(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物に接触するように配置され、導入される液体に前記測定対象物の表面付着物を溶出させて溶液とするとともに、溶液を排出するプローブと、
前記プローブより排出された溶液における前記表面付着物の濃度を検出可能とされた分析計と、
前記プローブと前記分析計との間で、順次液体を循環させる液体循環機構とを備え、
前記分析計は、
円筒形状のチャンバと、
前記チャンバの一端に設けられ、前記溶液を導入する分析計導入口と、
前記チャンバの他端に設けられ、前記溶液を排出する分析計排出口と、
前記チャンバの軸方向中心位置において、対向するように前記チャンバの内周面に設置された一対のセンサと、を有し、
前記分析計導入口は、前記溶液が内周面に沿って螺旋状に流れるように方向付けられていることを特徴とする表面付着物測定装置。
【請求項２】
前記液体循環機構は、
液体が循環する循環流路と、
前記循環流路上であって、前記プローブの上流側に設けられた循環ポンプと、
前記循環ポンプの上流側に設けられた第一分岐路を介して前記循環流路と接続され、液体が収容された給水タンクと、
前記第一分岐路と前記分析計との間に設けられた第二分岐路を介して前記循環流路と接続され、溶液を収容する廃液タンクと、
前記第一分岐路上に設けられた第一止め弁と、
前記第二分岐路上に設けられた第二止め弁と、
前記循環流路上であって、前記第一分岐路と第二分岐路との間に設けられた第三止め弁と、を有することを特徴とする請求項１に記載の表面付着物測定装置。
【請求項３】
前記プローブは、
一端に開口部を有し内部に液体を保持するための液保持室が設けられたプローブ本体と、
前記液保持室に前記液体を供給する液体供給路と、
前記液保持室から前記溶液を排出する液体排出路と、を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の表面付着物測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面付着物測定装置に係り、特に測定対象物の表面付着物を検出することができる表面付着物測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、火力発電プラントのタンクなどの構造物の表面に付着している塩分量を把握することは、その後の工程、例えば塗装の可否判定や、腐食進展の推定などを行う上で重要なことであり、また、構造物の品質管理の上からも必要である。
【０００３】
従来の塩分量分析は、例えばガーゼに蒸留水を含ませた上で、ガーゼを測定箇所に当てることで表面の塩分を拭き取って塩分をガーゼ側に回収した後、ガーゼの塩分を抽出して所定の分析装置で測定するという方法がある。この方法は、ガーゼを準備する工程や、抽出及び分析の工程に時間を要し、かつ、測定に用いる器具が多くなるという問題がある。
上述したようなガーゼを用いる測定方法の煩雑さを回避するために、特許文献１には、塩分測定用のプローブであって、構造物の表面に当接させることで、塩分量を測定可能なプローブが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１１／１１５２８４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の表面付着物測定装置は、プローブ内にセンサ、攪拌機、及び空気抜き口を有しており、小型化が難しいという問題があった。そのため、小口径の鋼管などには適用することができなかった。また、上述したような構成要素が一体となった構造であるため、洗浄が難しく、特に汚れた面を計測した後は誤差が生じやすいという問題があった。
【０００６】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、プローブを小型化することで、より狭隘な測定対象物の測定を可能とする表面付着物測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明の表面付着物測定装置は、測定対象物に接触するように配置され、導入される液体に前記測定対象物の表面付着物を溶出させて溶液とするとともに、溶液を排出するプローブと、前記プローブより排出された溶液における前記表面付着物の濃度を検出可能とされた分析計と、前記プローブと前記分析計との間で、順次液体を循環させる液体循環機構とを備え、前記分析計は、円筒形状のチャンバと、前記チャンバの一端に設けられ、前記溶液を導入する分析計導入口と、前記チャンバの他端に設けられ、前記溶液を排出する分析計排出口と、前記チャンバの軸方向中心位置において、対向するように前記チャンバの内周面に設置された一対のセンサと、を有し、前記分析計導入口は、前記溶液が内周面に沿って螺旋状に流れるように方向付けられていることを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、液体を循環させる機構をプローブから独立させた構成としたことによってプローブを小型化することができ、より狭隘な測定対象物を測定することが可能となる。また、プローブを小型化することで、プローブを測定対象物に固定するための固定装置も簡便なものとすることができる。
【００１０】
上記構成によれば、液体とともに分析計のチャンバ内に流入する気泡がチャンバの中心軸付近に集まりやすくなるため、気泡がセンサに接触しにくくなり、測定精度の安定化を図ることができる。
【００１１】
また、上記表面付着物測定装置において、前記液体循環機構は、液体が循環する循環流路と、前記循環流路上であって、前記プローブの上流側に設けられた循環ポンプと、前記循環ポンプの上流側に設けられた第一分岐路を介して前記循環流路と接続され、液体が収容された給水タンクと、前記第一分岐路と前記分析計との間に設けられた第二分岐路を介して前記循環流路と接続され、溶液を収容する廃液タンクと、前記第一分岐路上に設けられた第一止め弁と、前記第二分岐路上に設けられた第二止め弁と、前記循環流路上であって、前記第一分岐路と第二分岐路との間に設けられた第三止め弁と、を有することが好ましい。
【００１２】
上記構成によれば、使用後の水を排出し、かつ、清水を連続して供給することができるため、循環流路６の洗浄が実施でき、連続して他のポイントも測定することが可能となる。
【００１３】
また、上記表面付着物測定装置において、前記プローブは、一端に開口部を有し内部に液体を保持するための液保持室が設けられたプローブ本体と、前記液保持室に前記液体を供給する液体供給路と、前記液保持室から前記溶液を排出する液体排出路と、を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、液体を循環させる機構をプローブから独立させた構成としたことによってプローブを小型化することができ、より狭隘な測定対象物を測定することが可能となる。また、プローブを小型化することで、プローブを測定対象物に固定するための固定装置も簡便なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第一実施形態に係る表面付着物測定装置の概略図である。
【図２】プローブの概略図である。
【図３】分析計の概略図である。
【図４】測定方法を説明するフローチャートである。
【図５】洗浄方法を説明するフローチャートである。
【図６】本発明の第二実施形態に係る表面付着物測定装置の概略図である。
【図７】本発明の第三実施形態に係る表面付着物測定装置の概略図である。
【図８】本発明の第三実施形態に係る表面付着物測定装置の作用を説明する概略図であって、表面塩分回収工程を説明する図である。
【図９】本発明の第三実施形態に係る表面付着物測定装置の作用を説明する概略図であって、メスアップ・測定工程を説明する図である。
【図１０】本発明の第三実施形態に係る表面付着物測定装置の作用を説明する概略図であって、洗浄工程を説明する図である。
【図１１】本発明の第三実施形態に係る表面付着物測定装置の作用を説明する概略図であって、排水工程を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（第一実施形態）
以下、本発明の第一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１に示すように、本実施形態の表面付着物測定装置１は、測定対象物Ｔの表面に付着する塩分の測定装置である。表面付着物測定装置１は、測定対象物Ｔに接触するように配置されるプローブ２と、このプローブ２内の液保持室３に水を循環させるための液体循環機構４と、循環する水に塩分が溶出した水溶液中の塩分の電気伝導度を測定するための分析計５とを有している。
プローブ２には清水（蒸留水）が導入されるとともに、塩分が溶出した水溶液が排出され、排出された水溶液は、液体循環機構４の循環流路６を介して分析計５に送られる構成である。
【００１７】
液体循環機構４は、循環流路６を介してプローブ２と分析計５との間で液体を循環させるための機構である。循環流路６は、分析計５の分析計排出口１２とプローブ２の液体供給路９とを接続する第一循環流路７と、プローブ２の液体排出路１０と分析計５の分析計導入口１１とを接続する第二循環流路８とからなる。
【００１８】
第一循環流路７には、プローブ２に清水を供給するための給水タンク１４と、循環流路６内の液体を循環させるための第一ポンプ１５と、分析計５から排出された水溶液が導入される廃液タンク１６が設けられている。
【００１９】
具体的には、第一循環流路７における上流側を分析計５側、下流側をプローブ２側とすると、第一循環流路７には、プローブ２の上流側に第一ポンプ１５が設けられ、第一ポンプ１５の上流側に第一循環流路７から分岐する第一分岐路１７が設けられ、第一分岐路１７の上流側であって第一分岐路１７と分析計５の間に第二分岐路１８が設けられている。
【００２０】
そして、給水タンク１４は、第一分岐路１７を介して第一循環流路７に接続され、廃液タンク１６は、第二分岐路１８を介して第一循環流路７に接続されている。
第一分岐路１７上には第一止め弁１９が設けられており、給水タンク１４から第一循環流路７への給水を制御することができる。同様に、第二分岐路１８上には第二止め弁２０が設けられており、第一循環流路７から廃液タンク１６への水溶液の流入路制御することができる。
【００２１】
さらに、第一循環流路７上であって、第一分岐路１７と第二分岐路１８との間には、第三止め弁２１が設けられており、第一分岐路１７と第二分岐路１８との間の循環流路６の流れを制御可能とされている。
第一止め弁１９、第二止め弁２０、及び第三止め弁２１は、例えば電磁バルブ等の開閉バルブである。
【００２２】
第二循環流路８には、循環流路６内の液体を循環させるための第二ポンプ２２が設けられている。なお、第二循環流路８に設けられる液体を循環させるための器具は、上記したポンプに限ることはなく、エジェクターを利用することも可能である。
【００２３】
図２に示すように、プローブ２は、略円柱形状のプローブ本体２４を有し、プローブ本体２４の一端を測定対象物Ｔの接触させる部位である。なお、プローブ２の形状は、円柱形状に限ることはなく、一端に測定対象物Ｔに接触する面を形成することができればよい。例えば箱型形状や、多角柱形状としてもよい。
【００２４】
プローブ本体２４には、一端に円形の開口部２５を有し、内部に液体を保持するための液保持室３が形成されている。開口部２５の周囲には、液体の漏出を防止するための環状のシール部材２６が取り付けられている。
【００２５】
また、プローブ本体２４には、プローブ本体２４の他端側より液保持室３へ液体を供給する液体供給路９と、液保持室３よりプローブ本体２４の他端側へ液体を排出する液体排出路１０が形成されている。上述したように、液体供給路９は第一循環流路７が接続されており、液体排出路１０は第二循環流路８が接続されている。
【００２６】
分析計５は、所謂フローセル（フローサイトメーター、フローサイトメトリーともいう）であり、循環する液体の電気伝導率を計測可能な分析装置である。図３に示すように、分析計５は、円筒形状のチャンバ２８と、一対のセンサ２９とを有しており、チャンバ２８内を循環する液体を一対のセンサにより測定するものである。
【００２７】
一対のセンサ２９は、チャンバ２８の軸方向（図３の上下方向）中心位置において、互いに対向するように、チャンバ２８の内周面に設置されている。一対のセンサ２９は、センサ２９とセンサ２９の間を流れる液体の電気伝導率を測定可能な電気伝導率センサであり、一対のセンサ２９は、図示しない交流電源と接続されている。
【００２８】
チャンバ２８の軸方向一端には、液体を導入する分析計導入口１１が設けられ、チャンバ２８の軸方向他端には、液体を排出する分析計排出口１２が設けられている。詳しくは、分析計導入口１１は、管形状の導入管３０と、チャンバ２８の内側の端面であって、チャンバ２８の軸方向と直交する面に対して傾斜している傾斜端面３１とから構成されている。導入管３０は、循環する液体をチャンバ２８の軸方向一端側より、チャンバ２８の軸方向に直交する断面を構成する円の接線方向に導入するように方向付けられている。
【００２９】
また、傾斜端面３１は、チャンバ２８の断面円の接線方向に導入された液体を僅かに上方（軸方向他端側）に傾かせるような傾斜を有している。即ち、分析計導入口１１は、導入された液体がチャンバ２８の内周面に沿って螺旋状に流れるように構成されている。分析計排出口１２は、螺旋状に流れてきた液体を滞りなく排出するように形成されている。
【００３０】
次に、本実施形態の表面付着物測定装置１の作用について説明する。
まず、プローブ２を測定対象物Ｔの表面に固定する。プローブ２は作業者の手でプローブ２を押し当てることで固定することができる。
ここで、第一ポンプ１５で送液した液体を第二ポンプ２２でバランスよく吸引することで、プローブ２が測定対象物Ｔから離れてしまっても、液体が垂れることなく維持されるため、プローブ２を適宜移動させることが可能となる。
【００３１】
次に、図４のフローチャートを参照して、測定方法を説明する。
（１）まず、第一止め弁１９を開状態とし、給水タンク１４から一定量の水を第一ポンプ１５を用いて供給する。供給された水は、第一循環流路７に流入する。
【００３２】
（２）次に、第一ポンプ１５でプローブ２に水を供給し、その後分析計５を通過後、再び第一ポンプ１５に戻るように循環させる。
具体的には、第一ポンプ１５でプローブ２に供給された水は、プローブ２の液保持室３に流入し、液保持室３内の水には測定対象物Ｔの表面に付着する塩分などの付着物が溶出する。付着物が溶出された水溶液はプローブ２から排出され、第二循環流路８に流れる。さらに、水溶液は分析計５を通過し、第二循環流路８に流れる。循環流路６全体に水が満たされたところで、第一止め弁１９を閉状態とし、かつ、第一ポンプ１５及び第二ポンプ２２を稼働させることで、水を循環させる。
【００３３】
（３）分析計５で電気伝導率の出力をモニタリングする。モニタリングは出力が安定するまで継続して行われる。出力の安定は、複数の測定値の標準偏差を元に決定する。設定する標準偏差の値は可変である。
【００３４】
ここで、分析計５のチャンバ２８内に流入される液体の流れは、分析計導入口１１から導入され、螺旋状となる。ここで、チャンバ２８内には気泡Ｂも持ち込まれるが、気泡Ｂは、円柱形状のチャンバ２８の中心軸付近に集まりやすくなる。
【００３５】
（４）出力が安定したら測定完了である。即ち、電気伝導率を測定することにより、水溶液に含まれる塩分濃度を測定することができる。
【００３６】
次に、図５のフローチャートを参照して、表面付着物測定装置１の循環流路６の洗浄方法を説明する。
（１）給水タンク１４と循環流路６とを接続する第一分岐路１７に設けられている第一止め弁１９を開状態にし、
第一ポンプ１５を稼働させて給水タンク１４から水を供給することで測定後の液体を押し出し、廃液タンク１６に排水する。この際、廃液タンク１６と循環流路６とを接続する第二分岐路１８に設けられている第二止め弁２０は開状態とし、第一分岐路１７と第二分岐路１８との間の第三止め弁２１は閉状態とする。
【００３７】
（２）引き続き給水タンク１４から水を供給し、プローブ２及び分析計５を洗浄する。このとき、廃液は随時廃液タンク１６に排水する。
（３）分析計５で電気伝導率の出力をモニタリングする。モニタリングは出力がベースライン（清水の電気伝導率の値）で安定するまで継続して行われる。
（４）出力がベースラインで安定したら、洗浄完了である。給水タンク１４からの水の供給を停止し、第一止め弁１９を閉状態とする。
【００３８】
なお、循環流路６の少なくとも一部が異物により閉塞するなどの異常時においては、ポンプで液体の流れを逆流させ、異物を除去することが可能である。
【００３９】
上記実施形態によれば、液体を循環させる機構をプローブ２から独立させた構成としたことによってプローブ２を小型化することができ、より狭隘な測定対象物Ｔを測定することが可能となる。また、プローブ２を小型化することで、プローブ２を測定対象物に固定するための固定装置も簡便なものとすることができる。
【００４０】
また、使用後の水を排出し、かつ、清水を連続して供給することができるため、循環流路６の洗浄が実施でき、連続して他のポイントも測定することが可能となる。
【００４１】
また、液体とともに分析計５のチャンバ２８内に流入する気泡Ｂがチャンバ２８の中心軸付近に集まりやすくなるため、気泡Ｂがセンサ２９に接触しにくくなり、測定精度の安定化を図ることができる。
【００４２】
（第二実施形態）
以下、本発明に係る表面付着物測定装置の第二実施形態を図面に基づいて説明する。
図６に示すように、第二実施形態に係る表面付着物測定装置１Ｂは、循環流路６上における第一分岐路１７と第二分岐路１８との間の洗浄を可能とするために、第三分岐路３３と第四分岐路３４を設けたことを特徴としている。
【００４３】
具体的には、第三分岐路３３は、第一分岐路１７上の第一止め弁１９と給水タンク１４との間と、第一ポンプ１５の上流側（第一分岐路１７の下流側）とを接続するラインである。第三分岐路３３上には、第一止め弁１９などと同様の構成の第四止め弁３５が設けられている。
【００４４】
また、第四分岐路３４は、第二分岐路１８上の第二止め弁２０と廃液タンク１６との間と、第三分岐路３３の上流側（第一分岐路１７の下流側）とを接続するラインである。第四分岐路３４上には、第五止め弁３６が設けられている。
さらに、第一循環流路７上であって、第三分岐路３３と第四分岐路３４との間には、第六止め弁３７が設けられており、第三分岐路３３と第四分岐路３４との間の循環流路６の流れを制御可能とされている。
【００４５】
次に、本実施形態に係る表面付着物測定装置１Ｂの作用について説明する。
まず、第一実施形態に係る表面付着物測定装置１と同様の方法で、洗浄を行う。第一分岐路１７と第二分岐路１８との間を除く循環流路６の洗浄が確認できた後、ラインの切り替えを行う。
【００４６】
具体的には、第一止め弁１９及び第二止め弁２０を閉状態とする一方で、第三止め弁２１を開状態にする。さらに、第四止め弁３５及び第五止め弁３６を閉状態とする一方で、第六止め弁３７を閉状態とする。即ち、給水タンク１４から供給される水が、第三分岐路３３を介して循環流路６に流入し、プローブ２、分析計５、及び第三止め弁２１が設けられているライン（第一分岐路１７と第二分岐路１８との間のライン）を経て、廃液タンク１６に排水されるような流れを作る。
【００４７】
上記実施形態によれば、止め弁の操作によるラインの切り替えで、循環流路６の全周を洗浄することができる。
【００４８】
（第三実施形態）
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図７に示すように、本実施形態の表面付着物測定装置１Ｃは、測定対象物Ｔの表面に付着する塩分の測定装置である。表面付着物測定装置１Ｃは、測定対象物Ｔに接触するように配置されるプローブ２と、このプローブ２内の液保持室３に水を循環させるための液体循環機構４Ｃと、水に塩分が溶出した水溶液を貯留する回収液ボトル４０と、回収液ボトル４０に貯留された水溶液中の塩分の電気伝導度を測定するための電気伝導率計４１とを有している。プローブ２の構成は、第一実施形態及び第二実施形態と同様である。
【００４９】
液体循環機構４Ｃは、循環流路６Ｃと、清水が貯留された給水タンク１４と、循環流路６Ｃに清水を供給するためのポンプ４２とを有している。循環流路６Ｃは、回収液ボトル４０の底部とプローブ２の液体供給路９とを接続する第一循環流路７Ｃと、プローブ２の液体排出路１０と回収液ボトル４０の天井部とを接続する第二循環流路８Ｃとからなる。
【００５０】
給水タンク１４は、分岐路４３を介して循環流路６Ｃの分岐点４４に接続されている。また、回収液ボトル４０の上部と分岐点４４とは、第五分岐路４５によって接続されており、回収液ボトル４０の下部は、第二廃液ライン４９と接続されている。
【００５１】
また、第二循環流路８Ｃには、循環流路６Ｃ内の液体を循環させるためのコンプレッサ４７及びエジェクタ４８が設けられている。また、エジェクタ４８と回収液ボトル４０との間には、第一廃液ライン４６が分岐している。
【００５２】
また、第一巡回流路７Ｃ上であって、分岐点４４とプローブ２の間には、第七止め弁５１が、回収液ボトル４０と分岐点の間には第八止め弁５２が設けられている。第五分岐路４５上には第九止め弁５３が、第一廃液ライン４６には第十止め弁５４が、第二廃液ライン４９には第十一止め弁５５がそれぞれ設けられている。
【００５３】
次に、本実施形態の表面付着物測定装置１Ｃの作用について説明する。
（１）表面塩分回収
まず、測定対象物Ｔの表面塩分を回収する。
図８に示すように、５つの止め弁のうち、第七止め弁５１のみを開状態にし、ポンプ４２を作動させ、分岐路４３、第一循環流路７Ｃを介して給水タンク１４からプローブ２に清水を供給する。さらに、コンプレッサ４７、及びエジェクタ４８を作動させ、第二循環流路８Ｃを介して、水に塩分が溶出した水溶液を回収液ボトル４０に貯留する。
【００５４】
（２）メスアップ、測定
次に、メスアップを行い、回収液ボトル４０内の清水が所定の体積となるようにする。
メスアップの際は、図９に示すように、第七止め弁５１及び第八止め弁５２を閉状態とするとともに第九止め弁５３を開状態にし、ポンプ４２を作動させることで、第五分岐路４５を介して直接に回収液ボトル４０に清水を供給する。
次いで、回収液ボトル４０に貯留された水溶液の電気伝導率を電気伝導率計４１を用いて測定する。
【００５５】
（３）洗浄
次に、循環流路６Ｃの洗浄を行う。
洗浄を行う際は、図１０に示すように、第七止め弁５１、第八止め弁５２、及び第十止め弁５４を開状態にし、残りの止め弁を閉状態にする。次いで、ポンプ４２を作動させることで、循環流路６Ｃ及び回収液ボトル４０が洗浄される。廃水は、第一廃液ライン４６より廃棄される。
【００５６】
また、図示しないが、第七止め弁５１と第九止め弁５３を閉状態にするとともに、第八止め弁５２を開状態とし、給水タンク１４の清水を分岐点４４から回収液ボトル４０に向かって逆流させるように流すことによって、この区間を洗浄することができる。
【００５７】
（４）排水
最後に、図１１に示すように、第十一止め弁５５のみを開状態とし、第二廃液ライン４９を介して回収液ボトル４０内の水を排水する。
【００５８】
上記実施形態によれば、回収液ボトル４０に貯留される水溶液を測定する際は、水溶液に流れがないため、電気伝導率計以外に、イオン電極や、ｐＨ計などの別の浸漬型センサを適用することができる。例えば、回収液ボトル４０に浸漬型の電気伝導率計セルを設置する形態を採用することができる。
また、回収液ボトル４０内の水溶液を採取し、別途詳細計測に使用することができる。
【００５９】
また、第一実施形態に係る表面付着物測定装置及び第二実施形態に係る表面付着物測定装置と比較して、洗浄範囲を少なくすることができる。即ち、給水タンク１４とプローブ２との間の範囲は常に清水のみが供給されるため、洗浄が必要なくなる。
【００６０】
なお、本発明の技術範囲は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。例えば、以上で説明した各実施形態では、プローブ２は、作業者の手で測定対象物Ｔに押し付ける構成としたが、これに限ることはなく、粘着性アタッチメントなどで測定対象物Ｔの表面に固定してもよい。また、測定対象物Ｔが磁性体により形成されている場合は、磁石を用いたアタッチメントで固定することもできる。
【００６１】
また、上記各実施形態においては、循環ポンプを用いて分岐炉を介して接続された給水タンクから水を供給する構成としたが、これに限ることはない。例えば、循環ポンプに直接給水／排水機能が備えられたタンクを設け、循環ポンプから水を送水することができれば、給水タンク及び廃液タンクを省略することもできる。
【符号の説明】
【００６２】
１  表面付着物測定装置
２  プローブ
３  液保持室
４  液体循環機構
５  分析計
６  循環流路
９  液体供給路
１０  液体排出路
１１  分析計導入口
１２  分析計排出口
１４  給水タンク
１５  第一ポンプ（循環ポンプ）
１６  廃液タンク
１７  第一分岐路
１８  第二分岐路
１９  第一止め弁
２０  第二止め弁
２１  第三止め弁
２４  プローブ本体
２５  開口部
２８  チャンバ
２９  センサ
Ｔ  測定対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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