(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線位置又は角度位置を検知する非接触磁気センサであって、
固定子アセンブリ（２）と、
固定子アセンブリと固定子アセンブリが検知される位置とに対し移動可能な可動強磁性要素（１）とを備えており、
固定子アセンブリ（２）は、少なくとも第１及び第２の強磁性部品（３，４）と、少なくとも第１の永久磁石（５）と、少なくとも１つの磁気感知要素（６）とを備え、該少なくとも１つの磁気感知要素（６）は、可動強磁性要素（１）の位置に応じた磁場を受けるとともに、受けた磁場に応じた測定信号を送出するように設計されており、
第１の永久磁石（５）は、第１の強磁性部品（３）に剛直に接続されており、
強磁性部品（３，４）は、可動強磁性要素（１）とともに、少なくとも第１及び第２の空隙（７，８）を形成しており、
第１の永久磁石（５）は、剛直に第１の強磁性部品（３）にのみ接続されており、２つの強磁性部品（３，４）はそれらの間に、少なくとも第３の空隙（９）を形成し、磁気感知要素（６）が第３の空隙（９）に配置される、非接触磁気センサ。
【請求項２】
磁気感知要素（６）は、前記磁場の成分のうちの少なくとも１つの大きさを感知するホール効果プローブである、請求項１に記載の非接触磁気センサ。
【請求項３】
２つの強磁性部品（３，４）のうち少なくとも１つは、磁気感知要素（６）に対向して形成され、磁束の集中を可能にする拡張部（１０）を備える、請求項１又は２に記載の非接触磁気センサ。
【請求項４】
固定子アセンブリ（２）は、第３の空隙（９）に配置され、磁気感知要素（６）に平行である第２の永久磁石（１１）を備える、請求項１〜３のいずれか一項に記載の非接触磁気センサ。
【請求項５】
固定子アセンブリ（２）は、第１の永久磁石（５）に剛直に接続された第３の強磁性部品（１２）を備える、請求項１〜４のいずれか一項に記載の非接触磁気センサ。
【請求項６】
固定子アセンブリ（２）は第１及び第２の永久磁石（５，１１）を備え、該第１及び第２の永久磁石（５，１１）は、第１の強磁性部品（３）に剛直に接続され、前記第１の強磁性部品（３）の中央を通過する移動に直交する面に対して対称に配置される、請求項１〜５のいずれか一項に記載の非接触磁気センサ。
【請求項７】
第３の強磁性部品（１２）は、円錐部を有する、請求項５に記載の非接触磁気センサ。
【請求項８】
第１の永久磁石（５）は、円錐部を有する、請求項１〜７のいずれか一項に記載の非接触磁気センサ。
【請求項９】
可動強磁性要素（１）は、その移動の方向に所定の長さを有しており、その長さの一部において、同移動に直交する面において幅狭部を有する、請求項１〜８のいずれか一項に記載の非接触磁気センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気位置センサの分野に関し、より詳細には、主に強磁性要素の位置を検知する強磁性要素から構成される、移動可能なアセンブリを用いる直線位置を検知する絶対位置センサ又は磁気回転センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
より正確には、本発明は線位置又は角度位置を検知する非接触磁気センサに関し、該センサは、少なくとも１つの固定子アセンブリと、該固定子アセンブリと該固定子アセンブリが検知される位置とに対し移動可能な１つの可動強磁性要素とを備えている。該固定子アセンブリは、少なくとも第１及び第２の強磁性部品と、少なくとも第１の永久磁石と、少なくとも１つの磁気感知要素とを備える。該少なくとも１つの磁気感知要素は、可動強磁性要素の位置に応じた磁場を受けるとともに、受けた磁場に応じた測定信号を送出するように設計されている。第１の永久磁石は、第１の強磁性部品に剛直に接続されており、前記第１及び第２の強磁性部品は、可動強磁性要素とともに、少なくとも対応する第１及び第２の空隙を形成する。
【０００３】
このタイプのセンサは、特許文献１に記載されている。
しかし、特許文献１に開示されたセンサは、デジタルエンコーダに分類されるものであり、従って、空隙において、可動強磁性要素又はその要素の一部分の存在または不在を検知することしかできない。
【０００４】
その上、似たタイプのセンサにおいては、その固定子アセンブリにおける２つの強磁性部品は永久磁石によって結合されており、従って１つの部分しか動作しない。こうしたセンサは、特許文献２及び特許文献３により知られている。
【０００５】
特許文献２に記載のセンサもデジタルエンコーダに分類されるものであるが、他方、特許文献３のセンサは、そのような固定子アセンブリに対する可動強磁性要素の位置が連続的に変化する様子を検知することを可能にしている。
【０００６】
しかし、特許文献３に開示されるセンサの構造によって課された厳密な幾何学的制約は、本発明の用途における使用には不適切であり、小さな全体の寸法しか許容されない。
固定子アセンブリに対する可動強磁性要素の位置の連続的に変化する様子を検知することを可能にする別のセンサは、例えば、本出願人らの特許文献４に開示されている。
【０００７】
この先行文献の教示によれば、可動強磁性要素は永久磁石に対して移動し、その磁石は磁気感知プローブが組み込まれる空洞を備える。磁気感知プローブは、従って可動強磁性要素の位置に応じた強さの磁場を受ける。そのような強磁性要素自体は、プローブが感知する磁場の強さの直線的な変化を生成するように形成されている（図１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許第４，１１２，４０８号明細書
【特許文献２】英国特許第１，１４３，５０８号明細書
【特許文献３】米国特許第５，６００，２３８号明細書
【特許文献４】仏国特許第２，８４５，４６９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
この構造が提供する利点にもかかわらず、このような既知構造には、下記の制限がある。
−  機械的な公差の影響を非常に受けやすいこと
−  ゼロ誘導点（０テスラ（ガウス））に対する信号のオフセットが有意であるため温度の補正が困難であること
−  十分な信号変化を有するのに有意な形成因子を有する必要があること。
【００１０】
既知のセンサでは、従って、大きな製造又は動作の公差（機械的な公差、温度等）にもかかわらず、小型又は高性能のシステムの必要を満たすことが容易でない。
この文脈において、本発明は上記の制限のうちの少なくとも１つを解消するセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この目的のため、本発明のセンサは、上記の序文で挙げられた総称定義に従っている他方で、第１の永久磁石は第１の強磁性部品にのみ剛直に接続され、２つの強磁性部品は、それらの間に少なくとも第３の空隙を形成し、磁気感知要素は、その第３の空隙に配置されることを主な特徴とする。
【００１２】
本発明は、従って、その設計、簡素化又は強度の理由による非接触位置に対するニーズを更に満たし、その可動強磁性要素は追加の部品、より詳細には永久磁石を有しない。
磁気感知要素は、好適には、第３の空隙において、少なくとも１つの成分の磁場の大きさを感知するためのホール効果プローブを備え、例えば、ＭＬＸ９０２５１又はＨＡＬ８２５のタイプのプログラム可能な直線プローブを備え得る。
【００１３】
本願により提供される解決手段は、より詳細には軸対象な構造に適用した場合、幾何学公差の影響を著しく受けにくくすることができる。本明細書全体において、「軸対称」という用語は、可動強磁性要素の移動方向と共線上にある軸に対して少なくとも略回転対称である任意の要素に適用されることに留意すべきである。
【００１４】
その上、最適化される実施形態において、本形態は使用される磁気感知要素と一致する磁気変動を得ることができる。より詳細には、極小移動（典型的には、２０分の１〜３０分の１ミリメートル）を測定するために本発明を使用することが想定される。
【００１５】
磁場に関して測定される変化は、好適には、しかし限定はされないが、温度に対して安定した値である０テスラ（ガウス）付近であり、従って、センサは従来技術の構造よりも温度変化の影響をより受けにくく、より容易にプログラムされるようになる。
【００１６】
第１の実施形態によれば、本発明は、可動強磁性要素に加えて、検知した位置を用いて可動強磁性要素の直線位置を検知する磁気センサに関しており、固定子アセンブリは、少なくとも
−  略軸対象な第１の強磁性部品と、
−  略円柱の形状を有する永久磁石であって、第１の強磁性部品に剛直に接続されており、その磁石は軸方向に又は径方向に磁化されることができる１つの永久磁石と、
−  略軸対象な第２の強磁性部品と、
−  １つの磁気感知要素と、を備え、固定子の第１と第２の強磁性部品は、可動強磁性要素とともに対応する第１と第２の空隙を形成し、その強磁性部品の間に磁気感知要素が配置される第３の空隙を形成する。
【００１７】
固定子アセンブリを程よい寸法にすることにより、可動強磁性要素の移動の関数として
磁場の直線変化を得ることができる。
このタイプの革新的な構造の使用に潜在する利点のうちの１つは、移動経路のどの地点においても、磁場の統合効果のために、様々な空隙によって見られる全体的な透磁率及び、結果として磁場感知要素によって測定されるその磁場は、径方向のあそび又はその可動要素の様々な回転の影響をほぼ受けない。
【００１８】
好適な実施形態によれば、固定子の第２の強磁性部品は、磁場の変化の増大を可能にする磁束集中領域を構成する拡張部を外径上に備えてもよい。そのような拡張部は、集中効果をなおも向上させるように、理想的には、磁気感知プローブに対向する制約された角度の弧に限られる。
【００１９】
その上、そのような構造は、直径が変動することなく、移動経路に応じない長さを有する軸の移動を測定することができるという利点を有する。一般的に、移動経路の始めにおいて、可動強磁性要素を構成する軸の端部は、第２の強磁性部品に対向して配置される。
【００２０】
それに反して、この構造は対称ではないから、測定された信号における変化はオフセットされる場合があり、これは、移動経路に沿った磁場の変化が０テスラ（ガウス）付近にないことを意味する。そのようなオフセットが大き過ぎる場合、磁気感知要素プローブのプログラミングは複雑になり、センサは温度の影響を受けやすくなる。
【００２１】
これは、永久磁石を延長することによって、又は代替の一手法では軸方向の間隙において軸方向に磁化されたディスク形状の第２の極性磁石を統合すること（図９に示される第３の代替の手法）によって補償されてもよい。理想的には、その磁石は、プローブの最適な統合を可能にし、センサの外径の低減を可能とするべく、３６０°未満に延長することができる。
【００２２】
別の代替の手法（図８に示される第２の代替形態）によれば、磁化が軸方向の場合は第３の強磁性部品が主磁石の下に、又は、磁化が径方向の場合は主永久磁石の内径上に追加されてもよい。理想的には、第３の強磁性部品が略円錐の形状の軸の拡張部を有することであり、それにより、センサの直線性は向上する。
【００２３】
提供される全ての実施形態において、信号の直線性を向上させるように磁石は略円錐部を有することが想定されてもよい。
第２の実施形態によれば、本発明は、可動強磁性要素に加えて、検知した位置を用いて直線位置を検知する磁気センサに関しており、固定子アセンブリは、少なくとも
−  「Ｃ字」形をした長手部を有する略軸対象な第１の強磁性部品と、
−  「Ｃ字」の下枝部及び上枝部にそれぞれ剛直に接続され、円柱又はディスクの形状を有する２つの永久磁石であって、それぞれ、径方向に磁化され「Ｃ字」の枝部の内径上に配置される、又は、軸方向に磁化され「Ｃ字」の上枝部の下かつ下枝部の内径上に配置され得る、２つの永久磁石と、
−  「Ｃ字」の２つの枝部の間に配置される移動方向により形成される軸に対して回転する第２の強磁性部品と、
−  １つの磁気感知要素と、を備えており、固定子の第１の強磁性部品の「Ｃ字」の各枝部は、可動強磁性要素とともに径方向又は軸方向に空隙を形成し、固定子の第２の強磁性部品の「Ｃ字」の各枝部は、可動強磁性要素とともに径方向又は軸方向に空隙を形成し、固定子の２つの強磁性部品は、その固定子の強磁性部品の間に磁気感知要素が位置する径方向の空隙を形成する。
【００２４】
好適には、磁石は「直列に」磁化される。例えば、軸方向の場合、両方の磁石についてＮ極が上方向を向くようにすることで、又は、径方向の場合、一方の磁石についてＮ極が
内方向を向くようにし、他方の磁石についてＮ極が外方向を向くようにすることで、各磁石により生成された磁束は、形成された磁場と同じ方向に移動する。
【００２５】
この実施形態によれば、可動部品が、その移動方向に直交し、「Ｃ字」の中央を通過する移動に対して直交する面に対して対称な位置にある場合、永久磁石（又は複数の永久磁石）により生成される磁場は、例えば、「Ｃ字」の外側部分において上枝部から下枝部の方向に移動し、次いで「Ｃ字」と可動強磁性要素との間の第１の空隙を通過し、この要素に導かれ、「Ｃ字」と可動強磁性要素との間の第２の空隙を通過することによって「Ｃ字」の上枝部へのループを閉じる。従って固定子の第２の強磁性部品に関連する空隙を通過する磁束はなく、磁気感知プローブによって測定される径方向の成分は、ゼロ（０テスラ（ガウス）の位置）である。
【００２６】
他方、可動要素が中央の位置から離れて配置される場合、不均衡が生じ、磁束は第３及び第４の空隙を通過する。従って、可動要素が中間面に対して対称な２つの位置（−Ｙ）と（＋Ｙ）との間で移動する場合、［−Ｂ（Ｙ）］と（ＢＹ）との間の対象な磁場の変化が測定される。そのような２極の信号の変化は、従って、温度の影響を受けにくい中間点（０テスラ（ガウス））を有することを可能にし、一般的に、センサは比較的温度について安定であり、直線磁気感知プローブは容易にプログラミングされる。
【００２７】
可動要素及び固定子ユニットを程よい寸法にすることにより、移動による磁場の直線変化を得ることができる。
このタイプの回転構造を用いる利点のうちの１つは、移動経路のどの地点においても、磁束の統合効果のために、形成される磁気回路によって見られる全体的な透磁率及び、結果として磁場感知要素によって測定されるその磁場は、径方向のあそび及びその可動要素の様々な回転をほぼ感知しないことである。
【００２８】
好適には、第２の強磁性部品は、磁場の変化の増大を可能にする磁束集中領域を構成する拡張部を外径上に備える。そのような拡張部は、集中効果をなおも向上させるように、理想的には磁気感知プローブに対向する制約された角度の弧に限られる。
【００２９】
ここで上記に開示した実施形態によって実行される構造は、次いで、より詳細には可動強磁性要素が固定子アセンブリに近い高さにおいて、固定子アセンブリの両端部に対向して対称的に動く構成に取り入れられる。
【００３０】
しかし、いくつかの用途において、上述した状態を得ることができない機械的な構成（可動強磁性要素は、全体的に可動強磁性部品から成る）の理由により、可動強磁性要素は特に長くてもよい。次いで、オフセットを生成し磁場の有効な変化を減少させる傾向のある磁束の漏れを減少させるように、センサの動作に用いられる領域外における可動部品の直径を程よく減少させてもよい。
【００３１】
一般的に、可動強磁性素子は、測定された磁場に影響することのない非強磁性の性質（プラスチック、アルミニウム等）かつ、ある程度の長さを有するその他の要素に関連して移動してもよい。
【００３２】
１つの永久磁石のみがまたこの構造の一般原理に挑むことなく使用され得ることにも留意するべきである。一般の対称性は、従って、もはや確保されず、特に、磁束の測定信号にオフセットを導入し得るが、そのオフセットが許容できる場合もある。
【００３３】
第２の実施形態及びより詳細には軸方向に磁化された磁石の場合による構造は、好んで極小移動（典型的には、２０分の１〜３０分の１ミリメートル）を検知する被包性のセン
サに適用できる。サスペンションとしても用いられる剛直要素と組み合わせた場合、第２の実施形態による構造は、圧力又は振動の測定に有意に適用される。
【００３４】
小型又は機械的な構成である理由のため、機械的なあそびの減少を可能にする場合、これまでに開示した実施形態による構造は、限られた角度部分に制約され得る。
第３の実施形態によれば、本発明は、可動強磁性要素に加えて、検知した位置を用いて可動強磁性要素の直線位置を検知する磁気センサに関しており、固定子アセンブリは、少なくとも
−  限られた角度部分上に展開される「Ｃ字」形を有する第１の強磁性部品と、
−  「Ｃ字」の各枝部に剛直に接続されたタイル（瓦の形状）を径方向に磁化する２つの永久磁石と、
−  可動要素と「Ｃ字」の外側の部品との間に配置された第２の強磁性部品と、
−  １つの磁気感知要素と、を備えており、固定子の第１の強磁性部品の「Ｃ字」の各枝部は、可動強磁性要素とともに径方向の空隙を形成し、第２の強磁性部品は、可動強磁性要素とともに径方向の空隙を形成し、固定子の２つの強磁性部品は、それらの間に磁気感知要素が位置する径方向の空隙を形成する。
【００３５】
好適には、磁石は「直列に」磁化され。例えば、一方の磁石のＮ極が内方向を、他方の磁石の外方向がＮ極を向くようにすることで、各磁石により生成された磁束は、磁気回路が形成された磁場と同じ方向に移動する。
【００３６】
この構造の動作は、加えると、第２の実施形態と同一である。
好適には、追加の部品は、磁場の変化の増大を可能にする磁束集中領域を構成する拡張部を外径上に備える。そのような拡張部は、集中効果をなおも向上させるように、理想的に磁気感知プローブに対向する制約された角度の弧に限られる。
【００３７】
一般的に上記に開示された第２及び第３の実施形態による構造は、磁気感知プローブが固定子の磁気回路により保護される「閉じられた」構造であるから、外側の磁場に対して非常に良好な耐性を有する。
【００３８】
加えて、ここで開示された様々な実施形態は、全く排他的でなく、又はここで提供された発明の実行可能性を限定しない。その他の特徴及び本発明の利点は、続く詳細な実施形態例を読み、対応して示される添付の図を参照することにより明瞭になる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】先行技術による直線位置を検知するセンサの構造図。
【図２】第１の実施形態による直線位置を検知するセンサの断面図。
【図３】第１の実施形態による位置センサの４分の３断面図。
【図４ａ】第１の実施形態によるセンサの可動要素の２つの端部の位置における磁場線を示す図。
【図４ｂ】第１の実施形態によるセンサの可動要素の２つの端部の位置における磁場線を示す図。
【図５】第１の実施形態によるセンサにおける可動要素の移動に従って磁場感知要素によって測定される磁場の変化及びその直線性を示すグラフ。
【図６】第１の実施形態によるセンサにおける径方向のあそびに従って磁場感知要素によって測定される磁場の変化及びその直線性を示すグラフ。
【図７】第１の実施形態の第１の代替形態によるセンサの断面図。
【図８】第１の実施形態の第２の代替形態によるセンサの４分の３断面図。
【図９】第１の実施形態の第３の代替形態によるセンサの断面図。
【図１０】第１の実施形態の第４の代替形態によるセンサの断面図。
【図１１】第１の実施形態の第５の代替形態によるセンサの断面図。
【図１２】第２の実施形態による直線位置を検知するセンサの断面図。
【図１３ａ】第２の実施形態によるセンサの中央及び端部の位置における磁場線の図。
【図１３ｂ】第２の実施形態によるセンサの中央及び端部の位置における磁場線の図。
【図１４】第２の実施形態によるセンサの可動要素の移動に従って磁気感知要素により測定される磁場の変化及び関連する直線性を示すグラフ。
【図１５】第２の実施形態の第１の代替形態によるセンサの断面図。
【図１６】第２の実施形態の第２の代替形態による角度位置を検知するセンサの断面図。
【図１７】第３の実施形態によるセンサの断面図。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
図１には、直線位置を求める可動強磁性要素１を備える上記の先行技術（特許文献４）の構成を示す。
図２及び図３には、本発明の第１の実施形態による直線位置センサの断面図及び４分の３断面図をそれぞれ示す。センサはより詳細には軸方向に磁化された永久磁石５を備えており、第１の強磁性部品３はその磁石５上に位置する。ここで示した磁石５は円柱形であるが、最適化のため、内部の形状を若干円錐状にできる。第１の強磁性部品３に対して軸方向にオフセットを有する第２の強磁性部品４は、部品３の上面とともに、磁気感知要素６が挿入される空隙９を作り出す。第２の強磁性部品４は、磁気感知要素６に対向する磁束の集中を可能にする拡張部１０を備える。固定子アセンブリ２は、内部に、部品３，４、磁石５及び磁気感知要素６を備え、強磁性要素１は直線的に移動し、軸方向に形状を成し、固定子アセンブリ２とともに２つの間隙７，８を形成する。
【００４１】
この実施形態において、その他の全ての実施形態と同様に、強磁性部品３と４とは独立しており、互いに離れている。その結果、磁石５は、第１の強磁性部品３に剛直に接続されている場合、第２の強磁性部品４から離れている。
【００４２】
図４ａ及び４ｂには、図３のセンサの強磁性要素の経路の開始の位置と終了の位置、すなわち測定される位置とにおける磁場線をそれぞれ示す。
図５には、一例として、図２に示したようなセンサが用いられる場合における、約６ｍｍの有効経路を有するセンサに対する、強磁性軸の直線位置（ミリメートル単位）の関数として磁気感知要素６によってテスラ（ガウス）単位で測定される誘導（菱形及び左軸による曲線）と、それに関連するパーセント単位での直線性（四角及び右軸による曲線）とを示す。
【００４３】
図６には、一例として、図２に示されるようなセンサが用いられ強磁性要素の２，３の径方向の位置が測定された場合における、６ｍｍの有効経路を有するセンサに対する、可動強磁性要素の直線位置（ミリメートル単位）の関数として磁気感知要素６によりテスラ（ガウス）単位で測定される誘導（菱形及び左軸による曲線）と、それに関連する直線性（四角及び右軸による曲線）とを示す。
【００４４】
図７には、強磁性部品３が軸方向に磁化される永久磁石５を囲むセンサの代替形態を示す。磁気感知要素は、第１及び第２の強磁性部品３，４により形成される空隙９を測定するように軸方向に置かれる。
【００４５】
図８には、本センサの代替形態を示す。センサの最適な動作のために要求される磁石の体積を低減させるように、永久磁石５の軸の長さは新たな強磁性部品１２を用いることに
より低減できる。この部品は、略円錐状であり、軸対称な形状は永久磁石と接している。新たな固定子アセンブリは、従って、部品３，４，５，６及び１２により形成される。
【００４６】
図９には、本センサの第３の代替形態を示しており、第２の磁石１１は、強磁性部品３，４の間に形成される空隙９に導入される。磁石１１の角度の幅は、磁気感知要素６に並んで位置できるように、３６０°より小さい。そのような磁石１１には、磁気感知要素６により測定される信号のオフセットの低減及び従って温度に対するより容易な補正の効果を可能にすることを目的とする。
【００４７】
図１０にはセンサの第４の代替形態の断面図を示す。この代替形態において、永久磁石５は、なおも環状の磁石であるが、前述した代替形態のように軸方向にではなく、径方向に磁化される。この代替形態において、永久磁石５は第３の強磁性部品１２と関連もする。
【００４８】
図１１には磁気感知要素６が挿入される径方向の空隙９を測定する第５の代替形態のセンサの断面図を示す。機械的な構造の理由により、この第５形態は好まれることができる。
【００４９】
図１２には、第２の実施形態によるセンサの断面図を示す。この第２の実施形態において、その位置が測定される強磁性要素１は、２つの磁石５と１１の中心同士の間の距離がほぼ等しくなるように長さを有する。磁石５は、径方向内向きに磁化されており、磁石１１は、径方向外向きに磁化される。Ｃ字形の第１の強磁性部品３は、前記部品３の中央を通過する移動に直交する中間の面に対して対称的に位置する２つの永久磁石５，１１を接続する。Ｔ字形の軸対称な第２の強磁性部品４は、強磁性部品３と拡張部１０との間に空隙９を形成するようにＣ字形の部品の内側に位置し、空隙９には、磁気誘導の径方向成分を測定する磁気感知要素６が位置する。可動要素１は、強磁性部品３と４の内側において軸方向に移動し、従って、３つの空隙７，７’及び８を形成する。
【００５０】
拡張部１０は磁場の集中効果をなおも増大させ、かつ、磁気回路の対称の著しい破壊を起こすことなく信号変化を向上させるように、磁気感知要素６に対向する角度部分（扇形）に限られることに留意すべきである。
【００５１】
図１３ａ及び１３ｂには、それぞれ、可動要素１の中央及び端部の位置におけるセンサの磁場線を示す。
図１４には、一例として、図１２に示したようなセンサが用いられる場合における、６ｍｍの有効経路を有するセンサに取得される、２つの端部間における可動要素１の移動に対する位置（ミリメートル単位）の関数として磁気感知要素６によりテスラ（ガウス）単位で測定される磁気誘導（四角及び左軸による曲線）と、それと関連するパーセント単位での非直線性（菱形及び右軸による曲線）とを示す。
【００５２】
図１５には、図１２の構造の代替形態を示しており、強磁性の軸１は、移動に直交する面において、センサの外側に示されるその長さの一部に所定の長さの幅狭部を有している。
【００５３】
図１６は、第２の実施形態の第２の代替形態の断面図を示す。この第２の実施形態においては、磁石５と１１が軸方向に磁化されることを除いて、図１２のセンサと同じ成分が見られる。
【００５４】
図１７は、第３の実施形態による小移動経路の角度位置を検知するセンサを示す。タイルの形状の永久磁石５と１１とが径方向に磁化されることを除いて、図１２のセンサと同
じ成分が見られる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３ａ】
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【図１３ｂ】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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