(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性材料からなる第一基板と、前記第一基板に固定したフレームと、前記フレームの内部に位置し前記フレームが支持する梁と、前記梁が支持し略中心に孔部を有する質量体と、前記孔部の内部に位置し前記第一基板に固定した中心体と、を有する加速度スイッチであって、
前記第一基板が略水平に配置される状態で、前記第一基板の厚み方向と直交する第一方向において、前記質量体と前記孔部、前記質量体と前記中心体あるいは前記孔部と前記中心体の組み合わせのうち少なくとも一組の中心位置が一致しておらず、
前記第一基板が水平面に対して垂直に立てた場合、前記第一基板の厚み方向と直交する第一方向において、前記孔部と前記中心体の中心位置が一致することを特徴とする加速度スイッチ。
【請求項２】
前記フレームと前記中心体は、前記第一基板の反対側に位置し絶縁性材料からなる第二基板に固定したことを特徴とする請求項１に記載の加速度スイッチ。
【請求項３】
前記第二基板は、前記フレームと外部回路とを電気的に接続する第一貫通電極と、前記中心体と外部回路とを電気的に接続する第二貫通電極を有することを特徴とする請求項２に記載の加速度スイッチ。
【請求項４】
前記梁は１本梁であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の加速度スイッチ。
【請求項５】
前記梁は円弧状の梁であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の加速度スイッチ。
【請求項６】
前記孔部の側面と前記中心体の側面との距離は１μｍ以上、かつ２０μｍ以下であることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の加速度スイッチ。
【請求項７】
前記孔部は、前記第一方向に対して平行な直線部と、前記第一方向および前記厚み方向と直交する第二方向に対して湾曲する円弧部と、を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の加速度スイッチ。
【請求項８】
請求項１に記載の前記加速度スイッチを有し、前記加速度スイッチから出力される検出信号を検出し、前記検出信号に応じた所定の動作を行う回路と、を備える電子デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加速度スイッチおよび電子デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来からの加速度スイッチとして、特許文献１に示されるような質量体内部に対向電極（中心体）を持ち、質量体を梁で支持する無指向性の加速度スイッチが用いられている。このような加速度スイッチについて、図１に基づき説明する。
【０００３】
図１は従来の加速度スイッチの断面図であり、この加速度スイッチ００１は、周辺部（フレーム）１０１と、梁１０２と、質量体（錘）１０３と、対向電極１０４からなり、この梁１０２の一端を質量体１０３に固定し、梁１０２の他端を周辺部１０１に固定して、周辺部１０１が梁１０２で質量体１０３を支えるように構成されている。
【０００４】
また、加速度スイッチ００１に印加される加速度に応じて、質量体１０３とこの質量体１０３の内部に配置されている対向電極１０４が接触することにより、この加速度スイッチ００１に接続した外部装置が、振動を検出する。つまり、この加速度スイッチ００１に加速度が加わると質量体１０３が動いて対向電極１０４と接触して、加速度スイッチがＯＮとなる。なお、この加速度スイッチは、ノーマリーオフかつ無指向性のスイッチとして使用でき、また、半導体製造技術を使用することにより、シリコン単結晶をベースに作製可能なため、比較的小型かつ大量生産可能な点などの様々なメリットがある。
【０００５】
電子デバイスに搭載する加速度スイッチは小型化への要求が高いため、加速度スイッチの外形寸法は、より小さい方が有利となる。また、コストダウンへの要求も高く、半導体製造技術を使用し、加速度スイッチの外形寸法をより小さくして、一枚のウェハに多数の加速度スイッチを作製することがより有利となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−１４５７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、これは加速度スイッチを水平に設置した場合には有効であるが、加速度スイッチの使用方法によっては、無指向性の感度が有効でなくなり、所定の感度を得られなくなる場合もある。
【０００８】
例えば、加速度スイッチが水平面（鉛直方向と直角な平面、略水平面あるいはそれに準ずる平面を含む）に対して垂直に（鉛直方向に）保持された場合を考え、例えば感度を１Ｇ以下で作成すると、１Ｇの重力によりスイッチはＯＮ状態となってしまう。加速度スイッチが水平面に対して平行に保持された場合を図２（ａ）に示し、加速度スイッチが水平面に対して垂直に保持された場合を図２（ｂ）に示す。図２（ａ）では水平面がＸＹ平面で重力方向がＺ方向で、図２（ｂ）では水平面がＸＺ平面で重力方向がＹ方向（正確には、−Ｙ方向）である。また感度を１Ｇ以下たとえば１Ｇで作成すると、スイッチを垂直にした場合、すでに重力加速度１Ｇが加わっているのでスイッチがＯＮ状態となってしまう。
【０００９】
具体的に、これ以降は簡便のため、質量体１０３と対向電極１０４に対応する質量体および対向電極のみ表示することとする。図２のＡＡ'線はＸ方向（第二方向）における対向電極２０２の中心線を示し、ＢＢ'線はＸ方向における質量体２０１の中心線を示し、ＣＣ'線は後述する第一基板の厚み方向と直交するＹ方向（第一方向）における対向電極２０２と質量体２０１の中心線を示す。図２（ａ）における重力方向（鉛直方向）はＺ方向で、図２（ｂ）における重力方向はＹ方向である。なお、図２（ａ）において、ＡＡ'線とＢＢ'線は一致している。
【００１０】
図２は、例えば１Ｇの感度を持つ加速度スイッチ００２の場合である。図２（ａ）は加速度スイッチ００２を水平に置いた場合の図で、対向電極２０２と質量体２０１の電極間隔との距離ａは加速度スイッチ００２が１Ｇの加速度を得た場合に質量体１０３が変位する距離に等しい。なお、対向電極２０２と質量体２０１の隙間は偏り無く全周にわたって距離ａで統一されている。ここで、加速度スイッチ００２を水平面に対して垂直に立てると質量体２０１が重力１Ｇにより重力方向（鉛直方向）に変位する。
【００１１】
図２（ｂ）に示すように、Ｙ方向が重力方向（鉛直方向）として、対向電極２０２と貫通孔（孔部）２０５のＣ側の壁面が接触する。この１Ｇで変位する量は質量体２０１の電極と対向電極２０２との距離ａと等しいため、質量体２０１は対向電極２０２に接触してしまう。つまり、従来技術には、重力加速度などの感知しようとする加速度以外の加速度が加わる場合に、所定の加速度を感知できないという問題がある。なお、この接触により電気的に導通する電極は、質量体２０１と対向電極２０２の対向する側壁に形成されている。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、上記加速度スイッチにおいて、重力加速度などの感知しようとする加速度以外の加速度が加わる場合でも所定の加速度を感知できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、このような課題を解決するために、以下の構成を備える。
本発明の加速度スイッチは、絶縁性材料からなる第一基板と、前記第一基板に固定したフレームと、前記フレームの内部に位置し前記フレームが支持する梁と、前記梁が支持し略中心に孔部を有する質量体と、前記孔部の内部に位置し前記第一基板に固定した中心体と、を有する加速度スイッチであって、前記第一基板が略水平に配置される状態で、第一方向において、前記質量体と前記孔部、前記質量体と前記中心体あるいは前記孔部と前記中心体の組み合わせのうち少なくとも一組の中心位置が一致していないことを特徴とする。
【００１４】
さらに、本発明の加速度スイッチは、前記フレームと前記中心体は、前記第一基板の反対側に位置し絶縁性材料からなる第二基板に固定したことを特徴とする。
さらに、本発明の加速度スイッチは、前記第二基板は、前記フレームと外部回路とを電気的に接続する第一貫通電極と、前記中心体と外部回路とを電気的に接続する第二貫通電極を有することを特徴とする。
【００１５】
さらに、本発明の加速度スイッチは、前記梁は１本梁であることを特徴とする。
さらに、本発明の加速度スイッチは、前記梁は円弧状の梁であることを特徴とする。
さらに、本発明の加速度スイッチは、前記孔部の側面と前記中心体の側面との距離は１μｍ以上、かつ２０μｍ以下であることを特徴とする。
【００１６】
さらに、本発明の加速度スイッチは、前記孔部は、前記第一方向に対して平行な直線部と、前記第一方向および前記厚み方向と直交する第二方向に対して湾曲する円弧部と、を有することを特徴とする。
さらに、本発明の電子デバイスは、上記の前記加速度スイッチを有し、前記加速度スイッチから出力される検出信号を検出し、前記検出信号に応じた所定の動作を行う回路と、を備える。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、感知すべき加速度とは別途の加速度が加わる場合でも、所定の感知すべき加速度を感知することができる。
これによって、この加速度スイッチを省電力用に、例えば少容量のバッテリーしか内蔵できないような電子デバイスに搭載すれば、人間の振動を検出しない時、すなわち、機器を使用しない時は動作を停止し、振動を検出した時、すなわち、機器を使用する時のみ、自動的に動作を開始して、無駄なバッテリーを使用しない電子デバイス（電子機器）を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】従来から公知の加速度スイッチの模式的な正面図である。
【図２】従来から公知の加速度スイッチの動作を説明した正面図である。
【図３】本発明の実施例１に関する加速度スイッチの動作を説明した正面図である。
【図４】従来から公知の加速度スイッチの動作を説明した正面図である。
【図５】本発明の実施例２に関する加速度スイッチの動作を説明した正面図である。
【図６】本発明の実施例３に関する加速度スイッチの動作を説明した正面図である。
【図７】本発明の実施例４に関する加速度スイッチの動作を説明した正面図である。
【図８】本発明の加速度スイッチの実施例を示す模式的な横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための最良の一形態について図面を参照して説明する。
［実施例１］
図２に示した従来技術の説明で述べたように、加速度スイッチ００２を水平面に対して垂直に立てた場合に、質量体２０１と対向電極２０２が接触しないように質量体２０１と対向電極２０２の距離を十分に取れば、加速度スイッチ００２を水平面に対して垂直に立てても、質量体２０１と対向電極２０２は接触しない。以下、本発明の実施例１の詳細について、図３を用いて説明する。
【００２０】
図３のＤＤ'線はＸ方向（第二方向）における対向電極３０２の中心線を示し、ＥＥ'線はＸ方向における質量体３０１の中心線を示し、ＦＦ'線はＹ方向（第一方向）における対向電極３０２と質量体３０１の中心線を示す。図３（ａ）における水平面がＸＹ平面で重力方向（鉛直方向）はＺ方向で、図３（ｂ）における水平面がＸＺ平面で重力方向はＹ方向である。なお、図３（ａ）において、ＤＤ'線とＥＥ'線は一致している。
【００２１】
図３（ａ）は、質量体３０１と対向電極３０２の距離を図３のＹ方向に十分取った加速度スイッチ００３を水平に置いた場合の図である。ここで、質量体３０１の電極と対向電極３０２のＦ側の距離を３ａとすると、加速度スイッチ００３を水平面に対して垂直に立てた場合、ａが１Ｇの相当するため、加速度スイッチ００３にかかる重力１Ｇで質量体３０１が変位する距離はａとなり、質量体３０１と対向電極間の距離は３ａとａとの差で２ａとなる。この様子を図３（ｂ）に示す。これにより１方向（図３（ｂ）のＹ方向）の感度ではあるが、加速度スイッチ００３を水平面に対して垂直に立てた場合であっても、加速度スイッチ００３は図３（ｂ）のＹ方向に２Ｇの感度を保持し、Ｘ方向に１Ｇの感度を保持することが可能となる。
【００２２】
つまり、本実施例は、質量体３０１の貫通孔３０５の形状を従来の貫通孔２０５の形状から変更した点に特徴がある。具体的に、質量体３０１の貫通孔３０５は、直線部３０５ａと円弧部３０５ｂによって形成されている。貫通孔３０５はＸ方向において２つの直線部３０５ａが互いに対向して形成され、Ｙ方向において２つの円弧部３０５ｂが互いに対向して形成されている。なお、図３（ａ）において、対向電極３０２と直線部３０５ａとの距離はＤ側とＤ'側との両方で距離ａである。また、図３（ａ）において、対向電極３０２と円弧部３０５ｂとの距離はＦ側で距離３ａであり、Ｆ'側で距離ａである。
【００２３】
言い換えれば、図３（ａ）において後で説明する第一基板が略水平に配置される状態で、貫通孔３０５の中心は質量体３０１の中心から距離ａだけＦ側にずれて配置されており、対向電極３０２が偏心している状態にある。つまり、図３（ａ）の加速度スイッチにおいて質量体３０１と対向電極３０２の中心は一致しており、質量体３０１および対向電極（中心体）３０２の中心と貫通孔（孔部）３０５の中心が距離ａだけずれている形状を示している。
【００２４】
本実施例において、質量体３０２の貫通孔３０５は、直線部３０５ａと円弧部３０５ｂによって形成されているとしたが、貫通孔３０５が全体的に円弧部によって形成される楕円形状であってもよい。その場合の楕円形状は、第二方向に対して短手方向となるとともに、第一方向に対して長手方向となるように構成することが可能である。
【００２５】
［実施例１の変形例］
先に示した通り、実施例１の加速度スイッチにおいて、貫通孔３０５の中心は質量体３０１の中心から距離ａだけＦ側にずれて配置されており、見かけ上で対向電極３０２が偏心している状態にある。この変形例を以下に示す。実施例１の変形例は、図３（ｃ）および図３（ｄ）に示す。この図３（ｃ）および図３（ｄ）では、実施例１と変形例との違いについて明記し、実施例１と変形例で共通する部分は、説明を省略する。
【００２６】
変形例が実施例１と異なる部分は、対向電極３０２の偏心のメカニズムを変更した点にある。具体的には、図３（ｃ）と図３（ａ）を比較すれば分かるように、図３（ｃ）の加速度スイッチにおいて後で説明する第一基板が略水平に配置される状態で、質量体３０１と貫通孔（孔部）３０５の中心は一致しており、質量体３０１および貫通孔（孔部）３０５の中心と対向電極（中心体）３０２の中心が距離ａだけずれている形状を示している。
【００２７】
なお、対向電極３０２と貫通孔３０５の各方向における距離は、実施例１と同じである。図３（ｃ）において、対向電極３０２と直線部３０５ａとの距離は距離ａである。また、図３（ｃ）において、対向電極３０２と円弧部３０５ｂとの距離はＦ側で距離３ａであり、Ｆ'側で距離ａである。
【００２８】
このような変形例を採用した場合でも、加速度スイッチ００３の基板を水平面に対して垂直に立てた場合に、対向電極３０２と貫通孔３０５はＹ方向で接触することなく、加速度スイッチ００３は図３（ｄ）のＹ方向に２Ｇの感度を保持し、Ｘ方向に１Ｇの感度を保持することが可能となる。なお、図３（ｄ）では加速度スイッチ００３は、質量体３０１、貫通孔３０５および対向電極３０２の中心がすべて一致している状態を示している。
【００２９】
［実施例２］
次に感度が１Ｇ以上の加速度スイッチの場合について説明する。図４は、たとえば２Ｇの感度を持つ加速度スイッチ００４の図である。図４のＧＧ'線はＸ方向（第二方向）における対向電極４０２の中心線を示し、ＨＨ'線はＸ方向における質量体４０１の中心線を示し、ＩＩ'線はＹ方向（第一方向）における対向電極４０２と質量体４０１の中心線を示す。図４（ａ）における水平面がＸＹ平面で重力方向（鉛直方向）はＺ方向で、図４（ｂ）における水平面がＸＺ平面で重力方向はＹ方向である。なお、図４（ａ）において、ＧＧ'線とＨＨ'線は一致している。
【００３０】
図４（ａ）は加速度スイッチ００４を水平に置いた場合の図で、対向電極４０２と質量体４０１の電極との距離２ｂは加速度スイッチ００４が２Ｇの加速度を得た場合に質量体４０１が変位する距離に等しい。なお、対向電極４０２と質量体４０１の隙間は偏り無く全周にわたって距離２ｂで統一されている。ここでｂは加速度１Ｇで変位する距離である。
【００３１】
ここで、加速度スイッチ００４を水平面に対して垂直に立てると、質量体４０１が重力１Ｇにより重力方向（鉛直方向）に変位する。例えば図４（ｂ）に示すように、Ｙ方向が重力方向（鉛直方向）として、対向電極４０２と貫通孔４０５のＩ側の壁面が接近する。このため、質量体の電極間隔と対向電極との距離は２ｂからｂとなり縦方向（Ｉ側、重力方向上向き、鉛直方向上向き）の感度は１Ｇとなってしまう。この場合、加速度スイッチ００４は、２Ｇの加速度を得た場合にＯＮあるいはＯＦＦに切り替わるように設計しているので、所望の動作を満足に実現することが困難である。
【００３２】
そこで、対向電極が重力方向下向き（鉛直方向下向き）にオフセット量ｂを持つように予め設計し、加速度スイッチを水平支持している状態で、対向電極の中心が貫通孔の中心よりオフセット量ｂだけ接近する構成として、以下に示す実施例２を検討している。
【００３３】
以下、本発明の実施例２の詳細について、図５を用いて説明する。図５のＪＪ'線はＸ方向（第二方向）における対向電極５０２の中心線を示し、ＫＫ'線はＸ方向における質量体５０１の中心線を示し、ＬＬ'線はＹ方向（第一方向）における対向電極５０２と質量体５０１の中心線を示す。図５（ａ）における水平面がＸＹ平面で重力方向（鉛直方向）はＺ方向で、図５（ｂ）における水平面がＸＺ平面で重力方向はＹ方向である。なお、図５（ｂ）において、ＪＪ'線とＫＫ'線は一致している。図５（ａ）は本目的の加速度スイッチ００５を水平に置いた場合の図であり、質量体５０１の対向空間が１Ｇ分ずれているため対向電極５０２と質量体５０１の間隔とのＬ側の距離は３ｂで、Ｌ'側の距離はｂとなっている。
【００３４】
ここで、本加速度スイッチ００５を水平面に対して垂直に立てると質量体と対向電極の距離がＬ方向について１Ｇ分減じて２ｂとなる。この様子を図５（ｂ）に示す。これにより、加速度スイッチを水平面に対して垂直に立てた場合でも所定の感度である２Ｇを保つことが可能となる。なお、この場合は、対向電極５０２と質量体５０１の距離は偏り無く全周にわたって距離２ｂで統一されている。
【００３５】
このように、本実施例２においては、実施例１の変形例で示したように、図５（ａ）の加速度スイッチにおいて後で説明する第一基板が略水平に配置される状態で、質量体５０１と貫通孔（孔部）５０５の中心は一致しており、質量体５０１および貫通孔（孔部）５０５の中心と対向電極（中心体）５０２の中心が距離ｂだけずれている形状を示している。
【００３６】
［実施例３］
次に、質量体の位置をオフセットする代わりに、対向電極の位置をオフセットする場合について説明する。ここでは、実施例２の変形例として、実施例１と同様に、オフセット量の有し方を工夫することができる。具体的に、後で説明する第一基板が略水平に配置される状態で、質量体６０１と対向電極６０２の中心は一致しており、質量体６０１および対向電極（中心体）６０２の中心と貫通孔（孔部）６０５の中心が距離ｂだけずれている形状を示す。
【００３７】
図６にその様子を示す。図６のＭＭ'線はＸ方向（第二方向）における対向電極６０２の中心線を示し、ＮＮ'線はＸ方向における質量体６０１の中心線を示し、ＯＯ'線はＹ方向（第一方向）における対向電極６０２と質量体６０１の中心線を示す。図６（ａ）における水平面がＸＹ平面で重力方向（鉛直方向）はＺ方向で、図６（ｂ）における水平面がＸＺ平面で重力方向はＹ方向である。なお、図６（ｂ）において、ＭＭ'線とＮＮ'線は一致している。
【００３８】
これにより、本加速度スイッチ００６を水平面に対して垂直に立てると重力１Ｇにより質量体がｂの距離変位して、質量体と対向電極の距離を２ｂに保つことが可能となる。この様子を図６（ｂ）に示す。なお、この場合は、対向電極６０２と質量体６０１の距離は偏り無く全周にわたって距離２ｂで統一されている。
【００３９】
［実施例４］
次に、対向電極の形状を変形する場合について説明する。図７は、水平面に対して垂直にした場合にでも縦方向に２Ｇの感度を保てるようにできる別途の方法である。図７のＰＰ'線はＸ方向（第二方向）における質量体７０１の中心線を示し、ＲＲ'線はＸ方向における対向電極７０２の中心線を示し、ＱＱ'線はＹ方向（第一方向）における対向電極７０２と質量体７０１の中心線を示す。図７（ａ）における水平面がＸＹ平面で重力方向（鉛直方向）はＺ方向で、図７（ｂ）における水平面がＸＺ平面で重力方向はＹ方向である。なお、図７（ｂ）において、ＰＰ'方向とＲＲ'方向は一致している。
【００４０】
対向電極７０２と質量体７０１の貫通孔７０５のＱ側壁面との距離を３ｂに取り、対向電極７０２と質量体７０１の貫通孔７０５のＱ'側壁面との距離をｂとなるように変形する。この様子を図７（ａ）に示す。
この加速度スイッチ００７を水平面に対して垂直に立てると質量体７０１が１Ｇ分変位して縦方向の上下とも２ｂの距離を取ることが可能となり、縦方向に２Ｇの感度を保つことができる。この様子を図７（ｂ）に示す。
【００４１】
以上のように本発明により、重力加速度などの感知しようとする加速度以外の負荷が加わる場合でも所定の加速度を感知できるようになる。特に、予め加速度スイッチが重力方向（鉛直方向）に対して、どの向きに支持されるかを認識することで、上述した実施例１〜４のように設計時に対応することができる。なお、これらの実施例では、便宜上図面上下方向あるいは紙面方向が重力方向（鉛直方向）であると仮定して記載したが、本発明はこれらの図面に描いた実施例に限られるものではない。
【００４２】
なお、上記発明による加速度スイッチは上記例のみではなく、上記例の組み合わせでも有効である。また、上記加速度スイッチを水平に置いて使用する場合などには、方向によって異なる感度を得る加速度スイッチとしても有効である。このような加速度スイッチは、振動または加速度が与えられる頻度が方向によって違いがある場合など、予め認識できる振動または加速度の方向性に従い、所望の機器に支持すればよい。
【００４３】
特に、本発明の実施例においては、加速度スイッチの質量体が重力加速度の影響を受けて、重力加速度の影響を受けていない状態と比較して質量体の位置が移動する場合を検討した。このような場合は、重力加速度の方向である鉛直方向に加速度スイッチを備えた電子デバイスが振動することが多く。そのような場合でも鉛直方向である各図面の（ｂ）図において示すように、Ｙ方向の＋側でも−側でも対向電極と貫通孔との距離が均一になるように構成した。これによって、鉛直方向の均一な外部振動に対して、電子デバイスの鉛直方向＋側でも−側でも、加速度スイッチに同質の感度をもたらすことができる。
【００４４】
以下、加速度スイッチの構成について図１と図８を用いて説明する。まず、加速度スイッチ００１の第２基板は、図１の外側から内側に向かって、基板周辺部１０１、梁１０２、質量体１０３、および対向電極１０４の順に構成されている。質量体１０３の孔部の側面と対向電極の側面との距離は１μｍ以上、かつ２０μｍ以下である。
【００４５】
基板周辺部１０１は、後述する梁１０２との接合部を除いて、図１におけるその略中心を円柱状にくりぬいた内周形状（基板内面１０１ａ）を有している。そして、基板周辺部１０１は、図８における第１基板１０５と第３基板１０６によって図８における上側と下側から挟まれている。基板周辺部１０１が挟まれる形態は特に限定されないが、本実施例では、図１に示す基板周辺部１０１の斜線部全幅にわたって、第１基板１０５と第３基板１０６によって挟まれる形態を示している。
【００４６】
質量体１０３は、図１における質量体内面１０３ａと質量体外面１０３ｂを有する環状（円筒形状）に形成されており、基板周辺部１０１の円柱状にくりぬかれた基板内面１０１ａの内側に位置している。さらに、質量体１０３は、図８における第１基板１０５と第３基板１０６に接することなく、第１基板１０５と第３基板１０６との間にそれぞれ空隙を介して位置している。
【００４７】
梁１０２は、基板周辺部１０１と質量体１０３とを接続するとともに、弾性を有し基板周辺部１０１と質量体１０３の隙間を略一周するように形成されている。具体的に、梁１０２の一端は、基板内面１０１ａの図面下側で基板周辺部１０１に接続され、梁１０２の他端は、質量体外面１０３ｂの図面下側で質量体１０３に接続されている。さらに、質量体１０３と同様に、梁１０２は、図８における第１基板１０５と第３基板１０６に接することなく、第１基板１０５と第３基板１０６との間にそれぞれ空隙を介して位置している。なお、図８における梁１０２の上面は質量体１０３の上面と面一であるが、梁１０２の上面を基板周辺部１０１と第一基板１０５との接続面と面一にすることも可能である。また、図８における梁１０２の上下幅は質量体１０３の上下幅よりも薄く形成されている。
【００４８】
対向電極１０４は、円柱形状であって、質量体内面１０３ａの内側に位置するとともに、加速度スイッチ００１の略中心に位置している。また、対向電極１０４の中心は、基板周辺部１０１および質量体１０３の中心と略一致している。さらに、対向電極１０４は、図８における第１基板１０５と第３基板１０６によって図８における上側と下側から挟まれている。なお、先に記載した「第一基板の厚み方向」とは、図８のＳＳ'線に平面視直交する方向である。
【００４９】
貫通電極１０７および１０８は、本実施例では図８における第１基板１０５の上面から深さ方向にむけて、先端が細くなるような形状または円錐形状を有している。そして、貫通電極１０７および１０８は、互いに接することなく、図８における基板周辺部１０１および対向電極１０４にそれぞれ接する深さまで第１基板１０５を貫いて形成されている。また、貫通電極１０７および１０８と、基板周辺部１０１および対向電極１０４とを確実に接続するために、基板周辺部１０１および対向電極１０４にそれぞれ凹部１０１ｂおよび１０４ｂを形成し、貫通電極１０７および１０８の先端が凹部１０１ｂおよび１０４ｂに入り込むようにした。なお、貫通電極の役割は、基板周辺部１０１および対向電極１０４の電気的導通をそれぞれ取るものであるから、基板周辺部１０１および対向電極１０４にそれぞれ接していれば、どのような形状でも構わない。
【００５０】
ここで、基板周辺部１０１と対向電極１０４は、図８における第１基板１０５と第３基板１０６によって挟まれているが、上述のとおり第１基板１０５と第３基板１０６は絶縁材料で形成されているため、基板周辺部１０１と対向電極１０４が電気的に導通することはない。
【００５１】
なお、本実施例では、第１基板１０５と、基板周辺部１０１および対向電極１０４と接している表面は、基板周辺部１０１側および対向電極１０４側に突出するように形成している。これは、上述した梁１０２および質量体１０３と、第１基板１０５との間に容易に空隙を設けることを目的としたものである。そのため、第３基板１０６と、基板周辺部１０１および対向電極１０４と接している表面において、第３基板１０６が基板周辺部１０１側および対向電極１０４側に突出するように形成することも可能である。
【００５２】
ここで、加速度が加わると加速度スイッチ００１全体は運動し、梁１０２で支えられた質量体１０３は運動しないため、質量体内部の空間にある対向電極１０４と質量体１０３が接触する。これにより、電気的導通が対向電極１０４から質量体１０３、梁１０２、基板周辺部１０１、貫通電極１０７を通り外部接点とつながる。また対向電極１０４はもう一つの貫通電極１０８を通じて外部接点とつながる。なお、質量体１０３の貫通孔（孔部）の側面と対向電極１０４（中心体）の側面との距離は１μｍ以上、かつ２０μｍ以下である。
【００５３】
これによりこの加速度スイッチは、振動の強さがある一定値以上になれば加速度スイッチはオン（貫通電極１０７と１０８間の導通がとれた状態）し、振動の強さが一定値以下になればオフ（貫通電極１０７と１０８間の導通がとれていない状態）する。
【符号の説明】
【００５４】
００１  従来の加速度スイッチ
１０１  従来の加速度スイッチの周辺部
１０２  従来の加速度スイッチの梁
１０３  従来の加速度スイッチの質量体（錘）
１０４  従来の加速度スイッチの対向電極
００２  従来の加速度スイッチ
２０１  従来の加速度スイッチの質量体（錘）
２０２  従来の加速度スイッチの対向電極
００３  実施例１の加速度スイッチ
３０１  実施例１の加速度スイッチの質量体（錘）
３０２  実施例１の加速度スイッチの対向電極
００４  従来の加速度スイッチ
４０１  従来の加速度スイッチの質量体（錘）
４０２  従来の加速度スイッチの対向電極
００５  実施例２の加速度スイッチ
５０１  実施例２の加速度スイッチの質量体（錘）
５０２  実施例２の加速度スイッチの対向電極
００６  実施例３の加速度スイッチ
６０１  実施例３の加速度スイッチの質量体（錘）
６０２  実施例３の加速度スイッチの対向電極
００７  実施例４の加速度スイッチ
７０１  実施例４の加速度スイッチの質量体（錘）
７０２  実施例４の加速度スイッチの対向電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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