(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に液体を貯留した液体貯留部材からの液体を導入する液体導入流路、および、該液体導入流路と連通するともに該液体導入流路内の液体を濾過するフィルターが設けられたフィルター室を備えた保持部材と、
該保持部材の一方の側に接続され、液体流路を通じて前記保持部材の前記フィルター室からの液体を圧力室に導入すると共に、圧力発生手段の作動によって前記圧力室内の液体をノズルから液滴として噴射可能な液体噴射ヘッド本体と、
前記保持部材における前記一方側とは反対側である他方の側に取り付けられ、前記液体貯留部材からの液体を導入する液体導入部材を有する導入部材ユニットと、
前記導入部材ユニットと、前記保持部材と、間に配置され、前記圧力発生手段に電気信号を送るための接続基板と、
該接続基板と前記圧力発生手段とを電気的に接続する配線部材と、を備え、
前記導入部材ユニットの内部には、前記液体導入部材と前記液体導入流路とを連通する連通流路が形成され、
前記液体導入流路は、前記接続基板を貫通するとともに、前記接続基板より前記一方の側において前記フィルター室と接続され、
前記フィルター室は、前記接続基板と前記液体噴射ヘッド本体との間に設けられたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記フィルター室は、前記液体導入流路側の内径より前記液体流路側の内径が大きく、前記液体流路側から前記液体導入流路側に向けて次第に内径が小さくなるように形成されたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記液体導入部材は、前記導入部材ユニットに立設され、
前記連通流路は、前記導入部材ユニットに前記液体導入部材が立設された方向とは交差する方向に延在することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記接続基板は、前記導入部材ユニットおよび前記保持部材により囲まれた空間である基板収容空間に収容され、
前記保持部材の内部には、前記配線部材が挿通される挿通空間が設けられ、
前記基板収容空間と前記挿通空間とは、前記接続基板に設けられ、前記配線部材が挿通される配線開口部を介して連通していることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルに連通する圧力室に圧力変動を与えて、圧力室内の液体をノズルから噴射させる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
例えば、上記記録ヘッドには、液体を噴射する液体噴射ヘッド本体と、該液体噴射ヘッド本体が取り付けられる保持部材とを備えたものがある。液体噴射ヘッド本体は、圧電素子（圧力発生手段の一種）を駆動することにより圧力室内の液体に圧力変化を与え、この圧力変化を利用して圧力室に連通したノズルから液体を噴射する。保持部材は、その内部に、液体貯留部材からの液体を液体噴射ヘッド本体側に送る液体流路と、配線部材が挿通される空間とが形成されている。また、保持部材の底部には、液体噴射ヘッド本体が取り付けられている。また、この保持部材の上面側（液体噴射ヘッド本体が取り付けられる側とは反対側）には、圧電素子に電気信号を送るための接続基板が配置されている。この接続基板は、配線部材を介して圧電素子と電気的に接続されている。
【０００４】
さらに、接続基板の上側には、液体貯留部材と接続されて液体貯留部材内の液体を保持部材側に導入する液体導入ユニットが接続されている。この液体導入ユニット内には、保持部材側に送る液体を濾過するためのフィルターを備えたフィルター室が配置されている（例えば、特許文献１）。そして、このフィルター室は、通過する液体の流路抵抗を抑えるためにフィルター部分の内径が他の流路よりも広く形成されており、この部分からフィルター室より上方の流路に向けて次第に内径が狭くなるように形成されている。また、フィルター室のフィルターより上部は、気泡等を収容できるように大きめに形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２４０８５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、液体噴射ヘッドの小型化が要求されている。しかしながら、上記のような構成では、接続基板の上にフィルター室を設けているため、液体噴射ヘッドの高さが高くなり、小型化に不利になっていた。すなわち、保持部材の高さに加え、フィルター室の高さを確保する必要があるため、液体噴射ヘッドの高さが高くなっていた。一方、保持部材の高さを低くすることで、すなわち、液体噴射ヘッド本体と接続基板との距離を短くすることで、液体噴射ヘッドの高さを抑えることも可能である。しかしながら、液体噴射ヘッド本体と接続基板との間には、これらを接続する配線部材が配置されているため、保持部材は少なくとも配線部材の長さ分の高さを確保する必要があった。配線部材の長さは、当該配線部材上に実装されたＩＣの大きさと引き回し配線の関係上、所定の長さより縮めることができない。このため、保持部材の高さを低くすることができず、液体噴射ヘッドの高さを低くすることが困難になっていた。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、高さを抑えた液体噴射ヘッド、および、この液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、内部に液体を貯留した液体貯留部材からの液体を導入する液体導入流路、および、該液体導入流路と連通するともに該液体導入流路内の液体を濾過するフィルターが設けられたフィルター室を備えた保持部材と、
該保持部材の一方の側に接続され、液体流路を通じて前記保持部材の前記フィルター室からの液体を圧力室に導入すると共に、圧力発生手段の作動によって前記圧力室内の液体をノズルから液滴として噴射可能な液体噴射ヘッド本体と、
前記保持部材における前記一方側とは反対側である他方の側に取り付けられ、前記液体貯留部材からの液体を導入する液体導入部材を有する導入部材ユニットと、
前記導入部材ユニットと、前記保持部材と、間に配置され、前記圧力発生手段に電気信号を送るための接続基板と、
該接続基板と前記圧力発生手段とを電気的に接続する配線部材と、を備え、
前記導入部材ユニットの内部には、前記液体導入部材と前記液体導入流路とを連通する連通流路が形成され、
前記液体導入流路は、前記接続基板を貫通するとともに、前記接続基板より前記一方の側において前記フィルター室と接続され、
前記フィルター室は、前記接続基板と前記液体噴射ヘッド本体との間に設けられたことを特徴とする。
【０００９】
本発明の液体噴射ヘッドによれば、保持部材内においてフィルター室を配線部材と並列した状態で配置できる。このため、配線部材の高さに加えてフィルター室の高さを確保する必要がなく、液体噴射ヘッドの高さを抑えることができる。
【００１０】
上記構成において、前記フィルター室は、前記液体導入流路側の内径より前記液体流路側の内径が大きく、前記液体流路側から前記液体導入流路側に向けて次第に内径が小さくなるように形成されることが望ましい。
上記構成において、前記液体導入部材は、前記導入部材ユニットに立設され、前記連通流路は、前記導入部材ユニットに前記液体導入部材が立設された方向とは交差する方向に延在することが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、液体導入部材の立設位置を任意に変更することができる。例えば、複数のフィルター室を備えた構成において、隣に形成されるフィルター室、あるいは配線部材との干渉を避けるためにフィルター室間の間隔を広くした場合であっても、液体導入部材の配列ピッチを任意に決定することができる。
上記構成において、前記接続基板は、前記導入部材ユニットおよび前記保持部材により囲まれた空間である基板収容空間に収容され、
前記保持部材の内部には、前記配線部材が挿通される挿通空間が設けられ、
前記基板収容空間と前記挿通空間とは、前記接続基板に設けられ、前記配線部材が挿通される配線開口部を介して連通していることが望ましい。
【００１２】
そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】プリンターの斜視図である。
【図２】（ａ）は記録ヘッドの要部断面図、（ｂ）は記録ヘッドの平面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図２におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】記録ヘッド本体の要部断面図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置として、インクジェット式記録装置１（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。
【００１５】
図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド２（以下、記録ヘッド）が取り付けられると共に、内部に液体状のインクを貯留した液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４を備えている。このキャリッジ４の後部には、キャリッジ４を記録紙５（記録媒体および着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構６を備えている。また、記録動作時における記録ヘッド２の下方には、間隔を空けてプラテン７を備えている。このプラテン７上には、プリンター１の後方に備えた搬送機構８によって、記録紙５が主走査方向に直交する副走査方向に搬送される。
【００１６】
キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構６の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー１０によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信する。
【００１７】
また、キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ４の走査の基点となるホームポジションが設定されている。本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド２のノズル面（ノズルプレート：図５参照）を封止するキャッピング部材１１と、ノズル面を払拭するためのワイパー部材１２とが配置されている。そして、プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙５上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録を行う。
【００１８】
記録ヘッド２は、図２に示すように、導入部材ユニット１４、保持部材１５、記録ヘッド本体１６（本発明における液体噴射ヘッド本体に相当）、接続基板１７、および、フレキシブルケーブル１８（本発明における配線部材に相当）を備えている。本実施形態の記録ヘッド２は、保持部材１５の下面に記録ヘッド本体１６を２つ備えている。
【００１９】
導入部材ユニット１４は、保持部材１５の上面（記録ヘッド本体１６とは反対側の面）側に取り付けられている。この導入部材ユニット１４の上面には、複数のインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるインクカートリッジ装着部２０が構成されている。また、このインクカートリッジ装着部２０の上面には、装着されたインクカートリッジ３からのインクを導入するインク導入針２１（本発明における液体導入部材）が複数立設されている。インク導入針２１は、その尖端部に図示しない導入孔が複数開設され、その内部に導入針流路２２が形成されている。インクカートリッジ３からのインクは、この導入孔を介して導入針流路２２に導入される。なお、本実施形態では、４色のインク（例えば、シアンインク、マゼンタインク、イエローインク、ブラックインク）に対応して、４本のインク導入針２１が等間隔に列設されている（図２等参照）。
【００２０】
また、導入部材ユニット１４の内部には、インク導入針２１（導入針流路２２）と保持部材１５（後述する液体導入流路３２）とを連通する連通流路２４が形成されている。本実施形態の連通流路２４は、水平方向に延在した水平流路２４ａと、鉛直方向に延在した鉛直流路２４ｂと、を備えている。水平流路２４ａは、一端が導入針流路２２と連通され、他端が鉛直流路２４ｂと連通されている。鉛直流路２４ｂは、下端が保持部材１５の液体導入流路３２の上端と連通されている。
【００２１】
なお、本実施形態のインク導入針２１は、図２（ｂ）に示すように、平面視において、導入部材ユニット１４の一側（図２（ｂ）における上側）寄りに設けられている。また、フィルター室３４（後述）は、平面視において、導入部材ユニット１４の中央部に設けられている。このフィルター室３４は、隣に形成されたフィルター室３４、あるいはフレキシブルケーブル１８との干渉を避けるために、列設間隔をインク導入針２１の列設間隔よりも広くしている。これにより、液体導入流路３２を介してフィルター室３４と連通する鉛直流路２４ｂの列設間隔も、インク導入針２１の列設間隔より広くなっている。このため、水平流路２４ａは、水平面方向において斜めに延在されている。
【００２２】
さらに、導入部材ユニット１４には、図２（ａ）に示すように、その下面の外周縁において下側（保持部材１５側）に向けて延出された壁部２６が備えられている。この壁部２６の先端面が保持部材１５と接合される接合面となる。そして、この壁部２６に囲まれた内側、詳しくは、壁部２６、導入部材ユニット１４の下面、および、保持部材１５の上面とにより囲まれた空間が、接続基板１７が収容される基板収容空間２７となっている。言い換えると、導入部材ユニット１４には、下端面（保持部材１５との接合面）からインクカートリッジ装着部２０側（保持部材１５との接合面とは反対面側）に窪んだ基板収容空間２７が設けられている。なお、鉛直流路２４ｂ間の下端は、この基板収容空間２７内における導入部材ユニット１４の下面に開口されている。
【００２３】
接続基板１７は、図示しない制御部からの電気信号を、フレキシブルケーブル１８を介して後述する圧伝素子に送るための基板である。本実施形態の接続基板１７は、保持部材１５の上面（記録ヘッド本体１６とは反対側）に載置された状態で基板収容空間２７内に収容されている。また、この接続基板１７には、図３に示すように、保持部材１５の液体導入流路３２が挿通する流路挿通開口部２８と、フレキシブルケーブル１８が挿通される配線開口部２９とが板厚方向に貫通されている。この流路挿通開口部２８を通じて液体導入流路３２は、鉛直流路２４ｂ（連通流路２４）に接続されている。また、フレキシブルケーブル１８の一端は、接続基板１７の下面側から配線開口部２９に挿通されて、接続基板１７の上面における当該配線開口部２９の縁に接続されている。なお、接続基板１７上にはコネクター３０が配置され、一端が制御部に接続されるフラットケーブルの他端が接続されている。
【００２４】
保持部材１５は、上面に接続基板１７が載置された状態で導入部材ユニット１４が取り付けられると共に、下面に記録ヘッド本体１６が取り付けられている。保持部材１５の内部には、インクカートリッジ３からの液体を導入する液体導入流路３２、該液体導入流路３２内の液体を濾過するフィルター３３が設けられたフィルター室３４、該フィルター室３４からの液体を記録ヘッド本体１６側に送る接続流路３５、および、フレキシブルケーブル１８が挿通される挿通空間３６が設けられている。本実施形態では、２つの記録ヘッド本体１６に対応して２つのフレキシブルケーブル１８が備えられているため、これらのフレキシブルケーブル１８が挿通される挿通空間３６も２つ設けられている。また、フィルター室３４は、挿通空間３６を挟んだ両側にこの挿通空間３６と並列された状態で形成されている。
【００２５】
液体導入流路３２は、一側が保持部材１５の上面から導入部材ユニット１４側に向けて延在しており、上記したように、接続基板１７の流路挿通開口部２８を通じて鉛直流路２４ｂ（連通流路２４）に接続されている。また、液体導入流路３２の他側は、接続基板１７よりも下方においてフィルター室３４と連通されている。フィルター室３４は、接続基板１７と記録ヘッド本体１６との間に形成され、その底部にフィルター３３が備えられている。本実施形態のフィルター室３４は、底面部から上側（液体導入流路３２側）に向けて次第に内径が小さくなるように形成されている。
【００２６】
接続流路３５は、一端がフィルター３３を介してフィルター室３４と接続され、他端が記録ヘッド本体１６のケース流路６０（後述）に接続されている。詳しくは、この接続流路３５は、フィルター室３４に対応する部分からケース流路６０に対応する部分まで水平方向に延在し、このケース流路６０に対応する部分から当該ケース流路６０に向けて鉛直方向に延在している。なお、接続流路３５のフィルター室３４に対応する部分は、フィルター室３４の底面に合わせた形状（本実施形態では円形）に形成されている（図４参照）。
【００２７】
挿通空間３６は、保持部材１５を上下に貫通させた空部である。この挿通空間３６は、上端が接続基板１７の配線開口部２９に対向する位置に開口され、下端がヘッドケース４３のケース空部５９（後述）に対向する位置に開口されている。そして、この挿通空間３６内に、接続基板１７と圧電素子４０（後述）とを電気的に接続するフレキシブルケーブル１８が配置されている。本実施形態の挿通空間３６は鉛直方向に貫通して形成されているので、この挿通空間３６内においてフレキシブルケーブル１８が鉛直方向に起立した状態で配置されている。なお、フレキシブルケーブル１８の表面には、圧電素子４０を駆動するためのＩＣが実装されている。
【００２８】
次に記録ヘッド本体１６について説明する。
記録ヘッド本体１６は、図５に示すように、流路基板３８、ノズルプレート３９、圧電素子４０（圧力発生手段の一種）、保護基板４１、コンプライアンス基板４２、およびヘッドケース４３を備えている。
【００２９】
流路基板３８は、ノズル列方向に沿って長尺なシリコン単結晶基板からなり、同方向に沿って細長な連通部４５が２本形成されている。これらの連通部４５に挟まれた領域には、複数の圧力室４６が、ノズル列方向に並んだ状態で連通部４５ごとに形成され、合計２列形成されている。そして、各圧力室４６は、圧力室４６よりも狭い幅で形成されたインク供給路４７を介して、連通部４５と連通している。
【００３０】
流路基板３８の下面（圧電素子４０とは反対側の面）には、ノズルプレート３９が、接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。ノズルプレート３９は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）又はシリコン単結晶等で形成されており、各圧力室４６のインク供給路４７とは反対側で連通するノズル４８が複数穿設されている。これらのノズル４８は、例えば、３６０ｄｐｉのピッチで列設されたノズル列を構成する。
【００３１】
流路基板３８の上面（ノズルプレート３９とは反対側の面）には、弾性膜５０が積層されている。この弾性膜５０上には、下電極膜、圧電体層及び上電極膜が順次積層された圧電素子４０が、各圧力室４６に対向した状態で、２列並設されている。この圧電素子４０の一側（中央側）の端部には、上電極膜と導通するリード電極（図示せず）の一端が接続されている。このリード電極の他端は、絶縁体膜上においてヘッド本体の中央部側に延在し、フレキシブルケーブル１８の他端と電気的に接続されている。
【００３２】
また、弾性膜５０上には、圧電素子４０に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの空間となる圧電素子保持空間５１を有する保護基板４１が接合されている。この保護基板４１には、連通部４５に対向する位置に厚さ方向に貫通した長尺なリザーバー部５２が２本設けられると共に、フレキシブルケーブル１８とリード電極を接続可能な配置空間５４が中央部に設けられている。この配置空間５４は、ヘッドケース４３のケース空部５９に対応する位置に形成され、このケース空部５９と連通されている。なお、リザーバー部５２は各連通部４５と連通し、圧力室４６にインクを供給するリザーバー５３（共通液室）を構成している。
【００３３】
コンプライアンス基板４２は、可撓性を有する封止膜５５と金属等の硬質の部材からなる固定基板５６とを積層した基板であり、保護基板４１の上側（流路基板３８とは反対側）に接合されている。このコンプライアンス基板４２には、リザーバー５３にインクを導入するインク導入口５７が厚さ方向に貫通して形成されている。また、コンプライアンス基板４２のリザーバー５３に対向する領域のうちインク導入口５７以外の領域は、固定基板５６が除去された封止膜５５のみからなる封止部５８となっている。これにより、リザーバー５３は可撓性を有する封止部５８により封止され、コンプライアンスが得られることになる。
【００３４】
ヘッドケース４３は、コンプライアンス基板４２の上側（保護基板４１とは反対側）に接合された中空箱体状部材である。ヘッドケース４３の内部には、下端が保護基板４１の配置空間５４と連通すると共に、上端が保持部材１５の挿通空間３６と連通するケース空部５９がその高さ方向に貫通して形成されている。これにより、フレキシブルケーブル１８は、接続基板１７の配線開口部２９、保持部材１５の挿通空間３６、ヘッドケース４３のケース空部５９、および、保護基板４１の配置空間５４を通じて、圧電素子４０と導通するリード電極に接続される。
【００３５】
また、ヘッドケース４３の内部には、ケース流路６０がその高さ方向に貫通して形成されている。このケース流路６０は、保持部材１５からのインクをリザーバー５３に供給するための流路であり、上端が接続流路３５に連通され、下端がインク導入口５７と連通されている。また、ヘッドケース４３の下面のうち封止部５８に対向する部分には、封止膜５５の可撓変形を阻害しない程度の封止空間が備えられている。
【００３６】
そして、インクカートリッジ３からのインクは、導入針流路２２、連通流路２４、液体導入流路３２、フィルター室３４、および、接続流路３５を通じて記録ヘッド本体１６のケース流路６０内に取り込まれる。ケース流路６０内に取り込まれたインクは、リザーバー５３、および、インク供給路４７を介して圧力室４６に供給される。この状態で、制御部からの電気信号が接続基板１７、フレキシブルケーブル１８、および、リード電極を介して圧電素子４０に供給されると、圧電素子４０が駆動して圧力室４６内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動を利用することでノズル４８からインクを噴射している。なお、ケース流路６０、インク導入口５７，リザーバー５３、および、インク供給路４７からなる一連の流路が本発明における液体流路に相当する。
【００３７】
そして、上記のように構成したので、保持部材１５内においてフィルター室３４をフレキシブルケーブル１８と並列した状態で配置できる。このため、フレキシブルケーブル１８の高さに加えてフィルター室３４の高さを確保する必要がなく、両高さを積み上げる従来構造に比較して記録ヘッド２の高さを抑えることができる。また、上記した実施形態では、連通流路２４が水平方向に延在した水平流路２４ａを備えているため、インク導入針２１の立設位置を任意に変更することができる。上記した実施形態のように、複数のフィルター室３４を備えた構成において、隣に形成されるフィルター室３４、あるいはフレキシブルケーブル１８との干渉を避けるためにフィルター室３４間の間隔を広くした場合であっても、インク導入針２１の配列ピッチを任意に決定することができ、設計の自由度が増大する。
【００３８】
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、連通流路２４は水平方向に延在した水平流路２４ａを備えていたが、これには限られず、鉛直方向に交差する方向に延在していればどのような方向でもよい。例えば、液体導入流路と導入針流路とを、鉛直方向に対して斜め方向に延在した流路で接続しても良い。
【００３９】
また、上記実施形態では、フレキシブルケーブル１８は挿通空間３６内において鉛直方向に延在させたが、これには限られず、鉛直方向に対して斜め方向に延在させても良い。例えば、保持部材内の挿通空間を鉛直方向に対して斜めに向けて貫通させ、この挿通空間内に該挿通空間の貫通方向に沿うようにフレキシブルケーブルを配置することもできる。このようにすれば、フレキシブルケーブルを鉛直方向に対して斜め方向に延在させて配置できるため、保持部材内の高さをより抑えることができる。
【００４０】
さらに、上記した各実施形態では、圧力発生手段として、所謂撓み振動型の圧電素子４０を例示したが、これには限られず、例えば、所謂縦振動型の圧電素子を採用することも可能である。その他、圧力発生手段としては、発熱によりインクを突沸させることで圧力変動を生じさせる発熱素子や、静電気力により圧力室の区画壁を変位させることで圧力変動を生じさせる静電アクチュエーターなどの圧力発生手段を採用する構成においても本発明を適用することが可能である。
【００４１】
そして、本発明は、圧電素子４０を用いて液体の噴射制御が可能な液体噴射ヘッドであれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。そして、ディスプレイ製造装置では、色材噴射ヘッドからＲ（Ｒｅｄ）・Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）・Ｂ（Ｂｌｕｅ）の各色材の溶液を噴射する。また、電極製造装置では、電極材噴射ヘッドから液状の電極材料を噴射する。チップ製造装置では、生体有機物噴射ヘッドから生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００４２】
１…プリンター，２…記録ヘッド，３…インクカートリッジ，１４…導入部材ユニット，１５…保持部材，１６…記録ヘッド本体，１７…接続基板，１８…フレキシブルケーブル，２１…インク導入針，２４…連通流路，２７…基板収容空間，２８…流路挿通開口部，２９…配線開口部，３２…液体導入流路，３３…フィルター，３４…フィルター室，３５…接続流路，３６…挿通空間，３８…流路基板，３９…ノズルプレート，４０…圧電素子，４１…保護基板，４２…コンプライアンス基板，４３…ヘッドケース，４６…圧力室，４８…ノズル，５３…リザーバー，５４…配置空間，５９…ケース空部，６０…ケース流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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