(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光源とワークピースとの間に配置されるように構成された音響光学偏向器であって、
回折結晶と、
前記回折結晶に接続された少なくとも１つのＲＦドライバであって、前記少なくとも１つのＲＦドライバは、前記回折結晶を通じて音波を発生させるように構成されている、前記少なくとも１つのＲＦドライバと、
前記回折結晶を貫く光回折路であって、前記ＲＦドライバに応答する屈折特性を有する、前記光回折路と、
照明光源と視野絞りとの間に配置されるように構成された開口と、
前記開口とワークピースとの間に配置されるように構成された、孔を有する視野絞りとを備え、
前記音響光学偏向器は、
前記少なくとも１つのＲＦドライバに接続されたドライバ回路をさらに備え、前記ドライバ回路は、第１の周波数から第２の周波数に及ぶ拡張された周波数範囲を掃引し、前記第１の周波数および前記第２の周波数は、１オクターブを超える周波数範囲に及び、前記ドライバ回路は、さらに、少なくとも１つのビームのブランキングを生成するように構成され、前記ドライバ回路によって前記開口を通じて生成された前記ブランキングと、前記視野絞りの孔との組み合わせにより、前記拡張された周波数範囲のうちの１オクターブを超える、前記開口内の任意の点からの回折された放射が、前記視野絞りを通過することが不可とされることを特徴とする、音響光学偏向器。
【請求項２】
前記ドライバ回路は、ブランキング間隔基準を生成するように構成され、前記ブランキング間隔基準により、前記光回折路を横断するビームを、ブランキング時間にわたってブランキングし、前記ブランキング時間は、前記１オクターブを超える拡張された周波数範囲の利用を制限して、前記開口の孔内の任意の点における前記音響光学偏向器のブランキングされていない動作周波数範囲が１オクターブ未満となる、請求項１に記載の音響光学偏向器。
【請求項３】
前記ドライバ回路は、前記光回折路を伝播するビームを、前記ドライバ回路からの前記第１の周波数と前記第２の周波数との間の不連続部分が前記光回折路を伝播する際にブランキングさせるように構成され、前記音響光学偏向器のブランキングされていない動作周波数が、１オクターブを超える拡張された周波数範囲を掃引する前記ドライバ回路に起因して、前記開口の孔内の少なくとも１つの点において１オクターブに近づく、請求項１に記載の音響光学偏向器。
【請求項４】
前記ドライバ回路は、掃引周波数を、駆動周波数の不連続部分が前記開口の孔を横断するのに必要な時間にほぼ等しい時間にわたって、前記第１の周波数よりも１オクターブを超えて継続的に上昇させるように構成されている、請求項１に記載の音響光学偏向器。
【請求項５】
前記第１の周波数と前記第２の周波数との間の比は、少なくとも１．１０オクターブである、請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の音響光学偏向器。
【請求項６】
前記第１の周波数と前記第２の周波数との間の比は、少なくとも１．２０オクターブである、請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の音響光学偏向器。
【請求項７】
前記第１の周波数と前記第２の周波数との間の比は、少なくとも１．３０オクターブである、請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の音響光学偏向器。
【請求項８】
音響光学偏向器を駆動する方法であって、前記音響光学偏向器は、回折結晶と、前記回折結晶を通じて音波を発生させるように構成されたＲＦドライバに接続されたドライバ回路と、視野絞りと、開口とを含み、前記視野絞りは、孔を有し、前記回折結晶とワークピースとの間に配置され、前記開口は、孔を有し、照明光源と前記回折結晶との間に配置され、前記方法は、
前記回折結晶に駆動信号を印加することであって、前記駆動信号は、１オクターブを超える周波数範囲を掃引する、前記印加することを含み、前記方法は、さらに、
前記駆動信号の周波数範囲の不連続部分が、前記開口の孔によってビームに露出された前記回折結晶の一部を伝播する際に、前記開口の孔を通じて前記回折結晶上へ方向付けられた少なくとも１つのビームをブランキングすることを含み、前記ブランキングおよび前記視野絞りの孔の組み合わせにより、前記拡張された周波数範囲のうちの１オクターブを超える、前記開口内の任意の点からの回折された放射が、前記視野絞りを通過することが不可とされることを特徴とする、方法。
【請求項９】
前記不連続部分が前記開口の孔を通過するのに必要な時間にほぼ等しい時間にわたって１オクターブを超えて継続的に上昇する周波数を用いて前記回折結晶を駆動することをさらに含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記不連続部分が前記開口の孔を通過するのに必要な時間よりも短い時間にわたって１オクターブを超えて継続的に上昇する周波数を用いて前記結晶を駆動することをさらに含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
前記開口を通じて前記結晶上へと方向付けられた前記ビームを、視野絞りを介して中継することをさらに含み、前記ブランキングと、前記視野絞りの孔との組み合わせにより、前記視野絞りを通過する回折された放射が、１オクターブ未満の駆動信号によって回折される放射に制限される、請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
少なくとも１．２０オクターブの範囲の音響周波数を用いることをさらに含む、請求項８〜１１のうちいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（関連出願）
本出願は、米国仮特許出願第６１／３７８，２５１号（タイトル：「Ａｃｏｕｓｔｏ−Ｏｐｔｉｃ  Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒｓ  Ｏｖｅｒ  Ｏｎｅ  Ｏｃｔａｖｅ」、出願日：２０１０年８月３０日）による恩恵を主張する。
【０００２】
本発明者による音響光学偏向器に関する先行文献を挙げると、米国特許第６，７００，６００号（出願日：２００４年３月２日）がある。
（技術分野）
分類目的のために、本開示の概略の技術分野は、横断光線の特性方向を回折結晶（いわゆる音響光学偏向器（ＡＯＤ））に印加される時変音響信号に比例して変化させる光学素子であると考えられる。ＡＯＤを通過する光の回折は、偏向発生信号の変化と共に変化する時間の関数である。偏向発生信号は、回折結晶のバルク光学特性を変化させ、光学的透過性媒体を通じた回折を変化させる。光制御素子の表面上または境界内において発生した超音波により、素子内における条件が設定され、その結果、光学パラメータ（例えば、屈折率）が変化し、これにより光を直接制御する。
【背景技術】
【０００３】
マイクロニックマイデータＡＢ（「マイクロニック」）は、マスク作製およびワークピースへの直接書き込みのための資本設備を構築している。ＰｒｅｘｉｓｉｏｎおよびＬＲＳパターン描画装置により得られた大型マスクは、例えば、最新のパターン描画装置モデル内の大型ジェネレーション１０基板上のフラットパネルディスプレイまたはテレビの作製のために用いられる。オメガパターン描画装置は、チップ作製のためのマスクまたはレチクルを作製する。これらのパターン描画装置の共通点として、ワークピース表面上のレジスト内の潜像形成のために走査レーザビームが用いられる点があり、走査は音響光学偏向器（ＡＯＤ）によって制御される。本出願において記載される向上したＡＯＤは、マイクロニックのパターン描画装置を超える実際的用途を有する。
【０００４】
マイクロニックにおいて従来から用いられているＡＯＤの特徴として、供給業者によって指定される動作帯域幅が１００ＭＨｚを超える点がある。用途によっては、このＡＯＤに適用される駆動周波数は約２００ＭＨｚを中心とする。実際、このＡＯＤの利用可能周波数範囲は約１３０ＭＨｚであることが分かっている。この約２００ＭＨｚを中心とする帯域幅を適用した場合、動作範囲内の最低周波数および最高周波数はそれぞれ、２００−１３０／２＝１３５ＭＨｚおよび２００＋１３０／２＝２６５ＭＨｚである。マイクロニックが試験した他のＡＯＤの指定帯域幅は、１５０ＭＨｚであった。
【０００５】
設計上の経験則として、ＡＯＤを１オクターブ未満で動作させる必要がある（すなわち、最高周波数は最低周波数の２倍未満である必要がある）。このような経験則により、ＡＯＤによって掃引された光学部品によって掃引ビームのより高次の回折次数（任意の周波数の倍数）が収集される事態が回避される。ＡＯＤを駆動するために、５ＭＨｚ／μｓの周波数チャープが用いられ、直接デジタル合成（ＤＤＳ）カードによって生成される。この経験側に従って、この周波数チャープの掃引時間は約２４μｓである。いわゆるチャープにより鋸歯状パターンが生成され、このパターンは最高周波数上限に到達するまで上昇した後、最低周波数下限まで低下する。このチャープにより、周波数が繰り返し上昇および低下する。以下の図において、チャープサイクルを１サイクルのみ図示するが、当業者であれば、この鋸歯状パターンは多数のサイクルを通じて無限に継続することを理解する。
【０００６】
開示されるのは、従来からの経験側を否定することが可能な方法であり、この方法により、ＡＯＤの周波数帯域幅が拡張し、１オクターブを１０〜３０パーセントだけ超える。
パターニングおよび検査システムの掃引エレクトロニクスが向上される。すなわち、コンポーネントおよびシステムの向上、高速化および効率化が可能となる。本開示の技術は、光学ビームの書き込みおよび読み出し双方に適用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許第６７００６００号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本記載の技術は、１オクターブを超える拡張された周波数範囲を音響光学偏向器駆動のために適用し、これにより、帯域幅を１オクターブ未満までに制限する設計経験則を打ち破る。拡張された周波数範囲と、タイミングの良いビームブランキングとの組み合わせにより、ビームブランキングによって消費されるいわゆるチャープ信号の比率が低下する。その結果、掃引信号の有効部分が増加する。本発明の特定の局面について、特許請求の範囲、明細書および図面中に記載がある。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】簡略化された光学系内における、ＡＯＤを備えた視野絞りの利用を示す図である。
【図２】開口の右縁と、結晶中のビームサイズを制限する開口絞りとにおいて、２００〜３８０ＭＨｚの駆動周波数に対応するようなサイズにされた視野絞りを示す図である。
【図３】ブランキング時間と、開口絞りの幅とが相互に影響する様態を示す図である。
【図４】チャープ信号の割合と共に低減するブランキング時間を示す図である。
【図５】チャープ信号の割合と共に低減するブランキング時間を示す図である。
【図６】開口絞りを配置することが可能な位置を示す図であり、一般的に、照明がコリメートされるかまたはほぼコリメートされる位置に開口絞りを配置することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照つつ、本発明について詳細に説明する。本発明を例示するために、好適な実施形態について説明するが、これらの実施形態は、特許請求の範囲によって規定される範囲に限定されない。当業者であれば、本記載において多様な改変例が可能であることを理解する。
【００１１】
開示される装置および方法は、ＡＯＤ動作が１オクターブに制限される設計経験則を否定する。本発明者らは、少なくとも６．１ＭＨｚ／μｓの拡張された周波数チャープを用いてＡＯＤを駆動して、経験則を否定する。この拡張周波数チャープは、ＡＯＤを通過する光線のＡＯＤ駆動帯域幅の増加および掃引角度の増加に対応する。ＡＯＤ中において発生した周波数増加により、回折も増加する。従来１オクターブ未満に限定されていたＡＯＤ駆動帯域幅とは対照的に、１．３オクターブの帯域幅のシステムについて説明する。
【００１２】
設計経験則において回避される問題として、ゴースト像がある。ＡＯＤ回折結晶は、０次経路上の入来ビームを一次経路および二次経路に沿って、そして可能な場合はさらなる経路に沿って回折させる。一次経路および二次経路は、１オクターブだけ分離される。１オクターブ帯域幅を超える帯域幅を利用するように設計されたシステムは、二次経路に沿った回折の結果、ワークピース上にゴースト像を容易に生成し得る。
【００１３】
開示の技術において教示される対策の組み合わせにより、１オクターブの設計経験則を必要とするゴースト像問題が軽減される。すなわち、開口フレーミングおよびブランキング（ｂｌａｎｋｉｎｇ）間隔の組み合わせにより、設計経験則とは対照的に、１オクターブを超えるＡＯＤ駆動帯域幅の利用が可能となる。
【００１４】
図１は、簡略化された光学系内におけるＡＯＤを備えた視野絞り（ｆｉｅｌｄ  ｓｔｏｐ）の利用を示す。照明光源からの光ビーム１０１ａ、１０１ｂおよび１０１ｃは、時に角度１０４（ブラッグ角度として知られる）において、回折結晶１１０の光学経路を通じて投射される。この光は、開口絞り（ａｐｅｒｔｕｒｅ  ｓｔｏｐ）１０３を通過する。開口絞り１０３は、第１の縁部１０５および第２の縁部１０６を有する。ＡＯＤは、少なくとも１つのＲＦドライバ１１１、時に複数のＲＦドライバによって駆動される。複数のＲＦドライバは、相互の位相関係によって操作され得る。ＲＦドライバは、ＡＯＤ中において音波１１３を発生させる。１０５から１０６への距離をほぼ同時に進む電波または光波とは対照的に、音波は、ＡＯＤ結晶を通じて開口の幅を移動する際、一定の無視できない伝播時間を有する。この伝播時間に起因して、音波の周波数がＡＯＤ結晶の幅にわたって変化する。加えて、音波の強度がこの幅にわたって低下する。このような低下に対し、システムは補償を行うように設計され得る。
【００１５】
結晶の回折特性は、音波の局所的周波数に依存する。図中、光線１０１ａ、１０１ｂおよび１０１ｃについて図示される若干異なる回折角度が、結晶内の異なる局所的音響周波数に応答する。これが、ＡＯＤを通過する回折光線と、非回折光線の延長との間の角度により図示される。レンズ素子１１７および１１９は、回折光線を視野絞り１２０へと中継する。視野絞りは、音響周波数の高調波が視野絞りを通過することを回避する。例えば、図２において、２００ＭＨｚ回折信号によって最低光線回折１０１ｃが発生して、最低光線回折１０１ｃが視野絞り１２０の縁部１２６の範囲内に入る場合、２００ＭＨｚ信号の高調波である４００ＭＨｚ回折信号は光線を回折させ、これにより光線は絞りの反対側縁部１２５によって遮られる。縁部１２５および１２６間の隙間は、利用最低周波数の高調波が視野絞りから外れることができるよう、充分に小さい。
【００１６】
図２に示す視野絞り１２０は、右側開口縁部から２００〜３８０ＭＨｚの駆動周波数に対応するようなサイズにされる。光線経路１０１ｃは、２００ＭＨｚ（２３１）、３８０ＭＨｚ（２３２）および２＊２００または４００ＭＨｚ（２３３）の駆動周波数についてトレースされる。視野絞りにおいて、２００ＭＨｚ信号（２３１）は、縁部１２６において視野絞りを通過する。３８０ＭＨｚ信号（２３２）は、反対側の縁部１２５において視野絞りを通過する。４００ＭＨｚ信号（２３３）は視野絞りによって遮られ、縁部１２５の左側に当たる。
【００１７】
光線経路１０１ａは、２７０、４５０および２＊２７０または５４０ＭＨｚ（２４１、２４２、２４３）の駆動周波数についてトレースされる。予測されるように、光線１０１ａが２７０ＭＨｚ信号（２４１）によって回折されると、光線は視野絞りを通過する。予測されるように、開口絞り１０３の左縁部１０５における光線１０１ａは、５４０ＭＨｚ信号（２４３）によって回折されると、視野絞り１２０の孔（ｏｐｅｎｉｎｇ）のずっと外側に当たる。しかし、光線１０１ａが４５０ＭＨｚ駆動周波数（２４２）によって回折されると、光線は視野絞りを通過するようにみえる。動作範囲が２００〜３８０ＭＨｚである場合、ビームのブランキングにより、このようなことは実際には発生しない。
【００１８】
光線１０１ｃについて、視野絞りは、１オクターブの駆動周波数のみが利用可能であるという経験則に基づく。これとは対照的に、光線１０１ａについては、視野絞りは、１オクターブを超え得る周波数を通過するようにみえる。なぜならば、４５０ＭＨｚは、２＊２００または４００ＭＨｚよりも大きいからである。同様にビームのブランキングにより、このようなことは実際には発生しない。図２に示すように、周波数の範囲全体は１オクターブを超える範囲であるが、開口絞り内における各点（１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ）において、１オクターブ未満が用いられる。最低周波数を有する開口縁部１０６が１オクターブ（例えば、図２に示すような２００〜３８０ＭＨｚ）に近づいたとき、周波数範囲が限定される。
【００１９】
図６は、開口絞りを配置することが可能な位置のうちいくつかを示す。一般的に、開口絞りは、照明がコリメートされるかまたはほぼコリメートされる位置に配置することができる。開口は好適には、回折が発生する位置の近隣に設けられる。理想的には、開口は６０５において回折結晶内に埋設される。より実際的には、開口は、ＡＯＤの直前６０３または後方６０７に配置され得る。実際的なシステムにおいて、望遠鏡（ｔｅｌｅｓｃｏｐｅ）Ｌ５〜Ｌ６はコリメータＬ７とＡＯＤとの間に配置され得、かつ／または、望遠鏡Ｌ３−Ｌ４がＡＯＤと最終レンズＬ２との間に配置され得る。Ｌ１は円筒レンズであり、ＡＯＤ中の見かけの円筒レンズ効果を補償する。開口絞りを配置することができる６０５に相当する開口面は、６０１および／または６０９において見出すことができる。開口絞りは視野絞りの後方に配置され得る点に留意されたい。視野絞りは、ＡＯＤとワークピースとの間あるいは像面またはその近隣（例えば、望遠鏡Ｌ３〜Ｌ４内またはワークピースの近隣）に設けられるべきである。
【００２０】
図３は、ブランキング時間が開口１０３の孔の幅１０５〜１０６と相互に影響する様態を示す。図３の一般的配置構成において、ブランキング時間は、音波が結晶１１０を通じて開口絞りの孔にわたって縁部１０５から縁部１０６へと伝播するのに必要な時間である。換言すると、充填時間（ｆｉｌｌ  ｔｉｍｅ）は、超音波がＡＯＤ中の開口を通じて開口を「充填」するのに必要な時間である。ビームをブランキング（遮断）することにより、チャープ信号中の不連続部分が孔を横断している間、結晶が偏向器として機能する事態を回避する。波３１３は、ブランキング直前の結晶中のチャープ位置を示す。最高周波数は、左側から右側へと結晶を伝播する。チャープ信号が最高周波数から最低周波数へと低下すると、不連続部分は最高周波数を追随する。波３１４は、開口の中間における不連続部分を示す。波３１５は、開口の離隔縁部１０６へと通過する不連続部分を示す。波３１３〜３１５は、不連続部分通過時のビームのブランキングと、ビーム回折についての結晶の不使用とを主に示す。この革新的なチャープは、以下の２つの点において有利である。すなわち、第１に、より広い周波数範囲の利用が可能となり、その結果より広い走査角度が可能となる。第２に、合計時間のうちより少ない時間だけブランキングすることを可能とし、あるいはより高いチャープ率を利用することが可能となり、これにより走査がより高速となる。
【００２１】
図４〜図５は、チャープ信号に比例してブランキング時間が低減する様子を示す。図４は、従来技術のチャープが結晶を通じて左から右へと伝播する様子を示す。ｘ軸は、ＡＯＤ結晶内のチャープの位置を示す（グラフ中、最初に発生した周波数を右側に示す）。ｙ軸は、周波数が１オクターブを通じて１ｘから２ｘへとに変化する様子を示す。図中、低い周波数は先ず結晶を横断するが、反対の配置構成も可能である。ＡＯＤは、ランプ（ｒａｍｐ）間の不連続部分またはステップ（図３、３１３を参照）が左側の近隣開口孔１０５に到達するまでは、チャープが結晶を通過する際に利用可能である。不連続部分が離隔開口孔１０６を通過するまで、ブランキングは継続する（３１５を参照）。不連続部分が開口孔を通過する際、従来技術のチャープを用いて、チャープ周波数範囲のうちのある割合においてビームがブランキングされる。
【００２２】
図５に示す革新的なチャープは、１．３オクターブを超えることにより、設計経験則を否定する。本グラフ中、０．３単位の周波数掃引が未だブランキングされているが、チャープ掃引は１．３オクターブである。従来技術と対照的に、ブランキングにより失われたチャープの割合は、．３／１．０から．３／１．３へ、すなわち、．３０から．２３へ低下している。
【００２３】
この革新的チャープから得られた設計向上は、最適化無しに実現することが可能である。例えば、ＡＯＤのための駆動信号は、不連続部分が結晶の活性部分を伝送することが可能となるのに必要な時間よりも長く１オクターブを超えて上昇し得、これにより、補償のためのブランキングが誇張される。あるいは、駆動信号は、不連続部分が開口を横断するのに必要な時間よりも短い時間にわたって１オクターブを超え得る。その後、潜在的に利用可能なデューティサイクルの一部がブランキングに用いられる。
【００２４】
最も一般的には、使用されかつブランキングされていない駆動周波数範囲の割合を、少なくとも５パーセント、または好適には約１０パーセントだけ向上させると有用であると考えられる。チャープ周波数範囲を増加させ、その結果として得られる潜在的な回折を１０パーセント以上増加させると有用である。上記実施形態に基づいて、少なくとも１．１０、１．１５、１．２０、１．２５または１．３０オクターブの拡張されたＡＯＤ駆動周波数範囲またはこれらのメリット数値のうちいずれか２つの間の周波数範囲が産業的に有用であることが判明した。理論的には、周波数範囲はさらに高く、すなわち２．００以上にすることが可能である。
【００２５】
一般的に、ＡＯＤのスループットは、帯域幅増加とともに増加する。回折に用いられるチャープ部分は、最大で１オクターブに（またはこれよりも若干少なく）制限され、残りのチャープ周波数範囲はブランキングされ、これは充填時間に対応する。実際的にいうと、走査長さは一定であり得るが、掃引はより速く実行でき、それと同時により多くのチャープサイクルがブランキング時間によって消費される。走査に対応するチャープ部分は、最大で１オクターブに（またはこれよりも若干少なく）制限され、残りのチャープはブランキングされる。チャープの異なる部分は、開口内の異なる点についてブランキングされる。ブランキング時間は、超音波が開口を横断するのに必要な時間に等しい（または若干短い）。周波数範囲が広がるほど、ブランキング時間の間、１オクターブから外れた周波数がチャープされる。そのため、広い周波数範囲は、高い走査速度および高い画素クロックに相当する。広い帯域幅および高データレートが得られるように選択されたバランスは、所望される高画素レートの利用形態に依存する。１オクターブの周波数範囲（これは、低周波数の２倍の高周波数である）を超えると、スループットの利得は、範囲が増加するほど低下する。このトレードオフの１つの実際的目標として、周波数範囲として約１．３オクターブがある。実際には、２．０オクターブ以上の周波数範囲を用いると、不利なトレードオフを生み出すことが予想される。タイミング精度における現在の実際的制限に起因して、より高い周波数範囲限界としては、１．６５オクターブがあり得る。より高速のクロックおよびコンピューティングが実際的コストで利用可能となると、この限界は変化し得る。
特定の実施形態
開示の技術は、装置、方法、製造物またはソフトウェアとして実行することができる。
【００２６】
１つの装置は、音響光学偏向器である。音響光学偏向器は、回折結晶と、回折結晶に接続された少なくとも１つのＲＦドライバと、回折結晶を貫通する光回折路とを含む。光回折路は、ＲＦドライバに応答する回折特性を有する。ドライバ回路が、ＲＦドライバに接続される。ＲＦドライバは、第１の周波数から第２の周波数に及ぶ拡張された周波数範囲を掃引する。第１の周波数および第２の周波数は、１オクターブを超える周波数範囲に及ぶ。ＲＦ駆動により、回折結晶を通じて音波が発生する。拡張された周波数範囲は、掃引のブランキングされた部分とは異なり、掃引周波数の有効部分（ｗｏｒｋｉｎｇ  ｐｏｒｔｉｏｎ）を増加させる。この利得は、多様な様態で表すことができる。
【００２７】
いくつかの実施様態において、音響光学偏向器は、ブランキング間隔基準を生成する回路をさらに含む。ブランキング間隔基準は、光回折路を横断するビームを、ブランキング時間にわたってブランキングさせる。ブランキング時間は、１オクターブを超える拡張された周波数範囲の利用を制限し、これにより、音響光学偏向器のブランキングされていない動作周波数範囲は１オクターブ未満となる。
【００２８】
他の実施様態において、音響光学偏向器は、ブランキング回路をさらに含む。ブランキング回路は、光回折路を横断するビームを、ドライバ回路からの高周波数と低周波数との間の不連続部分が光回折路を伝播する際に、ブランキングさせる。これにより、１オクターブを超える拡張された周波数範囲を掃引するドライバ回路に起因して、音響光学偏向器のブランキングされない動作周波数がほぼ１オクターブに近づく。
【００２９】
別の実施様態は、開口絞りを含む。開口絞りは、回折結晶の前方において光回折路に沿って配置される。この実施様態において、ドライバ回路は、掃引周波数を、駆動周波数の不連続部分が開口絞りを横断するのに必要な時間にほぼ等しい時間にわたって、第１の周波数よりも１オクターブ上を超えて上昇させ続ける。「ほぼ等しい」とは、２パーセント以内を意味する。あるいは、掃引周波数は、駆動周波数の不連続部分が開口絞りを横断するのに必要な時間よりも短い時間にわたって、低周波数の１オクターブ上を超えて上昇し続けることもできるし、または、その時間よりも長い時間にわたって、低周波数の１オクターブ上を超えて上昇し続けることもできる。その場合、上記したように性能ペナルティが発生する。
【００３０】
これらの実施様態のうちいずれかは、視野絞りをさらに含み得る。視野絞りは、回折結晶と、ワークピースとの間に配置される。ブランキングおよび視野絞りの孔の組み合わせにより、１オクターブを超える拡張された周波数範囲にわたって回折された放射が視野絞りを通過することが不可とされる。
【００３１】
第１の周波数と第２の周波数との間の比の範囲により、商業的に有用な結果が得られる。開示される５つの比（＋／−３パーセント）を挙げると、１．１０、１．１５、１．２０、１．２５および１．３０オクターブがある。少なくともこれらの有利な数値である第１の周波数と第２の周波数との間に比の利用がさらに開示される。これらの比の理論については、上記に記載している。オクターブ比の範囲は、これらの比（例えば、１．１０〜１．２０または１．１５〜１．３０）のうちいずれか２つによって制約を受け得る。
【００３２】
音響光学偏向器を駆動する方法として開示される技術も表すことができる。音響光学偏向器は、回折結晶と、開口とを含む。開口は、照明光源と、回折結晶との間に配置される。方法は、回折結晶に駆動信号を印加することを含む。駆動信号は、１オクターブを超える周波数範囲を掃引する。方法は、駆動信号の周波数範囲の不連続部分が開口の孔によってビームに露出された回折結晶の一部を伝播する際に、開口の孔を通じて回折結晶上に方向付けられる少なくとも１つのビームをブランキングすることをさらに含む。
【００３３】
いくつかの実施様態において、方法は、不連続部分が開口の孔を通過するのに必要な時間にほぼ等しい時間にわたって、１オクターブを超えて継続的に上昇する周波数を用いて回折結晶を駆動することをさらに含む。拡張された周波数範囲とブランキングとの間のこの関係は、多様な他の様態で表すことが可能であり、その結果若干異なる範囲の請求項が得られる。
【００３４】
方法は、不連続部分が開口の孔を通過するのに必要な時間にわたって、１オクターブを超えて継続的に上昇する周波数を用いて結晶を駆動することをさらに任意選択的に含む。
方法は、開口を通じて結晶上に方向付けられたビームを視野絞りを介して中継することを含み得る。ブランキングと、視野絞りの孔との組み合わせにより、視野絞りを通過し、ワークピースに到達する回折された放射が、開口内における任意の点に対して１オクターブ未満の駆動信号によって回折された放射に制限される。
【００３５】
装置の実施様態の文脈において上述したように、第１の周波数と第２の周波数との間の比の範囲により、商業的に有用な結果が得られる。開示される５つの比（＋／−３パーセント）は、１．１０、１．１５、１．２０、１．２５および１．３０オクターブを含む。少なくともこれらの有利な数値である第１の周波数と第２の周波数との間の比を利用することもさらに開示される。これらの比の理論については、上記している。オクターブ比の範囲は、これらの比、または有利な数値のうちいずれか２つ（例えば、１．１０〜１．２０または１．１５〜１．３０）によって制限され得る。
【００３６】
対応する製造物は、コンピュータ命令を含む固定記憶媒体である。コンピュータ命令がプロセッサまたはコントローラ上において実行されると、プロセッサまたはコントローラおよび関連付けられた装置は、記載の方法のうちいずれかを実行する。あるいは、コンピュータ命令が適切なハードウェアと組み合わせられると、記載の装置のうちいずれかが得られる。
【００３７】
対応するソフトウェアは、方法の実行または装置の構成要素を対象とし得る。ソフトウェアがプロセッサまたはコントローラ上において実行されると、プロセッサまたはコントローラおよび関連付けられた装置は、記載の方法のうちいずれかを実行する。あるいは、ソフトウェアが適切なハードウェアと組み合わせられると、記載の装置のうちいずれかが得られる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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