(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と、前記第１部材に対向して配置された第２部材との相対位置を変位させるリニアアクチュエータであって、
前記第１部材の両端側には、前記第２部材に向かって突出部が変位方向に沿って突出形成され、
前記第２部材は、前記第１部材と前記第２部材との相対位置を変位可能にする転動体を介装して、前記第１部材の両端側の突出部の間に設けられ、
前記第１部材の両端側の前記突出部と前記第２部材とには、前記転動体を転動可能に支持する第１転動溝と第２転動溝が設けられ、
２つの極を持ち双極性の磁場を発生させる電磁石の磁気吸引力によって前記第１転動溝及び前記第２転動溝が前記転動体に圧力を与え、且つ、前記電磁石のコイルに通電する電流の大きさを変えることで、前記第１転動溝及び前記第２転動溝が前記転動体に与える圧力を調整する
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のリニアアクチュエータであって、
前記転動体の直径は、前記第１転動溝と前記第２転動溝とで形成される空間より小さい
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のリニアアクチュエータであって、
前記第１転動溝及び前記第２転動溝の少なくとも一方の溝形状は、単一の曲率半径の円弧状の溝である
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１又は２に記載のリニアアクチュエータであって、
前記第１転動溝及び前記第２転動溝の少なくとも一方の溝形状は、曲率半径を持つ複数の円弧で形成された溝である
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載のリニアアクチュエータであって、
前記第１部材及び前記第２部材は、磁性体である
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１項に記載のリニアアクチュエータであって、
前記第１部材及び前記第２部材のうち何れか一方にコイルが設けられ、
前記電磁石は、前記第１部材及び前記第２部材のうち、前記コイルが設けられていない側に設けられており、
前記コイルに電流を流すことで推力を発生させて、第１部材と第２部材との相対位置を変位させる
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１〜５の何れか１項に記載のリニアアクチュエータであって、
前記第１部材及び前記第２部材の一方にシリンダ本体が取り付けられるとともに、前記第１部材及び前記第２部材の一方に前記電磁石が設けられる
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１部材と、該第１部材とに対向して配置された第２部材との相対位置を変位させるリニアアクチュエータあって、前記第１部材と前記第２部材とのガタつきを防止するリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガイドレールと、該ガイドレールに対向して設けられたスライドテーブルとの相対位置を変位させるリニアアクチュエータが知れられている。ガイドレールとスライドテーブルとの変位を可能にするため、下記に示す特許文献１に示すように、ガイドレールと、スライドテーブルが固定される可動子との間に、例えば、球状の転動体を介装させている。この転動体は、ガイドレールと可動子との間に設けられた２列の案内溝（転動溝）によって転動体が転動するように支持されている。前記案内溝は、ゴシックアーチ構造によって転動体を転動可能に支持している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１６１９２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、ガイドレール（第１部材）と可動子（第２部材）とのガタつきを防止するために、転動体の転動溝への接触直径（転動体が転動溝に収納されたときの転動体の直径）より、転動体の直径を、例えば、数μｍ程度大きくすることで、転動体に予圧を加えている。転動体の直径より転動体の転動溝への接触直径を小さくするためには、（１）ガイドレール及び可動子の転動溝の形状を調整したり、（２）用いるガイドレールと可動子との組み合わせを変えたり、（３）接触直径より大きい転動体を用いる等がある。
【０００５】
しかしながら、前記（１）の方法では、数μｍの高い加工精度が要求され、前記（２）の方法では、数μｍの高い組合せ精度が要求され、前記（３）の方法では、転動体の選定が難しいという問題がある。また、２列のゴシックアーチ構造の転動溝で転動体を支持する場合は、高精度に転動溝を加工する必要があり、さらに、転動体の差動すべりが発生して摩擦力が大きくなるという欠点がある。
【０００６】
また、支持方向が互いに直角となり、２方向の荷重を支えるサーキュラー構造の転動溝を用いる場合は、ゴシックアーチ構造より差動すべりが小さくなるという利点はあるが、転動溝を４列必要とするため構造が複雑となり、小型化が難しいという問題がある。
【０００７】
そこで本発明は、係る従来の問題点に鑑みてなされたものであり、簡易な構造で第１部材と第２部材とのガタつきを防止するとともに、転動体の差動すべりを抑え、小型化を図るリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、第１部材と、前記第１部材に対向して配置された第２部材との相対位置を変位させるリニアアクチュエータであって、前記第１部材の両端側には、前記第２部材に向かって突出部が変位方向に沿って突出形成され、前記第２部材は、前記第１部材と前記第２部材との相対位置を変位可能にする転動体を介装して、前記第１部材の両端側の突出部の間に設けられ、前記第１部材の両端側の前記突出部と前記第２部材とには、前記転動体を転動可能に支持する第１転動溝と第２転動溝が設けられ、２つの極を持ち双極性の磁場を発生させる電磁石の磁気吸引力によって前記第１転動溝及び前記第２転動溝が前記転動体に圧力を与え、且つ、前記電磁石のコイルに通電する電流の大きさを変えることで、前記第１転動溝及び前記第２転動溝が前記転動体に与える圧力を調整することを特徴とする。
【００１０】
前記転動体の直径は、前記第１転動溝と前記第２転動溝とで形成される空間より小さくてもよい。
【００１１】
前記第１転動溝及び前記第２転動溝の少なくとも一方の溝形状は、単一の曲率半径の円弧状の溝であってもよい。
【００１２】
前記第１転動溝及び前記第２転動溝の少なくとも一方の溝形状は、曲率半径を持つ複数の円弧で形成された溝であってもよい。
【００１３】
前記第１部材及び前記第２部材は、磁性体であってもよい。
【００１４】
前記第１部材及び前記第２部材のうち何れか一方にコイルが設けられ、
前記磁石は、前記第１部材及び前記第２部材のうち、前記コイルが設けられていない側に設けられており、前記コイルに電流を流すことで推力を発生させて、第１部材と第２部材との相対位置を変位させてもよい。
【００１５】
前記第１部材及び前記第２部材の一方にシリンダ本体が取り付けられるとともに、前記第１部材及び前記第２部材の一方に前記磁石が設けられてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本願発明によれば、第１部材の両端側の突出部と第２部材とには、転動体を転動可能に支持する第１転動溝と第２転動溝が設けられており、磁石の磁気吸引力によって前記第１転動溝及び前記第２転動溝が前記転動体に圧力を与えるようにしたので、前記第１部材と前記第２部材とのガタつきを防止することができるとともに、前記転動体の差動すべりを抑え、小型化を図ることができる。また、ゴシックアーチ構造やサーキュラー構造に比べ、前記転動体、前記第１及び第２転動溝の加工精度、及び組立精度が要求されないので、加工、組立の工数を軽減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１の実施の形態にかかるリニアアクチュエータの斜視図である。
【図２】図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面図である。
【図４】剛球を支持するガイドレールのガイド溝及びスライドテーブルのガイド溝を示す図である。
【図５】剛球がリニアアクチュエータの長手方向に保持される範囲と、永久磁石によって発生する磁気吸引力の範囲（斜線で示す領域）との関係を示す模式図である。
【図６】第２の実施の形態にかかるリニアアクチュエータの斜視図である。
【図７】図６に示すリニアアクチュエータの上方から見た分解斜視図である。
【図８】図６に示すリニアアクチュエータを下方から見た分解斜視図である。
【図９】図６のＩＸ−ＩＸ線矢視断面図である。
【図１０】図６のＸ−Ｘ線矢視断面図である。
【図１１】剛球を支持するスライドテーブルのガイド溝及びガイド機能のガイド溝を示す図である。
【図１２】剛球がリニアアクチュエータの長手方向に保持される範囲と、永久磁石によって発生する磁気吸引力の範囲（斜線で示す領域）との関係を示す模式図である。
【図１３】変形例１におけるガイドレールのガイド溝及びスライドテーブルのガイド溝の一例を示す図である。
【図１４】変形例３で用いられる電磁石の一部切欠き斜視図である。
【図１５】変形例４における矢印Ａ方向に沿って磁路を設ける場合のリニアアクチュエータの模式図であり、図１５Ａは、永久磁石のＳ極がスライドテーブル側に、Ｎ極がガイドレール側となるように、１枚の永久磁石をスライドテーブルのガイドレール側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１５Ｂは、図１５Ａのリニアアクチュエータにおいて、矢印Ａ方向に沿って永久磁石の両側にヨークが設けられたリニアアクチュエータを示し、図１５Ｃは、上下方向に着磁された２つの永久磁石を、互いに極の向きを反転させて、矢印Ａ方向に沿ってスライドテーブルのガイドレール側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１５Ｄは、上下方向に着磁された４つの永久磁石を、交互に極の向きを反転させて、矢印Ａ方向に沿ってスライドテーブルのガイドレール側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１５Ｅは、図１５Ｄに示す４つの永久磁石を用いる代わりに、磁極が矢印Ａ方向に沿って互いに反転するように、多極に着磁された１枚の永久磁石を用いたリニアアクチュエータを示し、図１５Ｆは、矢印Ａ方向に着磁された３つの永久磁石を、互いに極の向きを反転させて、矢印Ａ方向に沿ってスライドテーブルのガイドレール側に設けるとともに、各永久磁石の両側にヨークを設けたリニアアクチュエータを示し、図１５Ｇは、スライドテーブルのガイドレール側に永久磁石を矢印Ａ方向に沿ってハルバッハ配置させたリニアアクチュエータを示す。
【図１６】変形例４におけるリニアアクチュエータの幅方向（矢印Ｂ方向）に沿って磁路を設ける場合のリニアアクチュエータの模式図であり、図１６Ａは、永久磁石のＳ極がスライドテーブル側に、Ｎ極がガイドレール側となるように、１枚の永久磁石をスライドテーブルのガイドレール側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１６Ｂは、図１６Ａのリニアアクチュエータにおいて、矢印Ｂ方向に沿って永久磁石の両側にヨークが設けられたリニアアクチュエータを示し、図１６Ｃは、上下方向に着磁された２つの永久磁石を、互いに極の向きを反転させて、矢印Ｂ方向に沿ってスライドテーブルのガイドレール側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１６Ｄは、上下方向に着磁された４つの永久磁石を、交互に極の向きを反転させて、矢印Ｂ方向に沿ってスライドテーブルのガイドレール側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１６Ｅは、図１６Ｄに示す４つの永久磁石を用いる代わりに、磁極が矢印Ｂ方向に沿って互いに反転するように、多極に着磁された１枚の永久磁石を用いたリニアアクチュエータを示し、図１６Ｆは、矢印Ｂ方向に着磁された３つの永久磁石を、互いに極の向きを反転させて、矢印Ｂ方向に沿ってスライドテーブルのガイドレール側に設けるとともに、各永久磁石の両側にヨークを設けたリニアアクチュエータを示し、図１６Ｇは、スライドテーブルのガイドレール側に永久磁石を矢印Ｂ方向に沿ってハルバッハ配置させたリニアアクチュエータを示す。
【図１７】変形例４における矢印Ａ方向に沿って磁路を設ける場合のリニアアクチュエータの模式図であり、図１７Ａは、永久磁石のＳ極がスライドテーブル側に、Ｎ極がガイドレール側となるように、１枚の永久磁石をガイドレールのスライドテーブル側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１７Ｂは、図１７Ａのリニアアクチュエータにおいて、矢印Ａ方向に沿って永久磁石の両側にヨークが設けられたリニアアクチュエータを示し、図１７Ｃは、上下方向に着磁された２つの永久磁石を、互いに極の向きを反転させて、矢印Ａ方向に沿ってガイドレールのスライドテーブル側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１７Ｄは、上下方向に着磁された４つの永久磁石を、交互に極の向きを反転させて、矢印Ａ方向に沿ってガイドレールのスライドテーブル側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１７Ｅは、図１７Ｄに示す４つの永久磁石を用いる代わりに、磁極が矢印Ａ方向に沿って互いに反転するように、多極に着磁された１枚の永久磁石を用いたリニアアクチュエータを示し、図１７Ｆは、矢印Ａ方向に着磁された３つの永久磁石を、互いに極の向きを反転させて、矢印Ａ方向に沿ってガイドレールのスライドテーブル側に設けるとともに、各永久磁石の両側にヨークを設けたリニアアクチュエータを示し、図１７Ｇは、ガイドレールのスライドテーブル側に永久磁石を矢印Ａ方向に沿ってハルバッハ配置させたリニアアクチュエータを示す。
【図１８】変形例４におけるリニアアクチュエータの幅方向（矢印Ｂ方向）に沿って磁路を設ける場合のリニアアクチュエータの模式図であり、図１８Ａは、永久磁石のＳ極がスライドテーブル側に、Ｎ極がガイドレール側となるように、１枚の永久磁石をガイドレールのスライドテーブル側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１８Ｂは、図１８Ａのリニアアクチュエータにおいて、矢印Ｂ方向に沿って永久磁石の両側にヨークが設けられたリニアアクチュエータを示し、図１８Ｃは、上下方向に着磁された２つの永久磁石を、互いに極の向きを反転させて、矢印Ｂ方向に沿ってガイドレールのスライドテーブル側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１８Ｄは、上下方向に着磁された４つの永久磁石を、交互に極の向きを反転させて、矢印Ｂ方向に沿ってガイドレールのスライドテーブル側に設けたリニアアクチュエータを示し、図１８Ｅは、図１８Ｄに示す４つの永久磁石を用いる代わりに、磁極が矢印Ｂ方向に沿って互いに反転するように、多極に着磁された１枚の永久磁石を用いたリニアアクチュエータを示し、図１８Ｆは、矢印Ｂ方向に着磁された３つの永久磁石を、互いに極の向きを反転させて、矢印Ｂ方向に沿ってガイドレールのスライドテーブル側に設けるとともに、各永久磁石の両側にヨークを設けたリニアアクチュエータを示し、図１８Ｇは、ガイドレールのスライドテーブル側に永久磁石を矢印Ｂ方向に沿ってハルバッハ配置させたリニアアクチュエータを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明に係るリニアアクチュエータについて、好適な実施の形態を掲げ、添付の図面を参照しながら以下、詳細に説明する。
【００１９】
＜第１の実施の形態＞
図１は、第１の実施の形態にかかるリニアアクチュエータ１０の斜視図であり、図２は、リニアアクチュエータ１０の分解斜視図であり、図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面図である。
【００２０】
第１の実施の形態にかかるリニアアクチュエータ１０は、ガイドレール（第１部材）１２と、ガイドレール１２に対向して配設されたスライドテーブル（第２部材）１４とを備えている。ガイドレール１２は、断面略コ字状の形状を有しており、ガイドレール１２には、スライドテーブル１４と対向する面にコイル１６が設けられる。コイル１６は、絶縁膜で被覆された電導性の素線を巻回して樹脂からなる絶縁体１８によってモールド成形された空芯のコイルである。コイル１６は、ガイドレール１２の上面略中央部分に配設される。
【００２１】
ガイドレール１２の幅方向（矢印Ｂ方向）の両側部には、そのベースよりスライドテーブル１４に向かって突出部２０ａ、２０ｂが突出形成され、各突出部２０ａ、２０ｂの内側には、矢印Ａ方向（スライドテーブル１４のスライド方向）に沿ってガイド溝（第１転動溝）２２、２２が形成される。
【００２２】
スライドテーブル１４は、ガイドレール１２とスライドテーブル１４の相対位置を変位可能にする複数の剛球（転動体）２４を介装して、ガイドレール１２の突出部２０ａ、２０ｂの間に設けられる。スライドテーブル１４には、スライドテーブル１４のガイドレール１２と対向する面に、２つの永久磁石（磁石）２６ａ、２６ｂが設けられる。詳しくは、スライドテーブル１４の幅方向（矢印Ａ方向と直交する方向）の中央部分に凹部２８が形成されており、永久磁石２６ａ、２６ｂは、該凹部２８に設けられる。ガイドレール１２に設けられたコイル１６と、スライドテーブル１４に設けられた永久磁石２６ａ、２６ｂとは、所定の間隔を空けて配置される。スライドテーブル１４の幅方向の両端部の中央部には、矢印Ａ方向に沿ってガイド溝（第２転動溝）３０、３０が形成される。このガイド溝２２、２２とガイド溝３０、３０とによって、剛球２４は、転動可能に支持される。
【００２３】
スライドテーブル１４には、リターンガイド３２が嵌合するための凹部３４が設けられている。リターンガイド３２には、剛球２４を循環させるための溝（以下、循環経路と呼ぶ）３６が形成されており、ガイド溝３０、３０の端まで転動された剛球２４は、リターンガイド３２によって循環経路３６に転動される。つまり、リターンガイド３２は、剛球２４の転動方向を１８０度転換させる。
【００２４】
リニアアクチュエータ１０では、ガイド溝２２、２２と、ガイド溝３０、３０とが略同一の高さとなるように、ガイドレール１２及びスライドテーブル１４が配置され、ガイド溝２２、２２及びガイド溝３０、３０によって形成されるスペース（空間）及び循環経路３６に、複数の剛球２４がリニアガイドとして収容される。各剛球２４の転動による案内作用下に、スライドテーブル１４は、ガイドレール１２に対して矢印Ａ方向に変位自在となる。スライドテーブル１４には、その板厚方向に沿って、図示しない複数のねじ孔が形成されており、スライドテーブル１４は、前記ねじ孔に螺入する図示しないねじによって他の部材を固定可能である。
【００２５】
各永久磁石２６ａ、２６ｂの大きさは、コイル１６の大きさよりも小さく設定されている。なお、２つの永久磁石２６ａ、２６ｂを配設するようにしたが、１つ、又は３つ以上の永久磁石を配設してもよい。
【００２６】
ガイドレール１２及びスライドテーブル１４は、磁性体から構成されている。剛球２４及びリターンガイド３２は、磁性体であってもよく、非磁性体であってもよい。また、磁性体の剛球２４（第１転動体）と、非磁性体（例えば、樹脂材）の剛球２４（第２転動体）を矢印Ａ方向に沿って、交互に配設してもよい。
【００２７】
リニアアクチュエータ１０において、スライドテーブル１４が複数の剛球２４の案内作用下に矢印Ａ方向に変位する場合、剛球２４は同一方向に回転するが、隣接する各剛球２４同士が互いに接する面では、各剛球２４は互いに逆方向に回転する。これにより、各剛球２４間で高摩擦抵抗が生じて、剛球２４の位置ずれが発生し、滑らかにスライドテーブル１４を変位させることができなくなる可能性がある。したがって、磁性体の剛球２４と非磁性体の剛球２４とを交互に配設することで、隣接する剛球２４間での摩擦抵抗を抑制し、スライドテーブル１４を滑らかに変位させることができる。また、各剛球２４の少なくとも一部の剛球２４を磁性体とすることで、スライドテーブル１４と突出部２０ａ、２０ｂとの間のスペースにおける漏れ磁束の発生をさらに抑制することができる。
【００２８】
ガイドレール１２を磁性体で構成したことから、永久磁石２６ａ、２６ｂとガイドレール１２との間に磁気吸引力が働き、スライドテーブル１４には、下方向の力が加わる。なお、本第１の実施の形態では、ガイドレール１２がある側を下とし、スライドテーブル１４がある側を上とする。
【００２９】
図４は、剛球２４を支持するガイド溝２２及びガイド溝３０を示す図である。ガイド溝２２及びガイド溝３０は、剛球２４の半径よりも大きい曲率半径からなる２つの円弧を組み合わせた形状の溝である。詳しくは、ガイド溝２２は、第１曲率半径の円弧で形成された第１曲面４０ａと、第２曲率半径の円弧で形成された第２曲面４０ｂとで構成され、ガイド溝３０は、第３曲率半径の円弧で形成された第１曲面４２ａと、第４曲率半径の円弧で形成された第２曲面４２ｂとで構成される。
【００３０】
ガイド溝３０の第１曲面４２ａとガイド溝２２の第２曲面４０ｂとが剛球２４に当接することで、剛球２４が支持される。つまり、ガイド溝３０の第１曲面４２ａとガイド溝２２の第２曲面４０ｂとで剛球２４が支持される。ガイド溝３０の第１曲面４２ａと剛球２４との接触点ａと、ガイド溝２２の第２曲面４０ｂと剛球２４との接触点ｂとを結ぶ線ｃは、剛球２４の中心を通る。この接触点ａと接触点ｂとを通る線ｃと、剛球２４の中心を通り、ガイドレール１２及びスライドテーブル１４の幅方向に延びる平面ｄとのなす角θは９０度未満となる。また、この線ｃと平面ｄとのなす角θが所定の角度となるように、ガイド溝３０の第１曲面４２ａとガイド溝２２の第２曲面４０ｂとが形成される。
【００３１】
ガイド溝３０の第１曲面４２ａとガイド溝２２の第２曲面４０ｂとでは、剛球２４を強固の支持することができないが、上述したように、永久磁石２６ａ、２６ｂの磁気吸引力によって、スライドテーブル１４には下方向の力が与えられるので、ガイド溝３０の第１曲面４２ａとガイド溝２２の第１曲面４０ａとで、斜め方向に剛球２４に圧力を与えることができる。つまり、接触点ａ及び接触点ｂの２点によって剛球２４に圧力が与えられる。したがって、図４に示すような簡単な構造であっても、剛球２４を強固の保持することができ、ガイドレール１２とスライドテーブル１４とのガタつきを防止することができる。
【００３２】
この線ｃと平面ｄとのなす角θに応じて、ガイドレール１２とスライドテーブル１４との幅方向のガタつきと、ガイドレール１２とスライドテーブル１４の上下方向のガタつきとを防止する精度の割合を変えることができる。なす角θが４５度の場合は、剛球２４に与えられる幅方向の力と上下方向の力とが同じとなるため、幅方向のガタつきの防止と上下方向のガタつきの防止精度が等しくなる。なす角θが４５度より小さくなるほど、幅方向のガタつき防止精度は良くなるが、上下方向のガタつき防止精度が悪くなる。また、なす角θが４５度より大きくなるほど、上下方向のガタつき防止精度は良くなるが、幅方向のガタつき防止精度は悪くなる。
【００３３】
従来のゴシックアーチ方式では、剛球２４の大きさ、ガイド溝２２及びガイド溝３０の形状、大きさ等を数μｍで調整、選択等しなければならなかったが、そのような高精度の調整をしなくても、簡易な構造でガイドレール１２とスライドテーブル１４とのガタつきの防止精度を向上させることができる。また、接触点ａ及び接触点ｂの２点で剛球２４を支持するので、剛球２４の差動すべりを抑えることができる。また、サーキュラー方式のように４列のガイド溝を設ける必要がないので、構造が簡易化し、小型化を図ることができる。
【００３４】
図５は、剛球２４がリニアアクチュエータ１０の長手方向に保持される範囲と、永久磁石２６ａ、２６ｂによって発生する磁気吸引力の範囲（斜線で示す領域）４４との関係を示す模式図である。第１の実施の形態においては、剛球２４がガイドレール１２とスライドテーブル１４によって、リニアアクチュエータ１０の長手方向に保持される範囲は、永久磁石２６ａ、２６ｂによって発生する磁気吸引力の範囲４４より短い。
【００３５】
次に、第１の実施の形態にかかるリニアアクチュエータ１０の動作について簡単に説明する。リニアアクチュエータ１０は、ガイドレール１２に対してスライドテーブル１４の相対位置を変位させるものである。詳しくは、コイル１６に電流を通電させ、永久磁石２６ａ、２６ｂによって発生する磁束とコイルを流れる電流により、コイル１６にフレミングの左手の法則に基づく矢印Ａ方向に向かう推力（ローレンツ力）が発生する。これによりスライドテーブル１４は、ガイドレール１２に対して矢印Ａ方向に位置が変位する。また、スライドテーブル１４の変位方向は、コイル１６に通電される電流の向きによって変わる。したがって、コイル１６に通電する電流の向きを変えることで、スライドテーブル１４は、ガイドレール１２上を往復動作する。
【００３６】
このように、第１の実施の形態では、リニアアクチュエータ１０において、永久磁石２６ａ、２６ｂの磁気吸引力を用いて、スライドテーブル１４のガイド溝３０、３０の上側の第１曲面４２ａと、ガイドレール１２のガイド溝２２、２２の下側の第２曲面４０ｂとで、剛球２４を斜めに加圧することができるので、簡易な構造でガイドレール１２とスライドテーブル１４とのガタつきを防止することができるとともに、剛球２４の差動すべりを抑え、小型化を図ることができる。ゴシックアーチ構造やサーキュラー構造に比べ、剛球２４、ガイド溝２２、２２、及びガイド溝３０、３０の加工精度、及び組立精度が要求されないので、加工、組立の工数を軽減させることができる。
【００３７】
なお、上記第１の実施の形態では、スライドテーブル１４を下方向に加圧するために、永久磁石２６ａ、２６ｂの磁気吸引力を積極的に用いるようにしたが、永久磁石２６ａ、２６ｂとは別個に永久磁石を設け、該永久磁石の磁気吸引力を積極的に用いるようにしてもよい。この場合は、別個に設けられる永久磁石による磁束によって、スライドテーブル１４の移動動作が妨げられないような位置に、前記永久磁石を配置する必要がある。
【００３８】
また、上記第１の実施の形態では、ガイドレール１２にコイル１６を設け、スライドテーブル１４に永久磁石２６ａ、２６ｂを設けるようにしたが、ガイドレール１２に永久磁石２６ａ、２６ｂを設け、スライドテーブル１４にコイル１６を設けるようにしてもよい。この場合であっても、永久磁石２６ａ、２６ｂの磁気吸引力によって、斜め方向に剛球２４に対して圧力を与えることができる。
【００３９】
＜第２の実施の形態＞
図６は、第２の実施の形態にかかるリニアアクチュエータ１００の斜視図、図７は、リニアアクチュエータ１００の上方から見た分解斜視図、図８は、リニアアクチュエータ１００を下方から見た分解斜視図、図９は、図６のＩＸ−ＩＸ線矢視断面図、図１０は、図６のＸ−Ｘ線矢視断面図である。
【００４０】
第２の実施の形態にかかるリニアアクチュエータ１００は、シリンダ本体１０２と、該シリンダ本体１０２の上部に設けられ、長手方向（矢印Ｃ方向）に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル（第１部材）１０４と、シリンダ本体１０２とスライドテーブル１０４との間に介装され、スライドテーブル１０４を長手方向（矢印Ｃ方向）に沿って案内するガイド機構（第２部材）１０６と、スライドテーブル１０４の変位量を調整自在なストッパ機構１０８とを含む。
【００４１】
シリンダ本体１０２は、断面長方形状で長手方向に沿って所定長さで形成され、その上面には、略中央部に断面略円弧状に窪んだ凹部１１０が形成され、長手方向に沿って延在している。ガイド機構１０６は、図示しない連結ボルトによってシリンダ本体１０２に連結されている。
【００４２】
また、シリンダ本体１０２の一側面には、圧力流体の供給・排出される第１及び第２ポート（流体出入ポート）１１２、１１４が該シリンダ本体１０２の長手方向と直交するように形成され、一対の貫通孔（シリンダ室）１１６ａ、１１６ｂと連通している（図９参照）。さらに、シリンダ本体１０２の他側面には、長手方向に沿って二条のセンサ取付溝１１８がそれぞれ形成され、図示しない検出センサが装着される。
【００４３】
一対の貫通孔１１６ａ、１１６ｂは、シリンダ本体１０２の長手方向（矢印Ａ）に沿って形成され、一方の貫通孔１１６ａと他方の貫通孔１１６ｂとは、所定間隔離間して略平行に並設されている。貫通孔１１６ａ、１１６ｂには、ピストン１２０と、該ピストン１２０に連結されたピストンロッド１２２とを含むシリンダ機構１２４がそれぞれ設けられる。
【００４４】
このシリンダ機構１２４は、一対のピストン１２０及びピストンロッド１２２が一対の貫通孔１１６ａ、１１６ｂにそれぞれ内装されることによって構成される。また、ピストン１２０の外周面には、マグネット１２６が装着される。なお、マグネット１２６は、シリンダ本体１０２におけるセンサ取付溝１１８側となる一方のピストン１２０にのみ設けられ、前記センサ取付溝１１８に装着される検出センサ（図示せず）によって前記マグネット１２６の磁気が検出されることにより該ピストン１２０の軸線方向に沿った変位位置が検出される。
【００４５】
貫通孔１１６ａ、１１６ｂの一端部は、キャップ１２８によって閉塞され、前記貫通孔１１６ａ、１１６ｂの他端部は、止め輪１３０を介して保持されるロッドホルダ１３２によって気密に閉塞される。
【００４６】
貫通孔１１６ｂは、貫通孔１１６ａとの間に形成された一組の接続通路１３４ａ、１３４ｂを介して互いに連通している。すなわち、第１及び第２ポート１１２、１１４に供給された圧力流体は、一方の貫通孔１１６ａへと導入された後、接続通路１３４ａ、１３４ｂを通じて他方の貫通孔１１６ｂにも導入される。この接続通路１３４ａ、１３４ｂは、貫通孔１１６ａ、１１６ｂの延在方向（矢印Ｃ方向）と直交するように形成されている。
【００４７】
スライドテーブル１０４は、スライドテーブル本体１３６と、該スライドテーブル本体１３６の一端部に連結されるストッパ機構１０８と、スライドテーブル本体１３６の他端部に連結されるエンドプレート（保持部材）１３８とを備え、前記エンドプレート１３８は、前記スライドテーブル本体１３６に対して直交するように連結される。
【００４８】
スライドテーブル本体１３６は、長手方向（矢印Ｃ方向）に沿って所定厚さで延在するベース部１４０と、該ベース部１４０の両側部から直交するように下方へ（シリンダ本体１０２に向かって）突出した一対の突出部１４２ａ、１４２ｂとからなり、突出部１４２ａ、１４２ｂの内面には、剛球（転動体）１４４が案内されるガイド溝（第１転動溝）１４６、１４６が矢印Ｃ方向（スライドテーブル１０４のスライド方向）に沿って形成される。
【００４９】
ベース部１４０には、その一端部と他端部との間に４個のワーク保持用孔部１４８が形成され、該ワーク保持用孔部１４８は、互いに所定間隔離間して配置される。このワーク保持用孔部１４８は、例えば、スライドテーブル１０４の上部にワーク（図示せず）を載置して搬送する際、該ワークを固定する目的で設けられている。
【００５０】
また、スライドテーブル本体１３６の一端部には、ストッパ機構１０８のホルダ部１５０を固定するためのボルト１５２ａが挿通される一対のボルト孔１５４が形成されると共に、他端部には、エンドプレート１３８を固定するためのボルト１５２ｂが挿通される一対のボルト孔１５６が形成され、ボルト孔１５４、１５６は、いずれもスライドテーブル本体１３６の延在方向（矢印Ｃ、Ｄ方向）と直交方向に貫通している。ストッパ機構１０８は、ホルダ部１５０に対して螺合されるストッパボルト１５８と、ストッパボルト１５８の進退動作を規制するロックナット１６０とを有し、シリンダ本体１０２に設けられたガイド機構１０６に臨むように設けられる。
【００５１】
エンドプレート１３８は、スライドテーブル本体１３６の他端部に形成されたボルト孔１５６に挿通された２本のボルト１５２ｂによって固定され、シリンダ本体１０２の端面に臨むように設けられると共に、一組のロッド孔１６２ａ、１６２ｂに挿通されたピストンロッド１２２の端部がそれぞれ固定される。これにより、エンドプレート１３８を含むスライドテーブル１０４が、ピストンロッド１２２と共にシリンダ本体１０２の長手方向に沿って変位することとなる。
【００５２】
ガイド機構１０６は、幅方向（矢印Ｂ方向）の両端部には、矢印Ｃ方向に沿ってガイド溝（第２転動溝）１６４、１６４が形成されている。このガイド溝１４６、１４６とガイド溝１６４、１６４とによって、剛球１４４は転動可能に支持される。さらにガイド機構１０６には、剛球１４４を循環させるための循環経路１６６が形成されており、ガイド溝１６４の端まで転動された剛球１４４は、循環経路１６６によって１８０度転換して転動する。
【００５３】
リニアアクチュエータ１００では、ガイド溝１４６とガイド溝１６４とが略同一の高さとなるように、シリンダ本体１０２に連結されたガイド機構１０６とスライドテーブル１０４とが配置され、ガイド溝１４６及びガイド溝１６４によって形成されるスペース（空間）及び循環経路に複数の剛球１４４がリニアガイドとして収納される。各剛球１４４の転動による案内作用下に、スライドテーブル１０４は、シリンダ本体１０２に連結されたガイド機構１０６に対して矢印Ｃ方向に変位自在となる。また、図７に示すように、ガイド機構１０６の上面には、永久磁石（磁石）１７２ａ、１７２ｂが設けられている。永久磁石１７２ａ、１７２ｂとスライドテーブル１０４との間に磁気吸引力が働き、スライドテーブル１０４には、下方向に力が加わる。なお、本第２の実施の形態では、シリンダ本体１０２がある側を下とし、スライドテーブル１０４がある側を上とする。なお、スライドテーブル１０４及びガイド機構１０６は磁性体から構成される。なお、ガイド機構１０６は、磁性体を含んでいればよく、詳しくは、磁性体からなる部材と非磁性体からなる部材とで構成されていてもよい。例えば、ガイド機構１０６のうち、ガイド溝１６４、１６４の部材は樹脂で形成され、それ以外の部材は磁性体であってもよい。
【００５４】
図１１は、剛球１４４を支持するガイド溝１４６及びガイド溝１６４を示す図である。ガイド溝１４６及びガイド溝１６４は、剛球１４４の半径よりも大きい曲率半径からなる２つの円弧を組み合わせた形状の溝である。詳しくは、ガイド溝１４６は、第１曲率半径の円弧で形成された第１曲面１７４ａと、第２曲率半径の円弧で形成された第２曲面１７４ｂとで構成され、ガイド溝１６４は、第３曲率半径の円弧で形成された第１曲面１７６ａと、第４曲率半径の円弧で形成された第２曲面１７６ｂとで構成される。
【００５５】
ガイド溝１４６の第１曲面１７４ａと、ガイド溝１６４の第２曲面１７６ｂとが剛球１４４に当接することで、剛球１４４が支持される。ガイド溝１４６の第１曲面１７４ａと剛球１４４との接触点ａと、ガイド溝１６４の第２曲面１７６ｂとの接触点とを結ぶ線ｃは、剛球１４４の中心を通る。この接触点ａと接触点ｂとを通る線ｃと、剛球１４４の中心を通り、スライドテーブル１０４の幅方向に延びる平面ｄとのなす角θは、９０度未満となる。この線ｃと平面ｄとのなす角が所定の角度となるように、ガイド溝１４６の第１曲面１７４ａとガイド溝１６４の第２曲面１７６ｂとが形成される。
【００５６】
ガイド溝１４６の第１曲面１７４ａとガイド溝１６４の第２曲面１７６ｂとでは、剛球１４４を強固に支持することができないが、上述しように、永久磁石１７２ａ、１７２ｂの磁気吸引力によって、スライドテーブル１０４には下方向の力が与えられるので、ガイド溝１４６の第１曲面１７４ａとガイド溝１６４の第２曲面１７６ｂとで、斜め方向に剛球１４４に圧力が与えることができる。つまり、接触点ａ及び接触点ｂとによって剛球１４４に圧力が与えられる。したがって、図１１に示すような簡単な構造であっても、剛球１４４を強固の保持することができ、スライドテーブル１０４とガイド機構１０６とのガタつきを防止することができる。
【００５７】
この線ｃと平面ｄとのなす角θに応じて、スライドテーブル１０４とガイド機構１０６との幅方向のガタつきと、スライドテーブル１４とガイド機構１０６との上下方向のガタつきとを防止する精度の割合を変えることができる。
【００５８】
図１２は、剛球１４４がリニアアクチュエータ１００の長手方向に保持される範囲と、永久磁石１７２ａ、１７２ｂによって発生する磁気吸引力の範囲（斜線で示す領域）１８０との関係を示す模式図である。第２の実施の形態においては、剛球１４４がスライドテーブル１０４とガイド機構１０６とによって、リニアアクチュエータ１００の長手方向に保持される範囲は、永久磁石２６ａ、２６ｂによって発生する磁気吸引力の範囲１８０より長い。
【００５９】
次に、第２の実施の形態にかかるリニアアクチュエータ１００の動作について簡単に説明する。なお、図６に示されるように、スライドテーブル１０４を構成するエンドプレート１３８が、シリンダ本体１０２の端面に当接した状態を初期位置として説明する。
【００６０】
先ず、図示しない圧力流体供給源から圧力流体を第１ポート１１２へと導入する。この場合、第２ポート１１４は、図示しない切換弁の操作下に大気開放状態としておく。この第１ポート１１２に供給された圧力流体は、一方の貫通孔１１６ａへ供給されると共に、接続通路１３４ｂを通じて他方の貫通孔１１６ｂへと供給され、ピストン１２０をロッドホルダ１３２側に向かって押圧する。これにより、ピストン１２０に連結されたピストンロッド１２２と共に、スライドテーブル１０４は、ピストン１２０がロッドホルダ１３２に接近する方向（エンドプレート１３８がシリンダ本体１０２と離間する方向）に移動する。
【００６１】
そして、スライドテーブル１０４の一端部に設けられたストッパボルト１５８の端部が、ガイド機構１０６の端面に当接することにより、前記スライドテーブル１０４の変位が停止した変位終端位置となる。このストッパ機構１０８は、ロックナット１６０を緩め、ストッパボルト１５８の進退動作を可能とした後、ホルダ部１５０の端面からの突出量を調整して、ロックナット１６０を締めることで、スライドテーブル１０４の変位量を調整することが可能である。
【００６２】
一方、変位終端位置からスライドテーブル１０４を前記とは反対方向に変位させる場合には、第１ポート１１２に供給されていた圧力流体を第２ポート１１４に対して供給すると共に、前記第１ポート１１２を大気開放状態とする。これにより、第２ポート１１４から一対の貫通孔１１６ａ、１１６ｂへと供給された圧力流体によってピストン１２０がロッドホルダ１３２から離間する方向（エンドプレート１３８がシリンダ本体１０２に接近する方向）へと変位し、該ピストン１２０と共にピストンロッド１２２を介してスライドテーブル１０４が変位する。そして、スライドテーブル１０４を構成するエンドプレート１３８が、シリンダ本体１０２の端面に当接することにより初期位置へと復帰する。
【００６３】
このように、第２の実施の形態では、第１実施の形態と同様に、リニアアクチュエータ１００において、永久磁石１７２ａ、１７２ｂの磁気吸引力を用いて、スライドテーブルのガイド溝１４６、１４６の上側の第１曲面１７４ａと、ガイド機構１０６のガイド溝１６４の下側の第２曲面１７６ｂとで、剛球１４４を斜めに加圧することできるので、簡易な構造でスライドテーブル１０４とガイド機構１０６とのガタつきを防止することができるとともに、剛球１４４の差動すべりを抑え、小型化を図ることができる。ゴシックアーチ構造やサーキュラー構造に比べ、剛球１４４、ガイド溝１４６、１４６、ガイド溝１６４、１６４の加工精度、及び組立精度が要求されないので、加工組立の工数を軽減させることができる。
【００６４】
なお、上記第２の実施の形態では、ガイド機構１０６に永久磁石１７２ａ、１７２ｂを設けるようにしたが、スライドテーブル１０４に永久磁石１７２ａ、１７２ｂを設けるようにしてもよい。この場合は、スライドテーブル１０４のガイド機構１０６に対向する領域に永久磁石１７２ａ、１７２ｂを設ける。この場合であっても、永久磁石１７２ａ、１７２ｂの磁気吸引力によって、スライドテーブル１０４には下方向の力が加わるので、剛球１４４を斜め方向に加圧することができる。
【００６５】
＜変形例＞
なお、上記各実施の形態は、以下のように変形してもよい。
【００６６】
（変形例１）上記各実施の形態では、２つの円弧を組み合わせてガイド溝２２及びガイド溝３０、又は、ガイド溝１４６及びガイド溝１６４を形成したが、ガイド溝２２及びガイド溝３０、又は、ガイド溝１４６及びガイド溝１６４は、単一の円弧からなる溝であってもよい。この場合も上記第１及び第２の実施の形態と同様に、永久磁石２６ａ、２６ｂ、又は、永久磁石１７２ａ、１７２ｂの磁気吸引力によって、ガイド溝２２及びガイド溝３０、又は、ガイド溝１４６及びガイド溝１６４は、剛球２４、１４４を斜めに加圧することができる。また、単一の円弧とすることで溝の構造が簡単になり、工数を軽減させることができる。この場合、この単一の円弧は、剛球２４、１４４の半径よりも大きい曲率半径からなる円弧である。図１３は、上記第１の実施の形態におけるガイド溝２２、２２及びガイド溝３０、３０を単一の円弧からなる溝にした場合の例を示す。図１３に示すように、ガイド溝２２及びガイド溝３０を単一の円弧からなる溝にした場合であっても、ガイド溝２２及びガイド溝３０は、剛球を斜めに加圧可能であることは諒解できよう。
【００６７】
（変形例２）上記各実施の形態では、２つの円弧を組み合わせてガイド溝２２及びガイド溝３０、又は、ガイド溝１４６及びガイド溝１６４を形成したが、ガイド溝３０の第２曲面４２ｂ及びガイド溝２２の第１曲面４０ａ、又は、ガイド溝１４６の第２曲面１７４ｂ及びガイド溝１６４の第１曲面１７６ａは、剛球２４、１４４の加圧に用いられないことから、第２曲面４２ｂ及び第１曲面４０ａ、又は、第２曲面１７４ｂ及び第１曲面１７６ａの加工精度を低くしてもよい。つまり、第２曲面４２ｂ及び第１曲面４０ａ、又は、第２曲面１７４ｂ及び第１曲面１７６ａの表面は粗くてもよい。これにより、工数を軽減させることができる。
【００６８】
（変形例３）
上記各実施の形態においては、永久磁石２６ａ、２６ｂ、永久磁石１７２ａ、１７２ｂを用いるようにしたが、永久磁石に代えて電磁石（磁石）を用いてもよい。要は、２つの極を持ち双極性の磁場を発生させるもの（磁石）であれば、永久磁石２６ａ、２６ｂ、１７２ａ、１７２ｂであってもよく、電磁石であってもよい。また、本発明において磁石という概念には、永久磁石２６ａ、２６ｂ、１７２ａ、１７２ｂ、電磁石の何れも含まれる。
【００６９】
図１４は、本変形例３で用いられる電磁石２００の一部切欠き斜視図である。電磁石２００は、ボビン状のインナーヨーク２０２と、該インナーヨーク２０２の外周に巻き回されたコイル２０４と、コイル２０４の外周を囲うアウターヨーク２０６からなる。永久磁石２６ａ、２６ｂ、１７２ａ、１７２ｂの代わりに、電磁石２００を用いることで、剛球２４、１４４に与える圧力、つまり、磁気吸引力の強度を調整することができる。すなわち、電磁石２００のコイル２０４に通電する電流の大きさを変えることで、磁気吸引力の強さが変わり、ガイド溝３０の第１曲面４２ａ及びガイド溝２２第２曲面４０ｂ、又は、ガイド溝１４６の第１曲面１７４ａ及びガイド溝１６４の第２曲面１７６ｂが、剛球２４、１４４を加圧する力を変えることができる。
【００７０】
なお、本変形例３においては、電磁石２００は、インナーヨーク２０２及びアウターヨーク２０６を有するようにしたが、インナーヨーク２０２、及び（又は）、アウターヨーク２０６はなくてもよい。また、インナーヨーク２０２の代わりに永久磁石を用いて電磁石２００を構成してもよい。また、電磁石２００を複数用いてもよい。
【００７１】
（変形例４）上記第１実施の形態においては、２つの永久磁石２６ａ、２６ｂ（以下、永久磁石２６ａ、２６ｂを総称して永久磁石２６と呼ぶ）を用いて磁気吸引力を発生させるようにしたが、図１５〜図１８に示すように、永久磁石２６の数、配置等を変えてもよい。
【００７２】
図１５は、矢印Ａ方向に沿って磁路を設ける場合のリニアアクチュエータ１０の模式図ある。図１５Ａは、永久磁石２６のＳ極がスライドテーブル１４側に、Ｎ極がガイドレール１２側となるように、１枚の永久磁石２６をスライドテーブル１４のガイドレール１２側に設けたリニアアクチュエータ１０を示す。この場合は、図１５Ａに示すような磁束が発生し、磁気吸引力が発生する。図１５Ｂにおいては、図１５Ａのリニアアクチュエータ１０において、矢印Ａ方向に沿って永久磁石２６の両側にヨーク２１０が設けられたリニアアクチュエータ１０を示す。この場合も図１５Ａと同様の磁束が発生し、磁気吸引力が発生する。
【００７３】
図１５Ｃは、２つの永久磁石２６のうち、一方の永久磁石２６のＳ極、及び他方の永久磁石２６のＮ極がスライドテーブル１４側となるように、該２つの永久磁石２６をスライドテーブル１４のガイドレール１２側に設けたリニアアクチュエータ１０を示す。つまり、上下方向に着磁された２つの永久磁石２６を、互いに極の向きを反転させて、スライドテーブル１４のガイドレール１２側に設けた場合を示している。２つの永久磁石２６は、矢印Ａ方向に沿って互いに接するように設けられる。この場合は、図１５Ｃに示すような磁束が発生し、磁気吸引力が発生する。
【００７４】
図１５Ｄは、上下方向に着磁された４つの永久磁石２６を、交互に極の向きを反転させて、矢印Ａ方向に沿ってスライドテーブル１４のガイドレール１２側に設けたリニアアクチュエータ１０を示す。図１５Ｄでは、隣り合う永久磁石２６が互いに接するように設けられている。この場合は、図１５Ｄに示すような磁束が発生し、磁気吸引力が発生する。
【００７５】
図１５Ｅは、図１５Ｄに示すように４つの永久磁石２６を用いる代わりに、磁極が矢印Ａ方向に沿って互いに反転するように、多極に着磁された１枚の永久磁石２６をスライドテーブル１４のガイドレール１２側に設けたリニアアクチュエータ１０を示す。この場合も、図１５Ｄと同様の磁束が発生し、磁気吸引力が発生する。
【００７６】
図１５Ｆは、矢印Ａ方向に着磁された３つの永久磁石２６を、互いに極の向きを反転させて、矢印Ａ方向に沿ってスライドテーブル１４のガイドレール１２側に設けたリニアアクチュエータ１０を示す。図１５Ｆでは、各永久磁石２６の両側にヨーク２１０が設けられている。この場合は、図１５Ｆに示すような磁束が発生し、磁気吸引力が発生する。
【００７７】
図１５Ｇは、スライドテーブル１４のガイドレール１２側に、上下方向に着磁された永久磁石２６と矢印Ａ方向に着磁された永久磁石２６とを矢印Ａ方向に沿って交互に配置させるとともに、隣り合う着磁方向が同じ永久磁石２６の極の向きを反転させたリニアアクチュエータ１０を示す。つまり、スライドテーブル１４のガイドレール１２側に、永久磁石２６をハルバッハ配置させたリニアアクチュエータを示す。この場合は、図１５Ｇに示すような磁束が発生し、磁気吸引力が発生する。
【００７８】
図１６は、矢印Ｂ方向に沿って磁路を設ける場合のリニアアクチュエータ１０の模式図である。図１６Ａ〜図１６Ｇの永久磁石２６の配置は、永久磁石２６の配置方向が矢印Ａ方向ではなく、矢印Ｂ方向であるという点を除けば、図１５Ａ〜図１５Ｇと同様であるので、説明を省略する。
【００７９】
図１７は、矢印Ａ方向に沿って磁路を設ける場合のリニアアクチュエータ１０の模式図である。図１７Ａ〜図１７Ｇの永久磁石２６の配置は、永久磁石２６が設けられる場所が、スライドテーブル１４ではなく、ガイドレール１２のスライドテーブル１４側であるという点を除けば、図１５Ａ〜図１５Ｇと同様であるので、説明を省略する。
【００８０】
図１８は、矢印Ｂ方向に沿って磁路を設ける場合のリニアアクチュエータ１０の模式図である。図１８Ａ〜図１８Ｇの永久磁石２６の配置は、永久磁石２６が設けられる場所が、スライドテーブル１４ではなく、ガイドレール１２のスライドテーブル１４側であるという点を除けば、図１６Ａ〜図１６Ｇと同様であるので、説明を省略する。
【００８１】
（変形例５）上記第２実施の形態においては、２つの永久磁石１７２ａ、１７２ｂ（以下、永久磁石１７２ａ、１７２ｂを総称して永久磁石１７２と呼ぶ）を用いて磁気吸引力を発生させるようにしたが、上記変形例４と同様に永久磁石の数、配置等を変えてもよい。上記変形例５のリニアアクチュエータ１００は、図１５〜図１８のリニアアクチュエータ１０の上下を反転させ（つまり、ガイドレール１２を上側、スライドテーブル１４を下側とし）、ガイドレール１２をスライドテーブル１０４とし、図１５〜図１８のスライドテーブル１４をガイド機構１０６とする。
【００８２】
（変形例６）上記各実施の形態おいては、第１部材（ガイドレール１２、スライドテーブル１０４）、及び、第２部材（スライドテーブル１４、ガイド機構１０６）を共に磁性体としたが、第１部材及び第２部材のうち、少なくとも永久磁石２６、１７２が設けられない部材を磁性体とすればよい。つまり、第１部材に永久磁石２６、１７２が設けられる場合は少なくとも第２部材を磁性体とし、第２部材の永久磁石２６、１７２が設けられる場合は少なくとも第１部材を磁性体とすればよい。
【００８３】
（変形例７）上記変形例１〜６を任意に組み合わせた態様であってもよい。
【００８４】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００８５】
１０、１００…リニアアクチュエータ    １２…ガイドレール
１４、１０４…スライドテーブル        １６、２０４…コイル
２０ａ、２０ｂ、１４２ａ、１４２ｂ…突出部
２２、３０、１４６、１６４…ガイド溝  ２４、１４４…剛球
２６、２６ａ、２６ｂ、１７２、１７２ａ、１７２ｂ…永久磁石
３２…リターンガイド                  ３６、１６６…循環経路
４０ａ、４２ａ、１７４ａ、１７６ａ…第１曲面
４０ｂ、４２ｂ、１７４ｂ、１７６ｂ…第２曲面
１０２…シリンダ本体                  １０６…ガイド機構
１０８…ストッパ機構                  １１２…第１ポート
１１４…第２ポート                    １１８…センサ取付溝
１２０…ピストン                      １２２…ピストンロッド
２００…電磁石                        ２０２…インナーヨーク
２０６…アウターヨーク
【図１】
0005963069.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0005963069.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0005963069.tif 000017
【図１７】
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【図１８】
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