(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験室と、
気流の供給を受け、前記試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧する噴霧装置と、
前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測する流量計と、
前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御する流量制御装置と、
前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測するタイマと、
所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる噴霧装置制御装置と、
を備え、
前記噴霧装置制御装置が、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積に基づき、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる時間を設定する、
環境提供装置。
【請求項２】
試験室と、
気流の供給を受け、前記試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧する噴霧装置と、
前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測する流量計と、
前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御する流量制御装置と、
前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測するタイマと、
所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる噴霧装置制御装置と、
を備え、
前記噴霧装置制御装置が、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記制御された気流の流量の前記流量計による計測値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる時間として設定する、
環境提供装置。
【請求項３】
試験室と、
気流の供給を受け、前記試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧する噴霧装置と、
前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測する流量計と、
前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御する流量制御装置と、
前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測するタイマと、
所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる噴霧装置制御装置と、
を備え、
前記噴霧装置制御装置が、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記流量制御装置が制御する前記気流の流量の前記所定の値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる時間として設定する、
環境提供装置。
【請求項４】
前記微粒子が、生物微粒子である、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の環境提供装置。
【請求項５】
前記試験室がチャンバである、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の環境提供装置。
【請求項６】
前記試験室がダクト形状を有する、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の環境提供装置。
【請求項７】
前記試験室内部の気体を攪拌する攪拌装置を更に備える、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の環境提供装置
【請求項８】
前記試験室内部の気体を清浄化する清浄化装置を更に備える、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の環境提供装置
【請求項９】
噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、
前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測することと、
前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御することと、
前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、
所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、
を含み、
前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積に基づき、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止する時間を設定する、
環境提供方法。
【請求項１０】
噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、
前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測することと、
前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御することと、
前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、
所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、
を含み、
前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記制御された気流の流量の計測値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止する時間として設定する、
環境提供方法。
【請求項１１】
噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、
前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測することと、
前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御することと、
前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、
所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、
を含み、
前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記気流の流量の前記所定の値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる時間として設定する、
環境提供方法。
【請求項１２】
前記微粒子が、生物微粒子である、請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の環境提供方法。
【請求項１３】
前記試験室がチャンバである、請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の環境提供方法。
【請求項１４】
前記試験室がダクト形状を有する、請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の環境提供方法。
【請求項１５】
前記試験室内部の気体を攪拌することを更に含む、請求項９乃至１４のいずれか１項に記載の環境提供方法。
【請求項１６】
前記試験室内部に前記微粒子を含む流体を噴霧する前に、前記試験室内部の気体を清浄化することを更に含む、請求項９乃至１５のいずれか１項に記載の環境提供方法。
【請求項１７】
噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、
前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測することと、
前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御することと、
前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、
所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、
微粒子検出装置で、前記試験室内部に飛散している前記微粒子を検出すること、
前記微粒子検出装置で検出された前記微粒子の量を評価することと、
を含み、
前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積に基づき、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止する時間を設定する、
微粒子検出装置の評価方法。
【請求項１８】
噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、
前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測することと、
前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御することと、
前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、
所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、
微粒子検出装置で、前記試験室内部に飛散している前記微粒子を検出すること、
前記微粒子検出装置で検出された前記微粒子の量を評価することと、
を含み、
前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記制御された気流の流量の計測値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止する時間として設定する、
微粒子検出装置の評価方法。
【請求項１９】
噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、
前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測することと、
前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御することと、
前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、
所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、
微粒子検出装置で、前記試験室内部に飛散している前記微粒子を検出すること、
前記微粒子検出装置で検出された前記微粒子の量を評価することと、
を含み、
前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記気流の流量の前記所定の値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止する時間として設定する、
微粒子検出装置の評価方法。
【請求項２０】
前記微粒子が、生物微粒子である、請求項１７乃至１９のいずれか１項に記載の微粒子検出装置の評価方法。
【請求項２１】
前記試験室がチャンバである、請求項１７乃至２０のいずれか１項に記載の微粒子検出装置の評価方法。
【請求項２２】
前記試験室がダクト形状を有する、請求項１７乃至２０のいずれか１項に記載の微粒子検出装置の評価方法。
【請求項２３】
前記試験室内部の気体を攪拌することを更に含む、請求項１７乃至２２のいずれか１項に記載の微粒子検出装置の評価方法。
【請求項２４】
前記試験室内部に前記微粒子を含む流体を噴霧する前に、前記試験室内部の気体を清浄化することを更に含む、請求項１７乃至２３のいずれか１項に記載の微粒子検出装置の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は環境評価技術に関し、特に環境提供装置、環境提供方法、及び微粒子検出装置の評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場のクリーンルームでは、室内の空気中に飛散する微粒子の量が、微粒子検出装置で監視されている。微粒子検出装置を研究開発する際には、試験環境において飛散している微粒子の量と、微粒子検出装置の検出結果と、の相関が検査される。その際、試験環境において飛散している微粒子の量が正確に制御されていることが望ましい（例えば、特許文献１、２、３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１５９５０８号公報
【特許文献２】特開２００８−２２７６４号公報
【特許文献３】特開２００８−２２７６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、本発明は、飛散する微粒子の量が正確に制御された環境を提供可能な環境提供装置、環境提供方法、及び微粒子検出装置の評価方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の態様によれば、（ａ）試験室と、（ｂ）気流の供給を受け、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧する噴霧装置と、（ｃ）噴霧装置に供給される気流の流量の計測値を計測する流量計と、（ｄ）計測値に基づき、噴霧装置に供給される気流の流量を所定の値に制御する流量制御装置と、（ｅ）試験室内部に微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測するタイマと、（ｆ）所定の量の微粒子が試験室内に噴霧された後、微粒子を含む流体の噴霧を停止させる噴霧装置制御装置と、を備える、環境提供装置が提供される。
【０００６】
また、本発明の態様によれば、（ａ）噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、（ｂ）噴霧装置に供給される気流の流量の計測値を計測することと、（ｃ）計測値に基づき、噴霧装置に供給される気流の流量を所定の値に制御することと、（ｄ）試験室内部に微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、（ｅ）所定の量の微粒子が試験室内に噴霧された後、微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、を含む、環境提供方法が提供される。
【０００７】
さらに、本発明の態様によれば、（ａ）噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、（ｂ）噴霧装置に供給される気流の流量の計測値を計測することと、（ｃ）計測値に基づき、噴霧装置に供給される気流の流量を所定の値に制御することと、（ｄ）試験室内部に微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、（ｅ）所定の量の微粒子が試験室内に噴霧された後、微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、（ｆ）微粒子検出装置で、試験室内部に飛散している微粒子を検出すること、（ｇ）微粒子検出装置で検出された微粒子の量を評価することと、を含む、微粒子検出装置の評価方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、飛散する微粒子の量が正確に制御された環境を提供可能な環境提供装置、環境提供方法、及び微粒子検出装置の評価方法を提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態に係る環境提供装置の模式図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る流量計の断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る流れセンサの斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る図３に示した流れセンサのＩＶ−ＩＶ方向から見た断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る流量制御装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１１】
図１に示す実施の形態に係る環境提供装置は、試験室１と、気流の供給を受け、試験室１内部に微粒子を含む流体を噴霧する噴霧装置２と、噴霧装置２に供給される気流の流量の計測値を計測する流量計３と、計測値に基づき、噴霧装置２に供給される気流の流量を制御する流量制御装置４と、試験室１内部に微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測するタイマと、所定の量の微粒子が試験室１内に噴霧された後、微粒子を含む流体の噴霧を停止させる噴霧装置制御装置と、を備える。
【００１２】
試験室１は、骨格をなす例えばアルミニウム製のフレームと、フレームにはめ込まれた、側壁をなすポリカーボネート製の透明パネルと、を備えるチャンバである。ただし、試験室１の形状は、ダクト等であってもよい。試験室１内部の体積は、例えば３ｍ3であるが、これに限定されない。試験室１には、例えば給気装置１１Ａ、１１Ｂが設けられている。給気装置１１Ａ、１１Ｂは、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）及びＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ  Ｌｏｗ  Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）等の超高性能エアフィルタを通して、試験室１内部に清浄な空気を送り込む。試験室１の側壁には、扉が設けられていてもよい。
【００１３】
噴霧装置２は、例えばジェット式ネブライザであり、所定の濃度で微粒子を含む流体を保管する。流体に含まれる微粒子とは、例えば、細菌、真菌、ウイルス、及びアレルゲン物質等の微生物である。あるいは、流体に含まれる微粒子とは、例えば、無害又は有害な化学物質である。また、あるいは、流体に含まれる微粒子とは、例えば、ごみ、ちり、及び埃等のダストである。噴霧装置２は、所定の流量で圧縮ガス等の気流を供給され、気流を、微粒子を含む流体に吹きつけることによってエアロゾルを発生させ、試験室１内部に微粒子を含む流体をミスト状にして噴霧する。なお、図１においては、噴霧装置２は試験室１内部に配置されているが、噴霧装置２を試験室１の外部に配置し、噴霧装置２が噴霧したエアロゾルを、配管等で試験室１内部に誘導してもよい。
【００１４】
実施の形態に係る環境提供装置は、圧縮ガスを貯蔵する貯蔵槽５をさらに備える。貯蔵槽５、流量計３、流量制御装置４、及び噴霧装置２は、例えばパイプ１２で接続されている。また、貯蔵槽５と、流量計３と、の間には、圧縮ガスに含まれ得る微粒子等を除去するための、例えばＨＥＰＡ等の超高性能エアフィルタが設けられている。なお貯蔵槽５は、コンプレッサーやポンプなどの圧縮ガス供給源でもよい。
【００１５】
流量計３は、マスフローメータ等が使用可能であり、貯蔵槽５から供給される圧縮ガスの流量の計測値を計測する。図２に示すように、流量計３は、パイプ１２と連通するパイプ状の流路３１が設けられた筐体３２と、流路３１を流れる圧縮ガスの流量を検出するための流れセンサ３８と、を備える。図３及び図４に示す流れセンサ３８は、キャビティ６６が設けられた基板６０、及び基板６０上にキャビティ６６を覆うように配置された絶縁膜６５を備える。基板６０の厚みは、例えば０．５ｍｍである。また、基板６０の縦横の寸法は、例えばそれぞれ１．５ｍｍ程度である。絶縁膜６５のキャビティ６６を覆う部分は、断熱性のダイアフラムをなしている。さらに流れセンサ３８は、絶縁膜６５のダイアフラムの部分に設けられた発熱素子６１と、発熱素子６１を挟むように絶縁膜６５のダイアフラムの部分に設けられた第１の測温素子６２及び第２の測温素子６３と、基板６０上に設けられた保温素子６４と、を備える。
【００１６】
発熱素子６１は、キャビティ６６を覆う絶縁膜６５のダイアフラムの部分の中心に配置されている。発熱素子６１は、例えば抵抗器であり、電力を与えられて発熱し、発熱素子６１に接する圧縮ガスを加熱する。第１の測温素子６２及び第２の測温素子６３は、例えば抵抗器等の受動素子等の電子素子であり、圧縮ガスの温度に依存した電気信号を出力する。第１の測温素子６２は発熱素子６１より流路３１の上流側の温度を検出するために用いられ、第２の測温素子６３は発熱素子６１より流路３１の下流側の温度を検出するために用いられる。
【００１７】
図２に示す流路３１中のガスが静止している場合、図３及び図４に示す発熱素子６１から圧縮ガスに加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に伝播する。したがって、第１の測温素子６２及び第２の測温素子６３の温度は等しくなり、白金等からなる第１の測温素子６２及び第２の測温素子６３の電気抵抗は等しくなる。これに対し、図２に示す流路３１中の圧縮ガスが上流から下流に流れている場合、図３及び図４に示す発熱素子６１から圧縮ガスに加えられた熱は、圧縮ガスによって下流方向に運ばれる。したがって、上流側の第１の測温素子６２の温度よりも、下流側の第２の測温素子６３の温度が高くなる。そのため、第１の測温素子６２の電気抵抗と、第２の測温素子６３の電気抵抗と、に差が生じる。第２の測温素子６３の電気抵抗と、第１の測温素子６２の電気抵抗と、の差は、図２に示す流路３１中の圧縮ガスの速度と相関する。そのため、第２の測温素子６３の電気抵抗と、第１の測温素子６２の電気抵抗と、の差から、流路３１を流れる圧縮ガスの流量が求められる。
【００１８】
図３及び図４に示す保温素子６４は、例えば抵抗器であり、電力を与えられて発熱し、基板６０の温度を一定に保つ。基板６０の材料としては、シリコン（Ｓｉ）等が使用可能である。絶縁膜６５の材料としては、酸化ケイ素（ＳｉＯ2）等が使用可能である。キャビティ６６は、異方性エッチング等により形成される。また発熱素子６１、第１の測温素子６２、第２の測温素子６３、及び保温素子６４のそれぞれの材料には白金（Ｐｔ）等が使用可能であり、リソグラフィ法等により形成可能である。
【００１９】
流れセンサ３８は、流れセンサ３８の底面に配置されたガラス等からなる断熱部材６８を介して、図２に示す流路３１に固定される。断熱部材６８を介して流れセンサ３８を流路３１に固定することにより、流れセンサ３８の温度が、流路３１の内壁の温度変動の影響を受けにくくなる。
【００２０】
図１に示す流量制御装置４は、流量計３によって計測された流量の計測値に基づいて、パイプ１２を流れる圧縮ガスの流量を、所定の値に制御する。図５に示すように、流量制御装置４は、例えば、流路４３と、流路４４と、流路４３及び流路４４の間に設けられた弁室４５と、が設けられた弁座４２を備える。さらに流量制御装置４は、磁性体のプランジャ４７と、通電されてプランジャ４７を上下させるソレノイドコイル４８と、弁室４５に収納され、プランジャ４７に接続され、流路４４を開閉する弁体４６と、を備える。
【００２１】
例えば、流量計３によって計測された圧縮ガスの流量の計測値が所定の値よりも大きい場合、流量制御装置４は、ソレノイドコイル４８に通電して弁体４６と、弁座４２と、の間を狭め、圧縮ガスの流量を減少させる。また、流量計３によって計測された圧縮ガスの流量の計測値が所定の値よりも小さい場合、流量制御装置４は、ソレノイドコイル４８に通電して弁体４６と、弁座４２と、の間を広げ、圧縮ガスの流量を増加させる。これにより、パイプ１２を流れ、噴霧装置２に供給される圧縮ガスの流量が、所定の値の近傍に制御される。なお、図１においては、流量制御装置４は、流量計３の下流に配置されているが、流量制御装置４を、流量計３の上流に配置してもよい。
【００２２】
試験室１内には、攪拌装置としての攪拌ファン１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄが配置されている。攪拌ファン１０Ａ−１０Ｄは、試験室１内部の空気を攪拌し、試験室１内部に散布された微粒子の自重による自然沈降を防止する。
【００２３】
また、試験室１内には、清浄化装置としてのエアクリーナー６が配置されている。エアクリーナー６は、試験室１内部の空気等の気体に含まれる微粒子を除去して、気体を清浄化する。例えば、噴霧装置２から試験室１内に微粒子を含む流体を噴霧する前に、エアクリーナー６を運転することによって、噴霧装置２が噴霧する微粒子以外の微粒子をあらかじめ試験室１内部から除去することが可能である。なお、図１においては、エアクリーナー６は試験室１内部底面に配置されているが、エアクリーナー６を試験室１の壁面または天井部に配置してもよい。
【００２４】
さらに、試験室１には、粒子計数器（パーティクルカウンタ）１３が配置されている。粒子計数器１３は、試験室１内部の微粒子の数、密度、又は濃度等の量を計測する。粒子計数器１３には、光散乱式自動粒子計数器等が使用可能である。
【００２５】
またさらに試験室１には、例えば微粒子の捕捉性能が試験される微粒子検出装置２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄが設置される。微粒子検出装置２０Ａ−２０Ｄのそれぞれは、試験室１内部の空気を吸引して微粒子を捕捉し、試験室１内部を飛散する微粒子の数、密度、又は濃度等の量を計測する。例えば、粒子計数器１３による微粒子の量の計測値に対する、微粒子検出装置２０Ａ−２０Ｄのそれぞれによる微粒子の量の計測値の比が、微粒子検出装置２０Ａ−２０Ｄのそれぞれの微粒子の捕捉性能として評価される。
【００２６】
例えば噴霧装置２に接続されたタイマは、噴霧装置２が流体の噴霧を開始してからの時間を計測する。また、例えば噴霧装置２に接続された噴霧装置制御装置は、予め設定された、圧縮ガスの流量と、流体が噴霧される時間と、の積に基づき、噴霧装置２に流体の噴霧を停止させる時間を設定する。具体的には、噴霧装置制御装置は、予め設定された、圧縮ガスの流量と、流体が噴霧される時間と、の積を、流量計３によってリアルタイムで計測された圧縮ガスの流量の計測値で割ることによって得られる時間を、噴霧装置２に流体の噴霧を停止させる時間として設定する。タイマで計測されている時間が、噴霧装置２に流体の噴霧を停止させる設定時間になった時点で、噴霧装置制御装置は、噴霧装置２を制御して、噴霧装置２からの流体の噴霧を停止させる。なお、噴霧装置制御装置は、流量制御装置４を制御することにより、噴霧装置２からの流体の噴霧を停止させてもよい。
【００２７】
以上説明した実施の形態に係る環境提供装置によれば、複数回の試験を行う毎に、噴霧装置２に供給される圧縮ガスの流量と、微粒子を含む流体が試験室１内に噴霧される時間と、の積を一定にすることが可能となる。そのため、噴霧装置２に貯蔵されている流体に含まれる微粒子の濃度が一定である場合、複数回の試験を行う毎に、試験室１内部に供給される微粒子の量を一定にすることが可能となる。ここで、試験室１内部を飛散する微粒子の量が、微粒子検出装置２０Ａ−２０Ｄを試験する毎に異なっていては、微粒子検出装置２０Ａ−２０Ｄのそれぞれの微粒子の捕捉性能を正確に評価することが困難となる。そのため、試験室１内部を飛散する微粒子の量は、微粒子検出装置２０Ａ−２０Ｄを試験する毎に変わらないことが望ましい。これに対し、実施の形態に係る環境提供装置によれば、同一の試験環境を、再現性よく提供することが可能となる。
【００２８】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、実施の形態では、図１に示す噴霧装置２がジェット式ネブライザである例を示したが、気流の供給を受けて試験室１内部に微粒子を含む流体を噴霧できる限りにおいて限定されない。また、微粒子検出装置２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄが試験室１の底面に設置されている例を示したが、微粒子検出装置２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄは、試験室１の側面に設置されていてもよい。
【００２９】
さらに、実施の形態では、図１に示す流量計３として、マスフローセンサを用いる例を示したが、他の種類の流量計も使用可能である。またさらに、実施の形態では、噴霧装置制御装置が、予め設定された、圧縮ガスの流量と、流体が噴霧される時間と、の積を、流量計３で計測された圧縮ガスの流量の計測値で割ることによって得られる時間を、噴霧装置２に流体の噴霧を停止させる時間として設定する例を説明した。これに対し、予め設定された、圧縮ガスの流量と、流体が噴霧される時間と、の積を、流量制御装置４が設定する流量の所定の値で割ることによって得られる時間を、噴霧装置２に流体の噴霧を停止させる時間として設定してもよい。このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
【符号の説明】
【００３０】
１      試験室
２      噴霧装置
３      流量計
４      流量制御装置
５      貯蔵槽
６      エアクリーナー
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ  攪拌ファン
１１Ａ、１１Ｂ  給気装置
１２    パイプ
１３    粒子計数器
２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ  微粒子検出装置
３１    流路
３２    筐体
３８    センサ
４２    弁座
４３、４４      流路
４５    弁室
４６    弁体
４７    プランジャ
４８    ソレノイドコイル
６０    基板
６１    発熱素子
６２    第１の測温素子
６３    第２の測温素子
６４    保温素子
６５    絶縁膜
６６    キャビティ
６８    断熱部材
【図１】
0005875823.tif 000002
【図２】
0005875823.tif 000003
【図３】
0005875823.tif 000004
【図４】
0005875823.tif 000005
【図５】
0005875823.tif 000006