(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
前記荷重緩衝機構は、
前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
を有し、
前記負荷荷重保持手段は、前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられたエアシリンダと、前記負荷荷重を保持するように前記エアシリンダへのエア圧力を制御するエア供給用レギュレータと、前記エアシリンダにエアを供給するエア供給源とを有することを特徴とするダイボンダ。
【請求項２】
ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
前記荷重緩衝機構は、
前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
を有し、
前記中間ステージ一体化構造を支持する一体化構造支持部を有し、
前記負荷荷重保持手段は、前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられたエアシリンダと、前記負荷荷重を保持するように前記エアシリンダへのエア圧力を制御するエア供給用レギュレータと、前記エアシリンダにエアを供給するエア供給源とを有することを特徴とするダイボンダ。
【請求項３】
ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
前記荷重緩衝機構は、
前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
を有し、
前記負荷荷重保持手段は、前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられたリニアモータと、前記負荷荷重を保持するように前記リニアモータのトルクを制御するリニアモータ制御部とを有することを特徴とするダイボンダ。
【請求項４】
ウェハがフィルム状の粘着材料で貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを保持するダイ供給部と、
前記ウェハから前記粘着材料が貼付されたダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、
前記中間ステージを有する中間ステージ部と、
前記中間ステージから前記ダイをピックアップし、基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、
前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設け、
前記荷重緩衝機構は、
前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、
前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、
前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、
を有し、
前記中間ステージ一体化構造を支持する一体化構造支持部を有し、
前記負荷荷重保持手段は、前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられたリニアモータと、前記負荷荷重を保持するように前記リニアモータのトルクを制御するリニアモータ制御部とを有することを特徴とするダイボンダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイボンダ及びボンディング方法に係わり、特に確実にダイを実装できる信頼性の高いダイボンダ及びボンディング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイ(半導体チップ)(以下、単にダイという)を配線基板やリードフレームなどのワークに搭載してパッケージを組み立てる工程の一部に、半導体ウエハ（以下、単にウエハという）からダイを分割する工程と、分割したダイをウェハからピックアップし、基板上に搭載又は既にボンディングしたダイに積層するボンディング工程とがある。
ボンディング工程を行う方法として、ウェハからピックアップしたダイを一度部品載置テーブル(中間ステージ)に載置し、ボンディングヘッドで部品載置テーブルから再度ダイをピックアップし、搬送されてきた基板にボンディングする方法(特許文献１)がある。
【０００３】
ウェハからピックアップされる際に、ダイは、ＤＡＦ(ダイアタッチフィルム)と呼ばれる粘着材料が貼り付いているフィルムと共に、ピックアップされ、ＤＡＦを下にして中間ステージに載置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２４６２８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ＤＡＦは、熱と荷重により硬化する熱硬化型が主流となっており、ウェハからピックアップしたダイを中間ステージに載置する際のピックアップヘッドによる中間ステージへの荷重によっては、ＤＡＦが中間ステージに貼り付いてしまう。さらに、近年ＤＡＦは、ダイ実装時のストレスを低減させるために、低荷重、低温度で硬化可能なように改良されてきており、中間ステージにより貼り付き易くなっている。その結果、ボンディングヘッドによる中間ステージからのダイのピックアップミスを招く可能性が高くなってきている。
【０００６】
また、近年のより一層のダイの薄膜化に伴い、ダイを中間ステージに載置するときの荷重によっては、ダイにダメージを与える可能性も高くなってきている。
【０００７】
従って、本発明の目的は、中間ステージにダイを確実に載置し、中間ステージから確実にピックアップできる信頼性の高いダイボンダ又はボンディング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも以下の特徴を有する。
本発明は、ウェハを保持するダイ供給部と、前記ウェハからダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップヘッドと、前記中間ステージを有する中間ステージ部と、前記中間ステージから前記ダイをピックアップし基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドと、前記中間ステージと一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、前記載置時に前記中間ステージに所定以上の荷重がかからないように、前記荷重を逃がす荷重緩衝機構を前記中間ステージ部に設けたことを第１の特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、ピックアップヘッドでウェハからダイをピックアップし中間ステージに前記ダイを載置するピックアップステップと、ボンディングヘッドで前記中間ステージから前記ダイをピックアップし基板又は既にボンディングされた前記ダイ上にボンディングするボンディングヘッドステップと、前記ダイを前記中間ステージに載置するときに、前記載置による荷重を緩衝するように前記中間ステージを下降させるステップとを有することを特徴とすることを第２の特徴とする。
【００１０】
さらに、本発明は、前記荷重緩衝機構が、前記荷重緩衝機構を前記ダイボンダに固定する基台と、前記負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段と、前記中間ステージ一体化構造と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージを昇降方向に直線動作させる直動ガイドと、を有することを第３の特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、前記中間ステージ一体化構造を支持する一体化構造支持部を有することを第４の特徴とする。
さらに、本発明は、前記負荷荷重保持手段が、前記中間ステージ一体化構造又は前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられたエアシリンダと、前記負荷荷重を保持するように前記エアシリンダへのエア圧力を制御するエア供給用レギュレータと、前記エアシリンダにエアを供給するエア供給源とを有することを第５の特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、前記負荷荷重保持手段が、前記中間ステージ一体化構造又は前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられたリニアモータと、前記負荷荷重を保持するように前記リニアモータのトルクを制御するリニアモータ制御部とを有することを第６の特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明は、前記負荷荷重保持手段が、前記中間ステージ一体化構造又は前記一体化構造支持部と前記基台との間に設けられ、前記中間ステージ一体化構造を保持するように定張力で押し上げる定張力装置を有することを第７の特徴とする。
また、本発明は、前記荷重緩衝機構は、前記中間ステージの下部側部、又は下部に設けられたことを第８の特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
従って、本発明によれば、中間ステージにダイを確実に載置し、中間ステージから確実にピックアップできる信頼性の高いダイボンダ又はボンディング方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態であるダイボンダの概略上面図である。
【図２】図１において矢印Ａ方向から見たときに、ピックアップヘッド及びボンディングヘッドの動作を説明する図である。
【図３】本発明の一実施形態であるダイ供給部の主要部を示す概略断面図である。
【図４】本実施形態の特徴である荷重緩衝機構の第１の実施例を示す概略図である。
【図５】図４に示す中間ステージ部を矢印Ｂの方向からみた図である。
【図６】本実施形態の特徴である荷重緩衝機構の第２の実施例を示す概略図である。
【図７】本実施形態の特徴である荷重緩衝機構の第３の実施例を示す概略図である。
【図８】本実施形態の特徴である荷重緩衝機構の第４の実施例を示す概略図である。
【図９】実施例１乃至４における実装動作フローを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
【００１７】
図１は本発明の一実施形態であるダイボンダ１０の概略上面図である。図２は、図１において矢印Ａ方向から見たときに、ピックアップヘッド２１及びボンディングヘッド４１の動作を説明する図である。
ダイボンダ１０は、大別して、基板Ｐに実装するダイＤを供給するダイ供給部１と、ダイ供給部１からダイをピックアップするピックアップ部２と、ピックアップされたダイＤを中間的に一度載置する中間ステージ３１を有する中間ステージ部３と、中間ステージ部３のダイＤをピックアップし、基板Ｐ又は既にボンディングされたダイの上にボンディングするボンディング部４と、基板Ｐを実装位置に搬送する搬送部５、搬送部５に基板Ｐを供給する基板供給部６Ｋと、実装された基板Ｐを受け取る基板搬出部６Ｈと、各部の動作を監視し制御する制御部７と、を有する。
【００１８】
まず、ダイ供給部１は、ウェハ１１を保持するウェハ保持台１２とウェハ１１からダイＤを突き上げる点線で示す突き上げユニット１３とを有する。ダイ供給部１は図示しない駆動手段によってＸＹ方向に移動し、ピックアップするダイＤを突き上げユニット１３の位置に移動させる。
【００１９】
ピックアップ部２は、突き上げユニット１３で突き上げられたダイＤを先端に吸着保持するコレット２２(図２も参照)を有し、ダイＤをピックアップし、中間ステージ３１に載置するピックアップヘッド２１と、ピックアップヘッド２１をＹ方向に移動させるピックアップヘッドのＹ駆動部２３とを有する。ピックアップヘッド２１は、コレット２２を昇降、回転及びＸ方向移動させる図示しない各駆動部を有する。
【００２０】
中間ステージ部３は、ダイＤを一時的に載置するア中間ステージ３１と、中間ステージ３１上のダイＤを認識する為のステージ認識カメラ３２と、後述する本実施形態の特徴を備える荷重緩衝機構８とを有する。
【００２１】
ボンディング部４は、ピックアップヘッドと同じ構造を有し、中間ステージ３１からダイＤをピックアップし、搬送されてきた基板Ｐにボンディングするボンディングヘッド４１と、ボンディングヘッド４１をＹ方向に移動させるＹ駆動部４３と、搬送されていた基板Ｐの位置認識マーク(図示せず)を撮像し、ボンディングすべきダイＤのボンディング位置を認識する基板認識カメラ４４と、を有する。
【００２２】
このような構成によって、ボンディングヘッド４１は、ステージ認識カメラ３２の撮像データに基づいてピックアップ位置・姿勢を補正し、中間ステージ３１からダイＤをピックアップし、基板認識カメラ４４の撮像データに基づいて基板ＰにダイＤをボンディングする。
【００２３】
搬送部５は、一枚又は複数枚の基板(図１では４枚)を載置した基板搬送パレット５１と、基板搬送パレット５１が移動するパレットレール５２とを具備し、並行して設けられた同一構造の第１、第２搬送部とを有する。基板搬送パレット５１は、基板搬送パレット５１に設けられた図示しないナットをパレットレール５２に沿って設けられた図示しないボールネジで駆動することによって移動する。
【００２４】
このような構成によって、基板搬送パレット５１は、基板供給部６Ｋで基板を載置され、パレットレール５２に沿ってボンディング位置まで移動し、ボンディング後基板搬出部６Ｈまで移動して、基板搬出部６Ｈに基板Ｐを渡す。第１、第２搬送部は、互いに独立して駆動され、一方の基板搬送パレット５１に載置された基板ＰにダイＤをボンディング中に、他方の基板搬送パレット５１は、基板Ｐを搬出し、基板供給部６Ｋに戻り、新たな基板Ｐを載置するなどの準備を行なう。
【００２５】
図３は、ダイ供給部1の主要部を示す概略断面図である。図３に示すように、ダイ供給部1はウエハリング１４を保持するエキスパンドリング１５と、ウエハリング１４に保持され複数のダイＤが粘着されたダイシングテープ１６を水平に位置決めする支持リング１７と、支持リング１７の内側に配置されダイＤを上方に突き上げるための突き上げユニット１３とを有する。突き上げユニット１３は、図示しない駆動機構によって、上下方向に移動するようになっており、水平方向にはダイ供給部1が移動するようになっている。
【００２６】
ダイ供給部1は、ダイＤの突き上げ時に、ウエハリング１４を保持しているエキスパンドリング１５を下降させる。その結果、ウエハリング１４に保持されているダイシングテープ１６が引き伸ばされダイＤの間隔が広がり、突き上げユニット１３によりダイ下方よりダイＤを突き上げ、ダイＤのピックアップ性を向上させている。なお、薄型化に伴い接着剤は液状からフィルム状となり、ウェハとダイシングテープ１６との間にダイアタッチフィルムＤＡＦと呼ばれるフィルム状の粘着材料を貼り付けている。ダイアタッチフィルムＤＡＦを有するウェハでは、ダイシングはウェハとダイアタッチフィルムＤＡＦに対して行なわれる。
従って、ウェハからダイＤをピックアップするときは、ダイＤとダイシングテープ１６と共に、ウェハと粘着していたダイアタッチフィルムＤＡＦが剥離される。このダイアタッチフィルムＤＡＦが既に説明した課題をもたらす。
【００２７】
そこで、本実施形態では、中間ステージ３１と一体に動く中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持し、ピックアップヘッド２１でダイＤを中間ステージ３１に載置するときに、中間ステージ、即ちダイアタッチフィルムＤＡＦ及びダイＤに所定以上の荷重がかからないように、荷重を逃がす荷重緩衝機構８を中間ステージ部３に設ける。
【００２８】
(実施例１）
図４は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構８の第１の実施例８Ａを示す概略図である。図５は、図４に示す中間ステージ部３を矢印Ｂの方向からみた図である。
中間ステージ部３は、図１、図２に示した中間ステージ３１及びステージ認識カメラ３２のほか、実施例１の荷重緩衝機構８Ａと、ダイＤを中間ステージ３１に保持する吸着機構３３とを有する。
【００２９】
荷重緩衝機構８Ａは、中間ステージ３１と一体に昇降する中間ステージ一体化構造の負荷荷重を保持する負荷荷重保持手段８１の実施例１であるエアシリンダ保持手段８１Ａと、エアシリンダ保持手段８１Ａを構成するエアシリンダ８１ｅの両側に設けられ、中間ステージ３１が直線動作をするようにガイドする直動ガイド８２と、ダイボンダ１０の固定枠に固定された基台８５と、中間ステージ一体化構造を支持し、負荷荷重保持手段８１Ａの動作を中間ステージ３１に伝達する一体化構造支持部８６とを有する。
【００３０】
エアシリンダ保持手段８１Ａは、基台８５と一体化構造支持部８６との間に設けられ、シリンダロッド８１ｒを備えるエアシリンダ８１ｅと、エアシリンダ８１ｅにエアを供給するエア供給源８３と、中間ステージ一体化構造を保持するようにエアシリンダ８１ｅへのエア圧力を制御するエア供給用レギュレータ８４と有する。
直動ガイド８２は、中間ステージ３１に固定されたスライダ８２ｓと、スライダがスライドするリ二アガイド８２ｇとを有する。
【００３１】
吸着機構３３は、中間ステージ３１に設けられた複数の吸着孔３３ｈ、吸着孔３３ｈのエアを吸引する吸引する吸引源３３ｇと、吸引源３３ｇと吸着孔３３ｈとを連結する連結部３３ｒと、各吸着孔３３ｈからエアを連結部３３ｒに集約する集約部３３ｓとを有する。
【００３２】
本実施例１では、集約部３３ｓが中間ステージ３１の下面前面に亘って設けられているために、荷重緩衝機構８Ａを中間ステージ３１の下部からずれた下部側部に設けている。しかし、集約部３３ｓにスライダ８２ｓやエアシリンダ８１ｅのシリンダロッド８１ｒを貫通させる孔を設けることで中間ステージ３１の下面側を支持する、または吸着機構３３を直接支持することにより、荷重緩衝機構８Ａを中間ステージ３１の下部に設けることも可能である。この場合は、中間ステージ３１又は吸着機構３３を直接支持することで一体化構造支持部８６を設けなくてもよい。
【００３３】
このような構成によって、ピックアップヘッド２１によりダイＤを中間ステージ３１に載置する際に、中間ステージ３１にかかる荷重が所定荷重以上になったときに、エア供給用レギュレータ８４によって一定荷重の保持された中間ステージ３１が下降する。この結果、ダイアタッチフィルムＤＡＦ及びダイＤにかかる荷重が所定荷重以上にならないように回避できる。
【００３４】
上記に説明した実施例１によれば、荷重緩衝機構８Ａを設けることで、中間ステージ３１にかかる荷重により、ダイアタッチフィルムＤＡＦが硬化してダイアタッチフィルムＤＡＦが中間ステージ３１に貼り付くのを防止し、ダイＤにダメージを与えないようにできる。
【００３５】
従って、前記所定荷重は、ダイアタッチフィルムＤＡＦが硬化しない荷重、ダイＤにダメージを与えない荷重のうち小さい方の荷重に設定される。例えば、前記所定荷重の値としては、０．２Ｎが挙げられる。
【００３６】
荷重緩衝機構８Ａが前記所定荷重に反応して中間ステージ３１が下降する必要がある。そのために、中間ステージ３１が下降する際の移動抵抗力が、前記所定荷重以下になるようにする必要がある。例えば、荷重保持用のエアシリンダ８１ｅのシリンダロッド８１ｒとシリンダロッドシール部分の摩擦抵抗及び直動ガイド８２の移動抵抗の合計が、前記所定荷重、例えば０．２Ｎ未満になるように構成する。直動ガイド８２の移動抵抗が無視できるのであれば、シリンダロッド８１ｒとシリンダロッドシール部分の摩擦抵抗が前記所定荷重未満になるように構成する。
また、エア供給用レギュレータ８４は、移動抵抗未満の最低制御圧力性能を有することが必要である。
【００３７】
(実施例２)
図６は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構８の第２の実施例８Ｂを示す概略図であり、実施例１の図４に対応する図である。実施例２の荷重緩衝機構８Ｂの実施例１と異なる点は、負荷荷重保持手段８１としてシリンダの替わりに所謂リニアモータ８１Ｂを用い、該リニアモータを中間ステージ３１と一体に動く部分の負荷荷重を保持するようにトルク制御する点である。その他の点は、実施例１と同様である。トルク制御は、実施例では、図１に示す制御部７で行われる。
【００３８】
リニアモータ８１Ｂは、一体化構造支持部８６に固定され、筒状の外表面に可動子を備える可動子部８１ｓと、基台８５に固定され、可動子が移動する孔の表面に固定子を備える固定子部８１ｋとを有する。可動子部８１ｓと固定子部８１ｋの固定は、前述と逆でもよい。
【００３９】
実施例２においても、実施例１と同様な効果を奏することができる。
【００４０】
(実施例３)
図７は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構８の第３の実施例８Ｃを示す概略図であり、実施例１の図４に対応する図である。実施例３の荷重緩衝機構８Ｃの実施例１と異なる点は、負荷荷重保持手段８１としてシリンダの替わりに定張力装置８１Ｃを用いている点である。その他の点は、実施例１と同様である。
【００４１】
定張力装置８１Ｃは、中間ステージ３１、即ち一体化構造支持部８６を押し上げて中間ステージ一体構造部を支持する定張力バネ８１ｂを有する。本実施例では２つの定張力バネ８１ｂでロッド８１ｄを押し上げて、中間ステージ一体化構造の負荷荷重を支持するものである。
【００４２】
実施例３においても、実施例１と同様な効果を奏することができる。
【００４３】
実施例１乃至３では直動ガイド８２を負荷荷重保持手段８１の両側に設けた。しかし、直動ガイド８２を片側に設け、負荷荷重保持手段８１の一体化構造支持部８６の支持面積を拡大することで、或いは両側に設けるだけでなく、直動ガイド８２を３箇所以上設けることで中間ステージ３１を安定して保持してもよい。
【００４４】
(実施例４)
図８は、本実施形態の特徴である荷重緩衝機構８の第４の実施例８Ｄを示す概略図であり、実施例１の図４に対応する図である。実施例４の荷重緩衝機構８Ｄは、実施例１と同様にエアシリンダ保持手段８１Ａを有する。実施例１と異なる点は、実施例１ではエアシリンダ８１ｅを中心側に設け、その両側に直動ガイド８２を設けているのに対し、実施例４では直動ガイドを中心側に設け、その両側にエアシリンダ８１ｅを設けている点である。その他の点は、実施例１と同様である。なお、実施例２又は実施例３においても同様に、直動ガイドを中心側に設け、その両側に負荷荷重保持手段８１を設けてもよい。
【００４５】
実施例４においても、実施例１乃至３と同様な効果を奏することができる。
【００４６】
図９は、実施例１乃至４における実装動作フローを示す図である。以下、実装動作フローを図２を参照しながら説明する。
まず、ピックアップヘッド２１により、突き上げユニット１３により突き上げられたダイＤをコレット２２で吸着することでピックアップし(ステップ１)、中間ステージ３１に載置する(ステップ２)。なお、ピックアップヘッド２１はダイＤを載置した次のダイをピックアップするために戻る。図２はその状態を示している。
【００４７】
次に、中間ステージ３１にダイＤを載置したときに、ピックアップヘッド２１による載置荷重が実施例１で説明した所定荷重以上かを判断する(ステップ３)。所定荷重以上ならば、載置荷重を低減するように中間ステージ３１を下方に退避させ(ステップ４)、次のステップ５に行く。所定荷重未満ならば直接ステップ５に行く。
【００４８】
次に、ステージ認識カメラ３２によってダイＤ及びダイの載置状態を認識する(ステップ５)。ボンディングヘッド４１は、前記認識結果に基づいて、位置・姿勢を補正しダイをピックアップする(ステップ６)。次に、ボンディングヘッド４１は、ボンディング位置まで移動し、コレット４２で吸着したダイＤを基板Ｐ又は既にボンディングしたダイに対して積層(ボンディング)する(ステップ７)。なお、図２おけるボンディングヘッド４１は、ダイＤをボンディングした後、次のダイＤをピックアップするために中間ステージ３１に向うところを示している。
【００４９】
最後に、所定個数のダイＤをボンディングしたかを判断し(ステップ８)、ボンディングしていなければステップ１に戻り、ボンディングしていれば処理を終了する。
【００５０】
また、以上説明した実施例１乃至４によれば、ダイＤを中間ステージ３１に載置するときに、ダイアタッチフィルムＤＡＦ及びダイＤに所定以上の荷重がかからないように、荷重を逃がす荷重緩衝機構８を中間ステージ部３に設けことで、中間ステージ３１から確実にピックアップできる信頼性の高いダイボンダ又はボンディング方法を提供できる。
【００５１】
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００５２】
１：ダイ供給部                          ２：ピックアップ部
２１：ピックアップヘッド                ３：中間ステージ部
３１：中間ステージ                      ３２：ステージ認識カメラ
３３：吸着機構                          ４：ボンディング部
４１：ボンディングヘッド                ７：制御部
８、８Ａ、８Ｂ、８Ｃ、８Ｄ：荷重緩衝機構
８１：負荷荷重保持手段                  ８１Ａ：エアシリンダ保持手段
８１Ｂ：リニアモータ                    ８１Ｃ：定張力装置
８２：直動ガイド                        ８５：基台
８６：一体化構造支持部                  １０：ダイボンダ
１１：ウェハ                            １３：突き上げユニット
Ｄ：ダイ                                ＤＡＦ：ダイアタッチフィルム
Ｐ：基板
【図１】
0005953069.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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