(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一次粒子の平均粒径が１μｍ以上、１０μｍ以下、二次粒子の平均粒径が２０μｍ以上、２００μｍ以下である溶射用Ｍｏ粉末において、アスペクト比１．０〜１．５を有する二次粒子が含まれる割合が、８０質量％以上、１００質量％以下であり、
単位面積１０００μｍ×１０００μｍのＳＥＭ写真において、面積比（長径５μｍ以下の粒子の合計面積比／５μｍを超える粒子の合計面積比）が０〜５％であり、
前記二次粒子の密度が１．０〜３．０ｇ／ｃｍ３であり、
前記二次粒子の断面は、Ｍｏ粉末および／または第二成分粉末が連なっている構造を有することを特徴とする、溶射用Ｍｏ粉末。
【請求項２】
Ｍｏ純度が９９．０％以上である、請求項１に記載の溶射用Ｍｏ粉末。
【請求項３】
前記溶射用Ｍｏ粉末が、Ｍｏ粉末と第二成分粉末とを混合したものである、請求項１または２に記載の溶射用Ｍｏ粉末。
【請求項４】
前記第二成分粉末が炭化物成分またはＮｉ成分である、請求項３に記載の溶射用Ｍｏ粉末。
【請求項５】
前記第二成分粉末が１〜３５質量％含まれてなる、請求項３または４に記載の溶射用Ｍｏ粉末。
【請求項６】
脱脂処理または焼結処理が施されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の溶射用Ｍｏ粉末。
【請求項７】
流動性が５０ｓｅｃ／５０ｇ以下である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の溶射用Ｍｏ粉末。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の溶射用Ｍｏ粉末を用いて溶射して形成されたＭｏ溶射膜。
【請求項９】
請求項８に記載のＭｏ溶射膜を備えたＭｏ溶射膜部品。
【請求項１０】
Ｍｏ溶射膜部品が、自動車用部品、航空機用部品、発電機器力用部品、Ｘ線管用部品、熱電変換機器、および金型からなる群より選択される少なくとも１種である、請求項９に記載のＭｏ溶射膜部品。
【請求項１１】
前記Ｍｏ溶射膜の平均膜厚が５〜５００μｍである、請求項９または１０に記載のＭｏ溶射膜部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶射用Ｍｏ粉末およびそれを用いたＭｏ溶射膜並びにＭｏ溶射膜部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
溶射とは、材料を加熱・溶融して、基材（被施工物）に吹き付けて被膜を形成する成膜方法である。加熱の熱源としては、燃焼炎やプラズマなどが使われている。溶射方式は、フレーム溶射、爆発溶射、電気式溶射、高速フレーム溶射などがあり、近年は材料を溶融しないで被膜を形成するコールドスプレー法も開発されている。【０００３】
溶射は、溶融する材料であれば適用できるため、金属、セラミックス、サーメットやプラスチックなどの様々の材料が使われている。そのため、その用途も様々であり、耐摩耗性膜、耐食性膜、耐熱性膜などが挙げられ、自動車部品、産業機械部品、成膜装置用部品など種々の分野に適用されている。【０００４】
ところで、溶射は、溶射材料を粉末または線材（ワイヤー状、棒状）に加工して、加熱源に供給することにより行われる。フレーム溶射を例に挙げると、線状の溶射材料を使う方式を、溶線式フレーム溶射（ｗｉｒｅ  ｆｌａｍｅ  ｓｐｒａｙｉｎｇ）と呼び、粉末状の溶融材料を使う方式を、粉末式フレーム溶射（ｐｏｗｄｅｒ  ｆｌａｍｅ  ｓｐｒａｙｉｎｇ）と呼んでいる。溶線式フレーム溶射法は、燃焼炎に線状溶射材料を連続的に供給できることから、供給量を一定にコントロールし易く、均一な溶射膜が得易いといった利点がある。【０００５】
しかしながら、溶射材料を線材に加工しなければならないことから、炭素鋼、アルミニウムや亜鉛など比較的加工し易い材料には向くが、モリブデンやタングステンなどの硬い高融点金属に適用する場合はコストアップの要因となっていた。【０００６】
このため、高融点金属を溶射するときは粉末式フレーム溶射が適用されることが多かった。溶射用粉末として、例えば、特開２００４−３００５５５号公報（特許文献１）が開示されている。特許文献１では、平均粒径１０μｍ以下のＭｏ粉末を、造粒焼結法によって５〜７５μｍや４５〜２５０μｍの溶射用粉末を得ている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−３００５５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
造粒焼結法により粒径を大きくすることにより、溶射ノズル（燃焼炎）への供給量を増やすことができるため、成膜量を増やすことはできる。しかしながら、単に造粒焼結法により得られた粒子はアスペクト比が２〜３程度の大きな粒子（二次粒子）であった。アスペクト比の大きな二次粒子は、流動性が悪く、溶射ノズルに供給する際に、瞬間的な溶射用粉末の供給量にバラツキが生じてしまうため、厚さが均一な膜が得られ難いといった問題が生じていた。【０００９】
本発明は、このような問題を解決するためのもので、均一な溶射膜を得ることができる溶射用Ｍｏ粉末およびそれを用いたＭｏ膜、並びにＭｏ膜部品を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明による溶射用Ｍｏ粉末は、一次粒子の平均粒径が１μｍ以上、１０μｍ以下、二次粒子の平均粒径が２０μｍ以上、２００μｍ以下である溶射用Ｍｏ粉末において、アスペクト比１．０〜１．５を有する二次粒子が含まれる割合が、８０質量％以上、１００質量％以下であることを特徴とするものである。【００１１】
また、本発明の態様においては、単位面積１０００μｍ×１０００μｍのＳＥＭ写真において、面積比（長径５μｍ以下の粒子の合計面積比／５μｍを超える粒子の合計面積比）が０〜１０％であってもよい。【００１２】
また、本発明の態様においては、二次粒子の密度が５．０ｋｇ／ｃｍ３以下であってもよい。【００１３】
また、本発明の態様においては、Ｍｏ純度が９９．０％以上であってもよい。【００１４】
また、本発明の態様においては、前記溶射用Ｍｏ粉末が、Ｍｏ粉末と第二成分粉末とを混合したものであってもよい。【００１５】
また、本発明の態様においては、前記第二成分粉末が炭化物成分またはＮｉ成分であってもよい。【００１６】
また、本発明の態様においては、前記第二成分粉末が１〜３５質量％含まれていてもよい。【００１７】
また、本発明の態様においては、前記溶射用Ｍｏ粉末が、脱脂処理または焼結処理が施されていてもよい。【００１８】
また、本発明の態様においては、前記溶射用Ｍｏ粉末の流動性が５０ｓｅｃ／５０ｇ以下であってもよい。【００１９】
また、本発明の態様においては、二次粒子の断面は二次粒子の断面は、Ｍｏ粉末および／または第二成分粉末が連なっている構造を有していてもよい。【００２０】
本発明の別の態様にいては、上記溶射用Ｍｏ粉末を用いて溶射して形成されたＭｏ溶射膜も提供される。【００２１】
また、本発明の別の態様においては、上記Ｍｏ溶射膜を備えたＭｏ溶射膜部品も提供される。【００２２】
また、本発明の態様においては、Ｍｏ溶射膜部品が、自動車用部品、航空機用部品、発電機器力用部品、Ｘ線管用部品、熱電変換機器、および金型からなる群より選択される少なくとも１種であってよい。【００２３】
また、本発明の態様においては、前記Ｍｏ溶射膜の平均膜厚が５〜５００μｍであってもよい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明による溶射用Ｍｏ粉末は、アスペクト比が１．０〜１．５の範囲にある二次粒子の割合を多くすることにより、溶射ノズルへの溶射用粉末の供給量を一定に管理し易くなるため、均一な高融点金属溶射膜を得ることができる。また、一次粒子を接着した二次粒子を使うことにより、コストアップを防ぐこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明による溶射用Ｍｏ粉末の一実施態様を示す図。
【図２】本発明による溶射用Ｍｏ粉末の別の実施態様を示す図。
【図３】本発明の一実施態様による溶射用Ｍｏ粉末の二次粒子の断面図。
【図４】Ｍｏ溶射膜部品の一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明による溶射用Ｍｏ粉末は、一次粒子の平均粒径が１μｍ以上、１０μｍ以下、二次粒子の平均粒径が２０μｍ以上、２００μｍ以下である溶射用Ｍｏ粉末において、アスペクト比１．０〜１．５を有する二次粒子が含まれる割合が、８０質量％以上、１００質量％以下であることを特徴とするものである。
【００２７】
本発明において、一次粒子とは、Ｍｏ粉末１個（一粒）または第二成分粉末１個（一粒）のことを示し、二次粒子とは、複数の一次粒子が固まった粒子のことを示す。一次粒子が固まるとは、凝集して固まった状態や、接着剤またはバインダなどを介して接着した状態や、一次粒子を造粒したものを示す。
【００２８】
図１は、一次粒子と二次粒子とが混在した状態の一例を示したものである。図中、符号１が溶射用Ｍｏ粉末の一次粒子であり、符号２が溶射用Ｍｏ粉末の二次粒子である。
【００２９】
本発明による溶射用Ｍｏ粉末は、Ｍｏ金属単体からなるものであってもよく、また、Ｍｏ粉末と第二成分粉末とを混合したものであってもよい。溶射用Ｍｏ粉末に第二成分粉末が含まれる場合、第二成分粉末としては、金属Ｍｏ以外であれば特に限定されるものではなく、炭化物粉末、Ｎｉ成分粉末、Ｃｏ成分粉末、希土類元素成分粉末などが挙げられる。また、炭化物としては、炭化モリブデン、炭化タングステン、炭化珪素などが挙げられる。また、Ｎｉ成分粉末、Ｃｏ成分粉末、希土類元素成分粉末としては、金属単体、合金、化合物など様々なものが含まれる。これらのなかでも、第二成分粉末としては、炭化モリブデンまたはＮｉ成分が好ましい。炭化モリブデンは、溶射工程において不純物酸素（大気中で溶射した際の酸素を含む）を吸着する効果がある。また、炭化モリブデンは潤滑剤としての効果もあることから溶射膜の耐摩耗性を向上させることもできる。また、Ｎｉ成分は、耐食性が良いことから溶射膜の耐食性を向上させることができる。また、第二成分粉末は１種のみに限らず、２種以上であってもよい。また、第二成分粉末の混合量は、Ｍｏ粉末と第二成分粉末の合計値を１００質量％としたとき、１〜３５質量％の範囲であることが好ましい。この範囲であれば、溶射膜におけるＭｏの良さを活かして第二成分の特性を付与することができる。以下、単に「Ｍｏ粉末」と記載する場合は、Ｍｏ粉末単体からなるものの他、Ｍｏ粉末と第二成分粉末とを混合したものも含む意味とする。
【００３０】
Ｍｏ純度は９９．０％以上（質量％）であることが好ましい。Ｍｏ純度が９９．０％未満であると不純物の存在によりＭｏ粉末の融点にばらつきが生じてしまうおそれがある。
【００３１】
本発明においては、一次粒子の平均粒径が１μｍ未満では粉末が細かすぎて取扱い性が悪くなり、１０μｍを超えて大きいと二次粒子のサイズが必要以上に大きくなってしまうおそれがある。また、二次粒子の平均粒径が２０μｍ未満では二次粒子とする効果が小さく、２００μｍを超えるとサイズが大きすぎるため溶射工程における材料供給量のばらつきを招く。また、溶射フレーム炎は、炎の表面と中心とでは温度が異なっており、同じフレーム炎にＭｏ粉末を供給しても、大きな粉末と小さな粉末とでは溶け方が異なる。Ｍｏ粉末（および第二成分粉末）の溶け方が均一でないと得られる溶射膜に未溶融組織ができ膜質にばらつきが生じる。そのため、あまり大きな粒子がない方が好ましい。
【００３２】
また本発明においては、アスペクト比１．０〜１．５を有する二次粒子が８０質量％以上、１００質量％以下含まれるものである。アスペクト比の測定は、拡大写真を使い、図１に示したように拡大写真（ＳＥＭ写真）に写る二次粒子の縦と横の最大長さを、それぞれＡ、Ｂとする。縦最大長さＡと、横最大長さＢとの小さい方を分母、大きい方を分子として（Ａ／ＢまたはＢ／Ａ）にてアスペクト比を求めるものとする。縦最大長さＡと横最大長さＢとの小さい方を分母にするので最小値は１．０となる。アスペクト比が１．５以下であるということは、二次粒子がほぼ球体であることを示している。アスペクト比が１．５を超えて大きいと、個々の二次粒子のサイズのばらつきが大きくなる。サイズばらつきが大きいと溶射フレーム炎への材料供給量にばらつきが生じ、溶射膜の膜厚にばらつきが生じて均一な膜が形成し難くなる。また、前述の通り、溶射フレーム炎は表面と中心では温度が異なるため、あまりアスペクト比の大きな二次粒子があると二次粒子の溶け方にばらつきが生じ、溶射膜中に未溶融組織ができて膜質に不均一な部分ができてしまう。そのため、本発明においては、アスペクト比１．０〜１．５を有する二次粒子が含まれる割合を８０質量％以上にしている。すべての二次粒子がアスペクト比１．０〜１．５の範囲であることが好ましい。
【００３３】
以上のように、Ｍｏ粉末単体からなるＭｏ溶射膜、またはＭｏ溶射膜の特性を維持しながら第二成分粉末の特性を付与したＭｏ溶射膜は、その膜質が均一な溶射膜である必要がある。均一な溶射膜を形成するために二次粒子を用い、その二次粒子のアスペクト比を制御することが重要である。さらに均一な溶射膜を得るためには、小さな粒子の存在をできるだけ少なくすることも必要である。溶射膜は、Ｍｏ粉末をフレーム炎で溶かして高速で噴射して成膜する技術である。本発明においては、溶射フレーム炎で溶射用Ｍｏ粉末を溶かすため、Ｍｏ粉末のサイズがばらつくと、Ｍｏ粉末の溶け方にばらつきが生じるため、あまり小さなＭｏ粉も少ない方がよい。小さなＭｏ粉末とは、二次粒子にならなかった一次粒子や、二次粒子であっても小さな二次粒子である。
【００３４】
そのため、単位面積１０００μｍ×１０００μｍのＳＥＭ写真において、面積比（長径５μｍ以下の粒子の合計面積比／５μｍを超える粒子の合計面積比）が０〜１０％であることが好ましい。面積比は、まず、単位面積１０００μｍ×１０００μｍのＳＥＭ写真（拡大写真）を撮り、個々の粉末の最も長い対角線を長径Ｌとして測定する。図２に長径を測定する一例を示した。拡大写真を使うことにより、粉末を二次元で捉えることができる。そこに写る一次粒子または二次粒子の長径Ｌを測定する。長径Ｌが５μｍ以下と５μｍを超える粒子に振り分け、それぞれの面積を求め合計する。合計２００粒以上の粒子について長径Ｌ、面積を求めて面積比（長径５μｍ以下の粒子の合計面積比／５μｍを超える粒子の合計面積比）を求める。
【００３５】
長径Ｌが５μｍ以下の小さな粒子（二次粒子にならなかった一次粒子または小さな二次粒子）が面積比で１０％以下と少なくすることにより、溶射フレーム炎に投入したときの溶融ばらつきを低減することができる。溶融ばらつきを低減するためには、面積比を１０％以下、さらには５％以下、最も好ましくは０％にすることである。つまり、すべての粒子を長径Ｌが５μｍを超える二次粒子にすることである。
【００３６】
また、二次粒子の密度が５．０ｋｇ／ｃｍ３以下であることが好ましい。これまでは、一次粒子および二次粒子の粒径やアスペクト比などの外観形状による制御について説明してきた。しかしながら、二次粒子は一次粒子が立体的に結合して形成されたものである。そのため、二次粒子の密度を制御することも重要である。
【００３７】
溶射用Ｍｏ粉末の二次粒子は、溶射フレーム炎に投入したとき、一次粒子にばらける。ばらけた一次粒子が溶融し、高速で噴射されて基材上に堆積され溶射膜となる。そのため、二次粒子の密度があまり高いと溶射フレーム炎に投入した際に一次粒子にばらけて分散し難くなる。二次粒子のまま溶射膜として堆積されると、未溶融組織ができて膜質の異なるものとなってしまう。そのため、二次粒子の密度は５．０ｇ／ｃｍ３以下、さらには３．０ｇ／ｃｍ３以下であることが好ましい。密度の下限値は特に限定されるものではないが、あまり密度が低いと二次粒子の形状維持性が悪くなり、溶射フレーム炎に供給する前に一次粒子にばらけてしまう。また、密度があまり低いと内部が空洞の二次粒子となる。あまり空洞が多いと材料供給量のばらつきがおきてしまう。つまり、粒径やアスペクト比が同じ二次粒子であっても、密度が異なれば、二次粒子を形成する一次粒子の量が異なり、結果として材料供給量のばらつきを生じてしまう。そのため、二次粒子の密度は１．０ｇ／ｃｍ３以上であることが好ましい。二次粒子の密度はより好ましくは１．０〜３．０ｇ／ｃｍ３である。なお、二次粒子の密度はアルキメデス法にて行うものとする。
【００３８】
また、二次粒子の断面は、Ｍｏ粉末および／または第二成分粉末が連なっている構造であることが好ましい。前述のとおり、二次粒子は溶射フレーム炎に供給された際に一次粒子にばらけて、ばらけた一次粒子が溶融し、基材に堆積され溶射膜となる。二次粒子の断面が一次粒子の連なった構造となることにより、ばらけた一次粒子が基材に噴射されていく工程において一次粒子の存在割合を均一にすることができる。基材に噴射される工程で一次粒子の存在割合が均一であると、できあがった溶射膜の膜質を均一にすることができる。図３は、Ｍｏ粉末（および第二成分粉末）が連なった構造の一例を示したものである。二次粒子の断面を見たときに、端からもう一方の端までＭｏ粉末ないし、Ｍｏ粉末および第二成分粉末（一次粒子）が連なった構造を具備するものである。
【００３９】
また、本発明による溶射用Ｍｏ粉末は、脱脂処理または焼結処理が施されていることが好ましい。本発明の溶射用Ｍｏ粉末であれば流動性を５０ｓｅｃ／５０ｇ以下にすることができる。脱脂処理または焼結処理をすることにより、流動性を３０ｓｅｃ／５０ｇ以下と向上させることができる。なお、本発明において、流動性の測定は、ＪＩＳ−Ｋ−６７６０に準じた押し出し形プラストメーターを用い、溶射用Ｍｏ粉末５０ｇが押し出されるまでに何秒かかるかで測定するものとする。
【００４０】
脱脂処理は、６００〜１０００℃未満にて熱処理して、二次粒子中の樹脂バインダを焼失させる処理である。また、焼結処理は１０００〜１４００℃に加熱して樹脂バインダを焼失させると共に一次粒子同士の結合力を強化させる方法である。脱脂処理温度が６００℃未満では脱脂処理に時間がかかりすぎて製造性が低下する。一方、焼結処理温度が１４００℃を超えて高いと、一次粒子の結合力が強くなりすぎて溶射フレーム炎に投入した際に、二次粒子が一次粒子にばらけ難くなる。
【００４１】
以上のように、本発明による溶射用Ｍｏ粉末であれば、細かい一次粒子を二次粒子に加工した上で、その二次粒子のアスペクト比を所定のサイズにしているので取扱い性が良好である。そのため、溶射フレーム炎への供給量を安定的にすることができる。さらに、溶射フレーム炎に供給して、二次粒子が一次粒子にばらけて基材上に成膜される際に、基材への一次粒子の供給量を安定化させることができる。そのため、均一なＭｏ溶射膜を得ることができる。また、従来のようにＭｏ線材やＭｏ棒材よりもＭｏ粉末の方が溶融しやすいので同じ溶射フレーム炎であれば成膜速度も上げることができる。
【００４２】
また、本発明の溶射用Ｍｏ粉末を用いれば、線材を用いるよりも大幅なコストダウンを可能とした上で、成膜量の均一化が図れる。また、密度や流動性の制御により成膜量の均一化のみならず、成膜工程の自動化など取扱い性も向上する。
【００４３】
このような溶射用Ｍｏ粉末を溶射して基材上に成膜することにより、様々なＭｏ溶射膜を得ることができる。また、このような溶射膜を備えた様々な溶射部品に適用できる。図４に溶射部品の一例を示した。図中、符号４は溶射膜、符号５は基材、を表す。溶射部品は、溶射膜を有する部品であれば特に限定されるものではないが、耐摩耗性膜、耐食性膜、耐熱性膜などが挙げられ、自動車部品、産業機械部品、成膜装置用部品など種々の分野に適用可能である。また、溶射膜の膜厚は、特に限定されるものではなく、１０〜５００μｍが例示される。
【００４４】
次に、本発明による溶射用Ｍｏ粉末の製造方法について説明する。本発明の溶射用Ｍｏ粉末は、上記構成を具備すれば、その製造方法は特に限定されるものではないが、歩留まり良くえるための製法として次の方法が挙げられる。
【００４５】
まず、一次粒子径が平均粒径１〜１０μｍのＭｏ粉末を用意する。また、溶射用Ｍｏ粉末としてＭｏ粉末と第二成分粉末とを混合したものを得る場合には、一次粒子径が平均粒径１〜１０μｍのＭｏ粉末および第二成分粉末を用意する。一次粒子径はＦＳＳＳ粒径とする。また、Ｍｏ粉末の純度は９９．０ｗｔ％以上、さらには９９．９ｗｔ％以上であることが好ましい。用意したＭｏ粉末（および第二成分粉末）を回転式アトマイザーなどの攪拌装置に入れて十分な攪拌を行う。なお、以下、単に「Ｍｏ粉末」と記載する場合は、Ｍｏ粉末単体からなるものの他、Ｍｏ粉末と第二成分粉末とを混合したものも含む意味とする。
【００４６】
次に、樹脂バインダを添加して造粒工程を行う。樹脂バインダは、ポリビニルアルコール粉末、ポリエチンレングリコール粉末またはカルボメキシメチルセルロース粉末の少なくとも１種以上が好ましい。これら樹脂バインダは６００℃以上に加熱すると焼失するので二次粒子の密度を制御し易い。また、粉末状でＭｏ粉末と混合することができるので均一に混合することができる。造粒工程は、スプレードライヤー方式や転動造粒方式などを適用することが好ましい。造粒工程を行うことにより、一次粒子を二次粒子に加工することができる。
【００４７】
また、必要に応じ、脱脂処理または焼結処理を行う。脱脂処理は、６００〜１０００℃未満にて熱処理して、二次粒子中の樹脂バインダを焼失させる処理である。また、焼結処理は１０００〜１４００℃に加熱して樹脂バインダを焼失させると共に一次粒子同士の結合力を強化させる方法である。このような処理を行うと二次粒子の密度を調製した上で、その断面がＭｏ粉末（一次粒子）が連なった構造とすることができる。  また、二次粒子のアスペクト比は、造粒工程の条件を適正化することによりアスペクト比１．０〜１．５の割合を向上させることができる。また、必要に応じ、ふるい分け等により形状分級することも効果的である。特に、アスペクト比が１．５以下と１．６以上では傾斜面を転がる速度が異なるので、この現象を利用して形状分級する方法も効果的である。このような製造方法により得られた溶射用Ｍｏ粉末は、流動性に優れることから取り扱い性が良好である。
【実施例】
【００４８】
本発明を、実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明がこれら実施例の内容に限定されるものではない。【００４９】
＜実施例Ａ１〜Ａ５、比較例Ａ１＞
原料粉末として純度９９．９質量％以上のモリブデン粉末（一次粒子径は表１に示す）を用意した。モリブデン粉末を回転式アトマイザーにより粉砕工程を行った。次に、樹脂バインダ（ポリビニルアルコール樹脂バインダ）と混合して、Ｍｏ粉末スラリーを調製した。【００５０】
次に、Ｍｏ粉末スラリーをスプレードライヤーを使って造粒することにより、Ｍｏ粉末の二次粒子を得た。また、表に示すように脱脂処理または焼結処理を行った。スプレードライヤーの条件（回転速度、供給量など）を変えて、アスペクト比１．０〜１．５の二次粒子の割合を変えたものを用意した。【００５１】
各実施例および比較例の溶射用Ｍｏ粉末に関して、面積比（長径５μｍ以下の粒子の合計面積比／５μｍを超える粒子の合計面積比）、二次粒子の密度、二次粒子の断面はＭｏ粉末が連なっているか否か、流動性を調べた。その結果を表１、２に示す。【００５２】
なお、面積比（長径５μｍ以下の粒子の合計面積比／５μｍを超える粒子の合計面積比）は、以下のようにして求めた。先ず、溶射用Ｍｏ粉末をガラス板上に広げ、単位面積１０００μｍ×１０００μｍの拡大写真を撮った。その拡大写真に写る個々の溶射用Ｍｏ粉末の最大径を測定し、その最大径が５μ以下と５μｍを超えるもので分けて面積比を求めた。【００５３】
また、二次粒子の密度はアルキメデス法にて分析したものである。また、二次粒子の断面はＭｏ粉末が連なっているか否かは、二次粒子を切断して断面写真を撮り、任意の対角線にてＭｏ粉末（一次粒子）が連なっているか否かを問測定した。また、流動性はＪＩＳ−Ｋ−６７６０に準じた押し出し形プラストメーターを用い、溶射用Ｍｏ粉末５０ｇが押し出されるまでに何秒かかるかで測定した。【００５４】
【表１】
0005890843.tif 000002
【００５５】
【表２】
0005890843.tif 000003
【００５６】
表１および２に示される通り、実施例Ａ１〜Ａ５の溶射用Ｍｏ粉末は流動性が優れていた。【００５７】
次に、上記のようにして得られた実施例Ａ１〜Ａ５および比較例Ａ１の溶射用Ｍｏ粉末を用いて溶射膜を形成した。粉末式フレーム溶射装置（ｐｏｗｄｅｒ  ｆｌａｍｅ  ｓｐｒａｙｉｎｇ  ｄｅｖｉｃｅ）を用いて大気中にて成膜した。基材として縦１０ｃｍ×横１０ｃｍ×厚さ１ｍｍのＭｏ板を用いた。基材上に縦２ｃｍ×横２ｃｍの溶射膜を一定時間かけて溶射処理をしたときの膜厚のバラツキを調べた。２×２ｃｍの溶射膜を３か所設け、下記のように、膜厚の最大値と最小値の差を求めこれを溶射膜のバラツキとした。
溶射膜のバラツキ（％）＝［（膜厚の最大値−膜厚の最小値）／（膜厚の最大値＋膜厚の最小値）］×１００（％）
また、各溶射膜の表面粗さＲａを求めた。その結果を表３に示す。【００５８】
【表３】
0005890843.tif 000004
【００５９】
表３から分かる通り、実施例Ａ１〜Ａ５の溶射用Ｍｏ粉末を用いた溶射膜は、溶射膜のバラツキが６％以下と小さかった。また、表面粗さ（Ｒａ）が小さく、大気中で成膜したにも関わらず膜質が均一なものが得られた。特に脱脂処理や焼結処理したものは優れた特性を示した。【００６０】
＜実施例Ｂ１〜Ｂ５、比較例Ｂ１＞
原料粉末として、純度９９．９質量％以上のモリブデン粉末と、表４に示す各第二成分粉末（一次粒子径および配合比率は表４に示す）とを混合したものを使用した以外は、実施例Ａ１と同様にして溶射用Ｍｏ粉末を作製した。得られた溶射用Ｍｏ粉末について、実施例Ａ１と同様にして、面積比（長径５μｍ以下の粒子の合計面積比／５μｍを超える粒子の合計面積比）、二次粒子の密度、二次粒子の断面はＭｏ粉末が連なっているか否か、流動性を調べた。その結果を表４、５に示す。【００６１】
【表４】
0005890843.tif 000005
【００６２】
【表５】
0005890843.tif 000006
【００６３】
表４および５に示される通り、実施例Ｂ１〜Ｂ５の溶射用Ｍｏ粉末は流動性が優れていた。【００６４】
次に、得られた実施例Ｂ１〜Ｂ５および比較例Ｂ１の溶射用Ｍｏ粉末を用いて、実施例Ａ１と同様にして溶射膜を形成し、溶射膜のバラツキ（％）および溶射膜の表面粗さＲａを求めた。その結果を表６に示す。【００６５】
【表６】
0005890843.tif 000007
【００６６】
表６から分かる通り、実施例Ｂ１〜Ｂ５の溶射用Ｍｏ粉末を用いた溶射膜は、溶射膜のバラツキが６％以下と小さかった。また、表面粗さ（Ｒａ）が小さく、大気中で成膜したにも関わらず膜質が均一なものが得られた。特に脱脂処理や焼結処理したものは優れた特性を示した。
【符号の説明】
【００６７】
１…溶射用Ｍｏ粉末（一次粒子）
２…溶射用Ｍｏ粉末（二次粒子）
Ｌ…溶射用Ｍｏ粉末（二次粒子）の粒径
３…Ｍｏ粉末および／または第二成分粉末が連なった部分
４…溶射膜
５…基材
【図１】
0005890843.tif 000008
【図２】
0005890843.tif 000009
【図３】
0005890843.tif 000010
【図４】
0005890843.tif 000011