(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子を生成する工程と、
前記粒子を含むガスを、配管を介して混合器に移送する工程と、
前記混合器内で前記粒子を含むガスと、当該粒子を含むガスとは別のラインを介して前記混合器内に供給される他のガスとを混合して混合ガスを得る工程と、
前記混合器内の混合ガスをハニカムフィルタの一端面に供給する工程と、
前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガス中の粒子の濃度分布を検出する工程と、を備え、
前記排出されるガスに対して光を照射し、前記排出されるガス中の粒子からの散乱光をカメラで検出することにより前記排出されるガス中の粒子の濃度分布を検出し、
前記カメラの視野内にスケールが配置されている、
ハニカムフィルタの欠陥の検査方法。
【請求項２】
水とドライアイスとの混合により前記粒子を生成する請求項１記載の方法。
【請求項３】
２流体ノズルにより前記粒子を生成する請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記ハニカムフィルタの隔壁は多孔質である請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記混合ガスを得る工程において、前記粒子を含むガスと前記他のガスとの混合比が、前記粒子を含むガスの体積／前記他のガスの体積で表される体積比で０．００１〜９９９である、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記混合ガス中の前記粒子の濃度が０．０００１〜０．０１ｇ／Ｌである、請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法によりハニカムフィルタの欠陥を検査し、欠陥を有さないハニカムフィルタを選別する工程を含む、ハニカムフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハニカムフィルタの欠陥の検査方法、ハニカムフィルタの欠陥の検査装置、及び、ハニカムフィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ディーゼルパティキュレートフィルタ（ＤＰＦ：Ｄｉｅｓｅｌ  ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  ｆｉｌｔｅｒ）として用いられるハニカムフィルタの欠陥検査方法が知られている。例えば、特許文献１には、粒子を含むガス流をハニカムフィルタの入口端面に提供し、このハニカムフィルタの出口端面から出るガス流に光を照射し、粒子を照らすことが開示されている。
【０００３】
そして、特許文献１の図２Ａでは、下部チャンバ４３６内でノズル４１２により粒子を発生させ、下部チャンバ４３６内に上部チャンバ４３４からのガスを供給することにより、ハニカムフィルタ３００に対して粒子含有ガスを供給していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００９−５０３５０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の方法では、欠陥の検出精度が十分では無かった。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、欠陥の検出精度をより向上できる、ハニカムフィルタの欠陥を検査する方法、ハニカムフィルタの欠陥の検査装置、及び、ハニカムフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るハニカムフィルタの欠陥の検査方法の一態様は、
粒子を生成する工程と、
前記粒子を含むガスを、配管を介して混合器に移送する工程と、
前記混合器内で前記粒子を含むガスと他のガスとを混合して混合ガスを得る工程と、
前記混合器内の混合ガスをハニカムフィルタの一端面に供給する工程と、
前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガス中の粒子の濃度分布を検出する工程と、を備える。
【０００８】
本発明に係るハニカムフィルタの欠陥の検査装置の一態様は、
粒子を生成する粒子生成器と、
前記粒子を含むガスを移送する配管と、
前記配管に接続され、前記粒子を含むガス及び他のガスを混合して混合ガスを提供する混合器と、
前記混合器内の混合ガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給路と、
前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガス中の粒子の濃度分布を検出する検出部と、を備える。
【０００９】
本発明によれば、粒子を含むガスを、配管を介して混合器に供給し、その後混合器内において他のガスと混合するので、混合器内で粒子を発生させる場合に比べて、混合を十分に行ないやすく、ハニカムフィルタに供給されるガス中の粒子の濃度をより均一化できる。
【００１０】
ここで、水とドライアイスとの混合により前記粒子を生成することが好ましく、２流体ノズル（気体と液体の２つの流体をノズル内部又は外部で混合して液体微粒子を噴霧するノズル）により前記粒子を生成することも好ましい。
【００１１】
また、前記排出されるガスに対して光を照射し、前記排出されるガス中の粒子からの散乱光をカメラで検出することにより前記排出されるガス中の粒子の濃度分布を検出することも好ましい。さらに、前記カメラの視野内にスケールが配置されていることも好ましい。この場合、カメラの画像中のスケールに基づいて、ハニカムフィルタの何処に欠陥があるかを容易に把握できる。
【００１２】
また、前記ハニカムフィルタの隔壁は多孔質であることが好ましい。
【００１３】
本発明にかかるハニカムフィルタの製造方法の一態様は、上記本発明の欠陥の検査方法によりハニカムフィルタの欠陥を検査し、欠陥を有さないハニカムフィルタを選別する工程を含む。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ハニカムフィルタに到達するガスにおける粒子の濃度をより均一に出来るので、欠陥の検出精度を高められる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１の（ａ）は検査対象となるハニカムフィルタ１００の斜視図、図１の（ｂ）は（ａ）のＩｂ−Ｉｂ矢視図である。
【図２】図２は、ハニカムフィルタ１００の欠陥の検査装置４００の概略断面図である。
【図３】図３は、図２の装置４００のハニカムフィルタ１００周りの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図面を参照して、発明の実施形態について説明する。まず、本実施形態で検査対象となるハニカムフィルタ１００について説明する。このハニカムフィルタ１００は、例えば、ディーゼルパティキュレートフィルタとして用いることのできるものである。
【００１７】
本実施形態において対象となるハニカムフィルタ１００は、図１の（ａ）及び（ｂ）に示すように、互いに平行に伸びる複数の流路１１０を形成する隔壁１１２、及び、複数の流路１１０の内の一部の一端（図１の（ｂ）の左端）、及び、複数の流路１１０の内の残部の他端（図１の（ｂ）の右端）を閉鎖する封口部１１４を有する円柱体である。
【００１８】
ハニカムフィルタ１００の流路１１０が延びる方向の長さは特に限定されないが、例えば、４０〜３５０ｍｍとすることができる。また、ハニカムフィルタ１００の外径も特に限定されないが、例えば、１００〜３２０ｍｍとすることできる。流路１１０の断面のサイズは、例えば、正方形の場合一辺０．８〜２．５ｍｍとすることができる。隔壁１１２の厚みは、０．０５〜０．５ｍｍとすることができる。
【００１９】
ハニカムフィルタ１００の隔壁１１２の材質は、多孔性セラミクス（焼成体）である。セラミクスは特に限定されないが、例えば、アルミナ、シリカ、ムライト、コーディエライト、ガラス、チタン酸アルミニウム等の酸化物、シリコンカーバイド、窒化珪素、金属等が挙げられる。なお、チタン酸アルミニウムは、さらに、マグネシウム及び／又はケイ素を含むことができる。
【００２０】
上述のように、ハニカムフィルタ１００の複数の流路１１０のうちの一部の左端が封口部１１４により封口され、ハニカムフィルタ１００の複数の流路１１０のうちの残部の右端が封口部１１４により封口されている。封口部１１４の材質としては、ハニカムフィルタ１００と同様のセラミクス材料を用いることができる。上述の「複数の流路１１０のうちの一部」と「複数の流路１１０のうちの残部」とは、好ましくは、図１の（ａ）に示すように、端面側から見て行列状に配列された複数の流路の内の、縦方向及び横方向それぞれ１つおきに選択された流路の組合せである。
【００２１】
ハニカムフィルタ１００は、多孔質の隔壁１１２を有することにより、図１の（ｂ）において、流路１１０の左端から供給されたガスは、隔壁１１２を通過して隣の流路１１０に到達し、流路１１０の右端から排出される。このとき、流入したガス中の粒子が、隔壁１１２によって除去されてフィルタとして機能する。
【００２２】
このようなハニカムフィルタ１００は例えば以下のようにして製造することができる。
【００２３】
まず、無機化合物源粉末と、有機バインダと、溶媒と、必要に応じて添加される添加物を用意する。そして、これらを混練機等により混合して原料混合物を得、得られた原料混合物を隔壁の形状に対応する出口開口を有する押出機から押し出し、所望の長さに切断後、公知の方法で乾燥することにより、グリーンハニカム成形体を得る。そして、グリーンハニカム成形体の流路の端部を公知の方法によって封口材で封口してから焼成する、または、グリーンハニカム成形体を焼成してから公知の方法によって流路の端部を封口すればよい。
【００２４】
ここで、グリーンハニカム成形体が、例えば、チタン酸アルミニウムのグリーンハニカム成形体である場合、無機化合物源粉末は、αアルミナ粉等のアルミニウム源粉末、及び、アナターゼ型やルチル型のチタニア粉末等のチタニウム源粉末を含み、必要に応じて、さらに、マグネシア粉末やマグネシアスピネル粉末等のマグネシウム源粉末及び／又は、酸化ケイ素粉末やガラスフリット等のケイ素源粉末を含むことができる。
【００２５】
有機バインダとしては、メチルセルロース、カルボキシルメチルセルロース、ヒドロキシアルキルメチルセルロース、ナトリウムカルボキシルメチルセルロースなどのセルロース類；ポリビニルアルコールなどのアルコール類；リグニンスルホン酸塩を例示できる。有機バインダの量は、無機化合物源粉末の１００重量部に対して、２０重量部以下であることが好ましく、より好ましくは１５重量部以下、さらに好ましくは６重量部である。また、有機バインダの下限量は、０．１重量部であることが好ましく、より好ましくは３重量部である。
【００２６】
添加物としては、例えば、造孔剤、潤滑剤および可塑剤、分散剤、溶媒が挙げられる。
【００２７】
造孔剤としては、グラファイト等の炭素材；ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメタクリル酸メチル等の樹脂類；でんぷん、ナッツ殻、クルミ殻、コーンなどの植物材料；氷；およびドライアイス等などが挙げられる。造孔剤の添加量は、無機化合物源粉末の１００重量部に対して、０〜４０重量部であることが好ましく、より好ましくは０〜２５重量部である。
【００２８】
潤滑剤および可塑剤としては、グリセリンなどのアルコール類；カプリル酸、ラウリン酸、パルミチン酸、アラキジン酸、オレイン酸、ステアリン酸などの高級脂肪酸；ステアリン酸Ａｌなどのステアリン酸金属塩；ポリオキシアルキレンアルキルエーテルなどが挙げられる。潤滑剤及び可塑剤の添加量は、無機化合物源粉末の１００重量部に対して、０〜１０重量部であることが好ましく、より好ましくは０．１〜５重量部である。
【００２９】
分散剤としては、たとえば、硝酸、塩酸、硫酸などの無機酸；シュウ酸、クエン酸、酢酸、リンゴ酸、乳酸などの有機酸；メタノール、エタノール、プロパノールなどのアルコール類；ポリカルボン酸アンモニウムなどの界面活性剤などが挙げられる。分散剤の添加量は、無機化合物源粉末の１００重量部に対して、０〜２０重量部であることが好ましく、より好ましくは２〜８重量部である。
【００３０】
溶媒としては、たとえば、メタノール、エタノール、ブタノール、プロパノールなどのアルコール類；プロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、エチレングリコールなどのグリコール類；および水などを用いることができる。溶媒の使用量は、無機化合物源粉末の１００重量部に対して、１０重量部〜１００重量部であることが好ましく、より好ましくは２０重量部〜８０重量部である。また、グリーンハニカム成形体全体の重量に対する溶媒の重量は特に限定されないが、１０〜３０重量％が好ましく、１５〜２０重量％がより好ましい。
【００３１】
続いて、図２及び図３を参照して、ハニカムフィルタ１００の検査装置の一実施形態について説明する。
【００３２】
この検査装置４００は、ミスト（粒子）Ｐを含むガスを生成する２流体ノズル（粒子生成器）２０と、２流体ノズル２０により生成されたミストを含むガスを移送する配管３０、配管３０に接続されてミストを含むガス及び他のガスを混合して混合ガスを提供する混合器４０、混合器４０から供給される混合ガスをハニカムフィルタ１００の複数の流路１１０の一端（図２の下端）に導くミスト供給路５６と、粒子濃度検出部２００と、を備える。ここで、ミストとは、気体中に分散した液体の微粒子を意味し、２流体ノズル２０により、気体と液体の２つの流体をノズル内部又は外部で混合することで生成される。
【００３３】
２流体ノズル２０は、タンク１０から供給される液体を、ポンプ１２を介して受け入れると共に、ガス源１４から供給されるガス、例えば、空気をバルブＶ１及びラインＬ２を介して受け入れ、ミストを含むガスを生成する。２流体ノズルの形態は特に限定されない。また、ミストの径は特に限定されないが、例えば、０．１〜１０μｍ程度とすることができる。
【００３４】
液体としては、検査後の除去の容易さを考えると、揮発性の液体が好ましく、特に、水が好ましい。
【００３５】
配管３０は、２流体ノズル２０によって生成されたミストを含むガスを混合器４０に供給する。配管３０の径は特に限定されないが、２０〜１００ｍｍとすることができる。また、配管３０の長さは特に限定されないが、２流体ノズル２０によって生成されたミストが移動する距離が１０〜１０００ｍｍであることが好ましい。
【００３６】
混合器４０は、配管３０から供給されるミスト及びガス源２４から供給される他のガスを十分混合するためのものである。混合器４０の形状は特に限定されないが、例えば、容器内に、他のガスを高い速度（例えば、１〜１０ｍ／ｓ）で流入させる形式のものや、容器内に攪拌翼を有するもの、スタティックミキサーのように容器内に設けた内装物により流れの乱れを起こすものなど種々のものが利用できる。
【００３７】
混合器４０には、ガス源２４から、他のガス（例えば、空気）を、バルブＶ２を介して供給する。混合後の混合ガス中のミスト濃度は、０．０００１〜０．０１ｇ／Ｌが好ましい。なお、混合器４０にて混合する前のミストを含むガス中のミスト濃度は、好ましくは０．０００１〜５０ｇ／Ｌであり、より好ましくは０．０００１〜５ｇ／Ｌである。混合後の混合ガス中のミスト濃度と、混合前のミストを含むガス中のミスト濃度との比（混合後の混合ガス中のミスト濃度／混合前のミストを含むガス中のミスト濃度）は、好ましくは０．００１〜０．９９９であり、より好ましくは０．００２〜０．９９である。また、混合前のミストを含むガスと、他のガスとの混合比（供給量の比）は、体積比（ミストを含むガスの体積／他のガスの体積）で、好ましくは０．００１〜９９９であり、より好ましくは０．００２〜４９９である。
【００３８】
ミスト供給路５６は、混合器４０に接続された配管５４、配管５４の先端に接続されたフィルタ接続部５３を有している。フィルタ接続部５３は、ハニカムフィルタ１００の軸方向（複数の流路１１０の軸方向）の一端部（図２では下端部）を外側から包囲してシールする筒状シール部５１と、複数の流路１１０の下端１１０ｂと対向する部分に逆円錐状の空間Ｖを形成する空間形成部５２とを有する。ハニカムフィルタ１００に対して供給する混合ガスの流量は特に限定されないが、例えば、１００〜５００Ｌ／ｍｉｎとすることができる。
【００３９】
ガス供給源１４，２４のガスは特に限定されないが、経済性の点で、空気が好ましい。ガス供給源１４，２４のガスは互いに同一でもよいが異なっていてもよい。
【００４０】
また、ガス供給源１４，２４のガスの温度は０〜５０℃であることが好ましく、０〜３０℃であることがより好ましい。
【００４１】
図２に示す粒子濃度検出部２００は、レーザーシートＬＳを発生させるレーザ光源２１０、レーザーシートＬＳを撮影するカメラ２２０、カメラ２２０が取得した画像を解析するコンピュータ２３０、カメラ２２０が取得する視野内に入る位置に設けられるスケール２６０Ａ，２６０Ｂを備える。
【００４２】
本実施形態では、レーザーシートＬＳは、図２に示すように、ハニカムフィルタ１００の複数の流路１１０が伸びるＺ方向に垂直な方向であるＸＹ平面に平行に照射され、カメラ２２０は、レーザーシートＬＳに対して垂直な方向（Ｚ方向）から、レーザーシートＬＳの内の、ハニカムフィルタ１１０の上端面１１０ｔとの対向部を撮影する。
【００４３】
カメラ２２０が撮影する画像の視野ＦＶを図３に示す。視野ＦＶ内には、スケール２６０Ａ、２６０Ｂが配置されている。スケール２６０Ａ，２６０Ｂは、それぞれ、Ｙ方向、Ｘ方向に延びており、それぞれ、ハニカムフィルタ１００の複数の流路１１０の中心軸に対応する位置にマーク２６１を有する。
【００４４】
図２に戻って、コンピュータ２３０は、カメラ２２０が撮影した画像を画像解析し、粒子が排出されている部分を検出する。例えば、画像から所定のしきい値に比べて明るい部分を抽出し、この部分を粒子が排出された場所とすればよい。コンピュータは、必要に応じて、この部分の座標を取得し、出力する。
【００４５】
続いて、上述の検査装置４００を使用したハニカムフィルタ１００の検査方法について説明する。
【００４６】
ここでは、一例として、図２に示すように、ハニカムフィルタ１００の隔壁１１２には、欠陥として、上端が封口された流路１１０ｘと、下端が封口された流路１１０ｙとを連通させる孔ｈがあるものとする。ここで、図３に示すように、流路１１０ｘは、スケール２６０Ｂにおいて一番左側のマーク２６１の位置にあり、かつ、スケール２６０Ａにおいて下から３番目のマーク２６１の位置にある。一方、流路１１０ｙは、スケール２６０Ｂにおいて左から２番目のマーク２６１の位置にあり、スケール２６０Ａにおいて下から３番目のマーク２６１の位置にあるものとする。
【００４７】
図２に戻って、まず、フィルタ接続部５３をハニカムフィルタ１００の下部に装着する。そして、バルブＶ１を開放すると共に、ポンプＰ１２を駆動して、２流体ノズル２０から、ミストを含むガスを発生させる（粒子を生成する工程）。発生したミストを含むガスは、配管３０を介して混合器４０に供給される（移送工程）。続いて、バルブＶ２を調節して、ガス源２４からのガスを、ラインＬ３を介して混合器４０に供給する。これにより、混合器４０内で、配管３０からのミストを含むガスと、ラインＬ３からのガスとが混合し、ミストの濃度の均一性の高い混合ガスが得られる（混合工程）。そして、この混合ガスは、ミスト供給路５６を介してハニカムフィルタ１００に供給される（供給工程）。これにより、ハニカムフィルタ１００の複数の流路１１０の上端１１０ｔからガスが流出する。このとき、ハニカムフィルタ１００の複数の流路１１０の上端１１０ｔの近傍においては、雰囲気ガスの流れが殆ど無い状態、例えば、流速１ｍ／ｓ以下としておくことが好ましい。また、実験の容易さから、雰囲気ガスの温度は０〜３０℃であることが好ましい。雰囲気ガスは空気であることが好ましい。
【００４８】
そして、流路１１０間に図２に示すような孔ｈが存在する場合、流路１１０ｘ、孔ｈ、及び、流路１１０ｙによって複数の流路１１０の上端１１０ｔと下端１１０ｂとを結ぶ流路が形成されるため、矢印Ｇに示すように、当該欠陥がある流路１１０ｙの上端から、ミストを含む混合ガスが他の流路１１０に比べて高い流量や流速で集中的に流出する。封口部１１４が欠落している場合や、封口部１１４と流路１１０との間に隙間が生じている等の欠陥がある場合も同様にミストを含む混合ガスが集中的に流出する。したがって、このような流路１１０ｙの上方では、他の部分と比べて、ミストの濃度が相対的に高くなる。
【００４９】
そして、ハニカムフィルタ１００の上端から流出するガスにミストの濃度の不均一がある場合、この濃度の高い部分がレーザーシートＬＳを通過する際にレーザ光を強く散乱し、カメラ２２０が撮影する画像において相対的に明るい部分となって現れる。この明るい部分の有無により、粒子の濃度のムラを検出できる（粒子濃度分布検出工程）。
【００５０】
そして、図３に示すように、画像の視野ＦＶにおいて、例えば、スケール２６０Ａの下から３番目のマーク２６１の上でかつ、スケール２６０Ｂの左から２番目のマーク２６１の上に明るい点が生じた場合には、座標（３、２）というデータを得ることができ、これにより欠陥場所の特定が容易である。
【００５１】
なお、流路１１０間を連通する等の欠陥が無い場合には、図２の矢印Ｈに示すように、混合ガスは多孔体である隔壁１１２をそれぞれ通過して上端出口から流出する。この際、混合ガス中のミストは、ミストの径や隔壁１１２の空孔のサイズ等に応じて、全部捕集されたり、一部が捕集されたり、まったく捕集されない場合があるが、いずれにしても、各流路１１０の上端から流出するガスの流速や流量は互いにほぼ均一であり、したがって、流路１１０の上端１１０の上でミストの濃度の不均一は起こりにくい。
【００５２】
本発明によれば、流路１１０から流出するガス中の粒子の濃度分布を検出することにより、流路の欠陥の有無や場所を容易に検出できる。
【００５３】
特に、本実施形態では、ミストを含むガスを、配管３０を介して混合器４０に供給し、その後混合器４０内において他のガスと混合するので、混合器４０内でミストを発生させる場合に比べて、ガス中でのミストの混合を十分に行ないやすく、ハニカムフィルタ１００に供給されるガス中のミストの濃度をより均一化できる。このため、以下に説明するような不具合が減少し、流路の欠陥の有無を高精度に検出できる。例えば、ハニカムフィルタ１００に供給されるガス中のミストの濃度が不均一であると、流路に欠陥が無いのにもかかわらず、ハニカムフィルタ１００を通過して排出されるガス中に、供給ガス中のミスト濃度ムラに基づくミスト濃度のムラが生じる場合がある。この場合、このムラに基づいて、欠陥があると誤認する可能性がある。また、流路に欠陥があるにもかかわらず、供給ガス中のミスト濃度のムラによって当該欠陥からミストが出にくくなる場合もあり、この場合は、欠陥があるにもかかわらず欠陥が無いと誤認する場合がある。
【００５４】
なお、本装置からは、ミストを含むガスが排出されるため、これらのガスを捕集して、外部に排気する排気手段を設けることが好ましい。
【００５５】
また、ハニカムフィルタを製造するに際し、その製造過程で、上述した検査方法によりハニカムフィルタの欠陥を検査し、欠陥を有さないハニカムフィルタを選別する工程を行うことにより、欠陥を有さないハニカムフィルタを選択的に得ることができる。
【００５６】
本発明は上記実施形態に限定されずさまざまな変形態様が可能である。例えば、上記実施形態では、ミストの生成方法として２流体ノズルを採用しているがこれに限られず、例えば、他のノズルを使用してもよいし、また、水とドライアイスとを混合することによりミストを生成してもよく、グリコール系アルコール（例えば、プロピレングリコール）のミストを使用してもよい。また、例えば、４流体ノズルやネブライザー等を用いてミストを生成してもよい。４流体ノズルとは、２つの液体流路と２つの気体流路とを有するノズルであり、ノズルエッジ先端の衝突焦点で２つの液体流路と２つの気体流路から出た流体を衝突させることで、微粒化した液滴を生成するものである。４流体ノズルを用いることにより数ミクロンの液滴の大量噴霧が可能となる。なお、エッジノズル（４流体ノズル）の種類としては、特に限定されないが、例えば、ストレートエッジノズルやサークルエッジノズルが挙げられる。また、ネブライザーの種類としては、特に限定されないが、圧縮空気でミストを作るジェット式、超音波でミストを発生させる超音波式およびメッシュ式等が挙げられる。また、上記実施形態では、粒子としてミスト、すなわち、液体の粒子を採用しているがこれに限定されず、カーボンブラック等の固体粒子を用いても実施は可能である。
【００５７】
また、レーザーシートの方向や、カメラの方向も、上記実施形態の態様に限定されるものではない。
【００５８】
また、視野ＦＶ内にスケール２６０Ａ、２６０Ｂを配置しなくてもよい。例えば、流路１１０の数が少ない場合のように、スケール２６０Ａ、２６０Ｂを配置しなくても欠陥場所の特定が容易に可能である場合や、欠陥の有無のみを確認する場合のように、欠陥場所の特定が不要な場合等には、スケール２６０Ａ、２６０Ｂを用いなくてもよい。
【００５９】
また、上記実施形態では、粒子の濃度分布の検出方法として、粒子に光をあてることにより生ずる散乱光を検出しているが、これに限られず、例えば、粒子に超音波を当てることにより生ずる反射波等を検出してもよい。
【００６０】
また、上記実施形態では、雰囲気ガスが空気であるが、他のガスを雰囲気ガスとしてもよいことは言うまでも無い。
【００６１】
また、上記実施形態では、ハニカムフィルタ１００の流路１１０が上下方向に配置されているが、水平方向等、いずれの方向を向いても実施可能である。
【００６２】
また、上記実施形態では、流路１１０の断面形状は、略正方形であるがこれに限定されず、矩形、円形、楕円形、３角形、６角形、８角形等にすることができる。また、流路１１０には、径の異なるもの、断面形状の異なるものが混在してもよい。また、流路の配置も、図１では正方形配置であるが、これに限定されず、断面において流路の中心軸が正三角形の頂点に配置される正三角形配置、千鳥配置等にすることができる。さらに、ハニカムフィルタの外形も、円柱に限られず、例えば３角柱、４角柱、６角柱、８角柱等とすることができる。
【００６３】
また、上記実施形態では、ハニカムフィルタは、隔壁が多孔質である焼成体であるが、焼成前であり非多孔質のグリーン体でも実施は可能である。この場合、欠陥の無い流路からのガスの流出は無い。
【００６４】
また、上記実施形態では、カメラ２２０により得られた画像に基づいて、コンピュータによって、粒子の有無を判断しているが、人手によって明るい点の有無や位置を判断してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
以上説明したとおり、本発明によれば、欠陥の検出精度をより向上できる、ハニカムフィルタの欠陥を検査する方法、ハニカムフィルタの欠陥の検査装置、及び、ハニカムフィルタの製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【００６６】
２０…粒子生成器、３０…配管、４０…混合器、５３…フィルタ接続部、５６…供給路、１００…ハニカムフィルタ、１１０…流路、１１０ｔ…流路の上端（一端）、１１０ｂ…流路の下端（他端）、１１２…隔壁、１１４…封口部、２００…検出部、２６０Ａ，Ｂ…スケール、４００…検査装置、Ｐ…ミスト（粒子）。
【図１】
0005939750.tif 000002
【図２】
0005939750.tif 000003
【図３】
0005939750.tif 000004