(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の電極部の配置に対応して設けられた開口部を有したマスクと、前記基板に接触させた前記マスクの上面で摺動することにより前記マスクの開口部を介して前記基板にペーストを転写させるスキージと、ペーパー部材を前記マスクの下面に押し当てた状態で吸引口より真空吸引しながら前記マスクの下面に対して相対移動して前記マスクの下面のクリーニングを行うマスククリーナとを備えたスクリーン印刷機であって、
前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの真空管路を通過する空気の流量を計測する流量計測手段と、
前記流量計測手段により計測された前記マスククリーナの真空管路を通過する空気の流量を予め定めた基準値と比較し、その結果、前記流量計測手段により計測された前記マスククリーナの真空管路を通過する空気の流量が前記基準値を下回っていた場合に報知器に所定の報知動作を行わせる報知制御手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記流量計測手段は、前記マスククリーナの前記吸引口を前記マスクに接触させない状態で前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの真空管路を通過する空気の流量を計測することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの真空管路の圧力を計測する圧力計測手段をさらに備え、
前記圧力計測手段は、前記マスククリーナの前記吸引口を前記マスクの下面の前記開口部を含まない領域に接触させた状態で前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの真空管路の圧力を計測することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
基板の電極部の配置に対応して設けられた開口部を有したマスクと、前記基板に接触させた前記マスクの上面で摺動することにより前記マスクの開口部を介して前記基板にペーストを転写させるスキージと、ペーパー部材を前記マスクの下面に押し当てた状態で吸引口より真空吸引しながら前記マスクの下面に対して相対移動して前記マスクの下面のクリーニングを行うマスククリーナとを備えたスクリーン印刷機の異常検出方法であって、
前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの真空管路を通過する空気の流量を計測する流量計測工程と、
前記流量計測工程で計測した前記マスククリーナの真空管路を通過する空気の流量を予め定めた基準値と比較し、その結果、計測した前記マスククリーナの真空管路を通過する空気の流量が前記基準値を下回っていた場合に報知器に所定の報知動作を行わせる報知工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷機の異常検出方法。
【請求項５】
前記流量計測工程において、前記マスククリーナの前記吸引口を前記マスクに接触させない状態で前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの真空管路を通過する空気の流量を計測することを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷機の異常検出方法。
【請求項６】
前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの真空管路の圧力を計測する圧力計測工程をさらに含み、
前記圧力計測工程において、前記マスククリーナの前記吸引口を前記マスクの下面の前記開口部を含まない領域に接触させた状態で前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの真空管路の圧力を計測することを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷機の異常検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を接触させたマスク上でスキージを摺動させることにより基板にペーストを転写させるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機の異常検出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は、基板の電極部の配置に対応して設けられた開口部を有したマスクの下面に基板に接触させた後、マスクの上面でスキージを摺動させることによって、マスクの開口部を介して基板にペーストを転写させるようになっている。このようにして基板にペーストが転写された後は、マスクから基板が離間されて版離れが行われるが、このときマスクの下面にペーストが付着しているとその後の基板に印刷不良が生じるおそれがある。このためスクリーン印刷機には通常、基板へのペーストの転写後にマスクの下面に付着したペーストを拭き取ってクリーニングするマスククリーナが備えられている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１８９６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来のスクリーン印刷機では、ペーパー部材の目を通過したペーストの滓がマスククリーナの内部やこれに繋がる真空管路内に付着して目詰まりを起こしたり、経年変化によって真空管路に破れが生じたりした異常状態ではマスククリーナの吸着力が低下し、マスクの下面に付着したペーストの拭き取りが不十分となって基板の印刷不良が生じるおそれがあるものの、オペレータはこのような異常状態に気づきにくいという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、マスククリーナに生じた異常状態をオペレータが的確に把握して適切な対策を講じることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機の異常検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板の電極部の配置に対応して設けられた開口部を有したマスクと、前記基板に接触させた前記マスクの上面で摺動することにより前記マスクの開口部を介して前記基板にペーストを転写させるスキージと、ペーパー部材を前記マスクの下面に押し当てた状態で吸引口より真空吸引しながら前記マスクの下面に対して相対移動して前記マスクの下面のクリーニングを行うマスククリーナとを備えたスクリーン印刷機であって、前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの吸引力を計測する吸引力計測手段と、前記吸引力計測手段により計測された前記マスククリーナの吸引力を予め定めた基準値と比較し、その結果、前記吸引力計測手段により計測された前記マスククリーナの吸引力が前記基準値を下回っていた場合に報知器に所定の報知動作を行わせる報知制御手段とを備えた。
【０００７】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、前記吸引力計測手段は、前記マスククリーナの前記吸引口を前記マスクに接触させない状態で前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの吸引力を計測する。
【０００８】
請求項３に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、前記吸引力計測手段は、前記マスククリーナの前記吸引口を前記マスクの下面の前記開口部を含まない領域に接触させた状態で前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの吸引力を計測する。
【０００９】
請求項４に記載のスクリーン印刷機の異常検出方法は、基板の電極部の配置に対応して設けられた開口部を有したマスクと、前記基板に接触させた前記マスクの上面で摺動することにより前記マスクの開口部を介して前記基板にペーストを転写させるスキージと、ペーパー部材を前記マスクの下面に押し当てた状態で吸引口より真空吸引しながら前記マスクの下面に対して相対移動して前記マスクの下面のクリーニングを行うマスククリーナとを備えたスクリーン印刷機の異常検出方法であって、前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの吸引力を計測する吸引力計測工程と、前記吸引力計測工程で計測した前記マスククリーナの吸引力を予め定めた基準値と比較し、その結果、計測した前記マスククリーナの吸引力が前記基準値を下回っていた場合に報知器に所定の報知動作を行わせる報知工程とを含む。
【００１０】
請求項５に記載のスクリーン印刷機の異常検出方法は、請求項４に記載のスクリーン印刷機の異常検出方法であって、前記吸引力計測工程において、前記マスククリーナの前記吸引口を前記マスクに接触させない状態で前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの吸引力を計測する。
【００１１】
請求項６に記載のスクリーン印刷機の異常検出方法は、請求項４に記載のスクリーン印刷機の異常検出方法であって、前記吸引力計測工程において、前記マスククリーナの前記吸引口を前記マスクの下面の前記開口部を含まない領域に接触させた状態で前記マスククリーナに真空吸引を行わせて前記マスククリーナの吸引力を計測する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、マスククリーナの吸引力を計測してこれを予め定めた基準値と比較し、その結果、計測したマスククリーナの吸引力が基準値を下回っていた場合には報知器に所定の報知動作を行わせるようになっているので、オペレータはマスククリーナに生じた異常状態を的確に把握して適切な対策を講じることができる。これにより吸引力が不十分な状態でマスクのクリーニングが行われる事態を防止することができ、基板の印刷不良の発生が抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクを基板とともに示す斜視図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーナの構成を示す図
【図７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行する異常検出作業の手順を示すフローチャート
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行する異常検出作業の説明図
【図９】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示すフローチャート
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【図１２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーナによりマスクのクリーニングを行っている状態を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１、図２及び図３に示すスクリーン印刷機１は、基板２の電極部２ａ上に半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷する装置であり、基台１０上に基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット移動機構１２によって移動される基板保持ユニット１３及び基板搬出コンベア１４を備えるほか、基板保持ユニット１３の上方に水平姿勢に保持されたマスク１５、マスク１５の下方を移動自在に設けられたカメラユニット１６、マスク１５の上方領域を移動自在に設けられたスキージユニット１７及びマスク１５の下方を移動自在に設けられたマスククリーナ１８を有して構成されている。
【００１５】
基板搬入コンベア１１はスクリーン印刷機１の外部から投入された基板２を搬入して基板保持ユニット１３に受け渡す。基板搬出コンベア１４は基板保持ユニット１３から受け取った基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する。すなわち、基板２は基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１３、基板搬出コンベア１４の順で搬送され、この基板２の移動方向をＸ軸方向（オペレータＯＰから見た左右方向）とする。また、このＸ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（オペレータＯＰから見た前後方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１６】
図４において、マスク１５は薄肉金属製で矩形の板状部材から成るマスク本体１５ａ、マスク本体１５ａの外縁に取り付けられた樹脂（例えばポリエステル）製のシート状部材１５ｂ及びシート状部材１５ｂの外縁を支持する矩形枠状のマスク枠１５ｗを有して成り、マスク本体１５ａの中央部には基板２の電極部２ａに対応する多数の開口部１５ｈが設けられている。本実施の形態に形態では、マスク本体１５ａのうち、開口部１５ｈを含む中央部の領域を開口部領域Ｒ１と称し、開口部１５ｈを含まない周辺部の領域（図４中に網掛けをして示した領域）を非開口部領域Ｒ２と称する。
【００１７】
図４において、基板２上の一の対角位置には２つの基板側マーク２ｍが設けられており、マスク本体１５ａにはこれら２つの基板側マーク２ｍに対応して２つのマスク側マーク１５ｍが設けられている。２つの基板側マーク２ｍと２つのマスク側マーク１５ｍを上下に対向させた状態で基板２を上昇させてマスク１５に基板２を接触させると、基板２の電極部２ａとマスク本体１５ａに設けられた開口部１５ｈとが合致した状態となる。
【００１８】
図２及び図３において、基板保持ユニット１３は、基台１０に対して昇降自在に設けられたベース部１３ａ、ベース部１３ａに取り付けられてＸ軸方向に基板２を搬送する基板搬送コンベア１３ｂ（図１も参照）、基板搬送コンベア１３ｂによって搬送されて所定の基板保持位置に位置決めされた基板２を下受け部材１３ｃによって下受けした状態で昇降させる基板昇降シリンダ１３ｄ及び基板昇降シリンダ１３ｄによって押し上げられた基板２をＹ軸方向からクランプして保持する一対のクランプ部材１３ｅ（図１も参照）を有して成る。
【００１９】
図５において、基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１３の基板搬送コンベア１３ｂ、基板搬出コンベア１４の作動制御、基板昇降シリンダ１３ｄの作動制御及び一対のクランプ部材１３ｅを駆動する図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材駆動機構１３Ａによる基板２のクランプ動作の制御は、スクリーン印刷機１が備える制御装置２０によってなされる。
【００２０】
基板保持ユニット移動機構１２はＸＹＺロボットから成り、制御装置２０によって作動制御されて基板保持ユニット１３を水平面内で移動（回転も含む）させるとともに、基板保持ユニット１３を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させる（図５）。
【００２１】
図１及び図３において、カメラユニット１６は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１６ａと、撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１６ｂを備えて成り、図示しないアクチュエータ等からなるカメラ・クリーナ移動機構１６Ｍ（図５）によってマスク１５の下方を水平面内方向に移動される。
【００２２】
図５において、上記カメラ・クリーナ移動機構１６Ｍの作動制御は、制御装置２０によってなされ、下方撮像カメラ１６ａの撮像動作及び上方撮像カメラ１６ｂの撮像動作は制御装置２０によって制御される。また、下方撮像カメラ１６ａの撮像動作によって得られた画像データ及び上方撮像カメラ１６ｂの撮像動作によって得られた画像データは制御装置２０に送られる。
【００２３】
図１、図２及び図３において、スキージユニット１７は、水平直交座標テーブルから成るスキージユニット移動機構１７Ｍの作動によってマスク１５の上方をＹ軸方向に移動自在なベース部１７ａの下方に、Ｙ軸方向に対向して設けられた２つのスキージ１７ｂを備えた構成を有しており、各スキージ１７ｂは、ベース部１７ａに取り付けられた２つの空圧シリンダ１７ｃによってそれぞれ独立してベース部１７ａの下方を昇降されるようになっている。スキージユニット移動機構１７Ｍの作動制御及び各空圧シリンダ１７ｃの作動によるスキージ１７ｂの昇降制御は制御装置２０によってなされる（図５）。
【００２４】
図６において、マスククリーナ１８は、筐体３０内に、Ｘ軸回りに回転自在に設けられた２つの回転体３１ａ，３１ｂ（繰り出し側の回転体３１ａ及び巻き取り側の回転体３１ｂ）、これら２つの回転体３１ａ，３１ｂの間に掛け渡されたペーパー部材３２及びこのペーパー部材３２上方に押し上げるＸ軸方向に延びたノズル３３を有して成り、２つの回転体３１ａ，３１ｂを同一の方向に駆動してペーパー部材３２をＹ軸方向に進行させることにより、ペーパー部材３２のノズル３３の上面に位置するクリーニング部位を更新させることができる。ノズル３３の上端にはペーパー部材３２を介してマスク１５の下面に下方から当接される吸引口３３ａが設けられている。すなわち本実施の形態におけるマスククリーナ１８は、上端の吸引口３３ａにペーパー部材３２が掛け渡された構成となっている。
【００２５】
図６において、マスククリーナ１８のノズル３３は真空源４０と繋がる真空管路４１に接続されており、制御装置２０より作動制御がなされる真空吸引制御バルブ４２による真空管路４１の開閉動作によって、ノズル３３の吸引口３３ａに真空吸引力が与えられるようになっている。真空管路４１には、真空管路４１内を通過する空気の流量を計測する流量計４３と、真空管路４１内の圧力を計測する圧力計４４が接続されている。流量計４３が計測する真空管路４１内を通過する空気の流量の値と、圧力計４４が計測する真空管路４１内の圧力の値はそれぞれ制御装置２０に入力される（図５）。
【００２６】
マスククリーナ１８は制御装置２０によって作動制御がなされる前述のカメラ・クリーナ移動機構１６Ｍによって、カメラユニット１６ともにＹ軸方向にされる。ペーパー部材３２を進行させてノズル３３の上面に掛け渡されたペーパー部材３２のクリーニング部位を更新させる動作は、制御装置２０が前述の２つの回転体３１ａ，３１ｂを駆動させる回転体駆動モータ３１Ａ（図５）を作動させることによってなされる。
【００２７】
このスクリーン印刷機１では、基板２に対するスクリーン印刷作業を行う前に、図７のフローチャートに示す手順でマスククリーナ１８の異常検出作業を実行する。マスククリーナ１８の異常検出作業では、制御装置２０は、先ず、マスククリーナ１８をマスク１５に接触させない状態にしたうえで（図８（ａ））、真空吸引制御バルブ４２によって真空管路４１を開き、マスククリーナ１８に真空吸引動作を行わせて、流量計４３により真空管路４１内を通過する空気の流量を計測する（図７に示すステップＳＴ１）。そして、制御装置２０は、流量計４３による真空管路４１内を通過する空気の流量を計測したら、計測した真空管路４１内を通過する空気の流量を予め定めた基準値と比較し（図７に示すステップＳＴ２）、その結果、計測した空気の流量が基準値以上であった場合には、制御装置２０は、制御装置２０に繋がる報知器４５（例えばディスプレイ装置。図６）に、真空管路４１内を通過する空気の流量が正常である旨の報知を行わせる（図７に示すステップＳＴ３）。一方、制御装置２０は、計測した空気の流量が基準値を下回っていた場合には、報知器４５に、真空管路４１内を通過する空気の流量が異常である旨の報知を行わせる（図７に示すステップＳＴ４）。
【００２８】
制御装置２０は、上記真空管路４１内を通過する空気の流量の検査を終えたら、カメラ・クリーナ移動機構１６Ｍの作動制御を行って、マスククリーナ１８をマスク１５の非開口部領域Ｒ２に接触させる（図８（ｂ）。図７に示すステップＳＴ５）。そして、真空吸引制御バルブ４２によって真空管路４１を開き、マスククリーナ１８に真空吸引動作を行わせて、圧力計４４により真空管路４１内の圧力を計測する（図７に示すステップＳＴ６）。
【００２９】
制御装置２０は、圧力計４４による真空管路４１内の圧力を計測したら、計測した真空管路４１内の圧力を予め定めた基準値と比較し（図７に示すステップＳＴ７）、その結果、計測した圧力が基準値以上であった場合には、制御装置２０は、報知器４５に、真空管路４１内の圧力が正常である旨の報知を行わせる（図７に示すステップＳＴ８）。一方、制御装置２０は、計測した圧力が基準値を下回っていた場合には、報知器４５に、真空管路４１内の圧力が異常である旨の報知を行わせる（図７に示すステップＳＴ９）。
【００３０】
このように、本実施の形態における制御装置２０は、吸引力計測手段である流量計４３又は圧力計４４により計測されたマスククリーナ１８の吸引力（真空管路４１内を通過する空気の流量又は真空管路４１内の圧力）を予め定めた基準値と比較し、その結果、吸引力計測手段により計測されたマスククリーナ１８の吸引力が基準値を下回っていた場合に報知器４５に所定の報知動作を行わせる報知制御手段として機能する。
【００３１】
このようなマスククリーナ１８の異常検出作業において、報知器４５により真空管路４１内を通過する空気の流量の異常若しくは真空管路４１内の圧力の異常の報知がなされた場合には、オペレータＯＰは適切な対策を講じる。具体的には、真空管路４１内を通過する空気の流量の異常（低下）は、ペーパー部材３２自体が目詰まりを起こした場合や、ペーパー部材３２の目を通過したペーストＰｔの滓がマスククリーナ１８の内部や真空管路４１内に付着して目詰まりを起こした場合が考えられるので、その旨の報知がなされたときには、ペーパー部材３２を交換したり、マスククリーナ１８の空気の通路の内壁を掃除したりするようにする。また、真空管路４１内の圧力の異常（低下）は、真空管路４１の経年変化による破れ等がその原因と考えられるので、その旨の報知がなされたときには、真空管路４１の修理や交換等を行うようにする。
【００３２】
制御装置２０は、上記異常検出作業（及びオペレータＯＰによる必要に応じた処置）が終了したら、図９のフローチャートに示す手順でスクリーン印刷作業を実行する。制御装置２０は、スクリーン印刷作業を行うときには先ず、スクリーン印刷機１の外部から投入された基板２を基板搬入コンベア１１によって搬入して基板搬送コンベア１３ｂに受け渡し、前述の所定の作業位置に位置決めする（基板搬入工程。図９に示すステップＳＴ１１）。そして、基板昇降シリンダ１３ｄによる基板２の押し上げ（図１０（ａ）中に示す矢印Ａ）とクランプ部材１３ｅによる基板２のクランプ（図１０（ａ）中に示す矢印Ｂ）を行って基板２を保持する（基板搬入保持工程。図９に示すステップＳＴ１２。図１０（ａ））。
【００３３】
制御装置２０は、上記のようにして基板２を保持したら、カメラ・クリーナ移動機構１６Ｍの作動制御を行ってカメラユニット１６を移動させ、上方撮像カメラ１６ｂをマスク１５に設けられたマスク側マーク１５ｍの直下に位置させてマスク側マーク１５ｍの撮像を行わせるとともに、下方撮像カメラ１６ａを基板２に設けられた基板側マーク２ｍの直上に位置させて基板側マーク２ｍの撮像を行わせる（マーク撮像工程。図９に示すステップＳＴ１３）。
【００３４】
制御装置２０は、ステップＳＴ１３で基板側マーク２ｍとマスク側マーク１５ｍの撮像を行ったら、基板保持ユニット１３を水平面内方向に移動させ、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１５ｍとが上下に対向するようにして、マスク１５に対する基板２の水平面内方向の位置合わせを行う（位置合わせ工程。図９に示すステップＳＴ１４）。
【００３５】
制御装置２０は、マスク１５に対する基板２の位置合わせが終わったら、基板保持ユニット移動機構１２の作動制御を行って基板保持ユニット１３を基台１０に対して上昇させ（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｃ１）、一対のクランプ部材１３ｅにより保持した基板２の上面をマスク１５の下面に接触させることによって、マスク１５に基板２を接触させる（接触工程。図９に示すステップＳＴ１５。図１０（ｂ））。これにより基板２上の電極部２ａとマスク１５の開口部１５ｈとが合致した状態となる。
【００３６】
制御装置２０は基板２をマスク１５に接触させたら、スキージ１７ｂによるスキージングを行って、予めマスク１５上に供給されたペーストＰｔを基板２の電極部２ａに転写させる（転写工程。図９に示すステップＳＴ１６）。このスキージングは、具体的には、スキージユニット１７が備える２つのスキージ１７ｂのうちの一方を下動させ（図１１（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、マスク１５の上面に当接させた状態を維持したままベース部１７ａを水平方向に移動（図１１（ａ）中に示す矢印Ｅ）させることによって行う。これによりマスク１５上でスキージ１７ｂが摺動し、マスク１５上のペーストＰｔはスキージ１７ｂによって掻き寄せられてマスク１５の開口部１５ｈ内に押し込まれ、各基板２の電極部２ａ上に転写される。
【００３７】
すなわち本実施の形態において、スキージ１７ｂは、基板２に接触させたマスク１５上で摺動することによりマスク１５の開口部１５ｈを介して基板２にペーストＰｔを転写させるものとなっている。
【００３８】
制御装置２０は、基板２の電極部２ａにペーストＰｔを転写させたら、マスク１５に当接させていたスキージ１７ｂを上動させたうえで（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）、基板保持ユニット移動機構１２を作動させ、基板保持ユニット１３を下降させることによって基板２をマスク１５から離間させ（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｃ２）、版離れを行う（版離れ工程。図９に示すステップＳＴ１７。図１１（ｂ））。これにより基板２の電極部２ａ上にペーストＰｔが残留し、基板２にペーストＰｔが印刷される。
【００３９】
制御装置２０は版離れを行ったら、基板保持ユニット１３の作動制御を行って基板２の保持を解除する（保持解除工程。図９に示すステップＳＴ１８）。この基板２の保持の解除は、具体的は、制御装置２０が、クランプ部材駆動機構１３Ａの作動制御を行ってクランプ部材１３ｅを開かせたうえで、基板昇降シリンダ１３ｄを作動させて基板２を下降させ、基板２の両端を一対の基板搬送コンベア１３ｂ上に降ろすことによって行う（図３参照）。
【００４０】
制御装置２０は基板２の保持を解除したら、基板保持ユニット移動機構１２を作動させて基板保持ユニット１３を水平面内で移動させ、基板搬送コンベア１３ｂの向きを整えたうえで基板搬送コンベア１３ｂ及び基板搬出コンベア１４を作動させ、基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（基板搬出工程。図９に示すステップＳＴ１９）。
【００４１】
制御装置２０は、基板２の搬出を行ったら（或いは基板２の搬出と並行して）、マスククリーナ１８によるマスク１５のクリーニングを行う（マスククリーニング工程。図９に示すステップＳＴ２０）。このマスク１５のクリーニングでは、制御装置２０は先ず、カメラ・クリーナ移動機構１６Ｍの作動制御を行って、ペーパー部材３２のクリーニング部位をマスク１５の下面に接触させる。そして、真空吸引制御バルブ４２の作動制御を行ってノズル３３に真空吸引を行わせながら、マスククリーナ１８をＹ軸方向に移動（図１２中に示す矢印Ｆ）させる。これにより、マスク１５の下面に付着しているペーストＰｔ（ペーストＰｔの残り滓）がペーパー部材３２によって拭き取られ、マスク１５の下面がクリーニングされる。これにより基板２の１枚当たりのスクリーン印刷作業が終了する。
【００４２】
このように、本実施の形態において、マスククリーナ１８は、ペーパー部材３２をマスク１５の下面に押し当てた状態で吸引口３３ａより真空吸引しながらマスク１５の下面に対して相対移動してマスクの下面のクリーニングを行うものとなっている。なお、このマスククリーナ１８によるマスク１５のクリーニングは、スクリーン印刷作業を基板１枚ごとに行うようにしてもよいが、予め定めた所定の枚数ごとに行うようにしてもよい。
【００４３】
上述のように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（マスククリーナ１８）の異常検出方法は、マスククリーナ１８に真空吸引を行わせてマスククリーナ１８の吸引力を計測する吸引力計測工程（ステップＳＴ１及びステップＳＴ６）、吸引力計測工程で計測したマスククリーナ１８の吸引力を予め定めた基準値と比較し（ステップＳＴ２及びステップＳＴ７）、その結果、計測したマスククリーナ１８の吸引力が基準値を下回っていた場合に報知器４５に所定の報知動作を行わせる報知工程（ステップＳＴ４及びステップＳＴ９）を含むものとなっている。
【００４４】
より詳細には、ステップＳＴ１の吸引力計測工程は、マスククリーナ１８の吸引口３３ａをマスク１５に接触させない状態でマスククリーナ１８に真空吸引を行わせてマスククリーナ１８の吸引力（真空管路４１内を通過する空気の流量）を計測し、ステップＳＴ６の吸引力計測工程は、マスククリーナ１８の吸引口３３ａをマスクの下面の開口部１５ｈを含まない領域（非開口部領域Ｒ２）に接触させた状態でマスククリーナ１８に真空吸引を行わせてマスククリーナ１８の吸引力（真空管路４１内の圧力）を計測するものとなっている。
【００４５】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（スクリーン印刷機１の異常検出方法）では、マスククリーナ１８の吸引力を計測してこれを予め定めた基準値と比較し、その結果、計測したマスククリーナ１８の吸引力が基準値を下回っていた場合には報知器４５に所定の報知動作を行わせるようになっているので、オペレータＯＰはマスククリーナ１８に生じた異常状態を的確に把握して適切な対策を講じることができる。これにより吸引力が不十分な状態でマスク１５のクリーニングが行われる事態を防止することができ、基板２の印刷不良の発生が抑制される。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
マスククリーナに生じた異常状態をオペレータが的確に把握して適切な対策を講じることができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機の異常検出方法を提供する。
【符号の説明】
【００４７】
１  スクリーン印刷機
２  基板
２ａ  電極部
１５  マスク
１５ｈ  開口部
１７ｂ  スキージ
１８  マスククリーナ
２０  制御装置（報知制御手段）
３２  ペーパー部材
３３ａ  吸引口
４３  流量計（吸引力計測手段）
４４  圧力計（吸引力計測手段）
４５  報知器
Ｐｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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