(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーンマスクを保持した状態で、前記スクリーンマスクを上下方向に昇降させて基板に対する位置決めを行うマスク昇降機構部と、
前記スクリーンマスクの昇降動作とは独立するように設置された枠体部と、
前記枠体部に移動可能に設けられ、半田が供給された前記スクリーンマスクのスキージングを行う印刷ヘッド部と、
前記マスク昇降機構部を水平方向に移動可能とする水平位置決め機構部とを備え、
前記枠体部は、前記マスク昇降機構部から上方に間隔を隔てて水平方向に延びる支持部と、前記支持部に接続され、下方から前記支持部を支持するとともに上下方向に延びる脚部とを含み、
前記枠体部の前記脚部は、前記水平位置決め機構部に固定されている、印刷装置。
【請求項２】
前記印刷ヘッド部は、前記支持部に水平方向に移動可能に支持されている、請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記マスク昇降機構部は、前記枠体部の前記支持部に対して独立した状態で前記スクリーンマスクを前記上下方向に昇降させて、前記基板に対する位置決めを行うように構成されている、請求項２に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記枠体部は、前記脚部と前記支持部とによって門型構造が形成されており、
前記マスク昇降機構部は、前記門型構造を有する前記枠体部の内側に配置されている、請求項２または３に記載の印刷装置。
【請求項５】
前記印刷ヘッド部は、前記水平位置決め機構部による前記マスク昇降機構部の水平方向への移動に伴って移動されるように構成されている、請求項１に記載の印刷装置。
【請求項６】
前記マスク昇降機構部が固定的に設置される台座部をさらに備え、
前記枠体部の前記脚部は、前記台座部に固定されている、請求項４に記載の印刷装置。
【請求項７】
前記印刷ヘッド部は、前記枠体部における前記支持部の上面側において水平方向に移動可能に支持されている、請求項２〜６のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項８】
前記印刷ヘッド部は、前記枠体部における前記支持部の下面側において水平方向に移動可能に支持されている、請求項２〜６のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項９】
前記印刷ヘッド部は、前記スキージングを行うためのヘラ部材を含み、
前記マスク昇降機構部による前記スクリーンマスクの上下方向の移動とともに、前記ヘラ部材の高さ位置を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記スクリーンマスクを前記基板から上下方向に離間させる動作に同期して、前記ヘラ部材を前記基板から離間させる制御を行うように構成されている、請求項１〜８のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項１０】
前記印刷ヘッド部は、前記スキージングが行われる際、前記ヘラ部材により前記スクリーンマスクを所定の押圧力で押圧するように構成されており、
前記制御部は、前記マスク昇降機構部により前記スクリーンマスクが前記基板から離間される際に、前記ヘラ部材を前記スクリーンマスクに接触させた状態で前記基板から離間させる制御を行うように構成されている、請求項９に記載の印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーンマスクを昇降させるマスク昇降機構部と、スクリーンマスクのスキージングを行う印刷ヘッド部とを備えた印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、スクリーンマスクを昇降させるマスク昇降機構部と、スクリーンマスクのスキージングを行う印刷ヘッド部とを備えた印刷装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、テーブル上に固定されたワーク（印刷対象）に、マスクを介して半田ペーストを印刷するスクリーン印刷機が開示されている。このスクリーン印刷機には、所定の高さ位置に配置されたテーブルに対して、保持されたマスクを昇降させてワークとの高さ方向の位置決めを行うマスク昇降機構部が設けられている。また、マスク昇降機構部には、マスクの上面に供給されたペースト材を塗布するスキージユニット（印刷ヘッド部）が、マスクの上面に沿って移動可能に取り付けられている。ここで、一般的に、スキージユニットは、ペースト材を掻き取るスキージ、スキージをマスクの上面に押し付ける印圧負荷機構部、および、スキージと印圧負荷機構部とを前後に移動させてスキージングを行う移動機構部などを含んでいるため、重量物である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２８００６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載のスクリーン印刷機では、重量物であるスキージユニット（印刷ヘッド部）がマスク昇降機構部に直接取り付けられているため、スキージの前後方向の移動とともにスキージユニット全体もマスク昇降機構部内を前後方向に移動する。この場合、スキージユニットの移動に起因して、マスク昇降機構部が前後方向（上下方向）に傾斜する虞があると考えられる。このため、スキージユニットの移動が、マスク昇降機構部の有する高さ位置精度に影響を与えるという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、印刷ヘッド部の移動によって、マスク昇降機構部の有する高さ位置精度が影響を受けることを抑制することが可能な印刷装置を提供することである。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００７】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面における印刷装置は、スクリーンマスクを保持した状態で、スクリーンマスクを上下方向に昇降させて基板に対する位置決めを行うマスク昇降機構部と、スクリーンマスクの昇降動作とは独立するように設置された枠体部と、枠体部に移動可能に設けられ、半田が供給されたスクリーンマスクのスキージングを行う印刷ヘッド部と、マスク昇降機構部を水平方向に移動可能とする水平位置決め機構部とを備え、枠体部は、マスク昇降機構部から上方に間隔を隔てて水平方向に延びる支持部と、支持部に接続され、下方から支持部を支持するとともに上下方向に延びる脚部とを含み、枠体部の脚部は、水平位置決め機構部に固定されている。
【０００８】
この発明の一の局面による印刷装置では、上記のように、スクリーンマスクの昇降動作とは独立するように設置された枠体部と、枠体部に移動可能に設けられ、半田が供給されたスクリーンマスクのスキージングを行う印刷ヘッド部とを備えることによって、印刷時に印刷ヘッド部をスクリーンマスク上で移動させても、印刷ヘッド部がマスク昇降機構部とは構造的に独立した枠体部に設けられているので、印刷ヘッド部の移動がマスク昇降機構部に直接的に伝わることが抑制される。これにより、印刷ヘッド部が移動したとしても、マスク昇降機構部が印刷ヘッド部の移動に起因して上下方向に傾斜するような事態が抑制される。この結果、印刷ヘッド部の移動によって、マスク昇降機構部の有する高さ位置精度が影響を受けることを抑制することができる。
【０００９】
上記一の局面による印刷装置において、好ましくは、印刷ヘッド部は、支持部に水平方向に移動可能に支持されている。このように構成すれば、スキージングを行う際に、マスク昇降機構部の上方に独立して設けられた支持部により、印刷ヘッド部を容易に水平方向（印刷方向）に移動させることができる。
【００１０】
上記枠体部が支持部を含む構成において、好ましくは、マスク昇降機構部は、枠体部の支持部に対して独立した状態でスクリーンマスクを上下方向に昇降させて基板に対する位置決めを行うように構成されている。このように構成すれば、印刷ヘッド部がスキージングに伴って支持部を水平方向に移動しても、支持部とマスク昇降機構部とが互いに構造的に独立しているので、印刷ヘッド部の移動に伴う荷重の移動が、マスク昇降機構部に直接的に伝わることを容易に抑制することができる。
【００１１】
上記枠体部が支持部を含む構成において、好ましくは、枠体部は、脚部と支持部とによって門型構造が形成されており、マスク昇降機構部は、門型構造を有する枠体部の内側に配置されている。このように構成すれば、マスク昇降機構部を門型構造を有する枠体部の内側に容易に配置することができる。そして、所定の剛性を有する門型構造の梁部となる支持部を介して印刷ヘッド部を水平方向（印刷方向）に移動させることができる。これにより、印刷ヘッド部の移動によってマスク昇降機構部の有する高さ位置精度が影響を受けることが抑制された印刷装置を容易に得ることができる。
【００１２】
上記枠体部が支持部に接続された脚部をさらに含む構成において、好ましくは、枠体部の脚部は、水平位置決め機構部に固定されている。このように構成すれば、マスク昇降機構部の高さ位置精度を安定的に維持したまま、マスク昇降機構部を水平方向に移動させることができるので、基板に対するスクリーンマスクの位置合わせを精度良く行うことができる。
【００１３】
上記一の局面による印刷装置において、好ましくは、印刷ヘッド部は、水平位置決め機構部によるマスク昇降機構部の水平方向への移動に伴って移動されるように構成されている。このように構成すれば、水平方向においては、印刷ヘッド部とマスク昇降機構部とを一体的に移動させることができるので、印刷ヘッド部とマスク昇降機構部との水平面内における相対的な位置関係にずれが生じることを極力抑制することができる。これにより、スキージングの際にスクリーンマスクにおける適正なスキージング方向に対して印刷ヘッド部が斜め方向に移動されることが抑制されるので、基板に対する印刷品質を良好に保つことができる。
【００１４】
上記枠体部が支持部に接続された脚部をさらに含む構成において、好ましくは、マスク昇降機構部が固定的に設置される台座部をさらに備え、枠体部の脚部は、台座部に固定されている。このように構成すれば、マスク昇降機構部が有する高さ位置精度を安定的に維持することが可能な印刷装置を、簡素な構成によって得ることができる。
【００１５】
上記枠体部が支持部を含む構成において、好ましくは、印刷ヘッド部は、枠体部における支持部の上面側において水平方向に移動可能に支持されている。このように構成すれば、印刷ヘッド部が支持部の上面側に配置されるので、支持部よりも下方のマスク昇降機構部との空間を容易に確保することができる。これにより、印刷ヘッド部とマスク昇降機構部とを互いに独立させた状態で、各々を容易に駆動させることができる。
【００１６】
上記枠体部が支持部を含む構成において、好ましくは、印刷ヘッド部は、枠体部における支持部の下面側において水平方向に移動可能に支持されている。このように構成すれば、支持部を介在させることなく印刷ヘッド部とマスク昇降機構部とをより近づけて配置することができるので、印刷ヘッド部とマスク昇降機構部との構造的な独立を図りつつ、マスク昇降機構部の昇降動作に伴う印刷ヘッド部の動作制御を精度良く行うことができる。
【００１７】
上記一の局面による印刷装置において、好ましくは、印刷ヘッド部は、スキージングを行うためのヘラ部材を含み、マスク昇降機構部によるスクリーンマスクの上下方向の移動とともに、ヘラ部材の高さ位置を制御する制御部をさらに備え、制御部は、スクリーンマスクを基板から上下方向に離間させる動作に同期して、ヘラ部材を基板から離間させる制御を行うように構成されている。このように構成すれば、印刷ヘッド部がマスク昇降機構部とは構造的に独立した枠体部に設けられている場合であっても、マスク昇降機構部によるスクリーンマスクの上下方向の移動に同期するように印刷ヘッド部のヘラ部材の移動を適切に制御することができるので、印刷後の基板からスクリーンマスクを容易に版離れさせることができる。
【００１８】
この場合、好ましくは、印刷ヘッド部は、スキージングが行われる際、ヘラ部材によりスクリーンマスクを所定の押圧力で押圧するように構成されており、制御部は、マスク昇降機構部によりスクリーンマスクが基板から離間される際に、ヘラ部材をスクリーンマスクに接触させた状態で基板から離間させる制御を行うように構成されている。このように構成すれば、スクリーンマスクを基板から版離れさせる際に、スクリーンマスクにヘラ部材が接触した状態で版離れさせることができるので、スクリーンマスクが上下方向に波打ちながら印刷後の基板から剥がされることが抑制される。これにより、スクリーンマスクの不適切な版離れに起因して、印刷品質が悪化することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態による印刷装置の全体構成を示した斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態による印刷装置の概略的なレイアウトを示した平面図である。
【図３】図１に示した印刷装置を構成する印刷ユニットの構成を示したブロック図である。
【図４】本発明の一実施形態による印刷装置における印刷ユニットをＸ１方向に沿って見た場合の側面図である。
【図５】本発明の一実施形態による印刷装置における印刷ユニットをＸ１方向に沿って見た場合の、スキージングを開始する直前の状態を示した側面図である。
【図６】本発明の一実施形態による印刷装置における印刷ユニットをＸ１方向に沿って見た場合の、スキージングを終了した直後の状態を示した側面図である。
【図７】本発明の一実施形態による印刷装置における印刷ユニットをＸ１方向に沿って見た場合の、版離れ動作の際の側面図である。
【図８】本発明の一実施形態による印刷装置における印刷ユニットをＸ１方向に沿って見た場合の、スキージを収納する際の側面図である。
【図９】本発明の第１参考例による印刷装置における印刷ユニットをＸ１方向に沿って見た場合の側面図である。
【図１０】本発明の第２参考例による印刷装置の全体構成を示した斜視図である。
【図１１】本発明の第２参考例による印刷装置の概略的なレイアウトを示した平面図である。
【図１２】本発明の第２変形例による印刷装置における印刷ユニットをＸ１方向に沿って見た場合の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
（一実施形態）
まず、図１〜図５を参照して、本発明の一実施形態による印刷装置１００の構造について説明する。
【００２２】
本発明の一実施形態による印刷装置１００は、図１に示すように、装置本体内に搬送されるプリント基板（配線基板）５の上面５ａに半田ペーストをマスク印刷する印刷機である。なお、プリント基板５は、本発明の「基板」の一例である。
【００２３】
印刷装置１００は、Ｘ−Ｙ面となる床面１（図１参照）に据え付けられている。また、印刷装置１００は、平面的に見て、図２に示すように、基台１０上に１基の印刷ユニット９０（外形を２点鎖線で示す）を備えている。また、印刷ユニット９０は、プリント基板５の搬入／搬出方向となる長手方向を、基台１０のＸ方向に略一致させて配置されている。ここで、印刷ユニット９０におけるプリント基板５の搬送方向がＸ方向であり、半田２（図５参照）のプリント基板５への印刷方向がＹ方向である。また、Ｘ方向およびＹ方向は、基台１０上において互いに直交する方向である。
【００２４】
また、印刷ユニット９０において、図２の右側（Ｘ２側）がプリント基板５の搬入側であり、図２の左側（Ｘ１側）がプリント基板５の搬出側である。また、図２の右側に配置された後述するフレーム構造体４０（天板部４２）よりも右側の基台１０上の領域が、印刷前のプリント基板５の待機領域である。また、図２の左側に配置されたフレーム構造体４０（天板部４２）よりも左側の領域が、印刷終了後のプリント基板５の搬出領域である。また、左右の天板部４２に挟まれた領域が、プリント基板５の印刷領域に対応している。
【００２５】
印刷装置１００を覆う複数の外装カバー１０１（図１参照）を取り除いた状態で、印刷ユニット９０をＸ方向に沿って側方から見た場合、印刷ユニット９０は、図４に示すように、基台１０上に設置され、プリント基板５を搬送する基板搬送部２０と、基台１０上に移動可能に設置され、後述するマスク昇降機構部５０が設置された水平位置決め機構部３０と、水平位置決め機構部３０に取り付けられたフレーム構造体４０と、マスク昇降機構部５０の上方（Ｚ１方向）に設けられた印刷機構部６０とを備えている。また、図３に示すように、印刷装置１００には、以下に説明する各部の動作制御を行うための後述する制御装置８０が内蔵されている。なお、フレーム構造体４０は、本発明の「枠体部」の一例である。
【００２６】
基板搬送部２０は、図２に示すように、Ｘ１方向に移動するコンベアベルト２１によって、印刷ユニット９０の基板搬入側に配置された印刷前のプリント基板５を印刷領域まで搬送する機能と、印刷が終了されたプリント基板５を印刷領域から搬出領域まで搬送する機能とを有している。ここで、印刷領域とは、印刷時にスクリーンマスク６（図４参照）がプリント基板５の上面５ａ上に載置される領域を示す。
【００２７】
水平位置決め機構部３０は、図４に示すように、スライド機構部３１と、スライド機構部３１の上部側に固定されたテーブル３２とを含んでいる。スライド機構部３１は、基台１０上において、基板搬送部２０が設置された領域を挟んで互いにＹ方向に所定の間隔を隔てて配置されている。テーブル３２は、Ｙ方向に対向する一対のスライド機構部３１によって支持されている。また、水平位置決め機構部３０には、スライド機構部３１を駆動する図示しない駆動機構が設けられており、この駆動機構によって、テーブル３２がＸ−Ｙ面内で移動することが可能に構成されている。なお、各々のスライド機構部３１を個別に駆動することにより、テーブル３２をＹ方向に平行移動させるのみならず、テーブル３２をＸ−Ｙ面内でＺ軸まわりに若干回動させることも可能であるように構成されている。
【００２８】
テーブル３２の上面３２ａには、フレーム構造体４０が設置されている。フレーム構造体４０は、図２に示すように、テーブル３２の隅部（４箇所）近傍から上方（紙面手前方向）に延びる脚部４１と、脚部４１同士をＸ−Ｙ面内で水平方向に繋ぐ天板部４２とを含んでいる。ここで、脚部４１は、図示しない締結部材により、テーブル３２（図４参照）の上面３２ａに固定されている。これにより、天板部４２が、脚部４１を介して基板搬送部２０の上方を覆っている。また、図４に示すように、印刷ユニット９０をＸ方向に沿って側方から見た場合、フレーム構造体４０は、脚部４１と天板部４２とによって門型構造を形成している。なお、天板部４２は、本発明の「支持部」の一例である。なお、図２では、天板部４２の上面４２ａに設けられた後述する印刷機構部６０（図４参照）の図示を省略している。
【００２９】
また、図４に示すように、上記した門型構造を有するフレーム構造体４０の内側に、マスク昇降機構部５０が配置されている。具体的には、マスク昇降機構部５０は、スクリーンマスク６を保持するマスク保持テーブル５１と、マスク保持テーブル５１から下方（Ｚ２方向）に延びる４本のボールネジ軸５２と、４本のボールネジ軸５２の各々に螺合するとともに、テーブル３２の上面３２ａ上において高さ方向の位置を変化させることなく回転可能に取り付けられたプーリ５３と、４つのプーリ５３を同時に同一方向に回転させるために設けられたベルト５４と、脚部４１に固定されるとともにベルト５４を駆動するサーボモータ５５とを含んでいる。したがって、サーボモータ５５の回転制御とともに４つのプーリ５３が同一方向に回転されて、プーリ５３に螺合する４本のボールネジ軸５２が同時に軸方向（Ｚ方向）に移動されるように構成されている。これにより、マスク保持テーブル５１が水平状態を保ったまま、上下方向（Ｚ方向）に沿って昇降されるように構成されている。
【００３０】
一実施形態では、このマスク昇降機構部５０により、印刷時には、マスク保持テーブル５１をＺ２方向に下降させてマスク保持テーブル５１に保持されたスクリーンマスク６を印刷領域に搬入されたプリント基板５の上面５ａに当接させるとともに、印刷後には、マスク保持テーブル５１をＺ１方向に上昇させてプリント基板５の上面５ａからスクリーンマスク６の版離れを行うように構成されている。
【００３１】
また、一実施形態では、水平位置決め機構部３０にマスク昇降機構部５０を有するフレーム構造体４０が設置されているので、印刷領域に搬入されたプリント基板５に対して、マスク保持テーブル５１に保持されたスクリーンマスク６の水平面内（Ｘ−Ｙ面内）における詳細な位置合わせが行われるように構成されている。
【００３２】
また、図４に示すように、フレーム構造体４０における天板部４２の上面４２ａ上に、印刷機構部６０が設けられている。ここで、天板部４２の上面４２ａは、基台１０の上面１０ａと同様に水平面を構成している。印刷機構部６０は、プリント基板５の上面５ａに半田２（図５参照）の印刷（スキージング）を行う機能を有している。
【００３３】
印刷機構部６０は、図５に示すように、スクリーンマスク６の上面６ａ（Ｚ１側）に対してペースト状の半田２を押圧しながらＹ方向に摺動する印圧負荷ユニット６１と、印圧負荷ユニット６１に取り付けられるとともにスクリーンマスク６の上面６ａに半田２を供給する半田供給部６２と、上面４２ａ上をＹ方向に延びるボールネジ軸６３と、ボールネジ軸６３に螺合され、半田供給部６２の側方に固定されたナット部材６４と、ボールネジ軸６３を駆動するサーボモータ６５とを含んでいる。ここで、ボールネジ軸６３は、固定部材６６および固定部材６７によって、軸方向（Ｙ方向）の両端部近傍が上面４２ａ上で回転可能に固定されている。また、サーボモータ６５は、固定部材６６により上面４２ａ上に固定されている。
【００３４】
また、天板部４２の上面４２ａには、Ｙ方向に延びるレール１５が設けられている。レール１５は、マスク保持テーブル５１に保持されるスクリーンマスク６のＹ方向の長さ以上の長さを有している。そして、印圧負荷ユニット６１が取り付けられた半田供給部６２が、レール１５上を移動可能に設置されている。これにより、サーボモータ６５の回転制御とともにスクリーンマスク６に対して印圧負荷ユニット６１が印刷方向（Ｙ方向）に沿って相対的に往復移動するように構成されている。
【００３５】
また、印圧負荷ユニット６１には、スクリーンマスク６の上面６ａを摺動するスキージ７０が伸縮可能なロッド７１を介して取り付けられている。印刷機構部６０では、印刷が行われる際、印圧負荷ユニット６１から延びるロッド７１が下方（Ｚ２方向）に延ばされることにより、スキージ７０の下端部７０ａがスクリーンマスク６に所定の押圧力を有して当接するように構成されている。なお、スキージ７０は、Ｙ方向に対向するように一組設けられており、印刷方向（Ｙ１方向、Ｙ２方向）に応じて、スクリーンマスク６を摺動するスキージ７０が切り換わるように構成されている。そして、この状態で、印圧負荷ユニット６１がマスク保持テーブル５１に対して印刷方向（Ｙ方向）に往復移動することにより、半田２がプリント基板５に印刷されるように構成されている。なお、印圧負荷ユニット６１は、本発明の「印刷ヘッド部」の一例であり、スキージ７０は、本発明の「ヘラ部材」の一例である。
【００３６】
ここで、一実施形態では、図４および図５に示すように、フレーム構造体４０内に配置されたマスク昇降機構部５０と、フレーム構造体４０の天板部４２上に配置された印刷機構部６０とは、構造的に絶縁されて切り離されている。すなわち、フレーム構造体４０（天板部４２）は、スクリーンマスク６が保持されたマスク保持テーブル５１の昇降動作とは独立するように設置されており、このフレーム構造体４０（天板部４２）にスキージングを行う印刷機構部６０が設けられている。したがって、印刷機構部６０の印圧負荷ユニット６１が天板部４２上を印刷方向（Ｙ方向）に移動したとしても、印圧負荷ユニット６１の重量が、スクリーンマスク６を介して直接的にマスク保持テーブル５１に加わらないように構成されている。
【００３７】
また、一実施形態では、天板部４２は、マスク保持テーブル５１の上面５１ａから上方に間隔Ｌ１を隔てて配置されている。したがって、マスク昇降機構部５０の昇降動作によってマスク保持テーブル５１が最も上昇されたとしても、上面５１ａが天板部４２の下面４２ｂに対してＺ２方向に間隔Ｌ１で離間した状態が維持されるように構成されている。さらには、マスク昇降機構部５０は、天板部４２に対して独立した状態でマスク保持テーブル５１に保持されたスクリーンマスク６を上下方向に昇降させて、プリント基板５に対する位置決めを行うように構成されている。
【００３８】
また、一実施形態では、フレーム構造体４０の天板部４２に印刷機構部６０が設けられているので、水平位置決め機構部３０によってマスク昇降機構部５０が水平方向（Ｘ−Ｙ面内）へ移動された場合には、印圧負荷ユニット６１もマスク昇降機構部５０の移動方向と同じ方向に移動されるように構成されている。すなわち、スクリーンマスク６のＸ−Ｙ面内におけるプリント基板５との位置合わせに同期して、印圧負荷ユニット６１もＸ−Ｙ面内を一体的に移動されるので、スクリーンマスク６に対するスキージ７０の位置関係が常に変化しないように構成されている。この場合、スクリーンマスク６とスキージ７０とは、スキージ７０の下端部７０ａがスクリーンマスク６におけるＹ方向（印刷方向）に沿った一辺に対して略直交するＸ方向に延びるように配置されている。したがって、水平位置決め機構部３０によってフレーム構造体４０およびマスク昇降機構部５０がＸ−Ｙ面内を平行移動されるか、またはＺ軸まわりに回動されたとしても、スクリーンマスク６に対してスキージ７０が斜行しながら摺動する状態が回避されている。
【００３９】
また、マスク昇降機構部５０には、図示しない基板用カメラがレンズを下方（Ｚ２方向）に向けて設置されている。印刷ユニット９０では、基板搬送部２０によりプリント基板５がＸ１方向へ搬送される際に、基板用カメラによってプリント基板５の上面５ａに付された図示しないフィデューシャルマーク（位置合わせマーク）が検出されるように構成されている。これにより、印刷開始前に、印刷領域に搬送されたプリント基板５とスクリーンマスク６との水平面内（Ｘ−Ｙ面内）における位置合わせが精度良く行われるように構成されている。
【００４０】
また、スクリーンマスク６（図４参照）は、約２０μｍ以上約１５０μｍ以下の厚みを有する板状（シート状）の部材からなり、複数の開口部（図示せず）がパターニングされた開口領域を有している。このようにシート状のスクリーンマスク６は屈曲性を有するため、スクリーンマスク６は、周囲が剛性の高い部材からなるマスク保持テーブル５１に固定されている。
【００４１】
また、図３に示すように、制御装置８０は、ＣＰＵ（演算処理部）と基板回路部とにより構成されている。具体的には、制御装置８０は、演算処理部８１、記憶部８２、外部入出力部８３、画像処理部８４および駆動制御部８５によって主に構成されている。なお、駆動制御部８５は、本発明の「制御部」の一例である。
【００４２】
演算処理部８１はＣＰＵからなり、印刷ユニット９０の動作を全般的に統括している。また、演算処理部８１からの指令に基づいて、駆動制御部８５による制御動作が行われるように構成されている。
【００４３】
ここで、一実施形態では、駆動制御部８５により、スクリーンマスク６をプリント基板５から上方（Ｚ１方向）に離間させる動作に同期して、スキージ７０をプリント基板５から上方に離間させる制御を行うように構成されている。すなわち、マスク保持テーブル５１が天板部４２の下面４２ｂと間隔Ｌ２を隔てて下降されていた状態（図５参照）から、プリント基板５への印刷終了後にスクリーンマスク６をプリント基板５から上方に離間させる際、マスク保持テーブル５１の上昇とともにロッド７１を同時に引き上げる動作を行うように構成されている。また、この際、印圧負荷ユニット６１による印圧をきめ細かく制御することにより、スキージ７０の下端部７０ａをスクリーンマスク６の上面６ａに接触させた状態で、ロッド７１を上方に引き上げるように構成されている。これにより、スクリーンマスク６をプリント基板５から版離れさせる際に、スクリーンマスク６に所定の押圧力でスキージ７０が接触した状態が維持されるので、スクリーンマスク６が上下方向に波打ちながらプリント基板５から剥がされるような状態が生じることが抑制されている。
【００４４】
また、記憶部８２は、演算処理部８１が実行可能な制御プログラムなどが格納されている動作プログラム記憶部８２ａと、印刷動作を行う際に必要となるデータ類が格納されている制御データ記憶部８２ｂとを含んでいる。ここで、動作プログラム記憶部８２ａは、フラッシュＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）からなり、制御データ記憶部８２ｂは、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）からなる。
【００４５】
また、外部入出力部８３は、運転開始ボタン９５を含む運転操作上の各種ボタン類や、基板位置センサ、マスク位置センサ、スキージ位置センサなどの各種センサ類からの入出力を制御する機能を有している。画像処理部８４は、基板用カメラが撮像した画像データの処理を行って、印刷ユニット９０の動作に必要とされるデータを内部的に生成する役割を有している。
【００４６】
また、駆動制御部８５は、演算処理部８１から出力される制御信号に基づいて、印刷ユニット９０の各サーボモータ（水平位置決め機構部３０のスライド機構部３１を個別に駆動するサーボモータ、マスク保持テーブル５１をＺ方向に昇降させるサーボモータ６５（図４参照）、印圧負荷ユニット６１をＹ方向に移動させるサーボモータ６５（図４参照）、印圧負荷ユニット６１におけるロッド７１を昇降させるサーボモータなど）を制御するように構成されている。また、駆動制御部８５は、基板搬送部２０に設けられた搬送軸（図示せず）のサーボモータを制御するように構成されている。また、駆動制御部８５は、各サーボモータが有するエンコーダ（図示せず）からの信号に基づいてフレーム構造体４０（マスク保持テーブル５１）のＸ−Ｙ面内の位置、マスク保持テーブル５１の高さ位置（Ｚ方向）および回転位置（Ｚ軸まわり）などが認識可能に構成されている。
【００４７】
また、図３に示すように、制御装置８０は、装置本体に設けられた非常停止回路部９２に接続されている。非常停止回路部９２には、装置本体内の所定の位置に設けられたカバーオープンスイッチ９３と、押しボタン式の非常停止ボタン９４とが電気的に接続されている。カバーオープンスイッチ９３は、アクセスカバー１０１ａ（図１参照）の開閉状態に応じてスイッチの開閉が切り換わるように構成されている。これにより、アクセスカバー１０１ａが開いた状態では、非常停止回路部９２が機能して印刷ユニット９０の運転が開始（再開）されないように構成されている。また、運転中にユーザが非常停止ボタン９４を押下した場合、非常停止回路部９２が機能して即時に運転が中断されるように構成されている。
【００４８】
また、図１に示すように、印刷装置１００の外部には表示パネル１０２が設けられている。ユーザは、各々の表示パネル１０２を介して印刷動作の進行状況を把握したり、表示パネル１０２の表示内容に応じた機器操作を行うように構成されている。また、印刷装置１００には表示灯１０３が設けられている。表示灯１０３は、印刷装置１００の天面部よりも高い位置に配置されており、印刷装置１００から離れた位置からでもユーザが印刷装置１００の運転状況を視認することが可能に構成されている。このようにして、印刷装置１００は構成されている。
【００４９】
次に、図２〜図８を参照して、本発明の一実施形態による印刷装置１００の印刷動作について説明する。
【００５０】
図２に示すように、基板搬送部２０上の待機位置に印刷前のプリント基板５が移送されてきたとする。印刷ユニット９０における印刷動作が継続される場合、基板搬送部２０のコンベアベルト２１が駆動されて、プリント基板５が、印刷領域までＸ１方向に搬送される。
【００５１】
その後、図４に示すように、マスク昇降機構部５０に設置された基板用カメラ（図示せず）によってプリント基板５の上面５ａに付されたフィデューシャルマーク（図示せず）が検出される。そして、基板用カメラによって検出されたプリント基板５のフィデューシャルマークに基づいて、水平位置決め機構部３０のスライド機構部３１が駆動されて、プリント基板５とマスク保持テーブル５１とのＸ−Ｙ面内での位置合わせが行われる。これにより、プリント基板５上の所定の位置に、スクリーンマスク６が正確に重ね合わせられる。
【００５２】
そして、この状態で、マスク昇降機構部５０のサーボモータ５５が駆動されることにより、マスク保持テーブル５１に保持されたスクリーンマスク６がＺ２方向に下降する。これにより、プリント基板５の上面５ａにスクリーンマスク６が所定の押圧力で押し付けられる。
【００５３】
また、図５に示すように、印刷機構部６０のサーボモータ６５が駆動されることにより、印圧負荷ユニット６１が印刷領域のＹ１側の端部近傍の位置まで移動される。そして、半田供給部６２により、スクリーンマスク６の上面６ａ上に所定量の半田２が供給される。そして、印圧負荷ユニット６１のＹ１側のロッド７１が下方に延ばされることにより、Ｙ１側のスキージ７０の下端部７０ａがスクリーンマスク６の上面６ａに所定の押圧力で当接する。この状態で、サーボモータ６５が駆動されることにより、印圧負荷ユニット６１とともにスキージ７０がＹ２方向に移動されてスキージング（ペースト状の半田２の掻き取り動作）が行われる。スキージ７０が図６に示した位置まで移動されることにより、プリント基板５の上面５ａに、スクリーンマスク６を介して半田２が印刷される。そして、半田２が印刷された後、サーボモータ５５が駆動されることにより、マスク保持テーブル５１に保持されたスクリーンマスク６がＺ１方向に上昇されて版離れが行われる。
【００５４】
この際、一実施形態では、図７に示すように、駆動制御部８５（図３参照）により、スクリーンマスク６をプリント基板５から版離れさせる動作に同期して、スキージ７０を上方に引き上げる動作が行われる。すなわち、スクリーンマスク６の版離れの速度（マスク保持テーブル５１の上昇速度）と、ロッド７１の上昇速度（スキージ７０の上昇速度）とを略同じ状態にしてスクリーンマスク６およびスキージ７０を共に上昇させる。また、この際、印圧負荷ユニット６１による印圧荷重を制御することにより、スキージ７０の下端部７０ａをスクリーンマスク６の上面６ａに適切な押圧力で接触させながらロッド７１を上方に引き上げる。なお、スキージ７０を上昇させる際の荷重（スクリーンマスク６に対するスキージ７０の押圧力）は、スキージングの際の印圧荷重よりも小さくなるように制御される。そして、図８に示すように、天板部４２の下面４２ｂに対して間隔Ｌ１を有してマスク保持テーブル５１の上昇が停止された位置から、さらに、スキージ７０が引き上げられる。
【００５５】
その後、図２に示すように、基板搬送部２０のコンベアベルト２１が駆動されて、印刷終了後のプリント基板５が、印刷領域からＸ１方向に搬出領域まで搬送される。印刷ユニット９０では、上記した印刷動作を繰り返すことにより、プリント基板５への印刷が継続的に行われる。
【００５６】
なお、上記説明したプリント基板５の次に印刷されるプリント基板５については、図８において、印圧負荷ユニット６１のＹ２側のロッド７１が下方に延ばされることにより、Ｙ２側のスキージ７０がスクリーンマスク６の上面６ａに所定の押圧力で当接する。半田２が上面６ａ上に供給された後、Ｙ２側のスキージ７０がＹ１方向に移動されてスキージングが行われる。以降、印刷方向に応じて、Ｙ１側のスキージ７０とＹ２側のスキージ７０とを交互に切り換えながら、印圧負荷ユニット６１が往復移動されてプリント基板５への印刷が行われる。
【００５７】
一実施形態では、上記のように、スクリーンマスク６の昇降動作（Ｚ方向）とは独立するように設置されたフレーム構造体４０と、フレーム構造体４０にＹ方向に移動可能に設けられ、半田２が供給されたスクリーンマスク６のスキージングを行う印圧負荷ユニット６１などを含む印刷機構部６０とを備えることによって、印刷時に印刷機構部６０の印圧負荷ユニット６１をスクリーンマスク６上でＹ方向（印刷方向）に移動させても、印刷機構部６０がマスク昇降機構部５０（マスク保持テーブル５１）とは構造的に独立したフレーム構造体４０に設けられているので、印圧負荷ユニット６１の移動がマスク昇降機構部５０に直接的に伝わることが抑制される。これにより、印圧負荷ユニット６１が移動したとしても、マスク保持テーブル５１が印圧負荷ユニット６１の移動に起因して上下方向に傾斜するような事態が抑制される。この結果、印圧負荷ユニット６１の移動によって、マスク昇降機構部５０（マスク保持テーブル５１）の有する高さ位置精度が影響を受けることを抑制することができる。
【００５８】
また、一実施形態では、フレーム構造体４０は、マスク昇降機構部５０から上方（Ｚ１方向）に間隔を隔てて水平方向に延びる天板部４２を含んでおり、印圧負荷ユニット６１を含む印刷機構部６０は、天板部４２に水平方向に移動可能に支持されている。これにより、スキージングを行う際に、マスク保持テーブル５１の上方に独立して設けられた天板部４２により、印圧負荷ユニット６１を容易に印刷方向（Ｙ方向）に移動させることができる。
【００５９】
また、一実施形態では、マスク昇降機構部５０は、フレーム構造体４０の天板部４２に対して独立した状態でスクリーンマスク６を上下方向に昇降させてプリント基板５に対する位置決めを行うように構成されている。これにより、印圧負荷ユニット６１がスキージングに伴って天板部４２を水平方向に移動しても、天板部４２とマスク昇降機構部５０（マスク保持テーブル５１）とが互いに構造的に独立しているので、印圧負荷ユニット６１の移動に伴う荷重の移動が、マスク保持テーブル５１に直接的に伝わることを容易に抑制することができる。
【００６０】
また、一実施形態では、フレーム構造体４０は、下方から天板部４２を支持するとともに上下方向に延びる脚部４１を含んでおり、フレーム構造体４０は、脚部４１と天板部４２とによって門型構造が形成されている。そして、マスク昇降機構部５０は、門型構造を有するフレーム構造体４０の内側に配置されている。これにより、マスク昇降機構部５０を門型構造を有するフレーム構造体４０の内側に容易に配置することができる。そして、所定の剛性を有する門型構造の梁部となる天板部４２を介して印圧負荷ユニット６１を水平方向（印刷方向）に移動させることができる。これにより、印圧負荷ユニット６１の移動によってマスク昇降機構部５０の有する高さ位置精度が影響を受けることが抑制された印刷装置１００を容易に得ることができる。
【００６１】
また、一実施形態では、印圧負荷ユニット６１は、フレーム構造体４０における天板部４２の上面４２ａ側において水平方向に移動可能に支持されている。これにより、天板部４２よりも下方のマスク保持テーブル５１との空間（間隔Ｌ１〜Ｌ２）を容易に確保することができる。これにより、印圧負荷ユニット６１とマスク昇降機構部５０とを互いに独立させた状態で、各々を容易に駆動させることができる。
【００６２】
また、一実施形態では、マスク昇降機構部５０をＸ−Ｙ面内で移動可能とする水平位置決め機構部３０をさらに備えており、フレーム構造体４０の脚部４１は、水平位置決め機構部３０に固定されている。これにより、マスク昇降機構部５０の高さ位置精度を安定的に維持したまま、マスク昇降機構部５０を水平方向に移動させることができるので、プリント基板５に対するスクリーンマスク６の位置合わせを精度良く行うことができる。
【００６３】
また、一実施形態では、印刷機構部６０の印圧負荷ユニット６１は、水平位置決め機構部３０によるマスク昇降機構部５０の水平方向（Ｙ方向）への移動に伴って移動されるように構成されている。これにより、水平方向においては、印圧負荷ユニット６１とマスク昇降機構部５０とを一体的に移動させることができるので、印圧負荷ユニット６１とマスク昇降機構部５０との水平面内（Ｘ−Ｙ面内）における相対的な位置関係（Ｚ軸まわりの位置関係）にずれが生じることを極力抑制することができる。これにより、スキージングの際にスクリーンマスク６における適正なスキージング方向（Ｙ方向）に対して印圧負荷ユニット６１（スキージ７０）が斜め方向に斜行されることが抑制されるので、プリント基板５に対する半田２の印刷品質を良好に保つことができる。
【００６４】
また、一実施形態では、マスク昇降機構部５０によるスクリーンマスク６の上下方向の移動とともに、スキージ７０の高さ位置を制御する駆動制御部８５を備えている。そして、駆動制御部８５は、スクリーンマスク６をプリント基板５から上下方向に離間させる動作に同期して、スキージ７０をプリント基板５から離間させる制御を行うように構成されている。これにより、印刷機構部６０がマスク昇降機構部５０とは構造的に独立したフレーム構造体４０に設けられている場合であっても、マスク昇降機構部５０によるスクリーンマスク６の上下方向の移動に同期するように印圧負荷ユニット６１から延びるスキージ７０の移動を適切に制御することができるので、印刷後のプリント基板５からスクリーンマスク６を容易に版離れさせることができる。
【００６５】
また、一実施形態では、印刷機構部６０は、スキージングが行われる際、スキージ７０によりスクリーンマスク６を所定の押圧力で押圧するように構成されている。そして、駆動制御部８５は、マスク昇降機構部５０によりスクリーンマスク６がプリント基板５から離間される際に、スキージ７０をスクリーンマスク６に接触させた状態でプリント基板５から離間させる制御を行うように構成されている。これにより、スクリーンマスク６をプリント基板５から版離れさせる際に、スクリーンマスク６にスキージ７０が接触した状態で版離れさせることができるので、スクリーンマスク６が上下方向に波打ちながら印刷後のプリント基板５から剥がされることが抑制される。これにより、スクリーンマスク６の不適切な版離れに起因して、印刷品質が悪化することを抑制することができる。
【００６６】
（第１参考例）
次に、図９を参照して、第１参考例について説明する。この第１参考例による印刷装置２００は、一実施形態のような水平位置決め機構部３０が設けられることなく、基台２１０上に直接フレーム構造体４０が固定されている。なお、図中において、一実施形態と同様の構成には、一実施形態と同じ符号を付して図示している。なお、基台２１０は、本発明の「台座部」の一例である。
【００６７】
本発明の第１参考例による印刷装置２００は、図９に示すように、基台２１０の上面２１０ａに直接マスク昇降機構部５０が固定された印刷ユニット２９０を備えている。つまり、マスク昇降機構部５０が設けられたフレーム構造体４０は、水平面内（Ｘ−Ｙ面内）において移動されないように構成されている。したがって、印刷装置２００では、基板搬送部２２０側が、水平面内（Ｘ−Ｙ面内）において移動可能に構成されており、プリント基板５とスクリーンマスク６との詳細な位置合わせが行われるように構成されている。
【００６８】
具体的には、基板搬送部２２０は、スライド機構部２２１と、スライド機構部２２１の上部側に固定された基板テーブル２２２とを含んでいる。基板テーブル２２２には、上面（Ｚ１側）から上方に延びる複数のピン（図示せず）が取り付けられている。そして、プリント基板５は、基板テーブル２２２上において、下面がピンにより支持された状態で載置されている。また、基板搬送部２２０には、スライド機構部２２１を駆動する図示しない駆動機構が設けられており、この駆動機構によって、基板テーブル２２２がＸ−Ｙ面内で移動することが可能に構成されている。
【００６９】
ここで、第１参考例においても、フレーム構造体４０内に配置されたマスク昇降機構部５０と、フレーム構造体４０の天板部４２上に配置された印刷機構部６０とは、構造的に絶縁されている。したがって、印刷機構部６０が天板部４２上を印刷方向（Ｙ方向）に移動したとしても、印刷機構部６０の重量が、直接的にマスク保持テーブル５１に加わらないように構成されている。
【００７０】
なお、第１参考例における印刷装置２００のその他の構成については、上記一実施形態における印刷装置１００の構成と同様である。また、印刷装置２００の印刷動作については、印刷開始前に基板搬送部２２０側においてマスク保持テーブル５１に保持されたスクリーンマスク６とプリント基板５との位置合わせが行われる点を除いて、上記一実施形態における印刷装置１００の印刷動作と略同様である。
【００７１】
第１参考例では、上記のように、マスク昇降機構部５０が固定的に設置される基台２１０を備えており、フレーム構造体４０の脚部４１は、基台２１０に固定されているので、マスク昇降機構部５０が有する高さ位置精度を安定的に維持することが可能な印刷装置２００を、簡素な構成によって得ることができる。なお、第１参考例のその他の効果は、上記一実施形態と同様である。
【００７２】
（第２参考例）
次に、図３、図１０および図１１を参照して、第２参考例について説明する。この第２参考例による印刷装置３００は、第１参考例で例示した印刷ユニット２９０を２基備えている。なお、図中において、第１参考例と同様の構成には、第１参考例と同じ符号を付して図示している。
【００７３】
本発明の第２参考例による印刷装置３００は、図１０に示すように、２つの印刷ユニット３９０および３９１を備えており、各々の印刷ユニットが個別に駆動することにより、各印刷ユニットにおいてプリント基板５にマスク印刷を行うことが可能に構成されている。この際、互いに異なるサイズのプリント基板５が各々の印刷ユニットにおいて印刷可能であるように構成されている。
【００７４】
印刷装置３００は、平面的に見て、図１１に示すように、床面３０１（図１０参照）に載置された基台３１０上に、２つの印刷ユニット３９０および３９１がＹ方向に沿って並べられている。また、印刷ユニット３９０および３９１は、プリント基板５の搬入／搬出方向となる長手方向を、基台３１０のＸ方向に略一致させて設置されている。
【００７５】
また、印刷ユニット３９０が有する基板搬送部３２０、および、印刷ユニット３９１が有する基板搬送部３２１は、互いに、相手側のマスク昇降機構部５０の真下までＹ方向に移動することが可能に構成されている。たとえば、基板搬送部３２０の基板テーブル２２２がプリント基板５を保持したままＹ１方向に移動して、印刷ユニット３９１のマスク昇降機構部５０とのＸ−Ｙ面内での位置合わせが行えるように構成されている。これにより、印刷ユニット３９０の印刷機構部６０が何らかの都合で印刷が行えない場合であっても、印刷ユニット３９１のマスク昇降機構部５０および印刷機構部６０を使用して印刷が行えるように構成されている。このように、印刷装置３００では、一方側の印刷ユニットに搬入されたプリント基板５を、他方側の印刷ユニットに乗り入れて印刷させることが可能に構成されている。
【００７６】
また、印刷ユニット３９０および３９１の各々には、第１参考例で例示した印刷ユニット２９０と略同様の制御装置８０（図３参照）が備えられている。そして、各々の制御装置８０は、図示しない統括制御部（メインＣＰＵ）に接続されている。これにより、この統括制御部の指令に基づいて、各印刷ユニットが個別に駆動されるように構成されている。さらには、統括制御部の指令に基づいて、各印刷ユニットの動作を互いに関連付けながら駆動させることも可能に構成されている。すなわち、上記したように、印刷ユニット３９０（３９１）が何らかの理由で運転が停止されたとしても、プリント基板５を、印刷ユニット３９１（３９０）側に乗り入れて印刷を継続させることが可能とされている。なお、印刷ユニット３９０および３９１のその他の構成については、第１参考例で例示した印刷ユニット２９０と略同様である。
【００７７】
第２参考例では、上記のように、第１参考例と略同様の構成を有する２つの印刷ユニット３９０および３９１を備えているので、このような印刷装置３００においても、各々の印刷ユニットにおいて、印圧負荷ユニット６１の移動によってマスク昇降機構部５０の有する高さ位置精度が影響を受けることを効果的に抑制することができる。なお、第２参考例のその他の効果は、上記一実施形態および第１参考例と同様である。
【００７８】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００７９】
たとえば、上記一実施形態では、マスク昇降機構部５０を水平位置決め機構部３０のテーブル３２に設置した例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、マスク昇降機構部５０をフレーム構造体４０の脚部４１に取り付けてもよい。この場合、脚部４１の側面にマスク保持テーブル５１を昇降可能に支持する支持部材などを設けてマスク昇降機構部５０を取り付けることが可能である。この第１変形例のように構成しても、マスク保持テーブル５１をフレーム構造体４０の天板部４２に対して独立した状態でスクリーンマスク６を上下方向に昇降させることができるので、本発明の効果を得ることができる。
【００８０】
また、上記一実施形態では、印刷機構部６０を天板部４２上に配置した例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、印刷機構部６０を天板部４２の下面４２ｂ側に移動可能に設けてもよい。
【００８１】
具体的には、図１２に示す第２変形例のように印刷装置４００を構成することが可能である。印刷ユニット４９０においては、一実施形態のフレーム構造体４０と比較して脚部４４１がより上方（Ｚ１方向）まで延びている。そして、マスク保持テーブル５１と天板部４２との間により広く確保された間隔Ｌ３（Ｌ３＞Ｌ２）を有する空間を利用して、天板部４２の下面４２ｂに印刷機構部６０を移動可能に懸架している。この第２変形例のように構成しても、下面４２ｂ側をＹ方向に移動する印圧負荷ユニット６１の重量がスクリーンマスク６を介して直接的にマスク保持テーブル５１に加わらなく構成することができる。加えて、天板部４２を介在させることなく印圧負荷ユニット６１とマスク保持テーブル５１とを上下方向により近づけて配置することができるので、印圧負荷ユニット６１とマスク昇降機構部５０との構造的な独立を図りつつ、スクリーンマスク６の昇降動作に伴う印圧負荷ユニット６１の動作制御（スキージ７０の昇降動作）を精度良く行うことができる。
【００８２】
また、上記一実施形態では、印刷機構部６０の印圧負荷ユニット６１および半田供給部６２をサーボモータ６５により駆動されるボールネジ軸６３とナット部材６４とを用いて駆動するように構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。ボールネジ軸およびナット部材以外のたとえば、ベルト駆動や、ラックギアおよびピニオンギアなどの駆動機構を用いて印刷機構部６０（印圧負荷ユニット６１および半田供給部６２）を駆動するように構成してもよい。
【００８３】
また、上記一実施形態では、プリント基板５とスクリーンマスク６とを密着させて印刷を行うコンタクト印刷方式によりプリント基板５への半田２の印刷を行う例について示したが、本発明はこれに限られない。プリント基板５とスクリーンマスク６との間にギャップ（空隙）を設けて、印刷（スキージング）と版離れとの工程を同時に行うキャップ印刷（オフコンタクト印刷）方式を適用して、プリント基板５への半田２の印刷を行ってもよい。
【００８４】
また、上記一実施形態では、スキージ７０を用いたオープンスキージ方式による半田２の押し込みによってプリント基板５への印刷を行う例について示したが、本発明はこれに限られない。半田２の充填性能が向上された密閉式加圧印刷方式を採用したカートリッジヘッドなどを、本発明の「印刷ヘッド部」に適用してもよい。ここに例示したカートリッジヘッドを用いてスクリーンマスクに対するスキージングを行う場合においても、印刷ヘッド部の重量移動が直接的にマスク保持テーブル５１に加わらないので、マスク保持テーブル５１の高さ位置精度を適切に維持することができる。
【符号の説明】
【００８５】
５  プリント基板（基板）
６  スクリーンマスク
３０  水平位置決め機構部
４０  フレーム構造体（枠体部）
４１、４４１  脚部
４２  天板部（支持部）
５０  マスク昇降機構部
６１  印圧負荷ユニット（印刷ヘッド部）
６５  スキージ（ヘラ部材）
８５  駆動制御部（制御部）
１００、２００、３００、４００  印刷装置
２１０  基台（台座部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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