(57)【要約】  従来、部品実装装置が有する実装誤差は要求される実装精度が許容できるものであった。しかし、本発明では、部品実装装置において、今後高密度実装が要求されることになり、要求される実装精度が格段に高くなるであろうということを見出した。つまり、要求される実装精度が、今まで許容されてきた実装誤差を許容できないところまで高くなるであろうということを見出した。本発明は、基板上で実装すべき位置、ノズルシャフト先端の少なくとも１つを含む画像を得て、部品実装を行うことにより上記課題を解決する。
2013161878.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板へ部品を実装する部品実装部と、
前記部品実装部を移動させる移動部と、
処理部と、を有し、
前記部品実装部は、前記部品を保持するためのノズルと、カメラと、を有し、
前記カメラは前記基板上で前記部品を実装すべき位置、及び前記ノズルの先端を含む第１の画像、を得て、
前記処理部は、前記移動部が前記部品実装部を移動させる移動量を前記第１の画像から得ることを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
請求項１に記載の部品実装装置において、
前記第１の画像を得る際の前記カメラの焦点深度内には、前記部品を実装すべき位置、及び前記ノズルの先端が含まれることを特徴とする部品実装装置。
【請求項３】
請求項２に記載の部品実装装置において、
前記カメラは、前記部品が前記部品を実装すべき位置に搭載された後に、前記部品が実装された領域の画像を得て、
前記処理部は、前記部品が実装された領域の画像から前記部品が正しく搭載されたか否かを判断することを特徴とする部品実装装置。
【請求項４】
請求項３に記載の部品実装装置において、
前記ノズルに前記部品を供給するための部品供給部を有し、
前記カメラは前記部品供給部上で、前記部品、及び前記ノズルの先端を含む第２の画像を得て、
前記処理部は、前記第２の画像から前記移動部が前記部品実装部を移動させる移動量を得ることを特徴とする部品実装装置。
【請求項５】
請求項４に記載の部品実装装置において、
前記第２の画像を得る際の前記カメラの焦点深度内には、搬送テープに格納された前記部品、及び前記ノズルの先端が含まれることを特徴とする部品実装装置。
【請求項６】
請求項１に記載の部品実装装置において、
前記カメラは、前記部品が前記部品を実装すべき位置に搭載された後に、前記部品が実装された領域の画像を得て、
前記処理部は、前記部品が実装された領域の画像から前記部品が正しく搭載されたか否かを判断することを特徴とする部品実装装置。
【請求項７】
請求項１に記載の部品実装装置において、
前記ノズルに前記部品を供給するための部品供給部を有し、
前記カメラは前記部品供給部上で、前記部品、及び前記ノズルの先端を含む第２の画像を得て、
前記処理部は、前記第２の画像から前記移動部が前記部品実装部を移動させる移動量を得ることを特徴とする部品実装装置。
【請求項８】
請求項７に記載の部品実装装置において、
前記第２の画像を得る際の前記カメラの焦点深度内には、搬送テープに格納された前記部品、及び前記ノズルの先端が含まれることを特徴とする部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装装置に関する。例えば、電子部品を吸着し、基板に電子部品を搭載する部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、様々な電気製品の基板に電子部品を実装する作業は自動化されており、その際に使用されるのが部品実装装置である。部品実装装置における部品の実装は、ノズルが電子部品を吸着保持して、基板上へ移動し、吸着保持した電子部品を基板へ搭載することで行われる。【０００３】
部品実装装置に関する従来技術としては、特許文献１乃至３が挙げられる。特許文献１では第２認識カメラ４１で基板上に形成された位置決めマークを撮像し、位置ずれを得ることは開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−７２０４６号公報
【特許文献２】特開２００５−５０８８７号公報
【特許文献３】特開平６−２０９１９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来、部品実装装置が有する実装誤差は要求される実装精度が許容できるものであった。しかし、本発明では、部品実装装置では、今後高密度実装が要求されることになり、要求される実装精度が格段に高くなるであろうということを見出した。つまり、要求される実装精度が、今まで許容されてきた実装誤差を許容できないところまで高くなるであろうということを見出した。【０００６】
特許文献１では、第２認識カメラ４１で基板上に形成された位置決めマークを撮像し、位置ずれを得ることは開示する。しかし、例えば、実装位置の本来あるべき位置からのずれ、ヘッドが実装位置へＸＹ移動する際の誤差、ノズルが実装位置へ移動する際の誤差が部品実装へ与える影響については配慮がなされていない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、基板上で実装すべき位置、ノズルシャフト先端の少なくとも１つを含む画像を得て、部品実装を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、従来よりも精度の高い部品の実装を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施例１の部品搭載装置全体の上面図。
【図２】矢印１３０の方向から観察した場合を説明する図。
【図３】ヘッドアクチュエータ１１３の正面図。
【図４Ａ】ノズルシャフト３１１の上下動作を説明する図。
【図４Ｂ】ノズルシャフト３１１の上下動作を説明する図。
【図５Ａ】ノズルシャフト３１１のノズル選択動作、及び回転動作を説明する図。
【図５Ｂ】ノズルシャフト３１１のノズル選択動作、及び回転動作を説明する図。
【図６】ノズル回転モータ３１６、ノズルシャフト３１１周辺を説明する図。
【図７】実施例１の部品実装動作を説明する図。
【図８】実施例１の部品実装動作を説明するフローチャート。
【図９】実施例２を説明する図。
【図１０】実施例２を説明するフローチャート。
【図１１】実施例３を説明する図。
【図１２】実施例３を説明する図（続き）。
【図１３】実施例３を説明するフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施例について図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１〜図８を用いて実施例１を説明する。説明図１は実施例１に係る部品搭載装置全体の上面図である。【００１２】
基板１２３は矢印１０００の方向からガイドによって電子部品搭載位置に搬送される。図１は基板１２３が電子部品搭載位置に固定された状態を示している。【００１３】
矢印１０００に直交する方向でかつ、基板１２３の上側には第１のＹビーム１０１、第２のＹビーム１０２が配置されている。第１のＹビーム１０１、第２のＹビーム１０２にはそれぞれ、Ｘビーム１０３、１０４、１０５、１０６が配置されている。Ｘビーム１０３、１０４、１０５、１０６は、それぞれ、第１のＹビーム１０１、第２のＹビーム１０２それぞれに配置されたリニアモータ等のアクチュエータ１０７、１０８によって矢印１０００の方向に対して直交方向に移動する。【００１４】
Ｘビーム１０３、１０４、１０５、１０６には、それぞれリニアモータ等のアクチュエータ１０９、１１０、１１１、１１２が配置されている。【００１５】
そして、アクチュエータ１０９、１１０、１１１、１１２にはそれぞれ、電子部品を基板１２３に搭載するヘッドアクチュエータ１１３、１１４、１１５、１１６がそれぞれ配置されている。ここでアクチュエータ１０９、１１０、１１１、１１２は、リニアモータではなく、ボールネジ等の機構を用いれば安価かつ軽量な構成とすることができる。【００１６】
そして、ヘッドアクチュエータ１１３、１１４、１１５、１１６は、それぞれアクチュエータ１０９、１１０、１１１、１１２によって第１のＹビーム１０１、第２のＹビーム１０２に対して直交方向（矢印１０００の方向）に駆動される。【００１７】
電子部品をヘッドアクチュエータ１１３、１１４、１１５、１１６に供給する部品供給装置１２１、１２２は第１のＹビーム１０１、第２のＹビーム１０２の両端に配置されている。そして、搭載する電子部品が無くなった場合等は、アクチュエータ１０７、１０８によってＸビーム１０３、１０４、１０５、１０６が部品供給装置１２１、１２２の手前（又は上方）に移動し、さらに、アクチュエータ１０９、１１０、１１１、１１２によって、ヘッドアクチュエータ１１３、１１４、１１５、１１６が、任意の方向に移動し電子部品を補給する。【００１８】
また部品搭載装置には、電子部品の姿勢を確認するカメラ１１７、１１８、１１９、１２０が、第１のＹビーム１０１、第２のＹビーム１０２の間に配置されており、補給された電子部品の姿勢はこのカメラ１１７、１１８、１１９、１２０によってそれぞれ確認される。もし、姿勢に傾きが検出された場合は、ヘッドアクチュエータ１１３、１１４、１１５、１１６が電子部品の傾きを調整する。このカメラ位置であれば、基板１２３の中央付近に部品を搭載する場合、ヘッドアクチュエータ１１３、１１４、１１５、１１６の移動距離が最短となる。【００１９】
また、制御部１２４は、上述した様々な動作の処理、制御、及び後述する様々な動作の処理、制御を行う。【００２０】
図２は、図１の部品搭載装置を図１の矢印１３０から観察した場合の矢視図である。ここでは、第１のＹビーム１０１周辺の部分について詳細に説明するが、第２のＹビーム１０２についても同様である。【００２１】
第１のＹビーム１０１の下方にはアクチュエータ１０７が配置され、アクチュエータ１０７にはＸビーム１０３が荷台２０１上の基板１２３の搬送方向に対して直交方向に移動自在に接続されている。Ｘビーム１０３の紙面垂直方向にはアクチュエータ１０９が配置され、このアクチュエータ１０９にヘッドアクチュエータ１１３が基板搬送方向に対して平行方向に移動自在に接続されている。【００２２】
図１、図２で示した実施例のように、基板搬送方向に対して直交方向、及び平行方向にそれぞれ独立に移動自在な構成を取ることによって、従来よりも高速な部品搭載装置を構成することができる。【００２３】
なお、図１では、Ｘビームが４つの場合を説明したが、Ｘビームの数は限定するものではない。また、Ｘビーム１０３、１０４、１０５、１０６はそれぞれ取り外し可能にしても良い。その場合は、例えば、異なる種類のヘッドアクチュエータを接続することもでき、より多彩な部品の搭載を実現することもできる。上述したビームの構成により、各ヘッドアクチュエータ１１３、１１４、１１５、１１６を独立して自在に駆動することが可能となる。【００２４】
次にヘッドアクチュエータ１１３の構成について説明する。なお、ここではヘッドアクチュエータ１１３の構成について説明するが、他のヘッドアクチュエータ１１４、１１５、１１６の構成についても同様である。【００２５】
図３はヘッドアクチュエータ１１３の正面図である。ヘッドフレーム３０１は図２のＸビーム１０３に接続されている。ノズル上下モータ３０２はフレーム３０１に接続されている。ノズル上下モータ３０２には、ボールネジ３０８が接続されている。さらにボールネジ３０８の端部はガイド３１８によって支持されている。ボールネジ３０８には、アーム３０９が接続されている。アーム３０９の先端はノズル移動部３１０の少なくとも周囲に形成された凸な部分３５０（凸部）を挟み込む構造（凹型）になっている。【００２６】
ノズル移動部３１０には、中空構造のノズルシャフト３１１が接続されている。さらに、ノズルシャフト３１１は、ロータ３１３に接続されている。【００２７】
そしてノズルシャフト３１１の先端には開口を有する電子部品を吸着するためのノズル３１７が取り外し可能に接続されている。ノズル回転モータ３１６はフレーム３０１に接続されおり、ヘッド中心を回転軸としてノズル３１７を回転させる機能を持つ。【００２８】
次にノズルの選択動作、上下動作、回転動作について、ヘッドアクチュエータ１１３の構成をさらに詳細に説明する。【００２９】
まず、図４Ａ及び図４Ｂを用いてノズルの上下動作について説明する。図４Ａに示すように、ノズル移動部３１０はセンタースプライン３０６に接続されている。センタースプライン３０６は、ノズル移動部の移動方向を規定するガイドとしての役割を果たす。ノズル移動部３１０は、前述した少なくとも周囲に凸な部分３５０（凸部）を有しており、その凸部をアーム３０９に把持されている。さらに、この凸部３５０にはＬ字型のアーム３５１が接続されている。このアーム３５１の先端は、第１のノズル台座３２０の切り欠き部３５２（別の表現としては、凹部）に配置されている。さらに、各ノズルシャフト３１１は、回転体３５３を介して、第１のノズル台座３２０に配置されている。そして、図４Ｂに示すように、アーム３０９がノズル上下モータ３０２によって、下方に移動すると、それに伴って、ノズル移動部３１０、さらにそれに接続されたアーム３５１、アーム３５１の先端上の回転体３５３、回転体３５３に接続されたノズルシャフト３１１も下方へ移動することになる。【００３０】
次に、図５Ａ及び図５Ｂを用いてノズルの選択動作について説明する。センタースプライン３０６において、ノズル選択用ベルト３０７がノズル選択モータ３０３によって回転すると、センタースプライン３０６も回転し、センタースプライン３０６に接続されたノズル移動部３１０、及び第１のノズル台座３２０も同期して、同じ角度だけ回転する。そして、第１のノズル台座３２０の回転に伴って、切り欠き部３５２も回転する。これによって、ノズルシャフト３１１とノズルシャフト３１１の選択を担う切り欠き部３５２との相対的な位置関係は変更され第１のノズル台座３２０上の任意のノズルを選択することができる。なお、第１のノズル台座３２０に接触しているのは、前述したローラ等の回転体３５３であるため、第１のノズル台座３２０が回転する際の摩擦の影響を少なくすることができる。ここで、発塵の影響を考慮するなら、回転体３５３の硬度と、第１のノズル台座３２０の硬度は同じであることが望ましい。【００３１】
このような構成によって、ヘッドアクチュエータ１１３という限られた空間の中で効率的に、ノズルの選択動作、上下動作を行うことが可能となる。【００３２】
次に、ヘッド回転動作について図５Ａ及び図５Ｂを用いて説明する。ノズル回転モータ３１６はロータ３１３を回転させることにより、ロータ３１３に取り付けられたノズルシャフト３１１をロータ３１３の中心を回転軸として回転させる。これにより、ノズルシャフト３１１に取り付けられたローラ等の回転体３５３は、第１のノズル台座３２０上を回転する。これにより任意のノズルシャフト３１１を任意の角度で移動することができ、また、Ｌ字型のアーム３５１上に移動することも可能となる。【００３３】
次に本実施例における部品実装動作について具体的に説明する。図６は、ヘッドアクチュエータ１１３の中でも特にノズル回転モータ３１６、ノズルシャフト３１１周辺を説明する図である。ノズルシャフト３１１の内側には、ヘッドカメラ７０１が配置されている。これは、他の表現としては、ノズル回転モータ３１６のロータ３１３の回転軸６００１上にヘッドカメラ７０１が配置されていると表現することもできる。このように配置することで、前述したノズルの選択動作、ヘッド回転動作が行われたとしても、ヘッドカメラ７０１の位置は変わることが無いという利点を有する。また、ヘッドカメラ７０１は部品の実装に支障が無いよう基板１２３に対してノズルシャフト３１１が基板１２３から退避している高さよりも高い位置に配置されている。【００３４】
ヘッドカメラ７０１の撮像範囲（視野７０２と表現することもできる）は、望ましくは部品を実装すべき実装位置６００２（制御部１２４内の設計データから送信される）、実装位置６００２の周辺、ノズルシャフト３１１の先端６０６、電子部品６０２を含むよう設定されている。このように撮像範囲を設定することで、実装すべき位置、及びノズルシャフト３１１の位置を得ることが可能になる。なお、撮像範囲については任意に変更可能である。【００３５】
ヘッドカメラ７０１の焦点深度について説明する。焦点深度は範囲６００３で示すように、実装位置６００２、実装位置６００２の周辺、ノズルシャフト３１１の先端６０６、電子部品６０２を含むよう設定されている。このように焦点深度を設定することで、１回の撮像で基板１２３側の像、部品実装装置側の像、双方を鮮明に得ることができる。この構成については、ヘッドアクチュエータ１１３だけでなく、他のヘッドアクチュエータ１１４、１１５、１１６の構成についても同様である。【００３６】
図７は、本実施例の部品実装動作を説明する図であり、図８はそのフローチャートである。まず、ヘッドカメラ７０１は図７に示すように基板１２３上のある領域の像を得たとする（図８のステップ９０１）。像の中には、ノズルシャフト３１１、電子部品６０２、実装位置である回路パターン８０２が含まれているとする。【００３７】
次に、制御部１２４は、得られた画像から実際の回路パターン８０２の位置を得る（図８のステップ９０２）。より具体的には、制御部１２４は、得られた回路パターン８０２の画像を微分処理してそのエッジを強調し、エッジが強調された微分処理画像と制御部１２４内に保存された参照パターンとをパターンマッチングして回路パターン８０２の位置を得る。なお、回路パターン８０２の位置さえ得ることができれば、その方法は他の画像処理技術を採用しても良い。【００３８】
次に、制御部１２４は、得られた画像から現在のノズルシャフト３１１の位置８０４（電子部品６０２の位置と表現することもできる）を得る（図８のステップ９０３）。【００３９】
次に、制御部１２４は、図８のステップ９０２で得られた回路パターン８０２の位置と現在のノズルシャフト３１１の位置８０４との関係から、部品実装に望ましい位置を得る（図８のステップ９０４）。【００４０】
そして、アクチュエータ１０７、アクチュエータ１０９はヘッドアクチュエータ１１３を移動させ、ノズルシャフト３１１を望ましい位置へ移動する（図８のステップ９０５）。ここで、望ましい位置とは、様々な表現が可能であるが、例えば、ノズルシャフト３１１を下降させるだけで回路パターン８０２に電子部品６０２を実装できる位置と表現することができる。【００４１】
そして、電子部品６０２の実装はこの後に行われることになる（図８のステップ９０６）。【００４２】
なお、部品実装動作は、ヘッドカメラ７０１の視点から見ると、以下のように説明される。図７において、最初は位置８０４の位置にあったノズルシャフト３１１は、アクチュエータ１０７、アクチュエータ１０９によってΔｘ１、Δｙ１だけ移動され、位置８０３の位置へ変更される。この後、ノズルシャフト３１１は前述した上下動作によって下降する。この際、ヘッドカメラ７０１はロータ３１３の回転軸６００１上に配置されているため、ノズルシャフト３１１が下降すると視野の中心に向かってΔｘ２だけ移動して回路パターン８０２へ接近するようにヘッドカメラ７０１では観察されるようになる。この動作については、ヘッドアクチュエータ１１３だけでなく、他のヘッドアクチュエータ１１４、１１５、１１６の構成についても同様である。【００４３】
本実施例では、ヘッドカメラ７０１が実際の実装位置をノズルシャフト３１１も含めて撮像することで、実装位置とノズルシャフト３１１の位置関係をより正確に得ることが可能となり、より高精度な部品実装が可能となる。より具体的に本実施例の効果を説明するなら、例えば、以下のように表現することもできる。
（１）基板１２３へ印刷された回路パターンにずれ、異常が存在しても、ヘッドカメラ７０１によりその状態を確認し、ノズルシャフト３１１の位置を確認することで、高精度な部品実装を行うことが可能となる。
（２）ノズルシャフト３１１よりも内側のスペースにヘッドカメラ７０１を配置するため、ヘッドアクチュエータ１１３をコンパクトに構成できる。
【実施例２】
【００４４】
次に図９を用いて実施例２を説明する。実施例１では、部品実装動作の前に、ヘッドカメラ７０１によって基板を撮像した。しかし、ヘッドカメラ７０１が基板を撮像するタイミングは部品実装動作の後であっても良い。部品実装動作の後に基板を撮像すれば、実装位置に正しく電子部品が装着されているかを確認することができる。本実施例はこの点を特徴とするものである。以下、本実施例について、主に実施例１と異なる部分を説明する。【００４５】
図９は本実施例を説明する図であり、図８のステップ９０６の部品実装動作後に、ヘッドカメラ７０１によって撮像された画像である。また、図１０は、本実施例を説明するフローチャートである。【００４６】
本実施例では、図８のステップ９０６の動作の後に、ヘッドカメラ７０１は基板１２３を撮像し、図９に示す画像を得る（図１０のステップ１１０１）。今、ヘッドカメラ７０１で得られた画像には、回路パターン１００４上には、電子部品１００２が搭載され、回路パターン１００５上には、電子部品１００３が搭載されているものとする。【００４７】
制御部１２４は、実線１００６、実線１００７で示した部分について、参照画像とのパターンマッチングを行う。つまり、実装誤差が許容値以内か否か判断する（図１０のステップ１１０２）。マッチングの度合いが許容値以内、つまり実装誤差が許容値以内であれば、部品の実装は正常であると判断され（図１０のステップ１１０３）、許容値より大きければ部品の実装は異常であると判断される（図１０のステップ１１０４）。なお、この許容値は任意に変更可能である。図９の画像であれば、回路パターン１００４に対する電子部品１００２の実装は正常であると判断されるし、回路パターン１００５に対する電子部品１００３の実装は異常であると判断される。なお、異常であると判断された実装部分については、作業者に対してエラーが通知される場合もある。この動作については、ヘッドアクチュエータ１１３だけでなく、他のヘッドアクチュエータ１１４、１１５、１１６についても同様である。本実施例によれば、早期に実装不良を確認することが可能となるし、実装不良の管理もより容易になる。
【実施例３】
【００４８】
次に実施例３について説明する。実施例１、及び２では、基板１２３上でヘッドカメラ７０１が像を得る例について説明した。ここで、部品実装の高密度化にあっては、電子部品自体が小型化することも考えられる。本実施例は、この点に配慮したものであり、部品供給装置１２１、１２２の少なくとも１つの上でヘッドカメラ７０１が電子部品を撮像することを特徴とする。【００４９】
より具体的に本実施例を説明する。図１１は本実施例を説明する図であり、ヘッドアクチュエータ１１３が部品供給装置１２１上に移動し、電子部品１１１１をノズルシャフト３１１に補給する動作を説明する断面図である。【００５０】
今、電子部品１１１１は搬送テープ１１１０内に格納されているものとする。電子部品１１１１はその上部を封止テープで覆われている場合もあるが、その封止テープは部品供給装置１２１内の露出装置で除去されているものとする。ノズルシャフト３１１は、電子部品１１１１を前述した上下動作を行うことで吸着保持する。【００５１】
ヘッドカメラ７０１の撮像範囲（視野７０２と表現することもできる）は、望ましくは部品を吸着保持すべき電子部品１１１１、ノズルシャフト３１１の先端６０６を含むよう設定されている。このように撮像範囲を設定することで、１回の撮像で電子部品１１１１の位置、ノズルシャフト３１１の先端６０６の位置を得ることが可能になる。なお、撮像範囲については任意に変更可能である。【００５２】
ヘッドカメラ７０１の焦点深度について説明する。焦点深度は範囲６００３で示すように、電子部品１１１１の位置、ノズルシャフト３１１の先端６０６を含むよう設定されている。このように焦点深度を設定することで、１回の撮像で電子部品１１１１、ノズルシャフト３１１の先端６０６、双方を鮮明に得ることができる。この構成については、ヘッドアクチュエータ１１３だけでなく、他のヘッドアクチュエータ１１４、１１５、１１６の構成についても同様である。【００５３】
次に、実際の吸着保持動作を図１２、図１３を用いて説明する。図１２は搬送テープ１１１０をその上方から説明する図であり、図１３は吸着保持動作を説明するフローチャートである。【００５４】
まず、ヘッドカメラ７０１は図１２に示すように搬送テープ１１１０上のある領域の画像を得たとする（図１３のステップ１３０１）。画像の中には、ノズルシャフト３１１、電子部品１１１１が含まれているとする。【００５５】
次に、制御部１２４は、得られた画像から実際の電子部品１１１１の位置を得る（図１３のステップ１３０２）。より具体的には、制御部１２４は、得られた電子部品１１１１の画像を微分処理してそのエッジを強調し、エッジが強調された微分処理画像と制御部１２４内に保存された参照パターンとをパターンマッチングして電子部品１１１１の位置を得る。なお、電子部品１１１１の位置さえ得ることができれば、その方法は他の画像処理技術を採用しても良い。【００５６】
次に、制御部１２４は、得られた画像から現在のノズルシャフト３１１の位置８０４（電子部品６０２の位置と表現することもできる）を得る（図８のステップ１３０３）。【００５７】
次に、制御部１２４は、図１３のステップ１３０２で得られた電子部品１１１１の位置と現在のノズルシャフト３１１の位置８０４との関係から、吸着保持に望ましい位置を得る（図１３のステップ１３０４）。【００５８】
そして、アクチュエータ１０７、アクチュエータ１０９はヘッドアクチュエータ１１３を移動させ、ノズルシャフト３１１を望ましい位置へ移動する（図１３のステップ１３０５）。ここで、望ましい位置とは、様々な表現が可能であるが、例えば、ノズルシャフト３１１を下降させるだけで電子部品１１１１を吸着保持できる位置と表現することができる。【００５９】
そして、ノズルシャフト３１１の下降動作、吸着保持動作は、この後に行われることになる（図１３のステップ１３０６）。【００６０】
なお、吸着保持動作は、ヘッドカメラ７０１の視点から見ると、以下のように説明される。図１２において、最初は位置８０４の位置にあったノズルシャフト３１１は、アクチュエータ１０７、アクチュエータ１０９によってΔｘ１、Δｙ１だけ移動され、位置８０３の位置へ変更される。この後、ノズルシャフト３１１は前述した上下動作によって下降する。この際、ヘッドカメラ７０１はロータ３１３の回転軸６００１上に配置されているため、ノズルシャフト３１１が下降すると視野の中心に向かってΔｘ２だけ移動して電子部品１１１１へ接近するようにヘッドカメラ７０１では観察されるようになる。この動作については、ヘッドアクチュエータ１１３だけでなく、他のヘッドアクチュエータ１１４、１１５、１１６の構成についても同様である。【００６１】
以上、本発明を実施例１、実施例２を用いて説明したが、本発明は実施例に限定されない。ヘッドアクチュエータの構成は他の構成でも良く、基板上で実装すべき位置、ノズルシャフト先端の少なくとも１つを含む画像を得て、部品実装を行うものは本明細書の開示の範囲内である。
【符号の説明】
【００６２】
１０１  第１のＹビーム
１０２  第２のＹビーム
１０３、１０４、１０５、１０６  Ｘビーム
１０７、１０８、１０９、１１０、１１１、１１２  アクチュエータ
１１３、１１４、１１５、１１６  ヘッドアクチュエータ
１１７、１１８、１１９、１２０  カメラ
１２１、１２２  部品供給装置
１２３  基板
１２４  制御部
３０２  ノズル上下モータ
３０３  ノズル選択モータ
３０４  センターシャフト
３０５  ロータリージョイント
３０６  センタースプライン
３０７  ノズル選択用ベルト
３０８  ボールネジ
３１０  ノズル移動部
３１１  ノズルシャフト
３１７  ノズル
３１８  ガイド
３２０  第１のノズル台座
３２１  ネジ穴
３５０  凸な部分
３５１  アーム
３５２  切り欠き部
３５３  回転体
３８０  第２のノズル台座
５０１  凸部
５０２  封止部材
７０１  ヘッドカメラ
【図１】
2013161878.tif 000003
【図２】
2013161878.tif 000004
【図３】
2013161878.tif 000005
【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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