(57)【要約】  結晶相がペロブスカイト構造を有し、圧電特性、特に、電気機械結合係数ｋや圧電ｄ定数が従来の圧電配向セラミックスよりも良好な圧電配向セラミックスおよび圧電アクチュエータを提供する。  ペロブスカイト構造である圧電配向セラミックスにおいて、ペロブスカイト構造における＜１００＞軸の配向度をＬｏｔｇｅｒｉｎｇ法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の端面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向として、圧電配向セラミックスとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とのなす角が、３０°以上７５°以下の角度であることを特徴とする、圧電配向セラミックス、およびこの圧電配向セラミックスを用いた圧電アクチュエータである。
2013088927.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスにおいて、
ペロブスカイト構造における＜１００＞軸の配向度をＬｏｔｇｅｒｉｎｇ法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向として、
圧電配向セラミックスとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向とのなす角が、３０°以上７５°以下の角度であることを特徴とする、圧電配向セラミックス。
【請求項２】
ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスからなる圧電アクチュエータにおいて、
前記圧電配向セラミックスは、
ペロブスカイト構造における＜１００＞軸の配向度をＬｏｔｇｅｒｉｎｇ法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向として、
圧電アクチュエータとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向とのなす角が、３０°以上７５°以下の角度であることを特徴とする、圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスおよび圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、誘電体材料や圧電体材料として、ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスが使用されている。これらのペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスにおいては、その結晶を配向させることによって、圧電配向セラミックスの電気特性が向上することが知られている。【０００３】
ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスの製造方法として、たとえば、特許文献１に記載の技術が提案されている。特許文献１に記載された技術は、ペロブスカイト構造を有する主成分１００ｍｏｌに対して５ｍｏｌ以下（ただし０ｍｏｌを除く）の割合で含有される副成分とを含み、該副成分として、たとえば３ｄ元素を含む仮焼粉末を溶媒と混合して作製したスラリーを磁場中で成形しようとする圧電配向セラミックスの製造方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−０３７０６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のペロブスカイト構造を有する主成分１００ｍｏｌに対して副成分５ｍｏｌとした圧電配向セラミックスでは、配向した圧電配向セラミックスが得られるが、十分な電気機械結合係数ｋが得られないため、たとえば、センサーに使用した場合の感度や、圧電トランスに使用した場合の変換効率が低いという問題があった。【０００６】
それゆえに、この発明の主たる目的は、結晶相がペロブスカイト構造を有し、圧電特性、特に、電気機械結合係数ｋや圧電ｄ定数が従来の圧電配向セラミックスよりも良好な圧電配向セラミックスおよび圧電アクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明にかかる圧電配向セラミックスは、ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスにおいて、ペロブスカイト構造における＜１００＞軸の配向度をＬｏｔｇｅｒｉｎｇ法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向として、圧電配向セラミックスとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向とのなす角が３０°以上７５°以下の角度であることを特徴とする、圧電配向セラミックスである。
また、この発明にかかる圧電アクチュエータは、ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスからなる素子を含む圧電アクチュエータにおいて、圧電配向セラミックスは、ペロブスカイト構造におけるペロブスカイト構造における＜１００＞軸の配向度をＬｏｔｇｅｒｉｎｇ法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向として、圧電アクチュエータとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向とのなす角が、３０°以上７５°以下の角度であることを特徴とする、圧電アクチュエータである。
【発明の効果】
【０００８】
この発明にかかる圧電配向セラミックスによれば、ペロブスカイト構造である圧電配向セラミックスにおいて、ペロブスカイト構造における＜１００＞軸の配向度をＬｏｔｇｅｒｉｎｇ法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向として、圧電配向セラミックスとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向とのなす角が、３０°以上７５°以下の角度であるので、電気機械結合係数ｋや圧電ｄ定数が従来の圧電配向セラミックスより良好な圧電配向セラミックスを得ることができる。
また、この発明にかかる圧電アクチュエータによれば、ペロブスカイト構造である圧電配向セラミックスからなる圧電アクチュエータにおいて、圧電配向セラミックスが、ペロブスカイト構造における＜１００＞軸の配向度をＬｏｔｇｅｒｉｎｇ法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向として、圧電アクチュエータとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向とのなす角が、３０°以上７５°以下の角度であるので、良好な圧電ｄ定数を有する圧電アクチュエータを得ることができる。【０００９】
この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】無配向セラミックスの概念図である。
【図２】配向セラミックスの概念図であり、（ａ）は、配向セラミックスの焼結体の長手方向と配向方向とのなす角が直角の場合であり、（ｂ）は、配向セラミックスの焼結体の長手方向と配向方向とのなす角が４５°の場合である。なお、この概念図のセラミックスにおいて、振動方向は、配向セラミックスの焼結体の長手方向とする。
【図３】圧電配向セラミックスの素子の振動方向と配向方向とのなす角を示す説明図である。
【図４】本発明にかかる圧電配向セラミックスにおいて推定されるメカニズムの説明図である。
【図５】本発明にかかる圧電アクチュエータ素子の一実施形態の外観図である。
【図６】本発明にかかる圧電アクチュエータ素子の一実施形態のＡ−Ａ断面図解図である。
【図７】本発明にかかる圧電アクチュエータ素子の振動方向と磁場印加方向との関係を示す説明図である。
【図８】得られた圧電配向セラミックスの焼結体の所定の断面におけるＸＲＤチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明にかかる圧電配向セラミックスおよびその圧電配向セラミックスを用いた圧電アクチュエータの一実施の形態について説明する。
【００１２】
（圧電配向セラミックス）
本発明に係る圧電配向セラミックスは、ペロブスカイト構造である圧電配向セラミックスである。また、この圧電配向セラミックスは、Ｐｂ（（Ｔｉ1-xＺｒx）1-y（Ｍａ1/3Ｍｂ2/3）y）Ｏ3系化合物で表され、ＭａとしてはＮｉ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｍｇの少なくとも１種類、ＭｂとしてはＮｂ，Ｓｂ，Ｗの少なくとも１種類である化合物、またはＰｂ（（Ｔｉ1-xＺｒx）1-y（Ｃｒ1/2Ｍｂ1/2）y）Ｏ3系化合物で表され、ＭｂとしてはＮｂ，Ｓｂ，Ｗの少なくとも１種類である化合物、たとえば、Ｐｂ（（Ｔｉ1-xＺｒx）1-y（Ｎｉ1/3Ｎｂ2/3）y）Ｏ3（ＰＮＮ−ＰＺＴ）系化合物を主成分とする。
【００１３】
また、本発明に係る圧電配向セラミックスの所定の断面におけるＸ線回折（ＸＲＤ）パターンに基づいて、ペロブスカイト構造における＜１００＞に配向している、圧電配向セラミックスである。なお、本発明にかかる圧電配向セラミックスが、＜１００＞の方向に配向していることは、圧電配向セラミックスの所定の断面におけるＸ線回折（ＸＲＤ）パターンに基づいて、Ｌｏｔｇｅｒｉｎｇ（ロットゲーリング）法により算出され、ペロブスカイト構造における＜１００＞軸の配向度をＬｏｔｇｅｒｉｎｇ法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向とする。
【００１４】
そして、本発明に係る圧電配向セラミックスは、そのペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向と、圧電配向セラミックスとして主として使用する振動方向とのなす角が、３０°以上７５°以下である。
【００１５】
ここで、振動方向は、本発明に係る圧電配向セラミックスを使用する用途によって、たとえば、次のように定義される。すなわち、振動方向とは、用途がセラミックスの振動を直接利用するアクチュエータであれば、素子の伸縮方向であり、たわみ振動を利用する用途であれば、振動の直交方向であり、圧電トランスなどのように大きな伸縮が現れない用途であれば、利用している主要な振動モードから、例えば、Ｋ31振動モードをする用途であれば、分極方向と直交する方向である。
【００１６】
また、ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスにおいて、ペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向と、圧電配向セラミックスとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とのなす角が、３０°以上７５°以下の角度とすると、圧電配向セラミックスにおける電気機械結合係数ｋは向上するが、その向上について推定される理由（メカニズム）について、図１ないし図４により説明される。
【００１７】
図１は、無配向セラミックスの概念図である。図２は、配向セラミックスの概念図であり、（ａ）は、配向セラミックスの焼結体の長手方向とペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向とのなす角が直角の場合であり、（ｂ）は、配向セラミックスの焼結体の長手方向とペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向とのなす角が４５°の場合である。なお、この概念図の配向セラミックスにおいて、振動方向は配向セラミックスの焼結体の長手方向とする。また、図３は、圧電配向セラミックスの素子の振動方向と配向方向とのなす角を示す説明図であり、図４は、本発明にかかる圧電配向セラミックスにおいて推定されるメカニズムの説明図である。
【００１８】
まず、図１に示すように、配向していないセラミックスの焼結体において、ペロブスカイト構造の結晶は、ランダムな向きをとっている。これに対し、図２に示すように、配向したセラミックスの焼結体において、ペロブスカイト構造の結晶は、たとえば、＜１００＞方向が同一の方向に向いて並んでおり、この方向を法線とする断面において配向度をＬｏｔｇｅｒｉｎｇ法により求めると、他の方向を法線とする断面よりも高い配向度が得られる。このセラミックスに、図３において示すように、長軸および短軸に沿って延びる一方面と該一方面に対向する他方面に電極を形成し、この電極間に電圧を印加してセラミックスに分極処理を施す。分極処理後、電極間に駆動電圧を印加すると、図４において示すように、セラミックス内のペロブスカイト構造の結晶のすべりモードに相当する変位が、素子長手方向の変位として得られる。このことによって、大きな電気機械結合係数ｋや大きな圧電ｄ定数が得られると考えられる。
【００１９】
したがって、本発明にかかる圧電配向セラミックスによれば、圧電特性、特に、電気機械結合係数ｋや圧電ｄ定数が従来の圧電配向セラミックスより良好な圧電配向セラミックスを得ることができる。
【００２０】
（圧電アクチュエータ）
次に、本発明にかかる圧電アクチュエータの一実施の形態について説明する。
【００２１】
図５は、この発明にかかる圧電アクチュエータ素子の一例を示す外観図である。図６は、この発明にかかる圧電アクチュエータ素子の一例のＡ−Ａ断面図解図である。図７は、この発明にかかる圧電アクチュエータ素子の振動方向（矢印Ｂで示す方向）とペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向（矢印Ｄで示す方向）との関係を示した図である。
【００２２】
図５に示す圧電アクチュエータ素子１０は、直方体状の圧電セラミック素体１２と、該圧電セラミック素体１２の表面に形成される外部電極１４ａ及び外部電極１４ｂと、該圧電セラミック素体１２の内部に形成される内部電極１６とを含む。
【００２３】
圧電セラミック素体１２は、たとえば、三成分系ＰＺＴ（Ｐｂ（（Ｔｉ1-xＺｒx）1-y）（（ＭａaＭｂb）y）Ｏ3）化合物を主成分とするペロブスカイト構造の圧電配向セラミックスからなる２層のセラミック層１８ａ、１８ｂを含む。これらのセラミック層１８ａ、１８ｂは、積層され、セラミック層１８ａ、１８ｂの間には、たとえばＡｇからなる内部電極１６が形成される。この場合、内部電極１６は、一端部が圧電セラミック素体１２の一端部に延びて形成される。圧電アクチュエータ素子１０の分極方向は、内部電極１６面に対し垂直方向とされ、セラミック層１８ａ、セラミック層１８ｂ毎に互いに逆方向（矢印Ｃで示す方向）に分極されている。
【００２４】
圧電セラミック素体１２の一端面には、たとえばＣｕからなる外部電極１４ａが内部電極１６に電気的に接続されるように形成される。また、圧電セラミック素体１２の上面の一部、他端面および下面の一部には、たとえばＣｕからなる外部電極１４ｂが形成される。
【００２５】
圧電アクチュエータ素子１０は、外部電極１４ａと外部電極１４ｂとの間に電圧が印加されると、矢印Ｂで示す長手方向（ｚ軸方向）に伸縮する。図３に示すように、セラミック層１８ａ、１８ｂにおけるペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向（矢印Ｄで示す方向）は、矢印Ｂで示す振動方向に対して、なす角θを有している。このなす角θは、３０°以上７５°以下に形成されるのが好ましい。
【００２６】
本発明にかかる圧電アクチュエータによれば、圧電特性、特に、圧電ｄ定数の良好な圧電アクチュエータを得ることができる。
【００２７】
次に、本発明に係る圧電配向セラミックスおよびその圧電配向セラミックスを用いた圧電アクチュエータの効果を確認するために行った実験例について以下に説明する。
【００２８】
圧電配向セラミックスは、以下に記載の作製方法により作製された。
【００２９】
まず、酸化鉛、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ニッケルおよび酸化ニオブなどの素原料が、組成としてＰｂ（（Ｔｉ1-xＺｒx）1-y（Ｎｉ1/3Ｎｂ2/3）y）Ｏ3（ここで、（１−ｘ）／ｘ＝１．２，ｙ＝０．２７）となるように調合された。
【００３０】
次に、上記の記載のとおり調合されたものは、水を溶媒としてボールミルにより混合撹拌され、素原料混合スラリーが得られた。得られた素原料混合スラリーを乾燥したものは、９００℃で仮焼され、仮焼粉末が得られた。続いて、得られた仮焼粉末とＫＣｌとは、重量比で１：１となるように混合され、アルミナるつぼ中で１０００℃、１２時間熱処理して室温まで冷却した後、ＫＣｌを水洗除去して、組成物粉末として、Ｐｂ（（Ｔｉ1-xＺｒx）1-y（Ｎｉ1/3Ｎｂ2/3）y）Ｏ3のフラックス中で熱処理した粉末が得られた。
【００３１】
次に、得られたフラックス中で熱処理した粉末を２５ｇ取り出し、このフラックス中で熱処理した粉末１００重量部に対し、分散剤１．５重量部、純水４０重量部を加えて８時間ボールミル混合され、組成物粉末スラリーが得られた。
【００３２】
次に、得られた組成物粉末スラリーは、１０Ｔの磁場中で成形することにより、成形体が得られた。得られた成形体は、焼成温度１１５０℃、トップ温度での保持時間３時間の条件で焼成され、圧電配向セラミックスにかかる焼結体が得られた。得られた焼結体は、磁場印加方向に平行に、ペロブスカイト構造における＜１００＞方向に配向しており、Ｌｏｔｇｅｒｉｎｇ法により測定された配向度は、８０％であった。
【００３３】
また、得られた圧電配向セラミックスを評価するために、以下のように、圧電配向セラミックスの素子を作製した。
得られた焼結体から長軸方向８ｍｍ、短軸方向３ｍｍ、厚み１ｍｍの矩形板を、矩形板の長手方向とペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向とのなす角が０°〜９０°となるように圧電配向セラミックスの素体を切り出した。なお、圧電配向セラミックスの素体の切り出しは、矩形板の長手方向とペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向とのなす角に応じて切り出され、表１に示すように、試料１ないし試料９が得られた。
【００３４】
そして、切り出した圧電配向セラミックスの素体における長軸および短軸に沿って延びる一方面と該一方面に対向する他方面とに、たとえば、Ａｇペーストを塗布して焼き付けてＡｇ電極を形成し、試料１ないし試料９にかかる圧電配向セラミックスの素子が得られた。
【００３５】
なお、比較のために、上記の方法により得られた組成物粉末スラリーに対して無磁場により成形することにより成形体が得られた。この得られた成形体は、焼成温度１１５０℃、トップ温度での保持時間３時間の条件で焼成され、焼結体が得られた。この焼結体は配向していなかった。この焼結体から長軸方向８ｍｍ、短軸方向３ｍｍ、厚み１ｍｍの矩形板の素体を切り出し、試料１０の素体が得られた。また、切り出された試料１０の素体における長軸および短軸に沿って延びる一方面と該一方面に対向する他方面とに、たとえば、Ａｇペーストを塗布して焼き付けてＡｇ電極を形成し、試料１０にかかる圧電セラミックスの素子が得られた。
【００３６】
次に、得られた圧電配向セラミックスの素子について、以下のようにして評価した。
【００３７】
試料１ないし試料１０の素子を８０℃のシリコンオイル中で厚み方向に３ｋＶ／ｍｍの直流電圧を１０分間印加して分極処理した上で、電気機械結合係数ｋ31等の各種圧電特性を測定した。なお、各種圧電特性は、「圧電セラミック振動子の電気的試験方法」（ＥＭＡＳ−６１００）において規定されている測定方法により測定し、矩形振動子の長辺方向振動について、インピーダンスアナライザ（ヒューレット・パッカード社製）を使用して、共振・反共振法により測定した。
【００３８】
表１は、得られた試料１ないし試料１０の圧電ｄ33定数、電気機械結合係数ｋ31、機械的品質係数Ｑｍ、比誘電率ε33T／ε0、弾性定数Ｓ11Eおよび微小電界での圧電ｄ31定数の測定結果を示す。試料番号欄の「＊」は、本発明の範囲外の比較例であることを示す。
【００３９】
【表１】
2013088927.tif 000003
【００４０】
良好か否かの判定基準は、電気機械結合係数ｋ31が３９％以上である試料について、良好な電気機械結合係数ｋ31が得られていると判定した。表１によると、ペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向と、圧電配向セラミックの素子の振動方向とのなす角が、３０°以上７５°以下の試料では、電気機械結合係数ｋ31がいずれも３９％以上と良好な圧電特性が得られている。特に、４５°の試料５は、試料中において最も高い４４．３％の電気機械結合係数ｋ31が得られた。
【００４１】
一方、試料１０に示すように、無磁場品の試料にかかる素子やペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向と、圧電配向セラミックの素子の振動方向とのなす角が、０°、１５°および９０°の試料にかかる素子では、電気機械結合係数ｋ31が３９％未満と低く、良好な圧電特性が得られなかった。
【００４２】
次に、圧電アクチュエータ素子は、以下に記載の作製方法により作製された。
【００４３】
まず、酸化鉛、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ニッケルおよび酸化ニオブなどの素原料が、組成としてＰｂ（（Ｔｉ1-xＺｒx）1-y（Ｎｉ1/3Ｎｂ2/3）y）Ｏ3（ここで、（１−ｘ）／ｘ＝１．２，ｙ＝０．２７）となるように調合された。
【００４４】
次に、上記の記載のとおり調合されたものは、水を溶媒としてボールミルにより混合撹拌され、素原料スラリーが得られた。得られた素原料スラリーを乾燥したものは、９００℃で仮焼され、組成物粉末として、仮焼粉末が得られた。続いて、得られた仮焼粉末とＫＣｌとは、重量比で１：１となるように混合され、アルミナるつぼ中で１０００℃、１２時間熱処理して室温まで冷却した後、ＫＣｌを水洗除去して、組成物粉末として、Ｐｂ（（Ｔｉ1-xＺｒx）1-y（Ｎｉ1/3Ｎｂ2/3）y）Ｏ3のフラックス中で熱処理した粉末が得られた。
【００４５】
次に、得られたフラックス中で熱処理した粉末を２５ｇ取り出し、このフラックス中で熱処理した粉末１００重量部に対し、分散剤１．５重量部、純水４０重量部を加えて８時間ボールミル混合され、組成物粉末スラリーが得られた。
【００４６】
次に、得られた組成物粉末スラリーは、１０Ｔの磁場中でシート成形することにより、ペロブスカイト構造における＜１００＞方向に配向したグリーンシートが得られた。そして、磁場印加しながら成形することにより、グリーンシートに含まれるペロブスカイト構造の結晶は、磁場印加方向に平行に＜１００＞方向に配向した。そして、この配向方向と振動方向とのなす角は、図７のθで表される。なす角θは、表２に示すように、０°から９０°の間で変化させた。
【００４７】
この得られたグリーンシートの一方主面に、たとえばＡｇペーストを塗布し、内部電極１６を形成し、所定の大きさに打ち抜いた。そして、内部電極１６が一方主面に形成されたグリーンシートと、さらに内部電極が形成されていないグリーンシートとを積層し、厚み方向に圧着した後焼成し、積層体を得た。その後、得られた積層体に、図５に示すように、外部電極１４ａ、１４ｂを形成した。セラミック層１８ａ、１８ｂは、内部電極１６を介して、厚み方向に重なるように配置される。そして、作製された積層体は焼成され、その後、分極処理を施し、図５に示すような、圧電アクチュエータ素子１０が得られた。なお、圧電アクチュエータ素子１０の分極方向は、内部電極１６面に対し垂直方向とされ、セラミック層１８ａ、セラミック層１８ｂ毎に互いに逆方向（矢印Ｃで示す方向）に行った。
【００４８】
得られた圧電アクチュエータ素子１０は、ペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向（矢印Ｄで示す方向）と、圧電アクチュエータ素子として主として使用する振動方向（矢印Ｂで示す方向）とのなす角θの変化に対応して、表２に示すように、試料１１ないし試料１９が作製された。なお、作製された圧電アクチュエータ素子の厚み（図６中のｙ軸方向）は、２００μｍであった。
【００４９】
なお、比較のために、上記の方法により得られた組成物粉末スラリーに対して無磁場により成形することによりグリーンシートが得られた。この得られたグリーンシートを用いて、上記の製造方法と同様の方法により、試料２０にかかる圧電アクチュエータ素子が得られた。この圧電アクチュエータ素子は配向していなかった。
【００５０】
次に、得られた圧電アクチュエータ素子について、以下のようにして評価した。
【００５１】
試料１１ないし試料２０の圧電アクチュエータ素子については、圧電ｄ31定数を測定した。すなわち、この圧電アクチュエータ素子を実効電圧１０Ｖ、周波数１Ｈｚの正弦波電圧で駆動した時の印加電圧と変位量とから、圧電アクチュエータ素子の駆動時の圧電ｄ31定数を測定した。
【００５２】
表２は、得られた試料１１ないし試料２０の圧電ｄ31定数の測定結果を示す。試料番号欄の「＊」は、本発明の範囲外の比較例であることを示す。
【００５３】
【表２】
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【００５４】
良好か否かの判定基準は、圧電ｄ31定数の測定結果が、３００ｐＣ／Ｎ以上である試料について、良好な圧電ｄ31定数が得られていると判定した。表２によると、ペロブスカイト構造における＜１００＞配向方向と、圧電アクチュエータ素子として主として使用する振動方向とのなす角が、３０°以上７５°以下の試料では、圧電ｄ31定数がいずれも３００ｐＣ／Ｎ以上と良好な圧電特性が得られている。
【００５５】
上述の実施形態では、圧電アクチュエータのセラミック層は２層により形成されているが、これに限るものではなく、多層に形成されてもよい。また、本発明の圧電配向セラミックスを利用したものであれば、例えばセンサ素子などにも利用することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１０  圧電アクチュエータ素子
１２  圧電セラミック素体
１４ａ、１４ｂ  外部電極
１６  内部電極
１８ａ、１８ｂ  セラミック層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2013088927.tif 000008
【図５】
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【図６】
2013088927.tif 000010
【図７】
2013088927.tif 000011
【図８】
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【国際調査報告】
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