(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部電極と下部電極とを有する平行平板型プラズマ処理装置において、処理ガスを導入し前記下部電極に高周波電力を印加することによりプラズマを生成し、基板上に比誘電率の異なる第１の膜及び第２の膜が交互に積層された多層膜と、該多層膜の上層に位置しマスクとして機能するフォトレジスト層とを前記プラズマによりエッチングし、前記多層膜を階段形状に形成するための半導体装置の製造方法であって、
前記フォトレジスト層を前記マスクとして前記第１の膜をエッチングする第１の工程と、
処理室内の圧力を６Ｔｏｒｒ以上３０Ｔｏｒｒ以下に設定し、プラズマ生成用の高周波電力とバイアス用の高周波電力とを前記下部電極に印加することによりプラズマを生成し、生成されたプラズマにより前記フォトレジスト層の水平方向の面積を狭めるように前記フォトレジスト層をエッチングする第２の工程と、
前記フォトレジスト層と前記第１の膜とを前記マスクとして前記第２の膜をエッチングする第３の工程と、を含み、
前記第１の工程、前記第２の工程及び前記第３の工程を、前記第１の工程、前記第２の工程及び前記第３の工程の組において、該第１の工程、該第２の工程、該第３の工程の順に、所定回数繰り返し実行することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記第２の工程では、前記処理室内の圧力を１０Ｔｏｒｒ以上２６Ｔｏｒｒ以下に設定することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記第２の工程では、前記処理室内の圧力を１４Ｔｏｒｒ以上２２Ｔｏｒｒ以下に設定することを特徴とする請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記第２の工程では、０．２８Ｗ／ｃｍ２以上０．７１Ｗ／ｃｍ２以下のバイアス用の高周波電力を前記下部電極に印加することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記第２の工程では、処理ガスとしてＯ２、Ｈ２、Ｎ２、ＣＯ、ＣＯ２の中から少なくとも１つ選択されたガスを使用することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記第１の膜はシリコン酸化膜からなり、前記第２の膜はシリコン窒化膜からなることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記多層膜は、前記第１の膜及び前記第２の膜が交互に１６層以上積層されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
３Ｄ  ＮＡＮＤフラッシュメモリ等の三次元積層半導体メモリの製造には、プラズマを用いて積層膜を階段形状にエッチングする工程がある（例えば、特許文献１を参照）。この工程で行われるマスクトリミングは、積層された多層膜の積層構造を利用して階段形状を形成するために、マスク材料の鉛直方向のエッチングに対して水平方向のエッチングの比率を高めることが重要となる。
【０００３】
これに対して、従来は、マスク材料に対して鉛直方向に寄与するイオンエネルギーを低くすることにより鉛直方向へのエッチングを抑止し、ラジカルによる等方的なエッチングを促進させる方法を採用していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２６６９４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、この方法によれば、イオンエネルギーが低いため、マスク材料のエッチングレートが低くなってしまう。このため、マスク材料の水平方向のエッチングレートを高め、スループットを向上させたいという要望があった。
【０００６】
上記課題に対して、本発明の目的とするところは、マスク材料の水平方向のエッチングレートを高め、スループットを向上させることが可能な、半導体装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、上部電極と下部電極とを有する平行平板型プラズマ処理装置において、処理ガスを導入し前記下部電極に高周波電力を印加することによりプラズマを生成し、基板上に比誘電率の異なる第１の膜及び第２の膜が交互に積層された多層膜と、該多層膜の上層に位置しマスクとして機能するフォトレジスト層とを前記プラズマによりエッチングし、前記多層膜を階段形状に形成するための半導体装置の製造方法であって、前記フォトレジスト層を前記マスクとして前記第１の膜をエッチングする第１工程と、処理室内の圧力を６Ｔｏｒｒ以上３０Ｔｏｒｒ以下に設定し、プラズマ生成用の高周波電力とバイアス用の高周波電力とを前記下部電極に印加することによりプラズマを生成し、生成されたプラズマにより前記フォトレジスト層の水平方向の面積を狭めるように前記フォトレジスト層をエッチングする第２の工程と、前記フォトレジスト層と前記第１の膜とを前記マスクとして前記第２の膜をエッチングする第３の工程と、を含み、前記第１の工程及至前記第３の工程を所定回数繰り返し実行することを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【０００８】
前記第２の工程では、前記処理室内の圧力を１０Ｔｏｒｒ以上２６Ｔｏｒｒ以下に設定してもよい。
【０００９】
前記第２の工程では、前記処理室内の圧力を１４Ｔｏｒｒ以上２２Ｔｏｒｒ以下に設定してもよい。
【００１０】
前記第２の工程では、０．２８Ｗ／ｃｍ２以上０．７１Ｗ／ｃｍ２以下のバイアス用の高周波電力を前記下部電極に印加してもよい。
【００１１】
前記第２の工程では、処理ガスとしてＯ２、Ｈ２、Ｎ２、ＣＯ、ＣＯ２の中から少なくとも１つ選択されたガスを使用してもよい。
【００１２】
前記第１の膜はシリコン酸化膜からなり、前記第２の膜はシリコン窒化膜からなってもよい。
【００１３】
前記多層膜は、前記第１の膜及び前記第２の膜が交互に１６層以上積層されてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように本発明によれば、マスク材料の水平方向のエッチングレートを高め、スループットを向上させることが可能な、半導体装置の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】一実施形態に係る三次元積層半導体メモリの構造を概念的に示した図。
【図２】図１の１−１断面図。
【図３】一実施形態に係る半導体装置の縦断面を示した全体構成図。
【図４】一実施形態に係る半導体装置の製造方法によるエッチング工程を示した図。
【図５】一実施形態に係る半導体装置にて実行されるエッチングの原理を説明するための図。
【図６】一実施形態に係る半導体装置にて実行されるエッチングの原理を説明するための図。
【図７】一実施形態に係るイオン入射角度の圧力依存性を示した図。
【図８】一実施形態に係るプラズマ処理装置Ａの実施例１，２，比較例に係る水平方向のエッチングの実験結果を示した図。
【図９】一実施形態に係るプラズマ処理装置Ｂの実施例１，２，比較例に係る水平方向のエッチングの実験結果を示した図。
【図１０】図８及び図９の実験結果を考察するために数値化したグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１７】
［三次元積層半導体メモリの構造］
まず、本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造方法を用いて製造される三次元積層半導体メモリの一例について、図１及び図２を参照しながら説明する。図１は、３Ｄ  ＮＡＮＤフラッシュメモリの構造を概念的に示した斜視図である。図２は、図１の３Ｄ  ＮＡＮＤフラッシュメモリの１−１断面図である。３Ｄ  ＮＡＮＤフラッシュメモリは、三次元積層半導体メモリの一例である。
【００１８】
図１に示したＮＡＮＤフラッシュメモリ１００は、例えば、各々が消去の一単位となる複数のブロックから構成される。図１には、二つのブロックＢＫ１、ＢＫ２が例示されている。ソース拡散層１０２は、半導体基板内に形成され、例えば全てのブロックに共通して１つ設けられる。ソース拡散層１０２は、コンタクトプラグＰＳを介して、ソース線ＳＬに接続される。ソース拡散層１０２上には、例えば、比誘電率の異なる第１の膜及び第２の膜が交互に積層された多層膜が形成される。図１では、多層膜は図示の便宜のために６層構造であるが、１６層や３２層であってもよく、それ以上であってもよい。
【００１９】
図１では、最上層を除く残りの５つの絶縁膜は、各ブロックＢＫ１、ＢＫ２内でそれぞれプレート状に形成され、かつ、そのＸ方向の端部は、各々の絶縁膜にコンタクトをとるために階段形状に形成される。これにより、多層膜は略ピラミッド状に形成される。最下層は、ソース線側セレクトゲート線ＳＧＳとなり、最下層及び最上層を除く残りの４つの絶縁膜は、４つのワード線ＷＬとなる。
【００２０】
最上層は、Ｘ方向に延びるライン状の複数の導電線から構成される。１つのブロックＢＫ１内には、例えば、６本の導電線が配置される。最上層の例えば６本の導電線は、６つのビット線側セレクトゲート線ＳＧＤとなる。
【００２１】
そして、ＮＡＮＤセルユニットを構成するための複数の活性層ＡＣは、複数の絶縁膜を突き抜けてソース拡散層１０２に達するように、Ｚ方向（半導体基板の表面に対して鉛直方向）に柱状に形成される。
【００２２】
複数の活性層ＡＣの上端は、Ｙ方向に延びる複数のビット線ＢＬに接続される。また、ソース線側セレクトゲート線ＳＧＳは、コンタクトプラグＰＳＧを介して、Ｘ方向に延びる引き出し線ＳＧＳ１に接続され、ワード線ＷＬは、それぞれコンタクトプラグＰＷ１〜ＰＷ４を介してＸ方向に延びる引き出し線Ｗ１〜Ｗ４に接続される。
【００２３】
さらに、ビット線側セレクトゲート線ＳＧＤは、それぞれ、コンタクトプラグＰＳＤを介して、Ｘ方向に延びる引き出し線ＳＧＤ１に接続される。複数のビット線ＢＬ及び引き出し線ＳＧＳ１，引き出し線Ｗ１〜Ｗ４は、例えば金属から構成される。
【００２４】
図２は、図１の１−１線に沿って切断された断面図である。ソース線側セレクトゲート線ＳＧＳ及びワード線ＷＬ１〜ＷＬ４は、コンタクトプラグＰＳＧ、コンタクトプラグＰＷ１〜ＰＷ４を介してＸ方向に延びる引き出し線ＳＧＳ１，引き出し線Ｗ１〜Ｗ４から図示しないドライバを構成するトランジスタに接続される。
【００２５】
［プラズマ処理装置の全体構成］
次に、本発明の一実施形態に係るプラズマ処理装置の全体構成について、図３を参照しながら説明する。プラズマ処理装置１０は、下部２周波数の平行平板型（容量結合型）プラズマエッチング装置として構成されており、例えば表面がアルマイト処理（陽極酸化処理）されたアルミニウムからなる円筒形の真空チャンバ（処理容器）１１を有している。チャンバ１１は、接地されている。
【００２６】
チャンバ１１内には、被処理体としての半導体ウエハＷ（以下、ウエハＷと称呼する）を載置する載置台１２が設けられている。載置台１２は、たとえばアルミニウムからなり、絶縁性の筒状保持部１４を介してチャンバ１１の底から鉛直上方に延びる筒状支持部１６に支持されている。載置台１２の上面であって静電チャック４０の周縁部には、エッチングの面内均一性を高めるために、例えばシリコンから構成されたフォーカスリング１８が配置されている。
【００２７】
チャンバ１１の側壁と筒状支持部１６との間には排気路２０が形成されている。排気路２０には環状のバッフル板２２が取り付けられている。排気路２０の底部には排気口２４が設けられ、排気管２６を介して排気装置２８に接続されている。排気装置２８は図示しない真空ポンプを有しており、チャンバ１１内の処理空間を所定の真空度まで減圧する。チャンバ１１の側壁には、ウエハＷの搬入出口を開閉する搬送用のゲートバルブ３０が取り付けられている。
【００２８】
載置台１２には、プラズマ中のイオン引き込み用（バイアス用）の第１高周波電源３１及びプラズマ生成用の第２高周波電源３２が整合器３３及び整合器３４を介してそれぞれ電気的に接続されている。第１高周波電源３１は、載置台１２上のウエハＷにプラズマのイオンを引き込むのに寄与する周波数、例えば３．２ＭＨｚの第１高周波電力を載置台１２に印加する。第２高周波電源３２は、チャンバ１１内にてプラズマを生成するために寄与する周波数、例えば１００ＭＨｚの第２高周波電力を載置台１２に印加する。このようにして載置台１２は下部電極としても機能する。チャンバ１１の天井部には、後述するシャワーヘッド３８が接地電位の上部電極として設けられている。これにより、第２高周波電源３２からの高周波電力は載置台１２とシャワーヘッド３８との間に容量的に印加される。
【００２９】
載置台１２の上面にはウエハＷを静電吸着力で保持するための静電チャック４０が設けられている。静電チャック４０は導電膜からなる電極４０ａを一対の絶縁膜の間に挟み込んだものである。電極４０ａには直流電圧源４２がスイッチ４３を介して電気的に接続されている。静電チャック４０は、直流電圧源４２からの電圧により、クーロン力でウエハＷを静電チャック上に吸着保持する。
【００３０】
伝熱ガス供給源５２は、Ｈｅガス等の伝熱ガスをガス供給ライン５４に通して静電チャック４０の上面とウエハＷの裏面との間に供給する。
【００３１】
天井部のシャワーヘッド３８は、多数のガス通気孔５６ａを有する電極板５６と、この電極板５６を着脱可能に支持する電極支持体５８とを有する。ガス供給源６２は、ガス供給配管６４を介してガス導入口６０ａからシャワーヘッド３８内にガスを供給し、多数のガス通気孔５６ａからチャンバ１１内に導入される。
【００３２】
チャンバ１１の周囲には、環状または同心円状に延在する磁石６６が配置され、磁力によりチャンバ１１内のプラズマ生成空間に生成されるプラズマを制御する。
【００３３】
載置台１２の内部には冷媒管７０が設けられている。この冷媒管７０には、チラーユニット７１から配管７２，７３を介して所定温度の冷媒が循環供給される。また、静電チャック４０の裏面にはヒータ７５が設けられている。ヒータ７５には交流電源４４から所望の交流電圧が印加される。かかる構成によれば、チラーユニット７１による冷却とヒータ７５による加熱によってウエハＷを所望の温度に調整することができる。また、これらの温度制御は、制御装置８０からの指令に基づき行われる。
【００３４】
制御装置８０は、プラズマ処理装置１０に取り付けられた各部、たとえば排気装置２８、交流電源４４、直流電圧源４２、静電チャック用のスイッチ４３、第１及び第２高周波電源３１，３２、整合器３３，３４、伝熱ガス供給源５２、ガス供給源６２及びチラーユニット７１を制御する。なお、制御装置８０は、図示しないホストコンピュータとも接続されている。
【００３５】
制御装置８０は、図示しないＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ），ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）を有し、ＣＰＵは、図示しない記憶部に格納された各種レシピに従ってプラズマ処理を実行する。レシピが格納される記憶部は、例えば半導体メモリ、磁気ディスク、または光学ディスクなどを用いてＲＡＭ、ＲＯＭとして実現されうる。レシピは、記憶媒体に格納して提供され、図示しないドライバを介して記憶部に読み込まれるものであってもよく、また、図示しないネットワークからダウンロードされて記憶部に格納されるものであってもよい。また、上記各部の機能を実現するために、ＣＰＵに代えてＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）が用いられてもよい。なお、制御装置８０の機能は、ソフトウエアを用いて動作することにより実現されてもよく、ハードウエアを用いて動作することにより実現されてもよし、ソフトウエアとハードウエアの両方を用いて実現されてもよい。
【００３６】
かかる構成のプラズマ処理装置１０において、エッチングを行なう際には、先ずゲートバルブ３０を開口して搬送アーム上に保持されたウエハＷをチャンバ１１内に搬入する。ウエハＷは、図示しないプッシャーピンにより保持され、プッシャーピンが降下することにより静電チャック４０上に載置される。ウエハＷを搬入後、ゲートバルブ３０が閉じられ、ガス供給源６２からエッチングガスを所定の流量および流量比でチャンバ１１内に導入し、排気装置２８によりチャンバ１１内の圧力を設定値に減圧する。さらに、第１高周波電源３１及び第２高周波電源３２から所定のパワーの高周波電力を載置台１２に供給する。また、直流電圧源４２から電圧を静電チャック４０の電極４０ａに印加して、ウエハＷを静電チャック４０上に固定し、伝熱ガス供給源５２から静電チャック４０の上面とウエハＷの裏面との間に伝熱ガスとしてＨｅガスを供給する。シャワーヘッド３８からシャワー状に導入されたエッチングガスは、第２高周波電源３２からの高周波電力によりプラズマ化され、これにより、上部電極（シャワーヘッド３８）と下部電極（載置台１２）との間のプラズマ生成空間にてプラズマが生成され、プラズマによってウエハＷの主面がエッチングされる。また、第１高周波電源３１からの高周波電力によりウエハＷに向かってプラズマ中のイオンを引き込むことができる。
【００３７】
プラズマエッチング終了後、ウエハＷがプッシャーピンにより持ち上げられ保持され、ゲートバルブ３０を開口して搬送アームがチャンバ１１内に搬入された後に、プッシャーピンが下げられウエハＷが搬送アーム上に保持される。次いで、その搬送アームがチャンバ１１の外へ出て、次のウエハＷが搬送アームによりチャンバ１１内へ搬入される。この処理を繰り返すことで連続してウエハＷが処理される。
【００３８】
［階段形状を形成するためのエッチング工程］
次に、本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造方法により行われるエッチング工程について、図４を参照しながら説明する。図４では、本実施形態にて行われる（ａ−１）エッチング工程開始前の初期状態、（ａ−２）第１の工程、（ａ−３）第２の工程、（ａ−４）第３の工程、（ａ−５）エッチング工程完了後の最終状態が示されている。
【００３９】
本実施形態のエッチング工程では、多層膜に階段形状を形成する。
（ａ−１）エッチング工程開始前の初期状態
本実施形態では、基板Ｓ上に第１の膜１１０と第２の膜１２０とが交互に積層された３６層の多層膜が形成されている。なお、多層膜は、第１の膜１１０及び第２の膜１２０が交互に１６層以上積層されてもよい。
【００４０】
第１の膜１１０及び第２の膜１２０は、比誘電率が異なる絶縁膜である。比誘電率が異なる多層膜として、本実施形態では、第１の膜１１０にシリコン酸化膜（ＳｉＯ２）、第２の膜１２にシリコン窒化膜（ＳｉＮ）が形成されている。
【００４１】
ただし、第１の膜１１０及び第２の膜１２０の組み合わせは、上記のシリコン酸化膜／シリコン窒化膜に限られない。例えば、第１の膜１１０にポリシリコン膜（不純物ドーピング）、第２の膜１２０にポリシリコン膜（不純物ドーピングなし）が形成されてもよい。ドープの有無により第１の膜１１０及び第２の膜１２０の比誘電率を異ならせることができる。不純物ドーピングの不純物として、例えばボロン等をドーピングしてもよい。
【００４２】
第１の膜１１０及び第２の膜１２０の他の組み合わせとしては、第１の膜１１０にシリコン酸化膜（ＳｉＯ２）、第２の膜１２０にポリシリコン膜（不純物ドーピング）が形成されてもよいし、第１の膜１１０にシリコン酸化膜（ＳｉＯ２）、第２の膜１２０にポリシリコン膜（不純物ドーピングなし）が形成されてもよい。
【００４３】
多層膜の直上には、マスクとして機能するフォトレジスト層ＰＲが設けられている。このフォトレジスト層ＰＲの主に水平方向のエッチングが、多層膜に形成される階段形状に寄与する。フォトレジスト層ＰＲの材料としては、有機膜、アモルファスカーボン膜（α―Ｃ）が一例として挙げられる。ｉ線（波長３６５ｎｍ）のフォトレジスト層ＰＲであってもよい。
【００４４】
（ａ−２）第１の工程
第１の工程では、フォトレジスト層ＰＲをマスクとして第１の膜１１０であるシリコン酸化膜（ＳｉＯ２）をエッチングする。このときのエッチングは、イオンエネルギーにより鉛直方向のエッチングを促進する、所謂通常のエッチングであり、プロセス条件は以下の通りである。
第１の工程のプロセス条件：
圧力  ３０ｍＴ（＝3.99966Ｐａ）
第１高周波電源３１及び第２高周波電源３２のパワー  １０００／４００Ｗ      （１４１．５Ｗ／ｃｍ２、５６．６Ｗ／ｃｍ２）
ガス種及びガス流量  Ｏ２／Ａｒ／Ｃ４Ｆ６＝３０／１０００／１６ｓｃｃｍ
（ａ−３）第２の工程
第２の工程では、フォトレジスト層ＰＲをエッチングする。第２の工程では、鉛直方向に対する水平方向のエッチングを高め、フォトレジスト層ＰＲがなるべく水平方向にエッチングされるように、プロセス条件が適正化される。フォトレジスト層ＰＲの水平方向のエッチングのプロセス条件等については後程詳述する。
（ａ−４）第３の工程
第３の工程では、フォトレジスト層ＰＲと第１の膜１１０とをマスクとして第２の膜１２０をエッチングする。このときのエッチングは、イオンエネルギーにより鉛直方向のエッチングを促進するエッチングであり、プロセス条件は以下の通りである。
第３の工程のプロセス条件：
圧力  １５０ｍＴ（＝19.9983Ｐａ）
第１高周波電源３１及び第２高周波電源３２のパワー  ３００／８００Ｗ（４２．５Ｗ／ｃｍ２、１１３．２Ｗ／ｃｍ２）
ガス種及びガス流量  ＣＨ２Ｆ２／Ａｒ／Ｃ２＝１４０／４００／７０ｓｃｃｍ
（ａ−５）エッチング工程完了後の最終状態
本実施形態では、第１の工程〜第３の工程を繰り返し実行する。これにより、多層膜を階段形状に形成することができる。
【００４５】
［水平方向のエッチング（第２の工程）］
以上に説明したように、第１の工程及び第３の工程では、鉛直方向へのエッチングを主に促進する、いわゆる通常のエッチングであった。これに対して、第２の工程では、フォトレジスト層ＰＲを鉛直方向ではなく、水平方向に選択的にエッチングする技術が求められる。
【００４６】
これまでは、水平方向に積極的にエッチングする技術は開示されておらず、フォトレジスト層ＰＲに対して鉛直方向に寄与するイオンエネルギーを低くすることにより鉛直方向へのエッチングを抑止し、ラジカルによる等方的なエッチングを促進させる方法を採用していた。しかしながら、この方法では、イオンエネルギーが低いためエッチングレートが低く、エッチングの加工時間が長時間になり、スループットが低下するという課題がある。
【００４７】
一方、なんらの方策もとらずに基板Ｓにバイアスパワーを印加してイオンエネルギーを高めると、前述したように、水平方向のエッチング速度は高くなるが、それ以上に鉛直方向のエッチング速度が高くなり、水平方向の選択的な加工が難しくなってしまう。
【００４８】
また、そもそもフォトレジスト層ＰＲを水平方向にエッチングすることは難しく、鉛直方向も必ずエッチングされてしまう。このため、多層膜の最下層まで階段形状を作り終える前にフォトレジスト層ＰＲが削れてなくなってしまう可能性がある。
【００４９】
よって、フォトレジスト層ＰＲの水平方向のエッチングレートを高め、かつスループットを向上させるために、鉛直方向に対する水平方向のエッチングの比率、すなわち、水平方向へのエッチング指標であるフォトレジスト層トリミング比率（水平方向のエッチングレートを鉛直方向のエッチングレートで割算した比率）を高めることが望まれる。
【００５０】
そこで、本実施形態に係る半導体装置の製造方法では、ラジカルによる等方的なエッチングに加えて、フォトレジスト層ＰＲの鉛直方向に対する水平方向へのイオンの関与比率を高め、フォトレジスト層トリミング比率を大きくする。このため、水平方向へのイオンの入射が多くなるようにプロセス条件を改善する。以下、水平方向へのエッチングを高めるためのプロセス条件の適正化について説明する。
（圧力とイオン角度分布）
イオンエネルギーを下げてエッチングに関与するイオンの比率を下げることにより相対的にエッチングに関与するラジカルの比率を高め、水平方向のエッチングを促進する従来方法では、バイアス用の高周波電力を下部電極に印加し、プラズマ中のイオンを基板側に鉛直方向に引き込むことは行われない。また、圧力を数百ｍＴｏｒｒに設定してエッチング処理が行われる。
【００５１】
本実施形態では、イオンエネルギーによる水平方向へのエッチングを高めるため、基板に入射されるイオン角度と圧力との関係に着目する。図５に示したように、プラズマ空間にはプラスの電荷を持つイオン、マイナスの電荷をもつ電子、中性のラジカルが存在する。ラジカルは、主にラジカルと積層膜との化学反応による化学的エッチングに寄与し、イオンは、主に基板へのイオンの叩き込みによる物理的エッチングに寄与する。従って、図６に示したように、ラジカル（Ｏ＊）によるエッチングは、主にフォトレジスト層ＰＲに対して等方的なエッチングになる。一方、イオン（Ｏ２＋）によるエッチングは、イオン角度によりエッチングに指向性のあるエッチングである。プラズマ中のイオンは、シース領域内に入るとシースに掛かる電圧により加速し、基板に叩き込まれる。
【００５２】
イオンエネルギーにより水平方向へのエッチングを高めるためには、イオンの入射角度θが４５°になることが理想である。イオンの入射角度が４５°より小さくなると、イオンの入射角度θが小さくなるほど（すなわち、イオンの入射角度が０°に近くなるほど）、イオンによる鉛直方向へのエッチングが促進される。その結果、イオンエネルギーによる水平方向へのエッチング比率が低くなるため好ましくない。
【００５３】
一方、イオンの入射角度が４５°より大きくなると、イオンの入射角度θが大きくなるほど（すなわち、イオンの入射角度が９０°に近くなるほど）、エッチング対象加工面（図５では側面ＳＷ）の底部にイオンが入射されにくくなり、イオンエネルギーによる水平方向へのエッチングの寄与率が低くなり、好ましくない。
【００５４】
図７は、イオンの入射角度の圧力依存性を示す。図７（ａ）の横軸はイオンの入射角度（°）、縦軸はイオン角度寄与関数ＩＡＤＦ（Ｉｏｎ  Ａｎｇｌｅ  Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）である。図７（ａ）に示したように、プラズマ中のイオンは様々な角度を持っている。また、イオンの入射角度は、圧力依存性を有している。具体的には、１００ｍＴｏｒｒのオーダの圧力領域ではプラズマ中のイオン散乱角度（イオンの入射角度に相当）は１度のものが２０％程度あるがこの角度ではほとんどのイオンが水平方向のエッチングに寄与していないことがわかる。すなわち、図７（ａ）に示した１００ｍＴｏｒｒ，５００ｍＴｏｒｒ，１Ｔｏｒｒの圧力帯では、圧力が高くなるほどイオン散乱角度が大きくなり、イオンが水平方向のエッチングに寄与する確率が高くなることが分かる。つまり、圧力が高いほど入射角度が大きいイオンの比率が高くなり、つまり、水平方向のエッチングに関与するイオンの数は増えることになる。そこで、本実施形態ではイオンを水平方向のエッチングに寄与させるべく数Ｔｏｒｒのオーダの高圧力領域でエッチングを行う。
【００５５】
図７（ｂ）の横軸は圧力（Ｔｏｒｒ）を示す。図７（ｂ）の縦軸はイオンの入射角度を半値幅（ＦＷＨＭ：Ｆｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ｈａｌｆ  Ｍａｘｉｍｕｍ）で示したものである。イオンの入射角度の半値幅は、角度分布の最大値から角度分布の最小値を減算した値の１／２である。半値幅は、イオン中の最も代表的エネルギーを持ったイオンを示す指標である。このイオンの入射角度θが４５°になる圧力が、水平方向へのエッチングへの寄与が最も高くなる好ましい条件となる。
【００５６】
これに対して図７（ｂ）を参照すると、イオン角度θの半値幅が４５°の場合、圧力は１８Ｔｏｒｒである。よって、圧力を１８Ｔｏｒｒに設定すると、イオンが最も水平方向のエッチングに寄与すると考えられる。
【００５７】
好適な圧力としては、イオン角度の半値幅が１５°〜７５°の範囲の６Ｔｏｒｒ〜３０Ｔｏｒｒの圧力帯であってもよい。例えば、下部２周波数印加の半導体製造装置においてマスクトリミングの際にバイアスパワーを印加し、プラズマ中のイオン角度が１５°〜７５になるような圧力（６Ｔｏｒｒ〜３０Ｔｏｒｒ）に維持しながらフォトレジスト層ＰＲをトリミングすると、フォトレジスト層ＰＲのエッチングレートが向上し高スループットのトリミングが実現できる。
【００５８】
６Ｔｏｒｒ〜３０Ｔｏｒｒの高圧力領域においては、イオンが図５に示したシース領域内に入ると、イオンは加速され衝突回数が増える。よって、イオンがシース領域内に入ると、衝突によりイオンに角度がつきやすくなり、この結果シース内でイオンのもつ角度が大きくなる。これに対して、圧力が６Ｔｏｒｒより低くなると、プラズマ中のイオンが基板に到達するまでに生じる衝突回数が少なくなり、特にシース領域内にてイオンに角度がつきにくくなり、イオンが基板の鉛直方向に入射されやすくなって、イオンの鉛直方向に対する水平方向へのエッチングの関与は減少する。一方、圧力が３０Ｔｏｒｒより高くなると、プラズマ中のイオンが基板に到達するまでに生じる衝突回数が多くなり、イオンエネルギーが減少してイオンの水平方向へのエッチングの関与は減少する。
【００５９】
よって、上記第２の工程では、プラズマ中のイオンの散乱角度が１５°〜７５°になるように処理室内の圧力を６Ｔｏｒｒ〜３０Ｔｏｒｒに設定し、プラズマ生成用の高周波電力とバイアス用の高周波電力とを下部電極に印加する。これにより生成されたプラズマによって、フォトレジスト層ＰＲの水平方向の面積を狭めるようにフォトレジスト層ＰＲをエッチングする。
【００６０】
ただし、イオンの散乱角度が２５°〜６５°になるように処理室内の圧力を１０Ｔｏｒｒ〜２６Ｔｏｒｒに設定するとより好ましい。
【００６１】
イオンの散乱角度が３５°〜５５°になるように処理室内の圧力を１４Ｔｏｒｒ〜２２Ｔｏｒｒに設定すると更に好ましい。
【００６２】
［水平方向のエッチング（第２の工程）の実験結果］
以上の理論に基づき、実験を行った。まず、イオン角度と圧力との図７の関係に従って、圧力を１Ｔｏｒｒ（１３３．３２２Ｐａ），５Ｔｏｒｒ（６６６．６１Ｐａ），９Ｔｏｒｒ（１１９９．８９８Ｐａ）と変更した場合の３条件で実験した。マスク材料の水平方向のエッチングがどの程度促進されるかについて、プラズマ生成用の高周波電力とバイアス用の高周波電力の両方を下部電極に印加する下部２周波数電力印加の半導体製造装置（図３：ＣＣＰプラズマ処理装置）及びプラズマ生成用の高周波電力を上部電極へ印加し、バイアス用の高周波電力を下部電極に印加する上下部電力印加の半導体製造装置（図示せず）を用いて実験を行った。下部２周波数電力印加の半導体製造装置であって、上部電極と下部電極との電極間隔（以下ギャップＧＡＰと称する）が狭い装置（以下プラズマ処理装置Ａと称する）の場合の実験結果を図８に示す。上下部電力印加の半導体製造装置であって、上部電極と下部電極とのギャップＧＡＰが広い装置（以下プラズマ処理装置Ｂと称する）の場合の実験結果を図９に示す。プラズマ処理装置Ａ及びプラズマ処理装置Ｂは、容量結合型のプラズマ処理装置である。
（プラズマ処理装置Ａの場合の水平方向のエッチング（第２の工程）の実験結果）
まず、初めに図８のプラズマ処理装置Ａの場合の実験結果について説明する。水平方向のエッチング（第２の工程）のフォトレジスト層をエッチングする具体的なプロセス条件は次の通りである。なお、本実施形態ではウエハＷの直径は３００ｍｍである。第１高周波電源の高周波パワーを０Ｗ（比較例），２００Ｗ（実施例１），５００Ｗ（実施例２）に変更する３条件と、処理室内の圧力を１Ｔｏｒｒ，５Ｔｏｒｒ，９Ｔｏｒｒに変更する３条件との組み合わせにより、合計９通りの実験を行った。また、高周波パワーの単位Ｗ／ｃｍ２は単位面積当たり（ｃｍ２）に印加されるパワー（Ｗ）として換算した値を表示している。
プラズマ処理装置Ａ
ギャップＧＡＰ                          ３５ｍｍ
高周波の印加方式                下部２周波
第２高周波電源の高周波（ＨＦ）  １００ＭＨｚ
第２高周波電源の高周波パワー    １０００Ｗ（１．４１５Ｗ／ｃｍ２）
第１高周波電源の高周波（ＬＦ）  ３．２ＭＨｚ
第１高周波電源の高周波パワー    比較例  ：０Ｗ／ｃｍ２
実施例１：２００Ｗ（０．２８Ｗ／ｃｍ２）
実施例２：５００Ｗ（０．７１Ｗ／ｃｍ２）
ガス種                          Ｏ２（処理室密閉）
伝熱ガス                        Ｈｅ  ２０Ｔｏｒｒ
圧力                            ３条件：１，５，９Ｔｏｒｒ
なお、処理室密閉とは、酸素ガスＯ２を処理室内に充填させ、処理室内が所定の圧力に達したらＡＰＣ（Ａｕｔｏ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ：自動圧力制御装置）を閉じ、ガスを密閉状態とする。このようにしてガスを密閉状態とした後、フォトレジスト層のエッチングを行った。
【００６３】
以上のプロセス条件において、エッチング処理を行う。比較例では、プラズマ中のイオンを引き込むための第１の高周波パワーＬＦは印加しない。よって、比較例では、イオンはエッチングに積極的に寄与せず、エッチングは主にラジカルのみによって促進される従来の方法と同じである。
【００６４】
一方、実施例１では、０．２８（Ｗ／ｃｍ２）の第１の高周波パワーＬＦを下部電極に印加する。また、実施例２では、０．７１（Ｗ／ｃｍ２）の第１の高周波パワーＬＦを下部電極に印加する。よって、実施例１及び実施例２では、エッチングにはラジカルとイオンによって促進される。高圧雰囲気の下、実施例１及び実施例２では、イオンは水平方向のエッチングに積極的に寄与すると予測される。
【００６５】
図８の実験結果を参照すると、５Ｔｏｒｒ及び９Ｔｏｒｒの場合、実施例１及び実施例２のフォトレジスト層トリミング比率は、比較例のフォトレジスト層トリミング比率と同じ、又はそれ以上となっている。具体的には、５Ｔｏｒｒの場合の実施例２のフォトレジスト層トリミング比率は、比較例のフォトレジスト層トリミング比率と同じであるが、５Ｔｏｒｒの場合の実施例１のフォトレジスト層トリミング比率及び９Ｔｏｒｒの場合の実施例１及び実施例２のフォトレジスト層トリミング比率は、比較例のフォトレジスト層トリミング比率より大きくなっている。特に、９Ｔｏｒｒの場合の実施例１のフォトレジスト層トリミング比率は、比較例のフォトレジスト層トリミング比率の２倍程度になっている。
【００６６】
このように、圧力を１，５，９Ｔｏｒｒと３条件で実験したところ、高圧になるほど、及び第１の高周波パワーＬＦを印加したほうがフォトレジスト層トリミング比率が上昇していることが分かる。以上から、プラズマ処理装置Ａを用いた場合であって、処理室内の圧力が５Ｔｏｒｒより大きく、バイアス用の第１の高周波パワーＬＦが０．２８〜０．７１（Ｗ／ｃｍ２）の場合、プラズマ中のイオンが水平方向のエッチングに効果的に関与していることが証明された。
（プラズマ処理装置Ｂの場合の水平方向のエッチング（第２の工程）の実験結果）
次に、図９のギャップＧＡＰが広い上下部電力印加のプラズマ処理装置Ｂの場合の実験結果について説明する。水平方向のエッチング（第２の工程）のフォトレジスト層をエッチングする具体的なプロセス条件は次の通りである。第１高周波電源の高周波パワーを０Ｗ（比較例），２００Ｗ（実施例１），５００Ｗ（実施例２）に変更する３条件と、処理室内の圧力を０．１Ｔｏｒｒ，０．５Ｔｏｒｒ，１Ｔｏｒｒ，５Ｔｏｒｒに変更する４条件との組み合わせにより、合計１２通りの実験を行った。
プラズマ処理装置Ｂ
ギャップＧＡＰ                          ８７ｍｍ
高周波の印加方式                上下部２周波
第２高周波電源の高周波（ＨＦ）  ６０ＭＨｚ
第２高周波電源の高周波パワー    １０００Ｗ（１．４１５Ｗ／ｃｍ２）
第１高周波電源の高周波（ＬＦ）  １３．５６ＭＨｚ
第１高周波電源の高周波パワー    比較例  ：０Ｗ／ｃｍ２
実施例１：２００Ｗ（０．２８Ｗ／ｃｍ２）
実施例２：５００Ｗ（０．７１Ｗ／ｃｍ２）
ガス種                          Ｏ２（処理室密閉）
伝熱ガス                        Ｈｅ  ２０Ｔｏｒｒ
圧力                            ４条件：０．１，０．５，１，５Ｔｏｒｒ
以上のプロセス条件において、エッチング処理を行う。比較例では、プラズマ中のイオンを引き込むための第１の高周波パワーＬＦは印加しない。よって、比較例では、イオンはエッチングに積極的に寄与せず、エッチングは主にラジカルのみによって促進される従来の方法と同じである。
【００６７】
一方、実施例１では、０．２８（Ｗ／ｃｍ２）の第１の高周波パワーＬＦを下部電極に印加する。また、実施例２では、０．７１（Ｗ／ｃｍ２）の第１の高周波パワーＬＦを下部電極に印加する。よって、実施例１及び実施例２では、エッチングには主にラジカルとイオンが関与する。高圧雰囲気の下、実施例１及び実施例２では、イオンは水平方向のエッチングに積極的に寄与すると予測される。
【００６８】
ところが、図９の実験結果を参照すると、高圧方向に向かってフォトレジスト層トリミング比率が顕著に大きくなる傾向は見受けられない。また、第１高周波電源の高周波パワーが０Ｗの場合は水平方向のエッチングレートが最も高い０．１Ｔｏｒｒの場合でも２０ｎｍ／ｍｉｎとほとんど水平方向のエッチングができないことがわかる。
【００６９】
図８及び図９の実験結果をグラフ化して比較したものを図１０に示す。図１０のプラズマ処理装置Ａは、図８で示したプロセス条件によってエッチングを実行する半導体製造装置であり、図１０のプラズマ処理装置Ｂは、図９で示したプロセス条件によってエッチングを実行する半導体製造装置である。
【００７０】
これによれば、プラズマ処理装置Ａでは、バイアス用の高周波電力ＬＦを印加した実施例１及び実施例２の場合であって圧力を９Ｔｏｒｒに設定した場合、フォトレジスト層トリミング比率は比較例に比べて顕著に大きくなる。つまり、バイアス用の高周波電力ＬＦを印加した実施例１及び実施例２の場合であって圧力を高圧に設定した場合、フォトレジスト層トリミング比率が顕著に高くなっていることがわかる。
【００７１】
一方、プラズマ処理装置Ｂでは、バイアス用の高周波電力ＬＦを印加した実施例１及び実施例２の場合であって圧力を５Ｔｏｒｒに設定した場合、プラズマ処理装置Ａの場合に比べてフォトレジスト層トリミング比率はさほど大きくなっていない。つまり、バイアス用の高周波電力ＬＦを印加した実施例１及び実施例２の場合であって圧力を高圧に設定した場合、低圧に設定した場合に比べて水平方向のエッチングはやや低下してしまい、かつ水平方向のエッチングレートも微増であることがわかる。図１０のフォトレジスト層トリミング比率を見ると、５Ｔｏｒｒの場合であって５００Ｗのバイアス用高周波パワーＬＦを印加した場合のプラズマ処理装置Ａのフォトレジスト層トリミング比率は、０．６より大きい。一方、５Ｔｏｒｒの場合であって５００Ｗのバイアス用高周波パワーＬＦを印加した場合のプラズマ処理装置Ｂのフォトレジスト層トリミング比率は、０．４より小さい。よって、この場合、プラズマ処理装置Ａのフォトレジスト層トリミング比率は、プラズマ処理装置Ｂのフォトレジスト層トリミング比率の１．５倍程度となっている。更に、９Ｔｏｒｒの場合であって５００Ｗのバイアス用高周波パワーＬＦを印加した場合のプラズマ処理装置Ａのフォトレジスト層トリミング比率は、５Ｔｏｒｒの場合のプラズマ処理装置Ｂのフォトレジスト層トリミング比率の２倍程度となっている。
（上部電極と下部電極の電極間隔（ギャップＧＡＰ）の大きさ）
プラズマ処理装置Ｂは、プラズマ処理装置Ａよりギャップが広い。また、プラズマ処理装置Ｂでは、プラズマ生成用の高周波は上部電極に印加されるため、上部電極の近傍にてプラズマが生成される。一方、プラズマ処理装置Ａでは、プラズマ生成用の高周波は下部電極に印加されるため、下部電極の近傍にてプラズマが生成される。よって、プラズマ処理装置Ｂでは、プラズマ中のイオンが基板まで到達するまでの移動距離が長い。よって、プラズマ処理装置Ｂの場合、プラズマ中のイオンが、基板まで飛来する間に多数のガスとの衝突が生じ、イオンエネルギーのほとんどが失われてしまう。
【００７２】
一方、プラズマ処理装置Ａでは、プラズマ中のイオンが基板まで到達するまでの移動距離が短い。よって、プラズマ処理装置Ａの場合、プラズマ中のイオンが基板まで飛来する間にガスと衝突する確率はプラズマ処理装置Ｂの場合より少ない。よって、イオンエネルギーがそれほど失われていない状態で基板まで到達する。
【００７３】
そのため、ギャップが広いプラズマ処理装置Ｂでは、ギャップが狭いプラズマ処理装置Ａに比べて、バイアス用の高周波パワーを印加し、かつ数Ｔｏｒｒの高圧にプロセス条件を設定したにもかかわらず、水平方向のエッチングは促進されず、水平方向のエッチングレートも高くならなかったと考察される。以上から、フォトレジスト層トリミング比率を向上させるためには、上部電極と下部電極とのギャップは２０ｍｍ〜４０ｍｍであることが好ましく、プラズマ生成用の高周波は下部電極に印加することが好ましいことがわかる。
（ＩＣＰ（誘導結合型）プラズマ処理装置）
ＩＣＰプラズマ処理装置の場合（図示せず）、装置の構造上ギャップが狭いとプラズマの均一性が悪くなる。具体的には、ＩＣＰプラズマ処理装置では、チャンバの外部にコイルが配置され、コイルの下方に位置するチャンバ天井面の一部に誘電窓が形成されている。コイルから発せられた電磁波は、誘電窓を透過しチャンバ内に導入される。導入された電磁波の強度分布はコイルの形状とほぼ同じようなパターンを持つ。よって、チャンバ内のプラズマには、強度が高い電磁波のパターンに応じて円形状にプラズマ密度が高くなる部分が生じる。このプラズマの均一性の悪さを抑制するためには、ギャップを広く取ってプラズマを拡散させる必要がある。よって、ＩＣＰプラズマ処理装置では、装置の構造上、ギャップを広くとる構造にしなければ微細加工の面内均一性を図れない。
【００７４】
以上から、ＩＣＰプラズマ処理装置の場合、プラズマ処理装置Ｂの場合と同様に、圧力を数Ｔｏｒｒ程度の高圧に設定したとしても、生成されたプラズマから基板までの距離が長いため、プラズマ中のイオンが、基板まで飛来する間に多数のガスと衝突し、イオンエネルギーのほとんどが失われてしまう。このため、水平方向のエッチングは促進されず、水平方向のエッチングレートも高くならない。
【００７５】
［効果］
以上に説明したように、本実施形態では、次のプロセス条件（１）〜（５）をすべて満たした状態で、多層膜上に形成されたフォトレジスト層ＰＲをエッチングする。
（１）上部電極と下部電極とのギャップが２０ｍｍ〜４０ｍｍの平行平板型プラズマ処理装置（ＣＣＰプラズマ処理装置）を使用してエッチングを行う。
（２）下部電極にプラズマ生成用の高周波電力（ＨＦ）を印加する。
（３）プラズマ中のイオンの散乱角度が１５度以上７５度以下になるように処理室内の圧力を６Ｔｏｒｒ以上３０Ｔｏｒｒ以下にする。
（４）下部電極にバイアス用の高周波電力（ＬＦ）を印加する。０．２８（Ｗ／ｃｍ２）〜０．７１（Ｗ／ｃｍ２）の高周波電力を印加することが好ましい。
【００７６】
これによれば、フォトレジスト層トリミング比率を高め、かつ水平方向のエッチングレートを高めることができる。よって、第２の工程において、所望のエッチング速度で、フォトレジスト層の水平方向の面積を狭めるように水平方向にフォトレジスト層ＰＲをエッチングすることができる。これにより、スループットを向上させることができる。また、多層膜を段階形状にエッチングする途中で、フォトレジスト層ＰＲがなくなることを防ぐことができる。
【００７７】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００７８】
例えば、上記実施形態の第２の工程では、処理ガスとしてＯ２（処理室密閉）が用いられたが、本発明はこれに限らず、Ｏ２、Ｈ２、Ｎ２、ＣＯ、ＣＯ２の中から少なくとも１つ選択されたガスを使用することができる。また、上記実施形態の第２の工程では、便宜上ガスを密閉状態としたが、ガスの供給方法は、通常通り所望のガスを所定のガス流量で流し続けても良い。
【００７９】
本発明においてプラズマ処理を施される被処理体は、半導体ウエハに限られず、例えば、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）用の大型基板、ＥＬ素子又は太陽電池用の基板であってもよい。
【符号の説明】
【００８０】
１０        プラズマ処理装置
１１        チャンバ
１２        載置台（下部電極）
３１        第１高周波電源（バイアス用）
３２        第２高周波電源（プラズマ生成用）
３８        シャワーヘッド（上部電極）
６２        ガス供給源
８０        制御装置
１１０      第１の膜
１２０      第２の膜
ＰＲ        フォトレジスト層
【図１】
0005912637.tif 000002
【図２】
0005912637.tif 000003
【図３】
0005912637.tif 000004
【図４】
0005912637.tif 000005
【図５】
0005912637.tif 000006
【図６】
0005912637.tif 000007
【図７】
0005912637.tif 000008
【図１０】
0005912637.tif 000009
【図８】
0005912637.tif 000010
【図９】
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