(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池の受光面および裏面のうちの一方に導電性ペーストを用いて未乾燥の電極を形成した後、
乾燥用ホルダーの基部上に前記太陽電池を載置し、前記基部上に立設した支持スロットを形成する支持部に前記太陽電池を立てて、前記太陽電池の前記受光面および前記裏面のうちの他方が接触した状態で前記太陽電池を乾燥させる工程を備え、
前記乾燥させる工程では、前記支持部に形成された通気孔から前記支持スロット内に気流を導入する太陽電池の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の太陽電池の製造方法において、
前記支持部は、互いに離間して配置された前記太陽電池を挟み込む一対の支持ユニットから構成され、
前記乾燥させる工程では、前記一対の支持ユニットに形成された前記通気孔から前記支持スロット内に前記気流を導入する太陽電池の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の太陽電池の製造方法において、
前記一対の支持ユニットの各々は、前記太陽電池の一方及び他方の主面をカバーする一対の主壁を有し、
前記乾燥させる工程では、前記一対の主壁に形成された前記通気孔から前記支持スロット内に前記気流を導入する太陽電池の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の太陽電池の製造方法において、
前記一対の主壁の一方は、前記支持スロット側に対して前記基部との間になす角度が鈍角となるように傾斜し、
前記乾燥させる工程では、前記一方の主壁に形成された前記通気孔から前記支持スロット内に前記気流を導入する太陽電池の製造方法。
【請求項５】
太陽電池の受光面および裏面のうちの一方に導電性ペーストを用いて未乾燥の電極を形成した後、
乾燥用ホルダーを用いて、前記太陽電池を乾燥させる工程を備え、
前記乾燥用ホルダーは、前記太陽電池が載置される基部と、前記基部上に設けられ、前記太陽電池を立てて接触した状態で支持可能な支持スロットを形成する支持部と、を備え、
前記支持部は、互いに離間して配置された前記太陽電池を挟み込む一対の支持ユニットから構成され、前記一対の支持ユニットの各々は、前記太陽電池の一方及び他方の主面をカバーする一対の主壁を有し、前記一対の主壁の一方は、前記支持スロット側に対して前記基部との間になす角度が鈍角となるように傾斜し、前記一方の主壁に通気孔が形成され、
前記乾燥させる工程では、前記太陽電池の前記受光面および前記裏面のうちの他方を、前記一方の主壁に接触して立てかけて前記一方の主壁よりも大きく傾斜させた状態で前記支持スロットに収容する太陽電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池の乾燥用ホルダー及び太陽電池の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池の電極は、例えば、半導体基板の表面に導電性ペーストを印刷して形成される。導電性ペーストは溶剤を含むため、電極の製造過程には、該溶剤を除去する乾燥工程が設けられる。この乾燥工程は、乾燥設備内に複数の太陽電池を連続的に供給して行われるが、このとき、太陽電池を立てた状態で安定に保持する乾燥用ホルダーが使用される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２‐２４６４３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の乾燥用ホルダーを用いた場合には、長期の信頼性について鑑みたときに乾燥不良に起因して、太陽電池の信頼性が低下する恐れがある。【０００５】
図１１に、従来の乾燥用ホルダー１００を用いて製造された太陽電池２００の直列抵抗の面内分布を調べた結果を模式的に示す。なお、ドット密度が濃い領域ほど直列抵抗が高いことを示す。同図によれば、高抵抗領域２０１は、二点鎖線で示す乾燥用ホルダー１００によりカバーされていた領域とほぼ重なることが分かった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る太陽電池の乾燥用ホルダーは、太陽電池を立てた状態で保持し、太陽電池の乾燥過程で使用される太陽電池の乾燥用ホルダーであって、太陽電池が載置される基部と、基部上に設けられ、太陽電池を収容可能な支持スロットを形成する支持部とを備え、基部及び支持部の少なくとも一方に通気孔が形成されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る太陽電池の乾燥用ホルダーによれば、太陽電池の信頼性の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明に係る第１の実施形態である乾燥用ホルダーを示す斜視図である。
【図２】本発明に係る第１の実施形態である乾燥用ホルダーに太陽電池を収容した様子を示す図である。
【図３】図２のＡ‐Ａ断面を模式的に示す図である。
【図４】図２のＢ‐Ｂ断面を模式的に示す図である。
【図５】図２に示す乾燥用ホルダーを前方から見た平面図である。
【図６】本発明に係る第２の実施形態である乾燥用ホルダーを示す側面図である。
【図７】本発明に係る第３の実施形態である乾燥用ホルダーを示す斜視図である。
【図８】本発明に係る第４の実施形態である乾燥用ホルダーを示す断面図である。
【図９】本発明に係る第５の実施形態である乾燥用ホルダーを示す斜視図である。
【図１０】本発明に係る実施形態である電極乾燥工程を模式的に示す図である。
【図１１】従来の乾燥用ホルダーを用いて製造された太陽電池の直列抵抗の面内分布を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図面を参照して、本発明に係る実施形態を詳細に説明する。
本発明は、以下の実施形態に限定されない。また、実施形態において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された構成要素の寸法比率などは、現物と異なる場合がある。具体的な寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
【００１０】
以下では、説明の便宜上、「上下」、「左右」、「前後」の方向を示す用語を使用する。但し、当該方向と各構成要素との関係が限定されるものではない。乾燥用ホルダーの「上下方向」とは、太陽電池を保持した状態で鉛直方向に沿った方向であり、図５の紙面の上下方向に対応する。乾燥用ホルダーの「左右方向」は、図５の紙面の左右方向に対応し、「前後方向」は、図５の紙面の垂直方向に対応する。また、「左右方向」は、基部の長手方向に対応する。
【００１１】
図１〜図５を参照し、第１の実施形態である太陽電池の乾燥用ホルダー１０（以下、乾燥用ホルダー１０とする）の構成について詳説する。
図１は、乾燥用ホルダー１０を前方側から見た斜視図、図２は、太陽電池７０を乾燥用ホルダー１０の支持スロット１３に収容した様子を示す図である。図３は、図２のＡ‐Ａ断面を、図４は、図２のＢ‐Ｂ断面をそれぞれ模式的に示す図である。図５は、太陽電池７０が収容された乾燥用ホルダー１０を前方から見た平面図である。
【００１２】
本実施形態では、乾燥用ホルダー１０により保持される太陽電池として、光電変換部７１の受光面上に受光面電極７２を、裏面上に裏面電極７３をそれぞれ備えた太陽電池７０（図２〜図５参照）を例示する。光電変換部７１は、太陽光を受光することでキャリア（電子及び正孔）を生成する機能を有する。太陽電池７０では、光電変換部７１で生成されたキャリアが受光面電極７２及び裏面電極７３により収集される。なお、太陽電池の形態は、特に限定されず、単結晶型や多結晶型のいずれであってもよい。
【００１３】
ここで、「受光面」とは、太陽電池７０の外部から太陽光が主に入射する主面を意味する。例えば、太陽電池７０に入射する太陽光のうち５０％超過〜１００％が受光面側から入射する。また、「裏面」とは、受光面と反対側の主面を意味する。なお、太陽電池７０の厚み方向に沿った面であって、主面に垂直な面が側面である。
【００１４】
光電変換部７１は、例えば、半導体基板の受光面上にｐ型が形成され、半導体基板の裏面上にｎ型の非晶質シリコン層が形成された構造である。具体例としては、ｎ型単結晶シリコン基板の受光面上に、真性非晶質シリコン層であるｉ型非晶質シリコン層と、ボロン（Ｂ）等がドープされたｐ型非晶質シリコン層とが順に形成され、ｎ型単結晶シリコン基板の裏面上に、ｉ型非晶質シリコン層と、リン（Ｐ）等がドープされたｎ型非晶質シリコン層とが順に形成された構造である。なお、ｎ型単結晶シリコン基板の受光面上にｉ型非晶質シリコン層と、リン（Ｐ）等がドープされたｎ型非晶質シリコン層とが順に形成され、ｎ型単結晶シリコン基板の裏面上に、ｉ型非晶質シリコン層と、ボロン（Ｂ）等がドープされたｐ型非晶質シリコン層とが順に形成された構造でもよい。
【００１５】
受光面電極７２は、光電変換部７１の受光面上に形成される透明導電層を含むことが好ましい。透明導電層としては、酸化インジウム（Ｉｎ2Ｏ3）や酸化亜鉛（ＺｎＯ）等の金属酸化物に、錫（Ｓｎ）やアンチモン（Ｓｂ）等をドープした透明導電性酸化物（ＴＣＯ）を適用できる。
【００１６】
さらに、受光面電極７２は、複数（例えば、５０本）のフィンガー部７４と、複数（例えば、２本）の図示しないバスバー部とを含んで構成される。フィンガー部７４及びバスバー部は、透明導電層上に形成されることが好適である。フィンガー部７４は、透明導電層上の広範囲に形成される細線状の電極である。バスバー部は、フィンガー部７４よりも幅が太く本数の少ない電極であって、主にフィンガー部７４からキャリアを収集する。フィンガー部７４及びバスバー部は、互いに交差して配置され電気的に接続されている。
【００１７】
裏面電極７３は、受光面電極７２と同様に、複数のフィンガー部７５と、複数のバスバー部７６と、透明導電層とを含んで構成されることが好ましい。フィンガー部７５は、フィンガー部７４と比べて、本数をより多く、間隔をより狭く設定することが好適である。なお、裏面側からの受光を想定しない場合、フィンガー部７５の代わりに、銀（Ａｇ）薄膜等の金属膜を形成してもよい。
【００１８】
フィンガー部７４，７５、及びバスバー部７６（受光面電極７２のバスバー部も同様）は、エポキシ樹脂等のバインダー樹脂、バインダー樹脂中に分散した銀（Ａｇ）やカーボン等の導電性フィラー、及びブチルカルビトールアセテート（ＢＣＡ）等の溶剤を含む導電性ペーストを用いて形成できる。各電極は、光電変換部７１の受光面上及び裏面上に導電性ペーストを所望のパターンでスクリーン印刷した後、ペースト中に含まれる溶剤を揮発させると共に導電性フィラーを焼結させる電極乾燥工程を経て形成される。
【００１９】
乾燥用ホルダー１０は、太陽電池７０を立てた状態で保持する器具であって、詳しくは後述するように、太陽電池７０の電極乾燥用途に好適である。乾燥用ホルダー１０は、太陽電池７０が載置される基部１１と、基部１１上に設けられた支持部１２とを備える。基部１１は、板状部材であり、乾燥用ホルダー１０に太陽電池７０を載せて置いたときに、太陽電池７０の端部を支持する。支持部１２は、太陽電池７０を立てた状態で支持可能な支持スロット１３を形成する。そして、支持部１２は、基部１１上に立設した、対となる支持ユニット２０ａ，２０ｂからなる。
【００２０】
乾燥用ホルダー１０は、基部１１の長手方向に沿って複数の支持部１２を有する。つまり、乾燥用ホルダー１０は、それぞれの支持部１２の支持スロット１３に同時に複数（例えば、５〜１０）の太陽電池７０を収容することができる。図１に例示する形態では、各支持部１２が、互いに所定間隔（例えば、１ｃｍ〜５ｃｍ程度の間隔）をあけて配置されているが、互いに接触して配置されてもよい。
【００２１】
支持ユニット２０ａは、太陽電池７０の受光面及び裏面をそれぞれカバーする一対の主壁２１ａ，２２ａと、太陽電池７０の側面をカバーする側壁２３ａとを有する。主壁２１ａ，２２ａは、例えば、略矩形形状の薄板からなり、互いに同じ形状を有し、前後方向に沿って対向配置される。主壁２１ａ，２２ａは、左右方向に対して平行に配置してもよいが、支持ユニット２０ｂに近い一端側ほど互いの間隔が広くなるように配置することが好適である。側壁２３ａは、主壁２１ａ，２２ａの他端同士を接続し、前後方向に対して略平行に配置される。
【００２２】
支持ユニット２０ｂは、左右方向に対して支持ユニット２０ａと対称に設けられ、一対の主壁２１ｂ，２２ｂと、主壁２１ｂ，２２ｂ同士を接続する側壁２３ｂとを有する。支持ユニット２０ａ，２０ｂは、互いに離間して、互いの開口部が向かい合うように配置される。こうして、支持スロット１３が形成される。つまり、支持部１２は、太陽電池７０が倒れないように、太陽電池７０の左右両端部を厚み方向の両側から挟み込むように支持する支持スロット１３を形成する。
【００２３】
支持ユニット２０ａでは、主壁２２ａが、支持スロット１３側に対して基部１１との間になす角度θ（以下、角度θとする）が鈍角となるように傾斜している。つまり、支持ユニット２０ａは、主壁２２ａが後方に傾斜した形状を有する。本実施形態では、主壁２１ａも角度θで後方に傾斜している。この傾斜により、太陽電池７０を、主壁２２ａに立てかけて後方に傾斜させた状態で保持できるため、例えば、電極乾燥工程中に太陽電池７０が前後方向に揺れて損傷することを抑制できる。なお、主壁２１ａは、基部１１に対して垂直に設けられてもよいが、例えば、隣接する他の乾燥用ホルダー１０（後述の図１０参照）との干渉防止の観点等から、主壁２２ａと同様に傾斜していることが好適である。また、支持ユニット２０ｂの主壁２１ｂ，２２ｂも、主壁２１ａ，２２ａと同じ角度で後方に傾斜している。
【００２４】
ここで、支持部１２の好適な寸法等について詳説する（図４，５参照）。主に、支持ユニット２０ａを用いて説明するが、支持ユニット２０ｂについても同様である。また、太陽電池７０の幅Ｗ０は、上下左右とも同じとする。
【００２５】
主壁２１ａ，２２ａの高さｈ、即ち基部１１の上面から主壁２１ａ，２２ａの上端までの上下方向に沿った長さは、太陽電池７０の落下防止等の観点から、少なくとも太陽電池７０の幅Ｗ０の５０％以上が好ましい。より好ましくは、幅Ｗ０の５５％〜８０％、特に好ましくは、幅Ｗ０の６０％〜７０％である。角度θは、太陽電池７０の前後方向に対する揺れを抑制する等の観点から、９５°〜１２０°程度が好ましく、１００°〜１１５°程度がより好ましく、１０５°〜１１０°程度が特に好ましい。主壁２１ａと主壁２２ａとの間隔Ｗ１は、太陽電池７０の下端が主壁２１ａに接触する状態（図４の二点差線で示す状態）となっても太陽電池７０が大きく倒れない程度、例えば、太陽電池７０の傾斜角度が４５°未満となる長さに設定される。具体的には、５ｍｍ〜２０ｍｍ程度が好適である。
【００２６】
側壁２３ａと側壁２３ｂとの間隔、即ち支持スロット１３の左右方向長さＷ２は、太陽電池７０の幅Ｗ０に、クリアランスＣＬ（左右両側の隙間を足した値）を加えた長さである。クリアランスＣＬは、幅Ｗ０の３％〜２０％程度が好ましく、４％〜１５％程度がより好ましく、５％〜１０％程度が特に好ましい。主壁２１ａ，２２ａの左右方向長さＷ３は、少なくともクリアランスＣＬより長いことが好ましい。より好ましくは、クリアランスＣＬの１．５倍〜５倍程度、特に好ましくは、クリアランスＣＬの３倍〜４倍程度である。支持部１２の寸法をこのように設定すれば、太陽電池７０を立てた状態で安定に保持することができる。
【００２７】
本実施形態では、支持ユニット２０ａの主壁２１ａ，２２ａに、複数の通気孔２４ａ，２５ａがそれぞれ形成されている。通気孔２４ａ，２５ａは、主壁２１ａ，２２ａを厚み方向にそれぞれ貫通する貫通孔であって、例えば、太陽電池７０から揮発する溶剤の通気を可能とする。支持ユニット２０ｂの主壁２１ｂ，２２ｂにも、支持ユニット２０ａと同様に、複数の通気孔２４ｂ，２５ｂがそれぞれ形成されている。以下、通気孔２４ａ，２５ａに関して説明するが、通気孔２４ｂ，２５ｂについても同様である。
【００２８】
通気孔２４ａ，２５ａは、支持ユニット２０ａの使用に耐え得る機械的強度を確保できる範囲で、広範囲に形成されることが好適である。通気孔２４ａ，２５ａが形成される面積（以下、開口面積とする）は、主壁２１ａ，２２ａの面積の２０％〜９０％程度が好ましく、３０％〜８０％程度がより好ましく、４０％〜８０％程度が特に好ましい。また、通気孔２４ａ，２５ａは、主壁２１ａ，２２ａの一部に偏って形成されてもよいが、主壁２１ａ，２２ａの全体に亘って一様に形成されることが好適である。
【００２９】
通気孔２４ａ，２５ａは、互いに間隔をあけて多数形成されることが好適である。つまり、通気孔２４ａ，２５ａは、互いに独立して連通しないことが好適である。これにより、機械的強度を確保しながら、開口面積を大きくすることができる。
【００３０】
通気孔２４ａ，２５ａの形状は、図示する真円形状に限定されず、楕円形状や半円形状、三角形状、矩形形状（後述の図９参照）、これらの組み合わせ等でもよい。また、通気孔２４ａ，２５ａの配置は、図示する規則的な配置（上下方向に沿って等間隔で並んだ通気孔２４ａ，２５ａの列が３列形成された配置）に限定されず、ランダムで不規則な配置であってもよい。
【００３１】
本実施形態では、主壁２１ａ，２２ａが後方に傾斜しており、太陽電池７０が主壁２２ａに接触した状態で保持されるため、主壁２１ａ側よりも主壁２２ａ側において通気性が悪くなり乾燥不良を起こし易くなる。ゆえに、主壁２１ａの開口面積より主壁２２ａの開口面積を大きく設定してもよい。例えば、通気孔２４ａと比較して、通気孔２５ａの個数を増やす、或いは通気孔２５ａのサイズを大きくすることで、主壁２２ａの開口面積を拡大できる。
【００３２】
次に、図６〜図９を参照し、第２〜第５の実施形態である乾燥用ホルダー３０〜６０の構成について詳説する。ここでは、第１の実施形態である乾燥用ホルダー１０との相違点について詳説し、上記と重複する説明は省略する。
【００３３】
図６は、第２の実施形態である乾燥用ホルダー３０を示す側面図である。
乾燥用ホルダー３０は、基部１１の長手方向に支持スロットに対応する間隔をあけて対向配置された一対の支持ユニット３１を有する。そして、支持ユニット３１の側壁３２には、その全体に亘って複数の通気孔３３が一様に形成されている。この形態によれば、左右方向の通気性が向上する。支持ユニット３１は、各主壁に通気孔がない形態としてもよいが、少なくとも太陽電池７０が接触する主壁に、好ましくは各主壁に、多数の通気孔を形成しておくことが好適である。
【００３４】
図７は、第３の実施形態である乾燥用ホルダー４０を示す斜視図である。
乾燥用ホルダー４０は、基部１１の長手方向に支持スロット１３に対応する間隔をあけて対向配置された一対の支持ユニット４１ａ，４１ｂを有する。支持ユニット４１ａは、支持ユニット２０ａと同様に、一対の主壁４２ａ，４３ａと、側壁２３ａとを有する。但し、主壁４２ａ，４３ａは、フレーム４４ａ，４６ａと、面格子４５ａ，４７ａとでそれぞれ構成されている。なお、主壁４２ａと主壁４３ａとは、同様の構造を有する。また、支持ユニット４１ｂも、支持ユニット４１ａと同様の構造を有する。
【００３５】
フレーム４４ａは、主壁４２ａの輪郭を構成し、主壁４２ａの機械的強度を確保する。面格子４５ａは、フレーム４４ａを補強する。主壁４２ａでは、面格子４５ａの間に多数の通気孔が形成される。この形態によれば、大きな開口面積を形成し易く、乾燥効率をより向上させることができる。なお、主壁４２ａの機械的強度に問題のない範囲で、フレーム４４ａのみから主壁４２ａを構成してもよい。或いは、面格子４５ａの代わりに筋交い状のフレームを設けた形態としてもよい。この場合、開口面積をさらに広げることが可能となる。
【００３６】
図８は、第４の実施形態である乾燥用ホルダー５０を示す断面図である。
乾燥用ホルダー５０では、基部５１に複数の通気孔５２が形成されている。通気孔５２は、主壁５３，５４で囲まれる部分の通気性を改善するため、少なくとも主壁５３，５４が設けられる部分に対応して形成されることが好適である。この形態によれば、上下方向の通気性が向上する。また、主壁５３，５４は、通気孔がない形態としてもよいが、上記のように、少なくとも太陽電池７０が接触する主壁５４に、多数の通気孔を形成しておくことが好適である。
【００３７】
図９は、第５の実施形態である乾燥用ホルダー６０を示す斜視図である。
乾燥用ホルダー６０では、基部６１に通気孔６３，６４ａ，６４ｂが、側壁６５ａ，６５ｂに通気孔６６ａ，６６ｂがそれぞれ形成されている。それ以外は、乾燥用ホルダー１０と同じ構成である。つまり、乾燥用ホルダー６０は、支持スロット１３を構成する全ての壁に通気孔が形成された形態である。
【００３８】
基部６１には、異なった形状、サイズの通気孔６３，６４ａ，６４ｂを形成することができる。例えば、真円形状の通気孔６４ａ，６４ｂを、支持ユニット６２ａ，６２ｂに囲まれた部分にそれぞれ形成し、矩形形状の通気孔６３を、支持ユニット６２ａと支持ユニット６２ｂとの間に形成する。また、側壁６５ａ，６５ｂに形成された通気孔６６ａ，６６ｂも、例えば、通気孔６３と同じ矩形形状としてもよい。
【００３９】
次に、図１０を参照し、乾燥用ホルダー１０を用いた太陽電池７０の乾燥過程について詳説する。ここでは、導電性ペーストを用いて形成した受光面電極７２及び裏面電極７３（以下では、フィンガー部及びバスバー部のことを意図する）の電極乾燥工程を例示しながら、乾燥用ホルダー１０の作用効果についても説明する。また、他の実施形態の乾燥用ホルダーを用いた場合についても言及する。
【００４０】
図１０は、太陽電池７０の電極乾燥工程を模式的に示す図である。同図では、紙面に垂直な方向が基部１１の長手方向となる。
電極乾燥工程は、導電性ペーストを用いて形成された未乾燥の受光面電極７２及び裏面電極７３を有する太陽電池７０を、乾燥用ホルダー１０の支持スロット１３に収容した状態で行われる。電極乾燥工程に使用される乾燥設備８０は、例えば、複数の乾燥用ホルダー１０が設置できるベルトコンベア８１と、揮発した溶剤を排気する排気装置８２と、図示しない加熱装置とを含んで構成される。乾燥設備８０では、下方から上方に向かう高温の気流が乾燥用ホルダー１０に保持された太陽電池７０に作用する。
【００４１】
電極乾燥工程は、導電性ペーストの粘着性がなくなる程度に溶剤を除去する仮乾燥工程と、溶剤をさらに除去して導電性フィラーを焼結させる本乾燥工程とに別けられる。仮乾燥工程は、本乾燥工程よりも低温、短時間の工程であり、例えば、１５０℃×１５分の条件で行われる。本乾燥工程は、例えば、２００℃×４０〜６０分の条件で行われる。電極乾燥工程を含む電極製造工程では、受光面電極７２のスクリーン印刷工程、及び仮乾燥工程を２回ずつ繰り返した後、裏面電極７３のスクリーン印刷工程、及び仮乾燥工程を行うことが好適である。裏面電極７３の仮乾燥工程後に、各電極の本乾燥工程がまとめて行われる。受光面電極７２のスクリーン印刷工程を２回行うのは、細く且つ厚みのある電極を形成するためである。これにより、受光ロスを低減し且つ抵抗を低減できる。
【００４２】
仮乾燥工程では、乾燥対象となる電極が主壁２１ａ，２１ｂ側を向いた状態で、太陽電池７０を保持することが好適である。即ち、受光面電極７２の仮乾燥工程では、受光面が主壁２１ａ，２１ｂ側を向くように、裏面電極７３の仮乾燥工程では、裏面が主壁２１ａ，２１ｂ側を向くように、太陽電池７０を支持スロット１３に収容する。
【００４３】
本乾燥工程は、生産性向上等の観点から、裏面電極７３の仮乾燥工程と連続して行われることが好適である。このため、本乾燥工程は、太陽電池７０の受光面が主壁２２ａ，主壁２２ｂ側に接触した状態で行われる。太陽電池７０の各主壁によりカバーされる領域、特に主壁２２ａ，２２ｂに接触する受光面の一部は、他の領域に比べると通気性が悪くなり易いが、乾燥用ホルダー１０によれば、当該領域における乾燥不良を抑制できる。乾燥用ホルダー１０の各主壁には、多数の通気孔が形成されているため、溶剤の排出経路を確保でき、各主壁と太陽電池７０との間に溶剤がこもり難い。
【００４４】
電極乾燥工程では、高温の気流が多数の通気孔を通って太陽電池７０に作用し易くなる。つまり、電極乾燥工程では、各主壁に形成された通気孔から支持スロット１３内に気流を導入することができる。特に、主壁２２ａ，２２ｂに形成された通気孔２５ａ，２５ｂから支持スロット１３内に気流を導入することは、乾燥不良抑制の観点から有効である。
【００４５】
なお、電極乾燥工程、特に本乾燥工程では、図４の二点鎖線で示すように、太陽電池７０を、主壁２２ａ，２２ｂよりも大きく傾斜させた状態で支持スロット１３に収容してもよい。例えば、太陽電池７０の下端を、主壁２１ａ，２１ｂに接触させた状態で収容する。この場合、太陽電池７０の受光面と、主壁２２ａ，２２ｂとの間の隙間が大きくなるため、受光面側の通気性がより良好となる。
【００４６】
また、下方から上方に向かう高温の気流が発生する乾燥設備８０では、乾燥用ホルダー５０，６０のように、基部に通気孔を形成することが有効である。この場合、基部の通気孔から支持スロット内に気流を導入し易くなり、乾燥効率が向上する。また、溶剤が支持スロット内にこもることを抑制するため、乾燥用ホルダー３０，６０のように、側壁に通気孔を形成することも有効である。この場合、側壁に形成された通気孔からも支持スロット内に気流を導入することができる。また、除去すべき溶剤量が多い場合や乾燥時間が短い場合など、乾燥効率をさらに高めたい場合には、乾燥用ホルダー４０，６０のように、主壁等の開口面積を大きくとることが有効である。
【００４７】
以上のように、乾燥用ホルダー１０は、太陽電池７０を安定に支持可能な外形寸法の支持部１２を有し、そこに多数の通気孔を設けた構造である。このため、太陽電池７０の支持性能を損なうことなく、支持部１２によりカバーされる面積を低減できる。乾燥用ホルダー１０は、多数の通気孔により、例えば、溶剤の排出経路を確保し、また、支持スロット１３内における気流の流通性を向上させて、電極乾燥工程における乾燥不良を抑制する。
【００４８】
乾燥用ホルダー１０を用いることにより、乾燥不良に起因する直列抵抗の上昇を抑制して、信頼性の高い太陽電池を提供することができる。
【００４９】
なお、上記実施形態は、発明の目的を損なわない範囲で適宜設計変更できる。
例えば、第１〜第５の実施形態を組み合わせた形態としてもよい。具体例としては、乾燥用ホルダー１０，６０等の主壁２２ａ，２２ｂの代わりに、乾燥用ホルダー４０の主壁４３ａ，４３ｂを適用した形態が挙げられる。
また、支持ユニットは、側壁を有さず、主壁のみから構成される形態としてもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１０  太陽電池の乾燥用ホルダー（乾燥用ホルダー）、１１  基部、１２  支持部、１３  支持スロット、２０ａ，２０ｂ  支持ユニット、２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ  主壁、２３ａ，２３ｂ  側壁、２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂ  通気孔、７０  太陽電池、７１  光電変換部、７２  受光面電極、７３  裏面電極、７４，７５  フィンガー部、７６  バスバー部、８０  乾燥設備、８１  ベルトコンベア、８２  排気装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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