(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
代替基板及び成長基板を提供する第一ステップであって、前記成長基板の表面にカーボンナノチューブアレイを有し、前記カーボンナノチューブアレイの形態はカーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証する、第一ステップと、
前記カーボンナノチューブアレイを前記成長基板から前記代替基板に転移する第二ステップであって、前記カーボンナノチューブアレイの形態は前記カーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続に引き出すことを保証する、第二ステップと、を含むカーボンナノチューブアレイの転移方法であって、
前記第二ステップは、前記代替基板の表面を、前記成長基板から離れる前記カーボンナノチューブアレイの表面と接触させる第三ステップと、
前記代替基板及び前記成長基板のうちの少なくとも一方を移動させて、前記代替基板と前記成長基板とを離れさせ、前記カーボンナノチューブアレイを前記成長基板から脱離させ、前記代替基板に転移する第四ステップと、を含み、
前記カーボンナノチューブ構造体は端と端で接続される複数のカーボンナノチューブを含むことを特徴とするカーボンナノチューブアレイの転移方法。
【請求項２】
第一基板及び第二基板を提供する第一ステップであって、前記第一基板の表面にカーボンナノチューブアレイを有し、前記カーボンナノチューブアレイの形態はカーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証する、第一ステップと、
前記第二基板の表面を、前記第一基板から離れる前記カーボンナノチューブアレイの表面と接触させる第二ステップと、
前記第一基板及び前記第二基板のうちの少なくとも一方を移動させて、前記第一基板と前記第二基板とを離れさせ、前記カーボンナノチューブアレイを前記第一基板から脱離させ、前記第二基板に転移する第三ステップであって、前記カーボンナノチューブアレイの形態はカーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証する、第三ステップと、
前記第二基板に転移したカーボンナノチューブアレイからカーボンナノチューブ構造体を引き出す第四ステップと、を含み、
前記カーボンナノチューブ構造体は端と端で接続される複数のカーボンナノチューブを含むことを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法に関し、特に、カーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブフィルム或いはカーボンナノチューブワイヤの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カーボンナノチューブ（Ｃａｒｂｏｎ  Ｎａｎｏｔｕｂｅ，ＣＮＴ）は１９９１年に飯島によって発見され、２１世紀において重要な新素材の1つであると期待されている。カーボンナノチューブは機械・電気・熱特性に優れていることから、エレクトロニクス、バイオテクノロジー、エネルギー、複合材料等、広範な分野での応用が期待されている。しかし、一本のカーボンナノチューブがナノスケールの大きさであるので、利用し難い。現在、複数のカーボンナノチューブを原材料として、大きい寸法の巨視的なカーボンナノチューブ構造体を形成することができる。巨視的なカーボンナノチューブ構造体は、例えば、複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブフィルム、及び複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブワイヤである。
【０００３】
特許文献１に、カーボンナノチューブアレイから直接にカーボンナノチューブフィルムが引き出されることが開示されている。該カーボンナノチューブフィルムは分子間力で端と端で接続される複数のカーボンナノチューブからなる自立構造体であり、優れた透明度及び巨視的な寸法を有する。カーボンナノチューブアレイから直接に引き出されるカーボンナノチューブフィルムにおいて、複数のカーボンナノチューブが同じ方向に沿って配列されるので、カーボンナノチューブの軸方向における優れた導電性及び熱伝導性を有し、広範な分野で応用できる。例えば、タッチパネル、液晶ディスプレイ、スピーカ、加熱装置、薄膜トランジスタなどの分野である。
【０００４】
カーボンナノチューブフィルムを形成する原理は、超配列カーボンナノチューブアレイにおけるカーボンナノチューブが分子間力で緊密に結合され、一部のカーボンナノチューブが引き出される際、隣接するカーボンナノチューブが分子間力の作用で端と端で接続されて引き出されるので、端と端で接続される複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブフィルムを形成することができる。しかし、カーボンナノチューブの間に分子間力のみによって、カーボンナノチューブが相互に吸着され、カーボンナノチューブフィルムが形成されるので、いったんカーボンナノチューブアレイの形態が破壊されたり、或いは変化したりすると、均一なカーボンナノチューブフィルムを連続に引き出すことができない。従って、従来の方法は、成長基板（一般的に、単結晶のシリコン）の表面にカーボンナノチューブアレイを成長させた後、成長基板に直接に成長したカーボンナノチューブアレイを引き出す工程を行い、カーボンナノチューブフィルムを獲得する。
【０００５】
現在、カーボンナノチューブアレイの生産者はカーボンナノチューブアレイと成長基板とを共に、ユーザーに提供する。しかし、これにより、成長基板の回収までの期間が長くなり、新たなカーボンナノチューブアレイの成長基板として迅速に利用することができない。また、コストが高い単結晶のシリコンは運送中に破壊され易い。また、カーボンナノチューブアレイから直接にカーボンナノチューブワイヤを引き出すことには、以上の問題が存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】中国特許出願公開第１０１２３９７１２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従って、前記課題を解決するために、本発明はカーボンナノチューブ構造体及びこの応用物の生産コストを低くして、生産プロセスを簡略化できるカーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のカーボンナノチューブアレイの転移方法は、代替基板及び成長基板を提供する第一ステップであって、前記成長基板の表面にカーボンナノチューブアレイを有し、前記カーボンナノチューブアレイの形態はカーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証できる、第一ステップと、前記カーボンナノチューブアレイを前記成長基板から前記代替基板に転移する第二ステップであって、前記カーボンナノチューブアレイの形態は前記カーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証できる、第二ステップと、を含み、前記第二ステップは、前記代替基板の表面を、前記成長基板から離れる前記カーボンナノチューブアレイの表面と接触させる第三ステップと、前記代替基板及び前記成長基板のうちの少なくとも一方を移動させて、前記代替基板と前記成長基板とを離れさせ、前記カーボンナノチューブアレイを前記成長基板から脱離させ、前記代替基板に転移する第四ステップと、を含み、前記カーボンナノチューブ構造体は端と端で接続される複数のカーボンナノチューブを含む。
【０００９】
カーボンナノチューブ構造体の製造方法は、第一基板及び第二基板を提供する第一ステップであって、前記第一基板の表面にカーボンナノチューブアレイを有し、前記カーボンナノチューブアレイの形態はカーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証できる、第一ステップと、前記第二基板の表面を、前記第一基板から離れる前記カーボンナノチューブアレイの表面と接触させる第二ステップと、前記第一基板及び前記第二基板のうちの少なくとも一方を移動させて、前記第一基板と前記第二基板とを離れさせ、前記カーボンナノチューブアレイを前記第一基板から脱離させ、前記第二基板に転移する第三ステップであって、前記カーボンナノチューブアレイの形態はカーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証できる、第三ステップと、前記第二基板に転移したカーボンナノチューブアレイからカーボンナノチューブ構造体を引き出す第四ステップと、を含み、前記カーボンナノチューブ構造体は端と端で接続される複数のカーボンナノチューブを含む。
【発明の効果】
【００１０】
従来の技術と比べて、本発明のカーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法は以下の有利な効果を有する。カーボンナノチューブアレイを成長させる工程及びカーボンナノチューブアレイからカーボンナノチューブ構造体を引き出す工程において、カーボンナノチューブアレイが成長基板から異なる基板に転移設置されるので、カーボンナノチューブアレイからカーボンナノチューブ構造体を引き出す工程において、カーボンナノチューブアレイが設置される基板はコストが低い材料からなることができる。これにより、カーボンナノチューブアレイの生産者はカーボンナノチューブアレイを代替基板に転移でき、カーボンナノチューブアレイと代替基板とを共にユーザーを提供でき、コストが高い成長基板を迅速に回収でき、生産プロセスを簡単にする。よって、本発明のカーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法は、カーボンナノチューブフィルム及びカーボンナノチューブワイヤに対しての産業的応用に有利であり、生産方式を変えて、生産コストを低くする。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態１に係るカーボンナノチューブアレイの転移方法を示す図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るカーボンナノチューブアレイから引き出されたカーボンナノチューブフィルムの走査型電子顕微鏡写真である。
【図３】本発明の実施形態２に係るカーボンナノチューブ構造体の製造方法を示す図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る代替基板に転移したカーボンナノチューブアレイから引き出されたカーボンナノチューブフィルムの写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
【００１３】
（実施形態１）
図１を参照すると、本発明のカーボンナノチューブアレイ１０の転移方法は、代替基板３０及び成長基板２０を提供し、成長基板２０の表面にカーボンナノチューブアレイ１０を有するステップであって、カーボンナノチューブアレイ１０の形態はカーボンナノチューブ構造体４０をカーボンナノチューブアレイ１０から連続的に引き出すことを保証できるステップ（Ｓ１）と、カーボンナノチューブアレイ１０を成長基板２０から代替基板３０に転移するステップであって、代替基板３０に転移されたカーボンナノチューブアレイ１０の形態はカーボンナノチューブ構造体４０をカーボンナノチューブアレイ１０から連続的に引き出すことを保証できるステップ（Ｓ２）と、を含む。
【００１４】
カーボンナノチューブ構造体４０は、端と端で接続される複数のカーボンナノチューブを含み、複数のカーボンナノチューブが分子間力で相互に結合され、且つ端と端で接続されて形成される巨視的な構造体であり、例えば、カーボンナノチューブフィルム或いはカーボンナノチューブワイヤである。好ましくは、カーボンナノチューブ構造体４０は、端と端で接続される複数のカーボンナノチューブのみからなる。
【００１５】
カーボンナノチューブアレイ１０は、ＣＶＤ（化学気相堆積）法によって成長基板２０の表面に成長する。カーボンナノチューブアレイ１０におけるカーボンナノチューブは相互に基本的に平行であり、且つ成長基板２０の表面と垂直である。隣接するカーボンナノチューブは相互に接触して、且つ分子間力で結合される。成長条件を制御することによって、カーボンナノチューブアレイ１０は基本的に不純物を含まない。不純物は、例えば、アモルファスカーボン或いは残留した触媒の金属粒である。カーボンナノチューブアレイ１０が基本的に不純物を含まず、且つカーボンナノチューブが相互に緊密に接触して、且つ隣接するカーボンナノチューブの間に、大きな分子間力を有するので、一部のカーボンナノチューブ（カーボンナノチューブセグメント）を引き出す際、隣接するカーボンナノチューブが分子間力の作用によって端と端で接続され、連続的に引き出され、自立構造体（例えば、カーボンナノチューブフィルム或いはカーボンナノチューブワイヤである）を形成する。カーボンナノチューブが端と端で接続されて引き出される前記カーボンナノチューブアレイ１０は、超配列カーボンナノチューブアレイである。超配列カーボンナノチューブアレイについては特許文献１に掲載されている。
【００１６】
成長基板２０は超配列カーボンナノチューブアレイの成長に適した基板であり、その材料は、例えば、Ｐ型シリコン、Ｎ型シリコン、或いは酸化シリコンである。
【００１７】
カーボンナノチューブアレイ１０から引き出されるカーボンナノチューブ構造体４０は、端と端で接続される複数のカーボンナノチューブを含む。具体的に、カーボンナノチューブ構造体４０はカーボンナノチューブフィルムでもよい。該カーボンナノチューブフィルムは自立構造体であり、基本的に同じ方向に沿って配列される複数のカーボンナノチューブを含む。図２を参照すると、カーボンナノチューブフィルムにおける複数のカーボンナノチューブが同じ方向に沿って配列されている。複数のカーボンナノチューブの延伸する方向はカーボンナノチューブフィルムの表面と基本的に平行である。また、複数のカーボンナノチューブは分子間力で接続されている。具体的には、複数のカーボンナノチューブにおける各カーボンナノチューブは、延伸する方向における隣接するカーボンナノチューブと、分子間力で端と端とが接続されているので、カーボンナノチューブフィルムが自立構造を実現できる。更に、カーボンナノチューブフィルムは、複数のカーボンナノチューブセグメントを含むことができる。複数のカーボンナノチューブセグメントは、長軸方向に沿って、分子間力で端と端が接続されている。それぞれのカーボンナノチューブセグメントは、相互に平行に、分子間力で結合された複数のカーボンナノチューブを含む。単一のカーボンナノチューブセグメントにおいて、複数のカーボンナノチューブの長さは同じである。
【００１８】
また、カーボンナノチューブフィルムは、少数のランダムなカーボンナノチューブを含む。しかし、大部分のカーボンナノチューブは同じ方向に沿って配列されているので、このランダムなカーボンナノチューブの延伸方向は、大部分のカーボンナノチューブの延伸方向には影響しない。具体的には、カーボンナノチューブフィルムにおける多数のカーボンナノチューブは、絶対的に直線状ではなくやや湾曲している。または、延伸する方向に完全に配列せず、少しずれている場合もある。従って、同じ方向に沿って配列されている多数のカーボンナノチューブの中において、隣同士のカーボンナノチューブが部分的に接触する可能性がある。実際に、カーボンナノチューブフィルムは複数の空隙を有し、即ち、隣接するカーボンナノチューブの間に空隙を有する。これにより、カーボンナノチューブフィルムは優れた透明度を有する。且つ、隣接するカーボンナノチューブの接触する部分の分子間力及び端と端で接続される部分の分子間力がカーボンナノチューブフィルムの自立構造を維持できる。カーボンナノチューブフィルムの厚さは０．５ｎｍ〜１００μｍであり、好ましくは、０．５ｎｍ〜１０μｍである。カーボンナノチューブ構造体４０の幅が小さい場合、カーボンナノチューブ構造体４０は自立構造を有するカーボンナノチューブワイヤである。
【００１９】
自立構造体とは、支持体材を利用せず、カーボンナノチューブフィルムを独立して利用することができる形態のことである。すなわち、カーボンナノチューブフィルムを対向する両側から支持して、カーボンナノチューブフィルム或いはカーボンナノチューブワイヤの構造を変化させずに、カーボンナノチューブフィルムを懸架できることを意味する。カーボンナノチューブフィルム或いはカーボンナノチューブワイヤにおけるカーボンナノチューブが、分子間力で接続されているので、自立構造体が実現される。
【００２０】
カーボンナノチューブアレイ１０からカーボンナノチューブフィルムを引き出す方法は、特許文献１に掲載されている。
【００２１】
代替基板３０は、固体の基板であり、軟質基板或いは硬質基板である。代替基板３０は、カーボンナノチューブアレイ１０が設置される表面を有する。カーボンナノチューブアレイ１０を成長基板２０から代替基板３０に転移する工程において、カーボンナノチューブアレイ１０の形態を基本的に維持し、カーボンナノチューブ構造体４０をカーボンナノチューブアレイ１０から連続的に引き出すことを保証できる。即ち、カーボンナノチューブアレイ１０は超配列カーボンナノチューブアレイの形態を維持する。
【００２２】
カーボンナノチューブアレイ１０の形態を維持することを前提に、カーボンナノチューブアレイ１０を代替基板３０に転移した後、カーボンナノチューブアレイ１０は代替基板３０の表面に逆さに設置される。具体的には、カーボンナノチューブアレイ１０は第一表面１０２及び第一表面１０２と対向する第二表面１０４を含む。各カーボンナノチューブは成長基板２０の表面に成長し、カーボンナノチューブアレイ１０を形成する。各カーボンナノチューブが成長基板２０と隣接する一端をカーボンナノチューブの下端と定義し、下端と対向する端部をカーボンナノチューブの上端と定義する。成長基板２０において、第一表面１０２はカーボンナノチューブアレイ１０におけるカーボンナノチューブの下端に形成され、第二表面１０４はカーボンナノチューブアレイ１０におけるカーボンナノチューブの上端に形成される。カーボンナノチューブアレイ１０の第一表面１０２は、成長基板２０の表面と近接し、或いは成長基板２０の表面に設置される。該第一表面１０２はカーボンナノチューブアレイ１０における各カーボンナノチューブの成長下端である。第二表面１０４は成長基板２０の表面から離れ、カーボンナノチューブアレイ１０における各カーボンナノチューブの成長上端である。カーボンナノチューブアレイ１０を代替基板３０に転移した後、カーボンナノチューブアレイ１０の第二表面１０４は代替基板３０の表面と近接し、或いは代替基板３０の表面に設置される。カーボンナノチューブアレイ１０の第一表面１０２は、代替基板３０の表面から離れる。
【００２３】
ステップ（Ｓ２）は、代替基板３０の表面を、カーボンナノチューブアレイ１０の成長基板２０から離れる表面と接触させるステップ（Ｓ２１）と、代替基板３０及び成長基板２０のうちの少なくとも一方を移動させて、代替基板３０と成長基板２０とを離れさせ、カーボンナノチューブアレイ１０を成長基板２０から脱離させ、代替基板３０に転移するステップ（Ｓ２２）と、含む。
【００２４】
ステップ（Ｓ２）を常温で行うことができる。ステップ（Ｓ２１）及びステップ（Ｓ２２）において、カーボンナノチューブアレイ１０の形態はカーボンナノチューブ構造体４０をカーボンナノチューブアレイ１０から連続的に引き出すことを保証できる。カーボンナノチューブアレイ１０が代替基板３０に転移した後、カーボンナノチューブ構造体４０を連続的に引き出すことができるために、代替基板３０の表面とカーボンナノチューブアレイ１０の第二表面１０４の間に分子間力のみで結合する、代替基板３０とカーボンナノチューブアレイ１０の間の結合力（ＦＢＣ）は、カーボンナノチューブアレイ１０におけるカーボンナノチューブ同士の間の分子間力（ＦＣＣ）より小さい。また、代替基板３０とカーボンナノチューブアレイ１０の間の結合力（ＦＢＣ）は、成長基板２０とカーボンナノチューブアレイ１０の間の結合力（ＦＡＣ）より大きい。これにより、カーボンナノチューブアレイ１０を成長基板２０から脱離させ、代替基板３０に転移させる。即ち、ＦＡＣ＜ＦＢＣ＜ＦＣＣである。
【００２５】
ＦＡＣ＜ＦＢＣ＜ＦＣＣを満たすために、代替基板３０の表面は適切な表面エネルギーを有することができ、且つ代替基板３０の表面とカーボンナノチューブアレイ１０の間に適切な表面エネルギーを有することができる。これにより、代替基板３０の表面とカーボンナノチューブアレイ１０とが接触することのみによって、代替基板３０の表面とカーボンナノチューブアレイ１０との間に、十分な結合力（例えば、分子間力）を発生させて、カーボンナノチューブアレイ１０を成長基板２０から脱離させる。代替基板３０の表面は平面である。本実施形態において、代替基板３０の材料はポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）である。
【００２６】
代替基板３０を接着剤でカーボンナノチューブアレイ１０に貼り付けることはしない。従来の接着剤によっても、ＦＡＣ＜ＦＢＣを満たし、カーボンナノチューブアレイ１０を成長基板２０から脱離させることができる。しかし、カーボンナノチューブアレイ１０におけるカーボンナノチューブ同士の間の分子間力が小さいので、従来の任意の接着剤では、ＦＢＣ＞ＦＣＣとなる。これにより、後のカーボンナノチューブ構造体４０を引き出すステップを行うことができない。ステップ（Ｓ２１）及びステップ（Ｓ２２）において、代替基板３０は固体状態を維持する。
【００２７】
ステップ（Ｓ２）において、代替基板３０の表面とカーボンナノチューブアレイ１０におけるカーボンナノチューブの上端とを十分に接触させるために、代替基板３０にカーボンナノチューブアレイ１０に小さい圧力（ｆ）を印加できる。この圧力の大小はカーボンナノチューブアレイ１０の形態を維持でき、カーボンナノチューブ構造体４０をカーボンナノチューブアレイ１０から連続的に引き出すことができることを保証する。好ましくは、圧力は０＜ｆ＜２Ｎ/ｃｍ２である。好ましくは、圧力を印加する方向は成長基板２０のカーボンナノチューブが成長する表面と垂直である。カーボンナノチューブアレイ１０の形態を維持するために、代替基板３０はカーボンナノチューブアレイ１０におけるカーボンナノチューブを倒してはいけない。カーボンナノチューブアレイ１０に圧力を印加する際、カーボンナノチューブアレイ１０におけるカーボンナノチューブは基本的に成長基板２０の表面と垂直である。
【００２８】
ステップ（Ｓ２２）において、カーボンナノチューブアレイ１０を成長基板２０から脱離させる工程では、好ましくは、カーボンナノチューブアレイ１０におけるすべてのカーボンナノチューブを同時に成長基板２０から脱離させる。即ち、代替基板３０及び成長基板２０のうちの少なくとも一方の移動方向は、成長基板２０のカーボンナノチューブが成長する表面と垂直であり、カーボンナノチューブアレイ１０におけるカーボンナノチューブを、カーボンナノチューブの成長方向に沿って成長基板２０から脱離させる。代替基板３０及び成長基板２０が共に移動する場合、両者の移動方向は、成長基板２０のカーボンナノチューブが成長する表面と垂直である。
【００２９】
ステップ（Ｓ２１）及びステップ（Ｓ２２）において、まず、カーボンナノチューブアレイ１０が成長基板２０から押される力を受け、次に、代替基板３０に向けて引かれる力を受ける。
【００３０】
（実施形態２）
図３を参照すると、本発明のカーボンナノチューブ構造体４０の製造方法を提供する。カーボンナノチューブ構造体４０の製造方法は、前記ステップ（Ｓ１）及びステップ（Ｓ２）を含み、更に、代替基板３０におけるカーボンナノチューブアレイ１０からカーボンナノチューブ構造体４０を引き出すステップ（Ｓ３）と、含む。
【００３１】
図４を参照すると、ステップ（Ｓ３）が従来のカーボンナノチューブアレイからカーボンナノチューブ構造体を引き出すステップと異なる点は以下のとおりである。カーボンナノチューブ構造体４０は代替基板３０に転移したカーボンナノチューブアレイ１０から引出されたものであり、成長基板２０に成長したカーボンナノチューブアレイ１０から直接に引き出されたものではない。好ましくは、カーボンナノチューブ構造体４０は、代替基板３０の表面に逆さに設置されるカーボンナノチューブアレイ１０から引き出される。即ち、カーボンナノチューブアレイ１０の成長下部からカーボンナノチューブ構造体４０を引き出す。
【００３２】
ステップ（Ｓ３）は、引き道具５０で、代替基板３０の表面に設置されたカーボンナノチューブアレイ１０における一部のカーボンナノチューブセグメントを選択するステップ（Ｓ３１）と、引き道具５０を移動させることによって、特定の速度で選択したカーボンナノチューブセグメントを引き、端と端で接続される複数のカーボンナノチューブセグメントを引き出し、連続なカーボンナノチューブ構造体４０を形成するステップ（Ｓ３２）と、を含む。
【００３３】
ステップ（Ｓ３１）において、カーボンナノチューブフィルムを引き出す場合、特定の幅を有する接着テープ或いは接着を有するストリップを採用し、カーボンナノチューブアレイ１０と接触させ、特定の幅を有するカーボンナノチューブセグメントを選択する。カーボンナノチューブワイヤを引き出す場合、幅が狭い道具（ピンセット）によって、幅が狭いカーボンナノチューブセグメントを選択する。ステップ（Ｓ３２）において、選択したカーボンナノチューブセグメントの引き出す方向は、カーボンナノチューブアレイ１０におけるカーボンナノチューブの成長方向と角αを成す。角αは０°〜９０°（０°は含まず）であり、好ましくは、３０°〜９０°である。
【００３４】
ステップ（Ｓ２２）はステップ（Ｓ３）と異なる。ステップ（Ｓ２２）はカーボンナノチューブアレイ１０全体を成長基板２０から脱離でき、且つカーボンナノチューブアレイ１０が成長基板２０から脱離した後、カーボンナノチューブアレイ１０の形態を維持できることを目指す。ステップ（Ｓ３）はカーボンナノチューブアレイ１０からカーボンナノチューブフィルム或いはカーボンナノチューブワイヤを引き出すことを目指す。従って、カーボンナノチューブアレイ１０全体が代替基板３０から脱離せず、一部のカーボンナノチューブ、例えば、カーボンナノチューブセグメントを代替基板３０から脱離させ、引き出したカーボンナノチューブセグメントが隣接するカーボンナノチューブセグメントを動かし、隣接するカーボンナノチューブセグメントが端と端で接続されて引き出され、次々に代替基板３０から脱離する。
【００３５】
本発明のカーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法は以下の有利な効果を有する。カーボンナノチューブアレイを成長させる工程及びカーボンナノチューブアレイからカーボンナノチューブ構造体を引き出す工程において、カーボンナノチューブアレイが成長基板から異なる基板に転移設置されたので、カーボンナノチューブアレイからカーボンナノチューブ構造体を引き出す工程において、カーボンナノチューブアレイが設置される基板がコストが低い材料からなることができる。これにより、カーボンナノチューブアレイの生産者はカーボンナノチューブアレイを代替基板に転移でき、カーボンナノチューブアレイと代替基板とを共にユーザーを提供でき、コストが高い成長基板を迅速に回収でき、生産プロセスを簡単にする。よって、本発明のカーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法は、カーボンナノチューブフィルム及びカーボンナノチューブワイヤに対しての産業的応用に有利であり、生産方式を変えて、生産コストを低くする。
【符号の説明】
【００３６】
１０    カーボンナノチューブアレイ
１０２    第一表面
１０４    第二表面
２０    成長基板
３０    代替基板
４０    カーボンナノチューブ構造体
５０    引き道具
【図１】
0005903464.tif 000002
【図３】
0005903464.tif 000003
【図２】
0005903464.tif 000004
【図４】
0005903464.tif 000005