(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における前記ダミーチャネルと前記駆動チャネルのうちの少なくともいずれか一方のチャネルの前記接続電極が、該チャネルの前記開口部を取り囲むように形成されており、
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記ダミーチャネルに対応する前記配線電極の端部が、該ダミーチャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側領域も被覆するように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記駆動チャネルに対応する前記配線電極の端部が、該駆動チャネルに対応する前記インク流路口を取り囲むように形成されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における前記ダミーチャネルと前記駆動チャネルのうちの少なくともいずれか一方のチャネルの前記接続電極が、該チャネルの前記開口部を取り囲むように形成されており、
前記ヘッドチップの後面は、前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面に対して凹んでおり、
前記ヘッドチップにおける両外側の２列の前記チャネル列の前記接続電極の端部と、当該ヘッドチップの後面における側縁との間に、前記接続電極が存在しないスペースが形成されていると共に、３列以上のチャネル列のうちの内側のチャネル列の前記接続電極の厚みは、前記ヘッドチップにおける前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面の位置よりも該ヘッドチップの後面からの高さが高くなるように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における前記ダミーチャネルのみの前記接続電極が、前記開口部を取り囲むように形成されていると共に、
前記配線基板は、前記接続電極が前記開口部を取り囲むように形成された前記ダミーチャネルを含む前記チャネル列における前記駆動チャネルのみに対応する前記配線電極の端部が、該駆動チャネルに対応する前記インク流路口を取り囲むように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における前記駆動チャネルのみの前記接続電極が、前記開口部を取り囲むように形成されていると共に、
前記配線基板は、前記接続電極が前記開口部を取り囲むように形成された前記駆動チャネルを含む前記チャネル列における前記ダミーチャネルのみに対応する前記配線電極の端部が、該ダミーチャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側領域も被覆するように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記ダミーチャネルに対応する前記配線電極の端部が、該ダミーチャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側領域も被覆するように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記駆動チャネルに対応する前記配線電極の端部が、該駆動チャネルに対応する前記インク流路口を取り囲むように形成されていることを特徴とする請求項６記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記駆動チャネルに対応する前記配線電極の端部が、該駆動チャネルに対応する前記インク流路口を取り囲むように形成されており、
前記ヘッドチップの後面は、前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面に対して凹んでおり、
前記ヘッドチップにおける両外側の２列の前記チャネル列の前記接続電極の端部と、当該ヘッドチップの後面における側縁との間に、前記接続電極が存在しないスペースが形成されていると共に、３列以上のチャネル列のうちの内側のチャネル列の前記接続電極の厚みは、前記ヘッドチップにおける前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面の位置よりも該ヘッドチップの後面からの高さが高くなるように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記配線基板は、前記チャネル列に対応する複数の前記インク流路口の列のうち、少なくとも１つの前記インク流路口の列における隣接する該インク流路口の間に、少なくとも１本の前記配線電極が通って前記ヘッドチップの側方から張り出した端部まで延びていることを特徴とする請求項３又は８記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記配線基板は、前記チャネル列に対応する複数の前記インク流路口の列のうち、少なくとも１つの前記インク流路口の列における隣接する該インク流路口の間に、少なくとも１本の前記配線電極が通って前記ヘッドチップの側方から張り出した端部まで延びていることを特徴とする請求項１、２、４〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、全ての前記チャネルがインク吐出を行う駆動チャネルで構成されてなるヘッドチップと、
前記チャネルにそれぞれ個別に対応して該チャネルへ供給されるインクの流路を絞るインク絞り穴と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出す配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における前記チャネルの前記接続電極が、該チャネルの前記開口部を取り囲むように形成されており、
前記ヘッドチップの後面は、前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面に対して凹んでおり、
前記ヘッドチップにおける両外側の２列の前記チャネル列の前記接続電極の端部と、当該ヘッドチップの後面における側縁との間に、前記接続電極が存在しないスペースが形成されていると共に、３列以上のチャネル列のうちの内側のチャネル列の前記接続電極の厚みは、前記ヘッドチップにおける前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面の位置よりも該ヘッドチップの後面からの高さが高くなるように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１２】
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記チャネルに対応する前記配線電極の端部が、前記チャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側の前記インク絞り穴の周囲も被覆するように形成されていることを特徴とする請求項１１記載のインクジェットヘッド。
【請求項１３】
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、全ての前記チャネルがインク吐出を行う駆動チャネルで構成されてなるヘッドチップと、
前記チャネルにそれぞれ個別に対応して該チャネルへ供給されるインクの流路を絞るインク絞り穴と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出す配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における一つおきの前記チャネルの前記接続電極が、該チャネルの前記開口部を取り囲むように形成されていると共に、
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおいて一つおきの前記チャネルの前記接続電極が該チャネルの前記開口部を取り囲むように形成された前記チャネル列における前記接続電極が前記開口部を取り囲むように形成されていない前記チャネルに対応する前記配線電極の端部が、前記チャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側の前記インク絞り穴の周囲も被覆するように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１４】
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、全ての前記チャネルがインク吐出を行う駆動チャネルで構成されてなるヘッドチップと、
前記チャネルにそれぞれ個別に対応して該チャネルへ供給されるインクの流路を絞るインク絞り穴と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出す配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記チャネルに対応する前記配線電極の端部が、前記チャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側の前記インク絞り穴の周囲も被覆するように形成されており、
前記ヘッドチップの後面は、前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面に対して凹んでおり、
前記ヘッドチップにおける両外側の２列の前記チャネル列の前記接続電極の端部と、当該ヘッドチップの後面における側縁との間に、前記接続電極が存在しないスペースが形成されていると共に、３列以上のチャネル列のうちの内側のチャネル列の前記接続電極の厚みは、前記ヘッドチップにおける前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面の位置よりも該ヘッドチップの後面からの高さが高くなるように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１５】
前記配線基板は、前記チャネル列に対応する複数の前記インク絞り穴の列のうち、少なくとも１つの前記インク絞り穴の列における隣接する該インク絞り穴の間に、少なくとも１本の前記配線電極が通って前記ヘッドチップの側方から張り出した端部まで延びていることを特徴とする請求項１１、１２又は１４記載のインクジェットヘッド。
【請求項１６】
前記配線基板は、前記チャネル列に対応する複数の前記インク絞り穴の列のうち、少なくとも１つの前記インク絞り穴の列における隣接する該インク絞り穴の間に、少なくとも１本の前記配線電極が通って前記ヘッドチップの側方から張り出した端部まで延びていることを特徴とする請求項１３記載のインクジェットヘッド。
【請求項１７】
前記ヘッドチップの後面は、前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面に対して凹んでいることを特徴とする請求項１、２、４〜７、１０、１３、１６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項１８】
前記ヘッドチップにおける両外側の２列の前記チャネル列の前記接続電極の端部と、当該ヘッドチップの後面における側縁との間に、前記接続電極が存在しないスペースが形成されていると共に、３列以上のチャネル列のうちの内側のチャネル列の前記接続電極の厚みは、前記ヘッドチップにおける前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面の位置よりも該ヘッドチップの後面からの高さが高くなるように形成されていることを特徴とする請求項１７記載のインクジェットヘッド。
【請求項１９】
前記配線基板は、ガラス、セラミックス、シリコンのいずれかによって形成されていることを特徴とする請求項１〜１８のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッドに関し、詳しくは、３列以上のチャネル列を有するヘッドチップとその後面に接合される配線基板との間の接着剤の浸透を良好に行うことが可能なインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
チャネルを区画する駆動壁の表面に形成された駆動電極に所定電圧の駆動信号を印加することにより駆動壁をせん断変形させ、チャネルの容積が変化したときに発生する圧力を利用してチャネル内のインクをノズルから吐出させるせん断モード型のインクジェットヘッドとして、前面及び後面にそれぞれチャネルの開口部が配置されたいわゆるハーモニカ型のヘッドチップを有するものが知られている。【０００３】
ハーモニカ型のヘッドチップは、駆動電極がチャネル内に臨んでいて外部に露出していないため、ヘッドチップの後面側に電極取り出し用の基板を接合することで、この基板を利用して各駆動電極をヘッドチップの外部に電気的に引き出すようにしている。【０００４】
例えば特許文献１には、複数のチャネル列を有するハーモニカ型のヘッドチップの後面に、チャネル内の駆動電極の端部を露出させて電気的接点を形成しておき、この後面に対してフレキシブル基板からなる配線基板を接合することで、各駆動電極を配線基板を介して電気的に引き出すことが開示されている。配線基板には各チャネルに対応する位置にそれぞれインク流路口が開設されており、配線基板の後面側に接合されるマニホールド内のインクを、インク流路口を介して各チャネル内に個別に供給できるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１７８５０９号公報（図１８）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このようなハーモニカ型のヘッドチップは、図１８に示すように、チャネルと駆動壁とが交互に配置されたチャネル列が複数本並設されるように形成された長尺のウエハー１００を作業台２００上に載置し、チャネル長さが所望長さとなるように、該チャネルの長さ方向と直交する方向に沿って、ダイシングブレード３００を用いて切削し、フルカットすることによって製造される。フルカットは、ウエハー１００の上面から回転するダイシングブレード３００を下降させ、徐々に掘り下げていくことによって行われ、通常、１枚のウエハー１００から複数個のヘッドチップ４００が切り出される。図中、１０１はフルカット部である。【０００７】
このフルカット作業では、ダイシングブレード３００を掘り下げていくときの深さが深くなるほど、フルカット部１０１の溝幅が狭くなっていく現象が発生し、垂直な切断面を形成することができない。その結果、切り出されたヘッドチップ４００の切削断面は、最深部となる側縁ｅ１の部位においていわゆるエッジが立った状態となってしまう。通常、この側縁ｅ１は、ヘッドチップ１の切削断面の周囲の４つの側縁におけるチャネル列の長さ方向（以下、チャネル列方向という。）に沿う２つの側縁のうちの一方の側縁である。【０００８】
ダイシングブレード３００それ自体の幅が先細りになっているわけではないため、このようにエッジが立ってしまう原因は不明であるが、加工深さが深くなるほど（ウエハー１００の厚みが厚くなるほど）、切削断面の平面度を保つことは難しくなる。本発明者が確認したところ、厚みが４．６ｍｍであるウエハー１００をフルカットした場合、側縁ｅ１の最大突出量ｄは２〜５μｍ程度であった。ヘッドチップ４００が特に３列以上となる複数のチャネル列を有する場合、ウエハー１００も厚くなるため、このようにエッジが立った状態の側縁ｅ１が形成されてしまう傾向が強い。【０００９】
このように一方の側縁１ｅのエッジが立った状態となると、ヘッドチップ４００の切削断面は、図１９に示すように、該側縁ｅ１ともう一方の側縁ｅ２とを通る平面Ｐと一致する平坦面とはならず、この平面Ｐに対して両側縁ｅ１、ｅ２の間が凹んだ形の面となってしまい、これによって以下に説明するような問題があった。【００１０】
ハーモニカ型のヘッドチップ４００は、図２０に示すように、その後面４００ａ（インクの吐出方向の面と反対側の面）に、各チャネル４０１内の駆動電極と導通する接続電極４０２がそれぞれ個別に配置されている。ここに示すヘッドチップ４００は４列のチャネル列４００Ａ〜４００Ｄを有しており、各チャネル列４００Ａ〜４００Ｄにおいて、インク吐出を行う駆動チャネル４０１ａとインク吐出を行わないダミーチャネル４０１ｂとを交互に配置した独立駆動タイプのヘッドチップである。【００１１】
一方、このヘッドチップ４００の後面４００ａに接合される配線基板５００は、図２１に示すように、駆動チャネルに対応する位置に該駆動チャネルにインクを供給するためのインク流路口５０１が形成されている。ダミーチャネルにはインクを供給する必要がないため、ダミーチャネルに対応する位置の配線基板５００の部位には何も形成されず、配線基板５００によって該ダミーチャネルを閉塞するようになっている。配線基板５００には、ヘッドチップ４００側の接続電極４０２にそれぞれ対応するように配線電極５０２が形成されている。【００１２】
このような配線基板５００をヘッドチップ４００の後面４００ａに接合する際、接続電極４０２と配線電極５０２との電気的接続のために金属粒子を含む導電性接着剤Ｘを、接続電極と配線電極とが重なり合う部分に亘って帯状領域となるようにそれぞれ塗布した後、両者を位置合わせすることによって接合する。このとき、ダミーチャネルの周囲には接着剤Ｘは直接塗布されないため、上記帯状領域に塗布された接着剤Ｘをヘッドチップ４００と配線基板５００との間に形成される僅かな隙間を利用して毛細管力によって浸透させ、全てのダミーチャネル４０１ｂの開口部の周囲を接着剤Ｘで取り囲むようにして封止する必要がある。ダミーチャネル４０１ｂの開口部を完全に封止しないと、インクの浸入を許してしまい、両隣の駆動チャネル４０１ａとの間で共有される駆動壁４０３の変形動作に支障が生じて駆動チャネル４０１ａからの吐出を阻害し、液滴速度が遅くなったり、吐出できなくなったりするおそれがあるからである。【００１３】
しかし、上述したように、側縁ｅ１のエッジが立った状態となって後面４００ａが凹んだ形の面となってしまうことにより、内側のチャネル列４００Ｂ、４００Ｃと配線基板５００との間の距離が外側のチャネル列４００Ａ、４００Ｄに比べて大きくあいてしまう結果、図２２に示すように、この内側のチャネル列４００Ｂ、４００Ｃの部位において接着剤Ｘが毛細管力によって浸透せず、ダミーチャネルの開口部の周囲を接着剤Ｘによって取り囲むことができず、ダミーチャネルを封止できなくなってしまう問題があった。このような問題は、配線基板５００がＦＰＣのような比較的フレキシブルな基板の場合にも接合状況によって発生するが、例えばガラス、セラミックス、シリコンといった硬質な基板材料によって作製されたものである場合に特に顕著に見られる問題である。【００１４】
また、チャネル列の全てのチャネルを駆動チャネルとして使用するヘッドチップであっても、配線基板にチャネルにそれぞれ個別に対応して該チャネルへ供給されるインクの流路を絞るためのインク絞り穴を形成することで流路抵抗を増加させ、低粘度インクでも安定して吐出できるようにする場合がある。この場合もインク絞り穴の周囲を接着剤によって封止してインク漏れを防止する必要があり、上記同様の問題がある。従って、チャネル列の全てのチャネルを駆動チャネルとしたヘッドチップでも、複数のチャネル列の内側のチャネル列において接着剤が毛細管力によって浸透しないことによる問題は大きい。【００１５】
そこで、本発明は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとからなるチャネル列を３列以上備える独立駆動タイプのヘッドチップに、各駆動チャネルのみに対応するようにインク流路口が形成された配線基板を接合して構成されるインクジェットヘッドにおいて、接着剤によるチャネルの封止を確実に行うことができるようにすることを課題とする。【００１６】
また、本発明は、全てのチャネルがインク吐出を行う駆動チャネルである３列以上のチャネル列を備えるヘッドチップに、各チャネルに対するようにインク絞り穴が形成された配線基板を接合して構成されるインクジェットヘッドにおいて、インク絞り穴の周囲を接着剤によって確実に封止することができるようにすることを課題とする。【００１７】
本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。【００１９】
１．
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における前記ダミーチャネルと前記駆動チャネルのうちの少なくともいずれか一方のチャネルの前記接続電極が、該チャネルの前記開口部を取り囲むように形成されており、
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記ダミーチャネルに対応する前記配線電極の端部が、該ダミーチャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側領域も被覆するように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
２．
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記駆動チャネルに対応する前記配線電極の端部が、該駆動チャネルに対応する前記インク流路口を取り囲むように形成されていることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。
３．
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における前記ダミーチャネルと前記駆動チャネルのうちの少なくともいずれか一方のチャネルの前記接続電極が、該チャネルの前記開口部を取り囲むように形成されており、
前記ヘッドチップの後面は、前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面に対して凹んでおり、
前記ヘッドチップにおける両外側の２列の前記チャネル列の前記接続電極の端部と、当該ヘッドチップの後面における側縁との間に、前記接続電極が存在しないスペースが形成されていると共に、３列以上のチャネル列のうちの内側のチャネル列の前記接続電極の厚みは、前記ヘッドチップにおける前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面の位置よりも該ヘッドチップの後面からの高さが高くなるように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
４．
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における前記ダミーチャネルのみの前記接続電極が、前記開口部を取り囲むように形成されていると共に、
前記配線基板は、前記接続電極が前記開口部を取り囲むように形成された前記ダミーチャネルを含む前記チャネル列における前記駆動チャネルのみに対応する前記配線電極の端部が、該駆動チャネルに対応する前記インク流路口を取り囲むように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
５．
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における前記駆動チャネルのみの前記接続電極が、前記開口部を取り囲むように形成されていると共に、
前記配線基板は、前記接続電極が前記開口部を取り囲むように形成された前記駆動チャネルを含む前記チャネル列における前記ダミーチャネルのみに対応する前記配線電極の端部が、該ダミーチャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側領域も被覆するように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
６．
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記ダミーチャネルに対応する前記配線電極の端部が、該ダミーチャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側領域も被覆するように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
７．
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記駆動チャネルに対応する前記配線電極の端部が、該駆動チャネルに対応する前記インク流路口を取り囲むように形成されていることを特徴とする前記６記載のインクジェットヘッド。
８．
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとが交互に配置されてなるヘッドチップと、
前記駆動チャネルにそれぞれ個別に対応するインク流路口と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出すと共に前記ダミーチャネルの前記開口部を閉塞する配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記駆動チャネルに対応する前記配線電極の端部が、該駆動チャネルに対応する前記インク流路口を取り囲むように形成されており、
前記ヘッドチップの後面は、前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面に対して凹んでおり、
前記ヘッドチップにおける両外側の２列の前記チャネル列の前記接続電極の端部と、当該ヘッドチップの後面における側縁との間に、前記接続電極が存在しないスペースが形成されていると共に、３列以上のチャネル列のうちの内側のチャネル列の前記接続電極の厚みは、前記ヘッドチップにおける前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面の位置よりも該ヘッドチップの後面からの高さが高くなるように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
９．
前記配線基板は、前記チャネル列に対応する複数の前記インク流路口の列のうち、少なくとも１つの前記インク流路口の列における隣接する該インク流路口の間に、少なくとも１本の前記配線電極が通って前記ヘッドチップの側方から張り出した端部まで延びていることを特徴とする前記３又は８記載のインクジェットヘッド。
１０．
前記配線基板は、前記チャネル列に対応する複数の前記インク流路口の列のうち、少なくとも１つの前記インク流路口の列における隣接する該インク流路口の間に、少なくとも１本の前記配線電極が通って前記ヘッドチップの側方から張り出した端部まで延びていることを特徴とする前記１、２、４〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
１１．
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、全ての前記チャネルがインク吐出を行う駆動チャネルで構成されてなるヘッドチップと、
前記チャネルにそれぞれ個別に対応して該チャネルへ供給されるインクの流路を絞るインク絞り穴と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出す配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における前記チャネルの前記接続電極が、該チャネルの前記開口部を取り囲むように形成されており、
前記ヘッドチップの後面は、前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面に対して凹んでおり、
前記ヘッドチップにおける両外側の２列の前記チャネル列の前記接続電極の端部と、当該ヘッドチップの後面における側縁との間に、前記接続電極が存在しないスペースが形成されていると共に、３列以上のチャネル列のうちの内側のチャネル列の前記接続電極の厚みは、前記ヘッドチップにおける前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面の位置よりも該ヘッドチップの後面からの高さが高くなるように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
１２
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記チャネルに対応する前記配線電極の端部が、前記チャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側の前記インク絞り穴の周囲も被覆するように形成されていることを特徴とする前記１１記載のインクジェットヘッド。
１３．
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、全ての前記チャネルがインク吐出を行う駆動チャネルで構成されてなるヘッドチップと、
前記チャネルにそれぞれ個別に対応して該チャネルへ供給されるインクの流路を絞るインク絞り穴と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出す配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、３列以上並設される前記チャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列の前記チャネル列における一つおきの前記チャネルの前記接続電極が、該チャネルの前記開口部を取り囲むように形成されていると共に、
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおいて一つおきの前記チャネルの前記接続電極が該チャネルの前記開口部を取り囲むように形成された前記チャネル列における前記接続電極が前記開口部を取り囲むように形成されていない前記チャネルに対応する前記配線電極の端部が、前記チャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側の前記インク絞り穴の周囲も被覆するように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
１４．
チャネルと圧電素子からなる駆動壁とが交互に配置されてなるチャネル列が３列以上並設され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極がそれぞれ形成され、前面及び後面に前記チャネルの開口部がそれぞれ配置され、該後面に、前記開口部を介して前記駆動電極と導通する接続電極がそれぞれ形成され、前記チャネル列は、全ての前記チャネルがインク吐出を行う駆動チャネルで構成されてなるヘッドチップと、
前記チャネルにそれぞれ個別に対応して該チャネルへ供給されるインクの流路を絞るインク絞り穴と、前記接続電極にそれぞれ対応する配線電極とを有すると共に、前記ヘッドチップの後面に対して端部が該ヘッドチップの側方から張り出すように接合され、前記接続電極と前記配線電極が電気的に接続されることにより、該接続電極及び該配線電極を介して前記駆動電極を前記端部まで電気的に引き出す配線基板とを有してなるインクジェットヘッドであって、
前記配線基板は、前記ヘッドチップにおける３列以上並設される前記チャネル列のうちの少なくとも内側に位置する前記チャネル列の前記チャネルに対応する前記配線電極の端部が、前記チャネルの前記開口部に対応する領域を取り囲む、又は、取り囲み且つその内側の前記インク絞り穴の周囲も被覆するように形成されており、
前記ヘッドチップの後面は、前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面に対して凹んでおり、
前記ヘッドチップにおける両外側の２列の前記チャネル列の前記接続電極の端部と、当該ヘッドチップの後面における側縁との間に、前記接続電極が存在しないスペースが形成されていると共に、３列以上のチャネル列のうちの内側のチャネル列の前記接続電極の厚みは、前記ヘッドチップにおける前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面の位置よりも該ヘッドチップの後面からの高さが高くなるように形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
１５．
前記配線基板は、前記チャネル列に対応する複数の前記インク絞り穴の列のうち、少なくとも１つの前記インク絞り穴の列における隣接する該インク絞り穴の間に、少なくとも１本の前記配線電極が通って前記ヘッドチップの側方から張り出した端部まで延びていることを特徴とする前記１１、１２又は１４記載のインクジェットヘッド。
１６
前記配線基板は、前記チャネル列に対応する複数の前記インク絞り穴の列のうち、少なくとも１つの前記インク絞り穴の列における隣接する該インク絞り穴の間に、少なくとも１本の前記配線電極が通って前記ヘッドチップの側方から張り出した端部まで延びていることを特徴とする前記１３記載のインクジェットヘッド。
１７．
前記ヘッドチップの後面は、前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面に対して凹んでいることを特徴とする前記１、２、４〜７、１０、１３、１６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
１８．
前記ヘッドチップにおける両外側の２列の前記チャネル列の前記接続電極の端部と、当該ヘッドチップの後面における側縁との間に、前記接続電極が存在しないスペースが形成されていると共に、３列以上のチャネル列のうちの内側のチャネル列の前記接続電極の厚みは、前記ヘッドチップにおける前記チャネル列方向に沿う２つの側縁を通る平面の位置よりも該ヘッドチップの後面からの高さが高くなるように形成されていることを特徴とする前記１７記載のインクジェットヘッド。
１９．
前記配線基板は、ガラス、セラミックス、シリコンのいずれかによって形成されていることを特徴とする前記１〜１８のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、インク吐出を行う駆動チャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとからなるチャネル列を３列以上備える独立駆動タイプのヘッドチップに、各駆動チャネルのみに対応するようにインク流路口が形成された配線基板を接合して構成されるインクジェットヘッドにおいて、接着剤によるチャネルの封止を確実に行うことができるようになる。【００３７】
また、本発明によれば、全てのチャネルがインク吐出を行う駆動チャネルである３列以上のチャネル列を備えるヘッドチップに、各チャネルに対するようにインク絞り穴が形成された配線基板を接合して構成されるインクジェットヘッドにおいて、インク絞り穴の周囲を接着剤によって確実に封止することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係るインクジェットヘッドの第１の実施形態を示す分解斜視図
【図２】図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの背面図
【図３】ヘッドチップと配線基板との接合面の状態を説明する図
【図４】図２における(iv)-(iv)線に沿う断面図
【図５】第１の実施形態に示すインクジェットヘッドにおける配線基板の他の態様を示す正面図
【図６】第１の実施形態に示すインクジェットヘッドにおける配線基板の更に他の態様の部分を示す図
【図７】第１の実施形態に示すインクジェットヘッドにおける配線基板の更に他の態様の配線電極の一端を示す図
【図８】第１の実施形態に示すインクジェットヘッドにおける配線基板の更に他の態様の部分を示す図
【図９】第１の実施形態に示すインクジェットヘッドにおけるヘッドチップと配線基板の更に他の態様の部分を示す図
【図１０】第１の実施形態に示すインクジェットヘッドにおけるヘッドチップと配線基板の更に他の態様の部分を示す図
【図１１】本発明に係るインクジェットヘッドの第２の実施形態を示す分解斜視図
【図１２】図１１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの背面図
【図１３】第２の実施形態に示すインクジェットヘッドにおける配線基板の他の態様を示す正面図
【図１４】第２の実施形態に示すインクジェットヘッドにおける配線基板の更に他の態様の部分を示す図
【図１５】第２の実施形態に示すインクジェットヘッドにおける配線基板の更に他の態様の配線電極の一端を示す図
【図１６】第２の実施形態に示すインクジェットヘッドにおける配線基板の更に他の態様の部分を示す図
【図１７】配線基板の配線電極の配線パターンの他の態様を示し、（ａ）は、配線基板の表面、（ｂ）は配線基板の裏面を示す図
【図１８】ヘッドチップの製造方法の説明図
【図１９】図１８の製造方法によって得られたヘッドチップの縦断面図
【図２０】従来のヘッドチップの背面図
【図２１】接着剤が塗布された従来の配線基板の正面図
【図２２】従来のヘッドチップと配線基板との接合面の状態を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００４０】
（第１の実施形態：独立駆動タイプ）
図１は、本発明に係るインクジェットヘッドの第１の実施形態を示す分解斜視図、図２は、図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの背面図である。
【００４１】
図中、Ｈ１はインクジェットヘッド、１はヘッドチップ、２はノズルプレート、３は配線基板、４はマニホールドである。
【００４２】
ヘッドチップ１は、前面１ａ及び後面１ｂと、これら前面１ａ及び後面１ｂに挟まれた上下左右の４つの側面とを有する六面体からなり、このうち相反する位置にある前面１ａと後面１ｂとにかけて、多数のチャネル１１ａ、１１ｂと、圧電素子からなる駆動壁１２とが交互に配置されて１列のチャネル列を構成している。ここでは４列のチャネル列１０Ａ〜１０Ｄを有しており、これらが図１における上下方向に並設されている。
【００４３】
このヘッドチップ１は、各チャネル列１０Ａ〜１０Ｄにおいて、インクが供給されてインク吐出を行う駆動チャネル１１ａと、インクが供給されずインク吐出を行わないダミーチャネル１１ｂとが交互に配置された独立駆動タイプのヘッドチップである。
【００４４】
このようなヘッドチップ１は、一般に六面体形状をしたせん断モード型のいわゆるハーモニカ型ヘッドチップである。各チャネル１１ａ、１１ｂは前面１ａと後面１ｂにそれぞれ開口するストレート状に形成されており、前面１ａ側の開口部がインクの出口、後面１ｂ側の開口部がインクの入口とされている。以下、単にチャネルの開口部というとき、後面１ｂ側に開口するインクの入口のことを指す。
【００４５】
なお、本明細書において、ヘッドチップ１の「前面」とは、ノズルが配置されてインクが吐出される側の面をいい、「後面」とは、その反対側の面をいうものとする。
【００４６】
このヘッドチップ１は、図１８に示したように、長尺のウエハー１００からダイシングブレード３００によってフルカットされて切り出されることによって作製されたものであり、その後面１ｂ側の一側縁ｅ１はエッジが立った状態のままとなっている。従って、その後面１ｂは、チャネル列方向に沿う２つの側縁ｅ１、ｅ２を通る平面に対して、これら側縁ｅ１、ｅ２の内側が凹んだ形の平面のままとなっている。
【００４７】
各チャネル１１ａ、１１ｂの内部に臨む駆動壁１２の表面には、該駆動壁１２を変形駆動させる電圧を印加するための駆動電極（図示せず）が、スパッタ、蒸着又は無電解めっき等によって形成されている。そして、ヘッドチップ１の後面１ｂには、各チャネル１１ａ、１１ｂの開口部を介して駆動電極と導通する接続電極１３ａ、１３ｂが、スパッタ、蒸着又は無電解めっき等によって、各チャネル１１ａ、１１ｂ毎に個別に形成されている。
【００４８】
各接続電極１３ａ、１３ｂのうち、最外側に位置する２列のチャネル列１０Ａ、１０Ｄの各チャネル１１ａ、１１ｂの接続電極１３ａ、１３ａは、各チャネル１１ａ、１１ｂから後面１ｂにおけるそれぞれ近接する側縁ｅ１又はｅ２に向けて引き出されている。
【００４９】
一方、その内側に位置する２列のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各チャネル１１ａ、１１ｂの接続電極１３ｂ、１３ｂは、各チャネル１１ａ、１１ｂの開口部を取り囲むように形成されている。すなわち、矩形状に形成された接続電極１３ｂの中に各チャネル１１ａ、１１ｂの開口部が配置されている。
【００５０】
なお、後述する配線電極との接続性を考慮して、チャネル列１０Ｂの接続電極１３ｂは、隣接する外側のチャネル列１０Ａ側に向けてやや張り出すように形成され、チャネル列１０Ｃの接続電極１３ｂは、隣接する外側のチャネル列１０Ｄ側に向けてやや張り出すように形成されている。
【００５１】
ヘッドチップ１の前面１ａには、ノズルプレート２が接合される。ノズルプレート２には、駆動チャネル１１ａに対応する位置のみにノズル２１が開口形成されている。
【００５２】
一方、ヘッドチップ１の後面１ｂには、配線基板３が接合される。配線基板３は、ヘッドチップ１の後面１ｂの面積よりも大きな面積を有しており、ヘッドチップ１の後面１ｂに接合された状態で、その端部３ａ、３ｂが該ヘッドチップ１の側方（少なくとも図示上下方向）に大きく張り出すようになっている。
【００５３】
配線基板３には、ヘッドチップ１の駆動チャネル１１ａに対応する位置のみに、該配線基板３の背面側に接合されるマニホールド４内に貯留されたインクを各駆動チャネル１１ａに供給するためのインク流路口３１がそれぞれ個別に開設されている。インク流路口３１は駆動チャネル１１ａの開口部と同等の開口面積を有している。図１中の３１Ａ〜３１Ｄは、ヘッドチップ１のチャネル列１０Ａ〜１０Ｄに対応するインク流路口３１の列を示している。
【００５４】
また、配線基板３におけるダミーチャネル１１ｂに対応する部位は、基板自体によって該ダミーチャネル１１ｂの開口部を閉塞するようになっている。
【００５５】
配線基板３のヘッドチップ１との接合面となる表面には、ヘッドチップ１の後面１ｂに配列されている各接続電極１３ａ、１３ｂに１対１に対応して、配線電極３２がスパッタ、蒸着又は無電解めっき等によって形成されている。各配線電極３２の一端は、ヘッドチップ１と配線基板３とが接合された状態で、それぞれ対応する駆動チャネル１１ａ及びダミーチャネル１１ｂの開口部の近傍に達していると共に、他端は、ヘッドチップ１の側方へ張り出した配線基板３の各端部３ａ、３ｂまで達して延びている。
【００５６】
ここでは配線電極３２の他端は隣接する２列のチャネル列毎に端部３ａ、３ｂに振り分けられている。すなわち、チャネル列１０Ａ、１０Ｂに対応する配線電極３２の他端は図示上側の端部３ａに向けて延びており、チャネル列１０Ｃ、１０Ｄに対応する配線電極３２の他端は図示下側の端部３ｂに向けて延びている。
【００５７】
内側の２列のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃに対応する各配線電極３２は、それぞれ外側のチャネル列１０Ａ、１０Ｄに対応する各配線電極３２の間を通って各端部３ａ、３ｂまで達するように配線されている。このため、チャネル列１０Ａ〜１０Ｄに対応する複数のインク流路口３１の列３１Ａ〜３１Ｄのうち、外側のインク流路口３１の列３１Ａ、３１Ｄにおける隣接するインク流路口３１の間に、内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃに対応する２本の配線電極３２が通って配線基板３の端部３ａ、３ｂまで延びている。これにより配線電極３２を高密度に配線することができる。
【００５８】
配線基板３の各端部３ａ、３ｂには、それぞれＦＰＣ等の外部配線部材５、５（図１参照）が接合され、不図示の駆動回路との間を電気的に接続している。
【００５９】
この配線基板３をヘッドチップ１の後面１ｂに接合する際、配線基板３の表面に、図２１で示した帯状領域の接着剤Ｘと同様に接着剤を塗布した後、ヘッドチップ１の後面１ｂに対して位置合わせして接合し、所定の加熱及び加圧を行うと、塗布された接着剤はヘッドチップ１と配線基板３との隙間を毛細管力によって浸透していく。このとき、ヘッドチップ１は、側縁ｅ１のエッジが立った状態であるため、側縁ｅ１、ｅ２側よりもその内側において配線基板３との隙間が大きくなり、特に内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの部位においてヘッドチップ１と配線基板３との間の距離があいた状態となっている。しかし、ヘッドチップ１の後面１ｂには、これらチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各チャネル１１ａ、１１ｂの開口部を取り囲むように接続電極１３ｂが形成されているため、この接続電極１３ｂの厚み分、ヘッドチップ１と配線基板３との隙間が狭くなっている。これにより、接続電極１３ｂの表面と配線基板３との間に、該接続電極１３ｂの形状に沿うように接着剤Ｘが毛細管力によって浸透することができるようになる。
【００６０】
その結果、図３に示すように、チャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各駆動チャネル１１ａの部位においては、各駆動チャネル１１ａの開口部とこれに対応する配線基板３の各インク流路口３１との周囲を取り囲むように接着剤Ｘが浸透し、各駆動チャネル１１ａの開口部の周囲は封止される。また、チャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各ダミーチャネル１１ｂの部位においては、各ダミーチャネル１１ｂの開口部の周囲を取り囲むように接着剤Ｘが浸透し、各ダミーチャネル１１ｂの開口部の周囲は封止される。従って、内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃにおいても、ダミーチャネル１１ｂ内へのインクの浸入を阻止することができる。
【００６１】
なお、接着剤Ｘは、接続電極１３ｂの形状に沿うように浸透するため、ダミーチャネル１１ｂの開口部を避けた形で該ダミーチャネル１１ｂの開口部の周囲に沿って浸透する。図３においてダミーチャネル１１ｂに対応する部位に網掛けで示される領域３３は、ダミーチャネル１１ｂの開口部の内側の接着剤Ｘが浸透していない領域を示している。
【００６２】
各接続電極１３ａ、１３ｂの厚みは、一般に１μｍ〜１０μｍとすることができるが、ヘッドチップ１の内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの駆動チャネル１１ａ、ダミーチャネル１１ｂの各接続電極１３ｂは、配線電極３２との電気的接続の確実性を図るため、図４に示すように、２つの側縁ｅ１、ｅ２を通る平面Ｐの位置よりも後面１ｂからの高さが高くなるように形成することが好ましい。これにより配線基板３を接合する際、これら内側の接続電極１３ｂと配線電極３２との接触を良好とすることができ、電気的接続をより確実にすることができる。
【００６３】
接続電極１３ｂの高さは、電極形成時の厚みによって適宜調整することができる。
【００６４】
ヘッドチップ１における両外側のチャネル列１０Ａ、１０Ｄの接続電極１３ａの外側の端部と、後面１ｂにおける側縁ｅ１、ｅ２との間には、図２、図４に示すように、所定距離に亘って接続電極が存在しないスペースＳが形成されていることが好ましい。すなわち、両外側のチャネル列１０Ａ、１０Ｄの接続電極１３ａの外側の端部は、側縁ｅ１、ｅ２まで達しておらず、該側縁ｅ１、ｅ２よりもスペースＳをあけた手前までの範囲に形成されている。これにより、配線基板３が接合された際、配線基板３の表面を側縁ｅ１、ｅ２まで可及的に近接させることができる。従って、それだけ内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃと配線基板３との間の隙間を小さくでき、これら内側の接続電極１３ｂと配線電極３２との電気的接続をより確実にすることができる。
【００６５】
配線基板３の基板材料には、ガラス、セラミックス、シリコンのいずれかを使用することが好ましい。これらはいずれも硬質な基板となるため、側縁ｅ１においてエッジが立った状態のヘッドチップ１の後面１ｂに接合した際、配線基板３が該後面１ｂの形状に追従し難い。そのため、後面１ｂの中央部付近との間に隙間があいた状態が形成され易く、特に内側の少なくとも１列のチャネル列においてチャネルの開口部の封止漏れを発生させ易い。よって、本発明を適用することによって顕著な効果が得られる。
【００６６】
以上の説明では、４列のチャネル列１０Ａ〜１０Ｄのうちの内側の２列のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各駆動チャネル１１ａ及び各ダミーチャネル１１ｂの開口部の周囲を取り囲むように接続電極１３ｂを形成したが、本発明において、開口部を取り囲むように接続電極１３ｂを形成するチャネル列は、３列以上並設されるチャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列のチャネル列であればよく、側縁ｅ１のエッジの立ち具合に応じてそのチャネル列数を適宜決めることができる。
【００６７】
また、ここではチャネル列における駆動チャネル１１ａとダミーチャネル１１ｂの両方の開口部の周囲を取り囲むように接続電極１３ｂを形成した最も確実な封止構造を開示したが、本発明においては、駆動チャネル１１ａとダミーチャネル１１ｂのうちの少なくともいずれか一方のチャネルの開口部を取り囲むように接続電極１３ｂを形成すればよい。従って、接続電極１３ｂは、内側に位置するチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの駆動チャネル１１ａのみの開口部を取り囲むように形成するようにしてもよいし、ダミーチャネル１１ｂのみの開口部を取り囲むように形成するようにしてもよい。いずれの場合でも、ダミーチャネル１１ｂ内へのインクの浸入を阻止する効果が得られる。この場合、隣接する接続電極１３ｂが近接しすぎないため、接続電極１３ｂのパターニングが容易になる。
【００６８】
更に、チャネル列１０Ｂ、１０Ｃのように、内側に位置するチャネル列が複数列ある場合は、例えばチャネル列１０Ｂでは、駆動チャネル１１ａのみの開口部を取り囲むように形成し、チャネル列１０Ｃでは、ダミーチャネル１１ｂのみの開口部を取り囲むように形成してもよい。この場合も、ヘッドチップ１の後面１ｂにおいて接続電極１３ｂが近接しすぎないため、接続電極１３ｂのパターニングが容易になる。
【００６９】
なお、以上の態様では、配線基板３には、ダミーチャネル１１ｂを封止するための接着剤Ｘの浸透を補助する手段を何ら講じていないが、ヘッドチップ１に上記の通りの接続電極１３ｂを形成することに加えて、配線基板３にもダミーチャネル１１ｂを封止するための接着剤Ｘの浸透を補助する手段を講じることができる。
【００７０】
図５は、ダミーチャネル１１ｂを封止するための接着剤Ｘの浸透を補助する手段を講じた配線基板３を表面から見た正面図である。図１及び図３と同一符号の部位は同一構成の部位であるため詳細な説明は省略する。
【００７１】
この配線基板３は、内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各ダミーチャネル１１ｂの接続電極１３ｂに対応する各配線電極３２の一端に、該ダミーチャネル１１ｂの開口部のみに対応する領域を取り囲み且つその内側領域も被覆するように、該開口部よりも若干大き目の領域に亘って矩形状の被覆部３２ａがそれぞれ一体に形成されている。従って、この配線基板３がヘッドチップ１と接合された際、この被覆部３２ａの部位は、対応するダミーチャネル１１ｂの開口部を覆うように配置される。
【００７２】
この図５に示す配線基板３によれば、ヘッドチップ１の内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃにおいて、各ダミーチャネル１１ｂの接続電極１３ｂと配線電極３２の被覆部３２ａとが重なり合うことにより、内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの部位と配線基板３との隙間を更に小さくすることができるため、これら内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各ダミーチャネル１１ｂの開口部の周囲の封止をより確実にすることができる。
【００７３】
このような被覆部３２ａは、内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃのみならず、図６に示すように、外側のチャネル列１０Ａ、１０Ｄのダミーチャネル１１ｂの接続電極１３ａに対応する各配線電極３２の一端にも同様に形成することができる。すなわち、ヘッドチップ１の側縁ｅ１のエッジの立ち具合によっては、外側の少なくともいずれかのチャネル列１０Ａ又は１０Ｄにおいても接着剤の浸透が不十分となる場合が想定されるが、このような場合は、図６に示すように、外側の少なくともいずれかのチャネル列１０Ａ、１０Ｄのダミーチャネル１１ｂの接続電極１３ａに対応する各配線電極３２の一端にも同様に矩形状部３２ａを形成することで、外側のチャネル列１０Ａ又は１０Ｄにおけるダミーチャネル１１ｂの封止を確実にすることができる。
【００７４】
なお、図６ではチャネル列１０Ａ、１０Ｂに対応する配線基板３の部位のみを示しているが、チャネル列１０Ｃ、１０Ｄのダミーチャネル１１ｂの接続電極１３ａに対応する各配線電極３２の一端も同様の構成である。
【００７５】
また、ヘッドチップ１と配線基板３との接合後は、外側のチャネル列のチャネル間には、内側の各チャネルの接続電極と電気的に接続される配線電極３２が通過する構造となっているため、ヘッドチップ１側に外側のチャネル列１０Ａ、１０Ｄのダミーチャネル１１ｂの開口部を取り囲む接続電極１３ｂを形成すると、ヘッドチップ１と配線基板３との接合精度が悪かった場合に、配線電極３２と接続電極１３ｂとの位置が互いに接触する方向にずれてしまうとショートしてしまう可能性があるが、外側のチャネル列１０Ａ、１０Ｄには接続電極１３ｂを形成せず、これに対応する配線基板３の配線電極３２の一端に、図６に示すように被覆部３２ａを形成することにより、ヘッドチップ１と配線基板３との接合精度の影響でショートを引き起こすようなことはなくなる。
【００７６】
なお、被覆部３２ａは、ダミーチャネル１１ｂの開口部に対応する領域を取り囲み且つその内側領域も被覆するように配線電極３２の一端に形成したが、図７に示すように、配線電極３２の一端に、ダミーチャネル１１ｂの開口部に対応する領域を取り囲む囲み部３２ｂを形成するだけでもよく、これによっても同様の効果を得ることができる。図７中の符号ａは、ダミーチャネル１１ｂの開口部に対応する金属膜が形成されていない領域を示している。
【００７７】
また、ダミーチャネル１１ｂ内へのインクの浸入を防止するには、駆動チャネル１１ａの開口部を封止するようにしてもよいため、図８に示すように、少なくとも内側に位置するチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各駆動チャネル１１ａの接続電極１３ａに対応する各配線電極３２の一端に、該駆動チャネル１１ａに対応するインク流路口３１を矩形状に取り囲む囲み部３２ｂを一体に形成するようにしてもよい。
【００７８】
なお、図８ではチャネル列１０Ａ、１０Ｂに対応する配線基板３の部位のみを示しているが、チャネル列１０Ｃ、１０Ｄに対応する配線基板３の部位も同様の構成である。
【００７９】
このような囲み部３２ｂは、内側に位置するチャネル列１０Ｂ、１０Ｃに対応する配線電極３２に限らず、外側に位置する少なくともいずれかのチャネル列１０Ａ、１０Ｂに対応する配線電極３２の一端にも同様に形成することができる。
【００８０】
また、必要に応じて、ダミーチャネル１１ｂの接続電極１３ｂに対応する各配線電極３２の一端にそれぞれ被覆部３２ａを形成し、駆動チャネル１１ａの接続電極１３ａに対応する各配線電極３２の一端にそれぞれ囲み部３２ｂを形成するようにしてもよい。
【００８１】
更に、接着剤Ｘの浸透を補助するための手段（接続電極１３ｂ、被覆部３２ａ、囲み部３２ｂ）は、ヘッドチップ１側と配線基板３側の少なくともいずれかに講じられていればよい。従って、ヘッドチップ１と配線基板３の両方にそれぞれ接着剤Ｘの浸透を補助するための手段（接続電極１３ｂ、被覆部３２ａ、囲み部３２ｂ）を講じる場合、ヘッドチップ１には、チャネル列における一つおきのチャネルのみに接続電極１３ｂを形成し、配線基板３には、対応するチャネル列において接続電極１３ｂが形成されていない一つおきのチャネルに対応する配線電極３２のみの一端に被覆部３２ａや囲み部３２ｂを形成するようにしてもよい。
【００８２】
図９は、ヘッドチップ１の内側の２列のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃのダミーチャネル１１ｂのみに開口部を取り囲む接続電極１３ｂを形成すると共に、配線基板３には、この接続電極１３ｂが形成されたダミーチャネル１１ｂを含むチャネル列１０Ｂ、１０Ｃにおける駆動チャネル１１ａのみに対応する配線電極３２の一端に、該駆動チャネル１１ａに対応するインク流路口３１を取り囲む囲み部３２ｂを形成した態様を示している。図９（ａ）はヘッドチップ１の後面１ｂの内側に位置するチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの部位を示し、（ｂ）はこれに対応する配線基板３の表面の部位を示している。
【００８３】
一方、図１０は、ヘッドチップ１の内側の２列のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの駆動チャネル１１ａのみに開口部を取り囲む接続電極１３ｂを形成すると共に、配線基板３には、この接続電極１３ｂが形成された駆動チャネル１１ａを含むチャネル列１０Ｂ、１０Ｃにおけるダミーチャネル１１ｂのみに対応する配線電極３２の一端に、該ダミーチャネル１１ｂの開口部に対応する領域を取り囲む囲み部３２ｂを形成した態様を示している。図１０（ａ）はヘッドチップ１の後面１ｂの内側に位置するチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの部位を示し、（ｂ）はこれに対応する配線基板３の表面を示している。この囲み部３２ｂの部位を、図５、図６と同様に、ダミーチャネル１１ｂの開口部に対応する領域を取り囲み且つその内側領域を被覆する被覆部３２ａとしてもよいことはもちろんである。
【００８４】
これら図９、図１０に示す態様では、いずれも一つのチャネル列に着目した場合、接続電極１３ｂと被覆部３２ａ又は囲み部３２ｂは、交互となるように配置されるため、ヘッドチップ１の後面１ｂ及び配線基板３の表面の各々において、隣接する接続電極１３ｂや被覆部３２ａ又は囲み部３２ｂがそれぞれ近接しすぎないため、接続電極１３ｂや被覆部３２ａ又は囲み部３２ｂのパターニングが容易になる。
【００８５】
なお、接着剤Ｘの浸透を補助するための手段（接続電極１３ｂ、被覆部３２ａ、囲み部３２ｂ）は、ヘッドチップ１側と配線基板３側の少なくともいずれかに講じられていればよいため、図５〜図８に示すように、接着剤Ｘの浸透を補助するための手段（被覆部３２ａ、囲み部３２ｂ）を設けた配線基板３を用いる場合は、ヘッドチップ１側は、図２０に示すヘッドチップ４００と同様に、開口部を取り囲む接続電極１３ｂを設けない従来の形態のままであってもよい。この場合、ヘッドチップ１と配線基板３の両方にそれぞれ接着剤Ｘの浸透を補助するための手段を講じる場合に比べると、接着剤Ｘの浸透効果は若干劣るものの、側縁ｅ１のエッジの立ち具合に応じて、配線基板３のみに被覆部３２ａや囲み部３２ｂを設けるだけでも、ダミーチャネル１１ｂ内へのインクの侵入を阻止する効果を得ることができる。
【００８６】
（第２の実施形態：全チャネル駆動タイプ）
図１１は、インクジェットヘッドの第２の実施形態を示す分解斜視図、図１２は、図１１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの背面図である。
【００８７】
このインクジェットヘッドＨ２は、ヘッドチップ１に４列のチャネル列１０Ａ〜１０Ｄを備えている点で、インクジェットヘッドＨ１と同一であるが、各チャネル列１０Ａ〜１０Ｄの全てのチャネル１１がインク吐出を行う駆動チャネルである全チャネル駆動タイプのヘッドチップである点で相違している。ノズルプレート２には、全てのチャネル１１に対応するようにノズル２１が形成されている。
【００８８】
このインクジェットヘッドＨ２では、配線基板３は、ヘッドチップ１の全てのチャネル１１にマニホールド４内のインクを供給する必要があるため、全てのチャネル１１毎に個別にインク流路が開設されている。このインク流路は、各チャネル１１の開口部の面積よりも小さく、該開口部の面積を絞るためのインク絞り穴３４となっている。図１１中、３４Ａ〜３４Ｄは、ヘッドチップ１のチャネル列１０Ａ〜１０Ｄに対応するインク絞り穴３４の列である。
【００８９】
このようなインク絞り穴３４は、各チャネル１１の入口側の端部での流路抵抗を上げ、低粘度インクでも安定して吐出させることができるようにするものである。配線基板３が接合された状態で、このインク絞り穴３４の周囲が接着剤によって封止されていないと、インク漏れが発生して粘性抵抗を上げる効果が低減してしまい、所期の性能を発揮させることができなくなるおそれがある。
【００９０】
そこで、ヘッドチップ１の後面１ｂに形成される接続電極１３ａ、１３ｂにおいて、内側に位置するチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各チャネル１１の接続電極１３ｂは、各チャネル１１の開口部を取り囲むように形成した図２と同様の形態としている。これにより、このヘッドチップ１の後面１ｂに配線基板３を接着剤を用いて接合した際、図３に示したと同様、内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各チャネル１１の部位において、各チャネル１１の開口部の周囲を取り囲むように接着剤Ｘが浸透する。インク絞り穴３４はチャネル１１の開口部よりも小面積であるため、インク絞り穴３４の周囲は接着剤Ｘによって封止されるようになり、インク漏れを防止できるようになる。
【００９１】
なお、この配線基板３において、内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃに対応する各配線電極３２は、それぞれ外側のチャネル列１０Ａ、１０Ｄに対応する各配線電極３２の間を通って各端部３ａ、３ｂまで達するように配線されている。このため、チャネル列１０Ａ〜１０Ｄに対応する複数のインク絞り穴３４の列３４Ａ〜３４Ｄのうち、外側のインク絞り穴３４の列３４Ａ、３４Ｄにおける隣接するインク絞り穴３４の間に、内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃに対応する１本ずつの配線電極３２が通って配線基板３の端部３ａ、３ｂまで延びている。これにより配線電極３２を高密度に配線することができる。
【００９２】
このインクジェットヘッドＨ２においても、４列のチャネル列１０Ａ〜１０Ｄのうちの内側の２列のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各チャネル１１の開口部の周囲を取り囲むように接続電極１３ｂを形成したが、本発明において、開口部を取り囲むように接続電極１３ｂを形成するチャネル列は、３列以上並設されるチャネル列のうちの内側に位置する少なくとも１列のチャネル列であればよく、側縁ｅ１のエッジの立ち具合に応じてチャネル列数を適宜決めることができる。
【００９３】
また、このインクジェットヘッドＨ２においても、ヘッドチップ１に上記の通りの接続電極１３ｂを形成することに加えて、配線基板３にもチャネル１１の開口部を封止するための接着剤Ｘの浸透を補助する手段を講じることができる。
【００９４】
図１３は、チャネル１１の開口部を封止するための接着剤Ｘの浸透を補助する手段を講じた配線基板３をヘッドチップ１との接合面から見た正面図である。図１１と同一符号の部位は同一構成の部位であるため詳細な説明は省略する。
【００９５】
配線基板３には、内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各チャネル１１の接続電極１３ｂに対応する各配線電極３２の一端に、チャネル１１の開口部に対応する領域を矩形状に取り囲む囲み部３２ｃをそれぞれ形成している。この囲み部３２ｃは、チャネル１１の開口部に対応する領域を取り囲むため、各インク絞り穴３４も取り囲むことになる。
【００９６】
この配線基板３がヘッドチップ１と接合された際、この囲み部３２ｃの部位は、対応するチャネル１１の開口部を取り囲むように配置されるため、ヘッドチップ１の内側に位置するチャネル列１０Ｂ、１０Ｃにおいて、各チャネル１１の接続電極１３ｂと配線電極３２の囲み部３２ｃとが重なり合うことにより、内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの部位と配線基板３との隙間を更に小さくすることができる。このため、これら内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各チャネル１１に対応するインク絞り穴３４の周囲の封止をより確実にすることができる。
【００９７】
このような囲み部３２ｃは、内側に位置するチャネル列１０Ｂ、１０Ｃのみならず、図１４に示すように、外側のチャネル列１０Ａ、１０Ｄの各チャネル１１の接続電極１３ａに対応する各配線電極３２の一端にも同様に形成することができる。すなわち、側縁ｅ１のエッジの立ち具合によっては、外側の少なくともいずれかのチャネル列１０Ａ又は１０Ｄにおいても接着剤の浸透が不十分となる場合が想定される。このような場合は、図１４に示すように、外側の少なくともいずれかのチャネル列１０Ａ、１０Ｄのチャネル１１の接続電極１３ａに対応する各配線電極３２の一端にも同様に囲み部３２ｃを形成することで、外側のチャネル列１０Ａ又は１０Ｄにおいてもインク絞り穴３４の周囲の封止を確実にすることができる。
【００９８】
なお、図１４ではチャネル列１０Ａ、１０Ｂに対応する配線基板３の部位のみを示しているが、チャネル列１０Ｃ、１０Ｄのチャネル１１の接続電極１３ａに対応する各配線電極３２の一端も同様の構成である。
【００９９】
囲み部３２ｃは、チャネル１１の開口部に対応する領域を矩形状に取り囲むように配線電極３２の一端に形成したが、図１５に示すように、配線電極３２の一端に、チャネル１１の開口部に対応する領域を取り囲み且つその内側のインク絞り穴３４の周囲を被覆する矩形状の被覆部３２ｄを形成してもよい。これによっても同様の効果を得ることができる。図１５中の矩形状の破線は、チャネル１１の開口部の領域を示している。
【０１００】
また、接着剤Ｘの浸透を補助するための手段（接続電極１３ｂ、囲み部３２ｃ、被覆部３２ｄ）は、ヘッドチップ１側と配線基板３側の少なくともいずれかに講じられていればよい。従って、ヘッドチップ１と配線基板３の両方にそれぞれ接着剤Ｘの浸透を補助するための手段（接続電極１３ｂ、囲み部３２ｃ、被覆部３２ｄ）を講じる場合、ヘッドチップ１には、チャネル列における一つおきのチャネル１１のみに接続電極１３ｂを形成し、配線基板３には、対応するチャネル列において接続電極１３ｂが形成されていない一つおきのチャネル１１に対応する配線電極３２のみの一端に囲み部３２ｃ又は被覆部３２ｄを形成するようにしてもよい。
【０１０１】
図１６は、ヘッドチップ１の内側の２列のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各チャネル１１のうち、一つおきのチャネル１１のみに開口部を取り囲む接続電極１３ｂを形成すると共に、配線基板３には、この接続電極１３ｂが形成されたチャネル１１を含むチャネル列１０Ｂ、１０Ｃにおける接続電極１３ｂが形成されていない（接続電極１３ａが形成された）一つおきのチャネル１１のみに対応する配線電極３２の一端に、該チャネル１１の開口部に対応する領域を取り囲む囲み部３２ｃを形成した態様を示している。図１６（ａ）はヘッドチップ１の後面１ｂの内側に位置するチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの部位を示し、（ｂ）はこれに対応する配線基板３の表面を示している。
【０１０２】
この図１６に示す態様では、一つのチャネル列に着目した場合、接続電極１３ｂと囲み部３２ｃは、交互となるように配置されるため、ヘッドチップ１の後面１ｂ及び配線基板３の表面の各々において、隣接する接続電極１３ｂや囲み部３２ｃがそれぞれ近接しすぎないため、接続電極１３ｂや囲み部３２ｃのパターニングが容易になる。
【０１０３】
この態様では、囲み部３２ｃに代えて、図１５に示す被覆部３２ｄを用いてもよいことはもちろんである。
【０１０４】
なお、図１３〜図１５に示す態様の配線基板３を用いる場合は、ヘッドチップ１は図２０に示すヘッドチップ４００と同様、開口部を取り囲む接続電極１３ｂを設けない従来の形態（接続電極１３ａのみ）のままであってもよい。この場合、ヘッドチップ１と配線基板３の両方にそれぞれ手段を講じる場合に比べると、接着剤Ｘの浸透効果は若干劣るものの、側縁ｅ１のエッジの立ち具合に応じて、配線基板３のみに囲み部３２ｃや被覆部３２ｄを設けるだけでも、インク絞り穴３４の周囲を封止する効果を得ることができる。
【０１０５】
（配線基板における配線電極の配線例）
次に、配線基板３における配線電極３２を配線する場合の他の態様について説明する。
【０１０６】
配線基板３の各配線電極３２は、配線基板３の表裏両面を利用して配線することもできる。配線基板３の表裏両面を利用して配線を行うことで、より高密度化を図ることができる。図１７（ａ）は、配線基板３の表面、（ｂ）は配線基板３の裏面を示している。ここでは図５に示した配線基板３の各配線電極３２を表裏に配線した例を示す。
【０１０７】
同図に示すように、内側のチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各接続電極１３ａ、１３ｂと電気的に接続される配線電極３２は、外部配線部材５との接続端部３２１と、接続電極１３ｂとの接続端部３２２と、これら接続端部３２１、３２２を繋ぐ連結部３２３との３つの部位に分離されている。
【０１０８】
外部配線部材５との接続端部３２１は、配線基板３の表面の端部３ａ、３ｂにそれぞれ配置されており、外部配線部材５との電気的接続部となる部位である。
【０１０９】
また、接続電極１３ｂとの接続端部３２２は、配線基板３の表面に配置されており、ヘッドチップ１の各接続電極１３ａ、１３ｂと直に接触する部位である。この接続端部３２２は、図２に示す駆動チャネル１１ａの接続電極１３ｂと接続する部位においては、インク流路口３１の近傍に配置された電極部分によって形成されるが、ダミーチャネル１１ｂの接続電極１３ｂと接続する部位においては、該ダミーチャネル１１ｂの開口部に対応する領域を被覆するように形成された被覆部３２ａの一部によって形成されている。
【０１１０】
更に、連結部３２３は、配線基板３の裏面に配置されており、該裏面において、一端が接続端部３２１の内側の端部に対応する位置まで達しており、他端が接続端部３２２の位置まで達するように形成されている。そして、連結部３２３の各端部には、配線基板３を表裏に貫通する貫通電極３２４が形成されており、この貫通電極３２４によって連結部３２３と接続端部３２１及び３２２との間が電気的に接続されている。
【０１１１】
このように配線電極３２が配線された配線基板３によれば、ヘッドチップ１に接合した際、内側に位置するチャネル列１０Ｂ、１０Ｃの各接続電極１３ｂに対応する各配線電極３２は、ヘッドチップ１の後面１ｂとの間で、隣接するチャネル列１０Ａ、１０Ｄの各チャネル１１ａ、１１ｂの間を経由することなく、連結部３２３によって配線基板３の背面側を通って該配線基板３の端部３ａ、３ｂまで引き出すことができる。従って、ヘッドチップ１と配線基板３との接合精度にずれが生じた場合に、隣接する配線電極３２間又は配線電極３２と接続電極１３ａ、１３ｂとの間でショートが発生することを低減することができる。
【０１１２】
このように配線基板３の表裏両面を利用した配線電極３２の配線パターンは、図５に示した配線基板３の態様以外の配線基板にも同様に適用することができる。
【符号の説明】
【０１１３】
Ｈ１、Ｈ２：インクジェットヘッド
１：ヘッドチップ
１ａ：前面
１ｂ：後面
１１：チャネル
１０Ａ〜１０Ｄ：チャネル列
１１ａ：駆動チャネル
１１ｂ：ダミーチャネル
１２：駆動壁
１３、１３ａ、１３ｂ：接続電極
ｅ１、ｅ２：側縁
２：ノズルプレート
２１：ノズル
３：配線基板
３１：インク流路口
３１Ａ〜３１Ｄ：インク流路口の列
３２：配線電極
３２１：接続端部
３２２：接続端部
３２３：連結部
３２４：貫通電極
３２ａ：被覆部
３２ｂ：囲み部
３２ｃ：囲み部
３２ｄ：被覆部
３３：接着剤が浸透していない領域
３４：インク絞り穴
３４Ａ〜３４Ｄ：インク絞り穴の列
４：マニホールド
５：外部配線部材
Ｐ：平面
Ｓ：スペース
Ｘ：接着剤
ａ：金属膜が形成されていない領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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