(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電線（１）を流れる電流を測定するための装置であって、
プリント回路基板（２）と、
磁界センサ（３）と、
Ｕ字形状に曲げられた金属薄板であり、中央部（７）および２つの脚部（６Ａ、６Ｂ）を有する、強磁性構成部品（４）とを備え、
前記磁界センサ（３）および前記強磁性構成部品（４）は、前記プリント回路基板（２）の表面（５）上に取り付けられ、
前記磁界センサ（３）は、前記プリント回路基板（２）の前記表面（５）に平行に延在する磁界を感知し、
前記強磁性構成部品（４）は、さらに、空隙で隔てられている２つの舌状部（９Ａ、９Ｂ）を有し、
前記舌状部（９Ａ、９Ｂ）の前面（１０）は、向かい合って配置されており、
前記舌状部（９Ａ、９Ｂ）は、前記プリント回路基板（２）の前記表面（５）に平行に延在し、前記磁界センサ（３）上に載せてあるか、それとも前記磁界センサ（３）の上方に、距離をおいて配置されるように、前記脚部（６Ａ、６Ｂ）から打ち抜かれ、前記脚部（６Ａ、６Ｂ）に対して曲げられており、
前記強磁性構成部品（４）の前記中央部（７）および前記舌状部（９Ａ、９Ｂ）は、前記電線（１）のための開口部（１３）を囲む、装置。
【請求項２】
前記強磁性構成部品（４）は、２つの構成部品（４Ａ、４Ｂ）から成り、そのため、前記装置は電線（１）に取り付け可能であることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記強磁性構成部品（４）の前記脚部（６Ａ、６Ｂ）は、足部（８）を有するように形成され、前記プリント回路基板（２）は、前記足部（８）が挿入可能である溝（１１）または孔または窪みを有することを特徴とする、請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記強磁性構成部品（４）の前記脚部（６Ａ、６Ｂ）は、足部（８）を有するように形成され、前記足部（８）は、前記プリント回路基板（２）の前記表面（５）に平行に延在するように、前記脚部（６Ａ、６Ｂ）に対して所定の角度で曲げられており、前記足部（８）は、前記プリント回路基板（２）に接着または半田付けされることを特徴とする、請求項１または２に記載の装置。
【請求項５】
前記強磁性構成部品（４）は、更なる足部を有し、前記更なる足部は、前記プリント回路基板（２）に設けられた溝（１１）または孔または窪みに挿入可能であることとを特徴とする、請求項３または４に記載の装置。
【請求項６】
前記磁界センサ（３）は、少なくとも１つの集積ホール素子（１７）を備えた半導体チップ（１５）、および、前記半導体チップ（１５）上に設置され空隙によって隔てられた２つの磁界コンセントレータ（１８）とを備えており、前記少なくとも１つのホール素子（１７）は、前記空隙の領域内に設置されていることとを特徴とする、請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記強磁性構成部品（４）の前記舌状部（９Ａ、９Ｂ）および前記磁界コンセントレータ（１８）は、少なくとも部分的には互いに重なることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記磁界センサ（３）は、磁気抵抗センサまたはフラックスゲートセンサ（１９）を備えることを特徴とする、請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電線を流れる電流を測定するための装置、すなわち電流センサに関するものであり、電流によって発生する磁界の強度を測定する磁界センサを備えるものである。
【背景技術】
【０００２】
電流センサおよび電流を測定するための装置が、最近の技術から数多く知られている。特許文献１は、電流測定のための装置を開示している。この装置は、一時的には１０００Ａまでの過負荷電流が負荷可能な、通常は１００Ａまでの電流の測定に適しており、外部磁気干渉場に対して遮蔽されている。特許文献２および特許文献３は、電流センサを開示している。このセンサでは、第１のホールセンサが、電流導体を取り囲む強磁性材料でできたヨークの空隙内に配置されており、第２のホールセンサが、そのヨークの外側に配置されている。ヨークおよび第１のホールセンサは、比較的小さな電流を測定するのに使用され、第２のホールセンサは、比較的大きな電流を測定するのに使用される。これら後者の電流センサでは、空隙が通常は１から３ｍｍと比較的大きいこと、ヨークには多くの材料が必要なこと、そして製造および取り付けが複雑なことが不都合である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第７５４５１３６号明細書
【特許文献２】スイス特許６９６８５９号公開特許
【特許文献３】特開昭６２―０９８２６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、電線を流れる電流を測定するための電流センサを開発する目的に基づき、このセンサは外部の干渉場を効果的に遮蔽し、簡単な方法で取り付けることができる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明による電線を流れる電流を測定するための装置は、プリント回路基板、磁界センサ、および強磁性構成部品を備えている。磁界センサおよび強磁性構成部品は、プリント回路基板の表面上に取り付けられている。磁界センサは、プリント回路基板の表面に平行に延在している磁界を感知する。強磁性構成部品は、２つの舌状部を有し、これらの舌状部の前面は、向かい合って配置され、空隙で隔てられている。強磁性構成部品は、少なくとも２つの足部をさらに有している。舌状部および／または足部は曲げられている。強磁性構成部品の舌状部は、プリント回路基板の表面に平行に延在し、磁界センサ上に載せてあるか、それとも磁界センサの上方に、ある距離をおいて配置されている。電線は、強磁性構成部品によって囲まれた開口部を通って案内可能である。
【０００６】
第１の実施形態で、強磁性構成部品は、Ｕ字形に曲げられた、１枚の金属薄板もしくは数枚の金属薄板でできた積層板であり、またはフェライトから成っている。そして、この強磁性構成部品は、１つの中央部と２つの脚部を有している。舌状部は、脚部から離れるように曲げられている。中央部および舌状部は電線のための開口部を囲んでいる。
【０００７】
別の実施形態では、強磁性構成部品は２つの構成部品から成っており、そのため、装置は取り外せないように固定された電線に取り付け可能である。
【０００８】
プリント回路基板は、溝または孔または窪みを有してもよく、そこには強磁性構成部品の足部が挿入可能である。あるいは、強磁性構成部品の足部の端部は、プリント回路基板の表面に平行に延在し、プリント回路基板に接着または半田付けしてもよい。
【０００９】
プリント回路基板は、溝または孔または窪みを有してもよく、強磁性構成部品は、溝または孔または窪みに挿入可能な更なる足部を有してもよい。
【００１０】
さらに別の実施形態では、強磁性構成部品は、１枚の実質的に環状の金属薄板もしくは数枚の金属薄板でできた積層板であり、またはフェライトから成り、電線のための開口部を囲んでいる。そして、強磁性構成部品は、相互に向かい合う２つの端部を有しており、その端部は、空隙によって隔てられ、舌状部を形成する。ここで、足部は環状の金属薄板から離れるように曲げられている。
【００１１】
前記磁界センサは、少なくとも１つの集積ホール素子および半導体チップ上に設置され空隙によって隔てられた２つの磁界コンセントレータを有する半導体チップを備えてもよく、その少なくとも１つのホール素子は、前記空隙の領域内に設置されている。強磁性構成部品の舌状部および磁界コンセントレータは、少なくとも部分的に重なり合ってもよい。磁界センサは、磁気抵抗センサ、たとえばＡＭＲもしくはＧＭＲセンサ、またはフラックスゲートセンサのような別の種類の磁界センサでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
添付図面は、組み込まれることで本明細書の一部を構成するとともに、詳細な説明と併せて本発明の１つ以上の実施形態を示しており、本発明の原理および実施について説明する役目をもつ。図面は、均一の縮尺率では示されていない。
【図１】電線を流れる電流を測定するための、本発明による装置の第１の実施形態を示す。
【図２】強磁性構成部品の基本部品として使用される１枚の金属薄板を示す。
【図３】磁界センサを示す。
【図４】磁界センサを示す。
【図５】磁界センサを示す。
【図６】第１の実施形態の変形例を示す。
【図７】第１の実施形態の変形例を示す。
【図８】第１の実施形態の変形例を示す。
【図９】第１の実施形態の変形例を示す。
【図１０】第１の実施形態の変形例を示す。
【図１１】第１の実施形態の変形例を示す。
【図１２】第１の実施形態の斜視図を示す。
【図１３】図１２の実施形態の変形例の側面図を示す。
【図１４】図１２の実施形態の変形例の側面図を示す。
【図１５】電線を流れる電流を測定するための、本発明による装置の第２の実施形態を示す。
【図１６】第２の実施形態の変形例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は、電線１を流れる電流を測定するための、本発明による装置の第１の実施形態の断面図を示す。このような電線１の断面は、通常は円形である。装置は、プリント回路基板２、磁界センサ３および強磁性構成部品４を備える。この図に示すような磁界センサ３の構成については、図３を参照して以下で詳細に記述する。磁界センサ３は、プリント回路基板２の表面５上に配置され、プリント回路基盤２の表面５に平行に延在する磁界の成分を感知する。この成分の方向は、図中でＸ方向として示される。強磁性構成部品４は、Ｕ字形に曲げられた１枚の金属薄板（図２も参照のこと）から作られている。「金属薄板」という用語は、積み重ねられた薄板からできた積層板も含むように常に理解されるものとする。それゆえ、Ｕ字形に曲げられた構成部品４は、継ぎ目なく中央部７に集まる２つのまっすぐな脚部６Ａおよび６Ｂを有し、ほぼ半円形に曲げられている。構成部分４の２つの脚部６Ａおよび６Ｂは、互いに対してほぼ平行に延在しており、少なくとも２つ、好ましくは４つの足部８を有す一方で、２つの舌状部９Ａおよび９Ｂも有するように形成されている。舌状部９Ａおよび９Ｂは、「Ｕ」字の脚部６から離れるように曲げられている。舌状部９と脚部６との間の角度はほぼ９０度である。それゆえ、舌状部９Ａおよび９Ｂの２つの自由端、すなわち舌状部９Ａおよび９Ｂの前側１０は、向かい合って配置され、幅Ｗの空隙で互いに隔てられている。プリント回路基盤２は、磁界センサ３に隣接した溝１１または孔を有し、その溝１１または孔に強磁性構成部品４の足部８を挿入できる。足部８には、好ましくはストッパ１２が設けられており、そのストッパーは、プリント回路基盤２の溝１１へ足部８を挿入する際、プリント回路基盤２の表面５上に位置するようになり、そのため、舌状部９は、プリント回路基板２の表面５に平行に、定められた距離Ｄだけ離れた位置に延在することになる。舌状部９が、磁界センサ３の筐体に、過度な圧力を作用させることなく載り、もしくは磁界センサ３からわずかな距離に配置されるように、距離Ｄは都合よく決められている。すなわち、距離Ｄは、磁界センサ３をプリント回路基板２上に取り付けたときの、その筐体の高さにほぼ相当する。強磁性構成部品４の中央部７および舌状部９Ａおよび９Ｂは、電線１が案内される開口部１３の境界を決める。
【００１４】
図２は、金属薄板の上面図を示す。金属薄板がＵ字形状に曲げられる前に、金属薄板から強磁性構成部品４は形成されるのが好ましい。線１４は曲角部を示す。すなわち、線１４の周辺の角部で、舌状部９は、「Ｕ」字の脚部６から離れるように曲げられる。
【００１５】
図３は、図１の磁界センサ３を拡大図で示す。これは、磁界センサ３の好ましい実施形態である。磁界センサ３は、表面１６に集積され磁界を感知する、センサ素子、たとえばホール素子１７を少なくとも１つ有する半導体チップ１５と、少なくとも１つのホール素子１７および２つの磁界コンセントレータ１８の動作のための電子回路とを備えている。これら２つの磁界コンセントレータ１８は、半導体チップ１５の表面１６上に配置され、空隙によって隔てられている。磁界コンセントレータ１８は、強磁性の層によって形成され、この層は半導体チップ１５に当てられている。ホール素子の用語は同種類のホール素子群も含んでいる。その少なくとも１つのホール素子１７は、いわゆる水平ホール素子であり、半導体チップ１５の表面１６に垂直に延在する磁界の成分を感知する。実施例では２つの水平ホール素子が設けられており、その水平ホール素子は、磁界コンセントレータ１８の下方の端部の領域内の、磁界コンセントレータ１８間の空隙の各々の側に配置されている。
図４は、磁界センサ３のさらなる実施形態を示しており、少なくとも１つのホール素子１７が垂直ホール素子である。この垂直ホール素子は、Ｘ方向として示される方向の表面に平行に延在する磁界の成分を感知する。この少なくとも１つの垂直ホール素子１７は、磁界コンセントレータ１８間の空隙のほぼ中央に配置される。ホール素子１７は、磁界の磁力線によっていずれの場合においても透過される。この磁力線は、磁界コンセントレータ１８の、空隙に隣接した底面から出て、他方の磁界コンセントレータ１８の、空隙に隣接した底面に入る。磁界を感知する他のセンサ、特にＡＭＲ（＝異方性磁気抵抗効果）センサまたはＧＭＲ（＝巨大磁気抵抗効果）センサなどの磁気抵抗センサならびに、フラックスゲートセンサが、ホール素子の代わりに使用できる。ＡＭＲセンサは、たとえば、薄い強磁性層の４つの狭い帯から成り、ホイートストンブリッジの形で切り替えられる。特に適切な強磁性材料はパーマロイである。パーマロイは高透磁率の軟磁性鉄ニッケル系合金である。ＧＭＲセンサは、１つの単一の強磁性層を含むのではなく、強磁性および非磁性の、厚さ数ナノメートルの薄層が交互に重ねられた連続した層を含んでいる。ＡＭＲセンサおよびＧＭＲセンサまたはフラックスゲートセンサが、磁界コンセントレータ１８の端部領域まで、空隙の全幅に渡って延在し、それで、その端部領域と重なると都合がよい。
【００１６】
図５は、センサ素子１９を有する磁界センサ３の断面図を示し、このセンサ素子１９は、磁界を感知し、たとえば磁気抵抗センサまたはフラックスゲートセンサである。強磁性構成部品４の舌状部９Ａ、９Ｂの長さ、および磁界を感知するセンサ素子１９の幅は、舌状部９Ａ、９Ｂの端部領域がセンサ素子１９の磁性層または磁性コアに重なるように、互いに都合よく調整される。
【００１７】
図６から図１１は、第１の実施形態の種々の変形例を示し、これらの変形例は、強磁性構成部品４の具体的な構成によって実質的に互いに異なっている。図６に示す変形例で、強磁性構成部品４の基本部品は、１枚の矩形の金属薄板であり、その矩形金属薄板内には、図７に示すように、舌状部９および足部８が、４つの平行溝２０を打ち抜くことによって形成されている。足部８は、プリント回路基盤２の、連続的な溝２０に挿入されているか、それとも非連続的な溝、すなわち窪みまたはポケット孔に挿入されている。図８に示す変形例では、強磁性構成部品４の足部８は、「Ｕ」字の脚部６から離れるように、この例では約９０度だけ曲げられている。そして、強磁性構成部品４はプリント回路基板２の溝に挿入されてはいないが、たとえば接着または半田付けによって、プリント回路基板２の表面５に固定されている。この場合には、プリント回路基板２には、位置決め要素または位置決めマーキングが都合よく設けられており、この位置決め要素または位置決めマーキングは、磁界センサ３に直接に隣接して配置され、そして取り付けの間中、磁界センサ３に対して強磁性構成部品４の正確なアライメントを確実なものとする。図９は、金属薄板の上面図を示し、この金属薄板は強磁性構成部品４の基本部品として使用され、さらなる曲角部を示す線２１を有している。この線２１の周辺では、足部８がそのアライメントを得るために曲げられており、足部８はプリント回路基板２の表面５に平行になっている。図１０に示す変形例において、舌状部９と足部８は両方とも、「Ｕ」字の脚部６から離れるように曲げられているが、この場合には、反対方向を向いている。そして、足部８はもう一度曲げられ、強磁性構成部品４の形状は図１０に断面図で示すようになっている。第１の実施形態および図示された変形例は、強磁性構成部品４の形状を、最適な方法で電線１の大きさおよび直径に適合させるため、そしてプリント回路基板２に強磁性構成部品４を固定する簡単で安定した方法を得るために、所望の方法で互いに組み合わせることができる。図１１は、変形例を示し、この変形例において、強磁性構成部品４は２つの構成部品、すなわち構成部品４Ａおよび構成部品４Ｂから成る。２つの構成部品４Ａおよび４Ｂの端部は、強磁性構成部品４の中央部７を形成し、重なり合っている。これらは、互いに嵌合することもできる。この２部構成によって、すでにしっかりと張られている電線１を取り外すことなく、その上に強磁性構成部品４を取り付け、そして強磁性構成部品４の開口部１３を通して電線１を案内することができる。
【００１８】
図示された実施形態で、強磁性構成部品４は、１枚の金属薄板または金属薄板の積層板からできており、打抜加工および曲げ加工によって成形されている。さらに、強磁性構成部品４は、すべての実施形態においてフェライトから成り、焼結プロセスで製造することができる。
【００１９】
強磁性構成部品４は、２つの磁気回路、すなわち第１の磁気回路と第２の磁気回路を含み、その第１の磁気回路は、電線１を実質的に取り囲み、そして舌状部９を有しており、第２の磁気回路は、足部８を有しており、中央部７、および脚部６の隣接部は両方の磁気回路に属している。強磁性構成部品４および磁界コンセントレータ１８は、空隙を有する第１の磁気回路を形成しており、その空隙内には、磁界を感知するセンサ素子（たとえば、上記のようなホール素子、ＡＭＲセンサ、ＧＭＲセンサ、フラックスゲートセンサ）が配置されている。電線を流れる電流に対しての装置の感度は、この第１の磁気回路の構成、特にその空隙の幾何形状と大きさに依存する。装置の感度は、強磁性構成部品４の舌状部９と磁界センサ３（特に磁界コンセントレータ１８）との間の垂直距離を大きくするか、それとも強磁性構成部品４の、舌状部９および磁界センサ３が重なり合わないようにするかで下げることができる。以上は、舌状部９Ａおよび９Ｂの前面１０間の距離Ｗが、半導体チップ１５上の磁界コンセントレータ１８の全体の長さより大きく、その結果舌状部９および磁界コンセントレータ１８が横方向の空隙によってそれぞれ隔てられるということを随意的に意味する。この方法で、装置の感度は、測定される最大電流に合わせて調整することができる。
【００２０】
外部磁気干渉場は、一方の側の足部８で強磁性構成部品４に入り、中央部７を通って導かれ、他方の足部８で強磁性構成部品４から出て行く。それゆえ、外部磁気干渉場は、磁界センサ３の周囲を導かれる。外部磁気干渉場に対する強磁性構成部品４の遮蔽度は、足部８の端部のアライメント、すなわち、足部８がプリント回路基板２の表面５に垂直（たとえば、図１に示すように）であるか、あるいは平行（たとえば、図８に示すように）であるか、そして足部８の長さ、更に幅で適切に管理することができる。
【００２１】
足部８がプリント回路基板２の表面５に平行に延在し、強磁性構成部品４がプリント回路基板２に接着または半田付けされたとき、脚部６の端部に、プリント回路基板２の溝１１、孔または窪みに挿入できる更なる足部（図示せず）を設けることは好都合である。（すなわち、強磁性構成部品４は、図８の曲げられた足部、更に図１の足部の両方を含む。）溝１１は、更なる足部と共に、磁界センサ３に対する強磁性構成部品４の正確なアライメントを確実なものにする位置決め要素として使用される。
【００２２】
プリント回路基板２は、足部８の間に嵌るほど小さくできる。この場合、足部８は、プリント基板２の端に直接固定できるように構成される。プリント回路基板２の端には、たとえば足部８が嵌る凹部を含むことができる。１つの実施形態では、足部８がプリント回路基板２を締め付けて固定する。
【００２３】
図１２は、図解を明快にする理由で電線１の直径を小さくした状態で、第１の実施形態を斜視図で示す。強磁性構成部品４の大きさは、中央部７および舌状部９が電線１上に載るように好都合に寸法が決められている。磁界センサ３は、横に突出する足部を有する標準筐体に入れられている。
【００２４】
図１３は、本実施形態の第１の変形例の側面図を示し、この変形例では、磁界センサ３の足部が、強磁性構成部品４の足部８の領域に嵌っている。図１４は、本実施形態の第２の変形例の側面図を示し、この変形例では、強磁性構成部品４が磁界センサ３より狭く、それゆえより長く形成され、そのため、磁界センサ３の足部が強磁性構成部品４の２つの足部の間に嵌っている。
【００２５】
図１５は、電線１を流れる電流を測定するための、本発明による装置の第２の実施形態の断面図を示す。この実施形態で、強磁性構成部品４は、１枚の実質的に環状の金属薄板からできており、この金属薄板は、空隙で隔てられた相互に向かい合う２つの端部を有しており、すなわち環は閉じてはいない。これらの端部は、その前面１０が、向かい合っており、そして空隙によって隔てられている舌状部９Ａ、９Ｂとして作られている。薄板は、環によって開口された平面から約９０度で、離れるように曲げられた足部８を有して配置されている。少なくとも一部の足部８が、舌状部９Ａおよび９Ｂの直接近くに配置され、したがって強磁性構成部品４をプリント回路基板２  に取り付けた後、プリント回路基板２または磁界センサ３に対しての舌状部９Ａおよび９Ｂの位置は上手く定められている一方で、長期間に渡って安定もする。環の開口部１３の内径は電線１の直径にほぼ相当する。プリント回路基板２は、本実施事例では孔も有しており、この孔は、環状の強磁性構成部品４によって囲まれた開口部１３で電線１のための導出部を形成する。
【００２６】
図１６は、第２の実施形態の変形例を示し、ここでは、足部８は舌状部９に直接隣接して配置されている。足部８の曲げ端部は、この場合には、舌状部９Ａおよび９Ｂの前面に平行に延在している。舌状部９Ａおよび９Ｂの領域は、中括弧の下に断面図で示す。
【００２７】
本発明による装置はいくつかの利点を提供する。
−強磁性構成部品４および磁界センサ３によって形成された磁気回路の磁気抵抗は非常に低い。その理由は、ホールセンサを使用した場合、その磁気回路は約３０μｍの空隙を有するだけであるからである。磁界センサとして、磁気抵抗センサまたはフラックスゲートセンサを使用するとき、磁気抵抗はさらに低くなる。その理由は、これらのタイプのセンサは、強磁性の層そのものを有し、そのため、磁気回路の効果的な空隙がいっそう小さくなる、またはなくなるからである。これにより、必要時に装置の感度を高くすることができる。
−強磁性構成部品４は、測定磁界の効率的なアナログ増幅器である一方で、外部磁気干渉場に対する効果的な遮蔽物でもある。
−必要材料コストは、現状技術においてより実質的に低い。
−電線への取り付けは非常に簡単である。
−装置は特に、いわゆるスマートグリッドおよびスマート監視アプリケーションに適している。
−安定した磁気条件を形成するために、強磁性構成部品４は、金属薄板がその最終形状に曲げられた後に、焼きなまされる必要がある。強磁性構成部品４が、パーマロイなどの合金から成る場合には特にそうである。そして、強磁性構成部品４を、再び機械的に変化させてはならない、さもなければヒステリシス効果が発生する可能性がある。しかし、足部８は、以上のことから除かれ、焼きなまし後に、特に電線１への取り付け中に、機械的に加工されてもよい。その理由は、足部８は強磁性構成部品４の構成部分ではあるが、検出される磁界を増幅する磁気機能に関係していないからである。
【００２８】
本発明の実施形態およびアプリケーションが示されているとともに説明されているが、上述のものよりさらに多くの変更が、本明細書にある本発明の概念から逸脱せずに可能であることは、本開示の利点を有する当業者には明らかである。したがって、本発明は、添付の特許請求の範囲およびその均等物の精神を除いて限定されない。
【符号の説明】
【００２９】
１  電線
２  プリント回路基板
３  磁界センサ
４  強磁性構成部品
５  表面
６  脚部
７  中央部
８  足部
９  舌状部
１０  前面（前側）
１１  溝
１２  ストッパ
１３  開口部
１４  線
１５  半導体チップ
１６  表面
１７  ホール素子
１８  磁界コンセントレータ
１９  センサ素子
２０  溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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