(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板を出し入れするための開口が前面に配置された容器を下方から支持する支持体、及び、前記支持体を少なくとも上下方向に移動操作する移動操作部を備えた移載部と、
前記移載部にて前記容器が移載される移載対象箇所としての板状の載置体とが備えられ、
前記支持体は、前記容器を当該支持体における移載用位置にて位置決めした状態で当該容器の底面を支持する支持体側支持部を備え、
前記載置体は、平面視で凹入する切欠部と、平面視にて前記切欠部の周方向での異なる位置に分散して配置された複数の載置体側支持部とを備えて、前記容器を支持している前記支持体の一部が前記切欠部を下方に向けて通過することで、前記複数の載置体側支持部により前記容器を前記載置体に対して横幅方向で位置決めした状態で前記容器の底面を受止め支持するように構成された容器搬送設備であって、
前記支持体は、前記移動操作部が接続される基部と、前記基部から水平方向に突出して前記容器の移載時に前記切欠部を上下方向に通過する突出部とを備え、かつ、前記突出部の突出方向に前記容器の前方から後方へ向かう方向が沿う姿勢で前記容器を支持するように構成され、
前記突出部の横幅は、前記容器の横幅よりも短く形成され、
前記容器として、小容器と、横幅方向で前記小容器よりも幅広に構成される大容器とが存在し、
前記小容器は、その底面に、前記底面の中心部から放射状に配置される３つの小容器用特定被支持部を備え、前記３つの小容器用特定被支持部は、前記容器の横幅方向で離間し且つ平面視で前記容器の中心より前方側に位置する一対の小容器用前方側特定被支持部と、前記容器の横幅方向中央部で且つ平面視で前記容器の前面から内方側へ離間した位置に位置する１つの小容器用後方側特定被支持部とから構成され、
前記大容器は、その底面に、前記底面の中心部から放射状に配置される３つの大容器用特定被支持部を備え、前記３つの大容器用特定被支持部は、前記容器の横幅方向で離間し且つ平面視で前記容器の中心より前方側に位置する一対の大容器用前面側特定被支持部と、前記容器の横幅方向中央部で且つ平面視で前記容器の前面から内方側へ離間した位置に位置する１つの大容器用後方側特定被支持部とから構成され、
前記支持体が前記小容器を支持した状態における前記一対の小容器用前方側特定被支持部は、前記支持体が前記大容器を支持した状態における前記一対の大容器用前面側特定被支持部よりも平面視で前記容器の横幅方向において内方側に位置し、
前記支持体が、前記支持体側支持部として、前記小容器の底面における３つの小容器用特定被支持部を支持する３つの支持体側小容器用特定支持部と、前記大容器の底面における外周部の前記基部側の縁部を支持する支持体側大容器用縁部支持部と、を備えて構成されている容器搬送設備。
【請求項２】
前記支持体側大容器用縁部支持部が、前記支持体の横幅方向に分散して複数配置されている請求項１に記載の容器搬送設備。
【請求項３】
前記複数の支持体側大容器用縁部支持部が、前記大容器の底面における前記基部側の両隅部を支持するように設けられている請求項２に記載の容器搬送設備。
【請求項４】
前記突出部の先端部に、前記大容器における前記大容器用特定被支持部を支持する支持体側大容器用特定支持部が設けられ、
前記支持体は、前記支持体側大容器用縁部支持部と前記支持体側大容器用特定支持部とで前記大容器を支持するように構成されている請求項１〜３の何れか１項に記載の容器搬送設備。
【請求項５】
前記支持体側大容器用縁部支持部及び前記支持体側大容器用特定支持部は、前記大容器の底面が前記支持体側小容器用特定支持部の上端よりも上方となる高さで前記大容器を支持するように構成されている請求項４に記載の容器搬送設備。
【請求項６】
前記載置体が、前記載置体側支持部として、前記小容器を小容器用設定載置位置に位置決めした状態で当該小容器の底面を支持自在な載置体側小容器用支持部を備え、
前記載置体側小容器用支持部が、平面視において前記載置体の横幅方向で前記載置体の前記切欠部の両側に離間して設けられ前記小容器の底面を下方から支持する一対の載置面と、前記一対の小容器用前方側特定被支持部と係合する左右一対の載置体側小容器用特定支持部と、前記小容器の左右の側部と当接して前記載置体の横幅方向に沿う前記小容器の移動を規制する規制面、及び、前記小容器を前記載置体の横幅方向において前記小容器用設定載置位置に位置決めすべく前記小容器の底面における前記横幅方向の両端部を案内する案内用傾斜部を備えた左右一対の小容器用位置決め部材と、を備えている請求項１〜５の何れか１項に記載の容器搬送設備。
【請求項７】
前記載置体が、前記載置体側支持部として、前記大容器を大容器用設定載置位置に位置決めした状態で当該大容器の底面を支持自在な載置体側大容器用支持部を備え、
前記載置体側大容器用支持部が、平面視において前記載置体の横幅方向で前記載置体の前記切欠部の両側に離間して設けられかつ前記大容器の底面における前記大容器の横幅方向で離間した一対の被支持箇所を支持する一対の大容器用支持位置決め部材と、前記大容器用後方側特定被支持部を支持する載置体側大容器用特定支持部と、を備え、
前記大容器用支持位置決め部材が、前記大容器の底面を下方から支持する載置面、前記大容器の側部と当接して前記載置体の横幅方向に沿う前記大容器の移動を規制する規制面、及び、前記大容器を前記載置体の横幅方向において前記大容器用設定載置位置に位置決めすべく前記大容器の底面における前記横幅方向の端部を案内する案内用傾斜部を備えている請求項６に記載の容器搬送設備。
【請求項８】
前記載置体側大容器用支持部は、前記大容器の底面が前記載置体側小容器用特定支持部の上端よりも上方となる高さで前記大容器を支持するように構成されている請求項７に記載の容器搬送設備。
【請求項９】
前記小容器用位置決め部材と前記大容器用支持位置決め部材とが、単一の大小容器用位置決支持部材にて構成されている請求項７又は８に記載の容器搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板を出し入れするための開口が前方側に配置された容器を下方から支持する支持体を少なくとも上下方向に移動操作する移動操作部を備えた移載部と、その移載部にて容器が移載される移載対象箇所としての板状の載置体とが備えられ、支持体は、容器を当該支持体における移載用位置にて位置決めした状態で当該容器の底面を支持する支持体側支持部を備え、載置体は、平面視で凹入する切欠部と、平面視にて切欠部の周方向での異なる位置に分散して配置された複数の載置体側支持部とを備えて、容器を支持している前記支持体の一部が前記切欠部を下方に向けて通過することで、複数の載置体側支持部により容器を載置体に対して横幅方向で位置決めした状態で容器の底面を受止め支持するように構成された容器搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような容器搬送設備は、半導体処理設備において、基板搬送用の容器を搬送するために用いられる。例えば、特許文献１には、半導体処理設備に設けられる保管設備の内部において、容器を搬送する場合の例が開示されている。特許文献１にも記載されているように、半導体処理設備には、複数の工程を分担して行う複数の処理装置の間で、処理対象の半導体基板を収容した容器を搬送する工程間搬送設備が設けられており、この工程間搬送設備により容器を工程間で搬送する際に容器を一時的に保管するために保管設備が設けられている。
保管設備には、容器を一時保管する載置体が複数設けられ、これら複数の載置体との間で容器を移載する移載部が設けられている。そして、移載部により容器を載置体に受け渡す場合は、支持体の一部が平面視で載置体の切欠部と重複する状態で、容器を支持した支持体を下降操作して、載置体の切欠部を上方側から下方側に通過させる。これにより、支持体に支持されている容器は、支持体の下降に伴って、当該容器の底面の少なくとも横幅方向両端部分にて載置体に支持されることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−７２９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、半導体基板（ウェハー）は、直径が３００ｍｍの円板形のものが主流であった。このため、半導体基板を収容する容器として、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に規定された形状の３００ｍｍのウェハー用のＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod：以下３００ｍｍＦＯＵＰと称する）が用いられており、容器搬送設備における支持体及び載置体は、３００ｍｍＦＯＵＰを支持するのに適した形状及び寸法に構成されていた。
一方、近年、生産性の向上や生産効率の向上のために、直径が４５０ｍｍの円板形のウェハーが生産されるようになり、容器搬送設備は、半導体基板を収容する容器として、ＳＥＭＩ規格に規定された形状であり横幅方向で３００ｍｍＦＯＵＰよりも幅広である４５０ｍｍのウェハー用の容器（以下４５０ｍｍＦＯＵＰと称する）を搬送する必要が生じてきた。
【０００５】
上記ＳＥＭＩ規格では、上記３００ｍｍＦＯＵＰ及び上記４５０ｍｍＦＯＵＰのいずれについても、容器を支持体にて支持した場合において容器が支持体に対して適正な位置（適正載置位置と称する）となるように位置決めされるように、容器の底面に、底面の中心部から放射状に配置される３つの被支持部を備えることが規定されている。この３つの被支持部は、容器の横幅方向で離間し且つ平面視で容器の前面に位置する一対の被支持部（一対の前方側被支持部と称する）と、容器の横幅方向中央部で且つ平面視で容器の前面から内方側へ離間した位置に位置する１つの被支持部（後方側被支持部と称する）とから構成されている。
そして、支持体が３００ｍｍＦＯＵＰを支持する場合の当該３００ｍｍＦＯＵＰの一対の前方側被支持部は、前記支持体が前記４５０ｍｍＦＯＵＰを支持する場合の当該４５０ｍｍＦＯＵＰの一対の前方側被支持部よりも平面視で容器の横幅方向において内方側に位置するように構成されている。
【０００６】
ところで、３００ｍｍＦＯＵＰ用の移載部及び載置体と４５０ｍｍＦＯＵＰ用の移載部及び載置体とを各別に設けると、設備コストの増大を招くため、３００ｍｍＦＯＵＰ用の移載部及び載置体と４５０ｍｍＦＯＵＰ用の移載部及び載置体とを共用することが望まれる。
しかしながら、単に支持体に小容器の前方側被支持部を支持する支持部と大容器の前方側被支持部を支持する支持部との双方を備える構成とすると、支持体の横幅方向での寸法は大容器の前方側被支持部に対応して設定されることとなり、大容器の前方側被支持部を支持する支持部を備えた支持体が上下方向に通過可能な切欠部を載置体に形成すると、載置体には小容器における一対の前方側被支持部を支持する載置体側支持部を設けることができない。このため、大容器を支持することはできるものの小容器を支持体から載置体に適切に移載することができないという問題が生じる。
【０００７】
そこで、支持体にて小容器と大容器との双方を適正に支持することができながらも、小容器と大容器との双方を載置体に適切に移載できる移載部を備えた容器搬送設備の実現が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明に係る容器搬送設備は、半導体基板を出し入れするための開口が前面に配置された容器を下方から支持する支持体、及び、前記支持体を少なくとも上下方向に移動操作する移動操作部を備えた移載部と、前記移載部にて前記容器が移載される移載対象箇所としての板状の載置体とが備えられ、前記支持体は、前記容器を当該支持体における移載用位置にて位置決めした状態で当該容器の底面を支持する支持体側支持部を備え、前記載置体は、平面視で凹入する切欠部と、平面視にて前記切欠部の周方向での異なる位置に分散して配置された複数の載置体側支持部とを備えて、前記容器を支持している前記支持体の一部が前記切欠部を下方に向けて通過することで、前記複数の載置体側支持部により前記容器を前記載置体に対して横幅方向で位置決めした状態で前記容器の底面を受止め支持するように構成されたものであって、
前記支持体は、前記移動操作部が接続される基部と、前記基部から水平方向に突出して前記容器の移載時に前記切欠部を上下方向に通過する突出部とを備え、かつ、前記突出部の突出方向に前記容器の前方から後方へ向かう方向が沿う姿勢で前記容器を支持するように構成され、前記突出部の横幅は、前記容器の横幅よりも短く形成され、前記容器として、小容器と、横幅方向で前記小容器よりも幅広に構成される大容器とが存在し、前記小容器は、その底面に、前記底面の中心部から放射状に配置される３つの小容器用特定被支持部を備え、前記３つの小容器用特定被支持部は、前記容器の横幅方向で離間し且つ平面視で前記容器の中心より前方側に位置する一対の小容器用前方側特定被支持部と、前記容器の横幅方向中央部で且つ平面視で前記容器の前面から内方側へ離間した位置に位置する１つの小容器用後方側特定被支持部とから構成され、前記大容器は、その底面に、前記底面の中心部から放射状に配置される３つの大容器用特定被支持部を備え、前記３つの大容器用特定被支持部は、前記容器の横幅方向で離間し且つ平面視で前記容器の中心より前方側に位置する一対の大容器用前面側特定被支持部と、前記容器の横幅方向中央部で且つ平面視で前記容器の前面から内方側へ離間した位置に位置する１つの大容器用後方側特定被支持部とから構成され、前記支持体が前記小容器を支持した状態における前記一対の小容器用前方側特定被支持部は、前記支持体が前記大容器を支持した状態における前記一対の大容器用前面側特定被支持部よりも平面視で前記容器の横幅方向において内方側に位置し、前記支持体が、前記支持体側支持部として、前記小容器の底面における３つの小容器用特定被支持部を支持する３つの支持体側小容器用特定支持部と、前記大容器の底面における外周部の前記基部側の縁部を支持する支持体側大容器用縁部支持部と、を備えて構成されている点に特徴を有する。
【０００９】
すなわち、支持体は、小容器の底面における３つの小容器用特定被支持部を支持する３つの支持体側小容器用特定支持部にて小容器を適正載置位置に位置決めした状態で支持することができ、かつ、大容器の底面における外周部の基部側の縁部を支持する支持体側大容器用縁部支持部によって大容器を適正載置位置に位置決めした状態で支持することができる。
【００１０】
そして、支持体における突出部の横幅は小容器の横幅よりも短く形成されているから、支持体に支持した小容器を載置体に移載するときには、小容器を支持した支持体における突出部が載置体の切欠部を下方に向けて通過するように移動操作部を作動させることによって、載置体の切欠部の周方向での異なる位置に分散して配置された複数の載置体側支持部に小容器を支持させることができる。
【００１１】
また、支持体には大容器の底面における外周部の前記基部側の縁部を支持する支持体側大容器用縁部支持部を備えているから、突出部に大容器の底面を支持する支持部を備えれば、大容器を安定して支持することができ、支持体に支持した大容器を載置体に移載するときには、大容器を支持した支持体における突出部が載置体の切欠部を下方に向けて通過するように移動操作部を作動させることによって、載置体の切欠部の周方向での異なる位置に分散して配置された複数の載置体側支持部に大容器を支持させることができる。
【００１２】
このように、支持体にて小容器と大容器との双方を適正に支持することができながらも、小容器と大容器との双方を載置体に適切に移載できる移載部を備えた容器搬送設備が実現できる。
【００１３】
本発明に係る容器搬送設備においては、前記支持体側大容器用縁部支持部が、前記支持体の横幅方向に分散して複数配置されていることが好ましい。
【００１４】
すなわち、支持体側大容器用縁部支持部が、支持体の横幅方向に分散した複数箇所で大容器の底面における外周部の基部側の縁部を支持するので、大容器の前方側の横幅方向での姿勢を安定させることができる。
このため、大容器を載置体に移載すべく移載部を移動操作部により移動操作した場合においても、安定した姿勢で大容器を支持体に支持することができる。
【００１５】
本発明に係る容器搬送設備においては、前記複数の支持体側大容器用縁部支持部が、前記大容器の底面における前記基部側の両隅部を支持するように設けられていることが好ましい。
【００１６】
すなわち、複数の支持体側大容器用縁部支持部が大容器の底面における前記基部側の両隅部を支持することにより、より安定した姿勢で大容器を支持体に支持することができる。
【００１７】
本発明に係る容器搬送設備においては、前記突出部の先端部に、前記大容器における前記大容器用特定被支持部を支持する支持体側大容器用特定支持部が設けられ、前記支持体は、前記支持体側大容器用縁部支持部と前記支持体側大容器用特定支持部とで前記大容器を支持するように構成されていることが好ましい。
【００１８】
すなわち、大容器は、突出部の先端部に設けられた支持体側大容器用特定支持部と一対の支持体側大容器用縁部支持部とで支持される。
ここで、支持体側大容器用特定支持部は、容器の横幅方向中央部で且つ平面視で前記容器の前方側から離間した位置に位置する１つの大容器用後方側特定被支持部を支持するものであるから、これを備えるに当たって突出部の容器横幅方向の寸法を大きくする必要がないため、突出部の容器横幅方向の寸法の小型化を図ることができる。そして、支持体は、支持体側大容器用特定支持部と一対の支持体側大容器用縁部支持部との計３点で大容器を支持するから、大容器を安定した姿勢で支持することが可能となる。
このように、大容器を支持体にて適正に支持可能であり、且つ、それらを載置体に適切に移載できる移載部を備えた容器搬送設備を実現できる。
【００１９】
本発明に係る容器搬送設備においては、前記支持体側大容器用縁部支持部及び前記支持体側大容器用特定支持部は、前記大容器の底面が前記支持体側小容器用特定支持部の上端よりも上方となる高さで前記大容器を支持するように構成されていることが好ましい。
【００２０】
すなわち、大容器を支持体における支持体側大容器用縁部支持部及び支持体側大容器用特定支持部にて支持する場合に、大容器の底面が支持体側小容器用特定支持部と干渉することがない。このため、小容器を支持するための支持体側小容器用特定支持部を備えながらも、大容器をも適切に支持することが可能な支持体が実現できる。
【００２１】
本発明に係る容器搬送設備においては、前記載置体が、前記載置体側支持部として、前記小容器を小容器用設定載置位置に位置決めした状態で当該小容器の底面を支持自在な載置体側小容器用支持部を備え、前記載置体側小容器用支持部が、平面視において前記載置体の横幅方向で前記載置体の前記切欠部の両側に離間して設けられ前記小容器の底面を下方から支持する一対の載置面と、前記一対の小容器用前方側特定被支持部と係合する左右一対の載置体側小容器用特定支持部と、前記小容器の左右の側部と当接して前記載置体の横幅方向に沿う前記小容器の移動を規制する規制面、及び、前記小容器を前記載置体の横幅方向において前記小容器用設定載置位置に位置決めすべく前記小容器の底面における前記横幅方向の両端部を案内する案内用傾斜部を備えた左右一対の小容器用位置決め部材と、を備えていることが好ましい。
【００２２】
すなわち、小容器は、平面視において載置体の横幅方向で載置体の切欠部の両側に離間して設けられ小容器の底面を下方から支持する一対の載置面によって、容器の横幅方向での傾斜を抑制される状態で安定して載置体に支持される。
また、小容器を支持体から載置体に移載するときに小容器の横幅方向での位置が小容器用設定載置位置からずれていても、左右一対の小容器用位置決め部材の案内用傾斜部によって、小容器を適切に小容器用設定載置位置に案内することができる。
さらに、小容器が載置体に載置された状態においては、小容器は、左右一対の載置体側小容器用特定支持部及び左右一対の小容器用位置決め部材の規制面によって、載置体の前後方向及び横幅方向において適切に小容器用設定載置位置に位置決めされる。
このように、小容器を小容器用設定載置位置に位置決めした状態で適切に支持することが可能な載置体を実現できる。
【００２３】
本発明に係る容器搬送設備においては、前記載置体が、前記載置体側支持部として、前記大容器を大容器用設定載置位置に位置決めした状態で当該大容器の底面を支持自在な載置体側大容器用支持部を備え、前記載置体側大容器用支持部が、平面視において前記載置体の横幅方向で前記載置体の前記切欠部の両側に離間して設けられかつ前記大容器の底面における前記横幅方向で離間した一対の被支持箇所を支持する一対の大容器用支持位置決め部材と、前記大容器用後方側特定被支持部を支持する載置体側大容器用特定支持部と、を備え、前記大容器用支持位置決め部材が、前記大容器の底面を下方から支持する載置面、前記大容器の側部と当接して前記載置体の横幅方向に沿う前記大容器の移動を規制する規制面、及び、前記大容器を前記載置体の横幅方向において前記大容器用設定載置位置に位置決めすべく前記大容器の底面における前記横幅方向の端部を案内する案内用傾斜部を備えていることが好ましい。
【００２４】
すなわち、大容器は、平面視において載置体の横幅方向で載置体の切欠部の両側に離間して設けられる一対の大容器用支持位置決め部材の夫々に備えられる載置面と、大容器用後方側特定被支持部を支持する載置体側大容器用特定支持部とによって、容器の横幅方向での傾斜を抑制される状態で安定して載置体に支持される。
また、大容器を支持体から載置体に移載するときに大容器の横幅方向での位置が大容器用設定載置位置からずれていても、左右一対の大容器用支持位置決め部材の案内用傾斜部によって、大容器を適切に大容器用設定載置位置に案内することができる。
さらに、大容器が載置体に載置された状態においては、大容器は、左右一対の大容器用支持位置決め部材の規制面によって、載置体の横幅方向において適切に大容器用設定載置位置に位置決めされる。
このように、大容器を大容器用設定載置位置に位置決めした状態で適切に支持することが可能な載置体を実現できる。
【００２５】
本発明に係る容器搬送設備においては、前記載置体側大容器用支持部は、前記大容器の底面が前記載置体側小容器用特定支持部の上端よりも上方となる高さで前記大容器を支持するように構成されていることが好ましい。
【００２６】
すなわち、大容器を載置体における載置体側大容器用支持部にて支持した状態において、大容器の底面が載置体側小容器用特定支持部と干渉することがない。このため、小容器を支持するための載置体側小容器用特定支持部を備えながらも、大容器をも適切に支持することが可能な載置体が実現できる。
【００２７】
本発明に係る容器搬送設備においては、前記小容器用位置決め部材と前記大容器用支持位置決め部材とが、単一の大小容器用位置決支持部材にて構成されていることが好ましい。
【００２８】
すなわち、小容器用位置決め部材と大容器用支持位置決め部材とを、単一の大小容器用位置決支持部材で構成することによって、部材数を削減して構成の簡素化が図れるとともに、取付等の作業を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】容器搬送設備を備えた半導体容器保管設備の要部を示す側面図
【図２】容器搬送設備を備えた半導体容器保管設備の平面図
【図３】支持体及び移動操作部の一部を示す斜視図
【図４】載置体の構成を示す斜視図
【図５】容器の授受時における支持体と載置体との位置関係を示す斜視図
【図６】支持体とそれに支持された大容器及び小容器との位置関係を示す平面図
【図７】支持体とそれに支持された大容器及び小容器との位置関係を示す側面図
【図８】載置体とそれに支持された大容器及び小容器との位置関係を示す平面図
【図９】載置体とそれに支持された大容器及び小容器との位置関係を示す正面図
【図１０】載置体とそれに支持された大容器及び小容器との位置関係を示す側面図
【図１１】載置体に大容器を移載するときの大容器の案内状態を示す側面図
【発明を実施するための形態】
【００３０】
本発明の容器搬送設備を半導体容器の保管設備に適用した場合の実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、基板容器保管設備ＳＴは、周囲を壁体にて包囲された内部に、半導体ウェハーを密閉状態で収容する容器Ｂ（ＳＥＭＩ規格で規定された容器であり、一般にＦＯＵＰと呼ばれる基板搬送用の容器である。）を下方から支持する載置体Ｓを複数備えて構成されている。
【００３１】
載置体Ｓは、後述する移載部Ｙにて容器Ｂが移載される移載対象箇所であり、図４に示すように、平面視で矩形状の板状体２０にて構成されている。板状体２０には、後述する支持体Ｊ（図３参照）が上下に通過自在な、平面視で凹入する切欠部２０ｋを形成する切欠形成部２１を備えている。載置体Ｓは、平面視において、板状体２０における切欠部２０ｋが基板容器保管設備ＳＴの中央部に向く形態で４つ備えられている。また、載置体Ｓは、上下方向に沿う支柱Ｍ１に支持される形態で、上下方向に離間して複数備えられている。
【００３２】
ここで、容器搬送設備の搬送対象である容器Ｂについて説明する。
本実施形態では、容器搬送設備は、ＳＥＭＩ規格（Ｅ４７．１）で規定された直径３００ｍｍのウェハー用の小容器Ｂ１と、ＳＥＭＩ規格（Ｅ１５８）で規定された直径４５０ｍｍのウェハー用の大容器Ｂ２との双方を搬送可能に構成されている。小容器Ｂ１及び大容器Ｂ２は、半導体基板を出し入れするための開口が前面に配置された前面開口式の容器である。
【００３３】
図６に示すように、小容器Ｂ１は、ＳＥＭＩ規格（Ｅ５７）に基づいて、その底面に、底面の中心部から放射状に配置される３つの長溝状の小容器用特定被支持部Ｂ１ｇを備えている。夫々の小容器用特定被支持部Ｂ１ｇは、溝状部の中央部に近づくほど容器内方側に凹入するように形成されており、溝状部の周縁部は小容器Ｂ１の底面Ｂ１ｍと段差のない状態で連続するように構成されている。３つの小容器用特定被支持部Ｂ１ｇは、小容器Ｂ１の横幅方向で離間し且つ平面視で小容器Ｂ１の前方側に位置する一対の小容器用前方側特定被支持部Ｂ１ｇｂと、小容器Ｂ１の横幅方向中央部で且つ平面視で小容器Ｂ１の前方側から離間した位置に位置する１つの小容器用後方側特定被支持部Ｂ１ｇａとから構成されている。
【００３４】
また、図６に示すように、大容器Ｂ２は、ＳＥＭＩ規格（Ｅ１５８）に基づいて、その底面に、底面の中心部から放射状に配置される３つの大容器用特定被支持部Ｂ２ｇを備えている。夫々の大容器用特定被支持部Ｂ２ｇは、溝状部の中央部に近づくほど容器内方側に凹入するように形成されており、溝状部の周縁部は大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍと段差のない状態で連続するように構成されている。３つの大容器用特定被支持部Ｂ２ｇは、大容器Ｂ２の横幅方向で離間し且つ平面視で大容器Ｂ２の中心より前方側に位置する一対の大容器用前方側特定被支持部Ｂ２ｇｂと、大容器Ｂ２の横幅方向中央部で且つ平面視で大容器Ｂ２の前面から内方側へ離間した位置に位置する１つの大容器用後方側特定被支持部Ｂ２ｇａとから構成されている。
【００３５】
図６に示すように、大容器Ｂ２は、横幅方向で小容器Ｂ１よりも幅広に構成される。
また、後述する支持体Ｊが小容器Ｂ１を支持した状態における一対の小容器用前方側特定被支持部Ｂ１ｇｂは、支持体Ｊが大容器Ｂ２を支持した状態における一対の大容器用前方側特定被支持部Ｂ２ｇｂよりも平面視で容器Ｂ（小容器Ｂ１、大容器Ｂ２）の横幅方向において内方側に位置するように構成されている。
【００３６】
図１及び図２に示すように、基板容器保管設備ＳＴの内部には、上下方向に沿う昇降案内マストＭ２が設けられ、昇降体Ｋが昇降案内マストＭ２に沿って昇降移動自在に支持されている。昇降体Ｋは、ワイヤＷにて吊り下げ支持されており、ワイヤＷの巻き取り又は繰り出しを行う昇降駆動部Ｖ１の作動によって、上昇移動及び下降移動自在に構成されている。また、容器Ｂを支持自在な支持体Ｊが、揺動アームＹＡ及び回動駆動部Ｙ１を介して昇降体Ｋに支持されている。
回動駆動部Ｙ１は支持体Ｊを平面視において支持支点周りで回動させるようになっている。また、揺動アームＹＡはアーム駆動部Ｖ２によって揺動駆動され、昇降体Ｋに対する回動駆動部Ｙ１の位置を調整することができる。
本実施形態においては、昇降駆動部Ｖ１、回動駆動部Ｙ１、揺動アームＹＡ、アーム駆動部Ｖ２、及び支持体Ｊにより移載部Ｙが構成されており、昇降駆動部Ｖ１、回動駆動部Ｙ１、揺動アームＹＡ、アーム駆動部Ｖ２によって移動操作部が構成されている。したがって、移載部Ｙは、支持体Ｊを少なくとも上下方向に移動操作する移動操作部を備えている。
図３に示すように、回動駆動部Ｙ１には、当該回動駆動部Ｙ１から横幅方向両側に延出する基部１３が取り付けられ、基部１３の横幅方向中央部に、平板状でかつ基部１３から水平方向に突出する突出部１０を備えている。
すなわち、支持体Ｊは、移動操作部が接続される基部１３と、基部１３から水平方向に突出して容器Ｂの移載時に切欠部２０ｋを上下方向に通過する突出部１０とを備えている。
【００３７】
突出部１０は、図３に示すように平面視で、基部１３側が矩形状、先端側が三角形状となる形態に構成され、かつ、図５に示すように、矩形状部分の横幅方向での寸法が、載置体Ｓの切欠部２０ｋの横幅方向での寸法よりも幅狭に構成されている。
移載部Ｙは、回動駆動部Ｙ１及びアーム駆動部Ｖ２を作動させることによって、突出部１０の突出方向と、載置体Ｓの切欠部２０ｋの凹入方向とを合わせることができるようになっている。上述のように、突出部１０の矩形状部分の横幅方向での寸法は、載置体Ｓの切欠部２０ｋの横幅方向での寸法よりも小さいため、突出部１０は、載置体Ｓの切欠部２０ｋを上下方向に通過することができる。
また、図６に示すように、突出部１０の横幅は、容器Ｂ（小容器Ｂ１、大容器Ｂ２）の横幅よりも短く形成されている。
【００３８】
基部１３の横幅方向両端部の夫々には、図２、３、５、６に示すように、大容器Ｂ２の底面における基部１３側の縁部の横幅方向両隅部を支持する支持体側大容器用縁部支持部１４が設けられている。
すなわち、支持体側大容器用縁部支持部１４が、支持体Ｊの横幅方向に分散して複数配置されており、かつ、それら支持体側大容器用縁部支持部１４は、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍにおける基部１３側の両隅部を支持するように設けられている。
【００３９】
また、突出部１０には、小容器Ｂ１の３つの小容器用特定被支持部Ｂ１ｇと係合することで、小容器Ｂ１を支持体における移載用位置にて位置決めした状態で小容器Ｂ１の底面Ｂ１ｍを支持する３つの支持体側小容器用特定支持部１１を備えている。
さらに、突出部１０の先端には、大容器Ｂ２の大容器用後方側特定被支持部Ｂ２ｇａを支持する支持体側大容器用特定支持部１５が備えられている。
支持体Ｊは、大容器Ｂ２を支持するときには、当該大容器Ｂ２を、支持体側大容器用縁部支持部１４と支持体側大容器用特定支持部１５とで支持するように構成されている。
【００４０】
本実施形態において、支持体側小容器用特定支持部１１、支持体側大容器用縁部支持部１４、及び、支持体側大容器用特定支持部１５が、支持体側支持部に相当する。
すなわち、半導体基板を出し入れするための開口が前面に配置された容器Ｂを下方から支持する支持体Ｊが設けられ、支持体Ｊは、支持体側支持部として、小容器Ｂ１の底面Ｂ１ｍにおける３つの小容器用特定被支持部Ｂ１ｇを支持する３つの支持体側小容器用特定支持部１１と、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍにおける外周部の基部１３側の縁部を支持する支持体側大容器用縁部支持部１４と、を備えて構成されている。
したがって、支持体Ｊは、容器Ｂ（小容器Ｂ１、大容器Ｂ２）を当該支持体Ｊにおける移載用位置にて位置決めした状態で当該容器Ｂの底面を支持することになる。
【００４１】
図７に示すように、支持体側大容器用縁部支持部１４及び支持体側大容器用特定支持部１５は、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍが支持体側小容器用特定支持部１１の上端よりも上方となる高さで大容器Ｂ２を支持するように構成されている。
【００４２】
次に、載置体Ｓの構成について説明する。図４に示すように、載置体Ｓには、平面視において載置体Ｓの横幅方向で切欠部２０ｋの両側に離間して、小容器Ｂ１の底面Ｂ１ｍを下方から支持する一対の載置面４２と、小容器Ｂ１における一対の小容器用前方側特定被支持部Ｂ１ｇｂと係合する左右一対の載置体側小容器用特定支持部４１とが設けられている。また、載置体Ｓの横幅方向で一対の載置面４２の外方には、大小容器用位置決支持部材５０が設けられている。さらに、載置体Ｓの横幅方向で切欠部２０ｋの中央部分で、かつ、奥行き方向で奥側には、大容器Ｂ２の大容器用後方側特定被支持部Ｂ２ｇａを支持する載置体側大容器用特定支持部３１が設けられている。さらに、大容器用後方側特定被支持部Ｂ２ｇａよりも奥側に、大容器前後位置決めブロック３２が載置体Ｓの横幅方向に離間して一対設けられている。大容器前後位置決めブロック３２は、載置体Ｓの前方側が後方側よりも低い位置となるように傾斜する傾斜面３２ｃを備えている。
載置体Ｓを構成する板状体２０の横幅方向両端部には、傾斜部２２が板状体２０を打ち抜き及び折り曲げ形成する形態で設けられている。傾斜部２２は、横幅方向の外方側が高い位置となるように形成されている。
【００４３】
一対の大小容器用位置決支持部材５０の夫々は、一対の大小容器用位置決支持部材５０の並び方向（以下単に並び方向と称する）で最内方側に垂直面状に形成される規制面５１、規制面５１の上下方向最高部から並び方向で外方側に向けて傾斜状に連続する案内用傾斜部５２、案内用傾斜部５２の上下方向最高部から並び方向外方側に向けて水平に連続する載置面５３、載置面５３の並び方向外方部分から連続して垂直面状に起立する規制面５４、及び、規制面５４の上下方向最高部から並び方向外方側に向けて傾斜状に連続する案内用傾斜部５５を備えている。なお、本実施形態では、一対の大小容器用位置決支持部材５０の夫々は、金属部材の切削加工にて構成している。
本実施形態では、後述する小容器用位置決め部材と大容器用支持位置決め部材とが、単一の大小容器用位置決支持部材５０にて構成されている。
【００４４】
以下、本実施形態において、支持体Ｊが支持する容器Ｂを載置体Ｓに移載する場合を、移載対象の容器Ｂが小容器Ｂ１である場合と移載対象の容器Ｂが大容器Ｂ２である場合とに分けて説明する。
【００４５】
まず、支持体Ｊにて支持している小容器Ｂ１を載置体Ｓに移載する場合について説明する。
小容器Ｂ１は、図６及び図７に示すように、突出部１０の突出方向に小容器Ｂ１の前方から後方へ向かう方向が沿う姿勢で、かつ、平面視で小容器用設定載置位置（図８の二点鎖線）に位置決めされた状態で、支持体Ｊに支持される。
このとき、小容器Ｂ１の底面Ｂ１ｍに備えられる小容器用特定被支持部Ｂ１ｇは、支持体Ｊに備えられる載置体側小容器用特定支持部４１と係合する状態となっている。
【００４６】
そして、支持体Ｊにて支持する小容器Ｂ１を載置体Ｓに移載する場合には、小容器Ｂ１を支持した支持体Ｊの突出部１０が平面視で載置体Ｓの切欠部２０ｋと重複する位置となるように回動駆動部Ｙ１、揺動アームＹＡ、及び、アーム駆動部Ｖ２を作動させ、かつ、小容器Ｂ１を支持した支持体Ｊの突出部１０が載置体Ｓの切欠部２０ｋを下方に向けて通過するように、昇降駆動部Ｖ１を作動させる。
これにより、支持体Ｊに支持される小容器Ｂ１は、載置体Ｓに設けられている一対の載置面４２にて支持される状態となる。また、小容器Ｂ１が載置体Ｓに支持された状態においては、左右一対の大小容器用位置決支持部材５０に備える規制面５１が小容器Ｂ１の左右の側部と当接して当該小容器Ｂ１の前記横幅方向に沿う移動を規制する。
【００４７】
本実施形態では、規制面５１及び案内用傾斜部５２を備える大小容器用位置決支持部材５０が小容器用位置決め部材に相当する。したがって、小容器用位置決め部材が、載置体Ｓに、その横幅方向に離間して左右一対備えられている。
また、本実施形態では、一対の載置面４２と一対の載置体側小容器用特定支持部４１と左右一対の小容器用位置決支持部材とが載置体側小容器用支持部４０に相当する。
すなわち、載置体側小容器用支持部４０が、平面視において載置体Ｓの横幅方向で載置体Ｓの切欠部２０ｋの両側に離間して設けられ小容器Ｂ１の底面Ｂ１ｍを下方から支持する一対の載置面４２と、一対の小容器用前方側特定被支持部Ｂ１ｇｂと係合する左右一対の載置体側小容器用特定支持部４１と、小容器Ｂ１の左右の側部と当接して当該小容器の横幅方向に沿う移動を規制する規制面５１、及び、小容器Ｂ１を横幅方向において小容器用設定載置位置に位置決めすべく小容器Ｂ１の底面Ｂ１ｍにおける横幅方向の両端部を案内する案内用傾斜部５２を備えた左右一対の大小容器用位置決支持部材５０と、を備えて構成されている。
【００４８】
なお、移載前の状態において、支持体Ｊに支持された小容器Ｂ１が載置体Ｓにおける小容器用設定載置位置からずれた位置となっている場合がある。このような場合には、支持体Ｊの下降移動に伴って、左右一対の載置体側小容器用特定支持部４１の上端部に一対の小容器用前方側特定被支持部Ｂ１ｇｂの凹入部分内面が案内される形態で、かつ、小容器Ｂ１の底面Ｂ１ｍにおける容器横幅方向での両端部分が案内用傾斜部５２に案内される形態で、小容器Ｂ１を小容器用設定載置位置に案内することになる。
【００４９】
次に、支持体Ｊにて支持している大容器Ｂ２を載置体Ｓに移載する場合について説明する。
大容器Ｂ２は、図６及び図７に示すように、突出部１０の突出方向に大容器Ｂ２の前方から後方へ向かう方向が沿う姿勢で、かつ、平面視で大容器用設定載置位置（図８の二点鎖線）に位置決めされた状態で、支持体Ｊに支持される。
このとき、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍに備えられる３つの大容器用特定被支持部Ｂ２ｇのうち容器後方側の大容器用後方側特定被支持部Ｂ２ｇａは、支持体Ｊに備えられる支持体側大容器用特定支持部１５に支持されている。また、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍにおける外周部の基部１３側の縁部は、一対の支持体側大容器用縁部支持部１４に支持されている。
【００５０】
そして、大容器Ｂ２を支持している支持体Ｊの突出部１０が平面視で載置体Ｓの切欠部２０ｋと重複する位置となるように回動駆動部Ｙ１、揺動アームＹＡ、及び、アーム駆動部Ｖ２を作動させ、かつ、大容器Ｂ２を支持している支持体Ｊの突出部１０が載置体Ｓの切欠部２０ｋを下方に向けて通過するように、昇降駆動部Ｖ１を作動させる。
これにより、支持体Ｊに支持される大容器Ｂ２は、載置体Ｓに設けられている大小容器用位置決支持部材５０の載置面５３と載置体側大容器用特定支持部３１とで支持される状態となる。また、大容器Ｂ２が載置体Ｓに支持されている状態においては、左右一対の大小容器用位置決支持部材５０に備える規制面５４が大容器Ｂ２の左右の側部と当接して当該大容器Ｂ２の横幅方向に沿う移動を規制する。
また、図９、図１０に示すように、大小容器用位置決支持部材５０の載置面５３と載置体側大容器用特定支持部３１は、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍが載置体側小容器用特定支持部４１の上端よりも上方となる高さで大容器Ｂ２を支持するように構成されている。
【００５１】
本実施形態では、載置面５３、規制面５４、及び案内用傾斜部５５を備える大小容器用位置決支持部材５０が大容器用支持位置決め部材に相当する。したがって、大容器用支持位置決め部材が、載置体Ｓに、その横幅方向に離間して左右一対備えられている。
本実施形態では、載置体側大容器用特定支持部３１と一対の大容器用支持位置決め部材が載置体側大容器用支持部３０に相当する。すなわち、載置体側大容器用支持部３０が、載置体側大容器用特定支持部３１と左右一対の大小容器用位置決支持部材５０とを備えて構成されている。
載置体側大容器用特定支持部３１は大容器用後方側特定被支持部Ｂ２ｇａを支持するように構成されている。
そして、一対の大小容器用位置決支持部材５０の夫々は、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍを支持する載置面５３と、大容器Ｂ２の側部と当接して当該大容器Ｂ２の横幅方向に沿う移動を規制する規制面５４、及び、大容器Ｂ２を横幅方向において大容器用設定載置位置に位置決めすべく大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍにおける横幅方向の端部を案内する案内用傾斜部５５を備えている。
【００５２】
なお、大容器Ｂ２を支持体Ｊから載置体Ｓに移載するに当たり、移動操作部の移動精度等に起因して、支持体Ｊが平面視で大容器用設定載置位置に対応する適正位置からずれている場合がある。このような場合、支持体Ｊに支持された大容器Ｂ２は、次のようにして大容器用設定載置位置に案内される。
すなわち、支持体Ｊが下方に移動操作されて切欠部２０ｋを通過するに伴い、大容器Ｂ２の側部に形成される膨出部が傾斜部２２にて横幅方向に案内され、かつ、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍにおける容器横幅方向での両端部分が案内用傾斜部５５にて横幅方向に案内される。このようにして、大容器Ｂ２は、横幅方向で容器用設定載置位置に案内される。
また、支持体Ｊが下方に移動操作されて切欠部２０ｋを通過するに伴い、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍにおける容器前後方向後方側の端部が大容器前後位置決めブロック３２の傾斜面３２ｃにて前後方向に案内される。このようにして、大容器Ｂ２は、前後方向で容器用設定載置位置に案内される。
【００５３】
このように、本実施形態においては、載置体Ｓが、載置体側支持部として、小容器Ｂ１を小容器用設定載置位置に位置決めした状態で当該小容器Ｂ１の底面Ｂ１ｍを支持自在な載置体側小容器用支持部４０と、大容器Ｂ２を大容器用設定載置位置に位置決めした状態で当該大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍを支持自在な載置体側大容器用支持部３０とを備えている。すなわち、載置体Ｓは、平面視にて切欠部２０ｋの周方向での異なる位置に分散して配置された複数の載置体側支持部を備えている。
【００５４】
そして、容器Ｂを支持している支持体Ｊの突出部１０が切欠部２０ｋを下方に向けて通過することで、複数の載置体側支持部により容器Ｂ（小容器Ｂ１、大容器Ｂ２）を載置体Ｓに対して横幅方向で位置決めした状態で容器Ｂ（小容器Ｂ１、大容器Ｂ２）の底面が受止め支持され、容器Ｂ（小容器Ｂ１、大容器Ｂ２）が支持体Ｊから載置体Ｓに移載される。
【００５５】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、大容器Ｂ２の底面における外周部の基部１３側の縁部を支持する支持体側大容器用縁部支持部１４を、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍにおける基部１３側の両隅部を支持するように一対設ける構成としたが、このような構成に限定されるものではなく、支持体側大容器用縁部支持部１４を大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍの基部１３側における隅部よりも内方の複数個所を支持するように設けてもよい。この場合において、支持体側大容器用縁部支持部１４の個数は、３以上としてもよい。
また、上記実施形態では、支持体側大容器用縁部支持部１４を大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍにおける基部１３側の両隅部を支持するように設ける構成としたが大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍの基部１３側を横幅方向の全体に亘って支持する構成としてもよい。
【００５６】
（２）上記実施形態では、小容器用位置決め部材と大容器用支持位置決め部材とを、単一の大小容器用位置決支持部材５０にて構成する例を示したが、小容器用位置決め部材と大容器用支持位置決め部材とを別の部材としてもよい。
【００５７】
（３）上記実施形態では、支持体Ｊにおいて大容器Ｂ２の後方側を支持するに当たり、支持体Ｊにおける突出部１０先端部に大容器Ｂ２における大容器用特定被支持部Ｂ２ｇを支持する支持体側大容器用特定支持部１５を設ける構成を例示したが、このような構成に限定されるものではなく、大容器Ｂ２の後方側を支持する支持部を、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍを載置する形態のものとしてもよい。
【００５８】
（４）上記実施形態では、載置体側小容器用支持部４０として、載置体Ｓの切欠部２０ｋの横幅方向両側に形成される一対の載置面４２と、一対の小容器用前方側特定被支持部Ｂ１ｇｂと係合する左右一対の載置体側小容器用特定支持部４１と、小容器の左右の側部と当接して当該小容器の横幅方向に沿う移動を規制する規制面５１、及び、小容器Ｂ１を載置体Ｓの横幅方向において小容器用設定載置位置に位置決めすべく小容器Ｂ１の底面における横幅方向の両端部を案内する案内用傾斜部５２を備えた左右一対の小容器用位置決め部材と、を備える構成を例示したが、これらのうち、例えば、載置体側小容器用特定支持部４１を備えない構成としてもよい。また、回動駆動部Ｙ１、揺動アームＹＡ、及び、アーム駆動部Ｖ２による突出部１０の移動精度が十分である場合、案内用傾斜部５２を設けない構成としてもよい。
【００５９】
（５）上記実施形態では、載置体側大容器用支持部３０として、大容器用後方側特定被支持部Ｂ２ｇａを支持する載置体側大容器用特定支持部３１と、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍを下方から支持する載置面５３、大容器Ｂ２の側部と当接して当該大容器Ｂ２の横幅方向に沿う移動を規制する規制面５４、及び、大容器Ｂ２を横幅方向において大容器用設定載置位置に位置決めすべく大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍにおける横幅方向の端部を案内する案内用傾斜部５５を備える構成を例示したが、回動駆動部Ｙ１、揺動アームＹＡ、及び、アーム駆動部Ｖ２による突出部１０の移動精度が十分である場合、これらのうち、案内用傾斜部５５を備えない構成としてもよい。
【００６０】
（６）上記実施形態では、載置体側大容器用支持部３０を、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍが載置体側小容器用特定支持部４１の上端よりも上方となる高さで大容器を支持するように構成する例を説明したが、載置体側小容器用特定支持部４１と大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍとが干渉しない構成であれば、大容器Ｂ２の底面Ｂ２ｍの高さは上記に限定されるものではない。
【００６１】
（７）上記実施形態では、容器搬送設備を半導体容器の保管設備において使用する場合について説明したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、半導体処理設備におけるロードポートに載置体Ｓを設け、ロードポートに容器Ｂを搬送する搬送装置に支持体Ｊを設ける構成とする等、半導体容器の保管設備以外の各種の設備において使用することができる。
【符号の説明】
【００６２】
１０      突出部
１１      支持体側小容器用特定支持部
１１      支持体側支持部
１３      基部
１４      支持体側大容器用縁部支持部
１５      支持体側大容器用特定支持部
２０ｋ    切欠部
３０      載置体側大容器用支持部
３１      載置体側大容器用特定支持部
４０      載置体側小容器用支持部
４１      載置体側小容器用特定支持部
４２      載置面
５０      大小容器用位置決支持部材
５１      規制面
５２      案内用傾斜部
５３      載置面
５４      規制面
５５      案内用傾斜部
Ｂ        容器
Ｂ１      小容器
Ｂ１ｇ    小容器用特定被支持部
Ｂ１ｇａ  小容器用後方側特定被支持部
Ｂ１ｇｂ  小容器用前方側特定被支持部
Ｂ１ｍ、Ｂ２ｍ    底面
Ｂ２      大容器
Ｂ２ｇ    大容器用特定被支持部
Ｂ２ｇａ  大容器用後方側特定被支持部
Ｂ２ｇｂ  大容器用前方側特定被支持部
Ｊ        支持体
Ｓ        載置体
Ｙ        移載部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0006052209.tif 000008
【図８】
0006052209.tif 000009
【図９】
0006052209.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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