(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
収容物を収容する容器と、
前記容器を設定位置に位置合わせした状態で下方から支持する容器支持体と、を備え、
前記容器の底部に容器内空間と外部との間を連通可能な連通孔を有する容器側接続部が設けられ、
前記容器支持体に、前記容器内空間への気体の供給を行うための供給孔又は前記容器内空間からの気体の排出を行うための排出孔を備えた支持体側接続部が設けられ、
前記容器が前記容器支持体に支持された載置状態において、前記容器側接続部の下面である容器側接合面と前記支持体側接続部の上面である支持体側接合面とが接合し、前記供給孔又は前記排出孔と前記連通孔とが連通するように構成されている処理設備であって、
前記容器側接続部は、前記容器の下面よりも下方に突出しており、
前記容器側接合面は、前記容器の下面よりも下方に位置する単一の平面で形成され、
前記支持体側接合面は、前記供給孔又は前記排出孔から離れるに従って次第に下方へ向かう形状とされている処理設備。
【請求項２】
前記支持体側接合面が、球面に沿う形状とされている請求項１に記載の処理設備。
【請求項３】
前記支持体側接続部と前記容器支持体との間に、弾性部材が挟まれ、
前記支持体側接続部が、前記弾性部材よりも弾性係数が大きい材質で構成されている請求項１又は２に記載の処理設備。
【請求項４】
前記支持体側接続部の周囲の複数個所において、当該支持体側接続部の水平方向及び上下方向への移動を予め規定された範囲内に規制する規制部材が設けられている請求項３に記載の処理設備。
【請求項５】
前記支持体側接続部が、平面視で円形状に形成されて前記支持体側接合面を有する頂部と、前記頂部よりも小径で前記供給孔又は前記排出孔よりも大径であって前記頂部の下方に隣接して形成された縮径部と、前記縮径部よりも大径であって前記縮径部の下方に隣接して形成された脚部と、を有し、
前記規制部材は、前記縮径部の上下方向寸法より肉薄に形成された挿入部を備え、
前記挿入部は、前記縮径部と重複する高さに位置し、かつ、平面視で前記頂部及び前記脚部の双方と重複するように設けられている請求項４に記載の処理設備。
【請求項６】
前記支持体側接合面の表面粗さがＲａで３．２μｍ〜６．３μｍの範囲内である請求項１〜５の何れか１項に記載の処理設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、収容物を収容する容器と、前記容器を設定位置に位置合わせした状態で下方から支持する容器支持体と、を備え、前記容器の底部に容器内空間と外部との間を連通可能な連通孔を有する容器側接続部が設けられ、前記容器支持体に、前記容器内空間への気体の供給を行うための供給孔又は前記容器内空間からの気体の排出を行うための排出孔を備えた支持体側接続部が設けられ、前記容器が前記容器支持体に支持された載置状態において、前記容器側接続部の下面である容器側接合面と前記支持体側接続部の上面である支持体側接合面とが接合し、前記供給孔又は前記排出孔と前記連通孔とが連通するように構成されている処理設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる処理設備の従来例として、半導体ウェハーを収容するＦＯＵＰ等の容器が容器支持体にて支持された載置状態で、容器内に収容した半導体ウェハーの汚損を防止すべく、容器内空間へのパージガスの供給、又は、容器内空間からの汚染気体の排出を行うように構成されたパージ設備がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１のパージ設備では、支持体側接続部が、上端部に平面視円形状の給排気用の給排孔を備え、当該給排孔の外周部分から、当該給排孔から離れるほど下方に向かう側面視直線状の傾斜面が形成されている。また、容器側接続部として、容器内空間と外部とを連通する連通孔と、連通孔の周囲に設けられ、載置状態において支持体側接続部の傾斜面に側面視で複数点にて接する形状に形成される弾性部材製のシール部と、が備えられている。したがって、載置状態においては、容器側接続部のシール部が側面視で複数点にて支持体側接続部の傾斜面に当接し、かつ、容器の自重によってシール部が支持体側接続部に押し付けられて変形することで、パージガス等の気体が支持体側接続部と容器側接続部との接合部から外部に漏出しないようにシールすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１４７４５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１のように容器側接続部及び支持体側接続部を構成する場合、容器側接続部のシール部を、載置状態において、側面視で複数点にて傾斜面に当接する形状に形成する必要があり、容器側接続体の構成が複雑になる。
そこで、支持体側接合面における供給孔又は排出孔の周囲、及び、容器側接合面における連通孔の周囲をともに平坦面に形成し、載置状態においては、容器側接続部の平坦面部と支持体側接続体の平坦面部とが面接触する状態となるように、支持体側接続体及び容器側接続部を形成することが考えられる。
【０００６】
しかしながら、このような構成では、支持体側接続部と容器側接続部との接触面積が大きいため、容器を長時間載置状態とした場合に支持体側接続体と容器側接続部とが吸着してしまい、容器を容器支持体から別の処理用箇所に移動させる等の為に載置状態を解除する場合に、支持体側接続体又は容器側接続部の一方又は双方に過大な力がかかって変形する等の不都合が発生する虞があった。
【０００７】
そこで、容器側接続体の構成を簡素なものとしながら、支持体側接続部と容器側接続部とが吸着する事態の発生を抑制できる処理設備の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明にかかる処理設備は、収容物を収容する容器と、前記容器を設定位置に位置合わせした状態で下方から支持する容器支持体と、を備え、前記容器の底部に容器内空間と外部との間を連通可能な連通孔を有する容器側接続部が設けられ、前記容器支持体に、前記容器内空間への気体の供給を行うための供給孔又は前記容器内空間からの気体の排出を行うための排出孔を備えた支持体側接続部が設けられ、前記容器が前記容器支持体に支持された載置状態において、前記容器側接続部の下面である容器側接合面と前記支持体側接続部の上面である支持体側接合面とが接合し、前記供給孔又は前記排出孔と前記連通孔とが連通するように構成されている処理設備であって、
前記容器側接続部は、前記容器の下面よりも下方に突出しており、
前記容器側接合面は、前記容器の下面よりも下方に位置する単一の平面で形成され、前記支持体側接合面は、前記供給孔又は前記排出孔から離れるに従って次第に下方へ向かう形状とされている点を特徴とする。
【０００９】
すなわち、容器が容器支持体に支持された載置状態において、容器側接合面と支持体側接合面とは、供給孔又は排出孔と連通孔との連通部分の周囲が接合した状態となって、支持体側接続部と容器側接続部との接合部から気体が外部に漏出しないようにシールすることができる。
このとき、支持体側接合面は、供給孔又は排出孔から離れるに従って次第に下方へ向かう形状であるため、供給孔又は排出孔と連通孔との連通部分から離れるほど、容器側接合面と支持体側接合面とが離間する状態となる。そのため、容器側接合面と支持体側接合面とが接合する面積を小さくすることができ、容器を長時間容器支持体に支持させても、支持体側接続体と容器側接続部とが吸着する事態を抑制できる。
【００１０】
このように、容器側接続体の構成を簡素なものとしながら、支持体側接続体と容器側接続部とが吸着する事態の発生を抑制できる処理設備が実現できるものとなった。
【００１１】
本発明に係る処理設備の実施形態においては、前記支持体側接合面が、球面に沿う形状とされていることが好ましい。
【００１２】
すなわち、支持体側接合面が球面に沿う形状であるため、供給孔又は排出孔と連通孔との連通部分の周囲では、支持体側接合面と容器側接合面が近接することになる。
なお、比較例として、例えば、支持体側接合面が供給孔又は前記排出孔から離れるに従って直線状に下方へ向かう形状とした場合には、容器側接合面と支持体側接合面との接合部分が、供給孔又は排出孔と連通孔との連通部分の周囲において、径方向の厚さが小さい環状に形成されるに留まることになる。これに対して、支持体側接合面が球面に沿う形状に形成した場合、容器側接合面と支持体側接合面との接合部分の径方向の厚さを、上記比較例の場合に比べて大きくすることができ、支持体側接続部と容器側接続部との接合部から気体が外部に漏出しないように適切にシールすることができる。
【００１３】
本発明に係る処理設備の実施形態においては、前記支持体側接続部と前記容器支持体との間に、弾性部材が挟まれ、前記支持体側接続部が、前記弾性部材よりも弾性係数が大きい材質で構成されていることが好ましい。
【００１４】
すなわち、載置状態としたときに弾性部材が弾性変形するので、容器を安定して容器支持体に支持させつつ、容器側接合面と支持体側接合面とを適切に接合させることができる。
また、載置状態において容器が振動した場合においては、弾性部材が弾性変形することによって、容器側接合面と支持体側接合面とが接合した状態に維持することができる。
このように、弾性部材が弾性変形することによって、支持体側接続部と容器側接続部との接合部から気体が外部に漏出しないように適切にシールすることができる。
【００１５】
本発明に係る処理設備の実施形態においては、前記支持体側接続部の周囲の複数個所において、当該支持体側接続部の水平方向及び上下方向への移動を予め規定された範囲内に規制する規制部材が設けられていることが好ましい。
【００１６】
すなわち、支持体側接続部を、その水平方向及び上下方向への移動を予め規定された範囲内に規制する状態で容器支持体に取り付けることによって、支持体側接続部の弾性部材の変形分だけの上下方向への移動を許容しつつ、支持体側接続部を、容器支持体における平面視での所定位置から移動しないように適切に取り付けることができるものとなる。
【００１７】
本発明に係る処理設備の実施形態においては、前記支持体側接続部が、平面視で円形状に形成されて前記支持体側接合面を有する頂部と、前記頂部よりも小径で前記供給孔又は前記排出孔よりも大径であって前記頂部の下方に隣接して形成された縮径部と、前記縮径部よりも大径であって前記縮径部の下方に隣接して形成された脚部と、を有し、前記規制部材は、前記縮径部の上下方向寸法より肉薄に形成された挿入部を備え、前記挿入部は、前記縮径部と重複する高さに位置し、かつ、平面視で前記頂部及び前記脚部の双方と重複するように設けられていることが好ましい。
【００１８】
すなわち、挿入部の上下方向寸法が縮径部の上下方向寸法より肉薄に形成されているため、支持体側接続部は、挿入部の上下方向寸法と縮径部の上下方向寸法との差に相当する上下方向寸法分だけ、上下方向に移動を許容することができる。また、挿入部が上下方向で頂部と脚部との間に挿入される状態となるため、支持体側接続部の上下方向への移動を規制して支持体側接続部を容器支持体に適切に取り付けることができる。
したがって、支持体側接続部を、上下方向への移動を規制しながらも、弾性部材が弾性変形した時の移動を許容する形態で容器支持体に取り付けることができるものとなる。
【００１９】
本発明に係る処理設備の実施形態においては、前記支持体側接合面の表面粗さがＲａで３．２μｍ〜６．３μｍの範囲内であることが好ましい。
【００２０】
すなわち、支持体側接合面の表面粗さが小さくなるほど、支持体側接続部と容器側接続部とが吸着し易いものとなる。一方、支持体側接合面の表面粗さが大きくなるほど、支持体側接合面と容器側接合面とが接合した状態においても、その接合面の間から気体が漏出する虞が高くなる。そして、容器の重量や、供給孔から容器内空間へ供給される気体の供給圧との関係を考慮して鋭意研究を重ねた結果、支持体側接合面の表面粗さをＲａで３．２μｍ〜６．３μｍとすることを見出した。
すなわち、支持体側接合面の表面粗さをＲａで３．２μｍ〜６．３μｍとすることにより、支持体側接続部と容器側接続部とが吸着する状態を適切に抑制できながらも、支持体側接続部と容器側接続部との接合部から気体が外部に漏出しないように適切にシールすることが可能な処理設備を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】基板容器保管設備の構成を示す縦断側面図
【図２】同設備の一部平面図
【図３】容器の一部切欠説明図
【図４】容器支持体の斜視図
【図５】支持体側接続部及びその取り付け構造を示す要部斜視図
【図６】支持体側接続部の縦断側面図
【図７】載置状態における容器側接続部及び支持体側接続部の状態を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の処理設備を、基板容器保管設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
基板容器保管設備は、図１及び図２に示すように、半導体ウェハーを密閉状態で収容するＦＯＵＰ等の容器４を支持する容器支持体１５を上下方向及び左右方向に複数並べて備える保管棚１０と、当該保管棚１０の前面に設置された走行レール８３上を走行自在で容器４を移載自在なスタッカークレーン３とを備えている。
【００２３】
スタッカークレーン３は、走行レール８３上を転動する走行輪（図示省略）を備える走行台車３ａと、走行台車３ａに立設された昇降案内マスト３ｂと、昇降案内マスト３ｂに案内されて昇降移動自在な昇降台３ｃとを備えて構成されている。昇降台３ｃには、容器４を容器支持体１５との間で移載自在なスカラアーム式の移載装置３ｄが設けられている。移載装置３ｄは、容器４を載置自在に構成され、かつ、平面視で昇降台３ｃと重複する引退位置と、容器支持体１５側に突出する突出位置との間で位置を切換え自在に構成されている。
【００２４】
保管棚１０は、前面同士を対向させる形態で一対設けられている。当該一対の保管棚１０のうち一方は、容器４内の半導体ウェハーの汚損を防止するために窒素ガス等の不活性気体を容器４の容器内空間に供給するための供給孔、又は、容器内の気体を容器内空間外に排出する排出孔が備えられた支持体側接続部（後述）が設けられたパージ棚１０ａとして構成され、一対の保管棚１０のうち他方は、支持体側接続部が設けられない非パージ棚１０ｂとして構成されている。スタッカークレーン３の移載装置３ｄは、パージ棚１０ａの容器支持体１５、及び、非パージ棚１０ｂの容器支持体１５の何れに対しても、容器４を移載自在に構成されている。
【００２５】
パージ棚１０ａ、非パージ棚１０ｂ、及びスタッカークレーン３は、壁体１４で囲まれた空間の内部に設置されている。また、壁体１４の外部と内部との間で容器４を搬送する入出庫コンベヤ８４が壁体１４を貫通する状態で設けられている。入出庫コンベヤ８４の壁体１４外方側の端部は、ホイスト式の設備間容器搬送装置２との間で容器４を受け渡しする授受箇所となっている。また、入出庫コンベヤ８４の壁体１４内方側の端部は、スタッカークレーン３の移載装置３ｄとの間で容器４を受け渡しする授受箇所となっている。
【００２６】
容器支持体１５は、図４に示すように、移載装置３ｄが上下に通過する空間を形成すべく、平面視形状がＵ字状となるように形成され、その上面の３か所に、位置決めピン１５ｐが起立状態で装備されている。容器４を容器支持体１５に移載する場合には、移載装置３ｄによって支持される容器４の下面の高さを移載対象の容器支持体１５よりも設定高さ高い位置とするように昇降台３ｃを昇降操作し、移載装置３ｄを突出位置に切換え、引き続き、容器４の下面の高さが移載対象の容器支持体１５よりも設定高さ低い高さとなるまで昇降台３ｃを下降操作する。これにより、容器４は、移載装置３ｄに支持される状態から容器支持体１５に支持される載置状態に切換えられる。
【００２７】
図３に示すように、容器４は、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠した合成樹脂製の気密容器であり、半導体ウェハーＷを収納するウェハー支持体４Ｔを上下方向に複数並べて備え、複数枚の半導体ウェハーＷを収容できるように構成されている。容器４の前面には、着脱自在な蓋体にて開閉される基板出入用の開口が形成され、容器４の上面には、設備間容器搬送装置２により把持されるトップフランジ４Ｆが形成され、そして、容器４の底部４ｍには、容器支持体１５の上面に設けられる３つの位置決めピン１５ｐ（図４参照）の夫々が係合する３つの案内用凹部（図示省略）が形成されている。案内用凹部は、容器４が設定位置であるときに位置決めピン１５ｐの上端に当接する部分が最も深い最深部となり、それ以外の部分が徐々に浅くなる傾斜面状の被案内面となるように形成されている。したがって、容器４を、容器支持体１５に支持された載置状態とすべく下方に移動させるに伴って、容器４が、水平面に沿う方向で設定位置に徐々に移動されるようになっている。すなわち、半導体ウェハーＷを収容する容器４と、当該容器４を設定位置に位置合わせした状態で下方から支持する容器支持体１５とが設けられている。
【００２８】
図３に示すように、容器４の底部には、容器内空間４Ｓに窒素ガスを供給するための連通孔４Ｒを有するグロメット４Ｇが備えられている。グロメット４Ｇは、平面視円形に形成されており、平面視円形の中心に連通孔４Ｒが設けられている。また、グロメット４Ｇの下面における連通孔４Ｒの周囲には平坦に形成された容器側接合面４Ｇｍが形成されている。
なお、グロメット４Ｇの内部には、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢される開閉弁機構４Ｖが設けられている。開閉弁機構４Ｖは、連通孔４Ｒを介して供給される気体、又は、連通孔４Ｒを介して排出される気体の圧力が設定圧力以上となったときのみ開状態となるように構成されている。本実施形態においては、グロメット４Ｇが容器内空間と外部との間を連通可能な連通孔４Ｒを有する容器側接続部に相当する。
【００２９】
図４に示すように、容器支持体１５の夫々には、保管棚１０の棚正面から見て棚奥側に２つ、棚手前側に２つの計４つの支持体側接続部５５が配設されており、棚奥側の２つ及び棚手前右側の１つが、容器４の容器内空間４Ｓへパージガスの供給を行うための供給孔５５Ｒ１を備えた支持体側接続部５５ａとなっている。また、棚手前左側の１つが、容器内空間４Ｓからの気体の排出を行うための排出孔５５Ｒ２を備えた支持体側接続部５５ｂとなっている。
【００３０】
図４及び図５に示すように、パージ棚１０ａにおける容器支持体１５の夫々には、不活性気体を供給する供給配管５１が各別に配設され、供給配管５１が供給流量調節装置５２の流入側接続部に接続されている。また、供給流量調節装置５２の流出側接続部には容器用供給配管５３が接続されている。容器用供給配管５３は、容器支持体１５における支持体側接続部５５ａの設置位置にて、容器支持体１５の上面１５ｍから上方に突出する供給ノズル５３Ｎに接続されており、供給ノズル５３Ｎから不活性気体が噴出するように構成されている。
また、容器支持体１５における支持体側接続部５５ｂの設置位置には、容器支持体１５の上面１５ｍから上方に突出する排出ノズル（図示省略）が設けられている。排出ノズルの容器支持体１５の上面１５ｍから上方における寸法は、供給ノズル５３Ｎと同寸法に形成さている。また、排出ノズルの気体通流方向下流側は開口されており、容器４の容器内空間４Ｓからの気体をこの開口から放出するようになっている。
【００３１】
上記供給孔５５Ｒ１には、供給ノズル５３Ｎが摺動可能に嵌合するようになっており、供給孔５５Ｒ１を通じて不活性気体が噴出する。排出孔５５Ｒ２には、排出ノズルが摺動可能に嵌合するようになっており、排出孔５５Ｒ２を通じて容器内空間４Ｓから気体が排出される。支持体側接続部５５における供給孔５５Ｒ１形成部分及び排出孔５５Ｒ２形成部分の上下方向の寸法は、少なくとも供給ノズル５３Ｎ及び排出ノズルの容器支持体１５の上面１５ｍからの突出高さよりも大きくなるように構成されている。
なお、支持体側接続部５５ａと支持体側接続部５５ｂとは同じ構成であるため、以降、これらを合わせて支持体側接続部５５として説明する。
【００３２】
支持体側接続部５５は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）にて構成されており、図５及び図６に示すように、平面視円形に形成され、かつ、容器４が容器支持体１５に支持された載置状態において、グロメット４Ｇの下面である容器側接合面４Ｇｍと、当該支持体側接続部５５の上面である支持体側接合面５５ｍとが接合し、このとき、供給孔５５Ｒ１と連通孔４Ｒとが連通するように構成されている（排出孔５５Ｒ２についても同様である）。
【００３３】
支持体側接合面５５ｍは、上方に向けて凸となる球面に沿う形状に形成されている。すなわち、支持体側接合面５５ｍは、供給孔５５Ｒ１又は排出孔５５Ｒ２から離れるに従って次第に下方へ向かう形状に形成されている。また、支持体側接合面５５ｍは、表面粗さが、Ｒａ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１で規定される算術平均粗さ）で３．２μｍ〜６．３μｍの範囲内となるように切削加工して形成されている。
【００３４】
支持体側接続部５５は、図６及び図７に示すように、支持体側接合面５５ｍを備える頂部５５Ｔと、頂部５５Ｔよりも小径で供給孔５５Ｒ１又は排出孔５５Ｒ２よりも大径であって頂部５５Ｔの下方に接して形成された縮径部５５Ｓと、縮径部５５Ｓよりも大径であって縮径部５５Ｓの下方に隣接して形成された脚部５５Ｋと、を備えている。
【００３５】
図５〜図７に、この支持体側接続部５５を容器支持体１５に取り付ける取付構造を示す。
図５に示すように、棚奥側の２つの支持体側接続部５５ａは、取付部材５８を用いて容器支持体１５の上面１５ｍに取り付けられ、棚手前右側の支持体側接続部５５ａ、及び、棚手前左側の支持体側接続部５５ｂは、取付部材５９を用いて容器支持体１５の上面１５ｍに取り付けられる。
取付部材５８による支持体側接続部５５の取付方法と、取付部材５９による支持体側接続部５５の取付方法とは同様であるため、取付部材５８による支持体側接続部５５の取付方法を例に説明する。
【００３６】
取付部材５８は、平面視環状の板状部材である第１取付部材５８ａと第２取付部材５８ｂとから構成されている。
第１取付部材５８ａは、厚さが縮径部５５Ｓの上下方向寸法より肉薄に形成され、内径が頂部５５Ｔ及び脚部５５Ｋの径よりも小さく、かつ、外径が頂部５５Ｔ及び脚部５５Ｋの径よりも大きい環状に形成されている。また、第１取付部材５８ａは径方向に２分割されている。
第２取付部材５８ｂは、上下方向寸法が脚部５５Ｋの上下方向寸法と後述するシート状の弾性部材５６の上下方向寸法とを合わせた寸法よりも大きく、且つ、内径が脚部５５Ｋの径よりも若干大きい寸法とされ、外径が第１取付部材５８ａと同じ寸法の環状に形成されている。また、第１取付部材５８ａ及び第２取付部材５８ｂには、容器支持体１５に設けられる取付用ビス孔に対応する貫通孔が設けられている。
弾性部材５６は、薄肉状でかつ中心に供給ノズル５３Ｎ貫通用の孔部５６Ｈを備えた環状のゴムシート（支持体側接続部５５の材質であるＰＴＦＥより弾性係数が小さい材質）で構成されている。孔部５６Ｈの径方向の寸法は、供給ノズル５３Ｎの筒外径寸法と同じ、又は、供給ノズル５３Ｎの筒外径寸法よりも若干小さい寸法となるように形成されている。
すなわち、支持体側接続部５５と容器支持体１５との間に弾性部材５６が挟まれ、支持体側接続部５５が、弾性部材５６よりも弾性係数が大きい材質で構成されている。
【００３７】
そして、支持体側接続部５５を容器支持体１５に取り付ける場合には、供給ノズル５３Ｎを弾性部材５６の孔部５６Ｈに貫通させる状態で、弾性部材５６の下面を容器支持体１５の上面１５ｍに当接する状態で設置する。
【００３８】
続けて、第１取付部材５８ａを、内縁部分５８ｋが支持体側接続部５５の頂部５５Ｔと脚部５５Ｋとに挟まれる状態となり、かつ、内縁部分５８ｋが平面視で頂部５５Ｔ及び脚部５５Ｋの双方と重複する状態となるように支持体側接続部５５の縮径部５５Ｓに嵌合し、さらに、第１取付部材５８ａの下方となる部分（つまり脚部５５Ｋ側）に第２取付部材５８ｂを重ねて、第１取付部材５８ａ及び第２取付部材５８ｂの貫通孔を貫通する状態でビス５７にて容器支持体１５に締めつけ固定する。このとき、内縁部分５８ｋは、縮径部５５Ｓと重複する高さに位置することになる。
これにより、支持体側接続部５５は、第１取付部材５８ａの上下寸法と縮径部５５Ｓの上下寸法との差に相当する距離の上下移動を許容されつつも、容器支持体１５における平面視での所定位置から移動しないように容器支持体１５に取り付けることができる。
【００３９】
また、支持体側接続部５５の下部には弾性部材５６が設けられているので、支持体側接続部５５は、上下移動を許容されつつも上方に付勢され、グロメット４Ｇの下面である容器側接合面４Ｇｍと支持体側接続部５５の上面である支持体側接合面５５ｍとが適切に接合する状態とすることができる。
【００４０】
本実施形態では、第１取付部材５８ａが規制部材に相当し、第１取付部材５８ａの内縁部分５８ｋが規制部材の挿入部に相当する。すなわち、支持体側接続部５５の周囲において、当該支持体側接続部５５の水平方向及び上下方向への移動を予め規定された範囲内に規制する規制部材が設けられている。また、規制部材は、縮径部５５Ｓの上下方向寸法より肉薄に形成された内縁部分５８ｋを備え、内縁部分５８ｋは、縮径部５５Ｓと重複する高さに位置し、かつ、平面視で頂部５５Ｔ及び脚部５５Ｋの双方と重複するように設けられている。
【００４１】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、支持体側接合面５５ｍを上方に凸状の球面に沿う形状とする例を説明したが、支持体側接合面５５ｍを、供給孔５５Ｒ１又は排出孔５５Ｒ２から離れるに従って直線状に下方へ向かう形状（すなわち円錐状）や、供給孔５５Ｒ１又は排出孔５５Ｒ２の軸心に沿う方向を短半径又は長半径とする回転楕円体に沿う形状に形成してもよい。
【００４２】
（２）上記実施形態では、支持体側接続部５５と容器支持体１５との間に弾性部材５６としてゴムシートを挟む例を説明したが、弾性部材５６は、ゴムシートに限定されるものではなく、ＰＴＦＥよりも弾性係数が小さい他の材質のものを使用してもよい。また、シール性を確保したうえで、例えばバネ等を支持体側接続部５５と容器支持体１５との間に介在させる構成としてもよい。
【００４３】
（３）上記実施形態では、第１取付部材５８ａの内縁部分５８ｋを挿入部として用いる例を示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、第１取付部材５８ａを環状に形成し、かつその内径を頂部５５Ｔ及び脚部５５Ｋよりも大径とし、第１取付部材５８ａの内縁の周方向の複数個所から、縮径部５５Ｓの上下方向寸法より肉薄の棒状体を突出させて、当該棒状体を挿入部として用いるように構成してもよい。
【００４４】
（４）上記実施形態では、支持体側接続部５５を、平面視で円形状に形成されて支持体側接合面５５ｍを有する頂部５５Ｔと、頂部５５Ｔよりも小径で供給孔５５Ｒ１又は排出孔５５Ｒ２よりも大径であって頂部５５Ｔの下方に隣接して形成された縮径部５５Ｓと、縮径部５５Ｓよりも大径であって縮径部５５Ｓの下方に隣接して形成されたと脚部５５Ｋと、を備えて構成したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、円柱状部の上端に支持体側接合面５５ｍを形成し、円柱状部の下端に、円柱状部よりも大径の板状に形成された脚部５５Ｋを備える構成としてもよい。この場合、支持体側接続部５５を容器支持体１５に取り付けるには、平面視で脚部５５Ｋよりも大きい板状の押え部を備えかつ円柱状部を挿入可能な孔部を有する取付部材を用いることができ-る。すなわち、取付部材の孔部に円柱状部を挿入した状態で、押え部を、脚部５５Ｋの上下方向寸法と弾性部材５６の上下方向寸法とを合わせた寸法よりも容器支持体１５の上面１５ｍから離間した位置で容器支持体１５に固定することによって、支持体側接続部５５を、上下方向に移動自在でかつ水平方向及び上下方向への移動を予め規定された範囲内に規制する状態で容器支持体１５に取り付けることができる。
【００４５】
（５）上記実施形態では、容器４を、半導体基板Ｗを収容するＦＯＵＰとする例を説明したが、このような構成に限定されるものではない。例えば、容器４の収容物を食品とし、供給する気体を酸化抑制用気体とする等、各種の処理設備に適用可能である。
【符号の説明】
【００４６】
４        容器
４Ｇ      容器側接続部
４Ｇｍ    容器側接合面
４Ｒ      連通孔
４Ｓ      容器内空間
１５      容器支持体
５５      支持体側接続部
５５Ｋ    脚部
５５Ｒ１  供給孔
５５Ｒ２  排出孔
５５Ｓ    縮径部
５５Ｔ    頂部
５５ｍ    支持体側接合面
５６      弾性部材
５８、５９  規制部材
５８ｋ    挿入部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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