(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を受け入れかつ処理する内部を有するチャンバと、
前記チャンバ内の状態を測定するためのセンサプローブを有するセンサアセンブリと、
前記チャンバに配置されており、前記センサプローブを受け入れかつ前記センサプローブが前記チャンバ内部に進入できるようにする少なくとも１つのポートであって、該ポートが前記チャンバから外側に突出するステムを備え、前記ステムがフランジと、内側開口部および外側開口部の間に配置されておりかつ前記チャンバ内部と流体連通しているステム通路を形成する内壁とを備える、少なくとも１つのポートと、
前記ポートと前記センサプローブとの間に封止を形成し、前記チャンバ内の流体がこれを越えて漏れ出すのを防止するプローブシールであって、該プローブシールが互いに離間して配置される内部スカートおよび外部スカートを備え、前記プローブシールが前記ステムに取り付けられる時に前記センサプローブを受け入れかつ前記センサプローブが前記チャンバ内部に進入できるようにするシール通路を形成する壁を前記内部スカートが有する、プローブシールと
を備えている生物学的処理システムであって、
前記内部スカートは漏れ止め封止状態を形成するために前記センサプローブおよび前記ステム通路に対して封止可能に押し付けられるシール部材を有し、
前記内部スカートおよび前記外部スカートは、前記内部スカートが前記ステム通路に挿入される時に前記ステムの前記フランジを受け入れるように構成されているスカート溝を形成する、生物学的処理システム。
【請求項２】
前記ステムの前記フランジがテーパ付き形状をしており、前記ステムが前記チャンバとテーパ付きの前記フランジとの間に配置された環状フランジをさらに備え、該環状フランジとテーパ付きの前記フランジとの間にステム溝が形成され、
前記プローブシールと前記ステムとを共に着脱可能に取り付けるケーブルタイがあり、
前記プローブシールが、前記内部スカートが前記ステム通路に挿入される時に前記外部スカートがテーパ付きの前記フランジに柔軟に係合できるように構成された可撓性高分子材料からなり、前記外部スカートが前記ケーブルタイによって前記ステム溝に取り付けられるよう配置されている、請求項１に記載の生物学的処理システム。
【請求項３】
前記シール部材が、前記ステム通路に挿入される前記内部スカートの内部端の近くに配置されており、前記センサプローブに向かって内側にかつ前記ステム通路を形成する前記壁から離れるよう傾斜している、請求項１に記載の生物学的処理システム。
【請求項４】
前記内部スカートが前記シール部材と前記内部スカートとの間に配置された頸部を備え、前記プローブシールを前記シール通路に挿入することによって、前記頸部により前記シール部材を外側に向かって湾曲させて前記ステム通路に封止的に係合できるように、前記頸部が前記内部スカートの前記壁よりも薄い、請求項３に記載の生物学的処理システム。
【請求項５】
前記シール部材が前記外部スカートの外側に配置され、前記内部スカートを前記ステム通路に挿入しやすくしている、請求項３に記載の生物学的処理システム。
【請求項６】
前記センサプローブが前記プローブシール通路に挿入される時、前記シール部材が前記内部スカートの前記壁からの干渉なしに前記センサプローブに封止可能に係合できるように、前記シール部材が前記内部スカートの前記壁より厚い、請求項１に記載の生物学的処理システム。
【請求項７】
チャンバ内の流体の状態を測定するためのセンサプローブを該チャンバ内に挿入する時、前記流体を包含するチャンバから前記流体が漏れるのを防止するための封止システムであって、
前記流体を包含するチャンバに流体連通している少なくとも１つのポートであって、該ポートが前記チャンバから外側に突出するステムを備え、前記ステムがフランジと、内側開口部および外側開口部の間に配置されておりかつ前記チャンバ内部と流体連通しているステム通路を形成する内壁とを備える、少なくとも１つのポートと、
互いに離間して配置される内部スカートと外部スカートとを含んでおり、前記ポートと前記センサプローブとの間に封止を形成するプローブシールであって、プロセシングチャンバ内の流体が該プローブシールを越えて漏れ出すのを防止する、プローブシールと
を備え、
前記内部スカートが前記チャンバと流体連通しているシール通路を形成する壁を備え、前記内部スカートが、前記プローブシールが前記ステムに取り付けられる時に前記ステム通路に進入するように配置される内部端を備え、
前記内部スカートが、前記センサプローブを前記シール通路に挿入することにより漏れ止め封止状態を形成するために前記センサプローブおよび前記ステム通路に対して封止可能に押し付けられる、前記内部端の近くに配置されたシール部材を有し、
前記内部スカートが前記ステム通路に挿入される時に前記ステムの前記フランジを受け入れるように構成されたスカート溝を前記内部スカートおよび前記外部スカートが形成している、封止システム。
【請求項８】
前記ステムの前記フランジがテーパ付き形状をしており、前記ステムが、前記チャンバとテーパ付きの前記フランジとの間に配置された環状フランジをさらに備え、該環状フランジとテーパ付きの前記フランジとの間にステム溝が形成されるようになっており、
前記プローブシールと前記ステムとを共に着脱可能に取り付けるケーブルタイがあり、
前記プローブシールが、テーパ付きの前記フランジが前記スカート溝に挿入される時に前記外部スカートがテーパ付きの前記フランジに柔軟に係合できるように構成された可撓性高分子材料からなり、前記外部スカートが前記ケーブルタイによって前記ステム溝に取り付けられるよう配置されている、請求項７に記載の封止システム。
【請求項９】
前記シール部材が、前記ステム通路に挿入される前記内部スカートの前記内部端の近くに配置されており、前記センサプローブに向かって内側にかつ前記ステム通路を形成する前記壁から離れるよう傾斜している、請求項７に記載の封止システム。
【請求項１０】
前記内部スカートが前記シール部材と前記内部スカートとの間に配置された頸部を備え、前記プローブシールを前記シール通路に挿入することによって、前記頸部により前記シール部材を外側に向かって湾曲させてステム通路に封止的に係合できるように、前記頸部が前記シール部材よりも薄い、請求項９に記載の封止システム。
【請求項１１】
前記シール部材が前記外部スカートの外側に配置され、前記内部スカートの前記ステム通路への挿入を補助する、請求項９に記載の封止システム。
【請求項１２】
前記センサプローブが前記プローブシール通路に挿入される時、前記シール部材が前記内部スカートの前記壁からの干渉なしに前記センサプローブに封止可能に係合できるように、前記シール部材が前記内部スカートの前記壁より厚い、請求項７に記載の封止システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
[0001]本発明は、生物医薬品容器、特に容器内の状態を測定するために使用するセンサプローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
[0002]バイオテクノロジー産業および医薬品産業では、無菌液体の製造、処理、操作、輸送、貯蔵を行わなければならない。処理は、無菌状態下で制御された態様において無菌液体および／または固形物を混合することを含む。混合は、例えばバッファおよび培地の調製、細胞培養成長並びに低ｐＨウイルス不活化および最終製剤などのインプロセス単位操作を含む生物医薬品プロセスや医薬品製造における重要な作業である。処理、輸送、貯蔵は、例えば使い捨てバッグ、バイオ容器、バイオリアクタなどの密閉されたプロセシングチャンバの中で行われることもある。
【０００３】
[0003]多くの混合作業では、温度、ｐＨ、伝導率などのオンラインパラメータを慎重にモニタリングする必要がある。センサプローブはプロセシングチャンバ内の液体の状態を測定するために使用される。プロセシングチャンバの外側にあるマニホールドは、概して、センサを受け入れるようかつセンサがプロセシングチャンバの内部に進入できるように構成されたポートを有する。センサプローブはポートに挿通されており、センサプローブの端部をプロセシングチャンバ内に挿入し、プロセシングチャンバ内の状態を測定するようになっている。
【０００４】
[0004]しかしながら、センサがプロセシングチャンバ内に挿入される時、流体がプロセシングチャンバからセンサプローブを通って漏れ出し、プローブを囲むスリーブに溜まる場合がある。プロセシングチャンバからプローブスリーブ内へと漏れ出した流体生成物は使用が困難になり、使用できなくなることがある。極端なケースでは、センサプローブを通って漏れ出した流体は、分解中にプローブスリーブから滴下し、汚い状況やその他の望ましくない状況を作り出す場合がある。
【発明の概要】
【０００５】
[0005]本発明の一実施形態では、生物学的処理システムにおいて、設けられ、かかるシステムは該システムの流体ポートとセンサプローブとの間に液密な封止を形成する独特のプローブシールを備えている。流体を受け入れかつ処理する内部を有する流体プロセシングチャンバは、チャンバ内の状態を測定するためにセンサプローブを使用するセンサアセンブリと協働するように構成されている。
【０００６】
[0006]プロセシングチャンバは、センサプローブを受け入れかつセンサプローブがこのチャンバ内部に挿入できるようにする少なくとも１つのポートが配置されている。ポートは、チャンバから外側に突出するステムを備えている。ステムはテーパ付きのフランジと、内側開口部および外側開口部の間に配置されておりかつチャンバ内部と流体連通しているステム通路を形成する内壁とを備えている。
【０００７】
[0007]プローブシールは、ポートとセンサプローブとの間に封止を形成し、プロセシングチャンバ内の流体がプローブシールを越えて漏れ出すのを防止する。プローブシールは互いに離間して配置される内部スカートおよび外部スカートを備えている。内部スカートは、プローブシールがステムに取り付けられる時にセンサプローブを受け入れかつセンサプローブがチャンバに挿入できるようにするシール通路を形成する壁を有する。また、内部スカートは、漏れ止め封止状態を形成するためにプローブセンサおよびステム通路に対して封止可能に押し付けられるシール部材を有する。内部スカートおよび外部スカートは、内部スカートがステム通路に挿入される時にステムのテーパ付きのフランジを受け入れるように構成されているスカート溝を形成している。
【０００８】
[0008]好適な実施形態では、ステムはチャンバとテーパ付きのフランジとの間に配置された環状フランジを備え、該環状フランジとテーパ付きのフランジが溝を形成するようになっている。プローブシールは、好ましくは、テーパ付きのフランジがスカート溝に挿入される時に外部スカートがテーパ付きのフランジに柔軟に係合できるように構成された可撓性高分子材料からなる。スカート溝に配置されるケーブルタイが、外部スカートをステムに取り付けてもよい。
【０００９】
[0009]別の好適な実施形態では、シール部材は、ステム通路に挿入される内部スカートの内部端の近くに配置されている。シール部材は、プローブセンサに向かって内側にかつステム通路を形成する壁から離れるよう傾斜している。プローブシールをシール通路に挿入することにより、プローブシールは内側に突出するシール部材に係合し、シール部材を押してシール通路の壁に対して封止接触させる。センサプローブがプローブシール通路に挿入される時、シール部材が内部スカートの壁からの干渉なしにセンサプローブに封止可能に係合できるように、シール部材は内部スカートの壁より厚いことが望ましい。
【００１０】
[0010]さらに別の実施形態では、内部スカートはシール部材と内部スカートとの間に配置された頸部を備えている。センサプローブをシール通路に挿入することにより、シール部材が外側に向かって湾曲してステム通路に封止的に係合できるように、頸部はシール部材よりも薄い。シール部材は、好ましくは外部スカートの外側に配置され、内部スカートをステム通路に挿入しやすくする。
【００１１】
[0011]別の実施形態では、チャンバ内の流体の状態を測定するためのセンサプローブを該チャンバ内に挿入する時、流体を保持するチャンバから流体が漏れるのを防止するための封止システムが提供される。封止システムは、流体を包含するチャンバに流体連通している少なくとも１つのポートを備えている。ポートはチャンバから外側に突出するステムを備えている。また、ステムはテーパ付きのフランジと、内側開口部および外側開口部の間に配置されておりかつチャンバ内部と流体連通しているステム通路を形成する内壁とを備えている。
【００１２】
[0012]ポートとセンサプローブとの間に封止を形成するプローブシールであって、プロセシングチャンバ内の流体が該プローブシールを越えて漏れ出すのを防止する、プローブシールが提供される。プローブシールは互いに離間して配置される内部スカートと外部スカートとを含んでいる。内部スカートは、チャンバと流体連通しているシール通路を形成する壁を備えている。また、内部スカートは、プローブシールがステムに取り付けられる時にステム通路に進入するように配置される内部端を備えている。内部スカートは、センサプローブをシール通路に挿入することにより漏れ止め封止状態を形成するためにセンサプローブおよびステム通路に対して封止可能に押し付けられる、内部端の近くに配置されたシール部材を有する。また、内部スカートおよび外部スカートは、内部スカートがステム通路に挿入される時にステムのテーパ付きのフランジを受け入れるように構成されたスカート溝を形成している。
【００１３】
[0013]好適な実施形態では、センサプローブがプローブシール通路に挿入される時、シール部材が内部スカートの壁からの干渉なしにセンサプローブに封止可能に係合できるように、シール部材は内部スカートの壁より厚い。
【００１４】
[0014]別の実施形態では、封止システムは環状フランジを備え、該環状フランジは、該環状フランジおよびテーパ付きのフランジによりステム溝が形成されるよう配置されている。プローブシールは、テーパ付きのフランジがスカート溝に挿入される時に外部スカートがテーパ付きのフランジに柔軟に係合できるように構成された可撓性高分子材料からなる。溝内に嵌合するケーブルタイが外部スカートとステムとを共に着脱可能に取り付けてもよい。
【００１５】
[0015]また別の実施形態では、シール部材は、ステム通路に挿入される内部スカートの内部端の近くに配置されている。シール部材は、プローブセンサに向かって内側にかつステム通路を形成する壁から離れるよう傾斜しており、プローブシールをステム通路に挿入しやすくしている。また、シール部材は、外部スカートの外側に配置され、内部スカートのステム通路への挿入を補助してもよい。
【００１６】
[0016]好適な実施形態では、内部スカートはシール部材と内部スカートとの間に配置された頸部を備えている。プローブシールをシール通路に挿入することによって、頸部によりシール部材を外側に向かって湾曲させてステム通路に封止的に係合できるように、頸部はシール部材よりも薄い。
【００１７】
[0017]本発明の好適な実施形態を、以下の図面を参照して詳細に説明する。以下の図面では、本発明の様々な例示的な実施形態が示されているが、図面は本発明の範囲を限定するために用いられるべきものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明により構成された、センサポートマニホールド、センサプローブシールおよびセンサプローブアセンブリの一部を有するプロセシングチャンバの斜視図である。
【図２】本発明により構成された、センサポートマニホールド、センサプローブシールおよびセンサプローブアセンブリの一部を有するプロセシングチャンバの分解図である。
【図３】完全に組み立てられたセンサポートマニホールド、センサプローブシールおよびセンサアセンブリの一部を有するプロセシングチャンバの拡大正面図である。
【図４】図３の完全に組み立てられたセンサポートマニホールド、センサプローブシールおよびセンサアセンブリの一部を有するプロセシングチャンバの線４−４に沿っての断面図である。
【図５】プローブシールの斜視図である。
【図６】図５のプローブシールの線６−６に沿っての断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
[0024]本明細書は本発明の例示的な実施形態を提供することが理解されよう。本発明の他の実施形態は本明細書における実施形態とは細部が異なっていてもよいため、本明細書はその時点で考察されている特定の実施形態に言及することが意図され、より一般的に本発明の範囲への制限を暗示することは意図されない。
【００２０】
[0025]図１は、本発明の特徴を取り入れた処理システム１０の一実施形態を示している。図示されたシステムは、生物、医薬品、その他の産業において無菌液体または非無菌液体の製造、処理、操作、輸送および／または貯蔵に使用することができるプロセシングチャンバ１２である。本発明はプロセシングチャンバに関連して説明されているが、あらゆる種類の液体容器において液体および／または固形物に接触するために使用されるいかなるポートの封止にも適用できる。プロセシングチャンバ１２は、好ましくはバイオ容器やバイオリアクタと呼ばれることもあるプロセシングバッグであり、好ましくは可撓性高分子材料により作られたプロセシングバッグである。チャンバ１２はバッグを充填したり、空にしたりするために少なくとも１つの開口部（図示せず）を有する。混合機構（図示せず）がプロセシングチャンバ１２に組み入れられていてもよい。
【００２１】
[0026]図１〜図４は、プロセシングチャンバ１２の中で温度、ｐＨなどの状態を測定するためのセンサアセンブリ１３の一実施形態を示している。図１は、センサプローブ６０がない状態でのセンサプローブアセンブリ１３の雌ユニット６２を示している。図３および図４は、センサアセンブリ１３の雌ユニット６２および雄ユニット７０を示している。図示実施形態では、雌ユニット６２は、プロセシングチャンバ１２が空で流体がプロセシングチャンバ１２に充填される前に、プロセシングチャンバ１２に取り付けられることが一般的である。一般に、雄ユニット７０に取り付けられるセンサプローブ６０は、チャンバ１２内の状態を測定するためのデータレコーダおよび／または制御ユニット（図示せず）に接続されている。雄ユニットと雌ユニットとが互いに取り付けられている時、センサプローブ６０はプロセシングチャンバ１２内に挿入されることができる。
【００２２】
[0027]図１〜図４は、プロセシングチャンバ１２の外部に配置されるセンサマニホールド１４を示している。センサマニホールド１４は、センサプローブ６０を受け入れかつプロセシングチャンバ１２の内部にセンサプローブ６０が進入できるようにするポート１６を少なくとも１つ備えている。図示されるセンサマニホールド１４は、間隔を置いて配置された３つのポート１６，１８，１９を有する。好適な実施形態では、ポート１６，１８はセンサプローブ６０を受け入れるよう構成され、ポート１９は流体サンプリングポートである。ポート１８は使用されておらず、カバー１８ａを有する。センサポート１６は、マニホールド１４から外側に突出するステム２０を備えている。ステム２０は、内側開口部２６と外側開口部２８との間に配置されるステム通路２４を形成する内壁２２を具備している。また、ステム２０は環状フランジ３０およびテーパ付きフランジ３２を有する。２つのフランジ３０，３２の間には溝３４が形成されている。
【００２３】
[0028]本発明によれば、センサポート１６とセンサプローブ６０との間に確実な封止を形成するプローブシール４０が設けられ、当該封止はプロセシングチャンバ１２の流体がプローブシール４０を越えて漏れ出すのを防止する。プローブシール４０がなければ、プロセシングチャンバ１２の流体はステム通路２４およびセンサプローブ６０を囲むスリーブに侵入し、溜まる可能性があることが理解されよう。プローブシール４０なしにセンサアセンブリ１３が分解されるかセンサプローブが引き抜かれるかした場合、溜まった流体はマニホールドおよび／またはプローブアセンブリから漏れ出す可能性がある。プローブスリーブの中に閉じ込められた流体生成物は使用が困難になることもある。
【００２４】
[0029]ステム２０とセンサプローブ６０との間に液密な封止を形成するプローブシール４０は、内部スカート４２および外部スカート４４を備えている。内部スカート４２および外部スカート４４は、好ましくは、成形シリコーンなどの一体的に形成された可撓性材料により作られる。内部スカート４２により形成されるシール通路４６は、センサプローブ６０がプローブシール４０およびステム通路２４を通過し、プロセシングチャンバ１２に進入できるようにする。内部スカート４２に、好ましくはＯリング設計の寸法に基づく前以って決められた寸法を選択することにより、可撓性の内部スカート４２はプローブセンサ６０およびステム通路２４に対して押し付けられ、ステム２０とプローブセンサ６０との間に漏れ止め封止状態を作り出す。
【００２５】
[0030]内部スカート４２は外部壁面４８、内部壁面５０およびシール部材５２を備えている。外部壁面４８はステム通路２４の内壁２２に係合する。内部壁面５０は、センサプローブ６０を受け入れるよう構成されるシール通路４６を形成している。内部スカート４２の外側端部５４は、ケーブルタイ６７などを使ってプローブシール４０をプローブアセンブリの雌ユニット６２に着脱可能に取り付けることを可能にする。センサプローブ６０は、プロセシングチャンバ１２の流体を測定できるようシール通路４６、次にポート通路２４に挿通されうる。
【００２６】
[0031]シール部材５２は、ステム通路２４に挿入される内部スカート４２の内側端部５６の近くに配置されている。シール部材５２と内部スカート４２との間の頸部５３は、シール部材５２がプローブシール４０の中心線に向かって内側にかつステム通路２４を形成する壁２２から離れるよう、傾斜するおよび／または湾曲することを可能にする。図５および図６において明示されるように、シール部材５２は外部スカート４４の外側に延在する。シール部材５２を外部スカート４４の外側に配置し、かつ、シール部材５２を内側に向かって傾斜させることによって、組み立ての際、内部スカート４２をステム通路２４に挿入しやすくなり、また、ステム通路２４によるシール部材５２および内部スカート４２への損傷を最小限に抑える。センサプローブ６０がプローブシール４０を通ってプロセシングチャンバ１２に挿入される時、センサプローブ６０は通路２４の壁２２に向かって外側にシール部材５２を押す。センサプローブ６０の動きに応じてセンサプローブ６０とステム通路２４の壁２２との間に圧縮性の液密な封止が形成される。
【００２７】
[0032]図６において明示される好適な実施形態では、シール部材５２は略円形または略楕円形の形状を有している。センサプローブ６０とステム壁２２との間の封止を有効化するため、シール部材５２の厚さは内部スカート壁の厚さよりも大きいことが望ましい。これにより、センサプローブ６０をプローブシール通路２４に挿通することによって、シール部材５２は内部スカート４２の壁５０からの干渉なしにセンサプローブ６０に封止可能に係合する。また、センサプローブ６０に応じたシール部材５２の湾曲を容易にするため、頸部５３の厚さはスカートの厚さよりも小さいことが望ましい。
【００２８】
[0033]外部スカート４４は内部スカート４２から離間して配置され、そのため内部スカート４２と外部スカート４４との間にスカート溝４３が形成されている。スカート溝４３は、内部スカート４２がステム通路２４に押し込まれる時にステム２０のテーパ付きフランジ３２を受け入れるように構成されている。可撓性高分子材料は、外部スカート４４が湾曲してテーパ付きフランジ３２を収容することを可能にする。プローブシール４０は、ケーブルタイ５８などを使って、ステム２０に着脱可能に取り付けることができる。また、ケーブルタイ５８は、プローブシール４０とステムフランジ３２との間からプロセシングチャンバ１２の流体が漏れ出すのを防ぐ役割も果たす。
【００２９】
[0034]本発明を使用するため、プローブシール４０の内側端部５６をステム通路２４に挿入することによって、プローブシール４０がステム２０に着脱可能に取り付けられる。外部スカート４４の外側に配置され、プローブシールの中心に向かって内側に傾斜するシール部材５２は、組立ての際、内部スカート４２をステム通路２４に挿入しやすくし、また、ステム通路２４によるシール部材５２および内部スカート４２への損傷を最小限に抑える。内部スカート４２の外部壁面４８は、ステム通路２４の内壁２２に摺動可能に係合する。内部壁面５０は、センサプローブ６０を受け入れるように構成されたシール通路４６を形成している。
【００３０】
[0035]内部スカート４２がステム通路に挿入される時、内部スカート４２と外部スカート４４との間に形成されるスカート溝４３がステム２０のテーパ付きフランジ３２を受け入れる。可撓性高分子材料は、外部スカート４４が湾曲してテーパ付きフランジ３２を収容することを可能にする。外部スカート４４を、ひいてはプローブシール４０を、ステム２０に着脱可能に取り付けるため、溝３４に嵌合するように構成されたケーブルタイ５８を使用してもよい。
【００３１】
[0036]プローブシール４０がステム２０に取り付けられると、センサアセンブリ１３の雌ユニット６２を内部スカート４２の外側端部５４に挿入することができる。雌ユニット６２をプローブシール４０に着脱可能に取り付けるためにケーブルタイ６７を使用してもよい。フランジ７４を使って、センサアセンブリ１３の雄端部７０を雌端部６２に挿入することができる。雌端部６２および雄端部７０は、それぞれ雌ラッチ部材６４および雄ラッチ部材７１を利用して、互いに着脱可能に取り付けられることができる。
【００３２】
[0037]雌ユニット６２が雄ユニット７０に取り付けられた後、当初はスリーブ７６に収容されているセンサプローブ６０は、シール通路およびステム通路、さらにチャンバ１２に挿通されることができる。センサプローブ６０は、図３に示されているようにスリーブ７６を押して折りたたむことによってスリーブ７６の内部から押し出される。
【００３３】
[0038]プローブシール４０をシール通路４６に挿入する前は、シール部材５２はプローブシール４０の中心線に向かって内側にかつステム通路２４を形成する壁２２から離れるよう、傾斜しておよび／または湾曲している。センサプローブ６０がプローブシール４０を通ってプロセシングチャンバ１２に挿入される時、センサプローブ６０はシール部材５２に係合し、通路２４の壁２２に向かって外側にシール部材５２を押す。センサプローブ６０の動きによって、センサプローブ６０とステム通路２４の壁２２との間に圧縮性の液密な封止が形成される。センサプローブ６０とステム壁２２との間を封止しやすくするため、シール部材５２の厚さは内部スカート壁の厚さよりも大きいことが望ましい。これにより、センサプローブ６０をプローブシール通路２４に挿通することにより、シール部材５２は内部スカート４２の壁５０からの干渉なしにセンサプローブ６０に封止可能に係合する。
【００３４】
[0039]プローブシール４０がなければ、プロセシングチャンバ１２の流体はステム通路２４とセンサプローブ６０を囲むスリーブとに侵入し、溜まる可能性があることが理解されよう。同様に、プローブシール４０なしにセンサアセンブリ１３が分解されるかセンサプローブが引き抜かれるかした場合、溜まった流体はマニホールドおよび／またはプローブアセンブリから漏れ出す可能性があり、および／またはプローブスリーブの中の流体は使用が困難になる場合もある。よって、本発明によれば、プロセシングチャンバの流体がプローブシール４０を越えて漏れ出すのを防止するためにセンサポート１６とセンサプローブ６０との間に確実な封止を形成するプローブシール４０が提供される。
【００３５】
[0040]本開示は発明の説明を目的とするものであり、発明の限定を目的とするものではない。本開示は当業者に多くの変形形態および代替形態を示唆するであろうが、それらはすべて本発明の範囲および添付の特許請求の範囲に含まれるものである。当業者は本明細書に記載された実施形態の均等物を認識するだろうが、そのような均等物も本発明の範囲および添付の特許請求の範囲に含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００３６】
１０…処理システム、１２…プロセシングチャンバ、１３…センサアセンブリ、１４…センサマニホールド、１６，１８，１９…ポート、２０…ステム、２２…ステム壁、２４…ステム通路、２６…内側開口部、２８…外側開口部、３０，３２…フランジ、３４…溝、４０…プローブシール、４２…内部スカート、４３…スカート溝、４４…外部スカート、４６…シール通路、５２…シール部材、５３…頸部、５４…外側端部、５６…内側端部、５８…ケーブルタイ、６０…センサプローブ、６２…雌ユニット、６４…雌ラッチ部材、６７…ケーブルタイ、７０…雄ユニット、７１…雄ラッチ部材、７４…フランジ、７６…スリーブ。
【図１】
0005850376.tif 000002
【図２】
0005850376.tif 000003
【図３】
0005850376.tif 000004
【図４】
0005850376.tif 000005
【図５】
0005850376.tif 000006
【図６】
0005850376.tif 000007