(57)【要約】  バスバー電極又はフィンガー電極の凹凸や反りに追従して、接触状態を良好に維持できるプローブピンを提供する。  プローブピン３０は、上下方向に延びるピン本体３１と、ピン本体３１の下端に設けられた回動連結部３２と、ピン本体３１に回動連結部３２を介して回動可能に連結された円形（又はバー形状）のピン先端部３３とから構成される。ピン本体３１は、これを軸方向に伸長させるように弾性的に付勢する伸縮機構（スプリング３１ｃ）を内蔵している。回動連結部３２は、ピン本体３１に対し、ピン先端部３３を、少なくとも、バスバー電極４の延在方向線（フィンガー電極の並設方向線）を含む垂直面内で、回動可能に連結する。
2013001910.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面上にそれぞれ所定の方向に延在し、延在方向と直交する方向に並設される複数のフィンガー電極を有する太陽電池セルに対して用いられ、前記フィンガー電極の並設方向に並べられて各先端部の先端面で前記フィンガー電極に接触する複数のプローブピンを備える測定治具であって、
前記各プローブピンのピン本体は、これを軸方向に伸長させるよう弾性的に付勢する伸縮機構を内蔵し、
前記各プローブピンの先端部は、前記ピン本体に対し、少なくとも、前記受光面に直交し且つ前記フィンガー電極の並設方向線を含む面内で、回動可能に連結されることを特徴とする太陽電池セルの測定治具。
【請求項２】
前記各プローブピンの先端部は、前記ピン本体に対し、少なくとも、前記受光面に直交し且つ前記フィンガー電極の並設方向線を含む第１面内と、前記受光面及び前記第１面に直交する第２面内とで、それぞれ回動可能であることを特徴とする請求項１記載の太陽電池セルの測定治具。
【請求項３】
前記各プローブピンの先端部は、前記ピン本体に対し、前記受光面に直交する任意の面内で回動可能であることを特徴とする請求項２記載の太陽電池セルの測定治具。
【請求項４】
前記各プローブピンの先端部は、前記ピン本体に対し、球面継手により連結されることを特徴とする請求項３記載の太陽電池セルの測定治具。
【請求項５】
前記各プローブピンの先端部は、前記ピン本体との間に弾性変形により屈曲可能な屈曲部を有し、該屈曲部を支点として回動可能であることを特徴とする請求項３記載の太陽電池セルの測定治具。
【請求項６】
前記各プローブピンの先端部は、円形であることを特徴とする請求項１記載の太陽電池セルの測定治具。
【請求項７】
前記各プローブピンの先端部は、前記フィンガー電極の並設方向に長いバー形状をなしていることを特徴とする請求項１記載の太陽電池セルの測定治具。
【請求項８】
前記太陽電池セルは、前記受光面上に前記フィンガー電極の並設方向に延在して前記複数のフィンガー電極をつなぐバスバー電極を更に有し、
前記複数のプローブピンは、前記バスバー電極の延在方向に並べられ、前記バスバー電極を介して前記フィンガー電極と接触することを特徴とする請求項１記載の太陽電池セルの測定治具。
【請求項９】
前記プローブピンは、前記太陽電池セルに流れる電流を測定するための電流測定用プローブピンと、前記太陽電池セルに発生する電圧を測定するための電圧測定用プローブピンとを含み、
前記電流測定用プローブピンと前記電圧測定用プローブピンとは絶縁関係にあることを特徴とする請求項１記載の太陽電池セルの測定治具。
【請求項１０】
請求項１記載の太陽電池セルの測定治具と、測定対象の太陽電池セルに疑似太陽光を照射する光源と、前記プローブピンを介して測定対象の太陽電池セルの電気的特性を測定する測定器と、を含んで構成されることを特徴とする太陽電池性能の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池セルの電気特性測定用のプローブピンを備える測定治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池セルは、受光面上にそれぞれ所定の方向に延在し、延在方向と直交する方向に並設される複数のフィンガー電極を有し、また一般には、受光面上に前記フィンガー電極の並設方向に延在して前記複数のフィンガー電極をつなぐバスバー電極を有している。【０００３】
太陽電池セルの電気特性の測定時には、擬似太陽光を照射しつつ、バスバー電極と裏面電極との間の電流・電圧を測定するが、電流測定のために、バスバー電極に対しては、バスバー電極の延在方向に並べた複数のプローブピンを接触させている。【０００４】
ここで、特許文献１などに開示されているように、プローブピンは、これを軸方向に伸長させるよう弾性的に付勢する伸縮機構を内蔵しており、具体的には、スプリングを組み込んだり、ピン自体を弾性変形可能としたりしてある。また、プローブピンの先端部形状は、円柱状のピン本体をベースにするため、一般には円形をなし、円形の先端面でバスバー電極に接触する。【０００５】
尚、特許文献２などに開示されているように、半導体集積回路の電気特性測定用のプローブピンとしては、先鋭化された先端部を持つものなどが用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】日本国公開特許公報：特開２００６−１１８９８３
【特許文献２】日本国公開特許公報：特開２００７−０２４６６４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、細長く延在するバスバー電極の表面に凹凸を有している場合や、太陽電池セル自体がバスバー電極の延在方向に反りを有している場合においては、プローブピンを伸縮機構により軸方向に進退移動可能としただけでは、プローブピンの先端面を均一にバスバー電極に接触させることができない。このため、プローブピンとバスバー電極との非接触部ができて、電気抵抗が増大し、測定ロス（実際のセルの出力特性よりも低出力の測定値となってしまう現象）を招く。【０００８】
また、最近は、フィンガー電極上にバスバー電極を形成せずに、太陽電池モジュールの組立工程にてフィンガー電極に配線用リボンを直接導電性材料で接合する、「バスバーレス」の太陽電池セルが検討されている。このような太陽電池セルの測定時は、プローブピンをフィンガー電極の並設方向に並べてフィンガー電極に接触させることになるが、フィンガー電極の高さが不揃いなため、凹凸差により接触不良を生じるなど、同様の問題があった。【０００９】
また、半導体集積回路用のプローブピンを太陽電池セルの測定に転用した場合は、その先端形状により、セル表面を傷付けたり、セルを割ってしまったりする恐れがある。しかも、ピン先端部とセル表面との接触面積が小さいため、電気抵抗が大きくなり、測定ロスが大きくなる。従って、太陽電池セルの評価専用のプローブピンの開発が必要であった。【００１０】
本発明は、このような実状に鑑み、太陽電池セルの測定治具として、プローブピンが、バスバー電極の延在方向（「バスバーレス」のものを含めて表現すれば、フィンガー電極の並設方向）の凹凸や反りに追随できるようにしたものを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る測定治具は、受光面上にそれぞれ所定の方向に延在し、延在方向と直交する方向に並設される複数のフィンガー電極を有する太陽電池セルに対して用いられ、フィンガー電極の並設方向に並べられて各先端部の先端面でフィンガー電極に接触する複数のプローブピンを備える。【００１２】
尚、太陽電池セルが、受光面上にフィンガー電極の並設方向に延在して複数のフィンガー電極をつなぐバスバー電極を更に有する場合、複数のプローブピンは、バスバー電極の延在方向に並べられ、バスバー電極を介してフィンガー電極と接触することになる。【００１３】
ここにおいて、各プローブピンのピン本体は、これを軸方向に伸長させるよう弾性的に付勢する伸縮機構を内蔵し、各プローブピンの先端部は、ピン本体に対し、少なくとも、受光面に直交し且つフィンガー電極の並設方向線（バスバー電極の延在方向線）を含む面内で、回動可能に連結される構成とした。【００１４】
更には、各プローブピンの先端部が、ピン本体に対し、受光面に直交し且つフィンガー電極の並設方向線を含む第１面内と、受光面及び第１面と直交する第２面内とで、それぞれ回動可能な構成としたり、ピン本体に対し、受光面に直交する任意の面内で回動可能な構成としたりしてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、伸縮機構によるプローブピンの進退方向（軸方向）の収縮動作に加えて、ピン先端部が、少なくとも、受光面に直交し且つフィンガー電極の並設方向線（バスバー電極の延在方向線）を含む面内で回動可能となっているので、バスバー電極の延在方向の凹凸や反り、あるいは、フィンガー電極の並設方向の凹凸差などに容易に追従して、「面」で接触できる。これにより、ピン先端部とセル表面との接触面積が小さくなるのを抑制でき、測定ロスを低減できると共に、セル表面の傷付き、破損を防止でき、太陽電池セルの評価に適したものとなる。【００１６】
また、回動可能な方向を更に増やすことで、各種の方向の凹凸や反りに対応でき、更には、ピンが斜めに突出している場合、ピン自体が曲がっている場合、伸縮機構のバネ弾性が劣化した場合などでも、十分な接触を確保して、測定ロスを低減できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態にて測定対象とした太陽電池セルの平面図及び正面図
【図２】第１実施形態での測定治具（プローブユニット）の作動状態別の正面図
【図３】第１実施形態でのプローブピンの拡大図及びその平面図
【図４】第２実施形態での測定治具（プローブユニット）の作動状態別の正面図
【図５】第２実施形態でのプローブピンの拡大図及びその平面図
【図６】回動連結部の具体例１を示す図
【図７】回動連結部の具体例２を示す図
【図８】回動連結部の具体例３を示す図
【図９】回動連結部の具体例４を示す図
【図１０】回動連結部の具体例５を示す図
【図１１】球面継手部分の組立例１を示す図
【図１２】球面継手部分の組立例２を示す図
【図１３】球面継手部分の組立例３を示す図
【図１４】球面継手部分の組立例４を示す図
【図１５】球面継手部分の組立例５を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
図１は本発明の実施形態にて測定対象とした太陽電池セルの平面図（ａ）及び正面図（ｂ）である。
【００１９】
太陽電池セル１は、表面側が受光面２をなし、その上に、複数のフィンガー電極３が設けられる。フィンガー電極３は、光の入射をできるだけ妨げないように細く形成されて、それぞれ所定の方向に延在し、延在方向と直交する方向に所定の間隔で並設されている。本明細書でフィンガー電極３の延在方向とは図示Ａ方向をいい、フィンガー電極３の並設方向とは図示Ｂ方向をいう。
【００２０】
また、太陽電池セル１の表面（受光面２）側には、フィンガー電極３の上に、フィンガー電極３と直交するように、電力を取り出すための比較的太いバスバー電極４が設けられる。従って、バスバー電極４は、フィンガー電極３の並設方向に延在して、複数のフィンガー電極３をつないでいる。
また、太陽電池セル１の裏面側には、全面にわたって裏面電極５が設けられる。
【００２１】
尚、太陽電池モジュールの組立工程においては、隣合う太陽電池セルのうち、一方の太陽電池セルのバスバー電極上に配線用リボンの一端部側を導電性材料で接合し、この配線用リボンの他端部側を他方の太陽電池セルの裏面電極上に導電性材料で接合することで、両者を電気的に直列に接続するが、「バスバーレス」タイプの太陽電池セルでは、フィンガー電極上にバスバー電極を設けず、配線用リボンをフィンガー電極に直接導電性材料で接合するようにしている。接合方法としては、ハンダ付けや、導電性テープを用いた方法等がある。
【００２２】
図２は本発明の第１実施形態での測定治具（プローブユニット）の作動状態別の正面図である。
太陽電池セル１の電気的特性を測定する際は、導電性のステージ１０に太陽電池セル１を載せて、裏面（裏面電極５）全体で導通をとる。そして、表面（受光面２）側には、余分な影が生じないよう、バスバー電極４上に、バスバー電極４の幅に収まる程度の細長いプローブユニット２０を降下させて導通をとり、擬似太陽光を照射しつつ、両端（端子Ｔ１、Ｔ２）から電流を測定する。
【００２３】
プローブユニット２０は、バスバー電極４の延在方向（フィンガー電極３の並設方向）に並べられて各先端部でバスバー電極４に接触する複数のプローブピン３０と、これらのプローブピン３０を支持して一体的に昇降動作させると共に電気的に導通させるプローブバー４０とを含んで構成される。
【００２４】
ここにおいて、プローブピン３０は、上下方向に延びるピン本体３１と、ピン本体３１の下端に設けられた回動連結部３２と、ピン本体３１に回動連結部３２を介して回動可能に連結された円形のピン先端部（接触子）３３と、から構成される。
【００２５】
ピン本体３１は、これを軸方向に伸長させるように弾性的に付勢する伸縮機構を内蔵している。すなわち、ピン本体３１は、プローブバー４０に取付けられるプランジャケース３１ａと、プランジャケース３１ａ内のスプリング（図示せず）によりプランジャケース３１ａから弾性的に突出するプランジャロッド３１ｂとを含んで構成される。尚、付勢用のスプリングは、図２には示していないが、後述する図３（ａ）などに符号３１ｃとして示してある。また、ピン本体３１の構成部品は全て導電性で、プローブバー４０と導通している。
【００２６】
尚、図２に示したプローブピン３０は全て電流測定用プローブピンであって、全て電気的に導通させて、プローブユニット２０側の端子Ｔ１とステージ１０側の端子Ｔ２との間の電流を測定する。図２では省略したが、実際のプローブユニット２０には、電流測定用プローブピンとは別に、電圧測定用プローブピンが設けられる。例えば、電圧用測定プローブピンは、プローブバー４０の長手方向中央に１本、プローブバー４０及び電流測定用プローブピンと絶縁して設けられる。但し、電圧測定用プローブピンの本数は、１本以上ならば何本でもよい。
【００２７】
図３は第１実施形態でのプローブピン配列の拡大図（ａ）及びそのピン先端部の配列を示す平面図（ｂ）である。
ピン本体３１は、既に述べたように、プランジャケース３１ａと、プランジャケース３１ａ内のスプリング３１ｃによりプランジャケース３１ａから弾性的に突出するプランジャロッド３１ｂとを含んで構成される。
【００２８】
回動連結部３２は、詳細については後述するが、ピン本体３１に対し、ピン先端部３３を、少なくとも、受光面２に直交し且つバスバー電極４の延在方向線（フィンガー電極の並設方向線）を含む面内、言い換えれば、バスバー電極４の延在方向線（フィンガー電極の並設方向線）を含む垂直面内で、回動可能に連結する。本実施形態のようにセル表面（受光面２）を水平配置すれば、これに直交する面は垂直面となるからである。
【００２９】
ピン先端部３３は、円柱状であり、先端面（セル表面との接触面）は円形である。尚、円形のピン先端部３３の直径は、バスバー電極４の幅と同等若しくはやや小さくするが、やや大きくしてもよい。また、円形のピン先端部３３の先端面は、平坦面にてセル表面に接触するようにしてもよいが、複数の山形の突起部を備え、複数の突起部で接触するようにして、接触圧力を高めるようにしてもよい。
【００３０】
本実施形態によれば、プローブピン３０のセル表面（バスバー電極４）への接触時に、伸縮機構（スプリング３１ｃ）によるプローブピン３０の進退方向（軸方向）の収縮動作に加えて、回動連結部３２により、ピン先端部３３が、少なくとも、受光面に直交し且つバスバー電極の延在方向線（フィンガー電極の並設方向線）を含む面内、言い換えれば、バスバー電極の延在方向線（フィンガー電極の並設方向線）を含む垂直面内で、回動可能となっているので、バスバー電極の延在方向の凹凸や反り、あるいは、フィンガー電極の並設方向の凹凸差などに容易に追従して、「面」で接触できる。すなわち、前記凹凸などに追従して、各プローブピン３０のピン先端部３３が傾動し、接触状態を良好に維持することができる。これにより、ピン先端部３３とセル表面との接触面積が小さくなるのを抑制でき、測定ロスを低減できる。また、「面」で接触することで、セル表面の傷付き、破損を防止でき、太陽電池セルの評価に適したものとなる。
【００３１】
また、回動連結部３２について、ピン先端部３３が、バスバー電極の延在方向線（フィンガー電極の並設方向線）を含む第１垂直面内と、この第１垂直面内と直交する第２垂直面内とで、回動可能な構成とすることにより、又は、任意の垂直面内で回動可能な構成とすることにより、細長いバスバー電極の延在方向の凹凸やフィンガー電極の並設方向（幅方向）の凹凸の他、バスバー電極の幅方向の凹凸やフィンガー電極の延在方向の凹凸、更にはセル全体の反りなどに追従して、各プローブピン３０のピン先端部３３が傾動し、接触状態を良好に維持して、接触面積の減少による測定ロスを低減することができる。
【００３２】
更には、ピンが斜めに突出している場合、ピン自体が曲がっている場合、あるいは伸縮機構のバネ弾性が劣化した場合も、ピン先端部３３が回動することにより、「面」での良好な接触を実現して、接触圧力を均一にすることができ、測定ロスを低減できるようになる。
【００３３】
図４は本発明の第２実施形態での測定治具（プローブユニット）の作動状態別の正面図であり、図５は第２実施形態でのプローブピン配列の拡大図（ａ）及びそのピン先端部の配列を示す平面図（ｂ）である。図３及び図４と異なる部分を説明する。
【００３４】
本実施形態でのプローブピン３０は、上下方向に延びるピン本体３１と、ピン本体３１の下端に設けられた回動連結部３２と、ピン本体３１に回動連結部３２を介して回動可能に連結されたバー形状のピン先端部（接触子）３４と、から構成される。従って、ピン先端部の形状が異なる。
【００３５】
ピン先端部３４は、横長のバー形状で、バスバー電極４の延在方向（フィンガー電極の並設方向）に長くなっており、先端面（セル表面との接触面）は矩形である。ピン先端部３４はまた、ピン本体３１に対しては逆Ｔ字状をなしている。
そして、隣合うプローブピン３０、３０の互いのピン先端部３４、３４は、その端面同士で若干の隙間をもって対向しているが、接触するようにしてもよい。
【００３６】
尚、バー形状のピン先端部３４の幅は、バスバー電極４の幅よりやや狭くするが、同等であってもよい。また、バー形状のピン先端部３４の先端面は、平坦面にてセル表面に接触するようにしてもよいが、複数の山形の突起部を備え、複数の突起部で接触するようにして、接触圧力を高めるようにしてもよい。
【００３７】
本実施形態でも、回動連結部３２は、ピン本体３１に対し、バー形状のピン先端部３４を、少なくとも、バスバー電極の延在方向線（フィンガー電極の並設方向線）を含む垂直面内で、回動可能に連結している。
【００３８】
特に本実施形態によれば、バスバー電極４と接触させる場合に、次のような効果が得られる。ピン先端部３４をバー形状とすることで、バスバー電極４との接触面積を大きくできる。従って、プローブピン３０の本数を削減でき、これによりプローブピン３０の交換も容易となる。しかも、接触面積を大きくするために、ピン先端部３４をバスバー電極４の幅より太くする必要がなく、バスバー電極４の延在方向に長くすればよいので、性能評価時に光を当てた際の影を最小にすることができ、測定ロスを低減できる。
【００３９】
また、「バスバーレス」の太陽電池セルの測定に用い、フィンガー電極３と接触させる場合には、次のような効果が得られる。フィンガー電極３の並設方向（延在方向と直交する方向）に長いピン先端部３４自体がバスバー電極の働きをして、全てのフィンガー電極３と接触できるようになる。従って、フィンガー電極３のピッチとプローブピン３０のピッチとを合わせることなく、「バスバーレス」の太陽電池セルの測定が可能となる。言い換えれば、通常の太陽電池セルと「バスバーレス」の太陽電池セルとを同じ測定治具（プローブユニット）を用いて測定可能となる。
【００４０】
そして、このようなバー形状のピン先端部３４による測定に際しても、プローブピン３０のバー形状のピン先端部３４がセル表面に接触するときに、伸縮機構（スプリング３１ｃ）によるプローブピン３０の進退方向（軸方向）の収縮動作に加えて、回動連結部３２により、バー形状のピン先端部３４が回動可能となっているので、各種方向の凹凸や反りなどに容易に追従して、「面」で接触でき、接触状態を良好に維持することができる。
【００４１】
次に回動連結部３２の具体的構成について図６〜図１０により説明する。尚、図６〜図１０ではバー形状のピン先端部３４を有する場合について示すが、円形のピン先端部３３を有する場合にも適用できる。
【００４２】
図６は回動連結部３２の具体例１を示す図である。
この例では、ピン本体３１（プランジャロッド３１ｂ）の先端に回動軸１０１を介してバー形状のピン先端部３４を回動自在に取付けてある。そして、回動軸１０１の軸線をバー形状のピン先端部３４の幅方向とすることにより、ピン先端部３４を、その長手方向線を含む垂直面内で回動可能に構成してある。
【００４３】
図７は回動連結部３２の具体例２を示す図である。
この例では、ピン本体３１（プランジャロッド３１ｂ）の先端に第１回動軸１０３を介して連結体１０４を回動自在に取付け、この連結体１０４に第２回動軸１０５を介してピン先端部３４を回動自在に取付けてある。そして、第１回動軸１０３と第２回動軸１０５とのうち、いずれか一方（例えば第２回動軸１０５）の軸線をバー形状のピン先端部３４の幅方向、他方（例えば第１回動軸１０３）の軸線をバー形状のピン先端部３４の長手方向とすることにより、ピン先端部３４を、ピン先端部３４の長手方向線を含む第１垂直面内と、ピン先端部３４の幅方向線を含む第２垂直面内とで、回動可能に構成してある。
【００４４】
図８は回動連結部３２の具体例３を示す図である。
この例では、ピン本体３１（プランジャロッド３１ｂ）とバー形状のピン先端部３４とを球面継手１０６を介して連結することで、ピン先端部３４を任意の垂直面内で回動可能に構成してある。すなわち、ピン本体３１（プランジャロッド３１ｂ）の下端部に球面継手１０６を構成する球状体を形成し、これにバー形状のピン先端部３４の上部に形成した球面状の凹部を嵌合させてある。
【００４５】
図９は回動連結部３２の具体例４を示す図である。
この例では、ピン本体３１（プランジャロッド３１ｂ）とバー形状のピン先端部３４とを球面継手１０７を介して連結することで、ピン先端部３４を任意の垂直面内で回動可能に構成してある。すなわち、ピン本体３１（プランジャロッド３１ｂ）の下端部に球面継手１０７を構成する半球状体を形成し、これにバー形状のピン先端部３４の上部に形成した球面状の凹部を嵌合させてある。
【００４６】
図１０は回動連結部３２の具体例５を示す図である。
この例では、ピン本体３１（プランジャロッド３１ｂ）とバー形状のピン先端部３４との間に、弾性変形により屈曲可能な屈曲部として、例えば細径部１０８を形成することで、この細径部１０８を支点として回動可能としてある。尚、細径部１０８とする他、連結部分の材質を異ならせ、連結部分を軟質材により形成するようにしてもよい。
【００４７】
次に図８（又は図９）に示したような球面継手を用いる場合の球面継手部分の組立例について図１１〜図１５により説明する。尚、図１１〜図１６ではバー形状のピン先端部３４を有する場合について示すが、円形のピン先端部３３を有する場合にも適用できる。
【００４８】
図１１は球面継手部分の組立例１を示す図である。
この例では、バー形状のピン先端部３４を、本体（３４）と上カバー１１１とに分割し、これらの間に球面継手１０６を構成する球状体を挟み込む構成としてある。この場合、ピン先端部の本体（３４）の上面には半球状の凹部を形成し、上カバー１１１には下面側の半球状の凹部とプランジャロッド３１ｂの挿通孔とを形成する。
【００４９】
図１２は球面継手の組立例２を示す図である。
この例では、バー形状のピン先端部３４を、本体（３４）と長手方向前後一対の上カバー１１２ａ、１１２ｂとに分割し、これらの間に球面継手１０６を構成する球状体を挟み込む構成としてある。この場合、ピン先端部の本体（３４）の上面には半球状の凹部を形成し、上カバー１１２ａ、１１２ｂの下面には半球状の凹部を半分ずつ形成する。
【００５０】
図１３は球面継手の組立例３を示す図である。
この例では、バー形状のピン先端部３４を、本体（３４）と幅方向左右一対の側面カバー１１３ａ、１１３ｂとに分割し、これらの間に球面継手１０６を構成する球状体を挟み込む構成としてある。この場合、ピン先端部の本体（３４）には幅方向に円形断面の収納孔を形成する。
【００５１】
図１４は球面継手の組立例４を示す図である。
この例では、バー形状のピン先端部３４を、長手方向前後一対の分割体１１４ａ、１１４ｂに分割し、これらの間に球面継手１０６を構成する球状体を挟み込む構成としてある。この場合、各分割体１１４ａ、１１４ｂにはそれぞれ半球状の凹部を形成する。
【００５２】
図１５は球面継手の組立例５を示す図である。
この例では、バー形状のピン先端部３４を分割することなく、その上部に球状の凹部とこれにつながる開口部（球状の凹部の直径より小径）とを形成しておき、前記開口部を弾性変形させて、ピン本体３１（プランジャロッド３２ｂ）側の球面継手１０６を構成する球状体を挿入する構成としたものである。この場合、弾性変形を容易とするように、前記開口部にスリット等を形成しておくようにするとよい。
【００５３】
最後に、本発明に係る太陽電池セルの測定治具を用いた太陽電池セルの電気的特性の測定に関連して総括的若しくは追加的な説明を行う。
【００５４】
一般に、太陽電池セルの受光面となる表面側のｎ型半導体上には、擬似太陽光の入射をできるだけ妨げないような細いフィンガー電極と、電力を取り出すための太いバスバー電極とが設けられている一方、太陽電池セルの裏面のｐ型半導体上には全面に電極が設けられている。そして、測定治具を用いて測定する際には、導体（例えばＣｕ板にＡｕメッキ）のステージに太陽電池セルを載せることで裏面全体で導通をとり、表面側はバスバー電極上に、余分な影が生じないようにバスバー電極の幅に収まる程度の細長いプローブユニットを降ろして導通をとり、両極からそれぞれ電流・電圧を測定する。この場合、測定時の等価回路では、擬似太陽光を照射した状態で太陽電池端子間の電圧をスイープさせ、そのときの電流・電圧を読むことでＩ−Ｖ特性が得られるようになっている。
【００５５】
太陽電池セルの電気的特性を測定する方法としては、一般に、太陽電池セルの電極にプローブピンを接触させる方法が用いられている。ここで、太陽電池セルの電気的特性を測定するためには、太陽電池セルに擬似太陽光を照射しながら、太陽電池セルに流れる電流、及び、太陽電池セルに発生する電圧を測定する必要がある。このため、太陽電池セルの電気的特性測定用のプローブピンとして、電流測定用プローブピンと電圧測定用プローブピンとが設けられる。そして、太陽電池セルの電気的特性の測定時に、電流測定用プローブピンと電圧測定用プローブピンとが太陽電池セルの電極に同時に接触される。
ここで、測定器の特性上、電流測定は電気抵抗による影響を受け、電圧測定は電気抵抗による影響を受けない。このため、電流測定用プローブピンは複数を並列に設けることが一般的に行われている（特許文献１参照）。そして、各プローブピンは、バスバー電極の長手方向に適当な間隔で一列に並べて配され、電流測定用プローブピンは全て導通状態とし、電圧測定用プローブピンのみが電流測定用プローブピンから絶縁される。
【００５６】
上記の説明から解るように、太陽電池セルの測定治具は、測定対象の太陽電池セルに擬似太陽光を照射する光源、及び、測定対象の太陽電池セルの電気的特性（電流・電圧）を測定する測定器（電流・電圧測定器）と共に使用される。
言い換えれば、太陽電池性能の測定装置は、太陽電池セルの測定治具と、測定対象の太陽電池セルに擬似太陽光を照射する光源と、測定対象の太陽電池セルの電気的特性（電流・電圧）を測定する測定器（電流・電圧測定器）とを含んで構成される。
【００５７】
光源は、キセノンランプやハロゲンランプと光学フィルタとを組み合わせて構成されており、太陽電池セルの受光面に均一な照度の人工光を照射して、太陽電池セルの出力特性を測定するために使用される。
太陽電池の一般的な測定においては、有効照射面上の放射照度を１０００Ｗ／ｍ2 としている。そして、そのような照度で照射された太陽電池の出力特性を電流・電圧測定器により測定する。
【００５８】
太陽電池性能の測定装置は、更に、電源回路、照度検出器、電子負荷装置、電子負荷指令回路、真空ポンプ、恒温槽、温調器（温水器やチラー）などを含んでもよい。
【００５９】
真空ポンプは、太陽電池セルを測定ステージ(太陽電池セルの裏面接触側)へ吸着するために用いるものであり、これにより太陽電池セルとの接触面積を増やして接触抵抗を最小限にすることが可能となる。
恒温槽は、その内部に太陽電池セルを含む測定治具一式を収納することにより、太陽電池セルを設定温度に調整することが可能となり、定格出力基準温度（２５℃）での測定を容易とする。また、温度変化に伴う出力変化についての測定を行うこともでき、これにより太陽電池の温度特性を測定することが可能となる。
温調器は、太陽電池セルを載せる測定ステージの内部に配管を具備し、この配管へ流す流体温度を調整するために用いるものであり、目的は恒温槽と同等である。
【００６０】
尚、図示の実施形態はあくまで本発明を例示するものであり、本発明は、説明した実施形態により直接的に示されるものに加え、特許請求の範囲内で当業者によりなされる各種の改良・変更を包含するものであることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００６１】
１  太陽電池セル
２  受光面（セル表面）
３  フィンガー電極
４  バスバー電極
５  裏面電極
１０  ステージ
２０  プローブユニット（測定治具）
３０  プローブピン
３１  ピン本体
３１ａ  プランジャケース
３１ｂ  プランジャロッド
３１ｃ  スプリング
３２  回動連結部
３３  円形のピン先端部（接触子）
３４  バー形状のピン先端部（接触子）
４０  プローブバー
１０１  回動軸
１０３  第１回動軸
１０４  連結体
１０５  第２回動軸
１０６、１０７  球面継手
１０８  細径部（屈曲部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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