(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
収容された基板に対して所定の処理を施す処理槽と、
各基板が鉛直方向に立った姿勢で水平方向に配列された第１基板群を保持しつつ所定の第１経路に沿って横行することにより当該第１基板群を基板取出部から前記処理槽の上方に搬送する第１搬送部と、
各基板が鉛直方向に立った姿勢で水平方向に配列された第２基板群を保持しつつ前記第１経路とは異なる所定の第２経路に沿って横行することにより当該第２基板群を前記基板取出部から前記処理槽の上方に搬送する第２搬送部と、
前記処理槽の上方において前記第１搬送部および前第２搬送部に対する相対的な上下動を行うことにより、前記第１搬送部と前記第２搬送部とから前記第１基板群と前記第２基板群とをそれぞれ受け取って一括して前記処理槽に搬送する第３搬送部と、
を備える基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記第１搬送部と前記第２搬送部とは、
前記第１搬送部が前記第１経路に沿って横行するときの前記第１基板群の下端が、前記第２搬送部が前記第２経路に沿って横行するときの前記第２基板群の下端よりも上方になるように前記第１基板群と前記第２基板群とをそれぞれ搬送する基板処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板処理装置であって、
前記第１搬送部と前記第２搬送部とは、
前記第１搬送部が前記第１経路に沿って横行するときの前記第１基板群の下端が、前記第２搬送部が前記第２経路に沿って横行するときの前記第２基板群の上端よりも下方になるように前記第１基板群と前記第２基板群とをそれぞれ搬送する基板処理装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記第１経路と前記第２経路とは、
上方から見たときに前記処理槽を互いの間に挟んでいる基板処理装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れか１つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記第３搬送部は、
１回の前記相対的な上下動により前記第１基板群と前記第２基板群とを受け取る基板処理装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れか１つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記第３搬送部は、
前記相対的な上下動により前記処理槽の上方の互いに高さが異なる２カ所において前記第１基板群および前記第２基板群をそれぞれ受け取る基板処理装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６の何れか１つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記第１搬送部と前記第２搬送部とのうち少なくとも一方が下方に移動することにより、前記第３搬送部が前記第１基板群および前記第２基板群をそれぞれ受け取る基板処理装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか１つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記第１基板群を鉛直方向に配列された状態で収納する第１収納部と、
前記第２基板群を鉛直方向に配列された状態で収納する第２収納部と、
前記第１収納部から前記第１基板群を一括して取り出して、前記第１基板群が水平方向に配列されるように前記第１基板群の姿勢を一括して変更し、当該変更後の前記第１基板群を前記第１搬送部に受け渡す第１受け渡し動作と、
前記第２収納部から前記第２基板群を一括して取り出して、前記第２基板群が水平方向に配列されるように前記第２基板群の姿勢を一括して変更し、当該変更後の前記第２基板群を前記第２搬送部に受け渡す第２受け渡し動作とを、
順次に行う基板受け渡し部と、
をさらに備える基板処理装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８の何れか１つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記第１搬送部と前記第２搬送部とは、
少なくとも前記１基板群と前記第２基板群とが前記第３搬送部にそれぞれ受け渡されるときの前記第１基板群と前記第２基板群との配置関係が、前記第１基板群のそれぞれの基板と、前記第２基板群のそれぞれの基板とが、上方から見たときに重ならない配置関係となるように前記第１基板群と、前記第２基板群とをそれぞれ保持する基板処理装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項９の何れか１つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記第１搬送部は、
一対の第１保持部材を備え、当該一対の第１保持部材を駆動することにより、当該一対の第１保持部材を、前記第１基板群と前記第２基板群とのうち前記第１基板群のみを保持可能な状態と、前記第１基板群および前記第２基板群が当該一対の第１保持部材の間を通過可能な状態とに選択的に設定可能であり、
前記第２搬送部は、
一対の第２保持部材を備え、当該一対の第２保持部材を駆動することにより、当該一対の第２保持部材を、前記第１基板群と前記第２基板群とのうち前記第２基板群のみを保持可能な状態と、前記第１基板群および前記第２基板群が当該一対の第２保持部材の間を通過可能な状態とに選択的に設定可能である基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚の基板に対して一括して処理を施す基板処理装置に関する。処理の対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板など（以下、単に「基板」と称する）が含まれる。
【背景技術】
【０００２】
基板に対して薬液を用いた処理を施す基板処理装置には、複数枚の基板に対して一括して処理を施すバッチ式のものがある。バッチ式の基板処理装置の一例は、特許文献１に示されている。該基板処理装置は、フープ（ＦＯＵＰ）から未処理の第１の基板群を取り出して、基板群の姿勢を水平姿勢から鉛直姿勢に変換する。その後、鉛直姿勢の基板群を第１横行保持部に保持し、受け渡し位置まで横行させる。一方、該基板処理装置は別のフープ（ＦＯＵＰ）から未処理の第２の基板群を取り出して、同様に姿勢を変換する。鉛直姿勢とされた第２の基板群を第２横行保持部に保持し、受け渡し位置まで横行させる。このとき、第１横行保持部と第２横行保持部は、上下に異なる２つの経路にて横行する。これにより、それぞれの基板群に対して姿勢変換動作を独立して行うことができるため、基板の搬送処理速度を向上することができる。
【０００３】
その後、第１および第２の基板群を一括して保持できる昇降保持台を上昇させることにより、該昇降保持台上でバッチ組みを行う。該基板処理装置は、バッチ組みされた基板群を一括で保持する搬送機構によって基板を受け取り、処理槽の上方に搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−９３２３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の基板処理装置は、予めバッチ組みされた基板を処理槽の上方まで水平方向に搬送するため、搬送装置にかかる荷重が増大して、搬送装置の大型化を招くといった問題がある。この問題は、今後、基板が大型化するにつれて顕著となる。
【０００６】
本発明は、こうした問題を解決するためになされたもので、バッチ組みされた基板を一括して処理する処理槽の上方に、横行により基板を搬送する搬送装置にかかる荷重を軽減できる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、第１の態様に係る基板処理装置は、収容された基板に対して所定の処理を施す処理槽と、各基板が鉛直方向に立った姿勢で水平方向に配列された第１基板群を保持しつつ所定の第１経路に沿って横行することにより当該第１基板群を基板取出部から前記処理槽の上方に搬送する第１搬送部と、各基板が鉛直方向に立った姿勢で水平方向に配列された第２基板群を保持しつつ前記第１経路とは異なる所定の第２経路に沿って横行することにより当該第２基板群を前記基板取出部から前記処理槽の上方に搬送する第２搬送部と、前記処理槽の上方において前記第１搬送部および前第２搬送部に対する相対的な上下動を行うことにより、前記第１搬送部と前記第２搬送部とから前記第１基板群と前記第２基板群とをそれぞれ受け取って一括して前記処理槽に搬送する第３搬送部とを備える。
【０００８】
第２の態様に係る基板処理装置は、第１の態様に係る基板処理装置であって、前記第１搬送部と前記第２搬送部とは、前記第１搬送部が前記第１経路に沿って横行するときの前記第１基板群の下端が、前記第２搬送部が前記第２経路に沿って横行するときの前記第２基板群の下端よりも上方になるように前記第１基板群と前記第２基板群とをそれぞれ搬送する。
【０００９】
第３の態様に係る基板処理装置は、第２の態様に係る基板処理装置であって、前記第１搬送部と前記第２搬送部とは、前記第１搬送部が前記第１経路に沿って横行するときの前記第１基板群の下端が、前記第２搬送部が前記第２経路に沿って横行するときの前記第２基板群の上端よりも下方になるように前記第１基板群と前記第２基板群とをそれぞれ搬送する。
【００１０】
第４の態様に係る基板処理装置は、第１から第３の何れか１つの態様に係る基板処理装置であって、前記第１経路と前記第２経路とは、上方から見たときに前記処理槽を互いの間に挟んでいる。
【００１１】
第５の態様に係る基板処理装置は、第１から第４の何れか１つの態様に係る基板処理装置であって、前記第３搬送部は、１回の前記相対的な上下動により前記第１基板群と前記第２基板群とを受け取る。
【００１２】
第６の態様に係る基板処理装置は、第１から第５の何れか１つの態様に係る基板処理装置であって、前記第３搬送部は、前記相対的な上下動により前記処理槽の上方の互いに高さが異なる２カ所において前記第１基板群および前記第２基板群をそれぞれ受け取る。
【００１３】
第７の態様に係る基板処理装置は、第１から第６の何れか１つの態様に係る基板処理装置であって、前記第１搬送部と前記第２搬送部とのうち少なくとも一方が下方に移動することにより、前記第３搬送部が前記第１基板群および前記第２基板群をそれぞれ受け取る。
【００１４】
第８の態様に係る基板処理装置は、第１から第７の何れか１つの態様に係る基板処理装置であって、前記第１基板群を鉛直方向に配列された状態で収納する第１収納部と、前記第２基板群を鉛直方向に配列された状態で収納する第２収納部と、前記第１収納部から前記第１基板群を一括して取り出して、前記第１基板群が水平方向に配列されるように前記第１基板群の姿勢を一括して変更し、当該変更後の前記第１基板群を前記第１搬送部に受け渡す第１受け渡し動作と、前記第２収納部から前記第２基板群を一括して取り出して、前記第２基板群が水平方向に配列されるように前記第２基板群の姿勢を一括して変更し、当該変更後の前記第２基板群を前記第２搬送部に受け渡す第２受け渡し動作とを、順次に行う基板受け渡し部とをさらに備える。
【００１５】
第９の態様に係る基板処理装置は、第１から第８の何れか１つの態様に係る基板処理装置であって、前記第１搬送部と前記第２搬送部とは、少なくとも前記１基板群と前記第２基板群とが前記第３搬送部にそれぞれ受け渡されるときの前記第１基板群と前記第２基板群との配置関係が、前記第１基板群のそれぞれの基板と、前記第２基板群のそれぞれの基板とが、上方から見たときに重ならない配置関係となるように前記第１基板群と、前記第２基板群とをそれぞれ保持する。
【００１６】
第１０の態様に係る基板処理装置は、第１から第９の何れか１つの態様に係る基板処理装置であって、前記第１搬送部は、一対の第１保持部材を備え、当該一対の第１保持部材を駆動することにより、当該一対の第１保持部材を、前記第１基板群と前記第２基板群とのうち前記第１基板群のみを保持可能な状態と、前記第１基板群および前記第２基板群が当該一対の第１保持部材の間を通過可能な状態とに選択的に設定可能であり、前記第２搬送部は、一対の第２保持部材を備え、当該一対の第２保持部材を駆動することにより、当該一対の第２保持部材を、前記第１基板群と前記第２基板群とのうち前記第２基板群のみを保持可能な状態と、前記第１基板群および前記第２基板群が当該一対の第２保持部材の間を通過可能な状態とに選択的に設定可能である。
【発明の効果】
【００１７】
第１から第１０の何れの態様に係る発明によっても、第１および第２搬送部が、バッチ組みされる前の各基板群を処理槽の上方にそれぞれ搬送し、第３搬送部が、第１および第２搬送部に対して相対的な上下動を処理槽の上方で行って、搬送された各基板群を受け取る。そして、第３搬送部は、受け渡された各基板群を一括して処理槽に搬送する。従って、水平方向への横行により基板を処理槽の上方に搬送する搬送装置にかかる荷重が軽減され得る。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態に係る基板処理装置の構成の一例を示す斜視図である。
【図２】基板移載ロボットの動作を説明するための模式図である。
【図３】搬送ロボットの保持部材の一例とその動作を説明するための図である。
【図４】搬送ロボットの保持部材の一例とその動作を説明するための図である。
【図５】搬送ロボットの保持部材の一例とその動作を説明するための図である。
【図６】基板移載ロボットが、基板を移載する動作を説明するための図である。
【図７】基板移載ロボットが、基板を移載する動作を説明するための図である。
【図８】基板移載ロボットが、基板を移載する動作を説明するための図である。
【図９】基板移載ロボットが、基板を移載する動作を説明するための図である。
【図１０】処理槽の上方に搬送される基板の位置関係を説明するための図である。
【図１１】処理槽の上方に搬送される基板の位置関係を説明するための図である。
【図１２】リフタが基板を受け取る動作の一例を説明するための図である。
【図１３】リフタが基板を受け取る動作の一例を説明するための図である。
【図１４】リフタが基板を受け取る動作の一例を説明するための図である。
【図１５】リフタが基板を受け取る動作の一例を説明するための図である。
【図１６】リフタが基板を受け取る動作の一例を説明するための図である。
【図１７】図１５の保持部材を上から見た状態を示す図である。
【図１８】図１６の保持部材を上から見た状態を示す図である。
【図１９】搬送ロボットの保持部材の他の例を説明するための図である。
【図２０】搬送ロボットの保持部材の他の例を説明するための図である。
【図２１】搬送ロボットの保持部材の他の例を説明するための図である。
【図２２】搬送ロボットの保持部材の他の例を説明するための図である。
【図２３】リフタが基板を受け取る動作の他の例を説明するための図である。
【図２４】リフタが基板を受け取る動作の他の例を説明するための図である。
【図２５】実施形態に係る基板処理装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図２６】実施形態に係る基板処理装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図２７】実施形態に係る基板処理装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図面では同様な構成および機能を有する部分に同じ符号が付され、下記説明では重複説明が省略される。また、各図面は模式的に示されたものであり、例えば、各図面における表示物のサイズおよび位置関係等は必ずしも正確に図示されたものではない。また、一部の図面には、方向を説明するために座標軸が附されている。
【００２０】
＜Ａ．実施形態＞
＜Ａ−１．基板処理装置の構成＞
図１は、この発明の一つの実施形態である基板処理装置１の構成の一例を示す斜視図である。図示のように、この装置は、未処理基板を収納しているフープＦ１およびＦ２が投入されるフープ搬入部２と、このフープ搬入部２に載置されたフープＦ１およびＦ２の内部から複数の未処理基板が同時に取り出される基板取出部３と、フープＦ１およびＦ２から取り出された未処理基板が順次洗浄処理される基板処理部５と、洗浄処理後の複数の処理済み基板を同時に空のフープＦ３およびＦ４中に収納する基板収納部７と、処理済み基板を収納しているフープＦ３およびＦ４が払い出されるフープ搬出部８とを備える。さらに、装置の前側（−Ｙ側）および後側（＋Ｙ側）には、基板取出部３から基板収納部７にわたって基板移載搬送機構９ａおよび９ｂが配置されており、洗浄処理前、洗浄処理中及び洗浄処理後の基板を一箇所から別の箇所に搬送したり移載したりする。
【００２１】
フープ搬入部２は、フープストッカー（バッファ）であり、未処理の２５枚の基板（「第１基板群」）Ｗ１を内部に収容したフープＦ１（「第１収納部」）と、未処理の２５枚の基板（「第２基板群」）Ｗ２を内部に収納したフープＦ２（「第２収納部」）とが搬入されて、フープ搬入部２の上部の所定位置に載置される。これらの未処理の基板は、基板面が水平面と平行になる姿勢で鉛直方向（Ｚ方向）に等間隔に配列された状態でフープＦ１およびＦ２にそれぞれ収納されている。基板間の間隔は、例えば、１０ｍｍに設定される。また、フープＦ１およびＦ２のそれぞれの前面（＋Ｘ側）には、フープＦ１、Ｆ２のそれぞれの前面を閉塞している各蓋を開閉するための不図示のオープナがそれぞれ配置されている。
【００２２】
基板取出部３は、多関節式の基板移載ロボットＣＲ１（「基板受け渡し部」）を備える。基板移載ロボットＣＲ１は、本体部と所定の回転軸周りに回転可能に構成された回転部、当該回転部に取付けられ、関節部を有して屈伸可能な腕部ＡＭ１（図２）、および当該腕部の先端に取り付けられたハンドＢＨ１を主に備えている。基板移載ロボットＣＲ１は、フープ搬入部２上の所定位置に載置されたフープＦ１に収容された未処理基板を基板移載搬送機構９ａに設けた搬送ロボットＴＲ１に移載し、フープＦ２に収容された未処理基板を基板移載搬送機構９ｂに設けた搬送ロボットＴＲ２に移載する。具体的には、基板移載ロボットＣＲ１は、フープＦ１から２５枚の未処理基板を一括して取り出して、水平方向に等間隔で配列されるように取り出した各基板の姿勢を一括して変更し、変更後の２５枚の未処理基板を搬送ロボットＴＲ１に受け渡す動作（「第１受け渡し動作」）を行う。また、基板移載ロボットＣＲ１は、同様に、フープＦ２から２５枚の未処理基板を一括して取り出して、水平方向に等間隔で配列されるように取り出した各基板の姿勢を一括して変更し、変更後の２５枚の未処理基板を搬送ロボットＴＲ２に受け渡す動作（「第２受け渡し動作」）を行う。基板移載ロボットＣＲ１は、これらの受け渡し動作を順次に行う。
【００２３】
搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２は、一対の保持部材３２および３４をそれぞれ備えている。一対の保持部材３２および３４の一面には、チャック溝１１２および１２２（図９）が刻設されており、基板移載ロボットＣＲ１から受け渡された２５枚の未処理基板を鉛直かつ互いに平行に支持することを可能にする。搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２は、基板移載ロボットＣＲ１から基板を受け取ると、第１経路２０１および第２経路２０２にそれぞれ沿って水平移動（横行）した後に基板処理部５に受け取った基板を投入する。具体的には、搬送ロボットＴＲ１は、フープＦ１から取り出されて各基板が鉛直方向に立った姿勢で水平方向に等間隔に配列された未処理の第１基板群Ｗ１を保持しつつ第１経路２０１に沿って横行して、該基板群を基板取出部３から基板処理部５の各処理槽の上方に搬送する。また、搬送ロボットＴＲ２は、フープＦ２から取り出されて各基板が鉛直方向に立った姿勢で水平方向に等間隔に配列された未処理の第２基板群Ｗ２を保持しつつ第２経路２０２に沿って横行して、該基板群を基板取出部３から基板処理部５の各処理槽の上方に搬送する。なお、第１経路２０１と第２経路２０２とは、上方（＋Ｚ側）から見たときに各処理槽を互いの間に挟んで対向している。
【００２４】
基板処理部５は、薬液を収容する薬液槽ＣＢを備える薬液処理部５ａと、純水を収容する水洗槽ＷＢを備える水洗処理部５ｂと、単一槽内で各種の薬液処理、水洗処理、または基板乾燥処理などを行う多機能処理槽１１を備える多機能処理部５ｃとから構成される。薬液槽ＣＢ、水洗槽ＷＢ、多機能処理槽１１には、それぞれ図示しない蓋が開閉可能に設けられ、各処理槽においては、収容された基板に対して所定の処理がそれぞれ施される。薬液槽ＣＢ、水洗槽ＷＢおよび多機能処理槽１１は、それぞれ「処理槽」に相当する。
【００２５】
基板処理部５において、薬液処理部５ａ及び水洗処理部５ｂの前方側および後方側には、第１基板浸漬機構１６ａおよび１６ｂがそれぞれ配置されており、これらにリフタ１５（「第３搬送部」）が設けられている。
【００２６】
リフタ１５は、第１基板浸漬機構１６ａおよび１６ｂにそれぞれ設けられた上下動及び横行可能なリフタヘッド１５ａおよび１５ｂと、これらの間にわたって設けられた一対の基板支持部材２２とによって構成されている。リフタ１５は、薬液槽ＣＢの上方において搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２に対する相対的な上下動を行うことにより、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２から第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とをそれぞれ受け取って、バッチ組みを行う。該受け取りは、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２から受け取られた基板が、一対の基板支持部材２２に刻設された溝部５２（図１３）の溝によって支持されることにより行われる。リフタ１５は、受け取った各基板群を一括して薬液槽ＣＢおよび水洗処理部５ｂの水洗槽ＷＢに搬送し、薬液槽ＣＢに浸漬したり、水洗槽ＷＢに浸漬したりする。また、多機能処理部５ｃ内部におけるリフタ１８は、一対の基板支持部材２４を互いの間に有する上下動可能なリフタヘッド１８ａおよび１８ｂによって、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２から受け取った第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２を多機能処理部５ｃの多機能処理槽１１内に支持する。多機能処理槽１１の開口部は、多機能処理槽１１内にリフタ１８が収容された状態で蓋により閉塞され、リフタ１８とともに収容された基板の減圧乾燥処理を含む各種の処理が行われる。
【００２７】
基板収納部７は、基板取出部３と同様の構造を有し、多関節式の基板移載ロボットＣＲ２が設けられている。基板移載ロボットＣＲ２は、基板移載ロボットＣＲ１と同様の構成を有し、ハンドＢＨ２によって、搬送ロボットＴＲ１に保持された処理済みの第１基板群Ｗ１を受け取ってフープ搬出部８に載置された空のフープＦ３中に移載し、搬送ロボットＴＲ２に保持された処理済みの第２基板群Ｗ２を受け取ってフープ搬出部８に載置された空のフープＦ４に移載する。処理済みの各基板群がそれぞれ移載されたフープＦ３およびＦ４は、フープ搬出部８から払い出される。
【００２８】
基板移載搬送機構９ａおよび９ｂは、水平移動及び昇降移動が可能な搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２をそれぞれ備える。そして、この搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２にそれぞれ設けた一対の回転可能な、保持部材３２および３４によって基板を保持することにより、基板移載ロボットＣＲ１がフープＦ１およびＦ２から取り出した基板を基板処理部５の第１基板浸漬機構１６ａおよび１６ｂに設けたリフタ１５側に移載したり、このリフタ１５側から隣の多機能処理部５ｃに設けたリフタ１８側に移載したり、このリフタ１８側から基板収納部７の基板移載ロボットＣＲ２に移載したりする。
【００２９】
＜Ａ−２．基板処理装置の動作＞
図２５〜図２７は、実施形態に係る基板処理装置１の動作の一例として動作フローＳ１００を示すフローチャートである。図２５は、フープから取り出された基板が、処理槽の上方でバッチ組みされるまでの動作を概要のフローを示し、図２６は、フープＦ１から取り出された基板が搬送ロボットＴＲ１に受け渡される動作の詳細な動作フローを示す。また、図２７は、リフタ１５に基板が受け渡される動作の詳細な動作フローを示す。以下に、図２５〜図２７のフローチャートを参照して基板処理装置１の動作を説明する。該説明においては、他の図面を適宜参照しつつ、装置構成の必要な補足説明も行う。
【００３０】
＜Ａ−２−１．動作の概要＞
図２５に示されるように、動作フローＳ１００においては、先ず、基板移載ロボットＣＲ１が、フープＦ１から基板（第１基板群Ｗ１）を取り出し（ステップＳ１１０）、取り出した第１基板群Ｗ１を搬送ロボットＴＲ１へ受け渡す（ステップＳ１２０）。
【００３１】
図２は、基板移載ロボットＣＲ１がフープ搬入部２に載置されたフープＦ１から第１基板群Ｗ１を取り出して、搬送ロボットＴＲ１に受け渡す動作を説明するための模式図である。図２には、基板移載ロボットＣＲ１が該動作を行う過程における基板移載ロボットＣＲ１の３つの状態が二点鎖線、一点鎖線、および実線によってそれぞれ示されている。
【００３２】
二点鎖線で示された基板移載ロボットＣＲ１は、フープ搬入部２に載置されたフープＦ１から第１基板群Ｗ１を取り出すために、フープＦ１内にハンドＢＨ１を挿入している。フープＦ１内には、各基板面が水平面（ＸＹ平面）と平行になる姿勢で鉛直方向（Ｚ方向）に等間隔に配列された状態で第１基板群Ｗ１が収納されている。ハンドＢＨ１には基板と同じ間隔で複数の支持板が設けられており、該挿入によって、互いに隣り合う各支持板の間の各間隙に第１基板群Ｗ１の各基板が１枚ずつ挿入されて、ハンドＢＨ１のチャック機構によってそれぞれチャックされて保持される。また、ハンドＢＨ１は、該チャックを解除する解除機構も備えており、ハンドＢＨ１に保持された基板を搬送ロボットに受け渡すときにチャックが解除される。このようなハンドＢＨ１としては、例えば、特許第３７４５０６４号公報に開示された基板搬送装置のハンド部などが採用される。
【００３３】
一点鎖線で示された基板移載ロボットＣＲ１は、フープＦ１から第１基板群Ｗ１を取り出した状態である。基板移載ロボットＣＲ１は、第１基板群Ｗ１の取り出しが完了すると、ハンドＢＨ１の姿勢を変更することにより、第１基板群Ｗ１を、各基板が鉛直方向に立った姿勢、すなわち鉛直面（ＸＺ平面）と平行になる姿勢で水平方向（Ｙ方向）に等間隔に配列された状態にする。本実施例では、基板移載ロボットＣＲ１のハンドＢＨ１が基板群Ｗ１を保持した状態で、まず基板を水平姿勢から垂直方向に立った姿勢に変換され、その後、ハンドＢＨ１が垂直軸（Z軸）を中心とした回転駆動を行うことにより、図２で実線で示す姿勢に変換される。
【００３４】
実線で示された基板移載ロボットＣＲ１は、ハンドＢＨ１に保持した第１基板群Ｗ１を、搬送ロボットＴＲ１の一対の保持部材３２の間と、搬送ロボットＴＲ２の一対の保持部材３４の間とのそれぞれを通して、上方に持ち上げた状態を示している。該持ち上げの過程では、保持部材３２および３４は、後述する通過可能状態に設定されており、第１基板群Ｗ１は、保持部材３２および３４に接触することなく持ち上げられる。そして第１基板群Ｗ１の下端が、保持部材３２に接触しない位置まで保持部材３２の上方に持ち上げられた後、搬送ロボットＴＲ１の一対の保持部材３２は、後述する保持可能状態に設定される。その後、ハンドＢＨ１が第１基板群Ｗ１を下方におろして第１基板群Ｗ１が保持部材３２に接触したときに第１基板群Ｗ１が保持部材３２のチャック溝１１２（図７）に収まることにより、ハンドＢＨ１から搬送ロボットＴＲ１に第１基板群Ｗ１が受け渡される。該受け渡しの際には、ハンドＢＨ１のチャック機構は解除されている。なお、基板移載ロボットＣＲ２（図１）は、基板移載ロボットＣＲ１と同様の構成を有しており、基板移載ロボットＣＲ１とは逆に、搬送ロボットＴＲ１、ＴＲ２からフープＦ３、Ｆ４に基板を移載する。
【００３５】
ステップＳ１２０（図２５）の受け渡しが完了すると、基板移載ロボットＣＲ１は、第１基板群Ｗ１の搬送ロボットＴＲ１への受け渡しと同様に、フープＦ２から基板（第２基板群Ｗ２）を取り出し（ステップＳ１３０）、取り出した第２基板群Ｗ２を搬送ロボットＴＲ２に受け渡す（ステップＳ１４０）。第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２をそれぞれ受け取った搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２は、処理槽の上方へ移動し（ステップＳ１５０）、リフタ１５への第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２の受け渡しが行われる（ステップＳ１６０）。
【００３６】
図１０および図１１は、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２により処理槽の上方に搬送されている基板の位置関係の一例を説明するための図である。図１０は、＋Ｙ方向に向かって搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２を見た図であり、図１１は、図１０の搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２を＋Ｘ方向に向かって見た図である。
【００３７】
搬送ロボットＴＲ１が第１経路２０１に沿って横行することにより、一対の保持部材３２は、第１基板群Ｗ１を保持した状態で矢印Ｘ１に沿って移動している。また搬送ロボットＴＲ２が第２経路２０２に沿って横行することにより、一対の保持部材３４は、第２基板群Ｗ２を保持した状態で矢印Ｘ２に沿って移動している。
【００３８】
図１１に示されるように、第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とは、基板の移動方向（＋Ｘ方向）に向かって見たときに第１基板群Ｗ１の隣り合う基板間の各隙間に、第２基板群Ｗ２の各基板がそれぞれ一枚ずつ非接触で挿入されて見えるように、それぞれ保持されて搬送されている。
【００３９】
また、搬送ロボットＴＲ１と搬送ロボットＴＲ２とは、搬送ロボットＴＲ１が第１経路２０１に沿って横行するときの第１基板群Ｗ１の下端１０６が、搬送ロボットＴＲ２が第２経路２０２に沿って横行するときの第２基板群Ｗ２の下端１０８よりも上方になるように第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２をそれぞれ搬送している。また、搬送ロボットＴＲ２が第２経路２０２に沿って横行するときの第２基板群Ｗ２の上端１０４よりも下端１０６が下方になるとともに、搬送ロボットＴＲ１が第１基板群Ｗ１を保持して横行するときの保持部材３２の下端１０２よりも上端１０４が下方になるように、第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２がそれぞれ搬送されている。
【００４０】
従って、第１基板群Ｗ１の下部と第２基板群Ｗ２の上部とが、横から見たときに重なるように搬送されているので、第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とが横から見たときに重ならないように搬送される場合に比べて、基板処理装置１の高さをより低くすることができる。該重なりは、例えば、基板の移動方向（＋Ｘ方向）に向かって見たときに第１基板群Ｗ１の隣り合う基板間の各隙間に、第２基板群Ｗ２の各基板がそれぞれ一枚ずつ非接触で挿入されて見えるように、第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とがそれぞれ保持されて搬送されることなどより実現され得る。
【００４１】
なお、第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とが、上方から見たときに処理槽の上方に到達するまでは互いに異なる経路で搬送された後、処理槽の上方において各基板群を上方から見たときに、第１基板群Ｗ１のそれぞれの基板間の各隙間に、第２基板群Ｗ２の各基板がそれぞれ一枚ずつ非接触で挿入される配置関係となるように搬送されても良い。すなわち、搬送ロボットＴＲ１と搬送ロボットＴＲ２とは、少なくとも第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とがリフタ１５にそれぞれ受け渡されるときの第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２との配置関係が、上方から見たときに第１基板群Ｗ１の互いに隣り合う基板間の各隙間に、第２基板群Ｗ２の各基板がそれぞれ一枚ずつ非接触で挿入される配置関係となるように第１基板群Ｗ１と、第２基板群Ｗ２とをそれぞれ保持してもよい。
【００４２】
＜Ａ−２−２．搬送ロボットの保持部材の動作＞
図３〜図５は、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２の保持部材３２および３４の構成の一例とその動作をそれぞれ説明するための図であり、図３は、保持部材３２および３４が通過可能状態に設定された状態を示している。また、図４および図５は、保持部材３２および３４が保持可能状態に設定された状態を示している。図３〜図５においては、ＸＺ平面で切断された一対の保持部材３２（３４）の断面形状と第１基板群Ｗ１（第２基板群Ｗ２）の基板との位置関係が示されており、一対の保持部材３２（３４）のうち＋Ｘ側のものが図示され、他方の保持部材の図示は省略されている。図示が省略された保持部材の断面形状は、ＹＺ平面に対して図示された保持部材の断面形状と対称である。
【００４３】
搬送ロボットＴＲ１（ＴＲ２）は、保持部材３２（３４）を自転させることにより、保持部材３２（３４）の通過可能状態と保持可能状態とを切り替える。より詳細には、搬送ロボットＴＲ１は、一対の保持部材３２を駆動することにより、保持部材３２を、第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とのうち第１基板群Ｗ１のみを保持可能な状態（「保持可能状態」）と、第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２が一対の保持部材３２の間を通過可能な状態（「通過可能状態」）とに選択的に設定可能である。また、搬送ロボットＴＲ２は、一対の保持部材３４を駆動することにより、保持部材３４を、第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とのうち第２基板群Ｗ２のみを保持可能な状態（保持可能状態）と、第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２が一対の保持部材３４の間を通過可能な状態（通過可能状態）とに選択的に設定可能である。
【００４４】
図３〜図５に示されるように、保持部材３２および３４は、例えば、それぞれＹ軸方向に細長い三角柱状の部材により構成される。保持部材３２は、三面６２、６４、および６８を有し、保持部材３４は、三面７２、７４、および７６を有している。保持部材３２は、搬送ロボットＴＲ１に駆動されて回転軸６８を回転中心として自転し、保持部材３４は、搬送ロボットＴＲ２に駆動されて回転軸７８を回転中心として自転する。
【００４５】
後述する図９に示されるように、面６４には、チャック溝１１２とスルー溝１１４とが交互に設けられている。第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２の基板間隔（基板ピッチ）は、例えば、１０ｍｍのノーマルピッチ９８であり、隣り合うチャック溝１１２同士の間隔はノーマルピッチ９８に設定されている。また、隣り合うチャック溝１１２とスルー溝１１４との中心線同士の間隔は、ノーマルピッチ９８の半分の、例えば、５ｍｍのハーフピッチ９６である。同様に、面７４には、チャック溝１２２とスルー溝１２４とが交互に設けられている。また、面６６（７６）にも、同様に、チャック溝１１２（１２２）とスルー溝１１４（１２４）とが交互に設けられている。
【００４６】
図３に示されるように、通過可能状態では、一対の保持部材３２（３４）の面６２（７２）がＹＺ平面と平行になり、面６２同士（７２同士）が互いに対向する。面６２同士（７２同士）の間隔は、第１基板群Ｗ１（Ｗ２）の径よりも広く、第１基板群Ｗ１およびＷ２は、一対の保持部材３２（３４）の間を上下（Ｚ軸方向）に通過することができる。面６２（７２）は、「通過面」とも称される。第１基板群Ｗ１およびＷ２が、一対の保持部材３２（３４）の間の中央部を通って上下動するときには、面６２（７２）と基板群との間には、間隙９２がある。
【００４７】
図４、図５に示されるように、保持可能状態では、一対の保持部材３２（３４）の、面６４（７４）同士または面６６（７６）同士の間隔が、第１基板群Ｗ１（Ｗ２）の径よりも狭くなる。このため、一対の保持部材３２（３４）は、第１基板群Ｗ１（Ｗ２）を保持することができる。より詳細には、一対の保持部材３２（３４）は、保持面に刻設されたチャック溝により第１基板群Ｗ１（Ｗ２）を保持することができる。
【００４８】
面６４（７４）は、例えば、薬液槽ＣＢなどに搬入される前の未処理の基板を保持する面であり、面６６（７６）は、例えば、水洗槽ＷＢなどから出される処理済みの基板を保持する面である。未処理の基板を保持する面と、処理済みの基板を保持する面とが切り替えられることにより、未処理の基板に付着していたパーティクルなどが処理済みの基板に付着することを防止することができる。また、面６４（７４）および面６６（７６）は、「保持面」とも称される。
【００４９】
図１９〜図２２は、搬送ロボットの保持部材の他の例を説明するための図である。図１９および図２０には、ＸＺ平面で切断された一対の保持部材３６の断面形状と第１基板群Ｗ１の基板との位置関係が示され、図２１および図２２には、ＸＺ平面で切断された一対の保持部材３８の断面形状と第１基板群Ｗ１の基板との位置関係が示されている。
【００５０】
一対の保持部材３６は、Ｙ軸方向に細長い板状の形状を有し、回転軸３７を中心に回転可能である。図１９は、保持部材３６の保持可能状態を示し、図２０は、保持部材３６の通過可能状態を示す。図１９、図２０に示される例では、保持部材３６の面５４および５５のうち、面５４は、保持面であり、かつ通過面でもあるが、例えば、面５４および５５のうち一方が保持面で他方が通過面となるように保持部材３６が動作しても良い。
【００５１】
一対の保持部材３８は、Ｙ軸方向に細長い四角柱状の形状を有し、左右（＋Ｘ方向と−Ｘ方向）に開閉可能である。図２１は、保持部材３８の保持可能状態を示し、図２２は、保持部材３８の通過可能状態を示す。
【００５２】
搬送ロボットＴＲ１および搬送ロボットＴＲ２における保持部材として、保持部材３２（３４）に代えて、例えば、保持部材３６または保持部材３８などが採用されたとしても本発明の有用性を損なうものではない。
【００５３】
＜Ａ−２−３．フープから取り出された基板の搬送ロボットへの基板の受け渡し動作＞
図６〜図９は、基板移載ロボットＣＲ１が、第１基板群Ｗ１を搬送ロボットＴＲ１の保持部材３２に移載し、さらに第２基板群Ｗ２を搬送ロボットＴＲ２の保持部材３４に移載する動作の一例を説明するための図である。図６〜図９では、一対の保持部材３２および３４のそれぞれの対のうち＋Ｙ側の保持部材を上方から見た状態が図示されており、他方の図示は省略されている。図６〜図９の動作例における保持部材３２および３４は、上方から見たときに基板取出部３の同じ位置にあるが、説明の便宜上、保持部材３２と保持部材３４とは、左右（Ｙ軸方向）に分けて図示されている。なお、保持部材３２および３４が上方から見たときに互いに異なる位置にある状態で、基板移載ロボットＣＲ１による基板の移載が行われても良い。
【００５４】
図６では、保持部材３２および３４が、図３に示される通過可能状態にそれぞれ設定されている。図７、図８では、保持部材３２が、図４に示される保持可能状態に設定され、保持部材３４が、図３に示される通過可能状態に設定されている。図９では、保持部材３２および３４が、図４に示される通過可能状態にそれぞれ設定されている。
【００５５】
保持部材３２の面６４には、チャック溝１１２とスルー溝１１４とが交互に設けられており、保持部材３４の面７４には、チャック溝１２２とスルー溝１２４とが交互に設けられている。隣り合うスルー溝同士およびチャック溝同士のそれぞれの間隔は、ノーマルピッチ９８であり、隣り合うスルー溝とチャック溝との中心線同士の間隔はハーフピッチ９６である。そして、保持部材３２と保持部材３４とは、互いにＸ軸方向にハーフピッチ９６ずれている。同様に、保持部材３２の面６６にも、チャック溝１１２とスルー溝１１４とが交互に設けられており、保持部材３４の面７６にも、チャック溝１２２とスルー溝１２４とが交互に設けられている。
【００５６】
なお、保持部材３２および３４の保持可能状態が、図５に示される状態によってそれぞれ実現されても良い。すなわち、一対の保持部材３２の一対の面６６により第１基板群Ｗ１が保持され、一対の保持部材３４の一対の面７６により第２基板群Ｗ２が保持されても良い。
【００５７】
以下に、図６、図７を参照しつつ、図２６のフローチャートに従って、ステップＳ１２０（図２５）の処理の詳細について説明する。搬送ロボットＴＲ１（ＴＲ２）は、先ず、一対の保持部材３２（３４）を回転駆動して、一対の保持部材３２（３４）を図３、図６に示される通過可能状態に設定する（ステップＳ２１０）。基板移載ロボットＣＲ１は、第１基板群Ｗ１が、一対の保持部材３２の間と一対の保持部材３４の間とを図６に示されるようにそれぞれ通過できるように、ハンドＢＨ１の位置と姿勢を調整する。該調整の後、基板移載ロボットＣＲ１は、ハンドＢＨ１を上昇させる。該上昇により図６に示されるように、第１基板群Ｗ１は一対の保持部材３４の面７２同士の間を通過した後、一対の保持部材３２の面６２同士の間を通過する。そして、ハンドＢＨ１は、搬送ロボットＴＲ１の保持部材３２よりも上方に基板（第１基板群Ｗ１）を保持する（ステップＳ２２０）。この状態においては、第１基板群Ｗ１の下側の外縁が、保持部材３２よりも上方に保持されており、保持部材３２は、第１基板群Ｗ１に干渉することなく自転可能である。そして、搬送ロボットＴＲ１は、保持部材３２を、例えば、図４に示される保持可能状態に設定する（ステップＳ２３０）。そして、基板移載ロボットＣＲ１のハンドＢＨ１が下方に移動し、図７に示されるように、基板（第１基板群Ｗ１）を保持部材３２のチャック溝１１２に受け渡す（ステップＳ２４０）。基板移載ロボットＣＲ１のハンドＢＨ１は、一対の保持部材３４の下方に退避し（ステップＳ２５０）、ステップＳ１２０（図２５）の処理が終了される。
【００５８】
次に、基板移載ロボットＣＲ１による一対の保持部材３４への第２基板群Ｗ２の受け渡し動作が、同様に行われる。該動作においては、先ず、保持部材３４が図８に示される通過可能状態に設定された状態で、第２基板群Ｗ２を保持したハンドＢＨ１が上昇する。該上昇により図８に示されるように、第２基板群Ｗ２は一対の保持部材３４の面７２同士の間を通過する。そして、ハンドＢＨ１は、保持部材３４よりも上方に第２基板群Ｗ２を保持する。この状態においては、第２基板群Ｗ２の下側の外縁が、保持部材３４よりも上方に保持されており、保持部材３４は、第２基板群Ｗ２に干渉することなく自転可能である。そして、搬送ロボットＴＲ１は、保持部材３４を、例えば、図４に示される保持可能状態に設定する。そして、ハンドＢＨ１が下方に移動し、図９に示されるように、第２基板群Ｗ２を保持部材３２のチャック溝１２２に受け渡す。ハンドＢＨ１は、一対の保持部材３４の下方に退避する。
【００５９】
＜Ａ−２−４．リフタへの基板の受け渡し動作＞
図１２〜図１６は、リフタ１５が基板（第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２）を受け取る動作の一例を説明するための図である。図１２は、保持状態に設定された一対の保持部材３２および３４により第１基板群Ｗ１およびＷ２がそれぞれ薬液槽ＣＢの上方に搬送された状態を＋Ｙ方向に向かって見た断面図である。第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２の下方には、薬液槽ＣＢ内には降下している一対の基板支持部材２２を備えたリフタ１５がある。
【００６０】
図１３は、図１２の状態を＋Ｘ方向に向かって見た断面図である。図１４は、図１２、図１３のリフタ１５が、基板支持部材２２が第２基板群Ｗ２の下側の端面に当たるまで矢印Ｚ１の方向に上昇した状態を示す断面図である。図１５は図１４のリフタ１５が、さらに基板支持部材２２が第１基板群Ｗ１の下側の端面に当たるまで矢印Ｚ１（図１４）の方向に上昇した状態を示す断面図である。図１６は、図１５のリフタ１５が、基板支持部材２２により第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２を支持しつつ、さらに上昇した状態を示す断面図である。該上昇の後、保持部材３２および保持部材３４は、保持可能状態から通過可能状態に変更されている。
【００６１】
図１７は、図１５の保持部材３２および３４と、第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２とを上から見た状態を示す図である。図１８は、図１６の保持部材３２および３４と、第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２とを上から見た状態を示す図である。
【００６２】
以下に、図２７を参照して、ステップＳ１６０（図２５）の処理の詳細について説明する。図２７に示されるように、先ず、保持可能状態に設定された保持部材３２および３４が第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２をそれぞれ支持した状態で、リフタ１５の基板支持部材２２が搬送ロボットＴＲ１の保持部材３２よりも上方となるように、リフタ１５が移動する（ステップＳ３１０）。そして、該上昇の過程でリフタ１５の基板支持部材２２への基板（第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２）の受け渡しが行われる（ステップＳ３２０）。
【００６３】
上述したステップＳ３１０〜Ｓ３２０の処理においては、図１２、図１３に示される状態からリフタ１５が矢印Ｚ１の方向に上昇を開始し、図１４に示されるように、リフタ１５の一対の基板支持部材２２が第２基板群Ｗ２の下端に接触する。そして、第２基板群Ｗ２が、一対の基板支持部材２２の溝部５２に支持されることによりリフタ１５に受け渡される。リフタ１５は、さらに上昇し、図１５、図１７に示されるように一対の基板支持部材２２が第１基板群Ｗ１の下端に接触し、第１基板群Ｗ１が一対の基板支持部材２２の溝部５２に支持されることによりリフタ１５に受け渡される。
【００６４】
このとき、−Ｚ方向に向かって上から見ると、図１７に示されるように面６４および７４のチャック溝１１２および１２２は、中心線同士の間隔がハーフピッチ９６で交互に並んで見える。そしてこのとき、第１基板群Ｗ１のそれぞれの基板と、第２基板群Ｗ２のそれぞれの基板とが、上方から見たときに重ならない配置関係となっている。そして、一対の基板支持部材２２に支持された第２基板群Ｗ２は、一対の保持部材３２の一対のスルー溝１１４（図９）の間を通る。基板支持部材２２の溝部５２において、第１基板群Ｗ１の各基板間の隙間に、第２基板群Ｗ２の各基板が一枚ずつ挿入される。そして、各基板が鉛直方向に立った姿勢で水平方向にハーフピッチ９６で等間隔に配列された５０枚の基板が形成され、ピッチ変換が行われる。上述したように、リフタ１５は、第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２に対する相対的な上下動により薬液槽ＣＢの上方の互いに高さが異なる２カ所において第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２をそれぞれ受け取っている。
【００６５】
ステップＳ３２０の処理が完了すると、リフタ１５は、図１５、図１７に示される状態から、図１６、図１８に示されるように、保持部材３２が第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２の下側の外縁に干渉することなく自転可能な位置までさらに上昇する。そして、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２が、保持部材３２および３４を自転させて通過可能状態に設定する（ステップＳ３３０）。
【００６６】
該通過可能状態においては、一対の面６２の間に、第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２が保持されている。上から見ると面６２および７２は、重なって見え、面６２および７２と第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２との間には、Ｙ軸方向に間隙９２がある。そして、ピッチ変換された第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２は、基板支持部材２２に支持された状態で、一対の面６２同士の間および一対の面７２同士の間を下方に通過可能となる。
【００６７】
次に、リフタ１５が、図１６に示されるように矢印Ｚ２に沿って下方の処理槽の内部に移動し（ステップＳ３４０）、第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２は一括して薬液槽ＣＢ内に搬送される。すなわち、リフタ１５は、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２に対する１回の相対的な上下動により第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とを受け取って、薬液槽ＣＢ内に搬送している。リフタ１５の下降後、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２が薬液槽ＣＢの上方から退避し（ステップＳ３５０）、ステップＳ１６０（図２５）の処理が終了される。
【００６８】
図２３および図２４は、リフタ１５が基板（第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２）を受け取る動作の他の例を説明するための図である。図２３に示される例では、破線で示されるリフタ１５が矢印Ｚ１の方向に上昇するだけでなく、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２がそれぞれ降下して破線で示される保持部材３２および３４がそれぞれ矢印Ｚ２の方向に降下することにより、第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２がリフタ１５の一対の基板支持部材２２に受け渡される。
【００６９】
従って、リフタ１５は、保持部材３２および３４が降下しない場合に比べて短い移動ストロークにより第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２を受け取り、一括して処理槽（薬液槽ＣＢ）に搬送することができる。図２３および図２４に示される例では、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２の双方が下方に移動しているが、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２のうち少なくとも一方が下方に移動することにより、リフタ１５が第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２をそれぞれ受け取ってもよい。
【００７０】
図２４に示される例では、第２基板群Ｗ２を搬送する下側の搬送ロボットＴＲ２が、第１基板群Ｗ１を搬送する上側の搬送ロボットＴＲ１に先行して第２経路２０２（図１）に従って移動している。そして、搬送ロボットＴＲ２の保持部材３４が薬液槽ＣＢの上方に到着したときに、リフタ１５が矢印Ｚ１の方向に上昇を開始する。リフタ１５が該上昇を完了した状態では、第１基板群Ｗ１を保持して横行する搬送ロボットＴＲ１の保持部材３２の下端１０２よりもリフタ１５の上端部１５ｃが下方に位置する。この位置関係により、搬送ロボットＴＲ１の保持部材３２は、リフタ１５に干渉することなく矢印Ｘ３の方向に移動して第１基板群Ｗ１をリフタ１５の上方に搬送することができる。リフタ１５は、第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２が、それぞれリフタ１５の上方に揃ってからリフタ１５が上昇する場合に比べて、予め、より上方で第１基板群Ｗ１を待つことができるので、第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とを受け取ってバッチ組みを行うまでの時間をより短縮することができる。第１基板群Ｗ１が保持部材３２に保持されて薬液槽ＣＢの上方に搬送された後、リフタ１５は、上昇を再開して第２基板群Ｗ２および第１基板群Ｗ１を受け取って、一括して薬液槽ＣＢに搬送する。
【００７１】
なお、第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とがリフタ１５により一括して処理槽に搬送される際に、ノーマルピッチ９８からハーフピッチ９６にピッチ変換されないとしても本発明の有用性を損なうものではない。例えば、第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とがノーマルピッチ９８で等間隔に配列された複数の基板として、リフタ１５によって一括して処理槽に搬送されても良い。
【００７２】
以上のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２が、バッチ組みされる前の第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２を処理槽の上方にそれぞれ搬送する。そして、リフタ１５が、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２に対して相対的な上下動を該処理槽の上方で行って、搬送された各基板群を受け取る。そして、リフタ１５は、受け渡された各基板群を一括して処理槽に搬送する。従って、水平方向への横行により基板を処理槽の上方に搬送する搬送ロボットＴＲ１および搬送ロボットＴＲ２にかかる荷重が軽減され得る。
【００７３】
また、以上のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２は、搬送ロボットＴＲ１が横行するときの第１基板群Ｗ１の下端が、搬送ロボットＴＲ２が横行するときの第２基板群Ｗ２の下端よりも上方になるように第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とをそれぞれ搬送する。従って、保持部材３２と保持部材３４とのそれぞれの移動経路を上方から見たときに互い重なるように設定することができるので、基板処理装置の設置スペースをより小さくすることができる。
【００７４】
また、以上のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、第１基板群Ｗ１の下端が、第２基板群Ｗ２の上端よりも下方になるように搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２がそれぞれ横行して第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とをそれぞれ搬送する。従って、第１基板群Ｗ１の下端が、第２基板群Ｗ２の上端よりも上方になるように搬送される場合に比べて、基板処理装置の高さをより低く抑えることができる。
【００７５】
また、以上のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、第１経路２０１と第２経路２０２とは、上方から見たときに基板処理装置の処理槽を互いの間に挟んで設けられている。従って、第１経路２０１および第２経路２０２が処理槽の片側に設けられる場合よりも、保持部材３２および保持部材３４の長さを短くすることができるので、保持部材３２および保持部材３４にかかるモーメントをより減少させることができる。
【００７６】
また、以上のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、リフタ１５は、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２に対する１回の相対的な上下動により第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２を受け取って処理槽に搬送できる。従って、第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２のバッチ組みと、一括した処理槽への搬送とをより高速化できる。
【００７７】
また、以上のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、リフタ１５は、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２に対する相対的な上下動により処理槽の上方の互いに高さが異なる２カ所において第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２をそれぞれ受け取る。従って、第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とをピッチ変換可能な配置関係で保持することができ、バッチ組み際のピッチ変換がより容易となる。また、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２のそれぞれの保持部材が互いに干渉しないように保持され得る。
【００７８】
また、以上のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２のうち少なくとも一方が下方に移動することにより、リフタ１５が第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２をそれぞれ受け取ることができる。従って、搬送ロボットが下方に移動しない場合に比べて、リフタ１５の移動ストロークをより短くすることができる。
【００７９】
また、以上のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、基板移載ロボットＣＲ１は、フープＦ１から第１基板群Ｗ１を一括して取り出して、搬送ロボットＴＲ１に受け渡す第１受け渡し動作と、フープＦ２から第２基板群Ｗ２を一括して取り出して、搬送ロボットＴＲ２に受け渡す第２受け渡し動作とを、順次に行う。従って、基板取出部で第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とを例えば、昇降保持台を有するプッシャの該昇降保持台上で一旦バッチ組みしてから一括して搬送ロボットＴＲ１およびＴＲ２に搬送する場合に比べて、該昇降保持台でのバッチ組みの工程を削減することができる。また、搬送ロボットＴＲ１と搬送ロボットＴＲ２とは、別々に第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とを載置されるので、互いに独立して基板取出部から処理槽の上方へ横行できる。これにより、下側の搬送ロボットＴＲ２が先行して処理槽の上方へ移動すれば、リフタ１５は、搬送ロボットＴＲ１および搬送ロボットＴＲ２が処理層の上方で揃うまで待つことなく、搬送ロボットＴＲ２の保持部材３２に干渉しない高さまで、予め上昇することができる。従って、処理槽の上方におけるバッチ組みの所要時間がより短縮され得る。
【００８０】
なお、基板処理装置１では、各基板がノーマルピッチ９８で等間隔に配列された第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とがハーフピッチ９６で交互にバッチ組みされる。しかし、例えば、処理槽の一方の片側を移動する２台の搬送ロボットと、他方側を移動する１台の搬送ロボットがそれぞれノーマルピッチの基板群を処理槽の上方に搬送し、リフタ１５が相対的な上下動を行うことにより、各基板群を１／３ピッチでバッチ組みしても良い。また、バッチ組みされる第１基板群Ｗ１と第２基板群Ｗ２とはそれぞれ２５枚を一組として運用可能であるが、必ず２５枚必要なわけではない。例えば第１基板群Ｗ１として２５枚に満たない数の基板がフープＦ１に収容されている場合でも問題なく使用できる。この場合、バッチ組みした基板群には等間隔でない部分が生じるが、基板搬送上の問題はない。
【００８１】
本発明は詳細に示され記述されたが、上記の記述は全ての態様において例示であって限定的ではない。したがって、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。例えば、上記実施形態では、処理済みの第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２はフープ搬出部８の空のフープＦ３，Ｆ４に移載されて払いだされるが、これに限らず、例えば、処理済みの第１基板群Ｗ１および第２基板群Ｗ２を、もともとそれらが収納されていたフープＦ１，Ｆ２に戻して収納して払い出す構成であってもよい。また処理槽の種類、個数、配置にも限定されない。上記実施形態では薬液槽ＣＢの上方で基板を受渡ししていたが、その他の位置で受渡しを行ってもよい。また上記実施形態では、リフタ１５、１８は処理槽の両側から支える両持ち型であり、搬送ロボットＴＲ１、ＴＲ２は片側のみから支える片持ち型であったが、逆であってもよいし、全てが片持ち型、または全てが両持ち型であってもよい。
【符号の説明】
【００８２】
１  基板処理装置
２０１  第１経路
２０２  第２経路
１１  多機能処理槽
１５  リフタ（第３搬送部）
１５ａ，１５ｂ  リフタヘッド
１６ａ，１６ｂ  第１基板浸漬機構
１８  リフタ
１８ａ，１８ｂ  リフタヘッド
２  フープ搬入部
２２  基板支持部材
２４  基板支持部材
３  基板取出部
３２，３４  保持部材
５  基板処理部
５ａ  薬液処理部
５ｂ  水洗処理部
５ｃ  多機能処理部
７  基板収納部
８  フープ搬出部
９ａ，９ｂ  基板移載搬送機構
ＢＨ１，ＢＨ２  ハンド
ＣＢ  薬液槽
ＣＲ１，ＣＲ２  基板移載ロボット
Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４  フープ
ＴＲ１  搬送ロボット（第１搬送部）
ＴＲ２  搬送ロボット（第２搬送部）
Ｗ１  第１基板群
Ｗ２  第２基板群
ＷＢ  水洗槽
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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