(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
底部に不活性気体の給気口を有して予め規定された枚数以内の基板を密閉状態で収容する搬送容器を載置支持する載置支持部を有し、前記搬送容器を収納可能な複数の収納部と、
前記載置支持部に配設されるノズルであって、前記載置支持部に支持された支持状態で前記搬送容器の自重によって前記給気口と接合して、前記収納部に収納された前記搬送容器の内部に前記不活性気体を注入する供給ノズルを有する不活性気体供給部と、を備えた物品保管設備に用いられる物品保管設備の検査装置であって、
前記載置支持部に支持されて、前記支持状態の前記搬送容器に対する前記不活性気体供給部による前記不活性気体の供給状態を検査するものであり、
前記搬送容器に代えて前記載置支持部に支持された際に、前記供給ノズルと接合する検査用給気口を備え、
前記支持状態における水平面に沿った方向の装置重心位置が、前記支持状態における前記搬送容器の水平面に沿った方向の容器重心位置に一致することで、前記供給ノズルと前記検査用給気口との接合力が、前記搬送容器の重量と前記検査装置の重量との比率に応じて、前記供給ノズルと前記給気口との接合力を再現するように構成されている物品保管設備の検査装置。  
【請求項２】
前記搬送容器に前記基板を最大枚数収容した際の前記搬送容器の重量である最大重量よりも軽量である請求項１に記載の物品保管設備の検査装置。
【請求項３】
前記搬送容器が空の状態の前記搬送容器の重量である最小重量以下である請求項１又は２に記載の物品保管設備の検査装置。
【請求項４】
重量調整用の錘を支持する錘支持部を備える請求項１から３の何れか一項に記載の物品保管設備の検査装置。
【請求項５】
前記錘支持部は、水平面に沿った方向において前記装置重心位置とは異なる位置に複数配置されている請求項４に記載の物品保管設備の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、底部に不活性気体の給気口を有して基板を密閉状態で収容する搬送容器を載置支持する載置支持部を有した物品保管設備に用いられ、載置支持部に支持された支持状態での搬送容器に対する不活性気体の供給状態を検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子は、一般的に内部雰囲気を浄化したクリーンルーム内で製造される。半導体素子の材料となる半導体ウェハーの保管や、半導体素子の製造工程間の搬送時においても半導体ウェハーを塵や埃などの不純物の付着や化学反応による汚損から保護する必要がある。特開２００８−１５９７３４号公報（特許文献１）には、半導体ウェハーを保管するためのそのような保管設備が開示されている。この保管設備は、半導体ウェハーを収容するフープ（FOUP：Front Opening Unified Pod）等の気密性の搬送容器を収容する複数の収容部を備えた保管棚を有して構成されている。また、この保管設備は、搬送容器に収納した半導体ウェハーの自然酸化などによる汚損を防止するために、窒素やアルゴンなどの不活性ガスを搬送容器に供給するパージ機能を有して構成されている。
【０００３】
半導体ウェハーを収納する収納用フープは、筐体となるカバーと底面部とを備え、これらにより密閉空間を形成する。密閉空間には、複数の半導体ウェハーが高さ方向に沿って複数枚収容可能である。底面部の下面には、ガスの流入口及び流出口となる凹部が形成されており、この凹部はガスを供給するパージユニットの配管と接合可能に構成されている。パージユニットに収納用フープを載置させることによって凹部と配管とが接合され、不活性ガスの供給が可能となる。ここで、搬送容器に対して適切に不活性ガスが供給されているか否かを確認するために、ガスの流量が測定される場合がある。特許文献１では、ガスの流量を測定するために測定用フープが利用される。測定用フープの底面にも、パージユニットに測定用フープを載置することによって、パージユニットの配管と接合可能な流入口及び流出口が形成されている。測定用フープには、流量計が備えられており、収納用フープの代わりに測定用フープをパージユニットに載置することによって、不活性ガスの流量を測定することができる（特許文献１：第３２〜３６段落等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１５９７３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、収納用フープや測定用フープの流入口や流出口と、パージユニットの配管とは、収納用フープや測定用フープの自重によって接合する。つまり、接合の強さはフープの質量や容器重心位置によって変動する。収納用フープの質量や容器重心位置は、内部に収容される半導体ウェハーの数量によって変動する。例えば、収容される半導体ウェハーの数量が少ない場合には収納用フープは軽くなり、その重量が測定用フープよりも軽い場合には、測定用フープに比べて接合の強さが相対的に弱くなる。また、容器重心位置の変動により、接合力が弱くなったり強くなったりする場合がある。接合力が弱い場合には、パージユニットとフープとの間でガス漏れが生じる可能性があるが、収納用フープと測定用フープとの接合力の差が大きい場合には、このようなガス漏れを考慮することができず、流量の測定精度が低下する可能性がある。
【０００６】
上記背景に鑑みて、収容容器へ供給される不活性ガスの流量を精度良く測定可能な技術の提供が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題に鑑みた本発明に係る物品保管設備の検査装置は、１つの態様として、
底部に不活性気体の給気口を有して予め規定された枚数以内の基板を密閉状態で収容する搬送容器を載置支持する載置支持部を有し、前記搬送容器を収納可能な複数の収納部と、
前記載置支持部に配設されるノズルであって、前記載置支持部に支持された支持状態で前記搬送容器の自重によって前記給気口と接合して、前記収納部に収納された前記搬送容器の内部に前記不活性気体を注入する供給ノズルを有する不活性気体供給部と、を備えた物品保管設備に用いられる物品保管設備の検査装置であって、
前記載置支持部に支持されて、前記支持状態の前記搬送容器に対する前記不活性気体供給部による前記不活性気体の供給状態を検査するものであり、
前記搬送容器に代えて前記載置支持部に支持された際に、前記供給ノズルと接合する検査用給気口を備え、
前記支持状態における水平面に沿った方向の装置重心位置が、前記支持状態における前記搬送容器の水平面に沿った方向の容器重心位置に一致することで、前記供給ノズルと前記検査用給気口との接合力が、前記搬送容器の重量と前記検査装置の重量との比率に応じて、前記供給ノズルと前記給気口との接合力を再現するように構成されている。
【０００８】
吸気口と供給ノズルとの接合は、載置支持部に支持された支持状態での搬送容器の自重によって実現され、検査用給気口と供給ノズルとの接合は、当該支持状態での検査装置の自重によって実現される。当該支持状態における検査装置の水平面に沿った方向の装置重心位置が、当該支持状態における搬送容器の水平面に沿った方向の容器重心位置に一致することで、少なくとも搬送容器の重量と検査装置の重量との比率に応じた接合力を再現することができる。例えば、供給ノズルが複数箇所に備えられている場合でも、重心位置の違い（偏心）による接合力のばらつきを抑制することができて、検査精度を高くすることができる。即ち、本構成によれば、搬送容器へ供給される不活性ガスの流量を精度良く測定可能な技術の提供が実現できる。
【０００９】
検査装置には、流量計や、検査用制御装置や、電源なども搭載されることがある。上述したように、検査用給気口と供給ノズルとの接合は、支持状態での検査装置の自重によって実現される。従って、より気体の漏れを生じ安く悪い条件（接合強度が低くなる条件）での検査の実現を考慮すれば、検査装置の重量は可能な限り軽量であることが望ましい。１つの態様として、本発明に係る物品保管設備の検査装置は、その重量が、前記搬送容器に前記基板を最大枚数収容した際の前記搬送容器の重量である最大重量よりも軽量であると好適である。
【００１０】
また、１つの態様として、本発明に係る物品保管設備の検査装置は、その重量が、前記搬送容器が空の状態の前記搬送容器の重量である最小重量以下であると好適である。支持状態での検査装置の自重に基づく接合強度が最も弱くなる条件を検査装置にて再現することができる。
【００１１】
ところで、搬送容器は、複数枚の基板を収容できるように構成されている。つまり、基板が１枚も収納されていない空の状態から、規定された枚数の上限の基板が収納されている満載状態まで搬送容器の総重量は様々な値を採り得る。このため、吸気口と供給ノズルとの接合強度も、搬送容器の総重量に応じて異なることになる。例えば、搬送容器が空の状態では、総重量が最も軽くなり、接合強度は最も弱くなる。一方、搬送容器が満載状態では、搬送容器の総重量が最も重くなり、接合強度は最も強くなる。従って、それぞれの収納状態に応じて、検査装置の重量を調整して検査を行うことができると好適である。１つの態様として、本発明に係る物品保管設備の検査装置は、重量調整用の錘を支持する錘支持部を備えると好適である。
【００１２】
また、水平方向に沿った方向での搬送容器の容器重心位置と、基板の重心位置とは、一般的に一致しないため、搬送容器への基板の収納枚数に応じて、搬送容器の水平方向に沿った方向での重心位置は異なる位置となる。このため、収納状態に応じて、搬送容器の重量だけでなく、水平方向に沿った方向での容器重心位置も変化する。容器重心位置が変化すると、吸気口と供給ノズルとの接合強度も変化する。従って、それぞれの収納状態に応じて、検査装置の水平方向に沿った方向での装置重心位置も調整して検査を行うことができると好適である。１つの態様として、本発明に係る物品保管設備の検査装置は、重量調整用の錘を支持する錘支持部が、水平方向に沿った方向での前記装置重心位置とは異なる位置に複数配置されていると好適である。複数箇所の錘支持部への錘の配置によって、当該装置重心位置を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】基板容器保管設備の構成を示す縦断側面図
【図２】同設備の一部平面図
【図３】容器の一部切欠説明図
【図４】容器支持体の斜視図
【図５】支持体側接続部の破断側面図
【図６】載置状態におけるグロメット及び支持体側接続部の状態を説明する図
【図７】容器支持体への検査装置の載置方法を示す斜視図
【図８】検査装置が載置された状態での容器支持体の縦断側面図
【図９】検査装置の平面図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を基板容器保管設備の検査装置に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。図１及び図２に示すように、基板容器保管設備（物品保管設備）は、半導体ウェハー（基板）を密閉状態で収容するフープ（FOUP：Front Opening Unified Pod）等の容器４（搬送容器）を支持する容器支持体１５を有して容器４を収容可能な収納部９を上下方向及び左右方向に複数並べて備える保管棚１０と、当該保管棚１０の前面に設置された走行レール８３上を走行して容器４を移載するスタッカークレーン３とを備えている。スタッカークレーン３は、走行レール８３上を転がる走行輪（図示省略）を有する走行台車３ａと、走行台車３ａに立設された昇降案内マスト３ｂと、昇降案内マスト３ｂに案内されて昇降移動可能な昇降台３ｃとを備えて構成されている。昇降台３ｃには、昇降台３ｃと容器支持体１５との間で容器４を移載自在なスカラアーム式の移載装置３ｄが設けられている。移載装置３ｄは、図２に示すような平面視で（上下方向に沿った方向から見て）、昇降台３ｃと重複する引退位置と、容器支持体１５側に突出する突出位置との間で位置を切換え可能であり、容器４を移載可能に構成されている。
【００１５】
保管棚１０は、前面同士が対向する形態で一対設けられている。当該一対の保管棚１０のうち一方はパージ棚１０ａとして、他方は非パージ棚として構成されている。パージ棚１０ａは、容器４内の半導体ウェハーの汚損を防止するために窒素ガス等の不活性気体を容器４の容器内空間に供給するための供給孔、又は、容器内の気体を容器内空間から外に排出する排出孔を有する支持体側接続部５５が設けられた保管棚１０である。一方、非パージ棚１０ｂは、そのような支持体側接続部５５が設けられていない保管棚１０である。スタッカークレーン３の移載装置３ｄは、パージ棚１０ａの容器支持体１５、及び、非パージ棚１０ｂの容器支持体１５の何れに対しても、容器４を移載することができる。
【００１６】
パージ棚１０ａ、非パージ棚１０ｂ、及びスタッカークレーン３は、壁体１４で囲まれた空間の内部に設置されている。また、壁体１４の外部と内部との間で容器４を搬送する入出庫コンベヤ８４が壁体１４を貫通する状態で設けられている。入出庫コンベヤ８４の壁体１４外方側の端部は、ホイスト式の設備間容器搬送装置２との間で容器４を受け渡しする授受箇所となっている。また、入出庫コンベヤ８４の壁体１４内方側の端部は、スタッカークレーン３の移載装置３ｄとの間で容器４を受け渡しする授受箇所となっている。
【００１７】
容器４は、図３に示すように、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠した合成樹脂製の気密容器であり、半導体ウェハーＷ（基板）を収納するウェハー支持体４Ｔを上下方向に複数並べて備え、複数枚の半導体ウェハーＷを収容できるように構成されている。容器４の前面には、着脱可能な蓋体によって開閉される基板出入用の開口が形成されている。容器４の上面には、設備間容器搬送装置２により把持されるトップフランジ４Ｆが形成されている。
【００１８】
容器支持体１５は、図４に示すように、移載装置３ｄが上下に通過する空間を形成すべく、平面視形状がＵ字状となるように形成され、その上面の３か所に、位置決めピン１５ｐが起立状態で装備されている。容器４を容器支持体１５に移載する場合には、移載装置３ｄによって支持される容器４の下面の高さを移載対象の容器支持体１５よりも設定高さ高い位置とするように昇降台３ｃを昇降させ、移載装置３ｄを突出位置に切換え、引き続き、容器４の下面の高さが移載対象の容器支持体１５よりも設定高さ低い高さとなるまで昇降台３ｃを下降させる。これにより、容器４は、移載装置３ｄに支持される状態から容器支持体１５に支持される載置状態に切換えられる。
【００１９】
容器４の底部４ｍには、容器支持体１５の上面に設けられる３つの位置決めピン１５ｐのそれぞれが係合する３つの案内用凹部（図示省略）が形成されている。案内用凹部は、容器４が設定位置であるときに位置決めピン１５ｐの上端に当接する部分が最も深い最深部となり、それ以外の部分が徐々に浅くなる傾斜面状の被案内面となるように形成されている。従って、容器４を、容器支持体１５に支持された載置状態とすべく下方に移動させるに伴って、容器４が、水平面に沿う方向で設定位置に徐々に移動されるようになっている。これにより、容器支持体１５は、容器４を設定位置に位置合わせした状態で下方から支持する。
【００２０】
図３に示すように、容器４の底部には、容器内空間４Ｓと外部との間を連通可能な連通孔４Ｒを有する容器側接続部としてのグロメット４Ｇ（吸気口、排気口）が備えられている。この連通孔４Ｒを介して、容器内空間４Ｓに窒素ガスが供給される。グロメット４Ｇは、平面視円形に形成されており、平面視円形の中心に連通孔４Ｒが設けられている。また、グロメット４Ｇの下面における連通孔４Ｒの周囲には平坦に形成された容器側接合面４Ｇｍが形成されている。尚、グロメット４Ｇの内部には、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢される開閉弁機構４Ｖが設けられている。開閉弁機構４Ｖは、連通孔４Ｒを介して供給される気体、又は、連通孔４Ｒを介して排出される気体の圧力が設定圧力以上となったときのみ開状態となるように構成されている。
【００２１】
図４に示すように、容器支持体１５のそれぞれには、棚正面から見て棚奥側に２つ、棚手前側に２つの計４つの支持体側接続部５５が配設されている。棚奥側の２つ及び棚手前右側の１つが、容器４の容器内空間４Ｓへパージガスの供給を行うための供給孔５５Ｒ１を備えた第１支持体側接続部５５ａである。また、棚手前左側の１つが、容器内空間４Ｓからの気体の排出を行うための排出孔５５Ｒ２を備えた第２支持体側接続部５５ｂである。
【００２２】
図４に示すように、パージ棚１０ａにおける容器支持体１５のそれぞれには、不活性気体を供給する供給配管５１が各別に配設され、供給配管５１が供給流量調節装置５２の流入側接続部に接続されている。また、供給流量調節装置５２の流出側接続部には容器用供給配管５３が接続されている。容器用供給配管５３は、容器支持体１５における第１支持体側接続部５５ａの設置位置において、容器支持体１５の上面１５ｍから上方に突出する供給ノズル５３Ｎに接続されており、供給ノズル５３Ｎから不活性気体が噴出するように構成されている。
【００２３】
また、容器支持体１５における第２支持体側接続部５５ｂの設置位置には、容器支持体１５の上面１５ｍから上方に突出する排出ノズル（図示省略）が設けられている。排出ノズルの容器支持体１５の上面１５ｍから上方における寸法は、供給ノズル５３Ｎと同寸法である。また、排出ノズルの気体通流方向下流側は開口されており、容器４の容器内空間４Ｓからの気体は、この開口から放出される。これら、供給配管５１、供給流量調節装置５２、容器用供給配管５３、供給ノズル５３Ｎ、支持体側接続部５５により、不活性気体供給部Ｆが構成される。
【００２４】
供給孔５５Ｒ１には、供給ノズル５３Ｎが摺動可能に嵌合するようになっており、供給孔５５Ｒ１を通じて不活性気体が噴出する。また、排出孔５５Ｒ２には、排出ノズルが摺動可能に嵌合するようになっており、排出孔５５Ｒ２を通じて容器内空間４Ｓから気体が排出される。支持体側接続部５５における供給孔５５Ｒ１形成部分及び排出孔５５Ｒ２形成部分の上下方向の寸法は、少なくとも供給ノズル５３Ｎ及び排出ノズルの容器支持体１５の上面１５ｍからの突出高さよりも大きくなるように構成されている。尚、第１支持体側接続部５５ａと第２支持体側接続部５５ｂとは同じ構成であるため、以降の説明では、特に区別が必要な場合を除いて単に支持体側接続部５５として説明する。
【００２５】
支持体側接続部５５は、筒状のポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）にて構成されており、図５及び図６に示すように、平面視円形に形成され、かつ、容器４が容器支持体１５に支持された載置状態において、グロメット４Ｇの下面である容器側接合面４Ｇｍと、当該支持体側接続部５５の上面である支持体側接合面５５ｍとが接合し、このとき、供給孔５５Ｒ１と連通孔４Ｒとが連通するように構成されている（排出孔５５Ｒ２についても同様である）。支持体側接合面５５ｍは、上方に向けて凸となる球面に沿う形状に形成されている。すなわち、支持体側接合面５５ｍは、供給孔５５Ｒ１又は排出孔５５Ｒ２から離れるに従って次第に下方へ向かう形状に形成されている。
【００２６】
支持体側接続部５５は、図５に示すように、支持体側接合面５５ｍを備える頂部５５Ｔと、頂部５５Ｔよりも小径で供給孔５５Ｒ１又は排出孔５５Ｒ２よりも大径であって頂部５５Ｔの下方に接して形成された縮径部５５Ｓと、縮径部５５Ｓよりも大径であって縮径部５５Ｓの下方に隣接して形成された脚部５５Ｋと、を備えている。
【００２７】
例えば図５に示すように、支持体側接続部５５は取付部材５８を用いて容器支持体１５の上面１５ｍに取り付けられる。取付部材５８は、平面視環状の板状部材である第１取付部材５８ａと第２取付部材５８ｂとから構成されている。尚、図４に示すように、Ｕ字状の容器支持体１５の奥側の支持体側接続部５５は取付部材５８を用いて容器支持体１５の上面１５ｍに取り付けられ、開口部側の支持体側接続部５５は取付部材５９を用いて容器支持体１５の上面１５ｍに取り付けられる。支持体側接続部５５の取付位置に応じて、取付部材（５８，５９）の形状は異なっているが、取付寸法や取付方法等は同様である。
【００２８】
支持体側接続部５５と容器支持体１５との間には、弾性部材５６が挟まれる。弾性部材５６は、薄肉状でかつ中心に供給ノズル５３Ｎ貫通用の孔部５６Ｈを備えた環状のゴムシート（支持体側接続部５５の材質であるＰＴＦＥより弾性係数が小さい材質）で構成されている。孔部５６Ｈの径方向の寸法は、供給ノズル５３Ｎの筒外径寸法と同じ、又は、供給ノズル５３Ｎの筒外径寸法よりも若干小さい寸法となるように形成されている。支持体側接続部５５は、供給ノズル５３Ｎが弾性部材５６の孔部５６Ｈを貫通し、弾性部材５６の下面が容器支持体１５の上面１５ｍに当接する状態で、容器支持体１５に取り付けられる。図５に示すように、支持体側接続部５５の縮径部５５Ｓに第１取付部材５８ａが嵌合する状態で、取付部材５８がビス５７にて容器支持体１５に締め付け固定される。このように、支持体側接続部５５は、第１取付部材５８ａの上下寸法と縮径部５５Ｓの上下寸法との差に相当する距離の上下移動を許容されつつも、容器支持体１５における平面視での所定位置から移動しないように容器支持体１５に取り付けられる。
【００２９】
図６は、載置状態におけるグロメット４Ｇ及び支持体側接続部５５の状態を示している。容器４が、容器支持体１５に支持された支持状態で、容器４の自重によって、供給ノズル５３Ｎ（排出ノズルも含む）とグロメット４Ｇとが接合する。上述したように、支持体側接続部５５の下部には弾性部材５６が設けられており、支持体側接続部５５は、上下移動を許容されつつも上方に付勢されている。従って、グロメット４Ｇの下面である容器側接合面４Ｇｍと支持体側接続部５５の上面である支持体側接合面５５ｍとが適切に接合する状態とすることができる。上述したように、開閉弁機構４Ｖは、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢されており、連通孔４Ｒを介して供給される気体、又は、連通孔４Ｒを介して排出される気体の圧力が設定圧力以上となったときのみ開状態となる。容器側接合面４Ｇｍと支持体側接合面５５ｍとが適切に接合されていることで、漏れを抑制して気体を供給することができる。
【００３０】
半導体素子の材料となる半導体ウェハーＷの保管時や、半導体素子の製造工程間の搬送時において、半導体ウェハーＷを塵や埃などの不純物の付着や化学反応による汚損から適切に保護可能であるかを確認するために、基板容器保管設備も点検を受ける。そのような点検の１つとして、容器４に対して適切に不活性気体が供給されているか否かを確認するために、不活性気体の供給流量が測定される。例えば、図７に示すように、容器４に代えて容器支持体１５に支持される検査装置１を用いて気体の供給状態が検査される。この検査装置１は、ＳＥＭＩ規格に準拠した容器４に準じた諸元により構成されている。具体的には、容器支持体１５と接触する部分の仕様、例えば位置決めピン１５ｐとの対応関係や、支持体側接続部５５との接合方法などが、容器４と同様となるように構成されている。
【００３１】
上述したように、容器４の底部４ｍには、容器支持体１５の上面に設けられる３つの位置決めピン１５ｐのそれぞれが係合する３つの案内用凹部が形成されている。これと同様に、検査装置１の底部１ｍには、これら位置決めピン１５ｐのそれぞれが係合する３つの案内用凹部１ｃが形成されている（図８参照）。案内用凹部１ｃは、検査装置１が容器４と同様の設定位置であるときに位置決めピン１５ｐの上端に当接する部分が最も深い最深部となり、それ以外の部分が徐々に浅くなる傾斜面状の被案内面となるように形成されている。つまり、検査装置１は、容器４を設定位置に位置合わせした状態と同じ状態で、容器支持体１５に下方から支持される。
【００３２】
また、検査装置１の底部には、容器４のグロメット４Ｇと同様の検査用グロメット１Ｇ（検査用吸気口）が備えられている。容器４のグロメット４Ｇは、容器内空間４Ｓと外部との間を連通可能な連通孔４Ｒを有して構成されているが、検査用グロメット１Ｇは、検査用配管１０３を介して流量計１０１と連通可能な検査用連通孔１Ｒを有して構成されている。この検査用連通孔１Ｒを介して、窒素ガスが流量計１０１に供給される。検査用連通孔１Ｒは、グロメット４Ｇと同様に平面視円形に形成された検査用グロメット１Ｇの中心に設けられている。また、検査用グロメット１Ｇの下面には、容器４のグロメット４Ｇと同様に、検査用連通孔１Ｒの周囲に平坦に検査装置側接合面１Ｇｍが形成されている。
【００３３】
尚、検査用グロメット１Ｇの内部には、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢される検査用開閉弁機構１Ｖが設けられている。検査用開閉弁機構１Ｖは、検査用連通孔１Ｒを介して供給される気体、又は、検査用連通孔１Ｒを介して排出される気体の圧力が設定圧力以上となったときのみ開状態となるように構成されている。これら、検査用開閉弁機構１Ｖの仕様も容器４と同様である。即ち、検査装置１は、容器支持体１５に載置された際に、容器４と同様の接続形態で支持体側接続部５５と接続される。
【００３４】
また、検査装置１には、流量計１０１によって測定された測定結果に基づく判定を行ったり、測定結果や判定結果を記憶したりする検査用制御装置１００が搭載されている。検査装置１は、容器４に代えて各容器支持体１５に載置可能である必要があるので、検査用制御装置１００等、検査装置１を駆動する電力は、検査装置１に搭載されたバッテリ１０９から供給される。
【００３５】
ところで、上述したように、供給ノズル５３Ｎ（排出ノズルも含む）とグロメット４Ｇとは、容器４が容器支持体１５に支持された支持状態で、容器４の自重によって接合する。グロメット４Ｇの下面である容器側接合面４Ｇｍと支持体側接続部５５の上面である支持体側接合面５５ｍとの接合強度は、容器４の総重量に依存する。図３を参照して上述したように、容器４は、半導体ウェハーＷを収納するウェハー支持体４Ｔを上下方向に複数並べて備えており、複数枚の半導体ウェハーＷを収容できるように構成されている。つまり、半導体ウェハーＷが１枚も収納されていない空の状態から、全てのウェハー支持体４Ｔに半導体ウェハーＷが収納されている満載状態まで容器４の総重量は様々な値を採り得ることになる。このため、容器側接合面４Ｇｍと支持体側接合面５５ｍとの接合強度も、容器４の総重量に応じて異なることになる。例えば、容器４が空の状態では、容器４の総重量が最も軽くなり、当該接合強度は最も弱くなる。一方、容器４が満載状態では、容器４の総重量が最も重くなり、当該接合強度は最も強くなる。
【００３６】
また、平面視での（水平方向に沿った方向での）容器４の容器重心位置と、各半導体ウェハーＷの重心位置とは、一般的に一致しない。従って、容器４への半導体ウェハーＷの収納枚数に応じて、容器４の水平方向に沿った方向での容器重心位置は異なる位置となる。このため、本実施形態では４カ所設定されている各支持体側接続部５５において、容器側接合面４Ｇｍと支持体側接合面５５ｍとの接合強度は容器重心位置の変化によりそれぞれ異なる変化を伴うことになる。
【００３７】
接合強度の強弱は、不活性気体の供給効率に影響する。接合強度が弱い場合には、容器側接合面４Ｇｍと支持体側接合面５５ｍとの間の機密性が低下し、漏れが生じる可能性がある。検査装置１には、そのような漏れが生じる場合も考慮して、容器４の状態に応じたガスの流量を測定することが求められる。そこで、検査装置１は、少なくとも、容器支持体１５への支持状態における水平面に沿った方向の装置重心位置Ｇ（図９参照）が、支持状態における容器４の水平面に沿った方向の容器重心位置に一致するように構成されている。この装置重心位置Ｇは、容器４の重量と検査装置１の重量とがほぼ一致する際の重心位置である。
【００３８】
そして、重心位置を揃える際のこの重量は、容器４が空の状態の時、つまり容器４の最小重量であると好適である。つまり、容器４が最も軽く、容器側接合面４Ｇｍと支持体側接合面５５ｍとの接合強度が最も弱い時の状態を、検査装置１を用いて再現することができる。尚、錘等を検査装置１に付加することによって、検査装置１の重量を増加させることは可能であるから、検査装置１の重量は、最小重量と一致している必要はなく、最小重量以下であってもよい。
【００３９】
ところで、上述したように検査装置１には、流量計１０１に加えて検査用制御装置１００やバッテリ１０９も搭載されている。従って、検査装置１の重量は、空の状態の容器４の重量よりも重くなってしまう可能性がある。しかし、容器側接合面４Ｇｍと支持体側接合面５５ｍとの接合強度を考慮すれば、検査装置１の重量は可能な限り軽量であることが望ましい。従って、検査装置１の重量は、少なくとも、容器４に半導体ウェハーＷを最大枚数収容した際の容器４の重量である最大重量よりも軽量であることが好ましい。この場合には、容器４が空の状態の際の再現はできないが、少なくとも水平面に沿った重心位置を合わせることによって、検査精度を高めることができる。
【００４０】
また、上述したように、半導体ウェハーＷが１枚も収納されていない空の状態から、全てのウェハー支持体４Ｔに半導体ウェハーＷが収納されている満載状態まで容器４の総重量は様々な値を採り得る。従って、それぞれの状態において、検査装置１による検査を行うことができると好ましい。例えば、錘等を検査装置１に付加することによって、重量を調整することが可能に構成されていると好適である。
【００４１】
例えば、図９に示すように、検査装置１に重量調整用の錘を支持する錘支持部Ｐが設けられていると好適である。本実施形態では、検査装置１の床面に６箇所の錘支持部Ｐが設けられている形態を例示しているが、錘支持部Ｐの設置数は任意であるが、錘支持部Ｐを複数箇所に設定することによって、装置重心位置Ｇを調整することができる。錘支持部Ｐが１箇所の場合には、錘の付加による装置重心位置Ｇの大きな変動を抑制するために、錘支持部Ｐは、装置重心位置Ｇに設置されることが好ましい。尚、本実施形態では、検査装置１の床面に錘支持部Ｐが設けられている形態を例示しているが、錘をつり下げて保持するような形態であってもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１        ：検査装置
１Ｇ      ：検査用グロメット（検査用吸気口）
４        ：容器（搬送容器）
９        ：収納部
１０      ：保管棚
１５      ：容器支持体（載置支持部）
５１      ：供給配管（不活性気体供給部）
５２      ：供給流量調節装置（不活性気体供給部）
５３      ：容器用供給配管（不活性気体供給部）
５３Ｎ    ：供給ノズル（不活性気体供給部）
５５      ：支持体側接続部（不活性気体供給部）
Ｆ        ：不活性気体供給部
Ｇ        ：装置重心位置
Ｗ        ：半導体ウェハー（基板）
【図１】
0005888288.tif 000002
【図２】
0005888288.tif 000003
【図３】
0005888288.tif 000004
【図４】
0005888288.tif 000005
【図５】
0005888288.tif 000006
【図６】
0005888288.tif 000007
【図７】
0005888288.tif 000008
【図８】
0005888288.tif 000009
【図９】
0005888288.tif 000010