(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、
前記開口部の周縁を形成する枠部材の表面に自己修復機能を有する塗膜が被覆されており、
前記塗膜の鉛筆硬度がＢ以上５Ｈ以下である、ペリクル枠体。
【請求項２】
前記塗膜を形成する塗装材は、主成分がエポキシ系、アクリル系、フッ素系又はウレタン系である請求項１に記載に記載のペリクル枠体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）、ＬＳＩ（Large Scale Integration：大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（ThinFilmTransistor，Liquid Crystal Display：薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマクスやレティクルに異物が付着することを防止するために用いるペリクル枠体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体回路パターン等の製造においては、フォトマスクやレティクルの両面側にペリクルと称する防塵手段を配置して、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。
【０００３】
ペリクルの一般的な構造としては、金属、セラミックス、又はポリマー製のペリクル枠体の片側に、ポリマー又はガラス等の透明な薄膜を貼り付け、その反対側に、マスクに貼り付けるための貼着剤層（粘着材）を設けたものが挙げられる。例えば、ペリクルは、フォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度のペリクル枠体の一方の縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース又はセルロース誘導体等の透明な高分子膜から成るペリクル膜を展張して接着し、且つペリクル枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に貼着している。
【０００４】
フォトマスクやレティクルの表面に異物が付着した場合、その異物が半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となるが、フォトマスクやレティクルの少なくともパターン面にペリクルを配置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置がずれるため、半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像することがなく、回路パターンに欠陥を生じさせることがない。
【０００５】
また、近年では、各種のマルチメディアの普及により、高画質・高精細表示が可能な大型のカラーＴＦＴＬＣＤのフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクに適用できるペリクルが要望されている。
【０００６】
上述のペリクル枠体は、通常、黒色となるように処理されている。例えば、特許文献１には、ペリクル枠体にアルマイト処理を施し、封孔処理を行うことで黒色化させることが開示されている。また、特許文献２には、電着塗装によってペリクル枠体を黒色化させることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平６−２５０３８３号公報
【特許文献２】特開２００７−３３３９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、ペリクル枠体は、１枚のシート状母材を打ち抜くことにより作製され、接合部のない一体型のものが多い。これは、ペリクルの平坦性を確保する観点等に基づくものである。母材の平坦性によってはペリクル枠体の作製に使用できない母材もあり、ペリクル枠体が大型化するほど、ペリクル枠体の平坦性の精度を出すことは容易ではない。そのため、製造工程にも手間がかかり、歩留まり低下やペリクル枠体作製のコスト向上の原因となっている。これに加えて、ペリクル枠体を黒色化するべく、ペリクル枠体に対してアルマイト処理や電着塗装処理を施すためには大規模な槽が必要となるため、設備の増大によりコストの増大を招来していた。更には、大型のペリクル枠体では、均一にアルマイト処理や電着塗装処理を実施することが困難であり、平坦性の精度を向上させることが難しかった。
【０００９】
そこで、ペリクル枠体に塗装を施すことが提案されているが、塗装材と枠部材との密着性を確保できないため剥がれ易く、また、ハンドリング治具にて操作する際に塗装が削れるため、アウトガスや異物等が発生し、現実性に乏しかった。
【００１０】
また、塗装によっては、水分等で加水分解して表面がべたつくものもあるため、長期に適度な湿度で露光を実施すると、不要になったペリクルをジグで剥離する際に、ジグに塗装がべたつき、ジグがジグ穴にうまくはまらなかったり、ジグが汚染されたりする不具合が懸念される。
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、塗装材にて塗装を行う場合において、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明らは、鋭意研究を重ねた結果、枠部材に特定の塗装材をコーティングすることで、塗装の破損を抑制できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１３】
すなわち、本発明は、平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、開口部の周縁を形成する枠部材の表面に自己修復機能を有する塗膜が被覆されていることを特徴とする。
【００１４】
これにより、ペリクル枠体に撓みが生じた場合であっても、枠部材と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜の剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜の削れも防止できる。したがって、塗膜の亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、塗膜の破損を抑制することにより、塗膜の剥がれ等に起因するアウトガスや異物の発生を防止できる。その結果、ヘイズを抑制できる。また、大規模な装置を必要としないため、コストの低減も図れる。
【００１５】
また、枠部材の表面に自己修復機能を有する塗膜を被覆することで、多少の傷がついても自己修復して異物の発生が防止され、適度な湿度の存在下で露光する環境で長期に使用しても塗装のべたつきがないため、不要となったペリクルを剥離する際にジグに不具合が生じることなく剥離することが可能になる。
【００１６】
塗膜の鉛筆硬度がＢ以上５Ｈ以下であることが好ましい。このような鉛筆硬度とすることにより、ハンドリング冶具や輸送中の衝撃に耐え得る強度を確保することができる。また、所定の強度を有しているため、ペリクル枠体にペリクル膜を展張支持した際、ペリクル膜の余分な部分をカッティングする工程において、一般的なカミソリを使用することができる。これにより、製造過程において特殊な機器・器具等を用いなくてもよく、設備の増大を防止できる。
【００１７】
塗膜を形成する塗装材は、塗布型であることが好ましい。このように、塗布型の塗装材を用いることで、エアスプレー、静電塗装、浸漬塗装、ロールコート等といった塗装方法を使用できる。これにより、塗膜を均一に形成することができ、ペリクル枠体の平坦性を確保することができる。
【００１８】
塗膜を形成する塗装材は、主成分がエポキシ系、アクリル系、ウレタン系又はフッ素系のものを用いることができる。
【００１９】
本発明に係るペリクルは、上述のいずれかのペリクル枠体と、ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜とを備えることを特徴とする。上述のペリクル枠体にペリクル膜を展張することにより、ペリクル枠体に撓みが生じた場合であっても、枠部材と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜の剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜の削れも防止できる。したがって、塗膜の亀裂等の破損の発生を抑制できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、塗装材にて枠部材に塗装を行う場合において、ハンドリング時の塗膜の削れ等といった破損を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係るペリクルを示す斜視図である。
【図２】図１に示すペリクルを上から見た図である。
【図３】図２におけるIII-III線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００２３】
図１は、本発明の一実施形態に係るペリクルを示す斜視図であり、図２は、図１に示すペリクルを上から見た図である。各図に示すように、ペリクル１は、ペリクル枠体２と、ペリクル枠体２の上縁面２ｅに展張支持されたペリクル膜３とを備えている。なお、図示しないが、ペリクル１は、ペリクル枠体２の下縁面に塗布された貼着剤層と、貼着剤層に粘着され、この貼着剤層を保護する保護フィルムとを更に備えている。ペリクル１は、大型ペリクルであり、ペリクル枠体２は、大型のペリクル用枠体である。
【００２４】
ペリクル枠体２は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、鉄及び鉄系合金、セラミックス（ＳｉＣ、ＡｌＮ、Ａｌ２Ｏ３等）、セラミックスと金属との複合材料（Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＡｌＮ、Ａｌ−Ａｌ２Ｏ３等）、炭素鋼、工具鋼、ステンレスシリーズ、ポリマー等からなり、平面視略矩形状を呈している。これらの中でも、アルミニウム、アルミニウム合金が、ペリクル枠体として利用するために密着性、耐湿性、ハンドリング時の枠体の撓みに追随する柔軟性と硬さを兼ね備えているためより好ましい。なお、平面視略矩形状を呈するとは、ペリクル膜３を展張支持した際に平面視略矩形状を呈する形状であり、ペリクル膜３の展張支持前の形状は特に制限されない。ペリクル膜３の展張支持前の具体的な形状としては、平面視略矩形状や、ペリクル枠体２の外側に湾曲した形状や、ペリクル枠体２の外側に突出した箇所を有する形状である。
【００２５】
このペリクル枠体２は、対向する一対の長辺（枠部材）２ａ，２ｂと、この長辺２ａ，２ｂよりも短い対向する一対の短辺（枠部材）２ｃ，２ｄとから構成されている。ペリクル枠体２において、長辺２ａと長辺２ｂとの長さは等しく形成されており、短辺２ｃと短辺２ｄとの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体２は、矩形状の開口部４を有しており、長辺２ａ，２ｂ及び短辺２ｃ，２ｄは、開口部４の周縁を形成している。この開口部４の開口面積は、好ましくは１０００ｃｍ２以上、より好ましくは３０００ｃｍ２以上、更に好ましくは５０００ｃｍ２以上、３５０００ｃｍ２以下である。
【００２６】
一対の長辺２ａ，２ｂは、幅が例えば９．０ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば８００ｍｍである。一対の短辺２ｃ，２ｄは、幅が例えば７．０ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば４８０ｍｍである。つまり、短辺２ｃ，２ｄの平面視（上面視）における幅は、長辺２ａ，２ｂの幅よりも狭い。ペリクル枠体２の角部５の曲率は、例えば、Ｒ＝２ｍｍである。なお、角部５に曲率が存しないと仮定した際の頂点を、以下、単に「頂点」と記載する。ペリクル枠体２の側面６には、溝部７が長手方向（辺方向）に沿って設けられている。
【００２７】
ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅は、露光面積を確保する観点からは細ければ細いほど好ましいが、細すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺の長さに対して剛性を考慮した幅の太さになるため、各辺２ａ〜２ｄは、３ｍｍ〜２５ｍｍ程度とすることができる。
【００２８】
また、ペリクル枠体２の厚みに関しても、薄ければ薄いほど軽くて扱いやすいペリクル１となるが、薄すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺２ａ〜２ｄの長さに応じた両者のバランスから、ペリクル枠体２の厚みは、好ましくは４．５ｍｍ〜１２ｍｍ程度とすることができる。
【００２９】
ペリクル膜３は、例えばニトロセルロースやセルロース誘導体、フッ素系ポリマー、又はシクロオレフィン系ポリマー等の透明な高分子膜からなり、その厚さは、例えば１０μｍ以下０．１μｍ以上が好ましい。このペリクル膜３は、ペリクル枠体２の開口部４を覆うように上縁面２ｅに展張され、ペリクル枠体２に貼着支持されている。
【００３０】
ペリクル膜３をペリクル枠体２の上縁面２ｅに接着する接着剤は、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、又は含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーを用いることができる。
【００３１】
また、貼着支持する粘着材としては、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、又は発泡体を基材とした粘着テープを用いることができる。粘着材層の厚さは、ペリクル枠体２の厚さと粘着材厚さの合計が規定されたペリクル膜３とフォトマスクの距離を越えない範囲で設定するものであり、例えば、１０ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
【００３２】
また、ペリクル膜３をフォトマスクに貼り付けた際に、貼着剤層の内側に空間が存在すると、該空間に異物が滞留する可能性がある。そのため、ペリクル枠体２の下縁面に粘着剤を塗布する際には、ペリクル１をフォトマスクに貼り付ける際の加圧で粘着剤層が潰れて広がることを考慮した上で、加圧時に開口部４に粘着剤がはみ出さない程度にペリクル枠体２の開口部４内側寄りに塗布することが好ましい。具体的には、貼着剤層内側の空間が粘着剤層の塗布幅の０．３５倍以内となるように塗布することが好ましい。粘着剤層の塗布幅はペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅に対し０．３〜０．６倍であることが好ましく、ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄに沿って塗布することが好ましい。
【００３３】
粘着材を保護する保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート樹脂、又はポリエチレン樹脂からなるフィルムを用いることができる。また、粘着材の粘着力に応じて、離型剤、例えばシリコーン系離型剤、又はフッ素系離型剤を、保護フィルムの表面に塗布しても良い。保護フィルムの厚さは、例えば、１ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
【００３４】
図３に示すように、上述の構成を有するペリクル枠体２の表面全体には、塗膜Ｐが形成（被覆）されている。ペリクル枠体２の表面をコーティング（被覆）する塗膜Ｐは、塗装材によって形成されている。図３は、図２におけるIII-III線断面図である。
【００３５】
ここで、塗装材は、ペリクル１のハンドリング中にペリクル枠体２が撓んだり、ハンドリング冶具の接触や輸送中の衝撃に耐え得る材料でなければならない。ペリクル枠体２の撓みによる接触や衝撃に耐え得るためには、塗装材に柔軟性がなくてはならない。一方で、ハンドリング冶具や輸送中の衝撃に塗膜Ｐが耐え得るためには、硬さを兼ね備えておく必要もある。つまり、塗装材の物性には、柔軟性と硬さの相反する特性が必要とされる。
【００３６】
しかし、ハンドリング治具は耐食性を持たせるとともにペリクルに撓みを起こさせないようにＳＵＳ等の硬い素材で作製されることが多いため、ハンドリング治具の溝への出し入れにおいて多少の傷がつく場合がある。そのため、塗膜をガラスのように硬くしてそもそも傷が入らないようにする方法や、ペリクルの塗膜表面を滑らせるようにして傷が入りにくくする方法等が考えられる。しかし、塗膜を硬くしすぎるとペリクルのハンドリング時の撓りで塗膜に割れや剥れが生じて逆に異物になる可能性がある。また、塗膜表面を滑らせるようにするとペリクル膜接着剤等の液だれが生じる恐れがある。
【００３７】
そこで、塗装材は、多少の傷がついても自己修復することで異物の発生を防ぐことを目的として、傷を自己修復する自己修復機能を有する塗膜を形成する塗装材を使用する。しかも、自己修復機能を有する塗膜を形成する塗装材は、適度な湿度の環境中で長期間（約１年から長いものでは１０年と言われている）使用しても加水分解等が起こらないためべたつきが生じず、不要になったペリクルを剥離する際にジグへの不具合が発生しないことが判明した。また、自己修復機能を有する塗膜を形成する塗装材は密着性も良いため剥れる恐れも無い。
【００３８】
また、塗装材を塗布して形成された塗膜Ｐの鉛筆硬度は、Ｂ以上で５Ｈ以下となることが好ましく、Ｂ以上４Ｈ以下となることがより好ましく、Ｂ以上３Ｈ以下であることが更に好ましい。Ｂよりも大きいと、塗膜が柔らかくなりすぎることを防ぐため、ハンドリング治具と擦れ難くなり異物の発生を抑止することができる。また、５Ｈより小さいと、硬すぎないため、瞬間的な伸縮運動に耐えることができ、ハンドリング時の撓みに追随できて割れや剥れ等の恐れが生じない。
【００３９】
このような物性を有する塗装材は、塗布型であることが好ましい。ここで言う塗布型の塗装材とは、液体状のままでコーティングを行い、その後加熱することで重合が進み塗膜Ｐを形成するものである。塗装材を液体状のままコーティングする方法としては、エアスプレー、静電塗装、浸漬塗装、ロールコートが望ましく、その中でもエアスプレー方式の塗装方法が好ましい。
【００４０】
最良の塗装のためには、塗装材として、主成分がエポキシ系、アクリル系、フッ素系またはウレタン系の材料を用いることが好ましく、アクリル系またはウレタン系の材料の使用が最も好ましい。塗膜Ｐは一層でもよいし、多層コーティングでもよい。多層コーティングであれば、アルミニウムとの密着性を向上させることができる。また多層コーティングであれば、レーザーで特定の色層を除去、もしくは局所的に塗膜を積層することで、文字、記号、模様、等を印字、印刷することができる。
【００４１】
一般的に使用されているペリクル枠体は、アルミニウム合金であり、アルミニウム合金の熱膨張係数から、塗装材に用いられる塗装材としては伸びが大きい樹脂がよいが、塗膜の硬さの低下を抑制する必要もあるため上記塗装材が好ましいといえる。更に、上記アルミニウム合金は化学的、物理的な吸着水で覆われていると考えられるため、吸着水（表面のＯＨ基）と架橋反応や水素結合を示す化合物が上記塗装材の末端や側鎖にあることが好ましい。例えば有機珪素化合物等をもつ場合は、有機珪素化合物の加水分解、縮合反応等により、吸着水とシロキサン結合を形成することで、密着性をよくしている。また、カルボキシル基等の極性基をもつ場合は、吸着水に対して強い相互作用、例えば水素結合や酸―塩基相互作用等により密着性がよくなると考えられる。極性基としては、カルボキシル基が最も好ましく、水酸基、カルボン酸の金属塩（例えば、ナトリウム塩、マグネシウム塩など）やアルキルエステル類、フェノール類、アミノ酸類、脂肪族アミン等が挙げられる。これらの化合物は、表面のＯＨ基の数と同等であることが好ましい。ここでいう同等とは、極性基：ＯＨ基＝１：０．８〜１．２の範囲である。上記化合物が過剰に存在すると界面において水分を吸着し、塗膜の膨潤や剥離等を生じる恐れがある。
【００４２】
また、塗膜に自己修復機能を持たせるためには、修復剤を含むことが好ましい。修復剤としては、例えば、塗装材に軟質系樹脂を添加して塗膜自体に高弾性を付与したものがある。例えば塗装材としてのアクリルウレタン系樹脂に軟質系樹脂を添加する場合、アクリルウレタン系樹脂中の硬いアクリル系樹脂と柔らかいウレタン系樹脂との間に軟質系樹脂が入り込み高密度の網目構造になって柔軟性と強靭性をもち、傷が入った場合も、軟質系樹脂がゴムのような役割をして自己修復機能を発揮することが可能になる。
【００４３】
アクリル系樹脂としては、アルキル鎖の長さの調整とエーテル結合を持たせることが重要になる。具体的なアクリル系樹脂としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキブチルメタアクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００４４】
また、通常のウレタン系樹脂はエステル結合を有するため加水分解しやすい性質があるが、主鎖骨格にエステル基やエーテル基をもたないものや、耐加水分解添加剤等を配合したウレタン系樹脂は、加水分解を抑制することができるため好ましい。また、ウレタン系樹脂骨格中にポリカーボネートジオールを配合するとＯＨ基含有量が高くなるため架橋密度を上げやすく、耐擦り傷性に優れる傾向があるため好ましい。具体的なウレタン系樹脂としては、例えばポリオール化合物とポリイソシアネート化合物とを反応させることによって得られる。ポリオール化合物としては、破断強度が高いウレタン樹脂を得ることができることから、ポリエステル系ポリオール化合物、ポリエーテル系ポリオール化合物、ポリカーボネート系ポリオール化合物が挙げられる。
【００４５】
ポリエステル系ポリオール化合物としては、ポリカルボン酸と多価アルコールとのエステル反応で得られるものが挙げられる。ポリカルボン酸としては、例えば、フタル酸、イソフタル酸、テトラヒドロフタル酸、マレイン酸、フマル酸、メタコン酸、シトラコン酸、イタコン酸、アジピン酸、セバシン酸などが挙げられる。これらは単独で、または２種以上を併せて用いることができる。多価アルコールとしては、例えば、エチレングリコール、ジメチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、１，６−ヘキサジオール、トリメチロールプロパン、グリセリン、ペンタエリスリトール、シクロヘキサンジメタノール、ビスヒドロキシエトキシベンゼン、Ｎ−アルキルジエタノールアミン、これらの多量体（２量体、３量体等）などが挙げられる。これらは単独で、または２種以上併せて用いることができる。
【００４６】
ポリエーテル系ポリオール化合物としては、上記多価アルコールにエチレンオキシド、プロピレンオキシド、ブチレンオキシド、スチレンオキシド等のアルキレンオキシドを付加重合させることによって得られるものが挙げられる。
【００４７】
ポリカーボネート系ポリオール化合物としては、例えば、ポリテトラメチレンカーボネートジオール、ポリヘキサメチレンカーボネートジオール、ポリ−１，４−シクロヘキサンメチレンカーボネートジオールなどが挙げられる。
【００４８】
また、これらポリオール化合物は単独で、または２種以上を併せて用いることができる。
【００４９】
ポリイソシアネート化合物としては、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、メタキシレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、４，４−メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、ダイマー酸ジイソシアネート等の有機ジイソイアネート、これらの化合物と多価アルコールとの反応生成物が挙げられる。これらは単独で、または２種以上を併せて用いることができる。
【００５０】
また、特殊なアクリル系樹脂の場合、アクリル系樹脂の官能基側鎖（架橋点とアクリル主鎖との間の鎖）が一般のアクリル系樹脂に比べて長くなっている。そのため、アクリル主鎖とアクリル主鎖の間の架橋部分の力学的自由度が高い構造になっており、長い側鎖が外圧に対してバネの働きをして、弾性機構を発揮するため好ましい。具体的な特殊なアクリル系樹脂として、アクリル系樹脂にラクトン含有多価アルコールを用いて弾性力を上げているものがある。
【００５１】
また、塗装材中にマイクロカプセルなどを配合し、そのカプセルの中に塗装を修復する成分を含有し、外力によって破裂することで修復する成分を付与して自己修復機能をはっきするものもあり、好ましく用いられる。
【００５２】
また、ペリクル枠体２は、長辺２ａ，２ｂ又は短辺２ｃ，２ｄの所定部分（角部５）の塗膜Ｐの厚みを、他の部分（中央部）の２０倍以下程度の厚みとすることが好ましい。角部には、ハンドリング治具の装着等で無理な力が加わることがある。また、角部は剛性が高いために、マスクに強度に貼り付けられている傾向があり、マスクからペリクルを剥離する際、中央付近よりも角部に強い力が加わる可能性がある。このとき、角部の塗膜が他の部分より２０倍以上厚いと、密着性が悪くなるために塗膜の剥がれ等が生じる可能性がある。したがって、角部５の塗膜Ｐの厚みとしては、他の部分の２０倍以下とすることが好ましく、より好ましくは他の部分の０．０５倍〜２０倍である。また、塗膜Ｐの膜厚そのものとしては、５μｍ〜１００μｍあればよい。膜厚が５μｍ以上であれば、下地の影響を極力抑えることができ、下地の欠陥による密着性の低下を抑え、また、塗膜面の平坦性が十分となる。１００μｍ以下であれば、塗膜中への気泡の巻き込みを抑止でき、気泡が割れたり膨れたりすることによる剥れ等の発生を抑えることができる。この特異的な特性を施す箇所は、ペリクル枠体２の角部５であることが好ましく、更には４つの角部５よりも１つの角部５であれば好ましいが、特に個数を限定するものではなく１箇所以上であるとより効果が顕著となる。
【００５３】
続いて、ペリクル枠体２の製造方法について説明する。まず、例えばアルミミウム又はアルミニウム合金から成る長辺２ａ，２ｂ及び短辺２ｃ，２ｄを有する枠部材を準備する。次に、枠部材に対して、上述の塗装材を例えばエアスプレー方式によって塗布する。このとき、角部５においては、塗装厚みを他の部分よりも厚くする。そして、塗装材が塗布された枠部材に加熱処理を施し、枠部材の表面に塗膜Ｐを形成する。以上により、ペリクル枠体２が形成される。その後、ペリクル枠体２にペリクル膜３が展張されることで、ペリクル１が形成される。
【００５４】
以上説明したように、ペリクル１のペリクル枠体２は、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる枠部材のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を５０℃以上３５０℃以下としている。これにより、ペリクル枠体２に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体２と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Ｐの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Ｐの削れも防止できる。したがって、塗膜Ｐの亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、塗膜Ｐの破損を抑制することにより、塗膜Ｐの剥がれ等に起因するアウトガスや異物の発生を防止できる。その結果、ヘイズを抑制できる。また、大規模な装置を必要としないため、コストの低減も図れる。特に、ペリクル１が大型の場合には、本実施形態の構成が更に効果的となる。
【００５５】
また、塗装材を用いることで、塗装のムラも少なくなり、平坦性を維持することができる。更に、熱を加えて塗装材を重合させることが多いため、アルミニウムの熱処理も同時に行うことができ、ペリクルの使用中に熱が加わって寸法が変形してしまうことを防止できる。
【００５６】
また、塗膜Ｐの鉛筆硬度がＢ以上５Ｈ以下である。このような鉛筆硬度とすることにより、ハンドリング冶具や輸送中の衝撃に耐え得る強度を確保することができる。また、所定の強度を有しているため、ペリクル枠体２にペリクル膜３を展張支持した際、ペリクル膜３の余分な部分をカッティングする工程において、一般的なカミソリを使用することができる。これにより、製造過程において特殊な機器・器具等を用いなくてもよく、設備の増大を防止できる。
【００５７】
塗膜Ｐの形成に用いられる塗装材は、塗布型である。このように、塗布型の塗装材を用いることで、エアスプレー、静電塗装、浸漬塗装、ロールコート等といった塗装方法を使用できる。これにより、塗膜Ｐを均一に形成することができ、ペリクル枠体２の平坦性を確保することができる。
【００５８】
ペリクル枠体２は、対向する一対の長辺２ａ，２ｂと、対向する一対の短辺２ｃ，２ｄとから構成されており、長辺２ａ，２ｂ及び短辺２ｃ，２ｄによって形成される少なくとも一つの角部５の塗膜Ｐの厚みは、長辺２ａ，２ｂ又は短辺２ｃ，２ｄの中央部の厚みの２０倍以下である。このような構成によれば、角部５に無理な力が加わった場合でも密着性がよいため、剥がれやクラック等を抑制できる。
【００５９】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、ペリクル枠体２を１枚のシート状母材から切り出した接合部を有さない構成としていが、ペリクル枠体は、少なくとも一箇所の接合部を有する分割枠体であってもよい。
【実施例】
【００６０】
次に、実施例及び比較例を挙げて本実施形態をより具体的に説明するが、本実施の形態はその要旨を超えない限り、下記の実施例に限定されるものではない。
【００６１】
［実施例１］
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、厚みを４．０ｍｍ、長辺の幅を６．０ｍｍ、長さを４３０ｍｍとした。また、短辺は、幅を６．０ｍｍ、長さを３００ｍｍとし、短辺側全長に渡って溝を設け、溝の深さを２ｍｍ、溝の高さを１．５ｍｍとした。また、角部の曲率をＲ＝２ｍｍとした。その他の構成は、図２に示す構成にてペリクル枠体を形成した。塗装材には、ウレタンアクリレート塗料（株式会社トクシキ社製  ＵＶ硬化型自己修復塗料）を使用した。鉛筆硬度をＨＢとした塗膜を形成した。評価結果を表１に示す。
【００６２】
[アウトガス評価]
１０ｃｍの棒状をサンプルとして作製し、加熱脱着法にてＧＣ−ＭＳ（SUPELCO製）で測定した。加熱温度５０℃、加熱時間６０分、吸着剤 CarbopackB+CarbosieveSIII、キャリアガス(Ｈｅ)の条件とした。
【００６３】
[ハンドリング性]
ハンドリングジグで装着作業を行い、装着時の削れ等を集光灯にて目視検査した。５回とも結果が良いものを○、１回傷が生じたがペリクルとして問題ないレベルを△、１回以上削れが発生し、ペリクルとして不具合があるものを×とした。
【表１】
0005981191.tif 000002
【００６４】
［比較例１］
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、厚みを４．０ｍｍ、長辺の幅を６．０ｍｍ、長さを４３０ｍｍとした。また、短辺は、幅を６．０ｍｍ、長さを３００ｍｍとし、短辺側全長に渡って溝を設け、溝の深さを２ｍｍ、溝の高さを１．５ｍｍとした。また、角部の曲率をＲ＝２ｍｍとした。その他の構成は、図２に示す構成にてペリクル枠体を形成した。塗装材には、ウレタン系樹脂塗料（商品名「ＢＹＫＥＴＯＬ  住友バイエルウレタン社製）を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、１４０℃の加熱を３０分行うことでガラス転移点を４０℃、鉛筆硬度を３Ｂとした塗膜を形成した。評価結果を表１に示す。
【００６５】
［比較例２］
ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を９．０ｍｍ、長さを８００ｍｍとし、短辺の幅を７．０ｍｍ、長さを４８０ｍｍとして、角部の曲率をＲ＝０ｍｍとした。それ以外の溝の長さ・深さ、枠体の厚みは実施例１と同様に作製した。塗装材には、エポキシ系樹脂塗料（商品名「オーデックス」  神東塗料社製）を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、１２０℃の加熱を２０分の行うことでガラス転移点を３０℃、鉛筆硬度を２Ｂとした塗膜を形成した。評価結果を表１に示す。
【符号の説明】
【００６６】
１…ペリクル、２…ペリクル枠体、３…ペリクル膜、４…開口部、２ａ，２ｂ…長辺（枠部材）、２ｃ，２ｄ…短辺（枠部材）、Ｐ…塗膜。
【図１】
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【図２】
0005981191.tif 000004
【図３】
0005981191.tif 000005