(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気又は不活性ガスからなる乾燥用キャリアガスを、その温度・湿度を測定すると共にフィルターを介して熱交換器に導入して予備加熱した後、乾燥施設に導入して加熱し、別途乾燥施設に導入した、水より沸点が高く水に溶解する揮発性有機化合物を含む被乾燥物を蒸発乾燥させ、揮発性有機化合物を含む排ガスとして排出し、該排ガスを熱交換器に導入して乾燥用キャリアガスの温度と湿度で決まる露点以上の温度とした後、水を吸収媒体として揮発性有機化合物を液化し濃縮して回収することを特徴とする揮発性有機化合物含有ガスの浄化・揮発性有機化合物の回収・濃縮方法。
【請求項２】
前記吸収媒体として用いる水の供給制御を、揮発性有機化合物を液化し濃縮して回収する回収液の濃度と液面の計測により行うことを特徴とする請求項１に記載の揮発性有機化合物含有ガスの浄化・揮発性有機化合物の回収・濃縮方法。
【請求項３】
空気又は不活性ガスからなる乾燥用キャリアガスを、フィルターを介して熱交換部に導入し予備加熱した後、乾燥施設に導入する手段、前記熱交換部よりも前段部に設けられた乾燥用キャリアガスの温度・湿度の測定手段、乾燥施設に水より沸点が高く水に溶解する揮発性有機化合物を含む被乾燥物を導入する手段、乾燥施設から揮発性有機化合物を含む排ガスを、熱交換部を介して乾燥用キャリアガスの温度と湿度で決まる露点以上の温度で濃縮・回収部に導入する手段、濃縮・回収部に設けられた、揮発性有機化合物の吸収媒体（水）の供給手段と浄化ガス排出手段と揮発性有機化合物含有処理液を貯留部に貯留する手段、貯留した前記処理液を濃縮・回収部に循環供給する手段、および貯留部に設けられた液面測定手段と前記処理液中の揮発性有機化合物の濃度測定手段と揮発性有機化合物を回収濃縮液として系外に排出するための排出手段、を備えたことを特徴とする揮発性有機化合物含有ガスの浄化・揮発性有機化合物の回収・濃縮装置。
【請求項４】
前記濃縮・回収部の上部に、吸収媒体として用いる水を散布する手段を設けることを特徴とする請求項３に記載の揮発性有機化合物含有ガスの浄化・揮発性有機化合物の回収・濃縮装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排ガスの持つ熱エネルギーを最大限に有効利用することができる揮発性有機化合物含有ガスの浄化・揮発性有機化合物の回収・濃縮方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
２００６年４月、改正大気汚染防止法に基づく揮発性有機化合物の排出規制が施行され、排ガスに含有する揮発性有機化合物の排出基準が定められている。現時点では殆どの場合、送風機または排風機の風量が一定量以上の場合に適用されることとなったが、より一層の自主的な削減努力が求められることは必然であり、また有限な資源を有効に活用する面からもその再利用については今後の技術開発の大きな課題の一つとなっている。
【０００３】
現在では、熱風乾燥機などから排出される揮発性有機化合物を含有する排ガスを浄化し、この揮発性有機化合物を回収・再利用する方法として一般的に採用されている手法は、冷却法、あるいは冷却法と吸着法とを組み合わせたものが殆どである（例えば、特許文献１、特許文献２および特許文献３を参照）。
揮発性有機化合物の一例としてＮ−メチル−２−ピロリドン（以下ＮＭＰという）を挙げて説明すると、その方法は、排ガスを最初に冷却して、凝縮できるだけのＮＭＰを液化回収し、液化しきれないＮＭＰは、吸着法により吸着除去する。吸着したＮＭＰは高温少量のガスで熱を与えて脱着させ、濃縮したガスを更に冷却して回収率を高めるというものある。
上記の方法では、外部から冷熱、温熱エネルギーを与えるものであり、エネルギーを有効利用するために熱交換器を駆使してエネルギーの使用量を削減している。しかしながら、特に、排ガスの元となるキャリアガスは、大気からフィルターを通した清浄空気を使うことがほとんどであり、その清浄空気を乾燥用ガスとして加温するエネルギーは、非常に大きなものとなる。
空気の比熱が０．２４ｋｃａｌ／ｋｇ・℃、加温しなければいけない温度を１００℃、大気空気の比重を１．２８ｋｇ／Ｎｍ３、大気空気の温度を２０℃、乾燥用ガスの流量を２４０Ｎｍ３／ｍｉｎとする。その場合、２４０Ｎｍ３／ｍｉｎ×６０ｍｉｎ／ｈｒ×１．２８ｋｇ／Ｎｍ３×０．２４ｋｃａｌ／ｋｇ・℃×（１００℃−２０℃）＝３５３８９４ｋｃａｌの熱が必要となる。これは、電力換算では、４１２ｋｗ以上、スチーム換算では、６５５ｋｇ／ｈｒ以上（水の蒸発潜熱を５４０ｋｃａｌ／ｋｇとした場合)に相当するものである。
この冷却法と吸着法を組み合わせた方法では、必要なエネルギーを削減する観点では、ガスの冷却に清浄空気との熱交換を実施し、第一予備加熱を実施、脱着後の濃縮ガスの温度を下げるために、第一予備加熱後の空気と熱交換し第二予備加熱を実施することで、清浄空気を加温するためのエネルギーの節減化を達成している。
【０００４】
また、出願人の開発にかかる手法で、水により排ガス中の揮発性有機化合物を吸収させ、熱エネルギーで吸収した水溶液の水分を蒸発することで回収した液を濃縮する方法および装置（特許文献４参照）がある。この方法および装置では、排ガス中の揮発性有機化合物の回収率は９９％以上であり、最大の特徴として、４５℃以上の排ガスの持つ熱エネルギー以外に、外部からエネルギーを与えなくても、液化した揮発性有機化合物を濃縮することができることであり、揮発性有機化合物がＮＭＰの場合では、その８０ｗｔ％以上まで濃縮して、濃縮液として回収している。〔なお、８０ｗｔ％以上の８０という数値については、再生するためのコストの関係より、蒸留精製である場合、必ず回収液から水分を除去する工程が必要となるが、８０ｗｔ％以上の濃縮液であれば、水分除去に必要な付加的なコスト（エネルギー）に大きな差がないということ、そして８５ｗｔ％以下（水分が１５ｗｔ％以上）であれば引火点がなくなり、非危険物として扱うことが出来るため安全性も高いことなどで、８０ｗｔ％という数値が通常採用されている。〕。しかしながら、この先行特許にかかるガス回収方法（装置）は、排ガスの熱エネルギーしか使わないというのが最大の特徴であったが、その熱エネルギーには下限があり、特許文献４中にも記載されているように、「４５℃以上の排ガスを対象とし、排ガスが４５℃未満の場合は外部から熱エネルギーを与えなければならない」というものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３８１４４号公報
【特許文献２】特開２００７−４４５９５号公報
【特許文献３】特開２００７−８３２３８号公報
【特許文献４】特開２００８−１１４２０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本出願人に係る前記先行特許では、上記したように、水吸収法による排ガス回収・濃縮方法を提案したが、この提案では、排ガス温度が４５℃未満である場合には熱エネルギーを追加する必要があり、他方、少量の水で効率よく気液接触を行うためには装置が過大になる等の問題点があった。また、その他の前記先行特許では、排ガスの熱エネルギー以外に外部からの熱エネルギーを必要とするため、エネルギーの削減には限界があった。
そこで本発明では、これらの問題点を解消すべく鋭意研究の結果、少量の水の使用でも、元々排出される排ガス温度よりも低い温度で排ガスを浄化すると共に濃縮も可能とし、ポンプ、ブロアー等の動力に用いられるエネルギー以外のエネルギーを使用しない浄化・回収・濃縮方法の提供を目的とする。例えば、４５℃未満の排ガスの場合、スチーム等により外部から熱エネルギーを補助する必要があったが、本発明のシステムでは、乾燥用に吸気する空気の温度のみで、必要な排ガス温度を決定することが可能であり、冬場等の吸気する空気の温度が低い場合でも、また夏場等の吸気する温度が高い場合でも、排ガス温度が吸気の温度より高ければ、余剰の熱を他に有効利用できるため更なる省エネルギー化を達成できる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１は、空気又は不活性ガスからなる乾燥用キャリアガスを、その温度・湿度を測定すると共にフィルターを介して熱交換器に導入して予備加熱した後、乾燥施設に導入して加熱し、別途乾燥施設に導入した、水より沸点が高く水に溶解する揮発性有機化合物を含む被乾燥物を蒸発乾燥させ、揮発性有機化合物を含む排ガスとして排出し、該排ガスを熱交換器に導入して乾燥用キャリアガスの温度と湿度で決まる露点以上の温度とした後、水を吸収媒体として揮発性有機化合物を液化し濃縮して回収することを特徴とする揮発性有機化合物含有ガスの浄化・揮発性有機化合物の回収・濃縮方法に関する。
本発明の第２は、前記吸収媒体として用いる水の供給制御を、揮発性有機化合物を液化し濃縮して回収する回収液の濃度と液面の計測により行うことを特徴とする請求項１に記載の揮発性有機化合物含有ガスの浄化・揮発性有機化合物の回収・濃縮方法に関する。
本発明の第３は、空気又は不活性ガスからなる乾燥用キャリアガスを、フィルターを介して熱交換部に導入し予備加熱した後、乾燥施設に導入する手段、前記熱交換部よりも前段部に設けられた乾燥用キャリアガスの温度・湿度の測定手段、乾燥施設に水より沸点が高く水に溶解する揮発性有機化合物を含む被乾燥物を導入する手段、乾燥施設から揮発性有機化合物を含む排ガスを、熱交換部を介して乾燥用キャリアガスの温度と湿度で決まる露点以上の温度で濃縮・回収部に導入する手段、濃縮・回収部に設けられた、揮発性有機化合物の吸収媒体（水）の供給手段と浄化ガス排出手段と揮発性有機化合物含有処理液を貯留部に貯留する手段、貯留した前記処理液を濃縮・回収部に循環供給する手段、および貯留部に設けられた液面測定手段と前記処理液中の揮発性有機化合物の濃度測定手段と揮発性有機化合物を回収濃縮液として系外に排出するための排出手段、を備えたことを特徴とする揮発性有機化合物含有ガスの浄化・揮発性有機化合物の回収・濃縮装置に関する。
本発明の第４は、前記濃縮・回収部の上部に、吸収媒体として用いる水を散布する手段を設けることを特徴とする請求項３に記載の揮発性有機化合物含有ガスの浄化・揮発性有機化合物の回収・濃縮装置に関する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、以下の効果が達成できる。
（１）回収した液は水分を含むが、回収液中の水分値は任意に調整できる。蒸留再生の視点からの場合には８０ｗｔ％以上揮発性有機化合物を含んでいることが望ましい。
（２）吸収するための装置を多段で設けることにより浄化後のガス濃度は０．１×１０−４ｖｏｌ％未満にすることができる。
（３）水の供給量の調整法以外は多段の気液接触装置と同じであり、単純な機構で構成できる。対象となる揮発性有機化合物の種類、回収率（浄化率）、濃縮率の目標値に応じて、必要な段数を自由に増減することができる。
（４）元々排出される排ガス温度よりも低い温度で、排ガスを浄化すると共に濃縮も可能である他、ポンプ、ブロアー等の動力以外のエネルギーを使用しないため、必要とする排ガスエネルギーの余剰分は、乾燥用キャリアガスとして吸気するガスの予備加熱等に利用することができる。
（５）装置の全体構成が、縦型、横型と設置場所に応じて任意に設計することができる。
（６）縦型の場合、特開２００４−２３０２６５および／または特開２００８−１１４２０３に記載されている方法・装置を利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明のプロセスフローの概略図。
【図２】本発明の、プレート式熱交換器を使用したときのフロー図。
【図３】本発明の、熱媒体を介したプレートフィン式熱交換器を使用したときのフロー図。
【図４】本発明の、塔型の装置を使用して浄化・濃縮操作を行うときのフロー図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明についての基本的な要件について説明する。
本発明の揮発性有機化合物の浄化方法は、水による吸収法であり、したがって、対象とする揮発性有機化合物は水より沸点が高く水に溶解する化合物であることが前提となる。このような揮発性有機化合物としては、ＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）、ＮＥＰ（Ｎ−エチル−２−ピロリドン）、ＤＭＦ（Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド）、ＤＭＡｃ（Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ＥＧ（エチレングリコール）、ＤＥＧ（ジエチレングリコール）、ＴＥＧ（トリエチレングリコール）、ＰＧ（プロピレングリコール）、ＢＤＧ（ブチルジグリコール）、１，４−ＢＤ（１，４−ブタンジオール）、ＭＥＡ（モノエタノールアミン）、ＤＧＭＥ（ジエチレングリコールモノメチルエーテル）よりなる群から選ばれた溶剤が挙げられる。
特に、このような揮発性有機化合物含有ガスが発生する乾燥施設としては、リチウムイオン２次電池の製造工程の一部である乾燥施設（ＮＭＰ、ＮＥＰが対象）、乾式合成樹脂製造工程の一部である乾燥施設（ＤＭＦ、ＤＭＡｃが対象）、液晶製造工程の一部である施設（ＢＤＧ、ＭＥＡ、ＤＭＳＯが対象）、その他のポリマー（樹脂）の乾燥施設等々があり、本発明はこのような施設での利用が好適である。
【００１１】
本発明のプロセスフローを図１に基づいて説明する。「乾燥用元ガス」として吸気する外気は、フィルターを介して熱交換器に導入され、予備加熱された後、「乾燥用キャリアガス」として乾燥施設に導入される。乾燥施設には別途、水より沸点が高く水に溶解する揮発性有機化合物を含む被乾燥物が導入され、該被乾燥物は蒸発乾燥させた後、揮発性有機化合物を含む「排ガス」として排出される。この排ガスは熱交換器を介して排ガス浄化・回収・濃縮装置に導入され、水を吸収媒体として、「浄化ガス」および揮発性有機化合物を含む「回収液」が得られる。なお、図１中の「乾燥用元ガス」→「乾燥用キャリアガス」→「排ガス」→「浄化ガス」の流れにおいて、該ガスは、その通過・経由した場所によって温度や組成、濃度が変わるため、このような呼称で表現している。
本発明のプロセスにおいて、「乾燥用キャリアガスの温度と湿度で決まる露点」は、元となる吸気する空気の温度と湿度が分かれば、水蒸気圧の計算式から空気中に含まれている水分値が算出でき、該水分値が分かれば、その空気をどこまで冷やしていくと水分が露出するかも、水蒸気圧の計算式から算出できる。例えば、飽和水蒸気圧を計算する式Ａがあるとして、式Ａで必要な変数は、温度Ｔと湿度Ｒ％であり、Ａ（Ｔ）×Ｒ％でそのときの蒸気圧が算出できる。一方、その露点Ｔ′を決定するには、Ａ（Ｔ）×Ｒ％で算出した蒸気圧＝Ａ（Ｔ′）となるＴ′を見つければ良く、露点の算出が可能である。
湿球温度は、通風のある水で湿った（あるいは氷で覆われた）表面において、純粋に蒸発のみによる冷却によって達成されうる最低の温度のことである。相対湿度１００％に達していない空気の場合、湿球温度は、乾球温度（気温計）よりも低く、露点は、湿球温度よりも低くなる。湿球温度を推算する式もあり、空気が持つ水蒸気圧と空気（本ケースの場合、排ガス）の温度が分かれば湿球温度も計算できる。
上記フィルターには、微粒子除去フィルター、塩害防止フィルター等があり、一般に市販されているもので十分である。
上記熱交換器には、プレートフィン式熱交換器、エロフィン式熱交換器、プレート式熱交換器、多管式熱交換器等、ガスの加温、冷却、熱交換に使用可能な全ての熱交換器が使用できる。特に好ましいのは、プレート式熱交換器である。
また、上記排ガス浄化・濃縮装置としては、多段式の水吸収式浄化装置が使用できる。多段式の水吸収式浄化装置の形状は、本発明の実施例で示すような横型でも、前述した特開２００４−２３０２６５号公報や特開２００８−１１４２０３号公報に記載されている塔型でもよい。
【実施例】
【００１２】
以下、実施例を示して本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
【００１３】
実施例１
本発明のプロセスについて図２のフローに基づき更に詳細に説明する。本実施例においては揮発性有機化合物がＮＭＰである場合について説明する。
大気中の空気は、微粒子除去フィルター、塩害防止用フィルターを介して送風機に取り込まれ、プレート式熱交換器で予備加熱された後、乾燥用キャリアガスとして乾燥施設に導入される。乾燥施設には別途ＮＭＰ含有ガスが導入され、乾燥用キャリアガスとともに加熱されてＮＭＰが蒸発し、ＮＭＰ含有排ガスとして排出される。
本実施例では、ガス流量２００ｋｇ／ｍｉｎ（１５５Ｎｍ３／ｍｉｎ）、乾燥施設からの排出直後の排ガス温度１００℃、排ガス中のＮＭＰ濃度０．１ｖｏｌ％、元となる大気中の空気の温度２０℃、相対湿度６０％Ｒｈ、プレート式熱交換器の伝熱面積２００ｍ２、熱交換器の総括伝熱係数５０ｋｃａｌ／（ｍ２・℃・ｈ）とする。なお、本実施例では、熱交換器の伝熱面積を２００ｍ２以上にしても熱交換の温度差は大きく変化しないこと、２００ｍ２以上の熱交換器になると製作コストが上がり、熱交換器の寸法も大きくなってしまうことから、温度差、コスト、寸法を考慮して伝熱面積を２００ｍ２とした。
【表１】
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伝熱面積２００ｍ２の熱交換器を使用することにより、２０℃の空気と１００℃の排ガスが熱交換され、排ガスは３８℃まで下がり、２０℃の空気は排ガスと同量であるため２０℃＋（１００℃−３８℃）＝８２℃まで予備加熱できた。２００ｋｇ／ｍｉｎのガスを１００℃まで加温するためのエネルギーは、２００ｋｇ／ｍｉｎ×（１００℃−２０℃）×０．２４ｋｃａｌ／（ｋｇ・℃）×６０ｍｉｎ／ｈｒ＝２３０４００ｋｃａｌ／ｈｒであり、８２℃の空気を１００℃まで加温するためのエネルギーは、２００ｋｇ／ｍｉｎ×（１００℃−８２℃）×０．２４ｋｃａｌ／（ｋｇ・℃）×６０ｍｉｎ／ｈｒ＝５１８４０ｋｃａｌ／ｈｒであるため、（１−５１８４０／２３０４００）×１００＝７７．５％のエネルギーを削減できた。この３８℃まで下がった排ガスをガス浄化・回収・濃縮装置に導入する。
吸収媒体として水を使用しているので、吸収した後のＮＭＰを濃縮するためには、水分を蒸発させないといけない。元の大気中の空気の温度と湿度を考慮すると、本排ガスには１．４ｖｏｌ％の水分しか含まれておらず、この水分値と３８℃という温度から、理論的には、その条件の湿球温度である２１．２℃、相対湿度１００％Ｒｈという条件で浄化ガスを排出することが出来る。そのときの浄化ガスの水分含有率は２．４８ｖｏｌ％であり、十分に水を蒸発させることが可能である。水の物質収支だけに着目すると、２０℃、６０％Ｒｈの絶対湿度は、０．００８７ｋｇ（水分）／ｋｇ（乾燥空気）であるため、元々の空気２００ｋｇ／ｍｉｎに含まれる水分は、２００×０．００８７／（１．００８７）＝１．７２ｋｇ／ｍｉｎである。絶対湿度は、湿度図表で調べるか、または、水蒸気圧の計算式から求めることが可能である。また、元々の空気から水分を除いた乾燥空気の質量は、１９８．２８ｋｇ／ｍｉｎとなる。一方、２１．２℃、１００％Ｒｈの絶対湿度は、０．０１５８ｋｇ（水分）／ｋｇ（空気）であり、乾燥空気の質量は、変わらないため、１９８．２８×０．０１５８＝３．１３ｋｇ／ｍｉｎの水を浄化ガス中に排出することができる。したがって、時間当たりにすると、（３．１３−１．７２）×６０＝８４．６ｋｇ／ｈｒの水を蒸発させることが可能であり、その量だけ、吸収媒体の水として給水可能であることが分かる。
このように、水の補給量は、理論的に排ガスの温度と元となる空気の温度及び湿度から求められるが、実際の操作では、その理論さえ理解していれば、水の補給量を決めることは容易である。即ち、３８℃でも十分に水が蒸発するという事実があるため、多段式気液接触型のガス浄化・回収・濃縮装置では、循環液の液量が水の蒸発と共に減少していく。図２中の液面計２でその管理を行い、ある液面Ａ以下になったら、Ａよりも高い液面Ｂまで給水するように吸収媒体の入り口に付いている自動バルブ３を開閉する。一方、排ガスの入る一次側の気液接触部は、濃度計により回収液濃度を監視しながら、液面計１で液面の減少を確認し、液濃度は８０ｗｔ％に達しているが液面が低い場合、液濃度が８０ｗｔ％に達してない場合、または液面が低い場合には、自動バルブ２を開閉し、液面を調整する。当然、一次側から２段目の液面は下がるが、液面差により３段目、４段目から自動的に液が流れていくため、液面計２の監視で各段の液面の低下を確認することができる。
一次側１段目の気液接触部からの回収液濃度が８０ｗｔ％に達し、且つ液面が液面Ｃ以上になったら、自動バルブ１の開閉で回収液として８０ｗｔ濃縮液を抜き出す。また、液面計１の液面は下がるため自動バルブ２が開き、２段目から水が補給され、それに伴い、液面計２の液面が下がるので、自動バルブ３の開閉により液面計２の液面が保たれる。このような制御によって、特に給水量を演算することなく回分操作で水を補給することができる。したがって、大気中の温度と湿度、熱回収後の温度から理論的に水を蒸発させることが可能であれば本方法は成立し、大気中の温度と湿度で給水しながら濃縮する本制御の可否の判断ができる。判断が否である場合、熱回収率を少し下げれば制御は可能となる。否の場合は、温度計の温度から、熱交換器のバイパスに付いている調整弁を開くことにより排ガス温度を上げることができるため、万一、３８℃で濃縮できない場合（トラブルで排ガスに多量の水分が含まれてしまった場合等）でも、バイパスを調整し、装置の入り口温度を監視していれば、浄化・回収・濃縮操作に問題を起こすことはない。
気液接触部を多段に設けることにより、浄化ガス中のＮＭＰ濃度を限りなくゼロに近づけることが可能である。本実施例での浄化ガスＮＭＰ濃度は、５×１０−４ｖｏｌ％であった。理論的には、各気液接触部で理論段１段相当の性能が出れば、０．１×１０−４ｖｏｌ％未満まで下げることも可能である。
【００１４】
実施例２
図３は、実施例１で示した図２において、プレート式熱交換器に代えてプレートフィン式熱交換器を使用した本発明の実施形態の１例を示したものであり、熱媒体の流量を調整することで、排ガス温度の温度制御が可能である。
【００１５】
実施例３
図４は、実施例１で示した図２において、浄化・濃縮操作を特開２００４−２３０２６５または特開２００８−１１４２０３で示した塔型の装置を使用した本発明の実施形態の１例を示したものであり、気液接触部を上下方向に積むこと、塔頂から吸収水を流し、塔下部から排ガスを送り込むことによる気液の向流接触により、多段の気液接触の効果与えたため、吸収媒体である水の量が少量でも、効率よくＮＭＰを吸収することができたため、設置面積の縮小化、機器点数を削減することができた。
【００１６】
上記の各実施例で詳述したように、本発明では、外部から全く熱エネルギーを得ることなく、液化回収したＮＭＰを濃縮し、且つ乾燥用キャリアガスの加温の省エネルギー化を達成している。
エネルギー節減的な効果について、以下の表で先行技術との関連を比較・整理する。
比較条件としては、乾燥用キャリアガスは大気中の空気で温度２０℃、湿度６０％Ｒｈの条件から１００℃まで加温する。排ガスは、ＮＭＰ濃度０．１ｖｏｌ％、温度１００℃となっており、どちらもガス流量２００ｋｇ／ｍｉｎとした場合である。
なお、下記表２に示した各方法の操作条件は、本発明は実施例１および２に記載の条件、冷却＋吸着法は排ガスの熱回収及び装置内の熱回収により、２０℃の空気を５０℃まで上げ、回収液濃度８０ｗｔ％という前提である。また、単純スクラバーは、熱回収せずに浄化ガス濃度を２０×１０−４ｖｏｌ％以下に下げるため、循環液の濃度を２０ｗｔ％で管理することを前提としている。
【表２】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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