(57)【要約】  高いインダクタンス値が得られ、コイルパターンの接続信頼性を高めたコイル部品を提供する。また、コモンモードチョークコイルを構成した場合に、高いコモンモード減衰量を確保することができるコイル部品を提供する。  本発明のコイル部品は、第１の磁性体基板と、積層体と、第２の磁性体基板とを備え、積層体の内部にはコイルが形成され、コイルは、１枚の絶縁層の一方面に設けられた複数のコイルパターンと、その絶縁層の他方面に設けられた複数のコイルパターンとが、ビアを介して複数カ所で接続され、コイルパターン８ａ、８ｂ、８ｃは、ビア９ａ、９ｃ、９ｅと当接する部分が、コイルパターンの幅方向の中心からコイルパターンの幅方向両側に等しい寸法で幅広ｗとされた部分からなり、その幅広とされた部分にギャップを隔てて隣接するコイルパターンの部分が、コイルパターンの幅方向の中心からコイルパターンの幅方向両側に等しい寸法で幅狭ｓとされた部分からなるようにした。
2013108862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁層とコイルパターンとが厚み方向に積み重ねられて形成された積層体を備え、
絶縁層の一方面に設けられた複数のコイルパターンと、当該絶縁層の他方面に設けられた複数のコイルパターンとが、当該絶縁層を貫通して形成された複数のビアを介して複数カ所で接続され、当該絶縁層の一方面と他方面とを交互に経由することでコイルが構成され、
前記絶縁層の一方面に設けられた前記複数のコイルパターン、および、前記絶縁層の他方面に設けられた前記複数のコイルパターンの少なくとも一方は、前記ビアと当接する部分が、当該部分と連接する前記ビアと当接しない部分と比較して、当該コイルパターンの幅方向の中心から当該コイルパターンの幅方向両側に等しい寸法で幅広とされた部分からなり、
当該コイルパターンに沿って当該コイルパターンと平行な方向に伸びるギャップを隔てて当該幅広とされた部分に隣接するコイルパターンの部分が、当該部分と連接する部分と比較して、当該コイルパターンの幅方向の中心から当該コイルパターンの幅方向両側に等しい寸法で幅狭とされた部分からなり、
前記幅広とされた部分が幅広にされた寸法と、前記幅狭とされた部分が幅狭にされた寸法は等しく、
前記絶縁層を貫通して形成された前記複数のビアが、当該絶縁層の中心から当該絶縁層の外周に近づくに従って、前記コイルパターンの長手方向に、より長い寸法で形成されているコイル部品。
【請求項２】
前記絶縁層を貫通して形成された前記複数のビアが、当該絶縁層の中心から当該絶縁層の任意の１辺に向かってジグザグ状に配置されている、請求項１に記載されたコイル部品。
【請求項３】
前記絶縁層の一方面に設けられた前記複数のコイルパターン、および、前記絶縁層の他方面に設けられた前記複数のコイルパターンの少なくとも一方において、前記複数のコイルパターンのうちの相互に隣接している任意の２つのコイルパターンどうしの間に形成されるギャップの幅寸法が、当該２つのコイルパターンが隣接している全領域にわたって同一の寸法である、請求項１または２に記載されたコイル部品。
【請求項４】
第１の磁性体基板と、
前記第１の磁性体基板上に設けられた前記積層体と、
前記積層体上に設けられた第２の磁性体基板と、
を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載されたコイル部品。
【請求項５】
前記積層体はフォトリソグラフィ法によって形成されたこと、
を特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載されたコイル部品。
【請求項６】
前記積層体には前記コイルが２つ設けられ、
前記コイル部品がコモンモードチョークコイルである、請求項１ないし５のいずれか１項に記載されたコイル部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はコイル部品に関し、高いインダクタンス値が得られ、コイルパターンの接続信頼性を高めたコイル部品に関する。また、コモンモードチョークコイルを構成した場合に、高いコモンモード減衰量を確保することができるコイル部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、コモンモードチョークコイルなどのコイル部品は、フェライトなどからなるコアに巻線を施した巻線型コイルが一般的であった。しかしながら、コイル部品においても、小型化が重要な課題となっており、近年、薄膜形成技術やセラミック多層技術を利用して製造した、チップ型のコモンモードチョークコイルが広く使用されるようになってきている。【０００３】
たとえば、特許文献１（特開平８−２０３７３７号公報）には、チップ型のコモンモードチョークコイルが開示されている。特許文献１の図１４には、第１の磁性体基板上に、薄膜形成技術を活用して絶縁層（絶縁体層）とコイルパターンとが積み重ねられた積層体が形成され、さらにその上に、第２の磁性体基板が設けられ、積層体内に、それぞれスパイラル状のコイルパターンからなる第１のコイルおよび第２のコイルが形成されたコモンモードチョークコイルが開示されている。【０００４】
このようなコモンモードチョークコイルにおいて、さらなる小型化を進めると、コイルを形成するスペースが不足し、コイル長が短くなることでインダクタンス値が減少するため、高いコモンモード減衰量を確保することが難しくなるという問題があった。【０００５】
この問題を解決する方法としては、たとえば、特許文献２（特開平５−２９１０４４号公報）の図６に開示されているように、複数の導体からなる第１のコイルパターン層と、絶縁体層と、複数の導体からなる第２のコイルパターン層とを備え、絶縁体層に設けられた接続手段にて、第１のコイルパターン層の導体と第２のコイルパターン層の導体が交互に電気的に接続されたコイルを採用することで、コイル長を長くする方法が考えられる。【０００６】
しかしながら、この方法において、第１のコイルパターン層の導体と第２のコイルパターン層の導体の接続を確実にするためには、両者を接続する接続部の断面積がある程度大きくすることが必要になる。接続部の断面積を大きくすると同時にコイルパターン層の導体の線幅を大きくすると、コイルの内径が小さくなり、インダクタンス値が確保できず、コモンモード減衰量が小さくなってしまうという問題があった。【０００７】
また、それぞれの導体を接続する複数の接続部の面積はすべて同じ面積である。このような場合、コイルの外周部に位置する接続部はコイルの内周部に比べて応力がかかりやすいため、コモンモードチョークコイルに外的な熱衝撃が繰り返し与えられた場合、コイルの外周部分に位置する接続部で断線する等、接続信頼性が確保できない可能性があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平８−２０３７３７号公報
【特許文献２】特開平５−２９１０４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで、本発明の目的は、高いインダクタンス値が得られ、コイルパターンの接続信頼性の高いコイル部品を提供することである。また、コモンモードチョークコイルを構成した場合に、高いコモンモード減衰量を確保することができるコモンモードチョークコイルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のコイル部品は、絶縁層とコイルパターンとが厚み方向に積み重ねられて形成された積層体を備え、絶縁層の一方面に設けられた複数のコイルパターンと、その絶縁層の他方面に設けられた複数のコイルパターンとが、その絶縁層を貫通して形成された複数のビアを介して複数カ所で接続され、その絶縁層の一方面と他方面とを交互に経由することでコイルが構成され、絶縁層の一方面に設けられた複数のコイルパターン、および、絶縁層の他方面に設けられた複数のコイルパターンの少なくとも一方は、ビアと当接する部分が、その部分と連接するビアと当接しない部分と比較して、コイルパターンの幅方向の中心からコイルパターンの幅方向両側に等しい寸法で幅広とされた部分からなり、そのコイルパタ−ンに沿ってそのコイルパターンと平行な方向に伸びるギャップを隔ててその幅広とされた部分に隣接するコイルパターンの部分が、その部分と連接する部分と比較して、コイルパターンの幅方向の中心からコイルパターンの幅方向両側に等しい寸法で幅狭とされた部分からなり、幅広とされた部分が幅広にされた寸法（連接する部分よりも幅広にされた差分の寸法）と、幅狭とされた部分が幅狭にされた寸法（連接する部分よりも幅狭にされた差分の寸法）が等しく、かつ、絶縁層を貫通して形成された複数のビアが、その絶縁層の中心からその絶縁層の外周に近づくに従って、コイルパターンの長手方向に、より長い寸法で形成されているようにした。【００１１】
これにより、コイル長の長いコイルが実現でき、コイルパターンの内径も比較的広く確保できる。この結果、高いインダクタンス値が得られる。また、本発明のコイル部品が、たとえばコモンモードチョークコイルである場合には、高いコモンモード減衰量を確保することができる。【００１２】
また、絶縁層を樹脂で形成した場合、絶縁層は外周に近づくほど熱膨張が大きくなり、ビアでの断線が生じやすくなるが、上記のように、絶縁層の外周に近づくに従って、ビアをより長い寸法で形成してあるので、ビアにおける断線が低減されている。【００１３】
また、絶縁層を貫通して形成された複数のビアは、絶縁層の中心から絶縁層の任意の１辺に向かってジグザグ状に配置されたものとすることができる。この場合には、絶縁層の一方主面および他方主面を効率的に利用することができ、そこに形成されるコイルパターンの長さをより長くすることができ、形成されるコイルのコイル長をより長くすることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のコイル部品によれば、高いインダクタンス値が得られ、コイルパターンの接続信頼性を高めることができる。また、たとえばコモンモードチョークコイルである場合には、高いコモンモード減衰量を確保することができる。【００１５】
さらに、本発明のコイル部品は、ビアの断面積を大きくすることが可能であり、この部分で断線が発生しないため、接続信頼性の高いものになっている。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００を示す斜視図である。
【図２】図２（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ、コモンモードチョークコイル１００の製造方法の一例において施工される工程を示す平面図である。
【図３】図３（Ｃ）、（Ｄ）は、図２（Ｂ）の続きである。
【図４】図４（Ｅ）、（Ｆ）は、図３（Ｄ）の続きである。
【図５】図５（Ｇ）、（Ｈ）は、図４（Ｆ）の続きである。
【図６】図６（Ｉ）、（Ｊ）は、図５（Ｈ）の続きである。
【図７】図７（Ｋ）、（Ｌ）は、図６（Ｊ）の続きである。
【図８】図８（Ｍ）、（Ｎ）は、図７（Ｌ）の続きである。
【図９】図９（Ｏ）、（Ｐ）は、図８（Ｎ）の続きである。
【図１０】図１０（Ｑ）は、図９（Ｐ）の続きである。
【図１１】図３（Ｄ）の要部を示す平面図である。
【図１２】比較例のコモンモードチョークコイルのコイルパターンを示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。
【００１８】
図１〜図１１に、本発明のコイル部品の実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００を示す。
【００１９】
ただし、図１は、コモンモードチョークコイル１００の斜視図である。また、図２（Ａ）〜図１０（Ｑ）は、それぞれ、コモンモードチョークコイル１００の積層体３をフォトリソグラフィ法により製造する工程を示す平面図である。さらに、図１１は、図４（Ｆ）の要部を示す平面図である。
【００２０】
図１に示すように、コモンモードチョークコイル１００は、第１の磁性体基板１と、第２の磁性体基板２との間に、フォトリソグラフィ法によって形成された積層体３が挟み込まれた構造からなる。また、コモンモードチョークコイル１００の表面には、端子電極４、５、６、７が形成されている。
【００２１】
第１の磁性体基板１、第２の磁性体基板２は、たとえばフェライトからなる。
【００２２】
積層体３は、フォトリソグラフィ法により、絶縁層とコイルパターンとが、厚み方向に積み重ねられて形成されている。本実施形態においては、積層体３の内部に２個のコイルが形成され、これら２個のコイルが電磁結合されて、コモンモードチョークコイルが構成されている。
【００２３】
端子電極４、５、６、７は、それぞれ、積層体３の内部に形成されたコイルの端部を外部に引き出すためのものであり、たとえば、Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕ、Ａｌ、あるいはこれらの金属の少なくとも１種を含む合金を主成分とした導電性ペーストが焼付けられるなどして形成されている。
【００２４】
以下、図２（Ａ）〜図１０（Ｑ）を参照しながら、コモンモードチョークコイル１００の製造方法の一例について説明する。なお、実際の製造工程においては、マザー基板を用いて、多数個のコモンモードチョークコイルが一括して製造され、後から個々のコモンモードチョークコイルに分割される場合が多いが、以下においては、便宜上、１個のコモンモードチョークコイルが製造される場合について説明する。
【００２５】
まず、図２（Ａ）に示すように、第１の磁性体基板１が準備される。
【００２６】
続いて、この第１の磁性体基板１上に、フォトリソグラフィ法によって、積層体３が形成される。
【００２７】
具体的には、まず、図２（Ｂ）に示すように、第１の磁性体基板１上に、フォトリソにより、絶縁層３ａが形成される。絶縁層３ａには、たとえば、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂等、種々の材料が使用され得る。
【００２８】
次に、図３（Ｃ）に示すように、絶縁層３ａ上に、スパッタや蒸着等により、導電膜８が形成される。導電膜８には、たとえば、Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕ、Ａｌ、あるいはこれらの金属の少なくとも１種を含む合金等の材料が使用され得る。
【００２９】
次に、図３（Ｄ）に示すように、導電膜８が、フォトリソ−エッチングにより加工され、環状で、それぞれ所定の長さからなるコイルパターン８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄが形成される。具体的には、レジスト塗布、露光、現像、エッチング等の一連の工程により、コイルパターン８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄが形成される。  
【００３０】
コイルパターン８ａの一端は、絶縁層３ａの外縁に引き出され、外縁近傍に端子電極４と接続するための矩形状の引出部が設けられている。また、コイルパターン８ａの他端、コイルパターン８ｂの両端、コイルパターン８ｃの両端、コイルパターン８ｄの一端は、後述するビアとの接続信頼性を向上させるために、連接する部分と比較して、コイルパターンの幅方向の中心からコイルパターンの幅方向両側に等しい寸法で幅広とされた部分になっている。また、これにともない、そのコイルパタ−ンに沿ってそのコイルパターンと平行な方向に伸びるギャップを隔ててこれらの幅広とされた部分に隣接する、コイルパターンの部分が、連接する部分と比較して、コイルパターンの幅方向の中心からコイルパターンの幅方向両側に等しい寸法で幅狭とされた部分になっている。そして、幅広とされた部分が幅広にされた寸法（連接する部分よりも幅広にされた差分の寸法）と、幅狭とされた部分が幅狭にされた寸法（連接する部分よりも幅狭にされた差分の寸法）は等しくされている。この結果、幅広とされた部分と幅狭とされた部分の間に形成されるギャップの幅寸法と、幅広および幅狭のいずれにもされていない部分どうしの間に形成されるギャップの幅寸法は同一になっている。
【００３１】
詳細については、後から、図１１を参照して説明する。
【００３２】
次に、図４（Ｅ）に示すように、コイルパターン８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄが形成された絶縁層３ａ上に、絶縁層３ｂが形成される。絶縁層３ｂの材料および形成方法は、絶縁層３ａが形成された際と同様にされる。なお、図４（Ｅ）においては、絶縁層３ｂの下に存在するコイルパターン８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄが、破線で示されている（以下、層の下に存在するコイルパターンやビアが破線で示される場合がある)。
【００３３】
次に、図４（Ｆ）に示すように、絶縁層３ｂが、フォトリソにより加工され、貫通孔が設けられ、ビア９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇが形成される。具体的には、レジスト塗布、露光、現像、エッチング等の一連の工程により、ビア９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇが形成される。
【００３４】
この結果、ビア９ａからコイルパターン８ａの他端が露出する。また、ビア９ｂからコイルパターン８ｂの一端が露出する。また、ビア９ｃからコイルパターン８ｂの他端が露出する。また、ビア９ｄからコイルパターン８ｃの一端が露出する。また、ビア９ｅからコイルパターン８ｃの他端が露出する。また、ビア９ｆからコイルパターン８ｄの一端が露出する。また、ビア９ｇからコイルパターン８ｄの他端が露出する。
【００３５】
ビア９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇは、それぞれ、コイルパターン８ａ〜８ｄの長手方向に長い寸法からなる長尺形状からなり、両端が尖った形状に形成されている。なお、ビア９ｇは、コイルパターン８ｄに合せて、途中で１カ所、屈曲されている。
【００３６】
ビア９ｇを除く、ビア９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆは、絶縁層３ｂの中心から絶縁層３ｂの外周に近づくに従って、コイルパターン８ａ〜８ｄの長手方向に、より長い寸法で形成されている。絶縁層３ｂが樹脂で形成された場合、絶縁層３ｂは外周に近づくほど熱膨張が大きくなり、ビア９ａ〜９ｆでの断線が生じやすくなるが、このように、絶縁層３ｂの外周に近づくに従って、ビア９ａ〜９ｆがより長い寸法で形成されているため、ビア９ａ〜９ｆにおける断線のおそれが低減されている。
【００３７】
また、ビア９ｇを除く、ビア９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆは、絶縁層３ｂの中心から絶縁層３ｂの任意の１辺（図４（Ｆ）における上側の辺）に向かってジグザグ状に配置されている。この配置によれば、絶縁層３ｂの下側の面を効率良く利用することができるため、そこに形成されるコイルパターン８ａ〜８ｄの長さをより長いものにすることが可能になっている。
【００３８】
次に、図５（Ｇ）に示すように、ビア９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇが形成された絶縁層３ｂ上に、導電膜１０が形成される。
【００３９】
次に、図５（Ｈ）に示すように、導電膜１０が、フォトリソ−エッチングにより加工され、コイルパターン１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、引出し電極１０ｄが形成される。
【００４０】
この結果、コイルパターン１０ａの一端はビア９ａを介してコイルパターン８ａの他端に接続される。また、コイルパターン１０ａの他端はビア９ｂを介してコイルパターン８ｂの一端に接続される。また、コイルパターン１０ｂの一端はビア９ｃを介してコイルパターン８ｂの他端に接続される。また、コイルパターン１０ｂの他端はビア９ｄを介してコイルパターン８ｃの一端に接続される。また、コイルパターン１０ｃの一端はビア９ｅを介してコイルパターン８ｃの他端に接続される。また、コイルパターン１０ｃの他端はビア９ｆを介してコイルパターン８ｄの一端に接続される。また、引出し電極１０ｄの一端はビア９ｇを介してコイルパターン８ｄの他端に接続される。なお、引出し電極１０ｄの他端は、絶縁層３ｂの外縁に引き出され、外縁近傍に端子電極５と接続するための矩形状の引出部が設けられている。
【００４１】
この結果、第１のコイルが構成され、第１のコイルは、端子電極４、コイルパターン８ａ、ビア９ａ、コイルパターン１０ａ、ビア９ｂ、コイルパターン８ｂ、ビア９ｃ、コイルパターン１０ｂ、ビア９ｄ、コイルパターン８ｃ、ビア９ｅ、コイルパターン１０ｃ、ビア９ｆ、コイルパターン８ｄ、ビア９ｇ、引出し電極１０ｄ、端子電極５の順からなるコイル経路を備える。第１のコイルは、コイルパターンが、絶縁層３ｂの一方面と他方面とを、複数回、交互に経由された、コイル長の長いものとなっている。
【００４２】
ここで、図３（Ｄ）、および図３（Ｄ）の要部を拡大して示す図１１を参照して、本発明において特徴的な構成である、コイルパターン８ａ〜８ｄの線幅について説明する。なお、図１１においては、コイルパターン８ａ、８ｂ、８ｃのビア９ａ、９ｃ、９ｅと当接する部分が、破線で示されている。
【００４３】
図１１から分かるように、コイルパターン８ａのビア９ａと当接する部分は、これに連接する標準的な線幅ｓからなる部分と比較して、コイルパターン８ａの幅方向の中心からコイルパターン８ａの幅方向両側に等しい寸法で幅広な線幅ｗとされている。そして、コイルパターン８ａの幅広な線幅ｗとされた部分にギャップを隔てて隣接する、コイルパターン８ａ（同一のコイルパターン８ａが周回して隣接したもの）の部分は、これに連接する標準的な線幅ｓからなる部分と比較して、コイルパターン８ａの幅方向の中心からコイルパターン８ａの幅方向両側に等しい寸法で幅狭な線幅ｎとされている。ビア９ｃと当接するコイルパターン８ｂ、ビア９ｅと当接するコイルパターン８ｃも、同様に形成されている。
【００４４】
そして、幅広な線幅ｗとこれに連接する標準的な線幅ｓの差分の寸法と、幅狭な線幅ｎとこれに連接する標準的な線幅ｓの差分の寸法は等しくされており、この結果、幅広にされた部分と幅狭にされた部分の間に形成されるギャップＧ１の幅寸法と、幅広および幅狭のいずれにもされていない部分どうしの間に形成されるギャップＧ２の幅寸法は同一にされている。
【００４５】
本発明のコイル部品は、上述したコイルパターン形状を有しているため、絶縁層の表面を効率的に利用して多くのコイルパターンを形成することができ、コイルパターンが、絶縁層の一方面と他方面とを、多数回、交互に経由されたものとすることができ、コイル長の長いコイルを構成することができる。また、コイルパターンの線幅がコイルパターンの全長にわたって幅広とされたものではないため、コイルパターンの内径は小さくなっていない。したがって、高いインダクタンス値が得られるコイルを構成できる。更に、本発明のコイル部品が、本実施例のようにコモンモードチョークコイルである場合には、高いコモンモード減衰量を確保することができる。
【００４６】
また、本発明のコイル部品は、コイルパターンの先端が、コイルパターンの中心線に対して線対象に形成されているため、フォトリソグラフィ法（フォトリソ−エッチング）によるコイルパターンの形成が安定しており、断線することや、隣接するコイルパターンと短絡することがなく、接続信頼性の高いものになっている。これに対し、たとえば、比較例として図１２に示すコイルパターン８ａ’、８ｂ’のように、コイルパターンの先端が、コイルパターンの中心線に対して線対象に形成されず、いずれかに偏って形成された場合には、フォトリソグラフィ法によるコイルパターンの形成が安定せず、コイルパターンが断線したり、隣接するコイルパターンと短絡してしまったりする恐れがある。
【００４７】
再び、コモンモードチョークコイル１００の製造方法の説明に戻り、上述した第１のコイルに続き、同様の方法で、第２のコイルが形成される。具体的には、図６（Ｉ）に示すように、コイルパターン１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、引出し電極１０ｄが形成された絶縁層３ｂ上に、絶縁層３ｃが形成される。
【００４８】
次に、図６（Ｊ）に示すように、絶縁層３ｃ上に、導電膜１１が形成される。
【００４９】
次に、図７（Ｋ）に示すように、導電膜１１が、フォトリソ−エッチングにより加工され、引出し電極１１ａ、コイルパターン１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが形成される。なお、引出し電極１１ａの一端は、絶縁層３ｃの外縁に引き出され、外縁近傍に端子電極６と接続するための矩形状の引出部が設けられている。
【００５０】
次に、図７（Ｌ）に示すように、引出し電極１１ａ、コイルパターン１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが形成された絶縁層３ｃ上に、絶縁層３ｄが形成される。
【００５１】
次に、図８（Ｍ）に示すように、絶縁層３ｄが、フォトリソにより加工され、貫通孔が設けられ、ビア１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆ、１２ｇが形成される。
【００５２】
この結果、ビア１２ａから引出し電極１１ａの他端が露出する。また、ビア１２ｂからコイルパターン１１ｂの一端が露出する。また、ビア１２ｃからコイルパターン１１ｂの他端が露出する。また、ビア１２ｄからコイルパターン１１ｃの一端が露出する。また、ビア１２ｅからコイルパターン１１ｃの他端が露出する。また、ビア１２ｆからコイルパターン１１ｄの一端が露出する。また、ビア１２ｇからコイルパターン１１ｄの他端が露出する。
【００５３】
次に、図８（Ｎ）に示すように、ビア１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆ、１２ｇが形成された絶縁層３ｄ上に、導電膜１３が形成される。
【００５４】
次に、図９（Ｏ）に示すように、導電膜１３が、フォトリソ−エッチングにより加工され、コイルパターン１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが形成される。
【００５５】
この結果、コイルパターン１３ａの一端はビア１２ａを介して引出し電極１１ａの他端に接続される。また、コイルパターン１３ａの他端はビア１２ｂを介してコイルパターン１１ｂの一端に接続される。また、コイルパターン１３ｂの一端はビア１２ｃを介してコイルパターン１１ｂの他端に接続される。また、コイルパターン１３ｂの他端はビア１２ｄを介してコイルパターン１１ｃの一端に接続される。また、コイルパターン１３ｃの一端はビア１２ｅを介してコイルパターン１１ｃの他端に接続される。また、コイルパターン１３ｃの他端はビア１２ｆを介してコイルパターン１１ｄの一端に接続される。また、コイルパターン１３ｄの一端はビア１２ｇを介してコイルパターン１１ｄの他端に接続される。なお、コイルパターン１３ｄの他端は、絶縁層３ｄの外縁に引き出され、外縁近傍に端子電極７と接続するための矩形状の引出部が設けられている。
【００５６】
なお、第２のコイルも、第１のコイルと同様に、コイルパターン１３ａの他端、コイルパターン１３ｂの両端、コイルパターン１３ｃの両端、コイルパターン１３ｄの一端は、接続信頼性を向上させるために、連接する部分と比較して、コイルパターンの幅方向の中心からコイルパターンの幅方向両側に等しい寸法で幅広とされた部分になっている。また、これにともない、これらの幅広とされた部分にギャップを隔てて隣接する、コイルパターンの部分が、連接する部分と比較して、コイルパターンの幅方向の中心からコイルパターンの幅方向両側に等しい寸法で幅狭とされた部分になっている。そして、幅広とされた部分が幅広にされた寸法（連接する部分よりも幅広にされた差分の寸法）と、幅狭とされた部分が幅狭にされた寸法（連接する部分よりも幅狭にされた差分の寸法）は等しくされている。この結果、幅広とされた部分と幅狭とされた部分の間に形成されるギャップの幅寸法と、幅広および幅狭のいずれにもされていない部分どうしの間に形成されるギャップの幅寸法は同一にされている。
【００５７】
このように形成された第２のコイルは、端子電極６、引出し電極１１ａ、ビア１２ａ、コイルパターン１３ａ、ビア１２ｂ、コイルパターン１１ｂ、ビア１２ｃ、コイルパターン１３ｂ、ビア１２ｄ、コイルパターン１１ｃ、ビア１２ｅ、コイルパターン１３ｃ、ビア１２ｆ、コイルパターン１１ｄ、ビア１２ｇ、コイルパターン１３ｄ、端子電極７の順にコイル経路を備える。第２のコイルも、コイルパターンが、絶縁層３ｄの一方面と他方面とを、複数回、交互に経由された、コイル長の長いものとなっている。
【００５８】
次に、図９（Ｐ）に示すように、コイルパターン１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが形成された絶縁層３ｄ上に絶縁層３ｅが形成される。
【００５９】
次に、図１０（Ｑ）に示すように、絶縁層３ｅ上に、接着剤（図示せず）により、第２の磁性体基板２が接合される。
【００６０】
この結果、図１に示すように、第１の磁性体基板１と、第２の磁性体基板２との間に、積層体３が挟み込まれた積層体が完成する。
【００６１】
積層体３は、上述したように、絶縁層３ａ〜３ｅが積層一体化されたものからなり、内部に、コイルパターン８ａ〜８ｄ、ビア９ａ〜９ｇ、コイルパターン１０ａ〜１０ｃ、引出し電極１０ｄからなる第１のコイルと、引出し電極１１ａ、コイルパターン１１ｂ〜１１ｄ、ビア１２ａ〜１２ｇ、コイルパターン１３ａ〜１３ｄからなる第２のコイルが構成されている。そして、第１のコイルと第２のコイルは電磁結合している。
【００６２】
コモンモードチョークコイル１００は、コイルパターン８ａ〜８ｄ、１３ａ〜１３ｄが、図１１に示すように（図１１はコイルパターン８ａ、８ｂ、８ｃが設けられた部分が示された要部平面図である）、コイルパターンの中心線に対して線対象に形成されるとともに、幅広な線幅ｗとされた部分と幅狭な線幅ｎとされた部分の間に形成されるギャップＧ１の幅寸法と、幅広および幅狭のいずれにもされていない線幅ｓからなる部分どうしの間に形成されるギャップＧ２の幅寸法が同一にされているので、フォトリソグラフィ法（フォトリソ−エッチング）による形成に極めて適したものになっている。すなわち、コイルパターンがコイルパターンの中心線に対して線対象に形成されず、いずれかに偏って形成された場合や、ギャップの幅寸法が同一とされていない場合には、フォトリソグラフィ法によるコイルパターンの形成が安定せず、断線や、隣接するコイルパターンとの短絡が発生するおそれがあるが、本実施形態のものは、そのようなことのない接続信頼性の高いものになっている。
【００６３】
なお、コイルパターン８ａ〜８ｄ、１３ａ〜１３ｄと、これらのコイルパターンにそれぞれ相互に隣接しているコイルパターンとの間に形成されるギャップの幅寸法が、２つのコイルパターンが隣接している全領域にわたって同一の寸法にされても良い。この場合には、フォトリソグラフィ法によるコイルパターンの形成がより安定し、さらに高い接続信頼性が得られる。
【００６４】
最後に、図１に示すように、第１の磁性体基板１、積層体３、第２の磁性体基板２からなる積層体の表面に、導電性ペーストが焼付けられるなどの方法によって端子電極４、５、６、７が形成され、本実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００は完成する。
【００６５】
以上、本発明のコイル部品の実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００の構造、および製造方法の一例について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って、種々の変更が成され得る。
【００６６】
たとえば、上記実施形態では、コイル部品としてコモンモードチョークコイルが示されているが、本発明のコイル部品はこれには限られず、パワーインダクタ、マッチング用高周波インダクタ、絶縁トランス、バラン、カプラなどであっても良い。
【００６７】
また、上記製造方法においては、１個のコモンモードチョークコイルが製造される場合について説明したが、マザー基板が用いられることにより、多数個のコモンモードチョークコイルが一括して製造され、後から個々のコモンモードチョークコイルに分割され、それぞれに端子電極が形成されるようにしても良い。
【符号の説明】
【００６８】
１：第１の磁性体基板
２：第２の磁性体基板
３：積層体
３ａ〜３ｅ：絶縁層
４、５、６、７：端子電極
８ａ〜８ｄ：コイルパターン
９ａ〜９ｇ：ビア
１０ａ〜１０ｃ：コイルパターン
１０ｄ：引出し電極
１１ａ：引出し電極
１１ｂ〜１１ｄ：コイルパターン
１２ａ〜１２ｇ：ビア
１３ａ〜１３ｄ：コイルパターン
【図１】
2013108862.tif 000003
【図２】
2013108862.tif 000004
【図３】
2013108862.tif 000005
【図４】
2013108862.tif 000006
【図５】
2013108862.tif 000007
【図６】
2013108862.tif 000008
【図７】
2013108862.tif 000009
【図８】
2013108862.tif 000010
【図９】
2013108862.tif 000011
【図１０】
2013108862.tif 000012
【図１１】
2013108862.tif 000013
【図１２】
2013108862.tif 000014
【国際調査報告】
2013108862.tif 000015
2013108862.tif 000016