(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
核反応が行われた固体ターゲットを回収する固体ターゲット回収装置であって、
前記固体ターゲットを受容又は搬送する搬送部材を備え、
前記搬送部材の内表面の少なくとも一部が、前記固体ターゲットよりも柔らかい材質である樹脂によって構成されている、固体ターゲット回収装置。
【請求項２】
前記搬送部材は、所定の強度を有する搬送部材本体と、
前記搬送部材本体の表面に配置され、前記樹脂によって形成された保護材とを備える、請求項１に記載の固体ターゲット回収装置。
【請求項３】
前記搬送部材は、前記固体ターゲットを受容する受容部と、
前記受容部と接続されると共に少なくとも一部が前記受容部から水平方向に離れるに従い下方に位置するように傾斜しており、前記受容部が受容した前記固体ターゲットを案内する案内部とを備え、
前記案内部及び前記受容部の内表面の少なくとも一部が、前記樹脂によって構成されている、請求項１又は２記載の固体ターゲット回収装置。
【請求項４】
前記受容部に配置され、前記受容部に受容される前記固体ターゲットの向きを変更可能な回収方向変更手段を備える、請求項３に記載の固体ターゲット回収装置。
【請求項５】
前記回収方向変更手段は、前記固体ターゲットの落下時に、前記固体ターゲットと当接して所定の回転軸回りに回転する回転部材を有する、請求項４に記載の固体ターゲット回収装置。
【請求項６】
前記回収方向変更手段の表面は、前記樹脂によって形成されている、請求項４又は５の固体ターゲット回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体ターゲット回収装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、放射化された固体ターゲットを回収する回収装置が知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に記載された固体ターゲット回収装置は、固体ターゲットを受容する受容部と、受容部に接続され受容部が受容した固体ターゲットを案内する案内部とを備えている。放射化された固体ターゲットは、受容部で受容され、案内部によって案内されて所定の回収容器に回収される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２６８１２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載の従来技術では、固体ターゲットを回収した後の工程の薬剤合成において、所望の収量が取れないことがあった。その原因を鋭意探求したところ、固体ターゲットが所望の状態で供給できていないおそれがあることが分かった。更に原因を探ってみると、微少（量）ではあるが、固体ターゲットが変形したり、磨耗したりしていることが判明した。
【０００５】
本発明は、固体ターゲットの変形、摩耗を抑制し、ターゲット装置にて放射化した状態を極力維持して回収することが可能な固体ターゲット装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、核反応が行われた固体ターゲットを回収する固体ターゲット回収装置であって、固体ターゲットを受容又は搬送する搬送部材を備え、当該搬送部材の内表面の少なくとも一部が、固体ターゲットよりも柔らかい材質である樹脂によって構成されている、固体ターゲット回収装置を提供する。
【０００７】
このような固体ターゲット回収装置は、固体ターゲットと接触するおそれのある搬送部材の内表面の少なくとも一部が、固体ターゲットよりも柔らかい材質によって形成されているため、固体ターゲットの変形や磨耗を抑制することができ、ターゲット装置にて放射化した状態を極力維持して、固体ターゲットを回収することができる。
【０００８】
また、搬送部材は、所定の強度を有する搬送部材本体と、当該搬送部材本体の内表面に配置され、樹脂によって形成された保護材とを備えることが好ましい。これにより、搬送部材本体によって必要な強度を確保することができる。また、この搬送部材本体の内表面に配置された保護材によって固体ターゲットに作用する力を緩和することができるので、固体ターゲットの変形、磨耗を抑制することができ、ターゲット装置にて放射化した状態を極力維持して、固体ターゲットを回収することができる。
【０００９】
また、搬送部材は、固体ターゲットを受容する受容部と、受容部と接続されると共に少なくとも一部が受容部から水平方向に離れるに従い下方に位置するように傾斜しており、受容部が受容した固体ターゲットを案内する案内部とを備え、案内部及び受容部の内表面の少なくとも一部が、樹脂によって構成されていることが好ましい。この構成によれば、案内部及び受容部の内表面の少なくとも一部が、固体ターゲットよりも柔らかい材質によって構成されているので、固体ターゲットの変形や磨耗を抑制することができ、ターゲット装置にて放射化した状態を極力維持して、固体ターゲットを回収することができる。
【００１０】
また、受容部の入口側開口に配置され、受容部に受容される固体ターゲットの向きを変更可能な回収方向変更手段を備える構成としてもよい。この構成によれば、回収方向変更手段によって、固体ターゲットの向きを変更することができるため、受容部及び／又は案内部に対して好適な向きで導入されるように、固体ターゲットの向きを規制することができる。また、回収方向変更手段によって、固体ターゲットの向きを変更することで、固体ターゲットと、受容部及び／又は案内部とが接触するときの角度を緩やかにすることができる。これにより、固体ターゲットに作用する力を緩和して、固体ターゲットの変形、磨耗を抑制することができ、ターゲット装置にて放射化した状態を極力維持して、固体ターゲットを回収することができる。
【００１１】
また、回収方向変更手段は、固体ターゲットの落下時に、固体ターゲットと当接して所定の回転軸回りに回転する回転部材を有する構成としてもよい。この構成によれば、固体ターゲットと回転部材とが接触することで、固体ターゲットの向きを変更することができ、ターゲット装置にて放射化した状態を極力維持して、固体ターゲットを回収することができる。固体ターゲットが回転部材と接触したときに、この接触により回転部材が回転し、固体ターゲットに作用する力を緩和することができると共に、固体ターゲットの向きを好適に変更することができる。
【００１２】
また、回収方向変更手段の表面は、樹脂によって形成されていることが好ましい。固体ターゲットが回収変更手段に接触することによる固体ターゲットの変形や磨耗を抑制することができ、ターゲット装置にて放射化した状態を極力維持して、固体ターゲットを回収することができる。
【発明の効果】
【００１３】
このように本発明によれば、固体ターゲットの変形、磨耗を抑制して回収することが可能であり、ターゲット装置にて放射化した状態を極力維持して、固体ターゲットを回収することができる固体ターゲット装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態に係る固体ターゲット回収装置の全体をターゲット装置と共に示す側面図である。
【図２】主としてターゲット装置を示す図１の拡大図である。
【図３】本実施形態に係る固体ターゲット回収装置の受容部材部分を示す分解斜視図である。
【図４】搬送部材の壁体の断面図である。
【図５】固体ターゲットを示す斜視図である。
【図６】本実施形態に係る固体ターゲット回収装置によって固体ターゲットを回収する工程を説明するための図である。
【図７】図６の後工程を説明するための図である。
【図８】受容部材の他の例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明に係る固体ターゲット回収装置の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１６】
図１及び図２を参照してターゲット装置１００について説明する。ターゲット装置１００は、ボディ部１０２とターゲット部１０４とを有している。ボディ部１０２は、マニホールド２０２と接続されている。ターゲット部１０４は、矢印Ａ１，Ａ２方向に着脱可能となるように、ボディ部１０２に装着されている。
【００１７】
ターゲット部１０４は、略円柱形状を呈している。ターゲット部１０４は、特に図２において詳しく示されるように、ボディ部１０２に向かう側の側面に凹部１０４ａを有している。凹部１０４ａは、固体ターゲット２を収容するため、固体ターゲット２の外形に対応した略円形状となっている。
【００１８】
凹部１０４ａは、凹部１０４ａの底面から凹部１０４ａに対してマニホールド２０２とは反対側に向かう方向に延びるように穿設された貫通孔１０４ｂと連通している。貫通孔１０４ｂは、図示しないバキュームポンプと接続されている。
【００１９】
ターゲット部１０４は、凹部１０４ａに対してマニホールド２０２とは反対側に延びる冷却水循環孔１０４ｃを有している。冷却水循環孔１０４ｃは、冷却水循環孔１０４ｃの凹部１０４ａから離れた側に位置する端部から凹部１０４ａに対してマニホールド２０２とは反対側に向かう方向に延びるように穿設された冷却水排出孔１０４ｅ及びエアブロー冷却水排出孔１０４ｆと連通している。
【００２０】
冷却水循環孔１０４ｃ内には、冷却水を固体ターゲット２に向けて導出するための冷却水導出管１０４ｄが配設されている。冷却水導出管１０４ｄは、冷却水導出管１０４ｄの凹部１０４ａから離れた側に位置する端部から凹部１０４ａに対してマニホールド２０２とは反対側に向かう方向に延びるように穿設された冷却水導入孔１０４ｇ及びエア導入孔１０４ｈと連通している。
【００２１】
以上の構成を備えるターゲット装置１００及びサイクロトロン２００は、放射能の外部への漏洩を防止するため、図１に示されるように、鉛等によって構成されたシールド３００で密閉されている。
【００２２】
次に、図１〜図３を参照して、固体ターゲット回収装置１の構成について説明する。固体ターゲット回収装置１は、図１に示されるように、固体ターゲット２を受容又は搬送する搬送部材として、固体ターゲット２を受容する受容部材１０（受容部）と、固体ターゲット２を案内する案内部材１２（案内部）と、複数（本実施形態においては３つ）の振動モータ１４とを備える。
【００２３】
受容部材１０は、ターゲット部１０４がボディ部１０２から離脱されたときに落下する固体ターゲット２を受け止めるため、図１及び図２に示されるように、ターゲット部１０４の下方に配置されている。この受容部材１０は、特に図３において詳しく示されるように、入口側開口１０ａと出口側開口１０ｂとを有しており、入口側開口１０ａの開口面積が出口側開口１０ｂの開口面積よりも大きなものとされている。
【００２４】
具体的には、受容部材１０は、底板１０Ａと、上底が下底よりも長い台形状を呈すると共に下底が底板１０Ａと接続された側板１０Ｂ，１０Ｃと、底板１０Ａ及び側板１０Ｂ，１０Ｃにそれぞれ接続された側板１０Ｄ，１０Ｅとによって構成されている。入口側開口１０ａは、側板１０Ｂ，１０Ｃの上底及び側板１０Ｄ，１０Ｅの上縁によって囲まれる領域によって画成されている。出口側開口１０ｂは、底板１０Ａに設けられ、その長手方向の幅が固体ターゲット２の直径よりもやや大きく、その短手方向の幅が固体ターゲット２の厚さよりもやや大きな略矩形状を呈している。なお、受容部材１０は、アルミ等の金属によって構成することができる。
【００２５】
案内部材１２は、固体ターゲット２がその内部を通過可能な筒体となっている。案内部材１２は、図１に示されるように、シールド３００の内部に配置されている受容部材１０と接続される第１部分１２Ａと、複数（本実施形態においては４つ）の屈曲部分を有する第２部分１２Ｂと、シールド３００の外部に配置されていると共に鉛等によって構成されている放射線遮蔽容器４００の上方に位置している第３部分１２Ｃとを有する。なお、案内部材１２は、アルミ等の金属によって構成することができる。
【００２６】
第１部分１２Ａは、図３に示されるように、連結板１６及びボルト１８によって受容部材１０と接続されている。第１部分１２Ａは、上方に向けて開放された開口１２ａと、第２部分１２Ｂと連通する開口１２ｂとを有している。
【００２７】
開口１２ａは、矢印Ｂ方向（案内部材１２が受容部材１０と接続された場合における出口側開口１０ｂの短手方向）に沿う辺及び矢印Ｃ方向（案内部材１２が受容部材１０と接続された場合における出口側開口１０ｂの長手方向）に沿う辺が共に固体ターゲット２の直径よりもやや大きい略正方形状を呈している。開口１２ｂは、矢印Ｂ方向に沿う辺が固体ターゲット２の直径よりもやや大きく、矢印Ｃ方向に沿う辺が固体ターゲット２の厚さよりもやや大きな略矩形状を呈している。そのため、第１部分１２Ａは、矢印Ｃ方向において、下方に向かうにつれて開口面積が小さくなっている。
【００２８】
第２部分１２Ｂは、その延在方向（固体ターゲット２の案内方向）と直交する断面における断面形状が略矩形状を呈している。具体的には、第２部分１２Ｂの内形は、その長手方向の幅が固体ターゲット２の直径よりもやや大きく、その短手方向の幅が固体ターゲット２の厚さよりもやや大きくなっている。
【００２９】
第２部分１２Ｂは、図１に示されるように、第１部分１２Ａから鉛直下方に向けて延び、屈曲部分Ｄ１において屈曲されて受容部材１０（ターゲット装置１００及びサイクロトロン２００）から水平方向に離れるに従い下方に位置するように傾斜し、屈曲部分Ｄ２において屈曲されて再び鉛直下方に向けて延び、屈曲部分Ｄ３において屈曲されて再び受容部材１０から水平方向に離れるに従い下方に位置するように傾斜し、屈曲部分Ｄ４において屈曲されて放射線遮蔽容器４００に向かって水平に延びている。なお、第２部分１２Ｂのうち屈曲部分Ｄ３と屈曲部分Ｄ４との間の部分は、案内部材１２をシールド３００の外に出す際の放射能漏れを防ぐため、モルタル２０で覆われた樹脂管２２内を通っている。
【００３０】
第３部分１２Ｃは、第２部分１２Ｂの端部に設けられ、下方に位置する放射線遮蔽容器４００に向けて開放された開口（図示せず）を有している。
【００３１】
振動モータ１４は、図１に示されるように、案内部材１２の屈曲部分Ｄ１の近傍、案内部材１２の屈曲部分Ｄ２，Ｄ３の近傍、及び、案内部材１２の屈曲部分Ｄ４の近傍にそれぞれ配置されている。振動モータ１４は、特に図３において詳しく示されるように、モータ本体１４ａと、モータ本体１４ａのシャフトに偏心固定された分銅１４ｂとを有している。なお、振動モータ１４が設置されていないターゲット回収装置でもよい。
【００３２】
ここで、固体ターゲット装置１は、搬送部材（受容部材１０、案内部材１２）３０の内表面の少なくとも一部が、固体ターゲット２よりも柔らかい材質によって構成されている。図４は、搬送部材の壁体の断面図である。搬送部材の内表面とは、搬送部材を構成する壁体において、固体ターゲット２が通過する側の面である。搬送部材３０の壁体（搬送部材本体）としては、受容部材１０の底板１０Ａ、側板１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ、案内部材１２の筒体を構成する壁体などである。
【００３３】
図４（ａ）に示すように、搬送部材３０（１０、１２）は、所定の強度を有する搬送部材本体３２と、搬送部材本体３２の表面に配置され、固体ターゲット２よりも柔らかい材質によって形成された保護材３４とを有する。
【００３４】
搬送部材本体３２は、例えば、アルミによって構成されている。搬送部材本体３２の材質としては、その他でもよく、例えば、ステンレス鋼などその他の金属材料を使用することができる。搬送部材本体３２は、固体ターゲット２を搬送可能な強度を有していればよい。搬送部材本体３２は、固体ターゲット２よりも硬い材質でもよく、固体ターゲット２よりも柔らかい材質でもよく、固体ターゲット２と同程度の硬さの材質でもよい。
【００３５】
保護材３４は、例えば、テフロン（登録商標）など樹脂コーティングによって構成されている。保護材３４の材質としては、その他でもよく、例えば、ナイロンなどのコーティングでもよい。また、保護材３４としては、その他の樹脂からなる板材などを使用することができる。保護材３４は、固体ターゲット２よりも柔らかい材質であればよい。このような保護材３４によって、搬送部材の内表面が構成されている。
【００３６】
図４（ｂ）は、搬送部材の壁体の他の例を示す断面図である。搬送部材３０Ｂの壁体は、単体の材質を有することで、搬送部材３０Ｂの内表面が固体ターゲット２よりも柔らかい材質によって構成されていてもよい。
【００３７】
なお、固体ターゲット２よりも柔らかい材質とは、固体ターゲット２の外表面の硬さを基準として、この基準の硬さよりも柔らかいものでもよく、固体ターゲット２のうち最も硬い部分を基準として、この基準の硬さよりも柔らかいものでもよい。
【００３８】
図５は、固体ターゲットの一例を示す斜視図である。図５（ａ）に示す固体ターゲット２は、円盤状に形成されている。この固体ターゲット２の材質としては、テルルを使用することができ、その他、単体の材質に、めっきを施したものでもよい。
【００３９】
図５（ｂ）に示す固体ターゲット２Ｂ（２）は、中央部に配置された円盤状のターゲット本体２２と、ターゲット本体２２の外周に配置された円環状の外周部２４とを備える。ターゲット本体２２の材質としては、例えば６４Ｎｉ（ニッケル）を使用することができる。外周部２４の材質としては、金を使用することができ、その他の材質に、めっきを施したものでもよい。
【００４０】
次に、図１、図２、図６及び図７を参照して、以上の構成を有する固体ターゲット回収装置１を用いた固体ターゲット２の回収方法について説明する。
【００４１】
まず、凹部１０４ａ内に固体ターゲット２を配置した状態で貫通孔１０４ｂからエアを吸引し、固体ターゲット２を凹部１０４ａ内に固定して、ターゲット部１０４を矢印Ａ２方向に移動させることで、ターゲット部１０４をボディ部１０２に装着する（図２参照）。これにより、固体ターゲット２がターゲット装置１００に収容されることとなる。
【００４２】
続いて、冷却水導出管１０４ｄを通じてエア及び冷却水を固体ターゲット２に供給する。この状態でサイクロトロン２００の導出口２００ａ及びマニホールド２０２を通じて、ターゲット装置１に収容されている固体ターゲット２に向けて加速粒子を導入する。これにより、固体ターゲット２において、加速粒子との核反応が行われることとなる。
【００４３】
続いて、冷却水導出管１０４ｄを通じたエア及び冷却水の固体ターゲット２への供給を停止し、ターゲット部１０４の凹部１０４ａが固体ターゲット回収装置１の受容部材１０の上方に位置するまでターゲット部１０４を矢印Ａ１方向に移動させることで、ターゲット部１０４をボディ部１０２から離脱させる（図４参照）。
【００４４】
続いて、貫通孔１０４ｂからのエアの吸引を停止させる。これにより、ターゲット部１０４の凹部１０４ａの下方に位置する固体ターゲット回収装置１の受容部材１０に向けて、固体ターゲット２が落下することとなる（図６参照）。なお、固体ターゲット２が落下する前に、振動モータ１４の駆動を開始させ、受容部材１０及び案内部材１２を振動させている。
【００４５】
受容部材１０に落下した固体ターゲット２は、出口側開口１０ｂに向けて転がり、出口側開口１０ｂから案内部材１２に向けて落下する（図７参照）。そして、案内部材１２の第１部分１２Ａに落下した固体ターゲット２は、第１部分１２Ａにおいて９０°回転した後（図７参照）、案内部材１２の第２部分１２Ｂ及び第３部分１２Ｃを通って放射線遮蔽容器４００まで案内される（図１参照）。こうして、核反応が行われた固体ターゲット２が放射線遮蔽容器４００に回収されることとなる。
【００４６】
回収された固体ターゲット２（ターゲット本体２２）は、例えば、溶解された後、他の物質と合成されて（他の物質に標識されて）、放射性薬剤として利用される。また、図５（ｂ）に示すような固体ターゲット２Ｂの外周部２４は、回収されて再利用される。
【００４７】
以上のような本実施形態においては、固体ターゲット２が、受容部材１０及び案内部材１２を通って、受容部材１０（ターゲット装置１００及びサイクロトロン２００）から離れると共にシールド３００の外に位置する放射線遮蔽容器４００まで運ばれることとなる。そのため、ターゲット装置１００から固体ターゲット２を受容部材１０に向けて落とすだけで固体ターゲット２が放射線遮蔽容器４００に回収されることとなる。その結果、被曝の虞を大幅に低減することが可能であると共に核反応が行われた固体ターゲット２を直ちに回収することが可能となっている。
【００４８】
ここで、本実施形態の固体ターゲット回収装置１において、固体ターゲットと接触する搬送部材３０（受容部材１０、案内部材１２）の内表面が固体ターゲット２よりも柔らかい材質によって形成されているため、固体ターゲット２（外周部２４）の変形や磨耗を防止することができ、ターゲット装置１００にて放射化した状態を極力維持して固体ターゲット２を回収することができる。これにより、所望の状態で、固体ターゲット２を供給することができる。従って、固体ターゲット２を回収した後の工程の薬剤合成において、所望の収量の放射性薬剤を確保することができる。
【００４９】
また、本実施形態においては、振動モータ１４が受容部材１０及び案内部材１２を振動させている。そのため、固体ターゲット２が受容部材１０及び案内部材１２において詰まり難くなっている。
【００５０】
また、本実施形態においては、受容部材１０が、入口側開口１０ａから出口側開口１０ｂに向かうにつれて開口面積が小さくなっている。そのため、ターゲット装置１００から落下した固体ターゲット２を受容部材１０において受け止めやすくなっている。上述したように受容部材１０の内表面が固体ターゲット２よりも柔らかい材質によって構成されているため、落下した固体ターゲット２が受容部材１０に当たった際の衝撃を緩和することができる。
【００５１】
また、受容部材１０及び案内部材１２の内表面がコーティングされているため、受容部材１０及び案内部材１２の磨耗を抑制することができる。これにより、例えば、固体ターゲット２の合成や、再生などの後処理において、固体ターゲット２に受容部材１０及び／又は案内部材１２の材料が混入するおそれを低減することができる。
【００５２】
また、本実施形態においては、案内部材１２が、固体ターゲット２を案内する方向を変えるための屈曲部分Ｄ１〜Ｄ４を有しており、振動モータ１４が、屈曲部分Ｄ１〜Ｄ４の近傍に取り付けられている。そのため、振動モータ１４によって、固体ターゲット２が詰まりやすい屈曲部分Ｄ１〜Ｄ４に大きな振動が与えられることとなるので、固体ターゲット２が屈曲部分Ｄ１〜Ｄ４において詰まり難くなっている。
【００５３】
また、本実施形態においては、固体ターゲット２が、略円形状の金属板であり、延在方向と直交する断面における案内部材１２の第２部分１２Ｂの断面形状が、略矩形状を呈している。そして、第２部分１２Ｂの内形は、その長手方向の幅が固体ターゲット２の直径よりもやや大きく、その短手方向の幅が固体ターゲット２の厚さよりもやや大きくなっている。そのため、案内部材１２によって固体ターゲット２が円滑に案内されるようになっている。
【００５４】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、図８に示されるように、上方に向かうにつれてフレア状に広がる筒体を受容部材１０として用いてもよい。
【００５５】
また、図８に示すように、固体ターゲット回収装置は、受容部材１０に受容される固体ターゲット２の向きを変更可能な回収方向変更手段４０を備えている構成でもよい。回収方向変更手段４０は、受容部材１０の開口内で、水平方向に延在する回転軸回りに回転可能に支持された回転部材４２を有する。回転部材４２は、例えば、円筒体によって形成されている。回転部材４２としては、ナイロン製のチューブを使用することができる。回転部材４２の外表面（固体ターゲット２と接触する側の面）は、固体ターゲット２よりも柔らかい材質によって形成されていることが好ましい。なお、回転部材４２の延在する方向は、水平方向に限定されず、水平方向に対して傾斜して配置されていてもよい。回収方向変更手段４０は、固体ターゲット２の落下時に、固体ターゲット２と当接して所定の回転軸回りに回転する回転部材４２を有する。
【００５６】
このような回収方向変更手段４０を備える固体ターゲット装置によれば、固体ターゲット２が回収方向変更手段４０に当たることで、固体ターゲット２の向きが変更される。これにより、好適な向きに変更された固体ターゲット２が、案内部材１２に導入され、固体ターゲット２の詰まりを防止することができる。固定ターゲット２と案内部材１２及び／又は受容部材１０の内表面とが接触する角度を緩くすることで、固体ターゲット２に作用する力を緩和し、固体ターゲット２の変形、磨耗を防止することができる。
【００５７】
固体ターゲット２が回転部材４２と接触したときに、この接触により回転部材が回転することで、固体ターゲット２に作用する力を緩和することができると共に、固体ターゲットの向きを好適に変更することができる。
【００５８】
回収方向変更手段４０は、回転軸回りに回転する回転部材４２を備えていない構成でもよい。また、回収方向変更手段は、その他の構成でもよい。例えば、受容部材の内表面から、開口部の中央に向かって張り出す張出部を備え、この張出部と固体ターゲット２とが接触することにより、固体ターゲット２の向きを変更する構成でもよい。
【００５９】
また、搬送部材（受容部材１０、案内部材１２）において、内表面の全部が、固体ターゲット２よりも柔らかい材質によって形成されていてもよく、内表面の一部が、固体ターゲット２よりも柔らかい材質によって形成されていてもよい。例えば、受容部材１０の底板１０Ａの内表面のみが、固体ターゲット２よりも柔らかい材質によって構成されていてもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１…固体ターゲット回収装置、２，２Ｂ…固体ターゲット、１０…受容部材（受容部、搬送部材）、１２…案内部材（案内部、搬送部材）、３０，３０Ｂ…搬送部材、３２…搬送部材本体、３４…保護材、４０…回収方向変更手段、４２…回転部材。
【図１】
0005840524.tif 000002
【図２】
0005840524.tif 000003
【図３】
0005840524.tif 000004
【図４】
0005840524.tif 000005
【図５】
0005840524.tif 000006
【図６】
0005840524.tif 000007
【図７】
0005840524.tif 000008
【図８】
0005840524.tif 000009