(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
交流電源より電流が流されることで磁界を発生する送信巻線部、及び、該送信巻線部との間に絶縁層を介して重なるように配置される受信巻線部を有する一次側部材と、
前記送信巻線部の磁界により渦電流が発生することで、前記受信巻線部に誘導電圧を発生させる磁束変調部を有する二次側部材と、
前記誘導電圧に基づき位置検出を行う制御部とを備える
電磁誘導式位置検出器であって、
前記送信巻線部は、
前記二次側部材の延伸方向一方に向けて延伸する周期パターンが、所定周期の端部で折り返されており、正極性ループ及び負極性ループを形成する形状である、第１送信巻線と、
前記第１送信巻線と絶縁層を介して重なるようにして、前記二次側部材の延伸方向他方に向けて延伸する前記第１送信巻線と同周期の周期パターンが、所定周期の端部で折り返されており、前記正極性ループ及び前記負極性ループを形成する形状である、第２送信巻線とを有し、
前記正極性ループと前記負極性ループとが、前記二次側部材の延伸方向に一部重なり合いながら交互に形成され、前記第１送信巻線は、該第１送信巻線自身の長手方向における中間位置から両側の、前記正極性ループ及び前記負極性ループの配置が、互いに反転するように調整されており、前記第２送信巻線は、該第２送信巻線自身の長手方向における中間位置から両側の、前記正極性ループ及び前記負極性ループの配置が、互いに反転するように調整されており、
前記受信巻線部は、
前記二次側部材の幅方向において前記送信巻線部を覆い、また、前記二次側部材の延伸方向において前記第１送信巻線及び前記第２送信巻線の前記周期パターンの周期に相当する長さを有する、矩形パターンに形成されている、第１受信巻線と、
前記送信巻線部の長手方向における中間位置を中心に、前記第１受信巻線と対称な形状となっており、前記第１受信巻線と接続している、第２受信巻線とを有し、
前記磁束変調部は、
前記二次側部材の延伸方向に複数配列され、前記送信巻線部及び前記受信巻線部と対向しており、
前記交流電源は、
前記第１送信巻線に電流Ｉｓを流す第１交流電源、及び、前記第２送信巻線に電流Ｉｃを流す第２交流電源を有する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器。
【請求項２】
前記第１送信巻線及び前記第２送信巻線の前記周期パターンの周期をｎλとし、該第１送信巻線及び該第２送信巻線は、互いに１／４周期ずれるようにして重なっており、
前記磁束変調部はλ毎に複数配列され、
前記電流Ｉｓを、Ｉｓ＝−Ｉｓｉｎ（２πα／λ）ｓｉｎ（ωｔ）とし、
前記電流Ｉｃを、Ｉｃ＝Ｉｃｏｓ（２πα／λ）ｓｉｎ（ωｔ）とし、
前記制御部は、前記第１交流電源及び前記第２交流電源を制御し、前記誘導電圧Ｖｆを０とするようにαを調整し、Ｘ＝αとすることで、位置検出を行う
ことを特徴とする請求項１に記載の電磁誘導式位置検出器。
ただし、Ｉｓは前記電流Ｉｓの大きさ、Ｉｃは前記電流Ｉｃの大きさ、λは前記磁束変調部の１ピッチの長さ、ωは交流電流の角周波数、ｔは時刻、αはパラメータとする。
【請求項３】
前記第１送信巻線及び前記第２送信巻線の前記周期パターンは、極大値及び極小値に相当する位置と、端部の折り返し位置とに、前記絶縁層を貫通する層間接続配線が設けられ、該層間接続配線部分において、互いに交互に、第Ｎ層から第Ｎ＋１層に、また、第Ｎ＋１層から第Ｎ層に移行するようにして形成される
ことを特徴とする請求項２に記載の電磁誘導式位置検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁誘導式位置検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
電磁誘導式位置検出器は、工作機械、自動車、ロボットなどの各種機械における位置検出に適用され、リニア形スケールとロータリ形スケールがある。リニア形スケールは、工作機械のテーブルなどの移動体に設置されて、該移動体の直線的な移動位置を検出するものであり、ロータリ形スケールは、工作機械の回転テーブルなどの移動体（回転体）に設置されて、該移動体の回転位置（回転角度）を検出するものである。
【０００３】
リニア形スケール及びロータリ形スケールは、互いに平行に向かい合わせになるように配置されたパターンの電磁誘導により、位置を検出するものである。リニア形スケールは、一次側部材であるスライダ及び二次側部材であるスケールを有している。ロータリ形スケールの検出原理もリニア形スケールと同様であり、ロータリ形スケールのステータとロータが、リニア形スケールのスライダとスケールにそれぞれ対応している。
【０００４】
下記特許文献１に記載されたリニア形スケールの従来技術では、スライダにおいて励振信号発生器から送信巻線へ励振信号を流すと、スケールにおける磁束変調部に渦電流が発生し、その結果、スライダにおける受信巻線に誘起電圧が発生する。そして、この電圧の変化に基づき、スライダの位置を検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０‐３１８７８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１では、従来技術の課題として下記（１），（２）が挙げられている。
【０００７】
（１）送信巻線に励振信号を流すことで発生する磁界は、正極性ループ及び負極性ループ（受信巻線）に直接電圧を誘導してしまう。正極性ループと負極性ループとが逆方向に巻かれているため、受信巻線の誘起電圧は名目上相殺されるが、実際には、製造上の誤差がバランスを崩し、受信巻線の誘起電圧に不要なオフセット成分が発生し、位置検出の精度が低下する。
【０００８】
（２）送信巻線により発生される磁界内にある磁束変調部は、全て磁界内で同じ極性の空間変調を生じさせ、大きなオフセットをもつ。なお、該オフセットは、上記（１）における製造上の誤差に起因するオフセットとは異なり、スライダの誘起電圧が、０を中心とするのではなく、所定の値を中心とし、かつ極大値から極小値までが常に同じ極性（＋又は−）のまま変動するという、理論上のオフセットである。該オフセットが存在する場合、位置検出を行うにあたり該オフセットを考慮しなければならないが、スライダとステータとの間の幅（ギャップ）によって該オフセットの値が変化するため、別途検出装置を設け、ギャップの計測を行う必要がある。
【０００９】
上記特許文献１では、上記（１），（２）の課題である誘起電圧のオフセットを低減するために、読み出しヘッド（スライダ）において、受信巻線の外側に互いに対称な形状の２つの送信巻線部（磁界発生ループ）を設けることで、送信巻線部が受信巻線の正極性ループ及び負極性ループに誘導する電圧をキャンセルし、オフセットを低減させ、さらに、スケールに、第１，２の結合ループを設けることで、スケール部の磁束もキャンセルされ、オフセットを低減することができるという技術を開示している。
【００１０】
しかしながら、上記特許文献１に開示された技術では、受信巻線の外側に互いに対称な形状の２つの送信巻線部分を設けなければならず、広いスペースが必要となってしまう。
【００１１】
そこで、本発明では、誘起電圧のオフセットを低減することで高精度化を図りつつ、コンパクト化を図ることを可能とする、電磁誘導式位置検出器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決する第１の発明に係る電磁誘導式位置検出器は、
交流電源より電流が流されることで磁界を発生する送信巻線部、及び、該送信巻線部との間に絶縁層を介して重なるように配置される受信巻線部を有する一次側部材と、
前記送信巻線部の磁界により渦電流が発生することで、前記受信巻線部に誘導電圧を発生させる磁束変調部を有する二次側部材と、
前記誘導電圧に基づき位置検出を行う制御部とを備える
電磁誘導式位置検出器であって、
前記送信巻線部は、
前記二次側部材の延伸方向一方に向けて延伸する周期パターンが、所定周期の端部で折り返されており、正極性ループ及び負極性ループを形成する形状である、第１送信巻線と、
前記第１送信巻線と絶縁層を介して重なるようにして、前記二次側部材の延伸方向他方に向けて延伸する前記第１送信巻線と同周期の周期パターンが、所定周期の端部で折り返されており、前記正極性ループ及び前記負極性ループを形成する形状である、第２送信巻線とを有し、
前記正極性ループと前記負極性ループとが、前記二次側部材の延伸方向に一部重なり合いながら交互に形成され、前記第１送信巻線は、該第１送信巻線自身の長手方向における中間位置から両側の、前記正極性ループ及び前記負極性ループの配置が、互いに反転するように調整されており、前記第２送信巻線は、該第２送信巻線自身の長手方向における中間位置から両側の、前記正極性ループ及び前記負極性ループの配置が、互いに反転するように調整されており、
前記受信巻線部は、
前記二次側部材の幅方向において前記送信巻線部を覆い、また、前記二次側部材の延伸方向において前記第１送信巻線及び前記第２送信巻線の前記周期パターンの周期に相当する長さを有する、矩形パターンに形成されている、第１受信巻線と、
前記送信巻線部の長手方向における中間位置を中心に、前記第１受信巻線と対称な形状となっており、前記第１受信巻線と接続している、第２受信巻線とを有し、
前記磁束変調部は、
前記二次側部材の延伸方向に複数配列され、前記送信巻線部及び前記受信巻線部と対向しており、
前記交流電源は、
前記第１送信巻線に電流Ｉｓを流す第１交流電源、及び、前記第２送信巻線に電流Ｉｃを流す第２交流電源を有する
ことを特徴とする。
【００１３】
上記課題を解決する第２の発明に係る電磁誘導式位置検出器は、
上記第１の発明に係る電磁誘導式位置検出器において、
前記第１送信巻線及び前記第２送信巻線の前記周期パターンの周期をｎλとし、該第１送信巻線及び該第２送信巻線は、互いに１／４周期ずれるようにして重なっており、
前記磁束変調部はλ毎に複数配列され、
前記電流Ｉｓを、Ｉｓ＝−Ｉｓｉｎ（２πα／λ）ｓｉｎ（ωｔ）とし、
前記電流Ｉｃを、Ｉｃ＝Ｉｃｏｓ（２πα／λ）ｓｉｎ（ωｔ）とし、
前記制御部は、前記第１交流電源及び前記第２交流電源を制御し、前記誘導電圧Ｖｆを０とするようにαを調整し、Ｘ＝αとすることで、位置検出を行う
ことを特徴とする。
ただし、Ｉｓは前記電流Ｉｓの大きさ、Ｉｃは前記電流Ｉｃの大きさ、λは前記磁束変調部の１ピッチの長さ、ωは交流電流の角周波数、ｔは時刻、αはパラメータとする。
【００１４】
上記課題を解決する第３の発明に係る電磁誘導式位置検出器は、
上記第２の発明に係る電磁誘導式位置検出器において、
前記第１送信巻線及び前記第２送信巻線の前記周期パターンは、極大値及び極小値に相当する位置と、端部の折り返し位置とに、前記絶縁層を貫通する層間接続配線が設けられ、該層間接続配線部分において、互いに交互に、第Ｎ層から第Ｎ＋１層に、また、第Ｎ＋１層から第Ｎ層に移行するようにして形成される
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る電磁誘導式位置検出器によれば、誘起電圧のオフセットを低減することで高精度化を図りつつ、コンパクト化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例１に係る電磁誘導式位置検出器を説明する回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係る電磁誘導式位置検出器を実施例にて図面を用いて説明する。
【００１８】
［実施例１］
図１は、本実施例に係る電磁誘導式位置検出器を説明する回路図である。本実施例に係る電磁誘導式位置検出器は、主に、スライダ１（一次側部材）に設けられた送信巻線部１１、受信巻線部１４、第１交流電源１６、第２交流電源１７、制御部１８、及び、スケール２（二次側部材）に設けられた磁束変調部（電極）２１を備えている。
【００１９】
可動部であるスライダ１は、固定部であるスケール２と一定間隔（ギャップｇ（図示略））を有して対向し、スケール２の延伸方向に移動自在である。また、スライダ１における少なくとも送信巻線部１１及び受信巻線部１４は、例えばプリント基板により形成され、各線の間には絶縁層（図示略）が設けられており、絶縁が保たれている状態とする。
【００２０】
送信巻線部１１は、交流電源より電流が流されることで磁界を発生するものであり、第１送信巻線１２及び第２送信巻線１３を有している。第１送信巻線１２は、スライダ１の移動方向（スケール２の延伸方向）一方に向けて延伸する正弦波状周期パターンが、所定周期の端部で折り返されており、正極性ループ１１Ｌ＋及び負極性ループ１１Ｌ−を形成する形状である。
【００２１】
また、第２送信巻線１３は、第１送信巻線１２と重なるようにして、スライダ１の移動方向他方に向けて延伸する正弦波状周期パターンが、所定周期の端部で折り返されており、正極性ループ１１Ｌ＋及び負極性ループ１１Ｌ−を形成する形状である。
【００２２】
図１中の太一点鎖線は、第Ｎ層に形成されているパターンを表し、図１中の太破線は、第Ｎ＋１層に形成されているパターンを表している。第１送信巻線１２及び第２送信巻線１３の正弦波状周期パターンは、極大値及び極小値に相当する位置と、端部の折り返し位置とに、上記絶縁層を貫通する層間接続配線（スルーホールあるいはビアホールなど）１５Ａが設けられている。
【００２３】
そして、第１送信巻線１２及び第２送信巻線１３は、それぞれ層間接続配線１５Ａ部分において、互いに交互に、Ｎ層からＮ＋１層に、また、Ｎ＋１層からＮ層に移行するようにして形成され、また、上記絶縁層を介して互いに１／４周期ずれるようにして重なっている。
【００２４】
送信巻線部１１をこのように構成することで、正極性ループ１１Ｌ＋と負極性ループ１１Ｌ−とが、スライダ１の移動方向に一部重なり合いながら交互に形成されることになる。また、第１送信巻線１２及び第２送信巻線１３の正弦波状周期パターンは、送信巻線部１１の長手方向における中間位置から両側の、正極性ループ１１Ｌ＋及び負極性ループ１１Ｌ−の配置が、互いに反転した状態となるように調整されている。
【００２５】
また、第１送信巻線１２及び第２送信巻線１６の周期は、共にｎλ（ｎ：自然数）とする（λについては後述）。
【００２６】
受信巻線部１４は、第１受信巻線１４Ａ及び第２受信巻線１４Ｂを有している。第１受信巻線１４Ａは、スライダ１の幅方向（スケール２の幅方向）において、送信巻線部１１以上の長さを有して送信巻線部１１を覆い、また、スライダ１の移動方向において、第１送信巻線１２及び第２送信巻線１３の周期ｎλに相当する長さを有する、矩形パターンに形成されている。第２受信巻線１４Ｂは、送信巻線部１１の長手方向における中間位置を中心に、第１受信巻線１４Ａと対称な形状となっている。
【００２７】
これにより、第１受信巻線１４Ａの矩形パターンにより形成される受信ループ１４ＡＬと、第２受信巻線１４Ｂの矩形パターンにより形成される受信ループ１４ＢＬとは、送信巻線部１１の長手方向における中間位置を中心として、極性が反転している。
【００２８】
また、第１受信巻線１４Ａと第２受信巻線１４Ｂとは、一端が互いに接続しており、他端が制御部１８に接続している。そして、第１受信巻線１４Ａと第２受信巻線１４Ｂとの間の間隔は、図１中ではλ／４としているが、本実施例はこれに限定しない（この間隔を０とし、互いのパターンの重複部分を異なる層に形成するようにしてもよい）。
【００２９】
第１受信巻線１４Ａ及び第２受信巻線１４Ｂにおける、図１中の太破線は第Ｎ＋１層に配置されている状態を表し、図１中の太実線部分は第Ｎ−１層に配置されている状態を表している。第１受信巻線１４Ａ及び第２受信巻線１４Ｂは、それぞれ、矩形パターンの各頂点に形成されている層間接続配線１５Ｂによって、パターン形成される層が移行されており、スケール２の幅方向に延伸する辺は、Ｎ−１層に形成され、スケール２の延伸方向に延伸する辺は、Ｎ＋１層に形成されている。
【００３０】
受信巻線部１４は、このような構成とすることで、送信巻線部１１と接触しないようにしつつ、スライダ１の幅方向においては送信巻線部１１を覆うようにして、パターン形成されている。
【００３１】
なお、送信巻線部１１及び受信巻線部１４がパターン形成される（上記プリント基板上の）層の順については限定する必要はなく、第１送信巻線１２、第２送信巻線１３、受信巻線部１４は、互いに絶縁層を介してパターン形成されていればよい。
【００３２】
また、第１交流電源１６は第１送信巻線１２に電流Ｉｓを流し、第２交流電源１７は第２送信巻線１３に電流Ｉｃを流す。
なお、電流Ｉｓ，Ｉｃは、それぞれ下記式（１）（２）とする。
Ｉｓ＝−Ｉｓｉｎ（２πα／λ）ｓｉｎ（ωｔ）…（１）
Ｉｃ＝Ｉｃｏｓ（２πα／λ）ｓｉｎ（ωｔ）  …（２）
（Ｉｓ：電流Ｉｓの大きさ、Ｉｃ：電流Ｉｃの大きさ、λ：磁束変調部２１の１ピッチの長さ、ω：交流電流の角周波数、ｔ：時刻、α：パラメータ）
【００３３】
制御部１８は、第１交流電源１２及び第２交流電源１３を制御する。また、受信巻線部１４の端子に発生する電圧Ｖｆを０とするように、電流Ｉｓ，Ｉｃのパラメータαを調整する。そして、位置Ｘ＝αとすることで、位置検出を行う。
【００３４】
磁束変調部（電極）２１は、送信巻線部１１の磁界により渦電流が発生することで、受信巻線部１４に誘導電圧を発生させるものであり、例えば銅パターンしてもよく、スケール２の延伸方向にλ毎に複数配列され、送信巻線部１４及び受信巻線部１５と対向している。
【００３５】
以上が本実施例に係る電磁誘導式位置検出器の構成である。以下では、本実施例に係る電磁誘導式位置検出器の動作について説明する。
【００３６】
まず、スライダ１の第１交流電源１６及び第２交流電源１７から送信巻線部１１に、電流Ｉｓ，Ｉｃを流す。すると、スケール２の磁束変調部２１に渦電流が発生し、スライダ１の受信巻線部１４の端子に電圧Ｖｆを発生させる。
【００３７】
このとき、例えば、送信巻線部１１の正極性ループ１１Ｌ＋がスケール２の磁束変調部２１上に重なると、正極性ループ１１から発生する磁束を打ち消す方向の磁束が磁束変調部２１から発生し、それが受信巻線部１４に電圧Ｖｆを誘導する。
【００３８】
また、スライダ１が半ピッチ（λ／２）移動して、送信巻線部１１の負極性ループ１１Ｌ−がスケール２の磁束変調部２１上に重なると、負極性ループ１１Ｌ−から発生する磁束を打ち消す方向の磁束が磁束変調部２１から発生し、受信巻線部１４に電圧Ｖｆを誘導する。
【００３９】
それらの極性（電圧Ｖｆの＋，−）は互いに逆となる。すなわち、位置Ｘの移動に対し、受信巻線部１４に誘導される電圧Ｖｆは、周期λで正弦波状に正負の値を繰り返す。
【００４０】
第１送信巻線１２と第２受信巻線１３とによる誘導電圧を合わせると、下記式（３）のようになる。
Ｖｆ＝Ｋ（ｇ）Ｉ｛−ｓｉｎ（２πα／λ）ｃｏｓ（２πＸ／λ）＋ｃｏｓ（２πα／λ）ｓｉｎ（２πＸ／λ）ｓｉｎ（ωｔ）
＝Ｋ（ｇ）Ｉｓｉｎ（２π(Ｘ−α)／λ）ｓｉｎ（ωｔ）  …（３）
(Ｋ：スライダ１とスケール２とのギャップｇに依存する係数、Ｘ：スケール２の位置)
【００４１】
制御部１８において、上記電圧Ｖｆを０とするように、電流Ｉｓ，Ｉｃのパラメータαを調整する。それにより位置Ｘ＝αとして位置検出を行う。
【００４２】
また、既に説明したように、送信巻線部１１の長手方向における中間位置から両側の、正極性ループ１１Ｌ＋及び負極性ループ１１Ｌ−の配置が、互いに反転した状態となっているため、第１送信巻線１２において、磁束変調部２１上に正極性ループ１１Ｌ＋が重なるときに磁束変調部２１から発生する磁束と、磁束変調部２１上に負極性ループ１１Ｌ−が重なるときに磁束変調部２１から発生する磁束とは、極性が逆になり、磁界は０を平均とする正負の値で変化し、従来技術の課題として（２）に挙げた大きなオフセットは発生しなくなる。
【００４３】
これにより、従来のように、ギャップｇによりオフセットが変化するために別途検出装置を設けギャップの計測を行う必要がない。
【００４４】
なお、スライダ１は正極性ループ１１Ｌ＋及び負極性ループ１１Ｌ−の配置が、反転しているだけでなく、対応する第１受信ループ１４ＡＬと第２受信ループ１４ＢＬも対称な形状となっているため、誘起電圧Ｖｆは相殺されることなく、位置検出を行うことが可能となっている。
【００４５】
また、第１送信巻線１２において、磁束変調部２１上に正極性ループ１１Ｌ＋が重なるときに、第２送信巻線１３において、磁束変調部２１に負極性ループ１１Ｌ−が重なるので、第１送信巻線１２による電圧と第２送信巻線１３による電圧とを合わせると、オフセットはさらに低減する。
【００４６】
なお、電圧Ｖｆ＝０となるよう電流Ｉｓ，Ｉｃを調整するので、スケール１上に発生する磁束のトータルは０に調整される。
【００４７】
また、送信巻線部１１による磁界は、磁束変調部２１だけでなく受信巻線部１４にも直接電圧を誘導するが、受信巻線部１４は第１受信巻線１４Ａと第２受信巻線１４Ｂとで極性が反転しているため、従来技術における上記（１）に挙げたオフセットも低減することができる。
【００４８】
以上、本実施例に係る電磁誘導式位置検出器について説明したが、本実施例は、第１送信巻線１２及び第２送信巻線１３の周期パターンを、上述したような正弦波状に限定するものではない。正弦波状以外の周期パターンとしては、該周期パターンにより形成される正極性ループ１１Ｌ＋及び負極性ループ１１Ｌ−が、楕円、菱形、あるいは、それらの中間の形状となるものであれば成立する。
【００４９】
このようにして、本実施例では、誘起電圧のオフセットを低減し、高精度化を図ることができる。また、本実施例では、上記特許文献１のように、正極性ループ及び負極性ループの外側に対称な形状の送信巻線部を設ける必要がないため、コンパクト化を図ることができる。さらに、本実施例では、スケール側には磁束変調部のみが形成されており、スケール側の配線が不要となる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、電磁誘導式位置検出器として好適である。
【符号の説明】
【００５１】
１  スライダ
２  スケール
１１  送信巻線部
１１Ｌ＋  正極性ループ
１１Ｌ−  負極性ループ
１２  第１送信巻線
１３  第２送信巻線
１４  受信巻線部
１４Ａ  第１受信巻線
１４Ｂ  第２受信巻線
１４ＡＬ  受信ループ
１４ＢＬ  受信ループ
１５Ａ  層間接続配線
１５Ｂ  層間接続配線
１６  第１交流電源
１７  第２交流電源
１８  制御部
２１  磁束変調部
【要約】
【課題】誘起電圧のオフセットを低減することで高精度化を図る電磁誘導式位置検出器を提供する。
【解決手段】正極性ループ１１Ｌ＋と負極性ループ１１Ｌ−とが、スケール２の延伸方向に一部重なり合いながら交互に形成され、送信巻線部１１の長手方向における中間位置から両側の、正極性ループ１１Ｌ＋及び負極性ループ１１Ｌ−の配置が、互いに反転するように調整されている送信巻線部１１と、スケール２の幅方向において送信巻線部１１を覆い、また、スケール２の延伸方向において、送信巻線部１１の周期パターンの周期に相当する長さを有する、矩形パターンに形成されている第１受信巻線１４Ａと、送信巻線部１１の長手方向における中間位置を中心に、第１受信巻線１４Ａと対称な形状となっている第２受信巻線１４Ｂと、スケール２の延伸方向に複数配列され、送信巻線部１１及び受信巻線部１４と対向する磁束変調部２１とを備える。
【選択図】図１【図１】
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