(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内において、蒸発された蒸着材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置であって、
前記蒸着材料を加熱し蒸発させる坩堝と、
前記坩堝により蒸発された蒸着材料を前記真空槽内の前記被蒸着部材へ導く経路
を備え、
前記経路に、この経路の開度を調節するバルブを設け、
前記真空槽内に、前記被蒸着部材の膜厚を検出する膜厚モニタを設け、
前記坩堝に、この坩堝の温度を検出する温度センサを設け、
前記膜厚モニタにより検出された膜厚により前記被蒸着部材の蒸着レートを検出し、この蒸着レートが所定の蒸着レートとなるように前記バルブの開度を調節するとともに、このバルブの開度の変化率を検知し、この変化率が、所定の蒸着レートで安定した状態における安定変化率以上となると、前記温度センサにより検出される前記坩堝の温度をフィードバックしながら前記坩堝の温度を所定温度上昇し、前記蒸着材料の蒸着量を増加するコントローラを設けたこと
を特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
前記コントローラは、前記坩堝の温度が所定温度上昇すると、この温度を一定時間保持して前記バルブの開度を調節し、前記一定時間経過後に、前記バルブの開度の変化率が前記安定変化率以上となっているとき、さらに前記坩堝の温度を前記所定温度上昇すること
を特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記コントローラは、前記バルブを閉じた状態で、前記坩堝の温度を、前記バルブが所定の開度で前記所定の蒸着レートを得られる最低温度まで上昇し、この最低温度まで上昇すると、前記バルブを前記所定の開度まで開き、前記所定の蒸着レートを得るバルブの開度調節を開始すること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記コントローラは、前記温度センサにより検出される前記坩堝の温度が、前記蒸着材料の劣化温度まで上昇し、前記バルブがさらに開くと、前記坩堝による前記蒸着材料の蒸発を終了すること
を特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属薄膜、有機材料薄膜、太陽電池やディスプレィパネルなどの金属電極配線、有機ＥＬ発光層などの蒸着に用いる蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に上記薄膜等の形成に用いられる蒸着は、10−４Pa以上の高真空で行われる。例えば特許文献１に示す真空蒸着装置では、真空チャンバ（真空容器）内に、電気ヒータが巻装された蒸着材料入り坩堝と被蒸着基板を設置しており、その薄膜の形成は、真空チャンバ内を真空排気し上記高真空とした後、坩堝を電気ヒータにより加熱して坩堝内の蒸着材料を溶融蒸発させ、被蒸着基板に付着させることにより行われる。この被蒸着基板への蒸着レート（単位時間当たりに蒸着する蒸着材料の量）は、通常、坩堝の加熱温度で制御されるが、坩堝温度が安定していても、坩堝内蒸着材料へは熱伝導等で温度が徐々に伝達されるなどによって、蒸着レートは安定し難い。そこで、例えば、特許文献２に開示されているように、蒸発分子の経路内に流量調整バルブを入れ、基板近傍に設置した膜厚センサ（膜厚計）からの信号を流量調整バルブにフィードバックすることにより上記蒸着レートを安定させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−９１８５８号公報
【特許文献２】特開２０１０−２４２２０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記流量調整バルブを用いる方式では、坩堝温度を高温にして蒸発量を増やしてもバルブで制御するため蒸発レートは安定維持可能であるとともに、坩堝内材料をミニマムまで使用可能となる特徴を持つが、高温で長時間加熱すると、熱に弱い蒸着材料の場合には、熱劣化を生じて材料の特性が得られなくなるという問題が発生する。逆に、坩堝温度を低温とすると、蒸着材料の蒸発量が少なくなり、流量調整バルブを用いても、所定の蒸着レートの長時間安定して維持することが困難となるという問題が発生し、さらに坩堝内への残留材料が多くなり、蒸着材料の無駄が生じるという問題が発生する。
【０００５】
そこで、本発明は、蒸着材料の熱劣化を防ぐとともに蒸着材料の残留をミニマイズにできる蒸着装置を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明のうち請求項１に記載の発明は、真空槽内において、蒸発された蒸着材料を被蒸着部材に付着させる蒸着装置であって、前記蒸着材料を加熱し蒸発させる坩堝と、前記坩堝により蒸発された蒸着材料を前記真空槽内の前記被蒸着部材へ導く経路を備え、前記経路に、この経路の開度を調節するバルブを設け、前記真空槽内に、前記被蒸着部材の膜厚を検出する膜厚モニタを設け、前記坩堝に、この坩堝の温度を検出する温度センサを設け、前記膜厚モニタにより検出された膜厚により前記被蒸着部材の蒸着レートを検出し、この蒸着レートが所定の蒸着レートとなるように前記バルブの開度を調節するとともに、このバルブの開度の変化率を検知し、この変化率が、所定の蒸着レートで安定した状態における安定変化率以上となると、前記温度センサにより検出される前記坩堝の温度をフィードバックしながら前記坩堝の温度を所定温度上昇し、前記蒸着材料の蒸着量を増加するコントローラを設けたことを特徴とするものである。
【０００７】
上記構成によれば、膜厚モニタにより検出された膜厚により被蒸着部材の蒸着レートが検出され、この蒸着レートが所定の蒸着レートとなるようにバルブの開度が調節される。そして、坩堝内の蒸着材料が少なくなると、蒸発量が低下することから、所定の蒸着レートを維持するためにバルブの開度は大きく調節され、このバルブの開度の変化率が安定変化率以上となると、坩堝の温度が所定温度上昇され、坩堝からの蒸着材料の蒸発量が増加される。これにより、所定の蒸着レートとするバルブの開度の調節が出来なくなることが回避され、また所定温度ずつ温度が上昇されることにより蒸着材料の熱劣化が防止されるとともに蒸着材料の残留をミニマイズにすることが可能となる。
【０００８】
また請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明であって、前記コントローラは、前記坩堝の温度が所定温度上昇すると、この温度を一定時間保持して前記バルブの開度を調節し、前記一定時間経過後に、前記バルブの開度の変化率が前記安定変化率以上となっているとき、さらに前記坩堝の温度を前記所定温度上昇することを特徴とするものである。
【０００９】
上記構成によれば、坩堝の温度が所定温度上昇されると、この温度は一定時間保持され、この一定時間内に坩堝の温度は遅れて所定温度上昇し、坩堝からの蒸着材料の蒸発量が遅れて増加する。このように、一定時間で、所定温度上昇に対応する蒸着材料の蒸発量が増加し、よってバルブの開度の変化率は小さくなるか、あるいはバルブは閉まる方向に変化するが、さらに坩堝の温度上昇による蒸着材料の蒸発量の増加分では不足すると、バルブの開度の変化率が安定変化率以上となり、さらに坩堝の温度が前記所定温度上昇され、これにより、坩堝の温度は、前記所定温度毎に段階的に上昇される。
【００１０】
また請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明であって、前記コントローラは、前記バルブを閉じた状態で、前記坩堝の温度を、前記バルブが所定の開度で前記所定の蒸着レートを得られる最低温度まで上昇し、この最低温度まで上昇すると、前記バルブを前記所定の開度まで開き、前記所定の蒸着レートを得るバルブの開度調節を開始することを特徴とするものである。
【００１１】
上記構成によれば、まず初期状態では、坩堝の温度は、バルブが所定の開度で所定の蒸着レートを得られる最低温度まで上昇され、この状態で、バルブが前記所定の開度まで開かれ、所定の蒸着レートを得るバルブの開度調整が開始される。このように、最低温度から蒸着を開始することにより蒸着材料を有効に、且つ最後まで使用することが可能となる。なお、坩堝の温度を最初から高温として蒸着材料の蒸発量を増やすと、熱劣化が生じて蒸着材料の特性が得られなくなる。
【００１２】
また請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明であって、前記コントローラは、前記温度センサにより検出される前記坩堝の温度が、前記蒸着材料の劣化温度まで上昇し、前記バルブがさらに開くと、前記坩堝による前記蒸着材料の蒸発を終了することを特徴とするものである。
【００１３】
上記構成によれば、坩堝の温度が、蒸着材料の劣化温度まで上昇し、この状態で、バルブがさらに開くと、所定の蒸着レートを得ることができないと判定され、蒸着は終了される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の蒸着装置は、バルブの開度の変化率が安定変化率以上となると、坩堝の温度が所定温度上昇され、坩堝からの蒸着材料の蒸発量が増加されることにより、所定の蒸着レートとするバルブの開度調節が出来なくなることを回避でき、また所定温度ずつ温度が上昇されることにより蒸着材料の熱劣化を防ぐとともに蒸着材料の残留をミニマイズにすることができる、という効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態における蒸着装置の構成図である。
【図２】同蒸着装置のバルブ開度制御装置の制御ブロック図である。
【図３】同蒸着装置の坩堝ヒータ制御装置の制御ブロック図である。
【図４】同蒸着装置の動作を説明するフローチャートである。
【図５】同蒸着装置における蒸着レートと坩堝温度とバルブ開度の特性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
図１は本発明の実施の形態における蒸着装置の構成図であり、図１に示すように、真空チャンバ（真空槽／蒸着用容器）１１内に、真空雰囲気中でガラス基板（被蒸着部材の一例）１２の表面（下面）に対して蒸発粒子｛蒸発した蒸着材料（例えば、有機ＥＬ材料）｝を蒸着する蒸着室１３が設けられており、真空チャンバ１１には、真空ユニット（図示せず）により真空雰囲気にされる真空ポート１４が形成されている。また真空チャンバ１１の上部にはガラス基板１２を保持するワーク保持具１５が設けられており、ワーク保持具１５に保持されたガラス基板１２の下面（被蒸着面）に下方から蒸発粒子を蒸着するアップブロータイプ（アップデポ）に構成されている。
【００１８】
真空チャンバ１１の下部には、蒸発粒子をガラス基板１２へ導く、開口部１７ａがガラス基板１２の下面に対向して配置された材料輸送管（蒸発粒子をガラス基板へ導く経路の一例）１７が設けられ、材料輸送管１７の開口部１７ａとワーク保持具１５との間に、蒸発粒子のガラス基板１２への到達を阻止するシャッタ１８が設けられている。
【００１９】
また材料輸送管１７には、真空チャンバ１１の外方に、その開度を調節することにより蒸発粒子の流量を制御する流量制御バルブ（経路の開度を調節するバルブの一例；コントロールバルブ）１９が設けられている。これら材料輸送管１７および流量制御バルブ１９には、第１ヒータ２０が巻装されており、第１ヒータ２０への通電により周囲温度より高い温度まで加熱されている。
【００２０】
また真空チャンバ１１の外方で、材料輸送管１７の上流端には坩堝（材料収納容器）２２が設けられ、この坩堝２２に第２ヒータ（坩堝ヒータ）２３が巻装され、第２ヒータ２３への通電により坩堝２２に収納された蒸着材料２４が加熱されて蒸発粒子が形成され、形成された蒸発粒子が材料輸送管１７へ供給されている。
【００２１】
また蒸着室１３には、ワーク保持具１５に近接してガラス基板１２に蒸着された蒸着材料の膜厚を検出する膜厚モニタ２６が設けられ、また坩堝２２に、この坩堝２２の温度を検出する温度センサ２７が設けられている。
また真空チャンバ１１の外方に、バルブ開度制御装置２９と坩堝ヒータ制御装置３０が設けられている。
【００２２】
『バルブ開度制御装置２９』
まず上記バルブ開度制御装置２９について説明する。
バルブ開度制御装置２９には、膜厚モニタ２６により検出された膜厚が入力され、坩堝ヒータ制御装置３０から出力される蒸着材料２４の最低温度到達信号および蒸着停止信号（後述する）が入力されている。また、バルブ開度制御装置２９より、流量制御バルブ１９へバルブ開度指令Ｌ（バルブ開度０〜１００％に相当する電気信号）が出力され、坩堝ヒータ制御装置３０へ変化率急激上昇信号および蒸着終了信号（後述する）が出力され、またシャッタ１８の開閉指令信号が出力され、さらに外部（蒸着工程を管理する上位コンピュータ等）へ蒸着終了信号が出力されている。
【００２３】
バルブ開度制御装置２９は、図２に示すように、膜厚モニタ２６より入力された膜厚の変化からガラス基板１２への蒸発粒子の蒸着レートＲを求める蒸着レート検出部３１と、膜厚モニタ２６より入力された膜厚が所定の蒸着膜厚となると、蒸着終了信号を、坩堝ヒータ制御装置３０、バルブ開度制御部３３および外部へ出力する蒸着終了検出部３２と、バルブ開度制御部３３と、シャッタ開閉部３４と、バルブ開度変化率検出部３５と、バルブ安定変化率検出部３６と、バルブ開度急激上昇検出部３７から構成されている。
【００２４】
「バルブ開度制御部３３」
バルブ開度制御部３３は、次の機能を有している。
・坩堝ヒータ制御装置３０より蒸着材料２４の最低温度到達信号を入力していないとき、または蒸着停止信号を入力したとき、あるいは蒸着終了検出部３２より蒸着終了信号を入力したとき、流量制御バルブ１９へバルブを全閉するバルブ開度指令Ｌ（バルブ開度０％に相当する電気信号）を出力する。
・坩堝ヒータ制御装置３０より蒸着材料２４の最低温度到達信号を入力すると、流量制御バルブ１９へ所定の開度（例えば７０％）までバルブを徐々に開くバルブ開度指令Ｌを出力する。
・流量制御バルブ１９が前記所定の開度まで開くと（バルブ開度指令Ｌが所定の開度となると）、予め設定された所定の蒸着レートＲｅと蒸着レート検出部３１により求められた蒸着レートＲとの偏差を求め、この偏差を無くすようにバルブ開度指令Ｌを調節する。
【００２５】
「シャッタ開閉部３４」
シャッタ開閉部３４は、バルブ開度指令Ｌにより流量制御バルブ１９の開度を確認し、流量制御バルブ１９の開度が前記所定の開度（例えば７０％）未満のときシャッタ１８を全閉し、所定の開度（例えば７０％）以上となるとシャッタ１８を全開する。
【００２６】
「バルブ開度変化率検出部３５」
バルブ開度変化率検出部３５は、バルブ開度指令Ｌにより単位時間当たりのバルブ開度の変化（バルブ開度変化率と略す）ΔＺを求める。
ΔＺ←Ｚ／ｔ
ここで、Ｚ：バルブ開度
ｔ：経過時間
【００２７】
「バルブ安定変化率検出部３６」
バルブ安定変化率検出部３６は、蒸着レート検出部３１より検出された蒸着レートＲが、所定の蒸着レートで安定した状態となったとき、バルブ開度制御部３３より入力されるバルブ開度指令Ｌにより単位時間当たりのバルブ開度の上昇変化（バルブ安定変化率と略す）ΔＺ１を求める。
ΔＺ１←Ｚ１／ｔ１
ここで、Ｚ１：蒸着レートが安定したときのバルブ開度
ｔ１：蒸着レートが安定したときの経過時間
【００２８】
「バルブ開度急激上昇検出部３７」
バルブ開度急激上昇検出部３７は、バルブ開度変化率検出部３５において検出されたバルブ開度変化率ΔＺが、バルブ安定変化率検出部３６において検出されたバルブ安定変化率ΔＺ１より急激に上昇すると（ΔＺ＞＞ΔＺ１）、変化率急激上昇信号を坩堝ヒータ制御装置３０へ出力する。例えば、バルブ開度−蒸着レート特性（蒸着材料によって変わる）によるが、バルブ安定変化率ΔＺ１＝１として、バルブ開度変化率ΔＺ＝２以上のとき、変化率急激上昇信号を出力する。
【００２９】
『坩堝ヒータ制御装置３０』
次に上記坩堝ヒータ制御装置３０について説明する。
坩堝ヒータ制御装置３０には、温度センサ２７により検出される坩堝２２の温度、すなわち蒸着材料２４の温度が入力され、バルブ開度制御装置２９から出力された変化率急激上昇信号および蒸着終了信号が入力され、さらに外部から蒸着開始信号が入力されている。また坩堝ヒータ制御装置３０より、バルブ開度制御装置２９へ蒸着材料２４の最低温度到達信号および蒸着終了信号が出力され、第１ヒータ２０へ所定（固定）温度とする通電指令および通電停止指令が出力され、また第２ヒータ２３へ通電量指令Ｅ（通電量０〜１００％に相当する電気信号）が出力され、さらに外部へ蒸着停止信号が出力されている。
【００３０】
坩堝ヒータ制御装置３０は、図３に示すように、シーケンス部４１と、坩堝２２の目標加熱温度設定部４２と、坩堝温度制御部４３と、最低温度到達検出部４４と、劣化温度検出部４５から構成されている。
【００３１】
「シーケンス部４１」
シーケンス部４１は、次の機能を有している。
・外部から蒸着開始信号が入力されると、第１ヒータ２０を所定（固定）温度となるように通電指令を出力し、目標加熱温度設定部４２へ加熱開始信号を指令する。
・バルブ開度制御装置２９より蒸着終了信号を入力すると、または劣化温度検出部４５より後述する蒸着停止信号を入力すると、目標加熱温度設定部４２へ加熱終了信号を指令し、第１ヒータ２０ヘ通電停止指令を出力する。
【００３２】
「目標加熱温度設定部４２」
目標加熱温度設定部４２は、次の機能を有している。
・シーケンス部４１より、上記加熱開始信号を入力すると、坩堝２２の目標加熱温度を、所定の最低温度（例えば、バルブ開度Ｚ＝７０％程度で、所定の蒸着レートＲｅが得られる程度の最小限の温度）へ設定する。
・シーケンス部４１より、加熱終了信号を入力すると、目標加熱温度を、蒸着材料２４が蒸発しない温度以下に設定する。
・温度センサ２７により検出される坩堝２２の温度が、前記所定の最低温度以上となると、バルブ開度制御装置２９より出力される変化率急激上昇信号を監視し、変化率急激上昇信号を入力すると、
目標加熱温度＝目標加熱温度＋Ｘ（℃）
に再設定する。Ｘは、所定温度であり、蒸着材料の加熱温度−蒸着レート特性（蒸着材料によって変わる）にもよるが、例えば、３℃以下（おおむね、１℃）である。なお、所定温度（上昇温度）Ｘが高くなり過ぎるとなると、蒸着レートが急激に変化するケースが多く、蒸着レートをバルブで制御できなる場合が発生する。
・目標加熱温度の再設定後、所定の時間Ｔ（分）、変化率急激上昇信号の監視を停止して、目標温度の再設定を行わない。この所定の時間Ｔは、所定温度Ｘにより追加した熱量が蒸着材料全体に行き渡るのに必要を考慮して適宜設定される（おおむね１分）。
【００３３】
「坩堝温度制御部４３」
坩堝温度制御部４３は、次の機能を有している。
・目標加熱温度設定部４２により設定された目標加熱温度と坩堝２２の温度との偏差を求め、この偏差を無くすように第２ヒータ２３へ通電量指令Ｅを出力する。
・バルブ開度制御装置２９より蒸着終了信号を入力すると、または劣化温度検出部４５より後述する蒸着停止信号を入力すると、第２ヒータ２３の通電を停止する（通電量指令Ｅを０％とする）。
【００３４】
「最低温度到達検出部４４」
最低温度到達検出部４４は、温度センサ２７により検出される坩堝２２の温度が最低温度となり、坩堝２２の温度が安定すると、バルブ開度制御装置２９へ蒸着材料２４の最低温度到達信号を出力する。
【００３５】
「劣化温度検出部４５」
劣化温度検出部４５は、温度センサ２７により検出される坩堝２２の温度が、蒸着材料２４の劣化温度以上となり、且つバルブ開度制御装置２９より変化率急激上昇信号を入力すると、蒸着材料２４の残留がなくなったと判断して蒸着停止とし、シーケンス部４１、坩堝温度制御部４３、バルブ開度制御装置２９、および外部へ蒸着停止信号を出力する。
【００３６】
このような機能によってバルブ開度制御装置２９および坩堝ヒータ制御装置３０は、“膜厚モニタ２６により検出される膜厚により蒸発粒子のガラス基板１２への蒸着レートを検出し、検出した蒸着レートが所定の蒸着レートとなるように流量制御バルブ１９の開度を調節し、且つ温度センサ２７により検出される坩堝２２の温度、すなわち蒸着材料２４の加熱温度に基づいて、第２ヒータ２３の通電量を調節し、坩堝２２の加熱温度、すなわち蒸着材料２４の加熱温度を制御するとともに、流量制御バルブ１９のバルブ開度変化率ΔＺを検知し、このバルブ開度変化率ΔＺが、所定の蒸着レートで安定した状態におけるバルブ安定変化率ΔＺ１以上となると、坩堝２２の目標温度を所定温度（Ｘ℃）上昇し、蒸着材料２４の蒸着量を増加するコントローラ”を構成している。
【００３７】
上記構成による蒸着時の動作を、図４と図５を参照しながら説明する。
ステップ−１
蒸着開始信号が入力されると、まず坩堝ヒータ制御装置３０は、第１ヒータ２０に通電して、少なくとも流量制御バルブ１９から下流側を所定温度に昇温する。
ステップ−２
次に、坩堝ヒータ制御装置３０は、第２ヒータ２３に通電して上記所定の最低温度まで坩堝２２を昇温する。
ステップ−３
次に、坩堝ヒータ制御装置３０は、坩堝２２の温度が最低温度で安定しているかどうかを確認する。
ステップ−４
坩堝ヒータ制御装置３０は、坩堝２２の温度が安定していると、最低温度到達信号を形成し、バルブ開度制御装置２９へ出力し、これによりバルブ開度制御装置２９は、流量制御バルブ１９を所定開度（例えば７０％）まで開き、流量制御バルブ１９が前記所定の開度まで開くと、シャッタ１８を全開する。
ステップ−５，６
バルブ開度制御装置２９は、現状蒸着レート≒所定蒸着レートとなるようにバルブ開度調整を行う。
これにより、図５の［Ａ−Ｂ］に示すように、蒸着レートが安定し、流量制御バルブ１９の開度が徐々に大きくなる。
【００３８】
ステップ−７
バルブ開度制御装置２９は、現状蒸着レート≒所定蒸着レートとなり、蒸着レートが安定したときのバルブ安定変化率ΔＺ１を把握する。（蒸着材料２４により、この関係は異なる。）
ステップ−８
バルブ開度制御装置２９は、現状蒸着レート≒所定蒸着レートとなるようにバルブ開度調整を行う。
ステップ−９
バルブ開度制御装置２９は、現状蒸着膜厚＝所定蒸着膜厚となったかを確認し、確認すると、蒸着終了信号を出力する。これにより、流量制御バルブ１９は全閉され、また第１ヒータ２０および第２ヒータ２３への給電が停止される。
ステップ−１０
バルブ開度制御装置２９は、バルブ開度変化率ΔＺを求める。
図５の［Ｂ−Ｃ］に示すように、坩堝２２内の蒸着材料２４が減少すると、蒸着材料２４の蒸発量が減少し、流量制御バルブ１９の開度が急激に大きくなる。
【００３９】
ステップ−１１
バルブ開度制御装置２９は、バルブ開度変化率ΔＺが、取得したバルブ安定変化率ΔＺ１より急激に大きくなったかどうかを確認する。
ステップ−１２
坩堝ヒータ制御装置３０は、坩堝２２の温度が、蒸着材料２４の劣化温度以上かどうかを確認し、図５の［Ｆ］に示すように、流量制御バルブ１９の開度が急激に上昇し始めたら（バルブ開度変化率ΔＺが、取得したバルブ安定変化率ΔＺ１より急激に大きくなったときには）、すなわち流量制御バルブ１９がさらに開くと、蒸着材料２４の残留がなくなり、所定の蒸着レートを得ることができないと判定して蒸着を停止する。これにより、流量制御バルブ１９は全閉され、また第１ヒータ２０および第２ヒータ２３への給電が停止される。
【００４０】
ステップ−１３
坩堝ヒータ制御装置３０は、坩堝２２の温度が、蒸着材料２４の劣化温度未満のとき、図５の［Ｃ］，［Ｄ］に示すように、坩堝２２の加熱温度をＸ(１℃)上昇し、Ｔ分保持し、バルブ開度制御装置２９は、現状蒸着レート≒所定蒸着レートとなるようにバルブ開度調整を行う。
【００４１】
これらステップ−１１〜１３により、図５の［Ｅ］に示すように、［Ｄ］からＴ分（１分）後にバルブ開度の変化量を見て、急激な変化が無くなっていれば（バルブ開度変化率ΔＺが、［Ａ−Ｂ］区間で求めたバルブ安定変化率ΔＺ１と同等あるいは小さくなっていく場合）、坩堝２２の温度は変更せずに、そのまま蒸着を続ける。
【００４２】
このように、所定の蒸着レートＲｅに必要な最小限の温度で蒸着が開始され、バルブ開度変化率ΔＺが急激に大きくなり、すなわち蒸着レートが低下しそうになったら、逐次目標加熱温度が所定温度Ｘ℃上昇され、蒸着レートが維持される。そして、図５の［Ｅ−Ｆ］に示すように、流量制御バルブ１９の開度のモニタと坩堝２２の温度上昇の要否判定を繰り返す。
【００４３】
以上のように本実施の形態によれば、所定の蒸着レートＲｅに必要な最小限の坩堝２２の温度で蒸着を行われ、バルブ開度変化率ΔＺがバルブ安定変化率ΔＺ１以上となると、すなわち坩堝２２内の蒸着材料２４が少なくなって坩堝２２からの蒸着材料２４の蒸発量（坩堝２２から供給される蒸発粒子の形成）が少なくなり蒸着レートが低下し、所定の蒸着レートを維持するために流量制御バルブ１９の開度が急激に大きくなると、坩堝２２の目標温度が所定温度Ｘ℃上昇され、坩堝２２からの蒸着材料２４の蒸発量が増加されることにより、所定の蒸着レートを維持できるとともに、この所定の蒸着レートＲｅとする流量制御バルブ１９の開度の調節が出来なくなることを回避でき、また所定温度Ｘ℃ずつ目標温度が上昇されることにより蒸着材料２４の熱劣化を防ぐことができるとともに蒸着材料２４を最後まで使用でき、蒸着材料２４の残留をミニマイズにすることができる。なお、坩堝２２の温度を最初から高温として蒸着材料２４の蒸発量を増やすと、熱劣化が生じて蒸着材料２４の特性が得られなくなる。
【００４４】
また本実施の形態によれば、坩堝２２の温度を所定温度Ｘ℃上昇させると、この温度は一定時間（Ｔ分）保持されることにより、蒸着材料２４の温度が遅れて上昇することによる蒸着材料２４の蒸発量の変化が待たれる。このように、一定時間（Ｔ分）で、坩堝２２の温度の所定温度Ｘ℃上昇に対応する蒸着材料２４の蒸発量が増加し、よって流量制御バルブ１９のバルブ開度変化率ΔＺは小さくなるか、あるいは流量制御バルブ１９は閉まる方向に変化するが、さらに坩堝２２の温度上昇による蒸着材料２４の蒸発量の増加分では不足すると、バルブ開度変化率ΔＺがバルブ安定変化率ΔＺ１以上となり、さらに坩堝２２の温度が前記所定温度Ｘ℃上昇され、これにより、坩堝２２の温度は、前記所定温度Ｘ℃毎に段階的に上昇される。
【００４５】
また本実施の形態によれば、まず初期状態では、坩堝２２の温度は、バルブ開度Ｚ＝７０％程度で所定蒸着レートＲｅが得られる程度の最小限の温度（最低温度）まで上昇され、この状態で、流量制御バルブ１９が前記所定の７０％まで開かれ、所定の蒸着レートを得る流量制御バルブ１９の開度調整が開始される、すなわち、所定の蒸着レートに必要な最小限の坩堝２２の温度から蒸着が開始されることにより、蒸着材料２４を有効に、且つ最後まで使用することが可能となる。
【００４６】
なお、本実施の形態では、ワーク保持具１５に保持されたガラス基板１２の下面（被蒸着面）に下方から蒸発粒子を蒸着するアップブロータイプ（アップデポ）の構成としているが、蒸着方向の向きを選ばない構成、すなわちサイドデポ、あるいはダウンデポの構成とすることもできる。
【符号の説明】
【００４７】
１１  真空チャンバ
１２  ガラス基板
１３  蒸着室
１７  材料輸送管
１８  シャッタ
１９  流量制御バルブ
２０  第１ヒータ
２２  坩堝
２３  第２ヒータ
２４  蒸着材料
２６  膜厚モニタ
２７  温度センサ
２９  バルブ開度制御装置
３０  坩堝ヒータ制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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