(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面実装水晶振動子において、
水晶片が搭載される基板の四隅にスルーホールが形成され、
前記スルーホール内面を導通させるスルー端子が形成され、
前記スルー端子に接続すると共に、前記スルーホールを囲むように、前記スルーホールの周辺にコーナー端子が形成され、
前記水晶片が搭載される基板上に、前記基板の短辺に並行に第１の水晶保持端子が、別の短辺に並行に第２の水晶保持端子が形成され、
前記第１の水晶保持端子の一端が最短の前記基板の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、前記第１の水晶保持端子の他端は前記一端に比べて前記短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第１の領域を形成し、
前記第２の水晶保持端子の一端が最短の前記基板の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、前記第２の水晶保持端子の他端は前記一端に比べて前記短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第２の領域を形成し、
前記基板の裏面において、グランド端子が前記第１の水晶保持端子と前記第２の水晶保持端子に重ならないように形成され、
前記第１の水晶保持端子が接続する前記コーナー端子と前記第２の水晶保持端子が接続する前記コーナー端子とは、前記基板上で対角にあり、
前記第１の水晶保持端子及び前記第２の水晶保持端子は、接続する前記各々のコーナー端子に最も近い前記水晶片の各角部において、導電性接着剤によって前記水晶片に接続されていることを特徴とする表面実装水晶振動子。
【請求項２】
第１及び第２の水晶保持端子は、短辺中央からコーナー端子に接続する端部までの長さと、コーナー端子に接続しない端部までの長さを、３対２としたことを特徴とする請求項１記載の表面実装水晶振動子。
【請求項３】
複数の表面実装水晶振動子が形成されるシート状の基板シートであって、
前記基板シートには、個々の表面実装水晶振動子の領域を縦方向と横方向に区切るブレイクラインと前記ブレイクラインの交差する箇所に前記基板シートを貫通するスルーホールとが形成され、
前記スルーホール内面を導通させるスルー端子が形成され、前記スルーホールを囲むようにコーナー端子が形成されると共に、前記領域内の短辺の各々に並行に第１の水晶保持端子と第２の水晶保持端子が形成され、
前記第１の水晶保持端子の一端が個別の表面実装振動子の領域における最短の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、前記第１の水晶保持端子の他端は前記一端に比べて前記短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第１の領域を形成し、
前記第２の水晶保持端子の一端が個別の表面実装振動子の領域における最短の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、前記第２の水晶保持端子の他端は前記一端に比べて前記短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第２の領域を形成し、
前記基板シートの裏面において、グランド端子が前記第１の水晶保持端子と前記第２の水晶保持端子に重ならないように形成され、
前記第１の水晶保持端子が接続する前記コーナー端子と前記第２の水晶保持端子が接続する前記コーナー端子とは、前記個別の表面実装水晶振動子の領域内で対角にあり、
前記第１の水晶保持端子及び前記第２の水晶保持端子は、搭載される水晶片を、前記第１の水晶保持端子及び前記第２の水晶保持端子が接続する前記各々のコーナー端子に最も近い前記水晶片の各角部において、導電性接着剤によって接続するように形成されることを特徴とする基板シート。
【請求項４】
第１及び第２の水晶保持端子は、短辺中央からコーナー端子に接続する端部までの長さと、コーナー端子に接続しない端部までの長さを、３対２としたことを特徴とする請求項３記載の基板シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面実装水晶振動子に係り、特に、水晶振動子の静電容量を低減して周波数可変量の低下を防止する表面実装水晶振動子及び基板シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
表面実装水晶振動子は小型・軽量であることから、特に携帯型の電子機器に周波数や時間の基準源として内蔵される。
従来の表面実装水晶振動子は、セラミック基板上に水晶片を搭載し、凹状のカバーを逆さまにして被せて密閉封入したものがある。近年では、周波数偏差Δｆ／ｆが比較的緩く、例えば±１５０〜±２５０ｐｐｍの安価な民生用がある。
【０００３】
従来の表面実装水晶振動子は、水晶片を搭載する表面に当該水晶片を保持する水晶保持端子が形成されている。
また、表面実装水晶振動子の裏面には、一般的に２カ所のグランド（ＧＮＤ）端子のパターンが形成されている。
【０００４】
［関連技術］
尚、関連する先行技術として、特開平０４−２１７１０８号公報「チップ型圧電部品」（株式会社村田製作所）［特許文献１］、特開平０４−２９６１１０号公報「圧電共振素子の製造方法」（株式会社村田製作所）［特許文献２］がある。
【０００５】
特許文献１には、入力用電極と出力用電極を、中基板を介して互いに対向させないようにすると共に、両者を相当の距離をおいて配置することが示されている。
特許文献２には、圧電基板の厚みの大きい部分では電極の互いに対向しない部分の面積を大きくし、圧電基板の厚みの小さい部分では電極の互いに対向しない部分の面積を小さくして、電極の非対向部分間に生じる浮遊容量の大きさを調整して共振周波数のばらつきを抑制することが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０４−２１７１０８号公報
【特許文献２】特開平０４−２９６１１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来の表面実装水晶振動子では、基板表面に形成される水晶保持端子のパターン部分と裏面に形成されるＧＮＤ端子のパターン部分とが基板（ベース基材）を挟んで重なり、対向するようになると、水晶振動子の静電容量Ｃ0が増大する原因となり、周波数可変量の低下につながるという問題点があった。
【０００８】
具体的には、静電容量は、金属板の面積と金属板同士の距離、金属板の間に設けられる絶縁体の誘電率により決定されるものである。
また、水晶振動子では顧客により大きな周波数可変量を要求されることがあり、周波数可変量ΔＦ／Ｆは、ΔＦ／Ｆ＝Ｃ１／２（ＣＬ＋Ｃ0）で与えられるため、静電容量Ｃ0の増大は周波数可変量の低下につながることになる。
【０００９】
本発明は上記実状に鑑みて為されたもので、水晶振動子の静電容量を低減して周波数可変量の低下を防止する表面実装水晶振動子及び基板シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、表面実装水晶振動子において、水晶片が搭載される基板の四隅にスルーホールが形成され、スルーホール内面を導通させるスルー端子が形成され、スルー端子に接続すると共に、スルーホールを囲むように、スルーホールの周辺にコーナー端子が形成され、水晶片が搭載される基板上に、基板の短辺に並行に第１の水晶保持端子が、別の短辺に並行に第２の水晶保持端子が形成され、第１の水晶保持端子の一端が最短の基板の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、第１の水晶保持端子の他端は一端に比べて短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第１の領域を形成し、第２の水晶保持端子の一端が最短の基板の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、第２の水晶保持端子の他端は一端に比べて短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第２の領域を形成し、基板の裏面において、グランド端子が第１の水晶保持端子と第２の水晶保持端子に重ならないように形成され、第１の水晶保持端子が接続するコーナー端子と第２の水晶保持端子が接続するコーナー端子とは、基板上で対角にあり、第１の水晶保持端子及び第２の水晶保持端子は、接続する各々のコーナー端子に最も近い水晶片の各角部において、導電性接着剤によって水晶片に接続されていることを特徴とする。
【００１２】
本発明は、上記表面実装水晶振動子において、第１及び第２の水晶保持端子は、短辺中央からコーナー端子に接続する端部までの長さと、コーナー端子に接続しない端部までの長さを、３対２としたことを特徴とする。
【００１３】
本発明は、複数の表面実装水晶振動子が形成されるシート状の基板シートであって、基板シートには、個々の表面実装水晶振動子の領域を縦方向と横方向に区切るブレイクラインとブレイクラインの交差する箇所に基板シートを貫通するスルーホールとが形成され、スルーホール内面を導通させるスルー端子が形成され、スルーホールを囲むようにコーナー端子が形成されると共に、領域内の短辺の各々に並行に第１の水晶保持端子と第２の水晶保持端子が形成され、第１の水晶保持端子の一端が個別の表面実装振動子の領域における最短の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、第１の水晶保持端子の他端は一端に比べて短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第１の領域を形成し、第２の水晶保持端子の一端が個別の表面実装振動子の領域における最短の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、第２の水晶保持端子の他端は一端に比べて短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第２の領域を形成し、基板シートの裏面において、グランド端子が第１の水晶保持端子と第２の水晶保持端子に重ならないように形成され、第１の水晶保持端子が接続するコーナー端子と第２の水晶保持端子が接続するコーナー端子とは、個別の表面実装水晶振動子の領域内で対角にあり、第１の水晶保持端子及び第２の水晶保持端子は、搭載される水晶片を、第１の水晶保持端子及び第２の水晶保持端子が接続する各々のコーナー端子に最も近い水晶片の各角部において、導電性接着剤によって接続するように形成されることを特徴とする。
【００１５】
本発明は、上記基板シートにおいて、第１及び第２の水晶保持端子は、短辺中央からコーナー端子に接続する端部までの長さと、コーナー端子に接続しない端部までの長さを、３対２としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、水晶片が搭載される基板の四隅にスルーホールが形成され、スルーホール内面を導通させるスルー端子が形成され、スルー端子に接続すると共に、スルーホールを囲むように、スルーホールの周辺にコーナー端子が形成され、水晶片が搭載される基板上に、基板の短辺に並行に第１の水晶保持端子が、別の短辺に並行に第２の水晶保持端子が形成され、第１の水晶保持端子の一端が最短の基板の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、第１の水晶保持端子の他端は一端に比べて短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第１の領域を形成し、第２の水晶保持端子の一端が最短の基板の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、第２の水晶保持端子の他端は一端に比べて短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第２の領域を形成し、基板の裏面において、グランド端子が第１の水晶保持端子と第２の水晶保持端子に重ならないように形成され、第１の水晶保持端子が接続するコーナー端子と第２の水晶保持端子が接続するコーナー端子とは、基板上で対角にあり、第１の水晶保持端子及び第２の水晶保持端子は、接続する各々のコーナー端子に最も近い水晶片の各角部において、導電性接着剤によって水晶片に接続されている表面実装水晶振動子としているので、水晶保持端子のパターンとグランド端子のパターンが基板を挟んで対向しなくなり、水晶振動子の静電容量を低減することができ、周波数可変量の低下を防止できる効果がある。
【００１７】
本発明によれば、複数の表面実装水晶振動子が形成されるシート状の基板シートには、個々の表面実装水晶振動子の領域を縦方向と横方向に区切るブレイクラインとブレイクラインの交差する箇所に基板シートを貫通するスルーホールとが形成され、スルーホール内面を導通させるスルー端子が形成され、スルーホールを囲むようにコーナー端子が形成されると共に、領域内の短辺の各々に並行に第１の水晶保持端子と第２の水晶保持端子が形成され、第１の水晶保持端子の一端が個別の表面実装振動子の領域における最短の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、第１の水晶保持端子の他端は一端に比べて短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第１の領域を形成し、第２の水晶保持端子の一端が個別の表面実装振動子の領域における最短の角部に向けて引き出され、当該角部のコーナー端子に接続し、第２の水晶保持端子の他端は一端に比べて短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない第２の領域を形成し、基板シートの裏面において、グランド端子が第１の水晶保持端子と第２の水晶保持端子に重ならないように形成され、第１の水晶保持端子が接続するコーナー端子と第２の水晶保持端子が接続するコーナー端子とは、個別の表面実装水晶振動子の領域内で対角にあり、第１の水晶保持端子及び第２の水晶保持端子は、搭載される水晶片を、第１の水晶保持端子及び第２の水晶保持端子が接続する各々のコーナー端子に最も近い水晶片の各角部において、導電性接着剤によって接続するように形成される基板シートとしているので、水晶保持端子のパターンとグランド端子のパターンが基板を挟んで対向しなくなり、水晶振動子の静電容量を低減することができ、周波数可変量の低下を防止でき、グランド端子を使用した周波数の検査及び調整を容易にできる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態に係る水晶搭載パターンの平面説明図である。
【図２】基板表面からＧＮＤ端子のパターンを表した平面説明図である。
【図３】本振動子の断面説明図である。
【図４】本振動子の平面説明図である。
【図５】本振動子のセラミックシートの表面を示す概略図である。
【図６】本振動子のセラミックシートの裏面を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
［実施の形態の概要］
本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子は、第１の水晶保持端子の一端がコーナー端子に接続し、第１の水晶保持端子の他端は一端に比べて短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない領域を形成し、第２の水晶保持端子の一端がコーナー端子に接続し、第２の水晶保持端子の他端は一端に比べて短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない領域を形成し、当該パターンが形成されない領域に対向する基板の裏面にグランド端子のパターンが形成されるようにしているので、水晶保持端子のパターンとグランド端子のパターンが基板を挟んで対向しなくなり、水晶振動子の静電容量を低減することができ、周波数可変量の低下を防止できる。
【００２０】
また、本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子の基板シート（セラミックシート）は、表面において、ブレイクラインで区切られる領域内で、スルーホール周辺に形成されるコーナー端子に接続する水晶保持端子は他のコーナー端子に接続せず、裏面において、ブレイクラインで区切られる領域内で、スルーホール周辺に形成されるコーナー端子に接続する実装端子も他のコーナー端子に接続しない構成としたものであり、上記領域内の実装端子を使用した周波数の検査及び調整を容易にできる効果がある。
【００２１】
［水晶搭載パターン：図１］
本発明の実施の形態に係る表面実装水晶振動子（本振動子）の水晶搭載パターンについて図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る水晶搭載パターンの平面説明図である。
本振動子の水晶搭載パターンは、図１に示すように、基板１の四隅に形成されたスルー端子に接続するコーナー端子２ａ，２ｂが設けられ、基板の短辺に並行に２つの水晶保持端子（水晶搭載パターン）３が形成されている。
尚、水晶保持端子３は、請求項における第１の水晶保持端子、第２の水晶保持端子に相当している。
図１の表面実装水晶振動子は、「両持」と呼ばれるタイプのものである。
【００２２】
ここで、コーナー端子２ａは、水晶保持端子３に接続するものの、コーナー端子２ｂは、水晶保持端子３には接続しないようになっている。
従って、コーナー端子２ａは、水晶保持端子３に接続するための接続パターンが形成されている。
【００２３】
更に、本振動子の特徴部分として、水晶保持端子３は、基板１の短辺の中央から左右対称ではなく、コーナー端子２ａに接続しない端部を短く形成している。
具体的には、コーナー端子２ａに接続する側が、中央（中心）から０．７５の割合の長さであるとすると、コーナー端子に接続しない側が、中央から０．５の割合の長さとなっている。つまり、３対２の割合である。
【００２４】
これにより、図１において、図１の左上の部分に水晶搭載パターンが形成されていない領域が生成され、また、図１の右下の部分にも同様に水晶搭載パターンが形成されていない領域が生成されている。
【００２５】
［ＧＮＤ端子のパターン：図２］
次に、基板１の裏面に形成される実装端子４のＧＮＤ端子４ａのパターンについて図２を参照しながら説明する。図２は、基板表面からＧＮＤ端子のパターンを表した平面説明図である。
図２に示すように、基板１の裏面にＧＮＤ端子４ａのパターンが水晶搭載パターンと重ならない領域に形成されている。図２では、点線で囲った部分がＧＮＤ端子４ａのパターンである。
【００２６】
つまり、ＧＮＤ端子４ａのパターンと水晶搭載パターンが基板（ベース基材）１を介して対向しないよう、ＧＮＤ端子４ａのパターンと水晶搭載パターンの寸法を調整する。
このような構成にすることで、ＧＮＤ端子４ａのパターンと水晶搭載パターンが基板１を介して対向しないため、静電容量を低減でき、周波数可変量の低下を防止できる効果がある。
【００２７】
［本振動子の構成：図３］
次に、本振動子の構成について図３を参照しながら説明する。図３は、本振動子の断面説明図である。
本振動子は、図３に示すように、セラミックベース（基板）１上に形成した水晶保持端子３に導電性接着剤７を介して水晶片５が搭載され、更に、凹状の金属カバー（カバー）６を逆さまにしてセラミックベース１上に接合して密閉封入したものである。
【００２８】
また、基板１の側面にスルー端子２ｃが形成され、当該スルー端子２ｃに基板１の表面でコーナー端子２ａ，２ｂが接続し、当該スルー端子２ｃのいずれかに基板１の裏面でコーナー端子２ｄを介してＧＮＤ端子４ａが接続している。
そして、基板１の表面に形成された水晶保持端子３にコーナー端子２ａが接続している。
スルー端子２ｃは、基板１に四隅に形成されたスルーホール（貫通孔）の側壁に形成される。
【００２９】
更に、基板１とカバー６の接触部分との間には、絶縁性のある封止材８が形成されている。
尚、コーナー端子、スルー端子、ＧＮＤ端子は、Ａｇ（銀）Ｐｄ（パラジウム）合金で形成されるものである。
【００３０】
［本振動子の平面的特徴：図４］
次に、本振動子の平面的な特徴について図４を参照にしながら説明する。図４は、本振動子の平面説明図である。
本振動子は、図４に示すように、セラミックベース（基板）１上に水晶片５の両端を保持するための水晶保持端子３が対向して形成され、水晶保持端子３の端部から最短の基板１の角部に向けて引き出された引出パターンを備えたコーナー端子２ａが形成され、スルー端子２ｃに接続されている。
【００３１】
つまり、２つのコーナー端子２ａは、基板１上の対角に形成され、スルー端子２ｃに接続している。また、２つのコーナー端子２ｂも、基板１上の対角に形成され、スルー端子２ｃに接続している。
【００３２】
基板１の角部に引出パターンを備えたコーナー端子２ａを介してスルー端子２ｃに接続するのは、基板１の水平方向又は垂直方向に引出パターンを引き出す場合に比べて距離をとることができ、そのため金属カバー６の位置がずれたとしても、水晶保持端子３とスルー端子２ｃとが金属カバー６を介してショートするのを回避するためである。
【００３３】
そして、水晶片５と水晶保持端子３とは、コーナー端子２ａの引出パターンが接続する水晶保持端子３の端部で導電性接着剤７により接続されている。
図４に示すように、水晶片５の両端部で水晶保持端子３が水晶片５を保持する構造であるため「両持」タイプと称される。
【００３４】
水晶保持端子３のパターンは、図１，２でも説明したが、図４にも示すように、基板１の中央に対向して形成され、コーナー端子２ａが接続していない端部が、従来の水晶保持端子に比べて特定の長さだけ短くなっている。
【００３５】
従来の水晶保持端子は、基板１の短辺の中心から左右同じ長さで形成されるが、本振動子では、コーナー端子２ａに接続しない側の水晶保持端子３の長さを短くしている。
これは、基板１の裏面におけるＧＮＤ端子４ａのパターンと基板１の表面における水晶保持端子のパターン（水晶搭載パターン）が対向しないようにするためであるが、それ以外に、金属カバー６が一方の水晶保持端子３に接触しても、他方（別）の水晶保持端子３に接触するのを防止して、ショートを回避するためのものである。
【００３６】
［本振動子のセラミックシートの表面：図５］
次に、本振動子が形成される基板シート（セラミックシート）の表面について図５を参照しながら説明する。図５は、本振動子のセラミックシートの表面説明図である。
セラミックシート１′の表面は、図５に示すように、基板１に分割するための縦横方向にブレイクラインが形成され、ブレイクラインの交点にスルーホール（貫通孔）が形成されている。
【００３７】
そして、スルーホールを囲むように、スルーホールの周辺にコーナー端子２（２ａ，２ｂ）が形成される。
ブレイクラインの短辺に沿って水晶保持端子３が形成され、水晶保持端子３の一端がコーナー端子２ａに接続し、水晶保持端子３の他端はコーナー端子２ｂには接続していない。
【００３８】
また、図１でも説明したように、水晶保持端子の他端（コーナー端子２ｂに近い端部）は、中央から短い長さになっており、コーナー端子２ｂとの間にパターンが形成されない空白領域が形成される。
更に、図５に示すように、コーナー端子２は一つの対角で水晶保持端子３に接続し、別の対角では水晶保持端子３に接続しないようになっている。つまり、隣接する角部では水晶保持端子３に接続することがない。
【００３９】
［本振動子のセラミックシートの裏面：図６］
次に、本振動子が形成されるセラミックシートの裏面について図６を参照しながら説明する。図６は、本振動子のセラミックシートの裏面説明図である。
セラミックシート１′の裏面は、図６に示すように、ブレイクラインが形成され、ブレイクラインの交点にスルーホールが形成されている。
【００４０】
そして、スルーホールを囲むように、スルーホールの周辺にコーナー端子２ｄが形成される。
コーナー端子２ｄの角部に接続するように、実装端子４のＧＮＤ端子４ａと実装電極端子４ｂが形成される。
更に、図６に示すように、コーナー端子２ｄは一つの対角でＧＮＤ端子４ａに接続し、別の対角では実装電極端子４ｂに接続するようになっている。つまり、隣接する角部がＧＮＤ端子４ａに接続することがなく、同様に隣接する角部が実装電極端子４ｂに接続することがない。
【００４１】
以上のように、セラミックシート１′の表面と裏面の構成とすることで、個々の基板１に分割される前のセラミックシート１′の状態で、周波数調整及び検査を適正に行うことができる。
セラミックシート１′の表裏面の構成では、コーナー端子２（２ａ，２ｄ）に接続する水晶保持端子３と実装端子４は、一つのコーナー端子２に対して共通の電極となるが、他のコーナー端子とは接続することがないため、個々のコーナー端子２は電気的に独立しており、周波数検査及び調整を適正に行うことができる。特に、ブレイクラインで区切られる領域内では、実装端子４に測定端子を接触させた場合、他の領域から影響を受けることがないため、周波数検査及び調整が適正に為される。
【００４２】
周波数の検査は、セラミックシート１′の裏面において、ブレイクラインで区切られる領域内の実装端子４に測定端子を接触させ、セラミックシート１′の表面に形成された水晶振動子の周波数特性を測定するものである。
また、周波数の調整は、上記水晶振動子の周波数特性の測定状態で、水晶片５の励振電極を加工することにより行うものである。周波数の調整については後述する。
【００４３】
［セラミックシートの製造方法］
次に、セラミックシートの製造方法について説明する。
個々の基板１に分割される前のセラミックシート（基板シート）は、セラミックで形成され、当該セラミックシートに個々の基板１に分割するためのブレイクラインとスルーホール（貫通孔）が形成される。
ブレイクラインは、隣接する基板１の領域を区切るもので、製造された表面実装水晶振動子を分割し易くするものである。
スルーホールは、ブレイクラインが交差する箇所（基板１の四隅［角部］）に形成される。
【００４４】
そして、そのセラミックシート１′の裏面において、スルーホールの周辺にコーナー端子２ｄとＧＮＤ端子４のパターンを、マスクパターンを用いて印刷により形成する。図６では、コーナー端子２ｄは、スルーホールを囲むようにドーナツ形状で形成されている。
コーナー端子２ｄと実装端子４のパターンは、ＡｇＰｄ合金の金属ペーストを厚み約１０μｍ程度で印刷し、その後に焼成する。このパターンを形成する際に、裏面側からスルーホール内のスルー端子２ｃも形成される。
コーナー端子２ｄとＧＮＤ端子４ａの接続関係は、図２、図６を用いて説明した通りである。
【００４５】
また、セラミックシート１′の表面においては、スルーホールの周辺にコーナー端子２ａ，２ｂと水晶保持端子３のパターンが形成される。表面におけるパターンも、裏面におけるパターンと同様の方法によって形成する。そして、このパターンを形成する際に、表面側からスルーホール内のスルー端子２ｃも形成される。
【００４６】
尚、セラミックシート１′におけるパターンは、印刷によって形成したが、無電解メッキによって形成してもよい。
セラミックシート１′の表面及び裏面でのパターン形成後に、絶縁膜を形成し、水晶片５を搭載し、周波数の検査及び周波数調整を行って、金属カバーで封止して、ブレイクラインに沿って個々の表面実装水晶振動子に分割する。
【００４７】
周波数の検査及び周波数調整は、具体的には、セラミックシート１′の裏面において、ブレイクラインで区切られる領域内で、水晶片５と電気的に接続した各実装端子４に測定器からの測定端子（プローブ）を接触させる。
周波数の検査は、上記実装端子４に測定端子を接触させた状態で、セラミックシート１′の表面に形成された水晶振動子の周波数特性を測定する。
【００４８】
そして、周波数調整は、上記水晶振動子の周波数特性の測定状態で、板面が露出した水晶片５の表面側の励振電極にガスイオンを照射して表面を削り取り、励振電極の質量を減じて振動周波数を低い方から高い方に調整する。
但し、例えば、蒸着やスパッタによって励振電極上に金属膜を付加して、振動周波数を高い方から低い方に調整することもできる。
【００４９】
［実施の形態の効果］
本振動子によれば、水晶保持端子３の一端がコーナー端子２ａに接続し、水晶保持端子３の他端は一端に比べて短辺の中央から短く形成してパターンが形成されない領域を形成し、当該パターンが形成されない領域に対向する基板１の裏面にＧＮＤ端子４ａのパターンが形成されるようにしているので、水晶保持端子のパターン（水晶搭載パターン）とＧＮＤ端子４ａのパターンが基板１を挟んで対向しなくなり、水晶振動子の静電容量を低減することができ、周波数可変量の低下を防止できる効果がある。
【００５０】
本振動子のセラミックシート１′によれば、表面において、ブレイクラインで区切られる領域内で、スルーホール周辺に形成されるコーナー端子２ａに接続する水晶保持端子３は他のコーナー端子２ｂに接続せず、裏面において、ブレイクラインで区切られる領域内で、スルーホール周辺に形成されるコーナー端子２ｄに接続する実装端子４も他のコーナー端子に接続しないため、上記領域内の実装端子４を使用した周波数の検査及び調整を容易にできる効果がある。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、水晶振動子の静電容量を低減して周波数可変量の低下を防止することができる表面実装水晶振動子及び基板シートに好適である。
【符号の説明】
【００５２】
１...基板、  ２ａ，２ｂ，２ｄ...コーナー端子、  ２ｃ...スルー端子、  ３...水晶保持端子、  ４...実装端子、  ４ａ...ＧＮＤ端子、  ４ｂ...実装電極端子、  ５...水晶片、  ６...金属カバー、  ７...導電性接着剤、  ８...封止材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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