(57)【要約】  ガラス基板の製造では、熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせて連続したシートガラスを成形し、前記シートガラスの流れをつくる。前記シートガラスを冷却するとき、前記ガラス基板の反りおよび歪を低減するために、前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させながら、前記熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて冷却する徐冷処理を行う。この徐冷処理は、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で行われる。
2013105667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の製造方法であって、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせて連続したシートガラスを成形し、前記シートガラスの流れをつくる成形工程と、
前記ガラス基板の反りおよび歪を低減するために、前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させながら、前記熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて冷却する徐冷処理を含む冷却工程と、を含み、
前記徐冷処理は、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で行われる、ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
【請求項２】
前記熱源の熱分布の緩和は、前記シートガラスと前記熱源との間に設けられた１つの均熱板を用いて行われ、前記均熱板は、前記熱源の熱分布を緩和させて、前記シートガラスに熱を供給する、請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記均熱板は、酸化処理により表面に酸化被膜が形成されたステンレス金属板である、請求項２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記冷却工程は、前記シートガラスの両側の面に設けられた少なくとも一対の温度調整装置を用いて行われ、少なくとも一対の前記温度調整装置のそれぞれが、前記熱源及び前記均熱板を用いて前記シートガラスに熱を供給する、請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項５】
前記熱分布は、前記熱源の発熱量の分布である、請求項１〜４のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記温度分布は、前記幅方向の中心で最大となる一山形状の分布、あるいは、均一な分布である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項７】
前記熱源は、前記幅方向に設けられた複数の熱源要素を含み、
前記熱源の前記熱分布は、前記熱源要素それぞれの前記幅方向の端に対応した位置において供給する熱が低下する分布を含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項８】
ガラス基板の製造方法であって、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスを成形する成形工程と、
前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた一対の熱源が、前記シートガラスの両面に、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えることにより、前記シートガラスを冷却する徐冷処理を含む冷却工程と、を含み、
前記徐冷処理では、前記一対の熱源と前記シートガラスとの間に配置された一対の板材の間に前記シートガラスを通して徐冷する、ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
【請求項９】
前記板材は、シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させる均熱板であり、
前記徐冷処理は、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で、前記均熱板を用いて行われる、ことを特徴とする請求項８に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項１０】
前記均熱板の熱伝導率が１０Ｗ/（ｍ・Ｋ）以上である、請求項９に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項１１】
ガラス基板の成形装置であって、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスを成形する成形炉と、
前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた一対の熱源が、前記シートガラスの両面に、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えることにより、前記シートガラスを冷却する徐冷処理を行う冷却炉と、を有し、
前記徐冷処理では、前記一対の熱源と前記シートガラスとの間に配置された一対の板材の間に前記シートガラスを通して徐冷する、ことを特徴とするガラス基板の成形装置。
【請求項１２】
前記板材は、シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させる均熱板であり、
前記冷却炉は、前記徐冷処理を、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で、前記均熱板を用いて行う、請求項１１に記載のガラス基板の成形装置。
【請求項１３】
前記熱源は、前記シートガラスの両面に向けて熱を放射する加熱ヒータであり、
前記板材は、前記加熱ヒータの前記シートガラスに対向する全面を遮るように配置されている、請求項１１または１２に記載のガラス基板の成形装置。
【請求項１４】
ガラス基板の成形装置であって、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせて連続したシートガラスを成形し、前記シートガラスの流れをつくる成形炉と、
前記ガラス基板の反りおよび歪を低減するために、前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させながら、前記熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて冷却する徐冷処理を行う冷却炉と、を有し、
前記冷却炉は、前記徐冷処理を、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で行う、ことを特徴とするガラス基板の成形装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板を製造するガラス基板の製造方法及び成形装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」という。）に用いるガラス基板には、厚さが例えば０．５〜０．７ｍｍと薄いガラス板が用いられている。このＦＰＤ用ガラス基板は、例えば第１世代では３００×４００ｍｍのサイズであるが、第１０世代では２８５０×３０５０ｍｍのサイズになっている。【０００３】
このような大きなサイズのＦＰＤ用ガラス基板を製造するには、オーバーフローダウンドロー法がよく使用される。オーバーフローダウンドロー法は、成形炉において熔融ガラスを成形体の上部から溢れさせることにより成形体の下方においてシートガラス（板状ガラス）を成形する工程と、シートガラスを徐冷炉において徐冷する冷却工程とを含む。徐冷炉は、対になったローラ間にシートガラスを引き込むことにより所望の厚さに引き伸ばした後、シートガラスを徐冷する。この後、シートガラスは、所定の寸法に切断されてガラス板とされて他のガラス板上に積層されて保管される。あるいはガラス板は次工程に搬送される。【０００４】
このようなオーバーフローダウンドロー法を用いるガラス基板の製造方法として、ガラス基板の幅方向の歪みが発生するのを抑制することができるものが知られている（特許文献１）。
この製造方法は、ダウンドロー法によって、熔解ガラスをシート状に成形し、得られたシートガラスを徐冷することによりガラス基板を製造する方法であって、前記シートガラスの幅方向における、端部（周辺部）と中央部（表面部）の温度差によって発生するシートガラスの歪を低減する歪低減処理を、徐冷の際に複数のヒータを用いて行っている。歪低減処理では、ガラスの歪点近傍において、シートガラスの温度が幅方向に均等化されるようにシートガラスの温度が制御されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３５８６１４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上述した公知のガラス基板の製造方法（特許文献１）では、ガラス基板を用いてこのガラス基板に薄膜を形成する成膜業者等の顧客の要求を満足する反り量および歪量を有するガラス基板を作製できなかった。【０００７】
そこで、本発明は、ガラス基板における反り、歪を低減するために、冷却工程中のシートガラスの幅方向の温度分布を制御して、顧客の要求を満足する反り量および歪量を有するガラス基板を作製することができるガラス板の製造方法および成形装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一般に、ガラス基板、例えばＦＰＤ用ガラス基板では、肉厚偏差が小さく、高い平坦性を有するガラス基板が望まれている。つまり、ガラス基板の肉厚偏差、反りおよび歪が小さくなるようにガラス基板の元となるシートガラスを冷却することが好ましい。
成形体（セル）を用いて熔融ガラスからシートガラスを成形する周知のオーバーフローダウンドロー法において、ガラス基板の肉厚偏差、反り及び歪を低減するためには、以下のように冷却することが好ましい。
１．肉厚偏差を低減するための冷却
先ず、成形体（以降、セルともいう）からオーバーフローされて成形された直後のシートガラスのガラス両端部を急冷することが好ましい。セルの側壁両面を流下してきた熔融ガラスはセル下端部を離れてシートガラスに成形される。この成形直後のシートガラスは、自らの表面張力によってその表面積を縮小しようとするが、シートガラスの両端部のガラス粘度をできるだけ速やかに上昇させることにより、その作用が妨げられ幅を広く保つことができる。また、シートガラスの幅方向中央部は、温度分布を均一にすることにより、肉厚偏差が少ないガラス基板を作製することができる。この肉厚偏差を低減するための冷却は、シートガラスの幅方向中央部が粘性流動領域（本明細書では略軟化点以上とする）であるときに行われることが好ましい。
２．反りおよび歪を低減するための冷却
上記粘性流動領域で肉厚偏差を低減するために冷却した後、シートガラスは、塑性変形領域（本明細書では略軟化点と徐冷点との間から歪点までの間とする）において、反りおよび歪が生じないように冷却される。反りを生じないようにシートガラスを冷却するためには、肉厚偏差を低減するために冷却した平坦なシートガラスの幅方向中央部に常に引っ張り応力が働くように冷却し、その平坦度を維持することが好ましい。歪を生じないように冷却するためには、上述したように、歪点近傍で温度が均一になるように冷却することが好ましい。したがって、先ず、シートガラスの温度がシートガラスの幅方向中心部から幅方向両端部に向かって低下するような一山形状の温度分布をシートガラスに付与する。この温度分布は、シートガラスの肉厚偏差に影響を及ぼさない温度領域（例えば、軟化点より低い温度領域）まで冷却された後速やかに付与されることが好ましい。そして、冷却するに従ってこの温度分布の勾配を小さくしていき、歪点近傍で一山形状の温度分布が略平らになる、すなわち温度が均一になるように、シートガラスを冷却する。つまり、シートガラスの幅方向中心部の冷却量（体積収縮量）が最も大きく、両端部にいくに従って小さくなるように冷却されるので、常にシートガラスの幅方向中央部に引っ張り応力が働くことになる。また、歪点近傍でシートガラスの温度が不均一な温度分布の場合、常温になった際に残留応力が生じるので、歪点近傍で温度が均一になるように、シートガラスを冷却することにより、歪を低減することができる。【０００９】
上記内容を考慮して、本発明者は、公知のガラス基板の製造において、顧客の要求を満足する反り量および歪量を有するガラス基板を作製できない理由を検討した結果、複数のヒータにより形成されるシートガラスの幅方向の温度分布が段階的に形成されていること、あるいは、シートガラスの幅方向の温度分布が局部的に落ち込み、滑らかな分布にならないことが原因であるということを知見した。さらに、塑性変形領域のシートガラスにおける冷却では、シートガラスの温度分布が滑らかな一山形状を維持しながらその滑らかな一山形状が徐々に小さくなり、歪点近傍において一山形状が平坦になるようにシートガラスの温度を調整することが望ましいことを知見し、以下の態様の発明を想到するに至った。【００１０】
本発明の一態様は、ガラス基板の製造方法である。当該製造方法は、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせて連続したシートガラスを成形し、前記シートガラスの流れをつくる成形工程と、
前記ガラス基板の反りおよび歪を低減するために、前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させながら、前記熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて冷却する徐冷処理を含む冷却工程と、を含む。
前記徐冷処理は、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で行われる。【００１１】
その際、前記熱源の熱分布の緩和は、前記シートガラスと前記熱源との間に設けられた１つの均熱板を用いて行われ、前記均熱板は、前記熱源の熱分布を緩和させて、前記シートガラスに熱を供給する、ことが好ましい。【００１２】
前記均熱板は、酸化処理により表面に酸化被膜が形成されたステンレス金属板である、ことが好ましい。【００１３】
また、前記冷却工程は、前記シートガラスの両側の面に設けられた少なくとも一対の温度調整装置を用いて行われ、少なくとも一対の前記温度調整装置のそれぞれが、前記熱源及び前記均熱板を用いて前記シートガラスに熱を供給する、ことが好ましい。【００１４】
前記熱分布は、前記熱源の発熱量（加熱量）の分布である、ことが好ましい。【００１５】
前記温度分布は、前記幅方向の中心で最大となる一山形状の分布、あるいは、均一な分布である、ことが好ましい。【００１６】
前記熱分布は、前記幅方向の中心で最大となる一山形状の分布、あるいは、均一な分布である、ことが好ましい。【００１７】
前記熱源は、前記幅方向に設けられた複数の熱源要素を含み、
前記熱源の前記熱分布は、前記熱源要素それぞれの前記幅方向の端に対応した位置において供給する熱が低下する分布を含む、ことが好ましい。【００１８】
また、本発明の他の態様も、ガラス基板の製造方法であり、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスを成形する成形工程と、
前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた一対の熱源が、前記シートガラスの両面に、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えることにより、前記シートガラスを冷却する徐冷処理を含む冷却工程と、を含む。
前記徐冷処理では、前記一対の熱源と前記シートガラスとの間に配置された一対の板材の間に前記シートガラスを通して徐冷する。【００１９】
前記板材は、シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させる均熱板であり、前記冷却炉は、前記徐冷処理を、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で、前記均熱板を用いて行うことが好ましい。【００２０】
このとき、前記熱源は、前記シートガラスの両面に向けて熱を放射する加熱ヒータであり、前記板材は、前記加熱ヒータの前記シートガラスに対向する全面を遮るように配置されている、ことが好ましい。【００２１】
本発明の他の一態様は、ガラス基板の成形装置である。当該成形装置は、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせて連続したシートガラスを成形し、前記シートガラスの流れをつくる成形炉と、
前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた一対の熱源が、前記シートガラスの両面に、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えることにより、前記シートガラスを冷却する徐冷処理を行う冷却炉と、を有する。
前記徐冷処理では、前記一対の熱源と前記シートガラスとの間に配置された一対の板材の間に前記シートガラスを通して徐冷する。【００２２】
前記冷却炉は、前記徐冷処理として、前記ガラス基板の反りおよび歪を低減するために、前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させながら、前記熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて冷却し、
前記冷却炉は、前記徐冷処理を、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で行う。【００２３】
また、前記熱源は、前記シートガラスの両面に向けて熱を放射する加熱ヒータであり、
前記板材は、前記加熱ヒータの前記シートガラスに対向する全面を遮るように配置されている、ことが好ましい。【００２４】
本発明の一態様は、ガラス基板の成形装置である。当該成形装置は、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせて連続したシートガラスを成形し、前記シートガラスの流れをつくる成形炉と、
前記ガラス基板の反りおよび歪を低減するために、前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させながら、前記熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて冷却する徐冷処理を行う冷却炉と、を有する。
前記冷却炉は、前記徐冷処理を、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で行う。
【発明の効果】
【００２５】
上記態様のガラス基板の製造方法及び成形装置では、冷却工程中のシートガラスに与える幅方向の温度分布を滑らかにすることができ、例えば、滑らかな一山形状の分布あるいは段差のない均一な分布にすることができ、ガラス基板における反り、歪を低減することができる。この結果、顧客の要求を満足する反り量および歪量を有するガラス基板を作製することができる。さらに、徐冷処理では、前記一対の熱源と前記シートガラスとの間に配置された一対の板材の間にシートガラスを通して徐冷するので、徐冷処理中、熱源からの飛散物がシートガラスに付着することを防止できる。さらに、万が一、シートガラスが割れてガラス破片が熱源に飛び散っても、板材により熱源を保護することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本実施形態であるガラス基板の製造方法のフローの一例を示す図である。
【図２】本実施形態の熔解工程〜切断工程を行う装置の一例を模式的に示す図である。
【図３】図２に示す成形装置の概略の側面図である。
【図４】図２に示す成形装置の一部の概略の正面図である。
【図５】本実施形態に用いる均熱板とヒータユニットを説明する図である。
【図６】本実施形態の複数の温度分布を説明する図である。
【図７】本実施形態のシートガラスの温度分布と従来のシートガラスの温度分布の例を説明する図である。
【図８】均熱板の有無によるシートガラスの温度分布の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本実施形態のガラス基板の製造方法及び成形装置について説明する。
【００２８】
（ガラス基板の製造方法の全体概要）
図１は、本実施形態であるガラス基板の製造方法のフローを示す図である。
ガラス板の製造方法は、熔解工程（ＳＴ１）と、清澄工程（ＳＴ２）と、均質化工程（ＳＴ３）と、供給工程（ＳＴ４）と、成形工程（ＳＴ５）と、冷却工程（ＳＴ６）と、切断工程（ＳＴ７）と、を主に有する。また、ガラス板の製造方法は、研削工程、研磨工程、洗浄工程、検査工程、梱包工程等の他の工程を有する。梱包工程で積層された複数のガラス板は、納入先の業者（顧客）に搬送される。
【００２９】
図２は、熔解工程（ＳＴ１）〜切断工程（ＳＴ７）を行う装置を模式的に示す図である。当該装置は、図２に示すように、熔解装置１００と、成形装置２００と、切断装置３００とを主に有する。熔解装置１００は、熔解槽１０１と、清澄槽１０２と、攪拌槽１０３と、第１配管１０４と、第２配管１０５と、第３配管１０６とを有する。成形装置２００については後述する。
【００３０】
熔解工程（ＳＴ１）では、熔解槽１０１内に供給されたガラス原料を、図示されない火焔及び電気ヒータで加熱して熔解することで熔融ガラスＭＧを得る。
清澄工程（ＳＴ２）は、清澄槽１０２において行われ、熔解槽１０１から第１配管１０４を通って供給された清澄槽１０２内の熔融ガラスＭＧを加熱することにより、熔融ガラスＭＧ中に含まれる酸素やＳＯ２の気泡が、清澄剤の酸化還元反応により成長し液面に浮上して放出される、あるいは、気泡中のガス成分が熔融ガラスＭＧ中に吸収されて、気泡が消滅する。
均質化工程（ＳＴ３）では、清澄槽１０２から第２配管１０５を通って供給された攪拌槽１０３内の熔融ガラスＭＧを、スターラ１０３ａを用いて攪拌することにより、ガラス成分の均質化を行う。
供給工程（ＳＴ４）では、熔融ガラスＭＧが、攪拌槽１０３から第３配管１０６を通って成形装置２００に供給される。
【００３１】
成形装置２００では、成形工程（ＳＴ５）及び冷却工程（ＳＴ６）が行われる。
成形工程（ＳＴ５）では、熔融ガラスＭＧをシートガラスＳＧ（図３参照）に成形し、シートガラスＳＧの流れを作る。本実施形態では、後述する成形体２１０を用いたオーバーフローダウンドロー法を用いている。この場合、シートガラスＳＧの流れ方向（図中Ｚ方向）は、鉛直下方となる。冷却工程（ＳＴ６）では、成形されて流れるシートガラスＳＧが所望の厚さになり、冷却に起因する反り及び歪が生じないように冷却される。
切断工程（ＳＴ７）では、切断装置３００において、成形装置２００から供給されたシートガラスＳＧが所定の長さに切断されることで、板状のガラス基板Ｇを得る。
この後、ガラス基板Ｇの端面の研削・研磨が行われた後、ガラス基板Ｇの洗浄が行われ、さらに、気泡や脈理等の異常欠陥の有無が検査された後、検査合格品のガラス基板Ｇが最終製品として梱包される。
【００３２】
本実施形態において製造されるガラス基板Ｇは、例えば、液晶ディスプレイ用ガラス基板、有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板、カバーガラスに好適に用いられる。また、このガラス基板は、その他、携帯端末機器などのディスプレイや筐体用のカバーガラス、タッチパネル板、太陽電池のガラス基板やカバーガラスとしても用いることができる。特に、ポリシリコンＴＦＴを用いた液晶ディスプレイ用ガラス基板に好適である。
また、ガラス基板Ｇの厚さは、例えば０．１ｍｍ〜１．５ｍｍである。好ましくは０．１〜１．２ｍｍ、より好ましくは０．３〜１．０ｍｍ、さらにより好ましくは０．３〜０．８ｍｍ、特に好ましくは０．３〜０．５ｍｍである。
さらに、ガラス基板Ｇの幅方向の長さは、例えば５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、１０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることが好ましく、２０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることがより好ましい。一方、ガラス基板Ｇの縦方向の長さも、例えば５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、１０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることが好ましく、２０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることがより好ましい。
【００３３】
（ガラス基板の組成）
ガラス基板Ｇに用いるガラスは、例えば、ボロシリケートガラス、アルミノシリケートガラス、アルミノボロシリケートガラス、ソーダライムガラス、アルカリシリケートガラス、アルカリアルミノシリケートガラス、アルカリアルミノゲルマネイトガラスなどを適用することができる。なお、本発明に適用できるガラスは上記に限定されるものではない。
【００３４】
ガラス基板Ｇのガラス組成は例えば以下のものを挙げることができる。
以下示す組成の含有率表示は、質量％である。
ＳｉＯ２：５０〜７０％、
Ｂ２Ｏ３：５〜１８％、
Ａｌ２Ｏ３：０〜２５％、
ＭｇＯ：０〜１０％、
ＣａＯ：０〜２０％、
ＳｒＯ：０〜２０％、
ＢａＯ：０〜１０％、
ＲＯ：５〜２０％（ただし、ＲはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａから選ばれる少なくとも１種であり、ガラス板が含有するものである)、
を含有する無アルカリガラスであることが好ましい。
【００３５】
また、ガラス基板Ｇのガラスは、以下のガラス組成を挙げることができる
ＳｉＯ２：５０〜７０％、
Ｂ２Ｏ３：１〜１０％、
Ａｌ２Ｏ３：０〜２５％、
ＭｇＯ：０〜１０％、
ＣａＯ：０〜２０％、
ＳｒＯ：０〜２０％、
ＢａＯ：０〜１０％、
ＲＯ：５〜３０％（ただし、ＲはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａの合量)、
を含有する無アルカリガラスであることも、同様に好ましい。
【００３６】
なお、本実施形態では無アルカリガラスとしたが、ガラス基板Ｇはアルカリ金属を微量含んだアルカリ微量含有ガラスであってもよい。アルカリ金属を含有させる場合、Ｒ’２Ｏの合計が０．２０％を超え０．５％以下(ただし、Ｒ’はＬｉ、Ｎａ及びＫから選ばれる少なくとも１種であり、ガラス基板Ｇが含有するものである)含むことが好ましい。また、ガラスの熔解を容易にするために、比抵抗を低下させるという観点から、ガラス中の酸化鉄の含有量が０．０１〜０．２％であることがさらに好ましい。また、清澄剤として添加される酸化錫の含有量が０．０１〜０．５％であることがさらに好ましい。
【００３７】
（成形装置の説明）
図３及び図４は、ガラス基板Ｇの成形装置２００の構成を主に示す図であり、図３は成形装置２００の概略の側面図を示し、図４は成形装置２００の一部概略の正面図を示す。成形装置２００は、成形工程（ＳＴ５）を行う成形炉２０１と、冷却工程（ＳＴ６）とを行う徐冷炉２０２とを含む。徐冷炉２０２は、後述する雰囲気仕切り部材２２０の下方から切断装置３００まで延びる炉をいう。
【００３８】
本実施形態で行う冷却工程（ＳＴ６）では、ガラス基板Ｇの反りおよび歪を低減するために、成形工程（ＳＴ５）で成形されたシートガラスＳＧの幅方向（図２に示す成形装置２００における水平方向）に沿って設けられたヒータユニットを用いて、シートガラスＳＧに、シートガラスＳＧの幅方向に沿って温度分布を与えながら冷却する徐冷処理を行う。冷却工程（ＳＴ６）のこの徐冷処理は、シートガラスＳＧの徐冷点に対応するシートガラスＳＧの流れ方向の徐冷点位置とシートガラスＳＧの歪点に対応するシートガラスＳＧの流れ方向の歪点位置との間にある、シートガラスＳＧの流れ方向の領域内で行われる。シートガラスＳＧに温度分布がある場合は、徐冷点位置は、温度分布の最高温度が徐冷点になる位置をいい、同様に、歪点位置は、温度分布の最高温度が歪点になる位置をいう。ここで、徐冷点は、シートガラスＳＧの１０13ｐｏｉｓｅの粘度に相当する温度であり、歪点は、シートガラスＳＧの１０14.5ｐｏｉｓｅの粘度に相当する温度である。
この徐冷処理では、ヒータユニットの発する熱の熱分布を緩和させることによりシートガラスＳＧに温度分布が与えられる。この熱分布の緩和は、本実施形態では、後述する均熱板２６０を用いて行われる。以下、より詳細に説明する。
【００３９】
成形炉２０１及び徐冷炉２０２は、耐火レンガ、耐火断熱レンガ、あるいはファイバー系断熱材等の耐火物で構成された炉壁に囲まれて構成されている。成形炉２０１は、徐冷炉２０２に対して鉛直上方に設けられている。成形炉２０１及び徐冷炉２０２の炉壁で囲まれた炉内部空間には、成形体２１０と、雰囲気仕切り部材２２０と、冷却ローラ２３０と、冷却ユニット２４０と、搬送ローラ２５０ａ〜２５０ｃを含む複数の搬送ローラと、と、複数の温度調整装置、が設けられている。
【００４０】
成形体２１０は、図２に示すように、第３配管１０６を通して熔解装置１００から流れてくる熔融ガラスＭＧを、シートガラスＳＧに成形する。これにより、成形装置２００内で、鉛直下方のシートガラスＳＧの流れが作られる。成形体２１０は、耐火レンガ等によって構成された細長い構造体であり、図３に示すように断面が楔形状を成している。成形体２１０の上部には、熔融ガラスＭＧを導く流路となる溝２１２が設けられている。溝２１２は、成形体２１０に設けられた供給口２１１（図４に示す）において第３配管１０６と接続され、第３配管１０６を通して流れてくる熔融ガラスＭＧは、溝２１２を伝って流れる。溝２１２の深さは、熔融ガラスＭＧの流れの下流ほど浅くなっており、溝２１２から熔融ガラスＭＧが鉛直下方に向かって溢れ出るようになっている。
溝２１２から溢れ出た熔融ガラスＭＧは、成形体２１０の両側の側壁を伝わって流下する。側壁を流れた熔融ガラスＭＧは、成形体２１０の下方端部２１３（図３に示す）で合流し、１つのシートガラスＳＧが成形される。シートガラスＳＧは、図３に示すシートガラスＳＧの流下方向であるＺ方向に流れる。なお、成形体２１０の下方端部２１３の直下におけるシートガラスＳＧの温度は、１０５．７〜１０７．５ｐｏｉｓｅの粘度に相当する温度（例えば１０００〜１１３０℃）である。
【００４１】
成形体２１０の下方端部２１３の下方近傍には、雰囲気仕切り部材２２０が設けられている。雰囲気仕切り部材２２０は、一対の板状の断熱部材であって、シートガラスＳＧを厚さ方向（図中Ｘ方向）の両側から挟むように、シートガラスＳＧの厚さ方向の両側に設けられている。シートガラスＳＧと雰囲気仕切り部材２２０との間には、雰囲気仕切り部材２２０がシートガラスＳＧに接触しない程度に隙間が設けられている。雰囲気仕切り部材２２０は、成形炉２０１の内部空間を仕切ることにより、雰囲気仕切り部材２２０の上方の炉内部空間と下方の炉内部空間との間の熱の移動を遮断する。
【００４２】
雰囲気仕切り部材２２０の下方には空冷式の冷却ローラ２３０が設けられている。冷却ローラ２３０は、図３に示すように、シートガラスＳＧを厚さ方向の両側から挟むように、シートガラスＳＧの厚さ方向の両側に設けられている。また、冷却ローラ２３０は、図４に示すように、シートガラスＳＧの幅方向（図中Ｙ方向）両端部においてシートガラスＳＧ表面に接触して、シートガラスＳＧを冷却する。なお、冷却ローラ２３０は、シートガラスＳＧの幅方向両端部の温度が約１０９．０ｐｏｉｓｅ以上の粘度に相当する温度（例えば９００℃以下）に低下するまで、冷却することが好ましい。さらに、冷却ローラ２３０の下方には、シートガラスＳＧを挟んだ両側のそれぞれにおいて、一対の端部冷却ユニット２４４（図４参照）が後述する冷却ユニット２４０の１つとして設けられている。端部冷却ユニット２４４は、図示されない水冷板から構成され、シートガラスＳＧの両端部と対向している。これにより、シートガラスＳＧの両端部は効率よく冷却される。
【００４３】
雰囲気仕切り部材２２０の下方に冷却ユニット２４０が設けられている。冷却ユニット２４０は、中央部冷却ユニット２４２と、上述した端部冷却ユニット２４４とを含む。中央部冷却ユニット２４２は、図示されない筐体内に設けられた冷却パイプから送られる冷却エアーにより、筐体全体が冷却されている。この筐体の外側表面がシートガラスＳＧの幅方向の中央部と対向している。中央部冷却ユニット２４２は、冷却ローラ２３０とＺ方向（シートガラスＳＧの流下方向）の同じ位置から下方向に少なくとも３段設けられている。これにより、シートガラスＳＧの中央部は効率よく冷却される。中央部冷却ユニット２４２は、図３に示すように、徐冷炉２０２の天板２０２ａの上方においてシートガラスＳＧを厚さ方向の両側から挟むように、シートガラスＳＧの厚さ方向の両側に設けられている。最上段の中央部冷却ユニット２４２は、シートガラスＳＧの最高温度（中央部の温度）が軟化点近傍の温度に低下するまでシートガラスＳＧを冷却する。このとき、シートガラスＳＧの幅方向の中央部の温度分布が略均一な温度分布になるように中央部冷却ユニット２４２の冷却作用が調整されて冷却される。ここで、軟化点とは、約１０７．６ｐｏｉｓｅの粘度に相当するガラスの温度をいう。
さらに、２段目以降の中央部冷却ユニット２４２及び端部冷却ユニット２４４は、幅方向の中央部が均一な温度分布から、滑らかな温度勾配を有する一山形状の温度分布に変化させつつ、シートガラスＳＧを冷却する。３段目以降の中央部冷却ユニット２４２及び端部冷却ユニット２４４は、滑らかな温度勾配を有する一山形状の温度分布を維持しつつ、シートガラスＳＧの最高温度（中央部の温度）が徐冷点近傍の温度に低下するまでシートガラスＳＧを冷却する。
このように、雰囲気仕切り部材２２０と天板２０２ａとの間では、シートガラスＳＧの幅方向の両端部が冷却ローラ２３０、端部冷却ユニット２４４、複数段の中央部冷却ユニット２４２により、冷却される。
【００４４】
天板２０２ａの下方の天板２０２ａと天板２０２ｂに挟まれた領域には、温度調整装置が設けられている。この領域には搬送ローラ２５０ａがシートガラスＳＧの厚さ方向の両側のそれぞれに設けられている。さらに、この領域には、均熱板２６０と、熱源であるヒータユニット２７０が、温度調整装置としてシートガラスＳＧの厚さ方向の両側のそれぞれに設けられている。均熱板２６０は、シートガラスＳＧの両側の面に平行に設けられ、シートガラスＳＧの幅方向の幅に対応するように、幅方向に延びている１つのステンレス金属板である。ヒータユニット２７０は、シートガラスＳＧの幅方向に沿って一山形状の温度分布がシートガラスＳＧに形成されるように、シートガラスの幅方向に沿って複数設けられたヒータを有する。ヒータはそれぞれ、発熱量が調整可能である。均熱板２６０は、シートガラスＳＧと熱源であるヒータユニット２７０との間に設けられた１つの板状部材である。この均熱板２６０は、熱源であるヒータユニット２７０の発する熱の熱分布を緩和させて、シートガラスＳＧに熱を供給する機能（均熱効果）を有する。具体的には、均熱板２６０は、ヒータユニット２７０から異なる発熱量で受けた熱を拡散して滑らかな温度分布を形成し、この滑らかな温度分布に従ってシートガラスＳＧに熱を供給する。これにより、シートガラスＳＧの幅方向に沿った温度分布は滑らかな一山形状になる。均熱板２６０及びヒータユニット２７０については、後述する。
【００４５】
天板２０２ｂの下方に隣接する天板（図示されず）と天板２０２ｂに挟まれた領域には、さらに、別の均熱板２６０とヒータユニット２７０を用いた温度調整装置が設けられている。
なお、天板２０２ａ及び天板２０２ｂ及び、それよりシートガラスＳＧの流下方向の下流側（Ｚ方向の側）の隣接する天板の間におけるシートガラスＳＧの冷却速度（℃／秒）、すなわち、隣接する天板のうち、上方に位置する天板をシートガラスＳＧが通過したときのシートガラスＳＧの温度から下方に位置する天板をシートガラスＳＧが通過したときのシートガラスＳＧの温度を、この隣接する天板間を通過する時間で除算したときの値は、雰囲気仕切り部材２２０と天板２０２ａとの間におけるシートガラスＳＧの冷却速度（℃／秒）に比べて小さい。したがって、雰囲気仕切り部材２２０と天板２０２ａとの間におけるシートガラスＳＧの冷却を第１冷却とし、天板２０２ａよりＺ方向下側の隣接する天板の間におけるシートガラスＳＧの冷却を第２冷却としたとき、第２冷却におけるシートガラスＳＧの冷却速度は、第１冷却におけるシートガラスＳＧの冷却速度に比べて小さくなっている。したがって、第２冷却は徐冷ともいう。すなわち、本実施形態では、天板２０２ａよりシートガラスＳＧの流下方向の下流側で行う徐冷処理において、シートガラスＳＧが、予め定められた温度分布に対応した温度分布を持つように、均熱板２６０とヒータユニット２７０を用いた温度調整装置によりシートガラスＳＧは徐々に冷却される。この冷却は、図示されない制御装置の温度制御を通して行われる。
【００４６】
図５は、均熱板２６０とヒータユニット２７０を説明する図である。図５では、搬送ローラ２５０ａの図示は省略されている。
ヒータユニット２７０は、シートガラスＳＧの幅方向に沿って５つのヒータ２７０ａ〜２７０ｅに分かれており、それぞれのヒータ２７０ａ〜２７０ｅがそれぞれ熱を発する。図５に示すヒータ２７０ａ〜２７０ｅは、シートガラスＳＧの幅方向に隙間無く互いに隣接して並んだ構成であるが、シートガラスＳＧの幅方向に一定の隙間をあけて並んだ構成であってもよい。ヒータ２７０ａ〜２７０ｅは、例えば、クロム系発熱線等の熱源を備える。５つのヒータ２７０ａ〜２７０ｅのそれぞれの発熱量は個別に調整可能に構成されている。ヒータ２７０ａ〜２７０ｅは、シートガラスＳＧに温度分布を作るために、徐冷点と歪点との間では、一山形状の温度分布をシートガラスＳＧに与えるために、後述するように、隣接するヒータ間で発熱量が異なるように制御されている。すなわち、ヒータユニット２７０は、Ｙ方向に沿って熱分布を持って熱をシートガラスＳＧに向かって供給する。
ここでヒータユニット２７０が発する熱の熱分布は、ヒータ２７０ａ〜２７０ｅの発する発熱量の分布である。この熱分布は、例えば、シートガラスＳＧの幅方向の中心の位置で最大となる分布である。
均熱板２６０は、ヒータ２７０ａ〜２７０ｅからなるヒータユニット２７０の全幅に対応して設けられた１つの板部材である。
ヒータ２７０ａ〜２７０ｅそれぞれは、均熱板２６０に向けて熱を供給し、均熱板２６０はこの供給された熱によって加熱されて、図５に示すＹ方向（シートガラスＳＧの幅方向）に温度分布を形成する。均熱板２６０のヒータ２７０ａ〜２７０ｅに対向した面には、ヒータ２７０ａ〜２７０ｅからの熱によって、ヒータ２７０ａ〜２７０ｅの発熱量に応じた段差のある温度分布が形成されるが、この温度分布の各温度は、均熱板２６０の熱伝導によってＹ方向に、さらに、均熱板２６０の厚さ方向に熱伝導によって拡散して伝わる。したがって、段差のある温度分布は緩和されて次第に滑らかになる。しかし、均熱板２６０の板厚は均熱板２６０のＹ方向の幅に比べて十分薄い場合、シートガラスＳＧに対向する側の均熱板２６０の面では温度分布は均一にならず、滑らかな一山形状をした温度分布になる。したがって、均熱板２６０は、シートガラスＳＧに対して、段差のある温度分布が緩和され、滑らかな一山形状となった温度分布で熱放射をする。これにより、シートガラスＳＧは、滑らかな一山形状をした温度分布を持つことができる。
【００４７】
均熱板２６０において均熱板２６０の平面方向の熱伝導における熱流束が過剰に大きいと、幅方向（Ｙ方向）で分割されたヒータにより実現しようとするシートガラスＳＧの温度分布の温度差が縮小されてしまうという弊害が生じる。逆に熱流束が小さ過ぎると期待する均熱効果が十分発揮されず、ヒーターから放射される階段状の熱輻射分布（発熱量の分布）をガラス面でのなだらかな温度勾配に変換することができない。このため適切な熱伝導率を持つ材料の選定と、選定した材料に応じた肉厚（板厚）の選択が必要になる。
このような均熱板２６０には、例えば、ステンレス金属板が好適に用いられる。均熱板２６０の熱伝導率は、１０Ｗ/（ｍ・Ｋ）以上であることが、滑らかな一山形状をした温度分布でシートガラスＳＧに熱放射をする点で好ましい。均熱板２６０の熱伝導率は、１５Ｗ/（ｍ・Ｋ）以上であることがより好ましい。また、均熱板２６０の熱伝導率は、９０Ｗ/（ｍ・Ｋ）以下であることが好ましく、８０Ｗ/（ｍ・Ｋ）以下であることがより好ましい。均熱板２６０の熱伝導率が、１０Ｗ/（ｍ・Ｋ）未満であると、上述した適切な熱流束を得るために、均熱板２６０の板厚が過剰に大きくなり、熱源であるヒータ２７０ａ〜２７０ｅとシートガラスＳＧとの間の熱交換率が悪くなる、また、均熱板２６０の熱伝導率が、９０Ｗ/（ｍ・Ｋ）を超えると、上述した適切な熱流束を得るために、均熱板２６０の板厚が過剰に小さくなり、均熱板２６０の強度が低下する。
具体的には、均熱板２６０の板厚は、熱伝導率が１６Ｗ/（ｍ・Ｋ）前後のステンレス鋼を用いる場合は、１．５〜８ｍｍ程度であることが、滑らかな一山形状をした温度分布でシートガラスＳＧに熱放射をする点で好ましく、１．５〜３ｍｍであることがより好ましい。また、均熱板２６０は、放射率を向上させヒータ２７０ａ〜２７０ｅとシートガラスＳＧとの熱交換効率を高めるために、また表面の放射率を向上させるために、セラミック塗料を塗布してセラミック層を形成してもよいし、表面に酸化処理を施して得られた酸化被膜、例えば不動態被膜（スーパーブラック処理膜）が形成されていてもよい。特に、膜厚１μｍ程度の不動態被膜（スーパーブラック処理膜）が形成されることが、シートガラスＳＧの面に不要な粒子や塵等を付着させない点で好ましい。上記セラミック塗料を用いた場合、このセラミック塗料が部分的に剥離することで生じる粒子や塵がシートガラスに付着するリスクが高まる。
【００４８】
また、均熱板２６０は、ヒータの発熱体からの飛散物がシートガラスＳＧに付着することを防止する板材でもある。また、均熱板２６０は、シートガラスＳＧが割れても、ガラス破片からヒータの発熱体を保護する板材でもある。例えば、熱源がクロム系発熱線の場合、クロムなどが酸化により表面から徐々に剥離しはがれ、飛散物となるが、均熱板２６０により、この飛散物がシートガラスＳＧに付着することを防止することができる。
なお、ヒータの発熱体からの飛散物がシートガラスＳＧに付着することを防止するため、または、ガラス破片からヒータの発熱体を保護するために、板材を使用する場合、上記板材は、耐熱性を有する材料であればよく、均熱板２６０のようにステンレス金属板等の熱伝導率の高いものに制限されない。すなわち、板材が均熱板２６０である場合は、さらに、上述した均熱効果が得られる。
また、ヒータユニット２７０は、シートガラスＳＧの両面のそれぞれに向けて熱を放射する加熱ヒータであり、均熱板２６０は、ヒータ２７０ａ〜２７０ｅのシートガラスＳＧに対向する全面を遮るように配置されていることが好ましい。
このように、本実施形態では、一対のヒータユニット２７０とシートガラスＳＧとの間に配置された一対の均熱板２６０を一対の板材として用い、この一対の板材の間にシートガラスＳＧを通して徐冷する。
【００４９】
また、均熱板２６０の表面は、特に放射率が低い（すなわち、反射率が高い）場合、拡散反射面であることが、シートガラスＳＧの温度分布の制御が効果的に行える点で好ましい。均熱板２６０の表面が鏡面反射面である場合、シートガラスＳＧから放射された熱線（熱輻射）が均熱板２６０の表面で鏡面反射して、シートガラスＳＧに再帰するので、均熱板２６０の表面形状に従った反射状況によってシートガラスＳＧの温度分布を悪化させるリスクが高まる。なお、拡散反射面とは、平坦でないかざらざらした表面を有する光の反射面のことで、入射光が特定の１方向にだけ反射せず、種々の角度に反射する面をいう。
【００５０】
本実施形態では、ヒータ２７０ａ〜２７０ｅが熱源要素としてシートガラスＳＧの幅方向に沿って設けられるが、ヒータ２７０ａ〜２７０ｅそれぞれの幅方向の端では、熱を発しない、あるいは、発する熱が低いため、ヒータユニット２７０全体を熱源としたとき、ヒータユニット２６０が提供する熱の熱分布は、ヒータ２７０ａ〜２７０ｅそれぞれの幅方向の端に対応した位置で熱が低下する分布を有する場合がある。このような場合でも、均熱板２６０を用いて緩和された滑らかな一山形状の温度分布、あるいは、一定の温度分布をシートガラスＳＧに提供することができる。
【００５１】
図６は、シートガラスＳＧの温度調整に用いる基準とする複数の温度分布を説明する図である。このような温度分布は、図示されない制御装置に記憶され、目標とする温度分布としてシートガラスＳＧの温度分布の制御に用いられる。本実施形態の例では、第１の温度分布Ｐ１と、第２の温度分布Ｐ２と、第３の温度分布Ｐ３と、第４の温度分布Ｐ４とが、シートガラスＳＧの流れ方向に沿って設定されている。これらの温度分布は、シートガラスＳＧの温度分布を調整する領域（天板で挟まれた複数の領域）のそれぞれに設けられた複数の温度センサによって計測される炉内雰囲気温度分布の目標とする温度分布である。この温度分布に対して、実際のシートガラスＳＧの温度は、数十度低いと考えられる。
第２の温度分布Ｐ２は、第１の温度分布Ｐ１よりもシートガラスＳＧの流れ方向下流側において設定され、第３の温度分布Ｐ３は、第２の温度分布Ｐ２よりもシートガラスＳＧの流れ方向下流側において設定される。同様に、第４の温度分布Ｐ４は、第３の温度分布Ｐ３よりもシートガラスＳＧの流れ方向下流側において、それぞれ設定される。
【００５２】
第１の温度分布Ｐ１のうち、図６に示される第１分布Ｐ１ａは、シートガラスＳＧの幅方向中央部の温度分布に対応し、第２分布Ｐ１ｂは、シートガラスＳＧの幅方向両端部の温度分布に対応する。第１の温度分布Ｐ１は、シートガラスＳＧの流れ方向の同位置において、Ｙ方向（シートガラスＳＧの幅方向）中央部の温度が均一であり、且つ、Ｙ方向両端部の温度がＹ方向中央部の温度よりも低くなるように設定されている。前述したように、シートガラスＳＧのＹ方向中央部の温度が均一に設定されることにより、ガラス基板Ｇの肉厚偏差を低減することができる。なお、第１の温度分布Ｐ１では、Ｙ方向中央部の温度（平均温度）と、Ｙ方向両端部の温度との差が、第１の温度差Ｔ１になるように設定されている。
【００５３】
冷却ローラ２３０及び最上段の中央部冷却ユニット２４２は、設定されている第１の温度分布Ｐ１に基づいて、シートガラスＳＧを冷却する。具体的に説明すると、冷却ローラ２３０は、第１の温度分布Ｐ１の第２分布Ｐ１ｂに基づいて、Ｙ方向両端部の温度が約１０９．０ｐｏｉｓｅ以上の粘度に相当する温度に低下するまで、Ｙ方向両端部を急冷する。Ｙ方向両端部を急冷するのは、Ｙ方向両端部の粘度を速やかに上昇させることにより、成形体２１０直下のシートガラスＳＧの表面積がシートガラスＳＧの表面張力によって縮小するのを防ぎ、ひいてはシートガラスＳＧの幅を一定に維持するためである。
また、最上段の中央部冷却ユニット２４２は、第１の温度分布Ｐ１の第１分布Ｐ１ａに基づいて、Ｙ方向中央部の温度がＹ方向両端部の温度よりも高く、且つ、Ｙ方向中央部の温度がＹ方向に略均一になるように、図示されない温度センサにより計測される雰囲気温度に応じて冷却量を調整して、シートガラスＳＧのＹ方向中央部を冷却する。
これにより、シートガラスＳＧには、第１の温度分布Ｐ１に対応した温度分布が付与される。
【００５４】
第２の温度分布Ｐ２は、第１の分布Ｐ１よりもシートガラスＳＧの温度がいずれの位置においても低くなるように設定されている。第２の温度分布Ｐ２は、第１分布Ｐ２ａと、第２分布Ｐ２ｂとを有し一山形状を成している。第１分布Ｐ２ａは、Ｙ方向中央部の温度分布に対応し、第２分布Ｐ２ｂは、Ｙ方向両端部の温度分布に対応する。第２の温度分布Ｐ２は、シートガラスＳＧの流れ方向の同位置において、Ｙ方向中央部の温度が、Ｙ方向中心から幅方向両端部に向かって低下するように、且つ、Ｙ方向両端部の温度がＹ方向中央部の温度よりも低くなるように設定されている。なお、第２の温度分布Ｐ２では、シートガラスＳＧの幅方向中心の温度と、シートガラスＳＧの幅方向両端部の温度との差が、第２の温度差Ｔ２になるように設定されている。
冷却ユニット２４０のうち２段目の中央部冷却ユニット２４２と、一対の端部冷却ユニット２４４は、図示されない温度センサにより計測される炉内雰囲気温度に応じて、一山形状の第２の温度分布Ｐ２に基づいて冷却量を制御して、シートガラスＳＧを冷却する。これにより、シートガラスＳＧには、第２の温度分布Ｐ２に対応する温度分布が付与される。
同様に、冷却ユニット２４０のうち３段目以降の中央部冷却ユニット２４２と、一対の端部冷却ユニット２４４は、図示されない温度センサにより計測される炉内雰囲気温度に応じて、所定の一山形状の温度分布に基づいて冷却量を制御して、シートガラスＳＧを冷却する。この場合の設定される温度分布は、シートガラスＳＧの流下方向の下流に行くほど、温度は低くなるとともに、温度分布の一山形状は穏やかになり、幅方向の温度勾配は小さくなる。
【００５５】
第３の温度分布Ｐ３は、第２の分布Ｐ２よりもシートガラスＳＧの温度がいずれの位置においても低くなるように設定されている。第３の温度分布Ｐ３は、シートガラスＳＧの流れ方向の同位置において、Ｙ方向中央部の温度が、Ｙ方向中心からＹ方向両端部に向かって滑らかに低下するように、且つ、Ｙ方向両端部の温度がＹ方向中央部の温度よりも低くなるように設定されている。なお、第３の温度分布Ｐ３では、Ｙ方向中心の温度と、Ｙ方向両端部の温度との差が、第３の温度差Ｔ３になるように設定されている。ここで、第３の温度差Ｔ３は、第２の温度差Ｔ２より小さい。
ヒータユニット２７０と均熱板２６０は、図示されない温度センサにより計測される雰囲気温度に応じて、第３の温度分布Ｐ３に基づいて、ヒータユニット２７０の発熱量を制御しながらシートガラスＳＧを冷却する。この冷却は、天板２０２ａと天板２０２ｂとの間に設けられるヒータユニット２７０と均熱板２６０を用いて行われる。これにより、シートガラスＳＧには、第３の温度分布Ｐ３に対応する一山形状の滑らかな温度分布が付与される。なお、天板２０２ａと天板２０２ｂとで囲まれた領域において、シートガラスＳＧの最高温度が、約１０１３ｐｏｉｓｅの粘度に相当するガラスの温度である徐冷点を通過するように冷却が行われている。
【００５６】
第４の温度分布Ｐ４は、シートガラスＳＧの幅方向に沿って略均一となっている。このように温度分布を均一にするのは、最終製品であるガラス基板における残留歪を可能な限り小さくするためである。シートガラスＳＧの温度が約１０１４．５ｐｏｉｓｅの粘度に相当するガラスの温度である歪点近傍においてシートガラスＳＧの幅方向の温度分布が均一でない場合、最終製品であるガラス基板における残留歪が生じることから、歪点近傍においてシートガラスＳＧの幅方向の温度分布を均一にする。このため、第４の温度分布Ｐ４は、シートガラスＳＧの歪点になる区域で用いられる。この温度分布による制御は、天板２０２ｂより下方に設けられるヒータユニット２７０と均熱板２６０を用いて行われる。したがって、天板２０２ａよりシートガラスＳＧの流れの下流側で行われるシートガラスＳＧの冷却（第２冷却）において、シートガラスＳＧの温度、すなわち中央部の温度のみならず両端部の温度が、シートガラスＳＧの歪点近傍を同時に通過するようにシートガラスＳＧは冷却されている。これにより、シートガラスＳＧには、第４の温度分布Ｐ４に対応する段差のない一定の温度分布が付与される。
このように、本実施形態では、均熱板２６０及びヒータユニット２７０を用いてシートガラスＳＧの温度分布を制御しながら、シートガラスＳＧの最高温度（中央部の温度）が徐冷点及び歪点を通過するようにシートガラスＳＧは冷却される。
なお、第３の温度分布Ｐ３と第４の温度分布との間には、少なくとも１つ以上の温度分布が設定され、この温度分布に基づいて、シートガラスＳＧの冷却が行われてもよい。この場合、この温度分布を用いたシートガラスＳＧの冷却は、第３の温度分布に基づいてシートガラスＳＧの冷却を行うヒータユニット２７０と均熱板２６０と、第４の温度分布に基づいてシートガラスＳＧの冷却を行うヒータユニット２７０と均熱板２６０との間の区域に設けられたヒータユニット２７０と均熱板２６０とを用いて行われる。この場合の設定される温度分布は、勿論、第３の温度分布Ｐ３より一山形状が穏やかになった分布である。
【００５７】
本実施形態では、天板２０２ａよりシートガラスＳＧの流れ方向の下流側の領域が、シートガラスＳＧが徐冷点〜歪点を通過する温度領域である。つまり、この温度領域がシートガラスＳＧが塑性変形する温度領域であるので、本実施形態は、上記温度領域でシートガラスＳＧの反り量を低減するように、シートガラスＳＧに滑らかな温度分布を与えて冷却する。本実施形態では、上記温度領域で、シートガラスＳＧの中央部の冷却量（体積収縮量）が両端部の冷却量（体積収縮量）に比べて大きくなるように冷却するので、平坦なシートガラスＳＧのＹ方向中央部において、シートガラスＳＧの流下方向及び幅方向へ常に引っ張り応力を生じさせ、ガラス基板の反りを防止する。したがって、本実施形態は、ガラス基板Ｇの反り量を低減することができる。
また、シートガラスＳＧの歪点においてシートガラスＳＧの温度分布が均一でない場合、ガラス基板Ｇにおいて残留歪が発生するが、本実施形態では、シートガラスＳＧの歪点においてシートガラスＳＧの温度分布が略均一になるので、ガラス基板Ｇにおける残留歪も低減することができる。さらに、第１の温度分布Ｐ１に基いてシートガラスＳＧの温度分布は制御されているので、ガラス基板における肉厚偏差も低減できる。
【００５８】
すなわち、本実施形態では、シートガラスの徐冷点位置と歪点位置との間の領域で行う第２冷却（徐冷）において、ガラス基板の反りおよび歪を低減するために、シートガラスＳＧの幅方向に沿って設けられたヒータユニット２７０を熱源として用いて、温度分布を制御しながら冷却する。このとき、熱源であるヒータユニット２７０の熱分布を均熱板２６０を用いて緩和させることにより段差のない滑らかな温度分布、例えば滑らかな一山形状の温度分布あるいは滑らかな均一な温度分布をシートガラスＳＧに与える。これにより、顧客の要求を満足するような反り量及び歪量を有するガラス基板Ｇを作製することができる。
【００５９】
また、熱源であるヒータユニット２７０の熱分布の緩和は、シートガラスＳＧとヒータユニット２７０との間に設けられた１つの均熱板２６０がヒータユニット２７０の熱分布を緩和させるので、ヒータユニット２７０の発する熱分布に段差があっても、シートガラスＳＧの幅全体に亘って、緩和した滑らかな温度分布（一山形状の温度分布、あるいは均一な温度分布）を与えることができる。このため、より一層、ガラス基板Ｇにおける反り量及び歪量を低減することができる。
【００６０】
本実施形態の均熱板２６０は、酸化処理により表面に酸化被膜が形成されたステンレス金属板であるので、均熱板２６０からシートガラスＳＧに放射する熱の放射率が高くなる。したがって、この均熱板２６０により、ヒータユニット２７０の発する熱分布を効果的に緩和させることができる。
【００６１】
また、本実施形態では、シートガラスＳＧの両側の面に少なくとも一対の温度調整装置を設け、一対の前記温度調整装置のそれぞれが、ヒータユニット２７０及び均熱板２６０を用いてシートガラスＳＧに熱を供給するので、シートガラスＳＧの温度分布をシートガラスＳＧの両側の面から制御できる。このため、ガラス基板Ｇにおける反り量及び歪量を低減することができる。
【００６２】
さらに、本実施形態では、ヒータユニット２７０は、ヒータユニット２７０の発熱量の分布によって熱を均熱板２６０に供給するので、シートガラスＳＧの温度をヒータ２７０ａ〜２７０ｅの発熱量によって容易に制御することができる。このとき、発熱量の分布は、シートガラスＳＧの幅方向の中心で最大となる一山形状の分布とされるので、ガラス基板Ｇにおける反り量を低減することができる好ましい温度分布である一山形状の温度分布をシートガラスＳＧに効率よく与えることができる。また、発熱量の分布は、均一な分布とされるので、ガラス基板Ｇにおける歪量を低減することができる好ましい温度分布である段差のない均一な温度分布をシートガラスＳＧに効率よく与えることができる。
【００６３】
ヒータユニット２７０がシートガラスＳＧに向けて供給する熱の熱分布が、ヒータ２７０ａ〜２７０ｅそれぞれのシートガラスＳＧの幅方向の端に対応した位置において、低下する分布を含み、その結果段差を含む分布であっても、均熱板２６０は、ヒータユニット２７０の発する熱の熱分布を緩和することによって滑らかな一山形状の温度分布あるいは均一な温度分布をシートガラスＳＧに与えることができる。
【００６４】
図７は、均熱板２６０がない場合のシートガラスＳＧの温度分布Ａと、上述した第３の温度分布Ｐ３に対応して形成されるシートガラスＳＧの温度分布Ｂとを比較する模式図である。図７に示すように、均熱板２６０がない場合、シートガラスＳＧの温度分布Ａは、ヒータ２７０ａ〜２７０ｅの発熱量によって段差が生じる。しかし、均熱板２６０をシートガラスＳＧとヒータ２７０ａ〜２７０ｅとの間に設けることにより、温度分布Ｂのように滑らかな一山形状になる。このため、シートガラスＳＧの温度分布の段差に起因してシートガラスＳＧ、ひいてはガラス基板Ｇが反ることを抑制することができる。また、図示されないが、均熱板２６０がない場合、ヒータ２７０ａ〜２７０ｅが隙間をあけて幅方向に配列されていることにより、シートガラスＳＧの温度分布が、上記隙間に対応して局部的に落ち込むような分布を持つ場合においても、均熱板２６０をシートガラスＳＧとヒータ２７０ａ〜２７０ｅとの間に設けることにより、温度分布Ｂのように滑らかな一山形状になる。このため、シートガラスＳＧの温度分布の段差に起因してシートガラスＳＧ、ひいてはガラス基板Ｇが反ることを抑制することができる。
【００６５】
図８は、均熱板２６０の有無により、シートガラスＳＧの表面の計測温度がどのように変化するかを示した実測図である。計測温度は、均熱板の直下において赤外線放射温度計を用いて計測したものである。ヒータユニット２７０は、幅方向に７個ヒータを設け、中央部のヒータ１は幅方向に最も長く、かつ、シートガラスＳＧの総幅に応じて変更し、その両側に位置する６個のヒータ（図８では、ヒータ２〜４のみを記す）を設けた。ヒータ２〜４のうちヒータ３，４は、シートガラスＳＧの総幅に関わらず一定の長さに、中央部ヒーターに隣接するヒーター２はヒータ３、４より１．５倍程度長い寸法とすることで、シートガラスＳＧの中央付近では非常になだらかな、端部近傍では端部に向かうにつれ徐々に温度勾配が大きくなるようなプロファイルを実現している。
図８では、シートガラスＳＧの中心から一方の側の温度分布を示している。均熱板２６０がないことにより、ヒータの熱が直接伝達されるために、シートガラスＳＧの温度は均熱板がある場合に比べて高いが、領域Ｘで局所的に温度が落ち込んで低下している。この温度の低下は、約１．５度である。このような温度が低下する領域Ｘは、ヒータ１とヒータ２との間、ヒータ２とヒータ３との間、及びヒータ３とヒータ４との間の隙間に該当し、この領域に十分な熱が付与されなかったことによるものと考えられる。これに対して、均熱板２６０がある場合、領域Ｘのような局所的な温度の低下が見られず、シートガラスＳＧの温度分布は、一山形状の温度分布となっていることわかる。図８では、均熱板２６０が存在する場合、存在しない場合に比べガラス温度が数℃から十数℃低下している。なお、低下の程度は均熱板２６０の放射率に依存し、放射率が１．０に近づくほど低下の程度は小さくなる。したがって、均熱板２６０の放射率を高く保つことはヒータ１〜４とシートガラスＳＧとの間の熱交換効率を高める上で重要である。
【００６６】
［実施例］
本実施形態の効果を調べるために、ガラス基板の製造方法を用いて、ガラス基板を製造した。なお、ガラス原料は、以下の組成となるように調合した。
ＳｉＯ2  ６１％，
Ａｌ2Ｏ3  １７％，
Ｂ2Ｏ3  １１％，
ＣａＯ  ６％，
ＳｒＯ  ３％，
ＢａＯ  １％
【００６７】
作製したガラス基板のそれぞれについて、各１週間に渡って３時間毎に１枚（８枚／日）ずつサンプリングし、各５６枚のサンプルにつき平面度と歪みを測定し、それぞれの平均値を算出した。
その結果、本実施形態の均熱板２６０を有するガラス基板の成形装置によりつくられたガラス基板の平面度は、均熱板２６０を有さない従来のガラス基板の成形装置によりつくられたガラス基板の平面度より５％低減した。本実施形態の均熱板２６０を有するガラス基板の成形装置により製造されたガラス基板の歪量は、従来のガラス基板の成形装置により製造されたガラス基板の歪量より５％低減した。
なお、平面度については、レーザ変位計を用いて測定した。また、歪は、ユニオプト製の複屈折率測定器ＡＢＲ−１０Ａを使用して、予め定められた複数の測定位置について複屈折量を測定し、測定した複屈折量のうち最大値を歪量として採用した。
これより、本実施形態のガラス基板の製造方法の効果は明確である。
【００６８】
本実施形態の冷却工程では、ヒータユニット２７０及び均熱板２６０を備える少なくとも一対の温度調整装置がシートガラスＳＧの両側の面に設けられて冷却が行われるが、温度調整装置が、シートガラスＳＧの片側の面のみに設けられた構成で冷却を行ってもよい。しかし、ガラス基板における反り及び歪みをより低減するためには、シートガラスＳＧの両側の面に上記温度調整装置が設けられることが好ましい。
本実施形態では、熱源としてヒータを複数備えるヒータユニットを用いたが、熱源は、熱を放射する発熱源であるヒータに限られず、熱風をシートガラスＳＧに向けて提供する高温エアー吹き付け装置をシートガラスＳＧの幅方向に複数設けたものであってもよい。
【００６９】
以上、本発明のガラス基板の製造方法及び成形装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【００７０】
１００  熔解装置
１０１  熔解槽
１０２  清澄槽
１０３  攪拌槽
１０４  第１配管
１０５  第２配管
１０６  第３配管
２００  成形装置
２０１  成形炉
２０２  徐冷炉
２０２ａ，２０２ｂ  天板
２１０  成形体
２１２  溝
２１３  下方端部
２２０  雰囲気仕切り部材
２３０  冷却ローラ
２４０  冷却ユニット
２４２  中央部冷却ユニット
２４２  冷却量調整ユニット
２４４  端部冷却ユニット
２５０ａ〜２５０ｃ  搬送ローラ
２６０  均熱板
２７０  ヒータユニット
２７０ａ〜２７０ｅ  ヒータ
３００  切断装置
【図１】
2013105667.tif 000003
【図２】
2013105667.tif 000004
【図３】
2013105667.tif 000005
【図４】
2013105667.tif 000006
【図５】
2013105667.tif 000007
【図６】
2013105667.tif 000008
【図７】
2013105667.tif 000009
【図８】
2013105667.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成26年10月2日(2014.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
ガラス基板の製造方法であって、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせて連続したシートガラスを成形し、前記シートガラスの流れをつくる成形工程と、
前記ガラス基板の反りおよび歪を低減するために、前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させながら、前記熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて冷却する徐冷処理を含む冷却工程と、を含み、
前記徐冷処理は、前記シートガラスの幅方向の両端部と冷却ローラが接触して前記両端部を冷却した後の前記シートガラスの流れ方向の領域であって、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で行われる、ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
ガラス基板の製造方法であって、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスを成形する成形工程と、
前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた一対の熱源が、前記シートガラスの両面に、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えることにより、前記シートガラスを冷却する徐冷処理を含む冷却工程と、を含み、
前記徐冷処理は、前記シートガラスの幅方向の両端部と冷却ローラが接触して前記両端部を冷却した後の前記シートガラスの流れ方向の領域内で行なわれ、
前記徐冷処理では、前記一対の熱源と前記シートガラスとの間に配置された一対の板材の間に前記シートガラスを通して徐冷する、ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
ガラス基板の成形装置であって、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスを成形する成形炉と、
前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた一対の熱源が、前記シートガラスの両面に、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えることにより、前記シートガラスを冷却する徐冷処理を行う冷却炉と、を有し、
前記冷却炉には、前記シートガラスの幅方向の両端部と接触して前記両端部を冷却させる冷却ローラが設けられ、
前記徐冷処理は、前記シートガラスの幅方向の両端部と冷却ローラが接触して前記両端部を冷却した後の前記シートガラスの流れ方向の領域内で行なわれ、
前記徐冷処理では、前記一対の熱源と前記シートガラスとの間に配置された一対の板材の間に前記シートガラスを通して徐冷する、ことを特徴とするガラス基板の成形装置。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１４】
ガラス基板の成形装置であって、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせて連続したシートガラスを成形し、前記シートガラスの流れをつくる成形炉と、
前記ガラス基板の反りおよび歪を低減するために、前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させながら、前記熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて冷却する徐冷処理を行う冷却炉と、を有し、
前記冷却炉には、前記シートガラスの幅方向の両端部と接触して前記両端部を冷却させる冷却ローラが設けられ、
前記冷却炉は、前記徐冷処理を、前記シートガラスの幅方向の両端部と前記冷却ローラが接触して前記両端部を冷却した後の前記シートガラスの流れ方向の領域であって、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で行う、ことを特徴とするガラス基板の成形装置。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の一態様は、ガラス基板の製造方法である。当該製造方法は、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせて連続したシートガラスを成形し、前記シートガラスの流れをつくる成形工程と、
前記ガラス基板の反りおよび歪を低減するために、前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させながら、前記熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて冷却する徐冷処理を含む冷却工程と、を含む。
前記徐冷処理は、前記シートガラスの幅方向の両端部と冷却ローラが接触して前記両端部を冷却した後の前記シートガラスの流れ方向の領域であって、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で行われる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明の他の態様も、ガラス基板の製造方法であり、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスを成形する成形工程と、
前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた一対の熱源が、前記シートガラスの両面に、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えることにより、前記シートガラスを冷却する徐冷処理を含む冷却工程と、を含む。
前記徐冷処理は、前記シートガラスの幅方向の両端部と冷却ローラが接触して前記両端部を冷却した後の前記シートガラスの流れ方向の領域内で行なわれ、
前記徐冷処理では、前記一対の熱源と前記シートガラスとの間に配置された一対の板材の間に前記シートガラスを通して徐冷する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の他の一態様は、ガラス基板の成形装置である。当該成形装置は、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせて連続したシートガラスを成形し、前記シートガラスの流れをつくる成形炉と、
前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた一対の熱源が、前記シートガラスの両面に、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えることにより、前記シートガラスを冷却する徐冷処理を行う冷却炉と、を有する。
前記冷却炉には、前記シートガラスの幅方向の両端部と接触して前記両端部を冷却させる冷却ローラが設けられ、
前記徐冷処理は、前記シートガラスの幅方向の両端部と冷却ローラが接触して前記両端部を冷却した後の前記シートガラスの流れ方向の領域内で行なわれ、
前記徐冷処理では、前記一対の熱源と前記シートガラスとの間に配置された一対の板材の間に前記シートガラスを通して徐冷する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の一態様は、ガラス基板の成形装置である。当該成形装置は、
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせて連続したシートガラスを成形し、前記シートガラスの流れをつくる成形炉と、
前記ガラス基板の反りおよび歪を低減するために、前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源の供給する熱分布を緩和させながら、前記熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて冷却する徐冷処理を行う冷却炉と、を有する。
前記冷却炉には、前記シートガラスの幅方向の両端部と接触して前記両端部を冷却させる冷却ローラが設けられ、
前記冷却炉は、前記徐冷処理を、前記シートガラスの幅方向の両端部と前記冷却ローラが接触して前記両端部を冷却した後の前記シートガラスの流れ方向の領域であって、前記シートガラスの徐冷点に対応する前記シートガラスの流れ方向の徐冷点位置と前記シートガラスの歪点に対応する前記シートガラスの流れ方向の歪点位置との間にある、前記シートガラスの流れ方向の領域内で行う。
【国際調査報告】
2013105667.tif 000011
2013105667.tif 000012
2013105667.tif 000013
2013105667.tif 000014