(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、
該筐体内に保持され、放電容器の外面に電極が配設され、当該放電容器の非光出射側の内面に紫外線反射膜を備えたエキシマランプと、
前記放電容器の紫外線反射膜側の表面に当接して、前記放電容器の紫外線反射膜側への反りを制限する、前記放電容器の長手方向において回転可能な回転コロを備えた移動規制体と、
からなるエキシマ光照射装置において、
前記移動規制体は、先端に回転コロを保持する２又状の脚部と、前記筐体に支持された支持部を備え、
前記脚部は、その中間部で前記支持部に回転軸によって支持されて、前記回転コロの回転方向に揺動可能とされている
ことを特徴とするエキシマ光照射装置。
【請求項２】
前記支持部は絶縁性材料からなることを特徴とする請求項１に記載のエキシマ光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、紫外線照射処理に使用されるエキシマ光照射装置に関し、特に、紫外線反射膜が形成されたエキシマランプを用いるエキシマ光照射装置に係わるものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、例えば、液晶表示パネルのガラス基板を紫外線照射によって洗浄する工程等においては、波長２００ｎｍ以下の真空紫外線を放射するエキシマランプを備えたエキシマ光照射装置が使用されている。
このようなエキシマ光照射装置に使用されるエキシマランプとしては、特開２０１０−８０３５１号公報（特許文献１）にも記載されているように、紫外線を効率よく放射するために、放電容器内に紫外線反射膜が形成されたエキシマランプが多用されている。このようなランプにおいては、水平配置された長尺の放電容器内の光出射側と反対の内面に、シリカ粒子を主体とした紫外線反射膜が形成されている。
【０００３】
図４にその概略構造が示されており、断面が扁平な矩形形状をなし、長尺な放電容器３１の外面には透光性の外部電極３２、３２が設けられ、真空紫外線は光出射壁３４を経て出射されて被照射物に照射される。
光出射側とは反対側の非光出射壁３５の内面にはシリカ粒子などからなる紫外線反射膜３３が形成されている。
【０００４】
しかしてこのような構造のエキシマランプにおいては、放電容器３１内で生成された紫外線は上方の非光出射壁３５内面の紫外線反射膜３３に反射されて下方の光出射壁３４から出射されるので、非光出射壁３５のガラスには紫外線が到達せず、一方、下方の光出射壁３４には直接出射光に反射光を加えた紫外線が照射・透過することになる。
このため、点灯時間が経過するに従って、下方の光出射壁３４、つまり放電容器３１の光出射方向側の壁を構成するガラスに、真空紫外線が照射されることに起因して生ずる紫外線歪みが経時的に蓄積される。一方で、紫外線反射膜３３を形成した上方壁３５には紫外線が照射されることがないので、紫外線歪みが蓄積されることがない。
その結果、この紫外線歪みの影響によって、光出射方向側のガラスが主として長手方向に収縮して、放電容器３１全体が、紫外線反射膜３３が形成された非光出射壁３５方向に向かって凸状に反ってしまうことが確認されている。図５の模式図で示すと、点線が凸状に反る前の放電容器３１であり、実線が矢印方向に凸状に反った放電容器３１である。
【０００５】
このように、エキシマランプ（放電容器）が上方に反ってしまうと、エキシマランプの両端部と中央部とでは、被照射物である液晶ガラス基板等のワーク面とエキシマランプ間の距離がランプの長手方向で異なってくる。ワーク面とエキシマランプ間の距離が異なると、光照射照度がワーク面上の部位によって相違してしまい、均一な紫外線処理ができなくなり、当然のことながら処理後のワークに不具合を生じることになる。
上記特許文献１には、このような不具合を解消するために、エキシマランプの中央部にエキシマランプが上方へ反らないように機械的に移動を制限する移動規制体を設ける構造が提案されている。
【０００６】
図６にその概要が示されていて、エキシマ光照射装置１において、筺体２にはエキシマランプ３がランプホルダー４によって支持されていて、そのエキシマランプ３の放電容器３１の上面側の中央部に当接するように移動規制体２０が設けられている。該移動規制体２０の先端には、エキシマランプの長手方向において回転可能な回転コロ２１が設けられている。
もちろんこの例では、図４に示すように、エキシマランプ３の放電容器３１の上方内面に紫外線反射膜が形成されており、紫外線は、ランプの下方に置かれた被照射物Ｗに照射されるものである。
そして、この従来技術では、上記移動規制体２０によって、エキシマランプ３の放電容器３１が紫外線歪みによって、図６の上方に反ることを規制しようとするものである。
【０００７】
しかしながら、図６に示す従来のエキシマ光照射装置では、移動規制体２０の先端の回転コロ２１が一つであるために、点灯時間の経過による紫外線歪みの蓄積によってエキシマランプ３の上方への反り量が大きくなった場合に、該回転コロ２１の規制による応力がエキシマランプ３の放電容器３１の中央部分の１箇所に集中してしまうことになり、この応力集中箇所で放電容器が破損してしまうという問題が生じてきた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１０−８０３５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
この発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて、放電容器の非光出射側の内面に紫外線反射膜を備えたエキシマランプと、この紫外線反射膜側の表面に当接して、前記放電容器の紫外線反射膜側への反りを制限する回転コロを備えた移動規制体と、からなるエキシマ光照射装置において、紫外線歪みの蓄積によって紫外線反射膜側に反ろうとする放電容器の移動を規制する際に、応力集中させることなく、放電容器の破損を防止できる構造を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、この発明では、前記移動規制体が、先端に回転コロを保持する２又状の脚部を備え、当該脚部の中間部で前記回転コロの回転方向に揺動可能に支持されていることを特徴とする。
また、前記脚部は絶縁性支持部材によって筺体に支持されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、エキシマランプの放電容器に当接する移動規制体が２又状の脚部を備え、その先端の回転コロが放電容器に２箇所で当接するので、放電容器の反りを規制する際に応力集中が生じることがなく、放電容器の破損を防止できるという効果を奏するものである。
また、２又状の脚部が揺動自在に支持されているので、放電容器が反り始めてくるときに、その反りに合わせてどちらか一方の回転コロが当接し、その後、他方の回転コロも当接していくので、２つの回転コロが均等に放電容器に当接することになり、放電容器の反りを均等な力で規制し、応力が不均一にかかることもない。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明のエキシマ光照射装置の全体図。
【図２】本発明の移動規制体の斜視図。
【図３】放電容器の反りに対する移動規制体の規制の挙動を示す図。
【図４】従来のエキシマランプの斜視図（Ａ）および断面図（Ｂ）。
【図５】放電容器の反りを示す模式図。
【図６】従来のエキシマ光照射装置の全体図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１に示すように、本発明のエキシマ光照射装置１では、筺体２に、ランプホルダー４によって長尺のエキシマランプ３が水平状態に支持されている。その下方には被照射物Ｗが配置されていて、エキシマランプ３から真空紫外線が照射される。前記エキシマランプ３の放電容器３１の上下面には電極３２が設けられており、また、放電容器３１の上方壁、即ち、非光出射側の壁の内面には、図４に示されるような紫外線反射膜が形成されている。
そして、エキシマランプ３の放電容器３１の長手方向の略中央部に位置して移動規制体５が設けられている。
図２に示すように、この移動規制体５は、絶縁性材料からなる支持部６と、２又状の脚部７（７ａ、７ｂ）とからなり、該脚部７は、その中間部が回転軸８によって前記支持部６に揺動自在に支持されている。この支持部６は、図１に示すように、筺体２に支持されていて、揺動自在の脚部７の先端の回転コロ９（９ａ、９ｂ）が放電容器３１の上面にほぼ当接している。
【００１４】
ここで、ほぼ当接しているとは、ランプの使用初期にあって紫外線歪みがまだ蓄積されていない状態、即ち上方への反りがない状態にあっては、エキシマランプ３の放電容器３１の上面に若干程度（例えば、１ｍｍ程度）の間隙を有する状態で配置されることである。なお、その間隙は、エキシマランプ３の長さ、被照射物Ｗとの距離などによって適宜に選択される。
また、脚部７の先端の回転コロ９は、エキシマランプ３の放電容器３１の長手方向において回転可能に取り付けられている。
【００１５】
図３に基づいて、エキシマランプ３の点灯時間の経過に伴う紫外線歪みの蓄積による放電容器３１の反りに対する移動規制体５の挙動を説明する。
図３（Ａ）には、ランプの使用初期における放電容器３１と移動規制体５との関係が示されている。上記したように、使用初期にあっては放電容器３１には紫外線歪みによる反りがほとんどなく、移動規制体５の２又状の脚部７ａ、７ｂの先端の回転コロ９ａ、９ｂは放電容器３１の上面に対して若干だけ離間した状態で配置されている。
【００１６】
点灯時間の経過にともない放電容器３１に紫外線歪みが蓄積されてきて、上方への反りが出てくると、図３（Ｂ）に示すように、移動規制体５の２又状脚部７のいずれかの脚部、この例では、左方の脚部７ａの回転コロ９ａが放電容器３１の上面に当接する。
更に放電容器３１の反り量が大きくなると、図３（Ｃ）に示すように、脚部７が回転軸８まわりに揺動して、２又状の脚部７ａ、７ｂの両者が放電容器３１に当接する。この状態で、放電容器３１のそれ以上の上方への反りを規制する。
こうして、放電容器３１には回転コロ９ａ、９ｂが２箇所で当接して応力集中を回避している。
【００１７】
なお、エキシマ光照射装置１における筺体２は、通常、アルミニウムなどの金属部材により形成され、また、２又状の脚部７も金属部材で形成されることから、該脚部７を支持する支持部６は絶縁性材料から構成されることが好ましい。
エキシマランプ３では、被照射物Ｗとの関係から、通常は放電容器３１の上面側に高圧電極を配置することが行われており、この高圧電極から移動規制体５を経て筺体２に短絡してしまうことを防ぐためである。
また、エキシマランプ３の放電容器３１は、扁平矩形形状のものを示したが、内側管と外側管からなる二重円筒型放電容器であってもよい。
【００１８】
以上説明したように、本発明のエキシマ光照射装置では、エキシマランプの放電容器のほぼ中央部に当接して紫外線歪みによる放電容器の反りを規制するに際して、前記移動規制体が、先端に回転コロを保持する２又状の脚部を備え、当該脚部の中間部で前記回転コロの回転方向に揺動可能に支持されているようにしたことにより、放電容器の反りを２箇所で規制することにより、放電容器の反りを２箇所で規制することができ、放電容器の中央部分の１箇所にのみ応力集中を起こさせるものではなく、放電容器の破損を防止できる。
また、２又状の脚部を揺動自在としたことにより、両方の脚部の回転コロが同時に放電容器に当接するので、局所的に当接することによる応力集中も発生しない。
【符号の説明】
【００１９】
１    エキシマランプ光照射装置
２    筺体
３    エキシマランプ
３１  放電容器
３２  電極
３３  紫外線反射膜
４    ランプホルダー
５    移動規制体
６    支持部
７    脚部
８    回転軸
９    回転コロ
Ｗ    被照射物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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