(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台の上に弾性支持された第１物体と、前記第１物体の上に弾性支持された第２物体と、前記基台と前記第１物体との間に配置され、前記第１物体を駆動する駆動部とを有し、前記第２物体の振動を抑制する振動抑制装置であって、
前記基台と前記第１物体との相対距離と第１基準距離との偏差が小さくなるように前記駆動部の駆動量を指示する第１信号を生成する第１生成部と、
前記第１物体と前記第２物体との相対距離と第２基準距離との偏差が小さくなるように前記駆動部の駆動量を指示する第２信号を生成する第２生成部と、
前記第１生成部と前記第２生成部と前記駆動部とを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記第１生成部を動作させ、前記第１信号に基づいて前記駆動部を制御し、
前記基台と前記第１物体との相対距離と前記第１基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、前記第２生成部を動作させ、前記第１信号と前記第２信号とに基づいて前記駆動部を制御することを特徴とする振動抑制装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記第１信号と前記第２信号とに基づいて前記駆動部を制御する際に、前記第１信号と前記第２信号とを合成した信号によって前記駆動部を制御することを特徴とする請求項１に記載の振動抑制装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記第１物体と前記第２物体との相対距離と前記第２基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、前記第１信号から交流成分を取り除くように前記第１生成部を制御し、前記第１信号から交流成分を取り除いた信号と前記第２信号とに基づいて前記駆動部を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動抑制装置。
【請求項４】
前記基台の上に弾性支持された第３物体と、
前記基台と前記第３物体との間に配置され、前記第３物体を駆動する第２駆動部と、
前記第２駆動部を制御する第２制御部と、
を更に備え、
前記第２制御部は、前記第１物体と前記第２物体との相対距離と前記第２基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、前記第２物体と前記第３物体との相対距離と第３基準距離との偏差が小さくなるように前記第２駆動部を制御することを特徴とする請求項３に記載の振動抑制装置。
【請求項５】
基台の上に弾性支持された第１物体と、前記第１物体の上に弾性支持された第２物体と、前記基台と前記第１物体との間に配置され、前記第１物体を駆動する駆動部と、前記基台と前記第１物体との相対距離と第１基準距離との偏差が小さくなるように前記駆動部の駆動量を指示する第１信号を生成する第１生成部と、前記第１物体と前記第２物体との相対距離と第２基準距離との偏差が小さくなるように前記駆動部の駆動量を指示する第２信号を生成する第２生成部とを有し、前記第２物体の振動を抑制する振動抑制装置における振動抑制方法であって、
前記第１生成部を動作させ、前記第１信号に基づいて前記駆動部を制御する工程と、
前記基台と前記第１物体との相対距離と前記第１基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、前記第２生成部を動作させ、前記第１信号と前記第２信号とに基づいて前記駆動部を制御する工程と、
を有することを特徴とする振動抑制方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動抑制装置および振動抑制方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体集積回路における回路パターンの微細化および高集積化に伴い、リソグラフィ技術を用いた露光装置などのリソグラフィ装置の高精度化が求められている。リソグラフィ装置の高精度化を実現するためには、基台などの外部からリソグラフィ装置に伝わる振動がオーバーレイ精度や解像（転写）性能を劣化させる原因となるため、かかる振動を抑制する必要がある。
【０００３】
リソグラフィ装置に用いられる振動抑制装置は、一般的に、空気ばねを用いており、固有振動数が２〜３Ｈｚ程度であるため、人の移動による振動（歩行振動）や建物の振動など低周波の振動（１Ｈｚ以下）を抑制することができない。このように、振動抑制装置には高周波の振動だけではなく、低周波の振動も抑制することが要求されている。そこで、低周波の振動を抑制するために、弾性支持部によって基台に直列に支持された２つの物体と、２つの物体の相対距離を測定するセンサと、基台側の物体を駆動するアクチュエータとを有する振動抑制装置が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００７−５２２３９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の振動抑制装置は、最初にセンサが測定した２つの物体の相対距離を基準距離に設定し、２つの物体の相対距離と基準距離との偏差が小さくなるようにアクチュエータを制御している。しかしながら、最初にセンサが２つの物体の相対距離を測定して基準距離を設定する際に、２つの物体の間における弾性支持部の定常値（弾性支持部が振動していない状態での弾性支持部の長さ）と設定した基準距離との間に定常偏差が生じてしまうことがある。このような定常偏差が生じている状態では、アクチュエータは定常偏差が小さくなるように基台側の物体を駆動するため、２つの物体の相対距離は基準距離に保たれるが、基台側の物体と基台との間の距離は等加速的に変わってしまう。その結果、基台側の物体と基台との間の距離が基台側の物体と基台との間に配置された弾性支持部の可動範囲を超え、弾性支持部が壊れるなどして振動抑制装置が振動を抑制できなくなってしまうことがある。
【０００６】
本発明は、振動抑制装置において、基台などの外部から伝わる振動を抑制する上で有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての振動抑制装置は、基台の上に弾性支持された第１物体と、前記第１物体の上に弾性支持された第２物体と、前記基台と前記第１物体との間に配置され、前記第１物体を駆動する駆動部とを有し、前記第２物体の振動を抑制する振動抑制装置であって、前記基台と前記第１物体との相対距離と第１基準距離との偏差が小さくなるように前記駆動部の駆動量を指示する第１信号を生成する第１生成部と、前記第１物体と前記第２物体との相対距離と第２基準距離との偏差が小さくなるように前記駆動部の駆動量を指示する第２信号を生成する第２生成部と、前記第１生成部と前記第２生成部と前記駆動部とを制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記第１生成部を動作させ、前記第１信号に基づいて前記駆動部を制御し、前記基台と前記第１物体との相対距離と前記第１基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、前記第２生成部を動作させ、前記第１信号と前記第２信号とに基づいて前記駆動部を制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、振動抑制装置において、基台などの外部から伝わる振動を抑制する上で有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態の振動抑制装置を示す図である。
【図２】第１実施形態の振動抑制装置が振動抑制を開始するまでの動作を示すフローチャートである。
【図３】第２物体の位置および駆動部の駆動量について第１実施形態の振動抑制装置と従来の振動抑制装置とを比較した結果を示す図である。
【図４】本発明の第２実施形態の振動抑制装置を示す図である。
【図５】本発明の第３実施形態の振動抑制装置を示す図である。
【図６】第３実施形態の振動抑制装置が振動抑制を開始するまでの動作を示すフローチャートである。
【図７】従来の振動抑制装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００１１】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態の振動抑制装置１００について、図１を参照して説明する。振動抑制装置は、一般的に、鉛直方向（Ｚ方向）および垂直方向（Ｘ方向とＹ方向）の振動を抑制する。第１実施形態の振動抑制装置１００では、鉛直方向（Ｚ方向）の振動抑制について説明する。第１実施形態の振動抑制装置１００は、基台１と、第１物体２と、第２物体４と、駆動部１０とを備える。また、振動抑制装置１００は、第１測定部６と、第２測定部８と、第１生成部２１と、第２生成部２２と、制御部２３とを備える。
【００１２】
基台１は、描画装置や露光装置などのリソグラフィ装置１１を設置する場所の基礎部分（床）に固定される。第１物体２は、第１ばね部材３によって基台１の上に弾性支持され、第２物体４は、第２ばね部材５によって第１物体２の上に弾性支持されている。なお、リソグラフィ装置１１は第２物体４の上に設置される。
【００１３】
駆動部１０は、基台１と第１物体２との間に配置されており、第１物体２に力を加えて、第１物体２を鉛直方向（Ｚ方向）に駆動することができる。駆動部１０は、例えば、リニアモータおよびリニアモータのコイルに電流を流す電流ドライバとで構成されるアクチュエータを含む。後述する制御部２３が電流ドライバに信号を供給し、かかる信号に対応する電流を電流ドライバがコイルに流すことによって、リニアモータが第１物体２を駆動する。
【００１４】
第１測定部６は、基台１と第１物体２との相対距離７（以下、第１相対距離７）を測定する。第１測定部６は、例えば、レーザー干渉測長器などを含み、図１に示すように、基台１に配置され、第１物体２までの距離を測定して第１相対距離７を得ている。また、第２測定部８は、第１物体２と第２物体４との相対距離９（以下、第２相対距離９）を測定する。第２測定部８も、第１測定部６と同様に、レーザー干渉測長器などを含み、図１に示すように、第２物体４に配置され、第１物体２までの距離を測定して第２相対距離９を得ている。
【００１５】
第１生成部２１は、第１相対距離７と第１基準距離との偏差を算出し、算出した偏差が小さくなるように駆動部１０の駆動量を指示する第１信号を生成する。第１基準距離は、第１生成部２１が動作して第１信号の生成を開始する際に、第１測定部６によって測定された第１相対距離７に設定される。また、第１生成部２１は、生成した第１信号から交流成分を取り除くフィルタを備えており、かかるフィルタは、フィルタを機能させるか、させないかの切り替えが可能である。後述するように、Ｓ５１およびＳ５２では交流成分を取り除かないため、制御部２３はフィルタを機能させず、Ｓ５３では交流成分を取り除くため、制御部２３はフィルタを機能させている。なお、第１実施形態の振動抑制装置１００におけるフィルタは、第１生成部２１に備えられているが、第１信号と第２信号とを合成する前に第１信号から交流成分が取り除かれればよいため、第１生成部２１と制御部２３との間、或いは制御部２３に備えられてもよい。
【００１６】
第２生成部２２は、第２相対距離９と第２基準距離との偏差を算出し、算出した偏差が小さくなるように駆動部１０の駆動量を指示する第２信号を生成する。第２基準距離は、第２生成部２２が動作して第２信号の生成を開始する際に、第２測定部８によって測定された第２相対距離９に設定される。この際、第２基準距離が第２ばね部材５が振動していない状態（定常状態）における第２ばね部材５の長さ（以下、第２ばね部材５の定常値）に設定されると、後述するような従来の振動抑制装置における課題は生じない。しかし、第２基準距離（第２測定部８によって測定された第２相対距離９）が第２ばね部材５の定常値になることは極めて稀である。
【００１７】
制御部２３は、第１生成部２１と第２生成部２２と駆動部１０とを制御する。制御部２３は、後述するように、第１生成部２１を動作させ、第１生成部２１から供給される第１信号に基づいて駆動部１０を制御する。そして、第１相対距離７と第１基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、制御部２３は、第２生成部２２を動作させ、第２生成部２２から供給される第２信号と第１信号とを合成し、合成した信号に基づいて駆動部１０を制御する。なお、許容範囲とは、第１基準距離を基準として、許容することができる最大の偏差の範囲をいう。
【００１８】
ここで、従来の振動抑制装置について説明する。従来の振動抑制装置４００は、図７に示すように、第１測定部６および第１生成部２１を備えずに、制御部２３が第２信号のみに基づいて駆動部１０を制御する。
【００１９】
従来の振動抑制装置４００では、第１実施形態の振動抑制装置１００と同様に、基台１と、第１ばね部材３によって基台１の上に弾性支持された第１物体２と、第２ばね部材５によって第１物体２の上に弾性支持された第２物体４とを備えている。また、従来の振動抑制装置４００は、駆動部１０と、第２測定部８と、第２生成部２２と、制御部２３とを備えている。なお、駆動部１０、第２測定部８および第２生成部２２は、第１実施形態の振動抑制装置１００と同様であるため、説明を省略する。また、制御部２３は、第２生成部２２で生成された第２信号のみに基づいて駆動部１０を制御している。
【００２０】
従来の振動抑制装置４００では、振動抑制装置４００が第２物体４の振動の抑制を開始する際、即ち、第２生成部２２が第２信号の生成を開始する際に、第２測定部８が第２相対距離９を測定し、測定した第２相対距離９を第２基準距離として設定する。この際、第２基準距離が、第２ばね部材５が振動していない状態（定常状態）における第２ばね部材５の長さ（以下、第２ばね部材５の定常値）であることは稀である。これは、基台１からの振動などによって第２基準距離と第２ばね部材５の定常値とに定常偏差が生じてしまうからである。このような定常偏差が生じている状態では、第２ばね部材５は第２ばね部材５の定常値になろうとするが、第２生成部２２は、第２相対距離９と第２ばね部材５の定常値ではない第２基準距離との偏差が小さくなるように第２信号を生成する。この第２信号に基づいて制御部２３が駆動部１０を制御するため、第２相対距離９は第２ばね部材５の定常値ではない第２基準距離に保たれるが、基台１と第１物体２との相対距離（第１相対距離７）は等加速的に変化してしまう。その結果、基台１と第１物体２との相対距離が第１ばね部材３の可動範囲を超えてしまうことがある。従って、第１ばね部材３が壊れるなどして、振動抑制装置４００が基台１からの振動を抑制できなくなってしまう。
【００２１】
そこで、第１実施形態の振動抑制装置１００は、第２基準距離と第２ばね部材５の定常値との定常偏差によって生じる第１相対距離７の等加速的な変化を防止するため、第１測定部６と第１生成部２１とを備えている。第１実施形態の振動抑制装置１００が振動の抑制を開始するまでの動作について、図２に示すフローチャートを参照して説明する。
【００２２】
Ｓ５１では、制御部２３は、第１生成部２１を動作させ、第１生成部２１で生成された第１信号に基づいて駆動部１０を制御する。これにより、駆動部１０は、第１相対距離７と第１基準距離との偏差が小さくなるように第１物体２を駆動するため、第１物体２を基台１に対して定位置に留めることができる。
【００２３】
Ｓ５２では、第１相対距離７と第１基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、制御部２３は、第２生成部２２を動作させて第２生成部２２から供給される第２信号と第１信号とを合成し、合成した信号に基づいて駆動部１０を制御する。Ｓ５２において第２基準距離を設定するときに、基台１からの振動によって第２基準距離と第２ばね部材５の定常値との間に定常偏差が生じてしまうことがある。このような定常偏差が生じている状態では、従来の振動抑制装置４００と同様に、第２生成部２２は、第２相対距離９と第２ばね部材５の定常値ではない第２基準距離との偏差が小さくなるように駆動部１０の駆動量を指示する第２信号を生成してしまう。そして、かかる第２信号のみによって制御部２３が駆動部１０を制御すると、第２相対距離９は第２ばね部材５の定常値ではない第２基準距離に保たれるが、第１相対距離７は等加速的に変化してしまうこととなる。そこで、第１実施形態では、制御部２３は、第１生成部２１の動作を止めることなく、第２生成部２２を動作させ、第１信号と第２信号と合成し、合成した信号に基づいて駆動部１０を制御している。この際、第１生成部２１から供給される第１信号は、第１相対距離７と第１基準距離との偏差が小さくなるように駆動部１０の駆動量を指示する信号であるため、第１相対距離７を等加速的に変化させるような第２信号を打ち消すような信号となる。その結果、第１相対距離７は等加速的に変化せず、第１物体２および第２物体４は、それぞれ一定の位置に収束する。
【００２４】
Ｓ５３では、第２生成部２２が動作した後であって、第２相対距離９と第２基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、制御部２３は、第１生成部におけるフィルタを機能させ、第１信号から交流成分を取り除くように第１生成部２１を制御する。また、Ｓ５３では、第２生成部２２から第２信号が制御部２３に供給されている。従って、制御部２３は、第１信号から交流成分を取り除いた信号と第２信号とに基づいて駆動部１０を制御する。第１信号から交流成分を取り除いた信号は、第２信号のうち第１相対距離７を等加速的に変化させるような信号成分のみを打ち消す。そのため、第１信号から交流成分を取り除いた信号と第２信号とを合成した信号には、第２相対距離９と第２基準距離との偏差が小さくなるような信号成分、即ち、基台１から第２物体４に伝わる振動を抑制するような信号成分のみが残る。その結果、制御部２３は、第１相対距離７の等加速的な変化を防止して、基台１から第２物体４に伝わる振動を抑制するように駆動部１０を制御することが可能となる。
【００２５】
ここで、第２物体４の位置および駆動部１０の駆動量について、第１実施形態の振動抑制装置１００と従来の振動抑制装置４００とを比較した結果を図３に示す。図３では時刻１５、時刻１６および時刻４０が示されている。時刻１５は、第１実施形態の振動抑制装置１００の制御部２３が第１信号に基づいて駆動部１０を制御し始めた時刻（Ｓ５１に相当）である。時刻１６は、第１実施形態の振動抑制装置１００の制御部２３が第１信号と第２信号とに基づいて駆動部１０を制御し始めた時刻（Ｓ５２に相当）である。時刻４０は、第１実施形態の振動抑制装置１００の制御部２３が、第１信号から交流成分を取り除いた信号と第２信号とに基づいて駆動部１０制御し始めた時刻（Ｓ５３に相当）である。また、時刻１６は、従来の振動抑制装置４００の制御部２３が第２信号に基づいて駆動部１０を制御し始めた時刻である。
【００２６】
図３（ａ）は、時間に対する第２物体４の位置を示す図である。図３（ａ）において縦軸は、第２物体４の位置と基準位置との偏差であり、縦軸が０ｍｍのときに基準位置を示す。基準位置とは、基台１が振動しておらず、第１ばね部材３および第２ばね部材５がそれぞれの定常値になっている状態（定常状態）において、基台１を基準とした第２物体４の位置のことである。従来の振動抑制装置４００では、制御部２３が第２信号に基づいて駆動部１０を制御し始めた時刻１６から第２物体４の位置が徐々に上昇し始めており、時刻４０付近では第２物体４が基準位置から＋２ｍｍ程度の位置で略一定になる。従来の振動抑制装置４００では、第２物体４の位置の上昇を抑えるため、即ち、基台１と第１物体２との相対距離が拡がることを防止するため、第２生成部２２にハイパスフィルタを備えている。かかるハイパスフィルタは、第２信号によって指示される駆動部１０の駆動量（第２信号における駆動量）を略一定とするため、基台１と第１物体との相対距離も略一定となり、第２物体の位置の上昇を抑えることができる。しかし、ハイパスフィルタを用いて第２物体の位置を略一定にしても、図３（ａ）のように＋２ｍｍ程度のオフセットが残ってしまう。このオフセットが生じることによって、基台１と第１物体２との相対距離が第１ばね部材３の可動範囲を超えてしまう場合、第１ばね部材３が壊れるなどして従来の振動抑制装置４００が振動を抑制できなくなってしまう。一方、第１実施形態の振動抑制装置１００では、第２物体４の位置に変動は見られず、第２物体４の位置は基準位置（０ｍｍ）に一定である。
【００２７】
図３（ｂ）は、時間に対する駆動部１０の駆動量を示す図である。図３（ｂ）において縦軸は、第１生成部２１で生成された第１信号または第２生成部２２で生成された第２信号によって指示される駆動部１０の駆動量（以下、第１信号による駆動量、第２信号による駆動量と称する）である。従来の振動抑制装置４００では、第２信号による駆動量は、制御部２３が第２信号に基づいて駆動部１０を制御し始めた時刻１６から増加し、０．２５Ｎ付近で略一定になる。第２信号による駆動量が略一定になるのは、上述したように、第２信号に直流成分が含まれないようにするハイパスフィルタが第２生成部２２に備えられているからである。かかるハイパスフィルタは、時定数を有するため第２信号による駆動量が略一定となるまでに時間を要するが、第２信号に直流成分を含まないようにする。そのため、第２信号による駆動量は、等加速的な増加が抑制され略一定となる。また、このような第２信号による駆動量の増加は、駆動部１０が第１物体２を上方向に駆動し、第２物体４を上昇させることを意味するため、図３（ａ）に示すように第２物体４の位置も同様の傾向を示している。一方、第１実施形態の振動抑制装置１００では、第２信号による駆動量は、従来の振動抑制装置４００における第２信号による駆動量と略同じ傾向を示しているが、第１信号による駆動量は、第２信号による駆動量の符号を反転した値となっている。そのため、第１信号による駆動量と第２信号による駆動量を合わせると、駆動部１０が第１物体２を上方向に駆動するような駆動量は略なくなり、第２物体４の位置は上昇しなくなる。時刻４０以降では、Ｓ５３で説明したように、制御部２３は、第１信号から交流成分を取り除いた信号と第２信号とに基づいて駆動部１０を制御している。これは、時刻４０の直前と同様に、駆動部１０が第１物体２を上方向に駆動することを制限し、第２物体４を上昇させないためである。なお、時刻４０以降では、基台１からの振動を抑制するような信号成分は第２信号に含まれており、かかる信号成分は第１信号から交流成分を取り除いた信号によっては打ち消されることはない。そのため、時刻４０以降では、制御部２３は、基台１から第２物体４に伝わる振動を抑制するように駆動部１０を制御することができる。
【００２８】
上述したように、第１実施形態の振動抑制装置１００は、第１測定部６および第１生成部２１を備えており、第１生成部２１では、第１相対距離７と第１基準距離との偏差が小さくなるように駆動部１０の駆動量を指示する第１信号を生成している。また、第１相対距離７と第１基準距離の偏差が許容範囲に収まった後、振動抑制装置１００の制御部２３は、第１信号と第２信号とに基づいて駆動部１０を制御している。これにより、第２基準距離と第２ばね部材５の定常値との定常偏差によって生じる第１相対距離７の等加速的な変化を防止することが可能となり、制御部２３が、基台１から第２物体４に伝わる振動を抑制するように駆動部１０を制御することが可能となる。
【００２９】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態の振動抑制装置２００について、図４を参照して説明する。第２実施形態の振動抑制装置２００は、第１実施形態の振動抑制装置１００と比較して、第１測定部６を備えておらず、台１２と、第３測定部１３と、加算器１７とを更に備えている。台１２は、基台１に固定されており、柱１２ａと天板１２ｂとで構成される逆Ｌ字型形状になっている。第３測定部１３は、天板１２ｂに配置され、天板１２ｂと第２物体４との相対距離１４（以下、第３相対距離１４）を測定する。また、加算器１７は、天板１２ｂと基台１との距離から第３相対距離１４と第２相対距離９とを差し引き、基台１と第１物体２との相対距離を算出している（第１物体２および第２物体４の厚さも考慮している）。換言すれば、第３測定部１３は、天板１２ｂと第２物体４との第３相対距離１４を測定することで、基台１と第１物体２との相対距離（第１相対距離７）を測定している。なお、振動抑制装置２００が第２基準距離を設定して振動の抑制を開始するまでの動作などは、第１実施形態の振動抑制装置１００と同じであるため、説明を省略する。
【００３０】
第２実施形態の振動抑制装置２００は、第１実施形態の振動抑制装置１００と同様に、第１相対距離７の等加速的な変化を防止することが可能であり、基台１から第２物体４に伝わる振動を抑制することができる。また、第２実施形態の振動抑制装置２００は、例えば、基台１と第１物体２との隙間が小さく、第１相対距離７を測定することが困難である場合に有効である。
【００３１】
＜第３実施形態＞
本発明の第３実施形態の振動抑制装置３００について、図５を参照して説明する。第３実施形態の振動抑制装置３００は、第１実施形態の振動抑制装置１００と比較して、振動抑制システム３０を更に備え、振動抑制装置１００を振動抑制システム３０の測定基準として用いている。振動抑制システム３０は、第３物体１８と、台１２と、固定台１９と、空気ばね２０と、第２駆動部２４と、第２制御部２５とで構成されている。また、第３実施形態の振動抑制装置３００は、第１測定部６を備えずに、第３測定部１３を備えている。
【００３２】
第３物体１８は、基台１に固定された台１２の上に空気ばね２０によって弾性支持されている。第３物体１８と台１２との間には、空気ばね２０と並んで固定台１９が備えられている。かかる固定台１９は、空気ばね２０の空気が抜かれている状態のときに、第３物体１８を台１２に固定する。なお、リソグラフィ装置１１は、第３物体１８の上に設置される。
【００３３】
第３測定部１３は、第２物体４と第３物体１８との相対距離１４（以下、第３相対距離１４）を測定する。第３測定部１３は、例えば、レーザー干渉測長器などを含み、図５に示すように、第２物体４に配置され、第３物体１８までの距離を測定して第３相対距離１４を得ている。
【００３４】
第２駆動部２４は、基台１と第３物体１８との間に配置されており、第３物体１８に力を加えて、第３物体１８を鉛直方向（Ｚ方向）に駆動する。第２駆動部２４は、駆動部１０と同様に、例えば、リニアモータおよびリニアモータのコイルに電流を流す電流ドライバとで構成されるアクチュエータを含む。第２制御部２５が電流ドライバに信号を供給し、かかる信号に対応する電流を電流ドライバがコイルに流すことによって、リニアモータが第３物体１８を駆動する。また、第２制御部２５は、第３相対距離１４と第３基準距離との偏差が小さくなるように第２駆動部２４を制御する。第３基準距離とは、空気ばね２０に空気が充填された状態における第２物体４と第３物体１８との距離のことである。
【００３５】
ここで、第３実施形態の振動抑制装置３００が振動抑制を開始するまでの動作について、図６を参照して説明する。
【００３６】
Ｓ６１では、制御部２３は、第１生成部２１を動作させ、第１生成部２１で生成された第１信号に基づいて駆動部１０を制御する。Ｓ６１では、振動抑制装置３００は、空気ばね２１の空気が抜かれている状態、即ち、固定台１９によって第３物体１８が台１２に固定されている状態である。かかる状態において、第１相対距離７は、第２測定部８で測定された第２相対距離９、および第３測定部１３で測定された第３相対距離１４に基づいて算出される。具体的には、第１相対距離７は、加算器１７において、第３物体１８が台１２に固定されている状態における基台１と第３物体１８との距離から、第２相対距離９および第３相対距離１４を差し引くことで算出される。加算器１７で算出された第１相対距離７は第１生成部２１に供給され、第１生成部２１では第１相対距離７と第１基準距離との偏差が小さくなるように駆動部１０の駆動量を指示する第１信号が生成される。第１信号に基づいて制御部２３が駆動部１０を制御することによって、第１物体２を基台１に対して定位置に留めることができる。
【００３７】
Ｓ６２では、第１相対距離７と第１基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、制御部２３は、第２生成部２２を動作させて第２生成部２２から供給される第２信号を第１信号に合成し、合成した信号に基づいて駆動部１０を制御する。かかる制御は、第１実施形態の振動抑制装置１００において説明したＳ５２と同様である。
【００３８】
Ｓ６３では、第２生成部２２が動作した後であって、第２相対距離９と第２基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、制御部２３は、第１信号から交流成分を取り除くように第１生成部２１を制御する。また、Ｓ６３では、第２生成部２２から第２信号が制御部２３に供給されている。従って、制御部２３は、第１信号から交流成分を取り除いた信号と第２信号とに基づいて駆動部１０を制御する。かかる制御は、第１実施形態の振動抑制装置１００において説明したＳ５３と同様である。このとき、制御部２３は、第１相対距離７の等加速的な変化を防止して、基台１から第２物体４に伝わる振動を抑制するように駆動部１０を制御することが可能となる。
【００３９】
Ｓ６４では、空気ばね２０に空気を入れて、第３物体１８が台１２に固定されている状態を解除する。Ｓ６５では、第２制御部２５は、第３相対距離１４と第３基準距離との偏差が小さくなるように第２駆動部２４を制御する。これにより、第３実施形態の振動抑制装置３００では、基台１からの振動が抑制されている第２物体４を測定基準とするため、第３物体１８も振動を抑制することが可能となる。
【００４０】
上述したように、第３実施形態の振動抑制装置３００は、第３物体を有する振動抑制システム３０を備え、振動抑制システム３０は、振動が抑制されている第２物体４を測定基準としている。そのため、第３物体１８も振動を抑制することが可能となる。また、第１物体２と第２物体４とで構成される図１に示すような振動抑制装置１００は、第３実施形態の振動抑制装置３００における振動抑制システム３０の測定基準として用いているだけである。そのため、基台１から第２物体４までの構成（振動抑制装置１００）を小型化することができ、それに伴って、第３実施形態の振動抑制装置３００も小型化することが可能となる。
【００４１】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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