(57)【要約】  第１および第２の表面を有し、前記第１の表面から前記第２の表面まで貫通した複数の貫通孔を有するガラス基板と、該ガラス基板の前記第１の表面から前記第２の表面まで電気的に接続された金属層と、を有する貫通電極付きガラス基板であって、前記金属層は、前記貫通孔の側壁側に配置された第１の部分を有し、該第１の部分と前記貫通孔の前記側壁の間には、樹脂層が配置されていることを特徴とする貫通電極付きガラス基板。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２の表面を有し、前記第１の表面から前記第２の表面まで貫通した複数の貫通孔を有するガラス基板と、該ガラス基板の前記第１の表面から前記第２の表面まで電気的に接続された金属層と、を有する貫通電極付きガラス基板であって、
前記金属層は、前記貫通孔の側壁側に配置された第１の部分を有し、該第１の部分と前記貫通孔の前記側壁の間には、樹脂層が配置されていることを特徴とする貫通電極付きガラス基板。
【請求項２】
前記樹脂層の厚さは、０．１μｍ以上２０μｍ以下の範囲である請求項１に記載の貫通電極付きガラス基板。
【請求項３】
前記樹脂層は、さらに、前記ガラス基板の前記第１の表面および／または前記第２の表面に配置されている請求項１または２に記載の貫通電極付きガラス基板。
【請求項４】
前記金属層は、さらに、前記ガラス基板の前記第１の表面および／または前記第２の表面に配置された前記樹脂層の上部に配置された、第２の部分を有する請求項３に記載の貫通電極付きガラス基板。
【請求項５】
前記貫通孔は、前記ガラス基板の前記第１の表面から前記第２の表面に向かってテーパ化されている請求項１乃至４のいずれか一つに記載の貫通電極付きガラス基板。
【請求項６】
前記樹脂層は、前記貫通孔の側壁全体を被覆するように配置される請求項１乃至５のいずれか一つに記載の貫通電極付きガラス基板。
【請求項７】
前記金属層は、前記樹脂層全体を覆うように配置される請求項１乃至６のいずれか一つに記載の貫通電極付きガラス基板。
【請求項８】
貫通電極付きガラス基板の製造方法であって、
（ａ）第１および第２の表面を有し、前記第１の表面から前記第２の表面まで貫通した複数の貫通孔を有するガラス基板を準備する工程と、
（ｂ）前記貫通孔の側壁に、樹脂層を形成する工程であって、前記樹脂層の形成後、前記貫通孔の貫通状態が維持される工程と、
（ｃ）前記貫通孔の側壁に設置された樹脂層の上に、前記第１の表面から前記第２の表面まで延在する金属層を設置する工程と、
を有することを特徴とする貫通電極付きガラス基板の製造方法。
【請求項９】
前記（ａ）の工程は、紫外線またはレーザ光を用いて、前記ガラス基板に前記貫通孔を形成する工程を有する請求項８に記載の製造方法。
【請求項１０】
前記（ｂ）の工程は、ラミネート法、浸漬法、および塗布法からなる群から選定された少なくとも一つの方法により、前記貫通孔の側壁に、前記樹脂層を形成する工程を有する請求項８または９に記載の製造方法。
【請求項１１】
前記（ｂ）の工程は、前記樹脂層によって前記貫通孔を充填した後に、前記樹脂層を貫通処理する工程を有する請求項８乃至１０のいずれか一つに記載の製造方法。
【請求項１２】
前記（ｃ）の工程は、
（ｃ−１）少なくとも前記貫通孔の側壁に設置された前記樹脂層の上に、金属層を無電解めっきする工程と、
（ｃ−２）（ｃ−１）の後、金属層を電解めっきする工程と、
を含む請求項８乃至１１のいずれか一つに記載の製造方法。
【請求項１３】
前記貫通孔の側壁に形成された前記樹脂層は、０．１μｍ以上２０μｍ以下の範囲の厚さを有する請求項８乃至１２のいずれか一つに記載の製造方法。
【請求項１４】
前記貫通孔は、前記ガラス基板の前記第１の表面から前記第２の表面に向かってテーパ化されている請求項８乃至１３のいずれか一つに記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インターポーザ等に利用される、貫通電極付きガラス基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、インターポーザ用部材として、貫通電極付きガラス基板が使用されている。【０００３】
このような貫通電極付きガラス基板は、通常、ガラス基板に紫外線またはレーザ光のような光線を照射することにより、ガラス基板に複数の貫通孔（ビア）を形成した後、ガラス基板の上下面、および貫通孔の側壁に、銅めっき層を形成することにより製造される（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−８６０２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、通常、銅めっき層は、ガラス基板との密着性があまり良好ではないという問題がある。特に、ガラス基板内の貫通孔の側壁に形成された銅めっき層は、しばしば、容易に剥離する場合が認められる。【０００６】
本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、本発明では、従来に比べて、銅めっき層のような金属層に剥離が生じ難い貫通電極付きガラス基板の提供を目的とする。また、本発明では、そのような貫通電極付きガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一つの形態によれば、
第１および第２の表面を有し、前記第１の表面から前記第２の表面まで貫通した複数の貫通孔を有するガラス基板と、該ガラス基板の前記第１の表面から前記第２の表面まで電気的に接続された金属層と、を有する貫通電極付きガラス基板であって、
前記金属層は、前記貫通孔の側壁側に配置された第１の部分を有し、該第１の部分と前記貫通孔の前記側壁の間には、樹脂層が配置されていることを特徴とする貫通電極付きガラス基板が提供される。【０００８】
別の形態によれば、貫通電極付きガラス基板の製造方法であって、
（ａ）第１および第２の表面を有し、前記第１の表面から前記第２の表面まで貫通した複数の貫通孔を有するガラス基板を準備する工程と、
（ｂ）前記貫通孔の側壁に、樹脂層を形成する工程であって、前記樹脂層の形成後、前記貫通孔の貫通状態が維持される工程と、
（ｃ）前記貫通孔の側壁に設置された樹脂層の上に、前記第１の表面から前記第２の表面まで延在する金属層を設置する工程と、
を有することを特徴とする貫通電極付きガラス基板の製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態における第１の貫通電極付きガラス基板の一例の概略的な斜視図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線での概略的な部分断面図である。
【図３】実施形態における第２の貫通電極付きガラス基板の一例の概略的な断面図である。
【図４】実施形態における貫通電極付きガラス基板の製造方法の一例のフローを概略的に示した図である。
【図５】実施形態における貫通電極付きガラス基板の製造方法における各工程を、概略的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明するが、本発明は、下記の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、下記の実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。
【００１１】
上述したように、従来のインターポーザ用部材として使用される貫通電極付きガラス基板では、ガラス基板と銅めっき層との間の密着性に問題がある。
【００１２】
銅めっき層の剥離の原因としては、次のことが考えられる。
【００１３】
通常、貫通孔は、ガラス基板にレーザ光を照射し、ガラス基板をアブレーション処理することにより形成される。このような方法で形成された貫通孔の表面は、レーザ加熱による熱溶融後に再冷却されるため、比較的凹凸が少なく平滑な状態となる。このような平滑な表面に設置された銅めっき層は、ガラス基板の貫通孔の側壁との間で、十分な密着性を確保することが難しくなる。すなわち、このようなレーザ加工によって形成された貫通孔表面状態が、銅めっき層の剥離につながる要因となっているものと考えられる。
【００１４】
また、ガラスと銅金属では、熱膨張係数が大きく異なるという問題がある。この熱膨張係数の差異のため、後工程などにおいて、貫通電極付きガラス基板に熱サイクルが負荷された際に、銅のめっき層がガラス基板から剥離することも考えられる。
【００１５】
（本実施形態による貫通電極付きガラス基板）
図１および図２には、本実施形態による貫通電極付きガラス基板（第１の貫通電極付きガラス基板）の一例を概略的に示す。図１は、第１の貫通電極付きガラス基板の一例の概略的な斜視図であり、図２は、図１におけるＡ−Ａ線での概略的な部分断面図である。
【００１６】
図１および図２に示すように、第１の貫通電極付きガラス基板１００は、第１の表面１１２および第２の表面１１４を有するガラス基板１１０と、貫通電極１５０とを有する。
【００１７】
ガラス基板１１０は、第１の表面１１２から第２の表面１１４まで貫通する、複数の貫通孔１２０を有する。例えば、図１および図２の例では、第１の貫通電極付きガラス基板１００は、横（Ｘ方向）および縦（Ｙ方向）に沿って、等間隔に配置された多数の貫通孔１２０を有する。ただし、図１および図２の例では、各貫通孔１２０には、後述するように、貫通電極１５０を構成する金属層が充填されている。
【００１８】
なお、図２に示すように、各貫通孔１２０は、ガラス基板１１０の第１の表面１１２から第２の表面１１４に向かって直径が減少する、いわゆる「テーパ形状」を有する。ただし、この形状は、必ずしも必要ではなく、各貫通孔１２０は、ガラス基板１１０の第１の表面１１２における開口の直径と、第２の表面１１４における開口の直径が等しい、略円柱状の形状であっても良い。さらに、各貫通孔１２０の延伸方向（Ｚ方向）に垂直な断面は、略円形状に限られず、断面は、例えば楕円状等であっても良い。
【００１９】
貫通電極１５０は、ガラス基板１１０の貫通孔１２０を介して、ガラス基板１１０の第１の表面１１２から第２の表面１１４まで延在し、ガラス基板１１０の第１の表面１１２と、ガラス基板１１０の第２の表面１１４の間を、電気的に接続する役割を有する。貫通電極１５０は、通常、金属層１６０で構成される。
【００２０】
図１および図２の例では、貫通電極１５０を構成する金属層１６０は、ガラス基板１１０の貫通孔１２０内に形成された第１の部分１６０Ａと、ガラス基板１１０の第１の表面１１２全体を覆う第２の部分１６０Ｂと、ガラス基板１１０の第２の表面１１４全体を覆う第３の部分１６０Ｃと、で構成される。金属層１６０の第１の部分１６０Ａは、貫通孔１２０を完全に充填するように配置されている。
【００２１】
ただし、図１および図２に示す貫通電極１５０の態様は、単なる一例である。貫通電極１５０は、貫通孔１２０を介して、ガラス基板１１０の第１の表面１１２とガラス基板１１０の第２の表面１１４の間を電気的に接続することが可能な限り、その態様は、特に限られない。
【００２２】
例えば、金属層１６０は、ガラス基板１１０の第１の表面１１２の一部（例えば貫通孔１２０の開口の周囲）に形成され、および／またはガラス基板１１０の第２の表面１１４の一部（例えば貫通孔１２０の開口の周囲）に形成され、および／または貫通孔１２０の側壁１２５に、貫通孔１２０を完全に充填しないように配置されても良い。特に、金属層１６０は、貫通孔１２０の内部にのみ設置されても良い。
【００２３】
ここで、第１の貫通電極付きガラス基板１００では、貫通孔１２０内に配置された金属層１６０の第１の部分１６０Ａと、貫通孔１２０の側壁１２５の間に、樹脂層１３０が配置されるという特徴を有する。すなわち、金属層１６０の第１の部分１６０Ａは、樹脂層１３０を介して、貫通孔１２０の側壁１２５に配置される。
【００２４】
なお、図１および図２の例では、樹脂層１３０は、金属層１６０の第１の部分１６０Ａと、貫通孔１２０の側壁１２５の間に設置された第１の部分１３０Ａの他、ガラス基板１１０の第１の表面１１２上に設置された第２の部分１３０Ｂと、ガラス基板１１０の第２の表面１１４上に設置された第３の部分１３０Ｃとを有する。ただし、樹脂層１３０の第２の部分１３０Ｂおよび第３の部分１３０Ｃは、必須の部分ではない。上述したように、とくに貫通孔の側壁は、貫通孔を形成する際の加熱等により、表面が平滑な状態になりやすいと考えられる。そのため、本実施形態において、少なくとも貫通孔１２０の側壁において、金属層１６０とガラス基板１１０との間に樹脂層１３０を設けた構成とすることができる。なお、樹脂層１３０は、貫通孔１２０の側壁全体を被覆する構成とすることができる。さらに、金属層１６０は、樹脂層１３０全体を覆う構成とすることができる。
【００２５】
このように、第１の貫通電極付きガラス基板１００では、金属層１６０の第１の部分１６０Ａは、樹脂層１３０の第１の部分１３０Ａを介して、ガラス基板１１０の貫通孔１２０の側壁１２５上に配置される。
【００２６】
一般に、樹脂層１３０は、比較的表面が粗く、微細な多数の凹凸を有する。このため、樹脂層１３０の第１の部分１３０Ａを介して、ガラス基板１１０の貫通孔１２０の側壁１２５上に配置された金属層１６０の第１の部分１６０Ａは、樹脂層１３０の第１の部分１３０Ａとの間のアンカー効果により、金属層が貫通孔１２０の側壁１２５上に直接設置された場合に比べて、より大きな密着性を発揮することができる。
【００２７】
また、樹脂層１３０は、比較的ヤング率が低く、弾性的な挙動を示す。つまり、本実施形態において、樹脂層１３０は、ガラス基板１００よりもヤング率が低い構成とすることができる。このため、貫通電極付きガラス基板１００に、熱サイクルによる熱応力が負荷された場合、樹脂層１３０は、熱応力による変形を緩和する役割を果たすことができる。
【００２８】
したがって、本実施形態では、金属層１６０の第１の部分１６０Ａと貫通孔１２０の側壁１２５の間の密着性が有意に改善され、金属層１６０に剥離が生じ難い貫通電極付きガラス基板１００を提供できる。
【００２９】
次に、第１の貫通電極付きガラス基板１００の各構成部材について、簡単に説明する。
【００３０】
（ガラス基板１１０）
ガラス基板１１０の材料は、ガラスである限り特に限られない。ガラス基板１１０は、例えば、ソーダライムガラス、アルミノシリケートガラス等で構成されても良い。
【００３１】
貫通孔１２０の数および寸法は、特に限られない。貫通孔１２０は、例えば、５μｍ以上２００μｍ以下の範囲の最大直径を有しても良い。なお、貫通孔１２０が略楕円状の断面を有する場合、貫通孔１２０の最大直径は、長軸の長さ（長径）となる。
【００３２】
（樹脂層１３０）
樹脂層１３０を構成する樹脂材料は、特に限られない。樹脂層１３０は、例えば、エポキシ樹脂のような熱硬化性樹脂で構成されても良い。
【００３３】
樹脂層１３０の厚さは、特に限られない。樹脂層１３０の第１の部分１３０Ａの厚さは、例えば、０．１μｍ以上２０μｍ以下の範囲であっても良い。
【００３４】
（貫通電極１５０）
貫通電極１５０を構成する金属層１６０の材料は、導電性を有する金属または合金である限り、特に限られない。通常の場合、金属層１６０の材料として、銅金属、銅合金、亜鉛金属、または亜鉛合金等が使用される。
【００３５】
金属層１６０の厚さは、特に限られない。金属層１６０の第１の部分１６０Ａの厚さは、例えば、１μｍ以上３０μｍ以下の範囲であっても良い。
【００３６】
（本実施形態による第２の貫通電極付きガラス基板の構成）
次に、図３を参照して、本実施形態による貫通電極付きガラス基板の別の構成（第２の貫通電極付きガラス基板）について説明する。
【００３７】
図３には、本実施形態による第２の貫通電極付きガラス基板の断面の一例を概略的に示す。
【００３８】
図３に示すように、第２の貫通電極付きガラス基板２００は、基本的に、図２に示した第１の貫通電極付きガラス基板１００と同様の構成を有する。したがって、図３において、図２の部材と同様の部材には、図２の参照符号に１００を加えた参照符号が付されている。
【００３９】
ただし、第２の貫通電極付きガラス基板２００は、一方の表面が、略平坦になっていない点が、第１の貫通電極付きガラス基板１００とは異なっている。すなわち、第２の貫通電極付きガラス基板２００において、金属層２６０は、ガラス基板２１０の貫通孔２２０を完全には充填しておらず、第２の貫通電極付きガラス基板２００の表面には、くぼみ２８０が存在する。
【００４０】
後述するように、例えば、金属層２６０をめっき法により形成する場合、貫通孔２２０の寸法によっては、金属層２６０の第１の部分２６０Ａによって、貫通孔２２０が完全に充填されないことがある。そのような場合、後工程において、貫通電極付きガラス基板２００の表面のくぼみ２８０を充填する処理が行われる。
【００４１】
そのようなくぼみ２８０の充填処理は、貫通電極付きガラス基板のその後の適用態様に応じて、適宜実施されることが好ましい場合がある。例えば、貫通電極付きガラス基板のユーザが、その後、貫通電極付きガラス基板に配置される回路および／または素子の構造、ならびに最終製品コスト等に応じて、くぼみ２８０の充填処理をどのように実施するかを定めることが好ましい場合がある。したがって、実際の場面では、第２の貫通電極付きガラス基板２００の構成が有意である場合もある。
【００４２】
なお、第２の貫通電極付きガラス基板２００においても、第１の貫通電極付きガラス基板１００と同様の効果、すなわち金属層２６０の第１の部分２６０Ａと貫通孔２２０の側壁２２５の間の密着性が有意に改善され、金属層２６０の剥離が生じ難くなる効果が得られる。
【００４３】
また、第１の貫通電極付きガラス基板１００の場合と同様、第２の貫通電極付きガラス基板２００においても、樹脂層２３０の第２の部分２３０Ｂおよび第３の部分２３０Ｃは、必須ではなく、これらは省略されても良い。同様に、金属層２６０の第２の部分２６０Ｂおよび第３の部分２６０Ｃは、必須ではなく、これらは省略されても良い。
【００４４】
（本実施形態による貫通電極付きガラス基板の製造方法）
次に、図４および図５を参照して、前述のような特徴を有する本実施形態による貫通電極付きガラス基板の製造方法の一例について説明する。
【００４５】
なお、ここでは、特に、図１および図２に示した構造の貫通電極付きガラス基板を例に、その製造方法を説明する。
【００４６】
図４には、本実施形態による貫通電極付きガラス基板の製造方法の一例のフロー図を概略的に示す。
【００４７】
図４に示すように、本実施形態による貫通電極付きガラス基板の製造方法は、
（ａ）第１および第２の表面を有し、前記第１の表面から前記第２の表面まで貫通した複数の貫通孔を有するガラス基板を準備する工程（ステップＳ１１０）と、
（ｂ）前記貫通孔の側壁に、樹脂層を形成する工程であって、前記樹脂層の形成後、前記貫通孔の貫通状態が維持される工程（ステップＳ１２０）と、
（ｃ）前記貫通孔の側壁に設置された樹脂層の上に、前記第１の表面から前記第２の表面まで延在する金属層を設置する工程（ステップＳ１３０）と、
を有する。
【００４８】
以下、図５を参照して、各工程について説明する。なお、図５は、図４に示した製造方法における各過程を、概略的に示した図である。
【００４９】
（ステップＳ１１０）
まず、第１の表面１１２および第２の表面１１４を有するガラス基板１１０が準備される。
【００５０】
ガラス基板１１０の材料は、ガラスである限り特に限られない。ガラス基板１１０は、例えば、ソーダライムガラス等であっても良い。
【００５１】
次に、図５（ａ）に示すように、準備されたガラス基板１１０に、複数の貫通孔１２０が形成される。貫通孔１２０は、側壁１２５を有する。
【００５２】
貫通孔１２０の形成方法は、特に限られない。なお、各貫通孔１２０の直径が微細な場合には、レーザを用いたアブレーション処理により、貫通孔１２０が形成されても良い。レーザを用いたアブレーション処理で形成された貫通孔１２０は、通常、延伸方向における断面が図５（ａ）に示すような「テーパ形状」となる。ただし、これは、必ずしも必要な形状ではない。
【００５３】
貫通孔１２０の開口部の最大直径は、特に限られない。レーザを用いたアブレーション処理を採用した場合、形成される貫通孔１２０の開口部の最大直径は、５μｍ以上２００μｍ以下程度であっても良い。
【００５４】
（ステップＳ１２０）
次に、ステップＳ１１０で準備された貫通孔１２０を有するガラス基板１１０に、樹脂層１３０が形成される。
【００５５】
樹脂層１３０は、少なくとも、貫通孔１２０の側壁１２５を覆うように形成される。また、樹脂層１３０は、最終的に、貫通孔１２０を完全に閉塞しない状態で設置される必要がある。
【００５６】
樹脂層１３０の形成方法は、特に限られない。樹脂層１３０は、例えば、「ラミネート法」により、貫通孔１２０の側壁１２５に形成される。
【００５７】
以下、この「ラミネート法」について説明する。
【００５８】
「ラミネート法」とは、貫通孔１２０を有するガラス基板１１０の第１の表面１１２および第２の表面１１４を覆うようにして、樹脂部材を配置し、該樹脂部材を加熱および／または加圧状態にすることにより、ガラス基板１１０に樹脂層１３０を形成する方法の総称を意味する。
【００５９】
「ラミネート法」では、樹脂層１３０は、例えば図５（ｂ）に示すような形態で、ガラス基板１１０に形成される。すなわち、ガラス基板１２０の貫通孔１２０内に配置された第１の部分１３０Ａ、ガラス基板１２０の第１の表面１１２上に形成された第２の部分１３０Ｂ、および第２の表面１１４上に形成された第３の部分１３０Ｃを有する樹脂層１３０が形成される。
【００６０】
「ラミネート法」における樹脂部材の加熱温度、および押付圧力等の各条件は、樹脂部材の材質、および必要な樹脂層１３０の形状等に基づいて、適宜選定される。
【００６１】
なお、樹脂層１３０は、「ラミネート法」ではなく、例えば「浸漬法」または「塗布法」等により、貫通孔１２０の側壁１２５に形成されても良い。
【００６２】
ここで、「浸漬法」とは、樹脂層の原料を含む液体またはペースト中に、ガラス基板を浸漬し、引き上げた後、ガラス基板を乾燥させることにより、少なくともガラス基板の貫通孔の側壁に、樹脂層を形成する方法を意味する。また、「塗布法」とは、ガラス基板の貫通孔の側壁に、樹脂層の原料を含む媒体（液体、ペースト、または固体）を、スプレー塗布または刷毛塗り等により設置し、塗布した媒体を乾燥固化させることにより、少なくともガラス基板の貫通孔の側壁に、樹脂層を形成する方法を意味する。
【００６３】
ここで、「ラミネート法」では、樹脂層１３０は、通常、貫通孔１２０を閉塞するように形成されるため、樹脂層１３０を形成した直後の状態では、貫通孔１２０は、「非貫通状態」になる（図５（ｂ））。このため、樹脂層１３０の形成後、樹脂層１３０で閉塞された貫通孔１２０を貫通させる処理（以下、「（樹脂層の）貫通処理」と称する）が必要となる。
【００６４】
このような「樹脂層の貫通処理」の方法は、特に限られない。「樹脂層の貫通処理」は、例えば、紫外線またはレーザ光によって実施しても良い。レーザ光源としては、例えば、二酸化炭素レーザ光が使用されても良い。
【００６５】
特に、紫外線またはレーザ光によって「樹脂層の貫通処理」を実施した場合、樹脂層の処理表面は、高熱により焼損した状態となり、粗い表面が得られる。このような表面は、以降のステップＳ１３０で実施される金属層の設置の際に、金属層に対して良好なアンカー効果を提供する。このため、紫外線またはレーザ光による「樹脂層の貫通処理」では、金属層と樹脂層の間に、より高い密着性が得られるという利点がある。
【００６６】
図５（ｃ）には、「樹脂層の貫通処理」後の状態を示す。「樹脂層の貫通処理」により、樹脂層１３０のうち、ガラス基板１１０の貫通孔１２０内に配置された第１の部分１３０Ａの一部が、ガラス基板１１０の第１の表面１１２から第２の表面１１４にわたって消失し、貫通孔１２０が再度「貫通された状態」となる。
【００６７】
なお、図５（ｃ）では、樹脂層１３０の第１の部分１３０Ａは、貫通孔１２０の側壁１２５と平行な状態で存在しているが、これは必ずしも必要ではない。樹脂層１３０の第１の部分１３０Ａは、貫通孔１２０の側壁１２５とは異なる角度で、ガラス基板１２０の第１の表面１１２から第２の表面１１４まで延在しても良い。
【００６８】
（ステップＳ１３０）
次に、前述のステップＳ１２０で形成された樹脂層１３０の第１の部分１３０Ａ上に、ガラス基板１２０の第１の表面１１２から第２の表面１１４まで延在する金属層が設置される。
【００６９】
金属層の材質は、特に限られない。通常の場合、金属層には、銅金属、銅合金、亜鉛金属、または亜鉛合金等が使用される。
【００７０】
金属層の設置方法は、特に限られない。通常の場合、金属層は、めっき法により形成される。
【００７１】
例えば、樹脂層１３０の第１の部分１３０Ａ上に、銅層を形成する場合、２段階の処理が実施されても良い。第１段階の処理では、銅の無電解めっき処理により、ガラス基板１１０に無電解銅めっき層が形成される。また、第２段階の処理では、銅の電解めっき処理により、無電解銅めっき層上に、銅の電気めっき層が形成される。
【００７２】
これにより、図５（ｄ）に示すような金属層１６０を有するガラス基板１２０が得られる。
【００７３】
通常の場合、金属層１６０は、樹脂層１３０の第１の部分１３０Ａ上（すなわち、貫通孔１２０内）に形成された第１の部分１６０Ａ、樹脂層１３０の第２の部分１３０Ｂ上（すなわち、第１の表面１１２の上部）に形成された第２の部分１６０Ｂ、および樹脂層１３０の第３の部分１３０Ｃ上（すなわち、第２の表面１１４の上部）に形成された第３の部分１６０Ｃを有する。
【００７４】
ただし、そのような構成は、必須ではなく、金属層１６０は、少なくとも第１の部分１６０Ａを有していれば良い。
【００７５】
金属層１６０の厚さは、特に限られない。通常の場合、金属層１６０の第１の部分１６０Ａの厚さは、１μｍ以上３０μｍ以下の範囲である。
【００７６】
以上の工程により、図５（ｄ）に示すような、ガラス基板１１０の第１の表面１１２と第２の表面１１４との間に電気的接続を提供する貫通電極１５０が形成される。また、貫通電極付きガラス基板１００が製造される。
【００７７】
ただし、その後、必要な場合、貫通孔１２０の充填処理が実施されても良い。
【００７８】
貫通孔１２０の充填処理は、貫通電極付きガラス基板１００の表面を平坦化するために実施される。例えば、貫通孔１２０の充填処理は、充填部材１９０を貫通孔１２０のくぼみに充填することにより、実施されても良い。
【００７９】
貫通孔１２０の充填処理により、例えば図５（ｅ）に示すような貫通電極付きガラス基板１００が提供される。
【００８０】
以上の工程により、本実施形態による貫通電極付きガラス基板を製造することができる。
【００８１】
なお、以上の記載は、本実施形態を実施するための単なる一例であって、当業者には、他の変形例が容易に理解されることに留意する必要がある。
【００８２】
本実施形態は、例えば、インターポーザ用部材として使用される貫通電極付きガラス基板に利用することができる。
【００８３】
本発明では、従来に比べて、金属層に剥離が生じ難い貫通電極付きガラス基板を提供できる。また、本発明では、そのような貫通電極付きガラス基板の製造方法を提供できる。
【００８４】
以上、本発明の好ましい実施形態及び実施例について詳述したが、本発明は上記した特定の実施形態及び実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能なものである。
【００８５】
本国際出願は２０１２年４月５日に出願された日本国特許出願２０１２−０８６８８８号に基づく優先権を主張するものであり、その全内容をここに援用する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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