(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
原子燃料用核燃料棒の内部の欠陥の検出および寸法測定を実施するＸ線検査装置を用いて、検査対象物である原子燃料用核燃料棒にＸ線を透過させてダイレクトラジオグラフィ法により得られた検査画像データから、前記検査画像の輝度、コントラスト、ノイズおよび寸法をパラメータとする画像処理を行って、前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う際に、合否判定基準の校正を行うＸ線検査の校正方法であって、
前記Ｘ線検査装置の初期使用時に、基準ワークにＸ線を透過させ、ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにＸ線を透過させ、前記ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正するＸ線検査の校正方法であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のＸ線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするＸ線検査の校正方法。
【請求項２】
検査対象物である原子燃料用核燃料棒にＸ線を照射するＸ線発生ステップと、
前記原子燃料用核燃料棒を透過したＸ線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像ステップと、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理ステップと、
前記検査画像データから、前記検査画像の輝度、コントラスト、ノイズおよび寸法をパラメータとする画像処理を行って、前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定ステップと
を備えたＸ線検査方法であって、
前記合否判定ステップが、
Ｘ線検査装置の初期使用時に、基準ワークにＸ線を透過させ、ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにＸ線を透過させ、前記ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正する校正ステップを備えており、
前記校正ステップにより校正された合否判定基準に基づいて、前記検査対象物の合否判定を行うＸ線検査方法であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のＸ線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするＸ線検査方法。
【請求項３】
検査対象物である原子燃料用核燃料棒にＸ線を照射するＸ線発生手段と、
前記原子燃料用核燃料棒を透過したＸ線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像手段と、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理手段と、
前記検査画像データから、前記検査画像の輝度、コントラスト、ノイズおよび寸法をパラメータとする画像処理を行って、前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定手段と
を備えたＸ線検査装置であって、
前記合否判定手段には、
前記Ｘ線検査装置の初期使用時に、基準ワークにＸ線を透過させ、ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた基準画像データと、
検査開始前に前記基準ワークにＸ線を透過させ、前記ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正する校正手段が設けられており、
前記校正手段により校正された合否判定基準に基づいて、前記原子燃料用核燃料棒の合否判定が行われるＸ線検査装置であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のＸ線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原子燃料用核燃料棒の検査に際して行われるＸ線検査の校正方法、Ｘ線検査方法、およびＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
原子燃料用核燃料棒は、通常、被覆管内に核燃料物質を含んだペレットとプレナムコイルばねが挿入され、被覆管の上・下端部に端栓が取り付けられて溶接されることにより密封されている。
【０００３】
このとき、原子燃料用核燃料棒に挿入されたペレットやプレナムコイルばねに欠陥や寸法不良があると、原子燃料用核燃料棒の性能低下につながる恐れがあるため、原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出や寸法測定を行って、原子燃料用核燃料棒の健全性を担保することが重要となる。
【０００４】
この内部欠陥の検出や寸法測定を実施する検査方法の一つとして、Ｘ線透過法を用いた検査方法がある。このような検査方法に好適なＸ線検査装置として、Ｘ線発生装置と、原子燃料用核燃料棒を透過したＸ線を光画像に変換する蛍光板などの変換部材と光画像を撮像するＣＣＤカメラなどの撮像手段とを組み合わせた、いわゆるダイレクトラジオグラフィ法により撮像データを得る撮像手段と、得られた撮像データを画像処理して検査項目に対応した画像データを得る画像処理手段と、得られた画像データに基づいて、内部欠陥の検出や寸法測定の合否を判定する合否判定手段とを備えたＸ線画像処理装置が開発されている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−２６８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記の従来技術には、誤判定やエラーが発生し、信頼性が十分とは言えないという問題があった。
【０００７】
即ち、例えばＸ線発生装置、特にＸ線管は消耗品であるため、線質が劣化する。また、蛍光板、反射ミラー、ＣＣＤカメラ等のいわゆるＸ線を受信する側の機器は、Ｘ線に対する曝露に伴い品質が劣化する。このため、これらハードウエアの劣化に伴い、得られる撮像データや画像データが劣化する。従来技術では、このような線質や機器の品質劣化に伴い撮像データが劣化した場合でも、画像処理するソフトウエアが、予め設定された画像データのレベルで合否判定を行うようにソフトウエアが作製されていたため、これらの劣化した撮像データや画像データに対して、誤判定やエラーが発生することがあった。
【０００８】
そこで、本発明は、原子燃料用核燃料棒の検査に際して行われるＸ線検査において、ハードウエアの劣化に伴う誤判定やエラーの発生が抑制され、十分な信頼性を有するＸ線検査の校正方法、Ｘ線検査方法、およびＸ線検査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、上記課題を解決するため鋭意検討を行った結果、以下に記載する本発明に関連する技術により上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させるに至った。以下、各技術毎に説明する。
【００１０】
本発明に関連する第１の技術は、
原子燃料用核燃料棒の内部の欠陥の検出および寸法測定を実施するＸ線検査装置を用いて、検査対象物である原子燃料用核燃料棒にＸ線を透過させてダイレクトラジオグラフィ法により得られた検査画像データから前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う際に、合否判定基準の校正を行うＸ線検査の校正方法であって、
前記Ｘ線検査装置の初期使用時に、基準ワークにＸ線を透過させて得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにＸ線を透過させて得られた校正用画像データ
との差異に基づいて、前記合否判定基準を校正することを特徴とするＸ線検査の校正方法である。
【００１１】
本技術においては、まず、Ｘ線検査装置の初期使用時に、基準ワークにＸ線を透過させて基準画像データを得る。そして、検査開始直前に基準ワークにＸ線を透過させて校正用画像データを得る。さらに、基準画像データと校正用画像データとの差異に基づいて、検査に際して得られる画像データの劣化状況を把握して、合否判定基準を校正する。これにより、劣化した画像データに対しても適切に合否判定することができ、誤判定やエラーの発生を抑制することができる。
【００１２】
即ち、画像処理ソフトウエアをハードウエアの劣化による撮像データの劣化に追随させると同時に、ハードウエアの日々の変化による撮像データの変化をフィードバックさせた校正を行うことにより、誤判定やエラーの発生を抑制すると共に、バラつきを抑制することができ、信頼性の高い検査を行うことができる。
【００１３】
本発明に関連する第２の技術は、
検査対象物である原子燃料用核燃料棒にＸ線を照射するＸ線発生ステップと、
前記原子燃料用核燃料棒を透過したＸ線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像ステップと、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理ステップと、
前記検査画像データにより前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定ステップと
を備えたＸ線検査方法であって、
前記合否判定ステップが、
Ｘ線検査装置の初期使用時に、基準ワークにＸ線を透過させて前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにＸ線を透過させて前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた校正用画像データ
との差異に基づいて、前記合否判定基準を校正する校正ステップを備えており、
前記校正ステップにより校正された合否判定基準に基づいて、前記検査対象物の合否判定を行う
ことを特徴とするＸ線検査方法である。
【００１４】
本技術においては、前記のＸ線検査の校正方法と同様の校正ステップを設けて、合否判定基準を校正、再設定しているため、劣化した画像データに対しても適切に合否判定することができ、誤判定やエラーの発生が抑制されたＸ線検査を行うことができる。
【００１５】
本発明に関連する第３の技術は、
検査対象物である原子燃料用核燃料棒にＸ線を照射するＸ線発生手段と、
前記原子燃料用核燃料棒を透過したＸ線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像手段と、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理手段と、
前記検査画像データにより前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定手段と
を備えたＸ線検査装置であって、
前記合否判定手段には、
前記Ｘ線検査装置の初期使用時に、基準ワークにＸ線を透過させて前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた基準画像データと、
検査開始前に前記基準ワークにＸ線を透過させて前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた校正用画像データ
との差異に基づいて、前記合否判定基準を校正する校正手段が設けられており、
前記校正手段により校正された合否判定基準に基づいて、前記原子燃料用核燃料棒の合否判定が行われる
ことを特徴とするＸ線検査装置である。
【００１６】
本技術においては、前記のＸ線検査方法の校正ステップに対応する校正手段が設けられており、校正手段により校正された合否判定基準に基づいて、前記検査対象物の合否判定が行われるため、このようなＸ線検査装置を用いることにより、誤判定やエラーの発生が抑制されたＸ線検査を行うことができる。
【００１７】
本発明に関連する第４の技術は、
第１の技術のＸ線検査の校正方法に用いられる基準ワークであって、
原子燃料用核燃料棒と同等のＸ線透過率の材料および模擬欠陥を有していることを特徴とする基準ワークである。
【００１８】
このような模擬欠陥を有する基準ワークを用いることにより、実際の原子燃料用核燃料棒中の検査画像データにおいて、内部欠陥の検出に必要な濃淡差（欠陥のある個所とない個所ではＸ線の透過に違いが生じ濃淡差ができる）を得ることができる。また、寸法既知の模擬欠陥と検査画像データ上の模擬欠陥とを比較して相対比を求めることにより、内部欠陥の寸法測定を補正して、内部欠陥の寸法測定に必要なパラメータを補正することができる。この結果、検査に際しての合否判定基準の校正を容易かつ正確に行うことができる。
【００１９】
本発明は、上記技術に基づくものであり、請求項１に記載の本発明は、
原子燃料用核燃料棒の内部の欠陥の検出および寸法測定を実施するＸ線検査装置を用いて、検査対象物である原子燃料用核燃料棒にＸ線を透過させてダイレクトラジオグラフィ法により得られた検査画像データから、前記検査画像の輝度、コントラスト、ノイズおよび寸法をパラメータとする画像処理を行って、前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う際に、合否判定基準の校正を行うＸ線検査の校正方法であって、
前記Ｘ線検査装置の初期使用時に、基準ワークにＸ線を透過させ、ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにＸ線を透過させ、前記ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正するＸ線検査の校正方法であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のＸ線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするＸ線検査の校正方法である。
【００２０】
また、請求項２に記載の発明は、
検査対象物である原子燃料用核燃料棒にＸ線を照射するＸ線発生ステップと、
前記原子燃料用核燃料棒を透過したＸ線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像ステップと、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理ステップと、
前記検査画像データから、前記検査画像の輝度、コントラスト、ノイズおよび寸法をパラメータとする画像処理を行って、前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定ステップと
を備えたＸ線検査方法であって、
前記合否判定ステップが、
Ｘ線検査装置の初期使用時に、基準ワークにＸ線を透過させ、ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた基準画像データと、
検査開始前に、前記基準ワークにＸ線を透過させ、前記ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して前記撮像ステップおよび前記画像処理ステップにより得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正する校正ステップを備えており、
前記校正ステップにより校正された合否判定基準に基づいて、前記検査対象物の合否判定を行うＸ線検査方法であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のＸ線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするＸ線検査方法である。
【００２１】
また、請求項３に記載の発明は、
検査対象物である原子燃料用核燃料棒にＸ線を照射するＸ線発生手段と、
前記原子燃料用核燃料棒を透過したＸ線に基いてダイレクトラジオグラフィ法により前記原子燃料用核燃料棒の撮像データを得る撮像手段と、
前記撮像データを画像処理して前記原子燃料用核燃料棒に対応した検査画像データを得る画像処理手段と、
前記検査画像データから、前記検査画像の輝度、コントラスト、ノイズおよび寸法をパラメータとする画像処理を行って、前記原子燃料用核燃料棒の内部欠陥の検出および寸法測定を行う際、合否判定基準に基づいて前記原子燃料用核燃料棒の合否判定を行う合否判定手段と
を備えたＸ線検査装置であって、
前記合否判定手段には、
前記Ｘ線検査装置の初期使用時に、基準ワークにＸ線を透過させ、ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた基準画像データと、
検査開始前に前記基準ワークにＸ線を透過させ、前記ＣＣＤカメラで撮像されたＸ線透過画像を画像処理して前記撮像手段および前記画像処理手段により得られた校正用画像データ
との前記パラメータの差異に基づいて前記パラメータの補正量を求め、求められた補正量に基づいて前記合否判定基準を校正する校正手段が設けられており、
前記校正手段により校正された合否判定基準に基づいて、前記原子燃料用核燃料棒の合否判定が行われるＸ線検査装置であり、
前記基準ワークを構成する各部材が、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒を構成する各部材と同じ組成または同一のＸ線透過率の材料を用いて、同じ寸法または相似した寸法に形成されて、前記原子燃料用核燃料棒と同一に配置されることにより、
前記基準ワークが、検査対象物である前記原子燃料用核燃料棒と同一の仕様に作製されていることを特徴とするＸ線検査装置である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、原子燃料用核燃料棒の検査に際して行われるＸ線検査において、ハードウエアの劣化に伴う誤判定やエラーの発生が抑制され、十分な信頼性を有するＸ線検査を可能にするＸ線検査の校正方法、Ｘ線検査方法、およびＸ線検査装置をを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施の形態のＸ線検査装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】本発明の一実施の形態の基準ワークの一例を模式的に示す図である。
【図３】本発明の一実施の形態のＸ線検査の手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施の形態に基づき、図面を用いて説明する。
【００２５】
１．Ｘ線検査装置
はじめに、Ｘ線検査装置について説明する。図１は本実施の形態のＸ線検査装置の構成を模式的に示す図であり、１はＸ線発生装置、２は蛍光板、３は反射ミラー、４はＣＣＤカメラ、５は画像処理装置、６は自動合否判定装置である。また、Ｗは検査対象のワーク（原子燃料用核燃料棒）であり、ＳＷは基準ワークである。
【００２６】
なお、本実施の形態におけるＸ線検査装置自体は、基本的には、従来のＸ線検査装置と同様の構成を有している。そして、従来と同様に、ワークに対してＸ線照射を行うことにより得られた輝度、コントラスト、ノイズ、寸法等についての画像データに基づき、原子燃料用核燃料棒のペレット自身の欠陥（ペレットの欠け）、ペレットスタック中の欠陥（ペレット・ペレット間ギャップ）、プレナムコイルばねの有無、プレナム部の寸法、プレナム部に存在しているペレットチップの有無、端栓部の欠陥に対して検査を実施する。
【００２７】
（１）撮像手段
撮像手段は、Ｘ線発生装置１、蛍光板２、反射ミラー３、ＣＣＤカメラ４から構成されている。Ｘ線発生装置１は、蛍光板２の手前に配置されたワークＷ（または基準ワークＳＷ）にＸ線を照射する。蛍光板２は、ワークＷ（または基準ワークＳＷ）を透過したＸ線を検知し、光画像に変換する。反射ミラー３は、得られた光画像を反射し、ＣＣＤカメラ４に導く。ＣＣＤカメラ４は、光画像を撮像データとして読み取る（ダイレクトラジオグラフィ法）。
【００２８】
（２）画像処理手段
ＣＣＤカメラ４に読み取られた撮像データは、画像処理装置５に送られ、画像処理装置５に予め内蔵された画像処理手段に基づき、上記した原子燃料用核燃料棒のペレット自身の欠陥（ペレットの欠け）、ペレットスタック中の欠陥（ペレット・ペレット間ギャップ）、プレナムコイルばねの有無、プレナム部の寸法、プレナム部に存在しているペレットチップの有無、端栓部の欠陥などの各検査項目に対応した画像データに処理される。
【００２９】
（３）合否判定手段
処理された画像データは、自動合否判定装置６に送られ、自動合否判定装置６に予め内蔵された画像データの閾値を合否判定基準として、各検査項目の合否が自動的に判定される。
【００３０】
（４）校正手段
以上の各手段は、従来のＸ線検査装置にも備えられていたが、本実施の形態のＸ線検査装置においては、さらに、前記の合否判定手段において合否判定を行うに際して、劣化した撮像データに対応して、合否判定基準を予め校正する校正手段が備えられている点に大きな特徴がある。
【００３１】
即ち、前記したように、従来のＸ線検査装置においては、Ｘ線検査装置のＸ線発生装置、蛍光板、反射ミラー、ＣＣＤカメラなどのハードウエアの劣化が発生していない初期使用時に得られた画像データ（基準画像データ）に基づいて設定された合否判定基準により合否判定を行っていた。
【００３２】
これに対して、本実施の形態においては、所定の基準ワークＳＷを用いて、ハードウエアの劣化が発生していないＸ線検査装置の使用初期とハードウエアの劣化が発生した後のＸ線検査装置を用いた実際の検査の直前のそれぞれで画像データを取得しており、その後、得られた２つの画像データを比較し、その差異を求めている。
【００３３】
上記により、Ｘ線発生装置、蛍光板、反射ミラー、ＣＣＤカメラなどのハードウエアの日々の劣化に伴う画像データの劣化程度を把握することができる。
【００３４】
そして、次に、この画像データの劣化程度に応じて合否判定基準を校正、再設定させている。
【００３５】
このように、合否判定基準を、基準ワークＳＷを用いて取得された装置の劣化前後の画像データに基づいて、校正、再設定させることにより、従来のように、劣化した撮像データに対して、初期使用時に得られた画像データだけに基づいて合否を判定する場合と異なり、劣化した撮像データであっても誤判定やエラーの発生を抑制することができる。
【００３６】
２．Ｘ線検査方法
次に、本実施の形態のＸ線検査装置を用いた検査方法につき説明する。本実施の形態におけるＸ線検査は、以下の手順により行われる。
【００３７】
（１）準備工程
（ａ）基準ワークの準備
まず、上記したように、本検査においては検査項目が多岐に亘っており、それぞれの検査項目における基準画像データ（ベースとすべき画像データ）が異なる。そこで、使用開始前のワークと同等の仕様に作製された基準ワークを、予め準備して、各検査項目に対応した画像データを効率的に取得する。
【００３８】
図２に、本発明の一実施の形態の基準ワークの一例を模式的に示す。図２において、上段左側は平面図、上段右側は側面図、下段は正面図であり、ＳＷは基準ワーク、１１はトレイ、１２は空間であり、１３はプレナム部、１４は空管、１５は異材、１６は模擬欠陥、１７はワークとＸ線透過率が同等の材料である。
【００３９】
そして、図２においては、これらが検査対象の核燃料棒構成部材と同組成材料、同透過率を有する材料、さらには同寸法を有する材料で構成されており、さらには、トレイ１１、空間１２、プレナム部１３、空管１４、異材１５、模擬欠陥１６、およびワークとＸ線透過率が同等の材料１７の配置が実際の検査装置と同じ配置位置であることから、使用開始前のワークと同等の仕様と考えることができ、前記した校正用の基準ワークとして使用することができる。
【００４０】
上記において、空管１４は原子燃料用核燃料棒の内部にペレットやプレナムコイルばねがない空虚な状態における透過像の校正のために、また、異材１５は原子燃料用核燃料棒の内部に異材が混入した状態における透過像の校正のために設けられており、異材１５としては、一般構造用鋼材やステンレス鋼、アルミ鋼などを挙げることができる。
【００４１】
なお、基準ワークＳＷは、必ずしもワークと同寸法である必要はなく、相似寸法でもよい。また、「ワークとＸ線透過率が同等の材料１７」とは、基準ワークＳＷの作製に際して、例えば、二酸化ウランペレットのような核燃料物質を用いる代わりに、Ｘ線透過率が同等の鉛−アンチモンやタングステン−カーバイドなどに代替できることを示している。
【００４２】
また、実際の検査においては、ワークを載せるトレイなども同時に写し込んで画像処理が行われる場合があるが、この場合には、これらトレイなどの材質や寸法を反映させた基準ワークを作製しておくことが好ましい。
【００４３】
（ｂ）基準画像データの取得と合否判定基準の設定
上記の基準ワークを用いて、機器の劣化が起きる前のフレッシュな状態で画像データを取得し、これを前記した基準画像データとする。
【００４４】
得られた基準画像データを画像処理装置に取り込み、画像処理結果に基づいて合否判定基準を設定する。
【００４５】
（２）検査工程
次に、図３に示すフローチャートに基づいて検査を行う。
【００４６】
（ａ）合否判定基準の校正
前記したように、機器の劣化により取得される画像データが劣化するため、検査に先立って、合否判定基準を校正する。
【００４７】
具体的には、まず、Ｘ線検査装置に上記の基準ワークをセットする（Ｓ１）。次に、基準ワークにＸ線を照射（Ｓ２）し、画像データを取得する（Ｓ３）。得られた画像データを基準画像データと比較（Ｓ４）し、その差異に基づいて、その検査における補正量（パラメータ）を設定する（Ｓ５）。そして、この補正量に基づいて、前記基準画像データを校正すると共に、合否判定基準を校正して、画像処理装置内において、これらを自動で再設定させる。
【００４８】
なお、合否判定基準の具体的な補正は、予め模擬欠陥を有する基準ワークを用いて得られた当初の基準画像データと、ベースとなる当初の基準画像データとの差異に基づいて評価、作成された相関式が画像処理装置に入力されており、この式に基づいて補正量が自動で再設定されることにより行われる。
【００４９】
（ｂ）本検査
次に、基準ワークに代えてワークをセット（Ｓ６）し、同様に、Ｘ線を照射（Ｓ７）して、画像データを取得（Ｓ８）する。得られた画像データを、補正量を考慮して上記で校正された合否判定基準に基づいて、合否判定を自動で行う（Ｓ９）。
【００５０】
以上のように、本実施の形態においては、日々劣化していくＸ線発生装置、蛍光板、反射ミラー、ＣＣＤカメラなどのハードウエアによる撮像データの劣化に対して画像処理ソフトウエアを追随させて合否判定基準を校正しているため、検査における誤判定やエラーの発生を抑制することができる。
【００５１】
そして、誤判定やエラーの発生が抑制されることにより、再検査を行う頻度が低減して、生産性の向上を図ることができる。また、ハードウエアの寿命の長期化を図ることができる。さらに、作業者の被爆低減を図ることができる。
【００５２】
以上、本発明を実施の形態に基づいて説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明と同一および均等の範囲内において、上記の実施の形態に対して種々の変更を加えることができる。
【符号の説明】
【００５３】
１      Ｘ線発生装置
２      蛍光板
３      反射ミラー
４      ＣＣＤカメラ
５      画像処理装置
６      自動合否判定装置
１１    トレイ
１２    空間
１３    プレナム部
１４    空管
１５    異材
１６    模擬（擬似）欠陥
１７    ワークと同透過率の材料
Ｗ      ワーク（原子燃料用核燃料棒）
ＳＷ    基準ワーク
【図１】
0005960502.tif 000002
【図２】
0005960502.tif 000003
【図３】
0005960502.tif 000004