(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、
前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を前記基板支持部に載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で１段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなり、
前記振動制御部は、前記基板支持部の下面の形状に沿って固定され、該基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記振動制御部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、肉厚部、厚さ変化部、肉薄部からなることを特徴とする基板保持部材であって、
さらに、前記基板保持部材が、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を、前記基板保持部材の前記振動制御部の前記肉厚部の下側に有することを特徴とする
基板保持部材。
【請求項２】
請求項１に記載の基板保持部材であって、
前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持面に沿って形成され、均一な厚みを有することを特徴とする
基板保持部材。
【請求項３】
請求項１に記載の基板保持部材であって、
前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、厚さが薄くなっていくことを特徴とする
基板保持部材。
【請求項４】
請求項１ないし３いずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記基板支持部に固定された前記基板保持部材が、
前記基板支持部上面より上側に突出して基板を上側に支持する基板保持部を、さらに有することを特徴とする
基板保持部材。
【請求項５】
請求項４に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、
前記基板保持部は、前記基板支持部の上面の形状に沿って固定され、平坦な基板支持面を有していることを特徴とする
基板保持部材。
【請求項６】
請求項５に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、
端部の面取り部以外の厚さが均一であることを特徴とする
基板保持部材。
【請求項７】
四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、
前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を上側に支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で１段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部とからなり、
前記基板保持部は、該基板保持部が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板支持部の上面の形状に沿って固定され、
前記振動制御部は、該振動制御部が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板支持部の下面の形状に沿って固定され、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、肉厚部、厚さ変化部、肉薄部からなることを特徴とする基板保持部材であって、
さらに、前記基板保持部材が、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を、前記基板保持部材の前記基板保持部の上側に有することを特徴とする
基板保持部材。
【請求項８】
請求項７に記載の基板保持部材であって、
前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持面に沿って形成され、均一な厚みを有することを特徴とする
基板保持部材。
【請求項９】
請求項７に記載の基板保持部材であって、
前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、厚さが薄くなっていくことを特徴とする
基板保持部材。
【請求項１０】
請求項７ないし９いずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、
前記基板保持部は、前記基板支持部の上面の形状に沿って固定され、平坦な基板支持面を有していることを特徴とする
基板保持部材。
【請求項１１】
請求項７ないし１０いずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、
端部の面取り部以外の厚さが均一であることを特徴とする
基板保持部材。
【請求項１２】
請求項１ないし１１いずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材が有する前記基板の水平方向の移動を規制する突起部が、
前記基板の端面のみと接することを特徴とする
基板保持部材。
【請求項１３】
請求項１ないし１２いずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材が有する前記基板の水平方向の移動を規制する突起部の前記基板との接触面が、前記基板の端面と概平行である事を特徴とする
基板保持部材。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記肉厚部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部と平行な鉛直方向の断面において、
中央部は前記基板保持部材の裏面に沿って均一な厚みを持ち、
中央部より端部へ向かってテーパー状に厚さが減少していくことを特徴とする
基板保持部材。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、熱可塑性樹脂からなることを特徴とする
基板保持部材。
【請求項１６】
請求項１ないし１５のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
支持される前記基板が、
表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、前記カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板であることを特徴とする
基板保持部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた基板用トレイにおいて、基板の揺動を制御し、傷や汚れを防ぐ為に、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル、液晶ディスプパネル等のフラットパネル部材といった表面に機能層を備えた板状物からなる基板は、その表面の機能層を損傷したり、汚したりすることなく搬送または保管することが重要である。
【０００３】
従来、こういった基板を搬送、保管する際は、基板表面を傷や破損から守るため、表面同士が接触しないように所定間隔で並列収納できる、箱形の収納容器を用いていた。
【０００４】
このような中、近年、特に、液晶表示用のフラットパネルにおいては、より大型のカラーフィルター形成基板の製造が要求されており、搬送、保管に対して、更に一層の、搬送効率向上による搬送コスト節減や保管場所の省スペース化が求められている。
【０００５】
しかしながら、上記のような収納容器による搬送では、搬送時の振動により基板が跳
ねやすく、割れや傷が発生しやすい為、基板の薄型化が非常に困難であった。
【０００６】
基板の割れや傷を防ぎ、基板の汚染を防止し、さらに高密度で搬送、保管を行うために、多くの検討が行われてきている。
【０００７】
たとえば、特開２００６−１６８７４８号公報（特許文献１）、特開２０１０−１２０６９０号公報（特許文献２）では、基板の動きを抑えるため、当該基板の一層上の枠部に基板押さえ部を形成し、基板保持部に積載した当該基板上に、基板押さえ部に当接させて、当該基板を保持している。このような手法により、基板の移動を防ぐことが可能となるが、当接部での基板の汚染、傷、搬送時の振動による当接部での応力発生による基板の割れ等の課題があり、安定した基板搬送には至っていない。
【０００８】
また、前記当接部の接触による汚染、傷、割れを防止するために、特開２００８−１５５９９５号公報（特許文献３）では、基板に振動が発生した時のみ当接するテーパー状の基板移動制限部材を用いることにより、前記当接部の接触による汚染、傷、割れを防止する方法が提示されているが、この方法では、基板の振動発生時に、前記テーパー状の基板移動制限部材が当接する位置が制御できず、基板上に形成された機能層への汚染、傷の発生が懸念されるとともに、基板の水平方向への移動が発生した場合、テーパー部に基板が挟まって、応力により割れが発生するといった懸念もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−１６８７４８号公報
【特許文献２】特開２０１０−１２０６９０号公報
【特許文献３】特開２００８−１５５９９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、剛性のある四角状の板状物の面方向を水平方向として、該板状物を撓ませた状態で保持し、且つ、該板状物を載せた状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用または保管用のトレイに関し、特に、自重により撓む、平面型ディスプレイパ
ネル用の板状の各種材料（例えば、ガラスやプラスチックなど）ないし部材、あるいは、金属、レアメタル、シリコンなどの板状物や、それらに処理を施した板状の処理部材の、搬送、保管に適したトレイに関するものであり、その表面を損傷したり汚したりすることなく、効率良く輸送及び保管することが可能な基板用トレイに用いる基板保持部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の基板保持部材は、以下の各態様に記載の手段により上記の課題を解決するものである。
【００１２】
本発明の第１の態様は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を前記基板支持部に載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で１段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなり、前記振動制御部は、前記基板支持部の下面の形状に沿って固定され、該基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記振動制御部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、肉厚部、厚さ変化部、肉薄部からなることを特徴とする基板保持部材であって、さらに、前記基板保持部材が、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を、前記基板保持部材の前記振動制御部の前記肉厚部の下側に有することを特徴とする。
【００１３】
本発明の第２の態様は、前記第１の態様に記載の基板保持部材であって、前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持面に沿って形成され、均一な厚みを有することを特徴とする。
【００１４】
本発明の第３の態様は、前記第１の態様に記載の基板保持部材であって、前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、厚さが薄くなっていくことを特徴とする。
【００１５】
本発明の第４の態様は、前記第１ないし第３の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板支持部に固定された前記基板保持部材が、前記基板支持部上面より上側に突出して基板を上側に支持する基板保持部を、さらに有することを特徴とする。
【００１６】
本発明の第５の態様は、前記第４の態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部は、前記基板支持部の上面の形状に沿って固定され、平坦な基板支持面を有していることを特徴とする。
【００１７】
本発明の第６の態様は、前記第５態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、端部の面取り部以外の厚さが均一であることを特徴とする。
【００１８】
本発明の第７の態様は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を上側に支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で１段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部とからなり、前記基板保持部は、該基板保持部が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板支持部の上面の形状に沿って固定され、前記振動制御部は、該振動制御部が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板支持部の下面の形状に沿って固定され、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、肉厚部、厚さ変化部、肉薄部からなることを特徴とする基板保持部材であって、さらに、前記基板保持部材が、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を、前記基板保持部材の前記基板保持部の上側に有することを特徴とする。
【００１９】
本発明の第８の態様は、前記第７の態様に記載の基板保持部材であって、前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持面に沿って形成され、均一な厚みを有することを特徴とする基板保持部材。
【００２０】
本発明の第９の態様は、前記第７の態様に記載の基板保持部材であって、前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、厚さが薄くなっていくことを特徴とする。
【００２１】
本発明の第１０の態様は、前記第７ないし第９いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部は、前記基板支持部の上面の形状に沿って固定され、平坦な基板支持面を有していることを特徴とする。
【００２２】
本発明の第１１の態様は、前記第７ないし第１０の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、端部の面取り部以外の厚さが均一であることを特徴とする。
【００２３】
本発明の第１２の態様は、前記第１ないし第１１の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材が有する前記基板の水平方向の移動を規制する突起部が、前記基板の端面のみと接することを特徴とする。
【００２４】
本発明の第１３の態様は、前記第１ないし第１２の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材が有する前記基板の水平方向の移動を規制する突起部の前記基板との接触面が、前記基板の端面と概平行である事を特徴とする。
【００２５】
本発明の第１４の態様は、前記第１ないし第１３の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記肉厚部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部と平行な鉛直方向の断面において、中央部は前記基板保持部材の裏面に沿って均一な厚みを持ち、中央部より端部へ向かってテーパー状に厚さが減少していくことを特徴とする。
【００２６】
本発明の第１５の態様は、基板用トレイであって、前記第１ないし第１４の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材が、前記基板用トレイの前記枠部の少なくとも一対の対向する２辺に固定された前記基板支持部に取り付けられていることを特徴とする
【００２７】
本発明の第１６の態様は、基板用トレイであって、前記第１ないし第１５の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材が、前記基板用トレイの前記枠部の少なくとも一対の対向する２辺に固定された前記基板支持部に、間隔をおいて複数個取り付けられていることを特徴とする。
【００２８】
本発明の第１７の態様は、前記第１ないし第１６の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材は、熱可塑性樹脂からなることを特徴とする。
【００２９】
本発明の第１８の態様は、前記第１ないし第１７の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、支持される前記基板が、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、前記カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３０】
本発明の第1の態様によれば、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で１段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部からなり、前記振動制御部は、前記基板支持部の下面の形状に沿って固定され、該基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記振動制御部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、肉厚部、厚さ変化部、肉薄部からなることを特徴とする基板保持部材であって、さらに、前記基板保持部材が、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を、前記基板保持部材の前記振動制御部の前記肉厚部の下側に有することにより、前記基板に上下方向の振動が発生した時のみに、前記基板が、前記振動制御部の前記肉厚部のみと接触して振動が抑制されるとともに、左右方向の振動が発生した時に、前記突起部により、前記基板の水平方向の可動域が限定されるとともに、積層した状態で上下に位置する振動制御部と基板保持部に挟まれることにより固定され破損することを防止し、搬送あるいは保管時に、基板移動による基板の破損の防止が可能となるという効果がある。さらに、肉厚部の幅を、水平方向の基板可動幅及び基板上の機能層形成領域外の領域の幅を鑑みて設計することにより、機能層形成領域への汚染、傷付きを防止することが可能となるという効果がある。また、複数枚重ねた時に相対位置を安定させるための嵌合部を有していることにより、複数枚重ねた時に上下に位置するトレイの位置関係が安定し、前記基板の搬送あるいは搬送が安定して行うことが可能となる。前記嵌合部に関して、例えば特開２００６−１６８７４８号公報（特許文献１）に枠部を利用した嵌合方法が開示されているが、本発明においては、複数積載した、上下に対接するトレイ間の位置関係が一定であれば良く、前記嵌合部の構造、方法等を限定するものではない。
【００３１】
本発明の第２の態様によれば、前記第１の態様に記載の基板保持部材であって、前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持面に沿って形成され、均一な厚みを有することにより、前記基板に上下方向の振動が発生した時のみ、前記基板が接触する前記振動制御部の前記肉厚部との接触部が接触し、機能層形成領域への汚染、傷付きを防止することが可能となるという効果がある。
【００３２】
本発明の第３の態様によれば、前記第１の態様に記載の基板保持部材であって、前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、厚さが薄くなっていくことにより、前記基板に上下方向の振動が発生した時に、前記基板が接触する前記振動制御部の前記肉厚部との接触が、前記基板の該基板端面上部の角部のみで接触することになり、前記基板または機能層形成領域への汚染、傷付きを防止することが可能となるという効果がある。
【００３３】
本発明の第４の態様によれば、前記第１ないし第３の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板支持部に固定された前記基板保持部材が、前記基板支持部上面より上側に突出して基板を上側に支持する基板保持部を、さらに有することにより、金属製の基板支持部による基板裏面への傷を防止することが可能となるという効果がある。
【００３４】
本発明の第５の態様によれば、前記第４の態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部は、前記基板支持部の上面の形状に沿って固定され、平坦な基板支持面を有していることにより、保持される基板と前記基板保持部との接触面積が増加し、安定した基板保持が可能となるという効果がある。また、前記基板支持部の基板支持面が平坦であることにより、前記基板支持部を形成している材料の転写を抑制し、基板の汚染を防ぐことが可能になるという効果がある。
【００３５】
本発明の第６の態様によれば、前記第５態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、端部の面取り部以外の厚さが均一であることにより、前記基板支持部からの高さが均一になり、前記基板保持部の取り付け位置に誤差が生じても安定して基板を保持することが可能となるという効果がある。
【００３６】
本発明の第７の態様によれば、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定され、前記基板を上側に支持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定され、前記基板を載せた状態で、前記トレイを複数重ねた状態で１段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する振動制御部とからなり、前記基板保持部は、該基板保持部が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板支持部の上面の形状に沿って固定されていることにより、金属製の基板支持部による基板裏面への傷を防止することが可能となるという効果がある。また、前記振動制御部は、該振動制御部が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板支持部の下面の形状に沿って固定され、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、肉厚部、厚さ変化部、肉薄部からなることを特徴とする基板保持部材であって、さらに、前記基板保持部材が、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を、前記基板保持部材の前記基板保持部の上側に有することにより、前記基板に上下方向の振動が発生した時のみに、前記基板が、前記振動制御部の前記肉厚部のみと接触して振動が抑制されるとともに、左右方向の振動が発生した時に、前記突起部により、前記基板の水平方向の可動域が限定されるとともに、積層した状態で上下に位置する振動制御部と基板保持部に挟まれることにより固定され破損することを防止し、搬送あるいは保管時に、基板移動による基板の破損の防止が可能となるという効果がある。また、前記突起部が、前記基板保持部材の前記振動制御部の前記肉厚部の下側にあることにより、前記基板の水平方向の移動が規制され、該基板との接触による前記突起部の傷を防止するとともに、前記突起部の傷部からの異物発生を防止することが可能となるという効果がある。さらに、肉厚部の幅を、水平方向の基板可動幅及び基板上の機能層形成領域外の領域の幅を鑑みて設計することにより、機能層形成領域への汚染、傷付きを防止することが可能となるという効果がある。また、複数枚重ねた時に相対位置を安定させるための嵌合部を有していることにより、複数枚重ねた時に上下に位置するトレイの位置関係が安定し、前記基板の搬送あるいは搬送が安定して行うことが可能となる。前記嵌合部に関して、例えば特開２００６−１６８７４８号公報（特許文献１）に枠部を利用した嵌合方法が開示されているが、本発明においては、複数積載した、上下に対接するトレイ間の位置関係が一定であれば良く、前記嵌合部の構造、方法等を限定するものではない。
【００３７】
本発明の第８の態様によれば、前記第７の態様に記載の基板保持部材であって、前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持面に沿って均一な厚みを有することにより、前記基板に上下方向の振動が発生した時のみ、前記基板が接触する前記振動制御部の前記肉厚部との接触部が接触し、機能層形成領域への汚染、傷付きを防止することが可能となるという効果がある。
【００３８】
本発明の第９の態様によれば、前記第７の態様に記載の基板保持部材であって、前記肉厚部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、厚さが薄くなっていくことにより、前記基板に上下方向の振動が発生した時に、前記基板が接触する前記振動制御部の前記肉厚部との接触が、前記基板の該基板端面上部の角部のみで接触することになり、前記基板または機能層形成領域への汚染、傷付きを防止することが可能となるという効果がある。
【００３９】
本発明の第１０の態様によれば、前記第７ないし第９の態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部は、前記基板支持部の上面の形状に沿って固定され、平坦な基板支持面を有していることにより、保持される基板と前記基板保持部との接触面積が増加し、安定した基板保持が可能となるという効果がある。また、前記基板支持部の基板支持面が平坦であることにより、前記基板支持部を形成している材料の転写を抑制し、基板の汚染を防ぐことが可能になるという効果がある。
【００４０】
本発明の第１１の態様によれば、前記第７ないし第１０の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材の前記基板保持部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、端部の面取り部以外の厚さが均一であることにより、前記基板支持部からの高さが均一になり、前記基板保持部の取り付け位置に誤差が生じても安定して基板を保持することが可能となるという効果がある。
【００４１】
本発明の第１２の態様によれば、前記第１ないし第１１の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材が有する前記基板の水平方向の移動を規制する突起部が、前記基板の端面のみと接して前記基板の水平方向の可動域が限定することにより、基板の表面及び裏面への汚れ、傷付きの防止が可能となるという効果がある。
【００４２】
本発明の第１３の態様によれば、前記第１ないし第１２の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材が有する前記基板の水平方向の移動を規制する突起部の前記基板との接触面が、前記基板の端面と概平行である事により、基板との接触による前記突起部の傷を防止し、前記突起部の傷部からの異物発生を防止することが可能となるという効果がある。
【００４３】
本発明の第１４の態様によれば、前記第１ないし第１３の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記肉厚部は、該基板保持部材を固定する前記基板支持部を支持する枠部の辺部と平行な鉛直方向の断面において、中央部は前記基板保持部材の裏面に沿って均一な厚みを持ち、中央部より端部へ向かってテーパー状に厚さが減少していくことにより、基板振動発生時に肉厚部と前記基板との接触が発生した場合、角部が形成されていない為、基板の割れを防止することが可能となるという効果がある。
【００４４】
本発明の第１５の態様によれば、前記第１ないし第１４の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記枠部の少なくとも一対の対向する２辺に固定された前記基板支持部に、前記基板保持部材が、取り付けられていることにより、前記基板の安定した搬送あるいは保管が可能となるという効果がある。
【００４５】
本発明の第１６の態様によれば、前記第１ないし第１５の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記枠部の少なくとも一対の対向する２辺に固定されえた前記基板支持部に、前記基板保持部材が、間隔をおいて複数個取り付けられていることにより、前記基板保持部材の大きさが小さくなり、該基板保持部材の製造が容易になるとともに、前記基板保持部材に傷が発生する等で交換が必要になった場合、全体を交換せずに一部を交換することで対応が可能となるという効果がある。
【００４６】
本発明の第１７の態様によれば、前記第１ないし第１６の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材は、熱可塑性樹脂からなることにより、前記基板保持部材が射出成形で成形可能な為、切削加工で前記基板保持部材を作製する方法と比較して、多大な費用をかけずに多数の前記基板保持部材を作製することが可能となるとともに、樹脂製であることにより、前記基板への傷付きを低減することが可能となるという効果がある。
【００４７】
本発明の第１８の態様は、前記第１ないし第１７の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板が、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、または、前記カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板であり、これらの基板の汚れ、傷付き等を防止して搬送または保管することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】図１（ａ）、図１（ｂ）は、本発明の基板保持部材の実施の形態の１例の概略図で、図１（ｃ）は、図１（ａ）および図１（ｂ）の本発明の基板保持部材を有する基板用トレイを上方から見た平面図の概略図である。
【図２】図２（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ａ）Ａ−Ａ’断面の１例の概略図で、図２（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ｂ）Ｄ−Ｄ’断面の１例の概略図である。
【図３】図３（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ａ）Ａ−Ａ’断面の１例の概略図で、図３（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ｂ）Ｄ−Ｄ’断面の１例の概略図である。
【図４】図４（ａ）、図４（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ａ）Ａ−Ａ’断面の１例の概略図である。
【図５】図５（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ａ）Ａ−Ａ’断面の１例の概略図で、図５（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ｂ）Ｄ−Ｄ’断面の１例の概略図である。
【図６】図６（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ａ）Ａ−Ａ’断面の１例の概略図で、図６（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ｂ）Ｄ−Ｄ’断面の１例の概略図である。
【図７】図７（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ａ）Ａ−Ａ’断面の１例の概略図で、図７（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ｂ）Ｄ−Ｄ’断面の１例の概略図である。
【図８】図８（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの一部を、上方より見た概略図で、図７（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、一部を、下方より見た概略図である。
【図９】図９（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図８（ｂ）Ｅ−Ｅ’断面の１例の概略図で、図９（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図８（ｂ）Ｆ−Ｆ’断面の１例の概略図である。
【図１０】図１０（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図８（ｂ）Ｆ−Ｆ’断面の１例の概略図である。
【図１１】図１１（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイが積層されている１例の概略図である。
【図１２】図１２（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイに、基板が積載されている概略図である。
【図１３】図１３（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイに、基板が積載されている概略図である。
【図１４】図１（ａ）Ａ−Ａ’断面の１例の概略図である。
【図１５】図１５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイにおいて、基板支持部へ基板保持部材を取り付ける方法の１例の概略図である。
【図１６】本発明の基板保持部材を有する基板用トレイにおいて、基板支持部へ基板保持部材を取り付ける方法の１例の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
本発明の第１の態様、第４の態様、および第７の態様の基板保持部材１４について説明する。
【００５０】
本発明の第１の態様に記載の、基板保持部材１４は、図５中に図示されている振動制御部１４ａからなり、前記振動制御部１４ａは、該振動制御部１４ａが固定された枠部の辺部側から基板用トレイ１１内側へ向かって、肉厚部２１、厚さ変化部２２、肉薄部２３より形成されるとともに、前記肉厚部２１の下側に突起部１５が形成されている。肉厚部２１は、基板用トレイ１１を複数重ねた状態で１段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触し、発生した振動を抑制する。肉薄部２３は、前記肉厚部２１より肉薄に形成され、前記基板と接触することは無い。突発的に激しい振動が発生した時に、前記基板が金属製の基板支持部１３と接触し、前記基板が傷付くことを防止している。厚さ変化部２２は、前記肉厚部２１と前記肉薄部２３を、外側に凸形状を持つ角部を形成することなくつなぐ為の連結部としての機能を持つ。また、前記肉厚部２１の下側に形成された突起部１５は、基板用トレイ１１を複数重ねた状態で、１段下の基板支持部１３との間隙が保持される基板の厚み以下になるように設計され、前記１段下に保持された基板に左右方向の基板振動が発生した時に、前記基板の左右方向の移動を制限するものである。
【００５１】
本発明の第４の態様に記載の、基板保持部材１４は、図５中に図示されている振動制御部１４ａおよび基板保持部１４ｂからなり、本発明の第１の態様に記載の振動制御部１４ａに加えて、基板保持部１４ｂを有している。前記基板保持部１４ｂは、該基板保持部１４ｂはが固定されている基板支持部１３により、保持される基板の裏面への傷の発生を防止するものである。一般に、前記基板支持部１３は、金属材料で形成されることが多い為、前記基板保持部１４ｂにより、前記基板支持部１３と保持される基板との接触を妨げ、保持される基板の裏面への傷の発生を防止する機能を持っている。前記前記基板保持部１４ｂは、保持される基板裏面への傷つきを防止する為、保持される基板より柔らかい材料（例えば樹脂）からなることが好ましい。
【００５２】
本発明の第７の態様に記載の、基板保持部材１４は、図６中に図示されている振動制御部１４ａおよび基板保持部１４ｂからなる。前記振動制御部１４ａは、該振動制御部１４ａが固定された枠部の辺部側から基板用トレイ１１内側へ向かって、肉厚部２１、厚さ変化部２２、肉薄部２３より形成されるとともに、前記肉厚部２１の下側に突起部１５が形成されている。肉厚部２１は、基板用トレイ１１を複数重ねた状態で１段下に支持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触し、発生した振動を抑制する。肉薄部２３は、前記肉厚部２１より肉薄に形成され、前記基板と接触することは無い。突発的に激しい振動が発生した時に、前記基板が金属製の基板支持部１３と接触し、前記基板が傷付くことを防止している。厚さ変化部２２は、前記肉厚部２１と前記肉薄部２３を、外側に凸形状を持つ角部を形成することなくつなぐ為の連結部としての機能を持つ。前記基板保持部１４ｂは、該基板保持部１４ｂはが固定されている基板支持部１３により、保持される基板の裏面への傷の発生を防止するものである。一般に、前記基板支持部１３は、金属材料で形成されることが多い為、前記基板保持部１４ｂにより、前記基板支持部１３と保持される基板との接触を妨げ、保持される基板の裏面への傷の発生を防止する機能を持っている。前記前記基板保持部１４ｂは、保持される基板裏面への傷つきを防止する為、保持される基板より柔らかい材料（例えば樹脂）からなることが好ましい。また、前記基板保持部１４ｂの上側に形成された突起部１５は、基板用トレイ１１を複数重ねた状態で、１段上の振動制御部１４ａの肉厚部２１との間隙が、保持される基板の厚み以下になるように設計され、保持された基板に左右方向の基板振動が発生した時に、前記基板の左右方向の移動を制限するものである。
【００５３】
以下、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００５４】
図１に、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１の実施の形態の１例の概略を示す。図１（ａ）は枠部１２の４辺に支持された基板支持部１３が、直線状に基板１１１の端部を支持する基板用トレイの実施の形態の１例の概略図である。図１（ｂ）は枠部１２の４辺のうち一方の対向する２辺に固定された基板支持部１３が直線状に基板１１１の両端を支持し、枠部１２の４辺のうち他方の対向する２辺に固定された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の両端を支持する基板用トレイ１１の実施の形態の１例の概略図である。また、図示はしていないが、基板用トレイ１１は、基板を安定に保持する為に、４辺に固定された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の４辺を支持する基板用トレイ１１であってもよい。また、基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませる場合、撓んだ基板支持部１３を支持する枠部１２は、直線であってもよく、前記基板支持部１３の撓みにあわせて撓んだ形状であってもよい。前記撓みの形状は、円弧状でも放物線上でもよく、撓ませた基板の、端部中央部の高さの差は基板サイズによって適宜設計される。
【００５５】
図１（ｃ）は、図１（ａ）および図１（ｂ）の基板用トレイ１１を上方から見た平面図の概略図である。なお。図１（ａ），（ｂ），（ｃ）の概略図には記載されていないが、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１は、上下に位置するトレイ間の相対的な位置関係を一定に保つため、例えば特開２００６−１６８７４８号公報（特許文献１）に開示されているような、複数枚重ねた時に、上下に位置するトレイの相対的な位置関係が一定になるような嵌合部を有している。嵌合部の形状は、上下に位置するトレイの相対的な位置関係を一定に保つことが出来る形状であれば、どのような形状を有していてもよい。さらに、機械搬送に用いるための取手部等の部位を有していてもよい。
【００５６】
図１の基板用トレイ１１の枠部１２は、搬送または保管時に多数積層して使用されるため、強度が必要とされ、一般に金属材料が使用される。ガラスファイバー、カーボンファイバーと樹脂により成形した材料を用いてもよいが、積層時、輸送時等に傷が発生しやすく異物問題の要因となる為、金属性であることが好ましい。特に、多層積層時の軽量化を図る為、強度、軽量性を兼ね備えたジュラルミン等のアルミ合金を使用するのが好ましい。また、前記枠部１２が支持する基板支持部１３は、溶接等により前記枠部１２と接合させてもよいが、強度、作製のしやすさ等を鑑みて、押し出し成形等により、前記枠部１２と同時に作製するのが好ましい。
【００５７】
また、基板保持部材１４は、成形のしやすさ、振動の緩衝材としての機能、異物発生の少なさ、基板１１１への汚染等を考慮して、熱可塑性樹脂が用いられる。さらに、熱可塑性樹脂の中でも、特にポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ナイロン６６やナイロン６１０といったポリアミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）やポリイミドが望ましい。なお、同様の機能を有すれば、基板保持部材１４の材質はこれらに限定はされない。
【００５８】
図１では、基板保持部材１４は、基板用トレイ１１の枠部１２の各辺に４個ずつ固定した基板用トレイ１１が１例として記載しているが、基板保持部材１４の数は１個でもよく、さらに多数固定されていても良い。本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１が支持する基板１１１の大きさに合わせて、基板保持部材１４のサイズ、製造の容易さ、交換の容易さ等を考慮して設計される。基板保持部材の図２（ａ）のＡ−Ａ’方向の長さは、作製の容易さ、交換の容易さ等を考慮すると、３ｃｍ−１０ｃｍ程度が好ましく、基板保持部材の図８（ｂ）のＥ−Ｅ’方向の長さは、作製の容易さ、交換の容易さ等を考慮すると、１５ｃｍ−３０ｃｍ程度が好ましい。また、前記基板保持部材１４は、複数固定した場合、該基板保持部材同士のこすれ等による異物発生を防止する、該基板保持部材間で振動時に基材が金属製の基板支持部に接しない等を考慮して、隣り合った基板保持部材間の間隔は０．２ｃｍ−１０ｃｍ程度が好ましい。例えば、液晶用のＧ６サイズの基板（１，５００ｍｍ×１，８００ｍｍ）用の基板用トレイの場合、長辺側は８個程度、短辺側は７個程度で設計するのが好ましい。さらに、図１では、基板保持部材１４は、基板用トレイ１１の枠部１２の各辺に支持された基板支持部１３に固定してあるが、前記枠部１２の少なくとも一対の対向する２辺に固定されていればよい。また、前記基板保持部材１４は、前記基板用トレイ１１の基板支持部１３に固定されるが、図１０に概略を示すように、直線部、湾曲部ともに前記基板支持部１３の形状に沿って固定される。
【００５９】
図２〜図７は、図１（ａ）のＡ−Ａ’方向の断面、図１（ｂ）に示した、枠部の４辺のうち一方の対向する２辺を鉛直方向下側に撓ませて基板１１１を支持する基板用トレイ１１のＤ−Ｄ’方向の断面の概略図の１例である。図１（ａ）のＢ−Ｂ’方向の断面、図１（ｂ）のＣ−Ｃ’方向の断面は、図１（ａ）のＡ−Ａ’方向の断面と同様である。
【００６０】
図３（ａ）は、基板保持部材１４が、振動制御部１４ａからなる場合の概略図である。前記振動制御部１４ａは、肉厚部２１、厚さ変化部２２、肉薄部２３より形成される。前記肉厚部２１は、基板支持部１３に沿って前記肉薄部２３より厚く形成され、基板振動発生時に基板１１１表面もしくは前記基板１１１端部と接触し、振動を抑制する。前記肉厚部２１の厚さは、図３（ａ）のように前記基板支持部１３に沿って均一な厚さで形成されていてもよく、図７（ａ）のように基板用トレイ１１の内側方向へ向かって厚さが減少してもよい。基板振動発生時に、基板１１１と前記振動制御部１４ａとの面接触を防止するという観点から、前記肉厚部２１の厚さは、前記基板用トレイ１１の内側方向へ向かって減少しているのが好ましい。
【００６１】
前記肉薄部２３は、基板支持部１３に沿って前記肉厚部２１より薄く形成されており、基板振動発生時に基板１１１が金属からなる前記基板支持部１３との接触を妨げ、金属との接触による傷付きを防止する。前記肉薄部２３は、前記基板１１１が前記基板支持部１３との接触を妨げる機能を有していればよく、前記基板１１１との接触時に前記基板１１１に悪影響を及ぼさない平坦な形状であればよく、前記肉薄部２３の厚さは、前記基板支持部１３に沿って均一な厚さで形成されていてもよく、基板用トレイ１１の内側方向へ向かって減少してもよい。
【００６２】
前記厚さ変化部２２は、肉厚部２１と肉薄部２３との接続部であり、肉厚部２１の基板用トレイ内側の端部３１に角部を形成させずに、滑らかに肉薄部へ変化させる役割を担っている。肉厚部２１のトレイ内側の端部３１が角部を有していると、基板振動時に角部３１と基板１１１が接触し、基板１１１に傷が入る、基板１１１が破損する等の不具合が発生することがある。図３（ｂ）は、図１（ｂ）に示した、枠部の４辺のうち一方の対向する２辺を鉛直方向下側に撓ませて基板１１１を支持する基板用トレイ１１のＤ−Ｄ’方向の断面の概略図の１例であり、基板支持部１３が傾斜して直線状に形成されている。前記基板支持部１３は、基板１１１の湾曲に合わせて形成されていてもよく、前記基板支持部１３が基板１１１の湾曲に合わせて形成されている場合、基板保持部材１４は、前記基板支持部１３の湾曲に沿って形成される。
【００６３】
図４（ａ）は、前記基板保持部材１４の振動制御部１４ａが、肉厚部２１、厚さ変化部２２のみからなる場合の概略図である。肉厚部２１が、基板振動時の基板１１１の撓み発生時に、基板１１１と基板支持部１３が接触しない十分な厚みを備えていれば、肉薄部２３は不要となる。基板１１１の撓み性、前記基板支持部１３と前記基板保持部材の位置関係により前記厚みは異なってくるが、例えば厚さ０．７ｍｍのガラス基板を使用する場合、１．５ｍｍ以上の厚さがあればよい。
【００６４】
図２（ａ）および図２（ｂ）は、基板保持部材１４が、振動制御部１４ａおよび基板保持部１４ｂからなる場合の概略図である。基板支持部１３は、一般に金属で形成されている為、搬送または保管時の振動発生時に、保持される基板１１１との擦れ、衝突等により、基板１１１に傷、破損が発生する可能性がある。このような傷、破損を防止する為には、基板１１１を上側に保持し、基板支持部１３と基板１１１の接触を防止する基板保持部１４ｂは有効である。
【００６５】
図４（ｂ）、図５（ａ）、図５（ｂ）、図７（ａ）、図７（ｂ）は、基板１１１の水平方向の移動を規制する突起部１５を、基板保持部材１４の振動制御部１４ａの肉厚部２１に有する本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１の断面図の概略図であり、図６（ａ）、図６（ｂ）は、基板１１１の水平方向の移動を規制する突起部１５を、基板保持部材１４の基板保持部１４ａに有する本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１の断面図の概略図である。前記突起部１５は、搬送あるいは保管時に、基板１１１の水平方向の移動を規制する。
【００６６】
搬送または保管時の振動により、基板１１１は上下方向の振動だけではなく、水平方向の移動も発生する。このような移動を防止するために、特開２００６−１６８７４８号公報（特許文献１）、特許文献２特開２０１０−１２０６９０号公報（特許文献２）、特開２００８−１５５９９５号公報（特許文献３）では、基板への当接材を使用し固定している、またはテーパー状の基板保持部材の使用により移動を規制している。当接材の使用は、基板の汚れ、傷の原因となるとともに、基板が固定され、固定部に振動発生時の応力が発生することにより、基板の破損が発生する可能性がある。また、テーパー状の基板保持部材では、徐々に上下の間隙が狭くなっていくことにより水平方向の基板の移動が規制されるが、テーパー部により形成される間隙に、基板がくさび状に挟まれることにより基板保持部材が損傷し異物が発生する、さらに、基板が固定され、振動発生時の応力により、基板の破損が発生する等の可能性がある。
【００６７】
本発明では、前記基板保持部材１４の前記振動制御部１４ａを用いることにより、水平に保持される基板１１１の上側面は、振動発生時以外接触することは無く、接触による汚染、傷付きの防止を図っている。さらに、前記基板保持部材１４に前記突起部１５を設置することにより、保持される基板１１１を固定すること無く、振動等により生じる前記基板１１１の移動を防止している。前記突起部１５の前記基板１１１との接触面は、平坦に形成され、基板１１１端面と概平行となるように形成されている。基板１１１との接触時の傷つきにくさ、成形の容易さ等を考慮し、前記突起部１５の基板１１１との接触面と基板１１１端面との角度は、平行もしくは±１０度以下が好ましい。
【００６８】
図８（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１の一部を、上方より見た概略図で、図７（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１の一部を、下方より見た概略図である。基板支持部１３の上面側に基板保持部材１４の基板保持部１４ｂが基板支持部１３の上面側に突出して固定され、基板保持部材１４の振動制御部１４ａが基板支持部１３の下面側に突出して固定されている。図９（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１の、図８（ｂ）Ｅ−Ｅ’の鉛直方向の断面（振動制御部１４ａの肉厚部２１の断面）の概略図であり、図９（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１の、図８（ｂ）Ｆ−Ｆ’の鉛直方向の断面（振動制御部１４ａの肉薄部２３）の概略図である。前記基板保持部材１４の肉厚部２１の、該基板保持部材１４を支持する枠部１２の辺部と平行な断面は、図９（ａ）に示すように、前記振動制御部１４ａは前記基板支持部１３に沿って固定され、前記肉厚部２１の中央部８２は平坦で、肉厚部２１の端部８１は中央部２１から外側（ＥおよびＥ’方向）へ向けて徐々に厚さが減少している。前記端部８１の表面は、平坦であってもよく、図９（ａ）において下側に凸形状であってもよい。ただし、振動発生時に、保持する基板１１１との接触が発生した場合に、前記基板１１１の傷、破損等を防止する為、前記中央部８２と前記端部８１の接点部は、角部を形成せず、円弧形状等で滑らかに形成する必要がある。また、前記基板保持部１４ｂと、前記振動制御部１４ａの前記肉薄部２３は、前記基板支持部１３に沿って固定され、Ｆ−Ｆ’の鉛直方向の断面は均一な厚さを有している。
【００６９】
図１０（ａ）、（ｂ）は、基板保持部材１４（振動制御部１４ａ、基板保持部１４ｂ）が基板支持部１３に固定されている様子の概略図である。図１０（ａ）の直線状の前記基板保持部材１４、図１０（ｂ）の鉛直下側に撓ませた前記基板保持部材１４は、それぞれ、基板支持部１３に沿って固定される。
【００７０】
図１１（ａ）は、枠部１２の４辺が直線状である本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１を多層に積層した概略図で、図１１（ｂ）は、枠部１２の４辺のうち一方の対向する２辺は直線状で、枠部１２の４辺のうち他方の対向する２辺は鉛直方向下側に撓ませた本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１を積層した概略図である。搬送時にフォークリフト等で移動が可能なように搬送用架台１０３の上に、前記基板用トレイ１１を積層する。図１２（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１を複数多層に積層し、基板１１１を積載した概略図である。
【００７１】
図１３（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１に、基板１１１が積載されている概略図である。図１３中の、ａ〜ｍは、それぞれ対応する部位の寸法の数値である。ａは、積載する基板１１１の一方向の断面の幅、ｂは、機能層１３１を形成した基板１１１の、機能層１３１が形成されていない端部の幅、ｃは、基板１１１の両端を保持する前記基板１１１の両端部にある基板支持部１３に固定された基板保持部材１４の突起部１５の、それぞれ基板１１１と接触する突起部１５の端面（トレイ内側面）間の距離、ｄは振動制御部１４ｂの肉厚部２１の幅、ｅは枠部１２の厚さ、ｆは基板支持部１３の厚さ、ｇは基板保持部材１４の基板保持部１４ｂの厚さ、ｈは、基板保持部材１４の振動制御部１４ａの肉薄部２３の厚さ、ｉは積載される基板の厚さ、ｊは前記肉厚部２１と前記肉薄部２３の厚さの差、ｋは突起部１５と前記基板保持部１４ｂとの間隙の幅、ｌは突起部の厚さである。
【００７２】
本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの枠部１１の厚さｅは、基板１１１が積層され、搬送または保管時の振動発生時に接触しない十分な厚さが必要であり、かつ、多層に積載される前記基板用トレイの数を増やして搬送または保管の効率を上げるとともに軽量化のため薄くするという、相反する目的を達成する必要があり、５ｍｍ〜３０ｍｍであることが好ましい。
【００７３】
本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１の基板支持部１３の厚さｆは、変形することなく基板１１１を保持する必要があるとともに軽量化のため、１ｍｍ〜３ｍｍが好ましい。
【００７４】
本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１に積載される基板１１１は、一般的に搬送装置により前記基板用トレイ１１に積載される。装置の位置精度を見込んで、基板１１１の両端を保持する前記基板１１１の両端部にある基板支持部１３に固定された基板保持部材１４の突起部１５の、それぞれ基板１１１と接触する突起部１５の端面（トレイ内側面）間の距離ｃが設定される。ｃの距離は基板の幅ａより１ｍｍ〜１０ｍｍ大きい値になるのが好ましい。
【００７５】
振動制御部１４ｂの肉厚部２１の幅ｄは、積載される基板１１１に水平方向に一方向の移動が発生し、突起部１５に前記基板１１１の端面が接して前記基板１１１の移動が規制された時に、前記肉厚部２１が前記基板１１１上に表面に形成された機能層１３１に接することが無いように、さらに、前記基板１１１が一方向し一方の前記肉厚部に接して移動が規制された時、前記基板１１１の他方の端部が他方の肉厚部２１から外れないように設計される。前記肉厚部２１の幅ｄは、表面に機能層１３１が形成された基板１１１において、機能層１３１が形成されていない基板１１１の端部の幅ｂよりも小さく、かつ、基板の幅ａと、装置の位置精度を見込んで設計した前記突起部１５の基板と接触する端面間の距離ｃと、の差（ａ−ｃ）、よりも大きくなるように設計される（ｂ＞ｄ＞（ａ−ｃ））。表面に機能層１３１が形成された基板１１１において、機能層１３１が形成されていない基板１１１の端部の幅ｂが小さく、（ａ−ｃ）＞ｂとなってしまう場合、図１４に示したように、肉厚部２１の厚さが、トレイ内側に向かって減少する形状を使用することにより、機能層１３１への傷等の悪影響を避けることが可能となる。
【００７６】
基板保持部１４ｂの厚さｇと、振動制御部の肉薄部２３の厚さｈは、取り扱いの強度、基板支持部１３への取り付け後の安定性等を鑑みて、１ｍｍ〜３ｍｍが好ましい。更に、前記肉厚部２１と前記肉薄部２３の厚さの差ｊは、基板振動発生時に基板１１１が肉薄部２３に接触することを防止する為に、１．５ｍｍ以上あることが好ましい。
【００７７】
突起部１５が振動制御部１４ａに設置されている場合、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１を積層した時に、前記基板１１１を振動発生時のみ接触する前記肉厚部２１下面と、基板を保持する基板保持部１４ｂ上面との間隔は、基板の厚さｉの２倍〜５倍が好ましい。例えば、基板１１１の厚さが０．７ｍｍであった場合、１．４ｍｍ〜３．５ｍｍの範囲で設計することが好ましい。
【００７８】
突起部１５が振動制御部１４ａに設置されている場合、前記突起部１５の下面と、前記基板保持部１４ｂの上面との間隔ｋは、前記枠部の厚さｅと、前記基板保持部の厚さｇ、前記基板支持部１３の厚さｆ、前記肉薄部２３の厚さｈ、前記肉厚部２１と前記肉薄部２３の厚さの差ｊ、突起部の厚さｌとの和、との差（ｋ＝ｅ−（ｇ＋ｆ＋ｈ＋ｊ＋ｌ））となる。前記突起部１５の下面と、前記基板保持部１４ｂの上面との間隔ｋは、前記基板用トレイ１１が保持する前記基板１１１の水平方向の移動を規制する為、前記基板１１１の厚さｉより狭く設定する必要がある（ｋ＜ｉ）。例えば、基板の厚さが０．７ｍｍであった場合、製造誤差等を鑑みて、前記突起部１５の下面と前記基板保持部１４ｂの上面との間隔ｋは０．５ｍｍ以下に設計することが好ましい。前記突起部１５が前記基板保持部１４ｂに取り付けられている場合も、前記突起部１５上面と前記振動制御部１４ａとの間隔も同様に０．５ｍｍ以下に設計することが好ましい。突起部１５の高さは、前述の設計値を考慮した上で１ｍｍ〜３ｍｍで設計することが好ましい。
【００７９】
本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１の基板保持部材１４は、図１〜図１３では基板支持部１３の範囲内に固定してあるが、図１４に示すように、基板支持部１３の、該基板支持部１３を有する基板用トレイ１１の内側方向へ突出していてもよい。
【００８０】
図１５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１において、基板保持部材１４の基板支持部１３への固定の方法の１例の概略図である。図１５（ａ）は、前記振動保持部１４ａおよび前記基板保持部１４ｂを一体成形した基板保持部材１４を、前記基板支持部１３の切り欠き部へ挿入し、固定する方法の概略図である。図１５（ｂ）は、振動保持部１４ａおよび基板保持部１４ｂを一体成形した基板保持部材１４を、前記基板支持部１３に基板保持部材を固定するために形成した前記基板支持部１３の開口部へ、嵌め込んで固定する方法の概略図である。図１５（ｂ）は、図１６に例示したように、振動保持部１４ａおよび基板保持部１４ｂにそれぞれ嵌合部１６１ａ、１６１ｂおよび位置決め部１６２等を形成し、前記基板支持部１３に基板保持部材１４を固定するために形成した前記基板支持部１３の開口部へ、上下より嵌合させて固定する方法の概略図である。また、図に示していないが、前記基板保持部材１４の前記振動制御部１４ａと前記基板保持部１４ｂを、前記基板支持部１３へ、接着剤等を使用して貼り付けてもよい。また、位置精度を出す為に、前記基板支持部１３へざぐりを入れて、接着剤等を使用して貼り付けてもよい。基板保持部材１４の基板支持部１３への固定方法は、位置精度、固定強度が満たされていればよく、前述した方法に限るものではない。
【００８１】
本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１に固定される、熱可塑性樹脂により形成された前記基板保持部材１４は、積載される基材１１１の傷、破損等を防止する為、基板突起部以外の、外側に凸形状を持つ部分は全て円弧状に面取りされた形状を持っている。
【００８２】
本発明の実施例を以下に説明する。
【実施例】
【００８３】
液晶用Ｇ６サイズ基板（１８５０ｍｍ×１５００ｍｍ×０．７ｍｍｔ；機能層１３１は基板中央に形成され、機能層１３１の領域のサイズは１８２０ｍｍ×１４７０ｍｍ）用の基板用トレイを作製し、トラックによる搬送テストを行った。
【００８４】
枠部１２は、長辺側の２辺を直線状に、短辺側を曲率半径３０００ｍｍになるように鉛直下側へ撓ませて作製した。枠部１２の厚さｅは１０ｍｍになるよう作製した。また、枠部１２には、前記基板用トレイ１１を上下に多数積層したときに、積層されたそれぞれの前記基板用トレイ１１が、上面から見て同じ位置になるように嵌合部を設けるとともに、機械搬送用の取手を設けた。基板支持部１３の厚さは２ｍｍで、前記前記枠部１２に沿って形成した。前記前記枠部１２に支持された基板支持部１３に、基板保持部材１４設置用の開口部を長辺側８箇所、短辺側７箇所を切削加工により形成した。基板保持部１４は、それぞれ別に、振動制御部１４ａと基板保持部１４ｂを作製した。突起部１５は、振動制御部１４ａの肉厚部２１に設置した。振動制御部１４ａと基板保持部１４ｂに、それぞれ嵌合部１６１ａ，１６１ｂおよびを形成し、前記基板支持部１３の開口形状に合わせて、位置決め部１６２を基板保持部に形成した。
【００８５】
前記枠部１２と前記基板支持部１３は、材料にジュラルミンを用い、押し出し成形法により作製した。前記基板支持部１４の前記振動制御部１４ａと前記基板保持部１４ｂは、材料にポリプロピレンを用いて、それぞれ射出成形法により別途成形し、前記振動制御部１４ａと前記基板保持部１４ｂを前記嵌合部１６１ａ，１６１ｂ、前記位置決め部１６２を利用して、前記基板支持部１３の開口部へ前記振動制御部１４ａと前記基板保持部１４ｂを勘合させて固定した。
【００８６】
前記基板１１１の両端に位置する、前記基板１１１の水平方向の移動を規制する２つの突起１５のトレイ内側面間の距離は、前記基板１１１のサイズ（１８５０ｍｍ×１５００ｍｍ）と、前記基板１１１を前記基板用トレイ１１へ積載するときの装置誤差を鑑みて、長辺側１８６０ｍｍ、短辺側１５１０ｍｍとした（ａ−ｃ＝１０）。
【００８７】
前記基板保持部材１４が固定された前記枠部１２の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部材１４の前記振動制御部１４ａの前記肉厚部の幅ｄは、１２．５ｍｍとした。前記厚さ変化部２２の幅は５ｍｍ、前記肉薄部２３の幅は３０ｍｍ、前記突起部１５の幅は５ｍｍとした。前記基板保持部材１４が固定された前記枠部１２の辺部と平行な鉛直方向の断面において、前記基板保持部材１４の前記振動制御部１４ａの前記肉厚部の平坦な中央部８２の幅は１２０ｍｍ、前記肉厚部端部の幅は３０ｍｍとした。（振動制御部のサイズは、５２．５ｍｍ×１８０ｍｍ）前記基板保持部材１４の前記基板保持部１４ｂのサイズも同様に５２．５ｍｍ×１８０ｍｍとした。
【００８８】
また、前記肉厚部２１の厚さは３．８ｍｍ、前記肉薄部２３の厚さｈは１．５ｍｍ（前記肉厚部２１と前記肉薄部２３の厚さの差ｊ＝２．３ｍｍ）、前記突起部の厚さｌは２．５ｍｍ（前記突起部１５の下面と、前記基板保持部１４ｂの上面との間隔ｋ＝０．２ｍｍ）、前記基板保持部１４ｂの厚さは１．５ｍｍ（前記突起部１５と前記基板保持部１４ｂとの間隙の幅ｋ＝０．２ｍｍ）でとした。
【００８９】
さらに、突起部１５を除く角部は全て曲率半径１ｍｍ〜１０ｍｍの範囲で面取りされた形状とした。
【００９０】
また、前記基板保持部材１４の前記基板保持部１４ｂの、保持される基板と接する面の平坦性は、特に前記前記基板保持部１４ｂが樹脂からなる場合に、保持される基板裏面への樹脂材料の転写による基板汚染に影響を与える。本発明の前記基板保持部１４ｂを有するポリプロピレン（ＰＰ）からなる基板保持部材１４に関して、保持される基板と接する面の表面粗さが異なるサンプルを作製し、評価を行った結果、算術平均粗さＲａが０．１０μｍより大きいサンプル、または二乗平均粗さＲＭＳが０．１５μｍより大きいサンプルにおいては、該基板保持部材１４ｂの樹脂の転写による基板裏面の汚染が発生し、算術平均粗さＲａが０．１０μｍ以下のサンプル、または二乗平均粗さＲＭＳが０．１５μｍ以下のサンプルにおいては該基板保持部材１４ｂの樹脂の転写による基板裏面の汚染は発生しなかった。この結果から、前記基板保持部１４ｂの、保持される基板と接する面の平坦性は、算術平均粗さＲａが０．１０μｍ以下、または二乗平均粗さＲＭＳが０．１５μｍ以下であることが好ましい。さらには、算術平均粗さＲａが０．１０μｍ以下、且つ、二乗平均粗さＲＭＳが０．１５μｍ以下であることがより好ましい。尚、前記表面粗さ測定は、株式会社キーエンス社製形状測定レーザマイクロスコープ VK-9500を用いて行った。（表面粗さは、JIS B 0601-1994表面粗さの定義に準じて計算を行った。）
前述の通り作製した前記基板保持部材１４の前記振動制御部１４ａと前記基板保持部１４ｂを、図１５（ｃ）に記載したように、前記基板支持部１３の開口部へ嵌合により設置した。前記基板保持部材１４の、トレイ内側方向の端部と、前記基板支持部１３のトレイ内側方向の端部との距離が、５ｍｍとなるように、該基板支持部１３に開口部を形成した。
【００９１】
以上のように作製した基板用トレイ１１を、搬送用架台１０３上に１５０枚積層し、異物防止の為のカバーをかけた上で、トラックで搬送テストを行った結果、基板の破損、汚れ等の問題が発生することなく搬送が可能であることが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
本発明は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、その上側に載せて水平に支持するトレイであり、平面型ディスプレイパネル用の板状の各種材料(例えば、ガラスやプラスチックなど)ないし部材、あるいは、金属、レアメタル、シリコンなどの板状物からなる基板や、それらに処理を施した板状の処理部材の、搬送、保管に利用可能である。
【符号の説明】
【００９３】
１１  基板用トレイ
１２  枠部
１３  基板支持部
１４  基板保持部材
１４ａ  振動制御部
１４ｂ  基板保持部
１５  突起部
２１  肉厚部
２２  厚さ変化部
２３  肉薄部
８１  肉厚部の中央部
８２  肉厚部端部
１０３  搬送用架台
１１１  基板
１３１  機能層
１６１ａ  嵌合部
１６１ｂ  嵌合部
１６２  位置決め部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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