(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気流により飛翔する洗浄媒体を、洗浄対象物に衝突させて洗浄する乾式洗浄装置に用いられる洗浄媒体飛散防止部材であって、
前記洗浄対象物を保持する洗浄対象物保持体に、前記洗浄対象物の前記洗浄媒体が衝突する側と反対側に配置されるものであり、
前記洗浄対象物の外面形状に沿って追従変形する芯材と、該芯材の表面を覆う表面材とからなり、
自重によりあるいは押圧力により、前記洗浄対象物の外面形状に沿って追従して変形し、前記洗浄媒体が前記反対側に移動する隙間を塞ぐことを特徴とする洗浄媒体飛散防止部材。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄媒体飛散防止部材において、
前記表面材は前記芯材の追従変形性を阻害せず且つ前記洗浄媒体の衝突に対し耐摩耗性を有する材料で形成されていることを特徴とする洗浄媒体飛散防止部材。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の洗浄媒体飛散防止部材において、
前記芯材が、低反発性の発泡材からなることを特徴とする洗浄媒体飛散防止部材。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の洗浄媒体飛散防止部材において、
前記芯材の前記反対側が剛性を有する部材で支持されていることを特徴とする洗浄媒体飛散防止部材。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の洗浄媒体飛散防止部材において、
前記表面材が取り替え可能に設けられていることを特徴とする洗浄媒体飛散防止部材。
【請求項６】
気流により飛翔する洗浄媒体を、洗浄対象物に衝突させて洗浄する乾式洗浄装置に用いられ、前記洗浄対象物を保持する保持枠を備えた洗浄対象物保持体において、
前記保持枠内に、請求項１〜５のいずれか１つに記載の洗浄媒体飛散防止部材を有していることを特徴とする洗浄対象物保持体。
【請求項７】
請求項６に記載の洗浄対象物保持体において、
前記保持枠が、前記洗浄媒体飛散防止部材を押圧して変形させる押圧手段を有していることを特徴とする洗浄対象物保持体。
【請求項８】
請求項６に記載の洗浄対象物保持体において、
前記保持枠が、前記洗浄媒体飛散防止部材を押し込んで変形させた後の該変形状態を維持する構成を有していることを特徴とする洗浄対象物保持体。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれか１つに記載の洗浄対象物保持体において、
前記保持枠の前記洗浄対象物を保持する領域を、前記洗浄対象物の大きさに応じて調整する保持領域調整手段を有していることを特徴とする洗浄対象物保持体。
【請求項１０】
気流により飛翔する洗浄媒体を洗浄対象物に衝突させて洗浄する洗浄装置であって、前記洗浄媒体が飛翔し、且つ開口部を有する洗浄槽と、前記開口部に前記洗浄対象物を洗浄可能に配置して保持する洗浄対象物保持体とを備えた乾式洗浄装置において、
前記洗浄対象物保持体が、請求項６〜９のいずれか１つに記載のものであることを特徴とする乾式洗浄装置。
【請求項１１】
気流により飛翔する洗浄媒体を洗浄対象物に衝突させて洗浄する洗浄装置であって、前記洗浄媒体を旋回気流により飛翔させ、旋回領域の一部に設けられた開口部から洗浄媒体を洗浄対象物に衝突させて洗浄する洗浄ユニットと、前記洗浄対象物を洗浄可能に配置して保持する洗浄対象物保持体と、前記洗浄ユニットを移動させて洗浄位置を変える洗浄ユニット移動手段とを備えた乾式洗浄装置において、
前記洗浄対象物保持体が、請求項６〜９のいずれか１つに記載のものであることを特徴とする乾式洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、飛翔する洗浄媒体を洗浄対象物に衝突させて洗浄する乾式洗浄装置、該乾式洗浄装置に用いられる洗浄対象物保持体、該洗浄対象物保持体にセットされる洗浄媒体飛散防止部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリント基板の製造におけるフローはんだ槽によるはんだ付け工程において、はんだ付けの処理を行う領域以外をマスクするマスク治具が多く用いられている。このようなマスク治具はディップパレット、フローパレット等と呼称され、板状の部材に開口部が空いた形状を有している。
このようなマスク治具は、繰り返し使用されるうちに、フラックスが表面に堆積して固着しマスクの精度を下げるため、定期的に洗浄する必要があった。
【０００３】
そこで、フラックス、粘着材、又は接着剤等が付着した治具等の洗浄対象物を洗浄するために、溶剤洗浄槽で洗浄対象物の上下両面に溶剤を噴射させて洗浄した後、洗浄対象物に付着した溶剤を水洗いし、洗浄対象物に温風を吹き当てて乾燥する洗浄装置がある。
しかしながら、溶剤を用いる洗浄装置を、フラックス等が付着した洗浄対象物の洗浄に使用した場合、溶剤を大量に使用するだけでなくフラックス等を含んだ廃液の処理及び洗浄後の乾燥処理におけるエネルギーの消費といった環境負荷が大きく、高コストになるという問題がある。
【０００４】
これらの問題を解消するため、軽量で飛翔しやすい固体からなる洗浄媒体を洗浄槽内で高速に飛翔させて、洗浄媒体を洗浄対象物に連続して接触ないし衝突させ、洗浄対象物に付着した付着物を溶剤を使用することなく分離する乾式の洗浄装置が提案されている。
この洗浄装置は、洗浄媒体が洗浄槽の内部で循環して、洗浄対象物に繰り返し衝突するため、少量の洗浄媒体でかつ乾式であっても大きな洗浄効果を発揮する。
特に、可撓性を有する薄片状の洗浄媒体を用いることで、さらに少量の洗浄媒体の使用量で超音波洗浄と同等以上の洗浄能力を発揮することができることが明らかになっている。
【０００５】
特許文献１には、洗浄対象物を洗浄槽の外側に配置し、洗浄槽の開口部に対して洗浄対象物をスライドさせる方式とすることで洗浄槽の容積を小型化するとともに、洗浄媒体を洗浄槽に滞留させることなく飛翔させて表面に凹凸を有する洗浄対象物でも効率良く洗浄することができる洗浄装置が提案されている。
この洗浄装置では、洗浄媒体が洗浄槽外に漏出することを防ぎ、洗浄媒体が飛翔する空間内に洗浄媒体を速やかに戻すことで、洗浄対象物に衝突する洗浄媒体の数量を維持し、安定した洗浄能力を得ることができる。
この装置を具体的に説明すると、図１５に示すように、半円筒状の洗浄槽６の開口部６ａ側に洗浄対象物（フローパレット）４を保持した洗浄対象物保持体３をセットする構成となっている。
洗浄槽６の開口部側には、洗浄媒体５が滞留するプール部１９が形成され、洗浄対象物保持体３は洗浄対象物４を保持した状態でプール部１９を図中左右方向に移動する。洗浄媒体５は樹脂製の薄片状であるが本図では分かりやすくするために、丸形状で表示している。
【０００６】
洗浄槽６の底部中央には図示しない圧縮空気源に接続された洗浄媒体加速ノズル１１が設けられており、ここから噴出する気流により洗浄媒体５は飛翔し、洗浄対象物４に衝突して洗浄対象物４に付着したフラックスを除去する。
洗浄媒体５は図示しない吸引装置に接続された吸引管１８による吸引により洗浄槽６の飛翔空間内に戻され、再度飛翔する動作が繰り返される。
また、飛翔運動エネルギーが消失してプール部１９に滞留した洗浄媒体５は、洗浄対象物保持体３の下面に設けられたスクレーパ２６で洗浄槽へ戻される。
【０００７】
洗浄対象物保持体３は洗浄対象物４よりも長い板形状であり、中央部に洗浄対象物４の形状に合わせた凹形状の洗浄対象物保持部２３を有している。
洗浄対象物保持体３は、ウレタンゴム又は発泡樹脂などの弾性のある部材で構成されており、洗浄対象物４を洗浄対象物保持部２３に押し込んで摩擦力で保持固定するようになっている。
洗浄対象物保持体３は、洗浄媒体によって洗浄するための気流が漏れず、洗浄媒体５が詰まってしまうような間隙を有さない構成となっている。これは、洗浄対象物であるフローパレットが複数の開口を有する板状の部材であるため、洗浄対象物をそのまま洗浄槽の開口部にセットすると、圧縮空気で加速された洗浄媒体が洗浄対象物の開口から飛散してしまい、洗浄槽内で循環しなくなり、洗浄能力が維持できないことを防止するためである。
【０００８】
図１６に基づいて、上記従来装置における洗浄対象物４の洗浄槽開口部へのセット手順を説明する。
洗浄対象物保持体３の洗浄対象物保持部２３に洗浄対象物４を押し込み、洗浄対象物保持体３を裏返しにして洗浄槽ユニット２のプール部１９にセットする。洗浄時には、洗浄対象物保持体３が図示しない移動機構によりスライドされ、洗浄面の移動がなされる。
図１６において、符号２０はリニアガイドを、２１はプール部１９の側面ガイドを示している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記の従来装置における洗浄対象物保持体では、実際使用において以下のような問題があった。
・洗浄対象物の形状に合わせた凹形状の洗浄対象物保持部を有する構成では、その形状の洗浄対象物しか保持できず汎用性がない。すなわち、異なる形状の洗浄対象物に対応する場合には洗浄対象物毎の洗浄対象物保持体を用意しなければならない。
・洗浄対象物保持体に洗浄対象物をセットしたあと、洗浄対象物を洗浄槽側に向けるために、反転させて設置する必要があり、操作がわずらわしい。また、大型の洗浄対象物であれば反転動作そのものが困難であり、労力を要する。
・摩擦による保持は確実ではなく、洗浄槽内に発生する負圧によって吸引され、洗浄対象物保持体から洗浄対象物が外れてしまう可能性がある。
【００１０】
このため、実用上は、洗浄槽の開口部だけを塞ぐ部材と、洗浄対象物を部分的に保持する保持ピンとを備えた枠形状の洗浄対象物保持体を用いることが多い。
洗浄装置に固定された洗浄対象物保持体の枠内に洗浄対象物を上方から入れ、枠の底面側で保持ピンにより洗浄対象物を支持するものである。
枠のサイズは洗浄対象物の外形に一致するように設計されており、外形が異なる洗浄対象物に対しては、枠の一辺をスライドさせて調整するようになっている。
洗浄対象物がフローパレットである場合、作業者はまず、プリント基板もしくはプリント基板と同サイズの板部材をフローパレットの洗浄面とは反対側の面にセットして、フローパレットの開口を塞ぎ、次に枠の中にフローパレット及び板部材を入れ、保持ピンで支持された状態で固定する。
フローパレットの開口は上記板部材によって塞がれ、フローパレットの側面は洗浄対象物保持体の枠内面と密接するため、洗浄媒体が飛散する隙間をなくすことができる。この場合、板部材は洗浄媒体飛散防止部材として機能することとなる。
【００１１】
しかしながら、このような保持方式では、以下の課題が発生する。
（１）洗浄対象物の縦横のサイズが同時に変動する場合に対応できない。
（２）洗浄対象物が四角形以外の形状の場合に対応できない。
（３）複数の種類の洗浄対象物を混在して洗浄する際に段取り変えの負荷が大きい。
【００１２】
本発明は、上記のような現状に鑑みてなされたもので、洗浄対象物の表面形状の違いに拘らず、単一の部材で且つ簡単なセッティング操作で洗浄媒体の飛散を防止でき、洗浄装置に対する洗浄対象物の保持操作の容易化を実現できるとともに、洗浄対象物の表面形状の違い毎に用意することの無駄を無くすことができる洗浄媒体飛散防止部材の提供を、その主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明は、気流により飛翔する洗浄媒体を、洗浄対象物に衝突させて洗浄する乾式洗浄装置に用いられる洗浄媒体飛散防止部材であって、前記洗浄対象物を保持する洗浄対象物保持体に、前記洗浄対象物の前記洗浄媒体が衝突する側と反対側に配置されるものであり、前記洗浄対象物の外面形状に沿って追従変形する芯材と、該芯材の表面を覆う表面材とからなり、自重によりあるいは押圧力により、前記洗浄対象物の外面形状に沿って追従して変形し、前記洗浄媒体が前記反対側に移動する隙間を塞ぐことを特徴とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、洗浄対象物の表面形状の違いに拘らず、単一の部材で且つ簡単なセッティング操作で洗浄媒体の飛散を防止でき、洗浄装置に対する洗浄対象物の保持操作の容易化を実現できるとともに、洗浄対象物の表面形状の違い毎に用意することの無駄を無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る乾式洗浄装置の要部を示す概要構成図である。
【図２】洗浄媒体飛散防止部材の概要断面図である。
【図３】洗浄媒体飛散防止部材のセッティング動作を示す図で、（ａ）は洗浄対象物保持体に挿入した状態を示す図、（ｂ）は押圧により変形した状態を示す図である。
【図４】洗浄媒体飛散防止部材として非変形部材を用いた場合の問題点を説明するための図である。
【図５】第２の実施形態に係る洗浄媒体飛散防止部材を示す図で、（ａ）は洗浄対象物保持体に挿入する前の状態を示す図、（ｂ）は自重により変形した状態を示す図である。
【図６】第３の実施形態に係る洗浄対象物保持体を示す平面図で、（ａ）は保持領域調整手段の構成を示す図、（ｂ）は調整後に洗浄対象物を載置した状態を示す図、（ｃ）は洗浄媒体飛散防止部材をセットした状態を示す図である。
【図７】図６（ｃ）のＹ１−Ｙ１線における断面図である。
【図８】洗浄対象物保持体の変形例を示す斜視図である。
【図９】第４の実施形態に係る乾式洗浄装置を示す図で、（ａ）は洗浄媒体飛散防止ユニットを開放した状態を示す図、（ｂ）は洗浄媒体飛散防止ユニット及びシャッター部材を閉じて洗浄可能な状態を示す図である。
【図１０】洗浄媒体飛散防止ユニットを示す図で、（ａ）は洗浄対象物を保持した状態の平面図、（ｂ）は（ａ）のＹ２−Ｙ２線での断面図である。
【図１１】第５の実施形態に係る乾式洗浄装置を示す概要正面図である。
【図１２】同装置の概要側面図である。
【図１３】同装置の使用状態を示す図で、（ａ）は洗浄対象物が排出される状態を示す概要正面図、（ｂ）は（ａ）のＹ３−Ｙ３線での断面における洗浄媒体の払い落とし動作を示す図である。
【図１４】第６の実施形態に係る乾式洗浄装置を示す図で、（ａ）は洗浄対象物保持体を省略した状態の洗浄状態を示す側面図、（ｂ）は洗浄状態を示す正面図、（ｃ）は洗浄ユニットの移動軌跡を示す平面図である。
【図１５】従来における乾式洗浄装置の要部断面図である。
【図１６】従来の乾式洗浄装置における洗浄対象物のセット手順を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図を参照して説明する。なお、上記従来装置と同一部分は同一符号で示し、特に必要がない場合にはその説明を適宜省略する。
図１乃至図４に基づいて、第１の実施形態を説明する。図１は、本実施形態に係る乾式洗浄装置１の要部を示している。乾式洗浄装置１は、洗浄槽ユニット２と、洗浄対象物保持体１２とを有している。
洗浄槽ユニット２は、洗浄槽６と、洗浄媒体加速部７と、プール部１９とを有している。洗浄槽６の吸引管１８が対向する部分には、分離部１０が設けられている。分離部１０と吸引管１８との間には、洗浄槽６から外部に膨らむように形成された空隙部８が形成されている。
洗浄槽６は、両側が閉塞された半円筒形に形成され、上部に開口部６ａを有している。空隙部８は断面半円形状で洗浄槽６の長手方向に延びている。
分離部１０は、気体及び粉塵などは通過することができるが、洗浄媒体５が通過できないよう小孔又はスリットを多数有する。分離部１０は、例えば、金網、プラスチック網、メッシュ、パンチングメタル、又はスリット板といった多孔性部材で洗浄媒体が滞留しない滑らかな形状に形成される。
特許文献１の図１に記載されているように、洗浄槽６は、洗浄槽本体の内部に分離部を設けた二重構造としてもよい。
【００１７】
分離部１０は空隙部８を介して吸引ダクト１８に接続され、吸引ダクトは図示しない吸引装置に接続されている。吸引装置は、吸引ダクトと分離部とを介して洗浄槽内の空気を吸引する。吸引装置は洗浄媒体加速ノズル１１から噴出される空気の流量に比べて十分な空気の流量を吸引し、洗浄槽内を負圧にする性能を有している。
洗浄媒体加速部７は、複数の噴出口を有する洗浄媒体加速ノズル１１と、コンプレッサからなる図示しない圧縮空気供給装置を有している。
洗浄媒体加速ノズル１１は、複数の噴出口が洗浄槽の底面中心に沿って一直線になるように配置されている。洗浄媒体加速ノズル１１は図示しない圧縮空気供給装置に、制御弁を有する送気管を介して接続されている。圧縮空気供給装置は洗浄媒体加速ノズルに圧縮空気を供給し、洗浄媒体５を飛翔させる。
【００１８】
上述のように、凹形状に形成されたプール部１９は一定長さを有しており、洗浄槽の両側に設けられている。このプール部１９の水平な面の角部には、例えば厚さが約５ｍｍの角柱形状のリニアガイド２０を有している。リニアガイド２０の表面はフッ素樹脂のような滑らかな材質で形成されている。
また、リニアガイド２０は洗浄対象物保持体１２を保持し、プール部の平行な側面ガイド２１とともに洗浄対象物保持体１２の図中左右方向の移動を案内する。
洗浄対象物保持体１２は、例えば、直動モータ、エアシリンダ又はワイヤー駆動部等の図示しない駆動部に接続されている。図示しない制御装置からの制御信号により駆動部が駆動され、洗浄槽ユニットの動作と並行してプール部に沿って洗浄対象物保持体１２が移動する。プール部は、洗浄対象物保持体１２で保持された洗浄対象物の移動範囲以上の面積を有している。
【００１９】
洗浄対象物保持体１２は、洗浄対象物４を開口部６ａに臨むように保持する保持枠１４と、保持枠１４内に配置された洗浄媒体飛散防止部材２２Ａを押圧する押圧手段２４とを有している。
保持枠１４は、開口部６ａの面積よりも大きい輪郭を有し、開口部６ａの上方を覆う矩形の枠形状をなすベース部２８と、ベース部２８の四辺から上方に立ち上げられた枠壁３０とを有している。枠壁３０は板金折り曲げ加工によって矩形の枠体として形成されており、各枠壁３０の上端部は、保持枠１４内に洗浄媒体飛散防止部材２２Ａを入れやすくするために外側に折り曲げられている。
ベース部２８の対向する辺部には、内方へ突出して洗浄対象物４を支持する保持ピン３２が設けられている。また、ベース部２８の下面には、プール部１９に溜まった洗浄媒体５を洗浄槽６側へ戻す漏れ防止部材３４が設けられている。漏れ防止部材３４は、密状態に植毛されたブラシ状部材から構成されており、洗浄媒体５の漏れは防止するが空気の通りは許容する。
【００２０】
押圧手段２４はトグルクランプの構成を有しており、ベース部２８に固定される支持部材３６と、支持部材３６に回動自在に支持された円弧状のアーム３８と、アーム３８の先端にネジ軸を介して取り付けられた調整パッド４０とを有している。
アーム３８を洗浄媒体飛散防止部材２２Ａ側に回動して押圧し、図示しないレバーを操作することにより押圧状態がロックされるようになっている。
押圧手段２４は、洗浄対象物４に対する保持枠１４の最大保持面積を押圧可能に４箇所に対向して配置されており（図８参照）、各調整パッド４０の位置を調整することにより、４箇所での押圧力を均一にすることができる。ベース部２８に対する支持部材３６の位置は固定してもよいが、着脱自在なネジ固定方式とし、押圧位置を変えられるようにしてもよい。
【００２１】
図２に示すように、洗浄媒体飛散防止部材２２Ａは、洗浄対象物４の外面形状に沿って追従変形する芯材４２と、芯材４２の洗浄媒体５が衝突する面と反対側の面に固定された剛性を有する部材としてのプラスチック製の面板４４と、少なくとも芯材４２の表面を覆う表面材４６とから構成されている。他の図においては表面材４６の表示を適宜省略する。
表面材４６は、芯材４２の追従変形性を阻害せず且つ洗浄媒体５の衝突に対し耐摩耗性を有する材料で形成されている。
本実施形態では、芯材４２は低反発性ウレタンスポンジから構成されており、表面材４６はストレッチ生地から構成されている。表面材４６の上端は面板４４に接着等の手段で固定されており（図１では省略）、装置とは分離した１つのユニットとしてなる。
ここで、「低反発性」とは、厳密には低反発弾性であり、反発弾性率が１５％程度以下（JIS K 6400-3）のものであり、低反発性の発泡材とは、例えば、ポリウレタン樹脂を組成とした連通気泡の発泡体である。
【００２２】
芯材４２は、それ自体は柔らかく物としての取扱い性があまりよくないが、剛性を有する面板４４と一体化することにより、取扱いやすくなる。面板４４は少ない押圧ポイント（本実施形態では４箇所）で芯材４２の全体に亘って均一な押圧力を付与するための介在部材でもある。
【００２３】
次に、本実施形態に係る乾式洗浄装置１による洗浄動作の手順を説明する。
まず、洗浄槽６に洗浄対象物４の洗浄に適した量（予め実験により求められている）の洗浄媒体５を投入する。
次に、図３（ａ）に示すように、保持枠１４内に洗浄対象物としてのフローパレット４を挿入し、保持ピン３２で支持された状態に載置する。次に、洗浄媒体飛散防止部材２２Ａをその上から保持枠１４に挿入する。保持枠１４と洗浄媒体飛散防止部材２２Ａとの間には若干の隙間があり、容易に挿入することができる。
洗浄媒体飛散防止部材２２Ａを挿入しただけの状態では、洗浄媒体飛散防止部材２２Ａの下面がフローパレット４の最も高さの大きい凸部４ａで規制される。このままの状態で洗浄がなされると、保持枠１４の上方外側へ洗浄媒体５が飛散することは防止されるが、洗浄媒体５がフローパレット４の両側における保持枠１４との間の隙間やフローパレット４の開口４ｂを通ってフローパレット４の上面に堆積し、洗浄時間の経過とともに洗浄媒体５の数量が減って洗浄能力が低下していくことを避けられない。
図３において、符号４ｄは、洗浄対象物４を保持ピン３２に載置するための載置片４ｄを示している。
【００２４】
洗浄媒体飛散防止部材２２Ａを挿入した後に、上述のように押圧手段２４で押圧してロックすると、図３（ｂ）に示すように、押圧力によって芯材４２がフローパレット４の外面形状に沿って変形する。表面材４６も芯材４２の変形に追従する変形性を有しているので、凸部４ａよりも高さの低い凸部４ｃが混在していても洗浄媒体飛散防止部材２２Ａはフローパレット４の外面形状に沿って変形し、フローパレット４と保持枠１４との間の隙間や、開口４ｂが塞がれる。
図４に示すように、保持枠１４内のフローパレット４の上部を剛性板材やゴム板等の部材５０で塞いでも、洗浄媒体５が載置片４ｄを含むフローパレット４の上面に堆積してその数量が低下する。
特許文献１に記載の「凹部に弾性で保持する方式」ではこの問題を解消できるが、上述のようにフローパレット４の形状の変化に一対一でしか対応できず、洗浄対象物の形状に対応した数量の洗浄対象物保持体を用意する必要がある。
【００２５】
本実施形態では、図３（ｂ）に示すように、洗浄媒体飛散防止部材２２Ａで密接に塞がれるので、洗浄媒体５の堆積は防止され、フローパレット４の洗浄面に衝突しなかったもの、換言すれば、洗浄媒体飛散防止部材２２Ａがなければ開口４ｂ等を経て洗浄対象物４の上面に堆積する可能性の高いものも確実に洗浄槽６へ戻される。
洗浄媒体飛散防止部材２２Ａは洗浄対象物４の形状がどのようなものであってもそれに沿って任意に変形するので、１つのもので全ての洗浄対象物４に対応可能となる。
フローパレットのフラックスが付着していない上面には、プリント基板を固定するための部材が多く配置されているが、低反発スポンジおよびストレッチ生地が柔軟に変形することで、開口４ｂに密接することができる。また、低反発スポンジであるので、押し付けられても洗浄対象物に大きな負荷が掛かることはない。
また、洗浄媒体飛散防止部材２２Ａは押圧変形により保持枠１４の内面に密接するので、保持枠１４と洗浄媒体飛散防止部材２２Ａとの間に隙間が存在することによる空気漏れによる洗浄媒体５の飛翔速度の低下も抑制される。
【００２６】
洗浄媒体飛散防止部材２２Ａを押圧してロックすると、フローパレット４と洗浄槽６との間に、洗浄媒体５を飛翔させる閉空間が形成される。この状態で図示しない制御装置で吸引装置を駆動させると、洗浄媒体が飛翔する空間内の空気が吸引される。次に、図示しない制御装置は圧縮空気供給装置を駆動して、洗浄媒体加速ノズル１１に圧縮空気を供給することで洗浄媒体加速ノズル１１から洗浄槽内に垂直上方向の気流を発生させる。
この気流によって洗浄媒体５が飛翔してフローパレット４に衝突することでフローパレットの表面に付着している固着フラックスを効率良く除去する。フローパレットに衝突した洗浄媒体は、気流の流れと重力とによって落下し、分離部１０上で吸引されながら洗浄媒体加速ノズル１１の近傍に滑り落ちる。
このとき、洗浄媒体に付着した粉状のフラックスが吸引される。分離部１０で分離された付着物は吸気ダクト１８を通って吸引装置により回収される。
また、洗浄媒体加速ノズル１１の近傍に落下した洗浄媒体は、再び洗浄媒体加速ノズル１１により噴射された気流によって垂直上方向に飛翔する。この動作を繰り返すことにより、乾式洗浄装置はフローパレットの表面に付着した固着フラックスを除去する。
【００２７】
飛翔する洗浄媒体５によりフローパレット４を洗浄しているとき、プール部１９と洗浄対象物保持体１２との間隙に、洗浄媒体の一部が入り込む。しかしながら、洗浄媒体は洗浄対象物保持体１２の下部に配置された漏れ防止部材３４にブロックされるため、洗浄装置の外側には漏れず、最終的にはプール部１９の上に堆積する。
プール部１９上に堆積した洗浄媒体は、洗浄対象物保持体１２の往復動作に伴い、漏れ防止部材３４のスクレープ機能により洗浄槽６に掃き戻される。洗浄槽に掃き戻された洗浄媒体は、再び洗浄媒体加速ノズル１１から噴射された気流によって垂直上方向に飛翔する。この動作を繰り返すことにより、フローパレットの表面に付着した付着物が除去される。
【００２８】
洗浄媒体飛散防止部材２２Ａによって洗浄媒体５が上方向に飛散する隙間がなくなるため、洗浄媒体５は洗浄槽６およびプール部１９上を数量が減少することなく循環する。このことにより、長時間洗浄装置を稼働させても、洗浄媒体の欠乏による洗浄能力の低下は発生しない。
このように洗浄対象物保持体１２を洗浄槽６に対して往復移動させてフローパレットを洗浄することにより、大きな面積を有するフローパレットでも確実に洗浄することができる。
【００２９】
洗浄媒体飛散防止部材２２Ａは、表面材４６を設けずに芯材４２のみとしてよいが、実験により芯材４２として低反発性ウレタンスポンジを採用した場合、洗浄媒体５の衝突によりスポンジ表面の損傷が早期に進行することが分かった。損傷が大きい場合には、良好な変形性が阻害される。
本実施形態ではこの問題を解消すべく、変形性と、洗浄媒体５に対する耐性とを分離してそれぞれ別部材で担わせることにより、洗浄媒体飛散防止部材２２Ａの早期劣化を抑制することとしたものである。
低反発性ウレタンスポンジの表面に低反発性ウレタンスポンジの変形性を阻害せず、洗浄媒体５に対する耐摩耗性を有するコーティング処理等を行ってもよい。
【００３０】
ストレッチ生地で形成された表面材４６の耐摩耗性は永久的なものではなく、繰り返し使用により劣化する。
このため、表面材４６のみを交換可能とすれば、洗浄媒体飛散防止部材をユニット全体として交換するよりもコスト的に有利である。
本実施形態では、図２に示すように、表面材４６の上端は面板４４に固定されているが、面状ファスナーで着脱可能として交換できるようにしてもよい。また、芯材４２と面板４４を包み込む袋状に形成し、ファスナーの開閉で着脱できるようにしてもよい。
本実施形態では、芯材４２として低反発性ウレタンスポンジを採用したが、上記変形性を得ることができれば何でも良く、例えば空気や水等の流体や粉体、粒状体等でもよい。
【００３１】
洗浄媒体５は、鉛筆硬度（JIS K-5600-5-4に準拠して計測される特性）が固着フラックスの硬度以上に硬くて、かつ耐折性（JIS P8115に準拠して計測される特性）が４５以下で、連続で衝撃を与え続けると割れて新たなエッジを生じることにより、固着除去能力を維持する性質を有する。洗浄媒体５の厚さは0.05〜0.2ｍｍであり、面積は１〜１００ｍｍ２の矩形状をした薄片である。
本実施形態では、上記の厚さやサイズの洗浄媒体を用いているが、洗浄対象物によってサイズや材質を変えることが効果的であり、これに限るものではない。
薄片状の洗浄媒体は、投影面積が大きい方向に気流の力が作用した場合、空気抵抗力に対する質量が非常に小さいため気流によって容易に加速されて飛翔する。また、投影面積が小さい方向には空気抵抗が小さく、その方向へ飛翔した場合、高速運動が長距離にわたって維持される。このため洗浄媒体の持つエネルギーが大きく、洗浄対象物に接触したときに作用する力が大きくなって、洗浄対象物の表面に付着した付着物を有効に除去することができるとともに、洗浄媒体を繰り返し循環して洗浄対象物に接触する頻度が増すので洗浄効率を高めることができる。
【００３２】
図５に第２の実施形態を示す。なお、上記実施形態と同一部分は同一符号で示し特に必要がない限り、既にした構成上及び機能上の説明は省略して要部のみ説明する（以下の他の実施形態において同じ）。
上記実施形態では、押圧手段２４により押圧して洗浄媒体飛散防止部材２２Ａを変形させる構成としたが、本実施形態では芯材４２の自重を利用している。
本実施形態における洗浄媒体飛散防止部材２２Ｂの芯材４２は、ビニール等の軟質の袋にビーズ等の粒状体を入れて構成されている。面板４４は取っ手５２を有しており、作業者が洗浄媒体飛散防止部材２２Ｂを持ち上げて保持枠１４内に落とし込む方式となっている。
洗浄媒体飛散防止部材２２Ｂを落とし込むと、洗浄媒体飛散防止部材２２Ｂは図５（ｂ）に示すように、自重変形性により図３（ｂ）と同様の飛散防止構造を得ることができる。
【００３３】
本実施形態では、押圧手段２４は不要であり、複数の押圧手段２４を操作（ロック、解除）する煩わしさはない。重量物としての洗浄媒体飛散防止部材２２Ｂを取り扱う労力上の不便さはあるが、装置に簡易なクレーン機構を設けて洗浄媒体飛散防止部材２２Ｂの昇降を自動化することもできる。
押圧手段２４を用いない構成としては、他に、面板４４の面積を若干小さくし、あるいは面板４４を無くし、枠壁３０の内側の周囲に水平に突出する突縁を設けて保持枠１４の挿入開口面積を狭くし、低反発性ウレタンスポンジ等からなる洗浄媒体飛散防止部材を手で押し込んで変形させ、上記突縁で洗浄媒体飛散防止部材の復元を止めて変形状態を維持する構成を採用することもできる。
【００３４】
図６及び図７に基づいて第３の実施形態を説明する。
本実施形態では、図６に示すように、保持枠１４の洗浄対象物４を保持する領域を、洗浄対象物４の大きさに応じて調整する保持領域調整手段５４を有していることを特徴とする。
上記のように、洗浄対象物４の外表面の形状（凹凸形状）も様々なものが存在するが、その大きさ（縦・横サイズ）も色々なサイズが存在する。本実施形態ではこの縦横の不定サイズに対応すべく、ベース部２８の一辺部に保持領域調整手段５４を設けている。
保持領域調整手段５４は、ベース部２８の一辺部に挿通・支持され、図中左右方向にスライド自在な調整軸５６と、調整軸５６の先端部に設けられた可動プレート５８と、可動プレート５８の先端に固定された保持ピン３２とを有している。
【００３５】
保持枠１４の開口面積（最大保持領域）よりもサイズの小さい洗浄対象物４を洗浄するときは、図６（ａ）に示すように、調整軸５６を操作して可動プレート５８を平行移動させ、保持領域を洗浄対象物４に合うように狭める。これにより小さいフローパレットであっても枠内に固定することができる。
図６（ｂ）は、調整後に洗浄対象物４を保持ピン３２上に載置した状態を示している。
このような小サイズの洗浄対象物４を洗浄する場合でも、洗浄媒体飛散防止部材２２のサイズは一定であり、図６（ｃ）に示すように最大保持領域をカバーするサイズとなっている。
【００３６】
図７は、図６（ｃ）のＹ−Ｙ線での断面を示している。保持領域調整手段５４により洗浄対象物４の保持領域を変更しても、洗浄媒体飛散防止部材２２は最大保持領域に対応したサイズであるため、押圧手段２４により押圧すると、洗浄対象物４が存在しない空間領域Ｘにおいても洗浄媒体飛散防止部材２２の任意変形によって塞がれ、洗浄媒体５が上方に飛散してその数量が減少することはない。
洗浄対象物４のサイズによっては、図６（ｂ）の保持領域の図中下側にも空白領域ができるが、この領域も同様に洗浄媒体飛散防止部材２２の変形性によって塞がれる。
図８に示すように、ベース部２８が枠壁３０を兼ねる保持枠１４０を構成し、保持領域調整手段５４は、安定した調整操作が行えるように複数本（ここでは３本）の調整軸５６を備えた構成としてもよい。
図面上見えないが、可動プレート５８の移動方向前面下端部には保持ピン３２が設けられている。各調整軸５６は保持枠１４０の外側において連結プレート５５で連結されており、中央部の調整軸５６を固定ネジ５７で固定することにより調整後の位置が固定される。
【００３７】
図９及び図１０に基づいて第４の実施形態を説明する。
上記各実施形態では、洗浄対象物保持体と洗浄媒体飛散防止部材とを別体にして洗浄媒体の漏れを防止する構成としたが、本実施形態では、これらを一体化して、より確実に洗浄媒体の漏れを防止し、かつ洗浄対象物の固定を容易にする構成としたことを特徴とする。
図９に示すように、本実施形態に係る乾式洗浄装置６０は、ベース６２と、該ベース６２から上方に延びる装置本体６４とからなる縦型の使用スタイルとなっている。
プール部１９を形成する面が、垂直からわずかに図中左側に傾斜した角度で配置されている。装置本体６４のプール部１９の中心には、第１の実施形態と同様の構成の洗浄槽ユニット２が配置されている。洗浄対象物保持体のベース部２８が、洗浄槽ユニットの開口部に相対する位置に、図示しない直動手段に接続されて配置されている。
【００３８】
ベース部２８の一辺部には、蝶番６６によって、保持枠と洗浄媒体飛散防止部材とが一体化した洗浄媒体飛散防止ユニット６８が接続されている。また、蝶番６６と反対側の辺部には、ベース部２８と洗浄媒体飛散防止ユニット６８とを接続して固定するロック機構７０が配置されている。
洗浄媒体飛散防止ユニット６８の側面には、ピン長さを調整できる保持ピン部材７２が配置されている。さらに保持ピン部材７２は、洗浄媒体飛散防止ユニット６８の洗浄媒体飛散防止部材２２Ａに沿った位置で保持ピン部材７２をロックする保持ピンロック機構７４を備えている。
【００３９】
洗浄媒体飛散防止ユニット６８が移動する領域は、安全のため、外装部材と、開閉自在なシャッター部材７８とで閉空間とされている。シャッター部材７８はスライドする３枚の板状部材７８ａ、７８ｂ、７８ｃとからなり、シャッター部材７８を開いた状態では、図９（ａ）に示すように、蝶番６６を支点に手前に開いた洗浄媒体飛散防止ユニット６８を支えることができる。
【００４０】
乾式洗浄装置６０の使用動作を説明する。
作業者はまずシャッター部材７８を開き、洗浄媒体飛散防止ユニット６８のロック機構７０を解除して、洗浄媒体飛散防止ユニット６８を手前に倒す。洗浄媒体飛散防止ユニット６８は、蝶番６６と開いたシャッター部材７８で保持される。このとき、洗浄媒体飛散防止部材２２Ａは、低反発性ウレタンスポンジを被覆したストレッチ生地が上になった状態となる。作業者は洗浄対象物４の洗浄したい面を上にして、洗浄媒体飛散防止ユニット内に置く。
次に、図１０に示すように、保持ピン部材７２の長さを調整して、洗浄対象物４の一方の端を保持ピン３２の下に潜り込ませる。そして、洗浄対象物４を手で押さえ付け、洗浄媒体飛散防止部材２２Ａ中に押し込み、他方の保持ピン部材７２を伸張させて保持ピン固定手段７４により位置を固定する。
【００４１】
このような動作により、洗浄対象物４は洗浄媒体飛散防止部材２２Ａに押し付けられた状態で保持される。このとき、洗浄対象物４が洗浄媒体飛散防止ユニット６８の外枠の高さ以下に配置されるように、保持ピンを配置する。
次に、洗浄媒体飛散防止ユニット全体を、蝶番を支点に回転させ、図９（ｂ）に示すように、ベース部に接続してロック機構により固定する。
このような状態で、シャッター部材７８を閉じ、装置を稼働させると、第１の実施形態の場合と同様に、洗浄媒体が圧縮空気によって加速され、洗浄対象物に衝突して付着物を除去する。
また、洗浄媒体飛散防止ユニット６８によって、洗浄媒体５は洗浄槽６およびプール部１９の外に漏れ出すことはない。
洗浄媒体飛散防止部材２２Ａと保持枠とが一体化しているため、上記各実施形態に比べ洗浄媒体の漏れ防止機能を高めることができる。また、洗浄媒体飛散防止部材を一体化したことにより、作業者の手間を低減できる。
【００４２】
図１１乃至図１３に基づいて第５の実施形態を説明する。
本実施形態では、複数の洗浄対象物を連続で洗浄することに適した構成を特徴としている。
洗浄媒体飛散防止部材を用いない従来の乾式洗浄装置や、上記各実施形態における乾式洗浄装置では、個々に洗浄対象物を洗浄対象物保持体に固定する手間が生じるため、連続して複数の洗浄対象物を洗浄装置に投入することが極めて困難である。
本実施形態では、洗浄媒体飛散防止部材２２Ｃとして、芯材としての低反発性ウレタンスポンジローラ８０を表面材としてのストレッチ生地８２によって被覆されたスポンジローラを使用する。以下、低反発性ウレタンスポンジローラ８０とストレッチ生地８２とを含めて「スポンジローラ８０」という。
また、洗浄槽ユニットとして、吸気吸引により発生する旋回気流を用いて洗浄媒体を飛翔させるドラム状筐体構成を採用している。
スポンジローラ８０は、洗浄対象物がない状態で、洗浄槽ユニット８４の開口部８６を塞ぐのに十分な半径を有している。
【００４３】
洗浄対象物としてフローパレット（以下、「パレット」という）を用いる例について説明する。
スポンジローラ８０は回転することにより、搬送されるパレット表面に押し付けられ、パレット４の開口部を塞ぐ。
洗浄槽ユニット８４及びスポンジローラ８０の前後には、パレット４を搬送できる搬送装置（ローダ・アンローダ）８８が配置されており、パレット４はどちらか一方に必ず保持されて平行移動するようになっている。
スポンジローラ８０は回転軸８１で支持されており、パレット４の移動で従動回転する。
【００４４】
洗浄槽ユニット８４の下流には、図示しない圧縮空気供給装置に接続されたエアノズル９０を用いた払落しスペース９２が設けられており、スポンジローラ８０およびパレット４に残留した洗浄媒体を払い落とす機能を備えている。
払い落とされた洗浄媒体は、ダクトを経由して洗浄槽ユニット８４のインレット（通気口）９４近辺に落下する構成となっており、洗浄媒体はインレット９４から吸引されて再び洗浄槽ユニット８４内の旋回気流９６によって飛翔する。図１１において、符号９５は旋回気流の流路断面形状を規定する流路制限部材を示している。円筒状の流路制限部材９５は、洗浄媒体５を通さない多孔性の分離手段としても機能し、洗浄槽ユニット８４の開口部８６がパレットで塞がれない状態では、インレット９４からの空気流入が少なく、吸引管１８を介した吸気により洗浄媒体５は流路制限部材９５に吸着される。
このような構成にすることにより、洗浄対象物に付着した洗浄媒体の飛翔空間からの持ち出し（飛散）により、洗浄槽ユニット内部の洗浄媒体の数量が減少するのを防ぐことができる。
図１２において、符号８３は漏れを防止するための側壁を示している。
【００４５】
図１３に本実施例の払落しスペースの構成を示す。図１３（ｂ）に示すように、パレット４の側面からラッパ状のエアノズル９０によって広い範囲に圧縮空気を吹き付け、パレットの上下面に付着した洗浄媒体を同時に一定の方向に吹き払っている。エアノズル９０からのエアー吐出量は、エアバルブ９１によって調整される。
吹き払われた側面には、吹き払いスペースの上下を連通する間隙が設けられており、パレットの上面に付着していて吹き払われた洗浄媒体は、この間隙を通って吹き払いスペースの下部に落下する。吹き払いスペースはインレット９４に連通しており、インレット９４に向かう方向に吸引気流が発生している。
このため、落下した洗浄媒体は吸引気流で搬送されてインレット９４に吸い込まれ、再び洗浄槽ユニット内に回帰する。
【００４６】
インレット９４に吸引される気流は、吹き払いスペースの洗浄対象物出口１００から供給される。このため、洗浄対象物出口１００には常に吹き払いスペース内に吸い込まれる方向で気流が発生しているため、エアノズル９０の気流や洗浄媒体が、ユニット外に漏れ出すことはほとんどない。
洗浄対象物出口１００に、暖簾状の部材を配置すれば、より確実に洗浄媒体の漏れを防ぐことができる。
また、スポンジローラ８０に接触するスクレーパ１０２を配置し、スポンジローラ８０の表面に静電気などで付着した洗浄媒体を掻き落とし、払落しスペース９２に落下させることで洗浄槽ユニット内に回収する。
このような構成にすることにより、板状の洗浄対象物を連続で洗浄できる装置が実現できる。
【００４７】
図１４に基づいて第６の実施形態を説明する。
本実施形態における乾式洗浄装置（パレット洗浄装置）１１０は、洗浄媒体を旋回気流により飛翔させ、旋回領域の一部に設けられた開口部から洗浄媒体を洗浄対象物に衝突させて洗浄する洗浄ユニット１１２と、洗浄対象物を洗浄可能に配置して保持する洗浄対象物保持体１１４と、洗浄ユニット１１２を移動させて洗浄位置を変える洗浄ユニット移動手段としての３軸タイプの直交ロボット１１６とを備えている。
直交ロボット１１６は、図中左右方向（矢印Ｄ１方向）の移動を担うＸ軸１１８と、紙面厚み方向の移動を担うＹ軸１２０と、上下方向の移動を担うＺ軸１２２と、これらの可動軸を支持するベースと、これらの可動軸の動きを制御する図示しない制御手段と有している。
洗浄ユニット１１２は、Ｚ軸１２２の下端にバネ部材１２３を介して取り付けられている。
洗浄対象物保持体１１４は、洗浄媒体飛散防止部材２２を支持する支持フレーム１２４と、該支持フレーム１２４から上方に延びる一対の保持枠１２６、１２８と、保持枠１２６、１２８内に収容された洗浄媒体飛散防止部材２２とを有している。
支持フレーム１２４は、直交ロボット１１６の上記ベースを兼ねている。
【００４８】
一方の保持枠１２８には、洗浄媒体飛散防止部材２２の反発力による洗浄対象物としてのパレット４の浮き上がりを阻止する保持ピン３２が複数本固定されている。他方の保持枠１２６には、寸法の長い複数の保持ピン３２が、色々なサイズのパレットを保持可能に水平方向（矢印Ｈ方向）に移動自在に設けられている。
上記実施形態では、洗浄媒体飛散防止部材２２を洗浄対象物４の上方から覆い被せる洗浄構成を採ったが、本実施形態では逆構成となっている。
【００４９】
洗浄ユニット１１２には、吸引ホース１３０が接続されており、吸引ホース１３０には図示しない吸引装置が接続されている。
洗浄ユニット１１２は、筐体内部で高速の旋回気流を生じさせて洗浄媒体を循環飛翔させ、旋回領域の一部に設けている開口部１１２ａで洗浄媒体を洗浄対象物４に衝突させて洗浄する構成を有している。
上記吸引装置で吸引している状態で、上記開口部１１２ａが洗浄対象物４に当接して塞がれると、通気口としてのインレット１１２ｂから外部空気が高速で流入し、筐体中央の円筒部材１１２ｃを旋回軸として旋回気流が生成され、筐体内部に保持されている洗浄媒体が飛翔する。
【００５０】
吸引装置に接続される部分と筐体内部との間には、除去物を通し洗浄媒体を通さない大きさの孔を有する図示しない多孔性部材が設けられている。吸引によって筐体内部が負圧化されると、旋回気流が生じるまでは、洗浄媒体は多孔性部材に吸着保持される。
したがって、洗浄対象物４から開口部１１２ａが離れても、筐体内部の洗浄媒体は保持され、外部に漏れない。
洗浄ユニット１１２としては、本出願人による特開２０１２−０５０９７３号公報に記載のクリーニング筐体を利用している。バネ部材１２３を介したＺ軸１２２との連結を容易にするために、上記クリーニング筐体を矩形のケーシングで覆い、該ケーシングにバネ部材１２３を固定している。
【００５１】
洗浄ユニット１１２の開口部１１２ａの周りには、表面のすべりがよく、柔軟性のある部材で形成されたシール部材１３２が設けられている。これにより、開口部１１２ａをパレット４の表面凹凸に追随して密着させることができる。シール部材１３２としては、ナイロンの毛を植毛したブラシや、スポンジの表面にフェルト生地で被覆したものなどを使用すると良い。
【００５２】
本実施形態に係る乾式洗浄装置１１０の動作について述べる。
まず、作業者は洗浄ユニット１１２の筐体内に洗浄媒体を適量供給する。供給は、開口部１１２ａから吸い込んでもよく、インレット１１２ｂから投入してもよい。
次に、作業者はパレット４を洗浄媒体飛散防止部材２２の上におき、固定の保持ピン３２の下にパレット４の一端部を挿入し、他端部を押し込んで可動の保持ピン３２を操作して押え付ける。
パレット４を固定したら、パレットのすべての開口部が洗浄媒体飛散防止部材２２で塞がれていることを確認して、図示しない制御手段に稼動開始信号を入力する。
制御手段は、上記吸引装置を稼動させ、次に直交ロボット１１６のXY軸を稼動させて、洗浄ユニット１１２をパレット４の隅（洗浄ホームポジション）に移動させる。
【００５３】
次に、直交ロボット１１６のZ軸を稼動させて洗浄ユニット１１２を下降させ、バネ部材１２３が一定量撓むまで、パレットに押し付ける。
この押圧によって、シール部材１３２が変形してパレットに密着し、洗浄ユニットの開口部１１２ａが塞がれて洗浄ユニット内の圧力が吸引により低下する。
これに伴って洗浄ユニットにインレット１１２ｂから流れ込む気流が増大し、洗浄ユニットの筐体内に旋回気流が発生して洗浄媒体が飛翔し、開口部１１２ａに密接したパレットに洗浄媒体が衝突する。
これにより、パレット表面に付着したフラックスを高速に除去することができる。
【００５４】
次に、制御手段は、洗浄ユニット１１２を、図１４（ｃ）に点線で示すように、パレットに接触したまま矩形の軌道で平行移動させる。
パレットの表面にうねりや凹凸があっても、Z軸方向のバネ部材１２３により、押し付け状態を保ったまま平行移動することができる。
平行移動することにより、洗浄ユニットの開口部１１２ａより広い領域を洗浄することができ、さらに洗浄媒体飛散防止部材２２の変形効果により、パレットの端部や開口部周りであっても隙間が生じず、洗浄ユニットの開口部から洗浄媒体が漏れ出すことなく、パレット全面を洗浄することができる。洗浄ユニット１１２の洗浄軌道は予めプログラムされている。
また、特開２０１２−０５０９７３号公報で説明されている「洗浄媒体飛翔・吸着効果」により、洗浄対象物から洗浄ユニットを離しても、洗浄媒体が外部にもれ出ることがないため、不連続な軌道をとることも可能である。
【００５５】
パレットの形状が、枠だけであったり、異形状である場合には、形状に合わせた軌道を取って洗浄ユニットを動かすことが望ましい。そのように軌道を最適化することにより、短時間で洗浄が完了し、洗浄媒体の消耗も少なくてすむ。
本実施形態では洗浄ユニットの移動手段として直交ロボットを用いたが、水平多関節ロボットや垂直多関節ロボットを用いてもよい。
また、本実施形態では洗浄する面を上に向けて配置したが、洗浄媒体飛散防止部材を押し付けて洗浄対象物であるパレットの開口部を塞ぐことができれば、洗浄ユニット移動手段の移動形態を変化させることにより、洗浄する面は横向き、もしくは下向きに配置されていても洗浄可能となる。
【符号の説明】
【００５６】
１  乾式洗浄装置
５  洗浄媒体
６  洗浄槽
６ａ  開口部
１２、１１４  洗浄対象物保持体
１４  保持枠
２２  洗浄媒体飛散防止部材
２４  押圧手段
４２  芯材
４４    剛性を有する部材としての面板
４６  表面材
５４  保持領域調整手段
１１２  洗浄ユニット
１１６  洗浄ユニット移動手段としての直交ロボット
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５７】
【特許文献１】特許第４５３１８４１号公報
【特許文献２】特開２０１１−０９２４４８号公報
【図１】
0005953975.tif 000002
【図２】
0005953975.tif 000003
【図３】
0005953975.tif 000004
【図４】
0005953975.tif 000005
【図５】
0005953975.tif 000006
【図６】
0005953975.tif 000007
【図７】
0005953975.tif 000008
【図８】
0005953975.tif 000009
【図９】
0005953975.tif 000010
【図１０】
0005953975.tif 000011
【図１１】
0005953975.tif 000012
【図１２】
0005953975.tif 000013
【図１３】
0005953975.tif 000014
【図１４】
0005953975.tif 000015
【図１５】
0005953975.tif 000016
【図１６】
0005953975.tif 000017