(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
精密基板を収納する、底面にガスパージ用の開閉弁を備えた容器本体と、
前記精密基板を前記容器本体に出し入れするための、前記容器本体の正面に設けられ前記底面の片端部に底辺を有する矩形状の開口部と、
前記開口部を開閉する蓋体と、
前記開口部と前記蓋体の間に介在する弾性変形可能な矩形状のシールガスケットと、
を備え、
前記シールガスケットは、前記蓋体の外周すべてにわたって形成された嵌合保持部に嵌合される基体部と、当該基体部から外周外方向に斜めに伸び容器本体のシール形成面に圧接される屈曲可能な突片と、前記基体部の１面に突出形成されて前記嵌合保持部の内面に圧接保持状態で接触される嵌合リブとを含み、
前記シールガスケットの横方向辺における前記突片の撓み量ｈ２を１としたとき、前記シールガスケットの側辺における前記突片の撓み量ｈ１の撓み比率を１．３以上に形成し、ｈ１≧１．３×ｈ２の条件式を満たし、
前記容器本体にパージガスである不活性ガスが供給され、
矩形状の前記シールガスケットの前記横方向辺における前記突片の高さｈ２に対する、前記シールガスケットの前記側辺における前記突片の高さｈ１の比率を変えることで、前記撓み量の比率を形成する前記シールガスケットの側辺側屈曲シール片をより強くシール形成面に押圧するようにされ、
前記パージガスを前記容器本体へ供給中、前記容器本体の側辺側と横方向辺側からの前記ガスの漏出は防止され、
前記容器本体内のガス圧が外部圧より高くなったとき、ガス漏出位置として横方向辺側からのみ、前記容器本体内の内部滞留ガスを外部へ漏出させ、
前記容器本体内の滞留ガスを、前記パージガスに効率よく置換させ、
前記条件式における、ｈ２に対するｈ１の撓み比率を変えて、前記パージガスに置換される時間を変化させる、
ことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記容器本体の側辺側における側辺側シール形成面に突起が形成され、該突起の形成により、前記撓み量の比率を形成する、
ことを特徴とする、請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
矩形状の前記シールガスケットの前記横方向辺における前記蓋体から前記容器本体方向への高さに対する、前記シールガスケットの前記側辺における前記蓋体から前記容器本体方向への高さの比率を変えることで、前記撓み量の比率を形成する、
ことを特徴とする、請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記突片の厚みが、矩形状の前記シールガスケットの前記横方向辺におけるより、前記シールガスケットの前記側辺において厚く形成されている、
ことを特徴とする、請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記シールガスケットは、前記横方向辺においては高硬度に形成され、前記側辺においては低硬度に形成されている、
ことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記シールガスケットの突片の表面粗さが、矩形状の前記シールガスケットの前記横方向辺におけるよりも、前記シールガスケットの前記側辺において滑らかに形成されている、
ことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等を収納する基板収納容器に関し、特にそのシール構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板収納容器は、図示しないが、半導体ウェーハからなる複数枚の精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口正面部に着脱自在に嵌合される蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在されてシールする変形可能な弾性のシールガスケットとを備えて構成されていた。こうした基板収納容器は、表面に電子回路を形成する途中の基板を収納して一時保管することがあり、このときに基板表面の酸化や腐食などの変質を防ぐために、基板収納容器に気体透過用の開閉弁を設けて、内部の気体を、窒素ガスなどの不活性ガスやドライエアーで、置換することが行われていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
こうした基板収納容器は、容器本体とその開口面を開閉する蓋体との間に介在される弾性変形可能なシール部材が設けられていて、シールガスケットは、蓋体の周縁部に形成された嵌合保持溝に嵌入される基体と、この基体に形成されて嵌合保持溝の内面に圧接する嵌合突起と、基体に形成されて嵌合保持溝から突出し、容器本体のシール形成面に接触する屈曲シール片とを備え、容器本体の内圧が外圧よりも高まった場合には、容器本体内部から外部への気体の漏れを許容し、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも低くなった場合には、外部から容器本体内部への気体の侵入を規制するようにした基板収納容器が提案されていた（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
また、上蓋と外箱本体との接合部において変形などの影響を受けやすい部分に配置されているシール部材に、より大きな圧縮力が作用するようにして、変形時においても良好なシール性を維持し、全体としてのシール性がより向上するようにした板状部材収納容器も知られていた（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１７９４４９号公報
【特許文献２】特許第３５５６１８５号公報
【特許文献３】特開平１１−１９５６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の従来の基板収納容器においては、シールガスケットのシールリップは、外向きに湾曲形成されているので、基板収納容器の外方向からの気体の侵入は防止することには優れていた。しかし、基板収納容器の内部の圧力が高まると、シールリップの先端から気体が外部へ漏れ易いので、基板収納容器内部の気体を不活性ガス等を供給して置換するときに、内部の圧力の高まりと共に、折角供給した気体が短時間でそのまま開口部から外部に漏れ出してしまうようになり、気体の置換に時間が掛かり、効率的でないと言った問題があった。
【０００７】
具体的には、基板収納容器の内部の酸素濃度や、水分量が一定以下の値まで低下するための時間が長く掛かってしまい、作業の効率が悪くなってしまう問題があった。また、気体が完全に置換されないまま運用してしまうと、前記したような基板の変質のために製品の歩留が低下してしまう可能性があった。
【０００８】
本発明は上記に鑑みなされたもので、基板収納容器の内部の気体を置換するときに、基板収納容器の内部から気体が特定箇所から漏れるようにして、効率良く気体を置換可能な基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の基板収納容器は、
精密基板を収納する、底面にガスパージ用の開閉弁を備えた容器本体と、前記精密基板を前記容器本体に出し入れするための、前記容器本体の正面に設けられ前記底面の片端部に底辺を有する矩形状の開口部と、前記開口部を開閉する蓋体と、前記開口部と前記蓋体の間に介在する弾性変形可能な矩形状のシールガスケットと、を備え、
前記シールガスケットは、前記蓋体の外周すべてにわたって形成された嵌合保持部に嵌合される基体部と、当該基体部から外周外方向に斜めに伸び容器本体のシール形成面に圧接される屈曲可能な突片と、前記基体部の１面に突出形成されて前記嵌合保持部の内面に圧接保持状態で接触される嵌合リブとを含み、前記シールガスケットの横方向辺における前記突片の撓み量ｈ２を１としたとき、前記シールガスケットの側辺における前記突片の撓み量ｈ１の撓み比率を１．３以上に形成し、ｈ１≧１．３×ｈ２の条件式を満たし、
前記容器本体にパージガスである不活性ガスが供給され、矩形状の前記シールガスケットの前記横方向辺における前記突片の高さｈ２に対する、前記シールガスケットの前記側辺における前記突片の高さｈ１の比率を変えることで、前記撓み量の比率を形成する前記シールガスケットの側辺側屈曲シール片をより強くシール形成面に押圧するようにされ、前記パージガスを前記容器本体へ供給中、前記容器本体の側辺側と横方向辺側からの前記ガスの漏出は防止され、前記容器本体内のガス圧が外部圧より高くなったとき、ガス漏出位置として横方向辺側からのみ、前記容器本体内の内部滞留ガスを外部へ漏出させ、前記容器本体内の滞留ガスを、前記パージガスに効率よく置換させ、前記条件式における、ｈ２に対するｈ１の撓み比率を変えて、前記パージガスに置換される時間を変化させる、ことを要旨とする。
【００１０】
シール部材の側辺における突片のつぶし量比率を１．３以上に形成することにより、容器本体の開口部を蓋体により閉じ、突片を屈曲させてその屈曲部分と容器本体の接触面とを接触させ、蓋体により閉じられた基板収納容器に開閉弁の一方からパージガスを供給し、基板収納容器の内圧が外圧よりも高まった状態で、基板収納容器の開口部周辺から外部への気体の漏れが、矩形状の開口部の横方向辺からのみ起るようにすることができる。
【００１１】
上記基板収納容器において、前記容器本体の側辺側における側辺側シール形成面に突起が形成され、該突起の形成により、前記撓み量の比率を形成する、ことを要旨とする。
【００１２】
また、矩形状のシール部材の横方向辺における蓋体から容器本体方向への高さに対する、シール部材の側辺における蓋体から容器本体方向への高さの比率を変えたり、突片の厚みを、矩形状のシール部材の横方向辺におけるより、シール部材の側辺において厚く形成することにより、上記つぶし量比率を形成することができる。
【００１３】
シール部材は、横方向辺においては高硬度に形成し、側辺においては低硬度に形成するのが好ましい。
【００１４】
また、シール部材の突片表面粗さを、シール部材の横方向辺におけるよりも、シール部材の側辺において滑らかに形成するのが好ましい。
【００１５】
精密基板は、２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍタイプの半導体ウェーハ、石英ガラス、液晶セル等のいずれでもよい。容器本体と蓋体は、透明、不透明、半透明のいずれでもよい。蓋体の周縁部には、蓋体の周壁と蓋体の裏面周縁部のいずれもが含まれる。
【００１６】
シールガスケットは、エンドレスの枠形でも良いが、可撓性を有する単数複数の線条でも良い。さらに、基板収納容器は、フロントオープンボックスタイプ、トップオープンボックスタイプ、ボトムオープンボックスタイプのいずれでもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、基板収納容器の内部圧力が上昇したときの内部からの気体の漏れを特定箇所にすることで、基板収納容器内部の気体を効率よく置換できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るシールガスケットを示す正面図である。
【図３】（ａ）図２のシールガスケットの側辺のａ１、ａ２部分の拡大断面図である。  （ｂ）図２のシールガスケットの頂辺のｂ１、底辺のｂ２部分の拡大断面図である。
【図４】（ａ）本発明の第１実施形態に係る、容器本体と蓋体に保持されたシールガスケットの側辺部における配置を示す部分断面図である。  （ｂ）本発明の第１実施形態に係る、図４（ａ）のシールガスケットのシール形成状態を示す部分断面図である。
【図５】（ａ）本発明の第１実施形態に係る、容器本体と蓋体に保持されたシールガスケットの底辺部及び頂辺部を含む横方向辺部における配置を示す部分断面図である。  （ｂ）本発明の第１実施形態に係る、図５（ａ）のシールガスケットのシール形成状態を示す部分断面図である。
【図６】（ａ）本発明の第１実施形態の変形例であり、シールガスケットが側辺部において容器本体との間にシールを形成した状態の部分断面図である。  （ｂ）本発明の第１実施形態の変形例であり、シールガスケットが横方向辺部において容器本体との間にシールを形成した状態の部分断面図である。
【図７】（ａ）本発明の第２実施形態に係る、シールガスケットが側辺部において容器本体との間にシールを形成した状態の部分断面図である。  （ｂ）本発明の第２実施形態に係る、シールガスケットが横方向辺部において容器本体との間にシールを形成した状態を示す部分断面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る、シールガスケットの横方向辺部を示す部分正面図である。
【図９】（ａ）本発明の第３実施形態に係る図８のシールガスケットを示す断面図である。  （ｂ）本発明の第３実施形態に係る図８のシールガスケットの１変形例を示す断面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態に係るシールガスケットの横方向辺側シール形成面にリーク用の溝を形成した状態の部分断面図である。
【図１１】本発明の基板収納容器を使用した気体の置換試験方法を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態（以下、「実施形態」という。）を説明する。本実施形態における基板収納容器は、図１に示すように、複数枚の精密基板を収納する容器本体１と、この容器本体１の矩形状の開口部４０に嵌合される蓋体２と、これら容器本体１と蓋体２との間に介在してシールする変形可能な弾性体からなる矩形状のシールガスケット３とを備え、容器本体１の開口部４０の内周縁に、シールガスケット３と接触してこれを変形させるシール形成面４（側辺側シール形成面４ａ、横方向辺側シール形成面４ｂ）を形成し、蓋体２の周縁部には、シールガスケット３用の嵌合溝が形成されている。
【００２０】
本実施形態においては、シールガスケット３は、図２に示したように矩形状をしており、図の頂辺及び底辺を含む横方向辺と、両側の側辺とからなる。
【００２１】
基板は、例えば口径３００ｍｍタイプの薄く丸い半導体ウェーハ（Ｓｉウェーハや再生ウェーハ）等からなり、周縁部に位置決め用のノッチが選択的に切り欠かれており、容器本体１内に１〜２５枚、あるいは１〜２６枚の枚数で整列収納される。
【００２２】
容器本体１は、図１に示すように、所定の成形材料を使用して正面の開口したフロントオープンボックスタイプに成形され、内部両側には、基板の側部周縁を水平に支持する左右一対のティース５が突出形成されており、この相対向する一対のティース５が所定の間隔をおいて上下方向に並設される。この容器本体１の成形材料としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂があげられ、この熱可塑性樹脂には、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子等からなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤等が適宜添加される。
【００２３】
容器本体１の底面には、平面略Ｙ字形、多角形、あるいは三角形等のボトムプレート６が着脱自在に装着され、このボトムプレート６には、図示しない加工装置に対する断面略Ｖ字形の位置決め具が配列して装着されており、容器本体１の天井中央部には図１に示すように、搬送ロボットに把持されるロボティックフランジ７が着脱自在に装着される。
【００２４】
容器本体１の開口部４０は、図１に示すように、外方向に張り出すように段差を付けて屈曲形成され、この段差の段差面が平坦なシール形成面４（側辺側シール形成面４ａ、横方向辺側シール形成面４ｂ）として機能する。容器本体１の矩形状の開口部４０の内周縁上下には、左右一対の係止穴８が所定の間隔をおいて凹み形成される。また、容器本体の底部には、貫通穴９が設けられ、ここに内部の気体を置換するための開閉バルブ１０（供給側開閉バルブ１０ａ、排気側開閉バルブ１０ｂ）が１対又は複数対設けられている。
【００２５】
蓋体２は、図１に示すように、容器本体１の開口部４０に嵌合され内部に設置されて、蓋体２を容器本体１に施錠する一対の施錠機構１１を備えている。この蓋体２、一対の施錠機構１１は、容器本体１と同様の成形材料を使用して成形される。蓋体２の裏面の凹んだ中央部には、精密基板の前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ１２が着脱自在に装着される。
【００２６】
各施錠機構１１は、蓋体２に軸支されて加工装置の外部操作により回転する回転プレート１３と、この回転プレート１３の周縁部に連結されてその回転に連動することにより蓋体２の内外方向（図１の上下方向）にスライドする一対の動力伝達プレート１４と、各動力伝達プレート１４の先端部に軸支され、蓋体２の施錠時には、動力伝達プレート１４のスライドにより蓋体２の周壁の貫通口から突出して容器本体１の開口部４０の内周縁の係止穴８に係止し、蓋体２の解錠時には、スライドした動力伝達プレート１４の復帰により容器本体１の係止穴８から蓋体２の貫通口内に退没する出没可能な一対の係止爪１５を備えて構成される。
【００２７】
シールガスケット３は、図１〜５に示すように、蓋体２の嵌合保持溝５に嵌入される矩形状に形成される基体１６と、この基体１６に並べて形成され、嵌合保持溝の内面（容器本体１側の内面）に圧接される屈曲可能な嵌合突起１７と、基体１６から水平に張り出す中間部１８と、中間部１８に設けられ容器本体１のシール形成面４（側辺側シール形成面４ａ、横方向辺側シール形成面４ｂ）に圧接される屈曲シール片１９（側辺側屈曲シール片１９ａ、横方向辺側屈曲シール片１９ｂ）とを備えて一体形成される。
【００２８】
シールガスケット３は、例えばポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマー等からなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ、シリコーン系のゴム等の成形材料を用いて成形される。この成形材料には、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤等が適宜添加される。また、表面の固着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウム等からなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂が所定量選択的に添加される。
【００２９】
シールガスケット３は、上記の材料を用いて、例えば射出成形等の公知の技術を用いて製造することができる。
【００３０】
基体１６は、図２に示すように、エンドレスの枠形に形成され、その断面は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、後述する蓋体２の嵌合溝２２の断面形状に略対応するよう略矩形とされており、略直線的な内側面が接触面として嵌合溝２２の略直線的な最奥面に平行に密接するとともに、外側面が嵌合溝２２の開口部４０側に位置する。嵌合突起１７は、基体１６の一面に突出形成される２列の山形のリブとして設けることができる。
【００３１】
屈曲シール片１９（側辺側屈曲シール片１９ａ、横方向辺側屈曲シール片１９ｂ）は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、基体１６の外側面に形成されて、これと略平行となるように直線的に突出する中間部１８と、この中間部１８の先端に設けられて容器本体１のシール形成面４（側辺側シール形成面４ａ、横方向辺側シール形成面４ｂ）方向に曲りながら伸びる断面略円弧形の湾曲部２０と、この湾曲部２０の先端に膨張形成されてシール形成面４（側辺側シール形成面４ａ、横方向辺側シール形成面４ｂ）に圧接する球状突起２１とから形成される。ここで、基体１６の側辺側屈曲シール片１９ａの中間片の下面から湾曲部の頂点までの高さｈ１は、横方向辺側屈曲シール片１９ｂの中間片の下面から湾曲部の頂点までの高さｈ２よりも、高くなるように形成されている。好ましくは、ｈ１≧１．３×ｈ２とすることで、供給される不活性ガスと効率よく置換できるようになる。
【００３２】
（第１実施形態）
図４（ａ）、（ｂ）は、上記した側辺側屈曲シール片１９ａを備えたシールガスケット３によるシール形成部の断面を表したものである。図４（ａ）は容器本体１の開口部４０に蓋体２が挿入され、側辺側シール形成面４ａと側辺側屈曲シール片１９ａとが接近した状態であり、図４（ｂ）は、蓋体２が容器本体１に施錠されて、側辺側屈曲シール片１９ａが側辺側シール形成面４ａと接触してシールを形成した状態を表している。
【００３３】
一方、図５（ａ）、（ｂ）は、横方向辺側屈曲シール片１９ｂを備えたシールガスケット３によるシール形成部の断面を表すものである。図５（ａ）は、容器本体１の開口部４０に蓋体２が挿入され、横方向辺側シール形成面４ｂと横方向辺側屈曲シール片１９ｂとが接近した状態であり、図５（ｂ）は、蓋体２が容器本体１に施錠されて、横方向辺側屈曲シール片１９ｂが横方向辺側シール形成面４ｂと接触してシールを形成した状態を表している。
【００３４】
側辺側屈曲シール片１９ａと横方向辺側屈曲シール片１９ｂは、側辺側の高さが高くなるように設定されているので、側辺側屈曲シール片１９ａが開口部４０の側辺側シール形成面４ａにより強く押し付けられることで、ここからの気体の漏れ出しを防止できるようになる。
【００３５】
次に、こうしたシールガスケット３を備えた基板収納容器の気体を置換することを説明する。容器本体１に設けられた開閉バルブ１０の一方の供給用開閉バルブ１０ａから、窒素等の不活性ガスを供給し、他方の排気用開閉バルブ１０ｂから排気するときに、基板収納容器内部が陽圧となるようにして気体の置換が行われる。このとき、容器本体1の内部が陽圧となるので、シールガスケット３の屈曲シール片１９（側辺側屈曲シール片１９ａ、横方向辺側屈曲シール片１９ｂ）は、圧力に押されてシール片の先端２０がシール形成面４（側辺側シール形成面４ａ、横方向辺側シール形成面４ｂ）から離れ易くなるが、ガス供給用開閉バルブ１０ａの周辺の開口部４０から気体が洩れる場合は、供給された不活性ガスが基板収納容器内部に充満する前に、漏れ出してしまうので、基板収納容器内部の空気を不活性ガスで置換することに時間が掛かってしまうことになる。
【００３６】
本発明の実施形態では、開口部４０の任意の場所から供給した不活性ガス等の気体が直ぐに漏れてしまわないように、不活性ガス等の気体が容器本体1内に、ある程度充満してから漏れるようにすることで、基板収納容器に存在していた空気がここから漏れるようにできる。これにより、置換効率を良くすることができるようになる。また、こうした漏れ出し部は、例えば底面から供給された不活性ガスが充満される、開口部４０の上部又は下部になるようにすることができる。
【００３７】
ここで、シールガスケットの屈曲シール片１９（側辺側屈曲シール片１９ａ、横方向辺側屈曲シール片１９ｂ）の撓み量を、図２に示した矩形状の枠体の横方向辺側のｂ1、ｂ２において１としたときに、側辺側のａ１、ａ２において１．３倍以上となるように設定することで、空気の漏れ出し位置を制御することができる。１．３未満であれば、側辺側からの漏れ出しを防ぐことが十分でなく、不活性ガスの置換時間を短縮できなくなるためである。
【００３８】
具体的には、シールガスケット３の屈曲シール片１９（側辺側屈曲シール片１９ａ、横方向辺側屈曲シール片１９ｂ）の中間片の下面からの高さｈ１、ｈ２を枠体の横方向辺側ｈ１を1としたときに、側辺側ｈ２を１．３倍の高さとなるようにして、開口４０の左右の側辺側シール形成面４ａに強く押し圧されるようにすることで、供給された不活性ガスが、ある程度充満するまでは気体の漏れ出しを防止して、ある程度充満した後は、横方向辺のｂ１、ｂ２である頂辺あるいは底辺から漏れ出すようにすることで、気体の置換時間を短縮できるようになる。
【００３９】
図６（ａ）、（ｂ）は、第１実施形態の変形例であり、シールガスケット３の屈曲シール片２３（側辺側屈曲シール片２３ａ、横方向辺側屈曲シール片２３ｂ）のうち、横方向辺側屈曲シール片２３ｂの肉厚ｔ２よりも側辺側屈曲シール片２３ａの肉厚ｔ１を厚くして、蓋体２を開口部４０に取り付けるときのシールガスケット３のつぶし強度に差をつけたものである。この場合も、供給直後の気体が、開口部４０の左右の側辺から漏れ出すことを防止できるので、第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００４０】
（第２実施形態）
図７（ａ）、（ｂ）は、第２実施形態を示したものである。図７（ａ）、（ｂ）で、シールガスケット３の屈曲シール片２４（側辺側シール形成面２４ａ、横方向辺側シール形成面２４ｂ）の寸法は変えていない。側辺側においては、図７（ａ）に示したように、側辺側シール形成面２４ａに突起２５を設けて、側辺側屈曲シール片１９ａをより強く押圧するようにしたものである。横方向辺側においては、図７（ｂ）に示したように、横方向辺側シール形成面２４ｂに突起を設けていない。この場合も、第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００４１】
（第３実施形態）
図８、図９（ａ）、（ｂ）は、第３実施形態を示したものであり、シールガスケット２６の横方向辺側屈曲シール片２７ｂあるいは開口部４０の横方向辺側シール形成面２８ｂに、基板収納用機器の内圧が高くなったときに、シール性能を損ねるような微小の凹凸２９（凸２９ａ、凹２９ｂ）を形成してここから気体が漏れ出しやすくしたものである。
【００４２】
図１０は、横方向辺側シール形成面２８ｂに、リーク用の溝３０を形成した例である。
これらの場合も、上記の第１実施形態、第２実施形態と同様の効果が得られる。
【００４３】
第１〜３実施形態においては、シールガスケットは矩形状の枠体の部位によらず一定の性質を持つことを前提としているが、例えば、枠体の側辺を横方向辺よりも低硬度に形成することにより、シール効果が高くなる。このような部位による硬度の調整は、例えば、シールガスケットに用いるエラストマーの可塑剤の配合量を部位によって変えたり、ゴム材料の架橋を相対する一対の辺の間で差を設けたり、異なる性状の材料を２色成形することによって達成される。
【実施例】
【００４４】
図１に示すような基板収納容器と、シールガスケットを使用して、基板収納容器内に窒素ガスを供給して、シールガスケットの屈曲シール片又は開口部の寸法を変えたものを複数準備して、図１１に示すように基板収納容器内部に酸素濃度や湿度、圧力などを測定するためのセンサーを挿入して計測を行い、酸素濃度が所定の値である１１ｐｐｍ以下となる置換時間をそれぞれ計測した。
【００４５】
（実施例１）
シールガスケットの横方向辺の屈曲シール片の高さを１とし、側辺の屈曲シール片の高さを１．３としたシールガスケットを使用して、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を４０Ｌ／ｍｉｎ供給し、他方から排気して、その値が１１ｐｐｍ以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。
【００４６】
（実施例２）
横方向辺の屈曲シール片の高さを１とし、側辺の屈曲シール片の高さを１．５としたシールガスケットを使用して、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を４０Ｌ／ｍｉｎ供給し、他方から排気して、その値が１１ｐｐｍ以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。
【００４７】
（実施例３）
横方向辺の屈曲シール片の高さを１とし、側辺の屈曲シール片の高さを１としたシールガスケットと、容器本体の横方向辺側開口部よりも、側辺側開口部が１．３倍高くなるように形成された側辺を形成した容器本体を用いて、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を４０Ｌ／ｍｉｎ供給し、他方から排気して、基板収納容器内部の酸素濃度を測定して、その値が１１ｐｐｍ以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。
【００４８】
（実施例４）
横方向辺の屈曲シール片の高さを１とし、側辺の屈曲シール片の高さを１とし、側辺側の屈曲シール片の厚さが、横方向辺側より厚く形成し、撓み力が１．３倍となるように形成したシールガスケットを使用して、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を４０Ｌ／ｍｉｎ供給し、他方から排気して、基板収納容器内部の酸素濃度を測定して、その値が１１ｐｐｍ以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。
【００４９】
（比較例１）
横方向辺の屈曲シール片の高さを１とし、側辺の屈曲シール片の高さを１としたシールガスケットを使用して、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を４０Ｌ／ｍｉｎ供給し、他方から排気して、基板収納容器内部の酸素濃度を測定して、その値が１１ｐｐｍ以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。
【００５０】
（比較例２）
横方向辺の屈曲シール片の高さを１とし、側辺の屈曲シール片の高さを１．２倍としたシールガスケットを使用して、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を４０Ｌ／ｍｉｎ供給し、他方から排気して、基板収納容器内部の酸素濃度を測定して、その値が１１ｐｐｍ以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。
【００５１】
【表１】
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【００５２】
表１は、実施例１〜４、比較例１、２のそれぞれのシールガスケット高さと容器本体シール形成面高さに対する、基板収納容器内への窒素ガス置換時間を示したものである。シールガスケット高さと容器本体シール形成面高さを変えて、シール部材の側辺における突片のつぶし量比率を１．３以上に形成することにより、窒素ガス置換時間が８６％以下に低減されることが示されている。
【符号の説明】
【００５３】
１    容器本体
２    蓋体
３    シールガスケット
４    シール形成面
４ａ  側辺側シール形成面
４ｂ  横方向辺側シール形成面
５    ティース
６    ボトムプレート
７    ロボティックフランジ
８    係止穴
９    貫通穴
１０    開閉バルブ
１０ａ  供給側開閉バルブ
１０ｂ  排気側開閉バルブ
１１    施錠機構
１２    フロントリテーナ
１３    回転プレート        
１４    動力伝達プレート
１５    係止爪
１６    基体  
１７    嵌合突起
１８    中間部  
１９    屈曲シール片
１９ａ  側辺側屈曲シール片
１９ｂ  横方向辺側屈曲シール片
２０    湾曲部
２１    球状突起
２２    嵌合溝
２３    屈曲シール片
２３ａ  側辺側屈曲シール片
２３ｂ  横方向辺側屈曲シール片
２４    シール形成面
２４ａ  側辺側シール形成面
２４ｂ  横方向辺側シール形成面
２５    突出部
２６    シールガスケット
２７ｂ  横方向辺側屈曲シール片
２８ｂ  横方向辺側シール形成面
２９    凹凸
２９ａ  凸
２９ｂ  凹
３０    リーク溝
４０    開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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