(57)【要約】  メッキ液(2)を溜めるメッキ槽(3)を有し、メッキ液(2)に浸漬された軸状部材(5)を陰極として軸状部材(5)に磁性合金メッキを施すメッキ装置(1)が開示される。メッキ装置(1)は、軸状部材(5)の外周面に装着され、軸状部材(5)の被メッキ部(5s)を規定する複数の遮蔽治具(13,14,15)と、軸状部材(5)の周囲に設けられ、被メッキ部(5s)と対向する出力部(10s)を有する陽極(10)とを備える。軸状部材(5)の軸方向(J)において、被メッキ部(5s)の中心位置(5c)と出力部(10s)の中心位置(10c)とは、中心位置に関する所定の許容値内で一致する。
2013105420.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッキ液を溜めるメッキ槽を有し、前記メッキ液に浸漬された軸状部材を陰極として該軸状部材に磁性合金メッキを施すメッキ装置であって、
前記軸状部材の外周面に装着され、前記軸状部材の被メッキ部を規定する複数の遮蔽治具と、
前記軸状部材の周囲に設けられ、前記被メッキ部と対向する出力部を有する陽極と、
を備えており、
前記軸状部材の軸方向において、前記被メッキ部の中心位置と前記出力部の中心位置とは、前記中心位置に関する所定の許容値内で一致することを特徴とするメッキ装置。
【請求項２】
前記軸状部材の軸方向において、前記被メッキ部の長さと前記陽極の出力部の長さとは、前記長さに関する所定の許容値内で一致する、請求項１に記載のメッキ装置。
【請求項３】
前記メッキ装置は、前記陽極と前記軸状部材との間に設けられた遮蔽物を、さらに備えている、請求項１又は２に記載のメッキ装置。
【請求項４】
前記遮蔽物のパターンは、前記陽極の前記出力部のパターンを規定し、前記磁性合金メッキの厚さのバラツキが許容範囲内に収まるように、前記遮蔽物のパターンが決定されている、請求項３に記載のメッキ装置。
【請求項５】
前記遮蔽物は、前記陽極に着脱可能な組み立て式である、請求項３又は４に記載のメッキ装置。
【請求項６】
前記メッキ装置は、前記被メッキ部と対向するメッキ液噴出口を有するメッキ液噴出ノズルを、さらに備えており、前記メッキ液噴出ノズルは、前記メッキ槽に着脱可能な組み立て式である、請求項１乃至５の何れか１項に記載のメッキ装置。
【請求項７】
前記軸状部材の軸方向において、前記被メッキ部の中心位置と前記メッキ液噴出口の中心位置とは、前記中心位置に関する所定の許容値内で一致する、請求項６に記載のメッキ装置。
【請求項８】
前記軸状部材の軸方向において、前記被メッキ部の長さと前記メッキ液噴出口の長さとは、前記長さに関する所定の許容値内で一致することを特徴とする請求項７に記載のメッキ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メッキ装置等に関し、例えば磁歪式トルクセンサにおける磁歪膜を磁性合金メッキで形成するメッキ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
車両は、例えば電動パワーステアリング装置を備えている。電動パワーステアリング装置は、ステアリングハンドルへの運転者による操作によって生じるステアリング系での操舵トルクを低減させる補助トルクを発生させる。補助トルクの発生により、電動パワーステアリング装置は、運転者の負担を軽減することができる。電動パワーステアリング装置は、操舵トルクを検出する操舵トルクセンサを有し、操舵トルク等の軸状部材（回転軸、ピニオン軸、入力軸とも言う。）に働くトルクを検出するトルクセンサは、例えば、互いに異なる磁気異方性を有する複数の磁歪膜の磁歪効果を利用してトルクを検出する磁歪式トルクセンサで構成することができる。【０００３】
例えば、特許文献１は、互いに異なる磁気異方性が付与される前の２つの磁歪膜を軸状部材の被メッキ部にメッキで形成するメッキ装置を開示している。メッキ装置の陽極（金属籠、金属ペレット）から軸状部材の露出部又は非マスク部（陰極、被メッキ部）に電流を流すことで、メッキ液中の金属イオン（例えばＮｉイオン及びＦｅイオン）が陰極側で析出して磁歪膜等の磁性合金メッキを形成することができる。【０００４】
しかしながら、電流線（電気力線）は、陽極全体から被メッキ部（陰極）に向かうので、電流線は、陽極の長さ等のパターンに依存して被メッキ部に均一に流れ込むことができない。言い換えれば、電動パワーステアリング装置に要求される仕様の種類によっては、電流線が、被メッキ部により均一に流れ込む必要がある。即ち、上記特許文献１に開示されているメッキ装置は、中央の遮蔽治具の直径を上下の遮蔽治具の直径よりも小さく形成することにより、被メッキ部の表面全体の電流密度分布を均一に設定することを開示しているが、本発明者らは、軸状部材の軸方向において、被メッキ部の表面上の電流密度分布が、実際には、陽極のパターンに依存して被メッキ部の位置によって異なり、磁性合金メッキの厚さのバラツキが仕様の種類によって許容範囲内に収まらないことを認識した。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１０１２４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成可能なメッキ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による第１の態様によれば、メッキ液を溜めるメッキ槽を有し、該メッキ液に浸漬された軸状部材を陰極として該軸状部材に磁性合金メッキを施すメッキ装置であって、前記軸状部材の外周面に装着され、前記軸状部材の被メッキ部を規定する複数の遮蔽治具と、前記軸状部材の周囲に設けられ、前記被メッキ部と対向する出力部を有する陽極と、を備えており、前記軸状部材の軸方向において、前記被メッキ部の中心位置と前記出力部の中心位置とは、中心位置に関する所定の許容値内で一致するメッキ装置が提供される。【０００８】
軸状部材の軸方向において、軸状部材の被メッキ部の中心位置と陽極の出力部の中心位置とが一致する場合、被メッキ部に流れ込む電流線は、被メッキ部の中心位置に対して対称になる。従って、磁性合金メッキの厚さのバラツキも、被メッキ部の中心位置に対して対称になり、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。【０００９】
言い換えれば、被メッキ部に流れ込む電流線が被メッキ部の中心位置に対して対称でなく、且つ被メッキ部の中心位置から最も離れる位置（被メッキ部の一方の端部位置）での磁性合金メッキの厚さが最も薄い又は最も厚い場合、その厚さと被メッキ部の一方の端部位置での磁性合金メッキの厚さとの差は、被メッキ部に流れ込む電流線が被メッキ部の中心位置に対して対称になる時の差よりも大きくなる。従って、被メッキ部に流れ込む電流線が被メッキ部の中心位置に対して対称でない時の磁性合金メッキの厚さのバラツキは、例えば被メッキ部の一方の端部位置で、許容範囲内に収まらないこともある。【００１０】
従って、磁性合金メッキの厚さのバラツキが被メッキ部の全体で許容範囲内に収まるように、軸状部材の被メッキ部の中心位置と陽極の出力部の中心位置とが中心位置に関する所定の許容値内で一致させることで、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。【００１１】
第１の態様では、好ましくは、前記軸状部材の軸方向において、前記被メッキ部の長さと前記陽極の出力部の長さとは、長さに関する所定の許容値内で一致する。【００１２】
軸状部材の軸方向において、軸状部材の被メッキ部の長さと陽極の出力部の長さとが一致する場合、被メッキ部に流れ込む電流線は、被メッキ部の表面に対して垂直になる。従って、被メッキ部の全体の表面上の電流密度分布が均一になり、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。【００１３】
従って、磁性合金メッキの厚さのバラツキが被メッキ部の全体で許容範囲内に収まるように、軸状部材の被メッキ部の長さと陽極の出力部の長さとが長さに関する所定の許容値内で一致させることで、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。【００１４】
第１の態様において、メッキ装置は、好ましくは、前記陽極と前記軸状部材との間に設けられた遮蔽物をさらに備える。【００１５】
陽極全体を出力部としないで、遮蔽物は、陽極の一部で陽極の出力部を形成することができる。【００１６】
第１の態様において、好ましくは、前記遮蔽物のパターンは、前記陽極の前記出力部のパターンを規定してもよく、前記磁性合金メッキの厚さのバラツキが許容範囲内に収まるように、前記遮蔽物のパターンが決定されてもよい。【００１７】
陽極の種類によっては、軸状部材の被メッキ部の中心位置と陽極の出力部の中心位置とが一致させることができないこともある。或いは、陽極の種類によっては、軸状部材の被メッキ部の長さと陽極の出力部の長さとが一致させることができないこともある。そこで、遮蔽物のパターンを調整することによって、陽極の出力部のパターン（中心位置、長さ）を調整し、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。【００１８】
また、軸状部材の種類によっては、被メッキ部の長さ等のパターンが異なる。このような場合でも、１つの陽極で、遮蔽物のパターンを調整することにより、様々な種類の軸状部材又は被メッキ部に適合しながら、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。【００１９】
第１の態様において、好ましくは、前記遮蔽物は、前記陽極に着脱可能な組み立て式である。【００２０】
遮蔽物を交換可能にすることで、様々な種類の軸状部材又は被メッキ部に適合しながら、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。【００２１】
第１の態様において、好ましくは、メッキ装置は、前記被メッキ部と対向するメッキ液噴出口を有するメッキ液噴出ノズルをさらに備えてもよく、前記メッキ液噴出ノズルは、前記メッキ槽に着脱可能な組み立て式であってもよい。【００２２】
軸状部材の種類によっては、被メッキ部の中心位置等のパターンが異なる。このような場合でも、被メッキ部と対向するメッキ液噴出口を有するメッキ液噴出ノズルに交換することで、様々な種類の軸状部材又は被メッキ部に適合しながら、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。【００２３】
第１の態様では、好ましくは、前記軸状部材の軸方向において、前記被メッキ部の中心位置と前記メッキ液噴出口の中心位置とは、前記中心位置に関する所定の許容値内で一致する。【００２４】
軸状部材の軸方向において、軸状部材の被メッキ部の中心位置とメッキ液噴出口（メッキ液噴出ノズルの出力部）の中心位置とが一致する場合、被メッキ部に流れ込むメッキ液の流線は、被メッキ部の中心位置に対して対称になる。従って、磁性合金メッキの厚さのバラツキも、被メッキ部の中心位置に対して対称になり、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。また、軸状部材を回転させてメッキ槽内のメッキ液を攪拌する場合であっても、磁性合金メッキの組成をより均一に形成することができる。【００２５】
第１の態様では、好ましくは、前記軸状部材の軸方向において、前記被メッキ部の長さと前記メッキ液噴出口の長さとは、前記長さに関する所定の許容値内で一致する。【００２６】
軸状部材の軸方向において、軸状部材の被メッキ部の長さとメッキ液噴出口（メッキ液噴出ノズルの出力部）の長さとが一致する場合、被メッキ部に流れ込む金属イオンの密度は、被メッキ部の全体に対して均一になる。従って、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。また、軸状部材を回転させてメッキ槽内のメッキ液を攪拌する場合であっても、磁性合金メッキの組成をより均一に形成することができる。【００２７】
当業者は、例示した本発明に従う態様が、本発明の精神を逸脱することなく、さらに変更され得ることを容易に理解できるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明に従うメッキ装置の詳細構成例を示す。
【図２】図２（Ａ）は、図１のメッキ装置の概略構成例を示し、図２（Ｂ）は、図１に示すメッキ槽の内部を示す詳細構成例を示す。
【図３】図３（Ａ）は、図１のメッキ装置の他の概略構成例を示し、図３（Ｂ）は、図１に示すメッキ槽の内部を示す他の詳細構成例を示す。
【図４】図１に示すメッキ槽の上面図を示す。
【図５】図５（Ａ）は、図２（Ｂ）に示すメッキ液噴出ノズルの外観例を示し、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のメッキ液噴出ノズルの出力部の概略構成例を示す。
【図６】図６（Ａ）は、図３（Ｂ）に示すメッキ液噴出ノズルの外観例を示し、図６（Ｂ）は、図１に示すメッキ装置の陽極の変形例を示す。
【図７】図３（Ｂ）の金属籠及び遮蔽物の分解斜視図の一例を示す。
【図８】図８（Ａ）は、図７の遮蔽物の変形例を示し、図８（Ｂ）は、図３（Ｂ）の陽極の変形例を示す。
【図９】図９（Ａ）〜図９（Ｈ）は、それぞれ、被メッキ部の中心位置と出力部の中心位置とを実質的に一致させる時の説明図を示す。
【図１０】図１０（Ａ）〜図１０（Ｈ）は、それぞれ、被メッキ部の中心位置と出力部の中心位置とを実質的に一致させる時のもう１つの説明図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の好ましい実施例について、添付した図面に基づいて詳細に説明する。当業者は、本発明が、以下に説明される実施例によって不当に限定されないことを留意すべきである。
【実施例】
【００３０】
図１は、本発明に従うメッキ装置の詳細構成例を示し、図２（Ａ）は、主として、本発明に従うメッキ装置（又は陽極の出力部）の概略構成例（又は拡大図）を示す。図１の例において、メッキ装置１は、陽極１０と軸状部材５との間に設けられた遮蔽物１０ｍを備え、図２（Ａ）の例において、遮蔽物１０ｍで陽極１０の出力部１０ｓを規定している点に特徴がある。言い換えれば、図１のメッキ装置１は、特許文献１のメッキ装置を改良した点に特徴がある。但し、後述するように、陽極１０の種類によっては、出力部１０ｓによって磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる限り、メッキ装置１が遮蔽物１０ｍを備えなくてもよい。【００３１】
図１の例において、メッキ装置１は、メッキ液２を溜めるメッキ槽３を有し、メッキ液３に浸漬された軸状部材５を陰極として軸状部材５に磁性合金メッキを施す。図２（Ａ）の例において、メッキ装置１は、軸状部材５の外周面に装着され、軸状部材５の被メッキ部５ｓを規定する複数の遮蔽治具１３，１４，１５と、軸状部材５の周囲に設けられ、被メッキ部５ｓと対向する出力部１０ｓを有する陽極１０とを備える。【００３２】
図２（Ａ）の参照するに、複数の遮蔽治具１３，１４，１５は、上下両端の遮蔽治具１３，１５と両端の遮蔽治具１３，１５の間に設けられた中間の遮蔽治具１４とで構成され、被メッキ部５ｓは、軸状部材５のうちの両端の遮蔽治具１３，１５の内側であって、遮蔽治具１４で覆われていない部分である。言い換えれば、被メッキ部５ｓは、複数の遮蔽治具１３，１４，１５のうちの隣り合う遮蔽治具（隣り合う遮蔽治具１３，１４、隣り合う遮蔽治具１４，１５）間に位置する軸状部材５の２つの部分である。被メッキ部５ｓは、軸状部材５の例えば２つの部分で構成されているが、２つの部分の間のスペース（遮蔽治具１４で覆われている部分）を無視して、被メッキ部５ｓの長さ（外形長さ）は、被メッキ部５ｓの一方の端部から他方の端部までの距離５ｌである。軸状部材５の軸方向Ｊにおいて、軸状部材５の一方の端部（底部）位置は、０（原点）であり、被メッキ部５ｓの中心位置は、５ｃである。【００３３】
図２（Ａ）を参照するに、遮蔽物１０ｍは、複数の部材で構成され、陽極１０の出力部１０ｓは、被メッキ部５ｓと類似して、複数の部材で規定され、複数の部材で覆われていない部分又は遮蔽されていない部分である。出力部１０ｓの長さ（外形長さ）は、出力部１０ｓの一方の端部から他方の端部までの距離１０ｌであり、軸状部材５の軸方向Ｊにおいて、出力部１０ｓの中心位置は、１０ｃである。軸状部材５の被メッキ部５ｓの中心位置５ｃと陽極１０の出力部１０ｓの中心位置１０ｃとが一致する場合、被メッキ部５ｓに流れ込む電流線は、被メッキ部５ｓの中心位置に対して対称になる。従って、磁性合金メッキの厚さのバラツキも、被メッキ部５ｓの中心位置に対して対称になり、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。但し、中心位置５ｃと陽極１０の出力部１０ｓの中心位置１０ｃとが完全に一致する必要はなく、後述するように、両者は、実質的に一致していればよい。【００３４】
図２（Ａ）の例において、軸状部材５の軸方向Ｊにおいて、軸状部材５の被メッキ部５ｓの長さ５ｌと陽極１０の出力部１０ｓの長さ１０ｌとは、後述するように、実質的に一致していることが好ましく、被メッキ部５ｓの長さ５ｌが出力部１０ｓの長さ１０ｌよりも若干長くてもよく、両者が完全に一致してもよく、被メッキ部５ｓの長さ５ｌが出力部１０ｓの長さ１０ｌよりも若干短くてもよい。【００３５】
図２（Ａ）の例において、軸状部材５の軸方向Ｊにおいて、軸状部材５の被メッキ部５ｓの中心位置５ｃと、後述するメッキ液噴出ノズル９の出力部（メッキ液噴出口２６）の中心位置２６ｃとは、実質的に一致していることが好ましい。更に、軸状部材５の軸方向Ｊにおいて、軸状部材５の被メッキ部５ｓの長さ５ｌとメッキ液噴出ノズル９の出力部の長さ２６ｌとは、実質的に一致していることが好ましい。【００３６】
図１の例において、メッキ装置１は、メッキ液２の温度等を調整するためのメッキ液調整槽４と、被メッキ部５ｓを有する軸状部材５を回転自在に保持する回転保持装置６とを更に備える。軸状部材５は、例えばクロムモリブデン鋼材から成るステアリングシャフトであって、回転保持装置６の保持部材１２によって、メッキ槽３の中心に鉛直方向に保持されている。メッキ槽３の下部外側に液チャンバ７が設けられ、メッキ槽３の上部外側に回収部８が設けられ、メッキ槽３の内部に、陽極１０及び被メッキ部５ｓ（陰極）だけでなく、例えば絶縁性樹脂製のメッキ液噴出ノズル９も設けられている。なお、メッキ液噴出ノズル９は、後述するように、メッキ槽３又は例えば液チャンバ７に着脱可能な組み立て式であることが好ましい。【００３７】
メッキ液２は、少なくとも２つの金属イオン（例えばＮｉイオン及びＦｅイオン）を所定の割合で含む合金メッキ液であり、メッキ液調整槽４により所定の温度に保たれている。軸状部材５の外周面には、例えば絶縁性樹脂製の遮蔽治具１３，１４，１５が装着されている。遮蔽治具１３，１４，１５は、厚さは、例えば１０［ｍｍ］以上であることが好ましい円筒状であって、軸状部材５に対して着脱できるように、その直径方向で分割可能である。両端の遮蔽治具１３，１５の間に設けられた中間遮蔽治具１４の直径は、両端遮蔽治具１３，１５の直径よりも小さく形成することが好ましいが、中間遮蔽治具１４を省略してもよい。【００３８】
回転保持装置６は、鉛直方向に設けられた金属製の回転軸１８と、回転軸１８の中間部に設けられた上下機構１９と、回転軸１８と上下機構１９との接合部に設けられたベアリング２０と、回転軸１８の一端に設けられた保持部材１２と、回転軸１８の他端に設けられたモータ２１と、モータ２１近傍に設けられ電源２２の負極に電気的に接続された給電ブラシ２３と、を備える。回転保持装置６は、上下機構１９によって回転軸１８を上下に動かすことにより軸状部材５をメッキ液２に浸漬させ、あるいは軸状部材５をメッキ液２から引き上げるように構成されている。また、回転保持装置６は、モータ２１によって回転軸１８を回転することにより、軸状部材５を回転させるように構成されている。【００３９】
メッキ液調整槽４は、攪拌機２９と、温度調整器３０と、ヒータ３１とを備え、メッキ液調整槽４の内部にメッキ液２が溜められている。攪拌機２９は、メッキ液２を攪拌することにより、メッキ液２中の例えばＮｉイオン及びＦｅイオンを均一に分散させるとともに、メッキ液２の液温を均一化する。温度調整器３０は、メッキ液２の温度を測定しヒータ３１を制御することにより、メッキ液２を所定の温度に維持する。【００４０】
メッキ液調整槽４内のメッキ液２は、メッキ液調整槽４内と液チャンバ７内とを連通させるメッキ液供給管３２を介して液チャンバ７内に供給される。メッキ液供給管３２の途中には、ポンプ３３と、ストレーナ３４と、流量計３５とが設けられている。また、メッキ液２の流量を調節するためのコントローラ３６が設けられており、コントローラ３６はインバータ３７を介してポンプ３３に接続している。流量計３５によりメッキ液供給管３２内を通過するメッキ液２の流量が測定され、コントローラ３６により測定値と予め設定しておいた値とが比較されてインバータ３７が制御され、インバータ３７によりポンプ３３のポンプ流量が調節されることにより、液チャンバ７内に供給されるメッキ液２の流量、すなわちメッキ液噴出口２６（図２Ｂ）から噴出されるメッキ液２の流量が調節される。また、ストレーナ３４により、メッキ液供給管３２内のメッキ液２中のゴミ等の異物が濾過される。【００４１】
図２（Ｂ）は、図１に示すメッキ槽３の内部を示す詳細構成例を示す。図３（Ａ）は、主として、図１に示すメッキ装置１の陽極１０の出力部１０ｓの他の概略構成例（拡大図）を示し、図３（Ｂ）は、図１に示すメッキ装置１のメッキ槽３の内部を示す他の詳細構成例を示す。図３の例において、両端の遮蔽治具１３，１５の間に設けられた遮蔽治具１４が省略されている。言い換えれば、互いに異なる磁気異方性が付与される前の２つの磁歪膜の間のスペースが省略され、単一の被メッキ部５ｓに単一の磁性合金メッキを形成し、その後に、単一の磁性合金メッキに、互いに異なる磁気異方性を付与して２つの機能を有する磁歪膜を形成してもよい。更に、図３の例において、被メッキ部５ｓは、図２の例と比べて、メッキ液２の上側に位置している。【００４２】
図２（Ｂ）の例及び図３（Ｂ）の例において、メッキ液噴出ノズル９は、液チャンバ７を介してメッキ槽３に着脱可能な組み立て式であり、メッキ液噴出ノズル９の底部にフランジ９ｆが設けられ、複数のボルト９ｂでメッキ液噴出ノズル９又はフランジ９ｆが液チャンバ７に固定される。なお、フランジ９ｆ及びボルト９ｂは、固定具の一例であって、他の部材又は他の部品で固定具を構成してもよい。【００４３】
軸状部材５の種類によっては、被メッキ部５ｓが軸状部材５に設けられる位置（中心位置５ｃ）が異なり、図３（Ｂ）の例における被メッキ部５ｓは、図２（Ｂ）の例と比べて、メッキ液２の上側に位置している。このような場合でも、被メッキ部５ｓと対向するメッキ液噴出口２６を有するメッキ液噴出ノズル９に交換することで、様々な種類の軸状部材５又は被メッキ部５ｓに適合しながら、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。言い換えれば、図２（Ｂ）のメッキ液噴出ノズル９の長さを伸ばし、複数のメッキ液噴出口２６を上方に位置させて、例えば図３（Ｂ）の交換用のメッキ液噴出ノズル９を準備することができる。【００４４】
後述するように、遮蔽物１０ｍも、メッキ液噴出ノズル９と同様に交換することで、様々な種類の軸状部材５又は被メッキ部５ｓに適合することができる。【００４５】
図２（Ｂ）の例及び図３（Ｂ）の例において、メッキ槽３は、例えば絶縁性樹脂製又は内側表面に絶縁塗膜が施された金属製の円筒形の槽である。メッキ液２は、メッキ液噴出ノズル９を介して液チャンバ７内からメッキ槽３内に供給され、メッキ槽３の上端部から回収部８内に溢れ出て、回収部８の底に設けられメッキ液回収管１１を介して図１のメッキ液調整槽４に回収される。【００４６】
電源２２がＯＮであるときに、メッキ液２は、回転している軸状部材５の被メッキ部分５ｓに向かってメッキ液噴出口２６から噴出される。これにより、被メッキ部５ｓの表面全体にメッキ液２が供給されるとともに、被メッキ部５ｓの表面全体で均一な液流を得ることができる。また、軸状部材５が回転しているので、被メッキ部５ｓの表面全体においてメッキ液２のＮｉイオン濃度及びＦｅイオン濃度が一定に保たれる。【００４７】
図２（Ｂ）の例及び図３（Ｂ）の例において、軸状部材５の外周面には、上遮蔽治具１３よりも上の部分及び下遮蔽治具１５よりも下の部分にマスキングテープ１６が巻き付けられている（図５（Ａ）及び図６（Ａ）参照）。軸状部材５の被メッキ部５ｓは、遮蔽治具１３，１４，１５又は遮蔽治具１３，１５及びマスキングテープ１６で覆われていない部分である。【００４８】
図２（Ｂ）の例及び図３（Ｂ）の例において、陽極１０は、上端が開口し下端が閉口している円筒形の金属籠２７と、金属籠２７の内部に収容される複数の金属ペレット２８とで構成される。金属籠２７は、その円周面の内側にメッキ液噴出ノズル９を取り囲むように配置され、図示せぬ固定具によってメッキ槽３の内周面及び底面に接触しないように支持されている。金属籠２７は、通電したときにメッキ液２中に溶解しないような例えばＴｉから成る金網で形成され、電源２２（図１）の正極に電気的に接続されている。一方、金属ペレット２８は、メッキ液２中に溶解可能な例えばＮｉ−Ｆｅ合金製のペレット、Ｎｉ単体から成る金属ペレットとＦｅ単体から成る金属ペレットとの混在ペレット等である。陽極１０として金属ペレット２８を用いているが、金属籠２７に収容されるとともに金属籠２７の目から漏れ出さないような大きさであれば、球体等の任意の形状であってもよい。【００４９】
Ｎｉ−Ｆｅ合金メッキが施されることによりメッキ液２中のＮｉイオンとＦｅイオンとが消費されても、電解により金属ペレット２８からＮｉイオンとＦｅイオンとがメッキ液２中に溶解し、メッキ液２中のＮｉイオン濃度及びＦｅイオン濃度が一定に保たれるので、メッキ液２を容易に管理することができる。また、金属籠２７内に金属ペレット２８が収容される構成となっているので、メッキの途中であっても金属ペレット２８を金属籠２７内に容易に供給することができる。【００５０】
図４は、図１に示すメッキ槽３の上面図を示す。図５（Ａ）は、図２（Ｂ）に示すメッキ液噴出ノズル９の外観例を示し、図６（Ａ）は、図３（Ｂ）に示すメッキ液噴出ノズル９の外観例を示す。図５（Ｂ）は、主として、図５（Ａ）のメッキ液噴出ノズル９の出力部の概略構成例を示し、図６（Ｂ）は、図１に示すメッキ装置１の陽極１０の変形例を示す。図４の例において、メッキ液噴出ノズル９は、軸状部材５を円中心とする円周上に等間隔に例えば４本設けられている。メッキ液噴出ノズル９の数は、４本以外の複数本であってもよく、１本であってもよい。【００５１】
図６（Ｂ）の例において、陽極１０全体から被メッキ部（陰極）５ｓに向かう。言い換えれば、図６（Ｂ）の陽極１０全体が図２（Ａ）の陽極１０の出力部１０ｓを構成し、被メッキ部５ｓの中心位置５ｃと出力部１０ｓの中心位置１０ｃとが一致するように、図６（Ｂ）の陽極１０は、固定されている。図６（Ｂ）の例において、メッキ装置１又はメッキ槽３は、例えば図４等に示す遮蔽物１０ｍを備えてない。【００５２】
図５（Ａ）の例及び図５（Ｂ）の例において、複数のメッキ液噴出口２６は、被メッキ部５ｓに対向するようにメッキ液噴出ノズル９の外周面に設けられ、軸状部材５の軸方向と平行に配置されている。図５（Ａ）の例において、複数のメッキ液噴出口２６は、個々の被メッキ部５ｓ，５ｓ（被メッキ部全体における例えば２つの被副メッキ部５ｓ，５ｓ）に対応して複数の領域（例えば上部領域及び下部領域）に分類されている。個々の領域（上部領域、下部領域）の長さ２６ｌ１，２６ｌ２は、対応する１つの被副メッキ部５ｓの長さ５ｌ１，５ｌ２と実質的に一致することが好ましい。更に、個々の領域（上部領域、下部領域）の中心２６ｃ１，２６ｃ２は、対応する１つの被副メッキ部５ｓの中心５ｃ１，５ｃ２と実質的に一致することが好ましい。これらにより、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができるとともに、軸状部材５を回転させてメッキ槽３内のメッキ液２を攪拌する場合であっても、磁性合金メッキの組成をより均一に形成することができる。【００５３】
図５（Ｂ）の例において、陽極１０の出力部１０ｓ全体における例えば２つの副出力部は、個々の被副メッキ部５ｓに対応して複数の領域（例えば上部領域及び下部領域）に分類され、個々の領域（上部領域、下部領域）の長さ１０ｌ１，１０ｌ２は、対応する１つの被副メッキ部５ｓの長さ５ｌ１，５ｌ２と実質的に一致することが好ましい。更に、個々の領域（上部領域、下部領域）の中心１０ｃ１，１０ｃ２は、対応する１つの被副メッキ部５ｓの中心５ｃ１，５ｃ２と実質的に一致することが好ましい。これらにより、個々の被メッキ部５ｓ，５ｓ（被メッキ部全体における例えば２つの被副メッキ部５ｓ，５ｓ）において、磁性合金メッキの厚さをより均一に形成することができる。【００５４】
図７は、図３（Ｂ）の金属籠２７及び遮蔽物１０ｍの分解斜視図の一例を示す。図７の例において、例えば３つの開口部を有する円筒状の遮蔽物１０ｍは、例えばボルト１０ｂ、フレーム１０ｆ１及び図示せぬナット等の固定具で金属籠２７の内側表面（円周面）に固定することができる。遮蔽物１０ｍのパターンは、陽極１０の出力部１０ｓのパターンを規定し、遮蔽物１０ｍは、陽極１０又は例えば金属籠２７に着脱可能な組み立て式であることが好ましい。言い換えれば、遮蔽物１０ｍの開口部で陽極１０又は金属ペレット２８に対応する部分が陽極１０の出力部１０ｓを規定し、遮蔽物１０ｍは、交換式であることが好ましい。代替的に、金属籠２７又は陽極１０が交換式であってもよい。【００５５】
金属籠２７は、フレーム１０ｆ２及び図示せぬ部材又は部品等の固定具で、図１のメッキ槽３に固定することができる。なお、遮蔽物１０ｍ及び固定具（ボルト１０ｂ、フレーム１０ｆ１、フレーム１０ｆ２等）は、絶縁物であり、両者は、例えば絶縁物質で構成され、又は両者の表面に例えば絶縁塗膜が施される。【００５６】
なお、図７の金属籠２７及び遮蔽物１０ｍを図２（Ｂ）に適用する場合、例えば３つの開口部は、円筒状の遮蔽物１０ｍの下側に設けられ、遮蔽治具１４に対応する部分の開口が閉じられ、言い換えれば例えば６つの開口部（図示せず）が円筒状の遮蔽物１０ｍに設けられる。【００５７】
図８（Ａ）は、図７の遮蔽物１０ｍの変形例を示し、図８（Ｂ）は、図３（Ｂ）の陽極１０の変形例を示す。図８（Ａ）の例において、遮蔽物１０ｍは、２つの円筒状の部材で構成され、図８（Ａ）の遮蔽物１０ｍ，１０ｍを金属籠２７に固定する時、遮蔽物１０ｍ，１０ｍの間のスペースが陽極１０又は金属ペレット２８の出力部１０ｓを規定する。言い換えれば、遮蔽物１０ｍ，１０ｍのパターンが陽極１０又は金属ペレット２８の出力部１０ｓのパターンを規定する。【００５８】
図８（Ａ）の遮蔽物１０ｍ，１０ｍは、金属籠２７に固定しないで、例えば図８（Ｂ）の例に示すように、ボルト１０ｂ、ナット１０ｎ等の固定具で、例えば６本の板状の部材で構成される６つの陽極１０，１０，１０，１０，１０，１０に固定してもよい。言い換えれば、メッキ装置１は、金属籠２７及び金属ペレット２８で構成される陽極１０の代わりに、板状の溶解しない陽極１０を採用してもよい。【００５９】
図８（Ａ）の遮蔽物１０ｍ，１０ｍを図２（Ｂ）に適用する場合、遮蔽物１０ｍは、遮蔽治具１４に対応する部分の円筒状の部材を含んで、例えば３つの円筒状の部材（図示せず）で構成され、隣接する部材の間のスペースが、下側に設けられる。【００６０】
図９（Ａ）〜図９（Ｈ）は、それぞれ、被メッキ部５ｓの中心位置５ｃ（又は被副メッキ部５ｓの中心位置５ｃ１，５ｃ２）と出力部１０ｓの中心位置１０ｃ（又は副出力部１０ｓの中心位置１０ｃ１，１０ｃ２）とを実質的に一致させる時の説明図を示す。図９（Ｃ）は、被メッキ部５ｓの中心位置５ｃと出力部１０ｓの中心位置１０ｃとが完全に一致する時の例えばＮｉ−Ｆｅ合金メッキの膜厚のバラツキを示し、例えば図３（Ｂ）の被メッキ部５ｓの軸状部材５の軸方向Ｊにおける異なる６つの位置の膜厚を表している。また、図９（Ｃ）中の２つの点線で示される範囲が仕様によって定められている膜厚に関する許容範囲である。図９（Ａ）及び図９（Ｂ）は、出力部１０ｓの中心位置１０ｃが被メッキ部５ｓの中心位置５ｃよりも高い時の膜厚のバラツキを示し、図９（Ａ）の中心位置１０ｃは、図９（Ｂ）の中心位置１０ｃよりも高い。図９（Ｄ）〜図９（Ｈ）は、出力部１０ｓの中心位置１０ｃが被メッキ部５ｓの中心位置５ｃよりも低い時の膜厚のバラツキを示し、図９（Ｄ）〜図９（Ｈ）の中心位置１０ｃは、図９（Ｄ）〜図９（Ｈ）の順で、徐々により低くなり、図９（Ｈ）の中心位置１０ｃが最も低い。【００６１】
図９（Ａ）〜図９（Ｆ）の各々において、６つの位置の膜厚のすべてが許容範囲内に収まる一方、図９（Ｇ）〜図９（Ｈ）の各々において、６つの位置の膜厚のすべてが許容範囲内に収まらない。従って、被メッキ部５ｓの中心位置５ｃと出力部１０ｓの中心位置１０ｃとが完全に一致するだけでなく（図９（Ｃ））、出力部１０ｓの中心位置１０ｃが被メッキ部５ｓの中心位置５ｃよりも若干高くてもよく（図９（Ａ）、図９（Ｂ））、出力部１０ｓの中心位置１０ｃが被メッキ部５ｓの中心位置５ｃよりも若干低くてもよく（図９（Ｄ）、図９（Ｅ）、図９（Ｆ））、磁性合金メッキの厚さのバラツキが被メッキ部５ｓの全体で許容範囲内に収まるように、被メッキ部５ｓの中心位置５ｃ（又は中心位置５ｃ１，５ｃ２）と陽極１０の中心位置１０ｃ（又は中心位置１０ｃ１，１０ｃ２）とは、中心位置に関する所定の許容値内で一致すればよい。【００６２】
同様に、被メッキ部５ｓの長さ５ｌが出力部１０ｓの長さ１０ｌよりも若干長くてもよく、両者が完全に一致してもよく、被メッキ部５ｓの長さ５ｌが出力部１０ｓの長さ１０ｌよりも若干短くてもよく、磁性合金メッキの厚さのバラツキが被メッキ部５ｓの全体で許容範囲内に収まるように、被メッキ部５ｓの長さ５ｌ（又は長さ５ｌ１，５ｌ２）と陽極１０の出力部１０ｓの長さ１０ｌ（又は長さ１０ｌ１，１０ｌ２）とは、長さに関する所定の許容値内で一致すればよい。【００６３】
図１０（Ａ）〜図１０（Ｈ）は、それぞれ、被メッキ部５ｓの中心位置５ｃと出力部１０ｓの中心位置１０ｃとを実質的に一致させる時のもう１つの説明図を示す。図１０（Ｃ）は、被メッキ部５ｓの中心位置５ｃと出力部１０ｓの中心位置１０ｃとが完全に一致する時の例えばＮｉ−Ｆｅ合金メッキの鉄組成又は鉄の割合のバラツキを示す。また、図１０（Ｃ）中の２つの点線で示される範囲が仕様によって定められている鉄組成に関する許容範囲である。図１０（Ａ）〜図１０（Ｈ）の中心位置１０ｃは、それぞれ、図９（Ａ）〜図９（Ｈ）の中心位置１０ｃに対応し、図１０（Ａ）の中心位置１０ｃが最も高く、図１０（Ｈ）の中心位置１０ｃが最も低い。図１０（Ｂ）〜図１０（Ｆ）の各々において、６つの位置の鉄組成のすべてが許容範囲内に収まる一方、図１０（Ａ）、図１０（Ｇ）〜図１０（Ｈ）の各々において、６つの位置の鉄組成のすべてが許容範囲内に収まらない。【００６４】
膜厚だけでなく、鉄組成も考慮することが好ましく、磁性合金メッキの各成分のバラツキも被メッキ部５ｓの全体で許容範囲内に収まるように、被メッキ部５ｓの中心位置５ｃ（又は中心位置５ｃ１，５ｃ２）と陽極１０の中心位置１０ｃ（又は中心位置１０ｃ１，１０ｃ２）とは、中心位置に関する所定の許容値内で一致することができる（図１０（Ｂ）〜図１０（Ｆ）、図９（Ｂ）〜図９（Ｆ））。同様に、膜厚だけでなく、鉄組成も考慮して、被メッキ部５ｓの長さ５ｌ（又は長さ５ｌ１，５ｌ２）と陽極１０の出力部１０ｓの長さ１０ｌ（又は長さ１０ｌ１，１０ｌ２）とが、長さに関する所定の許容値内で一致することが好ましい。【００６５】
本発明は、上述の例示的な実施例に限定されず、また、当業者は、上述の例示的な実施例を請求の範囲に含まれる技術的範囲まで、容易に変更することができる。
【符号の説明】
【００６６】
０・・・原点、１・・・メッキ装置、２・・・メッキ液、３・・・メッキ槽、５・・・軸状部材、５ｃ・・・被メッキ部の中心位置、５ｌ・・・被メッキ部の長さ、５ｓ・・・被メッキ部、６・・・回転手段、９・・・メッキ液噴出ノズル、９ｂ、９ｆ・・・メッキ液噴出ノズルの固定具、１０・・・陽極、１０ｂ，１０ｎ，１０ｆ１・・・遮蔽物の固定具、１０ｃ・・・出力部の中心位置、１０ｌ・・・出力部の長さ、１０ｆ２・・・金属籠の固定具、１０ｍ・・・遮蔽物、１０ｓ・・・出力部、１３，１５・・・両端の遮蔽治具、１４・・・両端の遮蔽治具の間に設けられた遮蔽治具、２６・・・メッキ液噴出口、２６ｃ・・・メッキ液噴出口の中心位置、２７・・・金属籠、２８・・・金属ペレット。
【図１】
2013105420.tif 000003
【図２】
2013105420.tif 000004
【図３】
2013105420.tif 000005
【図４】
2013105420.tif 000006
【図５】
2013105420.tif 000007
【図６】
2013105420.tif 000008
【図７】
2013105420.tif 000009
【図８】
2013105420.tif 000010
【図９】
2013105420.tif 000011
【図１０】
2013105420.tif 000012
【国際調査報告】
2013105420.tif 000013
2013105420.tif 000014
2013105420.tif 000015
2013105420.tif 000016