(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井から吊下げられた走行レールに沿って走行自在な走行部と、前記走行部から吊下げ支持されて前記走行部と一体走行する本体部と、搬送対象の物品を支持自在でかつ前記本体部の内部に位置する搬送用位置と前記本体部より下方の授受用位置との間で前記本体部に対して昇降自在な昇降体とを備えて、前記搬送用位置に位置する前記昇降体にて物品を支持した状態で前記走行部の走行作動により走行レールに沿って物品を搬送し、前記搬送用位置と前記授受用位置との間での前記昇降体の昇降作動により物品授受箇所との間で物品を移載自在な天井搬送車であって、
前記物品授受箇所との間での物品の移載にあたり障害となる障害物に検出作用するべく下向きに検出光又は検出音波を放射して当該障害物を検出する障害物検出部と、
前記昇降体の昇降位置を検出する昇降位置検出部と、
前記昇降位置検出部の検出情報に基づいて前記昇降体の昇降作動を制御する制御部とが設けられ、
前記障害物検出部は、前記搬送用位置に位置する前記昇降体にて支持された物品よりも上方でかつ平面視で当該物品の存在範囲内に位置する箇所において、前記検出光又は前記検出音波の放射方向が当該物品の外側に傾斜する状態で前記本体部に対して固定され、
前記制御部は、前記昇降体を前記搬送用位置と前記授受用位置との間で昇降させる場合に、前記昇降体が検出作用範囲に位置する間は前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別せず、前記昇降体が検出作用範囲に位置しない間は前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成され、
前記検出作用範囲は、前記障害物検出部の前記検出光又は前記検出音波が前記昇降体に支持されている物品に検出作用する範囲に設定されている天井搬送車。
【請求項２】
前記障害物が前記本体部の下方において作業を行う作業者であり、
前記走行レールと直交する前記走行部の横幅方向で前記物品授受箇所の一方側に前記作業者による作業が行われる作業者作業領域が設定され、他方側に前記作業者による作業が行われない作業者非作業領域が設定され、
前記障害物検出部が、前記走行部の横幅方向において前記作業者作業領域側に偏位して配設されている請求項１に記載の天井搬送車。
【請求項３】
前記障害物が前記本体部の下方において作業を行う作業者であり、
前記制御部が、前記作業者の身長として設定された作業者身長高さよりも高く設定された判定基準高さより高い高さに前記昇降体が位置している状態であるときに、前記昇降体が検出作用範囲に位置すると判別する請求項１又は２に記載の天井搬送車。
【請求項４】
前記搬送対象の物品は、平面視での存在範囲の外縁が前記障害物検出部の取付位置よりも内方である小物品を含み、
前記昇降体により支持した前記搬送対象の物品が前記小物品であるか否かを識別する物品識別情報を取得する物品識別情報取得部が設けられ、
前記制御部が、前記物品識別情報取得部にて取得した前記物品識別情報に基づいて、前記搬送対象の物品が小物品であると判別した場合には、前記昇降体が検出作用範囲に位置する間であっても前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成されている請求項１〜３の何れか１項に記載の天井搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井から吊下げられた走行レールに沿って走行自在な走行部と、前記走行部から吊下げ支持されて前記走行部と一体走行する本体部と、搬送対象の物品を支持自在でかつ前記本体部の内部に位置する搬送用位置と前記本体部より下方の授受用位置との間で前記本体部に対して昇降自在な昇降体とを備えて、前記搬送用位置に位置する前記昇降体にて物品を支持した状態で前記走行部の走行作動により走行レールに沿って物品を搬送し、前記搬送用位置と前記授受用位置との間での前記昇降体の昇降作動により物品授受箇所との間で物品を移載自在な天井搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような天井搬送車は、昇降体にて支持して搬送用位置に位置する物品を授受用位置に下降させる卸し動作や授受用位置に位置する搬送対象の物品を搬送すべく昇降体にて支持し搬送用位置まで上昇させる掬い動作を行うように構成されている。
このような天井搬送車において、昇降体の下方に障害物が存在する状態で昇降体を下降移動させた場合、昇降体にて支持されている物品とその下方に存在する障害物とが干渉する虞がある。このため、昇降体の下方の障害物に検出作用するべく、下向きに検出光を放射して障害物を検出する障害物検出部を設けた天井搬送車が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１の天井搬送車では、障害物検出部が、本体部において平面視で搬送対象の物品の存在領域の外方となる箇所に設けられて、直下方に向けて検出作用するように構成されている。そして、当該障害物検出部にて昇降体の下方に障害物が存在することを検出した場合には、当該昇降体の昇降作動を停止させる等の異常対応作動をさせるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３３７１８９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の天井搬送車における障害物検出部の配設位置は、平面視で物品の存在領域の外方に位置しているため、搬送対象の物品が大型化すると障害物検出部の配設位置は物品の平面視の大きさに応じて平面視で車体の中心から遠ざかることになる。
そのため、障害物検出部を平面視で天井搬送車の範囲内に位置させる場合は、天井搬送車の平面視の外形が物品の大きさに応じて大きくなってしまう虞がある。
【０００５】
そこで、大きな物品を搬送対象とする場合でも、天井搬送車の大型化を抑制しつつ、昇降体の下方の障害物を適切に検出可能な天井搬送車の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明にかかる天井搬送車は、天井から吊下げられた走行レールに沿って走行自在な走行部と、前記走行部から吊下げ支持されて前記走行部と一体走行する本体部と、搬送対象の物品を支持自在でかつ前記本体部の内部に位置する搬送用位置と前記本体部より下方の授受用位置との間で前記本体部に対して昇降自在な昇降体とを備えて、前記搬送用位置に位置する前記昇降体にて物品を支持した状態で前記走行部の走行作動により走行レールに沿って物品を搬送し、前記搬送用位置と前記授受用位置との間での前記昇降体の昇降作動により物品授受箇所との間で物品を移載自在な天井搬送車であって、
前記物品授受部との間での物品の移載にあたり障害となる障害物に検出作用するべく下向きに検出光又は検出音波を放射して当該障害物を検出する障害物検出部と、前記昇降体の昇降位置を検出する昇降位置検出部と、前記昇降位置検出部の検出情報に基づいて前記昇降体の昇降作動を制御する制御部とが設けられ、前記障害物検出部は、前記搬送用位置に位置する前記昇降体にて支持された物品よりも上方でかつ平面視で当該物品の存在範囲内に位置する箇所において、前記検出光又は前記検出音波の放射方向が当該物品の外側に傾斜する状態で前記本体部に対して固定され、前記制御部は、前記昇降体を前記搬送用位置と前記授受用位置との間で昇降させる場合に、前記昇降体が検出作用範囲に位置する間は前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別せず、前記昇降体が検出作用範囲に位置しない間は前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成され、前記検出作用範囲は、前記障害物検出部の前記検出光又は前記検出音波が前記昇降体に支持されている物品に検出作用する範囲に設定されている点に特徴を有する。
【０００７】
すなわち、天井搬送車には、昇降体を下降させる場合に当該昇降体の下方に存在する障害物を検出するための障害物検出部が、本体部に固定して設けられている。
障害物検出部は、搬送用位置に位置する昇降体にて支持された物品よりも上方でかつ平面視で当該物品の存在範囲内に位置する箇所において、検出光又は検出音波の放射方向が当該物品の外側に傾斜する状態で設けられるので、昇降体にて大きな物品を支持した場合においても、その物品がある高さ以下の位置にある場合については当該物品が障害物検出部の検出作用範囲から外れることになる。これにより、障害物検出部の検出光又は検出音波は、当該物品に検出作用することなく、障害物が存在する場合には、その障害物に検出作用することになる。
【０００８】
そこで、昇降体を搬送用位置と授受用位置との間で昇降させる場合に、障害物検出部の検出光又は検出音波が昇降体に支持されている物品に検出作用する範囲を検出作用範囲として、昇降体が当該検出作用範囲に位置する間は障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別せず、昇降体が検出作用範囲に位置しない間は障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成することによって、障害物検出部が物品を障害物として検出してしまう事態を避けながら、昇降体の下方の障害物を適切に検出することができる。
【０００９】
しかも、障害物検出部は、搬送用位置に位置する昇降体にて支持された物品よりも平面視で当該物品の存在範囲内に位置する箇所に設けられるので、天井搬送車の平面視での大きさが大型化することを抑制することができる。
【００１０】
このように、大きな物品を搬送対象とする場合でも、天井搬送車の大型化を抑制しつつ、昇降体の下方の障害物を適切に検出可能な天井搬送車を実現することができるものとなった。
【００１１】
本発明に係る天井搬送車においては、前記障害物が前記本体部の下方において作業を行う作業者であり、前記走行レールと直交する前記走行部の横幅方向で前記物品授受箇所の一方側に前記作業者による作業が行われる作業者作業領域が設定され、他方側に前記作業者による作業が行われない作業者非作業領域が設定され、前記障害物検出部が、前記走行部の横幅方向において前記作業者作業領域側に偏位して配設されていることが好ましい。
【００１２】
すなわち、障害物検出部が、走行レールと直交する走行部の横幅方向において、作業者作業領域と作業者非作業領域側とのうち作業者作業領域に近づけて配設されるから、本体部の下方となる物品授受箇所の周辺において作業を行う作業者を適切に検出することができる。
【００１３】
本発明に係る天井搬送車においては、前記障害物が前記本体部の下方において作業を行う作業者であり、前記制御部が、前記作業者の身長として設定された作業者身長高さよりも高く設定された判定基準高さより高い高さに前記昇降体が位置している状態であるときに、前記昇降体が検出作用範囲に位置すると判別することが好ましい。
【００１４】
すなわち、制御部が、昇降体が検出作用範囲に位置すると判別する昇降体の昇降高さの下限を、本体部の下方となる物品授受箇所の周辺において作業を行う作業者の身長として設定された作業者身長高さよりも高く設定された判定基準高さとし、その判定基準高さよりも高い高さに昇降体が位置するときに、当該昇降体が検出作用範囲に位置すると判別することにより、床面を歩行する等して作業をしている作業者が存在する可能性のある高さに昇降体が位置する間は障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別することができる。このため、物品授受箇所において作業を行う作業者を適切に検出することができる。
【００１５】
本発明に係る天井搬送車においては、前記搬送対象の物品は、平面視での存在範囲の外縁が前記障害物検出部の取付位置よりも内方である小物品を含み、前記昇降体により支持した前記搬送対象の物品が前記小物品であるか否かを識別する物品識別情報を取得する物品識別情報取得部が設けられ、前記制御部が、前記物品識別情報取得部にて取得した前記物品識別情報に基づいて、前記搬送対象の物品が小物品であると判別した場合には、前記昇降体が検出作用範囲に位置する間であっても前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成されていることが好ましい。
【００１６】
すなわち、小物品でない物品、すなわち、平面視での存在範囲の外縁が障害物検出部の取付位置よりも外方である物品については、上述の如く、昇降体が検出作用範囲に位置する間は障害物検出部の放射する検出光又は検出音波が当該物品によって遮られる。
この為、上述のように、昇降体が検出作用範囲に位置する間、障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別しないという制御を行う必要がある。
一方、平面視での存在範囲の外縁が障害物検出部の取付位置よりも内方である小物品については、昇降体が検出作用範囲に位置するときにも、障害物検出部の放射する検出光又は検出音波が当該小物品によって遮られない。したがって、この場合には昇降体が検出作用範囲に位置する間障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別しないという制御を行う必要はない。
そこで、物品識別情報取得部にて取得した物品識別情報に基づいて搬送対象の物品が小物品であると判別した場合には、昇降体が検出作用範囲に位置する間であっても障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別することによって、昇降体にて支持されている物品の寸法に応じてより適切に障害物を検出することが可能な天井搬送車を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態の天井搬送車及びそれが備えられる半導体基板処理設備の立面図
【図２】天井搬送車の一部切欠き正面図
【図３】従来の障害物検出部を備えた天井搬送車における小物品及び大物品と検出光との関係を示す図
【図４】本実施形態の天井搬送車における障害物検出部の検出光放射方向を示す図
【図５】物品を昇降させたときにおける障害物検出部の検出光と物品との関係を示す図
【図６】制御ブロック図
【図７】制御部が実行する制御を示すフローチャート
【図８】別実施形態の天井搬送車及びそれが備えられる半導体基板処理設備の立面図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の天井搬送車を半導体基板処理設備に適用した場合について、図面に基づいて説明する。
半導体基板処理設備には、図１に示すように、処理装置３のステーション３Ｓを経由する状態で走行レール２が天井側に設置され、走行レール２に沿って移動自在な天井搬送車１が設けられている。天井搬送車１は、半導体基板を収納した容器Ｂを搬送対象の物品として、天井搬送車１が複数の処理装置３の間で容器Ｂを搬送するように構成されている。例えば、処理装置では、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理を行うように構成されている。走行レール２は、走行レール用ブラケットにより天井部に固定状態で設置されている。
【００１９】
天井搬送車１は、図２に示すように、走行レール２上を転動する一対の走行車輪５２と当該一対の走行車輪５２を駆動する走行駆動部５１とを備えた走行部５０と、走行部５０に吊り下げ状態で支持された本体部２１と、容器Ｂのフランジ部Ｂｆを吊り下げ状態で把持する把持部３２を備えて昇降駆動部１９にて昇降駆動される昇降体３０と、本体部２１の上部に固定されて昇降体３０を昇降駆動する昇降駆動部１９と、を備えて構成されている。昇降駆動部１９は、一端が昇降体３０に接続されたワイヤ１９ａが巻き掛けられるワイヤ巻取ドラムとドラム駆動用モータとを備え、ドラム駆動用モータを正転させてワイヤ１９ａを巻き取ることで昇降体３０を上昇させ、ドラム駆動用モータを逆転させてワイヤ１９ａを繰り出すことで昇降体３０を下降させることができるようになっている。昇降駆動部１９におけるドラム駆動用モータの近傍には、ドラム駆動用モータの回転数を検出することで昇降体３０の昇降位置を検出する昇降位置検出部としてのロータリエンコーダＳ２が設けられている。
【００２０】
本体部は本体カバーＣで覆われており、昇降体３０が昇降上限位置に位置するときに、当該昇降体３０及びそれに支持される容器Ｂが側面視で当該本体カバーＣの内部に位置するようになっている。また、本体カバーＣは、平面視で走行部５０の走行方向に直交する横幅方向の両側が開口している。
昇降駆動部１９は、容器Ｂが物品授受箇所としてのステーション３Ｓにおける載置台３Ｄに支持される位置（授受用位置Ｐｄ）と、上記昇降上限位置（搬送用位置Ｐｕ）との間で容器を昇降させるべく、昇降体３０を昇降移動させる。
【００２１】
すなわち、天井搬送車１は、天井から吊下げられた走行レール２に沿って走行自在な走行部５０と、走行部５０から吊下げ支持されて走行部５０と一体走行する本体部２１と、搬送対象の容器Ｂを支持自在でかつ本体部２１の内部に位置する搬送用位置Ｐｕと本体部２１より下方の授受用位置Ｐｄとの間で本体部２１に対して昇降自在な昇降体３０とを備えて、搬送用位置Ｐｕに位置する昇降体３０にて容器Ｂを支持した状態で走行部５０の走行作動により走行レール２に沿って容器Ｂを搬送し、搬送用位置Ｐｕと授受用位置Ｐｄとの間での昇降体３０の昇降作動により載置台３Ｄとの間で容器Ｂを移載自在に構成されている。
【００２２】
本実施形態における半導体基板処理設備では、４５０ｍｍウェハを処理自在に構成されている。しかしながら、従前の３００ｍｍウェハ用の処理設備のレイアウトを変更すると設備の更新コストの高騰を招くため、設備レイアウトや天井搬送車１の設計を３００ｍｍウェハ用の処理設備と共通化させている。
ここで、従来の３００ｍｍウェハ用の処理設備における天井搬送車１Ｂを比較例として図３に示す。図３において、符号Ｂ１で示すのが３００ｍｍウェハ用の容器（以降、小容器Ｂ１と称する）である。
天井搬送車１Ｂにおいては、障害物検知センサＳ１が、自己の直下方に検出光Ｌ１を放射して障害物を検出するようになっている。
また、図３には、４５０ｍｍウェハ用の容器（以降、大容器Ｂ２と称する）を同天井搬送車１Ｂの昇降体３０に支持した状態を二点鎖線で示している。
図３よりわかるように、従来の天井搬送車１Ｂにおいて大容器Ｂ２を搬送しようとすると、障害物検知センサＳ１の検出光が大容器Ｂ２によって遮られ、大容器Ｂ２の下方に存在する障害物を検出することができない。
【００２３】
そこで、本実施形態では、図１及び図４、５に示すように、昇降駆動部１９の横側部でかつ本体カバーＣの内方に、載置台３Ｄとの間での容器Ｂの移載にあたり障害となる障害物に検出作用するべく下向きに検出光を放射して当該障害物を検出する障害物検出部としての障害物検知センサＳ１を設けている。
障害物検知センサＳ１は、図２に示すように、搬送用位置Ｐｕに位置する昇降体３０にて支持された大容器Ｂ２（以降、容器Ｂとして説明する）よりも上方でかつ平面視で容器Ｂの存在範囲内に位置する箇所に設けられている。また、図４において鉛直下方に引いた線をＬ１として、検出光の放射方向が、図４のＬ２に示すように、容器Ｂの外側に向けて角度θだけ傾斜する状態で本体部２１に対して固定されている。
本実施形態においては、障害物として、本体部２１の下方において作業を行う作業者Ｗを検出するようにしている。
【００２４】
また、本実施形態においては、図１に示すように、走行レール２と直交する走行部５０の横幅方向でステーション３Ｓの一方側に作業者Ｗによる作業が行われる作業者作業領域Ｅが設定され、他方側に作業者Ｗによる作業が行われない作業者非作業領域が設定され、障害物検知センサＳ１が、走行部５０の横幅方向において作業者作業領域Ｅ側に偏位して配設されている。
【００２５】
図６に示すように、本実施形態の天井搬送車１の作動を制御する制御部Ｈが本体部２１に装備されている。制御部Ｈには、走行駆動部５１、昇降駆動部１９、障害物検知センサＳ１、ロータリエンコーダＳ２、及び、当該制御部Ｈに容器Ｂの搬送を指令する上位管理装置Ｈｕが通信自在に接続されており、障害物検知センサＳ１及びロータリエンコーダＳ２の検出情報を入力自在に構成されるとともに、走行駆動部５１及び昇降駆動部１９の作動を制御するようになっている。
【００２６】
制御部Ｈは、ロータリエンコーダＳ２の検出情報に基づいて昇降駆動部１９の作動を制御することで昇降体３０の昇降作動を制御するようになっている。
そして、この制御部Ｈは、ロータリエンコーダＳ２の検出情報に基づいて、図５（ａ）に示すように、容器Ｂの容器本体部Ｂｈの上端が、床Ｆの上面（以降、床面と称する）から、作業者Ｗの身長として設定された高さである高さｈ０以上の高さに位置すると判別した場合は、障害物検知センサＳ１の検出情報に基づく障害物の有無を判別せず、容器Ｂの容器本体部Ｂｈの上端が床面から高さｈ０より低い位置に位置すると判別した場合は、昇降体が検出作用範囲に位置しない間は前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成されている。
【００２７】
ここで、高さｈ０が判定基準高さに相当し、昇降体３０の昇降位置が搬送用位置Ｐｕとなる位置から容器Ｂの容器本体部Ｂｈの上端が床面から高さｈ０となる位置の間である範囲が検出作用範囲に相当する。
すなわち、制御部Ｈは、昇降体３０を搬送用位置Ｐｕと授受用位置Ｐｄとの間で昇降させる場合に、昇降体３０が検出作用範囲に位置する間は障害物検知センサＳ１の検出情報に基づく障害物の有無を判別せず、昇降体３０が検出作用範囲に位置しない間は障害物検知センサＳ１の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成されている。
【００２８】
また、昇降体３０の昇降位置が検出作用範囲にある間は、図５（ｂ）に示すように、障害物検知センサが容器Ｂの上面を検出してしまうため、制御部Ｈは、検出作用範囲を障害物検知センサＳ１の検出光が昇降体３０に支持されている容器Ｂに検出作用する範囲に設定することによって、図５（ａ）に示すように、昇降体３０が検出作用範囲に位置しない間のみ障害物検知センサＳ１の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成している。
さらに、制御部Ｈは、作業者Ｗの身長として設定された作業者身長高さよりも高く設定された判定基準高さより低い高さに昇降体３０が位置している状態であるときに、昇降体３０が検出作用範囲に位置すると判別するようになっている。
すなわち、障害物検知センサＳ１における検出光の放射方向の鉛直線からの傾斜角度θは、昇降体３０を下降させるに当たり下方の作業者作業領域Ｅにおいて作業を行う作業者Ｗを検出可能な角度として設定されている。
また、上記傾斜角度θは、昇降体３０が判定基準高さより低い位置に位置するときに昇降体３０が当該検出光の検出範囲に入らない角度として設定されている。本実施形態では、上記判定基準高さは、作業者の身長として設定された作業者身長高さとしている。これにより、昇降体３０の下方の作業者作業領域Ｅにおいて作業を行う作業者Ｗを適切に検出することが可能となる。
【００２９】
次に、図７のフローチャートに基づいて、制御部Ｈが実行する制御について説明する。
制御部Ｈは、まず、昇降体３０の昇降高さを検出し（ステップ＃１）、続いて、昇降体３０が検出作用範囲に属するか否かを判別する（ステップ＃２）。ステップ＃２にて昇降体３０が検出作用範囲に属しないと判別すると（ステップ＃２：Ｎｏ）、障害物検知センサＳ１の検知機能をＯＮとし（ステップ＃３）、障害物検知センサＳ１が障害物を検知しなければ（ステップ＃４：Ｎｏ）、昇降駆動部１９を駆動させ（ステップ＃７）、障害物検知センサＳ１が障害物を検知すれば（ステップ＃４：Ｙｅｓ）、昇降駆動部１９の駆動を停止させる（ステップ＃５）。
【００３０】
一方、ステップ＃２にて昇降体３０が検出作用範囲に属すると判別すると（ステップ＃２：Ｙｅｓ）、障害物検知センサＳ１の検知機能をＯＦＦとして（ステップ＃６）、昇降駆動部１９を駆動させる（ステップ＃７）。
ステップ＃７の処理を行った場合、引き続きロータリエンコーダＳ２の検出情報に基づいて昇降体３０が目標昇降位置に到達したか否かを判別し（ステップ＃８）、目標昇降位置に到達したと判別した場合（ステップ＃８：Ｙｅｓ）には、昇降駆動部１９の駆動を停止させる（ステップ＃５）。また、ステップ＃８にて目標昇降位置に到達していないと判別した場合（ステップ＃８：Ｎｏ）には、ステップ＃１の処理に回帰する。
【００３１】
このようにして、大きな物品（大容器Ｂ２）を搬送対象とする場合でも、天井搬送車１の大型化を抑制しつつ、昇降体３０の下方の作業者Ｗを適切に検出可能な天井搬送車１が提供できる。
【００３２】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、天井搬送車１が、搬送対象の物品として半導体基板を収容する容器Ｂを搬送するように構成された例を示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば半導体基板を収容する容器Ｂに代えて、半導体基板へのパターン転写のためのレチクルを収容するレチクル容器を搬送するものであってもよい。また、半導体基板を収容する容器Ｂとレチクル容器との双方を搬送するように構成してもよい。
【００３３】
（２）上記実施形態では、天井搬送車１による搬送対象の容器Ｂを、平面視での存在範囲の外縁が障害物検出部の取付位置よりも外方である大容器Ｂ２とする例を示したが、搬送対象の容器Ｂとして、平面視での存在範囲の外縁が障害物検出部の取付位置よりも内方である小容器Ｂ１を含むように構成してもよい。
この場合、昇降体３０により支持した搬送対象の容器Ｂが小物品としての小容器Ｂ１であるか否かを識別する物品識別情報（例えば、上位管理装置Ｈｕからの搬送指令情報や、容器Ｂに取り付けられたＲＦＩＤに記憶された情報等）を取得する物品識別情報取得部（物品識別情報が上位管理装置Ｈｕからの搬送指令情報の場合には制御部Ｈの通信モジュール等が相当、物品識別情報がＲＦＩＤの場合には無線読取装置等が相当）を設け、制御部Ｈが、物品識別情報取得部にて取得した物品識別情報に基づいて、搬送対象の容器Ｂが小容器Ｂ１であると判別した場合には、昇降体３０が検出作用範囲に位置する間であっても障害物検知センサＳ１の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成してもよい。
【００３４】
（３）上記実施形態では、障害物検知センサＳ１が、検出光を放射して当該障害物を検出する例を示したが、障害物検知センサＳ１を、超音波等の検出音波を放射して障害物を検出するものとしてもよい。この他にも、指向性のある検出媒体を放射して検出対象の存否を検出するセンサを適用することができる。
【００３５】
（４）上記実施形態では、ロータリエンコーダＳ２にて昇降体３０の昇降位置を検出する例を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、レーザー測距計や超音波測距計等の無接触測距センサを用いたり、昇降体３０を吊り掛けるワイヤ１９ａに付加した目盛を読み取る等、他の方式を用いて昇降体３０の昇降位置を検出するようにしてもよい。また、障害物検知センサＳ１を検出対象物の形状や属性が判別自在なもの、例えばカメラ等として構成し、制御部Ｈが、カメラが撮像した画像情報に基づいて障害物と昇降体３０とを判別するとともに、昇降体３０である場合に、その昇降位置を計測するように構成してもよい。
【００３６】
（５）上記実施形態では、図１に示すように、昇降体３０に支持された容器Ｂを、本体カバーＣの直下方の授受用位置Ｐｄと本体カバーＣ内部の搬送用位置Ｐｕ（図２参照）との間で昇降移動させる例を示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、図８に示すように、走行部５０の走行方向に沿う方向視で本体カバーＣと重複する引退位置と、本体カバーＣの外方でかつ処理装置３の非存在側（作業者作業領域側）に突出する突出位置とに切換え自在で、且つ、昇降体３０の昇降駆動部１９を指示したスライド部２０を設け、当該スライド部２０が突出位置にあるときに昇降体３０を昇降作動させるように構成してもよい。この場合、障害物検知センサＳ１を、スライド部２０の作業者作業領域側端部で、かつ、スライド部２０が引退位置に位置するときに当該障害物検知センサが走行部５０の走行方向に沿う方向視でＳ１本体カバーＣと重複する位置となるように配設する。このように、本体部２１に障害物検知センサＳ１を固定する構成としては、本体部２１にスライド自在に取り付けられるスライド部２０に固定する構成も含むものである。
【００３７】
（６）上記実施形態では、障害物検知センサＳ１が障害物を検知した場合に、昇降駆動部１９の駆動を停止させる構成を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、障害物検知センサＳ１が障害物を検知した場合に、昇降体３０の昇降速度を減速するように昇降駆動部１９の作動を制御するように構成してもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１        天井搬送車
２        走行レール
２１      本体部
３０      昇降体
５０      走行部
Ｂ        物品
Ｂ１      小物品
Ｅ        作業者作業領域
Ｈ        制御部
Ｌ１      検出光
Ｐｄ      授受用位置
Ｐｕ      搬送用位置
Ｓ１      障害物検出部
Ｗ        障害物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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