(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材の一方の面に対し当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記一方の面の外縁であって、当該一方の面と他方の面とを繋ぐ側面との境界に角部を有する板状部材を他方の面側から支持する支持手段と、
前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさに形成され、一方の面に接着層を有するとともに他方の面に剥離シートが仮着された原接着シートを、前記接着層が前記板状部材の一方の面に対向するように供給する供給手段と、
前記原接着シートを前記板状部材の一方の面に押圧して貼付する押圧手段と、
前記原接着シートを切断する切断手段とを備え、
前記切断手段は、当接部材を前記剥離シートに当接させ前記板状部材の角部に対応する原接着シート部分を当該角部に押し当てることで、前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出した前記原接着シートのはみ出し部分のみを切断して前記接着シートを形成することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
板状部材の一方の面に対し当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記一方の面の外縁であって、当該一方の面と他方の面とを繋ぐ側面との境界に角部を有する板状部材を他方の側から支持する工程と、
前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさに形成され、一方の面に接着層を有するとともに他方の面に剥離シートが仮着された原接着シートを、前記接着層が前記板状部材の一方の面に対向するように供給する工程と、
前記原接着シートを前記板状部材の一方の面に押圧して貼付する工程と、
当接部材を前記剥離シートに当接させ前記板状部材の角部に対応する原接着シート部分を当該角部に押し当てることで、前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出した前記原接着シートのはみ出し部分のみを切断して前記接着シートを形成する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項３】
一方の面の外縁であって、当該一方の面と他方の面とを繋ぐ側面との境界に角部を有する板状部材の一方の面に貼付され、当該板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートから、当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを形成するシート形成装置であって、
前記板状部材の一方の面における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさに形成され、一方の面に接着層を有するとともに他方の面に剥離シートが仮着された原接着シートが前記接着層を介して貼付された前記板状部材を当該板状部材の他方の面側から支持する支持手段と、
前記原接着シートを切断する切断手段とを備え、
前記切断手段は、当接部材を前記剥離シートに当接させ前記板状部材の角部に対応する原接着シート部分を当該角部に押し当てることで、前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出した前記原接着シートのはみ出し部分のみを切断して前記接着シートを形成することを特徴とするシート形成装置。
【請求項４】
一方の面の外縁であって、当該一方の面と他方の面とを繋ぐ側面との境界に角部を有する板状部材の一方の面に貼付され、当該板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートから、当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを形成するシート形成方法であって、
前記板状部材の一方の面における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさに形成され、一方の面に接着層を有するとともに他方の面に剥離シートが仮着された原接着シートが前記接着層を介して貼付された前記板状部材を当該板状部材の他方の面側から支持する工程と、
当接部材を前記剥離シートに当接させ前記板状部材の角部に対応する原接着シート部分を当該角部に押し当てることで、前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出した前記原接着シートのはみ出し部分のみを切断して前記接着シートを形成する工程とを有することを特徴とするシート形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法、並びに、シート形成装置および形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハ（以下、単に、「ウェハ」と称する場合がある）等の板状部材に接着シートを貼り付けて、この接着シートを板状部材の形状に沿って切断する貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１の構成では、ウェハの外縁にカッタ刃を当接させて、接着シートを切断している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−５５９３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような構成では、板状部材とカッタ刃とを直接当接させるため、板状部材の外縁やカッタ刃が欠けてしまうおそれがある。
【０００５】
本発明の目的は、板状部材の欠損を抑制しつつ、板状部材の外縁からはみ出すことのない接着シートを貼付可能なシート貼付装置および貼付方法、並びに、板状部材の外縁からはみ出すことのない接着シートを形成可能なシート形成装置および形成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、板状部材の一方の面に対し当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記一方の面の外縁であって、当該一方の面と他方の面とを繋ぐ側面との境界に角部を有する板状部材を他方の面側から支持する支持手段と、前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさに形成され、一方の面に接着層を有するとともに他方の面に剥離シートが仮着された原接着シートを、前記接着層が前記板状部材の一方の面に対向するように供給する供給手段と、前記原接着シートを前記板状部材の一方の面に押圧して貼付する押圧手段と、前記原接着シートを切断する切断手段とを備え、前記切断手段は、当接部材を前記剥離シートに当接させ前記板状部材の角部に対応する原接着シート部分を当該角部に押し当てることで、前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出した前記原接着シートのはみ出し部分のみを切断して前記接着シートを形成する、という構成を採用している。
【０００７】
一方、本発明のシート貼付方法は、板状部材の一方の面に対し当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを貼付するシート貼付方法であって、前記一方の面の外縁であって、当該一方の面と他方の面とを繋ぐ側面との境界に角部を有する板状部材を他方の側から支持する工程と、前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさに形成され、一方の面に接着層を有するとともに他方の面に剥離シートが仮着された原接着シートを、前記接着層が前記板状部材の一方の面に対向するように供給する工程と、前記原接着シートを前記板状部材の一方の面に押圧して貼付する工程と、当接部材を前記剥離シートに当接させ前記板状部材の角部に対応する原接着シート部分を当該角部に押し当てることで、前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出した前記原接着シートのはみ出し部分のみを切断して前記接着シートを形成する工程とを有する、という構成を採用している。
【０００８】
また、本発明のシート形成装置は、一方の面の外縁であって、当該一方の面と他方の面とを繋ぐ側面との境界に角部を有する板状部材の一方の面に貼付され、当該板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートから、当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを形成するシート形成装置であって、前記板状部材の一方の面における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさに形成され、一方の面に接着層を有するとともに他方の面に剥離シートが仮着された原接着シートが前記接着層を介して貼付された前記板状部材を当該板状部材の他方の面側から支持する支持手段と、前記原接着シートを切断する切断手段とを備え、前記切断手段は、当接部材を前記剥離シートに当接させ前記板状部材の角部に対応する原接着シート部分を当該角部に押し当てることで、前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出した前記原接着シートのはみ出し部分のみを切断して前記接着シートを形成する、という構成を採用している。
【０００９】
また、本発明のシート形成方法は、一方の面の外縁であって、当該一方の面と他方の面とを繋ぐ側面との境界に角部を有する板状部材の一方の面に貼付され、当該板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの原接着シートから、当該板状部材の一方の面からはみ出すことのない接着シートを形成するシート形成方法であって、前記板状部材の一方の面における少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさに形成され、一方の面に接着層を有するとともに他方の面に剥離シートが仮着された原接着シートが前記接着層を介して貼付された前記板状部材を当該板状部材の他方の面側から支持する工程と、当接部材を前記剥離シートに当接させ前記板状部材の角部に対応する原接着シート部分を当該角部に押し当てることで、前記板状部材における少なくとも一部の外縁からはみ出した前記原接着シートのはみ出し部分のみを切断して前記接着シートを形成する工程とを有する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、原接着シートを板状部材の角部に食い込ませてはみ出し部分を切断するので、切断手段を板状部材に直接的に当接させることなく、はみ出し部分を切断することができ、板状部材の欠損を抑制しつつ、外縁からはみ出すことのない接着シートを貼付することができる。
【００１１】
また、原接着シートを板状部材の角部に食い込ませてはみ出し部分を切断すれば、切断手段を板状部材に直接的に当接させることなく、はみ出し部分を切断することができ、板状部材の欠損を抑制しつつ、板状部材の外縁からはみ出すことのない接着シートを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の部分断面側面図。
【図２】（Ａ），（Ｂ）は、図１のシート貼付装置の動作説明図。
【図３】本発明の変形例に係るシート貼付装置の側面図。
【図４】本発明の変形例に係るシート貼付装置の動作説明図。
【図５】本発明の他の変形例に係るシート貼付装置の部分断面側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。
図１において、原反ＲＳは、板状部材としてのウェハＷＦに対向する一方の面に図示しない接着層を有する帯状の原接着シートＡＳ０と、原接着シートＡＳ０の他方の面に擬似接着などにより仮着された帯状の剥離シートＲＬ０とを備えている。
【００１４】
シート貼付装置１は、一方の面としての貼付面ＷＦ１（図１の上側の面）の外縁全周であって、当該一方の面と他方の面（貼付面ＷＦ１と反対の面）とを繋ぐ側面との境界に角部ＷＦ２を有する板状部材としてのウェハＷＦを他方の面側から支持する支持手段１０と、ウェハＷＦにおける少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの帯状の原接着シートＡＳ０をウェハＷＦの貼付面ＷＦ１に対向する位置に供給する供給手段２０と、原接着シートＡＳ０をウェハＷＦの貼付面ＷＦ１に押圧して貼付する押圧手段４０と、ウェハＷＦの角部ＷＦ２に対応する原接着シートＡＳ０を角部ＷＦ２に押し当てることで、ウェハＷＦにおける少なくとも一部の外縁からはみ出したはみ出し部分ＡＳ３（図２（Ａ）参照）を切断して接着シートＡＳ２（図２（Ｂ）参照）を形成する切断手段５０とを備えている。
【００１５】
支持手段１０は、外周テーブル１１の凹部１２内に収容された駆動機器としての直動モータ１３と、直動モータ１３の出力軸１４に支持されたテーブル１５とを備えている。テーブル１５の上面は、支持面１５Ａとされ、外周テーブル１１の上面は、支持面１５Ａと平行な被貼付面としての上面１６とされる。
【００１６】
供給手段２０は、原反ＲＳを巻回して支持する支持ローラ２１と、ガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３によって駆動する駆動ローラ２４と、駆動ローラ２４との間に原反ＲＳを挟み込むピンチローラ２５と、ガイドローラ２７，２９と、駆動機器としての回動モータ３０によって駆動し原反ＲＳから接着シートＡＳ２が切り抜かれた不要シートＵＳを巻回して回収する回収ローラ３１と、駆動機器としてのリニアモータ３４と、駆動機器としての回動モータ３５で駆動される駆動ローラ３６と、駆動ローラ３６との間に原反ＲＳを挟み込むピンチローラ３７とを備えている。回動モータ２３および各ローラ２１，２２，２４，２５は、第１ベースフレーム３２に支持され、回動モータ３０および各ローラ２７，２９，３１は、第２ベースフレーム３３に支持されている。一方、各ローラ３６，３７および回動モータ３５は、駆動機器としてのリニアモータ３４のスライダ３４Ａにより左右方向に移動自在に支持されている。
【００１７】
押圧手段４０は、リニアモータ３４のスライダ３４Ｂに支持された駆動機器としての直動モータ４１と、直動モータ４１の出力軸４２に支持されたブラケット４４と、ブラケット４４に回転可能に支持され、ウェハＷＦの直径以上の長さを有する押圧ローラ４３とを備えている。
【００１８】
切断手段５０は、駆動機器としての直動モータ５１と、直動モータ５１の出力軸５２に支持された駆動機器としての回動モータ５３と、この回動モータ５３の出力軸５４に支持されたブラケット５５と、このブラケット５５の先端から下方に延びるホルダ５６と、このホルダ５６の下端に設けられたへら５７とを備えている。
【００１９】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳ２を貼付する手順としては、まず、図１実線に示すように、原反ＲＳをセットする。
次に、図示しない搬送手段が貼付面ＷＦ１が上向きとなるようにウェハＷＦをテーブル１５上に載置する。その後、支持手段１０が直動モータ１３を駆動し、テーブル１５を上昇または下降させ、外周テーブル１１の上面１６とウェハＷＦの貼付面ＷＦ１とが同一面上に位置するように調整する。調整されたことが図示しないセンサ等の検知手段で検知されると、押圧手段４０が直動モータ４１を駆動し、押圧ローラ４３を下降させて剥離シートＲＬ０側から原接着シートＡＳ０を押圧して外周テーブル１１に貼付する。次に、供給手段２０がリニアモータ３４を駆動し、押圧手段４０を図１中実線で示す位置から二点鎖線で示す位置に移動させて貼付面ＷＦ１に原接着シートＡＳ０を貼付する。
【００２０】
その後、図２（Ａ）に示すように、切断手段５０が直動モータ５１を駆動し、へら５７を下降させて、原接着シートＡＳ０を角部ＷＦ２に押し当て、角部ＷＦ２を原接着シートＡＳ０に食い込ませる。この後、切断手段５０が回動モータ５３を駆動し、出力軸５４の軸心を中心にへら５７を旋回させることによって、原接着シートＡＳ０に切り込みＣＵを形成し、接着シートＡＳ２がウェハＷＦに残るようにはみ出し部分ＡＳ３を切断する。その後、切断手段５０が直動モータ５１を駆動し、へら５７を上昇させ、押圧手段４０が直動モータ４１を駆動し、押圧ローラ４３を上昇させる。
【００２１】
次いで、図２（Ｂ）に示すように、供給手段２０が回動モータ３５およびリニアモータ３４を駆動し、駆動ローラ３６を回転させながらスライダ３４Ａを右方向に移動させることで、不要シートＵＳを外周テーブル１１から剥離する。
【００２２】
次に、図示しない搬送手段で接着シートＡＳ２が貼付されたウェハＷＦを搬送する。その後、供給手段２０がリニアモータ３４および回動モータ２３，３０を駆動し、駆動ローラ３６の回転を停止したままでスライダ３４Ａ，３４Ｂを左方向に移動させることで、回収ローラ３１で不要シートＵＳを巻き取りつつ、支持ローラ２１から原接着シートＡＳ０の未使用部分を貼付面ＷＦ１の上方に供給する。
そして、新しいウェハＷＦがテーブル１５に載置され、以後上述の同様の動作が繰り返される。
【００２３】
以上のような実施形態によれば、切断剥離シートＲＬ１を介して原接着シートＡＳ０をウェハＷＦの角部ＷＦ２に押し当て、へら５７をウェハＷＦの外周方向に旋回させることで、原接着シートＡＳ０をウェハＷＦの角部ＷＦ２に食い込ませてはみ出し部分ＡＳ３を切断して、接着シートＡＳ２を形成する。このため、切断手段５０をウェハＷＦに直接的に当接させることなく、はみ出し部分ＡＳ３を切断することができ、ウェハＷＦの欠損を抑制できる。
【００２４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２５】
例えば、帯状の剥離シートＲＬ０に所定間隔を隔ててウェハＷＦにおける少なくとも一部の外縁からはみ出す大きさの枚葉の原接着シートＡＳ１が仮着された原反ＲＳ１を使用してもよい。この場合、図３に示すシート貼付装置１Ｂのように、テーブル１５を左右方向に移動可能に支持するスライダ１２Ｂを備えた駆動機器としてのリニアモータ１１Ｂが設けられた支持手段１０Ｂと、前記枚葉の原接着シートＡＳ１を供給する供給手段２０Ｂと、切断手段５０で切断したはみ出し部分ＡＳ３を除去する除去手段７０を備えた構成とすればよい。
除去手段７０は、駆動機器としてのリニアモータ７１と、リニアモータ７１のスライダ７２に設けられた駆動機器としての直動モータ７３と、この直動モータ７３の出力軸７４に支持された挟持手段７５とを備えている。挟持手段７５は、駆動機器としての直動モータ７６と、この直動モータ７６の出力軸７７の先端に支持された可動挟持部材７８と、直動モータ７６本体下面に固定された固定挟持部材７９とを備えている。
【００２６】
シート貼付装置１ＢでウェハＷＦに接着シートＡＳ２を貼付する手順としては、支持手段１０Ｂがリニアモータ１１Ｂを駆動し、テーブル１５を左方向に移動させ、当該テーブル１５が所定の位置に達したことが図示しないセンサに検出されると、供給手段２０Ｂがテーブル１５の移動に同期させて回動モータ２４Ｂを駆動し、原反ＲＳ１を供給するとともに、剥離板２３Ｂで枚葉の原接着シートＡＳ１を剥離シートＲＬ０から剥離し、押圧手段４０が枚葉の原接着シートＡＳ１をウェハＷＦに押圧して貼付する。その後、支持手段１０Ｂが更にリニアモータ１１Ｂを駆動し、テーブル１５を図３中実線で示す位置に移動させ、上記実施形態と同様に切断手段５０ではみ出し部分ＡＳ３を切断する。次いで、挟持手段７５が直動モータ７６を駆動し、可動挟持部材７８を下降させる。可動挟持部材７８と固定挟持部材７９との間隔を広げた状態で、除去手段７０が直動モータ７３、リニアモータ７１を駆動し、可動挟持部材７８と固定挟持部材７９との間に、はみ出し部分ＡＳ３の端部を位置させる。その後、挟持手段７５が直動モータ７６を駆動し、可動挟持部材７８を上昇させて、図４の二点鎖線で示すように、可動挟持部材７８および固定挟持部材７９ではみ出し部分ＡＳ３の端部を挟持する。そして、除去手段７０が直動モータ７３を駆動し、挟持手段７５を上昇させた後、リニアモータ７１を駆動し、図４の実線で示すように、挟持手段７５を左方向に移動させることで、接着シートＡＳ２からはみ出し部分ＡＳ３を除去して、図示しないごみ箱等の廃棄手段に廃棄する。その後、除去手段７０を図３中実線で示す位置に退避させた後、図示しない搬送手段で接着シートＡＳ２が貼付されたウェハＷＦを搬送する。
【００２７】
更に、切断手段５０は、原接着シートＡＳ０を角部ＷＦ２に食い込ませることが可能であれば、ヘラ５７に変えてローラを用いてもよい。
また、切断手段５０は、図１の符号ＢＢで示すように、ヘラ５７やローラ等の当接部材をウェハＷＦの中心方向に移動可能に支持する出力軸５９を備えた駆動機器としての直動モータ５８を設けてもよい。この場合、切断手段５０が直動モータ５１を駆動し、前記当接部材を角部ＷＦ２から離れた位置に下降させた後、直動モータ５８を駆動し、前記当接部材を角部ＷＦ２に接近させて原接着シートＡＳ０を角部ＷＦ２に食い込ませてもよい。これにより、直径の異なるウェハＷＦに対応させて接着シートＡＳ２を形成することができる。
【００２８】
また、切断手段５０は、図５に示すように、直動モータ５１と、直動モータ５１の出力軸５２に支持され、下面５３Ｃに凹み部５４Ｃが形成された当接部材５７Ｃと、支持手段１０の直動モータ１３とで構成された切断手段５０Ｃであってもよい。ウェハＷＦに接着シートＡＳ２を貼付する手順としては、押圧手段４０がウェハＷＦの貼付面ＷＦ１に原接着シートＡＳ０を貼付した後、切断手段５０Ｃが直動モータ５１を駆動し、当接部材５７Ｃを下降させて、当接部材５７Ｃの下面５３Ｃと外周テーブル１１の上面１６との間に原反ＲＳを挟み込む。次いで、支持手段１０が直動モータ１３を駆動し、テーブル１５を上昇させ、原接着シートＡＳ０を伸張させることによって、原接着シートＡＳ０を角部ＷＦ２に押し当てて食い込ませ、はみ出し部分ＡＳ３に切り込みＣＵを形成し、接着シートＡＳ２がウェハＷＦに残るようにはみ出し部分ＡＳ３を切断して接着シートＡＳ２を形成する。そして、支持手段１０が直動モータ１３を駆動し、テーブル１５を上面１６よりも下側まで下降させることで、接着シートＡＳ２を剥離シートＲＬ０から剥離した後、切断手段５０Ｃが直動モータ５１を駆動し、当接部材５７Ｃを上昇させる。次に、図示しない搬送手段で接着シートＡＳ２が貼付されたウェハＷＦを搬送する。この後、シート貼付装置１Ｃは上記実施形態のシート貼付装置１と同様に供給手段２０Ｃを駆動して不要シートＵＳの回収および原反ＲＳの供給を行う。
【００２９】
また、本発明における各接着シートＡＳ０，ＡＳ１の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、各接着シートＡＳ０，ＡＳ１の基材シートと接着層との間に設けられる中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。
さらに、帯状の原接着シートＡＳ０が帯状の剥離シートに仮着されたものに限らず、帯状の原接着シートＡＳ０のみを巻回した原反を使用してもよい。
また、原接着シートＡＳ０は、角部ＷＦ２からはみ出す長さを有するものであれば、板状部材の外形よりも小さい幅のものであってもよい。
また、ウェハＷＦは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハが例示でき、このような半導体ウェハに貼付するシートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
さらに、角部ＷＦ２は、板状部材の外縁の全周の一部だけに形成されたものでもよいし、帯状の原接着シートＡＳ０、枚葉の原接着シートＡＳ１がはみ出す部分の外縁のみに設けられていてもよい。
【００３０】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３１】
１，１Ｂ，１Ｃ…シート貼付装置
１０，１０Ｂ…支持手段
２０，２０Ｂ…供給手段
４０…押圧手段
５０，５０Ｃ…切断手段
５７…へら
７０…除去手段
ＡＳ０…原接着シート
ＡＳ１…原接着シート
ＡＳ２…接着シート
ＡＳ３…はみ出し部分
ＲＬ０…剥離シート
ＷＦ…ウェハ（板状部材）
ＷＦ１…貼付面（一方の面）
ＷＦ２…角部
【図１】
0005902033.tif 000002
【図２】
0005902033.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
0005902033.tif 000006