(57)【要約】  導電性高分子膜と固体電解質膜相互の接着性を向上させて屈曲型動作の導電性高分子アクチュエータの動作を確実にする。  フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）の少なくとも一種以上を含む有機ポリマーとイオン液体との混合物からなる固体電解質膜と、前記固体電解質膜の少なくとも片面にポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）の混合体からなる導電性高分子膜との積層構造の導電性高分子アクチュエータであって、前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれることを特徴とする。
2009122466.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極、固体電解質膜、導電性高分子膜、および第２電極が順に積層された積層体からなる屈曲型導電性高分子アクチュエータであって、
前記固体電解質膜は、有機ポリマーとイオン液体との混合物からなり、
前記有機ポリマーは、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）の少なくとも一種以上を含み、
前記導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれることを特徴とする、
屈曲型導電性高分子アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータであって、
前記第１電極と前記固体電解質膜との間に、第２の導電性高分子膜を具備し、
前記第２の導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記第２の導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれることを特徴とする、
屈曲型導電性高分子アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータであって、
前記有機ポリマーは、前記フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］である、
屈曲型導電性高分子アクチュエータ。
【請求項４】
屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法であって、
屈曲型導電性高分子アクチュエータは、第１電極、固体電解質膜、導電性高分子膜、および第２電極が順に積層された積層体からなり、
前記固体電解質膜は、有機ポリマーとイオン液体との混合物からなり、
前記有機ポリマーは、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）の少なくとも一種以上を含み、
前記導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれ、
前記屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法は、
前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールを混合する工程と、
前記固体電解質膜の少なくとも片面に前記導電性高分子膜を積層させる工程と
を有することを特徴とする屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法であって、
前記第１電極と前記固体電解質膜との間に、第２の導電性高分子膜を具備し、
前記第２の導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記第２の導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれ、
前記導電性高分子膜を積層させる工程においては、前記固体電解質膜の両面に前記導電性高分子膜を積層させることによって、前記導電性絶縁膜および前記第２の導電性絶縁膜が形成される、
屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法。
【請求項６】
請求項４に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法であって、
前記有機ポリマーは、前記フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］である、
屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法。
【請求項７】
第１電極、固体電解質膜、導電性高分子膜、および第２電極が順に積層された積層体からなる屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法であって、
前記固体電解質膜は、有機ポリマーとイオン液体との混合物からなり、
前記有機ポリマーは、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）の少なくとも一種以上を含み、
前記導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれ、
前記屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法は、
前記第１電極と前記第２電極との間に電位差を印加させる工程
を包含する、屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法。
【請求項８】
請求項７に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法であって、
前記第１電極と前記固体電解質膜との間に、第２の導電性高分子膜を具備し、
前記第２の導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記第２の導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれることを特徴とする、
屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法。
【請求項９】
請求項７に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法であって、
前記有機ポリマーは、前記フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］である、
屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、家庭用のロボットなどに適用することが出来る導電性高分子アクチュエータ、その製造方法、およびその駆動方法に関する。特に、電気化学反応を利用したアクチュエータとその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、医療、および家庭用のロボット分野において小型かつ軽量で柔軟性に富むアクチュエータの必要性が高まっている。なぜならば、家庭やオフィス、病院などで家事支援や仕事支援、高齢者や障害者の介護支援など人の間近で活躍することが期待されるロボットを動作させるためのアクチュエータには、人間の筋肉のような性質（例えば、触れても怪我をしない安全性やぶつかっても痛くない柔らかさなど）が求められるからである。【０００３】
小型で軽量なアクチュエータとしては、静電引力型、圧電型、超音波式、および、形状記憶合金式などがすでに実用化されているが、これらは、無機材料を用いていることと、その動作原理から柔軟性に富むアクチュエータにはなり得ない。そこで、近年、高分子等の有機材料を用いることで、軽量で柔軟性に富むアクチュエータを実現しようとする試みが各方面で盛んに行われている。【０００４】
例えば、ゲルを電界によって屈曲させるもの（特許文献１）、誘電性エラストマー薄膜間に強電界を印加してこれを変形させるもの（非特許文献１）、酸化還元反応によって導電性高分子を伸縮させるもの（特許文献２）等がある。【０００５】
ゲルを電界によって屈曲させる方式のアクチュエータは、発生応力が小さく、電界を印加し続けないと屈曲性が保てないので消費電力が多くなるというという課題を有する。また、誘電性エラストマー薄膜を用いるものは、数百〜数キロボルトの高電圧が変形に必要であり、家庭用ロボットに利用する場合には電圧が高過ぎるために感電などの危険性が課題となる。一方、導電性高分子の酸化還元に伴う伸縮を利用した導電性高分子アクチュエータは比較的単純な構造を持ち、小型化および軽量化が容易で、柔軟性に富み、数ボルトの低電圧で駆動が可能であり、発生応力も十分強いという特徴を有している。【０００６】
導電性高分子の伸縮を利用した屈曲型アクチュエータは、図２に示すように固体電解質膜の少なくとも片面に導電性高分子膜を積層させた構造をしている。図２において、２０１はアクチュエータ素子、２０２ａ、２０２ｂは導電性高分子膜、２０３は固体電解質膜、２０４ａ、２０４ｂは電極である。固体電解質膜の片面のみに導電性高分子膜を積層させた場合、固体電解質膜のもう片面には電圧を印加するために金属電極薄膜（対極）を形成する。導電性高分子膜には、電圧を印加するために金属電極薄膜が形成される場合もある。そして、導電性高分子膜と対極の間、または導電性高分子膜間に所定の電圧を印加することで積層膜が屈曲する。屈曲の動作原理は、以下のようであると考えられている。すなわち、電圧印加によって導電性高分子が酸化還元し、それに伴い導電性高分子膜中へイオンが取り込まれるか取り出される。このイオンの出入りにより導電性高分子膜の体積が変化し、体積変化しない固体電解質膜と積層させてあることからアクチュエータが屈曲する。例えば図２の構成において、上側の導電性高分子膜中へイオンが取り込まれた、または下側の導電性高分子膜中からイオンが取り出された場合には下方向に、逆に上側の導電性高分子膜中からイオンが取り出された、または下側の導電性高分子膜中へイオンが取り込まれた場合には上方向に屈曲する。【０００７】
アクチュエータに用いる導電性高分子としてはポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェンおよびその誘導体がある（特許文献２）。【０００８】
導電性高分子アクチュエータは、動作原理として導電性高分子が電気的に酸化還元することに伴う導電性高分子膜中へのイオンの出入を利用しているため、動作のためにイオン供給源として電解質が必要であり、空気中動作させるためには室温程度の温度で十分なイオン導電性を持つ固体電解質が必要となるが、近年イオンゲルと名付けられた材料が創製されている。これは、イオン液体中に分散させたポリマーまたはモノマーの少なくともいずれか一方をゲル化させ、ゲルの三次元網目構造中にイオン液体を保持した材料であり、柔軟性を持ち、かつ室温で１０−２Ｓ／ｃｍという、従来のポリエーテル系高分子固体電解質の１００倍以上の値が達成されている（非特許文献２）。【０００９】
その他、本発明に関連し得る文献として、特許文献３および特許文献４が挙げられる。【００１０】
特許文献３は、高分子アクチュエータデバイスを開示している。そして、その図９およびその説明には、制御電極Ａ（参照符号：２０３）、導電性高分子からなる電解変位部Ａ（参照符号２０１）、電解質部（参照符号：２０２）、導電性高分子からなる電解変位部Ｂ（参照符号２０１’）、および制御電極Ｂ（参照符号：２０３’）からなる高分子アクチュエータデバイスが開示されている。【００１１】
さらに、特許文献３の段落番号００７７には、導電性高分子としてはポリチオフェンが好ましいと記載されている。特許文献３の段落番号００７８には、高分子固体電解質としては、ポリフッ化ビニリデンなどのフッ素系高分子やその共重合体が用いられることが開示されている。さらに、その基本骨格に、スルホン酸を導入しても良いことが開示されている。【００１２】
特許文献４は、導電性高分子ゲル及びその製造方法、アクチュエータ、イオン導入用パッチラベル並びに生体電極を開示している。そして、特許文献４の段落番号００６９（実施例７）には、ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）−ポリ(エチレンスルホン酸)コロイド分散液（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳと略されている）に、ポリエチレングリコールを添加することが開示されている。
【特許文献１】特開平１１−２０６１６２号公報
【特許文献２】特開２００６−０５０７８０号公報
【特許文献３】特開２００６−１２９５４１号公報
【特許文献４】特開２００５−１４５９８７号公報
【非特許文献１】Ｒ．Ｐｅｌｒｉｎｅ，Ｒ．Ｋｏｒｎｂｌｕｈ，Ｑ．Ｐｅｉ  ａｎｄ  Ｊ．Ｊｏｓｅｐｈ：Ｓｃｉｅｎｃｅ，２８７，８３６−８３９（２０００）
【非特許文献２】イオン性液体  −開発の最前線と未来−  ２００３年  大野弘幸監修  シーエムシー出版
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
従来の導電性高分子アクチュエータには、導電性高分子としてポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェンおよびその誘導体が用いられているが、これらの導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜は相互の接着性が低い。そのため、導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜を積層させ屈曲型アクチュエータを形成した場合、その動作時に導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜が剥離するという課題があった。【００１４】
本発明は、導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜相互の接着性を向上させ、繰り返し動作させても劣化しない屈曲型導電性高分子アクチュエータを実現することを目的とする。さらに、このアクチュエータを実現するための製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）の少なくとも一種以上を含む有機ポリマーとイオン液体との混合物からなる固体電解質膜と、前記固体電解質膜の少なくとも片面にポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）の混合体からなる導電性高分子膜との積層構造の導電性高分子アクチュエータであって、前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれることを特徴とする導電性高分子アクチュエータを提供する。【００１６】
また、本発明は、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）の少なくとも一種以上を含む有機ポリマーとイオン液体との混合物からなる固体電解質膜と、前記固体電解質膜の少なくとも片面にポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）の混合体からなる導電性高分子膜との積層構造の導電性高分子アクチュエータの製造方法であって、前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールを混合する工程と、前記固体電解質膜の少なくとも片面に前記導電性高分子膜を積層させる工程からなることを特徴とする導電性高分子アクチュエータの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜との接着性が向上し、繰り返し動作させても特性が低下しない屈曲型動作の導電性高分子アクチュエータが実現する。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明による実施形態のアクチュエータの模式断面図
【図２】従来の屈曲型アクチュエータの模式断面図
【符号の説明】
【００１９】
１０１    アクチュエータ素子
１０２ａ  導電性高分子膜
１０２ｂ  導電性高分子膜
１０３    固体電解質膜
１０４ａ  電極
１０４ｂ  電極
２０１    アクチュエータ素子
２０２ａ  導電性高分子膜
２０２ｂ  導電性高分子膜
２０３    固体電解質膜
２０４ａ  電極
２０４ｂ  電極
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。【００２１】
図１は、本発明による実施形態のアクチュエータの模式断面図である。アクチュエータ１０１は、導電性高分子膜１０２ａ、１０２ｂ、固体電解質膜１０３の積層体から成り、導電性高分子膜１０２ａ、１０２ｂの一端を挟むように電極１０５ａ、１０５ｂが設置されている。電極１０５ａと電極１０５ｂ間に数ボルトの電圧を印加することによりアクチュエータ１０１は電極１０５ａ、１０５ｂで挟持された部分を固定部として屈曲動作する。【００２２】
本発明に用いられる導電性高分子は、共役二重結合を有し、これによりπ電子が高分子全体に広がり電子導電性に寄与する。導電性高分子の電気伝導は、高分子中にドープされた酸化剤と高分子中のπ電子との相互作用により生成したポーラロンおよびバイポーラロンが荷電キャリアとなることにより起こるものと考えられている。本発明では導電性高分子に、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェンおよびその誘導体を用いることができるが、特に、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）を含むことが好ましく、さらに、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）の混合体を用いることが好ましい。ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）は、このモノマーを予め化学重合することが可能であるので、この高分子が分散した液を基板に塗布するだけで導電性高分子膜が形成可能である。このため、スピンコートやスリットコート、バーコート、ディップ、キャスト法を用いることで大面積基板に均一な厚みの高分子膜を容易に実現することができ、また、作製方法も簡単で量産化に適している。【００２３】
前記導電性高分子を構成する混合体のポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）はそれぞれ［化１］および［化２］で表される。ポリエチレンジオキシチオフェンは、化学的に活性な五員環のβ位が予め酸素によって修飾され不活性化されているために酸化劣化を受けにくいという特徴を持っている。また、混合体において、ポリスチレンスルホン酸はポリエチレンジオキシチオフェンとイオン結合で強く結合している。【００２４】
【化１】
2009122466.tif 000003
【００２５】
【化２】
2009122466.tif 000004
【００２６】
導電性高分子膜と固体電解質膜の接着性を向上させるためには、導電性高分子にこの分子とは異なる有機分子を混入することが有効であることを本発明者は見出した。特に、有機分子として、ポリエチレングリコールを用いることでその接着性が際だって向上することを本発明者らは見出した。ポリエチレングリコールを混合した導電性高分子膜は、導電性高分子分散液または溶液にポリエチレングリコールを溶解させた液体を作製し、これを基板に塗布した後溶媒を乾燥することにより作製することができる。導電性高分子分散液または溶液（導電性高分子固体含有率１重量パーセント）に対するポリエチレングリコールの混合割合としては、０．０５重量パーセントから１０重量パーセントが好ましく、さらに好ましくは０．１重量パーセントから５重量パーセントである。この範囲よりも少ない場合、導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜の接着性の向上は得られず、作製したアクチュエータを動作した時に導電性高分子膜と固体電解質膜は剥離し、屈曲動作が困難となる。一方、この範囲よりも多い場合、導電性高分子を膜として得ることが困難になる。【００２７】
導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜間の接着性を決めるメカニズムの詳細は良く分かっていないが、本発明者らは数多くの実験から、現象論的ではあるが、導電性高分子膜表面の水に対する濡れ性の違いによって接着性が大きく変わることを見出した。そして、この濡れ性は、導電性高分子にこの高分子とは異なる有機分子を混合することで変化することが分かった。例えば、ＰＥＤＯＴとＰＳＳの混合体からなる導電性高分子膜単独の場合、または、これにポリビニルアルコールを混合した場合、作製したアクチュエータは、導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜とは接着せず、屈曲動作が困難であった。この時の導電性高分子膜表面の純水に対する静的接触角が４１．１°以上であった。これに対し、ＰＥＤＯＴとＰＳＳの混合体からなる導電性高分子にポリエチレングリコールを混合して作製したアクチュエータは、イオンゲルからなる固体電解質膜と強固に接着し、屈曲動作が可能であった。この時の高分子膜表面の水に対する静的接触角は３５．５°以下であった。これらの結果から、接触角が所定の値より小さい場合、導電性高分子膜表面の極性基の密度が一定以上となり、この極性基の密度が固体電解質構成分子との間の結合に関与しているためだと推測される。【００２８】
本発明に用いられる固体電解質膜１０３は、イオン液体中に分散させたポリマーまたはモノマーの少なくともいずれか一方をゲル化させ、ゲルの三次元網目構造中にイオン液体を保持した、イオンゲルと名付けられた材料であり、柔軟性を持ち、かつ室温で１０−２Ｓ／ｃｍという、従来のポリエーテル系高分子固体電解質の１００倍以上の値が達成されているものである。固体電解質膜としてイオンゲルを単独で用いることも出来るが、イオンゲルを紙やメンブレンフィルター等の多孔質膜に含浸させて用いることも出来る。【００２９】
イオン液体は、常温溶融塩または単に溶融塩などとも称されるものであり、常温（室温）を含む幅広い温度域で溶融状態を示す塩である。【００３０】
本発明においては、公知の各種のイオン液体を使用することができるが、常温（室温）または常温（室温）に近い温度において液体状態を示し安定なものが好ましい。【００３１】
本発明において好ましく用いられるイオン液体として、下記の［化３］から［化６］で表されるカチオンと、アニオン（Ｘ−）よりなるものを例示する。【００３２】
【化３】
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【００３３】
【化４】
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【００３４】
【化５】
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【００３５】
【化６】
2009122466.tif 000008
【００３６】
上記の［化３］から［化６］において、Ｒは炭素数１〜１２のアルキル基またはエーテル結合を含み炭素と酸素の合計数が３〜１２のアルキル基を示し、［化３］においてＲ１は炭素数１〜４のアルキル基または水素原子を示す。［化３］において、ＲとＲ１は異なることが好ましい。［化５］および［化６］において、ｘはそれぞれ１〜４の整数である。本発明においては、［化３］で示されるイミダゾリウムイオンがより好適である。【００３７】
アニオン（Ｘ−）としては、テトラフルオロホウ酸アニオン、ヘキサフルオロリン酸アニオン、ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド酸アニオン、過塩素酸アニオン、トリス（トリフルオロメタンスルホニル）炭素酸アニオン、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン、ジシアンアミドアニオン、トリフルオロ酢酸アニオン、有機カルボン酸アニオンおよびハロゲンイオンより選ばれる少なくとも１種が好ましい。【００３８】
イオンゲルとなるゲル状組成物を得るのに用いることのできる有機ポリマーとしては、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）が挙げられる。【００３９】
また、イオン液体中にモノマー（例えばメタクリル酸メチル、ＭＭＡ）、架橋剤（例えばエチレングリコールジメタクリラート、ＥＧＤＭＡ）、重合開始剤（例えばアゾビスイソブチロニトリル、ＡＩＢＮ）を溶解させ、イオン液体中で重合反応を行うことによって有機ポリマーを形成してもイオンゲルとなるゲル状組成物を得ることができる。【００４０】
固体電解質は、上記イオン液体と上記ポリマーまたはモノマーの少なくともいずれか一方を混合してイオンゲル前駆体を調製し、これを加熱した後冷却することで得られるが、強度およびイオン導電性の観点から鑑みて、イオン液体と有機ポリマーの場合、重量比は９：１〜６：４であることが好ましく、８：２〜７：３であることがより好ましい。また、イオン液体とモノマーの場合、モル比は３：７〜７：３が好ましく、４：６〜６：４であることがより好ましい。【００４１】
電極は、電子伝導性を持ち、導電性高分子と化学反応することなく容易に導電性高分子と電子の授受を行うものであれば良く、金、銀、白金、銅、クロム等の金属、および炭素含有板を用いることができる。【００４２】
以下、実施例を挙げて本発明によるアクチュエータをさらに詳細に説明するが、本発明はこれに限定されない。【００４３】
（実施例１）
［有機分子が混合された導電性高分子膜作製］
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したスライドグラス上に、５重量パーセントのジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、１重量パーセントのポリエチレングリコール８０００を溶解したＰＥＤＯＴとＰＳＳ混合体の水分散液（スタルク社製、商品名バイトロンＰＨ５００）を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、スライドグラス上に導電性高分子膜を形成した。最後に、剃刀を用いて導電性高分子膜をスライドグラスから剥離した。得られた導電性高分子膜は平均厚さ１０μｍ、四端針法を用いて測定した導電率は３００Ｓ／ｃｍ、純水に対する静的接触角は２３．０°であった。【００４４】
［イオンゲル原料調製］
イオンゲルを作製するためのイオン液体には、カチオンとして、エチルメチルイミダゾリウム（ＥＭＩ）、アニオンとして、ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド［（ＣＦ３ＳＯ２）２Ｎ−］（ＴＦＳＩ）を用いた。混合するポリマーとしてはフッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］を用いた。ＥＭＩＴＦＳＩとＰ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）混合比は重量比で８：２とし、混合した後マグネチックスターラーを用いて十分攪拌した。以下、この混合液をイオンゲル前駆体と記す。【００４５】
［電解質イオンゲル作製］
厚み０．１ｍｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートを７６ｍｍ×２６ｍｍの大きさに裁断し、これを大きさ７６ｍｍ×２６ｍｍのスライドグラスに密着させた。これを２組作製した。そして、二つのＰＥＴシートが所定の間隔を空けて対向するように、４０μｍ厚のコンデンサセパレータ紙を挟んで作製したスライドガラスを密着させた。この時、コンデンサセパレータ紙にイオンゲル前駆体を含浸させておいた。その後、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで厚さ４０μｍのイオンゲル含浸紙を得た。ＰＥＴシートとイオンゲル含浸紙は相互の接着性が極めて低いため容易に剥離できた。以下、ここで得られたイオンゲル含浸紙を電解質イオンゲルと記す。【００４６】
［電解質イオンゲル−導電性高分子膜の積層］
電解質イオンゲルの両面に導電性高分子膜を対向させて重ね、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで、導電性高分子膜／電解質イオンゲル／導電性高分子膜の三層構造体を形成した。この三層構造体を幅２．５ｍｍ、長さ１５ｍｍに裁断し、一端部から長手方向に５ｍｍの領域に幅２ｍｍ、長さ１０ｍｍの白金電極を取り付け、可動部長さ１０ｍｍの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。【００４７】
屈曲変位量は、レーザー変位計を用いた三角測定で評価した。三角測定の測定点は、電極取付け部から長さ方向に５ｍｍの位置とした。【００４８】
このアクチュエータに±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離することなく印加電圧に応答した屈曲動作をした。１Ｈｚの矩形波で駆動した際の変位量を表１に示す。【００４９】
【表１】
2009122466.tif 000009
【００５０】
表１から、この構成の屈曲型導電性高分子アクチュエータは導電性高分子膜と固体電解質膜の接着性に優れ、長期動作可能であることが示された。【００５１】
（実施例２）
［有機分子が混合された導電性高分子膜作製］
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したシリコン基板上に、５重量パーセントのＮメチルピロリドン（ＮＭＰ）、５重量パーセントのポリエチレングリコール８０００を溶解したＰＥＤＯＴとＰＳＳ混合体の水分散液（スタルク社製、商品名バイトロンＰＨ５００）を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、シリコン基板上に導電性高分子膜を形成した。最後に、シリコン基板を５０体積パーセントの水酸化カリウム水溶液に浸漬し、導電性高分子膜を基板から剥離した。得られた導電性高分子膜は平均厚さ８μｍ、四端針法を用いて測定した導電率は２８０Ｓ／ｃｍ、純水に対する静的接触角は２５．１°であった。【００５２】
［イオンゲル原料調製］
イオンゲルを作製するためのイオン液体には、カチオンとして、ブチルメチルイミダゾリウム（ＢＭＩ）、アニオンとしてヘキサフルオロリン酸アニオン（ＰＦ６−）を用いた。混合するポリマーとしてはフッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］を用いた。ＥＭＩＴＦＳＩとＰ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）混合比は重量比で８：２とし、混合した後マグネチックスターラーを用いて十分攪拌した。以下、この混合液をイオンゲル前駆体と記す。【００５３】
［電解質イオンゲル作製］
厚み０．１ｍｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートを７６ｍｍ×２６ｍｍの大きさに裁断し、これを大きさ７６ｍｍ×２６ｍｍのスライドグラスに密着させた。これを２組作製した。そして、二つのＰＥＴシートが所定の間隔を空けて対向するように、４０μｍ厚のコンデンサセパレータ紙を挟んで作製したスライドガラスを密着させた。この時、コンデンサセパレータ紙にイオンゲル前駆体を含浸させておいた。その後、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで厚さ４０μｍのイオンゲル含浸紙を得た。ＰＥＴシートとイオンゲル含浸紙は相互の接着性が極めて低いため容易に剥離できた。以下、ここで得られたイオンゲル含浸紙を電解質イオンゲルと記す。【００５４】
［電解質イオンゲル−導電性高分子膜の積層］
電解質イオンゲルの両面に導電性高分子膜を対向させて重ね、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで、導電性高分子膜／電解質イオンゲル／導電性高分子膜の三層構造体を形成した。この三層構造体を幅２．５ｍｍ、長さ１５ｍｍに裁断し、一端部から長手方向に５ｍｍの領域に幅２ｍｍ、長さ１０ｍｍの白金電極を取り付け、可動部長さ１０ｍｍの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。【００５５】
このアクチュエータに±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離することなく印加電圧に応答した屈曲動作をした。１Ｈｚの矩形波で駆動した際の変位量を表２に示す。【００５６】
【表２】
2009122466.tif 000010
【００５７】
表２から、この構成の屈曲型導電性高分子アクチュエータは導電性高分子膜と固体電解質膜の接着性に優れ、長期動作可能であることが示された。【００５８】
（実施例３）
ポリエチレングリコール８０００を０．０５、０．１、０．５、５、１０重量パーセント溶解させた以外実施例１と同様にして屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。これらのアクチュエータに±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離することなく印加電圧に応答した屈曲動作をし、変位量は１Ｈｚの矩形波で初期の１０回平均変位量が０．５０ｍｍ以上であった。これらは実施例１および２と同様に長期連続駆動においても安定して屈曲動作することが可能である。一方ポリエチレングリコール８０００を２０重量パーセント溶解させた分散液は膜質が非常に脆く実施例１と同様にして屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製することが出来なかった。【００５９】
【表３】
2009122466.tif 000011
【００６０】
（比較例１）
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したスライドグラス上に、５重量パーセントのジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）を溶解したＰＥＤＯＴとＰＳＳ混合体の水分散液（スタルク社製、商品名バイトロンＰＨ５００）を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、スライドグラス上に導電性高分子膜を形成した。最後に、剃刀を用いて導電性高分子膜をスライドグラスから剥離した。得られた膜の純水に対する静的接触角は４５．５°であった。【００６１】
実施例１と同様にして作製した電解質イオンゲルの両面に導電性高分子膜を重ね、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで導電性高分子膜と電解質イオンゲルを接着して三層構造体を形成した。この三層構造体を幅２．５ｍｍ、長さ１５ｍｍに裁断し、一端部から長手方向に５ｍｍの領域に幅２ｍｍ、長さ１０ｍｍの白金電極を取り付け、可動部長さ１０ｍｍの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。【００６２】
このアクチュエータは、電解質イオンゲルと導電性高分子膜の接着性が極めて低く、±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離を起こして印加電圧に応答した屈曲動作をせず、変位量は１Ｈｚの矩形波で初期の１０回平均変位量が０．０５ｍｍ以下であった。（表３）
（比較例２）
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したシリコン基板上に、５重量パーセントのＮメチルピロリドン（ＮＭＰ）を溶解したＰＥＤＯＴとＰＳＳ混合体の水分散液（スタルク社製、商品名バイトロンＰＨ５００）を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、シリコン基板上に導電性高分子膜を形成した。最後に、シリコン基板を５０体積パーセントの水酸化カリウム水溶液に浸漬し、導電性高分子膜を基板から剥離した。得られた導電性高分子膜の純水に対する静的接触角は４１．１°であった。【００６３】
実施例２と同様にして作製した電解質イオンゲルの両面に導電性高分子膜を重ね、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで導電性高分子膜と電解質イオンゲルを接着して三層構造体を形成した。この三層構造体を幅２．５ｍｍ、長さ１５ｍｍに裁断し、一端部から長手方向に５ｍｍの領域に幅２ｍｍ、長さ１０ｍｍの白金電極を取り付け、可動部長さ１０ｍｍの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。【００６４】
このアクチュエータは、電解質イオンゲルと導電性高分子膜の接着性が極めて低く、±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離を起こして印加電圧に応答した屈曲動作をせず、変位量は１Ｈｚの矩形波で初期の１０回平均変位量が０．０５ｍｍ以下であった。（表３）
（比較例３）
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したスライドグラス上に、５重量パーセントのジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、１重量パーセントのポリビニルアルコール２２０００を溶解したＰＥＤＯＴとＰＳＳ混合体の水分散液（スタルク社製、商品名バイトロンＰＨ５００）を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、スライドグラス上に導電性高分子膜を形成した。最後に、剃刀を用いて導電性高分子膜をスライドグラスから剥離した。得られた膜の純水に対する静的接触角は６０．４°であった。【００６５】
実施例１と同様にして作製した電解質イオンゲルの両面に導電性高分子膜を重ね、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで導電性高分子膜と電解質イオンゲルを接着して三層構造体を形成した。この三層構造体を幅２．５ｍｍ、長さ１５ｍｍに裁断し、一端部から長手方向に５ｍｍの領域に幅２ｍｍ、長さ１０ｍｍの白金電極を取り付け、可動部長さ１０ｍｍの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。【００６６】
このアクチュエータは、電解質イオンゲルと導電性高分子膜の接着性が極めて低く、±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離を起こして印加電圧に応答した屈曲動作をせず、変位量は１Ｈｚの矩形波で初期の１０回平均変位量が０．０５ｍｍ以下であった。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明によれば、小型かつ軽量で柔軟性に富む高信頼性のアクチュエータを簡便に製造することが可能となり、医療、産業、および家庭用のロボット、またはマイクロマシンなどの分野において好適に用いることができる。
【図１】
2009122466.tif 000012
【図２】
2009122466.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成20年10月3日(2008.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極、固体電解質膜、導電性高分子膜、および第２電極が順に積層された積層体からなる屈曲型導電性高分子アクチュエータであって、
前記固体電解質膜は、有機ポリマーとイオン液体との混合物からなり、
前記有機ポリマーは、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）の少なくとも一種以上を含み、
前記導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれることを特徴とする、
屈曲型導電性高分子アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータであって、
前記第１電極と前記固体電解質膜との間に、第２の導電性高分子膜を具備し、
前記第２の導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記第２の導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれることを特徴とする、
屈曲型導電性高分子アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータであって、
前記有機ポリマーは、前記フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］である、
屈曲型導電性高分子アクチュエータ。
【請求項４】
屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法であって、
屈曲型導電性高分子アクチュエータは、第１電極、固体電解質膜、導電性高分子膜、および第２電極が順に積層された積層体からなり、
前記固体電解質膜は、有機ポリマーとイオン液体との混合物からなり、
前記有機ポリマーは、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）の少なくとも一種以上を含み、
前記導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれ、
前記屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法は、
前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールを混合する工程と、
前記固体電解質膜の少なくとも片面に前記導電性高分子膜を積層させる工程と
を有することを特徴とする屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法であって、
前記第１電極と前記固体電解質膜との間に、第２の導電性高分子膜を具備し、
前記第２の導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記第２の導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれ、
前記導電性高分子膜を積層させる工程においては、前記固体電解質膜の両面に前記導電性高分子膜を積層させることによって、前記導電性絶縁膜および前記第２の導電性絶縁膜が形成される、
屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法。
【請求項６】
請求項４に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法であって、
前記有機ポリマーは、前記フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］である、
屈曲型導電性高分子アクチュエータの製造方法。
【請求項７】
第１電極、固体電解質膜、導電性高分子膜、および第２電極が順に積層された積層体からなる屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法であって、
前記固体電解質膜は、有機ポリマーとイオン液体との混合物からなり、
前記有機ポリマーは、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）の少なくとも一種以上を含み、
前記導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれ、
前記屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法は、
前記第１電極と前記第２電極との間に電位差を印加させる工程
を包含する、屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法。
【請求項８】
請求項７に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法であって、
前記第１電極と前記固体電解質膜との間に、第２の導電性高分子膜を具備し、
前記第２の導電性高分子膜は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）との混合体からなり、さらに
前記第２の導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれることを特徴とする、
屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法。
【請求項９】
請求項７に記載の屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法であって、
前記有機ポリマーは、前記フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］である、
屈曲型導電性高分子アクチュエータの駆動方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、家庭用のロボットなどに適用することが出来る導電性高分子アクチュエータ、その製造方法、およびその駆動方法に関する。特に、電気化学反応を利用したアクチュエータとその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、医療、および家庭用のロボット分野において小型かつ軽量で柔軟性に富むアクチュエータの必要性が高まっている。なぜならば、家庭やオフィス、病院などで家事支援や仕事支援、高齢者や障害者の介護支援など人の間近で活躍することが期待されるロボットを動作させるためのアクチュエータには、人間の筋肉のような性質（例えば、触れても怪我をしない安全性やぶつかっても痛くない柔らかさなど）が求められるからである。
【０００３】
小型で軽量なアクチュエータとしては、静電引力型、圧電型、超音波式、および、形状記憶合金式などがすでに実用化されているが、これらは、無機材料を用いていることと、その動作原理から柔軟性に富むアクチュエータにはなり得ない。そこで、近年、高分子等の有機材料を用いることで、軽量で柔軟性に富むアクチュエータを実現しようとする試みが各方面で盛んに行われている。
【０００４】
例えば、ゲルを電界によって屈曲させるもの（特許文献１）、誘電性エラストマー薄膜間に強電界を印加してこれを変形させるもの（非特許文献１）、酸化還元反応によって導電性高分子を伸縮させるもの（特許文献２）等がある。
【０００５】
ゲルを電界によって屈曲させる方式のアクチュエータは、発生応力が小さく、電界を印加し続けないと屈曲性が保てないので消費電力が多くなるというという課題を有する。また、誘電性エラストマー薄膜を用いるものは、数百〜数キロボルトの高電圧が変形に必要であり、家庭用ロボットに利用する場合には電圧が高過ぎるために感電などの危険性が課題となる。一方、導電性高分子の酸化還元に伴う伸縮を利用した導電性高分子アクチュエータは比較的単純な構造を持ち、小型化および軽量化が容易で、柔軟性に富み、数ボルトの低電圧で駆動が可能であり、発生応力も十分強いという特徴を有している。
【０００６】
導電性高分子の伸縮を利用した屈曲型アクチュエータは、図２に示すように固体電解質膜の少なくとも片面に導電性高分子膜を積層させた構造をしている。図２において、２０１はアクチュエータ素子、２０２ａ、２０２ｂは導電性高分子膜、２０３は固体電解質膜、２０４ａ、２０４ｂは電極である。固体電解質膜の片面のみに導電性高分子膜を積層させた場合、固体電解質膜のもう片面には電圧を印加するために金属電極薄膜（対極）を形成する。導電性高分子膜には、電圧を印加するために金属電極薄膜が形成される場合もある。そして、導電性高分子膜と対極の間、または導電性高分子膜間に所定の電圧を印加することで積層膜が屈曲する。屈曲の動作原理は、以下のようであると考えられている。すなわち、電圧印加によって導電性高分子が酸化還元し、それに伴い導電性高分子膜中へイオンが取り込まれるか取り出される。このイオンの出入りにより導電性高分子膜の体積が変化し、体積変化しない固体電解質膜と積層させてあることからアクチュエータが屈曲する。例えば図２の構成において、上側の導電性高分子膜中へイオンが取り込まれた、または下側の導電性高分子膜中からイオンが取り出された場合には下方向に、逆に上側の導電性高分子膜中からイオンが取り出された、または下側の導電性高分子膜中へイオンが取り込まれた場合には上方向に屈曲する。
【０００７】
アクチュエータに用いる導電性高分子としてはポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェンおよびその誘導体がある（特許文献２）。
【０００８】
導電性高分子アクチュエータは、動作原理として導電性高分子が電気的に酸化還元することに伴う導電性高分子膜中へのイオンの出入を利用しているため、動作のためにイオン供給源として電解質が必要であり、空気中動作させるためには室温程度の温度で十分なイオン導電性を持つ固体電解質が必要となるが、近年イオンゲルと名付けられた材料が創製されている。これは、イオン液体中に分散させたポリマーまたはモノマーの少なくともいずれか一方をゲル化させ、ゲルの三次元網目構造中にイオン液体を保持した材料であり、柔軟性を持ち、かつ室温で１０−２Ｓ／ｃｍという、従来のポリエーテル系高分子固体電解質の１００倍以上の値が達成されている（非特許文献２）。
【０００９】
その他、本発明に関連し得る文献として、特許文献３および特許文献４が挙げられる。
【００１０】
特許文献３は、高分子アクチュエータデバイスを開示している。そして、その図９およびその説明には、制御電極Ａ（参照符号：２０３）、導電性高分子からなる電解変位部Ａ（参照符号２０１）、電解質部（参照符号：２０２）、導電性高分子からなる電解変位部Ｂ（参照符号２０１’）、および制御電極Ｂ（参照符号：２０３’）からなる高分子アクチュエータデバイスが開示されている。
【００１１】
さらに、特許文献３の段落番号００７７には、導電性高分子としてはポリチオフェンが好ましいと記載されている。特許文献３の段落番号００７８には、高分子固体電解質としては、ポリフッ化ビニリデンなどのフッ素系高分子やその共重合体が用いられることが開示されている。さらに、その基本骨格に、スルホン酸を導入しても良いことが開示されている。
【００１２】
特許文献４は、導電性高分子ゲル及びその製造方法、アクチュエータ、イオン導入用パッチラベル並びに生体電極を開示している。そして、特許文献４の段落番号００６９（実施例７）には、ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）−ポリ(エチレンスルホン酸)コロイド分散液（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳと略されている）に、ポリエチレングリコールを添加することが開示されている。
【特許文献１】特開平１１−２０６１６２号公報
【特許文献２】特開２００６−０５０７８０号公報
【特許文献３】特開２００６−１２９５４１号公報
【特許文献４】特開２００５−１４５９８７号公報
【非特許文献１】Ｒ．Ｐｅｌｒｉｎｅ，Ｒ．Ｋｏｒｎｂｌｕｈ，Ｑ．Ｐｅｉ  ａｎｄ  Ｊ．Ｊｏｓｅｐｈ：Ｓｃｉｅｎｃｅ，２８７，８３６−８３９（２０００）
【非特許文献２】イオン性液体  −開発の最前線と未来−  ２００３年  大野弘幸監修  シーエムシー出版
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
従来の導電性高分子アクチュエータには、導電性高分子としてポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェンおよびその誘導体が用いられているが、これらの導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜は相互の接着性が低い。そのため、導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜を積層させ屈曲型アクチュエータを形成した場合、その動作時に導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜が剥離するという課題があった。
【００１４】
本発明は、導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜相互の接着性を向上させ、繰り返し動作させても劣化しない屈曲型導電性高分子アクチュエータを実現することを目的とする。さらに、このアクチュエータを実現するための製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）の少なくとも一種以上を含む有機ポリマーとイオン液体との混合物からなる固体電解質膜と、前記固体電解質膜の少なくとも片面にポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）の混合体からなる導電性高分子膜との積層構造の導電性高分子アクチュエータであって、前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールが含まれることを特徴とする導電性高分子アクチュエータを提供する。
【００１６】
また、本発明は、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）の少なくとも一種以上を含む有機ポリマーとイオン液体との混合物からなる固体電解質膜と、前記固体電解質膜の少なくとも片面にポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）の混合体からなる導電性高分子膜との積層構造の導電性高分子アクチュエータの製造方法であって、前記導電性高分子膜中にポリエチレングリコールを混合する工程と、前記固体電解質膜の少なくとも片面に前記導電性高分子膜を積層させる工程からなることを特徴とする導電性高分子アクチュエータの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜との接着性が向上し、繰り返し動作させても特性が低下しない屈曲型動作の導電性高分子アクチュエータが実現する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１９】
図１は、本発明による実施形態のアクチュエータの模式断面図である。アクチュエータ１０１は、導電性高分子膜１０２ａ、１０２ｂ、固体電解質膜１０３の積層体から成り、導電性高分子膜１０２ａ、１０２ｂの一端を挟むように電極１０５ａ、１０５ｂが設置されている。電極１０５ａと電極１０５ｂ間に数ボルトの電圧を印加することによりアクチュエータ１０１は電極１０５ａ、１０５ｂで挟持された部分を固定部として屈曲動作する。
【００２０】
本発明に用いられる導電性高分子は、共役二重結合を有し、これによりπ電子が高分子全体に広がり電子導電性に寄与する。導電性高分子の電気伝導は、高分子中にドープされた酸化剤と高分子中のπ電子との相互作用により生成したポーラロンおよびバイポーラロンが荷電キャリアとなることにより起こるものと考えられている。本発明では導電性高分子に、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェンおよびその誘導体を用いることができるが、特に、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）を含むことが好ましく、さらに、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）の混合体を用いることが好ましい。ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）は、このモノマーを予め化学重合することが可能であるので、この高分子が分散した液を基板に塗布するだけで導電性高分子膜が形成可能である。このため、スピンコートやスリットコート、バーコート、ディップ、キャスト法を用いることで大面積基板に均一な厚みの高分子膜を容易に実現することができ、また、作製方法も簡単で量産化に適している。
【００２１】
前記導電性高分子を構成する混合体のポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）はそれぞれ［化１］および［化２］で表される。ポリエチレンジオキシチオフェンは、化学的に活性な五員環のβ位が予め酸素によって修飾され不活性化されているために酸化劣化を受けにくいという特徴を持っている。また、混合体において、ポリスチレンスルホン酸はポリエチレンジオキシチオフェンとイオン結合で強く結合している。
【００２２】
【化１】
2009122466.tif 000014
【００２３】
【化２】
2009122466.tif 000015
【００２４】
導電性高分子膜と固体電解質膜の接着性を向上させるためには、導電性高分子にこの分子とは異なる有機分子を混入することが有効であることを本発明者は見出した。特に、有機分子として、ポリエチレングリコールを用いることでその接着性が際だって向上することを本発明者らは見出した。ポリエチレングリコールを混合した導電性高分子膜は、導電性高分子分散液または溶液にポリエチレングリコールを溶解させた液体を作製し、これを基板に塗布した後溶媒を乾燥することにより作製することができる。導電性高分子分散液または溶液（導電性高分子固体含有率１重量パーセント）に対するポリエチレングリコールの混合割合としては、０．０５重量パーセントから１０重量パーセントが好ましく、さらに好ましくは０．１重量パーセントから５重量パーセントである。この範囲よりも少ない場合、導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜の接着性の向上は得られず、作製したアクチュエータを動作した時に導電性高分子膜と固体電解質膜は剥離し、屈曲動作が困難となる。一方、この範囲よりも多い場合、導電性高分子を膜として得ることが困難になる。
【００２５】
導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜間の接着性を決めるメカニズムの詳細は良く分かっていないが、本発明者らは数多くの実験から、現象論的ではあるが、導電性高分子膜表面の水に対する濡れ性の違いによって接着性が大きく変わることを見出した。そして、この濡れ性は、導電性高分子にこの高分子とは異なる有機分子を混合することで変化することが分かった。例えば、ＰＥＤＯＴとＰＳＳの混合体からなる導電性高分子膜単独の場合、または、これにポリビニルアルコールを混合した場合、作製したアクチュエータは、導電性高分子膜とイオンゲルからなる固体電解質膜とは接着せず、屈曲動作が困難であった。この時の導電性高分子膜表面の純水に対する静的接触角が４１．１°以上であった。これに対し、ＰＥＤＯＴとＰＳＳの混合体からなる導電性高分子にポリエチレングリコールを混合して作製したアクチュエータは、イオンゲルからなる固体電解質膜と強固に接着し、屈曲動作が可能であった。この時の高分子膜表面の水に対する静的接触角は３５．５°以下であった。これらの結果から、接触角が所定の値より小さい場合、導電性高分子膜表面の極性基の密度が一定以上となり、この極性基の密度が固体電解質構成分子との間の結合に関与しているためだと推測される。
【００２６】
本発明に用いられる固体電解質膜１０３は、イオン液体中に分散させたポリマーまたはモノマーの少なくともいずれか一方をゲル化させ、ゲルの三次元網目構造中にイオン液体を保持した、イオンゲルと名付けられた材料であり、柔軟性を持ち、かつ室温で１０−２Ｓ／ｃｍという、従来のポリエーテル系高分子固体電解質の１００倍以上の値が達成されているものである。固体電解質膜としてイオンゲルを単独で用いることも出来るが、イオンゲルを紙やメンブレンフィルター等の多孔質膜に含浸させて用いることも出来る。
【００２７】
イオン液体は、常温溶融塩または単に溶融塩などとも称されるものであり、常温（室温）を含む幅広い温度域で溶融状態を示す塩である。
【００２８】
本発明においては、公知の各種のイオン液体を使用することができるが、常温（室温）または常温（室温）に近い温度において液体状態を示し安定なものが好ましい。
【００２９】
本発明において好ましく用いられるイオン液体として、下記の［化３］から［化６］で表されるカチオンと、アニオン（Ｘ−）よりなるものを例示する。
【００３０】
【化３】
2009122466.tif 000016
【００３１】
【化４】
2009122466.tif 000017
【００３２】
【化５】
2009122466.tif 000018
【００３３】
【化６】
2009122466.tif 000019
【００３４】
上記の［化３］から［化６］において、Ｒは炭素数１〜１２のアルキル基またはエーテル結合を含み炭素と酸素の合計数が３〜１２のアルキル基を示し、［化３］においてＲ１は炭素数１〜４のアルキル基または水素原子を示す。［化３］において、ＲとＲ１は異なることが好ましい。［化５］および［化６］において、ｘはそれぞれ１〜４の整数である。本発明においては、［化３］で示されるイミダゾリウムイオンがより好適である。
【００３５】
アニオン（Ｘ−）としては、テトラフルオロホウ酸アニオン、ヘキサフルオロリン酸アニオン、ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド酸アニオン、過塩素酸アニオン、トリス（トリフルオロメタンスルホニル）炭素酸アニオン、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン、ジシアンアミドアニオン、トリフルオロ酢酸アニオン、有機カルボン酸アニオンおよびハロゲンイオンより選ばれる少なくとも１種が好ましい。
【００３６】
イオンゲルとなるゲル状組成物を得るのに用いることのできる有機ポリマーとしては、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸／ＰＴＦＥ共重合体、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）が挙げられる。
【００３７】
また、イオン液体中にモノマー（例えばメタクリル酸メチル、ＭＭＡ）、架橋剤（例えばエチレングリコールジメタクリラート、ＥＧＤＭＡ）、重合開始剤（例えばアゾビスイソブチロニトリル、ＡＩＢＮ）を溶解させ、イオン液体中で重合反応を行うことによって有機ポリマーを形成してもイオンゲルとなるゲル状組成物を得ることができる。
【００３８】
固体電解質は、上記イオン液体と上記ポリマーまたはモノマーの少なくともいずれか一方を混合してイオンゲル前駆体を調製し、これを加熱した後冷却することで得られるが、強度およびイオン導電性の観点から鑑みて、イオン液体と有機ポリマーの場合、重量比は９：１〜６：４であることが好ましく、８：２〜７：３であることがより好ましい。また、イオン液体とモノマーの場合、モル比は３：７〜７：３が好ましく、４：６〜６：４であることがより好ましい。
【００３９】
電極は、電子伝導性を持ち、導電性高分子と化学反応することなく容易に導電性高分子と電子の授受を行うものであれば良く、金、銀、白金、銅、クロム等の金属、および炭素含有板を用いることができる。
【００４０】
以下、実施例を挙げて本発明によるアクチュエータをさらに詳細に説明するが、本発明はこれに限定されない。
【００４１】
（実施例１）
［有機分子が混合された導電性高分子膜作製］
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したスライドグラス上に、５重量パーセントのジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、１重量パーセントのポリエチレングリコール８０００を溶解したＰＥＤＯＴとＰＳＳ混合体の水分散液（スタルク社製、商品名バイトロンＰＨ５００）を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、スライドグラス上に導電性高分子膜を形成した。最後に、剃刀を用いて導電性高分子膜をスライドグラスから剥離した。得られた導電性高分子膜は平均厚さ１０μｍ、四端針法を用いて測定した導電率は３００Ｓ／ｃｍ、純水に対する静的接触角は２３．０°であった。
【００４２】
［イオンゲル原料調製］
イオンゲルを作製するためのイオン液体には、カチオンとして、エチルメチルイミダゾリウム（ＥＭＩ）、アニオンとして、ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド［（ＣＦ３ＳＯ２）２Ｎ−］（ＴＦＳＩ）を用いた。混合するポリマーとしてはフッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］を用いた。ＥＭＩＴＦＳＩとＰ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）混合比は重量比で８：２とし、混合した後マグネチックスターラーを用いて十分攪拌した。以下、この混合液をイオンゲル前駆体と記す。
【００４３】
［電解質イオンゲル作製］
厚み０．１ｍｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートを７６ｍｍ×２６ｍｍの大きさに裁断し、これを大きさ７６ｍｍ×２６ｍｍのスライドグラスに密着させた。これを２組作製した。そして、二つのＰＥＴシートが所定の間隔を空けて対向するように、４０μｍ厚のコンデンサセパレータ紙を挟んで作製したスライドガラスを密着させた。この時、コンデンサセパレータ紙にイオンゲル前駆体を含浸させておいた。その後、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで厚さ４０μｍのイオンゲル含浸紙を得た。ＰＥＴシートとイオンゲル含浸紙は相互の接着性が極めて低いため容易に剥離できた。以下、ここで得られたイオンゲル含浸紙を電解質イオンゲルと記す。
［電解質イオンゲル−導電性高分子膜の積層］
電解質イオンゲルの両面に導電性高分子膜を対向させて重ね、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで、導電性高分子膜／電解質イオンゲル／導電性高分子膜の三層構造体を形成した。この三層構造体を幅２．５ｍｍ、長さ１５ｍｍに裁断し、一端部から長手方向に５ｍｍの領域に幅２ｍｍ、長さ１０ｍｍの白金電極を取り付け、可動部長さ１０ｍｍの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。
【００４４】
屈曲変位量は、レーザー変位計を用いた三角測定で評価した。三角測定の測定点は、電極取付け部から長さ方向に５ｍｍの位置とした。
【００４５】
このアクチュエータに±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離することなく印加電圧に応答した屈曲動作をした。１Ｈｚの矩形波で駆動した際の変位量を表１に示す。
【００４６】
【表１】
2009122466.tif 000020
【００４７】
表１から、この構成の屈曲型導電性高分子アクチュエータは導電性高分子膜と固体電解質膜の接着性に優れ、長期動作可能であることが示された。
【００４８】
（実施例２）
［有機分子が混合された導電性高分子膜作製］
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したシリコン基板上に、５重量パーセントのＮメチルピロリドン（ＮＭＰ）、５重量パーセントのポリエチレングリコール８０００を溶解したＰＥＤＯＴとＰＳＳ混合体の水分散液（スタルク社製、商品名バイトロンＰＨ５００）を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、シリコン基板上に導電性高分子膜を形成した。最後に、シリコン基板を５０体積パーセントの水酸化カリウム水溶液に浸漬し、導電性高分子膜を基板から剥離した。得られた導電性高分子膜は平均厚さ８μｍ、四端針法を用いて測定した導電率は２８０Ｓ／ｃｍ、純水に対する静的接触角は２５．１°であった。
【００４９】
［イオンゲル原料調製］
イオンゲルを作製するためのイオン液体には、カチオンとして、ブチルメチルイミダゾリウム（ＢＭＩ）、アニオンとしてヘキサフルオロリン酸アニオン（ＰＦ６−）を用いた。混合するポリマーとしてはフッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体［Ｐ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）］を用いた。ＥＭＩＴＦＳＩとＰ（ＶＤＦ／ＨＦＰ）混合比は重量比で８：２とし、混合した後マグネチックスターラーを用いて十分攪拌した。以下、この混合液をイオンゲル前駆体と記す。
【００５０】
［電解質イオンゲル作製］
厚み０．１ｍｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートを７６ｍｍ×２６ｍｍの大きさに裁断し、これを大きさ７６ｍｍ×２６ｍｍのスライドグラスに密着させた。これを２組作製した。そして、二つのＰＥＴシートが所定の間隔を空けて対向するように、４０μｍ厚のコンデンサセパレータ紙を挟んで作製したスライドガラスを密着させた。この時、コンデンサセパレータ紙にイオンゲル前駆体を含浸させておいた。その後、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで厚さ４０μｍのイオンゲル含浸紙を得た。ＰＥＴシートとイオンゲル含浸紙は相互の接着性が極めて低いため容易に剥離できた。以下、ここで得られたイオンゲル含浸紙を電解質イオンゲルと記す。
【００５１】
［電解質イオンゲル−導電性高分子膜の積層］
電解質イオンゲルの両面に導電性高分子膜を対向させて重ね、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで、導電性高分子膜／電解質イオンゲル／導電性高分子膜の三層構造体を形成した。この三層構造体を幅２．５ｍｍ、長さ１５ｍｍに裁断し、一端部から長手方向に５ｍｍの領域に幅２ｍｍ、長さ１０ｍｍの白金電極を取り付け、可動部長さ１０ｍｍの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。
【００５２】
このアクチュエータに±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離することなく印加電圧に応答した屈曲動作をした。１Ｈｚの矩形波で駆動した際の変位量を表２に示す。
【００５３】
【表２】
2009122466.tif 000021
【００５４】
表２から、この構成の屈曲型導電性高分子アクチュエータは導電性高分子膜と固体電解質膜の接着性に優れ、長期動作可能であることが示された。
【００５５】
（実施例３）
ポリエチレングリコール８０００を０．０５、０．１、０．５、５、１０重量パーセント溶解させた以外実施例１と同様にして屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。これらのアクチュエータに±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離することなく印加電圧に応答した屈曲動作をし、変位量は１Ｈｚの矩形波で初期の１０回平均変位量が０．５０ｍｍ以上であった。これらは実施例１および２と同様に長期連続駆動においても安定して屈曲動作することが可能である。一方ポリエチレングリコール８０００を２０重量パーセント溶解させた分散液は膜質が非常に脆く実施例１と同様にして屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製することが出来なかった。
【００５６】
【表３】
2009122466.tif 000022
【００５７】
（比較例１）
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したスライドグラス上に、５重量パーセントのジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）を溶解したＰＥＤＯＴとＰＳＳ混合体の水分散液（スタルク社製、商品名バイトロンＰＨ５００）を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、スライドグラス上に導電性高分子膜を形成した。最後に、剃刀を用いて導電性高分子膜をスライドグラスから剥離した。得られた膜の純水に対する静的接触角は４５．５°であった。
【００５８】
実施例１と同様にして作製した電解質イオンゲルの両面に導電性高分子膜を重ね、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで導電性高分子膜と電解質イオンゲルを接着して三層構造体を形成した。この三層構造体を幅２．５ｍｍ、長さ１５ｍｍに裁断し、一端部から長手方向に５ｍｍの領域に幅２ｍｍ、長さ１０ｍｍの白金電極を取り付け、可動部長さ１０ｍｍの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。
【００５９】
このアクチュエータは、電解質イオンゲルと導電性高分子膜の接着性が極めて低く、±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離を起こして印加電圧に応答した屈曲動作をせず、変位量は１Ｈｚの矩形波で初期の１０回平均変位量が０．０５ｍｍ以下であった。（表３）
（比較例２）
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したシリコン基板上に、５重量パーセントのＮメチルピロリドン（ＮＭＰ）を溶解したＰＥＤＯＴとＰＳＳ混合体の水分散液（スタルク社製、商品名バイトロンＰＨ５００）を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、シリコン基板上に導電性高分子膜を形成した。最後に、シリコン基板を５０体積パーセントの水酸化カリウム水溶液に浸漬し、導電性高分子膜を基板から剥離した。得られた導電性高分子膜の純水に対する静的接触角は４１．１°であった。
【００６０】
実施例２と同様にして作製した電解質イオンゲルの両面に導電性高分子膜を重ね、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで導電性高分子膜と電解質イオンゲルを接着して三層構造体を形成した。この三層構造体を幅２．５ｍｍ、長さ１５ｍｍに裁断し、一端部から長手方向に５ｍｍの領域に幅２ｍｍ、長さ１０ｍｍの白金電極を取り付け、可動部長さ１０ｍｍの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。
【００６１】
このアクチュエータは、電解質イオンゲルと導電性高分子膜の接着性が極めて低く、±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離を起こして印加電圧に応答した屈曲動作をせず、変位量は１Ｈｚの矩形波で初期の１０回平均変位量が０．０５ｍｍ以下であった。（表３）
（比較例３）
アセトン洗浄後酸素プラズマ処理したスライドグラス上に、５重量パーセントのジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、１重量パーセントのポリビニルアルコール２２０００を溶解したＰＥＤＯＴとＰＳＳ混合体の水分散液（スタルク社製、商品名バイトロンＰＨ５００）を所定量滴下した。その後、室温で自然乾燥して溶媒を揮発させ、スライドグラス上に導電性高分子膜を形成した。最後に、剃刀を用いて導電性高分子膜をスライドグラスから剥離した。得られた膜の純水に対する静的接触角は６０．４°であった。
【００６２】
実施例１と同様にして作製した電解質イオンゲルの両面に導電性高分子膜を重ね、恒温槽にて１００℃、３０分間加熱し、その後室温に冷却することで導電性高分子膜と電解質イオンゲルを接着して三層構造体を形成した。この三層構造体を幅２．５ｍｍ、長さ１５ｍｍに裁断し、一端部から長手方向に５ｍｍの領域に幅２ｍｍ、長さ１０ｍｍの白金電極を取り付け、可動部長さ１０ｍｍの屈曲型導電性高分子アクチュエータを作製した。
【００６３】
このアクチュエータは、電解質イオンゲルと導電性高分子膜の接着性が極めて低く、±１．０Ｖの電圧を印加したところ、電解質イオンゲル−導電性高分子膜界面で剥離を起こして印加電圧に応答した屈曲動作をせず、変位量は１Ｈｚの矩形波で初期の１０回平均変位量が０．０５ｍｍ以下であった。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明によれば、小型かつ軽量で柔軟性に富む高信頼性のアクチュエータを簡便に製造することが可能となり、医療、産業、および家庭用のロボット、またはマイクロマシンなどの分野において好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明による実施形態のアクチュエータの模式断面図
【図２】従来の屈曲型アクチュエータの模式断面図
【符号の説明】
【００６６】
１０１    アクチュエータ素子
１０２ａ  導電性高分子膜
１０２ｂ  導電性高分子膜
１０３    固体電解質膜
１０４ａ  電極
１０４ｂ  電極
２０１    アクチュエータ素子
２０２ａ  導電性高分子膜
２０２ｂ  導電性高分子膜
２０３    固体電解質膜
２０４ａ  電極
２０４ｂ  電極
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2009122466.tif 000023
【図２】
2009122466.tif 000024
【国際調査報告】
2009122466.tif 000025
2009122466.tif 000026
2009122466.tif 000027
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