(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
触媒に付着したガスの燃焼により発生した燃焼熱によって出力が変化する接触燃焼式ガスセンサを有したセンサ部と、
前記センサ部の出力と警報閾値とを比較して警報を発するか否かを判断する警報判断手段と、
前記警報判断手段により警報を発すると判断された場合に警報を発する警報手段と、
前記接触燃焼式ガスセンサに対して駆動電圧よりも高い電圧を印加してヒートアップクリーニングを実行させるヒートアップ電圧印加手段と、を備え、
前記警報判断手段は、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記警報閾値に加算したうえで前記センサ部の出力と比較し、又は、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記センサ部の出力に加算したうえで前記警報閾値と比較し、警報を発するか否かを判断する
ことを特徴とするガス検出装置。
【請求項２】
前記警報判断手段は、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記警報閾値に加算したうえで前記センサ部の出力と比較するものであり、過去に行った前記ヒートアップクリーニングの前後における前記センサ部の出力の差の累積値を前記警報閾値に加算したうえで前記センサ部の出力と比較し、警報を発するか否かを判断する
ことを特徴とする請求項１に記載のガス検出装置。
【請求項３】
前記警報判断手段は、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記センサ部の出力に加算したうえで前記警報閾値と比較するものであり、過去に行った前記ヒートアップクリーニングの前後における前記センサ部の出力の差の累積値を前記センサ部の出力に加算したうえで前記警報閾値と比較し、警報を発するか否かを判断する
ことを特徴とする請求項１に記載のガス検出装置。
【請求項４】
触媒に付着したガスの燃焼により発生した燃焼熱によって出力が変化する接触燃焼式ガスセンサを有したセンサ部の出力と警報閾値とを比較して警報を発するか否かを判断する警報判断工程と、
前記警報判断工程において警報を発すると判断された場合に警報を発する警報工程と、
前記接触燃焼式ガスセンサに対して駆動電圧よりも高い電圧を印加してヒートアップクリーニングを実行させるヒートアップ電圧印加工程と、を有し、
前記警報判断工程では、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記警報閾値に加算したうえで前記センサ部の出力と比較し、又は、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記センサ部の出力に加算したうえで前記警報閾値と比較し、警報を発するか否かを判断する
ことを特徴とするガス検出装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス検出装置及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、触媒に付着したガスの燃焼により発生した燃焼熱によって出力が変化する接触燃焼式ガスセンサを有したガス検出装置が提案されている。このガス検出装置では、可燃性ガスの濃度に応じてセンサ抵抗の抵抗値が変化して接触燃焼式ガスセンサの出力が変化する。マイコン等は、この出力から可燃性ガスの濃度を検出することとなる。
【０００３】
また、ガス検出装置では、センサ駆動電圧よりも高い電圧を接触燃焼式ガスセンサに印加することでセンサを高温化するヒートアップクリーニングが実行される。このヒートアップクリーニングにより、接触燃焼式ガスセンサの吸着物を脱離させることができる（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３６５２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載のガス検出装置においてヒートアップクリーニングを行った場合、エアベースに微小なズレが生じてしまう。このため、ガス検出の精度の低下を招いてしまう。
【０００６】
本発明はこのような従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、ガス検出の精度の低下を抑制することが可能なガス検出装置及びその制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のガス検出装置は、触媒に付着したガスの燃焼により発生した燃焼熱によって出力が変化する接触燃焼式ガスセンサを有したセンサ部と、前記センサ部の出力と警報閾値とを比較して警報を発するか否かを判断する警報判断手段と、前記警報判断手段により警報を発すると判断された場合に警報を発する警報手段と、前記接触燃焼式ガスセンサに対して駆動電圧よりも高い電圧を印加してヒートアップクリーニングを実行させるヒートアップ電圧印加手段と、を備え、前記警報判断手段は、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記警報閾値に加算したうえで前記センサ部の出力と比較し、又は、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記センサ部の出力に加算したうえで前記警報閾値と比較し、警報を発するか否かを判断することを特徴とする。
【０００８】
このガス検出装置によれば、ヒートアップクリーニング前後におけるセンサ部の出力の差を加味して警報を発するか否かを判断するため、ヒートアップクリーニングによりエアベースに微小なズレが生じてしまっても、このズレ分が警報閾値に加算されることとなり、又は、ズレ分がセンサ部の出力に加算されることとなり、ヒートアップクリーニングによる検出精度の低下が抑制されることとなる。従って、ガス検出の精度の低下を抑制することができる。
【００１１】
また、本発明のガス検出装置において、警報判断手段は、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記警報閾値に加算したうえで前記センサ部の出力と比較するものであり、過去に行った前記ヒートアップクリーニングの前後における前記センサ部の出力の差の累積値を前記警報閾値に加算したうえで前記センサ部の出力と比較し、警報を発するか否かを判断することが好ましい。
【００１２】
このガス検出装置によれば、過去に行ったヒートアップクリーニングの前後におけるセンサ部の出力の差の累積値を警報閾値に加算したうえでセンサ部の出力と比較し、警報を発するか否かを判断する。このため、過去に行ったヒートアップクリーニングによりエアベースの変動が蓄積されたとしても、蓄積分が警報閾値に加算されることとなり、ヒートアップクリーニングによる検出精度の低下が抑制されることとなる。従って、一層ガス検出の精度の低下を抑制することができる。
【００１５】
また、本発明のガス検出装置において、警報判断手段は、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記センサ部の出力に加算したうえで前記警報閾値と比較するものであり、過去に行った前記ヒートアップクリーニングの前後における前記センサ部の出力の差の累積値を前記センサ部の出力に加算したうえで前記警報閾値と比較し、警報を発するか否かを判断することが好ましい。
【００１６】
このガス検出装置によれば、過去に行ったヒートアップクリーニングの前後におけるセンサ部の出力の差の累積値をセンサ部の出力に加算したうえで警報閾値と比較し、警報を発するか否かを判断する。このため、過去に行ったヒートアップクリーニングによりエアベースの変動が蓄積されたとしても、蓄積分がセンサ部の出力に加算されることとなり、ヒートアップクリーニングによる検出精度の低下が抑制されることとなる。従って、一層ガス検出の精度の低下を抑制することができる。
【００１７】
また、本発明のガス検出装置の制御方法は、触媒に付着したガスの燃焼により発生した燃焼熱によって出力が変化する接触燃焼式ガスセンサを有したセンサ部の出力と警報閾値とを比較して警報を発するか否かを判断する警報判断工程と、前記警報判断工程において警報を発すると判断された場合に警報を発する警報工程と、前記接触燃焼式ガスセンサに対して駆動電圧よりも高い電圧を印加してヒートアップクリーニングを実行させるヒートアップ電圧印加工程と、を有し、前記警報判断工程では、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記警報閾値に加算したうえで前記センサ部の出力と比較し、又は、前記ヒートアップクリーニング前後における前記センサ部の出力の差を前記センサ部の出力に加算したうえで前記警報閾値と比較し、警報を発するか否かを判断することを特徴とする。
【００１８】
このガス検出装置の制御方法によれば、ヒートアップクリーニング前後におけるセンサ部の出力の差を加味して警報を発するか否かを判断するため、ヒートアップクリーニングによりエアベースに微小なズレが生じてしまっても、このズレ分が警報閾値に加算されることとなり、又は、ズレ分がセンサ部の出力に加算されることとなり、ヒートアップクリーニングによる検出精度の低下が抑制されることとなる。従って、ガス検出の精度の低下を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、ガス検出の精度の低下を抑制することが可能なガス検出装置及びその制御方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係るガス検出装置を示す構成図である。
【図２】図１に示した接触燃焼式ガスセンサの詳細を示す外観図であり、（ａ）は上面図を示し、（ｂ）は断面図を示している。
【図３】エアベースのズレを示すグラフである。
【図４】本実施形態に係るガス検出装置のエアベースのズレと警報閾値Ｖｔｈの更新の様子を示すグラフである。
【図５】本実施形態に係るガス検出装置の制御方法を示すフローチャートである。
【図６】本実施形態に係るガス検出装置の制御方法を示すフローチャートである。
【図７】第２実施形態に係る出力電圧を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施形態に係るガス検出装置を示す構成図である。図１に示すように、ガス検出装置１は、所定濃度以上の被検出対象となる可燃性ガスが検出された場合に警報を出力するものであって、制御部１０と、センサ駆動回路（ヒートアップ電圧印加手段）２０と、接触燃焼式ガスセンサ３１を有したセンサ部３０と、警報部（警報手段）４０とを備えている。
【００２２】
制御部１０は、センサ部３０の駆動制御、及び、ガス濃度の算出等を行うものであって、例えばＭＰＵ（Microprocessor  Unit）により構成されている。この制御部１０は、駆動信号出力部（ヒートアップ電圧印加手段）１１、及び警報判断部（警報判断手段）１２を備えている。
【００２３】
駆動信号出力部１１は、センサ駆動回路２０に対して駆動信号を出力するものである。ここで、駆動信号とは、例えば所定間隔（一定間隔であっても不定間隔であってもよい）でオンオフが繰り返されるパルス信号である。また、駆動信号出力部１１は、センサ駆動回路２０に対してヒートアップ信号を出力するものである。ここで、ヒートアップ信号とは、接触燃焼式ガスセンサ３１に対してヒートアップクリーニングを実行させる際に出力される信号である。
【００２４】
警報判断部１２は、センサ部３０から出力電圧の情報を取得し、取得した出力電圧に基づいて警報を発するか否かを判断するものである。この警報判断部１２は、取得した出力電圧と警報閾値Ｖｔｈとを比較することにより警報を発するか否かを判断する。警報部４０は、警報判断部１２により警報を発すると判断された場合、警報を発するものである。この警報部４０は、ブザーやスピーカなどの音声出力部と、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）などの表示部とから構成されている。
【００２５】
センサ駆動回路２０は、駆動信号出力部１１からの信号に応じて、センサ部３０の接触燃焼式ガスセンサ３１に対して電圧を印加するものである。具体的にセンサ駆動回路２０は、駆動信号出力部１１から駆動信号を入力した場合、駆動信号がオンとなるタイミングにおいて接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧を印加する。駆動電圧が印加されると接触燃焼式ガスセンサ３１は約４００℃に高温化して触媒に付着したガスを燃焼させることとなる。また、センサ駆動回路２０は、駆動信号出力部１１からヒートアップ信号を入力した場合、接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧よりも高いヒートアップ電圧を印加する。ヒートアップ電圧が印加されると接触燃焼式ガスセンサ３１は約５００℃に高温化して触媒に堆積した吸着物を脱離させることとなる。
【００２６】
センサ部３０は、接触燃焼式ガスセンサ３１、計装アンプ３２、及びＡ／Ｄ変換器３３等を有している。接触燃焼式ガスセンサ３１は、センサ抵抗Ｒｒ、リファレンス抵抗Ｒｓ及び固定抵抗Ｒ１，Ｒ２を有し、これらによりブリッジ回路を構成している。具体的に固定抵抗Ｒ１は、一端がセンサ駆動回路２０側に接続され、他端が接続点Ｂにつながっている。固定抵抗Ｒ２は、一端がセンサ駆動回路２０側に接続され、他端が接続点Ａにつながっている。センサ抵抗Ｒｓは、抵抗Ｒ２と直列接続され、一端が接続点Ａにつながっており、他端がグランド接続されている。リファレンス抵抗Ｒｒは、抵抗Ｒ１と直列接続され、一端が接続点Ｂにつながっており、他端がグランド接続されている。
【００２７】
図２は、図１に示した接触燃焼式ガスセンサ３１の詳細を示す外観図であり、（ａ）は上面図を示し、（ｂ）は断面図を示している。なお、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ断面を示している。
【００２８】
図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す接触燃焼式ガスセンサ３１は、半導体製造プロセス技術を用いて製造されている。この接触燃焼式ガスセンサ３１は、シリコンウェハ３１ａ上に、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、及び酸化ハフニウム膜等からなる絶縁膜３１ｂが形成されており、絶縁膜３１ｂ上にセンサ抵抗Ｒｓとリファレンス抵抗Ｒｒが設けられている。
【００２９】
センサ抵抗Ｒｓは、白金からなる抵抗体であって、この抵抗体を包むように触媒層３１ｓが設けられている。触媒層３１ｓは、例えばパラジウムを担持したアルミナからなるＰｄ／Ａｌ２Ｏ３によって構成されている。また、リファレンス抵抗Ｒｒは、センサ抵抗Ｒｓと同様に白金からなる抵抗体であって、この抵抗体を包むようにアルミナ層３１ｒが設けられている。
【００３０】
また、シリコンウェハ３１ａ上には３つのボンディングパッド３１ｃ〜３１ｅが形成されている。第１ボンディングパッド３１ｃは接続点Ａとなる。第２ボンディングパッド３１ｄはグランド接続される。また、第３ボンディングパッド３１ｅは、接続点Ｂとなる。
【００３１】
さらに、シリコンウェハ３１ａは、センサ抵抗Ｒｓ及びリファレンス抵抗Ｒｒに対応する位置に、裏面から異方性エッチングによって凹部３１ｆ，３１ｇが形成されている。センサ部３０は、これらの凹部３１ｆ，３１ｇによって熱容量が小さくなっている。
【００３２】
再度、図１を参照する。計装アンプ３２は、非反転入力端子と反転入力端子に入力する電圧の差を増幅するものである。この計装アンプ３２は、非反転入力端子が接続点Ａにつながっており、反転入力端子が接続点Ｂにつながっている。このため、計装アンプ３２は、接続点Ａと接続点Ｂとの電圧差を増幅することとなる。また、計装アンプ３２には、可変抵抗Ｒ３が接続されている。可変抵抗Ｒ３はオフセット調整するためのものである。Ａ／Ｄ変換器３３は、計装アンプ３２から出力されたアナログの電圧を入力し、Ａ／Ｄ変換したうえで制御部１０に出力するものである。
【００３３】
なお、本実施形態では図２に示すように、接触燃焼式ガスセンサ３１が半導体製造プロセス技術を用いて製造されているが、特にこれに限られるものではない。また、センサ部３０は、計装アンプ３２、Ａ／Ｄ変換器３３、及び可変抵抗Ｒ３等を有しているが、特にこれに限らず、いずれかの構成を省略して、又は他の構成を追加して形成されていてもよい。
【００３４】
ここで、本実施形態に係るガス検出装置１の基本動作を説明する。まず、駆動信号出力部１１がセンサ駆動回路２０に駆動信号（パルス信号）を出力しているものとする。そして、駆動信号出力部１１から出力されるパルス信号がオンとなると、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧を印加する。これにより、接触燃焼式ガスセンサ３１は可燃性ガスの燃焼温度まで高温化し、触媒に付着したガスを燃焼させることとなる。
【００３５】
また、駆動信号出力部１１から出力されるパルス信号がオフとなると、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に印加していた駆動電圧を遮断する。これにより、接触燃焼式ガスセンサ３１は低温化して可燃性ガスの燃焼温度未満となり、可燃性ガスが存在する雰囲気においては、センサ抵抗Ｒｓを包んで設けられる触媒層３１ｓに可燃性ガスが付着することとなる。以後、ガス検出装置１は、駆動電圧の印加と遮断とを繰り返すこととなる。なお、この際駆動電圧を遮断しなくともよく、より低電圧で駆動するようにしてもよい。以下、駆動電圧は遮断されるものとして説明する。
【００３６】
パルス信号がオフからオンに切り替わった際、接触燃焼式ガスセンサ３１の温度上昇は接触燃焼式ガスセンサ３１に供給されるエネルギに依存する。このため、可燃性ガスの無い雰囲気で両抵抗Ｒｓ，Ｒｒを同電圧で駆動すれば、両抵抗Ｒｓ，Ｒｒが所定温度まで達する時間は等しくなる。一方、可燃性ガスが存在する雰囲気において両抵抗Ｒｓ，Ｒｒを同電圧で駆動すると、センサ抵抗Ｒｓは、可燃性ガスの燃焼時のエネルギによって、リファレンス抵抗Ｒｒよりも早くに所定温度に達する。そして、温度に差が生じることから、両抵抗Ｒｓ，Ｒｒの抵抗値にも差が生じてブリッジ回路のバランスが崩れる。これにより、計装アンプ３２からの出力は、付着していた可燃性ガスの分子量（すなわち濃度）に応じた値を示すこととなる。
【００３７】
さらに、本実施形態において駆動信号出力部１１は、センサ駆動回路２０に対してヒートアップ信号を出力する機能を有する。センサ駆動回路２０に対してヒートアップ信号が出力されると、センサ駆動回路２０は、接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧よりも高い電圧を印加することとなる。これにより、接触燃焼式ガスセンサ３１は、駆動電圧印加時よりもさらに高温化し、ヒートアップクリーニングが実行される。このヒートアップクリーニングにより、接触燃焼式ガスセンサ３１の吸着物が脱離させられることとなる。なお、上記から明らかなように、駆動信号出力部１１及びセンサ駆動回路２０は、駆動電圧よりも高い電圧を印加してヒートアップクリーニングを実行させるヒートアップ電圧印加手段として機能することとなる。
【００３８】
しかし、ヒートアップクリーニングを行った場合、エアベースに微小なズレが生じてしまう。エアベースとは、周囲が可燃性ガスの雰囲気にない場合に得られる出力であり、通常はブリッジ回路のバランスがとれており０ｍＶとされる。しかし、エアベースに微小なズレが生じた場合、上記０ｍＶが例えば２ｍＶなどに変化することとなる。このため、周囲が可燃性ガスの雰囲気にないにも拘わらず、２ｍＶなどの出力が得られてしまい、ガス検出の精度の低下を招いてしまう。
【００３９】
特に、このエアベースのズレはヒートアップクリーニング毎に蓄積される傾向にある。図３は、エアベースのズレを示すグラフである。例えばヒートアップクリーニングが３０日毎に行われる場合、３０日の時点で行われるヒートアップクリーニングによってエアベースが約１．５ｍＶ上昇している。また、６０日の時点に行われるヒートアップクリーニングによってもエアベースが約１．５ｍＶ上昇している。
【００４０】
そして、約２４０日が経過したときには、エアベースは１０ｍＶ弱上昇してしまうこととなり、仮に警報閾値Ｖｔｈが１０ｍＶであった場合には、周囲が可燃性ガスの雰囲気にないにも拘わらず、センサ部３０からの出力は警報閾値Ｖｔｈ付近の値となってしまう。
【００４１】
そこで、本実施形態に係るガス検出装置１は、図１に示すように制御部１０に差分算出部１３と記憶部１４とを備えている。差分算出部１３は、ヒートアップクリーニング前後におけるセンサ部３０の出力の差を算出するものである。記憶部１４は、警報閾値Ｖｔｈを記憶している。また、制御部１０は、差分算出部１３により算出された出力の差を記憶部１４に記憶される警報閾値Ｖｔｈに加算する構成となっている。
【００４２】
このような構成であるため、以下の動作が実行される。すなわち、初期のガス検出装置１においてエアベースが０ｍＶであり、警報閾値Ｖｔｈが１０ｍＶであったとする。そして、差分算出部１３により算出された出力の差が２ｍＶであったとすると、制御部１０は、記憶部１４に記憶される警報閾値Ｖｔｈである１０ｍＶに対して２ｍＶを加算して１２ｍＶに変更する。また、上記加算はヒートアップクリーニング毎に行われる。このため、次のヒートアップクリーニングにおいて、差分算出部１３により算出された出力の差が２ｍＶであったとすると、制御部１０は、記憶部１４に記憶される警報閾値Ｖｔｈである１２ｍＶに対して２ｍＶを加算して１４ｍＶに変更することとなる。
【００４３】
図４は、本実施形態に係るガス検出装置１のエアベースのズレと警報閾値Ｖｔｈの更新の様子を示すグラフである。図４に示すように、例えばヒートアップクリーニングが３０日毎に行われる場合、３０日の時点で行われるヒートアップクリーニングによってエアベースが約１．５ｍＶ上昇する。差分算出部１３は、この１．５ｍＶを差として算出する。これにより、制御部１０は、記憶部１４に記憶される警報閾値Ｖｔｈに１．５ｍＶを加算して１１．５ｍＶに更新する。また、６０日の時点に行われるヒートアップクリーニングによってもエアベースが約１．５ｍＶ上昇しているため、制御部１０は、記憶部１４に記憶される警報閾値Ｖｔｈに１．５ｍＶを加算して１３ｍＶに更新する。
【００４４】
そして、約２４０日が経過したときには、エアベースは１０ｍＶ弱上昇してしまうが、これにあわせて警報閾値Ｖｔｈも１０ｍＶ弱上昇することとなる。このため、周囲が可燃性ガスの雰囲気にないにも拘わらず、センサ部３０からの出力が警報閾値Ｖｔｈ付近の値となってしまう事態を防止することができ、ガス検出の精度の低下を抑制することができることとなる。
【００４５】
なお、図３及び図４において、ヒートアップクリーニング時以外におけるエアベースのズレは、環境変化や経時的なバランスの変化であり、ヒートアップクリーニングとは別に発生するものである
【００４６】
次に、フローチャートを参照して本実施形態に係るガス検出装置１の制御方法を説明する。図５は、本実施形態に係るガス検出装置１の制御方法を示すフローチャートである。
【００４７】
まず、図５に示すように、制御部１０は、ヒートアップクリーニングを実施するタイミングが到来したか否かを判断する（Ｓ１）。例えば３０日毎にヒートアップクリーニングが行われている場合、制御部１０は前回のヒートアップクリーニングから３０日経過したか否かを判断する。ヒートアップクリーニングを実施するタイミングが到来していないと判断した場合（Ｓ１：ＮＯ）、タイミングが到来したと判断されるまで、この処理は繰り返される。
【００４８】
一方、ヒートアップクリーニングを実施するタイミングが到来したと判断した場合（Ｓ１：ＹＥＳ）、制御部１０は、エアベース値ａｉｒを取得し（Ｓ２）、記憶部１４に記憶させる。次に、制御部１０は、駆動信号出力部１１からヒートアップ信号を出力させ、接触燃焼式ガスセンサ３１をヒートアップクリーニングさせる（Ｓ３）。
【００４９】
次に、制御部１０は、ヒートアップクリーニングが終了したか否かを判断する（Ｓ４）。ヒートアップクリーニングが終了していないと判断した場合（Ｓ４：ＮＯ）、終了したと判断するまで、この処理は繰り返される。
【００５０】
一方、ヒートアップクリーニングが終了したと判断した場合（Ｓ４：ＹＥＳ）、制御部１０は、ヒートアップクリーニング後のエアベース値ａｉｒ’を取得する（Ｓ５）。これにより、差分算出部１３は、ａｉｒ’−ａｉｒを行って、ヒートアップクリーニング前後のエアベース値ａｉｒ，ａｉｒ’の差分を算出する。
【００５１】
その後、制御部１０は、差分算出部１３により算出された差分を警報閾値Ｖｔｈに加算することにより、警報閾値Ｖｔｈを更新する（Ｓ６）。なお、差分が負の数である場合には、ステップＳ６における加算は実質的に減算となる。
【００５２】
その後、図５に示す処理は終了する。なお、図５に示す処理はガス検出装置１の電源がオフされるまで繰り返し実行されることから、警報閾値Ｖｔｈは、ヒートアップクリーニング毎に算出される差分の累積値を反映したものとなり、図４を参照して説明したようにガス検出の精度の低下を抑制することができることとなる。
【００５３】
このようにして、本実施形態に係るガス検出装置１及びその制御方法によれば、ヒートアップクリーニング前後におけるセンサ部３０の出力の差を加味して警報を発するか否かを判断するため、ヒートアップクリーニングによりエアベースに微小なズレが生じてしまっても、このズレ分が加味されて警報を発するか否かを判断されることとなり、ヒートアップクリーニングによる検出精度の低下が抑制されることとなる。従って、ガス検出の精度の低下を抑制することができる。
【００５４】
また、ヒートアップクリーニング前後におけるセンサ部の出力の差を警報閾値Ｖｔｈに加算したうえでセンサ部３０の出力と比較し、警報を発するか否かを判断する。このため、ヒートアップクリーニングによりエアベースに微小なズレが生じてしまっても、このズレ分が警報閾値Ｖｔｈに加算されることとなり、ヒートアップクリーニングによる検出精度の低下が抑制されることとなる。従って、ガス検出の精度の低下を抑制することができる。
【００５５】
また、過去に行ったヒートアップクリーニングの前後におけるセンサ部３０の出力の差の累積値を警報閾値Ｖｔｈに加算したうえでセンサ部３０の出力と比較し、警報を発するか否かを判断する。このため、過去に行ったヒートアップクリーニングによりエアベースの変動が蓄積されたとしても、蓄積分が警報閾値Ｖｔｈに加算されることとなり、ヒートアップクリーニングによる検出精度の低下が抑制されることとなる。従って、一層ガス検出の精度の低下を抑制することができる。
【００５６】
次に、本発明の第２実施形態を説明する。第２実施形態に係るガス検出装置１は、第１実施形態にものと同様であるが、第１実施形態のものと処理内容が異なっている。以下、第１実施形態との相違点について説明する。
【００５７】
第１実施形態に係るガス検出装置１は、ヒートアップクリーニング毎のエアベースの差分を算出し、差分を警報閾値Ｖｔｈに加算することとしていた。これに対して第２実施形態に係るガス検出装置１は、ヒートアップクリーニング毎のエアベースの差分を算出し、これを記憶する。そして、実際にセンサ部３０からの出力電圧が得られた段階で、記憶した値を出力電圧に加算して補正し、補正した出力電圧と警報閾値Ｖｔｈを比較することで、警報するか否かを判断する。すなわち、第２実施形態では警報閾値Ｖｔｈを更新するのではなく、出力電圧を補正することで、ガス検出の精度低下を抑制することとしている。
【００５８】
図６は、本実施形態に係るガス検出装置１の制御方法を示すフローチャートである。まず、図６に示すように、ステップＳ１１〜ステップＳ１５において図５に示したステップＳ１〜Ｓ５と同様の処理が実行される。
【００５９】
そして、ステップＳ１６において制御部１０は、差分算出部１３により算出された差分を記憶部１４に累積記憶させる（Ｓ１６）。そして、図６に示す処理は終了する。
【００６０】
その後、制御部１０は、可燃性ガスの検出タイミングにおいて記憶部１４に記憶される累積値を読み出し、センサ部３０の出力電圧に累積値を加算して補正し、警報判断部１２は、補正した出力電圧と警報閾値Ｖｔｈとを比較して警報を発するか否かを判断することとなる。なお、累積値が正の数である場合、上記加算は実質的に累積値の減算となり、累積値が負の数である場合には、上記加算は実質的に累積値の絶対値の加算となる。
【００６１】
図７は、第２実施形態に係る出力電圧を示すグラフである。第２実施形態ではヒートアップクリーニングによるエアベースのズレが記憶され、出力電圧は記憶された値に基づいて補正される。このため、補正後のエアベースはヒートアップクリーニングによるズレが除去されることとなり、図７に示すように、警報閾値Ｖｔｈが固定のままであっても、エアベースと警報閾値Ｖｔｈとの差は保たれることとなり、ガス検出の精度低下を抑制することができる。
【００６２】
このようにして、本実施形態に係るガス検出装置１及びその制御方法によれば、第１実施形態と同様に、ガス検出の精度の低下を抑制することができる。
【００６３】
さらに、第２実施形態によれば、ヒートアップクリーニング前後におけるセンサ部の出力の差をセンサ部３０の出力に加算したうえで警報閾値Ｖｔｈと比較し、警報を発するか否かを判断する。このため、ヒートアップクリーニングによりエアベースに微小なズレが生じてしまっても、このズレ分がセンサ部３０の出力に加算されることとなり、ヒートアップクリーニングによる検出精度の低下が抑制されることとなる。従って、ガス検出の精度の低下を抑制することができる。
【００６４】
また、過去に行ったヒートアップクリーニングの前後におけるセンサ部の出力の差の累積値をセンサ部の出力に加算したうえで警報閾値Ｖｔｈと比較し、警報を発するか否かを判断する。このため、過去に行ったヒートアップクリーニングによりエアベースの変動が蓄積されたとしても、蓄積分がセンサ部３０の出力に加算されることとなり、ヒートアップクリーニングによる検出精度の低下が抑制されることとなる。従って、一層ガス検出の精度の低下を抑制することができる。
【００６５】
以上、実施形態に基づき本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、変更を加えてもよい。
【００６６】
例えば、本実施形態では、図２を参照して接触燃焼式ガスセンサ１０を説明したが、これに限らず、接触燃焼式ガスセンサ１０の構成は図２に示す構成に限られるものではない。また、接触燃焼式ガスセンサ１０のブリッジの組み方は図１に示すものに限らず、例えばセンサ抵抗Ｓｎｓと固定抵抗Ｒ１とが直列接続されると共に、リファレンス抵抗Ｒｅｆと固定抵抗Ｒ２とが直列接続される構成であってもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１  ガス検出装置
１０  制御部
１１  駆動信号出力部（ヒートアップ電圧印加手段）
１２  警報判断部（警報判断手段）
１３  差分算出部
１４  記憶部
２０  センサ駆動回路（ヒートアップ電圧印加手段）
３０  センサ部
３１  接触燃焼式ガスセンサ
３１ａ  シリコンウェハ
３１ｂ  絶縁膜
３１ｃ〜３１ｅ  ボンディングパッド
３１ｆ，３１ｇ  凹部
３１ｒ  アルミナ層
３１ｓ  触媒層
３２  計装アンプ
３３  Ａ／Ｄ変換器
４０  警報部（警報手段）
Ｒｓ  センサ抵抗
Ｒｒ  リファレンス抵抗
Ｒ１〜Ｒ３  抵抗
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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