(57)【要約】圧力計を標準器として用い、校正圧力点の順序や圧力保持時間の影響を受けず使い勝手のよい圧力計の校正装置を提供する。  各校正圧力点でのデータ取得後に必ず所定の圧力状態に戻し次の校正圧力点まで圧力調整することを繰り返す校正手順で事前に校正済みの標準器となる圧力計と、圧力発生・制御装置と、遮断弁と、計測制御部を備えた圧力計校正装置であって、被校正器と標準器となる圧力計とを異なる手順で圧力調整することを可能にし、各校正圧力点では標準器となる圧力計と被校正器とを導通させて測定を行い、測定後に標準器となる圧力計と被校正器との導通を遮断して、標準器となる圧力計を所定の圧力状態に戻す機能を持たせたことを特徴とする。
2013042607.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
途中に遮断弁を配置された圧力配管と、圧力発生・制御装置と、計測制御部とを備え、標準器となる圧力計により被校正器である圧力計を校正する圧力計校正装置において、
前記計測制御部は、
前記標準器となる圧力計と被校正器との導通を遮断して別々の手順で加圧を行い、校正圧力点で前記標準器となる圧力計と被校正器とを導通させて校正データを取得することを繰り返して校正を行うように、前記遮断弁と前記圧力発生・制御装置を制御することを特徴とする圧力計校正装置。
【請求項２】
請求項１記載の圧力計校正装置において、前記計測制御部は、前記校正圧力点での校正データ取得後に、前記標準器となる圧力計を所定の圧力状態に戻すように、前記遮断弁と前記圧力発生・制御装置を制御することを特徴とする圧力計校正装置。
【請求項３】
請求項２記載の圧力計校正装置において、前記計測制御部は、前記校正圧力点での校正データ取得後に、前記標準器となる圧力計を圧力ゼロの状態に戻すように、前記遮断弁と前記圧力発生・制御装置を制御することを特徴とする圧力計校正装置。
【請求項４】
請求項２記載の圧力計校正装置において、前記標準器となる圧力計の事前の校正が、上位の標準器により、校正圧力点での測定後に所定の圧力状態に戻すことを繰り返す校正手順で行われることを特徴とする圧力計校正装置。
【請求項５】
請求項２記載の圧力計校正装置において、校正圧力点の順序を、階段型の順序、ランダムな順序を含む任意の順序に設定することを特徴とする圧力計校正装置。
【請求項６】
請求項１記載の圧力計校正装置において、前記計測制御部は、外部接続インターフェイスを有し、被校正器の校正を自動で行えるように、予め校正に必要なパラメータを設定可能な専用プログラムが搭載されていることを特徴とする圧力計校正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力計の校正装置に関するものであり、特に、産業現場で使用する圧力計の試験、管理に好適な校正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧力計の校正装置としては、重錘形圧力天びんを標準器とするものが知られており、重錘形圧力天びんにより被校正器に与えられた圧力と、被校正器の表示値とを比較する（図１参照）。重錘形圧力天びんは長期安定性に優れ、その発生圧力は校正手順にほとんど影響されないため、任意の校正手順で圧力計の校正を行うことができる。被校正器である圧力計のヒステリシス特性、経時変化特性なども評価できる。
重錘形圧力天びんを用いず、校正済みの圧力計を標準器として用いる校正も従来公知である（図２参照）。標準器となる圧力計と被校正器は校正中、常に同じ圧力を印加されている。各校正圧力点において２つの出力を比較することにより、被校正器を校正する。この方法は自動化が比較的容易で、校正を効率的に行うことができる。【０００３】
標準器となる圧力計は、事前に上位の標準器で校正されているが、その校正値は校正手順により影響を受ける。図３は、一般的な階段型の校正手順の場合に、履歴効果により昇圧過程と降圧過程で校正値が違うことを説明した図である。図３（ａ）は、一般的な階段型の校正手順において、圧力計が受ける圧力の時間変化を表す。各校正圧力点では、圧力調整後一定の待ち時間を経て、測定が行われる。測定のタイミングを図中の黒丸で示した。図３（ｂ）には、この階段型の校正手順で得られた校正結果を示す。横軸は圧力であり、縦軸の測定結果は、圧力計出力の標準値からの相対偏差を表した。昇圧過程と降圧過程の測定結果に大きな差（ヒステリシス差と呼ぶ）が見られる。
図４は、階段型の校正手順で校正の最大圧力を変更した場合に、降圧過程の結果が影響を受けることを説明した図である。図４（ａ）は、圧力計が受ける圧力の時間変化を表す。測定の時間間隔などを変えずに最大圧力を３種類変化させた。図４（ｂ）には、この３種類の校正手順で得られた結果を比較した。横軸は圧力であり、縦軸は圧力計出力の標準値からの相対偏差である。降圧過程での測定結果が、校正の最大圧力により大きく影響を受け、最大圧力が低くなるほどヒステリシス差が小さくなっている。【０００４】
このような、校正手順の影響を受けにくいものとして、本発明者等は、図５に示すように各校正圧力点でのデータ取得後に必ず圧力ゼロの状態（例えば、ゲージ圧力の場合は大気圧解放状態、あるいは標準大気圧の状態でもよい）に戻す手順（０−Ａ−０型の校正手順と呼ぶ）を用いるとヒステリシス差が減少し、図６に示すように校正の最大圧力を変更しても影響が少ないことを、非特許文献１に先に提案している。
図５（ａ）は、０−Ａ−０型の校正手順において圧力計が受ける圧力の時間変化を表す。図５（ｂ）は、０−Ａ−０型の校正手順で得られた校正結果を示す。横軸は圧力であり、縦軸は圧力計出力の標準値からの相対偏差である。階段型の校正と比較して、昇圧過程と降圧過程との差が非常に小さくなっている（図３（ｂ）参照）。図６（ａ）は、圧力計に印加される圧力の時間変化を表す。測定の時間間隔などを変えずに最大圧力を３種類変化させた。図６（ｂ）には、この３種類の校正手順で得られた結果を比較した。０−Ａ−０型の校正手順を用いると、最大圧力が校正結果に与える影響も非常に小さく抑えられる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】Hiroaki Kajikawa and Tokihiko Kobata“Effects of pressurization procedures on calibration results for precise pressure transducers”,Meas.Sci.Technol.Vol.21,No.6(2010年)pp.065104
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記図１で示したような、重錘形圧力天びんを標準器とする校正では、重錘形圧力天びんの操作が複雑であるため、熟練した技術が必要となる。重錘形圧力天びんの操作を自動で行う装置は存在するが非常に高価であり、また、維持・管理にも手間がかかる。
上記図２で示したような、圧力計を標準器とする校正では、被校正器に比べて精度の良い圧力計を標準器として使用するか、又は標準器となる圧力計が校正された時と同じ校正手順で校正する必要があり、校正手順が制限されてしまう。
上記図３、図４に示した一般的な階段型の校正手順では、履歴効果により校正結果にヒステリシス差が見られ、校正の最大圧力などの測定条件に影響を受ける。そのため、階段型で校正された圧力計を標準器として使用する場合は、上位の標準器で校正された時と同じ校正手順を用いるか、又は手順の違いによる影響を考慮しなければならない。
上記図５、図６で示した各校正圧力点でのデータ取得後必ず圧力ゼロの状態に戻す手順を用いると、ヒステリシス差が減少し校正の最大圧力が校正結果に与える影響も小さいが、被校正器にとっては、一般的な階段型の校正で得られるヒステリシス差についての情報が得られない。
本発明は、軽量で管理も容易な圧力計を標準器として用い、標準器と同程度の性能を持つ被校正器に対しても一般的な階段型の校正手順を含む様々な校正手順で高精度に校正を行う校正装置の実現を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の圧力計校正装置は、途中に遮断弁を配置された圧力配管と、圧力発生・制御装置と、計測制御部とを備え、標準器となる圧力計により被校正器である圧力計を校正する圧力計校正装置において、前記計測制御部は、前記標準器となる圧力計と被校正器との導通を遮断して別々の手順で加圧を行い、校正圧力点で前記標準器となる圧力計と被校正器とを導通させて校正データを取得することを繰り返して校正を行うように、前記遮断弁と前記圧力発生・制御装置を制御することを特徴とする。
また本発明は、上記圧力計校正装置において、前記計測制御部は、前記校正圧力点での校正データ取得後に、前記標準器となる圧力計を所定の圧力状態に戻すように、前記遮断弁と前記圧力発生・制御装置を制御することを特徴とする。
また、本発明は、上記圧力計校正装置において、前記計測制御部は、前記校正圧力点での校正データ取得後に、前記標準器となる圧力計を圧力ゼロの状態に戻すように、前記遮断弁と前記圧力発生・制御装置を制御することを特徴とする。
また、本発明は、上記圧力計校正装置において、前記標準器となる圧力計の事前の校正が、上位の標準器により、校正圧力点での測定後に所定の圧力状態に戻すことを繰り返す校正手順で行われることを特徴とする。
また、本発明は、上記圧力計校正装置において、校正圧力点の順序を、階段型の順序、ランダムな順序を含む任意の順序に設定することを特徴とする。
また、本発明は、上記圧力計校正装置において、前記計測制御部は、外部接続インターフェイスを有し、被校正器の校正を自動で行えるように、予め校正に必要なパラメータを設定可能な専用プログラムが搭載されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の圧力計の校正装置によれば、以下のような効果がある。
（１）管理に手間のかかる重錘形圧力天びんを標準器として用いなくても、依頼者の要求に合わせた校正手順で、圧力計の校正を高精度に実現できる。また、被校正器の時間変化特性やヒステリシス特性なども高精度に評価できる。
（２）被校正器が現場で実際に使用されるときの校正手順と同じ手順で校正を行うことにより、現場の圧力計測の信頼性が向上する。
（３）圧力計の校正装置は、事前に校正に必要なパラメータを設定可能な専用プログラムにより、無人の環境において全自動で校正を実施できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、従来の重錘形圧力天びんを標準器に用いた圧力計の校正装置。
【図２】図２は、従来の圧力計を標準器に用いた圧力計の校正装置。
【図３】図３は、従来の階段型の校正手順とその校正結果を説明する図。
【図４】図４は、従来の階段型の校正手順における校正の最大圧力を変更した場合の影響を説明する図。
【図５】図５は、既に非特許文献１で本発明者等が先に提案した０−Ａ−０型の校正手順を説明する図。
【図６】図６は、既に非特許文献１で本発明者等が先に提案した０−Ａ−０型の校正手順における最大圧力を変更した場合の影響を説明する図。
【図７】図７は、本発明の階段型の校正手順を説明するための概念図であって、（ａ）は、被校正器が階段型で、標準器となる圧力計が０−Ａ−０型で圧力調整される本発明の校正手順を示し、（ｂ）は、双方同じ階段型で圧力調整される従来技術の校正手順を示す。
【図８】図８は、本発明の標準器となる圧力計を事前校正する際の校正手順例を示した図。
【図９】図９は、本発明の校正手順の適用例を示した図であって、（ａ）は、校正圧力点をランダムな順序で変える校正手順を示し、（ｂ）は、一つの校正圧力点で長時間圧力を印加し続ける校正手順を示す。
【図１０】図１０は、本発明の校正装置の第一の実施例（実施例１）を示した図。
【図１１】図１１は、第一の実施例における校正手順、並びに遮断弁及び解放弁の操作を説明した図。
【図１２】図１２は、第一の実施例の校正装置を用いた校正結果と、重錘形圧力天びんを用いた校正結果とを比較した図。
【図１３】図１３は、本発明の校正装置の第二の実施例（実施例２）を示した図。
【図１４】図１４は、第二の実施例における校正手順、並びに遮断弁１、遮断弁２、及び解放弁の操作を説明した図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の校正装置での校正手順を、図７、図８および図９を参照しながら説明する。
図７は、被校正器の校正を階段型の校正手順で行う際の標準器となる圧力計と被校正器が受ける圧力の時間変化を示す。被校正器の受ける圧力を実線で、標準器となる圧力計の受ける圧力を点線で示した。測定データの取得を行う時間と圧力を被校正器は黒丸、標準器となる圧力計は白丸で示した。
図７は、本発明を用いて被校正器に対し階段型の校正を行う場合の手順である。図７（ａ）は、本発明を用いた場合であり、被校正器は階段型で圧力調整されるのに対し、標準器となる圧力計は０−Ａ−０型で圧力調整される。各校正圧力点でのデータ取得時には、標準器となる圧力計と被校正器に同じ圧力が印加される。図７（ｂ）は、従来技術（図２参照）を用いた場合であり、校正中、常に標準器となる圧力計と被校正器に同じ圧力が印加される。
本発明を用いて校正を行う場合、標準器となる圧力計は事前に０−Ａ−０型の手順で校正を受ける。図８は、標準器となる圧力計を事前に校正する際の手順例を示した。各校正圧力点及び圧力ゼロの状態（例えば、ゲージ圧力の場合は大気圧解放状態、あるいは標準大気圧の状態でもよい）での出力を測定し、校正値を導出する。図８は校正圧力点が順に増加する場合を示しているが、校正圧力点の間に必ず圧力ゼロの状態で測定を行うのであれば、校正圧力点の順序は変更することができる。
上記図５、図６に示したように、０−Ａ−０型の校正手順では、圧力履歴の影響が小さく抑えられ、その結果、出力のヒステリシス差が小さくなり、最大圧力などの校正条件にも影響を受けにくい。そのため、本発明では、校正圧力点の順序が変化しても標準器となる圧力計の出力は安定となり、高精度な校正が可能となる。
【００１１】
この校正装置を用いると、校正圧力点の順序を階段型だけでなく任意に設定することができる。また、各校正圧力点及び圧力ゼロの状態での圧力保持時間も変えることができる。
図９は本発明の校正手順の適用例を示す。図９（ａ）は、被校正器の校正圧力点をランダムに変化させる場合、図９（ｂ）は、被校正器に一定圧力をかけ続けて、被校正器の経時変化を測定する場合である。各校正圧力点では同じ圧力を印加された標準器となる圧力計と被校正器の出力を比較する。標準器となる圧力計は０−Ａ−０型の手順で圧力調整されているため、その出力は校正圧力点の順序などの影響を受けにくく、図７（ａ）で示した階段型の場合と同じように高精度な校正が可能となる。
なお、上記説明では、圧力ゼロの状態（例えば、ゲージ圧力の場合は大気圧解放状態、あるいは標準大気圧の状態でもよい）に戻すことで説明したが、圧力ゼロの状態以外であっても、例えば、圧力ゼロの近傍の圧力状態、あるいは最大加圧力の近傍の圧力状態などの所定の圧力状態に戻すことを採用してもよい。
【実施例】
【００１２】
（実施例１）
図１０は、本発明の校正装置の第一の実施例を示した図であり、図１１は、図１０の校正装置での校正手順と遮断弁の操作を説明した図である。第一の実施例では、標準器となる圧力計と被校正器を結ぶ圧力配管の途中に遮断弁を配置し、遮断弁を挟んで標準器となる圧力計側と被校正器側にそれぞれ、圧力発生・制御装置を接続する。標準器となる圧力計側には解放弁が接続されており、圧力ゼロの状態にするための圧力解放口につながる。
図１０に記載された標準器となる圧力計、遮断弁、解放弁及び圧力発生・制御装置は計測制御部により制御可能であり、必要なパラメータを入力しておくことで全ての操作を自動で行うことが出来る。なお、標準器となる圧力計は、校正装置に内蔵されていても、校正装置の外部にあって校正装置と配管接続されていてもよい。
図１１では、図７（ａ）で示した校正手順を実施例１の装置を用いて実現するための、標準器となる圧力計及び被校正器の校正手順、並びに遮断弁及び解放弁の操作について説明する。
校正圧力点ｐｉ-1でのデータ取得が終了した時刻Ｔ1で、遮断弁を閉めることにより標準器となる圧力計と被校正器の導通を切り離す。圧力発生・制御装置１を用いて標準器となる圧力計の圧力をゼロに下げ、圧力発生・制御装置２を用いて被校正器を次の校正圧力点ｐiまで圧力調整する。
被校正器が圧力ｐiに達した後は、データを取得するまで圧力を一定に保持しておく。
標準器となる圧力計は、解放弁を開いて圧力ゼロの状態にし（時刻Ｔ2）、待ち時間の後、圧力ゼロでの出力を測定する（時刻Ｔ3）。
測定後に解放弁を閉め、圧力発生・制御装置１を用いて標準器となる圧力計を次の校正圧力点ｐiまで圧力調整する。ｐiに達したら遮断弁を開けて、標準器となる圧力計と被校正器を導通させる（時刻Ｔ4）。待ち時間の後、標準器となる圧力計と被校正器のｐiでの出力を測定する。
次の校正圧力点まで圧力調整する際も、同じ手順を繰り返す（図１１での時刻Ｔ5の状態は、次の校正圧力点まで圧力調整する場合についての、時刻Ｔ1の状態に相当する）。【００１３】
図１０に示した校正装置と図１１に示した操作手順を用いた校正結果と、重錘形圧力天びんによる校正結果を比較したものを、図１２に示す。
図１に示した重錘形圧力天びんを標準器とする校正装置で階段型の校正手順で校正した結果を黒丸と実線で、発明品により行った校正結果を白丸と点線で示す。最大圧力を３種類変化させた場合の校正結果を図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す。標準器となる圧力計は、事前に、最大圧力１００ＭＰａの０−Ａ−０型の校正手順で校正されており、３つの場合全てで同じ校正値を用いた。どの場合においても、発明品を用いた校正結果は、重錘形圧力天びんを標準器に用いた校正結果と良く一致している。
これにより、発明品によって、被校正器を階段型で校正したときの校正最大圧力による影響を、重錘形圧力天びんを用いた場合と同じように評価できることが示された。【００１４】
本実施例１の態様を要約すると次のようになる。
各校正圧力点でのデータ取得後に必ず圧力ゼロの状態に戻し次の校正圧力点まで圧力調整することを繰り返す校正手順で事前に校正済みの標準器となる圧力計と、途中に遮断弁を配置された圧力配管と、計測制御部とを備え、前記圧力配管の一端は被校正器である圧力計に接続され、他端は解放弁を介して圧力解放口につながり、前記圧力配管の前記遮断弁と前記解放弁の途中に前記標準器となる圧力計と圧力発生・制御装置１とが接続されるとともに、前記圧力配管の前記遮断弁と前記被校正器の途中に圧力発生・制御装置２が接続された圧力計校正装置において、前記計測制御部は、前記遮断弁を開け、かつ、前記解放弁を閉め、前記標準器となる圧力計と被校正器を導通させた状態で、校正圧力点でのデータを取得し、データ取得後、前記遮断弁を閉め、前記圧力発生・制御装置１により前記標準器となる圧力計の圧力をゼロに下げ、解放弁を開けるとともに、前記圧力発生・制御装置２により被校正器を概ね次の校正圧力点まで圧力調整しておき、次に解放弁を閉め、前記圧力発生・制御装置１により前記標準器となる圧力計を次の校正圧力点まで圧力調整し、次の校正圧力点に達したら前記遮断弁を開け前記標準器となる圧力計と被校正器を導通させ、当該次の校正圧力点でのデータを取得することを繰り返し行うように制御することを特徴とする圧力計校正装置。【００１５】
（実施例２）
図１３は、本発明の校正装置の第二の実施例を示した図であり、図１４は、図１３の校正装置での校正手順と遮断弁の操作を説明した図である。第二の実施例では、標準器となる圧力計と被校正器を結ぶ圧力配管の途中に遮断弁を２台接続し、２台の遮断弁の間に１台の圧力発生・制御装置を連通配管する。標準器となる圧力計側には解放弁が接続されており、圧力ゼロの状態にするための圧力解放口につながる。なお、標準器となる圧力計は、校正装置に内蔵されていても、校正装置の外部にあって校正装置と配管接続されていてもよい。
図１３に記載された標準器となる圧力計、遮断弁及び圧力発生・制御装置は計測制御部により制御やデータ取得が可能であり、必要なパラメータを入力しておくことで全ての操作を自動で行うことが出来る。
図１４では、図７（ａ）で示した校正手順を実施例２の装置を用いて実現するための、標準器となる圧力計及び被校正器の校正手順、並びに遮断弁１、遮断弁２、及び解放弁の操作について説明する。
校正圧力点ｐi-1でのデータ測定が終了した時刻をＴ1とする。データ取得時には遮断弁１及び遮断弁２は開いた状態であるが、時刻Ｔ1で遮断弁２を閉め、圧力発生・制御装置を用いて標準器となる圧力計の圧力をゼロまで下げる。
解放弁を開き、標準器となる圧力計を圧力ゼロの状態にし、その後遮断弁１を閉じて、標準器となる圧力計と圧力発生・制御装置の導通を切り離す（時刻Ｔ2）。待ち時間の後、標準器となる圧力計の圧力ゼロでの出力を測定する。
その間、圧力発生・制御装置で圧力ｐi-1まで圧力調整し、被校正器の圧力ｐi-1に等しくなった時点で遮断弁２を開く（時刻Ｔ3）。その後、次の校正圧力点ｐiまで被校正器を圧力調整し、その圧力で一定に保つ。
標準器となる圧力計の圧力ゼロでの測定が終了する時刻に合うように、時刻Ｔ4で遮断弁２を再び閉じ、被校正器の圧力をｐiに維持したままで圧力発生・制御装置の圧力をゼロに下げる。
標準器となる圧力計の圧力ゼロの状態での測定が終わった後、解放弁を閉じる（時刻Ｔ5）。遮断弁１を開いて圧力発生・制御装置と標準器となる圧力計を導通させ、次の測定圧力ｐiまで圧力調整する。圧力ｐiに達したところで、遮断弁２を開き、標準器となる圧力計、圧力発生・制御装置及び校正器を導通させる（時刻Ｔ6）。待ち時間の後、標準器となる圧力計と被校正器の圧力ｐiでの出力を測定する。
次の校正圧力点まで圧力調整する際も、同じ手順を繰り返す（図１４での時刻Ｔ7の状態は、次の校正圧力点まで圧力調整する場合についての、時刻Ｔ1の状態に相当する）。【００１６】
本実施例２の態様を要約すると次のようになる。
各校正圧力点でのデータ取得後に必ず圧力ゼロの状態に戻し次の校正圧力点まで圧力調整することを繰り返す校正手順で事前に校正済みの標準器となる圧力計と、途中に遮断弁１及び遮断弁２を配置された圧力配管と、計測制御部とを備え、前記圧力配管の一端は被校正器である圧力計に接続され、他端は解放弁を介して圧力解放口につながり、前記遮断弁１は前記遮断弁２より前記解放弁側に配置され、前記圧力配管の前記遮断弁１と前記解放弁の途中に前記標準器となる圧力計が接続されるとともに、前記圧力配管の前記遮断弁１と前記遮断弁２の途中に圧力発生・制御装置が接続された圧力計校正装置において、前記計測制御部は、前記遮断弁１及び遮断弁２を開け、かつ、前記解放弁を閉め、前記標準器となる圧力計と被校正器を導通させた状態で、校正圧力点でのデータを取得し、データ取得後、前記遮断弁２を閉め、前記圧力発生・制御装置により前記標準器となる圧力計の圧力をゼロに下げ、解放弁を開け、その後遮断弁１を閉め、前記標準器となる圧力計と圧力発生・制御装置との導通を切り離す、次に、前記圧力発生・制御装置により圧力調整を行い直前の校正圧力点に到達したら前記遮断弁２を開け、さらに概ね次の校正圧力点まで圧力調整する、次に、前記遮断弁２を閉めた後、前記圧力発生・制御装置の圧力をゼロに下げ、次に、前記解放弁を閉め、前記遮断弁１を開けて前記圧力発生・制御装置と前記標準器となる圧力計とを導通させた状態で、次の校正圧力点まで圧力調整し、次の校正圧力点に達したら前記遮断弁２を開け、前記標準器となる圧力計と被校正器を導通させ、当該次の校正圧力点でのデータを取得することを繰り返し行うように制御することを特徴とする圧力計校正装置。
【産業上の利用可能性】
【００１７】
上記実施例では、所定の圧力状態として、圧力ゼロの状態（ゲージ圧力の場合は大気圧解放状態、あるいは標準大気圧の状態でもよい）に戻すことで説明したが、圧力ゼロの状態以外であっても、例えば、圧力ゼロの近傍の圧力状態、あるいは最大加圧力の近傍の圧力状態に戻すことを採用してもよい。
【図１】
2013042607.tif 000003
【図２】
2013042607.tif 000004
【図３】
2013042607.tif 000005
【図４】
2013042607.tif 000006
【図５】
2013042607.tif 000007
【図６】
2013042607.tif 000008
【図７】
2013042607.tif 000009
【図８】
2013042607.tif 000010
【図９】
2013042607.tif 000011
【図１０】
2013042607.tif 000012
【図１１】
2013042607.tif 000013
【図１２】
2013042607.tif 000014
【図１３】
2013042607.tif 000015
【図１４】
2013042607.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成26年3月5日(2014.3.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
（実施例２）
図１３は、本発明の校正装置の第二の実施例を示した図であり、図１４は、図１３の校正装置での校正手順と遮断弁の操作を説明した図である。第二の実施例では、標準器となる圧力計と被校正器を結ぶ圧力配管の途中に遮断弁を２台接続し、２台の遮断弁の間に１台の圧力発生・制御装置を連通配管する。標準器となる圧力計側には解放弁が接続されており、圧力ゼロの状態にするための圧力解放口につながる。なお、標準器となる圧力計は、校正装置に内蔵されていても、校正装置の外部にあって校正装置と配管接続されていてもよい。
図１３に記載された標準器となる圧力計、遮断弁及び圧力発生・制御装置は計測制御部により制御やデータ取得が可能であり、必要なパラメータを入力しておくことで全ての操作を自動で行うことが出来る。
図１４では、図７（ａ）で示した校正手順を実施例２の装置を用いて実現するための、標準器となる圧力計及び被校正器の校正手順、並びに遮断弁１、遮断弁２、及び解放弁の操作について説明する。
校正圧力点ｐi-1でのデータ測定が終了した時刻をＴ1とする。データ取得時には遮断弁１及び遮断弁２は開いた状態であるが、時刻Ｔ1で遮断弁２を閉め、圧力発生・制御装置を用いて標準器となる圧力計の圧力をゼロまで下げる。
解放弁を開き、標準器となる圧力計を圧力ゼロの状態にし、その後遮断弁１を閉じて、標準器となる圧力計と圧力発生・制御装置の導通を切り離す（時刻Ｔ2）。待ち時間の後、標準器となる圧力計の圧力ゼロでの出力を測定する。
その間、圧力発生・制御装置で圧力ｐi-1まで圧力調整し、被校正器の圧力ｐi-1に等しくなった時点で遮断弁２を開く（時刻Ｔ3）。その後、次の校正圧力点ｐiまで被校正器を圧力調整し、その圧力で一定に保つ。
標準器となる圧力計の圧力ゼロでの測定が終了する時刻に合うように、時刻Ｔ4で遮断弁２を再び閉じ、被校正器の圧力をｐiに維持したままで圧力発生・制御装置の圧力をゼロに下げる。
標準器となる圧力計の圧力ゼロの状態での測定が終わった後、解放弁を閉じる（時刻Ｔ5）。遮断弁１を開いて圧力発生・制御装置と標準器となる圧力計を導通させ、次の測定圧力ｐiまで圧力調整する。圧力ｐiに達したところで、遮断弁２を開き、標準器となる圧力計、圧力発生・制御装置及び被校正器を導通させる（時刻Ｔ6）。待ち時間の後、標準器となる圧力計と被校正器の圧力ｐiでの出力を測定する。
次の校正圧力点まで圧力調整する際も、同じ手順を繰り返す（図１４での時刻Ｔ7の状態は、次の校正圧力点まで圧力調整する場合についての、時刻Ｔ1の状態に相当する）。
【国際調査報告】
2013042607.tif 000017
2013042607.tif 000018
2013042607.tif 000019
2013042607.tif 000020