(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一面上乃至略同一面上に所定間隔を有して配された複数の搬送ローラと、該搬送ローラに搬送される長尺シート状の被乾燥物に熱風を吹き付ける噴射ノズルと、該噴射ノズル間に設けられた排気ダクトとを備えた乾燥装置において、
前記噴射ノズルが、前記被乾燥物を挟んで前記搬送ローラと対向する位置に設けられると共に、前記噴射ノズルの先端が、一方向に鈍角状に折曲されて折曲部が形成され、かつ前記噴射ノズルの開口部は、前記搬送ローラの中心を外した方向に開放され、前記開口部から前記搬送ローラの中心を外した前記方向に前記熱風が噴射され、
前記被乾燥物が、前記噴射ノズルからの熱風により前記被乾燥物と前記搬送ローラとの接触面からずれた外周部分に押し当てられると共に、前記熱風により被乾燥物に擬似的な張力が付与され、前記被乾燥物は、前記張力によって前記搬送ローラの外周に沿いながら搬送されることを特徴とする乾燥装置。
【請求項２】
同一面上乃至略同一面上に所定間隔を有して配された複数の搬送ローラと、該搬送ローラに搬送される長尺シート状の被乾燥物に熱風を吹き付ける噴射ノズルと、該噴射ノズル間に設けられた排気ダクトとを備えた乾燥装置において、
前記噴射ノズルが、前記被乾燥物を挟んで前記搬送ローラと対向する位置に設けられると共に、前記噴射ノズルの先端が、二股形状となるように二方向に鈍角状に折曲されて折曲部が形成され、かつ前記噴射ノズルの開口部は、前記搬送ローラの中心を外した方向に開放され、前記開口部から前記搬送ローラの中心を外した前記方向に前記熱風が噴射され、
前記被乾燥物が、前記噴射ノズルからの熱風により前記被乾燥物と前記搬送ローラとの接触面からずれた外周部分に押し当てられると共に、前記熱風により被乾燥物に擬似的な張力が付与され、前記被乾燥物は、前記張力によって前記搬送ローラの外周に沿いながら搬送されることを特徴とする乾燥装置。
【請求項３】
前記被乾燥物に対する噴射角度θ、前記折曲部の基点と前記被乾燥物との距離ｘ、及び前記搬送ローラの半径ｒとの間には、
θ＝arctan（ｒ/ｘ）
の関係が成立することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の乾燥装置。
【請求項４】
前記被乾燥物は、フィルム状基材の表面にセラミックグリーンシートが形成されると共に、前記セラミックグリーンシートの表面に所定パターンの溶剤を含有した導電層が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の乾燥装置。
【請求項５】
同一面上乃至略同一面上に所定間隔を有して配された複数の搬送ローラと、該搬送ローラに搬送される長尺シート状の被乾燥物に熱風を吹き付ける噴射ノズルと、該噴射ノズル間に設けられた排気ダクトとを備えた乾燥装置において、
前記噴射ノズルは、前記搬送ローラと対向状に設けられると共に、前記搬送ローラの上部頂点からずれた所定位置の上方に配され、前記被乾燥物に対し垂直方向から熱風が吹きつけるように形成され、かつ、前記所定位置は、前記搬送ローラの半径と同一距離乃至略同一距離だけ前記上部頂点から偏移した位置とされ、
前記被乾燥物が、前記噴射ノズルからの熱風により前記被乾燥物と前記搬送ローラとの接触面からずれた外周部分に押し当てられると共に、前記熱風により被乾燥物に擬似的な張力が付与され、前記被乾燥物は、前記張力によって前記搬送ローラの外周に沿いながら搬送されることを特徴とする乾燥装置。
【請求項６】
長尺のセラミックグリーンシート表面に塗布された導電性ペーストを乾燥させる導電性ペーストの乾燥方法であって、
複数の搬送ローラを同一面上乃至略同一面上となるように配し、前記導電性ペーストが塗布された前記セラミックグリーンシートを前記搬送ローラを介して搬送しながら、前記セラミックグリーンシートと前記搬送ローラとの接触面からずれた所定位置を照準に前記セラミックグリーンシートに熱風を吹き付けると共に、前記所定位置は、前記搬送ローラの半径と同一距離乃至略同一距離だけ前記搬送ローラの上部頂点から偏移した位置であり、
前記セラミックグリーンシートを前記搬送ローラの外周部分に押し当てて前記セラミックグリーンシートに擬似的な張力を付与し、前記張力によって前記セラミックグリーンシートを前記搬送ローラの外周に沿わせながら搬送し、前記導電性ペーストを乾燥することを特徴とする導電性ペーストの乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は乾燥装置、及び導電性ペーストの乾燥方法に関し、より詳しくはセラミックグリーンシートの表面に形成された導電層を乾燥させるのに適した乾燥装置、及びセラミックグリーンシートの表面に塗布された導電性ペーストを乾燥させるための導電性ペーストの乾燥方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサ等の積層型セラミック電子部品は、内部電極となるべき導電パターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層し、得られたセラミック積層体を焼成処理することによって内部電極が埋設されたセラミック素体を形成し、該セラミック素体の両端部に外部電極を形成することで構成されている。
【０００３】
この種の積層型セラミック電子部品の生産方法は、従来より、良好な生産性を確保する観点から、いわゆる多数個取り方式により量産されている。すなわち、成形加工された長尺状のセラミックグリーンシートの表面に導電性ペーストを塗付して所定パターンの導電層を形成し、該導電層を乾燥させた後、該導電層の形成されたセラミックグリーンシートを複数枚積層し、圧着してセラミックブロックを形成し、該セラミックブロックを所定寸法に切断してセラミック積層体を得ている。
【０００４】
上記した導電層形成後の乾燥処理には、熱風乾燥炉が広く使用されており、また、熱風乾燥炉としては、いわゆるロールサポート方式が多用されている。
【０００５】
このロールサポート方式の熱風乾燥炉は、搬送ローラが所定間隔毎に設けられ、かつ、該搬送ローラと対向状に噴射ノズルが配されている。そして、表面に導電層が形成された被乾燥物を前記搬送ローラ上を介して熱風乾燥炉内に案内し、この搬送中に噴射ノズルからの熱風を被乾燥物に吹き付け、これにより導電層を乾燥させている。
【０００６】
また、この種の熱風乾燥炉を使用してセラミックグリーンシート上の導電層を乾燥させる場合、薄層のセラミックグリーンシートが湾曲したり変形するのを回避するために、通常、離型剤が塗付された樹脂フィルム等の基材表面にセラミックグリーンシートを形成し、該セラミックグリーンシートの表面に導電性ペーストをスクリーン印刷し、これにより被乾燥物を作製している。
【０００７】
ところで、長尺シート状の被乾燥物は、噴射ノズルからの熱風によってバタツキが生じるおそれがあり、斯かるバタツキの発生を回避するためには、被乾燥物に対し、搬送中に十分な張力を付与する必要がある。そしてそのためには搬送ローラが十分な抱き角を有するように、該搬送ローラをアーチ状に配するのが好ましい。
【０００８】
すなわち、図１０に示すように、搬送ローラ１０１ｂが、前後の搬送ローラ１０１ａ、１０１ｃよりも高くなるようにアーチ状に配することにより、被乾燥物１０２には一定の張力が付与されることとなり、これにより被乾燥物に熱風が吹き付けられてもバタツキが生じるのを防止することが可能となる。
【０００９】
しかしながら、搬送ローラをアーチ状に配した場合、熱風乾燥炉の大型化を招き、設置スペースが制限され、設備費も高価になる。
【００１０】
このため、近年では、図１１に示すように、搬送ローラ１１１ａ〜１１１ｃを同一面上にフラットに配して被乾燥物１１２を搬送するようにした熱風乾燥炉が使用されている。
【００１１】
また、セラミックグリーンシートの表面に形成された導電層を乾燥させる場合、該導電層との雰囲気界面に境膜が形成され、該境膜が迅速な乾燥を妨げることから、大きな風速で大流量の熱風を被乾燥物に吹き付けるのが効果的である。しかも、近年では、迅速で高効率に乾燥するのが求められていることから、大きな風速で大流量の熱風が必要になってきており、斯かる要件を満たす噴射ノズルを使用した乾燥装置が開発されている。
【００１２】
例えば、特許文献１には、セラミックグリーンシート上に塗布されたペーストを乾燥する乾燥炉と、前記乾燥炉内において前記セラミックグリーンシートを支持しており、かつ端部が前記乾燥炉外に露出または冷却手段が設けられている支持部材と、前記ペーストのセラミックグリーンシートに接している第１のペースト面とは反対側の第２のペースト面に熱風を供給するノズルとを備えたペースト乾燥装置が提案されている。
【００１３】
この特許文献１では、図１２に示すように、噴射ノズル１２１ａ、１２１ｂ…が搬送ローラ１２２ａ、１２２ｂ…と対向状に配されると共に、噴射ノズル間、例えば、噴射ノズル１２１ａと噴射ノズル１２１ｂとの間に排気ダクト１２３が設けられている。また、被乾燥物１２４は長尺の基材１２５上にセラミックグリーンシート１２６が形成され、該セラミックグリーンシート１２６の表面に導電性ペーストがスクリーン印刷されて導電層１２７を形成している。そして、噴射ノズル１２１ａ、１２１ｂからの熱風を導電層表面１２７ａに吹き付けることにより、導電層表面１２７ａは速やかに乾燥され、さらにセラミックグリーンシート１２６に接している導電層裏面１２７ｂに伝達される熱量は冷却手段を介して低減し、これによりペースト中の溶剤が拡散するのを抑制してセラミックグリーンシート中のバインダ樹脂の溶解を生じ難くし、シートアタックの発生を抑制している。
【００１４】
すなわち、導電層１２７を形成する導電性ペーストには導電性粉末の他、バインダ樹脂や有機溶剤が含有されている。一方、セラミックグリーンシート１２６にはセラミック原料の他、バインダ樹脂その他の添加物が含有されている、そして、乾燥温度を高くすると、乾燥処理を促進させることができるものの、導電層１２７に含有される有機溶剤がセラミックグリーンシート１２６に含有されるバインダ樹脂を溶解させ、該バインダ樹脂が乾燥時に揮散し、いわゆるシートアタックが生じてセラミックグリーンシートを破損させるおそれがある。
【００１５】
そこで、特許文献１では、導電層表面１２７ａに熱風を吹き付けて乾燥処理をする一方、導電層裏面１２７ｂに伝達される熱量を低減し、シートアタックの発生を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２００５−１５０７０９号公報（請求項１、段落番号〔００５１〕、図１等）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
ところで、この種の乾燥装置では、上述したシートアタックの発生を回避するためには、乾燥温度を低くし、大きな風速で大流量の熱風でもって乾燥させるのが好ましいと考えられる。
【００１８】
一方、特許文献１では、搬送ローラ１２２ａ、１２２ｂが同一面上にフラットに配されているため、被乾燥物１２４には十分な張力を付与することが困難である。
【００１９】
このため、図１３に示すように、噴射ノズル１２１ａ、１２１ｂからの大きな風速を有する大流量の熱風を被乾燥物１２４に吹き付けると、該熱風は矢印ａに示すように、被乾燥物１２４に沿って流れ、矢印ｂに示すように、排気ダクト１２３に吸気される。すなわち、図中、ｃに示す部分で負圧が発生し、このため被乾燥物１２４は搬送ローラ１２２ａ、１２２ｂから浮き上がり、バタツキが生じる。
【００２０】
さらに、このように被乾燥物１２４にバタツキが生じると、図１４に示すように、被乾燥物１２４が噴射ノズル１２１ａ（又は／及び噴射ノズル１２１ｂ）の角部１２８（又は／及び角部１２９）に接触し、その結果、被乾燥物１２５が破損したり、表面の導電層が損傷し、いわゆるシート欠陥が生じるおそれがある。そして、このようなシート欠陥が生じると、特に積層セラミックコンデンサでは、焼成後に内部電極間同士で絶縁破壊が生じ、短絡不良を招くおそれがある。
【００２１】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、複数の搬送ローラを同一面上乃至略同一面上に配して被乾燥物を搬送しつつ、前記被乾燥物に熱風を吹きつけても、シートアタックが生じることもなく、被乾燥物のバタツキを抑制することができる乾燥装置、及び導電性ペーストの乾燥方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記目的を達成するために本発明に係る乾燥装置は、同一面上乃至略同一面上に所定間隔を有して配された複数の搬送ローラと、該搬送ローラに搬送される長尺シート状の被乾燥物に熱風を吹き付ける噴射ノズルと、該噴射ノズル間に設けられた排気ダクトとを備えた乾燥装置において、前記噴射ノズルが、前記被乾燥物を挟んで前記搬送ローラと対向する位置に設けられると共に、前記噴射ノズルの先端が、一方向に鈍角状に折曲されて折曲部が形成され、かつ前記噴射ノズルの開口部は、前記搬送ローラの中心を外した方向に開放され、前記開口部から前記搬送ローラの中心を外した前記方向に前記熱風が噴射され、前記被乾燥物が、前記噴射ノズルからの熱風により前記被乾燥物と前記搬送ローラとの接触面からずれた外周部分に押し当てられると共に、前記熱風により被乾燥物に擬似的な張力が付与され、前記被乾燥物は、前記張力によって前記搬送ローラの外周に沿いながら搬送されることを特徴としている。
【００２５】
この場合、本発明の乾燥装置は、前記被乾燥物に対する噴射角度θ、前記折曲部の基点と前記被乾燥物との距離ｘ、及び前記搬送ローラの半径ｒとの間には、θ＝arctan（ｒ/ｘ）の関係が成立するのが好ましい。
【００２６】
ここで、被乾燥物に対する噴射角度θとは、前記被乾燥物に対して垂直方向とのなす角度をいう。
【００２９】
本発明の乾燥装置は、前記被乾燥物が、フィルム状基材の表面にセラミックグリーンシートが形成されると共に、前記セラミックグリーンシートの表面に所定パターンの溶剤を含有した導電層が形成されているのが好ましい。
【００３０】
また、本発明に係る乾燥装置は、同一面上乃至略同一面上に所定間隔を有して配された複数の搬送ローラと、該搬送ローラに搬送される長尺シート状の被乾燥物に熱風を吹き付ける噴射ノズルと、該噴射ノズル間に設けられた排気ダクトとを備えた乾燥装置において、前記噴射ノズルは、前記搬送ローラと対向状に設けられると共に、前記搬送ローラの上部頂点からずれた所定位置の上方に配され、前記被乾燥物に対し垂直方向から熱風が吹きつけるように形成され、かつ、前記所定位置は、前記搬送ローラの半径と同一距離乃至略同一距離だけ前記上部頂点から偏移した位置とされ、前記被乾燥物が、前記噴射ノズルからの熱風により前記被乾燥物と前記搬送ローラとの接触面からずれた外周部分に押し当てられると共に、前記熱風により被乾燥物に擬似的な張力が付与され、前記被乾燥物は、前記張力によって前記搬送ローラの外周に沿いながら搬送されることを特徴としている。
【００３１】
また、本発明に係る導電性ペーストの乾燥方法は、長尺のセラミックグリーンシート表面に塗布された導電性ペーストを乾燥させる導電性ペーストの乾燥方法であって、複数の搬送ローラを同一面上乃至略同一面上となるように配し、前記導電性ペーストが塗布された前記セラミックグリーンシートを前記搬送ローラを介して搬送しながら、前記セラミックグリーンシートと前記搬送ローラとの接触面からずれた所定位置を照準に前記セラミックグリーンシートに熱風を吹き付けると共に、前記所定位置は、前記搬送ローラの半径と同一距離乃至略同一距離だけ前記搬送ローラの上部頂点から偏移した位置であり、前記セラミックグリーンシートを前記搬送ローラの外周部分に押し当てて前記セラミックグリーンシートに擬似的な張力を付与し、前記張力によって前記セラミックグリーンシートを前記搬送ローラの外周に沿わせながら搬送し、前記導電性ペーストを乾燥することを特徴としている。
【発明の効果】
【００３２】
本発明の乾燥装置によれば、大きな風速で大流量の熱風を被乾燥物に吹きつけても、被乾燥物のバタツキを抑制することができ、シート欠陥が生じるのを回避することが可能となる。しかも、大きな風速で大流量の熱風を被乾燥物に吹きつけることができることから、境膜をやぶることができ、これにより低温域での乾燥が可能となり、シートアタックの発生を抑制することができる。
【００３３】
また、前記噴射ノズルが、前記搬送ローラと対向状に設けられると共に、該噴射ノズルの先端が、一方向に鈍角状に折曲されて折曲部が形成されることにより、噴射ノズルからの熱風により、被乾燥物と搬送ローラの接触面からずれた該搬送ローラの外周部分に前記被乾燥物を確実に押し当てることができ、その結果、被乾燥物には所望の擬似的な張力を付与することができる。
【００３４】
また、前記噴射ノズルが、前記搬送ローラと対向状に設けられると共に、該噴射ノズルの先端は、二股形状となるように二方向に鈍角状に折曲されて折曲部が形成されることにより、噴射ノズルに形成されるスリット幅を狭くすることが可能となり、より大きな風速で乾燥させることが可能となる。
【００３５】
また、前記被乾燥物に対する噴射角度θ、前記折曲部の基点と被乾燥物との距離ｘ、及び搬送ローラの半径ｒとの間には、θ＝arctan（ｒ/ｘ）の関係が成立する場合は、被乾燥物は搬送ローラを抱きかかえるように張力を付与することができ、また被乾燥物と噴射ノズルとが接触することもなく、所望の乾燥処理を行うことができる。
【００３６】
また、前記噴射ノズルが、前記搬送ローラの上部頂点からずれた所定位置の上方に配され、前記被乾燥物に対し垂直方向から熱風が吹きつけられるように形成されることにより、熱風を被乾燥物に対して垂直方向に吹きつけることが可能となり、搬送ローラの上部頂点から偏移した該搬送ローラの外周部分に前記被乾燥物をより効果的に押し当てることが可能となる。
【００３７】
また、前記所定位置が、前記搬送ローラの半径と同一距離乃至略同一距離だけ前記上部頂点から偏移した位置とされる場合は、被乾燥物は搬送ローラを抱きかかえるように張力を付与することができ、所望の乾燥処理を行うことができる。
【００３８】
また、前記被乾燥物は、フィルム状基材の表面にセラミックグリーンシートが形成されると共に、前記セラミックグリーンシートの表面に所定パターンの溶剤を含有した導電層が形成されているので、積層セラミックコンデンサ等の各種積層型セラミック電子部品の製造に好適な乾燥装置を実現することができる。
【００３９】
また、本発明の導電性ペーストの乾燥方法によれば、擬似的な張力が付与された状態で被乾燥物を乾燥させることが可能となり、被乾燥物は熱風付与時にバタツキを生じるのを回避できる。しかも、熱風の温度を低温とすることが可能であることから、セラミックグリーンシートへの導電ペーストによるシートアタックの発生を抑制することができる。
【００４０】
また、前記所定位置を、前記搬送ローラの半径と同一距離乃至略同一距離だけ前記搬送ローラの上部頂点からずれた位置とすることにより、被乾燥物は搬送ローラを抱きかかえるように張力を付与することができ、所望の乾燥処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係る乾燥装置の一実施の形態（第１の実施の形態）の内部構造を模式的に示した図である。
【図２】被乾燥物の要部拡大断面図である。
【図３】図１の乾燥装置の要部拡大断面図である。
【図４】図３の要部斜視図である。
【図５】第１の実施の形態において、噴射ノズルから熱風が吹き付けられた状態を示す要部拡大断面図である。
【図６】熱風の吹きつけ位置が、搬送ローラの上部頂点から過度に偏移した状態を示す要部拡大断面図である。
【図７】本発明に係る乾燥装置の第２の実施の形態を示す要部拡大断面図である。
【図８】第２の実施の形態において、噴射ノズルから熱風が吹く付けられた状態を示す要部拡大断面図である。
【図９】本発明に係る乾燥装置の第３の実施の形態を示す要部拡大断面図である。
【図１０】搬送ローラをアーチ状に配した従来例の要部斜視図である。
【図１１】搬送ローラをフラット状に配した従来例の要部斜視図である。
【図１２】特許文献１に記載された乾燥装置の要部拡大断面図である。
【図１３】特許文献１の一課題を説明するための要部拡大断面図である。
【図１４】特許文献１の他の課題を説明するための要部拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づき詳説する。
【００４３】
図１は本発明に係る乾燥装置の一実施の形態（第１の実施の形態）を内部構造を模式的に示した図である。
【００４４】
この乾燥装置は、所定径（例えば、直径４０〜１２０ｍｍ）を有する多数の搬送ローラ１（１ａ、１ｂ、…１ｎ）が同一面上に一定間隔（例えば、１５０〜３００ｍｍ）を有して列設されると共に、多数の噴射ノズル２（２ａ、２ｂ、…２ｎ）が、前記各搬送ローラ１と対向状に配され、かつ、各噴射ノズル２間には排気ダクト３（３ａ、３ｂ、…３ｎ）が設けられている。すなわち、各噴射ノズル２及び各排気ダクト３は天井４から突設されており、各噴射ノズル２から供給される熱風と略同等の熱風が排気ダクト３から強制的に排気される。そして、各搬送ローラ１のうちの少なくとも１つの搬送ローラ、例えば、搬送ローラ１ａが不図示の駆動手段により回転駆動可能に構成され、長尺シート状の被乾燥物５は搬送ローラ１で矢印Ａ方向に搬送されると共に、この搬送中に噴射ノズル２からの熱風が吹き付けられ、被乾燥物５は乾燥する。
【００４５】
尚、この乾燥装置は、装置の小型化の観点から、各搬送ローラ１と天井４との距離Ｈ（例えば、約１００ｍｍ）が狭く形成されている。また、被乾燥物５の乾燥は、乾燥温度を高めるよりも、流量を大きくした方が効果的であることから、乾燥装置には大流量（例えば、５０〜１００ｍ３／ｍｉｎ）の熱風が供給される。
【００４６】
被乾燥物５は、図２に示すように、例えば、厚さが２０〜５０μｍ、幅が２００ｍｍ程度のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等からなる長尺状の基材６の表面にセラミックグリーンシート７が形成され、該セラミックグリーンシート７の表面に所定パターンの導電層８が形成されている。
【００４７】
セラミックグリーンシート７は、セラミックスラリーを基材６上でドクターブレード法等を使用して所定膜厚に成形加工されて形成されている。セラミックスラリーは、ＢａＴｉＯ３等のセラミック原料を主成分とし、セラミックスラリーの作製過程でバインダ樹脂等の添加物が含有されている。導電層８は、導電性ペーストを使用し、セラミックグリーンシート７の表面にスクリーン印刷等を行うことによって形成されている。ここで、導電性ペーストは、Ａｇ等の導電性粉末を有機ビヒクル（バインダ＋有機溶剤）に混練して作製されている。したがって導電層８中には溶剤が含有されることから、本乾燥装置では、セラミックグリーンシート７に噴射ノズル２からの熱風を吹きつけて乾燥処理を行い、セラミックグリーンシート７上の導電層８に含有される有機溶剤を揮散させる。
【００４８】
図３は、上記乾燥装置の要部拡大断面図であり、図４は、図３の要部斜視図である。尚、図中、図１の符号のａ、ｂ、ｃ等は省略している。
【００４９】
噴射ノズル２は、テーパ部９の先端が、一方向に鈍角状に折曲されて折曲部１０が形成され、該折曲部１０の先端にはスリット状の開口部１１が設けられ、該開口部１１から熱風が噴射するように形成されている。
【００５０】
尚、噴射ノズル２の開口部１１と被乾燥物５との距離Ｌは、特に限定されるものでないが、被乾燥物５に流量の大きい熱風を付与するためには、可能な限り短いのが好ましく、距離Ｌは５〜５０ｍｍ程度が好ましい。また、開口部１１の幅寸法Ｗも、特に限定されるものではないが、十分に大きな風速と大風量を確保するためには、幅寸法Ｗは３〜５ｍｍ程度が好ましい。
【００５１】
このように構成された乾燥装置では、図５に示すように、噴射ノズル２から噴射される熱風は、矢印Ｂに示すように、矢印Ｃ方向に回転する搬送ローラ１の上部頂点Ｄから所定距離だけ偏移し、ずれた位置を通過中の被乾燥物５に吹き付けられ、被乾燥物５は搬送ローラ１の外周円弧部分（外周部分）１２に押し当てられた状態で乾燥される。そしてこれにより被乾燥物５には擬似的な張力が付与される。したがって、大きな風速で大流量の熱風を被乾燥物５に吹きつけても、被乾燥物５は張力を有することから、乾燥物５のバタツキを抑制することができ、シート欠陥が生じるのを回避することが可能となる。しかも、大きな風速で大流量の熱風を被乾燥物に吹きつけることができることから、境膜をやぶることができ、これにより低温域（例えば、乾燥温度４０〜１００℃）での乾燥が可能となり、シートアタックの発生を抑制することができる。
【００５２】
尚、被乾燥物５が搬送ローラ１の外周円弧部分１２に押し当てられて被乾燥物５に擬似的な張力が付与されるのであれば、被乾燥物５に対する熱風の噴射角度θ、被乾燥物５と噴射ノズル２の折曲部１０の基点Ｅとの距離ｘ、及び搬送ローラ１の半径ｒの相互関係は特に限定されるものではない。しかし、搬送ローラ１を効果的に抱きかかえるようにし、被乾燥物５に所望の疑似的な張力を付与し、かつシート欠陥を招くことなく所望の乾燥効果を得るためには、搬送ローラ１の上部頂点Ｄから偏移した所定距離は搬送ローラ１の半径ｒと同一又は略同一が好ましい。そして、熱風の噴射角度θ、折曲部１０の基点Ｅと被乾燥物５との距離ｘ、及び搬送ローラ１の半径ｒは数式（１）を満たすのがより好ましい。
【００５３】
θ＝arctan（ｒ／ｘ）…（１）
例えば、半径ｒが４０ｍｍの搬送ローラ１を使用し、噴射角度θが約３０°となるように噴射ノズル２を加工した場合、距離ｘは約７０ｍｍとなるように噴射ノズル２の位置を調整するのが好ましい。
【００５４】
尚、図６の矢印Ｆに示すように、搬送ローラ１の上部頂点Ｄから過度に離間した位置を走行中の被乾燥物５に熱風を吹き付けても、搬送ローラ１の外周円弧部分１２に押し当てることができない。すなわち被乾燥物５は、凹状に湾曲するのみで張力を付与することができず、このため被乾燥物５のバタツキを抑制するのが困難である。
【００５５】
図７は、本乾燥装置の第２の実施の形態を示す要部拡大断面図であって、該第２の実施の形態では、噴射ノズル１２が二股形状に形成されている。
【００５６】
すなわち、この第２の実施の形態でも、噴射ノズル１３は、搬送ローラ１と対向状に配され、噴射ノズル１３間に排気ダクト１４が設けられている。そして、前記噴射ノズル１３は、二股形状に形成されており、テーパ部１５の先端が二方向に鈍角状に折曲された折曲部１６ａ、１６ｂを有している。
【００５７】
本第２の実施の形態でも、図８に示すように、噴射ノズル１３から噴射される熱風は、矢印Ｇ、Ｈに示すように、搬送ローラ１の上部頂点Ｄから所定距離だけ偏移した位置を通過中の被乾燥物５に吹き付けられ、被乾燥物５は搬送ローラ１の外周円弧部分１２、１２′に押し当てられた状態で乾燥される。そしてこれにより被乾燥物５には擬似的な張力が付与される。したがって、大きな風速で大流量の熱風を被乾燥物５に吹きつけても、被乾燥物５は張力を有することから、被乾燥物のバタツキを抑制することができ、シート欠陥が生じるのを回避することが可能となる。しかも、大きな風速で大流量の熱風を被乾燥物に吹きつけることができることから、低温域での乾燥が可能となり、シートアタックの発生を抑制することができる。
【００５８】
尚、本第２の実施の形態でも、第１の実施の形態と同様、被乾燥物５が搬送ローラ１の外周円弧部分１２、１２′に押し当てられて被乾燥物５に擬似的な張力が付与されるのであれば、被乾燥物５に対する熱風の噴射角度θ、被乾燥物５と噴射ノズル１３の折曲部１６ａ、１６ｂの基点Ｉとの距離ｘ、及び搬送ローラ１の半径ｒの相互関係は特に限定されるものではないが、搬送ローラ１を抱きかかえるようにし、被乾燥物５に所望の疑似的な張力を付与し、かつシート欠陥を招くことなく所望の乾燥効果を得るためには、搬送ローラ１の上部頂点Ｄから偏移した所定距離は搬送ローラ１の半径ｒと同一又は略同一が好ましい。そして、熱風の噴出角度θ、折曲部１６ａ、１６ｂの基点Ｉと被乾燥物５との距離ｘ、及び搬送ローラ１の半径ｒは上述した数式（１）を満たすのが好ましい。
【００５９】
また、本第２の実施の形態では、噴射ノズル１３の先端を二股形状にしているので、シートのバタツキが抑えられやすく、したがって開口部２０、２１の幅寸法をより一層狭くすることが可能となり、風量を低下させることなく、より大きな風速でもって熱風を被乾燥物５に吹きつけることが可能となる。
【００６０】
図９は、本乾燥装置の第３の実施の形態を示す要部拡大断面図であって、該第３の実施の形態では、噴射ノズル２２は、搬送ローラ１の上部頂点Ｄから所定距離だけ偏移した位置の上方に配され、噴射ノズル２２間には排気ダクト２４が形成され、被乾燥物５に対し垂直方向から熱風が吹き付けられるように形成されている。
【００６１】
本第３の実施の形態では、噴射ノズル２２から噴射される熱風は、搬送ローラ１の上部頂点Ｄから所定距離だけ偏移した位置を通過中の被乾燥物５に垂直方向から吹き付けられと、第１及び第２の実施の形態と同様、被乾燥物５は搬送ローラ１の外周円弧部分１２に押し当てられた状態で乾燥される。そしてこれにより被乾燥物５には擬似的な張力が付与される。したがって、大きな風速で大流量の熱風を被乾燥物５に吹きつけても、被乾燥物５は張力を有することから、被乾燥物のバタツキを抑制することができ、シート欠陥が生じるのを回避することが可能となる。しかも、大きな風速で大流量の熱風を被乾燥物に吹きつけることができることから、境膜をやぶることができ、これにより低温域での乾燥が可能となり、シートアタックの発生を抑制することができる。
【００６２】
しかも、被乾燥物５は、垂直方向から熱風が吹きつけられるので、大風量で大きな風速の熱風が直接吹きつけられることとなり、より効果的に乾燥させることが可能となる。
【００６３】
また、搬送ローラ１を抱きかかえるように被乾燥物５に張力を付与し、かつシート欠陥を招くことなく所望の乾燥作用を得るためには、搬送ローラ１の上部頂点Ｄから偏移した所定距離は搬送ローラ１の半径ｒと同一又は略同一が好ましい。
【００６４】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明は、特に積層セラミックコンデンサにおける導電層の乾燥に有効であるが、コイル部品やＬＣ複合部品、その他、シート工法を使用して製造されるセラミック電子部品に広く適用することが可能である。
【００６５】
また、上記各実施の形態では、複数の搬送ローラ１を同一面上に配したが、本発明は、これら搬送ローラ１が完全に同一面上に配されていなくても、略同一面上に配されていてもよく、斯かる場合も有効であるのはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
搬送ローラを同一面上乃至略同一面上に配した熱風乾燥炉を使用して長尺シート状の被乾燥物を乾燥させる場合であっても、バタツキやシートアタックを生じることなく乾燥処理を行うことができる。
【符号の説明】
【００６７】
１  搬送ローラ
５  被乾燥物
２、１３、２０  噴射ノズル
３、１４、２２  排気ダクト
１２、１２′  外周円弧部分（外周部分）
９、１６ａ、１６ｂ  折曲部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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