(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込および、前記接着シートの繰出方向後端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向後端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込のうち、少なくとも一方を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。
【請求項２】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込および、前記接着シートの繰出方向後端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向後端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込のうち、少なくとも一方を形成することを特徴とするシート製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で閉ループ状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置で切込を形成する場合、図４（Ａ）に示されるように、切断刃ＨＣの刃先が２０μｍ前後剥離シートＲＬに入り込むように、当該切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔が調整される。なお、このような剥離シートＲＬは、通常５０μｍ前後の厚みを有するものが採用される。同図中ＷＳは帯状シート、ＢＳは基材シート、ＡＤは接着剤層、ＲＳは原反を示す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、剥離シートＲＬにあっては、材料コストを低減するために、２５μｍ前後の薄手のものが採用される機会が多くなっている。このような薄手の剥離シートＲＬが採用された原反を特許文献１の装置で使用すると、図４（Ｂ）に示されるように、切断刃ＨＣの刃先が剥離シートＲＬに入り込まなくなり、ピールプレートで切込ＣＵの内側に形成された接着シートと、その外側に形成された不要シートとを確実に切り離すことができず、当該接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。
【０００５】
ここで、図４（Ｂ）において、切断刃ＨＣの刃先が剥離シートＲＬに入り込むように当該切断刃ＨＣとプラテンローラＰＲとの相対間隔を再調整することで、接着シートを確実に不要シートから切り離すようにできる。ところが、この場合、切込ＣＵが形成された位置における剥離シートＲＬの厚みが薄くなり過ぎてしまうので、少しの外力を受けただけで接着シートとそれに対応する剥離シート部分とが原反ＲＳから抜け落ちてしまったり、ピールプレートで接着シートを剥離するときに、当該接着シートと共に対応する剥離シート部分も抜けてしまい、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を発生してしまう、という不都合を招来する。
【０００６】
［発明の目的］
本発明の目的は、剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるシート製造装置及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込および、前記接着シートの繰出方向後端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向後端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込のうち、少なくとも一方を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【００１４】
また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込および、前記接着シートの繰出方向後端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向後端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込のうち、少なくとも一方を形成する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明により製造されるシートをシート貼付装置に適用した場合、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが接着シートの内側領域における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込を形成できるので、接着シートの繰出方向先端部を確実に不要シートから切り離すことができる。これにより、従来のように接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することができる。このとき、接着シートの内側領域における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の深さは、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込に比べて浅く形成されているが、接着シートの繰出方向先端部さえ不要シートと切り離しできれば、接着シートの剥離の進行に伴って当該接着シートは、接着シートの内側領域における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の切込に沿って不要シートから切り離される。
また、接着シートの内側領域における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の剥離シートの切込の深さが、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シートの切込の深さより浅くなっているので、接着シートとそれに対応する剥離シート部分が原反から抜け落ちてしまったり、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を抑制することができる。このとき、特許文献１の装置のように、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シート部分が、ピールプレートで接着シートと一緒に抜けてしまうことがあるが、接着シートの内側領域における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の剥離シートの切込の深さが浅いので、接着シートと一緒に抜けてしまった剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、当該剥離シート部分は剥離シートの正規の回収方向に引っ張って回収されるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】切断手段の概略斜視図。
【図３】（Ａ）は刃基板及び切断刃の展開図、（Ｂ）は（Ａ）の断面図。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、従来例に係る切断要領を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。
【００２２】
図１〜図３において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。
【００２３】
前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。
【００２４】
前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側に配置され、回転軸線ＭＣを中心に回転可能に設けられたダイカットローラ３６と、原反ＲＳの剥離シートＲＬ側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転軸線ＰＣを中心に回転可能に設けられたプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を回転させる駆動機器としての回動モータＤＭ３と、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する間隔調整手段であって図示しない直動モータ等の駆動機器とを備えている。
【００２５】
前記ダイカットローラ３６は、帯状シートＷＳを切断して切込ＣＵを形成する切断刃４０と、この切断刃４０が表面に突設される刃基板４１と、この刃基板４１を外周に巻き付け可能な円柱状のマグネットシリンダ４３とを備えている。
【００２６】
前記切断刃４０は、切込ＣＵを形成するときに、帯状シートＷＳの厚み方向に高さを有するように刃基板４１から突設されている。切断刃４０は、図３（Ａ）に示されるように、刃基板４１を平面に展開したときに、略円形となる形状に設けられ、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込ＣＵを形成可能に設けられている。切断刃４０は、その円形状の周方向９０°間隔毎に４つ形成された高刃部４６と、隣り合う高刃部４６の間にそれぞれ位置するとともに、高刃部４６より低い高さとなる低刃部４８とを備えている。各高刃部４６は、切断刃４０の円周方向に３０°の角度範囲でそれぞれ形成されている。本実施形態の場合、刃基板４１をエッチング加工して切断刃４０が形成され、高刃部４６の高さは、４５０μｍに設定され、低刃部４８の高さは、４３５μｍに設定されている。
【００２７】
前記刃基板４１は、マグネットシリンダ４３に磁力を介して着脱可能に設けられている。刃基板４１は、平面に展開したときに、略正方形状に形成され、その４辺に沿うように各高刃部４６設けられている。また、刃基板４１は、一辺の長さがマグネットシリンダ４３の外周長さ以下に設けられ、展開した状態から相対する２辺が対向する状態でマグネットシリンダ４３に巻き付け可能となっている。従って、図２に示されるように、刃基板４１をマグネットシリンダ４３に装着したときに、切断刃４０における高刃部４６は、マグネットシリンダ４３の軸方向両側及び周方向両側に位置することとなる。ここで、切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が高刃部４６により形成される。この高刃部４６により形成された接着シートＡＳ部分が、剥離板１８によって剥離シートＲＬから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Ｓａとなり、この初期剥離領域Ｓａに対応する切込ＣＵ部分が初期切込ＣＵ１とされる。また、初期剥離領域Ｓａに隣接して低刃部４８により形成される接着シートＡＳ部分が、初期剥離領域Ｓａの剥離の次に剥離される接着シートの内側領域としての次期剥離領域Ｓｂとなり、この次期剥離領域Ｓｂに対応する切込ＣＵ部分が次期切込ＣＵ２とされる。なお、刃基板４１は、マグネットシリンダ４３に巻き付けるときに、対向する２辺を他の２辺に変更したり、マグネットシリンダ４３の軸方向に対する向きを反対にしたりしてもよい。これにより、４つの高刃部４６の何れでも初期剥離領域Ｓａに対応する初期切込ＣＵ１を形成可能となり、高刃部４６の劣化状態等に応じて何れかの高刃部４６を選択的に利用することが可能となる。
【００２８】
ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。
【００２９】
前記巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。
【００３０】
次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。
【００３１】
まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。なお、本実施形態では、帯状シートＷＳの厚みは１００μｍ、剥離シートＲＬの厚みは２５μｍのものが採用されている。また、切断刃４０は、マグネットシリンダ４３の外周に巻き付けられ、高刃部４６とプラテンローラ３７との相対間隔が５μｍになるように、図示しない間隔調整手段によって調整されている。これにより、低刃部４８とプラテンローラ３７との相対間隔は２０μｍになっている。本実施形態では、図１に示されるように、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない領域の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔとし、当該スタート位置Ｓｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。
【００３２】
そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。ここで、接着シートＡＳには、高刃部４６により初期切込ＣＵ１が形成されて初期剥離領域Ｓａが形成された後、低刃部４６により次期切込ＣＵ２が形成されて次期剥離領域Ｓｂが形成される。これにより、初期切込ＣＵ１に対応する剥離シートＲＬには、高刃部４６が２０μｍ入り込むことにより、初期切込ＣＵ１が確実に剥離シートＲＬに入り込み、初期剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなる。また、次期切込ＣＵ２に対応する剥離シートＲＬには、低刃部４８が５μｍしか入り込まないので、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分は、切断され難くなる。
【００３３】
切込ＣＵの形成後、繰り出された原反ＲＳは、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１に巻き取られる。このとき、剥離領域Ｓａが不要シートＵＳと切り離され易くなっているので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。このとき、初期切込ＣＵ１が確実に剥離シートＲＬに入り込んでいるので、初期剥離領域Ｓａは確実に剥離シートＲＬから剥離され、剥離シートＲＬと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取られるようなことはない。なお、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分も接着シートＡＳと共に剥離板１８から抜け出る場合がある。しかし、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分が切断され難くなっているので、原反ＲＳの繰出に伴って接着シートＡＳと共に抜け出た剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、この接着シートＡＳと共に抜け出た剥離シート部分に剥離板１８の先端から第２駆動ローラ３１方向に引っ張る力が働き、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分を確実に接着シートＡＳから剥離することができる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、切断刃４０がない位置がプラテンローラ３７側に位置するように設定され、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。このとき、初期剥離領域Ｓａに対応する剥離シートＲＬ部分が確実に接着シートＡＳから剥離されているので、剥離シートＲＬ部分が付随した状態の接着シートＡＳが被着体に貼付されるようなことはない。
【００３４】
従って、このような実施形態によれば、切断刃４０による切断で初期剥離領域Ｓａが次期剥離領域Ｓｂより切込深さを深くできるので、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に剥離され、当該接着シートＡＳが貼付不能となることを防止することが可能となる。しかも、次期剥離領域Ｓｂに対応する剥離シートＲＬ部分への低刃部４８の切込深さが浅いので、切断手段１５を経た後の原反ＲＳから、接着シートＡＳが抜け落ち、当該接着シートＡＳの貼付が行えなくなることを防止できる。このように、前記実施形態によれば、剥離シートＲＬが薄厚化しても、これに対応して接着シートＡＳの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができ、当該薄厚化によるコストダウンの要求に応じることが可能となる。
【００３５】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３６】
例えば、前記巻取手段１６を省略し、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、剥離板１８で初期剥離領域Ｓａが剥離できず、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。
【００３７】
また、切込Ｃの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、初期剥離領域Ｓａに対応する高刃部４６での切断を複数回行ってもよい。
【００３８】
更に、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳをその状態のまま切断手段を有しないシート貼付装置等で利用する場合、繰出手段１４の繰出方向後端部が当該シート貼付装置等の初期剥離領域Ｓａとなるので、少なくとも接着シートＡＳにおける繰出手段１４の繰出方向後端部の切込ＣＵが他の領域に比べて深くなるように、切断手段１５の高刃部４６を設ければよい。
【００３９】
また、切断刃４０の平面形状は、帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側を接着シートＡＳとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能であり、刃の高さも任意に変更できる。
【００４０】
更に、前記実施形態において、初期剥離領域Ｓａを形成する高刃部４６以外の少なくとも一つの高刃部４６を省略してもよい。
また、刃基板４１を円形や多角形に形成することで、選択的に利用できる高刃部４６の数を増やすことができる。
更に、前記実施形態では、高刃部４６を切断刃４０の円周方向に３０°の角度範囲で形成したものを例示したが、３０°以下の角度範囲で形成してもよいし、高刃部４６が隣接する高刃部４６と繋がらない範囲で３０°以上の角度範囲で形成してもよい。
【００４１】
また、切断手段１５は、前記初期切込ＣＵ１や次期切込ＣＵ２を形成できる限りにおいて、レーザ光線等の他の切断手段を用いてもよい。
更に、切断刃４０は、エッチング加工により形成されるもの以外に、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。
また、高刃部４６や低刃部４８の高さは、原反ＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる上、高刃部４６よりも高さが低く且つ低刃部４８も高さが高い中間刃部を形成してもよい。
【００４２】
更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、種々の設計変更が可能である。
また、間隔調整手段を所謂ベアラで構成してもよいし、間隔調整手段による切断刃４０とプラテンローラ３７との相対間隔は、原反ＲＳの厚みや性質、特に剥離シートＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
更に、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
また、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよいし、
【００４３】
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００４４】
また、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１０  シート貼付装置
１４  繰出手段
１５  切断手段
１８  剥離板（剥離手段）
１９  押圧ローラ（押圧手段）
４０  切断刃
４６  高刃部
４８  低刃部
ＡＤ  接着剤層
ＡＳ  接着シート
ＢＳ  基材シート
ＣＵ  切込
ＣＵ１  初期切込
ＣＵ２  次期切込
ＲＦ  リングフレーム（被着体）
ＲＬ  剥離シート
ＲＳ  原反
Ｓａ  初期剥離領域（接着シートの繰出方向先端部）
Ｓｂ  次期剥離領域（接着シートの内側領域）
ＵＳ  不要シート
ＷＦ  半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ  帯状シート
【図１】
0005897856.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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