(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２主面を有する第１の絶縁性樹脂板と、
前記第２主面に積層され少なくともひとつの第１のキャビティを構成する開口部を有する第１中間層とを有する、第１の積層体を形成する工程と、
第１および第２主面を有する第２の絶縁性樹脂板と、
前記第２主面に積層され少なくともひとつの第２のキャビティを構成する開口部を有する第２中間層とを有する、第２の積層体を形成する工程と、
前記第１および第２中間層の少なくとも一方の周縁領域に選択的に接着剤を形成して、前記第１および第２のキャビティを互いに塞ぐように前記第１および第２中間層を接合する工程と、
前記周縁領域よりも内側に前記第１および第２の積層体の接合面を含む一部を残して貫通する貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔にめっき層を形成する工程と、
前記貫通孔を含み前記第１および第２の積層体を貫通するダイシングラインに沿って、前記第１および第２の積層体を分断する工程とを含み、
前記第１のキャビティを有する第１のパッケージおよび第２のキャビティを有する第２のパッケージを形成する半導体パッケージの製造方法。
【請求項２】
前記第１および第２中間層は、前記接着剤の形成されていない領域は、剥離シートを介して接合される請求項１に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項３】
前記第１および第２の積層体を形成する工程は、
各層を貫通する開口部を有する前記第１および第２中間層を形状加工する工程と、
前記第１および第２の絶縁性樹脂板のそれぞれに、接着層を介して前記第１および第２中間層を、積層する工程とを有する請求項１または２に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項４】
前記接着層は熱硬化性樹脂である請求項３に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項５】
前記第１および第２の絶縁性樹脂板は、ガラスエポキシ基板である請求項４に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項６】
前記分断する工程は、前記第１および第２の積層体をそれぞれ複数の半導体パッケージに分断する工程である請求項１から５のいずれか１項に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項７】
前記第１中間層は、前記ダイシングラインに沿って分断される、１つの領域内に、複数の開口部を有する請求項１から６のいずれか１項に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項８】
前記第１中間層は、複数層で構成されており、
前記ダイシングラインに沿って分断される、１つの領域内に、前記複数層のうち最外層で貫通しない第１の開口部と、最外層まで貫通する第２の開口部とを有し、
深さの異なる複数のキャビティを有する半導体パッケージを形成する請求項７に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項９】
第１および第２主面を有する、絶縁性樹脂板と、
前記第２主面に積層され、少なくともひとつのキャビティを構成する開口部を有する絶縁性樹脂からなる中間層とを、
有する、積層体を形成する工程と、
前記中間層の周縁領域に選択的に接着剤を形成して、前記キャビティを塞ぐように前記中間層に、蓋板を接合する工程と、
前記接着剤の形成された前記周縁領域よりも内側に、前記蓋板との接合面を含む前記中間層の一部を残して、貫通する貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔内にめっき層を形成する工程と、
前記貫通孔を含むダイシングラインに沿って、前記積層体を分断するとともに、前記蓋板を除去する工程と、
を含み、第２主面側にキャビティを有する半導体パッケージを形成する半導体パッケージの製造方法。
【請求項１０】
第１および第２主面を有する第１の絶縁性樹脂板と、
前記第２主面に積層され少なくともひとつの第１のキャビティを構成する開口部を有する第１中間層とを有する、第１の積層体を形成する工程と、
第１および第２主面を有する第２の絶縁性樹脂板と、
前記第２主面に積層され少なくともひとつの第２のキャビティを構成する開口部を有する第２中間層とを有する、第２の積層体を形成する工程と、
前記第１および第２中間層の少なくとも一方の周縁領域に選択的に接着剤を形成して、前記第１および第２のキャビティを互いに塞ぐように前記第１および第２中間層を接合する工程と、
前記周縁領域よりも内側に前記第１および第２の積層体を貫通する貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔にめっき層を形成する工程と、
前記貫通孔を含み前記第１および第２の積層体を貫通するダイシングラインに沿って、前記第１および第２の積層体を分断する工程とを含み、
前記第１のキャビティを有する第１のパッケージおよび第２のキャビティを有する第２のパッケージを形成する半導体パッケージの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体パッケージの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一般的に半導体パッケージは、半導体素子を収納するための凹部（以下半導体素子収納用キャビティあるいはキャビティと呼ぶこともある）と各電極層を導通させる貫通孔すなわちスルーホールとを備えている。【０００３】
一般的な工程は以下のとおりである。
工程０．絶縁材質からなる板体（以下絶縁シート）に、キャビティ用の穴形成、回路形成
工程１．工程０で形成した絶縁シートと接着層とを積層
工程２．スルーホールの穴開け加工
工程３．スルーホール、積層体底面および天面へのめっき施工
工程４．積層体底面および天面のめっき不要部をエッチングで除去
工程５．ソルダーレジスト塗布、パターニング
工程６．金めっき
工程７．ダイシングにより個片化【０００４】
しかしながら、スルーホールめっき時に半導体素子収納用キャビティ全体にめっき層が付着し、半導体素子を搭載するダイボンド用電極とワイヤボンディング用電極など、電極間を短絡させてしまうという課題がある。
【０００５】
そこで、特許文献１には、以下の技術が開示されている。上記工程３におけるスルーホール、積層体底面、天面へのめっき施工を行うに際し、半導体素子収納用キャビティにめっきが付着するのを避けるため、半導体素子収納用キャビティを絶縁シートにより密閉しておき、めっき工程終了後に、工程４として絶縁シートの一部を除去加工し半導体素子収納用キャビティを形成する技術が提案されている。この後ダイシングにより個片化が実施される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特公平２−５０１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に記載の技術によれば、キャビティ形成のための絶縁シート除去加工に工数がかかり、高コストであるという問題がある。また、絶縁シート除去工程で製品が汚れてしまうという問題がある。たとえば、絶縁シートを機械加工で除去する場合は粉塵が発生する。また、絶縁シートをレーザー加工で除去する場合はデブリと呼ばれる再凝固付着物が発生する。いずれも半導体素子のダイボンディング、ワイヤボンディングの接合信頼性が低下する。さらにまた、キャビティ開口部にレンズなど光学部品を配置する場合、切削によるバリあるいはレーザー加工によるデブリにより、半導体パッケージと光学部品の接合信頼性が低下するという問題があった。【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、キャビティ内へのめっきの付着による短絡のおそれがなく、信頼性の高い積層型半導体パッケージを工数の増大なしに容易に製造する方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、第１および第２主面を有する第１の絶縁性樹脂板と、第２主面に積層され少なくともひとつの第１のキャビティを構成する開口部を有する第１中間層とを有する第１の積層体を形成する工程と、第１および第２主面を有する第２の絶縁性樹脂板と、第２主面に積層され少なくともひとつの第２のキャビティを構成する開口部を有する第２中間層とを有する、第２の積層体を形成する工程と、第１および第２中間層の少なくとも一方の周縁領域に選択的に接着剤を形成して、第１および第２のキャビティを互いに塞ぐように第１および第２中間層を接合する工程と、周縁領域よりも内側に、第１および第２の積層体をその接合面を含む一部を残して貫通する貫通孔を形成する工程と、貫通孔にめっき層を形成する工程と、貫通孔を含み第１および第２の積層体を貫通するダイシングラインに沿って、第１および第２の積層体を分断する工程とを含み、第１のキャビティを有する第１のパッケージおよび第２のキャビティを有する第２のパッケージを形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、第１および第２のキャビティは塞がれた状態でめっきがなされるため、キャビティ内へのめっきの付着による短絡のおそれはない。また、周縁領域よりも内側にある貫通孔を含み第１および第２の積層体を貫通するダイシングラインに沿って、第１および第２の積層体を分断するため、周縁領域が切除され、第１および第２の積層体の接合面は汚染もなく開放される。従って、製造が容易で信頼性の高い積層型パッケージを得ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１（ａ）〜（ｅ）は、実施の形態１の半導体パッケージの製造工程を示す説明図である。
【図２】図２は、図１（ｂ）のＡ−Ｂ−Ｃ線で切断した状態を示す断面図である。
【図３】図３は、図２の分解斜視図であり、（ａ）は第１の積層体、（ｂ）は剥離シート、（ｃ）は第２の積層体を示す図である。
【図４】図４は、実施の形態１の半導体パッケージの製造工程を示すフローチャートである。
【図５】図５は、実施の形態１の半導体パッケージの製造工程の一部を示す工程断面図である。
【図６】図６は、実施の形態１の半導体パッケージの製造工程で製造された半導体パッケージを示す斜視図である。
【図７】図７は、実施の形態１の半導体パッケージの製造工程で製造された半導体パッケージを示す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は（ａ）のＡ1−Ａ1断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ1−Ｂ1断面図である。
【図８】図８は、実施の形態１の半導体パッケージを用いて実装された光モジュールを示す斜視図である。
【図９】図９は、実施の形態２の半導体パッケージの製造工程を示す説明図であり、図１（ａ）および（ｂ）のＡ−Ｂ−Ｃ線で切断した状態を示す断面図である。
【図１０】図１０（ａ）〜（ｅ）は、実施の形態３の半導体パッケージの製造工程を示す説明図である。
【図１１】図１１は、図１０（ａ）および（ｂ）のＡ−Ｂ−Ｃ線で切断した状態を示す断面図である。
【図１２】図１２は、実施の形態３の半導体パッケージの製造工程を示すフローチャートである。
【図１３】図１３は、実施の形態３の半導体パッケージの製造工程で製造された個別ダイシング前の半導体パッケージを示す斜視図である。
【図１４】図１４（ａ）〜（ｅ）は、実施の形態４の半導体パッケージの製造工程を示す説明図である。
【図１５】図１５は、実施の形態４の半導体パッケージの製造工程で製造された半導体パッケージを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明にかかる積層型半導体パッケージの製造方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため各層あるいは各部材の縮尺が現実と異なる場合があり、各図面間においても同様である。また、平面図であっても、図面を見易くするためにハッチングを付す場合がある。
【００１３】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１による積層型半導体パッケージの製造方法を示す図であり、図２は、図１（ａ）および（ｂ）のＡ−Ｂ−Ｃ線で切断した状態を示す断面図である。図３（ａ）から（ｃ）は、実施の形態１の半導体パッケージの分解斜視図である。図４は、実施の形態１の半導体パッケージの製造工程を示すフローチャートである。
【００１４】
本実施の形態の方法では、半導体パッケージの貫通孔すなわちスルーホールへのめっき層の形成に際し、キャビティを内側にして積層板である第１および第２の積層体を重ね合わせて周縁領域に接着剤を用いて接合し、積層板のキャビティを密閉空間にして、スルーホールめっきを行い、接着剤を用いて接合された周縁領域Ｒ0は切り代すなわち切除領域として切除するとともに、複数に分断し、半導体パッケージを形成するものである。以下、貫通孔すなわちスルーホールをＴＨと略して称することもある。
【００１５】
図２に断面図、図３（ａ）から（ｃ）に積層体の分解斜視図を示すように第１の絶縁性樹脂板１１上に２層構造の第１中間層１２ａ，１２ｂが接着層１３を介して積層された第１の積層体１０と、第２の絶縁性樹脂板２１上に第２中間層２２ａ，２２ｂが接着層２３を介して積層された第２の積層体２０を用意する。そしてこれら第１および第２の積層体１０，２０を、剥離シート５０をはさんで第１および第２のキャビティ１５ａ，１５ｂ，２５ａ，２５ｂが内側にくるように、接着剤１４を介して接合し、キャビティを密閉空間とする。このようにキャビティを密閉空間にした状態で接合面を含む一部を残して両面からスルーホールすなわち貫通孔３０（図２では図示せず）を形成し、スルーホールめっきを施工する。なお、本実施の形態では、貫通孔３０は接合面を貫通することなく残して形成されるが、便宜上貫通孔と称する。貫通孔３０の形成に際しては、エッチング方法を用い、エッチング液の温度およびエッチング時間を制御することで、一部を残すことができる。この際第１および第２のキャビティ１５ａ，１５ｂ，２５ａ，２５ｂは積層体内の閉空間となっており、めっきが付着することは無い。そしてめっきを行った後、切り代としての周縁領域Ｒ0を除去し、接着剤が無くなる部分を境界として積層体を分割する。分割された積層体をダイシング加工などによりダイシングラインＤＬに沿って個片化することで、キャビティを有する半導体パッケージを製造する。なお、第１および第２の積層体１０，２０の間は、剥離シート５０を除去することで、水平方向の分割線ＤＬHで分割される。
【００１６】
次に、本実施の形態１の半導体パッケージの製造工程について図４に示すフローチャートとともに詳細に説明する。ここで第１および第２の絶縁性樹脂板１１，２１としてガラスエポキシ板（日立化成  ＭＣＬ−Ｅ６７９ＦＧ）を用いる。また第１および第２中間層１２ａ，１２ｂ，２２ａ，２２ｂには第１および第２の絶縁性樹脂板１１，２１と同様、ガラスエポキシ板（日立化成  ＭＣＬ−Ｅ６７９ＦＧ）を用いる。接着層（図２中の１３，２３）にはエポキシ接着フィルム（日立化成  ＡＳ−２６００Ｗ）を用いる。またここでは第１および第２の積層体１０，２０を接合するための接着剤１４についても絶縁性樹脂板と中間層とを接合する接着層と同様エポキシ接着フィルム（日立化成  ＡＳ−２６００Ｗ）を用いる。
【００１７】
まず、第１の絶縁性樹脂板１１および第１中間層１２ａ，１２ｂとしてのガラスエポキシ板の片面、もしくは両面に配線パターンを形成する（ステップＳ１０１）。ここでは銅配線層のパターンからなるパッド４１，４３（図２では省略、図７（ｂ）および（ｃ）参照）を設ける。また、図示はしていないが、第１中間層１２ａ，１２ｂには、貫通孔が設けられ配線層間の接続がなされている。また積層後にキャビティを構成するため、第１中間層１２ａ，１２ｂを構成するガラスエポキシ板には、あらかじめ開口部Ｏが開けられている。下層側の第１中間層１２ａは、１ユニットに１個、上層側の第１中間層１２ｂは１ユニットに大小２個の開口部Ｏを有している。これらは、２層の第１中間層の形状加工のための切断工程において同時に打ち抜きパンチにより容易に形成される。分割後の１つの半導体パッケージ１００(図６参照)に２個の第１のキャビティ１５ａ，１５ｂが設けられており、第１のキャビティの一方１５ａは小さくて深く、もう一方の１５ｂは大きくて浅くなっており、キャビティの深さは互いに異なる。深い方の第１のキャビティ１５ａは上層および下層の第１中間層１２ａ，１２ｂの両方に開口部Ｏを形成することで得られ、浅い方の第１のキャビティ１５ｂは上層側の第１中間層１２ｂにのみ開口部Ｏを形成することで得られる。従って、第１中間層の形状加工時にキャビティの形状が確定されるため、容易にかつ高精度で再現性よく安定した形状を得ることができ、切削時の残渣などによる汚染のおそれもない。
【００１８】
このようにして形成された第１の絶縁性樹脂板１１および第１中間層１２ａ，１２ｂを接着層１３としてのエポキシ接着フィルムを用いて積層し、第１の積層体１０を形成する（図５（ａ），（ｂ）：ステップＳ１０２）。
【００１９】
第２の積層体２０の形成についても第１の積層体１０の形成工程とまったく同様にして第２の絶縁性樹脂板２１および第２中間層２２ａ，２２ｂとしてのガラスエポキシ板の片面、もしくは両面に配線パターンを形成する（ステップＳ２０１）。ここでは、銅配線層のパターンからなるパッド４１，４３（図２では省略、図７（ｂ）および（ｃ）参照）を設ける。
【００２０】
そして第２の絶縁性樹脂板２１および第２中間層２２ａ，２２ｂを接着層２３としてのエポキシ接着フィルムを用いて積層し、第２の積層体２０を形成する（図５（ｃ），（ｄ）：ステップＳ２０２）。
【００２１】
こののち、第１および第２の積層体１０，２０の表面にメラミン樹脂皮膜が形成された剥離シート５０を、第１および第２のキャビティ１５ａ，１５ｂ（２５ａ，２５ｂ）の開口部Ｏが剥離シート５０に対向するように配置する。剥離シート５０と第１および第２の積層体１０，２０の周縁部との間に接着剤１４としてのエポキシ接着フィルムを設ける。積層工程においては第１および第２の積層体１０，２０に５ＭＰａの圧力をかけ、１６０℃に加熱して９０分間保持し、図５（ｅ）に示すように、第１および第２の積層体１０，２０を接合する（ステップＳ１０３）。積層工程で接着層としてのエポキシ接着フィルムから湧出する接着剤１４は、剥離シート５０によって堰き止められ、第１および第２のキャビティ１５ａ，１５ｂ（２５ａ，２５ｂ）内部へは侵入しない。また剥離シート５０を設けることで、積層工程における積層体にかかる圧力を均等にし、積層体の反りあるいは凹みを防ぐことができる。この状態が図１（ａ）である。
【００２２】
次に、図１（ｂ）に示すように、第１の積層体１０から第２の積層体２０をこれらの接合面を残して貫通する貫通孔３０を形成する（ステップＳ１０４）。この貫通孔３０は各半導体パッケージユニットの外周部に位置し、この貫通孔３０はダイシングラインＤＬに沿って設けられている。従って切断を容易にする作用に加え位置決めを容易にするという作用も有する。またこの貫通孔３０の内壁にめっき層を形成したのちにダイシングを行うことにより、側壁に複数の導体層の形成された半導体パッケージを得ることができる。
【００２３】
このようにして、貫通孔３０を形成した後、図１（ｃ）に示すように、貫通孔３０内、第１の積層体１０と第２の積層体２０との積層体の天面、側面および底面に銅めっきを行い、めっき層４０を形成する（ステップＳ１０５）。この時積層体の外表面全体にめっき層４０が形成されるが、積層体の周囲にめっきホルダ（図示せず）を装着した状態でめっき槽に浸漬するようにすれば、積層体側面へのめっき層の形成は免れるようにすることができる。本実施の形態でいう積層体は、第１および第２の積層体１０，２０を積層したものとする。
【００２４】
こののち図１（ｄ）に示すように、第１および第２の積層体１０，２０天面、底面の銅めっきは不要部分をエッチングで除去し、電極パターンを形成する（ステップＳ１０６）。ここで底面には貫通孔３０の周りにパッド４０ＲＰ（図７（ｂ）参照）が形成されている。
【００２５】
さらに、図１（ｅ）に示すように、第１および第２の積層体１０，２０を圧縮するように天面と底面を固定しておき、積層体の切り代となる周縁領域Ｒ０を機械加工で除去する。その後底面、天面の固定を解除することで、第１および第２の積層体１０，２０を水平方向の分割線ＤＬHに沿って分割して分離することができる（ステップＳ１０７）。
【００２６】
分割後に、ソルダーレジストを塗布し、パターニングする（ステップＳ１０８）。ここでは、感光性のソルダーレジストフィルムを第１および第２の積層体１０，２０の底面、天面に貼り、露光・現像・エッチング工程を経てソルダーレジストをパターニングする。その後銅配線からなるパッド４１，４３などを酸化から保護するため金めっきを施工する（ステップＳ１０９）。なおソルダーレジスト工程と金めっき工程は順番が逆でもよい。
【００２７】
第１および第２の積層体１０，２０をダイシングにより分断して個片化（ステップＳ１１０）し、図６および図７に示す半導体パッケージ１００を得る。図６は斜視図、図７（ａ）は上面図、（ｂ）は（ａ）のＡ1−Ａ1断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ1−Ｂ1断面図である。
【００２８】
このようにして形成された半導体パッケージは、深くて小さく、ＬＥＤからなる発光素子を搭載するための第１のキャビティ１５ａ，第２のキャビティ２５ａと、浅くて大きい、フォトダイオードからなる受光素子を搭載するための第１のキャビティ１５ｂ，第２のキャビティ２５ｂとを有している。第１のキャビティ１５ａ，第２のキャビティ２５ａ内には、銅配線からなるパッド４１，第１のキャビティ１５ｂ，第２のキャビティ２５ｂ内には、銅配線からなるパッド４３が設けられている。なお第１および第２の絶縁性樹脂板１１，２１には、あらかじめ銅配線層からなる配線４２が形成されている。
【００２９】
また、貫通孔としての貫通孔３０内壁には銅めっきによるめっき層４０が形成されており、第１および第２の絶縁性樹脂板１１，２１の裏面１１Ｂまで回り込み、外部接続用のパッド４０ＲＰを形成している(図７（ｂ）)。この外部接続用のパッド４０ＲＰの表面も前述した金めっきステップＳ１０９によって金めっき層で被覆されており、半田接続が容易となっている。第１および第２の絶縁性樹脂板１１，２１および第１および第２中間層１２ａ，１２ｂ，２２ａ，２２ｂに形成された配線および回路素子は、この貫通孔側壁のめっき層４０を介して、相互接続され、外部接続用のパッド４０ＲＰによって外部接続可能となっている。なお上記構成によれば、半導体パッケージ各層の電極パターンを導通させる電極が非貫通となっており、半導体パッケージ天面にはめっき液が侵入しにくい構造となっている。このため、本実施の形態の半導体パッケージの天面には電極パターン無しの構造となっており、半導体パッケージ天面のキャビティ開口部周囲が平坦かつ清浄となっている。ここで第１および第２の積層体１０，２０の接合面の一部を残すように貫通孔３０を形成することが重要であるが、この一部とは、中間層の厚さの２分の１以上中間層の厚さ程度とするのが望ましい。これにより、接合面すなわち半導体パッケージ天面へのめっき層の周り込みを抑制するとともに、中間層からの配線取り出しも効率よく有効化することができる。
【００３０】
図８は、本実施の形態の半導体パッケージを用いた光送受信モジュールを示す図である。この光送受信モジュール１は、図６および図７（ａ）から（ｃ）に示した半導体パッケージ１００に発光素子６１および受光素子６２を搭載し、発光素子６１を収納したキャビティの開口部にはレンズ６４を接合する。レンズ６４は、成形品を接着剤で接合している。あるいは、樹脂で、発光素子を収納したキャビティを覆うように成形してもよい。第１のキャビティ１５ａ内に設けられたパッド４１にＬＥＤからなる発光素子６１を搭載するとともにワイヤ６３によってワイヤボンディングがなされている。浅くて大きい方の第１のキャビティ１５ｂ内に設けられたパッド４３にフォトダイオードからなる受光素子６２を搭載するとともにワイヤ６３によってワイヤボンディングがなされている。そして受光素子６２を搭載した第１のキャビティ１５ｂには透光性樹脂(図示せず)を満たし、ボンディングワイヤを保護している。
【００３１】
このようにして形成された光送受信モジュール１は外部接続用のパッド４０ＲＰによって配線基板上に面実装により回路接続を行うとともに実装することができる。本実施の形態の光送受信モジュール１は、発光素子６１からの光を対象物体に照射し、反射光を受光素子６２で検出することで、サーボモータの回転角度を検出するセンサをはじめとし、対象物体の有無、表面状態など、状態を判断するセンサなどとして用いられる。なお第１および第２のキャビティの内壁に反射膜を形成したり、キャビティの天面にレンズなど光学素子を形成したりすることも可能である。
【００３２】
本実施の形態の半導体パッケージの製造方法によれば、第１および第２の積層体の周縁領域Ｒ0にのみ接着剤１４を塗布して接着層を形成し、第１および第２の積層体を接合し、キャビティを密閉空間とした状態でめっき工程を行い、めっき工程終了後分断しているため、製造が極めて容易で、キャビティ内へのめっき層の付着は確実に回避される。また接合部である周縁領域Ｒ0は切り代すなわち切除領域となるため、分断による表面の荒れもなく、信頼性の高い半導体パッケージを得ることができる。さらにまた、特許文献１では、キャビティ作成のための除去加工をする必要があるが、本実施の形態では積層体の形成時に中間層の開口を行うのみで、一括して高精度のキャビティを形成することができる。また切削による粉塵が残留することもないため、キャビティ表面の平滑度も向上し、半導体パッケージのダイボンディング、ワイヤボンディングの接合信頼性を向上することができる。このため製造コストを大幅に削減し、安価に半導体パッケージを製造することができる。また、深さの異なる複数のキャビティを形成する場合にも、中間層への開口部の形成の有無のみで深さを調整することができるため、高精度で信頼性の高い半導体パッケージの形成が容易に可能となる。
【００３３】
また、本実施の形態の半導体パッケージによれば、第１および第２の積層体に貫通孔を形成する際、接合面を残して貫通孔を形成し、接合面すなわち、キャビティ形成面には、めっき層が形成されないようにしている。従って半導体パッケージ各層の電極パターンを導通させる電極が非貫通となっており、パッケージ天面には電極パターン無しの構造となっている。従って、パッケージ天面のキャビティ開口部周囲が平坦かつ清浄であるため、パッケージ天面にレンズなどの光学素子を接合する際、高い信頼性を得ることができる。
【００３４】
実施の形態２．
図９は、本発明にかかる積層型半導体パッケージの製造工程を示す要部断面図である。本実施の形態と前記実施の形態１との異なる点は、本実施の形態では第１および第２の積層体の形成に際し、剥離シートを介することなく、周縁領域Ｒ0にのみ接着剤２４を塗布して接着層を形成して第１および第２の積層体を接合した点である。従って製造に際しても、あらかじめ第１および第２の積層体を形成するのではなく、第１および第２の絶縁性樹脂板および第１および第２中間層を順次積層していくことで第１および第２の積層体を積層した状態を形成する。他の工程については、実施の形態１と同様に形成する。同一部位には同一符号を付した。
【００３５】
本実施の形態では第１および第２の絶縁性樹脂板１１，２１としては実施の形態１と同様ガラスエポキシ板を用いているが、接着剤２４として熱硬化性エポキシ接着剤を用いる。本実施の形態においても、積層後に第１および第２のキャビティ１５ａ，１５ｂ，２５ａ，２５ｂを構成するように、第１および第２中間層１２ａ，１２ｂ，２２ａ，２２ｂにはあらかじめ開口部Ｏが開けられている。第１および第２の積層体１０，２０間は、積層体外周部にのみ接着剤２４が設けられており、接着剤２４より内側は空隙Ｖである（剥離シート無し）。貫通孔は図示していないが、前記実施の形態１と同様、積層体の天面すなわち、キャビティ形成面の一部を残して貫通するように底面から天面に向けて形成される、貫通孔である。
【００３６】
剥離シート５０を設けていないが、接着剤２４の塗布量を調整することで接着剤２４が流出したりすることもない。本実施の形態においても切り代としての周縁領域Ｒ0にのみ接着剤２４を塗布して形成した接着層が形成されており、周縁領域Ｒ0が切除されると同時に、第１および第２の積層体１０，２０は水平方向に分離され、しかも接着剤２４の残留もない。そして実施の形態１と同様、第１および第２の積層体１０，２０は、それぞれダイシングラインＤＬに沿って３行３列にダイシングされ、図６に斜視図を示したのと同様の、半導体パッケージ１００が得られる。従って本実施の形態によっても、極めて容易に、信頼性の高い半導体パッケージを得ることができる。
【００３７】
実施の形態３．
図１０は、実施の形態３による積層型半導体パッケージの製造方法を示す図であり、図１１は、図１０（ａ）および（ｂ）のＡ−Ｂ−Ｃ線で切断した状態を示す断面図である。図１２は、実施の形態３の半導体パッケージの製造工程を示すフローチャートである。図１３は、実施の形態３の半導体パッケージの製造工程で製造された半導体パッケージの個別ダイシング前の積層体を示す図である。本実施の形態では、第１の積層板１０に形成された２つの第１のキャビティ１５ａ，１５ｂを塞ぐように、蓋板８０を用いたことを特徴とするもので、他については前記実施の形態１と同様である。同一部位には同一符号を付した。
【００３８】
図１１に断面図を示すように、実施の形態１と同様、第１の絶縁性樹脂板１１上に第１中間層１２ａ，１２ｂが接着層１３を介して積層された第１の積層体１０を積層体とし、１段構造とする。ここでは、第１の積層体１０を、第１のキャビティ１５ａ，１５ｂを塞ぐように、接着剤２４を介して蓋板８０を接合し、キャビティを密閉空間にした状態でスルーホールすなわち貫通孔３０（図１１では図示せず）を形成し、スルーホールめっきを施工するものである。この際第１のキャビティ１５ａ，１５ｂは積層体内の閉空間となっており、めっきが付着することは無い。切り代としての周縁領域Ｒ0を除去し、接着剤が無くなる部分を境界として積層体を分割する。分割されて蓋板の剥離された積層体をダイシング加工などによりダイシングラインＤＬに沿って個片化することで、キャビティを有する半導体パッケージを製造する。なお、第１の積層体１０は、蓋板８０を剥離除去することで、第１のキャビティ１５ａ，１５ｂが露呈する。なお、本実施の形態においても、貫通孔３０は接合面を貫通することなく残して形成されるが、便宜上貫通孔と称する。
【００３９】
次に、本実施の形態３の半導体パッケージの製造工程について図１２に示すフローチャートとともに詳細に説明する。ここで絶縁性樹脂板としては実施の形態１で用いたのと同様、ガラスエポキシ板（日立化成  ＭＣＬ−Ｅ６７９ＦＧ）（第１の絶縁性樹脂板１１）を用いる。また第１および第２中間層１２ａ，１２ｂには第１の絶縁性樹脂板１１と同様、ガラスエポキシ板（日立化成  ＭＣＬ−Ｅ６７９ＦＧ）を用いる。接着層（図１１中の１３）にはエポキシ接着フィルム（日立化成  ＡＳ−２６００Ｗ）を用いる。またここでは積層体１０と蓋板８０とを接合するための接着剤２４についても絶縁性樹脂板と中間層とを接合する接着層と同様エポキシ接着フィルム（日立化成  ＡＳ−２６００Ｗ）を用いる。
【００４０】
まず、第１の絶縁性樹脂板１１および第１中間層１２ａ，１２ｂとしてのガラスエポキシ板の片面、もしくは両面に銅配線層のパターンであるパッド４１，４３など（図１１では省略）を設け、配線パターンを形成する（ステップＳ３０１）。また、図示はしていないが、第１中間層１２ａ，１２ｂには、貫通孔が設けられ配線層間の接続がなされている。また積層後にキャビティを構成するため、第１中間層１２ａ，１２ｂを構成するガラスエポキシ板には、あらかじめ開口部Ｏが開けられている。下層側の第１中間層１２ａは、１ユニットに１個、上層側の第１中間層１２ｂは１ユニットに大小２個の開口部Ｏを有している。これらは、第１中間層１２ａの形状加工のための切断工程において同時に打ち抜きパンチにより容易に形成される。分割後の１つの半導体パッケージ１００に２個の第１のキャビティ１５ａ，１５ｂが設けられており、第１のキャビティ１５ａは小さくて深く、第１のキャビティ１５ｂは大きくて浅くなっており、キャビティの深さはそれぞれ異なる。
【００４１】
このようにして形成された第１の絶縁性樹脂板１１および第１中間層１２ａ，１２ｂを接着層１３としてのエポキシ接着フィルムを用いて積層し、積層体である第１の積層体１０を形成する（ステップＳ３０２）。
【００４２】
こののち、積層体である第１の積層体１０に対し、第１の絶縁性樹脂板１１と同一材料からなる蓋板８０を、第１のキャビティ１５ａ，１５ｂの開口部が蓋板８０に対向するように配置する。蓋板８０と積層体の周縁部との間に接着剤２４としてのエポキシ接着フィルムを設ける。積層工程においては第１および第２の積層体１０，２０に５ＭＰａの圧力をかけ、１６０℃に加熱して９０分間保持し、第１の積層体１０に蓋板８０を接合する（ステップＳ３０３）。この状態が図１０（ａ）である。
【００４３】
次に、図１０（ｂ）に示すように、第１の積層体１０から蓋板８０を貫通する貫通孔３０を形成する（ステップＳ３０４）。ここでは接着剤２４の形成された周縁領域よりも内側に蓋板８０との接合面を含む中間層の一部を残して、貫通する貫通孔３０を形成する。中間層の一部とは、中間層の厚さの２分の１以上中間層の厚さ程度とするのが望ましい。これにより、接合面すなわち半導体パッケージ天面へのめっき層の周り込みを抑制するとともに、中間層からの配線取り出しも効率よく有効化することができる。
【００４４】
このようにして、貫通孔３０を形成した後、図１０（ｃ）に示すように、貫通孔３０内、第１および第２の積層体天面、および底面に銅めっきによるめっき層４０を形成する（ステップＳ３０５）。この時積層体の外表面全体にめっき層４０が形成されるが、積層体の周囲にめっきホルダ（図示せず）を装着した状態でめっき槽に浸漬するようにすれば、側面へのめっき層の形成は免れるようにすることができる。
【００４５】
こののち図１０（ｄ）に示すように、第１の積層体１０天面、底面の銅めっきは不要部分を除去し、電極パターンを形成する（ステップＳ３０６）。ここで底面には貫通孔３０の周りにパッドが形成されている。
【００４６】
さらに、図１０（ｅ）に示すように、第１の積層体１０を圧縮するように積層体の天面と底面を固定しておき、積層体の切り代となる周縁領域Ｒ0を機械加工で除去する。その後底面、天面の固定を解除することで、第１の積層体１０を蓋板８０から水平方向の分割線ＤＬHに沿って分割することができ第１の積層体から蓋体が剥離される（ステップＳ３０７）。
【００４７】
分割後に、ソルダーレジストを塗布して、パターニングする（ステップＳ３０８）。ここでは感光性のソルダーレジストフィルムを第１の積層体１０の底面、天面に貼り、露光・現像・エッチング工程を経てソルダーレジストをパターニングする。その後銅配線からなるパッド４１，４３などを酸化から保護するため金めっきを施工する（ステップＳ３０９）。なおソルダーレジスト工程と金めっき工程は順番が逆でもよい。
【００４８】
この様にして得られた第１の積層体１０を図１３に示す。第１の積層体１０をダイシングにより個片化（ステップＳ３１０）し、図６および図７に示したのと同様の半導体パッケージ１００を得る。
【００４９】
本実施の形態によれば、積層体１段のスルーホールめっきも容易に信頼性良く施工することができる。
【００５０】
なお、積層体１段に限定されることなく、３段以上の奇数段の積層も可能であり、この場合は、キャビティが露呈しなければよく、キャビティが向かい合わない部分が存在していてもよい。
【００５１】
実施の形態４．
図１４は、実施の形態４による積層型半導体パッケージの製造方法を示す図であり、図１５は、同方法で形成された半導体パッケージを示す斜視図である。
【００５２】
前記実施の形態１では、半導体パッケージのスルーホールすなわち貫通孔３０を、第１および第２の積層体１０，２０の接合面を含む一部を残して設けたが、これに対し、本実施の形態の方法では、半導体パッケージの貫通孔３０を、第１および第２の積層体１０，２０を貫通するように設けた。この点が異なるのみであり、他は、実施の形態１と同様である。本実施の形態においても、めっき層の形成に際し、キャビティを内側にして積層板(第１および第２の積層体)を重ね合わせて周縁領域に接着剤を用いて接合し、積層板のキャビティを密閉空間にして、スルーホールめっきを行う点は同様である。この場合は第１および第２の積層体１０，２０の厚さ方向全体に連続して形成された貫通孔３０にめっき層４０が形成される。そして分割に際し、接着剤を用いて接合された周縁領域Ｒ0は切り代すなわち切除領域として切除する。このようにして第１および第２の積層体１０，２０に分割するとともに、複数に分断し、半導体パッケージを形成する。
【００５３】
第１および第２の積層体１０，２０を分割する工程では、貫通孔３０に連続して形成されためっき層４０が分割しにくい場合がある。そこで、第１および第２の積層体１０，２０の接合面に剥離シートを介在させ、剥離シートにめっき層４０が形成されないようにしたり、あるいは第１および第２の積層体を昇温などにより剥離し易い接着剤で接合するなどの方法をとることで、半導体パッケージ各層の電極パターンを導通させる電極を貫通電極とし、半導体パッケージ天面に電極パターンを有する構造とすることも可能である。これにより、半導体パッケージとしては、第１および第２のキャビティ形成面側での接続配線を容易にし、配線長の低減を図ることも可能である。
【００５４】
なお、前記実施の形態１から４において、絶縁性樹脂板および中間層の接合は、エポキシ系樹脂に限定されることなく、プリプレグ(繊維含浸樹脂)を用いて接着してもよい。また、絶縁性樹脂板および中間層自体をプリプレグで構成し、中間層のキャビティ形成領域をレーザーで切断することによってキャビティを形成することも可能である。
【００５５】
また、絶縁性樹脂板としては、従来知られているいずれの基板も使用することができ、形状保持性を有するものであればよい。基板の材料は特に限定されず、例えば、高分子材料（例えば、二酢酸セルロース、三酢酸セルロース、プロピオン酸セルロース、酪酸セルロース、酢酸セルロース、硝酸セルロース、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアセタール、ポリイミド、エポキシ、ビスマレインイミド樹脂、ポリフェニレンオキサイド、液晶ポリマー、ポリテトラフルオロエチレン等）、その他の材料（例えば、紙、プラスチックがラミネートされた紙）、これらの組み合わせ、またはこれらに類似したものなどが挙げられる。
【００５６】
また、実施の形態１から４の半導体パッケージは、光送受信モジュールなどの光モジュールの他、高周波モジュールなど、各種の半導体素子のパッケージに適用することができる。このような用途に用いる場合は、以下に示す、絶縁性樹脂を含んだ基板、具体的には、絶縁性樹脂からなる基板（絶縁性基板）、または、絶縁性樹脂の層（絶縁性樹脂層）を表面に有する基板（絶縁性樹脂層付き基板）を用いることが好ましい。なお、絶縁性樹脂板は、その表面に金属配線層と絶縁性樹脂層とを交互に有し、最表層に絶縁性樹脂層が配置された基板であってもよい。
【００５７】
絶縁性樹脂の具体例としては、例えば、熱硬化性樹脂でも熱可塑性樹脂でもまたそれらの混合物でもよく、例えば、熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、イソシアネート樹脂、ＡＢＳ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂としては、例えば、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、アルキルフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノールＦ型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、フェノール類とフェノール性水酸基を有する芳香族アルデヒドとの縮合物のエポキシ化物、脂環式エポキシ樹脂等が挙げられる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上併用してもよい。
【００５８】
接着層としては、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂の他、熱可塑性樹脂を用いることも可能である。熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフォン、ポリスルフォン、ポリフェニレンスルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニルエーテル、ポリエーテルイミド等が挙げられる。
【００５９】
また、前記実施の形態１から４において、絶縁性樹脂板と中間層との接合に用いられる接着層と、積層体同士あるいは積層体と蓋板との接合に用いられる接着剤とは同一材料を用いても良いため、接合作業性が良好である。そして、絶縁性樹脂板と中間層との接合に用いられる接着層と、積層体同士あるいは積層体と蓋板との接合に用いられる接着剤とは同一材料を用いて強固に接合しておいた場合にも、周縁領域の接合部を切り代として切除するため、容易に作業性良く分断し得、平滑で汚染のない表面を持つ半導体パッケージを得ることができる。
【００６０】
また、実施の形態１から４において、絶縁性樹脂板と中間層との接合に用いられる接着層と、積層体同士あるいは積層体と蓋板との接合に用いられる接着剤とは同一材料を用いても良いが、別の材料を用いてもよい。例えば溶融温度の異なる接着剤を用いて、第１および第２の積層体間あるいは積層体および蓋板間を接合する接着剤の溶融温度が層間の接着層の溶融温度よりも低くなるようにしておき、加熱により分割線で分割できるようにしてもよい。あるいは、レーザー加工、ワイヤソーなどで機械的に分割するようにしてもよい。
【００６１】
さらにまた、実施の形態１から４において、貫通孔をめっきした後、最外層にビルドアップ層を形成したものも有効である。
【００６２】
なお、前記実施の形態１から３では、第１および第２の積層体に貫通孔を形成する際、接合面を含む一部を残して貫通孔を形成し、接合面すなわち、キャビティ形成面には、めっき層が形成されないようにしている。従って半導体パッケージ各層の電極パターンを導通させる電極が非貫通となっており、半導体パッケージ天面には電極パターン無しの構造となっている。これに対し実施の形態４の方法では、接合面の剥離シートにめっき層が形成されないようにしたり、あるいは第１および第２の積層体を昇温などにより剥離し易い接着剤で接合するなどの方法をとることで、半導体パッケージ各層の電極パターンを導通させる電極を貫通電極とし、半導体パッケージ天面に電極パターンを有する構造とすることも可能である。これにより、表面側での接続配線を容易にし、配線長の低減を図ることも可能である。
【００６３】
本発明のいくつかの実施の形態を説明したが、これらの実施の形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態あるいはその変形は、発明の範囲および要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
以上説明してきたように、本実施の形態の半導体パッケージの製造方法によれば、高精度でかつめっき付着汚れのないキャビティを有する半導体パッケージを形成することができることから、光送受信モジュール、高周波モジュールなど種々の半導体素子の実装に用いられる。
【符号の説明】
【００６５】
１０  第１の積層体、１１  第１の絶縁性樹脂板、１２ａ，１２ｂ  第１中間層、１３  接着層、１４  接着剤、１５ａ，１５ｂ  第１のキャビティ、２０  第２の積層体、２１  第２の絶縁性樹脂板、２２ａ，２２ｂ  第２中間層、２３  接着層、２５ａ，２５ｂ  第２のキャビティ、３０  貫通孔、４０  めっき層、５０  剥離シート、６１  発光素子、６２  受光素子、６３  ワイヤ、８０  蓋板、ＤＬ  ダイシングライン、ＤＬH  水平方向の分割線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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