(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連ねて設けられた複数の磁力発生部材を有する固定子と、
前記固定子の外側に巻回され、前記固定子の軸線方向に連ねて設けられた複数のコイルと、前記各コイルの外周面に沿うように接触して取り付けられた熱伝達部材を有し、前記固定子に移動可能に取り付けられた可動子と、から構成されたリニアモータであって、
互いに対向した一対の当接面が形成され、当該一対の当接面で前記熱伝達部材及び前記コイルを挟んだ状態で収納し、前記熱伝達部材を前記コイルの外周面に圧着させる筐体を有し、
前記熱伝達部材と前記当接面との間には、前記熱伝達部材と前記当接面との間の隙間を埋めるスペーサ部材が挟み込まれているリニアモータ。
【請求項２】
請求項１において、
前記コイルは、円筒形状であるリニアモータ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
前記スペーサ部材は、弾性を有するリニアモータ。
【請求項４】
請求項１又は請求項２において、
前記スペーサ部材は、挿入方向先端側に向かって徐々に厚さが小さくなる楔状であるリニアモータ。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれかにおいて、
前記熱伝達部材及びコイルの外周面を囲む樹脂を前記筐体の内部に充填させたリニアモータ。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれかにおいて、
前記コイルの外周面と前記熱伝達部材との間に、絶縁性及び柔軟性を有する伝熱材料が挟み込まれているリニアモータ。
【請求項７】
請求項１〜請求項５のいずれかにおいて、
前記コイルの外周面と前記熱伝達部材との間に、柔軟性を有する伝熱材料及び絶縁性を有する絶縁シートが挟み込まれているリニアモータ。
【請求項８】
請求項１〜請求項５のいずれかにおいて、
前記熱伝達部材は、絶縁性を有する絶縁テープで被包され、
前記熱伝達部材を被包する前記絶縁テープと前記コイルの外周面との間には、柔軟性を有する伝熱材料が挟み込まれているリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータのコイルを冷却する構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から特許文献１に示されるように、電子部品実装装置の装着ヘッドを移動させる移動装置には、リニアモータが用いられている。このようなリニアモータは、ボビンの外周面に巻回された複数のコイルを有する可動子と、ボビンの内部に複数設けられた永久磁石を有する固定子とから構成されている。そして、このリニアモータは、コイルの外周面に沿うように接触して取り付けられた熱伝達部材で、コイルで発生した熱を放熱させることにより、コイルの蓄熱を防止して、コイルの焼損を防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】ＷＯ２００６／０４０９１３号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、各コイルの外周面の形状は、各コイルによって異なることから、コイルの外周面と熱伝達部材の内周面との間に隙間が開いてしまい、コイルから熱伝達部材への熱伝達が十分で無く、コイルの発熱を熱伝達部材によって十分に放熱させることができないという問題があった。このため、コイルの焼損を防止するために、コイルに流す電流量が制限され、移動装置の移動速度が制限されてしまうという問題があった。【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、冷却性能を高めたリニアモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決する請求項１に係るリニアモータの発明は、連ねて設けられた複数の磁力発生部材を有する固定子と、前記固定子の外側に巻回され、前記固定子の軸線方向に連ねて設けられた複数のコイルと、前記各コイルの外周面に沿うように接触して取り付けられた熱伝達部材を有し、前記固定子に移動可能に取り付けられた可動子と、から構成されたリニアモータであって、互いに対向した一対の当接面が形成され、当該一対の当接面で前記熱伝達部材及び前記コイルを挟んだ状態で収納し、前記熱伝達部材を前記コイルの外周面に圧着させる筐体を有し、前記熱伝達部材と前記当接面との間には、前記熱伝達部材と前記当接面との間の隙間を埋めるスペーサ部材が挟み込まれている。
【０００７】
このように、一対の当接面が熱伝達部材及びコイルを挟むことにより、熱伝達部材がコイルの外周面に圧着される。これにより、コイルの外周面と熱伝達部材の内周面との間に隙間が開いてしまうことを防止することができる。このため、コイルで発生した熱を、熱伝達部材を介して確実に放熱させることができ、リニアモータの冷却性能を向上させることが可能となる。また、熱伝達部材と当接面との間には、熱伝達部材と当接面との間の隙間を埋めるスペーサ部材が挟み込まれている。これにより、一対の当接面で熱伝達部材をコイルの外周面に確実に押圧させることができ、確実に熱伝達部材をコイルに圧着させることができる。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１において、前記コイルは、円筒形状である。これにより、磁力発生部材の外周面の断面形状を、円形状とすると、磁力発生部材の周方向の位置によらず、磁力発生部材に対してコイルの距離が均等となり、リニアモータの効率が向上する。【００１０】
請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２において、前記スペーサ部材は、弾性を有する。これにより、各コイルの外周面の形状が各コイルによって違ったとしても、各コイルの形状の違いを、弾性を有するスペーサ部材で吸収させることができ、確実に、熱伝達部材をコイルの外周面に圧着させることができる。
【００１１】
請求項４に係る発明は、請求項１又は請求項２において、前記スペーサ部材は、挿入方向先端側に向かって徐々に厚さが小さくなる楔状である。これにより、楔状のスペーサ部材を当接面と熱伝達部材の間に挿入させることにより、確実に、熱伝達部材をコイルの外周面に圧着させることができる。
【００１２】
請求項５に係る発明は、請求項１〜請求項４において、前記熱伝達部材及びコイルの外周面を囲む樹脂を前記筐体の内部に充填させた。これにより、治具でコイルと当接面とを近接させることにより、熱伝達部材をコイルの外周面に圧着させた後に、筐体の内部に樹脂を充填させると、治具を取り外した後であっても、熱伝達部材がコイルに密着された状態が維持される。また、筐体の内部に樹脂を充填させると、コイル同士の隙間やコイルと熱伝達部材との隙間に、樹脂が充填される。このため、コイルから熱伝達部材への熱伝導性が向上する。
【００１３】
請求項６に係る発明は、請求項１〜請求項５において、前記コイルの外周面と前記熱伝達部材との間に、絶縁性及び柔軟性を有する伝熱材料が挟み込まれている。これにより、伝熱材料は柔軟性を有するので、凹凸状のコイル外周面に伝熱材料が密接する。このため、コイルで発生した熱が、確実に熱伝達部材に伝達される。また、伝熱材料は絶縁性を有するので、熱伝達部材とコイルの外周面との間に絶縁部材を配設する必要が無く、絶縁部材を配設する工程を省略することができるので、製造コストを低減させることができる。
【００１４】
請求項７に係る発明は、請求項１〜請求項５において、前記コイルの外周面と前記熱伝達部材との間に、柔軟性を有する伝熱材料及び絶縁性を有する絶縁シートが挟み込まれている。これにより、コイルと熱伝達部材との間は、絶縁シートで絶縁されているので、伝熱材料は、絶縁性を有する必要が無い。このため、例えば、金属フィラーを分散させた熱伝導グリス等の熱伝導性の高い材料を、伝熱材料として用いることができ、コイルの外周面と熱伝達部材間の熱伝導性を向上させることができる。
【００１５】
請求項８に係る発明は、請求項１〜請求項５において、前記熱伝達部材は、絶縁性を有する絶縁テープで被包され、前記熱伝達部材を被包する前記絶縁テープと前記コイルの外周面との間には、柔軟性を有する伝熱材料が挟み込まれている。これにより、コイルの外周面と熱伝達部材との間は、絶縁テープで絶縁されているので、伝熱材料は、絶縁性を有する必要が無い。このため、例えば、金属フィラーを分散させた熱伝導グリス等の熱伝導性の高い材料を、伝熱材料として用いることができ、コイルの外周面と熱伝達部材間の熱伝導性を向上させることができる。また、平滑な熱伝達部材を絶縁テープが被包しているので、熱伝達部材と絶縁テープとの間に空気が入らないのは勿論のこと、熱伝達部材を被包している絶縁テープもまた平滑なので、絶縁テープと熱伝達部材との間に空気が入らない。このため、コイルの外周面と熱伝達部材間の熱伝導性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態のリニアモータの上面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】可動子の製造工程を表した図であり、ボビンに治具が取り付けられている状態の断面図である。
【図５】第２実施形態のリニアモータの断面図である。
【図６】第３実施形態のリニアモータの断面図である。
【図７】第４実施形態のリニアモータの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
（第１実施形態のリニアモータの構造の説明）
以下に図１〜図３を用いて本発明の第１実施形態のリニアモータ１００の構造について説明する。なお、本実施形態のリニアモータ１００は、電子部品実装装置の装着ヘッドを移動させる移動装置に用いられるが、電子部品実装装置の構成は、上記した特許文献１や特開２０１０−１７２０７０号公報に開示され周知であるので、説明を割愛する。
【００１８】
本実施形態のリニアモータ１００は、三相のリニアモータであり、図１に示すように、固定子１０と、この固定子１０に移動可能に取り付けられた可動子２０とから構成されている。固定子１０は、電子部品実装装置の基台に装架され、可動子２０及び図示しないリニアガイドに装着ヘッドが取り付けられて、被移動部材である装着ヘッドが基台に対して予め設定された経路に沿って移動可能となっている。
【００１９】
図２に示すように、固定子１０は、円筒形状のパイプ１２と、このパイプ１２の内部に収納された円柱形状の複数の永久磁石１１を有している。パイプ１２は、各永久磁石１１の磁束を透過させる非磁性材料（ステンレス鋼等）により構成されている。永久磁石１１は、隣接する永久磁石１１のＳ極どうし、Ｎ極どうしが後述のスペーサ（不図示）を挟んで対向するように、パイプ１２内に一直線状に連ねて設けられている。なお、隣接する永久磁石１１間には、鉄等の磁性体で構成された扁平な円柱形状のスペーサ（不図示）が挟み込まれている。このスペーサは、ヨークとしての役割を果たす。
【００２０】
図１〜図３に示すように、可動子２０は、ボビン２１、複数のコイル２２、筐体２９、及び、冷却部材３５を有している。ボビン２１は、円筒形状の樹脂等の非磁性体であり、その内部に固定子１０が挿通されている。複数のコイル２２は、ボビン２１の外周面に巻回され、ボビン２１の軸線方向に所定間隔をおいて複数設けられている。言い換えると、複数のコイル２２は、固定子１０の外側に巻回され、固定子１０の軸線方向に連ねて設けられている。
【００２１】
図２に示すように、冷却部材３５は、熱伝達部材３６と放熱部材３７とから構成され、熱伝導性の高いアルミニウムや銅等の金属で構成されている。本実施形態では、熱伝達部材３６は、内部が中空であり、その内部に作動液及び網目状のウイックが封入されたヒートパイプである。熱伝達部材３６は、各コイル２２の外周面に沿うようにそれぞれ接触する断面形状が円弧形状の集熱部３６ａと、この集熱部３６ａの一端からコイル２２の中心から遠ざかる向き（外側）に延出する放熱部３６ｂとから構成されている。
【００２２】
図２に示すように、放熱部３６ｂは集熱部３６ａの上部（上方又は上端と水平位置を含む）に位置している。これにより、集熱部３６ａで蒸発した作動液が、確実に放熱部３６ｂに移動し、また、放熱部３６ｂにおいて凝集した作動液がその自重により確実に集熱部３６ａに戻る。このため、作動液が集熱部３６ａと放熱部３６ｂ間において蒸発と凝集を繰り返して確実に循環するので、コイル２２で発生した熱を確実に放熱部材３７で放熱させることができる。
【００２３】
本実施形態では、図２に示すように、各集熱部３６ａと各コイル２２の間には、絶縁性及び柔軟性を有するシリコン樹脂や熱伝導グリス等の伝熱材料２３が挟み込まれている。図２に示す実施形態では、コイル２２の外周面が全周に渡って伝熱材料２３で被覆されているが、各集熱部３６ａと各コイル２２の間のみに、伝熱材料２３が挟み込まれている実施形態であっても差し支え無い。なお、本実施形態では、集熱部３６ａの内側の曲率半径は、コイル２２を被覆した伝熱材料２３の曲率半径より僅かに小さくなっている。このため、集熱部３６ａの内周面が伝熱材料２３に確実に密着するようになっている。
【００２４】
図１〜図３に示すように、放熱部３６ｂには、放熱部材３７が取り付けられている。本実施形態では、放熱部材３７は、放熱部３６ｂと接続する多数のフィン３７ａを備えている。放熱部材３７の端部には、ファン３２が設けられ、放熱部材３７は図示しないダクトで覆われている。ファン３２によって放熱部材３７の内部に空気が送風されて放熱部材３７が冷却される。
【００２５】
図１や図２に示すように、筐体２９は、互いに対向した一対の当接面２９ａ、２９ｂと、これら当接面２９ａ、２９ｂの下端を接続する接続板２９ｃとから構成されている。図１や図２に示すように、コイル２２及び熱伝達部材３６は、当接面２９ａ、２９ｂによって挟んだ状態で、筐体２９内に収納されている。本実施形態では、図２に示すように、集熱部３６ａと当接面２９ａとの間には、集熱部３６ａと当接面２９ａとの間の隙間を埋める板状のスペーサ部材２５が圧入により挟み込まれている。スペーサ部材２５は、本実施形態では、弾性（柔軟性）を有するゴムやシリコン樹脂等である。スペーサ部材２５の厚さは、集熱部３６ａと当接面２９ａとの間の隙間の寸法より大きくなっている。
【００２６】
図２に示すように、集熱部３６ａ及びコイル２２の外周面を囲むように熱硬化性樹脂３９が筐体２９の内部に充填されている。熱硬化性樹脂３９は、コイル２２同士の隙間やコイル２２と集熱部３６ａ隙間に充填されている。なお、筐体２９の両側には、端末部材２８が取り付けられ、両端にあるコイル２２の側面が端末部材２８に当接している。
【００２７】
複数のコイル２２は、順番に、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相…とされている。それぞれの相のコイル２２に、それぞれ電気角で１２０°毎に位相がずれた交流電流を流すと、永久磁石１１の磁力とコイル２２の磁力との相互作用により、可動子２０に推力が発生し、可動子２０が固定子１０に対して移動する。この際に、コイル２２が発熱するが、上述のように、コイル２２で発生した熱は、冷却部材３５によって放熱される。
【００２８】
（第１実施形態の可動子の製造方法の説明）
次に、図４を用いて、第１実施形態の可動子２０の製造方法について説明する。図４に示すように、コイル２２、伝熱材料２３、及び冷却部材３５を取り付けたボビン２１を、筐体２９内に収納し、集熱部３６ａと当接面２９ａとの間にスペーサ部材２５を挟み込ませた後に、治具５０をセットする。治具５０は、ボビン２１内に挿通するロッド５１、ロッド５１と当接面２９ａを近接させる近接機構５２とから構成されている。
【００２９】
本実施形態では、近接機構５２は、ロッド５１の両端に取り付けられる連結部材５３と、当接面２９ａの外側面と密接するプレート５４、及びボルト５５から構成されている。プレート５４と対向する位置の連結部材５３には、ボルト穴５３ａが形成されている。ボルト穴５３ａと対向する位置のプレート５４には、貫通穴５４ａが形成されている。
【００３０】
ボビン２１を筐体２９内に収納後に、ボビン２１にロッド５１を挿通し、ロッド５１の両端に連結部材５３を取り付け、プレート５４を当接面２９ａに密接させる。そして、貫通穴５４ａにボルト５５を挿通した後に、ボルト５５をボルト穴５３ａに螺着し、ボルト５５を締めると、ロッド５１とプレート５４が近接し、ボビン２１と当接面２９ａがロッド５１とプレート５４によって圧縮される。すると、当接面２９ａが僅かにボビン２１側に変形し、当接面２９ａによってスペーサ部材２５を介して集熱部３６ａがコイル２２側に押圧され、集熱部３６ａがコイル２２の外周面に被覆された伝熱材料２３に圧着する。なお、ロッド５１は、端末部材２８に形成された貫通穴２８ａを貫通しているが、貫通穴２８ａの内径は、ロッド５１の外径よりも大きいので、ロッド５１の動きが端末部材２８によって阻害されない。
【００３１】
この状態で、筐体２９内に熱硬化性樹脂３９を注入して充填し、熱硬化性樹脂３９を熱硬化させた後に、治具５０を取り外す。可動子２０から治具５０が取り外された状態であっても、熱硬化した熱硬化性樹脂３９によって、集熱部３６ａが伝熱材料２３に密着した状態が維持される。また、各コイル２２が強固にボビン２１に固定される。
【００３２】
なお、以上説明した第１実施形態では、弾性を有するスペーサ部材２５を使用しているが、集熱部３６ａの幅とほぼ同じ幅の剛体のスペーサ部材２５を用いても差し支え無い。この実施形態では、厚さの異なるスペーサ部材２５を複数種類用意し、各コイル２２の外周面と当接面２９ａとの隙間に応じて、厚さの異なるスペーサ部材２５を選択し、当該スペーサ部材２５をコイル２２の外周面と当接面２９ａとの間に圧入して、各集熱部３６ａを伝熱材料２３に圧着させる。
【００３３】
（第２実施形態のリニアモータの構造の説明）
以下に、図５を用いて、第２実施形態のリニアモータ２００の構造について、第１実施形態のリニアモータ１００と異なる点について説明する。なお、第２実施形態のリニアモータ２００において、第１実施形態のリニアモータ１００と同じ構造の部分については、同じ番号を付して、その説明を省略する。
【００３４】
図５に示すように、第２実施形態のスペーサ部材２６は、剛体であり、挿入方向先端側に向かって徐々に厚さが小さくなる楔状である。筐体２９内に熱硬化性樹脂３９を注入する前に、楔状のスペーサ部材２６を、当接面２９ａと集熱部３６ａとの間に挿入により挟み込ませ、集熱部３６ａを伝熱材料２３に圧着させる。なお、集熱部３６ａの幅と殆ど同じ幅のスペーサ部材２６を、各コイル２２と当接面２９ａとの間に挟み込ませると、コイル２２の外周形状によらずに、集熱部３６ａを確実に伝熱材料２３に圧着させることができるので、より好ましい。
【００３５】
（第３実施形態のリニアモータの構造の説明）
以下に、図６を用いて、第３実施形態のリニアモータ３００の構造について、第１実施形態のリニアモータ１００と異なる点について説明する。なお、第３実施形態のリニアモータ３００において、第１実施形態のリニアモータ１００と同じ構造の部分については、同じ番号を付して、その説明を省略する。
【００３６】
第３実施形態のリニアモータ３００では、コイル２２の外周面と集熱部３６ａとの間に、柔軟性を有する伝熱材料３３及び絶縁性を有する絶縁シート３４が挟み込まれている。図６に示す実施形態では、コイル２２の外周面は、柔軟性を有する伝熱材料３３で被覆され、伝熱材料３３で被覆されたコイル２２全体が、絶縁シート３４で被覆されている。なお、本実施形態では、絶縁シート３４は、アラミド紙である。
【００３７】
（第４実施形態のリニアモータの構造の説明）
以下に、図７を用いて、第４実施形態のリニアモータ４００の構造について、第１実施形態のリニアモータ１００と異なる点について説明する。なお、第４実施形態のリニアモータ４００において、第１実施形態のリニアモータ１００と同じ構造の部分については、同じ番号を付して、その説明を省略する。
【００３８】
第４実施形態のリニアモータ４００では、各集熱部３６ａは、絶縁性を有する絶縁テープ２７で被包され、絶縁テープ２７とコイル２２の外周面との間には、柔軟性を有する伝熱材料３１が挟み込まれている。なお、本実施形態では、絶縁テープ２７は、ポリイミドフィルムである。
【００３９】
（本実施形態のリニアモータの効果の説明）
以上詳細に説明したように、本実施形態のリニアモータ１００〜４００によれば、図２、図５、及び図６に示すように、集熱部３６ａ（熱伝達部材３６）及びコイル２２が一対の当接面２９ａ、２９ｂで挟み込まれ、集熱部３６ａがコイル２２の外周面に圧着される。これにより、コイル２２の外周面と集熱部３６ａの内周面との間に隙間が開いてしまうことを防止することができる。このため、コイル２２で発生した熱を、熱伝達部材３６を介して確実に放熱させることができ、リニアモータ１００〜４００の冷却性能を向上させることが可能となる。
【００４０】
また、図２、図５、及び図６に示すように、ボビン２１及びコイル２２は、円筒形状である。これにより、ボビン２１の内部に位置する永久磁石１１（磁力発生部材）の外周面の断面形状を、ボビン２１の内周面に対応した円形状とすると、永久磁石１１の周方向の位置によらず、永久磁石１１に対してコイル２２の距離が均等となり、リニアモータ１００〜４００の効率が向上する。
【００４１】
また、図２に示すように、集熱部３６ａ（熱伝達部材）と当接面２９ａとの間には、集熱部３６ａと当接面２９ａとの間の隙間を埋めるスペーサ部材２５が圧入により挟み込まれている。これにより、一対の当接面２９ａ、２９ｂで集熱部３６ａをコイル２２の外周面に確実に押圧させることができ、確実に集熱部３６ａをコイル２２の外周面に圧着させることができる。
【００４２】
また、スペーサ部材２５は、柔軟性を有する。これにより、各コイル２２の外周面の形状が各コイル２２によって違ったとしても、各コイル２２の形状の違いを、柔軟性を有するスペーサ部材２５で吸収させることができ、確実に、集熱部３６ａをコイル２２の外周面に圧着させることができる。
【００４３】
また、図５に示すように、第２実施形態のリニアモータ２００のスペーサ部材２６は、挿入方向先端側に向かって徐々に厚さが小さくなる楔状である。これにより、楔状のスペーサ部材２６を当接面２９ａと集熱部３６ａ（熱伝達部材）の間に挟み込ませることにより、確実に、集熱部３６ａをコイル２２の外周面に圧着させることができる。
【００４４】
また、図２、図５、及び図６に示すように、集熱部３６ａ（熱伝達部材）及びコイル２２の外周面を囲む熱硬化性樹脂を筐体２９の内部に充填させている。これにより、図４に示すように、治具５０でボビン２１と当接面２９ａとを近接させることにより、集熱部３６ａをコイル２２の外周面に圧着させた後に、筐体２９の内部に熱硬化性樹脂を充填させ、当該熱硬化性樹脂を熱硬化させると、治具５０を取り外した後であっても、集熱部３６ａがコイル２２の外周面に密着された状態が維持される。また、筐体２９の内部に熱硬化性樹脂を充填させると、コイル２２同士の隙間やコイル２２と集熱部３６ａとの隙間に、熱硬化性樹脂が充填される。このため、コイル２２から集熱部３６ａへの熱伝導性が向上する。
【００４５】
また、図２に示すように、第１実施形態のリニアモータ１００では、集熱部３６ａ（熱伝達部材）とコイル２２の外周面との間に、絶縁性及び柔軟性を有する伝熱材料２３が挟み込まれている。これにより、伝熱材料２３は柔軟性を有するので、凹凸状のコイル２２外周面に伝熱材料２３が密接する。このため、コイル２２で発生した熱が、確実に集熱部３６ａに伝達される。また、伝熱材料２３は絶縁性を有するので、集熱部３６ａとコイル２２の外周面との間に絶縁部材を配設する必要が無く、絶縁部材を配設する工程を省略することができるので、製造コストを低減させることができる。
【００４６】
また、図６に示すように、第３実施形態のリニアモータ３００では、コイル２２の外周面と熱伝達部材３６との間に、柔軟性を有する伝熱材料３３及び絶縁性を有する絶縁シート３４が挟み込まれている。これにより、コイル２２と集熱部３６ａとの間は、絶縁シート３４で絶縁されているので、伝熱材料３３は、絶縁性を有する必要が無い。このため、例えば、金属フィラーを分散させた熱伝導グリス等の熱伝導性の高い材料を、伝熱材料３３として用いることができ、コイルと集熱部３６ａ間の熱伝導性を向上させることができる。
【００４７】
また、図７に示すように、第４実施形態のリニアモータ４００では、集熱部３６ａ（熱伝達部材）は、絶縁性を有する絶縁テープ２７で被包され、集熱部３６ａを被包する絶縁テープ２７とコイル２２の外周面との間には、柔軟性を有する伝熱材料３１が挟み込まれている。これにより、コイル２２の外周面と集熱部３６ａとの間は、絶縁テープ２７で絶縁されているので、伝熱材料３１は、絶縁性を有する必要が無い。このため、例えば、金属フィラーを分散させた熱伝導グリス等の熱伝導性の高い材料を、伝熱材料３１として用いることができ、コイル２２の外周面と集熱部３６ａ間の熱伝導性を向上させることができる。また、平滑な集熱部３６ａを絶縁テープ２７が被包するので、集熱部３６ａと絶縁テープ２７との間に空気が入らないのは勿論のこと、集熱部３６ａを被包している絶縁テープ２７もまた平滑なので、絶縁テープ２７と伝熱材料３１との間に空気が入らない。このため、コイル２２の外周面と集熱部３６ａ間の熱伝導性を向上させることができる。
【００４８】
なお、上述した実施形態では、磁力を発生させる磁力発生部材として永久磁石１１を用いているが、磁力発生部材として電磁石を用いても差し支え無い。また、以上説明した実施形態では、ボビン２１及びコイル２２は、円筒形状であるが、角筒形状であっても差し支え無い。この実施形態の場合も、集熱部３６ａは、コイル２２の外周面に対応した形状であり、各コイル２２の外周面に沿うように接触する。
【００４９】
また、以上説明した実施形態では、固定子１０は、円筒形状のパイプ１２と、このパイプ１２の内部に収納された円柱形状の複数の永久磁石１１とから構成されている。しかし、固定子１０は、一直線状に連ねて設けられた複数のリング状の永久磁石と、これら複数のリング状の永久磁石を貫通する円柱形状のロッドとから構成されたものであっても差し支え無い。この実施形態の永久磁石は、その外周側がＮ極とされるとともにその内周側がＳ極とされたものと、その外周側がＳ極とされるとともにその内周側がＮ極とされたものが、磁極が交互に変わるように一直線状に連ねて設けられている。そして、隣接する永久磁石間には、非磁性体で構成されたスペーサが挟み込まれている。
【００５０】
当接面２９ａ、２９ｂの対向距離を、集熱部３６ａとコイル２２を併せた幅寸法より僅かに小さくし、冷却部材３５が取り付けられたコイル２２を当接面２９ａ、２９ｂ間に圧入する構造とすれば、集熱部３６ａをコイル２２の外周面や伝熱材料２３に密着させることができる。この実施形態の場合には、スペーサ部材２５、２６は不要である。
【００５１】
以上説明した実施形態では、熱硬化性樹脂３９を筐体２９内に充填させているが、熱硬化性樹脂３９の代わりに、２液硬化樹脂や光硬化樹脂等の樹脂を用いても差し支え無い。
【００５２】
また、本実施形態のリニアモータ１００は、電子部品実装装置の装着ヘッドを移動させる移動装置以外にも、工作機械や移送機器等にも用いることができることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５３】
１０…固定子、  １１…永久磁石（磁力発生部材）、  ２０…可動子、  ２１…ボビン、  ２２…コイル、  ２３…伝熱材料、  ２５…スペーサ部材、  ２６…スペーサ部材、  ２９…筐体、  ２９ａ、２９ｂ…当接面、  ３３…伝熱材料、  ３４…絶縁シート、  ３６…熱伝達部材、  １００…第１実施形態のリニアモータ、  ２００…第２実施形態のリニアモータ、  ３００…第３実施形態のリニアモータ、  ４００…第４実施形態のリニアモータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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