(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を回転させる回転機構と、
前記物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、
前記物品を透過した前記Ｘ線である透過Ｘ線を検出するＸ線検出部と、
前記透過Ｘ線に基づきサイノグラムを生成するサイノグラム生成部と、
前記サイノグラムにおける所定の輝度を有する第１部分の連続量に基づき前記物品における異物の有無を判定する異物判定部と、
前記サイノグラムにおいて前記第１部分を特定するためにフィルタ処理を実行するフィルタ処理部と、
前記フィルタ処理により得られた処理後データを記憶する処理後データ記憶領域と、
前記異物判定部による異物有りの判定結果、および、前記処理後データ記憶領域に記憶された前記処理後データに基づき、前記物品についての複数の処理後断層画像を生成する処理後断層画像生成部と、
を備える、
Ｘ線検査装置。
【請求項２】
前記異物判定部は、前記第１部分の輝度に関する所定の閾値に基づいて、前記異物の有無を判定する、
請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記異物判定部による判定結果であって、前記物品における前記異物の有無を表示する表示部をさらに備える、
請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記処理後断層画像生成部は、前記異物判定部によって前記異物の存在が確認された場合に、前記複数の処理後断層画像を生成する、
請求項３に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記複数の処理後断層画像のそれぞれが、前記異物に対応する異物画像を含むか否かを判定する断層画像判定部をさらに備える、
請求項４に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記フィルタ処理部による前記フィルタ処理を受けていない前記サイノグラムに関するデータである処理前データを記憶する処理前データ記憶領域と、
前記処理前データに基づいて前記物品についての複数の処理前断層画像を生成する処理前断層画像生成部と、
をさらに備える、
請求項５に記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記複数の処理後断層画像を記憶する処理後断層画像記憶領域と、
前記複数の処理前断層画像を記憶する処理前断層画像記憶領域と、
前記断層画像判定部によって判定された前記異物画像を含む処理後断層画像であって、前記物品の特定部分についての前記処理後断層画像である特定処理後断層画像と、前記複数の前記処理前断層画像のうち前記物品の前記特定部分についての前記処理前断層画像である特定処理前断層画像とを合成した合成画像を生成する合成画像生成部と、
をさらに備え、
前記表示部は、前記合成画像生成部によって生成された前記合成画像をさらに表示する、
請求項６に記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記断層画像判定部は、前記処理後断層画像に基づいて前記物品に含まれる前記異物の位置をさらに判定し、
前記処理前断層画像に対して前記異物の位置を明示した合成画像を生成する合成画像生成部をさらに備える、
請求項６に記載のＸ線検査装置。
【請求項９】
前記サイノグラムに関する第１情報を記憶する記憶部と、
前記第１情報を外部装置に送信するための出力部と
をさらに備える、
請求項１から３のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【請求項１０】
前記回転機構は、前記物品を鉛直軸周りに回転させる、
請求項１から９のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、物品にＸ線を照射し、物品を透過するＸ線（透過Ｘ線）に基づいて、物品に混入する異物を判定するＸ線検査装置が知られている。このようなＸ線検査装置では、例えば、特許文献１（特開２００９−８００３１号公報）に示すように、物品は、コンベアユニットによって水平方向に搬送される。Ｘ線は、コンベアユニットの上方から照射され、透過Ｘ線はコンベアユニットの下側で検出される。Ｘ線検査装置は、透過Ｘ線に基づいて物品の撮像データ（搬送撮像データ）を生成し、搬送撮像データに基づいた異物の判定を行う。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記のようなＸ線検査装置は、物品の種類に対応して設定された閾値と、搬送撮像データとを用いて異物の判定を行う。設定された閾値が適当な値でない場合には、異物の有無について誤った判定がされる。したがって、多角的に物品の情報を取得し、より詳細な検査が行えるように、物品についての断層画像を生成することが考えられる。しかし、断層画像の生成には時間がかかるため、多数の物品を効率よく検査することが困難となる。
【０００４】
そこで、本発明の課題は、物品についての詳細な検査を効率よく行うことができるＸ線検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るＸ線検査装置は、回転機構と、Ｘ線照射部と、Ｘ線検出部と、サイノグラム生成部と、異物判定部とを備える。回転機構は、物品を回転させる。Ｘ線照射部は、物品にＸ線を照射する。Ｘ線検出部は、物品を透過したＸ線である透過Ｘ線を検出する。サイノグラム生成部は、透過Ｘ線に基づきサイノグラムを生成する。異物判定部は、サイノグラムにおいて所定の輝度を有する第１部分に基づき物品における異物の有無を判定する。これにより、異物の判断を短時間で行うことができる。
【０００６】
また、異物判定部は、第１部分の輝度に関する所定の閾値に基づいて、異物の有無を判定することが好ましい。これにより、物品に含まれる異物の有無を確実に判断することができる。
【０００７】
さらに、本発明に係るＸ線検査装置は、表示部を備える。表示部は、異物判定部による判定結果であって、物品における異物の有無を表示する。これにより、物品における異物の有無を一目で判断することができる。
【０００８】
さらに、本発明に係るＸ線検査装置は、フィルタ処理部と、処理後データ記憶領域と、処理後断層画像生成部とを備えることが好ましい。フィルタ処理部は、サイノグラムにおいて第１部分を特定するためにフィルタ処理を実行する。処理後データ記憶領域は、フィルタ処理により得られた処理後データを記憶する。処理後断層画像生成部は、処理後データ記憶領域に記憶された処理後データに基づき、物品についての複数の処理後断層画像を生成する。また、処理後断層画像生成部は、異物判定部によって異物の存在が確認された場合に、複数の処理後断層画像を生成する。これにより、必要に応じて物品の断層画像を生成することができるため、処理負荷を抑えることができる。
【０００９】
さらに、本発明に係るＸ線検査装置は、断層画像判定部をさらに備える。断層画像判定部は、複数の処理後断層画像のそれぞれが、異物に対応する異物画像を含むか否かを判定する。これにより、物品全体のどの位置に異物が混入しているかを判定することができる。
【００１０】
さらに、本発明に係るＸ線検査装置は、処理前データ記憶領域と、処理前断層画像生成部とを備える。処理前データ記憶領域は、処理前データを記憶する。処理前データとは、フィルタ処理部によるフィルタ処理を受けていないサイノグラムに関するデータである。処理前断面画像生成部は、処理前データに基づいて物品についての複数の処理前断層画像を生成する。これにより、必要に応じて、物品の断面画像を詳細に確認することができる。
【００１１】
さらに、本発明に係るＸ線検査装置は、処理後断層画像記憶領域と、処理前断層画像記憶領域と、合成画像生成部とを備える。処理後断層画像記憶領域は、複数の処理後断層画像を記憶する。処理前断層画像記憶領域は、複数の処理前断層画像を記憶する。合成画像生成部は、特定処理後断層画像と、特定処理前断層画像とを合成した合成画像を生成する。特定処理後断層画像は、断層画像判定部によって判定された異物画像を含む処理後断層画像であって、物品の特定部分についての処理後断層画像である。特定処理前断層画像は、複数の処理前断層画像のうち物品の特定部分についての処理前断層画像である。また、表示部は、合成画像生成部によって生成された合成画像をさらに表示することが好ましい。これにより、物品に混入する異物の位置と大きさとを容易に認識させることができる。
【００１２】
また、断層画像判定部は、処理後断層画像に基づいて物品に含まれる異物の位置をさらに判定することが好ましい。さらに、本発明に係るＸ線検査装置は、合成画像生成部を備えることが好ましい。合成画像生成部は、処理前断層画像に対して異物の位置を明示した合成画像を生成する。これにより、物品に混入する異物の位置を容易に認識させることができる。
【００１３】
さらに、本発明に係るＸ線検査装置は、記憶部と、出力部とを備える。記憶部は、サイノグラムに関する第１情報を記憶する。出力部は、第１情報を外部装置に送信する。これにより、物品の断層画像を詳細に確認するための作業を、外付け装置において行うことができる。その結果、Ｘ線検査装置の処理速度を向上させることができる。
【００１４】
また、回転機構は、物品を鉛直軸周りに回転させることが好ましい。これにより、検査対象となる物品のセッティングが容易になり、より多くの物品を効率よく検査することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係るＸ線検査装置によれば、物品についての詳細な検査を効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一の実施形態に係るＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一の実施形態に係るＸ線検査装置の外観斜視図である。
【図３】本発明の一の実施形態に係るＸ線検査装置の本体部の側面図である。
【図４】検査ユニットの構成を説明するための図（正面図）である。
【図５】検査ユニットの構成を説明するための図（右側面図）である。
【図６】検査ユニットの構成を説明するための図（平面図）である。
【図７】第１サイノグラムの例を示す図である。
【図８】第２サイノグラムの例を示す図である。
【図９】処理後断層画像の例を示す図である。
【図１０】処理前断層画像の例を示す図である。
【図１１】処理の流れを示す図である。
【図１２】処理の流れを示す図である。
【図１３】変形例Ａに係るＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。
【図１４】変形例Ｂに係るＸ線検査装置の概念図である。
【図１５】変形例Ｃに係る合成画像を説明するための図である。
【図１６】変形例Ｃに係る合成画像を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るＸ線検査装置１００について説明する。
【００１８】
（１）Ｘ線検査装置の概略説明
図１から図３は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１００の構成を説明するための図である。Ｘ線検査装置１００は、物品ＧにＸ線を照射して物品Ｇにおける異物の混入の有無を判定する。言い換えると、Ｘ線検査装置１００は、物品Ｇを透過したＸ線（透過Ｘ線）に基づき、物品Ｇの回転撮像データを取得し、回転撮像データに基づく異物判定を行う。ここで、物品Ｇの回転撮像データとは、物品Ｇに対して多方向から照射されたＸ線に基づいて得られたデータであって、物品Ｇについてのサイノグラム、多数の断層画像、および立体画像を生成するためのデータである。ここで、断層画像は、あらゆる撮像位置にある物品Ｇに対して照射されたＸ線に基づいて生成される画像である。言い換えると、断層画像は、回転する一の物品Ｇから得られる多数の断面画像である。
【００１９】
Ｘ線検査装置１００は、図１に示すように、主として、本体部１０と、検査ユニット１８と、制御装置１６とを備える。本体部１０は、Ｘ線検査装置１００の主要な構成要素を含む部分ある。検査ユニット１８は、物品Ｇを左右方向に水平移動させ、さらに回転させるためのユニットである。検査ユニット１８は、本体部１０に対して着脱可能な構成になっている（図２および図３参照）。図２は、検査ユニット１８が本体部１０に取り付けられた状態のＸ線検査装置１００を示す。図３は、検査ユニット１８が本体部１０に取り付けられていない状態のＸ線検査装置１００を示す。制御装置１６は、本体部１０および検査ユニット１８を制御する。本実施形態では、本体部１０に制御装置１６が内蔵されている。
【００２０】
以下、Ｘ線検査装置１００に含まれる各構成について詳細に説明する。なお、本実施形態において、「左右方向」、「幅方向」、「奥行き方向」とは、Ｘ線検査装置１００を正面側から見た場合の方向である。また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、物品Ｇを左右方向に移動させるものとする。
【００２１】
（２）本体部
図３に、Ｘ線検査装置１００の本体部１０を示す。図３は、Ｘ線検査装置１００に対して検査ユニット１８が取り付けられる前の状態を示す側面図である。本体部１０は、図３に示すように、主として、ケーシング１０ａ、支持ブロック１０ｂ、カバー１０ｃ、および脚部１０ｄを備える。さらに、本体部１０は、検査ユニット１８に対して電力および／または制御信号を送るための接続部１５を有する（図１参照）。以下、本体部１０に含まれる構成を説明する。
【００２２】
（２−１）ケーシング
ケーシング１０ａは、本体部１０の上方に位置するボックスである。ケーシング１０ａの正面には、タッチパネル機能付きのモニタ１０ｅや、図示しないキーの差し込み口および電源スイッチ等が配置される。
【００２３】
ケーシング１０ａの背面側下端には、壁面１０ａａが連結されている。壁面１０ａａは、下方に延びる部材である。壁面１０ａａは、後述する支持ブロック１０ｂを支持するとともに、後述する脚部１０ｄと連結されている。ケーシング１０ａは、後述する支持ブロック１０ｂとの間に検査空間（第１空間）ＡＲを形成する。検査空間ＡＲは、Ｘ線検査装置１００の正面からみて、左右方向に延びる空間である。
【００２４】
また、ケーシング１０ａは、Ｘ線照射器１１を収納する。Ｘ線照射器１１は、図２に示すように、下方に配置されたＸ線ラインセンサ１３に向けて、上方からＸ線を照射する。すなわち、Ｘ線照射器１１から照射されるＸ線は、検査空間ＡＲの上方から下方に向けて垂直に延びる（図４参照）。また、Ｘ線は、物品Ｇの移動方向に対して交差するような扇状の照射範囲Ｘを有する（図５参照）。すなわち、Ｘ線照射器１１から照射されるＸ線は、検査空間ＡＲの奥行き方向に広がる。
【００２５】
ケーシング１０ａの左右方向両端は、外部と検査空間ＡＲとを繋ぐ開口が形成されている。開口は、暖簾１２によって塞がれる。暖簾１２は、ケーシング１０ａの左右方向両端に取り付けられる。すなわち、暖簾１２は、Ｘ線照射器１１から照射されるＸ線の外部への漏洩を防止するための遮蔽部材である。
【００２６】
（２−２）支持ブロック
支持ブロック１０ｂは、ケーシング１０ａの下方に位置し、Ｘ線ラインセンサ１３を収容する。Ｘ線ラインセンサ１３は、主として、多数のＸ線検出素子から構成されている。Ｘ線検出素子は、物品Ｇの移動方向に直交する方向に一直線に水平配置されている。各Ｘ線検出素子は、物品Ｇや検査ユニット１８を透過したＸ線を検出し、検出したＸ線に基づくＸ線透過信号を出力する。言い換えると、各Ｘ線検出素子は、透過したＸ線の強度に応じたＸ線透過信号を出力する。
【００２７】
支持ブロック１０ｂは、検査ユニット１８を支持可能な構成になっている。具体的に、支持ブロック１０ｂは、Ｘ線検査装置１００の背面側から正面側に向けて延びる。具体的に、Ｘ線検査装置１００の背面側に位置する支持ブロック１０ｂの一端が、ケーシング１０ａの下端から下方に延びる壁面１０ａａに固定される。言い換えると、支持ブロック１０ｂは、片持ちの状態で壁面１０ａａに固定される。
【００２８】
支持ブロック１０ｂは、水平面に対して平行な上面と、上面の左右両端から下方に垂直に延びる側面と、両側面を下端で繋ぐ下面とを有する。検査ユニット１８は、支持ブロック１０ｂの上面に載置される。より具体的に、検査ユニット１８のベースユニット１８ａが支持ブロック１０ｂの上面に載置される。
【００２９】
支持ブロック１０ｂの両側面は、検査ユニット１８を支持するための支持機構１４を有する。支持機構１４は、検査ユニット１８の奥行き方向の位置および幅方向の位置を固定させるための機構である。具体的に、支持機構１４は、支持ピン１４である。支持ピン１４は、支持ブロック１０ｂの側面のうち、Ｘ線検査装置１００の正面に近い位置に取り付けられる。言い換えると、支持ピン１４は、支持ブロック１０ｂの側面のうち、奥行き方向手前側の一端近傍に設けられている。支持ピン１４は、支持ブロック１０ｂの側面の表面位置から水平方向にわずかに延びた位置にヘッド部を有する。支持ピン１４には、検査ユニット１８が有する錠２４（後述する）が掛けられる。
【００３０】
（２−３）カバー
カバー１０ｃは、検査空間ＡＲをケーシング１０ａの前面（正面）側から覆う部材である。すなわち、カバー１０ｃは、Ｘ線検査装置１００の正面に配置される。図２および図３は、カバー１０ｃが開いた状態を示す図である。また、図５および図６は、カバー１０ｃが閉じた状態を示す図である。カバー１０ｃは、上下方向に第１端部と第２端部とを有する。第１端部は、下方に位置する一端であり、第２端部は上方に位置する一端である。カバー１０ｃの第１端部は、検査空間ＡＲの高さ方向に対して下側に位置する。また、カバー１０ｃの第１端部は、後述する脚部１０ｄに回転軸１０ｃａを介して接続される。回転軸１０ｃａは、Ｘ線検査装置１００の正面側で左右方向かつ水平方向に延びる。カバー１０ｃは、回転軸１０ｃａ回りに回動し上下方向に開閉する。
【００３１】
（２−４）脚部
脚部１０ｄは、本体部１０に含まれる他の構成を支持する部材である。脚部１０ｄは、本体部１０の下方であって、本体部１０の左右方向両側に配置される。脚部１０ｄは、アーチ形のパイプである。本体部１０の左右方向両側に配置された脚部１０ｄは、左右方向に延びる支持パイプによって連結される。
【００３２】
（２−５）接続部
接続部１５は、検査ユニット１８に接続され、検査ユニット１８に対して電力および／または制御信号を送る部分である。
【００３３】
（３）検査ユニット
検査ユニット１８は、物品ＧにＸ線が照射されるように、物品Ｇを検査空間ＡＲ内で移動させるユニットである。また、検査ユニット１８は、物品Ｇの回転撮像データを取得するために用いられるユニットである。検査ユニット１８は、物品Ｇを水平面内で左右方向に搬送または移動させる。さらに、検査ユニット１８は、物品Ｇを水平軸周りに回転させる。
【００３４】
検査ユニット１８は、主として、ベースユニット１８ａと、回転機構１８ｂとを有する（図４〜図６参照）。また、検査ユニット１８は、図１に示すように、受付部１８ｃをさらに備える。受付部１８ｃは、上述した本体部１０の接続部１５と接続される。受付部１８ｃは、接続部１５を介して、電力および／または制御信号を受け取る。以下、ベースユニット１８ａおよび回転機構１８ｂについて詳細に説明する。
【００３５】
（３−１）ベースユニット
ベースユニット１８ａは、回転機構１８ｂを水平方向に移動させるユニットである。また、ベースユニット１８ａは、検査空間ＡＲから鉛直方向下側へのＸ線の漏洩を防止する機能を有する。ベースユニット１８ａは、主として、固定部材８１およびスライド部材８２を有する。
【００３６】
（３−１−１）固定部材
固定部材８１は、水平方向に延びる板状部材である。固定部材８１は、Ｘ線が透過しない部材である。固定部材８１には、長手方向中央の位置に、第１開口８１ａが形成される。第１開口８１ａは、矩形であり、固定部材８１の奥行き方向に延びる。第１開口８１ａの奥行き方向の長さは、後述する第２開口８２ｃの奥行き方向の長さと同程度である。第１開口８１ａは、固定部材８１の厚み方向に貫通する孔である。第１開口８１ａは、Ｘ線ラインセンサ１３が照射Ｘ線を検出可能にするために形成される。すなわち、Ｘ線ラインセンサ１３は、第１開口８１ａを通った透過Ｘ線を検出する。
【００３７】
固定部材８１には、また、第１開口８１ａを挟んだ両側の位置に、錠掛け孔８１ｂが形成される（図６参照）。錠掛け孔８１ｂは、錠２４を支持ピン１４に掛けるための孔である。錠２４は、例えば、パチン錠である。錠２４は、図５に示すように、主として、取り付け部４ａと、引っ掛け部４ｂとからなる。取り付け部４ａは、断面形状がＬ字型である（図６および図８参照）。取り付け部４ａのＬ字の一辺（第１の辺）は、固定部材８１の錠掛け孔８１ｂの周辺部分に取り付けられ、他辺（第２の辺）は、錠掛け孔８１ｂから下向きに延びる。言い換えると、取り付け部４ａは、第１の辺が錠掛け孔８１ｂを構成する固定部材８１の部分に引っ掛けられ、第２の辺が錠掛け孔８１ｂから下向きに延びる（図４から図６参照）。取り付け部４ａは、図４および図６に示すように、第２の辺の背面の傾きが支持ブロック１０ｂの側面の傾きと一致するように取り付けられる。すなわち、錠２４は、取り付け部４ａの背面が支持ブロック１０ｂの側面に接触しうるような態様で固定部材８１に取り付けられる。二つの錠２４は、一の錠２４の取り付け部４ａの背面から他の錠２４の取り付け部４ａの背面までの長さ寸法が、支持ブロック１０ｂの左右方向の長さ寸法と一致するように、所定の距離を空けて取り付けられる（図４参照）。引っ掛け部４ｂは、支持ピン１４に引っ掛けられる部分である。引っ掛け部４ｂは、バネを有する。ベースユニット１８ａは、支持ブロック１０ｂの上面に固定部材８１を載置し、錠２４の引っ掛け部４ｂが支持ピン１４に掛けられることによって、支持ブロック１０ｂによって支持される（図５および図６参照）。
【００３８】
（３−１−２）スライド部材
スライド部材８２は、左右方向に延びる板状部材である。スライド部材８２の長手方向の長さ寸法は、固定部材８１の長手方向の長さ寸法より短い。スライド部材８２は、固定部材８１の上面に載置される。また、スライド部材８２の奥行き方向両端（すなわち、背面側の端部および正面側の端部）は、スライド軸８２ａを介して、固定部材８１と接続されている。スライド軸８２ａは、固定部材８１の長手方向に沿って配置されている。また、スライド部材８２は、ボールねじ８２ｂを用いて固定部材８１と連結されている。ボールねじ８２ｂは、第１駆動モータ１８ｄによって駆動される。本実施形態では、第１駆動モータ１８ｄは、スライド部材８２の上面に取り付けられる。第１駆動モータ１８ｄの駆動により、スライド部材８２は、スライド軸８２ａに沿って移動する。その結果、スライド部材８２は、固定部材８１の長手方向（Ｘ線検査装置１００の左右方向）に移動する（図６の破線参照）。
【００３９】
スライド部材８２には、後述する回転機構１８ｂが取り付けられる。スライド部材８２の一部分であって、回転機構１８ｂに含まれるホルダ８４の下方に位置する部分は、第２開口８２ｃが形成される。第２開口８２ｃもまたは、スライド部材８２の厚み方向に貫通する孔である。第２開口８２ｃは、Ｘ線ラインセンサ１３が照射Ｘ線を検出可能にするために形成される。すなわち、Ｘ線ラインセンサ１３は、第２開口８２ｃおよび上述した第１開口８１ａを通った透過Ｘ線を検出する。
【００４０】
（３−２）回転機構
回転機構１８ｂは、物品Ｇを水平軸周りに回転させる機構である。回転機構１８ｂは、主として、ホルダ８４と、回転軸８５とからなる。ホルダ８４は、物品Ｇを内部で保持可能な構成を有する。具体的に、ホルダ８４は、物品Ｇが内部で自由に移動しないように、物品Ｇを保持する。物品Ｇは、例えば、バンドや把持部材によってホルダ８４の内部で固定されていてもよい。ホルダ８４は、回転プレート８４ａおよびキャップ８４ｂを含む。回転プレート８４ａおよびキャップ８４ｂは共に、シリコンである。回転プレート８４ａは、回転軸８５と接続されている。回転軸８５は、物品Ｇの移動方向に延びる。回転軸８５が第２駆動モータ１８ｅの駆動により回転することにより、回転プレート８４ａも回転する。すなわち、ホルダ８４は、第２駆動モータ１８ｅの駆動に応じて回転する。
【００４１】
（４）制御装置
制御装置１６は、主として、記憶部６１および制御部６２を含む。記憶部６１は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、およびＨＤＤ（ハードディスク）等によって構成されている。制御部６２は、ＣＰＵによって構成されている。
【００４２】
制御装置１６は、図１に示すように、上述のＸ線照射器１１、Ｘ線ラインセンサ１３、モニタ１０ｅ、接続部１５等に接続されている。制御装置１６は、図示しないエンコーダから第１駆動モータ１８ｄおよび第２駆動モータ１８ｅに関するデータを取得し、当該データに基づき、物品Ｇの移動距離および／または回転角度（物品の回転位置）を把握する。また、制御装置１６は、Ｘ線ラインセンサ１３から出力されたＸ線透過信号を受信することにより、検査ユニット１８上の物品Ｇが照射範囲Ｘに来たタイミングを検出する。
【００４３】
（４−１）記憶部
記憶部６１は、制御部６２に実行させる各種プログラム、検査パラメータ、および各種設定を記憶する。検査パラメータは、モニタ１０ｅのタッチパネル機能を使って操作者によって入力される。検査パラメータには、検査速度、検査対象物品に応じた異物判定の閾値等が含まれる。また、記憶部６１には、Ｘ線検査装置１００で得られた物品Ｇの異物判定の結果を記憶する。
【００４４】
記憶部６１は、また、処理前データ記憶領域６１ａ、処理後データ記憶領域６１ｂ、処理前断層画像記憶領域６１ｃ、処理後断層画像記憶領域６１ｄ、および合成画像記憶領域６１ｅを有する。
【００４５】
（４−１−１）処理前データ記憶領域
処理前データ記憶領域６１ａには、後述するサイノグラム生成部６２ａによって生成された各物品Ｇについてのサイノグラム（第１サイノグラム）に関するデータ（処理前データ）が記憶される（図７参照）。処理前データは、後述するフィルタ処理部６２ｂによってフィルタ処理が行われる前のサイノグラムに関するデータである。処理前データは、検査対象物品Ｇ（検査物）のＩＤと関連付けて記憶される。また、処理前データは、物品Ｇの移動距離（または撮像位置）、回転位置、および／または撮影時刻に関する情報とも関連付けて記憶される。
【００４６】
（４−１−２）処理後データ記憶領域
処理後データ記憶領域６１ｂには、後述するフィルタ処理部６２ｂによってフィルタ処理されたサイノグラム（第２サイノグラム）に関するデータ（処理後データ）が記憶される。処理後データは、検査物ＩＤおよびフィルタ処理前のサイノグラムデータ（処理前データ）と関連付けて記憶される。
【００４７】
（４−１−３）処理前断層画像記憶領域
処理前断層画像記憶領域６１ｃには、後述する処理前断層画像生成部６２ｄによって生成された処理前断層画像に関するデータ（処理前断層画像データ）が記憶される（図１０参照）。処理前断層画像は、物品Ｇの処理前データに基づいて再構成された物品Ｇの断層画像である。言い換えると、処理前断層画像は、フィルタ処理される前のサイノグラムに関するデータに基づいて再構成された物品Ｇの断層画像である。処理前断層画像データは、検査物ＩＤ、処理前データ、および処理後データと関連付けて記憶される。
【００４８】
（４−１−４）処理後断層画像記憶領域
処理後断層画像記憶領域６１ｄには、後述する処理後断層画像生成部６２ｅによって生成された処理後断層画像に関するデータ（処理後断層画像データ）が記憶される（図９参照）。処理後断層画像は、物品Ｇの処理後データに基づいて再構成された物品Ｇの断層画像である。言い換えると、処理後断層画像は、フィルタ処理された後のサイノグラムに関するデータに基づいて再構成された物品Ｇの断層画像である。処理後断層画像データは、検査物ＩＤ、処理前データ、および処理後データと関連付けて記憶される。
【００４９】
（４−１−５）合成画像記憶領域
合成画像記憶領域６１ｅには、後述する合成画像生成部６２ｇによって生成された物品Ｇの合成画像に関するデータ（合成画像データ）が記憶される。合成画像とは、処理前断層画像と処理後断層画像とを合成することによって生成される画像である。合成画像データもまた、検査物ＩＤに関連付けて記憶される。
【００５０】
（４−２）制御部
制御部６２は、記憶部４１に記憶された各種プログラムを実行することにより、サイノグラム生成部６２ａ、フィルタ処理部６２ｂ、第１判定部（異物判定部）６２ｃ、処理前断層画像生成部６２ｄ、処理後断層画像生成部６２ｅ、第２判定部（断層画像判定部）６２ｆ、および合成画像生成部６２ｇとして機能する。
【００５１】
（４−２−１）サイノグラム生成部
サイノグラム生成部６２ａは、Ｘ線ラインセンサ１３から出力されるＸ線透過信号に基づき、各物品Ｇのサイノグラム（第１サイノグラム）を生成する。第１サイノグラムとは、各回転位置の物品Ｇについて収集された、Ｘ線ラインセンサ１３からの出力データを示したものである。具体的に、第１サイノグラムは、各回転位置で得られたＸ線透過信号に基づくデータを回転位置順に並べたものである（図７参照）。図７において、縦軸は、回転位置（回転角度）を示し、横軸は、各Ｘ線検出素子が出力するＸ線透過信号に対応する輝度（濃淡値）を２５６階調に分類して示したものである。
【００５２】
サイノグラム生成部６２ａは、一の物品Ｇについて複数の撮像位置で第１サイノグラムを生成する。ここで、撮像位置とは、水平方向に移動する物品Ｇに対してＸ線が照射される位置（物品Ｇの水平方向の位置）である。すなわち、サイノグラム生成部６２ａは、スライド部材８２によって物品Ｇが水平方向に所定距離移動するたび第１サイノグラムを生成する。言い換えると、サイノグラム生成部６２ａは、一つの物品Ｇに対して複数の第１サイノグラムを生成する。
【００５３】
第１サイノグラムに関するデータ（処理前データ）は、検査対象物品Ｇ（検査物）のＩＤ（検査物ＩＤ）と関連付けて上述した処理前データ記憶領域６１ａに記憶される。
【００５４】
（４−２−２）フィルタ処理部
フィルタ処理部６２ｂは、処理前データ記憶領域６１ａに記憶された処理前データにフィルタ処理を施す。フィルタ処理部６２ｂによる処理は、後述する第１判定部６２ｃによる異物の判定を容易にするために行われる。
【００５５】
フィルタ処理部６２ｂは、第１サイノグラムを構成する全画素に対して、異物に対応する画素が区別しやすくなるように、処理前データに対してフィルタ処理を施す。具体的に、フィルタ処理部６２ｂは、処理前データに対してノイズ除去の処理および異物の強調処理を行う。より具体的に、フィルタ処理部６２ｂは、処理前データからノイズを除去した上で、第１サイノグラムを構成する全画素に対して、圧縮フィルタ、平滑フィルタ、鮮鋭化フィルタ、またはこれらフィルタを組合せた処理を行うことで、第１サイノグラムにおける異物を強調させる。
【００５６】
フィルタ処理部６２ｂによるフィルタ処理によって、第２サイノグラムが得られる。第２サイノグラムに関するデータ（処理後データ）は、検査物ＩＤと関連付けて、上述した処理後データ記憶領域６１ｂに記憶される。
【００５７】
（４−２−３）第１判定部
第１判定部６２ｃは、処理後データ記憶領域６１ｂに記憶された処理後データに基づいて、物品Ｇの異物判定を行う。具体的に、第１判定部６２ｃは、処理後データに基づき、所定の輝度を有する画素（特定画素（第１部分））の連続量を判定する。特定画素の連続量とは、特定画素が連続する部分の量であり、連続して並ぶ特定画素の総数または総面積（または長さ）である。なお、ここで、「連続する部分」は、全体として連続する部分を意味し、連続する部分は、所定の少数の画素によって部分的に途切れた部分を含んでいてもよい。
【００５８】
具体的に、まず、第１判定部６２ｃは、透過Ｘ線の輝度（強度）に関する所定の閾値（第１の閾値）を用いて処理後データを二値化する（図８参照）。例えば、第１判定部６２ｃは、一の第２サイノグラムを構成する全画素のうち、透過Ｘ線の輝度（強度）が第１の閾値を下回る画素については白で表し、第１の閾値以上の画素については黒で表すように、処理後データを二値化する。すなわち、第１判定部６２ｃによる二値化処理により、図８に示すように、所定の輝度を有する画素（特定画素）が判定される。さらに、第１判定部６２ｃは、判定した特定画素の連続量と、連続量に関する所定の閾値（第２の閾値）とを比較して、第２サイノグラムに異物に対応する部分が含まれるかどうかを判定する。第１判定部６２ｃは、第２サイノグラムに、第２の閾値よりも大きい値を有する部分（連続する特定画素）がある場合には、当該連続する特定画素の部分を、異物に対応する部分であると判定する。
【００５９】
第１判定部６２ｃによる判定結果は、検査物ＩＤおよび処理後データと関連付けて記憶部６１に記憶される。
【００６０】
（４−２−４）処理前断層画像生成部
処理前断層画像生成部６２ｄは、処理前データ記憶領域６１ａに記憶された処理前データに基づいて、処理前断層画像を構成する（図１０参照）。処理前断層画像とは、上述したように、フィルタ処理前のサイノグラム（第１サイノグラム）に基づいて再構成された断層画像である。具体的に、処理前断層画像生成部６２ｄは、第１サイノグラムに係るデータ（処理前データ）を解析し、物品Ｇの各撮像位置に対して照射されたＸ線によって得られたＸ線透過信号に基づき、各撮像位置における物品Ｇの断層画像を生成する。すなわち、処理前断層画像生成部６２ｄは、一つの物品Ｇについて複数の処理前断層画像を生成する。処理前断層画像では、物品Ｇと異物とが表される。処理前断層画像によって、物品Ｇに混入される異物の相対的な大きさおよび位置が特定可能になる。
【００６１】
処理前断層画像生成部６２ｄによって生成された処理前断層画像に関するデータ（処理前断層画像データ）は、上述した処理前断層画像記憶領域６１ｃに、検査物ＩＤと関連付けて記憶される。また、一の物品Ｇについて生成される複数の処理前断層画像は、画像番号を付けて処理前断層画像記憶領域６１ｃに記憶される。ここで、画像番号は、Ｘ線が照射された際の物品Ｇの撮像位置に対応する。
【００６２】
（４−２−５）処理後断層画像生成部
処理後断層画像生成部６２ｅは、処理後データ記憶領域６１ｂに記憶された処理後データに基づいて、一つの物品Ｇに対して多数の処理後断層画像を構成する（図９参照）。処理後断層画像とは、上述したように、フィルタ処理後のサイノグラム（第２サイノグラム）に基づいて再構成された断層画像である。具体的に、処理後断層画像生成部６２ｅは、第２サイノグラムに係るデータ（処理後データ）を解析し、物品Ｇの各撮像位置に対して照射されたＸ線によって得られたＸ線透過信号に基づいて各撮像位置における物品Ｇの断層画像を生成する。すなわち、処理後断層画像生成部６２ｅは、一つの物品Ｇについて多数の処理後断層画像を生成する。処理後断層画像では、物品Ｇに混入される異物のみが現れる。言い換えると、処理後断層画像では、物品Ｇは現れない。処理後断層画像によって、物品Ｇに混入される異物の絶対的な大きさおよび位置が特定可能になる。
【００６３】
処理後断層画像生成部６２ｅによって生成された処理後断層画像に関するデータ（処理後断層画像データ）は、上述した処理後断層画像記憶領域６１ｄに、検査物ＩＤと関連付けて記憶される。また、一の物品Ｇについて生成される複数の処理後断層画像は、画像番号を付けて処理後断層画像記憶領域６１ｄに記憶される。ここでも、画像番号は、Ｘ線が照射された際の物品Ｇの撮像位置に対応する。
【００６４】
（４−２−６）第２判定部
第２判定部６２ｆは、処理後断層画像記憶領域６１ｄに記憶された処理後断層画像データに基づいて、各断層における異物の有無を判定する。言い換えると、第２判定部６２ｆは、一の物品Ｇについてのサイノグラムを解析した結果得られた多数の処理後断層画像のうち、いずれの処理後断層画像に異物が表れているかを判定する。
【００６５】
具体的に、第２判定部６２ｆは、処理後断層画像を構成する全画素のうち、所定の輝度（濃淡値）を有する画素があるかどうかを判定する。言い換えると、第２判定部６２ｆは、処理後断層画像を構成する全画素の輝度と、輝度に関する所定の閾値（第３の閾値）とを比較し、処理後断層画像に、異物に対応する部分が含まれるか否かが判定される。
【００６６】
第２判定部６２ｆによる判定結果は、検査物ＩＤおよび処理後断層画像データと関連付けて記憶部６１に記憶される。
【００６７】
（４−２−７）合成画像生成部
合成画像生成部６２ｇは、共通の断層番号を有する処理前断層画像および処理後断層画像を合成する。合成画像生成部６２ｇは、処理前断層画像記憶領域６１ｃに記憶された処理前断層画像データと、処理後断層画像記憶領域６１ｄに記憶された処理後断層画像データと、を用いて、合成画像を生成する（図９および図１０参照）。
【００６８】
具体的に、合成画像生成部６２ｇは、物品Ｇの異物が混入する部分（特定部分）についての処理後断層画像（特定処理後断層画像）と、特定処理後断層画像と共通の断層番号を有する処理前断層画像（特定処理前断層画像）とを合成する。すなわち、合成画像生成部６２ｇは、特定処理後断層画像と、特定処理後断層画像が得られた撮像位置と同じ撮像位置で得られた特定処理前断層画像とを合成する。
【００６９】
合成画像生成部６２ｇによって生成された合成画像に関するデータは、上述した合成画像記憶領域６１ｅに記憶される。
【００７０】
（５）処理の流れ
次に、図１１および図１２を用いて、本実施形態に係るＸ線検査装置１００における処理の流れを説明する。
【００７１】
先ず、ステップＳ１１において、物品ＧのＸ線透過信号が検出されたかどうかが判断される。言い換えると、ステップＳ１１では、Ｘ線ラインセンサ１３によってＸ線透過信号が出力されたかどうかが判断される。ステップＳ１１では、Ｘ線透過信号が検出されるまで待機し、Ｘ線透過信号が検出されるとステップＳ１２に進む。
【００７２】
ステップＳ１２では、物品Ｇについての第１サイノグラムが生成され、第１サイノグラムに関するデータ（処理前データ）が処理前データ記憶領域６１ａに記憶される。その後、ステップＳ１３に進む。
【００７３】
ステップＳ１３では、処理前データに基づいて、フィルタ処理が行われる。具体的には、処理前データに対してノイズ除去の処理および異物の強調処理を行う。より具体的に、処理前データに対してノイズを除去した後、圧縮フィルタ、平滑フィルタ、鮮鋭化フィルタ、またはこれらフィルタを組合せた処理を行うことで、第１サイノグラムにおける異物を強調させる。ステップＳ１３において、第２サイノグラムが生成される。処理前データに対してフィルタ処理を施すことによって得られた処理後データは、処理後データ記憶領域６１ｂに記憶される。その後、ステップＳ１４に進む。
【００７４】
ステップＳ１４では、処理後データに基づいて異物判定が行われる。具体的には、透過Ｘ線の輝度に関する所定の閾値（第１の閾値）を用いて、処理後データを二値化する。その後、二値化されたデータにおいて連続する特定画素の量（連続量）と、連続量に関する所定の閾値（第２の閾値）とを比較して、第２サイノグラムに異物に対応する部分が含まれるかどうかが判定される。ステップＳ１４において、物品Ｇに異物が混入していると判定された場合には、ステップＳ１５に進む。一方、ステップＳ１４において、物品Ｇに異物が混入していないと判定された場合には、ステップＳ１６に進む。
【００７５】
ステップＳ１５では、物品Ｇに異物が混入する旨（例えば、ＮＧ）をモニタ１０ｅに表示する。その後、ステップＳ１７に進む。また、ステップＳ１６では、物品Ｇに異物が混入しない旨（例えば、ＯＫ）をモニタ１０ｅに表示する。その後、ステップＳ１７に進む。
【００７６】
ステップＳ１７では、ユーザによって詳細判定が要求されているか否かが判断される。言い換えると、詳細判定を要求する旨の入力があったかどうかが判断される。詳細判定とは、物品Ｇにおける異物の混入位置を特定するための判定である。詳細判定を要求する旨の入力は、操作者によってモニタ１０ｅを用いて行われる。ステップＳ１７において、詳細判定が要求されていないと判定された場合には、ステップＳ１１に戻り、詳細判定が要求されていると判定された場合には、ステップＳ２１に進む。
【００７７】
ステップＳ２１では、処理後データに基づき、処理後断層画像が生成される。すなわち、フィルタ処理後のサイノグラム（第２サイノグラム）に係るデータが解析され、物品Ｇの各撮像位置に対して照射されたＸ線によって得られたＸ線透過信号に基づき、各撮像位置における物品Ｇの断層画像を生成する。また、処理後断層画像に関するデータ（処理後断層画像データ）は、処理後断層画像記憶領域６１ｄに記憶される。その後、ステップＳ２２に進む。
【００７８】
ステップＳ２２では、ｎに１を入力する。その後、ステップＳ２３に進む。
【００７９】
ステップＳ２３では、ｎ枚目の処理後断層画像について、異物判定が行われる。ステップＳ２３において、ｎ枚目の処理後断層画像に異物がないと判定されると、ステップＳ２４に進む。ステップＳ２４では、異物がない旨（例えば、ＯＫ）をモニタ１０ｅに表示する。その後、ステップＳ２９に進む。
【００８０】
一方、ステップＳ２３において、ｎ枚目の処理後断層画像に異物があると判定されると、ステップＳ２５に進む。ステップＳ２５では、異物がある旨（例えば、ＮＧ）をモニタ１０ｅに表示する。その後、ステップＳ２６に進む。
【００８１】
ステップＳ２６では、詳細表示が必要か否かが判断される。言い換えると、詳細表示を要求する入力があったかどうかが判断される。詳細表示とは、物品Ｇに混入されている異物の場所や異物の大きさを把握し易くするための表示である。詳細表示を要求する旨の入力は、操作者によってモニタ１０ｅを用いて行われる。ステップＳ２６において、詳細表示が必要でない場合には、ステップＳ２９に進み、詳細表示が必要な場合には、ステップＳ２７に進む。
【００８２】
ステップＳ２７では、処理前データに基づき、処理前断層画像が生成される。すなわち、フィルタ処理前のサイノグラム（第１サイノグラム）に係るデータが解析され、物品Ｇの各撮像位置に対して照射されたＸ線によって得られたＸ線透過信号に基づき、各撮像位置における物品Ｇの断層画像を生成する。また、処理前断層画像に関するデータ（処理前断層画像データ）は、処理前断層画像記憶領域６１ｃに、検査物ＩＤと関連付けて記憶される。その後、ステップＳ２８に進む。
【００８３】
ステップＳ２８では、処理前断層画像および処理後断層画像の合成画像が生成される。具体的には、同一の画像番号が付された処理前断層画像および処理後断層画像が合成される。これにより、異物を含む物品Ｇの断層画像と、異物のみがはっきりと現れた断層画像とが合成される。生成された合成画像は、モニタ１０ｅに表示される。その後、ステップＳ２９に進む。
【００８４】
ステップＳ２９では、一つの物品Ｇについて生成された全ての処理後断層画像について異物判定が行われたか否かが判断される。ステップＳ２９で、全ての処理後断層画像についての異物判定が終了していない場合には、ステップＳ３０に進み、ｎに１を足した値をｎとする。その後、ステップＳ２３に戻る。
【００８５】
一方、ステップＳ２９において、一つの物品Ｇについて生成された全ての処理後断層画像について異物判定が終了した場合には、ステップＳ１１に戻る。
【００８６】
（６）特徴
（６−１）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１００は、水平軸回りに回転する物品Ｇに対して上方からＸ線を照射し、物品Ｇを透過したＸ線に基づいて、物品Ｇのサイノグラムを生成する。また、サイノグラムに基づいて、物品Ｇの異物判定を行う。
【００８７】
従来、物品についての詳細な検査として、断層画像（ＣＴ画像）に基づく異物検査が行われていた。物品Ｇの断層画像は、サイノグラムを再構成することにより得られる。再構成には時間がかかるため、多数の物品を効率よく検査することが困難であった。
【００８８】
しかし、上記実施形態に係るＸ線検査装置１００は、再構成の処理を行うことなく、サイノグラムに基づいて異物の有無を判定することができる。具体的には、サイノグラムを構成する全画素のうち、所定の輝度を有する画素の連続量（長さ）に基づいて、物品Ｇの異物判定を行う。これにより、多数の物品について効率よく詳細な検査を行うことができる。
【００８９】
（６−２）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１００は、サイノグラムに基づいて異物が判定された場合に、物品Ｇについての複数の処理後断層画像が生成される。また、Ｘ線検査装置１００は、複数の第処理後断層画像に基づいて異物の有無を判定することができる。これにより、物品Ｇのどの断層画像に異物が混入するものであるかを特定することができる。
【００９０】
（６−３）
また、上記実施形態係るＸ線検査装置１００は、処理後断層画像に異物が混入されていると判断された場合、処理前断層画像を生成する。さらに、処理前断層画像および処理後断層画像の合成画像が生成され、合成画像がモニタ１０ｅに表示される。処理前断層画像は、フィルタ処理をおこなっていないサイノグラムに基づいて再構成される画像である。処理前断層画像には、異物に加えて、物品Ｇが現れる。一方、処理後断層画像は、異物を確実に検出するためにフィルタ処理がされているため、異物が強調されて現れる。すなわち、異物がはっきりと現れている処理後断層画像が、異物と物品Ｇの両方が現れた処理前断層画像と合成されるため、物品Ｇに含まれる異物の場所や、物品Ｇに占める異物の大きさ（割合）等を容易に把握することができる。
【００９１】
（７）変形例
（７−１）変形例Ａ
上記実施形態に係るＸ線検査装置１００は、制御装置１６によって第２サイノグラムを再構成して処理後断層画像を得た。ここで、Ｘ線検査装置１００は、図１３に示すように、さらに出力部１７を備えてもよい。出力部１７は、制御装置１６に記憶したサイノグラムに関するデータ（処理前データおよび／または処理後データ）を、外部装置に出力する。Ｘ線検査装置１００で得られたデータを、外部装置に出力することにより、再構成のように時間の係る処理を外部装置で実行することができる。これにより、Ｘ線検査装置１００における処理負担を軽減することができる。
【００９２】
（７−２）変形例Ｂ
上記実施形態に係るＸ線検査装置１００は、物品Ｇを水平軸回りに回転させる回転機構１８ｂを備えた。Ｘ線検査装置１００は、回転する物品Ｇから得られるデータに基づいてサイノグラムを生成し、サイノグラムに基づいて異物判定を行った。
【００９３】
ここで、物品Ｇを垂直軸回りに回転させるようなＸ線検査装置２００を用意し、Ｘ線検査装置２００において、物品Ｇについて連続して回転撮像データを得る場合に、サイノグラムに基づいて異物判定を行ってもよい。例えば、図１４に示すように、Ｘ線検査装置２００は、回転テーブル５０ａを有する搬送機構５０を備える。搬送機構５０は、物品Ｇを水平面内で搬送する。回転テーブル５０ａは、回転機構５１に接触することで、照射空間で回転される。照射空間とは、Ｘ線照射器１１１とフラットパネルセンサ１１３とに挟まれる空間である。Ｘ線検査装置２００では、物品Ｇを回転テーブル５０ａに載せることにより、物品Ｇは鉛直軸回りに回転し、物品Ｇの回転撮像データを取得することができる。物品Ｇを水平軸回りに回転させる場合、物品Ｇを保持する構造が必要であり、また、当該構造に物品Ｇを保持させる必要がある。したがって、検査対象物品Ｇを検査するまでに手間がかかる。一方、Ｘ線検査装置２００では、回転テーブル５０ａに載せるだけで回転撮像データを得ることができる。これにより、多数の物品Ｇについての異物判定を一層効率よく行うことができる。
【００９４】
（７−３）変形例Ｃ
上記実施形態に係るＸ線検査装置１００では、第２判定部６２ｆによって、フィルタ処理がされた後のデータ（処理後データ）に基づいた異物の有無が判定され、合成画像生成部６２ｇによって、異物があると判定された処理後断層画像と、処理後断層画像と共通の断層番号を有する処理前断層画像との合成画像が生成された（図９および図１０参照）。言い換えると、合成画像は、フィルタ処理前のデータに基づいて生成された断層画像（処理前断層画像）と、フィルタ処理が実行された後のデータに基づいて生成された断層画像（処理後断層画像）とを用いて生成された。
【００９５】
ここで、第２判定部６２ｆは、処理後断層画像に基づいて物品に含まれる異物の位置をさらに判定し、判定した異物の位置を明示するための記号を表示する位置画像（図１５参照）を生成しても良い。すなわち、第２判定部６２ｆは、処理後断層画像（図９参照）に基づいて、処理後断層画像に含まれる異物の位置や大きさに対応するマークを含む位置画像を生成する。また、合成画像生成部６２ｇは、上記実施形態で例示した処理前断層画像と処理後断層画像との合成画像に代えて、処理前断層画像（図１０参照）と位置画像（図１５参照）とを合成した合成画像（図１６参照）を生成してもよい。これによっても、物品Ｇに含まれる異物の場所および大きさを特定することができる。
【００９６】
（７−４）変形例Ｄ
上記実施形態において、サイノグラム生成部６２ａは、スライド部材８２によって物品Ｇが水平方向に所定距離移動するたび第１サイノグラムを生成した。ここで、サイノグラム生成部は、水平方向への移動と垂直軸周りの回転とが同時に行われる状態で第１サイノグラムを生成するような構成であってもよい。
【符号の説明】
【００９７】
１０      本体部
１０ａ    ケーシング
１０ｂ    支持ブロック
１０ｃ    カバー
１０ｄ    脚部
１０ｅ    モニタ（表示部）
１１      Ｘ線照射器（Ｘ線照射部）
１２      暖簾
１３      Ｘ線ラインセンサ（Ｘ線検出部）
１６      制御装置
１８      検査ユニット
１８ａ    ベースユニット
１８ｂ    回転機構
６１      記憶部
６１ａ    処理前データ記憶領域
６１ｂ    処理後データ記憶領域
６１ｃ    処理前断層画像記憶領域
６１ｄ    処理後断層画像記憶領域
６１ｅ    合成画像記憶領域
６２      制御部
６２ａ    サイノグラム生成部
６２ｂ    フィルタ処理部
６２ｃ    第１判定部（異物判定部）
６２ｄ    処理前断層画像生成部
６２ｅ    第２判定部（断層画像判定部）
６２ｆ    処理後断層画像生成部
６２ｇ    合成画像生成部
８１      固定部材
８２      スライド部材
８４      ホルダ
８５      回転軸
１００，２００    Ｘ線検査装置
【先行技術文献】
【特許文献】
【００９８】
【特許文献１】特開２００９−８００３１号公報
【図１】
0005894478.tif 000002
【図２】
0005894478.tif 000003
【図３】
0005894478.tif 000004
【図４】
0005894478.tif 000005
【図５】
0005894478.tif 000006
【図６】
0005894478.tif 000007
【図１１】
0005894478.tif 000008
【図１３】
0005894478.tif 000009
【図１４】
0005894478.tif 000010
【図７】
0005894478.tif 000011
【図８】
0005894478.tif 000012
【図９】
0005894478.tif 000013
【図１０】
0005894478.tif 000014
【図１２】
0005894478.tif 000015
【図１５】
0005894478.tif 000016
【図１６】
0005894478.tif 000017