(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザガスの励起によってレーザ光を発生するガスレーザ装置であって、
レーザガスを封入するための筐体を備え、
該筐体は、開口部が両側に形成された枠状構造を有する本体部と、各開口部を覆うように着脱自在に取り付けられた一対の蓋部材とを備え、
本体部は、レーザ光の光軸に沿って延在する一対の第１枠部材と、第１枠部材の両端をそれぞれ連結する一対の第２枠部材とを備え、
各蓋部材は、光軸に垂直な面内で円弧状の断面形状を有し、光軸に沿って延在する部分円筒部材と、部分円筒部材の両端を塞ぐ一対の側壁部材とを備え、
部分円筒部材は、光軸に沿って山と谷が連なるように成型されたベローズ部を有することを特徴とするガスレーザ装置。
【請求項２】
側壁部材は、円弧状に成型された湾曲部を有し、
部分円筒部材は、該湾曲部の接線方向に連結していることを特徴とする請求項１記載のガスレーザ装置。
【請求項３】
側壁部材は、湾曲部だけで形成されることを特徴とする請求項２記載のガスレーザ装置。
【請求項４】
湾曲部の曲率半径は、部分円筒部材の周方向に沿って変化していることを特徴とする請求項２または３記載のガスレーザ装置。
【請求項５】
部分円筒部材の端部の半径は、ベローズ部の谷の半径よりも大きいことを特徴とする請求項２記載のガスレーザ装置。
【請求項６】
部分円筒部材の端部の半径は、ベローズ部の山の半径と同じであることを特徴とする請求項２記載のガスレーザ装置。
【請求項７】
蓋部材は、均一な板厚を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のガスレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、密閉構造の筐体内にレーザ媒介ガスを封入して、レーザ発振またはレーザ増幅を行うガスレーザ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の直交励起型ガスレーザ装置においては、ＣＯ２ガス等のレーザ媒介ガスを封入した密閉構造の筐体を有しており、筐体内にレーザ媒介ガス放電励起用の放電電極、レーザ媒介ガスを冷却する熱交換器、およびレーザ媒介ガスを循環させる送風器が備えられている。ＣＯ２ガスレーザなどのガスレーザにおける連続発振では、レーザ光を放出するガス分子を誘導放出に必要なエネルギ準位に励起（ポンピング）するために、放電時の電子衝突により励起する放電励起を用いることが一般的である。この場合、安定した放電を得るために、発振器筐体内部を３０〜６０Ｔｏｒｒの真空状態とする必要があるので、ガスレーザ発振器の発振器筐体は、真空状態を保持可能な気密性能を有する必要がある。【０００３】
また、筐体内部に配置された放電電極、熱交換器、送風器、およびミラー光学系などを定期的にメンテナンスする必要があるので、筐体の外部からメンテナンス作業者が容易にアクセスできることが望ましい。このため、筐体には、広い開口部が設けられ、この開口部を塞ぐための取り外しが可能な蓋部材が取り付けられるのが一般的である。【０００４】
以上のことから、ガスレーザ装置の蓋部材は、筐体の内部を真空状態としたときの負荷に耐え、真空状態を保持可能な気密性能を保持し、かつ、筐体の内部機器を容易にメンテナンスできるように開口部面積を広くすることが望ましい。【０００５】
このようなガスレーザ装置の蓋部材は、板状のもの、あるいは、薄肉化するために、筐体の内側部（例えば、特許文献１参照）または外側部（たとえば、特許文献２及び特許文献５参照）に膨出した曲面部を蓋部材に形成した構造のものが提案されている。【０００６】
また、ガスレーザ装置は、レーザ加工に主に用いられているが、加工能力の向上のため、高出力化が進んでいる。そのため、長い放電電極と大型熱交換器および大型ガスダクトが導入され、これによって筐体は特に光軸方向に長くなり、筐体の高さおよび幅ともに大型化している。そして、大型化による表面積の増大によって、筐体および蓋部材には大きな大気圧力が作用するため、高い強度と剛性が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭６０−２５４６８０号公報（第１図）
【特許文献２】実公平６−０３５４８４号公報（第１図）
【特許文献３】特開２００３−３０４０１５（第１図）
【特許文献４】特開２００７−２９４８０７号公報（第１図）
【特許文献５】国際公開２０１０−１３４１６６号公報（第１図）
【特許文献６】特開２０１１−１５９９０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
大型化したレーザ装置において、大型の蓋部材は、大気圧力に耐えるため、板厚を厚くする必要がある。その結果、蓋部材の材料コストが高くなり、また、重量の増加に伴ってメンテナンス作業性が悪くなる。【０００９】
また、筐体が大型化するほど、蓋部材のフランジ部の平面度を確保することが難しいため、気密性が悪化するようになり、気密性の手直し等の作業が増加し、その結果、製造コストが高くなる。【００１０】
本発明の目的は、筐体が大型化しても、軽量で低コストの蓋構造を実現できるガスレーザ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明は、レーザガスの励起によってレーザ光を発生するガスレーザ装置であって、
レーザガスを封入するための筐体を備え、
該筐体は、開口部が両側に形成された枠状構造を有する本体部と、各開口部を覆うように着脱自在に取り付けられた一対の蓋部材とを備え、
本体部は、レーザ光の光軸に沿って延在する一対の第１枠部材と、第１枠部材の両端をそれぞれ連結する一対の第２枠部材とを備え、
各蓋部材は、光軸に垂直な面内で円弧状の断面形状を有し、光軸に沿って延在する部分円筒部材と、部分円筒部材の両端を塞ぐ一対の側壁部材とを備え、
部分円筒部材は、光軸に沿って山と谷が連なるように成型されたベローズ部を有することを特徴とする。【００１２】
本発明において、側壁部材は、円弧状に成型された湾曲部を有し、
部分円筒部材は、該湾曲部の接線方向に連結していることが好ましい。【００１３】
本発明において、側壁部材は、湾曲部だけで形成されることが好ましい。【００１４】
本発明において、湾曲部の曲率半径は、部分円筒部材の周方向に沿って変化していることが好ましい。【００１５】
本発明において、部分円筒部材の端部の半径は、ベローズ部の谷の半径よりも大きいことが好ましい。【００１６】
本発明において、部分円筒部材の端部の半径は、ベローズ部の山の半径と同じであることが好ましい。【００１７】
本発明において、蓋部材は、均一な板厚を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、部分円筒部材に、光軸に沿って山と谷が連なるように成型されたベローズ部を設けることによって、部分円筒部材の円周方向に沿った座屈強度が向上するため、大型でも薄肉の蓋が実現できる。その結果、軽量化による作業性の向上および材料コストの低減が図られる。【００１９】
また、ベローズ部は光軸に沿って弾性変形が可能であるため、蓋部材の製造時に反りが発生したとしても、被装着面に倣うようになる。そのため寸法精度が緩和され、大型の蓋部材でも低コストで製造することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態１によるガスレーザ装置を示す斜視図であり、一方の蓋部材を外した状態を示す。
【図２】図１における矢視Ａ断面図である。
【図３】図１における矢視Ｂ断面図である。
【図４】フランジ板が光軸に対して反った状態を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る蓋部材の構造を示す斜視図である。
【図６】部分円筒部材の中心線を通るＸＹ面に沿った矢視Ｃ断面図である。
【図７】本発明の実施の形態３に係る蓋部材の構造を示す斜視図である。
【図８】図８Ａは、部分円筒部材の中心線を通る面に沿った矢視Ｆ断面図であり、図８Ｂは、部分円筒部材の中心線を通るＸＹ面に沿った矢視Ｄ断面図である。
【図９】本発明の実施の形態４に係る蓋部材の構造を示すもので、部分円筒部材の中心線を通るＸＹ面に沿った断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態５に係る蓋部材の構造を示すもので、部分円筒部材の中心線を通るＸＹ面に沿った断面図である。
【図１１】部分円筒部材の座屈の様子を示すもので、図１１Ａは斜視図、図１１Ｂは矢視Ｇ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１によるガスレーザ装置を示す斜視図であり、一方の蓋部材を外した状態を示す。図２は、図１における矢視Ａ断面図であり、図３は、図１における矢視Ｂ断面図である。ここで、理解容易のために、レーザ光の光軸をＸ方向とし、光軸に垂直な高さ方向をＺ方向とし、Ｘ方向およびＺ方向の両方に垂直な高さ方向をＹ方向としている。
【００２２】
＜ガスレーザ装置の構造＞
ガスレーザ装置の筐体は、開口部が両側に形成された枠状構造を有する本体部１０と、各開口部を覆うように着脱自在に取り付けられた一対の蓋部材３０とを備え、両者は、レーザガスを封入する気密の内部空間を確保するように、ボルト２などの固定部材によって固定される。
【００２３】
本体部１０は、Ｘ方向に沿って延在する上板１２および下板１３と、Ｚ方向に沿って延在し、上板１２および下板１３の両端をそれぞれ連結する一対の側板１１とを備える。これらの側板１１、上板１２および下板１３によって枠状部材が構成され、この枠状部材の各開口部には、ＺＸ面内で外側に延出したフランジ板１４がそれぞれ設けられる。フランジ板１４には、Ｏリングを装着するためのＯリング溝１５が開口部を囲むように形成される。Ｏリング溝１５の外側には、ボルト２を締結するための複数のねじ穴１６が設けられる。
【００２４】
このような本体部１０は、鉄鋼、ステンレス鋼、アルミニウムなどの金属材料を用いて、上板１２、下板１３、側板１１およびフランジ板１４の気密溶接によって製作できる。
【００２５】
本体部１０の内部には、レーザガスの流れ方向が互いに反対である２組の励起ユニットが設置される。以下、一方の第１励起ユニットを構成する部材についてはＡを付記し、他方の第２励起ユニットを構成する部材についてはＢを付記する。
【００２６】
第１励起ユニットは、レーザガスを励起するための一対の放電電極２１Ａと、レーザガスを循環させるための送風器２３Ａと、レーザガスを冷却するための熱交換器（不図示）と、送風器２３Ａによって送風されたレーザガスを放電電極２１Ａへ案内するためのガスダクト（不図示）などを備える。放電電極２１Ａの放電空間においてレーザガスは−Ｙ方向に供給され、放電空間ではＺ方向に沿った放電が生じ、レーザガスによって増幅されたレーザ光はＸ方向に沿って進行し、これにより３軸直交型ガスレーザ装置を構成している。
【００２７】
第２励起ユニットは、レーザガスを励起するための一対の放電電極２１Ｂと、レーザガスを循環させるための送風器２３Ｂと、レーザガスを冷却するための熱交換器２２Ｂと、送風器２３Ｂによって送風されたレーザガスを放電電極２１Ｂへ案内するためのガスダクト２４Ｂなどを備える。放電電極２１Ｂの放電空間においてレーザガスはＹ方向に供給され、放電空間ではＺ方向に沿った放電が生じ、レーザガスによって増幅されたレーザ光はＸ方向に沿って進行し、これにより３軸直交型ガスレーザ装置を構成している。
【００２８】
第１励起ユニットを通過するレーザ光の光軸と第２励起ユニットを通過するレーザ光の光軸とが一致しており、光軸に対するレーザガスの流れ方向が互いに反対になるように設定することによって、各励起ユニットの利得分布を重ね合わせた全体利得分布は対称になり、その結果、出力されるレーザビームの対称性を向上させることができる。
【００２９】
レーザ光の光軸が一方の側板１１と交差する場所に部分反射鏡６および出力窓を設置し、レーザ光の光軸が他方の側板１１と交差する場所に全反射鏡（不図示）を設置することによって、単独でレーザ光を発生するレーザ発振器を実現できる。また、レーザ光の光軸が両方の側板１１と交差する場所に透過窓をそれぞれ設置することによって、外部から供給されるレーザ光を増幅するレーザ増幅器を実現できる（特許文献６参照）。
【００３０】
本実施形態では、本体部１０の開口面を光軸と平行となるように設定している。このため、反射鏡等の光学部品は本体部１０の内部に固定することが容易になる。また、メンテナンス時に蓋を開けても、光学部品はそのまま静止している。従って、メンテナンス後に光軸アライメントをやり直す作業を省略できる。
【００３１】
＜蓋の構造＞
蓋部材３０は、光軸に垂直なＹＺ面内で円弧状の断面形状を有し、光軸に沿って延在する部分円筒部材３１と、部分円筒部材３１の両端を塞ぐ一対の側壁部材３２とを備える。これらの部分円筒部材３１および側壁部材３２によって半円筒容器が構成され、この半円筒容器の開口部には、ＺＸ面内で外側に延出したフランジ板３３が設けられる。フランジ板３３は、本体部１０のフランジ板１４と当接するのに適合した形状をなし、フランジ板１４のねじ穴１６と対応した複数の貫通孔３が設けられる。
【００３２】
このような蓋部材３０は、鉄鋼、ステンレス鋼、アルミニウムなどの金属材料を用いて、部分円筒部材３１、側壁部材３２およびフランジ板３３の気密溶接によって製作できる。
【００３３】
蓋部材を筐体の内側に膨出させた構造（例えば、特許文献４参照）と比較して、本実施形態では蓋部材３０が外側に張り出す構造を採用することによって、張り出した空間の内部に、本体部１０の開口面から突出した機器などを収納できるため、その分、筐体を小さくできるという利点がある。
【００３４】
＜ベローズ形状＞
部分円筒部材３１は、図３に示すように、光軸に沿って山と谷が連なるように成型されたベローズ部４を有する。こうしたベローズ部４は、プレス加工によって部分円筒部材３１と一体的に成型できる。
【００３５】
＜耐圧容器＞
蓋部材３０を本体部１０に取り付ける場合、本体部１０のフランジ板１４のＯリング溝１５にＯリングを装着した後、このフランジ板１４と蓋部材３０のフランジ板３３とを当接させた状態で、ボルト２を貫通孔３に嵌挿し、ねじ穴１６と螺合、締結させる。これにより本体部１０および蓋部材３０は高い気密性で連結され、レーザガスを封入できる耐圧容器が得られる。
【００３６】
筐体のＸ軸方向に垂直な断面は、図２に示すように、本体部１０の上板１２および下板１３に相当する直線部に対して、蓋部材３０の外壁に相当する円弧部が接続された形状を有する。なお、メンテナンス時には、ボルト２などの固定部材を取り外すことによって、本体部１０から蓋部材３０を分離できる。
【００３７】
＜ベローズ形状の作用＞
部分円筒部材３１には、原理的に大気圧力で曲げ応力が発生しないため、平板の蓋に比べて蓋部材の大幅な薄肉化が可能となる。しかし、近年のガスレーザ装置は大型化してきており、扉の部分円筒部に凹凸がない場合（例えば、特許文献２参照）、図１１Ａと図１１Ｂに示すように、大気圧力で発生する円周方向の圧縮荷重Ｆｃによって部分円筒部が座屈し、変形または破壊される可能性がある。
【００３８】
詳細には、座屈強度は、圧縮荷重Ｆｃが作用する方向に沿った部材長Ｌを断面回転半径ｒで割った細長比λ（＝Ｌ／ｒ）が大きい程、弱いことが知られている。ただし、断面回転半径ｒは、断面二次モーメントＩを、断面積Ａで割った値である。
【００３９】
ガスレーザ装置の筐体が大型化すると、蓋の円筒部の円弧長、つまり、強い圧縮荷重Ｆｃが作用する方向の部材長さＬが長くなり、その結果、細長比λが大きくなって、座屈強度が低下する。
【００４０】
また、光軸に沿った長さが小さい小型のレーザ発振器の場合、部分円筒部材３１の両端を塞ぐ一対の側壁部材３２が補強リブとして機能するため、座屈強度が高い。一方、大型のガスレーザ装置において、部分円筒部材３１が光軸に沿って長くなると、円筒部の中央付近は、曲げ剛性を補強する側壁部材３２から遠く離れているため、座屈強度が低下する。その結果、図１１Ａと図１１Ｂに示すように、円筒部の中央部が座屈し易くなる。座屈強度を高めるためには、補強リブを溶接したり、あるいは板厚を厚くする等の対策が必要になり、その結果、製造コストが高くなり、または重量増加によってメンテナンス作業が困難になる。
【００４１】
本実施形態では、図３に示すように、部分円筒部材３１は、光軸に沿って山と谷が連なるように成型されたベローズ部４を有する。これにより部分円筒部材３１の断面二次モーメントＩが大きくなり、その分、細長比λが小さくなるため、座屈強度が向上して板厚の薄肉化が図られる。その結果、製造コストを低減でき、そして部材の軽量化によってメンテナンス作業効率が改善される。
【００４２】
また、筐体の大型化に伴う別の課題として、製造時に蓋部材３０のフランジ面の平面度を確保することが難しいという問題がある。フランジ板３３の平面度が低下して、反り、捩れが生ずると、本体部１０のフランジ板１４との間に隙間が生じ易くなり、気密性が悪化し、その結果、空気や水分の混入によるレーザ出力低下などの不具合が起こる。また、フランジ板３３の平面度を確保するために、製造時に矯正した場合、新たに製造コストの増加を招く。
【００４３】
そこで本実施形態では、部分円筒部材３１に、ＸＹ面内で可撓性を有するベローズ部４を付与しているため、図４に示すように、フランジ板３３が光軸に対して反っていた場合でも、ベローズ部４が図中の矢印の方向に変形することによって、フランジ板３３は本体部１０のフランジ板１４に倣うことができ、高い気密性が確保できる。また、フランジ板３３の反りを許容できるため、製造歩留まりが高くなり、製造コストを抑制できる。
【００４４】
実施の形態２．
図５は、本発明の実施の形態２に係る蓋部材３０の構造を示す斜視図である。図６は、部分円筒部材３１の中心線５を通るＸＹ面に沿った矢視Ｃ断面図である。なお、筐体の本体部１０は実施の形態１と同じ構造を有するため、重複説明を省く。
【００４５】
本実施形態では、側壁部材３２は、ＹＺ面に延在する平面部と、曲率半径Ｒの円弧状に成型された湾曲部３４とを有し、部分円筒部材３１は湾曲部３４の接線方向に連結している。
【００４６】
＜端部円弧の作用＞
側壁部材３２の一部を湾曲部３４として形成することによって、側壁部材３２での平面部の面積が小さくなる。そのため大気圧力が作用しても平面部に発生する曲げ応力が小さくなり、平面部の板厚を薄くできる。円弧状の湾曲部３４については、大気圧力が作用しても曲げ応力が発生しないため、大幅な薄肉化、軽量化が可能となる。
【００４７】
本実施形態では、平面部を薄肉化し、平面部の板厚を円筒部の板厚と同じにして、蓋部材３０の板厚をフランジ板３３を含めて均一にしている。均一な板厚にすることによって、一枚の板材から金型によるプレス加工で成形することが可能となり、大量生産において、大幅なコスト低減が可能となる。
【００４８】
＜端部平面部の省略＞
さらに側壁部材３２は、平面部を省略するように曲率半径Ｒを大きくして、全て湾曲部３４だけで形成することも可能である。この場合、大気圧力が作用しても曲げ応力が発生しないため、蓋部材３０の肉厚を最も薄くできる。
【００４９】
実施の形態３．
図７は、本発明の実施の形態３に係る蓋部材３０の構造を示す斜視図である。図８Ａは、部分円筒部材３１の中心線５を通る面に沿った矢視Ｆ断面図であり、図８Ｂは、部分円筒部材３１の中心線５を通るＸＹ面に沿った矢視Ｄ断面図である。なお、筐体の本体部１０は実施の形態１と同じ構造を有するため、重複説明を省く。
【００５０】
本実施形態では、湾曲部３４の曲率半径Ｒは、部分円筒部材３１の周方向に沿って変化している。例えば、図８Ｂに示すように、ＸＹ面に沿った矢視Ｄ断面図では、湾曲部３４は曲率半径Ｒｄを有し、一方、図８Ａに示すように、ＸＹ面に対して約６０度で交差する面に沿った矢視Ｆ断面図では、湾曲部３４は曲率半径Ｒｆ（＜Ｒｄ）を有する。こうした構造により、側壁部材３２の形状設計の自由度が高くなる。
【００５１】
実施の形態４．
図９は、本発明の実施の形態４に係る蓋部材３０の構造を示すもので、部分円筒部材３１の中心線５を通るＸＹ面に沿った断面図である。図中の破線は、比較のために、図６に示した実施の形態２に係る蓋部材の形状を示す。また変数に関して、添字０は実施の形態２に対応し、添字１は本実施形態に対応する。なお、筐体の本体部１０は実施の形態１と同じ構造を有するため、重複説明を省く。
【００５２】
部分円筒部材３１と湾曲部３４との接続部をＰとして、実施の形態２では、中心線５から接続部Ｐ０までの半径Ｒｐ０は、部分円筒部材３１の最小半径、即ち、ベローズ部４の谷の半径Ｒｂと同じに設定している。一方、本実施形態では、中心線５から接続部Ｐ１までの半径Ｒｐ１は、部分円筒部材３１の最大半径、即ち、ベローズ部４の山の半径Ｒｔと同じに設定している。ここで山の半径Ｒｔは、谷の半径ＲｂよりもＨだけ大きい。
【００５３】
次に、この作用効果について説明する。ガスダクト２４Ｂは、光軸（中心線５と平行）に直交する平面上でレーザガスが循環する流路を形成しており、圧力損失を減らすためには、ガス流路の曲げ半径は可能な限り大きい方が好ましく、即ち、ガスダクト２４Ｂは、蓋部材３０に干渉しない範囲で最大半径を有することが好ましい。また、ガスダクト２４Ｂの光軸方向長さは、少なくとも放電長より長くする必要があり、長い放電長を得るためには、ガスダクトを光軸方向に長くする必要がある。
【００５４】
実施の形態２に係る蓋部材の形状では、破線で示すように、ガスダクト２４Ｂの外径をベローズ部４の谷の半径Ｒｂ近傍に設定した場合、ガスダクト２４Ｂの端部２５は接続部Ｐ０より外側で蓋部材と干渉してしまう。そのためガスダクト２４Ｂの光軸方向の長さは、ＬＤ０となる。一方、本実施形態に係る蓋部材の形状では、実線で示すように、ガスダクト２４Ｂの外径をベローズ部４の谷の半径Ｒｂ近傍に設定した場合でも、ガスダクト２４Ｂの端部２５は接続部Ｐ０より外側に延長でき、このときガスダクト２４Ｂの光軸方向の長さは、ＬＤ１となる。
【００５５】
これらのガスダクト２４Ｂの長さＬＤ０，ＬＤ１について定量的に検討する。図９において、Ｌ０，Ｌ１は、ガスダクト２４Ｂの端部２５から側壁部材３２の平面部までの距離である。なお、簡単のため、ガスダクト２４Ｂの半径はベローズ部４の谷の半径Ｒｂと同じに設定し、ガスダクト２４Ｂが湾曲部３４と接触する位置を端部２５とした。
【００５６】
図９より、以下の式（１）〜（３）の関係式が得られる。
Ｒ１  ＝  Ｒ０＋Ｈ          …（１）
Ｒ１２  ＝  Ｒ０２＋Ｙ２        …（２）
Ｒ１−Ｙ  ＝  Ｌ１          …（３）
【００５７】
次に、式（１）〜（３）からＹとＲ１を消去し、Ｌ１について解くと、
Ｌ１  ＝  Ｒ０＋Ｈ−（２・Ｈ・Ｒ０＋Ｈ２）０．５
が得られる。そこで、Ｌ０（＝Ｒ０）とＬ１との差を求めると、
Ｌ０−Ｌ１  ＝  Ｒ０−Ｌ１  ＝  Ｈ（（２・Ｒ０／Ｈ＋１）０．５−１）  …（４）
が得られる。ここで、２・Ｒ０＞Ｈの関係から、式（４）より、Ｌ０−Ｌ１＞０であり、Ｈに応じて、Ｌ０−Ｌ１は単調増加するといえる。
【００５８】
従って、本実施形態に係るガスダクト２４Ｂの長さＬＤ１は、実施の形態２に係るガスダクト２４Ｂの長さＬＤ２と比べて、式（４）の分だけ長くでき、Ｈが大きいほど、ガスダクト２４Ｂは長くできることが判る。その結果、ガスレーザ装置の寸法を変更することなく放電長を長くでき、より高出力なレーザ光が得られる。
【００５９】
実施の形態５．
図１０は、本発明の実施の形態５に係る蓋部材３０の構造を示すもので、部分円筒部材３１の中心線５を通るＸＹ面に沿った断面図である。なお、筐体の本体部１０は実施の形態１と同じ構造を有するため、重複説明を省く。
【００６０】
上述した実施の形態４では、中心線５から接続部Ｐ１までの半径Ｒｐ１をベローズ部４の山の半径Ｒｔと同じに設定したが、本実施形態では、中心線５から接続部Ｐ２までの半径Ｒｐ２を、ベローズ部４の谷の半径Ｒｂよりも大きく、山の半径Ｒｔよりも小さく設定している。この場合も、ガスダクト２４Ｂの光軸方向の長さは、実施の形態２よりも長くできる。その結果、ガスレーザ装置の寸法を変更することなく放電長を長くでき、より高出力なレーザ光が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明は、軽量で低コストの蓋構造を実現できる点で、産業上極めて有用である。
【符号の説明】
【００６２】
２  ボルト、  ３  貫通孔、  ４  ベローズ部、  ５  中心線、  ６  部分反射鏡、
１０  本体部、  １１  側板、  １２  上板、  １３  下板、  １４  フランジ板、
１５  Ｏリング溝、  １６  ねじ穴、  ２１Ａ，２１Ｂ  放電電極、
２２Ｂ  熱交換器、  ２３Ａ，２３Ｂ  送風器、  ２４Ｂ  ガスダクト、
２５  端部、  ３０  蓋部材、  ３１  部分円筒部材、  ３２  側壁部材、
３３  フランジ板、  ３４  湾曲部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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