(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料を、固体材料の表面に接触させる工程、及び
（２）前記固体材料を７５℃以上に加熱する工程
を含む固体材料のエッチング方法。
【請求項２】
さらに、
（３）前記固体材料に、前記Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料側から露光する工程
を含む、請求項１に記載のエッチング方法。
【請求項３】
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物が、一般式（１）で示される構造単位を有する、請求項１又は２に記載のエッチング方法。
【化１】
0005850939.tif 000030
【化２】
0005850939.tif 000031
はブレンステッド酸の共役塩基である。）
【請求項４】
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物が、一般式（Ａ１）で示される化合物である、請求項１〜３のいずれかに記載のエッチング方法。
【化３】
0005850939.tif 000032
［式中、
隣接するＲ１とＲ２、Ｒ２とＲ３、Ｒ３とＲ４又はＲ４とＲ５は連結して、−ＣＲ６＝ＣＲ７−ＣＲ８＝ＣＲ９−を形成していてもよく、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８及びＲ９は同じか又は異なり、いずれも、水素原子；ハロゲン原子；ニトロ基；ヒドロキシ基；シアノ基；カルバモイル基；ハロゲン原子、水酸基、炭素数１〜５のアルコキシ基、炭素数６〜１０のアリールオキシ基、炭素数１〜５のアシル基、炭素数１〜５のアシルオキシ基及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルケニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリール基；少なくとも１種のハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアシル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数２〜１５のアルコキシカルボニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数７〜１５のアリールオキシカルボニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキルスルホニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールスルホニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキルスルフィニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールスルフィニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルコキシ基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールオキシ基；少なくとも１種のハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアシルオキシ基；少なくとも１種のハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアシルチオ基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルカンスルホニルオキシ基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールスルホニルオキシ基；炭素数１〜５のアルキル基及び炭素数６〜１０のAリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよいカルバモイル基；炭素数１〜５のアシル基及びハロゲン原子よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよいアミノ基；ハロゲン原子、炭素数６〜１０のアリール基及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群か��選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のＮ−アルキルピリジニウム塩基；ハロゲン原子、炭素数６〜１０のアリール基及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１１〜１５のＮ−アリールピリジニウム塩基；又は有機ポリマー鎖であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８及びＲ９は種々の組合せでヘテロ原子を介して又は介さずに環構造を形成してもよく、
また、
【化４】
0005850939.tif 000033
はブレンステッド酸の共役塩基である。］
【請求項５】
固体材料が、半導体又は絶縁体である請求項１〜４のいずれかに記載のエッチング方法。
【請求項６】
固体材料が、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、シリコンカーバイト、ガリウムヒ素、ガリウムアルミニウムヒ素、インジウムリン、インジウムアンチモン、窒化ガリウム及び窒化アルミニウムよりなる群から選ばれる少なくとも１種である、請求項１〜５のいずれかに記載のエッチング方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のエッチング方法を使用する、太陽電池用固体材料の表面の光閉じ込め及び／又は反射防止加工方法。
【請求項８】
（１）Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料を、固体材料の表面に接触させる工程、及び
（２）前記固体材料を７５℃以上に加熱する工程
を含むエッチング処理物の製造方法。
【請求項９】
さらに、
（３）前記固体材料に、前記Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料側から露光する工程
を含む、請求項８に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程におけるエッチング方法としては、ドライエッチング方法とウェットエッチング方法がある。【０００３】
一般に、ドライエッチング方法に用いられるフルオロカーボン系ガス又はＮＦ３は、地球温暖化係数が高く、環境に対する負荷が非常に大きい。また、フッ素ガスを用いるドライエッチング方法も報告されている（例えば、特許文献１参照）が、フッ素ガスは反応性、毒性が非常に高く、取り扱いが困難であり、残ガスの処理についてもアルカリ水を循環するスクラバーが必要となる。【０００４】
一方、ウェットエッチング方法としては、フッ酸、フッ硝酸（ＨＦ−ＨＮＯ３）、バッファードフッ酸等を用いる方法が行われているが、いずれも高い腐食性と毒性を有しており、取り扱いには然るべき施設を必要とする。【０００５】
以上から、これらのエッチング方法によって行うリソグラフィー工程は、その工程数が非常に多く、煩雑でありコスト増の原因となっている。【０００６】
ところで、太陽電池の受光面は、光閉じ込め及び反射防止による変換効率向上を目的として、微小な凹凸（テクスチャ）構造が形成されている。変換効率への効果は、形状によって異なり、ハニカム形状＞逆ピラミッド形状＞ピラミッド形状の順に優れていることが知られている。どの形状もシリコン基板のエッチングによって形成されている。ドライエッチングを採用した場合は装置コスト及び大面積化への対応が課題である。また、アルカリを用いたウェットエッチングを採用した場合は、（１００）面を有するウェハを用いた単結晶シリコン太陽電池にしか適応できず、多結晶又はアモルファス材料を用いた太陽電池には適用できないといった課題を有する。【０００７】
また、微小電気機械素子（ＭＥＭＳ、Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）、レンズ、ミラーの製造工程も上記と同様に、その工程数が非常に多く、煩雑である。【０００８】
一方、上記従来のエッチング方法とは別に、エッチングの対象となる固体材料上に、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む薄膜を形成し、薄膜側から露光することで、地球温暖化を引き起こす環境負荷が高いガス類、又は反応性、毒性の高く危険なフッ素ガス、フッ酸を用いることなく、安全で簡便にエッチングできる（特許文献２〜３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−３１３７７６号公報
【特許文献２】国際公開第２００９／１１９８４８号パンフレット
【特許文献３】特開２０１１−１３９０４８号公報
【非特許文献】
【００１０】
【非特許文献１】表面技術、2005年、56巻、13頁
【非特許文献２】Appl.Phys. Lett.,1989年、55巻、1363頁
【非特許文献３】シャープ技報、1998年、第70号、40頁
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、このエッチング方法を応用し、安全で簡便にエッチングできるとともに、エッチング速度を向上させたエッチング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を特定の固体材料に接触させた後、これを加熱することにより、安全で簡便にエッチングできるとともに、エッチング速度を向上させることができることを見出した。【００１３】
さらには、上記固体材料のエッチング時に加熱するだけでなく光照射も行うと、先に述べた、太陽電池の受光面の光閉じ込め及び反射防止効果が期待されている、逆ピラミッド型の表面形状がより効率よく形成出来ることも見出した。
本発明は、この知見に基づき研究を重ね、完成されたものである。すなわち、本発明は以下の構成を包含する。【００１４】
項１．（１）Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料を、固体材料の表面に接触させる工程、及び
（２）前記固体材料を加熱する工程
を含む固体材料のエッチング方法。【００１５】
項２．前記工程（２）が、前記固体材料を２８℃以上に加熱する工程である、項１に記載のエッチング方法。【００１６】
項３．前記工程（２）が、固体材料を６０℃以上に加熱する工程である、項１又は２に記載のエッチング方法。【００１７】
項４．さらに、
（３）前記固体材料に、前記Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料側から露光する工程
を含む、項１又は２に記載のエッチング方法。【００１８】
項５．さらに、
（３）前記固体材料に、前記Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料側
から露光する工程
を含む、項３に記載のエッチング方法。【００１９】
項６．Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物が、一般式（１）で示される構造単位を有する、項１〜５のいずれかに記載のエッチング方法。【００２０】
【化１】
0005850939.tif 000002
【００２１】
【化２】
0005850939.tif 000003
【００２２】
項７．Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物が、一般式（Ａ１）で示される化合物である、項１〜６のいずれかに記載のエッチング方法。【００２３】
【化３】
0005850939.tif 000004
【００２４】
［式中、
隣接するＲ１とＲ２、Ｒ２とＲ３、Ｒ３とＲ４又はＲ４とＲ５は連結して、−ＣＲ６＝ＣＲ７−ＣＲ８＝ＣＲ９−を形成していてもよく、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８及びＲ９は同じか又は異なり、いずれも、水素原子；ハロゲン原子；ニトロ基；ヒドロキシ基；シアノ基；カルバモイル基；ハロゲン原子、水酸基、炭素数１〜５のアルコキシ基、炭素数６〜１０のアリールオキシ基、炭素数１〜５のアシル基、炭素数１〜５のアシルオキシ基及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルケニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリール基；少なくとも１種のハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアシル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数２〜１５のアルコキシカルボニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数７〜１５のアリールオキシカルボニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキルスルホニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールスルホニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキルスルフィニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールスルフィニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルコキシ基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールオキシ基；少なくとも１種のハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアシルオキシ基；少なくとも１種のハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアシルチオ基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルカンスルホニルオキシ基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールスルホニルオキシ基；炭素数１〜５のアルキル基及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよいカルバモイル基；炭素数１〜５のアシル基及びハロゲン原子よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよいアミノ基；ハロゲン原子、炭素数６〜１０のアリール基及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のＮ−アルキルピリジニウム塩基；ハロゲン原子、炭素数６〜１０のアリール基及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１１〜１５のＮ−アリールピリジニウム塩基；又は有機ポリマー鎖であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８及びＲ９は種々の組合せでヘテロ原子を介して又は介さずに環構造を形成してもよく、
また、【００２５】
【化４】
0005850939.tif 000005
【００２６】
項８．固体材料が、半導体又は絶縁体である項１〜７のいずれかに記載のエッチング方法。【００２７】
項９．固体材料が、シリコン、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、シリコンカーバイト、ガリウムヒ素、ガリウムアルミニウムヒ素、インジウムリン、インジウムアンチモン、窒化ガリウム及び窒化アルミニウムよりなる群から選ばれる少なくとも１種である、項１〜８のいずれかに記載のエッチング方法。【００２８】
項１０．項１〜９のいずれかに記載のエッチング方法を使用する、太陽電池用固体材料の表面の光閉じ込め及び／又は反射防止加工方法。【００２９】
項１１．（１）Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料を、固体材料の表面に接触させる工程、及び
（２）前記固体材料を加熱する工程
を含むエッチング処理物の製造方法。【００３０】
項１２．さらに、
（３）前記固体材料に、前記Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料側から露光する工程
を含む、項１１に記載の製造方法。【００３１】
項１３．項１１又は１２に記載の製造方法により製造されたエッチング処理物。【００３２】
項１４．項１１又は１２に記載の製造方法により、固体材料がエッチング加工されたエッチング処理物を備え、且つ、該固体材料がシリコンである、シリコン太陽電池。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、地球温暖化を引き起こす環境負荷が高いガス類、又は反応性、毒性の高く危険なフッ素ガス、フッ酸を用いることなく、安全で簡便に行うことができ、しかもエッチング速度が向上したエッチング方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】固体材料のエッチングで形成される表面形状において、光照射の効果を示すＳＥＭ写真である。
【図２】実施例１〜１８（ｐ型シリコン、光照射あり）における、温度によるエッチング速度の変化を示すグラフである。
【図３】実施例１９〜３６（ｎ型シリコン、光照射あり）における、温度によるエッチング速度の変化を示すグラフである。
【図４】実施例３７〜５２（ｐ型シリコン、光照射なし）における、温度によるエッチング速度の変化を示すグラフである。
【図５】実施例５３〜６５（ｎ型シリコン、光照射なし）における、温度によるエッチング速度の変化を示すグラフである。
【図６】実施例７２〜８４において、各温度条件における時間とエッチング深さの関係を示すグラフである。
【図７】実施例８５で得られたエッチング処理（７５℃）後のシリコン基板の表面形状を示す走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。
【図８】実施例８６で得られたエッチング処理（１００℃）後のシリコン基板の表面形状を示す走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。
【図９】実施例８７〜９８において、照射強度及びエッチング時間とエッチング深さとの関係を示すグラフである。
【図１０】実施例８７〜９８において、エッチング処理後のシリコン基板の表面形状に、照射強度と時間とが与える影響を示す走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
本発明の固体材料のエッチング方法は、
（１）Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料を、固体材料の表面に接触させる工程、及び
（２）前記固体材料を加熱する工程
を含む。
【００３６】
以下、各工程について、説明する。
【００３７】
工程（１）
工程（１）では、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料を、固体材料の表面に接触させる。
【００３８】
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物は、フッ素化剤として知られており、一般式（１）で示される化合物が好ましい。
【００３９】
【化５】
0005850939.tif 000006
【００４０】
【化６】
0005850939.tif 000007
【００４１】
【化７】
0005850939.tif 000008
【００４２】
を生成するブレンステッド酸としては、例えば、メタンスルホン酸、ブタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トルエンスルホン酸、ニトロベンゼンスルホン酸、ジニトロベンゼンスルホン酸、トリニトロベンゼンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、トリフルオロエタンスルホン酸、パーフルオロブタンスルホン酸、パーフルオロオクタンスルホン酸、パーフルオロ（２−エトキシエタン）スルホン酸、パーフルオロ（４−エチルシクロヘキサン）スルホン酸、トリクロロメタンスルホン酸、ジフルオロメタンスルホン酸、トリフルオロエタンスルホン酸、フルオロスルホン酸、クロロスルホン酸、カンファースルホン酸、ブロモカンファースルホン酸、Δ４−コレステン−３−オン−６−スルホン酸、１−ヒドロキシ−ｐ−メンタン−２−スルホン酸、ｐ−スチレンスルホン酸、β−スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸、パーフルオロ−３，６−ジオキサ−４−メチル−７−オクテンスルホン酸等のスルホン酸；硫酸、リン酸、硝酸等の鉱酸；過塩素酸、過臭素酸、過ヨウ素酸、塩素酸、臭素酸等のハロゲン酸；モノメチル硫酸、モノエチル硫酸等のモノアルキル硫酸；酢酸、ギ酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸、ペンタフルオロプロピオン酸、ジクロロ酢酸、アクリル酸等のカルボン酸；ＨＡｌＦ４、ＨＢＦ４、ＨＢ２Ｆ７、ＨＰＦ６、ＨＳｂＦ４、ＨＳｂＦ６、ＨＳｂ２Ｆ１１、ＨＡｓＦ６、ＨＡｌＣｌ４、ＨＡｌＣｌ３Ｆ、ＨＡｌＦ３Ｃｌ、ＨＢＣｌ４、ＨＢＣｌ３Ｆ、ＨＢＢｒ３Ｆ、ＨＳｂＣｌ６、ＨＳｂＣｌ５Ｆ等のルイス酸とハロゲン化水素との化合物；ＨＢＰｈ４（Ｐｈはフェニル基）、
【００４３】
【化８】
0005850939.tif 000009
【００４４】
等のアリール置換ホウ素化合物；（ＦＳＯ２）２ＮＨ、（ＰｈＳＯ２）２ＮＨ（Ｐｈはフェニル基）、（ＣＦ３ＳＯ２）２ＮＨ、（Ｃ２Ｆ５ＳＯ２）２ＮＨ、（Ｃ４Ｆ９ＳＯ２）２ＮＨ、（ＨＣＦ２ＣＦ２ＳＯ２）２ＮＨ、ＣＦ３ＳＯ２ＮＨＳＯ２Ｃ６Ｆ１３、
【００４５】
【化９】
0005850939.tif 000010
【００４６】
等の酸性アミド化合物；（ＦＳＯ２）３ＣＨ、（ＣＦ３ＳＯ２）３ＣＨ、（ＰｈＯＳＯ２）３ＣＨ（Ｐｈはフェニル基）、（ＣＦ３ＳＯ２）２ＣＨ２、（ＣＦ３ＳＯ２）３ＣＨ、（Ｃ４Ｆ９ＳＯ２）３ＣＨ、（Ｃ８Ｆ１７ＳＯ２）３ＣＨ等の炭素酸化合物等が挙げられる。
【００４７】
安定性の高いＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を得るためには、
【００４８】
【化１０】
0005850939.tif 000011
【００４９】
として酢酸（ｐＫａ：４．５６）よりも強い酸性度のブレンステッド酸の共役塩基が特に好ましい。
【００５０】
前記共役塩基としては、例えば、−ＢＦ４、−ＰＦ６、−ＡｓＦ６、−ＳｂＦ６、−ＡｌＦ４、−ＡｌＣｌ４、−ＳｂＣｌ６、−ＳｂＣｌ５Ｆ、−Ｓｂ２Ｆ１１、−Ｂ２Ｆ７、−ＯＣｌＯ３、−ＯＳＯ２Ｆ、−ＯＳＯ２Ｃｌ、−ＯＳＯ２ＯＨ、−ＯＳＯ２ＯＣＨ３、−ＯＳＯ２ＣＨ３、−ＯＳＯ２ＣＦ３、−ＯＳＯ２ＣＣｌ３、−ＯＳＯ２Ｃ４Ｆ９、−ＯＳＯ２Ｃ６Ｈ５、−ＯＳＯ２Ｃ６Ｈ４ＣＨ３、−ＯＳＯ２Ｃ６Ｈ４ＮＯ２、−Ｎ（ＳＯ２ＣＦ３）２等が特に好ましい。なかでも、テトラフルオロボレート（−ＢＦ４）又はパーフルオロアルカンスルホネート（−ＯＳＯ２ＣＦ３、−ＯＳＯ２Ｃ４Ｆ９等）が好ましく、テトラフルオロボレート（−ＢＦ４）がより好ましい。
【００５１】
一般式（１）を満たすＮ−Ｆ結合を有する有機化合物としては、例えば、Ｎ−フルオロピリジニウム化合物（Ａ）、Ｎ−フルオロキヌクリジニウム塩（Ｂ）、Ｎ−フルオロ−１，４−ジアゾニアビシクロ［２．２．２］オクタン化合物（Ｃ）等が挙げられる。
【００５２】
Ｎ−フルオロピリジニウム化合物（Ａ）として好ましい化合物は、次の一般式（Ａ１）、（Ａ２）又は（Ａ３）で示される化合物である。
【００５３】
【化１１】
0005850939.tif 000012
【００５４】
【化１２】
0005850939.tif 000013
【００５５】
【化１３】
0005850939.tif 000014
【００５６】
一般式（Ａ１）〜（Ａ３）中、
隣接するＲ１とＲ２、Ｒ２とＲ３、Ｒ３とＲ４又はＲ４とＲ５は連結して、−ＣＲ６＝ＣＲ７−ＣＲ８＝ＣＲ９−を形成していてもよく、
また、Ｒ１’とＲ２’、Ｒ２’とＲ３’、Ｒ３’とＲ４’又はＲ４’とＲ５’は連結して、−ＣＲ６’＝ＣＲ７’−ＣＲ８’＝ＣＲ９’−を形成していてもよく、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１’、Ｒ２’、Ｒ３’、Ｒ４’、Ｒ５’、Ｒ６’、Ｒ７’、Ｒ８’及びＲ９’は同じか又は異なり、いずれも、水素原子；ハロゲン原子；ニトロ基；ヒドロキシ基；シアノ基；カルバモイル基；ハロゲン原子、水酸基、炭素数１〜５のアルコキシ基、炭素数６〜１０のアリールオキシ基、炭素数１〜５のアシル基（アルカノイル基等）、炭素数１〜５のアシルオキシ基（アルカノイルオキシ基等）及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルケニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリール基；少なくとも１種のハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアシル基（アルカノイル基等）；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数２〜１５のアルコキシカルボニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数７〜１５のアリールオキシカルボニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキルスルホニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールスルホニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルキルスルフィニル基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールスルフィニル基；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルコキシ基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールオキシ基；少なくとも１種のハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアシルオキシ基（アルカノイルオキシ基等）；少なくとも１種のハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアシルチオ基（アルカノイルチオ基等）；ハロゲン原子及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１〜１５のアルカンスルホニルオキシ基；ハロゲン原子及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のアリールスルホニルオキシ基；炭素数１〜５のアルキル基及び炭素数６〜１０のアリール基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよいカルバモイル基；炭素数１〜５のアシル基（アルカノイル基等）及びハロゲン原子よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよいアミノ基；ハロゲン原子、炭素数６〜１０のアリール基及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数６〜１５のＮ−アルキルピリジニウム塩基；ハロゲン原子、炭素数６〜１０のアリール基及び炭素数１〜５のアルキル基よりなる群から選ばれる少なくとも１種で置換されていてもよい炭素数１１〜１５のＮ−アリールピリジニウム塩基；又は有機ポリマー鎖であり、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１’、Ｒ２’、Ｒ３’、Ｒ４’、Ｒ５’、Ｒ６’、Ｒ７’、Ｒ８’及びＲ９’は種々の組合せでヘテロ原子を介して又は介さずに環構造を形成してもよく、
一般式（Ａ２）において、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８及びＲ９の１つが
【００５７】
【化１４】
0005850939.tif 000015
【００５８】
（Ｒは単結合又は炭素数１〜５のアルキレン基）であり、
一般式（Ａ３）において、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８及びＲ９のうちの１つとＲ１’、Ｒ２’、Ｒ３’、Ｒ４’、Ｒ５’、Ｒ６’、Ｒ７’、Ｒ８’及びＲ９’のうちの１つとは単結合で結合して結合鎖を形成している。
また、
【００５９】
【化１５】
0005850939.tif 000016
【００６０】
【化１６】
0005850939.tif 000017
【００６１】
本発明に用いられるＮ−フルオロピリジニウム塩（Ａ）のうち、とくに好ましい化合物としては、次の一般式（Ａ１ａ）：
【００６２】
【化１７】
0005850939.tif 000018
【００６３】
（式中、Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａ、Ｒ４ａ及びＲ５ａは同じか又は異なり、いずれも水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のハロアルキル基、ハロゲン原子、メチル基もしくはハロゲンで置換されていてもよいフェニル基、炭素数１〜４のアルコキシ基、炭素数２〜４のアシル基（アルカノイル基等）、炭素数２〜４のアシルオキシ基（アルカノイルオキシ基等）、炭素数２〜４のアルコキシカルボニル基、シアノ基又はニトロ基；
【００６４】
【化１８】
0005850939.tif 000019
【００６５】
がｐＫａが４．５６以下のブレンステッド酸の共役塩基である）
で表される化合物（Ａ１ａ）、及び次の一般式（Ａ２ａ）：
【００６６】
【化１９】
0005850939.tif 000020
【００６７】
【化２０】
0005850939.tif 000021
【００６８】
（ｒは０〜５、好ましくは０〜２の整数）であり、その他が同じか又は異なり、いずれも水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のハロアルキル基又はハロゲン原子である。］
で表される化合物（Ａ２ａ）よりなる群から選ばれるＮ−フルオロピリジニウム塩があげられる。
【００６９】
また、次の一般式（Ａ３ａ）：
【００７０】
【化２１】
0005850939.tif 000022
【００７１】
（式中、Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａ、Ｒ４ａ、Ｒ５ａ、Ｒ１ａ’、Ｒ２ａ’、Ｒ３ａ’、Ｒ４ａ’及びＲ５ａ’は同じか又は異なり、いずれも水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のハロアルキル基、ハロゲン原子、メチル基もしくはハロゲンで置換されていてもよいフェニル基、炭素数１〜４のアルコキシ基、炭素数２〜４のアシル基（アルカノイル基等）、炭素数２〜４のアシルオキシ基（アルカノイルオキシ基等）、炭素数２〜４のアルコキシカルボニル基、シアノ基又はニトロ基であり、Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａ、Ｒ４ａ、Ｒ５ａのうち１つはＲ１ａ’、Ｒ２ａ’、Ｒ３ａ’、Ｒ４ａ’、Ｒ５ａ’のうちの１つと単結合で結合鎖を形成し、
【００７２】
【化２２】
0005850939.tif 000023
【００７３】
が、ｐＫａが４．５６以下のブレンステッド酸の共役塩基である）
で表される化合物（Ａ３ａ）も挙げられる。
【００７４】
上記の一般式（Ａ１ａ）、（Ａ２ａ）及び（Ａ３ａ）で示される化合物のなかでも、Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａ、Ｒ４ａ、Ｒ５ａ、Ｒ１ａ’、Ｒ２ａ’、Ｒ３ａ’、Ｒ４ａ’及びＲ５ａ’は、電子供与性が高いほど安定性が高くなり、電子吸引性が高いほど反応性が高くなる。この観点から、要求特性に応じて適宜選択すればよい。
【００７５】
Ｎ−フルオロキヌクリジニウム塩（Ｂ）として、特に好ましい化合物は、次の一般式（Ｂ）：
【００７６】
【化２３】
0005850939.tif 000024
【００７７】
【化２４】
0005850939.tif 000025
【００７８】
は式（１）と同じである）
で示される。
【００７９】
また、Ｎ−フルオロ−１，４−ジアゾニアビシクロ［２．２．２］オクタン化合物（Ｃ）として特に好ましい化合物は、一般式（Ｃ）：
【００８０】
【化２５】
0005850939.tif 000026
【００８１】
（式中、Ｒｃは、水酸基、炭素数１〜５のアルキル基、炭素数１〜５のハロアルキル基、炭素数６〜１０のアリール基；
【００８２】
【化２６】
0005850939.tif 000027
【００８３】
は同じか又は異なり、いずれも式（１）と同じである）
で示される。
【００８４】
これらのＮ−Ｆ結合を有する有機化合物のなかでも、電子を受け取りやすい芳香環の骨格を有しているという点から、Ｎ−フルオロピリジニウム化合物（Ａ）が好ましい。
【００８５】
本発明において、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物は、１種類のみを用いてもよいし、２種類以上を組み合わせて用いてもよい。Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を２種類以上組み合わせて使用する場合は、上記のＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を任意に組み合わせればよい。特に、Ｎ−フルオロピリジニウム化合物（Ａ）を２種類以上組み合わせて使用すると、融点を低くし、室温で液体とすることができるため、例えば、塗布する場合には、そのまま塗布できるため、工程（１）を簡便に行うことができる。
【００８６】
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を２種類以上組み合わせて使用する場合の組成比は、特に制限はなく、融点を低くし、室温で液体とすることができる組成比とすることが好ましい。この場合、各成分の含有量をそれぞれ１〜９９質量％程度が好ましい。
【００８７】
さらに、これらＮ−Ｆ結合を有する有機化合物と、これらと相溶性を有する第２の成分とを組み合わせて、機能を向上させることも好ましく採用される。例えば、イオン液体を加えることで、膜の粘度、均一性、塗布の容易さ、固体材料との濡れ性等の密着性等を調整することが出来る。
【００８８】
具体的なイオン液体としては、アルドリッチ社のイオン液体を掲載した試薬カタログ、又は関東化学（株）の脂肪族イオン液体を掲載した試薬カタログに記載されている、イミダゾリウム塩、ピリジニウム塩、アンモニウム塩、ホスホニウム塩等の化合物を挙げることが出来る。
【００８９】
例えば、水素終端を有するシリコン基板における密着性を向上させる目的では、対カチオン若しくは対アニオンのアルキル鎖長の長いもの、又はこれらイオンの分子量の比較的大きいものが好ましく用いられる。
【００９０】
具体的な例としては、１−ヘキサデシル−３−メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、１−ヘキサデシル−３−メチルイミダゾリウムクロライド、１−ヘキシルピリジニウムトリフルオロメタンスルホネート、トリヘキシルテトラデシルホスホニウムジシアナミド等が挙げられる。
【００９１】
また第２の成分として、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物と相溶性の高い有機溶媒、高分子、オイル等を混合して用いてもよい。
【００９２】
有機溶媒としては、例えば、アセトニトリル、プロピオニトリル、ベンゾニトリル、メチルエチルケトン、ｔ−ブチルメチルケトン、アセトン、酢酸メチル、酢酸エチル、ギ酸メチル、ギ酸エチル、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラヒドロフラン、２−メチルテトラヒドロフラン、ジオキサン、１，３−ジオキソラン、ジメトキシエタン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、炭酸ジメチル、炭酸ジエチル、炭酸エチルメチル、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、スルホラン、メチルスルホラン等が挙げられる。
【００９３】
また高分子としては、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物との相溶性が有る、ポリビニルアルコール、ポリオキシアルキレン、イオン交換用高分子等、極性基を分子内に含んだ親水性高分子、含フッ素アルキルエーテルポリマー等が挙げられる。
【００９４】
オイルとしては、スクワレン、脂肪酸エステル等の動植物油でも、ジメチルシロキサン等から構成されるシリコンオイル等の合成油でも用いることが出来る。
【００９５】
固体材料としては、半導体や絶縁体等が挙げられるが、半導体としては、シリコン（単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン等）、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、シリコンカーバイト（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素、ガリウムアルミニウムヒ素、インジウムリン、インジウムアンチモン、窒化ガリウム、窒化アルミニウム等を使用できる。また、絶縁体としては、例えば、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化クロム等の金属酸化物及びこれらのシリケート、二酸化ケイ素、石英等のシリコン酸化物、シリコン窒化物、サファイア等を使用できる。なかでも、エッチング速度向上効果の点から、シリコン（単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン等）、ゲルマニウム、ガリウムヒ素、窒化ガリウム、インジウムリン等が好ましい。
【００９６】
なお、これらの固体材料の表面形状等に関しては特に制限はない。
【００９７】
工程（１）で固体材料に接触させたＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料中のＮ−Ｆ結合を有する有機化合物は、結晶、多結晶、アモルファス、液体のいずれでも用いられるが、固体材料との反応を良好に進行させるためにはアモルファス又は液体であることが好ましい。
【００９８】
ここで、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を前記固体材料の表面に接触させる工程としては、具体的には、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を溶媒に溶解させ、前記固体材料の表面に塗布し、必要であれば溶媒を除去してもよい。
【００９９】
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物が液状であるか、加熱等により液状化できるものを用いれば、固体材料の表面に容易に塗布することができる。
【０１００】
溶媒を使用する場合、特に制限されるわけではないが、例えば、アセトニトリル、プロピオニトリル、ベンゾニトリル、メチルエチルケトン、ｔ−ブチルメチルケトン、アセトン、酢酸メチル、酢酸エチル、ギ酸メチル、ギ酸エチル、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラヒドロフラン、２−メチルテトラヒドロフラン、ジオキサン、１，３−ジオキソラン、ジメトキシエタン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、炭酸ジメチル、炭酸ジエチル、炭酸エチルメチル、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、スルホラン、メチルスルホラン等が挙げられる。なかでも、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物の溶解度が高い点から、アセトニトリル、アセトン、テトラヒドロフラン、ジメトキシエタンが好ましい。
【０１０１】
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を、固体材料に接触させる方法としては、特に制限されるものではなく、例えば、キャスト法、スピンコート法、浸漬法、スプレー法、インクジェット法又はドクターブレード法による塗布法や、液化させたＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料中に固体材料を含浸させることで実施することができる。塗布する場合では、固体材料の全面に塗布してもよいし、部分的にのみ塗布してもよい。なお、部分的に塗布する場合は、マスクをしてスプレーする方法又はインクジェット法で塗布する方法が好ましい。
【０１０２】
上記Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物からなる材料の膜厚は、特に制限はないが、固体材料をより充分にエッチングできる点から、１００ｎｍ〜５０ｍｍが、さらには２００ｎｍ〜１０ｍｍが好ましい。なお、深くエッチングする場合は、厚く形成することが好ましい。
【０１０３】
工程（１）において溶媒を使用する場合、溶媒を除去する方法としては、特に制限されるわけではないが、例えば、０．１ｋＰａ〜０．１ＭＰａ、２５〜１００℃で熱処理して除去する方法、また常温（２０℃程度）、常圧（０．１ＭＰａ程度）下で送風する方法などで行うことができる。
【０１０４】
この際、温度を２５℃以上（好ましくは２８℃以上）とすれば、溶媒の除去とともに、後述の工程（２）を同時に行うことができる。
【０１０５】
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物が、加熱により液状化できる場合、その熱処理温度は、融点、凝固点等にもよるが、０〜１５０℃が好ましい。また構造の異なるＮ−Ｆ結合を有する有機化合物や、イオン液体、有機溶媒、有機酸塩、アミン塩等のＮ−Ｆ結合を有する有機化合物と相溶性を有する別の材料を混合させる等により融点を下げ、液状化させることも好ましく行われる。
【０１０６】
ここで具体的な例を挙げれば、Ｎ−フルオロ−３−メチルピリジニウム  テトラフルオロボレート（融点５９℃）とＮ−フルオロ−４−メチルピリジニウム  テトラフルオロボレート（融点６６℃）とを質量比で２：１で混合すると、融点は−１７℃に低下する。このことから、液体として用いる際には、少なくとも２種類以上のＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を混合することが有効な方法である。
【０１０７】
なお、上記方法でＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を固体材料上に接触させた際、該材料が液状又は液状のものを含んでいる場合は、その後乾燥してもよい。乾燥条件は、使用するＮ−Ｆ結合を有する有機化合物により適宜調整すればよい。
【０１０８】
また加熱によりＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を液状化させて固体材料上に接触させた後、冷却により固化させても良い。この場合、加熱はＮ−Ｆ結合を有する有機化合物の融点以上であればよく、冷却温度は凝固点以下であればよい。
【０１０９】
工程（２）
加熱温度は、常温（２０℃）をこえる温度であれば特に制限はないが、２５℃以上が好ましく、６０℃以上がより好ましく、７５℃以上がさらに好ましい。なお、後述の工程（３）（露光）を行う場合は２５℃以上が好ましく、行わない場合は２８℃以上が好ましい。後述の工程（３）を行う場合と行わない場合のいずれの場合にも、加熱温度を６０℃以上（好ましくは７５℃以上、より好ましくは１５０℃以上）とすれば、さらに大きくエッチング速度を向上させることができるとともに、より深くエッチングすることができる。加熱温度の上限値は、特に制限はないが、使用するＮ−Ｆ結合を有する有機化合物の分解温度以下が好ましい。具体的には、２５０℃以下が好ましく、２００℃以下がより好ましい。
【０１１０】
加熱時間は特に制限はなく、必要とするエッチング深さに応じて適宜設定すればよいが、具体的には、５分〜１０時間程度が好ましい。これにより、さらに効率的に、光閉じ込め及び／又は反射防止に有効な逆ピラミッド形状に表面加工することが可能である。なお、加熱温度が６０℃未満の場合は３０分〜２時間程度がより好ましく、加熱温度が６０℃以上の場合は１０〜３０分程度がより好ましい。なお、後述の工程（３）（露光）を行う場合は、露光している間は加熱していることが好ましい。
【０１１１】
加熱方法としても特に制限はなく、従来から行われている方法を採用することができる。例えば、ホットプレート、ペルチェ素子、水浴、オイルバス、恒温槽、恒温恒湿槽、乾燥機、インキュベーター、加熱炉、電気炉、赤外線照射等を使用することができる。
【０１１２】
この工程により、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を少なくとも１種含む材料と接触した箇所の固体材料の全面にわたって、エッチング速度を向上させることができる。
【０１１３】
反応機構は必ずしも明らかではないが、固体材料がシリコンの場合について例にとると、温度上昇により、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物とシリコンとの間の電子授受が活発になり、界面でシリコンがフッ素化されることによるエッチングが促進されると考えられる。なお、高温（具体的には６０℃以上）では、Ｎ−Ｆ結合を有する化合物の粘度が下がり流動しやすくなるため、常にシリコン表面が活性なＮ−Ｆ結合を有する化合物と接することが出来る。
【０１１４】
以上の機構を考慮して、固体材料由来のフッ化物が容易に除去できる状態に置けば、エッチング速度を向上させることが可能である。具体的には、減圧下でのエッチングにより、エッチング速度の向上が達成できる。
【０１１５】
工程（３）
本発明では、前記工程（２）（加熱）を行う際に、同時に又は別途、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料側から露光してもよい。ただし、加熱と同時に露光するのが簡便である。また、加熱温度が１５０℃未満の場合には、よりエッチング速度向上効果を見込むことができる。具体的には、以下の太陽電池表面テクスチャ形成用途で例示するように、６０℃以上で十分なエッチング速度が期待できる。
【０１１６】
このように、工程（３）で露光することにより、現像することなく、光を照射した箇所をより効果的にエッチングすることができる。これは、固体材料からＮ−Ｆ結合を有する有機化合物への電子移動が、光照射による電子励起を経由して非常に容易になるため、非常に高い速度でエッチングすることができるためと考えられる。
【０１１７】
また、光照射強度を段階的に調節することで、直線的な形状以外の構造体の加工も可能にする。具体的には、斜面、局面構造体等の作成ができる。また、同様にエッチング操作の際に、２種類以上のヒーターを用いて基板上の温度に変化を付ければ、より複雑な形状を形成することも可能となる。
【０１１８】
一方、加熱温度が１５０℃以上の場合には、工程（３）（光照射）の有無でエッチング速度の違いはほとんど見られない。
【０１１９】
ただし、工程（３）（光照射）の有無でエッチング処理物の表面状態が変わる。
【０１２０】
具体的には、工程（３）（光照射）を行わない場合には、図１の（ｃ１）〜（ｃ５）に示されるように、当初は大きさ１〜６μｍ程度の大きいピラミッド状の凸部が形成されるが、その後当該ピラミッド状の凸部が消滅する。さらにエッチングを続けると、最終的に大きさ２０〜３０ｎｍ程度の小さい逆ピラミッド状の凹部がほぼ全面にわたって形成される。
【０１２１】
一方、工程（３）（光照射）を行う場合には、例えば図１の（ａ４）及び（ｂ１）〜（ｂ４）に示されるような条件で実施した際には、当初は大きさ３００〜７００ｎｍ程度の孔がほぼ全面にわたって形成され、その後、大きいピラミッド状の凸部が形成される。最終的には、表面に大きさ１００〜３００ｎｍ程度の小さい逆ピラミッド状の凹部がほぼ全面にわたって形成された、大きさ１〜３μｍ程度のピラミッド状の凸部が形成される。
【０１２２】
これらの他、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を、固体材料から除去する工程の前に、第２の加工操作を行うことも好ましく行われる。この連続エッチング操作によれば、複雑な形状を１工程で加工できる。ここで得られる固体材料の加工プロセスの利点は、通常のエッチング操作では達成できない。
【０１２３】
露光する方法としては、例えば、可視光、紫外線、赤外線、Ｘ線、電子ビーム、イオンビーム、レーザービーム等を照射する方法が挙げられる。この際、薄膜全面に照射してもよいが、部分的に照射する場合は、マスクする方法も使用できるが、プロジェクタ等を用いても、簡便に所望の箇所を照射することができる。これらの光のなかでも、可視光又は紫外線が好ましい。また、Ｘ線を使用した場合には、空間分解能を向上させることができる。
【０１２４】
なお、ここで、可視光とは波長が４００〜８００ｎｍ程度、紫外線とは波長が１０〜４００ｎｍ程度、赤外線とは波長が８００ｎｍ〜２５μｍ程度、Ｘ線とは波長が０．０１〜７０ｎｍ程度、電子ビームとは加速電圧が０．１ｋＶ〜２００ｋＶ程度、イオンビームとは加速電圧が１ｋＶ〜２００ｋＶ程度である。また、レーザービームは、光の照射範囲を正確かつ容易にコントロールできる点で優れており、パルス巾、出力、波長、発振方式及び媒体にこだわらず使用可能である。
【０１２５】
露光強度は、０．００１〜１００Ｗ／mm２が、さらには０．０１〜１０Ｗ／mm２が好ましい。また、露光時間は、１秒〜２４時間が、さらには１０秒〜５時間が好ましい。さらに、露光量は、０．００１〜１００Ｗ・ｈ／mm２が、さらには０．０１〜１０Ｗ・ｈ／ｍｍ２が好ましい。
【０１２６】
工程（４）
以上のように、固体材料をエッチングした後、
（４）前記Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を、固体材料との間の残渣とともに除去する工程
により、所望の形状にエッチングされた固体材料を得てもよい。
【０１２７】
この際、前記Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を除去する具体的な方法としては、特に限定されるわけではないが、例えば、アセトニトリル、プロピオニトリル、ベンゾニトリル、メチルエチルケトン、ｔ−ブチルメチルケトン、アセトン、酢酸メチル、酢酸エチル、ギ酸メチル、ギ酸エチル、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラヒドロフラン、２−メチルテトラヒドロフラン、ジオキサン、１，３−ジオキソラン、ジメトキシエタン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、炭酸ジメチル、炭酸ジエチル、炭酸エチルメチル、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、スルホラン、メチルスルホラン等の有機溶媒に浸漬する方法、回転させながら前記有機溶媒を吹き付ける方法等が挙げられる。
【０１２８】
なお、前記Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を除去した後、再度上記有機溶媒中に浸漬し、必要に応じて攪拌、超音波照射等を施すことで、シリコン基板等の固体材料上に付着する残渣をより確実に除去することができる。
【０１２９】
本発明のエッチング方法は、上述のように、地球温暖化を引き起こす環境負荷が高いガス類、又は反応性、毒性の高く危険なフッ素ガス、フッ酸を用いることなく、半導体製造、太陽電池のテクスチャ構造形成、微小電気機械素子（ＭＥＭＳ、Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）製造、レンズ製造、Ｘ線ミラー製造、ミラー製造等に適用することができ、様々な方向からエッチングすることが可能であるため、同じ装置構成でより複雑な形状のエッチング処理物を簡便にかつ安全に製造することができる。特に、レーザー光等で狭い範囲を高熱にしながら、高い光強度で処理を行えば、エッチングの高速度化が達成できることから、ＬＳＩ高集積化に必要な貫通電極形成等に有用である。また、加熱と光照射を組合せることにより、表面の形状を上記のとおり、小さい逆ピラミッド状の凹部を有するピラミッド状の凸部を有する形状とすることが可能であり、このような形状とすれば、特に太陽電池用固体材料の表面の光閉じ込め及び／又は反射防止加工（テクスチャ構造形成）に特に有用である。
【０１３０】
なお、太陽電池用固体材料の表面の光閉じ込め及び／又は反射防止加工（テクスチャ構造形成）において、そのテクスチャ形状により光利用効果が異なり、ピラミッド型より逆ピラミッド型の方が望ましいことが報告されている（非特許文献１〜２）。また凹凸のパタン幅も、基板（例えばシリコン基板）の厚さと同程度が望ましいことが知られている（非特許文献３）。具体的には１００ｎｍ〜１μｍ程度が望ましい。今回の発明で形成されるエッチング表面形状に関しては、高温条件下（６０℃以上）で光照射を施した方が、これに近い形状であることから、太陽電池用固体材料の表面の光閉じ込め及び／又は反射防止加工については、高温条件下（６０℃以上）で光照射を施した工程がより望ましいと考えられる。テクスチャ形成において、ピラミッド構造はアルカリエッチングにより形成することが可能であるが、逆ピラミッド構造はマスクの使用が必要とされている（非特許文献１）。今回のように、エッチング試薬を用いた１工程での加工方法は、製造コスト削減の面で利点を有している。
【０１３１】
太陽電池用テクスチャ形成においては、光照射によるエッチング速度の向上効果により、７５℃以上の温度に加熱すれば十分な処理速度が期待できる。この際の具体的な処理時間は５〜３０分程度が好ましい。
【実施例】
【０１３２】
以下、実施例に基づいて、本発明を具体的に説明するが、本発明は、これらのみに限定されない。【０１３３】
なお、以下の実施例において、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物、固体材料及び照射光源としては、以下のものを使用した。【０１３４】
＜Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物＞
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物（Ｉ）：Ｎ−フルオロ−３−メチルピリジニウム  テトラフルオロボレート（融点５９℃）【０１３５】
【化２７】
0005850939.tif 000028
【０１３６】
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物（ＩＩ）：Ｎ−フルオロ−４−メチルピリジニウム  テトラフルオロボレート（融点６６℃）【０１３７】
【化２８】
0005850939.tif 000029
【０１３８】
＜固体材料＞
シリコン基板（１）：ＣＺ法により作製（ドーパント：Ｂ、ｐ型、面方位（１００）、抵抗率：１０〜２０Ωｃｍ、厚さ５５０μｍ）
シリコン基板（２）：ＣＺ法により作製（ドーパント：Ｐ、ｎ型、面方位（１００）、抵抗率：１０〜３０Ωｃｍ、厚さ４５０μｍ）
ゲルマニウム基板：融液成長法により作製（ドーパント：Ｉｎ、ｐ型、面方位（１００）、抵抗率：０．０５〜０．２５Ωｃｍ、厚さ５２５±２５μｍ、大きさ１０ｍｍ角
ガリウムヒ素基板：ＬＥＣ（Liquid Encapsulated Czochralski）法により作製（ドーパント：ノンドープ、面方位（１００）、抵抗率：４．３〜６．３×１０７Ω・ｃｍ、厚さ３５０±１０μｍ、大きさ１０ｍｍ角）
窒化ガリウム基板：（株）パウデックより購入品；厚さ８００μｍのサファイヤ基板（０００１）上にＧａＮをエピタキシャル成長させたもの（ドーパント：ノンドープ、ＧａＮ層の厚み：２μｍ、面方位（０００１）（Ｇａ面）、シート抵抗：６０００〜１００００Ω／ｓｑ、大きさ１５ｍｍ×２０ｍｍ）
インジウムリン基板：圧制御引上げ法（ＶＣＺ法）により作製（ｎ型、面方位（１００）、抵抗率：９．２×１０−４Ωｃｍ、厚さ：６３９μｍ）【０１３９】
＜照射光源＞
キセノンランプ：浜松ホトニクス（株）製、高安定キセノンランプＬ２２７４型（出力１５０Ｗ、透過波長２２０〜２０００ｎｍ、放射強度２μｗ／ｃｍ２・ｎｍ−１）
ハロゲンランプ：ウシオライティング（株）製、ＪＣＲ１００Ｖ１５０ＥＣ型（波長域３７５〜３５００ｎｍ）【０１４０】
実施例１
＜工程Ａ：基板の前処理＞
２ｃｍ角のシリコン基板（１）を超純水で３分間洗浄し、９７％硫酸と３０％過酸化水素水（硫酸：過酸化水素水＝４：１（体積比））で１０分間処理してシリコン基板上の有機物を除去した。これを超純水で１０分間洗浄した後、希フッ酸で１分間処理して表面の酸化皮膜を除去した。さらに、９７％硫酸と３０％過酸化水素水（硫酸：過酸化水素水＝４：１（体積比））で１０分間処理して表面を親水性にし、最後に超純水で１０分間洗浄した。【０１４１】
＜工程Ｂ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物の塗布＞
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物（Ｉ）とＮ−Ｆ結合を有する有機化合物（ＩＩ）とを２：１（質量比）で秤量し、一旦９５℃に加熱して溶融させ、均一に混合した。冷却後、ここで得られた混合物を工程Ａにより前処理して乾燥させたシリコン基板上に塗布した。【０１４２】
＜工程Ｃ：基板の温度制御＞
冷却機能付きのホットプレート（商品名：クールプレート；アズワン（株）；型式：ＳＣＰ１２５）上に、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板を載せ、プレート温度を２８℃に設定した。温度センサーを用いて表面温度を測定し、実験中の温度が設定通りであることを確認した。【０１４３】
＜工程Ｄ：光照射＞
工程Ｃで表面温度を２８℃に調整しているシリコン基板に、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物の側からキセノンランプにより白色光（露光波長２００〜２０００ｎｍ、露光強度０．５Ｗ／ｃｍ２）を３０分間照射した。【０１４４】
＜工程Ｅ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料の除去＞
シリコン基板表面のＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を、アセトニトリル中に漬けて、２０秒間超音波洗浄して除去した。さらに、残った残渣をアセトン中に漬けて、２０秒間超音波照射して除去した。【０１４５】
＜工程Ｆ：エッチング評価＞
工程Ｅにより得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡（ＺＹＧＯ社製、ＮｅｗＶｉｅｗ）により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１４６】
実施例２
工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定すること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１４７】
実施例３
工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定すること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１４８】
実施例４
工程Ｄにおいて、露光強度を１．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１４９】
実施例５
工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を１．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１５０】
実施例６
工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を１．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１５１】
実施例７
工程Ｄにおいて、露光強度を１．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１５２】
実施例８
工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を１．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１５３】
実施例９
工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を１．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１５４】
実施例１０
工程Ｄにおいて、露光強度を２．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１５５】
実施例１１
工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を２．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１５６】
実施例１２
工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を２．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１５７】
実施例１３
工程Ｄにおいて、露光強度を２．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１５８】
実施例１４
工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を２．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１５９】
実施例１５
工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を２．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１６０】
実施例１６
工程Ｄにおいて、露光強度を３．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１６１】
実施例１７
工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を３．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１６２】
実施例１８
工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を３．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１６３】
実施例１９
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用いること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１６４】
実施例２０
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定すること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１６５】
実施例２１
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定すること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１６６】
実施例２２
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｄにおいて、露光強度を１．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１６７】
実施例２３
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を１．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１６８】
実施例２４
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を１．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１６９】
実施例２５
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｄにおいて、露光強度を１．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１７０】
実施例２６
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を１．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１７１】
実施例２７
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を１．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１７２】
実施例２８
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｄにおいて、露光強度を２．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１７３】
実施例２９
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を２．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１７４】
実施例３０
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を２．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１７５】
実施例３１
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｄにおいて、露光強度を２．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１７６】
実施例３２
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を２．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１７７】
実施例３３
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を２．５Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１７８】
実施例３４
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｄにおいて、露光強度を３．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１７９】
実施例３５
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を３．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１８０】
実施例３６
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定し、工程Ｄにおいて、露光強度を３．０Ｗ／ｃｍ２とすること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１８１】
実施例１〜３６の結果を図２〜３に示す（図２は実施例１〜１８（ｐ型シリコン、光照射あり）、図３は実施例１９〜３６（ｎ型シリコン、光照射あり）の結果である）。シリコン基板のエッチング深さは、光照射強度だけではなく、照射時の温度の上昇に応じて向上することがわかる。なお、１００℃においてはｐ型シリコンの方がｎ型シリコンよりも若干エッチングが進行し易いが、７５℃や２８℃ではほとんど差が無かった。【０１８２】
実施例３７
光照射を施さないこと以外は実施例１と同様にした。具体的には、以下のとおりである。【０１８３】
＜工程Ａ：基板の前処理＞
２ｃｍ角のシリコン基板（１）を超純水で３分間洗浄し、９７％硫酸と３０％過酸化水素水（硫酸：過酸化水素水＝４：１（体積比））で１０分間処理してシリコン基板上の有機物を除去した。これを超純水で１０分間洗浄した後、希フッ酸で１分間処理して表面の酸化皮膜を除去した。さらに、９７％硫酸と３０％過酸化水素水（硫酸：過酸化水素水＝４：１（体積比））で１０分間処理して表面を親水性にし、最後に超純水で１０分間洗浄した。【０１８４】
＜工程Ｂ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物の塗布＞
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物（Ｉ）とＮ−Ｆ結合を有する有機化合物（ＩＩ）とを２：１（質量比）で秤量し、一旦９５℃に加熱して溶融させ、均一に混合した。冷却後、ここで得られた混合物を工程Ａにより前処理して乾燥させたシリコン基板上に塗布した。【０１８５】
＜工程Ｃ：基板の温度制御＞
冷却機能付きのホットプレート上に、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板を載せ、プレート温度を２８℃に設定し、暗室中で３０分間放置した。温度センサーを用いて表面温度を測定し、実験中の温度が設定通りであることを確認した。【０１８６】
＜工程Ｅ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料の除去＞
シリコン基板表面のＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を、アセトニトリル中に漬けて、２０秒間超音波洗浄して除去した。さらに、残った残渣をアセトン中に漬けて、２０秒間超音波照射して除去した。【０１８７】
＜工程Ｆ：エッチング評価＞
工程Ｅにより得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡（ＺＹＧＯ社製、ＮｅｗＶｉｅｗ）により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１８８】
実施例３８
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板を、６０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１８９】
実施例３９
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板を、１２０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１９０】
実施例４０
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板を、２４０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１９１】
実施例４１
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を７５℃に設定し、５分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１９２】
実施例４２
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を７５℃に設定し、１０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１９３】
実施例４３
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を７５℃に設定したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１９４】
実施例４４
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を７５℃に設定し、６０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１９５】
実施例４５
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を７５℃に設定し、１２０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１９６】
実施例４６
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を７５℃に設定し、２４０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１９７】
実施例４７
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を１００℃に設定し、５分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１９８】
実施例４８
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を１００℃に設定し、１０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０１９９】
実施例４９
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を１００℃に設定したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２００】
実施例５０
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を１００℃に設定し、６０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２０１】
実施例５１
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を１００℃に設定し、１２０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２０２】
実施例５２
工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を１００℃に設定し、２４０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２０３】
実施例５３
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板を、６０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２０４】
実施例５４
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板を、１２０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２０５】
実施例５５
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板を、２４０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２０６】
実施例５６
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を７５℃に設定し、１０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２０７】
実施例５７
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を７５℃に設定したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２０８】
実施例５８
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を７５℃に設定し、６０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２０９】
実施例５９
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を７５℃に設定し、１２０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２１０】
実施例６０
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を７５℃に設定し、２４０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２１１】
実施例６１
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を１００℃に設定し、１０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２１２】
実施例６２
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を１００℃に設定したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２１３】
実施例６３
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を１００℃に設定し、６０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２１４】
実施例６４
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を１００℃に設定し、１２０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２１５】
実施例６５
固体材料として、２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したシリコン基板をホットプレート上に載せ、プレート温度を１００℃に設定し、２４０分間ホットプレート上に放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２１６】
実施例３７〜６５で得られたデータを図４〜５に示す（図４は実施例３７〜５２（ｐ型シリコン、光照射なし）、図５は実施例５３〜６５（ｎ型シリコン、光照射なし）の結果である）。温度を高くすればするほど、エッチングが進行することが判った。ｐ型シリコンとｎ型シリコンでは、どの温度においてもほとんどエッチング速度に差が観られなかった。以上から、温度を上げることによって、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物とシリコンの間の反応が促進され、シリコンのエッチング速度が向上することが判った。【０２１７】
実施例６６
＜工程Ａ：基板の前処理＞
ゲルマニウム基板を超純水で３分間洗浄し、ＵＶオゾンで１０分間処理して基板上の有機物を除去した。これを超純水で３分間洗浄した後、希フッ酸で１分間処理して表面の酸化皮膜を除去した。最後に超純水で１０分間洗浄した。【０２１８】
＜工程Ｂ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物の調製と塗布＞
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物（Ｉ）とＮ−Ｆ結合を有する有機化合物（ＩＩ）とを２：１（質量比）で秤量し、一旦９５℃に加熱して溶融させ、均一に混合した。冷却後、ここで得られた混合物を工程Ａにより前処理して乾燥させたゲルマニウム基板上に塗布した。【０２１９】
＜工程Ｃ：基板の温度制御＞
冷却機能付きのホットプレート（商品名：クールプレート；アズワン（株）；型式：ＳＣＰ１２５）上に、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したゲルマニウム基板を載せ、プレート温度を２８℃に設定した。温度センサーを用いて表面温度を測定し、実験中の温度が設定通りであることを確認した。【０２２０】
＜工程Ｄ：光照射＞
工程Ｃで表面温度を２８℃に調整しているゲルマニウム基板に、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物の側からキセノンランプにより白色光（露光波長２００〜２０００ｎｍ、露光強度３．０Ｗ／ｃｍ２）を３０分間照射した。【０２２１】
＜工程Ｅ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料の除去＞
ゲルマニウム基板表面のＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を、アセトニトリル中に漬けて、２０秒間超音波洗浄して除去した。さらに、残った残渣をアセトン中に漬けて、２０秒間超音波照射して除去した。【０２２２】
＜工程Ｆ：エッチング評価＞
工程Ｅにより得られたゲルマニウム基板を位相シフト干渉顕微鏡（ＺＹＧＯ社製、ＮｅｗＶｉｅｗ）により表面を計測した。その結果、ゲルマニウム表面が約２０９ｎｍエッチングされていることを確認した。【０２２３】
実施例６７
＜工程Ａ：基板の前処理＞
ガリウムヒ素基板を超純水で３分間洗浄し、ＵＶオゾンで１０分間処理して基板上の有機物を除去した。これを超純水で３分間洗浄した後、希フッ酸で１分間処理して表面の酸化皮膜を除去した。最後に超純水で１０分間洗浄した。【０２２４】
＜工程Ｂ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物の調製と塗布＞
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物（Ｉ）とＮ−Ｆ結合を有する有機化合物（ＩＩ）とを２：１（質量比）で秤量し、一旦９５℃に加熱して溶融させ、均一に混合した。冷却後、ここで得られた混合物を工程Ａにより前処理して乾燥させたガリウムヒ素基板上に塗布した。【０２２５】
＜工程Ｃ：基板の温度制御＞
冷却機能付きのホットプレート（商品名：クールプレート；アズワン（株）；型式：ＳＣＰ１２５）上に、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したガリウムヒ素基板を載せ、プレート温度を２８℃に設定した。温度センサーを用いて表面温度を測定し、実験中の温度が設定通りであることを確認した。【０２２６】
＜工程Ｄ：光照射＞
工程Ｃで表面温度を２８℃に調整しているガリウムヒ素基板に、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物の側からキセノンランプにより白色光（露光波長２００〜２０００ｎｍ、露光強度３．０Ｗ／ｃｍ２）を３０分間照射した。【０２２７】
＜工程Ｅ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料の除去＞
ガリウムヒ素基板表面のＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を、アセトニトリル中に漬けて、２０秒間超音波洗浄して除去した。さらに、残った残渣をアセトン中に漬けて、２０秒間超音波照射して除去した。【０２２８】
＜工程Ｆ：エッチング評価＞
工程Ｅにより得られたガリウムヒ素基板を位相シフト干渉顕微鏡（ＺＹＧＯ社製、ＮｅｗＶｉｅｗ）により表面を計測した。その結果、ガリウムヒ素表面が約３５４４ｎｍ（３．５４４μｍ）エッチングされていることを確認した。【０２２９】
実施例６８
＜工程Ａ：基板の前処理＞
ガリウムヒ素基板を超純水で３分間洗浄し、ＵＶオゾンで１０分間処理して基板上の有機物を除去した。これを超純水で３分間洗浄した後、希フッ酸で１分間処理して表面の酸化皮膜を除去した。最後に超純水で１０分間洗浄した。【０２３０】
＜工程Ｂ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物の調製と塗布＞
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物（Ｉ）とＮ−Ｆ結合を有する有機化合物（ＩＩ）とを２：１（質量比）で秤量し、一旦９５℃に加熱して溶融させ、均一に混合した。冷却後、ここで得られた混合物を工程Ａにより前処理して乾燥させたガリウムヒ素基板上に塗布した。【０２３１】
＜工程Ｃ：基板の温度制御＞
冷却機能付きのホットプレート（商品名：クールプレート；アズワン（株）；型式：ＳＣＰ１２５）上に、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布したガリウムヒ素基板を載せ、プレート温度を２８℃に設定し、暗室中で２４０分間放置した。温度センサーを用いて表面温度を測定し、実験中の温度が設定通りであることを確認した。【０２３２】
＜工程Ｅ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料の除去＞
ガリウムヒ素基板表面のＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を、アセトニトリル中に漬けて、２０秒間超音波洗浄して除去した。さらに、残った残渣をアセトン中に漬けて、２０秒間超音波照射して除去した。【０２３３】
＜工程Ｆ：エッチング評価＞
工程Ｅにより得られたガリウムヒ素基板を位相シフト干渉顕微鏡（ＺＹＧＯ社製、ＮｅｗＶｉｅｗ）により表面を計測した。その結果、ガリウムヒ素表面が約１６３７ｎｍ（１．６３７μｍ）エッチングされていることを確認した。【０２３４】
実施例６９
＜工程Ａ：基板の前処理＞
窒化ガリウム基板を超純水で３分間洗浄し、９７％硫酸と３０％過酸化水素水（硫酸：過酸化水素水＝４：１（体積比））で１０分間処理して基板上の有機物を除去した。これを超純水で１０分間洗浄した後、５０％フッ酸で１０分間処理して表面の酸化皮膜を除去した。最後に超純水で１０分間洗浄した。【０２３５】
＜工程Ｂ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物の調製と塗布＞
Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物（Ｉ）とＮ−Ｆ結合を有する有機化合物（ＩＩ）とを２：１（質量比）で秤量し、一旦９５℃に加熱して溶融させ、均一に混合した。冷却後、ここで得た混合物を、工程Ａにより前処理して乾燥させた窒化ガリウム基板上に塗布した。【０２３６】
＜工程Ｃ：基板の温度制御＞
冷却機能付きのホットプレート（商品名：クールプレート；アズワン（株）；型式：ＳＣＰ１２５）上に、工程Ｂで得たＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を塗布した窒化ガリウム基板を載せ、プレート温度を２８℃に設定した。温度センサーを用いて表面温度を測定し、実験中の温度が設定通りであることを確認した。【０２３７】
＜工程Ｄ：光照射＞
工程Ｃで表面温度を２８℃に調整している窒化ガリウム基板に、Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物の側からキセノンランプにより白色光（露光波長２００〜２０００ｎｍ、露光強度３．０Ｗ／ｃｍ２）を３０分間照射した。【０２３８】
＜工程Ｅ：Ｎ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料の除去＞
窒化ガリウム基板表面のＮ−Ｆ結合を有する有機化合物を含む材料を、アセトニトリル中に漬けて、２０秒間超音波洗浄して除去した。さらに、残った残渣をアセトン中に漬けて、２０秒間超音波照射して除去した。【０２３９】
＜工程Ｆ：エッチング評価＞
工程Ｅにより得られた窒化ガリウム基板を位相シフト干渉顕微鏡（ＺＹＧＯ社製、ＮｅｗＶｉｅｗ）により表面を計測した。その結果、窒化ガリウム表面が約８．５ｎｍエッチングされていることを確認した。【０２４０】
実施例７０
ゲルマニウム基板の代わりにインジウムリン基板を用いること以外は実施例６６と同様の処理を行い、得られたインジウムリン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、インジウムリン表面が約１．２ｎｍエッチングされていることを確認した。【０２４１】
実施例７１
工程Ｃにおいて、温度を１２５℃に設定すること以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行い、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約５６００ｎｍ（５．６μｍ）エッチングされていることを確認した。【０２４２】
実施例７２
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、キセノンランプにて、露光強度４．０Ｗ／ｃｍ２の白色光を１分間照射したこと以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行った。【０２４３】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約２．４μｍエッチングされていることを確認した。【０２４４】
実施例７３
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、キセノンランプにて、露光強度４．０Ｗ／ｃｍ２の白色光を５分間照射したこと以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行った。【０２４５】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約７．８μｍエッチングされていることを確認した。【０２４６】
実施例７４
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、キセノンランプにて、露光強度４．０Ｗ／ｃｍ２の白色光を１０分間照射したこと以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行った。【０２４７】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約９．４μｍエッチングされていることを確認した。【０２４８】
実施例７５
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、キセノンランプにて、露光強度４．０Ｗ／ｃｍ２の白色光を１５分間照射したこと以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行った。【０２４９】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約１０．２μｍエッチングされていることを確認した。【０２５０】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した（図１（ａ４））。大きさ３μｍ程度のピラミッド状の凸部が形成されており、その表面ほぼ全面にわたって大きさ１００〜２５０ｎｍ程度の小さい逆ピラミッド状の凹部が形成されていることを確認した。【０２５１】
実施例７６
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、キセノンランプにて、露光強度４．０Ｗ／ｃｍ２の白色光を１分間照射したこと以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行った。【０２５２】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約５．６μｍエッチングされていることを確認した。【０２５３】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した（図１（ｂ１））。大きさ５００ｎｍ程度の孔がほぼ全面にわたって形成されていることを確認した。【０２５４】
実施例７７
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、キセノンランプにて、露光強度４．０Ｗ／ｃｍ２の白色光を５分間照射したこと以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行った。【０２５５】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約９．４μｍエッチングされていることを確認した。【０２５６】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した（図１（ｂ２））。大きさ１〜２μｍ程度のピラミッド状の凸部が形成されており、その表面ほぼ全面にわたって大きさ１００〜２００ｎｍ程度の小さい逆ピラミッド状の凹部が形成されていることを確認した。【０２５７】
実施例７８
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、キセノンランプにて、露光強度４．０Ｗ／ｃｍ２の白色光を１０分間照射したこと以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行った。【０２５８】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約１０．２μｍエッチングされていることを確認した。【０２５９】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した（図１（ｂ３））。ほぼ全面にわたって大きさ２００ｎｍ程度の小さい逆ピラミッド状の凹部が形成されており、大きいピラミッド状の凸部も形成されていることを確認した。【０２６０】
実施例７９
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、キセノンランプにて、露光強度４．０Ｗ／ｃｍ２の白色光を１５分間照射したこと以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行った。【０２６１】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約９．４μｍエッチングされていることを確認した。【０２６２】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した（図１（ｂ４））。ほぼ全面にわたって大きさ５０〜２５０ｎｍ程度の小さい逆ピラミッド状の凹部が形成されており、大きいピラミッド状の凸部も形成されていることを確認した。【０２６３】
実施例８０
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１７５℃に設定し、暗室で１分間放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行った。【０２６４】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約７．２２５μｍエッチングされていることを確認した。【０２６５】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した（図１（ｃ１））。大きさ１〜６μｍ程度の大きいピラミッド状の凸部が形成されていることを確認した。【０２６６】
実施例８１
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１７５℃に設定し、暗室で５分間放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行った。【０２６７】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約９．５μｍエッチングされていることを確認した。【０２６８】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した（図１（ｃ２））。ピラミッド状の凸部及び逆ピラミッド状の凹部ともに確認できなかった。【０２６９】
実施例８２
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１７５℃に設定し、暗室で１０分間放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行った。【０２７０】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約１０．０２５μｍエッチングされていることを確認した。【０２７１】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した（図１（ｃ３））。表面に微細な凹凸が形成されていることを確認した。【０２７２】
実施例８３
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１７５℃に設定し、暗室で１５分間放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行った。【０２７３】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約１０．７２５μｍエッチングされていることを確認した。【０２７４】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した（図１（ｃ４））。大きさ２５ｎｍ程度の小さい逆ピラミッド状の凹部が形成されていることを確認した。【０２７５】
実施例８４
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１７５℃に設定し、暗室で３０分間放置したこと以外は実施例３７と同様にした。また、実施例３７と同様の後処理を行った。【０２７６】
得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。その結果、シリコン表面が約１０．６２μｍエッチングされていることを確認した。【０２７７】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した（図１（ｃ５））。大きさ２０ｎｍ程度の小さい逆ピラミッド状の凹部が形成されていることを確認した。【０２７８】
実施例７２〜８４において、各温度条件における時間とエッチング深さの関係を図６に示す。【０２７９】
最もエッチング速度の速い条件（１７５℃、光照射なし、１分間）においては、エッチング速度は１２０ｎｍ／ｓ（７．２μｍ／ｍｉｎ）となり、従来のドライエッチング速度（６ｎｍ／ｓ；１１μｍ／３０ｍｉｎ）を大きく上回る速度でエッチングすることが可能であった。また、高温（１７５℃）においては、光照射の有無でエッチング速度に明確な差異は見られなかった。【０２８０】
また、光照射の有無により、エッチング後の表面形状に違いが見られた。【０２８１】
実施例８５
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を７５℃に設定し、工程Ｄにおいて、キセノンランプにて、露光強度４．０Ｗ／ｃｍ２の白色光を１５分間照射したこと以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行った。【０２８２】
得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、ほぼ全面にわたって大きさ５０〜１００ｎｍ程度の逆ピラミッド状の凹部が形成されていることを確認した（図７）。【０２８３】
実施例８６
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１００℃に設定し、工程Ｄにおいて、キセノンランプにて、露光強度４．０Ｗ／ｃｍ２の白色光を１５分間照射したこと以外は実施例１と同様にした。また、実施例１と同様の後処理を行った。【０２８４】
得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、ほぼ全面にわたって大きさ１００〜２００ｎｍ程度の逆ピラミッド状の凹部が形成されていることを確認した（図８）。【０２８５】
実施例８７
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度４．０Ｗ／ｃｍ２で１分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２８６】
その結果、シリコン表面が約５．６μｍエッチングされていることを確認した。【０２８７】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０２８８】
実施例８８
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度４．０Ｗ／ｃｍ２で５分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２８９】
その結果、シリコン表面が約６．６μｍエッチングされていることを確認した。【０２９０】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０２９１】
実施例８９
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度４．０Ｗ／ｃｍ２で１０分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２９２】
その結果、シリコン表面が約７．１μｍエッチングされていることを確認した。【０２９３】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０２９４】
実施例９０
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度４．０Ｗ／ｃｍ２で１５分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２９５】
その結果、シリコン表面が約７．２μｍエッチングされていることを確認した。【０２９６】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０２９７】
実施例９１
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度４．０Ｗ／ｃｍ２で３０分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０２９８】
その結果、シリコン表面が約８．５μｍエッチングされていることを確認した。【０２９９】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０３００】
実施例９２
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度４．０Ｗ／ｃｍ２で６０分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０３０１】
その結果、シリコン表面が約９．０μｍエッチングされていることを確認した。【０３０２】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０３０３】
実施例９３
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度７．０Ｗ／ｃｍ２で１分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０３０４】
その結果、シリコン表面が約５．３μｍエッチングされていることを確認した。【０３０５】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０３０６】
実施例９４
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度７．０Ｗ／ｃｍ２で５分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０３０７】
その結果、シリコン表面が約７．５μｍエッチングされていることを確認した。【０３０８】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０３０９】
実施例９５
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度７．０Ｗ／ｃｍ２で１０分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０３１０】
その結果、シリコン表面が約８．０μｍエッチングされていることを確認した。【０３１１】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０３１２】
実施例９６
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度７．０Ｗ／ｃｍ２で１５分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０３１３】
その結果、シリコン表面が約８．８μｍエッチングされていることを確認した。【０３１４】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０３１５】
実施例９７
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度７．０Ｗ／ｃｍ２で３０分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０３１６】
その結果、シリコン表面が約９．１μｍエッチングされていることを確認した。【０３１７】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０３１８】
実施例９８
固体材料として２ｃｍ角のシリコン基板（２）を用い、工程Ｃにおいて、温度を１５０℃に設定し、工程Ｄにおいて、ハロゲンランプにより照射強度７．０Ｗ／ｃｍ２で６０分間照射したこと以外は、実施例１と同様にした。同様の後処理後、得られたシリコン基板を位相シフト干渉顕微鏡により表面（エッチング深さ）を計測した。【０３１９】
その結果、シリコン表面が約９．３μｍエッチングされていることを確認した。【０３２０】
また、得られたシリコン基板の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した。【０３２１】
実施例８７〜９８の照射強度及びエッチング時間とエッチング深さとの関係を図９に示す。【０３２２】
また、得られたシリコン基板表面状態のＳＥＭ観察結果を図１０に示す。照射強度によらず、照射開始から５分程度経過した後に、逆ピラミッド型の表面形状が形成され始めることが分かった。一方で、照射強度が高い方が、表面の逆ピラミッド形状の穴の大きさが速く大きくなる傾向が観られた。これはエッチング速度が照射強度に比例しているためと考えられる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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