(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
曲面の一部をカットして平面を形成した部品を載置する収容部を有し、前記収容部には前記部品の前記曲面を載置する底面と、前記平面を当接させる基準面が設けられ、前記基準面に前記部品を吸着する第１の吸着孔が形成されたトレイと、
前記部品の前記曲面に当接可能で、前記部品の前記曲面を吸着する第２の吸着孔が形成された保持部と、
保持部を移動させるステージと、
前記第１の吸着孔に吸着した前記部品を、前記基準面と平行な方向と、前記基準面に垂直方向とに移動させるように前記ステージを制御する制御部と、
を含むことを特徴とするハンドリング装置。
【請求項２】
前記収容部の前記底面から前記部品の中心までの距離より高い位置に前記第１の吸着孔が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のハンドリング装置。
【請求項３】
前記収容部は、前記部品を２つ収容可能な凹部からなり、前記収容部の一対の側面のそれぞれが前記部品を１つずつ吸着保持する前記基準面である請求項１又は請求項２に記載のハンドリング装置。
【請求項４】
曲面の一部をカットして平面を形成した部品を収容部に載置し、前記平面を前記収容部の基準面に当接させ、
前記収容部に対して移動可能な保持部に設けられた第２の吸着孔で前記部品の前記曲面を吸着しながら前記部品を上昇させて前記収容部の底面から前記部品を離し、
前記部品を所定位置まで上昇させた後、前記保持部による前記部品の吸着を解除すると共に、前記第１の吸着孔で前記部品を吸着し、前記部品の前記平面を前記基準面に平行に配置すること、
を含むことを特徴とするハンドリング方法。
【請求項５】
前記部品の前記平面を前記基準面に平行に配置した後、前記保持部で前記部品を下方に押圧し、前記保持部に対する前記部品の上下方向の位置決めすることを特徴とする請求項４に記載のハンドリング方法。
【請求項６】
前記部品の前記平面を前記基準面に平行に配置した後、前記保持部を前記基準面に向けて移動させ、前記保持部に前記部品の曲面を密着させることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のハンドリング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハンドリング装置及びハンドリング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信に用いる受信モジュールには、光ファイバを通して入射するレーザ光をＰＬＣ（Planar Lightwave Circuit）で分岐させた後、受光素子に集光させて電気信号に変換する。レーザ光の集光に用いられるレンズは、受信モジュールの筐体から延びるレンズベースに接着剤によって固定されるが、レーザ光を受光素子に精度良く導くためには、レンズを例えば１μｍ以下の位置精度でレンズベースに取り付ける必要がある。さらに、レンズの光軸がずれると、レーザ光が受光素子に正しく導かれなくなるので、レンズとレンズベースの平行度を調整し、例えば０．２°以下にする必要がある。
【０００３】
このために、レンズを筐体まで搬送する搬送装置には、レンズの位置決めを行う位置決め装置が必要になる。
【０００４】
ここで、従来の搬送装置の位置決め装置について、ウェハをカセットからウェハ処理装置に搬送する場合を例にして説明する。ウェハの搬送装置は、ウェハを裏面側から保持して移動させる吸着ハンドを有する。吸着ハンドには、ウェハを真空吸着する吸着孔が少なくとも１つ設けられている。さらに、ウェハが収容されているカセットと、ウェハ処理装置との間には、ウェハの位置決め装置が配置される。位置決め装置は、ウェハを載置する円形の基台を有し、基台には４つのセンタリングピンが周方向に等間隔に配置されている。各センタリングピンは、基台の径方向に移動可能に支持されている。
【０００５】
吸着ハンドは、カセット内のウェハを下側から吸着保持し、位置決め装置に移送する。吸着ハンドの中心を基台の中心に一致させた後、吸着ハンドによるウェハの吸着を一旦解除する。続いて、４本のセンタリングピンを同時に同量だけ径方向の中心に向けて移動させる。これによって、ウェハが４方向からセンタリングピンで押し付けられ、ウェハの中心が吸着ハンドの中心に一致させられ、ウェハの位置決めが完了する。その後、吸着ハンドは、ウェハを再び吸着保持してから、ウェハ処理装置にウェハを移送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実開平４―１２４１６号
【特許文献２】特開平１−１４０７３９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の搬送装置では、センタリングピンを用いることによって中心位置を修正することはできるが、レンズのような円柱形状を有する部材を保持して搬送し、レンズの軸線をレンズベースに平行になるように修正することは困難であった。ここで、レンズの搬送過程で平行度が正しく調整されていないと、レンズの接合面に塗布される接着剤の厚さが不均一になり、接着剤の硬化時の収縮量がばらついてレンズの位置がずれ易くなる。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、曲面を有する部品の搬送を精度良く行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
実施形態の一観点によれば、曲面の一部をカットして平面を形成した部品を載置する収容部を有し、前記収容部には前記部品の前記曲面を載置する底面と、前記平面を当接させる基準面が設けられ、前記基準面に前記部品を吸着する第１の吸着孔が形成されたトレイと、前記部品の前記曲面に当接可能で、前記部品の前記曲面を吸着する第２の吸着孔が形成された保持部と、保持部を移動させるステージと、前記第１の吸着孔に吸着した前記部品を、前記基準面と平行な方向と、前記基準面に垂直方向とに移動させるように前記ステージを制御する制御部と、を含むことを特徴とするハンドリング装置が提供される。
【０００９】
また、実施形態の別の観点によれば、曲面の一部をカットして平面を形成した部品を収容部に載置し、前記平面を前記収容部の基準面に当接させ、前記収容部に対して移動可能な保持部に設けられた第２の吸着孔で前記部品の前記曲面を吸着しながら前記部品を上昇させて前記収容部の底面から前記部品を離し、前記部品を所定位置まで上昇させた後、前記保持部による前記部品の吸着を解除すると共に、前記第１の吸着孔で前記部品を吸着し、前記部品の前記平面を前記基準面に平行に配置すること、を含むことを特徴とするハンドリング方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
基準面に対して部品を移動させることによって、部品の位置決めが行えるようになる。部品の曲面の一部に形成した平面を基準面に押し付けることによって、曲面を有する部品の回転方向の角度を高精度で調整できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１Ａ】図１Ａは、本発明の実施の形態に係る受信モジュールの一例を示す平面図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、本発明の実施の形態に係る受信モジュールの一例を示し、図１ＡのＩ−Ｉ線に沿った断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態に係るハンドリング装置の概略構成の一例を示す正面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態に係るハンドリング装置の概略構成の一例を一部拡大して示す正面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、本発明の実施の形態に係るハンドリング装置の概略構成の一例を一部拡大して示す側面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、本発明の実施の形態に係るハンドリング装置の部品トレイの一例を示す平面図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態に係るハンドリング装置における部品のハンドリング動作を説明する図である。（その１）
【図６】図６は、本発明の実施の形態に係るハンドリング装置における部品のハンドリング動作を説明する図である。（その２）
【図７】図７は、本発明の実施の形態に係るハンドリング装置における部品のハンドリング動作を説明する図である。（その３）
【図８】図８は、本発明の実施の形態に係るハンドリング装置における部品の接着工程を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
発明の目的及び利点は、請求の範囲に具体的に記載された構成要素及び組み合わせによって実現され達成される。
前述の一般的な説明及び以下の詳細な説明は、典型例及び説明のためのものであって、本発明を限定するためのものではない。
【００１３】
最初に、図１Ａの平面図と、図１Ｂの側部断面図を用いて、ハンドリング対象の部品であるレンズと、レンズを用いた受信モジュールの概略構成について説明する。
受信モジュール１は、パッケージ２を有し、パッケージ２内には、ＰＬＣ３が固定されている。ＰＬＣ３には、光ファイバ４がフェルール５を用いて接続される。このＰＬＣ３は、光ファイバ４から入力されたレーザ光を２つに分岐して出力する構成を有し、２つの出力端のそれぞれには、例えば凸型のレンズ６が配置されている。さらに、２つのレンズ６から出力される２つのレーザ光の光路上には、この実施の形態のハンドリング対象の部品であるレンズ７がそれぞれ１つずつ配置されている。
【００１４】
レンズ７は、凸型のレンズ本体７Ａを円筒形のスリーブ７Ｂで支持させた構成を有し、スリーブ７Ｂの側部の曲面１７Ａの一部をカットして平面からなる接合面１７Ｂを形成した断面Ｄ字形になっている。レンズ７は、接合面１７Ｂが接着剤１８によってレンズベース８に接着されており、レンズベース８を介してパッケージ２に位置決めして固定されている。
【００１５】
ここで、レンズ７は、図１Ｂに示すレンズ７とパッケージ２の配置において、上下方向及び左右方向において精度良く位置決めして固定される必要がある。また図１Ａに示すレーザ光の光軸Ｇ１，Ｇ２に平行な方向において、レンズ７の位置が精度良く位置決めして固定される必要がある。これらの方向の位置精度は、例えば、１μｍ以下の精度であることが好ましい。さらに、レーザ光の光軸Ｇ１，Ｇ２と、レンズ７のレンズ本体７Ａの軸線を平行に、より具体的には平行度の誤差が例えば０．２°以下になるように、位置決めする必要がある。
【００１６】
続いて、図１を主に参照してレンズのハンドリング装置１０について説明する。
ハンドリング装置１０は、定盤などの上に設置されるステージ２１を有する。ステージ２１は、３方向に移動可能な３次元ステージであり、例えば、水平方向のＸ方向に移動可能なＸステージ２１Ａの上に、Ｘステージ２１Ａと直交するＹ方向に移動可能なＹステージ２１Ｂが搭載されている。さらに、Ｙステージ２１Ｂの上には、垂直方向であるＺ方向に移動可能なＺステージ２１Ｃが搭載されている。Ｚステージ２１Ｃには、アーム２２の基端部が固定されている。
【００１７】
アーム２２の先端部には、ハンド２３（保持部）が取り付けられている。ハンド２３は、部品トレイ１１に収容されたレンズ７を吸着保持して移動させるために用いられる。また、アーム２２には、レンズ７と部品トレイ１１の接触を検知する接触検知装置２５として、例えばロードセルなどのセンサが取り付けられている。接触検知装置２５の出力は、センサアンプ２６を介してメインコントローラ２７（制御装置）に接続されている。
【００１８】
図２と、図２の一部拡大図である図３と、側面図である図４Ａ、平面図である図４Ｂに示すように、ハンド２３は、先端部が下方に延出しており、先端部の下側に２箇所にレンズ７を吸着保持する吸着部３１Ａ，３１Ｂが形成されている。各吸着部３１Ａ，３１Ｂは、ハンド２３の２つの角部のそれぞれをレンズ７の外周に沿う曲面形状に切除することで１つずつ形成された凹部であり、ハンド３の中心軸に対して線対称に、即ち曲面の向きが反対になっている。さらに、各吸着部３１Ａ，３２Ｂには、レンズ７を吸着するための吸着孔３２Ａ，３２Ｂ（第２の吸着孔）が１つずつ形成されている。各吸着孔３２Ａ，３２Ｂは、吸着部３１Ａ，３１Ｂの曲面部分に開口している。
【００１９】
２つの吸着孔３２Ａ，３２Ｂは、それぞれが独立した吸着ライン３３Ａ，３３Ｂに１つずつ接続されている。図２に示すように、各吸着ライン３３Ａ，３３Ｂは、経路中に真空計からなる吸着センサ３４Ａ，３４Ｂと電磁弁３５Ａ，３５Ｂが設けられた後、真空ポンプなどの真空発生器３６Ａ，３６Ｂに接続されている。吸着センサ３４Ａ，３４Ｂの出力と、電磁弁３５Ａ，３５Ｂ及び真空発生器３６Ａ，３６Ｂは、メインコントローラ２７に接続されている。
【００２０】
図３、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、部品トレイ１１は、中央に２つのレンズ７を収容可能なレンズ収容部４１が形成されている。さらに、レンズ収容部４１を挟むように一対のベース収容部４２が形成されている。
【００２１】
レンズ収容部４１は、対向する一対の側面４１Ａ，４１Ｂと、底面４１Ｃとで形成される矩形の凹部である。さらに、レンズ収容部４１には、前面プレート４１Ｄと背面プレート４１Ｅによって区画されており、前面プレート４１Ｄと背面プレート４１Ｅの間の距離は、細長のレンズ７の軸線方向の長さに等しい。このために、レンズ収容部４１にレンズ７を搭載すると、レンズ７は軸線が水平に、即ち側面４１Ａ，４１Ｂや底面４１Ｃとほぼ平行になるように配置される。
【００２２】
また、各側面４１Ａ，４１Ｂは、レンズ７の直径より大きい高さを有する平面であり、それぞれにレンズ７を吸着する吸着孔４４Ａ，４４Ｂ（第１の吸着孔）が１つずつ形成されている。レンズ収容部４１の底面４１Ｃは、レンズ７の直径の２倍より幅が広い平面である。
【００２３】
ここで、一方のレンズ７は、レンズ収容部４１にレンズ本体７Ａの軸線が水平になるように配置され、接合面１７Ｂがレンズ収容部４１の側面４１Ａに吸着孔４４Ａを用いて吸着保持される。このとき、レンズ７の側部の曲面１７Ａは、レンズ収容部４１の底面４１Ｃに接触する。同様に、他方のレンズ７は、レンズ収容部４１にレンズ本体７Ａの光軸が水平になるように配置され、接合面１７Ｂがレンズ収容部４１の側面４１Ｂに吸着孔４４Ｂを用いて吸着保持される。このとき、レンズ７の側部の曲面１７Ａは、レンズ収容部４１の底面４１Ｃに接触する。
【００２４】
その結果、２つのレンズ７は、それぞれが接合面１７Ｂを吸着している側面４１Ａ，４１Ｂと底面４１Ｃとによってレンズ収容部４１に支持される。このとき、側面４１Ａ，４１Ｂは、レンズ１７の接合面１７Ｂの角度を決定する基準面になる。また、２つのレンズ７の間の距離は、ハンド２３を挿入可能な大きさになる。
【００２５】
ここで、２つの吸着孔４４Ａ，４４Ｂは、独立した２つの吸着ライン４５Ａ，４５Ｂに１つずつ接続されている。図２に示すように、各吸着ライン４５Ａ，４５Ｂは、真空計からなる吸着センサ４６Ａ，４６Ｂ、電磁弁４７Ａ，４７Ｂが設けられた後に真空発生器４８Ａ，４８Ｂに接続されている。吸着センサ４６Ａ，４６Ｂの出力と、電磁弁４７Ａ，４７Ｂ及び真空発生器４８Ａ，４８Ｂは、メインコントローラ２７に接続されている。
【００２６】
ベース収容部４２は、対向する一対の側面４２Ａと、底面４２Ｂとを有する矩形の凹部であり、各ベース収容部４２にはレンズベース８が１つずつ収容される。レンズベース８は、ベース収容部４２の外側の側面４２Ａと底面４２Ｂとで位置決めして支持される。また、レンズベース８の前面と背面とは、前面プレート４１Ｄと背面プレート４１Ｅによって位置決めされる。また、ベース収容部４２の側面４２Ａは、平面からなり、少なくとも１つの吸着孔５１が形成されている。吸着孔５１は、吸着ライン５２に接続されている。図２に示すように、吸着ライン５２は、真空計からなる吸着センサ５３、電磁弁５４が設けられた後に真空発生器５５に接続されている。吸着ライン５２は、一対のベース収容部４２の２つの吸着孔５１に対して１系統設けられているが、吸着孔５１ごとに独立した２系統にしても良い。
【００２７】
メインコントローラ２７は、ステージ２１や、吸着ライン３４Ａ，３４Ｂ，４５Ａ，４５Ｂ，５２の動作を制御すると共に、センサアンプ２６に接続されている。メインコントローラ２７には、ＣＰＵやメモリなどが搭載されており、ハンドリング装置１０の動作を制御する。
【００２８】
ここで、ハンドリング装置１０は、ハンド２３を部品トレイ１１に対して相対的に移動させることができる構成であれば良く、ステージの構成は図２に限定されない。また、吸着ライン３３Ａ，３３Ｂ，４５Ａ，４５Ｂ，５２の構成や、吸着孔３２Ａ，３２Ｂ，４４Ａ，４４Ｂ，５１の数や配置も図３に限定されない。
【００２９】
また、ハンドリング装置１０は、レンズ搬送用のハンド２３に加えて、不図示のレンズベース搬送用のハンドを有しても良い。レンズベース搬送用のハンドは、レンズ搬送用のハンド２３と同様の構成を有する。即ち、３次元ステージ上にレンズベース８を吸着保持するハンドが取り付けられており、ハンドにはレンズベース８の形状に合わせた凹部が形成された吸着部が設けられ、吸着部にはレンズベース８を吸着する吸着孔が形成されている。
【００３０】
次に、ハンドリング装置１０を用いたレンズ７及びレンズベース８の搬送と、レンズ７及びレンズベース８の実装について、図１、図３及び図５から図７を参照して説明する。
最初に、メインコントローラ２７の指令に基づいて吸着ライン４５Ａ，４５Ｂ，５２を稼動させる。続いて、図５（ａ）に示すように、１つ目のレンズ７を部品トレイ１１のレンズ収容部４１の底面４１Ｃ上に載置し、吸着ライン４５Ａで側面４１Ａにレンズ７の接合面１７Ｂを押し当てて真空吸着する。同様に、２つレンズ７を部品トレイ１１のレンズ収容部４１の底面４１Ｃ上に載置し、吸着ライン４５Ａで側面４１Ｂにレンズ７の接合面１７Ｂを押し当てて真空吸着する。さらに、部品トレイ１１にレンズベース８をセットして吸着ライン５２でベース収容部４２に真空吸着する。
【００３１】
レンズ収容部４１の側面４１Ａの高さは、レンズ７の高さより十分に大きい。このために、レンズ７はレンズ収容部４１に完全に収容される。レンズ収容部４１の底面４１Ｃから側面４１Ａの吸着孔４４の中心Ｃ２までの高さは、レンズ７の曲面１７Ａを底面４１Ｃ上に載置させたときのレンズ７の中心Ｃ１より高い。このために、レンズ７は、中心Ｃ１より上側の位置で側面４１Ａに吸着される。
【００３２】
ここで、レンズ７には、寸法や形状にバラツキが生じていることがある。また、レンズ７をレンズ収容部４１にセットするときにレンズ７の姿勢にバラツキが生じることがある。これらの原因によって生じるレンズ７の位置ずれは、以下の工程によって改善される。
【００３３】
続いて、メインコントローラ２７がステージ２１を稼動させてハンド２３をレンズ７に近接させる。例えば、図５（ａ）に示すように、レンズ収容部４１に側面４１Ａ側に収容されたレンズ７にハンド２３の吸着部３１Ａを近接させる。このとき、ハンド２３の吸着部３１Ａとレンズ７との間には、所定の隙間、例えば５０μｍ以上の隙間を持たせる。この段階で隙間を設けずに、レンズ７にハンド２３の吸着部３１Ａを突き当てると、レンズ７の姿勢や位置がずれた状態でレンズ７がハンド２３に保持され易くなるためである。
【００３４】
この後、メインコントローラ２７は、レンズ７の近くに配置しているハンド２３の吸着部３１Ａの吸着ライン３３Ａを稼動させ、ハンド２３の吸着部３１Ａでレンズ７を吸着する。これに伴って、メインコントローラ２７は、電磁弁４７Ａを閉じて部品トレイ１１のレンズ収容部４２の吸着を解除する。
【００３５】
その結果、図５（ｂ）に示すように、レンズ７はハンド２３の吸着部３１Ａに吸い寄せられて吸着される。図５（ｂ）の例では、レンズ７の曲面１７Ａは、ハンド２３の吸着部３１Ａに密着して吸着保持されているが、レンズ７の接合面１７Ｂと、レンズ収容部４１の側面４１Ａ（基準面）は平行になっていない。即ち、この段階で、レンズ７は、軸線回りの回転角度がずれて傾いた状態でハンド２３に吸着保持されている。
【００３６】
そこで、メインコントローラ２７は、ステージ２１を駆動させて、ハンド２３をレンズ収容部４１の側面４１Ａに沿って鉛直上向きに移動させる。ここで、ハンド２３の吸着部３１には、レンズ７が吸着保持されている。一方、レンズ収容部４１の側面４１Ａにはレンズ７は吸着されていない。従って、図５（ｃ）の矢印ＡＲ１に示すように、レンズ７は、ハンド２３によって上方に移動させられる。メインコントローラ２７は、レンズ７の中心Ｃ１がレンズ収容部４１側の側面４１Ａの吸着孔４４Ａの中心Ｃ２より上になるまでハンド２３を上昇させる。これによって、レンズ７は、レンズ収容部４１の底面４１Ｃから離れる。このときのハンド２３の上昇量は、例えば５００μｍとする。ここで、レンズ７を最も上昇させた位置においても、レンズ７の平面１７Ｂは、レンズ収容部４１から飛び出さない。
【００３７】
続いて、メインコントローラ２７は、部品トレイ１１側の吸着ライン４５Ａの電磁弁４７Ａを開く。その一方で、ハンド２３側の吸着ライン３３Ａの電磁弁３５Ａを閉じる。図５（ｄ）に示すように、ハンド２３に吸着保持されていたレンズ７が、部品トレイ１１側に吸着される。このとき、レンズ７の接合面１７Ｂがレンズ収容部４１の側面４１Ａに密着させられて、レンズ７の接合面１７Ｂと側面４１Ａとが平行になる。一方、ハンド２３の吸着部３１とレンズ７の間には、隙間が生じる。このように、ハンド２３とレンズ収容部４１の間で吸着状態を切り替えてレンズ７の受け渡しをすることによって、レンズ７の接合面１７Ｂが基準面（側面４１Ａ）に平行になるように回転角度のずれが修正される。
【００３８】
この後、メインコントローラ２７は、ハンド２３を下降させる。ハンド２３の移動方向は、部品トレイ１１のレンズ収容部４１の平面４１Ａに平行な方向である。ここで、ハンド２３の吸着部３１には、レンズ７は吸着されていない。一方、レンズ収容部４１の側面４１Ａにはレンズ７は吸着保持されている。さらに、レンズ７は、レンズ収容部４１の底面４１Ｃからは離れている。このために、図６（ａ）の矢印ＡＲ２に示すように、レンズ７がハンド２３に上側から押圧され、押し下げられる。メインコントローラ２７は、ハンド２３をレンズ７の中心Ｃ１がレンズ収容部４１の吸着孔４４Ａの中心Ｃ２と一致する位置まで下降させる。このときのハンド２３の下降量は、例えば１００μｍとする。このように、レンズ７を基準面に吸着保持した状態で、レンズ７を吸着していないハンド２３でレンズ７を押し下げることで、レンズ７の上下方向の位置ずれが修正される。
【００３９】
図６（ａ）に示す例では、ハンド２３の吸着部３１は、レンズ７に上方から接触しているが、側方においては吸着部３１Ａとレンズ７の間に隙間を有する。これは、ここまでの工程によって、レンズ７の回転方向と、上下方向の位置合わせが実施されたが、ハンド２３とレンズ７の横方向の位置調整が済んでいないためである。
【００４０】
そこで、メインコントローラ２７は、図６（ｂ）に示すように、ハンド２３をレンズ収容部４１の側面４１に垂直な方向で、側面４１Ａに向かう方向に移動させる。これによって、レンズ７は、矢印ＡＲ３に示す方向に移動し、レンズ収容部４１の側面４１Ａにレンズ７の平面１７Ｂが密着させられる。このときのハンド２３の横方向の移動量は、ハンド２３の吸着部３１Ａがレンズ７の曲面１７Ａに当接するまでの距離とする。
【００４１】
このときの移動量は、接触検知機構２５の出力に基づいてメインコントローラ２７が制御する。即ち、レンズ７の平面１７Ｂがレンズ収容部４１の側面４１Ａに密着し、かつレンズ７の曲面１７Ａがハンド２３の吸着部３１Ａの曲面に密着すると、接触検知機構２５の出力値が変化するので、メインコントローラ２７は、接触検知機構２５の出力値が所定値に達したら、ハンド２３の移動を停止させる。これによって、レンズ７は、ハンド２３の横方向において位置調整され、レンズ７の側部の曲面１７Ａとハンド２３の吸着部３１Ａの曲面とが密着させられる。
【００４２】
ここまでの工程で、レンズ７の回転方向と、上下方向と、横方向（ハンド２３の押し付け方向）の位置が調整される。その結果、ハンド２３に対してレンズ７が正しい位置で接触される。従って、メインコントローラ２７は、ハンド２３の吸着ライン３３ＡをＯＮにして、部品トレイ１１側の吸着ライン４５ＡをＯＦＦにする。これによって、図６（ｃ）に示すように、位置調整されたレンズ７が、ハンド２３に吸着保持される。
【００４３】
さらに、図６（ｄ）に示すように、メインコントローラ２７は、ハンド２３を横方向に移動させ、レンズ７をレンズ収容部４１の側面４１Ａから離す。続いて、図７に示すように、ハンド２３を上昇させる。このようにして、部品トレイ１１のレンズ収容部４１からレンズ７を搬出する。一方、レンズベース８は、不図示のレンズベース８用のハンドによって部品トレイ１１から搬出され、図１Ａに示すパッケージ２に位置決めして固定される。
【００４４】
続いて、図８に示すように、レンズ７の接合面１７Ｂに、例えばＵＶ硬化性の接着剤１８を塗布する。さらに、ハンド２３を移動させて、予めパッケージ２に位置決めして固定されたレンズベース８の所定位置に押し付ける。この状態でＵＶ光を照射して接着剤１８を硬化させる。これによって、図１Ｂに示すように、レンズ７がレンズベース８を介してパッケージ２に位置決めして固定される。
【００４５】
ここで、図１に示す部品トレイ１１のレンズ収容部４１の右側に載置されている他のレンズ７についても同様の工程によってパッケージ２に取り付ける。この場合には、ハンド２３の右側の吸着部３１Ｂを用い、右側のレンズ７の側部の曲面１７Ａを吸着保持する。続いて、ハンド２３とレンズ収容部４１との間でレンズ７の吸着を切り替えながらレンズ７を移動させ、レンズ７の位置を調整する。ここで、レンズベース８は、図１に示す受信モジュール１のパッケージ２に一体に形成されていても良い。この場合には、レンズベース８の搬送工程や位置決め工程を省略できる。
【００４６】
以上、説明したように、この実施の形態では、レンズ７の吸着をハンド２３と、側面４１Ａ，４１Ｂとで切り替えながら、レンズ７の接合面１７Ｂをレンズ収容部４１の側面４１Ａ，４１Ｂに密着させるようにしたので、レンズ７の接合面１７Ｂの向きを部品トレイ１１の側面４１Ａ，４１Ｂに平行に位置合わせできる。さらに、レンズ７の上下方向及び左右方向は、ハンド２３でレンズ７を側面４１Ａ，４１Ｂに平行又は垂直に移動させることに位置合わせできる。これらのことから、このハンドリング装置１０では、レンズ７の軸線を含む位置合わせを精度良く行える。また、従来のように、移動式のピンを複数も受けるなどの複雑な機構が不要になる。
【００４７】
また、収容部４１の底面４１Ｃに載置したレンズ７の中心Ｃ１の高さより上方に吸着孔４４Ａ，４４Ｂを形成したので、レンズ７を吸着孔４４Ａ，４４Ｂで吸着保持した状態でレンズ７を上下にスライドさせることができる。これによって、レンズ７の上下方向の位置合わせが容易になる。
【００４８】
さらに、収容部４１は、２つのレンズ７を逆向きに配置可能なので、２つのレンズ７を接合面１７Ｂの配置が異なるような向きでパッケージ２に組み付けることが可能になる。また、ハンド２３には、吸着部３１Ａ，３１Ｂを２つ、反対向きに配置したので、ハンド２３を回転させることなく、接合面１７Ｂの配置が異なるような向きでレンズ７をパッケージ２に組み付けることが可能になる。
【００４９】
ここで、メインコントローラ２７は、ハンド２３を側面４１Ａ，４１Ｂに平行な方向と垂直な方向の２方向に移動可能にステージ２１を制御するようにしたが、側面４１Ａ，４１Ｂと平行な方向から垂直な方向に至るまでの任意の方向にレンズ７を押すようにステージ２１を制御しても良い。
【００５０】
ここで挙げた全ての例及び条件的表現は、発明者が技術促進に貢献した発明及び概念を読者が理解するのを助けるためのものであり、ここで具体的に挙げたそのような例及び条件に限定することなく解釈するものであり、また、明細書におけるそのような例の編成は本発明の優劣を示すこととは関係ない。本発明の実施形態を詳細に説明したが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、それに対して種々の変更、置換及び変形を施すことができる。
【００５１】
以下に、前記の実施の形態の特徴を付記する。
（付記１）  曲面の一部をカットして平面を形成した部品を載置する収容部を有し、前記収容部には前記部品の前記曲面を載置する底面と、前記平面を当接させる基準面が設けられ、前記基準面に前記部品を吸着する第１の吸着孔が形成されたトレイと、前記部品の前記曲面に当接可能で、前記部品の前記曲面を吸着する第２の吸着孔が形成された保持部と、保持部を移動させるステージと、前記第１の吸着孔に吸着した前記部品を、前記基準面と平行な方向と、前記基準面に垂直方向とに移動させるように前記ステージを制御する制御部と、を含むことを特徴とするハンドリング装置。
（付記２）  前記収容部の前記底面から前記部品の中心までの距離より高い位置に前記第１の吸着孔が形成されていることを特徴とする付記１に記載のハンドリング装置。
（付記３）  前記収容部は、前記部品を２つ収容可能な凹部からなり、前記収容部の一対の側面のそれぞれが前記部品を１つずつ吸着保持する前記基準面である付記１又は付記２に記載のハンドリング装置。
（付記４）  前記保持部は、２つの前記吸着部が反対向きに設けられていることを特徴とする付記３に記載のハンドリング装置。
（付記５）  曲面の一部をカットして平面を形成した部品を収容部に載置し、前記平面を前記収容部の基準面に当接させ、前記収容部に対して移動可能な保持部に設けられた第２の吸着孔で前記部品の前記曲面を吸着しながら前記部品を上昇させて前記収容部の底面から前記部品を離し、前記部品を所定位置まで上昇させた後、前記保持部による前記部品の吸着を解除すると共に、前記第１の吸着孔で前記部品を吸着し、前記部品の前記平面を前記基準面に押し付けること、を含むことを特徴とするハンドリング方法。
（付記６）  前記平面を前記収容部の基準面に当接させた後、前記基準面に形成された第１の吸着孔で前記部品を吸着し、前記第１の吸着孔による前記部品の吸着を解除してから、前記保持部で前記部品を吸着しながら前記部品を上昇させることを特徴とする付記５に記載のハンドリング方法。
（付記７）  前記保持部で最初に前記部品を吸着するときは、前記部品の前記曲面から離れた位置に前記保持部を配置してから前記第２の吸着孔で前記部品を吸着することを特徴とする付記６に記載のハンドリング方法。
（付記８）  前記部品の前記平面を前記基準面に押し付けた後、前記保持部で前記部品を下方に押圧し、前記保持部に対する前記部品の上下方向の位置決めすることを特徴とする付記５乃至付記７のいずれか一項に記載のハンドリング方法。
（付記９）  前記部品の前記平面を前記基準面に押し付けた後、前記保持部を前記基準面に向けて移動させ、前記保持部に前記部品の曲面を密着させることを特徴とする付記５乃至付記８のいずれか一項に記載のハンドリング方法。
【符号の説明】
【００５２】
７  レンズ（部品）
１０  ハンドリング装置
１１  部品トレイ
１７Ａ  曲面
１７Ｂ  接合面（平面）
２３  ハンド（保持部）
２７  メインコントローラ（制御部）
３１Ａ，３１Ｂ  吸着部
３２Ａ，３２Ｂ  第２の吸着孔
４１  レンズ収容部
４１Ａ，４１Ｂ  側面（基準面）
４１Ｃ  底面
４４Ａ，４４Ｂ  第１の吸着孔
Ｃ１  中心
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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