(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送方向へ移動させる搬送機構と、
前記基板の上下を反転させる反転機構と、
前記基板を搬送方向に対する左右方向に回転させるための旋回機構とを具備し、
前記搬送機構は、前記基板を搬送方向へ摺動させる搬送アームを備え、
前記反転機構は、前記基板を反転させる際に上方向から抑える上部チャックと、前記基板を反転させる際に下方向から支持する下部チャックと、前記上部チャック及び下部チャックを上下方向に回動可能に軸支する回動軸とを備え、
前記旋回機構は、上下摺動可能であって基板を下方向から支持する基板載置部と、前記基板載置部を搬送方向に対する左右方向に回動可能に軸支する旋回軸とを備え、
前記基板載置部によって基板を下方向から支持して搬送方向に対する左右方向に１８０°回動させることで基板の左右を反転させ、
前記搬送機構、反転機構及び旋回機構は一つの支持台に固定支持される、
基板搬送装置。
【請求項２】
前記回動軸は、搬送方向に対して垂直に配置されており、
前記上部チャックと、前記下部チャックとで基板を挟持して上下方向に１８０°回動させることで基板の上下を反転させる、
請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記上部チャック及び下部チャックは、前記搬送アームの平面視最外側よりも外側に配置される、
請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記下部チャックは、上下方向に摺動自在であるシリンダを有する、
請求項１から３のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送装置の技術に関し、基板を搬送方向へ移動させる搬送機構と、基板の上下を反転させる反転機構と、を具備する基板搬送装置の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板を搬送方向へ移動させる搬送機構を備える基板搬送装置は公知となっている。前記搬送機構は、真空状態にした複数のチャンバーの内部で使用する機構であり、基板を第一のチャンバーから第二のチャンバーへ移動させる機構である。例えば、特許文献１に記載されている。
また、基板の上下を反転させる反転機構を備える基板搬送装置も公知となっている。前記反転機構は、真空中で基板の上下関係を反転させる機構である。例えば、特許文献２に記載されている。
【０００３】
特許文献１及び特許文献２に示す通り、従来、搬送機構及び反転機構はそれぞれ独立したチャンバー内に設けられており、搬送機構が設けられたチャンバーにおいては基板の移動のみが行われ、反転機構が設けられたチャンバーにおいては基板の上下の反転のみが行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１３４９９３号公報
【特許文献２】特開２０１０−２５１０７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の基板搬送装置では、搬送機構及び反転機構がそれぞれ独立したチャンバー内に設けられているため、チャンバーの数が複数必要となるという問題点があった。また、複数のチャンバーを配置するための必要な面積が大きくなるという問題点もあった。
【０００６】
そこで本発明は係る課題に鑑み、搬送機構及び反転機構を備えつつ、必要なチャンバーの数を少なくし、配置するための面積を小さくすることができる基板搬送装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００８】
即ち、請求項１においては、基板を搬送方向へ移動させる搬送機構と、前記基板の上下を反転させる反転機構と、前記基板を搬送方向に対する左右方向に回転させるための旋回機構とを具備し、前記搬送機構は、前記基板を搬送方向へ摺動させる搬送アームを備え、前記反転機構は、前記基板を反転させる際に上方向から抑える上部チャックと、前記基
板を反転させる際に下方向から支持する下部チャックと、前記上部チャック及び下部チャ
ックを上下方向に回動可能に軸支する回動軸とを備え、前記旋回機構は、上下摺動可能であって基板を下方向から支持する基板載置部と、前記基板載置部を搬送方向に対する左右方向に回動可能に軸支する旋回軸とを備え、前記基板載置部によって基板を下方向から支持して搬送方向に対する左右方向に１８０°回動させることで基板の左右を反転させ、前記搬送機構、反転機構及び旋回機構は一つの支持台に固定支持されるものである。
【０００９】
請求項２においては、前記回動軸は、搬送方向に対して垂直に配置されており、前記上部チャックと、前記下部チャックとで基板を挟持して上下方向に１８０°回動させることで基板の上下を反転させるものである。
【００１０】
請求項３においては、前記上部チャック及び下部チャックは、前記搬送アームの平面視最外側よりも外側に配置されるものである。
【００１１】
請求項４においては、前記下部チャックは、上下方向に摺動自在であるシリンダを有するものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１４】
請求項１においては、搬送機構と反転機構とを具備する基板搬送装置を配置するために必要なチャンバーの数を一つにすることができるため、チャンバーの数を減らすことができ、基板搬送装置を配置するための面積を小さくすることができる。また、搬送機構と反転機構と旋回機構とを具備する基板搬送装置を配置するために必要なチャンバーの数を一つにすることができるため、チャンバーの数を減らすことができ、基板搬送装置を配置するための面積を小さくすることができる。
【００１５】
請求項２においては、上下方向に回動させることで、搬送方向に対する左右方向に回動させた場合と比較して旋回するのに必要な設置面積を小さくすることができ、結果として、基板搬送装置を配置するための面積を小さくすることができる。
【００１６】
即ち、請求項３においては、搬送機構と反転機構とが接触しないように配置することができる。これにより、基板搬送装置を配置するために必要なチャンバーの数を一つにすることができるため、チャンバーの数を減らすことができ、基板搬送装置を配置するための面積を小さくすることができる。
【００１７】
即ち、請求項４においては、上部チャックのシリンダを省くことができるため、部品点数を少なくすることができ、コストを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施形態に係る基板搬送装置を示す平面図。
【図２】基板搬送装置を示す側面図。
【図３】基板を搬送する基板搬送装置を示す側面図。
【図４】基板を搬送する基板搬送装置を示す側面図。
【図５】基板を搬送する基板搬送装置を示す側面図。
【図６】基板を旋回する基板搬送装置を示す側面図。
【図７】基板を反転させる前の基板搬送装置を示す側面図。
【図８】基板を反転させる途中の基板搬送装置を示す側面図。
【図９】基板を反転させた後の基板搬送装置を示す側面図。
【図１０】第二搬送機構を基板搬送装置を示す平面図。
【図１１】第三搬送機構を有する基板搬送装置を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
次に、発明の実施の形態を説明する。
【００２１】
まず、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１の全体的な構成について図１及び図２を用いて説明する。
なお、以下の説明では、図１の矢印で示す方向を搬送方向と定義し、搬送方向及び上下方向に垂直な方向を左右方向と定義する。また、搬送方向に平行な軸をＸ軸、左右方向に平行な軸をＹ軸、上下方向に平行な軸をＺ軸として定義する。
【００２２】
基板搬送装置１は、図１及び図２に示すように、基板９０を搬送方向に移動させる搬送機構２と、基板９０の上下を反転させる反転機構３とを具備する装置である。基板搬送装置１は、搬送装置用チャンバー９１内に設けられており、搬送装置用チャンバー９１は真空状態である。搬送装置用チャンバー９１よりも搬送方向上流側には同じく真空状態である上流側チャンバー９２が設けられており、搬送装置用チャンバー９１と上流側チャンバー９２とは連通されている。基板搬送装置１は、上流側チャンバー９２内に載置された基板９０を搬送方向へ移動させ、基板９０の上下を反転させ、搬送装置用チャンバー９１内から下流側へ移動させる装置である。
基板搬送装置１の最下部には、支持台５が設けられており、搬送機構２及び反転機構３は支持台５に固定支持される。
【００２３】
支持台５は、搬送装置用チャンバー９１の下部上面に設けられており、螺子等からなる図示せぬ支持台固定部材により搬送装置用チャンバー９１に固定されている。支持台５は、前記支持台固定部材を取り外すことにより、搬送装置用チャンバー９１から取り外すことが可能となっており、支持台５を取り外すことで支持台５に固設された搬送機構２及び反転機構３を一体的に取り外すことができる。
【００２４】
搬送機構２は、支持柱１１と、本体部１２と、スライダ１３と、搬送アーム１４と、により構成される。
【００２５】
支持柱１１は、軸方向を上下方向とする円柱である。支持柱１１の下端は、支持台５に固設されている。これにより、搬送機構２全体が支持柱１１を介して支持台５に固定支持される。
【００２６】
本体部１２は、長手方向を搬送方向へ向け、且つその板面を上下方向へ向けた略矩形板状に形成される。本体部１２の下面は支持柱１１の上面に固定されている。本体部１２の上面には搬送方向と平行に一対のガイドレール２１が形成される。本体部１２の内部には、図示せぬ本体部駆動ユニットが設けられる。
【００２７】
スライダ１３は、搬送アーム１４を支持する部材である。スライダ１３は、ガイドレール２１と係合する脚部材２２を二つ有している。二つの脚部材２２・２２は、それぞれガイドレール２１・２１と係合する位置になるように、言い換えれば、各脚部材２２・２２の左右方向の位置がガイドレール２１・２１の位置と一致するように配置されている。二つの脚部材２２・２２は、本体部１２の二つのガイドレール２１・２１に搬送方向へ向けて往復摺動自在に係合される。スライダ１３は図示せぬベルト等の駆動伝達機構を介して前記本体部駆動ユニットに接続される。スライダ１３は、前記駆動伝達機構を介して伝達された前記本体部駆動ユニットの駆動力によって、搬送方向に往復移動可能に構成される。
【００２８】
搬送アーム１４は、基板９０を保持、又は載置する部材である。搬送アーム１４は、搬送方向を長手方向とする二本の爪１４ａ・１４ａから構成されており、スライダ１３を介して搬送方向に往復移動（スライド移動）可能に構成される。
【００２９】
スライダ１３及び搬送アーム１４は本体部のガイドレール２１・２１に沿って搬送方向に往復摺動可能となっており、スライダ１３がガイドレール２１・２１の搬送方向上流側端部に移動したとき、搬送アーム１４が上流側チャンバー９２内に載置された基板９０の下に位置するように構成されている。
【００３０】
反転機構３は、回動軸支持部材３１と、回動軸３２と、回動アーム３３と、上部チャック３４と、下部チャック３５と、を備える。
【００３１】
回動軸支持部材３１は、二本の柱材である。回動軸支持部材３１・３１の下端は、支持台５に固定支持される。これにより反転機構３全体が回動軸支持部材３１・３１を介して支持台５に固定支持される。
また、各回動軸支持部材３１は、搬送機構２の本体部１２よりも左右方向外側に配置されている。これにより、回動軸支持部材３１・３１と搬送機構２とが接触することを防止することができる。
【００３２】
回動軸３２は、回動アーム３３を軸支するための軸であり、左右の回動支持部材３１に対応して二つ設けられている。各回動軸３２は、軸方向が左右方向になるように配置されている。回動軸３２・３２の外側端部は、回動軸支持部材３１・３１によって片持ち支持されている。また、回動軸３２・３２は、搬送方向に対して垂直に配置されている。言い換えれば、回動軸３２・３２は、Ｙ軸に平行に設けられている。
また、回動軸３２・３２は、搬送機構２の本体部１２よりも左右方向外側に配置されている。これにより、回動軸３２・３２と搬送機構２とが接触することを防止することができる。
【００３３】
回動アーム３３は、回動軸３２・３２を中心に上下方向に回動する部材である。言い換えれば、回動アーム３３はＹ軸周りに回動する部材である。回動アーム３３は回動基部４１、上部チャック支持部４２、及び下部チャック支持部４３を有する。回動基部４１は、左右一対の板状部材であり、各回動基部４１はそれぞれ回動軸３２によって回動可能に軸支されている。本実施形態においては、各回動基部４１の外側面から回動軸３２が挿入されて軸支されている。
また、回動基部４１は、搬送機構２の本体部１２よりも左右方向外側に配置されている。これにより、回動基部４１と搬送機構２とが接触することを防止することができる。
【００３４】
上部チャック支持部４２・４２は、各回動基部４１の搬送方向上流側の面の上端から搬送方向上流側へ向かって延伸された左右一対の部材であり、複数の上部チャック３４・３４・３４・・を固定支持する。左右の上部チャック支持部４２・４２は、それぞれの上流端部を繋ぐ上部接続部材４４によって連結されている。これにより、上部チャック支持部４２・４２が左右方向へ揺動するのを防止することができる。
【００３５】
下部チャック支持部４３・４３は、各回動基部４１の搬送方向上流側の面の下端から搬送方向上流側へ向かって延伸された左右一対の部材であり、複数の下部チャック３５・３５・３５・・を固定支持する。左右の下部チャック支持部４３・４３は、それぞれの上流端部を繋ぐ下部接続部材４５によって連結されている。これにより、下部チャック支持部４３・４３が左右方向へ揺動するのを防止することができる。
上部接続部材４４及び下部接続部材４５は、搬送機構２の搬送アーム１４の上流端よりも上流側に配置されており、反転機構３を反転させた際に搬送アーム１４に接触しないように配置されている。
これにより、反転機構３と搬送機構２とが接触することを防止することができる。
【００３６】
上部チャック３４の詳細な構造について図１、図２、及び図３を用いて説明する。
上部チャック３４は、上部チャック支持部４２の内側側面から突出した複数の棒状部材３４ａと、各棒状部材３４ａの先端に設けられた接触部材３４ｂとから構成される。棒状部材３４ａは上部チャック支持部４２の内側側面から内側方向へ突出している。また、棒状部材３４ａは内側端部において上下に延伸されており、その下端に接触部材３４ｂがそれぞれ設けられている。接触部材３４ｂは基板９０に接触して基板９０を上面から支持するための部材である。接触部材３４ｂは、シリコンなどの樹脂で構成されている。
上部チャック３４は、搬送アーム１４の平面視最外側よりも外側（具体的には搬送アーム１４よりも搬送方向に対する左右外側）に配置されている。
【００３７】
下部チャック３５の詳細な構造について図１、図２、及び図３を用いて説明する。
下部チャック３５は、下部チャック支持部４３の内側側面から突出した複数の棒状部材３５ａと、棒状部材３５ａの内側先端に設けられたシリンダ３５ｂと、各シリンダ３５ｂの先端に設けられた接触部材３５ｃとから構成される。棒状部材３５ａは下部チャック支持部４３の内側側面から内側方向へ突出している。シリンダ３５ｂは、その中途部側面が棒状部材３５ａの内側端部に固設されている。シリンダ３５ｂは外筒３５ｄと外筒３５ｄの内部に設けられた内筒３５ｅから構成される。シリンダ３５ｂは上下方向が長手となるように配置され、内筒３５ｅが上下方向に往復移動可能となるように構成されている。内筒３５ｅの上端に接触部材３５ｃがそれぞれ設けられている。接触部材３５ｃは基板９０に接触して基板９０を下面から支持するための部材である。接触部材３５ｃは、シリコンなどの樹脂で構成されている。
下部チャック３５は、搬送アーム１４の平面視最外側よりも外側（具体的には搬送アーム１４よりも搬送方向に対する左右外側）に配置されている。
【００３８】
また、基板搬送装置１は、図１、図２及び図３に示すように、基板９０をＺ軸を中心として回転（旋回）させるための旋回機構４を具備する。旋回機構４は、支持台５に固定支持される。また、旋回機構４は搬送機構２の左右方向中央に設けられている。搬送機構２の本体部１２の左右方向中央部には、旋回機構４を配置するための旋回機構用孔１２ａが設けられている。旋回機構用孔１２ａは、図１に示すように、旋回機構４の旋回軸支持柱５１の左右方向最外部及び搬送方向最外部よりも外側に孔縁が配置されるように形成されている。基板搬送装置１においては、孔縁は略ひし形状であってその角部が丸められた形状に形成されている。
【００３９】
旋回機構４は、旋回軸支持柱５１と、旋回軸５２と、基板載置部５３と、により構成される。
【００４０】
旋回軸支持柱５１は、軸方向を上下方向とする円柱である。旋回軸支持柱５１は旋回軸５２を旋回方向に対する左右方向に回動可能に軸支する。また、旋回軸支持柱５１は旋回軸５２を上下摺動可能に軸支する。旋回軸支持柱５１の下面は支持台５の上面に固設されている。これにより、旋回機構４全体が旋回軸支持柱５１を介して支持台５に固定支持される。
【００４１】
旋回軸５２は、軸方向を上下方向とする軸部材であり、基板載置部５３を搬送方向に対する左右方向に回動可能に軸支する。旋回軸５２は、旋回軸支持柱５１によって左右方向に回動可能に軸支されている。言い換えれば、旋回軸５２はＺ軸周りに回動可能に軸支されている。また、旋回軸５２は、旋回軸支持柱５１によって上下摺動可能に軸支されている。旋回軸５２は旋回軸支持柱５１内部に設けられた図示せぬ旋回軸駆動ユニットに接続される。旋回軸５２は、前記旋回軸駆動ユニットの駆動力によって、上下方向に往復摺動可能に構成され、さらに左右方向に回転可能に構成される。
【００４２】
基板載置部５３は、基板９０を旋回する際に基板９０を下方向から支持する部材である。基板載置部５３は、旋回軸５２の上部に設けられる。基板載置部５３は、旋回軸５２の側面から突出した複数の棒状部材５３ａと、各棒状部材５３ａの先端に設けられた接触部材５３ｂとから構成される。棒状部材５３ａは旋回軸５２の側面から任意の方向へ突出している。基板搬送装置１においては、搬送方向上流側、下流側、搬送方向に対する左右両側の計四方向へ突出している。また、棒状部材５３ａは中途部において上方へ屈曲されており、その先端（上端）に接触部材５３ｂがそれぞれ設けられている。接触部材５３ｂは基板９０に接触して基板９０を下面から支持するための部材である。接触部材５３ｂは、シリコンなどの樹脂で構成されている。
【００４３】
次に、基板搬送装置１を用いた基板９０の搬送方法について説明する。
まず、図３及び図４に示すように、上流側チャンバー９２に載置された基板９０を搬送装置用チャンバー９１内へ搬送する。
上流側チャンバー９２には、基板９０を上下方向に移動させるための昇降装置９５が設けられている。
【００４４】
昇降装置９５は、基板９０を下方から支持する装置であり、基板９０は昇降装置９５の上面に載置される。昇降装置９５の載置部９５ａは搬送方向上流側と下流側の左右に一つずつ、合計四つ設けられており、基板は四つの載置部９５ａ・９５ａ・９５ａ・９５ａによって下方から支持される。また、各載置部９５ａはそれぞれシリンダ９５ｂによって支持されている。シリンダ９５ｂは、その下面が昇降装置用支持台９６の上面に固設されている。シリンダ９５ｂは外筒９５ｃと外筒９５ｃの内部に設けられた内筒９５ｄから構成される。シリンダ９５ｂは上下方向が長手となるように配置され、内筒９５ｄが上下方向に往復移動可能となるように構成されている。内筒９５ｄの上端に載置部９５ａがそれぞれ設けられている。四つの載置部９５ａ・９５ａ・９５ａ・９５ａは搬送アーム１４よりも左右方向内側に配置されている。
【００４５】
昇降装置９５は、基板９０が上流側チャンバー９２内で待機している通常時は、搬送アーム１４の上面よりも上方で基板９０を支持している。図３に示すように、搬送アーム１４が搬送方向上流側へ移動してきて基板９０の下方に位置した際に昇降装置９５を下降させて、載置部９５ａ・９５ａ・９５ａ・９５ａを搬送アーム１４の上面よりも下方へ移動させる。これにより、基板９０は搬送アーム１４によって下方から支持されることとなる。そして、図４に示すように、搬送アーム１４を搬送方向下流側へ移動させて、基板９０を搬送装置用チャンバー９１内へ搬送する。
【００４６】
次に、図５に示すように、旋回機構４を上昇させる。旋回機構４は、基板載置部５３の接触部材５３ｂの上面が搬送アーム１４の上面よりも上方になる位置まで上昇する。また、旋回機構４が上昇した位置においては、上部チャック３４と基板９０とが接触しないようにする。これにより、旋回機構４の基板載置部５３が基板９０を下方から支持する。次に、旋回機構４によって基板９０を左右方向に１８０°回動させることで、基板９０の左右を反転させる。言い換えれば、基板９０がＺ軸周りに１８０°回動される。これにより、基板９０の搬送方向前後が逆になる。
【００４７】
次に、図６に示すように、旋回機構４を更に上昇させる。旋回機構４は、上部チャック３４の接触部材３４ｂ下面と基板９０とが接触する位置まで上昇する。これにより、基板９０を、上部チャック３４の接触部材３４ｂと旋回機構４の基板載置部５３の接触部材５３ｂとで挟持する。
【００４８】
次に、図７に示すように、下部チャック３５のシリンダ３５ｂを上方へ摺動させる。下部チャック３５のシリンダ３５ｂは、下部チャック３５の接触部材３５ｃ上面と基板９０とが接触する位置まで上方へ摺動する。これにより、基板９０を上部チャック３４の接触部材３４ｂと下部チャック３５の接触部材３５ｃとで挟持する。その後、旋回機構４を元の位置まで下降させる。
【００４９】
次に、図８及び図９に示すように、反転機構３を回動軸３２を中心として上下方向へ１８０°回転させる。言い換えれば、反転機構３はＹ軸周りに１８０°回転する。これにより、基板９０は反転し、回動前に上方にあった面が下方に、回動前に下方にあった面が上方になる。また、回動前と回動後においては、基板９０の前後も逆転するが、旋回機構４により前もって基板９０の前後を逆にすることにより、基板９０の前後は搬送装置用チャンバー９１に移動してきた直後の状態に戻る。
【００５０】
次に、図９に示すように、反転機構３の反転後に上側に位置する下部チャック３５のシリンダ３５ｂを上方へ摺動させる。下部チャック３５のシリンダ３５ｂは、下部チャック３５における接触部材３５ｃの基板側面と基板９０とが離間する位置まで上方へ摺動する。これにより、上部チャック３４の接触部材３４ｂと下部チャック３５の接触部材３５ｃとによる挟持が解消され、基板９０は、反転機構３の反転後に下側に位置する上部チャック３４の接触部材３４ｂにより下側から支持される。
【００５１】
このようにして上下が反転した基板９０は、例えば、図９に示すように、下流側チャンバー９３に設けられた別の搬送機構９８によって下流側へと搬送される。
【００５２】
このように構成することにより、一つの搬送装置用チャンバー９１内において、基板９０の搬送及び反転を行うことが可能となる。
【００５３】
また、基板搬送装置１の別実施形態として、リンクアーム１１３を有する搬送機構（以下では、「第二搬送機構１０２」と称する。）を具備する基板搬送装置１０１について図１０を用いて簡単に説明する。なお、以下の説明において、基板搬送装置１と同一の構成である箇所については、その説明を省略する。
【００５４】
基板搬送装置１０１の第二搬送機構１０２は、主として、支持柱１１、リンクアーム１１３、及び搬送アーム１４により構成される。
リンクアーム１１３は、それぞれ略長板状の部材である下段リンクアーム１２１及び上段リンクアーム１２２を備える。下段リンクアーム１２１の一端部は、支持台５に固設された支持柱１１に第一回動軸１２３を介して相対回転可能に連結される。また、下段リンクアーム１２１の他端部は、第二回動軸１２４を介して上段リンクアーム１２２一端部に相対回転可能に連結される。上段リンクアーム１２２の他端部には、搬送アーム１４が相対回転可能に連結される。下段リンクアーム１２１は、平面視で第一回動軸１２３の軸心を中心としてＺ軸周りに旋回可能に構成される。上段リンクアーム１２２は、平面視で第二回動軸１２４の軸心を中心としてＺ軸周りに旋回可能に構成される。搬送アーム１４は、上段リンクアーム１２２の他端部にＺ軸周りに旋回可能に構成される。また、下段リンクアーム１２１及び上段リンクアーム１２２の回動角度は図示せぬ制御装置によって制御されている。前記制御装置は、搬送アーム１４が搬送方向に往復移動するように、下段リンクアーム１２１及び上段リンクアーム１２２の回動角度を制御している。これによって、リンクアーム１１３は、搬送アーム１４によって保持した基板９０を、搬送方向に往復移動させることが可能となっている。
【００５５】
また、基板搬送装置１の別実施形態として、回動後の基板９０を搬送方向下流側へ搬送する第三搬送機構２０２を具備する基板搬送装置２０１について、図１１を用いて、簡単に説明する。なお、以下の説明において、搬送機構２と同一の構成である箇所については、その説明を省略する。
【００５６】
基板搬送装置２０１の第三搬送機構２０２は、支持柱１１と、本体部２１２と、スライダ２１３と、搬送アーム２１４と、により構成される。支持柱１１は搬送機構の支持柱と共通である。本体部２１２は、基板搬送装置１の本体部１２と比較して、下流側へ延伸して設けられている。本体部２１２の下流側端部は、搬送アーム２１４の下流側端部よりも下流側になるように配置されている。本体部２１２の上面には搬送方向と平行に一対のガイドレール２２１・２２１が形成される。ガイドレール２２１・２２１は、基板搬送装置１のガイドレール２１・２１と比較して、下流側へ延伸して設けられている。
【００５７】
スライダ２１３は、搬送アーム２１４を支持する部材である。スライダ２１３は、ガイドレール２２１・２２１と係合する脚部材２２２・２２２を有している。二つの脚部材２２２・２２２は、それぞれガイドレール２２１・２２１と係合する位置になるように、言い換えれば、各脚部材の左右方向の位置がガイドレール２２１・２２１の位置と一致するように配置されている。また、二つの脚部材２２２・２２２は、搬送機構２の脚部材２２・２２と比較して上下方向が短くなるように構成されている。言い換えれば、各脚部材２２２・２２２は、反転機構３を回動させた際における基板９０の下面の位置よりも搬送アーム２１４の上面の位置が下になるように形成されている。二つの脚部材２２２・２２２は、本体部２１２の二つのガイドレール２２１・２２１に搬送方向へ向けて往復摺動自在に係合される。スライダ２１３は図示せぬベルト等の駆動伝達機構を介して前記本体部駆動ユニットに接続される。スライダ２１３は、前記駆動伝達機構を介して伝達された前記本体部駆動ユニットの駆動力によって、搬送方向に往復移動可能に構成される。
【００５８】
搬送アーム２１４は、基板９０を保持、又は載置する部材である。搬送アーム２１４は、搬送方向を長手方向とする二本の爪２１４ａ・２１４ａから構成されており、スライダ２１３を介して搬送方向に往復移動（スライド移動）可能に構成される。
【００５９】
以上に本発明の実施形態を説明したが、上記の構成は更に以下のように変更することができる。
【００６０】
支持台５は搬送装置用チャンバー９１の外部に設けることもできる。
また、搬送装置用チャンバー９１の形状はドーム状に構成することもできる。
また、反転機構の回動軸は左右方向に延びる一本の回動軸で構成することもできる。
また、上部チャックの本数及び配置並びに下部チャックの本数及び配置は変更することもできる。
また、旋回機構の基板載置部の形状は、接触部材の本数や配置を限定するものではない。
また、シリンダ３５ｂで上下方向に動作させて基板を挟持する代わりに、下部チャック支持部４３を上下方向に動作させる機構を備えることによって基板を挟持するように構成することもできる。
【００６１】
以上のように、基板搬送装置１は、基板９０を搬送方向へ移動させる搬送機構２と、基板９０の上下を反転させる反転機構３と、を具備し、搬送機構２は、基板９０を搬送方向へ摺動させる搬送アーム１４を備え、反転機構３は、基板９０を反転させる際に上方向から抑える上部チャック３４と、基板９０を反転させる際に下方向から支持する下部チャック３５と、上部チャック３４及び下部チャック３５を上下方向に回動可能に軸支する回動軸３２とを備え、搬送機構２及び反転機構３は一つの支持台５に固定支持されるものである。
このように構成することにより、搬送機構２と反転機構３とを具備する基板搬送装置１を配置するために必要なチャンバーが、搬送装置用チャンバー９１だけになるため、チャンバーの数を減らすことができ、基板搬送装置１を配置するための面積を小さくすることができる。
【００６２】
また、回動軸３２は、搬送方向に対して垂直に配置されており、上部チャック３４と、下部チャック３５とで基板９０を挟持して上下方向に１８０°回動させることで基板９０の上下を反転させるものである。
このように構成することにより、上下方向に回動させることで、搬送方向に対する左右方向に回動させた場合と比較して旋回するのに必要な設置面積を小さくすることができ、結果として、基板搬送装置１を配置するための面積を小さくすることができる。
【００６３】
また、基板搬送装置１は、基板９０を搬送方向に対する左右方向に回転させるための旋回機構４を具備し、旋回機構４は、支持台５に固定支持され、旋回機構４は、上下摺動可能であって基板９０を下方向から支持する基板載置部５３と、基板載置部５３を搬送方向に対する左右方向に回動可能に軸支する旋回軸５２とを備え、基板載置部５３によって基板９０を下方向から支持して搬送方向に対する左右方向に１８０°回動させることで基板９０の左右を反転させるものである。
このように構成することにより、搬送機構２と反転機構３と旋回機構４とを具備する基板搬送装置１を配置するために必要なチャンバーが、搬送装置用チャンバー９１だけになるため、チャンバーの数を減らすことができ、基板搬送装置１を配置するための面積を小さくすることができる。
【００６４】
また、上部チャック３４及び下部チャック３５は前記搬送アーム１４の平面視最外側よりも外側に配置したものである。
このように構成することにより、搬送機構２と反転機構３とが接触しないように配置することができる。これにより、基板搬送装置１を配置するために必要なチャンバーが、搬送装置用チャンバー９１だけになるため、チャンバーの数を減らすことができ、基板搬送装置１を配置するための面積を小さくすることができる。
【００６５】
また、下部チャック３５は、上下方向に摺動自在であるシリンダ３５ｂを有するものである。
このように構成することにより、上部チャックのシリンダを省くことができるため、部品点数を少なくすることができ、コストを抑えることができる。
【符号の説明】
【００６６】
１    基板搬送装置
２    搬送機構
３    反転機構
４    旋回機構
５    支持台
１４    搬送アーム
３４    上部チャック
３５    下部チャック
３５ｂ    シリンダ
５３    基板載置部
９０    基板
９１    搬送装置用チャンバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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