(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のトレイ部品を配列して収容したトレイを収納し、前記トレイを部品供給位置に搬送して前記トレイ部品を供給する部品供給装置であって、
ハウジングと、
前記ハウジング内に昇降可能に装架され、複数枚の段積みされた前記トレイを積載可能なパレットを上下方向に複数枚配列した状態で収納可能なストッカと、
該ストッカを昇降させるストッカ昇降装置と、
前記ハウジングに昇降可能に装架され、前記ストッカと前記部品供給位置との間で前記パレットを搬送するパレット搬送装置と、
該パレット搬送装置を昇降させるパレット昇降装置と、
前記パレットに段積み積載された複数枚の前記トレイの最上段のトレイが前記ハウジングの一定位置に位置するように前記ストッカを前記ストッカ昇降装置によって位置決めし、前記パレット搬送装置を前記複数枚のトレイが段積み積載された前記パレットと一致するように前記パレット昇降装置によって位置決めし、前記パレットを前記パレット搬送装置によって前記ストッカと前記部品供給位置との間で搬送するパレット出入制御手段と、
を備え、
段積み積載された複数枚の前記トレイの高さが異なる複数枚の前記パレットを使用順に配列した状態で前記ストッカに収納する場合、
最初に使用する前記パレットに段積み積載された前記トレイの高さと、最後に使用する前記パレットに段積み積載された前記トレイの高さとを比較し、高い方の前記パレットが前記ストッカの下方の位置となるように配列する部品供給装置。
【請求項２】
複数個のトレイ部品を配列して収容したトレイを収納し、前記トレイを部品供給位置に搬送して前記トレイ部品を供給する部品供給装置であって、
ハウジングと、
前記ハウジング内に昇降可能に装架され、複数枚の段積みされた前記トレイを積載可能なパレットを上下方向に複数枚配列した状態で収納可能なストッカと、
該ストッカを昇降させるストッカ昇降装置と、
前記ハウジングに昇降可能に装架され、前記ストッカと前記部品供給位置との間で前記パレットを搬送するパレット搬送装置と、
該パレット搬送装置を昇降させるパレット昇降装置と、
前記パレットに段積み積載された複数枚の前記トレイの最上段のトレイが前記ハウジングの一定位置に位置するように前記ストッカを前記ストッカ昇降装置によって位置決めし、前記パレット搬送装置を前記複数枚のトレイが段積み積載された前記パレットと一致するように前記パレット昇降装置によって位置決めし、前記パレットを前記パレット搬送装置によって前記ストッカと前記部品供給位置との間で搬送するパレット出入制御手段と、
を備え、
前記部品供給位置に搬送された前記トレイから直接的に採取可能な第１トレイ部品を収容した第１の前記トレイが載置された第１の前記パレット、および前記部品供給位置に搬送された前記トレイから採取した後に反転して受渡しが必要な第２トレイ部品を収容した第２の前記トレイが載置された第２の前記パレットを、使用順に配列した状態で前記ストッカに収納する場合、
最上段の前記トレイが位置決めされる前記一定位置を、前記第１のトレイ用の第１の一定位置として設定すると共に、前記第１の一定位置よりも前記反転に必要な距離だけ下方に離間した前記第２のトレイ用の第２の一定位置として設定し、前記第１の一定位置に対して前記第１のパレットを前記ストッカの下方および上方の一方から他方に使用順で向かうように配列し、前記第２の一定位置に対して前記第２のパレットを前記ストッカの下方および上方の一方から他方に使用順で向かうように配列する部品供給装置。
【請求項３】
複数個のトレイ部品を配列して収容したトレイを収納し、前記トレイを部品供給位置に搬送して前記トレイ部品を供給する部品供給装置であって、
ハウジングと、
前記ハウジング内に昇降可能に装架され、複数枚の段積みされた前記トレイを積載可能なパレットを上下方向に複数枚配列した状態で収納可能なストッカと、
該ストッカを昇降させるストッカ昇降装置と、
前記ハウジングに昇降可能に装架され、前記ストッカと前記部品供給位置との間で前記パレットを搬送するパレット搬送装置と、
該パレット搬送装置を昇降させるパレット昇降装置と、
前記パレットに段積み積載された複数枚の前記トレイの最上段のトレイが前記ハウジングの一定位置に位置するように前記ストッカを前記ストッカ昇降装置によって位置決めし、前記パレット搬送装置を前記複数枚のトレイが段積み積載された前記パレットと一致するように前記パレット昇降装置によって位置決めし、前記パレットを前記パレット搬送装置によって前記ストッカと前記部品供給位置との間で搬送するパレット出入制御手段と、
を備え、
段積み積載された複数枚の前記トレイの高さが異なる複数枚の前記パレットを前記ストッカに収納する場合、
前記複数枚の各パレットにおける前記最上段のトレイ同士の間隔の和が最短となるように配列する部品供給装置。
【請求項４】
請求項１から３の何れか一項において、
前記ストッカ昇降装置による前記ストッカの動作と、前記パレット搬送装置による前記パレットの搬送動作と、前記パレット昇降装置による前記パレット搬送装置の動作とが一部同時に行われるように制御して前記パレットを前記ストッカと前記部品供給位置との間で搬送するパレット出入制御手段を備えた部品供給装置。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一項において、
前記ストッカは、前記パレットを水平方向に複数枚配列した状態で収納可能に構成され、
前記パレット搬送装置は、前記ストッカに対し前記各パレットをそれぞれ搬入出可能な複数台で構成され、
前記パレット昇降装置は、前記各パレット搬送装置をそれぞれ昇降可能な複数台で構成されている部品供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トレイに収容された部品を供給する部品供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、段積みされた複数枚のトレイを押上げ可能なストッカ（部品供給部）を備えた部品供給装置が開示されている。この部品供給装置は、段積みされたトレイの最上段が部品取出し位置に位置するように段積みされたトレイを押上げ、最上段のトレイから部品を吸着ヘッドにより取出して搬送ベルト上に移載し、移載した部品を搬送ベルトにより部品供給位置に搬送して供給する。そして、最上段のトレイ内の全ての部品の取出しが完了して該トレイが空になったら、空のトレイを吸着ヘッドにより吸着移動して廃棄し、次段のトレイが部品取出し位置に位置するように段積みされたトレイを押上げ、上述と同様に部品を供給する。
【０００３】
また、例えば、特許文献２には、複数枚の段積みされたトレイを積載可能なパレットを複数枚収納可能なストッカ（マガジン）と、該ストッカからパレットを引出して搬送する昇降可能なパレット搬送装置（引出し部）とを備えた部品供給装置（トレイフィーダ）が開示されている。この部品供給装置は、ストッカに収納されたパレットのうち、必要なパレットの位置にパレット搬送装置を昇降させて位置決めし、該パレットをパレット搬送装置により引出して部品供給位置（ピックアップ位置）に搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２４３８９号公報（段落番号００１６、図１）
【特許文献２】特開２００１−２４３８７号公報（段落番号０００８、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の部品供給装置では、段積みされた複数枚のトレイを最上段から順次使用していく必要がある。このため、複数枚のトレイをストッカに使用順に段積みする作業が必須であるため手間が掛かり、また、トレイの使用順を誤って段積みした場合には生産品不良が発生する。一方、特許文献２に記載の部品供給装置では、パレット搬送装置が昇降可能に構成されているため、複数枚のパレットをストッカに使用順に配列して収納する必要はない。しかし、ストッカに収納されているパレットを使用する場合、例えばパレット搬送装置を降下させて使用するパレットの位置に位置決めし、該パレットをストッカから取出して部品供給位置に搬送する。そして、パレット搬送装置を上昇させて最上段のトレイを部品採取高さに位置決めする。全てのトレイの部品採取が完了したら、パレット搬送装置を降下させてパレットが収納されていた位置に位置決めし、該パレットをストッカに収納する。以上の動作をストッカに収納されている各パレットに対して行う必要がある。よって、パレット交換に伴うパレット搬送装置の昇降時間が長くなる傾向にある。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数枚の段積みされたトレイを積載可能なパレットを上下方向に複数枚配列した状態でストッカに収納して使用するときのパレット交換時間を短縮できる部品供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するために、請求項１に係る発明は、複数個のトレイ部品を配列して収容したトレイを収納し、前記トレイを部品供給位置に搬送して前記トレイ部品を供給する部品供給装置であって、ハウジングと、前記ハウジング内に昇降可能に装架され、複数枚の段積みされた前記トレイを積載可能なパレットを上下方向に複数枚配列した状態で収納可能なストッカと、該ストッカを昇降させるストッカ昇降装置と、前記ハウジングに昇降可能に装架され、前記ストッカと前記部品供給位置との間で前記パレットを搬送するパレット搬送装置と、該パレット搬送装置を昇降させるパレット昇降装置と、前記パレットに段積み積載された複数枚の前記トレイの最上段のトレイが前記ハウジングの一定位置に位置するように前記ストッカを前記ストッカ昇降装置によって位置決めし、前記パレット搬送装置を前記複数枚のトレイが段積み積載された前記パレットと一致するように前記パレット昇降装置によって位置決めし、前記パレットを前記パレット搬送装置によって前記ストッカと前記部品供給位置との間で搬送するパレット出入制御手段と、を備え、段積み積載された複数枚の前記トレイの高さが異なる複数枚の前記パレットを使用順に配列した状態で前記ストッカに収納する場合、最初に使用する前記パレットに段積み積載された前記トレイの高さと、最後に使用する前記パレットに段積み積載された前記トレイの高さとを比較し、高い方の前記パレットが前記ストッカの下方の位置となるように配列することである。
【０００８】
請求項２に係る発明は、複数個のトレイ部品を配列して収容したトレイを収納し、前記トレイを部品供給位置に搬送して前記トレイ部品を供給する部品供給装置であって、ハウジングと、前記ハウジング内に昇降可能に装架され、複数枚の段積みされた前記トレイを積載可能なパレットを上下方向に複数枚配列した状態で収納可能なストッカと、該ストッカを昇降させるストッカ昇降装置と、前記ハウジングに昇降可能に装架され、前記ストッカと前記部品供給位置との間で前記パレットを搬送するパレット搬送装置と、該パレット搬送装置を昇降させるパレット昇降装置と、前記パレットに段積み積載された複数枚の前記トレイの最上段のトレイが前記ハウジングの一定位置に位置するように前記ストッカを前記ストッカ昇降装置によって位置決めし、前記パレット搬送装置を前記複数枚のトレイが段積み積載された前記パレットと一致するように前記パレット昇降装置によって位置決めし、前記パレットを前記パレット搬送装置によって前記ストッカと前記部品供給位置との間で搬送するパレット出入制御手段と、を備え、前記部品供給位置に搬送された前記トレイから直接的に採取可能な第１トレイ部品を収容した第１の前記トレイが載置された第１の前記パレット、および前記部品供給位置に搬送された前記トレイから採取した後に反転して受渡しが必要な第２トレイ部品を収容した第２の前記トレイが載置された第２の前記パレットを、使用順に配列した状態で前記ストッカに収納する場合、最上段の前記トレイが位置決めされる前記一定位置を、前記第１のトレイ用の第１の一定位置として設定すると共に、前記第１の一定位置よりも前記反転に必要な距離だけ下方に離間した前記第２のトレイ用の第２の一定位置として設定し、前記第１の一定位置に対して前記第１のパレットを前記ストッカの下方および上方の一方から他方に使用順で向かうように配列し、前記第２の一定位置に対して前記第２のパレットを前記ストッカの下方および上方の一方から他方に使用順で向かうように配列することである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、複数個のトレイ部品を配列して収容したトレイを収納し、前記トレイを部品供給位置に搬送して前記トレイ部品を供給する部品供給装置であって、ハウジングと、前記ハウジング内に昇降可能に装架され、複数枚の段積みされた前記トレイを積載可能なパレットを上下方向に複数枚配列した状態で収納可能なストッカと、該ストッカを昇降させるストッカ昇降装置と、前記ハウジングに昇降可能に装架され、前記ストッカと前記部品供給位置との間で前記パレットを搬送するパレット搬送装置と、該パレット搬送装置を昇降させるパレット昇降装置と、前記パレットに段積み積載された複数枚の前記トレイの最上段のトレイが前記ハウジングの一定位置に位置するように前記ストッカを前記ストッカ昇降装置によって位置決めし、前記パレット搬送装置を前記複数枚のトレイが段積み積載された前記パレットと一致するように前記パレット昇降装置によって位置決めし、前記パレットを前記パレット搬送装置によって前記ストッカと前記部品供給位置との間で搬送するパレット出入制御手段と、を備え、段積み積載された複数枚の前記トレイの高さが異なる複数枚の前記パレットを前記ストッカに収納する場合、前記複数枚の各パレットにおける前記最上段のトレイ同士の間隔の和が最短となるように配列することである。
【００１０】
請求項４に係る発明は、請求項１から３の何れか一項において、前記ストッカ昇降装置による前記ストッカの動作と、前記パレット搬送装置による前記パレットの搬送動作と、前記パレット昇降装置による前記パレット搬送装置の動作とが一部同時に行われるように制御して前記パレットを前記ストッカと前記部品供給位置との間で搬送するパレット出入制御手段を備えたことである。
【００１１】
請求項５に係る発明は、請求項１から４の何れか一項において、前記ストッカは、前記パレットを水平方向に複数枚配列した状態で収納可能に構成され、前記パレット搬送装置は、前記ストッカに対し前記各パレットをそれぞれ搬入出可能な複数台で構成され、前記パレット昇降装置は、前記各パレット搬送装置をそれぞれ昇降可能な複数台で構成されていることである。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に係る発明によれば、部品供給装置は、ストッカを昇降させるストッカ昇降装置と、パレット搬送装置を昇降させるパレット昇降装置と、を備えるように構成されている。これにより、ストッカに収納されているパレットを使用する場合、例えばパレット搬送装置を降下させると共にストッカを上昇させる。パレット搬送装置が使用するパレットの位置に達したとき、パレット搬送装置の降下およびストッカの上昇を停止させる。該パレットをパレット搬送装置に取出して部品供給位置に搬送する。そして、パレット搬送装置およびストッカを同期させて上昇させ、最上段のトレイが部品採取高さに達したとき、パレット搬送装置およびストッカの上昇を停止させる。全てのトレイの部品採取が完了したら、パレットをストッカに向けて搬送することにより、パレット搬送装置およびストッカを昇降させなくても、該パレットの収納位置に収納することができる。以上の動作をストッカに収納されている各パレットに対して行う。よって、従来のようにパレット搬送装置のみを昇降させてパレット交換する時間よりも、パレット搬送装置およびストッカを昇降させてパレット交換する時間の方が短時間となり、生産効率を向上させることができると共に省エネルギ化を図ることができる。
パレット出入制御手段は、パレットに段積み積載された複数枚のトレイの最上段のトレイがハウジングの一定位置に位置するようにストッカをストッカ昇降装置によって位置決めし、パレット搬送装置を当該パレットと一致するようにパレット昇降装置によって位置決めするように構成されている。これにより、段数によって異なる最上段のトレイの位置は、ストッカを昇降させることにより一致させることができるので、最上段のトレイの位置を部品採取高さに位置決めすることができる。そして、最初に使用するパレットに段積み積載されたトレイの高さと、最後に使用するパレットに段積み積載されたトレイの高さとを比較し、高い方のパレットがストッカの下方の位置となるように配列するようにしている。これにより、例えば、トレイの高さが低い方のパレットがストッカの下方の位置となるように配列した場合と比較して、パレットの昇降距離を短くすることができ、パレット交換時間を短縮させることができる。
【００１５】
請求項２に係る発明によれば、部品供給装置は、ストッカを昇降させるストッカ昇降装置と、パレット搬送装置を昇降させるパレット昇降装置と、を備えるように構成されている。これにより、ストッカに収納されているパレットを使用する場合、例えばパレット搬送装置を降下させると共にストッカを上昇させる。パレット搬送装置が使用するパレットの位置に達したとき、パレット搬送装置の降下およびストッカの上昇を停止させる。該パレットをパレット搬送装置に取出して部品供給位置に搬送する。そして、パレット搬送装置およびストッカを同期させて上昇させ、最上段のトレイが部品採取高さに達したとき、パレット搬送装置およびストッカの上昇を停止させる。全てのトレイの部品採取が完了したら、パレットをストッカに向けて搬送することにより、パレット搬送装置およびストッカを昇降させなくても、該パレットの収納位置に収納することができる。以上の動作をストッカに収納されている各パレットに対して行う。よって、従来のようにパレット搬送装置のみを昇降させてパレット交換する時間よりも、パレット搬送装置およびストッカを昇降させてパレット交換する時間の方が短時間となり、生産効率を向上させることができると共に省エネルギ化を図ることができる。
パレット出入制御手段は、パレットに段積み積載された複数枚のトレイの最上段のトレイがハウジングの一定位置に位置するようにストッカをストッカ昇降装置によって位置決めし、パレット搬送装置を当該パレットと一致するようにパレット昇降装置によって位置決めするように構成されている。これにより、段数によって異なる最上段のトレイの位置は、ストッカを昇降させることにより一致させることができるので、最上段のトレイの位置を部品採取高さに位置決めすることができる。そして、最上段のトレイが位置決めされる一定位置を、第１のトレイ用の第１の一定位置として設定すると共に、第１の一定位置よりも反転に必要な距離だけ下方に離間した第２のトレイ用の第２の一定位置として設定し、第１の一定位置に対して第１のパレットをストッカの下方および上方の一方から他方に使用順で向かうように配列し、第２の一定位置に対して第２のパレットをストッカの下方および上方の一方から他方に使用順で向かうように配列するようにしている。これにより、トレイから直接的に採取可能な第１トレイ部品とトレイから採取した後に反転して受渡しが必要な第２トレイ部品とが混在していても、パレットの昇降距離を短くすることができ、パレット交換時間を短縮させることができる。
【００１６】
請求項３に係る発明によれば、部品供給装置は、ストッカを昇降させるストッカ昇降装置と、パレット搬送装置を昇降させるパレット昇降装置と、を備えるように構成されている。これにより、ストッカに収納されているパレットを使用する場合、例えばパレット搬送装置を降下させると共にストッカを上昇させる。パレット搬送装置が使用するパレットの位置に達したとき、パレット搬送装置の降下およびストッカの上昇を停止させる。該パレットをパレット搬送装置に取出して部品供給位置に搬送する。そして、パレット搬送装置およびストッカを同期させて上昇させ、最上段のトレイが部品採取高さに達したとき、パレット搬送装置およびストッカの上昇を停止させる。全てのトレイの部品採取が完了したら、パレットをストッカに向けて搬送することにより、パレット搬送装置およびストッカを昇降させなくても、該パレットの収納位置に収納することができる。以上の動作をストッカに収納されている各パレットに対して行う。よって、従来のようにパレット搬送装置のみを昇降させてパレット交換する時間よりも、パレット搬送装置およびストッカを昇降させてパレット交換する時間の方が短時間となり、生産効率を向上させることができると共に省エネルギ化を図ることができる。
パレット出入制御手段は、パレットに段積み積載された複数枚のトレイの最上段のトレイがハウジングの一定位置に位置するようにストッカをストッカ昇降装置によって位置決めし、パレット搬送装置を当該パレットと一致するようにパレット昇降装置によって位置決めするように構成されている。これにより、段数によって異なる最上段のトレイの位置は、ストッカを昇降させることにより一致させることができるので、最上段のトレイの位置を部品採取高さに位置決めすることができる。そして、複数枚の各パレットにおける最上段のトレイ同士の間隔の和が最短となるように配列するようにしている。これにより、トレイの高さが最も高い分だけパレットの昇降距離を短くすることができ、パレット交換時間を短縮させることができる。
【００１７】
請求項４に係る発明によれば、パレット出入制御手段は、ストッカの昇降動作と、パレットの搬送動作と、パレット搬送装置の昇降動作とを関連制御するように構成されている。これにより、パレット搬送装置をストッカに収納されているパレットに位置決めし、パレット搬送装置とストッカとを同期させて上昇させている間に、該パレットをストッカからパレット搬送装置に取出して部品供給位置へ搬送し、最上段のトレイを部品採取高さに位置決めすることができる。そして、全てのトレイの部品採取が完了したら、パレットをストッカに向けて搬送することにより、パレット搬送装置およびストッカを昇降させなくても、該パレットが収納されていた位置に収納することができる。以上の動作をストッカに収納されている各パレットに対して行うことができる。よって、パレット交換時間をより短縮させることができる。
【００１８】
請求項５に係る発明によれば、ストッカは、パレットを水平方向に複数枚配列した状態で収納可能に構成され、パレット搬送装置は、ストッカに対し各パレットをそれぞれ搬入出可能な複数台で構成され、パレット昇降装置は、各パレット搬送装置をそれぞれ昇降可能な複数台で構成されている。これにより、水平方向に複数枚配列した各パレットに段積みされているトレイには、例えば、種類の異なる部品を種類毎に振り分けて収納することができる。よって、１台のパレット昇降装置によりパレットを１枚ずつ引出して搬送する装置と比較してパレット交換時間を短縮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る部品供給装置の一実施の形態を備えた部品実装装置を示す斜視図である。
【図２】図１の部品実装装置の主に部品供給装置を示す概略側面図である。
【図３】図１の部品供給装置のパレット出入制御装置を示すブロック図である。
【図４】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、図３のパレット出入制御装置による第１のパレット出入制御動作を示す第１の図である。
【図５】（Ａ），（Ｂ）は、図３のパレット出入制御装置による第１のパレット出入制御動作を示す第２の図である。
【図６】（Ａ），（Ｂ）は、図３のパレット出入制御装置による第１のパレット出入制御動作を示す第３の図である。
【図７】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、図３のパレット出入制御装置による第２のパレット出入制御動作を示す第１の図である。
【図８】（Ａ），（Ｂ）は、図３のパレット出入制御装置による第２のパレット出入制御動作を示す第２の図である。
【図９】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、図３のパレット出入制御装置による第３のパレット出入制御動作を示す図である。
【図１０】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、図３のパレット出入制御装置による第４のパレット出入制御動作を示す図である。
【図１１】（Ａ）は、第４のパレット出入制御動作によるパレットの移動距離を示す図、（Ｂ）は、比較例のパレットの移動距離を示す図である。
【図１２】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）は、フリップウエハカット部品を反転部品吸着ノズルにより吸着した後に反転する動作を示す図である。
【図１３】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、図３のパレット出入制御装置による第５のパレット出入制御動作を示す図である。
【図１４】（Ａ）は、第５のパレット出入制御動作によるパレットの移動距離を示す図、（Ｂ）は、第５のパレット出入制御動作によるパレットの最短となる移動距離を示す図である。
【図１５】（Ａ）は、トレイ部品、ダイレクトウエハカット部品およびフリップウエハカット部品が混在したパレットを出入制御するときの使用順の一例を示す図、（Ｂ）は、（Ａ）に示す使用順でのパレットの移動距離を示す図である。
【図１６】（Ａ）−（ａ），（ｂ）は、本発明に係る部品供給装置の変形例によるパレットの第１の出入制御動作を示す図、（Ｂ）−（ａ），（ｂ）は、本発明に係る部品供給装置の変形例によるパレットの第２の出入制御動作を示す図である。
【図１７】（Ａ）〜（Ｇ）は、従来の部品供給装置によるパレットの出入制御動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明に係る部品供給装置の一実施の形態を備えた部品実装装置について説明する。図１および図２に示すように、部品実装装置１は、基枠２の一側（装置前方側）に設けられて基板Ｂに装着する部品としてトレイＴに収容されたトレイ部品ＴＰを供給する部品供給装置１０と、基枠２上に設けられて基板Ｂを搬送する基板搬送装置２０と、基枠２の上方に設けられて部品供給装置１０により供給されたトレイ部品ＴＰを採取して基板搬送装置２０に支持された基板Ｂに装着する部品移載装置３０とを備えている。なお、以下の説明において、基板Ｂの搬送方向をＸ軸方向と称し、水平面内においてＸ軸方向に直角な方向をＹ軸方向と称し、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直角な方向をＺ軸方向と称する。
【００２３】
図１および図２に示すように、部品供給装置１０は、ハウジング１１と、ハウジング１１内に設けられ、複数枚の段積みされたトレイＴを積載可能なパレットＰを収納するストッカ１２と、ハウジング１１に設けられ、パレットＰをストッカ１２と部品供給位置Ｓとの間で搬送するパレット搬送装置４０と、パレットＰの出入れを制御するパレット出入制御装置５０（図３参照）とを備えている。
【００２４】
ハウジング１１の一側（装置前方側）の略中央部には、トレイ部品ＴＰを収容したトレイＴが積載されたパレットＰを取入れ、トレイ部品ＴＰの採取が完了しトレイＴが廃棄されて空になったパレットＰを取出すパレット出入口１３が設けられている。パレット出入口１３には、出し入れするパレットＰを一時的に載置するパレット載置台１４が設けられている。そして、パレット載置台１４には、パレットＰをピン１５ａに掛けてパレット出入口１３を通してパレット載置台１４とストッカ１２との間で出し入れする第１パレット出入装置１５が設けられている。
【００２５】
ハウジング１１の一側（装置前方側）の下部には、廃棄された空のトレイＴを排出するトレイ排出口１６が設けられている。トレイ排出口１６の内部には、廃棄された空のトレイＴを一時的に保管するトレイ保管部１７と、廃棄された空のトレイＴをロッド１８ａによりトレイ保管部１７から外部へ押し出すトレイ押出装置１８が設けられている。そして、トレイ排出口１６には、排出されるトレイＴを一時的に載置するトレイ載置台１９が設けられている。
【００２６】
ストッカ１２は、パレットＰを上下方向に複数枚配列した状態で収納可能に構成されている。すなわち、ストッカ１２は箱状に形成され、ストッカ１２の左右側板１２ｂ，１２ｂの内壁面には、水平方向に全幅にわたって延在する複数の案内溝１２ａ，１２ａがそれぞれ対向して形成されている。これら案内溝１２ａ，１２ａには、パレットＰの左右端が摺動可能に係合するようになっている。これにより、ストッカ１２の内部には、複数枚のパレットＰを段積みされるトレイＴの段数に応じた位置に保持することができる。そして、パレットＰを案内溝１２ａ，１２ａに沿って摺動することにより、パレット載置台１４およびパレット搬送装置４０に対し出し入れすることができる。
【００２７】
パレット搬送装置４０は、パレットＰをＹ軸方向に搬送可能に構成されている。すなわち、パレット搬送装置４０は、水平配置された基台４１と、この基台４１上に互いに平行に対向させてそれぞれ水平にＹ軸方向に延びるように並設され、搬送されるパレットＰを案内する一対のガイドレール４２，４２と、各ガイドレール４２，４２に並設され、パレットＰを支持して搬送する一対のコンベアベルト４３，４３と、コンベアベルト４３，４３を駆動する電気モータおよびギヤ機構を備えたベルト駆動部４４と、基台４１におけるストッカ１２側に設けられ、パレットＰをピン４５ａに掛けてストッカ１２とコンベアベルト４３，４３との間で出し入れする第２パレット出入装置４５とにより概略構成されている。
【００２８】
ストッカ１２は、ストッカ昇降装置６０によりハウジング１１内にＺ軸方向に昇降可能に装架されている。パレット搬送装置４０は、パレット昇降装置７０によりハウジング１１にＺ軸方向に昇降可能に装架されている。すなわち、ストッカ１２は、ストッカ昇降装置６０により独立して昇降可能に構成され、パレット搬送装置４０は、パレット昇降装置７０により独立して昇降可能に構成されている。
【００２９】
ストッカ昇降装置６０は、Ｚ軸方向に延びるように配置された送りネジ６１と、ストッカ１２に設けられ、送りネジ６１に螺合可能な送りナット６２と、送りネジ６１を軸回りで回転させる電気モータおよびギヤ機構を備えたストッカ昇降駆動部６３とにより概略構成されている。パレット昇降装置７０は、Ｚ軸方向に延びるように配置された送りネジ７１と、パレット搬送装置４０に設けられ、送りネジ７１に螺合可能な送りナット７２と、送りネジ７１を軸回りで回転させる電気モータおよびギヤ機構を備えたパレット昇降駆動部７３とにより概略構成されている。
【００３０】
図３に示すように、パレット出入制御装置５０は、マイクロコンピュータ５０Ａを有しており、マイクロコンピュータ５０Ａは、バスを介してそれぞれ接続された入出力インターフェース、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ（いずれも図示省略）を備えている。このマイクロコンピュータ５０Ａには、表示装置５１、通信装置５２、記憶装置５３、ストッカ昇降制御部５４、第１パレット出入制御部５５、第２パレット出入制御部５６、パレット搬送制御部５７、パレット昇降制御部５８及びトレイ押出制御部５９が接続されている。表示装置５１は、パレット情報、トレイ情報、部品情報や警告等を表示する。通信装置５２は、ＬＡＮ（図示省略）を介してホストコンピュータ（図示省略）に接続されて信号を送受信する。記憶装置５３は、ホストコンピュータから送信されたパレット情報等を記憶する。
【００３１】
ストッカ昇降制御部５４は、ストッカ昇降駆動部６３が接続され、ストッカ昇降駆動部６３の電気モータをオン・オフしてストッカ１２を昇降させて所定位置に位置決め制御する。第１パレット出入制御部５５は、第１パレット出入装置１５が接続され、第１パレット出入装置１５のピン１５ａをＹ軸方向に移動させてパレット載置台１４とストッカ１２との間でパレットＰの出し入れを制御する。第２パレット出入制御部５６は、第２パレット出入装置４５が接続され、第２パレット出入装置４５のピン４５ａをＹ軸方向に移動させてストッカ１２とコンベアベルト４３，４３との間でパレットＰの出し入れを制御する。
【００３２】
パレット搬送制御部５７は、ベルト駆動部４４が接続され、ベルト駆動部４４の電気モータをオン・オフしてコンベアベルト４３，４３を回動させパレットＰを搬送して所定位置に位置決め制御する。パレット昇降制御部５８は、パレット昇降駆動部７３が接続され、パレット昇降駆動部７３の電気モータをオン・オフしてパレット搬送装置４０を昇降させて所定位置に位置決め制御する。トレイ押出制御部５９は、トレイ押出装置１８が接続され、トレイ押出装置１８のロッド１８ａを突出させてパレットＰをトレイ保管部１７からトレイ載置台１９への押出しを制御する。
【００３３】
図１に示すように、基板搬送装置２０は、一例として、同一構成の２台の搬送装置２１，２１を並設したダブルコンベアで構成されている。搬送装置２１は、基枠２上に互いに平行に対向させてそれぞれ水平にＸ軸方向に延びるように並設され、搬送される基板Ｂを案内する一対のガイドレール２２，２２と、各ガイドレール２２，２２に並設され、基板Ｂを支持して搬送する図略の一対のコンベアベルトと、コンベアベルトを駆動する電気モータおよびギヤ機構を備えた図略のベルト駆動部と、所定の部品装着位置に搬送された基板Ｂを持ち上げてクランプする図略のクランプ装置とにより概略構成されている。
【００３４】
図１に示すように、部品移載装置３０は、基枠２上部に装架されて基板搬送装置２０およびパレット搬送装置４０の上方に配設されたＸＹロボットで構成されている。部品移載装置３０は、Ｙ軸サーボモータ３１ＹによりＹ軸方向に移動されるＹ軸スライダ３２Ｙと、Ｘ軸サーボモータ３１ＸによりＸ軸方向に移動されるＸ軸スライダ３２Ｘとを備えている。このＸ軸スライダ３２Ｘは、Ｙ軸スライダ３２ＹにＸ軸方向に移動可能に案内されている。Ｘ軸スライダ３２Ｘには、トレイ部品ＴＰを基板Ｂに装着する部品装着ヘッド３４が取付けられている。
【００３５】
部品装着ヘッド３４には、ヘッド本体３５から下方に突出して設けられたノズルホルダー部３６１と、該ノズルホルダー部３６１の下端部に設けられてトレイ部品ＴＰを吸着保持する部品吸着ノズル３６２と、ヘッド本体３５から下方に突出して設けられて基板位置を認識するため基板Ｂを撮像する基板撮像カメラ３７とが取付けられている。部品吸着ノズル３６２は、部品装着ヘッド３４にサーボモータ（図示省略）によりＺ軸方向に昇降可能に且つノズル軸周りで回転可能に支承されたノズルホルダー部３６１の下端部に取付けられている。そして、部品吸着ノズル３６２は、ノズル先端で部品を吸引可能なように図略の真空ポンプに接続されている。また、部品吸着ノズル３６２に吸着保持されたトレイ部品ＴＰを撮像する部品撮像カメラ３８が、基板搬送装置２０とパレット搬送装置４０の間に設けられている。
【００３６】
次に、パレット出入制御装置５０による第１のパレット出入制御動作について図４〜図６を参照して説明する。一例として、パレットＰ１に３枚段積みされたトレイＴ１のトレイ部品ＴＰ１およびパレットＰ２に９枚段積みされたトレイＴ２のトレイ部品ＴＰ２をこの順序で使用（実装）する場合について説明する。なお、初期状態では、ストッカ１２は、ハウジング１１内の最上方に位置し、パレット搬送装置４０は、ハウジング１１側の上方に位置しているものとする。
【００３７】
パレット出入制御装置５０は、ストッカ昇降駆動部６３を駆動制御してストッカ１２を下降させ、パレットＰ２用のストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａがパレット載置台１４と一致するように位置決めする。そして、第１パレット出入装置１５を駆動制御し、パレット載置台１４に載置されているパレットＰ２を水平移動させてストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合させる。同様に、ストッカ昇降駆動部６３を駆動制御してストッカ１２を下降させ、パレットＰ１用のストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａがパレット載置台１４と一致するように位置決めする。そして、第１パレット出入装置１５を駆動制御し、パレット載置台１４に載置されているパレットＰ１を水平移動させてストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合させる（図４（Ａ）参照）。
【００３８】
パレット出入制御装置５０は、パレット昇降駆動部７３を駆動制御してパレット搬送装置４０を下降させるとともにストッカ昇降駆動部６３を駆動制御してストッカ１２を上昇させ、パレット搬送装置４０がパレットＰ１の位置に達したとき、パレット搬送装置４０の降下およびストッカ１２の上昇を停止させる（図４（Ｂ）参照）。そして、ベルト駆動部４４を駆動制御し、コンベアベルト４３，４３を回動させるとともに、第２パレット出入装置１５を駆動制御し、ストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合されているパレットＰ１がコンベアベルト４３，４３に掛かるまで水平移動させる（図４（Ｃ）参照）。
【００３９】
パレット出入制御装置５０は、パレットＰ１をガイドレール４２，４２に案内させつつコンベアベルト４３，４３に支持させて部品供給位置Ｓまで搬送する（図５（Ａ）参照）。そして、パレット昇降駆動部７３およびストッカ昇降駆動部６３を同期制御してパレット搬送装置４０およびストッカ１２を上昇させ、パレットＰ１に段積み積載された３枚のトレイＴ１の最上段のトレイＴ１が部品採取高さＨＰに達したとき、パレット搬送装置４０およびストッカ１２の上昇を停止させる（図５（Ｂ）参照）。
【００４０】
ここで、トレイ部品ＴＰ１が装着される基板Ｂは、基板搬送装置２０のガイドレール２２，２２により案内されつつコンベアベルトにより部品実装位置まで搬送され、クランプ装置によって部品装着位置に位置決めクランプされている（図６（Ａ）参照）。パレットＰ１に段積み積載された３枚のトレイＴ１の最上段のトレイＴ１のトレイ部品ＴＰ１は、Ｙ軸スライダ３２Ｙ及びＸ軸スライダ３２Ｘにより移動された部品装着ヘッド３４の部品吸着ノズル３６２により吸着保持される（図６（Ａ）−（ａ）参照）。そして、吸着保持されたトレイ部品ＴＰ１の保持位置が部品撮像カメラ３８により認識され（図６（Ａ）−（ｂ）参照）、トレイ部品ＴＰ１に特に問題が無い場合は、トレイ部品ＴＰ１は基板Ｂに装着される（図６（Ａ）−（ｃ）参照）。
【００４１】
パレットＰ１の最上段のトレイＴ１の全てのトレイ部品ＴＰ１の基板Ｂへの装着が完了したら、部品装着ヘッド３４の部品吸着ノズル３６２がトレイ吸着ノズル３６３に交換される。そして、パレットＰ１の最上段の空になったトレイＴ１は、部品装着ヘッド３４のトレイ吸着ノズル３６３により吸着保持され、ハウジング１１近傍のトレイ廃棄位置まで移動されて吸着解除される（図６（Ａ）−（ｄ）参照）。これにより、パレットＰ１の最上段の空になったトレイＴ１は、図示破線矢印で示すように、トレイ保管部１７に向かって落下する。そして、パレット出入制御装置５０は、トレイ押出装置１８を駆動制御し、空になったトレイＴ１をトレイ排出口１６からトレイ載置台１９へ押出す。
【００４２】
パレット出入制御装置５０は、パレット昇降駆動部７３およびストッカ昇降駆動部６３を同期制御してパレット搬送装置４０およびストッカ１２を上昇させ、パレットＰ１に段積み積載された次段のトレイＴ１が部品採取高さＨＰに達したとき、パレット搬送装置４０およびストッカ１２の上昇を停止させる。そして、上述のトレイ部品ＴＰ１の装着およびトレイＴ１の廃棄を実行する。そして、パレットＰ１が空になったら、パレット出入制御装置５０は、ベルト駆動部４４を駆動制御してコンベアベルト４３，４３を回動させ、空のパレットＰ１をガイドレール４２，４２に案内させつつコンベアベルト４３，４３に支持させてストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに掛かるまで水平移動させる。そして、第１パレット出入装置１５を駆動制御し、空のパレットＰ１をストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合させる。以上によりパレットＰ１の処理が完了する。そして、次のパレットＰ２に対しても同様の処理を実行する。
【００４３】
以上のように、第１のパレット出入制御動作によれば、従来のようにパレット搬送装置のみを昇降させてパレット交換する時間よりも、本実施形態のパレット搬送装置４０およびストッカ１２を昇降させてパレット交換する時間の方が短時間となる。すなわち、図１７に示すように、従来は、上方に位置しているパレット搬送装置９１を降下させて使用するパレットＰＰの位置に位置決めし（図１７（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）参照）、該パレットＰＰをストッカ９２から取出して部品供給位置Ｓに搬送する（図１７（Ｄ）参照）。そして、パレット搬送装置９１を上昇させて最上段のトレイＴＴを部品採取高さＨＰに位置決めする（図１７（Ｅ）参照）。全てのトレイＴＴの部品採取が完了したら、パレット搬送装置９１を降下させてパレットＰＰが収納されていた位置に位置決めし（図１７（Ｆ）参照）、該パレットＰＰをストッカ９２に収納する（図１７（Ｇ）参照）。以上の動作をストッカ９２に収納されている各パレットＰＰに対して行う必要がある。
【００４４】
しかし、本実施形態のパレット搬送装置４０を降下させつつストッカ１２を上昇させて、パレット搬送装置４０をパレットＰの位置に位置決めする動作時間（図４（Ｂ）参照）は、従来のパレット搬送装置９１のみを降下させて、パレット搬送装置９１をパレットＰＰの位置に位置決めする動作時間（図１７（Ｂ），（Ｃ）参照）よりも短時間となる。さらに、本実施形態のパレット搬送装置４０を上昇させつつストッカ１２を上昇させて、最上段のトレイＴを部品採取高さＨＰに位置決めする動作時間（図５（Ｂ）参照）は、従来のパレット搬送装置９１を上昇させて、最上段のトレイＴＴを部品採取高さＨＰに位置決めする動作時間（図１７（Ｅ）参照）よりも短時間となる。そして、本実施形態のパレット搬送装置４０およびストッカ１２は停止させたままでパレットＰをストッカ１２に収納できる（図６（Ｂ）参照）のに対し、従来はパレット搬送装置９１を降下させて、パレット搬送装置９１をパレットＰＰが収納されていた位置に位置決めしてからパレットＰＰをストッカ９２に収納する必要がある（図１７（Ｆ）参照）。よって、従来のようにパレット搬送装置のみを昇降させてパレット交換する時間よりも、本実施形態のパレット搬送装置４０およびストッカ１２を昇降させてパレット交換する時間の方が短時間となり、生産効率を向上させることができると共に省エネルギ化を図ることができる。
【００４５】
次に、パレット出入制御装置５０による第２のパレット出入制御動作について図７および図８を参照して説明する。この第２のパレット出入制御動作は、パレットＰに段積み積載された複数枚のトレイＴの最上段のトレイＴがハウジング１１の一定位置、本例では部品採取高さＨＰに位置するようにストッカ１２を位置決めし、パレット搬送装置４０を複数枚のトレイＴが段積み積載されたパレットＰと一致するように位置決めしてパレットＰを出し入れ制御する動作である。一例として、パレットＰ１に３枚段積みされたトレイＴ１のトレイ部品ＴＰ１およびパレットＰ２に９枚段積みされたトレイＴ２のトレイ部品ＴＰ２をこの順序で使用（実装）する場合について説明する。なお、初期状態では、ストッカ１２は、ハウジング１１内の最下方に位置し、パレット搬送装置４０は、ハウジング１１側の最下方に位置しているものとする。
【００４６】
パレット出入制御装置５０は、ストッカ昇降駆動部６３を駆動制御してストッカ１２を上昇させ、ストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａがパレット載置台１４と一致するように位置決めする。そして、第１パレット出入装置１５を駆動制御し、パレット載置台１４に載置されているパレットＰ２を水平移動させてストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合させる。同様に、ストッカ昇降駆動部６３を駆動制御してストッカ１２を上昇させ、ストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａがパレット載置台１４と一致するように位置決めする。そして、第１パレット出入装置１５を駆動制御し、パレット載置台１４に載置されているパレットＰ１を水平移動させてストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合させる（図７（Ａ）参照）。
【００４７】
パレット出入制御装置５０は、ストッカ昇降駆動部６３を駆動制御してストッカ１２を上昇させ、パレットＰ１の最上段のトレイＴ１が部品採取高さＨＰに位置するようにストッカ１２を位置決めするとともに、パレット昇降駆動部７３を駆動制御してパレット搬送装置４０を上昇させ、パレット搬送装置４０をパレットＰ１と一致するように位置決めする（図７（Ｂ）参照）。そして、ベルト駆動部４４を駆動制御し、コンベアベルト４３，４３を回動させるとともに、第２パレット出入装置１５を駆動制御し、ストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合されているパレットＰ１がコンベアベルト４３，４３に掛かるまで水平移動させる。
【００４８】
パレット出入制御装置５０は、パレットＰ１をガイドレール４２，４２に案内させつつコンベアベルト４３，４３に支持させて部品供給位置Ｓまで搬送する（図７（Ｃ）参照）。これにより、パレットＰ１の最上段のトレイＴ１は、部品供給位置Ｓにおいて既に部品採取高さＨＰに位置決めされることになるので、上述したトレイ部品ＴＰ１の装着を直ちに実行することができる。
【００４９】
パレット出入制御装置５０は、ストッカ昇降駆動部６３を駆動制御してストッカ１２を下降させ、パレットＰ２の最上段のトレイＴ２が部品採取高さＨＰに位置するようにストッカ１２を位置決めするとともに、パレット昇降駆動部７３を駆動制御してパレット搬送装置４０を下降させ、パレット搬送装置４０をパレットＰ２と一致するように位置決めする（図８（Ａ）参照）。そして、ベルト駆動部４４を駆動制御し、コンベアベルト４３，４３を回動させるとともに、第２パレット出入装置１５を駆動制御し、ストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合されているパレットＰ２がコンベアベルト４３，４３に掛かるまで水平移動させる。
【００５０】
パレット出入制御装置５０は、パレットＰ２をガイドレール４２，４２に案内させつつコンベアベルト４３，４３に支持させて部品供給位置Ｓまで搬送する（図８（Ｂ）参照）。これにより、パレットＰ２の最上段のトレイＴ２は、部品供給位置Ｓにおいて既に部品採取高さＨＰに位置決めされることになるので、上述したトレイ部品ＴＰ２の装着を直ちに実行することができる。
【００５１】
以上のように、第２のパレット出入制御動作によれば、パレット出入制御装置５０は、パレットＰに段積み積載された複数枚のトレイＴの最上段のトレイＴが部品採取高さＨＰに位置するようにストッカ１２をストッカ昇降装置６０によって位置決めし、パレット搬送装置４０を当該パレットＰと一致するようにパレット昇降装置７０によって位置決めするように構成されている。これにより、段数によって異なる最上段のトレイＴの位置は、ストッカ１２を昇降させることにより一致させることができるので、最上段のトレイＴの位置を部品採取高さＨＰに位置決めすることができる。なお、パレットＰに段積みされたトレイＴの段数によらずストッカ１２からのパレットＰの取出位置を一定、例えばハウジング１１の略中央高さにすることができるので、ストッカ１２の位置決めを容易に行うことができる。
【００５２】
次に、パレット出入制御装置５０による第３のパレット出入制御動作について図９を参照して説明する。この第３のパレット出入制御動作は、ストッカ昇降装置６０によるストッカ１２の動作と、パレット搬送装置４０によるパレットＰの搬送動作と、パレット昇降装置７０によるパレット搬送装置４０の動作とが一部同時に行われるようにしてパレットＰを出し入れ制御する動作である。例えば、トレイＴが９枚段積みされたパレットＰをストッカ１２から取出して搬送し部品供給位置Ｓに達したときに、パレットＰの最上段のトレイＴが部品採取高さＨＰに達するようにパレットＰを出し入れ制御する動作である。
【００５３】
パレット出入制御装置５０は、パレット昇降駆動部７３を駆動制御してパレット搬送装置４０を下降させるとともにストッカ昇降駆動部６３を駆動制御してストッカ１２を上昇させ、パレット搬送装置４０がパレットＰの位置に達したとき、パレット搬送装置４０の降下およびストッカ１２の上昇を停止させる（図９（Ａ）参照）。
【００５４】
パレット出入制御装置５０は、パレット昇降駆動部７３およびストッカ昇降駆動部６３を同期制御してパレット搬送装置４０およびストッカ１２を上昇させている間に、ベルト駆動部４４を駆動制御し、コンベアベルト４３，４３を回動させるとともに、第２パレット出入装置１５を駆動制御し、ストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合されているパレットＰがコンベアベルト４３，４３に掛かるまで水平移動させる（図９（Ｂ）参照）。
【００５５】
さらに、パレット出入制御装置５０は、パレット昇降駆動部７３およびストッカ昇降駆動部６３の同期制御を継続してパレット搬送装置４０およびストッカ１２を上昇させている間に、パレットＰをガイドレール４２，４２に案内させつつコンベアベルト４３，４３に支持させて搬送する。そして、パレットＰが部品供給位置Ｓに達し、且つパレットＰの最上段のトレイＴが部品採取高さＨＰに達したら、ストッカ昇降駆動部６３、パレット昇降駆動部７３およびベルト駆動部４４の駆動制御を停止する（図９（Ｃ）参照）。そして、上述したトレイ部品ＴＰの装着を実行する。
【００５６】
以上のように、第３のパレット出入制御動作によれば、パレット出入制御装置５０は、ストッカ１２の昇降動作と、パレットＰの搬送動作と、パレット搬送装置４０の昇降動作とを関連制御するように構成されている。これにより、パレット搬送装置４０をストッカ１２に収納されているパレットＰに位置決めし、パレット搬送装置４０とストッカ１２とを同期させて上昇させている間に、該パレットＰをストッカ１２からパレット搬送装置４０に取出して部品供給位置Ｓへ搬送し、最上段のトレイＴを部品採取高さＨＰに位置決めすることができる。そして、全てのトレイＴの部品採取が完了したら、パレットＰをストッカ１２に向けて搬送することにより、パレット搬送装置４０およびストッカ１２を昇降させなくても、該パレットＰが収納されていた位置に収納することができる。以上の動作をストッカ１２に収納されている各パレットＰに対して行うことができる。よって、パレット交換時間をより短縮させることができる。
【００５７】
次に、パレット出入制御装置５０による第４のパレット出入制御動作について図１０および図１１を参照して説明する。この第４のパレット出入制御動作は、第２のパレット出入制御動作において、段積み積載された複数枚のトレイＴの高さが異なる複数枚のパレットＰをストッカ１２から使用順に出し入れするとき、最短のストッカ１２の昇降距離でパレットＰを出し入れ制御する動作である。この場合、最初に使用するパレットＰに段積み積載されたトレイＴの高さと、最後に使用するパレットＰに段積み積載されたトレイＴの高さとを比較し、高い方のパレットＰがストッカ１２の下方の位置となるように配列した状態でストッカ１２に収納する。
【００５８】
一例として、パレットＰ１に２枚段積みされたトレイＴ１のトレイ部品ＴＰ１、パレットＰ２に４枚段積みされたトレイＴ２のトレイ部品ＴＰ２およびパレットＰ３に９枚段積みされたトレイＴ３のトレイ部品ＴＰ３をこの順序で使用（実装）する場合について説明する。この場合、最初に使用するパレットＰ１に段積み積載されたトレイＴ１の高さｈｓと、最後に使用するパレットＰ３に段積み積載されたトレイＴ３の高さｈｅとを比較し、高い方のパレットＰ３がストッカ１２の下方の位置となるように配列した状態でストッカ１２に収納する（図１０（Ａ）参照）。
【００５９】
パレット出入制御装置５０は、第２のパレット出入制御動作と同様にストッカ昇降駆動部６３を駆動制御してストッカ１２を上昇させ、パレットＰ１の最上段のトレイＴが部品採取高さＨＰに位置するようにストッカ１２を位置決めするとともに、パレット昇降駆動部７３を駆動制御してパレット搬送装置４０を上昇させ、パレット搬送装置４０をパレットＰ１と一致するように位置決めする。そして、ベルト駆動部４４を駆動制御し、コンベアベルト４３，４３を回動させるとともに、第２パレット出入装置１５を駆動制御し、ストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合されているパレットＰ１がコンベアベルト４３，４３に掛かるまで水平移動させる。そして、パレットＰ１をガイドレール４２，４２に案内させつつコンベアベルト４３，４３に支持させて部品供給位置Ｓまで搬送する（図１０（Ａ）参照）。
【００６０】
パレット出入制御装置５０は、パレットＰ２およびパレットＰ３に対しても同様の動作を繰り返す（図１０（Ｂ）、（Ｃ）参照）。図１１（Ａ）に示すように、このときのストッカ１２の上昇距離Ｌ１は、パレットＰ１の最上段のトレイＴ１とパレットＰ３の最上段のトレイＴ３との距離、すなわち２枚のトレイＴ１の高さと４枚のトレイＴ２の高さとを含む距離となる。一方、図１１（Ｂ）に示すように、高い方のパレットＰ３がストッカ１２の上方の位置となるように配列した状態でストッカ１２に収納したときのストッカ１２の上昇距離Ｌ２は、パレットＰ３の最上段のトレイＴ３とパレットＰ１の最上段のトレイＴ１との距離、すなわち９枚のトレイＴ３の高さと４枚のトレイＴ２の高さとを含む距離となる。よって、本実施形態のストッカ１２の上昇距離Ｌ１は、比較例のストッカ１２の上昇距離Ｌ２よりも、９枚のトレイＴ３の高さと２枚のトレイＴ１の高さとの差分だけ短縮されることになる。
【００６１】
以上のように、第４のパレット出入制御動作によれば、パレット出入制御装置５０は、最初に使用するパレットＰに段積み積載されたトレイＴの高さと、最後に使用するパレットＰに段積み積載されたトレイＴの高さとを比較し、高い方のパレットＰがストッカ１２の下方の位置となるように配列するようにしている。これにより、例えば、トレイＴの高さが低い方のパレットＰがストッカ１２の下方の位置となるように配列した場合と比較して、パレットＰの昇降距離を短くすることができ、パレット交換時間を短縮させることができる。
【００６２】
なお、パレット昇降駆動部７３によるパレット搬送装置４０の駆動制御を行わず、パレットＰを固定高さで部品供給位置まで搬送する場合には、上述の収納順とは逆に、最初に使用するパレットＰに段積み積載されたトレイＴの高さと、最後に使用するパレットＰに段積み積載されたトレイＴの高さとを比較し、高い方のパレットＰがストッカ１２の上方の位置となるように配列した状態でストッカ１２に収納することにより、上述と同様の効果を得ることができる。
【００６３】
次に、パレット出入制御装置５０による第５のパレット出入制御動作について図１２〜図１５を参照して説明する。この第５のパレット出入制御動作は、第２のパレット出入制御動作において、部品供給位置Ｓに搬送されたトレイＴから直接的に採取可能な第１トレイ部品を収容したトレイＴが載置されたパレットＰ、および部品供給位置Ｓに搬送されたトレイＴから採取した後に反転して受渡しが必要な第２トレイ部品を収容したトレイＴが載置されたパレットＰをストッカ１２から使用順に出し入れするとき、最短のストッカ１２の昇降距離でパレットＰを出し入れ制御する動作である。
【００６４】
ここで、第１トレイ部品としては、既述のトレイ部品ＴＰの他に、ウエハの表面全面に多数の同一の部品が形成され、各部品ごとにカットされて部品吸着ノズル３６２により直接的に吸着可能なダイレクトウエハカット部品ＤＰがある。また、第２トレイ部品としては、図１２に示すように、ウエハの表面全面に多数の同一の部品が形成され、各部品ごとにカットされ、第２ノズルホルダー部３６４に取付けられた反転部品吸着ノズル３６５により吸着した後に反転して部品吸着ノズル３６２に受渡しが必要なフリップウエハカット部品ＦＰがある。なお、ダイレクトウエハカット部品ＤＰおよびフリップウエハカット部品ＦＰが収容されたトレイＴは、基本的にはパレットＰに複数枚段積みされることはなく、１枚のみ積載される。
【００６５】
既述のように、トレイ部品ＴＰを収納したトレイＴが複数枚段積みされたパレットＰの場合、部品供給位置Ｓにおいて最上段のトレイＴが第１の一定位置として部品採取高さＨＰに位置するようにストッカ１２を位置決めする。また、ダイレクトウエハカット部品ＤＰを収納したトレイＴが１枚積載されたパレットＰの場合、部品供給位置ＳにおいてトレイＴが第１の一定位置として部品採取高さＨＰに位置するようにストッカ１２を位置決めする。一方、フリップウエハカット部品ＦＰを収納したトレイＴが複数枚段積みされたパレットＰの場合、部品供給位置Ｓにおいて最上段のトレイＴが第１の一定位置よりも反転に必要な距離だけ下方に離間した第２の一定位置として第２部品採取高さＨＰＰに位置するようにストッカ１２を位置決めする。
【００６６】
第２ノズルホルダー部３６４および反転部品吸着ノズル３６５は、ノズルホルダー部３６１および部品吸着ノズル３６２と同様に構成され、部品装着ヘッド３４に設けられた軸回りに回動可能な回動軸部３６６に取付けられている。そして、反転部品吸着ノズル３６５は、垂直下方を向いているとき、第２部品採取高さＨＰＰに位置するトレイＴからフリップウエハカット部品ＦＰを吸着可能となるように（図１２（Ａ）参照）、また、垂直上方を向いているとき、吸着したフリップウエハカット部品ＦＰが部品採取高さＨＰに位置するように（図１２（Ｂ）参照）、すなわち、部品吸着ノズル３６２が該フリップウエハカット部品ＦＰを吸着可能となるように（図１２（Ｃ），（Ｄ）参照）、部品吸着ノズル３６２から垂直下方に所定距離離間して配設されている。
【００６７】
この場合、部品採取高さＨＰに対して第１トレイ部品のパレットＰをストッカ１２の下方および上方の一方から他方に使用順で向かうように配列し、第２部品採取高さＨＰＰ（第２の一定位置）に対して第２トレイ部品のパレットＰをストッカ１２の下方および上方の一方から他方に使用順で向かうように配列した状態でストッカ１２に収納する。一例として、図１３に示すように、パレットＰ１に４枚段積みされたトレイＴ１のトレイ部品ＴＰ１、パレットＰ２に１枚積載されたトレイＴ２のダイレクトウエハカット部品ＤＰおよびパレットＰ３に１枚積載されたトレイＴ３のフリップウエハカット部品ＦＰをこの順序で使用（実装）する場合について説明する。この場合、部品採取高さＨＰに対して最初に使用するパレットＰ１が次に使用するパレットＰ２に対しストッカ１２の下方の位置となるように配列し、第２部品採取高さＨＰＰに対して最初に使用するパレットＰ３が位置するように配列した状態でストッカ１２に収納する。
【００６８】
パレット出入制御装置５０は、第２のパレット出入制御動作と同様にストッカ昇降駆動部６３を駆動制御してストッカ１２を上昇させ、パレットＰ１の最上段のトレイＴ１が部品採取高さＨＰに位置するようにストッカ１２を位置決めするとともに、パレット昇降駆動部７３を駆動制御してパレット搬送装置４０を上昇させ、パレット搬送装置４０をパレットＰ１と一致するように位置決めする。そして、ベルト駆動部４４を駆動制御し、コンベアベルト４３，４３を回動させるとともに、第１パレット出入装置１５を駆動制御し、ストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合されているパレットＰ１がコンベアベルト４３，４３に掛かるまで水平移動させる。そして、パレットＰ１をガイドレール４２，４２に案内させつつコンベアベルト４３，４３に支持させて部品供給位置Ｓまで搬送する（図１３（Ａ）参照）。これにより、パレットＰ１の最上段のトレイＴ１は、部品供給位置Ｓにおいて既に部品採取高さＨＰに位置決めされることになるので、上述したトレイ部品ＴＰ１の装着を直ちに実行することができる。そして、パレットＰ２に対しても同様の動作を実行する（図１３（Ｂ）参照）。
【００６９】
パレット出入制御装置５０はストッカ昇降駆動部６３を駆動制御してストッカ１２を下降させ、パレットＰ３のトレイＴ３が第２部品採取高さＨＰＰに位置するようにストッカ１２を位置決めするとともに、パレット昇降駆動部７３を駆動制御してパレット搬送装置４０を下降させ、パレット搬送装置４０をパレットＰ３と一致するように位置決めする。そして、ベルト駆動部４４を駆動制御し、コンベアベルト４３，４３を回動させるとともに、第１パレット出入装置１５を駆動制御し、ストッカ１２の案内溝１２ａ，１２ａに係合されているパレットＰ３がコンベアベルト４３，４３に掛かるまで水平移動させる。そして、パレットＰ３をガイドレール４２，４２に案内させつつコンベアベルト４３，４３に支持させて部品供給位置Ｓまで搬送する（図１３（Ｃ）参照）。そして、垂直下方に向けた反転部品吸着ノズル３６５によりトレイＴ３からフリップウエハカット部品ＦＰを吸着させ、反転部品吸着ノズル３６５を回動させて垂直上方に向け、該フリップウエハカット部品ＦＰを部品吸着ノズル３６２に受け渡す。
【００７０】
図１４（Ａ）に示すように、このときのストッカ１２の下降距離は、パレットＰ１の最上段のトレイＴ１とパレットＰ２のトレイＴ２との距離Ｌ１１、すなわちパレットＰ１の最上段のトレイＴ１が部品採取高さＨＰに位置決めされた位置からパレットＰ２のトレイＴ２が部品採取高さＨＰに位置決めされるまでの距離Ｌ１１と、パレットＰ２のトレイＴ２が部品採取高さＨＰに位置決めされた位置からパレットＰ３のトレイＴ３が第２部品採取高さＨＰＰに位置決めされるまでの距離Ｌ１２との和の距離Ｌ１１＋Ｌ１２となる。また、図１４（Ｂ）に示すように、パレットＰ２のトレイＴ２が部品採取高さＨＰに位置決めされたとき、パレットＰ３のトレイＴ３が第２部品採取高さＨＰＰに位置決めされるようにパレットＰ２とパレットＰ３との距離を調整することにより、ストッカ１２の下降距離は、パレットＰ１の最上段のトレイＴ１とパレットＰ２のトレイＴ２との距離Ｌ１１のみとなり、さらに短縮することができ、パレット交換時間を短縮させることができる。
【００７１】
また、別例として、図１５に示すように、パレットＰ１１に１枚積載されたトレイＴ１１のダイレクトウエハカット部品、パレットＰ１２に１枚積載されたトレイＴ１２のフリップウエハカット部品、パレットＰ１３に４枚段積みされたトレイＴ１３のトレイ部品、パレットＰ１４に１枚積載されたトレイＴ１４のフリップウエハカット部品、パレットＰ１５に１枚積載されたトレイＴ１５のダイレクトウエハカット部品、パレットＰ１６に１枚積載されたトレイＴ１６のフリップウエハカット部品をこの順序で使用（実装）する場合について説明する（図１５（Ａ）参照）。
【００７２】
この場合、部品採取高さＨＰに対して最初に使用するパレットＰ１１、次に使用するパレットＰ１３、さらに次に使用するパレットＰ１５をこの順でストッカ１２の下方から上方に向かうように配列し、第２部品採取高さＨＰＰに対して最初に使用するパレットＰ１２、次に使用するパレットＰ１４、さらに次に使用するパレットＰ１６をこの順でストッカ１２の下方から上方に向かうように配列した状態でストッカ１２に収納する（図１５（Ｂ）参照）。
【００７３】
これにより、パレット出入制御装置５０は、先ず、パレットＰ１１の最上段のトレイＴ１１が部品採取高さＨＰに位置するようにストッカ１２を位置決めし（図１５（Ｂ）（ａ）参照）、パレットＰ１１から部品供給位置Ｓまで搬送してトレイ部品を基板Ｂに装着する。次に、パレットＰ１２の最上段のトレイＴ１２が部品採取高さＨＰＰに位置するようにストッカ１２を下降して位置決めし（図１５（Ｂ）（ｂ）参照）、パレットＰ１２から部品供給位置Ｓまで搬送してフリップウエハカット部品を基板Ｂに装着する。このように、ストッカ１２を下降させるのみで、パレット１１からパレット１６までを順次部品供給位置Ｓまで搬送して各部品を基板Ｂに装着することができる。このときのストッカ１２の下降距離Ｌ２１は、パレットＰ１１のトレイＴ１１とパレットＰ１５のトレイＴ１５との距離、すなわち１枚のトレイＴ１１の高さと４枚のトレイＴ１３の高さと１枚のトレイＴ１５の高さとを含む距離となる。一方、パレット１１からパレット１６までをストッカ１２の下方から上方に向かうように配列した状態でストッカ１２に収納した比較例の場合は、各パレット１１〜１６によって部品採取高さＨＰと第２部品採取高さＨＰＰとが異なるため、ストッカ１２を上下動させなければならない。よって、本実施形態のストッカ１２の下降距離Ｌ２１は、比較例のストッカ１２の上昇下降距離よりも、大幅に短縮されることになる。
【００７４】
次に、部品供給装置の変形例について図１６を参照して説明する。この部品供給装置８０は、パレットＰを水平方向に複数枚（本例では、３枚）配列した状態で収納可能に構成されたストッカ８１と、ストッカ８１に対し各パレットＰ２１，Ｐ２２，Ｐ２３をそれぞれ搬入出可能な複数台（本例では、３台）で構成されたパレット搬送装置８２ａ，８２ｂ，８２ｃと、各パレット搬送装置８２ａ，８２ｂ，８２ｃをそれぞれ昇降可能な複数台（本例では、３台）で構成されたパレット昇降装置８３ａ，８３ｂ，８３ｃとを備えている。ストッカ８１、各パレット搬送装置８２ａ，８２ｂ，８２ｃおよび各パレット昇降装置８３ａ，８３ｂ，８３ｃは、既述のストッカ１２、パレット搬送装置４０およびパレット昇降装置７０と略同一構成である。
【００７５】
このような構成の部品供給装置８０によれば、例えば、各パレットＰ２１，Ｐ２２，Ｐ２３に段積みされているトレイＴ２１，Ｔ２２，Ｔ２３には、例えば、種類の異なる部品を種類毎に振り分けて収納することができるので（図１６（Ａ）参照）、１台のパレット昇降装置４０によりパレットＰ２１，Ｐ２２，Ｐ２３を１枚ずつ引出して搬送する装置と比較してパレット交換時間を短縮させることができ、生産効率を向上させることができると共に省エネルギ化を図ることができる。また、各パレットＰ２１，Ｐ２２，Ｐ２３に段積みされるトレイＴ２１，Ｔ２２，Ｔ２３の枚数がパレットＰ２１，Ｐ２２，Ｐ２３毎に異なっていても、部品供給位置Ｓに搬送されたときの最上段の各トレイＴ２１，Ｔ２２，Ｔ２３の高さを同一の部品採取高さＨＰにすることができる。よって、部品吸着ノズル３６２がパレットＰ２１，Ｐ２２，Ｐ２３間を移動するとき、トレイＴ２１，Ｔ２２，Ｔ２３との衝突を避けるために大きく移動する必要はなく、部品吸着ノズル３６２の移動時間を短縮させることができる。
【００７６】
また、例えば、同一種類の多数のトレイ部品ＴＰを収納した各トレイＴ２１，Ｔ２２，Ｔ２３を同一の段数で１枚のパレットＰに段積みすることにより（図１６（Ｂ）参照）、各パレット搬送装置８２ａ，８２ｂ，８２ｃを同期制御して１枚のパレットＰをストッカ８１から部品装着位置Ｓに搬送し、各パレット昇降装置８３ａ，８３ｂ，８３ｃを同期制御して１枚のパレットＰを昇降して最上段の各トレイＴ２１，Ｔ２２，Ｔ２３を部品採取高さＨＰにそれぞれ一致させることができる。よって、同一種類の多数のトレイ部品ＴＰを連続して基板Ｂに装着することが可能となり、生産効率を向上させることができる。
【符号の説明】
【００７７】
１・・・部品実装装置、１０，８０・・・部品供給装置、１１・・・ハウジング、１２，８１・・・ストッカ、２０・・・基板搬送装置、３０・・・部品移載装置、３６２・・・部品吸着ノズル、３６５・・・反転部品吸着ノズル、４０，８２ａ，８２ｂ，８２ｃ・・・パレット搬送装置、５０・・・パレット出入制御装置、６０・・・ストッカ昇降装置、７０，８３ａ，８３ｂ，８３ｃ・・・パレット昇降装置、Ｐ・・・パレット、Ｔ・・・トレイ、ＴＰ・・・トレイ部品、ＤＰ・・・ダイレクトウエハカット部品、ＦＰ・・・フリップウエハカット部品、Ｂ・・・基板、Ｓ・・・部品供給位置、ＨＰ・・・部品採取高さ、ＨＰＰ・・・第２部品採取高さ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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