(57)【要約】  イオンビーム照射装置（１０）は、基板（Ｓ）を保持する搬送トレイ（Ｔ）が収容される真空槽（１４）と、真空槽（１４）内にて搬送トレイ（Ｔ）を搬送方向に搬送する搬送部と、真空槽（１４）内の所定の照射位置にイオンビームを照射するイオンビーム照射部（２１Ｌ，２１Ｕ）と搬送トレイ（Ｔ）の位置を検出する位置検出部（２３Ａ〜２３Ｄ）とを備えている。位置検出部（２３Ａ〜２３Ｄ）は、搬送トレイ（Ｔ）における部位を示し搬送方向に配列された互いに異なる複数の指標の各々を搬送トレイ（Ｔ）の搬送を通じて所定の撮像位置で撮像し、該撮像された指標に基づいて撮像位置に対する搬送トレイ（Ｔ）の位置を検出する。
2013122088.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する搬送トレイが収容される真空槽と、
前記真空槽内にて前記搬送トレイを搬送方向に搬送する搬送部と、
前記真空槽内の所定の照射位置にイオンビームを照射するイオンビーム照射部と、
前記搬送トレイの位置を検出する位置検出部と
を備えるイオンビーム照射装置であって、
前記位置検出部は、
前記搬送トレイにおける部位を示し前記搬送方向に配列された互いに異なる複数の指標の各々を前記搬送トレイの搬送を通じて所定の撮像位置で撮像し、該撮像された前記指標に基づいて前記撮像位置に対する前記搬送トレイの位置を検出する
ことを特徴とするイオンビーム照射装置。
【請求項２】
前記イオンビーム照射部は、
イオンビームの出力を検出する出力検出部と、
前記位置検出部の検出結果と前記出力検出部の検出結果とを所定の周期で取得する取得部と、
前記取得部が取得した検出結果である前記位置検出部の検出結果と前記出力検出部の検出結果とを互いに対応付けて記憶する記憶部とを備える
請求項１に記載のイオンビーム照射装置。
【請求項３】
前記出力検出部は、イオンビームの出力停止を検出する
請求項２に記載のイオンビーム照射装置。
【請求項４】
前記搬送部は、前記搬送トレイを搬送処理の開始位置と該搬送処理の終了位置との間で搬送し、
前記搬送部の搬送を制御する制御部を備え、
前記記憶部は、前記位置検出部の検出結果のうち、前記出力停止に対応付けられた検出結果を停止位置として記憶し、
前記出力検出部が出力停止を検出したとき、
前記制御部は、前記搬送トレイが前記開始位置と前記終了位置との間で往復するように前記搬送部を駆動し、
前記イオンビーム照射部は、前記停止位置と前記位置検出部の検出結果とに基づいて前記基板におけるイオンビームの未照射部位にイオンビームを出力する
請求項３に記載のイオンビーム照射装置。
【請求項５】
前記出力検出部が出力停止を検出したとき、
前記制御部は、
前記撮像位置に対する前記搬送トレイの位置が、前記基板にイオンビームが照射されない非照射位置になるまで前記搬送方向に前記搬送トレイを搬送した後、前記搬送トレイを前記非照射位置から前記搬送方向とは逆方向に搬送し、
前記イオンビーム照射部は、
前記撮像位置に対する前記搬送トレイの位置が前記非照射位置に到達したときにイオンビームの照射を再開し、前記撮像位置に対する前記搬送トレイの位置が前記停止位置に到達したときに前記イオンビームの照射を停止する
請求項４に記載のイオンビーム照射装置。
【請求項６】
前記複数の指標の各々は、バーコードであり、前記搬送トレイにおける前記搬送方向の一端から他端の全体にわたり配列されている
請求項１〜５のいずれか一項に記載のイオンビーム照射装置。
【請求項７】
前記イオンビーム照射部は、イオンビームを出力するイオン源を備え、
前記位置検出部は、前記搬送トレイに対して前記イオン源とは反対側に配置されている
請求項１〜６のいずれか一項に記載のイオンビーム照射装置。
【請求項８】
前記位置検出部は、前記イオン源の照射位置とは向い合わない位置に配置されている
請求項７に記載のイオンビーム照射装置。
【請求項９】
前記イオンビーム照射部の照射位置は、前記搬送方向と交差する交差方向にて区分された互いに接する第１照射位置と第２照射位置とからなり、
前記イオンビーム照射部は、前記第１照射位置にイオンビームを照射する第１イオン源と、前記第２照射位置にイオンビームを照射する第２イオン源とを備える
請求項１〜８のいずれか一項に記載のイオンビーム照射装置。
【請求項１０】
前記複数の指標の各々は、バーコードであり、
前記搬送トレイは、複数の前記バーコードからなるバーコード群を２つ有し、
前記２つの前記バーコード群は、前記交差方向にて前記第１照射位置と前記第２照射位置とを挟むように配置されるとともに、前記第１照射位置側の第１バーコード群と、前記第２照射位置側の第２バーコード群とからなり、
前記位置検出部は、前記第１バーコード群と互いに向かい合う位置に配置されて前記第１バーコード群を撮像する第１位置検出部と、前記第２バーコード群と互いに向い合う位置に配置されて前記第２バーコード群を撮像する第２位置検出部とからなり、
前記第１イオン源の出力時には、前記イオンビーム照射部は、第２位置検出部の検出結果を取得し、
前記第２イオン源の出力時には、前記イオンビーム照射部は、第１位置検出部の検出結果を取得する
請求項９に記載のイオンビーム照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、大型ＦＰＤ（Flat Panel Display）を構成する基板等、各種の基板にイオンビームを照射するイオンビーム照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬディスプレイや液晶パネルディスプレイ等の大型ＦＰＤは、大型ＦＰＤを構成する基板に対しイオンビームが照射される処理を経て製造される。こうしたイオンビームの照射処理を行う装置としては、例えば、特許文献１に記載のように、複数のイオン源が用いられ、基板が搬送方向に搬送されるのみで、イオンビームの照射を複数回行うことの可能な装置が知られている。このような構成によれば、単一のイオン源によってイオンビームの照射を行う構成と比較して、基板に照射されるイオンビームのドーズ量やエネルギー等の照射特性を容易に多様化させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１２９３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述のようなイオンビーム照射装置では、基板の大型化が進むに連れて、基板に対するイオンビームの照射時間が、イオン源の出力が維持される時間を超えることも少なくない。このような場合にあっては、基板に対してイオンビームが照射されている途中にイオン源からの出力が低下あるいは停止してしまい、その結果、イオンビームの照射量が基板の面内においてばらつくという問題が発生してしまう。この点、上記特許文献１に記載の構成であれば、基板の搬送回数を増やす、各イオン源での出力を調節する、あるいは、これらを併用する等の方策によって、照射量の不足を補うこと、つまり、基板の面内における照射量を均一にすることが可能と考えられる。【０００５】
一方、上述のような装置における基板の搬送は、一般に、搬送経路上に配置された搬送ローラの回転、つまり、搬送ローラを回転させるモータの回転によって行われる。そして、こうした態様で搬送される基板に対して、イオン源の出力低下時または出力停止時にイオンビームが複数回にわたり重ねて照射されることになれば、面内における照射量を均一にする上で、基板におけるイオンビームの照射位置を照射ごとに精度よく検出することが必要となる。しかしながら、上述した搬送系では、基板を保持する搬送トレイが搬送機構に対して滑ることも少なくないため、単にモータの回転位置から基板の位置を検出する態様では、基板の位置の検出結果そのものにばらつきが生じることになる。【０００６】
結局のところ、こうした基板位置の検出誤差が軽減されない限りは、上述のようないずれの方策を講じたところで、依然として、基板の面内における照射量のばらつきが解消されないものとなる。そのため、イオンビーム照射装置においては、基板における照射位置をより高い精度で検出することが求められている。【０００７】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板におけるイオンビームの照射位置の検出精度を高めることのできるイオンビーム照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以下、上記課題を解決するための手段、及びその作用効果について記載する。【０００９】
本発明の第１態様は、基板を保持する搬送トレイが収容される真空槽と、前記真空槽内にて前記搬送トレイを搬送方向に搬送する搬送部と、前記真空槽内の所定の照射位置にイオンビームを照射するイオンビーム照射部と、前記搬送トレイの位置を検出する位置検出部とを備えるイオンビーム照射装置であって、前記位置検出部は、前記搬送トレイにおける部位を示し前記搬送方向に配列された互いに異なる複数の指標の各々を前記搬送トレイの搬送を通じて所定の撮像位置で撮像し、該撮像された前記指標に基づいて前記撮像位置に対する前記搬送トレイの位置を検出する。【００１０】
本発明の第１態様では、搬送トレイにおける各部位を示す複数の指標の各々を撮像することで撮像位置に対する搬送トレイの位置が検出される。この際、指標が撮像される撮像位置とイオンビームが照射される照射位置との相対関係は、搬送トレイが搬送される期間も所定の関係に維持され続けることになる。そのため、搬送トレイにおける指標が位置検出部により検出されるたびに、撮像位置に対する搬送トレイの位置、すなわち照射位置に対する搬送トレイの位置が検出されることになる。そして、搬送トレイを搬送する搬送機構の駆動量等から搬送トレイの位置を検出する態様と比べて、照射位置に対する搬送トレイの位置を直接的に検出することが可能となる。その結果、搬送トレイを搬送する搬送機構と搬送トレイとにずれが生じる場合であっても、こうしたずれにより検出位置の誤差が生じることを抑えられる。ひいては、搬送トレイに保持された基板における照射位置の検出精度を高めることができる。【００１１】
本発明の第２態様では、前記イオンビーム照射部は、イオンビームの出力を検出する出力検出部と、前記位置検出部の検出結果と前記出力検出部の検出結果とを所定の周期で取得する取得部と、前記取得部が取得した検出結果である前記位置検出部の検出結果と前記出力検出部の検出結果とを互いに対応付けて記憶する記憶部とを備える。【００１２】
本発明の第２態様によれば、位置検出部の検出結果と出力検出部の検出結果とが互いに対応付けられて記憶部に記憶されるため、所望の出力でイオンビームが照射された基板の部位を記憶部に記憶された情報から把握することが可能となる。言い換えれば、所望の出力以外の出力でイオンビームが照射された基板の部位、あるいはイオンビームが照射されなかった基板の部位を把握することが可能となる。そのため、イオンビームの照射不足となる基板の部位に対し、照射不足を補うためのさらなる照射処理を高い精度のもとで行うことが可能にもなる。【００１３】
本発明の第３態様は、前記出力検出部が、イオンビームの出力停止を検出する。【００１４】
本発明の第３態様によれば、基板における照射位置のうち、出力停止となった位置を把握することが可能となる。そのため、イオンビームが出力停止となった位置についても検出精度を高めることができ、ひいては、イオンビームが照射されていない基板の部位に対し、再度の照射処理を高い精度のもとで行うことが可能にもなる。【００１５】
本発明の第４態様は、前記搬送部は、前記搬送トレイを搬送処理の開始位置と該搬送処理の終了位置との間で搬送し、前記搬送部の搬送を制御する制御部を備え、前記記憶部は、前記位置検出部の検出結果のうち、前記出力停止に対応付けられた検出結果を停止位置として記憶し、前記出力検出部が出力停止を検出したとき、前記制御部は、前記搬送トレイが前記開始位置と前記終了位置との間で往復するように前記搬送部を駆動し、前記イオンビーム照射部は、前記停止位置と前記位置検出部の検出結果とに基づいて前記基板におけるイオンビームの未照射部位にイオンビームを照射する。【００１６】
上述のように、イオンビームの照射対象である基板の大型化に伴い、イオンビームの照射位置を基板が横切る途中で、イオンビームの出力停止が生じることも少なくない。【００１７】
この点、本発明の第４態様では、イオンビームの出力停止が検出されたとき、そのときの撮像位置に対する搬送トレイの位置が、出力停止に対応付けられた停止位置として記憶部に記憶される。そして、撮像位置に対する搬送トレイの位置が停止位置と終了位置との間にあるときに再びイオンビームが出力される。そのため、イオンビームの照射が行われていない部位に対し、高い位置精度のもとで、再びイオンビームの照射を行うことが可能となる。【００１８】
本発明の第５態様は、前記出力検出部が出力停止を検出したとき、前記制御部は、前記撮像位置に対する前記搬送トレイの位置が、前記基板にイオンビームが照射されない非照射位置になるまで前記搬送方向に前記搬送トレイを搬送した後、前記搬送トレイを前記非照射位置から前記搬送方向とは逆方向に搬送し、前記イオンビーム照射部は、前記撮像位置に対する前記搬送トレイの位置が前記非照射位置に到達したときにイオンビームの照射を再開し、前記撮像位置に対する前記搬送トレイの位置が前記停止位置に到達したときに前記イオンビームの照射を停止する。【００１９】
イオンビーム照射部では、通常、イオンビームの出力を意図的に停止するためにかかる時間と比べて、イオンビームの出力を所望の設定値に到達させるまでにかかる時間が長い。【００２０】
この点、本発明の第５態様では、イオンビームの出力停止が検出されたとき、そのときの撮像位置に対する搬送トレイの位置が、出力停止に対応付けられた停止位置として記憶部に記憶される。そして、搬送トレイが非照射位置にまで搬送された後に、イオンビームの照射が再び開始され、その後、先にイオンビームの照射が行われたときとは逆方向への搬送トレイの搬送を開始し、撮像位置に対する搬送トレイの位置が停止位置に到達したところで、イオンビームの照射が停止される。そのため、基板におけるイオンビームの照射が行われていない部位に対して、高い位置精度のもとで、再びイオンビームの照射を行うことが可能となる。【００２１】
また、イオンビームの照射が不足した部位に対して再びイオンビームを照射する態様には、停止位置から搬送方向へ搬送トレイを搬送し、これにより、基板に対してイオンビームを走査する態様と、搬送方向とは逆方向へ停止位置まで搬送トレイを搬送し、これにより、基板に対してイオンビームを走査する態様とが挙げられる。これらの態様のうち、停止位置から搬送方向へ搬送トレイを搬送する態様では、搬送トレイが停止位置に配置される前に、イオンビームの出力を再開する必要があるため、既にイオンビームが照射された位置に対しても、少なからずイオンビームが再び照射されることになる。【００２２】
この点、本発明の第５態様では、出力停止が発生した後のイオンビームの照射は、搬送方向とは逆方向へ搬送トレイが搬送されることによって行われる。そのため、停止位置から搬送方向へ搬送トレイが搬送される態様と比べて、イオンビームの出力が設定値に維持された状態で、基板に対してイオンビームの照射が行われる。これにより、イオンビームの出力が照射の途中で停止したとしても、基板における搬送方向の一端から他端までにわたってイオンビームの照射量のばらつきを抑えつつ、基板における搬送方向の一端から他端までにわたってイオンビームの照射を行うことができる。【００２３】
本発明の第６態様は、前記複数の指標の各々は、バーコードであり、前記搬送トレイにおける前記搬送方向の一端から他端の全体にわたり配列されている。【００２４】
本発明の第６態様では、搬送トレイに複数のバーコードが配列され、しかも、該複数のバーコードは、搬送トレイの搬送方向における一端から他端の全体にわたり配列されている。このような態様であれば、撮像位置に対する搬送トレイの位置を搬送トレイの一端から他端にわたって得ることができるため、搬送トレイにおける搬送方向のいずれの位置であっても、搬送トレイの位置の検出精度をより高めることができる。【００２５】
本発明の第７態様は、前記イオンビーム照射部は、イオンビームを出力するイオン源を備え、前記位置検出部が、前記搬送トレイに対して前記イオン源とは反対側に配置されている。【００２６】
本発明の第７態様によれば、搬送トレイに対してイオン源とは反対側に位置検出部が配置されているため、こうした位置検出部に撮像される指標も、自ずと搬送トレイに対して位置検出部と同じ側に配置されることになる。このような態様であれば、搬送トレイにおけるイオンビームが照射されない側に指標が配置されることから、イオンビームの熱等によって指標の外観が劣化することを抑えることが可能にもなる。それゆえに、指標の外観が劣化することによって、イオンビームの照射位置の検出精度が低下することを抑えられる。【００２７】
本発明の第８態様は、前記位置検出部が、前記イオン源の照射位置とは向い合わない位置に配置されている。【００２８】
本発明の第８態様によれば、イオン源の照射位置とは向かい合わない位置に位置検出部が配置されているため、イオンビームの熱等によって位置検出部の撮像機構が熱的に劣化することを抑えることが可能にもなる。それゆえに、指標の外観が劣化することによって、イオンビームの照射位置の検出精度が低下することを抑えられる。【００２９】
本発明の第９態様は、前記イオンビーム照射部の照射位置は、前記搬送方向と交差する交差方向にて区分された互いに接する第１照射位置と第２照射位置とからなり、前記イオンビーム照射部は、前記第１照射位置にイオンビームを照射する第１イオン源と、前記第２照射位置にイオンビームを照射する第２イオン源とを備える。【００３０】
本発明の第９態様では、イオンビーム照射部の照射位置が、第１照射位置と第２照射位置とからなり、且つ、第１照射位置と第２照射位置とには、異なるイオン源からイオンビームの照射が行われる。そのため、上記照射位置に対するイオンビームの照射を複数のイオン源によって行うことから、単一のイオン源を用いて行うよりも、上記照射位置に対するイオンビームの照射をより多用な態様にて行うことができる。それゆえに、イオンビームが、所望とする照射量で上記照射領域内に照射されやすくなる。【００３１】
他方、イオンビームの照射位置が第１照射位置と第２照射位置とからなり、且つ、これらの一部分が重なる重複領域が存在する場合、該重複領域に対するイオンビームの照射量は、第１イオン源からの照射量と第２イオン源からの照射量との和となる。そのため、上記照射位置内に所定量のイオンビームを照射する場合、第１イオン源及び第２イオン源からのイオンビームの照射態様は、他方のイオン源におけるイオンビームの照射態様を考慮しつつ設定される必要がある。【００３２】
この点、上記本発明の第９態様では、第１照射位置と第２照射位置とが接するように配置されているため、第１イオン源及び第２イオン源におけるイオンビームの照射態様は、上述のような重複領域を考慮して設定する必要がない、つまり、第１イオン源及び第２イオン源におけるイオンビームの照射態様を各別に設定することができる。それゆえに、第１イオン源及び第２イオン源でのイオンビームの照射態様がより簡易なものになり、イオンビーム照射工程のスループットも向上できる。【００３３】
本発明の第１０態様は、前記複数の指標の各々が、バーコードであり、前記搬送トレイは、複数の前記バーコードからなるバーコード群を２つ有し、前記２つの前記バーコード群は、前記交差方向にて前記第１照射位置と前記第２照射位置とを挟むように配置されるとともに、前記第１照射位置側の第１バーコード群と、前記第２照射位置側の第２バーコード群とからなり、前記位置検出部は、前記第１バーコード群と互いに向かい合う位置に配置されて前記第１バーコード群を撮像する第１位置検出部と、前記第２バーコード群と互いに向い合う位置に配置されて前記第２バーコード群を撮像する第２位置検出部とからなり、前記第１イオン源の出力時には、前記イオンビーム照射部は、第２位置検出部の検出結果を取得し、前記第２イオン源の出力時には、前記イオンビーム照射部は、第１位置検出部の検出結果を取得する。【００３４】
本発明の第１０態様では、搬送トレイは、搬送トレイにおける第１照射位置側に設けられた第１バーコード群と、搬送トレイにおける第２照射位置側に設けられた第２バーコード群とを有している。また、第１照射位置にイオンビームが照射されているときにバーコードの撮像を行う第２位置検出部は、第１バーコード群を読み取る一方、第２照射位置にイオンビームが照射されているときにバーコードの撮像を行う第１位置検出部は、第１バーコード群を読み取る。そのため、イオンビーム照射部から出力されたイオンビームが、基板に到達するまえに位置検出部によって妨げられること、つまり、イオンビーム照射部から出力されたイオンビームが位置検出部に照射されることを抑えることが可能となる。それゆえに、基板に対するイオンビームの照射を妨げることなく、イオンビームの照射位置の検出精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】（ａ）イオンビーム照射装置を具体化した一実施形態の平面構造を示す平面図であって、その内部に収容される搬送トレイを実線で示す図（ｂ）同一実施形態の側面構造を示す側面図であって、同じく、その内部に収容された搬送トレイを破線で示す概略構成図。
【図２】処理チャンバの内部構造を搬送トレイの側面構造とともに示す構成図。
【図３】（ａ）上部バーコードの一部を拡大して示す拡大図（ｂ）上部バーコードから第１バーコード読み取り部が読み取った情報を示す図。
【図４】イオンビーム照射装置の電気的構成を示すブロック図。
【図５】イオンビーム照射処理の手順を示すフローチャート。
【図６】逆搬送処理の手順を示すフローチャート。
【図７】（ａ）〜（ｆ）イオンビーム照射処理での搬送トレイの動作を順に示す作用図。
【図８】（ａ）〜（ｅ）イオンビーム照射処理での搬送トレイの動作を順に示す作用図。
【図９】（ａ）〜（ｆ）逆搬送処理での搬送トレイの動作を順に示す作用図。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）逆搬送処理での搬送トレイの動作を順に示す作用図。
【図１１】変形例における上部バーコードの一部を拡大して示す拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明のイオンビーム照射装置を具体化した一実施形態について、図１〜図１０を参照して説明する。
【００３７】
［イオンビーム照射装置の全体構成］
まず、イオンビーム照射装置の全体構成について図１を参照して説明する。
【００３８】
図１（ａ）に示されるように、イオンビーム照射装置１０には、着脱チャンバ１１、ロードロックチャンバ１２、バッファチャンバ１３、及び処理チャンバ１４が搭載され、これらのチャンバ１１〜１４の各々は、ゲートバルブ１５を介して隣り合うチャンバと連結されている。
【００３９】
イオンビーム照射装置１０には、着脱チャンバ１１から処理チャンバ１４に向かって延びる搬送経路である往路Ｒ１と、処理チャンバ１４から着脱チャンバ１１に向かって延びる搬送経路である復路Ｒ２とが互いに平行に敷設されている。往路Ｒ１及び復路Ｒ２に沿って、矩形板状をなす複数の搬送トレイＴが搬送される。
【００４０】
着脱チャンバ１１は、倒された状態の搬送トレイＴに対して外部から搬入された処理前の基板Ｓを取り付け、そして、搬送トレイＴを立たせた状態でロードロックチャンバ１２に搬出する。また、着脱チャンバ１１は、ロードロックチャンバ１２から搬入された搬送トレイＴを倒した状態にし、そして、処理後の基板Ｓを搬送トレイＴから取り外して外部に搬出する。着脱チャンバ１１は、こうした搬送トレイＴに対する基板Ｓの着脱、及び搬送トレイＴの姿勢の変更を大気圧下で行う。
【００４１】
搬送トレイＴは、搬送経路と互いに平行な上下一対をなす上部フレーム及び下部フレームを有している。搬送トレイＴが立たされたときに基板Ｓの上端が保持される上部フレームには、上部フレームにおける各部位を示す複数のバーコードからなる上部バーコード群Ｃ１が貼り付けられ、他方、基板Ｓの下端が保持される下部フレームには、下部フレームにおける各部位を示す複数のバーコードからなる下部バーコード群Ｃ２が貼り付けられている。バーコード群Ｃ１，Ｃ２は、上部フレーム及び下部フレームにおける搬送方向の一端から他端までの全体にわたって貼り付けられている。バーコード群Ｃ１，Ｃ２は、例えば、ポリエステル等からなるテープに複数のバーコードが印字されたものである（図３（ａ）参照）。
【００４２】
ロードロックチャンバ１２は、内部を大気圧とした状態で、搬送トレイＴを往路Ｒ１に沿って着脱チャンバ１１から搬入し、そして、内部を減圧した状態で、搬送トレイＴを往路Ｒ１に沿ってバッファチャンバ１３に搬出する。また、ロードロックチャンバ１２は、内部を減圧した状態で、搬送トレイＴを復路Ｒ２に沿ってバッファチャンバ１３から搬入し、そして、内部を大気圧とした状態で、搬送トレイＴを復路Ｒ２に沿って着脱チャンバ１１に搬出する。
【００４３】
バッファチャンバ１３は、内部を上記ロードロックチャンバ１２と同等に減圧された状態として、搬送トレイＴを往路Ｒ１に沿ってロードロックチャンバ１２から搬入し、また、搬送トレイＴを復路Ｒ２に沿って処理チャンバ１４から搬入する。
【００４４】
処理チャンバ１４における往路Ｒ１の終端側には、一対の切り替え部ＴＲが、往路Ｒ１と復路Ｒ２との間に搭載されている。切り替え部ＴＲは、往路Ｒ１の終端近傍にまで搬送された搬送トレイＴを復路Ｒ２の始端近傍に移動させることで、搬送トレイＴの搬送経路を往路Ｒ１から復路Ｒ２に切り替える。
【００４５】
処理チャンバ１４において、チャンバ１１〜１４の連結方向である上記搬送方向に延びる２つの側壁部のうち、復路Ｒ２側の側壁部には、処理チャンバ１４内にイオンビームを照射する第１イオン源２１Ｌが搭載されている。また、上記側壁部における第１イオン源２１Ｌよりも復路Ｒ２の始端側には、同じく処理チャンバ１４内にイオンビームを照射する第２イオン源２１Ｕが搭載されている。第１イオン源２１Ｌと第２イオン源２１Ｕとは、例えば、搬送トレイＴにおける搬送方向の幅分だけ離れて配置されている。また、第１イオン源２１Ｌは、これが搭載された側壁部の下側に配置される一方、第２イオン源２１Ｕは、これが搭載された側壁部の上側に配置されている。
【００４６】
なお、以下では、処理チャンバ１４内において、搬送トレイＴに対するイオンビームの照射処理の順序に従って該搬送トレイＴを搬送する方向を順方向とする。他方、搬送トレイＴに対するイオンビームの照射処理の順序とは反対に該搬送トレイＴを搬送する方向を逆方向とする。つまり、搬送トレイＴが往路Ｒ１上を搬送されているときには、バッファチャンバ１３から離れる方向への搬送が、順方向への搬送であり、他方、搬送トレイＴが復路Ｒ２上を搬送されているときには、バッファチャンバ１３に向かう方向への搬送が、順方向への搬送である。そして、これらとは反対の方向への搬送が、逆方向への搬送である。なお、図１における白抜きの矢印は、上記順方向への搬送を示すものである。
【００４７】
そして、第１イオン源２１Ｌは、真空槽である処理チャンバ１４内の所定の第１照射位置にイオンビームを照射し、搬送トレイＴに取り付けられた基板Ｓに対して、搬送トレイＴの搬送を通じて、該基板Ｓにおける下側半分の部位である下部領域ＳＬにイオンビームを照射する。第２イオン源２１Ｕは、処理チャンバ１４内の所定の第２照射位置にイオンビームを照射し、搬送トレイＴに取り付けられた基板Ｓに対して、搬送トレイＴの搬送を通じて、該基板Ｓにおける上側半分の部位である上部領域ＳＵにイオンビームを照射する。また、イオン源２１Ｌ，２１Ｕの各々は、往路Ｒ１で搬送されている搬送トレイＴに取り付けられた基板Ｓに対してイオンビームを照射し、さらに、復路Ｒ２で搬送されている搬送トレイＴに取り付けられた基板Ｓに対してイオンビームを照射する。つまり、イオン源２１Ｌ，２１Ｕの各々は、同一の搬送トレイＴに取り付けられた１つの基板Ｓにおける互いに異なる部位に対して、イオンビームの照射を互いに異なるタイミングで２回行う。また、イオン源２１Ｌ，２１Ｕは、搬送中の搬送トレイＴに対してイオンビームの照射を行うことから、基板Ｓにおけるイオンビームの照射部位は、搬送トレイＴの搬送方向に沿って基板Ｓ上を相対的に移動する。
【００４８】
このように、基板Ｓが上部領域ＳＵと下部領域ＳＬとからなり、且つ、上部領域ＳＵと下部領域ＳＬとには、異なるイオン源２１Ｌ，２１Ｕから、異なるタイミングにてイオンビームの照射が２回行われる。そのため、基板Ｓに対して単一のイオン源からイオンビームの照射が行われる場合や、各領域ＳＵ，ＳＬに対してイオンビームの照射が１回のみ行われる場合よりも、基板Ｓに対するイオンビームの照射をより多用な態様にて行うことができる。それゆえに、イオンビームが、所望とする照射量で基板面内に照射されやすくなる。また、各領域ＳＵ，ＳＬが互いに接するとともに、各領域に対して異なるイオン源２１Ｌ，２１Ｕからイオンビームが照射される。そのため、イオンビームの照射領域が重複する構成と比較して、各イオン源２１Ｌ，２１Ｕにおけるイオンビームの照射態様を各別に設定することができる分、各イオン源２１Ｌ，２１Ｕでのイオンビームの照射態様がより簡易なものとなり、イオンビーム照射工程のスループットも向上できる。
【００４９】
なお、図示の便宜上、イオン源２１Ｌ，２１Ｕは、いずれも処理チャンバ１４から離れた位置に示されている。しかしながら、実際には、イオン源２１Ｌ，２１Ｕは、処理チャンバ１４の外部に設置されたイオン源が、イオンビームの通過する通過路を介して処理チャンバ１４に接続された構成である。
【００５０】
処理チャンバ１４内には、第１イオン源２１Ｌの出力したイオンビームを計測する第１プロファイル計測部２２Ｌが、平面視にて往路Ｒ１及び復路Ｒ２を挟むように、第１イオン源２１Ｌと対向して配置されている。また、第２イオン源２１Ｕの出力したイオンビームを検出する第２プロファイル計測部２２Ｕが、平面視にて往路Ｒ１及び復路Ｒ２を挟むように、第２イオン源２１Ｕと対向して配置されている。第１プロファイル計測部２２Ｌ及び第２プロファイル計測部２２Ｕは、検出したイオンビームのプロファイル、例えばビームの出力分布等を計測する。
【００５１】
処理チャンバ１４には、上部バーコード群Ｃ１を構成する複数のバーコードの各々を読み取る第１バーコード読み取り部２３Ａが、チャンバ１１〜１４の連結方向に延びる側壁部のうち、往路Ｒ１側の側壁部に沿って搭載されている。第１バーコード読み取り部２３Ａは、上記第１イオン源２１Ｌ、及び第１イオン源２１Ｌの第１照射位置と、平面視にて同一直線上となる撮像位置でバーコードを撮像する。そして、往路Ｒ１上の搬送トレイＴが第１照射位置に到達したとき、第１バーコード読み取り部２３Ａは、上部バーコード群Ｃ１の一端をその撮像位置で検出する。このように、第１バーコード読み取り部２３Ａは、処理チャンバ１４内の所定の撮像位置で往路Ｒ１上の搬送トレイＴのバーコードを撮像する第２位置検出部を構成している。
【００５２】
また、処理チャンバ１４には、下部バーコード群Ｃ２を構成する複数のバーコードの各々を読み取る第２バーコード読み取り部２３Ｂが、上記側壁部における第１バーコード読み取り部２３Ａよりも往路Ｒ１の終端側に搭載されている。第２バーコード読み取り部２３Ｂは、上記第２イオン源２１Ｕ、及び第２イオン源２１Ｕの第２照射位置と、平面視にて同一直線上となる撮像位置でバーコードを撮像する。そして、往路Ｒ１上の搬送トレイＴが第２照射位置に到達したとき、第２バーコード読み取り部２３Ｂは、下部バーコード群Ｃ２の一端をその撮像位置で検出する。このように、第２バーコード読み取り部２３Ｂは、処理チャンバ１４内の所定の撮像位置で往路Ｒ１上の搬送トレイＴのバーコードを撮像する第１位置検出部を構成している。
【００５３】
なお、図示の便宜上、バーコード読み取り部２３Ａ，２３Ｂは、いずれも処理チャンバ１４から離れた位置に示されている。しかしながら、実際には、第１バーコード読み取り部２３Ａは、上記側壁部の内側面に沿うように処理チャンバ１４の上壁の外側に取り付けられ、他方、第２バーコード読み取り部２３Ｂは、側壁部の内側面に沿うように処理チャンバ１４の底壁の外側に取り付けられている。
【００５４】
さらに、処理チャンバ１４内には、下部バーコード群Ｃ２を構成する複数のバーコードの各々を読み取る第３バーコード読み取り部２３Ｃが、平面視にて上記往路Ｒ１と復路Ｒ２とに挟まれた領域に搭載されている。第３バーコード読み取り部２３Ｃは、上記第２イオン源２１Ｕ、及び第２イオン源２１Ｕの第２照射位置と、平面視にて同一直線上となる撮像位置でバーコードを撮像する。そして、復路Ｒ２上の搬送トレイＴが第２照射位置に到達したとき、第３バーコード読み取り部２３Ｃは、下部バーコード群Ｃ２の一端をその撮像位置で検出する。このように、第３バーコード読み取り部２３Ｃは、復路Ｒ２上の搬送トレイＴのバーコードを処理チャンバ１４内の所定の撮像位置で撮像する第１位置検出部を構成している。
【００５５】
また、処理チャンバ１４内には、上部バーコード群Ｃ１を構成する複数のバーコードの各々を読み取る第４バーコード読み取り部２３Ｄが、平面視にて上記往路Ｒ１と復路Ｒ２とに挟まれた領域における復路Ｒ２の終端側に搭載されている。第４バーコード読み取り部２３Ｄは、上記第１イオン源２１Ｌ、及び第１イオン源２１Ｌの第１照射位置と、平面視にて同一直線上となる撮像位置でバーコードを撮像する。そして、復路Ｒ２上の搬送トレイＴが第１照射位置に到達したとき、第４バーコード読み取り部２３Ｄは、上部バーコード群Ｃ１の一端をその撮像位置で検出する。このように、第４バーコード読み取り部２３Ｄは、復路Ｒ２上の搬送トレイＴのバーコードを処理チャンバ１４内の所定の撮像位置で撮像する第２位置検出部を構成している。
【００５６】
なお、第３バーコード読み取り部２３Ｃは、上記第２バーコード読み取り部２３Ｂと同様、処理チャンバ１４の底壁の外側に取り付けられ、他方、第４バーコード読み取り部２３Ｄは、上記第１バーコード読み取り部２３Ａと同様、処理チャンバ１４の上壁の外側に取り付けられている。
【００５７】
詳述すると、図１（ｂ）に示されるように、第１イオン源２１Ｌの照射位置は、上記搬送方向と直交する高さ方向にて基板Ｓを区分した２つの領域のうち、下部領域ＳＬにおける高さ方向の全体に重なる大きさである。このイオンビームを検出する上記第１プロファイル計測部２２Ｌは、上記第１照射位置と互いに向かい合う位置に設置されている。他方、第２イオン源２１Ｕの第２照射位置は、上記２つの領域のうち、上部領域ＳＵにおける高さ方向の全体に重なる大きさである。このイオンビームを検出する上記第２プロファイル計測部２２Ｕは、上記第２照射位置と互いに向かい合う位置に設置されている。
【００５８】
このように、搬送トレイＴに複数のバーコードからなるバーコード群Ｃ１，Ｃ２が設けられ、しかも、該バーコード群Ｃ１，Ｃ２は、搬送トレイＴの搬送方向、例えば順方向における前端から後端にまで連続している。そのため、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置が搬送トレイＴの一端から他端にわたって、各読み取り部２３Ａ〜２３Ｄによって得られることとなる。それゆえに、搬送トレイＴが搬送される方向である順方向及び逆方向の両搬送方向において、搬送トレイＴにおけるいずれの位置であっても、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置が直接的に得られ、搬送トレイＴにおける位置の検出精度をより高めることができる。
【００５９】
また、搬送トレイＴは、基板Ｓの上部領域ＳＵ側に設けられた第２バーコード群としての上部バーコード群Ｃ１と、基板Ｓの下部領域ＳＬ側に設けられた第１バーコード群としての下部バーコード群Ｃ２を有している。そして、上部領域ＳＵにイオンビームが照射されているときに、第１位置検出部としての第２バーコード読み取り部２３Ｂ及び第３バーコード読み取り部２３Ｃが、下部バーコード群Ｃ２を読み取る。一方、下部領域ＳＬにイオンビームが照射されているときには、第２位置検出部としての第１バーコード読み取り部２３Ａ及び第４バーコード読み取り部２３Ｄが、上部バーコード群Ｃ１を読み取る。そのため、イオン源２１Ｌ，２１Ｕから出力されたイオンビームが、バーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄによって妨げられることなく基板Ｓに到達する。それゆえに、基板Ｓに到達するイオンビームの照射領域内にて、出力のばらつきを抑えることができる。また、バーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄに対してイオンビームが照射されることを回避することができるため、イオンビームの熱等によりバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄが劣化することを抑えることができる。
【００６０】
こうした処理チャンバ１４は、内部を上記バッファチャンバ１３よりも減圧した状態で、往路Ｒ１に沿ってバッファチャンバ１３から搬送トレイＴを搬入し、搬送トレイＴに取り付けられた基板Ｓに対してイオンビームを照射する。また、処理チャンバ１４は、往路Ｒ１から復路Ｒ２への搬送トレイＴの搬送を行う。そして、処理チャンバ１４は、搬送トレイＴに取り付けられた基板Ｓに対してイオンビームを照射した後、搬送トレイＴを復路Ｒ２に沿ってバッファチャンバ１３に搬出する。
【００６１】
［搬送トレイの詳細構成］
上記搬送トレイＴ、及び搬送トレイＴの搬送に関わる構成について、図２を参照してより詳しく説明する。なお、搬送トレイＴの往路Ｒ１に関わる構成と、搬送トレイＴの復路Ｒ２に関わる構成とが、上述のような同様の構成であることから、以下では、搬送トレイＴの往路Ｒ１に関わる構成についてのみ、その詳細を説明する。図２には、処理チャンバ１４の内部構成と、往路Ｒ１上を搬送されている搬送トレイＴの構成とのうち、上記イオンビームが照射されない側から見た構成が示されている。
【００６２】
図２に示されるように、搬送トレイＴのトレイフレーム３１は、基板Ｓと略同一形状の取り付け孔３１ａを有する四角形の枠体である。トレイフレーム３１は、基板Ｓの上端を保持する上部フレーム３１ｂと、基板Ｓの下端を保持する下部フレーム３１ｃと、基板Ｓの側部を保持する２つの側部フレーム３１ｄとから構成される。このうち、上部フレーム３１ｂには、上部バーコード群Ｃ１が、上部フレーム３１ｂにおける搬送方向の全体にわたって貼り付けられている。また、下部フレーム３１ｃには、下部バーコード群Ｃ２が、下部フレーム３１ｃにおける搬送方向の全体にわたって貼り付けられている。上部バーコード群Ｃ１と下部バーコード群Ｃ２とは、トレイフレーム３１におけるイオンビームが照射されない面側に貼り付けられている。このような構成では、各バーコード群Ｃ１，Ｃ２にイオンビームが直接照射されないことから、イオンビームの熱等によるバーコードの劣化を抑えることができる。
【００６３】
搬送トレイＴに保持される基板Ｓは、例えば、幅Ｗ１が２２００ｍｍであり、高さＨが２４００ｍｍであり、また、各側部フレーム３１ｄの幅Ｗ２は、例えば２５０ｍｍである。そのため、上部バーコード群Ｃ１及び下部バーコード群Ｃ２に含まれる各バーコードは、それが貼り付けられたフレームにおける一端からの部位を示す指標であって、０ｍｍから２７００ｍｍまでのいずれかの数値、つまり、搬送トレイＴの搬送方向における絶対位置を示している。例えば、０ｍｍを示すバーコードは、搬送トレイＴにおける順方向の前端に貼り付けられ、他方、２７００ｍｍを示すバーコードは、搬送トレイＴにおける順方向の後端に貼り付けられている。そして、搬送トレイＴがイオンビームの照射位置に到達したときに、第１バーコード読み取り部２３Ａによる上部バーコード群Ｃ１の撮像が行われる。そのため、バーコードが示す位置、すなわち、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置から側部フレーム３１ｄの幅Ｗ２である２５０ｍｍを引いた値が、基板Ｓにおける照射部位である。
【００６４】
このように、基板Ｓにおけるイオンビームの照射位置が一義的に定められる上部バーコード群Ｃ１を撮像する第１バーコード読み取り部２３Ａを備えるようにしている。そのため、基板Ｓにおける実際の照射部位と、これを検出する位置検出部の検出結果とにずれが生じることを抑えられる。それゆえに、基板Ｓにおける照射位置を把握する精度を高めることができる。
【００６５】
搬送トレイＴにおける上側の端面には、トレイ磁石３２が取り付けられ、また、同搬送トレイＴにおける下側の端面には、円柱状のトレイスライダ３３が取り付けられている。
【００６６】
処理チャンバ１４の底面側には、複数の搬送ローラ４１が、上記往路Ｒ１に沿って配置されている。搬送ローラ４１の各々は、上記トレイスライダ３３の幅と略同一の厚みを有するとともに、搬送ローラ４１の周方向の端面には、トレイスライダ３３を保持する溝部が形成されている。また、搬送ローラ４１には、搬送ローラ４１を回転させる搬送ローラモータが連結され、搬送ローラ４１は、搬送ローラモータの回転によって回転する。搬送ローラモータは、正方向及び逆方向のいずれにも回転することができるモータであり、搬送ローラモータが回転方向を切り替えることで、搬送ローラの回転する方向が切り替えられる。
【００６７】
つまり、搬送トレイＴが往路Ｒ１に沿って順方向に搬送されるときには、複数の搬送ローラ４１が同一の方向に回転し、これにより、トレイスライダ３３、ひいては搬送トレイＴが順方向に搬送される。また、搬送トレイＴが往路Ｒ１に沿って上記逆方向に搬送されるときには、複数の搬送ローラ４１が上記とは逆の方向に回転し、これにより、搬送トレイＴが逆方向に搬送される。
【００６８】
処理チャンバ１４の上壁部には、搬送ローラ４１と対向する側の端部に保持磁石４２Ｍを有した複数の保持部４２が搭載されている。保持磁石４２Ｍは、該保持磁石４２Ｍの下方に到達した上記トレイ磁石３２と互いに作用することで、往路Ｒ１に沿って搬送されている搬送トレイＴの姿勢を維持する。搬送トレイＴは、往路Ｒ１に沿って搬送されているときに、例えば、処理チャンバ１４の底壁に対して垂直な状態から上記イオン源２１Ｌ，２１Ｕとは反対側に所定の角度、例えば３°だけ倒された状態に維持される。そのため、基板Ｓに対するイオンビームの照射によって該基板Ｓが振動したとしても、搬送トレイＴを処理チャンバ１４の底壁部に対して直交させた状態で搬送するよりも、基板Ｓが搬送トレイＴから外れにくくなる。
【００６９】
なお、ロードロックチャンバ１２及びバッファチャンバ１３の往路Ｒ１及び復路Ｒ２における搬送トレイＴの搬送にかかわる構成は、上記処理チャンバ１４内に設けられた構成から保持部４２を割愛した構成と同様である。
【００７０】
［バーコードの詳細構成］
上記搬送トレイＴに貼り付けられたバーコード群Ｃ１，Ｃ２について、図３を参照して詳細に説明する。なお、上部バーコード群Ｃ１と下部バーコード群Ｃ２とは、貼り付けられる位置が互いに異なるものの、トレイフレーム３１の部位を示す構成に関しては同様であることから、以下では、上部バーコード群Ｃ１の一部を用いて説明する。また、図３には、上部バーコード群Ｃ１を第１バーコード読み取り部２３Ａ側から見た構成が示されている。
【００７１】
図３（ａ）に示されるように、上部バーコード群Ｃ１は、複数のバーコードＣ１ａを有している。各バーコードＣ１ａの下方には、上部フレーム３１ｂの順方向における前端から該バーコードＣ１ａの貼り付けられた部位までの長さを示す数値部Ｃ１ｂが印字されている。各バーコードＣ１ａの周囲は、ブランク部Ｃ１ｃによって取り囲まれている。
【００７２】
こうした上部バーコード群Ｃ１を読み取る第１バーコード読み取り部２３Ａ、及び第４バーコード読み取り部２３Ｄは、上部バーコード群Ｃ１を所定の周期で撮像する撮像部を有し、撮像部によって得られた上部バーコード群Ｃ１の画像から、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置を検出する。
【００７３】
撮像部によって得られた画像が、図３（ａ）に示される「０００１８３」、すなわち、上記上部フレーム３１ｂの一端から１８３ｍｍの位置であることを示すバーコードＣ１ａ、及び該バーコードＣ１ａの両側の一部を含むとき、バーコード読み取り部２３Ａ，２３Ｄは、該画像を図３（ｂ）に示される２値データに変換する。バーコード読み取り部２３Ａ，２３Ｄは、こうした２値データをデコードして、上部フレーム３１ｂの順方向の前端から撮像位置までの長さ、すなわち、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置を上述した所定の周期で検出する。なお、順方向の前端から撮像位置までの長さを検出することによって、逆方向の前端から撮像までの長さを検出することもできる。つまりは、順方向及び逆方向を含む搬送方向の一端から撮像位置までの長さを検出することができる。
【００７４】
なお、上記下部バーコード群Ｃ２を読み取る第２バーコード読み取り部２３Ｂ、及び第３バーコード読み取り部２３Ｃの構成は、処理チャンバ１４における搭載場所が異なるものの、上記第１バーコード読み取り部２３Ａ、及び第４バーコード読み取り部２３Ｄと同様である。
【００７５】
上述のように絶対位置を検出するいわゆるアブソリュート型リニアエンコーダには、例えば、電磁誘導式のリニアエンコーダが知られている。電磁誘導式のリニアエンコーダは、目盛りが刻んであるテープ等のスケールと、スケールに対する位置を変えながら目盛りを検出する読み取り部とを備え、読み取り部は、スケールとの距離が数ｍｍ程度の範囲でなければ、目盛りを検出することができない。
【００７６】
ここで、搬送トレイＴが処理チャンバ１４の底壁部に対して略直交する状態で搬送される場合には、搬送トレイＴが搬送方向とは略直交する方向に沿って揺れ動くことによって、搬送トレイＴに取り付けられたスケールと、読み取り部との距離が変わる。読み取り部の検出できる範囲は、上述のように数ｍｍ程度であるため、搬送トレイＴが揺れ動くことによって、搬送トレイＴに取り付けられたスケールと読み取り部との距離が、読み取り部の検出できる範囲を容易に超えてしまう。それゆえに、電磁誘導式のリニアエンコーダでは、検出された距離の信頼性が低くなってしまう。
【００７７】
また、読み取り部を真空の状態である処理チャンバ１４内に配置しなければならないため、読み取り部には、放出するガスの量が所定量に収まることや、パーティクルとなる粒子が付着していないこと等が必要とされる。
【００７８】
これに対し、本実施形態のバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄは、スケールであるバーコード群Ｃ１，Ｃ２と非接触であり、且つ、撮像部を用いた光学式のリニアエンコーダである。そのため、電磁誘導式のリニアエンコーダと比べて、バーコード読み取り部２３Ａ〜２３ＤによってバーコードＣ１ａを検出可能な距離が大きく、上述のように搬送トレイＴが揺れ動いたとしても、バーコードＣ１ａを検出することができる。それゆえに、本実施形態のバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄとバーコード群Ｃ１，Ｃ２とによれば、絶対位置を検出しながら、検出された距離の信頼性を高めることができる。
【００７９】
また、バーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄを処理チャンバ１４外に設置し、バーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄに対するバーコード群Ｃ１，Ｃ２の位置が、バーコード群Ｃ１，Ｃ２が移動することによって変わる。そのため、バーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄを用いることで、電磁誘導式のリニアエンコーダを用いる場合の制約をなくしながら、絶対位置を検出することが可能になる。
［イオンビーム照射装置の電気的構成］
イオンビーム照射装置１０の電気的構成について図４を参照して説明する。なお、図４には、電気的構成のうち、上記処理チャンバ１４にて行われるイオンビームの照射及び搬送トレイＴの搬送にかかわる構成が示されている。以下では、こうした構成の説明を行うこととし、他の電気的構成、例えば、処理チャンバ１４以外のチャンバ１１，１２，１３にて行われる搬送トレイＴの搬送や、各ゲートバルブ１５の開閉にかかわる構成についての説明は割愛する。
【００８０】
イオンビーム照射装置１０に搭載された主制御部５０は、中央処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリ（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリ（ＲＡＭ）を有するマイクロコンピュータを中心に構成されている。主制御部５０は、上記ＲＯＭ及びＲＡＭに記憶された各種データ及びプログラムに基づいて、イオンビーム照射装置１０の動作にかかわる各種制御を行う。
【００８１】
主制御部５０には、処理チャンバ１４内に搭載された各種モータ、特に、搬送トレイＴの搬送を行うモータの駆動を制御するモータ制御部６０が接続されている。モータ制御部６０には、上記搬送ローラ４１に接続された搬送ローラモータ６１Ｍを回転駆動する駆動回路６１Ｄと、搬送ローラモータ６１Ｍの回転位置を検出するエンコーダ６１Ｅとが接続されている。モータ制御部６０は、主制御部５０から入力された駆動指令と、エンコーダ６１Ｅから入力された回転位置とに基づいて位置指令を生成するとともに、該位置指令を駆動回路６１Ｄに出力する。
【００８２】
駆動回路６１Ｄは、モータ制御部６０から入力された位置指令に基づいて、搬送ローラモータ６１Ｍの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を搬送ローラモータ６１Ｍに出力する。搬送ローラモータ６１Ｍは、入力された駆動電流に応じた回転を行うことで、上記搬送ローラ４１を自転させる。なお、駆動回路６１Ｄ及びエンコーダ６１Ｅは、各搬送ローラモータ６１Ｍに対して設けられている。
【００８３】
モータ制御部６０は、エンコーダ６１Ｅから入力された回転位置の位置指令に対する偏差が所定値以下となるときに、上記駆動指令に基づく搬送ローラモータ６１Ｍの駆動が完了したことを示す完了信号を生成するとともに、該完了信号を主制御部５０に出力して、主制御部５０からのさらなる駆動指令を待つ。
【００８４】
また、モータ制御部６０には、上記切り替え部ＴＲの備える切り替えモータ６２Ｍを回転駆動する駆動回路６２Ｄと、切り替えモータ６２Ｍの回転位置を検出するエンコーダ６２Ｅとが接続されている。モータ制御部６０は、主制御部５０から入力された駆動指令と、エンコーダ６２Ｅから入力された回転位置とに基づいて位置指令を算出するとともに、該位置指令を駆動回路６２Ｄに出力する。
【００８５】
駆動回路６２Ｄは、モータ制御部６０から入力された位置指令に基づいて、切り替えモータ６２Ｍの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を切り替えモータ６２Ｍに出力する。切り替えモータ６２Ｍは、入力された駆動電流に応じた回転を行うことで、上記切り替え部ＴＲを駆動させる。なお、駆動回路６２Ｄ及びエンコーダ６２Ｅは、切り替え部ＴＲを構成する複数のモータの各々に対して設けられている。
【００８６】
モータ制御部６０は、エンコーダ６２Ｅから入力された回転位置の位置指令に対する偏差が所定値以下となるときに、上記駆動指令に基づく切り替えモータ６２Ｍの駆動が完了したことを示す完了信号を生成するとともに、該完了信号を主制御部５０に出力して、主制御部５０からのさらなる駆動指令を待つ。なお、モータ制御部６０、駆動回路６１Ｄ、搬送ローラモータ６１Ｍ、搬送ローラ４１、及びエンコーダ６１Ｅによって搬送部が構成されている。
【００８７】
また、主制御部５０には、上記イオン源２１Ｌ，２１Ｕの駆動を制御するイオンビーム制御部７０が接続されている。イオンビーム制御部７０には、第１イオン源２１Ｌにイオンビームを出力させる駆動回路７１Ｄ、第１イオン源２１Ｌの出力を検出する第１出力センサ７１Ｓ、及び上記第１プロファイル計測部２２Ｌが接続されている。
【００８８】
イオンビーム制御部７０は、主制御部５０から入力された駆動指令と、第１プロファイル計測部２２Ｌから入力された計測データとに基づいて出力指令を生成するとともに、該出力指令を駆動回路７１Ｄに出力する。なお、第１プロファイル計測部２２Ｌは、イオンビームの強度分布等の計測結果に応じた計測データを生成するとともに、該計測データをイオンビーム制御部７０に出力する。
【００８９】
駆動回路７１Ｄは、イオンビーム制御部７０から入力された出力指令に基づいて、第１イオン源２１Ｌの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を第１イオン源２１Ｌに出力する。第１イオン源２１Ｌは、入力された駆動電流に応じたイオンビームの出力を行う。
【００９０】
イオンビーム制御部７０は、上記駆動指令に基づく第１イオン源２１Ｌの駆動が完了したときに、完了信号を生成するとともに、該完了信号を主制御部５０に出力して、主制御部５０からのさらなる駆動指令を待つ。
【００９１】
上記第１出力センサ７１Ｓは、例えば、第１イオン源２１Ｌのフィラメントを流れる電流を検出するセンサである。第１出力センサ７１Ｓは、検出された電流値が所定の設置値未満である場合、イオンビームの出力が停止した旨を示す出力停止信号を生成するとともに、該出力停止信号をイオンビーム制御部７０に出力する。
【００９２】
イオンビーム制御部７０には、上記搬送トレイＴの上部バーコード群Ｃ１を読み取る第１バーコード読み取り部２３Ａ、及び同上部バーコード群Ｃ１を読み取る第４バーコード読み取り部２３Ｄが接続されている。第１バーコード読み取り部２３Ａ及び第４バーコード読み取り部２３Ｄは、撮像位置で撮像された上部バーコード群Ｃ１の一部から上記絶対位置を検出するとともに、該絶対位置に応じた位置データを所定の撮像周期で生成し、該位置データをイオンビーム制御部７０に出力する。第１出力センサ７１Ｓが出力停止信号を出力したとき、該出力停止信号が出力された撮像周期における位置データは、イオンビーム制御部７０の有する記憶部７０ａに記憶される。すなわち、イオンビーム制御部７０に入力された位置データは、第１出力センサ７１Ｓの検出結果に対応付けられた状態で記憶部７０ａに記憶される。
【００９３】
イオンビーム制御部７０には、第２イオン源２１Ｕにイオンビームを出力させる駆動回路７２Ｄ、第２イオン源２１Ｕの出力を検出する第２出力センサ７２Ｓ、及び上記第２プロファイル計測部２２Ｕが接続されている。
【００９４】
イオンビーム制御部７０は、主制御部５０から入力された駆動指令と、第２プロファイル計測部２２Ｕから入力された計測データとに基づいて出力指令を生成するとともに、該出力指令を駆動回路７２Ｄに出力する。なお、第２プロファイル計測部２２Ｕは、上記第１プロファイル計測部２２Ｌと同様の計測データを生成するとともに、該計測データをイオンビーム制御部７０に出力する。
【００９５】
駆動回路７２Ｄは、イオンビーム制御部７０から入力された出力指令に基づいて、第２イオン源２１Ｕの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を第２イオン源２１Ｕに出力する。第２イオン源２１Ｕは、入力された駆動電流に応じたイオンビームの出力を行う。
【００９６】
イオンビーム制御部７０は、上記駆動指令に基づく第２イオン源２１Ｕの駆動が完了したときに、完了信号を生成するとともに、該完了信号を主制御部５０に出力して、主制御部５０からのさらなる駆動指令を待つ。
【００９７】
上記第２出力センサ７２Ｓは、例えば第２イオン源２１Ｕのフィラメントを流れる電流を検出するセンサである。第２出力センサ７２Ｓは、検出された電流値が所定の設定値未満である場合、イオンビームの出力が停止した旨を示す出力停止信号を生成するとともに、該出力停止信号をイオンビーム制御部７０に出力する。
【００９８】
イオンビーム制御部７０には、上記搬送トレイＴの下部バーコード群Ｃ２を読み取る第２バーコード読み取り部２３Ｂ、及び同下部バーコード群Ｃ２を読み取る第３バーコード読み取り部２３Ｃが接続されている。第２バーコード読み取り部２３Ｂ及び第３バーコード読み取り部２３Ｃは、撮像位置で撮像された下部バーコード群Ｃ２の一部から上記絶対位置を検出するとともに、該絶対位置に応じた位置データを生成し、該位置データをイオンビーム制御部７０に出力する。第２出力センサ７２Ｓが出力停止信号を出力したとき、該出力停止信号が出力された撮像周期における位置データは、イオンビーム制御部７０の有する記憶部７０ａに記憶される。すなわち、イオンビーム制御部７０に入力された位置データは、第２出力センサ７２Ｓの出力結果に対応付けられた状態で記憶部７０ａに記憶される。
【００９９】
このように、イオンビームの駆動を制御するイオンビーム制御部７０には、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置を検出するバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄが接続されている。そのため、イオンビームが所望の出力で出力されているか否かを示すデータと、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置、すなわち、イオンビームが照射されている部位に関するデータとが、同一の制御部に所定の撮像周期で入力されることになる。それゆえに、これらのデータが各別の制御部に入力される場合よりも、イオンビームが停止されたときの撮像位置に対する搬送トレイＴの位置、すなわち、停止位置と、該イオンビームの照射位置とのずれを小さくすることができる。
【０１００】
なお、イオンビーム制御部７０、イオン源２１Ｌ，２１Ｕ、駆動回路７１Ｄ，７２Ｄ、及び、出力センサ７１Ｓ，７２Ｓによって、イオンビーム照射部が構成されている。また、出力センサ７１Ｓ，７２Ｓによって、出力検出部が構成され、イオンビーム制御部７０によって取得部が構成されている。
【０１０１】
［イオンビーム照射装置の作用］
イオンビーム照射装置１０が行う動作のうち、上記処理チャンバ１４にて行われるイオンビームの照射にかかわる動作について、図５〜図１０を参照して説明する。なお、バッファチャンバ１３における搬送トレイＴの搬送動作、ゲートバルブ１５の開閉動作、及び、バッファチャンバ１３から処理チャンバ１４への搬送トレイＴの搬入動作等は、以下に説明するイオンビーム照射処理よりも前に、他の処理フローに従って行われている。また、イオン源２１Ｌ，２１Ｕが、基板Ｓに対してイオンビームの照射を行っているときに、イオンビームの意図しない停止が起こった場合等、上記センサ７１Ｓ，７２Ｓから出力停止信号が出力されるときを異常停止時とし、他方、こうした停止が起こらない場合を正常照射時とする。また、図７〜図１０では、搬送トレイＴ１，Ｔ２の順方向への搬送が白抜き矢印で示されている。そして、図９では、搬送トレイＴ１の逆方向への搬送が黒塗り矢印で示されている。
【０１０２】
［正常照射時］
イオンビーム照射処理が開始されるときには、搬送トレイＴは、処理チャンバ１４内における所定の停止位置にて停止した状態にある。また、処理チャンバ１４内には、１枚あるいは２枚の搬送トレイＴが収容されている（図７（ａ）参照）。なお、以下では、後続する搬送トレイＴ２に取り付けられた処理前の基板Ｓに対して第１イオン源２１Ｌによるイオンビーム照射処理が行われる場合を例として説明する。また、このとき、先行する搬送トレイＴ１に取り付けられた基板Ｓに対する第２イオン源２１Ｕからのイオンビームの照射も行われている。この搬送トレイＴ１に対するイオンビーム照射処理は、以下に説明するイオンビーム照射処理と同様の処理を行うための他の処理フローに従って行われている。
【０１０３】
イオンビーム照射処理では、まず、主制御部５０が、イオンビーム制御部７０に対する駆動指令を生成して該駆動指令を出力することにより、イオンビーム制御部７０が、駆動指令に基づく出力指令を生成し、該駆動指令を駆動回路７１Ｄに出力する。そして、駆動回路７１Ｄが、出力指令に基づく駆動電流を生成して、該駆動電流を第１イオン源２１Ｌに出力することで、第１イオン源２１Ｌからの下側イオンビームＢＬの照射が開始される（ステップＳ１０１）（図７（ｂ）参照）。
【０１０４】
下側イオンビームＢＬの照射が開始されると、第１プロファイル計測部２２Ｌが、検出した下側イオンビームＢＬに応じた計測データを生成し、該計測データをイオンビーム制御部７０に出力する。下側イオンビームＢＬが出力指令に応じた所定のプロファイルにて出力されているとき（ステップＳ１０２：ＹＥＳ）、イオンビーム制御部７０は、イオンビームの出力が調整されていることを示す完了信号を生成して、該完了信号を主制御部５０に出力する。
【０１０５】
イオンビーム制御部７０が、上記完了信号に加えて、第２イオン源２１Ｕの出力する上側イオンビームＢＵの調整が完了したことを示す完了信号も所定時間内に出力すると（ステップＳ１０３：ＹＥＳ）、主制御部５０は、搬送トレイＴを順方向に搬送するための駆動指令を生成し、該駆動指令をモータ制御部６０に出力する。モータ制御部６０が、入力された駆動指令とエンコーダ６１Ｅからの回転位置とに基づいて位置指令を生成して、該位置指令を駆動回路６１Ｄに出力すると、駆動回路６１Ｄは、位置指令に応じた駆動電流を生成して、該駆動電流を搬送ローラモータ６１Ｍに出力する。これにより、搬送トレイＴ２の搬送が開始される（ステップＳ１０４）。このとき、搬送トレイＴ１の順方向への搬送も同様に開始される。
【０１０６】
なお、搬送ローラモータ６１Ｍの駆動は、往路Ｒ１の始端側に設置された搬送ローラ４１の搬送ローラモータ６１Ｍから開始される。そして、該搬送ローラモータ６１Ｍが予め決められた所定の回転位置にまで回転すると、往路Ｒ１の終端側に隣接して設置された搬送ローラ４１の搬送ローラモータ６１Ｍの駆動が開始される。また、各搬送ローラモータ６１Ｍの駆動は、所定の回転位置、例えば、搬送ローラ４１がトレイスライダ３３と接しない回転位置まで行われると停止される。このように、搬送ローラモータ６１Ｍの駆動が、往路Ｒ１の始端側から順に行われることで、搬送トレイＴ２が、往路Ｒ１の始端側から終端側に向かう順方向に搬送される。
【０１０７】
搬送トレイＴ２が搬送されて、搬送トレイＴ２の上部バーコード群Ｃ１の順方向における前端、例えば搬送トレイＴの前端からの長さが０ｍｍであることを示すバーコードが第１バーコード読み取り部２３Ａの撮像位置に到達すると、上部バーコード群Ｃ１の撮像、つまり、撮像位置に対する搬送トレイＴ２の位置の検出が開始される（ステップＳ１０５）（図７（ｃ）参照）。
【０１０８】
第１バーコード読み取り部２３Ａによる上部バーコード群Ｃ１の撮像が開始されるとき、搬送トレイＴ２に対するイオンビームの照射も行われる。この際、搬送トレイＴの上記前端からの長さが２５０ｍｍであることを示すバーコードが第１バーコード読み取り部２３Ａによって検出されたときには、基板Ｓに対する下側イオンビームＢＬの照射が開始されている。
【０１０９】
そして、第１イオン源２１Ｌからの下側イオンビームＢＬの照射が維持された状態で、搬送トレイＴの前端からの長さが２７００ｍｍであることを示すバーコードが第１バーコード読み取り部２３Ａによって検出される（ステップＳ１０６：ＹＥＳ、ステップＳ１０７：ＹＥＳ）。次いで、イオンビーム制御部７０は、第１イオン源２１Ｌの出力を停止させるための出力指令を生成し、該信号を駆動回路７１Ｄに出力する。駆動回路７１Ｄは、入力された出力指令に基づいて駆動電流を生成し、該駆動電流を第１イオン源２１Ｌに出力する。第１イオン源２１Ｌでは、入力された駆動電流によって、下側イオンビームＢＬの出力が停止される（ステップＳ１０８）。そして、第１出力センサ７１Ｓが、第１イオン源２１Ｌの出力電流が０Ａであることを示す信号をイオンビーム制御部７０に入力すると、イオンビーム制御部７０は、上記駆動指令によるイオンビームの照射が完了したことを示す完了信号を生成し、該完了信号を主制御部５０に出力して、さらなる駆動指令を待つ。
【０１１０】
下側イオンビームＢＬの照射が停止されると、主制御部５０は、搬送トレイＴ２を順方向に所定距離だけ搬送した後に該搬送を停止させるための駆動指令を生成し、該指令をモータ制御部６０に出力する。上記所定距離は、例えば、該所定距離だけ搬送された搬送トレイＴ２が、第１イオン源２１Ｌの照射位置と、第２イオン源２１Ｕの照射位置との間に位置する距離に設定されている。
【０１１１】
モータ制御部６０は、上記駆動指令とエンコーダ６１Ｅからの回転位置とに基づいて位置指令を生成し、該位置指令を駆動回路６１Ｄに出力する。そして、駆動回路６１Ｄは、入力された位置指令に基づいて駆動電流を生成して、該駆動電流を搬送ローラモータ６１Ｍに出力する。搬送ローラモータ６１Ｍは、駆動電流に応じた回転を行う。
【０１１２】
エンコーダ６１Ｅから入力される回転位置の上記位置指令に対する偏差が所定値未満になると、モータ制御部６０は、搬送ローラモータ６１Ｍの回転を停止させるための位置指令を生成し、該位置指令を駆動回路６１Ｄに出力する。駆動回路６１Ｄは、入力された位置指令に基づいて駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送ローラモータ６１Ｍに出力する。これにより、搬送ローラモータ６１Ｍの回転が停止されることで、搬送トレイＴ２の搬送が終了する（ステップＳ１０９）。
【０１１３】
この際、搬送トレイＴ２の搬送が終了したときに、第２イオン源２１Ｕにおける出力停止を示す信号が主制御部５０に入力されていると（ステップＳ１１０：ＮＯ）、主制御部５０は、搬送トレイＴ２の順方向への搬送再開を所定期間だけ遅らせるための駆動指令を生成し、該駆動指令をモータ制御部６０に出力する。モータ制御部６０は、駆動指令とエンコーダ６１Ｅからの回転位置とに基づいて位置指令を生成し、該位置指令を駆動回路６１Ｄに出力する。駆動回路６１Ｄは、位置指令に基づいて駆動電流を生成し、該位置指令を搬送ローラモータ６１Ｍに出力する。搬送ローラモータ６１Ｍは、入力された駆動電流に応じて、回転が所定位置で停止された状態となる。これにより、搬送トレイＴ２は、搬送処理の終了位置にて待機している状態となる（ステップＳ１５１）。搬送停止が継続される時間、つまり待機時間とは、以下に説明する異常停止時の逆搬送処理が完了するまでの時間である。これにより、主制御部５０は、イオンビーム照射処理を一旦終了する。
【０１１４】
なお、搬送トレイＴ２が処理チャンバ１４から搬出されるまでには、上記１回目の下側イオンビームＢＬの照射に加えて、搬送トレイＴ２に対して、１回目の上側イオンビームＢＵの照射、２回目の上側イオンビームＢＵの照射、及び２回目の下側イオンビームＢＬの照射がこの順に行われる。しかも、各イオンビームの照射においては、駆動の対象となるイオン源２１Ｌ，２１Ｕ、あるいは搬送ローラモータ６１Ｍ等が異なるものの、上述と同様の処理フローに従ってイオンビーム照射処理が行われる。
【０１１５】
詳述すると、１回目の上側イオンビームＢＵの照射が行われるとき、図７（ｄ）〜図７（ｆ）に示されるように、まず、第２イオン源２１Ｕから出力された上側イオンビームＢＵのプロファイルが計測される。次いで、搬送トレイＴ２が往路Ｒ１の終端側に向けて順方向に搬送されることによって、基板Ｓの上部領域ＳＵに上側イオンビームＢＵが照射される。なお、１回目の上側イオンビームＢＵの照射では、往路Ｒ１の終端側にまで搬送された搬送トレイＴ２は、切り替え部ＴＲによって復路Ｒ２上に配置された後、該搬送トレイＴ２の搬送が終了する。このとき、搬送トレイＴ１の搬出処理、搬送トレイＴ３の搬入処理、及びゲートバルブ１５の開閉処理は、他の処理フローに従って行われている。
【０１１６】
次いで、２回目の上側イオンビームＢＵの照射が行われるときには、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示されるように、まず、第２イオン源２１Ｕから出力された上側イオンビームＢＵのプロファイルが計測される。次いで、搬送トレイＴ２が復路Ｒ２の終端側に向けて順方向に搬送されることによって、基板Ｓの上部領域ＳＵに上側イオンビームＢＵが照射される。
【０１１７】
そして、２回目の下側イオンビームＢＬの照射が行われるときには、図８（ｃ）〜図（ｅ）に示されるように、まず、第１イオン源２１Ｌから出力された下側イオンビームＢＬのプロファイルが計測される。そして、搬送トレイＴ２が復路Ｒ２の終端側に向けて順方向に搬送されることによって、基板Ｓの下部領域ＳＬに下側イオンビームＢＬが照射される。
【０１１８】
［異常停止時］
上述のように、搬送トレイＴ２が第１イオン源２１Ｌの照射位置に到達すると、搬送トレイＴ２に取り付けられた基板Ｓに対する下側イオンビームＢＬの照射が開始される（図９（ａ）参照）。そして、搬送トレイＴ２が、第１イオン源２１Ｌの照射位置を横切る間に下側イオンビームＢＬの照射が停止すると（図９（ｂ）参照）、第１出力センサ７１Ｓが、第１イオン源２１Ｌに対する出力停止信号を生成し、該信号をイオンビーム制御部７０に対して出力する。
【０１１９】
イオンビーム制御部７０は、上記出力停止信号の入力に基づいて第１イオン源２１Ｌの出力が異常停止したことを示す異常停止信号を生成し、該異常停止信号を主制御部５０に出力する（ステップＳ１０６：ＮＯ）。これにより、上記処理チャンバ１４では、逆搬送処理が行われる（ステップＳ１４１）。
【０１２０】
以下に、搬送トレイＴ２の逆方向への搬送を行う逆搬送処理について図６を参照して説明する。なお、以下では、搬送トレイＴ１に対する上側イオンビームの照射は、正常に行われたものとする。
【０１２１】
イオンビーム制御部７０は、第１出力センサ７１Ｓから上記出力停止信号が入力されると、該信号が入力された撮像周期における位置データを下側イオンビームＢＬの照射が停止した停止位置として記憶する（ステップＳ２０１）。
【０１２２】
次いで、主制御部５０は、第１イオン源２１Ｌの照射が正常であった場合と同様、当該搬送処理の終了位置まで搬送トレイＴ２を搬送させるための駆動指令を生成し、該駆動指令をモータ制御部６０に出力する。モータ制御部６０は、駆動指令とエンコーダ６１Ｅからの回転位置とに基づく位置指令を生成して駆動回路６１Ｄに出力し、駆動回路６１Ｄは、位置指令に基づいて駆動電流を生成する。駆動回路６１Ｄは、該駆動電流を搬送ローラモータ６１Ｍに出力し、これにより、搬送ローラモータ６１Ｍは、駆動電流に応じて回転する。
【０１２３】
搬送処理の終了位置まで順方向に搬送トレイＴ２が搬送されると、搬送トレイＴ２の搬送が停止される（ステップＳ２０２）（図９（ｃ）参照）。このとき、主制御部５０は、先のステップＳ１５１と同様、搬送トレイＴ１を終了位置にて待機させるための駆動指令を生成し、該駆動指令をモータ制御部６０に出力する。
【０１２４】
次いで、主制御部５０は、イオンビーム制御部７０に対して、第１イオン源２１Ｌから下側イオンビームＢＬを出力させるための駆動指令を生成し、該駆動指令をイオンビーム制御部７０に出力する。イオンビーム制御部７０は、駆動指令に基づく出力指令を生成して上記駆動回路７１Ｄに該出力指令を出力し、駆動回路７１Ｄが、出力指令に応じた駆動電流を生成して第１イオン源２１Ｌに出力する。第１イオン源２１Ｌは、駆動電流に応じて下側イオンビームＢＬを出力する（ステップＳ２０３）（図９（ｄ）参照）。
【０１２５】
下側イオンビームＢＬが出力されると、先のステップＳ１０２、あるいはステップＳ１２１と同様、下側イオンビームＢＬの出力プロファイルが調整され、これにより、イオンビーム制御部７０が、出力調整が完了したことを示す完了信号を生成し、該完了信号を主制御部５０に出力して、さらなる駆動指令を待つ（ステップＳ２０４：ＹＥＳ）。
【０１２６】
完了信号が入力されると、主制御部５０は、逆方向に搬送トレイＴ２を搬送するための駆動指令を生成し、該駆動指令をモータ制御部６０に出力する。モータ制御部６０は、入力された駆動指令とエンコーダ６１Ｅからの回転位置とに基づいて位置指令を生成して駆動回路６１Ｄに出力し、駆動回路６１Ｄは、入力された位置指令に基づいて駆動電流を生成して該駆動電流を搬送ローラモータ６１Ｍに出力する。これにより、搬送トレイＴ２が、往路Ｒ１に沿って逆方向に搬送される（ステップＳ２０５）（図９（ｅ）参照）。
【０１２７】
そして、搬送トレイＴの順方向における前端からの長さが２７００ｍｍであることを示すバーコードが、上記第１バーコード読み取り部２３Ａの撮像位置に到達すると、上記ステップＳ１０５と同様、上部バーコード群Ｃ１の撮像と、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置の検出とが行われる（ステップＳ２０６）。なお、ステップＳ１０５では、搬送トレイＴの一端からの長さが０ｍｍであることを示すバーコードから、搬送トレイＴの一端からの長さが２７００ｍｍであることを示すバーコードに向かって、第１バーコード読み取り部２３Ａによる撮像が行われる。これに対し、ステップＳ２０６では、搬送トレイＴの上記前端からの長さが２７００ｍｍであることを示すバーコードから０ｍｍであることを示すバーコードに向かって、第１バーコード読み取り部２３Ａによる撮像が行われる。
【０１２８】
この際、イオンビーム制御部７０は、第１バーコード読み取り部２３Ａで検出された搬送トレイＴの位置と、上記ステップＳ２０１にて記憶部７０ａに記憶された停止位置との比較を行う（ステップＳ２０７）（図９（ｆ）参照）。そして、記憶された停止位置と、撮像位置に対する搬送トレイの位置とが一致すると、イオンビーム制御部７０は、第１イオン源２１Ｌからのイオンビームの出力を停止させるための出力指令を生成し、そして、該出力指令を駆動回路７１Ｄに出力する。駆動回路７１Ｄは、入力された出力指令に基づいて駆動電流を生成し、該駆動電流を第１イオン源２１Ｌに出力する。第１イオン源２１Ｌでは、入力された駆動電流によってイオンビームの出力が停止される（ステップＳ２０８）。
【０１２９】
イオンビームの出力が停止されて、第１イオン源２１Ｌの出力電流が０Ａであることを示す信号が、第１出力センサ７１Ｓからイオンビーム制御部７０に入力されると、イオンビーム制御部７０は、イオンビームの照射が完了したことを示す完了信号を生成し、該信号を主制御部５０に出力して、さらなる駆動指令を待つ。主制御部５０は、入力された完了信号に基づいて搬送トレイＴ２を逆方向に所定距離だけ搬送させた後に停止させるための駆動指令を生成し、該駆動指令を上記モータ制御部６０に出力する。なお、上記所定距離とは、該所定距離だけ搬送された搬送トレイＴ２が第１イオン源２１Ｌの照射位置よりもゲートバルブ１５側になるような距離である。
【０１３０】
そして、モータ制御部６０は、入力された駆動指令とエンコーダ６１Ｅからの回転位置とに基づいて位置指令を生成して該位置指令を駆動回路６１Ｄに出力し、駆動回路６１Ｄは、入力された位置指令に基づいて駆動電流を生成して該駆動電流を搬送ローラモータ６１Ｍに出力する。搬送ローラモータ６１Ｍが、入力された駆動電流に応じた回転を行うことで、搬送トレイＴ２が、上記所定位置にまで搬送された後、該所定位置にて停止される（ステップＳ２０９）（図１０（ａ）参照）。
【０１３１】
エンコーダ６１Ｅからモータ制御部６０に入力された回転位置の上記位置指令に対する偏差が所定値以下になると、モータ制御部６０は、搬送ローラモータ６１Ｍの回転を停止させるための位置指令を生成し、該位置指令を駆動回路６１Ｄに出力する。駆動回路６１Ｄは、入力された位置指令に基づいて駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送ローラモータ６１Ｍに出力する。これにより、搬送ローラモータ６１Ｍの回転が停止される。また、モータ制御部６０は、上記駆動指令に応じた搬送ローラモータ６１Ｍの駆動が完了したことを示す完了信号を生成し、該完了信号を主制御部５０に出力して、さらなる駆動指令を待つ。
【０１３２】
続いて、主制御部５０は、完了信号の入力に基づき搬送トレイＴ２を往路Ｒ１の終端側に向かって順方向に所定距離だけ搬送するための駆動指令を生成し、該駆動指令をモータ制御部６０に出力する。
【０１３３】
モータ制御部６０は、入力された駆動指令とエンコーダ６１Ｅからの回転位置とに基づいて位置指令を生成し、該位置指令を駆動回路６１Ｄに出力する。駆動回路６１Ｄは、入力された位置指令に基づいて駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送ローラモータ６１Ｍに出力する。搬送ローラモータ６１Ｍは、入力された駆動電流に基づいて、上記逆搬送（ステップＳ２０５〜ステップＳ２０９）とは逆方向に回転し、これにより、搬送トレイＴ２が、往路Ｒ１に沿って順方向に搬送される（ステップＳ２１０）（図１０（ｂ）参照）。なお、上記所定距離とは、該所定距離だけ搬送された搬送トレイＴ２が、往路Ｒ１における第１照射位置と、第２照射位置との間、つまり、復路Ｒ２上にて停止している搬送トレイＴ１と対向する位置にまで搬送される距離である。これにより、搬送トレイＴ２は、上述の位置にまで搬送された後、該位置にて停止される（ステップＳ２１１）（図１０（ｃ）参照）。
【０１３４】
エンコーダ６１Ｅがモータ制御部６０に対して出力する回転位置の上記位置指令に対する偏差が所定値以下になると、モータ制御部６０は、上記駆動指令に応じた搬送ローラモータ６１Ｍの駆動が完了したことを示す完了信号を生成し、該完了信号を主制御部５０に出力する。これにより、主制御部５０は、搬送トレイＴ２の逆搬送処理を一旦終了する。
【０１３５】
なお、以上では、第１イオン源２１Ｌが、往路Ｒ１上の搬送トレイＴ２に対して下側イオンビームＢＬを照射している途中で、該下側イオンビームＢＬの出力が停止した場合について説明した。しかしながら、こうした逆搬送処理は、往路Ｒ１上の搬送トレイＴ２に対する上側イオンビームＢＵの照射、復路Ｒ２上の搬送トレイＴ１に対する上側イオンビームＢＵの照射、及び復路Ｒ２上の搬送トレイＴ１に対する下側イオンビームＢＬの照射がその途中で停止した場合にも行われる。この場合、搬送トレイＴに対してイオンビームの照射を行うイオン源２１Ｌ，２１Ｕ、撮像されるバーコード群Ｃ１，Ｃ２、バーコードを撮像するバーコード読み取り部２３Ｂ〜２３Ｄ、あるいは搬送トレイＴの搬送路等が異なるものの、上述と同様の手順にて逆搬送処理が行われる。また、２枚の搬送トレイＴ１，Ｔ２に対するイオンビーム照射が、いずれも異常停止した場合には、各搬送トレイＴ１，Ｔ２に対する逆搬送処理が同時に行われる。
【０１３６】
このように、イオンビームの照射位置が、基板Ｓ上にて相対移動中に停止したとき、その撮像周期で検出された撮像位置に対する搬送トレイＴの位置が停止位置として記憶される。そして、イオンビームが照射されない領域にまで搬送トレイＴが搬送された後に、イオンビームの照射が再び開始される。その後、先にイオンビームの照射を行ったときとは逆方向への搬送トレイＴ及び基板Ｓの搬送が開始され、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置が上記停止位置に到達したところで、イオンビームの照射が停止される。
【０１３７】
このような逆搬送処理によれば、イオンビームの照射が行われなかった領域に対して、イオンビームの照射を行うことができる。しかも、出力停止後のイオンビームの照射はイオンビームプロファイルが確認された後、逆方向の搬送によって行われることから、順方向の搬送によって行われる場合よりも、イオンビームが所定の出力に維持された状態で、基板Ｓへのイオンビームの照射が行われる。これにより、イオンビームの照射が途中で停止したとしても、基板Ｓの面内におけるイオンビームの照射量のばらつきを抑えつつ、基板Ｓの搬送方向における全体にイオンビームの照射を行うことができる。
【０１３８】
［ビームプロファイル異常時］
なお、上記イオンビーム照射処理において、イオンビームが出力指令に応じた所定のプロファイルで出力されていないときには（ステップＳ１０２：ＮＯ）、イオンビーム制御部７０は、主制御部５０から入力された駆動指令と第１出力センサ７１Ｓからの計測データとに基づいて出力指令を再び生成し、該出力指令を駆動回路６１Ｄに出力する。駆動回路６１Ｄが、出力指令に基づく駆動電流を生成して、該駆動電流を第１イオン源２１Ｌに出力し、そして、第１イオン源２１Ｌがイオンビームを出力する。こうして、変更された駆動電流に基づきイオンビームの照射が開始されると、第１プロファイル計測部２２Ｌは、該変更後のイオンビームの計測データをイオンビーム制御部７０に出力する。
【０１３９】
イオンビーム制御部７０は、駆動電流を変更する前後の計測データを比較し、計測データが予め設定された所定の値だけ変更されていれば、イオンビームのプロファイルが調整可能であるとして（ステップＳ１２１：ＹＥＳ）、再び、イオンビームの出力プロファイルと、駆動指令に応じた所定のプロファイルとを比較する（ステップＳ１０２）。なお、イオンビームのプロファイルが調整できない場合には（ステップＳ１２１：ＮＯ）、イオンビーム制御部７０は、プロファイルの調整ができないことを示すエラー信号を生成し、該エラー信号を主制御部５０に出力する（ステップＳ１２２）。そして、主制御部５０は、イオンビーム照射処理を一旦終了する。
【０１４０】
また、第１イオン源２１Ｌの出力調整が完了したとしても（ステップＳ１０２：ＹＥＳ）、第２イオン源２１Ｕの出力調整が、所定時間内に完了しなければ（ステップＳ１０３：ＮＯ、ステップＳ１３１：ＹＥＳ）、主制御部５０は、イオンビーム照射処理を一旦終了する。
【０１４１】
上記逆搬送処理においても、上記イオンビーム照射処理と同様、イオンビームが出力指令に応じた所定のプロファイルで出力されていないときには（ステップＳ２０４：ＮＯ）、イオンビーム制御部７０は、主制御部５０から入力された駆動指令と第１出力センサ７１Ｓからの計測データとに基づいて出力指令を再び生成して該出力指令を駆動回路６１Ｄに出力する。駆動回路６１Ｄは、こうして変更された出力指令に基づく駆動電流を生成して第１イオン源２１Ｌに出力し、第１イオン源２１Ｌは、この駆動電流に応じた出力を行う。これにより、イオンビームのプロファイルが調整可能であれば（ステップＳ２２１：ＹＥＳ）、イオンビームのプロファイルが所定のプロファイルとなるまで継続される。これに対し、イオンビームの調整ができない場合には、イオンビーム制御部７０は、プロファイルの調整ができないことを示すエラー信号を生成し、該エラー信号を主制御部５０に出力する（ステップＳ２２２）。エラー信号が入力されると、主制御部５０は、逆搬送処理を一旦終了する。
【０１４２】
以上説明したように、上記実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。
【０１４３】
（１）搬送トレイＴにおける部位を示す複数のバーコードＣ１ａの各々を撮像することで撮像位置に対する搬送トレイＴの位置が検出される。この際、バーコードＣ１ａが撮像される撮像位置とイオンビームが照射される照射位置との相対関係は、搬送トレイＴが搬送される期間も所定の関係に維持され続けることになる。そのため、搬送トレイＴにおけるバーコードＣ１ａがバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄにより検出されるたびに、搬送トレイＴに対する照射位置の相対位置を検出することが可能になる。そして、搬送トレイを搬送する搬送部の駆動量等から搬送トレイの位置を検出する態様と比べて、搬送トレイＴに対する照射位置を直接的に検出することが可能となる。その結果、搬送トレイＴを搬送する搬送部を構成する搬送ローラ４１と搬送トレイＴとにずれが生じる場合であっても、こうしたずれにより検出位置の誤差が生じることを抑えられる。ひいては、搬送トレイＴに保持された基板Ｓにおける照射位置の検出精度を高めることができる。
【０１４４】
（２）バーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄの検出結果と出力センサ７１Ｓ，７２Ｓの検出結果とが互いに対応付けられて記憶部７０ａに記憶されるため、所望の出力でイオンビームが照射された基板Ｓの部位を記憶部７０ａに記憶された情報から把握することが可能となる。言い換えれば、所望の出力以外の出力でイオンビームが照射された基板Ｓの部位、あるいはイオンビームが照射されなかった基板Ｓの部位を把握することが可能となる。そのため、イオンビームの照射不足となる基板Ｓの部位に対し、照射不足を補うためのさらなる照射処理を高い精度のもとで行うことが可能にもなる。
【０１４５】
（３）基板Ｓにおける照射位置のうち、出力停止となった位置を把握することが可能となる。そのため、イオンビームが出力停止となった位置についても検出精度を高めることができ、ひいては、イオンビームが照射されていない基板Ｓの部位に対し、再度の照射処理を高い精度のもとで行うことが可能にもなる。
【０１４６】
（４）イオンビームの出力停止が検出されたとき、そのときの撮像位置に対する搬送トレイＴの位置が、出力停止に対応付けられた停止位置として記憶部７０ａに記憶される。そして、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置が停止位置と終了位置との間にあるときに再びイオンビームが出力される。そのため、イオンビームの照射が行われていない部位に対し、高い位置精度のもとで、再びイオンビームの照射を行うことが可能となる。
【０１４７】
（５）イオンビームの出力停止が検出されたとき、そのときの撮像位置に対する搬送トレイＴの位置が、出力停止に対応付けられた停止位置として記憶部７０ａに記憶される。そして、搬送トレイＴが非照射位置にまで搬送された後に、イオンビームの照射が再び開始され、その後、先にイオンビームの照射が行われたときとは逆方向への搬送トレイＴの搬送を開始し、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置が停止位置に到達したところで、イオンビームの照射が停止される。そのため、基板Ｓにおけるイオンビームの照射が行われていない部位に対して、高い位置精度のもとで、再びイオンビームの照射を行うことが可能となる。
【０１４８】
（６）出力停止が発生した後のイオンビームの照射は、逆方向へ搬送トレイＴが搬送されることによって行われる。そのため、停止位置から順方向へ搬送トレイが搬送される態様と比べて、イオンビームの出力が設定値に維持された状態で、基板Ｓへのイオンビームの照射が行われる。これにより、イオンビームの出力が照射の途中で停止したとしても、基板面内におけるイオンビームの照射量のばらつきを抑えつつ、基板Ｓの搬送方向における全体にイオンビームの照射を行うことができる。
【０１４９】
（７）搬送トレイＴに複数のバーコードＣ１ａが配列され、しかも、該複数のバーコードＣ１ａは、搬送トレイＴの順方向における前端から後端の全体にわたり配列されている。このような態様であれば、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置を搬送トレイＴの前端から後端にわたって得ることができるため、搬送トレイＴにおける順方向のいずれの位置であっても、搬送トレイＴの位置の検出精度をより高めることができる。
【０１５０】
（８）搬送トレイＴに対してイオン源２１Ｌ，２１Ｕとは反対側にバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄが配置されているため、こうしたバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄに撮像されるバーコード群Ｃ１，Ｃ２も、自ずと搬送トレイＴに対してバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄと同じ側に配置されることになる。このような態様によれば、搬送トレイＴにおけるイオンビームが照射されない側にバーコード群Ｃ１，Ｃ２が配置されることから、イオンビームの熱等によってバーコード群Ｃ１，Ｃ２の外観が劣化することを抑えることが可能にもなる。それゆえに、バーコード群Ｃ１，Ｃ２の外観が劣化することによって、イオンビームの照射位置の検出精度が低下することを抑えられる。
【０１５１】
（９）搬送トレイＴに対してイオン源２１Ｌ，２１Ｕとは向かい合わない位置にバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄが配置されているため、イオンビームの熱等によってバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄの撮像機構が熱的に劣化することを抑えることが可能にもなる。それゆえに、バーコード群Ｃ１，Ｃ２の外観が劣化することによって、イオンビームの照射位置の検出精度が低下することを抑えられる。
【０１５２】
（１０）基板Ｓにおける照射部位が、下部領域ＳＬと上部領域ＳＵとからなり、且つ、下部領域ＳＬと上部領域ＳＵとには、互いに異なるイオン源２１Ｌ，２１Ｕからイオンビームの照射が行われる。そのため、基板Ｓに対するイオンビームの照射を複数のイオン源２１Ｌ，２１Ｕによって行うことから、単一のイオン源を用いて行うよりも、基板Ｓに対するイオンビームの照射をより多用な態様にて行うことができる。それゆえに、イオンビームが、所望とする照射量で基板面内に照射されやすくなる。また、イオンビームの照射領域が重複する構成と比較して、各イオン源２１Ｌ，２１Ｕにおけるイオンビームの照射態様を各別に設定することができる分、各イオン源２１Ｌ，２１Ｕでのイオンビームの照射態様がより簡易なものとなり、イオンビーム照射工程のスループットも向上できる。
【０１５３】
（１１）搬送トレイＴは、搬送トレイＴにおける上部領域ＳＵ側に設けられた上部バーコード群Ｃ１と、搬送トレイＴにおける下部領域ＳＬ側に設けられた下部バーコード群Ｃ２とを有している。また、上部領域ＳＵにイオンビームが照射されているときにバーコードの撮像を行う第２バーコード読み取り部２３Ｂ及び第３バーコード読み取り部２３Ｃは、下部バーコード群Ｃ２を読み取る一方、下部領域ＳＬにイオンビームが照射されているときにバーコードの撮像を行う第１バーコード読み取り部２３Ａ及び第４バーコード読み取り部２３Ｄは、上部バーコード群Ｃ１を読み取る。そのため、イオン源２１Ｌ，２１Ｕから出力されたイオンビームが、基板Ｓに到達する前にバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄによって妨げられること、つまり、イオン源２１Ｌ，２１Ｕから出力されたイオンビームがバーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄに照射されること、これらを抑えることが可能となる。それゆえに、基板Ｓに対するイオンビームの照射を妨げることなく、イオンビームの照射位置の検出精度を高めることができる。
【０１５４】
なお、上記実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
【０１５５】
イオンビーム照射装置１０は、上記逆搬送処理を行わない構成であってもよい。例えば、イオンビーム照射装置１０は、搬送トレイＴを順方向に搬送しつつ、イオンビームの照射が行われなかった部位にのみ再び照射を行うために、搬送トレイＴの搬送を行うようにしてもよい。あるいは、イオンビームが照射されなかった部位に対する照射の態様は、その照射が他のイオンビーム照射装置で行われる態様でもよい。この際、停止位置に関するデータが２つのイオンビーム照射装置の間で移動可能な構成が好ましい。
【０１５６】
バーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄは、イオンビーム制御部７０以外の制御部、例えば主制御部５０に接続されるようにしてもよい。
【０１５７】
第１バーコード読み取り部２３Ａ及び第４バーコード読み取り部２３Ｄと、第２バーコード読み取り部２３Ｂ及び第３バーコード読み取り部２３Ｃとのいずれか一方が割愛されるとともに、バーコード群Ｃ１，Ｃ２が、バーコード読み取り部の配置に合わせて上部フレーム３１ｂ、下部フレーム３１ｃのいずれか一方に設けられている構成であってもよい。
【０１５８】
バーコード群Ｃ１，Ｃ２は、搬送トレイＴにおける逆方向の前端に、０ｍｍを示すバーコードが貼り付けられ、他方、同搬送トレイＴにおける逆方向の後端に、２７００ｍｍを示すバーコードが貼り付けられているようにしてもよい。
【０１５９】
バーコード群Ｃ１，Ｃ２は、搬送トレイＴに貼り付けられるテープでなく、搬送トレイＴに対して直接刻まれていてもよい。
【０１６０】
図１１を参照して、上記搬送トレイＴに貼り付けられたバーコード群Ｃ１，Ｃ２の変形例を説明する。なお、上述と同様の理由から、以下では、上部バーコード群Ｃ１の一部を用いて説明する。また、図１１には、上部バーコード群Ｃ１を第１バーコード読み取り部２３Ａ側から見た構成が示されている。
【０１６１】
図１１に示されるように、上部バーコード群Ｃ１は、複数のバーコードＣ１ａを有し、各バーコードＣ１ａを構成する複数のバーの各々は、搬送方向と平行な方向に沿って印字されている。これに対し、上記実施形態では、図３（ａ）に示されるように、各バーコードＣ１ａを構成する複数のバーは、搬送方向と直交する方向に沿って印字されている。数値部Ｃ１ｂは、搬送方向にて対応するバーコードＣ１ａの右側に印字されている。なお、数値部Ｃ１ｂは、搬送方向にて対応するバーコードＣ１ａの左側に印字されていてもよいし、対応するバーコードＣ１ａの上方や下方に印字されていてもよい。各バーコードＣ１ａの周囲は、上記実施形態のバーコードＣ１ａと同様、ブランク部Ｃ１ｃによって取り囲まれている。
【０１６２】
こうした上部バーコード群Ｃ１を読み取る第１バーコード読み取り部２３Ａ、及び、第４バーコード読み取り部２３Ｄは、上部バーコード群Ｃ１を所定の周期で撮像する撮像部を有する。各バーコード読み取り部２３Ａ，２３Ｄは、撮像部によって得られた上部バーコード群Ｃ１の画像から、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置を検出する。撮像部は、所定の撮像範囲に収められた画像を取得し、撮像範囲における搬送方向と直交する方向に沿った幅は、各バーコードＣ１ａを構成する全てのバーと、ブランク部Ｃ１ｃにおけるバーコードＣ１ａの上方の一部及び下方の一部とを含む大きさに設定されている。
【０１６３】
撮像部によって得られた画像が、図１１に示される「０００１８３」、すなわち、上部フレーム３１ｂの一端から１８３ｍｍの位置であることを示すバーコードＣ１ａを含むとき、各バーコード読み取り部２３Ａ，２３Ｄは、該画像を例えば下側から順に２値データに変換する。各バーコード読み取り部２３Ａ，２３Ｄは、こうした２値データをデコードして、上部フレーム３１ｂの順方向の前端から撮像位置までの長さ、すなわち、撮像位置に対する搬送トレイＴの位置を上述した所定の周期で検出する。
【０１６４】
図１１のようにバーコード群Ｃ１を配列することにより、図３（ａ）のように配列した場合に比べ、より高い分解能で搬送トレイＴの搬送位置を検出することが可能となる。即ち、図１１の構成では、搬送方向と平行にバーコードＣ１ａが横向きに配置されるため、図３（ａ）の構成に比べて、より多くのバーコード群Ｃ１を同一領域（上部フレーム又は下部フレーム）内に配列可能となる。これにより、各バーコードＣ１ａの読み取り区間を搬送方向に短くして、各バーコードＣ１ａを用いた搬送位置の検出分解能を高めることができる。従って、搬送トレイＴの位置検出精度を向上させることができる。
【０１６５】
イオン源２１Ｌ，２１Ｕの照射位置は、基板Ｓの高さ方向の全体にわたる位置であってもよく、あるいは基板Ｓの高さ方向において３つ以上に分割された位置であってもよい。要は、イオンビームの照射位置が、基板Ｓにおける搬送方向と交差する方向の全体と重なればよい。
【０１６６】
基板Ｓに対するイオンビームの照射は同一領域に対して３回以上行うようにしてもよい。あるいは、基板Ｓに対するイオンビームの照射は、同一領域に対して１回だけ行うようにしてもよい。
【０１６７】
搬送トレイＴは、処理チャンバ１４の底壁に対して直交するように立たせられた状態で搬送されるようにしてもよい。
【０１６８】
バーコード読み取り部２３Ａ〜２３Ｄは、イオン源２１Ｌ，２１Ｕと同じ側に配置されてもよく、このような構成では、搬送トレイＴの有するバーコード群Ｃ１，Ｃ２が、トレイフレーム３１におけるイオンビームが照射される側の面に設けられていればよい。
【０１６９】
搬送トレイＴが有する指標は、バーコードに限らず、２次元コードや上述した数値部のみであってもよく、要は、搬送トレイにおける部位を示し、搬送方向に配列された互いに異なる指標であればよい。
【０１７０】
位置検出部は、イオンビーム照射部の照射位置と向かい合う位置に配置されてもよい。この際、照射位置に照射されたイオンビームが位置検出部に照射されないように、別途イオンビームを遮蔽する遮蔽部材を有する構成が好ましい。
【０１７１】
イオンビームの出力を検出する出力検出部である出力センサ７１Ｓ，７２Ｓは、イオンビームの出力値としてのフィラメントの電流値が所定の設定値未満であることを検出結果として出力するセンサに限らず、イオンビームの出力値を検出結果として出力するセンサであってもよい。この際、イオンビームの出力が所定の設定値未満であるか否かを別途イオンビーム制御部が判断する構成が好ましい。また、イオンビームの出力を検出する出力検出部が、イオンビームの出力値を検出結果として出力する場合には、位置検出部の検出結果と出力検出部の検出結果とが、所定の周期ごとに対応付けられて記憶される構成であってもよい。このような構成であれば、基板Ｓの全体にわたり、各部位の照射量を把握することが可能にもなる。なお、イオンビーム照射装置は、こうした出力検出部が割愛される構成であってもよい。
【０１７２】
出力検出部がイオンビームの出力値を検出する検出周期と、位置検出部が搬送トレイの位置を検出する検出周期とが互いに異なる周期であってもよい。要は、位置検出部の検出結果と、該検出結果が検出された際における最新の出力検出部の検出結果とが対応付けられて記憶される構成であればよい。
【０１７３】
上記実施形態では、イオンビームの出力が異常停止したときに、逆方向に搬送されている基板Ｓに対して、上記停止位置までイオンビームの照射を行うようにした。これに限らず、イオンビームの出力が低下したときに、イオンビームの照射を以下の態様にて行うようにしてもよい。
【０１７４】
すなわち、例えば、上記第１出力センサ及び第２出力センサを、イオン源２１Ｌ，２１Ｕから出力されたイオンビームの時間的及び空間的なプロファイルを検出するセンサとする。そして、各出力センサは、検出されたプロファイルが所定の閾値未満である場合、イオンビームの出力が低下した旨を示す出力低下信号を生成するとともに、該出力低下信号をイオンビーム制御部７０に出力する。また、出力センサは、出力低下信号の生成時から、順方向での搬送トレイＴの搬送が終了するまで所定期間毎にイオンビームのプロファイルを検出し、該検出したプロファイルをイオンビーム制御部７０に出力する。
【０１７５】
他方、イオンビーム制御部７０は、出力センサからの出力低下信号の入力に応じて、出力低下信号が入力された撮像周期における位置データをイオンビームの出力が低下した低下位置として記憶する。また、イオンビーム制御部７０は、出力センサから入力されたプロファイルと、各プロファイルが入力された撮像周期における位置データとを対応付けて記憶する。
【０１７６】
そして、イオンビーム制御部７０は、逆方向に搬送されている基板Ｓに対してイオンビームを照射するときには、主制御部５０から入力された駆動指令と、記憶されたプロファイル及び位置データとに基づいて出力指令を駆動回路７１Ｄ，７１Ｄに出力する。
【０１７７】
駆動回路７１Ｄ，７２Ｄは、イオンビーム制御部７０から入力された出力指令に基づいて、イオン源２１Ｌ，２１Ｕの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をイオン源２１Ｌ，２１Ｕに出力する。これにより、イオン源２１Ｌ，２１Ｕが入力された駆動電流に応じたイオンビームの出力を行うことで、上記記憶されたプロファイル及び位置データにより補正されたイオンビームが出力されることになる。そして、こうしたイオンビームの照射は、上記撮像位置に対する搬送トレイＴの位置が上記出力低下位置に到達したところで停止される。
【０１７８】
これにより、イオンビームの照射が搬送の途中で低下したとしても、基板Ｓの面内におけるイオンビームの照射量のばらつきがより抑えられるようになる。なお、イオンビーム照射装置１０の電気的構成は、上記構成に限らず、要は、イオンビームのプロファイルにおける変動と、該変動が生じた搬送トレイの位置とに基づいて逆搬送時のイオンビームの出力を補正する構成であれば同様の効果を得ることができる。
【０１７９】
図３（ａ）の実施形態や図１１の変形例では、搬送トレイＴの位置を検出する指標としてバーコードＣ１ａを用いたが、バーコードに代えて他の指標を用いてもよい。例えばＱＲコード（登録商標）等の２次元コードを指標として用いてもよい。２次元コードを用いた場合、搬送トレイＴの位置を示す位置情報だけでなく、基板Ｓの製造番号等の他の情報を２次元コードに含めることができるため、指標から多くの情報を取得することができる。
【図１】
2013122088.tif 000003
【図２】
2013122088.tif 000004
【図３】
2013122088.tif 000005
【図４】
2013122088.tif 000006
【図５】
2013122088.tif 000007
【図６】
2013122088.tif 000008
【図７】
2013122088.tif 000009
【図８】
2013122088.tif 000010
【図９】
2013122088.tif 000011
【図１０】
2013122088.tif 000012
【図１１】
2013122088.tif 000013
【国際調査報告】
2013122088.tif 000014
2013122088.tif 000015