮像データに射影変換処理をコンピュータ処理により施すことにより、得ることができる。【００６０】
そのため、下記の射影変換式を用いて、射影変換できる。【００６１】
図９はX線源―カメラ系を真横から見たものである。Pを焦点（Ｘ線源）としOQ面に投影されたX線像をOQ'面上に射影変換する。
Ｙ方向：DO=ｄとおいて
y：y'cosθ=OQ：OQ' =PO：PR=d：d-y'sinθ=1：1-y'sinθ/dより
y'=y/(ysinθ/d+cosθ)
y'=y/(ysinθ/d+cosθ)
Y方向：また、X方向は真上から見た図を用いて
x：x'=PO：PR=d：d-y'sinθより
x'=x(1-y'sinθ/d)
【実施例３】
【００６２】
１．機器構成例
コーンビームX線源（以下X線源）
フラットパネルセンサ等の歪みの少ない平面型X線センサ（以下FPD、flat panel detector）
観察対象を保持するステージ機構
２．目標とする機能・条件例
（１）観察対象に対し傾斜方向からのX線撮影を行い、透視画像と断層画像を得ることができること。
（２）断層画像再構成においてCT、ラミノグラフ（トモシンセシス）の両アルゴリズムを利用出来ること。
（３）断層画像による解析、自動検査が可能であること。
（４）断層像を得るための回転軌道を縮小し、装置の外形サイズを小さくできること。
３．総合配置構成例
［構成１］（図１，実施例1参照）
図１に示すようにX線源１に対しFPD〔撮像面２〕と観察対象（ワーク３）を水平に配置する（両者は互いに平行）。観察対象とFPDをそれぞれ円軌道上（５，４）を移動させ断層プロジェクション画像を撮影する。このときFPDは回転軸Ｚに直交して配置する。
［構成２］（図２，実施例2参照）
図２に示すようにX線源１に対しFPDと観察対象をいずれも水平に配置する。観察対象（ワーク３）を固定し、X線源１とFPD２をそれぞれ円軌道上（６，４）を移動させ断層プロジェクション画像を撮影する。このときX線源１とFPD２は回転軸Ｚに直交して配置する。【００６３】
両構成１，２はともにCT断層用プロジェクション画像及びラミノグラフ（トモシンセシス）断層用プロジェクション画像を撮影する機能を持つ。CT断層撮像の場合は一例として図３のようにFPDがその撮像面の配向方向はＺ軸に指向した状態でX線源に対し水平方向に回転し、ラミノグラフ（トモシンセシス）断層撮像の場合は一例として図４のようにFPDがX線源に対し平行移動的に円軌道上を移動する。（ＦＤＤ撮像面の配向方向はいつも同じ方向、矢印参照）【００６４】
４．水平配置関係の利点
（４．１）FPDと観察対象がいずれも水平に配置されることによる利点は次の通りである。【００６５】
従来の傾斜観察ではFPDは図５の２Rのように光軸に対し直角に配置される。これに対し本装置ではＦＤＤ面は回転軸に対し直角をなす面（検査対象基準面に対し平行）に配置される。その特長は以下に挙げるとおりである。
・FPDを光軸方向へ向けるための軸（および回転機能）が不要となる。
・断層構築時に投影変換を行わないため、撮像面（受光面）を広く使うことができる。
・FPDが回転軸に対し直交な面（観察対象に対し平行）に配置されるため、高さ方向の物理干渉が少ない。このため、装置高さを縮小することができる。
・上記の理由によりX線源−FPD間距離（以下FID）を縮小することができるため、X線の感度が向上し、Ｓ／Ｎ比（シグナル−ノイズ比）を向上させ、高画質な画像を得ることが出来る。
・FIDの縮小により、撮影時のカメラ軌道半径ＣＲも縮小され、撮影時間を短縮することが出来る。
・FPDを光軸方向に直角に配置した場合に比べX線の最大照射角度が抑えられ、より高い角度での撮影が可能となる。また、撮影可能な最短のFID距離を縮小できる。
・斜め方向からの透視画像の分解能が均一となる（均等倍率の画像になる）ため、透視検査への利用が可能となる。（図５（Ｂ）に比べ（Ａ）参照）
・ワーク固定で、FPD回転の機構の場合、回転軸精度の要求が低くなる。【００６６】
（４．２）CT断層撮影・ラミノグラフ（トモシンセシス）断層撮影のデュアルモードとしたことの利点
本実施例ではCTによる高画質断層像とラミノグラフ（トモシンセシス）による低プロジェクション数での断層像の２通りの断層撮影が可能となる。その特長は次の通りである。
・ワークの形状、検査の要求精度などにより２モード間の切り替えを行い、タクトを縮小出来る。必要な場合は直ちに、しかも必要なときだけ、高精度のＣＴ断層撮影に切替えることができ、一般的には高速なラミノグラフィ等の簡易断層撮影により高速検査ができる。
・ラミノグラフ（トモシンセシス）はCT（一般に光軸角度４５〜６０°）に比べて、比較的小さい光軸角度（一般に３０〜４５°）での撮影が可能である。これを利用して隣接部品の高さ等で撮影できなかった部位の検査も可能になる。【００６７】
（４．３）透視観察機能の利点
本実施例での透視観察時は投影変換（さらに任意にシェーディング補正）を行い、あたかもFPDを光軸直角に配置したような画像を（遠近法的に）表示する。この機能により遠近感のある人間が理解しやすい画像を得ることが出来る。【００６８】
（ＣＴ画像再構成）
精密ＣＴ画像再構成は既知のＣＴ画像再構成方法ないし装置（システム）によって行うことができるが、好ましくは、同一出願人の先の出願に係る「Ｘ線照射方向と検出器の配向を任意な方向に設定したＣＴ装置、その三次元画像再構成法及びプログラム」（以下「ＣＴ画像再構成」と称する）と題する日本特許出願特願２００６−１６３６９５（平成18年6月１３日出願）及びこの出願に基づく優先権主張による国際出願ＰＣＴ／ＪＰ２００７／６１４２９（２００７年６月６日出願）に開示した技術を用いて行うことができる。上記日本特許出願及びＰＣＴ国際出願の全記載内容は、引用をもって本書に繰込み記載されているものとする。【００６９】
このＣＴ画像再構成は、下記のとおりの技術であるが、本発明の一視点において,このＣＴ画像再構成において、Ｘ線照射方向（光軸の方向）と検出器（撮像面）の配向を、所望の「配向関係」に設定（可変調節も含む）して用いることにより精密ＣＴ画像再構成を行うことができる。【００７０】
＜Ｘ線照射方向と検出器の配向を任意な方向に設定したＣＴ装置、その三次元画像再構成法及びプログラム＞（ＣＴ画像再構成）
［ＣＴ形態１］
（１）Ｘ線源に対し所定距離に配置した測定物（検査対象ワーク）を透過したＸ線を検出する検出面を配設したＸ線ＣＴ装置を用意する工程、
（２）検出器の検出面配置をＸ線源と測定物の中心を結ぶ直線に対して任意の方向に配向する工程、
（３）測定物の回転軸方向に対しＸ線を０度より大きい角度で照射して検出器で投影画像データを検出する工程、
（４）検出した投影データ画像から画像再構成を行い、測定物の内部構造を表示する工程を含むＣＴ画像再構成方法であって、
（Ａ）投影画像データに所定の重みを掛けること、
（Ｂ）重みを掛けた投影画像データに対してフィルタを掛けること、
（Ｃ）フィルタ後のデータに対し三次元再構成空間において所定の方式で逆投影を行うこと、を含む処理を行うこと
を特徴とする測定物を三次元画像化するＣＴ画像再構成方法。【００７１】
［ＣＴ形態２］
測定物或いはその一部を拡大して三次元画像化する斜めＣＴ装置を用い、Ｘ線源とカメラを固定し測定物を回転させて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１に記載のＣＴ画像再構成方法。【００７２】
［ＣＴ形態３］
測定物が固定されＸ線源と検出器が測定物の周りを回転する幾何系を有する測定装置を用いて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１に記載のＣＴ画像再構成方法。【００７３】
［ＣＴ形態４］
デジタルラミノグラフィデータを用いて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１に記載のＣＴ画像再構成方法。【００７４】
［ＣＴ形態５］
マイクロＣＴ装置を用い、検出器を任意の方向へ配向し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１に記載のＣＴ画像再構成方法。【００７５】
［ＣＴ形態６］
前記重みとして、Ｘ線焦点から測定物中心までの距離をＤｓｏ、検出面座標系を（ｐ，ｑ）とすると、該距離Ｄｓｏに対する検出面座標系（ｐ，ｑ）での点の位置（ｐ，ｑ）を考慮した重みを用いることを特徴とするＣＴ形態１〜５の一に記載のＣＴ画像再構成方法。【００７６】
［ＣＴ形態７］
前記重みとして、式
2009078415.tif 000003
（ただし、
2009078415.tif 000004
は、夫々、点(p,q)における投影データ及び重みづけした投影データであり、
2009078415.tif 000005
は、検出面の直交座標の各座標軸ｐ、ｑと円軌道での検出面の直交座標の各座標軸と成す角度を示し、R=Dsosinφ、d=Dsocosφであり、βは測定物の回転軸（Ｚ軸）に対する投影角度を示す。）を用いることを特徴とするＣＴ形態６に記載のＣＴ画像再構成方法。【００７７】
［ＣＴ形態８］
前記フィルタとして検出面の配向角度を用いることを特徴とするＣＴ形態１〜６の一に記載のＣＴ画像再構成方法。【００７８】
［ＣＴ形態９］
前記フィルタ後のデータに対して下記の式により逆投影を行うこと：
2009078415.tif 000006
（ただし、t=xcosβ+ysinβ、s=-xsinβ+ycosβであり、βは測定物の回転軸に対する投影角度を示す）を特徴とするＣＴ形態１〜８の一に記載のＣＴ画像再構成方法。【００７９】
［ＣＴ形態１０］
Ｘ線源に対し所定距離に配した測定物を透過したＸ線を検出する検出面を配設したＸ線ＣＴ装置において、  
検出器の検出面配置をＸ線源と測定物の中心を結ぶ直線に対して任意の方向に配向し、
測定物の回転軸方向に対しＸ線を０度より大きい角度で照射して検出器で投影画像データを検出し、
検出した投影データ画像から画像再構成を行い、測定物の内部構造を表示するＣＴ画像再構成装置であって、
（Ａ）投影画像データに所定の重みを掛ける手段、
（Ｂ）重みを掛けた投影画像データに対してフィルタを掛ける手段、
（Ｃ）フィルタ後のデータに対し三次元再構成空間において所定の方式で逆投影を行う手段、を含むこと
を特徴とする測定物を三次元画像化するＣＴ画像再構成装置。【００８０】
［ＣＴ形態１１］
測定物或いはその一部を拡大して三次元画像化する斜めＣＴ装置を用い、Ｘ線源とカメラを固定し測定物を回転させて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１０に記載のＣＴ画像再構成装置。【００８１】
［ＣＴ形態１２］
測定物が固定されＸ線源と検出器が測定物の周りを回転する幾何系を有する測定装置を用いて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１０に記載のＣＴ画像再構成装置。【００８２】
［ＣＴ形態１３］
デジタルラミノグラフィデータを用いて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１０に記載のＣＴ画像再構成装置。【００８３】
［ＣＴ形態１４］
マイクロＣＴ装置を用い、検出器を任意の方向へ配向し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１０に記載のＣＴ画像再構成装置。【００８４】
［ＣＴ形態１５］
前記重みとして、Ｘ線焦点から測定物中心までの距離をＤｓｏ、検出面座標系を（ｐ，ｑ）とすると、該距離Ｄｓｏに対する検出面座標系（ｐ，ｑ）での点の位置（ｐ，ｑ）を考慮した重みを用いることを特徴とするＣＴ形態１０〜１４の一に記載のＣＴ画像再構成装置。
［ＣＴ形態１６］
前記重みとして、式
2009078415.tif 000007
（ただし、
2009078415.tif 000008
は、夫々、点(p,q)における投影データ及び重みづけした投影データであり、
2009078415.tif 000009
は、検出面の直交座標の各座標軸ｐ、ｑと円軌道での検出面の直交座標の各座標軸と成す角度を示し、R=Dsosinφ、d=Dsocosφであり、βは測定物の回転軸（Ｚ軸）に対する投影角度を示す。）を用いることを特徴とするＣＴ形態１５に記載のＣＴ画像再構成装置。【００８５】
［ＣＴ形態１７］
前記フィルタとして検出面の配向角度を用いることを特徴とするＣＴ形態１〜６の一に記載のＣＴ画像再構成方法。【００８６】
［ＣＴ形態１８］
前記フィルタ後のデータに対して下記の式により逆投影を行うこと：
2009078415.tif 000010
（ただし、t=xcosβ+ysinβ、s=-xsinβ+ycosβであり、βは測定物の回転軸に対する投影角度を示す）を有することとするＣＴ形態１０〜１７の一に記載のＣＴ画像再構成装置。【００８７】
［ＣＴ形態１９］
（１）Ｘ線源に対し所定距離に配置した測定物を透過したＸ線を検出する検出面を配設したＸ線ＣＴ装置を用意する工程、
（２）検出器の検出面配置をＸ線源と測定物の中心を結ぶ直線に対して任意の方向に配向する工程、
（３）測定物の回転軸方向に対しＸ線を０度より大きい角度で照射して検出器で投影画像データを検出する工程、
（４）検出した投影データ画像から画像再構成を行い、測定物の内部構造を表示する工程を含むＣＴ画像再構成方法であって、
（Ａ）投影画像データに所定の重みを掛けること、
（Ｂ）重みを掛けた投影画像データに対してフィルタを掛けること、
（Ｃ）フィルタ後のデータに対し三次元再構成空間において所定の方式で逆投影を行うこと、を含む処理を行うこと
を特徴とする測定物を三次元画像化するＣＴ画像再構成方法を実施するための、コンピュータ読取り可能なプログラム。【００８８】
［ＣＴ形態２０］
測定物或いはその一部を拡大して三次元画像化する斜めＣＴ装置を用い、Ｘ線源とカメラを固定し測定物を回転させて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１９に記載のプログラム。【００８９】
［ＣＴ形態２１］
測定物が固定されＸ線源と検出器が測定物の周りを回転する幾何系を有する測定装置を用いて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１９に記載のプログラム。【００９０】
［ＣＴ形態２２］
デジタルラミノグラフィデータを用いて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１９に記載のプログラム。【００９１】
［ＣＴ形態２３］
マイクロＣＴ装置を用い、検出器を任意の方向へ配向し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１９に記載のプログラム。【００９２】
［ＣＴ形態２４］
前記重みとして、Ｘ線焦点から測定物中心までの距離をＤｓｏ、検出面座標系を（ｐ，ｑ）とすると、該距離Ｄｓｏに対する検出面座標系（ｐ，ｑ）での点の位置（ｐ，ｑ）を考慮した重みを用いることを特徴とするＣＴ形態１９〜２３の一に記載のプログラム。【００９３】
［ＣＴ形態２５］
前記重みとして、式
2009078415.tif 000011
（ただし、
2009078415.tif 000012
は、夫々、点(p,q)における投影データ及び重みづけした投影データであり、
2009078415.tif 000013
は、検出面の直交座標の各座標軸ｐ、ｑと円軌道での検出面の直交座標の各座標軸と成す角度を示し、R=Dsosinφ、d=Dsocosφであり、βは測定物の回転軸（Ｚ軸）に対する投影角度を示す。）を用いることを特徴とするＣＴ形態２４に記載のプログラム。【００９４】
［ＣＴ形態２６］
前記フィルタとして検出面の配向角度を用いることを特徴とするＣＴ形態１９〜２５の一に記載のプログラム。【００９５】
［ＣＴ形態２７］
前記フィルタ後のデータに対して下記の式により逆投影を行うこと：
2009078415.tif 000014
（ただし、t=xcosβ+ysinβ、s=-xsinβ+ycosβであり、βは測定物の回転軸に対する投影角度を示す）を特徴とするＣＴ形態１９〜２６の一に記載のプログラム。【００９６】
本発明のＣＴ画像再構成は、放射線（特にＸ線）ＣＴ装置及びその三次元画像再構成方法に関し、特にＸ線照射方向と検出器の配向を任意な方向に設定したＣＴ装置およびその三次元画像再構成法並びにそのためのプログラムに関する。
［ＣＴ画像再構成の背景技術］
ＣＴ画像再構成Ｘ線ＣＴ装置による三次元画像再構成法について、例えば特許文献2に記載の斜めＣＴ装置がある。一方、従来の投影データの三次元再構成法としてＦＤＫ法が一般に知られている（非特許文献１）。【００９７】
【特許文献２】特開２００３−３４４３１６号公報
【非特許文献１】L. A. Feldkamp, L. C. Davis, and J. W. Kress, "Practical cone-beam algorism", J. Opt. Soc. Am., A. Vol. 1, No. 6, pp.612-619, 1984
【００９８】
ＣＴ画像再構成における課題
［従来の再構成法（ＦＤＫ法）および問題点］
従来のＣＴ装置ないし三次元画像再構成法は以下の点で問題がある。
＜通常のＸ線ＣＴ装置＞
図１で示したような従来の通常のＸ線ＣＴ装置の一例では、検出面をＸ線焦点と測定物の回転中心点を結ぶ直線と直交するように固定した後、測定物を回転台の上に置き、回転台を一回転することによって、複数枚の２次元投影データ画像を検出し、検出した複数枚の２次元投影データ画像から画像再構成を行うことによって、測定物の内部構造を三次元画像化する。この装置において、よく用いられる画像再構成法はＦＤＫ法である。ＦＤＫ法はFeldkamp, Davis, Kressにより提案された方法であり、再構成法の主流を成す（非特許文献１）。ＦＤＫ法は、Ｘ線源と検出面を図１のように配置した場合に適用できる再構成法である。このような装置は、Ｘ線源の照射方向と検出器の傾き（配向角度）に自由度がないため、Ｘ線源、回転台、検出器の位置によって、対象物体に対する倍率は決まってしまうという欠点がある。【００９９】
従来のＣＴは以下の方面で問題点がある。
＜斜めＣＴ装置＞
近年、本件出願人は、半導体部品、プリント基板、半田接合部等の検査を行うため斜めＣＴ装置を開発した。斜めＣＴ装置（特開２００３−３４４３１６）において、再構成アルゴリズムは次のステップで行われる。
（１）  投影画像に対して射影変換を行う。
（２）  投影データに固有の重みを掛ける。
（３）  重みを掛けた投影データに対してフィルタを掛ける。
（４）  固有の方式で逆投影を行う。
この装置は、Ｘ線を斜めに対象物体に照射し、検出器はＸ線の斜め照射方向に直交するように配置して撮影を行い、得られた撮影画像をＦＤＫ法に適用するため、撮影画像に対して射影変換を行っている。この変換により、対象物体の分解能が下がると言う問題点があることが判明した。また、検出器の傾きには自由度がないため、やはり、Ｘ線源、回転台、検出器の位置によって倍率も決まってしまうという欠点がある。
［注］Ｘ線源、回転台、検出器を相対的に動かして、再構成空間において、その幾何系が上述の２種類の装置と同じの場合は、説明を省略する。【０１００】
本発明は、これらの欠点を解消することに鑑みて成したものである。即ち、本発明は、Ｘ線などの放射線を用いたＣＴ装置において、対象物体（測定物）の分解能が高く、しかも検出器の配向の自由度が高い三次元画像再構成法及び装置並びにプログラムを提供することを課題とする。
＜ＦＤＫ法＞
先ず、良く使われている再構成法であるＦＤＫ法について説明する。
再構成空間の座標系を(x,y,z)とし、二次元検出器平面の座標系を(p,q)、投影角度βに対して検出器平面上の点(p,q)においての投影値をPβ(p,q)とすると、点(x,y,z)における吸収係数分布f(x,y,z)は、
2009078415.tif 000015
（１）
と表される。ここで、ＤｓｏはＸ線焦点から測定物中心までの距離、
2009078415.tif 000016
（２）
である。また、(p,q)座標系は検出面に固定された座標系であるが、ＦＤＫ法では再構成空間の座標系に(p,q)座標系を移動して再構成を考える。【０１０１】
式（１）によって行われる三次元画像再構成法は、次の手順で行われる。
１：初期化：  f(x,y,z)=0と置く。
２：各方向から検出した投影データ画像に対して、次のステップを繰り返す。
［ＳＴＥＰ  １］投影データに重みを掛ける。この「重み」は、距離Ｄsoに対する検出物座標系ｐ、ｑを考慮した距離の関する重みづけを成す。
2009078415.tif 000017
（３）
［ＳＴＥＰ  ２］重みを掛けた投影データに対してフィルタを掛ける。
2009078415.tif 000018
（４）
［ＳＴＥＰ  ３］逆投影を行う。
2009078415.tif 000019
（５）
ここで、
2009078415.tif 000020
は式２によって定義されたものである。【０１０２】
［ＣＴ画像再構成のための解決手段］
本発明のＣＴ画像再構成では、図１２で示したような、Ｘ線の照射方向に一つの自由度φ、検出器の傾き（配向）に二つの自由度
2009078415.tif 000021
を与えたＸ線ＣＴ装置の系を考える。このような装置系において、三次元画像再構成法としては、撮影画像データを変換なしでそのまま使って行う手法が提案される。
即ち、本発明のＣＴ画像再構成の第１の視点において、測定物を三次元画像化するＣＴ画像構成方法は、（１）Ｘ線源に対し所定距離に配置した測定物を透過したＸ線を検出する検出面を配設したＸ線ＣＴ装置を用意する工程、
（２）検出器の検出面配置をＸ線源と測定物の中心を結ぶ直線に対して任意の方向に配向する工程、
（３）測定物の回転軸方向に、Ｘ線を０度より大きい角度で照射して検出器で投影画像データを検出する工程、
（４）検出した投影データ画像から画像再構成を行い、測定物の内部構造を表示する工程、を含むＣＴ画像再構成方法であって、
（Ａ）投影画像データに所定の重みを掛けること、
（Ｂ）重みを掛けた投影画像データに対してフィルタを掛けること、
（Ｃ）フィルタ後のデータに対し三次元再構成空間において所定の方式で逆投影を行うこと、を含む処理を行うこと
を特徴とする測定物を三次元画像化するＣＴ画像再構成方法を特徴とする。【０１０３】
＜基本構成−構成１＞
本発明のＣＴ画像再構成の第２の視点において、測定物を三次元画像化するＣＴ画像再構成装置が提供される。この装置は、Ｘ線源に対し所定距離に配置した測定物を透過したＸ線を検出する検出面を配設したＸ線ＣＴ装置において、
検出器の検出面配置をＸ線源と測定物の中心を結ぶ直線に対して任意の方向に配向し、
測定物の回転軸方向に対しＸ線を０度より大きい角度で照射して検出器で投影画像データを検出し、
検出した投影データ画像から画像再構成を行い、測定物の内部構造を表示するＣＴ画像再構成装置であって、
（Ａ）投影画像データに所定の重みを掛ける手段、
（Ｂ）重みを掛けた投影画像データに対してフィルタを掛ける手段、
（Ｃ）フィルタ後のデータに対し三次元再構成空間において所定の方式で逆投影を行う手段、を含むことを特徴とする。
さらに本発明のＣＴ画像再構成の第３の視点において、前記基本構成１の方法を実施するためのプログラムが提供される。
以下に、本発明のＣＴ画像再構成のさらに好適な構成を示す。
測定物或いはその一部を拡大して三次元画像化する斜めＣＴ装置において、Ｘ線源とカメラを固定し測定物を回転させて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行うＣＴ形態１に記載のＣＴ画像再構成方法。（構成２）
測定物が固定されＸ線源と検出器が測定物の周りを回転する幾何系を有する測定装置を用いて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行う構成１に記載のＣＴ画像再構成方法。（構成３）
デジタルラミノグラフィデータを用いて投影画像データを検出し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行う構成１に記載のＣＴ画像再構成法。（構成４）
マイクロＣＴ装置を用い、検出器を任意の方向へ配向し、検出した投影画像データをそのまま使って三次元画像再構成を行う構成１に記載のＣＴ画像再構成方法。（構成５）
前記重みとして、Ｘ線源から測定物中心までの距離をＤｓｏ、検出面座標系を（ｐ，ｑ）とすると、該距離Ｄｓｏに対する検出面座標系（ｐ，ｑ）での点の位置（ｐ，ｑ）を考慮した重みを用いる事を特徴とする構成１〜６の一に記載のＣＴ画像再構成方法。（構成６）
前記重みとして、式
2009078415.tif 000022
を用いることを特徴とする構成１〜６の一に記載のＣＴ画像再構成方法。（構成７）
前記フィルタとして検出面の配向角度を用いることを特徴とする構成１〜７の一に記載のＣＴ画像再構成方法。（構成８）
前記フィルタ後のデータに対して下記の式により逆投影を行うこと：
2009078415.tif 000023
を特徴とする構成１〜９の一に記載のＣＴ画像再構成方法。（構成９）【０１０４】
＜提案装置の配置＞
次に、Ｘ線の照射方向と検出器の傾きをどのようなステップで決めるかについて説明する。
（１）Ｘ線源の配置
測定物の回転軸に対して、Ｘ線の照射方向は０度より大きい角度φで照射する。（φは所望の角を選択して設定可）
（２）検出器の配置
検出器は次の手順で配置する。
［ＳＴＥＰ  １］図１で示したように、検出面がｙ軸と直交するように配置する。
［ＳＴＥＰ  ２］測定物の回転軸方向に対して０度より大きい角度φでＸ線を照射する場合、検出器の中心点ＣがＸ線焦点Ｓと回転中心点Ｏを結ぶ直線上にあるように、検出器を上下に移動して位置を定める。
［ＳＴＥＰ  ３］検出面のｑ軸を回転軸として、ｐ軸を角度
2009078415.tif 000024
［ＳＴＥＰ  ４］検出面のｐ軸を回転軸として、ｑ軸を角度−θだけ回転する。
［注］提案方法において、検出面上で、ｐ軸とｑ軸を回転する幾何系は当面考慮しない。上述の装置の幾何系と相対的に位置・運動関係において同じ装置は、同じと見なす。
＜本装置においての三次元画像再構成法＞
本装置において、
2009078415.tif 000025
と表示すると、点(x,y,z)における吸収係数分布f(x,y,z)は以下のようになる。
2009078415.tif 000026
（６）
ここで、
2009078415.tif 000027
（７）
であり、ｔとｓは式（２）によって定義されたものである。
式（３）によって行われる本発明における三次元画像再構成は、次の手順で行われる。
１）初期値化：f(x,y,z)=0と置く
２）各方向から検出した投影データ画像に対して、次のステップを繰り返す。
［ＳＴＥＰ  １］投影データPβ(p、q)に下記の重みを掛ける。
2009078415.tif 000028
（８）
［ＳＴＥＰ  ２］重みを掛けた投影データに対して下記のフィルタを掛ける。
2009078415.tif 000029
（９）
［ＳＴＥＰ  ３］上記フィルタリングの結果に対し逆投影を行う。
2009078415.tif 000030
（１０）
ここで、
2009078415.tif 000031
は式（７）によって定義されたものである。
上記の方法ステップは、コンピュータ読取り可能なプログラムのフローステップとして図７に示す通り実現される。プログラム化に際し、以下のステップＳ１〜Ｓ６が実行され、Ｓ６でＹｅｓの時はＳ７に至り、Ｎｏの時はＳ２へ戻る。
スタートに次いで［Ｓ１］で初期化を行う。
［Ｓ１］初期値f(x,y,z)=0と初期方向β=0を入力する。
［Ｓ２］投影データＰβ（ｐ、ｑ）に重みを掛ける：
2009078415.tif 000032
［Ｓ３］重みを掛けたデータ
2009078415.tif 000033
にフィルタを掛ける：
2009078415.tif 000034
［Ｓ４］ファイリングしたデータに対し逆投影を行う：
2009078415.tif 000035
［Ｓ５］β：＝β＋Δβ
［Ｓ６］β＞２πかどうか判断する。
［Ｓ６］でＹｅｓの時、［Ｓ７］へ移行し、［Ｓ７］で対象物体の再構成画像f(x,y,z)を出力して、ｅｎｄとなる。
［Ｓ６］でＮｏの時は、［Ｓ２］へリターンする。
このプログラムは、制御ユニット（特にそのＣＰＵ）に備えた記録媒体に記録され、あるいは、さらに通信回線（有線、無線）を介して伝送されることができ、遮蔽室外から必要に応じ遠隔制御を行うこともできる。【０１０５】
以下に本発明のＣＴ画像再構成の実施例（以下「ＣＴ実施例」と称する）を示す。
［ＣＴ実施例１］
本発明の高解像度機能を示すため、図２に概要を示す装置で、
2009078415.tif 000036
の場合に対して再構成した三次元画像の中心部縦断面と、図１１の装置でＦＤＫ法を用いて再構成した三次元画像の中心部縦断面をシミュレーション実験により比較する。まず、図１２の装置で、
2009078415.tif 000037
の場合の座標系は図３に示すとおりである。次に、実験に用いたファントムがディスクファントムの場合において、再構成三次元画像の中心部縦断面のシミュレーションの比較図を図４に示す。ただし、本実験を行う際に、図１１と図１３の装置において、Ｘ線源から回転中心までの距離、Ｘ線源から検出器までの距離、Ｘ線源の性質、検出器の機能等はまったく同じであると仮定する。図１４において、（ａ）ファントム、（ｂ）図１３の装置で検出した投影データ画像に対して、本発明に従い再構成した三次元画像の中心部縦断面、（ｃ）図１１の装置で検出した投影データ画像に対して、ＦＤＫ法で再構成した三次元画像の中心部縦断面、を夫々示す。図１４の実験結果から、本発明で提案した装置に対して、本発明を用いて再構成した三次元画像の中心部縦断面の解像度が、従来の装置でＦＤＫ法を用いて再構成した画像と比較して十分高いことが分かる。【０１０６】
［ＣＴ実施例２］
ＣＴ実施例１においてθ＝４５°に設定した点を除き、その他実施例１と同様な条件で比較実験を行った。図１５に各断面像及び各断面像の中心線に沿ったプロファイルを示し、図１６に各断面像及び各断面像の端部に近い位置における点線に沿ったプロファイルを示す。図１５、図１６において、ファントムのプロファイルに比べ、本発明のプロファイルは、高い精度で合致し遜色がないが、ＦＤＫ法では、プロファイルにおいて各ディスクの境界がその中央部において完全に消失して一体化して表示されている。
このように、本発明では、ＦＤＫ法に比べて、本質的に改良された精度で画像再構成がなされることが明らかである。【０１０７】
［ＣＴ画像再構成の効果］
以上に詳述した本発明のＣＴ画像再構成のＸ線の照射方向と検出器の傾きに自由度を与えた装置とその三次元画像再構成法は、装置の高倍率化・小型化が実現できるばかりでなく、斜めＣＴ装置、ラミノグラフィ装置等で検出した投影データ画像に対して変換なしで画像再構成を行うことができるという利点がある。
本発明のＣＴ画像再構成は、高解像度化・小型化が実現できるばかりでなく、その三次元画像再構成法は、斜めＣＴ装置（例えば特開２００３−３４４３１６）において、投影データを変換なしでそのまま使って、画像再構成を行うことができるため、再構成画像の画質がよくなる利点がある。この装置において、再構成アルゴリズムは次のステップで行われる。
（１）  投影データに固有の重みを掛ける。
（２）  重みを掛けた投影データに対してフィルタを掛ける。
（３）  固有の方式で逆投影を行う。
本発明のＣＴ画像再構成は、Ｘ線の照射方向に一つの自由度、検出器の傾きに二つの自由度を与えることによって、従来ＣＴ装置と比較して、装置の高倍率化・小型化および対象物体の分解能の改善ができる。即ち、本発明のＣＴ画像再構成を用いて、検出器（カメラ撮像面）を検査対象ワークと平行に設定することができ、それを用いて精密ＣＴ画像再構成を達成することができる。【０１０８】
［ＣＴ画像再構成の産業上の利用可能性］
本発明のＣＴ画像再構成のＸ線の照射方法及び検出器の傾き配向をそれぞれ任意の方向に配置した装置による三次元画像再構成法は、マイクロＣＴ装置、斜めＣＴ装置、ラミノグラフィ装置等で検出した投影データ画像に直接適用できるばかりでなく、理論的に検出した投影データ画像が、上述の装置で検出した投影データ画像と全く同じ効果があり、再構成空間においてその幾何系と全く同じであれば、全部簡単に適用できるという一般性を持つ特徴がある。
この原理はＸ線装置に限らず、一般的に放射線（電子線・電磁波を含む）ＣＴ装置における三次元画像再構成に適用可能である。
なお、図面の説明中においてはイメージを用いる表記が出来ないため図１３及び図１５において
2009078415.tif 000038
をψ＝３０°で表した【０１０９】
（総合システム）
図１８に本発明の装置（システム）を総合的に概念図によって示し、図１９に対応して総合的制御システムを示す。【０１１０】
（基本構成１）
X線源１はＺ軸（装置中心軸）上にX線源位置調節によりセットされ、装置の基本座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の原点Ｏに位置している。Ｚ軸方向に距離Ｚ１離れた位置にＺ軸に直行する回転面を有するワークの円軌道５があり、ステージのＸｓ，Ｙｓ軸制御によって円軌道５上のワーク３は所定位置（ｘ）に位置する。この際ワークへの照射Ｘ線の光軸は、Ｚ軸と光軸角αをなして延在し、X線カメラの撮像面２上の点（ｘ）に至る。撮像面２は、X線源からＺ軸方向にＺ１離れた円軌道４のなす軌道面上にある。カメラにはカメラのＸ、Ｙ、Ｚ軸としてＸｃ，Ｙｃ，Ｚｃ軸があり、カメラの自転軸としてθｃ軸が考えられる。カメラは、撮像面回転機構・移動調節機構２０によって３次元位置制御及びカメラθｃ軸についての方位制御をされる。【０１１１】
X線カメラ、ワークステージ、X線源の配置−調節制御パラメータの組合わせとしては少なくとも次のとおりの組合わせが可能である。
2009078415.tif 000039
図１８をさらに見ると線源６は、円軌道６上に丸点（●）で示され、光軸は、Ｚ軸上にあるワーク３を通過して、円軌道４上にある撮像面（丸点（●）で示す）に至る。これは、上述の構成２に相当するもので、測定中はワーク３は定置となり、設定した光軸角α（可変であるが）で、X線源を円軌道６上の任意の位置へ移動すると共に、対応位置に移設した撮像面にX線画像を結像することができる。この構成２において、倍率は、X線カメラとX線源をＺ方向に移動して設定される。【０１１２】
いずれの構成によってもワークの面（基準面）とカメラ撮像面は互いに平行に推移する。そして光軸角αによってワークに対する斜め入射による、任意の方位（０〜３６０°）における異なった方位角から所望の数（ないし角度ピッチで）撮像することができる。この撮像データを用いて、３次元ＣＴ画像の再構成を、所望の精度（粗く簡易にも、精密にも）で行うことができる。
かくて、一つの検査装置に、ワークを導入セットして、簡易な自動検査を迅速に行うことができると共に、欠陥の疑いのある箇所とワークについては、そのままさらに切替によって精密X線画像解析（斜めＣＴ画像検査）を行うことができる。
ステージには、ガイドレールを設け、ワークの移動機構（プッシャや連行機構等）によって、多量のワークを順次送給・排出し自動検査に供することができる。
ワークは、X線源（の出射面）に対し平行でよいので、十分近付ける（Ｚ１を小さくする）ことができ、必要な倍率の下で装置寸法は、十分小さいスペースに収めることができる。【０１１３】
図１９を参照して、カメラ（撮像面）は撮像面回転機構（θ）・移動調節機構（Ｘ，Ｙ、Ｚ）２０によって３次元位置及び方位（θ）を制御され、ワーク（ステージ）はワーク（ステージ）回転機構・移動保持機構３０によって位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ）及び方位（θ）を制御されることができる。【０１１４】
X線源（発生器）はその駆動機構１０によって少なくともＺ方向に位置制御され（固定の場合もある）、ＸＹ２次元的に、或いはＸＹＺ３次元的に位置制御することもできる。【０１１５】
制御部１００は、倍率、光軸角α等設定及びX線源作動制御部１０１、撮像面回転角度（方位θ）、光軸角との調整部１０２、ワーク回転角度（方位）θ、光軸角との調整部１０２、ワーク回転角度（方位）θ、ワーク位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ）、調節（ステージ制御）部１０３、X線源回転角度θ１（ＸＹ位置）及びＺ軸調節部１０４、透視、ラミノ、斜めＣＴ等のモード切替部１０５、３次元ＣＴ画像再構成部１０６、（ラミノグラフィ等も含む）、及び射影（投影）変換部１０７を備える。
制御部は、図示外の中央演算装置ＰＣ，記憶手段（メモリ、レジスタ等）、を備えると共に、入出力部、表示部を有し、これらの各部分はバスで接続される（有線及び／又は無線）。
制御部のパラメータは、総合的に表示してあるが、既述のとおり、必要に応じて選択的に用いられ（不要の場合には、当初から省略することもできる）、制御される。そのプログラム及び各パラメータの選択、設定、切替等は入出力部を介して行われ、必要に応じ表示部に表示される。【０１１６】
本発明の開示した解決原理の枠内において、各要素、パラメータの取捨選択（付加ないし削除も含む）は、用途目的必要に応じ、行うことができ、記載され或いは図示された具体例に限定されるものではない。【０１１７】
本発明は、上記実施形態を基に説明したが、上記実施形態に限定されることなく、本発明の範囲内において種々の変更、変形、改良等を含むことはいうまでもない。また、本発明の範囲内において、開示した要素の多様な組み合わせ、置換ないし選択が可能である。【０１１８】
本発明のさらなる課題・目的及び展開形態は、特許請求の範囲を含む本発明の全開示事項からも明らかにされる。
【図１】
2009078415.tif 000040
【図２】
2009078415.tif 000041
【図３】
2009078415.tif 000042
【図４】
2009078415.tif 000043
【図５】
2009078415.tif 000044
【図６】
2009078415.tif 000045
【図７】
2009078415.tif 000046
【図８】
2009078415.tif 000047
【図９】
2009078415.tif 000048
【図１０】
2009078415.tif 000049
【図１１】
2009078415.tif 000050
【図１２】
2009078415.tif 000051
【図１３】
2009078415.tif 000052
【図１４】
2009078415.tif 000053
【図１５】
2009078415.tif 000054
【図１６】
2009078415.tif 000055
【図１７】
2009078415.tif 000056
【図１８】
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【図１９】
2009078415.tif 000058
【国際調査報告】
2009078415.tif 000059
2009078415.tif 000060
2009078415.tif 000061
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