(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
架台に対して第１方向に移動可能に設けられるテーブルと、
前記架台に対して前記第１方向に移動可能にそれぞれ設けられる第１反動部材および第２反動部材と、を備え、
前記第１反動部材および前記第２反動部材は、前記テーブルが前記第１方向に移動するときに、前記第１方向において前記テーブルと逆向きにそれぞれ移動するように構成され、
前記第１反動部材および前記第２反動部材は、前記テーブルを間にして、前記第１方向と直交する第２方向の両側にそれぞれ配置され、かつ、前記第２方向の両側で前記架台にそれぞれ支持され、
前記第１反動部材および前記第２反動部材は、第１反動部材および前記第２反動部材の重心が前記テーブルの重心に基づく位置になるように、配置され、
前記テーブルは、前記架台に対して前記第２方向に移動可能に設けられ、
コイルおよび磁石を含み、前記テーブルと前記第１反動部材および前記第２反動部材とを前記第１方向にそれぞれ駆動する第１方向駆動部をさらに備え、
前記磁石および前記コイルの一方が、前記テーブルに設けられ、
前記磁石および前記コイルの他方が、前記第１反動部材および前記第２反動部材に設けられる、
ことを特徴とするボンディング装置。
【請求項２】
前記テーブル、前記第１反動部材、および前記第２反動部材は、前記テーブル、前記第１反動部材、および前記第２反動部材の重心が前記架台の重心に基づく位置になるように、それぞれ配置される、
請求項１に記載のボンディング装置。
【請求項３】
前記第１反動部材および前記第２反動部材の重心位置は、前記第１方向と、前記第２方向と、前記第１方向および前記第２方向と直交する第３方向とにおいて、前記テーブルの重心位置と一致している、
請求項１または２に記載のボンディング装置。
【請求項４】
前記テーブルは、前記第１方向に相対的に長い距離を移動し、前記第２方向に相対的に短い距離を移動するように構成されている、
請求項１に記載のボンディング装置。
【請求項５】
前記テーブルは、前記第１方向に相対的に高い加速度で移動し、前記第２方向に相対的に低い加速度で移動するように構成されている、
請求項１または４に記載のボンディング装置。
【請求項６】
前記テーブルに、ボンディングに用いられるボンディングヘッドが設けられる、
請求項１ないし５のいずれかに記載のボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明に係るいくつかの態様は、ボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のボンディング装置として、Ｘ軸リニアモータが、移動部としての３相のコイルからなるコイル部および固定部としてヨーク部を有し、ヨーク部をコイル部と同一軸方向に移動可能なヨーク部ガイドを介してベース（架台）に固定し、コイル部の移動時の反力を吸収するように構成し、移動テーブルの下部にＸ軸リニアモータを配するＸＹステージを備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１１４３５９号公報
【０００４】
特許文献１のボンディング装置では、ヨーク部が、Ｘ軸方向において、コイル部と逆方向に移動することで、Ｘ軸リニアモータによる移動テーブルの移動の反力を吸収し、ベース（架台）の揺れを防止している。
【０００５】
ところで、従来のボンディング装置として、駆動方向に移動するテーブルと、テーブルの移動による反力を打ち消すための反動部材とを、駆動方向に配置するものがあった。
【０００６】
しかしながら、一般に、ボンディング装置は、駆動方向の移動距離が長いロングストロークであるため、従来のボンディング装置のように、テーブルおよび反動部材をともに駆動方向に配置すると、駆動方向のスペースが大幅に増えてしまっていた。また、テーブルおよび反動部材をともに駆動方向に配置した結果、テーブルと反動部材とは重心が大きくずれており、テーブルおよび反動部材を支持する架台の重量バランスが悪くなっていた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明のいくつかの態様は前述の問題に鑑みてなされたものであり、スペースの増加を抑制するとともに、架台における重量バランスを改善することのできるボンディング装置を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様におけるボンディング装置は、架台に対して第１方向に移動可能に設けられるテーブルと、架台に対して第１方向に移動可能にそれぞれ設けられる第１反動部材および第２反動部材と、を備え、第１反動部材および第２反動部材は、テーブルが第１方向に移動するときに、第１方向においてテーブルと逆向きにそれぞれ移動するように構成され、第１反動部材および第２反動部材は、テーブルを間にして第１方向と直交する第２方向の両側にそれぞれ配置され、第１反動部材および第２反動部材は、第１反動部材および第２反動部材の重心がテーブルの重心に基づく位置になるように、配置される、ことを特徴とする。
【０００９】
上記ボンディング装置において、テーブル、第１反動部材、および第２反動部材は、テーブル、第１反動部材、および第２反動部材の重心が架台の重心に基づく位置になるように、それぞれ配置させることも可能である。
【００１０】
上記ボンディング装置において、第１反動部材および第２反動部材の重心位置は、第１方向と、第２方向と、第１方向および前記第２方向と直交する第３方向とにおいて、テーブルの重心位置と一致させることも可能である。
【００１１】
上記ボンディング装置において、コイルおよび磁石を含み、テーブルと第１反動部材および第２反動部材とを第１方向にそれぞれ駆動する第１方向駆動部をさらに備え、磁石およびコイルの一方が、テーブルに設けられ、磁石およびコイルの他方が、第１反動部材および第２反動部材に設けることも可能である。
【００１２】
上記ボンディング装置において、テーブルは、架台に対して第２方向に移動可能に設けることも可能である。
【００１３】
上記ボンディング装置において、テーブルは、第１方向に相対的に長い距離を移動し、第２方向に相対的に短い距離を移動するように構成することも可能である。
【００１４】
上記ボンディング装置において、テーブルは、第１方向に相対的に高い加速度で移動し、第２方向に相対的に低い加速度で移動するように構成することも可能である。
【００１５】
上記ボンディング装置において、テーブルに、ボンディングに用いられるボンディングヘッドが設けることも可能である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、第１反動部材および第２反動部材が、テーブルが第１方向に移動するときに、第１方向においてテーブルと逆向きに移動するように構成される。これにより、架台に与えられる運動量は理論的にゼロとなるので、架台の揺れを防止することができる。また、第１反動部材および第２反動部材が、テーブルを間にして第２方向の両側にそれぞれ配置される。これにより、第１反動部材および第２反動部材を、第１方向に広がることなく、コンパクトに配置することが可能となる。したがって、第１反動部材および第２反動部材のためのスペースの増加を抑制することができる。さらに、第１反動部材および第２反動部材が、第１反動部材および第２反動部材の重心がテーブルの重心に基づく位置になるように、配置される。これにより、従来のボンディング装置と比較して、テーブルと第１反動部材および第２反動部材との重心のずれを減少させることができる。したがって、架台における重量バランスを改善することができ、例えば、テーブルに設けられたボンディングヘッドにモーメントが発生するなどの悪影響を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本実施形態に係るボンディング装置の一例を説明するための概略構成図である。
【図２】図２は、ＸＹ駆動機構の一例を示す正面図である。
【図３】図３は、ＸＹ駆動機構の一例を示す側面図である。
【図４】図４は、ＸＹ駆動機構の一例を示す上面図である。
【図５】図５は、ＸＹ駆動機構の一例を示す下面図である。
【図６】図６は、テーブルのＹ軸方向に移動する様子を説明するための下面図である。
【図７】図７は、テーブルのＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する様子を説明するための下面図である。
【図８】図８は、テーブルのＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する様子を説明するための正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一または類似の部分には同一または類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法などは以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。さらに、本願発明の技術的範囲は、当該実施形態に限定して解するべきではない。なお、以下の説明において、図面の上側を「上」、下側を「下」、左側を「左」、右側を「右」といい、図に示すＸ軸に沿う方向および平行な方向をＸ軸方向、図に示すＹ軸に沿う方向および平行な方向をＹ軸方向、図に示すＺ軸に沿う方向および平行な方向をＺ軸方向という。
【００１９】
図１ないし図８は、本発明のボンディング装置の一実施形態を示すためのものである。図１は、本実施形態に係るボンディング装置の一例を説明するための概略構成図である。本実施形態に係るボンディング装置１は、ボンディングを実施するために用いられる装置である。
【００２０】
図１に示すように、ボンディング装置１は、ウェーハホルダ部２０、ボンディング部３０、ＸＹ駆動機構４０、チップ認識部６０、基板搬送部７０、および制御部８０を備える。
【００２１】
ウェーハホルダ部２０は、半導体ウェーハ１０を保持するためのものである。ウェーハホルダ部２０は、複数の半導体チップ１１に分割された半導体ウェーハ１０を、真空吸着などの方法により、ウェーハステージ２１の上に保持するように構成されている。
【００２２】
ウェーハステージ２１の内部には、突き上げユニット２２が設けられている。突き上げユニット２２は、半導体ウェーハ１０に含まれる複数の半導体チップ１１のうちの一つを上方向（Ｚ軸方向）に突き上げ、他の半導体チップ１１と段差をつけるように構成されている。また、ウェーハステージ２１の下部には、回転駆動機構２３が設けられている。回動機構２３は、ウェーハステージ２１をＺ軸方向の周りに回転させるように構成されている。
【００２３】
ボンディング部３０は、ウェーハステージ２１から半導体チップ１１をピックアップして当該半導体チップ１１を回路基板１５にボンディングするためのものである。ボンディング部３０は、ボンディングヘッド３１を備える。
【００２４】
ボンディングヘッド３１には、ボンディングツール３２が取り付けられている。また、ボンディングヘッド３１の内部には、ボンディングツール３２をＺ軸方向に移動可能に構成されたＺ駆動機構３３と、Ｚ軸方向の周りに回転可能に構成された回転駆動機構３４と、が設けられている。
【００２５】
ボンディングツール３２は、半導体チップ１１をピックアップするように構成されている。半導体チップ１１をピックアップする際に、ＸＹ駆動機構４０は、半導体チップ１１が置かれたウェーハステージ２１の上方にボンディングヘッド３１を移動させる。Ｚ駆動機構３３は、ボンディングツール３２を下降させてピックアップ対象である半導体チップ１１から所定の距離まで接近させる。
【００２６】
ボンディングツール３２は、例えば、吸着用の真空孔を含んで構成することが可能である。この例の場合、真空孔が当該半導体チップ１１を真空吸着することで、半導体チップ１１をピックアップすることが可能となる。
【００２７】
また、ボンディングツール３２は、半導体チップ１１をボンディングするように構成されている。この点に関して、その詳細は後述する。
【００２８】
ＸＹ駆動機構４０は、ボンディング部３０をＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動するためのものである。ＸＹ駆動機構４０は、制御部８０からの制御信号に基づいて、ボンディング部３０を所定のＸＹ位置に移動させるように構成されている。
【００２９】
チップ認識部６０は、半導体チップ１１を認識するためのものである。チップ認識部６０は、チップ用カメラ６１を備える。
【００３０】
チップ用カメラ６１は、半導体チップ１１の裏面を撮影可能に構成されている。チップ用カメラ６１は、例えば、ウェーハホルダ部２０と基板搬送部７０との間に配置されており、ボンディングツール３２がピックアップした半導体チップ１１の裏面を下方向（Ｚ軸方向）から撮影するようになっている。
【００３１】
基板搬送部７０は、回路基板１５を搬送するためのである。基板搬送部７０は、基板ステージ７１および搬送レール７２を備える。
【００３２】
基板ステージ７１には、図示しない基板供給手段により回路基板１５が供給される。基板ステージ７１は、例えば、真空吸着によって、当該回路基板１５を固定して保持するように構成されている。
【００３３】
搬送レール７２は、基板ステージ７１を所定の方向、例えばＸ軸方向に移動させるように構成されている。
【００３４】
半導体チップ１１を回路基板１５にボンディングする際に、搬送レール７２は、ボンディングツール３２がボンディング可能な位置に基板ステージ７１を移動させる。ＸＹ駆動機構４０は、回路基板１５が置かれた基板ステージ７１の上方にボンディングヘッド３１を移動させる。Ｚ駆動機構３３は、ボンディングツール３２を下降させる。ボンディングツール３２が真空孔を含む場合、Ｚ駆動機構３３が、真空孔により吸着される半導体チップ１１を回路基板１５に所定の荷重で押しつけることで、半導体チップ１１を回路基板１５にボンディングすることが可能となる。
【００３５】
本実施形態では、半導体チップ１１を回路基板１５にボンディングする、いわゆるダイボンディングの例を示したが、これに限定されず、回路基板上にアレイ状に並んだバンプにフリップチップを接続する、いわゆるフリップチップボンディングに適用することも出来る。
【００３６】
制御部８０は、ウェーハホルダ部２０、ボンディング部３０、ＸＹ駆動機構４０、チップ認識部６０、および、基板搬送部７０に接続されており、制御部８０によってこれらの構成の動作を制御することにより、ボンディングのために必要な処理を行うことができるように構成されている。制御部８０は、例えば、ウェーハホルダ部２０、ボンディング部３０、ＸＹ駆動機構４０、チップ認識部６０、および、基板搬送部７０など、上記した各構成との間で信号の送受信を行うインタフェース（図示しない）を備えている。制御部８０は、カメラやセンサなどの検出結果に基づいて、上記したボンディングのための処理にフィードバックさせるように構成されている。例えば、制御部８０は、チップ用カメラ６１により撮影された画像に基づいて、半導体チップ１１の裏面を認識して位置を検出し、検出結果に基づいてＸＹ駆動機構４０、Ｚ駆動機構３３、および回転駆動機構３４を制御し、半導体チップ１１の位置や姿勢などを補正する裏面認識処理など、ボンディングの動作に関わる制御を行う。
【００３７】
また、制御部８０には、制御情報を入力するための操作部８１と、制御情報を出力するための表示部８２が接続されており、これらにより作業者が表示部８２によって画面を認識しながら操作部８１によって必要な制御情報を入力することができるようになっている。制御部８０は、例えば、ＣＰＵおよびメモリなどを備えるコンピュータ装置で構成することが可能であり、メモリにはあらかじめボンディングに必要な処理を行うためのプログラムやデータなどが記憶されている。
【００３８】
次に、上記したＸＹ駆動機構４０の構成について説明する。
【００３９】
図２ないし図５は、ＸＹ駆動機構を説明するためのものであり、図２はＸＹ駆動機構の一例を示す正面図、図３はＸＹ駆動機構の一例を示す側面図、図４はＸＹ駆動機構の一例を示す上面図、図５はＸＹ駆動機構の一例を示す下面図である。図２ないし図５に示すように、ＸＹ駆動機構４０は、架台４１、Ｘ駆動部４２、テーブル部５０、第１反動部５５Ａおよび第２反動部５５Ｂ、およびＹ駆動部４６を備える。
【００４０】
架台４１は、例えば、Ｘ駆動部４２、テーブル部５０、第１反動部５５Ａおよび第２反動部５５Ｂ、およびＹ駆動部４６など、上記した各構成を支持するためのものである。架台４１は、例えば、図４に示すように、平面視において矩形（長方形）の形状を有している。
【００４１】
Ｘ駆動部４２は、テーブル部５０をＸ軸方向に駆動するためのものである。Ｘ駆動部４２は、例えば、図２に示すように、Ｙ軸方向において架台４１の中央または略中央に設けられ、図３に示すように、Ｙ軸方向において架台４１の中央または略中央に設けられる。Ｘ駆動部４２は、Ｘガイド部材４３、保持台４４、およびＸ駆動源４５を備える。
【００４２】
Ｘガイド部材４３は、保持台４４をＸ軸方向に案内するためのものであり、架台４１の下面の上に設けられている。Ｘガイド部材４３は、例えば、レールおよびキャリッジなどを含んで構成することが可能である。この例の場合、例えば２本のレールは、Ｘ軸方向に平行に延びており、架台４１の下面に固定される。２本のレールのそれぞれには、例えば２個のキャリッジがレールに沿って移動可能に係合しており、これら４個のキャリッジを保持台４４の上面に固定することで、保持台４４をＸ軸方向に案内することが可能になる。
【００４３】
保持台４４は、テーブル部５０を保持するためのものであり、保持台４４の下面の上にテーブル部５０が設けられている。
【００４４】
Ｘ駆動源４５は、Ｘ軸方向の駆動力を与えるためのものである。Ｘ駆動源４５は、制御部８０からの制御信号に基づく駆動力を、保持台４４に与えるように構成されている。駆動源４５は、例えば、図５に一点鎖線で示すように、回転型サーボモータおよびボールねじなどを含んで構成することが可能である。この例の場合、回転型サーボモータが発生させた回転運動による駆動力をボールねじが直線運動に変換して保持台４４に伝達することで、保持台４４にＸ軸方向の駆動力を与えることが可能となる。
【００４５】
テーブル部５０は、上記したボンディング部３０を支持するためのものである。テーブル部５０は、Ｘ駆動部４２と同様に、例えば、図２に示すように、Ｙ軸方向において架台４１の中央または略中央に設けられ、図５に示すように、Ｙ軸方向において架台４１の中央または略中央に設けられる。テーブル部５０は、Ｙガイド部材５１、テーブル５２、テーブル用Ｘセンサ５３、およびテーブル用Ｙセンサ５４を備える。
【００４６】
Ｙガイド部材５１は、テーブル５２をＹ軸方向に案内するためのものであり、保持台４４の下面の上に設けられている。Ｙガイド部材５１は、例えば、レールおよびキャリッジなどを含んで構成することが可能である。この例の場合、例えば２本のレールは、Ｙ軸方向に平行に延びており、保持台４４の下面に固定される。２本のレールのそれぞれには、例えば２個のキャリッジがレールに沿って移動可能に係合しており、これら４個のキャリッジをテーブル５２の上面に固定することで、テーブル５２をＹ軸方向に案内することが可能になる。
【００４７】
テーブル５２は、上記したボンディング部３０を保持するためのものであり、テーブル５２の下面の上にボンディング部３０のボンディングヘッド３１が設けられている。テーブル５２は、架台４１に対してＹ軸方向に移動可能に設けられている。
【００４８】
また、テーブル５２は、Ｙガイド部材５１を介して保持台４４の下面に固定されているので、保持台４４とともにＸ軸方向に移動することができる。このように、テーブル５２が架台４１に対してＸ軸方向にも移動可能に設けられる。
【００４９】
テーブル用Ｘセンサ５３は、テーブル５２のＸ方向の物理量を検出するためのものである。テーブル用Ｘセンサ５３は、例えば、図２に示すように、架台４１の下面において保持台４４に対応する位置に設けられ、保持台４４とともに移動するテーブル５２のＸ軸方向の位置および速度を検出するように構成されている。
【００５０】
テーブル用Ｙセンサ５４は、テーブル５２のＹ方向の物理量を検出するためのものである。テーブル用Ｙセンサ５４は、例えば、図２に示すように、保持台４４の下面においてテーブル５２に対応する位置に設けられ、テーブル５２のＹ軸方向の位置および速度を検出するように構成されている。
【００５１】
第１反動部５５Ａは、例えば、図２に示すように、テーブル部５０に対してＸ軸方向の一方側（図２において左側）に設けられ、第２反動部５５Ｂは、例えば、テーブル部５０に対してＸ軸方向の他方側（図２において右側）に設けられる。また、第１反動部５５Ａおよび第２反動部５５Ｂは、テーブル部５０、特に、テーブル５２に関して左右対称または左右略対称に配置されている。第１反動部５５Ａは、錘用ガイド部材５６Ａ、錘部材５７Ａ、第１反動部材５８Ａ、および反動部材用センサ５９Ａを備える。第２反動部５５Ｂは、同様に、錘用ガイド部材５６Ｂ、錘部材５７Ｂ、第２反動部材５８Ｂおよび反動部材用センサ５９Ｂを備える。
【００５２】
なお、第２反動部５５Ｂの構成は、第１反動部５５Ａの構成と同様であるため、以下において、第１反動部５５Ａの構成について説明し、第２反動部５５Ｂの構成は、その説明を適宜省略する。
【００５３】
錘用ガイド部材５６Ａは、錘部材５７ＡをＹ軸方向に案内するためのものであり、架台４１の一方の面（下面）の上に設けられている。錘用ガイド部材５６Ａは、例えば、レールおよびキャリッジなどを含んで構成することが可能である。この例の場合、レールは、Ｙ軸方向に直線状に延びており、架台４１の下面に固定される。レールには、例えば２個のキャリッジがレールに沿って移動可能に係合しており、この２個のキャリッジを錘部材５７Ａの上面に固定することで、錘部材５７ＡをＹ軸方向に案内することが可能になる。
【００５４】
錘部材５７Ａは、第１反動部材５８Ａの重さ（重量）を増やすためのものであり、錘部材５７Ａの下面に第１反動部材５８Ａが固定されている。第２反動部５５Ｂの錘部材５７Ｂは、図３に示すように、Ｘ駆動部４２のために、一部に切欠部が形成されている。錘部材５７Ａおよび錘部材５７Ｂは、図３および図４に示すように、Ｙ軸方向において、架台４１よりも長く延在している。
【００５５】
また、第１反動部５５Ａの錘部材５７Ａと、第２反動部５５Ｂの錘部材５７Ｂとは、図４および図５に示すように、連結部材５７Ｃによって連結されている。これにより、錘部材５７Ａ、第１反動部材５８Ａ、錘部材５７Ｂ、および第２反動部材５８Ｂが、一体として移動可能になる。
【００５６】
第１反動部材５８Ａは、Ｙ軸方向の反力（反作用力）を打ち消す（吸収する）ためのものである。テーブル５２は、架台４１に対してＹ軸方向に移動可能に設けられている。また、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂは、図２に示すように、テーブル５２を間に挟んで、Ｘ軸方向の両側（図２において左側および右側）にそれぞれ配置されている。このように、従来の１つであった反動部材を２つに分け、テーブル５２を間にしてＸ軸方向の両側にそれぞれ配置することにより、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂを、Ｙ軸方向に広がることなく、コンパクトに配置することが可能となる。
【００５７】
また、第１反動部材５８ＡはＹ軸方向に延在する部材である。第１反動部材５８Ａは、図２に示すように、テーブル５２に側面（図２において左側面）に対向する面に、Ｘ軸方向にへこんだ凹部を有しており、当該凹部もＹ軸方向に延在しており、図２において紙面の手前側と奥側である前端と後端が開口している。
【００５８】
反動部材用センサ５９Ａは、第１反動部材５８ＡのＹ方向の物理量を検出するためのものである。反動部材用センサ５９Ａは、例えば、図２に示すように、架台４１の下面において錘部材５７Ａに対応する位置に設けられており、錘部材５７Ａとともに移動する第１反動部材５８ＡのＹ軸方向の速度を検出するように構成されている。
【００５９】
本実施形態では、第１反動部５５Ａが反動部材用センサ５９Ａを備え、第２反動部５５Ｂが反動部材用センサ５９Ｂを備える例を示したが、これに限定されない。上記したように、連結部材５７Ｃによって、錘部材５７Ａ、第１反動部材５８Ａ、錘部材５７Ｂ、および第２反動部材５８Ｂが一体として移動可能なので、例えば、第１反動部５５Ａおよび第２反動部５５Ｂの一方のみが反動部材用センサを備えるようにすることも可能である。この場合、当該反動部材用センサは、一体として移動する第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８ＢのＹ方向の物理量を検出する。
【００６０】
Ｙ駆動部４６は、テーブル５２と第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８ＢとをＹ軸方向にそれぞれ駆動するためのものである。Ｙ駆動部４６は、例えば、周知のリニアモータであり、コイル４７Ａおよびコイル４７Ｂ、ならびに、磁石４８Ａおよび磁石４８Ｂを備える。
【００６１】
コイル４７Ａおよびコイル４７Ｂは、図２に示すように、Ｘ軸方向に突出するように、テーブル５２の両方の側面にそれぞれ設けられている。一方、磁石４８Ａおよび磁石４８Ｂは、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂの内部にそれぞれ設けられている。これにより、テーブル５２と第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８ＢとをＹ軸方向にそれぞれ駆動するＹ駆動部４６を、容易に実現（構成）することができる。
【００６２】
また、コイル４７Ａおよびコイル４７Ｂは、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂの凹部に、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に所定の隙間を空けてそれぞれ挿入されるように、配置される。第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂの凹部は、Ｙ軸方向に延在しているので、コイル４７Ａおよびコイル４７Ｂは、テーブル５２とともに、Ｙ軸方向に移動することが可能になる。
【００６３】
本実施形態では、コイル４７Ａおよびコイル４７Ｂがテーブル５２に設けられ、磁石４８Ａおよび磁石４８Ｂが第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂにそれぞれ設けられる例を示したが、これに限定されない。例えば、コイル４７Ａおよびコイル４７Ｂを第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂにそれぞれ設け、磁石４８Ａおよび磁石４８Ｂをテーブル５２に設けることも可能である。
【００６４】
上記したＸＹ駆動機構４０において、テーブル５２がＹ軸方向に移動するときに、制御部８０は、テーブル用Ｙセンサ５４からの信号と、反動部材用センサ５９Ａからの信号とに基づいて、Ｙ駆動部４６のコイル４７Ａおよびコイル４７Ｂに供給する電圧を制御する。このとき、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂは、Ｙ軸方向においてテーブル５２と逆向きに移動し、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂの移動がテーブル５２の移動の反力（反作用力）を相殺（補償）する。これにより、テーブル５２がＹ軸方向に移動するときに、架台４１に与えられる運動量は理論的にゼロとなり、架台４１の揺れは生じない。
【００６５】
また、上記したＸＹ駆動機構４０において、テーブル５２がＸ軸方向に移動するときに、制御部８０は、テーブル用Ｘセンサ５３からの信号に基づいて、Ｘ駆動部４２の駆動源４５に供給する電圧を制御する。このように、Ｘ軸方向においてテーブル５２と逆向きに移動するカウンターウェイトは存在しない。そのため、テーブル５２のＸ軸方向の移動により架台４１に力は加わるが、Ｘ軸方向の移動は微小であり、かつ、その加速度も非常に低い。その結果、テーブル５２のＸ軸方向の移動により架台４１に加わる力は非常に小さく、架台４１のゆれは、ほとんど生じない。
【００６６】
次に、テーブル５２の動作の様子について説明する。
【００６７】
図６は、テーブルのＹ軸方向に移動する様子を説明するための下面図である。図６に矢印で示すように、テーブル５２がＹ軸方向の正方向（プラス方向）に移動すると、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂは、テーブル５２の移動と逆向きのＹ軸方向の負方向（マイナス方向）に移動する。このとき、テーブル５２のＹ軸方向の加速度は、例えば、１０．０Ｇ以上であり、テーブル５２は、Ｙ軸方向に相対的に高加速度で移動するように構成されている。また、テーブル５２のＹ軸方向の移動距離は、例えば、最大１００［ｍｍ］程度、場合によっては最大２００［ｍｍ］程度に達することもあり、テーブル５２は、Ｙ軸方向に相対的に長い距離を移動するように構成されている。
【００６８】
図７はテーブルのＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する様子を説明するための下面図であり、図８はテーブルのＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する様子を説明するための正面図である。テーブル５２はＹ軸方向およびＸ軸方向に、同時に移動することができる。図７に矢印で示すように、テーブル５２がＹ軸方向の正方向（プラス方向）に移動すると、図６に示した場合と同様に、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８ＢはＹ軸方向の負方向（マイナス方向）に移動する。これとともに、テーブル５２は、図７および図８に矢印で示すように、Ｘ軸方向の正方向（プラス方向）に移動する。このとき、テーブル５２のＸ軸方向の加速度は、例えば、１．０Ｇ以下であり、テーブル５２は、Ｘ軸方向に相対的に低加速度で移動するように構成されている。また、テーブル５２のＸ軸方向の移動距離は、例えば、最大で数ミリ程度に過ぎず、テーブル５２は、Ｘ軸方向に相対的に短い距離を移動するように構成されている。
【００６９】
ここで、従来のボンディング装置の駆動機構では、テーブルおよび反動部材が駆動方向、つまり、Ｙ軸方向に配置されていた。そのため、テーブルと反動部材とは、停止（静止）時において重心が大きくずれており、テーブルおよび反動部材は互いに反対方向に移動するので、移動時には重心のずれがさらに大きくなっていた。その結果、テーブルおよび反動部材を支持する架台において、重量が一方に偏っており、釣り合いがとれない状態、すなわち、重量バランスが悪い状態であり、例えば、テーブルに設けられたボンディングヘッドにモーメントが発生するなどの悪影響が発生していた。
【００７０】
これに対し、本実施形態のＸＹ駆動機構４０では、停止（静止）時において、図２に示すように、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂは、テーブル５２を間にしてＸ軸方向の両側にそれぞれ配置されており、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂは、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂの重心が、Ｘ軸方向において、テーブル５２の重心に基づく位置になるように、配置されている。また、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂは、テーブル５２と同一または略同一のＸＹ平面にあり、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂの重心が、Ｚ軸方向において、テーブル５２の重心に基づく位置になるように、配置されている。さらに、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂは、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂの重心が、Ｙ軸方向においても、テーブル５２の重心に基づく位置になるように、配置されている。このように、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂは、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂの重心がテーブル５２の重心に基づく位置になるように、配置されることにより、従来のボンディング装置と比較して、テーブル５２と第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂとの重心のずれを減少させることができる。
【００７１】
なお、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂの重心位置は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向において、テーブル５２の重心位置と一致していることが好ましい。これにより、重量バランスの良いＸＹ駆動機構４０の架台４１を容易に実現（構成）することができる。
【００７２】
また、テーブル５２、第１反動部材５８Ａ、および第２反動部材５８Ｂは、テーブル５２、第１反動部材５８Ａ、および第２反動部材５８Ｂの重心が架台４１の重心に基づく位置になるように、配置されていることが好ましい。これにより、テーブル５２、第１反動部材５８Ａ、および第２反動部材５８Ｂと、架台４１との重心のずれを減少させることができる。したがって、架台４１を含むＸＹ駆動機構４０全体の重量バランスを改善することができる。
【００７３】
本実施形態では、図７および図８において、テーブル５２はＹ軸方向およびＸ軸方向に同時に移動する例を示したが、これに限定されない。例えば、テーブル５２をＹ軸方向に移動させた後、テーブル５２をＸ軸方向に移動さてもよいし、逆に、テーブル５２をＸ軸方向に移動させた後、テーブル５２をＹ軸方向に移動さてもよい。
【００７４】
このように、本実施形態によれば、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂが、テーブル５２がＹ軸方向に移動するときに、Ｙ軸方向においてテーブル５２と逆向きに移動するように構成される。これにより、架台４１に与えられる運動量は理論的にゼロとなるので、架台４１の揺れを防止することができる。また、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂが、テーブル５２を間にしてＸ軸方向の両側にそれぞれ配置される。これにより、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂを、Ｙ軸方向に広がることなく、コンパクトに配置することが可能となる。したがって、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂのためのスペースの増加を抑制することができる。さらに、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂは、第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂの重心がテーブル５２の重心に基づく位置になるように、配置される。これにより、従来のボンディング装置と比較して、テーブル５２と第１反動部材５８Ａおよび第２反動部材５８Ｂとの重心のずれを減少させることができる。したがって、架台４１における重量バランスを改善することができ、例えば、テーブル５２に設けられたボンディングヘッド３１にモーメントが発生するなどの悪影響を低減させることができる。
【００７５】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく種々に変形して適用することが可能である。
【００７６】
また、上記発明の実施形態を通じて説明された実施例や応用例は、用途に応じて適宜に組み合わせて、または変更もしくは改良を加えて用いることができ、本発明は上述した実施形態の記載に限定されるものではない。そのような組み合わせまたは変更もしくは改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００７７】
１…ボンディング装置、３１…ボンディングヘッド、４１…架台、４６…Ｙ駆動部、４７Ａ，４７Ｂ…コイル、４８Ａ，４８Ｂ…磁石、５２…テーブル、５８Ａ…第１反動部材、５８Ｂ…第２反動部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図５】
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