(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
位相差イメージングのための格子装置であって、
第１の格子素子Ｇ１と、
第２の格子素子Ｇ２とを有し、
前記第１の格子素子と前記第２の格子素子の少なくとも一つが第１の格子ピッチｐ１，ｑ１を持つ第１の領域Ａ１、及び前記第１の格子ピッチｐ１，ｑ１と異なる第２の格子ピッチｐ２，ｑ２を持つ第２の領域Ａ２を有し、
前記第１の領域Ａ１と前記第２の領域Ａ２の和が単一検出器ピクセル素子の領域Ａに対応する、
格子装置。
【請求項２】
複数の検出器ピクセル素子を有するＸ線検出器素子をさらに有し、各検出器ピクセル素子がピクセル領域Ａを持ち、
前記第１の領域Ａ１及び前記第２の領域Ａ２が隣接して配置され、
前記第１の領域Ａ１及び前記第２の領域Ａ２のサイズが単一検出器ピクセル素子の前記ピクセル領域Ａに対応する、請求項１に記載の格子装置。
【請求項３】
前記第１の領域と前記第２の領域が同じサイズである、請求項１又は２に記載の格子装置。
【請求項４】
前記第１の格子素子と前記第２の格子素子の少なくとも一つが、各ピクセル素子について前記第１の格子ピッチｐ１，ｑ１を持つ前記第１の領域、及び前記第１の格子ピッチｐ１，ｑ１と異なる前記第２の格子ピッチｐ２，ｑ２を持つ前記第２の領域を有する、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の格子装置。
【請求項５】
位相差イメージングのための装置であって、
Ｘ線源と、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の格子装置とを有し、
撮像対象が前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器素子の間に配置可能であり、
前記第１の格子素子と前記第２の格子素子が前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器素子の間に配置可能であり、
前記Ｘ線源、前記第１の格子素子、前記第２の格子素子、及び前記Ｘ線検出器素子が前記対象の位相差画像の収集のために結合する、
装置。
【請求項６】
前記Ｘ線源が規定波長を持つ設計エネルギーレベルを持つＸ線放射を放出し、
前記第１の格子素子と前記第２の格子素子が距離ｄだけ間隔をあけ、
距離ｄが前記規定波長の前記第１の格子ピッチｐ１及び前記第２の格子ピッチｐ２の一つの分数タルボット距離に対応する、
請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記距離ｄが前記第１の格子ピッチｐ１と前記第２の格子ピッチｐ２の両方に対する分数タルボット距離に対応する、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
距離ｄが前記ピッチｐ１に対する（２ｍ−１）次分数タルボット距離であり、距離ｄが前記ピッチｐ２に対する（２ｎ−１）次分数タルボット距離であり、ｍ及びｎがそれぞれ整数である場合に、前記第１の格子ピッチｐ１と前記第２の格子ピッチｐ２が
0005961614.tif 000012
によって関連する、
請求項５乃至７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
前記距離ｄが前記第１の格子ピッチｐ１の一次及び三次分数タルボット距離並びに前記第２の格子ピッチｐ２の三次及び五次分数タルボット距離の一つである、請求項５乃至８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
前記第１の格子素子と前記第２の格子素子が平行に配置され、
前記第１の格子素子と前記第２の格子素子が位相ステッピングを提供するために互いに対して可動である、請求項５乃至９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１１】
請求項５乃至１０のいずれか一項に記載の装置を有するＸ線システム。
【請求項１２】
Ｘ線システム及びＣＴシステムの少なくとも一つにおける請求項５乃至１０のいずれか一項に記載の装置の使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般にＸ線イメージング技術に関する。
【０００２】
より具体的には、本発明は微分位相差イメージングに関する。
【０００３】
特に、本発明はサンプリングを改善した位相差イメージングのための装置、本発明にかかる装置を有するＸ線システム、並びにＸ線システム及びＣＴシステムの一つにおける本発明にかかる装置の使用に関する。
【背景技術】
【０００４】
Ｘ線画像を取得するとき、検査対象、例えば患者がＸ線発生装置とＸ線検出器の間に配置される。Ｘ線発生装置から発するＸ線放射は検査対象を貫通し、その後Ｘ線検出器に到達する。Ｘ線放射の経路内に位置する検査対象は、対象内の特定組織構造に依存してＸ線ビームを空間的に減衰させている。Ｘ線検出器はその後Ｘ線放射の強度分布を決定することによって空間的に減衰したＸ線放射を検出しており、この画像情報は検査対象のＸ線画像を生成し、さらに処理し、その後表示するために利用される。
【０００５】
しかしながら、検査対象はＸ線放射を減衰させるときにごくわずかな違いしか与えず、コントラストの低い、従って対象の撮像された内部構造の詳細を欠く、比較的均一に減衰したＸ線画像をもたらす。
【０００６】
特定対象若しくは対象内の領域は同様の減衰特性を有し得るが、対象を貫通するＸ線放射の位相は対象の構造によって大幅に影響され得る。
【０００７】
位相差イメージングにおいては、例えばＸ線管などのＸ線源の近くに隣接して配置される線源格子によって生成される、少なくとも部分的に空間的にコヒーレントなＸ線放射が利用される。対象を貫通するコヒーレントなＸ線は位相情報のその後の回復を可能にし得る。
【０００８】
しかしながら、波の位相は直接測定されることができず、むしろ例えば二つ以上の波を干渉させることによって位相シフトが強度変調に変換されることが要求され得る。
【０００９】
一致した干渉パターンを生成するために、いわゆる位相格子が利用され、検査対象とＸ線検出器の間に配置される。しかしながら、位相格子を利用することのみによって生成される干渉パターンは、Ｘ線検出器の空間分解能の欠如のために、現在のＸ線検出器で検出するにはあまりにも小さ過ぎる。
【００１０】
従って、さらなる分析器格子が利用されて位相格子とＸ線検出器の間に配置され、その後現在のＸ線検出器によって検出できるほど十分に大きい干渉パターンをもたらす。
【００１１】
適切な画像情報を得るために、いわゆる位相ステッピングが実行される。位相ステッピングにおいて、線源格子、位相格子、及び分析器格子の一つはその格子ピッチの比率で、例えば位相格子の格子ピッチの１／４，１／６，１／８で、他の格子とＸ線検出器素子に対して横方向にずらされる。位相ステッピングが特定格子を用いて実行される場合、位相ステッピングはこの特定格子の全周期をカバーするものとする。
【００１２】
格子に基づく微分位相差イメージングシステムの空間分解能は典型的にはＸ線源の焦点のサイズと単一検出器ピクセル素子のサイズによって制限される。
【００１３】
微分位相差イメージングは減衰のみを考慮して透過Ｘ線イメージングに関する改善された画像情報を提供し得るが、そうして得られる画像情報の空間分解能は依然として個々の検出器ピクセル素子とそれらの各サイズによって制限されるとみなされ得る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
従って、より詳細な画像情報を得るために、微分位相差投影の収集画像情報の改良された若しくは増強された空間分解能が有益であり得る。
【００１５】
Ｘ線位相差イメージングはＷｅｉｔｋａｍｐ  Ｔ．，Ｄｉａｚ  Ａ．，Ｄａｖｉｄ  Ｃ．ｅｔ  ａｌ．："Ｘ‐ｒａｙ  ｐｈａｓｅ  ｉｍａｇｉｎｇ  ｗｉｔｈ  ａ  ｇｒａｔｉｎｇ  ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ"；Ｏｐｔｉｃｓ  Ｅｘｐｒｅｓｓ  ６２９６，８．Ａｕｇｕｓｔ  ２００５，Ｖｏｌ．１３，Ｎｏ．１６及びＢａｒｔｌ  Ｐ．，Ｄｕｒｓｔ  Ｊ．，Ｈａａｓ  Ｗ．ｅｔ  ａｌ．"Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｘ‐ｒａｙ  ｐｈａｓｅ‐ｃｏｎｔｒａｓｔ  ｃｏｍｐｕｔｅｄ  ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ  ｏｆ  ａ  ｍｅｄｉｃａｌ  ｐｈａｎｔｏｍ  ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ  ｐａｒｔｉｃｌｅ  ａｎｄ  ｗａｖｅ  ｃｏｎｔｒｉｂｕｔｉｏｎｓ"，Ｐｒｏｃ  ｏｆ  ＳＰＩＥ，Ｖｏｌｕｍｅ  ７６２２，７６２２０Ｑ‐１の両方に記載されている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の態様は、検出器ピクセル素子の物理的サイズに直接依存する空間分解能の制限を克服し、従って検出器ピクセル素子の実際のサイズを超えて空間分解能を増加するための手段を提供するものとして見られ得る。これは現在のＸ線検出器を利用しながら微分位相差投影の空間分解能を改善すること、若しくは例えば個々の検出器ピクセル素子の個々のピクセル面積を増加することによって微分位相差投影の空間分解能を維持しながら検出器の空間分解能の要件を緩和することを可能にし得る。
【００１７】
従って、独立請求項にかかる、サンプリングを改善した位相差イメージングのための装置、本発明にかかる装置を有するＸ線システム、並びにＸ線システム及びＣＴシステムの少なくとも一つにおける本発明にかかる装置の使用が提供される。
【００１８】
好適な実施形態は従属請求項から得られる。
【００１９】
特に、個々のピクセル素子の面積をさらに縮小することなく位相差イメージングのための装置の分解能を増加することが有益であり得る。
【００２０】
本発明のこれらの及び他の態様は以下に記載の実施形態から明らかとなり、これらを参照して解明される。
【００２１】
本発明の実施形態例は以下の図面を参照して以下に記載される。
【００２２】
図面における説明図は略図である。異なる図面において、同様の若しくは同一の要素は同様の若しくは同一の参照数字を与えられる。
【００２３】
図面は縮尺通りに描かれないが、定性的比率を描き得る。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明にかかるＸ線システムの実施形態例を示す。
【図２】本発明にかかる位相差イメージングのための装置の詳細例を示す。
【図３】本発明にかかる格子配置の詳細例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の一態様は、各検出器ピクセルに対して不均一な若しくは変動するピッチ構造を持つ位相格子と分析器格子を利用するものとして見られ得る。特に、位相格子と分析器格子の各々は２つの個別面積に分割され、各個別面積はＸ線検出器の単一検出器ピクセル素子の面積及び／又はサイズに対応するものとして見られ得る。
【００２６】
単一検出器ピクセル素子に対応する各面積内で、位相格子と分析器格子の格子構造は不均一格子構造であり得る。不均一格子構造は各検出器ピクセル素子に対し少なくとも２つの個別格子ピッチを利用するものと見られ得る。
【００２７】
各格子素子の格子構造は個別バリア素子を有し、その各々がバリア領域を形成し、互いに間隔をあけ、従ってバリア素子間にトレンチ領域を形成するものと見られ得る。好適には、トレンチ領域とバリア領域は両方とも同じ幅を有し、従ってトレンチ領域とバリア領域若しくはバリア素子は実質的に同じ寸法である。
【００２８】
互いに隣接して配置される二つのバリア素子間の距離は格子のピッチと呼ばれ得る。従って、格子構造のピッチはトレンチ領域の幅プラスバリア領域の幅であるか、又は、バリア領域とトレンチ領域が好適には同じ幅を有するので、格子構造のピッチはトレンチ領域若しくはバリア領域の幅いずれかの２倍にも等しい。
【００２９】
格子のピッチは格子の周期性とも呼ばれ得る。
【００３０】
好適には、単一検出器ピクセル素子の面積若しくはサイズに対応する格子の面積若しくはサイズは二分割され、単一検出器ピクセル素子に対応する面積の各半分は個々の格子ピッチを持つ個々の格子構造を有する。言い換えれば、一つの検出器ピクセル素子の面積の第１の半分は第１の格子ピッチを持つ格子構造によってカバーされ、一つの検出器ピクセル素子の面積の第２の半分は第１の格子ピッチと異なる第２の格子ピッチを持つ格子構造によってカバーされる。
【００３１】
特定の実施形態において、位相格子Ｇ１に対して２つの異なる格子ピッチｐ１及びｐ２が利用され、各々は各面積Ａ１，Ａ２、すなわち単一検出器ピクセル素子のピクセル面積Ａの半分をカバーする。第１の格子素子、位相格子Ｇ１、及び第２の格子素子、分析器格子Ｇ２の間の距離ｄは例示的にピッチ（例えばピッチｐ１）に関連する一次分数タルボット距離（ｆｉｒｓｔ  ｆｒａｃｔｉｏｎａｌ  Ｔａｌｂｏｔ  ｄｉｓｔａｎｃｅ）として選択され得る。
【００３２】
ｎ次分数タルボット距離は次式を利用することによって決定され得る。
【数１】
0005961614.tif 000002
λはＸ線源の規定設計エネルギーにおける波長であり、ｎは正の整数である。球面波が利用される場合、従来技術で既知のさらなる修正が要求され得る。従って、一次分数タルボット距離は次式に等しい。
【数２】
0005961614.tif 000003
【００３３】
正確な波長λが利用される場合、ぼやけのない輪郭の明瞭な干渉パターンが分数タルボット距離において得られる。
【００３４】
第２の格子ピッチｐ２は次式のように選択され得る。
【数３】
0005961614.tif 000004
【００３５】
かかる第２の格子ピッチを利用することで同様に距離ｄに等しくなるようピッチｐ２に関連するさらなる分数タルボット距離をもたらす。言い換えれば、距離ｄはピッチｐ１に対する分数タルボット距離であるとともに、さらにｐ２に対する異なる分数タルボット距離である。
【００３６】
ｎ＝２の式２と式３の場合、距離ｄは同じ設計エネルギーにおいてピッチｐ１に対する一次分数タルボット距離とピッチｐ２に対する三次分数タルボット距離を構成する。
【００３７】
分析器格子Ｇ２も個々のピッチｑ１及びｑ２を持つ面積Ａ１及びＡ２を有する。ｐ１及びｑ１並びにｐ２及びｑ２の各ピッチは好適には式４によって関連付けられ得る。
【数４】
0005961614.tif 000005
【００３８】
各個別面積Ａ１，Ａ２は物理的検出器ピクセル素子上に個別仮想ピクセルを作り出すとみなされ得る。
【００３９】
ここで位相ステッピングが行われる場合、第１の仮想ピクセル上の強度変動はピッチｐ１の周期を有するとみなされ得るが、一方第２の仮想ピクセルの強度変動はピッチｐ２の周期を有する。従って、各二つの仮想ピクセルの位相勾配は異なる周波数において符号化されているとして見られ、従ってこれらは両方とも位相ステッピングから回復され得る。しかしながら、位相ステッピングフェーズ中に取得される投影の最小数は両仮想ピクセルに対して要求される独立パラメータの取得を可能にするために増加される必要があり得る。
【００４０】
例えば、二つの異なる格子ピッチｐ１及びｐ２では、投影の最小数は三つの異なる位相ステッピング状態から五つの位相ステッピング状態へ増加されることが要求され得る。言い換えれば、単一ピッチのみを利用するときは、互いに対する位相格子Ｇ１と分析器格子Ｇ２の三つの個別整列位置が画像情報を得るために十分であるとみなされ得るが、二つの異なる格子ピッチを利用するときは、五つの独立投影が取得される必要があり得る。
【００４１】
例示的に、面積Ａ１における強度変調は次式によってモデル化され得る。
【数５】
0005961614.tif 000006
χは位相格子Ｇ１の変位であり位相φ１は次式に従って面積Ａ１におけるｘ線波面の平均勾配∂Φ／∂χ（Ａ１）に関連付けられる。さらに、Ｃ１は位相ステッピング中の平均強度に関連し、この量は従来のＸ線透過像に関連する。Ｖ１はいわゆる視感度関数に関連し、これはＸ線源の帯域幅、Ｘ線ビームの空間コヒーレンス、対象内の散乱、及び他の効果によって影響される。
【数６】
0005961614.tif 000007
【００４２】
対応して、面積Ａ２における強度変調が次式によってモデル化されることができる。
【数７】
0005961614.tif 000008
【００４３】
その後、個々の検出器ピクセル素子によって測定される総強度が次式から得られる。
【数８】
0005961614.tif 000009
【００４４】
関心のある二つの位相勾配∂Φ／∂χ（Ａ１），∂Φ／∂χ（Ａ２）は、異なる周波数１／ｐ１及び１／ｐ２において符号化されるので、こうして位相ステッピング中に取得され得る。位相ステッピングから二つの位相勾配を回復するために、格子Ｇ１は少なくともｐ１及びｐ２の長い方の長さにわたって動かされるべきである。
【００４５】
本発明の概念は二つの仮想ピクセルへの物理的ピクセル素子の分割のみに限定されない。むしろさらに異なる格子ピッチ、例えば単一検出器ピクセル素子の面積内で三つの異なる格子ピッチを利用することによって、例えば三つの仮想ピクセルが生成され得る。この場合七つの個別投影が取得されることが要求され得る。従って、距離ｄが特定分数タルボット距離若しくは利用される全格子ピッチｐ１，ｐ２，ｐ３，…ｐｎの距離と等しく、一方複数の仮想ピクセルを再構成するために取得される必要がある個別画像の数は２ｎ＋１であり得ることが有益であり得る。
【００４６】
さらに、仮想ピクセルに対し異なる分数タルボット距離を選択することもまた考えられる。特に、距離ｄは例えばピッチｐ１に対する三次分数タルボット距離、及び例えばピッチｐ２に対する五次分数タルボット距離であり得る。しかしながら、位相勾配へのシステムの感度は分数タルボット次数と線形に増加するとみなされ得る。異なる仮想ピクセルについて同様の感度を得るために、異なる仮想ピクセルに対し同様の分数タルボット次数を利用することが有益であり得る。
【００４７】
ここで図１を参照すると、本発明にかかるＸ線システムの実施形態例が描かれる。
【００４８】
図１において、Ｘ線システム２はＸ線源４、及びＸ線検出器６とＸ線源４両方の軸まわりの回転を可能にするようガントリ１０に取り付けられるＸ線検出器６を有するＣＴシステム２として描かれる。
【００４９】
Ｘ線源４はＸ線源４から発してその後Ｘ線検出器６に達するＸ線放射２０を発生させる。
【００５０】
支持台１２は検査対象１４を支持するためにＣＴシステム２のガントリ１０内に配置される。対象１４はＸ線検出器６によるその個々の検出器ピクセル素子８によるＸ線画像情報の取得を可能にするようＸ線放射２０の経路内に配置可能である。Ｘ線検出器６は例示的に検出器ピクセル素子８の二次元アレイとして表示される。
【００５１】
ディスプレイ１８を有する制御システム１６は画像収集プロセスを制御するため、また収集及び再構成された画像情報のディスプレイ１８でのその後の表示のための手段を提供するために、Ｘ線システム２に通信可能に結合する。
【００５２】
微分位相差画像収集のための個別格子素子は図１に描かれない。しかしながら、Ｘ線管４から検出器素子６へのＸ線放射２０の経路の詳細な図が図２から得られる。
【００５３】
ここで図２を参照すると、本発明にかかる位相差イメージングのための配置の実施形態例が描かれる。
【００５４】
配置３８において、Ｘ線源４は少なくとも部分的に空間的コヒーレントなＸ線放射２０を発生させるために線源格子２２の近傍に配置される。線源格子２２は距離ｌだけ位相格子Ｇ１２４から間隔をあけている。対象１４はＸ線源４と位相格子Ｇ１２４の間にＸ線放射２０の経路内に配置される。均一位相を持つ波面２８ａは対象１４に達するように描かれるが、対象１４を貫通する間に波面にかかる位相シフトのために波面内で変化した位相関係を持つさらなる位相面２８ｂが描かれる。
【００５５】
その後、波面は分析器格子２６から距離ｄだけ間隔をあけて配置される位相格子Ｇ１２４に達する。距離ｄは格子ピッチｐに対する分数タルボット距離であり得る。
【００５６】
分析器格子Ｇ２２６は位相差画像の収集のために位相格子Ｇ１２４に対してずらすことができる３２。しかしながら分析器格子Ｇ２２６の代わりに線源格子Ｇ０２２若しくは位相格子Ｇ１２４をずらすことも考えられる。
【００５７】
位相格子Ｇ１２４と分析器格子Ｇ２２６を通過するＸ線放射２０はその後検出器ピクセル素子８によって検出可能な干渉パターンをＸ線検出器素子６上に生成する。
【００５８】
図２において明確にするために位相格子Ｇ１２４は均一ピッチｐを持つように描かれ分析器格子Ｇ２２６は均一ピッチｑを持つように描かれる。しかしながら、位相格子Ｇ１２４及び分析器格子Ｇ２２６両方の個別ピッチ配置に関する詳細な図は図３から得られる。
【００５９】
ここで図３を参照すると、本発明にかかる格子配置の詳細例が描かれる。
【００６０】
図３において格子配置４０において、単一検出器ピクセル素子８の面積Ａ並びに対応するサイズの位相格子Ｇ１２４と分析器格子Ｇ２２６が描かれる。図３に描かれる配置は特にＸ線検出器６の一つ一つの検出器ピクセル素子８について繰り返され得ることが理解される。
【００６１】
検出器ピクセル素子８の面積Ａは位相格子Ｇ１２４と分析器格子Ｇ２２６に関する異なるピッチの面積に対応する二つの同じくらいのサイズの面積Ａ１及びＡ２に分割される。特に、Ａ＝Ａ１＋Ａ２である。
【００６２】
面積Ａ１において、位相格子Ｇ１２４はピッチｐ１を有し、分析器格子Ｇ２２６はピッチｑ１を有し、一方面積Ａ２において位相格子Ｇ１２４はピッチｐ２を有し分析器格子Ｇ２２６はピッチｑ２を有する。
【００６３】
各ピッチｐ１，ｐ２，ｑ１，ｑ２のサイズと寸法は上記説明に従って決定され設定され得る。例えばｐ１とｐ２は
0005961614.tif 000010
によって関連付けられ、一方ｐｉとｑｉは
0005961614.tif 000011
によって関連付けられ得る。
【００６４】
各格子はバリア素子若しくはバリア領域３４間のギャップを構成するとみなされ得る中間トレンチ領域３６とともにバリア素子若しくはバリア領域３４を有する。各バリア領域２４及びトレンチ領域３６は各バリア領域２４及びトレンチ領域３６がどの面積内に配置されるかに応じて各ピッチｐ１，ｐ２，ｑ１，ｑ２の半分を有する。
【００６５】
位相格子Ｇ１２４についてトレンチ領域３６は実質的に隣接バリア領域３４間の間隔若しくはギャップであり得るが、分析器格子Ｇ２２６のトレンチ領域３６は例えば電気めっきにより金などの材料で充填され得る。
【００６６】
バリア領域３４及びトレンチ領域３６は等しい幅であり、両方とも位相格子Ｇ１２４と分析器格子Ｇ２２６の各面積Ａ１，Ａ２の各ピッチを構成することになる。
【００６７】
例示的に、分析器格子２６は位相ステッピングを実行するために位相格子Ｇ１２４に平行にずらすことができる３２。現在の位相ステッピング状態に応じて、干渉パターンが検出器ピクセル素子８に仮想ピクセル１  ３０ａ若しくは仮想ピクセル２  ３０ｂいずれかの面積において投影され得る。両仮想ピクセル３０ａ，ｂは同じ検出器ピクセル素子８上に配置されるので、両仮想ピクセルはまた同じ物理的検出器ピクセル素子８を介して読み出される。従って検出器素子６は変更される必要がない。
【００６８】
その後、収集画像情報が個別位相ステッピング状態について、すなわち収集画像情報が仮想ピクセル１  ３０ａ若しくは仮想ピクセル２  ３０ｂに属するとみなされるかどうかについて、ソートされ得る。従って、仮想ピクセル３０ａ，ｂを考慮して個別検出器ピクセル素子８の複数の読み出し値によって再構成されるべき画像情報は、少なくとも格子構造に垂直な、すなわちバリア領域３４とトレンチ領域３６に垂直な方向において空間分解能を持ち、これは検出器素子６自体の空間分解能の２倍である。
【００６９】
"有する"という語は他の要素若しくはステップを除外せず"ａ"若しくは"ａｎ"は複数を除外しないことが留意されるべきである。また、異なる実施形態と関連して記載される要素は組み合わされ得る。
【００７０】
請求項における参照数字は請求項の範囲を限定するものと解釈されてはならないことも留意されるべきである。
【符号の説明】
【００７１】
２          Ｘ線システム
４          Ｘ線源
６          Ｘ線検出器素子
８          検出器ピクセル素子
１０        ガントリ
１２        支持台
１４        対象
１６        制御システム
１８        ディスプレイ
２０        Ｘ線放射
２２        線源格子
２４        位相格子Ｇ１
２６        分析器格子Ｇ２
２８ａ，ｂ  波面
３０ａ，ｂ  仮想ピクセル
３２        変位／位相ステッピング
３４        バリア素子／バリア領域
３６        トレンチ領域
３８        位相差イメージング用装置
４０        格子配置
【図１】
0005961614.tif 000013
【図２】
0005961614.tif 000014
【図３】
0005961614.tif 000015