(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
純水装置用の電気脱イオン（ＥＤＩ）装置の殺菌方法であって、当該方法が、
内部チャンバーの第１端部に隣接するアノード室と、内部チャンバーの対向する第２端部に隣接するカソード室と、アノード室とカソード室の間に位置する複数のイオン膜とを含む内部チャンバーを備えるＥＤＩ装置を準備する段階と、
内部チャンバーへの水の供給を停止する段階と、
内部チャンバー内の温度が殺菌温度域になるまで、アノード室とカソード室の間に電力を供給する段階と、
内部チャンバー内の温度を殺菌温度域に維持するため電力を制御する段階と
を含んでおり、水供給を低下させながら電力によってＥＤＩ装置を殺菌する、方法。
【請求項２】
温度を維持するため電力を制御する段階が、殺菌保持が完了したか否かを判定する段階をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】
殺菌保持の完了後に、内部チャンバーを洗浄する段階をさらに含む、請求項２記載の方法。
【請求項４】
電力を供給する段階が、１２０〜２１２°Ｆ（６６．７〜１１８℃）の内部チャンバー内の温度上昇をもたらす、請求項１記載の方法。
【請求項５】
殺菌保持の間隔が１５分間〜６時間の範囲である、請求項２記載の方法。
【請求項６】
電力が、内部チャンバーを流れる電流の形態である、請求項１記載の方法。
【請求項７】
電流密度が２０ｍＡ／ｃｍ2以下の範囲である、請求項６記載の方法。
【請求項８】
測温装置を使用して内部チャンバー内の温度を求める段階をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項９】
測温装置が、内部チャンバー内に配置され、内部チャンバー内の温度を求める、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
測温装置が、内部チャンバー内の水の温度を測定する、請求項８記載の方法。
【請求項１１】
測温装置が、内部チャンバーの外に配置され、ＥＤＩ装置の外面の表面温度を求める、請求項８記載の方法。
【請求項１２】
ＥＤＩ装置の電圧を監視することで、内部チャンバーが殺菌温度域にあるか否かを判定する段階をさらに含む、請求項６記載の方法。
【請求項１３】
チャンバー内の水を再循環させる段階をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項１４】
脱イオン水を製造するように構成された純水装置を準備する段階をさらに含んでおり、純水装置が、精密濾過装置、活性炭塔及び逆浸透圧装置の１種類以上を備えており、ＥＤＩ装置が、純水装置内に組み込まれている、請求項１記載の方法。
【請求項１５】
脱イオン水製造装置に付随する電気脱イオン（ＥＤＩ）装置の殺菌方法であって、当該方法が、
脱イオン水を製造するように構成された純水装置であって、精密濾過装置、活性炭塔及び逆浸透圧装置の１種類以上を備える純水装置を準備する段階と、
純水装置に組み込まれたＥＤＩ装置であって、内部チャンバーの第１端部に隣接するアノード室と、内部チャンバーの対向する第２端部に隣接するカソード室と、アノード室とカソード室の間に位置する複数のイオン膜とを含む内部チャンバーを備えるＥＤＩ装置を準備する段階と、
遮断弁を調節して内部チャンバーへの水の供給を停止する段階と、
内部チャンバーを昇温させるため内部チャンバーに電力を供給する段階と、
内部チャンバー内の温度が殺菌温度域にあるか否か判定する段階と、
温度を殺菌温度域に維持する段階と
を含んでおり、内部チャンバーへの水供給を低下させながら電力によってＥＤＩ装置を殺菌する、方法。
【請求項１６】
殺菌保持が完了したか否かを判定する段階をさらに含む、請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
殺菌保持の完了後に、内部チャンバーを洗浄する段階をさらに含む、請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
ＥＤＩ装置を用いて純水装置を殺菌する段階をさらに含む、請求項１５記載の方法。
【請求項１９】
ａ．供給水が内部チャンバーに流れ込むことができるように遮断弁を調節する段階と、
ｂ．内部チャンバーから水を排出する段階と、
ｃ．水を純水装置内で循環させる段階と
をさらに含む、請求項１８記載の方法。
【請求項２０】
供給水を加熱し、殺菌温度域に維持するのを補助するブースタヒーターを準備する段階をさらに含む、請求項１９記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気脱イオン（ＥＤＩ）装置が組み込まれた純水装置、特にＥＤＩ装置の殺菌方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気脱イオンとは、一般に、イオン交換樹脂とイオン交換膜と電気の組合せによって液体を精製するプロセスをいう。多くの産業で純水装置の利用が増大している。特に多くの工業プロセスで純水が使用されている。かかるプロセスとしては、半導体チップの製造、発電所の運転、石油化学用途、医薬品製造が挙げられる。液体中のイオン濃度を下げるため、イオン交換樹脂、逆浸透（ＲＯ）濾過及び電気透析技術が利用されてきた。現在、ＥＤＩ装置はイオン濃度を下げて超純水を製造するためのＲＯ後処理として常用されている。
【０００３】
ＥＤＩ装置は一般に内部チャンバーを含んでおり、その内部に、陽イオン透過性膜と陰イオン透過性膜とが交互に配置されていて室を画成している。希釈室は、イオン交換樹脂粒子を含んでいて、電場で惹起される水の解離によって再生される。濃縮室は、膜を分離しておくためのイオン交換粒子又は不活性プラスチックネットを含んでおり、水を流すことができる。電流を流すと、希釈室からイオン交換媒体及びイオン透過膜を通って濃縮室へとイオンが移動する。濃縮室を流れる液体は廃棄されるか、或いは部分的にリサイクルされる。希釈室を流れる精製液は、脱塩液体生成物として回収される。
【０００４】
純水装置を運転すると、ＥＤＩ装置が細菌その他の望ましくない物質で汚染される。ＥＤＩ装置を消毒するため殺菌プロセスが用いられる。ある種の消毒法は、薬剤を含んでいることもある消毒液を、ＥＤＩ装置内の微生物を不活化するのに十分な温度で流すことを含む。
【０００５】
ＥＤＩ装置の公知の消毒法には幾つかの問題がある。公知の方法では、ＥＤＩ装置の消毒に外部装置（給水、加熱手段など）が必要とされる。化学的消毒液は、ＥＤＩ装置内の活性成分と反応する化学薬品を含んでいることもある。そのため、成分の分解、及びＥＤＩ装置の耐用年数の短縮を招くことがある。こうした問題は、純水装置のコスト及び複雑さを増大させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】米国特許第６８２３８７８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上の理由から、ＥＤＩ装置の改善された殺菌方法が必要とされている。かかる方法は、外部装置や消毒剤の必要性を低減すべきである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一実施形態では、電気脱イオン（ＥＤＩ）装置の殺菌方法を提供するが、本方法は、内部チャンバーの第１端部に隣接するアノード室と、内部チャンバーの対向する第２端部に隣接するカソード室と、アノード室とカソード室の間に位置する複数のイオン膜とを含む内部チャンバーを備えるＥＤＩ装置を準備する段階と、内部チャンバーへの流体の供給を停止する段階と、内部チャンバー内の温度が殺菌温度域になるまで、アノード室とカソード室の間に電力を供給する段階と、内部チャンバー内の温度を殺菌温度域に維持するため電力を制御する段階とを含んでおり、流体供給を最小限にしながら電力で生じた温度上昇によってＥＤＩ装置を殺菌する。
【０００９】
本発明の別の実施形態では、脱イオン水製造装置に付随する電気脱イオン（ＥＤＩ）装置の殺菌方法を提供するが、本方法は、脱イオン水を製造するように構成された純水装置であって、精密濾過装置、活性炭塔及び逆浸透圧装置の１種類以上を備える純水装置を準備する段階と、純水装置に組み込まれたＥＤＩ装置であって、内部チャンバーの第１端部に隣接するアノード室と、内部チャンバーの対向する第２端部に隣接するカソード室と、アノード室とカソード室の間に位置する複数のイオン膜とを含む内部チャンバーを備えるＥＤＩ装置を準備する段階と、遮断弁を調節して内部チャンバーへの流体の供給を停止する段階と、内部チャンバーを昇温させるため内部チャンバーに電力を供給する段階と、内部チャンバー内の温度が殺菌温度域にあるか否か判定する段階と、温度を殺菌温度域に維持する段階とを含んでおり、電力によってＥＤＩ装置が殺菌される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】公知の純水装置の概略図。
【図２】本発明の一実施形態に係る純水装置の概略図。
【図３】本発明の一実施形態に係るＥＤＩ装置の消毒法を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明は、純水装置のＥＤＩ装置の消毒という技術的効果を有する。本発明は、イオン交換部品を備える内部チャンバーを有するＥＤＩ装置に応用できる。イオン交換部品は、特に限定されないが内部チャンバーの第１端部に隣接するアノード室と、対向する第２端部に隣接するカソード室を含む。内部チャンバーは、アノード室とカソード室の間に位置する複数のイオン選択膜も含んでいる。本明細書に記載及び例示する通り、本発明の実施形態は、消毒剤も二次温水供給も使用せずにＥＤＩ装置を殺菌することを追求したものである。
【００１２】
以下、例示的な実施形態の詳細を開示する。ただし、本明細書に開示する具体的な構造及び機能の詳細は、例示的な実施形態を説明するための代表例にすぎない。例示的な実施形態は数多くの代替的な形態で具体化することができ、本明細書に開示した実施形態のみに限定されるものではない。例えば、特に限定されないが、純水装置１００は、図１及び図２に示すように、熱交換器１０５、精密濾過装置１１０、活性炭塔１１５、タンク１２０、ポンプ１２５、逆浸透圧装置１３０及びＥＤＩ装置１４０を備えている。本発明の実施形態は、これらの部品すべてを備える純水装置１００に限定されるものではない。実際、本発明の実施形態は、上述の部品よりも部品数の多い又は少ない他の純水装置１００にも適用できる。
【００１３】
したがって、例示的な実施形態は様々な修正及び代替的形態が可能であるが、その実施形態を例示のため図面に示してあり、本明細書で詳しく説明する。ただし、例示的な実施形態は開示した特定の形態に限定されるものではなく、例示的な実施形態は、その技術的範囲に属するあらゆる修正、均等及び代替を包含する。
【００１４】
本明細書では様々な構成要素を説明する際に第１、第２などの用語を用いることがあるが、かかる構成要素は、これらの用語によって限定されるものではない。かかる用語は、ある構成要素を他の構成要素から区別するために用いているにすぎない。例えば、例示的な実施形態の範囲から逸脱せずに、第１の構成要素を第２の構成要素と呼ぶこともできるし、第２の構成要素を第１の構成要素と呼ぶこともできる。本明細書で用いる用語「及び／又は」という表現は、その前後に記載したものの１以上の組合せのいずれか及びすべてを含む。
【００１５】
ここで図面を参照すると、図１は公知の純水装置１００の概略図である。なお、図面を通して、同様の部材には同様の符号を付した。図１は、公知の構成の純水装置１００の非限定的な例とみなすことができる。供給水は熱交換器１０５に入り、精密濾過（ＭＦ）装置１１０、次いで活性炭（ＡＣ）塔１１５で処理される。次に、供給水は、タンク１２０からポンプ１２５で逆浸透圧（ＲＯ）装置１３０に供給される。必要に応じて、ＲＯ装置１３０からの透過水は、熱交換器１３５でコンディショニングされる、次に、供給水はＥＤＩ装置１４０で処理される。
【００１６】
純水装置１００の公知の殺菌方法は、以下の段階を含む。最初に、消毒のため、１７５°Ｆ程度の温水を、熱交換器１０５からＭＦ装置１１０、塔１１５、タンク１２０及びポンプ１２５を経由してＲＯ装置１３０に流す。
【００１７】
次に、ＥＤＩ装置１４０を消毒する。ここでは、室温の水を、熱交換器１０５、ＭＦ装置１１０、塔１１５、タンク１２０、ポンプ１２５、ＲＯ装置１３０、熱交換器１３５及びＥＤＩ装置１４０に流す。熱交換器１３５で、ＥＤＩ装置１４０の希釈室を出るときの水の温度が１７５°Ｆ程度に達するまで室温の水を特定の速度で加熱する。次いで、温水を、所定の浸漬時間ＥＤＩ装置１４０に流す。次いで、温水を、希釈室の出口での温度が９５°Ｆ程度となるまで所定の速度で冷却する。
【００１８】
図２は、本発明の一実施形態に係る純水装置１００の概略図である。本発明の実施形態では、加熱給水及び／又は化学薬品を使用せずに、ＥＤＩ装置１４０を消毒するためのシステムを提供する。純水装置１００部品の大半は、図１に示すものと同一又は類似のものでよい。対比のため、図２についての説明は、本発明の態様及び特徴に焦点を当てる。図２に示す通り、本発明の実施形態では、ＥＤＩ装置１４０の消毒用の水を加熱するための熱交換器１３５を必要としない。後で説明する通り、消毒プロセスの実施中、ＥＤＩ装置１４０へと流れる給水を遮断弁１４５で止める。
【００１９】
本発明の実施形態では、ＥＤＩ装置１４０の消毒に電力を用いる。給電装置１６０は、抵抗加熱を利用してＥＤＩ装置１４０の内部チャンバーを加熱してもよい。加熱は、内部チャンバーが消毒温度に達するまで実施し得る。
【００２０】
抵抗加熱は、内部チャンバーを通過するイオン移動の所産である。イオン移動で生じる摩擦によって、内部チャンバー内の温度が上昇する。内部チャンバーの温度が上昇すると、その内部の流体の粘度が下がり、摩擦も低下し、イオン移動が増す。このことと、他の水の分解現象とが相俟って、ＥＤＩ装置１４０の電気抵抗の全体的低下をもたらす。電流（Ｉ）と抵抗（Ｒ）の積と電圧（Ｖ）との間に比例関係Ｖ＝Ｉ＊Ｒが成立すると仮定すると、以下の非限定的な実施例で、本発明の一実施形態での内部チャンバーの加熱効果が例証される。
・最初、内部チャンバーの温度は２０℃程度であり、電圧は１５０Ｖ程度である。
・定電流を加え、電圧が抵抗の指標となる。
・内部チャンバー内の水が殺菌温度域になると、電圧は１００Ｖ程度に下がる。
このように、ＥＤＩ装置１４０での電圧降下をモニターすると、内部チャンバーが殺菌温度域にあるか否かを判定することができる。
【００２１】
特に限定されないが熱電対、測温抵抗体（ＲＴＤ）のような測温装置によって、殺菌温度に達しているか否かを判定することもできる。測温装置の第１の実施形態は、外部測温装置１５５を含んでおり、ＥＤＩ装置１４０の外面の温度を求めることができる。これは表面温度とみなすことができ、内部チャンバー内の温度と相関する。測温装置の第２の実施形態は、内部測温装置１５０を含んでおり、内部チャンバー内の温度を求めることができる。測温装置の第３の実施形態は、内部チャンバー内の水温を測定する装置を含んでおり、水温は内部チャンバー内の温度と相関する。
【００２２】
内部チャンバーを殺菌温度に浸漬時間維持した後、溜まった有機及び無機不純物をＥＤＩ装置１４０から除去するため濯ぎを実施してもよい。
【００２３】
本発明の別の実施形態では、ＥＤＩ装置１４０に再循環システム１６５を組み込んでもよい。こうすると殺菌プロセスの効率を増大させることができる。再循環システム１６５の一実施形態では、ＥＤＩ装置１４０の出口から流出液をＥＤＩ装置１４０の入口に戻す。
【００２４】
本発明のさらに別の実施形態では、ＥＤＩ装置１４０を、純水装置１００を殺菌するための一次熱源として役立てることができる。例えば、特に限定されないが、純水装置１００の出口から流出する水が殺菌温度域にあるようにしてもよい。殺菌を要する純水装置１００の部品を通して水を循環させてもよい。
【００２５】
純水装置１００の寸法及び複雑さに応じて、ＥＤＩ装置１４０から利用できる熱が、ある部品の殺菌には適さないことがある。この場合、本発明の実施形態ではブースタヒーター１７０などを組み込んでもよい。これは、既存の外部熱源の形態であっても、新たな外部熱源の形態であっても、或いはそれらの組合せであってもよい。使用に際して、ＥＤＩ装置１４０を一次熱源として、ブースタヒーター１７０を二次熱源として役立て、総合的に、純水装置１００の部品の殺菌に十分な熱を与えることができるようにすればよい。
【００２６】
図３は、本発明の一実施形態に係るＥＤＩ装置の殺菌方法３００を示すフローチャートである。方法３００の各段階は、手動で実施してもよいし、制御システムなどで自動的に実施してもよいし、或いは手動段階と自動段階を組合せて実施してもよい。以下の説明では、方法３００の各段階を制御システムなどで自動的に実施する用途に焦点を当てる。
【００２７】
自明であろうが、本発明は、方法、システム又はコンピュータプログラムとして具体化し得る。したがって、本発明は、純然たるハードウェアの実施形態、純然たるソフトウェアの実施形態（ファームウェア、常駐ソフトウェア、マイクロコードなどを含む）、或いはソフトウェアとハードウェアとを組合せた実施形態（本明細書では総称して「回路」、「モジュール」又は「システム」などと呼ぶ。）の形態を取り得る。さらに本発明は、コンピュータ可使記録媒体におけるコンピュータプログラムの形態を取ってもよく、媒体に具体化されたコンピュータ可使プログラムコードを有する。本明細書で用いる「ソフトウェア」及び「ファームウェア」という用語は互換的に用いられ、特定のプロセッサで実行するため、ＲＡＭメモリ、ＲＯＭメモリ、ＥＰＲＯＭメモリ、ＥＥＰＲＯＭメモリ及び不揮発性ＲＡＭ（ＮＶＲＡＭ）メモリを始めとするメモリに記録されたコンピュータプログラムを包含する。上述のメモリの種類は、例示にすぎず、コンピュータプログラムの記憶に使用できるメモリの種類に関して限定するものではない。好適なあらゆるコンピュータ可読媒体を利用できる。
【００２８】
コンピュータ可使又はコンピュータ可読媒体は、例えば、特に限定されないが、電子、磁気、光、電磁気、赤外線又は半導体システム、装置、装置もしくは伝搬媒体であってもよい。コンピュータ可読媒体の具体例としては、１以上のワイヤを有する電気的接続、可搬式コンピュータディスケット、ハードディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読出し専用メモリ（ＲＯＭ）、書き換え可能なプログラム可能な読出し専用メモリ（ＥＰＲＯＭ又はフラッシュメモリ）、光ファイバー、可搬式コンパクトディスク読出し専用メモリ（ＣＤーＲＯＭ）、光記録装置、インターネット又はイントラネットをサポートするような送信媒体又は磁気記録装置が挙げられる。コンピュータ可使又はコンピュータ可読媒体はプログラムが印刷された紙その他の好適な媒体であってもよく、紙その他の媒体を、例えば光学式に走査することによってプログラムを電子的に取り込み、次いで必要に応じてコンパイル、解釈その他の適切な態様で処理した後コンピュータメモリに記録すればよい。本明細書では、コンピュータ可使又はコンピュータ可読媒体は、プログラムを収容、記録、通信、伝搬又は移送するができ、命令実行システム、装置又は装置で使用することのできる媒体であればよい。
【００２９】
本明細書で用いるプロセッサという用語は、中央処理装置、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、縮小命令セットコンピュータ（ＲＩＳＣ）、特定用途向け集積回（ＡＳＩＣ）、論理回路、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）、及び本明細書に記載した機能を実行できる任意の他の回路又はプロセッサをいう。
【００３０】
本発明の動作を実行するためのコンピュータプログラムコードは、例えばＪａｖａ(登録商標）７、Ｓｍａｌｌｔａｌｋ又はＣ＋＋などのオブジェクト指向のプログラミング言語で書かれる場合がある。しかし本発明の動作を実行するためのコンピュータプログラムコードは、「Ｃ」プログラミング言語又は同様の言語などの従来の手続き型プログラミング言語で書かれる場合もある。プログラミングコードは、すべてがユーザのコンピュータ上で実行され、一部がユーザのコンピュータ上で実行される場合があり、スタンドアローンソフトウェアパッケージとして一部がユーザのコンピュータ上で実行され、また一部がリモートコンピュータ上で、又は完全にリモートコンピュータ上で実行される場合がある。後者のケースでは、リモートコンピュータは、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）又はワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）によってユーザコンピュータと接続されてよく、もしくは、（例えばインターネットサービスプロバイダーを使用するインターネットによって）外部コンピュータ接続することもできる。
【００３１】
本発明を、以下の本発明の実施形態に係る方法、装置（システム）及びコンピュータプログラムのフローチャート図及び／又はブロック図を参照して以下に記載する。フローチャート図及び／又はブロック図の各々のブロック、並びにフローチャート図及び／又はブロック図のブロックの組合せは、コンピュータプログラム命令によって実施することができることが理解されるであろう。かかるコンピュータプログラム命令は、公共目的のコンピュータ、特殊用途のコンピュータのプロセッサ又は特定の機械を形成するための他のプログラム可能なデータ処理装置に対して提供することができ、その結果かかる命令が、コンピュータのプロセッサ又は他のプログラム可能なデータ処理装置で実行され、フローチャート及び／又はブロック図の１以上のブロックにおいて所定の機能／作用を実施するための手段を生成する。
【００３２】
かかるコンピュータプログラム命令は、コンピュータ可読メモリに記録することもできる。かかる命令は、コンピュータ又は他のプログラム可能データ処理装置に特定の方法で機能するように指示することができる。これはコンピュータ可読メモリに記録された命令が、フローチャート及び／又はブロック図の１以上のブロックで所定の機能／作用を実施する命令手段を含めた製品を生成するものである。コンピュータプログラム命令が、コンピュータ又は他のプログラム可能データ処理装置に書き込まれる場合もある。かかる命令により、コンピュータ又は他のプログラム可能装置上で行なわれる一連の動作段階が、コンピュータにより実施するプロセスを生成することができる。ここで命令は、コンピュータ又は他のプログラム可能な装置上で実行され、フローチャート及び／又はブロック図のブロックにおいて所定の機能／作用を実施するための段階を提供する。
【００３３】
段階３０５において、方法３００は、ＥＤＩ装置の殺菌が必要であることを判定することができる。ＥＤＩ装置が殺菌を必要とする時期を判定する多くの方法がある。これらの方法には、特に限定されないが時間間隔、スケジュールなど、又は純水装置における生物活性のレベルの測定、もしくは性能の低下、或いはＥＤＩ装置部品の点検などが含まれる。
【００３４】
再び図３を参照すると、段階３１０では方法３００は、ＥＤＩ装置への流体供給を遮断することができる。ここで、ＥＤＩ装置に流れる流体の流れを制限するように遮断弁などを調節することができる。
【００３５】
段階３１５では方法３００は、殺菌プロセスを開始することができる。ここでＥＤＩ装置は、内部チャンバー内にある流体をほぼ排出させることができる。次いで、給電装置によって内部チャンバーのアノード室とカソード室の間に電力が供給される。電力は、内部チャンバー内の温度が殺菌温度域に達するように制御される。ここで電力は、内部チャンバーの部品を通って流れる電流の形態であってもよい。本発明の一実施形態では、電流の大きさは、約２０ｍＡ/ｃｍ2以下の範囲とし得る。
【００３６】
段階３２０において方法３００は、内部チャンバー内の温度が、殺菌温度域にあるか否かを判定することができる。本発明の一実施形態では、内部チャンバー内の温度上昇は、約１２０〜約２１２°Ｆでよい。本発明の実施形態は、記載されるように測温装置を使用して内部チャンバー内の温度を求めることができる。温度が殺菌温度域にある場合、方法３００は段階３２５に進み、そうでなければ方法３００は段階３１５に戻り、内部チャンバー内の温度を上げるように給電装置を制御することができる。
【００３７】
段階３２５において方法３００は、殺菌保持を開始することができるが、これは浸漬時間などとみなすことができる。殺菌保持の長さは、ある程度殺菌温度に関連している。殺菌温度が高ければ保持時間は短くなり、その逆も同様である。本発明の一実施形態では、保持時間は、約１時間〜約６時間の範囲であってもよい。
【００３８】
段階３３０において方法３００は、殺菌保持が完了したか否かを判定することができる。ここで方法３００は、保持時間が経過したか否かを判定することができる。殺菌保持が完了した場合、方法は段階３３５に進み、そうでなければ方法は段階３２５に戻ることができる。
【００３９】
段階３３５において方法は、水洗を実施すべきか否かを判定することができる。洗浄により、殺菌作業中にＥＤＩ装置より生成され集められた有機及び無機不純物を取り除くことができる。洗浄はまた、内部チャンバーの部品を冷却することもできる。一般に洗浄は、ＴＯＣ排出、排出温度又は排出生成物の抵抗が許容可能な範囲内になるまで行なわれる。洗浄を実施すべき場合は、方法３００は段階３４０に進み、そうでなければ方法は段階３４５に進むことができる。
【００４０】
段階３４０において方法３００は、洗浄を実施してもよい。遮断弁を、特に限定されないが水などの流体が内部チャンバーに流入できるような位置に制御することができる。本発明の一実施形態では、ユーザは洗浄時間を決めることができる。ユーザはまた、洗浄を行なう流体の物理的パラメータ（温度、圧力、流量）を決めることもできる。
【００４１】
段階３４５において方法３００は、完了したものとみなすことができる。ここで、純水装置は、通常の作業等を行なうための準備が整っている。
【００４２】
図面のフローチャート及び段階図は、本発明の様々な実施形態に係るシステム、方法及びコンピュータプログラムの可能な実装形態のアーキテクチャ、機能及び動作を例示している。この点に関してフローチャート又は段階図における各々の段階は、モジュール、セグメント又はコードの一部を表しており、これらは所定の論理機能を実施するための１以上の実行可能な命令を備えている。一部の代替の実施形態では、段階に記載した機能は、図面に記載した順序と異なる順序で実施してもよい。例えば連続して記載した２つの段階を実際にはほぼ同時に実施してもよいし、或いは機能に応じて逆の順序で実施してもよい。ブロック図及び／又はフローチャート図の各々の段階、並びにブロック図及びフローチャート図の段階の組合せは、所定の機能もしくは作用を行なう特定の目的のハードウェアベースのシステムによって、又は特定の目的のハードウェアとコンピュータ命令の組合せで実行し得る。
【００４３】
当業者が理解するように、複数の例示の実施形態に関連して上記に記載した多くの様々な機能及び構成をさらに選択的に適用することで、本発明の他の可能な実施形態を形成することができる。さらに、たとえ幾つかの請求項などに包含されるすべての組合せ及び可能な実施形態が本出願の一部であることが意図されているとしても、本発明を再現するすべての可能性を詳細には提示又は考察していないことは当業者には明らかであろう。これに加えて、本発明の複数の例示の実施形態の上記の記載より、当業者は、改良形態、変更形態及び修正形態を認めるであろう。当分野の技術の範囲内にあるかかる改良形態、変更形態及び修正形態も、添付の特許請求の範囲によって網羅されることが意図されている。さらに上記は本出願の記載される実施形態にのみ関連するものであり、添付の特許請求の範囲及びその均等物によって定義される本出願の精神及び範囲から逸脱することなく、多くの変更及び修正がなし得ることは明らかである。
【図１】
0005903428.tif 000002
【図２】
0005903428.tif 000003
【図３】
0005903428.tif 000004