(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力増幅器の複数の目標状態に対する複数の電力レベルを示す電力信号を生成するように構成されている電力制御モジュールと、
前記電力増幅器の前記複数の目標状態に対する複数の周波数を示す周波数信号を生成するように構成されている周波数制御モジュールと、
（ｉ）前記電力増幅器に出力信号を供給し、（ｉｉ）前記電力増幅器の前記複数の目標状態のうちの１つに対する最新の電力レベルおよび最新の周波数のうちの少なくとも一方をリコールし、（ｉｉｉ）前記電力増幅器の前記電力信号と、前記周波数信号と、前記最新の電力レベルと前記最新の周波数のうちの少なくとも一方とに基づいて、前記出力信号の現在の電力レベルおよび現在の周波数を第１の状態から第２の状態に調整するように構成されているパルス生成モジュールと、を備える無線周波数生成器。
【請求項２】
前記パルス生成モジュールが、（ｉ）前記最新の電力レベルと前記最新の周波数の両方をリコールし、（ｉｉ）前記最新の電力レベルおよび前記最新の周波数の両方に基づいて前記出力信号を調整するように構成されている、請求項１に記載の無線周波数生成器。
【請求項３】
前記パルス生成モジュールが、（ｉ）前記電力制御モジュールに前記最新の電力レベルを、（ｉｉ）前記周波数制御モジュールに前記最新の周波数を提供するように構成されており、
前記電力制御モジュールが、前記最新の電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するように構成されており、
前記周波数制御モジュールが、前記最新の周波数に基づいて前記周波数信号を生成するように構成されている、請求項１に記載の無線周波数生成器。
【請求項４】
前記パルス生成モジュールが、前記電力増幅器の単一パルス時に、前記電力信号と、前記周波数信号と、前記最新の電力レベルと、前記最新の周波数とに基づいて、前記現在の電力レベルおよび前記現在の周波数の両方を調整するように構成されている、請求項１に記載の無線周波数生成器。
【請求項５】
前記パルス生成モジュールが、前記電力信号と、前記周波数信号と、前記最新の電力レベルと前記最新の周波数とに基づいて、前記電力増幅器の複数の連続パルスの各々の複数の電力レベルおよび複数の周波数を調整するように構成されている、請求項１に記載の無線周波数生成器。
【請求項６】
前記パルス生成モジュールが、（ｉ）前記現在の電力レベルおよび前記現在の周波数を調整した後所定期間待機し、（ｉｉ）前記所定期間の終了に応答して、前記電力増幅器の更新電力レベルおよび更新周波数を記憶し、（ｉｉｉ）前記更新電力レベルを前記電力制御モジュールに、かつ前記更新周波数を前記周波数制御モジュールに提供するように構成されており、
前記電力制御モジュールが、前記更新電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するように構成されており、
前記周波数制御モジュールが、前記更新周波数に基づいて前記周波数信号を生成するように構成されている、請求項１に記載の無線周波数生成器。
【請求項７】
前記パルス生成モジュールが、前記複数の目標状態の各々についての複数の更新電力レベルおよび複数の更新周波数を記憶するように構成されている、請求項１に記載の無線周波数生成器。
【請求項８】
前記電力増幅器と複数のセンサとをさらに備えており、
前記電力増幅器が、前記出力信号を受信するように構成されており、
前記複数のセンサが、前記複数の目標状態の各々に対して、前記電力増幅器の電力アウトの複数の電力レベルを検出するように構成されており、
前記周波数制御モジュールが、複数の現在のパルス状態の複数の表示に基づいて、前記電力増幅器の前記電力アウトの複数の周波数を検出するように構成されており、
前記パルス生成モジュールが、前記複数の目標状態に対して、検出された前記複数の電力レベルおよび複数の周波数を複数の最新の電力レベルおよび複数の周波数として記憶するように構成されている、請求項１に記載の無線周波数生成器。
【請求項９】
前記電力増幅器の前記電力アウトの検出された前記複数の電力レベルおよび複数の周波数が、前記電力増幅器の負荷のインピーダンスの複数の変化に基づいており、
前記電力制御モジュールが、検出された前記複数の電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するように構成されており、
前記周波数制御モジュールが、検出された前記複数の周波数に基づいて、前記周波数信号を生成するように構成されている、請求項８に記載の無線周波数生成器。
【請求項１０】
前記出力信号が前記第１の状態から前記第２の状態に遷移中に、
前記電力制御モジュールが、前記電力信号を漸増的に調整して、前記現在の電力レベルを前記第２の状態の目標電力レベルに調整するように構成されているか、
前記パルス生成モジュールが、前記現在の電力レベルを前記第２の状態の目標電力レベルに漸増的に調整するかの少なくとも一方である、請求項１に記載の無線周波数生成器。
【請求項１１】
前記出力信号が前記第１の状態から前記第２の状態に遷移中に、
前記周波数制御モジュールが、前記周波数信号を漸増的に調整して、前記現在の周波数を前記第２の状態の目標周波数に調整するように構成されているか、
前記パルス生成モジュールが、前記目標周波数を前記第２の状態の前記目標周波数に漸増的に調整するかの少なくとも一方である、請求項１に記載の無線周波数生成器。
【請求項１２】
無線周波数生成器における電力増幅器の複数の目標状態の複数の電力レベルを示す電力信号を生成するステップと、
前記電力増幅器の前記複数の目標状態の複数の周波数を示す周波数信号を生成するステップと、
出力信号を前記電力増幅器に供給するステップと、
前記電力増幅器の前記複数の目標状態のうちの１つに対する最新の電力レベルおよび最新の周波数の少なくとも一方をリコールするステップと、
前記電力信号と、前記周波数信号と、前記電力増幅器の前記最新の電力レベルおよび前記最新の周波数の少なくとも一方とに基づいて、前記出力信号の現在の電力レベルおよび現在の周波数を第１の状態から第２の状態に調整するステップとを備える方法。
【請求項１３】
前記最新の電力レベルおよび前記最新の周波数の両方をリコールするステップと、
前記最新の電力レベルおよび前記最新の周波数の両方に基づいて前記出力信号を調整するステップとをさらに備える、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
（ｉ）電力制御モジュールに前記最新の電力レベルを、かつ（ｉｉ）周波数制御モジュールに前記最新の周波数を提供するステップをさらに備えており、
前記電力制御モジュールが、前記最新の電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するように構成されており、
前記周波数制御モジュールが、前記最新の周波数に基づいて前記周波数信号を生成するように構成されている、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記電力増幅器の単一パルス時に、前記電力信号と、前記周波数信号と、前記最新の電力レベルと、前記最新の周波数とに基づいて、前記現在の電力レベルおよび前記現在の周波数の両方を調整するステップをさらに備える、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
前記電力信号と、前記周波数信号と、前記最新の電力レベルと、前記最新の周波数とに基づいて、前記電力増幅器の複数の連続パルスの各々の複数の電力レベルおよび複数の周波数を調整するステップをさらに備える、請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
前記現在の電力レベルおよび前記現在の周波数を調整した後所定期間待機するステップと、
前記所定期間の終了に応答して、前記電力増幅器の更新電力レベルおよび更新周波数を記憶するステップと、
前記更新電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するステップと、
前記更新周波数に基づいて前記周波数信号を生成するステップと、を備える請求項１２に記載の方法。
【請求項１８】
前記複数の目標状態の各々についての複数の更新電力レベルおよび複数の更新周波数を記憶するステップをさらに備える、請求項１２に記載の方法。
【請求項１９】
前記電力増幅器によって前記出力信号を受信するステップと、
複数のセンサによって前記複数の目標状態の各々に対して前記電力増幅器の電力アウトの複数の電力レベルを検出するステップであって、前記電力増幅器の前記電力アウトの検出された前記複数の電力レベルが、前記電力増幅器の負荷のインピーダンスの複数の変化に基づいているステップと、
複数の現在のパルス状態の複数の表示に基づいて前記電力増幅器の前記電力アウトの複数の周波数を検出するステップと、
検出された前記複数の電力レベルおよび複数の周波数を、前記複数の目標状態の複数の最新電力レベルおよび複数の周波数として記憶するステップと、
検出された前記複数の電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するステップと、
検出された前記複数の周波数に基づいて前記周波数信号を生成するステップと、をさらに備える請求項１２に記載の方法。
【請求項２０】
前記出力信号が前記第１の状態から前記第２の状態に遷移中に、
前記電力信号を漸増的に調整して、前記現在の電力レベルを前記第２の状態の目標電力レベルに調整し、
前記現在の電力レベルを前記第２の状態の目標電力レベルに漸増的に調整し、
前記周波数信号を漸増的に調整して、前記現在の周波数を前記第２の状態の目標周波数に調整し、
前記目標周波数を前記第２の状態の前記目標周波数に漸増的に調整する、請求項１２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、２０１２年３月２３日に出願された米国仮特許出願第６１／６１５，０６３号の優先権を主張するものである。上記出願の開示全体が参照により本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本開示は、無線周波数（ＲＦ）生成器、より具体的には、ＲＦ生成器の電力および周波数のチューニング制御に関する。
【背景技術】
【０００３】
本明細書に提供されている背景に関する説明は、本開示のコンテクストを概説するためのものである。本節に説明されている限りにおいての現在の発明者らの研究、ならびに、出願時の従来技術と認定できない記述に関する複数の態様は、本開示に対する従来技術として、明示または黙示を問わず認められるものではない。
【０００４】
プラズマエッチングは半導体製造において頻繁に使用される。プラズマエッチングにおいては、イオンが電界によって加速されて、基板上の暴露表面をエッチングする。この電界は、ＲＦ電力システムの１つ以上の無線周波数（ＲＦ）生成器によって生成された複数のＲＦ電力信号に基づいて生成される。複数のＲＦ生成器によって生成された複数のＲＦ電力信号は、プラズマエッチングを効果的に実行するために正確に制御されなければならない。
【０００５】
プラズマチャンバなどのＲＦ電力システムは、ＲＦ生成器と、整合ネットワークと、負荷とを含むことができる。複数のＲＦ電力信号は、負荷を駆動して、集積回路、ソーラーパネル、コンパクトディスク（ＣＤ）、ディジタル多用途（またはビデオ）ディスク（ＤＶＤ）などの種々のコンポーネントを製造するために使用可能である。この負荷は、非制限的例としてプラズマチャンバを含む、ＲＦ信号によって駆動される多数の要素や装置のうちのいずれかを含んでもよい。この負荷は、広帯域不整合負荷（つまり、不整合抵抗終端のケーブル）と、狭帯域不整合負荷（つまり、２要素整合ネットワーク）と、共鳴負荷とを含むことができる。
【０００６】
複数のＲＦ電力信号は整合ネットワークで受信される。整合ネットワークは整合ネットワークの入力インピーダンスを、ＲＦ生成器と整合ネットワーク間の送信ラインの特徴インピーダンスに整合させる。このインピーダンスの整合は、プラズマチャンバに対してフォワード方向の整合ネットワークに印加され（「フォワード電力」）、かつ整合ネットワークからＲＦ生成器に反射し返される（「リバース電力」）電力量を最小化するためのものである。インピーダンス整合はまた、整合ネットワークからプラズマチャンバに出力されるフォワード電力を最大化する助けとなる。
【０００７】
ＲＦ電源フィールドにおいて、ＲＦ信号を負荷に印加するためには通常２つのアプローチがある。第１の従来のアプローチは、連続波信号を負荷に印加することである。この連続波信号は通常、電源によって負荷に連続的に出力される正弦波である。連続波のアプローチにおいては、ＲＦ信号は正弦出力を想定しており、正弦波の振幅および／または周波数は、負荷に印加される出力電力を変えるために変更可能である。ＲＦ信号を負荷に印加するための第２のアプローチは、連続波信号を負荷に印加するのではなく、ＲＦ信号のパルス化を伴う。
【発明の概要】
【０００８】
無線周波数生成器が提供され、電力制御モジュールと、周波数制御モジュールと、パルス生成モジュールとを含む。該電力制御モジュールは、電力増幅器の複数の目標状態に対する複数の電力レベルを示す電力信号を生成するように構成されている。該周波数制御モジュールは、該電力増幅器の該複数の目標状態に対する複数の周波数を示す周波数信号を生成するように構成されている。該パルス生成モジュールは、（ｉ）該電力増幅器に出力信号を供給し、（ｉｉ）該電力増幅器の該複数の目標状態のうちの１つに対する最新の電力レベルまたは最新の周波数の少なくとも一方をリコールし、（ｉｉｉ）該電力信号と、該周波数信号と、該電力増幅器の該最新の電力レベルと該最新の周波数の少なくとも一方とに基づいて、該出力信号の現在の電力レベルおよび現在の周波数を第１の状態から第２の状態に調整するように構成されている。
【０００９】
他の特徴において、無線周波数生成器において電力増幅器の複数の目標状態に対する複数の電力レベルを示す電力信号を生成することを含む方法が提供される。該電力増幅器の該複数の目標状態に対する複数の周波数を示す周波数信号が生成される。出力信号が該電力増幅器に供給される。最新の電力レベルと最新の周波数の少なくとも一方が、該電力増幅器の該複数の目標状態のうちの１つに対してリコール（recall）される。該出力信号の現在の電力レベルおよび現在の周波数が、該電力信号と、該周波数信号と、該電力増幅器の該最新の電力レベルと該最新の周波数の少なくとも一方とに基づいて、第１の状態から第２の状態に調整される。
【００１０】
本開示のさらなる複数の適用可能分野は、詳細な説明、請求項および図面から明らかになる。詳細な説明および具体例は図示目的にすぎず、本開示の範囲を制限する意図はない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
本開示は、詳細な説明および添付の図面からより完全に理解される。
【図１】図１は、本開示にしたがったＲＦ電力システムの機能ブロック図である。
【図２】図２は、本開示にしたがった複数のＲＦ生成器の機能ブロック図である。
【図３】図３は、パルス生成モジュール、電力増幅器、または本開示にしたがったＲＦ生成器の出力電力の複数の状態を示す電力信号図である。
【図４】図４は、本開示にしたがった電力制御方法を図示している。
【図５】図５は、本開示にしたがった周波数制御方法を図示している。
【図６】図６は、本開示にしたがった、パルス生成モジュールの状態制御方法を図示している。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
複数の図面において、類似および／または同一の要素を示すために参照番号が再度使用される場合がある。
【００１３】
ＲＦ生成器の電力アウト（「出力電力」）はパルス化されて、例えばＨＩＧＨ状態とＬＯＷ状態とを含んでもよい。ＨＩＧＨ状態はパルスのピーク電力レベル（または振幅）のことである。ＬＯＷ状態は、パルスの最小電力レベルおよび／または複数の連続パルス間の電力レベルのことである。本例は２つの状態（ＨＩＧＨおよびＬＯＷ）を提供しているが、ＲＦ生成器の出力電力はｎ個の異なる状態を有することもあり、この場合ｎは２以上の整数である。出力電力の複数のパルスは、出力電力および／または負荷インピーダンスにおいて複数の低周波数変化（所定の周波数未満の複数の周波数変化）にチューニングされたＲＦ周波数であってもよい。出力電力および／または負荷インピーダンスが変化するＲＦ周波数が増大すると、インピーダンス整合が生じるように出力電力のＲＦ周波数をチューニングする性能が制限される。
【００１４】
結果として、高周波数で生じる出力電力および負荷インピーダンスの変化については、出力電力の第１の（つまりＨＩＧＨ）状態は、所定の周波数に複数のパルスにわたってチューニングされた周波数であってもよい。第１の状態のＲＦ周波数が所定の周波数に整合すると、出力電力のＲＦ周波数は変化しないこともある。このことによってすべての状態に対するＲＦ周波数は同一になる。結果として、インピーダンス整合は第１の状態に対して良好であり、また他の複数の状態に対してオフ（正確ではない）のこともある。この代替例として、ＲＦ周波数チューニングを実行しないということもあり、これによってすべての状態がオフインピーダンス整合を潜在的に有するようになる。
【００１５】
ＲＦ周波数チューニングはゆっくりであり、次のパルス変化前に目標を達成できないこともある。このことは、インピーダンス整合またはパルスレートのいずれかを制限する可能性がある。以下の具現化は、出力電力の複数の離散状態を制御する複数のＲＦ生成器を含む。出力電力の電力およびＲＦ周波数は、段階的に（つまり、それぞれの電力セットポイントおよびＲＦ周波数セットポイントに基づいて）複数の離散状態間で遷移するように制御される。この制御は、複数の最新送出電力レベルおよび複数の対応する最新ＲＦ周波数のフィードバックに基づいて提供される。このフィードバック制御は、電力セットポイントおよび／または負荷インピーダンスの変化に迅速な応答時間を提供する出力電力のＲＦ周波数および複数の電力レベルの迅速な変化を見込んでいる。パルス化時には、本明細書に開示されている具現化は、（ｉ）複数の異なる電力レベルの反射電力（reflected power）を最小化し、（ｉｉ）負荷の変化に対する反射電力を最小化し、（ｉｉｉ）送出された出力電力の制御を増大させる。負荷の複数の変化は、例えば負荷のパルス化プラズマによることもある。
【００１６】
図１はＲＦ電力システム１０を示している。ＲＦ電力システム１０は、１つ以上のＲＦ生成器１２（ＲＦ生成器１−ｍが示されている）を含んでもよい。複数のＲＦ生成器１２は、交流（ＡＣ）電力を受信し、それぞれの送信ライン１６を介してＲＦ電力を整合ネットワーク１４に提供し、そして、送信ラインはＲＦ電力を負荷１８に提供する。例えば、ＡＣ電力は、およそ４８０ボルトＡＣ（ＶＡＣ）または別の適切な電圧の３相ＡＣ電力であってもよい。複数のＲＦ生成器１２の電力アウトは整合ネットワーク１４で結合されて、負荷１８に提供されてもよい。代替例として、整合ネットワークが複数のＲＦ生成器１２の各々に提供されてもよく、複数の整合ネットワークの複数の出力が結合されて、負荷１８に提供されてもよい。
【００１７】
複数のＲＦ生成器１２はそれぞれのパルス制御回路２０（パルス制御回路１−ｍが示されている）を含む。複数のパルス制御回路２０は出力電力を提供し、これは複数の送信ライン１６で整合ネットワーク１４に送信される。複数のＲＦ生成器１２の各々によって提供された出力電力は、連続波（ＣＷ）電力、パルス化電力または疑似ＣＷ電力であってもよい。ＣＷ電力は、例えば正弦信号の形態であってもよい。パルス化電力は、複数の異なる周波数および／または複数の電力レベルと、対応するパルス周波数（または、複数の状態間でパルス化電力が変化する周波数）とを有する複数の離散パルスを含んでもよい。疑似ＣＷ電力は複数の離散パルスを含んでもよく、この場合各パルスは同一の電力レベルを有している。
【００１８】
ＲＦ生成器の複数の電力セットポイントは、疑似ＣＷモード時には同一であってもよいが、複数のＲＦ周波数は異なってもよく、かつ／または、他の複数のＲＦ生成器の複数の同一パルス周波数を有するように変調されてもよい。一例として、複数のＲＦ生成器１２のうちの１つ以上が、（バイモーダル（bimodal）モードで動作すると称される）振幅およびＲＦ周波数が変化するパルス化出力電力信号を提供してもよい。他の複数のＲＦ生成器１２のうちの１つ以上が、（疑似ＣＷモードで動作すると称される）パルス化出力電力信号の周波数と同じパルス周波数を有する疑似ＣＷ電力信号を提供してもよい。これによって、疑似ＣＷ電力信号のパルス周波数は、常にパルス化出力電力信号のパルス化周波数を整合させることができる。バイモーダルモードおよび／または疑似ＣＷモードで動作する複数のＲＦ生成器１２の各々は、複数のＲＦ生成器１２のそれぞれの電力増幅器の同一または異なる複数の所定の状態および／または複数の検出ＲＦ出力に基づいて、複数のＲＦ出力信号を生成してもよい。
【００１９】
整合ネットワーク１４は整合ネットワーク１４の入力インピーダンスを複数の送信ライン１６の複数の特徴インピーダンスに整合させる。言い換えると、整合ネットワーク１４は負荷１８のインピーダンスを、複数のＲＦ生成器１２の複数の出力によって見られるような複数のインピーダンスに整合させる。整合ネットワーク１４および負荷１８は、複数のＲＦ生成器１２の負荷とみなされてもよい。負荷１８は、例えば、プラズマチャンバや他のＲＦ負荷であってもよい。負荷１８のインピーダンスは静的（つまり経時的に変化しない）であっても、動的（つまり経時的に変化する）であってもよい。
【００２０】
複数のＲＦ生成器１２の各々が、単一のＲＦ出力を有するものとして示されているが、複数のＲＦ生成器１２の各々は多数のＲＦ出力を有することもある。例えば、複数のＲＦ生成器１２は、負荷１８の１つ以上のプラズマチャンバで具現化されるプラズマ電極ごとにＲＦ出力を生成してもよい。複数のＲＦ生成器１２のうちの１つ以上が整合ネットワーク１４を制御してもよい。より具体的には、複数のＲＦ生成器１２は、整合ネットワーク１４がインピーダンス整合を実行する程度を制御してもよい。整合ネットワーク１４は、それぞれ負荷１８内に実行される複数のプラズマ電極に複数のＲＦ出力を印加してもよい。複数のプラズマ電極への複数のＲＦ出力の印加は、例えば、複数の薄膜堆積システム、複数の薄膜エッチングシステムおよび他の複数の適切なシステムにおいて実行可能である。複数のＲＦ出力はまた、他の複数の適切なシステムに印加されてもよい。
【００２１】
次に、（ＲＦ生成モジュールと称されてもよい）複数のＲＦ生成器３０、３２を示す図２を参照する。複数のＲＦ生成器３０、３２は、図１の複数のＲＦ生成器１２のうちの２つと置換されてもよい。複数のＲＦ生成器３０、３２はＲＦ出力電力を提供し、これは、整合ネットワーク（例えば、整合ネットワーク１４）に提供されてもよい。複数のＲＦ生成器３０、３２は、それぞれのソース回路３４、３６と、パルス制御回路３８、４０と、電力増幅器４２、４４と、センサ４６、４８とを含んでもよい。複数のソース回路３４、３６は複数のパルスパターンを生成し、これらは複数のパルス制御回路３８、４０に提供される。複数のパルス制御回路３８、４０は、複数のパルス制御回路３８、４０および／または複数の電力増幅器４２、４４によって提供された複数のＲＦ出力の複数のＲＦおよびパルス周波数と複数の電力レベルとを制御する。複数のセンサ４６、４８は、複数の電力増幅器４２、４４の複数のＲＦ周波数および複数のＲＦ出力を検出する、および／または検出するために使用される。
【００２２】
複数のソース回路３４、３６は、パルスパターンモジュール５０、５２と、スレーブパルスソースモジュール５４、５６と、マスターパルスソースモジュール５８、６０と、他のパルスソースモジュール６２、６４とを含んでもよい。複数のパルスパターンモジュール５０、５２は、パルスの大きさ、パルス時間、電力レベル、パルス幅（または期間）、パルス間の遅延、パルスパターンのデューティサイクル、ＲＦ周波数などを含む複数のパルスパターンを判断可能である。複数のパルスパターンは、これら複数のパラメータの各々の記憶値に基づいて生成されてもよい。複数のパルスパターンおよび／またはこれら複数のパラメータのうちのいずれかが、複数のパルスソースモジュール５４〜６４のうちの１つ以上に提供されてもよい。複数のパルスパターンは、現在の状態から次の状態に遷移するタイミングを示す。複数の状態の各々は、それぞれの大きさ、期間、ＲＦ周波数および電力レベルを有することができる。
【００２３】
複数のパルスソースモジュール５４〜６４は、複数のパルスパターンモジュール５０、５２の複数の出力に基づいて複数のパルス制御回路３８、４０に対する複数のパルスパターンを生成する。複数のパルスソースモジュール５４〜６４は、複数のパルス制御回路３８、４０および／または複数の電力増幅器４２、４４の複数の同期信号および／または複数の検出ＲＦ出力に基づいて複数のパルスパターンを生成してもよい。一例として、第１のＲＦ生成器３０はマスターとして動作可能であるのに対して、第２のＲＦ生成器３２はスレーブとして動作可能である。本例において、第２のＲＦ生成器３２のスレーブパルスソースモジュール５６は、示されているように、第１のＲＦ生成器のマスターパルスソースから同期信号を受信可能である。同期信号は、複数のパルス期間ではなく、第１のＲＦ生成器３０のマスターパルスソースモジュール５８によって生成されたパルスパターンの複数の電力レベルを示すことがある。第２のＲＦ生成器３２のスレーブパルスソースモジュール５６は、そして、第２のＲＦ生成器３２のパルスパターンモジュール５２の同期信号および出力に基づいてパルスパターンを生成してもよい。他の複数のパルスソースモジュール６２、６４は、複数のパルス制御回路３８、４０および／または複数の電力増幅器４２、４４の複数の同期信号および／または複数の検出ＲＦ出力に基づいて複数のパルスパターンを生成してもよい。
【００２４】
複数のパルス制御回路３８、４０は、それぞれのパルス制御モジュール７０、７２と、電力制御モジュール７４、７６と、周波数制御モジュール７８、８０と、電力セットポイントモジュール８２、８４と、パルス生成モジュール８６、８８とを含む。複数のパルス制御モジュール７０、７２はそれぞれ、（ｉ）複数のパルスソースモジュール５４〜６４の複数の出力から複数のパルスパターン信号と、（ｉｉ）フィードバックデータ信号ＤＡＴＡｐ＆ｆ１、ＤＡＴＡｐ＆ｆ２とを受信する。複数のフィードバックデータ信号ＤＡＴＡｐ＆ｆ１、ＤＡＴＡｐ＆ｆ２の各々は、それぞれの電力増幅器４２、４４の複数のＲＦ出力の１つ以上の更新電力レベルおよび１つ以上の更新ＲＦ周波数を含む。
【００２５】
複数のパルス制御モジュール７０、７２は、複数のパルス周波数を判断し、複数のパルスパターン信号および複数のフィードバックデータ信号ＤＡＴＡｐ＆ｆ１、ＤＡＴＡｐ＆ｆ２に基づいて複数の状態信号ＳＴＡＴＥ１、ＳＴＡＴＥ２と、複数の電力データ信号ＤＡＴＡｐ１、ＤＡＴＡｐ２と複数の周波数データ信号ＤＡＴＡｆ１、ＤＡＴＡｆ２とを生成する。複数のパルス周波数（例えば、１０〜１００ｋＨｚ）が、複数のパルス制御モジュール７０、７２と、複数のＲＦ電力生成器３０、３２のメモリとに記憶され、あるいは、入力装置（例えば、ユーザインタフェース）からの複数の入力として受信されてもよい。複数のパルス周波数は、それぞれのＲＦ周波数（例えば、１０〜２０ＭＨｚ）を有する複数のＲＦ生成器３０、３２のＲＦ出力電力を変調するために使用されてもよい。複数のパルス周波数は、ＲＦ出力電力が複数の状態間で変化する複数のレートのことである。ＲＦ出力電力の複数のＲＦ周波数は、複数の対応するパルス周波数の関数である。
【００２６】
複数の状態信号ＳＴＡＴＥ１、ＳＴＡＴＥ２は、例えば、数値によって次の状態を示す。複数の状態信号ＳＴＡＴＥ１、ＳＴＡＴＥ２は、ゼロ以上の整数であってもよい。一具現化において、複数の状態信号ＳＴＡＴＥ１、ＳＴＡＴＥ２は複数の状態値ｉを提供し、ここでｉは０〜ｎであり、ｎは状態の総数である。複数の電力データ信号ＤＡＴＡｐ１、ＤＡＴＡｐ２は、１つ以上の更新電力レベルを示すことができる。複数の周波数データ信号ＤＡＴＡｆ１、ＤＡＴＡｆ２は、複数の電力増幅器４２、４４のそれぞれのＲＦ出力の複数の更新ＲＦ周波数を示すことができる。
【００２７】
複数の電力制御モジュール７４、７６は、ｎ個の状態の各々に対する複数の電力レベルを示す複数の電力制御信号ＰＤｅｌｓ１、ＰＤｅｌｓ２を生成する。複数の電力制御モジュール７４、７６は、ｎ個の状態の各々に対して複数の電力増幅器４２、４４の複数のＲＦ出力の複数の所定の振幅を示す複数の出力を生成する。複数の電力制御モジュール７４、７６の複数の出力はまた、複数の状態間の遷移のタイミングを示している。複数の電力制御モジュール７４、７６は、複数の状態信号ＳＴＡＴＥ１、ＳＴＡＴＥ２と、複数の電力データ信号ＤＡＴＡｐ１、ＤＡＴＡｐ２と、複数のセットポイント信号ＳＥＴ１、ＳＥＴ２とを受信する。複数のセットポイント信号ＳＥＴ１、ＳＥＴ２は複数の電力セットポイントモジュール８２、８４から受信され、複数の電力制御モジュール７４、７６の各々に対する複数の所定の電力セットポイント（例えば、ＰＤｅｌ（ｉ））を示す。例えば、複数の電力セットポイントモジュール８２、８４は複数の所定の電力セットポイントＰＤｅｌ（ｉ）を記憶してもよい。複数の電力制御信号ＰＤｅｌｓ１、ＰＤｅｌｓ２はまた、複数の現在の状態と複数の目標状態間を遷移する際の複数の中間セットポイント間の複数の増分オフセットに対応する複数のステップサイズを含むことがある。複数のステップサイズは、複数のパルス生成モジュール８６、８８および／または複数の電力増幅器４２、４４の複数の現在のパルスと複数の目標パルス間の複数の遷移パルスの複数の振幅および／または複数の期間のことでもある。これによって、複数の電力増幅器４２、４４の複数の電力レベルは、複数のパルス生成モジュール８６、８８および／または複数の電力増幅器４２、４４の複数の目標状態の複数の目標電力レベルに経時的にチューニングされる。複数の電力制御モジュール７４、７６は、複数の状態信号ＳＴＡＴＥ１、ＳＴＡＴＥ２と、複数の電力データ信号ＤＡＴＡｐ１、ＤＡＴＡｐ２と、複数の所定の電力セットポイントとに基づいて複数の電力制御信号ＰＤｅｌｓ１、ＰＤｅｌｓ２を生成する。
【００２８】
複数の周波数制御モジュール７８、８０は、複数の状態信号ＳＴＡＴＥ１、ＳＴＡＴＥ２および複数の周波数データ信号ＤＡＴＡｆ１、ＤＡＴＡｆ２に基づいて、ｎ個の状態の各々に対して複数のＲＦ周波数セットポイントｆ（０）〜ｆ（ｎ）を含む複数の周波数制御信号ｆＤｅｌｓ１、ｆＤｅｌｓ２を生成する。複数の周波数制御モジュール７８、８０は、複数の電力セットポイントに対応する複数のＲＦ周波数セットポイントｆ（０）〜ｆ（ｎ）を記憶する。周波数制御信号または、複数の現在の状態と複数の目標状態間の遷移の際の複数の中間セットポイント間の複数の増分オフセットに対応する複数のステップサイズを含むことがある。周波数制御信号の複数のステップサイズは、複数のパルス生成モジュール８６、８８および／または複数の電力増幅器４２、４４の複数の現在のパルスと複数の目標パルス間に各遷移パルスを提供するためのＲＦ周波数の複数の変化のことでもある。これによって、複数の電力増幅器４２、４４の電力アウトの複数のＲＦ周波数は、複数のパルス生成モジュール８６、８８および／または複数の電力増幅器４２、４４の複数の目標状態の複数の目標ＲＦ周波数に経時的にチューニングされる。複数の電力制御モジュール７４、７６および／または複数の周波数制御モジュール８０、８２は各々、比例積分微分（ＰＩＤ）コントローラおよび／または直接ディジタル合成（ＤＤＳ）コンポーネント（複数）を含んでもよい。
【００２９】
複数のパルス生成モジュール８６、８８は、複数のパルス制御モジュール７０、７２と、複数の電力制御モジュール７４、７６と、複数の周波数制御モジュール７８、８０の複数の出力に基づいて、複数の所定のパルスを有する複数のＲＦ出力を生成する。複数のパルス生成モジュール８６、８８および複数の電力増幅器４２、４４は、それぞれの電源９０、９２から電力を受信可能である。複数の電源９０、９２は複数のＲＦ生成器３０、３２の一部として示されているが、複数の電源９０、９２は、複数のＲＦ生成器３０、３２の外側にあり、かつ単一の電源に一体化されてもよい。複数の電源９０、９２は、例えば、複数の直流（ＤＣ）電源であってもよい。複数の電源９０、９２は、複数のパルス生成モジュール８６、８８および／または複数の電力増幅器４２、４４に対してＡＣ入力電力を受信し、かつＤＣ電力を生成可能である。複数の電力増幅器４２、４４は、複数のパルス生成モジュール８６、８８の複数のＲＦ出力を増幅する。
【００３０】
複数のパルス生成モジュール８６、８８は、複数の電力増幅器４２、４４の複数のＲＦ出力の複数の更新電力レベルおよび複数の更新ＲＦ周波数を記憶する。複数の電力レベルは、複数のセンサ４６、４８によって検出され、かつ／または複数のセンサ４６、４８の複数の出力に基づいて判断され、かつ複数のパルス生成モジュール８６、８８にフィードバックされてもよい。複数のＲＦ周波数は、複数の周波数制御モジュール７８、８０によって判断されてもよい。複数のＲＦ周波数は複数の入力に基づいて判断されてもよい。第１の入力は、複数のパルス制御モジュール７０、７２によって判断され、かつここから受信されるような（パルス状態とも称される）複数の現在の状態の識別を含んでもよい。他の複数の入力は複数のセンサ４６、４８の複数の出力であってもよい。複数の周波数制御モジュールは、状態ごとに複数の最新周波数をリコール可能である。そして周波数制御モジュールは、複数のＲＦ周波数を選択して、状態ごとの反射電力（または反射率γ）を最小化してもよい。
【００３１】
複数の更新電力レベルおよび複数の更新ＲＦ周波数の記憶およびリコールは、複数の状態間の迅速な遷移を見込んでいる。複数のパルス生成モジュール８６、８８は、複数の電力制御信号ＰＤｅｌｓ１、ＰＤｅｌｓ２および複数の周波数制御信号ｆＤｅｌｓ１、ｆＤｅｌｓ２に基づいて複数のパルス生成モジュール８６、８８の複数のフィードバックデータ信号ＤＡＴＡｐ＆ｆ１、ＤＡＴＡｐ＆ｆ２および／または複数のＲＦ出力を生成可能である。複数の更新電力レベルおよび複数の更新ＲＦ周波数は、複数のフィードバックデータ信号ＤＡＴＡｐ＆ｆ１、ＤＡＴＡｐ＆ｆ２で示される。
【００３２】
複数のフィードバックループが提供される。複数の第１のフィードバックループは複数の更新電力レベルおよび複数の更新ＲＦ周波数の検出を含み、これらは複数のパルス生成モジュール８６、８８にフィードバックされる。複数の第２のフィードバックループは、複数のパルス生成モジュール８６、８８から複数のパルス制御モジュール７０、７２に複数の更新電力レベルおよび複数の更新ＲＦ周波数を提供することを含む。複数の第３のフィードバックループは、複数のセンサ４６、４８から複数の電力セットポイントモジュール８２、８４に複数のセンサ信号および／または複数の検出パラメータを提供することを含む。複数の電力セットポイントモジュール８２、８４は、複数のセンサ信号および／または複数の検出パラメータに基づいて複数の電力セットポイントを判断可能である。複数の第４のフィードバックループは、複数のセンサ４６、４８から複数の周波数制御モジュール７８、８０に複数のセンサ信号および／または複数の検出パラメータを提供することを含んでもよい。複数の周波数制御モジュール７８、８０は、複数のセンサ信号および／または複数の検出パラメータに基づいて複数のＲＦセットポイントを判断してもよい。
【００３３】
複数のセンサ４６、４８は、電圧、電流および／または複数の方向カプラセンサを含んでもよい。複数のセンサ４６、４８は、（ｉ）複数の電力増幅器４２、４４からの複数の電圧および複数の電流と、（ｉｉ）複数の電力増幅器２０および／または複数のＲＦ生成器３０、３２のフォワード（またはソース）電力アウトと、（ｉｉｉ）整合ネットワークから受信されたリバース（または反射）電力とを検出可能である。複数の電圧、複数の電流、フォワード電力およびリバース電力は、複数の電力増幅器４２、４４の複数のＲＦ出力の実際の複数の電圧、複数の電流、フォワード電力およびリバース電力のスケーリングおよび／またはフィルタリングされたバージョンであってもよい。複数のセンサ４６、４８は複数のアナログおよび／またはディジタルセンサであってもよい。ディジタル具現化において、複数のセンサ４６、４８は、複数のアナログ／ディジタル（Ａ／Ｄ）コンバータと、複数の対応するサンプリングレートの複数の信号サンプリングコンポーネントとを含んでもよい。複数のセンサ４６、４８は、複数の電力制御モジュール７４、７６、複数の周波数制御モジュール７８、８０および／または複数のパルス生成モジュール８６、８８によって受信された複数のセンサ信号を生成する。複数のセンサ信号は、複数の電圧と、複数の電流と、フォワード電力とリバース電力とを示してもよい。
【００３４】
図３は、パルス生成モジュール、電力増幅器および／またはＲＦ生成器（例えば、図１、２における複数のパルス生成モジュール８６、８８、複数の電力増幅器４２、４４および／または複数のＲＦ生成器１２、３０、３２のうちの１つ）の出力電力の複数のパルスおよび複数の対応する状態を図示する電力信号図を示している。パルス生成モジュール、電力増幅器および／またはＲＦ生成器は、ｎ個の離散状態を有する複数の出力を生成可能である。ｎ個の離散状態の各々は、関連ＲＦ周波数、期間、振幅およびデューティサイクルを有する。図３において、複数の例示的状態０〜６が示されている。複数の状態０〜６は、複数の異なるパルス幅（または期間）、複数の振幅、複数のデューティサイクル、複数のＲＦ周波数などを図示している。出力電力の複数の状態は、パルスおよび／または状態ごとに複数の振幅を含んでもよい。
【００３５】
一例として、パルス生成モジュール、電力増幅器またはＲＦ生成器は、現在の状態（状態０）から目標状態（状態１〜６のうちの１つまたは他の目標状態）に遷移可能である。複数の状態１〜６は複数の遷移状態（または中間状態）であってもよい。パルス生成モジュール、電力増幅器、またはＲＦ生成器は、１つ以上のパルスにわたって現在の状態から目標状態に遷移することもある。複数の遷移状態が含まれている場合、複数の所定のオフセットは、複数の遷移状態間で遷移するのに使用可能である。複数のオフセットは、振幅（または電力レベル）、ＲＦ周波数、パルス期間などの複数の変化を示すことが可能である。これら複数のオフセットは、ＲＦ生成器のパルス制御モジュール、電力制御モジュール、周波数制御モジュールおよび／またはパルス生成モジュール（例えば、図２のモジュール７０〜８８のうちの１つ以上）に記憶され、これらに提供され、かつ／またはこれらによって使用されてもよい。これら複数のモジュールの各々はそれぞれのオフセット値を有することもある。
【００３６】
例えば、パルス生成モジュールは、第１の状態から第２の状態への遷移時に複数の電力セットポイント（例えば、電力セットポイントＰＤｅｆ（０）〜ＰＤｅｌ（ｎ）のうちの２つ以上）間でパルス可能である。同様に、パルス生成モジュールは、複数のＲＦ周波数セットポイントｆ（０）〜ｆ（ｎ）の各々について異なるＲＦ電力セットポイントを維持する。パルス変化が生じると、ＲＦ電力とＲＦ周波数の両方が、第１の期間にわたって、電力およびＲＦ周波数のセットポイント間で徐々に変化することもある。
【００３７】
図４は電力制御方法を図示している。電力制御方法は、例えば、図２の複数のパルス制御モジュール７０、７２および／または複数の電力制御モジュール７４、７６のうちの１つ以上によって実行されてもよい。以下のタスクは主に図１〜２の複数の具現化および単一のＲＦ生成器の複数の特徴と関連して説明されるが、これら複数のタスクは、本開示の他の複数の具現化および複数のＲＦ生成器に適用するように容易に修正可能である。これら複数のタスクは反復して実行可能である。図４の方法は２００から開始してもよい。本方法において、並列する複数のタスクセットが実行される。各タスクセットはｎ個の状態のうちの１つに対応する。複数のタスクセットが平行して実行されるものとして示されているが、同一期間中および／または同時に、複数のタスクセットが順次および／または異なる順序で実行可能である。
【００３８】
２０２ａ−ｎにおいて、パルス制御モジュール７０および／または電力制御モジュール７４は、複数の更新電力レベルおよび／または複数の更新ＲＦ周波数が検出および記憶されているか否かを判断する。複数の更新電力レベルは、複数のセンサ４６によって検出されて、パルス生成モジュール８６、パルス制御モジュール７０および／または電力制御モジュール７４に記憶され、かつ／またはこれらによってアクセスされている場合もある。複数の更新ＲＦ周波数は、上述のように周波数制御モジュール７８によって判断されて、パルス生成モジュール８６、パルス制御モジュール７０および／または電力制御モジュール７４に記憶され、かつ／またはこれらによってアクセスされている場合もある。複数の更新電力レベルおよび／または複数の更新ＲＦ周波数は、フィードバックデータ信号ＤＡＴＡｐ＆ｆ１によって示されてもよい。複数の更新電力レベルが検出および記憶されている場合、複数のタスク２０４ａ−ｎが実行される。
【００３９】
２０４ａ−ｎにおいて、パルス制御モデル７０は、複数の更新電力レベルおよび複数の更新ＲＦ周波数と、１つ以上のパルスソースモジュール（例えば、複数のパルスソースモジュール５４、５８、６２のうちの１つ以上）の１つ以上の出力とに基づいて状態信号ＳＴＡＴＥ１および電力データ信号ＤＡＴＡｐ１を生成可能である。
【００４０】
２０６ａ−ｎにおいて、電力制御モジュール７４は、更新電力レベルデータを周波数制御モジュール７８に記憶および／または転送してもよい。複数のタスク２０６ａ−ｎは、データがパルス制御モジュール７０および／またはパルス生成モジュール８６から周波数制御モジュール７８に提供される場合には実行されなくてもよい。
【００４１】
２０８ａ−ｎにおいて、電力制御モジュール７４は、ｎ個の状態の各々について１つ以上の電力レベルを含むように電力制御信号ＰＤｅｌｓ１を生成する。電力制御モジュール７４は、状態信号ＳＴＡＴＥ１および更新電力データに基づいて電力制御信号ＰＤｅｌｓ１を生成する。この方法は、図示されているように、複数のタスク２０８ａ−ｎの後に終了しても、複数のタスク２０２ａ−ｎに戻ってもよい。
【００４２】
図５は周波数制御方法を図示している。この周波数制御方法は、例えば、図２における複数のパルス制御モジュール７０、７２および／または複数の周波数制御モジュール７８、８０のうちの１つ以上によって実行されてもよい。以下の複数のタスクは主に図１〜２の複数の具現化および単一のＲＦ生成器の複数の特徴に関連して説明されるが、これら複数のタスクは、本開示の他の複数の具現化および複数のＲＦ生成器に適用するように容易に修正可能である。これら複数のタスクは反復して実行可能である。図５の方法は２５０から開始してもよい。
【００４３】
２５２ａ−ｎにおいて、パルス制御モジュール７０および／または周波数制御モジュール７８は、複数の更新電力レベルおよび／または複数のＲＦ周波数が検出および記憶されているか否かを判断する。複数の更新電力レベルが複数のセンサ４６によって検出されて、パルス生成モジュール８６、パルス制御モジュール７０および／または周波数制御モジュール７８に記憶され、かつ／またはこれらによってアクセスされている場合もある。複数の更新ＲＦ周波数は、上記のように周波数制御モジュール７８によって判断されて、パルス生成モジュール８６、パルス制御モジュール７０および／または電力制御モジュール７４に記憶され、かつ／またはこれらによってアクセスされている場合もある。複数の更新電力レベルおよび／または複数の更新ＲＦ周波数はフィードバックデータ信号ＤＡＴＡｐ＆ｆ１に示されてもよい。複数の更新電力レベルが検出および記憶されている場合、複数のタスク２５４ａ−ｎが実行される。
【００４４】
２５４ａ−ｎにおいて、パルス制御モジュール７０は、複数の更新電力レベルおよび複数の更新ＲＦ周波数と、１つ以上のパルスソースモジュール（例えば、パルスソースモジュール５４、５８、６２のうちの１つ以上）の１つ以上の出力とに基づいて状態信号ＳＴＡＴＥ１および複数の周波数データ信号ＤＡＴＡｆ１を生成する。
【００４５】
２５６ａ−ｎにおいて、周波数制御モジュール７８は、更新周波数データを電力制御モジュール７４に記憶および／または転送してもよい。複数のタスク２５６ａ−ｎは、このデータがパルス制御モジュール７０および／またはパルス生成モジュール８６から電力制御モジュール７４に提供される場合には実行されなくてもよい。
【００４６】
２５８ａ−ｎにおいて、周波数制御モジュール７８は、ｎ個の状態の各々に対してＲＦ周波数を含むように周波数制御信号ｆＤｅｌｓ１を生成する。周波数制御モジュール７８は、状態信号ＳＴＡＴＥ１および更新周波数データに基づいて周波数制御信号ＰＤｅｌｓ１を生成する。この方法は、図示されているように、複数のタスク２５８ａ−ｎの後に終了しても、複数のタスク２５２ａ−ｎに戻ってもよい。
【００４７】
図６は状態制御方法を図示している。この状態制御方法は、例えば、図２の複数のパルス生成モジュール８６、８８のうちの１つ以上によって実行されてもよい。以下の複数のタスクは主に、図１〜２の複数の具現化および単一のＲＦ生成器の複数の特徴に関連して説明されるが、これら複数のタスクは、本開示の他の複数の具現化および複数のＲＦ生成器に適用するように容易に修正可能である。複数のタスクは反復して実行されてもよい。図６の方法は３００から開始してもよい。
【００４８】
３０２において、パルス制御モジュール７０は、現在の状態ｉ−１から次の状態ｉにスイッチングするか否かを判断してもよい。タスク３０４は、遷移が複数の状態間で実行される場合に実行可能である。
【００４９】
３０４において、パルス制御モジュール７０、電力制御モジュール７４、周波数制御モジュール７８および／またはパルス生成モジュール８６は、状態ｉの最新のＲＦ周波数ｆ（ｉ−１）および最新の電力レベルＰＤｅｌ（ｉ−１）をリコールする。この情報は、複数のモジュール７０、７４、７８、８６間で共有可能である。最新のＲＦ周波数ｆ（ｉ−１）および最新の電力レベルＰＤｅｌ（ｉ−１）のリコールおよび使用は、複数の電力セットポイント変化および／または複数の負荷インピーダンス変化に対するパルス生成モジュール８６および／または電力増幅器４２の出力の迅速な応答時間を提供する。
【００５０】
３０６において、電力制御モジュール７４、周波数制御モジュール７８および／またはパルス生成モジュール８６は、パルス生成モジュール８６のＲＦ出力の電力レベルおよびＲＦ周波数を設定して、電力制御信号ＰＤｅｌｓ１および周波数制御信号ＦＤｅｌｓ１によって示される電力レベルおよびＲＦ周波数に遷移および／または設定されるように動作する。これは、目標電力レベルおよび目標ＲＦ周波数への一連の増分変化における増分変化であってもよい。パルス生成モジュール８６の電力レベルおよびＲＦ周波数は、それぞれの所定のオフセット値に基づいて、最新電力レベルおよびＲＦ周波数から所定量変化してもよい。
【００５１】
３０８において、パルス生成モジュール８６は所定のホールドオフ期間待機する。これによって、タスク３０６時になされた複数の変化の結果が生じ、複数のセンサおよび／または複数のモジュール７０、７８、８４、８６のうちの１つ以上によって検出される。３１０において、パルス生成モジュール８６は、複数のセンサ４６および周波数制御モジュール７８によって検出および／または判断された現在の状態の更新電力レベルＰＤｅｌ（ｉ）および更新ＲＦ周波数Ｆ（ｉ）を受信および／または記憶してもよい。
【００５２】
３１２において、パルス生成モジュール８６は、現在の状態のフィードバックデータ信号ＤＡＴＡｐ＆ｆ１の更新電力レベルＰＤｅｌ（ｉ）および更新ＲＦ周波数Ｆ（ｉ）をパルス制御モジュール７０に送信してもよい。更新電力レベルＰＤｅｌ（ｉ）および更新ＲＦ周波数Ｆ（ｉ）は、複数のフィードバックデータ信号ＤＡＴＡｐ１、ＤＡＴＡｆ１を介して電力制御モジュール７４および周波数制御モジュール７８に転送されてもよい。タスク３０２はタスク３１２に続いて実行されてもよい。
【００５３】
図４〜６の上記複数のタスクは例示にすぎず、これら複数のタスクは、用途に応じて逐次的に、同期的に、同時に、連続的に、重複する期間に、または異なる順序で実行可能である。また、これら複数のタスクのうちのいずれかは、イベントの具現化および／またはシーケンスに応じて、実行されずにスキップされてもよい。
【００５４】
本明細書に開示されている具現化は、複数の送出電力セットポイント間、例えばＰＤｅｌ（Ｈｉｇｈ）とＰＤｅｌ（Ｌｏｗ）間でパルスするＲＦ生成器を含み、このＲＦ生成器は、複数のセットポイント（例えば、ｆ（ｈｉｇｈ）およびｆ（Ｌｏｗ））の各々に対して複数の異なるＲＦ周波数を維持する。パルス変化が生じると、ＲＦ生成器のＲＦ電力およびＲＦ周波数の両方が、同一の期間および／または同時に変更されることもある。これによって、各セットポイントのインピーダンス整合は最大化される。これら複数の具現化は、高（ピーク振幅）低（最小振幅）両側のパルスインピーダンス整合を提供する。これら複数の具現化はまた、種々の態様のプラズマ負荷をパルスしつつ、プラズマ負荷への一定の送出電力を維持する。
【００５５】
上記説明は本質的に例示にすぎず、開示、この用途または使用を制限する意図はない。本開示の広範な教示は多様な形態で具現化可能である。したがって、本開示は複数の具体例を含んでいるが、本開示の真の範囲は、他の複数の修正が図面、明細書および以下の請求項の研究において明らかであるため、制限されるべきではない。本明細書において使用されているように、Ａ、ＢおよびＣのうちの少なくとも１つという語句は、非排他的論理ＯＲを使用する論理（ＡまたはＢまたはＣ）を意味するものと解釈されるべきである。方法における１つ以上のステップは、本開示の原理を変更することなく異なる順序で（または同時に）実行可能であることが理解されるべきである。
【００５６】
以下の定義を含む本出願において、モジュールという用語は回路という用語と置換可能である。モジュールという用語は、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、ディジタル、アナログまたは混合アナログ／ディジタル離散回路、ディジタル、アナログまたは混合アナログ／ディジタル集積回路、組み合わせ論理回路、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、コードを実行する（共有、専用またはグループ）プロセッサ、プロセッサによって実行されるコードを記憶する（共有、専用またはグループ）メモリ、上記機能性を提供する他の適切な複数のハードウェアコンポーネント、あるいは、システム・オン・チップにおけるような上記の一部または全部の組み合わせの一部のことであっても、またはこれらを含むものであってもよい。
【００５７】
上記使用されているようなコードという用語は、ソフトウェア、ファームウェアおよび／またはマイクロコードを含んでもよく、複数のプログラム、複数のルーチン、複数の機能、複数のクラスおよび／または複数のオブジェクトのことであってもよい。共有プロセッサという用語は、複数のモジュールからの一部または全部のコードを実行する単一のプロセッサを包含する。グループプロセッサという用語は、複数の別のプロセッサと協働して、１つ以上のモジュールからの一部または全部のコードを実行するプロセッサを包含する。共有メモリという用語は、複数のモジュールからの一部または全部のコードを記憶する単一のメモリを包含する。グループメモリという用語は、別の複数のメモリと協働して、１つ以上のモジュールからの一部または全部のコードを記憶するメモリを包含する。メモリという用語は、コンピュータ読み取り可能な媒体という用語の部分集合であってもよい。コンピュータ読み取り可能な媒体という用語は、媒体を介して伝搬する一時的な電気および電磁信号を包含しておらず、したがって、有形かつ持続的であるとみなされてもよい。持続的かつ有形のコンピュータ読み取り可能な媒体の非制限的例は、不揮発性メモリ、揮発性メモリ、磁気記憶装置および光学記憶装置を含む。
【００５８】
第１、第２、第３などの用語は、種々の要素、コンポーネント、ループ、回路および／またはモジュールについて説明するために本明細書においては使用可能であるが、これらの要素、コンポーネント、ループ、回路および／またはモジュールはこれらの用語によって制限されるべきではない。これらの用語は、ある要素、コンポーネント、ループ、回路またはモジュールを別の要素、コンポーネント、ループ、回路またはモジュールと区別するためにのみ使用可能である。本明細書において使用されている「第１」、「第２」などの用語および他の数値は、文脈において明示されない限り、シーケンスや順序を意味するものではない。したがって、本明細書において論じられている第１の要素、コンポーネント、ループ、回路またはモジュールは、本明細書に開示されている例示的具現化に関する教示から逸脱せずに、第２の要素、コンポーネント、ループ、回路またはモジュールと称されてもよい。
【００５９】
本出願で説明されている複数の装置および複数の方法は、１つ以上のプロセッサによって実行される１つ以上のコンピュータプログラムによって部分的または完全に具現化可能である。これら複数のコンピュータプログラムは、少なくとも１つの持続的かつ有形のコンピュータ読み取り可能な媒体に記憶されている複数のプロセッサ実行可能な命令を含む。これら複数のコンピュータプログラムはまた、記憶データを含む、かつ／またはこれに依拠していることもある。
以下に、本出願時の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[付記１]  電力増幅器の複数の目標状態に対する複数の電力レベルを示す電力信号を生成するように構成されている電力制御モジュールと、
前記電力増幅器の前記複数の目標状態の複数の周波数を示す周波数信号を生成するように構成されている周波数制御モジュールと、
（ｉ）前記電力増幅器に出力信号を供給し、（ｉｉ）前記電力増幅器の前記複数の目標状態のうちの１つに対する最新の電力レベルおよび最新の周波数のうちの少なくとも一方をリコールし、（ｉｉｉ）前記電力増幅器の前記電力信号と、前記周波数信号と、前記最新の電力レベルと前記最新の周波数のうちの少なくとも一方とに基づいて、前記出力信号の現在の電力レベルおよび現在の周波数を第１の状態から第２の状態に調整するように構成されているパルス生成モジュールと、を備える無線周波数生成器。
[付記２]  前記パルス生成モジュールが、（ｉ）前記最新の電力レベルと前記最新の周波数の両方をリコールし、（ｉｉ）前記最新の電力レベルおよび前記最新の周波数の両方に基づいて前記出力信号を調整するように構成されている、付記１に記載の無線周波数生成器。
[付記３]  前記パルス生成モジュールが、（ｉ）前記電力制御モジュールに前記最新の電力レベルを、（ｉｉ）前記周波数制御モジュールに前記最新の周波数を提供するように構成されており、
前記電力制御モジュールが、前記最新の電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するように構成されており、
前記周波数制御モジュールが、前記最新の周波数に基づいて前記周波数信号を生成するように構成されている、付記１に記載の無線周波数生成器。
[付記４]  前記パルス生成モジュールが、前記電力増幅器の単一パルス時に、前記電力信号と、前記周波数信号と、前記最新の電力レベルと、前記最新の周波数とに基づいて、前記現在の電力レベルおよび前記現在の周波数の両方を調整するように構成されている、付記１に記載の無線周波数生成器。
[付記５]  前記パルス生成モジュールが、前記電力信号と、前記周波数信号と、前記最新の電力レベルと前記最新の周波数とに基づいて、前記電力増幅器の複数の連続パルスの各々の複数の電力レベルおよび複数の周波数を調整するように構成されている、付記１に記載の無線周波数生成器。
[付記６]  前記パルス生成モジュールが、（ｉ）前記現在の電力レベルおよび前記現在の周波数を調整した後所定期間待機し、（ｉｉ）前記所定期間の終了に応答して、前記電力増幅器の更新電力レベルおよび更新周波数を記憶し、（ｉｉｉ）前記更新電力レベルを前記電力制御モジュールに、かつ前記更新周波数を前記周波数制御モジュールに提供するように構成されており、
前記電力制御モジュールが、前記更新電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するように構成されており、
前記周波数制御モジュールが、前記更新周波数に基づいて前記周波数信号を生成するように構成されている、付記１に記載の無線周波数生成器。
[付記７]  前記電力生成モジュールが、前記複数の目標状態の各々についての複数の更新電力レベルおよび複数の更新周波数を記憶するように構成されている、付記１に記載の無線周波数生成器。
[付記８]  前記電力増幅器と複数のセンサとをさらに備えており、
前記電力増幅器が、前記出力信号を受信するように構成されており、
前記複数のセンサが、前記複数の目標状態の各々について、前記電力増幅器の電力アウトの複数の電力レベルを検出するように構成されており、
前記周波数制御モジュールが、複数の現在のパルス状態の複数の表示に基づいて、前記電力増幅器の前記電力アウトの複数の周波数を判断するように構成されており、
前記電力生成モジュールが、前記複数の目標状態に対して、前記複数の検出電力レベルおよび複数の周波数を複数の最新の電力レベルおよび複数の周波数として記憶するように構成されている、付記１に記載の無線周波数生成器。
[付記９]  前記電力増幅器の前記電力アウトの前記複数の検出電力レベルおよび複数の周波数が、前記電力増幅器の負荷のインピーダンスの複数の変化に基づいており、
前記電力制御モジュールが、前記複数の検出電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するように構成されており、
前記周波数制御モジュールが、前記複数の検出周波数に基づいて、前記周波数信号を生成するように構成されている、付記８に記載の無線周波数生成器。
[付記１０]  前記出力信号が前記第１の状態から前記第２の状態に遷移中に、
前記電力制御モジュールが、前記電力信号を漸増的に調整して、前記現在の電力レベルを前記第２の状態の目標電力レベルに調整するように構成されているか、
前記パルス生成モジュールが、前記現在の電力レベルを前記第２の状態の目標電力レベルに漸増的に調整するかの少なくとも一方である、付記１に記載の無線周波数生成器。
[付記１１]  前記出力信号が前記第１の状態から前記第２の状態に遷移中に、
前記周波数制御モジュールが、前記周波数信号を漸増的に調整して、前記現在の周波数を前記第２の状態の目標周波数に調整するように構成されているか、
前記パルス生成モジュールが、前記目標周波数を前記第２の状態の前記目標周波数に漸増的に調整するかの少なくとも一方である、付記１に記載の無線周波数生成器。
[付記１２]  無線周波数生成器における電力増幅器の複数の目標状態の複数の電力レベルを示す電力信号を生成するステップと、
前記電力増幅器の前記複数の目標状態の複数の周波数を示す周波数信号を生成するステップと、
出力信号を前記電力増幅器に供給するステップと、
前記電力増幅器の前記複数の目標状態のうちの１つに対する最新の電力レベルおよび最新の周波数の少なくとも一方をリコールするステップと、
前記電力信号と、前記周波数信号と、前記電力増幅器の前記最新の電力レベルおよび前記最新の周波数の少なくとも一方とに基づいて、前記出力信号の現在の電力レベルおよび現在の周波数を第１の状態から第２の状態に調整するステップとを備える方法。
[付記１３]  前記最新の電力レベルおよび前記最新の周波数の両方をリコールするステップと、
前記最新の電力レベルおよび前記最新の周波数の両方に基づいて前記出力信号を調整するステップとをさらに備える、付記１２に記載の方法。
[付記１４]  （ｉ）電力制御モジュールに前記最新の電力レベルを、かつ（ｉｉ）周波数制御モジュールに前記最新の周波数を提供するステップをさらに備えており、
前記電力制御モジュールが、前記最新の電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するように構成されており、
前記周波数制御モジュールが、前記最新の周波数に基づいて前記周波数信号を生成するように構成されている、付記１２に記載の方法。
[付記１５]  前記電力増幅器の単一パルス時に、前記電力信号と、前記周波数信号と、前記最新の電力レベルと、前記最新の周波数とに基づいて、前記現在の電力レベルおよび前記現在の周波数の両方を調整するステップをさらに備える、付記１２に記載の方法。
[付記１６]  前記電力信号と、前記周波数信号と、前記最新の電力レベルと、前記最新の周波数とに基づいて、前記電力増幅器の複数の連続パルスの各々の複数の電力レベルおよび複数の周波数を調整するステップをさらに備える、付記１２に記載の方法。
[付記１７]  前記現在の電力レベルおよび前記現在の周波数を調整した後所定期間待機するステップと、
前記所定期間の終了に応答して、前記電力増幅器の更新電力レベルおよび更新周波数を記憶するステップと、
前記更新電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するステップと、
前記更新周波数に基づいて前記周波数信号を生成するステップと、を備える付記１２に記載の方法。
[付記１８]  前記複数の目標状態の各々についての複数の更新電力レベルおよび複数の更新周波数を記憶するステップをさらに備える、付記１２に記載の方法。
[付記１９]  前記電力増幅器によって前記出力信号を受信するステップと、
複数のセンサによって前記複数の目標状態の各々について前記電力増幅器の電力アウトの複数の電力レベルを検出するステップであって、前記電力増幅器の前記電力アウトの前記複数の検出電力レベルが、前記電力増幅器の負荷のインピーダンスの複数の変化に基づいているステップと、
複数の現在のパルス状態の複数の表示に基づいて前記電力増幅器の前記電力アウトの複数の周波数を判断するステップと、
前記複数の検出電力レベルおよび複数の周波数を、前記複数の目標状態の複数の最新電力レベルおよび複数の周波数として記憶するステップと、
前記複数の検出電力レベルに基づいて前記電力信号を生成するステップと、
前記複数の検出周波数に基づいて前記周波数信号を生成するステップと、をさらに備える付記１２に記載の方法。
[付記２０]  前記出力信号が前記第１の状態から前記第２の状態に遷移中に、
前記電力信号を漸増的に調整して、前記現在の電力レベルを前記第２の状態の目標電力レベルに調整し、
前記現在の電力レベルを前記第２の状態の目標電力レベルに漸増的に調整し、
前記周波数信号を漸増的に調整して、前記現在の周波数を前記第２の状態の目標周波数に調整し、
前記目標周波数を前記第２の状態の前記目標周波数に漸増的に調整する、付記１２に記載の方法。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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