(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド・サスペンションの照射位置を挟んで対向配置されて前記照射位置に両側からレーザー光を照射する一対の照射部からなり、前記レーザー光の照射位置に応じて前記ヘッド・サスペンションの姿勢を修正する修正部を備えた姿勢修正装置であって、
前記照射部は、前記レーザー光の光源と、該光源からのレーザー光を前記ヘッド・サスペンションに向けて出射する出射部と、前記出射されるレーザー光の光軸を待機状態から変更して前記照射位置を調整する照射位置調整部とを備え、
前記姿勢を修正するとき前記レーザー光の光軸が前記待機状態から前記照射位置に向けて変更され、前記姿勢を修正しないとき前記レーザー光の光軸が相手方の出射部を通って前記光源に至る光路から外れて位置する待機状態に変更され、
前記一対の照射部は、前記待機状態でのレーザー光の光軸を、相手方の出射部を通る範囲内で位置ずれさせた、
ことを特徴とする姿勢修正装置。
【請求項２】
請求項１記載の姿勢修正装置であって、
前記一対の照射部は、前記待機状態でのレーザー光の光軸が同一の指向方向であると共に該指向方向に対する交差方向で相互に位置ずれした、
ことを特徴とする姿勢修正装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の姿勢修正装置であって、
前記ヘッド・サスペンションの複数の照射対象箇所が前記照射位置調整部による前記照射位置の調整可能範囲内に位置する、
ことを特徴とする姿勢修正装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか1項に記載の姿勢修正装置であって、
前記光源と前記出射部との間で前記光路上に配置された光アイソレータを備えた、
ことを特徴とする姿勢修正装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか1項に記載の姿勢修正装置であって、
前記出射部は、集光レンズであり、
前記照射位置調整部は、前記光源からのレーザー光を前記集光レンズに向けて反射するガルバノ・ミラーである、
ことを特徴とする姿勢修正装置。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか1項に記載の姿勢修正装置であって、
前記修正部の両側に配置されて前記ヘッド・サスペンションの姿勢を修正前後で測定する姿勢測定部と、
前記両側の姿勢測定部と前記修正部との各間で往復駆動され、前記ヘッド・サスペンションを前記両側の姿勢測定部から前記修正部へ交互に搬送すると共に前記修正部から前記両側の姿勢測定部へ交互に退避させる搬送部とを備えた、
ことを特徴とする姿勢修正装置。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか1項に記載の姿勢修正装置であって、
前記修正部の両側に配置されて前記ヘッド・サスペンションの姿勢を一側で修正前に測定し他側で修正後に測定する一対の姿勢測定部と、
前記一対の姿勢測定部間で走行駆動され前記一側の姿勢測定部から前記修正部を介して前記他側の姿勢測定部まで前記ヘッド・サスペンションを搬送する搬送部とを備えた、
ことを特徴とする姿勢修正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハード・ディスク・ドライブに組み込まれるヘッド・サスペンション等の修正対象物に対して姿勢修正を行う姿勢修正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハード・ディスク・ドライブの記録密度が飛躍的に向上し、これに伴い磁気ヘッドを支持するヘッド・サスペンションに対する精度要求が厳しくなってきている。磁気ヘッドは、ディスクの回転時に所定間隔をもって浮上し、ヘッド・サスペンションの微小なロール角やピッチ角の姿勢角が浮上姿勢に大きな影響を及ぼす。
【０００３】
このため、製造工程段階では、個々のヘッド・サスペンション毎に、姿勢修正として姿勢角の修正を行うようにしている。
【０００４】
従来の姿勢修正装置としては、例えば特許文献１のように、レーザー光を修正対象物であるヘッド・サスペンションに照射し、その照射部分に熱変形を生じさせるものがある。
【０００５】
姿勢修正装置は、ヘッド・サスペンションを挟んで対向配置される一対のレーザー光の照射部を備え、ヘッド・サスペンションの両側からレーザー光を照射することで姿勢修正を行う。この姿勢修正装置では、作業時間の短縮を図ることができながら、修正量を大きく取ることができ、且つ修正精度の向上をも図ることができる。
【０００６】
しかしながら、かかる従来の姿勢修正装置では、非姿勢修正時の待機状態において、照射部の一方側から意図せず出射されたレーザー光が、対向する他方側に入射して光アイソレータや光源等の光学系が損傷するおそれがあった。
【０００７】
特に、ファイバーレーザーの場合は、そのファイバーが高利得であるため、入射したレーザー光が増幅されて光学系の損傷が大きくなっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−６６４２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
解決しようとする問題点は、対向配置された一対の照射部を用いる場合に、照射部の一方側から出射されたレーザー光によって他方側の光学系が損傷する点である。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、対向配置された一対の照射部を用いる場合であっても、照射部の一方側から出射されたレーザー光によって他方側の光学系が損傷することを防止するため、ヘッド・サスペンションの照射位置を挟んで対向配置されて前記照射位置に両側からレーザー光を照射する一対の照射部からなり、前記レーザー光の照射位置に応じて前記ヘッド・サスペンションの姿勢を修正する修正部を備えた姿勢修正装置であって、前記照射部は、前記レーザー光の光源と、該光源からのレーザー光を前記ヘッド・サスペンションに向けて出射する出射部と、前記出射されるレーザー光の光軸を待機状態から変更して前記照射位置を調整する照射位置調整部とを備え、前記姿勢を修正するとき前記レーザー光の光軸が前記待機状態から前記照射位置に向けて変更され、前記姿勢を修正しないとき前記レーザー光の光軸が相手方の出射部を通って前記光源に至る光路から外れて位置する待機状態に変更され、前記一対の照射部は、前記待機状態でのレーザー光の光軸を、相手方の出射部を通る範囲内で位置ずれさせたことを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、対向配置された一対の照射部を用いる場合であっても、照射部の一方側から出射されたレーザー光が他方側に入射して光源に至ることを防止でき、他方側の光源を含む光学系の損傷を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】姿勢修正装置を示す概念図である（実施例１）。
【図２】図１のレーザー照射装置の概略構成図である（実施例１）。
【図３】図２のレーザー照射装置内の要部構成を示す概念図である（実施例１）。
【図４】図１の姿勢修正装置によるヘッド・サスペンションの姿勢修正を示す概念図である（実施例１）。
【図５】レーザー照射装置の概略構成図である（実施例２）。
【図６】姿勢修正装置を示す概念図である（実施例３）。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
対向配置された一対の照射部を用いる場合であっても、照射部の一方側から出射されたレーザー光によって他方側の光学系が損傷することを防止するという目的を、一対の照射部の出射部が、その待機状態でのレーザー光の光軸を、相手方の出射部を通って光源に至る光路から外れて設定されることで実現した。
【００１４】
一対の照射部は、待機状態でのレーザー光の光軸が同一の指向方向であると共にその指向方向に対する交差方向で相互に位置ずれすることが好ましい。
【実施例１】
【００１５】
［姿勢修正装置］
図１は、本発明の実施例１に係る姿勢修正装置を示す概念図である。
【００１６】
図１のように、姿勢修正装置１は、板状の修正対象物としてのヘッド・サスペンション３の静的姿勢をレーザー光の照射によって修正するものである。具体的には、ヘッド・サスペンション３に取り付けられたフレキシャ５のヘッド部７にレーザー光を照射し、熱変形によってピッチ角及びロール角の姿勢角を修正する。ヘッド部７は、磁気ヘッドが取り付けられる部分及びその周辺を含み、姿勢修正が行われるヘッド部７は、磁気ヘッドの取付前及び取付後の何れのものでもよい。
【００１７】
この姿勢修正装置１は、搬送部である搬送装置９に対して、修正部であるレーザー照射装置１１、姿勢測定部である姿勢角測定装置１３，１５、給排装置１７，１９、及びコントローラ２１を備えている。
【００１８】
搬送装置９は、搬送ライン２３上を走行するサスペンション・セット治具２５を有している。この搬送装置９は、サスペンション・セット治具２５にヘッド・サスペンション３を支持して、両側の姿勢角測定装置１３，１５とレーザー照射装置１１との各間で往復駆動される。
【００１９】
この往復駆動により、搬送ライン２３上のヘッド・サスペンション３は、姿勢角測定装置１３，１５からレーザー照射装置１１へ交互に搬送されると共にレーザー照射装置１１から姿勢角測定装置１３，１５へ交互に退避される。
【００２０】
姿勢角測定装置１３，１５は、例えばコリメーターからなり、レーザー照射装置１１の両側に配置されている。姿勢角測定装置１３，１５は、ヘッド部７のピッチ角及びロール角を測定し、その測定結果をコントローラ２１へ入力する。ピッチ角及びロール角の測定は、姿勢角測定装置１３，１５の双方においてヘッド部７の姿勢修正前後で行われる。
【００２１】
レーザー照射装置１１は、ヘッド・サスペンション３の上下両側からレーザー光を照射するものである。なお、レーザー照射装置１１の詳細は後述する。
【００２２】
給排装置１７，１９は、姿勢角測定装置１３，１５とレーザー照射装置１１との各間に配置されている。給排装置１７，１９は、姿勢修正後のヘッド・サスペンション３を搬送装置９のサスペンション・セット治具２５から排出する。また、給排装置１７，１９は、姿勢修正前のヘッド・サスペンション３をサスペンション・セット治具２５に供給する。
【００２３】
コントローラ２１は、例えばコンピューター等の情報処理装置からなる。コンローラ２１は、上記搬送装置９、姿勢角測定装置１３，１５、給排装置１７，１９の動作制御の他、姿勢角測定装置１３，１５からの測定結果に基づいてレーザー照射装置１１でのレーザー光の照射制御を行う。
【００２４】
レーザー光の照射制御では、姿勢角測定装置１３，１５で測定されたヘッド部７のピッチ角及びロール角に応じて、ヘッド部７の照射位置にレーザー光の照射を行わせる。なお、照射位置は、予めヘッド・サスペンション３の複数のサンプルから得られたピッチ角及びロール角又はそれらに対する修正量との関係を修正テーブル等に記憶しておき、その修正テーブル等から求められる。
［レーザー照射装置］
図２は、図１のレーザー照射装置の全体構成を示す概略図、図３は、図２のレーザー照射装置内の要部構成を示す概念図である。
【００２５】
レーザー照射装置１１は、図２及び図３のように、一対の照射部２７，２９を備えている。照射部２７，２９は、フレキシャ５（ヘッド・サスペンション３）のヘッド部７を挟んで上下に対向配置され、ヘッド部７に上下両側からレーザー光を照射できるようになっている。
【００２６】
照射部２７，２９は、例えば同一構成のレーザー・マーカーからなっている。各照射部２７（２９）は、マーカー本体３１に、光ファイバー等の導光路３３を介してマーカー・ヘッド３５が接続されている。この照射部２７（２９）は、マーカー本体３１内でレーザー光を発振し、導光路３３を介してマーカー・ヘッド３５に伝送する。マーカー・ヘッド３５からは、レーザー光がヘッド部７に照射される。
【００２７】
なお、マーカー・ヘッド３５は、図示しないカメラ等の撮像部を備え、レーザー照射時に撮像画像によってヘッド部７及びその周辺の位置が把握する。ただし、撮像部は、レーザー照射装置１１と姿勢角測定装置１３，１５との各間に単独で設けてもよい。
【００２８】
マーカー本体３１は、光源としてのレーザー発振部４１及び発振制御部４３を備えている。レーザー発振部４１は、発振媒体（例えばＹＡＧ等）をフラッシュランプ、ＬＤ（レーザダイオード）等により励起させてレーザー光を発振させる。
【００２９】
発振制御部４３は、レーザー発振とミラー駆動を同期させてマーカー・ヘッド３５のガルバノ・ミラー３７及び３８を制御する。
【００３０】
マーカー・ヘッド３５は、照射位置調整部としての一対のガルバノ・ミラー３７及び３８と、出射部としての集光レンズ３９と、光アイソレータ４０とを備えている。
【００３１】
ガルバノ・ミラー３７及び３８は、マーカー本体３１から伝送されたレーザー光を集光レンズ３９側に向けて反射偏向させる。このガルバノ・ミラー３７及び３８は、ＸＹ軸の２軸制御によって集光レンズ３９に対する反射方向が調整される。
【００３２】
集光レンズ３９は、偏向されたレーザー光を、エネルギー密度分布を適切に調整してヘッド部７に向けて出射する。
【００３３】
レーザー光の光軸は、その指向方向が非姿勢修正時の待機状態で上下方向に沿っており、姿勢修正時にガルバノ・ミラー３７及び３８の制御に応じて待機状態から変更される。この変更によりレーザー光は、ヘッド部７に対する照射位置の調整が行われる。
【００３４】
一対の照射部２７，２９の集光レンズ３９，３９は、待機状態でのレーザー光の光軸Ａが、相手方の集光レンズ３９を通って後述するレーザー発信部４１に至る光路Ｐから外れて位置する。
【００３５】
本実施例において、一対の照射部２７，２９は、待機状態でのレーザー光の光軸Ａが同一の指向方向として上下方向に沿っていると共にその上下方向に対する交差方向で相互に位置ずれしている。この位置ずれは、集光レンズ３９，３９を相互に位置ずれさせることで設定されている。
【００３６】
位置ずれ量としては、レーザー光の光軸Ａ，Ａ間の距離ｄが１０ｍｍ程度に設定されている。ただし、位置ずれ量は、照射部２７，２９の性能に応じて任意に設定でき、姿勢修正が可能な範囲で１０ｍｍ以上に設定してもよい。
【００３７】
この光軸Ａ，Ａの位置ずれにより、各レーザー光が相手方の集光レンズ３９に入射しても、図３の二点差線のようにガルバノ・ミラー３７及び３８の反射方向がレーザー発振部４１へ至る光路Ｐとは異なるようになっている。このため、相手方の集光レンズ３９に入射したレーザー光は、ガルバノ・ミラー３７及び３８での反射を通じて光路Ｐから外れることになる。
【００３８】
なお、一対の照射部２７，２９は、レーザー光を相手方集光レンズ３９の有効径の範囲外に指向させてもよい。この場合は、一対の照射部２７，２９を更に位置ずれさせたり、或いは位置ずれせずにガルバノ・ミラー３７及び３８の制御によって有効径の範囲外にレーザー光を指向させてもよい。
【００３９】
また、照射部２７，２９自体を傾斜配置させることも可能である。この場合には、照射部がガルバノ・ミラーを有さずに、マーカーヘッド自体を駆動して照射位置を調整するように構成してもよい。この構成では、マーカーヘッドを駆動する電動モータ等の駆動源が照射位置調整部として機能する。
【００４０】
光アイソレータ４０は、偏光素子やファラデー効果を利用した回転子等の光学部品により構成されている。この光アイソレータ４０は、レーザー発振部４１と集光レンズ３９との間で光路Ｐ上に配置され、レーザー発振部４１への反射戻り光を阻止する。なお、反射戻り光は、ヘッド・サスペンション３の表面で反射するレーザー光の戻り成分である。
［姿勢修正］
図４（ａ）〜（ｄ）は、図１の姿勢修正装置によるヘッド・サスペンションの姿勢修正を示す概念図である。なお、図４では、レーザー照射装置１１から一方の姿勢角測定装置１３までを第１領域、レーザー照射装置１１から他方の姿勢角測定装置１５までを第２領域として説明する。
【００４１】
本実施例の姿勢修正では、図４（ａ）のように、まず、第１及び第２領域の双方において、搬送ライン２３上のサスペンション・セット治具２５を姿勢角測定装置１３，１５とレーザー照射装置１１の各間に位置させる。
【００４２】
この状態で、給排装置１７，１９によりサスペンション・セット治具２５上に修正前のヘッド・サスペンション３を供給する。
【００４３】
次いで、図４（ｂ）のように、搬送装置９を一方側に駆動する。
【００４４】
これにより、第１領域では、ヘッド・サスペンション３を姿勢角測定装置１３に位置させて、修正前のヘッド部７のピッチ角及びロール角を測定する。
【００４５】
なお、第２領域では、ヘッド・サスペンション３が搬送装置９の駆動に応じてレーザー照射装置１１に位置するが、ピッチ角及びロール角が測定されていないので、姿勢修正は行われない。
【００４６】
次いで、図４（ｃ）のように、搬送装置９を他方側に駆動する。
【００４７】
これにより、第１領域では、ヘッド・サスペンション３をレーザー照射装置１１に位置させてヘッド部７の姿勢修正を行う。
【００４８】
姿勢修正の際は、図２のように、ヘッド部７の照射対象箇所であるアウトリガー４４がレーザー照射装置１１の照射部２７，２９間に配置される。このとき、マーカー・ヘッド３５は、撮像部によってヘッド部７及びその周辺の画像を撮像する。なお、照射部２７，２９は、レーザー光の光軸指向方向が待機状態であり、ヘッド部７のアウトリガー４４上から外れている。
【００４９】
この状態で、照射部２７，２９は、測定されたピッチ角及びロール角並びに撮像画像に基づくヘッド部７周辺の位置情報に応じ、レーザー光の光軸指向方向が待機状態からアウトリガー４４の照射位置に向けて変更される。変更後は、アウトリガー４４の照射位置に、レーザー光を上下両側から同時に照射してヘッド部７を目標姿勢にすることができる。
【００５０】
なお、レーザー光の照射は、修正テーブル等に基づいて照射位置が連続的に調整され、例えば所定の照射ラインに沿って行われる。また、本実施例では、レーザー光を上下両側から同時に照射しているが、必ずしも同時でなくてもよい。
【００５１】
第２領域では、搬送装置９の駆動に応じてヘッド・サスペンション３が他方の姿勢角測定装置１５に位置し、修正前のヘッド部７のピッチ角及びロール角が測定される。
【００５２】
このように本実施例では、第１領域で姿勢修正を行うと同時に、第２領域で修正前の姿勢測定を行わせることができる。
【００５３】
次いで、図４（ｄ）のように、搬送装置９を再度一方側に駆動する。
【００５４】
これにより、第１領域では、ヘッド・サスペンション３を姿勢角測定装置１３に位置させ、修正後のヘッド部７のピッチ角及びロール角を測定する。
【００５５】
第２領域では、搬送装置９の駆動に応じてヘッド・サスペンション３がレーザー照射装置１１に位置し、第１領域の場合と同様にヘッド部７の姿勢修正が行われる。
【００５６】
このように本実施例では、第１領域で修正後の姿勢測定を行うと同時に、第２領域で姿勢修正を行わせることができる。
【００５７】
その後は、搬送装置９を再度他方側に駆動し、図４（ａ）の状態を経て図４（ｃ）の状態に移行させる。図４（ａ）の状態では、第１領域に対し、修正後のヘッド・サスペンション３を排出すると共に修正前のヘッド・サスペンション３を供給する。なお、第１領域のヘッド・サスペンション３の再修正が必要な場合は、図４（ａ）の状態を経ることなく図４（ｄ）に移行すればよい。
【００５８】
供給後は、図４（ｃ）の状態において、第１領域の場合と同様に、第２領域での修正後ヘッド部７のピッチ角及びロール角を測定する。
【００５９】
その後は、搬送装置９を再度一方側に駆動し、図４（ａ）の状態を経て図４（ｂ）の状態へ移行する。図４（ａ）の状態では、第２領域に対し、修正後のヘッド・サスペンション３の排出及び修正前のヘッド・サスペンション３の供給が行われる。なお、第１領域と同様に、ヘッド・サスペンション３の再修正が必要な場合は、図４（ａ）の状態を経ることなく図４（ｂ）の状態に移行すればよい。
【００６０】
以上のような動作を繰り返しながら、複数のヘッド・サスペンション３に対する姿勢修正を迅速に行わせることができる。
［実施例１の効果］
本実施の姿勢修正装置１は、ヘッド・サスペンション３を挟んで対向配置されてヘッド・サスペンション３に両側からレーザー光を照射する一対の照射部２７，２９からなり、レーザー光の照射位置に応じてヘッド・サスペンション３の姿勢を修正するレーザー照射装置１１を備えた姿勢修正装置１であって、照射部２７（２９）は、レーザー光のレーザー発振部４１と、このレーザー発振部４１からのレーザー光をヘッド・サスペンション３に向けて出射する集光レンズ３９と、出射されるレーザー光の光軸Ａを待機状態から変更して照射位置を調整するガルバノ・ミラー３７及び３８とを備え、一対の照射部２７，２９の集光レンズ３９，３９が、待機状態でのレーザー光の光軸Ａを、相手方の集光レンズ３９を通ってレーザー発振部４１に至る光路Ｐから外れて位置させている。
【００６１】
従って、本実施例の姿勢修正装置１では、非姿勢修正時である待機状態で、一対の照射部２７，２９の一方側から出射されたレーザー光が他方側のレーザー発振部４１に入射することを防止できる。
【００６２】
また、姿勢修正時には、一対の照射部２７，２９間にヘッド・サスペンション３が介在するので、照射部２７，２９の一方側から他方側へのレーザー光の入射を防止できる。
【００６３】
従って、本実施例の姿勢修正装置１では、対向配置された一対の照射部２７，２９を用いる場合であっても、レーザー発振部４１を含む光学系の損傷を確実に防止することができる。
【００６４】
本実施例では、レーザー発振部４１と集光レンズ３９との間で光路Ｐ上に配置された光アイソレータ４０を備えている。このため、本実施例では、反射戻り光を遮断してレーザー発振部４１の安定化や損傷を抑制することができるながら、光学系である光アイソレータ４０の損傷をも確実に防止することができる。
【００６５】
また、一対の照射部２７，２９は、待機状態でのレーザー光の光軸Ａ，Ａが同一の指向方向あると共にこの指向方向に対する交差方向で相互に位置ずれしているので、待機状態でのレーザー光の光軸Ａを確実にレーザー発振部４１に至る光路Ｐから外れて位置させることができる。結果として、本実施例では、光学系の損傷を確実に防止することができる。
【００６６】
本実施例では、一対の照射部２７，２９の位置ずれ量が１０ｍｍであるので、光学系の損傷を防止しながら、ヘッド・サスペンション３の姿勢修正を確実に行わせることができる。
【００６７】
本実施例の姿勢修正装置１では、ヘッド・サスペンション３の両側からレーザー光を照射して姿勢修正を行うので、作業の迅速化を図ることができながら、修正量を大きく取ることができ、且つ修正精度の向上をも図ることができる。
【００６８】
また、本実施例の姿勢修正装置１は、レーザー照射装置１１の両側に配置されてヘッド・サスペンション３の姿勢を修正前後で測定する姿勢角測定装置１３，１５と、両側の姿勢角測定装置１３，１５とレーザー照射装置１１との各間で往復駆動され、ヘッド・サスペンション３を両側の姿勢角測定装置１３，１５からレーザー照射装置１１へ交互に搬送すると共にレーザー照射装置１１から両側の姿勢角測定装置１３，１５へ交互に退避させる搬送装置９とを備えている。
【００６９】
従って、姿勢修正装置１では、一方で姿勢角測定装置１３，１５の何れか一方からレーザー照射装置１１にヘッド・サスペンション３を搬送して姿勢修正を行いながら、他方でレーザー照射装置１１から姿勢角測定装置１３，１５の他方にヘッド・サスペンション３を退避させて姿勢測定を行わせることができる。
【００７０】
従って、姿勢修正装置１では、一のヘッド・サスペンション３に対する姿勢修正の待ち時間を利用して、他のヘッド・サスペンション３の姿勢測定を行わせることができ、作業の迅速化を図ることができる。
【実施例２】
【００７１】
図５は、実施例２に係るレーザー照射装置の概略構成図である。なお、実施例２では、実施例１と基本構成が共通するため、対応する構成部分に同符号或いは同符号にＡを付加したものを用いて重複した説明を省略する。
【００７２】
本実施例は、図５のように、レーザー照射装置１１Ａの照射部２７Ａ，２９Ａが、それぞれヘッド・サスペンション３の複数の照射対象箇所に対してレーザー光を照射するものである。
【００７３】
本実施例では、ヘッド・サスペンション３の両側のアウトリガー４４，４５に対してレーザー光を照射する。なお、アウトリガー４４，４５間は、８ｍｍ程度の隙間を有して相互に離反している。
【００７４】
両アウトリガー４４，４５へのレーザー光の照射は、ガルバノ・ミラー３７及び３８の駆動による照射範囲内に両アウトリガー４４、４５を位置させることで実現している。すなわち、ヘッド・サスペンション３の複数の照射対象箇所が、ガルバノ・ミラー３７及び３８による照射位置の調整可能範囲内に位置する構成となっている。
【００７５】
なお、ガルバノ・ミラー３７及び３８は高速駆動が可能なため、同時に両アウトリガー４４、４５に対する姿勢修正を行っても修正時間に与える影響を極めて小さいものとすることができる。
【００７６】
かかる実施例２においても、上記実施例１と同様の作用効果を奏することができる。
【００７７】
加えて、本実施例では、複数位置である両アウトリガー４４、４５に対しレーザー光を一度期に照射して姿勢修正を行わせることができ、姿勢修正のためのヘッド・サスペンション３の移動回数を削減してタクト・アップを図ることができる。
【実施例３】
【００７８】
図６は、実施例３に係る姿勢修正装置を示す概念図である。なお、実施例３では、実施例１と基本構成が共通するため、対応する構成部分に同符号或いは同符号にＢを付加したものを用いて重複した説明を省略する。
【００７９】
本実施例では、図６のように、一対の姿勢角測定装置１３Ｂ，１５Ｂ間で片道走行駆動される搬送装置９Ｂを備えたものである。
【００８０】
すなわち、搬送装置９Ｂは、サスペンション・セット治具２５にヘッド・サスペンション３を支持して、一側の姿勢角測定装置１３Ｂからレーザー照射装置１１を介して他側の姿勢角測定装置１５Ｂまでヘッド・サスペンション３を搬送する。
【００８１】
姿勢角測定装置１３Ｂは、レーザー照射装置１１の搬送方向上流側（一側）で修正前のヘッド・サスペンション３の姿勢測定を行い、姿勢角測定装置１５Ｂは、搬送方向下流側（他側）で修正後のヘッド・サスペンション３の姿勢測定を行う。
【００８２】
搬送装置９Ｂの搬送方向上流側には、姿勢修正前のヘッド・サスペンション３を供給する供給装置４７が設けられ、搬送方向下流側には、姿勢修正後のヘッド・サスペンション３を排出する排出装置４９が設けられている。
【００８３】
本実施例の姿勢修正装置１Ｂでは、上記実施例１と同様の作用効果を奏することができる。
【００８４】
加えて、本実施例の姿勢修正装置１Ｂでは、供給装置４７で修正前のヘッド・サスペンション３を供給するだけで搬送しながら修正前姿勢測定、姿勢修正、修正後姿勢測定を連続的に行わせることができる。
【００８５】
従って、姿勢修正装置１Ｂでは、作業の迅速化及び簡素化を図ることができると共に動作制御の簡素化をも図ることができる。
【符号の説明】
【００８６】
１  姿勢修正装置
３  ヘッド・サスペンション（修正対象物）
９  搬送装置（搬送部）
１１  レーザー照射装置（修正部）
１３，１５  姿勢角測定装置（姿勢測定部）
２７，２９  照射部
３７  ガルバノ・ミラー（照射位置調整部）
３９  集光レンズ（出射部）
【図１】
0006013708.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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