(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直動駆動装置により移動可能な支持部と、
前記支持部に備えられ、電子部品を把持する把持部を配置可能な可動部と、
前記支持部に備えられ、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、
前記複数の圧電モーターに接続され、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、
前記支持部に備えられ、前記駆動回路からの駆動信号を選択的に透過させる複数のバンドパスフィルターと、を備え、
前記駆動回路は、前記共振周波数のうちのいずれかの周波数の前記駆動信号を前記圧電モーターに供給する
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動装置であって、
前記駆動回路を複数備える
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の駆動装置であって、
前記複数の圧電モーターの共振周波数の相互差は、各共振周波数の１０％以上である
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項４】
請求項１〜３に記載の電子部品搬送装置であって、
前記複数の圧電モーターは、前記可動部を第１の方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記可動部を前記第１の方向と直交する第２の方向に移動させる第２の圧電モーターと、を含み、
前記第１の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第２の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されている
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４に記載の電子部品搬送装置であって、
前記複数の圧電モーターは、前記可動部を回転させる第３の圧電モーターと、を含み、
前記第３の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第１の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されている
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項６】
請求項１〜５に記載の電子部品搬送装置であって、
前記支持部は、前記第１の方向及び前記第２の方向とは直交する第３の方向に移動可能である
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項７】
請求項１〜６に記載の電子部品搬送装置であって、
前記支持部には、複数の可動部が備えられている
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項８】
直動駆動装置により移動可能な支持部と、
前記支持部に備えられ、電子部品を把持する把持部を含む可動部と、
前記支持部に備えられ、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、
前記複数の圧電モーターに接続され、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動回路と、  前記支持部に備えられ、前記駆動回路からの駆動信号を選択的に透過させる複数のバンドパスフィルターと、を備え、
前記駆動回路は、前記共振周波数のうちのいずれかの周波数の前記駆動信号を前記圧電モーターに供給する
前記電子部品を配置して検査可能な検査部と、  
を備えることを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、ロボットハンド、及びロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のモーターを個別の駆動回路で駆動して可動部を移動させる駆動装置が知られている。このような駆動装置は、例えば位置決め装置として用いられ、可動部を異なる方向に移動させる複数のモーターを駆動回路で順次駆動することにより、可動部を所定の位置に位置決めすることができる。従来の位置決め装置では、一般に電磁モーターやパルスモーターが用いられているが、非駆動状態にある回転子が回転してしまわないように保持するブレーキ機構がモーター毎に必要であった。
【０００３】
これに対して、圧電モーター（圧電アクチュエーター）を用いた駆動装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。圧電モーターは、圧電素子で生じる振動を摩擦力で回転部に伝達し、非駆動状態においても摩擦力により回転部の位置が保持されるので、ブレーキ機構を必要としない。したがって、特許文献１に記載のような圧電モーターを用いた駆動装置では、電磁モーターやパルスモーターを用いた駆動装置に比べて、駆動装置の小型化、軽量化を図ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１３６７６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の駆動装置では、各圧電モーターを個別の駆動回路で駆動するため、駆動回路、及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線が圧電モーターと同じ数だけ必要となる。このため、駆動装置をより小型化、軽量化、低コスト化することが困難であるという課題があった。また、圧電モーターは部品等を保持して移動する可動部に設けられるが、駆動回路は可動部から離れた位置に設けられるため、圧電モーターと駆動回路とを接続する配線が多いほど、配線の重量や配線の束による抑制力が可動部を移動させる際の負荷となって、精密な位置決めが行いにくい場合があるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る駆動装置は、複数の異なる方向に移動可能な可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電モーターに対して、共振周波数の中から選択された周波数の駆動信号が供給されるので、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみが動作する。したがって、駆動信号の周波数を共振周波数の中から選択して順次切り替えることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。さらに、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、駆動装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。また、駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーターの切り替えを速く（短時間で）行うことができる。これにより、複数の圧電モーターを切り替えて可動部を複数の異なる方向に移動させて所定の位置に配置する等の作業において、サイクルタイムを短縮することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に係る駆動装置であって、前記駆動回路を複数備えることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、複数の駆動回路のそれぞれで複数の圧電モーターの切り替えを速く（短時間で）行うことができるので、複数の駆動回路間で駆動信号の周波数の切り替えを同期させることにより、駆動する圧電モーターの切り替えを同期させて行うことができる。これにより、複数の可動部を所定の位置に移動配置する等の作業を同期させて行うことができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に係る駆動装置であって、前記複数の圧電モーターの共振周波数の相互差は、各共振周波数の１０％以上であることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、圧電モーターは、共振周波数において高効率かつ安定した状態で動作するが、共振周波数から１０％程度ずれた周波数では動作しない。したがって、複数の圧電モーターの共振周波数の相互差を各共振周波数の１０％以上とすることにより、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターを確実に選択して駆動することができる。
【００１３】
［適用例４］本適用例に係る電子部品搬送装置は、電子部品を所定の位置に移動させる電子部品搬送装置であって、前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電モーターに対して駆動回路が共振周波数の中から選択した周波数の駆動信号を供給するので、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数に対応する共振周波数を有する圧電モーターのみを選択的に動作させることができる。そのため、駆動信号の周波数を共振周波数の中から選択して切り替えることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを時分割で切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、電子部品搬送装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例に係る電子部品搬送装置であって、前記可動部を第１の方向に沿って往復動させる直動機構をさらに備え、前記複数の圧電モーターは、前記可動部を前記第１の方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記可動部を前記第１の方向とは異なる第２の方向に移動させる第２の圧電モーターと、を含み、前記第１の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第２の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、直動機構により可動部が往復動する第１の方向に可動部を移動させる第１の圧電モーターは、可動部を第２の方向に移動させる第２の圧電モーターよりも可動部側に配置されている。圧電モーターが非駆動状態において、直動機構により可動部が第１の方向に往復動すると、移動方向が同じである第１の圧電モーターの方が移動方向が異なる第２の圧電モーターよりも往復動の慣性力で動いてずれてしまう可能性が高い。可動部が直動機構よりも鉛直方向下方に配置されている場合、第２の圧電モーターが第１の圧電モーターよりも可動部側、すなわち鉛直方向下方に配置されていると、第１の圧電モーターに第２の圧電モーターの重力がかかるため、第１の圧電モーターに作用する慣性力が大きくなってしまう。これに対して、第１の圧電モーターを第２の圧電モーターよりも鉛直方向下方に配置することで、第２の圧電モーターの重力分第１の圧電モーターに作用する慣性力を低減できる。これにより、第１の圧電モーターが動いてずれが生じることを抑止することができる。
【００１７】
［適用例６］本適用例に係る電子部品検査装置は、電子部品を所定の位置に移動配置させて、前記電子部品の電気的検査を行う電子部品検査装置であって、前記電子部品を検査する検査部と、前記電子部品を保持し、移動可能な可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電モーターに対して駆動回路が共振周波数の中から選択した周波数の駆動信号を供給するので、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数に対応する共振周波数を有する圧電モーターのみを選択的に動作させることができる。そのため、駆動信号の周波数を共振周波数の中から選択して切り替えることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを時分割で切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、電子部品検査装置の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例に係る電子部品検査装置であって、前記可動部を第１の方向に沿って往復動させる直動機構をさらに備え、前記複数の圧電モーターは、前記可動部を前記第１の方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記可動部を前記第１の方向とは異なる第２の方向に移動させる第２の圧電モーターと、を含み、前記第１の圧電モーターは、前記直動機構に対して前記第２の圧電モーターよりも前記可動部側に配置されていることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、直動機構により可動部が往復動する第１の方向に可動部を移動させる第１の圧電モーターは、可動部を第２の方向に移動させる第２の圧電モーターよりも可動部側に配置されている。圧電モーターが非駆動状態において、直動機構により可動部が第１の方向に往復動すると、移動方向が同じである第１の圧電モーターの方が移動方向が異なる第２の圧電モーターよりも往復動の慣性力で動いてずれてしまう可能性が高い。可動部が直動機構よりも鉛直方向下方に配置されている場合、第２の圧電モーターが第１の圧電モーターよりも可動部側、すなわち鉛直方向下方に配置されていると、第１の圧電モーターに第２の圧電モーターの重力がかかるため、第１の圧電モーターに作用する慣性力が大きくなってしまう。これに対して、第１の圧電モーターを第２の圧電モーターよりも鉛直方向下方に配置することで、第２の圧電モーターの重力分第１の圧電モーターに作用する慣性力を低減できる。これにより、第１の圧電モーターが動いてずれが生じることを抑止することができる。
【００２１】
［適用例８］本適用例に係るロボットハンドは、可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電モーターに対して、共振周波数の中から選択された周波数の駆動信号が供給されるので、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみが動作する。したがって、駆動信号の周波数を共振周波数の中から選択して順次切り替えることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。さらに、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、ロボットハンドの小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。また、駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーターの切り替えを速く（短時間で）行うことができる。これにより、複数の圧電モーターを切り替えて可動部を所定の位置に移動配置する等の作業において、サイクルタイムを短縮することができる。
【００２３】
［適用例９］本適用例に係るロボットは、可動部と、互いに異なる共振周波数を有し、前記可動部を移動させる複数の圧電モーターと、前記複数の圧電モーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、を備え、前記駆動回路は、前記複数の圧電モーターの共振周波数の中から選択した周波数を前記駆動信号の周波数とすることを特徴とする。
【００２４】
この構成によれば、互いに異なる共振周波数を有する複数の圧電モーターに対して、共振周波数の中から選択された周波数の駆動信号が供給されるので、複数の圧電モーターのうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみが動作する。したがって、駆動信号の周波数を共振周波数の中から選択して順次切り替えることにより、共通の駆動回路で複数の圧電モーターを切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路の数及び圧電モーターと駆動回路とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。さらに、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、ロボットの小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。また、駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーターの切り替えを速く（短時間で）行うことができる。これにより、複数の圧電モーターを切り替えて可動部を所定の位置に移動配置する等の作業において、サイクルタイムを短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】第１の実施形態に係る駆動装置の概略構成を示すブロック図。
【図２】第１の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図。
【図３】第１の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図。
【図４】第１の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図。
【図５】第１の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する図。
【図６】第２の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図。
【図７】第２の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図。
【図８】第２の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図。
【図９】第３の実施形態に係る電子部品の一例を示す図。
【図１０】第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置の概略構成を示すブロック図。
【図１１】第３の実施形態に係る電子部品検査装置の要部の構成を説明する図。
【図１２】第３の実施形態に係る電子部品検査装置の要部の構成を説明する図。
【図１３】第３の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の概略構成を示すブロック図。
【図１４】第３の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の駆動制御方法を説明する図。
【図１５】第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットの構造を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、参照する各図面において、構成をわかり易く示すため、各構成要素の寸法の比率、角度等が異なる場合がある。
【００２７】
（第１の実施形態）
＜駆動装置＞
まず、第１の実施形態に係る駆動装置の概略構成を説明する。図１は、第１の実施形態に係る駆動装置の概略構成を示すブロック図である。図１に示すように、第１の実施形態に係る駆動装置１００は、３つの駆動ユニット１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃで構成される。
【００２８】
駆動ユニット１０１（１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃ）は、可動部５０（５０ａ，５０ｂ，５０ｃ）と、駆動回路３０（３０ａ，３０ｂ，３０ｃ）と、圧電モーター１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ），１２（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ），１３（１３ａ，１３ｂ，１３ｃ），１４（１４ａ，１４ｂ，１４ｃ）と、を備えている。駆動ユニット１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのそれぞれは同じ構成を有しており、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃにより、各駆動ユニット１０１と、各駆動ユニット１０１が備える可動部５０、駆動回路３０、圧電モーター１１，１２，１３，１４とを対応させている。以下では、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃを省略して説明する。
【００２９】
可動部５０は、複数の異なる方向、例えば、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の３方向、及びＺ方向を回転軸として回転するθ方向に移動可能である。各駆動ユニット１０１において、可動部５０には、４個の圧電モーター１１，１２，１３，１４が設けられている。圧電モーター１１，１２，１３，１４は、互いに異なる共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４を有しており、駆動回路３０に接続されている。共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４については、後述する。
【００３０】
圧電モーター１１，１２，１３，１４には、駆動回路３０から駆動信号が供給される。駆動信号の周波数は、圧電モーターの共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４の中から選択され、順次切り替えられる。圧電モーター１１，１２，１３，１４のうち、駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみが動作する。また、圧電モーター１１，１２，１３，１４のうち動作している圧電モーターから、エンコーダー信号が駆動回路３０にフィードバックされる。
【００３１】
駆動装置１００は、３つの駆動ユニット１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのそれぞれにおいて、駆動信号の周波数を切り替えることで、４つ（４軸）の圧電モーター１１，１２，１３，１４を時分割で切り替えて駆動することにより、３つの可動部５０のそれぞれを所望の位置に移動させる１２軸の多軸駆動装置である。駆動装置１００の駆動制御方法については後述する。
【００３２】
＜圧電モーター＞
次に、圧電モーター１１，１２，１３，１４の構成を説明する。図２は、第１の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。図３は、第１の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。
【００３３】
圧電モーター１１，１２，１３，１４は、同じ構成を有している。図２に示すように、圧電モーター１１，１２，１３，１４のそれぞれは、振動体１と、被駆動体５と、保持部材８と、付勢バネ６と、基台７と、を備えている。振動体１、被駆動体５、保持部材８、及び付勢バネ６は、基台７に設置されている。なお、ここでは、被駆動体５が回転駆動されるローターである場合を例にとり説明する。
【００３４】
図２に示す平面視で、振動体１は、短辺１ａと長辺１ｂとを有する略矩形形状である。以下の説明では、短辺１ａに沿った方向を短手方向と呼び、長辺１ｂに沿った方向を長手方向と呼ぶ。振動体１は、例えば、板状に形成された圧電素子で構成されるが、圧電素子と振動板とが積層された積層体であってもよい。
【００３５】
圧電素子は、電気機械変換作用を示す圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ3で示されるペロブスカイト構造を有する金属酸化物を材料として形成されている。このような金属酸化物としては、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3：ＰＺＴ）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）等があげられる。
【００３６】
振動体１の表面には、Ｎｉ，Ａｕ，Ａｇ等の導電性金属からなる電極３が設けられている。電極３は、振動体１の短手方向の中央部、及び長手方向の中央部に形成された溝部によって、略４等分されている。これにより、電極３は、個別電極として互いに電気的に隔離された電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの４つの電極部に分割されている。また、振動体１の反対側の表面には、共通電極９（図３参照）が設けられている。
【００３７】
電極３の４つの電極部のうち、互いに対角となるように配置され対を成す電極部３ａ，３ｄは、第１屈曲振動用電極として機能する。また、電極部３ａ，３ｄと交差する対角となるように配置され対を成す電極部３ｃ，３ｂは、第２屈曲振動用電極として機能する。電極部３ａ，３ｄが配置された領域、及び電極部３ｃ，３ｂが配置された領域が、それぞれ振動体１の短手方向に屈曲振動を励起する屈曲振動励起領域となる。
【００３８】
振動体１は、被駆動体５側に突出するように延設され、被駆動体５の側面（円周面）に当接する摺動部４を有している。また、振動体１は、短手方向両外側に向かって延設された一対の腕部１ｃを有している。腕部１ｃには厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられており、貫通孔を挿通させたネジを介して、腕部１ｃが保持部材８に固定されている。これにより、振動体１は、保持部材８に対して、腕部１ｃを基点として屈曲振動が可能な状態で保持される。
【００３９】
被駆動体５は、円盤形状を有しており、振動体１の摺動部４が設けられた側に配置されている。被駆動体５は、基台７に立設された棒状の軸５ａを回転中心として、回転自在に保持されている。圧電モーター１１，１２，１３，１４のそれぞれにおいて、被駆動体５に近い位置には、エンコーダー５１，５２，５３，５４（図３参照）が設けられている。エンコーダー５１，５２，５３，５４は、被駆動体５の位置や回転速度に基づくエンコーダー信号Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４を駆動回路３０（図１参照）にフィードバックする。
【００４０】
基台７は、振動体１の短手方向の両外側に、長手方向に沿って延在して配置された一対のスライド部７ａを有している。保持部材８は、基台７に対して、スライド部７ａに沿ってスライド移動可能に支持されている。
【００４１】
保持部材８の被駆動体５とは反対側と基台７との間には、付勢バネ６が設置されている。付勢バネ６は、保持部材８を介して振動体１を被駆動体５に向けて付勢し、この付勢力により、摺動部４が被駆動体５に所定の力で当接する。付勢バネ６の付勢力は、被駆動体５と摺動部４との間で適切な摩擦力が発生するように適宜設定されている。これにより、振動体１の振動が、摺動部４を介して被駆動体５に効率よく伝達される。
【００４２】
駆動回路３０から、共通電極９に対して共通信号（図３に示すＣＯＭ）が供給され、第１屈曲振動用電極である電極部３ａ，３ｄに対して駆動信号（図３に示すＤｒｖＡ）が供給されると、振動体１に、短手方向に沿って屈曲する屈曲振動が励振される。この屈曲振動により、摺動部４は、時計回りの楕円軌道を描くように摺動する。これにより、被駆動体５が、図２に矢印で示すように、反時計回りに回転する。
【００４３】
一方、共通電極９に対して共通信号（ＣＯＭ）が供給され、第２屈曲振動用電極である電極部３ｃ，３ｂに対して駆動信号（図３に示すＤｒｖＢ）が供給されると、振動体１に、短手方向に沿って屈曲する屈曲振動が励振される。この屈曲振動により、摺動部４は、反時計回りの楕円軌道を描くように摺動する。これにより、被駆動体５が、図２に示す矢印とは反対の、時計回りに回転する。
【００４４】
このように、圧電モーター１１，１２，１３，１４は、駆動回路３０から共通電極９と電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとの間に駆動信号を供給する際に、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ，３ｄ）を選択する場合と、第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ，３ｂ）を選択する場合とを切り替えることにより、被駆動体５を反時計回り及び時計回りの双方向に回転させることが可能である。これにより、可動部５０（図１参照）を移動させる方向を正方向と逆方向とで切り替えることができる。
【００４５】
なお、被駆動体５は、上述の回転駆動されるローターに限定されるものではない。被駆動体５は直線駆動されるリニア被駆動体であってもよく、被駆動体５の駆動方向は任意に構成できる。被駆動体５がリニア被駆動体である場合、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ，３ｄ）と第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ，３ｂ）とを切り替えることにより、被駆動体５の直動方向を正方向と逆方向とで切り替えることができる。
【００４６】
ところで、図３に示すように、圧電モーター１１，１２，１３，１４のそれぞれの振動体１は、互いに異なる共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４を有している。それぞれの共振周波数において、振動体１のインピーダンスは極小となり、屈曲振動の振幅は極大となる。そのため、圧電モーター１１，１２，１３，１４は、それぞれの共振周波数と同じ周波数の駆動信号が供給されると高効率かつ安定した状態で動作する。
【００４７】
一方、圧電モーター１１，１２，１３，１４は、駆動信号の周波数がそれぞれの共振周波数から外れると安定した状態で動作できなくなり、駆動信号の周波数と共振周波数とのずれが共振周波数の１０％程度ある場合は動作しない。したがって、圧電モーター１１，１２，１３，１４の共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４の相互差は、各共振周波数の１０％以上であることが望ましい。相互差が各共振周波数の１０％以上となるように共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４を設定すれば、圧電モーター１１，１２，１３，１４のうち、駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみを選択的に動作させることができる。
【００４８】
なお、圧電モーター１１，１２，１３，１４は、デジタルアンプ３４から出力される矩形波信号の容量成分を打ち消すためのＬＣ回路２１，２２，２３，２４を介して駆動回路３０（図１参照）に接続されている。ＬＣ回路２１，２２，２３，２４は、それぞれ接続された圧電モーター１１，１２，１３，１４の共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４にマッチングされており、共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４と同じ周波数の駆動信号を選択的に通過させるバンドパスフィルターとしても機能する。
【００４９】
このように、圧電モーター１１，１２，１３，１４のうち、駆動信号の周波数と共振周波数が同じ圧電モーターのみが選択的に駆動され、他の圧電モーターは非駆動状態となる。したがって、駆動信号の周波数を共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４から選択して順次切り替えることにより、共通の駆動回路３０で４個の圧電モーター１１，１２，１３，１４を時分割で切り替えて駆動することができる。これにより、駆動回路３０の数及び配線の数を少なくすることができる。
【００５０】
また、非駆動状態において、被駆動体５は、摺動部４との間に働く摩擦力により、回転を停止した際の位置で保持される。したがって、圧電モーター１１，１２，１３，１４では、電磁モーターやパルスモーターのように非駆動状態において回転子が回転しないようにモーター毎に設けられるブレーキ機構を必要としない。このため、圧電モーター１１，１２，１３，１４を用いることで、駆動装置１００の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【００５１】
なお、圧電モーター１１，１２，１３，１４は、被駆動体５の回転を増速又は減速して伝達する増減速機構をさらに備えていてもよい。増減速機構を備えていると、被駆動体５の回転速度を増速又は減速して所望の回転速度を容易に得ることができる。
【００５２】
＜駆動回路＞
次に、第１の実施形態に係る駆動回路の概略構成を説明する。図４は、第１の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。図４に示すように、駆動回路３０（３０ａ，３０ｂ，３０ｃ）は、主制御部４０と、副制御部４１と、発振器３１と、ゲインアンプ３２と、ＰＷＭ部３３と、デジタルアンプ３４と、リレー３７，３８と、を備えている。
【００５３】
主制御部４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）で構成される。主制御部４０は、駆動装置１００を含むシステム全体を制御する制御装置（図示省略）と、ＣＡＮ（Controller Area Network）を介して接続されている。主制御部４０は、制御装置の指示に基づいて、圧電モーター１１，１２，１３，１４を切り替えて時分割で駆動する等の、駆動装置１００の動作の制御を行う。
【００５４】
副制御部４１は、ロジックＩＣやＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等で構成される。副制御部４１は、主制御部４０とＳＰＩ（Serial Peripheral Interface）を介して接続されている。副制御部４１は、主制御部４０の指示に基づいて、発振器３１で生成する信号の周波数、ゲインアンプ３２の増幅率、リレー３７，３８の切り替え等の制御を行う。また、副制御部４１は、エンコーダー５１，５２，５３，５４からフィードバックされたエンコーダー信号（図３に示すＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４）に基づいて、圧電モーター１１，１２，１３，１４の被駆動体５の位置や回転速度を検出する。
【００５５】
発振器３１は、ＤＤＳ（Direct Digital Synthesizer）等で構成される。発振器３１は、圧電モーター１１，１２，１３，１４の振動体１に供給する駆動信号のもととなる信号を生成する。発振器３１で生成された信号は、ＤＡコンバーターによりアナログ信号に変換される。また、発振器３１は、副制御部４１の指示に基づいて、駆動信号の周波数を共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４の中から選択された周波数に順次切り替える。
【００５６】
ゲインアンプ３２は、例えば、デジタルポテンショメーターとオペアンプとで構成される。ゲインアンプ３２は、発振器３１からのアナログ信号をデジタル制御により増幅する。また、ゲインアンプ３２は、副制御部４１の指示に基づいて、駆動信号の電圧値を調整する。
【００５７】
ＰＷＭ部３３は、ＰＷＭ（Pulse Width Modulation）回路で構成される。ＰＷＭ部３３は、ゲインアンプ３２からの入力信号におけるパルスのデューティー比を変えることにより、等価的なアナログ制御を行なう。
【００５８】
デジタルアンプ３４は、ＭＯＳトランジスターのＨブリッジ回路で構成され、ＰＷＭ部３３との併用により、デジタルアンプとして機能する。デジタルアンプ３４は、ＰＷＭ部３３からの信号の電力を増幅してスイッチングを行う。なお、主制御部４０からの「Ｓｌｅｅｐ」指示があると、電力を増幅してスイッチングを行う機能がＯＦＦ状態となる。
【００５９】
デジタルアンプ３４は、リレー３７を介して圧電モーター１１，１２，１３，１４の第１屈曲振動用電極（図２に示す電極部３ａ，３ｄ）に駆動信号（ＤｒｖＡ）を出力し、リレー３８を介して第２屈曲振動用電極（図２に示す電極部３ｃ，３ｂ）に駆動信号（ＤｒｖＢ）を出力する。また、デジタルアンプ３４は、圧電モーター１１，１２，１３，１４の共通電極９（図３参照）に共通信号（ＣＯＭ）を出力する。
【００６０】
リレー３７，３８は、フォトモスリレーで構成されている。リレー３７，３８は、副制御部４１の指示に基づいて動作し、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ，３ｄ）、第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ，３ｂ）とデジタルアンプ３４とが電気的に接続した状態及び電気的に切断した状態を切り替える。リレー３７，３８を切り替えて、第１屈曲振動用電極（電極部３ａ，３ｄ）又は第２屈曲振動用電極（電極部３ｃ，３ｂ）を選択することにより、圧電モーター１１，１２，１３，１４の被駆動体５は反時計回り又は時計回りに回転する。
【００６１】
＜駆動制御方法＞
次に、第１の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する。図５は、第１の実施形態に係る駆動装置の駆動制御方法を説明する図である。
【００６２】
先に図１を参照して説明したように、駆動ユニット１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃのそれぞれにおいて、駆動回路３０から圧電モーター１１，１２，１３，１４に駆動信号が供給される。駆動信号の周波数は、圧電モーターの共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４の中から選択され、時分割で順次切り替えられる。
【００６３】
図５（ａ）は、駆動回路３０から圧電モーター１１，１２，１３，１４に供給される駆動信号の例を模式的に示している。図５（ａ）に示すように、駆動信号の周波数は、動作開始等の基準時点から時間Ｔ１経過後に、圧電モーター１１の共振周波数Ｆ１となる。そうすると、駆動信号の周波数と同じ共振周波数Ｆ１を有する圧電モーター１１のみが動作し、圧電モーター１２，１３，１４は動作しない。
【００６４】
時間Ｔ１から時間Ｔ２経過後に駆動信号の周波数が圧電モーター１２の共振周波数Ｆ２に切り替わると、圧電モーター１２のみが動作する。さらに時間Ｔ３経過後に駆動信号の周波数が圧電モーター１３の共振周波数Ｆ３に切り替わると圧電モーター１３のみが動作し、時間Ｔ４経過後に圧電モーター１４の共振周波数Ｆ４に切り替わると圧電モーター１４のみが動作する。
【００６５】
このようにして、駆動装置１００では、一つの駆動回路３０により、４個の圧電モーター１１，１２，１３，１４を切り替えて駆動することができる。そのため、駆動回路３０と４個の圧電モーター１１，１２，１３，１４とを、共通の配線で接続することができる。これにより、圧電モーター１１，１２，１３，１４の数に対して、駆動回路３０の数及び配線の数を少なくすることができる。
【００６６】
また、駆動装置１００では、駆動信号の周波数を切り替えるだけで駆動する圧電モーターを切り替えられるので、圧電モーターを切り替えるための機構や部材を別途必要とせず、圧電モーターの切り替えを速く（短時間で）行うことができる。そのため、３つの駆動ユニット１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃにおいて、駆動信号の周波数の切り替えを同期させることにより、それぞれの圧電モーター１１，１２，１３，１４の切り替えを速くかつ同期させて行うことができる。これにより、例えば、可動部５０ａ，５０ｂ，５０ｃ（図１参照）を移動させる作業を同期させて行うことができる。
【００６７】
図５（ｂ）は、周波数を切り替えつつ連続して駆動信号を供給する場合の例を模式的に示している。図５（ｂ）に示すように、周波数を切り替えながら駆動信号を連続して供給すれば、圧電モーター１１，１２，１３，１４を時分割で順次連続して駆動することができる。これにより、例えば、可動部５０ａ，５０ｂ，５０ｃを移動させる作業のサイクルタイムを短縮することができる。
【００６８】
ここで、４個の圧電モーター１１，１２，１３，１４により可動部５０（５０ａ，５０ｂ，５０ｃ）を移動させる方向は、同一であってもよいし、それぞれ異なっていてもよい。例えば、圧電モーター１１，１２，１３，１４のそれぞれによる移動方向を、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の３方向、及びＺ方向を回転軸として回転するθ方向とすれば、圧電モーター１１，１２，１３，１４を順次切り替えて動作させることで、可動部５０をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、θ方向に順次移動させて所望の位置に移動配置することができる。
【００６９】
あるいは、増減速機構により、圧電モーター１１，１２，１３，１４の順に可動部５０を移動させる速度を遅く（移動させる距離を小さく）すれば、圧電モーター１１，１２，１３，１４を順次切り替えて駆動させることで、可動部５０の位置合わせを段階的に微細に行うことができる。なお、駆動装置１００が備える駆動ユニットの数や、一つの駆動回路３０に接続する圧電モーターの数は、上述の数に限定されるものではない。
【００７０】
以上述べたように、第１の実施形態に係る駆動装置１００の構成によれば、以下の効果が得られる。
【００７１】
（１）互いに異なる共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４を有する圧電モーター１１，１２，１３，１４に対して、共振周波数の中から選択された周波数の駆動信号が供給されるので、圧電モーター１１，１２，１３，１４のうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターのみが動作する。したがって、駆動信号の周波数を共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４の中から選択して順次切り替えることにより、共通の駆動回路３０で圧電モーター１１，１２，１３，１４を切り替えて駆動することができる。これにより、圧電モーターの数に対して、駆動回路３０の数及び圧電モーターと駆動回路３０とを接続する配線の数を少なくすることができる。そして、配線の数が少なくなるので、配線の重量や配線の束による可動部への負荷を低減できる。さらに、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、駆動装置１００の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。また、駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーター１１，１２，１３，１４の切り替えを速く（短時間で）行うことができる。これにより、圧電モーター１１，１２，１３，１４を切り替えて可動部５０を所定の位置に移動配置する等の作業において、サイクルタイムを短縮することができる。
【００７２】
（２）複数の駆動回路３０のそれぞれで複数の圧電モーター１１，１２，１３，１４の切り替えを速く（短時間で）行うことができるので、複数の駆動回路３０間で駆動信号の周波数の切り替えを同期させることにより、駆動する圧電モーターの切り替えを同期させて行うことができる。これにより、複数の可動部５０を所定の位置に移動配置する等の作業を同期させて行うことができる。
【００７３】
（３）圧電モーターは、共振周波数において高効率かつ安定した状態で動作するが、共振周波数から１０％程度ずれた周波数では動作しない。したがって、圧電モーター１１，１２，１３，１４の共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４の相互差を各共振周波数の１０％以上とすることにより、圧電モーター１１，１２，１３，１４のうち駆動信号の周波数と同じ共振周波数を有する圧電モーターを確実に選択して駆動することができる。
【００７４】
（第２の実施形態）
＜駆動装置＞
次に、第２の実施形態に係る駆動装置を説明する。第２の実施形態に係る駆動装置は、第１の実施形態に対して、圧電モーターの振動体に屈曲振動だけでなく縦振動が励起される点が異なっているが、その他の構成はほぼ同じである。第１の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。
【００７５】
図６は、第２の実施形態に係る駆動装置に用いる圧電モーターの構成を示す模式図である。図７は、第２の実施形態に係る駆動装置の構成を示すブロック図である。図８は、第２の実施形態に係る駆動回路の構成を示すブロック図である。
【００７６】
第２の実施形態に係る駆動装置１０２は、第１の実施形態に係る駆動装置１００と同様に、３つの駆動ユニット（図示省略）を備え、それぞれの駆動ユニットに、駆動回路３０と、圧電モーター６１，６２，６３，６４と、を備えている。図６に示すように、圧電モーター６１，６２，６３，６４のそれぞれは、振動体２と、被駆動体５と、保持部材８と、付勢バネ６と、基台７と、を備えている。
【００７７】
振動体２の電極３の表面は５分割されており、電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄに加えて、電極部３ｅが設けられている。電極部３ｅは、電極部３ａ，３ｂと電極部３ｃ，３ｄとの間の短手方向中央部に配置されており、電極部３ａ，３ｂを合わせた面積（電極部３ｃ，３ｄを合わせた面積）とほぼ同じ面積を有している。電極部３ｅは、縦振動用電極として機能する。縦振動とは、振動体２に長手方向に沿って伸縮する振動のことを指す。
【００７８】
図７に示すように、圧電モーター６１，６２，６３，６４のそれぞれの振動体２は、互いに異なる共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４を有している。圧電モーター６１，６２，６３，６４は、ＬＣ回路２１，２２，２３，２４を介して駆動回路３０（図１参照）に接続されている。駆動回路３０から圧電モーター６１，６２，６３，６４に供給される駆動信号の周波数は、図５（ａ）又は（ｂ）と同様に、圧電モーターの共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４の中から選択され、時分割で順次切り替えられる。
【００７９】
振動体２の電極部３ａ，３ｄに第１屈曲振動用の駆動信号（ＤｒｖＡ）が供給され、電極部３ｅに縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）が供給されると、振動体２の短手方向に沿って屈曲する屈曲振動とともに長手方向に沿って伸縮する縦振動が励振される。このような屈曲振動と縦振動とが合成されて振動体２が励振されることにより、摺動部４は時計回りの楕円軌道を描くように摺動するので、被駆動体５は反時計回りに回転する。
【００８０】
一方、振動体２の電極部３ｃ，３ｂに第２屈曲振動用の駆動信号（ＤｒｖＢ）が供給され、電極部３ｅに縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）が供給されると、屈曲振動と縦振動とが合成されて振動体２が励振されることにより、摺動部４は反時計回りの楕円軌道を描くように摺動するので、被駆動体５は時計回りに回転する。
【００８１】
図８に示すように、第２の実施形態に係る駆動装置１０２の駆動回路３０は、縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）が出力される点以外は、第１の実施形態と同じ構成を有している。縦振動用の駆動信号（Ｄｒｖ）は、リレー３７，３８の動作に関わらず、デジタルアンプ３４から出力される。
【００８２】
このように、第２の実施形態に係る駆動装置１０２は、第１の実施形態に対して、圧電モーター６１，６２，６３，６４の振動体２の電極が５分割され屈曲振動用の電極部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄに加えて縦振動用の電極部３ｅを有する点が異なる。しかしながら、第１の実施形態と同様に、圧電モーター６１，６２，６３，６４のそれぞれは互いに異なる共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４を有しており、駆動回路３０から各圧電モーターに対して共振周波数と同じ周波数の駆動信号が順次供給される。これにより、第２の実施形態に係る駆動装置１０２においても、第１の実施形態に係る駆動装置１００と同様の効果が得られる。
【００８３】
（第３の実施形態）
＜電子部品搬送装置及び電子部品検査装置＞
次に、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置を説明する。第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置は、第１の実施形態に係る駆動装置の基本構成と同様の構成を有する位置決め機構を備えている。第１の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。
【００８４】
まず、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置で搬送又は検査する電子部品の一例を説明する。図９は、第３の実施形態に係る電子部品の一例を示す図である。詳しくは、図９（ａ）は電子部品の構造を示す模式側面図であり、図９（ｂ）及び図９（ｃ）は電子部品の構造を示す概略斜視図である。図９（ｂ）は半導体素子が形成された面を示し、図９（ｃ）は電極のみが形成された面を示している。
【００８５】
図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、電子部品７０は四角形の基板７１を備えている。基板７１の一方の面を第１面７０ａとし、他方の面を第２面７０ｂとする。図９（ｂ）に示すように、第１面７０ａには四角形の半導体チップ７２が設置され、その周囲に２列に配列された第１電極７３ａが配置されている。図９（ｃ）に示すように、第２面７０ｂには第２電極７３ｂが格子状に配置されている。基板７１内には配線層と絶縁層とが積層して形成され、半導体チップ７２は配線層の配線を介して第１電極７３ａ及び第２電極７３ｂで構成される電極７３に接続されている。
【００８６】
次に、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置の概略構成を説明する。図１０は、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置及び電子部品検査装置の概略構成を示すブロック図である。図１１及び図１２は、第３の実施形態に係る電子部品検査装置の要部の構成を説明する図である。詳しくは、図１１（ａ）は電子部品検査装置２００を正面から見た図であり、図１１（ｂ）は電子部品検査装置２００を上方から見た図である。また、図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）は電子部品検査装置２００の断面図である。なお、図１１及び図１２では、電子部品７０の図示を省略している。
【００８７】
図１０に示すように、第３の実施形態に係る電子部品検査装置２００は、制御装置２１０と、直動機構としての直動駆動装置２２０と、検査装置２３０と、給材装置２４０と、除材装置２５０と、第１撮像部２６０と、第２撮像部２７０と、位置決め機構１１０と、を備えている。直動駆動装置２２０と、検査装置２３０と、給材装置２４０と、除材装置２５０と、第１撮像部２６０と、第２撮像部２７０と、位置決め機構１１０とは、入出力インターフェイスを介して制御装置２１０に接続されている。
【００８８】
なお、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置２０５は、検査装置２３０を備えていない点以外は電子部品検査装置２００と共通の構成を有している。以下では、電子部品検査装置２００について説明するが、検査装置２３０に関する説明以外は電子部品搬送装置２０５の説明を兼ねるものとする。
【００８９】
制御装置２１０は、電子部品検査装置２００全体の動作を制御する。制御装置２１０は、プロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵや、各種情報を記憶するメモリーを備えている。
【００９０】
メモリーには、電子部品検査装置２００の動作の制御手順が記述されたプログラムを記憶する記憶領域、電子部品７０の形状や電極の座標データ等を記憶するための記憶領域、検査装置２３０のプローブ位置の座標データを記憶するための記憶領域等が設定される。ＣＰＵは、メモリー内に記憶されたプログラムに従って電子部品検査装置２００の各部を動作させて電子部品７０の電気特性を検査するための制御を行うものである。
【００９１】
直動駆動装置２２０は、リニアモーター等によりそれぞれＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に直動（往復）するＸ移動部２２１、Ｙ移動部２２２、Ｚ移動部２２３を備え、これらを駆動する。図１１（ａ），（ｂ）において、水平方向正面側を第２の方向としてのＸ方向とし、水平面においてＸ方向と直交する方向（正面から見て右方）を第１の方向としてのＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向（垂直方向上方）をＺ方向とする。
【００９２】
図１１（ａ）に示すように、電子部品検査装置２００は、基台２０１と支持部２０２とを備えている。基台２０１は、略直方体状である。支持部２０２は、基台２０１に設けられた直動駆動装置２２０（図１０参照）に支持されており、直動駆動装置２２０がＸ移動部２２１、Ｙ移動部２２２、Ｚ移動部２２３（図１０参照）を駆動することにより、基台２０１に対してＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動する。なお、制御装置２１０は、基台２０１のＹ方向における端部等の、支持部２０２から離れた位置に配置されている。
【００９３】
支持部２０２には、電子部品７０を保持して移動可能な可動部８１と、可動部８１を移動可能に保持するヘッド８０と、可動部８１を所定の方向に移動させる位置決め機構１１０と、が設けられている。ヘッド８０は、支持部２０２の基台２０１側（−Ｚ方向）に設けられており、４つのヘッド８０ａ，８０ｂ，８０ｃ，８０ｄで構成される。
【００９４】
直動駆動装置２２０により支持部２０２がＹ方向に移動（往復）することで、ヘッド８０ａ，８０ｂが位置決め場所Ｐ１と検査場所Ｐ３とを移動（往復）し、ヘッド８０ｃ，８０ｄが位置決め場所Ｐ２と検査場所Ｐ３とを移動（往復）する。なお、検査場所Ｐ３に対して、位置決め場所Ｐ１は図の右側（Ｙ方向）に配置され、位置決め場所Ｐ２は図の左側（−Ｙ方向）に配置されている。
【００９５】
図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、可動部８１は、各ヘッド８０の基台２０１側（−Ｚ方向）に４つずつ配置されており、合計で１６個設けられている。可動部８１の略中央には吸着部（図示省略）が設置され、吸着部の内部に設けられた流路内の空気を真空ポンプ等で吸引することにより、電子部品７０を基台２０１側に保持することが可能になっている。なお、図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）は、基台２０１をヘッド８０ａの位置においてＸ方向に切断した時の断面を模式的に示している。
【００９６】
図１１（ａ）に示すように、位置決め機構１１０は、４つの駆動ユニット１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄで構成される。駆動ユニット１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄは、ヘッド８０ａ，８０ｂ，８０ｃ，８０ｄに、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃ，ｄに対応して配置されている。位置決め機構１１０は、第１の実施形態に係る駆動装置１００の基本構成を適用した位置決め機構である。位置決め機構１１０により可動部８１を移動させて、電子部品７０を所定の位置に移動配置することができる。位置決め機構１１０の構成については後述する。
【００９７】
検査装置２３０は、電子部品７０の電気特性を検査する装置である。図１１（ａ），（ｂ）に示すように、検査装置２３０は、基台２０１の上面の検査場所Ｐ３に配置されており、検査台２３１を備えている。検査台２３１には、８個の検査ソケット２３２が設けられている。検査ソケット２３２には、検査を行うための電気信号を送受信するための多数のプローブ（図示省略）が設けられており、可動部８１に保持された電子部品７０が挿入されると、これらのプローブと電子部品７０の電極とが接触して電気的に接続されるようになっている。
【００９８】
図１１（ｂ）に示す給材装置２４０は、検査するための電子部品７０を給材する装置である。給材装置２４０は、検査するための電子部品７０を載置する供給トレイ２４１，２４２と、リニアモーター等により供給トレイ２４１，２４２を直動させる直動機構（図示省略）と、を備えている。供給トレイ２４１，２４２は、Ｙ方向に並んで配置されている。
【００９９】
図１２（ｂ）には供給トレイ２４１側のみを示すが、供給トレイ２４１，２４２は、直動機構によりＸ方向に移動し、可動部８１に電子部品７０を供給する位置（位置決め場所Ｐ１，Ｐ２）と、供給トレイ上に電子部品７０を載置する位置（位置決め場所Ｐ１，Ｐ２のＸ側）との間を往復する。
【０１００】
図１１（ｂ）に示す除材装置２５０は、検査が終了した電子部品７０を除材する装置である。除材装置２５０は、検査が終了した電子部品７０を載置する回収トレイ２５１，２５２と、リニアモーター等により回収トレイ２５１，２５２を直動させる直動機構（図示省略）と、を備えている。回収トレイ２５１，２５２は、Ｙ方向に並んで配置されている。
【０１０１】
図１２（ｃ）には回収トレイ２５１側のみを示すが、回収トレイ２５１，２５２は、直動機構によりＸ方向に移動し、可動部８１から電子部品７０を回収する位置（位置決め場所Ｐ１，Ｐ２）と、回収トレイから電子部品７０を除材する位置（位置決め場所Ｐ１，Ｐ２の−Ｘ側）との間を往復する。
【０１０２】
図１１（ａ），（ｂ）に示す第１撮像部２６０は、位置決め場所Ｐ１に配置されており、２つの撮像装置２６１，２６２を備えている。位置決め場所Ｐ１には、基台２０１の上面から窪んで設けられ、Ｘ方向に延在する溝部が形成されている。撮像装置２６１，２６２は、Ｙ方向に並ぶように溝部内に配置されている。撮像装置２６１，２６２は、受光する光を電気信号に変換するＣＣＤ（Charge Coupled Devices）素子等で構成される。
【０１０３】
図１２（ａ）には撮像装置２６１側のみを示すが、撮像装置２６１，２６２は、直動機構（図示省略）により溝部内をＸ方向に移動（往復）し、可動部８１に保持され対向配置された電子部品７０の画像を出力する。撮像装置２６１，２６２により、位置決め場所Ｐ１において、一度に２個の電子部品７０の配置位置を光学的に認識することができる。また、撮像装置２６１，２６２がＸ方向に移動することで、合計８個の電子部品７０の配置位置を光学的に認識することができる。
【０１０４】
図１１（ａ），（ｂ）に示す第２撮像部２７０は、位置決め場所Ｐ２に配置されており、２つの撮像装置２７１，２７２を備えている。位置決め場所Ｐ２には、基台２０１の上面から窪んで設けられ、Ｘ方向に延在する溝部が形成されている。撮像装置２７１，２７２は、Ｙ方向に並ぶように溝部内に配置されている。撮像装置２７１，２７２は、撮像装置２６１，２６２と同様の素子で構成されており、撮像装置２６１，２６２と同様に溝部内をＸ方向に移動（往復）して電子部品７０の画像を出力する。これにより、位置決め場所Ｐ２においても一度に２個、合計８個の電子部品７０の配置位置を光学的に認識することができる。
【０１０５】
＜位置決め機構＞
次に、図１３を参照して、位置決め機構１１０の構成を説明する。図１３は、第３の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の概略構成を示すブロック図である。
【０１０６】
図１３に示すように、位置決め機構１１０は、４つの駆動ユニット１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄのそれぞれに１２個の圧電モーター１１，１２，１３，１４を備え、４つの駆動回路９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄで合計４８個（４８軸）の圧電モーターを駆動する多軸位置決め機構である。駆動ユニット１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄのそれぞれは同じ構成を有しており、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃ，ｄにより、各駆動ユニット１１１と、圧電モーター１１，１２，１３，１４とを対応させている。以下では、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃ，ｄを省略して説明する。
【０１０７】
各駆動ユニット１１１は、駆動回路９０と、１２個の圧電モーター１１（Ｘ），１１（Ｙ），１１（θ），１２（Ｘ），１２（Ｙ），１２（θ），１３（Ｘ），１３（Ｙ），１３（θ），１４（Ｘ），１４（Ｙ），１４（θ）と、を備えている。１２個の圧電モーターは同様の構成を有しているが、各圧電モーターの符号の末尾に付した（Ｘ），（Ｙ），（θ），により、各圧電モーターが可動部８１（図１１参照）をそれぞれＸ方向、Ｙ方向、θ方向に移動させることを示している。ここで、θ方向は、Ｚ方向を回転軸として、Ｘ方向とＹ方向とで構成される面内で回転する方向である。
【０１０８】
以下では、可動部８１をＸ方向に移動させる圧電モーター１１，１２，１３，１４を総称して、第２の圧電モーターとしてのＸ方向用圧電モーターという。また、可動部８１をＹ方向に移動させる圧電モーター１１，１２，１３，１４を総称して、第１の圧電モーターとしてのＹ方向用圧電モーターという。また、可動部８１をθ方向に移動させる圧電モーター１１，１２，１３，１４を総称して、θ方向用圧電モーターという。
【０１０９】
駆動回路９０は、第１の実施形態における駆動回路３０と同様の構成を有しているが、Ｘ方向用圧電モーター、Ｙ方向用圧電モーター、θ方向用圧電モーターの３個の圧電モーターを駆動するため、発振器３１、ゲインアンプ３２、ＰＷＭ部３３、デジタルアンプ３４、及びリレー３７，３８をそれぞれ３個ずつ備えている。
【０１１０】
圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）は、互いに異なる共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４を有しており、ＬＣ回路（図示省略）を介して駆動回路９０（図１３参照）に接続されている。駆動回路９０から圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）に駆動信号が出力され、エンコーダーからのエンコーダー信号が駆動回路９０にフィードバックされる。
【０１１１】
駆動回路９０から圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）に供給される駆動信号の周波数は、図５（ａ）又は（ｂ）と同様に、圧電モーターの共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４の中から選択され、時分割で順次切り替えられる。したがって、共通の駆動回路９０により、１２個の圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）を切り替えて駆動することができる。
【０１１２】
図１２（ａ）に示すように、圧電モーターはヘッド８０に設けられているが、例えば、Ｚ方向から圧電モーター１１（Ｘ），１１（Ｙ），１１（θ）の順で配置されている。すなわち、可動部８１をＸ方向に移動させるＸ方向用圧電モーターは、可動部８１をＹ方向に移動させるＹ方向用圧電モーターよりも上方に配置されている。
【０１１３】
一方、駆動回路９０は、制御装置２１０（図示しない）とともに基台２０１のＹ方向における端部等の圧電モーターから離れた位置に配置されている。なお、ＬＣ回路２１，２２，２３，２４は、圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）に近い位置、例えば、支持部２０２に設けられている。
【０１１４】
このように、位置決め機構１１０は、共通の駆動回路９０で１２個の圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）を駆動するので、圧電モーターの数に対して駆動回路９０の数及び配線の数を少なくすることができる。したがって、位置決め機構１１０の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【０１１５】
さらに、離れた位置に配置された駆動回路９０と圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）との間の配線の数が少なくて済むため、支持部２０２や可動部８１を移動させる際の配線の重量や配線の束の抑制力による負荷を小さく抑えられるので、位置決めが行い易くなり、より精密な位置決めを行うことが可能となる。
【０１１６】
＜位置決め機構の駆動制御方法＞
続いて、図１４を参照して、位置決め機構１１０の駆動制御方法、及び位置決めに関わる電子部品検査装置２００の動作を説明する。図１４は、第３の実施形態に係る電子部品検査装置の位置決め機構の駆動制御方法を説明する図である。なお、図１４は、電子部品検査装置２００を上方（Ｚ方向）から見た図である。
【０１１７】
（ヘッド８０ａ，８０ｂでの位置決め）
図１４（ａ）において、ヘッド８０ａ，８０ｂは位置決め場所Ｐ１に配置され、ヘッド８０ｃ，８０ｄは検査場所Ｐ３に配置されている。ヘッド８０ａ，８０ｂでは、供給トレイ２４１（図１１（ｂ）参照）が位置決め場所Ｐ１に移動し、合計８つの可動部８１のそれぞれに電子部品７０（図示しない）が供給され保持される。供給トレイ２４１が位置決め場所Ｐ１からＸ方向に移動した後、位置決め場所Ｐ１において、ヘッド８０ａ，８０ｂの可動部８１に保持された８個の電子部品７０に対して、２個ずつ順に位置決めが行われる。
【０１１８】
ここでは、まず、撮像装置２６１，２６２が、−Ｘ方向側の可動部８１と重なる位置に配置される。そして、それぞれの位置において可動部８１に保持された２個の電子部品７０について、撮像装置２６１，２６２で配置位置を光学的に認識しながら、圧電モーター１１ａ（Ｘ，Ｙ，θ），１１ｂ（Ｘ，Ｙ，θ）を駆動し可動部８１をＸ方向、Ｙ方向、θ方向に移動させて所定の位置に位置決めを行う。このとき、駆動回路９０から供給する駆動信号の周波数を圧電モーター１１の共振周波数Ｆ１とすることにより、ヘッド８０ａ，８０ｂにおいて、圧電モーター１１ａ（Ｘ，Ｙ，θ），１１ｂ（Ｘ，Ｙ，θ）のみが動作る。
【０１１９】
続いて、撮像装置２６１，２６２は、−Ｘ方向側から２番目の可動部８１と重なる位置に移動する。そして、駆動信号の周波数を圧電モーター１２の共振周波数Ｆ２とすることにより、圧電モーター１２ａ（Ｘ，Ｙ，θ），１２ｂ（Ｘ，Ｙ，θ）のみが動作して、次の２個の電子部品７０について位置決めを行う。このようにして、撮像装置２６１，２６２がＸ方向に移動するとともに、圧電モーターを順次切り替えて駆動することにより、ヘッド８０ａ，８０ｂにおける８個の電子部品７０の位置決めを完了する。
【０１２０】
（ヘッド８０ｃ，８０ｄでの電気特性検査）
位置決め場所Ｐ１でヘッド８０ａ，８０ｂにおいて電子部品７０の位置決めを行っている間に、検査場所Ｐ３では、ヘッド８０ｃ，８０ｄにおいて８個の電子部品７０が検査ソケット２３２（図１１（ｂ）参照）に挿入され、８個の電子部品７０の電気特性検査が行われる。
【０１２１】
次に、位置決め場所Ｐ１における位置決めと検査場所Ｐ３における電気特性検査が終了したら、直動駆動装置２２０（図１０参照）により支持部２０２（図１１（ａ）参照）を−Ｙ方向に移動させる。これにより、図１４（ｂ）に示すように、ヘッド８０ａ，８０ｂは検査場所Ｐ３に配置され、ヘッド８０ｃ，８０ｄは位置決め場所Ｐ２に配置される。
【０１２２】
（ヘッド８０ｃ，８０ｄでの位置決め）
ヘッド８０ｃ，８０ｄでは、回収トレイ２５２（図１１（ｂ）参照）が位置決め場所Ｐ２に移動し、合計８つの可動部８１から検査が終了した電子部品７０を回収する。回収トレイ２５２が位置決め場所Ｐ２から−Ｘ方向に移動した後、供給トレイ２４２（図１１（ｂ）参照）が位置決め場所Ｐ２に移動して、ヘッド８０ｃ，８０ｄの可動部８１に検査前の８個の電子部品７０が保持される。供給トレイ２４２が位置決め場所Ｐ２からＸ方向に移動した後、位置決め場所Ｐ２において、８個の電子部品７０に対して２個ずつ順に位置決めが行われる。
【０１２３】
ここでは、撮像装置２７１，２７２が、−Ｘ方向側の可動部８１と重なる位置に配置され、２個の電子部品７０について配置位置を光学的に認識しながら、圧電モーター１１ｃ（Ｘ，Ｙ，θ），１１ｄ（Ｘ，Ｙ，θ）を駆動させて所定の位置に位置決めを行う。そして、撮像装置２７１，２７２を順次、Ｘ方向に移動させて、圧電モーターの駆動を切り替えて駆動することにより、ヘッド８０ｃ，８０ｄにおける８個の電子部品７０の位置決めを完了する。
【０１２４】
（ヘッド８０ａ，８０ｂでの電気特性検査）
位置決め場所Ｐ２でヘッド８０ｃ，８０ｄにおいて電子部品７０の位置決めを行っている間に、検査場所Ｐ３では、ヘッド８０ａ，８０ｂにおいて８個の電子部品７０が検査ソケット２３２に挿入され、８個の電子部品７０の電気特性検査が行われる。
【０１２５】
次に、位置決め場所Ｐ２における位置決めと検査場所Ｐ３における電気特性検査が終了したら、直動駆動装置２２０により支持部２０２をＹ方向に移動させる。これにより、図１４（ａ）に示すように、ヘッド８０ａ，８０ｂは位置決め場所Ｐ１に配置され、ヘッド８０ｃ，８０ｄは検査場所Ｐ３に配置される。そして、ヘッド８０ａ，８０ｂでは、回収トレイ２５１（図１１（ｂ）参照）が位置決め場所Ｐ１に移動し、合計８つの可動部８１から電子部品７０を回収する。
【０１２６】
以降、同様にして、ヘッド８０ａ，８０ｂでの位置決め及び電気特性検査と、ヘッド８０ｃ，８０ｄでの位置決め及び電気特性検査とを繰り返す。
【０１２７】
ところで、上述の位置決め及び電気特性検査を繰り返す度に、直動駆動装置２２０により支持部２０２がＹ方向に往復動を繰り返す。そうすると、ヘッド８０ａ，８０ｂ、８０ｃ，８０ｄに設けられた４８個の圧電モーターも、非駆動状態で支持部２０２とともにＹ方向に往復動を繰り返すこととなる。この直動駆動装置２２０によるＹ方向の移動は、圧電モーターによるＹ方向の移動に比べて、移動速度及び移動距離がともに大きい。
【０１２８】
そのため、直動駆動装置２２０によるＹ方向の移動の度に、４８個の圧電モーターにＹ方向の慣性力が作用する。圧電モーターは非駆動状態でも被駆動体５と摺動部４（図２参照）との間の摩擦力により動かないように保持されるが、慣性力が大きいと動いてしまって位置決め後停止した位置からずれてしまう場合がある。このような場合、直動駆動装置２２０による直動方向と同じ方向のＹ方向用圧電モーターは、Ｘ方向用圧電モーターやθ方向用圧電モーターに比べて動き易い。また、Ｙ方向用圧電モーターにかかる重力が大きいほど、慣性力が大きくなるのでより動きやすくなる。
【０１２９】
そこで、位置決め機構１１０では、Ｙ方向用圧電モーターをＸ方向用圧電モーターよりも−Ｚ方向の可動部８１側、すなわち下方（鉛直方向）に配置している。このため、Ｙ方向用圧電モーターにはＸ方向用圧電モーターの重力がかからないので、Ｙ方向用圧電モーターをＸ方向用圧電モーターよりも上に配置した場合に比べて、Ｙ方向用圧電モーターに作用する慣性力を小さく抑えることができる。これにより、直動駆動装置２２０により支持部２０２がＹ方向に往復動を繰り返しても、慣性力でＹ方向用圧電モーターが動いてしまうことによる位置ずれを抑止できる。
【０１３０】
なお、位置決め機構１１０の圧電モーターは、第１の実施形態における振動体１に電極が４分割で形成された構成、及び第２の実施形態における振動体２に電極が５分割で形成された構成のいずれであってもよい。また、位置決め機構１１０が備える駆動ユニットの数や、一つの駆動回路９０に接続する圧電モーターの数は、上述の数に限定されるものではない。
【０１３１】
以上述べたように、第３の実施形態に係る電子部品搬送装置２０５及び電子部品検査装置２００が備える位置決め機構１１０の構成によれば、以下の効果が得られる。
【０１３２】
（１）共通の駆動回路９０で１２個の圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）を駆動するので、圧電モーターの数に対して駆動回路９０の数及び配線の数を少なくすることができる。したがって、位置決め機構１１０の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【０１３３】
さらに、離れた位置に配置された駆動回路９０と圧電モーター１１（Ｘ，Ｙ，θ），１２（Ｘ，Ｙ，θ），１３（Ｘ，Ｙ，θ），１４（Ｘ，Ｙ，θ）との間の配線の数が少なくて済むため、支持部２０２や可動部８１を移動させる際の配線の重量や配線の束の抑制力による負荷を小さく抑えられるので、位置決めが行い易くなり、より精密な位置決めを行うことが可能となる。
【０１３４】
（２）Ｙ方向用圧電モーターをＸ方向用圧電モーターよりも下方（鉛直方向）に配置している。このため、Ｙ方向用圧電モーターをＸ方向用圧電モーターよりも上に配置した場合に比べて、Ｘ方向用圧電モーターの重力分だけＹ方向用圧電モーターに作用する慣性力を小さく抑えることができる。これにより、Ｙ方向に往復動を繰り返しても、慣性力でＹ方向用圧電モーターが動いてしまうことによる位置ずれを抑止できる。
【０１３５】
（３）駆動回路９０からの駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーター１１，１２，１３，１４の切り替えを速く（短時間で）行うことができる。これにより、位置決め作業のサイクルタイムを短縮することができる。
【０１３６】
（４）複数の駆動回路９０間で駆動信号の周波数の切り替えを同期させることにより、駆動する圧電モーターの切り替えを同期させて行うことができる。これにより、各ヘッド８０における位置決め作業を同期させて行うことができる。
【０１３７】
（第４の実施形態）
＜ロボットハンド及びロボット＞
次に、第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットを説明する。第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットは、関節部の駆動装置として、第１の実施形態に係る駆動装置と同様の構成を有する駆動装置を備えている。第１の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。
【０１３８】
図１５は、第４の実施形態に係るロボットハンド及びロボットの構造を示す模式図である。図１５（ａ）は、ロボットハンドの構造を示す模式図である。図１５（ａ）に示すように、ロボットハンド３００は、ハンド本体部３０１と、２つの指部３０２ａ，３０２ｂと、制御装置３０７と、を備えている。２つの指部３０２ａ，３０２ｂは、ハンド本体部３０１に設置されている。
【０１３９】
指部３０２ａは、可動部としての３つの関節部３０４ａ，３０５ａ，３０６ａと３つの指部材３０３ａとが交互に接続されて構成されている。関節部３０４ａ，３０５ａ，３０６ａには、それぞれ圧電モーター１１ａ，１２ａ，１３ａが設けられている。指部３０２ｂは、可動部としての３つの関節部３０４ｂ，３０５ｂ，３０６ｂと３つの指部材３０３ｂとが交互に接続されて構成されている。関節部３０４ｂ，３０５ｂ，３０６ｂには、それぞれ圧電モーター１１ｂ，１２ｂ，１３ｂが設けられている。
【０１４０】
制御装置３０７には、駆動回路３０ａ，３０ｂが配置されている。駆動回路３０ａには、圧電モーター１１ａ，１２ａ，１３ａが接続されている。駆動回路３０ａから供給される駆動信号の周波数を共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の中から選択して順次切り替えることにより、圧電モーター１１ａ，１２ａ，１３ａが時分割で駆動され、関節部３０４ａ，３０５ａ，３０６ａが回動する。同様に、駆動回路３０ｂには、圧電モーター１１ｂ，１２ｂ，１３ｂが接続されており、駆動回路３０ｂからから供給される駆動信号の周波数を共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の中から選択して順次切り替えることにより、圧電モーター１１ｂ，１２ｂ，１３ｂが時分割で駆動され、関節部３０４ｂ，３０５ｂ，３０６ｂが回動する。これにより、指部３０２ａ，３０２ｂを人間の指のように所望の形態に変形させることが可能になっている。
【０１４１】
図１５（ｂ）は、ロボットの構造を示す模式図である。図１５（ｂ）に示すように、ロボット３１０は、ロボット本体部３１１と、２つの腕部３１２ａ，３１２ｂと、制御装置３１７と、を備えている。２つの腕部３１２ａ，３１２ｂは、ロボット本体部３１１に設置されている。
【０１４２】
腕部３１２ａは、可動部としての３つの関節部３１４ａ，３１５ａ，３１６ａと２つの腕部材３１３ａとが交互に接続されて構成されている。関節部３１４ａ，３１５ａ，３１６ａには、それぞれ圧電モーター１１ｅ，１２ｅ，１３ｅが設けられている。腕部３１２ａの一端はロボット本体部３１１に設置され、他端にはロボットハンド３００ａが設置されている。ロボットハンド３００ａは、図１５（ａ）と同様の構成を有する。
【０１４３】
腕部３１２ｂは、可動部としての３つの関節部３１４ｂ，３１５ｂ，３１６ｂと２つの腕部材３１３ｂとが交互に接続されて構成されている。関節部３１４ｂ，３１５ｂ，３１６ｂには、それぞれ圧電モーター１１ｆ，１２ｆ，１３ｆが設けられている。腕部３１２ｂの一端はロボット本体部３１１に設置され、他端にはロボットハンド３００ｂが設置されている。ロボットハンド３００ｂは、図１５（ａ）と同様の構成を有するが、駆動回路３０ｃ，３０ｄのそれぞれに接続された３つの圧電モーター（図示省略）を関節部に備えている。
【０１４４】
制御装置３１７には、駆動回路３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ，３０ｆが配置されている。駆動回路３０ｅには、圧電モーター１１ｅ，１２ｅ，１３ｅが接続されている。駆動回路３０ｅから供給される駆動信号の周波数を共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の中から選択して順次切り替えることにより、圧電モーター１１ｅ，１２ｅ，１３ｅが時分割で駆動され、関節部３１４ａ，３１５ａ，３１６ａが回動する。
【０１４５】
同様に、駆動回路３０ｆには、圧電モーター１１ｆ，１２ｆ，１３ｆが接続されており、駆動回路３０ｆから供給される駆動信号の周波数を共振周波数Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３の中から選択して順次切り替えることにより、圧電モーター１１ｆ，１２ｆ，１３ｆが時分割で駆動され、関節部３１４ｂ，３１５ｂ，３１６ｂが回動する。これにより、腕部３１２ａ，３１２ｂを人間の腕のように所望の形態に変形させることが可能になっている。
【０１４６】
以上述べたように、第４の実施形態に係るロボットハンド３００及びロボット３１０の構成によれば、以下の効果が得られる。なお、符号の末尾に付したａ，ｂ，ｃ，ｄ等は省略する。
【０１４７】
（１）第１の実施形態に係る駆動装置１００と同様の駆動装置を各関節部に備えているので、圧電モーター１１，１２，１３の数に対して、駆動回路３０の数及び配線の数を少なくすることができる。また、圧電モーターを用いるので、電磁モーターやパルスモーターを用いる場合に比べて、モーター毎に設けられるブレーキ機構を不要にできる。この結果、ロボットハンド３００及びロボット３１０の小型化、軽量化、低コスト化を図ることができる。
【０１４８】
さらに、離れた位置に配置された駆動回路３０と圧電モーター１１，１２，１３との間の配線の数が少なくて済むため、指部３０２及び腕部３１２を変形させる際の配線の重量や配線の束の抑制力による負荷を小さく抑えられるので、ロボットハンド３００の指部３０２及びロボット３１０の腕部３１２において、より精密な動作を行うことが可能となる。
【０１４９】
（２）駆動回路３０からの駆動信号の周波数の切り替えで駆動する圧電モーターを切り替えるため、圧電モーター１１，１２，１３の切り替えを速く（短時間で）行うことができる。これにより、ロボットハンド３００の指部３０２及びロボット３１０の腕部３１２をスムーズに動作させるとともに、作業のサイクルタイムを短縮することができる。
【０１５０】
（３）複数の駆動回路３０間で駆動信号の周波数の切り替えを同期させることにより、駆動する圧電モーター１１，１２，１３の切り替えを同期させて行うことができる。これにより、ロボットハンド３００の２つの指部３０２の動作や、ロボット３１０の２つの腕部３１２の動作を同期させることができる。
【０１５１】
なお、上述した実施の形態は、あくまでも本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変形及び応用が可能である。変形例を以下に述べる。
【０１５２】
（変形例１）
例えば、上述した第１の実施形態では、圧電モーター１１，１２，１３，１４のそれぞれに設けられたエンコーダー５１，５２，５３，５４から個別にエンコーダー信号が駆動回路３０にフィードバックされる構成であったが、これに限定されるものではない。エンコーダー側に複数のリレーを設け、リレーでエンコーダー５１，５２，５３，５４を切り替える構成としてもよい。あるいは、エンコーダー５１，５２，５３，５４にて信号をシリアル化又は符号化して駆動回路３０にフィードバックし、駆動回路３０にてパラレル化又は復号化する構成としてもよい。このような構成にすれば、駆動回路３０とエンコーダー５１，５２，５３，５４との間の配線の数を低減することができる。
【０１５３】
（変形例２）
例えば、上述した第１の実施形態では、駆動回路３０にデジタルアンプ３４を用いていたが、これに限定されるものではなく、駆動回路３０にアナログアンプを用いた構成としてもよい。駆動回路３０にアナログアンプを用いる場合、ＰＷＭ部３３は削除される。
【０１５４】
（変形例３）
また、上述した第３の実施形態では、位置決め機構１１０のヘッド８０ａ，８０ｂとヘッド８０ｃ，８０ｄとで、位置決めと電気特性検査とを交互に実施する構成であったが、これに限定されるものではない。ヘッド８０ａ，８０ｂとヘッド８０ｃ，８０ｄとで一緒に位置決めと電気特性検査とを行う構成としてもよい。また、その場合、位置決め場所Ｐ１，Ｐ２を同一の場所としてもよいし、供給トレイ２４１，２４２と回収トレイ２５１，２５２とがＹ方向に動く構成としてもよい。
【０１５５】
（変形例４）
また、上述した第３の実施形態では、電子部品の一例として基板７１に半導体チップ７２が実装された電子部品７０を説明したが、電子部品はこの構成に限定されるものではない。電子部品は、半導体チップ、ＬＣＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド等であってもよい。
【符号の説明】
【０１５６】
１１，１２，１３，１４，６１，６２，６３，６４…圧電モーター、３０，９０…駆動回路、５０，８１…可動部、７０…電子部品、１００，１０２…駆動装置、２００…電子部品検査装置、２０５…電子部品搬送装置、２２０…直動機構としての直動駆動装置、３００…ロボットハンド、３１０…ロボット、３０４，３０５，３０６，３１４，３１５，３１６…可動部としての関節部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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