(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂がセットされた樹脂供給用のセット部からモールド金型内の被供給部に樹脂を供給する樹脂供給装置であって、
前記セット部の同一水平面内に千鳥格子状に仕切られて配置され、前記セット部で鉛直方向に貫通する複数の孔と、
前記セット部下側にスライド可能に設けられ、前記複数の孔の下部開口を各々開閉するシャッタ部と、を備え、
前記シャッタ部は、前記複数の孔のそれぞれに対応する複数の開口部を有し、
前記シャッタ部での前記複数の開口部の配置が、前記セット部での前記複数の孔の配置と同じであり、
前記セット部では、前記シャッタ部を閉じて前記複数の孔の各々に樹脂がセットされ、
前記シャッタ部をスライドさせて前記孔と該孔に対応する前記開口部とを連通させることにより、前記複数の孔にセットされた樹脂が前記被供給部へ落下供給されることを特徴とする樹脂供給装置。
【請求項２】
請求項１記載の樹脂供給装置において、
鉛直方向に貫通する貫通孔を有し、前記セット部上側で前記複数の孔のそれぞれと連通して設けられる複数の連通ホルダ部を備えており、
前記シャッタ部を閉じて前記孔および該孔と連通する前記貫通孔に樹脂がセットされることを特徴とする樹脂供給装置。
【請求項３】
樹脂がセットされた樹脂供給用のセット部からモールド金型内の被供給部であるキャビティおよびポットのそれぞれにキャビティ内樹脂およびポット内樹脂を供給する樹脂供給装置であって、
前記セット部の同一水平面内に仕切られて配置され、前記セット部で鉛直方向に貫通し、キャビティ内樹脂がセットされる複数のキャビティ用孔と、
前記セット部下側にスライド可能に設けられ、前記複数のキャビティ用孔の下部開口を各々開閉するキャビティ用シャッタ部と、
前記セット部上側に設けられ、ポット内樹脂がセットされる鉛直方向に貫通するポット用孔を有するホルダ部と、
前記セット部を介して前記ホルダ部下側に前記キャビティ用シャッタ部と同一平面内に並んでスライド可能に設けられ、前記セット部が有する連通孔を介して前記ポット用孔の下部開口を開閉するポット用シャッタ部と、を備えていることを特徴とする樹脂供給装置。
【請求項４】
請求項３記載の樹脂供給装置において、
前記キャビティ用シャッタ部および前記ポット用シャッタ部をそれぞれ別駆動するキャビティ用アクチュエータおよびポット用アクチュエータを備えていることを特徴とする樹脂供給装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の樹脂供給装置において、
前記セット部下側に設けられ、前記被供給部に対応する案内開口部を有する案内板を備え、
前記案内板は、前記案内開口部により前記被供給部へ樹脂の落下を案内することを特徴とする樹脂供給装置。
【請求項６】
請求項１または２記載の樹脂供給装置を備えた樹脂モールド装置において、
基板に電子部品が実装されたワークに対してパッケージ部を形成するモールド金型を備えており、
前記被供給部は、前記モールド金型内に設けられており、
前記樹脂供給装置は、前記モールド金型内の前記被供給部に熱硬化性の顆粒状の樹脂を搬送して供給する搬送ハンドであり、
前記樹脂供給装置により前記被供給部に供給された樹脂を前記モールド金型のキャビティで加熱硬化して前記パッケージ部を形成することを特徴とする樹脂モールド装置。
【請求項７】
樹脂がセットされるセット部の同一水平面内に千鳥格子状に仕切られて配置され、前記セット部で鉛直方向に貫通する複数の孔と、前記セット部下側にスライド可能に設けられ、前記複数の孔の下部開口を各々開閉するシャッタ部と、を備え、前記シャッタ部が前記複数の孔のそれぞれに対応する複数の開口部を有し、前記シャッタ部での前記複数の開口部の配置が、前記セット部での前記複数の孔の配置と同じである樹脂供給装置を用いて、モールド金型内の被供給部に樹脂を供給する樹脂供給方法であって、
（ａ）前記シャッタ部を閉じて前記複数の孔の各々に樹脂をセットする工程と、
（ｂ）前記シャッタ部をスライドさせて前記孔と該孔に対応する前記開口部とを連通させることにより、前記複数の孔にセットされた樹脂を前記被供給部へ供給する工程と、
を含むことを特徴とする樹脂供給方法。
【請求項８】
請求項７記載の樹脂供給方法において、
前記（ａ）工程では、前記被供給部へ供給する樹脂量および面内分布を、各前記孔内の深さで調整して樹脂をセットすることを特徴とする樹脂供給方法。
【請求項９】
請求項７または８記載の樹脂供給方法において、
前記（ａ）工程では、前記複数の孔に樹脂を溢れさせて供給した後、前記セット部の上面をスキージで擦ることを特徴とする樹脂供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂供給技術に関し、特に、樹脂モールド装置に適用して有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特開平１１−８７３７６号公報（特許文献１）には、樹脂供給位置で顆粒樹脂を供給させて一定量収容し、モールド金型に形成されたポットに対応する樹脂投入位置まで搬送して該ポットへ顆粒樹脂を投入する樹脂投入装置に関する技術が開示されている。
【０００３】
特開２００４−２１６５５８号公報（特許文献２）には、樹脂供給空間部と、該空間部の顆粒樹脂を包囲する鉛直方向に貫通した枠体部と、該空間部の底面を形成し且つ水平方向に往復動可能な該枠体部底面に敷設された開閉部とが設けられた樹脂材料供給機構が開示されている。この樹脂材料供給機構では、加圧手段にて顆粒樹脂を均一に加圧した状態で、前記開閉部が水平方向にスライドして開くのと略同時に、均一に加圧された顆粒樹脂が金型キャビティ形成部に供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−８７３７６号公報
【特許文献２】特開２００４−２１６５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明者らが検討した被供給部に樹脂を供給する技術について、図１〜図３を参照して説明する。搬送ハンド１０１（樹脂供給装置）は、樹脂モールド装置の下型１０２に形成されたキャビティ１０３（被供給部）に、顆粒状の樹脂１０４（顆粒樹脂）を搬送して供給するものである。
【０００６】
この樹脂モールド装置では、型開きした状態で、下型１０２と対向する上型（図示せず）にワークがセットされ、また下型１０２のキャビティ１０３に搬送ハンド１０１を用いて樹脂１０４が供給され、型締めした状態で、樹脂１０４を加熱硬化してワークにパッケージ部が形成される。その後、ワークは下型１０２から離型される。この下型１０２は、型締めの際に、上型と当接するクランパ１０２ａと、上方に移動して樹脂１０４を圧縮する可動キャビティ１０２ｂとを有している。また、下型１０２の金型面には、離型を容易にするためにリリースフィルム１０５が張設されている。
【０００７】
このような樹脂モールド装置に用いられる搬送ハンド１０１は、開口部１０６ａに樹脂１０４がセットされるセット部１０６と、セット部１０６下側に設けられ、開口部１０６ａを開閉するシャッタ部１０７とを備えている。シャッタ部１０７は、開口部１０６ａと連通する開口部１０７ａと、開口部１０６ａの下部（底部）を閉塞する閉塞部１０７ｂを有している。図１に示すように、シャッタ部１０７が閉じた状態、すなわちセット部１０６の開口部１０６ａの下部をシャッタ部１０７の閉塞部１０７ｂで塞いだ状態で、樹脂１０４が開口部１０６ａにセットされる。
【０００８】
続いて、図２、図３に示すように、シャッタ部１０７をスライドさせて、シャッタ部１０７を開いた状態、すなわちセット部１０６の開口部１０６ａの下部をシャッタ部１０７の開口部１０７ａと連通させた状態とすると、樹脂１０４がキャビティ１０３へ供給される。
【０００９】
しかしながら、この搬送ハンド１０１では、樹脂１０４をキャビティ１０３に投入する場合に、開口部１０６ａを全開するのに、時間が掛かってしまう。このため、キャビティ１０３に先に供給された樹脂１０４が溶融し始め、先に供給された樹脂１０４と後に供給された樹脂１０４の溶融状態が異なってしまう。したがって、パッケージ部（成形品）に品質不良が発生するおそれがある。
【００１０】
また、図２に示すように、シャッタ部１０７の開放動作により、先端側開口部１０７ａより樹脂１０４が一気に流出してしまい、キャビティ１０３内に最初に供給された樹脂１０４の山ができ、後に供給される樹脂１０４が不足してしまう。したがって、樹脂１０４は、キャビティ１０３の水平面内に不均一に供給されてしまい、パッケージ部にボイドや欠損が発生するなどし、品質不良が発生してしまうおそれがある。
【００１１】
このように、たとえ搬送ハンド１０１では樹脂１０４を開口部１０６ａ内で均一（平ら）にセットしたとしても（図１参照）、キャビティ１０３に落下したときに均一にならない。このため、パッケージ部の品質不良を低減するために、キャビティ１０３で樹脂１０４を平らに押し付けたりしなければならなかった。
【００１２】
なお、特許文献２の技術を参照して、シャッタ部１０７を開くときに、加圧手段にて樹脂１０４を均一に加圧することも考えられる。この点、前述の供給技術は、加圧手段を用いなくとも、すでに樹脂１０４には大気圧にて加圧されている。すなわち、加圧手段を用いても樹脂１０４の場合と同様の問題が生じるものと考えられる。
【００１３】
本発明の目的は、被供給部に樹脂を偏りなく供給することのできる技術を提供することにある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明による樹脂供給装置は、樹脂がセットされた樹脂供給用のセット部からモールド金型内の被供給部に樹脂を供給する樹脂供給装置であって、前記セット部の同一水平面内に千鳥格子状に仕切られて配置され、前記セット部で鉛直方向に貫通する複数の孔と、前記セット部下側にスライド可能に設けられ、前記複数の孔の下部開口を各々開閉するシャッタ部と、を備え、前記シャッタ部は、前記複数の孔のそれぞれに対応する複数の開口部を有し、前記シャッタ部での前記複数の開口部の配置が、前記セット部での前記複数の孔の配置と同じであり、前記セット部では、前記シャッタ部を閉じて前記複数の孔の各々に樹脂がセットされ、前記シャッタ部をスライドさせて前記孔と該孔に対応する前記開口部とを連通させることにより、前記複数の孔にセットされた樹脂が前記被供給部へ落下供給される。ここで、前記樹脂供給装置は、鉛直方向に貫通する貫通孔を有し、前記セット部上側で前記複数の孔のそれぞれと連通して設けられる複数の連通ホルダ部を備えており、前記シャッタ部を閉じて前記孔および該孔と連通する前記貫通孔に樹脂がセットされる。
【００１５】
また、本発明による樹脂供給装置は、樹脂がセットされた樹脂供給用のセット部からモールド金型内の被供給部であるキャビティおよびポットのそれぞれにキャビティ内樹脂およびポット内樹脂を供給する樹脂供給装置であって、前記セット部の同一水平面内に仕切られて配置され、前記セット部で鉛直方向に貫通し、キャビティ内樹脂がセットされる複数のキャビティ用孔と、前記セット部下側にスライド可能に設けられ、前記複数のキャビティ用孔の下部開口を各々開閉するキャビティ用シャッタ部と、前記セット部上側に設けられ、ポット内樹脂がセットされる鉛直方向に貫通するポット用孔を有するホルダ部と、前記セット部を介して前記ホルダ部下側に前記キャビティ用シャッタ部と同一平面内に並んでスライド可能に設けられ、前記セット部が有する連通孔を介して前記ポット用孔の下部開口を開閉するポット用シャッタ部と、を備えている。これによれば、キャビティ用シャッタ部を閉じてキャビティ用孔にセットしたキャビティ内樹脂と、ポット用シャッタ部を閉じてポット用孔にセットしたポット内樹脂とを同時にモールド金型まで搬送することができる。また、キャビティおよびポットのそれぞれへ樹脂を供給する時間を短縮することができる。したがって、成形品の生産性を向上することができる。
【００１６】
また、前記樹脂供給装置は、前記キャビティ用シャッタ部および前記ポット用シャッタ部をそれぞれ別駆動するキャビティ用アクチュエータおよびポット用アクチュエータを備えている。これによれば、キャビティ用シャッタ部およびポット用シャッタ部を個々に自動で開閉することができ、また樹脂供給のタイミングを調整することができる。したがって、成形品の生産性を向上することができる。
【００１８】
また、前記樹脂供給装置は、前記セット部下側に設けられ、前記被供給部に対応する案内開口部を有する案内板を備えている。前記案内板は、前記案内開口部により前記被供給部へ顆粒樹脂の落下を案内する。これによれば、より確実に顆粒樹脂を被供給部へ供給して、被供給部の水平面内に樹脂を偏りなく供給することができる。
【００１９】
本発明による樹脂モールド装置は、前記樹脂供給装置を備えた樹脂モールド装置において、基板に電子部品が実装されたワークに対してパッケージ部を形成するモールド金型を備えており、前記被供給部は、前記モールド金型内に設けられており、前記樹脂供給装置は、前記モールド金型内の前記被供給部に熱硬化性の顆粒状の樹脂を搬送して供給する搬送ハンドであり、前記樹脂供給装置により前記被供給部に供給された樹脂を前記モールド金型のキャビティで加熱硬化して前記パッケージ部を形成する。これによれば、被供給部の水平面内に顆粒樹脂を偏りなく供給することで、パッケージ部にボイドや欠損が発生するなどの品質不良の発生を抑制することができる。
【００２０】
本発明による樹脂供給方法は、顆粒樹脂がセットされるセット部の同一水平面内に千鳥格子状に仕切られて配置され、前記セット部で鉛直方向に貫通する複数の孔と、前記セット部下側にスライド可能に設けられ、前記複数の孔の下部開口を各々開閉するシャッタ部と、を備え、前記シャッタ部が前記複数の孔のそれぞれに対応する複数の開口部を有し、前記シャッタ部での前記複数の開口部の配置が、前記セット部での前記複数の孔の配置と同じである樹脂供給装置を用いて、モールド金型内の被供給部に顆粒樹脂を供給する樹脂供給方法であって、（ａ）前記シャッタ部を閉じて前記複数の孔の各々に顆粒樹脂をセットする工程と、（ｂ）前記シャッタ部をスライドさせて前記孔と該孔に対応する前記開口部とを連通させることにより、前記複数の孔にセットされた顆粒樹脂を前記被供給部へ供給する工程と、を含む。
【００２１】
ここで、前記（ａ）工程では、前記被供給部へ供給する樹脂量および面内分布を、各前記孔内の深さで調整して顆粒樹脂をセットする。被供給部内に凹凸（例えば、電子部品のある領域とない領域）があっても、被供給部の水平面内に樹脂を偏りなく供給することができる。
【００２２】
また、前記（ａ）工程では、前記複数の孔に顆粒樹脂を溢れさせて供給した後、前記セット部の上面をスキージで擦る。これによれば、一定量の樹脂を迅速に樹脂供給装置にセットすることができ、その一定量の樹脂を被供給部の水平面内に偏りなく供給することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明によれば、被供給部に樹脂を偏りなく供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明者らが検討した樹脂供給中の樹脂供給装置の要部の模式的断面図である。
【図２】図１に続く樹脂供給中の樹脂供給装置の要部の模式的断面図である。
【図３】図２に続く樹脂供給中の樹脂供給装置の要部の模式的断面図である。
【図４】樹脂供給装置が適用される樹脂モールド装置を構成する各部のレイアウト図である。
【図５】図４に示す樹脂モールド装置における樹脂モールド中のモールド金型の模式的断面図である。
【図６】図５に続く樹脂モールド中のモールド金型の模式的断面図である。
【図７】図６に続く樹脂モールド中のモールド金型の模式的断面図である。
【図８】図７に続く樹脂モールド中のモールド金型の模式的断面図である。
【図９】図８に続く樹脂モールド中のモールド金型の模式的断面図である。
【図１０】本発明の実施形態１における樹脂供給装置の模式的平面図である。
【図１１】図１０のＡ−Ａ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図１２】図１０のＢ−Ｂ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図１３】図１０のＣ−Ｃ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図１４】図１０に示す樹脂供給装置の被供給部となる下型の金型面側の模式的平面図である。
【図１５】図１２に続く樹脂供給中の樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図１６】図１５に続く樹脂供給中の樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図１７】図１６に続く樹脂供給中の樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図１８】図１２に示す樹脂供給中の樹脂供給装置の要部の模式的断面図である。
【図１９】図１８に続く樹脂供給中の樹脂供給装置の要部の模式的断面図である。
【図２０】図１９に続く樹脂供給中の樹脂供給装置の要部の模式的断面図である。
【図２１】図２０に続く樹脂供給中の樹脂供給装置の要部の模式的断面図である。
【図２２】図１３に続く樹脂供給中の樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図２３】図１７、図２２に示す樹脂供給後の樹脂供給装置の模式的平面図である。
【図２４】図２３のＡ−Ａ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図２５】本発明の実施形態２における樹脂供給装置の模式的平面図である。
【図２６】図２５のＡ−Ａ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図２７】図２５のＢ−Ｂ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図２８】図２５に示す樹脂供給装置の被供給部となる下型の金型面側の模式的平面図である。
【図２９】本発明の実施形態３における樹脂供給装置の模式的平面図である。
【図３０】図２９のＡ−Ａ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図３１】図２９のＢ−Ｂ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図３２】図３０に示す樹脂供給装置の被供給部となる下型の金型面側の模式的平面図である。
【図３３】本発明の実施形態４における樹脂供給装置の模式的平面図である。
【図３４】図３３のＡ−Ａ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図３５】図３３のＢ−Ｂ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図３６】図３３に示す樹脂供給装置の被供給部となる下型の金型面側の模式的平面図である。
【図３７】本発明の実施形態５における樹脂供給装置の模式的平面図（上面図）である。
【図３８】図３７に示す樹脂供給装置の模式的平面図（下面図）である。
【図３９】図３７のＡ−Ａ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図４０】図３７のＢ１−Ｂ１線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図４１】図３７のＢ２−Ｂ２線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図４２】本発明の実施形態６における樹脂供給装置の模式的平面図（上面図）である。
【図４３】図４２に示す樹脂供給装置の模式的平面図（下面図）である。
【図４４】図４２のＡ−Ａ線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図４５】図４２のＢ１−Ｂ１線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図４６】図４２のＢ２−Ｂ２線における樹脂供給装置の模式的断面図である。
【図４７】本発明の実施形態８における樹脂供給装置の要部の模式的平面図である。
【図４８】図４７に続く樹脂供給中の樹脂供給装置の要部の模式的平面図である。
【図４９】図４８に続く樹脂供給中の樹脂供給装置の要部の模式的平面図である。
【図５０】本発明の実施形態８におけるモールド金型の模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。
【００２７】
（実施形態１）
本実施形態では、被供給部へ樹脂を供給する樹脂供給装置を、樹脂モールド装置の搬送ハンドに適用した場合について説明する。
【００２８】
まず、図４を参照して、樹脂モールド装置１を構成する各部について説明する。樹脂モールド装置１では、ワーク供給部Ａとワーク収納部Ｂとの間に、複数（図１では４箇所）のプレス部Ｃが設けられている。
【００２９】
ワークＷは、例えば短冊状の基板（例えば、リードフレームや配線基板など）に電子部品（例えば、半導体チップやコンデンサチップなど）が実装されたものである。ワークＷは、電子部品がパッケージ部によって封止されるものである。樹脂は、熱硬化性樹脂（エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等）であって、樹脂組成物（シリカ、アルミナなどの充填剤、離型剤、着色剤、フィラー含有率など）が均一に調整されたものである。
【００３０】
ワーク供給部Ａは、マガジンセット部２と、整列部３と、ワーク供給部４と、樹脂供給部５とを備えている。マガジンセット部２に収納されたワークＷが、整列部３へ所定の向きを揃えて整列して供給され、整列部３からワーク供給部４まで送り出される。ワーク供給部４からプレス部ＣへワークＷが供給される。このワーク供給部４から搬送ハンド６がワークＷを受け取る。また、樹脂供給部５からプレス部Ｃへ樹脂が供給される。この樹脂供給部５から搬送ハンド６がワークＷを受け取る。ワークＷおよび樹脂を搬送する搬送ハンド６については、後で詳細に説明する。
【００３１】
樹脂供給部５には、ポットへ供給されるタブレット状の樹脂（タブレット樹脂）と、キャビティへ供給される顆粒状の樹脂（顆粒樹脂）とがセットされる。具体的には、樹脂供給部５は、公知のリニアフィーダ（図示せず）からタブレット樹脂を受け取り、公知の顆粒樹脂供給部（図示せず）から計量された顆粒樹脂を受け取る。
【００３２】
各プレス部Ｃは、モールド金型２１（モールド金型機構）を備えている。このモールド金型機構は、上型と下型で構成されるモールド金型２１を型締め・型開きする型開閉機構を備えている。このモールド金型２１を有するモールド金型機構については、後で詳細に説明する。なお、各プレス部Ｃには、モールド金型２１のクランプ面（金型面）にエア吸引によりリリースフィルム７を張設する公知のフィルム搬送ユニットＦを設けても良い。
【００３３】
ワーク収納部Ｂは、移動テーブル１１と、ディゲート部１２と、収納整列部１３とを備えている。プレス部Ｃから取り出しハンド１４により取り出されたワークＷは、移動テーブル１１へ受け渡される。取り出しハンド１４は、移動テーブル１１へワークＷを受け渡すと、次のワークＷの取り出し動作に移行する。移動テーブル１１は、取り出しハンド１４よりワークＷが受け渡されると、ゲートブレイク（不要樹脂の分離）が行われるディゲート部１２を経て、ワークＷが収納される収納整列部１３までの間を往復移動する。
【００３４】
なお、ワーク供給部Ａ、複数のプレス部Ｃ、ワーク収納部Ｂのそれぞれには、搬送レール１５が設けられており、互いに接続されている。この搬送レール１５上を搬送ハンド６および取り出しハンド１４が図４の左右方向に移動する。また、搬送ハンド６および取り出しハンド１４は、自身で図４の上下方向に移動する。
【００３５】
次に、図５を参照して、本発明に適用される新たに提案するモールド金型２１（トランスファモールド機構）の概略構成について説明する。ここで、モールド金型２１では、上型２２を固定型、上型２２に対して接離動する下型２３を可動型として説明する。なお、可動型である下型２３は、アクチュエータに公知の電動モータを用い、トグルリンクなどのリンク機構により昇降される。
【００３６】
上型２２には、上型カル２４ａが形成された上型カルインサート２４、ワークＷを吸着保持する上型インサート２５、下型２３の下型チェイス３２とで閉鎖空間を形成する上型チェイス２６が図示しない上型ベースに各々支持されている。また、上型チェイス２６には、真空吸引路２６ａが形成されている。真空吸引路２６ａはモールド金型２１内の閉鎖空間より脱気を行う真空ポンプを備えた減圧機構２７に接続されている。
【００３７】
下型２３は、下型チェイス３２にポット２９が組み付けられ、下型ランナゲート３０ａが形成されたポットインサート３０、キャビティ凹部（以下、単にキャビティという）３１ａが形成された下型キャビティインサート３１が各々支持されている。下型チェイス３２はその下方に設けられた図示しない下型ベースに支持されている。ポット２９内には図示しない均等圧ユニットに複数支持された各プランジャ３３が昇降可能に挿入されている。
【００３８】
また、下型チェイス３２のクランプ面には、シール材３４（Ｏリング等）が嵌め込まれている。減圧機構２７を作動させてモールド金型２１が型閉じして上型チェイス２６のクランプ面がシール材３４に当接すると、金型内部空間を外部と遮断してモールド金型２１内に減圧空間が形成されるようになっている。
【００３９】
上型カルインサート２４と上型チェイス２６とで囲まれた上型インサート２５の下面には、ワークＷが吸着保持される。また、キャビティ３１ａには、キャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）が供給され、ポット２９にはポット内樹脂３６（タブレット樹脂）が各々供給される。これらワークＷ、キャビティ内樹脂３５、およびポット内樹脂３６は、搬送ハンド６によって、型開きしたモールド金型２１内に搬入される。搬送ハンド６の上部には、ワークＷが電子部品実装面を下にして載置されている。また、搬送ハンド６の下部には、キャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６が樹脂供給用のセット部４１、ホルダ部４２の開口部の下部（底部）をキャビティ用シャッタ部４３、ポット用シャッタ部４４で閉塞されてセットされている。なお、搬送ハンド６（樹脂供給装置）については、後で詳細に説明する。
【００４０】
次に、図５〜図９を参照して、樹脂モールド装置１（モールド金型２１）を用いた樹脂モールド方法について説明する。まず、図５に示すように、型開きしたモールド金型２１には、搬送ハンド６によってワークＷ、キャビティ内樹脂３５、およびポット内樹脂３６が搬入される。なお、搬送ハンド６からワーク載置部を切り離して、別途ワーク用の搬送ハンドを設け、ワークＷと、キャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６とを別々に搬送しても良い。更にキャビティ内樹脂３５とポット内樹脂３６とを別々に搬送しても良い。
【００４１】
ワークＷは、搬送ハンド６が上型２２に近接して、上型インサート２５の下面に吸着保持される（図６参照）。また、キャビティ内樹脂３５は、搬送ハンド６が下型２３に近接して、キャビティ用シャッタ部４３が開放されてキャビティ３１ａに落下して供給される（図６参照）。同様に、ポット内樹脂３６は、ポット用シャッタ部４４が開放されて各ポット２９に落下して供給される（図６参照）。キャビティ３１ａ内には、満充填量よりわずかに少ない樹脂量のキャビティ内樹脂３５が供給される。また、ポット２９内には、キャビティ３１ａの不足分と当該ポット２９からキャビティ３１ａに至るまでの樹脂路に充填されてキャビティ３１ａ内を保圧するのに必要な樹脂量のポット内樹脂３６が供給される。
【００４２】
続いて、図７に示すように、上型２２に接続する減圧機構２７を作動させながら、下型２３を上昇させて型閉じを行う。上型チェイス２６が下型チェイス３２のシール材３４に当接したときからモールド金型２１内を脱気しながら減圧空間が形成され、型閉じしてワークＷがクランプされ、電子部品がキャビティ３１ａ内に収容される。この際、キャビティ内樹脂３５の顆粒樹脂がポット内樹脂３６のタブレット樹脂に比べ表面積が大きく吸湿しやすいため、減圧空間内で加熱することで余剰成分を排出しやすくしている。
【００４３】
続いて、図８に示すように、ポット２９内のポット内樹脂３６を、プランジャ３３を上昇させて、上型カル２４ａ、下型ランナゲート３０ａを通じてキャビティ３１ａで溶融したキャビティ内樹脂３５に向けて圧送りする（トランスファ成形）。続いて、図９に示すように、キャビティ３１ａに供給されたキャビティ内樹脂３５とポット２９から圧送りされたポット内樹脂３６同士を溶融結合させて所定樹脂圧に保圧して加熱硬化（キュア）させる。これにより、ワークＷに１個のパッケージ部３７が形成される。
【００４４】
次に、図１０〜図１４を参照して、本実施形態における搬送ハンド６（以下、搬送ハンド６Ａという）について説明する。なお、搬送ハンド６Ａは、モールド金型２１内に、キャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６の他にワークＷも供給するが、搬送ハンド６Ａの上部にワークＷを載置する簡単な構成であるため、ワークＷの供給については説明を省略する。
【００４５】
図１０は、搬送ハンド６Ａの模式的平面図であり、図１１〜図１３は、それぞれ図１０のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線における搬送ハンド６Ａの模式的断面図である。また、図１４は、搬送ハンド６Ａによりキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６が供給される下型２３の模式的平面図である。なお、図１０〜図１３では、シャッタ部が閉じた状態を示している。
【００４６】
図１４に示すように、下型２３は、ポットインサート３０と、下型キャビティインサート３１と、下型チェイス３２とを備えている。これらポットインサート３０および下型キャビティインサート３１が嵌め込まれる凹部を有する平面視矩形状の下型チェイス３２が設けられている。また、平面視矩形状のポットインサート３０には、その長手方向に一列に並んで複数（図１４では６箇所だが、本発明は６箇所に限定されない。）のポット２９が設けられている。
【００４７】
また、ポットインサート３０の両側のそれぞれには、その長手方向に一列に並んで複数（図１４では３箇所だが、本発明は３箇所に限定されない。）のキャビティ３１ａ（ポット列を挟んで両側合わせて６箇所）が形成された平面視矩形状の下型キャビティインサート３１が設けられている。この下型キャビティインサード３１の大きさは、ワークＷの大きさに対応している。すなわち、上型２２に吸着保持された平面視矩形状のワークＷは、その長手方向と下型キャビティインサード３１の長手方向とが一致して、クランプ時に下型キャビティインサート３１に当接する。
【００４８】
平面視矩形状の下型チェイス３２の各辺部（凹部の縁部頂部）上側には、凹状のロックブロック２８が設けられている。このロックブロック２８は、下型チェイス３２が上型２２の上型チェイス２６（図５参照）と当接する際に、上型チェイス２６に設けられている凸状のロックブロックと嵌合して、位置合わせされるものである。
【００４９】
このように下型２３に設けられた６箇所のキャビティ３１ａおよび６箇所のポット２９に対して、搬送ハンド６Ａはキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６を同時に搬送して、それぞれを供給する。このため、図１０〜図１３に示すように、搬送ハンド６Ａ（樹脂供給装置）は、キャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）がセットされる樹脂供給用のセット部４１と、セット部４１上側に設けられ、ポット内樹脂３６（タブレット樹脂）が装填（セット）されるホルダ部４２とを備えている。
【００５０】
セット部４１は、図１０に示すように、平面視矩形状の板状の例えば合金工具鋼からなる。このセット部４１は、同一水平面内でマトリクス状（格子状）に仕切られて配置された鉛直方向に貫通する複数のキャビティ用孔４１ａを有している。具体的には、複数のキャビティ用孔４１ａが水平面内のａ方向（第１方向）とこれに直交するｂ方向（第２方向）に整列して配置されている。これら複数のキャビティ用孔４１ａにキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）がセットされる。なお、隣接するキャビティ用孔４１ａ間は壁により仕切られている。
【００５１】
また、ホルダ部４２は、図１０に示すように、平面視円形状の筒状の例えば合金工具鋼からなる。このホルダ部４２は、鉛直方向に貫通するポット用孔４２ａを有している。このポット用孔４２ａにポット内樹脂３６（タブレット樹脂）が装填（セット）される。ポットに供給する樹脂は、必ずしも固形のタブレット樹脂である必要は無く、顆粒樹脂、粉体樹脂、液状樹脂でも良い。複数（図１０では６箇所）のホルダ部４２は、平面視矩形状のセット部４１の中央部上側に、その長手方向に一列に並んで起立している。なお、本願においては、一列に配置された状態も、マトリクス状（格子状）に含めるものとする。
【００５２】
図１３に示すように、これら６箇所のホルダ部４２のポット用孔４２ａとそれぞれ連通する６箇所の連通孔４１ｂをセット部４１は有している。６箇所の連通孔４１ｂは、セット部４１の長手方向に一列に並んで設けられ、セット部４１に鉛直方向に貫通し、ポット用孔４２ａと同一径に形成されている。
【００５３】
図１０に示すように、セット部４１が有する複数のキャビティ用孔４１ａは、一列に並んだ６箇所のポット用孔４２ａ（連通孔４１ｂ）の両側のそれぞれに、一列に並んで３箇所ずつ群４１ｃ（両側合わせて６箇所）が設けられている。このような搬送ハンド６Ａのセット部４１に設けられる６箇所の群４１ｃおよび６箇所のポット用孔４２ａ（連通孔４１ｂ）は、搬送ハンド６Ａを下型２３に対向させた際、それぞれ下型２３に設けられた６箇所のキャビティ３１ａおよび６箇所のポット２９（図１４参照）に対向する位置となるように形成されている。
【００５４】
搬送ハンド６Ａでは、図１０に示すように、平面視矩形状のセット部４１の各辺部（外周部）下側には、凸状のロックブロック４５が設けられている。このロックブロック４５は、搬送ハンド６Ａが下型２３にキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６を搬送する際に、下型２３の下型チェイス３２に設けられている凹状のロックブロック２８と嵌合して、位置合わせされるものである。このロックブロック２８、４５により、搬送ハンド６Ａの６箇所の群４１ｃおよび６箇所のポット用孔４２ａは、それぞれ下型２３の６箇所のキャビティ３１ａおよび６箇所のポット２９に位置合わせされる。
【００５５】
図１１に示すように、搬送ハンド６Ａは、複数のキャビティ用孔４１ａの下部開口を各々開閉するキャビティ用シャッタ部４３と、複数のポット用孔４２ａの下部開口を各々開閉するポット用シャッタ部４４とを備えている。キャビティ用シャッタ部４３は、セット部４１下側に設けられている。また、ポット用シャッタ部４４は、セット部４１を介してホルダ部４２下側にキャビティ用シャッタ部４３にスライド可能に並んで設けられている。
【００５６】
キャビティ用シャッタ部４３は、図１０に示すように、ｂ方向が長手方向となる平面視矩形状の板状の例えば合金工具鋼からなる。キャビティ用シャッタ部４３は、一列に並んで設けられた３箇所の群４１ｃ（複数のキャビティ用孔４１ａ）下側に設けられ、また、キャビティ用シャッタ部４３の長手方向がセット部４１の長手方向と一致するように設けられている。
【００５７】
このキャビティ用シャッタ部４３は、図１２に示すように、開いた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部と連通する、ａ方向に延び（図１０ではａ方向にキャビティ用孔４１ａの４箇所分の長さでスリットが延びているが、本発明は４箇所分に限定されない。）、鉛直方向に貫通するシャッタスリット４３ａと、閉じた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部を閉塞する閉塞部４３ｂとを有している。本実施形態では、シャッタスリット４３ａのｂ方向の幅は、キャビティ用孔４１ａのｂ方向の幅と同じとしているが、それ以上であっても良い。すなわち、キャビティ用孔４１ａとシャッタスリット４３ａとが連通して、セットされたキャビティ内樹脂３５がキャビティ３１ａ内へ落下して供給されれば良い。
【００５８】
シャッタスリット４３ａは、セット部４１の３箇所の群４１ｃのそれぞれに対応するように設けられ、ｂ方向に群４１ｃの領域分を開けた所定の間隔で３箇所設けられている。キャビティ用シャッタ部４３が閉じた状態から、各シャッタスリット４３ａをｂ方向へスライドさせて、各群４１ｃのキャビティ用孔４１ａとこれに対応するシャッタスリット４３ａとを連通させていくことで、キャビティ用シャッタ部４３（スライド部材）が順次開いていくこととなる。
【００５９】
このように、キャビティ用シャッタ部４３では、１箇所の群４１ｃに対して１箇所のシャッタスリット４３ａを設けている。この群４１ｃは１箇所で、１箇所のキャビティ３１ａ（被供給部）に対応しており、１箇所の群４１ｃから１箇所のキャビティ３１ａへキャビティ内樹脂３５が供給される。
【００６０】
仮に、複数のキャビティ３１ａ（複数の群４１ｃ）に対して１箇所のスリット４１ａのみを設けた場合では、すべてのキャビティ３１ａ内へキャビティ内樹脂３５を供給する時間が、長時間となってしまい、先に供給された樹脂と後に供給された樹脂の溶融状態が異なってしまう。この場合、各キャビティ３１ａで成形されるパッケージ部３７の品質にばらつきが発生してしまう。
【００６１】
これに対して、本実施形態では、キャビティ用シャッタ部４３に、１箇所のキャビティ３１ａに対応する１箇所のシャッタスリット４３ａを設けている。これにより、各キャビティ３１ａに樹脂を供給する時間差を短くすることができる。したがって、各キャビティ３１ａで成形されるパッケージ部３７の品質ばらつきを低減することができる。
【００６２】
ポット用シャッタ部４４は、図１０に示すように、ｂ方向が長手方向となる平面視矩形状の板状の例えば合金工具鋼からなる。ポット用シャッタ部４４は、一列に並んだ６箇所のホルダ部４２（ポット用孔４２ａ）下側に設けられ、また、ポット用シャッタ部４４の長手方向がセット部４１の長手方向と一致するように設けられている。このポット用シャッタ部４４は、図１１に示すように、キャビティ用シャッタ部４３とａ方向の幅が異なるが（ポット用シャッタ部４４の方が小さい）、本実施例の場合は厚さが同じである。なお、必ずしも厚さは同じにする必要はない。
【００６３】
ポット用シャッタ部４４は、図１３に示すように、開いた状態のときにポット用孔４２ａの下部と連通する、鉛直方向に貫通する開口孔４４ａと、閉じた状態のときにポット用孔４２ａの下部を閉塞する閉塞部４４ｂを有している。この開口孔４４ａは、６箇所のホルダ部４２のそれぞれに対応するように設けられ、ｂ方向にホルダ部４２の領域分を開けた所定の間隔で６箇所設けられている。図１３に示すようなポット用シャッタ部４４が閉じた状態から、各開口孔４４ａをｂ方向へスライドさせて、各ホルダ部４２のポット用孔４２ａとこれに対応する開口孔４４ａとを連通させることで、ポット用シャッタ部４４（スライド部材）が開くこととなる。
【００６４】
このように、ポット用シャッタ部４４では、１箇所のポット用孔４２ａに対して１箇所の開口孔４４ａを設けている。この１箇所のポット用孔４２ａは１箇所のポット２９（被供給部）に対応しており、１箇所のポット用孔４２ａから１箇所のポット２９へポット内樹脂３６が供給される。これにより、各ポット２９に樹脂を供給する時間差を短くすることができる。
【００６５】
本実施例では、搬送ハンド６Ａは、キャビティ用孔４１ａが設けられたセット部４１と、ポット用孔４２ａが設けられたホルダ部４２とを一体にした構造を有している。これによれば、キャビティ用シャッタ部４３を閉じてキャビティ用孔４１ａにセットしたキャビティ内樹脂３５と、ポット用シャッタ部４４を閉じてポット用孔４２ａにセットしたポット内樹脂３６とを同時に下型２３（モールド金型２１）まで搬送することができる。
【００６６】
本実施例では、キャビティ用孔４１ａが設けられたセット部４１と、ポット用孔４２ａが設けられたホルダ部４２とを一体にした構造とすることで、キャビティ３１ａおよびポット２９のそれぞれへ樹脂を供給する時間差を短くできる。したがって、成形品の品質を向上することができる。また、成形品の生産性を向上することもできる。また、このような一体構造であっても、キャビティ用孔４１ａ、ポット用孔４２ａのそれぞれへ樹脂のセット割合を調整することができる。
【００６７】
搬送ハンド６Ａは、図１１に示すように、セット部４１下側に設けられ、キャビティ用シャッタ部４３およびポット用シャッタ部４４が嵌り合って移動可能に取り付けられるシャッタガイド部４６、４７を備えている。このシャッタガイド部４６、４７は、ｂ方向が長手方向となる平面視矩形状の板状の例えば合金工具鋼からなる。
【００６８】
シャッタガイド部４６は、セット部４１の各長手辺部下側に設けられている。このシャッタガイド部４６の一側面（キャビティ用シャッタ部４３側側面）には、鉛直方向下側部が突き出る断面視Ｌ字状の段付き部４６ａが形成されている。また、シャッタガイド部４７は、セット部４１の中央部下であって連通孔４１ｂ列の両側に設けられている。このシャッタガイド部４７の両側面（キャビティ用シャッタ部４３側側面およびポット用シャッタ部４４側側面）には、鉛直方向下側部が突き出る断面視Ｌ字状の段付き部４７ａが形成されている。
【００６９】
一方、キャビティ用シャッタ部４３の両側面には、鉛直方向上側部が突き出る断面視Ｌ字状の段付き部４３ｃが形成されている。また、ポット用シャッタ部４４の両側面には、鉛直方向上側部が突き出る断面視Ｌ字状の段付き部４４ｃが形成されている。
【００７０】
したがって、キャビティ用シャッタ部４３の段付き部４３ｃとシャッタガイド部４６、４７の段付き部４６ａ、４７ａとが嵌り合い、シャッタガイド部４６、４７は、キャビティ用シャッタ部４３がｂ方向にスライドするようにガイドすることとなる。また、ポット用シャッタ部４４の段付き部４４ｃとシャッタガイド部４７、４７の段付き部４７ａ、４７ａとが嵌り合い、シャッタガイド部４７、４７は、キャビティ用ポット用シャッタ部４４がｂ方向にスライドするようにガイドすることとなる。
【００７１】
また、搬送ハンド６Ａは、キャビティ用シャッタ部４３およびポット用シャッタ部４４をそれぞれ別駆動するキャビティ用アクチュエータ５１およびポット用アクチュエータ５２を備えている。キャビティ用アクチュエータ５１やポット用アクチュエータ５２には、例えばシリンダ、モータなどを用いることができる。
【００７２】
キャビティ用シャッタ部４３およびポット用シャッタ部４４は、キャビティ用孔４１ａおよびポット用孔４２ａの配置や、キャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６の樹脂形状によって、スライドする所定のタイミングや所定の速さが求められるときがある。これに対応するために、本実施形態では、別駆動のキャビティ用アクチュエータ５１およびポット用アクチュエータ５２を搬送ハンド６Ａに設けている。なお、本実施形態では、１箇所のキャビティ用アクチュエータ５１から分岐させて２箇所のキャビティ用シャッタ部４３を駆動しているが、各キャビティ用シャッタ部４３にキャビティ用アクチュエータ５１を設けることもできる。
【００７３】
また、搬送ハンド６Ａは、セット部４１下側に設けられ、複数のキャビティ用孔４１ａ（群４１ｃ）の周囲を開口する開口部５３ａを有する落下案内板５３を備えている。落下案内板は、必ずしも設ける必要はないが、この落下案内板５３は、開口部５３ａによりキャビティ３１ａへキャビティ内樹脂３５の落下を案内するものである。落下案内板５３は、例えばシリコーンゴム、テフロン（登録商標）等からなり、下型２３の金型表面を傷つけないものが良い。落下案内板を下型キャビティ上面に当接させることで、樹脂落下時は隙間が無くなる。
【００７４】
なお、本実施形態では、キャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）がキャビティ３１ａ内に供給されない場合を考慮して、下型２３の金型面にキャビティ内樹脂３５が飛散するのを防止するため、落下案内板５３を設けている。
【００７５】
次に、図１２、図１３、図１５〜図２４を参照して、搬送ハンド６Ａ（樹脂供給装置）を用いた樹脂供給方法について説明する。この説明を明解にするために、図１２、図１３、図１５〜図１７、図２２では、搬送ハンド６Ａにセットされるキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６を図示していない。図２３、図２４は、搬送ハンド６Ａが、キャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６をすべて供給したときの状態を示している。
【００７６】
搬送ハンド６Ａでは、図１２および図１８に示すように、キャビティ用シャッタ部４３が閉じた状態、すなわちキャビティ用孔４１ａの下部を閉塞部４３ｂで閉塞した状態で、同一水平面内でマトリクス状に仕切られて配置された複数のキャビティ用孔４１ａにキャビティ内樹脂３５をセットする。本実施形態では、セット部４１に６箇所の群４１ｃが設けられているが、各群４１ｃのキャビティ用孔４１ａにセットされるキャビティ内樹脂３５の量は、パッケージ部３７が形成されるワークによって適宜調整される。
【００７７】
言い換えると、キャビティ３１ａへ供給する樹脂量および水平面内分布を、各キャビティ用孔４１ａ内にセットする樹脂の深さで調整しても良い（未充填の場合も含む）。これによれば、パッケージ部３７で封止される電子部品がある領域ではキャビティ内樹脂３５の供給を少なくし、電子部品がない領域では樹脂の供給を多くすることができる。すなわち、キャビティ３１ａ内に凹凸（例えば、電子部品のある領域とない領域）があっても、キャビティ３１ａの水平面内にキャビティ内樹脂３５を偏りなく供給することができる。また、キャビティ３１ａの水平面内における樹脂量を変える方法として、例えば２×２程度（１つ飛び又は２つ飛び）に格子の壁を間引くことで対応することもできる。
【００７８】
また、セット部４１のすべてのキャビティ用孔４１ａに、その内部すべてを満たすようにキャビティ内樹脂３５をセットする場合、複数のキャビティ用孔４１ａすべてにキャビティ内樹脂３５を溢れさせて供給した後、セット部４１の上面を図示しないスキージで擦る。ここで、セット部４１では、各キャビティ用孔４１ａの容量は同じである。このため、スキージにより余分なキャビティ内樹脂３５を掃き出して、一定の投入樹脂量のキャビティ内樹脂３５を迅速に搬送ハンド６Ａにセットすることができる。すなわち、複数のキャビティ用孔４１ａにキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）を均一に搬送ハンド６Ａ内に入れることができる。なお、格子１箇所１箇所に対して顆粒樹脂の個数をカウントして供給することもできれば、本搬送ハンド６Ａの前に格子状のストッカ（不図示）を設けてストッカに供給する樹脂の重さを計量しながらストッカに供給し、ストッカごといっきに、本セット部のキャビティ用孔４１ａに供給しても良い。以上のように、搬送ハンド６Ａに樹脂を供給する方法は、多数が考えられる。
【００７９】
また、キャビティ用孔４１ａそれぞれに供給する樹脂量を変える事により、キャビティ３１ａに供給する樹脂量を変更する事が出来る。一例として半導体チップが搭載されていない個所があれば、当該部分のキャビティ用孔４１ａに多く樹脂を入れることにより、対応できる。また、キャビティ凹部３１ａは壁があるため、キャビティ外周にあたるキャビティ用孔４１ａの樹脂量を少なくし、内側にあたるキャビティ用孔４１ａの樹脂量を多くすることで、キャビティ３１ａ内に山状に樹脂を供給することもできる。さらにキャビティ３１ａのゲート側樹脂量を少なく供給することや、キャビティの深さが複数種類あるような段付きキャビティの場合には深いキャビティに多く樹脂を供給し、浅いキャビティには樹脂を少なく供給することもできる。
【００８０】
続いて、図１５〜図１７に示すように、水平面内のｂ方向（一定方向）に複数のキャビティ用孔４１ａに対してキャビティ用シャッタ部４３を開いていく。キャビティ用シャッタ部４３を開いていくことにより、キャビティ用シャッタ部４３を閉じてセットしたキャビティ内樹脂３５を落下させてキャビティ３１ａへ供給していく。
【００８１】
具体的には、図１５および図１９に示すように、キャビティ用シャッタ部４３をｂ方向にスライドさせて、複数のキャビティ用孔４１ａのうち、ａ方向に並んだ一列目のキャビティ用孔４１ａと、シャッタスリット４３ａとを連通させる。これにより、一列目のキャビティ用孔４１ａのキャビティ内樹脂３５だけを落下させてキャビティ３１ａへ供給することができる。
【００８２】
続いて、図１６および図２０に示すように、キャビティ用シャッタ部４３をｂ方向にスライドさせて、複数のキャビティ用孔４１ａのうち、二列目のキャビティ用孔４１ａと、シャッタスリット４３ａとを連通させる。これにより、二列目のキャビティ用孔４１ａのキャビティ内樹脂３５だけを落下させてキャビティ３１ａへ供給することができる。このとき、図２０に示すように、キャビティ３１ａ内では、２列目分のキャビティ内樹脂３５が山のように堆積する。
【００８３】
同様にしてキャビティ用シャッタ部４３を開いていき、最後に、最終列（六列目）のキャビティ用孔４１ａと、シャッタスリット４３ａとを連通させる（図１７、図２１参照）。このように、一列目から最終列までのキャビティ内樹脂３５を、キャビティ３１ａ内へ順次供給していく。すなわち、キャビティ用シャッタ部４３をｂ方向（一定方向）にスライドさせて複数のキャビティ孔４１ａの下部開口を一定方向に順次開放させる。
【００８４】
これによれば、格子状の複数のキャビティ用孔４１ａから、キャビティ３１ａ（被供給部）の水平面内にキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）を偏りなく平ら（均一）となるように供給することができる。すなわち、図１〜図３を参照して説明したようなキャビティの水平面内に不均一に樹脂が供給されることを防止することができる。このように、キャビティ３１ａの水平面内に偏りなくキャビティ内樹脂３５が供給されるので、パッケージ部にボイドや欠けが発生するなどの品質不良を防止することができる。
【００８５】
また、搬送ハンド６Ａでは、図１３に示すように、ポット用シャッタ部４４が閉じた状態、すなわちポット用孔４２ａの下部を閉塞部４４ｂで閉塞した状態で、水平面内で一列に配置された複数のポット用孔４２ａにポット内樹脂３６（図示せず）をセットする。続いて、図２２に示すように、水平面内のｂ方向（一定方向）に複数のポット用孔４２ａに対してポット用シャッタ部４４を開く。
【００８６】
具体的には、ポット用シャッタ部４４をｂ方向にスライドさせて、各ポット用孔４２ａと、対応する各開口孔４４ａとを連通させる。これにより、各ポット用孔４２ａのポット内樹脂３６を同時に落下させて各ポット２９へ供給することができる。各ポット２９に樹脂を供給する時間差を短くすることができるので、各ポット２９でトランスファ成形されるパッケージ部３７の品質ばらつきを低減することができる。
【００８７】
（実施形態２）
前記実施形態１における搬送ハンド（樹脂供給装置）では、１箇所のキャビティ（被供給部）に対して、複数のキャビティ用孔をまとめた群を１箇所対向させてキャビティ内樹脂を供給する場合について説明した。本実施形態における搬送ハンドでは、１箇所のキャビティ（被供給部）に対して、複数のキャビティ用孔をまとめた群を複数対向させてキャビティ内樹脂を供給する場合について説明する。なお、前述した説明は省略する場合がある。
【００８８】
図２５〜図２８を参照して、本実施形態における搬送ハンド６（以下、搬送ハンド６Ｂという）について説明する。
【００８９】
図２５は、搬送ハンド６Ｂの模式的平面図であり、図２６、図２７は、それぞれ図２５のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線における搬送ハンド６Ｂの模式的断面図である。図２５のＣ−Ｃ線における搬送ハンド６Ｂは、図１０のＣ−Ｃ線における搬送ハンド６Ａと同様であり、図１３を参照することができる。図２８は、搬送ハンド６Ｂによりキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６が供給される下型２３の模式的平面図である。なお、図２５〜図２７では、シャッタ部が閉じた状態を示している。
【００９０】
図２８に示すように、一列に並んで配置された複数（図２８では６箇所）のポット２９の両側のそれぞれには、一列に並んで複数（図２８では２箇所）のキャビティ３１ａ（両側合わせて４箇所）が形成された平面視矩形状の下型キャビティインサート３１が設けられている。このように下型２３に設けられた４箇所のキャビティ３１ａおよび６箇所のポット２９に対して、搬送ハンド６Ｂはキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６を同時に搬送して、それぞれを供給する。
【００９１】
樹脂供給用のセット部４１は、図２５に示すように、複数のキャビティ用孔４１ａが同一水平面内のａ方向（第１方向）とこれに直交するｂ方向（第２方向）にマトリクス状に仕切られて配置されている。これら複数のキャビティ用孔４１ａにキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）がセットされる。セット部４１が有する複数のキャビティ用孔４１ａは、一列に並んだ６箇所のポット用孔４２ａ（連通孔４１ｂ）の両側のそれぞれに、一列に並んで４箇所ずつ群４１ｃ（両側合わせて８箇所）をなして設けられている。このような搬送ハンド６Ｂのセット部４１に設けられる８箇所の群４１ｃは、搬送ハンド６Ｂを下型２３に対向させた際、それぞれ下型２３に設けられた４箇所のキャビティ３１ａに２箇所ずつ対向する位置となるように形成されている。
【００９２】
図２６に示すように、搬送ハンド６Ｂは、複数のキャビティ用孔４１ａの下部開口を各々開閉するキャビティ用シャッタ部４３を備えている。すなわち、キャビティ用シャッタ部４３は、セット部４１下側に設けられている。このキャビティ用シャッタ部４３は、図２７に示すように、開いた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部と連通する、ａ方向に延び（キャビティ用孔４１ａの４箇所分）、鉛直方向に貫通するシャッタスリット４３ａと、閉じた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部を閉塞する閉塞部４３ｂとを有している。
【００９３】
キャビティ用シャッタ部４３では、１箇所の群４１ｃに対して１箇所のシャッタスリット４３ａを設けている。この群４１ｃは２箇所で、１箇所のキャビティ３１ａ（被供給部）に対応しており、２箇所の群４１ｃから１箇所のキャビティ３１ａへキャビティ内樹脂３５が供給される。シャッタスリット４３ａは、セット部４１の群４１ｃのそれぞれに対応するように、ｂ方向に群４１ｃの領域分を開けた所定の間隔で４箇所設けられている。
【００９４】
キャビティ用シャッタ部４３が閉じた状態から、各シャッタスリット４３ａをｂ方向へスライドさせて、各群４１ｃのキャビティ用孔４１ａとこれに対応するシャッタスリット４３ａとを連通させていくことで、キャビティ用シャッタ部４３が開いていくこととなる。すなわち、キャビティ用シャッタ部４３を閉じて複数のキャビティ用孔４１ａにセットしたキャビティ内樹脂３５を落下させてキャビティ３１ａへ供給していく。これによれば、格子状の複数のキャビティ用孔４１ａから、キャビティ３１ａ（被供給部）の水平面内にキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）を偏りなく平ら（均一）となるように供給することができる。このように、キャビティ３１ａの水平面内に偏りなくキャビティ内樹脂３５が供給されるので、パッケージ部にボイドや欠けが発生するなどの品質不良を防止することができる。
【００９５】
また、本実施形態では、キャビティ用シャッタ部４３に、１箇所のキャビティ３１ａに対応する２箇所のシャッタスリット４３ａを設け、複数列同時に開くことができる。これにより、各キャビティ３１ａに樹脂を供給する時間差を短くすることができる。また、１箇所のキャビティ３１ａ内に樹脂を供給する時間を短縮することができる。したがって、各キャビティ３１ａで成形されるパッケージ部３７の品質ばらつきを低減することができる。また、１箇所のキャビティ３１ａで形成されるパッケージ部３７の品質を向上することができる。
【００９６】
（実施形態３）
前記実施形態１における搬送ハンド（樹脂供給装置）では、１箇所のワークに１箇所のパッケージ部を形成した場合について説明した。本実施形態では、１箇所のワークに対して複数のパッケージ部（個片パッケージ）を形成する場合について説明する。なお、前述した説明は省略する場合がある。
【００９７】
図２９〜図３２を参照して、本実施形態における搬送ハンド６（以下、搬送ハンド６Ｃという）について説明する。
【００９８】
図２９は、搬送ハンド６Ｃの模式的平面図であり、図３０、図３１は、それぞれ図２９のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線における搬送ハンド６Ｃの模式的断面図である。図２９のＣ−Ｃ線における搬送ハンド６Ｃは、図１０のＣ−Ｃ線における搬送ハンド６Ａと同様であり、図１３を参照することができる。図３２は、搬送ハンド６Ｃによりキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６が供給される下型２３の模式的平面図である。なお、図２９〜図３１では、シャッタ部が閉じた状態を示している。
【００９９】
図３２に示すように、一列に並んで配置された複数（図３２では６箇所）のポット２９の両側のそれぞれには、二列に並んで複数（図３２では２列の６箇所で計１２箇所）のキャビティ３１ａ（両側合わせて２４箇所）が形成された平面視矩形状の下型キャビティインサート３１が設けられている。このように下型２３に設けられた２４箇所のキャビティ３１ａおよび６箇所のポット２９に対して、搬送ハンド６Ｃはキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６を同時に搬送して、それぞれを供給する。
【０１００】
樹脂供給用のセット部４１は、図２９に示すように、複数のキャビティ用孔４１ａが同一水平面内のａ方向（第１方向）とこれに直交するｂ方向（第２方向）にマトリクス状に仕切られて配置されている。これら複数のキャビティ用孔４１ａにキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）がセットされる。セット部４１が有する複数のキャビティ用孔４１ａは、一列に並んだ６箇所のポット用孔４２ａ（連通孔４１ｂ）の両側のそれぞれに、二列に並んで１２箇所ずつ群４１ｃ（両側合わせて２４箇所）をなして設けられている。このような搬送ハンド６Ｃのセット部４１に設けられる２４箇所の群４１ｃは、搬送ハンド６Ｃを下型２３に対向させた際、それぞれ下型２３に設けられたキャビティ３１ａに対向する位置となるように形成されている。
【０１０１】
図３０に示すように、搬送ハンド６Ｃは、複数のキャビティ用孔４１ａの下部開口を各々開閉するキャビティ用シャッタ部４３を備えている。すなわち、キャビティ用シャッタ部４３は、セット部４１下側に設けられている。このキャビティ用シャッタ部４３は、図３１に示すように、開いた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部と連通する、ａ方向に延び（キャビティ用孔４１ａの２箇所分）、鉛直方向に貫通するシャッタスリット４３ａと、閉じた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部を閉塞する閉塞部４３ｂとを有している。
【０１０２】
キャビティ用シャッタ部４３では、１箇所の群４１ｃに対して１箇所のシャッタスリット４３ａを設けている。この群４１ｃは、１箇所のキャビティ３１ａ（被供給部）に対応しており、１箇所の群４１ｃから１箇所のキャビティ３１ａへキャビティ内樹脂３５が供給される。シャッタスリット４３ａは、セット部４１の群４１ｃのそれぞれに対応するように、ｂ方向に群４１ｃの領域分を開けた所定の間隔で設けられている。
【０１０３】
キャビティ用シャッタ部４３が閉じた状態から、各シャッタスリット４３ａをｂ方向へスライドさせて、各群４１ｃのキャビティ用孔４１ａとこれに対応するシャッタスリット４３ａとを連通させていくことで、キャビティ用シャッタ部４３が開いていくこととなる。すなわち、キャビティ用シャッタ部４３を閉じて複数のキャビティ用孔４１ａにセットしたキャビティ内樹脂３５を落下させてキャビティ３１ａへ供給していく。これによれば、格子状の複数のキャビティ用孔４１ａから、キャビティ３１ａ（被供給部）の水平面内にキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）を偏りなく平ら（均一）となるように供給することができる。このように、キャビティ３１ａの水平面内に偏りなくキャビティ内樹脂３５が供給されるので、パッケージ部にボイドや欠けが発生するなどの品質不良を防止することができる。
【０１０４】
また、本実施形態では、１箇所のワークに対して複数のパッケージ部（個片パッケージ）を形成する場合に適用し、個片パッケージ用のキャビティ３１ａ毎に複数のキャビティ用孔４１ａを設けている。これにより、各キャビティ３１ａに樹脂を供給する時間差を短くすることができる。したがって、各キャビティ３１ａで成形されるパッケージ部３７の品質ばらつきを低減することができる。
【０１０５】
なお、本実施形態では、１箇所のキャビティに対して、１箇所の群を対向させてキャビティ内樹脂を供給したが、１箇所のキャビティに対して、複数の群を対向させてキャビティ内樹脂を供給しても良い。
【０１０６】
（実施形態４）
前記実施形態１における搬送ハンド（樹脂供給装置）では、キャビティ用シャッタ部のスリット（開口部）の幅を、キャビティ用孔の幅と同じにした場合について説明した。本実施形態では、キャビティ用シャッタ部の開口部の幅を、キャビティ用孔の幅よりも大きくした場合について説明する。また、前記実施形態１における搬送ハンド（樹脂供給装置）では、複数のキャビティ用孔をセット部に形成して設けた場合について説明した。本実施形態では、複数のキャビティ孔が形成された交換プレートを、セット部に設ける場合について説明する。なお、前述した説明は省略する場合がある。
【０１０７】
図３３〜図３６を参照して、本実施形態における搬送ハンド６（以下、搬送ハンド６Ｄという）について説明する。
【０１０８】
図３３は、搬送ハンド６Ｄの模式的平面図であり、図３４、図３５は、それぞれ図３３のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線における搬送ハンド６Ｄの模式的断面図である。図３３のＣ−Ｃ線における搬送ハンド６Ｄは、図１０のＣ−Ｃ線における搬送ハンド６Ａと同様であり、図１３を参照することができる。図３６は、搬送ハンド６Ｄによりキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６が供給される下型２３の模式的平面図である。なお、図３３〜図３５では、シャッタ部が閉じた状態を示している。
【０１０９】
図３６に示すように、一列に並んで配置された複数（図３６では６箇所）のポット２９の両側のそれぞれには、１箇所のキャビティ３１ａ（両側合わせて２箇所）が形成された平面視矩形状の下型キャビティインサート３１が設けられている。このように下型２３に設けられた２箇所のキャビティ３１ａおよび６箇所のポット２９に対して、搬送ハンド６Ｄはキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６を同時に搬送して、それぞれを供給する。
【０１１０】
樹脂供給用のセット部４１は、図３３に示すように、複数のキャビティ用孔４１ａが同一水平面内のａ方向（第１方向）とこれに直交するｂ方向（第２方向）にマトリクス状に仕切られて配置されている。これら複数のキャビティ用孔４１ａにキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）がセットされる。セット部４１が有する複数のキャビティ用孔４１ａは、一列に並んだ６箇所のポット用孔４２ａ（連通孔４１ｂ）の両側のそれぞれに、１箇所の群４１ｃ（両側合わせて２箇所）をなして設けられている。このような搬送ハンド６Ｄのセット部４１に設けられる２箇所の群４１ｃは、搬送ハンド６Ｄを下型２３に対向させた際、それぞれ下型２３に設けられたキャビティ３１ａに対向する位置となるように形成されている。
【０１１１】
本実施形態では、複数のキャビティ用孔４１ａを交換可能な交換プレート４１ｄに形成し、この交換プレート４１ｄをセット部４１に設けている。セット部４１には、鉛直方向に貫通する段付き部を有する開口部４１ｅが形成されている。この段付き部に対応して交換プレート４１ｄも段付き部も有しており、開口部４１ｅに交換プレート４１ｄを嵌め込んだときに、これら段付き部によってセット部４１から交換プレート４１ｄが抜け落ちないようになっている。
【０１１２】
図３４に示すように、搬送ハンド６Ｄは、複数のキャビティ用孔４１ａの下部開口を各々開閉するキャビティ用シャッタ部４３を備えている。すなわち、キャビティ用シャッタ部４３は、セット部４１下側に設けられている。このキャビティ用シャッタ部４３は、図３５に示すように、開いた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部と連通する、鉛直方向に貫通する開口部４３ａと、閉じた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部を閉塞する閉塞部４３ｂとを有している。
【０１１３】
キャビティ用シャッタ部４３では、１箇所の群４１ｃに対して１箇所の開口部４３ａを設けている。この群４１ｃは、１箇所のキャビティ３１ａ（被供給部）に対応しており、１箇所の群４１ｃから１箇所のキャビティ３１ａへキャビティ内樹脂３５が供給される。キャビティ用シャッタ部４３が閉じた状態から、各開口部４３ａをｂ方向へスライドさせて、各群４１ｃのキャビティ用孔４１ａとこれに対応する開口部４３ａとを連通させていくことで、キャビティ用シャッタ部４３が開いていくこととなる。
【０１１４】
すなわち、キャビティ用シャッタ部４３を閉じて複数のキャビティ用孔４１ａにセットしたキャビティ内樹脂３５を落下させてキャビティ３１ａへ供給していく。これによれば、格子状の複数のキャビティ用孔４１ａから、キャビティ３１ａ（被供給部）の水平面内にキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）を偏りなく平ら（均一）となるように供給することができる。このように、キャビティ３１ａの水平面内に偏りなくキャビティ内樹脂３５が供給されるので、パッケージ部にボイドや欠けが発生するなどの品質不良を防止することができる。
【０１１５】
ここで、搬送ハンド６Ｄは、図３４に示すように、落下案内板５３の他に、複数のキャビティ用孔４１ａから構成される群４１ｃの周囲を開口する開口部５４ａを有する落下案内板５４を備えている。例えば、開口部５４ａは、キャビティ３１ａのサイズに合わせて形成されている。このような落下案内板５４を設けることで、供給の際に樹脂が飛散するのをより防止することができる。
【０１１６】
本実施形態では、複数のキャビティ孔４１ａが形成された交換プレート４１ｄを、セット部４１に設けている。これにより、種々の形状、個数のキャビティ（被供給部）に対しても、キャビティに対応した配置のキャビティ孔４１ａ（群４１ｃ）が形成された交換プレート４１ｄを交換するだけで対応することができる。すなわち、複数のキャビティ用孔４１ａの格子状の配置を変えることができるので、セットするキャビティ内樹脂３５の配置を調整できる。
【０１１７】
また、本実施形態では、キャビティ用シャッタ部の開口部４３ａの幅を、キャビティ用孔４１ａの幅よりも大きくしている。これにより、キャビティ用シャッタ部４３をすばやく開いた場合であっても、キャビティ内樹脂３５をセット部４１に置き去りにすることなく、確実にキャビティ内樹脂３５をキャビティ３１ａに供給することができる。また、搬送ハンド６Ｄが種々の交換プレート４１ｄに対応する場合、各交換プレート４１でのキャビティ用孔４１ｄ（群４１ｃ）の配置が異なることとなるが、開口部４３ａの幅を大きくしておけば、交換プレート４１ｄの交換のつどスリット形状を変える必要もなく、幅広く対応することができる。
【０１１８】
（実施形態５）
前記実施形態１における搬送ハンド（樹脂供給装置）では、複数のキャビティ用孔を水平面内に格子状に仕切って配置するにあたり、マトリクス状に仕切って配置した場合について説明した。本実施形態では、複数のキャビティ用孔を千鳥格子状に仕切って配置する場合について説明する。なお、前述した説明は省略する場合がある。
【０１１９】
図３７〜図４１を参照して、本実施形態における搬送ハンド６（以下、搬送ハンド６Ｅという）について説明する。
【０１２０】
図３７および図３８は、それぞれ搬送ハンド６Ｅの上面図および下面図（模式的平面図）であり、図３９、図４０、図４１は、それぞれ図３７のＡ−Ａ線、Ｂ１−Ｂ線、Ｂ２−Ｂ２線における搬送ハンド６Ｅの模式的断面図である。図３７のＣ−Ｃ線における搬送ハンド６Ｅは、図１０のＣ−Ｃ線における搬送ハンド６Ａと同様であり、図１３を参照することができる。また、搬送ハンド６Ｅによりキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６が供給される下型２３の模式的平面図は、図１４を参照することができる。なお、図３７〜図４１では、シャッタ部が閉じた状態を示している。
【０１２１】
樹脂供給用のセット部４１は、図３７、図３８に示すように、複数のキャビティ用孔４１ａが水平面内に千鳥格子状に仕切られて配置されている。これら複数のキャビティ用孔４１ａにキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）がセットされる。セット部４１が有する複数のキャビティ用孔４１ａは、一列に並んだ６箇所のポット用孔４２ａ（連通孔４１ｂ）の両側のそれぞれに、一列に並んだ３箇所の群４１ｃ（両側合わせて６箇所）をなして設けられている。このような搬送ハンド６Ｅのセット部４１に設けられる６箇所の群４１ｃは、搬送ハンド６Ｅを下型２３に対向させた際、それぞれ下型２３に設けられたキャビティ３１ａ（図１４参照）に対向する位置となるように形成されている。
【０１２２】
図３９に示すように、搬送ハンド６Ｅは、複数のキャビティ用孔４１ａの下部開口を各々開閉するキャビティ用シャッタ部４３を備えている。すなわち、キャビティ用シャッタ部４３は、セット部４１下側に設けられている。このキャビティ用シャッタ部４３は、図４０、図４１に示すように、開いた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部と連通する鉛直方向に貫通するシャッタ孔４３ｄ（開口部）と、閉じた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部を閉塞する閉塞部４３ｂとを有している。
【０１２３】
キャビティ用シャッタ部４３では、１箇所の群４１ｃに対して複数のシャッタ孔４３ｄを設けている。この群４１ｃは、１箇所のキャビティ３１ａ（被供給部）に対応しており、１箇所の群４１ｃから１箇所のキャビティ３１ａへキャビティ内樹脂３５が供給される。キャビティ用シャッタ部４３が閉じた状態から、各シャッタ孔４３ｄをｂ方向へスライドさせて、各キャビティ用孔４１ａとこれに対応するシャッタ孔４３ｄとを連通させていくことで、キャビティ用シャッタ部４３が開いていくこととなる。
【０１２４】
すなわち、キャビティ用シャッタ部４３を閉じて複数のキャビティ用孔４１ａにセットしたキャビティ内樹脂３５を落下させてキャビティ３１ａへ供給していく。これによれば、格子状の複数のキャビティ用孔４１ａから、キャビティ３１ａ（被供給部）の水平面内にキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）を偏りなく平ら（均一）となるように供給することができる。このように、キャビティ３１ａの水平面内に偏りなくキャビティ内樹脂３５が供給されるので、パッケージ部にボイドや欠けが発生するなどの品質不良を防止することができる。
【０１２５】
また、本実施形態では、搬送ハンド６Ｅは、図３８に示すように、複数のキャビティ用孔４１ａから構成される群４１ｃの周囲を開口する開口部５３ｂと、ポット用孔４２ａの周囲を開口する開口部５３ｃとを有する落下案内板５３を備えている。例えば、開口部５３ｂは、キャビティ３１ａの縦横サイズに合わせて貫通孔が形成され、また、開口部５３ｃは、ポット内樹脂３６の投入径サイズに合わせて貫通孔が形成されている。このような落下案内板５３を設けることで、供給の際に樹脂が飛散するのを防止することができる。
【０１２６】
（実施形態６）
前記実施形態１における搬送ハンド（樹脂供給装置）では、キャビティ内樹脂を直接セット部に設けられた複数のキャビティ用孔にセットする場合について説明した。本実施形態では、セット部上側にホルダ部を設け、そのホルダ部を介してキャビティ用孔にキャビティ内樹脂をセットする場合について説明する。なお、前述した説明は省略する場合がある。
【０１２７】
図４２〜図４６を参照して、本実施形態における搬送ハンド６（以下、搬送ハンド６Ｆという）について説明する。
【０１２８】
図４２および図４３は、それぞれ搬送ハンド６Ｆの上面図および下面図（模式的平面図）であり、図４４、図４５、図４６は、それぞれ図４２のＡ−Ａ線、Ｂ１−Ｂ１線、Ｂ２−Ｂ２線における搬送ハンド６Ｆの模式的断面図である。図４２のＣ−Ｃ線における搬送ハンド６Ｆは、図１０のＣ−Ｃ線における搬送ハンド６Ａと同様であり、図１３を参照することができる。また、搬送ハンド６Ｆによりキャビティ内樹脂３５およびポット内樹脂３６が供給される下型２３の模式的平面図は、図１４を参照することができる。なお、図４２〜図４５では、シャッタ部が閉じた状態を示している。
【０１２９】
樹脂供給用のセット部４１は、図４２、図４３に示すように、複数のキャビティ用孔４１ａが水平面内に格子状に仕切られて配置されている。これら複数のキャビティ用孔４１ａにキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）がセットされる。セット部４１が有する複数のキャビティ用孔４１ａは、一列に並んだ６箇所のポット用孔４２ａ（連通孔４１ｂ）の両側のそれぞれに、一列に並んだ３箇所の群４１ｃ（両側合わせて６箇所）をなして設けられている。このような搬送ハンド６Ｆのセット部４１に設けられる６箇所の群４１ｃは、搬送ハンド６Ｆを下型２３に対向させた際、それぞれ下型２３に設けられたキャビティ３１ａ（図１４参照）に対向する位置となるように形成されている。なお、図４２に示すように、１箇所の群４１ｃには、水平面内に×の字状となるように５箇所のキャビティ用孔４１ａが整列して配置されている。本実施例では５箇所だが、数に限定されない。
【０１３０】
ここで、搬送ハンド６Ｆは、セット部４１上側に設けられ、キャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）が装填（セット）される複数のホルダ部５５を備えている。ホルダ部５５は、図４２に示すように、平面視円形状の筒状の例えば合金工具鋼からなる。このホルダ部５５は、鉛直方向に貫通する貫通孔５５ａを有している。複数のホルダ部５５は、各貫通孔５５ａが各キャビティ用孔４１ａと連通して設けられている。これにより、ホルダ部５５を介してキャビティ用孔４１ａにキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）がセットされる。
【０１３１】
図４４に示すように、搬送ハンド６Ｆは、複数のキャビティ用孔４１ａの下部開口を各々開閉するキャビティ用シャッタ部４３を備えている。すなわち、キャビティ用シャッタ部４３は、セット部４１下側に設けられている。このキャビティ用シャッタ部４３は、図４５、図４６に示すように、開いた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部と連通する鉛直方向に貫通するシャッタ孔４３ｄ（開口部）と、閉じた状態のときにキャビティ用孔４１ａの下部を閉塞する閉塞部４３ｂとを有している。
【０１３２】
キャビティ用シャッタ部４３では、１箇所の群４１ｃに対して複数のシャッタ孔４３ｄを設けている。この群４１ｃは、１箇所のキャビティ３１ａ（被供給部）に対応しており、１箇所の群４１ｃから１箇所のキャビティ３１ａへキャビティ内樹脂３５が供給される。キャビティ用シャッタ部４３が閉じた状態から、各シャッタ孔４３ｄをｂ方向へスライドさせて、各キャビティ用孔４１ａとこれに対応するシャッタ孔４３ｄとを連通させていくことで、キャビティ用シャッタ部４３が開いていくこととなる。
【０１３３】
すなわち、キャビティ用シャッタ部４３を閉じて複数のキャビティ用孔４１ａにセットしたキャビティ内樹脂３５を落下させてキャビティ３１ａへ供給していく。これによれば、格子状の複数のキャビティ用孔４１ａから、キャビティ３１ａ（被供給部）の水平面内にキャビティ内樹脂３５（顆粒樹脂）を偏りなく平ら（均一）となるように供給することができる。このように、キャビティ３１ａの水平面内に偏りなくキャビティ内樹脂３５が供給されるので、パッケージ部にボイドや欠けが発生するなどの品質不良を防止することができる。
【０１３４】
また、本実施形態では、キャビティ用孔４１ａと連通する貫通孔５５ａを有するホルダ部５５を設けている。これにより、１箇所のキャビティ用孔４１ａからキャビティ３１ａに供給される樹脂量が多くなる。すなわち、キャビティ用孔４１ａの容量と貫通孔５５ａの容量とを足した容量まで、キャビティ内樹脂３５をセットすることができる。例えば、キャビティ３１ａが深い場合、その深さ方向に多く樹脂を供給する必要がある。このような場合であっても、搬送ハンド６Ｆによれば、キャビティ３１ａに樹脂を偏りなく供給することができる。
【０１３５】
また、キャビティ３１ａ内でも場所により、ホルダ部５５の貫通孔５５ａおよびキャビティ用孔４１ａの孔径又は位置を変えても良い。また、同じ孔径のホルダ部５５であっても、各ホルダ部５５に投入するキャビティ内樹脂３５の量を変えても良い。また、ポット内樹脂３６の投入用のホルダ部４２と、キャビティ内樹脂３５の投入用のホルダ部５５は、同じ孔径であっても良い。同じ径の場合は、キャビティ内樹脂３５はポット用のタブレット樹脂でも良い。また、ホルダ部５５は、立設しているため、ホルダ部５５にファン等により風を当てて空冷などで冷却することも可能である。この場合、ポット内樹脂の環境下における樹脂の硬化進行を遅らせる効果がある。
【０１３６】
（実施形態７）
前記実施形態１における搬送ハンド（樹脂供給装置）では、平面視矩形状の被供給部（キャビティ）に樹脂を供給する場合について説明した。本実施形態では、ウエハモールド、キャリアプレートなど平面視円形状の被供給部に樹脂を供給する場合について説明する。なお、前述した説明は省略する場合がある。
【０１３７】
図４７〜図４９を参照して、本実施形態における搬送ハンド６（以下、搬送ハンド６Ｇという）について説明する。図４７〜図４９では、搬送ハンド６Ｇの下面側からみて、シャッタ部４３が開いていく状態を順に示している。
【０１３８】
樹脂供給用のセット部４１は、図４９に示すように、複数の孔４１ａが複眼のように水平面内に格子状に仕切られて配置されている。これら複数の孔４１ａにキャビティ内樹脂３５（例えば、顆粒樹脂）がセットされる。セット部４１が有する複数の孔４１ａは、１箇所の群４１ｃをなして設けられている。このような搬送ハンド６Ｇのセット部４１に設けられる１箇所の群４１ｃは、平面視円形状の１箇所の被供給部に対向する位置となるように形成されている。
【０１３９】
搬送ハンド６Ｇは、複数の孔４１ａの下部開口を各々開閉するシャッタ部４３を備えている。すなわち、シャッタ部４３は、セット部４１下側に設けられている。シャッタ部４３は、湾曲部が形成された複数（図４７では６箇所）の絞り羽根４３ｅを有し、湾曲部の内縁部で開口部４３ｆを形成するように複数の絞り羽根４３ｅが円周方向に設けられている。搬送ハンド６Ｇは、絞り羽根４３ｅの内縁部が開口部４３ｆの中心に対して外側に移動するように、複数の絞り羽根４３ｅを協働することによって、開口部４３ｆの開口面積を放射状（一定方向）に拡げて、シャッタ部４３を開いていく。このように、シャッタ部４３は、カメラの絞りと同じように、中央部から順次開くようになっている。
【０１４０】
すなわち、シャッタ部４３を被供給部の水平面内中央部から外周部へ放射状に開いていくことで、シャッタ部４３を閉じて複数の孔４１ａにセットした樹脂（例えば、顆粒樹脂）を落下させて被供給部へ供給していく。これによれば、格子状の複数の孔４１ａから、被供給部の水平面内に樹脂を偏りなく平ら（均一）となるように供給することができる。このように、被供給部の水平面内に偏りなく樹脂３５が供給されるので、パッケージ部にボイドや欠けが発生するなどの品質不良を防止することができる。
【０１４１】
（実施形態８）
前記実施形態１では、新規なトランスファ成形の場合で、モールド金型のキャビティとポットの両方に樹脂を供給する搬送ハンドに適用した場合について説明した。これに限らず、前記実施形態１で説明した搬送ハンドを、圧縮成形のモールド金型に適用することができる。この場合、搬送ハンドのポット列は不要となる。以下では、圧縮成形のモールド金型について説明する。なお、前述した説明は省略する場合がある。
【０１４２】
樹脂モールド装置は、図５０に示すように、上下に対向して設けられ、ワークＷをクランプする上型６３（一方の金型）および下型６４（他方の金型）を有するモールド金型６２を備えている。
【０１４３】
モールド金型６２の上型６３は、ベース６５と、チェイス６６と、段付きガイド６７と、段付きインサート６８とを有して構成されている。このような部材で構成される上型６３には、ワークＷをクランプするクランプ面６３ａが形成されている。
【０１４４】
チェイス６６は、ベース６５下側に固定して組み付けられている。また、段付きガイド６７は、チェイス６６下であってチェイス６６の外周部に固定して組み付けられている。また、段付きインサート６８は、段付きガイド６７でガイドされてチェイス６６の中央部に固定して組み付けられている。
【０１４５】
段付きガイド６７には、内側（段付きインサード６８側）に突起するような段部６７ａが形成されている。また、段付きインサート６８には、外側（段付きガイド６７側）に段部６８ｂが形成されている。このため、段付きインサート６８の段部６８ｂと、段付きガイド６７の段部６７ａとが係合することによって、段付きインサート６８は、段付きガイド６７で支持される。
【０１４６】
段付きインサート６８には、下型６４側にワークＷを吸着保持する吸着面６８ａ（クランプ面６３ａ）が形成されている。また、段付きインサート６８には吸着面６８ａに通じるエア吸引路６８ｃが形成されている。このエア吸引路６８ｃは、モールド金型６２外で設けられているエアを吸引する装置（図示せず）と接続されている。また、段付きインサート６８とチェイス６６との間にはリング状のシール部材６９（例えば、Ｏリング）が挿入されており、エア吸引路６８ｃの気密性を確保するようになっている。このため、エア吸引装置が作動すると、エア吸引路６８ｃなどを介してワークＷが段付きインサート６８の吸着面６８ａに吸着保持されることとなる。
【０１４７】
モールド金型６２の下型６４は、ベース７０と、チェイス７１と、キャビティインサート７２と、可動クランパ７３とを有して構成されている。このような部材で構成される下型６４には、ワークＷをクランプするクランプ面６４ａが形成されている。このクランプ面６４ａには、リリースフィルム７７が張設されている。フィルム７７は、モールド金型６２の加熱温度に耐えられる耐熱性、柔軟性および伸展性を有するフィルム材（例えば、厚さが５０μｍ程度のＰＴＦＥなどのフッ素系樹脂フィルム）からなる。
【０１４８】
チェイス７１は、ベース７０上側に固定して組み付けられている。また、可動クランパ７３は、チェイス７１の外周凹部に設けられたスプリング７４を介してチェイス７１に対して弾発するように上下動可能に組み付けられている。この可動クランパ７３では、キャビティインサート７２が設けられる貫通孔７３ａが形成されている。また、可動クランパ７３では、上型６３側の縁部にクランプ面６４ａが形成されている。また、可動クランパ７３では、クランプ面６４ａから凹んでキャビティ凹部（以下、単にキャビティという）７５が形成されている。
【０１４９】
キャビティインサート７２は、チェイス７１の中央凹部に設けられたスプリング７６を介してチェイス７１に対して弾発するように上下動可能に組み付けられている。キャビティインサート７２は、可動クランパ７３の貫通孔７３ａに内包して設けられている。
【０１５０】
次に、樹脂モールド装置（モールド金型６２）を用いた樹脂モールド方法について説明する。まず、型開きしたモールド金型６２の上型６３にワークＷを吸着させる（供給する）。また、キャビティ７５内に、成形品を構成する樹脂量分のキャビティ内樹脂３５を供給する。具体的には、前述した搬送ハンド６を用いて、ワークＷおよびキャビティ内樹脂３５を搬送して供給する。
【０１５１】
次いで、上型６３および下型６４を近接させてモールド金型６２の型締めを行う。これによりワークＷがクランプしてキャビティ７５内を充填する。次いで、可動クランパ７３とチェイス７１とが当接するまで、更にモールド金型６２の型締めを行うことで、可動クランパ７３に対してキャビティインサート７２が相対的に上動することで、キャビティ７５内で溶融したキャビティ内樹脂３５が押圧される。
【０１５２】
次いで、モールド金型６２を樹脂モールド温度に加熱することによって溶融したキャビティ内樹脂３５を硬化（キュア）させる。その後、下型６４を下動させて型開きを行ない、可動クランパ７３がワークＷより離間型開きした後、ワークＷ（成形品）を上型６３より取り出し、必要に応じてクリーニングされて１回分の成形動作が終了する。このような圧縮成形のモールド金型６２にも、前述した搬送ハンド６を適用することができる。
【０１５３】
以上、本発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではない。本発明について、前記実施形態に共通して言えることは、１つのキャビティに対して、複数に区切られたキャビティ孔を設けた樹脂供給ハンドより１ヶ所又は複数ヶ所よりキャビティ樹脂をキャビティに落下供給する装置及び方法について記載している点である。以下のように、この本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【０１５４】
例えば、前記実施形態では、搬送ハンドが、キャビティおよびポットに対してそれぞれ顆粒樹脂とタブレットというように異なる形態のキャビティ内樹脂（顆粒樹脂）およびポット内樹脂（タブレット樹脂）を搬送する場合について説明した。これに限らず、キャビティ内樹脂を粉体樹脂にする事でも良いし、ポット内樹脂を顆粒樹脂、粉体樹脂にする事でも良い。なお、ポット樹脂は液状樹脂にすることも可能である。
【０１５５】
例えば、前記実施形態では、落下案内板をセット部下側に単に設けた場合について説明した。これに限らず、落下案内板を他のアクチュエータなどにより別駆動させることで可動にし、キャビティ内までキャビティ内樹脂を案内しても良い。これにより、キャビティ内に確実にキャビティ内樹脂を供給することができる。
【０１５６】
例えば、前記実施形態では、水平面内に格子状に仕切られて配置された複数の孔（キャビティ用孔）の平面視形状が四角形の場合について説明した。これに限らず、格子状に仕切られて配置される複数の孔の平面視形状は、円形、三角形、五角形、六角形でも良い。
【０１５７】
例えば、前記実施形態では、平面視矩形状の下型キャビティインサードの長手方向に開閉するシャッタ部を設けた場合について説明した。これに限らず、下型キャビティインサートの短手方向に開閉するシャッタ部を設けても良い。
【符号の説明】
【０１５８】
１  樹脂モールド装置
６  搬送ハンド（樹脂供給装置）
２１  モールド金型
２９  ポット
３１ａ  キャビティ
３５  キャビティ内樹脂
３６  ポット内樹脂
３７  パッケージ部
４１  セット部
４１ａ  キャビティ用孔
４２  ホルダ部
４２ａ  ポット用孔
４３  キャビティ用シャッタ部
４３ａ  シャッタスリット（開口部）
４４  ポット用シャッタ部
４４ａ  開口孔
５１、５２  アクチュエータ
５３  落下案内板
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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