(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを含むガイドレールと、
前記ガイドレールに沿って移動可能な移動部材とを備え、
前記移動部材は、
前記第１面と対向して配置され、ガスを噴出する複数の開口が形成された第１対向面と、
前記第２面と対向して配置され、ガスを噴出する複数の開口が形成された第２対向面と、
前記ガイドレールを挟むガイド溝とを含み、
前記ガイド溝は、前記第１及び第２対向面と、前記第１及び第２対向面をつなぐ溝底面とを含む、移動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の移動装置であって、
前記移動部材は、
前記第１及び第２対向面の前記複数の開口とつながり、内部にガスを収納する収納室を含み、
前記移動装置はさらに、
前記収納室に前記ガスを供給するガス供給装置を備える、移動装置。
【請求項３】
請求項１に記載の移動装置であってさらに、
一対の前記ガイドレールを備え、
前記移動部材は、各々が一対のガイドレールの各々を挟む一対の前記ガイド溝を含む、移動装置。
【請求項４】
請求項３に記載の移動装置であって、
前記一対のガイド溝の各々は、互いに背向して配置される、移動装置。
【請求項５】
請求項４に記載の移動装置であってさらに、
前記移動部材が間に配置される一対のガイド部材とを備え、
前記各ガイド部材のうち、前記移動部材と対向する面の一部には、前記ガイドレールが形成され、
前記移動部材のうち、前記各ガイド部材と対向する面の一部には、前記ガイド溝が形成される、移動装置。
【請求項６】
請求項２に記載の移動装置であってさらに、
前記収納室のガスを吸引するガス吸引装置を備える、移動装置。
【請求項７】
請求項１に記載の移動装置であって、
前記溝底面の横断形状は湾曲している、移動装置。
【請求項８】
第１面と、前記第１面と反対側の第２面と、前記第１及び第２面をつなぐ溝底面とを含む溝状のガイドレールと、
前記ガイドレールに挟まれる凸条体を含み、前記ガイドレールに沿って移動可能な移動部材とを備え、
前記凸状体は、
前記第１面と対向して配置され、ガスを噴出する複数の開口が形成された第１対向面と、
前記第２面と対向して配置され、ガスを噴出する複数の開口が形成された第２対向面とを含む、移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
物品を搬送する搬送装置として、従来から種々の技術が提案されている。搬送装置にはたとえば、搬送ローラ上に物品を載せ、搬送ローラを回転しながら物品を搬送するタイプや、搬送台上に物品を載せ、搬送台を、チェーンやベルト等により移動して、物品を搬送するタイプ等がある。
【０００３】
しかしながら、搬送ローラにより物品を搬送する場合、搬送ローラは物品と接触しながら回転する。そのため、搬送ローラの摺動により物品に摩耗や疵が発生する場合がある。また、物品を載せた搬送台をチェーン等により移動させる場合、搬送台はチェーン等と接触し、摩耗する場合がある。
【０００４】
上述のタイプと異なる搬送装置が、特開２００９−３３２１４号公報（特許文献１）、特開２０１０−１４３７３３号公報（特許文献２）及び特開２００９−２６３０６６号公報（特許文献３）に開示されている。
【０００５】
特許文献１及び２の搬送装置は、ガラス基板を搬送する搬送路を備える。搬送路には複数の開口が形成されている。開口からはエアが噴出する。特許文献１及び２の搬送装置は、エアによりガラス基板を浮上させながら、搬送路上でガラス基板を搬送する。
【０００６】
特許文献３の搬送装置は、搬送路と、搬送路上を移動する搬送部材とを備える。搬送部材の下面には複数の開口が形成されている。これらの開口からエアが噴出し、搬送部材は搬送路から浮上する。ガラス基板は搬送部材上に配置され、搬送部材は、浮上しながら搬送路に沿って移動する。
【０００７】
特許文献１〜３の搬送装置では、搬送対象となる物品であるガラス基板又はガラス基板を載せた搬送部材を浮上しながら搬送する。そのため、ガラス基板や搬送部材に摩耗や疵が発生しにくい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−３３２１４号公報
【特許文献２】特開２０１０−１４３７３３号公報
【特許文献３】特開２００９−２６３０６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１及び２に記載の搬送装置では、搬送路の全体に複数の開口が形成される。そして、ガラス基板の搬送中、全ての開口からエアが噴出される。そのため、搬送装置に供給されるエア量は膨大となる。また、特許文献３の搬送装置では、１方向（搬送部材の下面から搬送路に向かう方向）からのみエアを噴出して搬送部材を浮上する。そのため、搬送部材が搬送中に安定しにくく、搬送部材が搬送路からずれる可能性がある。
【００１０】
本発明の目的は、移動時のガス消費量を抑え、安定して移動できる移動装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明による移動装置は、ガイドレールと、移動部材とを備える。ガイドレールは、第１面及び第２面を含む。第２面は、第１面と反対側に配置される。移動部材は、第１及び第２対向面とを含む。第１対向面は、第１面と対向して配置される。第１対向面はさらに、ガスを噴出する複数の開口を有する。第２対向面は、第２面と対向して配置される。第２対向面はさらに、ガスを噴出する複数の開口を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明による移動装置は、移動時のエア消費量を抑え、安定して移動できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、第１の実施の形態による移動装置の斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す移動装置の正面図である。
【図３】図３は、図１中の移動部材の斜視図である。
【図４】図４は、図３中のガイド溝部分の拡大図である。
【図５】図５は、図３に示す移動部材の分解斜視図である。
【図６】図６は、図５中の移動部材の平面図である。
【図７】図７は、図６中の通路穴の平面図である。
【図８】図８は、図１に示す移動装置で移動部材を移動中のガイド溝近傍部分の模式図である。
【図９】図９は、第２の実施の形態による移動装置の正面図である。
【図１０】図１０は、第３の実施の形態による移動装置の斜視図である。
【図１１】図１１は、図１０の移動装置の正面図である。
【図１２】図１２は、第４の実施の形態による移動装置の斜視図である。
【図１３】図１３は、第５の実施の形態による移動装置の斜視図である。
【図１４】図１４は、図１３の移動装置の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照し、本発明の実施の形態を詳しく説明する。図中同一又は相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。以下、元素の含有量の「％」は、質量％を意味する。
【００１５】
［第１の実施の形態］
［移動装置の全体構成］
図１は、本実施の形態による移動装置１の斜視図であり、図２は、移動装置１の正面図である。図１及び図２を参照して、移動装置１は、搬送路部材２と、移動部材１０とを備える。
【００１６】
搬送路部材２は、板状の土台５と、一対のガイド部材４と、一対のガイドレール３と、ガス供給装置２０と、ガス吸引装置３０とを備える。ガス供給装置２０はたとえば、コンプレッサである。ガス吸引装置３０はたとえば、吸引ポンプである。
【００１７】
一対のガイド部材４は、土台５の側縁に配置される。換言すれば、土台５は、一対のガイド部材の間に配置される。ガイド部材４は、板状であり、土台５の長手方向に延びる。図１及び図２は、ガイド部材４は移動装置１の側壁をなす。
【００１８】
一対のガイドレール３は、一対のガイド部材４の内側面に形成される。ガイドレール３は、ガイド部材４の内側面から移動装置１の内側に突出して配置され、土台５の長手方向に延びる。ガイドレール３は、土台５の側縁と略平行である。ガイドレール３は、移動部材１０がスライドするときのレールとして機能する。
【００１９】
より具体的には、ガイドレール３は板状であり、上面３Ｕと下面３Ｌとを有する。上面３Ｕ及び下面３Ｌは、平面であり、土台５の長手方向に延びる。下面３Ｌは、上面３Ｕと反対側に配置される。
【００２０】
移動部材１０は、横断面（移動部材１０の移動方向に垂直な断面）が矩形状のブロック体である。移動部材１０は、土台５上であって、一対のガイド部材４の間に配置される。移動部材１０は、搬送対象となる物品を上面に載せ、移動する。
【００２１】
移動部材１０は、側面に一対のガイド溝１１を有する。一対のガイド溝１１は、互いに背向して配置される。各ガイド溝１１は、土台５の長手方向に延びる。図２を参照して、各ガイド溝１１は、対応するガイドレール３を挟む。つまり、ガイド溝１１には、ガイドレール３が挿入される。ガイド溝１１の幅は、ガイドレール３の幅よりも大きい。そのため、ガイドレール３とガイド溝１１との間には幅方向に隙間（遊び）が形成される。移動部材１０は、ガイド溝１１及びガイドレール３により、ガイドレール３に沿って移動（スライド）する。
【００２２】
移動部材１０は、ガイドレール３に沿ってスライドするとき、ガイドレール３から浮遊しながら移動する。具体的には、移動部材１０は、ガス供給装置２０からガスを供給され、ガイド溝１１からガスを噴出する。ガスはたとえば空気であるが、空気以外の他のガスを用いてもよい。ガイド溝１１からガスが噴出されると、移動部材１０は、ガイドレール３から浮遊する。図２を参照して、移動装置１はさらに、駆動装置７を備える。駆動装置７は、モータと、プーリ（滑車）と、ワイヤとを備える。ワイヤ端部は移動部材１０に固定されている。駆動装置７は、モータを駆動することにより、滑車を介して移動部材１０をガイドレール３に沿ってスライドする。
【００２３】
図２では、駆動装置７は、モータと、プーリとワイヤを備える機構であるが、駆動装置７は、他の周知の機構であってもよい。要するに、ガイドレール３から浮上する移動部材１０を、ガイドレール３に沿ってスライド可能な機構であれば、その構成は特に限定されない。
【００２４】
［移動部材１０の構成］
上述のとおり、移動部材１０は、ガイドレール３から浮遊しながらスライドする。移動部材１０の構成の詳細は次のとおりである。
【００２５】
図３は、図１中の移動部材１０の斜視図である。図３を参照して、移動部材１０は、一対のガイド溝１１を境界として、チャンバ部１２及び１３に区分される。チャンバ部１２は、移動部材１０の上部に配置される。チャンバ部１３は、移動部材１０の下部に配置される。移動部材１０はさらに、ガス供給ポート１４と、ガス吸引ポート１５とを備える。ガス供給ポート１４には、ガス供給装置２０（図１参照）がつながれ、ガス吸引ポート１５には、ガス吸引装置３０（図１参照）がつながれる。
【００２６】
図４は、図３中のガイド溝１１の拡大図である。図４を参照して、ガイド溝１１は、対向面１１Ｕ及び１１Ｌと、溝底面１１Ｂとを有する。対向面１１Ｕ及び１１Ｌは、溝縁と溝底との間に配置され、溝の側面に相当する。対向面１１Ｕ及び１１Ｌは、互いに対向し、移動部材１０の移動方向（つまり、ガイドレール３の延在方向）に延びる。溝底面１１Ｂは、ガイド溝１１の溝底に相当する。溝底面１１Ｂは、対向面１１Ｕと１１Ｌとの間に配置され、対向面１１Ｕ及び１１Ｌをつなぐ。
【００２７】
図５は、移動部材１０の分解斜視図である。図５を参照して、チャンバ部１２は、ガス収納室１０１と、対向面１１Ｕと、複数の通路穴１２２とを備える。ガス収納室１０１は、チャンバ部１２内に形成される。ガス収納室１０１の下面には、ガス供給ポート１４とつながる開口１４１が形成され、さらに、ガス吸引ポート１５とつながる開口１５２が形成される。
【００２８】
通路穴１２２は、ガス収納室１０１とつながっている。通路穴１２２はさらに、図６を参照して、対向面１１Ｕ上に形成される。通路穴１２２は、対向面１１Ｕ上に底面を有する。図７を参照して、各通路穴１２２の底面には、複数の微細な開口１２３が形成される。
【００２９】
要するに、対向面１１Ｕには、複数の開口１２３が形成されている。複数の開口１２３からガスが噴出することにより、移動部材１０がガイドレール３から浮上する。
【００３０】
チャンバ部１３も、チャンバ部１２と同様の構成を有する。具体的には、チャンバ部１３は、ガス収納室１０１と、対向面１１Ｌと、複数の通路穴１２２とを備える。ガス収納室１０１は、チャンバ部１３内に形成され、ガス収納室１０１の上面には、ガス供給ポートとつながる開口１４１と、ガス吸引ポート１５とつながる開口１５２とが形成される。チャンバ部１２内のガス収納室１０１と、チャンバ部１３内のガス収納室１０１とはつながっていてもよいし、別個に形成されていてもよい。対向面１１Ｌも対向面１１Ｕと同様に、通路穴１２２の底面に対応する部分に複数の開口１２３が形成される。
【００３１】
［移動部材１０がガイドレール３から浮上する仕組み］
移動部材１０がガイドレール３から浮上する仕組みについて、詳述する。移動部材１０をスライドするとき、ガス供給装置２０からガス供給ポート１４を介して移動部材１０にガス（たとえば空気）が供給される。ガスはチャンバ部１２及び１３内のガス収納室１０１に充填される。
【００３２】
図８は、移動部材１０がスライドしているときのガイド溝１１及びガイドレール３周辺部分の模式図である。図８を参照して、ガス収納室１０１に充填されたガスは、対向面１１Ｕに形成された複数の開口１２３から、ガイドレール３の上面３Ｕに向かって噴出する。同様に、対向面１１Ｌに形成された複数の開口１２３から、ガイドレール３の下面３Ｌに向かって噴出する。
【００３３】
対向面１１Ｕ及び１１Ｌから噴出したガスは、上面３Ｕ及び下面３Ｌに吹き付けられる。このように、移動部材１０は、ガイド溝１１に形成された開口１２３により、２方向からガスをガイドレール３に吹き付ける。そのため、１方向からガスが吹き付けられる場合と比較して、移動部材１０をガイドレール３から安定して浮上させることができる。
【００３４】
より具体的には、図８中の領域ＡＲ２Ｕでは、対向面１１Ｕの複数の開口１２３から噴出したガスにより、移動部材１０は、ガイドレール３に下向きの力を付与する。一方、領域ＡＲ２Ｌでは、対向面１１Ｌの複数の開口１２３から噴出したガスにより、移動部材１０は、ガイドレール３に上向きの力を付与する。これら２つの力をガイドレール３に付与することにより、移動部材１０はガイドレール３から安定して浮上し、ガイドレール３上で上下又は左右にふらつきにくい。さらに、移動部材１０は、ガイド溝１１でガイドレール３を挟みながら移動する。そのため、移動部材１０はガイドレール３からずれることなく、安定して移動でき、移動時のふらつきも抑制される。
【００３５】
移動部材１０は、さらに、対向面１１Ｕ及び１１Ｌから噴出されるガスにより、移動装置１の中心を移動装置１の中心に合わせることができる。具体的には、図８を参照して、上面３Ｕ及び下面３Ｌに吹き付けられたガスはさらに、ガイド溝１１の溝底面１１Ｂの方向に流れる（図８の領域ＡＲ３参照）。溝底面１１Ｂ方向に流れたガスは、溝底面１１Ｂに吹き付けられる。このとき、溝底面１１Ｂは、移動部材１０の中央方向に力を受ける。ガイド溝１１は移動部材１０の一対の側面に、互いに背向して形成されている（図２及び図３参照）。したがって、移動部材１０は、両側面（のガイド溝１１の溝底面１１Ｂ）から、移動部材１０の中央に向かう力を受ける。そのため、移動部材１０はセンタリングされ、移動装置１の中央部分を安定して移動する。
【００３６】
移動装置１ではさらに、ガイド部材４のうち、ガイドレール３が形成された内側面４Ｓが、移動部材１０のうち、ガイド溝１１が形成された側面１０Ｓと対向する。図８を参照して、上面３Ｕ及び下面３Ｌに吹き付けられたガスはさらに、内側面４Ｓと側面１０Ｓとの間の領域ＡＲ１に流れる。領域ＡＲ１に流れたガスは、側面１０Ｓを、移動部材１０の中央方向に押す。そのため、移動部材１０はセンタリングされ、移動装置１の中央で安定しながら移動する。
【００３７】
以上のとおり、本実施の形態による移動装置１では、移動部材１０が、ガイド溝１１を構成する対向面１１Ｕ及び１１Ｌからガスを噴出する。そのため、移動部材１０は安定してガイドレール３上をスライドできる。
【００３８】
図８に示すとおり、溝底面１１Ｂの横断形状（ガイド溝１１の長手方向に垂直な方向の断面形状）は、湾曲している。より具体的には、溝底面１１Ｂの横断形状は弓状である。この場合、溝底面１１Ｂ近傍でガスの乱流が発生しにくく、ガスの流れが安定する。したがって、移動部材１０は、安定してセンタリングされる。
【００３９】
溝底面１１Ｂの横断形状は、湾曲していなくてもよい。たとえば、溝底面１１Ｂは、平坦であってもよい。この場合であっても、領域ＡＲ２Ｕ及びＡＲ２Ｌでのガスの流れにより、移動部材１０は安定してスライドする。
【００４０】
［移動部材１０の停止方法］
移動中の移動部材１０を停止する場合、ガス供給装置２０を停止して、ガス吸引装置３０を駆動する。この場合、ガイド溝１１に形成された開口１２３からエアが吸引される。その結果、移動部材１０は直ちにガイドレール３に吸着し、停止する。
【００４１】
［他の構成例］
ガス供給装置２０及びガス吸引装置３０は、移動部材１０に含まれてもよい。この場合、移動部材１０とガス供給装置２０とをつなぐ配管が不要になる。
【００４２】
また、通路穴１２２はなくてもよい。この場合、ガス収納室１０１の底面（対向面１１Ｕ又は１１Ｌ上の面）に複数の開口１２３が形成されればよい。
【００４３】
開口１２３の大きさは、適宜調整可能である。開口１２３が小さい程、浮上及び停止を制御しやすくなる。
【００４４】
ガス収納室１０１は各チャンバ部１２及び１２それぞれに別個に形成されてもよいし、移動部材１０内に１つのガス収納室１０１が形成されてもよい。ガス収納室１０１が図５のように区分されている場合、各ガス収納室１０１の容量は略同一であるのが好ましい。
【００４５】
［第２の実施の形態］
本発明による移動装置は、図１以外の他の構成を有していてもよい。図１では、一対のガイドレール３の各上面３Ｕは、互いに平行に配置されている。しかしながら、一対のガイドレール３の上面３Ｕは、平行に配置されなくてもよい。たとえば、図９に示すとおり、一対のガイドレール３の自由端３Ｆが、固定端３Ｃよりも上方に配置されていてもよい。また、図示しないが、自由端３Ｆが、固定端３Ｃよりも下方に配置されていてもよい。
【００４６】
［第３の実施の形態］
上述の実施の形態では、ガイドレール３はガイド部材４の内側面から突出して形成される。しかしながら、ガイドレール３は、凹状の溝であってもよい。
【００４７】
図１０及び図１１は、第３の実施の形態による移動装置１００の斜視図及び正面図である。図１０及び図１１を参照して、移動装置１００は、一対のガイド部材１６０と、一対のガイド部材１６０の間に配置される移動部材１５０とを備える。
【００４８】
一対のガイド部材１６０の内側面には、ガイドレール１６１が形成される。ガイドレール１６１は、移動部材１５０のスライド方向に延びる。ガイドレール１６１は溝であり、横断形状は、凹状である。図１１を参照して、ガイドレール１６１は、溝底と溝縁との間に形成されるレール面１６１Ｕ及び１６１Ｌと、レール面１６１Ｕ及び１６１Ｌをつなぐ溝底面とを有する。
【００４９】
移動部材１５０は、側面に一対のガイド凸条体１５１を備える。ガイド凸条体１５１は、ガイドレール１６１の長手方向に延び、ガイドレール１６１に挟まれる。図１１を参照して、ガイド凸条体１５１は、レール面１６１Ｕと対向する対向面１５１Ｕと、レール面１６１Ｌと対向する対向面１５１Ｌとを備える。対向面１５１Ｕ及び１５１Ｌは、複数の開口１２３を有する。その他の移動部材１５０の構成は、移動部材１０と同様である。第１の実施の形態と同様に、開口１２３からガスが噴出し、移動部材１０はガイドレール１６１から浮上して、移動する。
【００５０】
［第４の実施の形態］
上述の実施の形態では、一対のガイドレールを利用して、移動部材１０をスライドする。しかしながら、ガイドレールは１つでもよい。
【００５１】
図１２は、第４の実施の形態による移動装置２００の斜視図である。図１２を参照して、移動装置２００は、１つのガイドレール３が形成されたガイド部材４が、移動装置２００の下部に配置される。そして、移動部材２５０は、下面にガイド溝１１が形成される。その他の構成は、第１の実施の形態と同様である。
【００５２】
移動装置２００においても、移動装置１と同様に、ガイド溝１１の複数の開口２３０から噴出されるガスにより、移動部材２５０がガイドレール３から浮上して移動する。
【００５３】
［第５の実施の形態］
上述の実施の形態では、移動部材がガイド溝又はガイド凸条体を備える。しかしながら移動部材は、ガイドレールの２つの表面（３Ｕ及び３Ｌ）と対向する２つの対向面を有すれば、２つの対向面を含む部分の形状は特に限定されない。
【００５４】
図１３及び図１４に示す移動装置３００は、ガイドレール３と移動部材３５０とを備える。移動部材３５０は、移動部材１０と比較して、一対のガイド溝１１に代えて、ガイド貫通孔３５１を有する。ガイド貫通孔３５１は、ガイドレール３を内部に通す。ガイド貫通孔３５１は、ガイドレール３の上面３Ｕに対向する対向面３５１Ｕと、下面３Ｌに対向する対向面３５１Ｌと、対向面３５１Ｕ及び３５１Ｌの両側縁の間をつなぐ一対の孔側面３５１Ｓとを有する。
【００５５】
対向面３５１Ｕ及び３５１Ｌは、対向面１１Ｕ及び１１Ｌと同様に、複数の開口１２３を有する。移動部材３５０のその他の構成は、移動部材１０と同様である。以上の構成を有する移動装置３００においても、移動部材３５０は、ガイドレール３から浮上して、ガイドレール３に沿ってスライド可能である。
【００５６】
［本実施の形態の移動装置の適用例］
上述の実施の形態による移動装置は、物品を搬送する装置として広く利用可能である。上述の実施の形態による移動装置はたとえば、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに利用されるガラス基板を搬送したり、半導体ウェハを搬送したりする装置に利用できる。この場合、たとえば、上述の移動部材の上面に、搬送対象となるガラス基板及び半導体ウェハが載置される。
【００５７】
また、第４の実施の形態以外の他の実施の形態の移動装置は、傾けて使用することもできる。そのため、上下方向を移動する装置（たとえばエレベータ）に、本実施の形態による移動装置を適用することもできるし、斜め方向へ搬送するための装置にも利用できる。スラスト荷重が付与される環境であっても、使用可能である。
【００５８】
さらに、第４の実施の形態以外の他の実施の形態の移動装置において、移動部材の下面にフック等の把持装置を取り付ければ、クレーン等としても利用できる。また、上述の実施の形態による移動装置では、移動部材が物品を搬送せず、単独で移動してもよい。
【００５９】
［まとめ］
以上、本実施の形態による移動装置は、ガイドレールと、移動部材とを備える。ガイドレールは、第１面と、第１面と反対側の第２面とを含む。移動部材は、ガイドレールに沿って移動可能である。移動部材は、第１及び第２対向面を含む。第１対向面は、第１面と対向して配置され、ガスを噴出する複数の開口が形成される。第２対向面は、第２面と対向して配置され、ガスを噴出する複数の開口が形成される。
【００６０】
以上の構成による移動装置では、移動部材は、ガイドレールの第１及び第２面に対向する第１及び第２対向面から、ガスを噴出する。移動部材は、ガイドレールに対して２方向からガスを吹き付けて浮上するため、安定して浮上しながら移動でき、ガイドレールからずれにくい。
【００６１】
好ましくは、上記移動部材は、第１及び第２対向面の前記複数の開口とつながり、内部にガスを収納する収納室を含む。移動装置はさらに、ガス供給装置を備える。ガス供給装置は、収納室にガスを供給する。
【００６２】
この場合、第１及び第２対向面に形成された複数の開口から、同程度の圧力のガスが噴出しやすい。そのため、移動部材は安定してガイドレールから浮上する。
【００６３】
好ましくは、移動部材はガイド溝を含む。ガイド溝は、ガイドレールを挟む。ガイド溝は、上記第１及び第２対向面と、上記第１及び第２対向面をつなぐ溝底面とを含む。
【００６４】
この場合、ガイド溝内にガイドレールが挿入される。そのため、移動部材はガイドレールからずれにくく、安定してガイドレール上を移動できる。
【００６５】
好ましくは、上記移動装置はさらに、一対のガイドレールを備える。移動装置は、さらに、各々が一対のガイドレールの各々を挟む一対のガイド溝を含む。
【００６６】
この場合、移動装置はさらに安定して移動することができる。
【００６７】
好ましくは、一対のガイド溝の各々は、互いに背向して配置される。
【００６８】
この場合、移動装置は一対のガイド溝から噴出されるガスにより、移動装置の中央位置にセンタリングされながら、移動することができる。
【００６９】
好ましくは、移動装置はさらに、一対のガイド部材を備える。一対のガイド部材の間には、移動部材が配置される。各ガイド部材のうち、移動部材と対向する面の一部には、ガイドレールが形成され、移動部材のうち、各ガイド部材と対向する面の一部には、ガイド溝が形成される。
【００７０】
この場合、ガイド部材と移動部材との間にも、ガイド溝から噴出されたガスが吹き付けられる。そのため、移動部材は、ガイド部材の間で中央位置にセンタリングされる。
【００７１】
好ましくは、上記移動装置はさらに、収納室のガスを吸引するガス吸引装置を備える。
【００７２】
この場合、移動中の移動部材を速やかに停止することができる。
【００７３】
好ましくは、上記移動部材のガイド溝の溝底面の横断形状は湾曲している。
【００７４】
この場合、溝底面近傍部分でガスの乱流の発生が抑制される。そのため、移動部材は安定してセンタリングされる。
【００７５】
好ましくは、移動部材は、ガイドレールを通す貫通孔を含み、上記貫通孔は、第１及び第２対向面と、第１及び第２対向面をつなぐ一対の孔内側面を有する。
【００７６】
この場合、移動部材に形成された貫通孔からガスをガイドレールに吹き付けることにより、移動部材はガイドレール上を浮上しながら移動できる。
【００７７】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。よって、本発明は上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変形して実施することが可能である。
【符号の説明】
【００７８】
１，１００，２００，３００  移動装置
３，１６１  ガイドレール
３Ｌ  下面
３Ｕ  上面
４，１６０  ガイド部材
１０，２５０，３５０  移動部材
１１  ガイド溝
１１Ｂ  溝底面
１１Ｌ，１５１Ｌ，３５１Ｌ  対向面
１１Ｕ，１５１Ｕ，３５１Ｕ  対向面
２０  ガス供給装置
３０  ガス吸引装置
１０１  ガス収納室
１２３  開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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