(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
過酸化水素水溶液を精製水により洗浄した活性アルミナに接触させる第１工程と、
前記第１工程の後、前記過酸化水素水溶液をカチオン交換樹脂に接触させる第２工程と、
前記第２工程の後、前記過酸化水素水溶液にリン酸、ピロリン酸、リン酸塩、及びピロリン酸塩から選ばれる一種以上の物質を添加する第４工程と、
前記第４工程の後、前記過酸化水素水溶液をアニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に接触させる第５工程と、
を有することを特徴とする過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項２】
前記カチオン交換樹脂は、スルホン酸基を有する水素イオン型の強酸性カチオン交換樹脂である、請求項１に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項３】
前記活性アルミナ及び前記カチオン交換樹脂に接触させる前記過酸化水素水溶液の温度が３０℃以下である、請求項１又は請求項２に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項４】
前記第１工程において、前記過酸化水素水溶液を連続式により前記活性アルミナに通液させ、
前記第２工程において、前記過酸化水素水溶液を連続式により前記カチオン交換樹脂に通液させる、請求項１から請求項３のうちいずれか１項に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項５】
前記過酸化水素水溶液を前記活性アルミナに通液させるときの空間速度（ＳＶ）が０．５〜５０Ｈｒ−１であり、
前記過酸化水素水溶液を前記カチオン交換樹脂に通液させるときの空間速度（ＳＶ）が１〜３００Ｈｒ−１である、請求項４に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項６】
前記第１工程の後、前記過酸化水素水溶液を平均孔径１μｍ以下のフィルターを用いて濾過する第３工程を有する、請求項１から請求項５のうちいずれか１項に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項７】
前記第４工程において、前記過酸化水素水溶液に含まれるリン酸イオン及びピロリン酸イオンの合計の濃度が０．０１〜１００ｐｐｍとなるように、前記過酸化水素水溶液にリン酸、ピロリン酸、リン酸塩、及びピロリン酸塩から選ばれる一種以上の物質を添加する、請求項１〜６のいずれか一項に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項８】
前記第５工程において、アニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に接触させる過酸化水素水溶液の温度が３０℃以下である、請求項７又は請求項１〜７のいずれか一項に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項９】
前記第５工程において、前記過酸化水素水溶液を連続式によりアニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に接触させる、請求項１〜８のいずれか一項に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項１０】
前記第５工程において、前記過酸化水素水溶液をアニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に接触させるときの空間速度（ＳＶ）が１〜３００Ｈｒ−１である、請求項９に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項１１】
前記過酸化水素水溶液と合成吸着剤とを接触させる第６工程を有する、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項１２】
前記第６工程において、前記過酸化水素水溶液を連続式により前記合成吸着剤に通液させる、請求項１１に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項１３】
前記第６工程において、前記過酸化水素水溶液を前記合成吸着剤に通液させるときの空間速度（ＳＶ）が１〜３００Ｈｒ−１である、請求項１２に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【請求項１４】
前記過酸化水素水溶液は、アントラキノン法で製造された過酸化水素水溶液である、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、過酸化水素水溶液の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
過酸化水素水溶液は、紙、パルプの漂白剤、化学研磨液、シリコンウエハの洗浄剤等に用いられる。近年では、電子工業分野における過酸化水素水溶液の使用量が増大している。電子工業分野で使用される過酸化水素水溶液は、不純物の濃度が極めて低いことが要求される。【０００３】
過酸化水素は、そのほとんどがアントラキノン法により製造されている。一般的なアントラキノン法の工程は、以下の通りである。
水素化触媒の存在下、水不溶性の溶媒中で、２−アルキルアントラキノン等のアントラキノン誘導体を水素化させてアントラヒドロキノンを生成させる。
触媒をろ過によって分離した後、アントラヒドロキノンと空気中の酸素を接触させ、アントラヒドロキノンを酸化させて２−アルキルアントラキノン及び過酸化水素を生成させる。
生成した過酸化水素を水で抽出して分離する。【０００４】
水で抽出した過酸化水素水溶液には、ケイ酸やケイ酸塩（例えば、ケイ酸カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸アルミニウム）などの不純物が含まれている。これらのケイ素成分は、主に、酸化工程で接触させる空気や、抽出工程で用いる水等から混入する。【０００５】
従来、過酸化水素水溶液に含まれるケイ素成分を除去する方法として、以下の方法が知られている。
特許文献１には、過酸化水素水溶液をフッ化物イオン型のアニオン交換樹脂と接触させてケイ素成分を除去する方法が開示されている。
特許文献２には、フッ素化合物を添加した過酸化水素水溶液を、スルホン酸基を有する水素イオン型カチオン交換樹脂と接触させた後、アニオン交換樹脂と接触させる方法が開示されている。【０００６】
特許文献３には、過酸化水素水溶液を精製するに際し、過酸化水素水溶液１リットル当たり０．０５ミリ当量以上のフッ化水素を過酸化水素水溶液に添加した後、過酸化水素水溶液を水酸化物イオン型強塩基性アニオン交換樹脂に接触させる方法が開示されている。
特許文献４には、ケイ素成分を含有する過酸化水素水溶液に、凝集化剤を添加し、過酸化水素水溶液に含まれる固形分不純物を精密フィルターで濾過したのち、ＳｉＦ６の含有量が０．０５重量％以下である、フッ化ナトリウム、フッ化カリウムおよびフッ化アンモニウムからなる群から選ばれる少なくとも一種のフッ素化合物でフッ化物イオン型にしたアニオン交換樹脂と接触させる方法が開示されている。【０００７】
しかしながら、特許文献１〜４の開示された方法は、フッ素を使用する方法であるため、環境への負荷が大きく、廃水の処理にコストがかかるという問題があった。【０００８】
特許文献５には、過酸化水素水溶液を限外濾過膜で濾過することによって、ケイ素成分を除去する方法が開示されている。しかし、この方法は、水溶液中に溶解しているケイ素成分の除去が困難であるという問題があった。【０００９】
特許文献６には、過酸化水素水溶液中の金属や有機物などの不純物を除去するために、過酸化水素水溶液を活性アルミナに１〜５分間接触させて前記不純物を吸着除去する方法が開示されている。しかし、特許文献６には、過酸化水素水溶液に含まれるケイ素成分を除去する方法は開示されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許第３７９７３９０号公報
【特許文献２】特許第３８１８３２３号公報
【特許文献３】特開平１１−７９７１７号公報
【特許文献４】特許第３８９５５４０号公報
【特許文献５】特許第３８４９７２４号公報
【特許文献６】特公昭４８−４１１５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、過酸化水素水溶液に含まれるケイ酸やケイ酸塩などの不純物を効果的に除去することのできる過酸化水素水溶液の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、以下の通りである。
＜１＞  過酸化水素水溶液を精製水により洗浄した活性アルミナに接触させる第１工程と、
前記第１工程の後、前記過酸化水素水溶液をカチオン交換樹脂に接触させる第２工程と、
を有することを特徴とする過酸化水素水溶液の製造方法。
＜２＞  前記カチオン交換樹脂は、スルホン酸基を有する水素イオン型の強酸性カチオン交換樹脂である、上記＜１＞に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
＜３＞  前記活性アルミナ及び前記カチオン交換樹脂に接触させる前記過酸化水素水溶液の温度が３０℃以下である、上記＜１＞又は＜２＞に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。【００１３】
＜４＞  前記第１工程において、前記過酸化水素水溶液を連続式により前記活性アルミナに通液させ、
前記第２工程において、前記過酸化水素水溶液を連続式により前記カチオン交換樹脂に通液させる、上記＜１＞〜＜３＞のいずれかに記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
＜５＞  前記過酸化水素水溶液を前記活性アルミナに通液させるときの空間速度（ＳＶ）が０．５〜５０Ｈｒ−１であり、
前記過酸化水素水溶液を前記カチオン交換樹脂に通液させるときの空間速度（ＳＶ）が１〜３００Ｈｒ−１である、上記＜４＞に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
＜６＞  前記第１工程の後、前記過酸化水素水溶液を平均孔径１μｍ以下のフィルターを用いて濾過する第３工程を有する、上記＜１＞〜＜５＞のいずれかに記載の過酸化水素水溶液の製造方法。【００１４】
＜７＞  前記第２工程の後、前記過酸化水素水溶液にリン酸、ピロリン酸、リン酸塩、及びピロリン酸塩から選ばれる一種以上の物質を添加する第４工程と、
前記第４工程の後、前記過酸化水素水溶液をアニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に接触させる第５工程と、を有する、上記＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
＜８＞  前記第４工程において、前記過酸化水素水溶液に含まれるリン酸イオン及びピロリン酸イオンの合計の濃度が０．０１〜１００ｐｐｍとなるように、前記過酸化水素水溶液にリン酸、ピロリン酸、リン酸塩、及びピロリン酸塩から選ばれる一種以上の物質を添加する、上記＜７＞に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
＜９＞  前記第５工程において、アニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に接触させる過酸化水素水溶液の温度が３０℃以下である、上記＜７＞又は＜８＞に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。【００１５】
＜１０＞  前記第５工程において、前記過酸化水素水溶液を連続式によりアニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に接触させる、上記＜７＞〜＜９＞のうちいずれかに記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
＜１１＞  前記第５工程において、前記過酸化水素水溶液をアニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に接触させるときの空間速度（ＳＶ）が１〜３００Ｈｒ−１である、上記＜１０＞に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
＜１２＞  前記過酸化水素水溶液と合成吸着剤とを接触させる第６工程を有する、上記＜１＞〜＜１１＞のいずれかに記載の過酸化水素水溶液の製造方法。【００１６】
＜１３＞  前記第６工程において、前記過酸化水素水溶液を連続式により前記合成吸着剤に通液させる、上記＜１２＞に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
＜１４＞  前記第６工程において、前記過酸化水素水溶液を前記合成吸着剤に通液させるときの空間速度（ＳＶ）が１〜３００Ｈｒ−１である、上記＜１３＞に記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
＜１５＞  前記過酸化水素水溶液は、アントラキノン法で製造された過酸化水素水溶液である、上記＜１＞〜＜１４＞のいずれかに記載の過酸化水素水溶液の製造方法。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、過酸化水素水溶液に含まれるケイ酸やケイ酸塩などの不純物を効果的に除去することのできる過酸化水素水溶液の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施例１のフローシート。
【図２】実施例２のフローシート。
【図３】実施例３のフローシート。
【図４】実施例４のフローシート。
【図５】比較例１のフローシート。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る過酸化水素水溶液の製造方法について具体的に説明する。なお、本明細書中において、ｐｐｍ、ｐｐｂ、ｐｐｔは、それぞれ重量ｐｐｍ、重量ｐｐｂ、重量ｐｐｔを示す。【００２０】
本発明に係る過酸化水素水溶液の製造方法は、過酸化水素水溶液を活性アルミナに接触させる第１工程と、前記第１工程の後、前記過酸化水素水溶液をカチオン交換樹脂に接触させる第２工程と、を有する。【００２１】
本発明において使用する活性アルミナは、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を好ましくは９０重量％以上、より好ましくは９５重量％以上、さらに好ましくは９９重量％以上含有する。アルミナは、γ−アルミナであることが好ましい。【００２２】
本発明において使用する活性アルミナの比表面積は、好ましくは１００〜６００ｍ２／ｇであり、より好ましくは１２０〜５００ｍ２／ｇである。【００２３】
活性アルミナの中心粒径は、好ましくは０．００１〜１０ｍｍであり、より好ましくは０．１〜６ｍｍである。前記中心粒径は、粒度分布における累積重量５０％相当径（ｄ５０）を意味する。活性アルミナの粒度分布は、例えばレーザー回折式粒度分布測定装置によって測定することができる。【００２４】
［第１工程］
第１工程では、ケイ酸やケイ酸塩（例えば、ケイ酸カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸アルミニウム）などの不純物が含まれている過酸化水素水溶液を、精製水により洗浄した活性アルミナに接触させる。
活性アルミナを洗浄するための精製水としては、公知の方法で精製された水を用いることができる。例えば、イオン交換、蒸留、活性炭、逆浸透膜、限外濾過膜、精密濾過膜、もしくはこれらの方法の組み合わせで精製した水を用いることができる。第１工程では、特に、イオン交換及び／又は逆浸透膜で精製した水を用いるのが好ましい。【００２５】
活性アルミナの洗浄に使用する精製水は、ケイ素濃度が好ましくは５ｐｐｂ以下であり、より好ましくは１ｐｐｂ以下である。精製水のケイ素濃度は、例えば、原子吸光光度計ｓｐｅｃｔｒＡＡ  ８８０Ｚ（Ｖａｒｉａｎ製）を用いて測定することができる。【００２６】
また、活性アルミナを洗浄するための精製水としては、例えば、イオン交換水をミニピュアーＴＷ−３００ＲＵ（野村マイクロ・サイエンス株式会社製）で精製した超純水を使用することができる。【００２７】
活性アルミナの洗浄処理は、活性アルミナに接触させた後の精製水中のケイ素濃度が、好ましくは５ｐｐｂ以下、より好ましくは１ｐｐｂ以下になるまで行う。
活性アルミナを硝酸、塩酸、硫酸、リン酸等の無機酸水溶液を用いて洗浄した後、精製水を用いて洗浄してもよい。【００２８】
活性アルミナを精製水によって洗浄した後、過酸化水素水溶液をその活性アルミナに接触させることによって、過酸化水素水溶液中のケイ素成分を効果的に除去することができる。【００２９】
過酸化水素水溶液を活性アルミナに接触させる第１工程は、連続式で実施することもできるし、バッチ式で実施することもできる。
連続式で実施する場合には、例えば、カラムに充填した活性アルミナの層に過酸化水素水溶液を連続的に供給する。
バッチ式で実施する場合には、例えば、槽の内部で活性アルミナと過酸化水素水溶液を所定時間撹拌混合した後、活性アルミナを分離し、槽の内部から過酸化水素水溶液を抜き出す。
連続式とバッチ式とでは、連続式の方が過酸化水素水溶液の生産効率が高いため好ましい。【００３０】
第１工程を連続式で実施する場合、過酸化水素水溶液を活性アルミナの層に通過させるときの空間速度（ＳＶ）は、０．５〜５０Ｈｒ−１であることが好ましい。このとき、過酸化水素水溶液の温度は、好ましくは０〜５０℃、より好ましくは５〜４０℃、さらに好ましくは５〜３０℃である。
なお、ここでいう空間速度（ＳＶ）は、以下の式（１）で表される。
空間速度（ＳＶ）［Ｈｒ−１］  ＝  過酸化水素水溶液の供給量［ＬＨｒ−１］／活性アルミナ層の容積［Ｌ］  …（１）【００３１】
第１工程を連続式で実施する場合、活性アルミナを充填したカラムは垂直に設置することが好ましい。この場合、過酸化水素水溶液は、カラムの上部から下部へ向かって流してもよく、下部から上部へ向かって流してもよい。【００３２】
活性アルミナに接触させた後の過酸化水素水溶液には、活性アルミナから溶出したアルミニウム、カルシウム、マグネシウム、ナトリウム等の金属が含まれている。このような過酸化水素水溶液は、飲料容器・食品容器の殺菌や、電子工業分野の洗浄剤等に使用するのは好ましくない。【００３３】
［第２工程］
本発明の方法では、上記第１工程を実施した後、過酸化水素水溶液をカチオン交換樹脂に接触させる（第２工程）。これにより、過酸化水素水溶液に含まれるアルミニウム、カルシウム、マグネシウム、ナトリウム等の金属を効果的に除去することができる。【００３４】
第２工程は、連続式で実施することもできるし、バッチ式で実施することもできる。
連続式で実施する場合には、例えば、カラムに充填したカチオン交換樹脂の層に過酸化水素水溶液を連続的に供給する。
バッチ式で実施する場合には、例えば、槽の内部でカチオン交換樹脂と過酸化水素水溶液を所定時間撹拌混合した後、カチオン交換樹脂を分離し、槽の内部から過酸化水素水溶液を抜き出す。
連続式とバッチ式とでは、連続式の方が過酸化水素水溶液の生産効率が高いため好ましい。【００３５】
第２工程を連続式で実施する場合、過酸化水素水溶液をカチオン交換樹脂の層に通過させるときの空間速度（ＳＶ）は、１〜３００Ｈｒ−１であることが好ましい。このとき、過酸化水素水溶液の温度は、好ましくは３０℃以下、より好ましくは−１０〜２０℃である。過酸化水素水溶液の温度が３０℃を超えると、カチオン交換樹脂中のスルホン酸基が溶出する割合が増加するので好ましくない。
なお、ここでいう空間速度（ＳＶ）は、以下の式（２）で表される。
空間速度（ＳＶ）［Ｈｒ−１］  ＝  過酸化水素水溶液の供給量［ＬＨｒ−１］／カチオン交換樹脂層の容積［Ｌ］  …（２）【００３６】
第２工程を連続式で実施する場合、カチオン交換樹脂を充填したカラムは垂直に設置することが好ましい。この場合、過酸化水素水溶液は、カラムの上部から下部へ向かって流してもよく、下部から上部へ向かって流してもよい。【００３７】
第２工程で用いるカチオン交換樹脂は、スルホン酸基（−ＳＯ３Ｈ）をイオン交換基とする強酸性カチオン交換樹脂であることが好ましい。第２工程で用いることのできるカチオン交換樹脂の例として、アンバーライト２００ＣＴ、２５２（Ｒｏｈｍ  ａｎｄ  Ｈａａｓ製）、ダイヤイオンＰＫ２２４、ＰＫ２２８（三菱化学株式会社製）が挙げられる。【００３８】
カチオン交換樹脂には、ナトリウムイオン型と水素イオン型とがある。一般的に、市販されているカチオン交換樹脂は、ナトリウムイオン型である。本発明の第２工程では、水素イオン型に変換したカチオン交換樹脂を使用することが好ましい。【００３９】
カチオン交換樹脂を水素イオン型へ変換するためには、まず、カラムに充填されているカチオン交換樹脂の層に、硫酸又は塩酸の水溶液を供給する。つぎに、カチオン交換樹脂の層に水を供給して、カチオン交換樹脂を十分に洗浄する。洗浄水としては、上記で説明した精製水を使用することが好ましい。
なお、市販されているカチオン交換樹脂を用いる場合、そのカチオン交換樹脂が水素イオン型（例えば、アンバーライト２００ＣＴＨ）であれば、第２工程でそのまま使用することができる。【００４０】
本発明に係る過酸化水素水溶液の製造方法によれば、過酸化水素水溶液に含まれるケイ素成分の濃度を、好ましくは５ｐｐｂ以下、より好ましくは１ｐｐｂ以下に低減することができる。【００４１】
本発明に係る過酸化水素水溶液の製造方法によれば、過酸化水素水溶液に含まれる活性アルミナから溶出したアルミニウム、カルシウム、マグネシウム、ナトリウム等の金属成分の濃度を、実用上問題のないレベルに低減することができる。【００４２】
過酸化水素水溶液は、例えば、アントラキノン法、直接合成法などの公知の方法で製造することができる。直接合成法とは、水素と酸素を直接反応させて過酸化水素を合成する方法である。【００４３】
活性アルミナと接触させる前の過酸化水素水溶液には、不純物としてケイ酸、ケイ酸塩（例えば、ケイ酸カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸アルミニウム）などのケイ素成分が含まれている。【００４４】
活性アルミナと接触させる前の過酸化水素水溶液に含まれるケイ素成分の濃度は、好ましくは１ｐｐｍ以下、より好ましくは２００ｐｐｂ以下、さらに好ましくは５０ｐｐｂ以下である。過酸化水素水溶液に含まれるケイ素成分の濃度が１ｐｐｍを超えると、活性アルミナの寿命が著しく短くなるとともに、過酸化水素水溶液の精製コストが増大する。【００４５】
カチオン交換樹脂と接触させる前の過酸化水素水溶液に含まれる金属（鉄、マンガン、クロム、ナトリウム、カルシウム、アルミニウムなど）又はそのイオンの濃度は、好ましくは１０ｐｐｍ以下、より好ましくは１ｐｐｍ以下である。【００４６】
活性アルミナと接触させる前の過酸化水素水溶液に含まれる有機不純物の濃度は、全炭素濃度（以下、ＴＣ濃度と称することがある）として、好ましくは３００ｐｐｍ以下、より好ましくは１００ｐｐｍ以下である。【００４７】
過酸化水素水溶液中の過酸化水素の濃度は、特に制限するものではないが、５〜７０重量％であることが好ましい。【００４８】
過酸化水素水溶液を接触させた後の活性アルミナには、ケイ素成分が付着している。活性アルミナを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の水溶液で洗浄することによって、活性アルミナに付着したケイ素成分を除去することが可能である。アルカリ金属水酸化物の水溶液で洗浄した活性アルミナは、第１工程においてケイ素成分の除去に再び使用することが可能である。【００４９】
活性アルミナの洗浄に用いるアルカリ金属水酸化物水溶液の温度は、好ましくは０〜１００℃、より好ましくは０〜５０℃である。
活性アルミナの洗浄に用いるアルカリ金属水酸化物水溶液の濃度は、好ましくは０．５〜２０重量％、より好ましくは１〜１０重量％である。
活性アルミナをアルカリ金属水酸化物水溶液で洗浄した後、さらに、精製水、及び／又は、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸等の無機酸の水溶液で洗浄してもよい。【００５０】
［第３工程］
第１工程の後、過酸化水素水溶液を平均孔径１μｍ以下のフィルターを用いて濾過してもよい（第３工程）。
第３工程を実施することにより、過酸化水素水溶液中のアルミナ等の固形物を除去することができる。第３工程は、第２工程の前に実施してもよく、第２工程の後に実施してもよい。【００５１】
第３工程において用いるフィルターは、過酸化水素水溶液によって容易に劣化せず、かつ、過酸化水素水溶液中に不純物を溶出しないものであることが好ましい。
第３工程において用いるフィルターの材質は、例えば、フッ素樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリカーボネート樹脂等が好ましい。特に、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）が好ましい。【００５２】
第３工程において用いるフィルターは、特に制限するものではないが、例えば、平膜状、プリーツ状、スパイラル状、あるいは中空糸状のフィルターであることが好ましい。【００５３】
第３工程において用いるフィルターの平均孔径は、好ましくは１．０μｍ以下、より好ましくは０．０１〜１．０μｍ、さらに好ましくは０．０１〜０．５μｍである。【００５４】
フィルターを通過させる際の過酸化水素水溶液の温度は、特に制限するものではないが、好ましくは０〜５０℃、より好ましくは５〜４０℃、さらに好ましくは５〜３０℃である。
フィルターを通過させる際の過酸化水素水溶液の速度は、特に制限されない。
過酸化水素水溶液は、フィルターに複数回通過させることもできる。【００５５】
［第４工程］
第２工程の後、過酸化水素水溶液にリン酸、ピロリン酸、リン酸塩、及びピロリン酸塩のうち一種以上の物質を添加してもよい（第４工程）。第４工程は、第３工程の前に実施してもよく、第３工程の後に実施してもよい。
以下、リン酸、ピロリン酸、リン酸塩、及びピロリン酸塩のことを、「リン酸等」と呼ぶ。【００５６】
［第５工程］
第４工程の後、過酸化水素水溶液をアニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に接触させてもよい（第５工程）。【００５７】
第４工程及び第５工程を実施することにより、過酸化水素水溶液に含まれる金属の濃度をｐｐｔレベルまで低減することができる。【００５８】
第５工程は、連続式で実施することもできるし、バッチ式で実施することもできる。
連続式で実施する場合には、例えば、カラムに充填したアニオン交換樹脂の層、及び／又は、カラムに充填したアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に、過酸化水素水溶液を連続的に供給する。
バッチ式で実施する場合には、例えば、槽の内部でアニオン交換樹脂と過酸化水素水溶液を所定時間撹拌混合した後、アニオン交換樹脂を分離し、槽の内部から過酸化水素水溶液を抜き出す。あるいは、槽の内部でアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂と過酸化水素水溶液を所定時間撹拌混合した後、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂を分離し、槽の内部から過酸化水素水溶液を抜き出す。
連続式とバッチ式とでは、連続式の方が過酸化水素水溶液の生産効率が高いため好ましい。【００５９】
第４工程において過酸化水素水溶液に添加するリン酸等の例として、リン酸、リン酸三アンモニウム、リン酸三カリウム、リン酸三ナトリウム、リン酸水素二カリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸水素アンモニウムナトリウム、リン酸水素二アンモニウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸二水素カリウム、リン酸二水素ナトリウム、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム、ピロリン酸アンモニウム、ピロリン酸二水素二ナトリウムなどを挙げることができる。この中で好ましいのは、リン酸である。【００６０】
第４工程及び第５工程は、例えば、以下の（１）又は（２）の方法で実施することができる。
（１）過酸化水素水溶液にリン酸等の物質を添加して所定の濃度となるように調整する。次に、過酸化水素水溶液をアニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に接触させる。
（２）配管中を流れる過酸化水素水溶液中に上記のリン酸等を連続的に供給して、その過酸化水素水溶液をアニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に連続的に供給する。【００６１】
第４工程では、リン酸等から選ばれる少なくとも一種の物質を過酸化水素水溶液に添加する。リン酸等を添加した後、過酸化水素水溶液中のリン酸イオン（ＰＯ４３−）及びピロリン酸イオン （Ｐ２Ｏ７４−）の合計の濃度は、好ましくは０．０１〜１００ｐｐｍ、より好ましくは０．１〜２０ｐｐｍ、さらに好ましくは０．１〜１０ｐｐｍ、特に好ましくは０．１〜１ｐｐｍである。
過酸化水素水溶液中のリン酸等の濃度がこれらの好ましい範囲を超えた場合、過酸化水素水溶液の精製に使用する樹脂にダメージを与える恐れがある。また、貯蔵容器や配管などの材料（例えば、オーステナイト系ステンレス材）から鉄やクロムなどの金属不純物を溶出させる恐れがある。【００６２】
過酸化水素水溶液中のピロリン酸イオン（Ｐ２Ｏ７４−）の濃度は、リン酸イオン（ＰＯ４３−）と同様の方法で測定することができる。
例えば、過酸化水素水溶液中のピロリン酸イオン（Ｐ２Ｏ７４−）の濃度は、イオンクロマトグラフィーＤＸ−５００（ＤＩＯＮＥＸ製）を用いて測定することができる。この場合、濃縮カラムはＩｏｎｐａｃ  ＡＧ１７−Ｃ（ＤＩＯＮＥＸ製）、ガードカラムはＩｏｎｐａｃ  ＡＧ１１（ＤＩＯＮＥＸ製）、分離カラムはＩｏｎｐａｃ  ＡＳ−１１（ＤＩＯＮＥＸ製）、ループは２ｍｌを用いることができる。標準液は、特級試薬（関東化学製）を精製水で溶解させて調製することができる。溶離液は、精密分析用グレードの水酸化ナトリウム（関東化学製）を精製水で溶解させて調製することができる。【００６３】
第５工程において使用することのできるアニオン交換樹脂の例として、スチレン−ジビニルベンゼン架橋共重合体を母体とした４級アンモニウム基をイオン交換基とする強塩基性樹脂、スチレン−ジビニルベンゼン架橋共重合体を母体とした１〜２級アミン及び３級アミンをイオン交換基とする弱塩基性樹脂、アクリル酸系架橋重合体を母体とした３級アミンをイオン交換基とする樹脂、ピリジル基又は置換ピリジル基を有するポリマーからなるピリジン系樹脂などが挙げられる。この中では、４級アンモニウム基をイオン交換基とする強塩基性アニオン交換樹脂が好ましい。４級アンモニウム基をイオン交換基とするアニオン交換樹脂は、多くの種類が市販されている。４級アンモニウム基をイオン交換基とするアニオン交換樹脂の例として、ダイヤイオンＰＡ３１６、３１８Ｌ（三菱化学株式会社製）、ダイヤイオンＳＡ１０Ａ（三菱化学株式会社製）、アンバーライトＩＲＡ９００Ｊ、ＩＲＡ９０４（Ｒｏｈｍ  ａｎｄ  Ｈａａｓ製）が挙げられる。市販されているアニオン交換樹脂は、一般に、塩素イオン型である。【００６４】
第５工程では、炭酸イオン型又は重炭酸イオン型に変換したアニオン交換樹脂を使用する。アニオン交換樹脂を炭酸イオン型又は重炭酸イオン型に変換するためには、例えば、カラムに充填したアニオン交換樹脂の層に、炭酸塩又は重炭酸塩の水溶液を供給した後、精製水を供給する。
より具体的には、例えば、カラムに充填したアニオン交換樹脂の層に、炭酸ナトリウム又は重炭酸ナトリウムの水溶液を供給する。つぎに、アニオン交換樹脂の層に水を供給して、アニオン交換樹脂を十分に洗浄する。洗浄水としては、上記で説明した精製水を使用することが好ましい。【００６５】
第５工程において使用するカチオン交換樹脂は、スルホン酸基をイオン交換基とする強酸性カチオン交換樹脂が好ましい。カチオン交換樹脂の例として、アンバーライト２００ＣＴ、２５２（Ｒｏｈｍ  ａｎｄ  Ｈａａｓ製）や、ダイヤイオンＰＫ２２４、ＰＫ２２８（三菱化学株式会社製）が挙げられる。【００６６】
カチオン交換樹脂には、ナトリウムイオン型と水素イオン型とがある。一般的に、市販されているカチオン交換樹脂は、ナトリウムイオン型である。本発明の第５工程では、水素イオン型に変換したカチオン交換樹脂を使用することが好ましい。【００６７】
カチオン交換樹脂を水素イオン型へ変換するためには、まず、カラムに充填されているカチオン交換樹脂の層に、硫酸又は塩酸の水溶液を供給する。つぎに、カチオン交換樹脂の層に水を供給して、カチオン交換樹脂を十分に洗浄する。洗浄水としては、上記で説明した精製水を使用することが好ましい。
なお、市販されているカチオン交換樹脂を用いる場合、そのカチオン交換樹脂が水素イオン型（例えば、アンバーライト２００ＣＴＨ）であれば、第５工程でそのまま使用することができる。【００６８】
第５工程において、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床を用いる場合、好ましい容量比はアニオン交換樹脂１に対しカチオン交換樹脂０．３〜３であり、より好ましくはアニオン交換樹脂１に対しカチオン交換樹脂０．５〜２である。アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂は、均一に混合するのが好ましい。【００６９】
第５工程を連続式で実施する場合、過酸化水素水溶液をアニオン交換樹脂の層、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換層との混合床からなる層に通過させるときの空間速度（ＳＶ）は、１〜３００Ｈｒ−１であることが好ましい。このとき、過酸化水素水溶液の温度は、好ましくは３０℃以下、より好ましくは−１０〜２０℃である。過酸化水素水溶液の温度が３０℃を超えると、過酸化水素が分解して樹脂層中に気泡が形成されやすくなるため、過酸化水素水溶液の精製度が低下するので好ましくない。
なお、ここでいう空間速度（ＳＶ）は、以下の式（３）で表される。
空間速度（ＳＶ）［Ｈｒ−１］  ＝  過酸化水素水溶液の供給量［ＬＨｒ−１］／アニオン交換樹脂及び／又はアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床からなる層の容積［Ｌ］  …（３）【００７０】
第５工程を連続式で実施する場合、アニオン交換樹脂、及び／又は、アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床を充填したカラムは、垂直に設置することが好ましい。この場合、過酸化水素水溶液は、カラムの上部から下部へ向かって流してもよく、下部から上部へ向かって流してもよい。【００７１】
［第６工程］
さらに、過酸化水素水溶液を合成吸着剤に接触させてもよい（第６工程）。
過酸化水素水溶液を合成吸着剤に接触させることによって、過酸化水素水溶液に含まれる有機不純物を除去することができる。【００７２】
第６工程は、第１工程の前に実施してもよいし、第１工程の後に実施してもよい。
第６工程は、連続式で実施することもできるし、バッチ式で実施することもできる。
連続式で実施する場合には、例えば、カラムに充填した合成吸着剤の層に、過酸化水素水溶液を連続的に供給する。
バッチ式で実施する場合には、例えば、槽の内部で合成吸着剤と過酸化水素水溶液を所定時間撹拌混合した後、合成吸着剤を分離し、槽の内部から過酸化水素水溶液を抜き出す。
連続式とバッチ式とでは、連続式の方が過酸化水素水溶液の生産効率が高いため好ましい。【００７３】
第６工程において用いられる合成吸着剤の例として、網目状分子構造を持ち且つイオン交換基を持たない樹脂を挙げることができる。
合成吸着剤の例として、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体、アクリルエステル重合体が挙げられる。また、合成吸着剤として、これらの樹脂をハロゲン化又はハロゲンメチル化したものを用いることもできる。また、網目状分子構造を修飾した合成吸着剤を用いることもできる。このような合成吸着剤の例として、セパビーズＳＰ２０７、ＳＰ２０６、ＳＰ８２５、ＳＰ８５０、ＳＰ７０、ＳＰ７００（三菱化学株式会社製）、アンバーライトＸＡＤ２、ＸＡＤ４、ＸＡＤ７ＨＰ、ＸＡＤ１１８０Ｎ、ＸＡＤ２０００（Ｒｏｈｍ  ａｎｄ  Ｈａａｓ製）が挙げられる。【００７４】
第６工程を連続式で実施する場合、過酸化水素水溶液を合成吸着剤の層に通過させるときの空間速度（ＳＶ）は、１〜５０Ｈｒ−１であることが好ましい。このとき、過酸化水素水溶液の温度は、好ましくは４０℃以下、より好ましくは−１０〜３０℃、さらに好ましくは−１０〜２０℃である。
なお、ここでいう空間速度（ＳＶ）は、以下の式（４）で表される。
空間速度（ＳＶ）［Ｈｒ−１］  ＝  過酸化水素水溶液の供給量［ＬＨｒ−１］／合成吸着剤の層の容積［Ｌ］  …（４）
【実施例】
【００７５】
以下、本発明の具体的な実施例について説明する。本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。【００７６】
［実施例１］
図１は、実施例１のフローシートである。
実施例１では、合成吸着剤充填カラム、活性アルミナ充填カラム、及び、カチオン交換樹脂充填カラムを準備した。各カラムの製造手順は、以下の通りである。【００７７】
＜合成吸着剤充填カラム＞
容量１０００ｍｌのポリエチレン製容器に、合成吸着剤３００ｍｌ及びメタノール６００ｍｌを入れて２４時間静置した。つぎに、吸引濾過によってメタノールを分離するのと同時に、イオン交換水１０００ｍｌを用いて合成吸着剤を洗浄し、その合成吸着剤を容量１０００ｍｌのガラス製ビーカーに移した。そのビーカーにイオン交換水７００ｍｌを入れた後に、デカンテーションによって上澄みを取り除く操作を４回行った。
このようにして洗浄した合成吸着剤１４０ｍｌを、内径２５ｍｍのパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）製カラムへ充填した。合成吸着剤は、セパビーズＳＰ７０（三菱化学株式会社製）を用いた。吸引濾過には、孔径１０μｍのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製のメンブレンフィルター（アドバンテック東洋株式会社製）を用いた。【００７８】
＜活性アルミナ充填カラム＞
容量１０００ｍｌのポリエチレン製容器に、活性アルミナ３００ｍｌを入れた。つぎに、この容器内に精製水６００ｍｌを添加してデカンテーションによって上澄みを取り除く操作を４回繰り返した。さらに、この容器内に、精製水を１５０ｍｌ／ｍｉｎで４時間流した。
このようにして精製水に接触させた活性アルミナ１４０ｍｌを、内径２５ｍｍのパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）製カラムへ充填した。活性アルミナは、ＡＣ−１２Ｒ（住友化学株式会社製）を用いた。【００７９】
＜カチオン交換樹脂充填カラム＞
カチオン交換樹脂３００ｍｌを、内径４０ｍｍのパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）製カラムへ充填した。つぎに、カチオン交換樹脂を水素イオン型に変換するために、カラムの上方から下方に向けて、濃度１ｍｏｌ／Ｌの硫酸水溶液を３０００ｍｌ／Ｈｒで２時間通液させた後、精製水を３０００ｍｌ／Ｈｒで３時間通液させた。
このようにして水素イオン型に変換したカチオン交換樹脂１４０ｍｌを、内径２５ｍｍのパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）製カラムへ充填した。カチオン交換樹脂は、アンバーライト２００ＣＴＨ（オルガノ株式会社製）を用いた。【００８０】
合成吸着剤充填カラム、活性アルミナ充填カラム、及び、カチオン交換樹脂充填カラムをこの順番で直列に接続した。これにより、過酸化水素水溶液の精製装置を作成した。【００８１】
合成吸着剤充填カラム側から、３つのカラムに精製水を流した。精製水は、カラムの下方から上方に向かって流した。精製水は、１４００ｍｌ／Ｈｒの速度で、２８時間流した。これにより、３つのカラムを通過した後の精製水中のケイ素濃度が１ｐｐｂ以下となったことを確認した。
なお、精製水は、イオン交換水をミニピュアーＴＷ−３００ＲＵ（野村マイクロ・サイエンス株式会社製）で精製した超純水を使用した。この超純水のケイ素濃度は、１ｐｐｂ未満である。イオン交換水の精製には、イオン交換、逆浸透膜、及び限外濾過膜の３つの手法を用いた。【００８２】
＜過酸化水素水溶液＞
つぎに、過酸化水素水溶液を準備した。
準備した過酸化水素水溶液の仕様は、以下の通りである。
製造方法：アントラキノン法
過酸化水素濃度：３２．８重量％
全炭素濃度（ＴＣ濃度）：７４．４ｐｐｍ
ケイ素濃度：８．６ｐｐｂ
アルミニウム濃度：１４５ｐｐｂ
カルシウム濃度：２ｐｐｂ
マグネシウム濃度：１ｐｐｂ
ナトリウム濃度：９５ｐｐｂ【００８３】
＜過酸化水素水溶液の精製＞
８℃の水浴に浸漬させた上記３つのカラムに、過酸化水素水溶液を流した。
過酸化水素水溶液は、合成吸着剤充填カラム側から流した。
過酸化水素水溶液は、カラムの下方から上方に向かって流した。
過酸化水素水溶液は、１４００ｍｌ／Ｈｒの速度で、６時間流した。【００８４】
過酸化水素水溶液を合成吸着剤充填カラムに通液させたときの空間速度は、１０Ｈｒ−１であった。
過酸化水素水溶液を活性アルミナ充填カラムに通液させたときの空間速度は、１０Ｈｒ−１であった。
過酸化水素水溶液をカチオン交換樹脂充填カラムに通液させたときの空間速度は、１０Ｈｒ−１であった。【００８５】
上記３つのカラムを通過させた後の過酸化水素水溶液を１時間毎にサンプリングして、その過酸化水素水溶液の過酸化水素濃度、全炭素濃度（ＴＣ濃度）、ケイ素濃度、アルミニウム濃度、カルシウム濃度、マグネシウム濃度、及びナトリウム濃度を測定した。以下の表１に、測定結果を示す。表１において、最も左側の列は、過酸化水素水溶液の通液量の合計を示している。【００８６】
【表１】
0005967095.tif 000002
【００８７】
過酸化水素の濃度は、密度計ＤＡ−３１０（京都電子工業株式会社製）を用いて測定した。
全炭素濃度（ＴＣ濃度）は、全有機炭素計ｍｕｌｔｉ  Ｎ／Ｃ  ３１００（Ａｎａｌｙｔｉｋ  Ｊｅｎａ製）を用いて測定した。標準液は、市販の１０００ｍｇ／Ｌ溶液（Ａｃｃｕ  Ｓｔａｎｄａｒｄ製）を希釈したものを使用した。【００８８】
ケイ素濃度は、原子吸光光度計ｓｐｅｃｔｒＡＡ  ８８０Ｚ（Ｖａｒｉａｎ製）を用いて測定した。標準液は、市販の１０００ｍｇ／Ｌ溶液（関東化学株式会社製）を希釈したものを使用した。【００８９】
アルミニウム、カルシウム、マグネシウム、及びナトリウム濃度は、誘導結合プラズマ発光分析計ｉＣＡＰ６０００（Ｔｈｅｒｍｏ  ＳＣＩＥＮＴＩＦＩＣ製）を用いて測定した。【００９０】
［実施例２］
図２は、実施例２のフローシートである。
実施例２では、カチオン交換樹脂充填カラムの下流に平均孔径０．１μｍのポリテトラフルオロエチレン製のフィルター（小型カプセルフィルターＤＦＡ、日本ポール株式会社製）を接続した以外は、実施例１と同様の試験を行った。【００９１】
実施例２で使用した過酸化水素水溶液の仕様は、以下の通りである。
製造方法：アントラキノン法
過酸化水素濃度：３２．９重量％
全炭素濃度（ＴＣ濃度）：９８．７ｐｐｍ
ケイ素濃度：９．８ｐｐｂ
アルミニウム濃度：１４５ｐｐｂ
カルシウム濃度：３ｐｐｂ
マグネシウム濃度：１ｐｐｂ
ナトリウム濃度：１３０ｐｐｂ【００９２】
上記３つのカラム及びフィルターを通過させた後の過酸化水素水溶液を１時間毎にサンプリングして、その過酸化水素水溶液の過酸化水素濃度、全炭素濃度（ＴＣ濃度）、ケイ素濃度、アルミニウム濃度、カルシウム濃度、マグネシウム濃度、及びナトリウム濃度を測定した。以下の表２に、測定結果を示す。表２において、最も左側の列は、過酸化水素水溶液の通液量の合計を示している。【００９３】
過酸化水素水溶液を合成吸着剤充填カラムに通液させたときの空間速度は、１０Ｈｒ−１であった。
過酸化水素水溶液を活性アルミナ充填カラムに通液させたときの空間速度は、１０Ｈｒ−１であった。
過酸化水素水溶液をカチオン交換樹脂充填カラムに通液させたときの空間速度は、１０Ｈｒ−１であった。【００９４】
【表２】
0005967095.tif 000003
【００９５】
［実施例３］
図３は、実施例３のフローシートである。
実施例３では、実施例１で精製した過酸化水素水溶液を、さらに、カチオン交換樹脂充填カラム、及び、アニオン／カチオン交換樹脂混合床カラムに通液させた。カチオン交換樹脂充填カラム、及び、アニオン／カチオン交換樹脂混合床カラムの製造手順は、以下の通りである。【００９６】
＜カチオン交換樹脂充填カラム＞
カチオン交換樹脂３００ｍｌを、内径４０ｍｍのパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）製カラムへ充填した。つぎに、カチオン交換樹脂を水素イオン型に変換するために、カラムの上方から下方に向けて、濃度１ｍｏｌ／Ｌの硫酸水溶液を３０００ｍｌ／Ｈｒで２時間通液させた後、精製水を３０００ｍｌ／Ｈｒで３時間通液させた。
このようにして水素イオン型に変換したカチオン交換樹脂３０ｍｌを、内径１３ｍｍのパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）製カラムへ充填した後、このカラムの上方から下方に向かって精製水を１４４０ｍｌ／Ｈｒの速度で１時間流した。カチオン交換樹脂は、アンバーライト２００ＣＴＨ（オルガノ株式会社製）を用いた。【００９７】
＜アニオン／カチオン交換樹脂混合床カラム＞
アニオン交換樹脂３００ｍｌを、内径４０ｍｍのパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）製カラムへ充填した。つぎに、アニオン交換樹脂を重炭酸イオン型に変換するために、カラムの上方から下方に向けて、濃度１ｍｏｌ／Ｌの硫酸水溶液、精製水、及び濃度０．５ｍｏｌ／Ｌの重炭酸ナトリウム水溶液を、３０００ｍｌ／Ｈｒの速度で、それぞれ２時間通液させた。アニオン交換樹脂は、ダイヤイオンＰＡ３１６（三菱化学株式会社製）を用いた。
カチオン交換樹脂３００ｍｌを、内径４０ｍｍのパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）製カラムへ充填した。つぎに、カチオン交換樹脂を水素イオン型に変換するために、カラムの上方から下方に向けて、濃度１ｍｏｌ／Ｌの硫酸水溶液を３０００ｍｌ／Ｈｒで２時間通液させた後、精製水を３０００ｍｌ／Ｈｒで３時間通液させた。カチオン交換樹脂は、ダイヤイオンＰＫ２２８（三菱化学株式会社製）を用いた。
アニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂を１：１の容量比で混合した後、この混合物を内径１３ｍｍのパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）製カラムへ３０ｍｌ充填した。
このようにして製造したアニオン／カチオン交換樹脂混合床カラムを、カチオン交換樹脂充填カラムの下流に接続した。【００９８】
カチオン交換樹脂充填カラム側から、２つのカラムに１５℃の精製水を流した。精製水は、カラムの上方から下方に向かって流した。精製水は、１４４０ｍｌ／Ｈｒの速度で、３０分間流した。これにより、２つのカラムを通過した後の精製水中のケイ素濃度が１ｐｐｂ以下となったことを確認した。
なお、精製水は、イオン交換水をミニピュアーＴＷ−３００ＲＵ（野村マイクロ・サイエンス株式会社製）で精製した超純水を使用した。この超純水のケイ素濃度は、１ｐｐｂ未満である。イオン交換水の精製には、イオン交換、逆浸透膜、及び限外濾過膜の３つの手法を用いた。【００９９】
＜過酸化水素水溶液の精製＞
実施例１において精製された過酸化水素水溶液を、１５℃に冷却した。つぎに、この過酸化水素水溶液を、実施例３で準備したカチオン交換樹脂充填カラム、及び、アニオン／カチオン交換樹脂混合床カラムに通液させた。
過酸化水素水溶液は、カチオン交換樹脂充填カラム側から流した。
過酸化水素水溶液は、４２００ｍｌ／Ｈｒの速度で、１時間流した。
過酸化水素水溶液中のリン酸イオン濃度は、１０ｐｐｂ未満であった。【０１００】
過酸化水素水溶液をカチオン交換樹脂充填カラムに通液させたときの空間速度は、１４０Ｈｒ−１であった。
過酸化水素水溶液をアニオン／カチオン交換樹脂混合床カラムに通液させたときの空間速度は、１４０Ｈｒ−１であった。【０１０１】
上記２つのカラムを通過させた後の過酸化水素水溶液を３０分毎にサンプリングして、その過酸化水素水溶液のケイ素濃度、アルミニウム濃度、カルシウム濃度、マグネシウム濃度、及びナトリウム濃度を測定した。これらの測定には、誘導結合プラズマ質量分析計７５００ｃｓ（Ａｇｉｌｅｎｔ製）を用いた。以下の表３に、測定結果を示す。表３において、最も左側の列は、過酸化水素水溶液の通液量の合計を示している。【０１０２】
【表３】
0005967095.tif 000004
【０１０３】
［実施例４］
図４は、実施例４のフローシートである。
実施例４では、実施例２で精製した過酸化水素水溶液にリン酸を添加して、リン酸イオン濃度が１７６ｐｐｂの過酸化水素水溶液を調製した。つぎに、この過酸化水素水溶液を１５℃に冷却した後、実施例３と同様の手順で作成したカチオン交換樹脂充填カラム、及び、アニオン／カチオン交換樹脂混合床カラムに通液させた。
過酸化水素水溶液は、カチオン交換樹脂充填カラム側から流した。
過酸化水素水溶液は、４２００ｍｌ／Ｈｒの速度で、１時間流した。
通液後の過酸化水素水溶液中のリン酸イオン濃度は、０．５ｐｐｂ未満であった。【０１０４】
過酸化水素水溶液をカチオン交換樹脂充填カラムに通液させたときの空間速度は、１４０Ｈｒ−１であった。
過酸化水素水溶液をアニオン／カチオン交換樹脂混合床カラムに通液させたときの空間速度は、１４０Ｈｒ−１であった。【０１０５】
実施例３及び実施例４において、リン酸イオン（ＰＯ４３−）濃度は、イオンクロマトグラフィーＤＸ−５００（ＤＩＯＮＥＸ製）を用いて測定した。濃縮カラムは、Ｉｏｎｐａｃ  ＡＧ１７−Ｃ（ＤＩＯＮＥＸ製）、ガードカラムは、Ｉｏｎｐａｃ  ＡＧ１１（ＤＩＯＮＥＸ製）、分離カラムは、Ｉｏｎｐａｃ  ＡＳ−１１（ＤＩＯＮＥＸ製）、ループは２ｍｌを使用した。標準液は、市販の１０００ｍｇ／Ｌ溶液（関東化学株式会社製）を希釈したものを使用した。溶離液は、精密分析用グレードの水酸化ナトリウム（関東化学株式会社製）を精製水によって溶解させて調製した。【０１０６】
上記２つのカラムを通過させた後の過酸化水素水溶液を３０分毎にサンプリングして、その過酸化水素水溶液のケイ素濃度、アルミニウム濃度、カルシウム濃度、マグネシウム濃度、及びナトリウム濃度を測定した。これらの測定には、誘導結合プラズマ質量分析計７５００ｃｓ（Ａｇｉｌｅｎｔ製）を用いた。以下の表４に、測定結果を示す。表４において、最も左側の列は、過酸化水素水溶液の通液量の合計を示している。【０１０７】
【表４】
0005967095.tif 000005
【０１０８】
［比較例１］
図５は、比較例１のフローシートである。
比較例１では、まず、合成吸着剤充填カラム、及び、活性アルミナ充填カラムを準備した。各カラムの製造手順は、上記実施例１と同様である。【０１０９】
合成吸着剤充填カラム及び活性アルミナ充填カラムをこの順番で直列に接続した。これにより、過酸化水素水溶液の精製装置を作成した。【０１１０】
合成吸着剤充填カラム側から、２つのカラムに精製水を流した。精製水は、カラムの下方から上方に向かって流した。精製水は、１４００ｍｌ／Ｈｒの速度で、２８時間流した。これにより、２つのカラムを通過した後の精製水中のケイ素濃度が１ｐｐｂ以下となったことを確認した。なお、精製水は、上記実施例１と同様のものを使用した。【０１１１】
＜過酸化水素水溶液＞
つぎに、過酸化水素水溶液を準備した。
準備した過酸化水素水溶液の仕様は、以下の通りである。
製造方法：アントラキノン法
過酸化水素濃度：３２．５重量％
全炭素濃度（ＴＣ濃度）：７８．６ｐｐｍ
ケイ素濃度：７．６ｐｐｂ
アルミニウム濃度：１２５ｐｐｂ
カルシウム濃度：２ｐｐｂ
マグネシウム濃度：１ｐｐｂ
ナトリウム濃度：１０４ｐｐｂ【０１１２】
＜過酸化水素水溶液の精製＞
８℃の水浴に浸漬させた上記２つのカラムに、過酸化水素水溶液を流した。
過酸化水素水溶液は、合成吸着剤充填カラム側から流した。
過酸化水素水溶液は、カラムの下方から上方に向かって流した。
過酸化水素水溶液は、１４００ｍｌ／Ｈｒの速度で、３時間流した。【０１１３】
過酸化水素水溶液を合成吸着剤充填カラムに通液させたときの空間速度は、１０Ｈｒ−１であった。
過酸化水素水溶液を活性アルミナ充填カラムに通液させたときの空間速度は、１０Ｈｒ−１であった。【０１１４】
上記２つのカラムを通過させた後の過酸化水素水溶液を１時間毎にサンプリングして、その過酸化水素水溶液の過酸化水素濃度、全炭素濃度（ＴＣ濃度）、ケイ素濃度、アルミニウム濃度、カルシウム濃度、マグネシウム濃度、及びナトリウム濃度を測定した。これらの各成分の測定は、上記実施例１と同様の方法で行った。以下の表５に、測定結果を示す。表５において、最も左の列は、過酸化水素水溶液の通液量の合計を示している。【０１１５】
【表５】
0005967095.tif 000006
【図１】
0005967095.tif 000007
【図２】
0005967095.tif 000008
【図３】
0005967095.tif 000009
【図４】
0005967095.tif 000010
【図５】
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