(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基端に給気ポートが連通するエジェクタ収容孔が形成されたエジェクタブロックと、
前記エジェクタ収容孔の基端部側に配置され前記給気ポートからの圧縮空気を絞った後に拡散して噴出するノズルと、
前記エジェクタ収容孔に前記ノズルの下流側に位置させて配置され、前記ノズルから噴出された空気と吸引ポートから流入した空気とを吐出する噴出ポートが形成されて前記ノズルとともにエジェクタを構成するディフューザと、
前記噴出ポートを覆う円筒部および当該円筒部の先端に一体となった先端壁部を有し、内部に前記噴出ポートから吐出された空気が流入する消音室が形成されたマフラ本体と、
前記噴出ポートよりも大径であって、前記円筒部内に配置され前記噴出ポートから前記消音室内に流入して径方向外方に拡散した拡散気流が衝突する円筒形状の消音部材と、
前記消音部材の内径よりも小径であって、前記噴出ポートに対向させて前記先端壁部に前記エジェクタと同軸に設けられ、前記噴出ポートから前記消音室内に噴出した空気の中心部の軸方向気流をそのまま外部に排出する排気口とを有することを特徴とするエジェクタ。
【請求項２】
請求項１記載のエジェクタにおいて、前記ノズルの内径を0.4〜1.5ｍｍとし、前記排気口の内径を前記ノズル内径の２〜４倍とすることを特徴とするエジェクタ。
【請求項３】
請求項１または２記載のエジェクタにおいて、前記消音部材と前記円筒部の内周面との間に消音隙間を形成することを特徴とするエジェクタ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項記載のエジェクタにおいて、前記ノズルの内径を0.4〜1.5ｍｍとし、前記消音部材の長さを20〜50ｍｍとすることを特徴とするエジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮空気をノズルからディフューザに吹き付けてディフューザの噴出ポートから圧縮空気を噴出させることにより吸引ポートに負圧を発生させるエジェクタに関し、特に、噴出ポートから噴出される排気騒音を低減するためのマフラを備えたエジェクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧縮空気の流れを利用して負圧を発生させるようにした真空発生装置は、エジェクタと言われている。このエジェクタは、圧縮空気を一度絞ってから拡散させて噴出させるノズルと、このノズルと同軸となったディフューザとを有している。ノズルからディフューザに圧縮空気を供給してディフューザの下流部に設けられた噴出ポートに向けて空気を流すと、ノズルの先端部周囲に負圧の領域が形成される。この負圧領域に吸引ポートを開口させると、空気の粘性により吸引ポートの部分は負圧となる。
【０００３】
このような作動原理を有するエジェクタとしては、特許文献１に記載されるように、真空レギュレータと真空フィルタとが組み付けられる空気圧機器ユニットに取り付けられるタイプのものがある。このタイプのエジェクタは、多量の負圧空気を供給する場合に適用されており、吸い込み空気の流量を多くするためにディフューザを２段としている。
【０００４】
一方、数ミリ四方の半導体チップ等の小型の電子部品を吸着搬送するために使用されるエジェクタとしては、特許文献２に記載されるように、ブロック内に組み込まれたタイプがある。このタイプのエジェクタは、エジェクタのノズルに対する圧縮空気の供給を制御する真空発生用電磁弁と、吸着具から電子部品を外す際に真空破壊用の圧縮空気の供給を制御する真空破壊用電磁弁とをブロックに組み付けている。
【０００５】
いずれのタイプのエジェクタにおいても、エジェクタのディフューザの噴出ポートつまり排気ポートから外部に排出される空気に起因した排気騒音を低減するためにマフラが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１９４０００号公報
【特許文献２】特開２００５−２６２３５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
小型の電子部品を吸着するための真空吸着装置にエジェクタを搭載すると、圧縮空気をエジェクタに供給することにより吸引ポートに負圧を発生させることができるとともに、圧縮空気により真空を破壊して吸着具に吸着された電子部品を外すことができる。真空を発生させるためにエジェクタを利用すると、真空吸着装置から離れた位置に配置された真空ポンプから真空を供給する場合に比して、エジェクタからの排気騒音が大きくなる。
【０００８】
特に、それぞれエジェクタを有する複数の真空吸着装置が集合されたマニホールドタイプにおいては、複数の噴出ポートから噴出される合計の排気騒音は、１つのエジェクタからの排気騒音よりも大きくなる。
【０００９】
エジェクタが組み込まれるエジェクタブロックからの排気騒音を低減するために、従来では、排気流路の最下流部に形成された排気口を多孔質性の部材からなる消音部材により塞ぐようにし、排気空気を外部に排出するまでに通気抵抗を加えるようにしたタイプが多用されている。しかしながら、エジェクタにおいては噴出ポートからの排気空気量を高めるようにしないと、負圧空気の真空度と吸込流量とを十分に確保することができないので、排気空気に通気抵抗を加えるという方式では、真空度と吸込流量とを確保するためには、消音効果を高めることに限度があった。噴出ポートから排気された空気の流れを遮断するように排気口に消音部材を配置して排気流路の通気抵抗を大きくすると、負圧空気の真空度と吸込流量とを低下させることになるためである。
【００１０】
そこで、エジェクタにおける排気騒音の発生原因についての研究が行われた。エジェクタにおけるディフューザの噴出ポートは拡散孔により形成されているので、その部分から噴出された空気は、径方向外方に膨張しながら下流に向けて流れることになる。このため、噴出ポートからの騒音は径方向外方に拡散することになり、排気噴流の中心部分の直進空気による騒音は拡散空気による騒音よりも小さいと考えられる。排気噴流の中心部分の流れは、騒音成分を多く含まないのに対して、発生させる負圧空気の真空度と吸込流量には大きく依存していると考えられる。このような考えにより、エジェクタの排気騒音を低減することかできるエジェクタが開発された。
【００１１】
本発明の目的は、エジェクタによる負圧空気の真空度と吸込流量とを維持しつつ、エジェクタからの排気騒音を低減することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のエジェクタは、基端に給気ポートが連通するエジェクタ収容孔が形成されたエジェクタブロックと、前記エジェクタ収容孔の基端部側に配置され前記給気ポートからの圧縮空気を絞った後に拡散して噴出するノズルと、前記エジェクタ収容孔に前記ノズルの下流側に位置させて配置され、前記ノズルから噴出された空気と吸引ポートから流入した空気とを吐出する噴出ポートが形成されて前記ノズルとともにエジェクタを構成するディフューザと、前記噴出ポートを覆う円筒部および当該円筒部の先端に一体となった先端壁部を有し、内部に前記噴出ポートから吐出された空気が流入する消音室が形成されたマフラ本体と、前記噴出ポートよりも大径であって、前記円筒部内に配置され前記噴出ポートから前記消音室内に流入して径方向外方に拡散した拡散気流が衝突する円筒形状の消音部材と、前記消音部材の内径よりも小径であって、前記噴出ポートに対向させて前記先端壁部に前記エジェクタと同軸に設けられ、前記噴出ポートから前記消音室内に噴出した空気の中心部の軸方向気流をそのまま外部に排出する排気口とを有することを特徴とする。
【００１３】
本発明のエジェクタは、前記消音部材と前記円筒部の内周面との間に消音隙間を形成することを特徴とする。本発明のエジェクタは、前記ノズルの内径を0.4〜1.5ｍｍとし、前記消音部材の長さを20〜50ｍｍとすることを特徴とする。本発明のエジェクタは、前記ノズルの内径を0.4〜1.5ｍｍとし、前記排気口の内径を前記ノズル内径の２〜４倍とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、エジェクタにおけるディフューザの噴出ポートから噴出される空気は、径方向外方に膨張しながら下流に向けて流れることになり、騒音発生の主たる要素とする拡散空気は円筒形状の消音部材により消音される。一方、騒音発生要素が少ない排気噴流の中心部分の流れは、排気口から外部に排出されることになり、中心気流を排気口から排出させることにより、発生させる負圧空気の真空度と吸込流量とを十分に確保することができる。これにより、エジェクタによる負圧空気の真空度と吸込流量とを維持しつつ、エジェクタからの排気騒音を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施の形態であるエジェクタを示す斜視図である。
【図２】図１の一部切欠き正面図である。
【図３】図２の一部拡大断面図である。
【図４】図１に示したエジェクタにおける空気の流れを示す空気圧回路図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｃ）は、ノズルの内径をそれぞれ0.4、0.7、1.0とした３種類のエジェクタについて、消音部材の長さ寸法相違させた場合における供給圧と真空度との関係の測定結果を示す特性線図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｃ）は、３種類のエジェクタについて、消音部材の長さ寸法を相違させた場合における供給圧と吸込流量との関係の測定結果を示す特性線図である。
【図７】（Ａ）〜（Ｃ）は、３種類のエジェクタについて、消音部材の長さ寸法と騒音性能との関係を示す特性線図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｃ）は、３種類のエジェクタについて、排気口の内径を相違させた場合における供給圧と真空度との関係の測定結果を示す特性線図である。
【図９】（Ａ）〜（Ｃ）は、３種類のエジェクタについて、排気口の内径を相違させた場合における供給圧と吸込流量との関係の測定結果を示す特性線図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｃ）は、３種類のエジェクタについて、排気口の内径と騒音性能との関係の測定結果を示す特性線図である。
【図１１】ノズル内径を1.5ｍｍと一定にし、マフラ無し、マフラ排気口3ｍｍ、マフラ排気口6ｍｍと変えたときにおける供給圧と真空度との特性比較である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。エジェクタ１０は、図１および図２に示されるように、直方体形状のエジェクタブロック１１を有し、このエジェクタブロック１１の一方の端面１１ａには正圧継手１２と負圧継手１３とが取り付けられている。正圧継手１２には正圧配管１４が着脱自在に装着され、この正圧配管１４によりエジェクタ１０はコンプレッサ等を有する空気圧供給源１５に接続される。負圧継手１３には負圧配管１６が着脱自在に装着され、この負圧配管１６には電子部品を吸着するための負圧作動機器としての吸着具１７が取り付けられる。正圧配管１４と負圧配管１６は、それぞれ可撓性のチューブや剛性のパイプ等のように内部に空気を案内する流路が形成された部材により形成されている。
【００１７】
エジェクタブロック１１にはエジェクタ収容孔１８が形成されている。図２および図３に示すように、このエジェクタ収容孔１８はエジェクタブロック１１の他方の端面１１ｂに開口しており、底部を有する底付きの孔となっている。このエジェクタ収容孔１８には、エジェクタエレメントつまりエジェクタ部材２０が組み込まれている。
【００１８】
このエジェクタ部材２０は、エジェクタ収容孔の底部側に配置されるノズル２１と、これよりも開口端部側に配置されるディフューザ２２とを有している。ノズル２１は、図３に示されるように、エジェクタ収容孔１８に嵌合される基部２１ａとこれよりも小径の先端部２１ｂとを有している。エジェクタ収容孔１８の底面に開口してエジェクタブロック１１には給気ポート２３が形成されており、ノズル２１の基部２１ａには給気ポート２３に連通する流入孔２４が形成されている。ノズル２１の先端部２１ｂには流入孔２４よりも小径の絞り孔２５が流入孔２４に連通して形成されている。絞り孔２５よりも先端部側には、先端面に向けて内径が徐々に大きくなった拡散孔２６が絞り孔２５に連通して形成されている。
【００１９】
ディフューザ２２は、ノズル２１の先端部２１ｂの外側に嵌合される基端部側の吸引部２２ａと、先端部側の噴出部２２ｂとを有している。噴出部２２ｂにはノズル２１の拡散孔２６から圧縮空気が流入する案内孔２７と、この案内孔２７に連通して先端面に向けて内径が徐々に大きくなった拡散孔２８とが形成されており、拡散孔２８の開口部は空気を吐出する噴出ポート２９となっている。ディフューザ２２の吸引部２２ａには、ノズル２１の先端とディフューザ２２の案内孔２７との間の吸引空間に連通する吸引ポート３０が形成されている。この吸引ポート３０は負圧継手１３に連通される。
【００２０】
空気圧供給源１５からの圧縮空気を給気ポート２３に供給すると、圧縮空気がノズル２１の絞り孔２５を通り、拡散孔２６からディフューザ２２の案内孔２７に向けて噴射される。拡散孔２６から噴射された空気は、拡散孔２６と案内孔２７との間の空気、つまり吸引ポート３０の空気を巻き込んで、巻き込んだ空気とともにディフューザ２２の拡散孔２８から噴出される。これにより、負圧配管１６により接続される吸着具１７に吸引ポート３０から負圧空気が供給され、半導体チップ等の電子部品を吸着具１７により吸着して搬送することができる。
【００２１】
エジェクタブロック１１の上面には、図１に示されるように、電磁弁ブロック３１と継手ブロック３２とが取り付けられている。電磁弁ブロック３１はタンデム３ポート弁となっており、３ポート弁が２つ設けられている。１つの３ポート弁は、図４に示されるように、正圧継手１２と給気ポート２３との間の真空発生流路３３を開閉する真空発生制御弁３４を構成する。他の３ポート弁は、吸引ポート３０と負圧継手１３との間に形成された真空流路３５と正圧継手１２との間の真空破壊流路３６を開閉する真空破壊制御弁３７を構成する。
【００２２】
負圧配管１６の内部を流れて吸引ポート３０に向かう空気中の異物を除去するために、エジェクタブロック１１の上面にはフィルタ３８が設けられている。エジェクタブロック１１の上面には、真空流路３５の真空度を検出するために、圧力センサ３９が設けられている。さらに、真空破壊流路３６により吸着具１７に供給される真空破壊用の圧縮空気の流量を調整するために、エジェクタブロック１１の上面には絞り４０が取り付けられている。
【００２３】
エジェクタ部材２０の噴出ポート２９から噴出する空気流による排気騒音を低減するために、エジェクタブロック１１の端面１１ｂにはマフラ４１が装着されている。マフラ４１は、エジェクタブロック１１の端面１１ｂにねじ等により取り付けられる円筒部４２ａと、この円筒部４２ａの先端に一体となった先端壁部４２ｂとからなるマフラ本体４２を有している。マフラ本体４２の内部には消音室４３が形成される。ディフューザ２２の先端部はマフラ本体４２の内部に突出しており、ディフューザ２２の先端部には円筒形状のホルダー４４が取り付けられている。
【００２４】
マフラ本体４２の内部には、円筒形状の消音部材４５が配置されており、この消音部材４５の一端部はホルダー４４に支持され、他端部は先端壁部４２ｂに設けられた突起部４６に支持されている。この消音部材４５は多孔質性の材料や繊維状の材料等のように通気性を有する材料により形成されている。消音部材４５と円筒部４２ａとの間には、消音隙間４７が設けられており、消音部材４５を透過した排気騒音は消音隙間４７において消音される。
【００２５】
先端壁部４２ｂには、噴出ポート２９に対向させて噴出ポート２９と同軸となって排気口４８が形成されており、ディフューザ２２の噴出ポート２９から消音室４３内に噴出した空気の中心部の軸方向気流は、そのまま排気口４８から外部に排出される。これに対し、噴出ポート２９から消音室４３内に流入して径方向外方に拡散した拡散気流は、消音部材４５に衝突して消音部材４５に吸音される。消音部材４５を透過した拡散気流の騒音は消音隙間４７により消音される。
【００２６】
吸着具１７等の負圧作動機器に対して負圧空気を供給するためのエジェクタ１０は、吸着具１７により電子部品を吸着させるには、吸着に必要な真空度と流量の負圧空気を吸着具１７に供給する必要がある。エジェクタ１０は所望の真空度と吸込流量を有するのみならず、ディフューザ２２の噴出ポートから噴出される空気による排気騒音が低いことが好ましい。
【００２７】
エジェクタに設けられている従来のマフラは、ディフューザから噴出された空気を排気口にまで案内する排気流路に、消音部材を埋め込むようにしている。このような従来のマフラにあっては、電子部品の吸着に必要な真空度と流量の負圧空気を吸着具に供給しつつ、排気騒音を低減するには限度があった。
【００２８】
図示するように、ディフューザ２２の噴出ポート２９に排気口４８を対向させると、噴出ポート２９から消音室４３内に噴出した空気の中心部の軸方向気流は、そのまま排気口４８から外部に排出されることになる。このように噴出ポート２９から気流をそのままの姿勢で外部に排気すると、従来では排気騒音が高まると考えられていた。しかし、この排気口４８によって直進気流の中心部を外部に排出させるようにし、他の空気を径方向外方に拡散させてから外部に排出するようにすると、負圧空気の真空度と吸込流量とを確保しつつ、排気口４８から外部に排出される空気流による排気騒音を低減することができることが判明した。更に、排気口４８の内径Ｄは、発生される負圧空気の真空度と流量にも大きな影響を与えることも判明した。つまり、排気口４８の内径Ｄを小さくし過ぎると、所望の真空度と流量を確保することができなくなる。
【００２９】
吸着具１７等の負圧作動機器に供給すべき負圧空気の真空度と流量とを確保するとともに、排気口４８から排気される空気の排気騒音を低減することができる条件が見出された。エジェクタ１０においては、吸着具１７に供給される負圧空気の流量は、ノズル２１の絞り孔２５の内径、つまりノズル２１の内径ｄにより大きく依存している。ノズル２１の内径ｄが0.4〜1.5ｍｍ程度の範囲となっていれば、電子部品の組立生産ラインにおいて使用される負圧作動機器に対して供給する負圧空気としては、十分な流量を確保することができる。
【００３０】
そこで、ノズル２１の内径ｄを0.4ｍｍ、0.7ｍｍ、1.0ｍｍの３種類のエジェクタについて、消音部材４５の長さ寸法Ｌと、排気口４８の内径Ｄとを変化させて、得られる負圧空気の真空度、吸込流量および吸音性能を測定した。
【００３１】
図５（Ａ）〜（Ｃ）は、ノズルの内径ｄが0.4ｍｍ、0.7ｍｍ、1.0ｍｍの３種類について、消音部材４５の長さ寸法Ｌを相違させた場合における供給圧と真空度との関係の測定結果を示す。測定に使用したエジェクタ１０の排気口４８の内径Ｄは３ｍｍである。供給圧は給気ポート２３に供給した圧縮空気の圧力であり、真空度はエジェクタにより得られる負圧空気の圧力である。消音部材４５の長さ寸法Ｌとしては、１１ｍｍ，１６ｍｍ，２１ｍｍ，２６ｍｍ，３１ｍｍ，３６ｍｍ，４１ｍｍ，４６ｍｍの８種類について測定した。ノズル２１の内径ｄが0.4ｍｍのエジェクタと、0.7ｍｍのエジェクタにおいては、図５（Ａ）（Ｂ）に示されるように、長さが相違する上述した８種類のエジェクタにおける供給圧と真空度との関係はそれぞれ図示されるように同様に変化した。ノズル２１の内径ｄが1.0ｍｍのエジェクタにおいては、僅かな差が認められる程度であり、長さＬを相違させても、真空度の差はあまりなかった。図５（Ａ）（Ｂ）においては、それぞれ長さ寸法Ｌを１１ｍｍとした場合の測定結果を示し、図５（Ｃ）においては、長さ寸法Ｌを１６ｍｍとした場合を実線で示し、寸法Ｌを４１ｍｍとした場合を一点鎖線で示す。
【００３２】
図６（Ａ）〜（Ｃ）は、上述したノズル２１の内径を有する３種類のエジェクタについて、消音部材４５の長さ寸法Ｌを相違させた場合における供給圧と吸込流量との関係の測定結果を示す。測定に使用したエジェクタ１０の排気口４８の内径Ｄは３ｍｍである。吸込流量は、エジェクタ１０により得られた負圧により吸着具１７に吸引される空気の流量である。ノズル２１の内径ｄが0.4ｍｍのエジェクタ１０と、0.7ｍｍのエジェクタについては、図６（Ａ）（Ｂ）において寸法Ｌを最も短くしたＬ寸法１１ｍｍのエジェクタの測定結果を示す。ただし、他の長さとした場合でも吸込流量には大きな変化はなかった。ノズル２１の内径ｄが1.0ｍｍのエジェクタについては、図６（Ｃ）において、最も短いＬ＝１１ｍｍを実線で示し、最も長いＬ＝４６ｍｍを一点鎖線で示しており、他の寸法のエジェクタはこれらの間の吸込流量となった。
【００３３】
図５および図６に示すように、マフラ４１の長さ寸法に対応する消音部材４５の長さ寸法Ｌは、得られる負圧空気の真空度と吸込流量には大きな影響を与えないことが判明した。
【００３４】
図７（Ａ）〜（Ｃ）は、上述したノズル２１の内径を有する３種類のエジェクタについて、消音部材４５の長さ寸法Ｌと騒音性能との関係を示す。この測定に使用したエジェクタ１０の排気口４８の内径Ｄは、図５および図６に示した場合と同様に３ｍｍである。図７においては、上述した８種類を符号１〜８で示しており、符号１で示すエジェクタ１０の寸法Ｌは、１１ｍｍであり、２〜８のエジェクタ１０の寸法Ｌは、順次、１６，２１，２６，３１，３６，４１，４６ｍｍである。
【００３５】
この結果から分かるように、寸法Ｌを大きくすれば消音性能が高まるが、寸法Ｌを５０ｍｍ以上に設定すると、エジェクタ１０が大型化されることになる。寸法Ｌとしては、２０〜５０ｍｍの範囲の長さにすれば、上述したそれぞれのノズル２１の内径の全てのエジェクタについて、消音性能を確保することができる。図７（Ａ）（Ｂ）に示すように、ノズル２１の内径ｄが0.4ｍｍのエジェクタと、0.7ｍｍのエジェクタについては、寸法Ｌを２１ｍｍから３６ｍｍに長くすると、騒音の低下率が大きいことが判明しており、寸法Ｌを２０〜５０ｍｍの範囲に設定すると、実用上好ましい消音効果となる。特に、寸法Ｌを４０〜５０ｍｍの範囲に設定すると、消音効果をより高めることができる。
【００３６】
図５〜図７に示すように、消音部材４５の長さ寸法Ｌが大きい方が吸音性能を高くすることができるが、過度に長くすると、エジェクタ１０を大型化させることになる。したがって、上述した３種類のエジェクタ１０については、長さ寸法Ｌを２０〜５０ｍｍの範囲に設定すれば、所望の消音性能を確保でき、４０〜５０ｍｍの範囲に設定すると、より消音効果を高くできることが判明した。しかも、消音部材４５の長さ寸法Ｌは、真空度と吸込流量には大きな影響を与えないことが判明した。
【００３７】
図８（Ａ）〜（Ｃ）は、上述したノズル２１の内径を有する３種類のエジェクタ１０について、排気口４８の内径Ｄを相違させた場合における供給圧と真空度との関係の測定結果を示す。この測定は、排気口４８の内径Ｄをそれぞれφ1、φ1.5、φ2、φ2.5、およびφ3の５種類について行った。図８（Ａ）はφ1とφ3についての測定結果を示し、図８（Ｂ）はφ1，φ1.5およびφ3についての測定結果を示す。図８（Ｃ）はφ1.5、φ2、φ2.5、およびφ3についての測定結果を示す。
【００３８】
この測定結果により、ノズル２１の内径ｄが0.4ｍｍのエジェクタについては排気口４８の内径Ｄを１ｍｍ以上とし、ノズル２１の内径ｄが0.7ｍｍのエジェクタについては排気口４８の内径Ｄを１．５ｍｍ以上とし、ノズル２１の内径ｄが1.0ｍｍのエジェクタについては排気口４８の内径Ｄを２ｍｍ以上とすれば、エジェクタ１０により得られる負圧の真空度としては、十分であることが判明した。つまり、排気口４８の内径Ｄをノズル２１の内径ｄの２倍以上に設定すれば、必要な真空度を得ることが判明した。
【００３９】
図９（Ａ）〜（Ｃ）は、上述したノズル２１の内径を有する３種類のエジェクタ１０について、排気口４８の内径Ｄを相違させた場合における供給圧と吸込流量との関係の測定結果を示す。この測定は、図８に示した測定結果と同様に、排気口４８の内径Ｄをそれぞれφ1、φ1.5、φ2、φ2.5、およびφ3の５種類について行った。図９（Ｃ）に示すように、ノズル２１の内径ｄが1.0ｍｍのエジェクタ１０については、排気口４８の内径Ｄを1ｍｍとした場合には、吸込流量としては不十分であったが、他の内径では十分な吸込流量が得られた。ノズル２１の内径ｄが0.4ｍｍのエジェクタと、0.7ｍｍのエジェクタ１０については、それぞれの排気口４８の内径Ｄで十分であった。
【００４０】
図８および図９に示す測定結果により、真空度と吸込流量を確保するには、排気口４８の内径Ｄをノズル２１の内径ｄの２倍以上に設定すると好ましいことが判明した。
【００４１】
図１０（Ａ）〜（Ｃ）は、上述したノズル２１の内径を有する３種類のエジェクタ１０について、排気口４８の内径Ｄと騒音性能との関係の測定結果を示す。この測定により、図１０（Ａ）に示すように、ノズル２１の内径ｄが0.4ｍｍのエジェクタ１０については排気口４８の内径Ｄを2.5ｍｍ以下、つまりノズル２１の内径ｄの５倍以下とすれば、十分な消音効果が得られることが判明した。図１０（Ｂ）に示すように、ノズル２１の内径ｄが0.7ｍｍのエジェクタ１０については、内径Ｄを1.5ｍｍ〜2.5ｍｍの範囲、つまりノズル２１の内径ｄの約２倍〜４倍の範囲とすれば、十分な消音効果が得られることが判明した。図１０（Ｃ）に示すように、ノズル２１の内径ｄが1.0ｍｍのエジェクタについては、内径Ｄを2.0〜3.0ｍｍの範囲、つまりノズル２１の内径ｄの約２〜３倍の範囲とすれば、十分な消音効果が得られることが判明した。
【００４２】
さらに、ノズル２１の内径ｄを1.5ｍｍとして、マフラ４１の排気口４８の内径Ｄを3ｍｍとした場合と、内径Ｄを6ｍｍとした場合と、マフラ無しの場合とについて、供給圧と真空度との関係について実験した。
【００４３】
図１１は、このように、ノズル２１の内径ｄを1.5ｍｍとし、マフラ無しの場合と、マフラ４１の排気口４８の内径Ｄを3ｍｍと6ｍｍとした場合についての供給圧と真空度との関係の測定結果である。この測定においては、マフラ４１を取り外した場合についても、供給圧と真空度との関係についても実験した。図１１においては、マフラ４１の排気口４８の内径を6ｍｍとした場合における特性線図が太い実線で示され、排気口４８の内径を3ｍｍとした場合における特性線が細い実線で示されており、マフラを取り外した場合における特性線図が破線で示されている。
【００４４】
その結果、ノズルの内径ｄを1.5ｍｍとし、マフラ４１の排気口４８の内径を６ｍｍとした場合には、真空度は、図１１において太い実線で示されるように、マフラ４１を用いない場合と同様の特性となった。得られる真空度は、排気口４８の内径を3ｍｍとした場合よりも実用上有効な値であることが判明した。この場合には、マフラ４１の排気口４８の内径Ｄ（6ｍｍ）は、ノズル２１の内径ｄ（1.5ｍｍ）の４倍である。このように、ノズル２１の内径ｄを1.5ｍｍとしても、排気口４８の内径Ｄをノズル２１の内径ｄの４倍である6.0ｍｍとすると、所望の真空度が得られることが判明した。
【００４５】
上述した種々の実験結果により、ノズル２１の内径ｄを0.4〜1.5ｍｍとし、マフラ４１の排気口４８の内径Ｄをノズル２１の内径ｄの２〜４倍とすると、エジェクタ１０による負圧空気の真空度と吸込流量とを維持するとともに、エジェクタ１０からの排気騒音を低減できることが判明した。
【００４６】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、ノズル内径としては上述した３種類に限られることなく、種々の径とすることができる。エジェクタブロック１１には、電磁弁ブロック３１やフィルタ３８等が取り付けられているが、これらの部材をエジェクタブロック１１から分離して配置するようにしても良い。
【符号の説明】
【００４７】
１１    エジェクタブロック
１２    正圧継手
１３    負圧継手
１４    正圧配管
１５    空気圧供給源
１６    負圧配管
１７    吸着具
１８    エジェクタ収容孔
２０    エジェクタ部材
２１    ノズル
２２    ディフューザ
２３    給気ポート
２４    流入孔
２５    絞り孔
２６    拡散孔
２７    案内孔
２８    拡散孔
２９    噴出ポート
３０    吸引ポート
３３    真空発生流路
３４    真空発生制御弁
３５    真空流路
３６    真空破壊流路
３７    真空破壊制御弁
４１    マフラ
４２    マフラ本体
４２ａ    円筒部
４２ｂ    先端壁部
４３    消音室
４４    ホルダー
４５    消音部材
４７    消音隙間
４８    排気口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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