(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置において、
前記ベース面が、前記ベース面とワークとの間に気体を送る複数の給気口と前記ベース面とワークとの間から気体を除き去る複数の排気口と前記ベース面上の給気口と排気口との間に配設してベース面の端部まで延びる複数の溝部とを有し、
前記給気口と排気口のそれぞれに取り付けた気体絞り機構が、前記気体量を絞り調整する多孔質フィルムと該多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と前記多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材とで構成されていることを特徴とするワーク浮上装置。
【請求項２】
前記溝部が、前記気体を大気へ通わせる穴部を有し、
該穴部が、前記ベース面と反対側へ貫通して設けられていることを特徴とする請求項１に記載のワーク浮上装置。
【請求項３】
前記溝部が、前記ベース面上で交差して配設されているとともに、前記穴部が、前記溝部の交差した箇所に配設されていることを特徴とする請求項２に記載のワーク浮上装置。
【請求項４】
前記給気口と排気口とが、前記ベース面上で交互に配設されているとともに、前記溝部が、前記ベース面上で格子状に設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載のワーク浮上装置。
【請求項５】
前記給気口と排気口とが、前記ベース面上の所定方向で交互に配設され、前記給気口と排気口とからなる所定方向の列が、該列に隣接する列に対して半ピッチずれているとともに、前記溝部が、前記ベース面上で正六角形を並べたハニカム状に設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載のワーク浮上装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板や液晶ディスプレイ等の板状ワークをベース面から浮上させて非接触支持するワーク浮上装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
ここで、ワーク浮上装置は、例えば、液晶ガラスのカラーフィルタやＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）アレイの検査工程で用いられるものであり、この液晶ガラスのカラーフィルタやＴＦＴアレイの検査工程では、液晶ディスプレイの高精細化に対応するために焦点深度の浅い高精度ＣＣＤ（Ｃｈａｎｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅｓ）カメラを使用して計測、画像認識が行われており、ワーク浮上装置によるワークの浮上量の精度が求められている。
【０００３】
従来のワーク浮上装置は、ベースと、このベース面に配設された給気口（浮上パッド）と、同様にベース面に配設された排気口（吸引パッド）とを備えていた。
このうち、給気口からベース面とワークとの間に気体を送り込むことにより、ワークに浮上力を付与してワークを浮上させるように構成されていた。
また、他方の排気口を介してベース面とワークとの間の気体を吸引することにより、ワークに対して浮上力より小さい大きさの吸引力を作用させるように構成されていた。
そして、浮上力と吸引力との協働によりワークの非接触支持状態での浮上レベルの精度を高めようとしていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１３５０８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来のワーク浮上装置は、ベース面上での給気口と排気口との間に何もなくベース面上で平坦な構造であったため、給気口の上方近傍の気圧と排気口の上方近傍の気圧との互いに与える影響が大きくてワークの浮上量の高精度な調整に対応することが困難であるという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、給気口の上方近傍の気圧と排気口の上方近傍の気圧との互いに与える影響を小さくするとともに給気口と排気口のそれぞれに取り付けた気体絞り機構で気体の流量を高精度で調整してワークの浮上量を高精度で調整するワーク浮上装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本請求項１に係る発明は、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置において、前記ベース面が、前記ベース面とワークとの間に気体を送る複数の給気口と前記ベース面とワークとの間から気体を除き去る複数の排気口と前記ベース面上の給気口と排気口との間に配設してベース面の端部まで延びる複数の溝部とを有し、前記給気口と排気口のそれぞれに取り付けた気体絞り機構が、前記気体量を絞り調整する多孔質フィルムと該多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と前記多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材とで構成されていることにより、前述した課題を解決するものである。
【０００８】
本請求項２に係る発明は、請求項１に記載されたワーク浮上装置の構成に加えて、前記溝部が、前記気体を大気へ通わせる穴部を有し、該穴部が、前記ベース面と反対側へ貫通して設けられていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【０００９】
本請求項３に係る発明は、請求項２に記載されたワーク浮上装置の構成に加えて、前記溝部が、前記ベース面上で交差して配設されているとともに、前記穴部が、前記溝部の交差した箇所に配設されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１０】
本請求項４に係る発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載されたワーク浮上装置の構成に加えて、前記給気口と排気口とが、前記ベース面上で交互に配設されているとともに、前記溝部が、前記ベース面上で格子状に設けられていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１１】
本請求項５に係る発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載されたワーク浮上装置の構成に加えて、前記給気口と排気口とが、前記ベース面上の所定方向で交互に配設され、前記給気口と排気口とからなる所定方向の列が、該列に隣接する列に対して半ピッチずれているとともに、前記溝部が、前記ベース面上で正六角形を並べたハニカム状に設けられていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のワーク浮上装置は、このワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整することにより、ワークを浮上させることができるばかりでなく、以下のような特有の効果を奏することができる。
【００１３】
本請求項１に係る発明のワーク浮上装置によれば、ベース面が、ベース面とワークとの間に気体を送る複数の給気口と前記ベース面とワークとの間から気体を除き去る複数の排気口と前記ベース面上の給気口と排気口との間に配設してベース面の端部まで延びる複数の溝部とを有していることにより、給気口の近傍でベース面とワークとの間に送り込まれた気体の少なくとも一部が溝部へ逃げるとともに排気口の近傍でベース面とワークとの間から吸引された気体の少なくとも一部が溝部からの気体となるため、給気口の上方近傍の気圧と排気口の上方近傍の気圧との互いに与える影響を小さくしてワークの浮上量を高精度で調整することができる。
つまり、給気口の上方近傍の気圧と排気口の上方近傍の気圧とを独立させてワークの浮上量を精度よく調整することができる。
そして、給気口と排気口のそれぞれに取り付けた気体絞り機構が、気体量を絞り調整する多孔質フィルムとこの多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と前記多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材とで構成されていることにより、多孔質フィルムの孔の分布のバラツキが小さいため、給気口と排気口のそれぞれに取り付けた気体絞り機構で気体の流量を高精度で調整可能となり、ワーク浮上装置の全体でワークの浮上量を高精度に調整することができる。
【００１４】
本請求項２に係る発明のワーク浮上装置によれば、請求項１に係る発明が奏する効果に加えて、溝部が、気体を大気へ通わせる穴部を有し、この穴部が、ベース面と反対側へ貫通して設けられていることにより、溝部での穴部の位置に関わらず大気までの距離が一定となるため、特にベース面の中央付近での給気口の上方近傍の気圧と排気口の上方近傍の気圧との互いに与える影響をより効果的に小さくしてベース面の中央付近でのコンディションとベース面の端部側でのコンディションとの差を小さくすることができる。
さらに、溝部の気圧が高いときは溝部から穴部へ気体が逃げ、他方、溝部の気圧が低いときは穴部から溝部へ気体が入るため、溝部の気圧を安定させることができる。
【００１５】
本請求項３に係る発明のワーク浮上装置によれば、請求項２に係る発明が奏する効果に加えて、溝部が、ベース面上で交差して配設されているとともに、穴部が、溝部の交差した箇所に配設されていることにより、溝部の交差点へ向かう気流がこの交差点から他の溝部へ流れないときは穴部へ流れ込むため、溝部の気圧を安定させることができる。
【００１６】
本請求項４に係る発明のワーク浮上装置によれば、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、給気口と排気口とが、ベース面上で交互に配設されているとともに、溝部が、ベース面上で格子状に設けられていることにより、給気口、排気口および溝部の密度がそれぞれベース面上で均一になるため、全体で安定してワークの浮上量を精度よく調整することができる。
【００１７】
本請求項５に係る発明のワーク浮上装置によれば、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、給気口と排気口とが、ベース面上の所定方向で交互に配設され、給気口と排気口とからなる所定方向の列が、この列に隣接する列に対して半ピッチずれているとともに、溝部が、ベース面上で正六角形を並べたハニカム状に設けられていることにより、溝部が格子状である構成と比べて給気口および排気口の密度が高まるため、全体でより一層安定してワークの浮上量を精度よく調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施例であるワーク浮上装置を示す斜視図。
【図２】本発明の第１実施例であるワーク浮上装置の平面図。
【図３】図２の３−３で視たワーク浮上装置の通気ユニットの要部拡大一部断面斜視図。
【図４】図２の４−４で視たワーク浮上装置の断面図。
【図５】本発明の第１実施例であるベースの要部拡大平面図および断面図。
【図６】本発明の第２実施例であるワーク浮上装置の一部を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明は、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置において、前記ベース面が、前記ベース面とワークとの間に気体を送る複数の給気口と前記ベース面とワークとの間から気体を除き去る複数の排気口と前記ベース面上の給気口と排気口との間に配設してベース面の端部まで延びる複数の溝部とを有し、前記給気口と排気口のそれぞれに取り付けた気体絞り機構が、前記気体量を絞り調整する多孔質フィルムと該多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と前記多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材とで構成され、給気口の上方近傍の気圧と排気口の上方近傍の気圧との互いに与える影響を小さくするとともに給気口と排気口のそれぞれに取り付けた気体絞り機構で気体の流量を高精度で調整してワークの浮上量を高精度で調整するものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。
【００２０】
例えば、気体絞り機構を介して気体をベース面とワークとの間へ供給するコンプレッサー等および気体をベース面とワークとの間から吸引する真空ポンプ等は、ワーク浮上装置と別体に構成してもよいし一体に構成してもよい。
【実施例１】
【００２１】
以下に、本発明の第１実施例であるワーク浮上装置１００について、図１乃至図５に基づいて説明する。
ここで、図１は、本発明の第１実施例であるワーク浮上装置１００を示す斜視図であり、図２は、本発明の第１実施例であるワーク浮上装置１００の平面図であり、図３は、図２の３−３で視たワーク浮上装置１００の通気ユニット１２０の要部拡大一部断面斜視図であり、図４は、図２の４−４で視たワーク浮上装置１００の断面図であり、図５（Ａ）は、本発明の第１実施例であるベース１１０の要部拡大平面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）に示す５Ｂ−５Ｂで視たベース１１０の要部拡大断面図である。
【００２２】
本発明の第１実施例であるワーク浮上装置１００は、図１乃至図５に示すように、ワーク浮上装置１００のベース面１１１とワークＷとの間に介在させる気体の気体量を気体絞り機構Ａを介して調整するように構成されている。
【００２３】
さらに、ベース面１１１が、ベース面１１１とワークＷとの間に気体を送る複数の給気口１１１ｂと、ベース面１１１とワークＷとの間から気体を除き去る複数の排気口１１１ｃと、ベース面１１１上の給気口１１１ｂと排気口１１１ｃとの間に配設された溝部１１１ａとを有し、この溝部１１１ａが、ベース面１１１の端部１１１ｄまで延設されている。
これにより、給気口１１１ｂの近傍でベース面１１１とワークＷとの間に送り込まれた気体の少なくとも一部が溝部１１１ａへ逃げるとともに排気口１１１ｃの近傍でベース面１１１とワークＷとの間から吸引された気体の少なくとも一部が溝部１１１ａからの気体となる。
【００２４】
具体的に、ワーク浮上装置１００は、ベース１１０と、気体絞り機構Ａを有する複数の通気ユニット１２０とを備えて、図示しないコンプレッサー等により通気ユニット１２０が取り付けられた給気口１１１ｂを介してベース面１１１とワークＷとの間へ気体を給気するとともに同様に図示しない真空ポンプ等により通気ユニット１２０が取り付けられた排気口１１１ｃを介してベース面１１１とワークＷとの間から気体を排気するように設けられている。
【００２５】
ベース１１０上には、格子状に設けられた溝部１１１ａによって仕切られたマスがあり、複数の通気ユニット１２０は、溝部１１１ａによって仕切られたマス内に形成された通気穴１１２の上に一つずつ配設され、一例として給気用気体絞り機構ＡＳと排気用気体絞り機構ＡＥとが交互になるように構成されている。
つまり、給気口１１１ｂと排気口１１１ｃとが交互になるように構成されている。
【００２６】
ここで、図３に示すように、通気ユニット１２０の気体絞り機構Ａが、気体量を絞り調整する多孔質フィルム１２１と、この多孔質フィルム１２１の上に積層される第１平板状通気部材１２２と、多孔質フィルム１２１の下に積層される第２平板状通気部材１２３とで構成され、多孔質フィルム１２１が、第１平板状通気部材１２２と第２平板状通気部材１２３とで挟持されている。
これにより、第１平板状通気部材１２２および第２平板状通気部材１２３の少なくとも一方に多孔質フィルム１２１が支えられて給気の場合および排気の場合の両方で多孔質フィルム１２１の形状が安定する。
つまり、給気の場合は、第１平板状通気部材１２２に多孔質フィルム１２１が支えられ、排気の場合は、第２平板状通気部材１２３に多孔質フィルム１２１が支えられて多孔質フィルム１２１の形状が安定する。
そして、一つの通気ユニット１２０が給気用および排気用の両方に対応自在となる。
【００２７】
なお、本実施例では、多孔質フィルム１２１を使用していることにより、単なる孔から気体を給気・排気する構造と比べて、気体の消費流量が少なくなるという利点がある。
参考までに本実施例の多孔質フィルム１２１は、厚み３８μｍ、引張強度（ＭＤ）８Ｎ／ｃｍ、引張強度（ＣＤ）８Ｎ／ｃｍ、引張伸度（ＭＤ）２８０％、引張伸度（ＣＤ）２６０％、透気度２１０ｓｅｃ／１００ｃｃ、透湿度１２，０００ｇ／平方ｍ・２４ｈｒ、耐水圧９８ｋＰａ以上（１．０ｋｇ／平方ｃｍ以上）である。
また、本実施例では、多孔質フィルム１２１が、ポリプロピレン樹脂からなる。
これにより、多孔質フィルム１２１が化学製品であるため、多孔質の金属部材と比べて物性のバラツキを小さくすることができる。
さらに、汎用樹脂の中で強度が高くて比重が最も小さくなるため、耐久性に優れた軽量な気体絞り機構Ａを供給できる。
また、第１平板状通気部材１２２および第２平板状通気部材１２３が、不織布からなる。
これにより、汎用性および通気性を有するとともにある程度の強度を有するものとなるため、汎用性のある素材で多孔質フィルム１２１の形状を安定させることができる。
【００２８】
さらに、通気ユニット１２０は、上部ケーシング１２４および下部ケーシング１２５を備え、一例として断面Ｖ字状溝１２４ｃに接着剤を充填して通気ユニット１２０がベース１１０に取り付けられている。
これにより、ベース１１０側に付着して固化した接着剤と断面Ｖ字状溝１２４ｃとが係合するため、通気ユニット１２０をベース１１０にしっかりと固定することができる。
【００２９】
さらに、通気ユニット１２０を上方からベース１１０に取り付ける構造となっているため、通気ユニット１２０の上面を形成する第１平板状通気部材１２２の上面と、ベース面１１１とをほぼ同じ高さに構成することができる。
【００３０】
続いて、本発明の実施例であるワーク浮上装置１００の動作について説明する。
図４に示すように、給気用気体絞り機構ＡＳでは、気体Ｓａが下方から上方へ向かって送られ、さらにベース面１１１とワークＷとの間へ送られる。
そして、給気口１１１ｂの上方近傍では、気圧が高くなるため、ワークＷを浮上させる浮上力が生じる。
この際、多孔質フィルム１２１の孔の分布のバラツキが小さいため、各給気用気体絞り機構ＡＳで気体の流量を高精度で調整することができる。
さらに、各給気用気体絞り機構ＡＳ間での給気量のバラツキが小さくなるため、ワーク浮上装置１００全体で浮上力を高精度で調整することができる。
【００３１】
他方の排気用気体絞り機構ＡＥでは、図示しない真空ポンプ等の作用による吸引によって気体Ｅａがベース面１１１とワークＷとの間から吸引され、さらに上方から下方へ向かって吸引される。
そして、排気口１１１ｃの上方近傍では、気圧が低くなるため、ワークＷを吸引する吸引力が生じる。
ここで、吸引力が、浮上力より小さく設けられていることは言うまでもない。
この際、給気用気体絞り機構ＡＳの場合と同様、多孔質フィルム１２１の孔の分布のバラツキが小さいため、気体の流量を高精度で調整することができ、さらに、各排気用気体絞り機構ＡＥ間での排気量のバラツキが小さくなるため、吸引力を高精度で調整することができる。
【００３２】
また、本実施例では、ベース面１１１上における給気口１１１ｂと排気口１１１ｃとの間に溝部１１１ａが配設されており、この溝部１１１ａは、ベース１１０の端部１１１ｄまで延設されている。
例えば、給気口１１１ｂの上方近傍の気圧が、排気口１１１ｃの上方近傍の気圧と比べて著しく高いとき、給気口１１１ｂの上方近傍の気体が、排気口１１１ｃの上方近傍へ流れずに溝部１１１ａに流れ込み、溝部１１１ａを介してベース１１０の端部１１１ｄ側の大気へ排出される。
【００３３】
つまり、溝部１１１ａを設けることにより、条件しだいで、給気口１１１ｂの上方近傍の気圧が排気口１１１ｃの上方近傍の気圧に及ぼす影響を無にして給気口１１１ｂの上方近傍の気圧と排気口１１１ｃの上方近傍の気圧とをそれぞれ独立させて調整することが可能となる。
【００３４】
さらに、本実施例では、図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示すように、溝部１１１ａが、気体を大気へ通わせる穴部１１１ｅを有し、この穴部１１１ｅが、ベース面１１１と反対側へ貫通して設けられている。
これにより、溝部１１１ａでの穴部１１１ｅの位置に関わらず大気までの距離が一定となる。
さらに、溝部１１１ａの気圧が高いときは溝部１１１ａから穴部１１１ｅへ気体が逃げ、他方、溝部１１１ａの気圧が低いときは穴部１１１ｅから溝部１１１ａへ気体が入る。
【００３５】
また、溝部１１１ａが、ベース面１１１上で交差して配設されているとともに、穴部１１１ｅが、溝部１１１ａの交差した箇所に配設されている。
これにより、溝部１１１ａの交差点へ向かう気流が、この交差点から他の溝部１１１ａへ流れないときは穴部１１１ｅへ流れ込む。
【００３６】
さらに、給気口１１１ｂと排気口１１１ｃとが、ベース面１１１上で交互に配設されているとともに、溝部１１１ａが、ベース面１１１上で格子状に設けられている。
これにより、給気口１１１ｂ、排気口１１１ｃおよび溝部１１１ａの密度がそれぞれベース面１１１上で均一になる。
【００３７】
以上、説明したように、ワークＷに作用する浮上力と吸引力とを高精度で調整してワークＷの支持バランスがよくなるため、ワークＷを所望の浮上レベルで精度よく支持できるだけでなく、さらに、ワークＷの撓みを小さくして平面度を高めることができる。
【００３８】
なお、本実施例では、給気口１１１ｂおよび排気口１１１ｃに多孔質フィルム１２１を有する通気ユニット１２０を配設したが、ベース面１１１の給気口１１１ｂと排気口１１１ｃとの間に溝部１１１ａがあればよく、多孔質フィルム１２１を有さずに単に一つの給気口１１１ｂとしての孔から気体を噴出し、この給気口１１１ｂとしての孔に隣接する排気口１１１ｃとしての他の孔から気体を吸引する所謂、点状給排気型の構成でもよい。
また、本発明では、多孔質フィルム１２１を用いたが、多孔質フィルム１２１に代えて多孔質金属を用いて、この多孔質金属で給気口１１１ｂおよび排気口１１１ｃを構成してもよい。
【００３９】
このようにして得られた本発明の第１実施例であるワーク浮上装置１００は、ベース面１１１が、ベース面１１１とワークＷとの間に気体を送る複数の給気口１１１ｂと、ベース面１１１とワークＷとの間から気体を除き去る複数の排気口１１１ｃと、ベース面１１１上の給気口１１１ｂと排気口１１１ｃとの間に配設された溝部１１１ａとを有し、この溝部１１１ａが、ベース面１１１の端部１１１ｄまで延設されていることにより、給気口１１１ｂの上方近傍の気圧と排気口１１１ｃの上方近傍の気圧との互いに与える影響を小さくしてワークＷの浮上量を高精度で調整することができる。
【００４０】
さらに、溝部１１１ａが、気体を大気へ通わせる穴部１１１ｅを有し、この穴部１１１ｅが、ベース面１１１と反対側へ貫通して設けられていることにより、特にベース面１１１の中央付近での給気口１１１ｂの上方近傍の気圧と排気口１１１ｃの上方近傍の気圧との互いに与える影響をより効果的に小さくしてベース面１１１の中央付近でのコンディションとベース面１１１の端部側でのコンディションとの差を小さくすることができるとともに、溝部１１１ａの気圧を安定させることができる。
【００４１】
また、溝部１１１ａが、ベース面１１１上で交差して配設されているとともに、穴部１１１ｅが、溝部１１１ａの交差した箇所に配設されていることにより、溝部１１１ａの気圧を安定させることができる。
【００４２】
さらに、給気口１１１ｂと排気口１１１ｃとが、ベース面１１１上で交互に配設されているとともに、溝部１１１ａが、ベース面１１１上で格子状に設けられていることにより、全体で安定してワークＷの浮上量を精度よく調整することができるなど、その効果は甚大である。
【実施例２】
【００４３】
続いて、本発明の第２実施例であるワーク浮上装置２００について、図６に基づいて説明する。
ここで、図６は、本発明の第２実施例であるワーク浮上装置２００の一部を示す平面図である。
【００４４】
第２実施例のワーク浮上装置２００は、第１実施例のワーク浮上装置１００のベース面１１１上での給気口１１１ｂおよび排気口１１１ｃの配列を変えるとともに溝部１１１ａの形状を変えたものであり、多くの要素について第１実施例のワーク浮上装置１００と共通するので、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する２００番台の符号を付すのみとする。
【００４５】
本発明の第２実施例のワーク浮上装置２００は、図６に示すように、ベース２１０のベース面２１１が、ベース面２１１とワークＷ（図１および図４参照）との間に気体を送る複数の給気口２１１ｂと、ベース面２１１とワークＷとの間から気体を除き去る複数の排気口２１１ｃと、ベース面２１１上の給気口２１１ｂと排気口２１１ｃとの間に配設された溝部２１１ａとを有し、この溝部２１１ａが、ベース面２１１の端部２１１ｄまで延設されている。
【００４６】
さらに、給気口２１１ｂと排気口２１１ｃとが、ベース面２１１上の所定方向で交互に配設され、給気口２１１ｂと排気口２１１ｃとからなる所定方向の列が、この列に隣接する列に対して半ピッチずれているとともに、溝部２１１ａが、ベース面２１１上で正六角形を並べたハニカム状に設けられている。
これにより、図２に示す溝部１１１ａが格子状である構成と比べて給気口２１１ｂおよび排気口２１１ｃの密度が高まる。
なお、給気口２１１ｂには給気用気体絞り機構ＡＳ、通気ユニット２２０が配設され、排気口２１１ｃには排気用気体絞り機構ＡＥ、通気ユニット２２０が配設されている。
【００４７】
このようにして得られた本発明の第２実施例であるワーク浮上装置２００は、給気口２１１ｂと排気口２１１ｃとが、ベース面２１１上の所定方向で交互に配設され、給気口２１１ｂと排気口２１１ｃとからなる所定方向の列が、この列に隣接する列に対して半ピッチずれているとともに、溝部２１１ａが、ベース面２１１上で正六角形を並べたハニカム状に設けられていることにより、図２に示す溝部１１１ａが格子状である構成と比べて全体でより一層安定してワークＷの浮上量を精度よく調整することができるなど、その効果は甚大である。
【符号の説明】
【００４８】
１００、  ２００    ・・・  ワーク浮上装置
１１０、  ２１０    ・・・  ベース
１１１、  ２１１    ・・・  ベース面
１１１ａ、２１１ａ  ・・・  溝部
１１１ｂ、２１１ｂ  ・・・  給気口
１１１ｃ、２１１ｃ  ・・・  排気口
１１１ｄ、２１１ｄ  ・・・  端部
１１１ｅ            ・・・  穴部
１１２              ・・・  通気穴
１２０、  ２２０    ・・・  通気ユニット
１２１              ・・・  多孔質フィルム
１２２              ・・・  第１平板状通気部材
１２３              ・・・  第２平板状通気部材
１２４              ・・・  上部ケーシング
１２４ｃ            ・・・  断面Ｖ字状溝
１２５              ・・・  下部ケーシング
Ａ                  ・・・  気体絞り機構
ＡＥ                ・・・  排気用気体絞り機構
ＡＳ                ・・・  給気用気体絞り機構
Ｅａ                ・・・  気体（排気）
Ｓａ                ・・・  気体（給気）
Ｗ                  ・・・  ワーク
【図１】
0005852508.tif 000002
【図２】
0005852508.tif 000003
【図３】
0005852508.tif 000004
【図４】
0005852508.tif 000005
【図５】
0005852508.tif 000006
【図６】
0005852508.tif 000007