(57)【要約】  優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具を提供する。  ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物相、酸化物相、炭化物相、炭窒化物相、又は硼化物相である硬質相（２４）と、Ａｕ、Ａｇ、及びＣｕのうち少なくとも１種類の元素を含む相である結合相（２６）とを、備え、硬質相（２４）と結合相（２６）とが三次元的に配置された複合構造を有するものであることから、硬質相（２４）がＡｕ、Ａｇ、又はＣｕによる結合相（２６）により結合される構造をとることで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の硬質被膜（２２）が得られる。
2013150603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削工具の表面に被覆して設けられる切削工具用硬質被膜であって、  ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物相、酸化物相、炭化物相、炭窒化物相、又は硼化物相である硬質相と、  Ａｕ、Ａｇ、及びＣｕのうち少なくとも１種類の元素を含む相である結合相と  を、備え、  前記硬質相と前記結合相とが三次元的に配置された複合構造を有する  ことを特徴とする切削工具用硬質被膜。
【請求項２】
前記硬質相を構成する粒子の平均粒径が１ｎｍ乃至１００ｎｍの範囲内である請求項１に記載の切削工具用硬質被膜。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の切削工具用硬質被膜が表面に被覆して設けられた硬質被膜被覆切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、切削工具の表面に被覆して設けられる切削工具用硬質被膜及びその硬質被膜が設けられた硬質被膜被覆切削工具に関し、特に、耐摩耗性及び耐溶着性を共に向上させるための改良に関する。
【背景技術】
【０００２】  ドリルやタップ等の切削工具には、耐摩耗性を向上させるために硬質被膜が被覆して設けられる。この切削工具用硬質被膜としては、ＴｉＮ系、ＴｉＣＮ系、ＴｉＡｌＮ系、及びＡｌＣｒＮ系のコーティングが広く用いられており、その性能を更に向上させるために改良が図られている。例えば、特許文献１に記載された耐摩耗性部材がそれである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１３８２０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  しかし、前述したような従来の技術により硬質被膜が形成された切削工具では、その切削加工に際して被削材の種類や切削条件によっては耐溶着性が不十分となるおそれがあった。すなわち、被削材等の溶着により工具の寿命が短くなる場合があり、改良の余地があった。このため、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具の開発が求められていた。【０００５】  本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  斯かる目的を達成するために、本第１発明の要旨とするところは、切削工具の表面に被覆して設けられる切削工具用硬質被膜であって、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物相、酸化物相、炭化物相、炭窒化物相、又は硼化物相である硬質相と、Ａｕ、Ａｇ、及びＣｕのうち少なくとも１種類の元素を含む相である結合相とを、備え、前記硬質相と前記結合相とが三次元的に配置された複合構造を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】  このように、前記第１発明によれば、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物相、酸化物相、炭化物相、炭窒化物相、又は硼化物相である硬質相と、Ａｕ、Ａｇ、及びＣｕのうち少なくとも１種類の元素を含む相である結合相とを、備え、前記硬質相と前記結合相とが三次元的に配置された複合構造を有するものであることから、前記硬質相がＡｕ、Ａｇ、又はＣｕにより結合される構造をとることで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜を提供することができる。【０００８】  前記第１発明に従属する本第２発明の要旨とするところは、前記硬質相を構成する粒子の平均粒径が１ｎｍ乃至１００ｎｍの範囲内である。このようにすれば、ナノレベルの前記硬質相がＡｕ、Ａｇ、又はＣｕにより結合された所謂ナノコンポジット構造をとることで摩擦係数及び切削抵抗を更に軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。【０００９】  前記第１発明乃至第２発明に従属する本第３発明の要旨とするところは、前記第１発明乃至第２発明の切削工具用硬質被膜が表面に被覆して設けられた硬質被膜被覆切削工具である。このようにすれば、前記硬質相がＡｕ、Ａｇ、又はＣｕにより結合される構造をとることで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた硬質被膜被覆切削工具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の硬質被膜被覆切削工具の一実施例であるドリルを軸心に垂直な方向から見た正面図である。
【図２】図１に示すドリルを切れ刃が設けられた先端側から見た拡大底面図である。
【図３】図１のドリルのボデーにおける表面付近の拡大断面図であり、本発明の切削工具用硬質被膜の一実施例である硬質被膜の構成を例示するものである。
【図４】図３の硬質被膜の構造を模式的に示す図である。
【図５】図３の硬質被膜のコーティング方法の一例を説明する図である。
【図６】本発明の効果を検証するために本発明者等が行った穴空け試験に用いられた各試料の被膜構造及びそれぞれの試験結果を併せて示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】  本発明の切削工具用硬質被膜は、エンドミル、ドリル、正面フライス、総型フライス、リーマ、タップ等の回転切削工具の他、バイト等の非回転式の切削工具等、種々の切削工具の表面コーティングに好適に適用される。工具基材すなわち硬質被膜が設けられる部材の材質としては、超硬合金や高速度工具鋼が好適に用いられるが、他の材料でもよく、例えばサーメット、セラミックス、多結晶ダイヤモンド、単結晶ダイヤモンド、多結晶ＣＢＮ、単結晶ＣＢＮ等、種々の材料から構成された切削工具に本発明の切削工具用硬質被膜は広く適用される。
【００１２】  本発明の切削工具用硬質被膜は、切削工具の一部乃至全部の表面に被覆して設けられるものであり、好適には、その切削工具において切削加工に関与する刃部に設けられる。更に好適には、少なくともその刃部における切れ刃乃至すくい面を被覆するように設けられる。
【００１３】  前記硬質相は、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物、或いはこれらの相互固溶体にて構成される。具体的には、ＴｉＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＡｌＣｒＶＳｉＢ、ＺｒＶＯ、ＨｆＣｒＣＮ、ＮｂＮ、ＣｒＮ、ＭｏＳｉＣ、ＡｌＮ、ＳｉＮ等から成る相である。
【００１４】  本発明の切削工具用硬質被膜は、例えばアークイオンプレーティング法やイオンビーム蒸着法、スパッタリング法、ＰＬＤ（Pulse Laser Deposition) 法、ＩＢＡＤ（Ion Beam Assisted Deposition；イオンビーム支援蒸着）法等のＰＶＤ法によって好適に設けられるが、鍍金法、液体急冷法、ガス凝集法等、他の成膜法を採用することもできる。
【実施例】
【００１５】  以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明する。以下の説明に用いる図面に関して、各部の寸法比等は必ずしも正確に描かれていない。【００１６】  図１は、本発明の硬質被膜被覆切削工具の一実施例であるドリル１０を示す図であり、軸心Ｏに垂直な方向から見た正面図である。図２は、図１に示すドリル１０を、切れ刃１２が設けられた先端側から（すなわち矢印IIで示す方向に）見た拡大底面図である。これら図１及び図２に示す本実施例のドリル１０は、２枚刃のツイストドリルであり、シャンク１４及びボデー１６を軸心Ｏ方向に一体に備えている。斯かるボデー１６には、軸心Ｏの右まわりにねじれた一対の溝１８が形成されている。前記ボデー１６の先端には、前記一対の溝１８に対応して一対の切れ刃１２が設けられており、前記ドリル１０が前記シャンク１４側から見て軸心Ｏの右まわりに回転駆動されることにより、前記切れ刃１２によって被削材に穴が切削加工されると共に、その穴を切削加工する際に生じる切屑が前記溝１８を通ってシャンク１４側へ排出されるように構成されている。【００１７】  図３は、前記ドリル１０のボデー１６における表面付近の拡大断面図であり、本発明の切削工具用硬質被膜の一実施例である硬質被膜２２の構成を例示するものである。図４は、ＴＥＭ（Transmission Electron Microscope；透過型電子顕微鏡）により撮影された前記硬質被膜２２の構造を模式的に示す図である。前記ドリル１０は、図３に示すように、例えば高速度工具鋼（ハイス）製の工具基材（工具母材）２０の表面に前記硬質被膜２２がコーティングされて構成されたものである。この硬質被膜２２の膜厚は、好適には、２．５〜６．０μｍ程度である。図４に示すように、前記硬質被膜２２は、硬質相２４を構成する複数の粒子（粒状要素）が、その間隙に設けられた結合相２６により相互に結合された構造を有する。この図４においては、平面的な顕微鏡写真を例示しているが、前記硬質被膜２２は、その平面方向（表面に平行を成す方向）及び厚み方向（表面に垂直を成す方向）の何れにおいても図４に示すように前記硬質相２４と前記結合相２６とが相互に結合された構造をとるものである。すなわち、前記硬質被膜２２は、前記硬質相２４と前記結合相２６とが三次元的（立体的）に配置された複合構造を有する。【００１８】  前記結合相２６は、不可避的不純物を含むＡｕ、Ａｇ、又はＣｕ、或いはこれらの相互固溶体から成る相である。前記硬質相２４は、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物、或いはこれらの相互固溶体であり、不可避的不純物を含むものである。すなわち、前記硬質相２４は、具体的には、ＴｉＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＡｌＣｒＶＳｉＢ、ＺｒＶＯ、ＨｆＣｒＣＮ、ＮｂＮ、ＣｒＮ、ＭｏＳｉＣ、ＡｌＮ、ＳｉＮ等から成る相（分散相）である。好適には、前記硬質相２４を構成する粒子の平均粒径は、１ｎｍ乃至１００ｎｍの範囲内である。この硬質相２４を構成する粒子の平均粒径は、例えば、図４に示すような顕微鏡写真等において、無作為抽出される前記硬質相２４を構成する複数の粒子（粒状要素）に関して、各粒子の径���法に相当する長径、短径、或いは長径及び短径の平均値に基づいて算出される。例えば、抽出されたそれら複数の粒子における径寸法の平均値が、前記平均粒径として算出される。換言すれば、前記硬質被膜２２は、１ｎｍ乃至１００ｎｍの範囲内の大きさに粒子化された前記硬質相２４が、マトリックスとしての前記結合相２６内に分散（拡散）して配置されたナノコンポジット（nanocomposite）構造を有するものである。すなわち、複相のナノ結晶から構成されるナノ組織金属から成るものである。【００１９】  図５は、前記硬質被膜２２のコーティング方法の一例を説明する図である。前記ドリル１０等に対する前記硬質被膜２２のコーティングは、例えば図５に示すようなスパッタリング装置３０を用いてコントローラ３６の制御により行われる。好適には、先ず、前処理としてのエッチング工程において、前記スパッタリング装置３０のチャンバ３２内に配置された前記工具基材２０に、バイアス電源３４により負のバイアス電圧が印加される。これにより、正のアルゴンイオンＡｒ+が前記工具基材２０に衝突させられ、その工具基材２０の表面が粗面化させられる。【００２０】  次に、スパッタリング工程において、例えば前記硬質被膜２２における硬質相２４の形成が行われる。例えば、前記硬質相２４を構成するＳｉ等のターゲット３８に電源４０により負の一定のバイアス電圧（例えば−５０〜−６０Ｖ程度）が印加されるとともに、前記バイアス電源３４により工具基材２０に負の一定のバイアス電圧（例えば−１００Ｖ程度）が印加されることにより、アルゴンイオンＡｒ+が前記ターゲット３８に衝突させられ、これによりＳｉ等の構成物質が叩き出される。前記チャンバ３２内には、アルゴンガスの他に窒素ガス（Ｎ2）や炭化水素ガス（ＣＨ4、Ｃ2Ｈ2）の反応ガスが所定の流量で導入され、その窒素原子Ｎや炭素原子Ｃが前記ターゲット３８から叩き出されたＳｉ等と結合してＳｉＮ等となり、前記工具基材２０の表面に前記硬質被膜２２における硬質相２４等として付着させられる。斯かる処理と、前記結合相２６を構成するＡｇ等をターゲット３８とする前記スパッタリング工程の処理とを交互に行うことで、前記工具基材２０の表面に図４に示すような組織を有する前記硬質被膜２２が形成される。或いは、前記硬質相２４及び前記結合層２６それぞれに対応してターゲットを構成し、それら複数のターゲットを用いて同期的にスパッタリングを行うことで、前記工具基材２０の表面に前記硬質被膜２２を形成するものであってもよい。【００２１】  その他、前記工具基材２０の表面に対する前記硬質被膜２２の形成方法としては、例えば、よく知られた鍍金法（鍍金技術）、前記硬質被膜２２を構成する金属を溶融させた溶融合金を、結晶の核生成が起こる速度よりも急速に冷却させることでアモルファス合金を得る液体急冷法、Ｈｅガス中において前記硬質被膜２２を構成する金属を蒸発させて凝集させたナノ粒子を、液体窒素等により冷却した基板上に堆積させ、その基板上から掻き取ったナノ微粉末を固化形成するガス凝集法等が好適に用いられる。【００２２】  続いて、本発明の効果を検証するために本発明者等が行った穴空け試験について説明する。図６は、この試験に用いられた���発明品及び試験品の被膜構造と、それぞれの試験結果（加工穴数及び判定）とを、併せて示す図である。本発明者等は、工具径８．３ｍｍφの超硬ドリルに図６に示す各被膜構造及び膜厚の硬質被膜をコーティングして試料である本発明品１〜１０及び試験品１〜９を作成し、各試験品について以下の切削条件で切削試験を行った。この図６に示す試料のうち、本発明品１〜１０が本実施例の硬質被膜２２が適用された本発明品に相当し、試験品１〜９が本発明の要件を満たさない（請求項１乃至２の要件から外れている）硬質被膜が適用された非発明品に相当する。図６における硬質相粒径は、各試料における被膜の顕微鏡写真等において、無作為抽出される複数の硬質相構成粒子における径寸法の平均値である。図６に示す加工穴数は、逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの穴数であり、合格判定基準は、逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が２０穴以上である。【００２３】［加工条件］・工具形状：φ８．３超硬ドリル・被削材：インコネル（登録商標）７１８・切削機械：立型Ｍ／Ｃ・切削速度：１０ｍ／ｍｉｎ・送り速度：０．１ｍｍ／ｒｅｖ・加工深さ：３３ｍｍ（止まり）・ステップ量：ノンステップ・切削油：油性【００２４】  図６に示すように、前記本発明品１〜１０は、何れもＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物相、酸化物相、炭化物相、炭窒化物相、又は硼化物相である硬質相２４と、Ａｕ、Ａｇ、及びＣｕのうち少なくとも１種類の元素を含む相である結合相２６とを、備え、前記硬質相２４と前記結合相２６とが三次元的に配置された複合構造を有する。更に、前記硬質相２４を構成する粒子の平均粒径が１ｎｍ乃至１００ｎｍの範囲内である。すなわち、前記本発明品１〜１０は、何れも本発明の請求項１及び２の要件を満たす硬質被膜２２が適用されたものである。図６に示す試験結果から明らかなように、斯かる本実施例の硬質被膜２２が適用された本発明品１〜１０においては、何れの試料においても逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が２０穴以上となり、合格基準を満たしている。【００２５】  特に、ＳｉＮから成る硬質相２４と、Ａｇから成る結合相２６とを備え、硬質相２４の平均粒径が２２．７ｎｍ、膜厚が４．１μｍである本発明品２で加工穴数４１、ＭｏＳｉＣから成る硬質相２４と、Ａｇ及びＡｕから成る結合相２６とを備え、硬質相２４の平均粒径が９４．６ｎｍ、膜厚が５．１μｍである本発明品９で加工穴数３８、ＣｒＮから成る硬質相２４と、Ａｕから成る結合相２６とを備え、硬質相２４の平均粒径が１．０ｎｍ、膜厚が２．６μｍである本発明品１で加工穴数３６、ＴｉＮから成る硬質相２４と、Ａｕ及びＣｕから成る結合相２６とを備え、硬質相２４の平均粒径が１００．０ｎｍ、膜厚が５．８μｍである本発明品４で加工穴数３３、ＴｉＡｌＣｒＶＳｉＢから成る硬質相２４と、Ａｇ、Ｃｕ、及びＡｕから成る結合相２６とを備え、硬質相２４の平均粒径が６６．９ｎｍ、膜厚が３．５μｍである本発明品７で加工穴数３１と、何れも逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が３０穴以上となり、とりわけ良好な切削性能を示していることがわかる。【００２６���  前記試験品１〜７は、何れもＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物相、酸化物相、炭化物相、炭窒化物相、又は硼化物相である硬質相２４と、Ａｕ、Ａｇ、及びＣｕのうち少なくとも１種類の元素を含む相である結合相２６とを、備えているものの、前記硬質相２４を構成する粒子の平均粒径が１ｎｍ乃至１００ｎｍの範囲を逸脱するものであり、何れも本発明の請求項２の要件を満たさない。すなわち、前記試験品１、４、６、７では、前記硬質相２４を構成する粒子の平均粒径が１ｎｍ未満と小さく、前記試験品２、３、５では、前記硬質相２４を構成する粒子の平均粒径が１００ｎｍよりも大きい。このように、前記硬質相２４を構成する粒子の平均粒径が１ｎｍ乃至１００ｎｍの範囲を逸脱する硬質被膜においては、前記硬質相２４が前記結合相２６内に分散（拡散）して配置された好適なナノコンポジット構造をとることができず、換言すれば、前記硬質相２４と前記結合相２６とが三次元的に配置された複合構造を有しない。すなわち、前記試験品１〜７は、何れも本発明の請求項１の要件を満たさない。前記試験品８、９は、何れもＡｕ、Ａｇ、及びＣｕのうち少なくとも１種類の元素を含む相である前記結合相２６を有しておらず、本発明の請求項１の要件を満たさない。図６に示す試験結果から明らかなように、これら試験品１〜９においては、何れも逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が２０未満となり、前記本発明品１〜１０と比べて切削性能に劣るものであることがわかる。これは、本発明の請求項１乃至２の要件を満たさない硬質被膜では、耐溶着性が十分ではなく、溶着や剥離等により早期寿命に至るためであると考えられる。【００２７】  このように、本実施例によれば、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物相、酸化物相、炭化物相、炭窒化物相、又は硼化物相である硬質相２４と、Ａｕ、Ａｇ、及びＣｕのうち少なくとも１種類の元素を含む相である結合相２６とを、備え、前記硬質相２４と前記結合相２６とが三次元的に配置された複合構造を有するものであることから、前記硬質相２４がＡｕ、Ａｇ、又はＣｕにより結合される構造をとることで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜２２を提供することができる。【００２８】  前記硬質相２４を構成する粒子の平均粒径が１ｎｍ乃至１００ｎｍの範囲内であるため、ナノレベルの前記硬質相２４がＡｕ、Ａｇ、又はＣｕにより結合された所謂ナノコンポジット構造をとることで摩擦係数及び切削抵抗を更に軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の硬質被膜２２が得られる。【００２９】  本実施例によれば、前記硬質被膜２２が表面に被覆して設けられた硬質被膜被覆切削工具としてのドリル１０であることから、前記硬質相２４がＡｕ、Ａｇ、又はＣｕにより結合される構造をとることで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優��た耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えたドリル１０を提供することができる。【００３０】  以上、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更が加えられて実施されるものである。
【符号の説明】
【００３１】  １０：ドリル（硬質被膜被覆切削工具）、１２：切れ刃、１４：シャンク、１６：ボデー、１８：溝、２０：工具基材、２２：硬質被膜（切削工具用硬質被膜）、２４：硬質相、２６：結合相、３０：スパッタリング装置、３２：チャンバ、３４：バイアス電源、３６：コントローラ、３８：ターゲット、４０：電源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成26年9月26日(2014.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
次に、スパッタリング工程において、例えば前記硬質被膜２２における硬質相２４の形成が行われる。例えば、前記硬質相２４を構成するＳｉ等のターゲット３８に電源４０により負の一定のバイアス電圧（例えば−５０〜−６０Ｖ程度）が印加されるとともに、前記バイアス電源３４により工具基材２０に負の一定のバイアス電圧（例えば−１００Ｖ程度）が印加されることにより、アルゴンイオンＡｒ+が前記ターゲット３８に衝突させられ、これによりＳｉ等の構成物質が叩き出される。前記チャンバ３２内には、アルゴンガスの他に窒素ガス（Ｎ2）や炭化水素ガス（ＣＨ4、Ｃ2Ｈ2）の反応ガスが所定の流量で導入され、その窒素原子Ｎや炭素原子Ｃが前記ターゲット３８から叩き出されたＳｉ等と結合してＳｉＮ等となり、前記工具基材２０の表面に前記硬質被膜２２における硬質相２４等として付着させられる。斯かる処理と、前記結合相２６を構成するＡｇ等をターゲット３８とする前記スパッタリング工程の処理とを交互に行うことで、前記工具基材２０の表面に図４に示すような組織を有する前記硬質被膜２２が形成される。或いは、前記硬質相２４及び前記結合相２６それぞれに対応してターゲットを構成し、それら複数のターゲットを用いて同期的にスパッタリングを行うことで、前記工具基材２０の表面に前記硬質被膜２２を形成するものであってもよい。
【国際調査報告】
2013150603.tif 000009
2013150603.tif 000010
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