(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイルバネと、
本体部および前記本体部から同一方向に延在し、かつ、長さの異なる第１弾性片および第２弾性片を有し、前記第１弾性片の内向面に接点部が設けられ、前記第２弾性片の内向面にガイド突起が設けられた第１プランジャと、
前記ガイド突起が嵌合可能な貫通したガイド溝と、前記接点部が圧接される接触部とを有し、前記第１弾性片と前記第２弾性片との間に圧入される第２プランジャと、を備え、
前記第１プランジャおよび前記第２プランジャの各々が、導電性を有すると共に、前記コイルバネの両端部からそれぞれ挿入され、前記第１プランジャの前記第１弾性片と前記第２弾性片とで前記第２プランジャが挟持され、前記接点部が前記第１弾性片のばね力によって前記接触部に圧接され、相互に導通した状態で、前記ガイド溝に嵌合された前記ガイド突起を介してスライド移動可能に組み合わされていることを特徴とする、プローブピン。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブピンにおいて、
前記第１プランジャが、前記第１弾性片および前記第２弾性片の基部に突設した第１支持突出部と、この第１支持突出部から一定距離離れた位置に突設した第１脱落防止用凸部とを有すると共に、前記第２プランジャの短手方向の両側面に突設した第２支持突出部と、この第２支持突出部から一定距離離れた位置に突設した第２脱落防止用凸部とを有し、
前記コイルバネの一端が、前記第１支持突出部と前記第１脱落防止用凸部との間に配置され、前記コイルバネの他端が、前記第２支持突出部と前記第２脱落防止用凸部との間に配置されることを特徴とする、プローブピン。
【請求項３】
請求項１または２に記載のプローブピンを用いた電子デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブピン、例えばＩＣ用テストソケットに組み込まれるプローブピンに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プローブピンとしては、例えば、特許文献１の図６に記載されたものがある。このプローブピンは、同一形状の上側コンタクトピンおよび下側コンタクトピンと、コイルバネとを備えている。そして、上側コンタクトピンおよび下側コンタクトピンは、互いに直交するようにコイルバネの内部で結合されており、上側コンタクトピンの一対のフックが下側コンタクトピンの溝に、そして、下側コンタクトピンの一対のフックが上側コンタクトピンの溝に収容されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００８−５１６３９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前述のプローブピンでは、一方のコンタクトピンの一対のフックと他方のコンタクトピンの本体部の溝とが、少なくとも１カ所で接触し、電気的接触するように設計されているが、コンタクトピン間の接触状態にバラツキが生じ易く、安定した電気的接触が得られないという問題があった。
【０００５】
また、前述のプローブピンでは、上側コンタクトピンおよび下側コンタクトピンの接触位置を正確に判定できなかった。このため、設計通りの電気的接触を得るためには、部品の寸法公差を厳しく管理する必要があり、製造コストが高くなるという問題があった。
【０００６】
本発明は、前述の問題に鑑み、接触安定性が高く、製造コストが安いプローブピンを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るプローブピンは、コイルバネと、本体部および前記本体部から同一方向に延在し、かつ、長さの異なる第１弾性片および第２弾性片を有し、前記第１弾性片の内向面に接点部が設けられ、前記第２弾性片の内向面にガイド突起が設けられた第１プランジャと、前記ガイド突起が嵌合可能な貫通したガイド溝と、前記接点部が圧接される接触部とを有し、前記第１弾性片と前記第２弾性片との間に圧入される第２プランジャと、を備え、前記第１プランジャおよび前記第２プランジャの各々が、導電性を有すると共に、前記コイルバネの両端部からそれぞれ挿入され、前記第１プランジャの前記第１弾性片と前記第２弾性片とで前記第２プランジャが挟持され、前記接点部が前記第１弾性片のばね力によって前記接触部に圧接され、相互に導通した状態で、前記ガイド溝に嵌合された前記ガイド突起を介してスライド移動可能に組み合わされていることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、第２プランジャを第１プランジャの第１弾性片と第２弾性片とで挟持すると共に、第１弾性片が第２プランジャの片面に圧接している。このため、接触状態にバラツキがなく、第１プランジャと第２プランジャとの間に高い接触安定性と安定した電気的接触を得ることができる。
また、第１プランジャの接点部が、第２プランジャに面接触するので、第１プランジャと第２プランジャとが、接点部を介して安定した電気的接触を得ることができる。このため、部品の寸法公差を厳しく管理する必要がなく、製造コストを低減できる。
そして、設計の自由度が広がり、様々な用途に対応できる。
さらに、ガイド突起およびガイド溝により、第１プランジャおよび第２プランジャが、ガタツキ無くスライド移動し、第１プランジャと第２プランジャとの接触位置を正確に検出できる。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
本発明の実施形態としては、前記第１プランジャが、前記第１弾性片および前記第２弾性片の基部に突設した第１支持突出部と、この第１支持突出部から一定距離離れた位置に突設した第１脱落防止用凸部とを有すると共に、前記第２プランジャの短手方向の両側面に突設した第２支持突出部と、この第２支持突出部から一定距離離れた位置に突設した第２脱落防止用凸部とを有し、前記コイルバネの一端が、前記第１支持突出部と前記第１脱落防止用凸部との間に配置され、前記コイルバネの他端が、前記第２支持突出部と前記第２脱落防止用凸部との間に配置される構成としてもよい。
【００１６】
本実施形態によれば、第１，第２支持突出部と第１，第２脱落防止用凸部との間にコイルバネの両端部を配置しているので、コイルバネのガタツキを防止できると共に、コイルバネの脱落を防止する。
【００１７】
また、本発明の電子デバイスは、前記プローブピンを備えたことを特徴とする。
【００１８】
本発明によれば、接触安定性が高く、製造コストが安い電子デバイスが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図Ａは、本発明の第１実施形態のプローブピンの全体斜視図であり、図Ｂは、図Ａの分解斜視図である。
【図２】図Ａは、図１のプローブピンの第１プランジャの平面図であり、図Ｂは、図１のプローブピンの第２プランジャの平面図である。
【図３】図Ａは、図１のプローブピンの正面図であり、図Ｂは、図Ａに示すＩＩＩ−ＩＩＩ線から見た断面図である。
【図４】図Ａは、本発明の第２実施形態のプローブピンの全体斜視図であり、図Ｂは、図Ａの分解斜視図である。
【図５】図Ａは、図４のプローブピンの第１プランジャの平面図であり、図Ｂは、図４のプローブピンの第２プランジャの平面図である。
【図６】図Ａは、図４のプローブピンの正面図であり、図Ｂは、図Ａに示すＶＩ−ＶＩ線から見た断面図である。
【図７】図Ａは、本発明の第３実施形態のプローブピンの全体斜視図であり、図Ｂは、図Ａの分解斜視図である。
【図８】図Ａは、図７のプローブピンの第１プランジャの平面図であり、図Ｂは、図７のプローブピンの第２プランジャの平面図である。
【図９】図Ａは、図７のプローブピンの正面図であり、図Ｂは、図Ａに示すＩＸ−ＩＸ線から見た断面図である。
【図１０】図Ａは、本発明の第４実施形態のプローブピンの全体斜視図であり、図Ｂは、図Ａの分解斜視図である。
【図１１】図Ａは、図１０のプローブピンの第１プランジャの平面図であり、図Ｂは、図１０のプローブピンの第２プランジャの平面図である。
【図１２】図Ａは、図１０のプローブピンの正面図であり、図Ｂは、図Ａに示すＸＩＩ−ＸＩＩ線から見た断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明のプローブピンを、図示の実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、各実施形態のコイルバネは、説明の便宜上、透明体として図示する。
【００２１】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態のプローブピン１０は、図１に示すように、第１プランジャ１と、第２プランジャ２と、コイルバネ３とを備えている。第１プランジャ１および第２プランジャ２は、各々導電性を有しており、例えば電鋳法で形成されている。
【００２２】
第１プランジャ１は、図２に示すように、本体部１１と、第１弾性片１２と、第２弾性片１３とを備え、同一厚さを有している。
【００２３】
本体部１１は、略矩形状を有している。本体部１１の長手方向の一端１１Ａには、平面三角形状の先端部１４が設けられている。また、その長手方向の他端１１Ｂから、第１弾性片１２と第２弾性片１３とが平行に延在していると共に、平面矩形状の支持突出部１５，１５が前記第１，第２弾性片１２，１３の基部に突設されている。
【００２４】
第１弾性片１２および第２弾性片１３は、断面矩形状を有している。また、第１弾性片１２および第２弾性片１３は、長さが異なっており、第１弾性片１２の方が、第２弾性片１３よりもＬ２だけ長くなるよう形成されている。
【００２５】
なお、第１実施形態では、図２に示すように、本体部１１の長手方向の他端１１Ｂを基準として、第１弾性片１２の後述する接点部１７までの長さと、第２弾性片１３の後述するガイド突起１８までの長さとの差を、Ｌ２としている。
【００２６】
また、第１弾性片１２および第２弾性片１３は、本体部１１の短手方向に一定の間隔Ｄ１を有している。さらに、第１弾性片１２および第２弾性片１３は、第１弾性片１２の外向面１２Ａと第２弾性片１３の外向面１３Ａとの距離が、本体部１１の幅Ｗ１に略等しくなるように配置されている。
【００２７】
第１弾性片１２の外向面１２Ａおよび第２弾性片１３の外向面１３Ａには、脱落防止用凸部１６，１６が突設されている。脱落防止用凸部１６，１６は、支持突出部１５，１５から距離Ｄ２だけ離れた位置に中心が位置するよう形成されている。また、第１弾性片１２の内向面１２Ｂの先端部には、接点部１７が突設されており、第２弾性片１３の内向面１３Ｂの先端部には、ガイド突起１８が突設されている。
【００２８】
第１弾性片１２の接点部１７は、設計に応じて、形状あるいは大きさ等を適宜選択できる。接点部１７の形状等を変更することで、第１弾性片１２の第２プランジャ２に対する付勢力を調整することができる。
【００２９】
また、第２弾性片１３のガイド突起１８は、後述するガイド溝２３に嵌合でき、かつ、ガイド溝２３と嵌合したときに、第１プランジャ１および第２プランジャ２間のスライド移動（相対的往復移動）をガイド溝２３内に規制できるものであればよく、形状，大きさ等は、適宜選択できる。
【００３０】
第２プランジャ２は、図１，図２に示すように、本体部２１と、ガイド溝２３を備えた接触部２２とを有し、同一厚さＤ３を有している。
【００３１】
本体部２１は、平面略矩形状を有し、その長手方向の一端２１Ａには、平面Ｖ字形状の先端部２４が設けられている。また、本体部２１の長手方向の他端２１Ｂには、平面略矩形状を有する接触部２２が形成されている。接触部２２は、その自由端（図２における左側）が平面略三角形状を有しており、自由端側に平面矩形状のガイド溝２３が形成されている。さらに、本体部２１の長手方向の他端２１Ｂの短手方向の両側面には、それぞれ、平面矩形状の支持突出部２５，２５が突設されている。また、接触部２２の短手方向の両側面には、それぞれ、脱落防止用凸部２６，２６が突設されている。脱落防止用凸部２６，２６は、支持突出部２５，２５から接触部２２の先端側に距離Ｄ４だけ離れた位置に中心が位置するよう形成されている。
【００３２】
なお、第１プランジャ１および第２プランジャ２は、設計に応じて、めっき，コーティング等の表面処理を行うこともできる。
【００３３】
コイルバネ３は、例えば炭素鋼あるいはステンレス鋼からなり、図３に示すように、第１プランジャ１の幅Ｗ１および第２プランジャ２の幅Ｗ２よりもやや大きい内径を有する。また、前記コイルバネ３は、第１プランジャ１の本体部１１と支持突出部１５，１５とを合わせた幅Ｗ３および第２プランジャ２の本体部２１と支持突出部２５，２５とを合わせた幅Ｗ４と、略同一の外径を有している。また、コイルバネ３は、第１プランジャ１および第２プランジャ２が互いに組み合わされた状態では、あらかじめ圧縮方向の力が加わるようにバネ長が調整されている。
【００３４】
なお、第１プランジャ１の幅Ｗ１および第２プランジャ２の幅Ｗ２は、同一寸法となっている。
【００３５】
また、支持突出部１５，１５および２５，２５は、全て同一の形状であり、同一の幅寸法を有している。つまり、第１プランジャ１の本体部１１と支持突出部１５，１５とを合わせた幅Ｗ３と、第２プランジャ２の本体部２１と支持突出部２５，２５とを合わせた幅Ｗ４とは、同一寸法である。
【００３６】
第１プランジャ１および第２プランジャ２は、次のように摺動可能に組み合わされる。
【００３７】
第１プランジャ１の第１弾性片１２および第２弾性片１３と、第２プランジャ２の接触部２２の先端とを向かい合わせる。そして、コイルバネ３の両端部から内部に第１プランジャ１および第２プランジャ２を各々挿入すると共に、第１プランジャ１の第１弾性片１２と第２弾性片１３との間に第２プランジャを圧入し、第１弾性片１２と第２弾性片１３とで第２プランジャ２を挟持する。
【００３８】
このとき、第１プランジャ１は、図３に示すように、コイルバネ３の第１端部３Ａ側から挿入され、第１プランジャ１の第２弾性片１３のガイド突起１８が、第２プランジャ２のガイド溝２３に嵌合される。これにより、第１プランジャ１および第２プランジャ２間のスライド移動は、ガイド溝２３に沿って行われる。また、ガイド突起１８により、第１プランジャ１および第２プランジャ２間のスライド移動がガイド溝２３内に規制されるため、第１プランジャ１および第２プランジャ２の移動量の最大値は、ガイド溝２３の長さＬ１に等しくなる。
【００３９】
一方、第２プランジャ２は、コイルバネ３の第２端部３Ｂ側から挿入される。ここで、図２に示すように、第１プランジャ１の第１，第２弾性片１２，１３は、第１，第２弾性片１２，１３の長さの差Ｌ２が、ガイド溝２３の長さＬ１と略同一寸法を有するように形成されている。このため、第１プランジャ１および第２プランジャ２の移動量にかかわらず、第１プランジャ１の第１弾性片１２の接点部１７は、第２プランジャ２の接触部２２に常に接触している。
【００４０】
また、第１プランジャ１の第１，第２弾性片１２，１３は、第１弾性片１２の接点部１７と第２弾性片１３の内向面１３Ｂとの間の間隔Ｄ５が、第２プランジャ２の厚さＤ３よりも小さくなるように形成されている。つまり、第１プランジャ１および第２プランジャ２が互いに組み合わされた状態では、第１弾性片１２の接点部１７は、第２プランジャ２の接触部２２によって、外向き（図２の上側）に常に押圧される。このため、第１弾性片１２は、自己のバネ力によって、第２プランジャ２の接触部２２の片面に常に圧接している。このため、第１プランジャ１と第２プランジャ２とは、圧接箇所となる接触部２２を介して導通すると共に、安定した電気的接触を得ることができる。
【００４１】
このように、第１プランジャ１の第１弾性片１２の接点部１７は、第２プランジャ２の接触部２２に必ず位置すると共に、接触部２２の片面に常に圧接される。これにより、第１プランジャ１と第２プランジャ２との間に高い接触安定性を得ることができる。また、第１プランジャ１と第２プランジャ２との間のスライド移動が、ガイド溝２３に沿って行われ、第１プランジャ１と第２プランジャ２とは、必ず接点部１７で接触する。このため、第１プランジャ１と第２プランジャ２とは接触部２２を介して導通すると共に、安定した電気的接触を得ることができ、その結果、従来に比べて、部品の寸法公差を厳しく管理する必要がなく、製造コストを低減できる。
【００４２】
また、第１プランジャ１および第２プランジャ２が互いに組み合わされたとき、コイルバネ３の第１端部３Ａのバネが、第１プランジャ１の支持突出部１５，１５と脱落防止用凸部１６，１６との間に位置すると共に、コイルバネ３の第２端部３Ｂのバネが、第２プランジャ２の支持突出部２５，２５と脱落防止用凸部２６，２６との間に位置している。このため、コイルバネ３の両端部は、第１プランジャ１の支持突出部１５，１５および脱落防止用凸部１６，１６と、第２プランジャ２の支持突出部２５，２５および脱落防止用凸部２６，２６とで各々保持されるため、コイルバネ３のガタツキを防止できると共に、コイルバネ３の脱落を防止して、プローブピン１０の分解を防ぐ。
【００４３】
なお、第１プランジャ１の脱落防止用凸部１６，１６および第２プランジャ２の脱落防止用凸部２６，２６は、第１プランジャ１および第２プランジャ２が互いに組み合わされたときに、コイルバネ３が配置できる形状および大きさであればよく、適宜選択可能である。
【００４４】
また、第１プランジャ１の支持突出部１５，１５と脱落防止用凸部１６，１６との間の距離Ｄ２は、コイルバネ３の第１端部３Ａを保持できる大きさであればよい。第２プランジャ２の支持突出部２５，２５と脱落防止用凸部２６，２６との間の距離Ｄ４も同様である。
【００４５】
また、第１実施形態では、第１，第２弾性片１２，１３の長さの差Ｌ２を、ガイド溝２３の長さＬ１と略同一寸法を有するように形成したが、これに限らない。第１，第２弾性片１２，１３の長さの差Ｌ２は、ガイド溝２３の長さＬ１以上であればよく、適宜変更可能である。
【００４６】
また、第１実施形態では、第１プランジャ１の本体部１１および第１，第２弾性片１２，１３の厚さを同一とすると共に、第２プランジャ２の本体部２１および接触部２２の厚さを同一としたが、これに限らない。第１プランジャ１の本体部１１および第１，第２弾性片１２，１３の厚さ、並びに、第２プランジャ２の本体部２１および接触部２２の厚さは、適宜変更してもよい。
【００４７】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態のプローブピン３０は、図４ないし図６に示すように、第１プランジャ３１と、第２プランジャ３２と、コイルバネ３とを備えている。第１プランジャ３１および第２プランジャ３２は、各々導電性を有しており、例えば電鋳法で形成されている。なお、第１実施形態と同一部分については、同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。
【００４８】
第２実施形態のプローブピン３０では、図５に示すように、第１プランジャ３１は、第１弾性片４２と第２弾性片４３とを備えている。第１弾性片４２と第２弾性片４３とは、本体部１１の長手方向の他端１１Ｂから平行に延在していると共に、第２弾性片４３の長さが、第１弾性片４２の長さよりもＬ３だけ長くなるよう形成されている。また、第２プランジャ３２は、本体部２１と接触部５２とを備え、前記接触部５２の本体部２１側にガイド溝２３が形成されている。前記ガイド溝２３は、本体部２１の長手方向側面の一部と接触部５２とで画定されている。
【００４９】
なお、第２実施形態では、図５に示すように、第１プランジャ３１の本体部１１の長手方向の他端１１Ｂを基準として、第１弾性片４２の接点部４７までの距離と、第２弾性片４３のガイド突起４８までの距離との差を、距離Ｌ３としている。
【００５０】
第１プランジャ３１と第２プランジャ３２とを組み合わせると、図６に示すように、第１プランジャ３１の第２弾性片４３のガイド突起４８が、第２プランジャ３２の接触部５２のガイド溝２３に嵌合する。このため、第１プランジャ３１および第２プランジャ３２間のスライド移動が、ガイド溝２３内に規制される。ここで、第１弾性片４２および第２弾性片４３は、その長さの差Ｌ３が、ガイド溝２３の長さＬ１と略同一寸法を有するように形成されている。このため、第１プランジャ３１の第１弾性片４２の接点部４７は、第２プランジャ３２の接触部５２に必ず位置する。また、第１プランジャ３１の第１弾性片４２は、第２プランジャ３２の接触部５２の片面に常に圧接している。これにより、第１プランジャ３１と第２プランジャ３２との間に高い接触安定性を得ることができる。
【００５１】
なお、第１弾性片４２の接点部４７および第２弾性片４３のガイド突起４８の形状，寸法等は、設計に応じて適宜選択可能である。
【００５２】
また、第２実施形態では、第１，第２弾性片４２，４３の長さの差Ｌ３を、ガイド溝２３の長さＬ１と略同一寸法を有するように形成したが、これに限られない。第１，第２弾性片４２，４３の長さの差Ｌ３は、ガイド溝２３の長さＬ１以上であればよく、適宜変更可能である。
【００５３】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態のプローブピン６０は、図７ないし図９に示すように、第１プランジャ６１と、第２プランジャ６２と、コイルバネ３とを備えている。第１プランジャ６１および第２プランジャ６２は、各々導電性を有しており、例えば電鋳法で形成されている。なお、第１実施形態と同一部分については、同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。
【００５４】
第３実施形態のプローブピン６０では、図８に示すように、第１プランジャ６１が、本体部１１の長手方向の中心軸に対して左右対称に配置された第１弾性片１２，１２を有している。また、第２プランジャ６２は、本体部２１と接触部８２とを備え、接触部８２にガイド溝が形成されていない。
【００５５】
第１プランジャ６１と第２プランジャ６２とを組み合わせると、図９に示すように、第２プランジャ６２が、第１プランジャ６１の第１弾性片１２，１２に挟持された状態になる。ここで、第１弾性片１２，１２は、接点部１７，１７間の間隔Ｄ６が第２プランジャ６２の厚さＤ３よりも小さくなるように形成されている。つまり、第１プランジャ６１および第２プランジャ６２が互いに組み合わされた状態では、第１弾性片１２，１２の接点部１７，１７は、第２プランジャ６２の接触部８２によって常に外向きに押圧される。このため、第１弾性片１２，１２は、自己のバネ力によって、第２プランジャ６２の接触部８２の両面に常に圧接している。これにより、第１プランジャ６１と第２プランジャ６２とが確実に接触し、高い接触安定性を得ることができる。
【００５６】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態のプローブピン９０は、図１０ないし図１２に示すように、第１プランジャ９１と、第２プランジャ２と、コイルバネ３とを備えている。第１プランジャ９１は、各々導電性を有しており、例えば電鋳法で形成されている。なお、第１実施形態と同一部分については、同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。
【００５７】
第４実施形態のプローブピン９０では、図１１に示すように、第１プランジャ９１は、第１弾性片１０２と第２弾性片１０３とを有している。
【００５８】
第１弾性片１０２は、図１１に示すように、第１実施形態の第１弾性片１２の内向面１２Ｂの略中央にガイド突起１０８を突設したものである。そして、前記ガイド突起１０８は、先端の接点部１７から距離Ｌ４だけ離れた位置に突設されている。また、第２弾性片１０３は、角棒形状で、第１弾性片１２と同じ長さを有している。第１弾性片１０２と第２弾性片１０３とは、短手方向に一定間隔Ｄ１を有し、本体部１１の長手方向の他端１１Ｂから平行に延在している。
【００５９】
なお、第４実施形態では、図１１に示すように、第１プランジャ９１の本体部１１の他端１１Ｂを基準として、第１弾性片１０２の接点部１７までの距離と、第１弾性片１０２のガイド突起１０８までの距離との差を、距離Ｌ４としている。
【００６０】
第１プランジャ９１と第２プランジャ２とを組み合わせると、図１２に示すように、第１プランジャ９１の第１弾性片１０２のガイド突起１０８が、第２プランジャ２の接触部２２のガイド溝２３に嵌合し、第１プランジャ９１および第２プランジャ２のスライド移動が、ガイド溝２３内に規制される。接点部１７およびガイド突起１０８間の距離Ｌ４が、ガイド溝２３の長さＬ１と略同一寸法の長さを有するように形成されているため、第１プランジャ９１の第１弾性片１０２の接点部１７は、第２プランジャ２の接触部２２に必ず位置する。
【００６１】
このとき、第２プランジャ２は、第１プランジャ９１の第１弾性片１２と第２弾性片１０３とに挟持された状態になる。ここで、第１弾性片１２の接点部１７と第２弾性片１０３の内向面１０３Ｂとの間の間隔Ｄ５が、第２プランジャ２の厚さＤ３よりも小さくなるよう形成されている。つまり、第１プランジャ９１および第２プランジャ２が互いに組み合わされた状態では、第１弾性片１２の接点部１７は、第２プランジャ２の接触部２２によって常に外向きに押圧される。このため、第１弾性片１２は、自己バネ力によって、第２プランジャ２の接触部２２の片面に常に圧接する。一方、第２弾性片１０３の内向面１０３Ｂは、第２プランジャ２と常に面接触する。これにより、第１プランジャ９１と第２プランジャ２とが確実に接触するため、高い接触安定性を得ることができる。
【００６２】
また、前記実施形態では、第１弾性片１０２の接点部１７およびガイド突起１０８間の距離Ｌ４を、ガイド溝２３の長さＬ１と略同一寸法を有するように形成したが、これに限られない。第１弾性片１０２の接点部１７とガイド突起１０８との間の距離Ｌ４は、ガイド溝２３の長さＬ１以上であればよく、適宜変更可能である。
【００６３】
前記第１〜第４実施形態では、第１プランジャ１，３１，６１，９１および第２プランジャ２，３２，６２を電鋳法で形成したが、これに限られない。前記構成の第１プランジャ１，３１，６１，９１および第２プランジャ２，３２，６２を形成できる方法であれば、任意に選択できる。
【００６４】
また、前記第１〜第４実施形態では、第１プランジャ１，３１，６１，９１の第１弾性片１２，４２，１０２と第２弾性片１３，４３，１０３とを平行になるように配置しているが、これに限るものではなく、同一方向に延在するように配置していればよい。例えば、第１弾性片１２，４２，１０２および第２弾性片１３，４３，１０３の間の距離Ｄ１が、先端に向かって次第に小さくなるように、第１弾性片１２，４２，１０２および第２弾性片１３，４３，１０３を傾斜させてもよい。これにより、第１弾性片１２，４２，１０２および第２弾性片１３，４３，１０３の第２プランジャに対する圧接を高めることができる。
【００６５】
前記第１〜第４実施形態のプローブピン１０，３０，６０，９０の各々の構成要素は、可能ならば、お互いに入れ換え、あるいは追加してもよいことは勿論である。
【００６６】
前記第１〜第４実施形態のプローブピン１０，３０，６０，９０は、ＩＣ用テストソケットなどの電子デバイスに適用できる。
【産業上利用可能性】
【００６７】
本発明に係るプローブピンは、第１〜第４実施形態に限らず、第１弾性片を有するものであれば、特に限定するものではない。
【符号の説明】
【００６８】
１，３１，６１，９１：第１プランジャ
２，３２，６２：第２プランジャ
３：コイルバネ
１０，３０，６０，９０：プローブピン
１１，２１：本体部
１２，４２，１０２：第１弾性片
１３，４３，１０３：第２弾性片
１４，２４：先端部
１５，２５：支持突出部
１６，２６：脱落防止用凸部
１７，４７，１０７：接点部
１８，４８，１０８：ガイド突起
２２，５２，８２：接触部
２３：ガイド溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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