(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
出力軸を備え、前記出力軸の軸方向に直動可能かつ前記出力軸の周方向に回転可能に支持される可動子と、
前記可動子を直動させる磁界を発生する直動用巻線と、前記可動子を回転させる磁界を発生する回転用巻線を備える固定子と、
を備え、
前記可動子は、前記軸方向に交互に配列する複数の永久磁石と複数のヨークを備え、
前記各々のヨークには、前記出力軸の径方向の外周側に突出し、前記周方向に配列する複数の突出部が設けられ、
前記各々の突出部には、前記軸方向の各々の側に張り出し、前記永久磁石と前記径方向に重なり合う庇部が設けられる、
直動回転アクチュエータ。
【請求項２】
前記永久磁石に対して前記軸方向の一方の側に位置する前記ヨークに設けられた前記突出部の前記庇部と、他方の側に位置する前記ヨークに設けられた前記突出部の前記庇部が、前記周方向に重なり合わない、
請求項１に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項３】
前記永久磁石の外周面が、前記庇部の内周面に嵌合する、
請求項１に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項４】
前記固定子は、前記径方向の内周側に突出して前記可動子に対向する、前記軸方向と前記周方向に配列する複数の突出コアをさらに備える、
請求項１に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項５】
前記突出部の前記軸方向の長さが、前記突出コアの前記軸方向の長さよりも大きい、
請求項４に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項６】
前記永久磁石に対して前記軸方向の一方の側に位置する前記ヨークに設けられた前記突出部と、他方の側に位置する前記ヨークに設けられた前記突出部の、前記周方向に見たときの前記軸方向の間隔が、前記軸方向に見たときの前記周方向の間隔よりも大きい、
請求項１に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項７】
前記可動子は、前記ヨークの前記径方向の内周側に配置される永久磁石をさらに備える、
請求項１に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項８】
前記各々の永久磁石と前記各々のヨークは円盤状であり、相互に接着されて前記軸方向に列なる、
請求項１に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項９】
前記突出部は、前記ヨークの外周面に接着された永久磁石からなる、
請求項１に記載の直動回転アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直動回転アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、直動と回転の２つの動作が可能な直動回転アクチュエータが知られている。
【０００３】
非特許文献１には、複数の永久磁石と複数のヨークが軸方向に交互に配列し、各々のヨークに径方向に突出する突出部が設けられた可動子が開示されている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】Masaki Mori, Wataru Kitagawa and Takaharu Takeshita、"Design of Two-Degree-of-Freedom Electromagnetic Actuator using PMSM and LSM"、Journal of the Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics、2013年9月、第21巻、第3号、p.476-481
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５２６１９１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、非特許文献１に開示された可動子の構成では、永久磁石の厚みの分だけ突出部の軸方向の間隔が開くため、十分な出力が得られにくい上、軸方向に肥大化しやすいという課題がある。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、出力の向上と軸方向の小型化を図ることが可能な直動回転アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の直動回転アクチュエータは、可動子と、固定子と、を備える。前記可動子は、出力軸を備え、前記出力軸の軸方向に直動可能かつ前記出力軸の周方向に回転可能に支持される。前記固定子は、前記可動子を直動させる磁界を発生する直動用巻線と、前記可動子を回転させる磁界を発生する回転用巻線を備える。前記可動子は、前記軸方向に交互に配列する複数の永久磁石と複数のヨークを備える。前記各々のヨークには、前記径方向の外周側に突出し、前記周方向に配列する複数の突出部が設けられる。前記各々の突出部には、前記軸方向の各々の側に張り出し、前記永久磁石と前記径方向に重なり合う庇部が設けられる。
【０００９】
本発明の一態様では、前記永久磁石に対して前記軸方向の一方の側に位置する前記ヨークに設けられた前記突出部の前記庇部と、他方の側に位置する前記ヨークに設けられた前記突出部の前記庇部が、前記周方向に重なり合わなくてもよい。
【００１０】
本発明の一態様では、前記永久磁石の外周面が、前記庇部の内周面に嵌合してもよい。
【００１１】
本発明の一態様では、前記固定子は、前記径方向の内周側に突出して前記可動子に対向する、前記軸方向と前記周方向に配列する複数の突出コアをさらに備えてもよい。
【００１２】
本発明の一態様では、前記突出部の前記軸方向の長さが、前記突出コアの前記軸方向の長さよりも大きくてもよい。
【００１３】
本発明の一態様では、前記永久磁石に対して前記軸方向の一方の側に位置する前記ヨークに設けられた前記突出部と、他方の側に位置する前記ヨークに設けられた前記突出部の、前記周方向に見たときの前記軸方向の間隔が、前記軸方向に見たときの前記周方向の間隔よりも大きくてもよい。
【００１４】
本発明の一態様では、前記可動子は、前記ヨークの前記径方向の内周側に配置される永久磁石をさらに備えてもよい。
【００１５】
本発明の一態様では、前記各々の永久磁石と前記各々のヨークは円盤状であり、相互に接着されて前記軸方向に列なってもよい。
【００１６】
本発明の一態様では、前記突出部は、前記ヨークの外周面に接着された永久磁石からなってもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によると、ヨークの突出部に、軸方向の各々の側に張り出し、永久磁石と径方向に重なり合う庇部が設けられているため、庇部の軸方向の間隔を永久磁石の厚さよりも小さくすることができ、この結果、可動子の磁束密度が高まり、出力の向上を図ることが可能である。また、軸方向の小型化を図ることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る直動回転アクチュエータの断面図である。
【図２】図１の要部を拡大した図である。
【図３】可動子と固定子の断面図である。
【図４】固定子のコアの斜視図である。
【図５】可動子の斜視図である。
【図６】可動子の側面図である。
【図７Ａ】可動子の断面図である。
【図７Ｂ】可動子の断面図である。
【図８】図２の要部をさらに拡大した図である。
【図９】本発明の他の実施形態に係る直動回転アクチュエータの断面図である。
【図１０】可動子の断面図である。
【図１１Ａ】可動子の斜視図である。
【図１１Ｂ】可動子の斜視図である。
【図１２】本発明の他の実施形態に係る直動回転アクチュエータの断面図である。
【図１３】本発明の他の実施形態に係る直動回転アクチュエータの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る直動回転アクチュエータ１を、出力軸２１を通るように切断したときの断面図である。図２は、図１における可動子２と固定子３を含む要部を拡大した図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線で切断したときの可動子２と固定子３の断面図である。各図において、Ｚ方向は、出力軸２１の軸方向であって、可動子２が直動する方向である。θ方向は、出力軸２１の周方向であって、可動子２が回転する方向である。Ｒ方向は、出力軸２１の径方向である。
【００２１】
図１に示されるように、直動回転アクチュエータ１は、円筒状のハウジング４に収容された可動子２と固定子３を備えている。可動子２は、出力軸２１を備えており、軸受ユニット５１，５３によりハウジング４に対してＺ方向に直動可能かつθ方向に回転可能に支持されている。軸受ユニット５１，５３は、ボールスプライン５１ａ，５３ａと、ベアリング５１ｂ，５３ｂを備えている。出力軸２１の材料としては、例えば非磁性体が好適であるが、強磁性体であってもよい。固定子３は、ハウジング４の内周面上に固定されており、可動子２を取り囲んでいる。
【００２２】
出力軸２１の一方の端部は、ハウジング４の外部へ延出している。出力軸２１の他方の端部には、ベアリング５５を介してＺ方向に延伸するアーム５７が取り付けられている。アーム５７には、リニアスケール６１が取り付けられており、リニアセンサ６３と共に、出力軸２１のＺ方向の位置を検出するために利用される。また、ボールスプライン５３ａには、円盤状永久磁石７１が取り付けられており、磁気検出素子７３と共に、出力軸２１のθ方向の回転角を検出するための磁気式エンコーダを構成している。なお、光学式のロータリエンコーダが用いられてもよい。
【００２３】
図２及び図３に示されるように、可動子２は、Ｚ方向に交互に配列する複数の永久磁石２３と複数のヨーク２５を備えている。永久磁石２３とヨーク２５は、環状に形成されており、出力軸２１に嵌められている。永久磁石２３とヨーク２５は、相互に接触した状態で出力軸２１に固定されている。可動子２の具体的な構成については、後述する。
【００２４】
固定子３は、コア３１に巻かれた直動用巻線３３と回転用巻線３５を備えている。直動用巻線３３と回転用巻線３５は、出力軸２１を中心に同心円状に配置されており、Ｒ方向に重なり合っている。直動用巻線３３は、可動子２を取り囲むようにθ方向に巻かれており、電流が供給されると可動子２を直動させる磁界を発生する。回転用巻線３５は、Ｚ方向を往復するように巻かれており、電流が供給されると可動子２を回転させる磁界を発生する。
【００２５】
固定子３は、θ方向に配列する複数のコア３１を備えている。複数のコア３１は、組み立てられることによって、可動子２を取り囲む円筒状の外形を成す。各々のコア３１は、Ｒ方向の内周側に突出して可動子２に対向する複数の突出コア３１９を備えている。突出コア３１９は、ティースとも呼ばれる。突出コア３１９は、Ｚ方向とθ方向に配列する。図示の例では、７つの突出コア３１９がＺ方向に配列し、６つの突出コア３１９がθ方向に配列している。
【００２６】
具体的には、固定子３は、図４に示されるように、ハウジング４の内周面に沿うように湾曲した壁部３１３と、壁部３１３のθ方向の中央からＲ方向の内周側へ突出した条部３１５と、条部３１５からＲ方向の内周側へ突出した複数の突出コア３１９を備えている。また、突出コア３１９は、θ方向に広がった先端部３１８を備えている。
【００２７】
回転用巻線３５は、条部３１５を取り囲むようにＺ方向に往復して巻かれる。コア３１は、条部３１５に回転用巻線３５が巻かれた状態でハウジング４に収容され、円筒状に組み立てられる。直動用巻線３３は、Ｚ方向に隣り合う突出コア３１９の間の溝３１ｄに収容されるように、円筒状に組み立てられた複数のコア３１に亘ってθ方向に巻かれる。
【００２８】
図５と図６は、可動子２の斜視図と側面図である。図６における永久磁石２３の内側に付された矢印は、Ｓ極からＮ極に向かう磁化の方向を示している。図７Ａは、図６のＡ−Ａ線で切断したときの可動子２の断面図である。図７Ｂは、図６のＢ−Ｂ線で切断したときの可動子２の断面図である。図７Ａと図７Ｂにおけるヨーク２５の突出部２５７の周囲に付された矢印は、Ｎ極からＳ極に向かう磁束の方向を示している。
【００２９】
可動子２は、Ｚ方向に交互に配列する複数の永久磁石２３と複数のヨーク２５を備えている。複数の永久磁石２３は、Ｚ方向の一方の側がＮ極の永久磁石２３Ａと、Ｚ方向の他方の側がＮ極の永久磁石２３Ｂを含んでおり、永久磁石２３Ａと永久磁石２３ＢがＺ方向に交互に配列している。このため、複数のヨーク２５は、永久磁石２３のＳ極に挟まれるヨーク２５Ａと、永久磁石２３のＮ極に挟まれるヨーク２５Ｂを含んでおり、ヨーク２５Ａとヨーク２５ＢがＺ方向に交互に配列している。
【００３０】
各々のヨーク２５は、環状部２５３からＲ方向の外周側に突出し、θ方向に配列する複数の突出部２５７を備えている。突出部２５７は、ティースとも呼ばれる。ここで、永久磁石２３のＳ極に挟まれるヨーク２５Ａの突出部２５７はＳ極部となり、永久磁石２３のＮ極に挟まれるヨーク２５Ｂの突出部２５７はＮ極部となる。すなわち、ヨーク２５Ａの突出部２５７のＲ方向の外周側がＳ極となり、ヨーク２５Ｂの突出部２５７のＲ方向の外周側がＮ極となる。
【００３１】
ヨーク２５Ａの突出部２５７（Ｓ極部）とヨーク２５Ｂの突出部２５７（Ｎ極部）は、Ｚ方向に見たときにθ方向に交互に配列している。図示の例では、ヨーク２５Ａ，２５Ｂのそれぞれに９０度間隔で４つの突出部２５７が設けられており、このため、Ｚ方向に見たとき４５度間隔で８つの突出部２５７がθ方向に配列している。また、ヨーク２５Ａの突出部２５７（Ｓ極部）とヨーク２５Ｂの突出部２５７（Ｎ極部）は、θ方向に見たときにＺ方向に交互に配列している。
【００３２】
ところで、永久磁石２３とヨーク２５がＺ方向に交互に配列する構成を採用する場合、永久磁石２３のＺ方向の厚みの分だけ２つのヨーク２５Ａ，２５Ｂが離れるため、非特許文献１のように突出部のＺ方向の間隔が広がる傾向にある。非特許文献１のように突出部のＺ方向の間隔が広がると、十分な出力が得られにくい上、軸方向に肥大化しやすいという課題がある。
【００３３】
そこで、本実施形態では、各々のヨーク２５の突出部２５７にＺ方向に張り出す庇部２５９を設けることによって、こうした課題を解決している。
【００３４】
具体的には、各々のヨーク２５の突出部２５７は、環状部２５３とＲ方向に連続する中央部２５８と、中央部２５８からＺ方向の両方の側にそれぞれ張り出す庇部２５９を備えている。庇部２５９のＲ方向の厚みとθ方向の幅は、中央部２５８と同一である。庇部２５９は、中央部２５８からＺ方向に張り出すことで、永久磁石２３とＲ方向に重なり合っている。また、永久磁石２３は、ヨーク２５の環状部２５３と同径であり、永久磁石２３の外周面は、庇部２５９の内周面に嵌合している。
【００３５】
このようにヨーク２５の突出部２５７に庇部２５９を設けることによって、２つのヨーク２５Ａ，２５Ｂの突出部２５７のＺ方向の間隔を永久磁石２３のＺ方向の厚みよりも小さくすることができ、この結果、出力の向上とＺ方向の小型化を図ることが可能である。
【００３６】
すなわち、ヨーク２５Ａの突出部２５７（Ｓ極部）とヨーク２５Ｂの突出部２５７（Ｎ極部）のＺ方向の間隔が小さくなるので、可動子２の磁束密度が高まり、直動出力と回転出力の両方を向上させることが可能である。特に、Ｚ方向において可動子２の磁束密度が高められるため、より直動出力を向上させやすい。さらに、必要な突出部２５７のＺ方向の長さを確保したまま、環状部２５３のＺ方向の長さを小さくすることができるので、装置全体のＺ方向の小型化を図ることが可能である。
【００３７】
図８は、図２における永久磁石２３Ａ，２３Ｂ、ヨーク２５Ａ，２５Ｂ、及び突出コア３１９を含む要部をさらに拡大した図である。同図では、断面に現れないヨーク２５Ｂの突出部２５７（Ｎ極部）を二点鎖線で描いている。
【００３８】
Ｌｃは、庇部２５９を含む突出部２５７のＺ方向の長さである。Ｌｃ’は、環状部２５３のＺ方向の長さであり、言い換えると、突出部２５７のＺ方向の長さＬｃから庇部２５９の張り出し分を差し引いた長さである。Ｌｍは、永久磁石２３のＺ方向の厚みであり、言い換えると、Ｚ方向に隣り合う２つの環状部２５３の間隔である。Ｌｍｚは、θ方向に見たときのヨーク２５Ａの突出部２５７（Ｓ極部）とヨーク２５Ｂの突出部２５７（Ｎ極部）のＺ方向の間隔である。Ｌｔは、固定子３のコア３１に設けられた突出コア３１９のＺ方向の長さであり、詳しくは、突出コア３１９の可動子２に対向する面のＺ方向の長さである。
【００３９】
ヨーク２５Ａの突出部２５７（Ｓ極部）とヨーク２５Ｂの突出部２５７（Ｎ極部）は、周方向に重なり合わないことが好ましく、言い換えると、両者の間隔Ｌｍｚは０よりも大きいことが好ましい。また、庇部２５９の張り出し分（すなわち、Ｌｃ−Ｌｃ’）は、永久磁石２３の厚みＬｍの半分よりも小さいことが好ましい。これによると、Ｓ極部とＮ極部が周方向に重なり合わないようにすることで、漏れ磁束を抑制して、直動出力の向上を図ることが可能である。
【００４０】
さらには、ヨーク２５Ａの突出部２５７（Ｓ極部）とヨーク２５Ｂの突出部２５７（Ｎ極部）のθ方向に見たときのＺ方向の間隔Ｌｍｚは、Ｚ方向に見たときのθ方向の間隔Ｌｍθ（図７Ａを参照）よりも大きいことが好ましい。Ｓ極部とＮ極部の間隔Ｌｍｚを確保することで、漏れ磁束を抑制して、直動出力の向上を図ることが可能である。
【００４１】
突出部２５７のＺ方向の長さＬｃは、突出コア３１９のＺ方向の長さＬｔよりも大きいことが好ましい。これによると、直動用巻線３３に生じる誘起電圧を正弦波に近づけることができるため、直動出力の向上を図ることが可能である。
【００４２】
すなわち、突出部２５７がＺ方向に移動するとき、突出部２５７が突出コア３１９に近づくに従って突出コア３１９が受ける磁束密度が徐々に大きくなり、突出部２５７が突出コア３１９から離れるに従って突出コア３１９が受ける磁束密度が徐々に小さくなると、直動用巻線３３に生じる誘起電圧を正弦波に近づけることが可能である。ここで、可動子２側の磁束密度は固定子３側よりも大きいことが一般的であることから、突出部２５７のＺ方向の長さＬｃを突出コア３１９のＺ方向の長さＬｔよりも大きくすることで、直動用巻線３３に生じる誘起電圧を正弦波に近づけやすくなる。
【００４３】
［第２の実施形態］
図９は、本発明の第２の実施形態に係る直動回転アクチュエータ１の可動子２と固定子３を含む要部を拡大した断面図である。図１０は、図９のＸ−Ｘ線で切断したときの可動子２と固定子３の断面図である。図１１Ａと図１１Ｂは、上記図７Ａと図７Ｂに対応する断面図である。なお、上記実施形態と重複する構成については、図中に同一の番号を付すことで詳細な説明を省略する。
【００４４】
本実施形態では、ヨーク２５のＲ方向の内周側に永久磁石２４が配置されている。すなわち、ヨーク２５と出力軸２１の間に環状の永久磁石２４が介在している。具体的には、永久磁石２３のＳ極に挟まれるヨーク２５ＡのＲ方向の内周側には、Ｒ方向の外周側がＳ極の永久磁石２４Ａが配置されており、永久磁石２３のＮ極に挟まれるヨーク２５ＢのＲ方向の外周側には、Ｒ方向の外周側がＮ極の永久磁石２４Ｂが配置されている。
【００４５】
これによると、ヨーク２５の突出部２５７における磁束密度をさらに向上させることが可能であり、この結果、直動出力と回転出力のさらなる向上を図ることが可能である。具体的には、ヨーク２５ＡのＲ方向の内周側に永久磁石２４Ａを配置することで、ヨーク２５Ａの突出部２５７（Ｓ極部）に流入する磁束密度をさらに向上させることが可能であり、ヨーク２５ＢのＲ方向の内周側に永久磁石２４Ｂを配置することで、ヨーク２５Ｂの突出部２５７（Ｎ極部）から流出する磁束密度をさらに向上させることが可能である。
【００４６】
［第３の実施形態］
図１２は、本発明の第３の実施形態に係る直動回転アクチュエータ１の可動子２と固定子３を含む要部を拡大した断面図である。なお、上記実施形態と重複する構成については、図中に同一の番号を付すことで詳細な説明を省略する。
【００４７】
本実施形態では、各々の永久磁石２３と各々のヨーク２５が円盤状であり、相互に接着されて軸方向に列なることで可動子２を構成している。すなわち、本実施形態では、永久磁石２３とヨーク２５が設けられる範囲において出力軸２１（図２等を参照）が省略されており、各々の永久磁石２３と各々のヨーク２５には、出力軸２１のための貫通穴が形成されていない。
【００４８】
これによると、ヨーク２５の突出部２５７における磁束密度をさらに向上させることが可能であり、この結果、直動出力と回転出力のさらなる向上を図ることが可能である。
【００４９】
［第４の実施形態］
図１３は、本発明の第３の実施形態に係る直動回転アクチュエータ１の可動子２と固定子３を含む要部を拡大した断面図である。同図では、磁化の方向を示すため、可動子２の断面に付すハッチングを省略している。なお、上記実施形態と重複する構成については、図中に同一の番号を付すことで詳細な説明を省略する。
【００５０】
本実施形態では、上記第３の実施形態と同様に、各々の永久磁石２３と各々のヨーク２５が円盤状であり、相互に接着されて軸方向に列なることで可動子２を構成している。
【００５１】
さらに、本実施形態では、上記第１〜第３の実施形態に係る突出部２５７に代えて、ヨーク２５の外周面に接着された永久磁石からなる突出部２９が設けられている。突出部２９の位置、大きさ及び範囲は、上記第１〜第３の実施形態に係る突出部２５７と同様である（図５〜図８等を参照）。
【００５２】
具体的には、永久磁石２３のＳ極に挟まれるヨーク２５Ａの外周面に接着される突出部２９Ａは、Ｒ方向の外周側がＳ極であり（Ｓ極部）、永久磁石２３のＮ極に挟まれるヨーク２５Ｂの外周面に接着される突出部２９Ｂは、Ｒ方向の外周側がＮ極である（Ｎ極部）。図１３では、断面に現れない突出部２９Ｂを二点鎖線で描いている。
【００５３】
これによると、突出部２９における磁束密度をさらに向上させることが可能であり、この結果、直動出力と回転出力のさらなる向上を図ることが可能である。具体的には、ヨーク２５Ａの外周面に突出部２９Ａを配置することで、突出部２９Ａ（Ｓ極部）に流入する磁束密度をさらに向上させることが可能であり、ヨーク２５Ｂの外周面に突出部２９Ｂを配置することで、突出部２９Ｂ（Ｎ極部）から流出する磁束密度をさらに向上させることが可能である。
【００５４】
［特許文献１との比較］
特許文献１の実施例３と図５には、クローポール鉄心２６３ａ，２６３ｂが開示されている。これは、「クローポール」という語から明らかなように、永久磁石２５３が位置する軸方向の一方の側にのみ爪部を延ばすことで、爪部に径方向の磁極を形成するものである。すなわち、特許文献１には、鉄心が２つの永久磁石によって軸方向に挟まれることや、爪部が軸方向の両方の側にそれぞれ延びることは開示されていない。
【００５５】
これに対し、本実施形態では、各々のヨーク２５は２つの永久磁石２３Ａ，２３ＢによってＺ方向に挟まれており、永久磁石２３のＳ極に挟まれるヨーク２５Ａの突出部２５７がＳ極部となり、永久磁石２３のＮ極に挟まれるヨーク２５Ｂの突出部２５７がＮ極部となっている。また、各々のヨーク２５の突出部２５７には、Ｚ方向の両方の側にそれぞれ張り出す庇部２５９が設けられている。
【００５６】
このように、本実施形態と特許文献１の相違は明らかであり、本実施形態における庇部２５９を含むヨーク２５と、特許文献１におけるクローポール鉄心は、混同すべきでないものと思料する。
【００５７】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が当業者にとって可能であるのはもちろんである。
【符号の説明】
【００５８】
１  直動回転アクチュエータ、２  可動子、２１  出力軸、２３，２４  永久磁石、２５  ヨーク、２５３  環状部、２５７  突出部、２５８  中央部、２５９  庇部、３  固定子、２９  突出部、３１  コア、３１３  壁部、３１５  条部、３１８  先端部、３１９  突出コア、３１ｄ  溝、３３  直動用巻線、３５  回転用巻線、４  ハウジング、５１，５３  軸受ユニット、５１ａ，５３ａ  ボールスプライン、５１ｂ，５３ｂ，５５  ベアリング、５７  アーム、６１  リニアスケール、６３  リニアセンサ、７１  円盤状永久磁石、７３  磁気検出素子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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【図１３】
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