(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
穴の壁面を検査する方法であって、
先端に広角レンズを備えた挿入シャフトを前記穴へ挿入させて、前記広角レンズを通じた画像に基づいて前記穴の壁面を検査する際、
前記挿入シャフトの外周面に沿って前記穴の奥に向って第１ガスを噴出させると共に、
前記第１ガスの外周部において、前記第１ガスと同方向に、前記第１ガスよりも速い流速で第２ガスを噴出させることを特徴とする穴検査方法。
【請求項２】
穴の壁面を検査する装置であって、
先端に広角レンズを備え、前記穴に挿入される挿入シャフトと、
前記挿入シャフトの外周面に沿って前記穴の奥に向って第１ガスを噴出すると共に、前記第１ガスの外周部において、前記第１ガスと同方向に、前記第１ガスよりも速い流速で第２ガスを噴出するガス噴出機構とを備えることを特徴とする穴検査装置。
【請求項３】
前記ガス噴出機構は、
前記挿入シャフトの先端側の部分を囲繞し、その内周面と前記挿入シャフトの外周面との間に前記挿入シャフトの長手方向に延びる第１ガス噴出路を形成する内側ガイドと、
前記内側ガイドの外周部を囲繞し、その内周面と前記内側ガイドとの外周面との間に前記内側ガイドの長手方向に延び、前記第１ガス噴出路より噴出部の断面積が小さな第２ガス噴出路を形成する外側ガイドと、
前記第１ガス噴出路及び前記第２ガス噴出路にガスを供給するガス供給部とから構成されることを特徴とする請求項２に記載の穴検査装置。
【請求項４】
前記ガス供給部からガスが供給され、前記内側ガイドの内部空間に連通するガス室を有する支持体を備え、
前記挿入シャフトは、その長手方向において前記内側ガイドと前記ガス室とを挿通するように配置されるとともに、基端側の部分が前記支持体に支持されることを特徴とする請求項３に記載の穴検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、穴検査方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、工業用内視鏡を使用して、穴状の検査対象物（以下、検査穴という。）の内壁面（以下、穴壁面という。）を撮像し、穴壁面の欠陥の有無などを検査することが行われている。この際、先端に広角レンズを備えた細長い挿入シャフトを検査穴に挿入するが、レンズや穴壁面に水滴、切粉、異物等の付着物が付着していると、内視鏡で撮像した画像から欠陥の有無などを正確に検出することができない。
【０００３】
そこで、特許文献１には、先端に広角レンズを備えた挿入シャフトを穴へ挿入させて、広角レンズを通じた画像に基づいて穴壁面を検査する際、挿入シャフトの外周面に沿って穴の奥に向ってガスを噴出させることが開示されている。
【０００４】
これによれば、ガスによって、穴壁面に付着した水滴、切粉、異物などの付着物を除去することができる。また、レンズ表面の曇りや水滴なども除去することができる。よって、検査精度を向上させることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−８８１３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示された技術では、挿入シャフトの外周面に沿ってガスを噴出させているので、挿入シャフトの外周面に沿ったガスの流速は、その周りを流れるガスの流速よりも速く、穴壁面から除去された、或いは雰囲気中を浮遊する水滴や異物などは、流速の速いガスに引き寄せられる。よって、これら水滴や異物などが広角レンズに付着することがあった。
【０００７】
広角レンズに付着する水滴や異物が時間経過と共に増加すると、正確な検査を行うことが困難になる。そのため、定期的に広角レンズを清掃する必要があり、長時間連続して正確な検査を行うことができないという課題があった。
【０００８】
本発明は、以上の点に鑑み、挿入シャフトの先端に備わる広角レンズに水滴や異物などが付着しない穴検査方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の穴検査方法は、穴の壁面を検査する方法であって、先端に広角レンズを備えた挿入シャフトを前記穴へ挿入させて、前記広角レンズを通じた画像に基づいて前記穴の壁面を検査する際、前記挿入シャフトの外周面に沿って前記穴の奥に向って第１ガスを噴出させると共に、前記第１ガスの外周部において、前記第１ガスと同方向に、前記第１ガスよりも速い流速で第２ガスを噴出させることを特徴とする。
【００１０】
本発明の穴検査方法によれば、第１ガスの外周部において第１ガスと同方向に第１ガスよりも速い流速の第２ガスを噴出させるので、穴壁面から除去された、或いは雰囲気中を浮遊する水滴や異物などは、流速の速い第２ガスに引き寄せられる。よって、水滴や異物などが広角レンズの付近に滞留することが防止され、これらが広角レンズに付着することがない。これにより、広角レンズを清掃することなく、長時間連続して正確な検査を行うことが可能となる。
【００１１】
なお、穴は例えば燃料噴射装置を配置する穴である。
【００１２】
本発明の穴検査装置は、穴の壁面を検査する装置であって、先端に広角レンズを備え、前記穴に挿入される挿入シャフトと、前記挿入シャフトの外周面に沿って前記穴の奥に向ってガスを噴出すると共に、前記第１ガスの外周部において、前記第１ガスと同方向に、前記第１ガスよりも速い流速で第２ガスを噴出するガス噴出機構とを備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明の穴検査装置によれば、ガス噴出機構は、第１ガスの外周部において第１ガスと同方向に第１ガスよりも速い流速の第２ガスを噴出させるので、穴壁面から除去された、或いは雰囲気中を浮遊する水滴や異物などは、流速の速い第２ガスに引き寄せられる。よって、水滴や異物などが広角レンズの付近に滞留することが防止され、これらが広角レンズに付着することがない。これにより、広角レンズを清掃することなく、長時間連続して正確な検査を行うことが可能となる。
【００１４】
なお、穴は例えば燃料噴射装置を配置する穴である。
【００１５】
また、本発明の穴検査装置において、前記ガス噴出機構は、前記挿入シャフトの先端側の部分を囲繞し、その内周面と前記挿入シャフトの外周面との間に前記挿入シャフトの長手方向に延びる第１ガス噴出路を形成する内側ガイドと、前記内側ガイドの外周部を囲繞し、その内周面と前記内側ガイドとの外周面との間に前記内側ガイドの長手方向に延び、前記第１ガス噴出路より噴出部の断面積が小さな第２ガス噴出路を形成する外側ガイドと、前記第１ガス噴出路及び前記第２ガス噴出路にガスを供給するガス供給部とから構成されることが好ましい。
【００１６】
この場合、第２ガスを噴出する第２ガス噴出路の噴出部の断面積が第１ガス噴出路の噴出部の断面積よりも小さい。そのため、第２ガスの流速が第１ガスの流速よりも速くなる。そして、内側ガイドと外側ガイドとによって、第１ガス噴出路及び第２ガス噴出路を簡易に構成することができる。
【００１７】
また、内側ガイドと挿入シャフトの先端側の部分を、第１ガス噴出路のガス圧によって非接触で内側ガイドの内部空間の中心に支持することができる。よって、挿入シャフトの先端側の部分を軸心を合わせた状態で良好に支持することが可能となる。さらに、ガス噴出機構を備えた穴検査装置の先端部分を細く簡易な構成とすることが可能となる。
【００１８】
また、本発明の穴検査装置において、前記ガス供給部からガスが供給され、前記内側ガイドの内部空間に連通するガス室を有する支持体を備え、前記挿入シャフトは、その長手方向において前記内側ガイドと前記ガス室とを挿通するように配置されるとともに、基端側の部分が前記支持体に支持されることが好ましい。
【００１９】
この場合、挿入シャフトは、基端側が支持体で、先端側がガス圧でそれぞれ支持される。よって、挿入シャフトを安定して高精度に支持し、その先端部の位置ズレを低減することが可能となる。これにより、高価で大型の高精度なブッシュ機構を用いる必要がなく、支持体の小型化及び装置の低コスト化を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係る穴検査装置を示す概略断面図。
【図２】第１ガスと第２ガスとの流れを説明する拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の実施形態に係る穴検査装置１０について図１を参照して説明する。穴検査装置１０は、穴状の検査対象物（以下、検査穴という。）の内壁面（以下、穴壁面という。）Ｓ（図２参照）に巣穴等の欠陥が存在するかなどを検査するために使用される。
【００２２】
なお、検査穴は、例えば、直噴エンジンの燃料噴射装置（インジェクタ）を配置するために形成された穴であるが、その用途、形状、穴径、深さなどは限定されない。例えば、検査穴は、貫通穴であっても、底壁を有する穴であってもよい。また、検査穴は、穴径が一定のストレート穴であっても、穴径が漸次変化するテーパ穴であってもよい。
【００２３】
穴検査装置１０は、挿入シャフト１１、支持ブラケット（支持体）１２、内側ガイド１３、外側ガイド１４、及びガス供給手段１５を備えている。
【００２４】
挿入シャフト１１は、全体外観として細長い棒状体であり、その長手方向（図１における上下方向。以下、上下方向ともいう。）の先端部分（下端部分）が検査時に検査穴内に挿入される。挿入シャフト１１は、その最先端部に魚眼レンズなどの広角レンズ１１ａを備えている。
【００２５】
ここでは、挿入シャフト１１は、内視鏡として構成されている。具体的には、挿入シャフト１１は、ステンレス鋼などの硬質材からなる円筒状の外殻を有している。そして、挿入シャフト１１は、図示しないが、広角レンズ１１ａを含むレンズ機構、及びＣＣＤやＣＭＯＳ等からなる撮像素子などを先端部に内蔵している。
【００２６】
ただし、挿入シャフト１１は撮像素子などを内蔵するものに限定されない。例えば、挿入シャフト１１に内蔵されたレンズ機構や光ファイバを通じて、広角レンズ１１ａを介した穴壁面Ｓの画像が穴検査装置１０の外部に配置された撮像素子の撮像面に結像されるものであってもよい。
【００２７】
撮像素子で光電変換された穴壁面画像の画像信号は、信号線を介して、挿入シャフト１１内又は穴検査装置１０外部に存在する図示しない画像信号処理部に伝送され、映像信号が生成される。そして、生成された映像信号は装置１０外部の画像表示装置２０に出力され、画像表示装置２０の表示画面上に穴壁面Ｓの画像が表示される。
【００２８】
この画像を目視する検査員によって欠陥の有無等が検査される。或いは、図示しないが、生成された映像信号は映像解析装置に送信され、自動的に欠陥の有無等が判定される。
【００２９】
支持ブラケット１２は、ブラケット本体１６と２つの支持ブッシュ１７，１８とからなる。ブラケット本体１６は、ステンレス鋼などの硬質材からなり、第１支持部１６ａと第２支持部１６ｂとが連結部１６ｃで連結されて一体的に形成されている。
【００３０】
第１支持部１６ａは、先端側（下方側）に位置し、内部に円柱状の空間からなるガス室１６ｄが形成されている。ガス室１６ｄの上方及び下方は開放されている。そして、第１支持部１６ａの側壁にガス室１６ｄにガスを供給するためのガス供給口１６ｅが形成されている。なお、ガスは、窒素などの不活性ガスや空気であることが好ましいが、特に限定されない。
【００３１】
第１支持ブッシュ１７は、第１支持部１６ａの基端側（上方側）に図示しない留めネジなどで第１支持部１６ａに固定的に装着され、ガス室１６ｄの上側を密閉している。また、第１支持ブッシュ１７は、その中心部に貫通穴が形成されており、この貫通穴に挿入シャフト１１が気密に挿通されている。これにより、挿入シャフト１１の中間部は、第１支持ブッシュ１７によって固定的に支持される。
【００３２】
第２支持部１６ｂは、基端側に位置し、第２支持ブッシュ１８が装着される貫通穴が形成されている。第２支持ブッシュ１８は、その中心部に貫通穴が形成されており、この貫通穴に挿入シャフト１１が挿通されている。これにより、挿入シャフト１１の基端部は、第２支持ブッシュ１８によって固定的に支持される。
【００３３】
内側ガイド１３は、挿入シャフト１１の先端側の部分を囲繞しており、第１ガスＧ１の噴出をガイドする。内側ガイド１３は、例えば、既知の樹脂材料等から形成されている。
【００３４】
内側ガイド１３の中心部には、挿入シャフト１１の長手方向（上下方向）に貫通する円柱状の貫通穴が形成されており、この貫通穴に挿入シャフト１１の先端側の部分が挿通されている。ただし、挿入シャフト１１の最先端部は内側ガイド１３から突出している。なお、内側ガイド１３の内周面と挿入シャフト１１の外周面とは、正常時は非接触であり、その間には空隙が形成されている。この上下方向に延びる円筒状の空隙が第１ガスＧ１を噴出させる第１ガス噴出路Ｒ１となっている。
【００３５】
内側ガイド１３は、挿入シャフト１１の外径より大径の内周面を有する円筒状のガイド本体部１３ａと、ガイド本体部１３ａの上端部に形成された円環板状の鍔部１３ｂと、第１支持部１６ａのガス室１６ｄの下方に形成された貫通孔の径と略同一の外径を有する円筒状の挿入部１３ｃとが一体化して構成されている。なお、内側ガイド１３は、図示しない留めネジなどで、ブラケット本体１６に固定的に装着されている。
【００３６】
そして、ガイド本体部１３ａには、水平方向に貫通する複数、例えば４個の貫通孔１３ｄが周方向に均等に形成されている。
【００３７】
内側ガイド１３は、その挿入部１３ｃが、下方が開放されたガス室１６ｄ内の下部に挿入され、且つ、その鍔部１３ｂの上面とブラケット本体１６の下面とが当接することにより、ブラケット本体１６の下側に装着されている。
【００３８】
外側ガイド１４は、内側ガイド１３のガイド本体部１３ａを囲繞しており、第２ガスＧ２の噴出をガイドする。外側ガイド１４は、例えば、既知の樹脂材料等から形成されている。なお、外側ガイド１４は、図示しない留めネジなどで、ブラケット本体１６に固定的に取り付けられている。
【００３９】
外側ガイド１４の中心部には、挿入シャフト１１の長手方向（上下方向）に貫通する円柱状の貫通孔が形成されており、この貫通孔の中央に内側ガイド１３のガイド本体部１３ａが配置される。外側ガイド１４の内周面と内側ガイド１３のガイド本体部１３ａの外周面との間には空隙が形成されている。この上下方向に延びる円筒状の空隙が第２ガスＧ２を噴出させる第２ガス噴出路Ｒ２となっている。第２ガス噴出路Ｒ２の噴出部の断面積は、第１ガス噴出路Ｒ１の噴出部の断面積よりも小さくなっている。
【００４０】
ガス供給手段１５は、ホース１５ａ、ホース１５ａをガス供給口１６ｅに接続するためのコネクタ（接続具）１５ｂ、及び例えばコンプレッサ（圧縮機）、ガスボンベ、制御弁等からなるガス供給部１５ｃから構成されている。ガス供給部１５ｃのコンプレッサなどは、穴検査装置１０外部の制御装置３０に接続され、制御装置３０からの制御信号に従って作動し、ガス室１６ｄ内に高圧ガスを供給する。
【００４１】
以上のように構成された穴検査装置１０において、ガス供給手段１５からガス室１６ｄ内に供給された高圧ガスは、第１ガス噴出路Ｒ１を介して、挿入シャフト１１の外周面に沿って検査穴の奥方（下方）に向って第１ガスＧ１として噴出する。さらに、この高圧ガスの一部は、内側ガイド１３の貫通孔１３ｄを通過し、第２ガス噴出路Ｒ２を介して、第１ガスＧ１の外周にて、検査穴の奥方（下方）に向って第２ガスＧ２として噴出する。このように、穴検査装置１０におけるガス噴出機構１９は、第１ガス噴出路Ｒ１、第２ガス噴出路Ｒ２、ガス室１６ｄ、ガス供給手段１５から構成されている。
【００４２】
以下、本発明の実施形態に係る、穴検査装置１０を使用した穴検査方法について図１及び図２を参照して説明する。
【００４３】
まず、切削加工等によって形成された検査穴の内部を水などで検査前に洗浄しておく。そして、穴検査装置１０の挿入シャフト１１の先端部を自動的に又は作業者が手動的に検査穴内に挿入させる。
【００４４】
この際、ガス供給手段１５から高圧ガスを供給する。ガス供給手段１５によって高圧ガスがガス室１６ｄに供給されると、ガス室１６ｄに高圧ガスが充満される。
【００４５】
さらに、ガス室１６ｄに充満された高圧ガスは、第１ガス噴出路Ｒ１を介して、内側ガイド１３の先端から挿入シャフト１１の外周に沿って検査穴の奥に向って、第１ガスＧ１として噴出する。さらに、この高圧ガスの一部は、第２ガス噴出路Ｒ２を介して、第１ガスの外周にて、検査穴の奥に向って、第２ガスＧ２として噴出する。また、第２ガスＧ２の噴出によって、第２ガスＧ２の外周には、第２ガスＧ２の流速より遅い流速を有するガスの流れが生じる。
【００４６】
そして、挿入シャフト１１を必要に応じて検査穴の奥に徐々に移動させながら、穴壁面Ｓを撮像する。撮像した画像を展開処理などの適宜な画像処理を行った上で、画像表示装置２０に表示させた画像に基づいて検査員が目視で、又は図示しない映像解析装置で自動的に、巣穴等の欠陥の有無などを検査する。
【００４７】
ところで、加工、洗浄後の穴壁面Ｓには、洗浄に使用した水滴、洗浄で除去されなかった切粉や異物などの付着物が付着していることがある。穴壁面Ｓに付着物が付着している場合、過検出が生じるおそれがあり、検査精度が低下する。さらに、洗浄直後の検査穴内は、高温、高湿度であり、広角レンズ１１ａの表面に曇りが発生しているおそれがある。レンズ表面に曇りが存在する場合、正確な画像を撮影することが困難になり、検査精度が低下する。
【００４８】
しかし、穴検査装置１０を使用した本穴検査方法では、挿入シャフト１１の先端部を検査穴内に挿入しながら第２ガス噴出路Ｒ２から第２ガスＧ２を噴出させて、挿入シャフト１１の先端部の外周面全体に沿って層流の第２ガスＧ２を検査穴の奥に向って流す。これにより、図２に白抜き矢印で示すように負圧が発生し、穴壁面Ｓに付着した水滴、切粉、異物などの付着物は、挿入シャフト１１側に吸引され、確実に除去することができる。よって、検査精度を向上させることが可能となる。
【００４９】
さらに、検査穴外からエアブローして付着物を除去する方法と比べて、穴壁面Ｓの付着物を除去する効果を同等以上とすることも可能である。よって、検査前に検査穴内をエアブローする作業を廃止することも可能となる。
【００５０】
また、第１ガス噴出路Ｒ１から第１ガスＧ１を噴出させるので、広角レンズ１１ａの表面近傍に、図２に矢印で示すように気流の渦が生じる。これにより、図２に白抜き矢印で示すように、レンズ表面の付着物を引き剥がすような負圧が発生するので、レンズ表面の水滴や曇りなどを確実に除去することができる。よって、高温高湿の環境下であっても、広角レンズ１１ａがクリアな状態で撮像することができ、検査精度を向上させることが可能となる。
【００５１】
そして、第１ガスＧ１の外周部において第１ガスＧ１と同方向に第１ガスＧ１よりも速い流速の第２ガスＧ２を噴出させるので、穴壁面Ｓから除去された、或いは雰囲気中を浮遊する水滴や異物などは、流速の速い第２ガスＧ２に引き寄せられる。よって、第２ガスＧ２によって水滴や異物が広角レンズ１１ａの付近に滞留することが防止され、これらが広角レンズ１１ａに付着することがない。これにより、広角レンズ１１ａを清掃することなく、長時間連続して正確な検査を行うことが可能となる。
【００５２】
さらに、これらにより、水などで検査穴内を洗浄した場合であっても、乾燥するまで待機する必要がなく、洗浄直後に検査（撮像）することができる。よって、検査完了までに必要な時間を短縮化することが可能となる。
【００５３】
また、穴壁面Ｓやレンズ表面に付着した付着物を撮像と同時又は略同時に除去することができる。よって、洗浄後から撮像までの間に異物などが検査穴内に流入して、穴壁面Ｓやレンズ表面に付着物が付着するおそれは非常に小さい。
【００５４】
さらに、第１ガス噴出路Ｒ１には、パスカルの原理によって、挿入シャフト１１の外周面全周に亘って高いガス圧が等しく作用する。よって、挿入シャフト１１の先端側の部分をガス圧により非接触で内側ガイド１３の内部空間の中心に支持させることでき、挿入シャフト１１を軸心を合わせた状態で良好に支持することが可能となる。
【００５５】
そして、挿入シャフト１１の中間部及び基端側を２つの支持ブッシュ１７，１８でそれぞれ支持し、挿入シャフト１１の先端側をガス圧で支持している。これにより、挿入シャフト１１の軸心ズレが防止され、軸心ズレが生じても自動的に補正され、ガタ付きを低減することができる。
【００５６】
なお、この効果は、ガス室１６ｄの内壁面及び内側ガイド１３の内壁面の垂直加工精度が良好であれば高い。よって、これらの加工精度を十分に確保することによって、高価で大型の高精度なブッシュ機構を用いる必要がなくなる。そのため、支持ブラケット１２の小型化、挿入シャフト１１の先端部の位置ズレ低減、及び低コスト化を実現することができる。
【００５７】
例えば、挿入シャフト１１の先端側を従来のようにブッシュ機構で支持した場合、ブッシュ機構を有する部分は大型化し、検査穴が細いと挿入することができない。そのため、特に深部まで細穴の壁面Ｓを検査する場合には、挿入シャフト１１の先端部に位置ズレが少なからず発生する。一方、穴検査装置１０では、外側ガイド１４を検査穴内に挿入できる範囲の細穴であれば、挿入シャフト１１の先端部付近での位置ズレを大幅に低減することができる。
【００５８】
さらに、第１ガス噴出路Ｒ１及び第２ガス噴出路Ｒ２の長さが長くなるように内側ガイド１３及び外側ガイド１４を長く設定することにより、乱流が発生せずに低損失で第１ガスＧ１及び第２ガスＧ２を噴出させることが可能になる。これにより、曇り止めや付着物の除去を効果的に行うことができる。
【００５９】
なお、挿入シャフト１１の突出量が短くなるように内側ガイド１３及び外側ガイド１４の長さを設定すれば、挿入シャフト１１と穴壁面Ｓとの接触をより確実に防止することができる。ただし、この場合、穴検査装置１０の先端部付近の外径が大きくなり、外側ガイド１４が穴壁面Ｓに接触するおそれが高くなる。よって、検査穴のテーパ角度などに応じて、挿入シャフト１１の突出量を適宜設定することが好ましい。
【００６０】
以上のように、穴検査装置１０を用いた穴検査方法では、穴壁面Ｓやレンズ表面の付着物除去、レンズ曇り止め防止、挿入シャフト１１の安定した支持という３つの効果を実現することができる。よって、穴壁面Ｓの検査精度が向上する。
【００６１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、支持ブラケット１２が第２支持部１６ｂを有さず、挿入シャフト１１の基端側が支持ブッシュ１８で支持されていなくてもよい。また、挿入シャフト１１、内側ガイド１３、外側ガイド１４及びガス室１６ｄの断面が円形である場合について説明したが、これらの断面は円形に限定されず、多角形などの任意形状であってもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１０…穴検査装置、  １１…挿入シャフト、  １１ａ…広角レンズ、  １２…支持ブラケット（支持体）、  １３…内側ガイド、  １３ａ…ガイド本体、  １３ｂ…鍔部、  １３ｃ…挿入部、  １３ｄ…貫通孔、  １４…外側ガイド、  １５…供給手段、  １５ａ…ホース、  １５ｂ…コネクタ、  １５ｃ…ガス供給部、  １６…ブラケット本体、  １６ａ…第１支持部、  １６ｂ…第２支持部、  １６ｃ…連結部、  １６ｄ…ガス室、  １６ｅ…ガス供給口、  １７…第１支持ブッシュ、  １８…第２支持ブッシュ、  １９…ガス噴出機構、  ２０…画像表示装置、  ３０…制御装置、  ５１…タービン羽根、  ５４…ロータリエンコーダ、  Ｇ１…第１ガス、  Ｇ２…第２ガス、  Ｒ１…第１ガス噴出路、  Ｒ２…第２ガス噴出路、  Ｓ…穴壁面。
【図１】
0006007160.tif 000002
【図２】
0006007160.tif 000003