(57)【要約】  優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具を提供する。  ＡｇaＣｕ1-a から成る第１被膜層（２４）と、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層（２６）とが、交互に２層以上積層した多層膜であり、第１被膜層（２４）に係る原子比ａは０．２以上０．４以下の範囲内であり、第１被膜層（２４）と第２被膜層（２６）との積層周期（ｄ３）は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚（Ｄ）は０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内であることから、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。
2013153614.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削工具の表面に被覆して設けられる切削工具用硬質被膜であって、  ＡｇaＣｕ1-aから成る第１被膜層と、  ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層と  が、交互に２層以上積層した多層膜であり、  前記第１被膜層に係る原子比ａは０．２以上０．４以下の範囲内であり、  前記第１被膜層と前記第２被膜層との積層周期は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、  且つ、総膜厚は０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内である  ことを特徴とする切削工具用硬質被膜。
【請求項２】
請求項１に記載の切削工具用硬質被膜が表面に被覆して設けられた硬質被膜被覆切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、切削工具の表面に被覆して設けられる切削工具用硬質被膜及びその硬質被膜が設けられた硬質被膜被覆切削工具に関し、特に、耐摩耗性及び耐溶着性を共に向上させるための改良に関する。
【背景技術】
【０００２】  ドリルやタップ等の切削工具には、耐摩耗性を向上させるために硬質被膜が被覆して設けられる。この切削工具用硬質被膜としては、ＴｉＮ系、ＴｉＣＮ系、ＴｉＡｌＮ系、及びＡｌＣｒＮ系のコーティングが広く用いられており、その性能を更に向上させるために改良が図られている。例えば、特許文献１に記載された硬質積層被膜がそれである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−７６０８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  しかし、前述したような従来の技術により硬質被膜が形成された切削工具では、その切削加工に際して被削材の種類や切削条件によっては耐溶着性が不十分となるおそれがあった。すなわち、被削材の溶着等により工具の寿命が短くなる場合があり、改良の余地があった。このため、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具の開発が求められていた。【０００５】  本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  斯かる目的を達成するために、本第１発明の要旨とするところは、切削工具の表面に被覆して設けられる切削工具用硬質被膜であって、ＡｇaＣｕ1-aから成る第１被膜層と、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層とが、交互に２層以上積層した多層膜であり、前記第１被膜層に係る原子比ａは０．２以上０．４以下の範囲内であり、前記第１被膜層と前記第２被膜層との積層周期は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚は０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】  このように、前記第１発明によれば、ＡｇaＣｕ1-aから成る第１被膜層と、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層とが、交互に２層以上積層した多層膜であり、前記第１被膜層に係る原子比ａは０．２以上０．４以下の範囲内であり、前記第１被膜層と前記第２被膜層との積層周期は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚は０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内であることから、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜を提供することができる。【０００８】  前記第１発明に従属する本第２発明の要旨とするところは、前記第１発明の切削工具用硬質被膜が表面に被覆して設けられた硬質被膜被覆切削工具である。このようにすれば、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた硬質被膜被覆切削工具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の硬質被膜被覆切削工具の一実施例であるドリルを軸心に垂直な方向から見た正面図である。
【図２】図１に示すドリルを切れ刃が設けられた先端側から見た拡大底面図である。
【図３】図１のドリルのボデーにおける表面付近の拡大断面図であり、本発明の切削工具用硬質被膜の一実施例である硬質被膜の構成を例示するものである。
【図４】図３の硬質被膜のコーティング方法の一例を説明する図である。
【図５】本発明の効果を検証するために本発明者等が行った穴空け試験に用いられた本発明の実施例である各試料の被膜構造及びそれぞれの試験結果を併せて示す図である。
【図６】本発明の効果を検証するために本発明者等が行った穴空け試験に用いられた比較のための各試験品の被膜構造及びそれぞれの試験結果を併せて示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】  本発明の切削工具用硬質被膜は、エンドミル、ドリル、正面フライス、総型フライス、リーマ、タップ等の回転切削工具の他、バイト等の非回転式の切削工具等、種々の切削工具の表面コーティングに好適に適用される。工具基材すなわち硬質被膜が設けられる部材の材質としては、超硬合金や高速度工具鋼が好適に用いられるが、他の材料でもよく、例えばサーメット、セラミックス、多結晶ダイヤモンド、単結晶ダイヤモンド、多結晶ＣＢＮ、単結晶ＣＢＮ等、種々の材料から構成された切削工具に本発明の切削工具用硬質被膜は広く適用される。
【００１１】  本発明の切削工具用硬質被膜は、切削工具の一部乃至全部の表面に被覆して設けられるものであり、好適には、その切削工具において切削加工に関与する刃部に設けられる。更に好適には、少なくともその刃部における切れ刃乃至すくい面を被覆するように設けられる。
【００１２】  前記２被膜層は、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物、或いはこれらの相互固溶体にて構成される。具体的には、ＴｉＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＡｌＣｒＶＳｉＢ、ＴｉＳｉＯ、ＴｉＷＣ、ＺｒＶＯ、ＺｒＮｂＢ、ＨｆＴａＣＮ、ＮｂＮ、ＣｒＮ、ＭｏＳｉＣ、ＡｌＮ、ＡｌＣｒＳｉＣＮ、ＳｉＮ等から成るものである。
【００１３】  前記第１被膜層及び第２被膜層の膜厚は、組成等に応じて個々に定められるが、それ等を複数層繰り返し積層する場合には、それぞれ一定の膜厚でも良いし、連続的或いは段階的に変化させることもできる。前記第１被膜層、第２被膜層の各平均膜厚は、コーティングする部材や被膜の組成等によって異なるが、例えば０．１〜９０ｎｍ程度の範囲内が適当である。
【００１４】  前記第１被膜層、第２被膜層は、例えばアークイオンプレーティング法やイオンビーム蒸着法、スパッタリング法、ＰＬＤ（Pulse Laser Deposition) 法、ＩＢＡＤ（Ion Beam Assisted Deposition；イオンビーム支援蒸着）法等のＰＶＤ法によって好適に設けられるが、他の成膜法を採用することもできる。
【実施例】
【００１５】  以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明する。以下の説明に用いる図面に関して、各部の寸法比等は必ずしも正確に描かれていない。【００１６】  図１は、本発明の硬質被膜被覆切削工具の一実施例であるドリル１０を示す図であり、軸心Ｏに垂直な方向から見た正面図である。図２は、図１に示すドリル１０を、切れ刃１２が設けられた先端側から（すなわち矢印IIで示す方向に）見た拡大底面図である。これら図１及び図２に示す本実施例のドリル１０は、２枚刃のツイストドリルであり、シャンク１４及びボデー１６を軸心Ｏ方向に一体に備えている。斯かるボデー１６には、軸心Ｏの右まわりにねじれた一対の溝１８が形成されている。前記ボデー１６の先端には、前記一対の溝１８に対応して一対の切れ刃１２が設けられており、前記ドリル１０が前記シャンク１４側から見て軸心Ｏの右まわりに回転駆動されることにより、前記切れ刃１２によって被削材に穴が切削加工されると共に、その穴を切削加工する際に生じる切屑が前記溝１８を通ってシャンク１４側へ排出されるように構成されている。【００１７】  図３は、前記ドリル１０のボデー１６における表面付近の拡大断面図であり、本発明の切削工具用硬質被膜の一実施例である硬質被膜２２の構成を例示するものである。前記ドリル１０は、例えば、高速度工具鋼（ハイス）製の工具基材（工具母材）２０の表面に、図３に示すような硬質被膜２２がコーティングされて構成されたものである。この硬質被膜２２は、例えば図３に示すように、前記工具基材２０の表面に第１被膜層２４と、第２被膜層２６とが、交互に２層以上積層した多層膜である。図３においては、前記第１被膜層２４が前記工具基材２０の表面に設けられる最下層を、前記第２被膜層２６が前記硬質被膜２２の表面（外表面）に相当する最上層をそれぞれ構成する例を示しているが、前記第２被膜層２６が最下層、前記第１被膜層２４が最上層をそれぞれ構成するものであってもよい。【００１８】  前記第１被膜層２４は、不可避的不純物を含むＡｇaＣｕ1-aから成るものである。この第１被膜層２４に係る原子比（混晶比）ａは、０．２以上０．４以下の範囲内（０．２≦ａ≦０．４）である。前記第２被膜層２６は、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物、或いはこれらの相互固溶体であり、不可避的不純物を含むものである。すなわち、前記第２被膜層２６は、具体的には、ＴｉＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＡｌＣｒＶＳｉＢ、ＴｉＳｉＯ、ＴｉＷＣ、ＺｒＶＯ、ＺｒＮｂＢ、ＨｆＴａＣＮ、ＮｂＮ、ＣｒＮ、ＭｏＳｉＣ、ＡｌＮ、ＡｌＣｒＳｉＣＮ、ＳｉＮ等から成るものである。【００１９】  前記硬質被膜２２において、好適には、前記第１被膜層２４及び第２被膜層２６がそれぞれ予め定められた一定の膜厚（平均膜厚）で形成される。前記第１被膜層２４及び第２被膜層２６それぞれの平均膜厚は、コーティングする部材や被膜の組成等に応じて個別に設定されるが、好適には、前記第１被膜層２４の平均膜厚ｄ１は、０．１〜９０．０ｎｍの範囲内で、前記第２被膜層２６の平均膜厚ｄ２は、０．１〜７５．０ｎｍの範囲内で、そ��ぞれ適宜定められる。前記第１被膜層２４と前記第２被膜層２６との積層周期ｄ３は、０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内である。前記第１被膜層２４及び前記第２被膜層２６の積層数（第１被膜層２４及び第２被膜層２６の層数の合計）は、好適には、３０〜６３００の範囲内である。すなわち、前記第１被膜層２４及び前記第２被膜層２６それぞれの層数は、好適には、１５〜３１５０の範囲内である。前記硬質被膜２２の総膜厚Ｄは、０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内である。【００２０】  図４は、前記硬質被膜２２のコーティング方法の一例を説明する図である。前記ドリル１０等に対する前記硬質被膜２２のコーティングは、例えば図４に示すようなスパッタリング装置３０を用いてコントローラ３６の制御により行われる。好適には、先ず、前処理としてのエッチング工程において、前記スパッタリング装置３０のチャンバ３２内に配置された前記工具基材２０に、バイアス電源３４により負のバイアス電圧が印加される。これにより、正のアルゴンイオンＡｒ+が前記工具基材２０に衝突させられ、その工具基材２０の表面が粗面化させられる。【００２１】  次に、スパッタリング工程において、前記工具基材２０の表面に前記第１被膜層２４及び第２被膜層２６が交互に形成される。例えば、前記第２被膜層２６の形成において、その第２被膜層２６を構成するＴｉＡｌ等のターゲット３８に電源４０により負の一定のバイアス電圧（例えば−５０〜−６０Ｖ程度）が印加されるとともに、前記バイアス電源３４により工具基材２０に負の一定のバイアス電圧（例えば−１００Ｖ程度）が印加されることにより、アルゴンイオンＡｒ+が前記ターゲット３８に衝突させられ、これによりＴｉＡｌ等の構成物質が叩き出される。前記チャンバ３２内には、アルゴンガスの他に窒素ガス（Ｎ2）や炭化水素ガス（ＣＨ4、Ｃ2Ｈ2）の反応ガスが所定の流量で導入され、その窒素原子Ｎや炭素原子Ｃが前記ターゲット３８から叩き出されたＴｉＡｌ等と結合してＴｉＡｌＮ等となり、前記工具基材２０の表面に前記硬質被膜２２における第２被膜層２６等として付着させられる。或いは、Ｔｉ、Ａｌ等の単体それぞれに対応してターゲットを構成し、それら複数のターゲットを用いて同時にスパッタリングを行うことで、ＴｉＡｌＮ等から成る前記第２被膜層２６を形成するものであってもよい。前記スパッタリング工程においては、前記工具基材２０に正の電圧を印加するようにしてもよい。以上のようにして、前記第１被膜層２４と、前記第２被膜層２６とが交互に前記工具基材２０の表面に付着させられることで、その工具基材２０の表面に前記硬質被膜２２が形成される。【００２２】  続いて、本発明の効果を検証するために本発明者等が行った穴空け試験について説明する。図５及び図６は、この試験に用いられた本発明品及び試験品の被膜構造と、それぞれの試験結果（加工穴数及び判定）とを、併せて示す図である。図５は本発明の実施例である本発明品１〜１４の構造及び試験結果を、図６は比較のための従来技術である試験品１〜９の構造及び試験結果を、それぞれ示している。本発明者等は、工具径８．３ｍｍφの超硬ドリルに図５乃至図６に示す各被膜構造及び膜厚の硬質被膜をコーティ��グして試料である本発明品１〜１４及び試験品１〜９を作成し、各試験品について以下の切削条件で切削試験を行った。図５に示す本発明品１〜１４が本実施例の硬質被膜２２が適用された本発明品に相当し、図６に示す試験品１〜９が本発明の要件を満たさない（請求項１の要件から外れている）硬質被膜が適用された非発明品に相当する。図５及び図６における「Ａ層」、「Ｂ層」は、それぞれ前記第１被膜層２４、第２被膜層２６に対応する。図５及び図６に示す加工穴数は、逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの穴数であり、合格判定基準は、逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が２０穴以上である。【００２３】［加工条件］・工具形状：φ８．３超硬ドリル・被削材：インコネル（登録商標）７１８・切削機械：立型Ｍ／Ｃ・切削速度：１０ｍ／ｍｉｎ・送り速度：０．１ｍｍ／ｒｅｖ・加工深さ：３３ｍｍ（止まり）・ステップ量：ノンステップ・切削油：油性【００２４】  図５に示すように、前記本発明品１〜１４は、何れもＡｇaＣｕ1-aから成る第１被膜層（Ａ層）２４と、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層（Ｂ層）２６とが、交互に２層以上積層した多層膜であり、前記第１被膜層２４に係る原子比ａは０．２以上０．４以下の範囲内であり、前記第１被膜層２４と前記第２被膜層２６との積層周期ｄ３は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚Ｄは０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内である。すなわち、本発明の請求項１の要件を満たす硬質被膜２２が適用されたものである。図５に示す試験結果から明らかなように、斯かる本実施例の硬質被膜２２が適用された本発明品１〜１４においては、何れの試料においても逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が２０穴以上となり、合格基準を満たしている。【００２５】  特に、前記第１被膜層２４がＡｇ0.4Ｃｕ0.6、前記第２被膜層２６がＡｌＮから成り、前記第１被膜層２４の平均膜厚が０．５ｎｍ、前記第２被膜層２６の平均膜厚が３６．５ｎｍ、積層周期が３７．０ｎｍ、層数が１５０、総膜厚が２．８μｍである本発明品４で加工穴数４１、前記第１被膜層２４がＡｇ0.3Ｃｕ0.7、前記第２被膜層２６がＣｒＮから成り、前記第１被膜層２４の平均膜厚が５．０ｎｍ、前記第２被膜層２６の平均膜厚が１０．０ｎｍ、積層周期が１５．０ｎｍ、層数が４００、総膜厚が３．０μｍである本発明品２で加工穴数３６、前記第１被膜層２４がＡｇ0.4Ｃｕ0.6、前記第２被膜層２６がＺｒＮｂＢから成り、前記第１被膜層２４及び第２被膜層２６の平均膜厚が共に０．１ｎｍ、積層周期が０．２ｎｍ、層数が２０００、総膜厚が０．２μｍである本発明品１２で加工穴数３６、前記第１被膜層２４がＡｇ0.4Ｃｕ0.6、前記第２被膜層２６がＴｉＳｉＯから成り、前記第１被膜層２４の平均膜厚が５．０ｎｍ、前記第２被膜層２６の平均膜厚が０．１ｎｍ、積層周期が５．１ｎｍ、層数が３２００、総膜厚が８．２μｍである本発明品１３で加工穴数３５と、何れも逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が３５穴以上となり、とりわけ良好な切削性能を示していることがわかる。【０���２６】  図６に示すように、前記試験品１は、前記第１被膜層２４がＡｇ0.1Ｃｕ0.9から成るものであり、本発明の請求項１の要件であるＡｇの原子比ａが０．２以上０．４以下である範囲を逸脱している。前記試験品２は、前記第１被膜層２４がＡｇ0.5Ｃｕ0.5から成るものであり、本発明の請求項１の要件であるＡｇの原子比ａが０．２以上０．４以下である範囲を逸脱している。前記試験品３は、積層周期が０．１ｎｍであり、本発明の請求項１の要件である積層周期０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲を逸脱している。前記試験品４は、積層周期が１０１．０ｎｍであり、本発明の請求項１の要件である積層周期０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲を逸脱している。前記試験品５は、総膜厚が１０．１μｍであり、本発明の請求項１の要件である総膜厚０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲を逸脱している。前記試験品６は、前記第１被膜層２４がＡｇ0.1Ｃｕ0.9から成るものであり、本発明の請求項１の要件であるＡｇの原子比ａが０．２以上０．４以下である範囲を逸脱している。前記試験品７は、前記第１被膜層２４がＡｇ0.5Ｃｕ0.5から成るものであり、本発明の請求項１の要件であるＡｇの原子比ａが０．２以上０．４以下である範囲を逸脱している。前記試験品８は、積層周期が０．１ｎｍであり、本発明の請求項１の要件である積層周期０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲を逸脱していると共に、総膜厚が０．１５μｍであり、本発明の請求項１の要件である総膜厚０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲を逸脱している。本試験品９は、総膜厚が１０．１μｍであり、本発明の請求項１の要件である総膜厚０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲を逸脱していると共に、前記第１被膜層２４がＴｉ0.4Ｂ0.6ＯＮから成るものであり、その第１被膜層がＡｇaＣｕ1-aから成るという本発明の請求項１の要件を満たさない。図６に示す試験結果から明らかなように、これら試験品１〜９においては、何れも逃げ面摩耗幅０．２ｍｍであるときの加工穴数が２０未満となり、前記本発明品１〜１４と比べて切削性能に劣るものであることがわかる。これは、本発明の請求項１の要件を満たさない硬質被膜では、耐溶着性が十分ではなく、溶着や剥離等により早期寿命に至るためであると考えられる。【００２７】  このように、本実施例によれば、ＡｇaＣｕ1-aから成る第１被膜層２４と、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ａｌ、及びＳｉのうち少なくとも１種類の元素を含む窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、又は硼化物から成る第２被膜層２６とが、交互に２層以上積層した多層膜であり、前記第１被膜層２４に係る原子比ａは０．２以上０．４以下の範囲内であり、前記第１被膜層２４と前記第２被膜層２６との積層周期ｄ３は０．２ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内であり、且つ、総膜厚Ｄは０．２μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内であることから、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた切削工具用硬質被膜としての硬質被膜２２を提供することができる。【００２８】  本実施例によれば、前記硬質被膜２２が表面に被覆して設けられたドリル���０であることから、被膜中にＡｇを含有することで摩擦係数及び切削抵抗を軽減させることができ、潤滑性及び耐溶着性に優れると共に高硬度の被膜が得られる。すなわち、優れた耐摩耗性及び耐溶着性を兼ね備えた硬質被膜被覆切削工具としてのドリル１０を提供することができる。【００２９】  以上、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更が加えられて実施されるものである。
【符号の説明】
【００３０】  １０：ドリル（硬質被膜被覆切削工具）、１２：切れ刃、１４：シャンク、１６：ボデー、１８：溝、２０：工具基材、２２：硬質被膜（切削工具用硬質被膜）、２４：第１被膜層、２６：第２被膜層、３０：スパッタリング装置、３２：チャンバ、３４：バイアス電源、３６：コントローラ、３８：ターゲット、４０：電源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
2013153614.tif 000009
2013153614.tif 000010