(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を出力窓から出力するＸ線管と、
前記Ｘ線管が搭載される第１の回路基板と、
前記Ｘ線管及び前記第１の回路基板が収容され、前記Ｘ線管から出力したＸ線を外部に向けて出射させるＸ線出射窓が形成された壁部を有する筐体と、を備えたＸ線照射源であって、
前記Ｘ線管は、前記第１の回路基板によって前記壁部の内面に押圧された状態で前記筐体に固定されていることを特徴とするＸ線照射源。
【請求項２】
前記Ｘ線管と前記壁部の内面との間には、前記出力窓の少なくとも一部に接するように導電性を有する緩衝部材が配置されていることを特徴とする請求項１記載のＸ線照射源。
【請求項３】
前記筐体は、前記壁部を有する本体部と、前記Ｘ線管及び前記第１の回路基板が固定される蓋部とを有し、
前記蓋部が締結部材によって前記本体部に締結されることにより、前記Ｘ線管が前記壁部の内面に押圧されていることを特徴とする請求項１又は２記載のＸ線照射源。
【請求項４】
前記Ｘ線管及び前記第１の回路基板は、前記蓋部に立設されたスペーサ部材によって支持されていることを特徴とする請求項３記載のＸ線照射源。
【請求項５】
前記第１の回路基板に供給される電圧を昇圧する高圧発生モジュールと、前記高圧発生モジュールが搭載される第２の回路基板と、を更に備え、
前記高圧発生モジュール及び前記第２の回路基板は、前記蓋部に立設されたスペーサ部材によって、前記Ｘ線管及び前記第１の回路基板よりも前記蓋部側の位置で支持されていることを特徴とする請求項４記載のＸ線照射源。
【請求項６】
前記Ｘ線管には、側方に突出する給電ピンが設けられ、
前記第１の回路基板には、前記Ｘ線管の平面形状に対応する貫通孔が設けられ、
前記Ｘ線管の一部が前記貫通孔内に位置した状態で前記給電ピンが前記貫通孔周りの縁部に接続されることによって、前記Ｘ線管が前記第１の回路基板に保持されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載のＸ線照射源。
【請求項７】
前記Ｘ線管には、側方に突出する給電ピンが設けられ、
前記第１の回路基板には、前記Ｘ線管の平面形状に対応する凹部が設けられ、
前記Ｘ線管の一部が前記凹部内に位置した状態で前記給電ピンが前記凹部周りの縁部に接続されることによって、前記Ｘ線管が前記第１の回路基板に保持されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載のＸ線照射源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線管を筐体内に備えたＸ線照射源に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のＸ線照射源として、例えば特許文献１に記載のＸ線管がある。この従来の構成では、Ｘ線出射窓を有する筐体内にＸ線管や高圧発生モジュール等を組み込み、Ｘ線出射窓の近傍に設けたマウントにＸ線管を当接させて固定している。また、特許文献２に記載のＸ線発生装置では、Ｘ線管における出力窓の周りに設けられたフランジを筐体の内壁面に当接させて固定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第４０３４２５１号明細書
【特許文献２】特開２０００−６７７９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
Ｘ線の出力を安定させる観点から、筐体内でＸ線管を安定して固定することは非常に重要となっている。しかしながら、特許文献１のように、実質的にＸ線管の一端側のみを固定する場合では、安定して固定することは困難である。これに対し、特許文献２のように、複数個所を固定する場合であれば、固定は安定化しうるが、固定用部材を複数有するために構成が複雑化するおそれがある。
【０００５】
本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、装置構成を複雑化させることなく筐体内でＸ線管を安定して固定できるＸ線照射源を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題の解決のため、本発明に係るＸ線照射源は、Ｘ線を出力窓から出力するＸ線管と、Ｘ線管が搭載される第１の回路基板と、Ｘ線管及び第１の回路基板が収容され、Ｘ線管から出力したＸ線を外部に向けて出射させるＸ線出射窓が形成された壁部を有する筐体と、を備えたＸ線照射源であって、Ｘ線管は、第１の回路基板によって壁部の内面に押圧された状態で筐体に固定されていることを特徴としている。
【０００７】
このＸ線照射源では、第１の回路基板によって壁部の内面に押圧された状態でＸ線管が筐体に固定されている。第１の回路基板と壁部とで挟み込むことにより、筐体内でＸ線管を安定して固定できる。また、このＸ線照射源では、筐体内に組み込まれる第１の回路基板自体をＸ線管の押圧に用いている。したがって、Ｘ線管を押圧するための部材を別途設ける必要はなく、装置構成の複雑化も回避できる。
【０００８】
また、Ｘ線管と壁部の内面との間には、出力窓の少なくとも一部に接するように導電性を有する緩衝部材が配置されていることが好ましい。この場合、押圧によるＸ線管への応力を緩和しながら、筐体内でＸ線管を安定して固定できる。さらに、緩衝部材が導電性を有するため、筐体の電位と出力窓の電位とを一致させることで、Ｘ線管の動作を安定させることが可能となる。
【０００９】
また、筐体は、壁部を有する本体部と、Ｘ線管及び第１の回路基板が固定される蓋部とを有し、蓋部が締結部材によって本体部に締結されることにより、Ｘ線管が壁部の内面に押圧されていることが好ましい。これにより、簡単な構成でＸ線管の安定した固定を行うことができる。
【００１０】
また、Ｘ線管及び第１の回路基板は、蓋部に立設されたスペーサ部材によって支持されていることが好ましい。この場合、スペーサ部材によって確実にＸ線管を壁部の内面に押圧できると共に、筐体内に一定の収容空間が確保されるので、回路構成部材の配置自由度を向上できる。
【００１１】
また、第１の回路基板に供給される電圧を昇圧する高圧発生モジュールと、高圧発生モジュールが搭載される第２の回路基板と、を更に備え、高圧発生モジュール及び第２の回路基板は、蓋部に立設されたスペーサ部材によって、Ｘ線管及び第１の回路基板よりも蓋部側の位置で支持されていることが好ましい。この場合、Ｘ線管と並び、比較的大きな構成である高圧発生モジュールを収容空間に収めることで、筐体内の空間を有効に利用することができる。
【００１２】
また、Ｘ線管には、側方に突出する給電ピンが設けられ、第１の回路基板には、Ｘ線管の平面形状に対応する貫通孔が設けられ、Ｘ線管の一部が貫通孔内に位置した状態で給電ピンが貫通孔周りの縁部に接続されることによって、Ｘ線管が第１の回路基板に保持されていることが好ましい。この場合、Ｘ線管と第１の回路基板との位置合わせを簡単に実施できる。また、Ｘ線管の一部が貫通孔内に位置することで、貫通孔の深さの分だけ筐体の厚みを小さくすることが可能となる。
【００１３】
また、Ｘ線管には、側方に突出する給電ピンが設けられ、第１の回路基板には、Ｘ線管の平面形状に対応する凹部が設けられ、Ｘ線管の一部が凹部内に位置した状態で給電ピンが凹部周りの縁部に接続されることによって、Ｘ線管が第１の回路基板に保持されていることが好ましい。この場合、Ｘ線管と第１の回路基板との位置合わせを簡単に実施できる。また、第１の回路基板によってＸ線管をしっかりと押圧できる。さらに、Ｘ線管の一部が凹部内に位置することで、凹部の深さの分だけ筐体の厚みを小さくすることが可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、装置構成を複雑化させることなく筐体内でＸ線管を安定して固定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係るＸ線照射源を含んで構成されるＸ線照射装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示したＸ線照射装置の機能的な構成要素を示すブロック図である。
【図３】図１に示したＸ線照射源の斜視図である。
【図４】図３の平面図である。
【図５】図４におけるＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】Ｘ線管と第１の回路基板との固定構造の一例を示す図である。
【図７】Ｘ線管と第１の回路基板との固定構造の他の例を示す図である。
【図８】Ｘ線照射源の変形例を示す平面図である。
【図９】図８におけるＩＸ−ＩＸ線断面図である。
【図１０】Ｘ線照射源の別の変形例を示す平面図である。
【図１１】図１０におけるＸＩ−ＸＩ線断面図である。
【図１２】Ｘ線照射源の更に別の変形例を示す断面図である。
【図１３】Ｘ線照射源の更に別の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら、本発明に係るＸ線照射源の好適な実施形態について詳細に説明する。図１は、本発明に係るＸ線照射源を含んで構成されるＸ線照射装置の一実施形態を示す斜視図である。同図に示すＸ線照射装置１は、例えば大型ガラスを取り扱う製造ラインにおいてクリーンルーム等に設置され、Ｘ線の照射によって大型ガラスの除電を行うフォトイオナイザ（光照射式除電装置）として構成されている。
【００１７】
このＸ線照射装置１は、Ｘ線を照射する複数のＸ線照射源２と、Ｘ線照射源２を制御するコントローラ３と、Ｘ線照射源２を並べて保持するレール部材４とを備えて構成されている。レール部材４は、Ｘ線照射源２から離間する方向に凹部が形成された断面略コの字状のチャネル部４ａと、チャネル部４ａの端部から側方に突出するフランジ部４ｂ，４ｂとを有している。レール部材４は、例えばアルミニウムやアルミニウム合金、或いは鉄や鉄合金などの導電性を備えた金属によって形成されており、複数のＸ線照射源２を保持するために十分な強度が確保されている。なお、レール部材４は、一体的に形成されたものに限られず、長手方向（延在方向）に沿って分割された分割部材を着脱自在に連結したものであってもよい。この場合、被処理物の大きさや数、配置等に合わせて、所望の形状や大きさの保持構造を得ることができるので、より効率的なＸ線照射による除電が可能となる。
【００１８】
図２は、Ｘ線照射装置１の機能的な構成要素を示すブロック図である。同図に示すように、コントローラ３は、制御回路１１を含んで構成されている。制御回路１１は、例えばＸ線照射源２に内蔵されるＸ線管２１に向けて電力を供給する電源回路、Ｘ線管２１に向けて駆動及び停止を制御する制御信号を送信する制御信号送信回路、Ｘ線管２１が寿命に至ったことを示す寿命報知信号をＸ線管２１から受信する寿命報知信号受信回路などを含んで構成されている。この制御回路１１は、入出力端子１２によってＸ線照射ユニット２等との外部接続が可能となっている。
【００１９】
一方、Ｘ線照射源２は、Ｘ線を発生させるＸ線管２１と、電源回路からの電圧を昇圧させる高圧発生モジュール２２と、Ｘ線管２１及び高圧発生モジュール２２を駆動する駆動回路２３とを含んで構成されている。駆動回路２３には、幹配線２４が接続されており、幹配線２４は、その両端に設けられた入力端子２５及び出力端子２６によって他のＸ線照射ユニット２やコントローラ３等と外部接続が可能となっている。
【００２０】
そして、Ｘ線照射装置１では、図１及び図２に示すように、一のＸ線照射源２の出力端子２６が、中継ケーブルＣを介して隣接する他のＸ線照射源２の入力端子２５に着脱自在に接続される。先端のＸ線照射ユニット２に至るまで、各Ｘ線照射ユニット２同士が同様に接続されていく一方で、コントローラ３の入出力端子１２が、中継ケーブルＣを介して基端のＸ線照射源２の入力端子２５に着脱自在に接続されている。これにより、各Ｘ線照射源２の幹配線２４が制御回路１１に対して直列に接続され、各Ｘ線照射源２の駆動回路２３が制御回路１１に対して並列に接続されている。
【００２１】
この構成により、一のＸ線照射ユニット２の入力端子２５から入力される電圧の値と出力端子２６から出力される電圧の値とが等しくなり、一のＸ線照射ユニット２の出力端子２６から出力される電圧の値と、一のＸ線照射ユニット２と電気的に接続される他のＸ線照射ユニット２の入力端子２５から入力される電圧の値及び出力端子２６から出力される電圧の値ともいずれも等しくなる。このため、複数のＸ線照射ユニット２を一列に連結する場合においても、全てのＸ線照射ユニット２に等しい値の電圧を供給できる。したがって、各Ｘ線照射ユニット２同士を電気的に接続した場合に、各Ｘ線照射ユニット２ごとに電源回路を含むコントローラ３の制御回路１１を接続させる必要がなくなり、配線を煩雑化させることなくＸ線照射ユニット２の連結数の増減が可能となる。
【００２２】
次に、上述したＸ線照射源２の構成について詳細に説明する。
【００２３】
図３は、図１に示したＸ線照射源の斜視図である。また、図４は、図３の平面図であり、図５は、図４におけるＶ−Ｖ線断面図である。図３〜図５に示すように、Ｘ線照射源２は、ステンレスやアルミニウムなどを用いた金属製の略直方体形状の筐体３１内に、上述のＸ線管２１及び高圧発生モジュール２２と、Ｘ線管２１及び駆動回路２３の少なくとも一部が搭載される第１の回路基板３２と、高圧発生モジュール２２が搭載される第２の回路基板３３とを有している。
【００２４】
筐体３１は、図３に示すように、Ｘ線管２１から発生したＸ線を外部に向けて出射させるＸ線出射窓３４が形成された長方形状の壁部３１ａ、及びこの壁部３１ａの各辺に設けられた側壁部３１ｂを有して一面側が開口する本体部３５と、壁部３１ａに対向し、本体部３５の開口部分を塞ぐように取り付けられた蓋部３１ｃとを備え、接地電位とされている。Ｘ線出射窓３４は、壁部３１ａの略中央部分において、筐体３１の長手方向に沿って長方形状に形成された開口部によって構成されている。
【００２５】
この筐体３１とレール部材４との取り付けには、図３に示すように、複数の継手部材４１が用いられる。継手部材４１は、例えば絶縁性及び弾性を有する樹脂材料によって形成され、レール部材４の幅方向（レール部材４の延在方向と直交する方向）と略等長で断面矩形の棒状をなす本体部４１ａと、本体部４１ａの両端にそれぞれ形成された爪部４１ｂ，４１ｂとを有している。本体部４１ａを蓋部３１ｃに対してネジ止め等で固定し、爪部４１ｂ，４１ｂをレール部材４のフランジ部４ｂ，４ｂの端部にそれぞれ係合させることで、Ｘ線照射源２がレール部材４に対して着脱自在に取り付けられる。本体部４１ａの蓋部３１ｃに対する固定方法としては、ネジの螺合の他にも接着や溶着などでもよい。なお、図１に示すように、Ｘ線照射源２，２間に継手部材４１を更に取り付け、Ｘ線照射源２，２間を結ぶ中継ケーブルＣの中間部分を継手部材４１によってレール部材４に結束させてもよい。
【００２６】
Ｘ線管２１は、筐体３１に比べて十分に小さい略直方体形状の真空容器５１内に、電子ビームを発生させるフィラメント５２と、電子ビームを加速させるグリッド５３と、電子ビームの入射に応じてＸ線を発生させるターゲット５４とを有している。真空容器５１は、後述の出力窓５７が設けられた導電性材料（例えばステンレス等の金属板）からなる長方形状の壁部５１ａと、当該壁部５１ａに対向し、長方形状の絶縁性材料（例えばガラス）からなる壁部５１ｂと、壁部５１ａ，５１ｂの外縁に沿う絶縁性材料（例えばガラス）からなる側壁部５１ｃとを備えている。側壁部５１ｃの高さは、壁部５１ａ，５１ｂの短手方向の長さよりも小さくなっている。つまり、真空容器５１は、高さを構成する辺の長さが最も短く、壁部５１ａ，５１ｂを平板平面に見立てることができるような、平板状の略直方体形状となっている。壁部５１ａの略中央部分には、Ｘ線出射窓３４に比べて一回り小さい開口部５１ｄが真空容器５１の長手方向（壁部５１ａ，５１ｂの長手方向）に沿って長方形状に形成されている。この開口部５１ｄは、後述の出力窓５７を構成する。
【００２７】
フィラメント５２は、壁部５１ｂ側に配置され、グリッド５３は、フィラメント５２とターゲット５４との間に配置されている。フィラメント５２及びグリッド５３には、それぞれ複数の給電ピン５５（図４参照）が接続されている。給電ピン５５は、側壁部５１ｃと壁部５１ｂとの間を通り、真空容器５１の幅方向の両側にそれぞれ突出した状態となっている。また、壁部５１ａの外面側には、図５に示すように、開口部５１ｄを封止するように、例えばベリリウムやシリコン、チタンなどのＸ線透過性が良く、導電性を備えた材料からなる長方形状の窓材５６が密着固定され、ターゲット５４で発生したＸ線をＸ線管２１から外部へ出力させる出力窓５７が構成されている。なお、例えばタングステンなどからなるターゲット５４は、窓材５６の内面に形成されている。
【００２８】
Ｘ線管２１と第１の回路基板３２との固定にあたり、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、第１の回路基板３２の略中央部分には、Ｘ線管２１の壁部５１ｂ側の最外縁で構成される平面形状に比べて僅かに大きい長方形状の貫通孔３２ａが形成されている。この貫通孔３２ａの深さ、すなわち、第１の回路基板３２の厚みは、真空容器５１における壁部５１ｂの厚みと略同一になっている。そして、Ｘ線管２１は、壁部５１ｂが貫通孔３２ａ内に位置し、かつ各給電ピン５５が第１の回路基板３２の一面側における貫通孔３２ａ周りの縁部にロウ材等の導電性部材で接続されることによって、第１の回路基板３２に保持されると共に、第１の回路基板３２上の回路と電気的に接続されている。さらに、各給電ピン５５と第１の回路基板３２との接続部を覆うように、絶縁性樹脂によるポッティング部５８が設けられている。ポッティング部５８は、真空容器５１と第１の回路基板３２とに跨った状態で真空容器５１の全周にわたって形成されており、第１の回路基板３２に対するＸ線管２１の固定に対する補助も兼ねている。一方、高圧発生モジュール２２と第２の回路基板３３との固定にあたっては、図５に示すように、第２の回路基板３３には貫通孔等が形成されておらず、高圧発生モジュール２２は、第２の回路基板３３において第１の回路基板３２と対向する一面側に接着等によって固定されている。
【００２９】
なお、Ｘ線管２１と第１の回路基板３２との固定にあたり、第１の回路基板３２が十分な厚みを有する場合には、上述した貫通孔３２ａの形成に代えて、図７（ａ）に示すように、第１の回路基板３２に、Ｘ線管２１の壁部５１ｂ側の最外縁で構成される平面形状に比べて僅かに大きい長方形状の凹部３２ｂを形成してもよい。この場合、壁部５１ｂが凹部３２ｂ内に位置し、かつ各給電ピン５５が第１の回路基板３２の一面側における凹部３２ｂ周りの縁部に接するようにＸ線管２１を配置することが好ましい。
【００３０】
また、貫通孔３２ａや凹部３２ｂを必ずしも形成する必要はなく、図７（ｂ）に示すように、第１の回路基板３２の一面側にＸ線管２１における真空容器５１をそのまま載置してもよい。この場合、例えば給電ピン５５を壁部５１ｂの側面に沿って延出させ、第１の回路基板３２に接するようにすればよい。いずれの形態においても、給電ピン５５が電気的及び物理的に第１の回路基板３２に接していればよく、真空容器５１の側方に突出させる形状のほか、例えば壁部５１ｂの側面や底面、或いは側壁部５１ｃの外面等に回り込むように形成してもよい。
【００３１】
筐体３１内でのＸ線管２１、高圧発生モジュール２２、第１の回路基板３２、及び第２の回路基板３３の固定には、図４及び図５に示すように、スペーサ部材６１，６２による２段構造が採用されている。スペーサ部材６１，６２は、例えばセラミックや、ポリイミド・ナイロン・エポキシなどの各種樹脂材料によって棒状に形成され、非導電性を呈している。スペーサ部材６１，６２は、真空容器５１を長手方向に挟むように２箇所に配置されている。
【００３２】
１段目のスペーサ部材６１は、ネジ６３の締結によって筐体３１における蓋部３１ｃの内面側に立設され、２段目のスペーサ部材６２は、高圧発生モジュール２２を搭載した第２の回路基板３３を挟み込んで固定した状態で１段目のスペーサ部材６１の先端に連結されている。また、２段目のスペーサ部材６２の先端には、Ｘ線管２１を搭載した第１の回路基板３２がネジ６４の締結によって第２の回路基板３３と略平行に固定されている。
【００３３】
このような構造が設けられた蓋部３１ｃは、Ｘ線管２１の出力窓５７が筐体３１のＸ線出射窓３４から露出するように位置合わせされ、ネジ６５の締結によって本体部３５に固定されている。このネジ６５の締結により、Ｘ線管２１は、第１の回路基板３２によって筐体３１における壁部３１ａの内面に押圧された状態となっている。なお、２段目のスペーサ部材６２の長さは、１段目のスペーサ部材６１の数倍程度の長さとなっており、第１の回路基板３２と高圧発生モジュール２２とは互いに離間している。第１の回路基板３２と高圧発生モジュール２２との接続は、有線接続であっても無線接続であってもよい。
【００３４】
また、図４及び図５に示すように、Ｘ線管２１と壁部３１ａとの間には、例えばスチールウール、導電マット、導電性ゴムといった導電性及びクッション性を有する緩衝部材６７が配置されている。緩衝部材６７は、出力窓５７を露出させる開口部と、窓材５６の周縁部に接するように出力窓５７の周りを囲む矩形枠状部を備え、筐体３１と出力窓５７とを電気的に接続している。また、筐体３１に設けられたＸ線出射窓３４は、Ｘ線管２１の出力窓５７に比べて一回り大きく、壁部３１ａと対面するように筐体３１を上側から見た場合に、出力窓５７全体を露出させるようになっている。このため、出力窓５７から発散角を持って放出されるＸ線が、Ｘ線出射窓３４の縁部によって遮断されることを抑制することができる。さらに、窓材５６、壁部５１ａ、緩衝部材６７といったＸ線出射窓３４から露出する可能性のある材料は全て導電性となっており、かつ筐体３１と電気的に接続されている。
【００３５】
以上説明したように、Ｘ線照射源２では、蓋部３１ｃがネジ６５によって本体部３５に締結されることで、第１の回路基板３２によって壁部３１ａの内面に押圧された状態でＸ線管２１が筐体３１に固定されている。このように、第１の回路基板３２と壁部３１ａとで挟み込むことにより、Ｘ線管２１を筐体３１内で安定して固定できる。本実施形態では、Ｘ線管２１の真空容器５１を構成する面の中でも面積が大きくかつ出力窓５７が形成された壁部５１ａ側が、壁部３１ａの内面に押圧された状態でＸ線管２１が固定されているので、より安定した固定が可能となると共に、ターゲット５４で発生した熱も筐体３１に伝わり易くなり、Ｘ線管２１の放熱効率にも優れる。また、このＸ線照射源２では、筐体３１内に組み込まれる第１の回路基板３２自体をＸ線管２１の押圧に用いている。つまり、Ｘ線照射源２の動作において必須の構成がＸ線管２１の押圧部材を兼ねているため、Ｘ線管２１を押圧するための新たな部材を別途設ける必要はなく、装置構成の複雑化も回避できる。
【００３６】
また、Ｘ線照射源２では、Ｘ線管２１と壁部３１ａの内面との間には、出力窓５７を構成するシート５６に接するように導電性を有する緩衝部材６７が配置されている。これにより、押圧によるＸ線管２１への直接的な応力を緩和しながらもより強い押圧が可能となるので、筐体３１内でＸ線管２１を一層安定して固定できる。さらに、緩衝部材６７が導電性を有するため、筐体３１の電位と出力窓５７の電位とを一致させることで、出力窓５７の電位を安定させ、Ｘ線管２１の動作を安定させることが可能となる。
【００３７】
また、Ｘ線照射源２では、蓋部３１ｃに立設されたスペーサ部材６１，６２により、Ｘ線管２１が搭載された第１の回路基板３２と、高圧発生モジュール２２が搭載された第２の回路基板３３とが２段構造となっており、高圧発生モジュール２２及び第２の回路基板３３が、Ｘ線管２１及び第１の回路基板３２よりも蓋部３１ｃ側の位置で支持されている。このような構成により、スペーサ部材６１，６２によって筐体３１内に一定の収容空間が確保されると共に、筐体３１内に配置される回路が第１の回路基板３２と第２の回路基板３３とに分割されることで、回路構成部材の配置自由度を向上できる。特に、Ｘ線照射源２の中でも、Ｘ線管２１と並び、比較的大きな構成である高圧発生モジュール２２を収容空間に収めることで、筐体３１内の空間を有効に利用することができる。
【００３８】
また、Ｘ線照射源２では、Ｘ線管２１の真空容器５１から側方に突出する給電ピン５５が設けられると共に、第１の回路基板３２にはＸ線管２１の平面形状に対応する貫通孔３２ａが設けられ、Ｘ線管２１の壁部５１ｂが貫通孔３２ａ内に位置した状態で給電ピン５５が貫通孔３２ａ周りの縁部に接続されることによって、Ｘ線管２１が第１の回路基板３２に保持されている。これにより、Ｘ線管２１と第１の回路基板３２との位置合わせを簡単に実施できる。また、Ｘ線管２１の壁部５１ｂが貫通孔３２ａ内に位置することで、貫通孔３２ａの深さの分だけ筐体３１の厚みを小さくすることが可能となり、装置の小型化が図られる。
【００３９】
なお、図７（ａ）に示したように、貫通孔３２ａに代えて凹部３２ｂを形成する場合も、凹部３２ｂによってＸ線管２１と第１の回路基板３２との位置合わせを簡単に実施できるほか、第１の回路基板３２とＸ線管２１とが直接面接触することによってＸ線管２１をしっかりと押圧できる。さらに、Ｘ線管２１の壁部５１ｂが凹部３２ｂ内に位置することで、凹部３２ｂの深さの分だけ筐体３１の厚みを小さくすることが可能となる。
【００４０】
また、図７（ｂ）に示したように、第１の回路基板３２の一面側にＸ線管２１の真空容器５１をそのまま載置した場合にも、第１の回路基板３２とＸ線管２１とが直接面接触することによってＸ線管２１をしっかりと押圧できる。Ｘ線管２１が壁部３１ａに対してしっかり押圧されることで、Ｘ線管２１から筐体３１への伝熱効率、すなわち、Ｘ線管２１の放熱効率を向上できる。
【００４１】
本発明は、上記実施形態に限られるものではない。例えば上述した実施形態では、棒状のスペーサ部材６１，６２を用いているが、スペーサ部材の形状は、柱状、板状、枠状などの種々の形状を用いることができる。また、スペーサ部材の配置数や配置箇所も適宜設計できる。
【００４２】
これに伴い、筐体３１内でのＸ線管２１等の組み立て構造についても変形を適用できる。例えば図８及び図９に示す例では、第１の回路基板３２に第２の回路基板３３の機能を持たせて基板の数を減らし、Ｘ線管２１の長手方向の両側と幅方向の両側との４箇所に配置したスペーサ部材７１によって第１の回路基板３２を支持している。スペーサ部材７１の長さは、図５に示したスペーサ部材６１，６２の合計の長さと略同等となっており、第１の回路基板３２と蓋部３１ｃとの間の空間が確保されている。そして、高圧発生モジュール２２は、第１の回路基板３２において、Ｘ線管２１と反対側の面に固定されている。
【００４３】
このような構成では、回路基板の数を減少させることで、筐体３１の厚みをより小さくすることができる。また、第１の回路基板３２を４箇所のスペーサ部材７１で支持することで、第１の回路基板３２によるＸ線管２１の押圧が均一化され、Ｘ線管２１を筐体３１内で一層安定して固定できる。なお、スペーサ部材７１の長さは、高圧発生モジュール２２を配置するのに必要な空間を形成することができれば、スペーサ部材６１，６２の合計の長さよりも短くしてもよい。
【００４４】
また、例えば図１０及び図１１に示す例では、図４及び図５に示した第１の回路基板３２よりも面積の大きい筐体３１及び第１の回路基板３２を用い、第１の回路基板３２の一面側において、Ｘ線管２１の幅方向の一方側にＸ線管２１を駆動させる駆動回路２３の配置領域８１を設け、他方側に高圧発生モジュール２２を搭載している。そして、枠状のスペーサ部材８２を蓋部３１ｃに固定し、スペーサ部材８２の先端に第１の回路基板３２を固定している。このような構成においても、回路基板の数を減少させることで、筐体３１の厚みをより小さくすることができる。また、第１の回路基板３２を枠状のスペーサ部材８２で支持することで、第１の回路基板３２によるＸ線管２１の押圧が均一化され、Ｘ線管２１を筐体３１内で一層安定して固定できる。
【００４５】
また、例えば図１２に示す例では、筐体３１の側壁部３１ｂにおいて壁部３１ａの内面に沿う延在部を設け、この延在部と壁部３１ａの端部とをネジ８６で締結している。これにより、Ｘ線管２１が第１の回路基板３２によって壁部３１ａの内面に押圧されることに加え、壁部３１ａの内面によって第１の回路基板３２に対して押圧されることとなる。したがって、第１の回路基板３２と壁部３１ａの内面とで更にしっかりとＸ線管２１が挟み込まれ、Ｘ線管２１を筐体３１内で一層安定して固定できる。
【００４６】
さらに、例えば図１３に示す例では、第１の回路基板３２と第２の回路基板３３との間に配置されるスペーサ部材６２に代えて、第１の回路基板３２と壁部３１ａとの間にスペーサ部材８７を設けている。そして、第１の回路基板３２を介在させてネジ８８をスペーサ部材８７の一端部に締結し、壁部３１ａを介在させてネジ８９をスペーサ部材８８の他端部に締結している。このような構成においても、Ｘ線管２１が第１の回路基板３２によって壁部３１ａの内面に押圧されることに加え、壁部３１ａの内面によって第１の回路基板３２に対して押圧されることとなる。したがって、第１の回路基板３２と壁部３１ａの内面とで更にしっかりとＸ線管２１が挟み込まれ、Ｘ線管２１を筐体３１内で一層安定して固定できる。
【００４７】
なお、筐体内のスペーサ部材は必ずしも使用しなくてもよい。この場合、例えば蓋部３１ｃ自体に筐体３１内に突出する突出部を設け、突出部によって第１の回路基板３２を押圧するようにしてもよい。また、同様の作用を有する突出部を側壁部３１ｂに設けてもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１…Ｘ線照射装置、２…Ｘ線照射源、２１…Ｘ線管、２２…高圧発生モジュール、３１…筐体、３１ａ…壁部、３１ｃ…蓋部、３２…第１の回路基板、３２ａ…貫通孔、３２ｂ…凹部、３３…第２の回路基板、３４…Ｘ線出射窓、３５…本体部、５５…給電ピン、５７…出力窓、６１，６２，７１，８２，８７…スペーサ部材、６５，８６，８８，８９…ネジ（締結部材）、６７…緩衝部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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