(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状であって、中心に貫通孔が形成され、外周部に沿って垂直断面形状がＶ字形の刃先が形成されたスクライビングホイールを、前記スクライビングホイールの貫通孔に回転自在に挿入されるピンにより、回転自在に保持するためのホルダーにおいて、
前記ホルダーは、前記スクライビングホイールを内部で回転自在に保持するホルダー溝と、前記ホルダー溝によって形成された互いに平行な対向する面を有する一対の支持部と、前記一対の支持部にそれぞれ同軸に形成され、前記ピンが挿入される一対のピン孔と、を有し、
前記ホルダー溝は、前記スクライビングホイールの一部が挿入される狭幅部と、前記狭幅部よりも幅広の広幅部とからなり、
前記一対のピン孔は前記ホルダー溝の前記広幅部に対応する位置に形成されていることを特徴とするホルダー。
【請求項２】
前記一対の支持部は、前記ホルダー溝の前記狭幅部と前記広幅部との間が段差状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のホルダー。
【請求項３】
前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記ホルダーの切断端側とは反対側に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のホルダー。
【請求項４】
前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記ホルダーの切断端側とは反対側と、左右の一方とに形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のホルダー。
【請求項５】
前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記ホルダーの切断端側に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のホルダー。
【請求項６】
前記一対の支持部の前記一対のピン孔の少なくとも一方が支持部を貫通しており、前記ピン孔が貫通した支持部の前記ホルダー溝と対向する側の外面には、前記貫通したピン孔を閉塞する押さえカバーが配置され、
前記押さえカバーは、それぞれ前記ホルダーの切断端側とは反対側の位置において調整ネジによって前記ホルダーに固定されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のホルダー。
【請求項７】
ディスク状であって、中心に貫通孔が形成され、外周部に沿って垂直断面形状がＶ字形の刃先が形成されたスクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを回転自在に保持するためのホルダーとを具備するホルダーユニットにおいて、
前記ホルダーは、ホルダー溝によって形成された互いに平行な対向する面を有する一対の支持部と、前記一対の支持部にそれぞれ同軸に形成された一対のピン孔と、前記一対のピン孔及び前記スクライビングホイールの貫通孔に回転自在に挿入され、前記ホルダー溝内で前記スクライビングホイールを回転自在に保持するピンと、を有し
前記ホルダー溝は、前記スクライビングホイールの一部が挿入される狭幅部と、前記狭幅部よりも幅広の広幅部とからなり、
前記一対のピン孔は前記ホルダー溝の前記広幅部に対応する位置に形成されていることを特徴とするホルダーユニット。
【請求項８】
前記一対の支持部は、前記ホルダー溝の前記狭幅部と前記広幅部との間が段差状に形成されていることを特徴とする請求項７に記載のホルダーユニット。
【請求項９】
前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記ホルダーの切断端側とは反対側に形成されていることを特徴とする請求項７又は８に記載のホルダーユニット。
【請求項１０】
前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記ホルダーの切断端側とは反対側と、左右の一方とに形成されていることを特徴とする請求項７又は８に記載のホルダーユニット。
【請求項１１】
前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記ホルダーの切断端側に形成されていることを特徴とする請求項７又は８に記載のホルダーユニット。
【請求項１２】
前記一対の支持部の前記一対のピン孔の少なくとも一方が支持部を貫通しており、前記ピン孔が貫通した支持部の前記ホルダー溝と対向する側の外面には、貫通したピン孔を閉塞する押さえカバーが配置され、
前記押さえカバーは、それぞれ前記ホルダーの切断端側とは反対側の位置において調整ネジによって前記ホルダーに固定されていることを特徴とする請求項７〜１１のいずれかに記載のホルダーユニット。
【請求項１３】
請求項７から１１の何れかに記載のホルダーユニットが取り付けられたスクライブヘッドを備えていることを特徴とするスクライブ装置。
【請求項１４】
前記ホルダーユニットはホルダージョイントを介して着脱可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１３に記載のスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板、セラミックス基板、シリコン基板等の脆性材料基板にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールを保持するためのホルダー、スクライビングホイールを備えたホルダーユニット及びこのホルダーユニットを備えたスクライブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルや有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）パネル等のフラットディスプレイパネル、太陽電池等の製造工程では、マザーガラス基板等の脆性材料基板の分断工程が設けられている。これらの分断工程では、カッターホイールに脆性基板の材質や厚み等の諸条件に見合った荷重を負荷しながら、カッターホイールを脆性基板の表面上を転動させてスクライブラインを形成し、脆性基板に所定の力を負荷することにより脆性基板をスクライブラインに沿って分断し、個々のパネルや各種基板を製造している。
【０００３】
ここで、下記特許文献１に開示されているカッターホイールを備えるホルダーユニットを図１３及び図１４を用いて説明する。なお、図１３は下記特許文献１に開示されているホルダーユニットの正面図であり、図１４は図１３のXIV−XIV線に沿った部分断面図である。
【０００４】
ホルダーユニット２５０はホルダー２５１とスクライビングホイール２５２とを有しており、ホルダー２５１の下端側にスクライビングホイール２５２が回転自在に保持されている。ホルダー２５１は、下方が三角形状に形成された直方体状の部材であり、上部にホルダー２５１を固定するための貫通孔２５３を有している。ホルダー２５１の下方にはホルダー溝２５４（図１４参照）がホルダー２５１の三角形状の下方を開放するように形成され、ホルダー溝２５４を挟むこの三角形状の部分で支持部２５５、２５６を形成している。ホルダー２５１の支持部２５５、２５６の相対向する面はほぼ平行に形成され、ホルダー溝２５４の間隔はスクライビングホイール２５２の幅よりわずかに大きくなるようにされている。例えば幅ｄが０．６５ｍｍのスクライビングホイール２５２を保持するためのホルダー２５１のホルダー溝２５４の幅ｗは例えば約０．６７ｍｍである。
【０００５】
左右の支持部２５５、２５６の下端側には支持部２５５、２５６を各々貫通するピン孔２５７、２５８が同軸に形成されている。ピン孔２５７、２５８は、ホルダー溝２５４と垂直に交差しており、スクライビングホイール２５２のピン２５９を保持する円形の貫通孔である。これらのピン孔２５７、２５８の上部には支持部２５５側で内径がホルダー溝２５４側で小さく、外側で大きい間隔調整孔２６０が形成され、支持部２５５側にはこれと同軸のねじ溝が形成されており、この間隔調整孔２６０には間隔調整ネジ２６１が取り付けられている。間隔調整ネジ２６１はホルダー溝２５４の間隔ｗを微調整するものである。なお、図１４においては、構成が理解し易くなるようにするため、ピン２５９及び間隔調整ネジ２６１を断面ではなく輪郭で示してある。
【０００６】
また、支持部２５５の間隔調整孔２６０の右側方には軸押さえカバー２６２が固定ネジ２６３によって取り付けられており、同じく支持部２５６の間隔調整孔２６０の左側方には軸押さえカバー２６４が固定ネジ２６５によって取り付けられている。軸押さえカバー２６２、２６４は、ピン２５９が脱落しないように、ピン２５９をピン孔２５７、２５８中に保持するものである。軸押さえカバー２６２、２６４は、図１３に示したように、一端が突出したワッシャ形状を有している。
【０００７】
スクライビングホイール２５２は、例えば超硬合金等の金属ないし焼結ダイヤモンドで形成された、例えば厚さｄが約０．６５ｍｍのディスク状の部材であって、中心に貫通孔を有している。また、スクライビングホイール２５２は、例えば下記特許文献２に示されているように、外周部に沿って稜線を形成する、垂直断面がＶ字形の刃を有している。稜線の両側の傾斜面は、通常、９０〜１６５°の角度で互いに交差して稜線を形成している。ピン２５９は、例えば、超硬合金等の金属、焼結ダイヤモンドで形成された円柱形の部材であって、一端が尖頭形状を有している。
【０００８】
このホルダーユニット２５０の組立は次のようにして行われる。まず、図１４に示すように、間隔調整孔２６０より間隔調整ネジ２６１を挿入し、間隔調整孔２６０のねじ溝と噛合させる。この時点では間隔調整ネジ２６１は締め込まないでおく。次に、支持部２５５側より軸押さえカバー２６２を固定ネジ２６３によって取付け、ピン孔２５７の一端を閉じる。次いで、スクライビングホイール２５２をホルダー溝２５４内に挿入して保持し、ピン２５９を尖頭形状の部分からピン孔２５８、スクライビングホイール２５２の貫通孔及びピン孔２５７に挿通する。ピン２５９の尖頭形状の部分が、ピン孔２５７の一方の開口付近にある軸押さえカバー２６２と接するところまでピン２５９を挿入し、図１４に示すように、軸押さえカバー２６４を固定ネジ２６５でねじ止めしてピン孔２５８の左端を閉じる。これにより、ピン２５９はピン孔２５７、２５８から脱落することはなく、スクライビングホイール２５２はピン２５９に回転自在に保持される。
【０００９】
このとき、ホルダーユニット２５０のホルダー溝２５４とスクライビングホイール２５２とは、クリアランスにばらつきが生じていることがあるため、間隔調整孔２６０に挿入した間隔調整ネジ２６１によってその間隔を調整する。間隔調整ネジ２６１の調整については、例えば、スクライブしつつ間隔調整ネジ２６１を徐々に締め付けていき、回転抵抗が増加し始める直前に設定することができる。また、あらかじめ製品状態のホルダー溝の幅ｗ及びスクライビングホイール２５２の厚さｄを測定しておき、所望の幅となるように平面にホルダーユニット２５０をおいて上部よりネジで締め付け、所定寸法となるように設定することも行われる。また、スクライビングホイール２５２を取付けた状態で間隔調整ネジ２６１の締め付けが最大限可能な位置まで締め付け、所定角度又は所定回転数戻すことによって所望のクリアランスを設定するようにすることもできる。
【００１０】
こうしてクリアランスを最適値、例えば２μｍの間隔とすることができる。この状態のホルダーユニット２５０を用いてガラス基板等の脆性基板をスクライブすれば、スクライビングホイール２５２はホルダー溝２５４内での位置が安定するので、スクライビングホイール２５２の進行方向に対する左右のぶれがほとんどなくなる。これによりスクライブしたときのスクライブラインの直線性を向上させることができるようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０１１−０９３１８６号公報
【特許文献２】特許第３０７４１４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記特許文献１に開示されているホルダーユニット２５０によれば、スクライビングホイール２５２の保持位置を安定化させ高速かつ高精度にガラス板等の脆性材料基板にスクライブラインを形成することができるという優れた効果を奏する。しかしながら、このホルダーユニット２５０においては、ホルダー溝２５４内におけるスクライビングホイール２５２の側壁面とホルダー２５１の支持部２５５、２５６の接触面積が大きくなっているため、例えばガラス基板のスクライブ時に発生したカレットがスクライビングホイール２５２の側壁面とホルダー２５１の支持部２５５、２５６との間に巻き込まれ、この巻き込まれたカレットによってスクライビングホイール２５２の回転不良を起こす傾向がある。
【００１３】
また、スクライビングホイール２５２の側壁面とホルダー２５１の支持部２５５、２５６との間に巻き込まれたカレットが多量になると、スクライビングホイール２５２の回転性がより悪化し、スクライブ時に刃先がガラス基板の表面を滑るため、刃先寿命が短くなることが懸念される。加えて、ホルダー２５１の支持部２５５、２５６とピン２５９との接触面積が大きいために摩擦抵抗が大きく、スクライブ中にピン２５９が回転したり、回転しなかったりすることがあり、これによってガラスへの切断荷重が不均一となって、ガラス端面強度の低下やガラス破断強度のバラツキの要因となることがある。
【００１４】
本発明は、上述した従来技術の問題点を解決すべくなされたものであり、スクライビングホイールの側壁面とホルダーの支持部との間の接触面積が小さくなるようにして、物理的にスクライビングホイールの側壁面とホルダーの支持部との間にカレットが巻き込まれ難くすると共に、スクライビングホイールのホルダー溝内での位置の安定性、スクライビングホイールの進行方向に対する左右のぶれを抑制及びスクライブしたときのスクライブラインの直線性に対する悪影響の抑制されたホルダー及びホルダーユニットを提供することを目的とする。
【００１５】
さらに、本発明は、追加的に、ピンとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗が小さく、ピンが回転し易い構成のホルダー及びホルダーユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するため、本発明のホルダーは、ディスク状であって、中心に貫通孔が形成され、外周部に沿って垂直断面形状がＶ字形の刃が形成されたスクライビングホイールを、前記スクライビングホイールの貫通孔に回転自在に挿入されるピンにより、回転自在に保持するためのホルダーにおいて、前記ホルダーは、前記スクライビングホイールを内部で回転自在に保持するホルダー溝と、前記ホルダー溝によって形成された一対の支持部と、前記一対の支持部にそれぞれ同軸に形成され、前記ピンが挿入される一対のピン孔と、を有し、前記ホルダー溝は、前記スクライビングホイールの一部が挿入される狭幅部と、前記ホルダーの切断端側に形成された前記狭幅部よりも幅広の広幅部とからなり、前記一対のピン孔は前記ホルダー溝の前記広幅部に対応する位置に形成されていることを特徴とする。
【００１７】
本発明のホルダーでは、ピンの切断端側に形成されているホルダー溝の広幅部ではスクライビングホイールの側壁面はホルダーの支持部と接触することがない。そのため、本発明のホルダーによれば、ホルダー溝の狭幅部内に挿入されているスクライビングホイールの側壁面とホルダーの支持部との間の接触面積が従来のホルダーの場合よりも小さくなっているので、スクライビングホイールとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗が小さくなり、スクライビングホイールが回転し易くなる。
【００１８】
また、通常、一対の支持部に形成された一対のピン孔は少なくとも一方が支持部を貫通するように形成されるが、本発明のホルダーではピンは両端部側でのみ支持部のピン孔内に支持されている。そのため、本発明のホルダーにおいては、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の接触面積も従来のホルダーユニットの場合よりも小さくなるので、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗も小さくなり、ピンの回転性も良好となる。加えて、本発明のホルダーにおいては、一対の支持部にそれぞれ形成された一対のピン孔はホルダー溝の広幅部に対応する位置に形成されているので、ホルダー溝の広幅部においてピンの周囲に空間が生じるため、たとえスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝の狭幅部へ進入しても、容易に排出される。
【００１９】
そのため、本発明のホルダーによれば、スクライブ時にスクライビングホイール及びピンの回転性が良好となるので、スクライブ時にスクライビングホイールの刃先が被スクライブ基板の表面を滑る現象が生じ難くなくなり、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制される。
【００２０】
また、本発明のホルダーにおいては、前記一対の支持部は、前記ホルダー溝の前記狭幅部と前記広幅部との間が段差状に形成されていることが好ましい。
【００２１】
ホルダー溝が段差状に形成されていると、ホルダーの支持部の対向する内面を互いに平行とし易いためにスクライブ時の直線性が良好となる。
【００２２】
また、本発明のホルダーにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側とは反対側に形成されているものとしてもよい。
【００２３】
本発明のホルダーでは、ピンの軸に対して、スクライビングホイールの切断端側とは反対側がホルダー溝の狭幅部内に位置している。そのため、本発明のホルダーによれば、ホルダーの切断端側のホルダー溝の広幅部においてピンの周囲に空間が生じるため、スクライブ時にカレットが進入し難く、さらにスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝の狭幅部へ進入しても、容易に排出される。
【００２４】
また、本発明のホルダーにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側とは反対側と、左右の一方とに形成されているものとしてもよい。
【００２５】
本発明のホルダーでは、ピンの軸に対して、スクライビングホイールの切断端側とは反対側と、左右の一方のいずれかがホルダー溝の狭幅部内に位置しており、切断端側の左右の少なくとも一方はホルダー溝の広幅部に位置している。そのため、本発明のホルダーによれば、単にホルダー溝の幅を広げてカレットの排出を容易にする場合とは異なり、スクライビングホイールの刃先の振れが少なく、スクライブラインの形成時に蛇行することが抑制される。
【００２６】
また、本発明のホルダーにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側に形成されているものとしてもよい。
【００２７】
本発明のホルダーでは、ピンの軸に対して、ホルダーの切断端側にホルダー溝の狭幅部及び支持部の広幅部が設けられ、切断端側と反対側にホルダー溝の広幅部が設けられている。そのため、本発明のホルダーによれば、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗が小さくなり、ピンの回転性も良好となる。加えて、スクライビングホイールの交換時には、支持部の広幅部においてスクライビングホイールを保持しながらスクライビングホイールの交換を行うことができ、ホイールの交換が容易になる。
【００２８】
また、本発明のホルダーにおいては、前記一対の支持部の前記一対のピン孔の少なくとも一方が支持部を貫通している場合、ピン孔が貫通した支持部のホルダー溝と対向する側の外面には、貫通したピン孔を閉塞する押さえカバーが配置され、前記押さえカバーは、それぞれ前記ホルダーの切断端側とは反対側の位置において調整ネジによって前記ホルダーに固定されているものとしてもよい。
【００２９】
本発明のホルダーによれば、簡単な構成によってピンをピン孔から抜け難くすることができる。
【００３０】
また、上記目的を達成するため、本発明のホルダーユニットは、ディスク状であって、中心に貫通孔が形成され、外周部に沿って垂直断面形状がＶ字形の刃が形成されたスクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを回転自在に保持するためのホルダーとを具備し、前記ホルダーは、ホルダー溝によって形成された一対の支持部と、前記一対の支持部にそれぞれ同軸に形成された一対のピン孔と、前記一対のピン孔及び前記スクライビングホイールの貫通孔に回転自在に挿入され、前記ホルダー溝内で前記スクライビングホイールを回転自在に保持するピンと、を有し、前記ホルダー溝は、前記スクライビングホイールの一部が挿入される狭幅部と、前記ホルダーの切断端側に形成された前記狭幅部よりも幅広の広幅部とからなり、前記一対のピン孔は前記ホルダー溝の前記広幅部に対応する位置に形成されていることを特徴とする。
【００３１】
本発明のホルダーユニットでは、ピンの切断端側に形成されているホルダー溝の広幅部ではスクライビングホイールの側壁面はホルダーの支持部と接触することがない。そのため、本発明のホルダーユニットによれば、ホルダー溝の狭幅部内に挿入されているスクライビングホイールの側壁面とホルダーの支持部との間の接触面積が従来のホルダーユニットの場合よりも小さくなっているので、スクライビングホイールとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗が小さくなり、スクライビングホイールが回転し易くなる。
【００３２】
また、本発明のホルダーユニットでは、通常、一対の支持部に形成された一対のピン孔は、少なくとも一方が支持部を貫通するように形成されるが、ピンは両端部側でのみ支持部のピン孔内に支持されている。そのため、本発明のホルダーユニットにおいては、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の接触面積も従来のホルダーユニットの場合よりも小さくなるので、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗も小さくなり、ピンの回転性も良好となる。加えて、本発明のホルダーユニットにおいては、一対の支持部にそれぞれ形成された一対のピン孔はホルダー溝の広幅部に対応する位置に形成されているので、ホルダー溝の広幅部においてピンの周囲に空間が生じるため、たとえスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝の狭幅部へ進入しても、容易に排出される。
【００３３】
そのため、本発明のホルダーユニットによれば、スクライブ時にスクライビングホイール及びピンの回転性が良好となるので、スクライブ時にスクライビングホイールの刃先が被スクライブ基板の表面を滑る現象が生じ難くなくなり、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制される。
【００３４】
なお、本発明のホルダーユニットにおいては、スクライビングホイールとして、ディスク状ホイールの円周部に沿った全周にわたり垂直断面形状Ｖ字形の刃が形成されているものであっても、或いは、ディスク状ホイールの円周部に沿って垂直断面形状Ｖ字形の刃が形成されていると共にこのＶ字形の刃に交差する方向に一定ピッチで一定深さの溝ないし一定高さの突起が形成されているもの（上記特許文献２参照）であってもよい。
【００３５】
また、本発明のホルダーユニットにおいては、前記一対の支持部は、前記ホルダー溝の前記狭幅部と前記広幅部との間が段差状に形成されていることが好ましい。
【００３６】
ホルダー溝が段差状に形成されていると、ホルダーの支持部の対向する内面を互いに平行とし易いためにスクライブ時の直線性が良好となり、また、ピンの周囲に形成される空間の体積を小さくできるので、ホルダーユニットを小型化し易くなる。
【００３７】
また、本発明のホルダーユニットにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側とは反対側に形成されているものとしてもよい。
【００３８】
本発明のホルダーでは、ピンの軸に対して、スクライビングホイールの切断端側とは反対側がホルダー溝の狭幅部内に位置している。そのため、本発明のホルダーユニットによれば、ホルダーの切断端側のホルダー溝の広幅部においてピンの周囲に空間が生じるため、スクライブ時にカレットが進入し難く、さらにスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝の狭幅部へ進入しても、容易に排出される。
【００３９】
また、本発明のホルダーユニットにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側とは反対側と、左右の一方とに形成されているものとしてもよい。
【００４０】
本発明のホルダーユニットでは、ピンの軸に対して、スクライビングホイールの切断端側とは反対側と、左右の一方とがホルダー溝の狭幅部内に位置しており、左右の他方はホルダー溝の広幅部に位置している。そのため、本発明のホルダーユニットによれば、スクライビングホイールの刃先の振れがより少なくなり、スクライブラインの形成時に蛇行することが抑制される。
【００４１】
また、本発明のホルダーユニットにおいては、前記ホルダー溝の狭幅部は、前記ピンの軸に対して、前記切断端側に形成されているものとしてもよい。
【００４２】
本発明のホルダーユニットでは、ピンの軸に対して、ホルダーの切断端側にホルダー溝の狭幅部及び支持部の広幅部が設けられ、切断端側と反対側にホルダー溝の広幅部が設けられている。そのため、本発明のホルダーユニットによれば、ピン孔内におけるピンとホルダーの支持部との間の摩擦抵抗が小さくなり、ピンの回転性も良好となる。加えて、スクライビングホイールの交換時には、支持部の広幅部においてスクライビングホイールを保持しながらスクライビングホイールの交換を行うことができ、ホイールの交換が容易になる。
【００４３】
また、本発明のホルダーユニットにおいては、前記一対の支持部の前記ホルダー溝と対向する側の外面には、前記一対のピン孔をそれぞれ閉塞する押さえカバーが配置され、前記押さえカバーは、それぞれ前記ホルダーの切断端側とは反対側の位置において調整ネジによって前記ホルダーに固定されているものとしてもよい。
【００４４】
本発明のホルダーユニットによれば、簡単な構成によってピンをピン孔から抜け難くすることができると共に、調整ネジの締め付け度を変えることにより、ホルダーの支持部に微少な変形を起こさせてスクライビングホイールの側壁面と支持部の内側面との間のクリアランスを微調整することができるようになる。
【００４５】
また、本発明のスクライブ装置においては、上記のホルダーユニットが取り付けられたスクライブヘッドを備えているものとしてもよい。
【００４６】
本発明のスクライブ装置は、上記の効果を奏するスクライブ装置を提供することができる。
【００４７】
また、本発明のスクライブ装置においては、前記ホルダーユニットはホルダージョイントを介して着脱可能に取り付けられているものとしてもよい。
【００４８】
本発明のスクライブ装置は、ホルダーユニットがスクライブヘッドに対してホルダージョイントを介して取り付けられているので、スクライビングホイールを交換する際に、ホルダーユニットごと交換することができるので、スクライビングホイールの交換を容易におこなうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】実施形態１のホルダーユニットの斜視図である。
【図２】図２Ａは図１のホルダーユニットの正面図であり、図２Ｂは図２ＡのIIＢ部分の拡大図である。
【図３】実施形態２のホルダーユニットの斜視図である。
【図４】図３のIV−IV線に沿った断面図である。
【図５】実施形態３のホルダーユニットの斜視図である。
【図６】図６Ａは図５のホルダーユニットの正面図であり、図６Ｂは図６ＡのVIＢ部分の拡大図である。
【図７】スクライブ装置の概略図である。
【図８】ホルダーユニットが取れ付けられたホルダージョイントの正面図である。
【図９】実施形態４のホルダーユニットの斜視図である。
【図１０】実施形態４のホルダーユニットの断面図である。
【図１１】実施形態５のホルダーユニットの斜視図と断面図である。
【図１２】実施形態６のホルダーユニットの斜視図と断面図である。
【図１３】従来例のホルダーユニットの正面図である。
【図１４】図１３のXIV−XIV線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５０】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するためのスクライブ装置、ホルダーユニット及びホルダーの一例を示すものであって、本発明をこのスクライブ装置、ホルダーユニット及びホルダーに特定することを意図するものではなく、本発明は特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態のものにも適応し得るものである。
【００５１】
［実施形態１］
本発明の実施形態１に係るホルダー１１及びホルダーユニット１０を図１及び図２を用いて説明する。なお、図１は実施形態１のホルダーユニットの斜視図であり、図２Ａは図１のホルダーユニットの正面図であり、図２Ｂは図２ＡのIIＢ部分の拡大図である
【００５２】
実施形態１に係るホルダーユニット１０は、図７及び図８に示した従来のスクライビングホイールの場合と同様に、ホルダー１１とスクライビングホイール１２とを有しており、ホルダー１１の下端にスクライビングホイール１２が回転自在に保持されている。ホルダー１１は、下方が三角形状に形成された直方体状の部材であり、上部にホルダー１１を固定するための貫通孔１３を有している。なお、このホルダー１１はスクライビングホイール１２を被スクライビング部材に当接させてスクライブラインを形成するために用いられるものであるため、以下においてはホルダー１１の被スクライビング部材に当接させる側（切断端側）を「下」といい、その反対側を「上」という。
【００５３】
スクライビングホイール１２は、例えば焼結ダイヤモンドで形成された厚さｄが約０．６５ｍｍのディスク状の部材であって、中心に貫通孔を有している。また、スクライビングホイール１２は、従来例のものと同様に、外周部に沿って稜線を形成するＶ字形の刃を有している。稜線の両側の傾斜面は、通常、９０〜１６５°の角度で互いに交差しており、これらの傾斜面によって稜線が形成されている。
【００５４】
このホルダー１１の下方には、ホルダー溝１４がホルダー１１の三角形状の下方を開放するように形成され、ホルダー溝１４を挟むこの三角形状の部分で支持部１５、１６を形成している。そして、ホルダー溝１４は、スクライビングホイール１２の上方の一部分が挿入される狭幅部１４ａと、この狭幅部１４ａよりも幅広に形成された広幅部１４ｂとからなっている。そのため、一対の支持部１５、１６は、それぞれホルダー溝１４の狭幅部１４ａに対向する広幅部１５ａ、１６ａと、ホルダー溝１４の広幅部１４ｂに対向する狭幅部１５ｂ、１６ｂを備えている。なお、ホルダー１１の支持部１５、１６における広幅部１５ａ、１６ａと狭幅部１５ｂ、１６ｂとの間は段差状に形成されている。
【００５５】
また、ホルダー１１の支持部１５、１６の相対向する面、すなわち、広幅部１５ａ、１６ａの相対向する面及び狭幅部１５ｂ、１６ｂの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー１１の支持部１５、１６における狭幅部１５ｂ、１６ｂには、各々を貫通するピン孔１７、１８が同軸に形成されている。ピン孔１７、１８は、ホルダー溝１４と垂直に交差しており、スクライビングホイール１２のピン１９を保持する円形の貫通孔である。
【００５６】
そして、本実施形態１のホルダーユニット１０では、ピン１９は、スクライビングホイール１２の貫通孔及びピン孔１７、１８に、ホルダー１１の支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａとは接触しないように、取り付けられている。そのため、ホルダー１１の支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａの下側とピン１９との間には隙間２０が形成されている。なお、ピン１９は、例えば、超硬合金等の金属、焼結ダイヤモンドで形成された円柱形の部材であって、一端が尖頭形状を有している。
【００５７】
ホルダー溝１４の狭幅部１４ａの間隔ｗ１はスクライビングホイール１２の幅よりわずかに大きくなるようにされている。スクライビングホイール１２の幅ｄは例えば約０．６５ｍｍであり、ホルダー溝１４の狭幅部１４ａの間隔ｗ１は例えば約０．６７ｍｍである。また、ホルダー溝１４の広幅部１４ｂの間隔ｗ２は、狭幅部１４の間隔ｗ１の間隔より広ければ任意であるが、支持部１５、１６の狭幅部１５ｂ、１６ｂに形成されたピン孔１７、１８内におけるピン１９の回転時の摩擦が小さくなるようにするためには、ピン１９を両端部のみで支持し、ピン１９がピン孔１７、１８内に位置している部分の長さが短くなるようにする必要があり、ホルダー溝１４の狭幅部１４ａの間隔ｗ１の２倍以上とすることが好ましい。
【００５８】
しかしながら、あまりｗ２を大きくすると、ホルダー１１の支持部１５、１６の狭幅部１５ｂ、１６ｂの幅が細くなるために、スクライブ時に印加される荷重によって、狭幅部１５ｂ、１６ｂが撓む虞があること、及び、ピン１９が両端部側で支持されることになり、ピン１９自体も撓んでしまう虞が生じるので、ホルダー１１の支持部１５、１６の狭幅部１５ｂ、１６ｂの幅がホルダー１１の支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａの１／３程度となるようにすることが好ましい。また、ホルダー１１の支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａの下側とピン１９との間に形成された隙間２０の間隔は任意であるが、ホルダーユニット１０を小型化するには小さい方がよい。
【００５９】
また、本実施形態１のホルダーユニット１０では、ホルダー１１の支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａに形成されたピン孔１７、１８の両端部は、それぞれ押さえカバー２２、２３によって閉塞されている。これらの押さえカバー２２、２３は、例えば図１に示したように、一端が突出したワッシャ形状を有しており、それぞれがホルダー１１の上方において調整ネジ２４、２５によってホルダー１１の外側面に固定されている。
【００６０】
このホルダーユニット１０の組立は次のようにして行われる。まず、支持部１５側より押さえカバー２２を調整ネジ２４によって取付け、ピン孔１７の外部側を閉塞する。次いで、スクライビングホイール１２の一部をホルダー溝１４の狭幅部１４ａ内に挿入して保持し、ピン１９を尖頭形状の部分からピン孔１８、スクライビングホイール１２の貫通孔及びピン孔１７に挿通する。ピン１９の尖頭形状の部分が、ピン孔１７の一方の開口付近にある押さえカバー２２と接するところまでピン１９を挿入し、次いで支持部１６側から押さえカバー２３を調整ネジ２５でねじ止めしてピン孔１８の外部側を閉じる。これにより、ピン１９はピン孔１７、１８から脱落することはなくなり、しかも、スクライビングホイール１２はピン１９に回転自在に保持される。
【００６１】
この状態のホルダーユニット１０を用いてガラス基板等の脆性基板をスクライブすれば、スクライビングホイール１２はホルダー溝１４の狭幅部１４ａ内で位置が安定するので、スクライビングホイール１２の進行方向に対する左右のぶれがほとんどなくなり、スクライブしたときのスクライブラインの直線性を向上させることができるようになる。加えて、たとえスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝１４の狭幅部１４ａとスクライビングホイール１２との間に侵入しても、ホルダー１１の支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａの下側とピン１９との間に形成されている隙間２０及びピン１９と脆性基板との間に形成される空間の存在のために、容易に排出されるので、スクライビングホイール１２の回転性が損なわれることが抑制される。
【００６２】
そのため、本実施形態１のホルダーユニット１０によれば、スクライブ時にスクライビングホイール１２及びピン１９の回転性が良好となるので、スクライブ時にスクライビングホイール１２の刃先が被スクライブ基板の表面を滑る現象が生じ難くなくなり、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制されるという優れた効果を奏するようになる。
【００６３】
なお、実施形態１のホルダーユニット１０においては、ホルダー溝１４の狭幅部１４ａが、スクライビングホイール１２の上方の一部分に形成された例を示したが、図面において左右側の一部分が挿入されるように形成してもよいことは当然である。そして、何れの場合においても、スクライブ時に発生したカレットがホルダー溝１４の狭幅部１４ａ内に侵入し難く、スクライビングホイール１２及びピン１９の回転性が良好となる。
【００６４】
また、本実施形態１のホルダーにおいては、ホルダー１１の支持部１５、１６の相対向する面、すなわち、広幅部１５ａ、１６ａの相対向する面及び狭幅部１５ｂ、１６ｂの相対向する面は、共に平行に形成されているが、広幅部１５ａ、１６ａの相対向する面が平行に形成されていれば、狭幅部１５ｂ、１６ｂの相対向する面は平行でなくてもよい。少なくともスクライビングホイール１２が接触する支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａの相対向する面が平行であれば、スクライビングホイール１２がホルダー溝１４の狭幅部１４ａ内で位置を安定させることができるためである。
【００６５】
さらにまた、本実施形態１のホルダーにおいては、ホルダー１１の支持部１５、１６における狭幅部１５ｂ、１６ｂに各々を貫通するピン孔１７、１８が同軸に形成されて、ピン孔１７、１８の両側より押さえカバー２２、２３を用いてピン１９を保持するようにしているが、一方のピン孔の径を支持部外周側で狭くしてピンを保持するようにしてもよい。さらに、ピン孔１７、１８は、同軸に形成されていれば、狭幅部１５ｂ、１６ｂのいずれか一方を貫通するのみでも良い。この場合には、ピン孔の径が狭くされていない支持部又は貫通したピン孔が設けられた支持部の外側面にのみ押さえカバーが設けられていればよい。
【００６６】
［実施形態２］
次に、実施形態２のホルダー及びホルダーユニットを図３及び図４を用いて説明する。なお、図３は実施形態２のホルダーユニットの斜視図であり、図４は図３のIV−IV線に沿った断面図である。また、図３及び図４においては、実施形態１のホルダーユニット１０と同一の構成部分には同一の参照符号を付与して、その詳細な説明は省略する。
【００６７】
実施形態２のホルダー１１Ａ及びホルダーユニット１０Ａが実施形態１のホルダー１１及びホルダーユニット１０と構成が相違する点は、ホルダー溝１４の狭幅部１４ａ及び広幅部１４ｂの構成と、それに伴う支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａ及び狭幅部１５ｂ、１６ｂの構成である。すなわち、実施形態２のホルダー１１Ａ及びホルダーユニット１０Ａでは、ホルダー溝１４の狭幅部１４ａは、スクライビングホイール１２の上方の一部分と、図面において右側の一部分が挿入されるように形成されており、それに伴って支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａが、スクライビングホイール１２の上方と、図面において右側に形成されている。
【００６８】
そして、ホルダー溝１４の広幅部１４ｂは、スクライビングホイール１２の図面において左側に形成されており、それに伴って支持部１５、１６の狭幅部１５ｂ、１６ｂが、スクライビングホイール１２の図面において左側に形成されている。また、ホルダー１１Ａの支持部１５、１６における広幅部１５ａ、１６ａと狭幅部１５ｂ、１６ｂとの間は段差状に形成されている。
【００６９】
この場合においても、ホルダー１１Ａの支持部１５、１６の相対向する面、すなわち、広幅部１５ａ、１６ａの相対向する面及び狭幅部１５ｂ、１６ｂの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー１１Ａの支持部１５、１６における狭幅部１５ｂ、１６ｂには、各々を貫通するピン孔（図示省略）が同軸に形成されており、ピン１９はホルダー１１Ａの支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａとは接触しないように取り付けられている。そのため、ホルダー１１Ａの支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａの下側とピン１９との間には隙間２０が形成されている。
【００７０】
このような構成の実施形態２のホルダー１１Ａ及びホルダーユニット１０Ａによれば、実施形態１のホルダー１１及びホルダーユニット１０に比すると、僅かにスクライビングホイール１２と支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａとの間の接触面積が大きくなるため、僅かに摩擦抵抗が大きくなるが、その点を除けば実質的に同等の作用効果を奏することができる外、スクライビングホイール１２の刃先の振れがより少なくなるので、スクライブラインの形成時に蛇行することが抑制されるようになる。
【００７１】
なお、実施形態２のホルダーユニット１０Ａにおいては、ホルダー溝１４の狭幅部１４ａが、スクライビングホイール１２の上方の一部分だけでなく、図面において右側の一部分が挿入されるように形成された例を示したが、図面において左側の一部分が挿入されるように形成してもよいことは当然である。そして、何れの場合においても、実施形態２のホルダーユニット１０Ａを用いてスクライブラインを形成する際には、ホルダーユニット１０Ａを図面において左右のいずれかに形成された狭幅部側に移動させれば、スクライブ時に発生したカレットがホルダー溝１４の狭幅部１４ａ内に侵入し難くなるので、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制されるという優れた効果を奏することができるようになる。
【００７２】
［実施形態３］
次に、実施形態３のホルダー及びホルダーユニットを図５及び図６を用いて説明する。なお、図５は実施形態３のホルダーユニットの斜視図であり、図６Ａは図５のホルダーユニットの正面図であり、図６Ｂは図６ＡのVIＢ部分の拡大図である。また、図５及び図６においては、実施形態１のホルダーユニット１０と同一の構成部分には同一の参照符号を付与して、その詳細な説明は省略する。
【００７３】
実施形態３のホルダー１１Ｂ及びホルダーユニット１０Ｂが実施形態１のホルダー１１及びホルダーユニット１０と構成が相違する点は、ホルダー溝１４の狭幅部１４ａ及び広幅部１４ｂと、それに伴う支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａ及び狭幅部１５ｂ、１６ｂの配置が上下逆になっている点である。すなわち、実施形態３のホルダー１１Ｂ及びホルダーユニット１０Ｂでは、ホルダー溝１４の狭幅部１４ａはスクライビングホイール１２の下方に、広幅部１４ｂがスクライビングホイール１２の上方に形成されており、それに伴って支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａがスクライビングホイール１２の下方に、狭幅部１５ｂ、１６ｂがスクライビングホイール１２の上方に形成されている。なお、ホルダー１１Ｂの支持部１５、１６における広幅部１５ａ、１６ａと狭幅部１５ｂ、１６ｂとの間は段差状に形成されている。
【００７４】
この場合においても、ホルダー１１Ｂの支持部１５、１６の相対向する面、すなわち、広幅部１５ａ、１６ａの相対向する面及び狭幅部１５ｂ、１６ｂの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー１１Ｂの支持部１５、１６における狭幅部１５ｂ、１６ｂには、各々を貫通するピン孔１７、１８が同軸に形成されており、ピン１９はホルダー１１Ｂの支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａとは接触しないように取り付けられている。そのため、ホルダー１１Ｂの支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａの上側とピン１９の上側との間には隙間２０が形成されている。
【００７５】
このような構成の実施形態３のホルダー１１Ｂ及びホルダーユニット１０Ｂによれば、実施形態１のホルダー１１及びホルダーユニット１０に比すると、スクライビングホイール１２と支持部１５、１６との間の接触面積が少なくなり、かつスクライビングホイール１２の取付が容易となるという効果も奏されるようになる。
【００７６】
すなわち、スクライビングホイール１２の取付時には、ホルダー溝１４の狭幅部１４ａにスクライビングホイール１２の一部を差し込み、ピン１９を支持部１６の貫通孔１８、スクライビングホイール１２の貫通孔、支持部１５の貫通孔１７に順に通すこととなる。しかしながら、実施形態１のホルダー１１及びホルダーユニット１０では、狭幅部１４ａがホルダー１１の内部にあるためスクライビングホイール１２を固定し難く、スクライビングホイール１２の外径が小さくなるとその取付が難しくなる。それに対し、実施形態３のホルダー１１Ｂ及びホルダーユニット１０Ｂによれば、切断端側にホルダー溝１４の狭幅部１４ａが形成されているので、スクライビングホイール１２の取付時にホルダー１１Ｂの下端に位置する狭幅部１４ａでスクライビングホイール１２を保持してピン１９を挿入することができるため、スクライビングホイール１２の取り付け及び交換が容易になる。
【００７７】
加えて、たとえスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝１４の狭幅部１４ａとスクライビングホイール１２との間に侵入しても、ホルダー１１Ｂの支持部１５、１６の広幅部１５ａ、１６ａの上側とピン１９との間に形成されている隙間２０及びピン１９とホルダー溝１４の広幅部１４ｂの間に形成される空間の存在のために、容易に排出されるので、スクライビングホイール１２の回転性が損なわれることが抑制される。
【００７８】
以上のような実施形態１〜３に示したホルダーユニットは、脆性材料基板を手で切るための脆性材料切断用カッターに取り付けることができる。また、実施形態１〜３のホルダーユニットは、スクライブ装置に備わっているスクライブヘッドに取り付けられることにより、脆性材料基板に対してスクライブラインを形成することもできる。このスクライブ装置に関して図面を用いて説明する。
【００７９】
図７はスクライブ装置１００の概略図を示している。スクライブ装置１００は、移動台１１１が一対の案内レール１１２ａ、１１２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。移動台１１１はボールネジ１１３と螺合している。このボールネジ１１３はモータ１１４の駆動により回転し、移動台１１１を案内レール１１２ａ、１１２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動させる。
【００８０】
移動台１１１の上面にはモータ１１５が設けられている。モータ１１５はテーブル１１６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１１７はこのテーブル１１６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置１１０の上部には、脆性材料基板１１７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１１８が設けられている。そして、スクライブ装置１１０には、移動台１１１とその上部のテーブル１１６を跨ぐようにブリッジ１１９がｘ軸方向に沿って支柱１２０ａ、１２０ｂにより架設されている。
【００８１】
ブリッジ１１９にはガイド１２２が取り付けられており、スクライブヘッド１２１はガイド１２２に沿ってｘ軸方向に沿って移動可能となっている。そして、このスクライブ装置１００のスクライブヘッド１２１には、ホルダージョイント１２３を介して、スクライビングホイール１５０を回転自在に保持しているホルダー１４０ａからなるホルダーユニット１１０が取り付けられている。
次に、このホルダージョイント１２３について図８を用いて説明する。図８はホルダー４０ａを具備するホルダーユニット１１０が取り付けられたホルダージョイント１２３の正面図である。ホルダージョイント１２３は、略円柱状をしており、回転軸部１２４と、ジョイント部１２５で構成されている。
【００８２】
そして、スクライブヘッド１２１にホルダージョイント１２３が装着された状態においては、この回転軸部１２４には、ホルダージョイント１２３を回動自在に保持するための二つのベアリング１２６ａ、１２６ｂが円筒形のスペーサ１２７を介して取り付けられた状態になっている。なお、図８にはホルダージョイント１２３の正面図を示すとともに、回転軸部１２４に取り付けられたベアリング１２６ａ、１２６ｂとスペーサ１２７の断面図を示している。
【００８３】
円柱形のジョイント部１２５には、下端側に円形の開口１２８が形成されており、この開口の上部にはマグネット１２９が埋設されている。そして、この開口１２８には、ホルダー１４０ａを具備するホルダーユニット１１０が着脱自在に取り付けられている。なお、図９に示すように、ホルダー１４０ａの上端側には位置決め用の取付部１４６が設けられている。この取付部１４６はホルダー１４０ａを切り欠いて形成されており、傾斜部１４６ａと支持部１４６ｂを有している。また、ホルダー１４０ａの上端側の少なくとも一部分は磁性体金属で構成されている。
【００８４】
このスクライビングホール１５０とホルダー１４０ａを具備するホルダーユニット１１０は、ホルダージョイント１２３の開口１２８へ、ホルダー１４０ａの取付部１４６側から挿入される。その際、ホルダー１４０ａの上端側の磁性体金属がマグネット１２９によって引き寄せられ、取付部１４６の傾斜部１４６ａが、開口１２８の内部を通る平行ピン１３０に接触し位置決めが行われ、ホルダーユニット１１０はホルダージョイント１２３に固定される。反対に、ホルダージョイント１２３からホルダーユニット１１０を取り外す際には、ホルダーユニット１１０を下方へ引く抜くことで、容易に取り外すことができる。
【００８５】
ここで、スクライビングホイール１５０は消耗品であるため定期的な交換が必要となる。本実施形態においては、ホルダージョイント１２３を介してホルダーユニット１１０がスクライブヘッド１２１に装着されているので、ホルダーユニット１１０の着脱が容易に行える。したがって、スクライビングホイール１５０をホルダー１４０ａから取り外したりすることなく、スクライビングホイール１５０とホルダー１４０ａを一体として扱い、ホルダーユニット１１０そのものを交換すればよいので、スクライビングホイール１５０の交換作業を容易に行うことができる。
【００８６】
［実施形態４］
次に、ホルダー１４０ａを具備するホルダーユニット１１０の詳細について、図９、図１０を用いて説明する。図９Ａは上方側からのホルダーユニット１１０の斜視図であり、図９Ｂは下方側からのホルダーユニット１１０の斜視図である。また、図１０Ａは図９ＡのXａ−Xａ線に沿った断面図であり、図１０Ｂは図９ＡのXｂ−Xｂ線に沿った断面図である。
【００８７】
このホルダー１４０ａは略円柱形の金属または樹脂からなり、その下端側には支持部１１６５，１６６が設けられている。この支持部１６５と支持部１６６との間に、スクライビングホイール１５０を保持するためのホルダー溝１４２が形成されている。また、支持部１６５、１６６には、スクライビングホイール１５０を固定するために孔状のピン孔ｚ１４３ａがそれぞれ形成されている。このピン孔１４３ａにピン１４４が貫通され、スクライビングホイール１５０が回転自在に取り付けられている。
【００８８】
なお、ホルダー１４０ａは上述したように、スクライビングホイール１５０を脆性材料基板である被スクライビング部材に当接させてスクライブラインを形成するために用いられるものであるため、以下においてはホルダー１４０ａの被スクライビング部材に当接させる側（切断端側）を「下」といい、その反対側を「上」という。
【００８９】
ホルダー１４０ａに形成されているホルダー溝１４２は、スクライビングホイール１５０の上方の一部分が挿入される狭幅部１４２ａと、この狭幅部１４２ａよりも幅広に形成された窪み部の一例である広幅部１４２ｂと、からなっている。そのため、一対の支持部１６５、１６６は、それぞれホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａに対向する広幅部１６５ａ、１６６ａと、ホルダー溝１４２の広幅部１４２ｂに対向する狭幅部１６５ｂ、１６６ｂを備えている。なお、ホルダー１４０ａの支持部１６５、１６６における広幅部１６５ａ、１６６ａと狭幅部１６５ｂ、１６６ｂとの間は段差状に形成されている。
【００９０】
また、ホルダー１４０ａの支持部１６５、１６６の相対向する内壁、すなわち、広幅部１６５ａ、１６６ａの相対向する面及び狭幅部１６５ｂ、１６６ｂの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー１４０ａの支持部１６５、１６６における狭幅部１６５ｂ、１６６ｂには、各々を貫通するピン孔１４３ａが同軸にそれぞれ形成されている。ピン孔１４３ａは、ホルダー溝１４２と垂直に交差しており、スクライビングホイール１５０のピン１４４を保持する円形の貫通孔である。
【００９１】
そして、実施形態４のホルダーユニット１１０では、ピン１４４は、スクライビングホイール１５０の貫通孔１５３及びピン孔１４３ａに、ホルダー１４０ａの支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａとは接触しないように、取り付けられている。そのため、ホルダー１４０ａの支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａの下側とピン１４４との間には隙間１６７が形成されている。なお、ピン１４４は、例えば、超硬合金等の金属、焼結ダイヤモンドで形成された円柱形の部材であって、一端が尖頭形状を有している。
【００９２】
ホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａの間隔はスクライビングホイール１５０の幅よりわずかに大きくなるようにされている。スクライビングホイール１５０の幅は例えば約０．６５ｍｍであり、ホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａの間隔は例えば約０．６７ｍｍである。また、ホルダー溝１４２の広幅部１４２ｂの間隔は、狭幅部１４２ａの間隔より広ければ任意である。しかしながら、ピン孔１４３ａ内におけるピン１４４の回転時の摩擦が小さくなるようにするためには、ピン１４４を両端部のみで支持し、ピン１４４がピン孔１４３ａ内に位置している部分の長さが短くなるようにする必要がある。したがって、広幅部１４２ｂの１間隔は、ホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａの間隔の２倍以上とすることが好ましい。
【００９３】
一方、あまり広幅部１４２ｂの間隔を大きくすると、ホルダー１４０ａの支持部１６５、１６６の狭幅部１６５ｂ、１６６ｂの幅が細くなるために、スクライブ時に印加される荷重によって、狭幅部１６５ｂ、１６６ｂが撓む虞があること、及び、ピン１４４が両端部側で支持されることになり、ピン１４４自体も撓んでしまう虞が生じるので、ホルダー１４０ａの支持部１６５、１６６の狭幅部１６５ｂ、１６６ｂの幅がホルダー１４０ａの支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａの１／３程度となるようにすることが好ましい。また、ホルダー１４０ａの支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａの下側とピン１４４との間に形成された隙間１６７の間隔は任意であるが、ホルダーユニット１１０を小型化するには小さい方がよい。
【００９４】
この状態のホルダーユニット１１０を用いて、スクライブ装置１００によりガラス基板等の脆性基板をスクライブすれば、スクライビングホイール１５０はホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａ内で位置が安定するので、スクライビングホイール１５０の進行方向に対する左右のぶれがほとんどなくなり、スクライブしたときのスクライブラインの直線性を向上させることができるようになる。加えて、たとえスクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝１４２の狭幅部４２ａとスクライビングホイール１５０との間に侵入しても、ホルダー１４０ａの支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａの下側とピン１４４との間に形成されている隙間１６７及びピン１４４と脆性基板との間に形成される空間の存在のために、容易に排出されるので、スクライビングホイール１５０の回転性が損なわれることが抑制される。
【００９５】
そのため、実施形態４のホルダーユニット１１０によれば、スクライブ時にスクライビングホイール１５０及びピン１４４の回転性が良好となるので、スクライブ時にスクライビングホイール１５０の刃先が被スクライブ基板の表面を滑る現象が生じ難くなくなり、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制されるという優れた効果を奏するようになる。
【００９６】
なお、実施形態４のホルダーユニット１１０においては、ホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａが、スクライビングホイール１５０の上方の一部分に形成された例を示したが、図面において左右側の一部分が挿入されるように形成してもよいことは当然である。そして、何れの場合においても、スクライブ時に発生したカレットがホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａ内に侵入し難く、スクライビングホイール１５０及びピン１４４の回転性が良好となる。
【００９７】
また、実施形態４のホルダー１４０ａにおいては、ホルダー１４０ａの支持部１６５、１６６の相対向する内壁、すなわち、広幅部１６５ａ、１６６ａの相対向する面及び狭幅部１６５ｂ、１６６ｂの相対向する面は、共に平行に形成されているが、広幅部１１５ａ、１１６ａの相対向する面が平行に形成されていれば、狭幅部１６５ｂ、１６６ｂの相対向する面は平行でなくてもよい。少なくともスクライビングホイール１５０が接触する支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａの相対向する面が平行であれば、スクライビングホイール１５０がホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａ内で位置を安定させることができるためである。
【００９８】
［実施形態５］
次に、実施形態５のホルダー１４０ｂを具備するホルダーユニット１１０Ａについて、図１１を用いて説明する。なお、図１１Ａは下方側からのホルダー１４０ｂの斜視図であり、図１１Ｂは反対側からのホルダー１４０ｂの斜視図であり、図１１Ｃは図１１ＡのXI−XI線に沿った断面図である。
【００９９】
実施形態５のホルダー１４０ｂ及びホルダーユニット１１０Ａが実施形態４のホルダー１４０ａ及びホルダーユニット１１０と構成が相違する点は、ホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａ及び広幅部１４２ｂの構成と、それに伴う支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａ及び狭幅部１６５ｂ、１６６ｂの構成である。すなわち、実施形態５のホルダー１４０ｂでは、ホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａは、スクライビングホイール１５０の上方の一部分と、図１１Ｃにおいてスクライビングホイール１５０の右側の一部分が挿入されるように形成されており、それに伴って支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａが、スクライビングホイール１５０の上方と、図１１Ｃにおいてスクライビングホイール１５０の右側に形成されている。
【０１００】
そして、ホルダー溝１４２の広幅部１４２ｂは、図１１Ｃにおいてスクライビングホイール１５０の左側に形成されており、それに伴って支持部１６５、１６６の狭幅部１６５ｂ、１６６ｂが、図１１Ｃにおいてスクライビングホイール１５０の左側に形成されている。また、ホルダー１４０ｂの支持部１６５、１６６における広幅部１６５ａ、１６６ａと狭幅部１６５ｂ、１６６ｂとの間は段差状に形成されている。
【０１０１】
この場合においても、ホルダー１４０ｂの支持部１６５、１６６の相対向する内壁、すなわち、広幅部１６５ａ、１６６ａの相対向する面及び狭幅部１６５ｂ、１６６ｂの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー１４０ｂの支持部１６５、１６６における狭幅部１６５ｂ、１６６ｂには、各々を貫通するピン孔１４３ａが同軸に形成されており、ピン１４４はホルダー１４０ｂの支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａとは接触しないように取り付けられている。そのため、ホルダー１４０ｂの支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａの下側とピン１４４との間には隙間１６７が形成されている。
【０１０２】
このような構成の実施形態５のホルダー１４０ｂ及びホルダーユニット１１０Ａによれば、実施形態４のホルダー１４０ａ及びホルダーユニット１１０に比すると、僅かにスクライビングホイール１５０と支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａとの間の接触面積が大きくなるため、僅かに摩擦抵抗が大きくなるが、その点を除けば実質的に同等の作用効果を奏することができる外、スクライビングホイール１５０の刃先の振れがより少なくなるので、スクライブラインの形成時に蛇行することが抑制されるようになる。
【０１０３】
なお、実施形態５のホルダーユニット１１０Ａにおいては、ホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａが、スクライビングホイール１５０の上方の一部分だけでなく、図１１Ｃにおいてスクライビングホイール１５０の右側の一部分が挿入されるように形成された例を示したが、図１１Ｃにおいてスクライビングホイール１５０の左側の一部分が挿入されるように形成してもよいことは当然である。そして、何れの場合においても、実施形態５のホルダー４０ｃを具備するホルダーユニット１１０Ａを用いてスクライブ装置１００でスクライブラインを形成する際には、ホルダー１４０ｂを移動させれば、スクライブ時に発生したカレットがホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａ内に侵入し難くなるので、刃先寿命が長くなると共にスクライブ後の被スクライブ基板の端面強度の低下や破断強度のバラツキが抑制されるという優れた効果を奏することができるようになる。
【０１０４】
［実施形態６］
次に、実施形態６のホルダー１４０ｃを具備するホルダーユニット１１０Ｂについて、図１２を用いて説明する。なお、図１２Ａは下方側からのホルダー１４０ｃの斜視図であり、図１２Ｂは図１２ＡのXII−XII線に沿った断面図である。
【０１０５】
実施形態６のホルダー１４０ｃ及びホルダーユニット１１０Ｂが実施形態４のホルダー１４０ａ及びホイールユニット１１０と構成が相違する点は、ホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａ及び広幅部１４２ｂと、それに伴う支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａ及び狭幅部１６５ｂ、１６６ｂの配置が上下逆になっている点である。すなわち、実施形態６のホルダー１４０ｃ及びホルダーユニット１１０Ｂでは、ホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａはスクライビングホイール１５０の下方に、広幅部１４２ｃがスクライビングホイール１５０の上方に形成されており、それに伴って支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａがスクライビングホイール１５０の下方に、狭幅部１６５ｂ、１６６ｂがスクライビングホイール１５０の上方に形成されている。なお、ホルダー１４０ｃの支持部１６５、１６６における広幅部１６５ａ、１６６ａと狭幅部１６５ｂ、１６６ｂとの間は段差状に形成されている。
【０１０６】
この場合においても、ホルダー１４０ｃの支持部１６５、１６６の相対向する内壁、すなわち、広幅部１６５ａ、１６６ａの相対向する面及び狭幅部１６５ｂ、１６６ｂの相対向する面は、共に平行に形成されている。そして、ホルダー１４０ｃの支持部１６５、１６６における狭幅部１６５ｂ、１６６ｂには、各々を貫通するピン孔１４３ａが同軸に形成されており、ピン１４４はホルダー１４０ｃの支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａとは接触しないように取り付けられている。そのため、ホルダー１４０ｃの支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａの上側とピン１４４の上側との間には隙間１６７が形成されている。
【０１０７】
このような構成の実施形態６のホルダー１４０ｃ及びホルダーユニット１１０Ｂによれば、実施形態４のホルダー１４０ｃ及びホルダーユニット１１０に比すると、スクライビングホイール１５０と支持部１６５、１６６との間の接触面積が少なくなるという効果も奏されるようになる。
【０１０８】
したがって、スクライブ時にカレットが発生し、このカレットがホルダー溝１４２の狭幅部１４２ａとスクライビングホイール１５０との間に侵入しても、ホルダー１４０ｃの支持部１６５、１６６の広幅部１６５ａ、１６６ａの上側とピン１４４との間に形成されている隙間６７及びピン１４４とホルダー溝１４２の広幅部１４２ｂの間に形成される空間の存在のために、容易に排出されるので、スクライビングホイール１５０の回転性が損なわれることが抑制される。
【０１０９】
なお、図７に示したスクライブ装置１００においては、スクライブヘッド１２１にホルダージョイントを介して、ホルダーユニット１１０を取り付ける構成のスクライブ装置について説明したいが、スクライブ装置はホルダーユニットをスクライブヘッドに直接取り付ける構成であっても構わない。
【符号の説明】
【０１１０】
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１１０、１１０Ａ、１１０Ｂ…ホルダーユニット
１１、１１Ａ、１１Ｂ、１４０ａ、１４０ｂ、１４０ｃ…ホルダー
１２、１５０…スクライビングホイール
１３…貫通孔
１４、１４２…ホルダー溝
１４ａ、１４２ａ…（ホルダー溝の）狭幅部
１４ｂ、１４２ｂ…（ホルダー溝の）広幅部
１５、１６、１６５、１６６…支持部
１５ａ、１６ａ、１６５ａ、１６６ａ…（支持部の）広幅部
１５ｂ、１６ｂ、１６５ｂ、１６６ｂ…（支持部の）狭幅部
１７、１８、１４３ａ…ピン孔
１９、１４４…ピン
２０、１６７…隙間
２２、２３…押さえカバー
２４、２５…調整ネジ
１００…スクライブ装置
１２３…ホルダージョイント
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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