(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともエチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）と、下記一般式（１）で表わされるシラン化合物（Ｂ）と、光重合開始剤とを含有する感光性組成物であって、
エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）が酸価（固形分換算）３０ｍｇＫＯＨ/ｇ以上２００ｍｇＫＯＨ/ｇ未満である化合物を含み、
光重合開始剤が、アセトフェノン系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、およびイミダゾール系光重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも１種を含むことを特徴とする感光性組成物。
一般式（１）：
【化１】
0005867197.tif 000013
[一般式（１）中、Ｒ1は炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数６〜２０のアリールオキシ基、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数７〜３０のアルアルキル基、または、炭素数７〜３０のアルカリール基を表し、
Ｘは炭素数１〜２０のアルキレン基、炭素数１〜２０のアリーレン基、または、炭素数１〜２０のアルコキシレン基を表し、
Ｒ2、Ｒ3およびＲ4は互いに独立して、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数６〜２０のアリールオキシ基、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数７〜３０のアルアルキル基、炭素数７〜３０のアルカリール基、置換基を有するシロキサン、ハロゲン、ヒドロキシおよび水素を表す。]
【請求項２】
光重合開始剤が、アセトフェノン系、またはオキシムエステル系であることを特徴とする請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項３】
シラン化合物（Ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）が１００以上５０００未満であり、かつ
感光性組成物の固形分合計１００重量％中の該シラン化合物（Ｂ）の含有量が５重量％以上６０重量％未満であることを特徴とする請求項１または２に記載の感光性組成物。
【請求項４】
さらに、ケイ素、アルミニウム、ジルコニウム、チタニウムおよび亜鉛よりなる群から選ばれる少なくとも一つの元素の酸化物微粒子（Ｃ）を含むことを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載の感光性組成物。
【請求項５】
酸化物微粒子（Ｃ）の含有量が、感光性組成物の固形分合計１００重量％中、５重量％以上５０重量％未満であり、シラン化合物（Ｂ）の重量（ｂ）と酸化物微粒子（Ｃ）の重量（ｃ）との比率（ｂ/ｃ）が、０．４以上２０．０未満であることを特徴とする請求項４に記載の感光性組成物。
【請求項６】
２０℃での水に対する溶解度が１ｇ/１００ｍｌ以上３０ｇ/１００ｍｌ未満である溶剤（Ｄ）を含むことを特徴とする請求項１〜５いずれかに記載の感光性組成物。
【請求項７】
さらに、テトラアルコキシシラン（Ｅ）を含有し、シラン化合物（Ｂ）の重量（ｂ）とテトラアルコキシシラン（Ｅ）の重量（ｅ）との比率（ｂ/ｅ）が、２以上２０未満であることを特徴とする請求項１〜６いずれかに記載の感光性組成物。
【請求項８】
請求項１〜７いずれか１項に記載の感光性組成物を用いてなる保護膜。
【請求項９】
請求項１〜７いずれか１項に記載の感光性組成物を用いてなるタッチパネル用絶縁膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は感光性組成物、ならびにそれを用いた保護膜およびタッチパネル用絶縁膜に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の高機能化や多様化や小型軽量化が進むに伴い、液晶等の表示素子の前面に透明タッチパネルを装着し、この透明タッチパネルを通して表示素子に表示された文字や記号、絵柄などの視認、選択を行い、透明タッチパネルの操作によって機器の各機能の切り替えを行うものが増えている。
【０００３】
タッチパネルは、例えば、銀行ＡＴＭ、自動販売機、携帯情報端末（ＰＤＡ、ＵＭＰＣ）、複写機、ファクシミリ、携帯ゲーム機、案内板、カーナビゲーション、マルチメディアステーション（コンビニエンスストアに設置されている多機能端末）、携帯電話、鉄道車両のモニタ装置、クイズ番組などの回答用機器等の入力機器として急激に普及している。
【０００４】
既存のタッチパネルの方式としては、抵抗膜方式、光学方式、静電容量方式、超音波方式、圧力方式、電磁波誘導方式、画像認識方式、振動検出方式などに分けられる。
液晶などの表示装置上に配置されるタッチパネルとしての具体例としては、抵抗膜方式や静電容量方式があり、抵抗膜方式は押圧された位置を電圧によって検知する方式であり、静電容量方式は押圧することによって起きる静電容量の変化を捉えて位置を検出するものである。
静電容量方式は、特許文献１〜３などが開示され、接触した位置の誤認識を防ぐ為にその積層構造の中に絶縁膜や保護膜を設けることが行なわれている。
【０００５】
この絶縁膜や保護膜において要求される性能は、基材、下地、その他の層（ガラス、無機材料、金属材料、ＩＴＯなどの透明電極、有機材料など）との密着性、ＩＴＯやモリブデンのエッチング液などへの耐性（エッチャント耐性）、タッチパネル製造工程での高温焼成工程への耐熱性、積層基板にした際の透過率、絶縁性などが求められている。
【０００６】
またタッチパネル用途に用いられる絶縁膜や保護膜は高い表面硬度が要求され、特許文献４には、樹脂成分に無機酸化物微粒子を添加する方法が開示されている。
さらに特許文献５にはイソシアネート基含有シラン化合物を用いて基材密着性を向上する方法が開示されている。
【０００７】
しかし、これらの方法では、高温での焼成工程により黄変し、透過率が低くなったり、絶縁性が悪化したり、安定性が不十分であるなどの問題が見られる。
すなわち従来の感光性組成物では、基材密着性や、鉛筆硬度、耐性にも優れ、透過率、絶縁性、安定性など、すべてを満足することはできなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−６５７４８号公報
【特許文献２】特開２００９−１５４８９号公報
【特許文献３】特開２０１０−４４４５３号公報
【特許文献４】特開２０００−２８１８６３号公報
【特許文献５】特開２０１１−１０２３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、基材や下地などとの密着性が良好であり、鉛筆硬度、エッチャント耐性に優れる塗膜を形成でき、経時安定性に優れた感光性組成物と、それを用いた保護膜あるいはタッチパネル用絶縁膜を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、前記課題を解決しうる新たな手段について鋭意検討の結果、少なくともエチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）と、特定構造を有するシラン化合物（Ｂ）とを含む感光性組成物により、前述の課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
【００１１】
即ち、本発明は、少なくともエチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）と、下記一般式（１）で表わされるシラン化合物（Ｂ）とを含有する感光性組成物に関する。
一般式（１）：
【化１】
0005867197.tif 000002
[一般式（１）中、Ｒ1は炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数６〜２０のアリールオキシ基、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数７〜３０のアルアルキル基、または、炭素数７〜３０のアルカリール基を表し、
Ｘは炭素数１〜２０のアルキレン基、炭素数１〜２０のアリーレン基、または、炭素数１〜２０のアルコキシレン基を表し、
Ｒ2、Ｒ3およびＲ4は互いに独立して、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数６〜２０のアリールオキシ基、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数７〜３０のアルアルキル基、炭素数７〜３０のアルカリール基、置換基を有するシロキサン、ハロゲン、ヒドロキシおよび水素を表す。]
【００１２】
また、本発明は、シラン化合物（Ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）が１００以上５０００未満であり、かつ感光性組成物の固形分合計１００重量％中の該シラン化合物（Ｂ）の含有量が５重量％以上６０重量％未満であることを特徴とする上記感光性組成物に関する。
【００１３】
また、本発明は、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）が、二重結合当量３５０ｇ/ｍｏｌ以上１２００ｇ/ｍｏｌ未満であり、かつ重量分子量Ｍｗ５００以上４００００未満である化合物を含むことを特徴とする、上記感光性組成物に関する。
【００１４】
また、本発明は、さらに、ケイ素、アルミニウム、ジルコニウム、チタニウムおよび亜鉛よりなる群から選ばれる少なくとも一つの元素の酸化物微粒子（Ｃ）を含むことを特徴とする上記感光性組成物に関する。
【００１５】
また、本発明は、酸化物微粒子（Ｃ）の含有量が、感光性組成物の固形分合計１００重量％中、５重量％以上５０重量％未満であり、シラン化合物（Ｂ）の重量（ｂ）と酸化物微粒子（Ｃ）の重量（ｃ）との比率（ｂ/ｃ）が、０．４以上２０．０未満であることを特徴とする上記感光性組成物に関する。
【００１６】
また、本発明は、さらに、溶剤（Ｄ）を含有し、溶剤（Ｄ）の２０℃での水に対する溶解度が１ｇ/１００ｍｌ以上３０ｇ/１００ｍｌ未満であることを特徴とする上記感光性組成物に関する。
【００１７】
また、本発明は、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）が酸価（固形分換算）３０ｍｇＫＯＨ/ｇ以上２００ｍｇＫＯＨ/ｇ未満の化合物を含むことを特徴とする、上記感光性組成物に関する。
【００１８】
また、本発明は、さらに、テトラアルコキシシラン（Ｅ）を含有し、シラン化合物（Ｂ）の重量（ｂ）とテトラアルコキシシラン（Ｅ）の重量（e）との比率（ｂ/e）が、２以上２０未満であることを特徴とする上記感光性組成物に関する。
【００１９】
また、本発明は、上記感光性組成物を用いてなる保護膜に関する。
【００２０】
また、本発明は、上記感光性組成物を用いてなるタッチパネル用絶縁膜に関する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の感光性組成物により、基材や下地などとの密着性が良好であり、かつ経時安定性に優れ、鉛筆硬度、エッチャント耐性に優れる塗膜の形成が可能であり、優れた保護膜あるいはタッチパネル用絶縁膜の提供が可能となる。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明を詳細に説明する。
なお、本願では、「（メタ）アクリロイル」、「（メタ）アクリル」、「（メタ）アクリル酸」、又は「（メタ）アクリレート」と表記した場合には、特に説明がない限り、それぞれ、「アクリロイル及び／又はメタクリロイル」、「アクリル及び／又はメタクリル」、「アクリル酸及び／又はメタクリル酸」、又は「アクリレート及び／又はメタクリレート」を表すものとする。
【００２３】
まず本発明の感光性組成物の各種構成成分について説明する。
＜エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）＞
本発明の感光性組成物は、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）を含むことを特徴とする。
エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）としては、エチレン性不飽和二重結合を有する単量体（Ａ１）、あるいは、側鎖にエチレン性不飽和二重結合を有する樹脂[Ａ２]が挙げられる。
エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）は、エチレン性不飽和二重結合を有する単量体（Ａ１）と、側鎖にエチレン性不飽和二重結合を有する樹脂[Ａ２]とのうちの、いずれか一方、あるいは両方を含んでいても良いが、エチレン性不飽和二重結合を有する単量体（Ａ１）の含有量は、感光性組成物の固形分の合計１００重量％中、５〜８０重量％の量で用いることが好ましい。この場合、５重量％より単量体（Ａ１）が少ないと、鉛筆硬度アップや耐溶剤性付与という効果が得られず、８０重量％より多いと透過率の低下、基材密着性の低下が起こりやすい。より好ましくは、１０〜５０重量％である。
【００２４】
＜エチレン性不飽和二重結合を有する単量体（Ａ１）＞
エチレン性不飽和二重結合を有する単量体（Ａ１）としては、一般式（２）で表される化合物（ａ１）、酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ２）、水酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ３）、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ４）、イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ５）、および、（ａ１）〜（ａ５）以外のエチレン性不飽和単量体（ａ６）があげられる。
【００２５】
＜一般式（２）で表される化合物（ａ１）＞
一般式（２）：
【化２】
0005867197.tif 000003
[一般式（２）中、Ｒ7およびＲ8は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。]
【００２６】
一般式（２）中、Ｒ7およびＲ8で表される、置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基としては、特に制限はないが、例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、イソブチル、ｔ−ブチル、ｔ−アミル、ステアリル、ラウリル、２−エチルヘキシル等の直鎖状または分岐状のアルキル基；フェニル等のアリール基；シクロヘキシル、ｔ−ブチルシクロヘキシル、ジシクロペンタジエニル、トリシクロデカニル、イソボルニル、アダマンチル、２−メチル−２−アダマンチル等の脂環式基；１−メトキシエチル、１−エトキシエチル等のアルコキシで置換されたアルキル基；ベンジル等のアリール基で置換されたアルキル基；等が挙げられる。これらの中でも特に、メチル、エチル、シクロヘキシル、ベンジル等のような酸や熱で脱離しにくい炭化水素基が耐熱性の点で好ましい。なお、Ｒ7およびＲ8は、同種の炭化水素基であってもよいし、異なる炭化水素基であってもよい。
【００２７】
[化合物（ａ１）]
化合物（ａ１）の具体例としては、例えば、ジメチル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジエチル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ｎ−プロピル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（イソプロピル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ｎ−ブチル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（イソブチル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ｔ−ブチル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ｔ−アミル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ステアリル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ラウリル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（２−エチルヘキシル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（１−メトキシエチル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（１−エトキシエチル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジベンジル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジフェニル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジシクロヘキシル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ｔ−ブチルシクロヘキシル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ジシクロペンタジエニル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（トリシクロデカニル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（イソボルニル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジアダマンチル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（２−メチル−２−アダマンチル）−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート等が挙げられる。これらの中でも特に、ジメチル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジエチル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジシクロヘキシル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジベンジル−２，２′−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエートがあげられる。
これらの化合物（ａ１）は、１種を単独で、または必要に応じて任意の比率で２種以上混合して用いることができる。
【００２８】
＜酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ２）＞
酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ２）としては、例えば、（メタ）アクリル酸やイタコン酸、クロトン酸、ｏ−、ｍ−、ｐ−ビニル安息香酸、（メタ）アクリル酸のα位ハロアルキル、アルコキシル、ハロゲン、ニトロ、シアノ置換体等のモノカルボン酸等のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体（不飽和一塩基酸（ａ２‘））、
Ｎ−ヒドロキシフェニルマレイミド等のフェノール性水酸基を有するエチレン性不飽和単量体、
テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等の多塩基酸無水物等が挙げられるが、これらの中でも特に、（メタ）アクリル酸が好ましい。
【００２９】
＜水酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ３）＞
水酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ３）としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−若しくは３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−若しくは３−若しくは4−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、又はシクロヘキサンジメタノールモノ（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類が挙げられ、これらは、単独で用いても、２種類以上を併用して用いてもかまわない。
また、上記ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートに、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、及び／又はブチレンオキシド等を付加重合させたポリエーテルモノ（メタ）アクリレートや、（ポリ）γ−バレロラクトン、（ポリ）ε−カプロラクトン、及び／又は（ポリ）１２−ヒドロキシステアリン酸等を付加した（ポリ）エステルモノ（メタ）アクリレートも使用できる。
【００３０】
＜エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ４）＞
エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ４）としては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−グリシドキシエチル（メタ）アクリレート、３，４エポキシブチル（メタ）アクリレート、及び３，４エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレートが挙げられ、これらは、単独で用いても、２種類以上を併用してもかまわない。
【００３１】
＜イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ５）＞
イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ５）としては、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、又は１，１−ビス〔（メタ）アクリロイルオキシ〕エチルイソシアネート等が挙げられ、これらに限定することなく、２種類以上併用することもできる。
【００３２】
＜（ａ１）〜（ａ５）以外のエチレン性不飽和単量体（ａ６）＞
（ａ１）〜（ａ５）以外のエチレン性不飽和単量体（ａ６）としては、メチル（メタ）メタアクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｓ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、イソペンチルアクリレート、ネオペンチル(メタ)アクリレート、ｔ−ペンチル(メタ)アクリレート、１−メチルブチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプタ（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート等のアルキル（メタ）アクリレート、あるいは、（ａ６‘）として後述するアルキル（メタ）アクリレート、
アリル（メタ）アクリレート、又はオレイル（メタ）アクリレート、ビニル（メタ）アクリレート等のアルケニル（メタ）アクリレート、ベンジルメタクリレート等の置換されたアルキル（メタ）アクリレート、
スチレン、メチルスチレン、塩化ビニル、酢酸ビニル、ブタジエン、イソプレン、シクロペンタジエン、シクロヘキセン等のビニル化合物などの単官能単量体、
トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート等のモノヒドロキシオリゴアクリレートまたはモノヒドロキシオリゴメタクリレート類と、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、テレフタル酸等のジカルボン酸類との遊離カルボキシル基含有モノエステル化物；プロパン−１，２，３−トリカルボン酸（トリカルバリル酸）、ブタン−１，２，４−トリカルボン酸、ベンゼン−１，２，３−トリカルボン酸、ベンゼン−１，３，４−トリカルボン酸、ベンゼン−１，３，５−トリカルボン酸等のトリカルボン酸類と、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート等のモノヒドロキシモノアクリレートまたはモノヒドロキシモノメタクリレート類との遊離カルボキシル基含有オリゴエステル化物などの多官能単量体が挙げられるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
これらの光重合性単量体は、１種を単独で、または必要に応じて任意の比率で２種以上混合して用いることができる。
【００３３】
なかでも、１分子中に７個以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能単量体を含むことが好ましい。これを含むことで、鉛筆硬度、エッチャント耐性に優れるものとなる。また透過率の維持、鉛筆硬度と基材密着性のバランスなどの観点から７〜１６個のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能単量体であることが好ましく、さらに７〜１２個である場合、鉛筆硬度と基材密着性、さらにエッチャント耐性に優れるため、より好ましい。
このような多官能単量体として市販品では、例えば、ビスコート＃８０２（トリペンタエリスリトールオクタアクリレート、テトラペンタエリスリトールデカアクリレート、およびペンタペンタエリスリトールドデカアクリレートの混合物、大阪有機化学工業株式会社製）を挙げることができる。
【００３４】
＜側鎖にエチレン性不飽和二重結合を有する樹脂の骨格となる樹脂[Ａ２]＞
側鎖にエチレン性不飽和二重結合を有する樹脂の骨格となる樹脂[Ａ２]としては、熱可塑性樹脂[Ａ２−１]、熱硬化性樹脂[Ａ２−２]がある。
側鎖にエチレン性不飽和二重結合を有する樹脂の骨格となる樹脂[Ａ２]は、可視光領域の４００〜７００ｎｍの全波長領域において分光透過率が好ましくは８０％以上、より好ましくは９５％以上の樹脂である。また、それぞれの樹脂を単独に使用しても良いし、併用しても良い。
【００３５】
熱硬化性樹脂[Ａ２−２]は、例えば、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、及びフェノール樹脂等が挙げられる。中でも、耐熱性向上の観点から、エポキシ樹脂、メラミン樹脂がより好適に用いられる。
【００３６】
熱可塑性樹脂[Ａ２−１]は、例えば、アクリル樹脂、ブチラール樹脂、スチレンーマレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、ビニル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリエチレン（HDPE、LDPE）、ポリブタジエン、及びポリイミド樹脂等が挙げられる。
熱可塑性樹脂[Ａ２−１]としては、酸性基含有エチレン性不飽和単量体を共重合したアルカリ可溶性ビニル系樹脂がより好ましい。
【００３７】
酸性基含有エチレン性不飽和単量体（ａ２）を共重合したアルカリ可溶性ビニル系樹脂は、例えば、カルボキシル基、スルホン基、フェノール性水酸基、多塩基酸無水物基等の酸性基を有する樹脂が挙げられる。これら酸基は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。アルカリ可溶性樹脂として具体的には、酸性基を有するアクリル樹脂、α−オレフィン／（無水）マレイン酸共重合体、スチレン／スチレンスルホン酸共重合体、エチレン／（メタ）アクリル酸共重合体、又はイソブチレン／（無水）マレイン酸共重合体等が挙げられる。中でも、酸性基を有するアクリル樹脂、およびスチレン／スチレンスルホン酸共重合体から選ばれる少なくとも１種の樹脂、特に酸性基を有するアクリル樹脂は、耐熱性、透明性が高いため、好適に用いられる。
【００３８】
樹脂に酸基を導入する方法としては、酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ２）を用いる方法、あるいは重合後に酸基を付与しうるエチレン性不飽和単量体を、エチレン性不飽和単量体成分として重合する方法を用いても良い。
【００３９】
酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ２）を含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全エチレン性不飽和単量体成分の合計１００重量％中５〜７０重量％、好ましくは１０〜６０重量％であるのがよい。
【００４０】
重合後に酸基を付与しうるエチレン性不飽和単量体としては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ３）、グリシジル（メタ）アクリレート等のエポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ４）等が挙げられる。
水酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ３）を用いる場合には、例えば水酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ３）と、共重合可能なその他のエチレン性不飽和単量体とを共重合することによって得られた共重合体の水酸基に、多塩基酸無水物を反応させ、酸基（カルボキシル基）を導入することが出来る。あるいは、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ４）を用いる場合には、例えばエポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ４）と、共重合可能なその他のエチレン性不飽和単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖エポキシ基に、カルボキシル基を有する不飽和一塩基酸（ａ２‘）を付加反応させ、更に、生成した水酸基に、多塩基酸無水物を反応させ、酸基（カルボキシル基）を導入することが出来る。この方法では、水酸基と多塩基酸無水物を過不足なく反応させると水酸基が消失する。一方、水酸基の一部と多塩基酸無水物を反応させることで、側鎖に水酸基を有し、かつカルボキシル基等の酸基およびエチレン性不飽和二重結合を有する樹脂が得られる。
【００４１】
重合後に酸基を付与するためのエチレン性不飽和単量体を含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全エチレン性不飽和単量体成分の合計１００重量％中５〜７０重量％、好ましくは１０〜６０重量％であるのがよい。
【００４２】
酸基を導入することにより、得られる感光性組成物は、酸基とエポキシ基あるいは水酸基が反応してエステル結合が生じることを利用した架橋反応が可能な感光性組成物、あるいは未硬化部をアルカリ現像液で現像可能な組成物、とすることができる。前記酸基としては、特に制限されないが、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、カルボン酸無水物基等が挙げられる。これら酸基は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【００４３】
＜樹脂にエチレン性不飽和二重結合を導入する方法＞
樹脂の側鎖にエチレン性不飽和二重結合を有するためには、たとえば以下に示す（ａ）や（ｂ）の方法が挙げられる。
【００４４】
[方法（ａ）]
方法(ａ)としては、例えば、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ４）と、他の１種類以上の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖エポキシ基に、エチレン性不飽和二重結合を有する不飽和一塩基酸のカルボキシル基を付加反応させ、更に、生成した水酸基に、多塩基酸無水物を反応させ、エチレン性不飽和二重結合およびカルボキシル基を導入する方法がある。
【００４５】
エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ４）としては、（Ａ１）で説明したものがあげられ、次工程の不飽和一塩基酸との反応性の観点で、グリシジル（メタ）アクリレートが好ましい。
【００４６】
不飽和一塩基酸（ａ２‘）としては、（Ａ１）で説明したものがあげられ、これらは、単独で用いても、２種類以上を併用してもかまわない。
【００４７】
多塩基酸無水物としては、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等が挙げられ、これらは単独で用いても、２種類以上を併用してもかまわない。カルボキシル基の数を増やす等、必要に応じて、トリメリット酸無水物等のトリカルボン酸無水物を用いたり、ピロメリット酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物を用いて、残った無水物基を加水分解したりすること等もできる。また、多塩基酸無水物として、エチレン性不飽和二重結合を有する、エトラヒドロ無水フタル酸、又は無水マレイン酸を用いると、更にエチレン性不飽和二重結合を増やすことができる。
【００４８】
方法(ａ)の類似の方法として、例えば、酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ２）と、他の１種類以上の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖カルボキシル基の一部に、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を付加反応させ、エチレン性不飽和二重結合およびカルボキシル基を導入する方法がある。
【００４９】
[方法(ｂ)]
方法(ｂ)としては、水酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ３）を使用し、他のカルボキシル基を有する不飽和一塩基酸（ａ２‘）や、（ａ３）（ａ２’）以外の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖水酸基に、イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ５）のイソシアネート基を反応させる方法がある。
【００５０】
水酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ３）としては、（Ａ１）で説明したものがあげられ、塗膜異物抑制の観点から、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、又はグリセロール（メタ）アクリレートが好ましい。
【００５１】
イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ５）としては、（Ａ１）で説明したものがあげられる。
【００５２】
特に、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、若しくはα−クロルアクリル酸等の不飽和モノカルボン酸、又はマレイン酸、若しくはフマル酸等の不飽和ジカルボン酸等のカルボキシル基を含有しかつエチレン性不飽和二重結合を有する化合物等の酸基を有するエチレン性不飽和単量体（ａ２）からなる群と、（Ａ１）で説明中（ａ６）として説明したアルキル（メタ）アクリレート類からなる群から選ばれ、それぞれ１種類以上使用することが好ましい。
【００５３】
樹脂[Ａ２]は、二重結合当量が３５０ｇ/ｍｏｌ以上１２００ｇ/ｍｏｌ未満であり、分子量Ｍｗが５００以上４００００未満であることが好ましい。二重結合当量が３５０ｇ／ｍｏｌより小さい場合は、樹脂の硬化収縮が大きくなるため基材密着性が低下することがあり、二重結合当量が１２００ｇ／ｍｏｌを超える場合は、十分な鉛筆硬度を満たすことができないことがあるため好ましくない。また、重量分子量Ｍｗが５００より小さい場合は、樹脂の硬化収縮が大きくなるため基材密着性が低下することがあり、重量分子量Ｍｗが４００００を超える場合は、鉛筆硬度が悪化することがあり好ましくない。
二重結合当量が３５０〜１２００ｇ／ｍｏｌ、重量分子量Ｍｗが５００以上４００００未満であることで、優れた鉛筆硬度および基材密着性を引き出すことが可能である。
【００５４】
また、樹脂[Ａ２]の酸価が３０ｍｇＫＯＨ/ｇ以上２００ｍｇＫＯＨ/ｇ未満であることが、感光性組成物の現像性や経時安定性の面からより好ましい。酸価が３０未満である場合は、感光性組成物の現像性が低下するため好ましくない。酸価が２００以上である場合は、シラン化合物（Ｂ）の加水分解を促進し、感光性組成物が形成する塗膜の鉛筆硬度や基板密着性が経時経過とともに低下するため、好ましくない。
【００５５】
[樹脂（Ａ２−ａ）]
樹脂[Ａ２]は、下記一般式（２）で表される化合物（ａ１）と、化合物（ａ１）と共重合可能な他の化合物とを共重合してなる樹脂（Ａ２−ａ）であることが特に好ましい。
化合物（ａ１）の説明は、（Ａ１）で説明した通りである。
【００５６】
化合物（ａ１）と共重合可能なその他のエチレン性不飽和単量体とを共重合して樹脂（Ａ２−ａ）を得る際に、重合と同時に化合物（ａ１）の環化反応が進行してテトラヒドロピラン環構造が形成される。
【００５７】
樹脂（Ａ２−ａ）を得る際のエチレン性不飽和単量体成分中における化合物（ａ１）の割合は、特に制限されないが、全エチレン性不飽和単量体成分中２〜５０重量％、好ましくは５〜５５重量％、さらに好ましくは５〜５０重量％であるのがよい。化合物（ａ１）の量が多すぎると共重合の際、低分子量のものを得ることが困難になったり、あるいはゲル化し易くなったりするおそれがあり、一方、少なすぎると、透明性や耐熱性などの塗膜性能が不充分となるおそれがある。
【００５８】
[化合物（ａ１）と共重合可能な他の化合物]
化合物（ａ１）と共重合可能な他の化合物（ａ２）としては、化合物（ａ１）と共重合可能であればとくに制限は無く、（Ａ１）で説明中、（ａ２）〜（ａ６）として説明したものがあげられるが、アルカリ可溶性を付与するために酸基を導入するための単量体を含むことが好ましく、その他、エチレン性不飽和二重結合を導入するための単量体、側鎖型環状エーテル含有単量体（ａ６‘）が好ましい。
樹脂（Ａ２−ａ）に酸基、および、エチレン性不飽和二重結合を導入する方法については、すでに樹脂[ａ２]で説明した。
【００５９】
＜側鎖型環状エーテル含有単量体（ａ６‘）＞
側鎖型環状エーテル含有単量体（ａ６‘）としては、たとえば、テトラヒドロフラン骨格、フラン骨格、テトラヒドロピラン骨格、ピラン骨格、ラクトン骨格の郡から選ばれる少なくとも１つの骨格を含有する不飽和化合物である。
テトラヒドロフラン骨格としては、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、２−メタクリロイルオキシ−プロピオン酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフラン−３−イルエステルなど；
フラン骨格としては、２−メチル−５−（３−フリル）−１−ペンテン−３−オン、フルフリル（メタ）アクリレート、１−フラン−２−ブチル−３−エン−２−オン、１−フラン−２−ブチル−３−メトキシ−３−エン−２−オン、６−（２−フリル）−２−メチル−１−ヘキセン−３−オン、６−フラン−２−イル−ヘキシ−１−エン−３−オン、アクリル酸２−フラン−２−イル−１−メチル−エチルエステル、６−（２−フリル）−６−メチル−１−ヘプテン−３−オンなど；
テトラヒドロピラン骨格としては、（テトラヒドロピラン−２−イル）メチルメタクリレート、２，６−ジメチル−８−（テトラヒドロピラン−２−イルオキシ）−オクト−１−エン−３−オン、２−メタクリル酸テトラヒドロピラン−２−イルエステル、１−（テトラヒドロピラン−２−オキシ）−ブチル−３−エン−２−オンなど；
ピラン骨格としては、４−（１，４−ジオキサ−５−オキソ−６−ヘプテニル）−６−メチル−２−ピロン、４−（１，５−ジオキサ−６−オキソ−７−オクテニル）−６−メチル−２−ピロンなど；
ラクトン骨格としては、２−プロペン酸２−メチル−テトラヒドロ−２−オキソ−３−フラニルエステル、２−プロペン酸２−メチル−７−オキソ−６−オクサビシクロ［３．２．１］オクト−２−イルエステル、２−プロペン酸２−メチル−ヘキサヒドロ−２−オキソ−３，５−メタノ−２Ｈ−シクロペンタ［ｂ］フラン−７−イルエステル、２−プロペン酸２−メチル−テトラヒドロ−２−オキソ−２Ｈ−ピラン−３−イルエステル、２−プロペン酸（テトラヒドロ−５−オキソ−２−フラニル）メチルエステル、２−プロペン酸ヘキサヒドロ−２−オキソ−２，６−メタノフロ［３，２−ｂ］−６−イルエステル、２−プロペン酸２−メチル−２−（テトラヒドロ−５−オキソ−３−フラニル）エチルエステル、２−プロペン酸２−メチル−デカヒドロ−８−オキソ−５，９−メタノ−２Ｈ−フロ［３，４−ｇ］−１−ベンゾピラン−２−イルエステル、２−プロペン酸２−メチル−２−［（ヘキサヒドロ−２−オキソ−３，５−メタノ−２Ｈ−シクロペンタ［ｂ］フラン−６−イル）オキシ］エチルエステル、２−プロペン酸３−オキソ−３−［（テトラヒドロ−２−オキソ−３−フラニル）オキシ］プロピルエステル、２−プロペン酸２−メチル−２−オキシ−１−オクサスピロ［４．５］デク−８−イルエステルなどが挙げられる。
これらのうちテトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレートが着色、入手性の点から好ましい。これら側鎖型環状エーテル含有単量体は単独で用いても２種以上を複合して用いても構わない。
【００６０】
樹脂（Ａ２−ａ）を得る際の単量体成分中における前記側鎖型環状エーテル含有単量体（ａ６‘）の割合は、特に制限されないが、全単量体成分中１０〜８０重量％、好ましくは２０〜７０重量％、さらに好ましくは３０〜６０重量％であるのがよい。側鎖型環状エーテル含有単量体の量が多すぎると、親水性が強くなりすぎてアルカリ現像時に表面が白化したり、パターンが欠けたり、ガラスへの密着性が低下し易くなったりするおそれがあり、一方、少なすぎると、耐熱性などの性能が不充分となる恐れがある。
【００６１】
側鎖型環状エーテル含有単量体（ａ６‘）以外で、化合物（ａ１）と共重合可能な他の化合物として使用できるその他の共重合可能な単量体としては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ベンジル、スチレンが、透明性が良好で、耐熱性を損ないにくい点で好ましい。これら共重合可能な他の単量体は、１種のみ用いても２種以上を併用してもよい。
【００６２】
前記単量体成分の重合反応の方法としては、特に制限はなく、従来公知の各種重合方法を採用することができるが、特に、溶液重合法によることが好ましい。なお、重合温度や重合濃度（重合濃度＝［単量体成分の全重量／（単量体成分の全重量＋溶媒重量）］×１００とする）は、使用する単量体成分の種類や比率、目標とするポリマーの分子量によって異なるが、好ましくは、重合温度４０〜１５０℃、重合濃度５〜５０％とするのがよく、さらに好ましくは、重合温度６０〜１３０℃、重合濃度１０〜４０％とするのがよい。
樹脂（Ａ２−ａ）は、感光性組成物の固形分の合計１００重量％中、１０〜６０重量％の量で用いることが好ましい。樹脂（Ａ２−ａ）が１０重量％より少ない場合、充分な基材密着性良化、高耐熱性の効果を得られず、６０重量％より多い場合、光硬化成分量の含有量が少なくなり、充分な塗膜の鉛筆硬度を得る事が難しい。
【００６３】
（その他の樹脂（Ａ２−ｂ）
本発明の感光性組成物の樹脂[Ａ２]は、樹脂（Ａ２−ａ）に加えて、その他の樹脂（Ａ２−ｂ）を含んでいても良い。その他の樹脂（Ａ２−ｂ）が共重合体である場合は、樹脂（Ａ２−ａ）の化合物（ａ１）を共重合成分として含まないものに相当し、なかでも前述した酸基を導入するための単量体あるいはラジカル重合性二重結合を導入するための単量体を共重合成分として含むものが好ましい。また、その他の樹脂（Ａ２−ｂ）は熱硬化性樹脂であっても良い。
【００６４】
＜シラン化合物（Ｂ）＞
本発明の感光性組成物は、下記一般式（１）で表わされるシラン化合物（Ｂ）を含む。
一般式（１）
【化３】
0005867197.tif 000004
[一般式（１）中、Ｒ1は炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数６〜２０のアリールオキシ基、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数７〜３０のアルアルキル基、または、炭素数７〜３０のアルカリール基を表し、
Ｘは炭素数１〜２０のアルキレン基、炭素数１〜２０のアリーレン基、または、炭素数１〜２０のアルコキシレン基を表し、
Ｒ2、Ｒ3およびＲ4は互いに独立して、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数６〜２０のアリールオキシ基、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数７〜３０のアルアルキル基、炭素数７〜３０のアルカリール基、置換基を有するシロキサン、ハロゲン、ヒドロキシおよび水素を表す。]
【００６５】
一般式（１）で表わされるシラン化合物（Ｂ）を含むことによりガラス基材、ＩＴＯ、モリブデンなどのタッチパネルに用いられる部材との密着性が向上し、かつ鉛筆硬度が向上する。
【００６６】
一般式（１）で表わされるシラン化合物（Ｂ）としては、例えば（３−カルバメートエチル）プロピルトリエトキシシラン、（３−カルバメートエチル）プロピルトリメトキシシラン、（３−カルバメートエチル）プロピルトリプロパキシシラン、（３−カルバメートプロピル）プロピルトリエトキシシラン、（３−カルバメートプロピル）プロピルトリメトキシシラン、（３−カルバメートプロピル）プロピルトリプロパキシシラン、（３−カルバメートブチル）プロピルトリエトキシシラン、（３−カルバメートブチル)プロピルトリメトキシシラン、（３−カルバメートブチル)プロピルトリプロパキシシラン、（３−カルバメートブチル)ブチルトリプロパキシシラン、（３−カルバメートブチル）プロピルメチルジエトキシシラン、（３−カルバメートペンチル）プロピルトリエトキシシラン、（３−カルバメートヘキシル）プロピルトリエトキシシラン、３−カルバメートオクチル）ペンチルトリブトキシシラン、
（３−カルバメートエチル）プロピルシリルトリクロライド、（３−カルバメートエチル）プロピルトリメチルシラン、３−カルバメートエチル）プロピルジメチルシラン、３−カルバメートエチル）プロピルトリブチルシラン、３−カルバメートエチル）エチル-ｐ-キシレントリエトキシシラン、３−カルバメートエチル）-ｐ-フェニレントリエトキシシランなどが挙げられるが、これらに限らない。また一般式（１）で表わされるシラン化合物（Ｂ）はその加水分解によるシラノール化合物であっても、それらが縮合したポリオルガノシロキサン化合物でも良い。
【００６７】
シラン化合物（Ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は１００以上５０００未満が好ましく、かつ感光性組成物の固形分合計１００重量％中の該シラン化合物（Ｂ）の含有量が５重量％以上６０重量％未満であることが好ましい。シラン化合物（Ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）が１００未満の場合基材密着性が悪化し、５０００以上の場合鉛筆硬度が悪化するため好ましくない。また含有量が５重量％未満の場合鉛筆硬度が低下し、６０重量％以上の場合基材密着性と透過率が低下するため好ましくない。
また、シラン化合物（Ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は２００以上５００未満であることが、鉛筆硬度と基材密着性の点からより好ましく、感光性組成物の固形分合計１００重量％中の該シラン化合物（Ｂ）の含有量が１０重量％以上５０重量％未満であることが、基材密着性の点からより好ましい。
【００６８】
イソシアネート基含有シラン化合物、例えば３−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、３−イソシアネートプロピルトリプロパキシシランは、感光性組成物中の溶剤、樹脂、単量体、水分と反応して白濁したり、ゲル化したりすることがある。またその硬化塗膜は安定して高い鉛筆硬度と基材密着性を発現できない。それと比較して一般式（１）で表わされるシラン化合物（Ｂ）は、イソシアネート基のような高い反応性を持つ部位を持たないため、熱的、化学的に安定である。そのため、シラン化合物（Ｂ）は感光性組成物中でも経時安定性に優れており、安定して高い鉛筆硬度と良好な基材密着性を示すことができる。
【００６９】
＜酸化物微粒子（Ｃ）＞
本発明の感光性組成物には酸化物微粒子（Ｃ）を含むことが好ましい。酸化物微粒子は表面処理されていても良く、得られる硬化性組成物の硬化被膜の無色性の観点から、ケイ素、アルミニウム、ジルコニウム、チタニウムおよび亜鉛よりなる群から選ばれる少なくとも一つの元素の酸化物粒子であることが好ましい。なかでも透過率の観点から、ケイ素、ジルコニウム、またはアルミニウムの酸化物粒子が好ましく、とくにケイ素の酸化物粒子が好ましい。
酸化物微粒子（Ｃ）を用いることで、さらに鉛筆硬度を高く、エッチャント耐性の高い塗膜を得ることができる。
【００７０】
酸化物微粒子（Ｃ）は、分散液中あるいは塗布液中で、分散安定化を図るために、あるいはバインダー成分との親和性、結合性を高めるために、プラズマ放電処理やコロナ放電処理のような物理的表面処理、界面活性剤やカップリング剤等による化学的表面処理がなされていても良い。
【００７１】
酸化物粒子（Ｃ）の平均一次粒子径は、１ｎｍ〜１０００ｎｍが好ましく、３ｎｍ〜１００ｎｍがさらに好ましく、５ｎｍ〜３０ｎｍが特に好ましい。平均一次粒子径が１０００ｎｍを超えると、硬化物としたときの透明性が低下したり、被膜としたときの表面状態が悪化する傾向がある。また、粒子の分散性を改良するために各種の界面活性剤やアミン類を添加してもよい。
【００７２】
酸化物微粒子（Ｃ）の平均一次粒子径は、たとえばＢＥＴ法を用いて測定される。具体的には、ＢＥＴ法にて得られた無機酸化物微粒子の比表面積を得、無機酸化物の比重を用いて体積と表面積の比を算出し、粒子を真球であると仮定して、これらの比から粒子径を求め、平均一次粒子径とする方法がある。
【００７３】
酸化物粒子（Ｃ）は、有機溶媒分散物として用いるのが好ましい。有機溶媒分散物として用いる場合、他の成分との相溶性、分散性の観点から、分散媒は、有機溶剤が好ましい。このような有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール等のアルコール系溶剤；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤；酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエステル系溶剤；エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のエーテル系溶剤；ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミド系溶剤等が挙げられる。
中でも、メタノール、イソプロパノール、ブタノール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、トルエン、キシレン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが好ましい。
【００７４】
本発明に特に好ましく用いられるケイ素の酸化物微粒子分散液として市販されている商品としては、日産化学工業（株）製ＭＡ−ＳＴ−ＭＳ、ＩＰＡ−ＳＴ、ＩＰＡ−ＳＴ−ＭＳ、ＩＰＡ−ＳＴ−Ｌ、ＩＰＡ−ＳＴ−ＺＬ、ＩＰＡ−ＳＴ−ＵＰ、ＥＧ−ＳＴ、ＮＰＣ−ＳＴ−３０、ＭＥＫ−ＳＴ、ＭＥＫ−ＳＴ−Ｌ、ＭＩＢＫ−ＳＴ、ＮＢＡ−ＳＴ、ＸＢＡ−ＳＴ、ＤＭＡＣ−ＳＴ、ＳＴ−ＵＰ、ＳＴ−ＯＵＰ、ＳＴ−２０、ＳＴ−４０、ＳＴ−Ｃ、ＳＴ−Ｎ、ＳＴ−Ｏ、ＳＴ−５０、ＳＴ−ＯＬ等、触媒化成工業（株）製中空シリカＣＳ６０−ＩＰＡ等を挙げることができる。また粉体シリカとしては、日本アエロジル（株）製アエロジル１３０、アエロジル３００、アエロジル３８０、アエロジルＴＴ６００、アエロジルＯＸ５０、旭硝子（株）製シルデックスＨ３１、Ｈ３２、Ｈ５１、Ｈ５２、Ｈ１２１、Ｈ１２２、日本シリカ工業（株）製Ｅ２２０Ａ、Ｅ２２０、富士シリシア（株）製ＳＹＬＹＳＩＡ４７０、日本板硝子（株）製ＳＧフレ−ク等を挙げることができる。
【００７５】
本発明に好ましく用いられるジルコニアの酸化物微粒子分散液として市販されている商品としては、日産化学工業（株）製ＺＲ−４０ＢＬ、ＺＲ−３０ＢＳ、ＺＲ−３０ＡＬ、ＺＲ−３０ＡＨ等、住友大阪セメント（株）製ＨＸＵ−１１０ＪＣを挙げることができる。
【００７６】
本発明に好ましく用いられるアルミニウムの酸化物微粒子分散液として市販されている商品としては、日産化学工業（株）製アルミナゾル−１００、アルミナゾル−２００、アルミナゾル−５２０、住友大阪セメント（株）製ＡＳ−１５０Ｉ、ＡＳ−１５０Ｔが挙げられる。
【００７７】
その他、本発明に好ましく用いられる酸化物微粒子分散液としては、チタニウム、亜鉛等の酸化物微粒子分散液が挙げられ、市販品としては、シーアイ化成（株）製ナノテック等を挙げることができる。
【００７８】
酸化物微粒子（Ｃ）の添加量は感光性組成物における固形分合計１００重量％中、５重量％以上５０重量％未満が好ましく、１０〜３５重量％がさらに好ましい。添加量が５重量％未満である場合は鉛筆硬度、エッチャント耐性の向上などの効果が得られにくく、一方で５０重量％を超える場合は、基材密着性が低下する、透過率が低下するなどの問題が生じることがある。
また、一般式（１）で表されるシラン化合物（Ｂ）の重量（b）と酸化物微粒子（Ｃ）の重量（ｃ）との比率（ｂ/ｃ）が、０．４以上２０．０未満であることが好ましく、１．０以上１０．０未満がさらに好ましい。比率（ｂ/ｃ）が０．４未満である場合は基材密着性改善の効果が得られにくく、かつ絶縁性が低下するため好ましくない。比率（ｂ/ｃ）が２０．０以上である場合は鉛筆硬度やエッチャント耐性が低下するため好ましくない。
【００７９】
＜溶剤＞
本発明の感光性組成物に用いる溶剤としては、１，２，３−トリクロロプロパン、１，３−ブタンジオール、１，３−ブチレングリコール、１，４−ジオキサン、２−ヘプタノン、２−メチル−１，３−プロパンジオール、３，５，５−トリメチル−２−シクロヘキセン−１−オン、３，３，５−トリメチルシクロヘキサノン、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メチル−１，３−ブタンジオール、３−メトキシ−３−メチル−１−ブタノール、３−メトキシ−３−メチルブチルアセテート、３−メトキシブタノール、３−メトキシブチルアセテート、４−ヘプタノン、ｍ−キシレン、ｍ−ジエチルベンゼン、ｍ−ジクロロベンゼン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ｎ−ブチルアルコール、ｎ−ブチルベンゼン、ｎ−プロピルアセテート、Ｎ−メチルピロリドン、ｏ−キシレン、ｏ−クロロトルエン、ｏ−ジエチルベンゼン、ｏ−ジクロロベンゼン、ｐ−クロロトルエン、ｐ−ジエチルベンゼン、ｓｅｃ−ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ−ブチルベンゼン、γ―ブチロラクトン、イソブチルアルコール、イソホロン、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノターシャリーブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジイソブチルケトン、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノール、シクロペンタノン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ダイアセトンアルコール、トリアセチン、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、ベンジルアルコール、メチルイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノール、酢酸ｎ−アミル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、酢酸プロピル、二塩基酸エステル等が挙げられ、これらを単独でもしく���混合して用いる。
【００８０】
特に溶剤の乾燥性を考慮し、ダイコートや印刷法などにおいては１６０℃以上の高沸点溶剤を含むことが好ましく、たとえば、３−メトキシ−３−メチル−１−ブタノール（ｂｐ１７４℃）、１，３−ブタンジオール（ｂｐ２０３℃）、３−メチル−１，３−ブタンジオール（ｂｐ２０３℃）、２−メチル−１，３−プロパンジオール（ｂｐ２１３℃）、ジイソブチルケトン（ｂｐ１６８．１℃）、エチレングリコールモノブチルエーテル（ｂｐ１７１．２℃）、エチレングリコールモノヘキシルエーテル（ｂｐ２０８．１℃）、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ｂｐ１９１．５℃）、エチレングリコールジブチルエーテル（ｂｐ２０３．３℃）、ジエチレングリコールモノメチルエーテル（ｂｐ１９４．０℃）、ジエチレングリコールモノエチルエーテル（ｂｐ２０２．０℃）、ジエチレングリコールジエチルエーテル（ｂｐ１８８．４℃）、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル（ｂｐ２０７．３℃）、プロピレングリコールモノブチルエーテル（ｂｐ１７０．２℃）、プロピレングリコールジアセテート（ｂｐ１９０．０℃）、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｂｐ１８７．２℃）、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル（ｂｐ１９７．８℃）、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル（ｂｐ２１２．０℃）、ジプロピレングリコールジメチルエーテル（ｂｐ１７５℃）、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｂｐ２０６．３℃）、３−エトキシプロピオン酸エチル（ｂｐ１６９．７℃）、３−メトキシブチルアセテート（ｂｐ１７２．５℃）、３−メトキシ−３−メチルブチルアセテート（ｂｐ１８８℃）、γ−ブチロラクトン（ｂｐ２０４℃）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ｂｐ１６６．１℃）、Ｎ−メチルピロリドン（ｂｐ２０２℃）、ｐ−クロロトルエン（ｂｐ１６２．０℃）、ｏ−ジエチルベンゼン（ｂｐ１８３．４℃）、ｍ−ジエチルベンゼン（ｂｐ１８１．１℃）、ｐ−ジエチルベンゼン（ｂｐ１８３．８℃）、ｏ−ジクロロベンゼン（ｂｐ１８０．５℃）、ｍ−ジクロロベンゼン（ｂｐ１７３．０℃）、ｎ−ブチルベンゼン（ｂｐ１８３．３℃）、ｓｅｃ−ブチルベンゼン（ｂｐ１７８．３℃）、ｔｅｒｔ−ブチルベンゼン（ｂｐ１６９．１℃）、シクロヘキサノール（ｂｐ１６１．１℃）、シクロヘキシルアセテート（ｂｐ１７３℃）、メチルシクロヘキサノール（ｂｐ１７４℃）等が挙げられる。
【００８１】
＜溶剤（Ｄ）＞
さらに本発明の感光性組成物は、２０℃での水に対する溶解度が０．１ｇ/１００ｍｌ以上３０ｇ/１００ｍｌ未満である溶剤（Ｄ）を含むことが好ましい。溶剤の水に対する溶解度が３０ｇ/１００ｍｌ以上である場合、感光性組成物作製中に溶剤が水分を吸湿することでシラン化合物（Ｂ）が感光性組成物中で加水分解を起こし、感光性組成物が白濁化したり塗膜の基材密着性が低下したりする。また溶剤の水に対する溶解度が１ｇ/１００ｍｌ未満である場合、感光性組成物中の水分量が充分でなく加水分解によるシロキサン結合の形成などが起きにくくなり、塗膜の基材密着性が低下したりする場合がある。
溶剤（Ｄ）としては例えば、シクロヘキサノン（８．７ｇ/１００ｍｌ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（１６．０ｇ/１００ｍｌ）、１，３−ブチレングリコールジアセテート（５．０ｇ/１００ｍｌ）、シクロヘキサノールアセテート（０．２ｇ/１００ｍｌ）などが挙げられるが、これらだけに限らない。
２０℃での水に対する溶解度は、２０℃の水１００ｇに対し、２０℃の溶剤１００ｇを混合し、水層のみを分離して、水槽の重量と水の重量との差を求めることで得られる。
【００８２】
溶剤（Ｄ）の含有量は、感光性組成物中の固形分合計１００重量％に対して、２５〜６０００重量％の量で用いることができる。
【００８３】
＜テトラアルコキシシラン（Ｅ）＞
本発明の感光性組成物は、テトラアルコキシシラン（Ｅ）を含むことができる。
テトラアルコキシシラン（Ｅ）としては例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロパキシシラン、テトラブトキシシランなどが挙げられるが、これらだけに限らない。
感光性組成物中にテトラアルコキシシラン（Ｅ）を含有することで、感光性組成物中の水分による加水分解が優先的にテトラアルコキシシラン（Ｅ）にて行なわれ、シラン化合物（Ｂ）の加水分解を防ぐことができる。また、シラン化合物（Ｂ）の重量（ｂ）とテトラアルコキシシラン（Ｅ）の重量（e）との比率（ｂ/e）が、２以上２０未満であることが好ましい。シラン化合物（Ｂ）の重量（ｂ）とテトラアルコキシシラン（Ｅ）の重量（e）との比率（ｂ/e）が２未満の場合、塗膜形成時にテトラアルコキシシラン（Ｅ）の加水分解が多くなされ、シラン化合物（Ｂ）の加水分解がされにくくなり、塗膜の鉛筆硬度や基材密着性が低下するため好ましくない。シラン化合物（Ｂ）の重量（ｂ）とテトラアルコキシシラン（Ｅ）の重量（e）との比率（ｂ/e）が２０以上の場合、テトラアルコキシシラン（Ｅ）によるシラン化合物（Ｂ）の加水分解を防ぐ効果が少なくなり、好ましくない。
【００８４】
＜光重合開始剤＞
本発明の感光性組成物には、該組成物を紫外線照射により硬化させ、フォトリソグラフィー法により塗膜を形成するために、光重合開始剤を加えて溶剤現像型あるいはアルカリ現像型の感光性組成物の形態で調製することができる。
【００８５】
光重合開始剤としては、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン等のアセトフェノン系光重合開始剤、
１，２−オクタジオン−１−［４−（フェニルチオ）−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）］、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（ｏ−アセチルオキシム）等のオキシムエステル系光重合開始剤、
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系光重合開始剤、
ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン系光重合開始剤、
チオキサンソン、２−クロルチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系光重合開始剤、
２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペロニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（ピペロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジン等のトリアジン系光重合開始剤、
ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、
イミダゾール系光重合開始剤等が用いられ、これらを単独で、あるいは２種以上混合して用いることができる。
【００８６】
なかでもアセトフェノン系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤は感度が高く、添加量が少なくて良いため、透過率が高くなることから、好ましい。
また、アセトフェノン系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤のなかでも、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、１，２−オクタジオン−１−［４−（フェニルチオ）−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）］、とりわけ、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、１，２−オクタジオン−１−［４−（フェニルチオ）−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）］は、加熱工程時に黄変しないため、絶縁膜としての透過率が高く、特に波長４００ｎｍ付近の透過率が高い感光性組成物を提供することができるため、より好ましい。これらはそれぞれを単独で用いても良く、ともに含んでいても良い。
光重合開始剤は、感光性組成物の固形分の合計１００重量％中、１〜３０重量％の量で用いることが好ましく、透過率の観点から１〜１０重量％の量で用いることがより好ましい。
【００８７】
本発明の感光性組成物は、さらに増感剤として、α−アシロキシエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、４，４’−ジエチルイソフタロフェノン、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン等の化合物を併用することもできる。
増感剤は、光重合開始剤１００重量部に対して、０．１〜１５０重量部の量で用いることができる。
【００８８】
＜酸化防止剤＞
本発明の感光性組成物には酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤は、加熱工程を経ることによる黄変等による透過率の低下を抑制することができる。そのため、酸化防止剤を含むことで、加熱工程時の黄変を防止し、透過率の高い塗膜を得る事ができる。
【００８９】
本発明における「酸化防止剤」とは、紫外線吸収機能、ラジカル補足機能、または、過酸化物分解機能を有する化合物であればよく、具体的には、酸化防止剤としてヒンダードフェノール系、ヒンダードアミン系、リン系、イオウ系、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノン系、ヒドロキシルアミン系、サルチル酸エステル系、およびトリアジン系の化合物があげられ、公知の紫外線吸収剤、酸化防止剤等が使用できる。これらの酸化防止剤の中でも、塗膜の透過率と感度の両立の観点から、フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤およびイオウ系酸化防止剤が好ましい。フェノール系のなかでも特に、立体障害性の高いヒンダードフェノール系酸化防止剤がより好ましい。
【００９０】
［フェノール系酸化防止剤］
例えば、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−エチルフェノール、２，４−ビス−（ｎ−オクチルチオ）−６−（４−ヒドロキシ−３，５−ジ−ｔ−ブチルアニリノ）−１，３，５−トリアジン、２，２−チオ−ジエチレンビス｛３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート｝、Ｎ，Ｎ’−ヘキサメチレンビス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−ヒドロシンナミド）、３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジルフォスフォネート−ジエチルエステル、トリス−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）−イソシアヌレート、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メトキシフェノール、トリエチレングリコール−ビス｛３−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート｝、１，６−ヘキサンジオール−ビス｛３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート｝、ペンタエリスリチル−テトラキス｛３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート｝、オクタデシル−３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート、１，３，５−トリメチル−２，４，６−トリス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）ベンゼンなどが挙げられ、単独又は２種以上を使用してもよい。
【００９１】
なかでも、２，４−ビス−（ｎ−オクチルチオ）−６−（４−ヒドロキシ−３，５−ジ−ｔ−ブチルアニリノ）−１，３，５−トリアジン、ペンタエリスリトールテトラキス［３−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、Ｎ，Ｎ'−ヘキサメチレンビス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−ヒドロシンナミド）、３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジルフォスフォネート−ジエチルエステル、及びトリス−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）−イソシアヌレートからなる群から選ばれるヒンダードフェノール系酸化防止剤は、光硬化性の面から好ましい。
【００９２】
［リン系酸化防止剤］
リン系酸化防止剤としては、市販されているものを使用できるが、トリス［２，４−ジ−（ｔｅｒｔ）−ブチルフェニル］ホスフィントリス［２−［［２，４，８，１０−テトラキス（１，１−ジメチルエチル）ジベンゾ［ｄ，ｆ］［１，３，２］ジオキサホスフェピン−６−イル］オキシ］エチル］アミン、トリス［２−［（４，６，９，１１−テトラ−ｔｅｒｔ−ブチルジベンゾ［ｄ，ｆ］［１，３，２］ジオキサホスフェピン−２−イル）オキシ］エチル］アミン、亜りん酸エチルビス（２，４−ジｔｅｒｔ−ブチル−６−メチルフェニル）  が挙げられ、  これらからなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物であることが好ましく、これらは１種又は２種以上を使用することができる。
【００９３】
［イオウ系酸化防止剤］
イオウ系酸化防止剤は分子中にイオウを含む酸化防止剤である。このような含イオウ系酸化防止剤としては市販されているものを使用できるが、３，３'−チオジプロパン酸ジオクタデシル、ジミリスチル−３，３’−チオジプロピオネート、ジパルミチル−３，３’−チオジプロピオネート、ジステアリル−３，３’−チオジプロピオネート、４，４’−チオビス−３−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール、チオジエチレンビス［３−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］が挙げられ、これらからなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物であることが好ましく、これらは１種又は２種以上を使用することができる。
【００９４】
これらの酸化防止剤は、１種を単独で、または必要に応じて任意の比率で２種以上混合して用いることができる。
【００９５】
酸化防止剤の含有量は、感光性組成物の固形分合計１００重量％中、０．１重量％以上４重量％未満であることが好ましい。０．１重量％より少ない場合は、酸化防止剤が不足するため黄変防止効果が得られにくく、４重量％より多い場合には紫外線露光時に発生するラジカルを補足してしまうため、感光性組成物の硬化が不十分となることがある。
【００９６】
＜その他の成分＞
本発明の感光性組成物には、その他必要に応じて単官能単量体、界面活性剤、貯蔵安定剤、レベリング剤、光安定剤などを使用することもできる。
【００９７】
《貯蔵安定剤》
貯蔵安定剤としては、例えばベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの４級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、ｔ−ブチルピロカテコール、トリエチルホスフィン、トリフェニルフォスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。貯蔵安定剤は、感光性組成物の合計１００重量％中、０．１〜５重量％の量で用いることができる。
【００９８】
《レベリング剤》
本発明の着色組成物には、透明基板上での組成物のレベリング性をよくするため、レベリング剤を添加することが好ましい。レベリング剤としては、主鎖にポリエーテル構造又はポリエステル構造を有するジメチルシロキサンが好ましい。主鎖にポリエーテル構造を有するジメチルシロキサンの具体例としては、東レ・ダウコーニング社製ＦＺ−２１２２、ビックケミー社製ＢＹＫ−３３０などが挙げられる。主鎖にポリエステル構造を有するジメチルシロキサンの具体例としては、ビックケミー社製ＢＹＫ−３１０、ＢＹＫ−３７０などが挙げられる。主鎖にポリエーテル構造を有するジメチルシロキサンと、主鎖にポリエステル構造を有するジメチルシロキサンとは、併用することもできる。レベリング剤の含有量は通常、感光性組成物の合計１００重量％中、０．００３〜０．５重量％用いることが好ましい。
【００９９】
レベリング剤として特に好ましいものとしては、分子内に疎水基と親水基を有するいわゆる界面活性剤の一種で、親水基を有しながらも水に対する溶解性が小さく、着色組成物に添加した場合、その表面張力低下能が低いという特徴を有し、さらに表面張力低下能が低いにも拘らずガラス板への濡れ性が良好なものが有用であり、泡立ちによる塗膜の欠陥が出現しない添加量において十分に帯電性を抑止できるものが好ましく使用できる。このような好ましい特性を有するレベリング剤として、ポリアルキレンオキサイド単位を有するジメチルポリシロキサンが好ましく使用できる。ポリアルキレンオキサイド単位としては、ポリエチレンオキサイド単位、ポリプロピレンオキサイド単位があり、ジメチルポリシロキサンは、ポリエチレンオキサイド単位とポリプロピレンオキサイド単位とを共に有していてもよい。
【０１００】
また、ポリアルキレンオキサイド単位のジメチルポリシロキサンとの結合形態は、ポリアルキレンオキサイド単位がジメチルポリシロキサンの繰り返し単位中に結合したペンダント型、ジメチルポリシロキサンの末端に結合した末端変性型、ジメチルポリシロキサンと交互に繰り返し結合した直鎖状のブロックコポリマー型のいずれであってもよい。ポリアルキレンオキサイド単位を有するジメチルポリシロキサンは、東レ・ダウコーニング株式会社から市販されており、例えば、ＦＺ−２１１０、ＦＺ−２１２２、ＦＺ−２１３０、ＦＺ−２１６６、ＦＺ−２１９１、ＦＺ−２２０３、ＦＺ−２２０７が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【０１０１】
レベリング剤には、アニオン性、カチオン性、ノニオン性、または両性の界面活性剤を補助的に加えることも可能である。界面活性剤は、２種以上混合して使用しても構わない。
レベリング剤に補助的に加えるアニオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステルなどが挙げられる。
【０１０２】
レベリング剤に補助的に加えるカオチン性界面活性剤としては、アルキル４級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物が挙げられる。レベリング剤に補助的に加えるノニオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレートなどの；アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤、また、フッ素系やシリコーン系の界面活性剤が挙げられる。
【０１０３】
＜感光性組成物の製法＞
本発明の感光性組成物は、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）、前記一般式（１）で表わされるシラン化合物（Ｂ）、および必要に応じて酸化物微粒子（Ｃ）および必要に応じて溶剤（Ｄ）、および必要に応じてテトラアルコキシシラン（Ｅ）等を攪拌・混合して得ることが出来る。
本発明の感光性組成物は、遠心分離、焼結フィルタ、メンブレンフィルタ等の手段にて、５μｍ以上の粗大粒子、好ましくは１μｍ以上の粗大粒子、さらに好ましくは０．５μｍ以上の粗大粒子および混入した塵、異物の除去を行うことが好ましい。
【０１０４】
＜塗膜＞
本発明による感光性組成物をガラス基材、ＩＴＯ上、モリブデン上、その他の金属膜上、有機膜上などにスピンコートなどの回転塗布、ダイコートなどの流延塗布、ロールコートによる塗布、ロール転写法による塗布などにより塗膜を形成する。
また、本発明の感光性組成物は、保護膜用途、平坦膜用途、タッチパネル用絶縁膜用途、のいずれで使用されても良く、さらに各々の用途において、印刷法によりパターン形成されていても構わないが、特にフォリソソグラフィによるパターン形成が好ましい。
【実施例】
【０１０５】
以下に、実施例により本発明を説明する。なお、実施例中の「部」および「％」とは、それぞれ「重量部」および「重量％」を表す。
実施例に先立ち、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）、シラン化合物（Ｂ）の重量平均分子量、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）の二重結合当量、およびエチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）の酸価の測定方法について説明する。
【０１０６】
（エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ））
エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、装置としてＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー株式会社製）を用い、カラムとしてＴＳＫ−ＧＥＬ  ＳＵＰＥＲ  ＨＺＭ−Ｎを２連でつなげて使用し、溶媒としてＴＨＦを用いて測定したポリスチレン換算分子量である。
（シラン化合物（Ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ））
シラン化合物（Ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミュエ−ションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）分析装置（昭和電工株式会社製 Ｓｈｏｄｅｘ ＧＰＣ ｓｙｓｔｅｍ）で分子量分布を分析し算出した。
【０１０７】
（エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）の二重結合当量）
二重結合当量とは、分子中に含まれる二重結合量の尺度となるものであり、同じ分子量の化合物であれば、二重結合当量の数値が小さいほど二重結合の導入量が多くなる。
二重結合当量は下記式により算出した。
[二重結合当量]＝[二重結合を持つモノマー成分の分子量]／[二重結合を持つモノマー成分の樹脂中の組成比]
【０１０８】
（エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）の酸価）
エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）の酸価（ＪＩＳ酸価）は、以下の方法により求めることができる。
酸価とは試料1ｇをキシレンとジメチルホルムアミド（１＋１）を混合した滴定溶剤に溶かし、電位差滴定法により0.1mol/L水酸化カリウム・エタノール溶液で滴定し、滴定曲線上の変曲点を終点とし、水酸化カリウム溶液の終点までの滴定量から、酸価を算出する。
酸価の算出
得られた結果を下記式に代入して、酸価を算出する。
Ａ＝(Ｂ−Ｃ)×ｆ×Ｄ/Ｓ
（Ａ：酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）、Ｂ：本試験の水酸化カリウム溶液の添加量（ｍＬ）、Ｃ：空試験（測定試料を用いないで測定）の水酸化カリウム溶液の添加量（ｍＬ）、ｆ：水酸化カリウム溶液のファクター、Ｄ：濃度換算値５．６１１ｍｇ/ｍＬ（０．１ｍｏｌ/ＬＫＯＨ  １ｍＬの水酸化カリウム相当量）、Ｓ：試料（ｇ））
【０１０９】
続いて、樹脂（Ａ２−ａ）溶液、その他の樹脂（Ａ２−ｂ）溶液の製造方法について説明する。
＜その他の樹脂（Ａ２−ｂ）溶液の製造方法＞
（樹脂溶液（Ａ−１））
攪拌機、温度計、滴下装置、還流冷却器、ガス導入管を備えた反応容器にＰＧＭＥＡ１００部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら７０℃に加熱して、同温度でスチレン３０．０部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート２３．４部、シクロヘキシルメタクリレート４３．５部、メタクリル酸３．１部、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１部の混合物を１時間かけて滴下して重合反応を行った。滴下終了後、さらに７０℃で３時間反応させた後、アゾビスイソブチロニトリル０．２部をＰＧＭＥＡ５０部に溶解させたものを添加し、その後３時間、同じ温度で攪拌を続け共重合体を得た。室温に冷却後、ＰＧＭＥＡで希釈することにより、固形分４０重量％の表１に示す通りの重量平均分子量、酸価を有する樹脂溶液（Ａ−１）を得た。
【０１１０】
＜樹脂（Ａ２−ａ）溶液の製造方法＞
（樹脂溶液（Ａ−２−２））
工程１
攪拌機、温度計、滴下装置、還流冷却器、ガス導入管を備えた反応容器にＰＧＭＥＡ１００部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら７０℃に加熱して、同温度でスチレン５．０部、シクロヘキシルメタクリレート１５．９部、メタクリル酸３１．７部、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１部の混合物を１時間かけて滴下して重合反応を行った。滴下終了後、さらに７０℃で３時間反応させた後、アゾビスイソブチロニトリル０．２部をＰＧＭＥＡ４０部に溶解させたものを添加し、その後３時間、同じ温度で攪拌を続け共重合体を得た。
工程２
次いで、反応容器内に乾燥空気を導入し、グリシジルメタクリレート５０．０部、ＰＧＭＥＡ３７．０部、ジメチルベンジルアミン０．３部、メトキノン０．１部を仕込み、その後１０時間、同じ温度で攪拌を続けた。室温に冷却後、ＰＧＭＥＡで希釈することにより、固形分４０重量％の表１に示す通りの重量平均分子量、酸価、二重結合当量を有する樹脂溶液（Ａ−２−２）を得た。
【０１１１】
（樹脂溶液（Ａ−２−３〜Ａ−２−９））
表１に記載の組成、および配合量（重量部）、反応温度にそれぞれ変更した以外は、樹脂溶液（Ａ−２−２）と同様の方法で調整し、表１に示す通りの重量平均分子量、酸価、二重結合当量を有する樹脂溶液（Ａ−２−３、Ａ−２−４、Ａ−２−５、Ａ−２−６、Ａ−２−７、Ａ−２−８、Ａ−２−９）をそれぞれ得た。
【０１１２】
【表１】
0005867197.tif 000005
【０１１３】
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
Ｓｔ：スチレン
ＨＥＭＡ：２−ヒドロキシエチルメタクリレート
ＣＨＭＡ：シクロヘキシルメタクリレート
ＭＡＡ：メタクリル酸
ＧＭＡ：グリシジルメタクリレート
【０１１４】
＜シラン化合物（Ｂ）の製造方法＞
（シラン化合物（Ｂ−１））
反応槽として冷却管を付けたフラスコを準備し、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業製「ＫＢＥ−９００７」）１００ｇ、エタノール（キシダ化学社製）５０ｇをよく攪拌混合したものを準備し、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を６０℃まで昇温した。反応槽の温度が６０℃に安定してから、８時間攪拌した。ＦＴ−ＩＲスペクトルにより反応が終了したことを確認し、反応槽の温度を常温まで下げ、固形分７９重量％の（３−カルバメートエチル）プロピルトリエトキシシランのエタノール溶液１３０ｇを得た。
ジムロート式冷却凝縮器、ディーンスターク、撹拌機、温度計を備えた１００ｍＬの四つ口フラスコを十分窒素置換したものを準備し、次いで前記（３−カルバメートエチル）プロピルトリエトキシシランのエタノール溶液１００ｇ、エタノール２５ｍＬ、酢酸ナトリウム０．０６ｇを仕込み、水１．３ｇをゆっくりと添加した。常圧下、３０〜４０℃で１時間熟成した後、還流下で３時間熟成した。熟成後常圧で徐々に溶媒を抜き出し、釜温が１０５℃に達した所で加熱を止め、冷却した。得られた溶液をろ過し、減圧下、１２０℃で１時間乾燥することで透明なオイル状生成物であるシロキサンオリゴマーが３５ｇ得られた。ゲルパーミュエ−ションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）分析装置（昭和電工株式会社製 Ｓｈｏｄｅｘ ＧＰＣ ｓｙｓｔｅｍ）で分子量分布を分析した結果、重量平均分子量（Ｍｗ）が約５,５００であった。
【０１１５】
（シラン化合物（Ｂ−２））
反応槽として冷却管を付けたフラスコを準備し、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業製「ＫＢＥ−９００７」）１００ｇ、２，８−エチル−１−テトラデカノール１００ｇ部をよく攪拌混合したものを準備し、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を６０℃まで昇温した。反応槽の温度が６０℃に安定してから、１０時間攪拌した。ＩＲスペクトルにより反応が終了したことを確認し、反応槽の温度を常温まで下げ、試料を窒素置換した容器に取り出し保管した。ゲルパーミュエ−ションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）分析装置（昭和電工株式会社製 Ｓｈｏｄｅｘ ＧＰＣ ｓｙｓｔｅｍ）で分子量分布を分析した結果、重量平均分子量（Ｍｗ）が約５２０であった。
【０１１６】
（シラン化合物（Ｂ−３））
反応槽として冷却管を付けたフラスコを準備し、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業製「ＫＢＥ−９００７」）１００ｇ、エタノール（キシダ化学社製）１００ｇをよく攪拌混合したものを準備し、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を６０℃まで昇温した。反応槽の温度が６０℃に安定してから、６時間攪拌した。ＦＴ−ＩＲスペクトルにより反応が終了したことを確認し、反応槽の温度を常温まで下げ、試料を窒素置換した容器に取り出し保管した。
【０１１７】
［実施例１］
（感光性組成物１（Ｒ１））
下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、１μｍのフィルタで濾過して、感光性組成物１を得た。
樹脂溶液Ａ−１                                                ３５．２４部
多官能単量体
（Ｖ＃８０２「ビスコート＃８０２」（大阪有機化学社製））          ４．００部
シラン化合物Ｂ−１
（シロキサンオリゴマー  分子量約５,５００）                       ０．６０部
光重合開始剤
（ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ−０１（ＢＡＳＦ社製）；１，２−オクタジオン−１−［４−（フェニルチオ）−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）］）          １．３０部
レベリング剤
（ＢＹＫ−３３０  ２％（ビックケミー社製）；ポリエーテル構造含有ジメチルシロキサンのＰＧＭＥＡ溶液（固型分１％に調整）））                        １．００部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                ３７．８７部
エタノール（キシダ化学社製）                                    ２０．００部
【０１１８】
［実施例２〜１９、比較例１〜４］
（感光性組成物２〜２３（Ｒ２〜Ｒ２３））
表２〜５に示した組成、および配合量（重量部）の混合物を均一になるように攪拌混合した後、１μｍのフィルタで濾過し、感光性組成物１と同様の方法で、実施例２〜１９、比較例１〜４にそれぞれ相当する感光性組成物２〜２３（Ｒ２〜Ｒ２３）を得た。
【０１１９】
【表２】
0005867197.tif 000006
【０１２０】
【表３】
0005867197.tif 000007
【０１２１】
【表４】
0005867197.tif 000008
【０１２２】
【表５】
0005867197.tif 000009
【０１２３】
《酸化物微粒子（Ｃ）》
・ＺＲ−４０ＢＬ（日産化学社製）；ジルコニアの酸化物微粒子の水酸化テトラメチルアンモニウム分散液（固型分４０％）
・ＰＭＡ−ＳＴ（日産化学社製）；ケイ素の酸化物微粒子のＰＧＭＥＡ分散液（固型分３０％）
《エチレン性不飽和二重結合を有する単量体（Ａ１）》
・Ｖ＃８０２；ビスコート＃８０２（大阪有機化学社製）
トリペンタエリスリトールオクタアクリレートとテトラペンタエリスリトールデカアクリレートペンタペンタエリスリトールドデカアクリレートの混合物
・トリペンタエリスリトールオクタアクリレート
ＤＰＣＡ３０；カヤキュア  ＤＰＣＡ３０（日本化薬社製）
《テトラアルコキシシラン（Ｅ）》
ＴＥＯＳ：テトラエトキシシラン（和光純薬工業社製）
《シラン化合物》
ＫＢＭ−５７３：Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製）
ＫＢＥ−９００７：３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製）
《光重合開始剤》
・ＯＸＥ−０１；ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ−０１（ＢＡＳＦ社製）；１，２−オクタジオン−１−［４−（フェニルチオ）−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）  ］
・Ｉｒｇ．９０７；ＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７（ＢＡＳＦ社製）；２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン
【０１２４】
《レベリング剤》
・ＢＹＫ−３３０  ２％（ビックケミー社製）；ポリエーテル構造含有ジメチルシロキサンのＰＧＭＥＡ溶液（固型分１％に調整）
《溶剤》
・ＰＧＭＥＡ；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・エタノール（キシダ化学社製）
・１，３−ＢＧＤＡ（ダイセル化学工業社製）；１，３−ブチレングリコールジアセテート
【０１２５】
＜感光性組成物の評価＞
以下に示す評価方法にて感光性組成物（Ｒ１〜Ｒ２３）をそれぞれ評価した。結果を表６〜８に示す。
（透過率の測定）
感光性組成物（Ｒ１〜Ｒ２３）を、１００ｍｍ×１００ｍｍ、０．７ｍｍ厚のガラス基板（コーニング社製ガラス  イーグル２０００）に、スピンコーターを用いて２３０℃２０分加熱後の仕上がり膜厚が２．０μｍとなるように塗布した基板を得た。次に、１１０℃に加熱したホットプレート上で２分間保持した後、超高圧水銀ランプを用いて、照度２０ｍＷ／ｃｍ2、露光量５０ｍＪ／ｃｍ2で紫外線露光を行った。塗布基板を２３０℃で２０分加熱、放冷後、顕微分光光度計（オリンパス光学社製「ＯＳＰ−ＳＰ１００」）を用いて、得られた塗膜の波長４００ｎｍにおける透過率を液浸法にて求めた。膜厚は、アルバック社製の触針式膜厚計ＤＥＣＴＡＣ−３で測定した。
透過率  ９７％以上            ：良好なレベル（判定◎）
透過率  ９５％以上９７％未満  ：実用可能なレベル（判定○）
透過率  ９５％未満            ：実用には適さないレベル（判定×）
【０１２６】
（耐熱性；追加ベーク後の透過率の測定）
透過率の測定用に作製したものと同じ方法で得た感光性組成物塗布基板を３００℃２０分加熱、放冷後、顕微分光光度計（オリンパス光学社製「ＯＳＰ−ＳＰ１００」）を用いて、得られた塗膜の波長４００ｎｍにおける透過率を液浸法にて求めた。
透過率  ９５％以上            ：良好なレベル（判定◎）
透過率  ９０％以上９５％未満  ：実用可能なレベル（判定○）
透過率  ９０％未満            ：実用には適さないレベル（判定×）
【０１２７】
（鉛筆硬度の測定）
透過率の測定用に作製したものと同じ方法で得た感光性組成物塗布基板について、ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−４に準じた引っかき硬度（鉛筆法）試験により絶縁膜の表面硬度を測定した。この値が５Ｈまたはそれより硬いとき、表面硬度は良好といえる。鉛筆硬度が７Ｈの場合非常に良好、６Ｈの場合は良好、５Ｈの場合実用上優れる硬度、鉛筆硬度が４Ｈの場合実用可能な最低限の硬度、３Ｈ以下の場合実用には適さない鉛筆硬度である。
【０１２８】
（ガラス、ＩＴＯおよびＭｏに対する密着性の測定）
透過率の測定用に作製したものと同じ方法で得た感光性組成物塗布基板をＪＩＳ  Ｋ５６００−５−６に準じた付着性（クロスカット法）試験により塗膜の基材密着性を評価し、碁盤目２５個中の剥離個数を数えた。
基材はコーニング社製ガラス  イーグル２０００、ジオマテック社製  ＩＴＯ膜、東邦化研社製Ｍｏ膜を使用した。
碁盤目の剥離個数  ０個  →非常に優れているレベル（判定◎）
碁盤目の剥離個数  １個未満（フチハガレ；碁盤目のフチが剥がれるレベル）→実用上優れているレベル（判定○）
碁盤目の剥離個数  １個以上３個以下      →実用上問題ないレベル（判定△）
碁盤目の剥離個数  ３個より多い          →実用上支障のあるレベル（判定×）
【０１２９】
（ＩＴＯエッチャント耐性）
透過率の測定用に作製したものと同じ方法でＩＴＯ基材上に塗布した後、ＩＴＯエッチャント；硝酸／塩酸／水＝０．１／１／１に４０℃で５分間浸漬し、純水にて洗浄後、２４時間放置した。得られた基板をＪＩＳ  Ｋ５６００−５−６に準じた付着性（クロスカット法）試験により塗膜の基材密着性を評価し、碁盤目２５個中の剥離個数を数えた。
碁盤目の剥離個数  ０個  →非常に優れているレベル（判定◎）
碁盤目の剥離個数  １個以上３個未満  →実用上優れているレベル（判定○）
碁盤目の剥離個数  ３個以上１２個以下  →実用上問題ないレベル（判定△）
碁盤目の剥離個数  １２個より多い  →実用上支障のあるレベル（判定×）
【０１３０】
（Ｍｏエッチャント耐性）
透過率の測定用に作製したものと同じ方法でＭｏ基材上に塗布した後、Ｍｏエッチャント；リン酸／酢酸／硝酸／水＝８０／５／５／１０に４０℃で５分間浸漬し、純水にて洗浄後、２４時間放置した。得られた基板をＪＩＳ  Ｋ５６００−５−６に準じた付着性（クロスカット法）試験により塗膜の基材密着性を評価し、碁盤目２５個中の剥離個数を数えた。
碁盤目の剥離個数  ０個  →非常に優れているレベル（判定◎）
碁盤目の剥離個数  １個以上３個未満  →実用上優れているレベル（判定○）
碁盤目の剥離個数  ３個以上１２個以下  →実用上問題ないレベル（判定△）
碁盤目の剥離個数  １２個より多い  →実用上支障のあるレベル（判定×）
【０１３１】
（経時安定性）
感光性組成物を５℃１ヶ月間静置し、ＩＴＯに対する密着性を前記した方法にて測定し、サンプル作製直後の碁盤目２５個中の剥離個数との差を測定した。
直後と５℃１ヶ月後の碁盤目の剥離個数の差  ０個  （判定◎）
直後と５℃１ヶ月後の碁盤目の剥離個数の差  １個以上３個以下（判定○）
直後と５℃１ヶ月後の碁盤目の剥離個数の差  ３個以上１０個以下（判定△）
直後と５℃１ヶ月後の碁盤目の剥離個数の差  １０個より多い  （判定×）
【０１３２】
（比誘電率）
透過率の測定用に作製したものと同じ方法で、電極用にアルミ蒸着した１００ｍｍ×１００ｍｍ、０．７ｍｍ厚のガラス基板上に塗布し塗布基板を得た。塗膜上に面積３．４６４×１０-4ｍ2の電極用のアルミを蒸着し、硬化塗膜をアルミ電極で挟んだサンプルを作製した。得られたサンプルの１０Ｈｚ〜１ＭＨｚまでの誘電正接を、インピーダンスアナライザー（ソーラトロン社製「１２６０型」）を用いて得て、印過電圧１００ｍＶで比誘電率を得た。
比誘電率(＠１ｋＨｚ)：３．５未満  →非常に優れているレベル（判定◎）
比誘電率(＠１ｋＨｚ)：３．５以上３．７未満  →実用上優れているレベル（判定○）
比誘電率(＠１ｋＨｚ)：３．７以上  →実用上支障のあるレベル（判定×）
【０１３３】
（現像速度）
感光性組成物を、乾燥膜厚が２．０μｍとなるようにガラス基板にスピンコート法により塗布し、この塗布基板に対し高圧水銀灯によりマスクパターンを通して６０ｍＪ／ｃｍ２で露光した後、０．０４重量％水酸化カリウム水溶液（現像液温度２６℃）を使用して圧力０．２５ＭＰａのスプレー現像を行い、塗膜が溶解し基板面が露出するまでの時間（現像溶解時間）を測定した。
現像時間：２０秒未満 （判定◎）
現像時間：２０秒以上、６０秒未満（判定○）
現像時間：６０秒以上（判定×）
【０１３４】
【表６】
0005867197.tif 000010
【０１３５】
【表７】
0005867197.tif 000011
【０１３６】
【表８】
0005867197.tif 000012
【０１３７】
比較例１〜４のようにエチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）を含まなかったり、シラン化合物（Ｂ）を含まないことで、鉛筆硬度が悪かったり、基材密着性が悪かったり、経時安定性が悪いという不具合が生じたのに対して、表６の実施例１〜１０に示すように、本発明の特徴であるエチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）と、前記一般式（１）で表わされるシラン化合物（Ｂ）を含むことにより、感光性組成物の鉛筆硬度、ガラス、ＩＴＯ、Ｍｏといった基材への密着性、エッチャント耐性、透過率、耐熱性、経時安定性、現像性などにおいていずれも良好な結果となった。
【０１３８】
なかでも、重量平均分子量（Ｍｗ）が１００以上５０００未満であるシラン化合物（Ｂ）を用い、かつ感光性組成物の固形分合計１００重量％中の該シラン化合物（Ｂ）の含有量が５重量％以上６０重量％未満である場合において、特に基材密着性、エッチャント耐性が良好であった。
また、二重結合当量３５０ｇ/ｍｏｌ以上１２００ｇ/ｍｏｌ未満であり、かつ重量分子量Ｍｗ５００以上４００００未満であるエチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）を用いた場合、鉛筆硬度が高く基材密着性も良好な、バランスの取れた塗膜を得る事が出来た。
【０１３９】
また、表７の実施例１１〜１４に示すように、酸化物微粒子（Ｃ）を用い、かつ感光性組成物の固形分合計１００重量％中、５重量％以上５０重量％未満であり、シラン化合物（Ｂ）の重量（ｂ）と酸化物微粒子（Ｃ）の重量（ｃ）との比率（ｂ/ｃ）が、０．４以上２０．０未満である場合、より鉛筆硬度が高い塗膜を得る事が出来た。
【０１４０】
また、表８の実施例１５〜１９に示すように、２０℃での水に対する溶解度が１ｇ/１００ｍｌ以上３０ｇ/１００ｍｌ未満である溶剤（Ｄ）を用いる、あるいは酸価（固形分換算）が３０ｍｇＫＯＨ/ｇ以上２００ｍｇＫＯＨ/ｇ未満であるエチレン性不飽和二重結合を有する化合物（Ａ）を用い、テトラアルコキシシラン（Ｅ）を用いることで、経時安定性に優れた感光性組成物を得る事が出来た。