(57)【要約】  本発明は、ホールセンサのオフセット電圧のチョッパー変調周波数を速くすることで、積分部におけるホールセンサのオフセット電圧の積分部の増幅度を抑制し、積分部における動作電圧範囲を大幅に抑制する磁気検出装置に関する。第１及び第２のスイッチ部（１３，１４）は、第１期間において、ホール起電力の極性は第１の極性で、ホールオフセット電圧の極性が４回交番し、第２期間において、ホール起電力の極性が第１期間の極性とは逆の極性の第２の極性で、ホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、ホールセンサ（１１）の４つの端子のうちの対向する２つの端子に対してバイアス生成部（１２）からの電流の向きを切り換え、かつ、この電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるものである。
2013168353.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気を検出するホールセンサと、
該ホールセンサを駆動するバイアス生成部と、
前記ホールセンサに接続され、第１期間において、前記ホールセンサのホール起電力の極性は第１の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番し、第２期間において、前記ホールセンサのホール起電力の極性が前記第１の極性とは逆の極性の第２の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して前記バイアス生成部からの電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるスイッチ部と、
該スイッチ部による切り換えにより取り出された電圧を増幅する増幅部と、
前記スイッチ部による電流及び電圧の切り換えのうち、前記第１期間と前記第２期間の切り換えに同期して、前記増幅部からの電圧の極性を反転させる反転部と、
を備えていることを特徴とする磁気検出装置。
【請求項２】
前記スイッチ部は、
前記第１期間において、
前記ホールセンサの第１の端子から該第１の端子に対向する第２の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第１及び第２の端子とを接続し、かつ、前記ホールセンサの第３の端子及び該第３の端子に対向する第４の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第１の切り換えと、
前記第３の端子から前記第４の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第３及び第４の端子とを接続し、かつ、前記第２及び第１の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第２の切り換えと、
前記第２の端子から前記第１の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第２及び第１の端子とを接続し、かつ、前記第４及び第３の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第３の切り換えと、
前記第４の端子から前記第３の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第４及び第３の端子とを接続し、かつ、前記第１及び第２の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第４の切り換えと、
前記第２期間において、
前記第１の端子から前記第２の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第１及び第２の端子とを接続し、かつ、前記第４及び第３の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第５の切り換えと、
前記第３の端子から前記第４の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第３及び第４の端子とを接続し、かつ、前記第１及び第２の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第６の切り換えと、
前記第２の端子から前記第１の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第２及び第１の端子とを接続し、かつ、前記第３及び第４の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第７の切り換えと、
前記第４の端子から前記第３の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第４及び第３の端子とを接続し、かつ、前記第２及び第１の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第８の切り換えと
を行うことを特徴とする請求項１に記載の磁気検出装置。
【請求項３】
前記スイッチ部は、前記第１の期間のおける切り換えをｎ回（ｎは２以上の整数）繰り返し行い、前記第２の期間における切り換えをｎ回繰り返し行い、
前記反転部は、前記増幅部からの電圧の極性を、前記第１期間と前記第２期間の切り換えに同期して反転させることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気検出装置。
【請求項４】
磁気を検出するホールセンサと、
該ホールセンサを駆動するバイアス生成部と、
前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して前記バイアス生成部からの電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるスイッチ部と、
該スイッチ部による切り換えにより取り出された電圧を増幅する増幅部と、
該増幅部からの電圧の極性を反転させる反転部とを備え、
前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性を交番するときの動作周波数が、前記ホールセンサのホール起電力の極性を交番するときの動作周波数よりも２ｎ倍（ｎは１以上の整数）であることを特徴とする磁気検出装置。
【請求項５】
磁気を検出するホールセンサと、該ホールセンサを駆動するバイアス生成部とを備えた磁気検出装置における磁気検出方法において、
前記ホールセンサに接続されたスイッチ部により、第１期間において、ホールセンサのホール起電力の極性は第１の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるステップと、
前記ホールセンサに接続されたスイッチ部により、第２期間において、前記ホールセンサのホール起電力の極性が前記第１の極性とは逆の極性の第２の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるステップと、
前記スイッチ部による切り換えにより取り出された電圧を増幅部により増幅するステップと、
前記スイッチ部による前記電流及び電圧の切り換えのうち、前記第１期間と前記第２期間の切り換えに同期して、前記増幅された電圧の極性を反転部により反転させるステップと
を有することを特徴とする磁気検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気検出装置及び磁気検出方法に関し、より詳細には、ホールセンサのオフセット電圧のチョッパー変調周波数を速くすることで、積分部におけるホールセンサのオフセット電圧の積分部の増幅度を抑制し、積分部における動作電圧範囲を大幅に抑制することができるようにした磁気検出装置及び磁気検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ホール素子を使った磁気センサには、磁石の位置情報の検出を行うセンサとして近接センサ、リニア位置センサ、回転角度センサなどに用いられているだけでなく、電流導体を流れる電流によって誘起される磁界を検出することによって、電流導体を流れる電流量を非接触で測定する電流センサとしても広く利用されている。
また、ホール素子は、入力された磁界の強度に応じたホール起電力信号を発生する磁電変換機能を有するため、磁気センサとして広く用いられている。しかしながら、ホール素子には、磁場が零である状態、すなわち、無磁場の状態でも、零でない有限の電圧が出力されてしまうというオフセット電圧（不平衡電圧）が存在する。【０００３】
そこで、ホール素子を利用した磁気センサにおいては、ホール素子が持つオフセット電圧をキャンセルする目的で、スピニングカレント（Ｓｐｉｎｎｉｎｇ  ｃｕｒｒｅｎｔ）法又はＣｏｎｎｅｃｔｉｏｎ  ｃｏｍｍｕｔａｔｉｏｎ法といった名称で一般的に知られているホール素子の駆動方法が存在する。この方法とは、ホール素子に駆動電流を流すための端子対の位置と、ホール起電力信号を検出するための端子対の位置との間で、チョッパークロックと呼ばれるクロックにしたがって周期的に入れ替える操作を行うものである。【０００４】
このオフセット電圧のキャンセルを目的としたＳｐｉｎｎｉｎｇ  ｃｕｒｒｅｎｔ法は、ＣＭＯＳ半導体回路においてもスイッチ回路を用いて構成できるものであるため、高精度な磁気センサを実現するためのホール起電力検出回路は、一般的に、Ｓｐｉｎｎｉｎｇ  ｃｕｒｒｅｎｔ法を実現するためのスイッチ回路を備えたものとなる。
ホールセンサを採用した磁気検出装置においては、ホール素子がオフセット電圧を有することから、このオフセット電圧を除去することが行われており、その一例としては、非特許文献１に記載のｓｐｉｎｎｉｎｇ  ｃｕｒｒｅｎｔ  ｐｒｉｎｃｉｐｌｅが知られている。【０００５】
しかしながら、この磁気検出装置においては、スイッチの切り換えにより差動増幅器の入力電圧の極性が異なったときの差動増幅器のセトリング時間が有限であって、入力電圧の立ち上がり時におけるセトリング時間と、立ち下がり時におけるセトリング時間が異なっており、これにより、差動増幅器の出力電圧とスイッチの出力電圧の電圧波形にその影響が現れることになる。このようにスイッチの出力電圧の電圧波形が異なるので、スイッチの出力電圧を積分器により積分しても、ホール素子のオフセット電圧と、差動増幅器の固有のオフセット電圧とを除去することができないという問題があった。【０００６】
そこで、この種の問題点を解決するために、例えば、特許文献１には、ホール素子のオフセット電圧と、ホール素子の出力を増幅する増幅器に固有のオフセット電圧とを除去することができる磁気検出装置が提供されている。この特許文献１に記載のものは、切換制御部によりスイッチを制御して、４端子ホール素子に固有のホールオフセット電圧の極性が１サイクルに４回交番するように、４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して電流の向きを切り換え、差動増幅器により、この電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子から電圧を増幅し、スイッチによる電流の向きの切り換えのうち、直前の電流の向きに対して逆の向きになる切り換えがあったとき、これに同期して、切換制御部によりスイッチを制御して、差動増幅器からの電圧の極性を反転させ、かつこの直後の電流の向きの切り換えに同期して、切換制御部によりスイッチを制御して、差動増幅器からの電圧の極性を反転させるものである。【０００７】
また、例えば、特許文献２に記載のものは、ホール素子やそこからの信号を受けて増幅する増幅器などが受ける外乱ノイズを排除しながらも、高速応答性を有することが可能な磁気検出装置に関するものである。
さらに、例えば、特許文献３に記載のものは、磁気検出センサのオフセット電圧とアナログ回路のアナログ素子のオフセット電圧とを高精度に除去し、磁気検出センサの磁気を高精度に検出することのできる磁気検出装置に関するものである。【０００８】
図１は、従来の磁気検出装置を説明するための回路構成図である。図中符号１はホールセンサ、２はバイアス電流生成回路、３は第１のスイッチ回路、４は第２のスイッチ回路、５は差動増幅器、６は第３のスイッチ回路、７は積分器、８はスイッチ制御回路を示している。【０００９】
図１に示す従来の磁気検出装置は、磁気を検出するホールセンサ１と、ホールセンサ１を駆動するバイアス電流生成回路２と、ホールセンサ１に与えるバイアス電流の向きを切り替える第１のスイッチ回路３と、ホールセンサ１で検出された磁気に対応する差動電圧の向きを切り替える第２のスイッチ回路４と、この第２のスイッチ回路４の出力差動電圧Ｖ１を増幅する差動増幅器５と、この差動増幅器５の出力差動電圧の極性を切り替える第３のスイッチ回路６と、この第３のスイッチ回路６の出力差動電圧Ｖ２を積分増幅する積分器７と、第１乃至第３のスイッチ回路の切り替えタイミングを制御するスイッチ制御回路８とから構成されている。
第１のスイッチ回路３と第２のスイッチ回路４とを制御することで、ホールセンサ１の４端子のうち対向する２端子の間にバイアス電流を供給し、４端子のうち残りの対向する２端子を差動増幅器５に接続する。【００１０】
図２（ａ）乃至（ｄ）は、図１に示したスイッチ回路による各チョッパー位相におけるホールセンサの接続状態を示す図である。図２（ａ）乃至（ｄ）に示すように、０°→９０°→１８０°→２７０°の４つの位相順に周期的に切り替えて接続する。これによってバイアス電流と検出磁場の向き及び強度に対応したホール起電力Ｖ１Ｈと、ホールセンサ１の固有のオフセット電圧Ｖ１Ｏが加算されたホールセンサ１の出力差動電圧Ｖ１は、式（１）乃至（４）で表される。
ここで、ホールセンサ１の出力差動電圧Ｖ１は、Ｖｈｐ−Ｖｈｎで定義されるものとする。【００１１】
【数１】
2013168353.tif 000003
【００１２】
差動増幅器５において、一定の倍率Ａで、第２のスイッチ回路４の出力差動電圧Ｖ１と差動増幅器５の固有のオフセット電圧Ｖ２Ｏを増幅する。第３のスイッチ回路６を制御することで差動増幅器５の出力差動電圧極性を周期的に切り替えて積分器７に供給する。第３のスイッチ回路６の出力差動電圧Ｖ２は、式（５）乃至（８）で表される。【００１３】
【数２】
2013168353.tif 000004
【００１４】
図３は、図１に示したスイッチ回路による各チョッパー位相における出力電圧極性を示す図である。ホール起電力Ｖ１Ｈ、ホールセンサ１のオフセット電圧Ｖ１Ｏ、差動増幅器５のオフセット電圧Ｖ２Ｏ及び第３のスイッチ回路６で復調されたホール起電力Ｖ１Ｈ’、ホールセンサ１のオフセット電圧Ｖ１Ｏ’、差動増幅器５のオフセット電圧Ｖ２Ｏ’の極性は、図３のようになる。０°〜２７０°のチョッパー動作をｎ回繰り返す間、積分器７にて第３のスイッチ回路６の出力差動電圧Ｖ２を積分増幅する。
図４は、図１における積分器の出力波形を示す図である。積分器７の出力Ｖ３は、式（９）で表され、図４に示すような電圧波形となる。【００１５】
【数３】
2013168353.tif 000005
【００１６】
ここで、Ｖ１Ｈ＿ＩＮＴは、積分器７の出力Ｖ３におけるＶ１Ｈ成分の積分増幅波形、Ｖ１Ｏ＿ＩＮＴは、積分器７の出力Ｖ３におけるＶ１Ｏ成分の積分増幅波形、Ｖ２Ｏ＿ＩＮＴは、積分器７の出力Ｖ３におけるＶ２Ｏ成分の積分増幅波形である。
第１のスイッチ回路３乃至第３のスイッチ回路６によりチョッパー変調することで、０°〜２７０°のチョッパー動作１回ごとにホールセンサ１のオフセット電圧Ｖ１Ｏ及び差動増幅器５のオフセット電圧Ｖ２Ｏをキャンセルアウトし、ホール起電力Ｖ１Ｈのみを積分増幅することが可能となる。【００１７】
図５は、ホールセンサのノイズに対するチョッパー変調伝達関数の周波数特性を示す図である。第１のスイッチ回路３乃至第３のスイッチ回路６によりチョッパー変調することで、ホールセンサ１及び差動増幅器５の素子ノイズをチョッパー変調周波数ＦＣＨＰ（＝１／Ｔ）の奇数倍の周波数帯近傍に高域変調することができ、後段の積分器７の特性によりノイズを抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開２００５−２８３５０３号公報
【特許文献２】特開２００８−２８６６９５号公報
【特許文献３】特開２０１１−１３７７１６号公報
【非特許文献】
【００１９】
【非特許文献１】A.Bakker, A.A.Bellekom, S.Middelhoekand, J.H.Huijsing “Low - Offset Low - Noise 3.5mW CMOS Spinning - Current Hall Effect Sensor With Integrated Chopper Amplifier” The 13th European Conference on Solid - State Transducers September 12 - 15, 1999, The Hague, The Netherlands, pp.1045 - 1048
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
しかしながら、積分器７の増幅度は、積分器７の出力電圧Ｖ３が０°〜２７０°のチョッパー動作中に動作可能電圧範囲を超えないように設定される。ここで、ホールセンサ１のオフセット電圧Ｖ１Ｏが、ホール起電力Ｖ１Ｈよりも十分に大きい場合、積分器７の増幅度は、ホールセンサ１のオフセット電圧Ｖ１Ｏにより制限され、ホール起電力Ｖ１Ｈを十分に増幅できない。ここで、チョッパー変調周波数を２ＦＣＨＰ（＝２／Ｔ）とし、チョッパー動作を２ｎ回とする。これによりチョッパー１位相あたりのホールセンサ１のオフセット電圧Ｖ１Ｏの積分器７の増幅度が半分となるため、積分器７の増幅度と積分時間を維持したまま、積分器７における動作電圧範囲を大幅に抑制することができる。【００２１】
しかしながら、ホールセンサ１及び差動増幅器５のノイズ抑制や、積分器７にスイッチトキャパシタフィルタなどのサンプル・ホールド回路を用いていた場合に対するサンプリング周波数の折り返しノイズ防止を目的として、差動増幅器５の出力帯域を低域に制限した場合、チョッパー変調周波数を２ＦＣＨＰとしたことでホール起電力Ｖ１Ｈのチョッパー変調周波数も２倍となるため、差動増幅器５において帯域不足によるセトリングエラーが生じる。これにより、第３のスイッチ回路６での復調時にホール起電力Ｖ１Ｈの信号損失が大きくなり、系全体のホール起電力信号Ｖ１Ｈの増幅度が低下するためＳ／Ｎ劣化を招くという問題がある。また、差動増幅器５の出力帯域が温度に強く依存する場合、結果的に積分器７の出力電圧Ｖ３の温度変動度も増大するという問題がある。【００２２】
また、上述した特許文献１に記載の磁気検出装置は、差動増幅器のセトリング時間が有限であって、入力電圧の立ち上がり時におけるセトリング時間と、立ち下がり時におけるセトリング時間が異なる場合に対して、各チョッパー位相の遷移する順序を０°→９０°→２７０°→１８０°などと工夫することで、ホールセンサのオフセット電圧と、差動増幅器のオフセット電圧を高精度に除去しているものの、本発明のように、チョッパー１周期内に０°、９０°、１８０°、２７０°の位相状態と、バイアス電流方向が同じで出力端子が反転した０°’、９０°’、１８０°’、２７０°’の位相状態を周期的に組み合わせたものではなく、オフセット電圧のチョッパー変調周波数を高速化してもホール起電力の信号損失を招くことなく、積分部における動作電圧範囲を大幅に抑制するという効果は得られないものである。【００２３】
また、上述した特許文献２に記載の磁気検出装置は、チョッパー位相（０°、２７０°）などの２状態の遷移する順序をランダムに変化させ、増幅器などが受ける外乱ノイズをスペクトル拡散させることで、効果的にノイズを除去しながら、高速応答性を有することを実現しているものの、本発明のように、チョッパー１周期内に０°、９０°、１８０°、２７０°の位相状態と、バイアス電流方向が同じで出力端子が反転した０°’、９０°’、１８０°’、２７０°’の位相状態を周期的に組み合わせたものではなく、オフセット電圧のチョッパー変調周波数を高速化してもホール起電力の信号損失を招くことなく、積分部における動作電圧範囲を大幅に抑制するという効果は得られないものである。【００２４】
さらに、上述した特許文献３に記載の磁気検出装置は、０°→９０°→２７０°→１８０°の順に遷移してチョッパー変調されるホールセンサ出力に同期して、リファレンス電圧Ｖｒｅｆを加算または減算する回路を有した積分型Ａ／Ｄコンバータを使用することで、ホールセンサ及びアナログ素子のオフセット電圧を高精度に除去し、ホール起電力を高精度に検出することができるものの、本発明のように、チョッパー１周期内に０°、９０°、１８０°、２７０°の位相状態と、バイアス電流方向が同じで出力端子が反転した０°’、９０°’、１８０°’、２７０°’の位相状態を周期的に組み合わせたものではなく、オフセット電圧のチョッパー変調周波数を高速化してもホール起電力の信号損失を招くことなく、積分部における動作電圧範囲を大幅に抑制するという効果は得られないものである。【００２５】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ホールセンサのオフセット電圧のチョッパー変調周波数を速くすることで、積分部におけるホールセンサのオフセット電圧の積分部の増幅度を抑制し、積分部における動作電圧範囲を大幅に抑制することができるようにした磁気検出装置及び磁気検出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、本発明の磁気検出装置は、磁気を検出するホールセンサと、該ホールセンサを駆動するバイアス生成部と、前記ホールセンサに接続され、第１期間において、前記ホールセンサのホール起電力の極性は第１の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番し、第２期間において、前記ホールセンサのホール起電力の極性が前記第１の極性とは逆の極性の第２の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して前記バイアス生成部からの電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるスイッチ部と、該スイッチ部による切り換えにより取り出された電圧を増幅する増幅部と、前記スイッチ部による電流及び電圧の切り換えのうち、前記第１期間と前記第２期間の切り換えに同期して、前記増幅部からの電圧の極性を反転させる反転部とを備えていることを特徴とする。【００２７】
また、前記スイッチ部は、前記第１期間において、前記ホールセンサの第１の端子から該第１の端子に対向する第２の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第１及び第２の端子とを接続し、かつ、前記ホールセンサの第３の端子及び該第３の端子に対向する第４の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第１の切り換えと、前記第３の端子から前記第４の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第３及び第４の端子とを接続し、かつ、前記第２及び第１の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第２の切り換えと、前記第２の端子から前記第１の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第２及び第１の端子とを接続し、かつ、前記第４及び第３の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第３の切り換えと、前記第４の端子から前記第３の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第４及び第３の端子とを接続し、かつ、前記第１及び第２の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第４の切り換えと、前記第２期間において、前記第１の端子から前記第２の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第１及び第２の端子とを接続し、かつ、前記第４及び第３の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第５の切り換えと、前記第３の端子から前記第４の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第３及び第４の端子とを接続し、かつ、前記第１及び第２の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第６の切り換えと、前記第２の端子から前記第１の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第２及び第１の端子とを接続し、かつ、前記第３及び第４の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第７の切り換えと、前記第４の端子から前記第３の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第４及び第３の端子とを接続し、かつ、前記第２及び第１の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第８の切り換えとを行うことを特徴とする。【００２８】
また、前記スイッチ部は、前記第１の期間のおける切り換えをｎ回（ｎは２以上の整数）繰り返し行い、前記第２の期間における切り換えをｎ回繰り返し行い、前記反転部は、前記増幅部からの電圧の極性を、前記第１期間と前記第２期間の切り換えに同期して反転させることを特徴とする。【００２９】
また、磁気を検出するホールセンサと、該ホールセンサを駆動するバイアス生成部と、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して前記バイアス生成部からの電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるスイッチ部と、該スイッチ部による切り換えにより取り出された電圧を増幅する増幅部と、該増幅部からの電圧の極性を反転させる反転部とを備え、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性を交番するときの動作周波数が、前記ホールセンサのホール起電力の極性を交番するときの動作周波数よりも２ｎ倍（ｎは１以上の整数）であることを特徴とする。【００３０】
また、磁気を検出するホールセンサと、該ホールセンサを駆動するバイアス生成部とを備えた磁気検出装置における磁気検出方法において、前記ホールセンサに接続されたスイッチ部により、第１期間において、ホールセンサのホール起電力の極性は第１の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるステップと、前記ホールセンサに接続されたスイッチ部により、第２期間において、前記ホールセンサのホール起電力の極性が前記第１の極性とは逆の極性の第２の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるステップと、前記スイッチ部による切り換えにより取り出された電圧を増幅部により増幅するステップと、前記スイッチ部による前記電流及び電圧の切り換えのうち、前記第１期間と前記第２期間の切り換えに同期して、前記増幅された電圧の極性を反転部により反転させるステップとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、ホールセンサのオフセット電圧のチョッパー変調周波数を速くすることで、積分部におけるホールセンサのオフセット電圧の積分部の増幅度を抑制し、積分部における動作電圧範囲を大幅に抑制することができるような磁気検出装置及び磁気検出方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】図１は、従来の磁気検出装置を説明するための回路構成図である。
【図２】図２（ａ）乃至（ｄ）は、図１に示したスイッチ回路による各チョッパー位相におけるホールセンサの接続状態を示す図である。
【図３】図３は、図１に示したスイッチ回路による各チョッパー位相における出力電圧極性を示す図である。
【図４】図４は、図１における積分器の出力波形を示す図である。
【図５】図５は、ホールセンサのノイズに対するチョッパー変調伝達関数の周波数特性を示す図である。
【図６】図６は、本発明に係る磁気検出装置の実施例を説明するための回路構成図である。
【図７】図７は、（ａ）乃至（ｈ）は、図６に示した本発明に係る磁気検出装置のスイッチ部による各チョッパー位相におけるホールセンサの接続状態を示す図である。
【図８】図８は、図６に示した本発明に係る磁気検出装置のスイッチ部による各ブロックの入出力電圧極性を示す図である。
【図９】図９は、図６に示した本発明に係る磁気検出装置における積分器の出力波形を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明におけるホールセンサのノイズに対するチョッパー変調伝達関数の周波数特性を示す図である。
【図１１】図１１は、本発明に係る磁気検出方法を説明するためのフローチャートを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。  
図６は、本実施形態に係る磁気検出装置を説明するための回路構成図で、図中符号１１はホールセンサ、１２はバイアス生成部、１３は第１のスイッチ部、１４は第２のスイッチ部、１５は差動増幅部、１６は反転部（第３のスイッチ部）、１７は積分部、１８はスイッチ制御部を示している。
【００３４】
図６に示した本実施形態の磁気検出装置は、磁気を検出するホールセンサ１１と、このホールセンサ１１を駆動するバイアス生成部１２とを備えている。また、第１及び第２のスイッチ部１３，１４は、第１期間において、ホールセンサ１１のホール起電力の極性は第１の極性で、ホールセンサ１１のホールオフセット電圧の極性が４回交番し、第２期間において、ホールセンサ１１のホール起電力の極性が第１の極性とは逆の極性の第２の極性で、ホールセンサ１１のホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、ホールセンサ１１の４つの端子のうちの対向する２つの端子に対してバイアス生成部１２からの電流の向きを切り換え、かつ、この電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるものである。
【００３５】
また、差動増幅部１５は、スイッチ部１３，１４による切り換えにより取り出された電圧を増幅するものである。また、反転部１６は、スイッチ部１３，１４による電流及び電圧の切り換えのうち、第１期間と第２期間の切り換えに同期して、増幅部１５からの電圧の極性を反転させるものである。また、積分部１７は、反転部１６による極性の反転により取り出された電圧を積分するものである。
【００３６】
図７（ａ）乃至（ｈ）は、図６に示した本実施形態に係る磁気検出装置のスイッチ部による各チョッパー位相におけるホールセンサの接続状態を示す図である。
第１及び第２のスイッチ部１３，１４は、第１期間において、ホールセンサ１１の第１の端子からこの第１の端子に対向する第２の端子に向かって電流が流れるように、バイアス生成部１２と第１及び第２の端子とを接続し、かつ、ホールセンサ１１の第３の端子及びこの第３の端子に対向する第４の端子を差動増幅部１５の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第１の切り換え（図７（ａ））と、第３の端子から第４の端子に向かって電流が流れるように、バイアス生成部１２と第３及び第４の端子とを接続し、かつ、第２及び第１の端子を差動増幅部１５の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第２の切り換え（図７（ｂ））と、第２の端子から第１の端子に向かって電流が流れるように、バイアス生成部１２と第２及び第１の端子とを接続し、かつ、第４及び第３の端子を差動増幅部１５の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第３の切り換え（図７（ｃ））と、第４の端子から第３の端子に向かって電流が流れるように、バイアス生成部１２と第４及び第３の端子とを接続し、かつ、第１及び第２の端子を差動増幅部１５の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第４の切り換え（図７（ｄ））とを行うように構成されている。
【００３７】
また、第１及び第２のスイッチ部１３，１４は、第２期間において、第１の端子から第２の端子に向かって電流が流れるように、バイアス生成部１２と第１及び第２の端子とを接続し、かつ、第４及び第３の端子を差動増幅部１５の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第５の切り換え（図７（ｅ））と、第３の端子から第４の端子に向かって電流が流れるように、バイアス生成部１２と第３及び第４の端子とを接続し、かつ、第１及び第２の端子を差動増幅部１５の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第６の切り換え（図７（ｆ））と、第２の端子から第１の端子に向かって電流が流れるように、バイアス生成部１２と第２及び第１の端子とを接続し、かつ、第３及び第４の端子を差動増幅部１５の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第７の切り換え（図７（ｇ））と、第４の端子から第３の端子に向かって電流が流れるように、バイアス生成部１２と第４及び第３の端子とを接続し、かつ、第２及び第１の端子を差動増幅部１５の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第８の切り換え（図７（ｈ））とを行うように構成されている。
【００３８】
このように、第１のスイッチ部１３と第２のスイッチ部１４の制御を変更することで、ホールセンサ１１の端子１乃至４を図７（ａ）乃至（ｈ）に示すように、０°→９０°→１８０°’→２７０°’→０°’→９０°’→１８０°→２７０°の８位相に周期的に切り替えて接続する。
これにより、ホール起電力Ｖ１Ｈ及びホールセンサ１１のオフセット電圧Ｖ１Ｏの加算である第２のスイッチ部１４の出力差動電圧Ｖ１は、式（１０）乃至（１７）で表される。０°’、９０°’、１８０°’、２７０°’は、それぞれ０°、９０°、１８０°、２７０°とバイアス電流方向が同じで、出力端子を反転させた接続状態に等しい。
【００３９】
【数４】
2013168353.tif 000006
【００４０】
差動増幅部１５において、一定の倍率Ａで第２のスイッチ部１４の出力差動電圧Ｖ１と差動増幅部１５の固有のオフセット電圧Ｖ２Ｏを増幅する。反転部（第３のスイッチ部）１６を制御することで、差動増幅部１５の出力差動電圧を復調して積分部１７に供給する。反転部（第３のスイッチ部）１６の出力差動電圧Ｖ２は、式（１８）乃至（２５）で表される。
【００４１】
【数５】
2013168353.tif 000007
【００４２】
図８は、図６に示した本実施形態に係る磁気検出装置のスイッチ部による各ブロックの入出力電圧極性を示す図である。ホール起電力Ｖ１Ｈ、ホールオフセットＶ１Ｏ、差動増幅部１５のオフセットＶ２Ｏ及び第３のスイッチ部１６で復調されたホール起電力Ｖ１Ｈ’、ホールオフセットＶ１Ｏ’、差動増幅部１５のオフセットＶ２Ｏ’の極性は、図８のようになる。
【００４３】
図８よりホール起電力Ｖ１Ｈのチョッパー変調周波数ＦＣＨＰを維持したまま、ホールセンサ１１のオフセット電圧Ｖ１Ｏのチョッパー変調周波数が２倍速くなっていることがわかる。
図９は、図６に示した本実施形態に係る磁気検出装置における積分器の出力波形を示す図である。積分部１７にてチョッパー動作をｎ回繰り返す間、第３のスイッチ部１６の出力差動電圧を積分増幅する。積分部１７の出力電圧Ｖ３は、式（２６）で表され、図９のような電圧波形となる。
【００４４】
【数６】
2013168353.tif 000008
【００４５】
つまり、第１及び第２のスイッチ部１３，１４は、第１の期間のおける切り換えをｎ回（ｎは２以上の整数）繰り返し行い、第２の期間における切り換えをｎ回繰り返し行い、反転部１６は、差動増幅部１５からの電圧の極性を、第１期間と第２期間の切り換えに同期して反転させる。
【００４６】
本発明の他の実施形態に係る磁気検出装置は、磁気を検出するホールセンサ１１と、このホールセンサ１１を駆動するバイアス生成部１２と、ホールセンサ１１の４つの端子のうちの対向する２つの端子に対してバイアス生成部１２からの電流の向きを切り換え、かつ、この電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換える第１及び第２のスイッチ部１３，１４と、この第１及び第２のスイッチ部１３，１４による切り換えにより取り出された電圧を増幅する差動増幅部１５と、この差動増幅部１５からの電圧の極性を反転させる反転部１６と、この反転部１６による極性の反転により取り出された電圧を積分する積分部１７とを備え、ホールセンサ１１のホールオフセット電圧の極性を交番するときの動作周波数が、ホールセンサ１１のホール起電力の極性を交番するときの動作周波数よりも２ｎ倍（ｎは１以上の整数）となるように構成されている。
【００４７】
以上のように、図４と図９のＶ１Ｏ＿ＩＮＴ波形で比較できるように、ホールセンサ１１のオフセット電圧Ｖ１Ｏのチョッパー変調周波数ＦＣＨＰを２倍に速くすることで、積分部１７におけるホールセンサ１１のオフセット電圧Ｖ１Ｏの積分部１７の増幅度を半分に抑制できる。これにより、積分部１７の出力動作電圧範囲が抑制されるため、この抑制された分だけ積分部１７の増幅度を大きくすることが可能となる。かつ、ホール起電力Ｖ１Ｈのチョッパー変調周波数をＦＣＨＰｎに維持しているため、ホール起電力Ｖ１Ｈの差動増幅部１５におけるセトリングエラーというデメリットを解消できる。したがって、Ｓ／Ｎ劣化や、積分部１７の出力電圧Ｖ３の温度変動度の増大を招かないという効果を奏する。
【００４８】
図１０は、本発明におけるホールセンサのノイズに対するチョッパー変調伝達関数の周波数特性を示す図である。ホールセンサ１１のチョッパー変調周波数を速くすることで、ホールセンサのノイズに対するチョッパー変調伝達関数の周波数特性は、図１０に示すように、より高域に変調される。したがって、後段の積分部ローパスフィルタ特性などによるノイズ抑制効果を高めることが可能となる。また、ホールセンサ１１の素子ノイズが系全体のノイズに対して支配的であった場合、本発明により系全体のノイズをより小さく抑制することができる。
【００４９】
上述した以外の組み合わせでも、０°、９０°、１８０°、２７０°の位相状態と、バイアス電流方向が同じで出力端子が反転した０°’、９０°’、１８０°’、２７０°’の位相状態を第３のスイッチ回路１６における復調１周期中に組み合わせることで同様の効果を得られる。例えば、０°→２７０°’→９０°→１８０°’→０°’→２７０°→１８０°→９０°’などの組み合わせが考えられる。
【００５０】
また、０°→９０°→１８０°’→２７０°’動作をａ回繰り返した後、０°’→９０°’→１８０°→２７０°動作をａ回繰り返すことで、ホール起電力Ｖ１Ｈのチョッパー変調周波数ＦＣＨＰに対してホールセンサ固有のオフセット電圧Ｖ１Ｏのチョッパー変調周波数を２ａ倍まで速くすることができ、上述した効果をより高めることが可能となる。
このように、ホールセンサのオフセット電圧のチョッパー変調周波数を速くすることで、積分部におけるホールセンサのオフセット電圧の積分部の増幅度を抑制し、積分部における動作電圧範囲を大幅に抑制することができるような磁気検出装置を実現することができる。
【００５１】
なお、上述した本発明の実施形態では、積分部１７は反転部１６による極性の反転により取り出された電圧を積分するものであるが、これに限るものではなく、積分部１７による増幅部１５からの電圧の積分後、反転部１６により電圧の極性を反転させてもよい。
また、上述した本発明の実施形態では、バイアス生成部１２によりホールセンサ１１を電流駆動するものであるが、これに限るものではなく、バイアス電圧生成部によりホールセンサ１１を電圧駆動するものでもよい。
【００５２】
図１１は、本実施形態に係る磁気検出方法を説明するためのフローチャートを示す図である。本発明の磁気検出方法は、まず、第１期間において、ホールセンサ１１のホール起電力の極性は第１の極性で、ホールセンサ１１のホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、ホールセンサ１１の４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して電流の向きを切り換え、かつ、この電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換える（ステップＳ１）。
【００５３】
次に、第２期間において、ホールセンサ１１のホール起電力の極性が第１の極性とは逆の極性の第２の極性で、ホールセンサ１１のホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、ホールセンサ１１の４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して電流の向きを切り換え、かつ、この電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換える（ステップＳ２）。
【００５４】
次に、切り換えにより取り出された電圧を増幅する（ステップＳ３）。次に、電流及び電圧の切り換えのうち、第１期間と第２期間の切り換えに同期して、増幅された電圧の極性を反転させる（ステップＳ４）。次に、反転により取り出された電圧を積分する（ステップＳ５）。
このように、ホールセンサのオフセット電圧のチョッパー変調周波数を速くすることで、積分部におけるホールセンサのオフセット電圧の積分部の増幅度を抑制し、積分部における動作電圧範囲を大幅に抑制することができるような磁気検出方法を実現することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１，１１  ホールセンサ
２  バイアス電流生成回路
３  第１のスイッチ回路
４  第２のスイッチ回路
５  差動増幅器
６  第３のスイッチ回路
７  積分器
８  スイッチ制御回路
１２  バイアス生成部
１３  第１のスイッチ部
１４  第２のスイッチ部
１５  差動増幅部
１６  反転部（第３のスイッチ部）
１７  積分部
１８  スイッチ制御部
【図１】
2013168353.tif 000009
【図２】
2013168353.tif 000010
【図３】
2013168353.tif 000011
【図４】
2013168353.tif 000012
【図５】
2013168353.tif 000013
【図６】
2013168353.tif 000014
【図７】
2013168353.tif 000015
【図８】
2013168353.tif 000016
【図９】
2013168353.tif 000017
【図１０】
2013168353.tif 000018
【図１１】
2013168353.tif 000019
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月14日(2015.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気を検出するホールセンサと、該ホールセンサを駆動するバイアス生成部とを備えた磁気検出装置において、
前記ホールセンサに接続され、第１期間において、前記ホールセンサのホール起電力の極性は第１の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換え、第２期間において、前記ホールセンサのホール起電力の極性が前記第１の極性とは逆の極性の第２の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して前記バイアス生成部からの電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるスイッチ部と、
前記スイッチ部による切り換えにより取り出された電圧を増幅する増幅部と、
前記スイッチ部による電流及び電圧の切り換えのうち、前記第１期間と前記第２期間の切り換えに同期して、前記増幅部からの電圧の極性を反転させる反転部と、
を備えていることを特徴とする磁気検出装置。
【請求項２】
前記スイッチ部は、
前記第１期間において、
前記ホールセンサの第１の端子から該第１の端子に対向する第２の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第１及び第２の端子とを接続し、かつ、前記ホールセンサの第３の端子及び該第３の端子に対向する第４の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第１の切り換えと、
前記第３の端子から前記第４の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第３及び第４の端子とを接続し、かつ、前記第２及び第１の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第２の切り換えと、
前記第２の端子から前記第１の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第２及び第１の端子とを接続し、かつ、前記第４及び第３の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第３の切り換えと、
前記第４の端子から前記第３の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第４及び第３の端子とを接続し、かつ、前記第１及び第２の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第４の切り換えと、
前記第２期間において、
前記第１の端子から前記第２の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第１及び第２の端子とを接続し、かつ、前記第４及び第３の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第５の切り換えと、
前記第３の端子から前記第４の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第３及び第４の端子とを接続し、かつ、前記第１及び第２の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第６の切り換えと、
前記第２の端子から前記第１の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第２及び第１の端子とを接続し、かつ、前記第３及び第４の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第７の切り換えと、
前記第４の端子から前記第３の端子に向かって電流が流れるように、前記バイアス生成部と前記第４及び第３の端子とを接続し、かつ、前記第２及び第１の端子を前記増幅部の正入力端子及び負入力端子にそれぞれ接続する第８の切り換えと
を行うことを特徴とする請求項１に記載の磁気検出装置。
【請求項３】
前記スイッチ部は、前記第１期間のおける切り換えをｎ回（ｎは２以上の整数）繰り返し行い、前記第２期間における切り換えをｎ回繰り返し行い、
前記反転部は、前記増幅部からの電圧の極性を、前記第１期間と前記第２期間の切り換えに同期して反転させることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気検出装置。
【請求項４】
磁気を検出するホールセンサと、
該ホールセンサを駆動するバイアス生成部と、
前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して前記バイアス生成部からの電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるスイッチ部と、
該スイッチ部による切り換えにより取り出された電圧を増幅する増幅部と、
該増幅部からの電圧の極性を反転させる反転部とを備え、
前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性を交番するときの動作周波数が、前記ホールセンサのホール起電力の極性を交番するときの動作周波数よりも２ｎ倍（ｎは１以上の整数）であることを特徴とする磁気検出装置。
【請求項５】
磁気を検出するホールセンサと、該ホールセンサを駆動するバイアス生成部とを備えた磁気検出装置における磁気検出方法において、
前記ホールセンサに接続されたスイッチ部により、第１期間において、ホールセンサのホール起電力の極性は第１の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるステップと、
前記ホールセンサに接続されたスイッチ部により、第２期間において、前記ホールセンサのホール起電力の極性が前記第１の極性とは逆の極性の第２の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるステップと、
前記スイッチ部による切り換えにより取り出された電圧を増幅部により増幅するステップと、
前記スイッチ部による前記電流及び電圧の切り換えのうち、前記第１期間と前記第２期間の切り換えに同期して、前記増幅された電圧の極性を反転部により反転させるステップと
を有することを特徴とする磁気検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、磁気を検出するホールセンサと、該ホールセンサを駆動するバイアス生成部とを備えた磁気検出装置において、前記ホールセンサに接続され、第１期間において、前記ホールセンサのホール起電力の極性は第１の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換え、第２期間において、前記ホールセンサのホール起電力の極性が前記第１の極性とは逆の極性の第２の極性で、前記ホールセンサのホールオフセット電圧の極性が４回交番するように、前記ホールセンサの４つの端子のうちの対向する２つの端子に対して前記バイアス生成部からの電流の向きを切り換え、かつ、該電流の向きに直交する方向にあって対向する２つの端子に対して取り出す電圧の向きを切り換えるスイッチ部と、前記スイッチ部による切り換えにより取り出された電圧を増幅する増幅部と、前記スイッチ部による電流及び電圧の切り換えのうち、前記第１期間と前記第２期間の切り換えに同期して、前記増幅部からの電圧の極性を反転させる反転部とを備えていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、前記スイッチ部は、前記第１期間のおける切り換えをｎ回（ｎは２以上の整数）繰り返し行い、前記第２期間における切り換えをｎ回繰り返し行い、前記反転部は、前記増幅部からの電圧の極性を、前記第１期間と前記第２期間の切り換えに同期して反転させることを特徴とする。
【国際調査報告】
2013168353.tif 000020
2013168353.tif 000021
2013168353.tif 000022
2013168353.tif 000023