(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
配置台上に押圧対象物であるフィルムを配置し、
前記押圧対象物に対向して配置された吹出装置から、前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る皺取り方法であって、
前記押圧対象物上の線状の第一の吹き付け位置と、前記第一の吹き付け位置に近接した線状の第二の吹き付け位置とに前記押圧ガスが吹き付けられるように、前記吹出装置の第一、第二の吹出部から前記押圧ガスを吹き出させ、
前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出部を移動させる皺取り方法。
【請求項２】
前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させる際には、前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置には、前記押圧ガスを吹き付ける請求項１記載の皺取り方法。
【請求項３】
前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させる際には、前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置には、前記押圧ガスの吹き付けを停止する請求項１記載の皺取り方法。
【請求項４】
前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させた後、前記配置台の表面に設けられた排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気して、前記押圧対象物の前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置を前記配置台に真空吸着させる請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の皺取り方法。
【請求項５】
前記第一、第二の吹き付け位置に前記押圧ガスを吹き付ける前に、前記配置台の表面に設けられた排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間の排気を開始し、
前記第一、第二の吹き付け位置に前記押圧ガスを吹き付ける際には、前記押圧対象物の前記第一、第二の吹き付け位置を前記配置台に真空吸着させる請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の皺取り方法。
【請求項６】
押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、
前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、
を有する皺取り装置であって、
前記吹出装置は、
前記配置台に対向して配置された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接して配置された第二の吹出管と、
前記第一、第二の吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた第一、第二の吹出孔と、
前記第一、第二の吹出管に押圧ガスを供給するガス供給部と、
前記第一の吹出管と前記第二の吹出管との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出管を移動させる吹出管移動装置と、
を有する皺取り装置。
【請求項７】
押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、
前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、
を有する皺取り装置であって、
前記吹出装置は、
前記配置台に対向して一列に並んで配置された複数の吹出管と、
各前記吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた吹出孔と、
各前記吹出管に前記押圧ガスを供給するガス供給部と、
各前記吹出管と前記ガス供給部との間の接続を切り替える切替部と、
前記切替部に制御信号を送信して、前記吹出管から選択された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接した第二の吹出管とを前記ガス供給部に接続し、前記第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する制御装置と、
を有する皺取り装置。
【請求項８】
前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を維持する請求項７記載の皺取り装置。
【請求項９】
前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を切断する請求項７記載の皺取り装置。
【請求項１０】
前記配置台の表面に設けられた排気孔と、
前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、
を有する請求項６乃至請求項９のいずれか１項記載の皺取り装置。
【請求項１１】
台座と、
前記台座上に固定されたレールと、
前記レール上に配置され、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、
前記配置台の表面に設けられた排気孔と、
前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、
前記配置台を前記レールに沿って移動させる台移動装置と、
前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、
前記吹出装置に対して前記レールの長手方向に離間して配置され、前記配置台上に配置された前記押圧対象物の表面を処理する処理装置と、
を有し、
前記吹出装置は、
前記配置台に対向して配置された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接して配置された第二の吹出管と、
前記第一、第二の吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた第一、第二の吹出孔と、
前記第一、第二の吹出管に押圧ガスを供給するガス供給部と、
前記第一の吹出管と前記第二の吹出管との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出管を移動させる吹出管移動装置と、
を有するフィルム搬送処理装置。
【請求項１２】
帯状の前記押圧対象物を、その長手方向が前記レールの長手方向と平行に向く向きで、前記配置台上に掛け渡して支持するフィルム支持部を有し、
前記第一、第二の吹出管の長手方向は前記レールの長手方向と平行に向けられており、
前記吹出管移動装置は前記第一、第二の吹出管を前記レールの長手方向に対して直角な方向に移動させる請求項１１記載のフィルム搬送処理装置。
【請求項１３】
台座と、
前記台座上に固定されたレールと、
前記レール上に配置され、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、
前記配置台の表面に設けられた排気孔と、
前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、
前記配置台を前記レールに沿って移動させる台移動装置と、
前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、
前記吹出装置に対して前記レールの長手方向に離間して配置され、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面を処理する処理装置と、
を有し、
前記吹出装置は、
前記配置台に対向して一列に並んで配置された複数の吹出管と、
各前記吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた吹出孔と、
各前記吹出管に前記押圧ガスを供給するガス供給部と、
各前記吹出管と前記ガス供給部との間の接続を切り替える切替部と、
前記切替部に制御信号を送信して、前記吹出管から選択された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接した第二の吹出管とを前記ガス供給部に接続し、前記第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する制御装置と、
を有するフィルム搬送処理装置。
【請求項１４】
帯状の前記押圧対象物を、その長手方向が前記レールの長手方向と平行に向く向きで、前記配置台上に掛け渡して支持するフィルム支持部を有し、
各前記吹出管は長手方向を前記レールの長手方向と平行に向けられて、前記レールの長手方向に対して直角な方向に並んで配置された請求項１３記載のフィルム搬送処理装置。
【請求項１５】
前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を維持する請求項１２又は請求項１３のいずれか１項記載のフィルム搬送処理装置。
【請求項１６】
前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を切断する請求項１２又は請求項１３のいずれか１項記載のフィルム搬送処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムの皺取り方法、皺取り装置、フィルム搬送処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、フィルム基板は、軽く、柔軟性があるという利点から、タッチパネルや薄膜太陽電池等の様々な用途に用いられている。
帯状フィルムの搬送方法に関しては、下記特許文献１では、グリップフィード方式が開示されている。しかし、この方式ではフィルムを挟み込んで把持するため、把持手段を当然処理面に接触させる必要がある。接触部分は接触時に損傷している可能性があるため、接触部分を処理未使用部分として最終的には切断する必要があり、フィルムの無駄な領域が生まれるという不都合があった。
また、帯状フィルムの川幅方向の端部の一部のみを把持する構成であり、フィルムのたわみにより、配置台上のフィルムに皺が発生することが懸念された。
【０００３】
下記特許文献２では、フィルムに面状にエアを吹き付けて皺を伸ばす方法が開示され、また凹溝によりフィルムの川幅方向にエアの方向性を持たせることが記載されているが（下記特許文献２の段落００３８参照）、実際には、エア導入口からの吹き出しが壁面の凹溝に倣うように吹き出していないため、エアの流れは凹溝の外周部では外周方向に流れるが、外周部より内側の中央部では乱流が発生し、中央部の皺を完全には取り除くことができないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３３５４４３号公報
【特許文献２】特開２０１１−６６０９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、フィルムの皺を完全に取り除くことができるフィルムの皺取り方法、皺取り装置、この皺取り装置を備えたフィルム搬送処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために本発明は、配置台上に押圧対象物であるフィルムを配置し、前記押圧対象物に対向して配置された吹出装置から、前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る皺取り方法であって、前記押圧対象物上の線状の第一の吹き付け位置と、前記第一の吹き付け位置に近接した線状の第二の吹き付け位置とに前記押圧ガスが吹き付けられるように、前記吹出装置の第一、第二の吹出部から前記押圧ガスを吹き出させ、前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出部を移動させる皺取り方法である。
本発明は皺取り方法であって、前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させる際には、前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置には、前記押圧ガスを吹き付ける皺取り方法である。
本発明は皺取り方法であって、前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させる際には、前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置には、前記押圧ガスの吹き付けを停止する皺取り方法である。
本発明は皺取り方法であって、前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させた後、前記配置台の表面に設けられた排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気して、前記押圧対象物の前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置を前記配置台に真空吸着させる皺取り方法である。
本発明は皺取り方法であって、前記第一、第二の吹き付け位置に前記押圧ガスを吹き付ける前に、前記配置台の表面に設けられた排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間の排気を開始し、前記第一、第二の吹き付け位置に前記押圧ガスを吹き付ける際には、前記押圧対象物の前記第一、第二の吹き付け位置を前記配置台に真空吸着させる皺取り方法である。
本発明は、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、を有する皺取り装置であって、前記吹出装置は、前記配置台に対向して配置された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接して配置された第二の吹出管と、前記第一、第二の吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた第一、第二の吹出孔と、前記第一、第二の吹出管に押圧ガスを供給するガス供給部と、前記第一の吹出管と前記第二の吹出管との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出管を移動させる吹出管移動装置と、を有する皺取り装置である。
本発明は、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、を有する皺取り装置であって、前記吹出装置は、前記配置台に対向して一列に並んで配置された複数の吹出管と、各前記吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた吹出孔と、各前記吹出管に前記押圧ガスを供給するガス供給部と、各前記吹出管と前記ガス供給部との間の接続を切り替える切替部と、前記切替部に制御信号を送信して、前記吹出管から選択された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接した第二の吹出管とを前記ガス供給部に接続し、前記第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する制御装置と、を有する皺取り装置である。
本発明は皺取り装置であって、前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を維持する皺取り装置である。
本発明は皺取り装置であって、前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を切断する皺取り装置である。
本発明は皺取り装置であって、前記配置台の表面に設けられた排気孔と、前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、を有する皺取り装置である。
本発明は、台座と、前記台座上に固定されたレールと、前記レール上に配置され、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、前記配置台の表面に設けられた排気孔と、前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、前記配置台を前記レールに沿って移動させる台移動装置と、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、前記吹出装置に対して前記レールの長手方向に離間して配置され、前記配置台上に配置された前記押圧対象物の表面を処理する処理装置と、を有し、前記吹出装置は、前記配置台に対向して配置された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接して配置された第二の吹出管と、前記第一、第二の吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた第一、第二の吹出孔と、前記第一、第二の吹出管に押圧ガスを供給するガス供給部と、前記第一の吹出管と前記第二の吹出管との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出管を移動させる吹出管移動装置と、を有するフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、帯状の前記押圧対象物を、その長手方向が前記レールの長手方向と平行に向く向きで、前記配置台上に掛け渡して支持するフィルム支持部を有し、前記第一、第二の吹出管の長手方向は前記レールの長手方向と平行に向けられており、前記吹出管移動装置は前記第一、第二の吹出管を前記レールの長手方向に対して直角な方向に移動させるフィルム搬送処理装置である。
本発明は、台座と、前記台座上に固定されたレールと、前記レール上に配置され、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、前記配置台の表面に設けられた排気孔と、前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、前記配置台を前記レールに沿って移動させる台移動装置と、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、前記吹出装置に対して前記レールの長手方向に離間して配置され、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面を処理する処理装置と、を有し、前記吹出装置は、前記配置台に対向して一列に並んで配置された複数の吹出管と、各前記吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた吹出孔と、各前記吹出管に前記押圧ガスを供給するガス供給部と、各前記吹出管と前記ガス供給部との間の接続を切り替える切替部と、前記切替部に制御信号を送信して、前記吹出管から選択された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接した第二の吹出管とを前記ガス供給部に接続し、前記第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する制御装置と、を有するフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、帯状の前記押圧対象物を、その長手方向が前記レールの長手方向と平行に向く向きで、前記配置台上に掛け渡して支持するフィルム支持部を有し、各前記吹出管は長手方向を前記レールの長手方向と平行に向けられて、前記レールの長手方向に対して直角な方向に並んで配置されたフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を維持するフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を切断するフィルム搬送処理装置である。
【発明の効果】
【０００７】
押圧対象物上の線状の第一、第二の吹き付け位置に押圧ガスを吹き付けて配置台に押圧しながら、第一の吹き付け位置と第二の吹き付け位置との間を次第に離間させることにより、皺は第一、第二の吹き付け位置の進行方向に押しやられ、第一の吹き付け位置と第二の吹き付け位置との間の位置は皺が取り除かれた状態で配置台の表面に接触される。
【０００８】
本発明のフィルム搬送処理装置では、配置台ごと搬送することにより、処理面となる配置台上の押圧対象物の表面に、搬送による皺を発生させることなく表面処理を行うことができ、表面処理の精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第一例の皺取り装置の概略平面図
【図２】本発明の第一例の皺取り装置の概略側面図
【図３】吹出管移動装置の別例を説明するための図（その１）
【図４】吹出管移動装置の別例を説明するための図（その２）
【図５】（ａ）〜（ｅ）：第一例の皺取り方法を説明するための図
【図６】本発明の第二例の皺取り装置の概略平面図
【図７】本発明の第二例の皺取り装置の概略側面図
【図８】（ａ）〜（ｅ）：第二例の皺取り方法を説明するための図
【図９】各吹出部材の吹出孔の法線が配置台の表面に対して傾けられた構成を説明するための図
【図１０】本発明の第一例のフィルム搬送処理装置の概略側面図
【図１１】本発明の第一例のフィルム搬送処理装置の概略平面図
【図１２】本発明の第二例のフィルム搬送処理装置の概略側面図
【図１３】本発明の第二例のフィルム搬送処理装置の概略平面図
【図１４】本発明の皺取り装置を備えるフィルム搬送処理装置の別例を説明するための図
【図１５】補助排気孔の配置を説明するための図（その１）
【図１６】補助排気孔の配置を説明するための図（その２）
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜第一例の皺取り装置の構造＞
本発明の第一例の皺取り装置の構造を説明する。
図１は第一例の皺取り装置２０ａの概略平面図、図２は同概略側面図である。
【００１１】
第一例の皺取り装置２０ａは、押圧対象物５０であるフィルムが配置される配置台２２と、配置台２２に対向して配置された押圧対象物５０の表面に押圧ガスを吹き付けて、押圧対象物５０を配置台２２に押圧して押圧対象物５０の皺を取る吹出装置３０とを有している。
【００１２】
吹出装置３０は、配置台２２に対向して配置された第一の吹出管３１1と、第一の吹出管３１1に近接して配置された第二の吹出管３１2と、第一、第二の吹出管３１1、３１2の配置台２２に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた第一、第二の吹出孔３２1、３２2と、第一、第二の吹出管３１1、３１2に押圧ガスを供給するガス供給部３４と、第一の吹出管３１1と第二の吹出管３１2との間が次第に離間するように、第一、第二の吹出管３１1、３１2を移動させる吹出管移動装置３３1、３３2とを有している。
【００１３】
本実施形態では、第一、第二の吹出管３１1、３１2は直線状の筒であり、配置台２２の上方に互いに隣接して配置され、それぞれの長手方向は配置台２２の表面に平行で、互いに平行な向きに向けられている。
【００１４】
第一、第二の吹出孔３２1、３２2は、ここでは第一、第二の吹出管３１1、３１2の側面に長手方向に沿って線状に並んで設けられており、それぞれ配置台２２の表面と対向する向きに向けられている。
第一、第二の吹出管３１1、３１2には、第一、第二の吹出管３１1、３１2の内側に押圧ガスを供給するガス供給部３４が接続されている。
【００１５】
ガス供給部３４から第一、第二の吹出管３１1、３１2の内側に押圧ガスが供給されると、供給された押圧ガスは各第一、第二の吹出孔３２1、３２2から第一、第二の吹出管３１1、３１2の長手方向にわたって均等な流量で放出される。
【００１６】
なお、第一、第二の吹出孔３２1、３２2から第一、第二の吹出管３１1、３１2の長手方向にわたって均等な流量で押圧ガスを吹き出すことができるならば、第一、第二の吹出管３１1、３１2は側面が多数の孔を備えるスポンジ状のポーラス材（多孔質材）から成り、第一、第二の吹出孔３２1、３２2はそのポーラス材の孔であってもよい。
【００１７】
吹出管移動装置３３1、３３2はここではモーターを備えており、第一、第二の吹出管３１1、３１2にそれぞれ接続され、第一、第二の吹出管３１1、３１2に、配置台２２の表面と平行で第一、第二の吹出管３１1、３１2の長手方向に対して直角な、互いに逆向きの動力を伝達するように構成されている。
【００１８】
吹出管移動装置３３1、３３2から第一、第二の吹出管３１1、３１2に動力が伝達されると、第一、第二の吹出管３１1、３１2は、配置台２２の表面と平行で第一、第二の吹出管３１1、３１2の長手方向に対して直角な、互いに逆向きの方向に移動され、第一の吹出管３１1と第二の吹出管３１2との間は次第に離間する。
なお、吹出管移動装置３３1、３３2は第一の吹出管３１1と第二の吹出管３１2との間が次第に離間するように、第一、第二の吹出管３１1、３１2を移動できるならば上記構成に限定されない。
【００１９】
図３の符号３５1、３５2は吹出管移動装置の別例を示している。
この吹出管移動装置３５1、３５2はモーターを備えており、第一、第二の吹出管３１1、３１2の長手方向の端部にそれぞれ配置され、第一、第二の吹出管３１1、３１2に、配置台２２の表面に対して直角な回転軸線３６1、３６2を中心とする、互いに逆向きの回転動力を伝達するように構成されている。
【００２０】
吹出管移動装置３５1、３５2から第一、第二の吹出管３１1、３１2に回転動力が伝達されると、図４を参照し、第一、第二の吹出管３１1、３１2は、配置台２２の表面に対して直角な回転軸線３６1、３６2を中心として、互いに逆方向に回転され、第一の吹出管３１1と第二の吹出管３１2との間は次第に離間する。図４の符号３７1、３７2は第一、第二の吹出管３１1、３１2の回転方向を示している。
【００２１】
図２を参照し、本実施形態では、第一例の皺取り装置２０ａは、配置台２２の表面に設けられた排気孔２３と、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間を排気する排気手段２４とを有している。
ここでは配置台２２の表面は多数の孔を備えるスポンジ状のポーラス材から成り、排気孔２３はそのポーラス材の孔である。
【００２２】
排気手段２４は排気孔２３に接続され、排気手段２４を動作させると、排気孔２３から配置台２２と配置台２２上の押圧対象物５０との間が、配置台２２の表面内で均等な流量で排気される。
なお、排気孔２３は、配置台２２と配置台２２上の押圧対象物５０との間を、配置台２２の表面内で均等な流量で排気できるならば、上述の構成に限定されず、配置台２２の表面内に等間隔に配置され、一端の開口が配置台２２の表面に露出する複数の細孔から構成されていてもよい。
【００２３】
＜第一例の皺取り方法＞
本発明の第一例の皺取り方法を、上述の第一例の皺取り装置２０ａを用いて説明する。
図５（ａ）を参照し、ここでは排気手段２４の動作を停止しておき、配置台２２上に押圧対象物５０であるフィルムを配置する。符号５２1、５２2は押圧対象物５０の皺を示している。ここで皺５２1、５２2の下端は配置台２２の表面に接触しているが、不図示の保持手段で押圧対象物５０の端部を保持して、皺５２1、５２2の下端を配置台２２から離間させていてもよい。
第一、第二の吹出管３１1、３１2を互いに近接させておく。
【００２４】
図５（ｂ）を参照し、第一、第二の吹出孔３２1、３２2からの押圧ガスの吹き出しを開始する。
第一、第二の吹出孔３２1、３２2から吹き出された押圧ガスは、押圧対象物５０上の第一、第二の吹出孔３２1、３２2に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2にそれぞれ吹き付けられ、押圧ガスにより第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2は配置台２２に向かって押圧され、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の部分は配置台２２の表面に接触する。
【００２５】
第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2に吹き付けられた押圧ガスは、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺５２1、５２2を外側に向かって押しやり、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置より外側に移動させる。
【００２６】
図５（ｃ）〜（ｅ）を参照し、第一、第二の吹出孔３２1、３２2からの押圧ガスの吹き出しを継続しながら、第一、第二の吹出管３１1、３１2を、配置台２２の表面と平行で第一、第二の吹出管３１1、３１2の長手方向に対して直角な、互いに逆向きの方向に移動させ、第一の吹出管３１1と第二の吹出管３１2との間を次第に離間させる。
【００２７】
第一の吹出管３１1と第二の吹出管３１2との間が次第に離間するに従って、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間が次第に離間し、皺５２1、５２2は第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置より外側に位置する状態を維持しながら、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2の進行方向に向かって押しやられ、移動する。そのため、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置は皺５２1、５２2が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。
【００２８】
第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2を次第に離間させた後、排気手段２４を動作させ、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始する。押圧対象物５０のうち配置台２２の表面に接触する部分は、配置台２２の表面に真空吸着される。以後、真空吸着を継続すると、配置台２２上の押圧対象物５０に皺が発生することが防止される。
【００２９】
上述の説明では、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2を次第に離間させた後、配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始したが、押圧対象物５０のうち配置台２２の表面より外側の端部を不図示の保持手段で保持して、押圧対象物５０の裏面と配置台２２の表面との間に隙間を空けておき、第一、第二の吹出孔３２1、３２2からの押圧ガスの吹き出しを開始する前に、配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始し、以後排気を継続してもよい。
【００３０】
配置台２２と押圧対象物５０との間を排気しながら、第一、第二の吹出孔３２1、３２2から第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2に押圧ガスを吹き付けて押圧すると、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の部分は配置台２２の表面に接触し、接触直後に真空吸着される。
【００３１】
第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間を次第に離間させると、皺５２1、５２2は第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置より外側に位置しながら、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2の進行方向に向かって押しやられ、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置は皺５２1、５２2が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触し、接触直後に真空吸着される。
第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2を次第に離間させた後、真空吸着を継続すると、配置台２２上の押圧対象物５０に皺が発生することが防止される。
【００３２】
＜第二例の皺取り装置の構造＞
本発明の第二例の皺取り装置の構造を説明する。
図６は第二例の皺取り装置２０ｂの概略平面図、図７は同概略側面図である。
【００３３】
第二例の皺取り装置２０ｂの構造のうち、第一例の皺取り装置２０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第二例の皺取り装置２０ｂは、第一例の皺取り装置２０ａの吹出装置３０とは異なる構造の吹出装置４０を有している。
【００３４】
この吹出装置４０は、配置台２２に対向して一列に並んで配置された複数の吹出管４１1〜４１8と、各吹出管４１1〜４１8の配置台２２に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた吹出孔４２と、各吹出管４１1〜４１8に押圧ガスを供給するガス供給部４４と、各吹出管４１1〜４１8とガス供給部４４との間の接続を切り替える切替部４３と、切替部４３に制御信号を送信して、符号４１1〜４１8の吹出管から選択された第一の吹出管と、第一の吹出管に近接した第二の吹出管とをガス供給部４４に接続し、第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各吹出管４１1〜４１8をガス供給部４４に順次接続する制御装置４５とを有している。
【００３５】
本実施形態では、各吹出管４１1〜４１8は直線状の筒であり、配置台２２の上方に互いに隣接して一列に並んで配置され、それぞれの長手方向は配置台２２の表面に平行で、互いに平行な向きに向けられている。
吹出孔４２は、ここでは各吹出管４１1〜４１8の側面に長手方向に沿って線状に並んで設けられており、それぞれ配置台２２の表面と対向する向きに向けられている。
【００３６】
切替部４３は、開閉可能な複数のバルブ４６を有しており、各吹出管４１1〜４１8はそれぞれ異なるバルブ４６を介してガス供給部４４に接続されている。
バルブ４６にはここでは電磁バルブが用いられているが、シーケンスバルブ又はチェック弁等が用いられてもよい。
【００３７】
各吹出管４１1〜４１8は、それぞれバルブ４６が開状態にされるとガス供給部４４に接続され、バルブ４６が閉状態にされるとガス供給部４４から切断される。
各吹出管４１1〜４１8がガス供給部４４に接続されると、ガス供給部４４から吹出管４１1〜４１8の内側に押圧ガスが供給され、供給された押圧ガスは吹出孔４２から吹出管４１1〜４１8の長手方向にわたって均等な流量で放出される。
【００３８】
なお、吹出孔４２から吹出管４１1〜４１8の長手方向にわたって均等な流量で押圧ガスを吹き出すことができるならば、吹出管４１1〜４１8は側面が多数の孔を備えるスポンジ状のポーラス材（多孔質材）から成り、吹出孔４２はそのポーラス材の孔であってもよい。
【００３９】
制御装置４５は切替部４３に接続され、切替部４３に制御信号を送信して、符号４１1〜４１8の吹出管から選択された第一の吹出管と、第一の吹出管に近接した第二の吹出管とをガス供給部４４に接続し、第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各吹出管４１1〜４１8をガス供給部４４に順次接続するように構成されている。
【００４０】
例えば、制御装置４５は、符号４１4、４１5の吹出管を第一、第二の吹出管に選択し、ガス供給部４４に、まず符号４１4、４１5の吹出管を接続し、次に符号４１3、４１6の吹出管を接続し、次に符号４１2、４１7の吹出管を接続し、次に符号４１1、４１8の吹出管を接続する。
【００４１】
第一、第二の吹出管４１4、４１5から次第に離間する順序で、各吹出管４１1〜４１8をガス供給部４４に順次接続するに従って、押圧対象物５０上の押圧ガスが吹き付けられる線状の第一の吹き付け位置と第二の吹き付け位置との間は次第に離間する。
【００４２】
本実施形態では、制御装置４５は、各吹出管４１1〜４１8をガス供給部４４に順次接続する際には、既にガス供給部４４に接続された吹出管４１1〜４１8の接続を維持するように構成されているが、各吹出管４１1〜４１8をガス供給部４４に順次接続する際には、既にガス供給部４４に接続された吹出管４１1〜４１8の接続を切断するように構成されていてもよい。
【００４３】
＜第二例の皺取り方法＞
本発明の第二例の皺取り方法を、上述の第二例の皺取り装置２０ｂを用いて説明する。
図８（ａ）を参照し、ここでは排気手段２４の動作を停止しておき、配置台２２上に押圧対象物５０であるフィルムを配置する。符号５２1、５２2は押圧対象物５０の皺を示している。ここで皺５２1、５２2の下端は配置台２２の表面に接触しているが、不図示の保持手段で押圧対象物５０の端部を保持して、皺５２1、５２2の下端を配置台２２から離間させていてもよい。
【００４４】
図８（ｂ）を参照し、符号４１1〜４１8の吹出管から第一、第二の吹出管を選択する。第一、第二の吹出管は、吹出管４１1〜４１8の列の中央に近いものの方が、接続の切替回数を少なくできるため好ましく、ここでは符号４１4、４１5の吹出管を第一、第二の吹出管に選択する。
【００４５】
符号４１1〜４１8の吹出管から選択された第一の吹出管４１4と、第一の吹出管４１4に近接した第二の吹出管４１5とをガス供給部４４に接続し、それぞれの吹出孔４２から押圧ガスを吹き出させる。
【００４６】
第一、第二の吹出管４１4、４１5の吹出孔４２から吹き出された押圧ガスは、押圧対象物５０上の第一、第二の吹出管４１4、４１5に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2にそれぞれ吹き付けられ、押圧ガスにより第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2は配置台２２に向かって押圧され、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の部分は配置台２２の表面に接触する。
【００４７】
第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2に吹き付けられた押圧ガスは、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺５２1、５２2を外側に向かって押しやり、次に接続される符号４１3の吹出管と符号４１6の吹出管との間の位置より外側に移動させる。
【００４８】
図８（ｃ）を参照し、既にガス供給部４４に接続された吹出管４１4、４１5の接続を維持しながら、符号４１3、４１6の吹出管をガス供給部４４に接続し、それぞれの吹出孔４２から押圧ガスを吹き出させる。
【００４９】
符号４１3、４１6の吹出管の吹出孔４２から吹き出された押圧ガスは、押圧対象物５０上の符号４１3、４１6の吹出管に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2にそれぞれ吹き付けられ、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺５２1、５２2を外側に向かって押しやり、次に接続される符号４１2の吹出管と符号４１7の吹出管との間の位置より外側に移動させる。第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置は皺５２1、５２2が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。
【００５０】
図８（ｄ）を参照し、既にガス供給部４４に接続された吹出管４１3〜４１6の接続を維持しながら、符号４１2、４１7の吹出管をガス供給部４４に接続し、それぞれの吹出孔４２から押圧ガスを吹き出させる。
【００５１】
符号４１2、４１7の吹出管の吹出孔４２から吹き出された押圧ガスは、押圧対象物５０上の符号４１2、４１7の吹出管に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2にそれぞれ吹き付けられ、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺５２1、５２2を外側に向かって押しやり、次に接続される符号４１1の吹出管と符号４１8の吹出管との間の位置より外側に移動させる。第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置は皺５２1、５２2が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。
【００５２】
図８（ｅ）を参照し、既にガス供給部４４に接続された吹出管４１2〜４１7の接続を維持しながら、符号４１1、４１8の吹出管をガス供給部４４に接続し、それぞれの吹出孔４２から押圧ガスを吹き出させる。
【００５３】
符号４１1、４１8の吹出管の吹出孔４２から吹き出された押圧ガスは、押圧対象物５０上の符号４１1、４１8の吹出管に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2にそれぞれ吹き付けられ、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺５２1、５２2を外側に向かって押しやり、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置は皺５２1、５２2が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。
【００５４】
すなわち、図８（ｂ）〜（ｅ）を参照し、第一、第二の吹出管４１4、４１5から次第に離間する順序で、各吹出管４１1〜４１8をガス供給部４４に順次接続するに従って、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間が次第に離間し、皺５２1、５２2は第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置より外側に位置する状態を維持しながら、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2の進行方向に向かって押しやられ、移動する。そのため、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置は皺５２1、５２2が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。
【００５５】
なお、図７の図面上では、各吹出管４１1〜４１8の吹出孔４２の法線は配置台２２の表面に対して直角に向けられていたが、図９を参照し、第一、第二の吹出管４１4、４１5から離間する向きに傾けられていてもよい。この構成では、各吹出管４１1〜４１8の吹出孔４２から吹き出された押圧ガスには、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2の進行方向と同じ向きの運動量が付与され、皺５２1、５２2を第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2の進行方向に向かって押しやる力が増加する。そのため、各吹出管４１1〜４１8をガス供給部４４に順次接続する際に、皺５２1、５２2を次に接続される二本の吹出管の間の位置より外側に移動させるまでの時間が短縮され、接続の切替速度を上げることができる。
【００５６】
ここでは各吹出管４１1〜４１8をガス供給部４４に順次接続する際には、既にガス供給部に接続された吹出管の接続を維持しており、すなわち第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2を次第に離間させる際には、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置には、押圧ガスを吹き付けている。そのため、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の部分と、配置台２２の表面との接触状態は確実に維持され、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2が通過した部分に新たに皺が発生することが防止される。
【００５７】
排気手段２４を動作させ、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間を排気する。押圧対象物５０のうち配置台２２の表面に接触する部分は、配置台２２の表面に真空吸着される。以後、真空吸着を継続すると、配置台２２上の押圧対象物５０に皺が発生することが防止される。
【００５８】
上述の説明では、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間を次第に離間させた後、配置台２２と押圧対象物５０との間を排気したが、押圧対象物５０のうち配置台２２の表面より外側の端部を不図示の保持手段で保持して、押圧対象物５０の裏面と配置台２２の表面との間に隙間を空けておき、第一、第二の吹出管４１4、４１5からの押圧ガスの吹き出しを開始する前に、配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始し、以後排気を継続してもよい。
【００５９】
配置台２２と押圧対象物５０との間を排気しながら、第一、第二の吹出管４１4、４１5から第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2に押圧ガスを吹き付けて押圧すると、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の部分は配置台２２の表面に接触し、接触直後に真空吸着される。
【００６０】
第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間を次第に離間させると、皺５２1、５２2は第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置より外側に位置しながら、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2の進行方向に向かって押しやられ、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置は皺５２1、５２2が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触し、接触直後に真空吸着される。
第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2を次第に離間させた後、真空吸着を継続すると、配置台２２上の押圧対象物５０に皺が発生することが防止される。
【００６１】
なお、各吹出管４１1〜４１8をガス供給部４４に順次接続する際には、既にガス供給部４４に接続された吹出管の接続を切断し、すなわち第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2を次第に離間させる際には、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置には、押圧ガスの吹き付けを停止してもよい。この方法は、上述したように第一、第二の吹出管４１4、４１5からの押圧ガスの吹き出しを開始する前に配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始して、押圧対象物５０上の第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2を配置台２２に接触させた直後に真空吸着したり、又は押圧対象物５０の形状復元力が弱くて一度接触させた部分が配置台２２から離間するおそれがない場合に特に有効であり、押圧ガスの消費量を低減できるという利点がある。
【００６２】
＜第一例のフィルム搬送処理装置＞
上述の第一例の皺取り装置２０ａを備える第一例のフィルム搬送処理装置の構造を説明する。
図１０は第一例のフィルム搬送処理装置１０ａの概略側面図、図１１は同概略平面図である。
【００６３】
第一例のフィルム搬送処理装置１０ａは、台座２１と、台座２１上に固定されたレール２６と、レール２６上に配置され、押圧対象物５０であるフィルムが配置される配置台２２と、配置台２２の表面に設けられた排気孔２３と、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間を排気する排気手段２４と、配置台２２をレール２６に沿って移動させる台移動装置２７と、配置台２２に対向して配置された押圧対象物５０の表面に押圧ガスを吹き付けて、押圧対象物５０を配置台２２に押圧して押圧対象物５０の皺を取る吹出装置３０と、吹出装置３０に対してレール２６の長手方向に離間して配置され、配置台２２に対向して配置された押圧対象物５０の表面を処理する処理装置５５とを有している。
第一例のフィルム搬送処理装置２０ａの構造のうち、第一例の皺取り装置２０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
【００６４】
レール２６はここでは直線形状であり、台座２１の表面と平行に向けられて、台座２１上に固定されている。
台移動装置２７は、ここではラックと、ラックの歯と噛み合うピニオン（歯車）と、ピニオンに回転動力を伝達するモーターとを備えている。
【００６５】
ラックはレール２６上に長手方向に沿って設けられ、ピニオンは配置台２２のレール２６と対向する部分に取り付けられており、モーターからピニオンに回転動力が伝達されると、ピニオンはラックの歯と噛み合いながらレール２６の長手方向に沿って移動され、配置台２２はピニオンと一緒にレール２６の長手方向に沿って移動される。
なお、台移動装置２７は、配置台２２をレール２６に沿って移動できるならば上述のラック・アンド・ピニオン機構に限定されず、例えばボールネジやリニアモーターであってもよい。
【００６６】
吹出装置３０と処理装置５５とは、配置台２２の上方にレール２６の長手方向に沿って並んで配置されている。
処理装置５５はここでは露光装置であるが、押圧対象物５０の表面を処理できるならば露光装置に限定されず、例えばインクジェット装置でもよい。
【００６７】
本実施形態では、第一例のフィルム搬送処理装置１０ａは、帯状の押圧対象物５０を、その長手方向がレール２６の長手方向と平行に向く向きで、配置台２２上に掛け渡して支持するフィルム支持部１１ａ、１１ｂを有しており、吹出装置３０の第一、第二の吹出管３１1、３１2の長手方向はレール２６の長手方向と平行に向けられ、吹出管移動装置３３1、３３2は第一、第二の吹出管３１1、３１2をレール２６の長手方向に対して直角な方向に移動させるように構成されている。
【００６８】
フィルム支持部１１ａ、１１ｂは、第一、第二のボビン１２ａ、１２ｂと、第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂと、第一〜第四の補助ローラ１４1〜１４4とを有している。
ここでは、第一のボビン１２ａと第一のダンサー機構１３ａと第一、第二の補助ローラ１４1、１４2とはレール２６の長手方向の一端より外側に配置され、第二のボビン１２ｂと第二のダンサー機構１３ｂと第三、第四の補助ローラ１４3、１４4とはレール２６の長手方向の他端より外側に配置されている。第一、第二のボビン１２ａ、１２ｂの中心軸線と第一〜第四の補助ローラ１４1〜１４4の中心軸線はそれぞれレール２６の長手方向に対して直角で配置台２２の表面と平行な向きに向けられている。
【００６９】
第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂは、ここではエアーダンサーであり、不図示の排気ポンプが接続されている。排気ポンプを動作させると、第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂ内が減圧され、第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂ内の押圧対象物５０には、大気圧との差圧による引っ張り力がそれぞれ発生する。
【００７０】
第一例のフィルム搬送処理装置１０ａの使用方法を説明する。
（準備工程）
長手方向の一端を中心にロール状に巻かれた帯状の押圧対象物５０のロールの中心に第一のボビン１２ａを挿入する。そしてロールの外周から押圧対象物５０の端部を引き出し、第一の補助ローラ１４1に掛け渡した後、第一のダンサー機構１３ａを通して、第二の補助ローラ１４2に掛け渡し、次いで配置台２２上に掛け渡し、第三の補助ローラ１４3に掛け渡した後、第二のダンサー機構１３ｂを通して、第四の補助ローラ１４4に掛け渡し、第二のボビン１２ｂに巻き付ける。
【００７１】
第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂの動作を開始する。第一のダンサー機構１３ａ内の押圧対象物５０と、第二のダンサー機構１３ｂ内の押圧対象物５０には、大気圧との差圧による引っ張り力がそれぞれ発生し、その二力によって、第二の補助ローラ１４2と第三の補助ローラ１４3との間の押圧対象物５０はレール２６に沿って直線状に張られる。
ここでは、第二、第三の補助ローラ１４2、１４3の上端の高さは配置台２２の表面の高さより高くされ、配置台２２の表面と押圧対象物５０の裏面との間には隙間が空けられている。
【００７２】
第二の補助ローラ１４2と第三の補助ローラ１４3との間の押圧対象物５０には川幅方向の力が発生しておらず、配置台２２上の押圧対象物５０には長手方向に沿った皺が発生するおそれがある。
【００７３】
（皺取り工程）
配置台２２を移動させ、吹出装置３０と対向する位置に静止させる。
上述の第一例の皺取り方法を行って、図５（ａ）〜（ｅ）を参照し、第一、第二の吹出孔３２1、３２2から押圧ガスを吹き出させながら、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間が次第に離間するように、第一、第二の吹出管３１1、３１2を移動させる。
【００７４】
本実施形態では、吹出装置３０の第一、第二の吹出管３１1、３１2の長手方向はレール２６の長手方向と平行に向けられ、吹出管移動装置３３1、３３2は第一、第二の吹出管３１1、３１2をレール２６の長手方向に対して直角な方向に移動させるように構成されており、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2に吹き付けられた押圧ガスは、押圧対象物５０の川幅方向端部に向かって流れやすく、押圧対象物５０の長手方向に向かって流れることは抑制され、押圧対象物５０が押圧ガスに押されて長手方向に位置ズレすることが防止される。
【００７５】
第一の吹出管３１1と第二の吹出管３１2との間が次第に離間するに従って、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間が次第に離間し、皺５２1、５２2は第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置より外側に位置する状態を維持しながら、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2の進行方向、すなわち押圧対象物５０の川幅方向端部に向かって押しやられ、移動する。そのため、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置は皺５２1、５２2が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。
【００７６】
第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2を次第に離間させた後、排気手段２４を動作させ、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始し、配置台２２上の押圧対象物５０を真空吸着させる。
【００７７】
なお、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2に押圧ガスを吹き付ける前に、配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始して、押圧対象物５０の第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置を配置台２２の表面に真空吸着させながら、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間が次第に離間するように移動させて、配置台２２上の押圧対象物５０から皺５２1、５２2を取り除いてもよい。
【００７８】
（搬送工程）
図１０、１１を参照し、配置台２２上の押圧対象物５０を配置台２２の表面に真空吸着させた後、真空吸着を維持しながら、配置台２２をレール２６に沿って移動させると、第二の補助ローラ１４2と第三の補助ローラ１４3との間の押圧対象物５０は配置台２２と一緒にレール２６に沿って搬送される。
【００７９】
配置台２２上の押圧対象物５０は配置台２２に面で真空吸着されており、搬送中に、配置台２２上の押圧対象物５０に皺が発生することはない。
また、配置台２２は押圧対象物５０の裏面に接触し、表面には接触しておらず、搬送により押圧対象物５０の表面が損傷することはない。
配置台２２を処理装置５５と対向する位置で静止させる。配置台２２上の押圧対象物５０は処理装置５５と対向する。
【００８０】
（処理工程）
処理装置５５を動作させて、配置台２２上の押圧対象物５０の表面を処理する。配置台２２上の押圧対象物５０からは皺が取り除かれており、表面処理の精度が向上する。
【００８１】
配置台２２上の押圧対象物５０を表面処理した後、排気手段２４を停止して、真空吸着を解消する。押圧対象物５０の弾性力により、配置台２２上の押圧対象物５０は配置台２２の表面から離間する。
【００８２】
配置台２２をレール２６に沿って移動させ、吹出装置３０と対向する位置で静止させ、上述の皺取り工程と搬送工程と処理工程とを順に繰り返すと、押圧対象物５０は長手方向に沿って順次表面処理される。
【００８３】
＜第二例のフィルム搬送処理装置＞
上述の第二例の皺取り装置２０ｂを備える第二例のフィルム搬送処理装置の構造を説明する。
図１２は第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂの概略側面図、図１３は同概略平面図である。
【００８４】
第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂは、台座２１と、台座２１上に固定されたレール２６と、レール２６上に配置され、押圧対象物５０であるフィルムが配置される配置台２２と、配置台２２の表面に設けられた排気孔２３と、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間を排気する排気手段２４と、配置台２２をレール２６に沿って移動させる台移動装置２７と、配置台２２に対向して配置された押圧対象物５０の表面に押圧ガスを吹き付けて、押圧対象物５０を配置台２２に押圧して押圧対象物５０の皺を取る吹出装置４０と、吹出装置４０に対してレール２６の長手方向に離間して配置され、配置台２２に対向して配置された押圧対象物５０の表面を処理する処理装置５５とを有している。
【００８５】
第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂの構造のうち、第一例のフィルム搬送処理装置１０ａ又は第二例の皺取り装置２０ｂの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
なお、図１２の図面上では、吹出装置４０の符号４１2〜４１8の吹出管は符号４１1の吹出管の裏側に位置し、図示を省略されている。
【００８６】
本実施形態では、第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂは、帯状の押圧対象物５０を、その長手方向がレール２６の長手方向と平行に向く向きで、配置台２２上に掛け渡して支持するフィルム支持部１１ａ、１１ｂを有しており、各吹出管４１1〜４１8の長手方向はレール２６の長手方向と平行に向けられている。
【００８７】
第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂの使用方法を説明する。
第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂの使用方法は、第一例のフィルム搬送処理装置１０ａの使用方法と皺取り工程以外は同じであり、以下では皺取り工程を説明し、他の工程の説明を省略する。
【００８８】
（皺取り工程）
配置台２２を移動させ、吹出装置４０と対向する位置で静止させる。
上述の第二例の皺取り方法を行って、図８（ａ）〜（ｅ）を参照し、吹出管４１1〜４１8から選択された第一の吹出管４１4と、第一の吹出管４１4に近接した第二の吹出管４１5とをガス供給部４４に接続し、それぞれの吹出孔４２から押圧ガスを吹き出させた後、第一、第二の吹出管４１4、４１5から次第に離間する順序で、各吹出管４１1〜４１8をガス供給部４４に順次接続して、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間を次第に離間させる。
【００８９】
本実施形態では、各吹出管４１1〜４１8の長手方向はレール２６の長手方向と平行に向けられており、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2に吹き付けられた押圧ガスは、押圧対象物５０の川幅方向端部に向かって流れやすく、押圧対象物５０の長手方向に向かって流れることは抑制され、押圧対象物５０が押圧ガスに押されて長手方向に位置ズレすることが防止される。
【００９０】
第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間が次第に離間するに従って、皺５２1、５２2は第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置より外側に位置する状態を維持しながら、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2の進行方向、すなわち押圧対象物５０の川幅方向端部に向かって押しやられ、移動する。そのため、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置は皺５２1、５２2が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。
【００９１】
第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2を次第に離間させた後、排気手段２４を動作させ、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始し、配置台２２上の押圧対象物５０を真空吸着させる。
【００９２】
なお、第一、第二の吹き付け位置５１1、５１2に押圧ガスを吹き付ける前に、配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始して、押圧対象物５０の第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間の位置を配置台２２の表面に真空吸着させながら、第一の吹き付け位置５１1と第二の吹き付け位置５１2との間が次第に離間するように移動させて、配置台２２上の押圧対象物５０から皺５２1、５２2を取り除いてもよい。
【００９３】
なお、上述の第一、第二例のフィルム搬送処理装置１０ａ、１０ｂは、配置台２２をレール２６に沿って移動させる台移動装置２７を備えていたが、本発明の第一、第二例の皺取り装置２０ａ、２０ｂを備えるフィルム搬送処理装置は、上記構成に限定されず、図１４を参照し、台移動装置２７が省略され、配置台２２の外側に配置され、押圧対象物５０を吸着する吸着フレーム６２と、吸着フレーム６２の表面に設けられた補助排気孔６３と、補助排気孔６３から吸着フレーム６２と押圧対象物５０との間を排気する補助排気手段６４と、吸着フレーム６２をレール２６に沿って移動させるフレーム移動装置６７とを備える構成であってもよい。なお、図１４では符号３０の吹出装置が図示されているが、符号４０の吹出装置であってもよい。
補助排気孔６３と補助排気手段６４とフレーム移動装置６７の構造は、排気孔２３と排気手段２４と台移動装置２７の構造とそれぞれ同じであり、説明を省略する。
【００９４】
図１５は、配置台２２と吸着フレーム６２の概略平面図である。補助排気孔６３は、吸着フレーム６２の押圧対象物５０と対向する表面のうち、少なくとも帯状の押圧対象物５０の川幅方向の一端と他端とに対向する位置にそれぞれ設けられている。
【００９５】
なお、補助排気孔６３は押圧対象物５０の川幅方向の一端と他端とに対向できるならば、図１５に示すように、押圧対象物５０の長手方向に沿った線状部分に設けられた構成に限定されず、図１６に示すように、四角形の４つの頂点に当たる点状部分に設けられていてもよい。
【００９６】
第一、第二例の皺取り方法を行う際には、排気手段２４と補助排気手段６４とを動作させると、配置台２２と吸着フレーム６２の表面には、皺が取り除かれた押圧対象物５０が真空吸着される。
次いで、補助排気手段６４の動作を継続し、吸着フレーム６２と押圧対象物５０との間の真空吸着を維持しながら、排気手段２４の動作を停止し、配置台２２と押圧対象物５０との間の真空吸着を解消する。
【００９７】
次いで、配置台２２をレール２６に対して静止させながら、吸着フレーム６２をレール２６に沿って移動させると、吸着フレーム６２の内側の押圧対象物５０は吸着フレーム６２と一緒にレール２６に沿って搬送される。
【００９８】
吸着フレーム６２の内側の押圧対象物５０は、川幅方向の一端と他端とを吸着フレーム６２の表面にそれぞれ真空吸着されており、搬送中に、皺が発生することが抑制される。
ただし、押圧対象物５０の厚みが薄く、皺が発生しやすい場合には、配置台２２の表面に面で真空吸着させながら、配置台２２ごと移動させる構成の方が、配置台２２上の押圧対象物５０に皺が発生することを確実に防止できて好ましい。
【００９９】
なお、上述の説明では配置台２２の表面の法線は鉛直上向きに向けられていたが、吹出装置３０、４０が配置台２２の表面と対向して配置されるならば、本発明はこれに限定されず、配置台２２の表面の法線が鉛直下向きに向けられていてもよいし、鉛直方向に対して所定角度傾けられていてもよい。
【符号の説明】
【０１００】
１０ａ、１０ｂ……フィルム搬送処理装置
１１ａ、１１ｂ……フィルム支持部
２１……台座
２２……配置台     
２３……排気孔
２４……排気手段
２６……レール
３０、４０……吹出装置
３１1、３１2……第一、第二の吹出管
３２1、３２2……第一、第二の吹出孔
３３1、３３2……吹出管移動装置
４１1〜４１8……吹出管
４２……吹出孔
４３……切替部
４４……ガス供給部
４５……制御装置
５０……押圧対象物
５１1、５１2……第一、第二の吹き付け位置
５２1、５２2……皺
５５……処理装置 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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