(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面処理される平行な両側縁部をもつ薄い基板製品を処理槽の搬入口から処理槽内に水平に搬入する水平搬入手段と、多数のクランプが周回移動される対の水平搬送手段を前記基板製品の搬送通路の両側に配設し、処理槽内に搬入された前記基板製品の両側縁部を搬送通路の両側を移動する複数のクランプで掴持し、処理槽の処理液中を前記基板製品の板面が上下になる水平姿勢で一定の水平通過ラインを一方向に連続搬送し、このクランプ搬送行程中に前記基板製品を表面処理するクランプ式水平搬送装置と、処理槽内で表面処理された前記基板製品を処理槽の搬出口から処理槽外に水平に搬出する水平搬出手段を備えた水平搬送式表面処理装置において、
前記水平搬入手段を、前記処理槽の搬入口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬入口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬入されるようにした、搬入口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬入駆動ローラと、クランプ搬送行程の始部位置より搬送方向の先方位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラと、下の搬入駆動ローラと下の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬入駆動ローラと上の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬入駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで処理液中を搬入駆動ローラの位置からクランプ搬送行程の始部位置より搬送方向の先方位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第一搬入丸ベルトと、前記上下の搬入駆動ローラと、前記処理槽の搬入口の外側近くの位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラと、下の搬入駆動ローラと下の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬入駆動ローラと上の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬入駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬入口を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで前記処理槽の搬入口の外側近くの位置から搬入口を通過した搬入駆動ローラの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第二搬入丸ベルトで構成し、
前記水平搬出手段を、前記処理槽の搬出口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬出口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬出されるようにした、搬出口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬出駆動ローラと、クランプ搬送行程の終部位置より搬送方向の後方位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラと、下の搬出駆動ローラと下の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬出駆動ローラと上の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬出駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで処理液中をクランプ搬送行程の終部位置より搬送方向の後方位置から搬出駆動ローラの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬出する上下の第一搬出丸ベルトと、前記上下の搬出駆動ローラと、前記処理槽の搬出口の外側近くの位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラと、下の搬出駆動ローラと下の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬出駆動ローラと上の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬出駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬出口を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで前記搬出駆動ローラの位置から搬出口を通過した処理槽の外側位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第二搬出丸ベルトで構成したことを特徴とする、水平搬送式表面処理装置の搬入及び搬出手段。
【請求項２】
表面処理される平行な両側縁部をもつ薄い基板製品を処理槽の搬入口から処理槽内に水平に搬入する水平搬入手段と、多数のクランプが周回移動される対の水平搬送手段を前記基板製品の搬送通路の両側に配設し、処理槽内に搬入された前記基板製品の両側縁部を搬送通路の両側を移動する複数のクランプで掴持し、処理槽の処理液中を前記基板製品の板面が上下になる水平姿勢で一定の水平通過ラインを一方向に連続搬送し、このクランプ搬送行程中に前記基板製品を表面処理するクランプ式水平搬送装置と、処理槽内で表面処理された前記基板製品を処理槽の搬出口から処理槽外に水平に搬出する水平搬出手段を備えた水平搬送式表面処理装置において、
前記水平搬入手段は、前記処理槽の搬入口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬入口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬入されるようにした、搬入口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬入駆動ローラと、前記基板製品を水平通過ラインに沿って前記処理槽の搬入口までクランプ搬送と同じ送り速度で搬入する、搬入方向に間隔をおいて多数並べて配設した回転駆動ローラによって基板製品の下面を支持して搬入する搬入コンベアと、この搬入コンベアによって搬送される前記基板製品の通過位置に該基板製品をクランプ搬送行程による基板搬送通路の延長線状にある所定の搬入通路を通過するように整列させる基板通過位置整列装置を備え、
前記水平搬出手段は、前記処理槽の搬出口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬出口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬出されるようにした、搬出口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬出駆動ローラを備え、
前記基板通過位置整列装置は、前記通過位置を通過する基板製品の位置を検知する位置検知手段と、この通過位置の搬入通路の両側の対向位置に搬入方向に間隔をおいて複数並べて配設した基板整列手段を備え、これらの基板整列手段は、固定配置されたシリンダーの進退動ロッドに装着され、前記位置検知手段で通過する基板製品を検知することによって、後退した待機位置から通過する基板の側縁部に向け同時に同ストローク進出し基板が所定の搬入通路を通過するように整列させる進出位置に進出し、再び待機位置に同時に後退して戻る一連の進退移動を行うように制御された整列部を備え、この整列部は、ボール軸受で水平方向に回動自在に支持された整列板と、ボール軸受部を間にした両側に整列板の背面側に向けた規制端部を配し、この規制端部で整列板の整列面を通過基板の側縁部に向けた一定の回動範囲内で回動されるように規制する回動規制部を備えたことを特徴とする、水平搬送式表面処理装置の搬入及び搬出手段。
【請求項３】
表面処理される平行な両側縁部をもつ薄い基板製品を処理槽の搬入口から処理槽内に水平に搬入する水平搬入手段と、多数のクランプが周回移動される対の水平搬送手段を前記基板製品の搬送通路の両側に配設し、処理槽内に搬入された前記基板製品の両側縁部を搬送通路の両側を移動する複数のクランプで掴持し、処理槽の処理液中を前記基板製品の板面が上下になる水平姿勢で一定の水平通過ラインを一方向に連続搬送し、このクランプ搬送行程中に前記基板製品を表面処理するクランプ式水平搬送装置と、処理槽内で表面処理された前記基板製品を処理槽の搬出口から処理槽外に水平に搬出する水平搬出手段を備えた水平搬送式表面処理装置において、
前記水平搬入手段を、前記処理槽の搬入口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬入口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬入されるようにした、搬入口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬入駆動ローラと、クランプ搬送行程の始部位置より搬送方向の先方位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラと、下の搬入駆動ローラと下の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬入駆動ローラと上の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬入駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで処理液中を搬入駆動ローラの位置からクランプ搬送行程の始部位置より搬送方向の先方位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第一搬入丸ベルトと、前記上下の搬入駆動ローラと、前記処理槽の搬入口の外側近くの位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラと、下の搬入駆動ローラと下の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬入駆動ローラと上の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬入駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬入口を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで前記処理槽の搬入口の外側近くの位置から搬入口を通過した搬入駆動ローラの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第二搬入丸ベルトで構成し、
更に、前記水平搬入手段は、前記基板製品を水平通過ラインに沿って前記第二搬入丸ベルトまで第二搬入丸ベルトの送り速度と同じ送り速度で搬入する、搬入方向に間隔をおいて多数並べて配設した回転駆動ローラによって基板製品の下面を支持して搬入する搬入コンベアと、この搬入コンベアによって搬送される前記基板製品の通過位置に該基板製品をクランプ搬送行程による基板搬送通路の延長線状にある所定の搬入通路を通過するように整列させる基板通過位置整列装置を備え、
前記基板通過位置整列装置は、前記通過位置を通過する基板製品の位置を検知する位置検知手段と、この通過位置の搬入通路の両側の対向位置に搬入方向に間隔をおいて複数並べて配設した基板整列手段を備え、これらの基板整列手段は、固定配置されたシリンダーの進退動ロッドに装着され、前記位置検知手段で通過する基板製品を検知することによって、後退した待機位置から通過する基板の側縁部に向け同時に同ストローク進出し基板が所定の搬入通路を通過するように整列させる進出位置に進出し、再び待機位置に同時に後退して戻る一連の進退移動を行うように制御された整列部を備え、この整列部は、ボール軸受で水平方向に回動自在に支持された整列板と、ボール軸受部を間にした両側に整列板の背面側に向けた規制端部を配し、この規制端部で整列板の整列面を通過基板の側縁部に向けた一定の回動範囲内で回動されるように規制する回動規制部を備え、
前記水平搬出手段を、前記処理槽の搬出口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬出口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬出されるようにした、搬出口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬出駆動ローラと、クランプ搬送行程の終部位置より搬送方向の後方位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラと、下の搬出駆動ローラと下の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬出駆動ローラと上の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬出駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで処理液中をクランプ搬送行程の終部位置より搬送方向の後方位置から搬出駆動ローラの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬出する上下の第一搬出丸ベルトと、前記上下の搬出駆動ローラと、前記処理槽の搬出口の外側近くの位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラと、下の搬出駆動ローラと下の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬出駆動ローラと上の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬出駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬出口を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで前記搬出駆動ローラの位置から搬出口を通過した処理槽の外側位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第二搬出丸ベルトで構成したことを特徴とする、水平搬送式表面処理装置の搬入及び搬出手段。
【請求項４】
前記基板整列手段は、固定配置されたシリンダーの進退動ロッドに装着され、前記位置検知手段で通過する基板製品を検知することによって、後退した待機位置から通過する基板の側縁部に向け同時に同ストローク進出し基板が所定の搬入通路を通過するように整列させる進出位置に進出し、再び待機位置に同時に後退して戻る一連の進退移動を行うように制御された整列部を備え、この整列部は、ボール軸受で水平方向に回動自在に支持された整列板と、ボール軸受部を間にした両側に整列板の背面側に向けた規制端部を配し、この規制端部で整列板の整列面を通過基板の側縁部に向けた一定の回動範囲内で回動されるように規制する回動規制部を備え、更に、この基板整列手段は、固定配置された固定ガイドを備え、この固定ガイドは、進退移動する整列板を水平にガイドする進退移動方向に延びる水平ガイド部と、待機位置に後退した前記整列板の基板搬送方向側の背面端部を係止し、この係止状態で前記整列板の整列面を基板受け入れ側が広げられた傾斜面状態に規制する係止部を備えたことを特徴とする、請求項２又は３に記載の水平搬送式表面処理装置の搬入及び搬出手段。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水平搬送式表面処理装置における基板製品の搬入及び搬出手段に係り、薄いフレキシブルな基板製品でもスムーズ且つ的確に搬送できる水平搬入手段と水平搬出手段に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面処理される平行な両側縁部をもつ薄い基板製品を処理槽の搬入口から処理槽内に水平に搬入する水平搬入手段と、多数のクランプが周回移動される対の水平搬送手段を前記基板製品の搬送通路の両側に配設し、処理槽内に搬入された前記基板製品の両側縁部を搬送通路の両側を移動する複数のクランプで掴持し、処理槽（電解メッキ処理槽）の処理液中（電解メッキ処理液）を前記基板製品の板面が上下になる水平姿勢で一定の水平通過ラインを一方向に連続搬送し、このクランプ搬送行程中に前記基板製品を表面処理するクランプ式水平搬送装置と、処理槽内で表面処理された前記基板製品を処理槽の搬出口から処理槽外に水平に搬出する水平搬出手段を備えた水平搬送式表面処理装置において、前記水平搬入手段及び水平搬出手段として、処理槽の搬入口と搬出口に処理液の槽外流出を防ぐ上下のシールローラをそれぞれ配設し、定位置で回転駆動される上下のシールローラの間を基板製品が水平に通過されるようにし、搬入口から処理槽内に薄い基板製品を水平に搬入し、搬出口から処理槽外に薄い基板製品を水平に搬出するようにした技術が公知である。（例えば、特許文献１）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−６８４９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上下のシールローラの間を基板製品が通過する際、フレキシブルな基板製品が極めて薄い場合（例えば５０μ前後の薄いフレキシブル基板）は、極めて薄い基板製品が回転駆動するシールローラに巻き付いてしまう弊害があった。また、上下のシールローラの間を薄い基板製品が通過する際、基板製品が所定の搬送位置からズレてしまう弊害があった。また、搬入側の上下のシールローラを通過してクランプで掴持される位置（クランプ搬送行程の始部位置）までの処理槽内の処理液中、及びクランプ解放位置（クランプ搬送行程の終部位置）から搬出側の上下のシールローラを通過する位置までの処理槽内の処理液中を極めて薄い基板製品を傷つけずに水平搬送させるのは技術的に困難であった。
【０００５】
本発明は、このような弊害を解決するために提案されたものである。すなわち、本発明の第一の解決課題は、極めて薄いフレキシブルな基板製品であっても、この基板製品が回転駆動する上下のシールローラに巻き付かず、上下のシールローラの間をズレなくスムーズに水平に通過できるようにすると共に、搬入側の上下のシールローラを通過してクランプで掴持される位置（クランプ搬送行程の始部位置）までの処理槽内の処理液中、及びクランプ解放位置（クランプ搬送行程の終部位置）から搬出側の上下のシールローラを通過する位置までの処理槽内の処理液中を基板製品が傷つけずに一定の水平通過ラインをスムーズに水平搬送できるようにする装置を提供することである。これによって、処理槽内の搬送通路の両側を移動する複数のクランプで搬入された薄い基板製品の両側縁部を的確に掴持できるようにすることである。
【０００６】
また、処理槽の搬入口まで搬送ローラで供給される搬入行程中の薄い基板製品が、この搬入行程で所定の搬入通路から外れた状態で搬送されると、処理槽内の搬送通路の両側を移動する複数のクランプで基板製品の両側縁部を的確に掴持できず、最悪の場合はクランプで掴持できない問題があった。
【０００７】
本発明は、このような弊害を解決するために提案されたものである。すなわち、本発明の第二の解決課題は、処理槽の搬入口まで供給される搬入行程中の薄い基板製品が、通過位置からズレている場合は所定の搬入通路を通過するように整列させる装置を提供し、よって、処理槽内の搬送通路の両側を移動する複数のクランプで搬入された薄い基板製品の両側縁部を的確に掴持できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第一の課題を解決するため、本発明（請求項１の発明）は、表面処理される平行な両側縁部をもつ薄い基板製品を処理槽の搬入口から処理槽内に水平に搬入する水平搬入手段と、多数のクランプが周回移動される対の水平搬送手段を前記基板製品の搬送通路の両側に配設し、処理槽内に搬入された前記基板製品の両側縁部を搬送通路の両側を移動する複数のクランプで掴持し、処理槽の処理液中を前記基板製品の板面が上下になる水平姿勢で一定の水平通過ラインを一方向に連続搬送し、このクランプ搬送行程中に前記基板製品を表面処理するクランプ式水平搬送装置と、処理槽内で表面処理された前記基板製品を処理槽の搬出口から処理槽外に水平に搬出する水平搬出手段を備えた水平搬送式表面処理装置において、前記水平搬入手段を、前記処理槽の搬入口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬入口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬入されるようにした、搬入口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬入駆動ローラと、クランプ搬送行程の始部位置より搬送方向の先方位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラと、下の搬入駆動ローラと下の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬入駆動ローラと上の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬入駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで処理液中を搬入駆動ローラの位置からクランプ搬送行程の始部位置より搬送方向の先方位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第一搬入丸ベルトと、前記上下の搬入駆動ローラと、前記処理槽の搬入口の外側近くの位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラと、下の搬入駆動ローラと下の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬入駆動ローラと上の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬入駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬入口を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで前記処理槽の搬入口の外側近くの位置から搬入口を通過した搬入駆動ローラの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第二搬入丸ベルトで構成し、前記水平搬出手段を、前記処理槽の搬出口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬出口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬出されるようにした、搬出口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬出駆動ローラと、クランプ搬送行程の終部位置より搬送方向の後方位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラと、下の搬出駆動ローラと下の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬出駆動ローラと上の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬出駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで処理液中をクランプ搬送行程の終部位置より搬送方向の後方位置から搬出駆動ローラの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬出する上下の第一搬出丸ベルトと、前記上下の搬出駆動ローラと、前記処理槽の搬出口の外側近くの位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラと、下の搬出駆動ローラと下の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬出駆動ローラと上の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬出駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬出口を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで前記搬出駆動ローラの位置から搬出口を通過した処理槽の外側位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第二搬出丸ベルトで構成したことを特徴とする、水平搬送式表面処理装置の搬入及び搬出手段を提供する。
【０００９】
また、第二の課題を解決するため、本発明（請求項２の発明）は、表面処理される平行な両側縁部をもつ薄い基板製品を処理槽の搬入口から処理槽内に水平に搬入する水平搬入手段と、多数のクランプが周回移動される対の水平搬送手段を前記基板製品の搬送通路の両側に配設し、処理槽内に搬入された前記基板製品の両側縁部を搬送通路の両側を移動する複数のクランプで掴持し、処理槽の処理液中を前記基板製品の板面が上下になる水平姿勢で一定の水平通過ラインを一方向に連続搬送し、このクランプ搬送行程中に前記基板製品を表面処理するクランプ式水平搬送装置と、処理槽内で表面処理された前記基板製品を処理槽の搬出口から処理槽外に水平に搬出する水平搬出手段を備えた水平搬送式表面処理装置において、前記水平搬入手段は、前記処理槽の搬入口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬入口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬入されるようにした、搬入口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬入駆動ローラと、前記基板製品を水平通過ラインに沿って前記処理槽の搬入口までクランプ搬送と同じ送り速度で搬入する、搬入方向に間隔をおいて多数並べて配設した回転駆動ローラによって基板製品の下面を支持して搬入する搬入コンベアと、この搬入コンベアによって搬送される前記基板製品の通過位置に該基板製品をクランプ搬送行程による基板搬送通路の延長線状にある所定の搬入通路を通過するように整列させる基板通過位置整列装置を備え、前記水平搬出手段は、前記処理槽の搬出口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬出口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬出されるようにした、搬出口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬出駆動ローラを備え、前記基板通過位置整列装置は、前記通過位置を通過する基板製品の位置を検知する位置検知手段と、この通過位置の搬入通路の両側の対向位置に搬入方向に間隔をおいて複数並べて配設した基板整列手段を備え、これらの基板整列手段は、固定配置されたシリンダーの進退動ロッドに装着され、前記位置検知手段で通過する基板製品を検知することによって、後退した待機位置から通過する基板の側縁部に向け同時に同ストローク進出し基板が所定の搬入通路を通過するように整列させる進出位置に進出し、再び待機位置に同時に後退して戻る一連の進退移動を行うように制御された整列部を備え、この整列部は、ボール軸受で水平方向に回動自在に支持された整列板と、ボール軸受部を間にした両側に整列板の背面側に向けた規制端部を配し、この規制端部で整列板の整列面を通過基板の側縁部に向けた一定の回動範囲内で回動されるように規制する回動規制部を備えたことを特徴とする、水平搬送式表面処理装置の搬入及び搬出手段を提供する。
【００１０】
第一と第二の課題を解決するため、本発明（請求項３の発明）は、表面処理される平行な両側縁部をもつ薄い基板製品を処理槽の搬入口から処理槽内に水平に搬入する水平搬入手段と、多数のクランプが周回移動される対の水平搬送手段を前記基板製品の搬送通路の両側に配設し、処理槽内に搬入された前記基板製品の両側縁部を搬送通路の両側を移動する複数のクランプで掴持し、処理槽の処理液中を前記基板製品の板面が上下になる水平姿勢で一定の水平通過ラインを一方向に連続搬送し、このクランプ搬送行程中に前記基板製品を表面処理するクランプ式水平搬送装置と、処理槽内で表面処理された前記基板製品を処理槽の搬出口から処理槽外に水平に搬出する水平搬出手段を備えた水平搬送式表面処理装置において、前記水平搬入手段を、前記処理槽の搬入口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬入口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬入されるようにした、搬入口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬入駆動ローラと、クランプ搬送行程の始部位置より搬送方向の先方位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラと、下の搬入駆動ローラと下の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬入駆動ローラと上の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬入駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで処理液中を搬入駆動ローラの位置からクランプ搬送行程の始部位置より搬送方向の先方位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第一搬入丸ベルトと、前記上下の搬入駆動ローラと、前記処理槽の搬入口の外側近くの位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラと、下の搬入駆動ローラと下の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬入駆動ローラと上の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬入駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬入口を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで前記処理槽の搬入口の外側近くの位置から搬入口を通過した搬入駆動ローラの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第二搬入丸ベルトで構成し、更に、前記水平搬入手段は、前記基板製品を水平通過ラインに沿って前記第二搬入丸ベルトまで第二搬入丸ベルトの送り速度と同じ送り速度で搬入する、搬入方向に間隔をおいて多数並べて配設した回転駆動ローラによって基板製品の下面を支持して搬入する搬入コンベアと、この搬入コンベアによって搬送される前記基板製品の通過位置に該基板製品をクランプ搬送行程による基板搬送通路の延長線状にある所定の搬入通路を通過するように整列させる基板通過位置整列装置を備え、前記基板通過位置整列装置は、前記通過位置を通過する基板製品の位置を検知する位置検知手段と、この通過位置の搬入通路の両側の対向位置に搬入方向に間隔をおいて複数並べて配設した基板整列手段を備え、これらの基板整列手段は、固定配置されたシリンダーの進退動ロッドに装着され、前記位置検知手段で通過する基板製品を検知することによって、後退した待機位置から通過する基板の側縁部に向け同時に同ストローク進出し基板が所定の搬入通路を通過するように整列させる進出位置に進出し、再び待機位置に同時に後退して戻る一連の進退移動を行うように制御された整列部を備え、この整列部は、ボール軸受で水平方向に回動自在に支持された整列板と、ボール軸受部を間にした両側に整列板の背面側に向けた規制端部を配し、この規制端部で整列板の整列面を通過基板の側縁部に向けた一定の回動範囲内で回動されるように規制する回動規制部を備え、前記水平搬出手段を、前記処理槽の搬出口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬出口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬出されるようにした、搬出口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬出駆動ローラと、クランプ搬送行程の終部位置より搬送方向の後方位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラと、下の搬出駆動ローラと下の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬出駆動ローラと上の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬出駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで処理液中をクランプ搬送行程の終部位置より搬送方向の後方位置から搬出駆動ローラの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬出する上下の第一搬出丸ベルトと、前記上下の搬出駆動ローラと、前記処理槽の搬出口の外側近くの位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラと、下の搬出駆動ローラと下の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬出駆動ローラと上の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬出駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬出口を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで前記搬出駆動ローラの位置から搬出口を通過した処理槽の外側位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第二搬出丸ベルトで構成したことを特徴とする、水平搬送式表面処理装置の搬入及び搬出手段を提供する。
【００１１】
また、本発明（請求項４の発明）は、前記基板通過位置整列装置の前記基板整列手段に、更に、固定配置された固定ガイドを備え、この固定ガイドは、進退移動する整列板を水平にガイドする進退移動方向に延びる水平ガイド部と、待機位置に後退した前記整列板の基板搬送方向側の背面端部を係止し、この係止状態で前記整列板の整列面を基板受け入れ側が広げられた傾斜面状態に規制する係止部を備えたものを提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明（請求項１、３の発明）によれば、水平搬入手段の上下の第一搬入丸ベルトと上下の第二搬入丸ベルトによって、薄いフレキシブルな基板製品を処理槽の搬入口の外側位置から搬入口及び搬入側の上下のシールローラ（上下の搬入駆動ローラ）を通過した処理槽内のクランプで掴持される位置（クランプ搬送行程の始部位置）まで一定の水平通過ラインをスムーズに水平搬送できる。よって、極めて薄いフレキシブルな基板製品であっても、この基板製品が回転駆動する上下のシールローラ（上下の搬入駆動ローラ）に巻き付かず、上下のシールローラの間をズレなくスムーズに水平通過できると共に、搬入側の上下のシールローラを通過してクランプで掴持される位置（クランプ搬送行程の始部位置）までの処理槽内の処理液中でも基板製品を傷つけずに一定の水平通過ラインをスムーズに水平搬送できる。これによって、処理槽内の搬送通路の両側を移動する複数のクランプで搬入された薄い基板製品の両側縁部を的確に掴持できる。
【００１３】
また、本発明（請求項１、３の発明）によれば、水平搬出手段の上下の第一搬出丸ベルトと上下の第二搬出丸ベルトによって、薄いフレキシブルな基板製品をクランプ解放位置（クランプ搬送行程の終部位置）から搬出側の上下のシールローラ（上下の搬出駆動ローラ）及び搬出口を通過した処理槽の外側位置まで一定の水平通過ラインをスムーズに水平搬送できる。よって、極めて薄いフレキシブルな基板製品であっても、この基板製品が回転駆動する上下のシールローラ（上下の搬出駆動ローラ）に巻き付かず、上下のシールローラの間をズレなくスムーズに水平通過できると共に、クランプ解放位置（クランプ搬送行程の終部位置）から搬出側の上下のシールローラを通過する位置までの処理槽内の処理液中でも基板製品を傷つけずに一定の水平通過ラインをスムーズに水平搬送できる。
【００１４】
また、本発明（請求項２、３、４の発明）によれば、水平搬入手段の基板通過位置整列装置によって、処理槽の搬入口まで供給される搬入行程中の薄い基板製品を通過位置で所定の搬入通路を通過するように整列させることができる。この整列装置によって、処理槽内の搬送通路の両側を移動する複数のクランプで搬入された薄い基板製品の両側縁部を的確に掴持できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の全体概略正面図である。
【図２】本発明の全体概略平面図である。
【図３】水平搬入手段の搬入丸ベルトを拡大して示した正面図である。
【図４】水平搬入手段の基板通過位置整列装置の基板整列手段を拡大して示した、（Ａ）は拡大平面図、（Ｂ）は拡大側面図、（Ｃ）は拡大正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の実施形態を図面に基づき説明する。図１，２は水平搬送式表面処理装置の全体を示している。この水平搬送式表面処理装置は、表面処理される平行な両側縁部をもつ薄いフレキシブルな基板製品Ｐを処理槽１の搬入口２から処理槽１内に水平に搬入する水平搬入手段Ａと、多数のクランプ５が周回移動される対の水平搬送手段４，４を前記基板製品Ｐの搬送通路Ｒの両側に配設し、処理槽１内に搬入された基板製品Ｐの両側縁部を搬送通路Ｒの両側を移動する複数のクランプ５で掴持し、処理槽（例えば、電解メッキ処理槽）１の処理液Ｗ中を基板製品Ｐの板面が上下になる水平姿勢で一定の水平通過ラインＨＬを一方向に連続搬送し、このクランプ搬送行程中（クランプ搬送行程の範囲を符号６で示し、クランプ搬送行程の始部を符号６Ａ、クランプ搬送行程の終部を符号６Ｂで示している。）に基板製品Ｐを表面処理するクランプ式水平搬送装置Ｂと、処理槽１内で表面処理された前記基板製品Ｐを処理槽１の搬出口３から処理槽外に水平に搬出する水平搬出手段Ｃを備えている。この水平搬送式表面処理装置は、水平搬送式の電解メッキ処理装置として用いることができる。
【００１７】
クランプ式水平搬送装置Ｂの水平搬送手段４は、処理槽１内の前記基板製品Ｐの搬送通路Ｒの両側に配設され、それぞれ対のローラ７に巻架されてエンドレスに周回駆動される周回駆動手段８（チェーンや歯付ベルト）に等間隔に多数のクランプ５（図２ではクランプ５を一部範囲のみ示した。）を取り付けてある。このクランプ５は、矩形の基板製品Ｐの場合は、基板製品Ｐの側縁部の複数箇所を掴持できる間隔に取り付けてある。
【００１８】
このクランプ５は、上下方向に開閉する上下クランプ部を備え、周回移動されるクランプ５が、処理槽１内の搬送通路Ｒの始部を通過移動する際に開状態から基板製品Ｐの側縁部を掴持可能な閉状態に制御され、基板製品Ｐをクランプ搬送し、搬送通路Ｒの終部を通過移動する際に閉状態から基板製品Ｐの側縁部を解放可能な開状態に制御されるように構成してある。
【００１９】
クランプ式水平搬送装置Ｂの水平搬送手段４の製品送り速度は、１分当たり３００ｍｍ〜２０００ｍｍとしてあり、基板製品の表面処理条件によって可変としてある。前記水平搬入手段Ａ及び水平搬出手段Ｃは水平搬送手段４の製品送り速度と同じ製品送り速度にしてある。
【００２０】
前記水平搬入手段Ａについて図３を加えて説明する。この水平搬入手段Ａは、前記処理槽１の搬入口２の内側近くの位置に対の上下のローラを搬入口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの定位置での回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品Ｐが上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬入されるようにした、搬入口２から処理液Ｗの流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬入駆動ローラ１０Ａ，１０Ｂ（下の搬入駆動ローラ１０Ａ，上の搬入駆動ローラ１０Ｂ）と、基板製品Ｐを対応する上下の丸ベルトＯＢで挟んで処理液Ｗ中を前記搬入駆動ローラ１０Ａ，１０Ｂの位置からクランプ搬送行程６の始部６Ａ位置より搬送方向の先方位置まで一定の水平通過ラインＨＬを水平に搬送する上下の第一搬入丸ベルト１２Ａ，１２Ｂ（下の第一搬入丸ベルト１２Ａ，上の第一搬入丸ベルト１２Ｂ）と、基板製品Ｐを対応する上下の丸ベルトＯＢで挟んで前記処理槽１の搬入口２の外側近くの位置から搬入口２を通過した搬入駆動ローラ１０Ａ，１０Ｂの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第二搬入丸ベルト１６Ａ，１６Ｂ（下の第二搬入丸ベルト１６Ａ，上の第二搬入丸ベルト１６Ｂ）を備えている。断面丸形状の丸ベルトＯＢは、耐薬品性及び耐腐食性を有する樹脂製のものが好ましい。
【００２１】
前記上下の搬入駆動ローラ（上下のシールローラ）１０Ａ，１０Ｂは、搬入方向に基板製品を水平に送るべく定位置で互いに逆回転駆動される平行なローラが上下位置で接する様に配設され、上下のシールローラ間を通過搬送される基板製品の送り速度をクランプ搬送の製品送り速度と同じにしてある。上下の搬入駆動ローラ（上下のシールローラ）１０Ａ，１０Ｂには、ロール全周に周方向の溝１０ａをローラの巾方向に間隔を空けて複数形成し、この周方向の溝１０ａに断面丸形状の丸ベルトＯＢを嵌めて掛け渡せるようにしてある。この周方向の溝１０ａに丸ベルトＯＢを嵌めて掛け渡すことによって、上下の搬入駆動ローラ（上下のシールローラ）１０Ａ，１０Ｂのシール効果の減少を防いでいる。上下二段の搬入駆動ローラ（上下のシールローラ）１０Ａ，１０Ｂの上段位置に処理液Ｗの流出を防ぐためのシールローラ１１を更に配設し、この追加したシールローラ１１を加えて開口部を上下方向に長くした搬入口２から処理液Ｗの流出を防いでいる。
【００２２】
前記上下の第一搬入丸ベルト１２Ａ，１２Ｂは、前記上下の搬入駆動ローラ１０Ａ，１０Ｂと、クランプ搬送行程６の始部６Ａ位置より搬送方向の先方位置に配設され、前記基板製品Ｐの水平通過ラインＨＬを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラ１３Ａ，１３Ｂと、下の搬入駆動ローラ１０Ａと下の内側案内用ローラ１３Ａの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルトＯＢ、上の搬入駆動ローラ１０Ｂと上の内側案内用ローラ１３Ｂの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトＯＢによって構成され、前記搬入駆動ローラ１０Ａ，１０Ｂの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品Ｐを対応する上下の丸ベルトＯＢで挟んで処理液Ｗ中を搬入駆動ローラ１０Ａ，１０Ｂの位置からクランプ搬送行程６の始部６Ａ位置より搬送方向の先方位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送するように構成してある。
【００２３】
内側案内用ローラ１３Ａ，１３Ｂは、固定した支持部材１４Ａ，１４Ｂに搬入駆動ローラ１０Ａ，１０Ｂの回転駆動軸と平行な回転軸が回転自在に支持され、この回転軸の軸方向に間隔を空けて複数のプーリーを取り付けて構成してある。この内側案内用ローラ１３Ａ，１３Ｂには、ローラ全周に周方向の溝１３ａを形成し、この周方向の溝に丸ベルトＯＢを嵌めて掛け渡せるようにしてある。下の搬入駆動ローラ１０Ａと下の内側案内用ローラ１３Ａの中間位置に定位置で回転自在に支持された中間案内用ローラ１５を配設し、下の第一搬入丸ベルト１２Ａの弛みを防いでいる。内側案内用ローラ１３Ａ，１３Ｂ及び中間案内用ローラ１５は、前記搬入駆動ローラ（上下のシールローラ）１０Ａ，１０Ｂと同径にしてある。
【００２４】
前記上下の第二搬入丸ベルト１６Ａ，１６Ｂは、前記上下の搬入駆動ローラ１０Ａ，１０Ｂと、前記処理槽１の搬入口２の外側近くの位置に配設され、前記基板製品Ｐの水平通過ラインＨＬを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラ１７Ａ，１７Ｂと、下の搬入駆動ローラ１０Ａと下の外側案内用ローラ１７Ａの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルトＯＢ、上の搬入駆動ローラ１０Ｂと上の外側案内用ローラ１７Ｂの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトＯＢによって構成され、前記搬入駆動ローラ１０Ａ，１０Ｂの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬入口２を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトＯＢで挟んで前記処理槽１の搬入口２の外側近くの位置から搬入口２を通過した搬入駆動ローラ１０Ａ，１０Ｂの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送するように構成してある。
【００２５】
外側案内用ローラ（プーリー）１７Ａ，１７Ｂは、固定した支持部材１８に搬入駆動ローラ１０Ａ，１０Ｂの回転駆動軸と平行な回転軸が回転自在に支持され、この回転軸の軸方向に間隔を空けて複数のプーリーを取り付けて構成してある。この外側案内用ローラ１７Ａ，１７Ｂには、ローラ全周に周方向の溝１７ａを形成し、この周方向の溝に丸ベルトＯＢを嵌めて掛け渡せるようにしてある。この外側案内用ローラ１７Ａ，１７Ｂは、前記搬入駆動ローラ（上下のシールローラ）１０Ａ，１０Ｂと同径にしてある。図３のように、下の外側案内用ローラ１７Ａを基板製品の水平通過ラインＨＬに接するように配設し、上の外側案内用ローラ１７Ｂを下の外側案内用ローラ１７Ａから少し離間させて配設してある。これによって、水平な下の第二搬入丸ベルト１６Ａに対して上の第二搬入丸ベルト１６Ｂの受け入れ側を上方に少し離間させ、上下の第二搬入丸ベルト１６Ａ，１６Ｂ間に受け入れる基板製品の受け入れを容易にしている。
【００２６】
次に、前記水平搬出手段Ｃについて説明する。この水平搬出手段Ｃは、前記処理槽１の搬出口３の内側近くの位置に対の上下のローラを搬出口３の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの定位置での回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品Ｐが上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインＨＬで水平に搬出されるようにした、搬出口３から処理液Ｗの流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬出駆動ローラ２０Ａ，２０Ｂ（下の搬出駆動ローラ２０Ａ，上の搬出駆動ローラ２０Ｂ）と、基板製品Ｐを対応する上下の丸ベルトＯＢで挟んで処理液Ｗ中をクランプ搬送行程６の終部６Ｂ位置より搬送方向の後方位置から搬出駆動ローラ２０Ａ，２０Ｂの位置まで一定の水平通過ラインＨＬを水平に搬出する上下の第一搬出丸ベルト２２Ａ，２２Ｂ（下の第一搬出丸ベルト２２Ａ，上の第一搬出丸ベルト２２Ｂ）と、基板製品Ｐを対応する上下の丸ベルトＯＢで挟んで前記搬出駆動ローラ２０Ａ，２０Ｂの位置から搬出口３を通過した処理槽１の外側位置まで一定の水平通過ラインＨＬを水平に搬送する上下の第二搬出丸ベルト２６Ａ，２６Ｂ（下の第二搬出丸ベルト２６Ａ，上の第二搬出丸ベルト２６Ｂ）を備えている。断面丸形状の丸ベルトＯＢは、耐薬品性及び耐腐食性を有する樹脂製のものが好ましい。
【００２７】
前記上下の搬出駆動ローラ（上下のシールローラ）２０Ａ，２０Ｂは、搬出方向に基板製品を水平に送るべく定位置で互いに逆回転駆動される平行なローラが上下位置で接する様に配設され、上下のシールローラ間を通過搬送される製品の送り速度をクランプ搬送の製品送り速度と同じにしてある。上下の搬出駆動ローラ（上下のシールローラ）２０Ａ，２０Ｂには、ロール全周に周方向の溝をローラの巾方向に間隔を空けて複数形成し、この周方向の溝に断面丸形状の丸ベルトＯＢを嵌めて掛け渡せるようにしてある。この周方向の溝に丸ベルトＯＢを嵌めて掛け渡すことによって、上下の搬出駆動ローラ（上下のシールローラ）２０Ａ，２０Ｂのシール効果の減少を防いでいる。上下二段の搬出駆動ローラ（上下のシールローラ）２０Ａ，２０Ｂの上段位置に処理液Ｗの流出を防ぐためのシールローラ２１を更に配設し、この追加したシールローラ２１を加えて開口部を上下方向に長くした搬出口３から処理液Ｗの流出を防いでいる。
【００２８】
前記上下の第一搬出丸ベルト２２Ａ，２２Ｂは、前記上下の搬出駆動ローラ２０Ａ，２０Ｂと、クランプ搬送行程６の終部６Ｂ位置より搬送方向の後方位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインＨＬを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラ２３Ａ，２３Ｂと、下の搬出駆動ローラ２０Ａと下の内側案内用ローラ２３Ａの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルトＯＢ、上の搬出駆動ローラ２０Ｂと上の内側案内用ローラ２３Ｂの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトＯＢによって構成され、前記搬出駆動ローラ２０Ａ，２０Ｂの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品Ｐを対応する上下の丸ベルトＯＢで挟んで処理液Ｗ中をクランプ搬送行程６の終部６Ｂ位置より搬送方向の後方位置から前記搬出駆動ローラ２０Ａ，２０Ｂの位置まで一定の水平通過ラインＨＬを水平に搬出するように構成してある。
【００２９】
内側案内用ローラ２３Ａ，２３Ｂは、固定した支持部材２４Ａ，２４Ｂに搬出駆動ローラ２０Ａ，２０Ｂの回転駆動軸と平行な回転軸が回転自在に支持され、この回転軸の軸方向に間隔を空けて複数のプーリーを取り付けて構成してある。この内側案内用ローラ２３Ａ，２３Ｂには、ローラ全周に周方向の溝を形成し、この周方向の溝に丸ベルトＯＢを嵌めて掛け渡せるようにしてある。下の搬出駆動ローラ２０Ａと下の内側案内用ローラ２３Ａの中間位置に定位置で回転自在に支持された中間案内用ローラ２５を配設し、下の第一搬出丸ベルト２２Ａの弛みを防いでいる。内側案内用ローラ２３Ａ，２３Ｂ及び中間案内用ローラ２５は、前記搬出駆動ローラ（上下のシールローラ）２０Ａ，２０Ｂと同径にしてある。
【００３０】
前記上下の第二搬出丸ベルト２６Ａ，２６Ｂは、前記上下の搬出駆動ローラ２０Ａ，２０Ｂと、前記処理槽１の搬出口３の外側近くの位置に配設され、前記基板製品Ｐの水平通過ラインＨＬを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラ２７Ａ，２７Ｂと、下の搬出駆動ローラ２０Ａと下の外側案内用ローラ１７Ａの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルトＯＢ、上の搬出駆動ローラ２０Ｂと上の外側案内用ローラ２７Ｂの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトＯＢによって構成され、前記搬出駆動ローラ２０Ａ，２０Ｂの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬出口３を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトＯＢで挟んで前記搬出駆動ローラ２０Ａ，２０Ｂの位置から搬出口３を通過した処理槽１の外側位置まで一定の水平通過ラインＨＬを水平に搬送するように構成してある。
【００３１】
外側案内用ローラ２７Ａ，２７Ｂは、固定した支持部材２８に搬出駆動ローラ２０Ａ，２０Ｂの回転駆動軸と平行な回転軸が回転自在に支持され、この回転軸の軸方向に間隔を空けて複数のプーリーを取り付けて構成してある。この外側案内用ローラ２７Ａ，２７Ｂには、ローラ全周に周方向の溝を形成し、この周方向の溝に丸ベルトＯＢを嵌めて掛け渡せるようにしてある。この外側案内用ローラ２７Ａ，２７Ｂは、前記搬出駆動ローラ（上下のシールローラ）２０Ａ，２０Ｂと同径にしてある。
【００３２】
更に、前記水平搬入手段Ａは、図１，２の左側に示した、前記基板製品Ｐを水平通過ラインＨＬに沿って前記第二搬入丸ベルト１６Ａ，１６Ｂの始部位置まで第二搬入丸ベルト１６Ａ，１６Ｂの送り速度と同じ送り速度で供給する、供給方向に間隔をおいて多数並べて配設した回転駆動ローラ３１によって基板製品Ｐの下面を支持して搬入する搬入コンベア３０と、この搬入コンベア３０によって搬送される前記基板製品Ｐの通過位置Ｒ１に該基板製品をクランプ搬送行程による基板搬送通路Ｒの延長線状にある所定の搬入通路Ｒ’を通過するように整列させる基板通過位置整列装置４０を備えている。
【００３３】
前記基板通過位置整列装置４０は、前記通過位置Ｒ１を通過する基板製品Ｐの位置を検知する図示してない位置検知手段（例えば、光電管などの光センサ）と、この通過位置Ｒ１の搬入通路Ｒ’の両側の対向位置に搬入方向に間隔をおいて複数並べて配設した基板整列手段４２を備えている。
【００３４】
これらの基板整列手段４２は、図４に示したように、固定部材４３に固定配置されたシリンダー４４の進退動ロッド４４Ａに装着され、前記位置検知手段で通過移動する基板製品Ｐを検知することによって、後退した待機位置（図２、図４に実線で示した位置）から通過する基板製品Ｐの側縁部に向け同時に同ストローク進出し基板が所定の搬入通路Ｒ’を通過するように整列させる進出位置（図２、図４に一点鎖線で示した位置）に進出し、再び待機位置に同時に後退して戻る一連の進退移動を行うように制御された整列部４５を備え、この整列部４５は、ボール軸受４７で水平方向に回動自在に支持された整列板４６と、ボール軸受部４７を間にした両側に整列板４６の背面側に向けた規制端部４８ａ，４８ａを配し、この規制端部４８ａ，４８ａで整列板４６の前面側の整列面４６ａを通過中の基板Ｐの側縁部に向けた一定の回動範囲内で回動されるように規制する回動規制部４８を備えている。
【００３５】
更に、この基板整列手段４２は、固定部材４３に固定配置された固定ガイド５０を備え、この固定ガイド５０は、進退移動する整列板４６を水平にガイドする進退移動方向に延びる水平ガイド部５１と、待機位置に後退した前記整列板４６の基板搬送方向側の背面端部を係止し、この係止状態で前記整列板４６の整列面４６ａを基板受け入れ側が広げられた傾斜面状態（図２、図４Ａに実線で示した傾斜面状態）に規制する係止部５２を備えている。
【００３６】
整列板４６の下端部に半円形の凹み部４６Ｃを切欠き形成し、この凹み部４６Ｃを上にして搬送コンベア３０の回転駆動ローラ３１の上周部に対応するように配設してある。また、整列板４６の整列面４６ａは通過中の基板製品Ｐの側縁部に巾広く当たるように基板製品Ｐの通過方向を巾広く延ばして形成してある。
【００３７】
通過位置Ｒ１の両側の対向位置に複数並べて配設した基板整列手段４２の整列板４６が、この通過位置Ｒ１を通過する基板製品Ｐの側縁部に向け同時に進出し、この進出過程で、所定の搬入通路Ｒ’から外側に外れている基板製品の傾斜した側縁部に対応する整列板４６の整列面４６ａは、傾斜している基板製品の側縁部に合せて当接されながら進出移動され、複数の整列板４６で通過中の基板製品の両側縁部を所定の搬入通路Ｒ’に合うように進出位置で整列させ、待機位置に同時に後退して戻る。これによって、搬入コンベア３０で通過位置Ｒ１を搬送中の基板製品Ｐは、クランプ搬送行程による基板搬送通路Ｒの延長線状にある所定の搬入通路Ｒ’を通過するように規制され整列される。
【符号の説明】
【００３８】
１  処理槽
２  搬入口
３  搬出口
Ｗ  処理液
Ｐ  薄い基板製品
Ａ  水平搬入手段
Ｂ  クランプ式水平搬送装置
Ｃ  水平搬出手段
４，４  水平搬送手段
５  クランプ
Ｒ  搬送通路
６  クランプ搬送行程
６Ａ  クランプ搬送行程の始部
６Ｂ  クランプ搬送行程の終部
１０Ａ，１０Ｂ  上下の搬入駆動ローラ（上下のシールローラ）
１２Ａ，１２Ｂ  上下の第一搬入丸ベルト
１３Ａ，１３Ｂ  上下の内側案内用ローラ
１６Ａ，１６Ｂ  上下の第二搬入丸ベルト
１７Ａ，１７Ｂ  上下の外側案内用ローラ
２０Ａ，２０Ｂ  上下の搬出駆動ローラ（上下のシールローラ）
２２Ａ，２２Ｂ  上下の第一搬出丸ベルト
２３Ａ，２３Ｂ  上下の内側案内用ローラ
２６Ａ，２６Ｂ  上下の第二搬出丸ベルト
２７Ａ，２７Ｂ  上下の外側案内用ローラ
３０  搬入コンベア
３１  回転駆動ローラ
Ｒ’  搬入通路
４０  基板通過位置整列装置
４２  基板整列手段
４４  シリンダー
４４Ａ  進退動ロッド
４５  整列部
４６  整列板
４７  ボール軸受
４８  回動規制部
４８ａ，４８ａ  規制端部
５０  固定ガイド
５１  水平ガイド部
５２  係止部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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