(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の駆動軸と、第２の駆動軸と、を有し、前記第１の駆動軸および前記第２の駆動軸を第１の軸まわりに同期して回転させることが可能な駆動モータと、
前記第１の駆動軸の回転によって前記第１の軸と直交する第２の軸方向に往復移動する第１のピストンと、前記第１のピストンの往復移動に応じて内圧が変化する第１のポンプ室と、を有する真空排気用の第１のポンプ部と、
前記第２の駆動軸の回転によって前記第２の軸方向に往復移動する第２のピストンと、前記第２のピストンの往復移動に応じて内圧が変化する第２のポンプ室と、を有し、前記第２のピストンが前記第１のピストンに対して０°超８０°未満の回転位相差をもって進相する加圧用の第２のポンプ部と、
を具備するポンプ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のポンプ装置であって、
前記回転位相差は、４０°±１５°である
ポンプ装置。
【請求項３】
請求項１に記載のポンプ装置であって、
前記第１のポンプ部は、前記第１の駆動軸に連結された第１の偏芯部材と、前記第１の駆動軸のまわりを回転し、前記第１の偏芯部材に固定される第１のカウンタウェイトをさらに有し、
前記第２のポンプ部は、前記第２の駆動軸に連結された第２の偏芯部材と、前記第１のカウンタウェイトに対して前記回転位相差をもって前記第２の駆動軸のまわりを回転し、前記第２の偏芯部材に固定される第２のカウンタウェイトをさらに有する
ポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプと加圧ポンプとを備えたポンプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空ポンプの一種である揺動ピストン型ポンプは、シリンダ内でピストンが往復運動することによりポンプ室内の吸気及び排気を交互に行う往復移動式のポンプとして知られており、例えば真空ポンプや加圧ポンプとして広く使用されている。【０００３】
一方、共通のモータで同時に駆動される真空排気用および加圧用の２つのピストンを備えた複合型のポンプ装置も知られている。この種のポンプ装置の駆動方法としては、当該２つのピストンを相互に逆位相で往復移動させる方法と、これらを相互に同位相で往復移動させる方法とが知られている（例えば下記特許文献１参照）。【０００４】
前者の方法、すなわち両ピストンの回転位相を１８０°異ならせて往復移動させる駆動方法は、各ポンプの動的バランスを良好に維持してポンプ装置全体の振動を低減できるという利点がある。一方、後者の方法、すなわち両ピストンを同時に上死点または下死点へ移動させる駆動方法は、駆動源の負荷変動を小さくしてポンプ装置の安定した運転を実現できるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−３１０６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、ポンプ装置の消費電力の低減が要求されており、上述した複合型のポンプ装置においても更なる消費電力の低減が望まれている。【０００７】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、消費電力の更なる低減を実現することができるポンプ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るポンプ装置は、駆動モータと、真空排気用の第１のポンプ部と、加圧用の第２のポンプ部と、を具備する。
上記駆動モータは、第１の駆動軸と、第２の駆動軸とを有する。上記駆動モータは、上記第１の駆動軸および上記第２の駆動軸を第１の軸まわりに同期して回転させることが可能に構成される。
上記第１のポンプ部は、上記第１の駆動軸の回転によって上記第１の軸と直交する第２の軸方向に往復移動する第１のピストンと、上記第１のピストンの往復移動に応じて内圧が変化する第１のポンプ室と、を有する。
上記第２のポンプ部は、上記第２の駆動軸の回転によって上記第２の軸方向に往復移動する第２のピストンと、上記第２のピストンの往復移動に応じて内圧が変化する第２のポンプ室と、を有する。上記第２のピストンは、上記第１のピストンに対して０°超８０°未満の回転位相差をもって進相する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係るポンプ装置の正面側から見た斜視図である。
【図２】上記ポンプ装置の背面側から見た斜視図である。
【図３】上記ポンプ装置の右側面図である。
【図４】上記ポンプ装置の左側面図である。
【図５】上記ポンプ装置の真空ポンプ部および駆動部の一部の構成を示す縦断面図である。
【図６】上記ポンプ装置の真空ポンプ部側の偏芯軸と、加圧ポンプ部側の偏芯軸との関係を説明する模式図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は真空ポンプ部側から見た側面図である。
【図７】真空段におけるポンプ室内圧と加圧段におけるポンプ室内圧とが同位相となるようにポンプ装置を駆動したときの一実験結果であり、（Ａ）は真空段におけるポンプ室内圧とピストン位置との時間変化を示し、（Ｂ）は加圧段におけるポンプ室内圧とピストン位置との時間変化を示し、（Ｃ）は真空段におけるポンプ室の圧力波形と加圧段におけるポンプ室の圧力波形との合成波形を示す。
【図８】真空段におけるポンプ室内圧と加圧段におけるポンプ室内圧とが逆位相となるようにポンプ装置を駆動したときの一実験結果であり、（Ａ）は真空段におけるポンプ室内圧とピストン位置との時間変化を示し、（Ｂ）は加圧段におけるポンプ室内圧とピストン位置との時間変化を示し、（Ｃ）は真空段におけるポンプ室の圧力波形と加圧段におけるポンプ室の圧力波形との合成波形を示す。
【図９】真空段のピストンに対する加圧段のピストンの回転位相差とモータの消費電流との関係を示す実験結果である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
揺動型ピストンポンプにおけるポンプ室の内圧は、ピストンの往復移動により周期的に変化する。例えば、ピストンが下死点から上死点へ向かうときはポンプ室の容積が減少するため内圧は増加方向へ遷移し、ピストンが上死点から下死点へ向かうときはポンプ室の容積が増加するため内圧は減少方向へ遷移する。この際、真空ポンプの場合は、大気圧以下の圧力範囲（負圧）でポンプ室の内圧が変化し、加圧ポンプの場合は、大気圧以上の圧力範囲（正圧）でポンプ室の内圧が変化する。
【００１１】
しかしながら、本発明者らの実験によれば、上述のように真空ポンプ用のピストンと加圧ポンプ用のピストンとを同位相で往復移動させても、両ポンプ室の内圧は同期して変化せず、両ポンプ室間において圧力変化に位相差を生じることが確認された。また、真空ポンプと加圧ポンプとで両ポンプ室の内圧変化が同位相となるように両ピストの回転位相を制御したとしても、モータの負荷が最小値にならないことが確認された。
【００１２】
そこで本発明は、ポンプ装置の更なる消費電力の削減を実現するため、以下のようにポンプ装置を構成した。
【００１３】
すなわち本発明の一実施形態に係るポンプ装置は、駆動モータと、真空排気用の第１のポンプ部と、加圧用の第２のポンプ部と、を具備する。
上記駆動モータは、第１の駆動軸と、第２の駆動軸とを有する。上記駆動モータは、上記第１の駆動軸および上記第２の駆動軸を第１の軸まわりに同期して回転させることが可能に構成される。
上記第１のポンプ部は、上記第１の駆動軸の回転によって上記第１の軸と直交する第２の軸方向に往復移動する第１のピストンと、上記第１のピストンの往復移動に応じて内圧が変化する第１のポンプ室と、を有する。
上記第２のポンプ部は、上記第２の駆動軸の回転によって上記第２の軸方向に往復移動する第２のピストンと、上記第２のピストンの往復移動に応じて内圧が変化する第２のポンプ室と、を有する。上記第２のピストンは、上記第１のピストンに対して０°超８０°未満の回転位相差をもって進相する。
【００１４】
本発明者らの実験によれば、真空排気用の第１のポンプ部においてはピストンの上死点とポンプ室の圧力ピーク位置はほぼ一致するものの、加圧用の第２のポンプ部においてはピストンの上死点とポンプ室の圧力ピーク位置は一致しなかった。特に、第２のポンプ部においては、ピストンが上死点に達する前に、ポンプ室が圧力ピークを迎えることが確認された。
【００１５】
上記回転位相差は、０°超８０°未満の範囲で適宜設定可能であり、例えば、４０°±３０°で安定した消費電力の削減効果が得られ、４０°±１５°の範囲でさらなる消費電力の削減効果が得られる。このように回転位相差を最適化することにより、ポンプ装置を低消費電力で安定に運転することができる。
【００１６】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【００１７】
図１〜図４は、本発明の一実施形態に係るポンプ装置を示す外観図であり、図１は正面側から見た斜視図、図２は背面側から見た斜視図、図３は右側面図、図４は左側面図である。
【００１８】
本実施形態のポンプ装置１は、真空段としての真空ポンプ部１１（第１のポンプ部）と、加圧段としての加圧ポンプ部１２（第２のポンプ部）と、真空ポンプ部１１および加圧ポンプ部１２を共通に駆動する駆動部１３とを有する。ポンプ装置１は、例えば、燃料電池システムにおいて使用されるガスの昇圧ブロワ、医療分析器に用いられる真空及び加圧ポンプとして使用される。
【００１９】
真空ポンプ部１１および加圧ポンプ部１２は典型的には共通の構成を有しており、本実施形態では揺動ピストンポンプとして構成される。
【００２０】
ポンプ装置１は、真空ポンプ部１１の一部を構成する第１のケーシング１０１と、加圧ポンプ部１２の一部を構成する第２のケーシング１０２と、駆動部１３の一部を構成する第３のケーシング１０３とを含むポンプケース１００を有する。
【００２１】
図５は、真空ポンプ部１１および駆動部１３の一部の構成を示す縦断面図である。図５においてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、相互に直交する３軸方向をそれぞれ示している。なお、加圧ポンプ部１２は、真空ポンプ部１１と同様の構成を有するため、ここでは真空ポンプ部１１を主に説明する。
【００２２】
真空ポンプ部１１は、第１のケーシング１０１と、ピストン２１と、コネクティングロッド２２（ロッド部材）と、偏芯部材２３とを有する。
【００２３】
第１のケーシング１０１は、ケース本体１１０と、シリンダ１１１と、ポンプヘッド１１２と、ポンプヘッドカバー１１３とを有する。ケース本体１１０、シリンダ１１１、ポンプヘッド１１２及びポンプヘッドカバー１１３は、Ｚ軸方向に積み重ねられるように相互に一体化されている。
【００２４】
ケース本体１１０は、モータＭを収容する第３のケーシング１０３と接続され、コネクティングロッド２２が貫通する貫通孔１１０ｈを有する。ケース本体１１０は、モータＭの駆動軸１３１を回転可能に支持するベアリング３２を固定する固定部１１０ａと、モータＭのコイル１３２を収容する筒部１１０ｂとを有する。駆動軸１３１は、Ｙ軸方向（第１の軸方向）に平行に配置され、モータＭの駆動によりＹ軸まわりに回転する。ベアリング３２は、モータＭの本体と偏芯部材２３との間に配置される。
【００２５】
シリンダ１１１は、ケース本体１１０とポンプヘッド１１２との間に配置され、内部にピストン２１をＺ軸方向に摺動自在に収容する。ポンプヘッド１１２は、シリンダ１１１とポンプヘッドカバー１１３との間に配置され、吸気弁１１２ａ及び排気弁１１２ｂをそれぞれ有する。ポンプヘッドカバー１１３はポンプヘッド１１２の上に配置されており、吸気ポート１１４ａに連通する吸気室１１３ａと、排気ポート１１４ｂに連通する排気室１１３ｂとを内部に有する。吸気ポート１１４ａ及び排気ポート１１４ｂは、図１および図２に示すように各ポンプ部１１，１２の相互に対向する側面にそれぞれ設けられている。
【００２６】
ピストン２１は円板形状を有し、コネクティングロッド２２の第１の端部２２１にネジ部材２５を介して固定されている。ピストン２１は、当該ピストン２１とポンプヘッド１１２との間にポンプ室２６を形成する。ピストン２１は、シリンダ１１１の内部におけるＺ軸方向（第２の軸方向）に平行な方向への往復移動によりポンプ室２６の内圧を変化させる。そしてピストン２１は、吸気弁１１２ａ及び排気弁１１２ｂを介してポンプ室２６を交互に吸気し及び排気することで、所定のポンプ作用を行う。
【００２７】
コネクティングロッド２２は、ピストン２１と偏芯部材２３との間を相互に連結する。コネクティングロッド２２は、ピストン２１と接続される第１の端部２２１と、偏芯部材２３と接続される第２の端部２２２とを有する。第１の端部２２１は、ピストン２１とほぼ同径の円形に形成される。これらピストン２１と第１の端部２２１との間には円板形状のシール部材２４が取り付けられている。シール部材２４の周縁部は、シリンダ１１１の内周面に摺接可能にポンプ室２６側に折り曲げられている。
【００２８】
なお加圧ポンプ部１２においては、上記シール部材の周縁部は、上述の例とは逆に、ポンプ室側に折り曲げられる。
【００２９】
コネクティングロッド２２の第２の端部２２２には、偏芯部材２３の偏芯軸２３２と嵌合する嵌合孔２２２ａが形成されている。嵌合孔２２２ａには偏芯軸２３２を回転自在に支持するベアリング３１が装着されている。
【００３０】
偏芯部材２３は、第３のケーシング１０３に収容されたモータＭの駆動軸１３１とコネクティングロッド２２との間を相互に連結する。偏芯部材２３は、略円柱形状のベースブロック２３０を有する。ベースブロック２３０のモータＭ側の面には駆動軸１３１が連結され、コネクティングロッド２２側の面には偏芯軸２３２が形成されている。偏芯軸２３２の軸芯は駆動軸１３１の回転に伴って偏倚するように、駆動軸１３１に対して偏芯している。駆動軸１３１は、ベースブロック２３０の側周面に締結されたネジ４１によってベースブロック２３０と連結される。
【００３１】
偏芯部材２３には、カウンタウェイト５１が取り付けられている。カウンタウェイト５１は、ベースブロック２３０の側周面に締結された固定ネジ４２によって偏芯部材２３の側周部に固定される。カウンタウェイト５１は、ピストン２１と共に回転し、駆動軸１３１の回転に伴うコネクティングロッド２２の偏芯軸２３２まわりの回転の際に生じる振動を打ち消す作用を有する。カウンタウェイト５１は、駆動軸１３１に対して偏芯軸２３２の偏芯方向とは逆方向に偏倚した位置に配置される。
【００３２】
上述のようにして構成される真空ポンプ部１１においては、モータＭの駆動により偏芯部材２３が駆動軸１３１のまわりに回転することで、偏芯軸２３２は、駆動軸１３１からの偏芯量に対応する半径を有する円周に沿って駆動軸１３１のまわりを公転する。偏芯軸２３２に連結されたコネクティングロッド２２は、駆動軸１３１の回転をシリンダ１１１の内部におけるピストン２１の往復移動に変換する。すなわちピストン２１は、シリンダ１１１の内部において図５においてＸ軸方向に揺動しながらＺ軸方向に往復移動する。これによりポンプ室２６の吸気及び排気が交互に行われ、真空ポンプ部１１による所定の真空排気作用が得られる。
【００３３】
一方、加圧ポンプ部１２は、真空ポンプ部１１と同様に構成され、駆動軸１３１は、加圧ポンプ部１２側にも突出し、加圧ポンプ部１２の偏芯軸（図示略）に連結される。これにより加圧ポンプ部１２は、真空ポンプ部１１と同時に共通のモータＭによって駆動され、所定の加圧（昇圧）作用を行う。
【００３４】
ここで、真空ポンプ部１１と加圧ポンプ部１２とは、相互に異なる位相で駆動される。すなわち本実施形態では、加圧ポンプ部１２のピストン２１（第２のピストン）が真空ポンプ部１１のピストン２１（第１のピストン）に対して０°超８０°未満の回転位相差をもって進相するように構成される。
【００３５】
上記各ピストンに上述のような回転位相差をもたせるため、本実施形態では、各ポンプ１１，１２の偏芯軸２３２の位置を異ならせている。本実施形態によれば、ネジ４１の締結のみで偏芯部材２３を駆動軸１３１へ固定しているので、両ポンプ１１，１２における偏芯軸２３２各々の相対位置の調整が容易である。
【００３６】
また、偏芯部材２３に固定されるカウンタウェイトの位置が偏芯軸２３２の偏芯方向と相関しているため、ポンプ装置１の外部からにおいても両ピストン２１の回転位相差を容易に確認することができる。すなわち図１〜図４に示すように、真空ポンプ部１１のカウンタウェイト５１に対して、加圧ポンプ部１２のカウンタウェイト５２は、駆動軸１３１の回転方向（図３においてＹ軸を中心とする時計方向、図４においてＹ軸を中心とする反時計方向）に上記所定の回転位相差（０°超８０°未満）だけ進相した位置に固定される。
【００３７】
図６（Ａ），（Ｂ）は、真空ポンプ部１１側の偏芯軸２３２ｖと、加圧ポンプ部１２側の偏芯軸２３２ｃとの関係を説明する模式図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は真空ポンプ部１１側から見た側面図である。図６（Ｂ）に示すように、加圧ポンプ側の偏芯軸２３２ｃは、真空ポンプ部１１側の偏芯軸２３２ｖよりも所定の回転位相差φをもって進相した位置に設けられている。このため、真空ポンプ部１１側のピストン２１ｖと加圧ポンプ部１２側のピストン２１ｃとは相互に位相差φだけシフトして駆動され、ピストン２１ｃがピストン２１ｖよりも位相差φに相当する時間だけ早く上死点に到達する。
【００３８】
回転位相差φは、０°超８０°未満の適宜の範囲に設定される。これにより、両ピストン２１ｖ，２１ｃが同位相（φ＝０）で駆動される場合と比較して、モータＭの消費電力を小さくすることができる。また、φ＝４０°±１５°に設定することで、上述したモータＭの低消費電力運転を安定に維持することができる。
【００３９】
図７（Ａ）は、真空ポンプにおけるポンプ室内圧とピストン位置との時間変化を示す一実験結果であり、図７（Ｂ）は、加圧ポンプにおけるポンプ室内圧とピストン位置との時間変化を示す一実験結果である。図中、実線は５０Ｈｚ運転時、破線は６０Ｈｚ運転時の実験結果である。
【００４０】
なお、実験に用いたポンプ装置の揚程は、真空段（真空ポンプ）で４０［ｋＰａ（絶対圧）］、加圧段（加圧ポンプ）で２２０［ｋＰａＧ（ゲージ圧）］とした。ポンプ室の内圧は、ポンプ室に気密に挿入したチューブを介して測定した。ピストン位置は、コネクティングロッドの下部に取り付けた加速度計の出力を用いた。各段のポンプのシリンダ径はφ３７ｍｍ、偏芯軸の偏芯量は３．３ｍｍ、モータの回転数は約１４００ｒｐｍ／１７００ｒｐｍ台（５０Ｈｚ／６０Ｈｚ）とした。図８，図９に示した実験結果の条件も同様である。
【００４１】
真空段においては、ポンプ室内圧はピストン位置に同期して同位相で変化するのに対し（図７（Ａ））、加圧段においては、ポンプ室内圧はピストン位置に同期せず、これらの間に位相差が生じる（図７（Ｂ））。より具体的には、加圧段のピストンが上死点に達する前にポンプ室内に圧力ピークが現れる。
【００４２】
以上の実験結果から、真空段および加圧段各々のピストンを互いに同位相で駆動したとしても、真空段および加圧段各々のポンプ室内圧は同位相で変化せず、加圧段のポンプ室が真空段のポンプ室よりも早く圧力最大値に達することが確認された。
【００４３】
また、第１のポンプ部と第２のポンプ部とで両ポンプ室の内圧変化が逆位相となるようにポンプ装置を構成することで、各ポンプ部のピストンを相互に同位相で駆動する場合と比較して、駆動モータの消費電力を小さくすることが可能となることが実験により確認された。
【００４４】
ここで、内圧の時間変化が逆位相であるとは、典型的には、両ポンプ室内の圧力波形が１８０°の位相を有することをいうが、これに限られず、実質的な意味で逆位相の関係にあると解釈できる位相関係を有していればよい。ここで、実質的な意味での逆位相とは、例えば、両ピストンが同位相で駆動される場合よりも消費電力が小さくなる位相関係であると定義することができる。
【００４５】
真空段のポンプ室内圧の圧力波形と加圧段のポンプ室内圧の圧力波形が同位相となるように、加圧段のピストンと真空段のピストンとの間に所定の位相差をもたせてポンプ装置を構成する場合には、加圧段のピストンは、真空段のピストンに対して１８０°超２６０°未満だけ進んだ回転位相差に設定される。当該回転位相差が２２０°のときの実験結果を図７（Ａ）〜（Ｃ）に示す。図７（Ｃ）は、真空段におけるポンプ室の圧力波形と加圧段におけるポンプ室の圧力波形との合成波形を示している。
【００４６】
一方、真空段のポンプ室内圧の圧力波形と加圧段のポンプ室内圧の圧力波形が逆位相となるように、加圧段のピストンと真空段のピストンとの間に所定の位相差をもたせてポンプ装置を構成する場合には、加圧段のピストンは、真空段のピストンに対して０°超８０°未満だけ進んだ回転位相差に設定される。当該回転位相差が４０°のときの実験結果を図８（Ａ）〜（Ｃ）に示す。図８（Ａ）は、真空段におけるポンプ室内圧とピストン位置との時間変化を示し、図８（Ｂ）は、加圧段におけるポンプ室内圧とピストン位置との時間変化を示す。また図８（Ｃ）は、真空段におけるポンプ室の圧力波形と加圧段におけるポンプ室の圧力波形との合成波形を示している。
【００４７】
続いて図９は、真空段のピストンに対する加圧段のピストンの回転位相差とモータの消費電流との関係を示す実験結果である。横軸の回転位相差は、真空段のピストンに対する加圧段のピストンの進相角度（駆動軸の回転方向に加圧側ピストンが真空側ピストンよりも進んだ位相角度）を表している。
【００４８】
図９に示すように、真空段のピストンに対する加圧段のピストンの回転位相差φに応じてモータの電流値が変化することがわかる。これは、各段におけるポンプ室間の圧力変化の均衡性が関係していると考えられる。
【００４９】
本実験例において電流値が最も低い回転位相差φは４０°であり、このときの各段のポンプ室における圧力波形は図８（Ａ），（Ｂ）に示すように互いに逆位相の関係にある。この場合、各段のポンプ室の内圧の合成波形は図８（Ｃ）のようになり、各段のポンプ室内圧は相互に打ち消し合うことになる結果、モータの消費電流が最小になるものと考えられる。
【００５０】
これに対して各段のポンプ室の内圧が相互に同位相となる駆動条件（真空段のピストンに対する加圧段のピストンの回転位相差が＋２２０°）では、図７（Ｃ）に示すように各段のポンプ室の内圧が重畳し合うことでモータに周期的な負荷変動をもたらし、これが原因で消費電流値が大きくなるものと考えられる。
【００５１】
また図９に示すように、回転位相差φが０°超８０°未満の範囲では、電源周波数が５０Ｈｚまたは６０Ｈｚにおいて、回転位相差φ＝０°（３６０°）のときと比較してモータの駆動電流を小さくできることが確認された。特に、回転位相差φ＝４０°±３０°の範囲内では、電源周波数の違いによらずにφ＝０°のときよりも常に電流値を小さくできた。さらに、φ＝４０°±１５の範囲内では、さらに消費電力を効果的に低減でき、５０Ｈｚのときで約４．１％、６０Ｈｚのときで約２．２％電流値を削減することができた。
【００５２】
さらに上記位相差φを４０°±１５°に設定することにより、電流消費量の低減だけでなくポンプ装置１の駆動時に発生する振動をも低減することができる。本発明者らの実験によれば、例えばφ＝４０°のとき、真空段および加圧段の各ピストンが同位相（φ＝０°）のときと比較して、Ｘ，ＹおよびＺの各軸方向（図１参照）における振動加速度をいずれも低減できることが確認された。この振動低減効果は、５０Ｈｚおよび６０Ｈｚのいずれの電源周波数においても確認された。
【００５３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００５４】
例えば以上の実施形態では、ポンプ装置を構成する真空ポンプ部１１および加圧ポンプ部１２がそれぞれ揺動型ピストンポンプで構成されたが、これに限られず、例えばダイアフラムポンプ等の他の往復移動型ピストンポンプで各ポンプが構成されてもよい。
【００５５】
また以上の実施形態では、単一の駆動モータと２つのポンプ部とを有するポンプ装置を例に挙げて説明したが、上記駆動モータと２つのポンプ部とで構成されるポンプユニットを複数組（例えば２組）備えたポンプ装置にも、本発明は適用可能である。
【符号の説明】
【００５６】
１…ポンプ装置
１１…真空ポンプ
１２…加圧ポンプ
２１，２１ｖ，２１ｃ…ピストン
２６…ポンプ室
５１，５２…カウンタウェイト
１３１…駆動軸
２３２，２３２ｖ，２３２ｃ…偏芯軸
Ｍ…モータ
【図１】
0005878625.tif 000002
【図２】
0005878625.tif 000003
【図３】
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【図４】
0005878625.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
0005878625.tif 000008
【図８】
0005878625.tif 000009
【図９】
0005878625.tif 000010