(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を支持する物品支持部を直線状の第１方向に沿って移動させかつ前記物品支持部を前記第１方向に直交する移動軸心周りで回動させる直動回動装置であって、
前記物品支持部が一体的に設けられた被操作部材と、前記被操作部材を前記移動軸心周りに回動自在に支持しかつ前記被操作部材を前記第１方向に沿って移動自在に支持する支持部と、
駆動部によって前記第１方向に沿って移動操作される直線移動体と、が設けられ、
前記被操作部材は、前記移動軸心に沿う方向視で前記移動軸心から離れた部分において前記直線移動体と連結され、
前記被操作部材の前記移動軸心周りの回動を規制しかつ前記被操作部材の前記第１方向に沿う移動を許容する直動状態と、前記被操作部材の前記移動軸心周りの回動を許容しかつ前記被操作部材の前記第１方向に沿う移動を規制する回動状態とに切換え自在な動作状態切換部とが設けられている直動回動装置。
【請求項２】
前記駆動部は、回転軸心が前記第１方向に沿う姿勢となるように配設されたネジ軸と、当該ネジ軸を軸心周りに回転駆動する回転モータと、を備え、
前記直線移動体は、前記ネジ軸の回転に伴って前記第１方向に沿って移動操作されるように前記ネジ軸に取付けられている請求項１に記載の直動回動装置。
【請求項３】
前記駆動部及び前記動作状態切換部の作動を制御する制御部が設けられ、
前記制御部が、前記動作状態切換部を前記直動状態として前記駆動部を作動させることで前記物品支持部を前記第１方向に沿って移動させる直動駆動制御と、前記動作状態切換部を前記回動状態として前記駆動部を作動させることで前記物品支持部を移動軸心周りで回動させる回動制御と、を実行自在に構成されている請求項１又は２に記載の直動回動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品を支持する物品支持部を直線状の第１方向に沿って移動させかつ前記物品支持部を前記第１方向に直交する移動軸心周りで回動させる直動回動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記直動回動装置は、例えば、工場等で物品を搬送する天井搬送車に設けられる。天井搬送車は、レール支持体から吊り下げられた走行レール上を走行自在な走行部が設けられ、走行部に支持された物品支持部が、物品を把持する把持部と、把持部を昇降駆動する昇降駆動部とを備え、把持部を下降させた状態で、物品を授受する授受箇所との間で搬送対象の物品を授受するように構成されている。そして、把持部にて把持する物品の平面視での位置及び姿勢が授受箇所に適したものとなるように、直動回動装置により物品支持部の平面視での位置及び姿勢を調整することで、授受箇所に対して物品を適正に授受できるようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１の直動回動装置は、物品支持部が上下方向に沿う移動軸心周りに回動自在なピニオンギヤと一体回動自在に設けられ、そのピニオンギヤは、対向する一対のラックギヤに挟まれる状態となっている。一対のラックギヤの夫々は、ネジ軸の回転によってネジ軸に沿って移動操作されるブロックに取り付けられ、ネジ軸の回転に伴ってネジ軸の回転軸心に沿う方向（第１方向）に移動自在となっている。そして、一対のラックギヤの夫々が連結された各ブロックは、ネジ軸の夫々と螺合しており、これらのネジ軸を回転駆動するモータが一対のネジ軸に対応して一対設けられている。
ちなみに、このような直動回動装置を用いて、物品支持部を第１方向に沿って移動させるときには、一対のラックギヤを、物品支持部の移動量に応じた移動量だけ同じ向きに移動させるべく、２つのモータを回転駆動させる。また、物品支持部を上下方向に沿う移動軸心周りで回動させる場合には、一対のラックギヤの夫々の移動量を異ならせるように２つのモータの回転を制御する。これにより、一対のラックギヤの移動量の差に応じて物品支持部を回動させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１６１４５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、特許文献１の直動回動装置は、物品支持部の第１方向に沿う移動と、物品支持部の上下方向に沿う移動軸心周りの回動と、を実現するに当たり、２つの駆動部が必要となる。しかしながら、直動回動装置に対して駆動部を２つ設けると、装置が大型化したり、直動回動装置の重量が重くなったりする問題がある。このような直動回動装置の大型化や重量の増加の問題は、天井搬送車においては特に顕著となるものであった。
【０００６】
このため、物品支持部の第１方向に沿う移動と、その移動軸心周りの回動との双方を実現できながらも、大型化や重量の増加を抑制できる直動回動装置の実現が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明にかかる直動回動装置は、物品を支持する物品支持部を直線状の第１方向に沿って移動させかつ前記物品支持部を前記第１方向に直交する移動軸心周りで回動させるものであって、
前記物品支持部が一体的に設けられた被操作部材と、前記被操作部材を前記移動軸心周りに回動自在に支持しかつ前記被操作部材を前記第１方向に沿って移動自在に支持する支持部と、駆動部によって前記第１方向に沿って移動操作される直線移動体と、が設けられ、前記被操作部材は、前記移動軸心に沿う方向視で前記移動軸心から離れた部分において前記直線移動体と連結され、前記被操作部材の前記移動軸心周りの回動を規制しかつ前記被操作部材の前記第１方向に沿う移動を許容する直動状態と、前記被操作部材の前記移動軸心周りの回動を許容しかつ前記被操作部材の前記第１方向に沿う移動を規制する回動状態とに切換え自在な動作状態切換部とが設けられている点に特徴を有する。
【０００８】
すなわち、被操作部材の移動軸心周りの回動を規制しかつ被操作部材の第１方向に沿う移動を許容する直動状態として直線移動体を第１方向に沿って移動操作することで、被操作部材を第１方向に沿って移動操作することができる。このため、被操作部材と一体的に設けられた物品支持部を第１方向に沿って移動操作することができる。
また、被操作部材の移動軸心周りの回動を許容しかつ被操作部材の第１方向に沿う移動を規制する回動状態として直線移動体を第１方向に沿って移動操作することで、被操作部材を移動軸心周りで回動させることができる。このため、被操作部材と一体的に設けられた物品支持部を移動軸心周りで回動させることができる。
【０００９】
このように、直線移動体の第１方向に沿う移動操作のための単一の駆動部を備えることで、物品支持部の第１方向に沿う移動と、物品支持部の移動軸心周りでの回動との双方を実行することができる。そのため、直動回動装置の大型化や重量の増加を抑制できる。
このように、物品支持部の第１方向に沿う移動と、物品支持部の上下方向に沿う移動軸心周りの回転との双方を実現できながらも、その大型化や重量の増加を抑制できる直動回動装置を実現できる。
【００１０】
本発明に係る直動回動装置の実施形態においては、前記駆動部は、回転軸心が前記第１方向に沿う姿勢となるように配設されたネジ軸と、当該ネジ軸を軸心周りに回転駆動する回転モータと、を備え、前記直線移動体は、前記ネジ軸の回転に伴って前記第１方向に沿って移動操作されるように前記ネジ軸に取付けられていることが好ましい。
【００１１】
すなわち、直線移動体が回転モータによって回転駆動されるネジ軸によって第１方向に沿って移動操作されるから、直線移動体の第１方向に沿う移動量を精度よく調整することができる。
このため、直線移動体の移動操作によって物品支持部の第１方向に沿う移動と物品支持部の上下方向に沿う移動軸心周りの回転とを実現するに当たり、物品支持部の第１方向に沿う移動量と、物品支持部の上下方向に沿う移動軸心周りの回転量とを、精度よく調整することができるものとなる。
【００１２】
本発明に係る直動回動装置の実施形態においては、前記駆動部及び前記動作状態切換部の作動を制御する制御部が設けられ、前記制御部が、前記動作状態切換部を前記直動状態として前記駆動部を作動させることで前記物品支持部を前記第１方向に沿って移動させる直動駆動制御と、前記動作状態切換部を前記回動状態として前記駆動部を作動させることで前記物品支持部を移動軸心周りで回動させる回動制御と、を実行自在に構成されていることが好ましい。
【００１３】
すなわち、制御部により、動作状態切換部の切換え状態と駆動部の作動とを制御して、物品支持部の直動と回動とを自動的に切換えることができ、使い勝手の良い直動回動装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態に係る天井搬送車の一部破断側面図
【図２】直動回動装置の全体構成図
【図３】制御ブロック図
【図４】直動移動制御と回動制御とを説明するフローチャート
【図５】直動移動制御を説明する平面図
【図６】回動制御を説明する平面図
【図７】搬送指令があった場合における物品支持部の位置調整を説明するフローチャート
【図８】別実施形態に係る天井搬送車の一部破断側面図
【図９】別実施形態における直動移動制御及び回動制御を説明する平面図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の直動回動装置を天井搬送車に適用した場合について、図面に基づいて説明する。
図１に示すように、天井搬送車１は、天井に設けられたレール支持体２Ｓから吊り下げられた走行レール２上を走行自在な走行部１１と、走行部１１から吊り下げ支持される本体部１２とを備えている。走行部１１は、走行レール２上を転動する走行車輪Ｗと、その走行車輪Ｗを回転駆動する走行駆動部Ｍ４とを備えている。
天井搬送車１は、半導体基板を収納した容器Ｂを搬送対象の物品として、複数の処理装置の授受箇所（以降、ステーションと称する）の間で容器Ｂを搬送するように構成されている。処理装置では、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理を行うように構成されている。
【００１６】
本体部１２は、走行部１１の走行方向の前後にカバー部１２Ｃを備えており、図１に示す如く、側面視で下方に開口したＣ字状に形成されている。本体部１２は水平姿勢の支持板１２Ｓにて上下に区切られており、支持板１２Ｓの下方側に容器Ｂを支持する物品支持部Ｓを備え、支持板１２Ｓの上方側に、後述する直動回動装置が設けられている。なお、直動回動装置は、物品支持部Ｓを直線状の第１方向に沿って移動させかつ物品支持部Ｓを第１方向に直交しかつ上下方向に沿う移動軸心周りで回動させるために用いられるものである。
【００１７】
物品支持部Ｓは、容器Ｂを把持する把持部３０と、把持部３０を昇降駆動する昇降駆動部３５とを備えている。
把持部３０は、把持部駆動部Ｍ３によって互いに接近離間方向に移動自在な把持用揺動体３１を備えている。把持用揺動体３１は、把持部駆動部Ｍ３の駆動によって接近状態とされることによって、容器Ｂにおける容器本体Ｂｈの上端に取り付けられているフランジＢｆと係合する形態で容器Ｂを把持するようになっている。また、把持用揺動体３１は、把持部駆動部Ｍ３の駆動によって離間状態とされることによって、フランジＢｆとの係合を解除して容器Ｂを把持状態から解放するようになっている。
なお、把持部駆動部Ｍ３から把持用揺動体３１への駆動力の伝達は、例えば送りネジ機構やクランク機構等の既知の機構を用いて実現されており、説明は省略する。また、把持部３０が容器Ｂを安定して把持できるように、把持用揺動体３１とフランジＢｆとは、平面視で規定された設定係合位置関係となる形態で係合するように構成されている。
【００１８】
また、昇降駆動部３５には、昇降駆動部Ｍ２が支持されている。昇降駆動部Ｍ２は、昇降用モータとその昇降用モータにて回転駆動される昇降用ドラムが備えられ、当該昇降用ドラムにて巻き取り又は繰り出しされるワイヤ１９ａの他端が把持部３０に接続されている。把持部３０は昇降駆動部３５からワイヤ１９ａによって吊り下げ支持される状態となっており、昇降用モータの正転駆動又は逆転駆動によって、把持部３０を上昇又は下降させることができるようになっている。
【００１９】
次に、本実施形態の直動回動装置を、図１〜３に基づいて説明する。
支持板１２Ｓには、平面視で走行部１１の走行方向に直交するスリットが設けられ、そのスリットの開口端部に沿って、直動用支持体２３の移動を案内するガイドレール１２Ｇが設けられている。直動用支持体２３は、図２又は図３に示すように、矩形状に形成されている。平面視で直動用支持体２３における走行部１１の走行方向前後に対向する辺が、ガイドレール１２Ｇの起立部１２Ｇａと当接する状態となっており、これにより、直動用支持体２３は平面視においてガイドレール１２Ｇに対する姿勢を維持して移動自在となっている。また、直動用支持体２３の底面部は、ガイドレール１２Ｇの水平部上面との摩擦が小さい状態となるように構成されている。具体的には、直動用支持体２３の底面部にベアリングボールを支持する構造としているが、例えば直動用支持体２３の底面部を摩擦係数の小さい材質にて構成してもよい。
本実施形態において、ガイドレール１２Ｇによる直動用支持体２３の案内方向が第１方向に相当する。
【００２０】
また、直動用支持体２３には、本体部Ｌ１ａとロックピンＬ１ｂとを備えて構成された第１ロック機構Ｌ１が取り付けられている。第１ロック機構Ｌ１は、ロックピンＬ１ｂを突出状態としてガイドレール１２Ｇの起立部１２Ｇａと当接させることによって、直動用支持体２３のガイドレール１２Ｇに対する相対移動を規制するロック状態とすることができる。また、第１ロック機構Ｌ１は、ロックピンＬ１ｂを引退状態としてガイドレール１２Ｇから離間させることによって、直動用支持体２３のガイドレール１２Ｇに対する相対移動を許容する解放状態とすることができる。
【００２１】
また、直動用支持体２３は、平面視でほぼ中央に回動軸部２２を回動自在に支持している。回動軸部２２の下端には、昇降駆動部３５が固定されている。したがって、昇降駆動部３５は、直動用支持体２３に対して回動軸部２２を回動軸心として相対回動自在に支持されている。
【００２２】
支持板１２Ｓにおいて走行部１１の走行方向の一方側の端部には、ネジ軸１２Ｂが、その回転軸心がガイドレール１２Ｇに沿う姿勢（すなわち、第１方向に沿う方向）となるようにネジ軸支持体１２Ｄにて回転自在に支持されている。また、支持板１２Ｓ上には、ネジ軸１２Ｂを回転駆動する回転モータＭＫが設けられている。さらに、ネジ軸１２Ｂには、当該ネジ軸１２Ｂと螺合する雌ねじを有し、ネジ軸１２Ｂの回転に伴ってネジ軸１２Ｂに沿って移動自在なブロック体２１ａが備えられている。したがって、ブロック体２１ａは、ネジ軸１２Ｂの回転に伴って第１方向に沿って移動操作されるようにネジ軸１２Ｂに取付けられている。ブロック体２１ａは、上方に、後述する連結部材２４の長孔部２４ｈと係合する係合ピン２１ｂを備えている。
【００２３】
連結部材２４は、回動軸部２２と一体に回動するように連結されており、平面視において、回動軸部２２を回動中心として回動自在となっている。また、連結部材２４と回動軸部２２との間には、それらの相対回動を許容する解放状態と相対回動を規制するロック状態とに切換え自在な電磁ブレーキ式の第２ロック機構Ｌ２が設けられている。
本実施形態において、回動軸部２２の軸心が移動軸心に相当し、連結部材２４が被操作部材に相当し、ブロック体２１ａが直線移動体に相当し、ガイドレール１２Ｇ及び直動用支持体２３が支持部に相当し、回転モータＭＫ及びネジ軸１２Ｂから構成される位置調整用駆動部Ｍ１が駆動部に相当する。
すなわち、物品支持部Ｓが一体的に設けられた連結部材２４と、連結部材２４を回動軸部２２の軸心周りに回動自在に支持しかつ連結部材２４を第１方向に沿って移動自在に支持するガイドレール１２Ｇ及び直動用支持体２３と、回転モータＭＫ及びネジ軸１２Ｂによって第１方向に沿って移動操作されるブロック体２１ａと、が設けられ、連結部材２４は、回動軸部２２の軸心に沿う方向視で回動軸部２２の軸心から離れた部分においてブロック体２１ａと連結されている。
【００２４】
続いて、本実施形態における制御構成を説明する。
天井搬送車１には、その各部の作動を制御する制御部Ｈが設けられている。制御部Ｈは例えばマイクロコンピュータにて構成され、制御プログラムを記憶するとともに必要に応じてそのプログラムを演算装置にロードして実行自在に構成されている。また、制御部Ｈには、位置調整用駆動部Ｍ１、昇降駆動部Ｍ２、把持部駆動部Ｍ３、走行駆動部Ｍ４、並びに、第１ロック機構Ｌ１、及び、第２ロック機構Ｌ２が通信自在に接続され、それら夫々の作動を制御するように構成されている。
なお、図示はしないが、天井搬送車に搬送指令を指令する上位管理装置が制御部Ｈと相互に通信自在に設けられており、制御部Ｈは、上位管理装置からの搬送指令を受け取って、目的のステーションに対応する走行位置まで走行部１１を移動させるべく走行駆動部Ｍ４を作動させる走行制御、その走行位置において、把持部３０を昇降させるべく昇降駆動部Ｍ２を作動させる昇降制御、把持部３０における把持用揺動体３１を離間状態又は接近状態とすべく把持部駆動部Ｍ３を作動させて容器ＢのフランジＢｆの把持状態を切換える把持状態切換え制御を実行自在に構成されている。
【００２５】
図４のフローチャートに示すように、制御部Ｈは、上位管理装置から、物品支持部Ｓを第１方向に沿ってスライド移動させることを指令するスライド指令を受けると（ステップ＃１）、第２ロック機構Ｌ２をロック状態として連結部材２４の回動軸部２２の軸心周りの回動を規制しかつ第１ロック機構Ｌ１を開放状態として連結部材２４の第１方向に沿う移動を許容する状態となるように第１ロック機構Ｌ１及び第２ロック機構Ｌ２の作動を制御する（ステップ＃２）。そして、その状態において、スライドの終了が指令されるまで（ステップ＃４：Ｙｅｓ）位置調整用駆動部Ｍ１を駆動してネジ軸１２Ｂを回転させる（ステップ＃３）。これにより、図５に示すように、連結部材２４がブロック体２１ａの移動に伴って、平面視で回動軸部２２の軸心周りでの回動姿勢を維持したまま移動することになり、直動用支持体２３が第１方向に沿って移動する。したがって、物品支持部Ｓの回動軸部２２の軸心周りでの回動姿勢を維持したまま、直動用支持体２３に支持される回動軸部２２及びその回動軸部２２の下端に支持される物品支持部Ｓを第１方向に沿って移動させることができる。
本実施形態において、ステップ＃２及びステップ＃３に係る制御が、直動駆動制御に相当する。
【００２６】
また、制御部Ｈは、上位管理装置から、物品支持部Ｓを回動軸部２２の軸心周りに回動させるべく回動指令を受けると（ステップ＃５）、第２ロック機構Ｌ２を開放状態として連結部材２４の回動軸部２２の軸心周りの回動を許容しかつ第１ロック機構Ｌ１をロック状態として連結部材２４の第１方向に沿う移動を規制する状態となるように第１ロック機構Ｌ１及び第２ロック機構Ｌ２の作動を制御する（ステップ＃６）。そして、その状態において、回動の終了が指令されるまで（ステップ＃４：Ｙｅｓ）位置調整用駆動部Ｍ１を駆動してネジ軸１２Ｂを回転させる（ステップ＃７）。これにより、図６に示すように、ブロック体２１ａの移動に伴って、直動用支持体２３が第１方向に沿う方向における位置を維持したまま、連結部材２４が平面視で回動軸部２２の軸心周りで回動することになり、回動軸部２２がその軸心周りで回動する。したがって、直動用支持体２３の第１方向に沿う位置を維持したまま、物品支持部Ｓを回動軸部２２の軸心周りで回動させることができる。
本実施形態において、ステップ＃２及びステップ＃３に係る制御が、回動制御に相当する。
【００２７】
すなわち、本実施形態においては、第１ロック機構Ｌ１及び第２ロック機構Ｌ２が動作状態切換部Ｌに相当し、第２ロック機構Ｌ２をロック状態としかつ第１ロック機構Ｌ１を開放状態とした状態が直動状態に相当し、第２ロック機構Ｌ２を開放状態としかつ第１ロック機構Ｌ１をロック状態とした状態が回動状態に相当する。そして、制御部Ｈは、第１ロック機構Ｌ１及び第２ロック機構Ｌ２の作動を制御することで、直動状態と回動状態とを切換えることができる。
【００２８】
また、制御部Ｈは、第１ロック機構Ｌ１及び第２ロック機構Ｌ２を直動状態として位置調整用駆動部Ｍ１を駆動しネジ軸１２Ｂを回転させることで、物品支持部Ｓを前記第１方向に沿って移動させる直動駆動制御と、第１ロック機構Ｌ１及び第２ロック機構Ｌ２を回動状態として位置調整用駆動部Ｍ１を駆動しネジ軸１２Ｂを回転させることで、物品支持部Ｓを回動軸部２２の軸心周りで回動させる回動制御と、を実行するように構成されている。
【００２９】
つづいて、本実施形態の天井搬送車を用いて容器Ｂの搬送を行う場合の制御を説明する。本実施形態においては、図示は省略するが、物品支持部Ｓ（具体的には把持部３０）にて支持する容器Ｂを授受するステーションが、平面視で走行レール２に沿い、かつ、物品支持部Ｓの下方となる位置に設けられている。
制御部Ｈは、上位管理装置からの搬送指令に基づき、容器Ｂを搬送元のステーションにて掬い移載し、搬送先のステーションにて卸し移載するべく、搬送元のステーション又は搬送先のステーションに対応する走行位置に走行部１１を走行移動させ、その走行位置に走行部１１を停止させた状態で掬い移載又は卸し移載を行う。以下の説明では、搬送元のステーションに対応する位置への走行部１１の走行移動、及び、搬送元のステーションに対応する位置から搬送先のステーションに対応する位置への走行部１１の走行移動についての説明は省略し、搬送元のステーションや搬送先のステーションを容器Ｂの移載対象のステーションとして、当該移載対象のステーションにおける移載動作を中心に説明する。
【００３０】
ステーションにおいては、容器Ｂを支持するときの平面視での姿勢が規定されている（移載用規定姿勢と称する）が、ステーションに支持された容器Ｂを掬うべく把持部３０を下降させた場合において、ステーションに支持された容器ＢのフランジＢｆの位置と把持部３０の把持用揺動体３１との位置関係が上述した設定係合位置関係とならない場合がある。また、逆に、容器Ｂをステーションに卸すべく把持部３０を下降させた場合において、容器Ｂの平面視での姿勢がステーションにおける移載用規定姿勢とならない場合がある。
【００３１】
このような場合において、掬い時にステーションに支持された容器ＢのフランジＢｆの位置と把持部３０の把持用揺動体３１との位置関係を設定係合位置関係とすべく、又は、卸し時に容器Ｂの平面視での姿勢をステーションにおける移載用規定姿勢とすべく、制御部が、直動駆動制御及び回動制御を実行する。このため、制御部Ｈは、掬い時にステーションに支持された容器ＢのフランジＢｆの位置と把持部３０の把持用揺動体３１との位置関係を設定係合位置関係とするために必要な移動量（物品支持部Ｓを第１方向に沿って移動させる直動移動量と、物品支持部Ｓを回動軸部２２の軸心周りで回動させる回転移動量）と、卸し時に容器Ｂの平面視での姿勢をステーションにおける移載用規定姿勢とするために必要な移動量（物品支持部Ｓを第１方向に沿って移動させる直動移動量と、物品支持部Ｓを回動軸部２２の軸心周りで回動させる回転移動量）とを、ステーションごとに記憶している。なお、上記掬い時における移動量と卸し時における移動量とは等しいため、制御部Hは、各ステーションに対して単一の移動量（物品支持部Ｓを第１方向に沿って移動させる直動移動量と、物品支持部Ｓを回動軸部２２の軸心周りで回動させる回転移動量）を記憶することになる。
【００３２】
図７のフローチャートに示すように、制御部Ｈは、上位管理装置から搬送指令を受けると（ステップ＃１１）、制御部Ｈに記憶しているそのステーションに対応する直動移動量と回転移動量とについての情報を取得する（ステップ＃１２）。
そして、取得した直動移動量に基づいて、上述した直動移動制御を実行し（ステップ＃１３）、取得した回動移動量に基づいて、上述した回動制御を実行する（ステップ＃１４）。
その後、昇降駆動部Ｍ２を作動させて把持部３０を下降させ（ステップ＃１５）、把持状態切換制御を実行する（ステップ＃１６）ことになる。このとき、直動移動制御及び回動制御によって、ステーションに支持された容器ＢのフランジＢｆの位置と把持部３０の把持用揺動体３１との位置関係が設定係合位置関係となっている、又は、容器Ｂの平面視での姿勢がステーションにおける移載用規定姿勢となっているため、ステーションにおける容器Ｂの授受が適正に行える。
【００３３】
引き続き、制御部Ｈは、昇降駆動部Ｍ２を作動させて把持部３０を上昇させ（ステップ＃１７）、ステップ＃１２にて取得した回動移動量に基づいて、ステップ＃１４において物品支持部Ｓを回動軸部２２の軸心周りで回動させた回動量と同じ回動量だけ逆方向に物品支持部Ｓを回動させるべく回動制御を実行し（ステップ＃１８）、ステップ＃１２にて取得した直動移動量に基づいて、ステップ＃１３において物品支持部Ｓを第１方向に沿って移動させた移動量と同じ移動量だけ逆方向に物品支持部Ｓを移動させるべく直動移動制御を実行する（ステップ＃１９）。
これにより、物品支持部Ｓを、容器Ｂを搬送する際に平面視で当該容器Ｂが位置するべき位置に対応する搬送用設定位置に戻すことができる。
【００３４】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、駆動部をネジ軸１２Ｂとそれを回転させる回転モータＭＫとから構成し、直線移動体を、ネジ軸１２Ｂと螺合してネジ軸１２Ｂの回転によって移動操作されるブロック体２１ａとする構成を示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、直線ガイドに沿って移動自在な直線移動体をクランク機構によって第１方向に沿って移動操作する構成としてもよい。この場合、クランク機構が駆動部となる。また、第１方向に沿って循環駆動自在なチェーンによって直線移動体を第１方向に沿って移動操作する構成としてもよい。この場合、チェーンが駆動部になる。また、支持板１２Ｓに第１方向に沿ってラックギヤやチェーン等を敷設し、直線移動体を、そのラックギヤやチェーンと噛合うピニオンギヤと、当該ピニオンギヤを回転駆動するモータとを備える形態で構成してもよい。この場合、駆動部が直線移動体に備えられることになる。
【００３５】
（２）上記実施形態では、動作状態切換部Ｌを、第１ロック機構Ｌ１及び第２ロック機構Ｌ２の２つのロック機構から構成する例を示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、図８〜図１０に示すように、動作状態切換部Ｌを単一のロック機構Ｌ３によって構成することもできる。ロック機構Ｌ３は本体部Ｌ３ａとロックピンＬ３ｂとを備え、本体部Ｌ３ａが直動用支持体２３に取付固定されている。本体部Ｌ３ａは直動用支持体２３における回動軸部２２とガイドレール１２Ｇの起立部１２Ｇａとの間に設置され、ロックピンＬ３ｂは、回動軸部２２側に突出する状態と、ガイドレール１２Ｇの起立部１２Ｇａ側に突出する状態とに切換えることができる。
ロックピンＬ３ｂを、回動軸部２２側に突出した状態としたときには、図９に示すように、ロックピンＬ３ｂが回動軸部２２と当接して回動軸部２２が直動用支持体２３に対して回動しないように固定する。したがって、回動軸部２２と一体回動するように取り付けられている連結部材２４の回動軸部２２の軸心周りの回動を規制することになる。また、このとき、ロックピンＬ３ｂはガイドレール１２Ｇの起立部１２Ｇａとは離間しているので、連結部材２４の第１方向に沿う移動を許容することとなる。このようにして、直動状態が実現できる。
【００３６】
さらに、ロックピンＬ３ｂを、ガイドレール１２Ｇの起立部１２Ｇａ側に突出した状態としたときには、図１０に示すように、ロックピンＬ３ｂがガイドレール１２Ｇの起立部１２Ｇａと当接して直動用支持体２３の第１方向に沿う移動を規制する。また、このとき、ロックピンＬ３ｂは回動軸部２２とは離間しているので、回動軸部２２は直動用支持体２３に対して回動することができる。したがって、回動軸部２２と一体回動するように取り付けられている連結部材２４の回動軸部２２の軸心周りの回動を許容することになる。このようにして、回動状態が実現できる。
【００３７】
（３）上記実施形態では、直動回動装置を天井搬送車１の把持部の平面視での姿勢を調整するために用いる構成を説明したが、本発明の直動回動装置は、天井搬送車１に限らず、直動状態と回動状態とを現出させることが必要な様々な装置に対して適用することが可能である。また、上記実施形態では、物品支持体が、半導体基板を収納した容器Ｂを物品として、当該容器Ｂを搬送のために支持するものである場合を説明したが、物品支持体は、例えば、工具や治具等を支持するために用いられるものであってもよい。また、容器Ｂ、工具又は治具等は、上記実施形態で説明したように把持部にて把持されるものではなく、物品支持体に固着されるものであってもよい。
【００３８】
（４）上記実施形態では、上位管理装置から搬送指令を受けた場合に、把持部３０を下降させたのちに直動移動制御及び回動制御を実行し、かつ、直動移動制御及び回動制御を実行したのちに把持部３０を上昇させる構成を例示したが、把持部３０の下降又は上昇と、直動移動制御及び回動制御との順序は逆であってもよい。また、直動移動制御と回動制御とのいずれを先に行ってもよい。
【００３９】
（５）上記実施形態では、移動軸心を第１方向と平面視で直交する（すなわち上下方向に沿う）形態で備える直動回動装置を例示したが、移動軸心の沿う方向はこれに限定されるものではない。すなわち、移動軸心を第１方向と水平方向視で直交する（すなわち水平方向に沿う）形態としたり、水平方向又は上下方向から傾斜した方向に沿わせる形態としてもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１２Ｂ    ネジ軸
２４      被操作部材
Ｓ        物品支持部
Ｂ        物品
Ｈ        制御部
Ｊ        支持部
Ｌ        動作状態切換部
ＭＫ      回転モータ
Ｍ１      駆動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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