(57)【要約】高いＴＭＲ比、低い書き込み電流を実現し、さらに素子全体の抵抗増大を抑制しつつ、記録層及び固定層の熱安定性指数（Ｅ／ｋBＴ）を高めることで安定した動作が可能になるトンネル磁気抵抗効果素子を提供する。ＣｏＦｅＢからなる記録層２１、固定層２２の少なくとも一方において、トンネルバリア層１０と反対側に導電性酸化物層３１，３２を配置した。
2013069091.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直磁気異方性を有する記録層と、垂直磁気異方性を有し磁化の方向が一方向に固定された固定層と、前記記録層と前記固定層の間に配置された酸化物のトンネルバリア層とを備えたトンネル磁気抵抗効果素子であって、
前記記録層及び前記固定層は、３ｄ遷移金属を少なくとも１種類含む強磁性材料で構成され、膜厚の制御によって磁化方向が膜面に対して垂直方向を向いており、
前記記録層と前記固定層の少なくとも一方は、前記トンネルバリア層と反対側の界面に導電性酸化物層が配置されていることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項２】
請求項１に記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記３ｄ遷移金属はＣｏ，Ｆｅのうちの少なくとも一つであることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項３】
請求項１に記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記記録層と前記固定層を構成する強磁性材料はＦｅ，ＣｏＦｅ又はＣｏＦｅＢであることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項４】
請求項１に記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記記録層及び前記固定層の膜厚は、０．５ｎｍ〜３ｎｍの範囲であることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項５】
請求項１に記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記導電性酸化物層は、ルチル−ＭｏＯ2型酸化物であるＲｕＯ2，ＶＯ2，ＣｒＯ2，ＮｂＯ2，ＭｏＯ2，ＷＯ2，ＲｅＯ2，ＲｈＯ2，ＯｓＯ2，ＩｒＯ2，ＰｔＯ2，Ｖ3Ｏ5，Ｔｉ3Ｏ5、あるいは、
ＮａＣｌ型酸化物であるＴｉＯ，ＶＯ，ＮｂＯ，ＬａＯ，ＮｄＯ，ＳｍＯ，ＥｕＯ，ＳｒＯ，ＢａＯ，ＮｉＯ、あるいは、
スピネル型酸化物であるＬｉＴｉ2Ｏ4，ＬｉＶ2Ｏ4，Ｆｅ3Ｏ4、あるいは、
ペロブスカイト−ＲｅＯ3型酸化物であるＲｅＯ3，ＣａＣｒＯ3，ＳｒＣｒＯ3，ＢａＭｏＯ3，ＳｒＭｏＯ3，ＣａＭｏＯ3，ＬａＣｕＯ3，ＣａＲｕＯ3，ＳｒＶＯ3，ＢａＴｉＯ3、あるいは、
コランダム型酸化物であるＴｉ2Ｏ3，Ｖ2Ｏ3，Ｒｈ2Ｏ3、あるいは、
酸化物半導体であるＺｎＯ，ＴｉＯ2，ＳｎＯ2，Ｃｕ2Ｏ，Ａｇ2Ｏ，Ｉｎ2Ｏ3，ＷＯ3であることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項６】
請求項１に記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記トンネルバリア層はＭｇＯ、あるいはＭｇＯを主成分としてＺｎを添加した酸化物であることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項７】
垂直磁気異方性を有する記録層と、垂直磁気異方性を有し磁化の方向が一方向に固定された固定層と、前記記録層と前記固定層の間に配置された酸化物のトンネルバリア層とを備えたトンネル磁気抵抗効果素子であって、
前記固定層は、第１の強磁性層と第２の強磁性層を積層した構造を有し、前記第１の強磁性層は前記トンネルバリア層の側に配置されており、
前記記録層及び前記第１の強磁性層は、３ｄ遷移金属を少なくとも１種類含む強磁性材料で構成され、膜厚の制御によって磁化方向が膜面に対して垂直方向を向いており、
前記記録層の前記トンネルバリア層と反対側の界面に導電性酸化物層が配置されていることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項８】
請求項７に記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記３ｄ遷移金属はＣｏ，Ｆｅのうちの少なくとも一つであることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項９】
請求項７に記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記記録層及び前記第１の強磁性層はＦｅ，ＣｏＦｅ又はＣｏＦｅＢであることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項１０】
請求項５に記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記記録層及び前記第１の強磁性層の膜厚は、０．５ｎｍ〜３ｎｍの範囲であることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項１１】
請求項７に記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記第２の強磁性層は、
Ｃｏを含み、Ｃｒ，Ｔａ，Ｎｂ，Ｖ，Ｗ，Ｈｆ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｐｔ，Ｐｄ，Ｆｅ，Ｎｉの中から選択された１つ以上の元素を含む合金層、
Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉのいずれか１つ又は複数を含む合金と、Ｒｕ，Ｐｔ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ｃｒから選択された非磁性金属を交互に積層した積層膜、
粒状の磁性相の周囲を非磁性相が取り囲んだグラニュラー構造を有する層、
希土類金属と遷移金属を含んだアモルファス合金層、又は、
ｍ−Ｄ０19型のＣｏＰｔ規則合金、Ｌ１1型のＣｏＰｔ規則合金、もしくはＣｏ−Ｐｔ，Ｃｏ−Ｐｄ，Ｆｅ−Ｐｔ，Ｆｅ−Ｐｄを主成分とするＬ１0型の規則合金からなる層であることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項１２】
請求項７に記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記導電性酸化物層は、ルチル−ＭｏＯ２型酸化物であるＲｕＯ2，ＶＯ2，ＣｒＯ2，ＮｂＯ2，ＭｏＯ2，ＷＯ2，ＲｅＯ2，ＲｈＯ2，ＯｓＯ2，ＩｒＯ2，ＰｔＯ2，Ｖ3Ｏ5，Ｔｉ3Ｏ5、あるいは、
ＮａＣｌ型酸化物であるＴｉＯ，ＶＯ，ＮｂＯ，ＬａＯ，ＮｄＯ，ＳｍＯ，ＥｕＯ，ＳｒＯ，ＢａＯ，ＮｉＯ、あるいは、
スピネル型酸化物であるＬｉＴｉ2Ｏ4，ＬｉＶ2Ｏ4，Ｆｅ3Ｏ4、あるいは、
ペロブスカイト−ＲｅＯ3型酸化物であるＲｅＯ3，ＣａＣｒＯ3，ＳｒＣｒＯ3，ＢａＭｏＯ3，ＳｒＭｏＯ3，ＣａＭｏＯ3，ＬａＣｕＯ3，ＣａＲｕＯ3，ＳｒＶＯ3，ＢａＴｉＯ3、あるいは、
コランダム型酸化物であるＴｉ2Ｏ3，Ｖ2Ｏ3，Ｒｈ2Ｏ3、あるいは、
酸化物半導体であるＺｎＯ，ＴｉＯ2，ＳｎＯ2，Ｃｕ2Ｏ，Ａｇ2Ｏ，Ｉｎ2Ｏ3，ＷＯ3であることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項１３】
請求項７に記載のトンネル磁気抵抗効果素子において、前記トンネルバリア層はＭｇＯ、あるいはＭｇＯを主成分としてＺｎを添加した酸化物であることを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子。
【請求項１４】
複数の磁気メモリセルと、
前記複数の磁気メモリセルの中から所望の磁気メモリセルを選択する手段と、
前記選択された磁気メモリセルに選択された方向の電流を流す手段とを備え、
前記磁気メモリセルは、請求項１〜１１のいずれか１項に記載されたトンネル磁気抵抗効果素子と、前記トンネル磁気抵抗効果素子に通電するためのトランジスタとを有し、
前記メモリセルの前記記録層をスピントランスファートルクにより磁化反転させることを特徴とするランダムアクセスメモリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直容易軸を有するトンネル磁気抵抗効果素子それを用いたランダムアクセスメモリに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁性体を用いたメモリとしてＭＲＡＭ（Magnetic Random Access Memory）が開発されている。ＭＲＡＭは、トンネル磁気抵抗（Tunneling Magnetoresistive：ＴＭＲ）効果を利用するＭＴＪ（Magnetic Tunneling Junction）を要素素子として用いる。ＭＴＪ素子は２枚の強磁性体層（記録層、固定層）で非磁性体層（絶縁層）を挟んだ構造を有し、片側の強磁性体層（記録層）の磁化方向を外部磁場によって反転できる。このように、ＭＴＪ素子では磁性体層の磁化方向を制御することによって、情報を記録する。電源を切っても磁性体の磁化方向は変化しないため、記録した情報が保持される不揮発動作を実現できる。ＭＴＪ素子の磁化方向を変化させる（情報を書き換える）には、外部から磁場を印加する方式の他、近年、ＭＴＪ素子に直接直流電流を流して磁化を反転させる、スピントランスファートルク磁化反転（スピン注入磁化反転）方式が見出されている。例えば、特許文献１には面内磁化容易軸を持つＭＴＪ素子（面内ＭＴＪ素子）を記録層として用い、スピン注入磁化反転を利用するＭＴＪ素子及びそれを集積したメモリであるＳＰＲＡＭ（Spin-transfer torque Magnetic Random Access Memory）が開示されている。なお、ＳＰＲＡＭは、ＳＴＴ−ＭＲＡＭとも呼ばれる。【０００３】
ＭＴＪ素子は、記録層と固定層の磁化方向の違いにより、素子の抵抗が変わる。その抵抗変化比をＴＭＲ（Tunnel Magnetoresistance）比と呼び、メモリ応用では“０”と“１”の情報を誤り無く判読するために高いＴＭＲ比が望まれる。高いＴＭＲ比を得るためには、トンネルバリア層とその両側の高分極率磁性層の結晶配向制御が重要である。これまでの面内ＭＴＪの研究から、ＮａＣｌ構造をもつＭｇＯ（００１）をトンネルバリア層として用い、その両側にｂｃｃ（００１）結晶構造をもつＣｏＦｅＢ層やＣｏＦｅ層を配置すると、高いＴＭＲ比が得られることが知られている。室温でＣｏＦｅＢを形成すると、ＣｏＦｅＢはアモルファスで成長する。その上にＭｇＯを形成すると、ＭｇＯ（００１）結晶が成長する。その上にさらにＣｏＦｅＢを形成した後、アニール処理を行うと、ＭｇＯ（００１）結晶を核にしてＣｏＦｅＢ層はｂｃｃ（００１）に結晶配向する。面内磁化ＴＭＲ素子の場合、このような機構を利用してＭｇＯ（００１）とＣｏＦｅＢのｂｃｃ（００１）配向を実現する。【０００４】
また、ＳＰＲＡＭでは、ＭＴＪ素子に接続したトランジスタによって電流を流し、ＭＴＪ素子の記録層の磁化を反転させる。メモリの高集積化に伴いトランジスタのゲート長が縮小すると、トランジスタが流せる電流量も低下する。したがって、ＳＲＰＡＭに適用するＭＴＪ素子には、より低い書き込み電流Ｉc0が求められる。さらに、素子の微細化を進める際には、ＭＴＪ素子における磁気情報の熱的安定性が課題となる。ＭＴＪ素子の記録層の磁化方向を反転させるために必要な磁気エネルギーバリア（Ｅ）に対し、環境温度による熱エネルギー（ｋBＴ、ここでｋBはボルツマン定数、Ｔは絶対温度）が高くなる場合、外部磁場もしくは電流を印加しなくとも磁化の反転が起こる。サイズの縮小とともにＭＴＪ素子の磁気エネルギーバリアが減少するため、素子の微細化に伴い熱安定性指数Ｅ／ｋBＴは低下する。以上のように、ＳＰＲＡＭに適用するＭＴＪ素子には、高いＴＭＲ比とＥ／ｋBＴ、及び低い書き込み電流Ｉc0が求められる。【０００５】
高Ｅ／ｋBＴと低Ｉc0の特性改善に有望な構造として、垂直磁化材料を用いたＭＴＪ素子（垂直ＭＴＪ素子）の開発が進められている（例えば、特許文献２）。また、ＣｏＦｅＢを垂直磁化材料として用いる新しい垂直ＭＴＪ素子構造が見出されている（非特許文献１）。ＣｏＦｅＢは通常、面内磁化容易軸を示す材料であるが、その界面にＭｇＯなどの酸化物層を配置した構造でＣｏＦｅＢ膜厚を薄くしていくと垂直磁気異方性が発現する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２３号公報
【特許文献２】特開２００７−１４２３６４号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】S. Ikeda et al., Nature Materials, 9, 721 (2010)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
垂直ＭＴＪ素子は、高い結晶磁気異方性を有する強磁性材用を記録層として用いるため、高いＥ／ｋBＴが期待できる。さらに、面内ＭＴＪ素子の場合には記録層の磁化反転を妨げるように働く反磁場が、垂直ＭＴＪ素子では磁化反転をアシストする方向にかかる。そのため、書き込み電流Ｉc0を低減できると期待される。【０００９】
しかし、実際に作製した垂直ＭＴＪ素子において、高ＴＭＲ比、高Ｅ／ｋBＴ、低Ｉc0をいずれも満足することは非常に難しい。まず、ＴＭＲ比における問題は、用いる強磁性材料がＦｅＰｔ等の規則合金やＣｏ／Ｐｔに代表される人工格子薄膜などであり、従来面内ＭＴＪ素子で用いてきた、ＭｇＯ（００１）との結晶構造の整合性が悪いことである。１００％を越える高いＴＭＲ比を得るためには、ＭｇＯ（００１）トンネルバリア層とｂｃｃ（００１）構造の強磁性層との組み合わせが基本的に必須である。従来の垂直磁化材料はｂｃｃ構造ではないため、ＭｇＯトンネルバリア層の上下に直接接続しても高いＴＭＲ比は得られない。ＴＭＲ比を向上させるには垂直磁化層とＭｇＯトンネルバリア層の間にＣｏＦｅＢやＣｏＦｅを配置する構造が有効であるが、この構造の場合、強磁性体層（記録層）の体積が増大し、低Ｉc0の実現は困難になる。さらに、ＦｅＰｔやＣｏ／Ｐｔなどの垂直磁化は、面内磁化材料のＣｏＦｅＢに比べて、結晶磁気異方性が大きい一方、ダンピング定数αが高い。大きい結晶磁気異方性はＥ／ｋBＴの向上に有利であるが、高いダンピング定数αはＩc0を増大させる。【００１０】
一方、ＣｏＦｅＢの界面に酸化物層を配置してＣｏＦｅＢ膜厚を薄くすることで垂直磁気異方性を発現させた、ＣｏＦｅＢ／ＭｇＯ／ＣｏＦｅＢを基本構造とした垂直ＭＴＪ素子では、ＭｇＯ（００１）とＣｏＦｅＢのｂｃｃ（００１）構造に基づく高いＴＭＲ比が得られる。さらに、垂直磁化構造に起因した高Ｅ／ｋBＴと、低いダンピング定数αに起因した低Ｉc0を実現できる。【００１１】
このように優れた特性を示すＣｏＦｅＢ垂直ＭＴＪ素子であるが、高集積メモリへの適用に向けては更なる特性改善が望まれる。ＭＴＪ素子の本質的な課題として、素子の微細化に伴う熱安定性（Ｅ／ｋBＴ）の低下があり、高集積・極微細化に対応できるようＣｏＦｅＢ層の垂直磁気異方性を高めることが望ましい。また、ＣｏＦｅＢ／ＭｇＯ／ＣｏＦｅＢの基本構造の場合、固定層と記録層の磁化反転のし易さ（すなわち、書き込み電流Ｉc0）はＣｏＦｅＢ膜厚のみで決まる。記録層の磁化反転時に、誤って固定層を磁化反転させない安定動作を得るには、固定層側の垂直磁気異方性を更に向上させることが望ましい。以上の課題に関して、ＣｏＦｅＢ薄膜の垂直磁気異方性は酸化物層との界面が起源であり、垂直磁気異方性を向上するにはＭｇＯトンネルバリア層と反対側にも酸化物層を配置する構造が有望である。しかし、その構造の場合、酸化物層が増えることで素子全体の抵抗が増大し、磁化反転に必要な電流をトランジスタで流せなくなる問題が生じる。【００１２】
本発明は、垂直ＭＴＪ素子において、高いＴＭＲ比と低い書き込み電流を維持しつつ、かつ、素子全体の抵抗増大を抑制しながら記録層及び固定層の熱安定性指数（Ｅ／ｋBＴ）を高める、あるいは記録層に対する固定層の垂直磁気異方性を増大することで、素子動作の安定性を向上できる構造を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明では、ＣｏＦｅＢを用いた垂直ＭＴＪ素子において、強磁性材料ＣｏＦｅＢからなる記録層、固定層の少なくとも一方において、トンネルバリア層と反対側に導電性酸化物層を配置する。【００１４】
本発明によるトンネル磁気抵抗効果素子は、垂直磁気異方性を有する記録層と、垂直磁気異方性を有し磁化の方向が一方向に固定された固定層と、記録層と固定層の間に配置された酸化物のトンネルバリア層とを備る。【００１５】
本発明の一態様によると、記録層及び前記固定層は、３ｄ遷移金属を少なくとも１種類含む強磁性材料で構成され、膜厚の制御によって磁化方向が膜面に対して垂直方向を向いており、記録層と固定層の少なくとも一方は、トンネルバリア層と反対側の界面に導電性酸化物層が配置されている。【００１６】
本発明の別の態様によると、固定層は、第１の強磁性層と第２の強磁性層を積層した構造を有し、第１の強磁性層は前記トンネルバリア層の側に配置されている。記録層及び第１の強磁性層は、３ｄ遷移金属を少なくとも１種類含む強磁性材料で構成され、膜厚の制御によって磁化方向が膜面に対して垂直方向を向いており、記録層のトンネルバリア層と反対側の界面に導電性酸化物層が配置されている。【００１７】
記録層、固定層、及び第１の強磁性層はＦｅ，ＣｏＦｅ又はＣｏＦｅＢであるのが好ましく、膜厚は、０．５ｎｍ〜３ｎｍの範囲である。また、トンネルバリア層はＭｇＯ、あるいはＭｇＯを主成分としてＺｎを添加した酸化物とするのが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
表面と裏面の両側に酸化物層が配置されたＣｏＦｅＢは、垂直磁気異方性が増大する。その際、導電性酸化物層はトンネルバリア層に比べて抵抗が低いため、素子全体の抵抗増大は無視できる程度に抑えられる。結果として、本発明によると、低抵抗でかつ、高い熱安定性を有し、また、固定層の誤書き込みがなく安定に動作する垂直ＭＴＪ素子が得られる。【００１９】
上記した以外の、課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施例１のＭＴＪ素子の断面模式図である。
【図２】実施例２のＭＴＪ素子の断面模式図である。
【図３】実施例３のＭＴＪ素子の断面模式図である。
【図４】実施例４の磁気メモリセルの構成を示す断面模式図である。
【図５】実施例４のランダムアクセスメモリの構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の実施形態を、図面を用いて詳細に説明する。
【００２２】
＜実施例１＞
図１に、実施例１におけるＭＴＪ素子の断面模式図を示す。熱酸化膜が形成されたＳｉ基板５の上に下部電極１２、酸化物下地層３２、固定層２２、トンネルバリア層１０、記録層２１、酸化物キャップ層３１、金属キャップ層１３、上部電極１１の順で薄膜を積層する。トンネルバリア層１０にはＭｇＯ（膜厚：１ｎｍ）を用いた。記録層２１を構成する強磁性層にはＣｏＦｅＢ（膜厚：１．５ｎｍ）を適用し、固定層２２を構成する強磁性層にはＣｏＦｅＢ（膜厚：１ｎｍ）を適用した。固定層２２と記録層２１にそれぞれ接する、酸化物下地層３２と酸化物キャップ層３１には、導電性酸化物であるＲｕＯ2（膜厚：３ｎｍ）を用いた。また、下部電極は基板側からＴａ（膜厚：５ｎｍ）／Ｒｕ（膜厚：１０ｎｍ）／Ｔａ（膜厚：５ｎｍ）の順で積層した積層膜で構成した。金属キャップ層１３はＴａ（膜厚：５ｎｍ）／Ｒｕ（膜厚：１０ｎｍ）の順で積層した積層膜で構成した。また、上部電極１１はＣｒ（膜厚：５ｎｍ）／Ａｕ（膜厚：１００ｎｍ）の積層膜で構成した。
【００２３】
上記の各層はＡｒガスを用いたＲＦスパッタリング法を用いてＳｉ基板５の上に形成した。下から順に金属キャップ層１３までの積層薄膜を形成した後、電子ビーム（ＥＢ）リソグラフィとイオンビームエッチングを用いて、直径１００ｎｍのピラー形状に加工した。その後、Ｃｒ（膜厚：５ｎｍ）／Ａｕ（膜厚：１００ｎｍ）積層構造の上部電極１１を形成した。なお、図示はしていないが、上部電極層１１と下部電極層１２にはそれぞれ、素子に電流を流すための配線が接続される。素子を作製後、垂直磁場中において３００℃のアニールを行った。
【００２４】
素子の動作について説明する。まず、記録層２１と固定層２２を構成する強磁性体はＣｏＦｅＢであり、トンネルバリア層１０のＭｇＯとの界面、及び、酸化物キャップ層３１、酸化物下地層３２との界面で垂直磁気異方性が発現する。その膜厚を適切に設定することで磁化容易軸は垂直方向を向いている。ＭＴＪ素子に電流７０を流すと、その電流方向によって記録層２１内の磁化６１が反転する。一方、固定層２２は記録層２１よりも膜厚が薄い。ＣｏＦｅＢの垂直磁気異方性は膜厚低減によって増大する性質があり、そのため固定層２２では磁化反転を起こす電流値（書き込み電流：Ｉc0）が記録層２１よりも高い。これにより、記録層２１の磁化６１を反転させる際、固定層２２の磁化６２は反転せず固定されている。
【００２５】
トンネルバリア層１０を挟んで対向する記録層２１の磁化６１と、固定層２２の磁化６２が平行配列のとき、素子は低抵抗状態となる。逆に、磁化６１と磁化６２が反平行配列のとき、素子は高抵抗状態となる。記録層２１と固定層２２のＣｏＦｅＢはアニール処理によってｂｃｃ（００１）構造となっており、トンネルバリア層１０のＭｇＯ（００１）構造との組み合わせに起因して１００％以上の高いＴＭＲ比が得られた。
【００２６】
本実施例では、酸化物キャップ層３１と酸化物下地層３２によって、それらが無いＣｏＦｅＢ／ＭｇＯ／ＣｏＦｅＢ基本構造に比べて、記録層２１と固定層２２の垂直磁気異方性が増大する。結果として、ＣｏＦｅＢ／ＭｇＯ／ＣｏＦｅＢ基本構造に比べて、記録層２１及び固定層２２の熱安定性Ｅ／ｋBＴは約２倍に増大した。さらに、酸化物キャップ層３１と酸化物下地層３２は導電性酸化物のＲｕＯ2（膜厚：３ｎｍ）であり、その抵抗率は１０-3Ωｃｍ以下のため、面積抵抗ＲＡは０．０３Ωμｍ2以下となる。これは、ＭｇＯトンネルバリア層１０（膜厚：１ｎｍ）のＲＡ＝約１０Ωμｍ2と比べて３桁も小さい。つまり、ＭＴＪ素子の抵抗を決定する支配的要因はＭｇＯトンネルバリア層１０であり、ＲｕＯ2層による寄与はほぼ無視できる。結果として、本実施例の構成では、ＣｏＦｅＢ／ＭｇＯ／ＣｏＦｅＢ基本構造を有するＭＴＪ素子の抵抗とほぼ同程度の抵抗を維持しながら熱安定性Ｅ／ｋBＴを向上できる。
【００２７】
本実施例では、酸化物キャップ層３１と酸化物下地層３２にＲｕＯ2を用いたが、他の導電性酸化物を用いても良い。酸化物キャップ層３１や酸化物下地層３２に用いることのできる材料としては、本実施例で用いたＲｕＯ2と同類のＶＯ2，ＣｒＯ2，ＮｂＯ2，ＭｏＯ2，ＷＯ2，ＲｅＯ2，ＲｈＯ2，ＯｓＯ2，ＩｒＯ2，ＰｔＯ2，Ｖ3Ｏ5，Ｔｉ3Ｏ5などのルチル−ＭｏＯ2型酸化物がある。また、ＴｉＯ，ＶＯ，ＮｂＯ，ＬａＯ，ＮｄＯ，ＳｍＯ，ＥｕＯ，ＳｒＯ，ＢａＯ，ＮｉＯなどのＮａＣｌ型酸化物、あるいは、ＬｉＴｉ2Ｏ4，ＬｉＶ2Ｏ4，Ｆｅ3Ｏ4に代表されるスピネル型酸化物、あるいは、ＲｅＯ3，ＣａＣｒＯ3，ＳｒＣｒＯ3，ＢａＭｏＯ3，ＳｒＭｏＯ3，ＣａＭｏＯ3，ＬａＣｕＯ3，ＣａＲｕＯ3，ＳｒＶＯ3，ＢａＴｉＯ3などのペロブスカイト−ＲｅＯ3型酸化物、あるいは、Ｔｉ2Ｏ3，Ｖ2Ｏ3，Ｒｈ2Ｏ3などのコランダム型酸化物、あるいは、ＺｎＯ，ＴｉＯ2，ＳｎＯ2，Ｃｕ2Ｏ，Ａｇ2Ｏ，Ｉｎ2Ｏ3，ＷＯ3などの酸化物半導体を用いてもよい。また、それらを複数積層してもよい。その中で垂直ＭＴＪ素子のキャップ層、下地層に用いる導電性酸化物としては、素子全体の抵抗に影響を与えない特性として、抵抗率が０．１Ωｃｍ以下であることが望ましい。
【００２８】
垂直ＭＴＪ素子の記録層２１、固定層２２に用いるＣｏＦｅＢの膜厚は、最小でも０．５ｎｍ以上、最大でも３ｎｍ以下であり、より好ましくは１ｎｍから２ｎｍの間である。これは、ＣｏＦｅＢの膜厚が薄過ぎると強磁性体として機能せず、一方で厚過ぎると、垂直磁気異方性の強さが低下するためである。また、本実施例では、記録層２１、固定層２２にＣｏＦｅＢを用いたが、ｂｃｃ結晶構造をもつその他の材料、例えばＣｏＦｅやＦｅを用いても同様の効果が得られるのは言うまでもない。これは本発明で利用している垂直磁気異方性の発現機構が、ＦｅやＣｏの３ｄ電子軌道と酸化物のＯの２ｐ電子軌道の混成に起因するからである。
【００２９】
また、本実施例では、トンネルバリア層１０にＭｇＯを用いたが、ＭｇＯにＺｎを少量添加したＭｇＺｎＯを用いても良い。その場合、高いＴＭＲを実現するために必要なＮａＣｌ構造を維持しつつトンネルバリア層のトンネル抵抗が低減するため、素子の抵抗をさらに抑制することが可能となる。
【００３０】
＜実施例２＞
実施例２は、固定層側にのみ導電性酸化物を配置する構造を適用するものである。図２に、実施例２におけるＭＴＪ素子の断面模式図を示す。実施例２では、実施例１と異なり、記録層２１の上に酸化物キャップ層を配置せず、また、記録層２１を構成するＣｏＦｅＢの膜厚を１．２ｎｍとした。それ以外の積層構造、及び各層の材料・膜厚については実施例１と同様である。また、素子の作製方法及び動作についても実施例１と同様である。
【００３１】
実施例２の場合でも、固定層２２のＣｏＦｅＢ膜厚（１ｎｍ）は、記録層２１のＣｏＦｅＢ膜厚（１．２ｎｍ）に比べて薄い。この膜厚差に起因して、基本的に固定層２２の垂直磁気異方性は記録層２１よりも大きい。それに加え、酸化物下地層３２によって、固定層２２の垂直磁気異方性はさらに増大する。強磁性層の磁化反転に必要な電流（Ｉc0）は垂直磁気方性の強さとともに増大する。よって、電流によって記録層２１を磁化反転させる際に、固定層２２が磁化反転してしまう誤動作を抑制できる。
【００３２】
従来のＣｏＦｅＢ／ＭｇＯ／ＣｏＦｅＢ基本構造では、垂直磁気異方性の強さは、記録層２１と固定層２２の膜厚のみで制御していた。これに対し、実施例２の構造では、酸化物層を固定層の下地に用いることで、固定層２２と記録層２１の垂直磁気異方性の強さ（磁化反転電流）の差を大きくとることができる。これにより、記録層２１の膜厚を固定層２２の膜厚に近づけても（薄層化しても）、動作の安定性が損なわれない。つまり、ＣｏＦｅＢ／ＭｇＯ／ＣｏＦｅＢ基本構造に比べて、記録層２１の膜厚をより薄くすることができ、結果として、固定層２２の誤書き込みを抑制しつつ、記録層２１の熱安定性Ｅ／ｋBＴを向上できる。その際、酸化物下地層３２は導電性酸化物であるため、素子の抵抗増大は防げる。またＣｏＦｅＢを用いることで、１００％を越える高いＴＭＲ比が実現できるのは言うまでもない。
【００３３】
本実施例では、酸化物下地層３２にＲｕＯ2を用いたが他の導電性酸化物を用いても良い。酸化物下地層３２に用いることのできる材料としては、本実施例で用いたＲｕＯ2と同類のＶＯ2，ＣｒＯ2，ＮｂＯ2，ＭｏＯ2，ＷＯ2，ＲｅＯ2，ＲｈＯ2，ＯｓＯ2，ＩｒＯ2，ＰｔＯ2，Ｖ3Ｏ5，Ｔｉ3Ｏ5などのルチル−ＭｏＯ2型酸化物がある。また、ＴｉＯ，ＶＯ，ＮｂＯ，ＬａＯ，ＮｄＯ，ＳｍＯ，ＥｕＯ，ＳｒＯ，ＢａＯ，ＮｉＯなどのＮａＣｌ型酸化物、あるいは、ＬｉＴｉ2Ｏ4，ＬｉＶ2Ｏ4，Ｆｅ3Ｏ4に代表されるスピネル型酸化物、あるいは、ＲｅＯ3，ＣａＣｒＯ3，ＳｒＣｒＯ3，ＢａＭｏＯ3，ＳｒＭｏＯ3，ＣａＭｏＯ3，ＬａＣｕＯ3，ＣａＲｕＯ3，ＳｒＶＯ3，ＢａＴｉＯ3などのペロブスカイト−ＲｅＯ3型酸化物、あるいは、Ｔｉ2Ｏ3，Ｖ2Ｏ3，Ｒｈ2Ｏ3などのコランダム型酸化物、あるいは、ＺｎＯ，ＴｉＯ2，ＳｎＯ2，Ｃｕ2Ｏ，Ａｇ2Ｏ，Ｉｎ2Ｏ3，ＷＯ3などの酸化物半導体を用いてもよい。また、それらを複数積層してもよい。その中で、垂直ＭＴＪ素子の固定層の下地層に用いる導電性酸化物としては、素子全体の抵抗に影響を与えない特性として、抵抗率が０．１Ωｃｍ以下であることが望ましい。
【００３４】
垂直ＭＴＪ素子の記録層２１、固定層２２に用いるＣｏＦｅＢの膜厚は、最小でも０．５ｎｍ以上、最大でも３ｎｍ以下であり、より好ましくは１ｎｍから２ｎｍの間である。これは、ＣｏＦｅＢの膜厚が薄過ぎると強磁性体として機能せず、一方で厚過ぎると、垂直磁気異方性の強さが低下するためである。また、本実施例では、記録層２１、固定層２２にＣｏＦｅＢを用いたが、ｂｃｃ結晶構造をもつその他の材料、例えばＣｏＦｅやＦｅを用いても同様の効果が得られるのは言うまでもない。これは本発明で利用している垂直磁気異方性の発現機構が、ＦｅやＣｏの３ｄ電子軌道と酸化物のＯの２ｐ電子軌道の混成に起因するからである。
【００３５】
また、本実施例では、トンネルバリア層１０にＭｇＯを用いたが、ＭｇＯにＺｎを少量添加したＭｇＺｎＯを用いても良い。その場合、高いＴＭＲを実現するために必要なＮａＣｌ構造を維持しつつトンネルバリア層のトンネル抵抗が低減するため、素子の抵抗をさらに抑制することが可能となる。
【００３６】
＜実施例３＞
実施例３は、ＣｏＦｅＢの記録層と、ＣｏＦｅＢ以外の材料からなる固定層を組み合わせた垂直ＭＴＪ素子を提案するものである。図３に、実施例３におけるＭＴＪ素子の断面模式図を示す。実施例３では、実施例１と異なり、導電性酸化物層は固定層２２の下には配置せず、記録層２１の上にのみ配置する。さらに、実施例３では、固定層２２を、第１の強磁性層４１と第２の強磁性層５１の積層構造で作製する。第１の強磁性層４１にはＣｏＦｅＢ（膜厚：２ｎｍ）を用い、第２の強磁性層５１には、Ｃｏ50Ｐｔ50のＬ１0型規則合金（膜厚：３ｎｍ）を適用した。それ以外の材料・膜厚、素子の作製方法については実施例１と同様である。また、固定層２２を構成する第１の強磁性層４１と第２の強磁性層５１は強磁性結合しており、その磁化方向は連動している。よって、固定層２２の磁化は単一の磁化としてみなせるため、素子の動作も実施例１と同様である。
【００３７】
記録層２１の上部に配置された酸化物キャップ層３１によって記録層の垂直磁気異方性が向上し、記録層の熱安定性Ｅ／ｋBＴは増大する。また、実施例３の場合、第２の強磁性層５１に用いたＣｏＰｔ規則合金は、記録層２１のＣｏＦｅＢ薄膜に比べて垂直磁気異方性が大きく、これによって固定層２２は磁気的に安定している。さらに、ＭｇＯのトンネルバリア層１０と接する第１の強磁性層４１はＣｏＦｅＢであるため、高いＴＭＲ比が得られる。よって、本実施例の構造を用いると、実施例１、２と同様、固定層２２の誤書き込みを抑制しつつ、酸化物キャップ層３１が無い構成に比べて記録層２１の熱安定性Ｅ／ｋBＴを向上できる。その際、酸化物キャップ層３１は導電性酸化物であるため、素子の抵抗増大は防げる。また、トンネルバリア層１０の両側にＣｏＦｅＢを配置するため、１００％を越える高いＴＭＲ比が実現できるのは言うまでもない。
【００３８】
本実施例では、酸化物キャップ層３１にＲｕＯ2を用いたが他の導電性酸化物を用いても良い。酸化物キャップ層３１に用いることのできる材料としては、本実施例で用いたＲｕＯ2と同類のＶＯ2，ＣｒＯ2，ＮｂＯ2，ＭｏＯ2，ＷＯ2，ＲｅＯ2，ＲｈＯ2，ＯｓＯ2，ＩｒＯ2，ＰｔＯ2，Ｖ3Ｏ5，Ｔｉ3Ｏ5などのルチル−ＭｏＯ2型酸化物がある。また、ＴｉＯ，ＶＯ，ＮｂＯ，ＬａＯ，ＮｄＯ，ＳｍＯ，ＥｕＯ，ＳｒＯ，ＢａＯ，ＮｉＯなどのＮａＣｌ型酸化物、あるいは、ＬｉＴｉ2Ｏ4，ＬｉＶ2Ｏ4，Ｆｅ3Ｏ4に代表されるスピネル型酸化物、あるいは、ＲｅＯ3，ＣａＣｒＯ3，ＳｒＣｒＯ3，ＢａＭｏＯ3，ＳｒＭｏＯ3，ＣａＭｏＯ3，ＬａＣｕＯ3，ＣａＲｕＯ3，ＳｒＶＯ3，ＢａＴｉＯ3などのペロブスカイト−ＲｅＯ3型酸化物、あるいは、Ｔｉ2Ｏ3，Ｖ2Ｏ3，Ｒｈ2Ｏ3などのコランダム型酸化物、あるいは、ＺｎＯ，ＴｉＯ2，ＳｎＯ2，Ｃｕ2Ｏ，Ａｇ2Ｏ，Ｉｎ2Ｏ3，ＷＯ3などの酸化物半導体を用いてもよい。また、それらを複数積層してもよい。その中で、垂直ＭＴＪ素子のキャップ層に用いる導電性酸化物としては、素子全体の抵抗に影響を与えない特性として、抵抗率が０．１Ωｃｍ以下であることが望ましい。
【００３９】
垂直ＭＴＪ素子の記録層２１、固定層２２を構成する第１の強磁性層４１に用いるＣｏＦｅＢの膜厚は、最小でも０．５ｎｍ以上、最大でも３ｎｍ以下であり、より好ましくは１ｎｍから２ｎｍの間である。これは、ＣｏＦｅＢの膜厚が薄過ぎると強磁性体として機能せず、一方で厚過ぎると、垂直磁気異方性の強さが低下するためである。また、本実施例では、記録層２１、固定層２２を構成する第１の強磁性層４１にＣｏＦｅＢを用いたが、ｂｃｃ結晶構造をもつその他の材料、例えばＣｏＦｅやＦｅを用いても同様の効果が得られるのは言うまでもない。
【００４０】
また、実施例３では、固定層２２を構成する第２の強磁性層５１の垂直磁化材料としてＣｏ50Ｐｔ50のＬ１0型規則合金を適用したが、それ以外の垂直磁化材料を適用しても同様の効果が得られる。具体的な材料として、例えば、Ｆｅ50Ｐｔ50等のＣｏ―Ｐｔ，Ｃｏ−Ｐｄ，Ｆｅ−Ｐｔ，Ｆｅ−Ｐｄを主成分とするＬ１0型規則合金や、Ｃｏ50Ｐｔ50のＬ１1型規則合金や、ｍ−Ｄ０19型のＣｏ75Ｐｔ25規則合金、もしくは、ＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ2、ＦｅＰｔ−ＳｉＯ2など粒状の磁性体が非磁性体の母相中に分散したグラニュラー構造の材料、もしくは、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉのいずれか１つ又は複数を含む合金と、Ｒｕ，Ｐｔ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ｃｒなどの非磁性金属を交互に積層した積層膜、もしくは、ＴｂＦｅＣｏ，ＧｄＦｅＣｏなど、Ｇｄ，Ｄｙ，Ｔｂ等の希土類金属に遷移金属を含んだアモルファス合金、もしくは、ＣｏＣｒやＣｏＰｔＣｒなどのＣｏ系合金を用いてもよい。
【００４１】
また、本実施例では、トンネルバリア層１０にＭｇＯを用いたが、ＭｇＯにＺｎを少量添加したＭｇＺｎＯを用いても良い。その場合、高いＴＭＲを実現するために必要なＮａＣｌ構造を維持しつつトンネルバリア層のトンネル抵抗が低減するため、素子の抵抗をさらに抑制することが可能となる。
【００４２】
＜実施例４＞
実施例４は、本発明によるＭＴＪ素子を適用したランダムアクセスメモリを提案するものである。図４は、本発明による磁気メモリセルの構成例を示す断面模式図である。この磁気メモリセルは、実施例１〜３に示したＭＴＪ素子１１０のいずれかを搭載している。
【００４３】
トランジスタ１１１は、２つのｎ型半導体１１２，１１３と一つのｐ型半導体１１４からなる。ｎ型半導体１１２に電極１２１を介してソース線２２４が接続される。ｎ型半導体１１３には、電極１２２および電極１４６を介して、ＭＴＪ素子１１０が接続される。さらにゲート電極１２３には、図示していないがワード線２２３が接続される。ワード線からの信号によってゲート電極１２３のＯＮ／ＯＦＦを制御し、電極１２２と電極１２１の間に流れる電流のＯＮ／ＯＦＦを制御する。ビット線２２２は、ＭＴＪ素子１１０の上部電極１１に接続されている。本実施例の磁気メモリセルでは、トランジスタ１１１を制御して、ビット線２２２と電極１４６の間に電流を流す。この電流によるスピントランスファートルクがＭＴＪ素子１１０中の記録層の磁化に作用し、磁化の方向を反転させる。これによりＭＴＪ素子１１０の磁気的情報を記録する。
【００４４】
図５は、上記磁気メモリセルを配置した磁気ランダムアクセスメモリの構成例を示す図である。トランジスタ１１１のゲート電極１２３にワード線２２３が接続され、トランジスタの別の電極１２１にはソース線２２４が接続され、ＭＴＪ素子１１０にはビット線２２２、が接続される。
【００４５】
本構成の場合の書込みは、まず、電流を流したいビット線２２２に接続された書き込みドライバ２３０にライトイネーブル信号を送って昇圧する。次に、ワード線２２３に接続された書き込みドライバ２３２にライトイネーブル信号を送り、書き込みドライバ２３２を昇圧して、書き込みたいＭＴＪ素子に接続されたトランジスタ１１１をオンにする。これによりＭＴＪ素子１１０からトランジスタ１１１の方向に電流が流れ、スピントルク磁化反転が行われる。所定の時間、トランジスタをオンにしたのち、書込みドライバ２３２への信号を切断し、トランジスタをオフにする。ＭＴＪ素子１１０の記録層の磁化方向を反転する（“０”，“１”情報を書き換える）場合には、上記の書き込み動作と逆方向の電流を流せばよい。つまり、ソース線２２４をビット線２２２よりも高電圧にし、次に書き込みドライバ２３２を昇圧して、トランジスタ１１１をオンにする。これにより、トランジスタ１１１からＭＴＪ素子１１０の方向に電流が流れ、記録層の磁化方向が反転し情報が書き換わる。また、読出しの際は、読出したいＭＴＪ素子につながったビット線２２２のみを読出し電圧Ｖに昇圧し、選択トランジスタのみをオンにして電流を流し、読出しを行う。この構造は最も単純な１トランジスタ＋１メモリセルの配置なので、単位セルの占める面積は２Ｆ×４Ｆ＝８Ｆ2と高集積なものにすることができる。
【００４６】
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【符号の説明】
【００４７】
５…基板、１０…トンネルバリア層、１１…上部電極、１２…下部電極、２１…記録層、２２…固定層、３１…酸化物キャップ層、３２…酸化物固定層、４１…第１の強磁性層、５１…第２の強磁性層、６１，６２…磁化、電流…７０、メモリセル…１００、１１０…ＭＴＪ素子、１１１…トランジスタ、１１２，１１３…ｎ型半導体、１１４…ｐ型半導体、１２１…電極、１２２…電極、１２３…ゲート電極、１４６…電極、２２２…ビット線、２２３…ワード線、２２４…ソース線、２３０、２３２…書き込みドライバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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