(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直動駆動装置により第１の方向に移動可能な支持部と、
前記支持部に備えられ、電子部品を把持する把持部を配置可能な可動部と、
前記支持部に備えられ、前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、
前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、
前記支持部に備えられ、前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、
を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子部品搬送装置であって、
前記複数の圧電モーターは、前記可動部を前記第１の方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記可動部を前記第１の方向と直交する第２の方向に移動させる第２の圧電モーターと、を含み、
前記第１の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第２の圧電モーターよりも前記
可動部側に配置されている
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電子部品搬送装置であって、
前記複数の圧電モーターは、前記可動部を回転させる第３の圧電モーターと、を含み、
前記第３の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第１の圧電モーターよりも前記
可動部側に配置されている
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項４】
請求項１〜３に記載の電子部品搬送装置であって、
前記支持部は、前記第１の方向及び前記第２の方向とは直交する第３の方向に移動可能である
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４に記載の電子部品搬送装置であって、
前記支持部には、複数の可動部が備えられている
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項６】
直動駆動装置により第１の方向に移動可能な支持部と、
前記支持部に備えられ、電子部品を把持する把持部を含む可動部と、
前記支持部に備えられ、前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、
前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、
前記支持部に備えられ、前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、
前記電子部品を検査可能な検査部と、  
を備えることを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、ロボットハンド、及びロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のモーターを個別の駆動回路で駆動して可動部を移動させる駆動装置が知られている。このような駆動装置は、例えば位置決め装置として用いられ、可動部を異なる方向に移動させる複数のモーターを駆動回路で順次駆動することにより、可動部を所定の位置に位置決めすることができる。従来の位置決め装置では、一般に電磁モーターやパルスモーターが用いられているが、非駆動状態にある回転子が回転してしまわないように保持するブレーキ機構がモーター毎に必要であった。
【０００３】
これに対して、圧電モーター（圧電アクチュエーター）を用いた駆動装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。圧電モーターは、圧電素子で生じる振動を摩擦力で回転部に伝達し、非駆動状態においても摩擦力により回転部の位置が保持されるので、ブレーキ機構を必要としない。したがって、特許文献１に記載のような圧電モーターを用いた駆動装置では、電磁モーターやパルスモーターを用いた駆動装置に比べて、駆動装置の小型化、軽量化を図ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１３６７６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の駆動装置では、各圧電モーターを個別の駆動回路で駆動するため、駆動回路、及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線が圧電モーターと同じ数だけ必要となる。このため、駆動装置をより小型化、軽量化、低コスト化することが困難であるという課題があった。また、圧電モーターは部品等を保持して移動する可動部に設けられるが、駆動回路は可動部から離れた位置に設けられるため、圧電モーターと駆動回路とを接続する配線が多いほど、配線の重量や配線の束による抑制力が可動部を移動させる際の負荷となって、精密な位置決めが行いにくい場合があるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る駆動装置は、可動部と、前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、複数の切り替え手段は、複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと駆動回路とを電気的に接続又は遮断する。そのため、駆動回路と電気的に接続する圧電モーターを切り替え手段で切り替えて選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを時分割で駆動させて、可動部を移動させることができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、駆動装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に係る駆動装置であって、前記複数の圧電モーターは、前記可動部を異なる方向に移動させる圧電モーターを含むことが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、異なる方向に移動させる圧電モーターを切り替えて個別に駆動させることにより、可動部を容易に、かつ精度良く所望の位置へ移動させることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に係る駆動装置であって、前記複数の切り替え手段は、前記圧電モーター毎に設けられていることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、切り替え手段が圧電モーター毎に設けられているので、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを一つずつ個別に駆動させることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例に係る駆動装置であって、前記切り替え手段は、フォトモスリレーで構成されることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、切り替え手段がフォトモスリレーで構成されるので、メカニカルリレー（電磁リレー）で構成される場合に比べて、接続及び遮断の際の動作時間が短く、消費電力が小さく、長寿命である。これにより、より高性能で信頼性の高い駆動装置を提供できる。
【００１５】
［適用例５］本適用例に係る電子部品搬送装置は、電子部品を所定の位置に移動させる電子部品搬送装置であって、前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、前記複数の圧電モーターと前記駆動回路との間に設けられ、前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、複数の圧電モーターと駆動回路との間に設けられた切り替え手段は、複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと駆動回路とを電気的に接続又は遮断するする。そのため、駆動回路と電気的に接続する圧電モーターを切り替え手段で切り替えて選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを時分割で駆動させて、可動部を移動させることができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。また、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、電子部品搬送装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例に係る電子部品搬送装置であって、前記可動部を第１の方向に沿って往復動させる直動機構をさらに備え、前記複数の圧電モーターは、前記可動部を前記第１の方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記可動部を前記第１の方向とは異なる第２の方向に移動させる第２の圧電モーターと、を含み、前記第１の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第２の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されていることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、直動機構により可動部が往復動する第１の方向に可動部を移動させる第１の圧電モーターは、可動部を第２の方向に移動させる第２の圧電モーターよりも可動部側に配置されている。圧電モーターが非駆動状態において、直動機構により可動部が第１の方向に往復動すると、移動方向が同じである第１の圧電モーターの方が移動方向が異なる第２の圧電モーターよりも往復動の慣性力で動いてずれてしまう可能性が高い。可動部が直動機構よりも鉛直方向下方に配置されている場合、第２の圧電モーターが第１の圧電モーターよりも可動部側、すなわち鉛直方向下方に配置されていると、第１の圧電モーターに第２の圧電モーターの重力がかかるため、第１の圧電モーターに作用する慣性力が大きくなってしまう。これに対して、第１の圧電モーターを第２の圧電モーターよりも鉛直方向下方に配置することで、第２の圧電モーターの重力分第１の圧電モーターに作用する慣性力を低減できる。これにより、第１の圧電モーターが動いてずれが生じることを抑止することができる。
【００１９】
［適用例７］本適用例に係る電子部品検査装置は、電子部品を所定の位置に移動配置させて、前記電子部品の電気的検査を行う電子部品検査装置であって、前記電子部品を検査する検査部と、前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、前記複数の圧電モーターと前記駆動回路との間に設けられ、前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、複数の圧電モーターと駆動回路との間に設けられた切り替え手段は、複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと駆動回路とを電気的に接続又は遮断するする。そのため、駆動回路と電気的に接続する圧電モーターを切り替え手段で切り替えて選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを時分割で駆動させて、可動部を移動させることができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。また、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、電子部品検査装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例に係る電子部品検査装置であって、前記可動部を第１の方向に沿って往復動させる直動機構をさらに備え、前記複数の圧電モーターは、前記可動部を前記第１の方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記可動部を前記第１の方向とは異なる第２の方向に移動させる第２の圧電モーターと、を含み、前記第１の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第２の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されていることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、直動機構により可動部が往復動する第１の方向に可動部を移動させる第１の圧電モーターは、可動部を第２の方向に移動させる第２の圧電モーターよりも可動部側に配置されている。圧電モーターが非駆動状態において、直動機構により可動部が第１の方向に往復動すると、移動方向が同じである第１の圧電モーターの方が移動方向が異なる第２の圧電モーターよりも往復動の慣性力で動いてずれてしまう可能性が高い。可動部が直動機構よりも鉛直方向下方に配置されている場合、第２の圧電モーターが第１の圧電モーターよりも可動部側、すなわち鉛直方向下方に配置されていると、第１の圧電モーターに第２の圧電モーターの重力がかかるため、第１の圧電モーターに作用する慣性力が大きくなってしまう。これに対して、第１の圧電モーターを第２の圧電モーターよりも鉛直方向下方に配置することで、第２の圧電モーターの重力分第１の圧電モーターに作用する慣性力を低減できる。これにより、第１の圧電モーターが動いてずれが生じることを抑止することができる。
【００２３】
［適用例９］本適用例に係るロボットハンドは、可動部と、前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、前記複数の圧電モーターと前記駆動回路との間に設けられ、前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、を備えることを特徴とする。
【００２４】
この構成によれば、複数の圧電モーターと駆動回路との間に設けられた切り替え手段は、複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと駆動回路とを電気的に接続又は遮断する。そのため、駆動回路と電気的に接続する圧電モーターを切り替え手段で切り替えて選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを時分割で駆動させて、可動部を移動させることができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、ロボットハンドの小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【００２５】
［適用例１０］本適用例に係るロボットは、可動部と、前記可動部を所定の方向に移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、前記複数の圧電モーターと前記駆動回路との間に設けられ、前記複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと前記駆動回路とを電気的に接続又は遮断する複数の切り替え手段と、を備えることを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、複数の圧電モーターと駆動回路との間に設けられた切り替え手段は、複数の圧電モーターのうちの少なくとも一つと駆動回路とを電気的に接続又は遮断する。そのため、駆動回路と電気的に接続する圧電モーターを切り替え手段で切り替えて選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを時分割で駆動させて、可動部を移動させることができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、ロボットの小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】第１の実施形態に係る駆動装置の概略構成を示すブロック図。
【図２】第１の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図。
【図３】第１の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図。
【図４】第１の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図。
【図５】第１の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する図。
【図６】第２の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図。
【図７】第２の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図。
【図８】第２の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図。
【図９】第３の実施形態に係る電子部品の一例を示す図。
【図１０】第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置の概略構成を示すブロック図。
【図１１】第３の実施形態に係る電子部品検査装置の要部の構成を説明する図。
【図１２】第３の実施形態に係る電子部品検査装置の要部の構成を説明する図。
【図１３】第３の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の概略構成を示すブロック図。
【図１４】第３の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の駆動制御方法を説明する図。
【図１５】第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットの構造を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、参照する各図面において、構成をわかり易く示すため、各構成要素の寸法の比率、角度等が異なる場合がある。
【００２９】
（第１の実施形態）
＜駆動装置＞
まず、第１の実施形態に係る駆動装置の概略構成を説明する。図１は、第１の実施形態に係る駆動装置の概略構成を示すブロック図である。図１に示すように、第１の実施形態に係る駆動装置１００は、３つの駆動ユニット１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃで構成される。
【００３０】
駆動ユニット１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのそれぞれは、同じ構成を有しており、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃにより、各駆動ユニット１０１と、各駆動ユニット１０１が備える可動部５０、駆動回路３０、切り替え手段としてのリレー２１，２２，２３，２４、及び圧電モーター１１，１２，１３，１４とを対応させている。
【００３１】
すなわち、駆動装置１００は、可動部５０ａ，５０ｂ，５０ｃと、駆動回路３０ａ，３０ｂ，３０ｃと、圧電モーター１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃと、リレー２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２４ａ，２４ｂ，２４ｃと、を備えている。以下では、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃを省略して説明する。
【００３２】
各駆動ユニット１０１において、可動部５０には、４個の圧電モーター１１，１２，１３，１４が設けられている。リレー２１，２２，２３，２４は、圧電モーター１１，１２，１３，１４毎に設けられている。すなわち、圧電モーター１１，１２，１３，１４は、それぞれリレー２１，２２，２３，２４に１対１で接続されており、リレー２１，２２，２３，２４を介して、圧電モーター１１，１２，１３，１４を駆動する駆動回路３０に接続されている。
【００３３】
リレー２１，２２，２３，２４は、例えば、フォトモス（ＭＯＳ）リレーで構成されている。リレー２１，２２，２３，２４は、駆動回路３０から出力されるセレクト信号に基づいて動作し、圧電モーター１１，１２，１３，１４のそれぞれと駆動回路３０とを電気的に接続又は遮断する。リレー２１，２２，２３，２４の切り替えにより、圧電モーター１１，１２，１３，１４のうち駆動回路３０と電気的に接続された圧電モーターに対して、駆動回路３０からの駆動信号が選択的に供給される。また、圧電モーター１１，１２，１３，１４のうち駆動回路３０から駆動信号が供給された圧電モーターの動作により、エンコーダー信号が駆動回路３０にフィードバックされる。
【００３４】
駆動装置１００は、３つの駆動ユニット１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのそれぞれにおいて、リレー２１，２２，２３，２４の切り替えで、４つ（４軸）の圧電モーター１１，１２，１３，１４のいずれかを選択的に駆動回路３０に接続して時分割で駆動することにより、３つの可動部５０のそれぞれを所望の位置に移動させる１２軸の多軸駆動装置である。駆動装置１００の駆動制御方法については後述する。
【００３５】
なお、本実施形態は、リレー２１，２２，２３，２４にフォトモスリレーを用いた構成としているが、メカニカルリレー（電磁リレー）用いた構成としてもよい。しかしながら、フォトモスリレーは、メカニカルリレーに比べて、接続と遮断との動作（応答）時間が短いので切り替えを速く行うことができるとともに、消費電力が小さく長寿命である。したがって、リレー２１，２２，２３，２４にはフォトモスリレーを用いることが好ましい。
【００３６】
＜圧電モーター＞
次に、圧電モーター１１，１２，１３，１４の構成を説明する。図２は、第１の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。図３は、第１の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。
【００３７】
圧電モーター１１，１２，１３，１４は、同じ構成を有している。図２に示すように、圧電モーター１１，１２，１３，１４のそれぞれは、振動体１と、被駆動体５と、保持部材８と、付勢バネ６と、基台７と、を備えている。振動体１、被駆動体５、保持部材８、及び付勢バネ６は、基台７に設置されている。なお、ここでは、被駆動体５が回転駆動されるローターである場合を例にとり説明する。
【００３８】
図２に示す平面視で、振動体１は、短辺１ａと長辺１ｂとを有する略矩形形状である。以下の説明では、短辺１ａに沿った方向を短手方向と呼び、長辺１ｂに沿った方向を長手方向と呼ぶ。振動体１は、例えば、板状に形成された圧電素子で構成されるが、圧電素子と振動板とが積層された積層体であってもよい。
【００３９】
圧電素子は、電気機械変換作用を示す圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ3で示されるペロブスカイト構造を有する金属酸化物を材料として形成されている。このような金属酸化物としては、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3：ＰＺＴ）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）等があげられる。
【００４０】
振動体１の表面には、Ｎｉ，Ａｕ，Ａｇ等の導電性金属からなる電極３が設けられている。電極３は、振動体１の短手方向の中央部、及び長手方向の中央部に形成された溝部によって、略４等分されている。これにより、電極３は、個別電極として互いに電気的に隔離された電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの４つの電極部に分割されている。また、振動体１の反対側の表面には、共通電極９（図３参照）が設けられている。
【００４１】
電極３の４つの電極部のうち、互いに対角となるように配置され対を成す電極部３ａ，３ｄは、第１屈曲振動用電極として機能する。また、電極部３ａ，３ｄと交差する対角となるように配置され対を成す電極部３ｃ，３ｂは、第２屈曲振動用電極として機能する。電極部３ａ，３ｄが配置された領域、及び電極部３ｃ，３ｂが配置された領域が、それぞれ振動体１の短手方向に屈曲振動を励起する屈曲振動励起領域となる。
【００４２】
振動体１は、被駆動体５側に突出するように延設され、被駆動体５の側面（円周面）に当接する摺動部４を有している。また、振動体１は、短手方向両外側に向かって延設された一対の腕部１ｃを有している。腕部１ｃには厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられており、貫通孔を挿通させたネジを介して、腕部１ｃが保持部材８に固定されている。これにより、振動体１は、保持部材８に対して、腕部１ｃを基点として屈曲振動が可能な状態で保持される。
【００４３】
被駆動体５は、円盤形状を有しており、振動体１の摺動部４が設けられた側に配置されている。被駆動体５は、基台７に立設された棒状の軸５ａを回転中心として、回転自在に保持されている。圧電モーター１１，１２，１３，１４のそれぞれにおいて、被駆動体５に近い位置には、エンコーダー５１，５２，５３，５４（図３参照）が設けられている。エンコーダー５１，５２，５３，５４は、被駆動体５の位置や回転速度に基づくエンコーダー信号Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４を駆動回路３０にフィードバックする。
【００４４】
基台７は、振動体１の短手方向の両外側に、長手方向に沿って延在して配置された一対のスライド部７ａを有している。保持部材８は、基台７に対して、スライド部７ａに沿ってスライド移動可能に支持されている。
【００４５】
保持部材８の被駆動体５とは反対側と基台７との間には、付勢バネ６が設置されている。付勢バネ６は、保持部材８を介して振動体１を被駆動体５に向けて付勢し、この付勢力により、摺動部４が被駆動体５に所定の力で当接する。付勢バネ６の付勢力は、被駆動体５と摺動部４との間で適切な摩擦力が発生するように適宜設定されている。これにより、振動体１の振動が、摺動部４を介して被駆動体５に効率よく伝達される。
【００４６】
駆動回路３０（図１参照）から、共通電極９に対して共通信号（図３に示すＣＯＭ）が供給され、第１屈曲振動用電極である電極部３ａ，３ｄに対して駆動信号（図３に示すＤｒｖＡ）が供給されると、振動体１に、短手方向に沿って屈曲する屈曲振動が励振される。この屈曲振動により、摺動部４は、時計回りの楕円軌道を描くように摺動する。これにより、被駆動体５が、図２に矢印で示すように、反時計回りに回転する。
【００４７】
一方、共通電極９に対して共通信号（ＣＯＭ）が供給され、第２屈曲振動用電極である電極部３ｃ，３ｂに対して駆動信号（図３に示すＤｒｖＢ）が供給されると、振動体１に、短手方向に沿って屈曲する屈曲振動が励振される。この屈曲振動により、摺動部４は、反時計回りの楕円軌道を描くように摺動する。これにより、被駆動体５が、図２に示す矢印とは反対の、時計回りに回転する。
【００４８】
このように、圧電モーター１１，１２，１３，１４は、駆動回路３０から共通電極９と電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとの間に駆動信号が供給される際に、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ，３ｄ）を選択する場合と、第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ，３ｂ）を選択する場合とを切り替えることにより、被駆動体５を反時計回り及び時計回りの双方向に回転させることが可能である。これにより、可動部５０（図１参照）を移動させる方向を正方向と逆方向とで切り替えることができる。
【００４９】
なお、被駆動体５は、上述の回転駆動されるローターに限定されるものではない。被駆動体５は直線駆動されるリニア被駆動体であってもよく、被駆動体５の駆動方向は任意に構成できる。被駆動体５がリニア被駆動体である場合、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ，３ｄ）と第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ，３ｂ）とを切り替えることにより、被駆動体５の直動方向を正方向と逆方向とで切り替えることができる。
【００５０】
図３に示すように、圧電モーター１１，１２，１３，１４のうち、リレー２１，２２，２３，２４で駆動回路３０に電気的に接続された圧電モーターのみが、屈曲振動用電極の駆動信号（ＤｒｖＡ又はＤｒｖＢ）及び共通信号（ＣＯＭ）が供給されて駆動される。リレー２１，２２，２３，２４で駆動回路３０との電気的な接続が遮断された圧電モーターは非駆動状態となる。
【００５１】
非駆動状態において、被駆動体５は、摺動部４との間に働く摩擦力により、回転を停止した際の位置で保持される。したがって、圧電モーター１１，１２，１３，１４では、電磁モーターやパルスモーターのように非駆動状態において回転子が回転しないようにモーター毎に設けられるブレーキ機構を必要としない。このため、圧電モーター１１，１２，１３，１４を用いることで、駆動装置１００の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【００５２】
なお、圧電モーター１１，１２，１３，１４は、被駆動体５の回転を増速又は減速して伝達する増減速機構をさらに備えていてもよい。増減速機構を備えていると、被駆動体５の回転速度を増速又は減速して所望の回転速度を容易に得ることができる。
【００５３】
＜駆動回路＞
次に、第１の実施形態に係る駆動回路の概略構成を説明する。図４は、第１の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。図４に示すように、駆動回路３０（３０ａ，３０ｂ，３０ｃ）は、主制御部４０と、副制御部４１と、発振器３１と、ゲインアンプ３２と、ＰＷＭ部３３と、デジタルアンプ３４と、インダクターコンデンサー３５，３６と、リレー３７，３８と、を備えている。
【００５４】
主制御部４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）で構成される。主制御部４０は、駆動装置１００を含むシステム全体を制御する制御装置（図示省略）と、ＣＡＮ（Controller Area Network）を介して接続されている。主制御部４０は、制御装置の指示に基づいて、リレー２１，２２，２３，２４で圧電モーター１１，１２，１３，１４を切り替えて時分割で駆動する等の、駆動装置１００の動作の制御を行う。
【００５５】
副制御部４１は、ロジックＩＣやＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等で構成される。副制御部４１は、主制御部４０とＳＰＩ（Serial Peripheral Interface）を介して接続されている。副制御部４１は、主制御部４０の指示に基づいて、発振器３１で生成する信号の周波数、ゲインアンプ３２の増幅率、リレー３７，３８の切り替え等の制御を行う。また、副制御部４１は、エンコーダー５１，５２，５３，５４からフィードバックされたエンコーダー信号（図３に示すＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４）に基づいて、圧電モーター１１，１２，１３，１４の被駆動体５の位置や回転速度を検出する。
【００５６】
発振器３１は、ＤＤＳ（Direct Digital Synthesizer）等で構成される。発振器３１は、圧電モーター１１，１２，１３，１４の振動体１に供給する駆動信号のもととなる信号を生成する。発振器３１で生成された信号は、ＤＡコンバーターによりアナログ信号に変換される。また、発振器３１は、副制御部４１の指示に基づいて、駆動信号の周波数を調整する。
【００５７】
ゲインアンプ３２は、例えば、デジタルポテンショメーターとオペアンプとで構成される。ゲインアンプ３２は、発振器３１からのアナログ信号をデジタル制御により増幅する。また、ゲインアンプ３２は、副制御部４１の指示に基づいて、駆動信号の電圧値を調整する。
【００５８】
ＰＷＭ部３３は、ＰＷＭ（Pulse Width Modulation）回路で構成される。ＰＷＭ部３３は、ゲインアンプ３２からの入力信号におけるパルスのデューティー比を変えることにより、等価的なアナログ制御を行なう。
【００５９】
デジタルアンプ３４は、ＭＯＳトランジスターのＨブリッジ回路で構成され、ＰＷＭ部３３との併用により、デジタルアンプとして機能する。デジタルアンプ３４は、ＰＷＭ部３３からの信号の電力を増幅してスイッチングを行う。なお、主制御部４０からの「Ｓｌｅｅｐ」指示があると、電力を増幅してスイッチングを行う機能がＯＦＦ状態となる。
【００６０】
インダクターコンデンサー３５，３６は、デジタルアンプ３４から出力される駆動信号の波形を整形して正弦波とする。また、インダクターコンデンサー３５，３６は、フィルター回路、圧電モーター１１，１２，１３，１４の整合回路、昇圧回路等としての機能も兼ねている。
【００６１】
インダクターコンデンサー３５から、リレー３７を介して圧電モーター１１，１２，１３，１４の第１屈曲振動用電極（図２に示す電極部３ａ，３ｄ）に駆動信号（ＤｒｖＡ）が出力され、リレー３８を介して第２屈曲振動用電極（図２に示す電極部３ｃ，３ｂ）に駆動信号（ＤｒｖＢ）が出力される。インダクターコンデンサー３６から、圧電モーター１１，１２，１３，１４の共通電極９（図３参照）に共通信号（ＣＯＭ）が出力される。
【００６２】
リレー３７，３８は、フォトモスリレーで構成されている。リレー３７，３８は、副制御部４１の指示に基づいて動作し、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ，３ｄ）、第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ，３ｂ）とインダクターコンデンサー３５とが電気的に接続した状態及び電気的に切断した状態を切り替える。リレー３７，３８を切り替えて、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ，３ｄ）又は第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ，３ｂ）を選択することにより、圧電モーター１１，１２，１３，１４の被駆動体５は反時計回り又は時計回りに回転する。
【００６３】
＜駆動制御方法＞
次に、第１の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する。図５は、第１の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する図である。
【００６４】
先に図１を参照して説明したように、駆動ユニット１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのそれぞれにおいて、駆動回路３０からリレー２１，２２，２３，２４及び圧電モーター１１，１２，１３，１４に、セレクト信号及び駆動信号が出力される。図５（ａ）は、駆動回路３０からリレー２１，２２，２３，２４及び圧電モーター１１，１２，１３，１４に出力されるセレクト信号及び駆動信号の構成を模式的に示している。
【００６５】
図５（ａ）に示すように、セレクト信号は、時分割で順次現出する信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４を含んでいる。信号Ｓ１は、例えば動作開始等の基準時点から時間Ｔ１経過後に現出し、信号Ｓ２は時間Ｔ１から時間Ｔ２経過後に現出する。そして、信号Ｓ３は時間Ｔ２から時間Ｔ３経過後に現出し、信号Ｓ４は時間Ｔ３から時間Ｔ４経過後に現出する。また、駆動信号は、信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４に同期するとともに、信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４のそれぞれの持続時間に対応して出力される。
【００６６】
信号Ｓ１はリレー２１を接続状態とする信号であり、同様に、信号Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４はそれぞれリレー２２，２３，２４を個別に接続状態とする信号である。リレー２１，２２，２３，２４のうち、セレクト信号（信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）で指定されたリレーは接続状態となり、それ以外のリレーは切断状態となる。したがって、圧電モーター１１，１２，１３，１４のうち、セレクト信号に基づいて接続状態となったリレーに対応する圧電モーターのみが選択的に駆動回路３０に電気的に接続される。
【００６７】
図５（ｂ）に示すように、時間Ｔ１経過後にはセレクト信号（信号Ｓ１）で指定されたリレー２１が接続状態となり、圧電モーター１１のみが駆動回路３０に電気的に接続されるので、駆動信号は圧電モーター１１のみに供給される。また、図５（ｃ）に示すように、時間Ｔ１から時間Ｔ２経過後にはセレクト信号（信号Ｓ２）で指定されたリレー２２が接続状態となり、圧電モーター１２のみが駆動回路３０に電気的に接続されるので、駆動信号は圧電モーター１２のみに供給される。
【００６８】
同様にして、図５（ｄ）に示す時間Ｔ３経過後にはリレー２３が接続状態となって駆動信号が圧電モーター１３に供給され、図５（ｅ）に示す時間Ｔ４経過後にはリレー２４が接続状態となって駆動信号が圧電モーター１４に供給される。このようにして、一つの駆動回路３０により、４個の圧電モーター１１，１２，１３，１４を時分割で順次駆動することができる。また、これにより、駆動回路３０と接続する配線を、４個の圧電モーター１１，１２，１３，１４で共通とすることができる。
【００６９】
このとき、３つの駆動ユニット１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃにおいて、セレクト信号及び駆動信号を同期させて供給することにより、それぞれの圧電モーター１１，１２，１３，１４を同期させて駆動することができる。すなわち、図１に示す可動部５０ａ，５０ｂ，５０ｃを同期させて移動させることができる。
【００７０】
ここで、４個の圧電モーター１１，１２，１３，１４により図１に示す可動部５０（５０ａ，５０ｂ，５０ｃ）を移動させる方向は、同一であってもよいし、それぞれ異なっていてもよい。例えば、圧電モーター１１，１２，１３，１４のそれぞれによる移動方向を、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の３方向、及びＺ方向を回転軸として回転するθ方向とすれば、リレー２１，２２，２３，２４の切り替えにより圧電モーター１１，１２，１３，１４を順次駆動させることで、可動部５０をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、θ方向に順次移動させて所望の位置に移動配置することができる。
【００７１】
あるいは、増減速機構により、圧電モーター１１，１２，１３，１４の順に可動部５０を移動させる速度を遅く（移動させる距離を小さく）すれば、リレー２１，２２，２３，２４の切り替えにより圧電モーター１１，１２，１３，１４を順次駆動させることで、可動部５０の位置合わせを段階的に微細に行うことができる。
【００７２】
なお、駆動装置１００が備える駆動ユニットの数や、一つの駆動回路３０に接続する圧電モーターの数は、上述の数に限定されるものではない。また、一つのリレーに複数の圧電モーターを接続して、これら複数の圧電モーターと駆動回路３０との電気的な接続及び切断を一緒に行う構成とすることも可能である。
【００７３】
以上述べたように、第１の実施形態に係る駆動装置１００の構成によれば、以下の効果が得られる。
【００７４】
（１）圧電モーター１１，１２，１３，１４と駆動回路３０との間に設けられたリレー２１，２２，２３，２４は、圧電モーター１１，１２，１３，１４のうちの少なくとも一つと駆動回路３０とを電気的に接続又は遮断するする。そのため、駆動回路３０と電気的に接続する圧電モーターをリレー２１，２２，２３，２４で切り替えて選択的に駆動させることにより、共通の駆動回路３０で複数の圧電モーター１１，１２，１３，１４を時分割で駆動させることができる。これにより、圧電モーター１１，１２，１３，１４の数に対して、駆動回路３０の数及び配線の数を少なくすることができる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、駆動装置１００の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【００７５】
（２）圧電モーター１１，１２，１３，１４のそれぞれによる移動方向を、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の３方向、及びＺ方向を回転軸として回転するθ方向とすれば、リレー２１，２２，２３，２４を切り替えることにより、圧電モーター１１，１２，１３，１４を個別に駆動させて、可動部５０をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、θ方向の異なる方向に移動させる動作を個別に行うことができる。これにより、可動部５０を容易に、かつ精度良く所望の位置へ移動させることができる。
【００７６】
（３）リレー２１，２２，２３，２４が圧電モーター１１，１２，１３，１４毎に設けられているので、共通の駆動回路３０で複数の圧電モーター１１，１２，１３，１４を一つずつ個別に駆動させることができる。
【００７７】
（４）リレー２１，２２，２３，２４がフォトモスリレーで構成されるので、メカニカルリレー（電磁リレー）で構成される場合に比べて、接続及び遮断の際の動作時間が短く、消費電力が小さく、長寿命である。これにより、より高性能で信頼性の高い駆動装置１００を提供できる。
【００７８】
（第２の実施形態）
＜駆動装置＞
次に、第２の実施形態に係る駆動装置を説明する。第２の実施形態に係る駆動装置は、第１の実施形態に対して、圧電モーターの振動体に屈曲振動だけでなく縦振動が励起される点が異なっているが、その他の構成はほぼ同じである。第１の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。
【００７９】
図６は、第２の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。図７は、第２の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。図８は、第２の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。
【００８０】
第２の実施形態に係る駆動装置１０２は、第１の実施形態に係る駆動装置１００と同様に、３つの駆動ユニット（図示省略）を備え、それぞれの駆動ユニットに、駆動回路３０と、圧電モーター６１，６２，６３，６４と、リレー２１，２２，２３，２４と、を備えている。図６に示すように、圧電モーター６１，６２，６３，６４のそれぞれは、振動体２と、被駆動体５と、保持部材８と、付勢バネ６と、基台７と、を備えている。
【００８１】
振動体２の電極３の表面は５分割されており、電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄに加えて、電極部３ｅが設けられている。電極部３ｅは、電極部３ａ，３ｂと電極部３ｃ，３ｄとの間の短手方向中央部に配置されており、電極部３ａ，３ｂを合わせた面積（電極部３ｃ，３ｄを合わせた面積）とほぼ同じ面積を有している。電極部３ｅは、縦振動用電極として機能する。縦振動とは、振動体２に長手方向に沿って伸縮する振動のことを指す。
【００８２】
図７に示すように、圧電モーター６１，６２，６３，６４は、それぞれリレー２１，２２，２３，２４により、駆動回路３０と電気的に接続又は遮断される。駆動回路３０に電気的に接続された圧電モーターには、第１屈曲振動用信号（ＤｒｖＡ）又は第２屈曲振動用信号（ＤｒｖＢ）のいずれかと、縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）とが供給される。
【００８３】
振動体２の電極部３ａ，３ｄに第１屈曲振動用の駆動信号（ＤｒｖＡ）が供給され、電極部３ｅに縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）が供給されると、振動体２の短手方向に沿って屈曲する屈曲振動とともに長手方向に沿って伸縮する縦振動が励振される。このような屈曲振動と縦振動とが合成されて振動体２が励振されることにより、摺動部４は時計回りの楕円軌道を描くように摺動するので、被駆動体５は反時計回りに回転する。
【００８４】
一方、振動体２の電極部３ｃ，３ｂに第２屈曲振動用の駆動信号（ＤｒｖＢ）が供給され、電極部３ｅに縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）が供給されると、屈曲振動と縦振動とが合成されて振動体２が励振されることにより、摺動部４は反時計回りの楕円軌道を描くように摺動するので、被駆動体５は時計回りに回転する。
【００８５】
図８に示すように、第２の実施形態に係る駆動装置１０２の駆動回路３０は、縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）が出力される点以外は、第１の実施形態と同じ構成を有している。縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）は、リレー３７，３８の動作に関わらず、インダクターコンデンサー３５から出力される。
【００８６】
このように、第２の実施形態に係る駆動装置１０２は、振動体２の電極が５分割され屈曲振動用の電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄに加えて縦振動用の電極部３ｅを有する圧電モーター６１，６２，６３，６４を備えているが、第１の実施形態と同様に、リレー２１，２２，２３，２４により選択的に駆動回路３０と電気的に接続される。これにより、第２の実施形態に係る駆動装置１０２においても、第１の実施形態に係る駆動装置１００と同様の効果が得られる。
【００８７】
（第３の実施形態）
＜電子部品搬送装置及び電子部品検査装置＞
次に、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置を説明する。第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置は、第１の実施形態に係る駆動装置の基本構成と同様の構成を有する位置決め機構を備えている。第１の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。
【００８８】
まず、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置で搬送又は検査する電子部品の一例を説明する。図９は、第３の実施形態に係る電子部品の一例を示す図である。詳しくは、図９（ａ）は電子部品の構造を示す模式側面図であり、図９（ｂ）及び図９（ｃ）は電子部品の構造を示す概略斜視図である。図９（ｂ）は半導体素子が形成された面を示し、図９（ｃ）は電極のみが形成された面を示している。
【００８９】
図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、電子部品７０は四角形の基板７１を備えている。基板７１の一方の面を第１面７０ａとし、他方の面を第２面７０ｂとする。図９（ｂ）に示すように、第１面７０ａには四角形の半導体チップ７２が設置され、その周囲に２列に配列された第１電極７３ａが配置されている。図９（ｃ）に示すように、第２面７０ｂには第２電極７３ｂが格子状に配置されている。基板７１内には配線層と絶縁層とが積層して形成され、半導体チップ７２は配線層の配線を介して第１電極７３ａ及び第２電極７３ｂで構成される電極７３に接続されている。
【００９０】
次に、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置の概略構成を説明する。図１０は、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置の概略構成を示すブロック図である。図１１及び図１２は、第３の実施形態に係る電子部品検査装置の要部の構成を説明する図である。詳しくは、図１１（ａ）は電子部品検査装置２００を正面から見た図であり、図１１（ｂ）は電子部品検査装置２００を上方から見た図である。また、図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）は電子部品検査装置２００の断面図である。なお、図１１及び図１２では、電子部品７０の図示を省略している。
【００９１】
図１０に示すように、第３の実施形態に係る電子部品検査装置２００は、制御装置２１０と、直動機構としての直動駆動装置２２０と、検査装置２３０と、給材装置２４０と、除材装置２５０と、第１撮像部２６０と、第２撮像部２７０と、位置決め機構１１０と、を備えている。直動駆動装置２２０と、検査装置２３０と、給材装置２４０と、除材装置２５０と、第１撮像部２６０と、第２撮像部２７０と、位置決め機構１１０とは、入出力インターフェイスを介して制御装置２１０に接続されている。
【００９２】
なお、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置２０５は、検査装置２３０を備えていない点以外は電子部品検査装置２００と共通の構成を有している。以下では、電子部品検査装置２００について説明するが、検査装置２３０に関する説明以外は電子部品搬送装置２０５の説明を兼ねるものとする。
【００９３】
制御装置２１０は、電子部品検査装置２００全体の動作を制御する。制御装置２１０は、プロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵや、各種情報を記憶するメモリーを備えている。
【００９４】
メモリーには、電子部品検査装置２００の動作の制御手順が記述されたプログラムを記憶する記憶領域、電子部品７０の形状や電極の座標データ等を記憶するための記憶領域、検査装置２３０のプローブ位置の座標データを記憶するための記憶領域等が設定される。ＣＰＵは、メモリー内に記憶されたプログラムに従って電子部品検査装置２００の各部を動作させて電子部品７０の電気特性を検査するための制御を行うものである。
【００９５】
直動駆動装置２２０は、リニアモーター等によりそれぞれＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に直動（往復）するＸ移動部２２１、Ｙ移動部２２２、Ｚ移動部２２３を備え、これらを駆動する。図１１（ａ），（ｂ）において、水平方向正面側を第２の方向としてのＸ方向とし、水平面においてＸ方向と直交する方向（正面から見て右方）を第１の方向としてのＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向（垂直方向上方）をＺ方向とする。
【００９６】
図１１（ａ）に示すように、電子部品検査装置２００は、基台２０１と支持部２０２とを備えている。基台２０１は、略直方体状である。支持部２０２は、基台２０１に設けられた直動駆動装置２２０（図１０参照）に支持されており、直動駆動装置２２０がＸ移動部２２１、Ｙ移動部２２２、Ｚ移動部２２３（図１０参照）を駆動することにより、基台２０１に対してＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動する。なお、制御装置２１０は、基台２０１のＹ方向における端部等の、支持部２０２から離れた位置に配置されている。
【００９７】
支持部２０２には、電子部品７０を保持して移動可能な可動部８１と、可動部８１を移動可能に保持するヘッド８０と、可動部８１を所定の方向に移動させる位置決め機構１１０と、が設けられている。ヘッド８０は、支持部２０２の基台２０１側（−Ｚ方向）に設けられており、４つのヘッド８０ａ，８０ｂ，８０ｃ，８０ｄで構成される。
【００９８】
直動駆動装置２２０により支持部２０２がＹ方向に移動（往復）することで、ヘッド８０ａ，８０ｂが位置決め場所Ｐ１と検査場所Ｐ３とを移動（往復）し、ヘッド８０ｃ，８０ｄが位置決め場所Ｐ２と検査場所Ｐ３とを移動（往復）する。なお、検査場所Ｐ３に対して、位置決め場所Ｐ１は図の右側（Ｙ方向）に配置され、位置決め場所Ｐ２は図の左側（−Ｙ方向）に配置されている。
【００９９】
図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、可動部８１は、各ヘッド８０の基台２０１側（−Ｚ方向）に４つずつ配置されており、合計で１６個設けられている。可動部８１の略中央には吸着部（図示省略）が設置され、吸着部の内部に設けられた流路内の空気を真空ポンプ等で吸引することにより、電子部品７０を基台２０１側に保持することが可能になっている。なお、図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）は、基台２０１をヘッド８０ａの位置においてＸ方向に切断した時の断面を模式的に示している。
【０１００】
図１１（ａ）に示すように、位置決め機構１１０は、４つの駆動ユニット１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄで構成される。駆動ユニット１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄは、ヘッド８０ａ，８０ｂ，８０ｃ，８０ｄに、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃ，ｄに対応して配置されている。位置決め機構１１０は、第１の実施形態に係る駆動装置１００の基本構成を適用した位置決め機構である。位置決め機構１１０により可動部８１を移動させて、電子部品７０を所定の位置に移動配置することができる。位置決め機構１１０の構成については後述する。
【０１０１】
検査装置２３０は、電子部品７０の電気特性を検査する装置である。図１１（ａ），（ｂ）に示すように、検査装置２３０は、基台２０１の上面の検査場所Ｐ３に配置されており、検査台２３１を備えている。検査台２３１には、８個の検査ソケット２３２が設けられている。検査ソケット２３２には、検査を行うための電気信号を送受信するための多数のプローブ（図示省略）が設けられており、可動部８１に保持された電子部品７０が挿入されると、これらのプローブと電子部品７０の電極とが接触して電気的に接続されるようになっている。
【０１０２】
図１１（ｂ）に示す給材装置２４０は、検査するための電子部品７０を給材する装置である。給材装置２４０は、検査するための電子部品７０を載置する供給トレイ２４１，２４２と、リニアモーター等により供給トレイ２４１，２４２を直動させる直動機構（図示省略）と、を備えている。供給トレイ２４１，２４２は、Ｙ方向に並んで配置されている。
【０１０３】
図１２（ｂ）には供給トレイ２４１側のみを示すが、供給トレイ２４１，２４２は、直動機構によりＸ方向に移動し、可動部８１に電子部品７０を供給する位置（位置決め場所Ｐ１，Ｐ２）と、供給トレイ上に電子部品７０を載置する位置（位置決め場所Ｐ１，Ｐ２のＸ側）との間を往復する。
【０１０４】
図１１（ｂ）に示す除材装置２５０は、検査が終了した電子部品７０を除材する装置である。除材装置２５０は、検査が終了した電子部品７０を載置する回収トレイ２５１，２５２と、リニアモーター等により回収トレイ２５１，２５２を直動させる直動機構（図示省略）と、を備えている。回収トレイ２５１，２５２は、Ｙ方向に並んで配置されている。
【０１０５】
図１２（ｃ）には回収トレイ２５１側のみを示すが、回収トレイ２５１，２５２は、直動機構によりＸ方向に移動し、可動部８１から電子部品７０を回収する位置（位置決め場所Ｐ１，Ｐ２）と、回収トレイから電子部品７０を除材する位置（位置決め場所Ｐ１，Ｐ２の−Ｘ側）との間を往復する。
【０１０６】
図１１（ａ），（ｂ）に示す第１撮像部２６０は、位置決め場所Ｐ１に配置されており、２つの撮像装置２６１，２６２を備えている。位置決め場所Ｐ１には、基台２０１の上面から窪んで設けられ、Ｘ方向に延在する溝部が形成されている。撮像装置２６１，２６２は、Ｙ方向に並ぶように溝部内に配置されている。撮像装置２６１，２６２は、受光する光を電気信号に変換するＣＣＤ（Charge Coupled Devices）素子等で構成される。
【０１０７】
図１２（ａ）には撮像装置２６１側のみを示すが、撮像装置２６１，２６２は、直動機構（図示省略）により溝部内をＸ方向に移動（往復）し、可動部８１に保持され対向配置された電子部品７０の画像を出力する。撮像装置２６１，２６２により、位置決め場所Ｐ１において、一度に２個の電子部品７０の配置位置を光学的に認識することができる。また、撮像装置２６１，２６２がＸ方向に移動することで、合計８個の電子部品７０の配置位置を光学的に認識することができる。
【０１０８】
図１１（ａ），（ｂ）に示す第２撮像部２７０は、位置決め場所Ｐ２に配置されており、２つの撮像装置２７１，２７２を備えている。位置決め場所Ｐ２には、基台２０１の上面から窪んで設けられ、Ｘ方向に延在する溝部が形成されている。撮像装置２７１，２７２は、Ｙ方向に並ぶように溝部内に配置されている。撮像装置２７１，２７２は、撮像装置２６１，２６２と同様の素子で構成されており、撮像装置２６１，２６２と同様に溝部内をＸ方向に移動（往復）して電子部品７０の画像を出力する。これにより、位置決め場所Ｐ２においても一度に２個、合計８個の電子部品７０の配置位置を光学的に認識することができる。
【０１０９】
＜位置決め機構＞
次に、図１３を参照して、位置決め機構１１０の構成を説明する。図１３は、第３の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の概略構成を示すブロック図である。
【０１１０】
図１３に示すように、位置決め機構１１０は、４つの駆動ユニット１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄのそれぞれに１２個の圧電モーター１１，１２，１３，１４を備え、４つの駆動回路９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄで合計４８個（４８軸）の圧電モーターを駆動する多軸位置決め機構である。駆動ユニット１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄのそれぞれは同じ構成を有しており、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃ，ｄにより、各駆動ユニット１１１と、リレー２１，２２，２３，２４及び圧電モーター１１，１２，１３，１４とを対応させている。以下では、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃ，ｄを省略して説明する。
【０１１１】
各駆動ユニット１１１は、駆動回路９０と、４つのリレー２１，２２，２３，２４と、１２個の圧電モーター１１（Ｘ），１１（Ｙ），１１（θ），１２（Ｘ），１２（Ｙ），１２（θ），１３（Ｘ），１３（Ｙ），１３（θ），１４（Ｘ），１４（Ｙ），１４（θ）と、を備えている。１２個の圧電モーターは同様の構成を有しているが、各圧電モーターの符号の末尾に付した（Ｘ），（Ｙ），（θ），により、各圧電モーターが可動部８１（図１１参照）をそれぞれＸ方向、Ｙ方向、θ方向に移動させることを示している。ここで、θ方向は、Ｚ方向を回転軸として、Ｘ方向とＹ方向とで構成される面内で回転する方向である。
【０１１２】
以下では、可動部８１をＸ方向に移動させる圧電モーター１１，１２，１３，１４を総称して、第２の圧電モーターとしてのＸ方向用圧電モーターという。また、可動部８１をＹ方向に移動させる圧電モーター１１，１２，１３，１４を総称して、第１の圧電モーターとしてのＹ方向用圧電モーターという。また、可動部８１をθ方向に移動させる圧電モーター１１，１２，１３，１４を総称して、θ方向用圧電モーターという。
【０１１３】
リレー２１には、３個の圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ）が接続される。そして、リレー２１の切り替えにより、３個の圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ）が駆動回路９０と電気的に接続した状態、又は遮断した状態となる。同様に、リレー２２には圧電モーター１２（Ｘ，Ｙ，θ）が、リレー２３には圧電モーター１３（Ｘ，Ｙ，θ）が、リレー２４には圧電モーター１４（Ｘ，Ｙ，θ）がそれぞれ接続される。
【０１１４】
駆動回路９０は、第１の実施形態における駆動回路３０と同様の構成を有しているが、３個の圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ）を駆動するため、発振器３１、ゲインアンプ３２、ＰＷＭ部３３、デジタルアンプ３４、インダクターコンデンサー３５，３６、及びリレー３７，３８を３個ずつ備えている。
【０１１５】
図示しないが、駆動回路９０からリレー２１，２２，２３，２４及び圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）にセレクト信号及び駆動信号が出力され、エンコーダーからのエンコーダー信号が駆動回路９０にフィードバックされる。したがって、４つのリレー２１，２２，２３，２４により、１２個の圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）を駆動回路９０と電気的に接続した状態、又は遮断した状態に切り替えることができる。
【０１１６】
なお、図１２（ａ）に示すように、リレー２１，２２，２３，２４は支持部２０２に設けられている。また圧電モーターはヘッド８０に設けられているが、例えば、Ｚ方向から圧電モーター１１（Ｘ），１１（Ｙ），１１（θ）の順で配置されている。すなわち、可動部８１をＸ方向に移動させるＸ方向用圧電モーターは、可動部８１をＹ方向に移動させるＹ方向用圧電モーターよりも上方に配置されている。一方、駆動回路９０は、制御装置２１０（図示しない）とともに基台２０１のＹ方向における端部等の圧電モーターから離れた位置に配置されている。
【０１１７】
このように、位置決め機構１１０は、共通の駆動回路９０で１２個の圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）を駆動するので、圧電モーターの数に対して駆動回路９０の数及び配線の数を少なくすることができる。したがって、位置決め機構１１０の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【０１１８】
さらに、離れた位置に配置された駆動回路９０と圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）との間の配線の数が少なくて済むため、支持部２０２や可動部８１を移動させる際の配線の重量や配線の束の抑制力による負荷を小さく抑えられるので、位置決めが行い易くなり、より精密な位置決めを行うことが可能となる。
【０１１９】
＜位置決め機構の駆動制御方法＞
続いて、図１４を参照して、位置決め機構１１０の駆動制御方法、及び位置決めに関わる電子部品検査装置２００の動作を説明する。図１４は、第３の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の駆動制御方法を説明する図である。なお、図１４は、電子部品検査装置２００を上方（Ｚ方向）から見た図である。
【０１２０】
（ヘッド８０ａ，８０ｂでの位置決め）
図１４（ａ）において、ヘッド８０ａ，８０ｂは位置決め場所Ｐ１に配置され、ヘッド８０ｃ，８０ｄは検査場所Ｐ３に配置されている。ヘッド８０ａ，８０ｂでは、供給トレイ２４１（図１１（ｂ）参照）が位置決め場所Ｐ１に移動し、合計８つの可動部８１のそれぞれに電子部品７０（図示しない）が供給され保持される。供給トレイ２４１が位置決め場所Ｐ１からＸ方向に移動した後、位置決め場所Ｐ１において、ヘッド８０ａ，８０ｂの可動部８１に保持された８個の電子部品７０に対して、２個ずつ順に位置決めが行われる。
【０１２１】
ここでは、まず、撮像装置２６１，２６２が、−Ｘ方向側の可動部８１と重なる位置に配置される。そして、それぞれの位置において可動部８１に保持された２個の電子部品７０について、撮像装置２６１，２６２で配置位置を光学的に認識しながら、圧電モーター１１ａ（Ｘ，Ｙ，θ），１１ｂ（Ｘ，Ｙ，θ）を駆動し可動部８１をＸ方向、Ｙ方向、θ方向に移動させて所定の位置に位置決めを行う。このとき、駆動回路９０からのセレクト信号により、ヘッド８０ａ，８０ｂにおいて、圧電モーター１１ａ（Ｘ，Ｙ，θ），１１ｂ（Ｘ，Ｙ，θ）のみが駆動される。
【０１２２】
続いて、撮像装置２６１，２６２は、Ｘ方向に移動し、−Ｘ方向側から２番目の可動部８１と重なる位置に配置され、圧電モーター１２ａ（Ｘ，Ｙ，θ），１２ｂ（Ｘ，Ｙ，θ）のみが駆動されて、次の２個の電子部品７０について位置決めを行う。このようにして、撮像装置２６１，２６２がＸ方向に移動するとともに、圧電モーターを順次切り替えて駆動することにより、ヘッド８０ａ，８０ｂにおける８個の電子部品７０の位置決めを完了する。
【０１２３】
（ヘッド８０ｃ，８０ｄでの電気特性検査）
位置決め場所Ｐ１でヘッド８０ａ，８０ｂにおいて電子部品７０の位置決めを行っている間に、検査場所Ｐ３では、ヘッド８０ｃ，８０ｄにおいて８個の電子部品７０が検査ソケット２３２（図１１（ｂ）参照）に挿入され、８個の電子部品７０の電気特性検査が行われる。
【０１２４】
次に、位置決め場所Ｐ１における位置決めと検査場所Ｐ３における電気特性検査が終了したら、直動駆動装置２２０（図１０参照）により支持部２０２（図１１（ａ）参照）を−Ｙ方向に移動させる。これにより、図１４（ｂ）に示すように、ヘッド８０ａ，８０ｂは検査場所Ｐ３に配置され、ヘッド８０ｃ，８０ｄは位置決め場所Ｐ２に配置される。
【０１２５】
（ヘッド８０ｃ，８０ｄでの位置決め）
ヘッド８０ｃ，８０ｄでは、回収トレイ２５２（図１１（ｂ）参照）が位置決め場所Ｐ２に移動し、合計８つの可動部８１から検査が終了した電子部品７０を回収する。回収トレイ２５２が位置決め場所Ｐ２から−Ｘ方向に移動した後、供給トレイ２４２（図１１（ｂ）参照）が位置決め場所Ｐ２に移動して、ヘッド８０ｃ，８０ｄの可動部８１に検査前の８個の電子部品７０が保持される。供給トレイ２４２が位置決め場所Ｐ２からＸ方向に移動した後、位置決め場所Ｐ２において、８個の電子部品７０に対して２個ずつ順に位置決めが行われる。
【０１２６】
ここでは、撮像装置２７１，２７２が、−Ｘ方向側の可動部８１と重なる位置に配置され、２個の電子部品７０について配置位置を光学的に認識しながら、圧電モーター１１ｃ（Ｘ，Ｙ，θ），１１ｄ（Ｘ，Ｙ，θ）を駆動させて所定の位置に位置決めを行う。そして、撮像装置２７１，２７２を順次、Ｘ方向に移動させて、圧電モーターの駆動を切り替えて駆動することにより、ヘッド８０ｃ，８０ｄにおける８個の電子部品７０の位置決めを完了する。
【０１２７】
（ヘッド８０ａ，８０ｂでの電気特性検査）
位置決め場所Ｐ２でヘッド８０ｃ，８０ｄにおいて電子部品７０の位置決めを行っている間に、検査場所Ｐ３では、ヘッド８０ａ，８０ｂにおいて８個の電子部品７０が検査ソケット２３２に挿入され、８個の電子部品７０の電気特性検査が行われる。
【０１２８】
次に、位置決め場所Ｐ２における位置決めと検査場所Ｐ３における電気特性検査が終了したら、直動駆動装置２２０により支持部２０２をＹ方向に移動させる。これにより、図１４（ａ）に示すように、ヘッド８０ａ，８０ｂは位置決め場所Ｐ１に配置され、ヘッド８０ｃ，８０ｄは検査場所Ｐ３に配置される。そして、ヘッド８０ａ，８０ｂでは、回収トレイ２５１（図１１（ｂ）参照）が位置決め場所Ｐ１に移動し、合計８つの可動部８１から電子部品７０を回収する。
【０１２９】
以降、同様にして、ヘッド８０ａ，８０ｂでの位置決め及び電気特性検査と、ヘッド８０ｃ，８０ｄでの位置決め及び電気特性検査とを繰り返す。
【０１３０】
ところで、上述の位置決め及び電気特性検査を繰り返す度に、直動駆動装置２２０により支持部２０２がＹ方向に往復動を繰り返す。そうすると、ヘッド８０ａ，８０ｂ、８０ｃ，８０ｄに設けられた４８個の圧電モーターも、非駆動状態で支持部２０２とともにＹ方向に往復動を繰り返すこととなる。この直動駆動装置２２０によるＹ方向の移動は、圧電モーターによるＹ方向の移動に比べて、移動速度及び移動距離がともに大きい。
【０１３１】
そのため、直動駆動装置２２０によるＹ方向の移動の度に、４８個の圧電モーターにＹ方向の慣性力が作用する。圧電モーターは非駆動状態でも被駆動体５と摺動部４との間の摩擦力（図２参照）により動かないように保持されるが、慣性力が大きいと動いてしまって位置決めした位置からずれてしまう場合がある。このような場合、直動駆動装置２２０による直動方向と同じ方向のＹ方向用圧電モーターは、Ｘ方向用圧電モーターやθ方向用圧電モーターに比べて動き易い。また、Ｙ方向用圧電モーターにかかる重力が大きいほど、慣性力が大きくなるのでより動きやすくなる。
【０１３２】
そこで、位置決め機構１１０では、Ｙ方向用圧電モーターをＸ方向用圧電モーターよりも−Ｚ方向の可動部８１側、すなわち下方（鉛直方向）に配置している。このため、Ｙ方向用圧電モーターにはＸ方向用圧電モーターの重力がかからないので、Ｙ方向用圧電モーターをＸ方向用圧電モーターよりも上に配置した場合に比べて、Ｙ方向用圧電モーターに作用する慣性力を小さく抑えることができる。これにより、直動駆動装置２２０により支持部２０２がＹ方向に往復動を繰り返しても、慣性力でＹ方向用圧電モーターが動いてしまうことによる位置ずれを抑止できる。
【０１３３】
なお、位置決め機構１１０は、圧電モーターが、第１の実施形態における振動体１に電極が４分割で形成された構成、及び第２の実施形態における振動体２に電極が５分割で形成された構成のいずれであっても適用することができる。また、位置決め機構１１０が備える駆動ユニットの数や、一つの駆動回路９０に接続する圧電モーターの数は、上述の数に限定されるものではなく、リレーが圧電モーター毎に設けられている構成としてもよい。
【０１３４】
以上述べたように、第３の実施形態に係る電子部品検査装置２００が備える位置決め機構１１０の構成によれば、以下の効果が得られる。
【０１３５】
（１）共通の駆動回路９０で１２個の圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）を駆動するので、圧電モーターの数に対して駆動回路９０の数及び配線の数を少なくすることができる。したがって、位置決め機構１１０の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【０１３６】
さらに、離れた位置に配置された駆動回路９０と圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）との間の配線の数が少なくて済むため、支持部２０２や可動部８１を移動させる際の配線の重量や配線の束の抑制力による負荷を小さく抑えられるので、位置決めが行い易くなり、より精密な位置決めを行うことが可能となる。
【０１３７】
（２）Ｙ方向用圧電モーターをＸ方向用圧電モーターよりも下方（鉛直方向）に配置している。このため、Ｙ方向用圧電モーターをＸ方向用圧電モーターよりも上に配置した場合に比べて、Ｘ方向用圧電モーターの重力分だけＹ方向用圧電モーターに作用する慣性力を小さく抑えることができる。これにより、Ｙ方向に往復動を繰り返しても、慣性力でＹ方向用圧電モーターが動いてしまうことによる位置ずれを抑止できる。
【０１３８】
（第４の実施形態）
＜ロボットハンド及びロボット＞
次に、第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットを説明する。第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットは、関節部の駆動装置として、第１の実施形態に係る駆動装置と同様の構成を有する駆動装置を備えている。第１の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。
【０１３９】
図１５は、第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットの構造を示す模式図である。図１５（ａ）は、ロボットハンドの構造を示す模式図である。図１５（ａ）に示すように、ロボットハンド３００は、ハンド本体部３０１と、２つの指部３０２ａ，３０２ｂと、制御装置３０７と、を備えている。２つの指部３０２ａ，３０２ｂは、ハンド本体部３０１に設置されている。
【０１４０】
指部３０２ａは、可動部としての３つの関節部３０４ａ，３０５ａ，３０６ａと、３つの指部材３０３ａと、が交互に接続されて構成されている。関節部３０４ａ，３０５ａ，３０６ａには、それぞれ圧電モーター１１ａ，１２ａ，１３ａとリレー２１ａ，２２ａ，２３ａとが設けられている。指部３０２ｂは、可動部としての３つの関節部３０４ｂ，３０５ｂ，３０６ｂと３つの指部材３０３ｂとが交互に接続されて構成されている。関節部３０４ｂ，３０５ｂ，３０６ｂには、それぞれ圧電モーター１１ｂ，１２ｂ，１３ｂとリレー２１ｂ，２２ｂ，２３ｂとが設けられている。
【０１４１】
制御装置３０７には、駆動回路３０ａ，３０ｂが配置されている。駆動回路３０ａには、圧電モーター１１ａ，１２ａ，１３ａ及びリレー２１ａ，２２ａ，２３ａが接続されている。駆動回路３０ａからのセレクト信号に基づくリレー２１ａ，２２ａ，２３ａの切り替えにより、圧電モーター１１ａ，１２ａ，１３ａが時分割で駆動され、関節部３０４ａ，３０５ａ，３０６ａが回動する。同様に、駆動回路３０ｂには、圧電モーター１１ｂ，１２ｂ，１３ｂ及びリレー２１ｂ，２２ｂ，２３ｂが接続されており、駆動回路３０ｂからのセレクト信号に基づくリレー２１ｂ，２２ｂ，２３ｂの切り替えにより、圧電モーター１１ｂ，１２ｂ，１３ｂが時分割で駆動され、関節部３０４ｂ，３０５ｂ，３０６ｂが回動する。これにより、指部３０２ａ，３０２ｂを人間の指のように所望の形態に変形させることが可能になっている。
【０１４２】
図１５（ｂ）は、ロボットの構造を示す模式図である。図１５（ｂ）に示すように、ロボット３１０は、ロボット本体部３１１と、２つの腕部３１２ａ，３１２ｂと、制御装置３１７と、を備えている。２つの腕部３１２ａ，３１２ｂは、ロボット本体部３１１に設置されている。
【０１４３】
腕部３１２ａは、可動部としての３つの関節部３１４ａ，３１５ａ，３１６ａと２つの腕部材３１３ａとが交互に接続されて構成されている。関節部３１４ａ，３１５ａ，３１６ａには、それぞれ圧電モーター１１ｅ，１２ｅ，１３ｅとリレー２１ｅ，２２ｅ，２３ｅとが設けられている。腕部３１２ａの一端はロボット本体部３１１に設置され、他端にはロボットハンド３００ａが設置されている。ロボットハンド３００ａは、図１５（ａ）と同様の構成を有する。
【０１４４】
腕部３１２ｂは、可動部としての３つの関節部３１４ｂ，３１５ｂ，３１６ｂと２つの腕部材３１３ｂとが交互に接続されて構成されている。関節部３１４ｂ，３１５ｂ，３１６ｂには、それぞれ圧電モーター１１ｆ，１２ｆ，１３ｆとリレー２１ｆ，２２ｆ，２３ｆとが設けられている。腕部３１２ｂの一端はロボット本体部３１１に設置され、他端にはロボットハンド３００ｂが設置されている。ロボットハンド３００ｂは、図１５（ａ）と同様の構成を有するが、駆動回路３０ｃ，３０ｄのそれぞれに接続された各３つの圧電モーター及びリレー（図示省略）を関節部に備えている。
【０１４５】
制御装置３１７には、駆動回路３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ，３０ｆが配置されている。駆動回路３０ｅには、圧電モーター１１ｅ，１２ｅ，１３ｅ及びリレー２１ｅ，２２ｅ，２３ｅが接続されている。駆動回路３０ｅからのセレクト信号に基づくリレー２１ｅ，２２ｅ，２３ｅの切り替えにより、圧電モーター１１ｅ，１２ｅ，１３ｅが時分割で駆動され、関節部３１４ａ，３１５ａ，３１６ａが回動する。
【０１４６】
同様に、駆動回路３０ｆには、圧電モーター１１ｆ，１２ｆ，１３ｆ及びリレー２１ｆ，２２ｆ，２３ｆが接続されており、駆動回路３０ｆからのセレクト信号に基づくリレー２１ｆ，２２ｆ，２３ｆの切り替えにより、圧電モーター１１ｆ，１２ｆ，１３ｆが時分割で駆動され、関節部３１４ｂ，３１５ｂ，３１６ｂが回動する。これにより、腕部３１２ａ，３１２ｂを人間の腕のように所望の形態に変形させることが可能になっている。
【０１４７】
以上述べたように、第４の実施形態に係るロボットハンド３００及びロボット３１０の構成によれば、以下の効果が得られる。なお、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃ，ｄ等は省略する。
【０１４８】
（１）第１の実施形態に係る駆動装置１００と同様の駆動装置を各関節部に備えているので、圧電モーター１１，１２，１３の数に対して、駆動回路３０の数及び配線の数を少なくすることができる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、ロボットハンド３００及びロボット３１０の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【０１４９】
（２）離れた位置に配置された駆動回路３０と圧電モーター１１，１２，１３との間の配線の数が少なくて済むため、指部３０２及び腕部３１２を変形させる際の配線の重量や配線の束の抑制力による負荷を小さく抑えられるので、ロボットハンド３００の指部３０２及びロボット３１０の腕部３１２において、より精密な動作を行うことが可能となる。
【０１５０】
なお、上述した実施の形態は、あくまでも本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変形及び応用が可能である。変形例を以下に述べる。
【０１５１】
（変形例１）
例えば、上述した第１の実施形態では、圧電モーター１１，１２，１３，１４のそれぞれに設けられたエンコーダー５１，５２，５３，５４から個別にエンコーダー信号が駆動回路３０にフィードバックされる構成であったが、これに限定されるものではない。エンコーダー側にも複数のリレーを設け、リレーでエンコーダー５１，５２，５３，５４を切り替える構成としてもよい。あるいは、エンコーダー５１，５２，５３，５４にて信号をシリアル化又は符号化して駆動回路３０にフィードバックし、駆動回路３０にてパラレル化又は復号化する構成としてもよい。このような構成にすれば、駆動回路３０とエンコーダー５１，５２，５３，５４との間の配線の数を低減することができる。
【０１５２】
（変形例２）
また、上述した第１の実施形態では、駆動回路３０にデジタルアンプ３４を用いていたが、これに限定されるものではなく、駆動回路３０にアナログアンプを用いた構成としてもよい。駆動回路３０にアナログアンプを用いる場合、ＰＷＭ部３３及びインダクターコンデンサー３５，３６は削除される。
【０１５３】
（変形例３）
また、上述した第３の実施形態では、位置決め機構１１０のヘッド８０ａ，８０ｂとヘッド８０ｃ，８０ｄとで、位置決めと電気特性検査とを交互に実施する構成であったが、これに限定されるものではない。ヘッド８０ａ，８０ｂとヘッド８０ｃ，８０ｄとで一緒に位置決めと電気特性検査とを行う構成としてもよい。また、その場合、位置決め場所Ｐ１，Ｐ２を同一の場所としてもよいし、供給トレイ２４１，２４２と回収トレイ２５１，２５２とがＹ方向に動く構成としてもよい。
【０１５４】
（変形例４）
また、上述した第３の実施形態では、電子部品の一例として基板７１に半導体チップ７２が実装された電子部品７０を説明したが、電子部品はこの構成に限定されるものではない。電子部品は、半導体チップ、ＬＣＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド等であってもよい。
【符号の説明】
【０１５５】
１１，１２，１３，１４，６１，６２，６３，６４…圧電モーター、２１，２２，２３，２４…切り替え手段としてのリレー、３０，９０…駆動回路、５０，８１…可動部、７０…電子部品、１００，１０２…駆動装置、２００…電子機器検査装置、２０５…電子部品搬送装置、２２０…直動機構としての直動駆動装置、３００…ロボットハンド、３１０…ロボット、３０４，３０５，３０６，３１４，３１５，３１６…可動部としての関節部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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