(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段と、該加工手段と該被加工物とに加工液を供給する加工液供給手段と、加工領域中の該加工液を含んだ雰囲気を排出する排気管と、を備えた切削装置であって、
該排気管は、該加工領域と切削装置を覆う外装カバーに設けられた接続手段とを接続するフレキシブルパイプによって構成され、
該接続手段は、該外装カバーに設けられた縦方向の長穴と、該排気管の端部が接続される貫通穴を有し該長穴と重なる範囲で該外装カバーに摺動可能に装着されたインナープレートと、からなり、
該インナープレートの該貫通穴の高さ位置は、切削装置が設置される設備側の吸引排気用配管の接続口の高さに合わせて調整可能であることを特徴とする切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハ等の板状の被加工物を個々のチップに分割する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程や各種電子部品の製造工程において、ダイシングソーと呼ばれる極薄ブレードを高速回転して被加工物を個々の製品やチップに分割する切削装置は欠かすことができない。
【０００３】
切削装置では、ダイアモンドやＣＢＮ（Ｃｕｂｉｃ  Ｂｏｒｏｎ  Ｎｉｔｒｉｄｅ）等の砥粒を金属、レジン又はガラス質等のボンド剤で固めて構成される刃先の厚さが２０〜３００μｍの切削ブレードを高速で回転して、半導体ウエーハ、ガラス、セラミックス等の被加工物を分割予定ラインに沿って切削して、分割予定ラインをミクロンレベルで粉砕除去し、個々の製品やチップに分割する。
【０００４】
被加工物の切削加工時には、純水等の加工液を用いて冷却及び洗浄を行うが、供給された加工液に起因するミストが同時に装置に搭載される各種駆動部や電装部品、顕微鏡部品に付着するのを防ぐ必要がある。
【０００５】
よって、加工領域がカバー部材によって覆われるとともに排気用配管が接続され、常に霧状（ミスト）になった液体や切削屑を含んだ雰囲気は、切削装置が設地される工場等の設備に設けられている設備側の吸引排気用配管の接続口に装置側の排気管が接続されて排気されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１３０７３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
当然ながら、切削装置が設置される工場等の設備は各々設備の状況が異なり、切削装置用に設置される吸引源に連通する排気口の高さも、統一した規格がないため様々である。そのため、切削装置の外装カバーを貫通する装置側の排気管の貫通穴の高さが設備側の排気口の高さより高い場合がある。
【０００８】
そのような場合、設備側の排気口に接続するために装置外の排気管を曲折する必要があるため、スムーズな排気が実現されず、切削領域の霧状の雰囲気が切削領域から漏洩し、各軸部や顕微鏡部に付着して腐食や故障の原因になったり、排気管から異音が発生する原因となったりする。
【０００９】
そのため、設備側の排気口が低い場合は、切削装置の外装カバーに形成する貫通穴の位置を排気口の高さに合わせて変更する必要があり、特別な配慮が必要であった。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削装置が設置される設備側の排気口の高さが異なっても装置側の排気管を容易に接続可能な切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段と、該加工手段と該被加工物とに加工液を供給する加工液供給手段と、加工領域中の該加工液を含んだ雰囲気を排出する排気管と、を備えた切削装置であって、該排気管は、該加工領域と切削装置を覆う外装カバーに設けられた接続手段とを接続するフレキシブルパイプによって構成され、該接続手段は、該外装カバーに設けられた縦方向の長穴と、該排気管の端部が接続される貫通穴を有し該長穴と重なる範囲で該外装カバーに摺動可能に装着されたインナープレートと、からなり、該インナープレートの該貫通穴の高さ位置は、切削装置が設置される設備側の吸引排気用配管の接続口の高さに合わせて調整可能であることを特徴とする切削装置が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の切削装置によると、装置側の排気管が接続される貫通穴を有するインナープレートを外装カバーに形成した長穴に対して摺動可能に取り付け、排気管の高さを調整可能にしたことで、切削装置を設置する設備側の排気口の高さが異なってもインナープレートを外装カバーの長穴に対してスライドすることにより、切削領域の霧状の雰囲気を円滑に排気することができる。
【００１３】
また、外装カバーによって仕切られる領域の雰囲気は基本的に乾燥しているため、特に防水に気遣う必要もなく、簡易的な構造の位置調整機構を用いればいいので、実施に当たり多大なコストをかける必要もなく十分な効果を達成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明実施形態に係る切削装置の外観斜視図である。
【図２】図２（Ａ）は第１実施形態の接続手段を装置内側から見た分解斜視図、図２（Ｂ）はその斜視図である。
【図３】第２実施形態の接続手段の分解斜視図である。
【図４】切削装置の側面図である。
【図５】切削装置の背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係る切削装置２の外観斜視図が示されている。切削装置２は、切削装置２に向かって左側に配設される加工領域（切削領域）４と右側に配設される搬出入領域６を備えている。加工領域４の上方にはタッチパネル機能を備えた表示モニタ８が配設されている。
【００１６】
加工領域４と搬出入領域６は板状の仕切り壁１０によって仕切られている。仕切り壁１０の下部には、加工領域４と搬出入領域６とを連通させるゲート１２が形成されており、このゲート１２を通過して図示しないチャックテーブルを移動させることにより、チャックテーブル上に保持された半導体ウエーハ等の被加工物が加工領域４と搬出入領域６との間で移動される。
【００１７】
加工領域４には、回転駆動されるスピンドルの先端に装着された切削ブレード１６を有する切削ユニット１４が配設されている。加工領域４は、その右側に配設される仕切り壁１０の他、切削装置２に向かって切削ユニット１４の後側に配設される板状の仕切り壁１８と、上面仕切り壁部２０ａ、左側仕切り壁部２０ｂ、正面仕切り壁部２０ｃを有する防護カバー２０によって取り囲まれることで、閉じられた空間として区画されている。
【００１８】
好ましくは、防護カバー２０は内部を視認可能なアクリル樹脂等の透明体から形成されている。切削装置２の外周は外装カバー２２により覆われており、外装カバー２２の前面側には高圧エアを噴出するエアガン２４が着脱可能に配設されている。
【００１９】
２６は工場等の設備に配設された吸引排気用配管であり、図示しない吸引源に接続されている。吸引排気用配管２６の接続口２６ａには装置内の排気管に接続されたフレキシブルな配管２８が接続されている。
【００２０】
次に、図２を参照して、装置外部の配管２８と装置内の排気管３２とを接続する本発明第１実施形態の接続手段（接続ユニット）について説明する。図２（Ａ）は切削装置２の外装カバー２２の内側から見た接続手段３５の分解斜視図、図２（Ｂ）はその斜視図である。
【００２１】
外装カバー２２の背面側には上下方向（縦方向）に伸長する長穴３０が形成されている。装置内の排気管３２は、例えば樹脂等から形成されたフレキシブルなパイプによって構成されている。
【００２２】
３４は排気管３２が接続される貫通穴３４ａが形成されたインナープレートであり、パイプ３６が貫通穴３４ａに挿入されてインナープレート３４に固定されている。排気管３２は矢印Ａで示すようにパイプ３６中に挿入される。パイプ３６には排気管固定手段としてのＵ形状の支持金具３８が取り付けられており、支持金具３８の先端には係止部３８ａが形成されている。
【００２３】
長穴３０が形成された外装カバー２２に直交する外装カバー２２の内面には、スライド溝４２が形成された支持部材４０が固定されている。スライド溝４２の上端部４２ａは支持金具３８の係止部３８ａが挿入可能なように拡大されている。
【００２４】
接続手段（接続ユニット）３５を組み立てるには、インナープレート３４のパイプ３６の一端部に装置側の排気管３２を矢印Ａ方向に挿入し、インナープレート３４を矢印Ｂ方向に移動してパイプ３６の他端部を装置外部の配管２８の端部２８ａに挿入する。
【００２５】
そして、支持金具３８の係合部３８ａを支持部材４０に形成されたスライド溝４２の上端拡大部４２ａに挿入して、係合部３８ａをスライド溝４２中で所定位置までスライドすることにより、図２（Ｂ）に示すように接続ユニット３５が組み立てられる。
【００２６】
接続ユニット３５の他の組み立て方法として、まずインナープレート３４を矢印Ｂ方向に移動して、支持金具３８の係合部３８ａを支持部材４０に形成されたスライド溝４２の上段拡大部４２ａに挿入して、係合部３８ａをスライド溝４２中で所定位置までスライドすることにより、インナープレート３４を先に装着する。
【００２７】
次いで、装置側の排気管３２をインナープレート３４のパイプ３６の一端部に挿入し、パイプ３６の他端部に装置外部の配管２８の端部２８ａを挿入する。これにより、図２（Ｂ）に示すように接続ユニット３５が組み立てられる。
【００２８】
支持金具３８を矢印Ｚ方向にスライドすることにより、インナープレート３４の貫通穴３４ａの位置が高さ方向で移動し、これに合わせて装置外の配管２８の端部２８ａが高さ方向に移動される。
【００２９】
よって、工場等の設備側に配設された吸引排気用配管２６の接続口２６ａの高さに合わせて、インナープレート３４に形成した貫通穴３４ａの位置調整が可能であり、装置外の配管２８を無理に折り曲げたりする必要がない。
【００３０】
本実施形態では、接続手段（接続ユニット）３５は、外装カバー２２に設けられた長穴３０と、排気管３２が接続する貫通穴３４ａが形成され、長穴３０と重なる範囲で外装カバー２２に摺動可能に重なって固定されるインナープレート３４とから構成される。インナープレート３４が外装カバー２２の内側に摺動可能に配設されているため、外装カバー２２に形成された長穴３０を目立たないように遮蔽することができる。
【００３１】
図３を参照すると、排気管固定手段の他の実施形態の斜視図が示されている。本実施形態では、パイプ４８内に排気管３２を挿入し締結バンド５０で接続部を締結する。そして、パイプ４８の他端部を排気管固定手段としての固定金具５２中に挿入し、インナープレート３４に固定されたパイプ３６をパイプ４８の他端部に挿入する。
【００３２】
固定金具５２をねじ５４で装置フレーム４４の長溝４６に沿って固定することにより、固定金具５２、即ちインナープレート３４に形成された貫通穴３４ａがＺ方向に位置調整可能に装置フレーム４４に固定される。インナープレート３４に取り付けられたパイプ３６の他端部は、外装カバー２２に形成した長穴３０を通して装置外部の配管２８の端部２８ａに接続される。
【００３３】
図４を参照すると、本発明実施形態に係る切削装置２の模式的側面図が示されている。実線で示された状態が設備側の接続口が高い場合の排気管接続状態であり、二点鎖線で示された状態が接続口が低い場合の排気管接続状態をそれぞれ示している。図５は切削装置２の背面図を示しており、外装カバー２２に形成した長穴３０中でインナープレート３４に固定したパイプ３６が上下方向に移動する様子を示している。
【符号の説明】
【００３４】
４    加工領域（切削領域）
６    搬出入領域
１４    切削ユニット
１６    切削ブレード
２０    防護カバー
２２    外装カバー
２６    吸引排気用配管
２６ａ    接続口
２８    配管
３０    長穴
３２    排気管
３４    インナープレート
３４ａ    貫通穴
３５    接続手段（接続ユニット）
３６    パイプ
３８    支持金具
４４    装置フレーム
４８    パイプ
５２    固定金具
【図１】
0005850788.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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