(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
オンクルージョンを低減させるガラスウェブの延伸方法であって、
ガラスバッチ材料を溶解して溶融ガラスを形成するステップ、
エンクロージャと、成形槽と、さらに微粒子除去装置を備えた牽引ローラアセンブリとを含んだフュージョンドローマシンを用いて、前記溶融ガラスを前記ガラスウェブに成形するステップであって、前記成形槽および前記牽引ローラアセンブリが前記エンクロージャ内に位置付けられており、かつ前記微粒子除去装置が前記エンクロージャに流体連結されて該エンクロージャで真空に引くものであるステップ、
前記ガラスウェブを前記エンクロージャの中に通して前記牽引ローラアセンブリで延伸するステップ、および、
前記ガラスウェブを前記エンクロージャの中に通して延伸するときに、前記牽引ローラアセンブリに近接している前記エンクロージャの内部から、前記微粒子除去装置を用いて排気ガス流および微粒子物質を排出するステップ、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記排気ガス流から前記微粒子物質を濾過するステップをさらに含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記微粒子除去装置が、
その先端部分が前記エンクロージャの内部に配置されるように前記エンクロージャ内に位置付けられた真空ノズルであって、該真空ノズルが真空ラインで真空源に流体連結されたものであり、該真空源が前記真空ノズルから真空に引いて前記エンクロージャの内部から前記微粒子物質と前記排気ガス流とを排出するものである、真空ノズル、および、
微粒子フィルタであって、前記エンクロージャの内部から排出された前記微粒子物質と前記排気ガスとが該微粒子フィルタを通過するように、前記真空ノズルと前記真空源とに流体連結され、前記微粒子物質を前記微粒子フィルタで前記排気ガス流から濾過するものである、微粒子フィルタ、
を備えていることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記排気ガス流が前記エンクロージャの内部から出された後に、該排気ガス流を冷却するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記微粒子除去装置が、
その先端部分が前記エンクロージャの内部に配置されるように前記エンクロージャ内に位置付けられた真空ノズルであって、該真空ノズルが真空ラインで真空源に流体連結されたものであり、該真空源が前記真空ノズルから真空に引いて前記エンクロージャの内部から前記微粒子物質と前記排気ガス流とを排出するものである、真空ノズル、および、
前記真空ラインの周りに位置付けられた冷却ジャケットであって、前記エンクロージャの内部から排出された前記排気ガス流を冷却する、冷却ジャケット、
を備えていることを特徴とする請求項４記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の説明】
【０００１】
本出願は、その内容が参照することにより本書に組み込まれる、２０１０年１１月２９日に出願された米国特許出願第１２／９５５，１２５号の優先権の利益を米国特許法第１２０条の下で主張するものである。
【技術分野】
【０００２】
本明細書は、一般にガラス製造装置に関し、より具体的には、微粒子除去装置を備えたフュージョンドローマシンと、これを組み込んだガラス製造装置とに関する。
【背景技術】
【０００３】
ガラス基板は通常、スマートフォン、ラップトップコンピュータ、ＬＣＤディスプレイ、および類似の電子機器を含めた、さまざまな消費者向け電子機器で利用されている。こういった機器に使用されるガラス基板の品質は、その機器の機能性の他、その機器の美しさのためにも重要である。例えば、ガラス基板に欠陥および／または傷が存在していると、ガラス基板の光学特性の妨げとなり得、結果としてこのガラス基板を採用している電子機器の性能を低下させる可能性がある。さらに、ガラス基板内の視覚的に認識できる欠陥および／または傷は、このガラス基板を採用した電子機器の消費者知覚に悪影響を与える可能性がある。
【０００４】
ガラス基板内の欠陥の発生源や種類は変化し得る。いくつかの事例では、ガラスが溶融ガラスバッチ材料から基板に成形された後に、ガラス基板に欠陥が導入される。例えば、製造中にガラス基板が延伸されているときにガラス基板の表面に微粒子物質が埋め込まれると、通常オンクルージョンと呼ばれる欠陥が生成される。オンクルージョンは、容易に洗い流したり、あるいはガラス基板から除去したりすることができず、したがって、オンクルージョンを含むガラス基板は品質管理基準として断片のように廃棄され、これが生産効率を低下させかつ製造コストを増加させる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、ガラス製造装置には、オンクルージョンによる欠陥を抑制する代替の装置が必要である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本書において開示される実施形態は、微粒子物質に起因するガラス基板上のオンクルージョン欠陥の発生を抑制する、フュージョンドローマシンに関する。さらに本書において開示されるのは、このようなフュージョンドローマシンを組み込んだガラス製造装置の他、ガラス製造装置内において微粒子物質に起因するオンクルージョン欠陥を低減させる、ガラスウェブの延伸方法である。
【０００７】
一実施の形態によれば、溶融ガラスをガラスウェブに成形する際に、微粒子物質に起因するオンクルージョン欠陥を低減させる、フュージョンドローマシンが開示される。フュージョンドローマシンは、エンクロージャと、溶融ガラスを受け入れて、この溶融ガラスをガラスウェブに成形する、成形槽とを含んでいる。第１牽引ローラおよび第２牽引ローラが、エンクロージャの内部に回転可能に位置付けられている。第１牽引ローラおよび第２牽引ローラは共同して、第１牽引ローラおよび第２牽引ローラの間でガラスウェブを延伸方向に延伸する。エンクロージャの内部から微粒子物質を取り除く微粒子除去装置がエンクロージャに連結され、この微粒子除去装置は排気ガス流とエンクロージャの内部から取り込んだ微粒子物質とを引き込むことができる。微粒子除去装置は、エンクロージャの内部に配置された真空ノズルを含んでいる。真空ノズルは、真空ラインで真空源に流体連結されている。真空源が真空ノズルから真空に引いて、ガラスウェブが第１牽引ローラおよび第２牽引ローラにより延伸されているときに、エンクロージャの内部から微粒子物質と排気ガス流とを排出するのを助ける。微粒子フィルタが、エンクロージャの内部から真空ノズルを通じて排出された微粒子物質をこの微粒子フィルタで捕捉するように、真空ノズルと真空源とに流体連結されている。
【０００８】
別の実施形態によれば、微粒子物質に起因するオンクルージョン欠陥の発生を低減させるガラス製造装置が開示される。このガラス製造装置は、ガラスバッチ材料を溶解して溶融ガラスを形成する、溶解槽と、この溶解槽から溶融ガラスを受け入れかつ溶融ガラスから泡を除去する、清澄槽とを含む。フュージョンドローマシンが清澄槽から溶融ガラスを受け入れ、ここでフュージョンドローマシンは、エンクロージャと、溶融ガラスをガラスウェブに成形する成形槽とを備えている。牽引ローラアセンブリが、エンクロージャの内部に位置付けられ、かつガラスウェブを受け入れて、このガラスウェブを下方延伸方向に延伸する。ガラス製造装置は、エンクロージャの内部から微粒子物質を取り除く、微粒子除去装置をさらに含む。微粒子除去装置は概して、エンクロージャの内部に位置付けられかつ真空源に流体連結されている、真空ノズルを含む。真空源は、真空ノズルから真空に引いて、エンクロージャの内部から微粒子物質と排気ガスとを排出する。微粒子フィルタが、エンクロージャの内部から真空ノズルを通じて排出された微粒子物質をこの微粒子フィルタで捕捉するように、真空ノズルと真空源とに流体連結されている。冷却ジャケットが、真空ノズルを真空源に流体連結させる真空ラインの周りに位置付けられている。冷却ジャケットは、エンクロージャの内部から排出された排気ガスを冷却する。
【０００９】
さらに別の実施形態において、オンクルージョンを低減させるガラスウェブの延伸方法は、ガラスバッチ材料を溶解して溶融ガラスを形成するステップと、フュージョンドローマシンを用いて溶融ガラスをガラスウェブに成形するステップとを含む。フュージョンドローマシンは、エンクロージャ、成形槽、および微粒子除去装置を備えた牽引ローラアセンブリ、を含んでいる。成形槽および牽引ローラアセンブリはエンクロージャ内に位置付けられ、かつ微粒子除去装置はエンクロージャに流体連結されている。ガラスウェブは、エンクロージャの中を通って牽引ローラアセンブリで延伸される。ガラスウェブがエンクロージャを通って延伸されているときに、排気ガス流および微粒子物質が、牽引ローラアセンブリに近接しているエンクロージャの内部から微粒子除去装置を用いて排出される。
【００１０】
したがって、特定の非限定的な実施形態は以下を含むが、これらに限定されない。
【００１１】
Ｃ１．溶融ガラスからガラスウェブを成形するフュージョンドローマシンにおいて、該フュージョンドローマシンが、エンクロージャ、溶融ガラスを受け入れて該溶融ガラスを前記ガラスウェブに成形する、成形槽、前記エンクロージャの内部に回転可能に位置付けられた、第１牽引ローラおよび第２牽引ローラであって、該第１牽引ローラおよび第２牽引ローラが共同して、該第１牽引ローラおよび第２牽引ローラの間で前記ガラスウェブを延伸方向に延伸する、第１牽引ローラおよび第２牽引ローラ、前記エンクロージャの内部から微粒子物質を取り除く、微粒子除去装置、を含み、前記微粒子除去装置が、前記エンクロージャの内部に配置された真空ノズルであって、該真空ノズルが真空ラインで真空源に流体連結されたものであり、前記ガラスウェブが前記第１牽引ローラおよび第２牽引ローラにより延伸されているときに前記真空源が前記真空ノズルから真空に引いて前記エンクロージャの内部から前記微粒子物質と排気ガス流とを排出するものである、真空ノズル、および、前記真空ノズルと前記真空源とに流体連結されている微粒子フィルタであって、前記エンクロージャの内部から前記真空ノズルを通じて排出された前記微粒子物質を捕捉する、微粒子フィルタ、を備えていることを特徴とするフュージョンドローマシン。
【００１２】
Ｃ２．前記真空ラインの周りに位置付けられた冷却ジャケットであって、かつ前記エンクロージャの内部から排出された前記排気ガス流を冷却する、冷却ジャケットをさらに備えていることを特徴とするＣ１記載のフュージョンドローマシン。
【００１３】
Ｃ３．前記真空ノズルが、前記第１牽引ローラの回転軸に実質的に垂直な回転軸に関して回転可能であり、そのため前記真空ノズルの軸位置が前記第１牽引ローラの軸長に対して調節可能であることを特徴とするＣ１またはＣ２記載のフュージョンドローマシン。
【００１４】
Ｃ４．前記エンクロージャ内の前記真空ノズルの挿入深さが、前記エンクロージャに対して調節可能であることを特徴とするＣ１からＣ３いずれか１項記載のフュージョンドローマシン。
【００１５】
Ｃ５．前記真空ノズルが前記第１牽引ローラの上方に位置付けられていることを特徴とするＣ１からＣ４いずれか１項記載のフュージョンドローマシン。
【００１６】
Ｃ６．前記第１牽引ローラが第１環状平面を備え、かつ前記第２牽引ローラが第２環状平面を備え、このとき前記第１環状平面および前記第２環状平面が、前記ガラスウェブに接触して該ガラスウェブを延伸方向に延伸するものであり、さらに、前記真空ノズルの先端部分が、前記エンクロージャの内部において、前記第１環状平面と対向しかつ該第１環状平面から間隔を空けた位置に位置付けられていることを特徴とするＣ１からＣ５いずれか１項記載のフュージョンドローマシン。
【００１７】
Ｃ７．前記真空ノズルの前記先端部分の横方向幅が、前記第１環状平面の軸方向幅以上であることを特徴とするＣ６記載のフュージョンドローマシン。
【００１８】
Ｃ８．前記真空源に電気的に連結された真空制御ユニットをさらに備え、該真空制御ユニットが、前記微粒子除去装置の運転時間、前記微粒子除去装置の運転の頻度、前記微粒子除去装置により引かれる真空の量、またはこれらを組み合わせたもの、を制御するものであることを特徴とするＣ１からＣ７いずれか１項記載のフュージョンドローマシン。
【００１９】
Ｃ９．ガラス製造装置において、該ガラス製造装置が、ガラスバッチ材料を溶解して溶融ガラスを形成する、溶解槽、前記溶解槽から前記溶融ガラスを受け入れ、かつ該溶融ガラスから泡を除去する、清澄槽、前記清澄槽から前記溶融ガラスを受け入れるフュージョンドローマシン、を備え、該フュージョンドローマシンが、エンクロージャ、前記溶融ガラスをガラスウェブに成形する、成形槽、前記エンクロージャの内部に位置付けられた牽引ローラアセンブリであって、前記ガラスウェブを受け入れて、該ガラスウェブを下方延伸方向に延伸する、牽引ローラアセンブリ、前記エンクロージャの内部から微粒子物質を取り除く、微粒子除去装置、を含み、該微粒子除去装置が、前記エンクロージャの内部に位置付けられた真空ノズルであって、該真空ノズルが真空源に流体連結されたものであり、該真空源が前記真空ノズルから真空に引いて前記エンクロージャの内部から前記微粒子物質と排気ガスとを排出するものである、真空ノズル、微粒子フィルタであって、前記エンクロージャの内部から排出された前記微粒子物質と前記排気ガスとが該微粒子フィルタを通過するように、前記真空ノズルと前記真空源とに流体連結され、前記エンクロージャの内部から前記真空ノズルを通じて排出された前記微粒子物質を捕捉するものである、微粒子フィルタ、および、前記真空ノズルを前記真空源に流体連結させる真空ラインの周りに位置付けられた冷却ジャケットであって、前記エンクロージャの内部から排出された前記排気ガス流を冷却する、冷却ジャケット、を含むものであることを特徴とするガラス製造装置。
【００２０】
Ｃ１０．前記牽引ローラアセンブリが、前記エンクロージャの内部に位置付けられた、第１牽引ローラおよび第２牽引ローラを備え、該第１牽引ローラおよび第２牽引ローラが共同して前記ガラスウェブを下方延伸方向に延伸することを特徴とするＣ９記載のガラス製造装置。
【００２１】
Ｃ１１．前記真空ノズルに機械的に連結されたノズル位置決め装置をさらに備え、該ノズル位置決め装置が、前記エンクロージャ内の前記真空ノズルの挿入深さを調節するのを助けることを特徴とするＣ９またはＣ１０記載のガラス製造装置。
【００２２】
Ｃ１２．前記真空ノズルに機械的に連結されたノズル位置決め装置をさらに備え、前記牽引ローラアセンブリの第１牽引ローラの回転軸に実質的に垂直な回転軸に関して前記真空ノズルが回転可能となるよう、前記ノズル位置決め装置が回転台と前記真空ノズルとに機械的に連結された回転連結部を含み、それにより前記真空ノズルが前記第１牽引ローラの軸長に沿って位置決め可能となることを特徴とするＣ９からＣ１１いずれか１項記載のガラス製造装置。
【００２３】
Ｃ１３．前記ノズル位置決め装置が、前記エンクロージャ内の前記真空ノズルの挿入深さの調節をさらに助けることを特徴とするＣ１２記載のガラス製造装置。
【００２４】
Ｃ１４．前記牽引ローラアセンブリが、前記エンクロージャの内部に位置付けられた、第１牽引ローラおよび第２牽引ローラを備え、前記第１牽引ローラが第１環状平面を備え、かつ前記第２牽引ローラが第２環状平面を備え、このとき前記第１環状平面および前記第２環状平面が、前記ガラスウェブに接触して該ガラスウェブを下方延伸方向に延伸するものであり、さらに、前記真空ノズルが、前記エンクロージャの内部において、前記第１環状平面と対向しかつ該第１環状平面から間隔を空けた位置に位置付けられていることを特徴とするＣ９からＣ１３いずれか１項記載のガラス製造装置。
【００２５】
Ｃ１５．前記真空ノズルの先端部分の横方向幅が、前記第１環状平面の軸方向幅以上であることを特徴とするＣ１４記載のガラス製造装置。
【００２６】
Ｃ１６．前記真空源に電気的に連結された真空制御ユニットをさらに備え、該真空制御ユニットが、前記微粒子除去装置の運転時間、前記微粒子除去装置の運転の頻度、前記微粒子除去装置により引かれる真空の量、またはこれらを組み合わせたもの、を制御するものであることを特徴とするＣ９からＣ１５いずれか１項記載のガラス製造装置。
【００２７】
Ｃ１７．オンクルージョンを低減させるガラスウェブの延伸方法であって、ガラスバッチ材料を溶解して溶融ガラスを形成するステップ、エンクロージャと、成形槽と、さらに微粒子除去装置を備えた牽引ローラアセンブリとを含んだフュージョンドローマシンを用いて、前記溶融ガラスを前記ガラスウェブに成形するステップであって、前記成形槽および前記牽引ローラアセンブリが前記エンクロージャ内に位置付けられており、かつ前記微粒子除去装置が前記エンクロージャに流体連結されて該エンクロージャで真空に引くものであるステップ、前記ガラスウェブを前記エンクロージャの中に通して前記牽引ローラアセンブリで延伸するステップ、および、前記ガラスウェブを前記エンクロージャの中に通して延伸するときに、前記牽引ローラアセンブリに近接している前記エンクロージャの内部から、前記微粒子除去装置を用いて排気ガス流および微粒子物質を排出するステップ、
を含むことを特徴とする方法。
【００２８】
Ｃ１８．前記排気ガス流から前記微粒子物質を濾過するステップをさらに含んでいることを特徴とするＣ１７記載の方法。
【００２９】
Ｃ１９．前記微粒子除去装置が、その先端部分が前記エンクロージャの内部に配置されるように前記エンクロージャ内に位置付けられた真空ノズルであって、該真空ノズルが真空ラインで真空源に流体連結されたものであり、該真空源が前記真空ノズルから真空に引いて前記エンクロージャの内部から前記微粒子物質と前記排気ガス流とを排出するものである、真空ノズル、および、微粒子フィルタであって、前記エンクロージャの内部から排出された前記微粒子物質と前記排気ガスとが該微粒子フィルタを通過するように、前記真空ノズルと前記真空源とに流体連結され、前記微粒子物質を前記微粒子フィルタで前記排気ガス流から濾過するものである、微粒子フィルタ、を備えていることを特徴とするＣ１８記載の方法。
【００３０】
Ｃ２０．前記排気ガス流が前記エンクロージャの内部から出された後に、該排気ガス流を冷却するステップをさらに含むことを特徴とするＣ１７からＣ１９いずれか１項記載の方法。
【００３１】
Ｃ２１．前記微粒子除去装置が、その先端部分が前記エンクロージャの内部に配置されるように前記エンクロージャ内に位置付けられた真空ノズルであって、該真空ノズルが真空ラインで真空源に流体連結されたものであり、該真空源が前記真空ノズルから真空に引いて前記エンクロージャの内部から前記微粒子物質と前記排気ガス流とを排出するものである、真空ノズル、および、前記真空ラインの周りに位置付けられた冷却ジャケットであって、前記排気ガス流が前記エンクロージャの内部から排出された後に該排気ガス流を冷却するものである、冷却ジャケット、を備えていることを特徴とするＣ２０記載の方法。
【００３２】
本発明のさらなる特徴および利点は以下の詳細な説明の中に明記され、ある程度は、その説明から当業者には容易に明らかになるであろうし、あるいは、以下の詳細な説明、請求項、さらに添付の図面を含め、本書において説明された実施形態を実施することにより認識されるであろう。
【００３３】
前述の一般的な説明および以下の詳細な説明の両方は、種々の実施形態を説明したものであること、そして請求される主題の本質および特徴を理解するための概要または構成を提供するよう意図されているものであることを理解されたい。添付の図面は、種々の実施形態のさらなる理解を提供するために含まれ、また本明細書に組み込まれかつその一部を構成する。図面は本書において説明する種々の実施形態を示し、そしてその記述とともに、請求される主題の原理および動作の説明に役立つ。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本書において図示および説明する１以上の実施形態によるガラス製造装置を描いた概略図
【図２−１】図２は、牽引ローラアセンブリと微粒子除去装置とを示している、図１のガラス製造装置の部分断面を概略的に描いた図
【図２−２】図２Ａは、図２の微粒子除去装置の真空ラインの一部を示した拡大図
【図３Ａ】本書において図示および説明する１以上の実施形態による微粒子除去装置の真空ノズルを描いた概略図
【図３Ｂ】本書において図示および説明する１以上の実施形態による微粒子除去装置の真空ノズルを描いた概略図
【図３Ｃ】本書において図示および説明する１以上の実施形態による微粒子除去装置の真空ノズルを描いた概略図
【図４Ａ】図２の牽引ローラアセンブリの部分上面図を概略的に描いたものであって、真空ノズルがエンクロージャに対して複数の位置にある状態を示した図
【図４Ｂ】図２の牽引ローラアセンブリの部分上面図を概略的に描いたものであって、真空ノズルがエンクロージャに対して異なる挿入深さに位置している状態を示した図
【図４Ｃ】エンクロージャ内への真空ノズルの挿入深さを判定するための測定用のしるしを示している、図４Ｂの真空ノズルの一部を概略的に描いた図
【発明を実施するための形態】
【００３５】
ここで、微粒子除去装置を備えたフュージョンドローマシンと、これを用いたガラス製造装置の、種々の実施形態を詳細に参照し、その例を添付の図面に示す。可能な限り、図面を通じて、同じまたは同様の部分の参照には同じ参照番号を使用する。微粒子除去装置を備えたフュージョンドローマシンの一部の一実施の形態が図２に概略的に描かれている。フュージョンドローマシンはエンクロージャを含み、このエンクロージャの中に、第１牽引ローラと第２牽引ローラとを備えた牽引ローラアセンブリが回転可能に位置付けられている。微粒子除去装置の真空ノズルがエンクロージャ内に位置付けられている。真空ノズルは微粒子フィルタおよび真空源に接続されて、この真空ノズルから真空に引くことができる。微粒子除去装置を備えたフュージョンドローマシンと、ガラス製造装置内でこのフュージョンドローマシンを使用してガラスウェブのオンクルージョンの事例を減少させる方法とを、本書ではより詳細に説明する。
【００３６】
ここで図１を参照すると、微粒子除去装置を備えたフュージョンドローマシンを利用している例示的なガラス製造装置１００の一実施の形態が概略的に描かれている。ガラス製造装置１００は、溶解槽１０１、清澄槽１０３、混合槽１０４、送出槽１０８、およびフュージョンドローマシン（ＦＤＭ）１２０を含んでいる。ガラスバッチ材料が、溶解槽１０１内に矢印１０２で示したように導入される。バッチ材料が溶解されて溶融ガラス１０６が形成される。清澄槽１０３は高温処理エリアを有し、このエリアで溶融ガラス１０６を溶解槽１０１から受け入れ、さらにこのエリア内で溶融ガラス１０６から泡が除去される。清澄槽１０３は混合槽１０４に接続管１０５で流体連結されている。すなわち、清澄槽１０３から混合槽１０４へ流れる溶融ガラスは、接続管１０５を通って流れる。混合槽１０４は送出槽１０８に接続管１０７で流体連結され、混合槽１０４から送出槽１０８へ流れる溶融ガラスは、接続管１０７を通って流れる。
【００３７】
送出槽１０８は溶融ガラス１０６を、下降管１０９からＦＤＭ１２０内へと供給する。ＦＤＭ１２０はエンクロージャ１２２を含み、このエンクロージャ内に注入口１１０、成形槽１１１、牽引ローラアセンブリ１４０、および微粒子除去装置１５０が位置付けられている。図１に示されているように、下降管１０９からの溶融ガラス１０６は、成形槽１１１へと繋がる注入口１１０内に流れる。成形槽１１１は溶融ガラス１０６を受け入れる開口１１２を含み、この溶融ガラス１０６はトラフ１１３内へと流れた後に溢れ出て、２つの合流面１１４ａおよび１１４ｂを下降してから２つの面が交わる底部で融合し、さらに牽引ローラアセンブリ１４０で下方に延伸されてガラスウェブ１４８を成形する。微粒子除去装置は、ガラスウェブ１４８が牽引ローラアセンブリ１４０のローラ間で延伸されるときに、エンクロージャ１２２から排気ガス流と微粒子物質とを排出する。すなわち、エンクロージャ内に存在している微粒子物質は、加熱されたガラスウェブに埋め込まれてオンクルージョンを形成する前に、エンクロージャの内部から出される。
【００３８】
ここで図２を参照すると、図１のフュージョンドローマシンの一部の断面が、フュージョンドローマシン１２０の牽引ローラアセンブリ１４０と微粒子除去装置１５０とを示して概略的に描かれている。図２に示されているように、牽引ローラアセンブリ１４０は第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２を含み、これらはフュージョンドローマシンのエンクロージャ１２２内に位置付けられている。第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２は互いに平行に配向され、第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２が共同してガラスウェブ１４８を、図２に示した実施形態での−Ｙ方向である下方延伸方向に延伸する。本書において説明する実施形態においては、例えば第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２をモータで能動的に回転させてガラスウェブ１４８を延伸するときなど、第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２は被駆動牽引ローラでもよい。あるいは、フュージョンドローマシン内の１以上の他の牽引ローラおよび／または牽引ローラ対（図示なし）がガラスウェブ１４８に牽引力を与えるときなど、第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２を受動的に回転させてもよい。図２では単一の牽引ローラ対（すなわち、第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２）が描かれているが、他の実施形態において、フュージョンドローマシンのエンクロージャ１２２は複数の牽引ローラ対を含んでもよいことを理解されたい。
【００３９】
本書において図示および説明する実施形態において、第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２は、ガラスウェブ１４８と接触してガラスウェブ１４８に下方延伸力を与える、隆起環状平面を備えて形成され得る。例えば図４Ａは、第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２と、各牽引ローラ夫々の隆起環状平面１４３、１４４の上面図を描いたものである。本書において図示および説明する実施形態において、隆起環状平面１４３、１４４は概して、軸方向（すなわち、図４Ａに示されている座標軸のＸ方向）の軸方向幅ｗを有し得る。一実施の形態において、隆起環状平面の軸方向幅ｗは、本書においてより詳細に説明するように、真空ノズル１５４の先端部分の横方向幅Ｗよりも狭い。
【００４０】
ここでは第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２が隆起環状平面対を備えているものとして説明したが、他の実施形態（図示なし）では、第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２がガラスウェブ１４８の全幅に亘ってガラスウェブ１４８と接触するときなど、第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２を隆起環状平面なしで形成してもよいことを理解されたい。
【００４１】
ここで図２および２Ａを参照すると、微粒子除去装置１５０は概して、真空ノズル１５４、真空ライン１６０、冷却ジャケット１５８、微粒子フィルタ１６４、および真空源１５２を備えている。図２に描いた微粒子除去装置１５０の実施形態では、微粒子除去装置１５０は位置決め装置１７４をさらに含んでいる。ただし、位置決め装置１７４は随意的なものであり、いくつかの実施形態では微粒子除去装置１５０は位置決め装置１７４なしで構成されることを理解されたい。本書で説明する実施形態において、真空ノズル１５４はエンクロージャ１２２の内部に位置付けられかつ真空ライン１６０に連結され、この真空ライン１６０はさらに真空源１５２に連結される。すなわち、真空源１５２、真空ライン１６０、および真空ノズル１５４は接続されて、その結果、真空源１５２が真空ノズル１５４から真空に引いたときに、排気ガス流１７８（図２および２Ａにおいて矢印で示されている）や排気ガス流１７８に取り込まれた任意の微粒子物質１７６が、真空ノズル１５４および真空ライン１６０を通じてエンクロージャ１２２から出される。一実施の形態において、真空ライン１６０は、高温に耐え得る柔軟な配管材料、例えば網組金属ホースおよび／または高温ゴムホースなどから構成される。別の実施形態において、真空ライン１６０は、剛性の配管の１以上の部分を柔軟な配管の１以上の部分と接続するときなど、柔軟な配管と剛性の配管との組合せから構成される。
【００４２】
図２をさらに参照すると、真空ライン１６０は、本書において説明する実施形態では真空ポンプである、真空源１５２に接続される。これらの実施形態において、真空ライン１６０は、図２に描かれているように真空源１５２に直接接続される。しかしながら他の実施形態（図示なし）において、真空源１５２は、集中真空システムに連結されたポートでもよい。さらに他の実施形態において、真空源１５２は、排気ガス流１７８をエンクロージャ１２２の内部から真空ライン１６０を通じて引き込むファンでもよい。
【００４３】
いくつかの実施形態において、真空源１５２はエンクロージャ１２２の内部から、約２０標準立方フィート／時（ｓｃｆｈ）（正規化したｍ3／時（ｎｃｍｈ）で０．５６７ｎｃｍｈ）から約１００ｓｃｆｈ（２．８３１ｎｃｍｈ）までの割合で排気ガス流１７８を引き込むように動作可能であり、この割合は好適には約４０ｓｃｆｈ（１．１３２ｎｃｍｈ）から約１００ｓｃｆｈ（２．８３１ｎｃｍｈ）まで、さらに好適には約５０ｓｃｆｈ（１．４１６ｎｃｍｈ）から約１００ｓｃｆｈ（２．８３１ｎｃｍｈ）までである。ただし、排気ガス流１７８をエンクロージャ１２２から引き込む割合は、エンクロージャのサイズ、エンクロージャ１２２内に位置付けられている微粒子除去装置の数、および類似の可変要素に依存することを理解されたい。したがって、いくつかの実施形態では、排気ガス流をエンクロージャ１２２から取り除く割合は、１００ｓｃｆｈ（２．８３１ｎｃｍｈ）未満でもよいし、あるいは１００ｓｃｆｈ（２．８３１ｎｃｍｈ）超でもよい。
【００４４】
図２に示した実施形態では、制御ユニット１８０と真空源１５２との間で制御信号が交換されるように、真空源は制御ユニット１８０に電気的に連結されている。制御ユニット１８０は、真空源１５２を用いてエンクロージャ１２２から排気ガス流１７８を出す際の流量、真空源１５２の運転時間、および／または真空源１５２の運転の頻度を制御する。例えば制御ユニット１８０を、特定の時間間隔で、および／または特定の事象が生じたときに、真空源１５２を駆動させ、かつ既定時間が経過した後に真空源１５２のスイッチを切るようにプログラムしてもよい。図２に示した実施形態において、制御ユニット１８０は、プロセッサ１８４に電気的に連結されたメモリ１８２をさらに備えている。メモリ１８２は、コンピュータが可読でありかつ実行可能な命令セットを含み、プロセッサ１８４により実行されたときに、この命令セットが制御ユニット１８０による真空源１５２の制御を助ける。
【００４５】
図２をさらに参照すると、微粒子除去装置１５０は微粒子フィルタ１６４をさらに備え、この微粒子フィルタ１６４は、真空ノズル１５４と真空ライン１６０とを通ってエンクロージャ１２２から引き込まれた排気ガス流１７８が微粒子フィルタ１６４を通過するように、真空ノズル１５４と真空源１５２との間で真空ライン１６０に流体連結されている。微粒子フィルタ１６４は、概して、フィルタボウル１６８内に位置付けられたフィルタ媒体１６６を備えている。エンクロージャ１２２の内部から引き込まれて真空ライン１６０を通っている排気ガス流１７８は、微粒子フィルタ１６４のフィルタボウル１６８を通過するように引き込まれ、排気ガス流１７８内に取り込まれた微粒子物質１７６は、フィルタボウル１６８内に位置付けられたフィルタ媒体１６６にここで回収され、一方排気ガス流１７８はフィルタ媒体１６６を通過する。いくつかの実施形態において、フィルタ媒体は１０μｍ以上の微粒子物質を濾過するのに適したものである。他の実施形態において、フィルタ媒体は５μｍ以上の微粒子物質を濾過するのに適したものである。さらに他の実施形態において、フィルタ媒体は１μｍ以上、またはさらに０．１μｍ以上の、微粒子物質を濾過するのに適したものである。
【００４６】
本書において図示および説明する実施形態において、フィルタ媒体１６６を微粒子フィルタ１６４から取り外して、清掃、交換、またはこれ以外の処理をすることができるよう、フィルタ媒体１６６はフィルタボウル１６８内に取外し可能に位置付けられる。例えば、一実施の形態において、フィルタ媒体１６６を微粒子フィルタ１６４から取り外して、フィルタ媒体１６６内に含有された微粒子物質１７６を分析し、微粒子物質１７６の発生源を判定することができる。こういった情報を利用して、ガラス製造装置のメンテナンスおよび／または清掃を行う必要があるかどうか、または外部の汚染物質がガラス製造装置内に引き込まれたかどうかを判定することができる。
【００４７】
さらに図２を参照すると、ガラスウェブ１４８がエンクロージャ１２２の内部を通って延伸されるときにガラスウェブ１４８から放射される熱がエンクロージャ１２２の内部の空気を加熱するため、エンクロージャ１２２の内部は一般に高温となる。したがって、エンクロージャ１２２の内部から排出される排気ガス流１７８も高温となり、この温度はいくつかの実施形態において、真空ノズル１５４の鉛直位置（すなわち図２に示されている座標軸のｙ方向における真空ノズルの位置）に応じて、９００℃から１０００℃までの高さとなり得る。いくつかの実施形態において、微粒子除去装置１５０は冷却ジャケット１５８などの冷却装置をさらに備えている。図２に示した実施形態においては、排気ガス流が微粒子フィルタ１６４に到達する前に冷却されるよう、冷却ジャケット１５８が真空ノズル１５４と微粒子フィルタ１６４との間で真空ライン１６０の周りに位置付けられている。この実施形態において、冷却ジャケット１５８は冷却注入口１７０と冷却排出口１７２とを備えている。冷却流体１６２が冷却ジャケット１５８内で真空ライン１６０の周りを循環するように、冷却液ポンプ（図示なし）が冷却流体１６２を冷却注入口１７０から冷却ジャケット１５８内へと循環させ、それにより排気ガス流１７８からの熱を冷却流体１６２内に引き出す。冷却流体１６２が冷却排出口１７２から外に出ると、これとともに排気ガス流１７８からの熱が取り除かれる。冷却流体１６２に与えられた熱は、冷却流体１６２が冷却ジャケット１５８へと再循環される前に、例えばラジエータコイルなど（図示なし）によって周囲雰囲気へと消散させる。
【００４８】
ここで図２および３Ａ〜３Ｃを参照すると、微粒子除去装置１５０とともに使用される真空ノズル１５４の一実施の形態が概略的に描かれている。真空ノズル１５４は、その強度と構造的な完全性を失わずに高温（すなわち、１０００℃以上の温度）に耐え得る、金属合金から形成されている。さらに、ガラスウェブ１４８から放射されかつエンクロージャ１２２（図１および２）の内部に閉じ込められた熱が真空ノズル１５４上で増大しないよう、真空ノズル１５４を構成している材料の放射率は一般に高い。このように熱が増大するとエンクロージャ１２２の内部に「ホットスポット」を生成し得、これによりガラスウェブ１４８がエンクロージャ１２２を通り過ぎるときにガラスウェブ１４８の冷却速度が変化する可能性がある。代わりに、高放射率材料の真空ノズル１５４は熱を容易にエンクロージャの内部に再放射するため、「ホットスポット」の生成は回避される。一実施の形態において真空ノズルは、約０．５超、またはさらに約０．７超の放射率を有する、金属材料またはセラミック材料から形成される。真空ノズル１５４を形成し得る適切な材料としては、限定するものではないが、耐火性セラミック、３１６ステンレス鋼などのステンレス鋼合金、Ｈａｙｎｅｓ２１４（登録商標）ニッケル基合金などのニッケル基合金、または高温での使用に適した任意の他の材料が挙げられる。さらに、真空ノズルの放射率を増加させるために、真空ノズル１５４に１以上のコーティングを適用し得ると考えられる。
【００４９】
本書において図示および説明する真空ノズル１５４の実施形態において、真空ノズル１５４は、内側端部１８６と外側端部１８８との間で延在し、かつ内側端部１８６に近接した連結部分１９０と外側端部１８８に近接した先端部分１９２とを含む。
【００５０】
図２および３Ａ〜３Ｂをさらに参照すると、真空ノズル１５４の内側端部１８６は真空ライン１６０に接続されるように構成されている。真空ノズル１５４の先端部分１９２の横方向幅Ｗは、連結部分１９０から外側端部１８８に向かって増加している。本書において図示および説明する真空ノズル１５４の実施形態において、先端部分１９２の外側端部１８８での横方向幅Ｗは、第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２の隆起環状平面１４３、１４４の軸方向幅ｗよりも大きい（図４Ａ）。牽引ローラの隆起環状平面から微粒子物質を回収するように真空ノズル１５４が位置付けられている実施形態において、先端部分１９２の外側端部１８８の横方向幅Ｗが牽引ローラの隆起環状平面の軸方向幅ｗよりも大きくなるように真空ノズル１５４を形成すると、隆起環状平面の表面から排出される可能性のある微粒子物質の回収が最大になり、したがって、このような微粒子物質がガラスウェブ１４８の表面にオンクルージョンとして埋め込まれる可能性が低減する。
【００５１】
図３Ａ〜３Ｂに示した真空ノズルの実施形態において、真空ノズル１５４の先端部分１９２の厚さＴは連結部分１９０から外側端部１８８へとテーパしている。例えば一実施の形態において、先端部分１９２の底部表面１９６は真空ノズル１５４の連結部分１９０から外側端部１８８まで上部表面１９４に向かってテーパし、そのため真空ノズル１５４の外側端部１８８に形成された開口１９８の断面は長円形状である。この実施形態において、真空ノズルの上部表面１９４の長さＬTは、真空ノズル１５４の底部表面１９６の長さＬBよりも長く、これにより開口１９８の上に延在するフード部分２００が生成される。フード部分２００は微粒子の軌道を真空ノズル１５４内へと変えるのを助ける。牽引ローラの隆起環状平面から微粒子物質を回収するように真空ノズル１５４が位置付けられている実施形態において、フード部分２００は、真空ノズル１５４の先端部分１９２を牽引ローラアセンブリの牽引ローラにごく近接させて位置付けるのを容易にする。
【００５２】
真空ノズル１５４の開口１９８が、長円形の幾何学的形状を有しているものとして本書では図示および説明してきたが、真空ノズルの開口は他の幾何学的形状を有するものでもよいと意図されており、例えば限定するものではないが、円形形状および長方形形状などを挙げることができる。
【００５３】
ここで図２および４Ａ〜４Ｂを参照すると、微粒子除去装置１５０は、牽引ローラ１４１、１４２に対する微粒子除去装置１５０の真空ノズル１５４の位置付けを助ける、位置決め装置１７４をさらに含む。例えば、一実施の形態において位置決め装置１７４は、第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２の回転軸１４５、１４６に実質的に垂直な回転軸に関する、真空ノズル１５４の回転を助けることによって、第１牽引ローラ１４１の軸長に対する真空ノズル１５４の軸位置を調節するのを助ける。例えば図４Ａに描かれているように、第１牽引ローラ１４１は、図４Ａに示した座標軸のＸ方向と平行な回転軸１４５に関して回転可能である。同様に、第２牽引ローラ１４２は、図４Ａに示した座標軸のＸ方向と平行な回転軸１４６に関して回転可能である。この実施形態において、位置決め装置１７４は、第１牽引ローラ１４１および第２牽引ローラ１４２の回転軸に実質的に垂直な回転軸（すなわち、図４Ａに示されている座標軸のＹ方向に平行な回転軸）に関する真空ノズル１５４の回転を助け、そのため真空ノズル１５４の軸位置は、第１牽引ローラ１４１および／または第２牽引ローラ１４２の軸長（すなわち、図４Ａに示されている座標軸のＸ方向における、第１牽引ローラの長さおよび／または第２牽引ローラの長さ）に対して調節可能である。
【００５４】
図２および４Ａを参照すると、第１牽引ローラ１４１および／または第２牽引ローラ１４２の軸長に沿って真空ノズル１５４の軸位置を調節するのを助けるために、位置決め装置１７４は、真空ノズル１５４に回転連結部１７５で機械的に連結された回転台１７９を備え、真空ノズル１５４は回転連結部１７５とともに回転する。回転台１７９は位置決め装置１７４の本体２０２の上に位置付けられ、さらに回転連結部１７５は本体２０２の内部に位置付けられて、回転連結部１７５が本体２０２に対して回転可能であるように回転連結部１７５は回転台１７９に接続されている。回転台１７９を回転させると台の回転運動が回転連結部１７５によって真空ノズル１５４に与えられるよう、真空ノズル１５４は回転連結部１７５を貫通して延在している。図２および４Ａに示した実施形態において、回転台１７９は、図２および４Ａに描かれている座標系のＹ軸に平行な回転軸に関して回転可能である。したがって真空ノズル１５４は、図４Ａに概略的に示したように、Ｙ軸と平行な回転軸に関して回転可能であることを理解されたい。
【００５５】
一実施の形態において、位置決め装置１７４は、エンクロージャ１２２内への真空ノズル１５４の挿入深さを調節するのをさらに助ける。真空ノズル１５４の位置を位置決め装置１７４の本体２０２内で滑動可能に調節して、真空ノズル１５４を、エンクロージャ１２２に対する第１挿入深さｄ1からエンクロージャ１２２に対する第２挿入深さｄ2まで調節するようにしてもよい。第１牽引ローラの環状平面から微粒子物質を回収するために真空ノズル１５４を位置付ける実施形態において、真空ノズル１５４の先端部分１９２を第１牽引ローラ１４１に対して調節すると、より具体的には、第１牽引ローラ１４１の隆起環状平面１４３に対して真空ノズル１５４の先端部分１９２の位置を調節すると、第１牽引ローラ１４１から排出される微粒子物質１７６をエンクロージャ１２２の内部から回収および排出することができ、それによりこういった微粒子物質がガラスウェブ１４８にオンクルージョンとして埋め込まれるのを防ぐ。
【００５６】
真空ノズル１５４をエンクロージャ１２２に対して位置付けかつ固定するのを助けるために、位置決め装置１７４の本体２０２は、その中に真空ノズル１５４を滑動可能に位置付ける固定用カラー１７７をさらに含む。固定用カラー１７７は、例えば止めねじ、つまみねじ、ジャムナットなどの１以上の留め具（図示なし）を含み得、これを使用して真空ノズル１５４を固定用カラー１７７に対して固定してもよい。このような留め具を緩めてエンクロージャ１２２に対する真空ノズル１５４の挿入深さを調節し、その後再び締めて真空ノズル１５４を固定用カラー１７７内に固定してもよい。一実施の形態において真空ノズル１５４は、図４Ｃに描かれているように、エンクロージャ１２２内への真空ノズル１５４の挿入深さを示す複数の測定用のしるし１８１をさらに含んでもよい。
【００５７】
本書において説明する実施形態において、位置決め装置１７４は、牽引ローラ１４１、１４２の軸長に沿った真空ノズル１５４の位置の調節と、エンクロージャ１２２に対する真空ノズル１５４の挿入深さの調節とを助けるものである。しかしながら他の実施形態（図示なし）において、位置決め装置１７４は、牽引ローラ１４１、１４２の軸長に沿って真空ノズル１５４の位置を調節するために動作可能なものでもよいし、あるいは、エンクロージャ１２２に対する真空ノズル１５４の挿入深さを調節するために動作可能なものでもよいことを理解されたい。
【００５８】
再び図１および２を参照すると、加熱されたガラスウェブ１４８が下方（すなわち、図１および２に示した座標軸の−Ｙ方向）に延伸されると、ガラスウェブ１４８により放射加熱された空気（矢印２１０で示した）がエンクロージャ１２２の中を通って上方（すなわち、図２に示した座標軸の＋Ｙ方向）に上昇する。空気がエンクロージャ１２２の中を通って上方に上昇すると、エンクロージャ１２２の内部の微粒子物質１７６が空気２１０とともに上方に運ばれる。したがって、成形槽１１１に近接させてエンクロージャの上端に据えられた牽引ローラの上に微粒子除去装置を位置付ける実施形態において、微粒子除去装置１５０の真空ノズル１５４は、エンクロージャ１２２の中を通って上方に引き込まれた微粒子物質１７６を捕集かつ回収するために、図２に描かれているように牽引ローラ１４１、１４２の上方に位置付けられる。この構成は、成形槽１１１に近接させてエンクロージャ１２２の上端に据えられた牽引ローラとともに微粒子除去装置１５０を使用するときに特に有用である。
【００５９】
しかしながら、他の実施形態（図示なし）では、下方（すなわち、図１および２に示した座標軸の−Ｙ方向）に落下する微粒子物質１７６を回収するために、微粒子除去装置１５０の真空ノズル１５４を牽引ローラの下方に位置付けてもよい。この構成は、成形槽１１１からさらに遠ざけてエンクロージャ１２２の下端に位置付けられた牽引ローラとともに微粒子除去装置１５０を使用する場合に有用である。
【００６０】
本書において説明される実施形態では、フュージョンドローマシン１２０を、単一の真空ノズル１５４を含む微粒子除去装置１５０を備えたものとして説明してきた。しかしながら、他の実施形態において微粒子除去装置１５０は、真空源１５２に夫々連結された複数の真空ノズルを備えたものでもよいことを理解されたい。別の代替として、専用の微粒子物質除去装置を牽引ローラアセンブリの各牽引ローラと組み合わせたときなど、フュージョンドローマシンが複数の微粒子物質除去装置を含んでもよい。
【００６１】
微粒子除去装置１５０を有するフュージョンドローマシンを備えたガラス製造装置１００の運転について、ここで図１、２、および４Ａを参照して説明する。
【００６２】
上述したように、フュージョンドローマシン１２０の成形槽１１１が溶融ガラス１０６をガラスウェブ１４８に成形し、このガラスウェブ１４８は牽引ローラアセンブリ１４０で下方に延伸される。具体的には、ガラスウェブ１４８は第１牽引ローラ１４１と第２牽引ローラ１４２との間に導かれ、牽引ローラ１４１、１４２を回転させるとこれらの牽引ローラがガラスウェブ１４８と接触し、ガラスウェブをエンクロージャの中に通して下方に延伸する。牽引ローラアセンブリ１４０が、図４Ａに描いたような隆起環状平面１４３、１４４を有する牽引ローラ１４１、１４２を備えている実施形態においては、ガラスウェブ１４８は、ガラスウェブ１４８に下方延伸力を与える隆起環状平面１４３、１４４間で当接する。
【００６３】
牽引ローラ１４１、１４２がガラスウェブ１４８を下方に延伸するとき、エンクロージャ内の微粒子物質１７６は、特に高温であるガラスウェブのより軟らかい部分に対して潜在的なオンクルージョン源となる。この微粒子物質１７６は、牽引ローラ１４１、１４２または他の発生源からエンクロージャ１２２の内部に導入され得る。例えば、周囲環境からエンクロージャ内に引き込まれた空気は、ガラスウェブ１４８上のオンクルージョンを形成する可能性のある微粒子物質を含み得る。微粒子物質がオンクルージョンを形成するのを防ぐために、微粒子除去装置１５０の真空源１５２が、エンクロージャ１２２の内部から取り込んだ微粒子物質１７６を含有している排気ガス流１７８を排出し、それにより微粒子物質がガラスウェブ１４８内に埋め込まれたり、さらにそれによりオンクルージョンが形成されたりするのを防ぐ。
【００６４】
一実施の形態において排気ガス流１７８は、排気ガス流１７８を冷却する冷却ジャケット１５８を通して導かれる。別の実施形態においては、排気ガス流１７８を微粒子フィルタ１６４で濾過し、排気ガス流１７８から、取り込まれた微粒子物質１７６を取り除く。排気ガス流１７８を冷却する実施形態において、排気ガス流は濾過前に冷却される。微粒子物質１７６がエンクロージャ１２２内に導入されるのを防ぐための改善策を取ることができるよう、濾過された微粒子物質１７６を分析して、微粒子物質１７６の発生源を判定してもよい。
【００６５】
本書において説明するガラス製造装置１００のいくつかの実施形態において、微粒子除去装置１５０は、ガラスウェブ１４８がフュージョンドローマシン１２０から延伸されるときに連続的に動作させてもよい。他の実施形態において、微粒子除去装置１５０は、ガラスウェブ１４８がフュージョンドローマシン１２０から延伸されるときに間欠的に動作させてもよい。例えば、いくつかの実施形態において微粒子除去装置１５０は、ガラス製造装置１００が動作しているときにエンクロージャ１２２の内部で微粒子物質１７６が増大するのに合わせた既定の頻度で動作させてもよい。既定の頻度は、システムの動作時間の関数として、システム内で見つかった微粒子物質１７６の量に基づき経験的に決定してもよい。さらに別の実施形態においては、特定の事象の後にエンクロージャ１２２の内部から微粒子物質１７６を取り除くために微粒子除去装置１５０を利用する。例えば、ガラスウェブ１４８が牽引ローラアセンブリ１４０に通されるときにシステム内に導入される微粒子物質を取り除くために、ガラス製造装置１００の起動中に微粒子除去装置１５０を利用してもよい。同様に、牽引ローラアセンブリ１４０の牽引ローラを交換した後に、および／または、ガラス製造装置１００上で他のメンテナンスが行われた後に、システム内に導入される微粒子物質を取り除くために微粒子除去装置１５０を利用してもよい。
【００６６】
ここで、本書において説明した微粒子除去装置を有する牽引ローラアセンブリは、ガラス製造装置内でガラスウェブが成形されるときに微粒子物質に起因してガラスウェブ内にオンクルージョンが生じるのを抑制するために利用し得るものであることを理解されたい。本書において説明した微粒子除去装置は、エンクロージャ内部から排出された微粒子物質の発生源を識別するためにも使用することができ、これにより微粒子物質の発生源を排除するために改善策を取ることができる。
【００６７】
請求される主題の精神および範囲から逸脱することなく、本書において説明された実施形態の種々の改変および変形が作製可能であることは当業者には明らかであろう。すなわち、本書において説明した種々の実施形態の改変および変形が、添付の請求項およびその同等物の範囲内であるならば、本明細書はこのような改変および変形を含むと意図されている。
【符号の説明】
【００６８】
１００    ガラス製造装置
１０１    溶解槽
１０３    清澄槽
１１１    成形槽
１２０    フュージョンドローマシン
１２２    エンクロージャ
１４０    牽引ローラアセンブリ
１４１    第１牽引ローラ
１４２    第２牽引ローラ
１４３、１４４    隆起環状平面
１４８    ガラスウェブ
１５０    微粒子除去装置
１５２    真空源
１５４    真空ノズル
１５８    冷却ジャケット
１６０    真空ライン
１６４    微粒子フィルタ
１７４    位置決め装置
１７６    微粒子物質
１７９    回転台
１８０    真空制御ユニット
１９２    先端部分
【図１】
0005860134.tif 000002
【図２−１】
0005860134.tif 000003
【図２−２】
0005860134.tif 000004
【図３Ａ】
0005860134.tif 000005
【図３Ｂ】
0005860134.tif 000006
【図３Ｃ】
0005860134.tif 000007
【図４Ａ】
0005860134.tif 000008
【図４Ｂ】
0005860134.tif 000009
【図４Ｃ】
0005860134.tif 000010