(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンゾーン内に、そのクリーンゾーン内の空気を排気する排気用フィルタユニットが多数設置された排気用フィルタユニット群のフィルタ検査システムにおいて、
各排気用フィルタユニット内に、プローブスキャンニング装置を着脱自在に支持するようになし、排気用フィルタユニット群のうち少なくとも一台にプローブスキャンニング装置を設置しておき、各排気用フィルタユニットに、リーク検査装置のエアロゾル吸入用のチューブと上記プローブスキャンニング装置を駆動するケーブルと接続するコネクタを設け、
他の排気用フィルタユニットのフィルタリーク検査を行う際に、上記プローブスキャンニング装置を他の排気用フィルタユニット内に移し替え、移し替えた排気用フィルタユニットの上記コネクタに上記リーク検査装置のチューブとケーブルを接続し、上記排気用フィルタユニットのケーシング内の高性能フィルタの上流側からエアロゾルを流してフィルタリーク検査を行うようにしたことを特徴とする排気用フィルタユニット群のフィルタ検査システム。
【請求項２】
ケーシング内に高性能フィルタが設けられ、その高性能フィルタを設けたケーシングの下部に吸込口が設けられ、ケーシングの上部に排気ダクトが設けられた排気用フィルタユニットにおいて、高性能フィルタの上部のケーシング前面に、プローブスキャンニング装置を出し入れする開閉蓋が設けられると共にケーシング内の両側に、プローブスキャンニング装置に設けたローラを介してプローブスキャンニング装置を支持する支持レールを設け、上記ローラは、プローブスキャンニング装置の四隅に設けた支持脚の下部に回転自在に、かつ上記ローラの下部がプローブスキャンニング装置のプローブの位置より低くなるよう設けられ、上記支持レールには、上記ローラと係合する位置決め溝が形成されたことを特徴とする排気用フィルタユニット。
【請求項３】
ケーシングには、リーク検査装置のエアロゾル吸入用のチューブと上記プローブスキャンニング装置を駆動するケーブルと接続するコネクタが設けられ、
プローブスキャンニング装置には、プローブスキャンニング装置の駆動モータと接続された電源コネクタとプローブスキャンニング装置のプローブと接続されたチューブコネクタが設けられ、
上記プローブスキャンニング装置の上記電源コネクタと上記チューブコネクタとが、内側電源ケーブルと内側チューブを介して上記ケーシング側のコネクタに接続される請求項２記載の排気用フィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薬品工場等のクリーンゾーンに設置されている排気用フィルタユニット群のフィルタ検査システム及び排気用フィルタユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームは、建屋内で閉鎖したクリーンゾーン内に高性能フィルタ（ＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ）を通して清浄空気を送り込み、排気経路から流出する空気を一部排気すると共にその排気量に応じた外気を取り込み、これを空調機で設定温度に空調した後、再度クリーンゾーンに循環する給排気システムが採用されている。
【０００３】
しかし、近年は、バイオ・ケミカルハザード防止対策として、クリーンゾーンに供給した空気を高性能フィルタを通して排気するバイオハザードルームとすることが、抗ガン剤、ホルモン剤、高生理活性製剤などを製造する薬品工場では多く採用されている。
【０００４】
このバイオ・ケミカルハザードルームにおいては、製造設備が設置されるクリーンゾーンの天井面に高性能フィルタを配置し、そのクリーンゾーンの床面に製造設備を取り囲むように排気用フィルタユニットを多数配置し、天井面の高性能フィルタから清浄空気をクリーンゾーンに流し、その空気を各排気用フィルタユニットで吸引し、製造設備でクリーンゾーンに飛散した医薬品などの微粒子を、排気用フィルタユニットで捕集して空気を清浄化し、その清浄化した排気空気を建屋外に排気、また一部は空調機に戻して循環するようにしている。
【０００５】
ところで、排気用フィルタユニットの安全性の担保は、従来では、各排気用フィルタユニットから排気され、合流された空気中の微粒子を検査する総合捕集効率だけでは不十分であり、クリーンルームの高性能フィルタのリーク検査と同様に、排気用フィルタユニット内の高性能フィルタのリーク検査を個々に行う必要が高まってきている。
【０００６】
従来、特許文献１〜３に示されるように高性能フィルタの上流側からリーク検出用のエアロゾルを流し、高性能フィルタの下流側で検査プローブを、手動又は自動でフィルタ面上でスキャンニングさせ、検査プローブで吸い込んだ空気中のエアロゾルの有無を検査装置で検出して、フィルタリークの有無を検出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭６３−２３２８１６号公報
【特許文献２】特開平０８−１１０２９４号公報
【特許文献３】特開２００２−２１４１１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、排気用フィルタユニットは、製造設備の１ラインで３０台以上のこともあり、このフィルタリーク検査を手動で行っていたのでは、多大な労力を要する問題がある。また特許文献２のようにフィルタユニット内に予めリーク検査用のスキャンニングプローブ装置を設置しておけば、リーク検査を自動で行えるものの、フィルタユニット毎にスキャンニングプローブ装置を設置していたのでは、そのコストが膨大になる問題がある。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、予め排気用フィルタユニット内にスキャンニングプローブ装置を設置しなくても個々の排気用フィルタユニットのリーク検査を行える排気用フィルタユニット群のフィルタ検査システム及び排気用フィルタユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために請求項１の発明は。クリーンゾーン内に、そのクリーンゾーン内の空気を排気する排気用フィルタユニットが多数設置された排気用フィルタユニット群のフィルタ検査システムにおいて、各排気用フィルタユニット内に、プローブスキャンニング装置を着脱自在に支持するようになし、排気用フィルタユニット群のうち少なくとも一台にプローブスキャンニング装置を設置しておき、各排気用フィルタユニットに、リーク検査装置のエアロゾル吸入用のチューブと上記プローブスキャンニング装置を駆動するケーブルと接続するコネクタを設け、他の排気用フィルタユニットのフィルタリーク検査を行う際に、上記プローブスキャンニング装置を他の排気用フィルタユニット内に移し替え、移し替えた排気用フィルタユニットの上記コネクタに上記リーク検査装置のチューブとケーブルを接続し、上記排気用フィルタユニットのケーシング内の高性能フィルタの上流側からエアロゾルを流してフィルタリーク検査を行うようにしたことを特徴とする排気用フィルタユニット群のフィルタ検査システムである。
【００１２】
請求項２の発明は、ケーシング内に高性能フィルタが設けられ、その高性能フィルタを設けたケーシングの下部に吸込口が設けられ、ケーシングの上部に排気ダクトが設けられた排気用フィルタユニットにおいて、高性能フィルタの上部のケーシング前面に、プローブスキャンニング装置を出し入れする開閉蓋が設けられると共にケーシング内の両側に、プローブスキャンニング装置に設けたローラを介してプローブスキャンニング装置を支持する支持レールを設け、上記ローラは、プローブスキャンニング装置の四隅に設けた支持脚の下部に回転自在に、かつ上記ローラの下部がプローブスキャンニング装置のプローブの位置より低くなるよう設けられ、上記支持レールには、上記ローラと係合する位置決め溝が形成されたことを特徴とする排気用フィルタユニットである。
【００１４】
請求項３の発明は、ケーシングには、リーク検査装置のエアロゾル吸入用のチューブと上記プローブスキャンニング装置を駆動するケーブルと接続するコネクタが設けられ、プローブスキャンニング装置には、プローブスキャンニング装置の駆動モータと接続された電源コネクタとプローブスキャンニング装置のプローブと接続されたチューブコネクタが設けられ、上記プローブスキャンニング装置の上記電源コネクタと上記チューブコネクタとが、内側電源ケーブルと内側チューブを介して上記ケーシング側のコネクタに接続される請求項２記載の排気用フィルタユニットである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、各排気用フィルタユニット内に、プローブスキャンニング装置を着脱自在に支持するようになし、排気用フィルタユニット群のうち少なくとも一台にプローブスキャンニング装置を設置し、これを移し替えることで全ての排気用フィルタユニットのフィルタリーク検査が行えるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明において、クリーンゾーンに設置された排気用フィルタユニット群を示す図である。
【図２】本発明において、排気用フィルタユニット内にスキャンニングプローブ装置を設置してフィルタリーク検査を行う状態を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は左側面図である。
【図３】本発明にいて、排気用フィルタユニット内に設置するスキャンニングプローブ装置の詳細斜視図である。
【図４】図３の平面図である。
【図５】図３の左側面図である。
【図６】図３の正面図である。
【図７】（ａ）が図６の一部拡大正面図、（ｂ）は支持レールの平面図、（ｃ）は支持レールの支持桟への取付と、支持レールとローラの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な一実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００１８】
先ず、建屋内に区画形成されるバイオ・ケミカルクリーンルームを図１により説明する。
【００１９】
図１において、１０は、医薬品等の製造設備１１が設置されるクリーンゾーンで、床面１０ｆ上の製造設備１１を囲むように周囲が仕切壁１２で仕切られて形成され、その天井面１０ｃには、ＨＥＰＡやＵＬＰＡなどの高性能フィルタ１３が設けられた給気ボックス１４が多数設置される。クリーンゾーン１０を区画する仕切壁１２には、クリーンゾーン１０内の空気を排気する排気用フィルタユニット１５が、仕切壁１２の面に沿って多数埋め込まれた状態で設置されて排気用フィルタユニット群１６が構成される。
【００２０】
排気用フィルタユニット１５は、詳細は後述するが前面下部に吸込口１７が設けられ、上部に排気ダクト１８が設けられる。各排気ダクト１８は、仕切壁１２外に位置し、仕切壁１２外に設けた共通ダクト１９に接続され、その共通ダクト１９がクリーンゾーン１０外に設置された空調機２０の吸込側に接続される。この共通ダクト１９には、排気用フィルタユニット群１６から排気された空気の一部を建屋外に排気する排気ライン２１が接続され、その排気ライン２１に、安全性を担保するための高性能フィルタ２７が接続されると共に、その下流側に排気量を調節する排気ダンパ２２が接続される。
【００２１】
空調機２０には、外気導入ライン２３が接続され、外気導入ライン２３には吸気調整ダンパ２４が接続される。空調機２０は、共通ダクト１９と外気導入ライン２３からの空気を設定温度に空調し、これを給気ダクト２５を介して各給気ボックス１４に供給する。
【００２２】
このバイオ・ケミカルクリーンルームにおいては、空調機２０で設定温度に空調された空気が給気ダクト２５を通して給気ボックス１４内に供給され、給気ボックス１４から高性能フィルタ１３を通して清浄化された空気が、クリーンゾーン１０内にダウンフローで吹き出される。クリーンゾーン１０に吹き出された空気は、排気用フィルタユニット群１６の各排気用フィルタユニット１５内に吸い込まれ、排気用フィルタユニット１５内に設けられた高性能フィルタで、製造設備１１等から飛散した微粒子等を捕集し、清浄化した空気を、排気ダクト１８から共通ダクト１９に排気し、一部は空調機２０に戻し、残りは共通ダクト１９から排気ライン２１を通して建屋外に排気する。
【００２３】
この共通ダクト１９内の排気は、排気用フィルタユニット群１６でケミカル物質などの微粒子が除去された後の清浄化された排気であり、排気ライン２１を通して建屋外に排気しても環境汚染が外部に広がることはなく、また空調機２０、給気ダクト２５を通して給気ボックス１４に供給しても、これらの経路内にケミカル物質などが堆積することもない。
【００２４】
バイオ・ケミカルクリーンルームにおいては、高性能フィルタ１３から吹き出された清浄空気の全量が排気用フィルタユニット群１６に吸い込まれることになる。この際に、排気用フィルタユニット１５の設置台数が少ないと、クリーンゾーン１０内で偏流や空気の流れのデッドスペースが発生しやすくなるため、排気用フィルタユニット１５は、約１ｍ〜数ｍ間隔で多数設置され、クリーンゾーン１０内で、数台から数十台設置される。
【００２５】
この排気用フィルタユニット１５は、経年使用よるシール部分の劣化によるリーク、フィルタに生じたピンホールからのリークなどにより汚染物質が外部拡散することを防止するために、定期的にフィルタのリーク検査を行う必要がある。また、フィルタ交換後には、必ずリーク検査を行う。
【００２６】
ここで、排気用フィルタユニット１５内の高性能フィルタは、例えば６１０ｍｍ角のＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタであり、これら高性能フィルタの検査は、数台から数十台ある排気用フィルタユニット１５毎に検査しなければならない。
【００２７】
本発明においては、各排気用フィルタユニット１５内に、プローブスキャンニング装置３０を着脱自在に支持するようになし、排気用フィルタユニット群１６のうち少なくとも一台にプローブスキャンニング装置３０を設置しておき、他の排気用フィルタユニット１５のフィルタリーク検査を行う際に、プローブスキャンニング装置３０を他の排気用フィルタユニット１５内に移し替えてフィルタリーク検査を行うようにしたものである。
【００２８】
この排気用フィルタユニット１５内の高性能フィルタのフィルタリーク検査を行うプローブスキャンニング装置３０と排気用フィルタユニット１５の基本構成を図２により説明する。
【００２９】
図２（ａ）、図２（ｂ）において、排気用フィルタユニット１５は、ケーシング３１内の中央に高性能フィルタ３２が取り付けられる。この高性能フィルタ３２は、ケーシング３１の前面に取り外し自在に設けたフィルタ取り替え用カバー３３を取り外し、その開口を通して取り替えができるようになっている。
【００３０】
ケーシング３１の前面下部の吸込口１７には、着脱自在にパンチングメタルからなるネジ等で取り外し自在な吸込板１７ａが設けられ、フィルタリーク検査の際に、吸込板１７ａを取り外し、図２（ｂ）に示した、エアロゾル供給管３５を備えたリーク検査用エアロゾル供給パネル３４が取り付けられるようになっている。
【００３１】
吸込口１７には、高性能フィルタ３２を取り替える際に、シャワーノズル３７を備えたシャワー用パネル３６が取り付けられ、そのシャワーノズル３７から水が高性能フィルタ３２にスプレーされ、高性能フィルタ３２に吸着された汚染物質が、一部洗い流されると共に、高性能フィルタ３２に水スプレーすることで、フィルタ交換時の汚染物資の飛散を防止するようにされる。またケーシング３１の底部には、水スプレーの際にケーシング３１内に落下した水を排水する排水用栓３８が設けられている。
【００３２】
ケーシング３１の上部に接続した排気ダクト１８には、排気ダクト１８を開閉する高気密ダンパ３９が設けられる。
【００３３】
さて、高性能フィルタ３２の上面位置より上部のケーシング３１の前面には、プローブスキャンニング装置３０をケーシング３１内に挿入・取り出すためのスキャンニング用開口４０が形成され、そのスキャンニング用開口４０に開閉蓋４１がネジ等で取り外し自在に設けられる。
【００３４】
ケーシング３１内の両側には、プローブスキャンニング装置３０を支持する支持レール４２が着脱可能に設けられ、またプローブスキャンニング装置３０の四隅には、支持脚４７が設けられ、その支持脚４７に支持レール４２を転動するローラ４３、４３が回転自在に設けられる。
【００３５】
ケーシング３１の前面には、チューブとケーブルのコネクタ４５が設けられる。このコネクタ４５は、リーク検査装置５０のチューブ５１とケーブル５２を接続するもので、コネクタ４５の内側には、リーク検査装置５０のチューブ５１と繋がり、プローブスキャンニング装置３０のプローブ４６と接続する内側チューブ５１ｉが接続され、またリーク検査装置５０のケーブル５２と繋がり、プローブスキャンニング装置３０の駆動モータや各種センサと接続する内側ケーブル５２ｉが接続される。
【００３６】
次に、図３〜図７により、プローブスキャンニング装置３０を説明する。
【００３７】
プローブスキャンニング装置３０は、ケーシング３１の幅方向に沿った一対のＸ軸レールボックス６０、６０と、そのＸ軸レールボックス６０、６０間の下方に掛け渡されて設けられ、Ｘ軸レールボックス６０、６０に沿ってＸ軸方向に移動するＹ軸レールボックス６１と、Ｙ軸レールボックス６１に沿ってＹ軸方向に移動すると共にプローブ４６を支持するＹ軸スライダ６２とで構成される。
【００３８】
Ｘ軸レールボックス６０、６０は、その左右が連結部材６３、６３で連結される。連結部材６３、６３の上部には、プローブスキャンニング装置３０を持ち上げるための取手６４、６４が設けられる。
【００３９】
連結部材６３、６３で連結されたＸ軸レールボックス６０、６０の四隅には支持脚４７、４７が取り付けられ、その支持脚４７、４７の下部にローラ４３、４３が回転自在に取り付けられる（図３、図７（ａ）参照）。
【００４０】
他方、ケーシング３１内に設けた高性能フィルタ３２を支持する支持枠４８、４８には、着脱自在に支持レール４２、４２が設けられ、この支持レール４２、４２上をローラ４３、４３が転動してプローブスキャンニング装置３０をケーシング３１内へ挿入・取り外しできるようになっている。
【００４１】
支持枠４８には、その前後にレール取付ピン６６、６６が設けられており、支持レール４２の下部には、レール取付ピン６６を嵌合するボス４９が設けられる。また支持レール４２には、ローラ４３、４３の転動を規制する位置決め溝６５が形成される（図３、図７（ｂ）、（ｃ）参照）。
【００４２】
支持レール４２、４２は、その底部のボス４９を、ケーシング３１の両側の支持枠４８に設けた取付ピン６６、６６に着脱自在嵌め込むことで取り付けられる。また、ローラ４３、４３は、支持レール４２、４２上を転動することで、プローブスキャンニング装置３０を移動し、前後のローラ４３、４３の下部が、位置決め溝６５、６５に嵌り込むことで、プローブスキャンニング装置３０の位置決めが行える。
【００４３】
ローラ４３、４３を支持する支持脚４８は、ローラ４３、４３の最下端の位置に対してプローブスキャンニング装置３０のプローブ４６の最下端の位置より２〜４ｍｍ低くなるような長さに形成される。これにより、プローブスキャンニング装置３０をケーシング３１から取り外して床面に置いたときに、プローブ４６の下端部が床面に当たらず、ローラ４３、４３にてプローブスキャンニング装置３０が床面を移動できる。またプローブスキャンニング装置３０をケーシング３１内に挿入し、ローラ４３、４３が支持レール４２、４２上を転動し、位置決め溝６５、６５に嵌り込んだときに、プローブ４６の下端が、高性能フィルタ３２の上面に１０〜３０ｍｍ離れて位置する。
【００４４】
図３〜図６に示すようにＸ軸レールボックス６０、６０内には、Ｘ軸レール６７が設けられると共にそのＸ軸レール６７と係合してＸ軸方向に摺動するＸ軸スライダ６８が設けられる。Ｘ軸スライダ６８は、Ｘ軸レールボックス６０、６０の底部に形成した溝を通して下方のＹ軸レールボックス６１、６１と連結され、Ｘ軸スライダ６８のＸ軸方向の移動と共にＹ軸レールボックス６１をＸ軸方向に移動する。Ｘ軸レール６７には、そのＸ軸レール６７に沿ってＸ軸ラック６９が設けられる。Ｘ軸レールボックス６０、６０の内側面には切り込み溝７０が形成され、その切り込み溝７０を通してＸ軸スライダ６８、６８間に、駆動軸７１が回転自在に設けられると共に、駆動軸７１の両側に、Ｘ軸ラック６９に噛合するピニオン７２が設けられる。
【００４５】
Ｙ軸レールボックス６１上には、駆動軸７１を回転するギヤボックス７３が設けられ、そのギヤボックス７３がＸ軸駆動モータ７４で駆動されるようになっている。
【００４６】
このＹ軸レールボックス６１のＸ軸方向の移動は、Ｘ軸駆動モータ７４を駆動することで、ギヤボックス７３を介して駆動軸７１が回転され、その駆動軸７１に設けられたピニオン７２がＸ軸ラック６９に噛合しながら回転することでＸ軸スライダ６８、６８が移動し、Ｙ軸レールボックス６１をＸ軸方向に移動する。また、Ｙ軸レールボックス６１の上面にはＸ軸レールボックス６０、６０の内側に位置し、駆動軸７１を回転自在に支持する支持板７６が設けられている。
【００４７】
Ｙ軸スライダ６２は、Ｙ軸レールボックス６１内に設けられると共にＹ軸レールボックス６１内に設けられたＹ軸レール８０に係合してスライドするスライダ本体８１と、Ｙ軸レールボックス６１の下部と側部に沿うようコ字状に形成されると共に、Ｙ軸レールボックス６１の両側に設けたＹ軸ガイド溝８２を通して連結板８３にてスライダ本体８１に連結され、Ｙ軸レールボックス６１に沿って移動するプローブ支持部材８４とからなる。
【００４８】
Ｙ軸レール８０には、Ｙ軸レール８０に沿ってＹ軸ラック８５が設けられ、そのＹ軸ラック８５に噛合するピニオン８６がスライダ本体８１に設けられたＹ軸駆動モータ８７にて回転駆動されるようになっている。
【００４９】
このＹ軸スライダ６２のＹ軸方向の移動は、Ｙ軸駆動モータ８７にてＹ軸ラック８５と噛合するピニオン８６を回転することで、スライダ本体８１がＹ軸レール８０に沿って移動し、そのスライダ本体８１に連結したプローブ支持部材８４がＹ軸レールボックス６１に沿って移動し、プローブ４６をＹ軸方向に移動する。
【００５０】
このように、Ｘ軸駆動モータ７４とＹ軸駆動モータ８７を駆動することで、プローブ４６を、高性能フィルタ３２の上面に沿って、Ｙ軸方向に主走査した後、Ｘ軸方向に副走査させ、以下これを繰り返すことで、高性能フィルタ３２の全面をスキャンニングすることができる。
【００５１】
Ｘ軸駆動モータ７４やＹ軸駆動モータ８７に接続する電線、また図には示していないがＸ軸スライダ６８やＹ軸スライダ６２の走査終端位置を検出するリミットスイッチやプローブ４６に設けられた位置センサなどに接続される信号線などのケーブルは、前方のＸ軸レールボックス６０の電源コネクタ９０に接続され、またプローブ４６に接続されたチューブも前方のＸ軸レールボックス６０のチューブコネクタ９１に接続される。
【００５２】
このケーブルとチューブは、スライダ６２、６８の移動に追従して変形するＵ字状のケーブルベア（登録商標）にて電源コネクタ９０、チューブコネクタ９１に案内されるようになっている。
【００５３】
これを説明すると、Ｘ軸レールボックス６０内に設けられたＸ軸走行ケーブルベア９２は、その下部左端がＸ軸レールボックス６０内の左側に固定され、上部の移動端がＸ軸スライダ６８に連結され、Ｘ軸スライダ６８の移動に追従してＸ軸走行ケーブルベア９２がＵ字状からＪ字状に変形する。またＹ軸レールボックス６１内に設けられたＹ軸走行ケーブルベア９３は、そのＹ軸走行ケーブルベア９３の下部奧側がＹ軸レールボックス６１の奧側に固定され、移動端がＹ軸スライダ６２に連結され、Ｙ軸スライダ６２の移動に追従してＹ軸走行ケーブルベア９３がＵ字状からＪ字状に変形する。
【００５４】
詳細は図示していないがＸ軸駆動モータ７４の電線は、Ｙ軸レールボックス６１を通して、前方のＸ軸レールボックス６０内のＸ軸スライダ６８を通しＸ軸走行ケーブルベア９２の移動側からＸ軸走行ケーブルベア９２内を挿通されて電源コネクタ９０に接続される。またＸ軸スライダ６８の移動端を検出するリミットスイッチなどの信号線はＸ軸レールボックス６０内を通して電源コネクタ９０に接続される。
【００５５】
Ｙ軸駆動モータ８７の電線とプローブ４６に接続されたチューブとプローブ周りに設けられた位置センサの信号線とは、一つのケーブル９５とされ、Ｙ軸走行ケーブルベア９３の移動端からＹ軸走行ケーブルベア９３内に挿通され、固定側で、Ｙ軸レールボックス６１に設けたケーブルボックス９６から奧側のＸ軸レールボックス６０のＸ軸レールボックス６０を介してＸ軸走行ケーブルベア９２内に挿入され、さらに左側の連結部材６３内を通って電源コネクタ９０とチューブコネクタ９１に接続される。
【００５６】
この内側チューブ５１ｉには、その両端にソケット５３、５３が設けられており、その一方をチューブコネクタ９１に着脱自在接続し、他方を図２に示したコネクタ４５の内側に着脱自在に接続できるようになっている。また内側ケーブル５２ｉには、その両端に多芯のソケット５４、５４が設けられており、その一方を電源コネクタ９０に接続し、他方を図２に示したコネクタ４５の内側に着脱自在に接続できるようになっている。
【００５７】
次に、プローブスキャンニング装置３０を用いた排気用フィルタユニット群のフィルタ検査システムを説明する。
【００５８】
先ず、図１に示した排気用フィルタユニット群１６のうち、少なくとも１台の排気用フィルタユニット１５内のケーシング３１内にプローブスキャンニング装置３０を装着しておき、他の排気用フィルタユニット１５には、プローブスキャンニング装置３０を装着しない状態とする。
【００５９】
この状態で、クリーンゾーン１０内に吹き出された空気を排気用フィルタユニット群１６で、通常の吸引排気運転を行うと共に通常の吸引排気運転中にフィルタ検査を行う。
【００６０】
フィルタ検査を行う際には、例えばプローブスキャンニング装置３０を装着した排気用フィルタユニット１５の高性能フィルタ３２のフィルタ検査を行うとすると、図２に示した高気密ダンパ３９を閉とし、プローブスキャンニング装置３０を出し入れする開閉蓋４１を開いて、プローブスキャンニング装置３０の電源コネクタ９０及びチューブコネクタ９１とケーシング３１側のコネクタ４５とを内側ケーブル５２ｉ及び内側チューブ５１ｉで接続した後、開閉蓋４１を閉じる。
【００６１】
その後、リーク検査装置５０のチューブ５１とケーブル５２を、コネクタ４５に接続すると共に吸込板１７ａを取り外して、エアロゾル供給パネル３４を吸込口１７に取り付ける。なお、チューブ５１を接続する際には、コネクタ４５側には、リーク防止のための閉止栓が装着されているためこれを取り外して接続を行い、検査終了後は再度閉止栓を装着する。
【００６２】
次に、高気密ダンパ３９を開とし、エアロゾル供給パネル３４のエアロゾル供給管３５からＤＯＰ（フタル酸ジオクチル）やＰＡＯ（ポリアルファオレフィン）等のエアロゾルを供給し、同時にリーク検査装置５０のケーブル５２を通してＸ軸駆動モータ７４、Ｙ軸駆動モータ８７を駆動してプローブスキャンニング装置３０のプローブ４６をＹ軸、Ｘ軸方向にスキャンニングする。プローブ４６には、走査位置で高性能フィルタ３２を通過した気流が吸引され、これがプローブスキャンニング装置３０のチューブコネクタ９１、内側チューブ５１ｉ、コネクタ４５及びチューブ５１を介してリーク検査装置５０内に導入され、リーク検査装置５０内のパーティクルカウンタにてエアロゾルからのパーティクルの有無とその個数がカウントされる。
【００６３】
リーク検査装置５０は、高性能フィルタ３２に対するプローブ４６の位置とその位置でのリークの有無を検出し、リークがないときにはその高性能フィルタ３２の健全性を表示し、またリークがあるときには、高性能フィルタ３２のどの位置でリークが発生し、そのパーティクルの個数を表示できるようになっている。
【００６４】
このように、１台の排気用フィルタユニット１５のリーク検査を行った後は、高気密ダンパ３９を閉じ、エアロゾル供給パネル３４を取り外して吸込板１７ａを取り付け、また開閉蓋４１を取り外すと共に内側ケーブル５２ｉ及び内側チューブ５１ｉをコネクタ４５から取り外し、その状態でプローブスキャンニング装置３０を取手６４をもって手前側に引くと、ローラ４３、４３が支持レール４２、４２の位置決め溝６５、６５を乗り越えるため、ローラ４３、４３が支持レール４２、４２を移動でき、開口４０を通してプローブスキャンニング装置３０を取り出すと共に、取り出し後は支持レール４２、４２も取り外しておく。また、リーク検査装置５０側のチューブ５１とケーブル５２をコネクタ４５から取り外し、コネクタ４５のチューブ側は閉止栓で閉じておく。
【００６５】
その後、開閉蓋４１で開口４０を閉じ、高気密ダンパ３９を開いて、通常の吸引排気運転を行う。
【００６６】
次に、他の排気用フィルタユニット１５のフィルタ検査を行う際には、その排気用フィルタユニット１５の高気密ダンパ３９を閉じ、開閉蓋４１を取り外して、そのケーシング３１内に、先の検査に用いたプローブスキャンニング装置３０を挿入する。この際、検査後のケーシング３１から取り外した支持レール４２の底部のボス４９を、ケーシング３１に設けた支持部材８４の取付ピン６６にはめ込んで支持レール４２を取り付ける。これにより、プローブスキャンニング装置３０の支持脚４７に設けたローラ４３を支持レール４２、４２に載せるだけで、簡単に挿入できる。またプローブスキャンニング装置３０を押し込むことでローラ４３、４３は、支持レール４２、４２に形成した位置決め溝６５、６５に嵌り込み、これが抵抗となるため、プローブスキャンニング装置３０を設定の位置に装着できる。
【００６７】
このようにプローブスキャンニング装置３０を装着したならば、上述した手順で、高気密ダンパ３９の開閉、吸込板１７ａ、エアロゾル供給パネル３４、開閉蓋４１の取り付け・取り外しと、内側ケーブル５２ｉ及び内側チューブ５１ｉの接続と、リーク検査装置５０のチューブ５１とケーブル５２の接続を行ってフィルタリーク検査を行う。
【００６８】
なお、フィルタリークが検出された高性能フィルタ３２を交換する際には、図２（ｂ）に示したシャワー用パネル３６を吸込口１７に装着し、シャワーノズル３７から高性能フィルタ３２の下面に向けて水を噴射して高性能フィルタ３２の下面に付着捕集されている微粒子を水で一部洗い落とすと共にその表面からの飛散を防止した上で高性能フィルタ３２を取り外して交換する。
【００６９】
このように、本発明は、排気用フィルタユニット群１６の各排気用フィルタユニット１５にプローブスキャンニング装置３０を着脱自在に設けられるようになし、そのうち少なくとも１台の排気用フィルタユニット１５にプローブスキャンニング装置３０を設置した状態とすることで、１台のプローブスキャンニング装置３０で他の排気用フィルタユニット１５のフィルタリーク検査を簡単に行うことができると共にコストの低減が図れる。
【符号の説明】
【００７０】
１０  クリーンゾーン
１５  排気用フィルタユニット
１６  排気用フィルタユニット群
３０  プローブスキャンニング装置
３２  高性能フィルタ
５０  リーク検査装置
【図３】
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【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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