(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延在する放電管を有し、前記放電管内を流れるレーザガスを放電励起してレーザ光を発生させる放電励起部と、
前記放電管の延在方向における端壁の外側に取り付けられた光学部品を有し、前記放電管内で発生したレーザ光を共振させる光共振部と、
前記端壁と、前記端壁の反対側に位置する前記放電管の他の端壁と、の間に位置する前記放電管の部分に設けられた吸気口と排気口とを連絡してレーザガスの循環路を形成する送風配管と、を備えるレーザ発振装置であって、
前記放電管の前記端壁には、前記放電管の内側と前記光学部品との間を連絡する貫通穴が形成されており、
レーザガスを前記循環路に供給する供給源、及びレーザガスを前記循環路から排出する排気ポンプの両方が、前記送風配管の途中に接続されており、前記光学部品の前面の空間内には接続されておらず、
前記貫通穴には、前記貫通穴を通って前記光学部品に向かうレーザガスの流れを阻害する阻害部材が配置されており、
前記貫通穴、前記光学部品、及び前記阻害部材の各々が、前記放電管の延在方向の両側に設けられており、
前記阻害部材が中空の筒状体の形態を有し、前記阻害部材の外周面と前記貫通穴の内周面との間に、前記光学部品に向かって前記阻害部材の内側を通過したレーザガスの一部が流入する空隙が設けられている、レーザ発振装置。
【請求項２】
前記貫通穴が円柱状の形態を有し、前記阻害部材が円筒状の形態を有し、
前記阻害部材の内径が、前記貫通穴の直径の６５％〜８０％の範囲内にある、請求項１に記載のレーザ発振装置。
【請求項３】
前記阻害部材が、銅、真鍮、アルミニウム、又はアルミナから形成される、請求項１または２に記載のレーザ発振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属材料及び樹脂材料等の切断及び溶接等を主な用途とするレーザ加工機に搭載され、放電管内を流れるレーザガスを放電励起してレーザ光を発生させるガス循環式のレーザ発振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
環状の送風路内を高速で循環する混合ガスを放電励起することによってレーザ光を発生させるレーザ発振装置が広く普及している。このようなレーザ発振装置はガス循環式のレーザ発振装置と称される。ガス循環式のレーザ発振装置においては、組み立て時に送風路内に混入した塵埃又は微粒子、及び励起放電時に石英製の放電管の内壁が削られて発生した石英粉末等の異物が混合ガスと一緒に送風路内を循環することがある。さらに、混合ガスの放電励起時に発生したオゾンの酸化反応によって種々の酸化物が生成されることもある。これら異物が部分反射鏡及び全反射鏡等の光学部品に付着するとレーザ光の出力が低下するので、光学部品の洗浄又は交換が必要になることがある。これに関連して、特許文献１には、出力側の共振器とリア側の共振器とを連結する支持棒が高温のレーザガスから受ける熱的影響を最小限に抑えるために、レーザガスの送風ガイドを兼ねた保護カバーを支持棒の近傍に配置した構造を有するガスレーザ発振器が提案されている。
【０００３】
また、特許文献２には、同一円周上に配置された複数のスリット状のレーザガス導入口を採用することによって、レーザガス導入口付近で発生しうる乱流、及びそれによる電極粉等の異物の巻き上げを防止するレーザ発振装置が提案されている。さらに、特許文献２のレーザ発振装置は、レーザガス導入口を反射鏡の近傍に配置した構造を有しており、レーザガス導入口から反射鏡の近傍に供給されるレーザガスのガス圧を高めることによって、レーザ共振空間内で発生した不純物が反射鏡に飛来することを防止している。ところが、特許文献２のレーザ発振装置の構造によると、レーザガスの供給配管の内壁に付着していた異物が反射鏡の近傍に排出されることがあり、それにより却って反射鏡が汚染される虞がある。また、特許文献３には、製造工程において発生する塵埃を除去しやすいとされるプレート型の熱交換器を採用したレーザ発振装置が提案されている。ところが、特許文献３のレーザ発振装置は、その組み立て時に熱交換器内の異物が送風路に混入することを防止できるにすぎず、レーザガスの放電励起に伴い発生する異物が光学部品を汚染することまでは防止できない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１６７１３１号公報
【特許文献２】実開２００３−１１０１７１号公報
【特許文献３】特開平５−１０２５７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
レーザガスに混入した塵埃が光学部品に付着することを防止できるガス循環式のレーザ発振装置が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様によれば、一方向に延在する放電管を有し、放電管内を流れるレーザガスを放電励起してレーザ光を発生させる放電励起部と、前記放電管の延在方向における端壁の外側に取り付けられた光学部品を有し、放電管内で発生したレーザ光を共振させる光共振部と、端壁と、端壁の反対側に位置する放電管の他の端壁と、の間に位置する放電管の部分に設けられた吸気口と排気口とを連絡してレーザガスの循環路を形成する送風配管と、を備えるレーザ発振装置であって、放電管の端壁には、放電管の内側と光学部品との間を連絡する貫通穴が形成されており、レーザガスを循環路に供給する供給源、及びレーザガスを循環路から排出する排気ポンプの両方が、送風配管の途中に接続されており、光学部品の前面の空間内には接続されておらず、貫通穴には、貫通穴を通って光学部品に向かうレーザガスの流れを阻害する阻害部材が配置されており、貫通穴、光学部品、及び阻害部材の各々が、放電管の延在方向の両側に設けられており、阻害部材が筒状の形態を有し、阻害部材の外周面と貫通穴の内周面との間に、光学部品に向かって阻害部材の内側を通過したレーザガスの一部が流入する空隙が設けられている、レーザ発振装置が提供される。
本発明の第２の態様によれば、第１の態様において、貫通穴が円柱状の形態を有し、阻害部材が円筒状の形態を有し、阻害部材の内径が、貫通穴の直径の６５％〜８０％の範囲内にある、レーザ発振装置が提供される。
本発明の第３の態様によれば、第１または第２の態様において、阻害部材が、銅、真鍮、アルミニウム、又はアルミナから形成される、レーザ発振装置が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の第１の態様によれば、放電管の端壁の貫通穴を通って光学部品に向かうレーザガスの流れが阻害部材によって阻害されるので、レーザガスに混入した塵埃が光学部品に付着したり光学部品を損傷したりすることを防止できる。従って、第１の態様によれば、光学部品の汚損に伴うレーザ出力の低下を抑制できるので、光学部品の寿命を長期化できるようになる。
さらに、本発明の第１の態様によれば、筒状の阻害部材の内側を通過したレーザガスの一部が、阻害部材の外周面と貫通穴の内周面との間に設けられた空隙に流入しうるので、光学部品に衝突するレーザガスの流量を減少させることができる。従って、第１の態様によれば、レーザガスに混入した塵埃が光学部品に付着する確率を低下させることができる。
さらに、第１の態様によれば、外部から供給されるレーザガスが光学部品に直接的に吹き付けられることはないので、レーザガスの供給配管内に存在しうる汚損物が光学部品に付着することを防止できる。さらに、第４の態様によれば、光学部品がレーザガスの排出に伴う局所的な流れに曝されることはないので、レーザガスに混入した塵埃が光学部品に付着する確率を低下させることができる。
さらに、第１の態様によれば、レーザガスの流れを阻害する阻害部材が放電管の延在方向の両側に設けられるので、レーザガスに混入した塵埃が一対の光学部品の各々に付着したり一対の光学部品の各々を損傷したりすることを防止できる。
本発明の第２の態様によれば、円筒状の阻害部材の内側を通過して光学部品に向かうレーザガスの流量を減少させることができるので、レーザガスに混入した塵埃が光学部品に付着する確率を低下させることができる。
本発明の第３の態様によれば、阻害部材が高い熱伝導性を有するので、放電管内に発生する高エネルギーのレーザ光によって阻害部材が過熱されることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の１つの実施形態のレーザ発振装置の従断面図である。
【図２】図１における放電管の第１支持部の近傍を拡大して示す部分拡大図である。
【図３】図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】図２における円筒状の阻害部材の内側を通過したレーザガスの流れについて説明するための概略図である。
【図５】本実施形態のレーザ発振装置における阻害部材の取付構造の変形例を示す、図２と同様の部分拡大図である。
【図６】図５中のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。各図面において、同様の構成要素には同様の符号が付与されている。なお、以下の記載は、特許請求の範囲に記載される発明の技術的範囲や用語の意義等を限定するものではない。
【００１０】
図１〜図６を参照して、本発明の１つの実施形態のレーザ発振装置について説明する。本実施形態のレーザ発振装置は、二酸化炭素ガス、窒素ガス、及びヘリウムガス等を主成分とするレーザガスを高速で循環させ、そのレーザガスに対する高周波放電によって二酸化炭素ガスを励起してレーザ光を発生させる、ガス循環式のレーザ発振装置である。本実施形態のレーザ発振装置は、金属材料及び樹脂材料等の切断及び溶接等を主な用途とするレーザ加工機に搭載されうる。図１は、本実施形態の例示的なレーザ発振装置Ｌの縦断面図である。図１では、後述する放電管の近傍のみが断面で示されている。
【００１１】
図１のように、本例のレーザ発振装置Ｌは、放電管１０内を流れるレーザガスを放電励起してレーザ光を発生させる放電励起部１と、放電管１０内で発生したレーザ光を共振させる光共振部２と、放電管１０の吸気口ＩＰと排気口ＥＰを連絡してレーザガスの循環路を形成する送風配管３と、を備えている。図１のように、本例の放電管１０及び送風配管３は、連続した内部空間を有する環状の密閉容器を構成しており、この密閉容器は、後述する排気ポンプ３６の排気バルブ（図示しない）及びレーザガス供給源３７の給気バルブＶのみで外部と接続されている。この密閉容器内のレーザガスは、後述する送風機３３によって図１中の矢印Ａ１１の方向に高速で循環される。本例の放電励起部１、光共振部２、及び送風配管３の詳細について以下に説明する。
【００１２】
先ず、本例の放電励起部１について説明する。図１のように、本例の放電励起部１は、一方向に延在する中空の放電管１０と、放電管１０内に配置された一対の電極（図示しない）と、を備えており、それら電極に高周波電圧を印加することによって放電管１０内のレーザガスを放電励起するようになっている。これにより放電管１０内でレーザ光の誘導放出が引き起こされる。図１のように、本例の放電管１０は、レーザガスが放電励起される内部空間を有する筒状の放電部１１と、放電部１１の一方の端部から外向きに延在する筒状の第１支持部１２１と、放電部１１の他方の端部から外向きに延在する筒状の第２支持部１２２と、を有している。図１のように、本例の第１支持部１２１及び第２支持部１２２の各々は、放電部１１を送風配管３に対して支持している。
【００１３】
図１のように、第１支持部１２１及び第２支持部１２２の各々の内部空間は、放電部１１の内部空間と連続している。また、第１支持部１２１及び第２支持部１２２の各々における放電部１１との接触箇所には、放電管１０内のレーザガスを密封するためのＯリングが装着されている。そして、第１支持部１２１の延在方向の先端は、第１端壁１３１によって閉塞されており、第１端壁１３１には、第１支持部１２１と平行に延在する円柱状の貫通穴１４１が形成されている。同様に、第２支持部１２２の延在方向の先端は第２端壁１３２によって閉塞されており、第２端壁１３２には、第２支持部１２２と平行に延在する円柱状の貫通穴１４２が形成されている。さらに、筒状の第１支持部１２１の周壁には、放電部１１を通過したレーザガスが排気される排気口ＥＰが形成されており、筒状の第２支持部１２２の周壁には、送風配管３を通過したレーザガスが吸気される吸気口ＩＰが形成されている。
【００１４】
続いて、本例の光共振部２について説明する。図１のように、本例の光共振部２は、放電管１０を挟むように配置された第１光学部品２１及び第２光学部品２２から構成されている。本例の第１光学部品２１は、放電管１０内で発生したレーザ光の略全体を反射する全反射鏡である。より具体的に、本例の第１光学部品２１は、放電管１０の第１端壁１３１の外側に取り付けられた円盤状の本体部２１１と、放電管１０に対向する本体部２１１の平面上に設けられた円状の鏡面部２１２と、を有している。第１光学部品２１の鏡面部２１２は、例えば、銅製、ゲルマニウム結晶製、又はシリコン結晶製の本体部２１１に対する金、アルミニウム、又はフッ素化合物等の多層膜の真空蒸着によって形成されうる。第１光学部品２１の鏡面部２１２は９９．５％以上の反射率を有する。
【００１５】
また、本例の第２光学部品２２は、放電管１０内で発生したレーザ光の一部のみを反射する部分反射鏡である。より具体的に、本例の第２光学部品２２は、放電管１０の第２端壁１３２の外側に取り付けられた円盤状の本体部２２１と、放電管１０に対向する本体部２２１の平面上に設けられた円状の鏡面部２２２と、を有している。第２光学部品２２の鏡面部２２２は、セレン化亜鉛（ＺｎＳｅ）製の本体部２２１に対するアルミニウム又はフッ素化合物等の多層膜の真空蒸着によって形成されうる。第２光学部品２２の鏡面部２２２は１０％〜８０％程度の反射率を有する。以上の構造を有する光共振部２は、放電管１０内で発生したレーザ光を共振させることによって所定の出力のレーザビームを生成する。より具体的に、本例の光共振部２は、誘導放出により発生したレーザ光を一対の鏡面部２１２，２２２で繰り返し反射して増幅し、その一部をレーザビームとして部分反射鏡（すなわち、第２光学部品２２）から出力する。このようにして出力されたレーザビームの光軸が図１中の矢印Ａ１２で表されている。
【００１６】
引き続き図１を参照すると、放電管１０の第１端壁１３１に形成された貫通穴１４１は、放電管１０の内部空間と第１光学部品２１の鏡面部２１２との間を連絡している。すなわち、第１光学部品２１の鏡面部２１２は、貫通穴１４１を介して放電管１０の内部空間に露出されている。同様に、放電管１０の第２端壁１３２に形成された貫通穴１４２は、放電管１０の内部空間と第２光学部品２２の鏡面部２２２との間を連絡している。すなわち、第２光学部品２２の鏡面部２２２は、貫通穴１４２を介して放電管１０の内部空間に露出されている。そして、放電管１０の貫通穴１４１，１４２の各々には、そこを通って鏡面部２１２，２２２のそれぞれに向かうレーザガスの流れを阻害する阻害部材４が配置されている。より具体的に、第１端壁１３１の貫通穴１４１には、放電部１１を通過したレーザガスが第１光学部品２１の鏡面部２１２に向かって流れることを阻害する阻害部材４が配置されている。同様に、第２端壁１３２の貫通穴１４２には、送風配管３を通過したレーザガスが第２光学部品２２の鏡面部２２２に向かって流れることを阻害する阻害部材４が配置されている。これら阻害部材４，４の詳細な構造については後述する。
【００１７】
続いて、本例の送風配管３について説明する。図１のように、本例の送付配管３は、放電管１０の排気口ＥＰに接続される第１接続口３１と、放電管１０の吸気口ＩＰに接続される第２接続口３２と、を有している。すなわち、本例の送風配管３は、放電管１０の放電部１１を通過して排気口ＥＰから排出されたレーザガスを吸気口ＩＰまで送風するレーザガスの循環路を形成している。図１のように、本例の送風配管３の概ね中間地点には、図中の矢印Ａ１１で表される循環路に沿ってレーザガスを循環させる送風機３３が設置されている。また、放電管１０内で放電励起されたレーザガスは高温であるので、送風配管３における送風機３３の上流及び下流の所定の箇所には、放電管１０を通過したレーザガスを冷却する熱交換機３４，３５がそれぞれ設置されている。さらに、送風配管３における上流側の熱交換器３４と送風機３３との間には、放電管１０を通過したレーザガスの一部を循環路から排出する排気ポンプ３６が接続されており、排気ポンプ３６と送風機３３との間には、清浄なレーザガスを循環路に供給するガスボンベ等のレーザガス供給源３７がフィルタＦ及びバルブＶを介して接続されている。
【００１８】
続いて、上述した一対の阻害部材４，４の詳細な構造について説明する。なお、本例による一対の阻害部材４，４は共通の構造を有するので、以下では、放電管１０における第１端壁１３１の貫通穴１４１に配置された阻害部材４のみについて説明する。図２は、図１における放電管１０の第１端壁１３１の近傍を拡大して示す部分拡大図である。図２中の矢印Ａ２０はレーザガスの循環路の一部を表している。図２のように、本例の阻害部材４が第１端壁１３１の貫通穴１４１に配置されることによって、貫通穴１４１の延在方向に垂直な方向の断面積が縮小されるので、貫通穴１４１を通って鏡面部２１２に向かうレーザガスの流れの一部が阻害される。その結果、貫通穴１４１を通過して鏡面部２１２に到達するレーザガスの流量が減少するので、レーザガスに混入した塵埃が鏡面部２１２に付着したり鏡面部２１２自体を損傷したりすることを防止できる。
【００１９】
図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩに沿った断面図である。図２及び図３のように、本例の阻害部材４は、筒状の放電管１０と平行に配置された円筒状の形態を有しており、その外周面には、半径方向の外向きに突出する複数のリブ部材５が設けられている。図３のように、本例の阻害部材４の外周面には、周方向に沿って等間隔に配置された４つのリブ部材５が設けられている。これらリブ部材５は、阻害部材４の外周面に接着又は溶接されてもよいし、阻害部材４と一体に形成されてもよい。そして、これらリブ部材５の各々の先端面が貫通穴１４１の内周面と接触することによって、阻害部材４が貫通穴１４１に取り付けられる。
【００２０】
図２及び図３のように、本例による４つのリブ部材５は共通の寸法及び形状を有するので、円筒状の阻害部材４は円柱状の貫通穴１４１と同心状に配置される。また、本例の阻害部材４は放電管１０の内部空間に露出されている（図２参照）。この内部空間では誘導放出による高エネルギーのレーザ光が発生するので、本例の阻害部材４は熱伝導性に優れた材料から形成されることが好ましい。本例の阻害部材４は、銅、真鍮、若しくはアルミニウム等の金属材料、又はアルミナのような熱伝導性に優れたセラミック材料から形成されうる。なお、上述した阻害部材４の取付構造は一例にすぎず、本実施形態のレーザ発振装置Ｌは、本例とは異なる種々の取付構造を採用しうる。阻害部材４の取付構造の変形例については後述する。
【００２１】
図３のように、円筒状の阻害部材４の外周面と円柱状の貫通穴１４１の内周面との間には、リブ部材５に対応する寸法の空隙Ｇが形成されている、この空隙Ｇは、レーザガスに混入した塵埃が鏡面部２１２に付着する確率を低下させる効果を発揮しうる。この効果について以下に詳細に説明する。図４は、図２における阻害部材４の近傍をさらに拡大して示す部分拡大図である。図４中の複数の矢印は、円筒状の阻害部材４の内側を通過するレーザガスの流れを表している。図４のように、阻害部材４の一方の開口部４１から流入したレーザガスが阻害部材４の内側で加圧されると、反対側の開口部４２において発生する噴流によって、阻害部材４の内側を通過したレーザガスの流れが減速されるとともに、その流れの一部が上記の空隙Ｇに流れ込む。これにより鏡面部２１２に到達するレーザガスの流量が減少しうるので、レーザガスに混入した塵埃が鏡面部２１２に付着する確率を低下させることができ、結果的に、第１光学部品２１の寿命を長期化することができる。
【００２２】
再び図２及び図３を参照して、本例の阻害部材４の具体的な寸法について説明する。先ず、光共振部２の鏡面部２１２，２２２間を往復するレーザ光の光軸が遮られることのないように、円筒状の阻害部材４の内径ａ1は、円状の鏡面部２１２の直径ｄ1と概ね等しくされる。或いは、阻害部材４及び鏡面部２１２等の寸法公差を考慮して、阻害部材４の内径ａ1は、鏡面部２１２の直径ｄ1よりも５％程度大きくされてもよい（この場合は、ａ1＝１．０５×ｄ1である）。さらに、放電部１１を通過したレーザガスが貫通穴１４１ではなく送風配管３に流入することを促進するために、円筒状の阻害部材４の内径ａ1は、送風配管３の第１接続口３１の内径Ｄ1よりも十分に小さくされる。より具体的に、本例の阻害部材４の内径ａ1は送風配管３の内径Ｄ1の２５％である（すなわち、ａ1＝０．２５×Ｄ1である）。なお、円状の鏡面部２１２の直径ｄ1は、円盤状の本体部２１１の直径ｄ0の０．９倍以下にされる（すなわち、ｄ1≦０．９×ｄ0である）。
【００２３】
また、貫通穴１４１を通過して鏡面部２１２に到達するレーザガスの流量を、内径寸法が異なる複数の阻害部材４について測定したところ、阻害部材４の内径ａ1が貫通穴１４１の直径Ｄ0の６５％〜８０％程度であるときに上記の流量が大きく減少した。すなわち、阻害部材４の内径ａ1は以下の関係式（１）を満足していることが好ましい。さらに、貫通穴１４１の直径Ｄ0が４０ｍｍであるときには、阻害部材４の内径ａ1が貫通穴の直径Ｄ0の６８％〜７８％であるときに上記の流量が特に大きく減少した。すなわち、貫通穴１４１の直径Ｄ0が４０ｍｍであるときには、阻害部材４の内径ａ1が２７ｍｍ〜３１ｍｍの範囲内であることが特に好ましい。
【数１】
0006031064.tif 000002
【００２４】
また、鏡面部２１２に到達するレーザガスの流量を減少させるためには、上記の空隙Ｇの半径方向の寸法ｇが４ｍｍ以下であることが好ましい。空隙Ｇの半径方向の寸法ｇは以下の関係式（２）で表されるので、円筒状の阻害部材４の外径ａ2は以下の関係式（３）を満足していることが好ましい。さらに、円筒状の阻害部材４の延在方向の寸法（すなわち、図２の左右方向の寸法）は２０ｍｍ以上であることが好ましい。なお、図２に示されるように阻害部材４の全体が貫通穴１４１に配置されてもよいし、阻害部材４の延在方向の一部が貫通穴１４１から放電部１１側に突き出ていてもよい。
【数２】
0006031064.tif 000003
【数３】
0006031064.tif 000004
【００２５】
次に、図５及び図６を参照して、阻害部材４の取付構造の変形例について説明する。図５は、本実施形態のレーザ発振装置Ｌにおける阻害部材４の取付構造の変形例を示す、図２と同様の部分拡大図である。図５中の矢印Ａ５０はレーザガスの循環路の一部を表している。また、図６は、図５中のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。図５及び図６のように、本例の取付構造において、円筒状の阻害部材４の外周面には、半径方向の外向きに突出する単一のリブ部材５が設けられており、リブ部材５の突出方向の先端には、リブ部材５の突出方向と垂直に延在するフランジ部材６が設けられている。また、本例による放電管１０の第１端壁１３１には、阻害部材４を貫通穴１４１内に挿入可能な挿入穴ＩＨがさらに形成されている。この挿入穴ＩＨは、第１端壁１３１の外周面から半径方向の内向きに延在して貫通穴１４１に到達する。図５及び図６のように、第１端壁１３１の外周面における挿入穴ＩＨの開口部はフランジ部材６によって閉塞される。そして、フランジ部材６における第１端壁１３１の外周面との接触箇所には、放電管１０内のレーザガスを密封するためのＯリングが装着される。
【００２６】
このように、本例の取付構造においては、フランジ部材６が第１端壁１３１の外周面に当接することによって阻害部材４が貫通穴１４１に取り付けられる。ここで、円筒状の阻害部材４の外側を通過して鏡面部２１２に到達するレーザガスの流量を減少させるためには、リブ部材５の突出方向（すなわち、図５の上下方向）及び阻害部材４の延在方向（すなわち、図５の左右方向）の両方に垂直なリブ部材５の幅方向の寸法ｂ1が阻害部材４の外径ａ1と概ね等しくされ、かつ、リブ部材５の幅方向の端面と、それに対向する挿入穴ＩＨの内壁との間の距離ｂ2が０．５ｍｍ程度とされることが好ましい（図６参照）。本例の取付構造を採用すると、貫通穴１４１に配置された阻害部材４を鏡面部２１２の寸法及び形状等に応じて容易に交換できるようになる。なお、第１端壁１３１の外周面における挿入穴ＩＨの位置は、図５及び図６に示す例のみに限定されない。
【００２７】
以上のように、本実施形態のレーザ発振装置Ｌによれば、放電管１０の貫通穴１４１，１４２を通って光共振部２の鏡面部２１２，２２２のそれぞれに向かうレーザガスの流れが阻害部材４，４によって阻害されるので、レーザガスに混入した塵埃が鏡面部２１２，２２２に付着したり鏡面部２１２，２２２を損傷したりすることを防止できる。従って、本実施形態のレーザ発振装置Ｌによれば、鏡面部２１２，２２２の汚損に伴うレーザ出力の低下を抑制できるので、第１光学部品２１及び第２光学部品２２の寿命を長期化できるようになる。また、本実施形態のレーザ発振装置Ｌにおいては、レーザガスを循環路に供給するレーザガス供給源が、放電管１０の吸気口ＩＰと排気口ＥＰを連絡する送風配管３の途中に接続されている。従って、本実施形態のレーザ発振装置Ｌにおいては、レーザガス供給源３７から供給されるレーザガスが鏡面部２１２，２２２に直接的に吹き付けられることはないので、レーザガスの供給配管内に存在しうる汚損物が鏡面部２１２，２２２に付着することを防止できる。さらに、本実施形態のレーザ発振装置Ｌにおいては、レーザガスを循環路から排出する排気ポンプ３６も、レーザガス供給源３７と同様に、送風配管３の途中に接続されている。従って、本実施形態のレーザ発振装置Ｌにおいては、鏡面部２１２，２２２がレーザガスの排気に伴い発生する局所的な流れに曝されることはないので、レーザガスに混入した塵埃が鏡面部２１２，２２２に付着する確率を低下させることができる。
【００２８】
本発明は、上記の実施形態のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内で種々改変されうる。従って、上記の実施形態に記載されたレーザ発振装置Ｌの各部の寸法、形状、及び材質等は一例にすぎず、本発明の効果を達成するために多様な寸法、形状、及び形状等が採用されうる。例えば、本発明のレーザ発振装置Ｌの阻害部材４は、必ずしも上述した円筒状の形態を有する必要はなく、光共振部２によって繰り返し反射されるレーザ光と干渉しない任意の形態を有しうる。
【符号の説明】
【００２９】
１    放電励起部
１０    放電管
１１    放電部
１２１    第１支持部
１２２    第２支持部
１３１    第１端壁
１３２    第２端壁
１４１    貫通穴
１４２    貫通穴
２    光共振部
２１    第１光学部品
２１１    本体部
２１２    鏡面部
２２    第２光学部品
２２１    本体部
２２２    鏡面部
３    送風配管
３１    第１接続口
３２    第２接続口
３３    送風機
３４    熱交換器
３５    熱交換器
３６    排気ポンプ
３７    レーザガス供給源
４    阻害部材
４１    開口部
４２    開口部
５    リブ部材
６    フランジ部材
Ｇ    空隙
ＥＰ    排気口
ＩＰ    吸気口
Ｌ    レーザ発振装置
Ｖ    バルブ
Ｆ    フィルタ
【図１】
0006031064.tif 000005
【図２】
0006031064.tif 000006
【図３】
0006031064.tif 000007
【図４】
0006031064.tif 000008
【図５】
0006031064.tif 000009
【図６】
0006031064.tif 000010