(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被収容物を収容して運搬する箱体状の運搬容器であって、
前記箱体の上面の少なくとも半分とそれに連なる側面から成る蓋部と、
前記箱体の上側が開口するよう、前記蓋部の下側を前記箱体に対して開閉自在に連結する連結部と、
前記箱体の上面縁部に形成された第１の持ち手と、
前記蓋部の、前記第１の持ち手に対向する縁部に形成され、前記蓋部が閉じた状態で前記第１の持ち手と合わさる第２の持ち手と、
前記第１の持ち手および前記第２の持ち手に設けられ、両者が合わさった状態で係合する係合部とを備え、
前記蓋部は、
前記箱体の上面の少なくとも半分と、
前記上面の少なくとも半分に連なる第１側面の全面と、
当該第１側面の両側に位置する第２側面および第３側面の、前記上面の少なくとも半分に連なる部分とから成ることを特徴とする運搬容器。
【請求項２】
前記被収容物は、ウエハの入ったカセットであることを特徴とする請求項１記載の運搬容器。
【請求項３】
前記箱体内部の底面が傾斜していることを特徴とする請求項１または請求項２記載の運搬容器。
【請求項４】
前記箱体と前記蓋部の周縁を密封する密閉部を備えることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれか１項記載の運搬容器。
【請求項５】
前記カセット底面の対向する一対の辺それぞれに凹部が形成され、
前記箱体内部の底面には、前記カセットの凹部に嵌合する複数の凸部が形成されていることを特徴とする請求項２記載の運搬容器。
【請求項６】
前記複数の凸部のうちの一対の凸部は、前記カセットを前記運搬容器の中央部に保持する位置に形成されていることを特徴とする請求項５記載の運搬容器。
【請求項７】
前記箱体および前記蓋部のいずれか一方、または両方が透明または半透明素材であることを特徴とする請求項１から請求項６のうちのいずれか１項記載の運搬容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ウエハの入ったカセットを収容して運搬する運搬容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウエハ製造ライン内で、ウエハの入ったカセットを運搬容器に収容して、作業者が持ち運ぶ場合がある。このための運搬容器として、例えば図９に示す構造、および特許文献１に記載された構造があった。
【０００３】
図９に示す従来の運搬容器１００は、上面の開口した箱体１０１と、この開口を覆う蓋体１０２と、箱体１０１と蓋体１０２を背面側で開閉可能に連結するヒンジ（不図示）と、蓋体１０２が閉じた状態で箱体１０１の正面側に係止する係止部１０３と、蓋体１０２の上面の持ち手１０４とから構成されている。
特許文献１に係る運搬容器も似た構造であり、下面の開口した箱体と、この開口を覆う着脱自在な底板と、箱体の上面の持ち手とから構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平３−２１１８５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の運搬容器は以上のように構成されているので、箱体と蓋体（または底板）とが係止された状態か否かが見分けにくかった。そのため、係止されていない状態で持ち手を持ち上げると、底が抜け、ウエハの入ったカセットが落下したり、ウエハが損傷したりするという課題があった。
【０００６】
この他にも、例えば、持ち運び易さを重視して運搬容器１００を小型化すると、開口部が狭くなるため、カセット１０５を収容する際に作業者の手が箱体１０１の左右の側壁にぶつかり易くなり、カセット１０５を出し入れしにくかった。
また例えば、運搬中にカセット１０５が振動すると、カセット１０５内部のウエハが損傷する可能性があった。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、被収容物が落下および損傷しにくい運搬容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係る運搬容器は、箱体の上面の少なくとも半分とそれに連なる側面から成る蓋部と、箱体の上側が開口するよう、蓋部の下側を箱体に対して開閉自在に連結する連結部と、箱体の上面縁部に形成された第１の持ち手と、蓋部の、第１の持ち手に対向する縁部に形成され、蓋部が閉じた状態で第１の持ち手と合わさる第２の持ち手と、第１の持ち手および第２の持ち手に設けられ、両者が合わさった状態で係合する係合部とを備え、蓋部は、箱体の上面の少なくとも半分と、上面の少なくとも半分に連なる第１側面の全面と、当該第１側面の両側に位置する第２側面および第３側面の、上面の少なくとも半分に連なる部分とから成るものである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、箱体の上面縁部に第１の持ち手を、この第１の持ち手に対向する蓋部縁に第２の持ち手を形成し、両者が合わさった状態で係合するようにしたので、作業者が第１の持ち手と第２の持ち手を合わせ持ったときに自動的にロックでき、蓋部の開動作を規制できる。よって、被収容物が落下および損傷しにくい運搬容器を提供することができる。また、運搬容器の左右側面が大きく開口するようになり、被収容物を出し入れする際に作業者の手がぶつかりにくくなるので、作業性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】この発明の実施の形態１に係る運搬容器の構成を示す外観斜視図であり、閉じた状態である。
【図２】実施の形態１に係る運搬容器の構成を示す外観斜視図であり、開いた状態である。
【図３】実施の形態１に係る運搬容器を側面から見た外観図であり、閉じた状態である。
【図４】実施の形態１に係る運搬容器を側面から見た断面図であり、閉じた状態である。
【図５】実施の形態１に係る運搬容器を側面から見た断面図であり、開いた状態である。
【図６】実施の形態１に係る運搬容器に収容するカセットの構成を示す分解斜視図である。
【図７】実施の形態１に係る運搬容器の外観斜視図であり、カセットを２つ収容した状態である。
【図８】実施の形態１に係る運搬容器の外観斜視図であり、カセットを１つ収容した状態である。
【図９】従来の運搬容器の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
実施の形態１．
図１は本実施の形態１に係る運搬容器１の閉じた状態を示す外観斜視図、図２は開いた状態を示す外観斜視図、図３は閉じた状態を側面から見た外観図、図４は閉じた状態を側面から見た断面図、図５は開いた状態を側面から見た断面図である。
この運搬容器１は、上面２ａ、前面側の第１側面２ｂ、左右側の第２側面２ｃおよび第３側面２ｄ、背面側の第４側面２ｅ、ならびに底面２ｆの６面を有する略箱形状であり、ウエハ４０の入ったカセット３０を収容して運搬するために用いられる。箱体２は、上面２ａの背面側の略半分とそれに連なる第４側面２ｅ、底面２ｆ、ならびに第２側面２ｃおよび第３側面２ｄの背面側の各半分から成る。蓋部３は、上面２ａの前面側の略半分とそれに連なる第１側面２ｂ、ならびに第２側面２ｃおよび第３側面２ｄの前面側の各半分から成る。
【００１２】
運搬容器１内部の視認性を確保するために、箱体２および蓋部３のいずれか一方、または両方を、透明素材または半透明素材で構成している。
２つのヒンジ４は、蓋部３を成す第１側面２ｂの下部と、箱体２を成す底面２ｆの前面側とを連結している。よって、ヒンジ４を中心にして蓋部３が開閉動作し、運搬容器１の上側が開口する。
【００１３】
箱体２側の上面２ａの縁部には、作業者が運搬容器１を持ち運ぶ際に把持するための第１の持ち手５が形成されている。一方、蓋部３側の上面２ａの縁部であって、蓋部３を閉じた状態で第１の持ち手５と対向する位置には、第２の持ち手６が形成されている。また、第１の持ち手５の作業者が握る部分には係合用爪７が設けられ、第２の持ち手６の作業者が握る部分には係合用レバー８が回転可能に取り付けられている。この係合用レバー８が回転して係合用爪７に係合することにより、第１の持ち手５と第２の持ち手６を合わせた状態でロックし、蓋部３の開動作を規制する。
【００１４】
従って、運搬容器１を持ち運ぶ際、作業者が第１の持ち手５と第２の持ち手６を握ったときに、係合用レバー８が係合用爪７に係合され、自動的にロックされる。また、運搬中は作業者が箱体２に一体化された第１の持ち手５と、蓋部３に一体化された第２の持ち手６とを合わせ持つことにより、強制的に運搬容器１が閉じた状態に維持される。そのため、たとえ係合用レバー８と係合用爪７をロックし忘れたとしても、運搬中に運搬容器１が開くことはなく、カセット３０が落下することもない。よって、カセット３０に入ったウエハ４０の損傷を防止できる。
【００１５】
なお、図示例では第１の持ち手５に係合用爪７を、第２の持ち手６に係合用レバー８を設けたが、反対に、第１の持ち手５に係合用レバー８を、第２の持ち手６に係合用爪７を設けてもよい。
【００１６】
また、蓋部３を、箱体２の上面２ａの前半分と、それに連なる３方向の各側面２ｂ，２ｃ，２ｄの前半分とで構成したので、蓋部３を開けると箱体２が大きく開口することになる。特に、左右側面（第２側面２ｃと第３側面２ｄ）の前半分が開口することによって、前面側においては底面２ｆから突出する壁が無くなるので、運搬容器１にカセット３０を出し入れする際にカセット３０および作業者の手等が運搬容器１にぶつかりにくくなり、作業性が向上する。また、作業者の手が入るスペースを考慮しなくてもよいので、その分、運搬容器１を小型化できる。
【００１７】
ところで、運搬容器１をウエハ運搬用に用いる場合、運搬容器１に収容したウエハ４０を外気から遮断し、異物の付着を抑制する必要がある。この場合には、箱体２の開口部周縁にパッキン９を設置し、蓋部３の周縁に周縁凸部１０を形成する。運搬容器１を閉じると、周縁凸部１０がパッキン９に圧接され、気密状態となる。
なお、図示例では箱体２にパッキン９を、蓋部３に周縁凸部１０を設けたが、反対に、箱体２に周縁凸部１０を、蓋部３にパッキン９を設けてもよい。
【００１８】
また、運搬容器１をウエハ運搬用に用いる場合、運搬時の振動によりカセット３０が振動し、内部のウエハ４０が損傷する可能性がある。そのため、カセット３０およびウエハ４０の振動を抑制する構造が必要になる。以下では、先ずカセット３０の構成を説明し、その後に運搬容器１の振動抑制構造を説明する。
【００１９】
図６は、カセット３０の構成を示す分解斜視図である。カセット３０は、カセット蓋３１と、ウエハ４０を起立状態に保持するキャリア３２と、キャリア３２を載置するカセット箱３３とから構成される。キャリア３２には縦溝が等間隔に形成されており、ウエハ４０を１枚ずつ起立状態に収納可能となっている。カセット箱３３の底面の対向する一対の辺それぞれには凹部３４が形成されている。
【００２０】
このカセット３０を収容する運搬容器１の底面２ｆは、前面の第１側面２ｂ側から背面の第４側面２ｅ側へ向かうにつれて低くなるように、所定の角度（図４のθ）だけ傾斜している。よって、ウエハ４０は、キャリア３２の溝の一方側に寄りかかった状態となり、運搬中に振動しにくくなる。
【００２１】
また、底面２ｆには、４つの凸部１１が等間隔に形成されている。隣り合う凸部１１同士の距離は、カセット３０の底面に形成した一対の凹部３４同士の距離に等しい。これら一対の凸部１１が、カセット３０の一対の凹部３４に嵌合して、カセット３０を位置決めしてがたつきを抑制する。また、カセット３０の底面４辺のうち、一対の対向する辺だけにそれぞれ凹部３４を形成しているため、底面２ｆの傾斜方向に対して、カセット３０の設置方向が一意に決まる。
【００２２】
例えば、図７に示す斜視図のようにカセット３０を２つ収容する場合、４つの凸部１１のうち、図面紙上の奥側２つの凸部１１間にカセット３０を１つ設置し、手前側２つの凸部１１間にもう１つのカセット３０を設置する。
また例えば、図８に示す斜視図のようにカセット３０を１つ収容する場合、４つの凸部１１のうちの中央２つの凸部１１間にカセット３０を設置する。
図７、図８いずれの場合にも、カセット３０の凹部３４と運搬容器１の凸部１１が嵌合することにより、運搬容器１の内部でカセット３０ががたつくことを抑制できる。また、カセット３０を１つ設置する場合には運搬容器１の中央に設置することになるので、運搬する際に重心がぶれず、運搬性が良い。
【００２３】
なお、図示例では１つまたは２つのカセット３０を収容する場合を想定して４つの凸部１１を形成したが、これに限定されるものではなく、想定される収容数に応じた個数の凸部１１を形成すればよい。
また、１つのカセット３０を位置決めするための凹部３４と凸部１１を形成する位置および個数は任意でよく、少なくとも凹部３４と凸部１１が互いに嵌合してカセット３０を保持可能な構成であればよい。
【００２４】
以上より、実施の形態１によれば、運搬容器１は、箱体２の上面２ａの略半分とそれに連なる３方向の各側面２ｂ〜２ｄから成る蓋部３と、箱体２の上側が開口するよう、蓋部３を成す第１側面２ｂの下部を箱体２に対して開閉自在に連結するヒンジ４と、箱体２の上面２ａの縁部に形成された第１の持ち手５と、蓋部３の、第１の持ち手５に対向する縁部に形成され、蓋部３が閉じた状態で第１の持ち手５と合わさる第２の持ち手６と、第１の持ち手５および第２の持ち手６に相対的に設けられて両者が合わさった状態で係合する係合用爪７および係合用レバー８とを備えるように構成した。このため、運搬中にカセット３０の落下および損傷を防止することができる。
【００２５】
また、実施の形態１によれば、蓋部３を、箱体２の上面２ａの略半分と、上面２ａの略半分に連なる第１側面２ｂの全面と、第１側面の両側に位置する第２側面２ｃおよび第３側面２ｄの、上面２ａの略半分に連なる部分とから成るよう構成した。このため、運搬容器１の左右側面が大きく開口するようになり、カセット３０を出し入れする際に作業者の手がぶつかりにくくなるので、作業性が向上する。
【００２６】
また、実施の形態１によれば、箱体２内部の底面２ｆを傾斜させるようにしたので、キャリア３２の縦溝に起立状態に挿入されたウエハ４０がこの縦溝の一方側に接した状態になる。よって、振動を抑制することができる。
【００２７】
また、実施の形態１によれば、箱体２の開口周縁にパッキン９を、蓋部３の周縁に周縁凸部１０を形成して、箱体２と蓋部３の周縁を密閉するようにしたので、運搬中にウエハ４０に異物が付着することを防止できる。
【００２８】
また、実施の形態１によれば、カセット３０の底面の対向する一対の辺それぞれに凹部３４を形成し、箱体２内部の底面２ｆには、カセット３０の凹部３４に嵌合する複数の凸部１１を形成するようにしたので、運搬中にカセット３０のがたつき、ひいてはウエハ４０の振動を抑制することができる。
さらに、複数の凸部１１のうちの一対の凸部１１を、カセット３０を運搬容器１の中央部に保持する位置に形成することで、複数のカセット３０を収容可能な大きさの運搬容器１においてカセット３０を１つだけ収容する場合に中央に位置決めでき、運搬性が向上する。
【００２９】
また、実施の形態１によれば、箱体２および蓋部３のいずれか一方、または両方を、透明または半透明素材で構成するようにしたので、運搬容器１内部の視認性を確保できる。
【００３０】
なお、上記実施の形態１では、運搬容器１の被収容物としてウエハ４０の入ったカセット３０を例に挙げたが、これに限定されるものではなく、工具など任意の被収容物を収容可能であることは言うまでもない。
【００３１】
上記説明以外にも、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【００３２】
１  運搬容器、２  箱体、２ａ  上面、２ｂ  第１側面、２ｃ  第２側面、２ｄ  第３側面、２ｅ  第４側面、２ｆ  底面、３  蓋部、４  ヒンジ（連結部）、５  第１の持ち手、６  第２の持ち手、７  係合用爪（係合部）、８  係合用レバー（係合部）、９  パッキン（密閉部）、１０  周縁凸部（密閉部）、１１  凸部、３０  カセット、３１  カセット蓋、３２  キャリア、３３  カセット箱、３４  凹部、４０  ウエハ、１００  運搬容器、１０１  箱体、１０２  蓋体、１０３  係止部、１０４  持ち手、１０５  カセット。
【図１】
0005967919.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0005967919.tif 000008
【図８】
0005967919.tif 000009
【図９】
0005967919.tif 000010