(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
正面側を覆う弾性変形可能な被覆部材と、
前記被覆部材における背面側に配置され、姿勢変化に応じて電気抵抗が変化する可変抵抗電極と、
前記被覆部材に対して前記可変抵抗電極と同じ側において、前記可変抵抗電極を覆う状態に配置された焦電体層と、
前記焦電体層に対して積層方向の両側に配置された一対の電荷検出電極と、
前記可変抵抗電極の電気抵抗を検出する抵抗検出部と、
前記焦電体層の自己分極によって生じる電荷量を検出する電荷検出部と、
前記抵抗検出部による検出結果と前記電荷検出部による検出結果とに基づき、前記電荷検出部による検出結果を用いて前記抵抗検出部による検出結果を補正して、前記被覆部材に対する押圧力を決定する押圧力決定部と、
を備える感圧センサ。
【請求項２】
操作面を有するとともに弾性変形可能なパネル部材と、
前記パネル部材における前記操作面とは反対側にＸ軸方向に所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置され、被検知物の近接／離間に応じて自己容量又は相互容量が変化する複数の第一電極と、
前記第一電極に対して前記パネル部材とは反対側において、前記Ｘ軸方向に交差するＹ軸方向に所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置され、前記被検知物の近接／離間に応じて自己容量又は相互容量が変化する複数の第二電極と、
前記第一電極に対して前記第二電極と同じ側に配置され、姿勢変化に応じて電気抵抗が変化する可変抵抗電極と、
前記第二電極に対して前記第一電極とは反対側において、前記可変抵抗電極を覆う状態に配置された焦電体層と、
前記焦電体層に対して積層方向の両側に配置された一対の電荷検出電極と、
を備えるタッチパネル。
【請求項３】
前記一対の電荷検出電極のうちの一方である第一検出電極が、複数の前記第二電極によって兼用構成されている請求項２に記載のタッチパネル。
【請求項４】
前記一対の電荷検出電極のうちの他方である第二検出電極が、所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置された複数の電極として構成され、
前記可変抵抗電極が、前記積層方向に見て複数の前記第二検出電極どうしの間を縫うようにジグザグ状に形成されているとともに、前記第二検出電極と同一平面状に配置されている請求項３に記載のタッチパネル。
【請求項５】
前記可変抵抗電極が、前記積層方向に見て複数の前記第二電極どうしの間を縫うようにジグザグ状に形成されているとともに、前記第二電極と同一平面状に配置されている請求項２又は３に記載のタッチパネル。
【請求項６】
前記可変抵抗電極の電気抵抗を検出する抵抗検出部と、
前記焦電体層の自己分極によって生じる電荷量を検出する電荷検出部と、
前記抵抗検出部による検出結果と前記電荷検出部による検出結果とに基づき、前記電荷検出部による検出結果を用いて前記抵抗検出部による検出結果を補正して、前記操作面に対する押圧力を決定する入力決定部と、
を備える請求項２から５のいずれか一項に記載のタッチパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、押圧力を検出する感圧センサ、及び押圧力の検出機能を備えたタッチパネル（感圧機能付きタッチパネル）に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような感圧センサ及びタッチパネルとして、特開平５−６１５９２号公報（特許文献１）に記載された機器が知られている。特許文献１の機器は、可撓性を有するタッチパネル２が、平面状の感圧センサ１上に密着するように重ねて配置されている（特許文献１の図１を参照）。感圧センサ１としては、感圧抵抗体シート等で構成される感圧シート１ａを含むもの用いることが例示されており、この感圧シート１ａが押圧されたときの抵抗値の変化を検出することにより、押圧力が検出されている（段落００１５を参照）。
【０００３】
しかし、感圧シート１ａの抵抗値は、実際に押圧されたときだけでなく、例えばその周囲の温度が変化した場合にも同様に変化し得るため、環境温度の影響を受けて押圧力の検出精度が低下する場合がある。特に特許文献１の機器のように感圧センサとタッチパネルとが併用されるような構成では、例えば液晶ディスプレイ等の表示装置（バックライト）や、様々なアプリケーションの実行を司る制御部で発熱が生じる等して、環境温度が変化しやすい。その結果、正確な押圧力を検出することが困難となっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−６１５９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、環境温度が変化する場合でも押圧力の検出精度の低下を抑制することができる感圧センサの実現が望まれる。また、環境温度が変化する場合でも押圧力の検出精度の低下を抑制することができる感圧機能付きタッチパネルの実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る感圧センサは、
正面側を覆う弾性変形可能な被覆部材と、
前記被覆部材における背面側に配置され、姿勢変化に応じて電気抵抗が変化する可変抵抗電極と、
前記被覆部材に対して前記可変抵抗電極と同じ側において、前記可変抵抗電極を覆う状態に配置された焦電体層と、
前記焦電体層に対して積層方向の両側に配置された一対の電荷検出電極と、
を備える。
【０００７】
この構成によれば、被覆部材に外力が加わると、当該被覆部材は弾性変形し、それに伴って可変抵抗電極も変形する。変形した可変抵抗電極は、その変形（姿勢変化）に応じて電気抵抗が変化するので、電気抵抗の変化量を検出することで、それに応じて被覆部材に対する押圧力の大きさを決定することができる。
このとき、可変抵抗電極の電気抵抗は環境温度の変化に応じて変動し得るが、可変抵抗電極を覆う状態に配置された焦電体層も、環境温度の変化に応じて自己分極して電荷を発生させる。この発生した電荷を焦電体層の両側の一対の電荷検出電極を用いて検出することで、その検出結果を利用して、環境温度の変化に応じた可変抵抗電極の電気抵抗変化を補償することができる。よって、環境温度の変化によらない、可変抵抗電極の変形による電気抵抗の変化量分のみを検出することができ、結果的に、環境温度が変化する場合でも押圧力の検出精度の低下を抑制することができる。
【０００８】
本発明に係るタッチパネルは、
操作面を有するとともに弾性変形可能なパネル部材と、
前記パネル部材における前記操作面とは反対側にＸ軸方向に所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置され、被検知物の近接／離間に応じて自己容量又は相互容量が変化する複数の第一電極と、
前記第一電極に対して前記パネル部材とは反対側において、前記Ｘ軸方向に交差するＹ軸方向に所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置され、前記被検知物の近接／離間に応じて自己容量又は相互容量が変化する複数の第二電極と、
前記第一電極に対して前記第二電極と同じ側に配置され、姿勢変化に応じて電気抵抗が変化する可変抵抗電極と、
前記第二電極に対して前記第一電極とは反対側において、前記可変抵抗電極を覆う状態に配置された焦電体層と、
前記焦電体層に対して積層方向の両側に配置された一対の電荷検出電極と、
を備える。
【０００９】
本願において、第一電極及び第二電極についての「自己容量」とは、各電極単独での静電容量（self capacitance）を表す。また、「相互容量」とは、第一電極と第二電極との間の静電容量（mutual capacitance）を表す。
【００１０】
この構成によれば、従来からある静電容量方式のタッチパネルと同様に、パネル部材の操作面に接触又は近接するユーザーの指等の位置（“タッチ位置”と称する）を判定することができる。つまり、第一電極及び第二電極のそれぞれの自己容量の変化、又は第一電極と第二電極との間の相互容量の変化に基づき、操作面におけるＸ−Ｙ座標系でのタッチ位置を適切に決定することができる。また、パネル部材の操作面をユーザーが指等でタッチすると、当該パネル部材は弾性変形し、それに伴って可変抵抗電極も変形する。変形した可変抵抗電極は、その変形（姿勢変化）に応じて電気抵抗が変化するので、電気抵抗の変化量を検出することで、それに応じて操作面に対する押圧力の大きさを決定することができる。
このとき、可変抵抗電極の電気抵抗は環境温度の変化に応じて変動し得るが、可変抵抗電極を覆う状態に配置された焦電体層も、環境温度の変化に応じて自己分極して電荷を発生させる。この発生した電荷を焦電体層の両側の一対の電荷検出電極を用いて検出することで、その検出結果を利用して、環境温度の変化に応じた可変抵抗電極の電気抵抗変化を補償することができる。よって、環境温度の変化によらない、可変抵抗電極の変形による電気抵抗の変化量分のみを検出することができ、結果的に、環境温度が変化する場合でも押圧力の検出精度の低下を抑制することができる。
【００１１】
以下、本発明に係るタッチパネルの好適な態様について説明する。但し、以下に記載する好適な態様例によって、本発明の範囲が限定される訳ではない。
【００１２】
１つの態様として、前記一対の電荷検出電極のうちの一方である第一検出電極が、複数の前記第二電極によって兼用構成されていると好適である。
【００１３】
この構成によれば、静電容量方式のタッチパネルに必須の第二電極に第一検出電極の機能を担わせることで、従来からあるタッチパネルに対して追加的に設ける部材を焦電体層と１つの電荷検出電極との２層分のみとすることができる。よって、焦電体層と一対の電荷検出電極との３層分が追加される構成に比べて、タッチパネルの薄型化を図ることができるとともに、低コスト化を図ることができる。
【００１４】
１つの態様として、前記一対の電荷検出電極のうちの他方である第二検出電極が、所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置された複数の電極として構成され、前記可変抵抗電極が、前記積層方向に見て複数の前記第二検出電極どうしの間を縫うようにジグザグ状に形成されているとともに、前記第二検出電極と同一平面状に配置されていると好適である。
【００１５】
この構成によれば、可変抵抗電極が１本に繋がった単一の電極として形成されるので、比較的簡素な構成で電気抵抗の変化量を検出することができる。この場合において、積層方向に見てジグザグ状の可変抵抗電極が複数の第二検出電極どうしの間を縫う状態で第二検出電極と同一平面状に配置されるので、可変抵抗電極と第二検出電極とを１層に集約することができる。よって、焦電体層と一対の電荷検出電極との３層分が追加される構成に比べて、タッチパネルのさらなる薄型化を図ることができる。また、この構成では、可変抵抗電極が、可変静電容量電極としての第一電極及び第二電極から離間して配置されるので、静電気の影響による押圧力の検出精度の低下を有効に抑制することができる。
【００１６】
１つの態様として、前記可変抵抗電極が、前記積層方向に見て複数の前記第二電極どうしの間を縫うようにジグザグ状に形成されているとともに、前記第二電極と同一平面状に配置されていると好適である。
【００１７】
この構成によれば、可変抵抗電極が１本に繋がった単一の電極として形成されるので、比較的簡素な構成で電気抵抗の変化量を検出することができる。この場合において、積層方向に見てジグザグ状の可変抵抗電極が複数の第二電極どうしの間を縫う状態で第二電極と同一平面状に配置されるので、可変抵抗電極と第二電極とを１層に集約することができる。よって、焦電体層と一対の電荷検出電極との３層分が追加される構成に比べて、タッチパネルのさらなる薄型化を図ることができる。
【００１８】
１つの態様として、前記可変抵抗電極の電気抵抗を検出する抵抗検出部と、前記焦電体層の自己分極によって生じる電荷量を検出する電荷検出部と、前記抵抗検出部による検出結果と前記電荷検出部による検出結果とに基づき、前記電荷検出部による検出結果を用いて前記抵抗検出部による検出結果を補正して、前記操作面に対する押圧力を決定する入力決定部と、を備えると好適である。
【００１９】
この構成によれば、環境温度の変化によらずに、操作面に対する押圧力を高い精度で決定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】感圧機能付きタッチパネルを搭載した電子機器の斜視図
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ断面図
【図３】タッチパネルの分解斜視図
【図４】第三電極及び電荷検出電極と制御部との接続関係を示す模式図
【図５】制御部の構成を示すブロック図
【図６】押圧力の検出原理を模式的に示す説明図
【図７】抵抗値変化量と押圧力との関係を示す関係マップ
【図８】タッチパネルの別態様を示す分解斜視図
【図９】タッチパネルの別態様を示す分解斜視図
【図１０】感圧センサの分解斜視図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明に係るタッチパネルの実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態に係るタッチパネル５は、携帯電話や携帯ゲーム機等の電子機器１に備えられ、タッチ入力デバイスとして機能する。本実施形態では、電子機器１の一種としての多機能携帯電話（スマートフォン）に搭載されたタッチパネル５を例として説明する。なお、以下の説明では、タッチ入力デバイスとしてのタッチパネル５の入力面（後述する操作面１０ａ）が位置している側を「正面側」と称する。この「正面側」は、電子機器１を操作するユーザーに対して正対する側でもある。これとは反対に、電子機器１を操作するユーザーから見た場合における奥側を「背面側」と称する。
【００２２】
図１及び図２に示すように、電子機器１は、略直方体状の筐体３と、この筐体３に内蔵された表示装置４と、表示装置４に対して正面側に重ねて配置されたタッチパネル５とを備えている。筐体３は、合成樹脂で構成されている。筐体３は、正面側に向かって矩形状に開口する凹部３ａを備えている。凹部３ａは段差を有するように形成されており、この段差部分は、タッチパネル５を背面側から支持する支持部３ｂとして機能する。支持部３ｂは、凹部３ａの形状に対応して、矩形枠状（額縁状）に形成されている。支持部３ｂ（段差部分）よりも背面側の領域（第一収納凹部）には表示装置４が収納され、正面側の領域（第二収納凹部）には、支持部３ｂによって支持された状態でタッチパネル５が収納されている。なお、表示装置４は、例えば液晶表示パネルや有機ＥＬ表示パネルにより構成される。
【００２３】
凹部３ａ（第一収納凹部及び第二収納凹部）の形状及び寸法は、表示装置４やタッチパネル５の形状及び寸法に応じて適宜設定することができる。本実施形態では、一例として、表示装置４及びタッチパネル５はいずれも略直方体状の形状を有しており、平面視（正面側から見た状態）での寸法は表示装置４よりもタッチパネル５の方が大きい。そして、凹部３ａは、第一収納凹部の側面と表示装置４の側面とが所定隙間を隔てて対向するとともに第二収納凹部の側面とタッチパネル５の側面とがほとんど隙間なく対向し、かつ、表示装置４の表面と支持部３ｂの表面とが略同じ高さとなるともに筐体３の表面とタッチパネル５の表面とが略同じ高さとなるように形成されている。
【００２４】
本実施形態では、タッチパネル５は、ユーザーの指又はユーザーが操作するスタイラス等が操作面１０ａに近接又は接触したときに、ユーザーの指等に対応する位置（“タッチ位置”と称する）を検出するように構成されている。また、タッチパネル５は、ユーザーが指等で操作面１０ａを実際にタッチしたときに、タッチ位置（操作面１０ａ上の押圧位置）に加えて、操作面１０ａに対する押圧力の大きさをも同時に検出するように構成されている。すなわち、本実施形態に係るタッチパネル５は、感圧機能付きタッチパネルとして構成されている。
【００２５】
図３に示すように、タッチパネル５は、パネル部材１０と、第一電極形成部材２０と、第二電極形成部材３０と、第三電極形成部材４０と、焦電体層５０と、支持部材６０とを備えている。これらは、正面側から背面側に向かって、パネル部材１０、第一電極形成部材２０、第二電極形成部材３０、焦電体層５０、第三電極形成部材４０、及び支持部材６０の順に積層されている。筐体３の支持部３ｂに支持部材６０を介して第三電極形成部材４０が配置され、第三電極形成部材４０の上に焦電体層５０が配置され、焦電体層５０の上に第二電極形成部材３０が配置され、第二電極形成部材３０の上に第一電極形成部材２０が配置され、第一電極形成部材２０の上にパネル部材１０が配置されている（図２も参照）。これらは、例えば感圧接着剤（Pressure Sensitive Adhesive；ＰＳＡ）等によって互いに貼り合わされている。
【００２６】
また、本実施形態では、パネル部材１０、第一電極形成部材２０、第二電極形成部材３０、第三電極形成部材４０、及び焦電体層５０は、平面視（積層方向Ｌから見た状態）で矩形状に形成されて重ね合わされる。そして、当該矩形状を形成する４辺のうちの１辺に沿った方向を、本実施形態では「Ｘ軸方向」と定義し、その１辺に交差（本例では直交）する他の１辺に沿った方向を、本実施形態では「Ｙ軸方向」と定義する。本実施形態では、互いに直交するＸ軸方向とＹ軸方向とに基づいて、Ｘ−Ｙ座標系（Ｘ−Ｙ直交座標系）が構成されている。なお、非直角に互いに交差するＸ軸方向とＹ軸方向とに基づいて、Ｘ−Ｙ座標系が構成されても良い。
【００２７】
パネル部材１０は、タッチパネル５における最正面側に配置される板状部材である。パネル部材１０は、その正面側の表面に操作面１０ａを有する。この操作面１０ａは、ユーザーが電子機器１に対して所定操作を入力する際に、ユーザーの指等によってタッチされる（操作対象となる）面である。本実施形態では、パネル部材１０は、第一電極形成部材２０及び第二電極形成部材３０等を保護する保護パネルとして機能する。パネル部材１０は、透明性、耐傷性、及び防汚性等を具備していることが好ましい。このようなパネル部材１０は、例えばソーダガラスや強化ガラス等を用いたガラス板により構成することができ、本実施形態ではガラス薄板としている。これ以外にも、ポリメチルメタクリレートやポリカーボネート等の樹脂材料や、有機無機ハイブリッド材料等を用いてパネル部材１０を構成しても良い。強度に優れた材料を用いることで、パネル部材１０の薄型化を図ることができる。パネル部材１０は、元来的に弾性変形可能ではあるが、薄型化することで弾性変形しやすくなるという利点もある。
【００２８】
第一電極形成部材２０は、第一基板２１と、この第一基板２１上に形成された複数（本例では８本）の第一電極２２とを有する。第一基板２１は、透明性、柔軟性、及び絶縁性等に優れた材料を用いて構成されていることが好ましい。このような要求を満足する材料としては、例えばポリエチレンテレフタレートやアクリル系樹脂等の汎用樹脂、ポリアセタール系樹脂やポリカーボネート系樹脂等の汎用エンジニアリング樹脂、ポリスルホン系樹脂やポリフェニレンサルファイド系樹脂等のスーパーエンジニアリング樹脂等が例示される。本実施形態では、ポリエチレンテレフタレートフィルムにより第一基板２１が構成されている。
【００２９】
複数の第一電極２２は、Ｘ軸方向に所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置されている。本実施形態では、第一電極２２は、ストライプ状（一定幅を有する直線状）に形成されている。なお、第一電極２２は、例えば波状やジグザグ状に形成されても良い。いずれにしても、第一電極２２のそれぞれは、全体として、Ｙ軸方向に沿って延在するように形成されている。第一電極２２は、被検知物（ユーザーの指等の導体）の近接／離間に応じて静電容量が変化する形状となっている。なお、「静電容量」とは、自己容量（self capacitance）と相互容量（mutual capacitance）との双方を含む概念である。つまり、第一電極２２は、被検知物の近接／離間に応じて、自己容量又は第二電極３２との間の相互容量が変化する形状となっている。また、第一電極２２は、導電性及び透明性に優れた材料を用いて構成されていることが好ましい。このような要求を満足する材料としては、例えば酸化スズ、酸化インジウム、酸化アンチモン、酸化亜鉛、酸化カドミウム、及びＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等の金属酸化物、銅やアルミ等の金属からなるメタルメッシュ、銀ナノワイヤー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等が例示される。第一電極２２は、これらの材料を用いて構成された透明導電膜である。本実施形態では、ＩＴＯ薄膜により第一電極２２が構成されている。
【００３０】
第一電極２２の形成方法としては、例えば第一基板２１に全面的に透明導電膜を形成してから不要部分をエッチング除去する方法が例示される。透明導電膜の全面的な形成は、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、及びロールコーター法等によって行うことができる。エッチングは、電極として残したい部分にフォトリソグラフィ法又はスクリーン印刷法等によりレジストを形成した後、塩酸等のエッチング液に浸漬することによって行うことができる。また、エッチングは、レジストの形成後、エッチング液を噴射してレジストが形成されていない部分の透明導電膜を除去し、その後、溶剤に浸漬することによりレジストを膨潤又は溶解させて除去することにより行うこともできる。また、エッチングは、レーザーにより行うこともできる。
【００３１】
第二電極形成部材３０は、第二基板３１と、この第二基板３１上に形成された複数（本例では８本）の第二電極３２とを有する。第二基板３１も、透明性、柔軟性、及び絶縁性等に優れた材料を用いて構成されていることが好ましい。第二基板３１を構成する材料に関しては、第一基板２１と同様に考えることができる。
【００３２】
複数の第二電極３２は、複数の第一電極２２と積層方向Ｌ（厚み方向）に所定間隔を隔てて対向するように配置されている。また、複数の第二電極３２は、Ｙ軸方向に所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置されている。本実施形態では、第二電極３２は、ストライプ状（一定幅を有する直線状）に形成されている。なお、第二電極３２は、例えば波状やジグザグ状に形成されても良い。いずれにしても、第二電極３２のそれぞれは、全体として、Ｘ軸方向に沿って延在するように形成されている。これにより、第一電極２２と第二電極３２とは、平面視で互いに交差（本例では直交）するように配置されている。第二電極３２は、第一電極２２と同様、被検知物の近接／離間に応じて静電容量が変化する形状となっている。第二電極３２は、被検知物の近接／離間に応じて、自己容量又は第一電極２２との間の相互容量が変化する形状となっている。また、第二電極３２は、導電性及び透明性に優れた材料を用いて構成されていることが好ましい。第二電極３２を構成する材料やその形成方法に関しては、第一電極２２と同様に考えることができる。
【００３３】
本実施形態では、複数の第一電極２２のそれぞれは、第一基板２１上において、互いに接続されることなく離間して島状に配置されている。同様に、複数の第二電極３２のそれぞれも、第二基板３１上において、互いに接続されることなく離間して島状に配置されている。そして、これら複数の第一電極２２及び複数の第二電極３２は、全体として平面視で格子状をなすように配置されている。これら複数の第一電極２２と複数の第二電極３２とにより、一般的な静電容量方式のタッチパネルが構成されている。なお、第一電極２２と第二電極３２との間には第一基板２１が存在しており、第一電極２２と第二電極３２とは積層方向Ｌ（厚み方向）に第一基板２１を介して配置されている。本実施形態では、第一電極２２と第二電極３２との間にはエアギャップが存在しないので、光学特性を向上させることができる。つまり、光の反射を抑えて、透過率の低下を抑えることができる。
【００３４】
第三電極形成部材４０は、第三基板４１と、この第三基板４１上に形成された第三電極４２とを有する。第三基板４１も、透明性、柔軟性、及び絶縁性等に優れた材料を用いて構成されていることが好ましい。第三基板４１を構成する材料に関しては、第一基板２１及び第二基板３１と同様に考えることができる。
【００３５】
図３に示すように、第三電極４２は、本実施形態では、第三基板４１の全体に亘るように所定パターンで連続する単一の電極として構成されている。第三電極４２は、平面視で（積層方向Ｌに見て）ジグザグ状に形成されている。第三電極４２は、Ｘ軸方向に沿って延びつつＹ軸方向に所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置される平行延在部分４２ａと、Ｙ軸方向に互いに隣接する平行延在部分４２ａどうしをＸ軸方向の一方側端部と他方側端部とで交互に接続する接続部分４２ｂとを有する。第三電極４２は、その延在方向の全体に亘って、当該延在方向に直交する方向の幅が等しく形成されている。第三電極４２は、その厚みも一律に形成されており、延在方向の全体に亘って断面積が等しく形成されている。
【００３６】
第三電極４２は、姿勢変化に応じて電気抵抗が変化する材料を用いて構成されている。また、第三電極４２は、導電性及び透明性に優れた材料を用いて構成されていることが好ましい。このような要求を満足する材料としては、例えば酸化スズ、酸化インジウム、酸化アンチモン、酸化亜鉛、酸化カドミウム、及びＩＴＯ等の金属酸化物、銅やアルミ等の金属からなるメタルメッシュ、銀ナノワイヤー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等が例示される。第三電極４２は、これらの材料を用いて構成された透明導電膜である。本実施形態では、ＩＴＯ薄膜により第三電極４２が構成されている。第三電極４２の形成方法に関しては、第一電極２２及び第二電極３２と同様に考えることができる。本実施形態では、第三電極４２が本発明における「可変抵抗電極」に相当する。
【００３７】
焦電体層５０は、第二電極３２に対して第一電極２２とは反対側において、第三電極４２を覆う状態に配置されている。焦電体層５０は、平面視で第二電極形成部材３０及び第三電極形成部材４０と同程度の大きさに形成されており、第三電極４２を正面側から全面的に覆う状態に配置されている。焦電体層５０は、焦電体を用いて構成された機能層である。ここで、「焦電体」とは、焦電効果（すなわち、温度変化に応じて分極状態（表面電荷の状態）が変化する現象）を示す材料である。焦電体層５０は、例えば電子機器１の環境温度の変化や、タッチ位置の近傍における局所温度の変化等に応じて自己分極する。焦電体層５０は、無機焦電体を用いて構成しても良いし、有機焦電体（高分子焦電体）を用いて構成しても良い。
【００３８】
無機焦電体としては、例えばトルマリン、硫酸リチウム水和物、酒石酸カリウムナトリウム、チタン酸カルシウム、ＰＺＴ（鉛−ジルコニウム−チタン）、ＢＳＴ（バリウム−ストロンチウム−チタン）、ＳＢＴ（ストロンチウム−ビスマス−タンタル）、及びＢＬＴ（ビスマス−ランタン−タンタル）等が例示される。有機焦電体としては、例えばポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）及びその共重合体（例えば、ポリフッ化ビニリデン／３フッ化エチレン共重合体や、ポリフッ化ビニリデン／４フッ化エチレン共重合体等）等が例示される。焦電体層５０は、透明性及び柔軟性に優れた材料を用いて構成されていることが好ましく、本実施形態では、有機焦電体の１つであるポリフッ化ビニリデンにより、焦電体層５０が構成されている。焦電体層５０の形成は、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、及びロールコーター法等によって行うことができる。
【００３９】
焦電体層５０に対して積層方向Ｌの両側に、一対の電荷検出電極（第一検出電極５１，第二検出電極５２）が配置されている。電荷検出電極５１，５２は、温度変化に応じた焦電体層５０の自己分極によって焦電体層５０の表面に生じる電荷を検出するための電極である。電荷検出電極５１，５２は、それぞれ焦電体層５０の表面電荷を検出するためだけの専用電極として構成されていても良いし、その機能が十分に果たされる限りにおいて、他の用途に用いられる電極と兼用されても良い。図３に示すように、本実施形態では、一対の電荷検出電極５１，５２のうちの一方である第一検出電極５１が、可変静電容量電極としての複数の第二電極３２によって兼用構成されている。なお、一対の電荷検出電極５１，５２のうちの他方である第二検出電極５２は、電荷検出のための専用電極である。
【００４０】
第二電極３２と兼用構成された第一検出電極５１は、Ｘ軸方向に沿って延びつつＹ軸方向に所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置されている。本実施形態では、第二検出電極５２も、Ｘ軸方向に沿って延びつつＹ軸方向に所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置されている。複数（本例では８本）の第一検出電極５１と複数（本例では８本）の第二検出電極５２とは、平面視で互いに重複するように配置されている。
【００４１】
複数の第二検出電極５２は、専用の基板に形成されても良いが、その機能が十分に果たされる限りにおいて、タッチパネル５に備えられる他の用途の基板に形成されても良い。図３に示すように、本実施形態では、複数の第二検出電極５２は、第三電極４２が形成された第三基板４１に形成されている。言い換えれば、第二検出電極５２を配置するための基板は、第三電極４２を配置するための第三基板４１によって兼用構成されている。第二検出電極５２と第三電極４２とは、第三基板４１上において同一平面状に配置されている。
【００４２】
上述したように、第三電極４２は、複数の平行延在部分４２ａと複数の接続部分４２ｂとを有し、平面視でジグザグ状に形成されている。第二検出電極５２のそれぞれは、第三電極４２を構成するＹ軸方向に互いに隣接する平行延在部分４２ａどうしの間に、当該平行延在部分４２ａに対して平行姿勢で配置されている。このようにして、ジグザグ状に形成された第三電極４２は、平面視で複数の第二検出電極５２どうしの間を縫うように配置されている。
【００４３】
第二検出電極５２は、導電性の材料を用いて構成されている。また、第二検出電極５２は、導電性、透明性、及び柔軟性に優れた材料を用いて構成されていることが好ましい。このような要求を満足する材料としては、例えば酸化スズ、酸化インジウム、酸化アンチモン、酸化亜鉛、酸化カドミウム、及びＩＴＯ等の金属酸化物、銅やアルミ等の金属からなるメタルメッシュ、銀ナノワイヤー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等が例示される。第二検出電極５２は、これらの材料を用いて構成された透明導電膜である。本実施形態では、第一検出電極５１を兼用する第二電極３２と同様に、ＩＴＯ薄膜により第二検出電極５２が構成されている。第二検出電極５２の形成方法に関しては、第一電極２２及び第二電極３２と同様に考えることができる。
【００４４】
支持部材６０は、パネル部材１０を背面側から支持する。支持部材６０は、筐体３の支持部３ｂの形状に対応するように、平面視で矩形枠状に形成されている。支持部材６０は、矩形状に形成されたパネル部材１０、各電極形成部材２０，３０，４０、及び焦電体層５０の周縁部（各辺の近傍）を支持するように設けられている。支持部材６０は、弾性又は柔軟性と、パネル部材１０等を適切に支持し得る程度の定形性とを兼ね備えた材料を用いて構成されていることが好ましい。このような要求を満足する材料としては、例えばウレタンフォームやアクリルフォーム、シリコンゴム、スポンジ、ゲル等が例示される。両面に粘着層を有する両面テープ等であっても良い。
【００４５】
このような支持部材６０を設けることで、支持部材６０によるパネル部材１０の支持形態を単純支持型とすることができる。よって、パネル部材１０の一部（具体的には、支持部材６０によって支持される被支持部の付近）のみが局所的に変形して第三電極４２に縮み変形が生じるのを抑制することができる。その結果、第三電極４２の変形（姿勢変化）を実質的に伸び変形のみとすることができ、押圧力の検出精度を高めることができる。
【００４６】
図４に示すように、複数の第一検出電極５１（第二電極３２）及び複数の第二検出電極５２のそれぞれは、引き回し配線を介して制御部７０に接続されている。また、ジグザグ状の単一の電極からなる第三電極４２の両端部のそれぞれも、引き回し配線を介して制御部７０に接続されている。なお、図示は省略されているが、複数の第一電極２２のそれぞれも、引き回し配線を介して制御部７０に接続されている。なお、引き回し配線は、金、銀、銅、及びニッケル等の金属、又はカーボン等の導電ペーストを用いて構成される。それぞれの引き回し配線には、例えばスイッチング素子等からなるスイッチ（図示せず）が適宜設けられ、各電極を所定周期で選択的に制御部７０に接続することができる。
【００４７】
制御部７０は、ＣＰＵ等の演算処理装置を中核部材として備え、入力されたデータに対して種々の処理を行うための機能部として、ハードウェア又はソフトウェア（プログラム）或いはその両方により構成されている。制御部７０は、タッチパネル５に専用に設けられていても良いし、例えば電子機器１に備えられる演算処理装置の機能の一部を利用して構成されても良い。図５に示すように、制御部７０は、容量検出部７１、抵抗検出部７２、電荷検出部７３、及び入力決定部７５を備えている。入力決定部７５は、位置決定部７６及び押圧力決定部７７を含んでいる。また、制御部７０は、記憶部８０と情報通信可能に接続されている。記憶部８０は、ＲＡＭ（Random Access Memory）やＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）、フラッシュメモリ（flash memory）等のメモリにより構成されている。記憶部８０には、関係データ８１及び基準データ８２が記憶されている。
【００４８】
容量検出部７１は、本実施形態では、複数の第一電極２２及び複数の第二電極３２のそれぞれの静電容量（自己容量）を検出する。このため、容量検出部７１は、公知の静電容量検出回路を含んで構成されている。容量検出部７１は、所定周期で、各第一電極２２の静電容量を順次検出する。また、容量検出部７１は、所定周期で、各第二電極３２の静電容量を順次検出する。各第一電極２２のスキャニングと各第二電極３２のスキャニングとは、同期して行われても良いし、交互に行われても良い。なお、ミューチュアル（mutual）方式の検出方法を採用しても良い。この場合、容量検出部７１は、各第一電極２２と各第二電極３２との間の静電容量（相互容量）を検出する。ミューチュアル方式を採用すれば、マルチタッチ対応が可能となる。容量検出部７１による検出値の情報は、入力決定部７５（位置決定部７６）に伝達される。
【００４９】
抵抗検出部７２は、第三電極４２の電気抵抗を検出する。このため、抵抗検出部７２は、抵抗検出回路を含んで構成されている。この抵抗検出回路は、公知のブリッジ回路（ホイートストンブリッジ回路）により構成されている。抵抗検出部７２は、第三電極４２の両端間の電圧（ブリッジ電圧）に基づいて、その電気抵抗（抵抗値）を検出する。別の観点では、第三電極４２の姿勢に応じた抵抗値は、第三電極４２の両端間の“電圧信号”として抵抗検出部７２により検出される。この意味で、抵抗検出部７２は、ブリッジ回路の出力電圧と、その出力電圧に応じた抵抗値とを検出する。抵抗検出部７２による検出値の情報は、入力決定部７５（押圧力決定部７７）に伝達される。
【００５０】
電荷検出部７３は、焦電体層５０の自己分極によって生じる電荷量を検出する。このため、電荷検出部７３は、電荷検出回路を含んで構成されている。この電荷検出回路は、公知のチャージアンプにより構成されている。電荷検出部７３は、環境温度の変化等に起因する焦電体層５０の自己分極によって生じ、一対の電荷検出電極５１，５２によって収集された電荷量を検出する。収集された電荷の総量（積分値）は、“電圧信号”として電荷検出部７３により検出される。電荷検出部７３による検出値の情報は、入力決定部７５（押圧力決定部７７）に伝達される。
【００５１】
入力決定部７５に含まれる位置決定部７６は、容量検出部７１による検出結果に基づいて、操作面１０ａにおけるＸ−Ｙ座標系での押圧位置を決定する。本実施形態では、位置決定部７６は、ユーザーの指等が十分に離間した状態における静電容量を基準として、操作面１０ａに対するタッチ操作時に複数の第一電極２２の中で最大（複数の位置がタッチ操作される場合は極大）となる静電容量変化を与える第一電極２２を特定することで、タッチ位置のＸ座標を決定する。また、位置決定部７６は、ユーザーの指等が十分に離間した状態における静電容量を基準として、操作面１０ａに対するタッチ操作時に複数の第二電極３２の中で最大（又は極大）となる静電容量変化を与える第二電極３２を特定することで、タッチ位置のＹ座標を決定する。また、位置決定部７６は、ミューチュアル方式の場合には、各第一電極２２と各第二電極３２との間の相互容量の変化量に基づいて、タッチ位置のＸ座標及びＹ座標を決定する。なお、位置決定部７６は、容量検出部７１により実際に検出された静電容量を用いて補間演算を行い、その演算結果に基づいてタッチ位置をより詳細に特定するように構成されても好適である。
【００５２】
入力決定部７５に含まれる押圧力決定部７７は、抵抗検出部７２による検出結果と電荷検出部７３による検出結果とに基づいて、操作面１０ａに対する押圧力を決定する。入力決定部７５は、抵抗検出部７２による検出結果のみに基づいて操作面１０ａに対する押圧力をそのまま決定するのではなく、電荷検出部７３による検出結果を用いて抵抗検出部７２による検出結果を補正して、操作面１０ａに対する押圧力を決定する。以下、電荷検出部７３による検出結果を利用した抵抗検出部７２による検出結果の補正について、図６を参照して説明する。図６には、上から順に、環境温度の経時変化、抵抗検出部７２による検出結果（抵抗値に応じた出力電圧の経時変化）、電荷検出部７３による検出結果（電荷量に応じた出力電圧の経時変化）、補正後の加工データ（補正出力電圧の経時変化）を示している。
【００５３】
仮に、環境温度が全く変動しない状態で時刻Ｔ１のタイミングにて操作面１０ａに対する単一のタッチ操作が行われたとすると、図６の上から２段目のグラフに破線で示すように、時刻Ｔ１の近傍でのみ出力電圧が変化し、それ以外の時間帯では出力電圧の変動は検出されない。しかし、実情における電子機器１の使用状態を考慮すると、例えば液晶ディスプレイ等の表示装置４（バックライト）や、様々なアプリケーションの実行を司る制御部７０で発熱が生じる等して、第三電極４２の周囲の環境温度は変化しやすい。例えば図６の最上段に示すように、電子機器１の使用開始時点から、環境温度は次第に上昇する場合がある。また、ユーザーのタッチ位置が特定の位置又は範囲に集中する場合には、体熱等により、タッチ位置の近傍の温度が局所的に上昇する場合もある。
【００５４】
このとき、時刻Ｔ１のタイミングでタッチ操作が行われた場合に抵抗検出部７２によって検出される、第三電極４２の抵抗値に応じた出力電圧は、図６の上から２段目のグラフにおいて実線で示すように経時変化する。すなわち、第三電極４２の抵抗値に応じた出力電圧は、環境温度の上昇に伴ってゼロ点ドリフトを生じつつ、時刻Ｔ１のタイミングにて、操作面１０ａに対するタッチ操作の押圧力に応じた電圧値が一時的に加重されるように経時変化する。このため、仮に抵抗検出部７２による検出結果のみに基づいて操作面１０ａに対する押圧力を決定するのでは、押圧力を正確に検出することができない。例えば図６の例では、押圧力決定部７７によって算出される押圧力が、実際に加えられる押圧力よりも大きい値となる可能性がある。なお、ゼロ点ドリフトの変化態様は、環境温度の変化態様に概ね一致する。
【００５５】
一方、電荷検出部７３によって検出される、環境温度の変化等に起因する焦電体層５０の自己分極によって生じる電荷量に応じた出力電圧も、図６の下から２段目のグラフに示すように、環境温度の変化態様に概ね一致して経時変化する。そして、環境温度の変化に応じた、第三電極４２の抵抗値に応じた出力電圧のゼロ点ドリフトと、焦電体層５０の自己分極による電荷量に応じた出力電圧の変化との間には、一定の相関関係が存在する。すなわち両者は、概ね、互いに比例関係にあると言える。例えば前者を時間Ｔの関数としてＶｒ０（Ｔ）、後者を同じく時間Ｔの関数としてＶｅ（Ｔ）と表すと、ｋを予め定められた比例定数として、
Ｖｒ０（Ｔ）≒ｋ・Ｖｅ（Ｔ）
の関係が成立する。
【００５６】
この関係式に基づき、押圧力決定部７７は、焦電体層５０の自己分極による電荷量に応じた出力電圧の変化（Ｖｅ（Ｔ））を利用して、第三電極４２の抵抗値に応じた出力電圧のゼロ点ドリフトを補償する。すなわち、押圧力決定部７７は、抵抗検出部７２によって実際に検出される第三電極４２の抵抗値に応じた出力電圧（これを、時間Ｔの関数としてＶｒｒ（Ｔ）と表す）から、電荷量に応じた出力電圧の変化（Ｖｅ（Ｔ））に比例する値を減算して、タッチ操作に応じた実質的な出力電圧（これを、時間Ｔの関数としてＶｒｓ（Ｔ）と表す）を、
Ｖｒｓ（Ｔ）＝Ｖｒｒ（Ｔ）−Ｖｒ０（Ｔ）≒Ｖｒｒ（Ｔ）−ｋ・Ｖｅ（Ｔ）
により算出する。
【００５７】
このようにして算出される出力電圧Ｖｒｓ（Ｔ）は、図６の最下段に示すものとなり、環境温度が全く変動しない状態での出力電圧の経時変化（上から２段目の破線グラフを参照）と同等となる。すなわち、電荷検出部７３による検出結果を用いて抵抗検出部７２による検出結果を補正することで、環境温度の変化に起因する出力電圧の変動分を除去して、タッチ操作に応じた実質的な出力電圧の変化分だけを検出することができる。そして、タッチ操作に応じた実質的な出力電圧の変化分に応じた抵抗値変化分だけを検出することができる。
【００５８】
操作面１０ａに対する押圧力と、非押圧状態からの抵抗値変化量との関係は、関係データ８１として、記憶部８０に予め記憶して備えられている。関係データ８１としては、例えば図７に示されるような関係マップの形態であっても良いし、所定の関係式の形態であっても良い。また、記憶部８０には、非押圧状態での第三電極４２の抵抗値（基準抵抗値）を予め測定して得られた基準データ８２が、記憶して備えられている。押圧力決定部７７は、関係データ８１と実質抵抗値変化（実質抵抗値と基準抵抗値との差）とに基づいて、実質抵抗値変化量に応じた押圧力を決定する。このように、電荷検出部７３による検出結果を利用して環境温度の変化に起因する出力電圧の変動分を補償することで、環境温度等が変化する場合でも押圧力の検出精度の低下を抑制することができる。
【００５９】
しかも、焦電体層５０及び一対の電荷検出電極５１，５２を、第三電極４２に対して前面的に沿うように配置しているので、環境温度やタッチ位置の局所温度をより正確に反映した補償演算を行うことができる。よって、押圧力の検出精度の低下を有効に抑制することができる。
【００６０】
また、本実施形態では、ガラス薄板からなるパネル部材１０に３つの電極２２，３２，４２を形成するＯＧＳ（One Glass Solution）技術を採用しても良く、この場合には薄型のタッチパネル５が実現される。タッチパネル５自体が薄型化されるので、温度変化補償のために焦電体層５０と一対の電荷検出電極５１，５２とを追加的に設ける場合であっても、機器全体の大型化はある程度抑制される。
【００６１】
この場合において、本実施形態では、一対の電荷検出電極５１，５２のうちの一方である第一検出電極５１が、複数の第二電極３２によって兼用構成されている。このように、静電容量方式のタッチパネル５に必須の第二電極３２に第一検出電極５１の機能を担わせることで、従来からあるタッチパネル５に対して追加的に設ける部材を焦電体層５０と１つの電荷検出電極との２層分のみとすることができる。よって、焦電体層５０と一対の電荷検出電極５１，５２との３層分が追加される構成に比べて、タッチパネル５の薄型化を図ることができるとともに、低コスト化を図ることができる。
【００６２】
さらに本実施形態では、一対の電荷検出電極５１，５２のうちの他方である第二検出電極５２が、所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置された複数の電極として構成され、第三電極４２が平面視で複数の第二検出電極５２どうしの間を縫うようにジグザグ状に形成されているとともに、第二検出電極５２と同一平面状に配置されている。このため、第三電極４２と第二検出電極５２とを１層に集約することができる。よって、焦電体層５０と一対の電荷検出電極５１，５２との３層分が追加される構成に比べて、タッチパネル５のさらなる薄型化を図ることができる。また、第三電極４２が１本に繋がった単一の電極として形成されるので、比較的簡素な構成で電気抵抗の変化量を検出することができ、抵抗検出回路の簡素化によって低コスト化を図ることができる。さらに、第三電極４２が、可変静電容量電極としての第一電極２２及び第二電極３２から離間して配置されるので、静電気の影響による押圧力の検出精度の低下を有効に抑制することができるという利点もある。
【００６３】
以上説明したように、本実施形態に係るタッチパネル５によれば、機器全体の大型化及びコストアップを有効に抑制しながらも、環境温度が変化する場合でも押圧力の検出精度を高く維持することができる。
【００６４】
〔その他の実施形態〕
最後に、本発明のその他の実施形態について説明する。なお、以下のそれぞれの実施形態で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。
【００６５】
（１）上記の実施形態では、第三電極４２が、平面視で複数の第二検出電極５２どうしの間を縫うようにジグザグ状に形成されているとともに、第二検出電極５２と同一平面状に配置された構成を例として説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。例えば図８に示すように、第三電極４２が、平面視で複数の第二電極３２どうしの間を縫うようにジグザグ状に形成されているとともに、第二電極３２と同一平面状に配置されていても良い。この場合、焦電体層５０は、第三電極４２を背面側から全面的に覆う状態に配置される。第二検出電極５２は、例えばポリエチレンテレフタレートフィルム等からなる基板５６上に形成されると好適である。
【００６６】
（２）上記の実施形態では、第一検出電極５１が複数の第二電極３２によって兼用構成されている例について説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。例えば図９に示すように、第一検出電極５１と第二電極３２とが完全に別構成であっても良い。この場合、第一検出電極５１は、例えばポリエチレンテレフタレートフィルム等からなる基板５５上に形成されると好適である。なお、この場合において焦電体層５０が「第三電極４２を覆う状態に配置される」とは、当該焦電体層５０とワンセットで用いられる一対の電荷検出電極５１，５２のいずれかを介して第三電極４２を正面側又は背面側から覆うように配置されることを含む概念である。従って、第三電極４２と焦電体層５０との間に第一検出電極５１（基板５５を含む）又は第二検出電極５２（基板５６を含む）が介在されても良い。また、図示の例では、焦電体層５０及びその両側の一対の電荷検出電極５１，５２が、第三電極形成部材４０（第三電極４２）に対して背面側に設けられているが、第二電極形成部材３０（第二電極３２）と第三電極形成部材４０（第三電極４２）との間に設けられても良い。
【００６７】
（３）上記の実施形態では、第一検出電極５１及び第二検出電極５２が、所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置された複数のストライプ状の電極として構成された例について説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。例えば、第一検出電極５１及び第二検出電極５２の少なくとも一方が、焦電体層５０を全面的に覆う単一の平面状の電極として構成されても良い（図８の第二検出電極５２や、図９の第一検出電極５１及び第二検出電極５２を参照）。
【００６８】
（４）上記の実施形態では、第三電極４２が、平面視でジグザグ状を呈するように形成された単一の電極として構成されている例について説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。例えば第三電極４２が、第一電極２２や第二電極３２と同様に、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に所定間隔を隔てて並ぶように互いに平行に配置された複数のストライプ状の電極として構成されても良い（図９を参照）。このような構成では、マルチフォース対応も可能となる。
【００６９】
（５）上記の実施形態において、位置決定部７６及び押圧力決定部７７が、それぞれ予め定められた閾値を超えた値を用いて押圧位置及び押圧力を決定するように構成されても良い。このようにすれば、操作面１０ａに対するユーザーの意図しない接触等に基づく誤入力の発生を抑制することができる。
【００７０】
（６）上記の実施形態では、本発明に係るタッチパネルを電子機器１の一種としての多機能携帯電話に適用した例について説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。電子機器１としては、多機能携帯電話以外にも、例えば従来型携帯電話、ＰＤＡ（Personal Digital Assistant）、携帯音楽プレイヤー、車載用ナビゲーション装置、ＰＮＤ（Portable Navigation Device）、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、携帯ゲーム機、及びタブレット等が挙げられる。これらの電子機器１にも、本発明に係るタッチパネルを好適に適用することが可能である。
【００７１】
（７）上記の実施形態では、本発明を感圧機能付きのタッチパネル５に適用した例について説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。例えば押圧力の検出機能のみを有するデバイス（感圧センサ７）にも、本発明を適用することが可能である。この場合、例えば図１０に示すように、感圧センサ７は、正面側を覆う弾性変形可能な被覆部材１０Ａと、被覆部材１０Ａにおける背面側に配置され、姿勢変化に応じて電気抵抗が変化する可変抵抗電極４２Ａと、被覆部材１０Ａに対して可変抵抗電極４２Ａと同じ側において、可変抵抗電極４２Ａを覆う状態に配置された焦電体層５０と、焦電体層５０に対して積層方向Ｌの両側に配置された一対の電荷検出電極５１，５２とを備える。このような感圧センサ７においても、上記の実施形態で説明したタッチパネル５と同様に、環境温度が変化する場合でも押圧力の検出精度の低下を抑制することができる。なお、図１０においては、上記の実施形態における各部材に対応する部材には同一の符号を付しており、ここでは詳細な説明は省略する。感圧センサ７の場合には、各部材は必ずしも透明性を有していなくても良い。被覆部材１０Ａは、例えば樹脂製の保護フィルム等であって良い。
【００７２】
（８）その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で例示であって、本発明の範囲はそれらによって限定されることはないと理解されるべきである。当業者であれば、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜改変が可能であることを容易に理解できるであろう。従って、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で改変された別の実施形態も、当然、本発明の範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明は、例えば押圧力の検出機能を備えたタッチパネル（感圧機能付きタッチパネル）に利用することができる。
【符号の説明】
【００７４】
５        タッチパネル
７        感圧センサ
１０      パネル部材
１０ａ    操作面
１０Ａ    被覆部材
２２      第一電極
３２      第二電極
４２      第三電極（可変抵抗電極）
４２Ａ    可変抵抗電極
５０      焦電体層
５１      第一検出電極（電荷検出電極）
５２      第二検出電極（電荷検出電極）
７２      抵抗検出部
７３      電荷検出部
７５      入力決定部
７７      押圧力決定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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