(57)【要約】【課題】発光輝度がより均一な有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する装置を提供する。【解決手段】搬送される被蒸着体１０に、複数の蒸着ユニット１から薄膜層６を蒸着により順次に積層して有機層１３を形成する有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置に関する。各蒸着ユニット１は、薄膜層６を形成するための蒸着材料を放射する蒸着源２と、蒸着源２から放射された蒸着材料を被蒸着体１０に向けて放出する筒状体３とを備える。この筒状体は前記蒸着材料を放出する開口部を有する。この開口部は放出量調整構造により前記蒸着材料の放出量分布を調整可能に形成される。前記複数の蒸着ユニット１は、放出量調整構造５０によって調整された薄膜層６の膜厚分布が凸形状になる凸型分布蒸着ユニット１ａと、放出量調整構造５０によって調整された薄膜層６の膜厚分布が凹形状になる凹型分布蒸着ユニット１ｂとを有する。蒸着により積層される積層体の厚みを均一に近づけて発光輝度をより均一にできる。
2013111600.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される被蒸着体に、複数の蒸着ユニットから薄膜層を蒸着により順次に積層して有機層を形成する有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置であって、
前記複数の蒸着ユニットにおける各蒸着ユニットは、前記薄膜層を形成するための蒸着材料を放射する蒸着源と、前記蒸着材料が気化される温度に加熱され、前記蒸着源から放射された前記蒸着材料を被蒸着体に向けて放出する筒状体とを備え、この筒状体は前記蒸着材料を放出する開口部を有し、この開口部は放出量調整構造により前記蒸着材料の放出量分布を調整可能に形成され、
前記複数の蒸着ユニットは、前記放出量調整構造によって調整された前記薄膜層の膜厚分布が凸形状になる凸型分布蒸着ユニットと、前記放出量調整構造によって調整された前記薄膜層の膜厚分布が凹形状になる凹型分布蒸着ユニットとを有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項２】
前記放出量調整構造は放出量調整板を有し、この放出量調整板は前記蒸着材料が気化される温度に加熱され、前記開口部を部分的に遮断して前記開口部からの前記蒸着材料の放出量分布を調整するものであることを特徴とする、請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項３】
前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板の遮断面積と、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板の遮断面積とが異なることを特徴とする、請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項４】
前記放出量調整板は、外縁が円弧状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、
前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向の長さが長いことを特徴とする、請求項２又は３に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項５】
前記放出量調整板は、外縁が円弧状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、
前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向に垂直な方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向に垂直な方向の長さが短いことを特徴とする、請求項２〜４のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項６】
前記放出量調整板は、円形の一部が切り出されて外縁が円弧状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、
前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による前記円形の半径よりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による前記円形の半径の方が小さいことを特徴とする、請求項２〜５のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項７】
前記放出量調整板は、台形状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、
前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向の長さが長いことを特徴とする、請求項２又は３に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項８】
前記放出量調整板は、台形状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、
前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向に垂直な方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の搬送方向に垂直な方向の長さが短いことを特徴とする、請求項２、３、７のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項９】
前記放出量調整板は、台形状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、
前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による前記開口部の中央部での遮断割合よりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による前記開口部の中央部での遮断割合の方が大きいことを特徴とする、請求項２、３、７、８のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項１０】
前記放出量調整構造は前記筒状体の側壁で形成され、この側壁は、前記開口部の平面視形状を変形することにより前記開口部からの前記蒸着材料の放出量分布を調整するものであることを特徴とする、請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項１１】
前記側壁は、前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出することにより、前記開口部の平面視形状を変形することを特徴とする、請求項１０に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項１２】
前記複数の蒸着ユニットにおける前記放出量調整構造の形状が可変性を有することを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置を用いて、有機エレクトロルミネッセンス素子を製造することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する装置、及び、その装置を用いて有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ラインに基板を搬送し、この基板を被蒸着体として表面に順次に薄膜を蒸着して積層して有機エレクトロルミネッセンス素子（以下「有機ＥＬ素子」ともいう）を製造することが知られている。例えば、特許文献１には、独立して雰囲気及び真空度を制御可能な複数の処理室と、複数の処理室へ基板を連続的に搬送する搬送手段とを有し、この複数の処理室において所定の処理を行って、有機エレクトロルミネセンス素子を製造する装置が開示されている。このようなインライン式の製造装置により、有機薄膜を順次に積層できるので有機ＥＬ素子の製造効率が向上する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２８５５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の搬送型（インライン式）の有機ＥＬ素子製造装置においては、蒸着材料が中央で大きく端部で小さくなる量分布で蒸着されるため、断面形状が凸型になって成膜されるおそれがある。【０００５】
図１６は、従来の有機ＥＬ素子製造装置によって製造した有機ＥＬ素子Ａの一例である。この有機ＥＬ素子Ａでは、基板１１の表面に、陽極となる第１電極１２が形成され、その表面に、有機層１３、及び、陰極となる第２電極１４が積層されて形成されている。この形態では、有機層１３は、基板１１側から、ホール輸送層１３ａ、発光層１３ｂ、電子輸送層１３ｃ、中間層１３ｄ、ホール輸送層１３ｅ、発光層１３ｆ、電子輸送層１３ｇの順に積層されており、これらの各層は蒸着によって形成されている。また、第２電極１４は、電子輸送層１３ｇの表面に電極材料が蒸着されることによって形成されている。そして、蒸着された各層においては、蒸着材料が中央部分において端部（両側部）よりもより多く積層されるため、中央部で厚みが厚くなるとともに側部になるほど厚みが薄くなる凸形状の厚み分布となっている。したがって、蒸着によって形成される有機層１３全体においても、中央部で厚みが厚くなるとともに両側部においは厚みが小さくなり、凸形状の厚み分布となって形成されることになる。【０００６】
このように、積層体で構成される有機層１３が中央部で厚みが厚くなり、側部で厚みが薄くなると、基板中央部と基板端部との発光輝度が異なってしまうといった問題が生じる。すなわち、光は干渉を利用して素子外部に取り出されることが多く、中央部と側部とで膜厚が異なると干渉の度合いが異なることになり、発光輝度に偏りができやすくなる。特に、比較的大きな面積で発光するような発光パネルなどにおいては、面内の発光の均一性が低下し、発光体としての機能を損ねるおそれがある。【０００７】
積層体の厚みを揃えるために、有機層１３の各層を構成する蒸着材料の放出量を側部と中央部とで一定になるような分布に制御して、膜厚の均一な層を蒸着により積層させることも考えられる。しかしながら、搬送される被蒸着体に対し、蒸着量を被蒸着領域全体に一定に揃えて層を形成することは難しく、しかも複数の層の全ての層について厚みを一定に制御することは困難であり、かえって製造効率を悪化させるおそれがある。【０００８】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、発光輝度がより均一な有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する装置を提供することを目的とする。また、発光輝度がより均一な有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置は、搬送される被蒸着体に、複数の蒸着ユニットから薄膜層を蒸着により順次に積層して有機層を形成する有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置であって、前記複数の蒸着ユニットにおける各蒸着ユニットは、前記薄膜層を形成するための蒸着材料を放射する蒸着源と、前記蒸着材料が気化される温度に加熱され、前記蒸着源から放射された前記蒸着材料を被蒸着体に向けて放出する筒状体とを備え、この筒状体は前記蒸着材料を放出する開口部を有し、この開口部は放出量調整構造により前記蒸着材料の放出量分布を調整可能に形成され、前記複数の蒸着ユニットは、前記放出量調整構造によって調整された前記薄膜層の膜厚分布が凸形状になる凸型分布蒸着ユニットと、前記放出量調整構造によって調整された前記薄膜層の膜厚分布が凹形状になる凹型分布蒸着ユニットとを有することを特徴とするものである。【００１０】
本発明にあっては、前記放出量調整構造は放出量調整板を有し、この放出量調整板は前記蒸着材料が気化される温度に加熱され、前記開口部を部分的に遮断して前記開口部からの前記蒸着材料の放出量分布を調整するものであることが好ましい。【００１１】
本発明にあっては、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板の遮断面積と、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板の遮断面積とが異なることが好ましい。【００１２】
好ましい一形態では、前記放出量調整板は、外縁が円弧状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向の長さが長い。【００１３】
好ましい一形態では、前記放出量調整板は、外縁が円弧状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向に垂直な方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向に垂直な方向の長さが短い。【００１４】
好ましい一形態では、前記放出量調整板は、円形の一部が切り出されて外縁が円弧状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による前記円形の半径よりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による前記円形の半径の方が小さい。【００１５】
好ましい一形態では、前記放出量調整板は、台形状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向の長さが長い。【００１６】
好ましい一形態では、前記放出量調整板は、台形状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向に垂直な方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による遮断領域の前記搬送方向に垂直な方向の長さが短い。【００１７】
好ましい一形態では、前記放出量調整板は、台形状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部を部分的に遮断しており、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による前記開口部の中央部での遮断割合よりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記放出量調整板による前記開口部の中央部での遮断割合の方が大きい。【００１８】
本発明にあっては、前記放出量調整構造は前記筒状体の側壁で形成され、この側壁は、前記開口部の平面視形状を変形することにより前記開口部からの前記蒸着材料の放出量分布を調整するものであることが好ましい。【００１９】
本発明にあっては、前記側壁は、前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出することにより、前記開口部の平面視形状を変形することが好ましい。【００２０】
上記の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置においては、前記複数の蒸着ユニットにおける前記放出量調整構造の形状が可変性を有することが好ましい。【００２１】
本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、上記の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置を用いて、有機エレクトロルミネッセンス素子を製造することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、蒸着により積層される積層体の厚みを均一に近づけることができるので、発光輝度がより均一な有機エレクトロルミネッセンス素子を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置の実施の形態の一例を示す斜視図である。
【図２】蒸着ユニットの開口部の一例を示す平面図である。
【図３】図３Ａ及び３Ｂは、蒸着ユニットの開口部の一例を示す平面図である。
【図４】蒸着ユニットの開口部の遮断を説明する平面図である。
【図５】蒸着ユニットの開口部の一例を示す平面図である。
【図６】図６Ａ及び６Ｂは、蒸着ユニットの開口部の一例を示す平面図である。
【図７】図７Ａ及び７Ｂは、蒸着ユニットの開口部の一例を示す平面図である。
【図８】図８Ａ、８Ｂ、８Ｃ及び８Ｄは、薄膜層の一例を示す断面図である。
【図９】有機エレクトロルミネッセンス素子の一例を示す断面図である。
【図１０】有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置の他の実施の形態の一例を示す斜視図である。
【図１１】他の蒸着ユニットの開口部の一例を示す平面図である。
【図１２】図１２Ａ及び１２Ｂは、他の蒸着ユニットの開口部の一例を示す平面図である。
【図１３】他の蒸着ユニットの開口部の遮断を説明する平面図である。
【図１４】他の蒸着ユニットの開口部の一例を示す平面図である。
【図１５】図１５Ａ及び１５Ｂは、他の蒸着ユニットの開口部の一例を示す平面図である。
【図１６】従来の有機エレクトロルミネッセンス素子の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１及び図２は、有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置（以下「有機ＥＬ製造装置」ともいう）の一例を示している。この有機ＥＬ製造装置は、搬送される被蒸着体（ワーク）１０に、複数の蒸着ユニット１から薄膜層６（図８、９参照）を蒸着により順次に積層して有機層１３を形成することにより、有機エレクトロルミネッセンス素子（有機ＥＬ素子）を製造するものである。図１には、被蒸着体１０の搬送方向（白抜き矢印）Ｘの上流から下流に向けて３個の蒸着ユニット１が順に配置された様子が図示されているが、蒸着ユニット１は４個以上であってもよい。例えば、蒸着して形成する薄膜層６の数と同じ数の蒸着ユニット１を用いることができる。なお、蒸着ユニット１は二つ以上であることが必要である。
【００２５】
複数の蒸着ユニット１における各蒸着ユニット１は、薄膜層６を形成するための蒸着材料を放射する蒸着源２と、蒸着材料が気化される温度に加熱され、蒸着源２から放射された蒸着材料を被蒸着体１０に向けて放出する筒状体３とを備えている。筒状体３は、断面矩形状の空洞を有する縦型の筒形状に形成されており、下部では蒸着源２と接続されるとともに、上部には気化した蒸着材料を上方に放出する開口部４が設けられている。このように筒状体３によって蒸着材料を被蒸着体１０に向かって放出すれば、被蒸着体１０に薄膜層６を積層することが可能になる。また、筒状体３が蒸着材料の気化温度以上の温度で加熱されていることにより、蒸着材料を筒状体３の内部に付着せずに開口部４から放出することができる。筒状体３は金属製にすることができる。また、蒸着は真空蒸着であってもよい。図１では、蒸着材料の放出を黒矢印で示している。
【００２６】
筒状体３は四面の側壁３０を有する角筒状に形成することができる。側壁３０は、一対の第一側壁３０ａと、一対の第二側壁３０ｂとで構成されている。各第一側壁３０ａは平板状である。また一対の第一側壁３０ａの対向する方向は搬送方向Ｘと平行な方向である。各第二側壁３０ｂは平板状である。また一対の第二側壁３０ｂの対向する方向は搬送方向Ｘと垂直な方向である。筒状体３は側壁３０が蒸着材料の気化温度以上の温度で加熱されるホットウォール構造を有する。
【００２７】
図２に示すように、本形態では、開口部４は、搬送方向Ｘと平行に短辺が配置されるとともに、搬送方向Ｘに垂直な方向と平行に長辺が配置された矩形形状に形成されている。それにより、搬送される被蒸着体１０表面に、より均一な膜厚で薄膜層６を形成することができる。開口部４の短辺は第二側壁３０ｂの上端縁部で形成されている。開口部４の長辺は第一側壁３０ａの上端縁部で形成されている。
【００２８】
また、各蒸着ユニット１は、筒状体３からの蒸着材料の放出量分布を調整する放出量調整構造５０を備えている。すなわち、各蒸着ユニット１は、放出量調整構造５０として、放出量調整板５を備える。この放出量調整板５は、筒状体３の開口部４の一部を遮断（閉塞）している。すなわち、放出量調整板５は、筒状体３の開口部４を部分的に遮断して筒状体３からの蒸着材料の放出量分布を調整する。この放出量調整板５は、蒸着材料が気化される温度に加熱されている。放出量調整板５が蒸着材料の気化温度以上の温度で加熱されていることにより、蒸着材料を放出量調整板５に付着させずに開口部４から放出することができる。放出量調整板５の温度は筒状体３と同じ温度であってもよいし異なっていてもよい。また、筒状体３と放出量調整板５とが熱伝達性を有して接続され、筒状体３を加熱することにより放出量調整板５を加熱することができれば、加熱機構を簡単にすることができる。放出量調整板５は金属製にすることができる。
【００２９】
この蒸着ユニット１では、筒状体３の第二側壁３０ｂの上端に放出量調整板５を設けることによって、平面視形状が矩形状の開口部４を部分的に遮断している。すなわち、放出量調整板５による開口部４の遮断領域Ｓ以外の領域は、蒸着材料が放出される放出領域Ｈとして形成されている。従って、筒状体３の放出領域Ｈの平面視形状は放出量調整板５の形状等により変形することができ、これにより、放出領域Ｈからの蒸着材料の放出分布を調整することができる。つまり、蒸着ユニット１にあっては、放出量調整板５を設けることで、簡単に蒸着材料の放出分布を調整し、蒸着量の分布を調整することができる。すなわち、放出量調整板５を設けていない矩形状の開口部４の全体が開口した蒸着ユニット１を用いた場合、搬送方向Ｘに垂直な方向（幅方向）の中央部分では蒸着材料が多く放出されるとともに、幅方向の側部には蒸着材料が少なく放出されることになる。すると、薄膜層６は膜厚分布が極端に突出する凸形状になって形成されることなり、中央部が大きく突出した層となる。中央部と側部との蒸着量をより近づけるために、筒状体３自体の開口の形状を変えることも考えられるが、その場合、装置構成が複雑になってしまうおそれがある。しかしながら、放出量調整板５を設けるようにすれば、放出量調整板５による遮断の状態を調整することによって、簡単に膜厚の分布を調整することができ、中央部と側部との蒸着量を近づけることができる。
【００３０】
本形態では、各蒸着ユニット１において、一対となった二つの放出量調整板５が、搬送方向Ｘと平行な方向に沿って配置されている。すなわち、搬送方向Ｘの上流側には、上流側の放出量調整板５ａが配置されるとともに、搬送方向Ｘの下流側には、下流側の放出量調整板５ｂが配置されている。上流側の放出量調整板５ａは、開口部４の上流側縁部から下流側に向けて突出し、開口部４の上流側の一部を遮断している。また、下流側の放出量調整板５ｂは、開口部４の下流側縁部から上流側に向けて突出し、開口部４の下流側の一部を遮断している。そして、放出量調整板５による開口部４の部分的な遮断の度合は、幅方向の側部から中央部になるほど大きくなっている。このような放出量調整板５が設けられることによって、被蒸着体１０に対する蒸着量を中央部と側部とでより近い値に近づけることができる。
【００３１】
有機ＥＬ製造装置は、被蒸着体１０を搬送する搬送手段２０を備えている。搬送手段２０は、コンベア等の適宜の搬送機構によって構成され、これにより、被蒸着体１０はラインに沿って搬送方向Ｘの上流側から下流側に順次に各蒸着ユニット１の上方を通過することができる。搬送手段２０としては、支持部材により被蒸着体１０の幅方向の端部を支持するとともに、被蒸着体１０の下部表面が外部に露出するようにして支持部材ごと搬送するようなものを用いることができる。被蒸着体１０の下部表面が露出していることにより、この表面に筒状体３から放出された蒸着材料を蒸着して薄膜層６を形成することができる。被蒸着体１０は、少なくとも基板１１を含むものであり、例えば、第１電極１２が表面に形成された基板１１を用いることができる。また、第１電極１２と有機層１３の一部の層とが表面に形成された基板１１を用いることもできる。そして、第１電極１２を下方にして基板１１を適宜の支持部材にセットすることにより被蒸着体１０を構成することができる。なお、搬送手段２０を幅方向の各端部に配置されるローラーやベルトなどのコンベアで構成し、基板１の幅方向の端部をコンベア上に載せて搬送するようにしてもよい。蒸着にあたっては、被蒸着体１０の下部表面にマスクを重ねるようにしてもよい。それにより、被蒸着体１０の外周部に蒸着されないようにしたり、薄膜層６を適宜のパターンで積層したりすることができる。
【００３２】
有機ＥＬ製造装置では、開口部４に放出量調整板５が設けられた蒸着ユニット１により順次に薄膜層６を形成するのであるが、放出量調整板５によって開口部４の一部を遮断したとしても、単独の各薄膜層６について、幅方向の中央部から側部にかけて一定の厚みで蒸着材料を積層することは難しい。特に、有機層３を構成する全ての薄膜層６の幅方向における厚みを一定に揃えることは困難である。そこで、本形態では、複数の蒸着ユニット１において、放出量調整板５による開口部４の部分的な遮断状態を変えて放出量の分布を調整し、積層体全体の厚みをより一定に近づけるのである。なお、放出量調整板５を設けたとしても開口部４を遮断する割合が小さい場合には、通常、薄膜層６は凸型の膜厚分布で形成されるため、図１６に示すような有機ＥＬ素子Ａが製造されるものである。
【００３３】
本形態では、複数の蒸着ユニット１が、放出量調整板５によって調整された薄膜層６の膜厚分布が凸形状になる凸型分布蒸着ユニット１ａ（以下、単に「ユニット１ａ」と記載する）と、放出量調整板５によって調整された薄膜層６の膜厚分布が凹形状になる凹型分布蒸着ユニット１ｂ（以下、単に「ユニット１ｂ」と記載する）とを有するようにする。すなわち、複数の蒸着ユニット１のうちの一部がユニット１ａであり、残りのうちの全部又は一部がユニット１ｂである。それにより、凸形状の膜厚分布を有する薄膜層６（凸型薄膜層６ａ）と凹形状の膜厚分布を有する薄膜層（凹型薄膜層６ｂ）とが積層されるので、蒸着されて形成される積層体全体の厚みの分布を一定に近づけることができる。そして、積層体である有機層１３における中央部の厚みと側部の厚みとが一定に近づくと、中央部と側部との発光輝度がより同じ程度に近づく。すなわち、光は干渉を利用して素子外部に取り出されることが多く、有機層１３の中央部と側部とで膜厚が略同じになると干渉の度合いが略同じになることになり、発光輝度が表面全体において一定に近づく。それにより、面内の発光がより均一な有機ＥＬ素子を製造することができるのである。なお、複数の蒸着ユニット１の中には、ユニット１ａ及びユニット１ｂに加えて、膜厚分布が平坦な平坦分布蒸着ユニットが含まれていてもよい。また、高温蒸着ユニットが、ユニット１ａ及びユニット１ｂが並ぶ列の間に配置されていてもよい。高温蒸着ユニットは、ユニット１ａ及びユニット１ｂのようなホットウォールでの蒸着よりも高い蒸着温度で蒸着するユニットである。金属など蒸着温度が高温な場合には、ホットウォールでの蒸着はできないため、高温蒸着ユニットが適している。例えば、陰極に用いるＡｌなどの金属や、有機層１３内の金属含有層（Ｍｇ、ＩＴＯ、ＭｏＯ３、Ｌｉ２ＭｏＯ３など）の蒸着に高温蒸着ユニットを用いることができる。高温蒸着ユニットで形成した薄膜層６は、幅方向の厚み分布が均一なものであってよく、あるいは凸型又は凹型であってもよい。
【００３４】
図８は、薄膜層６の一例を示している。図８Ａは、ユニット１ａによって形成される凸型薄膜層６ａの一例である。凸型薄膜層６ａでは、両側部から中央部に近づくにつれて徐々に厚みが厚くなっており、中央部が厚み方向に突出している。このようにユニット１ａは、平坦な表面に薄膜層６を形成した際に、凸型の膜厚分布を示す層を形成するものである。また、図８Ｂは、ユニット１ｂによって形成される凹型薄膜層６ｂの一例である。凹型薄膜層６ｂでは、両側部から中央部に近づくにつれて徐々に厚みが薄くなっており、中央部が厚み方向で凹んでいる。このようにユニット１ｂは、平坦な表面に薄膜層６を形成した際に、凹型の膜厚分布を示す層を形成するものである。
【００３５】
ここで、ユニット１ｂは、側部から中央部に近づくにつれて厚みが小さくなって凹んだ部分を有する膜厚分布で薄膜層６を形成するものであればよい。蒸着ユニット１による蒸着では、開口部４の端縁部において蒸着量が減少することがあり、その場合、図８Ｃのように、側端部において薄膜層６の厚みが薄くなることがあるが、このような薄膜層６も中央部に凹部があるため、凹型薄膜層６ｂとなる。また、積層する面積が大きくなると放出量調整板５による中央部分における遮断効果が少なくなり、その場合、図８Ｄのように、中央部において薄膜層６の厚みが厚くなることがあるが、このような薄膜層６も中央部近傍に凹部があるため、凹型薄膜層６ｂとなる。ただし、図８Ｄの場合、中央部で突出する部分の厚みは、側部において突出する部分の厚みよりも小さいことが好ましい。
【００３６】
凸型薄膜層６ａ及び凹型薄膜層６ｂを形成するためには、ユニット１ａにおける放出量調整板５の遮断面積と、ユニット１ｂにおける放出量調整板５の遮断面積とが異なるようにすることが好ましい。それにより、簡単に薄膜層６を凸型又は凹型に形成することができる。例えば、ユニット１ｂにおける放出量調整板５の遮断面積を、ユニット１ａにおける放出量調整板５の遮断面積よりも大きくして、中央部において蒸着材料の放出が側部よりも遮断されて蒸着量が少なくなるようにする。すると、凹型の膜厚分布で蒸着材料が積層して凹型薄膜層６ｂを形成することができる。
【００３７】
図２の形態においては、筒状体３の開口部４に配置される部分円盤型の放出量調整板５により、容易に薄膜層６の膜厚分布を凸型又は凹型にすることができる。この形態では、複数の蒸着ユニット１における放出量調整板５は、外縁が円弧状になって搬送方向Ｘと平行な方向に沿って突出して開口部４を遮断している。遮断する外縁が円弧状になることにより、側部から中央部にかけて膜厚分布を滑らかに変化させることができる。図２の遮断構造では、円弧状になった放出量調整板５の外縁は、矩形状の開口部４における幅方向に配置された角部４ａ，４ａを通って湾曲した曲線となっている。この曲線は円の一部であってもよいし、楕円の一部であってもよい。このような外縁が円弧状の放出量調整板５を用いることにより、簡単に放出量調整板５による開口部５の遮断面積を蒸着ユニット１ごとに変化させることができ、蒸着材料の放出量分布を制御できる。
【００３８】
また、図２の形態では、放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向Ｘの長さＬ１及び搬送方向Ｘに垂直な長さＬ２の少なくとも一方を複数の蒸着ユニット１で異ならせることで、開口部４の遮断状態を変化させることができる。もちろん、長さＬ１とＬ２の両方を異ならせてもよい。
【００３９】
図３により、放出量調整板５による遮断状態の変化を説明する。図２及び図３Ａに示すように、例えば、放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向Ｘの長さＬ１を、ユニット１ａとユニット１ｂとで異ならせることにより、開口部４の遮断状態を変化させることができる。また、この場合、簡単に遮断面積を異ならせることができる。すなわち、ユニット１ａにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向Ｘの長さＬ１よりも、ユニット１ｂにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向Ｘの長さＬ１が長いようにする。このとき、図２の形態は、ユニット１ｂの開口部４を示し、図３Ａの形態は、ユニット１ａの開口部４を示すことになる。図３Ａの形態では、開口部４の幅方向の中央部は、搬送方向Ｘの開口長さが、図２のものよりも長くなる。そして、開口部４の中央部においては、より多くの蒸着材料が放出されて、薄膜層６を厚く形成し、図８Ａに示すような凸形状の膜厚分布を形成することができる。一方、図２の形態では、開口部４の幅方向の中央部は、搬送方向Ｘの開口長さが、図３Ａの形態よりも短いので、開口部４の中央部においては、蒸着材料の放出量が少なくなり、薄膜層６を薄く形成し、図８Ｂなどに示すような凹形状の膜厚分布を形成することができる。このように、放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向Ｘの長さＬ１を変化させることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができるものである。
【００４０】
また、図２及び図３Ｂに示すように、放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向Ｘに垂直な方向（幅方向）の長さＬ２を、ユニット１ａとユニット１ｂとで異ならせることによっても、開口部４の遮断状態を変化させることができる。また、この場合、簡単に遮断面積を異ならせることができる。すなわち、ユニット１ａにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの幅方向の長さＬ２よりも、ユニット１ｂにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの幅方向の長さＬ２が短いようにする。このとき、図２の形態は、ユニット１ａの開口部４を示し、図３Ｂの形態は、ユニット１ｂの開口部４を示すことになる。図３Ｂの形態では、開口部４の幅方向の側部では、開口面積が、図２のものよりも大きくなる。そして、開口部４の側部においては、より多くの蒸着材料が放出されて、薄膜層６を厚く形成し、図８Ｂなどに示すような凹形状の膜厚分布を形成することができる。一方、図２の形態では、開口部４の幅方向の側部は、開口面積が、図３Ｂの形態よりも小さいので、開口部４の側部においては、蒸着材料の放出量が少なくなり、薄膜層６を薄く形成し、図８Ａに示すような凸形状の膜厚分布を形成することができる。このように、放出量調整板５による遮断領域Ｓの幅方向の長さＬ２を変化させることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができるものである。なお、図３Ｂの形態では、遮断領域Ｓの円弧の外縁と開口部４の縁部との交点は角部４ａよりも内側に配置されることになる。
【００４１】
また、図２の形態において、放出量調整板５は、円形の一部が切り出されて外縁が円弧状になって搬送方向Ｘと平行な方向に沿って突出して開口部４を遮断する場合には、図４に示す放出量調整板５により描かれる円形の半径Ｒを、蒸着ユニット１ごとに異ならせてもよい。すなわち、ユニット１ａにおける放出量調整板５による円形の半径Ｒと、ユニット１ｂにおける放出量調整板５による円形の半径とを異ならせるようにするのである。それにより、開口部４の遮断状態を変化させることができる。また、この場合、簡単に遮断面積を異ならせることができる。例えば、ユニット１ａにおける放出量調整板５による円形の半径Ｒよりも、ユニット１ｂにおける放出量調整板５による円形の半径Ｒの方が小さくなるようにする。すると、ユニット１ａにおいては、円の外縁と中心との距離が短くなり外縁の描く曲率半径（Ｒ）がより小さくなって遮断領域がより突出した形状になるため、開口部４の幅方向の中央部では、開口割合が、ユニット１ａよりも小さくなる。そして、ユニット１ｂでは、開口部４の中央部においては、蒸着材料の放出量が少なくなり、薄膜層６を薄く形成し、図８Ｂなどに示すような凹形状の膜厚分布を形成することができる。一方、ユニット１ａでは、遮断領域Ｓの突出が小さいために、開口部４の中央部では、開口割合が、ユニット１ｂよりも大きくなるので、開口部４の中央部においては、蒸着材料の放出量が多くなる。そのため、薄膜層６を厚く形成し、図８Ａに示すような凸形状の膜厚分布を形成することができる。このように、放出量調整板５の半径Ｒを変化させることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができるものである。なお、半径Ｒを変化させるときは、各放出量調整板５による遮断領域Ｓの外縁が開口部４の角部４ａ，４ａを通るようにすることができる。
【００４２】
なお、放出量調整板５による遮断領域Ｓの外縁が楕円形の一部が切り出されたものである場合には、楕円の短軸の長さ（短径）又は長軸の長さ（長径）を、上記の円の半径Ｒの場合と同様の要領で変化させることで薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができる。また、楕円の長軸と短軸の長さの比を変化させることによっても、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができる。
【００４３】
図５は、放出量調整板５の他の一例である。この形態では、放出量調整板５は、台形状になって搬送方向Ｘと平行な方向に沿って突出して開口部５を遮断している。遮断領域Ｓが台形状になることになることにより、側部においては中央部に近づくほど蒸着材料の放出量を減らすとともに、中央部においては蒸着材料の放出量が少なくなりすぎないようにして、薄膜層６を形成することができる。
【００４４】
また、図２の形態と同様に、各蒸着ユニット１においては、一対となった二つの放出量調整板５が、搬送方向Ｘと平行な方向に沿って配置されている。すなわち、搬送方向の上流側には、上流側の放出量調整板５ａが配置されるとともに、搬送方向Ｘの下流側には、下流側の放出量調整板５ｂが配置されている。上流側の放出量調整板５ａは、開口部４の上流側縁部から下流側に向けて突出し、開口部４の上流側を遮断している。また、下流側の放出量調整板５ｂは、開口部４の下流側縁部から上流側に向けて突出し、開口部４の下流側を遮断している。そして、放出量調整板５による開口部４の遮断の度合は、幅方向の側部よりも中央部において大きくなっている。このような放出量調整板５が設けられることによって、被蒸着体１０に対する蒸着量を中央部と側部とでより近い値に近づけることができる。
【００４５】
図５の遮断構造では、放出量調整板５により形成される遮断領域Ｓの台形の下辺は、矩形状の開口部４における幅方向の角部４ａ，４ａによって形成される線分と等しくなっている。このような遮断領域Ｓが台形状となる放出量調整板５を用いることにより、簡単に放出量調整板５による開口部４の遮断状態を蒸着ユニット１ごとに変化させることができ、蒸着材料の放出量分布を制御できる。
【００４６】
図５の形態では、ユニット１ａにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの面積と、ユニット１ｂにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの面積とを異ならせることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸型又は凹型に調整することができる。また、遮断領域Ｓの面積が同じであっても、中央部における遮断領域Ｓの割合が変化するように台形の形状を変化するようにすれば、薄膜層６の膜厚分布を凸型又は凹型に調整することができる。すなわち、遮断領域Ｓが台形状であるので、この台形による中央部での遮断割合を増加させれば、容易に中央部近傍における蒸着材料の放出量を少なくすることができ、膜厚分布を凹型にすることができる。
【００４７】
具体的には、放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向の長さＬ１及び搬送方向に垂直な長さＬ２の少なくとも一方を複数の蒸着ユニット１で異ならせることで、開口部４の遮断状態を変化させることができる。もちろん、長さＬ１とＬ２の両方を異ならせてもよい。本形態では、放出量調整板５による遮断領域Ｓは台形状であるため、長さＬ１は台形の高さとなり、長さＬ２は台形の下辺の長さとなる。
【００４８】
図６により、放出量調整板５による遮断状態の変化を説明する。図５及び図６Ａに示すように、例えば、放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向の長さＬ１を、ユニット１ａとユニット１ｂとで異ならせることにより、開口部４の遮断状態を変化させることができる。また、この場合、簡単に遮断面積を異ならせることができる。すなわち、ユニット１ａにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向Ｘの長さＬ１よりも、ユニット１ｂにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向Ｘの長さＬ１が長いようにする。このとき、図５の形態は、ユニット１ｂの開口部４を示し、図６Ａの形態は、ユニット１ａの開口部４を示すことになる。図６Ａの形態では、開口部４の幅方向の中央部は、搬送方向Ｘの開口長さが、図５のものよりも長くなる。そして、開口部４の中央部においては、より多くの蒸着材料が放出されて、薄膜層６を厚く形成し、図８Ａに示すような凸形状の膜厚分布を形成することができる。一方、図５の形態では、開口部４の幅方向の中央部は、搬送方向の開口長さが、図６Ａの形態よりも短いので、開口部４の中央部においては、蒸着材料の放出量が少なくなり、薄膜層６を薄く形成し、図８Ｂなどに示すような凹形状の膜厚分布を形成することができる。このように、放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向Ｘの長さＬ１、すなわち遮断領域Ｓにおける台形の高さを変化させることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができるものである。
【００４９】
また、図５及び図６Ｂに示すように、放出量調整板５による遮断領域Ｓの搬送方向Ｘに垂直な方向（幅方向）の長さＬ２を、ユニット１ａとユニット１ｂとで異ならせることによっても、開口部４の遮断状態を変化させることができる。また、この場合、簡単に遮断面積を異ならせることができる。すなわち、ユニット１ａにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの幅方向の長さＬ２よりも、ユニット１ｂにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの幅方向の長さＬ２が短いようにする。このとき、図５の形態は、ユニット１ａの開口部４を示し、図６Ｂの形態は、ユニット１ｂの開口部４を示すことになる。図６Ｂの形態では、開口部４の幅方向の側部では、開口面積が、図５のものよりも大きくなる。そして、開口部４の側部においては、より多くの蒸着材料が放出されて、薄膜層６を厚く形成し、図８Ｂなどに示すような凹形状の膜厚分布を形成することができる。一方、図５の形態では、開口部４の幅方向の側部は、開口面積が、図６Ｂの形態よりも小さいので、開口部４の側部においては、蒸着材料の放出量が少なくなり、薄膜層６を薄く形成し、図８Ａに示すような凸形状の膜厚分布を形成することができる。このように、放出量調整板５による遮断領域Ｓの幅方向の長さＬ２、すなわち遮断領域Ｓにおける台形の下辺の長さを変化させることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができるものである。なお、図６Ｂの形態では、遮断領域Ｓの台形の下辺は開口部４の幅方向の長さよりも短くなり、角部４ａよりも内側に配置されることになる。
【００５０】
なお、放出量調整板５による遮断領域Ｓが台形状である場合には、図６Ｂに示す台形の上辺の長さＬ３を、上記の台形の下辺の場合と同様の要領により変化させることによっても、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができる。すなわち、上辺の長さＬ３をより長くすれば、幅方向の中央部における蒸着材料の放出量が少なくなるので、薄膜層６の膜厚分布を凹型に近づけることができる。
【００５１】
また、図５の形態では、ユニット１ａにおける放出量調整板５による開口部４の中央部での遮断割合よりも、ユニット１ｂにおける放出量調整板５による開口部４の中央部での遮断割合の方が大きいことが好ましい。この形態では、遮断領域Ｓが台形状であるので、この台形による中央部での遮断割合を増減させれば、容易に中央部近傍における蒸着材料の放出量を制御することができ、膜厚分布を凸型又は凹型にすることができるものである。
【００５２】
また、図５の形態では、ユニット１ａにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの面積よりも、ユニット１ｂにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの面積の方が大きいようにすることも好ましい。この形態では、遮断領域Ｓが台形状であるので、この台形により形成される遮断領域Ｓの面積を増加させれば、容易に中央部近傍における蒸着材料の放出量を減少させることができ、膜厚分布を凹型にすることができるものである。例えば、遮断領域Ｓの台形の下辺を、開口部４の幅方向の角部４ａ，４ａの線分として固定し、台形の高さ（長さＬ１）を高くすれば、台形の面積を増加させて中央部近傍の放出量を減少させ、膜厚分布を凹型にすることができる。
【００５３】
また、図５の形態では、ユニット１ａにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの面積よりも、ユニット１ｂにおける放出量調整板５による遮断領域Ｓの面積の方が小さいようにすることも好ましい。この形態では、遮断領域Ｓが台形状であるので、この台形により形成される遮断領域Ｓの面積を減少させれば、容易に側部における蒸着材料の放出量を増加させることができ、膜厚分布を凹型にすることができるものである。例えば、遮断領域Ｓの台形の高さ（長さＬ１）を固定し、台形の下辺（長さＬ２）を短くすれば、台形の面積を減少させて側部における放出量を増加させ、膜厚分布を凹型にすることができる。
【００５４】
ところで、上記の各形態では、各蒸着ユニット１において、一対となった二つの放出量調整板５が、搬送方向Ｘと平行な方向に沿って配置され、搬送方向Ｘと平行な方向（搬送方向と同方向及び逆方向）に沿って突出しているものを示した。しかしながら、放出量調整板５の形態はこれに限定されるものではない。図７に、一個の放出量調整板５を開口部４に配置する場合の形態の一例を示す。
【００５５】
図７の形態は、開口部４の搬送方向Ｘの中央部に、幅方向に跨るように木の葉状の放出量調整板５を配置した例である。それにより、幅方向の中央部において開口割合が小さくなった開口部４が、搬送方向の上流側と下流側とで二つ形成されている。図７Ａは、二つの円弧状の外縁が開口部４の縁部において結合したような遮断領域を示す放出量調整板５を用いた例である。また、図７Ｂは、上流側及び下流側に突出する二つの台形が下辺において結合したような遮断領域Ｓを示す放出量調整板５を用いた例である。
【００５６】
そして、図７の形態においては、搬送方向Ｘの長さＬ１を変化させることにより、薄膜層６の膜厚分布を変化させて薄膜層６を凸型又は凹型に形成することができるものである。すなわち、搬送方向Ｘの長さＬ１を長くすれば、幅方向の中央部分の蒸着材料の放出量を少なくすることができ、薄膜層６を凹型に近づけることができる。なお、この形態では、放出量調整板５は開口部４を幅方向に跨ぐため、幅方向の長さＬ２を調整することは難しいが、放出量調整板５を搬送方向Ｘで跨ぐように配置したりすれば、幅方向の長さＬ２を調整することも可能である。
【００５７】
上記の各形態においては、開口部４の遮断領域Ｓは、開口部４を幅方向で２分した線において線対称になることが好ましい。それにより、幅方向の側部から中央部にかけての放出量分布が幅方向で左右対称となり、積層体全体の膜厚の調整が容易になる。また、開口部４の遮断領域Ｓは、開口部４を搬送方向Ｘで２分した線において線対称になることが好ましい。それにより、搬送方向Ｘにおいて膜厚がばらつくことを抑制することができる。線対称な遮断領域Ｓを得るためには、例えば、図２及び図５の形態においては、放出量調整板５で遮断される二つの遮断領域Ｓを同形状にすることができる。
【００５８】
また、複数の蒸着ユニット１における放出量調整板５の形状は可変性を有することが好ましい。放出量調整板５の形状が可変性を有することにより、遮断領域の面積を簡単に増減させたり、遮断領域Ｓにおける搬送方向Ｘの長さＬ１や幅方向の長さＬ２を簡単に変化させたりすることができ、容易に蒸着材料の放出量分布を調節することができる。例えば、放出量調整板５は開口部４に着脱自在に挿入するものにすることができる。この場合、形状の異なる放出量調整板５を複数用いて遮断領域Ｓの形状を変化させることができる。例えば、部分円盤状の放出量調整板５を用いる場合には、半径Ｒの異なる放出量調整板５を蒸着ユニット１に挿入して、放出量分布を調整できる。また、例えば、台形状の放出量調整板５を用いる場合には、台形の高さが異なったり上辺の長さが異なったりした放出量調整板５を蒸着ユニット１に挿入することにより、放出量分布を調整できる。また、挿入深さを調整できるものである場合、同一形状の放出量調整板５によっても放出量分布を調整することができる。例えば、放出量調整板５をより深く開口部４に挿入すれば、遮断領域の搬送方向の長さＬ１を長くしたり、遮断領域Ｓの面積を大きくしたりして、中央部の放出量を少なくすることが可能である。
【００５９】
図９は、本発明による有機ＥＬ製造装置を用いて製造された有機ＥＬ素子Ａの一例である。有機ＥＬ素子Ａは、図１に示すように、基板１１を含む被蒸着体１０を搬送しながら、この被蒸着体１０の表面に、複数の蒸着ユニット１から薄膜層６を蒸着により順次に積層することにより製造することができる。
【００６０】
図９の有機ＥＬ素子Ａでは、基板１１の表面に、陽極となる第1電極１２が形成され、その表面に、有機層１３、及び、陰極となる第２電極１４が積層されて形成されている。この形態では、有機層１３は、基板１１側から、ホール輸送層１３ａ、発光層１３ｂ、電子輸送層１３ｃ、中間層１３ｄ、ホール輸送層１３ｅ、発光層１３ｆ、電子輸送層１３ｇの順に積層されており、これらの各層は蒸着によって形成されている。また、第２電極１４は、電子輸送層１３ｇの表面に電極材料が蒸着されることによって形成されている。したがって、上記の有機ＥＬ製造装置により、基板１１に形成された第１電極２の表面に、少なくとも有機層１３の各層を薄膜層６として適宜に凸形状又は凹形状になるように蒸着して積層することにより、有機ＥＬ素子Ａを製造することができる。また、第２電極１４についても、凸形状又は凹形状に膜厚分布が調整されてもよい。なお、図９の形態では、発光層が二段構成となっているが、一段であっても、あるいは、三段以上であってもよい。
【００６１】
図９の形態では、有機層１３のうち、ホール輸送層１３ａ、中間層１３ｄ、ホール輸送層１３ｅ、発光層１３ｆの４つの層が、凸型薄膜層６ａとして形成されている。また、発光層１３ｂ、電子輸送層１３ｃ、電子輸送層１３ｇの３つの層が、凹型薄膜層６ｂとして形成されている。このような有機層１３は、有機層１３の各層を構成する薄膜層６の凸型及び凹型に対応して、ユニット１ａ及びユニット１ｂを搬送方向に並べて配置し、順次に各薄膜層６を蒸着して積層させることにより、形成することができる。凸型薄膜層６ａの層数と凹型薄膜層６ｂの層数とは数が近い方がよい。凸型薄膜層６ａの層数と凹型薄膜層６ｂの層数が同数か同数と一つ又は二つ違い程度であると、凸型の層の厚みの総計と凹型の層の厚みの総計とが近くなり、積層体全体の膜厚分布の調整がより容易になる。ただし、全体の厚みが調整できるのであれば、凹型薄膜層６ｂが一つ又は少数であったり、逆に、凸型薄膜層６ａが一つ又は少数であったりしてもよい。
【００６２】
ところで、有機ＥＬ素子Ａにおいては、凹型薄膜層６ｂとして形成された層が、積層されて形成された有機層１３の断面においても凹型の層になっていることも好ましい。すなわち、ユニット１ｂは、単独に薄膜層６を形成する場合だけではなく、他の層との積層状態においても凹型の膜厚分布の層として薄膜層６を積層するものであることが好ましい。図９の形態では、凹型薄膜層６ｂとして形成された発光層１３ｂ、電子輸送層１３ｃ及び電子輸送層１３ｇは、単独の層の断面（図８参照）だけではなく、有機層１３全体の断面においても凹型の膜厚分布になっている。それにより、より端部側の膜厚を中央部と同じ厚みに近づけることができる。また、凸型薄膜層６ａとして形成された層が、積層されて形成された有機層１３の断面においても凸型の層になっていてもよい。すなわち、ユニット１ａは、単独に薄膜層６を形成する場合だけではなく、他の層との積層状態においても凸型の膜厚分布の層として薄膜層６を積層するものであってもよい。
【００６３】
なお、有機ＥＬ素子Ａにおいて、有機層１３を構成する個々の薄膜層６が凸型なのか凹型なのかは、その薄膜層６の側部における厚みと中央部における厚みとを比較することによって判定することができる。図９に示すように、有機層１３内部の薄膜層６は、それまでに積層されて形成された凸型又は凹型の面に形成され得るものであり、通常、図８のような平坦面には形成されない。しかしながら、薄膜層６は凸型又は凹型の面に、図８に示すような厚み分布で積層されるものであるため、薄膜層６における厚みを側部とで中央部とで比較することで凸型か、あるいは凹型かを判定できる。すなわち、側部よりも中央部の厚みが厚い場合は凸型の層と判定でき、逆に、側部よりの中央部の厚みが薄い場合は凹型と判定できるのである。
【００６４】
このようにして蒸着して形成された有機層１３においては、有機層１３全体の膜厚の厚みが中央部と側部とにおいて、より等しい厚みに近づく。図１０に示すように、従来の有機ＥＬ製造装置では、有機層１３を構成する各層は凸型の膜厚分布で形成されるので、有機層１３全体においても、中央部で厚みが厚くなるとともに側部になるほど厚みが薄くなる凸形状の厚み分布となる。そして、基板中央と基板端部とを比較した際、数十ｎｍの膜厚差が生じてしまうおそれがある。しかしながら、図９に示すように、上記の有機ＥＬ製造装置で形成された有機ＥＬ素子では、複数の薄膜層６が適宜に凸型又は凹型に形成されるので、有機層１３の厚みを側部と中央部とにおいてより近くすることができる。そのため、基板中央と基板端部とを比較した際の膜厚差を小さくすることができる。そして、積層体の厚みが全体として均一に近づくと、中央部と端部とでの発光輝度がより近くなり、面内の発光が均一に近づく。すなわち、光は干渉を利用して素子外部に取り出されることが多く、基板中央部と基板端部とで膜厚が近いと、干渉の度合いが近くなり、発光輝度がより均一になる。したがって、上記の有機ＥＬ製造装置では、面内の発光がより均一性の高い有機ＥＬ素子を製造することができる。そして、比較的大きな面積で発光するような発光パネルなどにおいては、面内の発光の均一性のためには有機層１３全体の厚みの均一性が重要であり、面積の大きい発光面を有する有機ＥＬ素子Ａにおいて、面内の発光の均一性を高めることができるものである。
【００６５】
ここで、有機ＥＬ素子Ａにおいては、第２電極１４も蒸着により形成され得るが、第２電極１４含んだ積層体の厚みよりも、有機層１３の膜厚の均一性の方が重要である。第１電極１２が光透過性電極であり、第２電極４が反射性電極である場合、発光層において発光した光は、直接、又は、第２電極１４で反射して、透明な基板１１から外部に取り出されることになる。したがって、光干渉の度合を近づけるためには、反射性電極である第２電極１４と有機層１３との界面と、光透過性電極である第１電極１２と有機層１３との界面との距離がより一定になる方が有利となる。そのため、有機層１３の厚みを発光領域の面内で揃えることが重要なのである。ただし、第２電極１４を含めた蒸着材料全体の積層体の厚みが揃っていてもよい。また、発光源からの距離を揃えるためには、発光層がより平坦な層（膜厚差の小さい層）となっている方が有利である。すなわち、発光層が極端に凸型又は凹型になっていると、光の移動距離が基板中央部と基板端部とで大きく異なりやすなり、干渉の度合が異なってきやすくなる。しかしながら、層の膜厚差が小さいと、光の移動距離がより近くなって干渉性が近づくので、発光がより均一なものになる。そのため、薄膜層６を形成する際に、凸型又は凹型を調整して、発光層をより平坦化させて形成することがより好ましいものである。
【００６６】
図１０及び図１１は、有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置（以下「有機ＥＬ製造装置」ともいう）の他の実施の形態の一例を示している。この有機ＥＬ製造装置は、搬送される被蒸着体（ワーク）１０に、複数の蒸着ユニット１から薄膜層６（図８、９参照）を蒸着により順次に積層して有機層１３を形成することにより、有機エレクトロルミネッセンス素子（有機ＥＬ素子）を製造するものである。図１０には、被蒸着体１０の搬送方向（白抜き矢印）Ｘの上流から下流に向けて３個の蒸着ユニット１が順に配置された様子が図示されているが、蒸着ユニット１は４個以上であってもよい。例えば、蒸着して形成する薄膜層６の数と同じ数の蒸着ユニット１を用いることができる。なお、蒸着ユニット１は二つ以上であることが必要である。
【００６７】
複数の蒸着ユニット１における各蒸着ユニット１は、薄膜層６を形成するための蒸着材料を放射する蒸着源２と、蒸着材料が気化される温度に加熱され、蒸着源２から放射された蒸着材料を被蒸着体１０に向けて放出する筒状体３とを備えている。筒状体３は、断面矩形状の空洞を有する縦型の筒形状に形成されており、下部では蒸着源２と接続されるとともに、上部には気化した蒸着材料を上方に放出する開口部４が設けられている。このように筒状体３によって蒸着材料を被蒸着体１０に向かって放出すれば、被蒸着体１０に薄膜層６を積層することが可能になる。また、筒状体３が蒸着材料の気化温度以上の温度で加熱されていることにより、蒸着材料を筒状体３の内部に付着せずに開口部４から放出することができる。筒状体３は金属製にすることができる。また、蒸着は真空蒸着であってもよい。図１０では、蒸着材料の放出を黒矢印で示している。
【００６８】
筒状体３は四面の側壁３０を有する略角筒状に形成することができる。側壁３０は、一対の第一側壁３０ａと、一対の第二側壁３０ｂとで構成されている。一対の第一側壁３０ａの対向する方向は被蒸着体１０の搬送方向Ｘと平行な方向である。一対の第二側壁３０ｂの対向する方向は被蒸着体１０の搬送方向Ｘと垂直な方向である。筒状体３は側壁３０が蒸着材料の気化温度以上の温度で加熱されるホットウォール構造を有する。各第一側壁３０ａには湾曲部３１が形成されている。図１１に示す第一側壁３０ａはその全体が湾曲部３１として形成されている。従って、第一側壁３０ａは湾曲板状に形成されている。第二側壁３０ｂは平板状に形成されている。
【００６９】
図１１に示すように、本形態では、開口部４は、被蒸着体１０の搬送方向Ｘと平行に短辺が配置されるとともに、被蒸着体１０の搬送方向Ｘにほぼ垂直な方向に長い長辺が配置された形状に形成されている。それにより、搬送される被蒸着体１０表面に、より均一な膜厚で薄膜層６を形成することができる。開口部４の短辺は第二側壁３０ｂの上端縁部で形成されている。開口部４の長辺は第一側壁３０ａの上端縁部で形成されている。本形態では、開口部４の全体が蒸着材料が放出される放出領域Ｈとして形成されている。本形態の放出領域Ｈは、図２に示す実施の形態の放出領域Ｈと同一形状である。開口部４の一対の長辺の対向する中央部の間の寸法は、開口部４の短辺の寸法よりも短く形成されている。
【００７０】
また、各蒸着ユニット１は、筒状体３からの蒸着材料の放出量分布を調整する放出量調整構造５０を備えている。すなわち、各蒸着ユニット１は、放出量調整構造５０として、上記第一側壁３０ａを備えている。この第一側壁３０ａは筒状体３の開口部４の平面視形状を矩形状から変形して筒状体３からの蒸着材料の放出量分布を調整する。
【００７１】
この蒸着ユニット１では、筒状体３の開口部４の長辺を湾曲させることによって、開口部４の一対の長辺の対向する中央部の間の寸法は、開口部４の短辺の寸法よりも短く形成されている。従って、筒状体３の放出領域Ｈの平面視形状は第一側壁３０ａの形状等により変形することができ、これにより、放出領域Ｈからの蒸着材料の放出分布を調整することができる。つまり、蒸着ユニット１にあっては、第一側壁３０ａは湾曲部３１により湾曲させることで、簡単に蒸着材料の放出分布を調整し、蒸着量の分布を調整することができる。すなわち、矩形状の開口部４の全体が開口した蒸着ユニット１を用いた場合、被蒸着体１０の搬送方向に垂直な方向（幅方向）の中央部分では蒸着材料が多く放出されるとともに、幅方向の側部には蒸着材料が少なく放出されることになる。すると、薄膜層６は膜厚分布が極端に突出する凸形状になって形成されることなり、薄膜層６の中央部が大きく突出した層となる。そこで、薄膜層６の中央部と側部との蒸着量をより近づけるために、開口部４の平面視形状を変えることによって、簡単に薄膜層６の膜厚の分布を調整することができ、薄膜層６の中央部と側部との蒸着量を近づけることができる。
【００７２】
本形態では、各蒸着ユニット１において、一対となった二つの第一側壁３０ａが、被蒸着体１０の搬送方向Ｘと平行な方向に沿って配置されている。すなわち、被蒸着体１０の搬送方向Ｘの上流側には、上流側の第一側壁３０ａが配置されるとともに、被蒸着体１０の搬送方向Ｘの下流側には、下流側の第一側壁３０ａが配置されている。上流側の第一側壁３０ａは搬送方向Ｘの上流側から下流側に向けて凸曲する湾曲部３１が形成されている。すなわち、上流側の第一側壁３０ａはその幅方向（搬送方向Ｘと垂直な方向）の中央部が幅方向の端部よりも搬送方向Ｘの上流側から下流側に向けて突出するように湾曲している。また、下流側の第一側壁３０ａは搬送方向Ｘの下流側から上流側に向けて凸曲する湾曲部３１が形成されている。すなわち、下流側の第一側壁３０ａはその幅方向（搬送方向Ｘと垂直な方向）の中央部が幅方向の端部よりも搬送方向Ｘの下流側から上流側に向けて突出するように湾曲している。このような開口部４が設けられることによって、被蒸着体１０に対する蒸着量を中央部と側部とでより近い値に近づけることができる。
【００７３】
有機ＥＬ製造装置は、被蒸着体１０を搬送する搬送手段２０を備えている。搬送手段２０は、コンベア等の適宜の搬送機構によって構成され、これにより、被蒸着体１０はラインに沿って搬送方向Ｘの上流側から下流側に順次に各蒸着ユニット１の上方を通過することができる。搬送手段２０としては、支持部材により被蒸着体１０の幅方向の端部を支持するとともに、被蒸着体１０の下部表面が外部に露出するようにして支持部材ごと搬送するようなものを用いることができる。被蒸着体１０の下部表面が露出していることにより、この表面に筒状体３から放出された蒸着材料を蒸着して薄膜層６を形成することができる。被蒸着体１０は、少なくとも基板１１を含むものであり、例えば、第１電極１２が表面に形成された基板１１を用いることができる。また、第１電極１２と有機層１３の一部の層とが表面に形成された基板１１を用いることもできる。そして、第１電極１２を下方にして基板１を適宜の支持部材にセットすることにより被蒸着体１０を構成することができる。なお、搬送手段２０を幅方向の各端部に配置されるローラーやベルトなどのコンベアで構成し、基板１１の幅方向の端部をコンベア上に載せて搬送するようにしてもよい。蒸着にあたっては、被蒸着体１０の下部表面にマスクを重ねるようにしてもよい。それにより、被蒸着体１０の外周部に蒸着されないようにしたり、薄膜層６を適宜のパターンで積層したりすることができる。
【００７４】
有機ＥＬ製造装置では、開口部４からの蒸着材料の放出量分布が調整された蒸着ユニット１により順次に薄膜層６を形成するのであるが、開口部４からの蒸着材料の放出量分布が調整されたとしても、単独の各薄膜層６について、幅方向の中央部から側部にかけて一定の厚みで蒸着材料を積層することは難しい。特に、有機層３を構成する全ての薄膜層６の幅方向における厚みを一定に揃えることは困難である。そこで、本形態では、複数の蒸着ユニット１において、開口部４からの蒸着材料の放出量分布を変えて放出量の分布を調整し、積層体全体の厚みをより一定に近づけるのである。なお、開口部４の平面視形状が矩形形状からの変形している割合が小さい場合には、通常、薄膜層６は凸型の膜厚分布で形成されるため、図１６に示すような有機ＥＬ素子Ａが製造されるものである。
【００７５】
本形態では、複数の蒸着ユニット１が、開口部４からの蒸着材料の放出量分布が調整されることにより薄膜層６の膜厚分布が凸形状になる凸型分布蒸着ユニット１ａ（以下、単に「ユニット１ａ」と記載する）と、開口部４からの蒸着材料の放出量分布が調整されることにより薄膜層６の膜厚分布が凹形状になる凹型分布蒸着ユニット１ｂ（以下、単に「ユニット１ｂ」と記載する）とを有するようにする。すなわち、複数の蒸着ユニット１のうちの一部がユニット１ａであり、残りのうちの全部又は一部がユニット１ｂである。それにより、凸形状の膜厚分布を有する薄膜層６（凸型薄膜層６ａ）と凹形状の膜厚分布を有する薄膜層（凹型薄膜層６ｂ）とが積層されるので、蒸着されて形成される積層体全体の厚みの分布を一定に近づけることができる。そして、積層体である有機層１３における中央部の厚みと側部の厚みとが一定に近づくと、中央部と側部との発光輝度がより同じ程度に近づく。すなわち、光は干渉を利用して素子外部に取り出されることが多く、有機層１３の中央部と側部とで膜厚が略同じになると干渉の度合いが略同じになることになり、発光輝度が表面全体において一定に近づく。それにより、面内の発光がより均一な有機ＥＬ素子を製造することができるのである。なお、複数の蒸着ユニット１の中には、ユニット１ａ及びユニット１ｂに加えて、膜厚分布が平坦な平坦分布蒸着ユニットが含まれていてもよい。また、高温蒸着ユニットが、ユニット１ａ及びユニット１ｂが並ぶ列の間に配置されていてもよい。高温蒸着ユニットは、ユニット１ａ及びユニット１ｂのようなホットウォールでの蒸着よりも高い蒸着温度で蒸着するユニットである。金属など蒸着温度が高温な場合には、ホットウォールでの蒸着はできないため、高温蒸着ユニットが適している。例えば、陰極に用いるＡｌなどの金属や、有機層１３内の金属含有層（Ｍｇ、ＩＴＯ、ＭｏＯ３、Ｌｉ２ＭｏＯ３など）の蒸着に高温蒸着ユニットを用いることができる。高温蒸着ユニットで形成した薄膜層６は、幅方向の厚み分布が均一なものであってよく、あるいは凸型又は凹型であってもよい。
【００７６】
図８は、薄膜層６の一例を示している。図８Ａは、ユニット１ａによって形成される凸型薄膜層６ａの一例である。凸型薄膜層６ａでは、両側部から中央部に近づくにつれて徐々に厚みが厚くなっており、中央部が厚み方向に突出している。このようにユニット１ａは、平坦な表面に薄膜層６を形成した際に、凸型の膜厚分布を示す層を形成するものである。また、図８Ｂは、ユニット１ｂによって形成される凹型薄膜層６ｂの一例である。凹型薄膜層６ｂでは、両側部から中央部に近づくにつれて徐々に厚みが薄くなっており、中央部が厚み方向で凹んでいる。このようにユニット１ｂは、平坦な表面に薄膜層６を形成した際に、凹型の膜厚分布を示す層を形成するものである。
【００７７】
ここで、ユニット１ｂは、側部から中央部に近づくにつれて厚みが小さくなって凹んだ部分を有する膜厚分布で薄膜層６を形成するものであればよい。蒸着ユニット１による蒸着では、開口部４の端縁部において蒸着量が減少することがあり、その場合、図８Ｃのように、側端部において薄膜層６の厚みが薄くなることがあるが、このような薄膜層６も中央部に凹部があるため、凹型薄膜層６ｂとなる。また、積層する面積が大きくなると開口部４の形状による放出量分布の調整による中央部分における遮断効果が少なくなり、その場合、図８Ｄのように、中央部において薄膜層６の厚みが厚くなることがあるが、このような薄膜層６も中央部近傍に凹部があるため、凹型薄膜層６ｂとなる。ただし、図８Ｄの場合、中央部で突出する部分の厚みは、側部において突出する部分の厚みよりも小さいことが好ましい。
【００７８】
凸型薄膜層６ａ及び凹型薄膜層６ｂを形成するためには、ユニット１ａにおける開口部４の形状と、ユニット１ｂにおける開口部４の形状とが異なるようにすることが好ましい。それにより、簡単に薄膜層６を凸型又は凹型に形成することができる。例えば、ユニット１ｂにおける開口部４の面積を、ユニット１ａにおける開口部４の開口面積よりも小さくして、開口部４の中央部において蒸着材料の放出が側部よりも蒸着量が少なくなるようにする。すると、凹型の膜厚分布で蒸着材料が積層して凹型薄膜層６ｂを形成することができる。
【００７９】
図１１の形態においては、筒状体３の開口部４の平面視形状により、容易に薄膜層６の膜厚分布を凸型又は凹型にすることができる。この形態では、複数の蒸着ユニット１における筒状体３の第一側壁３０ａは、湾曲部３１により、開口部４の開口縁部を構成する長辺が円弧状になって搬送方向と平行な方向に沿って突出している。開口部４の開口縁部を構成する第一側壁３０ａの長辺が円弧状になることにより、薄膜層６の側部から中央部にかけて膜厚分布を滑らかに変化させることができる。図１１の開口部４の平面視形状では、円弧状になった第一側壁３０ａの長辺は、開口部４における幅方向に配置された角部４ａ，４ａを通って湾曲した曲線となっている。この曲線は円の一部であってもよいし、楕円の一部であってもよい。このような長辺が円弧状の第一側壁３０ａを用いることにより、簡単に開口部４からの蒸着材料の放出分布を蒸着ユニット１ごとに変化させることができ、蒸着材料の放出量分布を制御できる。
【００８０】
また、図１１の形態では、搬送方向において対向する第一側壁３０ａ、３０ａ間の最も短い箇所の長さ（対向する湾曲部３１，３１の中央部間の長さ）Ｌ４及び各第一側壁３０ａにおける搬送方向に垂直な方向の長さ（湾曲部３１の基部間の長さ）Ｌ２の少なくとも一方を複数の蒸着ユニット１で異ならせることで、開口部４の平面視形状を変化させることができる。もちろん、長さＬ４とＬ２の両方を異ならせてもよい。尚、第一側壁３０ａの全体が湾曲している場合、長さＬ２は角部４ａ，４ａ間の寸法である。
【００８１】
図１２により、開口部４の平面視形状による放出量分布の変化を説明する。図１１及び図１２Ａに示すように、例えば、搬送方向において対向する第一側壁３０ａ、３０ａ間の最も短い箇所の長さＬ４を、ユニット１ａとユニット１ｂとで異ならせることにより、開口部４の平面視形状を変化させることができる。また、この場合、簡単に開口部４の放出量分布や放出量面積を異ならせることができる。すなわち、ユニット１ａにおける長さＬ４よりも、ユニット１ｂにおける長さＬ４が短いようにする。このとき、図１３の形態は、ユニット１ｂの開口部４を示し、図１２Ａの形態は、ユニット１ａの開口部４を示すことになる。図１２Ａの形態では、開口部４の幅方向の中央部は、搬送方向の開口長さが、図１１のものよりも長くなる。そして、開口部４の中央部においては、より多くの蒸着材料が放出されて、薄膜層６を厚く形成し、図８Ａに示すような凸形状の膜厚分布を形成することができる。一方、図１１の形態では、開口部４の幅方向の中央部は、搬送方向の開口長さが、図１２Ａの形態よりも短いので、開口部４の中央部においては、蒸着材料の放出量が少なくなり、薄膜層６を薄く形成し、図８Ｂなどに示すような凹形状の膜厚分布を形成することができる。このように、開口部４の搬送方向の長さＬ４を変化させることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができるものである。
【００８２】
また、図１１及び図１２Ｂに示すように、第一側壁３０ａの湾曲部３１の搬送方向に垂直な方向（幅方向）の長さ（湾曲部３１の基部間の長さ）Ｌ２を、ユニット１ａとユニット１ｂとで異ならせることによっても、開口部４の平面視形状を変化させることができる。また、この場合、簡単に開口部４の放出量分布や放出量面積を異ならせることができる。すなわち、ユニット１ａにおける長さＬ２よりも、ユニット１ｂにおける長さＬ２が短いようにする。このとき、図１１の形態は、ユニット１ａの開口部４を示し、図１２Ｂの形態は、ユニット１ｂの開口部４を示すことになる。図１２Ｂの形態では、開口部４の幅方向の側部では、開口面積が、図１１のものよりも大きくなる。そして、開口部４の側部においては、より多くの蒸着材料が放出されて、薄膜層６を厚く形成し、図８（ｂ）などに示すような凹形状の膜厚分布を形成することができる。一方、図１１の形態では、開口部４の幅方向の側部は、開口面積が、図１２Ｂの形態よりも小さいので、開口部４の側部においては、蒸着材料の放出量が少なくなり、薄膜層６を薄く形成し、図８Ａに示すような凸形状の膜厚分布を形成することができる。このように、第一側壁３０ａの湾曲部３１の幅方向の長さＬ２を変化させることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができる。なお、図１２Ｂの形態では、第一側壁３０ａの湾曲部３１の基部は角部４ａよりも内側に配置されることになる。
【００８３】
また、図１１の形態において、第一側壁３０ａの湾曲部３１は、その長辺が円形の一部が切り出されたような円弧状になって搬送方向と平行な方向に沿って突出して開口部４の開口縁部を形成している。この場合には、図１３に示す湾曲部３１により描かれる円形の半径Ｒを、蒸着ユニット１ごとに異ならせてもよい。すなわち、ユニット１ａにおける湾曲部３１による円形の半径Ｒと、ユニット１ｂにおける湾曲部３１による円形の半径とを異ならせるようにするのである。それにより、開口部４の平面視形状を変化させることができる。また、この場合、簡単に開口部４の放出量分布や放出面積を異ならせることができる。例えば、ユニット１ａにおける湾曲部３１による円形の半径Ｒよりも、ユニット１ｂにおける湾曲部３１による円形の半径Ｒの方が小さくなるようにする。すると、ユニット１ａにおいては、円の外縁と中心との距離が短くなり外縁の描く曲率半径（Ｒ）がより小さくなって湾曲部３１がより突出した形状になるため、開口部４の幅方向の中央部では、開口割合が、ユニット１ａよりも小さくなる。そして、凹型分布蒸着ユニット１ｂでは、開口部４の中央部においては、蒸着材料の放出量が少なくなり、薄膜層６を薄く形成し、図８Ｂなどに示すような凹形状の膜厚分布を形成することができる。一方、ユニット１ａでは、遮断領域の突出が小さいために、開口部４の中央部では、開口割合が、ユニット１ｂよりも大きくなるので、開口部４の中央部においては、蒸着材料の放出量が多くなる。そのため、薄膜層６を厚く形成し、図８Ａに示すような凸形状の膜厚分布を形成することができる。このように、第一側壁３０ａの湾曲部３１の半径Ｒを変化させることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができるものである。なお、半径Ｒを変化させるときは、例えば、上記円形が開口部４の角部４ａ，４ａを通るようにすることができる。
【００８４】
なお、第一側壁３０ａの長辺（湾曲部３１の縁部）が楕円形の一部が切り出されたものである場合には、楕円の短軸の長さ（短径）又は長軸の長さ（長径）を、上記の円の半径Ｒの場合と同様の要領で変化させることで薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができる。また、楕円の長軸と短軸の長さの比を変化させることによっても、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができる。
【００８５】
図１４は、第一側壁３０ａの他の一例である。この形態では、第一側壁３０ａは、その中央部が両側部（角部４ａ）よりも、搬送方向と平行な方向に沿って突出して形成されている。すなわち、第一側壁３０ａとその両端の角部４ａ、４ａ同士を結ぶ仮想直線とを想定した平面視形状が台形状になっている。開口部４の平面視形状は、搬送方向Ｘにおける中央部の長さ（寸法）Ｌ４が、側部の長さよりも狭くなることにより、側部においては中央部に近づくほど蒸着材料の放出量を減らすとともに、中央部においては蒸着材料の放出量が少なくなりすぎないようにして、薄膜層６を形成することができる。図１４に示す第一側壁３０ａはその全体が突出部３２として形成されている。突出部３２はその中央の平面部３２ａと、平面部３２ａの両側端部の傾斜部３２ｂとを備えて形成されている。
【００８６】
また、図１１の形態と同様に、各蒸着ユニット１においては、一対となった二つの第一側壁３０ａが、被蒸着体１０の搬送方向Ｘと平行な方向に沿って配置されている。すなわち、被蒸着体１０の搬送方向Ｘの上流側には、上流側の第一側壁３０ａが配置されるとともに、被蒸着体１０の搬送方向Ｘの下流側には、下流側の第一側壁３０ａが配置されている。上流側の第一側壁３０ａはその突出部３２が搬送方向Ｘの上流側から下流側に向けて突出するように形成されている。すなわち、上流側の第一側壁３０ａはその幅方向（搬送方向Ｘと垂直な方向）の中央部が幅方向の端部よりも搬送方向Ｘの上流側から下流側に向けて突出するように形成されている。また、下流側の第一側壁３０ａはその突出部３２が搬送方向Ｘの下流側から上流側に向けて突出するように形成されている。すなわち、下流側の第一側壁３０ａはその幅方向（搬送方向Ｘと垂直な方向）の中央部が幅方向の端部よりも搬送方向Ｘの下流側から上流側に向けて突出するように形成されている。このような開口部４が設けられることによって、被蒸着体１０に対する蒸着量を中央部と側部とでより近い値に近づけることができる。
【００８７】
図１４の開口部４の平面視形状では、開口部４の幅方向の両端部が角部４ａ，４ａの位置と等しくなっている。このような開口部４を用いることにより、簡単に開口部４の放出量分布や放出面積を蒸着ユニット１ごとに変化させることができ、蒸着材料の放出量分布を制御できる。
【００８８】
図１４の形態では、ユニット１ａにおける開口部４の面積と、ユニット１ｂにおける開口部４の面積とを異ならせることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸型又は凹型に調整することができる。また、開口部４の面積が同じであっても、中央部における放出量分布の割合が変化するように、開口部４の形状を変化するようにすれば、薄膜層６の膜厚分布を凸型又は凹型に調整することができる。すなわち、開口部４の中央部において、対向する第一側壁３０ａ、３０ａの間隔の長さ（対向する突出部３２、３２の平面部３２ａ、３２ａ間の長さ）Ｌ４を狭くすれば、容易に中央部近傍における蒸着材料の放出量を少なくすることができ、膜厚分布を凹型にすることができる。
【００８９】
具体的には、搬送方向において対向する第一側壁３０ａ、３０ａ間の最も短い箇所の長さＬ４及び各第一側壁３０ａの突出部３２の基部間（傾斜部３２ｂ、３２ｂの端部間）における搬送方向に垂直な方向の長さＬ２の少なくとも一方を複数の蒸着ユニット１で異ならせることで、開口部４の平面視形状を変化させることができる。もちろん、長さＬ４とＬ２の両方を異ならせてもよい。
【００９０】
図１５により、放出量調整構造５０による放出量分布の変化を説明する。図１４及び図１５Ａに示すように、例えば、搬送方向Ｘにおける開口部４の中央部の長さＬ４を、ユニット１ａとユニット１ｂとで異ならせることにより、開口部４の平面視形状を変化させることができる。また、この場合、簡単に開口部４からの放出量分布や放出面積を異ならせることができる。すなわち、ユニット１ａにおける開口部４の中央部の長さＬ４よりも、ユニット１ｂにおける開口部４の中央部の長さＬ４が短いようにする。このとき、図１４の形態は、ユニット１ｂの開口部４を示し、図１５Ａの形態は、ユニット１ａの開口部４を示すことになる。図１５Ａの形態では、開口部４の幅方向の中央部は、搬送方向の長さＬ４が、図１４のものよりも長くなる。そして、開口部４の中央部においては、より多くの蒸着材料が放出されて、薄膜層６を厚く形成し、図８Ａに示すような凸形状の膜厚分布を形成することができる。一方、図１４の形態では、開口部４の幅方向の中央部は、搬送方向の長さＬ４が、図１５Ａの形態よりも短いので、開口部４の中央部においては、蒸着材料の放出量が少なくなり、薄膜層６を薄く形成し、図８Ｂなどに示すような凹形状の膜厚分布を形成することができる。このように、開口部４の搬送方向の長さＬ４を変化させることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができるものである。
【００９１】
また、図１４及び図１５Ｂに示すように、開口部４の搬送方向に垂直な方向（幅方向）の長さＬ２を、ユニット１ａとユニット１ｂとで異ならせることによっても、開口部４の平面視形状を変化させることができる。また、この場合、簡単に開口部４からの放出量分布や放出面積を異ならせることができる。すなわち、ユニット１ａにおける第一側壁３０ａの突出部分の基部側の幅方向の長さＬ２よりも、ユニット１ｂにおける第一側壁３０ａの突出部分の基部側の幅方向の長さＬ２が短いようにする。このとき、図１４の形態は、ユニット１ａの開口部４を示し、図１５Ｂの形態は、ユニット１ｂの開口部４を示すことになる。図１５Ｂの形態では、開口部４の幅方向の側部では、開口面積が、図１４のものよりも大きくなる。そして、開口部４の側部においては、より多くの蒸着材料が放出されて、薄膜層６を厚く形成し、図８Ｂなどに示すような凹形状の膜厚分布を形成することができる。一方、図１４の形態では、開口部４の幅方向の側部は、開口面積が、図１５Ｂの形態よりも小さいので、開口部４の側部においては、蒸着材料の放出量が少なくなり、薄膜層６を薄く形成し、図８Ａに示すような凸形状の膜厚分布を形成することができる。このように、第一側壁３０ａの突出部分の幅方向の長さＬ２を変化させることにより、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができるものである。なお、図１５Ｂの形態では、第一側壁３０ａの突出部３２の基部間の長さＬ２は開口部４の幅方向の長さよりも短くなり、角部４ａよりも内側に配置されることになる。
【００９２】
なお、図１５Ｂに示す第一側壁３０ａの突出部３２の平面部３２ａの幅方向の長さＬ３を、上記の基部側の長さＬ２の場合と同様の要領により変化させることによっても、薄膜層６の膜厚分布を凸形状と凹形状とに分けて形成することができる。すなわち、長さＬ３をより長くすれば、幅方向の中央部における蒸着材料の放出量が少なくなるので、薄膜層６の膜厚分布を凹型に近づけることができる。
【００９３】
また、図１４の形態では、ユニット１ａにおける開口部４の中央部での放出割合よりも、ユニット１ｂにおける開口部４の中央部での放出割合の方が小さいことが好ましい。この形態では、開口部４の中央部での放出割合を増減させれば、容易に中央部近傍における蒸着材料の放出量を制御することができ、膜厚分布を凸型又は凹型にすることができるものである。
【００９４】
また、図１４の形態では、ユニット１ａにおける開口部４の放出領域Ｈの面積よりも、ユニット１ｂにおける開口部４の放出領域Ｈの面積の方が小さくようにすることも好ましい。この形態では、開口部４の放出領域Ｈの面積を減少させれば、容易に中央部近傍における蒸着材料の放出量を減少させることができ、膜厚分布を凹型にすることができるものである。例えば、開口部４の幅方向の角部４ａ，４ａの線分として固定し、対向する第一側壁３０ａ、３０ａの突出部３２，３２間の長さＬ４を小さくすれば、放出領域Ｈを減少させて中央部近傍の放出量を減少させ、膜厚分布を凹型にすることができる。
【００９５】
また、図１４の形態では、ユニット１ａにおける開口部４の放出領域Ｈの面積よりも、ユニット１ｂにおける開口部４の放出領域Ｈの面積の方が大きいようにすることも好ましい。この形態では、開口部４の放出領域Ｈの面積を増加させれば、容易に側部における蒸着材料の放出量を増加させることができ、膜厚分布を凹型にすることができるものである。例えば、対向する第一側壁３０ａ、３０ａの間の長さＬ４を固定し、開口部４の幅方向の長さＬ２を短くすれば、開口部４の開口部４の放出領域Ｈの面積を増加させて側部における放出量を増加させ、膜厚分布を凹型にすることができる。
【００９６】
上記の各形態においては、開口部４の放出領域Ｈは、開口部４を幅方向で２分した線において線対称になることが好ましい。それにより、幅方向の側部から中央部にかけての放出量分布が幅方向で左右対称となり、積層体全体の膜厚の調整が容易になる。また、開口部４の放出領域Ｈは、開口部４を搬送方向Ｘで２分した線において線対称になることが好ましい。それにより、搬送方向において膜厚がばらつくことを抑制することができる。線対称な放出領域Ｈを得るためには、例えば、図１１及び図１４の形態においては、第一側壁３０ａを同形状にすることができる。
【００９７】
また、複数の蒸着ユニット１における第一側壁３０ａの形状は可変性を有することが好ましい。第一側壁３０ａの形状が可変性を有することにより、開口部４の面積を簡単に増減させたり、開口部４における搬送方向の長さＬ４や幅方向の長さＬ２を簡単に変化させたりすることができ、容易に蒸着材料の放出量分布を調節することができる。
【００９８】
図９は、図１０〜１５に示す本発明による有機ＥＬ製造装置を用いて製造された有機ＥＬ素子Ａの一例である。有機ＥＬ素子Ａは、上記と同様にして、図１０に示すように、基板１１を含む被蒸着体１０を搬送しながら、この被蒸着体１０の表面に、複数の蒸着ユニット１から薄膜層６を蒸着により順次に積層することにより製造することができる。
【００９９】
図１０〜１５に示す実施の形態の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置は、以下の特徴を有するものである。
【０１００】
有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置は、搬送される被蒸着体に、複数の蒸着ユニットから薄膜層を蒸着により順次に積層して有機層を形成するものである。また、前記複数の蒸着ユニットにおける各蒸着ユニットは、前記薄膜層を形成するための蒸着材料を放射する蒸着源と、前記蒸着材料が気化される温度に加熱され、前記蒸着源から放射された前記蒸着材料を被蒸着体に向けて放出する筒状体とを備えている。また、この筒状体は前記蒸着材料を放出する開口部を有し、この開口部は放出量調整構造により前記蒸着材料の放出量分布を調整可能に形成されている。また、前記複数の蒸着ユニットは、前記放出量調整構造によって調整された前記薄膜層の膜厚分布が凸形状になる凸型分布蒸着ユニットと、前記放出量調整構造によって調整された前記薄膜層の膜厚分布が凹形状になる凹型分布蒸着ユニットとを有する。そして、前記放出量調整構造は前記筒状体の側壁で形成され、この側壁は、前記開口部の平面視形状を変形することにより前記開口部からの前記蒸着材料の放出量分布を調整する。
【０１０１】
上記の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置において、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記開口部の放出領域の面積と、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記開口部の放出領域の面積とが異なることが好ましい。
【０１０２】
上記の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置において、前記側壁は、前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出することにより、前記開口部の平面視形状を変形することが好ましい。
【０１０３】
上記の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置において、前記側壁は、円弧状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部の開口縁部を形成している。また、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記開口部の放出領域の前記搬送方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記開口部の放出領域の前記搬送方向の長さが短いことが好ましい。
【０１０４】
上記の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置において、前記側壁は、円弧状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部の開口縁部を形成している。また、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記開口部の放出領域の前記搬送方向に垂直な方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける開口部の放出領域の前記搬送方向に垂直な方向の長さが長いことが好ましい。
【０１０５】
上記の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置において、前記側壁は、円形の一部が切り出されて円弧状になって前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部の開口縁部を形成している。また、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記側壁の前記円形の半径よりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記側壁の前記円形の半径の方が小さいことが好ましい。
【０１０６】
上記の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置において、前記側壁は突出部を有し、突出部が前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部の開口縁部を形成している。また、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記開口部の放出領域の前記搬送方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記開口部の放出領域の前記搬送方向の長さが短いことが好ましい。
【０１０７】
上記の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置において、前記側壁は突出部を有し、突出部が前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部の開口縁部を形成している。また、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記開口部の放出領域の前記搬送方向に垂直な方向の長さよりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記開口部の放出領域の搬送方向に垂直な方向の長さが長いことが好ましい。
【０１０８】
上記の有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置において、前記側壁は突出部を有し、突出部が前記被蒸着体の搬送方向と平行な方向に沿って突出して前記開口部の開口縁部を形成している。また、前記凸型分布蒸着ユニットにおける前記開口部の放出領域の放出割合よりも、前記凹型分布蒸着ユニットにおける前記開口部の放出領域の放出割合の方が小さいことが好ましい。
【実施例】
【０１０９】
（実施例１）
図１に示すような複数の蒸着ユニット１を有する有機ＥＬ製造装置を用いて、インラインで有機層１３を積層し、有機ＥＬ素子Ａを製造した。各蒸着ユニット１における放出量調整板５としては、図２に示すような、搬送方向の上流及び下流の両側から、外縁が円弧状になって搬送方向と平行な方向に沿って突出して開口部４を遮断する部分円盤状のものを用いた。開口部４の搬送方向の長さは約１００ｍｍ、幅方向の長さは３００ｍｍである。【０１１０】
まず、透明基板１１表面に、第１電極１２（陽極）としてＩＴＯを形成した。この透明基板１１を、第１電極１２を下側にして配置し、被蒸着体１０として搬送装置２０によって搬送した。【０１１１】
次に、第１電極１２の表面に、各蒸着ユニット１から上方に蒸着材料を放出することにより、有機層１３を構成する各層を順に積層して有機層１３を形成した。本実施例では、有機層１３は、第１ホール注入層、第１ホール輸送層、第１発光層、第２発光層、第１電子輸送層、電子注入層、第１中間層、第２中間層、第２ホール注入層、第２ホール輸送層、第３発光層、及び、第２電子輸送層、により構成される層（各薄膜層６）とした。【０１１２】
ここで、第１ホール注入層としては、４，４’−ビス［Ｎ−（ナフチル）−Ｎ−フェニル−アミノ］ビフェニル（α−ＮＰＤ）と酸化モリブデン（ＭｏＯ３）の共蒸着体を用い、厚み３０ｎｍで成膜した。第１ホール輸送層としては、α−ＮＰＤを用い、厚み４０ｎｍで成膜した。第１発光層としては、Ａｌｑ３にルブレンを７質量％共蒸着した層を用い、厚み２０ｎｍで成膜した。第２発光層としては、４，４’−ビス（２，２’−ジフェニル−エテン−１−イル）−ジフェニル（ＢＰＶＢＩ）にｂｉｓ［（４，６−ｄｉｆｌｕｏｒｏｐｈｅｎｙｌ）−ｐｙｒｉｄｉｎａｔｏ−Ｎ，Ｃ２’］（ｐｉｃｏｒｉｎａｔｅ）ｉｒｉｄｉｕｍ（III）（ＦＩｒｐｉｃ）を１０質量％共蒸着した層を用い、厚み２０ｎｍで成膜した。【０１１３】
そして、第１ホール注入層、ホール輸送層、第１発光層、第２発光層については、それぞれの層をユニット１ａにより形成した。【０１１４】
また、第１電子輸送層としては、Ａｌｑ３を用い、厚み３０ｎｍで成膜した。そして、第１電子輸送層については、ユニット１ｂにより形成した。【０１１５】
また、電子注入層としては、Ｌｉ２ＭｏＯ４を厚み３ｎｍで成膜した。そして、電子注入層については、高温蒸着ユニットにより蒸着して形成した。【０１１６】
また、第１中間層としては、Ｍｇを用い、厚み１ｎｍで成膜した。第２中間層としては、ＩＴＯを用い、厚み３ｎｍで成膜した。第２ホール注入層としては、ホール注入性の金属酸化物であるＭｏＯ３を用い、厚み１ｎｍで成膜した。そして、第１中間層、第２中間層、第２ホール注入層については、それぞれの層を高温蒸着ユニットにより蒸着して形成した。【０１１７】
また、第２ホール輸送層としては、α−ＮＰＤを用い、厚み４０ｎｍで成膜した。そして、第２ホール輸送層については、ユニット１ａにより形成した。【０１１８】
また、第３発光層としては、ＢＰＶＢＩに４−（Ｄｉｃｙａｎｏｍｅｔｈｙｌｅｎｅ）−２−ｍｅｔｈｙｌ−６−（ｊｕｌｏｌｉｄｉｎ−４−ｙｌ−ｖｉｎｙｌ）−４Ｈ−ｐｙｒａｎ（ＤＣＭ２）を３質量％共蒸着した層を、厚み２０ｎｍで成膜した。第２電子輸送層としては、Ａｌｑ３を用い、厚み３０ｎｍで成膜した。【０１１９】
そして、第３発光層、第２電子輸送層については、ユニット１ｂにより形成した。【０１２０】
本実施例において、ユニット１ａは、半径９００ｍｍ（直径１８００ｍｍ）の円形を切り出した形状の放出量調整板５を二つ用い、各放出量調整板５によって、幅方向の長さ３００ｍｍ、搬送方向の長さ約１２．５９ｍｍで開口部４を遮断したものである。【０１２１】
また、ユニット１ｂは、半径７５０ｍｍ（直径１５００ｍｍ）の円形を切り出した形状の放出量調整板５を二つ用い、各放出量調整板５によって、幅方向の長さ３００ｍｍ、搬送方向の長さ約１５．１５ｍｍで開口部４を遮断したものである。【０１２２】
そして、第２電極１４（陰極）として、アルミニウムを用い、厚み１００ｎｍで成膜した。陰極の形成には高温蒸着ユニットを用いた。本実施例で用いた高温蒸着ユニットは、ユニット１ａ及びユニット１ｂよりも高温で蒸着を行う蒸着ユニットである。【０１２３】
なお、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層、中間層、陰極の材料は他の材料によって形成しても、同様の有機ＥＬ素子を製造することができる。また、中間層は積層されていなくてもよい。【０１２４】
以上により有機ＥＬ素子Ａが得られた。この有機ＥＬ素子Ａでは、有機層１３の断面においては、第１電子輸送層、第３発光層、及び、第２電子輸送層の膜厚分布が少なくとも凹型になった。【０１２５】
こうして得られた有機ＥＬ素子Ａでは、有機層１３の面内膜厚分布は平均化され±３％以下となった。すなわち、平均膜厚に対しての膜厚の誤差は３％以下であり、平均膜厚を１００％としたときの膜厚は、最小値９７％以上で最大値１０３％以下の範囲に収まるものであった。ここで、従来の方法で製造した有機ＥＬ素子Ａでは、有機層１３の面内膜厚分布は±５％から±１０％程度である。すなわち、平均膜厚に対しての膜厚の誤差は５％以上となってそれより小さくなることは難しく、膜厚誤差が１０％程度になることもある。しかしながら、本実施例の有機ＥＬ素子Ａでは、有機層１３の面内膜厚分布は平均化されており、膜厚誤差が少なくなっている。したがって、面内の膜厚の均一性に優れ、面内の発光がより均一化した有機ＥＬ素子Ａを得ることができた。【０１２６】
また、本実施例の有機ＥＬ素子Ａは面内の発光の均一性に優れたものであるため、自己発光型表示装置や照明装置として有用であり、特に面発光の照明パネルとして利用できるものである。【０１２７】
（実施例２）
図１０に示すような複数の蒸着ユニット１を有する有機ＥＬ製造装置を用いて、インラインで有機層１３を積層し、有機ＥＬ素子Ａを製造した。各蒸着ユニット１においては、図１１に示すような、搬送方向の上流及び下流の両側から、第一側壁３０ａが円弧状になって搬送方向と平行な方向に沿って突出して開口部４を形成した。開口部４の搬送方向の長さは約１００ｍｍ、幅方向の長さは３００ｍｍである。【０１２８】
まず、透明基板１１表面に、第１電極１２（陽極）としてＩＴＯを形成した。この透明基板１１を、第１電極１２を下側にして配置し、被蒸着体１０として搬送装置２０によって搬送した。【０１２９】
次に、第１電極１２の表面に、各蒸着ユニット１から上方に蒸着材料を放出することにより、有機層１３を構成する各層を順に積層して有機層１３を形成した。本実施例では、有機層１３は、第１ホール注入層、第１ホール輸送層、第１発光層、第２発光層、第１電子輸送層、電子注入層、第１中間層、第２中間層、第２ホール注入層、第２ホール輸送層、第３発光層、及び、第２電子輸送層、により構成される層（各薄膜層６）とした。【０１３０】
ここで、第１ホール注入層としては、４，４’−ビス［Ｎ−（ナフチル）−Ｎ−フェニル−アミノ］ビフェニル（α−ＮＰＤ）と酸化モリブデン（ＭｏＯ３）の共蒸着体を用い、厚み３０ｎｍで成膜した。第１ホール輸送層としては、α−ＮＰＤを用い、厚み４０ｎｍで成膜した。第１発光層としては、Ａｌｑ３にルブレンを７質量％共蒸着した層を用い、厚み２０ｎｍで成膜した。第２発光層としては、４，４’−ビス（２，２’−ジフェニル−エテン−１−イル）−ジフェニル（ＢＰＶＢＩ）にｂｉｓ［（４，６−ｄｉｆｌｕｏｒｏｐｈｅｎｙｌ）−ｐｙｒｉｄｉｎａｔｏ−Ｎ，Ｃ２’］（ｐｉｃｏｒｉｎａｔｅ）ｉｒｉｄｉｕｍ（III）（ＦＩｒｐｉｃ）を１０質量％共蒸着した層を用い、厚み２０ｎｍで成膜した。【０１３１】
そして、第１ホール注入層、ホール輸送層、第１発光層、第２発光層については、それぞれの層を凸型分布蒸着ユニット１ａにより形成した。【０１３２】
また、第１電子輸送層としては、Ａｌｑ３を用い、厚み３０ｎｍで成膜した。そして、第１電子輸送層については、凹型分布蒸着ユニット１ｂにより形成した。【０１３３】
また、電子注入層としては、Ｌｉ２ＭｏＯ４を厚み３ｎｍで成膜した。そして、電子注入層については、高温蒸着ユニットにより蒸着して形成した。【０１３４】
また、第１中間層としては、Ｍｇを用い、厚み１ｎｍで成膜した。第２中間層としては、ＩＴＯを用い、厚み３ｎｍで成膜した。第２ホール注入層としては、ホール注入性の金属酸化物であるＭｏＯ３を用い、厚み１ｎｍで成膜した。そして、第１中間層、第２中間層、第２ホール注入層については、それぞれの層を高温蒸着ユニットにより蒸着して形成した。【０１３５】
また、第２ホール輸送層としては、α−ＮＰＤを用い、厚み４０ｎｍで成膜した。そして、第２ホール輸送層については、凸型分布蒸着ユニット１ａにより形成した。【０１３６】
また、第３発光層としては、ＢＰＶＢＩに４−（Ｄｉｃｙａｎｏｍｅｔｈｙｌｅｎｅ）−２−ｍｅｔｈｙｌ−６−（ｊｕｌｏｌｉｄｉｎ−４−ｙｌ−ｖｉｎｙｌ）−４Ｈ−ｐｙｒａｎ（ＤＣＭ２）を３質量％共蒸着した層を、厚み２０ｎｍで成膜した。第２電子輸送層としては、Ａｌｑ３を用い、厚み３０ｎｍで成膜した。【０１３７】
そして、第３発光層、第２電子輸送層については、凹型分布蒸着ユニット１ｂにより形成した。【０１３８】
本実施例において、ユニット１ａは、半径９００ｍｍ（直径１８００ｍｍ）の円形の円弧を切り出した形状の第一側壁３０ａを二つ用い、幅方向の長さＬ２が３００ｍｍ、搬送方向の長さＬ４が約８７．４１ｍｍで開口部４の放出領域Ｈを形成したものである。【０１３９】
また、ユニット１ｂは、半径７５０ｍｍ（直径１５００ｍｍ）の円形の円弧を切り出した形状の第一側壁３０ａを二つ用い、幅方向の長さ３００ｍｍ、搬送方向の長さ約８４．８５ｍｍで開口部４の放出領域Ｈを形成したものである。【０１４０】
そして、第２電極１４（陰極）として、アルミニウムを用い、厚み１００ｎｍで成膜した。陰極の形成には高温蒸着ユニットを用いた。本実施例で用いた高温蒸着ユニットは、ユニット１ａ及びユニット１ｂよりも高温で蒸着を行う蒸着ユニットである。【０１４１】
なお、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層、中間層、陰極の材料は他の材料によって形成しても、同様の有機ＥＬ素子を製造することができる。また、中間層は積層されていなくてもよい。【０１４２】
以上により有機ＥＬ素子Ａが得られた。この有機ＥＬ素子Ａでは、有機層１３の断面においては、第１電子輸送層、第３発光層、及び、第２電子輸送層の膜厚分布が少なくとも凹型になった。【０１４３】
こうして得られた有機ＥＬ素子Ａでは、有機層１３の面内膜厚分布は平均化され±３％以下となった。すなわち、平均膜厚に対しての膜厚の誤差は３％以下であり、平均膜厚を１００％としたときの膜厚は、最小値９７％以上で最大値１０３％以下の範囲に収まるものであった。ここで、従来の方法で製造した有機ＥＬ素子Ａでは、有機層１３の面内膜厚分布は±５％から±１０％程度である。すなわち、平均膜厚に対しての膜厚の誤差は５％以上となってそれより小さくなることは難しく、膜厚誤差が１０％程度になることもある。しかしながら、本実施例の有機ＥＬ素子Ａでは、有機層１３の面内膜厚分布は平均化されており、膜厚誤差が少なくなっている。したがって、面内の膜厚の均一性に優れ、面内の発光がより均一化した有機ＥＬ素子Ａを得ることができた。【０１４４】
また、本実施例の有機ＥＬ素子Ａは面内の発光の均一性に優れたものであるため、自己発光型表示装置や照明装置として有用であり、特に面発光の照明パネルとして利用できるものである。
【符号の説明】
【０１４５】
Ａ      有機エレクトロルミネッセンス素子
１      蒸着ユニット
１ａ    凸型分布蒸着ユニット
１ｂ    凹型分布蒸着ユニット
２      蒸着源
３      筒状体
４      開口部
５      放出量調整板
６      薄膜層
６ａ    凸型薄膜層
６ｂ    凹型薄膜層
１０    被蒸着体
１１    基板
１２    第１電極
１３    有機層
１４    第２電極
３０    側壁
【図１】
2013111600.tif 000003
【図２】
2013111600.tif 000004
【図３】
2013111600.tif 000005
【図４】
2013111600.tif 000006
【図５】
2013111600.tif 000007
【図６】
2013111600.tif 000008
【図７】
2013111600.tif 000009
【図８】
2013111600.tif 000010
【図９】
2013111600.tif 000011
【図１０】
2013111600.tif 000012
【図１１】
2013111600.tif 000013
【図１２】
2013111600.tif 000014
【図１３】
2013111600.tif 000015
【図１４】
2013111600.tif 000016
【図１５】
2013111600.tif 000017
【図１６】
2013111600.tif 000018
【国際調査報告】
2013111600.tif 000019
2013111600.tif 000020
2013111600.tif 000021
2013111600.tif 000022