(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能なヘッド本体と、
このヘッド本体に装着される把持具本体と、特定方向に相対的に接離可能な第１把持爪および第２把持爪とを含み、作動圧の供給を受けることにより作動する把持具と、
この把持具に繋がる圧力通路を含み、当該把持具に対して前記作動圧を供給する圧力供給機構と、を含み、
前記把持具本体は、前記圧力通路に連通しかつ前記特定方向に延びるシリンダと、このシリンダの内部を大気開放するためのリーク通路と、を備え、
前記第１把持爪は、前記シリンダ内に収容されるピストン部を含み、前記シリンダに供給される前記作動圧を受けることで当該シリンダに沿って前記第２把持爪に接近する第１方向に変位するとともに、両把持爪の間隔が被搬送物を把持する第１間隔よりも狭い第２間隔となる状態まで変位可能なように当該第１把持爪の最大変位量が設定されており、
前記ピストン部は、両把持爪の間隔が前記第２間隔になった状態で、前記リーク通路と前記シリンダとを連通させて前記シリンダ内の圧力をリークさせる通路開閉部を備える、ことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送装置において、
前記把持具本体は、前記ピストン部を前記第１方向とは逆の第２方向に付勢する付勢部材をさらに備えていることを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の搬送装置において、
前記第１把持爪を前記第１方向に変位させる力であって前記ピストン部が前記作動圧を受けることにより生じる前記第１把持爪の作動力が、前記リーク通路と前記シリンダとの連通状態に拘わらず前記付勢部材の付勢力よりも大きい、ことを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の搬送装置において、
前記通路開閉部は、両把持爪の間隔が前記第１間隔から狭まるに伴い前記シリンダ内の圧力が連続的に変化するように、前記リーク通路と前記シリンダとを連通させる、ことを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の搬送装置において、
前記圧力通路内の圧力又はエア流量を検出する検出部と、この検出部による検出データと前記圧力供給機構による前記作動圧の供給状態とに基づき、前記把持具による被搬送物の把持状態を判定する判定部と、を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項６】
基板上に部品を実装するための部品実装装置であって、
前記部品、又は当該部品の実装作業に用いられる作業用部材を被搬送物として搬送する、請求項１乃至５の何れか一項に記載の搬送装置を備えることを特徴とする部品実装装置。
【請求項７】
請求項６に記載の部品実装装置において、
前記作業用部材であって前記基板を支持するバックアップピンと、当該バックアップピンが抜き差し可能に装着されるバックアッププレートと、を含むバックアップ装置を備え、
前記搬送装置は、前記バックアップピンの配列変更のために前記バックアップピンを搬送することを特徴とする部品実装装置。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の部品実装装置において、
前記搬送装置は、部品を吸着することにより保持するノズルと前記把持具とが選択的に前記ヘッド本体に対して装着されるものであり、
前記圧力供給機構は、前記ノズルに部品吸着用の負圧を供給するとともに、当該負圧を前記作動圧として前記把持具に供給することを特徴とする部品実装装置。
【請求項９】
搬送装置に設けられる移動可能なヘッド本体に装着され、所定の圧力通路を通じて作動圧の供給を受けることにより作動する把持具であって、
前記ヘッド本体に装着される把持具本体と、特定方向に相対的に接離可能な第１把持爪および第２把持爪と、を備え、
前記把持具本体は、前記圧力通路に連通しかつ前記特定方向に延びるシリンダと、このシリンダの内部を大気開放するためのリーク通路と、を備え、
前記第１把持爪は、前記シリンダ内に収容されるピストン部を含み、前記シリンダに供給される前記作動圧を受けることで当該シリンダに沿って前記第２把持爪に接近する方向に変位するとともに、両把持爪の間隔が被搬送物を把持する第１間隔よりも狭い第２間隔となる状態まで変位可能なように当該第１把持爪の最大変位量が設定されており、
前記ピストン部は、両把持爪の間隔が前記第１間隔よりも狭くなった状態で、前記リーク通路と前記シリンダとを連通させて前記シリンダ内の圧力をリークさせる通路開閉部を備える、ことを特徴とする把持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品などの被搬送物を把持した状態で搬送する搬送装置、この搬送装置を含む部品実装装置、および前記搬送装置に適した把持具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、部品実装用のヘッドにより部品供給部から部品（被搬送物）を取り出して基板上の搭載位置に実装する部品実装装置が知られている。前記ヘッドは、ヘッド本体とこのヘッド本体に装着される部品保持部材とから構成される。部品保持部材は、部品を吸着するノズルや、部品を把持するメカチャック（把持具）があり、これらノズルやメカチャックが部品の種類に応じて使い分けられる。例えば、ＩＣ等の小型の電子部品はノズルで吸着され、コネクタ等の大型部品はメカチャックで把持されてそれぞれ搬送される。【０００３】
特許文献１には、上記のようなノズルおよびメカチャックを備えた部品実装装置の一例が開示されている。この部品実装装置は、ヘッド本体に対してノズルおよびメカチャックが選択的に装着される。ヘッド本体に対してノズルが装着された状態では、ヘッド内の通路を通じてノズルに負圧（作動圧）が供給され、これにより部品がノズル先端に吸着される。【０００４】
メカチャックは、ピストンの上下動に伴い一対のクランプ爪が開閉する構成である。つまり、ヘッド本体にメカチャックが装着され、前記ヘッド内の通路を通じてメカチャックに負圧が供給されると、前記ピストンが吸引されて上昇し、これにより前記クランプ爪が閉じる。一方、前記ヘッド内の通路を通じてメカチャックにエアブロー（正圧）が供給されると、前記ピストンが下降して前記クランプ爪が開く。従って、メカチャックは、クランプ爪が閉じることにより部品を把持する。【０００５】
この種の部品実装装置では、基板への部品の実装に先立ち、前記ヘッドが取り出した部品を当該ヘッドと共に固定カメラ上に移動させて撮像し、部品の有無や保持状態を事前に確認した上で基板上に実装することが行われる。しかし、メカチャックにより把持されるような大型部品を認識しようとすると、大型のカメラが必要となるため部品実装装置の大型化や高コスト化を伴う。また、大型部品が不完全な状態で保持されている場合には、例えば、固定カメラ上への移動途中に当該大型部品が基板上を引き摺られて、実装済み部品が位置ずれを起こすといった不都合が生じることも考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１２４６７９号公報
【発明の概要】
【０００７】
本発明は、メカチャックなどの把持具により被搬送物を把持して搬送する場合に、被搬送物の把持状態を、固定カメラなど、特定の位置に移動させることなく検知することが可能な技術を提供することを目的とする。
【０００８】
そして、本発明の一の局面にかかる搬送装置は、移動可能なヘッド本体と、このヘッド本体に装着される把持具本体と特定方向に相対的に接離可能な第１把持爪および第２把持爪とを含み、作動圧の供給を受けることにより作動する把持具と、この把持具に繋がる圧力通路を含み、当該把持具に対して前記作動圧を供給する圧力供給機構と、を含み、前記把持具本体は、前記圧力通路に連通しかつ前記特定方向に延びるシリンダと、このシリンダの内部を大気開放するためのリーク通路と、を備え、前記第１把持爪は、前記シリンダ内に収容されるピストン部を含み、前記シリンダに供給される前記作動圧を受けることで当該シリンダに沿って前記第２把持爪に接近する第１方向に変位するとともに、両把持爪の間隔が被搬送物を把持する第１間隔よりも狭い第２間隔となる状態まで変位可能なように当該第１把持爪の最大変位量が設定されており、前記ピストン部は、両把持爪の間隔が前記第２間隔になった状態でのみ、前記リーク通路と前記シリンダとを連通させて前記シリンダ内の圧力を大気圧にリークさせる通路開閉部を備えるものである。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明にかかる部品実装装置（本発明にかかる搬送装置を含む部品実装装置）を概略的に示す平面図である。
【図２】部品実装装置を概略的に示す正面図である。
【図３】各ヘッド及び負圧／正圧供給回路を示すヘッドユニットの正面図である。
【図４】把持具（ｇｒｉｐｐｅｒ）を示す正面図である。
【図５】把持具を示す側面図である。
【図６】（ａ）は、開放状態（把持爪が開いた状態）の把持具を示す縦断面図（図４のＶＩ（ａ）−ＶＩ（ａ）線断面図）であり、（ｂ）は、開放状態（把持爪が開いた状態）の把持具を示す水平断面図（図４のＶＩ（ｂ）−ＶＩ（ｂ）線断面図）である。
【図７】（ａ）は、閉止状態（把持爪が最も閉じた状態）を示す把持具の縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の水平断面図である。
【図８】把持具を示す、図６（ｂ）のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。
【図９】バックアップピン（被搬送物）を把持した把持具を示す側面図である。
【図１０】バックアップピンの搬送動作制御の一例を示すフローチャートである。
【図１１】リーク面積（リーク通路と第２開口部との重複部分の面積）とシリンダ内圧力との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の一形態について詳述する。
【００１１】
図１及び図２は、本発明に係る部品実装装置Ｍ（本発明にかかる搬送装置を含む部品実装装置）を概略的に示している。図１は平面図で、図２は正面図で、それぞれ部品実装装置Ｍを概略的に示している。なお、図１、図２及び後に説明する図面には、方向関係を明確にするためにＸＹＺ直角座標軸が示されている。
【００１２】
部品実装装置Ｍは、基台１と、この基台１上に配置されてプリント配線板（ＰＷＢ；Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｗｉｒｉｎｇ  Ｂｏａｒｄ）等の基板ＰをＸ方向に搬送する基板搬送機構２と、基板Ｐを位置決めするためのバックアップ装置３と、部品供給部４、５と、部品実装用のヘッドユニット６と、このヘッドユニット６を駆動するヘッドユニット駆動機構と、ヘッドユニット６に保持された部品を認識するための部品撮像ユニット（図示省略）等とを備える。
【００１３】
前記基板搬送機構２は、基台１上において基板Ｐを搬送する一対のコンベア２ａ、２ａを含む。これらコンベア２ａ、２ａは、同図の右側から基板Ｐを受け入れて所定の実装作業位置（同図に示す位置）に搬送し、実装作業後、この基板Ｐを同図の左側に搬出する。
【００１４】
前記バックアップ装置３は、前記実装作業位置において基板Ｐをコンベア２ａ、２ｂから持ち上げることにより、当該基板Ｐを前記実装作業位置に位置決めする。このバックアップ装置３は、図２に示すように、部品の実装作業に用いられる作業用部材であって前記基板Ｐを支持するバックアップピン２１と、当該バックアップピン２１が抜き差し可能に装着されるバックアッププレート２２と、バックアッププレート２２を昇降させるための昇降装置２３とを含む。バックアップピン２１は、バックアッププレート２２に対して上下方向に抜き差し可能であり、基板Ｐの種類に応じて配置の変更が可能である。
【００１５】
前記部品供給部４、５は、前記基板搬送機構２の両側（Ｙ方向の両側）に配置されている。これら部品供給部４、５のうち、装置後側（図１では上側；以下、単に後側という）の部品供給部４には、基板搬送機構２に沿ってＸ方向に並ぶ複数のテープフィーダ４ａが配置されている。これらテープフィーダ４ａは、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサ等の小片状のチップ部品を収納、保持したテープが巻回されたリールを備え、このリールから間欠的にテープを繰り出しながら基板搬送機構２近傍の所定の部品供給位置に部品を供給する。一方、装置前側（図１では下側；以下、単に前側という）の部品供給部５には、Ｘ方向に所定の間隔を隔ててトレイ５ａ、５ｂがセットされている。各トレイ５ａ、５ｂには、後述するヘッドユニット６による取出しが可能となるように、各々、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｐａｃｋａｇｅ）やＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）等のパッケージ型の部品が整列して載置されている。
【００１６】
なお、基台１上であって前記部品供給部５とバックアップ装置３との間の位置には、ピンステーション７が設けられている。ピンステーション７は、前記バックアッププレート２２上に配置されない予備のバックアップピン２１が保管される場所である。バックアップピン２１は当該ピンステーション７に対して上下方向に抜き差し可能に保管される。
【００１７】
前記ヘッドユニット６は、部品供給部４、５から部品を取り出して基板Ｐ上に実装するとともに、バックアッププレート２２上のバックアップピン２１の配置を変更するものである。このヘッドユニット６は、基板搬送機構２および部品供給部４，５等の上方に配置されている。
【００１８】
前記ヘッドユニット６は、前記ヘッドユニット駆動機構により一定の領域内でＸ方向およびＹ方向に移動可能とされている。このヘッドユニット駆動機構は、基台１上に設けられる一対の高架フレーム１０に各々固定されかつＹ方向に互いに平行に延びる一対の固定レール１１と、これら固定レール１１に支持されてＸ方向に延びるユニット支持部材１２と、このユニット支持部材１２に螺合、挿入されてＹ軸サーボモータ１４により駆動されるボールねじ軸１３とを含む。また、ヘッドユニット駆動機構は、前記ユニット支持部材１２に固定されて前記ヘッドユニット６をＸ方向に移動可能に支持する固定レール１５と、ヘッドユニット６に螺合、挿入されてＸ軸サーボモータ１７により駆動されるボールねじ軸１６とを含む。つまり、ヘッドユニット駆動機構は、Ｘ軸サーボモータ１７によりボールねじ軸１６を介してヘッドユニット６をＸ方向に駆動する共に、Ｙ軸サーボモータ１４によりボールねじ軸１３を介してユニット支持部材１２をＹ方向に駆動することにより、ヘッドユニット６を一定の領域内でＸ方向およびＹ方向に移動させる。
【００１９】
前記ヘッドユニット６は、ＩＣ等の部品やバックアップピン２１を保持するための複数のヘッド２５と、これらヘッド２５をヘッドユニット６に対して昇降（Ｚ方向の移動）および回転（図２中のＲ方向の回転）させるための、サーボモータ等を駆動源とするヘッド駆動機構とを備える。
【００２０】
当実施形態では、前記ヘッド２５は合計６個であり、これらヘッド２５が前後２列に振り分けられ（図１参照）、列毎に、Ｘ方向に所定のピッチで一列に配列されている。なお、前側の各ヘッド２５と後側の各ヘッド２５とはＸ方向にオフセットされている。これにより６個のヘッド２５は、全体として略千鳥状の配列となっている。
【００２１】
図３に示すように、前記ヘッド２５は、ヘッドユニット６に対して昇降および回転可能に支持される中空軸状のヘッド本体２６と、このヘッド本体２６の先端（下端）に各々装着されるノズル２７ａ又は把持具（ｇｒｉｐｐｅｒ）２７ｂとを備える。
【００２２】
ノズル２７ａは、ＩＣ等の部品を吸着することにより、当該部品を搬送可能に保持するものである。一方、把持具２７ｂは、前記バックアップピン２１を把持することにより、当該バックアップピン２１を搬送可能に保持するものである。ノズル２７ａおよび把持具２７ｂは、ヘッドユニット６の任意のヘッド本体２６に対して着脱が可能である。図３の例では、右側から１番目および５番目の各ヘッド２５のヘッド本体２６には把持具２７ａが装着され、それ以外のヘッド２５のヘッド本体２６にはノズル２７ａが装着されている。
【００２３】
前記ノズル２７ａおよび把持具２７ｂは、ヘッド本体２６の内部通路を介して負圧／正圧供給回路３０に接続されており、選択的に負圧および正圧の供給を受ける。つまり、ノズル２７ａは、その先端に負圧が供給されることで部品を吸着し、その後、正圧が供給されることで当該部品の吸着状態が解除される。一方、把持具２７ｂは、作動圧として前記負圧が供給されることでバックアップピン２１を把持し、その後、負圧の供給が停止されることで当該バックアップピン２１の把持状態を解除する。この把持具２７ｂの構成については後に詳述する。
【００２４】
前記負圧／正圧供給回路３０は、圧縮機からなるエア供給源３１と、このエア供給源３１と各ヘッド本体２６とを各々接続する接続通路３２と、各接続通路３２の途中に各々介設される負圧／正圧切換器３３とを含む。前記エア供給源３１は、基台１又は当該部品実装装置Ｍの外部に設けられる図外の基台上に設置され、また、各負圧／正圧切換器３３はヘッドユニット６に搭載されている。
【００２５】
前記負圧／正圧切換器３３は、エア供給源３１からのエアを用いて負圧を生成し、当該負圧をヘッド２５に供給する負圧供給状態と、エア供給源３１からのエア（正圧）をそのままヘッド２５に供給するエア供給状態と、負圧およびエア（正圧）の供給を停止する停止状態とに切換え可能に構成されている。
【００２６】
具体的には、図３に示すように、負圧／正圧切換器３３は、エア供給源３１からのエアをヘッド２５に案内する第１流路３４ａと、この第１流路３４ａに介設される第１開閉バルブ３５と、この第１開閉バルブ３５の上流側（エアの供給方向を基準として上流側）において第１流路３４ａから分岐し、消音器３７を介して外部開放される第２流路３４ｂと、消音器３７よりも上流側の位置で第２流路３４ｂに介設される第２開閉バルブ３６と、この第２開閉バルブ３６と消音器３７との間の位置で第２流路３４ｂに介設される拡散室３８と、前記第１開閉バルブ３５の下流側の位置で前記第１流路３４ａと拡散室３８とを繋ぐ吸引流路３４ｃとを備えている。つまり、負圧／正圧切換器３３において、第１開閉バルブ３５が閉止されかつ第２開閉バルブ３６が開放された状態では、第２流路３４ｂを通じてエアが排気される。これにより、アスピレータの原理により吸引流路３４ｃを通じて第１流路３４ａ内が吸引され、ヘッド２５に負圧が供給される。逆に、第１開閉バルブ３５が開放されかつ第２開閉バルブ３６が閉止された状態では、第１流路３４ａを通じてヘッド２５にエアブロー（正圧）が供給される。そして、両バルブ３５、３６が閉止された状態では、ヘッド２５に対する負圧およびエアブロー（正圧）双方の供給が停止されることとなる。なお、各バルブ３５、３６は、後記制御装置７０により切り換え制御される。
【００２７】
前記負圧／正圧切換器３３は、さらに流量センサ３９（本発明の検出部に相当する）を含む。流量センサ３９は、第１流路３４ａのうち、前記吸引流路３４ｃの分岐位置よりも下流側に設けられおり、当該第１流路３４ａ内のエアの流量を検出して、そのデータ信号を制御装置７０に出力する。
【００２８】
なお、この実施形態では、上記負圧／正圧供給回路３０および各ヘッド本体２６の内部通路が、前記把持具２７ｂに対して作動圧を供給する本発明の圧力供給機構に相当し、前記接続通路３２、各負圧／正圧切換器３３の第１流路３４ａおよび各ヘッド本体２６の内部通路が本発明の圧力通路に相当する。
【００２９】
次に、上記把持具２７ｂの具体的な構成について説明する。
【００３０】
図４〜図６に示すように、把持具２７ｂは、ヘッド本体２６に装着される把持具本体４０と、Ｘ方向（本発明の特定方向に相当する）に相対的に接離可能となる状態で前記把持具本体４０に各々支持される第１把持爪６０Ａおよび第２把持爪６０Ｂとを含む。
【００３１】
前記把持具本体４０は、内部通路を備えた筒状の連結部４２を上部に備えており、把持具２７ｂは、当該連結部４２と前記ヘッド本体２６とが、互いの内部通路同士を連通させた状態で連結されることにより、ヘッド本体２６に装着される。なお、図示を省略しているが、前記連結部４２はその外周面上に径方向外側に膨出する膨出部を有しており、この膨出部にヘッド本体２６に設けられる板ばね状の一対の係止片が係合することで、当該ヘッド本体２６への装着状態が保持される。前記ノズル２７ａについても同様である。
【００３２】
第１把持爪６０Ａは、上下方向（Ｚ方向）に延びるアーム部６２と、このアーム部６２の上端部に固定されるピストン部６６と、アーム部６２の側面に固定される上下一対の爪部６４とを含む。ピストン部６６は、Ｙ方向に延びる円柱状をなし、アーム部６２の上端部に形成された横孔に挿入された状態で当該アーム部６２にボルト６７で固定されている。
【００３３】
第２把持爪６０Ｂも、基本構成は第１把持爪６０Ａと同じであり、アーム部６２、ピストン部６６および爪部６４を含む。但し、第２把持爪６０Ｂのアーム部６２は、第１把持爪６０Ａのアーム部６２よりも短く、かつ爪部６４はアーム部６２の下端部にのみ固定されている。
【００３４】
各把持爪６０Ａ、６０Ｂは、図４に示すようにアーム部６２同士がＸ方向にオフセットされる状態で把持具本体４０に支持されている。なお、各把持爪６０Ａ、６０Ｂの爪部６４は、両アーム部６２の内側の側面（図４において内側の側面）に固定されている。これにより、ノズル２７ａをＹ方向から見た状態（図４参照）で、各把持爪６０Ａ、６０Ｂの爪部６４が上下方向に一列に並んでいる。詳しくは、第２把持爪６０Ｂの爪部６４を挟んでその上下両側に第１把持爪６０Ａの爪部６４が並んでいる。また、第１把持爪６０Ａの爪部６４の前側面（図５では左側の側面）、および第２把持爪６０Ｂの後側面（図５では右側の側面）は、各々バックアップピン２１の外周面に対応した円弧状に形成されている。この構成により、両把持爪６０Ａ、６０Ｂは、Ｙ方向に互いに接近することで、前記バックアップピン２１をＹ方向両側から爪部６４により把持可能となっている（図９参照）。
【００３５】
前記各把持爪６０Ａ、６０Ｂはそれぞれ、前記ピストン部６６が把持具本体４０内に形成されたシリンダ内に収容されることにより、当該把持具本体４０に垂下姿勢で支持されている。詳しく説明すると、前記把持具本体４０の内部には、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、Ｘ方向に並び、かつＹ方向に互いに平行に延びる断面円形の第１シリンダ４６Ａおよび第２シリンダ４６Ｂと、第１シリンダ４６Ａを貫通して上下方向に延びる第１ガイド孔４８Ａと、第２シリンダ４６Ｂを貫通して上下方向に延びる第２ガイド孔４８Ｂとが形成されている。そして、第１ガイド孔４８Ａに前記アーム部６２の上端部が挿入され、かつ第１シリンダ４６Ａに前記ピストン部６６が収容された状態で、前記第１把持爪６０Ａが把持具本体４０に支持されている。同様に、第２ガイド孔４８Ｂに前記アーム部６２の上端部が挿入され、かつ第２シリンダ４６Ｂに前記ピストン部６６が収容された状態で、前記第２把持爪６０Ｂが把持具本体４０に支持されている。
【００３６】
各ガイド孔４８Ａ、４８Ｂは、アーム部６２をＸ方向に拘束しつつＹ方向に所定ストロークだけ変位させることが可能な断面形状を有している。つまり、このアーム部６２のＹ方向の変位により、各把持爪６０Ａ、６０Ｂが、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、互いに離反する位置と、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、互いに接近した位置とに亘って変位可能となっている。
【００３７】
各ピストン部６６の先端面にはバネ収納用凹部６６ａが形成されおり、このバネ収納用凹部６６ａに、コイルばね６８（本発明の付勢部材に相当する）が圧縮状態で収容されている。詳しくは、コイルばね６８が、バネ収納用凹部６６ａの内底部とシリンダ４６Ａ、４６Ｂの端面との間に圧縮された状態で当該バネ収納用凹部６６ａに収納されている。これにより、各把持爪６０Ａ、６０Ｂが、コイルばね６８の弾発力（付勢力）により互いに離反する方向に付勢されている。
【００３８】
各シリンダ４６Ａ、４６Ｂは、上記ヘッド本体２６の内部通路に連通しており、前記負圧／正圧切換器３３で生成される負圧が各シリンダ４６Ａ、４６Ｂに供給可能となっている。具体的には、図８に示すように、把持具本体４０には、前記連結部４２の内部通路を含む縦通路４３と、この縦通路４３に繋がってＹ方向に延び、第１シリンダ４６Ａの先端近傍の位置で当該第１シリンダ４６Ａに連通する横通路４４とが形成されている。また、図６（ａ）に示すように、第１把持爪６０Ａのピストン部６６のうち、横通路４４に対向する位置には、当該横通路４４とバネ収納用凹部６６ａとを連通する第１開口部６６ｂが形成されている。この構成により、前記負圧／正圧切換器３３で生成される負圧が、ヘッド本体２６の内部通路、前記縦通路４３、横通路４４および第１開口部６６ｂを介して第１シリンダ４６Ａ内に供給される。なお、第１開口部６６ｂは、ピストン部６６の位置に拘わらず上記横通路４４と連通可能なようにその大きさが設定されている。図８中の符号４５は、横通路４４を外側から閉止している栓部材である。
【００３９】
図示を省略しているが、把持具本体４０には、さらに前記縦通路４３に繋がってＹ方向に延び、第２シリンダ４６Ｂの先端近傍の位置で当該第２シリンダ４６Ｂに連通する横通路４４が形成されている。また、第２把持爪６０Ｂのピストン部６６には、横通路４４とバネ収納用凹部６６ａとを連通する第１開口部６６ｂが形成されている。従って、第２シリンダ４６Ｂについても第１シリンダ４６Ａと同様に、ヘッド本体２６の内部通路、縦通路４３、横通路４４および第１開口部６６ｂを介して負圧が供給される。
【００４０】
このように各シリンダ４６Ａ、４６Ｂに負圧が供給されると、ピストン部６６に当該負圧が作用し（ピストン部６６が吸引され）、前記コイルばね６８の弾発力に抗して各把持爪６０Ａ、６０Ｂが接近方向に変位する。つまり、上記把持具２７ｂは、上記負圧／正圧切換器３３からの負圧供給が停止されているときには、前記コイルばね６８の付勢力により各把持爪６０Ａ、６０Ｂが互いに離反した開放状態（図６の状態）に保持される。他方、負圧／正圧切換器３３から各シリンダ４６Ａ、４６Ｂに負圧が供給されると、前記コイルばね６８の付勢力に抗して各把持爪６０Ａ、６０Ｂが互いに接近した閉止状態（図７の状態）に保持される。そして、このように把持具２７ｂが閉止状態とされることで、前記バックアップピン２１が両把持爪６０Ａ、６０Ｂにより両側（Ｙ方向両側）から挟み込まれ、当該把持具２７ｂに把持される。
【００４１】
前記バックアップピン２１は、図８に示すように、下端部近傍につば部２１ａを備えた軸状部材であり、つば部２１ａより下側の部分がバックアッププレート２２又はピンステーション７の穴部に差し込まれることで、当該バックアッププレート２２等に装着される。
【００４２】
前記バックアップピン２１は、円錐台状の先端部２１ｂ（上端部）を有している。他方、前記把持具２７ｂの把持具本体４０の下面には、同図に示すように、当該先端部２１ｂに合致する円錐台状の位置決め穴５２が形成されている。つまり、把持具２７ｂによるバックアップピン２１の把持時には、バックアップピン２１の先端部２１ｂが前記位置決め穴５２に挿入されることで、両把持爪６０Ａ、６０Ｂに対してバックアップピン２１がセンタリングされる（図９参照）。
【００４３】
なお、図５、図６及び図８に示すように、把持具本体４０には、さらに各シリンダ４６Ａ、４６Ｂの内部をそれぞれ外部（大気）に開放するためのリーク通路５０が形成されている。リーク通路５０は、把持具本体４０のうち、横通路４４の下側であって、かつ把持具２７ｂが前記開放状態にあるときの各ピストン部６６の先端外周面に対向する位置に形成されている。また、各シリンダ４６Ａ、４６Ｂ内に収容される前記ピストン部６６のバネ収納用凹部６６ａの周壁には、当該バネ収納用凹部６６ａの内部（すなわち、各シリンダ４６Ａ、４６Ｂの内部）と前記リーク通路５０とを連通させるための第２開口部６６ｃ（本発明の通路開閉部に相当する）が形成されている。
【００４４】
各ピストン部６６の第２開口部６６ｃは、バックアップピン２１を把持することなく各把持爪６０Ａ、６０Ｂが最も接近した状態でのみ、リーク通路５０と重なる位置、つまりバネ収納用凹部６６ａの内部（各シリンダ４６Ａ、４６Ｂの内部）とリーク通路５０とを連通させる位置に形成されている。従って、各リーク通路５０は、前記第２開口部６６ｃと重なるとき以外は、各ピストン部６６の外周面により塞がれ、これにより各シリンダ４６Ａ、４６Ｂと外部（大気）とが非連通状態に保たれる。
【００４５】
これら第２開口部６６ｃ及びリーク通路５０は、把持具２７ｂがバックアップピン２１を把持しているか否かを、上記流量センサ３９を用いて判別するためのものである。すなわち、この把持具２７ｂは、両把持爪６０Ａ、６０Ｂの間隔がバックアップピン２１を把持する間隔（図６（ａ）中の一点鎖線（符号Ｐ１）および図９に示す間隔／本発明の第１間隔）よりも狭い間隔（図６（ａ）中の破線（符号Ｐ２）および図７（ａ）に示す間隔／本発明の第２間隔）となる状態まで変位可能なように各把持爪６０Ａ、６０Ｂの最大変位量が設定されている。換言すれば、把持具２７ｂは、前記開放状態のときの各把持爪６０Ａ、６０Ｂの位置を基準位置として、当該基準位置からバックアップピン２１を把持する位置までの各把持爪６０Ａ、６０Ｂの変位量が、前記基準位置から各把持爪６０Ａ、６０Ｂが最も接近する位置までの変位量（最大変位量）より小さくなるように、各把持爪６０Ａ、６０Ｂの当該最大変位量が設定されている。この構成により、バックアップピン２１を各把持爪６０Ａ、６０Ｂにより両側から確実に挟み込んだ状態で把持することが可能となっている。
【００４６】
そのため、把持具２７ｂがバックアップピン２１を把持している場合には、両把持爪６０Ａ、６０Ｂが最も接近する位置まで変位することがなく、第２開口部６６ｃとリーク通路５０とは非連通状態となる。これにより、負圧／正圧切換器３３からヘッド２５への負圧の供給開始後、流量センサ３９の検出値が経時的に低下することとなる。他方、把持具２７ｂがバックアップピン２１を把持していない場合には、各把持爪６０Ａ、６０Ｂは最も接近する位置まで変位する。これにより、第２開口部６６ｃとリーク通路５０とが部分的に重なって連通状態となり、各シリンダ４６Ａ、４６Ｂの内部と外部（大気）とが連通し、前記流量センサ３９の検出値が一定レベルまで上昇することとなる。従って、負圧／正圧切換器３３から把持具２７ｂに負圧が供給されている状態で、流量センサ３９の検出値を調べることで、把持具２７ｂがバックアップピン２１を把持しているか否かの判別が可能となる。この部品実装装置Ｍでは、このような判別を後述する制御装置７０（図３に示す）が行う。
【００４７】
この部品実装装置Ｍは、前記ヘッドユニット駆動機構、ヘッド駆動機構および負圧／正圧切換器３３等を介して部品実装装置Ｍの動作を統括的に制御するとともに、当該動作に関する各種判定処理などを行うものである。この制御装置７０は、周知のマイクロコンピュータをベースとする制御装置であって、プログラムを実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、例えばＲＯＭやＲＡＭ等、プログラム及び各種データを格納するメモリと、電気信号の入出力を行うための入出力（Ｉ／Ｏ）バスとを含む。なお、当実施形態では、ヘッド２５（把持具２７ｂ）、負圧／正圧供給回路３０および制御装置７０等が本発明の搬送装置に相当し、そのうち、制御装置７０が本発明の判定部に相当する。
【００４８】
次に、この制御装置７０によるバックアップピン２１の搬送動作制御の一例について図１０を用いて説明する。このような搬送動作制御は、例えば、基板Ｐの種類の変更に伴いバックアッププレート２２上のバックアップピン２１の配列を変更する場合に実行される。
【００４９】
制御装置７０は、まず、バックアッププレート２２上のバックアップピン２１のうち、位置の変更が必要なバックアップピン２１を特定し、ヘッドユニット６の複数のヘッド２５のうち、把持具２７ｂを備えたものが当該バックアップピン２１の上方に位置するようにヘッドユニット６を移動させる（ステップＳ１）。この際、制御装置７０は、把持具２７ｂを開放状態に保つ。
【００５０】
制御装置７０は、次に、ヘッド２５を所定高さ位置まで下降させ、前記負圧／正圧切換器３３の開閉バルブ３５、３６を切換え制御することにより、前記把持具２７ｂを開放状態から閉止状態に切り替えた後、ヘッド２５を所定高さ位置まで上昇させる（ステップＳ２〜Ｓ７）。これによりバックアップピン２１が把持具２７ｂにより把持された状態でバックアッププレート２２から引き抜かれる。
【００５１】
ヘッド２５が上昇すると、制御装置７０は、バックアップピン２１を把持しているか否かをその場で判別する（ステップＳ９）。具体的には、前記流量センサ３９からの入力データ（検出流量Ｑ）と、予めＲＯＭ等に記憶されている閾値Ｑ０とを比較し、検出流量Ｑが閾値Ｑ０を超えるか否かを判断する。この閾値Ｑ０は、把持具２７ｂがバックアップピン２１を把持した状態の前記負圧／正圧切換器３３の第１流路３４ａのエア流量に基づき、当該エア流量と同等又は若干高い値に設定されている。つまり、把持具２７ｂがバックアップピン２１を把持していない場合には、上記の通り、各シリンダ４６Ａ、４６Ｂの内部と外部（大気）とが各ピストン部６６の第２開口部６６ｃおよびリーク通路５０を介して連通状態となり、流量センサ３９の検出値が上昇する。従って、流量センサ３９による検出流量Ｑと前記閾値Ｑ０とを比較することで、把持具２７ｂがバックアップピン２１を把持しているか否かの判別が可能となる。
【００５２】
制御装置７０は、バックアップピン２１を把持していないと判断した場合（ステップＳ９でＹＥＳ）には、ステップＳ１にリターンし、バックアップピン２１の把持動作を再度実行する。なお、図示を省略しているが、例えばステップＳ１〜Ｓ９の処理が連続して所定回数だけ繰り返された場合には、制御装置７０は、バックアップピン２１の把持動作にエラーが発生したものとして、図外の報知装置を作動させてオペレータに報知する。
【００５３】
一方、バックアップピン２１を把持していると判断した場合には、制御装置７０は、上記と逆の手順に従って、バックアッププレート２２上の穴部に当該バックアップピン２１を装着する。具体的には、制御装置７０は、目標とする穴部の上方にバックアップピン２１が位置するようにヘッドユニット６を移動させ、ヘッド２５を下降させて把持具２７ｂを閉止状態から開放状態に切り換えた後、ヘッド２５を上昇させる（ステップＳ１１〜ステップＳ１７）。
【００５４】
ヘッド２５が上昇すると、制御装置７０は、再度、把持具２７ｂを開放状態から閉止状態に切り換えた後、把持具２７ｂがバックアップピン２１を把持しているか否かをその場で判別する（ステップＳ１９、Ｓ２１）。具体的には、ステップＳ９の処理と同様に、制御装置７０は、流量センサ３９による検出流量Ｑと前記閾値Ｑ０とを比較し、検出流量Ｑが閾値Ｑ０を超えるか否かを判断する。
【００５５】
ここで、バックアップピン２１を把持していると判断した場合（ステップＳ２１でＮＯ）には、制御装置７０は、バックアップピン２１の装着エラーが発生したものとして、図外の報知装置を作動させてオペレータに報知する（ステップＳ２３）。一方、バックアップピン２１を把持していないと判断した場合（ステップＳ２１でＹＥＳ）には、バックアップピン２１の一連の搬送動作制御を終了する。
【００５６】
ここでは、バックアップピン２１の搬送動作制御の説明を簡単にするために、バックアッププレート２２上の一つのバックアップピン２１を搬送する場合の制御例について説明したが、複数のバックアップピン２１の位置を変更する場合には、上述したようなステップＳ１〜Ｓ２３の処理が繰り返し実行される。バックアッププレート２２とピンステーション７との間でのバックアップピン２１の搬送も上記と同様である。
【００５７】
なお、この部品実装装置Ｍでは、バックアップピン２１を把持しているか否かの制御装置７０による判断（ステップＳ９、Ｓ２１の処理）がより正確に行われるように、前記把持具２７ｂが次の構成を有する。すなわち、シリンダ４６Ａ、４６Ｂに供給される負圧（真空圧）を「Ｐ」、シリンダ４６Ａ、４６Ｂの断面積を「Ａ」、コイルばね６８のばね定数を「Ｋ」、コイルばね６８の変位量（圧縮量）を「ｘ」としたとき、負圧／正圧切換器３３からヘッド２５（把持具２７ｂ）に負圧が供給されている状態では、常に（つまり、バックアップピン２１を把持しているか否かに拘わらず）、ＰＡ＞Ｋｘの関係が成立するように、各ピストン部６６の第２開口部６６ｃ及びリーク通路５０等が形成されている。ＰＡ＞Ｋｘの関係が成立するように、例えば両把持爪６０Ａ、６０Ｂが最も接近したときの前記第２開口部６６ｃと前記リーク通路５０との重なり部分の面積（開口面積）が設定されている。
【００５８】
上記の通り、バックアップピン２１の把持動作にエラーが発生すると、各シリンダ４６Ａ、４６Ｂの内部と外部（大気）とが第２開口部６６ｃおよびリーク通路５０を介して連通状態となる。これにより、各シリンダ４６Ａ、４６Ｂ内の圧力が上昇する（大気圧に近づく）が、この場合、仮にＰＡ≦Ｋｘになるとすると、コイルばね６８の弾発力で各把持爪６０Ａ、６０Ｂが押し戻されて各シリンダ４６Ａ、４６Ｂの内部と外部（大気）とが一時的に非連通状態となった後、各シリンダ４６Ａ、４６Ｂ内の圧力が低下してＰＡ＞Ｋｘとなることで、再び両把持爪６０Ａ、６０Ｂが接近方向に変位するとう動作が生じる。つまり、把持具２７ｂが短時間に繰り返し開閉するという現象が生じ、その結果、前記流量センサ３９の検出流量が不安定になって、制御装置７０による上記判断（ステップＳ９、Ｓ２１の処理）が正確に行われないおそれがある。
【００５９】
このような不都合を回避するために、上記部品実装装置Ｍでは、負圧／正圧切換器３３からヘッド２５（把持具２７ｂ）に負圧が供給されている状態では、常に、ＰＡ＞Ｋｘの関係が成立するように、各ピストン部６６の第２開口部６６ｃ及びリーク通路５０等が形成されている。この構成によれば、各シリンダ４６Ａ、４６Ｂの内部と外部（大気）とがリーク通路５０等を介して連通状態となったときに、コイルばね６８の弾発力で各把持爪６０Ａ、６０Ｂが押し戻されることが防止される。従って、把持具２７ｂが短時間に繰り返し開閉するという現象の発生が防止され、制御装置７０による上記判断（ステップＳ９、Ｓ２１の処理）の信頼性が向上する。
【００６０】
また、上記把持具２７ｂは、図１１に示すように、両把持爪６０Ａ、６０Ｂが互いに接近するに伴い、すなわちリーク通路５０と第２開口部６６ｃとの重なり部分の面積であるリーク面積が増大する伴い、前記シリンダ４６Ａ、４６内の圧力が二次曲線的に連続して変化（上昇）するように、当該リーク通路５０および第２開口部６６ｃが形成されている。例えば当実施形態では、図９に示すように、前記リーク通路５０は上下方向に細長い断面小判型の長孔であり、前記第２開口部６６ｃは断面円形の孔である。このように、両把持爪６０Ａ、６０Ｂが互いに接近するに伴い、前記シリンダ４６Ａ、４６内の圧力が二次曲線的に変化（上昇）する構成によれば、前記流量センサ３９の検出値も顕著に変化することとなり、制御装置７０による上記判断（ステップＳ９、Ｓ２１の処理）の信頼性が向上する。
【００６１】
また、当実施形態では、上記の通り、把持具２７ｂによりバックアップピン２１が把持される際には、バックアップピン２１の先端部２１ｂが把持具本体４０の位置決め穴５２に挿入され、当該バックアップピン２１が両把持爪６０Ａ、６０Ｂに対してセンタリングされる。そのため、両把持爪６０Ａ、６０Ｂのうち何れか一方側が他方側に偏った状態でバックアップピン２１が把持されることにより、制御装置７０による上記判断（ステップＳ９、Ｓ２１の処理）が不正確になることが回避される。従って、この点でも制御装置７０による上記判断（ステップＳ９、Ｓ２１の処理）の信頼性が向上する。
【００６２】
以上説明した部品実装装置Ｍによれば、上記の通り、把持具２７ｂによりバックアップピン２１が把持されて搬送されるが、この場合、負圧／正圧切換器３３の第１流路３４ａ内のエア流量の検出に基づき、把持具２７ｂがバックアップピン２１を把持しているか否かが制御装置７０により判断される。そのため、把持具２７ｂによるバックアップピン２１の把持状態（バックアップピン２１の有無）を、固定カメラなど基台１上の特定の位置に移動させることなく、当該バックアップピン２１の引き抜き位置、又はバックアップピン２１の装着位置で直ちに行うことができる。従って、当該部品実装装置Ｍによれば、把持具２７ｂによるバックアップピン２１の把持状態を固定カメラなどの上方に移動させて画像認識する場合と比べると、当該移動が不要となる分、バックアップピン２１の配列変更作業を効率良く行うことができる。
【００６３】
しかも、この部品実装装置Ｍによれば、両把持爪６０Ａ、６０Ｂが最も接近した状態でのみ、各シリンダ４６Ａ、４６Ｂの内部と外部（大気）とが連通するように把持具２７ｂにリーク通路５０等を設け、負圧の供給通路（負圧／正圧切換器３３の第１流路３４ａ）のエア流量を流量センサ３９で検出する、という比較的簡単な構成で上記の作用効果を奏することができる。従って、部品実装装置Ｍの大型化や著しいコストアップ等を伴うことなく、バックアップピン２１の配列変更作業を効率良く行うことができる。
【００６４】
ところで、以上説明した部品実装装置Ｍは、本発明にかかる部品実装装置の好ましい実施形態の例示であって、部品実装装置Ｍの全体構成や、当該部品実装装置Ｍに適用される把持具２７ｂの具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、以下のような構成を採用することも可能である。
【００６５】
（１）上記実施形態では、バックアップピン２１を搬送する手段として本発明の把持具（２７ｂ）や搬送装置が適用されているが、勿論、部品を搬送する手段として本発明の把持具や搬送装置を用いることもできる。特に、コネクタ等の大型部品をノズル２７ａにより安定的に吸着、保持することは困難であり、このような大型部品については把持具を用いて保持するのが好適である。その場合には、把持具として、上記把持具２７ｂの把持爪の数や、アーム部および爪部の形状等を対象部品に応じて変更したものを用いればよい。
【００６６】
（２）本発明の把持具や搬送装置は、上記のような部品実装装置Ｍに限らず、所定の部品供給位置から試験用ソケットに部品を搬送して当該部品の性能試験を実施する、いわゆる部品試験装置等における部品の把持具や搬送装置として適用することも可能である。
【００６７】
（３）上記実施形態の把持具２７ｂは、両方の把持爪６０Ａ、６０Ｂを均等に変位させることにより、把持具２７ｂが開閉するものであるが、把持具２７ｂは、例えば把持具本体４０に第２把持爪６０Ｂが固定され、第１把持爪６０Ａのみが、第２把持爪６０Ｂに対して変位する構成であってもよい。逆に、第１把持爪６０Ａに対して第２把持爪６０Ｂのみが変位する構成であってもよい。
【００６８】
（４）上記実施形態の把持具２７ｂは、コイルばね６８の付勢力により開放状態に保持され、負圧（作動圧）の供給により閉止状態に切換えられる、いわゆる単動式の把持具であるが、例えば当該把持具２７ｂにおいて上記コイルばね６８を省略することで、いわゆる複動式の把持具として用いてもよい。つまり、負圧の供給により把持具を閉止状態に保持し、正圧（エアブロー）の供給により把持具を開放状態に保持するようにしてもよい。
【００６９】
（５）上記実施形態の把持具２７ｂは、作動圧として負圧が供給されることにより作動する（開放状態から閉止状態に切り換えられる）ものであるが、作動圧として正圧（エアブロー）が供給されることにより作動するものであってもよい。つまり、負圧／正圧切換器３３からの正圧供給が停止されているときには、コイルばねの付勢力により各把持爪６０Ａ、６０Ｂが互いに離反した開放状態に保たれる一方、負圧／正圧切換器３３から各シリンダ４６Ａ、４６Ｂに正圧（エアブロー）が供給されると、コイルばねの付勢力に抗して各把持爪６０Ａ、６０Ｂが互いに接近した閉止状態に保たれる構成であってもよい。この場合には、各把持爪６０Ａ、６０Ｂが最も接近する位置まで変位すると、各シリンダ４６Ａ、４６Ｂの内部と外部（大気）とが連通して、流量センサ３９の検出値が一定レベルまで低下するようにピストン部６６の第２開口部６６ｃやリーク通路５０を設ければよい。
【００７０】
（６）上記実施形態の部品実装装置Ｍでは、本発明の検出部として流量センサ３９が適用され、バックアップピン２１を把持しているか否かの判断が、負圧／正圧切換器３３の第１流路３４ａのエア流量の検出に基づき行われるが、例えば、本発明の検出部として圧力センサを適用し、前記第１流路３４ａの圧力検出に基づき上記判断が行われるように構成してもよい。なお、上記検出部によるエア流量や圧力の検出位置は、必ずしも前記第１流路３４ａである必要はなく、ヘッド本体２６の内部通路など、その他の位置であってもよい。
【００７１】
以上説明した本発明をまとめると以下の通りである。
【００７２】
すなわち、本発明の一の局面にかかる搬送装置は、移動可能なヘッド本体と、このヘッド本体に装着される把持具本体と特定方向に相対的に接離可能な第１把持爪および第２把持爪とを含み、作動圧の供給を受けることにより作動する把持具と、この把持具に繋がる圧力通路を含み、当該把持具に対して前記作動圧を供給する圧力供給機構と、を含み、前記把持具本体は、前記圧力通路に連通しかつ前記特定方向に延びるシリンダと、このシリンダの内部を大気開放するためのリーク通路と、を備え、前記第１把持爪は、前記シリンダ内に収容されるピストン部を含み、前記シリンダに供給される前記作動圧を受けることで当該シリンダに沿って前記第２把持爪に接近する第１方向に変位するとともに、両把持爪の間隔が被搬送物を把持する第１間隔よりも狭い第２間隔となる状態まで変位可能なように当該第１把持爪の最大変位量が設定されており、前記ピストン部は、両把持爪の間隔が前記第２間隔になった状態で、前記リーク通路と前記シリンダとを連通させて前記シリンダ内の圧力をリークさせる通路開閉部を備えるものである。
【００７３】
この搬送装置では、前記シリンダ内に作動圧（把持爪作動用の圧力）が供給されることにより第１把持爪が第２把持爪に接近し、これにより両把持爪により被搬送物が把持される。この際、両把持爪により被搬送物が適正に把持された場合には、両把持爪の間隔が前記第１間隔となるため、シリンダとリーク通路とは遮断される。一方、両把持爪により被搬送物が把持されていない場合には、両把持爪の間隔が前記第１間隔よりも狭くなるため、シリンダとリーク通路とが通路開閉部を介して連通することとなる。つまり、この搬送装置では、把持具が被搬送物を把持しているか否かによってシリンダとリーク通路との連通状態が切り換えられる。このようなシリンダとリーク通路との連通状態の変化は、前記圧力通路内の圧力やエア流量にも変化をもたらす。従って、前記圧力供給機構により作動圧が供給されている状態で圧力通路内の圧力又はエア流量を検出すれば、当該検出データに基づき、前記把持具による被搬送物の把持状態、すなわち把持具が被搬送物を把持しているか否かを判定することが可能となる。よって、この搬送装置によれば、把持具が被搬送物を把持しているか否かを、当該把持部を固定カメラ上に移動させて撮像等することなく判定することが可能となる。
【００７４】
この搬送装置において、前記把持具本体は、前記ピストンを前記第１方向とは逆の第２方向に付勢する付勢部材をさらに備えている。
【００７５】
この構成によれば、把持具の非作動時、つまり圧力供給機構から把持具へ作動圧が供給されていない状態では、付勢部材による付勢力により第１把持爪が第２把持爪に対して離反した状態に保たれる。そして、圧力供給機構から把持具へ作動圧が供給されると、第１把持爪が前記付勢力に抗して第２把持爪に接近する。そのため、前記作動圧の供給とその停止との切り換えに伴い、確実に把持爪を開閉させることができる。
【００７６】
この場合、前記第１把持爪を前記第１方向に変位させる力であって前記ピストン部が前記作動圧を受けることにより生じる前記第１把持爪の作動力が、前記リーク通路と前記シリンダとの連通状態に拘わらず前記付勢部材の付勢力よりも大きいのが好適である。
【００７７】
この構成によれば、前記把持具が被搬送物を把持しているか否かの判定をより正確に行うことが可能となる。詳しくは、把持具により被搬送物が把持されていない状態では、上記の通りシリンダとリーク通路とが連通状態となり、シリンダ内が大気圧又はこれに近い圧力となる。この場合、仮に、第１把持爪の前記作動力が付勢力以下であるとすると、付勢部材の付勢力で第１把持爪が押し戻されて（第２方向に変位して）シリンダとリーク通路とが非連通状態となり、その後、前記作動圧の供給により第１把持爪の前記作動力が付勢力を越えて、第１把持爪が第１方向に変位するとう動作が生じる。つまり、第１把持爪が短時間に往復移動（把持爪が繰り返し開閉）するという現象が生じ、その結果、圧力通路内の圧力やエア流量が不安定になって上記判定の信頼性が阻害される。この点、上記のように、前記第１把持爪の作動力が、前記リーク通路と前記シリンダとの連通状態に拘わらず常に付勢部材による付勢力よりも大きくなる構成によれば、第１把持爪が短時間に往復移動するという上記現象の発生が抑制され、把持具が被搬送物を把持しているか否かの判定をより正確に行うことが可能となる。
【００７８】
上記の各搬送装置において、前記通路開閉部は、両把持爪の間隔が前記第１間隔から狭まるに伴い前記シリンダ内の圧力が連続的に変化するように、前記リーク通路と前記シリンダとを連通させるものであるのが好適である。
【００７９】
この構成によれば、圧力通路内の圧力やエア流量の変化が短時間で顕著に変化することとなるため、把持具が被搬送物を把持しているか否かの上記判定をより簡単に、かつ正確に行うことが可能となる。
【００８０】
なお、上記の各搬送装置は、前記圧力通路内の圧力又はエア流量を検出する検出部と、この検出部による検出データと前記圧力供給機構による前記作動圧の供給状態とに基づき、前記把持具による被搬送物の把持状態を判定する判定部と、を備える。
【００８１】
この構成によれば、前記圧力通路内の圧力又はエア流量が検出部により検出され、そのデータと前記圧力供給機構による前記圧力の供給状態とに基づき、前記把持具による被搬送物の把持状態、すなわち把持具が被搬送物を把持しているか否かが判定部により判定される。従って、把持具が被搬送物を把持しているか否かの判定を自動化することが可能となる。
【００８２】
一方、本発明の一の局面にかかる部品実装装置は、前記部品、又は当該部品の実装作業に用いられる作業用部材を被搬送物として搬送する、上記何れかの搬送装置を備えるものである。
【００８３】
この部品実装装置によれば、把持具が被搬送物（部品や作業用部材）を把持しているか否かを、当該把持部を固定カメラ上に移動させて撮像等することなく判定することが可能となる。そのため、被搬送物を把持しているか否かの判定を含む、当該被搬送物の搬送作業を効率良く行うことが可能となる。
【００８４】
より具体的に、上記部品実装装置が、前記作業用部材であって前記基板を支持するバックアップピンと、当該バックアップピンが抜き差し可能に装着されるバックアッププレートと、を含むバックアップ装置を備えるものでは、前記搬送装置は、前記バックアップピンの配列変更のために前記バックアップピンを搬送するものであってもよい。
【００８５】
この構成によれば、バックアップピンの配列変更作業を効率良く行うことが可能となる。
【００８６】
なお、この部品実装装置において、前記搬送装置は、部品を吸着することにより保持するノズルと前記把持具とが選択的に前記ヘッド本体に対して装着されるものであり、前記圧力供給機構は、前記ノズルに部品吸着用の負圧を供給するとともに、当該負圧を前記作動圧として前記把持具に供給するものであるのが好適である。
【００８７】
この構成によれば、部品吸着用の負圧を、把持具の作動圧として用いる合理的な構成となる。
【００８８】
一方、本発明の一の局面にかかる把持具は、搬送装置に設けられる移動可能なヘッド本体に装着され、所定の圧力通路を通じて作動圧の供給を受けることにより作動する把持具であって、前記ヘッド本体に装着される把持具本体と、特定方向に相対的に接離可能な第１把持爪および第２把持爪と、を備え、前記把持具本体は、前記圧力通路に連通しかつ前記特定方向に延びるシリンダと、このシリンダの内部を大気開放するためのリーク通路と、を備え、前記第１把持爪は、前記シリンダ内に収容されるピストン部を含み、前記シリンダに供給される前記作動圧を受けることで当該シリンダに沿って前記第２把持爪に接近する方向に変位するとともに、両把持爪の間隔が被搬送物を把持する第１間隔よりも狭い第２間隔となる状態まで変位可能なように当該第１把持爪の最大変位量が設定されており、前記ピストン部は、両把持爪の間隔が前記第１間隔よりも狭くなった状態で、前記リーク通路と前記シリンダとを連通させて前記シリンダ内の圧力をリークさせる通路開閉部を備えるものである。
【００８９】
このような把持具は、上記搬送装置の把持具として有用なものであり、当該搬送装置に適用されることにより、当該搬送装置による被把持物の搬送をより効率良く行わせることに寄与するものとなる。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
以上のように、本発明の搬送装置や部品実装装置は、部品などの被搬送物を把持して搬送する場合に、被搬送物の把持状態を、固定カメラなど、特定の位置に移動させることなく検知することを可能とするものであり、部品実装基板の製造効率を高める上で特に有用なものである。
【図１】
0005902836.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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