(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第１の画像データを出力する第１の撮像処理を実行する第１の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第１の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構と、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を記憶する記憶部と、前記搬送機構による前記基板保持部の搬送、前記第１の撮像部による前記第１の撮像処理、および前記移動機構による前記プロービング処理を制御する処理部とを備えた基板検査装置であって、
前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられると共に、前記プロービング処理の実行位置において前記ユニット保持部を撮像して第２の画像データを出力する第２の撮像処理を実行する第２の撮像部を備え、
前記ユニット保持部には、保持部位置特定用マークが設けられ、
前記記憶部は、前記移動制御情報に従って前記第２の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第２の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報、および前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第１の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報を記憶し、
前記処理部は、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第１の撮像部を制御して前記第１の撮像処理を実行させ、かつ、前記第１の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と前記撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得して前記記憶部に記憶させ、当該撮像部位置情報に基づいて前記移動制御情報を補正した補正情報取得時移動制御情報に従って前記移動機構を制御して前記第２の撮像処理の実行位置に前記ユニット保持部を移動させると共に、前記第２の撮像部を制御して前記第２の撮像処理を実行させ、かつ、前記第２の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と前記保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、前記プロービング処理において使用する前記移動制御情報を補正するための補正情報として取得して前記記憶部に記憶させる補正情報取得処理を実行する基板検査装置。
【請求項２】
検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第１の画像データを出力する第１の撮像処理を実行する第１の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第１の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構と、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を記憶する記憶部と、前記搬送機構による前記基板保持部の搬送、前記第１の撮像部による前記第１の撮像処理、および前記移動機構による前記プロービング処理を制御する処理部とを備えた基板検査装置であって、
前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられると共に、前記プロービング処理の実行位置において前記ユニット保持部を撮像して第２の画像データを出力する第２の撮像処理を実行する第２の撮像部を備え、
前記ユニット保持部には、保持部位置特定用マークが設けられ、
前記記憶部は、前記移動制御情報に従って前記第２の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第２の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報、および前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第１の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報を記憶し、
前記処理部は、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第１の撮像部を制御して前記第１の撮像処理を実行させ、かつ、前記第１の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と前記撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得して前記記憶部に記憶させ、前記移動制御情報に従って前記移動機構を制御して前記第２の撮像処理の実行位置に前記ユニット保持部を移動させると共に、前記第２の撮像部を制御して前記第２の撮像処理を実行させ、かつ、前記第２の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と前記保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記撮像部位置情報に基づいて補正し、補正した当該位置ずれ量および当該位置ずれの方向を、前記プロービング処理において使用する前記移動制御情報を補正するための補正情報として取得して前記記憶部に記憶させる補正情報取得処理を実行する基板検査装置。
【請求項３】
検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第１の画像データを出力する第１の撮像処理を実行する第１の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第１の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構とを備えた基板検査装置において、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を補正するための補正情報を取得する補正情報取得方法であって、
前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられた第２の撮像部を使用し、
前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第１の撮像部を制御して前記第１の撮像処理を実行させ、かつ、前記第１の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と、前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第１の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得し、当該撮像部位置情報に基づいて前記移動制御情報を補正した補正情報取得時移動制御情報に従って前記移動機構を制御して、保持部位置特定用マークが設けられた前記ユニット保持部を前記第２の撮像部によって撮像して第２の画像データを出力させる第２の撮像処理の実行位置に当該ユニット保持部を移動させると共に、前記第２の撮像部を制御して前記第２の撮像処理を実行させ、かつ、前記第２の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と、前記移動制御情報に従って前記第２の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第２の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記補正情報として取得する補正情報取得方法。
【請求項４】
検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第１の画像データを出力する第１の撮像処理を実行する第１の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第１の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構とを備えた基板検査装置において、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を補正するための補正情報を取得する補正情報取得方法であって、
前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられた第２の撮像部を使用し、
前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第１の撮像部を制御して前記第１の撮像処理を実行させ、かつ、前記第１の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と、前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第１の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得し、前記移動制御情報に従って前記移動機構を制御して、保持部位置特定用マークが設けられた前記ユニット保持部を前記第２の撮像部によって撮像して第２の画像データを出力させる第２の撮像処理の実行位置に当該ユニット保持部を移動させると共に、前記第２の撮像部を制御して前記第２の撮像処理を実行させ、かつ、前記第２の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と、前記移動制御情報に従って前記第２の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第２の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記撮像部位置情報に基づいて補正し、補正した当該位置ずれ量および当該位置ずれの方向を前記補正情報として取得する補正情報取得方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象基板を保持した状態の基板保持部に対してプローブユニットを保持した状態のユニット保持部を移動させることでプローブユニットの検査用プローブを検査対象基板にプロービングさせる基板検査装置、および基板保持部に対してユニット保持部を移動させる移動制御情報を補正するための補正情報を取得する補正情報取得方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特開２０１０−１６９６５１号公報には、検査治具に配設された複数の検査用プローブを検査基板の配線パターンに当接させて配線パターンの良否を検査する基板検査装置が開示されている。この基板検査装置は、検査基板を載置可能に構成されると共に補助カメラ保持部を介して補助カメラが取り付けられた搬送テーブルと、搬送テーブルをＸ軸に沿って移動させる基板移動部と、検査治具を保持可能に構成された検査治具保持部をＹＺ面内で移動させる第１および第２の検査治具移動部と、第１および第２の検査治具移動部に取り付けられた主カメラと、基板移動部、第１および第２の検査治具移動部、主カメラとおよび補助カメラ等の動作を制御する制御装置とを備えて構成されている。この場合、上記の補助カメラ保持部には、テーブル位置決めマークが設けられ、検査治具には、治具位置決めマークが設けられ、検査基板には、基板位置決めマークが設けられている。
【０００３】
この基板検査装置では、新たな検査治具および検査基板をセットしたときに、「プロービング位置の誤差」をキャンセルするための誤差データを取得する処理を実行する。具体的には、搬送テーブルを移動させて主カメラの下方に補助カメラ保持部を位置させた状態において主カメラによって補助カメラ保持部（テーブル位置決めマーク）を撮像する。この際には、制御装置によって主カメラの撮像結果が解析されてテーブル位置決めマークの位置が特定され、特定された位置と、設計上の位置との差（ずれ）が算出される。この際に算出された差は、「第１の差」として主記憶部に記憶される。この「第１の差」を取得することにより、基板移動部による搬送テーブルの移動時に生じる位置ずれをキャンセルすることが可能となる。
【０００４】
また、搬送テーブルを移動させて主カメラの下方に検査基板を位置させた状態において主カメラによって検査基板（基板位置決めマーク）を撮像する。この際には、制御装置によって主カメラの撮像結果が解析されて基板位置決めマークの位置が特定されると共に、主カメラの下方に上記のテーブル位置決めマークが位置した状態から、主カメラの下方に基板位置決めマークが位置する状態までの移動距離（すなわち、テーブル位置決めマークに対する基板位置決めマークの相対的位置）が特定される。また、制御装置は、特定した相対的位置と設計上の位置との差（ずれ）を「第２の差」として算出して主記憶部に記憶させる。この「第２の差」を取得することにより、搬送テーブルに対する検査基板の位置ずれをキャンセルすることが可能となる。
【０００５】
また、搬送テーブルを移動させて補助カメラによって検査治具（治具位置決めマーク）を撮像する。この際には、制御装置によって主カメラの撮像結果が解析されて治具位置決めマークの位置（すなわち、検査用プローブの位置）が特定され、特定された位置と、設計上の位置との差（ずれ）が算出される。この際に算出された差は、「第３の差」として主記憶部に記憶される。この「第３の差」を取得することにより、検査治具保持部に対する検査治具の位置ずれや、検査治具移動部による検査治具保持部（検査治具）の移動時に生じる位置ずれをキャンセルすることが可能となる。したがって、上記の「第１の差」、「第２の差」および「第３の差」に応じて各部の移動量等を補正することで、検査基板に対して検査用プローブを正確にプロービングすることが可能となる。
【０００６】
なお、この基板検査装置では、主カメラや補助カメラの撮像結果に基づく上記の「第１の差」、「第２の差」および「第３の差」に応じて位置ずれを補正した「光学位置」と、検査対象基板に対する電気的検査の結果で特定される「適合位置」との間にずれが生じているときに、「第４の差」を取得して主記憶部に記憶させる構成が採用されているが、この「第４の差」に関する説明を省略する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−１６９６５１号公報（第６−１６頁、第１−１３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、従来の基板検査装置、およびその誤差データの取得方法には、以下の解決すべき問題点が存在する。すなわち、従来の基板検査装置では、検査治具移動部による検査治具保持部（検査治具）の移動時に生じる位置ずれをキャンセルし得る誤差データ（第３の差）を取得する際に、補助カメラによって検査治具を撮像して、検査治具に設けられた治具位置決めマークの位置を特定して設計上の位置との差を演算する構成（方法）が採用されている。この場合、この種の基板検査装置では、大きさ、形状および配線パターンの種類等が相違する各種の基板を検査可能とするために、検査対象基板に応じた各種の検査治具を検査治具保持部にセットする（保持させる）ことができるように構成されている。
【０００９】
このため、この種の基板検査装置では、どのような基板を検査対象とするかが未定の状態（例えば、製造完了直後）においては、検査治具保持部に検査治具がセットされていない。したがって、補助カメラによって検査治具を撮像して誤差データを取得する構成の従来の基板検査装置では、検査治具移動部による検査治具保持部の移動時に製造誤差に起因する位置ずれが生じる状態であったとしても、検査治具保持部に検査治具がセットされた状態となるまで、その位置ずれをキャンセルし得る誤差データを取得することができないという問題点がある。このため、従来の基板検査装置、およびその誤差データの取得方法では、プロービングに際して製造誤差に起因する位置ずれが生じる状態のまま基板検査装置を利用者に対して納品せざるを得ず、基板検査装置の品質の向上が困難となっているという問題点が存在する。
【００１０】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、ユニット保持部によってプローブユニットが保持されていない状態においても、移動機構によるユニット保持部の移動に際して生じる位置ずれをキャンセル可能な補正情報を取得し得る基板検査装置および補正情報取得方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査装置は、検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第１の画像データを出力する第１の撮像処理を実行する第１の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第１の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構と、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を記憶する記憶部と、前記搬送機構による前記基板保持部の搬送、前記第１の撮像部による前記第１の撮像処理、および前記移動機構による前記プロービング処理を制御する処理部とを備えた基板検査装置であって、前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられると共に、前記プロービング処理の実行位置において前記ユニット保持部を撮像して第２の画像データを出力する第２の撮像処理を実行する第２の撮像部を備え、
前記ユニット保持部には、保持部位置特定用マークが設けられ、前記記憶部は、前記移動制御情報に従って前記第２の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第２の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報、および前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第１の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報を記憶し、前記処理部は、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第１の撮像部を制御して前記第１の撮像処理を実行させ、かつ、前記第１の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と前記撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得して前記記憶部に記憶させ、当該撮像部位置情報に基づいて前記移動制御情報を補正した補正情報取得時移動制御情報に従って前記移動機構を制御して前記第２の撮像処理の実行位置に前記ユニット保持部を移動させると共に、前記第２の撮像部を制御して前記第２の撮像処理を実行させ、かつ、前記第２の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と前記保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、前記プロービング処理において使用する前記移動制御情報を補正するための補正情報として取得して前記記憶部に記憶させる補正情報取得処理を実行する。
【００１３】
さらに、請求項２記載の基板検査装置は、検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第１の画像データを出力する第１の撮像処理を実行する第１の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第１の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構と、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を記憶する記憶部と、前記搬送機構による前記基板保持部の搬送、前記第１の撮像部による前記第１の撮像処理、および前記移動機構による前記プロービング処理を制御する処理部とを備えた基板検査装置であって、前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられると共に、前記プロービング処理の実行位置において前記ユニット保持部を撮像して第２の画像データを出力する第２の撮像処理を実行する第２の撮像部を備え、前記ユニット保持部には、保持部位置特定用マークが設けられ、前記記憶部は、前記移動制御情報に従って前記第２の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第２の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報、および前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第１の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報を記憶し、前記処理部は、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第１の撮像部を制御して前記第１の撮像処理を実行させ、かつ、前記第１の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と前記撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得して前記記憶部に記憶させ、前記移動制御情報に従って前記移動機構を制御して前記第２の撮像処理の実行位置に前記ユニット保持部を移動させると共に、前記第２の撮像部を制御して前記第２の撮像処理を実行させ、かつ、前記第２の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と前記保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記撮像部位置情報に基づいて補正し、補正した当該位置ずれ量および当該位置ずれの方向を、前記プロービング処理において使用する前記移動制御情報を補正するための補正情報として取得して前記記憶部に記憶させる補正情報取得処理を実行する。
【００１４】
また、請求項３記載の補正情報取得方法は、検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第１の画像データを出力する第１の撮像処理を実行する第１の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第１の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構とを備えた基板検査装置において、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を補正するための補正情報を取得する補正情報取得方法であって、前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられた第２の撮像部を使用し、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第１の撮像部を制御して前記第１の撮像処理を実行させ、かつ、前記第１の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と、前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第１の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得し、当該撮像部位置情報に基づいて前記移動制御情報を補正した補正情報取得時移動制御情報に従って前記移動機構を制御して、保持部位置特定用マークが設けられた前記ユニット保持部を前記第２の撮像部によって撮像して第２の画像データを出力させる第２の撮像処理の実行位置に当該ユニット保持部を移動させると共に、前記第２の撮像部を制御して前記第２の撮像処理を実行させ、かつ、前記第２の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と、前記移動制御情報に従って前記第２の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第２の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記補正情報として取得する。
【００１６】
さらに、請求項４記載の補正情報取得方法は、検査対象基板を保持する基板保持部と、検査用プローブが配設されたプローブユニットを保持するユニット保持部と、前記基板保持部に対して前記ユニット保持部を移動させて当該ユニット保持部によって保持されている前記プローブユニットの前記検査用プローブを当該基板保持部によって保持されている前記検査対象基板にプロービングさせるプロービング処理を実行する移動機構と、前記基板保持部における前記検査対象基板の保持位置を撮像して第１の画像データを出力する第１の撮像処理を実行する第１の撮像部と、前記プロービング処理の実行位置および前記第１の撮像処理の実行位置に前記基板保持部を搬送する搬送機構とを備えた基板検査装置において、前記移動機構によって前記ユニット保持部を移動させる際の移動量および移動方向を特定可能な移動制御情報を補正するための補正情報を取得する補正情報取得方法であって、前記基板保持部によって保持可能に当該基板保持部とは別体に構成されて撮像部位置特定用マークが設けられた補正情報取得用基板に取り付けられた第２の撮像部を使用し、前記搬送機構を制御して前記補正情報取得用基板を保持している前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、前記第１の撮像部を制御して前記第１の撮像処理を実行させ、かつ、前記第１の画像データに基づいて特定される前記撮像部位置特定用マークの位置と、前記補正情報取得用基板を保持した前記基板保持部を前記第１の撮像処理の実行位置に位置させた状態における前記撮像部位置特定用マークの前記第１の撮像部に対する基準の位置を特定可能な撮像部マーク位置情報に基づいて特定される当該撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得し、前記移動制御情報に従って前記移動機構を制御して、保持部位置特定用マークが設けられた前記ユニット保持部を前記第２の撮像部によって撮像して第２の画像データを出力させる第２の撮像処理の実行位置に当該ユニット保持部を移動させると共に、前記第２の撮像部を制御して前記第２の撮像処理を実行させ、かつ、前記第２の画像データに基づいて特定される前記保持部位置特定用マークの位置と、前記移動制御情報に従って前記第２の撮像処理の実行位置に移動させた状態の前記ユニット保持部における前記保持部位置特定用マークの前記第２の撮像部に対する基準の位置を特定可能な保持部マーク位置情報に基づいて特定される当該保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を前記撮像部位置情報に基づいて補正し、補正した当該位置ずれ量および当該位置ずれの方向を前記補正情報として取得する。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１，２記載の基板検査装置、および請求項３，４記載の補正情報取得方法では、移動制御情報に従って移動機構を制御して第２の撮像部による第２の撮像処理の実行位置にユニット保持部を移動させると共に、第２の撮像部を制御して第２の撮像処理を実行させてユニット保持部を撮像させ、かつ、第２の撮像部から出力された第２の画像データに基づいて特定される保持部位置特定用マークの位置と、保持部マーク位置情報に基づいて特定される保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、移動機構によってユニット保持部を移動させる際に使用する移動制御情報を補正するための補正情報として取得する。
【００１８】
したがって、請求項１，２記載の基板検査装置、および請求項３，４記載の補正情報取得方法によれば、誤差データの取得に際して検査治具を撮像することを要件とする従来の基板検査装置、およびその誤差データの取得方法とは異なり、ユニット保持部によってプローブユニットが保持されていない状態においても、移動機構がユニット保持部を移動させる際に生じる位置ずれをキャンセル可能な補正情報を取得することができる。これにより、例えば、基板検査装置を利用者に対して納品する前に補正情報を取得することで、プロービングに際して製造誤差に起因する位置ずれが生じる状態のまま基板検査装置が利用者に対して納品される事態を回避することができるため、基板検査装置の品質を十分に向上させることができる。
【００１９】
また、請求項１記載の基板検査装置、および請求項３記載の補正情報取得方法では、搬送機構を制御して補正情報取得用基板を保持している基板保持部を第１の撮像部による第１の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、第１の撮像部を制御して第１の撮像処理を実行させて補正情報取得用基板を撮像させ、かつ、第１の撮像部から出力された第１の画像データに基づいて特定される撮像部位置特定用マークの位置と、撮像部マーク位置情報に基づいて特定される撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得し、移動機構を制御して第２の撮像処理の実行位置にユニット保持部を移動させる際に、撮像部位置情報に基づいて移動制御情報を補正する。
【００２０】
また、請求項２記載の基板検査装置、および請求項４記載の補正情報取得方法では、搬送機構を制御して補正情報取得用基板を保持している基板保持部を第１の撮像部による第１の撮像処理の実行位置に搬送させると共に、第１の撮像部を制御して第１の撮像処理を実行させて補正情報取得用基板を撮像させ、かつ、第１の撮像部から出力された第１の画像データに基づいて特定される撮像部位置特定用マークの位置と、撮像部マーク位置情報に基づいて特定される撮像部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を撮像部位置情報として取得し、第２の画像データに基づいて特定される保持部位置特定用マークの位置と、保持部マーク位置情報に基づいて特定される保持部位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、撮像部位置情報に基づいて補正して補正情報として取得する。
【００２１】
したがって、請求項１，２記載の基板検査装置、および請求項３，４記載の補正情報取得方法によれば、補正情報の取得時だけ必要となる第２の撮像部を複数の基板検査装置において共用することができるため、基板検査装置の製造コストを十分に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】補正情報取得処理５０（５０Ａ）のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、基板検査装置および補正情報取得方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２４】
図１に示す基板検査装置１は、検査対象基板２０を電気的に検査可能に構成された検査装置であって、基板保持部２、搬送機構３、カメラ４，５、テストヘッド保持部６、移動機構７、測定部８、操作部９、表示部１０、処理部１１および記憶部１２を備えて構成されている。基板保持部２は、処理部１１の制御に従って、予め規定された保持位置に載置された検査対象基板２０を保持する。この場合、本例の基板検査装置１では、搬送機構３に取り付けられた４つの基板保持部２を備えて構成されている。搬送機構３は、一例として、回転型搬送機構（インデックステーブル式搬送機構）で構成されて、処理部１１の制御に従って、基板保持部２に対して検査対象基板２０を搬入する搬入位置、カメラ４による撮像処理（後述する「第１の撮像処理」）の実行位置、移動機構７によるプロービング処理の実行位置（検査処理の実行位置）、および基板保持部２から検査対象基板２０を搬出する搬出位置に各基板保持部２を順次搬送する。
【００２５】
カメラ４は、「第１の撮像部」に相当し、一例として、この基板検査装置１では、上記の撮像処理の実行位置に固定的に設置されている。このカメラ４は、搬送機構３によって撮像処理の実行位置に搬送された基板保持部２における検査対象基板２０の保持位置を撮像して、「第１の画像データ」に相当する撮像データＤ１を出力する「第１の撮像処理」を実行する。カメラ５は、「第２の撮像部」に相当し、基板保持部２によって保持可能に基板保持部２とは別体に構成されて位置特定用マーク３０ｍ（「撮像部位置特定用マーク」の一例）が設けられた補正情報取得用基板３０に取り付けられている。この場合、補正情報取得用基板３０は、一例として、検査対象基板２０と同程度の大きさで同程度の厚みの平板（図示せず）で構成されている。このカメラ５は、後述するように、基板保持部２によって補正情報取得用基板３０が保持されることで基板保持部２と一体化されると共に、その基板保持部２が搬送機構３によってプロービング処理の実行位置に搬送された状態において、テストヘッド保持部６を撮像して「第２の画像データ」に相当する撮像データＤ２を出力する「第２の撮像処理」を実行する。
【００２６】
テストヘッド保持部６は、「ユニット保持部」に相当し、検査対象基板２０の種類に応じて製作されたテストヘッド４０を保持する。この場合、テストヘッド４０は、「プローブユニット」に相当し、一例として、接触型の複数の検査用プローブＰが、図示しないプローブ支持板によって支持されて構成されている。また、テストヘッド保持部６には、「保持部位置特定用マーク」に相当する位置特定用マーク６ｍが設けられている。
【００２７】
移動機構７は、処理部１１の制御に従って、プロービング処理の実行位置に搬送された基板保持部２上の検査対象基板２０に対してテストヘッド４０を移動させることで、検査対象基板２０に対して各検査用プローブＰを接触（プロービング）させる「プロービング処理」を実行する。また、移動機構７は、処理部１１の制御に従って、プロービング処理の実行位置に搬送された基板保持部２上の補正情報取得用基板３０（カメラ５）に対してテストヘッド４０を移動させることで、カメラ５に対してテストヘッド保持部６を規定の撮像位置に位置させる。この場合、移動機構７は、基板保持部２の上面におけるＸ方向・Ｙ方向および基板保持部２に対する接離方向（Ｚ方向）にテストヘッド保持部６を移動させると共に、基板保持部２の上面に沿ってテストヘッド保持部６を回転させることができるように構成されている。
【００２８】
測定部８は、処理部１１と相まって検査対象基板２０の良否を検査する「検査部」を構成する。この測定部８は、テストヘッド４０の各検査用プローブＰを介して検査対象基板２０に検査用電圧を印加する電源を備え、検査用電圧を印加した状態において検査対象基板２０に流れる電流の電流値を測定して測定データとして処理部１１に出力する測定処理を実行する。操作部９は、基板検査装置１の動作条件を設定操作するための各種操作スイッチを備え、スイッチ操作に応じた操作信号を処理部１１に出力する。表示部１０は、処理部１１の制御に従い、基板検査装置１の動作条件を設定するための動作条件設定画面（図示せず）、検査対象基板２０についての検査結果表示画面（図示せず）、および、後述するように補正情報取得用基板３０を撮像した画像データの画像（図示せず）などを表示する。
【００２９】
処理部１１は、基板検査装置１を総括的に制御する。具体的には、処理部１１は、搬送機構３による基板保持部２（検査対象基板２０、およびカメラ５が取り付けられた補正情報取得用基板３０の搬送、カメラ４による撮像処理、および移動機構７によるテストヘッド保持部６（テストヘッド４０）の移動を制御する。また、処理部１１は、移動制御情報Ｄｐを補正するための補正情報Ｄｒを取得する「補正情報取得処理」を実行する。この場合、移動制御情報Ｄｐは、移動機構７によってテストヘッド保持部６を任意の位置に移動させる際（検査対象基板２０に対するプロービング処理時や、カメラ５による撮像処理時にテストヘッド保持部６を規定の位置に移動させる際）のテストヘッド保持部６の移動量および移動方向を特定可能な情報で構成されている。また、補正情報Ｄｒは、移動機構７がテストヘッド保持部６を移動させる際に生じる位置ずれをキャンセルするための情報で構成されている。
【００３０】
具体的には、補正情報Ｄｒは、移動機構７によってテストヘッド保持部６を任意の位置に移動させる際に、テストヘッド保持部６を基板保持部２（検査対象基板２０、または補正情報取得用基板３０）に向けて移動させる移動量および移動方向を、どの程度どの方向に補正するかを特定可能な情報が記録されて構成されている。この補正情報Ｄｒは、使用開始直後（製造完了直後）の基板検査装置１には存在せず、処理部１１によって、後述する補正情報取得処理５０（または、補正情報取得処理５０Ａ）が実行されることで生成されて記憶部１２に記憶される。
【００３１】
記憶部１２は、基準位置情報Ｄａ，Ｄｂ、カメラ位置情報Ｄｃ、移動制御情報Ｄｐ、補正情報Ｄｒおよび検査用基準データを記憶すると共に、処理部１１の動作プログラムを記憶する。この場合、基準位置情報Ｄａは、「撮像部マーク位置情報」に相当し、上記の保持位置に補正情報取得用基板３０を正常に保持させた基板保持部２をカメラ４による撮像処理の実行位置に搬送した状態におけるカメラ４に対する位置特定用マーク３０ｍの基準の位置を特定可能な情報で構成されている。また、基準位置情報Ｄｂは、「保持部マーク位置情報」に相当し、移動制御情報Ｄｐに従ってカメラ５による撮像処理の実行位置に移動させた状態のテストヘッド保持部６における位置特定用マーク６ｍのカメラ５に対する基準の位置を特定可能な情報で構成されている。
【００３２】
さらに、カメラ位置情報Ｄｃは、「撮像部位置情報」に相当し、上記の基準位置情報Ｄａに基づいて特定される位置特定用マーク３０ｍの位置と、基板保持部２によって保持されている補正情報取得用基板３０をカメラ４によって撮像した撮像データＤ１に基づいて特定される位置特定用マーク３０ｍの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を特定可能な情報（すなわち、基板保持部２に対するカメラ５の取り付け位置のずれの状態を特定可能な情報）で構成されている。このカメラ位置情報Ｄｃは、図２に示す補正情報取得処理５０において処理部１１によって生成されて記憶部１２に記憶させられる。
【００３３】
この基板検査装置１では、製造完了後（利用者に対する納品前：すなわち、テストヘッド４０や検査対象基板２０が存在しない時点）において、図２に示す補正情報取得処理５０を実行させることで、移動機構７によるテストヘッド保持部６の移動に際して生じる位置ずれをキャンセルし得る補正情報Ｄｒを取得することができるように構成されている。具体的には、まず、搬入位置に位置している基板保持部２に、カメラ５の取り付け面を上向きにして補正情報取得用基板３０を保持させる。次いで、操作部９を操作して補正情報取得処理５０の開始を指示する。この際に、処理部１１は、搬送機構３を制御して、補正情報取得用基板３０を保持している基板保持部２をカメラ４による撮像処理の実行位置に搬送させる（ステップ５１）。続いて、処理部１１は、カメラ４を制御して基板保持部２上の補正情報取得用基板３０を撮像させる（ステップ５２）。
【００３４】
次いで、処理部１１は、カメラ４から出力された撮像データＤ１を画像解析することで、補正情報取得用基板３０の撮像時におけるカメラ４に対する位置特定用マーク３０ｍの相対的な位置を特定する（ステップ５３）。続いて、処理部１１は、記憶部１２から基準位置情報Ｄａを読み出すと共に、撮像データＤ１に基づいて特定した位置特定用マーク３０ｍの位置と、基準位置情報Ｄａに基づいて特定した位置特定用マーク３０ｍの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を特定し、特定した結果をカメラ位置情報Ｄｃとして記憶部１２に記憶させる（ステップ５４）。
【００３５】
次いで、処理部１１は、搬送機構３を制御して、補正情報取得用基板３０を保持している基板保持部２を移動機構７によるプロービング処理の実行位置（すなわち、テストヘッド保持部６が配設されている位置）に搬送させる（ステップ５５）。続いて、処理部１１は、移動制御情報Ｄｐに従って移動機構７を制御してカメラ５による撮像処理の実行位置にテストヘッド保持部６を移動させる（ステップ５６）。この際に、処理部１１は、記憶部１２に記憶させたカメラ位置情報Ｄｃに基づいて移動制御情報Ｄｐを補正し、補正した移動制御情報Ｄｐ（「補正情報取得時移動制御情報」の一例）に従って移動機構７を制御する。これにより、補正情報取得用基板３０が位置ずれした状態で基板保持部２によって保持されていたとしても、この位置ずれがカメラ位置情報Ｄｃに基づいてキャンセルされて、カメラ５による撮像処理の実行位置にテストヘッド保持部６を位置ずれさせることなく移動させることができる。
【００３６】
次いで、処理部１１は、カメラ５を制御してテストヘッド保持部６を撮像させる（ステップ５７）。続いて、処理部１１は、カメラ５から出力された撮像データＤ２を画像解析することで、テストヘッド保持部６の撮像時におけるカメラ５に対する位置特定用マーク６ｍの相対的な位置を特定する（ステップ５８）。次いで、処理部１１は、記憶部１２から基準位置情報Ｄｂを読み出すと共に、撮像データＤ２に基づいて特定した位置特定用マーク６ｍの位置と、基準位置情報Ｄｂに基づいて特定した位置特定用マーク６ｍの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を特定し、特定した結果を補正情報Ｄｒとして取得して記憶部１２に記憶させる（ステップ５９）。以上により、補正情報取得処理５０が完了し、移動機構７によるテストヘッド保持部６の移動に際して生じる位置ずれをキャンセルし得る補正情報Ｄｒが記憶部１２に記憶される。
【００３７】
一方、補正情報取得処理５０が完了した基板検査装置１においては、移動機構７がテストヘッド保持部６を任意の位置に移動させる際に、処理部１１が補正情報Ｄｒに基づいて移動制御情報Ｄｐを補正して移動機構７を制御する。これにより、移動機構７が設計値どおりの任意に位置にテストヘッド保持部６を移動させることができる状態で基板検査装置１を利用者に対して納品することが可能となる。
【００３８】
また、この基板検査装置１による検査対象基板２０の検査に際しては、基板保持部２における検査対象基板２０の位置ずれや、テストヘッド保持部６におけるテストヘッド４０の位置ずれなどをキャンセルするための補正情報を取得する。具体的には、一例として、検査用プローブＰのプロービングによって変色する感圧紙等で構成された打痕シートを貼付した模擬基板（図示せず）を基板保持部２の保持位置に載置して保持させると共に、その基板保持部２をカメラ４による撮像処理の実行位置に搬送する。次いで、カメラ４によって打痕シートを撮像することで、上記の模擬基板に設けられている基板位置特定用マーク（図示せず）の位置を特定する。
【００３９】
続いて、基板保持部２に対して模擬基板を正常に保持させた状態における上記の基板位置特定用マークのカメラ４に対する基準の位置と、撮像データＤ１の画像解析によって特定された基板位置特定用マークの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を特定し、特定した結果を基板保持部２に対する模擬基板の位置ずれ情報として記憶部１２に記憶させる。次いで、模擬基板を保持させた基板保持部２をプロービング処理の実行位置に搬送して、プロービング処理を実行する。この際には、一例として、プロービング処理に際して使用する移動制御情報Ｄｐを、上記の位置ずれ情報に基づいて補正することで、基板保持部２における模擬基板の位置ずれをキャンセルする。これにより、打痕シートの各部に検査用プローブＰのプロービングによって変色した打痕が形成される。
【００４０】
次いで、打痕の形成が完了した基板保持部２をカメラ４による撮像処理の実行位置に搬送して、カメラ４によって打痕シートを撮像する。続いて、カメラ４から出力された撮像データＤ１の画像を画像解析することで、打痕シートに形成された各打痕の位置をそれぞれ特定する。次いで、各検査用プローブＰがプロービングされるべき基準の位置と、撮像データＤ１の画像解析によって特定された各打痕の位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を特定し、特定した結果を補正情報として取得する。これにより、基板保持部２における検査対象基板２０の位置ずれや、テストヘッド保持部６におけるテストヘッド４０の位置ずれなどをキャンセルし得る補正情報の取得が完了する。以上により、検査対象基板２０の検査に際して、移動制御情報Ｄｐを補正情報Ｄｒに基づいて補正することで検査対象基板２０上の各検査点に対して検査用プローブＰを正確にプロービングさせることが可能となる。
【００４１】
このように、この基板検査装置１、および基板検査装置１による補正情報Ｄｒの取得方法では、移動制御情報Ｄｐに従って移動機構７を制御してカメラ５による「第２の撮像処理」の実行位置にテストヘッド保持部６を移動させると共に、カメラ５を制御して「第２の撮像処理」を実行させてテストヘッド保持部６を撮像させ、かつ、カメラ５から出力された撮像データＤ２に基づいて特定される位置特定用マーク６ｍの位置と、基準位置情報Ｄｂに基づいて特定される位置特定用マーク６ｍの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、移動機構７によってテストヘッド保持部６を移動させる際に使用する移動制御情報Ｄｐを補正するための補正情報Ｄｒとして取得する。
【００４２】
したがって、この基板検査装置１、および基板検査装置１による補正情報Ｄｒの取得方法によれば、誤差データの取得に際して検査治具を撮像することを要件とする従来の基板検査装置、およびその誤差データの取得方法とは異なり、テストヘッド保持部６によってテストヘッド４０が保持されていない状態においても、移動機構７がテストヘッド保持部６を移動させる際に生じる位置ずれをキャンセル可能な補正情報Ｄｒを取得することができる。これにより、例えば、基板検査装置１を利用者に対して納品する前に補正情報Ｄｒを取得することで、プロービングに際して製造誤差に起因する位置ずれが生じる状態のまま基板検査装置１が利用者に対して納品される事態を回避することができるため、基板検査装置１の品質を十分に向上させることができる。
【００４３】
また、この基板検査装置１、および基板検査装置１による補正情報Ｄｒの取得方法では、搬送機構３を制御して補正情報取得用基板３０を保持している基板保持部２をカメラ４による「第１の撮像処理」の実行位置に搬送させると共に、カメラ４を制御して「第１の撮像処理」を実行させて補正情報取得用基板３０を撮像させ、かつ、カメラ４から出力された撮像データＤ１に基づいて特定される位置特定用マーク３０ｍの位置と、基準位置情報Ｄａに基づいて特定される位置特定用マーク３０ｍの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向をカメラ位置情報Ｄｃとして取得し、移動機構７を制御してカメラ５による「第２の撮像処理」の実行位置にテストヘッド保持部６を移動させる際に、カメラ位置情報Ｄｃに基づいて移動制御情報Ｄｐを補正する。
【００４４】
したがって、この基板検査装置１、および基板検査装置１における補正情報Ｄｒの取得方法によれば、補正情報Ｄｒの取得時だけ必要となるカメラ５を複数の基板検査装置１において共用することができるため、基板検査装置１の製造コストを十分に低減することができる。
【００４５】
なお、「基板検査装置」の構成、および「補正情報取得方法」の具体的な方法については、上記の基板検査装置１の構成、および基板検査装置１による補正情報Ｄｒの取得方法に限定されない。例えば、上記の例では、カメラ５による「第２の撮像処理」の実行位置にテストヘッド保持部６を移動させる際に、カメラ位置情報Ｄｃに基づいて移動制御情報Ｄｐを補正し、補正した移動制御情報Ｄｐ（補正情報取得時移動制御情報）に従って移動機構７を制御しているが、図２に示す補正情報取得処理５０Ａのように、カメラ５による「第２の撮像処理」の実行位置にテストヘッド保持部６を移動させる際には、移動制御情報Ｄｐを補正せずに、移動制御情報Ｄｐに従って移動機構７を制御してテストヘッド保持部６を移動させ（ステップ５６ａ）、「第２の撮像処理」によってカメラ５から出力された撮像データＤ２に基づいて特定される位置特定用マーク６ｍの位置と、基準位置情報Ｄｂに基づいて特定される位置特定用マーク６ｍの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向を、カメラ位置情報Ｄｃに基づいて補正して補正情報Ｄｒとして取得する（ステップ５９）構成および方法を採用することができる。なお、この補正情報取得処理５０Ａにおける上記のステップ５６ａ，５９以外の各ステップ毎の処理については、前述した補正情報取得処理５０の各ステップ毎の処理と同様のため、詳細な説明を省略する。
【００４６】
このように、構成した基板検査装置１、および基板検査装置１における補正情報Ｄｒの取得方法によれば、前述した補正情報取得処理５０を実行する基板検査装置１、および基板検査装置１による補正情報Ｄｒの取得方法と同様にして、補正情報Ｄｒの取得時だけ必要となるカメラ５を複数の基板検査装置１において共用することができるため、基板検査装置１の製造コストを十分に低減することができる。
【００４７】
また、プロービングに際して移動機構７が基板保持部２に対してテストヘッド保持部６を移動させる構成に加えて、「搬送機構」、または「搬送機構に取り付けられた移動機構（図示せず）」がテストヘッド保持部６に対して基板保持部２を移動させる構成を付加することもできる。このような構成の基板検査装置においても、カメラ５から出力された撮像データＤ２に基づいて特定される位置特定用マーク６ｍの位置と、基準位置情報Ｄｂに基づいて特定される位置特定用マーク６ｍの位置との位置ずれ量および位置ずれの方向に基づいて、「搬送機構」、または「搬送機構に取り付けられた移動機構」がテストヘッド保持部６に対して基板保持部２を移動させる際に生じる位置ずれをキャンセル可能な「補正情報」を取得することができる。
【００４８】
一方、前述した基板検査装置１では、「第１の撮像部」に相当するカメラ４が「撮像処理の実行位置」に固定的に設置されているが、図１に破線で示すように、「撮像処理の実行位置」においてカメラ４を任意のＸ−Ｙ方向に移動させる移動機構７ａを設けた基板検査装置においても、各検査点に対して検査用プローブＰを正確にプロービングさせ得る補正情報Ｄｒを取得することができる。この場合、移動機構７ａを設けた基板検査装置１では、移動機構７によるテストヘッド保持部６（テストヘッド４０）の移動に際して生じる位置ずれ（移動機構７に存在する製造誤差に起因する位置ずれ：以下、「移動機構７に起因する位置ずれ」ともいう）と、移動機構７ａによるカメラ４の移動に際して生じる位置ずれ（移動機構７ａに存在する製造誤差に起因する位置ずれ：以下、「移動機構７ａに起因する位置ずれ」ともいう）とが別個独立して存在することとなる。
【００４９】
このため、移動機構７ａによるテストヘッド保持部６（テストヘッド４０）の移動（プロービング処理）によって模擬基板に形成した打痕を、移動機構７ａによって移動させたカメラ４によって撮像して、基準のプロービング位置と、形成された打痕の位置とのずれ量およびずれの方向を取得したときには、移動機構７に起因して打痕の形成に際して生じた位置ずれと、移動機構７ａに起因して打痕の撮像時に生じた位置ずれとが合わさった複合的な位置ずれが検出されることとなる。したがって、このような一般的な方法では、移動機構７に起因する位置ずれと、移動機構７ａに起因する位置ずれとを個別に把握することができない。このため、検査対象基板２０の電気的検査に際して、検査対象基板２０に形成された位置合わせ用マークをカメラ４によって撮像する際に、移動機構７ａによってカメラ４を撮像位置に移動させるための移動情報を補正することができない。
【００５０】
しかしながら、移動機構７ａを設けた基板検査装置においても、前述した基板検査装置１による補正情報取得処理５０（５０Ａ）と同様の手順に従って「補正情報」を取得することにより、移動機構７に起因する位置ずれを個別的に補正し得る情報（以下、「移動機構７用の補正情報」ともいう）を取得することができる。なお、移動機構７用の補正情報の取得方法については、前述した補正情報取得処理５０（５０Ａ）と同様のため、詳細な説明を省略する。したがって、模擬基板に形成した打痕をカメラ４によって撮像することで取得される上記の「複合的な位置ずれ」から、移動機構７用の補正情報に相当する位置ずれ量および位置ずれの方向を差し引くことで、移動機構７ａに起因する位置ずれを個別的に補正し得る情報（以下、「移動機構７ａ用の補正情報」ともいう）を取得することができる。
【００５１】
これにより、検査対象基板２０の電気的検査に際して、検査対象基板２０に形成された位置合わせ用マークをカメラ４によって撮像する際に、移動機構７ａによってカメラ４を撮像位置に移動させるための移動情報を移動機構７ａ用の補正情報に基づいて補正することで、カメラ４を本来的な撮像位置に移動させた状態で検査対象基板２０を撮像することができる。この結果、検査対象基板２０が位置ずれした状態で基板保持機構２によって保持されていたとしても、その位置ずれ量および位置ずれの方向を正確に把握することができるため、プロービング処理に際して移動機構７によってテストヘッド保持部６（テストヘッド４０）を移動させる際に、把握した位置ずれの状態に応じてプロービング位置を変化させることで、検査対象基板２０に対して各検査用プローブＰを正確にプロービングさせることができる。
【００５２】
さらに、「搬送機構」として、回転型搬送機構である搬送機構３に代えて、ライン型搬送機構やロボットアーム式搬送機構（図示せず）を採用することもできる。
【符号の説明】
【００５３】
１  基板検査装置
２  基板保持部
３  搬送機構
４，５  カメラ
６  テストヘッド保持部
６ｍ，３０ｍ  位置特定用マーク
７  移動機構
１１  処理部
１２  記憶部
２０  検査対象基板
３０  補正情報取得用基板
４０  テストヘッド
５０，５０Ａ  補正情報取得処理
Ｄ１，Ｄ２  撮像データ
Ｄａ，Ｄｂ  基準位置情報
Ｄｃ  カメラ位置情報
Ｄｐ  移動制御情報
Ｄｒ  補正情報
Ｐ  検査用プローブ
【図１】
0005875811.tif 000002
【図２】
0005875811.tif 000003