(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂フィルム基材の片面に、粘着剤層を有する化学研磨用表面保護フィルムであって、前記樹脂フィルム基材の厚みが７５μｍ以上であり、前記粘着剤層が、アクリル系共重合体とシランカップリング剤と架橋剤とを含有するアクリル系粘着剤組成物を用いて形成されてなり、前記アクリル系共重合体が、アルキル基の炭素数がＣ１〜Ｃ１４のアルキル（メタ）アクリレートモノマーと、ヒドロキシル基含有ビニルモノマー及び窒素含有ビニルモノマーの群から選択した少なくとも一種以上の共重合性ビニルモノマーとを、カルボキシル基含有モノマーを含まずに共重合させた共重合体からなり、前記化学研磨用表面保護フィルムを、ガラス板に前記粘着剤層を介して貼り合せた状態で、温度２７℃、濃度が１５％のフッ酸水溶液中に浸漬した後、被着体である前記ガラス板の被着面の、前記化学研磨用表面保護フィルムの貼り合わせ面の端部からの距離が８０μｍ以上の部分に、少なくとも１５０秒間以上に渡りフッ酸の浸透がないことを特徴とする化学研磨用表面保護フィルム。
【請求項２】
前記粘着剤層は、厚みが１０〜３５μｍで積層されてなり、前記粘着剤層の厚みが２０μｍのときに、前記ガラス板に対する粘着力が０．１〜１．５Ｎ／２５ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の化学研磨用表面保護フィルム。
【請求項３】
前記アクリル系共重合体が、（Ａ）アルキル基の炭素数が、Ｃ１〜Ｃ１４のアルキル（メタ）アクリレートモノマーの少なくとも一種を８０〜９５重量部と、（Ｂ）ヒドロキシル基含有ビニルモノマー及び窒素含有ビニルモノマーの群から選択した少なくとも一種類以上の共重合性ビニルモノマーを５〜２０重量部とを、カルボキシル基含有モノマーを含まずに共重合させた共重合体からなり、前記粘着剤層が、前記アクリル系共重合体１００重量部と、（Ｃ）シランカップリング剤を０．０１〜１重量部と、（Ｄ）架橋剤を０．０１〜１０重量部とを、含有してなる粘着剤組成物を用いて形成されてなることを特徴とする請求項１または２に記載の化学研磨用表面保護フィルム。
【請求項４】
前記シランカップリング剤が、エポキシ基、（メタ）アクリロキシ基、メルカプト基、アミノ基からなる群から選択された少なくとも一種類の、有機官能基を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の化学研磨用表面保護フィルム。
【請求項５】
前記架橋剤が、イソシアネート化合物であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の化学研磨用表面保護フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、化学研磨用表面保護フィルムに関する。さらに詳細には、本発明は、ガラス基板の化学研磨工程に用いられる表面保護フィルムであって、被着体であるガラス基板の上に形成された、タッチパネルセンサー用のＩＴＯ面又はその反対側の面に貼り合せて、化学研磨液（エッチング液）から被着体を保護するために使用できる、化学研磨用表面保護フィルムを提供するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ガラス基板などを薄型化することを目的として、ガラス基板などの一方の面に表面保護フィルムを貼り合せた後、他方の面を、エッチング液を用いて化学研磨することが知られている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
特許文献１には、「従来の化学研磨法では、エッチング液に強酸のフッ酸を使用するため、エッチング中にマスキング層が侵食を受けたり、ガラス基板（ＬＣＤ用ガラス基板など）から剥離する等の問題があった」ので、その問題を解決するため、ガラス基板の一方の面に、耐薬品性や密着性の大きい被覆層をガラス基板の表面に形成して保護しつつ、もう一方の面からエッチングして薄型化した後、該被覆層を剥離・除去する方法が示されている。エッチング中に一方の面を保護するためには、粘着力が充分に強い被覆層を用いる必要があるが、薄型化された基板等からかかる被覆層を剥離する場合、該ガラス基板にクラック等が発生する恐れがある。このため、特許文献１に示された方法は、薄型化された後のガラス基板等から、被覆層を剥離することが困難であるという問題があった。
【０００４】
また、特許文献２には、金属、ガラス、セラミック、プラスチック等からなるプリント配線基板や、その他の結晶性脆性材料等からなる板状の基板等をエッチングする際に、非エッチング面に貼り合わされ、エッチング処理時のマスキングに用いられる、再剥離性粘着テープが開示されている。特許文献２に記載の発明は、粘着剤層を、親水性であるカルボキシル基を実質的に含有しない（メタ）アクリル系樹脂組成物で構成することで、酸やアルカリ等のエッチング液の浸入を抑制している。その結果、非エッチング面のエッチング液による侵食を抑制することができるとともに、エッチング終了後には粘着剤層が凝集破壊することなく且つ容易に剥離できるとしている。しかし、耐エッチング性が、「６インチのシリコンウエハのミラー面側に、２５ｍｍ角の粘着テープのサンプルを貼り合わせ、１時間放置後に７０℃の１０ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液に浸漬した。２０分浸漬してもエッチング液の浸入が確認されなかったものを◎、１０分以上、２０分未満の浸漬でエッチング液の浸入が確認されたものを○、１０分未満の浸漬でエッチング液の浸入が確認されたものを×としてランク付けした。」としたものであり、ガラス基板を化学研磨するための、主成分としてフッ酸水溶液を含有するエッチング液に対する耐エッチング性としては、不充分なものであった。
【０００５】
また、従来のタッチパネルの構造は、カバーガラスの下にＩＴＯガラス（フィルム）層が、２層に積層された構造であった。その後、構造の簡略化、薄膜化の流れで、使用するガラス基板を一枚とし、ガラス基板の両表面にタッチセンサー層を設けたＯＧＳ（ｏｎｅ  ｇｌａｓｓ  ｓｏｌｕｔｉｏｎ）構造のパネルの需要が、最近では増えている（例えば、非特許文献１〜２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１８２５８６号公報
【特許文献２】特開２００９−２０９２２３号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】日本経済新聞、「ジャパンナノオプトがカバーガラス一体型のタッチパネルを開発」、［ｏｎｌｉｎｅ］、２０１２年５月１８日、インターネット＜ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｎｉｋｋｅｉ．ｃｏｍ／ａｒｔｉｃｌｅ／ＤＧＸＮＡＳＦＫ１７０３Ｙ＿Ｘ１０Ｃ１２Ａ５００００００／＞
【非特許文献２】気になる、記になる、「次期ｉＰａｄ  ｍｉｎｉのディスプレイはタッチパネル・カバーガラス一体型技術を採用か？！」、［ｏｎｌｉｎｅ］、２０１３年１月１０日、インターネット＜ｈｔｔｐ：／／ｔａｉｓｙ０．ｃｏｍ／２０１３／０１／１０／１３２８０．ｈｔｍｌ＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ＯＧＳパネルの場合、大型サイズのガラス基板の両面にタッチセンサー層を設けた後、スマートフォンなどの小型パネルの大きさに裁断される。裁断されたガラス基板の端面のバリを取って平滑にするために、主成分がフッ酸であるエッチング液を用いて、化学研磨処理が施される。化学研磨処理の間、ガラス基板の両表面を保護するために、耐フッ酸保護シートが用いられる。しかし、従来の耐フッ酸保護シートでは、フッ酸の浸入を防げても、耐フッ酸保護シートを剥がした後に、粘着剤がパネル面を汚染する、いわゆる糊残りが発生するという問題があった。フッ酸の浸入を防ぐだけでなく、糊残りの発生しない、耐フッ酸保護シートが、これまで無かった。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、エッチング液の浸入を防ぐだけでなく、被着体に糊残りの発生しない、化学研磨用表面保護フィルムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明では、厚みが７５μｍ以上の樹脂フィルムを基材とし、アルキル基の炭素数が、Ｃ１〜Ｃ１４のアルキル（メタ）アクリレートモノマーと、ヒドロキシル基含有ビニルモノマー及び窒素含有ビニルモノマーの少なくとも一種以上の共重合性ビニルモノマーと、を含む、アクリル系共重合体を含有する粘着剤組成物で、粘着剤層を形成する。また、この粘着剤層が、カルボキシル基含有モノマーを含まず（カルボキシル基含有モノマーを含むのを回避し、粘着剤層が接するＩＴＯ層を腐食するのを防ぐ）、さらに、シランカップリング剤を併用することで、撥水性を付加し、従来技術の課題を解決するに至った。
【００１１】
すなわち、本発明は、樹脂フィルム基材の片面に、粘着剤層を有する化学研磨用表面保護フィルムであって、前記樹脂フィルム基材の厚みが７５μｍ以上であり、前記粘着剤層が、アクリル系共重合体とシランカップリング剤と架橋剤とを含有するアクリル系粘着剤組成物を用いて形成されてなり、前記アクリル系共重合体が、アルキル基の炭素数がＣ１〜Ｃ１４のアルキル（メタ）アクリレートモノマーと、ヒドロキシル基含有ビニルモノマー及び窒素含有ビニルモノマーの群から選択した少なくとも一種以上の共重合性ビニルモノマーとを、カルボキシル基含有モノマーを含まずに共重合させた共重合体からなり、前記化学研磨用表面保護フィルムを、ガラス板に前記粘着剤層を介して貼り合せた状態で、温度２７℃、濃度が１５％のフッ酸水溶液中に浸漬した後、被着体である前記ガラス板の被着面の、前記化学研磨用表面保護フィルムの貼り合わせ面の端部からの距離が８０μｍ以上の部分に、少なくとも１５０秒間以上に渡りフッ酸の浸透がないことを特徴とする化学研磨用表面保護フィルムを提供する。
【００１２】
前記粘着剤層は、厚みが１０〜３５μｍで積層されてなり、前記粘着剤層の厚みが２０μｍのときに、前記ガラス板に対する粘着力が０．１〜１．５Ｎ／２５ｍｍであることが好ましい。
【００１３】
前記アクリル系共重合体が、（Ａ）アルキル基の炭素数が、Ｃ１〜Ｃ１４のアルキル（メタ）アクリレートモノマーの少なくとも一種を８０〜９５重量部と、（Ｂ）ヒドロキシル基含有ビニルモノマー及び窒素含有ビニルモノマーの群から選択した少なくとも一種類以上の共重合性ビニルモノマーを５〜２０重量部とを、カルボキシル基含有モノマーを含まずに共重合させた共重合体からなり、前記粘着剤層が、前記アクリル系共重合体１００重量部と、（Ｃ）シランカップリング剤を０．０１〜１重量部と、（Ｄ）架橋剤を０．０１〜１０重量部とを、含有してなる粘着剤組成物を用いて形成されてなることが好ましい。
【００１４】
前記シランカップリング剤が、エポキシ基、（メタ）アクリロキシ基、メルカプト基、アミノ基からなる群から選択された少なくとも一種類の、有機官能基を有することが好ましい。
【００１５】
前記架橋剤が、イソシアネート化合物であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、フッ酸の浸入を防ぐだけでなく、糊残りなどの問題もない、粘着フィルム及び表面保護フィルムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】ガラス板の端部からの、浸蝕性の試験方法を示した図である。
【図２】実施例１及び比較例１の、浸蝕時間と浸蝕距離との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、好適な実施形態に基づき、本発明を説明する。
本発明は、近年増加するタッチパネルの需要に伴い、タッチパネルの構造をより簡略化、薄膜化されたガラス一枚のパネル構造（ＯＧＳ）を製造するための、化学研磨工程で使用される化学研磨用表面保護フィルムを提供する。本発明は、パネル端面などをフッ酸（硫酸などの強酸と混合する場合あり）で処理を行う化学研磨工程中に、パネルの表面（例えばＩＴＯ表面）などを、エッチング液から保護するための保護シートとして用いることが可能な、化学研磨用表面保護フィルムに関するものである。
従来の耐フッ酸保護シートは、フッ酸が浸透してきて十分にパネルの表面を保護できなかった。また、パネルの表面を保護できたとしても、化学研磨工程の終了後に剥がした際に、耐フッ酸保護シートの粘着剤がパネルを汚染するなどの現象があり、再剥離性が良くないため、十分に満足できる性能ではなかった。
【００１９】
本発明の化学研磨用表面保護フィルムは、樹脂フィルム基材の片面に粘着剤層が形成されている。そして、この化学研磨用表面保護フィルムは、ガラス板に前記粘着剤層を介して貼り合せた状態で、温度２７℃、濃度が１５％のフッ酸水溶液中に浸漬した後、被着体である前記ガラス板の被着面の、前記化学研磨用表面保護フィルムの貼り合わせ面の端部からの距離が８０μｍ以上の部分に、少なくとも１５０秒間以上に渡りフッ酸の浸透がないことを特徴とする。
【００２０】
本発明では、前記樹脂フィルム基材の厚みが７５μｍ以上であり、前記粘着剤層が、シランカップリング剤と架橋剤とを含有するアクリル系粘着剤組成物を用いて形成されている。好ましくは、アルキル基の炭素数が、Ｃ１〜Ｃ１４のアルキル（メタ）アクリレートモノマーと、ヒドロキシル基含有ビニルモノマー及び窒素含有ビニルモノマーの群から選択した少なくとも一種以上の共重合性ビニルモノマーと、を含むアクリル系共重合体を含有する粘着剤組成物で、粘着剤層を形成する。またこの粘着剤層が、カルボキシル基含有モノマーを含まず（カルボキシル基含有モノマーを含むことで、粘着剤層が接するＩＴＯ層を腐食するのを防ぐことを目的とする）、さらに、撥水性を付加するため、シランカップリング剤を併用することが好ましい。
【００２１】
本発明の粘着フィルムにおいて、粘着剤層を形成するために用いられる粘着剤組成物は、以下の配合割合で構成されることが好ましい。
（Ａ）アルキル基の炭素数が、Ｃ１〜Ｃ１４のアルキル（メタ）アクリレートモノマーの少なくとも一種を８０〜９５重量部と、（Ｂ）ヒドロキシル基含有ビニルモノマー及び窒素含有ビニルモノマーの群から選択した少なくとも一種類以上の共重合性ビニルモノマーを５〜２０重量部と、を含むアクリル系共重合体１００重量部と、（Ｃ）シランカップリング剤を０．０１〜１重量部と、（Ｄ）架橋剤を０．０１〜１０重量部。
【００２２】
（Ａ）アルキル基の炭素数が、Ｃ１〜Ｃ１４のアクリル酸エステルモノマーとしては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。アクリル酸エステルモノマーのアルキル基は、直鎖、分枝状、環状のいずれでもよい。
【００２３】
（Ｂ）ヒドロキシル基含有ビニルモノマー及び窒素含有ビニルモノマーは、（Ａ）アルキル基の炭素数が、Ｃ１〜Ｃ１４のアルキル（メタ）アクリレートモノマーと共重合可能なモノマーから選択される。
（Ｂ）のヒドロキシル基含有ビニルモノマーとしては、例えば、８−ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有（メタ）アクリル酸エステルや、Ｎ−ヒドロキシ（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミドなどのヒドロキシル基含有（メタ）アクリルアミドなどが挙げられる。
【００２４】
（Ｂ）の窒素含有ビニルモノマーとしては、例えば、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、アクリロイルモルホリンなどの環状窒素ビニル化合物、Ｎ−エチル−Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル−Ｎ−プロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル−Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジイソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジブチル（メタ）アクリルアミドなどのジアルキル置換アクリルアミド、Ｎ−エチル−Ｎ−メチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ−メチル−Ｎ−プロピルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ−メチル−Ｎ−イソプロピルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノメチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノブチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジプロピルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノエチル（メタ）アクリレートなどのジアルキルアミノアクリレート、Ｎ−エチル−Ｎ−メチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル−Ｎ−プロピルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル−Ｎ−イソプロピルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジプロピルアミノプロピル（メタ）アクリルアミドなどのジアルキル置換アミノプロピル（メタ）アクリルアミドなどが挙げられる。（Ｂ）の窒素含有ビニルモノマーは、ヒドロキシル基を含有してもよい（例えば、上述した、ヒドロキシル基含有（メタ）アクリルアミドなど）が、その場合は、ヒドロキシル基含有ビニルモノマーに分類するものとする。
【００２５】
（Ｃ）シランカップリング剤としては、１分子中に、少なくとも１つの有機官能基と、少なくとも１つの加水分解性基を有し、前記加水分解性基が、ケイ素原子に結合したアルコキシ基等である化合物が挙げられる。前記シランカップリング剤が、エポキシ基、（メタ）アクリロキシ基、メルカプト基、アミノ基からなる群から選択された少なくとも一種類の、有機官能基を有することが好ましい。ここで、（メタ）アクリロキシ基とは、アクリロキシ基（ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ−）、又は、メタクリロキシ基（ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ−）を意味する。
【００２６】
エポキシ基を有するシランカップリング剤としては、例えば、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、５，６−エポキシヘキシルトリメトキシシラン、５，６−エポキシヘキシルメチルジメトキシシラン、５，６−エポキシヘキシルメチルジエトキシシラン、５，６−エポキシヘキシルトリエトキシシランなどが挙げられる。
（メタ）アクリロキシ基を有するシランカップリング剤としては、例えば、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルジメチルエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルジメチルメトキシシランなどが挙げられる。
メルカプト基を有するシランカップリング剤としては、例えば、３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリエトキシシランなどが挙げられる。
アミノ基を有するシランカップリング剤としては、例えば、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−（メチルアミノ）プロピルトリメトキシシラン、３−（メチルアミノ）プロピルトリエトキシシランなどが挙げられる。
また、前記有機官能基を含み、オリゴマー化したアルコキシオリゴマー（シリコーンアルコキシオリゴマー）なども、シランカップリング剤として用いることができる。
【００２７】
（Ｄ）架橋剤としては、２官能以上のイソシアネート系架橋剤（イソシアネート化合物）、２官能以上のエポキシ系架橋剤、アルミニウムキレート系架橋剤からなる化合物群のうちから選択される１種以上の架橋剤であることが好ましい。架橋剤は、１種類を単独で使用してもよいし、２種類以上を組み合わせて併用してもよい。
イソシアネート化合物の架橋剤としては、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）、イソホロンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）、キシリレンジイソシアネート（ＸＤＩ）等のジイソシアネート類、前記ジイソシアネートのビュレット変性体やイソシアヌレート変性体、トリメチロールプロパンや、グリセリン等の３価以上のポリオールとのアダクト体などのポリイソシアネート化合物が挙げられる。
【００２８】
前記粘着剤組成物は、さらにその他の成分として、酸化防止剤、帯電防止剤、などの公知の添加剤等を含むこともできる。これらは、単独でもしくは２種以上を併せて用いることができる。
【００２９】
本発明の化学研磨用表面保護フィルムは、前記粘着剤組成物からなる粘着剤層を、樹脂フィルム基材の片面に形成することで製造することができる。また、粘着剤層の粘着面を保護するため、離型フィルム（セパレーター）を積層することができる。
本発明の化学研磨用表面保護フィルムに用いる樹脂フィルム基材としては、ポリエチレンやポリプロピレンなどのポリオレフィン系フィルム、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチレンテレフタレートのようなポリエステルフィルムなどの、各種の樹脂フィルムを用いることができる。樹脂フィルム基材としては、厚みが７５μｍ以上のポリエステルフィルムであれば、フィルムの剛性が高くて変形し難いことから好ましい。樹脂フィルム基材の厚みが、７５μｍよりも薄いと、剛性が低くて変形し易く、その結果、粘着剤層を介して化学研磨用表面保護フィルムを、被着体であるガラス板に貼り合わせた状態で、粘着剤層とガラス板との間に、フッ酸が浸透し易くなるので好ましくない。
【００３０】
前記粘着剤層は、厚みが１０〜３５μｍで積層されてなることが好ましい。また、前記粘着剤層の厚みが２０μｍのときに、前記ガラス板に対する粘着力が０．１〜１．５Ｎ／２５ｍｍであることが好ましい。樹脂フィルム基材の粘着力が、１．５Ｎ／２５ｍｍよりも大きいと、粘着剤層を介して化学研磨用表面保護フィルムを、被着体であるガラス板に貼り合わせた後で、剥がすときに糊残りが生じ易くなるので好ましくない。また、樹脂フィルム基材の粘着力が、０．１Ｎ／２５ｍｍよりも小さいと、粘着剤層を介して化学研磨用表面保護フィルムを、被着体であるガラス板に貼り合わせた状態で、粘着剤層とガラス板との間にフッ酸が浸透し易くなるので好ましくない。粘着剤層の厚みが２０μｍでないときに、前記ガラス板に対する粘着力の好ましい数値範囲は、粘着剤層の厚みが２０μｍのときと同様に、０．１〜１．５Ｎ／２５ｍｍであってもよく、あるいは、粘着剤層の厚みに応じて、０．１〜１．５Ｎ／２５ｍｍより大きい数値範囲、あるいは小さい数値範囲であってもよい。
【００３１】
本発明の化学研磨用表面保護フィルムは、被着体であるガラス基板、タッチパネルのＩＴＯ面又はその反対側の面に貼り合せて、化学研磨液（エッチング液）から被着体を保護するために使用できる。この場合は、樹脂フィルム基材及び粘着剤層は、十分な透明性を有することが好ましい。タッチパネルは、ガラス基板等からなる基材の少なくとも片面に、ＩＴＯ膜などの透明導電膜が形成されたタッチパネルであってもよい。本発明の化学研磨用表面保護フィルムとしては、前記ＩＴＯ膜上の面又はその反対側の面に、前記粘着剤層を介して剥離可能に貼着することができる。
【実施例】
【００３２】
以下、実施例をもって、本発明を具体的に説明する。
【００３３】
＜アクリル系共重合体の製造＞
［実施例１］
撹拌機、温度計、還流冷却器及び窒素導入管を備えた反応装置に、窒素ガスを導入して、反応装置内の空気を窒素ガスで置換した。その後、反応装置に２−エチルヘキシルアクリレート９５重量部、６−ヒドロキシヘキシルアクリレート５重量部とともに溶剤（酢酸エチル）を１００重量部加えた。その後、重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル０．１重量部を２時間かけて滴下させ、６５℃で８時間反応させ、重量平均分子量５０万の、実施例１のアクリル系共重合体溶液１を得た。
［実施例２〜６及び比較例１〜３］
単量体の組成を各々、表１の（Ａ）、（Ｂ−１）、及び（Ｂ−２）の記載のようにする以外は、上記の実施例１に用いるアクリル系共重合体溶液１と同様にして、実施例２〜６及び比較例１〜３に用いるアクリル系共重合体溶液を得た。
【００３４】
＜粘着剤組成物及び化学研磨用表面保護フィルムの製造＞
［実施例１］
上記のとおり製造したアクリル系共重合体溶液１（そのうちアクリル系共重合体が１００重量部）に対して、架橋剤として、コロネートＨＬの３．０重量部と、シランカップリング剤として、ＫＢＥ−４０３（３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン）の０．０２重量部を加えて撹拌混合して実施例１の粘着剤組成物を得た。この粘着剤組成物を、シリコーン樹脂コートされたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムからなる剥離フィルムの上に塗布後、９０℃で乾燥することによって溶剤を除去し、粘着剤層の厚みが２０μｍである粘着フィルムを得た。
その後、厚みが７５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムからなる樹脂フィルム基材の片面に、粘着フィルムを転写させ、「樹脂フィルム基材／粘着剤層／剥離フィルム（シリコーン樹脂コートされたＰＥＴフィルム）」の積層構成を有する実施例１の化学研磨用表面保護フィルムを得た。
［実施例２〜６及び比較例１〜３］
添加剤の組成を、各々、表１の（Ｃ）及び（Ｄ）の記載のようにし、また、樹脂フィルム基材の厚みを表２の記載のようにする以外は、上記の実施例１の化学研磨用表面保護フィルムと同様にして、実施例２〜６及び比較例１〜３の化学研磨用表面保護フィルムを得た。
【００３５】
【表１】
0005906222.tif 000002
【００３６】
【表２】
0005906222.tif 000003
【００３７】
表１において、各成分の配合比は、重量部の数値を括弧で囲んで示す。原則として、（Ａ）と（Ｂ−１）と（Ｂ−２）のモノマーの重量部の合計（共重合体の重量部）が１００重量部となるようにしたが、必ずしもそうしてはいない。モノマーの重量部の合計（共重合体の重量部）は、実施例６で９３重量部、比較例１で１０１重量部、比較例２で９１重量部、比較例３で１０５重量部である。
また、表１に用いた各成分の略記号の化合物名を、次の表３に示す。なお、コロネート（登録商標）ＨＸ、同Ｌ−４５は、日本ポリウレタン工業株式会社の商品名である。Ｄ−１１０Ｎは、三井化学株式会社の商品名である。ＫＢＥ−４０３、ＫＢＭ−５１０３、ＫＢＥ−９０３、ＫＢＭ−８０２、Ｘ−４１−１８１０、Ｘ−４１−１０５６は、信越化学工業株式会社の商品名である。
【００３８】
【表３】
0005906222.tif 000004
【００３９】
（粘着力の測定方法）
実施例１〜６及び比較例１〜３における粘着フィルムを、ソーダライムガラスのアセトンで洗浄した非錫面に、圧着ロールで貼り合わせた。その後、５０℃、０．５ＭＰａ×２０分間オートクレーブ処理した後、２３℃、５０％ＲＨの雰囲気下に戻し、１時間経過後の粘着フィルムを、引張試験機によって１８０°方向に３００ｍｍ／ｍｉｎの速度で剥離した時の剥離強度を、粘着フィルムの粘着力とする。
【００４０】
（汚染性の試験方法）
粘着力を測定した後の、被着体（ソーダライムガラス板）の表面を目視で確認し、粘着剤層に起因する汚染状態を判断する。汚染性は、被着体の汚染状態に応じて、次のような判定基準により、評価した。
・汚染性の評価（○）：粘着剤層が、被着体を全く汚染していない。
・汚染性の評価（△）：粘着剤層が、被着体を一部汚染している。
・汚染性の評価（×）：粘着剤層が、被着体を汚染し、粘着剤層も移行している。
【００４１】
（耐フッ酸浸透性の試験方法）
実施例１〜６及び比較例１〜３における化学研磨用表面保護フィルムを、高さが４μｍの段差の設けられたソーダライムガラス板の表面に、圧着ロールで貼り合せた後、温度２７℃の濃度１５％のフッ酸水溶液に１５０秒浸漬した後、よく水洗した。その後、化学研磨用表面保護フィルムを剥がした後、化学研磨用表面保護フィルムが貼り合わされていたガラス基板の被着面を目視で確認し、フッ酸の浸透によるソーダライムガラス板の、腐食の有無を確認する。耐フッ酸浸透性は、ガラス基板の腐食の有無及び程度に応じて、次のような判定基準により、評価した
・耐フッ酸浸透性の評価（○）：ガラス基板の腐食が、全くない場合。
・耐フッ酸浸透性の評価（△）：化学研磨用表面保護フィルムが貼られていた場所にフッ酸が浸透し、ガラス基板の一部が腐食している場合。
・耐フッ酸浸透性の評価（×）：化学研磨用表面保護フィルムが貼られていた場所にフッ酸が浸透し、ガラス基板が腐食している場合。
【００４２】
（ガラス板の端部からの、浸蝕性の試験方法）
厚みが０．４ｍｍの、縦横の長さがそれぞれ１０ｃｍの四角形状をした、タッチパネルセンサー用のガラス板の両表面に、ＩＴＯ膜を蒸着した。図１に示すように、１０ｃｍ×１０ｃｍの寸法に裁断した実施例１の化学研磨用表面保護フィルムを４枚作製し、そのガラス板１の一辺の先端から０．３ｍｍの幅で、化学研磨用表面保護フィルム４がはみ出すように、化学研磨用表面保護フィルム４の粘着剤層３を介して、前記ガラス板１の両表面のＩＴＯ膜５上に貼り合せて、実施例１の積層体を２つ作製した。これらの積層体を、温度２７℃の濃度１５％のフッ酸水溶液に、１つの積層体は５分間、もう１つの積層体は１０分間浸漬した後、室温で５分間水洗した。その後、それぞれの積層体から、両面の化学研磨用表面保護フィルムを剥離して、フッ酸が浸透することにより、ＩＴＯ膜の表面が変色した範囲の、ガラス板の一端部からの最大距離を測定し、浸蝕距離とした。また、実施例１の化学研磨用表面保護フィルムに代えて、比較例１の化学研磨用表面保護フィルムを用いたこと以外は同様にして、比較例１の積層体を２つ作製し、浸蝕距離を測定した。その試験結果を表４に示す。
【００４３】
【表４】
0005906222.tif 000005
【００４４】
また、表４の試験結果により、浸蝕時間と浸蝕距離との関係を図２に示した。
図２により、実施例１の化学研磨用表面保護フィルムを用いた場合には、温度２７℃、濃度が１５％のフッ酸水溶液中に浸漬した後、被着体であるガラス板の被着面の、前記化学研磨用表面保護フィルムの貼り合わせ面の端部からの距離が８０μｍ以上の部分に、少なくとも１５０秒間以上に渡りフッ酸の浸透がないことが確認できる。
【００４５】
（ＩＴＯへの腐食性の試験方法）
ＩＴＯフィルムの表面に、化学研磨用表面保護フィルムの粘着剤層を貼り合せ、８５℃、９０％ＲＨ×１０００時間経過後の、ＩＴＯフィルムの表面抵抗率（ＳＲ１）を測定する。表面抵抗率（Ω／□）は、抵抗率計ハイレスタＵＰ−ＨＴ４５０（三菱化学アナリテック製）を用いて測定した。化学研磨用表面保護フィルムの粘着剤層を貼り合わせる前の、ＩＴＯフィルムの表面抵抗率を初期値（ＳＲ０）とし、表面抵抗率の変化率（％）を、「１００×（ＳＲ１−ＳＲ０）／ＳＲ０」により算出する。ＩＴＯへの腐食性は、表面抵抗率の変化率に応じて、次のような判定基準により、評価した。
・腐食性の評価（○）：表面抵抗率の変化率が、２％未満の場合。
・腐食性の評価（△）：表面抵抗率の変化率が、２％以上５％未満の場合。
・腐食性の評価（×）：表面抵抗率の変化率が、５％以上の場合。
【００４６】
表２に示した試験結果によれば、実施例１〜６の化学研磨用表面保護フィルムは、適度な粘着力を有し、汚染性、耐フッ酸浸透性、ＩＴＯへの腐食性のそれぞれにおいて、いずれも良好（○）と評価された。
比較例１の化学研磨用表面保護フィルムは、粘着力が大きいため、汚染性がやや劣っていた。また、粘着剤層がシランカップリング剤を含まないため、撥水性が付加されておらず、耐フッ酸浸透性が劣っていた。
比較例２の化学研磨用表面保護フィルムは、粘着力が大きいため、汚染性が劣っていた。また、粘着剤がカルボン酸を含むため、ＩＴＯへの腐食性が劣っていた。
比較例３の化学研磨用表面保護フィルムは、粘着力が大きいため、汚染性が劣っていた。また、粘着剤層がシランカップリング剤を含まないため、撥水性が付加されておらず、耐フッ酸浸透性が劣っていた。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、被着体であるガラス基板と粘着剤層との間に、化学研磨液の主成分であるフッ酸の浸透を防ぐだけでなく、糊残りの発生しない、化学研磨用表面保護フィルムを提供することができるため、産業上の利用価値が大である。
【符号の説明】
【００４８】
１…ガラス板、２…樹脂フィルム基材、３…粘着剤層、４…化学研磨用表面保護フィルム、５…ＩＴＯ膜。
【図１】
0005906222.tif 000006
【図２】
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