(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料空気が導入される導入口が一面に開口し、前記一面と対向する面に前記試料空気が排出される排出口が開口した筐体と、前記筐体内に収納され、前記試料空気に含まれる粉塵を捕集する捕集体と、前記筐体内に収納され、前記捕集体で捕集される前記粉塵を検出する粉塵センサとを備え、前記粉塵センサは、前記導入口及び前記排出口の開口面積よりも開口面積の小さい貫通孔が設けられたセンサ本体と、前記センサ本体内に収納されて前記貫通孔に向けて光を照射する発光部と、前記貫通孔を通過する粉塵に反射した光を受光する受光部と、前記受光部の受光量に基づいて前記粉塵の量を演算する信号処理部とを有し、前記捕集体は、前記導入口と対向する流入側の開口面積が前記導入口の開口面積よりも大きく、且つ前記貫通孔と対向する流出側の開口面積が前記貫通孔の開口面積よりも小さくない筒状であって、前記流入側から前記流出側に向かって徐々に内径が小さくなる錐台形状に形成され、前記筐体は、前記導入口から導入される前記試料空気の一部を、前記捕集体及び前記貫通孔を通らずに前記排出口から排出させる流路を有することを特徴とする粉塵検出装置。
【請求項２】
前記筐体は、前記排出口に向かって傾斜する傾斜面を有することを特徴とする請求項１記載の粉塵検出装置。
【請求項３】
前記捕集体は、前記流入側の開口端から内向きに突出する内鍔部と、前記内鍔部の先端から前記流出側の開口端に向かって突出する突片とを有することを特徴とする請求項１又は２記載の粉塵検出装置。
【請求項４】
前記導入口から前記筐体内に導入される前記試料空気を、前記排出口から排出される向きに移動させる送風機を備えることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の粉塵検出装置。
【請求項５】
前記粉塵センサと前記捕集体の組を複数組備え、これら複数組の前記粉塵センサと前記捕集体が前記筐体内において鉛直方向に並べて配置されることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の粉塵検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料空気に含まれる粉塵を検出する粉塵検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
小型の電子部品や電子機器は、空気中に浮遊する粉塵が内部に入り込むことで性能が低下する可能性があるため、粉塵の少ない環境で製造されることが好ましい。例えば、クリーンルームやクリーンゾーンのように空気清浄機によって空気が清浄される作業環境で製造されることが好ましい。そして、空気清浄機による清浄状態を監視するため、作業空間の空気(試料空気)に含まれる粉塵を検出する必要があり、このような用途に粉塵検出装置が使用される。しかし、このような粉塵検出装置は、空気中にほぼ均一に分布する微粒子、例えばハウスダスト等の埃、花粉、煙草の煙を検出することを目的として構成されたものであり、断続的に発生する粉塵を、都度、検出するというものではなかった。
【０００３】
また、空気中に浮遊する粉塵を検出する検出器として、例えば、特許文献１に記載されている光電式ほこりセンサがある。この光電式ほこりセンサは、本体の表板及び裏板にそれぞれ試料空気が通過する通過孔が形成され、裏板側の通過孔から導入される試料空気が表板側の通過孔を通して排出される。本体内には発光素子と受光素子が収納されており、通過孔を通して本体内を通過する試料空気に発光素子の発する光が照射される。そして、試料空気に含まれる粉塵に反射した光が受光素子で受光され、受光素子の受光量に基づいて試料空気に含まれる粉塵の量(個数や濃度)を検出することができる。このようなセンサを用い、断続的に発生する粉塵を集塵装置によって集めて通過孔を通過させるように構成すれば、断続的に発生する粉塵の量も検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２９４０８２号公報(段落０００３−段落０００４及び図６参照)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１記載の光電式ほこりセンサは、粉塵を含む試料空気が通過する通過孔の径が小さい(例えば、直径１０ｍｍ程度)ため、集塵装置により大量の試料空気を通過孔に短時間に通過させようとすると、センサ自身が大きな配管抵抗となってしまうため、単位時間当たりの試料空気の量が多い(流速が速い)場合、十分な集塵効果が得られず、検出精度が著しく低下するという問題点があった。また、流速を遅くすると測定に時間がかかるという問題点があった。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みて為されたものであり、単位時間当たりの試料空気の量が多い場合でも検出精度の低下を抑制し、試料空気の流速が速い場合にも短時間で粉塵を検出することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の粉塵検出装置は、試料空気が導入される導入口が一面に開口し、前記一面と対向する面に前記試料空気が排出される排出口が開口した筐体と、前記筐体内に収納され、前記試料空気に含まれる粉塵を捕集する捕集体と、前記筐体内に収納され、前記捕集体で捕集される前記粉塵を検出する粉塵センサとを備え、前記粉塵センサは、前記導入口及び前記排出口の開口面積よりも開口面積の小さい貫通孔が設けられたセンサ本体と、前記センサ本体内に収納されて前記貫通孔に向けて光を照射する発光部と、前記貫通孔を通過する粉塵に反射した光を受光する受光部と、前記受光部の受光量に基づいて前記粉塵の量を演算する信号処理部とを有し、前記捕集体は、前記導入口と対向する流入側の開口面積が前記導入口の開口面積よりも大きく、且つ前記貫通孔と対向する流出側の開口面積が前記貫通孔の開口面積よりも小さくない筒状であって、前記流入側から前記流出側に向かって徐々に内径が小さくなる錐台形状に形成され、前記筐体は、前記導入口から導入される前記試料空気の一部を、前記捕集体及び前記貫通孔を通らずに前記排出口から排出させる流路を有することを特徴とする。
【０００９】
この粉塵検出装置において、前記筐体は、前記排出口に向かって傾斜する傾斜面を有することが好ましい。
【００１０】
この粉塵検出装置において、前記捕集体は、前記流入側の開口端から内向きに突出する内鍔部と、前記内鍔部の先端から前記流出側の開口端に向かって突出する突片とを有することが好ましい。
【００１１】
この粉塵検出装置において、前記導入口から前記筐体内に導入される前記試料空気を、前記排出口から排出される向きに移動させる送風機を備えることが好ましい。
【００１２】
この粉塵検出装置において、前記粉塵センサと前記捕集体の組を複数組備え、これら複数組の前記粉塵センサと前記捕集体が前記筐体内において鉛直方向に並べて配置されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の粉塵検出装置は、試料空気に含まれる粉塵を捕集体で捕集し且つ粉塵センサで検出し、さらに、試料空気の一部を、捕集体に流入させずに捕集体の外側の流路を通して排出口から排出しているので、粉塵センサの貫通孔を単位時間当たりに通過する試料空気(粉塵を含む試料空気)の量を、導入口から単位時間当たりに導入される試料空気の量よりも減らすことができ、その結果、単位時間当たりの試料空気の量が多い場合でも検出精度の低下を抑制し、試料空気の流速が速い場合にも短時間で粉塵を検出するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る粉塵検出装置の実施形態１を示す断面図である。
【図２】同上における粉塵センサのブロック図である。
【図３】本発明に係る粉塵検出装置の実施形態２を示す断面図である。
【図４】本発明に係る粉塵検出装置の実施形態３を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る粉塵検出装置の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】
(実施形態１)
本実施形態の粉塵検出装置は、図１に示すように筐体１と、筐体１内に収納される捕集体２及び粉塵センサ３とを備える。ただし、以下の説明では、図１において上下左右前後の各方向を規定し、図１における左右方向を前後方向、図１の紙面に垂直な方向を左右方向と定義する。
【００１７】
粉塵センサ３は、従来技術で説明した光電式ほこりセンサと共通の構成を有している。すなわち、この粉塵センサ３は、図２に示すようにセンサ本体30内に発光部31、受光部32、信号処理部33などが収納されて構成される。
【００１８】
センサ本体30は、遮光性を有する合成樹脂材料によって矩形箱状に形成され、後述するように試料空気が通過する円筒形の貫通孔30Aが略中央に形成されている。ただし、貫通孔30Aの内周面のみは、透光性を有する材料で形成される。発光部31は、発光ダイオードなどの発光素子、発光素子を駆動する駆動回路、駆動回路に駆動された発光素子が発する光を平行光に変換するレンズなどで構成され、貫通孔30Aの内周面を通して貫通孔30A内に平行光を照射する。受光部32は、ホトダイオードやホトトランジスタなどの受光素子、貫通孔30A内を移動する粉塵(微粒子)100に反射した光を貫通孔30Aの内周面を通して受光素子の受光面に集光するレンズ、受光素子の出力信号を増幅する増幅器などで構成される。なお、発光部31から照射される光のうち、粉塵100に反射しなかった光は貫通孔30Aを通り抜けて受光部32に受光されない(図２の破線矢印を参照)。
【００１９】
信号処理部33は、発光部31の駆動回路を駆動し、且つ受光部32の出力信号をＡ／Ｄ変換して受光量に対応した受光レベルを取得し、さらに受光レベルに基づいて粉塵の量を演算する。ここで、信号処理部33は、駆動回路を周期的に駆動することにより、発光部31からパルス状の光を照射させている。したがって、発光部31が光を照射する周期を、貫通孔30A内を通過する粉塵の単位時間当たりの移動距離(試料空気の流速)よりも十分に大きくすれば、信号処理部33において、貫通孔30A内を通過する粉塵の個数を検出することができる。なお、このような信号処理部33は、例えば、マイクロコンピュータと信号処理用のプログラムとで実現される。
【００２０】
筐体１は、平板状の後壁10と、後壁10の周縁に後端が繋がる角筒状の胴部11と、胴部11の前端に後端が繋がる角錐状の前壁12とを有している。後壁10の中央に導入口13が開口し、試料空気の流入路となるホース４が導入口13に挿通される。また、前壁12の中央には排出口14が開口し、試料空気の流出路となるホース５が排出口14に挿通される。なお、後壁10、胴部11、前壁12は、何れも遮光性を有する合成樹脂製の板材などで構成され、接着剤等で接合されて筐体１を形成している。
【００２１】
捕集体２は、円筒状又は角筒状の流入部20と、両端が開口した円錐台状又は角錐台状であって流入部20の前端に後端が繋がる流出部21とが一体に形成された合成樹脂成形体からなる。また捕集体２は、流入部20の開口端(後端)が導入口13(ホース４)と所定の距離を離して対向し、且つ流出部21の開口端(前端)がセンサ本体30の貫通孔30Aを通して排出口14と対向するように筐体１内に配置される。ここで、流入部20は、その開口端(後端)の面積(直径R1)が導入口13(実際はホース４)の開口面積(ホース４の内径R2)よりも大きくなる(R2＜R1)ように形成されている。また、流出部21は、その開口端(前端)の面積(直径R3)が粉塵センサ３の貫通孔30Aの開口面積(内径R4)よりも小さくならない(R4≦R3)ように形成されている。ただし、流入部20と筐体１の胴部11との間には、試料空気を流すための流路となる隙間(空間)が設けられている。
【００２２】
而して、図１に示すように、導入口13及び排出口14の中心軸と、捕集体２の流入部20及び流出部21の中心軸と、粉塵センサ３の貫通孔30Aの中心軸とが略直線(図１における一点波線)上に並ぶように、捕集体２と粉塵センサ３が筐体１内に配置される。なお、捕集体２及び粉塵センサ３は、筐体１の胴部11に取り付けられる支持具(図示せず)に支持される。このとき、胴部11に対する支持具の取付位置を前後方向に調整可能とし、ホース４の前端と捕集体２の流入部20の開口端との距離を調整できるようにすることが好ましい。
【００２３】
次に、本実施形態の粉塵検出装置の動作について説明する。導入口13に挿入されているホース４を通して、試料空気(例えば、空気清浄装置で清浄された後の空気)が筐体１内に導入される。一方、排出口14に挿入されているホース５に集塵装置が接続されており、集塵装置がホース５を通して試料空気を引くことにより、導入口13から排出口14に向かう試料空気の流れが生じる。
【００２４】
ホース４内に流れてきた試料空気は、ホース４の前端から筐体１内に出た後に急激に流速が低下する。したがって、流速が低下した試料空気の一部は、捕集体２の流入部20と筐体１の胴部11の間に流路を通って排出口14(ホース５)から排出される。一方、試料空気に含まれる粉塵は、慣性の法則によってホース４を移動してきた速度をほぼ維持した状態で捕集体２の流入部20に流入し、さらに、流出部21の前端開口を通して粉塵センサ３の貫通孔30Aを通過する。ただし、一部の粉塵は流出部21の前端開口から直接貫通孔30Aに進行するのではなく、流出部21の内周面に衝突した後に流出部21の前端開口へ移動することになる。なお、流出部21の内周面が貫通孔30Aに向かって傾斜する傾斜面となっているので、流出部21の内周面に衝突した粉塵をスムーズに貫通孔30Aへ導くことができる。
【００２５】
上述のように本実施形態の粉塵検出装置では、試料空気に含まれる粉塵を捕集体２で捕集し且つ粉塵センサ３で検出し、さらに、試料空気の一部を、捕集体２の流入部20に流入させずに捕集体２の外側の流路を通して排出口14から排出している。このため、粉塵センサ３の貫通孔30Aを単位時間当たりに通過する試料空気(粉塵を含む試料空気)の量を、導入口13から単位時間当たりに導入される試料空気の量よりも減らすことができる。その結果、本実施形態の粉塵検出装置では、単位時間当たりの試料空気の量が多い場合でも検出精度の低下を抑制し、試料空気の流速が速い場合にも短時間で粉塵を検出することができる。
【００２６】
(実施形態２)
本発明に係る粉塵検出装置の実施形態２を図３に示す。本実施形態の粉塵検出装置は、捕集体２の構造と、筐体１内に送風機(ファン)６が配設されている点とが実施形態１と異なり、その他の構造については実施形態１と共通である。よって、実施形態１と共通の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【００２７】
本実施形態における捕集体２は、流入部20の開口端から内向きに突出する内鍔部22と、内鍔部22の先端(前端)から前方(流出部21の開口端に向かう向き)に突出する突片23とを有している。つまり、実施形態１における捕集体２では、流出部21の内周面に衝突した粉塵が、流入部20の開口端から捕集体２の外へ飛び出してしまう可能性がある。これに対して本実施形態における捕集体２では、流入部20の開口端に設けられている内鍔部22と突片23によって粉塵の進路が遮られるため、流入部20の開口端から捕集体２の外へ飛び出す粉塵を抑制することができる。また、内鍔部22又は突片23に衝突した粉塵は、再び試料空気の流れに運ばれて粉塵センサ３の貫通孔30Aを通過することができる。
【００２８】
ファン６は、粉塵センサ３のセンサ本体30の前方に配置され、箱形のハウジング内に収納された回転翼を回転させることにより、センサ本体30の貫通孔30Aを通過する試料空気に流動エネルギを与えて流速の向上を図るためのものである。ただし、ファン６が筐体１の外に配置され、排出口14を通して試料空気に流動エネルギを与えるようにしても構わない。
【００２９】
(実施形態３)
本実施形態の粉塵検出装置は、図４に示すように粉塵センサ３と捕集体２の組を複数組(図示例では２組)備え、これら複数組の粉塵センサ３と捕集体２が筐体１内において鉛直方向(上下方向)に並べて配置される点に特徴がある。ただし、その他の構成については実施形態１と共通であるから、実施形態１と共通の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【００３０】
試料空気に含まれる粉塵に相対的に質量の小さい粉塵(例えば、樹脂の微粒子)と、相対的に質量の大きい粉塵(例えば、金属の微粒子)とが混在している場合、前者の粉塵は慣性によってほぼ直進するが、後者の粉塵は重力によって徐々に下降すると考えられる。
【００３１】
したがって、上段の捕集体２Ａ及び粉塵センサ３Ａでは、相対的に質量の小さい粉塵を捕集して検出し、下段の捕集体２Ｂ及び粉塵センサ３Ｂでは、相対的に質量の大きい粉塵を捕集して検出することができる。
【００３２】
なお、本実施形態では筐体１内に配置される捕集体２と粉塵センサ３の組が２組の場合を例示したが、３組以上の捕集体２と粉塵センサ３を筐体１内に配置すれば、質量が異なる３種類以上の粉塵を分類して検出することができる。また、捕集体２の材質は合成樹脂に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００３３】
１  筐体
２  捕集体
３  粉塵センサ
13  導入口
14  排出口
30  センサ本体
30A  貫通孔
31  発光部
32  受光部
33  信号処理部
【図１】
0005967525.tif 000002
【図２】
0005967525.tif 000003
【図３】
0005967525.tif 000004
【図４】
0005967525.tif 000005