(57)【要約】  内部空間の厚みの均一性が高いガラスセルを提供する。  ガラスセル１は、第１及び第２のガラス板１１，１２と、中間板１３とを備える。第１及び第２のガラス板１１，１２は、相互に間隔をおいて対向するように配されている。中間板１３は、第１のガラス板１１と第２のガラス板１２との間に配されている。中間板１３は、開口１３ａを有する。中間板１３の第１のガラス板１１側の表面または第１のガラス板１１の中間板１３側の表面と、中間板１３の第２のガラス板１２側の表面または第２のガラス板１２の中間板１３側の表面とが金属により構成されている。中間板１３の一方の表層と第１のガラス板１１とが陽極接合されていると共に、中間板１３の他方の表層と第２のガラス板１２とが陽極接合されている。
2013121865.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に間隔をおいて対向するように配された第１及び第２のガラス板と、
前記第１のガラス板と前記第２のガラス板との間に配されており、開口を有する中間板と、
を備え、
前記中間板の前記第１のガラス板側の表面または前記第１のガラス板の前記中間板側の表面と、前記中間板の前記第２のガラス板側の表面または前記第２のガラス板の前記中間板側の表面とが金属により構成されており、
前記中間板の一方の表層と前記第１のガラス板とが陽極接合されていると共に、前記中間板の他方の表層と前記第２のガラス板とが陽極接合されている、ガラスセル。
【請求項２】
前記中間板の前記第１のガラス板側の表面と、前記中間板の前記第２のガラス板側の表面とが金属により構成されている、請求項１に記載のガラスセル。
【請求項３】
前記中間板が金属板により構成されている、請求項２に記載のガラスセル。
【請求項４】
前記中間板は、ガラスまたはセラミックスからなる中間板本体と、前記中間板本体の上に配されており、前記表層を構成している金属層とを有する、請求項２に記載のガラスセル。
【請求項５】
前記第１及び第２のガラス板のそれぞれは、アルカリ金属成分を含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載のガラスセル。
【請求項６】
前記中間板の両表層がＡｌ，Ｓｉ，Ｆｅ，Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ及びＣｕからなる群から選ばれた少なくとも一種を含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のガラスセル。
【請求項７】
前記第１のガラス板の前記中間板側の表面と、前記第２のガラス板の前記中間板側の表面とが金属により構成されている、請求項１に記載のガラスセル。
【請求項８】
前記中間板がガラスからなる請求項７に記載のガラスセル。
【請求項９】
前記第１及び第２のガラス板並びに前記中間板のそれぞれは、アルカリ金属成分を含む、請求項７または８に記載のガラスセル。
【請求項１０】
前記第１及び第２のガラス板と前記中間板とにより区画形成された内部空間が一の方向の両側に開口している、請求項１〜９のいずれか一項に記載のガラスセル。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載のガラスセルと、
前記第１及び第２のガラス板と前記中間板とにより区画形成された内部空間内に封入された液晶層と、
を備える液晶素子。
【請求項１２】
第１のガラス板と第２のガラス板との間に、開口を有し、両表層が金属により構成された中間板を配し、前記中間板の一方の表層と前記第１のガラス板とを陽極接合すると共に、前記中間板の他方の表層と前記第２のガラス板とを陽極接合することにより、前記第１及び第２のガラス板と前記中間板とを有するガラスセルを作製する、ガラスセルの製造方法。
【請求項１３】
第１のガラス板及び第２のガラス板の一方の表面に金属層を形成し、該金属層が対向するように配した前記第１のガラス板と前記第２のガラス板の間に、開口を有する中間板を配し、前記中間板の一方の面と前記第１のガラス板とを陽極接合すると共に、前記中間板の他方の面と前記第２のガラス板とを陽極接合することにより、前記第１及び第２のガラス板と前記中間板とを有するガラスセルを作製する、ガラスセルの製造方法。
【請求項１４】
第１のガラス板と第２のガラス板との間に、開口を有し、両表層が金属により構成された中間板を配し、前記中間板の一方の表層と前記第１のガラス板とを陽極接合すると共に、前記中間板の他方の表層と前記第２のガラス板とを陽極接合することにより、前記第１及び第２のガラス板と前記中間板とを有するガラスセルを作製する工程と、
前記第１及び第２のガラス板と前記中間板とにより区画形成された内部空間内に液晶を封入し、前記ガラスセルと前記内部空間内に設けられた液晶層とを有する液晶素子を作製する工程と、
を備える、液晶素子の製造方法。
【請求項１５】
第１のガラス板及び第２のガラス板の一方の表面に金属層を形成し、該金属層が対向するように配した前記第１のガラス板と前記第２のガラス板の間に、開口を有する中間板を配し、前記中間板の一方の面と前記第１のガラス板とを陽極接合すると共に、前記中間板の他方の面と前記第２のガラス板とを陽極接合することにより、前記第１及び第２のガラス板と前記中間板とを有するガラスセルを作製する工程と、
前記第１及び第２のガラス板と前記中間板とにより区画形成された内部空間内に液晶を封入し、前記ガラスセルと前記内部空間内に設けられた液晶層とを有する液晶素子を作製する工程と、
を備える、液晶素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスセル、液晶素子、ガラスセルの製造方法及び液晶素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プレパラートや液晶素子などの種々の用途にガラスセルが用いられている。例えば特許文献１には、一対のガラス板と、それら一対のガラス板の間に配されており、開口が形成された薄いリボン状ガラスとにより構成されたガラスセルが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１７５１０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ガラス板とリボン状ガラスとの接合方法としては、例えば樹脂接着剤を用いて接合する方法が挙げられる。しかしながら、樹脂接着剤を用いてガラス板とリボン状ガラスとを接合した場合は、接着部の機密性、耐熱性、耐湿性、耐薬品性が低いという問題や、ガスが発生する問題や、内部空間の厚みの均一性が低いという問題がある。【０００５】
本発明は、接着部の機密性、耐熱性、耐湿性、耐薬品性が高く、ガスの発生がなく、しかも、内部空間の厚みの均一性が高いガラスセルを提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るガラスセルは、第１及び第２のガラス板と、中間板とを備える。第１及び第２のガラス板は、相互に間隔をおいて対向するように配されている。中間板は、第１のガラス板と第２のガラス板との間に配されている。中間板は、開口を有する。中間板の第１のガラス板側の表面または第１のガラス板の中間板側の表面と、中間板の第２のガラス板側の表面または第２のガラス板の中間板側の表面とが金属により構成されている。中間板の一方の表層と第１のガラス板とが陽極接合されていると共に、中間板の他方の表層と第２のガラス板とが陽極接合されている。【０００７】
中間板の第１のガラス板側の表面と、中間板の第２のガラス板側の表面とが金属により構成されていてもよい。その場合、中間板が金属板により構成されていてもよい。【０００８】
中間板は、ガラスまたはセラミックスからなる中間板本体と、中間板本体の上に配されており、表層を構成している金属層とを有していてもよい。【０００９】
第１及び第２のガラス板のそれぞれは、アルカリ金属成分を含むことが好ましい。【００１０】
中間板の両表層がＡｌ，Ｓｉ，Ｆｅ，Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ及びＣｕからなる群から選ばれた少なくとも一種を含むことが好ましい。【００１１】
第１のガラス板の中間板側の表面と、第２のガラス板の中間板側の表面とが金属により構成されていてもよい。その場合、中間板がガラスからなることが好ましい。第１及び第２のガラス板並びに中間板のそれぞれが、アルカリ金属成分を含むことが好ましい。【００１２】
第１及び第２のガラス板と中間板とにより区画形成された内部空間が一の方向の両側に開口していてもよい。【００１３】
本発明に係る液晶素子は、本発明に係るガラスセルと、液晶層とを備える。液晶層は、第１及び第２のガラス板と中間板とにより区画形成された内部空間内に封入されている。【００１４】
本発明に係る第１のガラスセルの製造方法では、第１のガラス板と第２のガラス板との間に、開口を有し、両表層が金属により構成された中間板を配する。中間板の一方の表層と第１のガラス板とを陽極接合すると共に、中間板の他方の表層と第２のガラス板とを陽極接合することにより、第１及び第２のガラス板と中間板とを有するガラスセルを作製する。【００１５】
本発明に係る第２のガラスセルの製造方法では、第１のガラス板及び第２のガラス板の一方の表面に金属層を形成し、該金属層が対向するように配した第１のガラス板と第２のガラス板の間に、開口を有する中間板を配する。中間板の一方の面と第１のガラス板とを陽極接合すると共に、中間板の他方の面と第２のガラス板とを陽極接合することにより、第１及び第２のガラス板と中間板とを有するガラスセルを作製する。【００１６】
本発明に係る第１の液晶素子の製造方法では、第１のガラス板と第２のガラス板との間に、開口を有し、両表層が金属により構成された中間板を配し、中間板の一方の表層と第１のガラス板とを陽極接合すると共に、中間板の他方の表層と第２のガラス板とを陽極接合することにより、第１及び第２のガラス板と中間板とを有するガラスセルを作製する。第１及び第２のガラス板と中間板とにより区画形成された内部空間内に液晶を封入し、ガラスセルと内部空間内に設けられた液晶層とを有する液晶素子を作製する。【００１７】
また、本発明に係る第２の液晶素子の製造方法では、第１のガラス板及び第２のガラス板の一方の表面に金属層を形成し、金属層が対向するように配した第１のガラス板と第２のガラス板の間に、開口を有する中間板を配し、中間板の一方の面と第１のガラス板とを陽極接合すると共に、中間板の他方の面と第２のガラス板とを陽極接合することにより、第１及び第２のガラス板と中間板とを有するガラスセルを作製する。第１及び第２のガラス板と中間板とにより区画形成された内部空間内に液晶を封入し、ガラスセルと内部空間内に設けられた液晶層とを有する液晶素子を作製する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、接着部の機密性、耐熱性、耐湿性、耐薬品性が高く、ガスの発生がなく、しかも、内部空間の厚みの均一性が高いガラスセルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、第１の実施形態におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的平面図である。
【図２】図２は、図１の線ＩＩ−ＩＩにおける略図的断面図である。
【図３】図３は、第１の実施形態において製造されたガラスセルの略図的平面図である。
【図４】図４は、図３の線ＩＶ−ＩＶにおける略図的断面図である。
【図５】図５は、第１の実施形態において製造された液晶素子の略図的断面図である。
【図６】図６は、第１の実施形態の変形例（第１の変形例）におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的平面図である。
【図７】図７は、第１の実施形態の変形例（第２の変形例）におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。
【図８】図８は、第２の実施形態におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的平面図である。
【図９】図９は、第３の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。
【図１０】図１０は、第４の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。
【図１１】図１１は、第５の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。
【図１２】図１２は、第６の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。
【図１３】図１３は、第６の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。
【図１４】図１４は、第７の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。
【図１５】図１５は、第８の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。
【図１６】図１６は、第１の実施形態において製造された液晶素子の略図的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
【００２１】
また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
【００２２】
（第１の実施形態）
まず、図１〜図２を主として参照しながら、図３及び図４に示すガラスセル１の製造方法の一例について説明する。
【００２３】
まず、第１のガラス板１１と第２のガラス板１２とを用意する。次に、第１のガラス板１１と第２のガラス板１２との間に、中間板１３を配し、積層体１０を作製する。
【００２４】
第１及び第２のガラス板１１，１２は、ガラスセルの主壁を構成するための部材である。第１及び第２のガラス板１１，１２は、ナトリウムなどのアルカリ金属成分を含むガラスからなる。第１及び第２のガラス板１１，１２のそれぞれにおけるアルカリ金属成分の含有量は、陽極接合が可能な程度であればよい。第１及び第２のガラス板１１，１２のそれぞれにおけるアルカリ金属成分の含有量は、酸化物換算で、例えば３ｍｏｌ％以上であることが好ましく、６ｍｏｌ％以上であることがより好ましい。第１及び第２のガラス板１１，１２の厚みは、それぞれ、例えば、０．００５ｍｍ〜２ｍｍ程度とすることができる。
【００２５】
中間板１３は、開口１３ａを有する。開口１３ａは、連通口１３ｂによって外部と連通している。中間板１３の両表層は金属により構成されている。本実施形態では、具体的には、中間板１３の全体が金属により構成されている。すなわち、中間板１３は、金属板により構成されている。中間板１３は、例えば、Ａｌ，Ｓｉ，Ｆｅ，Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ及びＣｕからなる群から選ばれた少なくとも一種を含むことが好ましい。中間板１３の厚みは、ガラスセル１の内部空間の厚みなどに応じて適宜設定することができる。中間板１３の厚みは、例えば、０．００５ｍｍ〜１ｍｍ程度とすることができる。
【００２６】
次に、一方の主面に電極１６が設けられたガラス板１４を、ガラス板１４の他方の主面と第１のガラス板１１とが対向するように配すると共に、一方の主面に電極１７が設けられたガラス板１５を、ガラス板１５の他方の主面と第２のガラス板１２とが対向するように配する。そして、中間板１３と電極１６，１７との間に電圧を印加する。これにより第１のガラス板１１と中間板１３の第１のガラス板１１側の表層とを陽極接合させると共に、第２のガラス板１２と中間板１３の第２のガラス板１２側の表層とを陽極接合させる。その後、ガラス板１４，１５及び電極１６，１７を取り除くことにより、図３及び図４に示すガラスセル１を完成させることができる。
【００２７】
図３及び図４に示すように、ガラスセル１は、相互に間隔をおいて対向するように配された第１及び第２のガラス板１１，１２を備える。第１のガラス板１１と第２のガラス板１２との間には、開口１３ａを有する中間板１３が配されている。第１のガラス板１１と、中間板１３の第１のガラス板１１側の表層とは陽極接合されている。第２のガラス板１２と、中間板１３の第２のガラス板１２側の表層とは陽極接合されている。
【００２８】
ガラスセル１は、例えば液晶素子の製造に用いることができる。すなわち、連通口１３ｂから開口１３ａにより形成された内部空間に液晶を注入し、連通口１３ｂを封止することにより、図５に示す液晶素子２を作製することができる。液晶素子２は、第１のガラス板１１と第２のガラス板１２と中間板１３とにより区画形成された内部空間内に封入された液晶層２１を有する。なお、内部空間に液晶を注入するための液晶注入孔は、ガラスセル１の主壁部に設けられていてもよいし、側壁部に設けられていてもよい。液晶層２１は、中間板により複数の液晶層に区画されていてもよい。その場合、複数の液晶層を連通させる連通口が設けられていることが好ましい。そうすることにより、複数の液晶層間における圧力ばらつきを小さくすることができる。
【００２９】
ところで、第１及び第２のガラス板のそれぞれと中間板とを樹脂接着剤を用いて接着した場合は、接着部の機密性、耐熱性、耐湿性、耐薬品性が低下したり、ガスが発生したりしやすい。また、樹脂接着剤の流動性に起因して第１のガラス板と第２のガラス板との間の内部空間に厚みむらが生じやすい。また、樹脂接着剤を用いた分だけ、第１のガラス板と第２のガラス板とのギャップが大きくなる。従って、第１のガラス板と第２のガラス板とのギャップを小さくすることが困難である。
【００３０】
それに対してガラスセル１では、第１及び第２のガラス板１１，１２のそれぞれと、中間板１３とが直接陽極接合されている。この場合、接着部の機密性、耐熱性、耐湿性、耐薬品性が高く、ガスの発生がなくなるため、液晶素子２の劣化を抑えることができる。また、ガラス板１１，１２と中間板１３とを密着させた状態で電圧を印加することによりガラス板１１，１２と中間板１３とを接合できるため、第１のガラス板１１と第２のガラス板１２との間の内部空間の厚みむらが生じ難い。また、樹脂接着剤を要さないため、第１のガラス板１１と第２のガラス板１２とのギャップを小さくしやすい。従って、狭ギャップかつ厚みむらの抑制されたガラスセル１を得ることができる。その結果、薄く、且つ厚みむらの抑制された液晶層２１を有する高性能な液晶素子２を実現することが可能となる。
【００３１】
また、ガラスセル１は、製造に際して樹脂接着剤を要さないため、内部空間への樹脂やブリード物の浸入を抑制することができる。従って、ガラスセル１を用いることにより、液晶層２１中への樹脂やブリード物の溶出を抑制することができる。
【００３２】
なお、ガラス板と中間板とを直接接合する方法としては、レーザー光線を照射してガラス板等を溶融することにより接合する方法も考えられる。しかしながら、この場合は、ガラス板等の一部が軟化する温度にまで加熱する必要があるため、ガラス板等が変形したり破損したりする虞がある。
【００３３】
それに対して、本実施形態のように陽極接合する場合は、ガラス板１１，１２及び中間板１３の温度がそれほど高くまで上昇しないため、ガラス板１１，１２及び中間板１３の変形や破損を効果的に抑制することができる。従って、ガラスセル１は、高い歩留まりで製造可能である。
【００３４】
本実施形態では、中間板１３の全体が金属により構成されている。このため、中間板１３は、展延性を有する。よって、ガラスセル１の温度が変化するなどして、ガラスセル１に応力が加わった場合に、展延性を有する中間板１３により応力が緩和される。具体的には、例えば、ガラスセル１中に液晶が封入されている場合、ガラスセル１の温度が上昇すると、封入された液晶がガラスセル１よりも大きく熱膨張するため、内圧が上昇する傾向にある。この内圧の上昇が中間板１３により緩和される。
【００３５】
ガラスセル１に加わる応力を緩和する観点からは、ガラス板１１，１２及び中間板１３を、それぞれ熱膨張が大きな材料により構成し、ガラス板１１，２及び中間板１３と液晶層との熱膨張係数の差を小さくすることが好ましい。
【００３６】
なお、本実施形態では、内部区間をひとつのみ有するガラスセル１について説明したが、内部空間は、例えばガラス板等によって厚み方向に沿って複数に区画されていてもよい。
【００３７】
図１６は、図５に示す液晶素子２の構成を具体的に表した略図的断面図である。図１６に示されるように、液晶素子２では、ガラス板１１の液晶層２１側の表面上に、第１の電極２２、第１の絶縁層２３、高抵抗層２４、第２の絶縁層２５及び第１の配向膜２６がこの順番で配されている。一方、ガラス板１２の液晶層側の表面上に、第２の電極２７及び第２の配向膜２８がこの順番で配されている。
【００３８】
第１及び第２の電極２２，２７は、それぞれ、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）などの透明導電性酸化物により構成されている。
絶縁層２３，２５は、それぞれ、酸化ケイ素等により構成されている。
高抵抗層２４は、例えば、酸化亜鉛や、アルミニウム等がドープされた酸化亜鉛等により構成されている。
第１及び第２の配向膜２６，２８は、それぞれ、例えば、ポリイミド等により構成されている。
【００３９】
屈折率が相対的に高い第１の電極２２と、屈折率が相対的に低い第１の絶縁層２３との間に、屈折率が第１の電極２２と第１の絶縁層２３との間に位置する、例えば、酸化アルミニウム等からなる中間屈折率層をさらに設けてもよい。中間屈折率層を設けることにより、第１の電極２２と第１の絶縁層２３との界面における光反射率を低減することができる。
【００４０】
光反射を抑制する観点からは、ガラス板１１を、第１の電極２２と屈折率が近いガラスにより構成することが好ましい。ガラス板１２を、第２の電極２７と屈折率が近いガラスにより構成することが好ましい。
【００４１】
以下、変形例や他の実施形態について説明する。以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。
【００４２】
（第１の変形例）
図６は、第１の実施形態の変形例（第１の変形例）におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的平面図である。
【００４３】
第１の変形例では、図６に示されるように、複数の開口１３ａを有する中間板１３を使用する。そして、陽極接合後に、カットラインＣＬ１及びカットラインＣＬ２に沿って切断することにより複数のガラスセル１を同時に製造する。このようにすることにより、複数のガラスセル１を高効率に製造することができる。
【００４４】
（第２の変形例）
図７は、第１の実施形態の変形例（第２の変形例）におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。
【００４５】
第１の実施形態では、電極１６，１７が設けられたガラス板１４，１５を用いて電圧を印加して陽極接合する例について説明した。但し、本発明は、これに限定されない。例えば、図７に示されるように、第１のガラス板１１の上に電極１６を設け、第２のガラス板１２の上に電極１７を設けて積層体１０に電圧を印加してもよい。その場合において、陽極接合後に電極１６，１７を除去してもよいし、除去しなくてもよい。例えば電極１６，１７を透明導電性酸化物により構成し、透光性にしておいた場合は、電極１６，１７を除去せずとも透光性を有するガラスセル１として使用可能な場合もある。なお、電極１６，１７の除去方法としては、エッチング液を用いたエッチング方法や、ブラスト等による物理的な研磨方法等が挙げられる。
【００４６】
（第２の実施形態）
図８は、第２の実施形態におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的平面図である。
【００４７】
第１の実施形態では、円形の開口１３ａを有する中間板１３を用いる例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図８に示されるように、ｘ方向の両側に開口した開口１３ａを有する中間板１３を用いてもよい。その場合は、内部空間がｘ方向の両側に開口したガラスセルを作製することができる。このガラスセルは、例えばプレパラートとして好適に使用可能である。
【００４８】
（第３及び第４の変形例）
図９は、第３の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。図１０は、第４の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。
【００４９】
第１の実施形態では、中間板１３の全体が金属により構成されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、図９に示されるように、中間板１３は、ガラスまたはセラミックスからなる中間板本体１３ｃと、中間板本体１３ｃの上に配された金属層１３ｄ、１３ｅとにより構成されていてもよい。また、図１０に示されるように、中間板１３の外側端面に露出しており、金属層１３ｄと金属層１３ｅとを接続している金属層１３ｆをさらに備えていてもよい。その場合は、金属層１３ｄ、１３ｅへの電圧印加が容易となる。
【００５０】
なお、中間板１３をガラス板またはセラミック板により構成し、ガラス板１１，１２の中間板側表面に金属層を設けてもよい。
【００５１】
中間板１３がガラス板を含む場合、湾曲したガラス板を含む中間板１３を用いて陽極接合することが好ましい。例えばガラス板の平坦性が高いと、中間板１３とガラス板１１，１２との間に泡が残存しやすい。湾曲したガラス板を含む中間板１３を用いることにより、中間板１３とガラス板１１，１２との間に泡が残存することを抑制することができる。ガラス板の横断面形状は、例えば、円弧状であってもよいし、蛇行状、ジグザグ状であってもよい。ガラス板を平板の上に配置した際の平板とガラス板の表面とに生じるギャップは、ガラス板の厚みの０．００１倍〜０．５倍であることが好ましく、０．００１倍〜０．１倍であることがより好ましい。ガラス板を平板の上に配置した際の平板とガラス板の表面とに生じるギャップが小さすぎると、中間板１３とガラス板１１，１２との間に泡が残存しやすくなる場合がある。ガラス板を平板の上に配置した際の平板とガラス板の表面とに生じるギャップが大きすぎると、中間板１３とガラス板１１，１２との陽極接合が困難となる場合がある。
【００５２】
本変形例においては、第１及び第２のガラス板１１，１２と中間板本体１３ｃとのそれぞれがアルカリ成分を含むことが好ましい。
【００５３】
（第５の変形例）
図１１は、第５の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。
【００５４】
図１１に示されるように、本変形例では、積層体１０において、中間板１３が第１及び第２のガラス板１１，１２よりも外側にまで引き出されている。即ち、中間板１３の一部が、第１及び第２のガラス板１１，１２が設けられていない領域に設けられている。平面視において、中間板１３が露出している。このため、中間板１３に対して電気的なコンタクトが確保しやすい。従って、陽極接合を容易に行うことができる。
【００５５】
（第６及び第７の変形例）
図１２及び図１３は、第６の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。本変形例では、液晶層を構成するための内部空間を複数備えるガラスセルの製造方法の一例について説明する。
【００５６】
まず、図１２に示されるように、ガラスからなる平板状の板本体１８ａと、板本体１８ａの両面上に設けられた金属層１８ｂ、１８ｃとを有する板１８と、開口１９ａ１，１９ｂ１を有する、ガラスからなる板１９ａ、１９ｂとを上記実施形態や変形例と同様にして陽極接合する。
【００５７】
次に、図１３に示すように、板１８，１９ａ、１９ｂの積層体と、表面上に金属層２２ａ、２２ｂが設けられたガラスからなる板２２，２３とを陽極接合する。これにより、板１８、１９ａ、１９ｂと、板２２，２３とを有し、複数の内部空間を有するガラスセル３を完成させることができる。このように、本発明は、複数の内部空間を有するガラスセルにも適用することができる。
【００５８】
また、次にようにして複数の内部空間を有するガラスセルを作成してもよい。すなわち、図１２に示されるように金属層１８ｂ、１８ｃを有する板１８と板１９ａ、１９ｂと陽極接合した後に、板１９ａ、１９ｂの上に金属層２２ａ、２２ｂを形成する。次に、図１４に示されるように、金属層２２ａの上に、ガラス板２２と、電極１６が設けられたガラス板１４とをこの順番で配すると共に、金属層２２ｂの上に、ガラス板２３と、電極１７が設けられたガラス板１５とをこの順番で配し、電極２２ａ、２２ｂと電極１６，１７との間に電圧を印加することにより、金属層２２ａ、２２ｂとガラス板２２，２３を陽極接合してもよい。
【００５９】
（第８の変形例）
図１５は、第８の変形例におけるガラスセルの製造方法を説明するための略図的断面図である。図１５に示されるように、電極２２ｂ、１８ｃ、１８ｂ、２２ａを、電圧の印加方向から視た際に重ならないようにしておけば、ガラス板２３の上に設けられた電極２２ｂとガラスからなる中間板１９ｂと、ガラスからなる中間板１９ｂの上に設けられた電極１８ｃとガラス板１８ａと、ガラス板１８ａの上に設けられた電極１８ｂとガラスからなる中間板１９ａと、並びに、ガラスからなる中間板１９ａの上に設けられた電極２２ａとガラス板２２とを一度の工程により同時に陽極接合することもできる。勿論、４回に分けて別個に陽極接合工程を行ってもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１，３…ガラスセル
２…液晶素子
１０…積層体
１１…第１のガラス板
１２…第２のガラス板
１３、１９ａ、１９ｂ…中間板
１３ａ…開口
１３ｂ…連通口
１３ｃ…中間板本体
１３ｄ、１３ｅ、１３ｆ、１８ｂ、１８ｃ、２２ａ、２２ｂ…金属層
１４，１５…ガラス板
１６，１７…電極
１８、２２、２３…板
１８ａ…板本体
２１…液晶層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
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