(57)【要約】この実装構造体は、回路基板（１０５）の第２電極（１０４）と半導体パッケージ（１０１）のバンプ（１０３）とを接合する接合材料（１０６）の周囲を、第１補強用樹脂（１０７）によって覆っている。さらに、半導体パッケージ（１０１）の外周部分と回路基板（１０５）との間が、第２補強用樹脂（１０８）によって覆われている。接合材料（１０６）が従来よりも融点の低いはんだ材料を使用しても、耐落下特性が良好である。
2013168352.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極を有する半導体パッケージと、
第２電極を有する回路基板と、
前記第２電極と前記第１電極上に形成されたバンプとの間に配置され、前記バンプと第２電極とを電気的に接合するはんだを含む接合材料と、
前記接合材料の周囲を覆う第１補強用樹脂と、
前記回路基板に配置された半導体パッケージの外周部分と前記回路基板との間を覆う第２補強用樹脂とを含む
実装構造体。
【請求項２】
前記第１補強用樹脂と前記第２補強用樹脂とが接触していることを特徴とする
請求項１の実装構造体。
【請求項３】
前記第１補強用樹脂と第２補強用樹脂との樹脂成分が同じ組成で、含まれる硬化剤が異なることを特徴とする
請求項１記載の実装構造体。
【請求項４】
前記バンプの合金組成と、前記接合材料とが、Ｓｎ系材料であることを特徴とする
請求項１記載の実装構造体。
【請求項５】
前記バンプの合金組成がＳｎＡｇＣｕ系のはんだで形成され、前記接合材料が、ＳｎＢｉ系であることを特徴とする
請求項１記載の実装構造体。
【請求項６】
前記バンプの融点 ＞ 前記第２補強用樹脂の反応開始温度 ≧ 前記第１補強用樹脂の反応開始温度 ＞ 前記接合材料の融点
である
請求項１記載の実装構造体。
【請求項７】
前記第１補強用樹脂の反応開始温度と前記第２補強用樹脂の反応開始温度とは、５℃から１５℃の差がある
請求項１記載の実装構造体。
【請求項８】
前記第１補強用樹脂の反応開始温度と前記第２補強用樹脂の反応開始温度は、前記接合材料の融点との温度差が２℃から１７℃である
請求項１記載の実装構造体。
【請求項９】
回路基板上の第２電極上に、はんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和したペーストを塗布し、
前記混和したペーストを介して前記回路基板の第２電極上に、半導体パッケージをバンプを介してマウントし、
前記半導体パッケージの外周部と前記回路基板との間にわたって補強用樹脂を塗布し、
前記回路基板と前記半導体パッケージとを加熱することにより、前記接合材料と前記熱硬化性樹脂とを分離させ、
前記バンプの融点より低い融点を有する前記接合材料を用いることで、前記接合材料が溶融し、前記バンプに濡れ上がり、その後、前記熱硬化性樹脂が前記接合材料と前記バンプの周囲に濡れ上がり、その後、前記熱硬化性樹脂と前記補強用樹脂が硬化する
実装構造体の製造方法。
【請求項１０】
回路基板上の第２電極上に、接合材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和したペーストを塗布し、
前記回路基板における前記半導体パッケージがマウントされる周辺領域に補強用樹脂を塗布し、
前記混和したペーストに前記半導体パッケージをバンプを介して回路基板の第２電極上にマウントし、
前記回路基板と前記半導体パッケージとを加熱することにより、前記接合材料と前記熱硬化性樹脂とを分離させ、
前記バンプの融点より低い融点を有する前記接合材料を用いることで、前記接合材料が溶融し、前記バンプに濡れ上がり、その後、前記熱硬化性樹脂が前記接合材料と前記バンプの周囲に濡れ上がり、その後、前記熱硬化性樹脂と前記補強用樹脂を硬化させる
実装構造体の製造方法。
【請求項１１】
前記熱硬化性樹脂と前記補強用樹脂の反応開始温度が、前記接合材料の融点以上、かつ、前記バンプの融点以下であることを特徴とする
請求項９または請求項１０記載の実装構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板に半導体パッケージ部品を表面実装した実装構造体およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のＢＧＡ（Ball Grid Array ）やＣＳＰ（ Chip Scale Package ）のように下面
にバンプを有する半導体パッケージ部品は、図６（ａ）〜（ｄ）で説明する工程によって実装されている。【０００３】
図６（ａ）では、回路基板１０５の第２電極１０４にＳｎＡｇＣｕはんだペースト６０１が印刷される。そして図６（ｂ）に示すように、半導体パッケージ１０１の第１電極１０２上に形成されたバンプ１０３が、ＳｎＡｇＣｕはんだペースト６０１を介して第２電極１０４にあたるように実装される。【０００４】
図６（ｃ）で、リフローをする。リフローすると第２電極１０４に印刷されたＳｎＡｇＣｕはんだペースト６０１と第１電極１０２上に形成されたバンプ１０３のはんだが、溶融し、セルフアライメント性によって半導体パッケージ１０１が適正な位置に移動する。その後、はんだの溶融温度以下に達するとはんだが凝固し、はんだ６０２となり半導体パッケージ１０１の回路基板１０５への電気接続が完了する。このときの、第２電極１０４に印刷されたＳｎＡｇＣｕはんだペースト６０１と半導体パッケージ１０１のバンプ１０３の組成は同一であり、一般的には、ＳｎＡｇＣｕ系のものが用いられる。【０００５】
また、ＢＧＡやＣＳＰのように下面にバンプが形成されている半導体パッケージ１０１は、携帯電話装置に代表されるモバイル機器に利用されており、これらの商品に求められる機能として、落下衝撃に耐えることが求められている。この対策として、例えばＢＧＡと回路基板１０５とをはんだ接合する場合には、図６（ｄ）に示すように、ＳｎＡｇＣｕはんだ６０２によるはんだ付け後に半導体パッケージ１０１と回路基板１０５の間にアンダーフィル６０３を充填して、接合部の耐落下特性を高める手法が用いられている（特許文献１）。【０００６】
また、近年、環境問題、特に地球温暖化の関心の高まりから、従来用いられてきたＳｎＡｇＣｕ系のはんだよりも融点の低いＳｎＢｉ系はんだ材料の使用が検討され始めている。ところが、低融点はんだを用いたＢＧＡ接続に関する接続信頼性は確立されていない。【０００７】
従来の低融点はんだを用いたＢＧＡ接続に関しては、以下のようなものがある。
例えば、図７は特許文献２に記載された実装構造体である。
この実装構造体は、第１電極１０２を有する半導体パッケージ１０１と第２電極１０４を有する回路基板１０５と、第１電極１０２上に形成されたバンプ１０３と、バンプ１０３と第２電極１０４の間に配置され、バンプ１０３を通じて第１電極１０２と第２電極１０４とを電気的に接続する接合部材１０６と、バンプ１０３と接合材料１０６との接合部分および接合部材を覆うように個々の接合部材の周囲に配置された補強用樹脂１０７とを備え、それぞれの補強用樹脂１０７が、隣接する補強用樹脂同士が接触しないように、互いに離間して配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−１０１９０６号公報
【特許文献２】ＷＯ２０１０／０５０１８５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献２のように補強用樹脂１０７を設けたことによって、従来のＳｎＡｇＣｕ系のはんだと同等以上の耐落下特性を得ることが可能である。
しかしながら、ＳｎＡｇＣｕ系はんだでのはんだ接合後、半導体パッケージ１０１と回路基板の間にアンダーフィル材６０３などを固着させた場合と比較すると、十分な耐落下特性を得ることができない。つまり、携帯電話装置に代表されるモバイル機器などに対して、従来用いられてきたＳｎＡｇＣｕ系のはんだよりも融点の低いＳｎＢｉ系はんだ材料を使用できないことを示している。【００１０】
また、アンダーフィル材を用いる場合、一度、ＳｎＡｇＣｕ系はんだでのはんだ接合後、ディスペンサーによるアンダーフィル材の塗布後、アンダーフィル材を硬化させるために硬化炉を用いて、硬化させることが必要である。このため、アンダーフィル材６０３を用いた実装構造体は、環境問題の点から好ましくない。【００１１】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、半導体パッケージを回路基板に電気的に接続した実装構造体において、接合部の耐落下特性を高めることができ、アンダーフィル材を用いる場合の硬化炉を必要としない環境に優しい実装構造体およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の実装構造体は、第１電極を有する半導体パッケージと、第２電極を有する回路基板と、前記第２電極と前記第１電極上に形成されたバンプとの間に配置され、前記バンプと第２電極とを電気的に接合するはんだを含む接合材料と、前記接合材料の周囲を覆う第１補強用樹脂と、前記回路基板に配置された前記半導体パッケージの外周部分と前記回路基板との間を覆う第２補強用樹脂とを含むことを特徴とする。【００１３】
また、本発明の実装構造体の製造方法は、回路基板上の第２電極上に、はんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和したペーストを塗布し、前記混和したペーストを介して前記回路基板の第２電極上に、半導体パッケージをバンプを介してマウントし、前記半導体パッケージの外周部と前記回路基板との間にわたって補強用樹脂を塗布し、前記回路基板と前記半導体パッケージとを加熱することにより、前記はんだ材料と前記熱硬化性樹脂とを分離させ、前記バンプの融点より低い融点を有する前記はんだ材料を用いることで、前記はんだ材料が溶融し、前記バンプに濡れ上がり、その後、前記熱硬化性樹脂が前記はんだ材料と前記バンプの周囲に濡れ上がり、その後、前記熱硬化性樹脂と前記補強用樹脂が硬化することを特徴とする。【００１４】
また、本発明の実装構造体の製造方法は、回路基板上の第２電極上に、はんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和したペーストを塗布し、前記回路基板における前記半導体パッケージがマウントされる周辺領域に補強用樹脂を塗布し、前記混和したペーストに前記半導体パッケージをバンプを介して回路基板の第２電極上にマウントし、前記回路基板と前記半導体パッケージとを加熱することにより、前記はんだ材料と前記熱硬化性樹脂とを分離させ、前記バンプの融点より低い融点を有する前記はんだ材料を用いることで、前記はんだ材料が溶融し、前記バンプに濡れ上がり、その後、前記熱硬化性樹脂が前記はんだ材料と前記バンプの周囲に濡れ上がり、その後、前記熱硬化性樹脂と前記補強用樹脂を硬化させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、前記接合材料の周囲が第１補強用樹脂で覆われており、かつ、半導体パッケージの外周部分と前記回路基板を第２補強用樹脂によって覆うことにより、接合部の耐落下特性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（ａ）本発明の実施の形態１における実装構造体の断面図と（ｂ）平面図
【図２】（ａ）〜（ｄ）は同実施の形態の製造工程を説明する図
【図３Ａ】同実施の形態の実施例１の条件で作成した実装構造体の断面の顕微鏡写真
【図３Ｂ】比較例１の条件で作成した実装構造体の断面の顕微鏡写真
【図３Ｃ】比較例２の条件で作成した実装構造体の断面の顕微鏡写真
【図４】（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施の形態２における製造の工程図
【図５Ａ】本発明の実施の形態３の実装構造体の断面図
【図５Ｂ】本発明の実施の形態３の実装構造体の要部の拡大図
【図６】（ａ）〜（ｄ）は特許文献１における実装構造体の断面図
【図７】特許文献２における実装構造体の断面図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１（ａ）（ｂ）は、回路基板１０５に半導体パッケージ１０１を実装した実施の形態１の実装構造体１００を示す。
【００１８】
半導体パッケージ１０１の第１電極１０２、バンプ１０３、回路基板１０５の第２電極１０４などは、半導体パッケージ１０１の大きさに比べて拡大して図示されている。半導体パッケージ１０１の具体的な大きさは、例えば、□１１ｍｍであり、バンプ１０３は０．５ｍｍピッチでは４４１個のバンプが設けられている。回路基板１０５は、ＪＥＤＥＣ半導体技術協会（ JEDEC Solid State Technology Association ）規格に準拠して作成されたもので、長手１３２ｍｍ、短手７７ｍｍの大きさで、厚み１．０ｍｍで、電極材料が銅で、基板材質は、ガラスエポキシ材料である。
【００１９】
図２（ａ）〜（ｄ）はこの実装構造体１００の製造工程を説明する図である。
図２（ａ）では、回路基板１０５の第２電極１０４上にそれぞれ混合ペースト３０１を印刷する。混合ペースト３０１は、ＳｎとＢｉ、Ｉｎ、Ａｇ、およびＣｕの群から選ばれる２種類もしくは、それ以上の元素との組み合わせからなる合金組成のはんだ材料（後に接合材料１０６となるもの）と、未硬化状態の熱硬化性樹脂（後に補強用樹脂１０７となるもの）とからなる。
【００２０】
図２（ｂ）では、半導体パッケージ１０１の第１電極１０２上に形成されたバンプ１０３と、回路基板１０５上に印刷された混合ペースト３０１とを接触させるように、回路基板１０５上に半導体パッケージ１０１をマウントする。
【００２１】
図２（ｃ）では、半導体パッケージ１０１の外周と回路基板１０５の表面の間に、第２補強用樹脂としての補強用樹脂１０８をディスペンサー３０２で塗布する。その後、図２（ｄ）では、リフロー装置を用い、混合ペースト３０１と補強用樹脂１０８を加熱して、混合ペースト３０１を溶融し、混合ペースト３０１から、接合材料１０６と第１補強用樹脂としての補強用樹脂１０７とを分離させる。その結果、第１電極１０２と第２電極１０４との間をバンプ１０３と接合材料１０６とで結合し、かつ、接合材料１０６とバンプ１０３との境目を補強用樹脂１０７で覆う。補強用樹脂１０８は、半導体パッケージ１０１の外周部分を覆うとともに、回路基板１０５との間にフィレットを形成する。図１（ａ）は図２（ｄ）の拡大図である。
【００２２】
この製造方法によると、半導体パッケージ１０１の第１電極１０２上に形成されたバンプ１０３と、回路基板１０５の第２電極１０４の間が、溶融固化した接合材料１０６によってはんだ接続されて電気的に導通している。接合材料１０６は、バンプ１０３より融点が低い合金組成である。回路基板１０５の第２電極１０４の周囲と、バンプ１０３との間は、補強用樹脂１０７で覆って接合されている。また、半導体パッケージ１０１の外周部と、回路基板１０５との間も、補強用樹脂１０８によって接合されている。補強用樹脂１０８は、半導体パッケージ１０１と回路基板１０５の間をつなぐとともに、半導体パッケージ１０１の周囲にフィレットを形成している。
【００２３】
この実施の形態１では、補強用樹脂１０８は、半導体パッケージ１０１の外周部と回路基板１０５を覆うように配置されているが、補強用樹脂１０８と半導体パッケージ１０１の第１電極上に形成されたバンプ１０３や、補強用樹脂１０７とは接触しないように、配置されている。
【００２４】
このように、バンプ１０３を通じて第１電極１０２と第２電極１０４を電気的に接続する接合材料１０６を、補強用樹脂１０７と補強用樹脂１０８の両方で補強することによって、さらに詳しくは、半導体パッケージ１０１と回路基板１０５の間をつなぐとともに、半導体パッケージの周囲にフィレットを補強用樹脂１０７で形成しているので、落下などの機械的衝撃を受けた場合においても、回路基板１０５の変形を抑制することができ、図７に示した従来例のように、接合材料１０６を補強用樹脂１０７だけで補強した場合に比べて、接合部の耐落下特性を高めることができる。
【００２５】
さらに、アンダーフィル材を用いる場合の硬化炉を必要としない環境に優しい製造方法である。また、半導体パッケージ１０１と回路基板１０５の間の全部に補強用樹脂１０８が充填されているのではなく、補強用樹脂１０８が充填されていない空間１０９が形成されているため、図６に示した従来例に較べてアンダーフィル樹脂の使用量が少ない。
【００２６】
ここで、半導体パッケージ１０１の実装構造体１００の構成および材料仕様になどについて、さらに詳細に説明する。
バンプ１０３は、Ｓｎ系合金から形成されていることが望ましい。例えば、ＳｎＢｉ系、ＳｎＩｎ系、ＳｎＢｉＩｎ系、ＳｎＡｇ系、ＳｎＣｕ系、ＳｎＡｇＣｕ系、ＳｎＡｇＢｉ系、ＳｎＣｕＢｉ系、ＳｎＡｇＣｕＢｉ系、ＳｎＡｇＩｎ系、ＳｎＣｕＩｎ系、ＳｎＡｇＣｕＩｎ系、およびＳｎＡｇＣｕＢｉＩｎ系からなる群から選ばれる合金組成を用いることができる。
特に、Ｓｎ系がよい。Ｓｎ系合金は融点が２３１℃と低くく、Ｃｕ電極に濡れ易く、他の合金と化合物を作りやすい。また安価で、毒性も低いためである。
【００２７】
接合材料１０６は、バンプ１０３より融点が低い合金組成を用いることができる。好ましい例としては、バンプ１０３と接合材料１０６ともに、同じ系、または、主成分が同じＳｎ系が好ましい。
補強用樹脂１０７、１０８は、主成分の樹脂成分と、硬化剤とを含み、必要に応じて、粘度調整／チクソ性付与添加剤を含む。
補強用樹脂１０７は、熱硬化性樹脂であり、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、オキセタン樹脂など、さまざまな樹脂を含むことができる。これらは、単独で用いてもよく、２種類以上を組み合わせても良い。これらのうちでは、エポキシ樹脂が好適である。
【００２８】
補強用樹脂１０８は、熱硬化性樹脂であり、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、オキセタン樹脂など、さまざまな樹脂を含むことができる。これらは、単独で用いてもよく、２種類以上を組み合わせても良い。これらのうちでは、エポキシ樹脂が好適である。
補強用樹脂１０７と、補強用樹脂１０８とは、樹脂成分がともにエポキシ系などの同じ系の樹脂がよい。さらに、樹脂成分を同じにして、含有させる硬化剤のみを変えることで反応開始温度のみを２つの樹脂で変えるのが好ましい。
【００２９】
エポキシ樹脂としては、ビスフェノール型エポキシ樹脂、多官能エポキシ樹脂、可とう性エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、高分子型エポキシ樹脂の群から選ばれるエポキシ樹脂を用いることができる。例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などが用いられる。これらを変性させたエポキシ樹脂も用いられる。これらは、単独で用いてもよく、２種類以上を組み合わせて用いても良い。
【００３０】
上記のような熱硬化性樹脂と組み合わせて用いる硬化剤としては、チオール系化合物、アミン系化合物、多官能フェノール系化合物、イミダゾール系化合物、および酸無水物系化合物の群から選ばれる化合物を用いることができる。これらは、単独で用いてもよく、２種類以上を組み合わせてもよい。
【００３１】
また、必要に応じ、粘度調整／チクソ性付与添加剤として、無機系あるいは、有機系のものを使用でき、例えば、無機系であれば、シリカやアルミナなどが用いられ、有機系であれば、アマイド、ポリエステル系、ひまし油などの誘導体などが用いられる。これらは、単独でもよく、２種類以上を組み合わせてもよい。
【００３２】
（実施例）
本発明の実施例として、はんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１の種類と補強用樹脂１０８、リフロー到達温度を変化させ、導通の合否、耐落下特性の影響を調べ、下記の表１にその結果を示した。
【００３３】
【表１】
2013168352.tif 000003
−  材料  −
はんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１は、はんだ材料にＳｎ５８Ｂｉはんだ８８重量部に対し、未硬化状態の熱硬化性樹脂として、熱硬化性樹脂であるビスフェノールＦ型エポキシ樹脂（商品名「ＹＤＦ−７５１０」新日鐵化学株式会社製）を用いた。
【００３４】
粘度調整剤／チクソ付与材には、ひまし油系チクソ剤（商品名「ＴＨＩＸＣＩＮ  Ｒ」エレメンティスジャパン（ElementisSpecialties, Inc.）製）と硬化剤であるイミダゾール系硬化剤、フラックス作用を有する有機酸（「アジピン酸」関東化学株式会社製）を練り込んだものを１８重量部混ぜたものを使用した。このとき、硬化剤であるイミダゾール系硬化剤に関しては、以下の考えで調整した。はんだ材料の融点が１３８℃のＳｎ５８Ｂｉに対して、エポキシ樹脂と硬化剤の反応開始温度が１３０℃、１４０℃、１５５℃となる未硬化状態の熱硬化性樹脂を作成する場合において、それぞれ、２，４−ジアミノ−６−（２’−メチルイミダゾリル−（１’））−エチル−ｓ−トリアジンイソシアヌル酸付加物（商品名「２ＭＡ−ＯＫ」四国化成工業株式会社製）、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾール（商品名「２Ｐ４ＭＨＺ−ＰＷ」四国化成工業株式会社製）、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール（商品名「２ＰＨＺ−ＰＷ」四国化成工業株式会社製）を使用した。
【００３５】
ＳｎＡｇＣｕ混合ペースト３０１には、Ｓｎ３．０Ａｇ０．５Ｃｕ（商品名「Ｍ７０５−ＧＲＮ３６０−Ｌ６０Ａ」千住金属工業株式会社製）を用いた。
半導体パッケージ１０１には、第１電極上に形成されたバンプ１０３として、Ｓｎ３．０Ａｇ０．５Ｃｕボール搭載の半導体パッケージを用いた。
【００３６】
Ｓｎ５８Ｂｉはんだの融点は、１３８℃であり、Ｓｎ３．０Ａｇ０．５Ｃｕはんだの融点は、２１７℃である。
補強用樹脂１０８には、熱硬化性樹脂には、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂（商品名「ＹＤＦ−７５１０」新日鐵化学株式会社製）、硬化剤には、１３０℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２ＭＡ−ＯＫ」四国化成工業株式会社製）、１４０℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２Ｐ４ＭＨＺ−ＰＷ」四国化成工業株式会社製）、または、１５５℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２ＰＨＺ−ＰＷ」四国化成工業株式会社製）粘度調整／チクソ性付与添加剤には、シリカ系チクソ剤（商品名「AEROSIL RY200」日本アエロジル株式会社製）を共通して使用した。
【００３７】
（評価）
それぞれの実装構造体の評価は、以下のように行った。
導通の合否として、実装構造体作成後、テスターにて、導通の有無を確認した。導通の合否は、抵抗値が９．８〜１０Ωの範囲である場合を合格として、○で表記し、範囲外である場合を、×と表記した。
【００３８】
耐落下試験としては、耐落下寿命で評価した。具体的には、ＪＥＤＥＣ規格に準拠し、加速度、１５００Ｇ、落下時間、０．５秒の条件で実装構造体を落下させ、電気的接続に瞬断が生じたときを耐落下寿命とし、瞬断発生までの落下回数を耐落下寿命とした。瞬断の合否判定としては、落下時に、半導体パッケージに２．０Ｖの電圧を印加し、電圧が１０％以上低下したときを不合格と判断した。また、このときの最高落下回数を３０回とした。
【００３９】
なお、ここで用いた半導体パッケージの大きさは、□１１ｍｍサイズであり、第１電極上に形成されたバンプ１０３は、０．５ｍｍピッチで、バンプ数は４４１個であり、回路基板１０５は、長手１３２ｍｍ、短手７７ｍｍの大きさで、厚み１．０ｍｍで、電極材料が銅で、基板材質は、ガラスエポキシ材料である。
【００４０】
（評価結果１：導通試験）
表１の実施例１〜３、比較例１〜２の条件で、図２に示した実装方法１で作成した実装構造体の導通の合否について評価した結果を示す。
【００４１】
表１は、はんだ材と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１のはんだ組成をＳｎ５８Ｂｉ（融点：１３８℃）とし、はんだ材と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１に含まれる未硬化状態の熱硬化性樹脂の硬化剤と補強用樹脂１０８に含まれる硬化剤の反応開始温度を変化させ、本発明の実装構造体を作成する際に求められる材料特性について検討した結果を示している。
【００４２】
実施例１の条件は、はんだ材と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１を用いて、実装構造体１００を作成した。
はんだ材と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１のはんだ組成がＳｎ５８Ｂｉ（はんだ融点１３８℃）、１４０℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２Ｐ４ＭＨＺ−ＰＷ」四国化成工業株式会社製）を用いて作成されたもので、補強用樹脂１０８の硬化剤にも同様のものを用いて実装構造体を作成したところ、抵抗値が、９．９Ωとテスターにて導通がとれることが確認された。
【００４３】
図３Ａは、実施例１の条件で作成した実装構造体の断面の顕微鏡写真である。半導体パッケージ１０１、第１電極１０２、第１電極上に形成されたバンプ１０３、回路基板１０５上に形成された第２電極１０４、接合材料１０６、補強用樹脂１０７から構成されている。
【００４４】
このときの、第１電極上に形成されたバンプ１０３の組成は、融点が２１７℃のＳｎ３．０Ａｇ０．５Ｃｕはんだバンプとした。また、実装構造体を作成する際のリフロー到達温度は、１６０℃とした。
【００４５】
その結果、接合材料１０６が、バンプ１０３の周囲に破線部まで濡れ上がっており、更にその周囲を補強用樹脂１０７が破線部までフィレット形状を形成していることが確認された。
【００４６】
これらの結果より、図３Ａの構造体の作成には、混合ペースト３０１のはんだ融点の１３８℃に対し、未硬化状態の熱硬化性樹脂と補強用樹脂の硬化剤の反応開始温度が１４０℃と高いことが有効であることがわかった。
【００４７】
また、実施例２、３の条件、Ｓｎ５８Ｂｉはんだの融点１３８℃融点よりも反応開始温度が高い１４０℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２Ｐ４ＭＨＺ−ＰＷ」四国化成工業株式会社製）、または、１５５℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２ＰＨＺ−ＰＷ」四国化成工業株式会社製）を用いた作成したはんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１や補強用樹脂１０８を用いて、実装構造体を作成した場合においても、実施例１と同様の結果を得ることができた。
【００４８】
つまり、はんだ材と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１のはんだ融点より、未硬化状態の熱硬化性樹脂と補強用樹脂１０８の硬化剤の反応開始温度が、高いことが、本発明の実装構造体を作成するなかで重要となる。
【００４９】
次に、比較例１の条件、混合ペースト３０１のはんだの融点１３８℃に対し、はんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１の反応開始温度が、１３０℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２ＭＡ−ＯＫ」四国化成工業株式会社製）で、補強用樹脂１０８が１４０℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２Ｐ４ＭＨＺ−ＰＷ」四国化成工業株式会社製）のものを用いて実装構造体を作成したところ、抵抗値が、１８Ωと導通の確認が得られなかった。
【００５０】
つまり、実施例１との違いは、はんだの融点１３８℃に対して、未硬化状態の熱硬化性樹脂の硬化剤の反応開始温度が１３０℃、補強用樹脂１０８の反応開始温度が、１４０℃である。
【００５１】
比較例１の条件で作成した実装構造体の断面の顕微鏡写真を図３Ｂに示す。これを観察したところ、補強用樹脂１０７が、バンプ１０３の周囲に破線部まで濡れ上がっているのが確認されたものの、接合材料１０６がバンプ１０３の周囲にまで濡れ上がらず、破線部の状態で留まっているのが確認された。
【００５２】
つまり、比較例１の条件で実装構造体を作成すると、はんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１に含まれるはんだ材料が第１電極上に形成されたバンプ１０３の周囲に濡れ上がる前に、未硬化状態の熱硬化性樹脂が第１電極上に形成されたバンプ１０３の周囲に濡れ上がり硬化が完了するために導通の確認が得られないことがわかった。
【００５３】
また、比較例２の条件、混合ペースト３０１のはんだの融点１３８℃に対し、はんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１の反応開始温度が、１４０℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２Ｐ４ＭＨＺ−ＰＷ」四国化成工業株式会社製）で、補強用樹脂１０８が１３０℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２ＭＡ−ＯＫ」四国化成工業株式会社製）のものを用いて実装構造体を作成したところ、抵抗値が、２３Ωと、導通の確認は得られなかった。
【００５４】
つまり、実施例１との違いは、はんだの融点１３８℃に対して、未硬化状態の熱硬化性樹脂の硬化剤の反応開始温度が１４０℃、補強用樹脂１０７の反応開始温度が、１３０℃である。
【００５５】
比較例２の条件で作成した実装構造体の断面の顕微鏡写真を図３Ｃに示す。これを観察したところ、バンプ１０３の周囲に、補強用樹脂１０８は濡れ上がっているものの、接合材料１０６が濡れ上がっていないことが確認された。
【００５６】
これは、はんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１のはんだ材の融点（１３８℃）よりも先に、１３０℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２ＭＡ−ＯＫ」四国化成工業株式会社製）からなる補強用樹脂１０８が硬化してしまい、はんだ溶融時に、半導体パッケージ１０１が沈み込まなかった。そのため、溶融したはんだと、第１電極上に形成されたバンプ１０３間の距離が長くなり、溶融したはんだが、第１電極上に形成されたバンプ１０３に濡れ上がることができなかった。
【００５７】
−  導通試験の結果まとめ  −
これらの結果より、本発明の実装構造体を作成する場合において、回路基板１０５に塗布されるはんだ材料の融点に対し、未硬化状態の熱硬化性樹脂および補強用樹脂の反応開始温度が高いことが好ましいことがわかる。
【００５８】
本発明の実装構造体の作成プロセスとしては、はんだ材料と未硬化状態の熱硬化樹脂が混和した混合ペースト３０１に含まれるはんだ材料が溶融し、半導体パッケージの１０１の第１電極上に形成されたバンプ１０３にはんだ材料が濡れ上がった後、その周囲に未硬化状態の熱硬化樹脂が濡れ上がり、未硬化状態の熱硬化樹脂と補強用樹脂の硬化が開始し、完了することが、本発明の実装構造体を作成するプロセスとして有用であることが、導通の合否からもわかる。
【００５９】
つまり、本発明の実装構造体を作成するポイントとしては、半導体パッケージ１０１の第１電極上に形成されたバンプ１０３の融点、はんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１に含まれるはんだ材の融点とはんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１に含まれる熱硬化性樹脂と補強用樹脂１０８の反応開始温度の関係が下記の関係であることが望ましい。
【００６０】
第１電極上に形成されたバンプ１０３の融点 ＞ 補強用樹脂１０８が硬化を開始する反応開始温度 ≧ 混合ペースト３０１中の熱硬化性樹脂の反応開始温度 ＞ 混合ペースト３０１中のはんだ材の融点の関係が必要である。
補強用樹脂１０８の反応開始温度と混合ペースト３０１中の熱硬化性の補強用樹脂１０７）の反応開始温度は、５℃から１５℃の差があった方がよい。
その理由は、補強用樹脂１０７が、はんだのバンプへの濡れ上がるための時間と、その周囲を覆うための補強用樹脂１０７の濡れ上がりのための時間を稼ぐためである。温度差がありすぎると、高い温度まで熱処理が必要となる。
混合ペースト３０１中のはんだ材料の融点と、２つの樹脂の反応開始温度との差は、例えば、２℃から１７℃で、好ましくは、１０℃以上がよい。
温度差が必要な理由は、はんだ材料が溶けて、半導体パッケージ１０１と前記回路基板１０５とのセルフアライメントの時間が必要であることです。
一方、温度差がありすぎると、上記同様全体の熱処理温度が高くなってしまうことである。
【００６１】
−  落下試験  −
実施例１と下記の表２に示す比較例３〜４について、実装構造体の耐落下特性の合否を評価した。
【００６２】
【表２】
2013168352.tif 000004
実施例１は図１に示した実装構造体１００、比較例４は図６（ｄ）に示した実装構造体、比較例３は図６（ｃ）に示す状態の実装構造体である。
【００６３】
耐落下試験は、耐落下寿命で評価した。具体的には、ＪＥＤＥＣ規格に準拠し、加速度、１５００Ｇ、落下時間、０．５秒の条件で実装構造体を落下させ、電気的接続に瞬断が生じたときを耐落下寿命とし、瞬断発生までの落下回数を耐落下寿命とした。瞬断の合否判定としては、落下時に、半導体パッケージに２．０Ｖの電圧を印加し、電圧が１０％以上低下したときを不合格と判断した。また、このときの最高落下回数を３０回とした。
【００６４】
なお、ここで用いた半導体パッケージの大きさは、□１１ｍｍサイズであり、第１電極上に形成されたバンプ１０３は、０．５ｍｍピッチで、バンプ数は４４１個であり、回路基板１０５は、長手１３２ｍｍ、短手７７ｍｍの大きさで、厚み１．０ｍｍで、電極材料が銅で、基板材質はガラスエポキシ材料である。
【００６５】
実施例１の条件にて実装構造体を作成し、耐落下寿命を評価したところ、３０回を示した。なお、このときのリフロー到達温度は、１６０℃である。
このときのバンプ１０３の組成は、融点が２１７℃のＳｎ３．０Ａｇ０．５Ｃｕはんだバンプとした。また、実装構造体を作成する際のリフロー到達温度は、１６０℃とし、１４０℃硬化対応のイミダゾール系硬化剤（商品名「２Ｐ４ＭＨＺ−ＰＷ」四国化成工業株式会社製）を用いて作成されたはんだ材と未硬化状態の熱硬化性樹脂とが混和した混合ペースト３０１を用い、はんだ材は、融点が１３８℃のＳｎＢｉとした。
【００６６】
比較例３において、図６（ｃ）に示す実装構造体を作成し、評価した。
図６（ｃ）は、半導体パッケージ１０１、第１電極１０２、回路基板１０５、第２電極１０４、ＳｎＡｇＣｕはんだペースト６０１から構成されている。
【００６７】
実装構造体の作成方法は、図６に示す通りである。図６では、回路基板１０５の第２電極１０４にＳｎＡｇＣｕはんだペースト６０１が印刷され（図６（ａ））、半導体パッケージ１０１の第１電極上に形成されたバンプ１０３があたるように実装される（図６（ｂ））。
【００６８】
図６（ｃ）で、リフローをする。リフローすると第２電極１０４に印刷されたＳｎＡｇＣｕはんだペースト６０１と第１電極上に形成されたバンプ１０３のはんだが、溶融し、セルフアライメント性によって半導体パッケージ部品が適正な位置に移動する。その後、はんだの溶融温度以下に達すると、はんだを凝固させ、半導体パッケージ１０１の回路基板１０５への電気接続が完了する。このときの、第２電極１０４に印刷されたＳｎＡｇＣｕはんだペースト６０１と半導体パッケージ１０１のバンプ１０３の組成は同一である。また、このときのリフロー到達温度は、２５０℃である。
【００６９】
この実装構造体（図６（ｃ））について評価したところ、耐落下寿命が５回であり、実施例４の耐落下寿命に対して劣ることがわかる。
比較例４の条件で作成した図６（ｄ）のアンダーフィル６０３を用いた実装構造体を作成し、耐落下特性を評価した。この実装構造体（図６（ｄ））は、比較例３の方法にて作成した実装構造体（図６（ｃ））に、ディスペンサーにて、アンダーフィル６０３を塗布後、加熱にて硬化させたものである。
【００７０】
この実装構造体（図６（ｄ））について評価したころ、耐落下寿命が３０回（最大落下回数）であり、実施例６と同等の接続信頼性が得られる実装構造体であることがわかった。
【００７１】
−  落下試験の結果のまとめ  −
つまり、実施例１の条件で作成した実装構造体（図１に示す実装構造体）が、従来の半導体パッケージ部品と回路基板をはんだ付け接合して作成した実装構造体と同等の接続信頼性を与えるものであることがわかる。
【００７２】
上述のように、本発明は、第１電極１０２を有する半導体パッケージ１０１と、第２電極１０４を有する回路基板１０５と、第２電極１０４と第１電極１０２上に形成されたバンプ１０３との間に配置され、バンプ１０３を通じて第１電極１０２と第２電極１０４とを電気的に接合する接合材料１０６と、前記回路基板１０５に配置された半導体パッケージ１０１の外周部分と前記回路基板１０５が補強用樹脂によって覆う、特にバンプ１０３と接合材料１０６との接合部を覆うように、個々の接合材料の周囲を補強用樹脂で覆うことにより、耐落下特性の向上が見込まれる実装構造体と言える。つまり、携帯電話装置に代表されるモバイル機器に利用可能ということである。また、この実装構造体の製造時の、リフロー到達温度が従来のものより低いことから、環境問題、特に地球温暖化の対策として有用であると言える。
【００７３】
つまり、本発明の実装構造体を作成するポイントとしては、半導体パッケージ１０１の第１電極１０２上に形成されたバンプ１０３、はんだ材料と未硬化状態の熱硬化性樹脂が混和した混合ペースト３０１に含まれる熱硬化性樹脂と補強用樹脂１０８の反応開始温度の関係が下記の関係であることが望ましい。
【００７４】
第１電極１０２上に形成されたバンプ１０３の融点 ＞ 補強用樹脂１０８の反応開始温度 ≧ 混合ペースト３０１に含まれる熱硬化性樹脂の反応開始温度 ＞ はんだ材料の融点という関係が必要である。
【００７５】
また、この条件にて作成した実装構造体の耐落下特性は、従来のはんだ付け方法、つまり、はんだ付け後にＢＧＡと回路基板の間に補強樹脂材料を充填してＢＧＡと回路基板とを固着させることにより、接合部の耐落下特性を高める手法が用いられている（図６（ｄ））（特許文献１）と同等であることがわかる。
【００７６】
このように、本発明の実装構造体およびその製造方法は、半導体パッケージと回路基板との接合部の耐落下特性を高めることができ、携帯電話装置に代表されるモバイル機器などに対して、従来用いられてきたＳｎＡｇＣｕ系のはんだよりも融点の低いＳｎＢｉ系はんだ材料を使用可能にすることができる。
【００７７】
（実施の形態２）
図４（ａ）〜（ｄ）は、実装構造体１００の別の製造方法を示す。
図２に示した実施の形態１の製造工程では、回路基板１０５上に半導体パッケージ１０１をマウントした後で、リフローを実施する前のタイミングに、ディスペンサー３０２によって補強用樹脂１０８を塗布したが、この実施の形態２では、半導体パッケージ１０１を回路基板１０５上にマウントする前に、補強用樹脂１０８を回路基板１０５に塗布している点が異なっている。その他は実施の形態１と同じである。
【００７８】
図４（ａ）では、回路基板１０５の第２電極１０４上に、混和した混合ペースト３０１を印刷する。
その後、図４（ｂ）では、回路基板１０５における半導体パッケージ１０１がマウントされる周辺領域に補強用樹脂１０８をディスペンサー３０２で塗布する。
【００７９】
その後、図４（ｃ）では、半導体パッケージ１０１の第１電極１０２上に形成されたバンプ１０３と、回路基板１０５上に印刷された混合ペースト３０１とを接触させるように、回路基板１０５上に半導体パッケージ１０１をマウントする。
【００８０】
その後、図４（ｄ）では、リフロー装置を用い、混合ペースト３０１と補強用樹脂１０８を加熱して、混合ペースト３０１を溶融し、混合ペースト３０１から接合材料１０６と補強用樹脂１０７とを分離させる。結果、第１電極１０２と第２電極１０４との間をバンプ１０３と接合材料１０６とで結合し、かつ、接合材料１０６と、接合材料１０６とバンプ１０３との境目を補強用樹脂１０７で覆う。補強用樹脂１０８は、半導体パッケージ１０１の外周部分を覆うとともに、回路基板１０５との間にフィレットを形成する。
【００８１】
このように、図４に示した製造方法でも図１に示した実装構造体１００を製造できる。
（実施の形態３）
図５Ａと図５Ｂは本発明の実施の形態３の実装構造体を示す。
【００８２】
図５Ａは、本発明の実施の形態２における実装方法によって得られる実装構造体１００の半導体パッケージ１０１の断面図であり、また、図５Ｂは、図５Ａの左端を拡大したものである。
【００８３】
実施の形態１の実装構造体１００は、補強用樹脂１０８の内周１１０が補強用樹脂１０７やバンプ１０３に接触していなかったが、この実施の形態３では、補強用樹脂１０８が、半導体パッケージ１０１、第１電極上に形成されたバンプ１０３、バンプを通じて第１電極と第２電極を電気的に接合する接合材料１０６を補強する補強用樹脂１０７と回路基板１０５と接している。補強用樹脂１０８と補強用樹脂１０７の成分が同じであることが好適である。
【００８４】
補強用樹脂１０８としてはエポキシ樹脂が好適である。補強用樹脂１０８と補強用樹脂１０７の成分を同じにすることにより、リフロー時の熱の作用による樹脂の反応開始温度を調整することが容易であり、また、硬化時に、補強用樹脂１０８とバンプを通じて第１電極と第２電極を電気的に接合する接合材料１０６を補強する補強用樹脂１０７の成分が混和したとしても、硬化物としての樹脂の物性を保持しやすい。
【００８５】
この実施の形態３の実装構造体１００は、図２（ｃ）に示した工程または図４（ｂ）に示した工程において、補強用樹脂１０８の量を増やすことで製造できる。
この実施の形態３の実装構造体の耐落下特性は実施の形態１の場合よりも良好である。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明によると、携帯電話装置に代表されるモバイル機器などの信頼性の向上に寄与する。
【符号の説明】
【００８７】
１００  実装構造体
１０１  半導体パッケージ
１０２  第１電極
１０３  バンプ
１０４  第２電極
１０５  回路基板
１０６  接合材料
１０７  補強用樹脂（第１補強用樹脂）
１０８  補強用樹脂（第２補強用樹脂）
３０１  混合ペースト
３０２  ディスペンサー
【図１】
2013168352.tif 000005
【図２】
2013168352.tif 000006
【図４】
2013168352.tif 000007
【図５Ａ】
2013168352.tif 000008
【図５Ｂ】
2013168352.tif 000009
【図６】
2013168352.tif 000010
【図７】
2013168352.tif 000011
【図３Ａ】
2013168352.tif 000012
【図３Ｂ】
2013168352.tif 000013
【図３Ｃ】
2013168352.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成26年7月7日(2014.7.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極を有する半導体パッケージと、
第２電極を有する回路基板と、
前記第２電極と前記第１電極上に形成されたバンプとの間に配置され、前記バンプと第２電極とを電気的に接合するはんだを含む接合材料と、
前記接合材料の周囲を覆う第１補強用樹脂と、
前記回路基板に配置された半導体パッケージの外周部分と前記回路基板との間を覆う第２補強用樹脂とを含み、
前記バンプの融点  ＞  前記第２補強用樹脂の反応開始温度  ≧  前記第１補強用樹脂の反応開始温度  ＞  前記接合材料の融点
である実装構造体。
【請求項２】
前記バンプが、はんだ材料であることを特徴とする
請求項１記載の実装構造体。
【請求項３】
前記第１補強用樹脂と前記第２補強用樹脂とが接触していることを特徴とする
請求項１記載の実装構造体。
【請求項４】
前記第１補強用樹脂と第２補強用樹脂との樹脂成分が同じ組成で、含まれる硬化剤が異なることを特徴とする
請求項１記載の実装構造体。
【請求項５】
前記バンプの合金組成と、前記接合材料とが、Ｓｎ系材料であることを特徴とする
請求項１記載の実装構造体。
【請求項６】
前記バンプの合金組成がＳｎＡｇＣｕ系のはんだで形成され、前記接合材料が、ＳｎＢｉ系であることを特徴とする
請求項１記載の実装構造体。
【請求項７】
前記第１補強用樹脂の反応開始温度と前記第２補強用樹脂の反応開始温度とは、５℃から１５℃の差がある
請求項１記載の実装構造体。
【請求項８】
前記第１補強用樹脂の反応開始温度と前記第２補強用樹脂の反応開始温度は、前記接合材料の融点との温度差が２℃から１７℃である請求項１記載の実装構造体。
【請求項９】
回路基板上の第２電極上に、接合材料と未硬化状態の第１補強用樹脂が混和したペーストを塗布し、
前記混和したペーストを介して前記回路基板の第２電極上に、半導体パッケージをバンプを介してマウントし、
前記半導体パッケージの外周部と前記回路基板との間にわたって第２補強用樹脂を塗布し、
前記回路基板と前記半導体パッケージとを加熱することにより、前記接合材料と前記第１補強用樹脂とを分離させ、
前記接合材料が溶融し、前記バンプに濡れ上がり、その後、前記第１補強用樹脂が前記接合材料と前記バンプの周囲に濡れ上がり、その後、前記第１補強用樹脂と前記第２補強用樹脂が硬化する実装構造体の製造方法であり、
前記バンプの融点  ＞  前記第２補強用樹脂の反応開始温度  ≧  前記第１補強用樹脂の反応開始温度  ＞  前記接合材料の融点である
実装構造体の製造方法。
【請求項１０】
回路基板上の第２電極上に、接合材料と未硬化状態の第１補強用樹脂が混和したペーストを塗布し、
前記回路基板における前記半導体パッケージがマウントされる周辺領域に第２補強用樹脂を塗布し、
前記混和したペーストに前記半導体パッケージをバンプを介して回路基板の第２電極上にマウントし、
前記回路基板と前記半導体パッケージとを加熱することにより、前記接合材料と前記第１補強用樹脂とを分離させ、
前記接合材料が溶融し、前記バンプに濡れ上がり、その後、前記第１補強用樹脂が前記接合材料と前記バンプの周囲に濡れ上がり、その後、前記第１補強用樹脂と前記第２補強用樹脂を硬化させる実装構造体の製造方法であり、
前記バンプの融点  ＞  前記第２補強用樹脂の反応開始温度  ≧  前記第１補強用樹脂の反応開始温度  ＞  前記接合材料の融点である
実装構造体の製造方法。
【国際調査報告】
2013168352.tif 000015
2013168352.tif 000016
2013168352.tif 000017
2013168352.tif 000018
2013168352.tif 000019
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