(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに反対側に面している第１の面及び第２の面と、該面の間に延在している第１の開口部及び第２の開口部と、を有する誘電体素子であって、その上に導電性素子を更に有するものである、誘電体素子と、
第１の裏面と、前記誘電体素子の前記第１の面に面している第１の表面と、該第１の表面と該第１の裏面との間に延在しており、互いに反対側に面している第１の縁面とを有する第１の超小型電子素子であって、前記第１の超小型電子素子の中心領域に沿う該第１の超小型電子素子の該第１の表面において露出している複数のコンタクトを有するものである、第１の超小型電子素子と、
前記誘電体素子の前記第１の面に面している第２の表面と、該第２の表面に対して反対側の第２の裏面と、該第２の表面と該第２の裏面との間に延在しており、互いに反対側に面している第２の縁面とを有する第２の超小型電子素子であって、前記第１の電子素子の前記互いに反対側に面している第１の縁面の一つだけが、該第２の超小型電子素子の該互いに反対側に面している第２の縁面の一つを越えて延在し、かつ、該第１の超小型電子素子の前記第１の裏面の少なくとも一部分が該互いに反対側に面している第２の縁面の一つを越えて延在するように、該第２の超小型電子素子は該第１の超小型電子素子に重なり、該第２の超小型電子素子は該第２の超小型電子素子の中心領域に沿う該第２の表面において複数のコンタクトを有するものである、第２の超小型電子素子と、
前記第１の超小型電子素子のコンタクトから前記第１の開口部を通って前記導電性素子のうちの少なくとも幾つかまで延在する第１のリード、及び、前記第２の超小型電子素子のコンタクトから前記第２の開口部を通って他の前記導電性素子まで延在する第２のリードと、
前記第２の超小型電子素子の前記第２の裏面を覆い、前記互いに反対側に面している前記第２の縁面の一つを越えて延在する前記第１の超小型電子素子の前記第１の裏面の少なくとも一部分に重なるヒートスプレッダと、
前記第２の超小型電子素子の前記第２の縁面の一つを越えて延在する、前記ヒートスプレッダと、前記第１の超小型電子素子の前記第１の裏面の前記一部分との間に配置された支持素子と
を備える、超小型電子アセンブリ。
【請求項２】
前記第１及び第２のリードはワイヤボンドである、請求項１に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項３】
前記ヒートスプレッダは部分的に又は全体的にグラファイトから作製されている、請求項１に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項４】
前記ヒートスプレッダは金属シートを含む、請求項１に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項５】
前記ヒートスプレッダは、少なくとも前記第１の超小型電子素子の前記第１の裏面を覆う、請求項１に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項６】
前記ヒートスプレッダは、少なくとも前記第２の超小型電子素子の前記第２の裏面を覆う、請求項１に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項７】
前記誘電体素子に熱的に結合された複数の熱伝導性ボールを更に備える、請求項１に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項８】
前記複数の熱伝導性ボールは、前記誘電体素子の第２の面に取り付けられている、請求項７に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項９】
前記複数の熱伝導性ボールの各々には金属コアが埋め込まれている、請求項７に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項１０】
前記誘電体素子を通って延在し、前記複数の熱伝導性ボールのうちの１つを前記誘電体素子に結合する熱伝導性コネクタを更に備える、請求項７に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項１１】
前記ヒートスプレッダ全体は平面に沿って延在している、請求項１に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項１２】
前記ヒートスプレッダと、前記第１の超小型電子素子との間の支持素子と、を更に備える、請求項１１に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項１３】
請求項１に記載のアセンブリと、該アセンブリに電気的に接続された１つ又は複数の他の電子コンポーネントと、を備えるシステム。
【請求項１４】
ハウジングを更に具備し、前記アセンブリ及び前記他の電子コンポーネントは該ハウジングに実装される、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
ハウジングを更に具備し、前記アセンブリ及び前記他の電子コンポーネントは該ハウジングに実装される、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
超小型電子アセンブリであって、
第１のユニット及び第２のユニットであって、前記ユニットの各々は、
（１）互いに反対側に面している第１の面及び第２の面と、該第１の面及び該第２の面の間に延在する第１の開口部及び第２の開口部と、を有する誘電体素子であって、上に導電性素子を有しているものである、誘電体素子と、
（２）第１の裏面と、前記誘電体素子の前記第１の面に面している第１の表面と、該第１の表面と該第１の裏面との間に延在しており、互いに反対側に面している第１の縁面とを有する第１の超小型電子素子であって、該第１の超小型電子素子の中心領域に沿う該第１の超小型電子素子の該第１の表面において露出している複数のコンタクトを有するものである、第１の超小型電子素子と、
（３）前記誘電体素子の前記第１の面に面する第２の表面と、該第２の表面の反対側に面している第２の裏面と、該第２の表面と該第２の裏面との間に延在しており、互いに反対側に面している第２の縁面とを有する第２の超小型電子素子であって、該第２の超小型電子素子は前記第１の超小型電子素子に重なり、該第１の超小型電子素子の前記互いに反対側に面している第１の縁面のうちの一つだけが該第２の超小型電子素子の該互いに反対側に面している第２の縁面の一つを越えて延在し、かつ、該第１の超小型電子素子の該第１の裏面の少なくとも一部分が該互いに反対側に面している第２の縁面の一つを越えて延在するように、該第２の超小型電子素子は、該第１の超小型電子素子の中心領域に沿う該第２の超小型電子素子の該第２の表面において複数のコンタクトを有する、第２の超小型電子素子と、
（４）前記第１の超小型電子素子から前記第１の開口部を通って前記誘電体素子の上の前記導電性素子のうちの少なくとも幾つかまで延在する第１の信号リード、及び、前記第２の超小型電子素子から前記第２の開口部を通って他の前記導電性素子まで延在する第２の信号リードと、
（５）前記第１のユニットの前記第１の超小型電子素子及び前記第２の超小型電子素子と、該第１のユニットの前記誘電体素子の部分とを覆うオーバーモールドであって、前記オーバーモールドは、該第１のユニットの該第１の超小型電子素子の前記第１の縁面と、前記第１のユニットの該第２の超小型電子素子の前記第２の縁面とを越えて延在する、オーバーモールドと
を備え、
前記第２のユニットは前記第１のユニットの前記超小型電子素子の上に重なり、該アセンブリは、
前記第１のユニットと前記第２のユニットの間に配置され、該第１のユニットの前記第１の超小型電子素子と前記第２の超小型電子素子とに熱的に結合されたヒートスプレッダであって、該ヒートスプレッダはモノリシック構造体であり、前記誘電体素子の前記開口部と、該第２のユニットの前記第１の超小型電子素子及び前記第２の超小型電子素子の前記コンタクトとに、実質的に位置合わせされる１つ又は複数の開口部を備える、ヒートスプレッダと、
前記第１のユニットの前記誘電体素子の上の前記導電性素子のうちの少なくとも幾つかを、前記第２のユニットの前記誘電体素子の上の前記導電性素子のうちの少なくとも幾つかに電気的に接続する積層体相互接続と
を更に備える、
第１のユニット及び第２のユニットを備える、超小型電子アセンブリ。
【請求項１７】
前記ヒートスプレッダは、互いに間隔を空けて配置されたヒートスプレッダ部分を含む、請求項１６に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項１８】
前記ヒートスプレッダは、前記第２のユニットの前記誘電体素子の前記第２の面に取り付けられている、請求項１６に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項１９】
前記第１及び第２のリードはワイヤボンドである、請求項１６に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項２０】
前記ヒートスプレッダは、前記第１のユニットの前記第１の超小型電子素子の前記第１の裏面及び前記第１のユニットの前記第２の超小型電子素子の前記第２の裏面に向かってそれぞれ面している実質的に平面の面を有している、請求項１６に記載の超小型電子アセンブリ。
【請求項２１】
請求項１６に記載のアセンブリと、該アセンブリに電気的に接続された１つ又は複数の他の電子コンポーネントと、を備えるシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型超小型電子アセンブリ及びこうしたアセンブリを作製する方法と、こうしたアセンブリにおいて有用なコンポーネントとに関する。
【０００２】
［関連出願の相互参照］
本出願は、２０１０年１０月１９日に出願された米国特許出願第１２／９０７，５２２号の継続出願であり、その開示内容は引用することにより本明細書の一部をなすものとする。
【背景技術】
【０００３】
半導体チップは、一般に、個々のパッケージングされたユニットとして提供される。標準的なチップは、平坦な矩形本体を有し、その広い表面にチップの内部回路に接続されたコンタクトがある。通常、各個々のチップは、パッケージに実装され、次にパッケージは、プリント回路基板等の回路パネルに実装され、チップのコンタクトを回路パネルの導体に接続する。多くの従来の設計では、チップパッケージは、チップ自体の面積より大幅に広い回路パネルの面積を占有する。本開示において表面を有するフラットチップに関して使用するとき、「チップの面積」は、表面の面積を指すものと理解するべきである。「フリップチップ」設計では、チップの表面はパッケージ基板の面に対面し、すなわち、チップキャリア及びチップ上のコンタクトは、はんだボール又は他の接続素子によってチップキャリアのコンタクトに直接接合される。そして、チップキャリアを、チップの表面の上に重なる端子を介して回路パネルに接合することができる。「フリップチップ」設計は、比較的小型の構成を可能にし、各チップは、例えば、その開示を引用することにより本明細書の一部をなすものとする本願と同一の譲受人に譲渡された米国特許第５，１４８，２６５号、米国特許第５，１４８，２６６号及び米国特許第５，６７９，９７７号の或る特定の実施形態に開示されているように、チップの表面の面積に等しいか又はそれよりわずかに広い回路パネルの面積を占有する。
【０００４】
或る特定の革新的な実装技法では、従来のフリップチップ接合に近いか又はそれに等しい小型化がもたらされる。チップ自体の面積に等しいか又はそれよりわずかに広い回路パネルの面積に単一チップを収容することができるパッケージを、一般に「チップサイズパッケージ」と呼ぶ。
【０００５】
超小型電子アセンブリが占有する回路パネルの平面面積を最小限にすることに加えて、回路パネルの平面に対して垂直な高さ又は寸法全体が小さいチップパッケージを製造することも望ましい。こうした薄い超小型電子パッケージにより、隣接する構造体に近接してパッケージが実装されている回路パネルの配置が可能になり、これにより、回路パネルを組み込んだ製品の全体的なサイズがもたらされる。単一パッケージ又はモジュールで複数のチップを提供するさまざまな提案が提起されてきた。従来の「マルチチップモジュール」では、チップは単一パッケージ基板上に横に並べて実装され、次にそのパッケージ基板を、回路パネルに実装することができる。この手法では、チップが占有する回路パネルの全体面積の限られた縮小しかもたらされない。全体面積は、モジュールの個々のチップの総表面積より依然として広い。
【０００６】
複数のチップを「積層体」構成で、すなわち複数のチップが重なり合って配置される構成でパッケージングすることも提案された。積層型構成では、或る特定のチップを、チップの総面積より小さい回路パネルの面積に実装することができる。或る特定の積層型チップ構成は、例えば、その開示を引用することにより本明細書の一部をなすものとする、上述した米国特許第５，６７９，９７７号、米国特許第５，１４８，２６５号及び米国特許第５，３４７，１５９号の或る特定の実施形態に開示されている。同様に引用することにより本明細書の一部をなすものとする米国特許第４，９４１，０３３号は、チップが積み重なり合って、チップに関連するいわゆる「配線フィルム」上の導体によって互いに相互接続される構成を開示している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本技術分野におけるこれらの努力にも関らず、コンタクトが実質的にチップの中心領域に位置するチップ用のマルチチップパッケージの場合、更なる改良が望ましい。幾つかのメモリチップ等の或る特定の半導体チップは、一般に、１列又は２列のコンタクトがチップの中心軸に実質的に沿って位置するように作製される。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
超小型電子アセンブリが、反対側に面している第１の面及び第２の面と、該面の間に延在している１つ又は複数の開口部と、を有する誘電体素子であって、その上に導電性素子を更に有するものである、誘電体素子と、面と前記誘電体素子の前記第１の面に面している表面とを有する第１の超小型電子素子であって、第１の縁と該第１の超小型電子素子の前記表面において露出している複数のコンタクトとを有するものである、第１の超小型電子素子と、裏面と前記第１の超小型電子素子の前記裏面に面している表面とを有することを含む第２の超小型電子素子であって、該第２の超小型電子素子の前記表面の突出部分は前記第１の超小型電子素子の前記第１の縁を越えて延在し、前記突出部分は、前記誘電体素子の前記第１の面から間隔を空けて配置され、該第２の超小型電子素子は前記表面の前記突出部分において露出する複数のコンタクトを有するものである、第２の超小型電子素子と、前記超小型電子素子のコンタクトから前記少なくとも１つの開口部を通って前記導電性素子のうちの少なくとも幾つかまで延在するリードと、前記第１の超小型電子素子又は前記第２の超小型電子素子のうちの少なくとも一方に熱的に結合されたヒートスプレッダと、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態による積層型超小型電子アセンブリの概略立断面図である。
【図２】図１の積層型アセンブリの底面図である。
【図３】本発明の別の実施形態による積層型超小型電子装置の概略断面図である。
【図４】本発明の別の実施形態による積層型超小型電子アセンブリの概略断面図である。
【図５】本発明の更に別の実施形態による積層型超小型電子アセンブリの概略断面図である。
【図６】本発明の一実施形態による積層型超小型電子アセンブリの概略断面図である。
【図７】本発明の１つの実施形態によるシステムの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１を参照すると、本発明の一実施形態による積層型超小型電子アセンブリ１０は、第１の超小型電子素子１２及び第２の超小型電子素子１４を備えている。幾つかの実施形態では、第１の超小型電子素子１２及び第２の超小型電子素子１４を、半導体チップ、ウェハ等とすることができる。
【００１１】
第１の超小型電子素子１２は、表面１６と、表面から離れている裏面１８と、表面と裏面との間に延在している第１の縁２７及び第２の縁２９と、を有している。第１の超小型電子素子１２の表面１６は、第１の端部領域１５及び第２の端部領域１７と、第１の端部領域１５と第２の端部領域１７との間に位置する中心領域１３と、を備えている。第１の端部領域１５は、中心領域１３と第１の縁２７との間に延在し、第２の端部領域１７は、中心領域１３と第２の縁２９との間に延在している。第１の超小型電子素子１２の表面１６において電気コンタクト２０が露出している。本開示で用いるとき、導電性素子が構造体の表面「において露出している」という記述は、導電性素子が、表面に対して垂直である方向において、構造体の外側から表面に向かって移動している理論的な点に接触することができることを示す。したがって、構造体の表面において露出している端子又は他の導電性素子は、こうした表面から突出することができるか、こうした表面と同一平面とすることができるか、又はこうした表面に対して凹状であり、構造体の孔又は窪みを通して露出することができる。第１の超小型電子素子１２のコンタクト２０は、中心領域１３内の表面１６において露出している。例えば、コンタクト２０を、第１の面１６の中心に隣接して１つ又は２つの平行な列で配置することができる。
【００１２】
第２の超小型電子素子１４は、表面２２と、表面から離れている裏面２４と、表面と裏面との間に延在している第１の縁３５及び第２の縁３７と、を有している。第２の超小型電子素子１４の表面２２は、第１の端部領域２１及び第２の端部領域２３と、第１の端部領域２１と第２の端部領域２３との間に位置する中心領域１９とを備えている。第１の端部領域２１は、中心領域１９と第１の縁３５との間に延在し、第２の端部領域２３は、中心領域１９と第２の縁３７との間に延在している。第２の超小型電子素子１４の表面２２において電気コンタクト２６が露出している。第２の超小型電子素子１４のコンタクト２６は、中心領域１９内の表面２２において露出している。例えば、コンタクト２６を、第１の面２２に隣接して１つ又は２つの平行な列で配置することができる。
【００１３】
図１に示すように、第１の超小型電子素子１２及び第２の超小型電子素子１４は、互いに対して積層されている。幾つかの実施形態では、第２の超小型電子素子１４の表面２２及び第１の超小型電子素子１２の裏面１８は互いに面している。第２の超小型電子素子１４の第２の端部領域２３の少なくとも一部が、第１の超小型電子素子１２の第２の端部領域１７の少なくとも一部の上に重なっている。第２の超小型電子素子１４の中心領域１９の少なくとも一部が、第１の超小型電子素子１２の第２の縁２９を越えて突出している。さらに、第２の超小型電子素子１４の一部４３は第１の超小型電子素子１２の第２の縁２９を越えて延在する。したがって、第２の超小型電子素子１４のコンタクト２６は、第１の超小型電子素子１２の第２の縁２９を越えた位置に配置されている。 
【００１４】
超小型電子アセンブリ１０は、反対側に面している第１の面３２及び第２の面３４を有する誘電体素子３０を更に備えている。図１は、１つの誘電体素子３０しか示していないが、超小型電子アセンブリ１０は、２つ以上の誘電体素子を備えることができる。誘電体素子３０の第１の面３２において、１つ又は複数の導電性素子又は端子３６が露出している。少なくとも幾つかの端子３６を、第１の超小型電子素子１２及び／又は第２の超小型電子素子１４に対して移動可能とすることができる。
【００１５】
誘電体素子３０は、１つ又は複数の開口部を更に備えることができる。図１に示す実施形態では、誘電体素子３０は、第１の超小型電子素子１２の中心領域１３と実質的に位置合せされる第１の開口部３３と、第２の超小型電子素子１４の中心領域１９と実質的に位置合せされる第２の開口部３９とを備えており、それにより、コンタクト２０及び２６に対するアクセスを可能にする。
【００１６】
図１に示すように、誘電体素子３０は、第１の超小型電子素子１２の第１の縁２７及び第２の超小型電子素子１４の第２の縁３５を越えて延在することができる。誘電体素子３０の第２の面３４を、第１の超小型電子素子１２の表面１６と並置することができる。誘電体素子３０を、任意の適切な誘電体材料から部分的に又は全体的に作製することができる。例えば、誘電体素子３０は、ポリイミド、ＢＴ樹脂、又はテープ自動化接合（tape automated bonding）（「ＴＡＢ」）テープを作製するために一般に使用される他の誘電体材料の層等、可撓性材料の層を含むことができる。代替的に、誘電体素子３０は、Ｆｒ−４基板又はＦｒ−５基板等、繊維補強エポキシの厚い層等の比較的剛性の板状材料を含むことができる。採用する材料に関らず、誘電体素子３０は、誘電体材料の単層又は複数の層を含むことができる。
【００１７】
誘電体素子３０はまた、第１の面３２において露出している導電性素子４０と導電性トレース４２とを備えることができる。導電性トレース４２は、導電性素子４０を端子３６に電気的に結合する。
【００１８】
接着剤層等、スペーサ素子又は支持素子３１を、第２の超小型電子素子１４の第１の端部領域２１と誘電体素子３０の一部との間に配置することができる。スペーサ層３１が接着剤を含む場合、接着剤は、第２の超小型電子素子１４を誘電体素子３０に接続することができる。第２の超小型電子素子１４の第２の端部領域２３と第１の超小型電子素子１２の第２の端部領域１７との間に、別のスペーサ層６０を配置することができる。このスペーサ層６０は、第１の超小型電子素子１２及び第２の超小型電子素子１４を合わせて接合する接着剤を含むことができる。こうした場合、スペーサ層６０を、ダイアタッチ接着剤から部分的に又は全体的に作製することができ、シリコーンエラストマ等の低弾性率材料から構成することができる。しかしながら、２つの超小型電子素子１２及び１４が同じ材料から形成された従来の半導体チップである場合、超小型電子素子が、温度変化に応じて一斉に膨張し収縮する傾向があるため、スペーサ層６０を、高弾性率接着剤又ははんだの薄層から全体的に又は部分的に作製することができる。採用する材料に関らず、スペーサ層３１及び６０の各々は、単層又は複数の層を含むことができる。
【００１９】
図１及び図２に見られるように、電気的接続又はリード７０が、第１の超小型電子素子１２のコンタクト２０を誘電体素子３０上の幾つかの導電性素子４０に電気的に接続する。電気的接続７０は、超小型電子素子１２のコンタクトを導電性素子４０に電気的に接続する複数のワイヤボンド７２、７４を含むことができる。ワイヤボンド７２、７４は、第１の開口部３３を通って延在し、互いに対して実質的に平行に向けられている。ワイヤボンド７２及び７４の各々は、コンタクト２０を、誘電体素子の対応する導電性素子４０に電気的に結合する。本実施形態による複数ワイヤボンド構造体は、接続されたコンタクト間を電流が流れるための追加の経路を提供することにより、ワイヤボンド接続のインダクタンスを実質的に低下させることができる。
【００２０】
他の電気的接続又はリード５０が、第２の超小型電子素子１４のコンタクト２６を幾つかの導電性素子４０に電気的に結合する。電気的接続５０は、超小型電子素子１４のコンタクトを導電性素子４０に電気的に接続する複数のワイヤボンド５２、５４を含むことができる。ワイヤボンド５２、５４は、第２の開口部３９を通って延在し、互いに対して実質的に平行に向けられている。ワイヤボンド５２及び５４はともに、コンタクト２６を誘電体素子３０の対応する素子４０に電気的に結合する。本実施形態による複数ボンドワイヤ構造体は、接続されたコンタクト間を電流が流れるための追加の経路を提供することにより、ワイヤボンド接続のインダクタンスを実質的に低下させることができる。
【００２１】
超小型電子アセンブリ１０は、少なくとも第１の超小型電子素子１２及び第２の超小型電子素子１４を覆うオーバーモールド１１を更に備えている。図１に見られるように、オーバーモールド１１は、第１の超小型電子素子１２の第１の縁２７及び第２の超小型電子素子１４の第１の縁３５を越えて延在する誘電体素子３０の部分も覆うことができる。
【００２２】
図３は、少なくとも２つの積層されかつ電気的に相互接続された超小型電子アセンブリ９００を備える装置１０００を示す。超小型電子アセンブリ９００Ａ及び９００Ｂを、上述したアセンブリのうちの任意のものとすることができる。超小型電子アセンブリのうちの少なくとも１つに対して、その端子に、はんだボール９８１、又は、接合材及び金属、例えば錫、インジウム若しくはそれらの組合せの他の塊等、導電性接合ユニットを取り付けることができる。２つの超小型電子アセンブリ９００は、任意の適切な導電性接続を介して互いに電気的に接続される。例えば、アセンブリを、それぞれの超小型電子素子のうちの誘電体素子９３０Ａ、９３０Ｂ上のパッド（図示せず）に接合されたはんだカラム９９０を介して電気的に相互接続することができる。同様に図３に示す特定の実施形態では、導電性ポスト９９２及びはんだ９９４を使用して、２つの超小型電子アセンブリ９００Ａ及び９００Ｂを電気的に相互接続することができる。ポスト９９２は、第１のアセンブリから若しくは第２のアセンブリから他方のアセンブリまで延在することができるか、又は両アセンブリに設けられたポストが互いに向かって延在することができる。
【００２３】
続けて図３を参照すると、積層された超小型電子アセンブリの装置内で熱を均一に分散させるのに役立つように、第１の超小型電子アセンブリ９００Ａと第２の超小型電子アセンブリ９００Ｂとの間にヒートスプレッダ９７０を配置することができる。ヒートスプレッダ９７０はまた、周囲環境への熱放散を向上させることもできる。ヒートスプレッダを、任意の適切な熱伝導性材料から部分的に又は全体的に作製することができる。適切な熱伝導性材料の例としては、限定されないが、金属、グラファイト、熱伝導性接着剤、例えば熱伝導性エポキシ、はんだ等、又はこうした材料の組合せが挙げられる。一例では、ヒートスプレッダを、実質的に連続した金属のシートとすることができる。特定の実施形態では、金属又は他の熱伝導性材料から作製された予備成形されたヒートスプレッダ９７０を、熱伝導性接着剤又は熱伝導性グリース等の熱伝導性材料等により、第２の超小型電子アセンブリ９００Ｂの誘電体素子９３０Ｂの表面９３２Ｂに取り付けるか又は配置することができる。存在する場合は、接着剤をコンプライアント材料とすることができ、それにより、コンプライアントに取り付けられた素子の間の異なる熱膨張に適合する等のために、ヒートスプレッダと、超小型電子素子又はそれが取り付けられる誘電体素子との間の相対移動が可能になる。ヒートスプレッダ９７０を、モノリシック構造体とすることができ、ヒートスプレッダ９７０は、誘電体素子９３０Ｂの開口部９３３Ｂ、９３９Ｂとそれぞれ実質的に位置合せされる１つ又は複数の開口部９７２、９７４を備えることができる。１つの実施形態では、ヒートスプレッダ９７０の開口部９７２、９７４の各々を、誘電体素子９３０Ｂの開口部９３３Ｂ又は９３９Ｂを覆う封止材９８０Ｂ又は９８２Ｂを受け入れるような寸法とすることができる。代替的に、ヒートスプレッダ９７０は、互いに間隔を空けて配置された複数のスプレッダ部分を含むことができる。図示しないが、ヒートスプレッダ９７０を、代替的に、超小型電子アセンブリ９００Ａの第２の超小型電子素子９１４Ａの裏面９２４Ａに、又は第１の超小型電子アセンブリ９００Ａの第１の超小型電子素子９１２Ａの裏面９１８Ａに、又は両超小型電子素子９１２Ａ、９１４Ａの裏面に取り付けることができる。特定の実施形態では、ヒートスプレッダは、第１の超小型電子素子９１２Ａ及び第２の超小型電子素子９１４Ａのうちの１つ又は複数の裏面の少なくとも一部に直接接合されたはんだの層とするか又はそれを含むことができる。 
【００２４】
本明細書に記載する実施形態のうちの任意のものにおいて、超小型電子アセンブリは、超小型電子アセンブリの他の位置に配置された追加のヒートスプレッダを備えることができる。
【００２５】
図４は、ヒートスプレッダ１２８０が少なくとも第２の超小型電子素子１２１４の裏面１２２４に取り付けられている、上述したような超小型電子アセンブリ１２００を示す。ヒートスプレッダ１２８０は、第２の超小型電子アセンブリ１２１４の裏面１２２４全体と熱伝導連通することができ、第２の超小型電子素子の第１の縁１２３５及び第２の縁１２３７を越えて延在することができる。支持素子１２９０を、シリコン又は他の任意の適切な材料から作製することができ、ヒートスプレッダ１２８０と第１の超小型電子素子１２１２の第１の端部領域１２１５との間に配置することができる。支持素子を、金属、金属充填ポリマー材料、例えば導電性エポキシ、グラファイト、接着剤、はんだ、又はアセンブリ内及びアセンブリと環境との間の熱の伝達及び放散を向上させるのに適している任意の材料等、熱伝導性材料から作製することができる。
【００２６】
別の支持素子１２９２を、第２の超小型電子素子１２１４の第１の端部領域１２２１と誘電体素子１２３０との間に配置することができる。支持素子１２９２を、シリコンから部分的に又は全体的に作製することができる。ヒートスプレッダ１２８０は、第１の超小型電子素子の第１の縁１２２７及び第２の縁１２２９を越えて延在することができる。上述したように、ヒートスプレッダ１２８０を、金属、グラファイト、又は他の任意の適切な熱伝導性材料から全体的に又は部分的に作製することができ、コンプライアントであり得る熱伝導性接着剤又は熱伝導性グリースにより、アセンブリの他の部品に取り付けるか又はそれらの部品と熱的に連通させることができる。一実施形態では、特に、超小型電子素子が、本質的に１つのタイプの半導体材料、例えばシリコンから構成される場合、支持素子１２９０、１２９２を、本質的に同じ半導体材料から構成することができる。
【００２７】
ヒートスプレッダ１２８０に加えて、超小型電子アセンブリ１２００は、１つ又は複数の熱伝導性ボール１２８２、１２８４を備えることができる。ボール１２８２、１２８４は、通常、はんだから作製されるが、１２８３に示すように、その内部の銅ボール又は銅ポスト等、熱伝導性金属のコアを備えることができる。熱伝導性ボール１２８２を、第１の超小型電子素子１２１２の第１の縁１２２７と実質的に位置合せして誘電体素子１２３０の表面１２３２に取り付けることができる。１つ又は複数の熱伝導性ボール１２８２に、熱伝導性コネクタ１２８６を取り付けることができ、それは、誘電体素子１２３０を通って延在することができる。熱伝導性ボール１２８４を、第２の超小型電子素子１２１４の第１の縁１２３５と実質的に位置合せして誘電体素子１２３０の表面１２３２に取り付けることができる。１つ又は複数の熱伝導性ボール１２８４に、熱伝導性コネクタ１２８８を取り付けることができ、それは誘電体素子１２３０を通って延在することができる。
【００２８】
図５は、図４に示す実施形態の変形を示す。この変形では、超小型電子アセンブリ１４００は、第１の超小型電子１３１４の第１の端部領域１３１５とヒートスプレッダ１３８０との間に支持素子を備える必要がない。ヒートスプレッダ１３８０は、第２の超小型電子素子１３１４の第２の縁１３３７に隣接して段１３９８を備えることができる。段１３９８により、ヒートスプレッダ１３８０は、第１の超小型電子素子１３１２の裏面１３１８と接触するか又は少なくともそれに近接することができる。 
【００２９】
図６は、図３に示す実施形態の変形を示す。図６に示す変形では、ヒートスプレッダ９７１は、超小型電子アセンブリ９００Ｂの第１の超小型電子素子９１２Ｂ及び第２の超小型電子素子９１４Ｂと熱的に連通している。ヒートスプレッダ９７１は、第１の超小型電子素子９１２Ｂ及び第２の超小型電子素子９１４Ｂのそれぞれの裏面９１８Ｂ及び９２４Ｂから離れる方向に向いている第１の実質的に平面の面９８７を有することができる。さらに、ヒートスプレッダ９７１は、第１の超小型素子９１２Ｂ及び第２の超小型電子素子９１４Ｂのそれぞれの裏面９１８Ｂ及び９２４Ｂに向かって面している第２の実質的に平面の面９８９Ａ及び第３の実質的に平面の面９８９Ｂを有することができる。ヒートスプレッダ９７１は、第２の超小型電子素子９１４Ｂの裏面９２４Ｂと熱的に連通するとともにその上に重なる第１の部分９７３と、第１の超小型電子素子９１２Ｂの裏面９１８Ｂと熱的に連通するとともにその上に重なる第２の部分９７５とを備えることができる。１つの特定の実施形態では、ヒートスプレッダ９７１の第１の部分９７３は、例えば、はんだ、熱伝導性グリース又は熱伝導性接着剤等を介して、第２の超小型電子素子９１４Ｂの裏面９２４Ｂの一部又は全体と熱的に接触することができる。同様に、ヒートスプレッダ９７１の第２の部分９７５は、第１の超小型電子素子９１２Ｂの裏面９１８Ｂの一部又は全体と熱的に接触することができる。ヒートスプレッダ９７１の第２の部分９７５を、第１の部分９７３より厚くすることができる。
【００３０】
続けて図６を参照すると、別のヒートスプレッダ９７７が、超小型電子アセンブリ９００Ａの第１の超小型電子素子９１２Ａ及び第２の超小型電子素子９１４Ａと熱的に連通することができる。ヒートスプレッダ９７７は、第１の超小型電子素子９１２Ａ及び第２の超小型電子素子９１４Ａから離れる方向に向いている第１の実質的に平面の面９９１を有することができる。さらに、ヒートスプレッダ９７７は、第１の超小型電子素子９１２Ａ及び第２の超小型電子素子９１４Ａのそれぞれの裏面９１８Ａ及び９２４Ａに向かって面している第２の実質的に平面の面９９３Ａ及び９９３Ｂを備えることができる。さらに、ヒートスプレッダ９７７は、第２の超小型電子素子９１４Ａの裏面９２４Ａと熱的に連通するとともにその上に重なる第１の部分９７９と、第１の超小型電子素子９１２Ａの裏面９１８Ａと熱的に連通するとともにその上に重なる第２の部分９８３とを備えることができる。１つの特定の実施形態では、ヒートスプレッダ９７７の第１の部分９７９は、ヒートスプレッダ９７１の構成と同様に、第２の超小型電子素子９１４Ａの裏面９２４Ａの一部又は全体と熱的に接触することができる。同様に、ヒートスプレッダ９７７の第２の部分９８３は、第１の超小型電子素子９１２Ａの裏面９１８Ａの一部又は全体と熱的に接触することができる。ヒートスプレッダ９７７の第２の部分９８３を、その第１の部分９７９より厚くすることができる。 
【００３１】
ヒートスプレッダ９７７と誘電体素子９３０Ｂとの間に、熱伝導性材料９８５を配置することができる。熱伝導性材料９８５は、任意の適切な材料の１つ又は複数の層を含むことができ、２５ミクロンから１００ミクロンの厚さとすることができる。適切な熱伝導性材料としては、限定されないが、熱伝導性グリース、はんだ、インジウム又は任意の適切な熱伝導性接着剤が挙げられる。熱伝導性材料９８５を、誘電体素子９３０Ｂ及びヒートスプレッダ９７７の一方又は両方の面に、液体又は完全に使用されていない状態で塗布することができる。そのように、材料は、それらの間の空間に流れ込むことができる。したがって、熱伝導性材料は、それが接触する面の高さの変動に従うことができる。幾つかの実施形態では、熱伝導性材料９８５を、第１の超小型電子素子９１２Ｂ及び第２の超小型電子素子９１４Ｂのコンタクト９２０及び９２６と実質的に位置合せされた１つ又は複数の開口部９９９を含むモノリシック構造体又は一体構造体とすることができる。代替的に、熱伝導性材料９８５は、複数の間隔を空けて配置された別個の部分を含むことができる。特定の実施形態では、熱伝導性材料９８５を、導電性とすることができる。こうした実施形態では、こうした導電性材料を、導電性面として使用することができ、グランドに電気的に接続することができる。超小型電子アセンブリ９００Ａは、第２の超小型電子素子９１４Ａと誘電体素子９３０Ａとの間に支持素子９３１を備えることができる。
【００３２】
図６に示すように、本明細書に記載する超小型電子アセンブリの任意のものを、回路パネル又は回路基板に電子的に結合することができる。例えば、超小型電子アセンブリ９００Ａは、はんだボール５８１又は銅ピラー等、複数の接合ユニットを備えることができる。はんだボール９８１は、超小型電子アセンブリ９００Ａを回路パネル１３００に電気的に接続する。図６は、超小型電子アセンブリ９００Ａを回路パネル１３００に接続するはんだボール９８１のみを示しているが、任意の導電性素子が、回路パネル１３００及び超小型電子アセンブリ９００Ａを相互接続することができることが企図されている。回路パネル１３００の第１の面１３０４において、１つ又は複数の導電性素子又は端子１３０２が露出している。回路パネル１３００の第１の面１３０４は、はんだボール９８１に面している。はんだボール９８１は、端子１３０２に取り付けられ、したがって、回路パネル１３００の回路の少なくとも幾つかと電気的に相互接続される。 
【００３３】
上述した超小型電子アセンブリを、図７に示すように、さまざまな電子システムの構築に利用することができる。例えば、本発明の更なる実施形態によるシステム１１００は、他の電子コンポーネント１１０８及び１１１０ともに上述したような超小型電子アセンブリ１１０６を備えている。図示する例では、コンポーネント１１０８は半導体チップであり、コンポーネント１１１０はディスプレイスクリーンであるが、他の任意のコンポーネントを使用することができる。当然ながら、例示を明確にするために図７には２つの追加のコンポーネントしか示していないが、本システムは、任意の数のこうしたコンポーネントを備えることができる。超小型電子アセンブリ１１０６を、上述したアセンブリのうちの任意のものとすることができる。更なる変形では、任意の数のこうした超小型電子アセンブリを使用することができる。超小型電子アセンブリ１１０６並びにコンポーネント１１０８及び１１１０は、破線で概略的に示す共通ハウジング９０１に実装され、所望の回路を形成するように必要に応じて互いに電気的に相互接続される。図示する例示的なシステムでは、システムは、フレキシブルプリント回路基板等の回路パネル１１０２を備え、回路パネルは、コンポーネントを互いに相互接続する多数の導体１１０４を備え、それらのうちの１つのみが図７に示されている。しかしながら、これは単に例示的なものであり、電気的接続を行うために任意の適切な構造を使用することができる。ハウジング１１０１は、例えば携帯電話又は携帯情報端末において使用可能なタイプの携帯型ハウジングとして示されており、スクリーン１１１０は、ハウジングの表面において露出している。構造体１１０６が、撮像チップ等の感光素子を備えている場合、構造体に光を向けるためにレンズ１１１１又は他の光学素子もまた設けることができる。この場合もまた、図７に示す簡略化したシステムは単に例示的なものであり、デスクトップコンピュータ、ルータ等、固定構造体として一般にみなされるシステムを含む他のシステムを、上述した構造体を使用して作製することができる。 
【００３４】
種々の従属請求項及びそれらの従属請求項に記載の他の特徴は、初期の請求項において提示されるのとは異なる方法において組み合わせることができることは理解されよう。また、個々の実施形態との関連で説明された特徴は、記述される実施形態のうちの他の実施形態と共用できることも理解されよう。
【００３５】
本発明は特定の実施形態を参照しながら本明細書において説明されてきたが、これらの実施形態は本発明の原理及び応用形態を例示するにすぎないことは理解されたい。それゆえ、添付の特許請求の範囲によって規定されるような本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく、例示的な実施形態に数多くの変更を加えることができること、及び他の構成を考案することができることは理解されたい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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