(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚みすべり振動する振動部、および前記振動部の外縁に沿って配置されている外縁部を有している基板を含み、
前記振動部は、
前記外縁部の一方の主面よりも突出している第１凸部と、
前記外縁部の一方の主面に対して裏面側の他方の主面よりも突出している第２凸部と、を有し、且つ
平面視において、前記第１凸部と前記第２凸部とが重ならない部分を備え、
前記第１凸部は、
前記厚みすべり振動の振動方向における一方に位置している第１端縁と、
前記振動方向における他方に位置している第２端縁と、を備え、
前記第２凸部は、
前記振動方向における一方に位置している第３端縁と、
前記振動方向における他方に位置している第４端縁と、を備え、
平面視における、前記第１端縁と前記第３端縁との距離をＬ１とした時、
Ｌ１＝（ｍ１×λ／２）×ｋ１
（ただし、ｍ１は１以上の整数であり、λは屈曲振動の波長であり、０．８＜ｋ１＜１．２である）
なる関係を満たし、且つ
平面視における、前記第２端縁と前記第４端縁との距離をＬ２とした時、
Ｌ２＝（ｍ２×λ／２）×ｋ２
（ただし、ｍ２は１以上の整数であり、λは屈曲振動の波長であり、０．８＜ｋ２＜１．２である）
なる関係を満たす、振動片。
【請求項２】
請求項１において、
平面視において、前記第１端縁は、前記振動方向における一方の端部側の前記他方の主面と重なっており、前記第２端縁は、前記振動方向における他方の端部側の前記他方の主面と重なっている、振動片。
【請求項３】
請求項１において、
平面視において、前記第１端縁は、前記振動方向における一方の端部側の前記第２凸部と重なっており、前記第２端縁は、前記振動方向における他方の端部側の前記他方の主面と重なっている、振動片。
【請求項４】
請求項３において、
前記第１凸部の中心と前記第２凸部の中心は、平面視において、前記振動方向に沿う方向にずれている、振動片。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項において、
前記振動部の形状は、平面視において、矩形である、振動片。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記第１凸部は、側面に複数の段差を含み、
前記第２凸部は、側面に複数の段差を含む、振動片。
【請求項７】
厚みすべり振動する基板を用意する工程と、
前記基板の一方の主面に第１マスクを配置し、
前記基板の一方の主面に対して裏面側の他方の主面に、前記第１マスクの面積よりも小さく、前記第１マスクと、平面視において、重なるように第２マスクを配置し、
前記基板の前記第１マスクおよび前記第２マスクから露出しているところをエッチングして、
振動部、および前記振動部の外縁に沿って配置されている外縁部を有している基板を含み、前記振動部が、前記外縁部の一方の主面よりも突出している第１凸部と、前記外縁部の一方の主面に対して裏面側の他方の主面よりも突出している第２凸部と、を有し、且つ、平面視において、前記第１凸部と前記第２凸部とが重ならない部分を備え、
前記第１凸部は、
前記厚みすべり振動の振動方向における一方に位置している第１端縁と、
前記振動方向における他方に位置している第２端縁と、を備え、
前記第２凸部は、
前記振動方向における一方に位置している第３端縁と、
前記振動方向における他方に位置している第４端縁と、を備え、
平面視における、前記第１端縁と前記第３端縁との距離をＬ１とした時、
Ｌ１＝（ｍ１×λ／２）×ｋ１
（ただし、ｍ１は１以上の整数であり、λは屈曲振動の波長であり、０．８＜ｋ１＜１．２である）
なる関係を満たし、且つ
平面視における、前記第２端縁と前記第４端縁との距離をＬ２とした時、
Ｌ２＝（ｍ２×λ／２）×ｋ２
（ただし、ｍ２は１以上の整数であり、λは屈曲振動の波長であり、０．８＜ｋ２＜１．２である）
なる関係を満たしているメサ型基板を形成する工程と、
を含む、振動片の製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片と、
前記第１凸部の表面と前記一方の主面の前記外縁部の一部の表面とを覆う第１励振電極と、
前記第２凸部の表面と前記他方の主面の前記外縁部の一部の表面とを覆う第２励振電極と、
を含む、振動素子。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片と、
前記振動片を収容するパッケージと、
を含む、振動子。
【請求項１０】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片と、
電子素子と、
を含む、電子デバイス。
【請求項１１】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片を含む、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片およびその製造方法、振動素子、振動子、電子デバイス、並びに電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
厚みすべり振動を励振させる圧電振動片において、主振動のエネルギーを閉じ込める方法として、圧電基板にメサ構造を形成する方法が知られている。このようなメサ型の圧電振動片では、屈曲振動が生じることによって、スプリアスが増大してしまう場合があった。
【０００３】
そのため、例えば、特許文献１では、振動部の長辺寸法と、励振電極の長辺寸法とを最適化することによって、屈曲振動を抑圧している。
【０００４】
また、例えば、特許文献２では、メサ（段差部）の堀量を最適化することによって、屈曲振動等の不要振動を抑圧している。具体的には、段差部の堀量をＭｄ、水晶基板の長辺の長さをｘ、振動部の板厚をｔとして時に、板厚ｔを基準として、段差部の堀量Ｍｄの板厚ｔに対する比の百分率をｙとすると、ｙがｙ＝−１．３２×（ｘ／ｔ）＋４２．８７、およびｙ≦３０の関係を満足し、かつ、水晶基板の長辺の長さｘの振動部の板厚ｔに対する辺比ｘ／ｔが３０以下としている。
【０００５】
ここで、厚みすべり振動を主振動とする圧電振動片において、より効率的に主振動のエネルギーを閉じ込める方法として、圧電基板に多段のメサ構造を形成する方法が知られている。
【０００６】
例えば、特許文献３には、メサを多段とすることにより、主振動のエネルギーを効率よく閉じ込めることを可能とする圧電振動片が開示されている。
【０００７】
このような圧電振動片は、一般的に、水晶等の圧電材料からなる基板を機械加工やフォトリソグラフィー法等によって加工することにより形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−３４００２３号公報
【特許文献２】特開２００７−１２４４４１号公報
【特許文献３】特開平２−５７００９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献３の圧電振動片では、圧電材料からなる基板に、多段のメサを形成しなければならないため、製造工程が複雑化してしまうという問題があった。
【００１０】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる振動片およびその製造方法を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記振動片を含む振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。
【００１２】
［適用例１］
本適用例に係る振動片は、
厚みすべり振動が励振する振動部、および前記振動部の外縁に沿って配置されている外縁部を有している基板を含み、
前記振動部は、
前記外縁部の一方の主面よりも突出している第１凸部と、
前記外縁部の一方の主面に対して裏面側の他方の主面よりも突出している第２凸部と、
を有し、
前記振動部は、平面視において、前記第１凸部と前記第２凸部とが重ならない部分を備えている。
【００１３】
このような振動片によれば、後述するように、屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる。
【００１４】
［適用例２］
本適用例に係る振動片において、
前記重ならない部分の幅Ｌは、下記式の関係を満たしてもよい。
【００１５】
Ｌ＝（ｍ×λ／２）×ｋ
ただし、ｍは１以上の整数であり、λは屈曲振動の波長であり、０．８＜ｋ＜１．２である。
【００１６】
このような振動片によれば、屈曲振動を抑圧して、スプリアスを十分に抑制することができる。
【００１７】
［適用例３］
本適用例に係る振動片において、
前記重ならない部分の幅は、前記厚みすべり振動の振動方向に沿う方向の大きさであってもよい。
【００１８】
このような振動片によれば、屈曲振動を抑圧して、スプリアスを十分に抑制することができる。
【００１９】
［適用例４］
本適用例に係る振動片において、
前記振動部の形状は、平面視において、矩形であってもよい。
【００２０】
このような振動片によれば、屈曲振動を抑圧して、スプリアスを十分に抑制することができる。
【００２１】
［適用例５］
本適用例に係る振動片において、
前記第１凸部は、側面に複数の段差を含み、
前記第２凸部は、側面に複数の段差を含んでいてもよい。
【００２２】
このような振動片によれば、主振動のエネルギーを効率よく閉じ込めることができる。
【００２３】
［適用例６］
本適用例に係る振動片において、
前記第１凸部の中心と前記第２凸部の中心は、平面視において、前記厚みすべり振動の振動方向に沿う方向にずれていてもよい。
【００２４】
このような振動片によれば、屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる。
【００２５】
［適用例７］
本適用例に係る振動片の製造方法は、
厚みすべり振動する基板を用意する工程と、
前記基板の一方の主面に第１マスクを配置し、
前記基板の一方の主面に対して裏面側の他方の主面に、前記第１マスクの面積よりも小さく、前記第１マスクと、平面視において、重なるように第２マスクを配置し、
前記基板の前記第１マスクおよび前記第２マスクから露出しているところをエッチングして、
振動部、および前記振動部の外縁に沿って配置されている外縁部を有している基板を含み、前記振動部が、前記外縁部の一方の主面よりも突出している第１凸部と、前記外縁部の一方の主面に対して裏面側の他方の主面よりも突出している第２凸部と、を有し、前記振動部は、平面視において、前記第１凸部と前記第２凸部とが重ならない部分を備えているメサ型基板を形成する工程と、
を含む、振動片の製造方法。
【００２６】
このような圧電基板の製造方法によれば、エッチング工程の回数を減らすことができ、製造工程を簡略化することができる。さらに、エッチングを繰り返すことによって生じる圧電基板へのダメージを低減することができる。
【００２７】
［適用例８］
本適用例に係る振動素子は、
本適用例に係る振動片と、
前記第１凸部の表面と前記一方の主面の前記外縁部の一部の表面とを覆う第１励振電極と、
前記第２凸部の表面と前記他方の主面の前記外縁部の一部の表面とを覆う第２励振電極と、
を含んでいてもよい。
【００２８】
このような振動素子によれば、容量比γを大きくすることができる。なお、容量比γとは、励振電極の寸法（大きさ）で決まる容量Ｃ０を、振動片の実質的な振動領域で決まる容量Ｃ１で除したものである。
【００２９】
［適用例９］
本適用例に係る振動子は、
本適用例に係る振動片と、
前記振動片を収容するパッケージと、
を含む。
【００３０】
このような振動子によれば、屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる振動片を有することができる。
【００３１】
［適用例１０］
本適用例に係る電子デバイスは、
本適用例に係る振動片と、
電子素子と、
を含む。
【００３２】
このような電子デバイスによれば、屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる振動片を有することができる。
【００３３】
［適用例１１］
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係る振動片を含む。
【００３４】
このような電子機器によれば、屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる振動片を有することができる。
【００３５】
［適用例１２］
本適用例に係る振動片において、
前記第１凸部の中心と前記第２凸部の中心とは、平面視において、重なっていてもよい。
【００３６】
［適用例１３］
本適用例に係る振動片において、
前記圧電基板は、水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸と、機械軸としてのＹ軸と、光学軸としてのＺ軸と、からなる直交座標系のＸ軸を中心として、ＸＺ平面を、Ｘ軸周りに角度θだけ回転させて、Ｚ軸を角度θ傾けた軸をＺ´軸とし、Ｙ軸を角度θ傾けた軸をＹ´軸とし、Ｘ軸とＺ´軸に平行な面を前記第１主面および前記第２主面とし、Ｙ´軸に平行な方向を厚みとしてもよい。
【００３７】
［適用例１４］
本適用例に係る振動片において、
前記第１凸部の端縁の位置および前記第２凸部の端縁の位置は、屈曲振動の腹の位置に一致していてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本実施形態に係る振動素子を模式的に示す斜視図。
【図２】本実施形態に係る振動素子を模式的に示す平面図。
【図３】本実施形態に係る振動素子を模式的に示す断面図。
【図４】ＡＴカット水晶基板を模式的に示す斜視図。
【図５】メサ型振動素子の構造を示すモデル図。
【図６】（Ｍｘ１−Ｍｘ２）／２＝λ／２の条件を満足しつつ、１段目の長辺寸法Ｍｘ１を変化させた場合の屈曲振動のエネルギーを示したグラフ。
【図７】２段メサ構造の振動子を模式的に示す断面図。
【図８】本実施形態に係る振動素子の製造工程を模式的に示す断面図。
【図９】本実施形態に係る振動素子の製造工程を模式的に示す断面図。
【図１０】本実施形態の第１変形例に係る振動素子を模式的に示す平面図。
【図１１】本実施形態の第１変形例に係る振動素子を模式的に示す断面図。
【図１２】本実施形態の第２変形例に係る振動素子を模式的に示す平面図。
【図１３】本実施形態の第２変形例に係る振動素子を模式的に示す断面図。
【図１４】本実施形態の第３変形例に係る振動素子を模式的に示す斜視図。
【図１５】本実施形態の第３変形例に係る振動素子を模式的に示す断面図。
【図１６】本実施形態に係る振動子を模式的に示す断面図。
【図１７】本実施形態の変形例に係る振動子を模式的に示す断面図。
【図１８】本実施形態に係る電子デバイスを模式的に示す断面図。
【図１９】本実施形態の変形例に係る電子デバイスを模式的に示す断面図。
【図２０】本実施形態に係る電子機器を模式的に示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００４０】
１．  振動素子
まず、本実施形態に係る振動素子について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る振動素子１００を模式的に示す斜視図である。図２は、本実施形態に係る振動素子１００を模式的に示す平面図である。図３は、本実施形態に係る振動素子１００を模式的に示す断面図である。なお、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【００４１】
振動素子１００は、図１〜図３に示すように、振動片１０と、第１励振電極２０と、第２励振電極２２と、接続電極２４と、マウント電極２６と、を含んで構成されている。
【００４２】
振動片１０は、厚みすべり振動が励振する振動部１２ａ、および振動部１２ａの外縁に沿って配置されている外縁部１２ｂを有している基板１２を含んで構成されている。基板１２としては、例えば、圧電基板を用いる。より具体的には、基板１２としては、ＡＴカット水晶基板などの回転Ｙカット基板を用いる。
【００４３】
ここで、図４は、ＡＴカット水晶基板１を模式的に示す斜視図である。水晶等の圧電材料は、一般的に三方晶系であり、図４に示すような結晶軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を有する。Ｘ軸は電気軸であり、Ｙ軸は機械軸であり、Ｚ軸は光学軸である。回転Ｙカット基板は、ＸＺ平面を、Ｘ軸周りに角度θだけ回転させた平面に沿って、圧電材料（例えば、人工水晶）から切り出された平板である。ここで、例えば、ＡＴカット水晶基板１の場合は、θ＝３５°１５′である。また、Ｙ軸およびＺ軸もＸ軸周りにθ回転させて、それぞれＹ´軸およびＺ´軸とする。したがって、回転Ｙカット基板は、結晶軸（Ｘ，Ｙ´，Ｚ´）軸を有する。θ＝３５°１５′であるＡＴカット水晶基板１は、Ｙ´軸に直交するＸＺ´面（Ｘ軸およびＺ´軸を含む面）が主面（励振面）となり、厚みすべり振動を主振動として振動することができる。このＡＴカット水晶基板１を加工して、基板１２を得ることができる。
【００４４】
すなわち、基板１２は、例えば、図４に示すように水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸と、機械軸としてのＹ軸と、光学軸としてのＺ軸と、からなる直交座標系のＸ軸を中心として、Ｚ軸をＹ軸の−Ｙ方向へ傾けた軸をＺ´軸とし、Ｙ軸をＺ軸の＋Ｚ方向へ傾けた軸をＹ´軸とし、Ｘ軸とＺ´軸に平行な面で構成され、Ｙ´軸に平行な方向を厚みとするＡＴカット水晶基板からなる。
【００４５】
なお、基板１２は、厚みすべり振動が励振する基板であればよい。基板１２は、例えば、ＢＴカット水晶基板や、ＳＣカット水晶基板であってもよい。例えば、θ＝−４９°（図４に示すθの矢印方向とは反対に４９°回転）とすることにより、ＢＴカット水晶基板を得ることができる。また、水晶の結晶のＹ軸に直交する面をＸ軸を中心にして約３３°回転し、さらにこの回転した位置からＺ軸を中心にして約２２°回転した面から切り出すことにより、ＳＣカット水晶基板を得ることができる。
【００４６】
基板１２の平面形状は、矩形であり、基板１２の長辺は、水晶結晶のＸ軸に沿って形成され、基板１２の短辺は、水晶結晶のＸ軸と直交するＺ´軸に沿って形成されている。
【００４７】
基板１２は、振動部１２ａおよび外縁部１２ｂを有している。振動部１２ａは、外縁部１２ｂの厚み（Ｙ´軸方向の大きさ）ｔ´よりも大きい厚みを有している。具体的には、振動部１２ａは、厚みｔ´よりも大きい厚みｔ１を有する部分、厚みｔ１よりも大きい厚みｔ２を有する部分を有している。振動部１２ａは、厚みすべり振動が励振され、厚みすべり振動を主振動として振動することができる。このとき、厚みすべり振動は、Ｘ軸方向に沿って振動することとなる。振動部１２ａの形状は、平面視において、矩形であり、振動部１２ａの長辺は、水晶結晶のＸ軸に沿って形成され、振動部１２ａの短辺は、水晶結晶のＸ軸と直交するＺ´軸に沿って形成されている。外縁部１２ｂは、振動部１２ａの外縁に沿って配置されている。
【００４８】
基板１２は、第１主面１３ａと、第２主面１３ｂと、を有している。第１主面１３ａおよび第２主面１３ｂは、外縁部１２ｂの主面を構成している。第２主面１３ｂは、第１主面１３ａに対して裏面側の他方の主面である。図示の例では、第１主面１３ａは、＋Ｙ´軸方向を向く面であり、第２主面１３ｂは、−Ｙ´軸方向を向く面である。振動部１２ａは、第１主面１３ａに設けられている第１凸部１４および第２主面１３ｂに設けられている第２凸部１６を有している。
【００４９】
第１凸部１４は、第１主面１３ａに設けられている。第１凸部１４は、外縁部１２ｂの主面（第１主面）１３ａよりも突出している。第１凸部１４は、第１主面１３ａに対して、１段の段差を有している。第１凸部１４の平面形状は、図２に示すように、矩形であり、第１凸部１４の長辺は、Ｘ軸に沿って形成され、第１凸部１４の短辺は、Ｚ´軸に沿って形成されている。すなわち、第１凸部１４の長辺は、基板１２の長辺と平行であり、第１凸部１４の短辺は、基板１２の短辺と平行である。
【００５０】
第２凸部１６は、第２主面１３ｂに設けられている。第２凸部１６は、外縁部１２ｂの主面（第２主面）１３ｂよりも突出している。第２凸部１６は、１段の段差を有している。第２凸部１６の平面形状は、図２に示すように、矩形であり、第２凸部１６の長辺は、Ｘ軸に沿って形成され、第２凸部１６の短辺は、Ｚ´軸に沿って形成されている。なお、第１凸部１４および第２凸部１６の段差の高さ（Ｙ´軸方向の大きさ）は、例えば、同じである。
【００５１】
第１凸部１４の中心と第２凸部１６の中心とは、平面視において（Ｙ´軸方向からみて）重なっている。すなわち、第１凸部１４の中心の位置と、第２凸部１６の中心の位置とは、Ｘ軸における位置（Ｘ座標）およびＺ´軸における位置（Ｚ´座標）が同じである。
【００５２】
振動部１２ａは、平面視において、第１凸部１４と第２凸部１６とが重ならない部分（第１非重なり部１５ａおよび第２非重なり部１５ｂ）を有している。さらに、振動部１２ａは、平面視において、第１凸部１４と第２凸部１６とが重なる部分（重なり部１５ｃ）を有している。図示の例では、第１非重なり部１５ａは、重なり部１５ｃの＋Ｘ軸方向側に位置し、第２非重なり部１５ｂは、重なり部１５ｃの−Ｘ軸方向側に位置している。
【００５３】
振動部１２ａに非重なり部１５ａ，１５ｂが形成されることによって、第１凸部１４の端縁ａ１，ａ２の位置および第２凸部１６の端縁ｂ１，ｂ２の位置は、Ｘ軸方向において、ずれている。すなわち、第１凸部１４の端縁ａ１，ａ２および第２凸部１６の端縁ｂ１，ｂ２は、平面視において、重なっていない。なお、第１凸部１４の端縁とは、平面視において、第１凸部１４の形状を規定する縁（外縁）である。同様に、第２凸部１６の端縁とは、平面視において、第２凸部１６の形状を規定する縁（外縁）である。図３に示すように、第１凸部１４の端縁ａ１，ａ２の位置および第２凸部１６の端縁ｂ１，ｂ２の位置において、基板１２の厚さ（Ｙ´軸方向の大きさ）が変わる。
【００５４】
第１凸部１４の端縁ａ１，ａ２の位置および第２凸部１６の端縁ｂ１，ｂ２の位置は、基板１２の長辺に沿う方向（Ｘ軸方向）に生じる屈曲振動の腹の位置（屈曲振動の変位の腹の位置）、すなわち、屈曲振動の振幅が最も大きい部分の位置に一致している。具体的には、端縁ａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２のＸ軸における位置（Ｘ座標）が、屈曲振動の腹のＸ軸における位置（Ｘ座標）に一致している。このように、第１凸部１４の端縁ａ１，ａ２，ａ３，ａ４の位置および第２凸部１６の端縁ｂ１，ｂ２の位置が、屈曲振動の腹の位置と一致していることにより、屈曲振動を抑圧することができる。
【００５５】
ここで、第１凸部１４の端縁ａ１，ａ２の位置および第２凸部１６の端縁ｂ１，ｂ２の位置は、Ｘ軸方向において、ずれている。言い換えると、第１凸部１４の端縁ａ１，ａ２のＸ座標および第２凸部１６の端縁ｂ１，ｂ２のＸ座標は、異なっている。したがって、基板１２では、屈曲振動を抑圧する位置（ａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２）を、４箇所設けることができる。
【００５６】
図３に示すように、第１凸部１４の幅Ｍ１は、第２凸部１６の幅Ｍ２よりも大きい。ここで、第１凸部１４の幅Ｍ１は、第１凸部１４のＸ軸方向（厚みすべり振動の振動方向に沿う方向）の大きさである。また、第２凸部１６の幅Ｍ２は、第２凸部１６のＸ軸方向の大きさである。また、第１凸部１４のＹ´軸方向の大きさと、第２凸部１６のＹ´軸方向の大きさとは、同じである。また、第１凸部１４のＺ´軸方向の大きさと、第２凸部１６のＺ´軸方向の大きさとは、同じである。
【００５７】
第１凸部１４の幅Ｍ１、第２凸部１６の幅Ｍ２は、例えば、Ｍ１−Ｍ２＝ｍλ（ｍは１以上の整数、λは屈曲振動の波長）の関係を満たしている。これにより、第１凸部１４の端縁ａ１，ａ２の位置および第２凸部１６の端縁ｂ１，ｂ２の位置を、屈曲振動の腹の位置に位置させることができる。ただし、第１凸部１４の中心と第２凸部１６の中心は、平面視において、重なっている。
【００５８】
なお、第１凸部１４の幅Ｍ１および第２凸部１６の幅Ｍ２は、Ｍ１−Ｍ２＝ｍλ×ｋ（０．８＜ｋ＜１．２）の関係を満たせばよい。すなわち、凸部の端縁の位置が屈曲振動の腹の位置と一致している場合（Ｍ１−Ｍ２＝ｍλ）だけでなく、凸部の端縁の位置が屈曲振動の腹の位置とずれている場合であって、そのずれ量が２０％未満の場合（Ｍ１−Ｍ２＝ｍλ×ｋ（０．８＜ｋ＜１．２））であっても、屈曲振動を抑圧して、スプリアスを十分に抑制することができる。以下に、その理由について説明する。
【００５９】
図５は、メサ型振動素子の構造を示すモデル図であって、矩形のＡＴカット水晶基板を用いたメサ型振動素子を長手方向で切断したときの断面図である。
【００６０】
ここで、水晶基板の長辺寸法をＸ、振動部の厚みをｔ、メサの１段目の長辺が水晶基板の長辺と平行であり、その寸法をＭｘ１とし、メサの２段目の長辺が水晶基板の長辺と平行であり、その寸法をＭｘ２とし、外縁部の厚みをｔ´とする。また、メサの１段目の中心とメサの２段目の中心とは、平面視において重なっている。なお、水晶基板の長辺は、水晶結晶軸のＸ軸と平行であるものとする。この図５に示すモデルを用いて、２次元有限要素法による解析を行った。
【００６１】
図６は、（Ｍｘ１−Ｍｘ２）／２＝λ／２の条件を満足しつつ、１段目の長辺寸法Ｍｘ１を変化させた場合の屈曲振動のエネルギーを示したグラフである。横軸はＭｘ１をλで規格化した値であり、縦軸は屈曲振動のエネルギー（相対値）である。なお、λは、屈曲振動の波長である。
【００６２】
図６から、屈曲振動のエネルギーが小さくなるＭｘ１の値は、略周期λごとに現れることがわかる。これは、１段目の端縁と２段目の端縁が共に屈曲振動の腹の位置となる状態は、略λごとに現れることを意味している。ここで、図６に示すグラフから、エネルギーの減衰のピークとなる位置から２０％ずれていても、図６の矢印で示すように、屈曲振動エネルギーは１／３以下に減衰していることがわかる。屈曲振動のエネルギーを１／３以下に減衰させることができれば、スプリアスを十分に抑制することができる。したがって、Ｍ１−Ｍ２＝ｍλ×ｋ（０．８＜ｋ＜１．２）の関係を満たすことにより、屈曲振動を抑圧して、スプリアスを十分に抑制することができる。すなわち、ｋがこの範囲に含まれるように前記凸部の端縁の位置を配置しなければ、屈曲振動を十分に抑圧することができず、スプリアスを十分に抑制することはできない。
【００６３】
また、第１非重なり部１５ａの幅Ｌ１は、Ｌ１＝（ｍ１×λ／２）（ただし、ｍ１は１以上の整数であり、λは屈曲振動の波長である）の関係を満たす。同様に、第２非重なり部１５ｂの幅Ｌ２は、Ｌ２＝（ｍ２×λ／２）（ただし、ｍ２は１以上の整数である）の関係を満たす。これにより、第１凸部１４の端縁ａ１，ａ２の位置および第２凸部１６の端縁ｂ１，ｂ２の位置を、屈曲振動の腹の位置に位置させることができる。さらに、第１非重なり部１５ａの幅Ｌ１＝（ｍ１×λ／２）×ｋ１（ただし、０．８＜ｋ１＜１．２）であってもよく、第２非重なり部１５ｂの幅Ｌ２＝（ｍ２×λ／２）×ｋ２（ただし、０．８＜ｋ２＜１．２）であってもよい。これにより、上述したように、屈曲振動を抑圧して、スプリアスを十分に抑制することができる。なお、第１非重なり部１５ａの幅Ｌ１は、厚みすべり振動の振動方向に沿う方向であり、図示の例では、第１非重なり部１５ａのＸ軸方向の大きさである。また、第２非重なり部１５ｂの幅Ｌ２は、厚みすべり振動の振動方向に沿う方向であり、図示の例では、第２非重なり部１５ｂのＸ軸方向の大きさである。
【００６４】
外縁部１２ｂは、振動部１２ａの外縁に沿って配置されている。外縁部１２ｂは、振動部１２ａの周辺に設けられている。外縁部１２ｂは、振動部１２ａの厚みｔ１，ｔ２よりも小さい厚みｔ´を有している。
【００６５】
第１励振電極２０は、第１凸部１４の表面を覆うように設けられている。第１励振電極２０は、第１凸部１４の表面と第１主面１３ａの外縁部１２ｂの一部の表面と、を覆っている。第１励振電極２０は、第１凸部１４の表面と第１主面１３ａの一部とを覆っている。図示の例では、第１凸部１４は、平面視において、第１励振電極２０の外縁の内側に位置している。すなわち、第１励振電極２０によって、第１凸部１４の表面は完全に覆われている。
【００６６】
第２励振電極２２は、第２凸部１６の表面を覆うように設けられている。第２励振電極２２は、第２凸部１６の表面と第２主面１３ｂの外縁部１２ｂの一部の表面と、を覆っている。第２励振電極２２は、第２凸部１６の表面と第２主面１３ｂの一部とを覆っている。図示の例では、第２凸部１６は、平面視において、第２励振電極２２の外縁の内側に位置している。すなわち、第２励振電極２２によって、第２凸部１６の表面は完全に覆われている。
【００６７】
励振電極２０，２２は、振動部１２ａを挟んで設けられている。励振電極２０，２２は、振動部１２ａに電圧を印加することができる。励振電極２０，２２は、接続電極２４を介して、マウント電極２６と接続されている。マウント電極２６は、第２主面１３ｂに設けられている。マウント電極２６は、例えば、振動部１２ａの＋Ｘ軸方向側の外縁部１２ｂに設けられている。
【００６８】
励振電極２０，２２、接続電極２４、およびマウント電極２６としては、例えば、基板１２側から、クロム、金をこの順で積層したものを用いる。励振電極２０，２２、接続電極２４、およびマウント電極２６は、例えば、スパッタ法、真空蒸着法により形成される。
【００６９】
本実施形態に係る振動片１０および振動素子１００によれば、例えば、以下の特徴を有する。
【００７０】
振動片１０によれば、振動部１２ａは、第１主面１３ａよりも突出している第１凸部１４と、第２主面１３ｂよりも突出している第２凸部１６と、を有し、振動部１２ａは、平面視において、第１凸部１４と第２凸部１６とが重ならない部分１５ａ，１５ｂを有している。これにより、基板１２の長辺方向（Ｘ軸方向）において、屈曲振動を抑圧する位置（端縁ａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２）を、４箇所とすることができる。したがって、屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる。以下、その理由について説明する。
【００７１】
図７は、２段メサ構造を有する振動片Ｃを模式的に示す断面図である。具体的には、振動片Ｃは、第１凸部および第２凸部を２段にし、第１凸部と第２凸部の対応する各段の幅を同じにしている。また、第１凸部の中心と第２凸部の中心とは、平面視において、重なっている。振動片Ｃの例では、第１凸部の端縁ｃ１と第２凸部の端縁ｄ１が、Ｘ座標が同じであり、同様に、第１凸部の端縁ｃ２と第２凸部の端縁ｄ２、第１凸部の端縁ｃ３と第２凸部の端縁ｄ３、第１凸部の端縁ｃ４と第２凸部の端縁ｄ４が、Ｘ座標が同じである。したがって、２段メサ構造を有する振動片Ｃでは、屈曲振動を抑圧する位置は、４箇所である。また、この振動片Ｃは、第１凸部および第２凸部の段数が２段であるため、凸部を形成するためのエッチング工程が２回必要となる。
【００７２】
これに対して、振動片１０では、屈曲振動を抑圧する位置が２段メサ構造を有する振動片Ｃと同じ数（４箇所）であるにも関わらず、第１凸部１４の段数は１段であり、第２凸部１６の段数は１段であるため、凸部１４，１６を形成するためのエッチング工程が１回でよい。したがって、製造工程を簡略化することができる。
【００７３】
このように、振動片１０によれば、屈曲振動を抑圧する位置を、２段メサ構造を有する振動片Ｃと同じ数だけ有しつつ、製造工程を簡略化することができる。すなわち、振動片１０によれば、２段メサ構造を有する振動片と同じ程度に屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる。
【００７４】
また、振動片１０によれば、例えば、凸部１４，１６の厚さ（Ｙ´軸方向の大きさ）を、２段メサ構造を有する振動片の各段の厚みの２倍とすることができる。すなわち、振動部１２ａの厚みを、２段メサ構造を有する振動片の振動部の厚みと同じにすることができる。これにより、２段メサ構造を有する振動片と同様に、主振動のエネルギーを効率よく閉じ込めることができる。
【００７５】
振動片１０によれば、第１非重なり部１５ａの幅Ｌ１は、Ｌ１＝（ｍ１×λ／２）×ｋ１（ただし、０．８＜ｋ１＜１．２）の関係を満たし、第２非重なり部１５ｂの幅Ｌ２＝（ｍ２×λ／２）×ｋ２（ただし、０．８＜ｋ２＜１．２）の関係を満たす。これにより、上述したように、屈曲振動を抑圧して、スプリアスを十分に抑制することができる。
【００７６】
振動素子１００によれば、第１凸部１４の表面と第１主面１３ａ側の外縁部１２ｂの一部の表面とを覆う第１励振電極２０と、第２凸部１６の表面と第２主面１３ｂ側の外縁部１２ｂの一部の表面とを覆う第２励振電極２２とを有している。これにより、容量比γを大きくすることができる。なお、容量比γとは、励振電極２０，２２の寸法（大きさ）で決まる容量Ｃ０を、振動片１０の実質的な振動領域で決まる容量Ｃ１で除したものである。
【００７７】
さらに、振動素子１００によれば、第１凸部１４の表面を覆う第１励振電極２０と、第２凸部１６の表面を覆う第２励振電極２２と、を有し、第１凸部１４は、平面視において、第１励振電極２０の外縁の内側に位置し、第２凸部１６は、平面視において、第２励振電極２２の外縁の内側に位置している。すなわち、第１励振電極２０は、第１凸部１４の表面を完全に覆っており、第２励振電極２２は、第２凸部１６の表面を完全に覆っている。これにより、励振電極が凸部を完全に覆っていない場合と比べて、容量比γを大きくすることができる。
【００７８】
２．  振動素子の製造方法
次に、本実施形態に係る振動素子の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図８〜図９は、振動素子１００の製造工程を模式的に示す断面図である。
【００７９】
図８に示すように、基板２を用意する。基板２は、例えば、ＡＴカット水晶基板等の水晶基板である。次に、基板２の一方の主面１３ａに、レジスト膜６ａおよび耐蝕膜４ａを含む第１マスクＭ１を配置し、基板２の一方の主面１３ａに対して裏面側の他方の主面１３ｂに、第１マスクＭ１の面積よりも小さく平面視において重なるように第２マスクＭ２を配置する。
【００８０】
具体的には、まず、基板２の両主面１３ａ，１３ｂに耐蝕膜４を成膜する。耐蝕膜４は、例えば、スパッタ法や真空蒸着法などにより成膜される。耐蝕膜４は、例えば、クロムおよび金をこの順で積層した積層構造を有している。なお、耐蝕膜４は、例えば、下層として、クロム、ニッケル、ニッケルとクロムの合金を用いることができ、上層として、金、銀等を用いることができる。耐蝕膜４は、基板２をエッチングする際に、エッチング液となる緩衝フッ酸に対して耐蝕性を有する。次に、耐蝕膜４の表面にレジスト膜６を成膜する。レジスト膜６は、例えば、ポジ型のフォトレジストである。レジスト膜６は、例えば、スピンコート法などにより成膜される。次に、第１主面１３ａ側のレジスト膜６ａおよび耐蝕膜４ａをパターニングする。次に、第２主面１３ｂ側のレジスト膜６ｂおよび耐蝕膜４ｂをパターニングする。具体的には、レジスト膜６ａ，６ｂを露光、現像してパターニングし、レジスト膜６ａ，６ｂをマスクとして、耐蝕膜４ａ，４ｂをエッチングする。耐蝕膜４ａ，４ｂのエッチングは、例えば、まず、ヨウ素系のエッチング液を用いて金をエッチングし、次に、硝酸セリウムアンモニウムを含有したエッチング液を用いてクロムをエッチングすることにより行われる。以上の工程により、レジスト膜６ａおよび耐蝕膜４ａを有する第１マスクＭ１、およびレジスト膜６ｂおよび耐蝕膜４ｂを有する第２マスクＭ２を形成することができる。第２マスクＭ２の面積は、第１マスクＭ１の面積よりも小さく、第１マスクＭ１と第２マスクＭ２とは、平面視において一部が重なるように形成される。図示の例では、第２マスクＭ２のＸ軸方向の大きさが、第１マスクＭ１のＸ軸方向の大きさよりも小さく形成されている。そのため、第２マスクＭ２の面積は、第１マスクＭ１の面積よりも小さい。
【００８１】
図９に示すように、マスクＭ１，Ｍ２をマスクとして、基板２をエッチングする。具体的には、マスクＭ１，Ｍ２から露出している基板２の部分をエッチングする。これにより、第１主面１３ａに第１凸部１４が形成され、かつ、第２主面１３ｂに第２凸部１６が形成される。これにより、基板１２には、振動部１２ａおよび外縁部（薄肉部）１２ｂが形成される。ここで、基板２の表裏面に形成されるマスクＭ１，Ｍ２の大きさ（面積）を、異ならせているので、振動部１２ａには、平面視において、第１凸部１４と第２凸部１６とが、重ならない部分１５ａ，１５ｂおよび重なる部分１５ｃが設けられる。以上の工程により、メサ型基板１２（振動片１０）が形成される。
【００８２】
図１〜図３に示すように、マスクＭ１，Ｍ２を除去した後、基板１２に、励振電極２０，２２、接続電極２４、およびマウント電極２６を形成する。励振電極２０，２２、接続電極２４、およびマウント電極２６は、例えば、スパッタ法や真空蒸着法などにより、クロムおよび金をこの順で積層した後、該クロムおよび金を、パターニングすることによって形成される。
【００８３】
以上の工程により、振動素子１００を製造することができる。
【００８４】
本実施形態に係る振動素子１００（振動片１０）の製造方法は、例えば、以下の特徴を有する。
【００８５】
振動片１０の製造方法によれば、基板２をエッチングして、第１主面１３ａに第１凸部１４を形成し、かつ、第２主面１３ｂに第２凸部１６を形成する工程を含み、第１凸部１４および第２凸部１６は、平面視において、重ならない部分１５ａ，１５ｂを有する。これにより、１回のエッチング工程で振動片１０を製造することができる。したがって、２段メサ構造を有する振動片と比べて、エッチング工程の回数を減らすことができ、製造工程を簡略化することができる。さらに、エッチングを繰り返すことによって生じる基板のエッジのダレや形状のばらつきを低減することができ、基板へのダメージを低減することができる。
【００８６】
なお、上述した実施形態では、マスクとしてレジスト膜および耐蝕膜を用いた場合について説明したが、基板を所望の形状にパターニングできれば、マスクは特に限定されない。例えば、マスクとして、メタルマスクを用いてもよい。
【００８７】
３．  振動素子の変形例
３．１．  第１変形例
次に、本実施形態の第１変形例に係る振動素子について、図面を参照しながら説明する。図１０は、本実施形態の第１変形例に係る振動素子２００を模式的に示す平面図である。図１１は、本実施形態の第１変形例に係る振動素子２００を模式的に示す断面図あり、図１０のＸＩ−ＸＩ線断面図である。以下、振動素子２００において、振動素子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００８８】
振動素子１００の例では、図２および図３に示すように、第１凸部１４の中心と、第２凸部１６の中心とは、平面視において、重なっていた。
【００８９】
これに対し、振動素子２００では、図１０および図１１に示すように、第１凸部１４の中心の位置αと、第２凸部１６の中心の位置βとは、平面視において、厚みすべり振動の振動方向に沿う方向にずれている。図示の例では、第１凸部１４の中心の位置αと、第２凸部１６の中心の位置βとは、平面視において、基板１２の長辺に沿う方向（Ｘ軸方向）に、ずれている。
【００９０】
振動素子２００では、第１凸部１４の幅（Ｘ軸方向の大きさ）Ｍ１と第２凸部１６の幅Ｍ２とは、同じ大きさである。そして、第１凸部１４の中心の位置αと、第２凸部１６の中心の位置βとは、Ｘ軸方向にずれている。これにより、振動部１２ａは、第１非重なり部１５ａ、第２非重なり部１５ｂ、および重なり部１５ｃを有することができる。
【００９１】
第１非重なり部１５ａの幅Ｌ１は、図示の例では、第２非重なり部１５ｂの幅Ｌ２と同じである。なお、上述したＬ１＝（ｍ１×λ／２）×ｋ１（ただし、０．８＜ｋ１＜１．２）、Ｌ２＝（ｍ２×λ／２）×ｋ２（ただし、０．８＜ｋ２＜１．２）の関係を満たしていれば、幅Ｌ１と幅Ｌ２とは、異なる大きさを有していてもよい。すなわち、第１凸部１４の幅Ｍ１と第２凸部１６の幅Ｍ２とが、異なる大きさを有していてもよい。
【００９２】
また、屈曲振動が生じる基板１２の長辺方向（Ｘ軸方向）において、第１凸部１４の端縁ａ１，ａ２の位置および第２凸部１６の端縁ｂ１，ｂ２の位置は、ずれている。そのため、屈曲振動を抑圧する位置を、４箇所設けることができる。
【００９３】
振動片１０１によれば、振動片１０と同様に、基板１２の長辺方向（Ｘ軸方向）において、屈曲振動を抑圧する位置を４箇所設けることができる。これにより、振動片１０と同様に、屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる。
【００９４】
なお、振動片１０１の製造方法は、上述した振動片１０の製造方法と同様であり、その説明を省略する。
【００９５】
３．２．  第２変形例
次に、本実施形態の第２変形例に係る振動素子について、図面を参照しながら説明する。図１２は、本実施形態の第２変形例に係る振動素子３００を模式的に示す平面図である。図１３は、本実施形態の第２変形例に係る振動素子３００を模式的に示す断面図あり、図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線断面図である。以下、振動素子３００において、振動素子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００９６】
振動素子１００の例では、図１〜図３に示すように、第１凸部１４および第２凸部１６は、１段の段差を有していた。
【００９７】
これに対し、振動素子３００の例では、図１２および図１３に示すように、第１凸部１４および第２凸部１６は、２段の段差を有している。第１凸部１４は、側面に２段を含み、第２凸部１６は、側面に２段の段差を含んでいる。
【００９８】
振動素子３００では、第１凸部１４の１段目の部分１４ａと、第１凸部１４の２段目の部分１４ｂとは、平面視において中心の位置が重なっている。そのため、Ｘ軸における位置（Ｘ座標）が同じであり、この位置を第１凸部１４の中心の位置αとする。また、第２凸部１６の１段目の部分１６ａと、第２凸部１６の２段目の部分１６ｂとは、平面視において中心の位置が重なっている。そのため、Ｘ軸における位置（Ｘ座標）が同じであり、この位置を第２凸部１６の中心の位置βとする。図１３に示すように、位置αと位置βは、ずれている。すなわち、第１凸部１４の中心と、第２凸部１６の中心とは、Ｘ軸方向（基板１２の長辺に沿う方向）にずれている。これにより、振動部１２ａは、第１非重なり部１５ａ、第２非重なり部１５ｂ、および重なり部１５ｃを有することができる。
【００９９】
第１凸部１４および第２凸部１６がそれぞれ２段の段差を有し、かつ、非重なり部１５ａ，１５ｂが設けられることにより、基板１２には、Ｘ軸方向において、屈曲振動を抑圧する位置（凸部の端縁の位置）が８箇所設けられる。なお、第１凸部１４の段差の数、および第２凸部１６の段差の数は特に限定されない。
【０１００】
第１凸部１４の１段目の幅Ｍ１、第１凸部１４の２段目の幅Ｍ２、第２凸部１６の１段目の幅Ｍ３、第２凸部１６の２段目の幅Ｍ４は、Ｍ１＝Ｍ３＞Ｍ２＝Ｍ４の関係を有している。第１非重なり部１５ａの幅Ｌ１、および第２非重なり部１５ｂの幅Ｌ２は、Ｌ１＝（ｍ１×λ／２）×ｋ１（ただし、０．８＜ｋ１＜１．２）、Ｌ２＝（ｍ２×λ／２）×ｋ２（ただし、０．８＜ｋ２＜１．２）の関係を満たしている。
【０１０１】
振動素子３００（振動片１０２）によれば、振動素子１００（振動片１０）の例と比べて、第１凸部１４および第２凸部１６の段数が多いため、より効率的に主振動のエネルギーを閉じ込めることができる。
【０１０２】
３．３．  第３変形例
次に、本実施形態の第３変形例に係る振動素子について、図面を参照しながら説明する。図１４は、本実施形態の第３変形例に係る振動素子４００を模式的に示す斜視図である。図１５は、本実施形態の第３変形例に係る振動素子４００を模式的に示す断面図である。以下、振動素子４００において、振動素子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１０３】
振動素子１００の例では、図１〜図３に示すように、第１励振電極２０は、第１凸部１４の表面を完全に覆っており、第２励振電極２２は、第２凸部１６の表面を完全に覆っていた。
【０１０４】
これに対し、振動素子４００では、図１４および図１５に示すように、第１励振電極２０は、第１凸部１４の表面の一部を覆っており、第２励振電極２２は、第２凸部１６の表面の一部を覆っている。例えば、第１励振電極２０は、平面視において、第１凸部１４の外縁の内側に設けられている。また、第２励振電極２２は、平面視において、第２凸部１６の外縁の内側に設けられている。図示の例では、励振電極２０，２２は、凸部１４，１６上に設けられている。
【０１０５】
振動素子４００によれば、上述した振動素子１００と同様の作用効果を奏することができる。
【０１０６】
また、振動素子４００によれば、製造工程において、耐蝕膜（図９参照）を励振電極２０，２２として用いることができる。これにより、製造工程を簡略化することができる。
【０１０７】
４．  振動子
次に、本実施形態に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図１６は、本実施形態に係る振動子５００を模式的に示す断面図である。
【０１０８】
振動子５００は、図１６に示すように、本発明に係る振動片と、パッケージ５５と、を含む。より具体的には、振動子５００は、本発明に係る振動素子を含む。以下では、本発明に係る振動素子として、振動片１０を備えた振動素子１００を用いた例について説明する。
【０１０９】
パッケージ５５は、振動素子１００を収容している。パッケージ５５は、パッケージベース（実装基板）４０と、リッド５０と、を有することができる。
【０１１０】
パッケージベース４０には、凹部４８が形成され、凹部４８内に振動素子１００が配置されている。パッケージベース４０の平面形状は、凹部４８内に振動素子１００を配置することができれば、特に限定されない。パッケージベース４０としては、例えば、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス、シリコンなどの材料を用いる。
【０１１１】
パッケージベース４０の第１面（図示の例では凹部４８の内側の底面）４０ａには、第１端子４２が設けられている。第１端子４２には、接着剤（導電性接着剤）３０が設けられ、第１端子４２と第１励振電極２０とは、電気的に接続されている。図示はしないが、第１面４０ａには、さらに、第２励振電極２２と電気的に接続されている第１端子が設けられている。
【０１１２】
パッケージベース４０の第２面（第１面４０ａと反対側の面）４０ｂには、電子機器などの外部部材に実装される際に用いられる第２端子４４が設けられている。第２端子４４は、パッケージベース４０を貫通するコンタクト部（図示せず）を介して、第１端子４２および第２励振電極２２と電気的に接続された第１端子に接続されていてもよい。
【０１１３】
第１端子４２および第２端子４４としては、例えば、タングステンなどのメタライス層に、ニッケル、金などの皮膜をめっきなどの方法により積層した金属膜を用いる。
【０１１４】
リッド５０は、パッケージベース４０の凹部４８を覆って設けられている。図示の例では、リッド５０の形状は、板状である。リッド５０としては、例えば、パッケージベース４０と同じ材料や、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属を用いる。リッド５０は、例えば、シームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材６０を介して、パッケージベース４０に接合されている。
【０１１５】
パッケージベース４０の気密に封止された凹部４８内は、減圧された真空状態（真空度の高い状態）または、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態となっている。
【０１１６】
振動子５００によれば、屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる振動素子１００（振動片１０）を有することができる。
【０１１７】
５．  振動子の変形例
次に、本実施形態の変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図１７は、本実施形態の変形例に係る振動子６００を模式的に示す断面図である。以下、振動子６００において、振動子５００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１１８】
振動子５００では、図１６に示すように、パッケージベース４０に凹部４８が設けられていた。これに対し、振動子６００では、図１７に示すように、パッケージベース４０には、凹部４８が設けられておらず、パッケージベース４０は、平板状の形状を有している。
【０１１９】
振動子６００では、リッド５０は、全周につば部５２が設けられたキャップ状（容器状）の形状を有しており、その内側の空間５４に、振動素子１００を収容することができる。つば部５２は、接合部材６０を介して、パッケージベース４０に接合されている。リッド５０としては、例えば、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属を用いる。
【０１２０】
振動子６００によれば、振動子５００に比べて、パッケージベース４０に凹部４８を設けなくてよいため、その分パッケージベース４０の製造が容易となり、製造コストを削減することができる。
【０１２１】
６．  電子デバイス
次に、本実施形態に係る電子デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図１８は、本実施形態に係る電子デバイス８００を模式的に示す断面図である。
【０１２２】
電子デバイス７００は、図１８に示すように、本発明に係る振動片と、電子素子７０と、を含む。より具体的には、電子デバイス７００は、本発明に係る振動子を含む。以下では、本発明に係る振動子として、振動片１０を備えた振動子５００を用いた例について説明する。
【０１２３】
電子素子７０は、パッケージ５５に収容されている。より具体的には、電子素子７０は、パッケージベース４０に設けられた凹部４８内に配置されている。電子素子７０としては、例えば、振動片１０を駆動する発振回路を備えたＩＣチップを用いる。さらに、ＩＣチップは、振動片１０の温度変化に伴う周波数変動を補正する温度補償回路を備えていてもよい。電子素子７０として発振回路を備えたＩＣチップを用いる場合、電子デバイス７００は、発振器として機能することができる。なお、電子素子７０は、上記のようなＩＣチップに限定されず、例えば、サーミスター、コンデンサー、リアクタンス素子であってもよい。
【０１２４】
電子素子７０は、バンプ７２を介して、パッケージベース４０の第１面４０ａに設けられた第３端子４６と電気的に接続されている。第３端子４６は、例えば、図示しない配線によって、第１端子４２と接続されている。これにより、電子素子７０と励振電極２０，２２とを電気的に接続することができる。
【０１２５】
バンプ７２としては、例えば、金、ニッケルなど金属バンプを用いる。第３端子４６としては、例えば、タングステンなどのメタライス層に、ニッケル、金などの皮膜をめっきなどの方法により積層した金属膜を用いる。
【０１２６】
なお、図示はしないが、電子素子７０は、バンプ７２の変わりに、ワイヤーによって、第３端子４６と電気的に接続されていてもよい。
【０１２７】
電子デバイス７００によれば、屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる振動素子１００（振動片１０）を有することができる。
【０１２８】
７．  電子デバイスの変形例
次に、本実施形態の変形例に係る電子デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図１９は、本実施形態の変形例に係る電子デバイス８００を模式的に示す断面図である。以下、電子デバイス８００において、電子デバイス７００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１２９】
電子デバイス７００では、図１８に示すように、電子素子７０は、パッケージベース４０の第１面４０ａ側に設けられ、パッケージベース４０に設けられた凹部４８内に配置されていた。これに対し、電子デバイス８００では、図１９に示すように、パッケージベース４０の第２面４０ｂが底面となる凹部４９内に設けられている。電子デバイス８００では、パッケージベース４０は、略Ｈ型の形状を有することができる。
【０１３０】
電子素子７０は、接着剤（図示せず）によって、第２面４０ｂに接合されていてもよい。電子素子７０は、ワイヤー７４を介して、第２面４０ｂに設けられた第３端子４６と電気的に接続されている。ワイヤー７４の材質は、例えば、金である。
【０１３１】
なお、図示はしないが、電子素子７０は、ワイヤー７４の変わりに、バンプによって、第３端子４６と電気的に接続されていてもよい。
【０１３２】
電子デバイス８００によれば、振動素子１００と電子素子７０とを分離し、振動素子１００を単独で気密封止しているために、良好な周波数エージング特性を有することができる。
【０１３３】
８．  電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。図２０は、本実施形態に係る電子機器として、形態電話（スマートフォン）を模式的に示す平面図である。
【０１３４】
スマートフォン１０００は、本発明に係る振動片を含む。より具体的には、スマートフォン１０００は、本発明に係る電子デバイスを含む。以下では、図２０に示すように、本発明に係る電子デバイスとして、振動片１０を備えた電子デバイス７００を用いた例について説明する。なお、便宜上、図２０では、電子デバイス７００を簡略化して図示している。
【０１３５】
スマートフォン１０００は、電子デバイス７００を、例えば、基準クロック発振源などのタイミングデバイスとして用いる。スマートフォン１０００は、さらに、表示部（液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等）１００１、操作部１００２、および音出力部１００３（マイクロフォン等）を有することができる。スマートフォン１０００は、表示部１００１に対する接触検出機構を設けることで表示部１００１を操作部として兼用してもよい。
【０１３６】
スマートフォン１０００によれば、屈曲振動を抑圧しつつ、製造工程を簡略化することができる振動素子１００（振動片１０）を有することができる。
【０１３７】
なお、スマートフォン（形態電話）１０００に代表される電子機器は、上述したように、振動片１０を駆動する発振回路と、振動片１０の温度変化に伴う周波数変動を補正する温度補償回路と、を備えていることが好ましい。
【０１３８】
これによれば、スマートフォン１０００に代表される電子機器は、振動片１０を駆動する発振回路と共に、振動片１０の温度変化に伴う周波数変動を補正する温度補償回路を備えていることから、発振回路が発振する共振周波数を温度補償することができ、温度特性に優れた電子機器を提供することができる。
【０１３９】
本発明に係る振動片を備えた電子機器は、上記スマートフォンに限らず、電子ブック、パーソナルコンピューター、テレビ、デジタルスチールカメラ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、ナビゲーション装置、ベージャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器などのタイミングデバイスとして好適にも用いることができる。
【０１４０】
上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
【０１４１】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１４２】
１…ＡＴカット水晶基板、２…基板、４…耐蝕膜、６…レジスト膜、１０…振動片、１２…基板、１２ａ…振動部、１２ｂ…外縁部、１３ａ…第１主面、１３ｂ…第２主面、１４…第１凸部、１５ａ…第１非重なり部、１５ｂ…第２非重なり部、１５ｃ…重なり部、１６…第２凸部、２０…第１励振電極、２２…第２励振電極、２４…接続電極、２６…マウント電極、３０…接着剤、４０…パッケージベース、４０ａ…第１面、４０ｂ…第２面、４２…第１端子、４４…第２端子、４６…第３端子、４８…凹部、４９…凹部、５０…リッド、５２…つば部、５４…空間、５５…パッケージ、６０…接合部材、７０…電子素子、７２…バンプ、７４…ワイヤー、１００…振動素子、１０１，１０２…振動片、２００，３００，４００…振動素子、５００，６００…振動子、７００，８００…電子デバイス、１０００…スマートフォン、１００１…表示部、１００２…操作部、１００３…音出力部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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