(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電気部品に接触する導電性の第１接触部材と、第２電気部品に接触する導電性の第２接触部材と、前記第１接触部材および前記第２接触部材の少なくとも一方が内部に移動自在に嵌合する導電性の筒体と、前記筒体内に配置され、前記第１接触部材と前記第２接触部材とを互いに離反する方向へ弾性的に付勢するスプリングとを備えたコンタクトプローブであって、
前記第１接触部材又は前記第２接触部材の一方には、細径部が形成されており、
前記筒体の一部には、前記第１接触部材又は前記第２接触部材の一方に当接する板ばねが、前記当接される一方の第１又は第２接触部材が出入りする前記筒体の口の方向に向かって延出して形成されており、前記板ばねの先端部には、前記細径部を係脱可能とする当接部が形成され、該係止状態で、前記筒体に前記一方の第１又は第２接触部材が保持され、前記一方の第１又は第２接触部材を前記筒体内に押込むことにより、または前記一方の第１又は第２接触部材を前記筒体から引き抜くことにより、前記係止状態が解除されるように構成されていることを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
前記第１接触部材および前記筒体が一体に形成され、前記第２接触部材が前記筒体に移動自在に嵌合していることを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記板ばねの先端部には、前記第２接触部材と接触する当接部が前記筒体の中心に向けて突出するように形成されていることを特徴とする請求項２に記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記板ばねの先端には、外側に向けて折曲され、前記第２接触部材が前記筒体に挿入されたときに当該第２接触部材を摺動するガイド部が形成されていることを特徴とする請求項２または３に記載のコンタクトプローブ。
【請求項５】
前記第２接触部材が前記細径部を有し、前記板ばねの前記当接部が前記細径部を係止することにより、前記筒体からの前記第２接触部材の突出量が規制されるように構成されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
【請求項６】
前記板ばねが複数であり、これらの板ばねが前記第２接触部材に当接した状態で、当該第２接触部材の軸心が前記筒体の軸心に略一致していることを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のコンタクトプローブの製造方法であって、
導電性を有する平板材に略Ｕ字状の切り込みを形成して前記板ばねを形成し、その後、前記平板材を筒状に曲げ加工することにより、前記コンタクトプローブの前記筒体を作製することを特徴とするコンタクトプローブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、第１電気部品と第２電気部品とを電気的に接続するためのコンタクトプローブ（導電性接触子）と、このコンタクトプローブの製造方法とに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来からこの種のコンタクトプローブは、第１電気部品に接触する導電性の第１接触部材と、第２電気部品に接触する導電性の第２接触部材と、これらの第１接触部材および第２接触部材の少なくとも一方が内部に移動自在に嵌合する導電性の筒体と、第１接触部材と第２接触部材とを互いに離反する方向へ弾性的に付勢するスプリングとを備えている。
【０００３】
このコンタクトプローブとしては、第１接触部材と第２接触部材の一方に筒体が一体に形成され、他方がその筒体に対して移動自在に保持された、いわゆる片端摺動型のものや、第１接触部材と第２接触部材の双方が筒体に対して移動自在に保持された、いわゆる両端摺動型のものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
そして、このコンタクトプローブでは、第１接触部材、第２接触部材と筒体との内部短絡を改善するため、スプリングの端部（第１接触部材、第２接触部材に接触する端部）の巻き形状や、第１接触部材、第２接触部材の後端部（スプリングに接触する端部）の形状を工夫して、第１接触部材、第２接触部材を筒体に対して傾斜させて電路を形成することにより、第１接触部材、第２接触部材と筒体との接触状態を確保しようとしていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実用新案登録第３０８８８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような従来のものにあっては、第１接触部材、第２接触部材が筒体に対して傾斜して接触する形で電路を形成するため、片端摺動型であると両端摺動型であるとを問わず、第１接触部材、第２接触部材と筒体との接触箇所において、その接触状態が不安定となり、内部短絡が必ずしも確実ではない。その結果、とりわけ高電流のデバイスのバーンイン試験に使用する場合には、コンタクトプローブを確実に内部短絡させたいという要望があった。
【０００７】
そこで、この発明は、こうした要望に応えるべく、確実に内部短絡させることが可能なコンタクトプローブおよびその製造方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる課題を達成するために、請求項１に記載の発明は、第１電気部品に接触する導電性の第１接触部材と、第２電気部品に接触する導電性の第２接触部材と、前記第１接触部材および前記第２接触部材の少なくとも一方が内部に移動自在に嵌合する導電性の筒体と、前記筒体内に配置され、前記第１接触部材と前記第２接触部材とを互いに離反する方向へ弾性的に付勢するスプリングとを備えたコンタクトプローブであって、前記第１接触部材又は前記第２接触部材の一方には、細径部が形成されており、前記筒体の一部には、前記第１接触部材又は前記第２接触部材の一方に当接する板ばねが、前記当接される一方の第１又は第２接触部材が出入りする前記筒体の口の方向に向かって延出して形成されており、前記板ばねの先端部には前記細径部を係脱可能とする当接部が形成され、該係止状態で、前記筒体に前記一方の第１又は第２接触部材が保持され、該係止状態から前記一方の第１又は第２接触部材を前記筒体内に押込むことにより、および前記一方の第１又は第２接触部材を前記筒体から引き抜くことにより、係止状態が解除されるように構成されたコンタクトプローブとしたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成に加え、前記第１接触部材および前記筒体が一体に形成され、前記第２接触部材が前記筒体に移動自在に嵌合していることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の構成に加え、前記板ばねの先端部には、前記第２接触部材に接触する当接部が前記筒体の中心に向けて突出するように形成されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項２または３に記載の構成に加え、前記板ばねの先端には、外側に向けて折曲され、前記第２接触部材が前記筒体に挿入されたときに当該第２接触部材を摺動するガイド部が形成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項２乃至４のいずれかに記載の構成に加え、前記第２接触部材が前記細径部を有し、前記板ばねの前記当接部が前記細径部を係止することにより、前記筒体からの前記第２接触部材の突出量が規制されるように構成されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項２乃至５のいずれかに記載の構成に加え、前記板ばねが複数であり、これらの板ばねが前記第２接触部材に当接した状態で、当該第２接触部材の軸心が前記筒体の軸心に略一致していることを特徴とする。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載のコンタクトプローブの製造方法であって、導電性を有する平板材に略Ｕ字状の切り込みを形成して前記板ばねを形成し、その後、前記平板材を筒状に曲げ加工することにより、前記コンタクトプローブの前記筒体を作製するコンタクトプローブの製造方法としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載の発明によれば、筒体に形成された板ばねを、その弾性力を利用して第１接触部材および第２接触部材の少なくとも一方に機械的に当接させるようにしているため、第１接触部材および第２接触部材の少なくとも一方と筒体との接触状態を安定させ、コンタクトプローブを確実に内部短絡させることが可能となる。
【００１６】
請求項２に記載の発明によれば、筒体に形成された板ばねを、その弾性力を利用して第２接触部材に機械的に当接させるようにしているため、第２接触部材と筒体との接触状態を安定させ、コンタクトプローブを確実に内部短絡させることが可能となる。
【００１７】
請求項３に記載の発明によれば、筒体の中心に向けて板ばねに形成された当接部が第２接触部材に接触するため、コンタクトプローブの内部短絡をより確実なものとすることができる。
【００１８】
請求項４に記載の発明によれば、コンタクトプローブの組付けに際して、筒体に対する第２接触部材の挿入が容易になるため、コンタクトプローブの生産性を高めることができる。
【００１９】
請求項５に記載の発明によれば、第２接触部材が、その細径部に板ばねが係合して突出量が規制されるため、コンタクトプローブの使用時の全長を確保することが可能となる。
【００２０】
請求項６に記載の発明によれば、第２接触部材の軸心が筒体の軸心に略一致しているため、筒体に対する第２接触部材の摺動抵抗が小さくなり、第２接触部材が筒体に対して円滑に上下動することができる。
【００２１】
請求項７に記載の発明によれば、カーリングによって筒体を容易に作製することができるため、切削その他の作製方法に比べて、板ばねが形成されたコンタクトプローブを、その工程数を増加させることなく安価に製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明の実施の形態１に係るコンタクトプローブを示す図であって、（ａ）はその斜視図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う拡大断面図である。
【図２】同実施の形態１に係るコンタクトプローブの製造方法を示す図であって、（ａ）は板ばね形成工程を示すバレルの展開図、（ｂ）〜（ｆ）はプランジャ挿入工程を示すコンタクトプローブの縦断面図である。
【図３】同実施の形態１に係るコンタクトプローブの使用状態を示す断面図であって、（ａ）はコンタクトプローブがソケット本体に組み付けられてＩＣソケットが構成された状態図、（ｂ）はＩＣソケットが配線基板上に配設された状態図、（ｃ）はＩＣソケットにＩＣパッケージが収容された状態図である。
【図４】同実施の形態１に係るコンタクトプローブのプランジャがバレルに挿入されていくときにプランジャが板ばねから受ける荷重の変化を示すグラフである。
【図５】この発明の実施の形態２に係るコンタクトプローブの水平断面図である。
【図６】同実施の形態２に係るコンタクトプローブの製造方法を示す図であって、（ａ）は板ばね形成工程を示すバレルの展開図、（ｂ）〜（ｆ）はプランジャ挿入工程を示すコンタクトプローブの縦断面図である。
【図７】この発明の実施の形態３に係るコンタクトプローブを示す図であって、（ａ）はその水平断面図、（ｂ）はバレルの展開図である。
【図８】この発明の実施の形態４に係るコンタクトプローブを示す図であって、（ａ）はその水平断面図、（ｂ）はバレルの展開図である。
【図９】この発明の実施の形態５に係るコンタクトプローブを示す正面図である。
【図１０】同実施の形態５に係るコンタクトプローブの製造方法のプランジャ挿入工程を示すコンタクトプローブの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、この発明の実施の形態について説明する。
［発明の実施の形態１］
【００２４】
図１乃至図４には、この発明の実施の形態１を示す。
【００２５】
まず、構成を説明すると、図１中符号１１は、いわゆる片端摺動型のコンタクトプローブで、図３に示すように、複数のコンタクトプローブ１１がソケット本体１４に組み付けられて「電気部品用ソケット」であるＩＣソケット１５が構成された状態で、「第２電気部品」である配線基板１３上に配設されるようになっており、「第１電気部品」であるＩＣパッケージ１２のバーンイン試験等を行うために、このＩＣパッケージ１２の球状端子１２ａと配線基板１３との電気的接続を図るものである。
【００２６】
このコンタクトプローブ１１は、例えば、ベリリウム銅から形成されており、図１および図３（ｃ）に示すように、ＩＣパッケージ１２の球状端子１２ａに接触する導電性のバレル１６の「第１接触部材」である第１接触部１６ｂと、配線基板１３に接触する導電性の「第２接触部材」であるプランジャ１７と、このプランジャ１７が内部に移動自在に嵌合する導電性のバレル１６の「筒体」であるバレル本体１６ａと、このバレル本体１６ａ内に配置され、バレル１６とプランジャ１７とを互いに離反する方向（図３（ｃ）上下方向）へ弾性的に付勢するスプリング１８とを備えている。
【００２７】
ここで、バレル１６は、図１（ａ）に示すように、太径円筒状のバレル本体１６ａを有しており、バレル本体１６ａの一端部（図３上側の端部）には、細径円筒状の第１接触部１６ｂが一体に形成されている。また、バレル本体１６ａには、プランジャ１７に当接する３本の板ばね１６ｃが、図１（ｂ）に示すように、等角度間隔（つまり、１２０°間隔）で配置された形でバレル本体１６ａの軸方向（図３上下方向）に沿って延びるように形成されている。各板ばね１６ｃにはそれぞれ、プランジャ１７に接触する当接部１６ｄがバレル本体１６ａの中心に向けて斜めに突出するように形成されていると共に、板ばね１６ｃの先端（プランジャ１７側の端部）に、外側（バレル本体１６ａの中心から離れる向き）に向けて斜めに折曲され、プランジャ１７がバレル本体１６ａに挿入されたときにプランジャ１７に摺動するガイド部１６ｅが形成されている。
【００２８】
また、プランジャ１７は、図３（ａ）に示すように、ほぼ円柱状の第２接触部１７ａと、ほぼ円柱状の細径部１７ｂと、ほぼ円錐状の太径部１７ｃとが順に一体に連結されて構成されている。なお、細径部１７ｂの直径は、第２接触部１７ａの直径より小さくなっており、太径部１７ｃの最大直径（円錐底面の直径）は、第２接触部１７ａの直径と同程度になっている。
【００２９】
そして、図２（ｄ）に示すように、バレル１６の３本の板ばね１６ｃの当接部１６ｄがプランジャ１７の細径部１７ｂを係合することにより、バレル本体１６ａからのプランジャ１７の突出量Ｌ１が規制されるように構成されている。また、上述した通り、３本の板ばね１６ｃは等角度間隔で配置されているため、これらの板ばね１６ｃがプランジャ１７に当接した状態では、プランジャ１７の軸心ＣＴ１は、バレル本体１６ａの軸心ＣＴ２に略一致している。
【００３０】
以上のような構成を有するコンタクトプローブ１１においては、図２（ｄ）に示すように、バレル１６のバレル本体１６ａに形成された３本の板ばね１６ｃの当接部１６ｄが、板ばね１６ｃの弾性力を利用してプランジャ１７に機械的に当接しているため、プランジャ１７とバレル１６との接触状態を安定させ、コンタクトプローブ１１を確実に内部短絡させることが可能となる。
【００３１】
そして、このコンタクトプローブ１１は、以下に説明する通り、カーリングによってバレル１６を作製した後、このバレル１６にスプリング１８およびプランジャ１７を順に組み込むことにより、製造することができる。
【００３２】
まず、カーリングによってバレル１６を作製すべく、図２（ａ）に示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材１９を用意し、この平板材１９に、略Ｕ字状の切り込み２０を３つ形成して３本の板ばね１６ｃを形成する。このとき、これらの切り込み２０を等間隔で配置する。
【００３３】
次いで、これら３本の板ばね１６ｃを同じ向き（図２（ａ）紙面に直角な方向で手前向き）に折り曲げて当接部１６ｄを形成すると共に、これらの板ばね１６ｃの先端を逆向き（図２（ａ）紙面に直角な方向で向こう向き）に折り曲げてガイド部１６ｅを形成する（図２（ｂ）参照）。これらの折曲加工は３本同時に行う。その結果、これらの折曲加工を１本ずつ順に行う場合に比べて、３本の板ばね１６ｃの折曲加工に要する時間を短縮し、コンタクトプローブ１１の生産性を高めることができる。
【００３４】
その後、平板材１９を筒状に曲げ加工（カーリング）する。このとき、板ばね１６ｃの当接部１６ｄが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体１６ａに細径円筒状の第１接触部１６ｂが一体に形成されたバレル１６が得られる。
【００３５】
次に、図２（ｂ）に示すように、このバレル１６のバレル本体１６ａ内にスプリング１８を挿入した後、図２（ｂ）〜（ｄ）に示すように、このバレル本体１６ａの下端部にプランジャ１７を挿入していく。
【００３６】
なお、図２（ｅ）、（ｆ）に示すように、プランジャ１７が必要以上に挿入されたとしても、スプリング１８の付勢力によって押し返される。そのため、プランジャ１７は、図２（ｄ）に示すように、バレル１６の当接部１６ｄが細径部１７ｂの上端に当たったところで、安定して支持された状態となり、この状態で所定の突出量Ｌ１が確保される。
【００３７】
このとき、バレル１６の各板ばね１６ｃは、上述した通り、バレル本体１６ａの軸方向に沿って延びるように形成され、各板ばね１６ｃの先端にガイド部１６ｅが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体１６ａに対するプランジャ１７の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ１１の組付け性を高めることができる。
【００３８】
また、プランジャ１７は、上述した通り、ほぼ円柱状の第２接触部１７ａと、この第２接触部１７ａより小径のほぼ円柱状の細径部１７ｂと、第２接触部１７ａとほぼ同じ直径のほぼ円錐状の太径部１７ｃとが順に連結されているため、図４に示すように、バレル１６の板ばね１６ｃから受ける荷重が変化する。すなわち、バレル１６の当接部１６ｄがプランジャ１７に当たる部位が、太径部１７ｃの途中から円錐底面近傍に至るまで（図２（ｂ）〜（ｃ）参照）は、この荷重が直線的に増加し、そこから細径部１７ｂの上端に至るまで（図２（ｃ）〜（ｄ）参照）は、この荷重が直線的に減少し、細径部１７ｂの上端から下端に至るまで（図２（ｄ）〜（ｅ）参照）は、この荷重が一定に保たれ、細径部１７ｂの下端から第２接触部１７ａの上端に至るまで（図２（ｅ）〜（ｆ）参照）は、この荷重が再び直線的に増加し、それ以降は、この荷重が一定に保たれる。なお、図４のグラフにおいて、横軸はバレル本体１６ａに対するプランジャ１７の挿入量を表し、縦軸はプランジャ１７が板ばね１６ｃから受ける荷重を表す。
【００３９】
ここで、コンタクトプローブ１１が完成し、コンタクトプローブ１１の製造が終了する。
【００４０】
このように、このコンタクトプローブ１１では、カーリングによってバレル１６を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ１１を安価に製造することが可能となる。
【００４１】
次に、このコンタクトプローブ１１の使用方法について、図３を用いて説明する。
【００４２】
まず、図３（ａ）に示すように、上側プレート２１および下側プレート２２を備えたソケット本体１４に、複数のコンタクトプローブ１１を上下方向に組み付けて、ＩＣソケット１５を構成する。このＩＣソケット１５では、バレル１６が上側プレート２１の段付き挿通孔２１ａに上下動自在に嵌合すると共に、プランジャ１７が下側プレート２２の段付き挿通孔２２ａに上下動自在に嵌合しており、バレル１６の第１接触部１６ｂの上部が上側プレート２１の上面２１ｂから上方へ突出すると共に、プランジャ１７の第２接触部１７ａの下部が下側プレート２２の下面２２ｂから下方へ突出した状態になっている。
【００４３】
次いで、図３（ｂ）に示すように、このＩＣソケット１５を配線基板１３上に配設する。すると、各コンタクトプローブ１１はそれぞれ、プランジャ１７が配線基板１３に押し上げられる形でスプリング１８の付勢力に抗して上昇し、プランジャ１７の第２接触部１７ａと配線基板１３の図示省略の各電極とが所定の接圧で接触した状態となる。
【００４４】
このとき、コンタクトプローブ１１は、上述した通り、プランジャ１７の軸心ＣＴ１がバレル本体１６ａの軸心ＣＴ２に略一致している。従って、バレル本体１６ａに対するプランジャ１７の摺動抵抗が小さくなり、プランジャ１７がバレル本体１６ａにして円滑に上下動することができる。
【００４５】
この状態で、図３（ｃ）に示すように、このＩＣソケット１５の上側にＩＣパッケージ１２を収容し、図示省略の押圧機構により、このＩＣパッケージ１２を下方に押圧する。すると、各コンタクトプローブ１１はそれぞれ、バレル１６がＩＣパッケージ１２に押し下げられる形でスプリング１８の付勢力に抗して下降し、バレル１６の第１接触部１６ｂとＩＣパッケージ１２の各球状端子１２ａとが所定の接圧で接触した状態となる。
【００４６】
その結果、ＩＣパッケージ１２の球状端子１２ａと配線基板１３の電極とがコンタクトプローブ１１を介して互いに導通した状態になる。
【００４７】
この状態で、ＩＣパッケージ１２に電流を流してバーンイン試験等を行う。
【００４８】
このとき、コンタクトプローブ１１は、上述した通り、確実に内部短絡しているので、ＩＣパッケージ１２に高電流を流す場合であっても、このＩＣパッケージ１２のバーンイン試験等を適正に行うことが可能となる。
【００４９】
また、コンタクトプローブ１１は、上述した通り、バレル１６の３本の板ばね１６ｃがプランジャ１７の細径部１７ｂに係合することにより、バレル本体１６ａからのプランジャ１７の突出量Ｌ１が規制されるように構成されている。その結果、コンタクトプローブ１１の全長（例えば、３ｍｍ）を確保することができるため、ＩＣパッケージ１２のバーンイン試験等を支障なく行うことが可能となる。
［発明の実施の形態２］
【００５０】
図５および図６には、この発明の実施の形態２を示す。
【００５１】
この実施の形態２は、バレル１６の板ばね１６ｃが３本ではなく４本である点を除き、上述した実施の形態１と同じ構成を有している。
【００５２】
すなわち、このコンタクトプローブ１１においては、図５に示すように、バレル１６のバレル本体１６ａに４本の板ばね１６ｃが、等角度間隔（つまり、９０°間隔）で配置された形でバレル本体１６ａの軸方向（図５紙面に直角な方向）に沿って延びるように形成されている。
【００５３】
その他の構成については、上述した実施の形態１と同様である。従って、この実施の形態２では、上述した実施の形態１と同じ作用効果を奏する。
【００５４】
また、このコンタクトプローブ１１は、上述した実施の形態１と同様、以下に説明する通り、カーリングによってバレル１６を作製した後、このバレル１６にスプリング１８およびプランジャ１７を順に組み込むことにより、製造することができる。
【００５５】
まず、カーリングによってバレル１６を作製すべく、図６（ａ）に示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材１９を用意し、この平板材１９に、略Ｕ字状の切り込み２０を４つ形成して４本の板ばね１６ｃを形成する。このとき、これらの切り込み２０を等間隔で配置する。
【００５６】
次いで、これら４本の板ばね１６ｃを同じ向き（図６（ａ）紙面に直角な方向で手前向き）に折り曲げて当接部１６ｄを形成すると共に、これらの板ばね１６ｃの先端を逆向き（図６（ａ）紙面に直角な方向で向こう向き）に折り曲げてガイド部１６ｅを形成する（図６（ｂ）参照）。これらの折曲加工は４本同時に行う。その結果、これらの折曲加工を１本ずつ順に行う場合に比べて、４本の板ばね１６ｃの折曲加工に要する時間を短縮し、コンタクトプローブ１１の生産性を高めることができる。
【００５７】
その後、平板材１９を筒状に曲げ加工する。このとき、板ばね１６ｃの当接部１６ｄが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体１６ａに細径円筒状の第１接触部１６ｂが一体に形成されたバレル１６が得られる。
【００５８】
次に、図６（ｂ）に示すように、このバレル１６のバレル本体１６ａ内にスプリング１８を挿入した後、図６（ｂ）〜（ｄ）に示すように、このバレル本体１６ａの下端部にプランジャ１７を挿入していく。
【００５９】
なお、図６（ｅ）、（ｆ）に示すように、プランジャ１７が必要以上に挿入されたとしても、スプリング１８の付勢力によって押し返される。そのため、プランジャ１７は、図６（ｄ）に示すように、バレル１６の当接部１６ｄが細径部１７ｂの上端に当たったところで、安定して支持された状態となり、この状態で所定の突出量Ｌ１が確保される。
【００６０】
このとき、バレル１６の各板ばね１６ｃは、バレル本体１６ａの軸方向に沿って延びるように形成され、各板ばね１６ｃの先端にガイド部１６ｅが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体１６ａに対するプランジャ１７の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ１１の組付け性を高めることができる。
【００６１】
ここで、コンタクトプローブ１１が完成し、コンタクトプローブ１１の製造が終了する。
【００６２】
このように、このコンタクトプローブ１１では、カーリングによってバレル１６を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ１１を安価に製造することが可能となる。
【００６３】
また、このコンタクトプローブ１１の使用方法については、上述した実施の形態１と同様である。従って、この実施の形態２では、上述した実施の形態１と同じ作用効果を奏する。
［発明の実施の形態３］
【００６４】
図７には、この発明の実施の形態３を示す。
【００６５】
この実施の形態３は、バレル１６の板ばね１６ｃが３本ではなく１本であると共に、プランジャ１７の軸心ＣＴ１がバレル本体１６ａの軸心ＣＴ２から偏心している点を除き、上述した実施の形態１と同じ構成を有している。
【００６６】
すなわち、このコンタクトプローブ１１においては、図７（ａ）に示すように、バレル１６のバレル本体１６ａに１本の板ばね１６ｃが、バレル本体１６ａの軸方向（図７（ａ）紙面に直角な方向）に沿って延びるように形成されている。また、プランジャ１７は、その軸心ＣＴ１がバレル本体１６ａの軸心ＣＴ２から図７（ａ）下方に偏心している。
【００６７】
その他の構成については、上述した実施の形態１と同様である。従って、この実施の形態３では、上述した実施の形態１と同じ作用効果を奏する。これに加えて、この実施の形態３では、板ばね１６ｃが１本であるため、板ばね１６ｃが複数（２本以上）である場合に比べて、板ばね１６ｃの寸法制御が容易になり、従って、コンタクトプローブ１１の設計の自由度を高めることが可能となる。
【００６８】
また、このコンタクトプローブ１１は、上述した実施の形態１と同様、以下に説明する通り、カーリングによってバレル１６を作製した後、このバレル１６にスプリング１８およびプランジャ１７を順に組み込むことにより、製造することができる。
【００６９】
まず、カーリングによってバレル１６を作製すべく、図７（ｂ）に示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材１９を用意し、この平板材１９に、略Ｕ字状の切り込み２０を１つ形成して１本の板ばね１６ｃを形成する。
【００７０】
次いで、この板ばね１６ｃを図７（ｂ）紙面に直角な方向で手前向きに折り曲げて当接部１６ｄを形成すると共に、この板ばね１６ｃの先端を逆向き（図７（ｂ）紙面に直角な方向で向こう向き）に折り曲げてガイド部１６ｅを形成する。
【００７１】
その後、平板材１９を筒状に曲げ加工する。このとき、板ばね１６ｃの当接部１６ｄが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体１６ａに細径円筒状の第１接触部１６ｂが一体に形成されたバレル１６が得られる。
【００７２】
次に、このバレル１６のバレル本体１６ａ内にスプリング１８を挿入した後、このバレル本体１６ａの下端部にプランジャ１７を挿入していく。
【００７３】
このとき、バレル１６の板ばね１６ｃは、バレル本体１６ａの軸方向に沿って延びるように形成され、板ばね１６ｃの先端にガイド部１６ｅが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体１６ａに対するプランジャ１７の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ１１の組付け性を高めることができる。
【００７４】
ここで、コンタクトプローブ１１が完成し、コンタクトプローブ１１の製造が終了する。
【００７５】
このように、このコンタクトプローブ１１では、カーリングによってバレル１６を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ１１を安価に製造することが可能となる。
【００７６】
また、このコンタクトプローブ１１の使用方法については、上述した実施の形態１と同様である。従って、この実施の形態３では、プランジャ１７の軸心ＣＴ１がバレル本体１６ａの軸心ＣＴ２に略一致していることによる作用効果を除いて、上述した実施の形態１と同じ作用効果を奏する。
［発明の実施の形態４］
【００７７】
図８には、この発明の実施の形態４を示す。
【００７８】
この実施の形態４は、バレル１６の板ばね１６ｃが３本ではなく２本である点を除き、上述した実施の形態１と同じ構成を有している。
【００７９】
すなわち、このコンタクトプローブ１１においては、図８（ａ）に示すように、バレル１６のバレル本体１６ａに２本の板ばね１６ｃが、等角度間隔（つまり、１８０°間隔）で配置された形でバレル本体１６ａの軸方向（図８（ａ）紙面に直角な方向）に沿って延びるように形成されている。
【００８０】
その他の構成については、上述した実施の形態１と同様である。従って、この実施の形態４では、上述した実施の形態１と同じ作用効果を奏する。
【００８１】
また、このコンタクトプローブ１１は、上述した実施の形態１と同様、以下に説明する通り、カーリングによってバレル１６を作製した後、このバレル１６にスプリング１８およびプランジャ１７を順に組み込むことにより、製造することができる。
【００８２】
まず、カーリングによってバレル１６を作製すべく、図８（ｂ）に示すように、プレスで所定の形状に打ち抜いた導電性の平板材１９を用意し、この平板材１９に、略Ｕ字状の切り込み２０を２つ形成して２本の板ばね１６ｃを形成する。
【００８３】
次いで、これら２本の板ばね１６ｃを同じ向き（図８（ｂ）紙面に直角な方向で手前向き）に折り曲げて当接部１６ｄを形成すると共に、これらの板ばね１６ｃの先端を逆向き（図８（ｂ）紙面に直角な方向で向こう向き）に折り曲げてガイド部１６ｅを形成する。これらの折曲加工は２本同時に行う。その結果、これらの折曲加工を１本ずつ順に行う場合に比べて、２本の板ばね１６ｃの折曲加工に要する時間を短縮し、コンタクトプローブ１１の生産性を高めることができる。
【００８４】
その後、平板材１９を筒状に曲げ加工する。このとき、板ばね１６ｃの当接部１６ｄが折り曲げられた側を内側にする。すると、太径円筒状のバレル本体１６ａに細径円筒状の第１接触部１６ｂが一体に形成されたバレル１６が得られる。
【００８５】
次に、このバレル１６のバレル本体１６ａ内にスプリング１８を挿入した後、このバレル本体１６ａの下端部にプランジャ１７を挿入していく。
【００８６】
このとき、バレル１６の各板ばね１６ｃは、バレル本体１６ａの軸方向に沿って延びるように形成され、各板ばね１６ｃの先端にガイド部１６ｅが外側に向けて斜めに折曲されて形成されている。その結果、バレル本体１６ａに対するプランジャ１７の挿入が容易になるため、コンタクトプローブ１１の組付け性を高めることができる。
【００８７】
ここで、コンタクトプローブ１１が完成し、コンタクトプローブ１１の製造が終了する。
【００８８】
このように、このコンタクトプローブ１１では、カーリングによってバレル１６を容易に作製することができる。そのため、切削その他の作製方法に比べて、コンタクトプローブ１１を安価に製造することが可能となる。
【００８９】
また、このコンタクトプローブ１１の使用方法については、上述した実施の形態１と同様である。従って、この実施の形態４では、上述した実施の形態１と同じ作用効果を奏する。
［発明の実施の形態５］
【００９０】
図９および図１０には、この発明の実施の形態５を示す。
【００９１】
この実施の形態５は、カーリングではなく切削によってバレル１６を作製したものである点を除き、上述した実施の形態２と基本的に同じ構成を有している。
【００９２】
すなわち、このコンタクトプローブ１１においては、図９，図１０（ｂ）に示すように、バレル１６の第１接触部１６ｂがバレル本体１６ａと同じ外径に形成されていると共に、バレル本体１６ａの上部に、バレル１６を上側プレート２１に係止するためのリング状の突起１６ｆが周設されており、さらに、板ばね１６ｃの当接部１６ｄおよびガイド部１６ｅが折り曲げられることなく下向きにまっすぐ形成されている。
【００９３】
その他の構成については、上述した実施の形態２と同様である。従って、この実施の形態５では、上述した実施の形態２と同じ作用効果を奏する。
【００９４】
また、このコンタクトプローブ１１は、切削によってバレル１６を作製した後、図１０（ａ）〜（ｄ）に示すように、このバレル１６にスプリング１８およびプランジャ１７を順に組み込むことにより、製造することができる。
【００９５】
このように、このコンタクトプローブ１１では、バレル１６が切削によって作製されたものであるため、カーリングに比べて、バレル１６を寸法通り高精度に作製することができる。
【００９６】
また、このコンタクトプローブ１１の使用方法については、上述した実施の形態１と同様である。従って、この実施の形態５では、上述した実施の形態１と同じ作用効果を奏する。
［発明のその他の実施の形態］
【００９７】
なお、上記実施の形態１、２、３、４では、バレル１６の板ばね１６ｃがそれぞれ３本、４本、１本、２本である場合について説明したが、この板ばね１６ｃの本数は、１本以上であれば特に限定されるわけではない。板ばね１６ｃが複数（２本以上）である場合、通常は、上述した通り、これらの板ばね１６ｃを等角度間隔で配設し、プランジャ１７をその軸心ＣＴ１がバレル１６のバレル本体１６ａの軸心ＣＴ２に略一致した状態で支持するのが、バレル本体１６ａに対するプランジャ１７の上下動を円滑にする点で望ましい。但し、コンタクトプローブ１１の用途その他の状況によっては、複数の板ばね１６ｃを不等角度間隔で配設したり、それぞれの板ばね１６ｃの押圧力を適宜調整したりすることにより、プランジャ１７をその軸心ＣＴ１がバレル１６のバレル本体１６ａの軸心ＣＴ２から偏心した状態で支持することも可能である。
【００９８】
また、上記実施の形態１〜５では、ほぼ円柱状の第２接触部１７ａと、この第２接触部１７ａより小径のほぼ円柱状の細径部１７ｂと、第２接触部１７ａとほぼ同じ直径のほぼ円錐状の太径部１７ｃとを有するプランジャ１７、つまり、軸方向に沿って直径が不均一なプランジャ１７を用いる場合について説明したが、軸方向の全長にわたって直径が均一なストレート形状のプランジャ１７、つまり、円柱状のプランジャ１７を代用することもできる。
【００９９】
また、上記実施の形態１〜５では、いわゆる片端摺動型のコンタクトプローブ１１について説明したが、いわゆる両端摺動型のコンタクトプローブ１１にもこの発明を同様に適用することができる。
【０１００】
また、上記実施の形態１〜５では、ベリリウム銅からなるコンタクトプローブ１１について説明したが、ベリリウム銅以外の材質（例えば、真ちゅう、リン青銅など）からなるコンタクトプローブ１１にもこの発明を同様に適用することができる。
【０１０１】
さらに、上記実施の形態１〜５では、コンタクトプローブ１１を「電気部品用ソケット」としてのＩＣソケット１５に適用したが、これに限らず、他の電気部品用ソケットにコンタクトプローブ１１を適用することも勿論できる。この電気部品用ソケットとしては、いわゆるオープントップタイプあるいはクラムシェルタイプのＩＣソケット、あるいは電気部品を押圧するプッシャーが自動機側に設けられたもの等であっても構わない。
【符号の説明】
【０１０２】
11  コンタクトプローブ
12  ＩＣパッケージ（第１電気部品）
13  配線基板（第２電気部品）
16  バレル
16a バレル本体（筒体）
16b 第１接触部（第１接触部材）
16c 板ばね
16d 当接部
16e ガイド部  
17  プランジャ（第２接触部材）
17b 細径部  
17c 太径部
18  スプリング
19  平板材
20  切り込み
CT1 プランジャの軸心（第２接触部材の軸心）
CT2 バレル本体の軸心（筒体の軸心）
【図１】
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【図２】
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【図３】
0006013731.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0006013731.tif 000007
【図７】
0006013731.tif 000008
【図８】
0006013731.tif 000009
【図９】
0006013731.tif 000010
【図１０】
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