(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学プラント、石油プラント又は石油化学プラントから排出された有機化合物を含むプラント排水に、微生物活性化剤を混合し、混合処理水として排出する混合処理工程と、
前記混合処理水を、膜分離活性汚泥処理槽で、好気性生物処理及び固液分離処理する好気的処理工程を少なくとも含み、かつ前記微生物活性化剤として、生活排水を使用することを特徴とするプラント排水の処理方法。
【請求項２】
前記混合処理工程の前に、前記プラント排水を嫌気性生物処理、蒸留、湿式酸化、希釈、スクリーンろ過、担体ろ過、砂ろ過、ｐＨ調整、油分除去処理、活性炭処理から選ばれる少なくとも１つを含む予備処理手段で処理し、予備処理水として排出する予備処理工程を有し、前記予備処理水を前記混合処理工程へ供給することを特徴とする請求項１に記載のプラント排水の処理方法。
【請求項３】
前記予備処理工程が、前記プラント排水を無酸素槽に供し、嫌気性生物処理により有機化合物を分解し、前処理水として排出する前処理工程と、この前処理水を嫌気性生物処理槽に導入し、前記有機化合物を更に分解する嫌気性生物処理を行い、前記予備処理水として排出する嫌気的処理工程を含むことを特徴とする請求項２に記載のプラント排水の処理方法。
【請求項４】
前記予備処理工程が、前記プラント排水を蒸留塔に供し、酸性含酸素炭化水素を含む処理水と、前記酸性含酸素炭化水素以外の有機化合物に分離する蒸留工程を含み、前記予備処理水が、酸性含酸素炭化水素を含む処理水であることを特徴とする請求項２に記載のプラント排水の処理方法。
【請求項５】
前記予備処理工程が、前記プラント排水を蒸留塔に供し、酸性含酸素炭化水素を含む処理水と、前記酸性含酸素炭化水素以外の有機化合物に分離する蒸留工程と、前記酸性含酸素炭化水素を含む処理水を前処理用の逆浸透膜分離装置へ導入し前処理ＲＯ透過水と前処理ＲＯ濃縮水とに分離する前処理ＲＯ工程を含み、前記予備処理水が、前処理ＲＯ濃縮水であることを特徴とする請求項２に記載のプラント排水の処理方法。
【請求項６】
前記好気的処理工程から排出された処理水の少なくとも一部を後処理用の逆浸透膜分離装置へ導入し、後処理ＲＯ透過水と後処理ＲＯ濃縮水とに分離する後処理ＲＯ工程を含むことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のプラント排水の処理方法。
【請求項７】
前記微生物活性化剤として、糖、脂肪、蛋白質、窒素、燐及び繊維状物質を含む活性化剤を使用することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のプラント排水の処理方法。
【請求項８】
前記微生物活性化剤として、ｐＨが６．０〜８．０、生物化学的酸素要求量（ＢＯＤ）が６０〜１０００ｍｇ／ｌ、全窒素含有量が１５〜１００ｍｇ／ｌ、全燐含有量が１．５〜１５ｍｇ／ｌである成分を少なくとも含む活性化剤を使用することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のプラント排水の処理方法。
【請求項９】
化学プラント、石油プラント又は石油化学プラントから排出された有機化合物を含むプラント排水に生活排水からなる微生物活性化剤を混合し混合処理水として排出する混合手段と、
前記混合処理水を、好気性生物処理及び固液分離処理する膜分離活性汚泥処理槽を少なくとも含むことを特徴とするプラント排水の処理システム。
【請求項１０】
前記混合手段の上流に、前記プラント排水を嫌気性生物処理槽、蒸留塔、湿式酸化装置、希釈手段、スクリーンろ過手段、担体ろ過手段、砂ろ過手段、ｐＨ調整手段、油分除去処理手段、活性炭処理手段から選ばれる少なくとも１つで処理し、予備処理水として排出する予備処理手段を有する請求項９に記載のプラント排水の処理システム。
【請求項１１】
前記予備処理手段が、前記プラント排水の嫌気性生物処理を行い前処理水として排出する無酸素槽と、前記前処理水の嫌気性生物処理を更に行い、予備処理水を排出する嫌気性生物処理槽を有することを特徴とする請求項１０に記載のプラント排水の処理システム。
【請求項１２】
前記予備処理手段が、前記プラント排水を蒸留し、酸性含酸素炭化水素を含む処理水と、前記酸性含酸素炭化水素以外の有機化合物に分離する蒸留塔を有することを特徴とする請求項１０に記載のプラント排水の処理システム。
【請求項１３】
前記予備処理手段が、前記酸性含酸素炭化水素を含む処理水を、前処理ＲＯ透過水と前処理ＲＯ濃縮水とに分離する前処理用の逆浸透膜分離装置を有することを特徴とする請求項１２に記載のプラント排水の処理システム。
【請求項１４】
前記膜分離活性汚泥処理槽から排出された処理水の少なくとも一部を、後処理ＲＯ透過水と後処理ＲＯ濃縮水に分離する後処理用の逆浸透膜分離装置を有することを特徴とする請求項９〜１３のいずれかに記載のプラント排水の処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機化合物を含むプラント排水を、膜分離活性汚泥処理槽で処理するときの処理効率を向上するようにしたプラント排水の処理方法及び処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、水資源の有効利用、特にリサイクル利用が重要視される中で、排水や下水を生物処理により浄化することが提案されている。なかでも有機化合物を含む水に対して活性汚泥処理を施すことにより、有機化合物を分解除去し浄化する方法が知られている。
【０００３】
例えば特許文献１は、フィッシャー・トロプシュ反応水を、一次処理段階で蒸留し、二次処理段階で嫌気性消化及び／又は好気性消化し、三次処理段階で固液分離することを記載している。しかし蒸留により分離された酸性含酸素炭化水素を含む処理水を、二次処理段階で生物学的処理すると、微生物を含む活性汚泥の活性劣化、汚泥の崩壊（微粒化）を引き起こし、微粒化した汚泥が三次処理段階の分離膜を目詰まりさせる問題が見出された。
【０００４】
また特許文献２は、有機化合物を含むプラント排水を、嫌気性生物処理槽、好気性生物処理槽、固液分離手段、逆浸透膜分離装置（ＲＯ）における各処理工程を通し、嫌気性微生物及び好気性微生物による生物学的処理することを記載している。しかしプラント排水を嫌気性生物処理すると、その処理水中に浮遊性物質（ＳＳ成分）が多く発生することがあり、この嫌気性処理由来の浮遊性物質が、好気性生物処理しても処理水中に残ることが見出された。これにより好気性生物処理した排水を固液分離処理するとき、分離膜の目詰まりを引き起こすため、分離膜の洗浄頻度を高くしなければならず、また分離膜における運転可能フラックスが、例えば０．２ｍ3／ｍ2／ｄａｙ程度と、かなり低いレベルになってしまうので、全体の処理効率を高くすることが困難であった。
【０００５】
したがって、これらは有機化合物を含むプラント排水が、好気性生物処理に適していないことが原因と考えられる。また蒸留、嫌気性生物処理等の予備処理手段で処理することにより、好気性微生物（活性汚泥）の活性がより低下し処理効率が低下したり、微粒化した活性汚泥又は嫌気性処理由来の浮遊性物質が増えることにより、分離膜の目詰まりにより運転可能フラックスが低くなるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２００５−５３４４６９号公報
【特許文献２】国際公開番号ＷＯ２０１１／０４３１４４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、有機化合物を含むプラント排水を、膜分離活性汚泥処理槽で処理するときの処理効率を従来レベル以上に向上するようにしたプラント排水の処理方法及び処理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成する本発明のプラント排水の処理方法は、化学プラント、石油プラント又は石油化学プラントから排出された有機化合物を含むプラント排水に、微生物活性化剤を混合し、混合処理水として排出する混合処理工程と、前記混合処理水を、膜分離活性汚泥処理槽で、好気性生物処理及び固液分離処理する好気的処理工程を少なくとも含み、かつ前記微生物活性化剤として、生活排水を使用することを特徴とする。
【０００９】
本発明のプラント排水の処理システムは、化学プラント、石油プラント又は石油化学プラントから排出された有機化合物を含むプラント排水に生活排水からなる微生物活性化剤を混合し混合処理水として排出する混合手段と、前記混合処理水を、好気性生物処理及び固液分離処理する膜分離活性汚泥処理槽を少なくとも含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のプラント排水の処理方法によれば、有機化合物を含むプラント排水に微生物活性化剤を添加してから、膜分離活性汚泥処理槽における好気性生物処理を行うようにしたので、分離膜における目詰まりを抑制し、運転可能フラックスを大幅に改良することができる。この理由は定かでないが、微生物活性化剤の添加により、好気性微生物からなる活性汚泥の活性を高くすると共に、活性汚泥の凝集性を改良したためと考えられる。
【００１１】
前記微生物活性化剤としては生活排水を使用する。これによりコストをかけずに好気性微生物を活性化し、処理効率を従来レベル以上に向上することができる。
【００１２】
前記混合処理工程の前に、前記プラント排水を嫌気性生物処理、蒸留、湿式酸化、希釈、スクリーンろ過、担体ろ過、砂ろ過、ｐＨ調整、油分除去処理、活性炭処理から選ばれる少なくとも１つを含む予備処理手段で処理し、予備処理水として排出する予備処理工程を有し、前記予備処理水を前記混合処理工程へ供給することができる。
【００１３】
前記予備処理工程としては、前記プラント排水を無酸素槽に供し、嫌気性生物処理により有機化合物を分解し、前処理水として排出する前処理工程と、この前処理水を嫌気性生物処理槽に導入し、前記有機化合物を更に分解する嫌気性生物処理を行い、前記予備処理水として排出する嫌気的処理工程を含むことができる。
【００１４】
前記予備処理工程は、前記プラント排水を蒸留塔に供し、酸性含酸素炭化水素を含む処理水と、前記酸性含酸素炭化水素以外の有機化合物に分離する蒸留工程を含むことができ、前記予備処理水を、酸性含酸素炭化水素を含む処理水にすることができる。
【００１５】
また前記予備処理工程として、前記プラント排水を蒸留塔に供し、酸性含酸素炭化水素を含む処理水と、前記酸性含酸素炭化水素以外の有機化合物に分離する蒸留工程と、前記酸性含酸素炭化水素を含む処理水を前処理用の逆浸透膜分離装置へ導入し前処理ＲＯ透過水と前処理ＲＯ濃縮水とに分離する前処理ＲＯ工程とから構成することができ、前記予備処理水を、前処理ＲＯ濃縮水にすることができる。
【００１６】
更に前記好気的処理工程から排出された処理水の少なくとも一部を後処理用の逆浸透膜分離装置へ導入し、後処理ＲＯ透過水と後処理ＲＯ濃縮水とに分離する後処理ＲＯ工程を含むことができる。
【００１７】
前記微生物活性化剤としては、糖、脂肪、蛋白質、窒素、燐及び繊維状物質を含むことが好ましい。また前記微生物活性化剤として、ｐＨが６．０〜８．０、生物化学的酸素要求量（ＢＯＤ）が６０〜１０００ｍｇ／ｌ、全窒素含有量が１５〜１００ｍｇ／ｌ、全燐含有量が１．５〜１５ｍｇ／ｌである成分を少なくとも含む活性化剤を使用することが好ましい。
【００１８】
本発明のプラント排水の処理システムは、プラント排水に生活排水からなる微生物活性化剤を添加する混合手段を設置するようにしたので、下流の膜分離活性汚泥処理槽における活性汚泥の活性及び凝集性を高くして分離膜における目詰まりを抑制し、運転可能フラックスを大幅に改良することができる。
【００１９】
前記混合手段の上流に、前記プラント排水を嫌気性生物処理槽、蒸留塔、湿式酸化装置、希釈手段、スクリーンろ過手段、担体ろ過手段、砂ろ過手段、ｐＨ調整手段、油分除去処理手段、活性炭処理手段から選ばれる少なくとも１つで処理し、予備処理水として排出する予備処理手段を設けることができる。
【００２０】
前記予備処理手段としては、前記プラント排水の嫌気性生物処理を行い前処理水として排出する無酸素槽と、前記前処理水の嫌気性生物処理を更に行い、予備処理水を排出する嫌気性生物処理槽を有することができる。
【００２１】
前記予備処理手段は、前記プラント排水を蒸留し、酸性含酸素炭化水素を含む処理水と、前記酸性含酸素炭化水素以外の有機化合物に分離する蒸留塔にすることができる。更に前記酸性含酸素炭化水素を含む処理水を、前処理ＲＯ透過水と前処理ＲＯ濃縮水とに分離する前処理用の逆浸透膜分離装置を有することができる。
【００２２】
また前記膜分離活性汚泥処理槽の下流に、膜分離活性汚泥処理槽から排出された処理水の少なくとも一部を、後処理ＲＯ透過水と後処理ＲＯ濃縮水に分離する後処理用の逆浸透膜分離装置を配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明のプラント排水の処理方法に使用する処理システムの実施形態の一例を示す系統図である。
【図２】本発明のプラント排水の処理方法に使用する処理システムの実施形態の他の例を示す系統図である。
【図３】本発明のプラント排水の処理方法に使用する処理システムの実施形態の更に他の例を示す系統図である。
【図４】本発明のプラント排水の処理方法に使用する処理システムの実施形態の更に他の例を示す系統図である。
【図５】本発明の実施例２で使用した処理システムを模式的に示す系統図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１は、本発明のプラント排水の処理方法及び処理システムの実施形態の一例を示す系統図である。図１において、１は予備処理手段、２は混合手段、３は膜分離活性汚泥処理槽である。
【００２５】
本発明のプラント排水の処理システムは、混合手段２及び膜分離活性汚泥処理槽３を必ず有する。また図１のように混合手段２の上流に予備処理手段１を設けることができる。
【００２６】
混合手段２は、プラント排水１１または予備処理手段１から排出された予備処理水１２に、微生物活性化剤２１を混合する手段であり、独立した混合槽でも、スタティックミキサー等の混合装置でもよい。微生物活性化剤２１を添加することにより、膜分離活性汚泥処理槽３中の好気性微生物（活性汚泥）を活性化し、その凝集性を高くすることができる。
【００２７】
膜分離活性汚泥処理槽３が、混合手段２の下流に配置され、混合処理水１３の好気性生物処理及び固液分離処理を行う。膜分離活性汚泥処理槽３は、通常使用される好気性生物処理装置であり、槽内に空気を供給する散気管と分離膜からなる固液分離手段を有している。分離膜としては、好気性微生物の大きさより孔径が小さい分離膜であればよい。例えば限外濾過膜（ＵＦ膜）、精密濾過膜（ＭＦ膜）を例示することができる。
【００２８】
膜分離活性汚泥処理槽３では、活性汚泥が微生物活性化剤２１により活性化され、凝集性が高くなる。このため活性汚泥の活性が劣化したり、活性汚泥がへたる（崩壊する）のを抑制することができる。
【００２９】
したがって、後述するように予備処理手段が蒸留塔でも活性汚泥がへたること及び崩壊・微粒化して分離膜を目詰まりさせることがないと考えられる。また予備処理手段が嫌気性生物処理槽でも、高活性化した活性汚泥が、嫌気性処理由来の浮遊性物質を消化することにより、浮遊性物質が分離膜を目詰まりさせることがないと考えられる。いずれの場合も分離膜の運転フラックスを従来レベル以上に高くすることができる。
【００３０】
膜分離活性汚泥処理槽３で生物処理された水は、分離膜により好気的処理水１４が排出される。好気的処理水１４は、冷却塔などのプロセス水（再利用水）、散水用水、水洗トイレ洗浄水等として使用することができる。また更に後処理用の逆浸透膜分離装置に供給し更に浄化することができる。
【００３１】
本発明のプラント排水の処理システムにおいて、予備処理手段１は、プラント排水に対して行う通常の処理手段から選択することができる。予備処理手段１として、好ましくは、嫌気性生物処理槽、蒸留塔、湿式酸化装置、希釈手段、スクリーンろ過手段、担体ろ過手段、砂ろ過手段、ｐＨ調整手段、油分除去処理手段、活性炭処理手段から選ばれる少なくとも１つの処理手段を含むとよい。予備処理手段１は、特に好ましくはプラント排水１１を嫌気性生物処理及び／又は蒸留により処理し、プラント排水１１中の有機化合物を分解及び／又は除去することができる。予備処理手段１で処理された水は予備処理水１２として排出される。
【００３２】
図２は、本発明のプラント排水の処理方法及び処理システムの実施形態の他の一例を示す系統図である。図２において、予備処理手段１は、無酸素槽４と嫌気性生物処理槽５を含む。無酸素槽４及び嫌気性生物処理槽５は、いずれも嫌気性生物処理を行う処理槽であり、上流側の処理槽を無酸素槽、下流側の処理槽を嫌気性生物処理槽という。
【００３３】
無酸素槽４は、嫌気性ガスの曝気手段を備え、プラント排水１１に対し嫌気性ガスを曝気することにより槽内を無酸素状態に近づけ、有機化合物の嫌気性生物処理を行う。また無酸素槽４は、引抜き汚泥１５の一部やＲＯ濃縮水の一部の添加手段及び窒素成分及びリン成分を含む化合物の添加手段を有することができる。引抜き汚泥（活性汚泥）、ＲＯ濃縮水、窒素成分及びリン成分などの成分を栄養分として摂取することにより、無酸素槽４内の嫌気性微生物が活性化し、有機化合物の嫌気性生物処理を促進する。
【００３４】
嫌気性生物処理槽５が、無酸素槽４の下流に配置され、無酸素槽４から排出された前処理水１６を更に嫌気性生物処理する。嫌気性生物処理槽５は、ｐＨ調節剤２２の添加手段を有することができ、嫌気性微生物に好適なｐＨになるように調節することができる。嫌気性生物処理槽５は、好ましくは上向流嫌気性スラッジブランケット（ＵＡＳＢ）である。このＵＡＳＢは、通常使用される嫌気性生物処理装置であり、生物分解の効率が高い。嫌気性生物処理槽５で処理された水は、予備処理水１２として排出される。予備処理水１２は、図１の実施形態と同様に、膜分離活性汚泥処理槽３において好気性生物処理及び固液分離処理を行う。膜分離活性汚泥処理槽３は、ｐＨ調節剤２３の添加手段を有することができ、好気性微生物に好適なｐＨになるように調節することができる。
【００３５】
図２において、後処理用の逆浸透膜分離装置６が、膜分離活性汚泥処理槽３の下流に配置され、好気的処理水１４の一部を、後処理ＲＯ透過水１８及び後処理ＲＯ濃縮水１９に分離する。後処理ＲＯ透過水１８は、純水や飲用水の原水やボイラ／冷却塔の補給水や農業用水として利用することができる。また後処理ＲＯ濃縮水の一部２４が逆浸透膜分離装置５から無酸素槽４へ返送され、微生物の栄養素として添加することができる。
【００３６】
更に膜分離活性汚泥処理槽３から抜き出された引抜き汚泥１５の少なくとも一部を無酸素槽４に返送することができ、その配管の途中に引抜き汚泥（活性汚泥）を可溶化する可溶化手段（図示せず）を配置することができる。
【００３７】
図３は、本発明のプラント排水の処理方法及び処理システムの実施形態の更に他の一例を示す系統図である。図３において、予備処理手段１は、蒸留塔７を含む。
【００３８】
蒸留塔７は、プラント排水１１を蒸留することにより、例えば酸性含酸素炭化水素以外の有機化合物３２を留去し、酸性含酸素炭化水素を含む処理水３１を予備処理水１２として排出する。この予備処理水１２は、図１に示した実施形態と同様に処理される。
【００３９】
酸性含酸素炭化水素としては、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸などの有機酸を例示することができる。酸性含酸素炭化水素以外の有機化合物３２としては、非酸性含酸素炭化水素、酸素を含まない炭化水素であり、例えばアルコール、アルデヒド、ケトン、アルカンなどを例示することができる。
【００４０】
図４は、本発明のプラント排水の処理方法及び処理システムの実施形態の更に他の一例を示す系統図であり、予備処理手段１として、蒸留塔７、前処理用逆浸透膜分離装置８を含む。
【００４１】
図４において、蒸留塔７は、プラント排水１１を蒸留することにより、例えば酸性含酸素炭化水素以外の有機化合物３２を留去し、酸性含酸素炭化水素を含む処理水３１を排出する。前処理用逆浸透膜分離装置８が、蒸留塔７の下流に配置され、酸性含酸素炭化水素を含む処理水３１を前処理ＲＯ透過水３３と前処理ＲＯ濃縮水３４に分離する。この前処理ＲＯ濃縮水３４が、予備処理水１２として排出され、図１に示した実施形態と同様に処理される。
【００４２】
図３，４に例示された実施形態において、図２の実施形態と同様に、後処理用の逆浸透膜分離装置６を膜分離活性汚泥処理槽３の下流に配置することができる。これにより好気的処理水１４の少なくとも一部を、後処理ＲＯ透過水１８と後処理ＲＯ濃縮水１９に分離することができる。
【００４３】
本発明において、処理対象とするプラント排水は、化学プラント、石油プラント又は石油化学プラントから排出された有機化合物を含む排水である。化学プラントから排出されたプラント排水としては、例えばフィッシャー・トロプシュ法を使用したプラントで製造された副生成水など化学反応の副生物としての排水や、主生成物を精製するときに使用した洗浄水が例示される。また、反応装置や設備を洗浄するのに使用した排水を処理することもできる。
【００４４】
このような中高濃度の有機化合物を含むプラント排水は、純水や飲用水の原水、或いは農業用水として利用することができない。また、工業用水としての利用も制限される。有機化合物としては、低級炭化水素や水溶性の含酸素炭化水素であり、例えばアルカン、アルコール、ケトン、アルデヒド、有機酸等を例示することができる。これらの有機化合物は、単独種又は複数種の組合せであってもよい。
【００４５】
これらのプラント排水は、食品工場、飲食店、厨房などからの排水とは異なり、生物処理を担う微生物の主要栄養分をほとんど含んでいない。すなわち化学プラント、石油プラント又は石油化学プラントからのプラント排水には、糖（炭水化物）、脂肪、蛋白質、窒素、リンやカリウム、ナトリウム、カルシウム等の微量金属元素をほとんど含んでいない。このようなプラント排水を、嫌気性生物処理及び／又は蒸留した後、膜分離活性汚泥処理しようとすると、微生物の活性を高くすることができずに活性汚泥がへたり、活性汚泥が崩壊・微粒化したり、嫌気性処理由来の有機化合物の生物学的処理が十分に進まなかったりするため、分離膜の目詰まりが起こったりすることが見出された。本発明は、プラント排水を嫌気性生物処理及び／又は蒸留した後、微生物活性化剤を混合することにより、活性汚泥の活性を高くしたので、活性汚泥のへたりや微粒化（崩壊）を防ぎ、分離膜の目詰まりを抑制し運転フラックスを高くすることができる。
【００４６】
本発明の処理方法では、混合処理工程においてプラント排水１１に微生物活性化剤２１が添加された後、好気的処理工程において好気性生物処理が行われ、固液分離処理されて好気的処理水１４として再生される。先ず混合処理工程及び好気的処理工程について説明する。
【００４７】
混合処理工程で添加する微生物活性化剤２１としては、好気性微生物が摂取する栄養分及び／又は繊維状物質が挙げられる。微生物活性化剤２１としては、生活排水を使用する。生活排水は、生活雑排水及び／又はし尿からなる。ここで生活雑排水は、台所排水、風呂排水、洗濯排水等からなる。し尿としては、水洗トイレ排水が例示され、トイレットペーパーなどの繊維状物質を含むことができる。微生物活性化剤２１を添加することによりコストをかけずに好気性微生物を活性化し、処理効率を従来レベル以上に向上することができる。
【００４８】
微生物活性化剤２１としては、糖、脂肪、蛋白質、窒素、燐及び繊維状物質を含むものがよい。これら成分を含むことにより好気性微生物を活性化することができる。また繊維状物質を含むことにより、これが核として作用し活性汚泥の凝集性を高くすることができる。このため活性汚泥が崩壊し、微粒化するのを抑制することができる。上述した栄養素を含むように容易に調製することができる微生物活性化剤として人工下水が参照される。表１は人工下水の組成を例示するものである。
【００４９】
【表１】
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【００５０】
なお微生物活性化剤２１は、液体、粉末や粒状体などの固体のいずれでもよい。また微生物活性化剤２１をそのまま予備処理水と混合してもよいし、或いは微生物活性化剤２１を水等に溶かした溶液又は分散させた懸濁液にして使用してもよい。
【００５１】
また微生物活性化剤２１は、ｐＨが好ましくは６．０〜８．０、生物化学的酸素要求量（ＢＯＤ）が６０〜１０００ｍｇ／ｌ、全窒素含有量が１５〜１００ｍｇ／ｌ、全燐含有量が１．５〜１５ｍｇ／ｌである成分を少なくとも含むことが好ましい。なお微生物活性化剤２１は、微生物の活性を阻害しない範囲において、上記以外の成分を含んでもよい。
【００５２】
なお本明細書において、全窒素含有量は有機性窒素、アンモニア性窒素、亜硝酸性窒素、硝酸性窒素の各含有量の合計とし、全燐含有量はりん酸態りんの含有量とする。また生物化学的酸素要求量（ＢＯＤ）はＪＩＳ  Ｋ０２０１  ２１、有機性窒素はＪＩＳ  Ｋ０１０２  ４４、アンモニア性窒素はＪＩＳ  Ｋ０１０２  ４２、亜硝酸性窒素はＪＩＳ  Ｋ０１０２  ４３．１、硝酸性窒素はＪＩＳ  Ｋ０１０２  ４３．２、りん酸態りんの含有量はＪＩＳ  Ｋ０１０２  ４６．１に基づき分析された値とする。
【００５３】
混合処理工程での予備処理水１２と微生物活性化剤２１との混合比は、予備処理水１２を１００重量部にするとき、微生物活性化剤２１が好ましくは１〜５０重量部、より好ましくは５〜１５重量部になるようにするとよい。
【００５４】
混合処理工程で微生物活性化剤２１が添加され、活性汚泥（好気性微生物）にとっての栄養分、活性汚泥の核になり得る繊維状物質を含んだ処理水は混合処理水１３として排出され、好気的処理工程に移送される。
【００５５】
好気的処理工程では、混合処理水１３が、膜分離活性汚泥処理槽３に導入され、好気性生物処理及び固液分離処理が行われる。膜分離活性汚泥処理槽３におけるｐＨは、好ましくはｐＨ６．５〜８．０、より好ましくはｐＨ７．０〜８．０に調節される。ｐＨを調節する手段は、特に制限されることはなく、通常のｐＨ調節方法を用いることができ、適宜、酸又はアルカリからなるｐＨ調節剤２３を添加することができる。膜分離活性汚泥処理槽３として、分離膜を備えた膜分離活性汚泥処理槽（ＭＢＲ）を使用することが好ましい。ＭＢＲは、散気管を有し、空気を供給することにより、混合処理水１３に残存した有機化合物が、好気性生物処理により分解・除去される。また膜分離活性汚泥処理槽３内の活性汚泥は、混合処理水１３中に含まれる豊富な栄養分を摂取し活性化する。このため例えば後述する予備処理工程で発生することがある嫌気性処理由来の浮遊性物質をほとんど消化するようになると推測される。また繊維状物質を含むため活性汚泥が凝集し易くなり、崩壊したり微粒化したりするのが抑制される。
【００５６】
次に好気性生物処理された処理水が、ＭＢＲの槽内に備えられた分離膜により固液分離され、槽内の活性汚泥から分離された好気的処理水１４として排出される。
【００５７】
本発明では、膜分離活性汚泥処理槽３内の嫌気性処理由来の浮遊性物質をほとんど消失させることができ、また活性汚泥の凝集性を高くすることができるので、分離膜における目詰まりを抑制し、運転フラックスを大幅に改良することができる。例えば生活排水を添加しないとき分離膜の処理流束が０．２ｍ3／ｍ2／ｄａｙ程度であったのが、上述した生活排水を添加することにより分離の処理流束が０．６〜０．６５ｍ3／ｍ2／ｄａｙへと約３倍以上に改良することができる。
【００５８】
また、膜分離活性汚泥処理槽３内では、活性汚泥が増えすぎた場合に、その一部を引抜き汚泥１５として取出すことにより、活性汚泥の濃度を調整することができる。更に引抜き汚泥１５の一部を嫌気性微生物の栄養素として利用することができる。このためには、引抜き汚泥を可溶化処理すること、すなわち活性汚泥である好気性微生物の殻（細胞膜）を破壊或いは溶解して、微生物の栄養素として吸収しやすくすることが好ましい。引抜き汚泥を可溶化処理する方法としては、通常の方法を使用することができる。例えば引抜き汚泥を、水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリで処理する方法、湿式ミルにより破砕処理する方法、凍結処理する方法、超音波処理する方法、オゾン処理する方法等を例示することができる。
【００５９】
本発明の処理方法において、予備処理工程としては、嫌気性生物処理、蒸留、湿式酸化、希釈、スクリーンろ過、担体ろ過、砂ろ過、ｐＨ調整、油分除去処理、活性炭処理から選ばれる少なくとも１つで処理することができる。なかでもプラント排水１１中の有機化合物を分解／除去する嫌気性生物処理／蒸留処理を行うことが好ましい。
【００６０】
本発明の処理方法において、予備処理工程としては、図２に示した嫌気性処理によりプラント排水１１中の有機化合物を分解し、及び／又は図３，４に示した蒸留によりプラント排水１１中の有機化合物を除去する処理工程を含むことが好ましい。
【００６１】
図２に示した予備処理工程は、無酸素槽４での嫌気性処理及び嫌気性生物処理槽５での嫌気性処理からなる。無酸素槽４では、プラント排水１１が供給され、嫌気性ガスで曝気することにより、酸素が除去されると共に、嫌気性微生物の撹拌混合により分解反応が行われる。嫌気性ガスは酸素を含まない気体であり、例えば窒素、メタン、二酸化炭素が例示される。これらの気体は単独でも、複数種の混合ガスでもよい。好ましくはメタン及び二酸化炭素を含む混合ガスであるとよい。また本発明の処理方法により発生したメタン及び二酸化炭素を含む混合ガスを使用することができる。
【００６２】
この無酸素状態で嫌気性微生物が、プラント排水中の有機化合物を生物分解することにより、有機化合物の主鎖を切断し低分子量化したり、有機酸へ分解したりする。無酸素槽４には、ＲＯ濃縮水、引抜き汚泥、窒素成分及びリン成分を含む化合物を栄養素として添加することができる。窒素成分としては、例えば尿素、アンモニウム塩等が例示される。また、リン成分としては、例えばリン酸、リン酸塩等がよい。無酸素槽４での処理水は前処理水１６として排出される。
【００６３】
次に、前処理水１６が、嫌気性生物処理槽５に導入され更に嫌気性生物処理が行われる。前処理水１６が嫌気性生物処理槽５に導入されると、ｐＨ調節手段により、好ましくはｐＨ５．５〜７．０、より好ましくはｐＨ６．０〜６．７に調節される。ｐＨ調節手段は、特に制限されることはなく、通常のｐＨ調節方法を用いることができ、適宜、アルカリからなるｐＨ調節剤２２を添加することができる。ｐＨ調節剤２２はＮａＯＨ水溶液とすることができる。アルカリからなるｐＨ調節剤２２を添加することにより、嫌気性微生物の活性を高くすることができる。なお、嫌気性微生物の活性に最も適したｐＨは７．０〜７．５であるが、ｐＨ調節手段によりｐＨを６．０〜６．７に調節することにより、ｐＨを７．０〜７．５に調節する場合と比べて、嫌気性微生物の活性を大きく損ねることなくｐＨ調節剤２２の添加量を減らすことができ、ｐＨ調節剤２２の購入費を低減することができる。また、好気的処理水１４中に含まれるナトリウムイオンの量を減らすことができ、好気的処理水１４を再利用しやすくすることができる。
【００６４】
本発明において、嫌気性生物処理槽５としては、上向流嫌気性スラッジブランケット（ＵＡＳＢ）の処理槽が好ましく使用される。嫌気性生物処理槽５内の嫌気性生物分解により、分解された有機化合物が、更にメタン及び二酸化炭素に分解され、混合ガスとして排出される。また、嫌気性生物処理槽５内で増殖し、余剰となった嫌気性微生物は、適宜取出して、保存し再利用することができる。嫌気性生物処理槽５での処理水は予備処理水１２として排出される。予備処理水１２は、上記の通り混合処理工程において微生物活性化剤２１が添加された後、好気的処理工程において好気性生物処理、固液分離処理され、好気的処理水１４として再生される。
【００６５】
図２において、好気的処理水１４の少なくとも一部は、後処理ＲＯ工程として後処理用逆浸透膜分離装置６へ供給される。好気的処理水１４の残りは、冷却塔などのプロセス水（再利用水）１７として使用することができる。後処理用逆浸透膜分離装置５に供給された好気的処理水１４は、溶存物質が除去された後処理ＲＯ透過水１８として精製される。この後処理ＲＯ透過水１８は、純水や飲用水の原水や農業用水として利用することができる。また、ボイラ用水、冷却用水、工業用水として使用してもよい。一方、好気的処理水１４中の溶存物質は、後処理ＲＯ濃縮水１９として排出される。溶存物質としては、有機化合物の残存物や窒素化合物、リン化合物等が含まれている。この後処理ＲＯ濃縮水１９の少なくとも一部２４を、前処理工程の無酸素槽４に返送することができる。後処理ＲＯ濃縮水１９は、窒素化合物及びリン化合物を含有するため、嫌気性微生物及び好気性微生物の栄養素として活用することができる。
【００６６】
一方、引抜き汚泥１５の残部は、メタン発酵槽に導入し嫌気性生物処理することができる。これにより引抜き汚泥がメタン及び二酸化炭素を含む混合ガスに分解され排出される。更に嫌気性生物処理槽やメタン発酵槽から排出したメタン及び二酸化炭素を含む混合ガスは、無酸素槽に返送し嫌気性ガスとして曝気することができる。これにより生物処理のコストが低減する。或いは、混合ガスを化学プラント、石油プラント又は石油化学プラントからなる主プラントに返送してもよい。嫌気性生物処理槽から排出される混合ガスの組成比は、ＣＨ4／ＣＯ2＝８／２〜７／３であり、天然ガスからＨ2／ＣＯ＝２の合成ガスを製造するフィッシャー・トロプシュ法のリフォーミング反応の原料にそのまま利用することができる。
【００６７】
図３に示した実施形態において、予備処理工程は、蒸留塔７でプラント排水１１を蒸留する工程からなる。蒸留塔７では、供給されたプラント排水１１が、スチームで蒸留され、水より低沸点の有機化合物が留去される。水より低沸点の有機化合物は、酸性含酸素炭化水素を除く有機化合物３２である。一方、酸性含酸素炭化水素を含む処理水３１は、有機化合物として主に酸性含酸素炭化水素を含むが、水より沸点が高い酸性含酸素炭化水素を除く炭化水素を含んでもよい。この処理水３１が、予備処理水１２として排出され、混合処理工程において微生物活性化剤２１が添加された後、好気的処理工程において好気性生物処理、固液分離処理され、好気的処理水１４として再生される。
【００６８】
酸性含酸素炭化水素を含む処理水３１に、微生物活性化剤２１を添加することにより、膜分離活性汚泥処理槽３における活性汚泥がへたって微粒化するのを防ぐことができる。
【００６９】
図４に示した実施形態において、予備処理工程は、プラント排水１１を蒸留塔７で蒸留し、次いで前処理用逆浸透膜分離装置８で膜分離する工程からなる。蒸留塔７における蒸留は上記の通りである。蒸留塔７から排出された、酸性含酸素炭化水素を含む処理水３１は、前処理用逆浸透膜分離装置８に供給され、前処理ＲＯ透過水３３と前処理ＲＯ凝縮水３４に分離される。前処理ＲＯ透過水３３は精製された再生水であり、純水や飲用水の原水や農業用水として利用することができる。前処理ＲＯ凝縮水３４は、予備処理水１２として排出され、混合処理工程において微生物活性化剤２１が添加された後、好気的処理工程において好気性生物処理、固液分離処理され、好気的処理水１４として再生される。
【００７０】
従来、前処理ＲＯ凝縮水３４は、蒸留塔７から排出された酸性含酸素炭化水素を含む処理水３１よりも、活性汚泥を不活性化し崩壊・微粒化させる作用が強かったが、本発明の微生物活性化剤２１を添加することにより、膜分離活性汚泥処理槽３における活性汚泥がへたって微粒化するのを防ぐことができる。
【００７１】
なお図３，４には図示されていないが、好気的処理水１４の少なくとも一部は、後処理ＲＯ工程として後処理用逆浸透膜分離装置６へ供給することができる。後処理用逆浸透膜分離装置５に供給された好気的処理水１４は、溶存物質が除去された後処理ＲＯ透過水１８、及び溶存物質が凝縮された後処理ＲＯ凝縮水１８に分離することができる。
【００７２】
以下において実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。
【実施例】
【００７３】
実施例１
図２に示した構成からなるプラント排水の処理システムにおいて、フィッシャー・トロプシュ法により副生したプラント水の浄化処理を行った。嫌気性生物処理槽５としてＵＡＳＢを使用し、膜分離活性汚泥処理槽３としてＭＢＲを使用した。
【００７４】
プラント排水１１の水質を表２の「プラント排水」の欄に示した。プラント排水１１を無酸素槽４へ１９．８ｍＬ／分の流量で供給し、無酸素処理した。無酸素槽４から排出した前処理水１６を、５％ＮａＯＨ水溶液０．４ｍＬ／分と共に嫌気性生物処理槽５に導入した。これにより嫌気性生物処理槽５をｐＨ７．０〜７．５に調節しながら貯留（滞留時間：４０．８時間）し、嫌気性生物処理を行った。嫌気性生物処理槽５から排出した予備処理水１２の水質を表２の「ＵＡＳＢ処理水」の欄に示した。予備処理水１２の水質は、アルコール等の非酸性の酸化炭化水素の含有量、ＣＯＤCrが大幅に低減した。一方、浮遊物質量（ＳＳ）はほぼ５５倍に増加した。
【００７５】
嫌気性生物処理槽５から排出した予備処理水１２を混合手段２に供給し、表３に示す水質の生活排水２１（２ｍＬ／分）と混合した。得られた混合処理水１３を、１Ｎの塩酸０．０７ｍＬ／分と共に、膜分離活性汚泥処理槽３へ導入した。これにより膜分離活性汚泥処理槽３をｐＨ７〜８に調節し好気性生物処理を行った後、膜分離により固液分離した。なお膜分離活性汚泥処理槽３から引抜き汚泥１５を抜き出し、その一部を無酸素槽４に返送した。膜分離活性汚泥処理槽３から排出した好気的処理水１４の水質を表２の「ＭＢＲ処理水」の欄に示した。好気的処理水１４の水質は、すべての有機物成分およびＳＳの含有量が大幅に削減していた。膜分離における処理流束は０．６０ｍ3／ｍ2／ｄａｙと高く安定的であった。
【００７６】
得られた好気的処理水１４を後処理用逆浸透膜分離装置６へ供給し、水回収率６５％で運転した。ＲＯ処理された後処理ＲＯ透過水１８及び後処理ＲＯ濃縮水１９の水質を表２の「ＲＯ透過水」及び「ＲＯ濃縮水」の欄に示した。後処理ＲＯ透過水１８の水質は清浄であり、ＥＰＡ‘７３のボイラ用水（４８〜１０３バール）及び冷却水の水質基準に合格するレベルであった。なお後処理ＲＯ濃縮水の一部２４を無酸素槽４に循環させた。
【００７７】
この実施例１のプラント排水の処理方法は、分離膜での目詰まりが発生することなく、また後述する比較例１と比較し、膜分離における処理流束が大幅に高くなり、処理効率が向上することが確認された。
【００７８】
【表２】
0005905283.tif 000003
【００７９】
【表３】
0005905283.tif 000004
【００８０】
比較例１
図２に示した構成からなるプラント排水の処理システムにおいて、実施例１の生活排水２１を混合手段２へ供給しないようにして、フィッシャー・トロプシュ法により副生したプラント水の浄化処理を行った。嫌気性生物処理槽５としてＵＡＳＢを使用し、膜分離活性汚泥処理槽３としてＭＢＲを使用した。
【００８１】
プラント排水１１の水質を表４の「プラント排水」の欄に示した。プラント排水１１を無酸素槽４へ１９．８ｍＬ／分の流量で供給し、無酸素処理した。無酸素槽４から排出した前処理水１６を、５％ＮａＯＨ水溶液０．４ｍＬ／分と共に嫌気性生物処理槽５に導入した。これにより嫌気性生物処理槽５をｐＨ７．０〜７．５に調節しながら貯留（滞留時間：４０．８時間）し、嫌気性生物処理を行った。嫌気性生物処理槽５から排出した予備処理水１２の水質を表４の「ＵＡＳＢ処理水」の欄に示した。予備処理水１２の水質は、アルコール等の非酸性の酸化炭化水素の含有量、ＣＯＤCrが大幅に低減した。一方、浮遊物質量（ＳＳ）はほぼ４０倍に増加した。
【００８２】
嫌気性生物処理槽５から排出した予備処理水１２を、１Ｎの塩酸０．０７ｍＬ／分と共に、膜分離活性汚泥処理槽３へ導入した。これにより膜分離活性汚泥処理槽３をｐＨ７〜８に調節し好気性生物処理を行った後、膜分離により固液分離した。なお膜分離活性汚泥処理槽３から引抜き汚泥１５を抜き出し、その一部を無酸素槽４に返送した。膜分離活性汚泥処理槽３から排出した好気的処理水１４の水質を表４の「ＭＢＲ処理水」の欄に示した。好気的処理水１４の水質は、すべての有機物成分およびＳＳの含有量が削減したが、膜分離における処理流束は０．２０ｍ3／ｍ2／ｄａｙと大幅に低下した。
【００８３】
得られた好気的処理水１４を後処理用逆浸透膜分離装置６へ供給し、水回収率６５％で運転した。ＲＯ処理された後処理用ＲＯ透過水１８及び後処理用ＲＯ濃縮水１９の水質を表４の「ＲＯ透過水」及び「ＲＯ濃縮水」の欄に示した。またＲＯ濃縮水の一部２４を無酸素槽４に循環させた。
【００８４】
【表４】
0005905283.tif 000005
【００８５】
実施例２
図５に示した構成からなるプラント排水の処理システムにおいて、フィッシャー・トロプシュ法により副生したプラント水の浄化処理を行った。予備処理手段１として蒸留塔７及び前処理用逆浸透膜分離装置８を使用し、膜分離活性汚泥処理槽３としてＭＢＲを使用した。
【００８６】
プラント排水１１の水質を表５の「プラント排水」の欄に示した。プラント排水１１を蒸留塔７で蒸留し、酸性含酸素炭化水素を含む処理水３１を水槽９に１００Ｌ貯留した。この処理水３１の水質を表５の「蒸留処理水」の欄に示した。１００Ｌの貯留水に２５％ＮａＯＨ水溶液を１００ｍＬ添加しｐＨ５．５にした。ｐＨ調整した貯留水を前処理用逆浸透膜分離装置８へ濃縮水量４．９Ｌ／分、透過水量０．９Ｌ／分の流量比で通水し、前処理ＲＯ透過水３３及び後処理ＲＯ濃縮水３４に分離した。ＲＯ処理された前処理ＲＯ透過水３３及び前処理ＲＯ濃縮水３４の水質を表５の「前ＲＯ透過水」及び「前ＲＯ濃縮水」の欄に示した。前ＲＯ濃縮水３４を水槽９に戻す循環運転を行い、水槽９内の水量が２０Ｌになるまで前処理ＲＯを運転した（５倍濃縮）。この５倍濃縮を数回行い、前処理ＲＯ濃縮水３４を混合手段２に９０Ｌ貯留し、予備処理水とした。
【００８７】
この予備処理水９０Ｌに対し、生活排水２１を１０Ｌの割合で混合し、混合処理水１３とした（生活排水添加率１０重量％）。生活排水２１の水質を表５の「生活排水」の欄、混合処理水１３の水質を表５の「混合処理水」の欄にそれぞれ示した。
【００８８】
得られた混合処理水１３を、３２．４ｍＬ／分の流量で膜分離活性汚泥処理槽３（容量３０Ｌ）に通水し、９分ろ過、１分停止、面積０．０３ｍ2の平膜２枚で運転したところフラックス０．７０ｍ3／ｍ2／ｄａｙで運転可能で、安定的であった。膜分離活性汚泥処理槽３から排出した好気的処理水１４の水質を表５の「ＭＢＲ処理水」の欄に示した。
【００８９】
この運転フラックスで３０日運転を継続して膜差圧は１５ｋＰａまで上昇した。膜差圧の管理値２０ｋＰａ以下であった。
【００９０】
この実施例２のプラント排水の処理方法は、後述する比較例２と比較し、膜分離における運転フラックスが大幅に高くなり、処理効率が向上することが確認された。
【００９１】
【表５】
0005905283.tif 000006
【００９２】
比較例２
図５に示した構成からなるプラント排水の処理システムにおいて、実施例２の生活排水２１を混合手段２へ供給せず、代わりに窒素、リンの栄養源を添加するようにして、フィッシャー・トロプシュ法により副生したプラント水の浄化処理を行った。予備処理手段１として蒸留塔７及び前処理用逆浸透膜分離装置８を使用し、膜分離活性汚泥処理槽３としてＭＢＲを使用した。
【００９３】
プラント排水１１の水質を表６の「プラント排水」の欄に示した。プラント排水１１を蒸留塔７で蒸留し、酸性含酸素炭化水素を含む処理水３１を水槽９に１００Ｌ貯留した。この処理水３１の水質を表６の「蒸留処理水」の欄に示した。１００Ｌの貯留水に２５％ＮａＯＨ水溶液を１００ｍＬ添加しｐＨ５．５にした。ｐＨ調整した貯留水を前処理用逆浸透膜分離装置８へ濃縮水量４．９Ｌ／分、透過水量０．９Ｌ／分の流量比で通水し、前処理ＲＯ透過水３３及び後処理ＲＯ濃縮水３４に分離した。ＲＯ処理された前処理ＲＯ透過水３３及び前処理ＲＯ濃縮水３４の水質を表６の「前ＲＯ透過水」及び「前ＲＯ濃縮水」の欄に示した。前ＲＯ濃縮水３４を水槽９に戻す循環運転を行い、水槽９内の水量が２０Ｌになるまで前処理ＲＯを運転した（５倍濃縮）。この５倍濃縮を数回行い、前処理ＲＯ濃縮水３４を混合手段２に９０Ｌ貯留し、予備処理水とした。
【００９４】
この予備処理水に対し、塩化アンモニウム（窒素源：添加濃度２８７ｍｇ／Ｌ）及びリン酸二水素カリウム（リン源：添加濃度６６ｍｇ／Ｌ）の割合で添加し、混合水とした。この窒素、リンの栄養源を添加した混合水の水質を表６の「混合水」の欄に示した。
【００９５】
得られた混合水を、１６．２ｍＬ／分の流量で膜分離活性汚泥処理槽３（容量３０Ｌ）に通水し、９分ろ過、１分停止、面積０．０３ｍ2の平膜２枚で運転したところフラックスは０．３５ｍ3／ｍ2／ｄａｙであった。膜分離活性汚泥処理槽３から排出した好気的処理水１４の水質を表６の「ＭＢＲ処理水」の欄に示した。
【００９６】
この運転フラックスで１５日運転を継続して膜差圧は２２ｋＰａまで上昇した。膜差圧の管理値２０ｋＰａを超えたため、膜の薬品洗浄が必要となり、薬品洗浄回数が実施例２と比べ２倍以上となった。また、処理速度（フラックス）が実施例と比べ半分以下に下がるとともに、ＭＢＲ処理水の水質が総じて劣った。
【００９７】
【表６】
0005905283.tif 000007
【符号の説明】
【００９８】
１  予備処理手段
２  混合手段
３  膜分離活性汚泥処理槽
４  無酸素槽
５  嫌気性生物処理槽
６  後処理用逆浸透膜分離装置
７  蒸留塔
８  前処理用逆浸透膜分離装置
１１  プラント排水
１２  予備処理水
１３  混合処理水
１４  好気的処理水
１５  引抜き汚泥
１６  前処理水
１８  後処理ＲＯ透過水
１９  後処理ＲＯ濃縮水
２１  微生物活性化剤
２２，２３  ｐＨ調節剤
３１  酸性含酸素炭化水素を含む処理水
３２  酸性含酸素炭化水素を除く有機化合物
３３  前処理ＲＯ透過水
３４  前処理ＲＯ濃縮水
【図１】
0005905283.tif 000008
【図２】
0005905283.tif 000009
【図３】
0005905283.tif 000010
【図４】
0005905283.tif 000011
【図５】
0005905283.tif 000012