(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、
該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、
複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、
前記マニホールドに液体を供給する導入路と、
前記マニホールドからの液体を外部に排出する排出路と、を具備し、
前記マニホールド内には、前記導入路が開口する導入口と、前記排出路が開口する排出口との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられており、
前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールド側の開口に向かって突出して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、
該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、
複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、
前記マニホールドに液体を供給する導入路と、
前記マニホールドからの液体を外部に排出する排出路と、を具備し、
前記マニホールド内には、前記導入路が開口する導入口と、前記排出路が開口する排出口との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられており、
前記マニホールドの一側面は可撓性を有するコンプライアンス基板で構成され、
前記突起部はコンプライアンス基板に接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールド側の開口に向かって突出して設けられていることを特徴とする請求項２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記突起部は、前記導入口から前記排出口までの間に複数個設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口と、ノズル開口に連通する圧力発生室等の流路とを具備し、圧力発生手段によって圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズル開口からインク滴を吐出させるものがある。
【０００３】
かかるインクジェット式記録ヘッドでは、ノズル開口からインクに含まれる成分が蒸発することで、インクが増粘し、インク滴の吐出特性が時間の経過と共にばらつきが生じ、液体の噴射品質を一定に保つことができない。また、インクに含まれる成分が沈降し、連続して吐出させた場合のインク滴の成分と、時間を空けて吐出させた場合のインク滴の成分とに差異が生じることでも液体の噴射品質にばらつきが生じてしまう。 
【０００４】
このため、複数の圧力発生室が共通して連通する共通液体室であるマニホールドにインクを供給すると共に、マニホールドからインクを回収して、供給と回収とを繰り返すことでインクを循環させて、インクの増粘及びインクに含まれる成分の沈降を抑制したインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。 
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２４７９３８号公報
【特許文献２】特許第３１６１０９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、マニホールド内のインクを循環させても、マニホールド内のインクの流れの中心の温度と、マニホールドから供給された圧力発生室に連通するノズル開口近傍のインクの温度とで温度差（温度勾配）が生じ、マニホールド内を所望の温度のインクが循環したとしても、ノズル開口近傍のインクの温度がマニホールド内のインクの温度よりも低くなり、最適な温度でインクを吐出させることができずに、最適な吐出特性を得ることができないという問題がある。
【０００７】
また、マニホールドの容積を小さくすると、マニホールド内のインクの温度と圧力発生室内のインクの温度との温度勾配を小さくすることができるものの、圧力損失が増大し、圧力発生手段の圧力変化がマニホールド側で吸収できなくなり、クロストークが発生するなどの問題が生じてしまう。
【０００８】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、マニホールドの容積が減少するのを抑制して、温度勾配を低減して、最適な温度で液体を吐出させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
［適用例１］上記課題を解決する本発明の適用例は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、前記マニホールドに液体を供給する導入路と、前記マニホールドからの液体を外部に排出する排出路と、を具備し、前記マニホールド内には、前記導入路が開口する導入口と、前記排出路が開口する排出口との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられており、前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールド側の開口に向かって突出して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる適用例では、突起部を設けることで、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心が圧力発生室の開口側に移動するため、マニホールドを流れる液体とノズル開口近傍の液体との温度差（温度勾配）を低減することができる。また、突起部を設けただけなので、マニホールドの容積を著しく減少させることがなく、圧力損失が増大するのを抑制して、吐出特性等に悪影響を与えるのを抑制することができる。また、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室の開口側に確実に移動させることができる。
［適用例２］上記課題を解決する本発明の別の適用例は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、前記マニホールドに液体を供給する導入路と、前記マニホールドからの液体を外部に排出する排出路と、を具備し、前記マニホールド内には、前記導入路が開口する導入口と、前記排出路が開口する排出口との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられており、前記マニホールドの一側面は可撓性を有するコンプライアンス基板で構成され、前記突起部はコンプライアンス基板に接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる適用例では、突起部を設けることで、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心が圧力発生室の開口側に移動するため、マニホールドを流れる液体とノズル開口近傍の液体との温度差（温度勾配）を低減することができる。また、突起部を設けただけなので、マニホールドの容積を著しく減少させることがなく、圧力損失が増大するのを抑制して、吐出特性等に悪影響を与えるのを抑制することができる。また、突起部によって部材の剛性を向上することができると共に、コンプライアンス基板の剥離等を抑制することができる。
［適用例３］ここで、前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールド側の開口に向かって突出して設けられていることが好ましい。これによれば、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室の開口側に確実に移動させることができる。
［適用例４］また、前記突起部は、前記導入口から前記排出口までの間に複数個設けられていることが好ましい。これによれば、複数の突起部によってマニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室の開口側に確実に移動させることができる。
［適用例５］さらに本発明の他の適用例は、上記適用例の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる適用例では、マニホールドの容積が減少するのを抑制して、温度勾配を低減して、最適な温度で液体を吐出させることができる液体噴射装置を実現できる。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、前記マニホールドに液体を供給する導入路と、前記マニホールドからの液体を外部に排出する排出路と、を具備し、前記マニホールド内には、前記導入路が開口する導入口と、前記排出路が開口する排出口との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、突起部を設けることで、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心が圧力発生室の開口側に移動するため、マニホールドを流れる液体とノズル開口近傍の液体との温度差（温度勾配）を低減することができる。また、突起部を設けただけなので、マニホールドの容積を著しく減少させることがなく、圧力損失が増大するのを抑制して、吐出特性等に悪影響を与えるのを抑制することができる。
【００１１】
ここで、前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールド側の開口に向かって突出して設けられていることが好ましい。これによれば、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室の開口側に確実に移動させることができる。
【００１２】
また、前記突起部は、前記導入口から前記排出口までの間に複数個設けられていることが好ましい。これによれば、複数の突起部によってマニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室の開口側に確実に移動させることができる。
【００１３】
また、前記マニホールドの一側面は可撓性を有するコンプライアンス基板で構成され、前記突起部はコンプライアンス基板に接合されていることが好ましい。これによれば、突起部によって部材の剛性を向上することができると共に、コンプライアンス基板の剥離等を抑制することができる。
【００１４】
さらに本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、マニホールドの容積が減少するのを抑制して、温度勾配を低減して、最適な温度で液体を吐出させることができる液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの流路を示す断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドと比較した流路を示す断面図である。
【図５】実施形態１及び比較した記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。
【図６】他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図７】他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図８】一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの断面図及びその要部を拡大した図であり、図３は、インクジェット式記録ヘッドの流路構成を示す図２のＡ−Ａ′線断面図である。
【００１７】
図示するように、インクジェット式記録ヘッド１は、ヘッド本体１１、ケース部材４０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。本実施形態では、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、連通板１５と、ノズルプレート２０と、保護基板３０と、を具備する。
【００１８】
ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。なお、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された２列は、一方の圧力発生室１２の列に対して、他方の圧力発生室１２の列が第１の方向Ｘで隣り合う圧力発生室１２の間隔の半分だけ第１の方向Ｘにずれた位置に配置されている。これにより、詳しくは後述するノズル開口２１も同様に、ノズル開口２１の２列が半分の間隔だけ第１の方向Ｘにずれて配置されて、解像度を２倍にしている。
【００１９】
また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側にはインク供給路１４が設けられている。複数の圧力発生室１２に共通する共通液体室であるマニホールドからのインクはインク供給路１４を介して圧力発生室１２に供給される。なお、インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、マニホールド１００から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。ちなみに、本実施形態では、共通流路であるマニホールドに連通する複数の個別流路を圧力発生室１２とインク供給路１４とが構成している。
【００２０】
流路形成基板１０の一方の面には、連通板１５が接着剤や熱溶着フィルム等を介して接合されている。また、連通板１５には、ノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０が接合されている。この連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通する連通路１６が厚さ方向に貫通して設けられている。
【００２１】
このような連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積（流路形成基板１０との接合面）を有し、流路形成基板１０のインク供給路１４の外側で詳しくは後述するケース部材４０との間でマニホールド１００を画成する。このため、連通板１５は、液滴の吐出方向からの平面視において、ケース部材４０と略同じ面積を有する。
【００２２】
また、ノズルプレート２０は、流路形成基板１０よりも小さい面積を有し、且つ少なくとも２列の連通板１５のノズルプレート２０側の開口を共通して覆う大きさを有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。ちなみに、図示していないが、ノズルプレート２０の液体噴射面（連通板１５とは反対側の面）には、インクに対して撥水性（撥液性）を有する撥水膜が設けられている。このような撥水膜は高価であり、撥水膜を成膜する面積に応じてノズルプレート２０のコストは高くなる。本実施形態では、ノズルプレート２０の面積を小さくすることで、撥水膜を成膜する面積を狭めてノズルプレート２０のコストを低減することができる。もちろん、ノズルプレート２０の材料である金属板やセラミックス板等の面積を単純に小さくすることでコストを低減することができる。
【００２３】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、弾性膜５０が形成され、弾性膜５０上には、さらに絶縁体膜５５が形成されている。この絶縁体膜５５上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とからなる圧電アクチュエーター（圧力発生手段）３００が設けられている。本実施形態では、第１電極６０が複数の圧電アクチュエーター３００に共通する共通電極として機能し、第２電極８０が各圧電アクチュエーター３００で独立する個別電極として機能するが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び第１電極６０が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００２４】
また、第２電極８０には、リード電極９０の一端がそれぞれ接続されている。リード電極９０の他端には、駆動ＩＣ等の駆動回路１２０が設けられたフレキシブル配線であるＣＯＦ等の配線基板１２１が接続されており、駆動回路１２０からの信号は、配線基板１２１及びリード電極９０を介して各圧電アクチュエーター３００に供給される。
【００２５】
また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。圧電アクチュエーター３００は、この保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。本実施形態では、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された２列に対応して圧電アクチュエーター３００が第１の方向Ｘに並設された列が２列設けられているため、保持部３１を圧電アクチュエーター３００の列毎に独立して設けた。
【００２６】
また、保護基板３０には、２つの保持部３１の間に、保護基板３０を厚さ方向に貫通して設けられた貫通孔３２が設けられている。流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００から引き出されたリード電極９０の端部は、貫通孔３２内に露出するように延設されており、リード電極９０と配線基板１２１とは貫通孔３２内で電気的に接続されている。
【００２７】
また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。
【００２８】
ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接着剤によって固定されると共に、上述した連通板１５にも接着剤によって固定されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによってマニホールド１００が画成されている。本実施形態では、ケース部材４０の凹部４１の第２の方向Ｙの中央部にヘッド本体１１を保持させて、ヘッド本体１１の第２の方向Ｙを挟んだ両側にマニホールド１００を形成するようにした。なお、ヘッド本体１１の第２の方向Ｙの両側に設けられたマニホールド１００は、ヘッド本体１１の第１の方向Ｘの両側で連通して設けられている。このため、２つのマニホールド１００には同じインクが供給される。
【００２９】
また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して外部からマニホールド１００にインクを供給する導入路４２と、マニホールド１００に連通してマニホールド１００からのインクを外部に排出する排出路４３とが設けられている。導入路４２と排出路４３とは、それぞれヘッド本体１１の第１の方向Ｘの両側の２つのマニホールド１００が連通する領域に開口して設けられている。このため、１つの導入路４２から供給されたインクは、２つのマニホールド１００を通過（循環）して、１つの排出路４３から排出されるようになっている。なお、本実施形態では、導入路４２のマニホールド１００への開口を導入口４２ａ、排出路４３のマニホールド１００への開口を排出口４３ａとした。
【００３０】
また、凹部４１は、ケース部材４０の側面、つまり、流路形成基板１０及び保護基板３０の端面に相対向する領域が開口して設けられており、インクジェット式記録ヘッド１の開口する側面には、コンプライアンス基板４４が設けられている。
【００３１】
コンプライアンス基板４４は、ケース部材４０と連通板１５とに亘って接合され、マニホールド１００の側面の開口を封止する。
【００３２】
このようなコンプライアンス基板４４は、本実施形態では、封止膜４４ａと、固定板４４ｂと、を具備する。封止膜４４ａは、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定板４４ｂは、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定板４４ｂのマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４４ａのみで封止されたコンプライアンス部となっている。
【００３３】
さらに、マニホールド１００には、導入路４２の導入口４２ａから排出路４３の排出口４３ａに向かう途中に、マニホールド１００内を流れるインクの流れる方向に交差する方向に突出する突起部４５が設けられている。本実施形態では、１つのマニホールド１００に第１の方向Ｘに向かって一定の間隔で複数、本実施形態では４個の突起部４５を設けた。
【００３４】
なお、マニホールド１００は、ヘッド本体１１とは反対側に連通板１５とは反対側が拡幅された部分が設けられている。このため、本実施形態の突起部４５は、この拡幅された部分を埋めるように連通板１５とは反対面側から連通板１５側に向かって突出して設けられた第１突出部４６と、第１突出部４６に連続してコンプライアンス基板４４側の面からインク供給路１４の開口に向かって突出して設けられた第２突出部４７と、を具備する。
【００３５】
すなわち、突起部４５は、マニホールド１００のインク供給路１４が開口する流路形成基板１０と連通板１５との角部とは対角となる角部に跨って設けられており、突起部４５は、圧力発生室１２のマニホールド１００側の開口（インク供給路１４のマニホールド１００側の開口）に向かって突出しているといえる。
【００３６】
このようにマニホールド１００のインクの流れる方向（循環方向）に亘ってインクの流れる方向と直交する方向に突出した複数の突起部４５を設けることで、マニホールド１００の容積を著しく減少させることなく、マニホールド１００内を流れるインクの流れの中心、すなわち、流速が最大となる中心をインク供給路１４の開口側に移動することができる。特に、本実施形態のように突起部４５を圧力発生室１２のマニホールド１００側の開口（インク供給路１４のマニホールド１００側の開口）に向かって突出させることで、マニホールド１００内を流れるインクの流れの中心をインク供給路１４の開口側に効率良く移動させることができる。したがって、マニホールド１００内を流れるインクをインク供給路１４を介して圧力発生室１２に供給する際に、マニホールド１００内を循環しているインクの温度と、圧力発生室１２に供給されたインクの温度、すなわち、ノズル開口２１近傍のインクの温度との温度差（温度勾配）を低減することができる。すなわち、マニホールド１００内を循環している所望の温度のインクを圧力発生室１２に温度が低下するのを抑制した状態で供給することができ、所望の温度でインクを吐出させることができるため、インク吐出特性が低下するのを抑制することができる。
【００３７】
つまり、図４に示すように、マニホールド１００内に突起部４５を設けない場合、図５（ａ）に示すように、マニホールド１００を流れるインクの流れの中心Ｃ１となるのに対し、本実施形態のマニホールド１００内に突起部４５を設けた場合、図５（ｂ）に示すように、マニホールド１００を流れるインクの流れの中心Ｃ２は、突起部４５を設けない中心Ｃ１よりもインク供給路１４の開口側に移動する。なお、図４は、本実施形態の記録ヘッドの比較例を示すＡ−Ａ′線に相当する断面図であり、図５（ａ）は比較例の記録ヘッドの要部断面図、図５（ｂ）は本実施形態の記録ヘッドの要部断面図である。
【００３８】
したがって、マニホールド１００内に突起部４５を設けることで、マニホールド１００内を流れるインクの流れの中心Ｃ２をインク供給路１４の開口側とすることができ、インク供給路１４に供給するインクが、マニホールド１００内を流れる中心Ｃ２のインクに近くなり、温度勾配を低減することができる。また、マニホールド１００内を流れるインクの中心Ｃ２がノズルプレート２０側（連通板１５側）に移動するため、マニホールド１００内を流れるインクによってノズルプレート２０が温められて、ノズル開口２１近傍のインクの温度とマニホールド１００を流れるインクの温度との温度差（温度勾配）を低減することができる。
【００３９】
また、突起部４５は、マニホールド１００の容積を著しく低下することがないため、圧力損失の増大を抑制することができ、マニホールド１００の容積不足による供給不良や、圧電アクチュエーター３００の駆動によってマニホールド１００側にインクが移動して発生するクロストークなどが生じるのを抑制することができる。
【００４０】
さらに、突起部４５を導入口４２ａから排出口４３ａに亘って所定の間隔で複数個設けることで、マニホールド１００のように長い空間が画成されたケース部材４０の剛性を向上して、変形し難くすることができる。
【００４１】
また、突起部４５は、コンプライアンス基板４４側に第２突出部４７を有するため、コンプライアンス基板４４は、第２突出部４７に接合されている。したがって、コンプライアンス基板４４に対して、第２突出部４７が梁として機能し、コンプライアンス基板４４の剥離や弾性破壊等を抑制することができる。
【００４２】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【００４３】
例えば、上述した実施形態１では、突起部４５として、連通板１５とは反対面側から連通板１５側に向かって突出する第１突出部４６と、流路形成基板１０の端面に相対向する面から流路形成基板１０の端面に向かって突出する第２突出部４７とを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、突起部４５が第１突出部４６及び第２突出部４７の何れか一方のみで構成されていてもよい。また、突起部４５は、第１突出部４６及び第２突出部４７に限定されるものではない。ここで、突起部の他の例を図６及び図７に示す。なお、図６及び図７は、本発明の他の実施形態に係る突起部の変形例を示すインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００４４】
図６に示すように、突起部４５Ａは、連通板１５とは反対面側から連通板１５側に突出して設けられている。また、突起部４５Ａは、コンプライアンス基板４４との間に所定の空間を画成して配置されている。
【００４５】
また、図７に示すように、突起部４５Ｂは、コンプライアンス基板４４側から流路形成基板１０の端面に向かって突出して設けられた第２突出部４７で構成されている。
【００４６】
このような図６及び図７に示す突起部４５Ａ、４５Ｂであっても、マニホールド１００内を流れるインクの流れの中心は、インク供給路１４の開口側に移動されるため、上述した実施形態１と同様の効果を奏することができる。
【００４７】
さらに、上述した実施形態１では、マニホールド１００が、流路形成基板１０及び保護基板３０の外側でケース部材４０と連通板１５との間に形成された構成を例示したが、特にこれに限定されず、流路形成基板１０と保護基板３０とを厚さ方向（積層方向）に貫通するマニホールドを用いるようにしてもよい。また、コンプライアンス基板４４は、流路形成基板１０の端面に相対向する位置に設ける必要はなく、連通板１５側に設けられていても、また連通板１５とは反対側に設けられていてもよい。
【００４８】
また、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーターを用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００４９】
また、これら上述したインクジェット式記録ヘッド１は、インクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５０】
本実施形態のインクジェット式記録装置Ｉは、装置本体にインクジェット式記録ヘッド１を固定し、ノズル開口２１の並設方向に対して直交する方向に記録用紙等の被噴射媒体を搬送することで被噴射媒体への印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置である。
【００５１】
具体的には、図８に示すように、インクジェット式記録装置Ｉは、インクジェット式記録ヘッド１を具備するインクジェット式記録ヘッドユニット２と、装置本体３と、被記録媒体である記録シートＳを給紙するローラー４と、液体貯留手段５とを備えている。
【００５２】
インクジェット式記録ヘッドユニット２（以下、ヘッドユニット２とも言う）は、複数のインクジェット式記録ヘッド１と、複数のインクジェット式記録ヘッド１を保持する板状のベースプレート６と、を具備する。このヘッドユニット２は、ベースプレート６に取り付けられたフレーム部材７を介して装置本体３に固定されている。
【００５３】
また、装置本体３にはローラー４が設けられている。ローラー４は、装置本体３に給紙された被噴射媒体である紙等の記録シートＳを搬送し、記録シートＳをインクジェット式記録ヘッド１のインクの吐出面側を通過させる。
【００５４】
また、上述したように、各インクジェット式記録ヘッド１には、装置本体３に固定されてインクを貯留する液体貯留手段５がフレキシブルチューブ等の供給管８及び回収管９を介して接続されている。液体貯留手段５からのインクは、供給管８を介して各インクジェット式記録ヘッド１に供給され、インクジェット式記録ヘッド１で吐出されなかったインクは回収管９を介して液体貯留手段５に回収される。また、回収管９の途中にはポンプ９ａが設けられており、液体貯留手段５からのインクは、ポンプ９ａの圧力によってインクジェット式記録ヘッド１内の液体流路（マニホールド１００、排出路４３等）を通過して循環する。
【００５５】
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、ローラー４により搬送方向に記録シートＳが搬送されると共に、ヘッドユニット２のインクジェット式記録ヘッド１によってインクが吐出されて記録シートＳに画像等が印刷される。
【００５６】
なお、上述した例では、複数のインクジェット式記録ヘッド１を具備するヘッドユニット２をインクジェット式記録装置Ｉに１つだけ設けるようにしたが、インクジェット式記録装置Ｉに搭載するヘッドユニット２を２つ以上設けてもよい。また、インクジェット式記録装置Ｉに直接インクジェット式記録ヘッド１を搭載するようにしてもよい。
【００５７】
また、上述した例では、インクジェット式記録ヘッド１が固定されて記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置Ｉを例示したが、特にこれに限定されるものではない。例えば、記録シートＳの搬送方向と交差する方向（主走査方向）に移動するキャリッジにインクジェット式記録ヘッド１を搭載し、インクジェット式記録ヘッド１を主走査方向に移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００５８】
また、本実施形態では、液体貯留手段５が装置本体３に固定されたタイプのインクジェット式記録装置Ｉを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクカートリッジ等の液体貯留手段を各インクジェット式記録ヘッド１、インクジェット式記録ヘッドユニット２又はキャリッジ等に固定するタイプのインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００５９】
さらに本実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００６０】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  １２  圧力発生室、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ４０  ケース部材、  ４４  コンプライアンス基板、  ４５、４５Ａ、４５Ｂ  突起部、  ４６  第１突出部、  ４７  第２突出部、  １００  マニホールド、  ３００  圧電アクチュエーター（圧力発生手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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