(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１５０℃以上、２３０℃以下の環境下で使用されるダイヤフラムであって、
フッ素ゴム（Ａ）およびカーボンブラック（Ｂ）を含むフッ素ゴム組成物を架橋して得られる架橋フッ素ゴム層を有し、
フッ素ゴム（Ａ）が、フッ化ビニリデン系フッ素ゴムであり、
カーボンブラック（Ｂ）が、窒素吸着比表面積（Ｎ２ＳＡ）が７９ｍ２／ｇ以上であるカーボンブラックであり、
架橋フッ素ゴム層が、動的粘弾性試験（測定温度：１６０℃、引張歪み：１％、歪み分散時の静荷重条件を一定力としたときの静張力値：１５７ｃＮ、周波数：１０Ｈｚ）において、損失弾性率Ｅ”が、４００ｋＰａ以上６０００ｋＰａ以下であるダイヤフラム。
【請求項２】
架橋フッ素ゴム層が、動的粘弾性試験（測定温度：１６０℃、引張歪み：１％、歪み分散時の静荷重条件を一定力としたときの静張力値：１５７ｃＮ、周波数：１０Ｈｚ）において、貯蔵弾性率Ｅ’が１５００ｋＰａ以上２００００ｋＰａ以下である請求項１記載のダイヤフラム。
【請求項３】
フッ素ゴム組成物は、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対してカーボンブラック（Ｂ）を５〜５０質量部含む請求項１または２記載のダイヤフラム。
【請求項４】
カーボンブラック（Ｂ）が、窒素吸着比表面積（Ｎ２ＳＡ）が７９〜１８０ｍ２／ｇであって、ジブチルフタレート（ＤＢＰ）吸油量が４０〜１８０ｍｌ／１００ｇであるカーボンブラックである請求項１〜３のいずれか１項に記載のダイヤフラム。
【請求項５】
フッ素ゴム組成物が、さらに架橋剤（Ｃ）および／または架橋助剤（Ｄ）を含む請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイヤフラム。
【請求項６】
架橋フッ素ゴム層が、１６０℃における引張破断伸びが１００〜７００％である請求項１〜５のいずれか１項に記載のダイヤフラム。
【請求項７】
架橋フッ素ゴム層が、１６０℃における引張破断強度が１．０〜２０ＭＰａである請求項１〜６のいずれか１項に記載のダイヤフラム。
【請求項８】
架橋フッ素ゴム層が、２００℃における引張破断伸びが９０〜７００％である請求項１〜７のいずれか１項に記載のダイヤフラム。
【請求項９】
架橋フッ素ゴム層が、２００℃における引張破断強度が１．０〜２０ＭＰａである請求項１〜８のいずれか１項に記載のダイヤフラム。
【請求項１０】
架橋フッ素ゴム層が、２３０℃における引張破断伸びが８０〜７００％である請求項１〜９のいずれか１項に記載のダイヤフラム。
【請求項１１】
架橋フッ素ゴム層が、２３０℃における引張破断強度が１．０〜２０ＭＰａである請求項１〜１０のいずれか１項に記載のダイヤフラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（関連出願への相互参照）
本願は、本明細書において全体にわたって参照として組み込まれた２０１１年８月２５日出願の米国仮特許出願第６１／５２７，５４０号の３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．§１１９（ｅ）に基づく利益を請求する。
【０００２】
本発明は、ダイヤフラムに関する。
【背景技術】
【０００３】
ダイヤフラムは、ポンプ、キャブレター、バルブ等に用いられる部品として、自動車用途、ガス工業用途、空調用途等種々の分野で使用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、フィルタープレス用のダイヤフラムとして、ポリイソプレンゴムのような原料ゴム１００重量部に対して水酸化アルミニウム及び／又は水酸化マグネシウムを１００〜２５０重量部含有する高熱伝導性加硫ゴムからなるダイヤフラムが開示されている。
【０００５】
また、特許文献２には、高いシール圧による変形の均等性が良好であり、中央部の繊維密度を周縁部よりも低くすることができるために剛性が高くならず、成形品のゴムの厚さの均一性にも優れたダイヤフラムを提供することを目的として、加硫ゴムとこれを補強する補強繊維とからなり、前記補強繊維は、経糸又は緯糸の少なくとも一方が疎部分と密部分とを形成するように配設されたゴム補強用織物であり、周縁部に前記密部分が位置すると共に中央部に前記疎部分が位置するように構成されているダイヤフラムが開示されている。
【０００６】
更に、特許文献３には、寸法精度が良好な燃料系ダイヤフラムを提供することを目的として、特定のアクリルゴムにポリフッ化ビニリデンが特定の割合で配合された改質アクリルゴム組成物から成形された燃料系ダイヤフラムが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２６２１９６号公報
【特許文献２】特開２００４−３２３９９４号公報
【特許文献３】特開平４−３２３２４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
自動車用ガソリン配管に用いられる燃料系ダイヤフラムには耐熱性（耐熱老化性）、耐油性、耐ガソリン性等が要求される。特に、高温環境下で使用されるダイヤフラムには、高温時の機械物性が優れていることが求められる。しかしながら、従来のダイヤフラムでは高温時の機械物性が十分ではなかった。
【０００９】
本発明は、高温時の機械物性に優れたダイヤフラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、鋭意検討した結果、損失弾性率Ｅ”に着目し、特定の損失弾性率を有するフッ素ゴムのダイヤフラムであれば、高温時の機械物性に優れること、特に、高温時においても、圧縮永久歪みが小さく、耐疲労性に優れることを見出し、本発明に至った。
【００１１】
すなわち本発明は、フッ素ゴム（Ａ）およびカーボンブラック（Ｂ）を含むフッ素ゴム組成物を架橋して得られる架橋フッ素ゴム層を有し、架橋フッ素ゴム層が、動的粘弾性試験（測定温度：１６０℃、引張歪み：１％、歪み分散時の静荷重条件を一定力としたときの静張力値：１５７ｃＮ、周波数：１０Ｈｚ）において、損失弾性率Ｅ”が、４００ｋＰａ以上６０００ｋＰａ以下であるダイヤフラムに関する。
【００１２】
架橋フッ素ゴム層は、動的粘弾性試験（測定温度：１６０℃、引張歪み：１％、歪み分散時の静荷重条件を一定力としたときの静張力値：１５７ｃＮ、周波数：１０Ｈｚ）において、貯蔵弾性率Ｅ’が１５００ｋＰａ以上２００００ｋＰａ以下であることが好ましい。
【００１３】
上記フッ素ゴム組成物は、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対してカーボンブラック（Ｂ）を５〜５０質量部含むことが好ましい。
【００１４】
上記カーボンブラック（Ｂ）としては、窒素吸着比表面積（Ｎ２ＳＡ）が５〜１８０ｍ２／ｇであって、ジブチルフタレート（ＤＢＰ）吸油量が４０〜１８０ｍｌ／１００ｇであるカーボンブラックが、フッ素ゴムとカーボンゲルネットワーク補強構造を形成し、高温時の機械物性の向上に寄与する点から好ましい。
【００１５】
フッ素ゴム（Ａ）としては、フッ化ビニリデン系共重合体ゴム、テトラフルオロエチレン／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）系共重合体ゴム、またはテトラフルオロエチレン／プロピレン系共重合体ゴムが、耐熱性（耐熱老化性）及び耐油性が良好な点から好ましい。
【００１６】
前記フッ素ゴム組成物には、さらに架橋剤（Ｃ）および／または架橋助剤（Ｄ）を配合することができる。
【００１７】
また、架橋フッ素ゴム層は、１６０℃における引張破断伸びが１００〜７００％であり、引張破断強度が１．０〜２０ＭＰａであることが、ダイヤフラムとしての要求特性を改善する点から好ましい。
【００１８】
また、架橋フッ素ゴム層は、２００℃における引張破断伸びが９０〜７００％であり、引張破断強度が１．０〜２０ＭＰａであることが、ダイヤフラムとしての要求特性を改善する点から好ましい。
【００１９】
また、架橋フッ素ゴム層は、２３０℃における引張破断伸びが８０〜７００％であり、引張破断強度が１．０〜２０ＭＰａであることが、ダイヤフラムとしての要求特性を改善する点から好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、高温時の機械物性に優れたダイヤフラムを提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明は、フッ素ゴム（Ａ）およびカーボンブラック（Ｂ）を含むフッ素ゴム組成物を架橋して得られる架橋フッ素ゴム層を有し、架橋フッ素ゴム層が、動的粘弾性試験（例えば、測定モード：引張、チャック間距離：２０ｍｍ、測定温度：１６０℃、引張歪み：１％、歪み分散時の静荷重条件を一定力としたときの静張力値：１５７ｃＮ、周波数：１０Ｈｚ）において、損失弾性率Ｅ”が、４００ｋＰａ以上６０００ｋＰａ以下であるダイヤフラムに関する。
本発明のダイヤフラムは、損失弾性率Ｅ”が４００ｋＰａ以上６０００ｋＰａ以下の架橋フッ素ゴム層を有することによって、高温時の機械強度が優れる。
【００２２】
以下、各要件について説明する。
【００２３】
本発明におけるフッ素ゴム（Ａ）としては、たとえばテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）、フッ化ビニリデン（ＶｄＦ）および式（１）：
ＣＦ２＝ＣＦ−Ｒｆａ            （１）
（式中、Ｒｆａは−ＣＦ３または−ＯＲｆｂ（Ｒｆｂは炭素数１〜５のパーフルオロアルキル基））で表されるパーフルオロエチレン性不飽和化合物（たとえばヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）など）よりなる群から選ばれる少なくとも１種の単量体に由来する重合単位を含むことが好ましい。
【００２４】
フッ素ゴム（Ａ）としては、非パーフルオロフッ素ゴム又はパーフルオロフッ素ゴムが好ましい。
【００２５】
非パーフルオロフッ素ゴムとしては、フッ化ビニリデン（ＶｄＦ）系フッ素ゴム、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）／プロピレン（Ｐｒ）系フッ素ゴム、ＴＦＥ／Ｐｒ／ＶｄＦ系フッ素ゴム、エチレン（Ｅｔ）／ＨＦＰ系フッ素ゴム、Ｅｔ／ＨＦＰ／ＶｄＦ系フッ素ゴム、Ｅｔ／ＨＦＰ／ＴＦＥ系フッ素ゴム、フルオロシリコーン系フッ素ゴム、またはフルオロホスファゼン系フッ素ゴムなどがあげられる。これらのフッ素ゴムは、それぞれ、単独で又は任意に組み合わせて用いることができる。これらの中でも、ＶｄＦ系フッ素ゴム、ＴＦＥ／Ｐｒ系フッ素ゴム、及び、ＴＦＥ／Ｐｒ／ＶｄＦ系フッ素ゴムからなる群より選択される少なくとも１種が、耐熱老化性、耐油性が良好な点からより好適である。より好ましくは、ＶｄＦ系フッ素ゴムである。
【００２６】
上記ＶｄＦ系フッ素ゴムは、ＶｄＦに由来する重合単位（以下、ＶｄＦ単位）が、ＶｄＦ単位と他の共単量体に由来する重合単位との合計に対して、２０モル％以上が好ましく、４０モル％以上がより好ましく、４５モル％が更に好ましく、５０モル％が特に好ましい。また、ＶｄＦ単位は、ＶｄＦ単位とその他の共単量体に由来する重合単位との合計に対して、９０モル％以下が好ましく、８５モル％以下であることがより好ましく、８０モル％以下が更に好ましい。
【００２７】
上記ＶｄＦ系フッ素ゴムにおける他の共単量体としては、ＶｄＦと共重合可能であれば特に限定されない。たとえば、ＴＦＥ、ＨＦＰ、ＰＡＶＥ、クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）、トリフルオロエチレン、トリフルオロプロピレン、テトラフルオロプロピレン、ペンタフルオロプロピレン、トリフルオロブテン、テトラフルオロイソブテン、ヘキサフルオロイソブテン、フッ化ビニル、ヨウ素含有フッ素化ビニルエーテル、式（２）：
ＣＨ２＝ＣＦＲｆ      （２）
（式中、Ｒｆは炭素数１〜１２の直鎖または分岐したフルオロアルキル基）で表される含フッ素単量体（２）などのフッ素含有単量体；エチレン（Ｅｔ）、プロピレン（Ｐｒ）、アルキルビニルエーテル等のフッ素非含有単量体；架橋性基（キュアサイト）を与える単量体；反応性乳化剤などがあげられる。これらの中から、１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２８】
ＰＡＶＥとしては、パーフルオロ（メチルビニルエーテル）（ＰＭＶＥ）、又は、パーフルオロ（プロピルビニルエーテル）（ＰＰＶＥ）が好ましく、特にＰＭＶＥが好ましい。
【００２９】
また、上記他の共単量体としては、式：
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＯＲｆｃ
（式中、Ｒｆｃは炭素数１〜６の直鎖または分岐状パーフルオロアルキル基、炭素数５〜６の環式パーフルオロアルキル基、若しくは、１〜３個の酸素原子を含む炭素数２〜６の直鎖または分岐状パーフルオロオキシアルキル基である）で表される共単量体を用いてもよい。これらの中でも、ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＯＣＦ３、ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ３、または、ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ３が好ましい。
【００３０】
上記式（２）で表される含フッ素単量体（２）としては、Ｒｆが直鎖のフルオロアルキル基である単量体が好ましく、Ｒｆが直鎖のパーフルオロアルキル基である単量体がより好ましい。Ｒｆの炭素数は１〜６であることが好ましい。上記式（２）で表される含フッ素単量体（２）としては、ＣＨ２＝ＣＦＣＦ３、ＣＨ２＝ＣＦＣＦ２ＣＦ３、ＣＨ２＝ＣＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３、ＣＨ２＝ＣＦＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３などがあげられ、なかでも、ＣＨ２＝ＣＦＣＦ３で示される２，３，３，３−テトラフルオロプロピレンが好ましい。
【００３１】
上記ＶｄＦ系ゴムとしては、ＶｄＦ／ＨＦＰ共重合体、ＶｄＦ／ＣＴＦＥ共重合体、ＶｄＦ／ＣＴＦＥ／ＴＦＥ共重合体、ＶｄＦ／ＰＡＶＥ共重合体、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ共重合体、ＶｄＦ／ＰＡＶＥ／ＴＦＥ共重合体、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥ共重合体、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体、ＶｄＦ／ＴＦＥ／プロピレン（Ｐｒ）共重合体、ＶｄＦ／エチレン（Ｅｔ）／ＨＦＰ共重合体及びＶｄＦ／式（２）で表される含フッ素単量体（２）の共重合体からなる群より選択される少なくとも１種の共重合体が好ましく、また、ＶｄＦ以外の他の共単量体として、ＴＦＥ、ＨＦＰ及びＰＡＶＥからなる群より選択される少なくとも１種の共単量体を有するものであることがより好ましい。このなかでも、ＶｄＦ／ＨＦＰ共重合体、ＶｄＦ／式（２）で表される含フッ素単量体（２）の共重合体、ＶｄＦ／ＰＡＶＥ共重合体、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ共重合体、ＶｄＦ／ＰＡＶＥ／ＴＦＥ共重合体、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥ共重合体及びＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体からなる群より選択される少なくとも１種の共重合体が好ましく、ＶｄＦ／ＨＦＰ共重合体、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ共重合体、ＶｄＦ／式（２）で表される含フッ素単量体（２）の共重合体及びＶｄＦ／ＰＡＶＥ共重合体からなる群より選択される少なくとも１種の共重合体がより好ましく、ＶｄＦ／ＨＦＰ共重合体、ＶｄＦ／式（２）で表される含フッ素単量体（２）の共重合体及びＶｄＦ／ＰＡＶＥ共重合体からなる群より選択される少なくとも１種の共重合体が特に好ましい。
【００３２】
ＶｄＦ／ＨＦＰ共重合体は、ＶｄＦ／ＨＦＰの組成が、（４５〜８５）／（５５〜１５）（モル％）であることが好ましく、より好ましくは（５０〜８０）／（５０〜２０）（モル％）であり、さらに好ましくは（６０〜８０）／（４０〜２０）（モル％）である。
ＶｄＦ／ＨＦＰ共重合体はまた、ＶｄＦ／ＨＦＰの組成が、（４８〜８５）／（５２〜１５）（モル％）であることも好ましく、より好ましくは（５０〜７８）／（５０〜２２）（モル％）であり、さらに好ましくは（５５〜７７）／（４５〜２３）（モル％）である。
【００３３】
ＶｄＦ／ＰＡＶＥ共重合体としては、ＶｄＦ／ＰＡＶＥの組成が（６５〜９０）／（３５〜１０）（モル％）のものが好ましい。
ＶｄＦ／ＰＡＶＥ共重合体としてはまた、ＶｄＦ／ＰＡＶＥの組成が（４８〜８５）／（５２〜１５）（モル％）であるものも好ましく、より好ましくは（５０〜７８）／（５０〜２２）（モル％）であり、さらに好ましくは（５５〜７７）／（４５〜２３）（モル％）である。
【００３４】
ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ共重合体としては、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥの組成が（４８〜８５）／（５２〜１５）／（１〜１０）（モル％）であるものが好ましく、より好ましくは（５０〜７８）／（５０〜２２）／（１〜９）（モル％）であり、さらに好ましくは（５５〜７７）／（４５〜２３）／（１〜８）（モル％）である。
【００３５】
ＶｄＦ／ＰＡＶＥ／ＴＦＥ共重合体としては、ＶｄＦ／ＰＡＶＥ／ＴＦＥの組成が（４０〜８０）／（１５〜３５）／（３〜４０）（モル％）のものが好ましい。
ＶｄＦ／ＰＡＶＥ／ＴＦＥ共重合体としてはまた、ＶｄＦ／ＰＡＶＥ／ＴＦＥの組成が（４８〜８５）／（５２〜１５）／（１〜１０）（モル％）であるものも好ましく、より好ましくは（５０〜７８）／（５０〜２２）／（１〜９）（モル％）であり、さらに好ましくは（５５〜７７）／（４５〜２３）／（１〜８）（モル％）である。
【００３６】
ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥ共重合体としては、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥの組成が（６５〜９０）／（３〜２５）／（３〜２５）（モル％）のものが好ましい。
ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥ共重合体としてはまた、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥの組成が（４８〜８５）／（１５〜５２）／（１〜２５）（モル％）のものも好ましく、より好ましくはＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥの組成が（５０〜７８）／（２２〜５０）／（１〜２０）（モル％）、さらに好ましくはＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥの組成が（５５〜７７）／（４５〜２３）／（１〜１５）（モル％）である。
【００３７】
ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合としては、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥの組成が（４０〜９０）／（０〜２５）／（０〜４０）／（３〜３５）（モル％）のものが好ましく、（４０〜８０）／（３〜２５）／（３〜４０）／（３〜２５）（モル％）のものがより好ましい。
ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合としてはまた、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥの組成が（４８〜８５）／（１５〜５２）／（１〜１０）／（１〜２５）（モル％）のものも好ましく、より好ましくは（５０〜７８）／（２２〜５０）／（１〜９）／（１〜２０）（モル％）であり、さらに好ましくは（５５〜７７）／（２３〜４５）／（１〜８）／（１〜１５）（モル％）である。
【００３８】
ＶｄＦ／式（２）で表される含フッ素単量体（２）系共重合体としては、ＶｄＦ／含フッ素単量体（２）単位のモル％比が８５／１５〜２０／８０であり、ＶｄＦおよび含フッ素単量体（２）以外の他の単量体単位が全単量体単位の０〜５０モル％のものが好ましく、ＶｄＦ／含フッ素単量体（２）単位のモル％比が８０／２０〜２０／８０であることがより好ましい。またＶｄＦ／含フッ素単量体（２）単位のモル％比が８５／１５〜５０／５０であり、ＶｄＦおよび含フッ素単量体（２）以外他の単量体単位が全単量体単位の１〜５０モル％であるものも好ましい。また、ＶｄＦ／含フッ素単量体（２）単位のモル％比が４８／５２〜８５／１５であるものも好ましい。より好ましくは、ＶｄＦ／含フッ素単量体（２）単位のモル％比が５０／５０〜７８／２２であり、ＶｄＦおよび含フッ素単量体（２）以外他の単量体単位が全単量体単位の０〜５０モル％であるものである。さらに好ましくは、ＶｄＦ／含フッ素単量体（２）単位のモル％比が５５／４５〜７７／２３であり、ＶｄＦおよび含フッ素単量体（２）以外他の単量体単位が全単量体単位の０〜４５モル％であるものである。ＶｄＦおよび含フッ素単量体（２）以外の他の単量体としては、ＴＦＥ、ＨＦＰ、ＰＭＶＥ、パーフルオロエチルビニルエーテル（ＰＥＶＥ）、ＰＰＶＥ、ＣＴＦＥ、トリフルオロエチレン、ヘキサフルオロイソブテン、フッ化ビニル、エチレン（Ｅｔ）、プロピレン（Ｐｒ）、アルキルビニルエーテル、架橋性基を与える単量体、および反応性乳化剤などの上記ＶｄＦの共単量体として例示した単量体が好ましく、なかでもＰＭＶＥ、ＣＴＦＥ、ＨＦＰ、ＴＦＥであることがより好ましい。
なお、ＶｄＦおよび含フッ素単量体（２）以外他の単量体がＴＦＥである場合、ＴＦＥ単位の含有量は、全単量体単位の総量１００モル％に対して０〜１０モル％であり、好ましくは０〜９モル％であり、より好ましくは０〜８モル％である。
【００３９】
ＴＦＥ／Ｐｒ系フッ素ゴムは、ＴＦＥ４５〜７０モル％、Ｐｒ５５〜３０モル％からなる含フッ素共重合体をいう。これら２成分に加えて、特定の第３成分（たとえばＰＡＶＥ）を０〜４０モル％含んでいてもよい。
【００４０】
Ｅｔ／ＨＦＰ系フッ素ゴムとしては、Ｅｔ／ＨＦＰの組成が、（３５〜８０）／（６５〜２０）（モル％）であることが好ましく、（４０〜７５）／（６０〜２５）（モル％）がより好ましい。
【００４１】
Ｅｔ／ＨＦＰ／ＴＦＥ系フッ素ゴムは、Ｅｔ／ＨＦＰ／ＴＦＥの組成が、（３５〜７５）／（２５〜５０）／（０〜１５）（モル％）であることが好ましく、（４５〜７５）／（２５〜４５）／（０〜１０）（モル％）がより好ましい。
【００４２】
パーフルオロフッ素ゴムとしては、ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体があげられる。ＴＦＥ／ＰＡＶＥの組成は、（５０〜９０）／（５０〜１０）（モル％）であることが好ましく、より好ましくは、（５０〜８０）／（５０〜２０）（モル％）であり、さらに好ましくは、（５５〜７５）／（４５〜２５）（モル％）である。
【００４３】
この場合のＰＡＶＥとしては、たとえばＰＭＶＥ、ＰＰＶＥなどがあげられ、これらをそれぞれ単独で、または任意に組み合わせて用いることができる。
【００４４】
フッ素ゴム（Ａ）は、数平均分子量が５０００〜５０００００であることが好ましく、１００００〜５０００００であることがさらに好ましく、特に２００００〜５０００００であることが好ましい。
【００４５】
加工性の観点から、フッ素ゴム（Ａ）は１００℃におけるムーニー粘度が２０〜２００であることが好ましく、３０〜１８０であることがより好ましい。ムーニー粘度は、ＡＳＴＭ−Ｄ１６４６およびＪＩＳ  Ｋ６３００に準拠して測定する。
【００４６】
以上説明した非パーフルオロフッ素ゴムおよびパーフルオロフッ素ゴムは、乳化重合、懸濁重合、溶液重合などの常法により製造することができる。特にヨウ素（臭素）移動重合として知られるヨウ素（臭素）化合物を使用した重合法によれば、分子量分布が狭いフッ素ゴムを製造できる。
【００４７】
また、たとえばフッ素ゴム組成物の粘度を低くしたい場合などでは、上記のフッ素ゴム（Ａ）に他のフッ素ゴムをブレンドしてもよい。他のフッ素ゴムとしては、低分子量液状フッ素ゴム（数平均分子量１０００以上）、数平均分子量が１００００程度の低分子量フッ素ゴム、さらには数平均分子量が１０００００〜２０００００程度のフッ素ゴムなどがあげられる。
【００４８】
また、非パーフルオロフッ素ゴム及びパーフルオロフッ素ゴムとして例示したものは主単量体の構成を示したものである。非パーフルオロフッ素ゴム及びパーフルオロフッ素ゴムとしては、主単量体以外に、架橋性基を与える単量体を共重合したものも好適に用いることができる。架橋性基を与える単量体としては、製造法や架橋系に応じて適切な架橋性基を導入できるものであればよく、たとえばヨウ素原子、臭素原子、炭素−炭素二重結合、シアノ基、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、エステル基などを含む公知の重合性化合物、連鎖移動剤などがあげられる。
【００４９】
好ましい架橋性基を与える単量体としては、
式（３）：
ＣＹ１２＝ＣＹ２Ｒｆ２Ｘ１                                              （３）
（式中、Ｙ１、Ｙ２はフッ素原子、水素原子または−ＣＨ３；Ｒｆ２は１個以上のエーテル結合を有していてもよく、芳香環を有していてもよい、水素原子の一部または全部がフッ素原子で置換された直鎖状または分岐状の含フッ素アルキレン基；Ｘ１はヨウ素原子または臭素原子）で示される化合物があげられる。
【００５０】
具体的には、たとえば、式（４）：
ＣＹ１２＝ＣＹ２Ｒｆ３ＣＨＲ１−Ｘ１                                    （４）
（式中、Ｙ１、Ｙ２、Ｘ１は前記同様であり、Ｒｆ３は１個以上のエーテル結合を有していてもよく水素原子の一部または全部がフッ素原子で置換された直鎖状または分岐状の含フッ素アルキレン基、すなわち水素原子の一部または全部がフッ素原子で置換された直鎖状または分岐状の含フッ素アルキレン基、水素原子の一部または全部がフッ素原子で置換された直鎖状または分岐状の含フッ素オキシアルキレン基、または水素原子の一部または全部がフッ素原子で置換された直鎖状または分岐状の含フッ素ポリオキシアルキレン基；Ｒ１は水素原子またはメチル基）で示されるヨウ素含有モノマー及び臭素含有モノマー、式（５）〜（２２）：
ＣＹ４２＝ＣＹ４（ＣＦ２）ｎ−Ｘ１                                      （５）
（式中、Ｙ４は、同一又は異なり、水素原子またはフッ素原子、ｎは１〜８の整数）
ＣＦ２＝ＣＦＣＦ２Ｒｆ４−Ｘ１                                          （６）
（式中、
【化１】
0005842932.tif 000002
であり、ｎは０〜５の整数）
ＣＦ２＝ＣＦＣＦ２（ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２）ｍ
（ＯＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２）ｎＯＣＨ２ＣＦ２−Ｘ１  （７）
（式中、ｍは０〜５の整数、ｎは０〜５の整数）
ＣＦ２＝ＣＦＣＦ２（ＯＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２）ｍ
（ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２）ｎＯＣＦ（ＣＦ３）−Ｘ１（８）
（式中、ｍは０〜５の整数、ｎは０〜５の整数）
ＣＦ２＝ＣＦ（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））ｍＯ（ＣＦ２）ｎ−Ｘ１            （９）
（式中、ｍは０〜５の整数、ｎは１〜８の整数）
ＣＦ２＝ＣＦ（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））ｍ−Ｘ１                          （１０）
（式中、ｍは１〜５の整数）
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２（ＣＦ（ＣＦ３）ＯＣＦ２）ｎＣＦ（−Ｘ１）ＣＦ３    （１１）
（式中、ｎは１〜４の整数）
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）ｎＯＣＦ（ＣＦ３）−Ｘ１                        （１２）
（式中、ｎは２〜５の整数）
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）ｎ−（Ｃ６Ｈ４）−Ｘ１                          （１３）
（式中、ｎは１〜６の整数）
ＣＦ２＝ＣＦ（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））ｎＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）−Ｘ１    （１４）
（式中、ｎは１〜２の整数）
ＣＨ２＝ＣＦＣＦ２Ｏ（ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ）ｎＣＦ（ＣＦ３）−Ｘ１    （１５）
（式中、ｎは０〜５の整数）、
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ）ｍ（ＣＦ２）ｎ−Ｘ１            （１６）
（式中、ｍは０〜５の整数、ｎは１〜３の整数）
ＣＨ２＝ＣＦＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＯＣＦ（ＣＦ３）−Ｘ１                （１７）
ＣＨ２＝ＣＦＣＦ２ＯＣＨ２ＣＦ２−Ｘ１                                  （１８）
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ）ｍＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）−Ｘ１    （１９）
（式中、ｍは０以上の整数）
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２）ｎ−Ｘ１                  （２０）
（式中、ｎは１以上の整数）
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）ＯＣＦ２−Ｘ１                （２１）
ＣＨ２＝ＣＨ−（ＣＦ２）ｎＸ１                                          （２２）
（式中、ｎは２〜８の整数）
（式（５）〜（２２）中、Ｘ１は前記と同様）
で表されるヨウ素含有モノマー、又は、臭素含有モノマーなどがあげられ、これらをそれぞれ単独で、または任意に組合わせて用いることができる。
【００５１】
式（４）で示されるヨウ素含有モノマーまたは臭素含有モノマーとしては、式（２３）：
【化２】
0005842932.tif 000003
（式中、ｍは１〜５の整数であり、ｎは０〜３の整数）
で表されるヨウ素含有フッ素化ビニルエーテルが好ましくあげられ、より具体的には、
【化３】
0005842932.tif 000004
などがあげられるが、これらの中でも、ＩＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ＝ＣＦ２が好ましい。
【００５２】
式（５）で示されるヨウ素含有モノマーまたは臭素含有モノマーとしてより具体的には、ＩＣＦ２ＣＦ２ＣＦ＝ＣＨ２、及びＩ（ＣＦ２ＣＦ２）２ＣＦ＝ＣＨ２が好ましい。
【００５３】
式（９）で示されるヨウ素含有モノマーまたは臭素含有モノマーとしてより具体的には、Ｉ（ＣＦ２ＣＦ２）２ＯＣＦ＝ＣＦ２が好ましくあげられる。
【００５４】
式（２２）で示されるヨウ素含有モノマーまたは臭素含有モノマーとしてより具体的には、ＣＨ２＝ＣＨＣＦ２ＣＦ２Ｉ及びＩ（ＣＦ２ＣＦ２）２ＣＨ＝ＣＨ２が好ましい。
【００５５】
また、式：Ｒ２Ｒ３Ｃ＝ＣＲ４−Ｚ−ＣＲ５＝ＣＲ６Ｒ７ 
（式中、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６およびＲ７は同じかまたは異なり、いずれもＨ、または炭素数１〜５のアルキル基；Ｚは、直鎖もしくは分岐状の、酸素原子を含んでいてもよい、好ましくは少なくとも部分的にフッ素化された炭素数１〜１８のアルキレン基もしくはシクロアルキレン基、または（パー）フルオロポリオキシアルキレン基）で示されるビスオレフィン化合物も架橋性基を与える単量体として好ましい。なお、本明細書において、「（パー）フルオロポリオキシアルキレン基」とは、「フルオロポリオキシアルキレン基又はパーフルオロポリオキシアルキレン基」を意味する。
【００５６】
Ｚは、好ましくは炭素数４〜１２の（パー）フルオロアルキレン基であり、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６およびＲ７は好ましくは水素原子である。
【００５７】
Ｚが（パー）フルオロポリオキシアルキレン基である場合、式：
−（Ｑ）ｐ−ＣＦ２Ｏ−（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｍ−（ＣＦ２Ｏ）ｎ−ＣＦ２−（Ｑ）ｐ−
（式中、Ｑは炭素数１〜１０のアルキレン基または炭素数２〜１０のオキシアルキレン基であり、ｐは０または１であり、ｍ及びｎはｍ／ｎ比が０．２〜５となり且つ該（パー）フルオロポリオキシアルキレン基の分子量が５００〜１００００、好ましくは１０００〜４０００の範囲となる整数である。）で表される（パー）フルオロポリオキシアルキレン基であることが好ましい。この式において、Ｑは好ましくは、−ＣＨ２ＯＣＨ２−及び−ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｓＣＨ２−（ｓ＝１〜３）の中から選ばれる。
【００５８】
好ましいビスオレフィンは、
ＣＨ２＝ＣＨ−（ＣＦ２）４−ＣＨ＝ＣＨ２、
ＣＨ２＝ＣＨ−（ＣＦ２）６−ＣＨ＝ＣＨ２、
式：ＣＨ２＝ＣＨ−Ｚ１−ＣＨ＝ＣＨ２ 
（式中、Ｚ１は−ＣＨ２ＯＣＨ２−ＣＦ２Ｏ−（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｍ−（ＣＦ２Ｏ）ｎ−ＣＦ２−ＣＨ２ＯＣＨ２−（ｍ／ｎは０．５））
で表される単量体などがあげられる。
【００５９】
なかでも、ＣＨ２＝ＣＨ−（ＣＦ２）６−ＣＨ＝ＣＨ２で示される３，３，４，４，５，５，６，６，７，７，８，８−ドデカフルオロ−１，９−デカジエンが好ましい。
【００６０】
本発明において、カーボンブラック（Ｂ）は、上記範囲の損失弾性率Ｅ”、好ましくは上記範囲の貯蔵弾性率Ｅ’を与えるカーボンブラックである。
【００６１】
カーボンブラックとしては、ファーネスブラック、アセチレンブラック、サーマルブラック、チャンネルブラック、グラファイトなどがあげられる。具体的には、たとえば、ＳＡＦ−ＨＳ（Ｎ２ＳＡ：１４２ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１３０ｍｌ／１００ｇ）、ＳＡＦ（Ｎ２ＳＡ：１４２ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１１５ｍｌ／１００ｇ）、Ｎ２３４（Ｎ２ＳＡ：１２６ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１２５ｍｌ／１００ｇ）、ＩＳＡＦ（Ｎ２ＳＡ：１１９ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１１４ｍｌ／１００ｇ）、ＩＳＡＦ−ＬＳ（Ｎ２ＳＡ：１０６ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：７５ｍｌ／１００ｇ）、ＩＳＡＦ−ＨＳ（Ｎ２ＳＡ：９９ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１２９ｍｌ／１００ｇ）、Ｎ３３９（Ｎ２ＳＡ：９３ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１１９ｍｌ／１００ｇ）、ＨＡＦ−ＬＳ（Ｎ２ＳＡ：８４ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：７５ｍｌ／１００ｇ）、ＨＡＳ−ＨＳ（Ｎ２ＳＡ：８２ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１２６ｍｌ／１００ｇ）、ＨＡＦ（Ｎ２ＳＡ：７９ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１０１ｍｌ／１００ｇ）、Ｎ３５１（Ｎ２ＳＡ：７４ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１２７ｍｌ／１００ｇ）、ＬＩ−ＨＡＦ（Ｎ２ＳＡ：７４ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１０１ｍｌ／１００ｇ）、ＭＡＦ−ＨＳ（Ｎ２ＳＡ：５６ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１５８ｍｌ／１００ｇ）、ＭＡＦ（Ｎ２ＳＡ：４９ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１３３ｍｌ／１００ｇ）、ＦＥＦ−ＨＳ（Ｎ２ＳＡ：４２ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１６０ｍｌ／１００ｇ）、ＦＥＦ（Ｎ２ＳＡ：４２ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１１５ｍｌ／１００ｇ）、ＳＲＦ−ＨＳ（Ｎ２ＳＡ：３２ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１４０ｍｌ／１００ｇ）、ＳＲＦ−ＨＳ（Ｎ２ＳＡ：２９ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：１５２ｍｌ／１００ｇ）、ＧＰＦ（Ｎ２ＳＡ：２７ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：８７ｍｌ／１００ｇ）、ＳＲＦ（Ｎ２ＳＡ：２７ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：６８ｍｌ／１００ｇ）、ＳＲＦ−ＬＳ（Ｎ２ＳＡ：２３ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：５１ｍｌ／１００ｇ）、ＦＴ（Ｎ２ＳＡ：１９ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：４２ｍｌ／１００ｇ）、ＭＴ（Ｎ２ＳＡ：８ｍ２／ｇ、ＤＢＰ：４３ｍｌ／１００ｇ）などがあげられる。これらのカーボンブラックは単独で使用してもよいし、また２種以上を併用してもよい。
【００６２】
なかでも、カーボンブラックとしては、窒素吸着比表面積（Ｎ２ＳＡ）が５〜１８０ｍ２／ｇであって、ジブチルフタレート（ＤＢＰ）吸油量が４０〜１８０ｍｌ／１００ｇであるカーボンブラックが好ましい。
【００６３】
窒素吸着比表面積（Ｎ２ＳＡ）が小さくなり過ぎると、ゴムに配合した場合の機械物性が低下する傾向にあり、この観点から、窒素吸着比表面積（Ｎ２ＳＡ）は１０ｍ２／ｇ以上が好ましく、２０ｍ２／ｇ以上がより好ましく、３０ｍ２／ｇ以上が更に好ましく、４０ｍ２／ｇ以上が更により好ましく、８０ｍ２／ｇ以上が特に好ましく、１００ｍ２／ｇ以上が最も好ましい。上限は、一般的に入手しやすい観点から１８０ｍ２／ｇが好ましい。
【００６４】
ジブチルフタレート（ＤＢＰ）吸油量が４０ｍｌ／１００ｇよりも小さくなると、ゴムに配合した場合の機械物性が低下する傾向にあり、この観点から、５０ｍｌ／１００ｇ以上が好ましく、６０ｍｌ／１００ｇ以上がより好ましく、７０ｍｌ／１００ｇ以上が更に好ましく、１００ｍｌ／１００ｇ以上が更により好ましく、１１０ｍｌ／１００ｇ以上が特に好ましい。上限は一般的に入手しやすい観点から、１７５ｍｌ／１００ｇ、さらには１７０ｍｌ／１００ｇが好ましい。
【００６５】
カーボンブラック（Ｂ）の配合量は、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して５〜５０質量部が好ましい。カーボンブラック（Ｂ）が多くなりすぎると架橋物の機械物性が低下する傾向、硬くなりすぎる傾向にあり、また、少なくなりすぎると機械物性が低下する傾向にある。さらに好ましい配合量は、物性バランスが良好な点から、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して６質量部以上が好ましく、１０質量部以上がより好ましく、２０質量部以上が更に好ましく、物性バランスが良好な点から４９質量部以下が好ましく、特に４５質量部以下がより好ましい。
【００６６】
本発明における架橋フッ素ゴム層を得るには、フッ素ゴム組成物として、たとえばラバープロセスアナライザ（ＲＰＡ）による未架橋ゴムでの動的粘弾性試験（測定温度：１００℃、測定周波数：１Ｈｚ）における動的歪み１％時のせん断弾性率Ｇ’（１％）および動的歪み１００％時のせん断弾性率Ｇ’（１００％）の差δＧ’（Ｇ’（１％）−Ｇ’（１００％））が、１２０ｋＰａ以上３，０００ｋＰａ以下であるものを好適に用いることができる。
【００６７】
差δＧ’は、ゴム組成物の補強性という性質を評価する指標として用い、ラバープロセスアナライザによる動的粘弾性試験で測定算出される。
【００６８】
差δＧ’が１２０ｋＰａ以上３，０００ｋＰａ以下の範囲にあるフッ素ゴム組成物は、常態物性および高温時の機械物性などの点で有利である。
【００６９】
差δＧ’は、常態物性および高温時の機械物性などが良好な点から、好ましくは１５０以上、さらには１６０以上であり、常態物性、硬度、押出成形時の粘度および高温時の機械物性などが良好な点から、２，８００以下、さらには２，５００以下である。
【００７０】
差δＧ’が１２０ｋＰａ以上３，０００ｋＰａ以下のフッ素ゴム組成物は、たとえば混練機やロール練り機などを用いて調製できる。
【００７１】
より具体的には、つぎの各方法があげられるが、これらの方法に限定されるものではない。
【００７２】
（１）密閉式混練機にフッ素ゴム（Ａ）とカーボンブラック（Ｂ）、要すれば後述する有機アミン化合物および／または受酸剤を所定量投入し、ローターの平均剪断速度を５０〜１０００（１／秒）、好ましくは１００〜１０００（１／秒）、さらに好ましくは２００〜１０００（１／秒）に調整して、混練温度の最高温度Ｔｍが８０〜２２０℃（好ましくは１２０〜２００℃）となる条件で混練する方法（つまり、混練時の混練物の最高温度Ｔｍ８０℃〜２２０℃とし、その温度で排出する条件にて混練することが好ましい。以下同様）。なお、密閉式混練機としては、加圧ニーダーやバンバリーミキサー、一軸混練機、二軸混練機などがあげられる。
【００７３】
（２）ロール練り機にフッ素ゴム（Ａ）とカーボンブラック（Ｂ）、要すれば後述する有機アミン化合物および／または受酸剤を所定量投入し、ローターの平均剪断速度を５０（１／秒）以上、混練温度の最高温度Ｔｍが８０〜２２０℃（好ましくは１２０〜２００℃）となる条件で混練する方法。
【００７４】
上記（１）、（２）の方法で得られるフッ素ゴム組成物は架橋剤（および／または架橋助剤（Ｄ））や架橋促進剤などを含んでいない。また、上記（１）、（２）の方法の混練を複数回行ってもよい。複数回行う場合、２回目以降の混練条件は、混練温度の最高温度Ｔｍを１４０℃以下とする以外は上記（１）、（２）の方法と同じ条件でよい。
【００７５】
本発明で用いる架橋性のフッ素ゴム組成物の調製法の１つは、たとえば、上記（１）、（２）の方法で得られた、あるいは上記（１）、（２）の方法を複数回繰り返して得られたフッ素ゴム組成物に、さらに架橋剤（Ｃ）（および／または架橋助剤（Ｄ））および架橋促進剤を配合し混練する方法である。
【００７６】
架橋剤（Ｃ）（および／または架橋助剤（Ｄ））と架橋促進剤は同時に配合し混練してもよいし、まず架橋促進剤を配合混練し、ついで架橋剤（Ｃ）（および／または架橋助剤（Ｄ））を配合混練してもよい。架橋剤（Ｃ）（および／または架橋助剤（Ｄ））と架橋促進剤の混練条件は、混練温度の最高温度Ｔｍが１３０℃以下であるほかは、上記（１）、（２）の方法と同じ条件でよい。
【００７７】
架橋性のフッ素ゴム組成物の別の調製法は、たとえばロール練り機にフッ素ゴム（Ａ）とカーボンブラック（Ｂ）、架橋剤（Ｃ）（および／または架橋助剤（Ｄ））および架橋促進剤を適切な順序で所定量投入し、ローターの平均剪断速度を５０（１／秒）以上、混練温度の最高温度Ｔｍが１３０℃以下の条件で混練する方法があげられる。
【００７８】
また、ポリオール架橋系の場合は、予めフッ素ゴム（Ａ）と架橋剤（Ｃ）と架橋促進剤を混合し、均一分散体にしたものを使用してもよい。たとえば、フッ素ゴム（Ａ）とポリオール系架橋剤と架橋促進剤をまず混練し、ついでカーボンブラックと後述する有機アミン化合物を配合して混練し、混練温度の最高温度Ｔｍを８０〜２２０℃とする。そして、最後に受酸剤を配合して混練し、混練温度の最高温度Ｔｍ１３０℃以下とする方法があげられる。なお混練するにあたっては、平均剪断速度５０（１／秒）以上で混練する方法を採用するのがより好ましい。
【００７９】
上記差δＧ’の範囲は、架橋剤（Ｃ）および／または架橋助剤（Ｄ）、架橋促進剤を配合する前のフッ素ゴム組成物において満たされていることが好ましい。また、架橋剤（Ｃ）および／または架橋助剤（Ｄ）、架橋促進剤を配合したフッ素ゴム組成物でも、上記差δＧ’は上記の範囲に入っていることが好ましい。
【００８０】
上述した特定の損失弾性率Ｅ”や貯蔵弾性率Ｅ’を備えたフッ素ゴム層を得る観点からは、平均剪断速度は５０（１／秒）以上が好ましい。平均剪断速度を５０（１／秒）以上にすることにより、所望の常態物性および高温時の機械物性を得ることができる。平均剪断速度として、より好ましくは１００（１／秒）以上、更に好ましくは２００（１／秒）以上、特に好ましくは３００（１／秒）以上である。平均剪断速度としてはまた、１０００（１／秒）以下が好ましい。
【００８１】
平均剪断速度（１／秒）は、つぎの式により算出される。
平均剪断速度（１／秒）＝（π×Ｄ×Ｒ）／（６０（秒）×ｃ）
（式中、
Ｄ：ローター径またはロール径（ｃｍ）
Ｒ：回転速度（ｒｐｍ）
ｃ：チップクリアランス（ｃｍ。ローターとケーシングとの間隙の距離、またはロール同士の間隙の距離）
【００８２】
架橋剤（Ｃ）および／または架橋助剤（Ｄ）、架橋促進剤は、架橋系、架橋するフッ素ゴム（Ａ）の種類（たとえば共重合組成、架橋性基の有無や種類など）、得られるダイヤフラムの具体的用途や使用形態、そのほか混練条件などに応じて、適宜選択することができる。
【００８３】
架橋系としては、たとえば過酸化物架橋系、ポリオール架橋系、ポリアミン架橋系、オキサゾール架橋系、チアゾール架橋系、イミダゾール架橋系、トリアジン架橋系などが採用できる。
【００８４】
（過酸化物架橋系）
過酸化物架橋系により架橋する場合、架橋物は、架橋点に炭素−炭素結合を有しているので、架橋点に炭素−酸素結合を有するポリオール架橋系および炭素−窒素二重結合を有するポリアミン架橋系に比べて、耐薬品性および耐スチーム性に優れているという特徴がある。
【００８５】
架橋剤（Ｃ）としては過酸化物架橋系の架橋剤が好ましい。過酸化物架橋系の架橋剤としては、熱や酸化還元系の存在下で容易にパーオキシラジカルを発生し得る過酸化物であればよく、具体的には、たとえば１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−３，５，５−トリメチルシクロヘキサン、２，５−ジメチルヘキサン−２，５−ジヒドロパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、α，α−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−ｐ−ジイソプロピルベンゼン、α，α−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−ｍ−ジイソプロピルベンゼン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）−ヘキシン−３、ベンゾイルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシベンゼン、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ｔ−ブチルパーオキシマレイン酸、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネートなどの有機過酸化物をあげることができる。これらの中でも、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、又は２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）−ヘキシン−３が好ましい。
【００８６】
また、過酸化物架橋系では、通常、架橋促進剤を含むことが好ましい。過酸化物系架橋剤、特に有機過酸化物系架橋剤の架橋促進剤としては、たとえば、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート（ＴＡＩＣ）、トリアクリルホルマール、トリアリルトリメリテート、Ｎ，Ｎ’−ｍ−フェニレンビスマレイミド、ジプロパルギルテレフタレート、ジアリルフタレート、テトラアリルテレフタレートアミド、トリアリルホスフェート、ビスマレイミド、フッ素化トリアリルイソシアヌレート（１，３，５−トリス（２，３，３−トリフルオロ−２−プロペニル）−１，３，５−トリアジン−２，４，６−トリオン）、トリス（ジアリルアミン）−Ｓ−トリアジン、亜リン酸トリアリル、Ｎ，Ｎ−ジアリルアクリルアミド、１，６−ジビニルドデカフルオロヘキサン、ヘキサアリルホスホルアミド、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラアリルフタルアミド、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラアリルマロンアミド、トリビニルイソシアヌレート、２，４，６−トリビニルメチルトリシロキサン、トリ（５−ノルボルネン−２−メチレン）シアヌレート、トリアリルホスファイトなどがあげられる。これらの中でも、架橋性、架橋物の物性の点から、トリアリルイソシアヌレート（ＴＡＩＣ）が好ましい。
【００８７】
過酸化物架橋系に好適なフッ素ゴム（Ａ）としては、ＴＦＥ単位、ＶｄＦ単位または式（１）の含フッ素単量体単位を少なくとも含むパーフルオロフッ素ゴムおよび非パーフルオロフッ素ゴムのいずれもが使用できるが、特にＶｄＦ系ゴム、および、ＴＦＥ／Ｐｒ系ゴムからなる群より選択される少なくとも１種のゴムが好ましい。
【００８８】
また、架橋性の観点から、過酸化物架橋系に好適なフッ素ゴム（Ａ）としては、架橋点としてヨウ素原子および／または臭素原子を含むフッ素ゴムが好ましい。ヨウ素原子および／または臭素原子の含有量としては、０．００１〜１０質量％、さらには０．０１〜５質量％、特に０．１〜３質量％が、物性のバランスが良好な点から好ましい。
【００８９】
過酸化物架橋剤の配合量としては、通常、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して、０．０１〜１０質量部であることが好ましく、より好ましくは０．１〜９質量部、特に好ましくは０．２〜８質量部である。過酸化物架橋剤が、０．０１質量部未満であると、フッ素ゴム（Ａ）の架橋が充分に進行しない傾向があり、１０質量部を超えると、物性のバランスが低下する傾向がある。
【００９０】
また、架橋促進剤の配合量は、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して、０．０１〜１０質量部であり、好ましくは０．１〜９質量部である。架橋促進剤が、０．０１質量部より少ないと、架橋時間が実用に耐えないほど長くなる傾向があり、１０質量部をこえると、架橋時間が速くなり過ぎることに加え、物性バランスが低下する傾向がある。
【００９１】
（ポリオール架橋系）
ポリオール架橋系により架橋する場合、架橋物は、架橋点に炭素−酸素結合を有しており、圧縮永久歪みが小さく、成形性に優れているという特徴がある点で好適である。
【００９２】
ポリオール架橋剤としては、従来、フッ素ゴムの架橋剤として知られている化合物を用いることができ、たとえば、ポリヒドロキシ化合物、特に、耐熱性に優れる点からポリヒドロキシ芳香族化合物が好適に用いられる。
【００９３】
上記ポリヒドロキシ芳香族化合物としては、特に限定されず、たとえば、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）プロパン（以下、ビスフェノールＡという）、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）パーフルオロプロパン（以下、ビスフェノールＡＦという）、レゾルシン、１，３−ジヒドロキシベンゼン、１，７−ジヒドロキシナフタレン、２，７−ジヒドロキシナフタレン、１，６−ジヒドロキシナフタレン、４，４’−ジヒドロキシジフェニル、４，４’−ジヒドロキシスチルベン、２，６−ジヒドロキシアントラセン、ヒドロキノン、カテコール、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）ブタン（以下、ビスフェノールＢという）、４，４−ビス（４−ヒドロキシフェニル）吉草酸、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）テトラフルオロジクロロプロパン、４，４’−ジヒドロキシジフェニルスルホン、４，４’−ジヒドロキシジフェニルケトン、トリ（４−ヒドロキシフェニル）メタン、３，３’，５，５’−テトラクロロビスフェノールＡ、３，３’，５，５’−テトラブロモビスフェノールＡなどがあげられる。これらのポリヒドロキシ芳香族化合物は、アルカリ金属塩、アルカリ土類金属塩などであってもよいが、酸を用いて共重合体を凝析する場合は、上記金属塩は用いないことが好ましい。
【００９４】
これらの中でも、得られる成形品などの圧縮永久歪みが小さく、成形性も優れているという点から、ポリヒドロキシ化合物が好ましく、耐熱性が優れることからポリヒドロキシ芳香族化合物がより好ましく、ビスフェノールＡＦがさらに好ましい。
【００９５】
また、ポリオール架橋系では、通常、架橋促進剤を含むことが好ましい。架橋促進剤を用いると、フッ素ゴム主鎖の脱フッ酸反応における分子内二重結合の生成と、生成した二重結合へのポリヒドロキシ化合物の付加を促進することにより架橋反応を促進することができる。
【００９６】
ポリオール架橋系の架橋促進剤としては、一般にオニウム化合物が用いられる。オニウム化合物としては特に限定されず、たとえば、第４級アンモニウム塩等のアンモニウム化合物、第４級ホスホニウム塩等のホスホニウム化合物、オキソニウム化合物、スルホニウム化合物、環状アミン、１官能性アミン化合物などがあげられ、これらの中でも第４級アンモニウム塩、第４級ホスホニウム塩が好ましい。
【００９７】
第４級アンモニウム塩としては特に限定されず、たとえば、８−メチル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムクロリド、８−メチル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムアイオダイド、８−メチル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムハイドロキサイド、８−メチル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムメチルスルフェート、８−エチル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムブロミド、８−プロピル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムブロミド、８−ドデシル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムクロリド、８−ドデシル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムハイドロキサイド、８−エイコシル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムクロリド、８−テトラコシル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムクロリド、８−ベンジル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムクロリド（以下、ＤＢＵ−Ｂとする）、８−ベンジル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムハイドロキサイド、８−フェネチル−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムクロリド、８−（３−フェニルプロピル）−１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセニウムクロリドなどがあげられる。これらの中でも、架橋性、架橋物の物性の点から、ＤＢＵ−Ｂが好ましい。
【００９８】
また、第４級ホスホニウム塩としては特に限定されず、たとえば、テトラブチルホスホニウムクロリド、ベンジルトリフェニルホスホニウムクロリド（以下、ＢＴＰＰＣとする）、ベンジルトリメチルホスホニウムクロリド、ベンジルトリブチルホスホニウムクロリド、トリブチルアリルホスホニウムクロリド、トリブチル−２−メトキシプロピルホスホニウムクロリド、ベンジルフェニル（ジメチルアミノ）ホスホニウムクロリドなどをあげることができ、これらの中でも、架橋性、架橋物の物性の点から、ベンジルトリフェニルホスホニウムクロリド（ＢＴＰＰＣ）が好ましい。
【００９９】
また、架橋促進剤として、第４級アンモニウム塩又は第４級ホスホニウム塩とビスフェノールＡＦとの固溶体、特開平１１−１４７８９１号公報に開示されている塩素フリー架橋促進剤を用いることもできる。
【０１００】
ポリオール架橋系に好適なフッ素ゴム（Ａ）としては、ＴＦＥ単位、ＶｄＦ単位または式（１）の含フッ素単量体単位を少なくとも含むパーフルオロフッ素ゴムおよび非パーフルオロフッ素ゴムのいずれもが使用できるが、特にＶｄＦ系ゴム、及びＴＦＥ／Ｐｒ系ゴムからなる群より選択される少なくとも１種のゴムが好ましい。
【０１０１】
ポリオール架橋剤の配合量としては、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して、０．０１〜１０質量部であることが好ましく、より好ましくは０．１〜７質量部である。ポリオール架橋剤が、０．０１質量部未満であると、フッ素ゴム（Ａ）の架橋が充分に進行しない傾向があり、１０質量部を超えると、物性のバランスが低下する傾向がある。
【０１０２】
また、架橋促進剤の配合量は、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して、０．０１〜８質量部であることが好ましく、より好ましくは０．０２〜５質量部である。架橋促進剤が、０．０１質量部未満であると、フッ素ゴム（Ａ）の架橋が充分に進行しない傾向があり、８質量部をこえると、物性のバランスが低下する傾向がある。
【０１０３】
（ポリアミン架橋系）
ポリアミン架橋により架橋してなる場合、架橋物は、架橋点に炭素−窒素二重結合を有しているものであり、動的機械特性に優れているという特徴がある。しかし、ポリオール架橋系または過酸化物架橋系架橋剤を用いて架橋する場合に比べて、圧縮永久歪みが大きくなる傾向がある。
【０１０４】
ポリアミン系架橋剤としては、たとえば、ヘキサメチレンジアミンカーバメート、Ｎ，Ｎ’−ジシンナミリデン−１，６−ヘキサメチレンジアミン、４，４’−ビス（アミノシクロヘキシル）メタンカルバメートなどのポリアミン化合物があげられる。これらの中でも、Ｎ，Ｎ’−ジシンナミリデン−１，６−ヘキサメチレンジアミンが好ましい。
【０１０５】
ポリアミン架橋系に好適なフッ素ゴム（Ａ）としては、ＴＦＥ単位、ＶｄＦ単位または式（１）の含フッ素単量体単位を少なくとも含むパーフルオロフッ素ゴムおよび非パーフルオロフッ素ゴムのいずれもが使用できるが、特にＶｄＦ系ゴム、ＴＦＥ／Ｐｒ系ゴムが好ましい。
【０１０６】
ポリアミン系架橋剤の配合量としては、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して、０．０１〜１０質量部であることが好ましく、より好ましくは０．２〜７質量部である。ポリアミン系架橋剤が、０．０１質量部未満であると、フッ素ゴム（Ａ）の架橋が充分に進行しない傾向があり、１０質量部を超えると、物性のバランスが低下する傾向がある。
【０１０７】
（オキサゾール架橋系、チアゾール架橋系、イミダゾール架橋系）
オキサゾール架橋系、チアゾール架橋系、イミダゾール架橋系は、架橋物の圧縮永久歪みが小さく、耐熱性に優れた架橋系である。
【０１０８】
オキサゾール架橋系、チアゾール架橋系、イミダゾール架橋系に用いる架橋剤としては、
式（２４）：
【化４】
0005842932.tif 000005
（式中、Ｒ１は同じかまたは異なり、−ＮＨ２、−ＮＨＲ２、−ＯＨまたは−ＳＨであり、Ｒ２はフッ素原子または１価の有機基である）で示される架橋性反応基を少なくとも２個含む化合物、式（２５）：
【化５】
0005842932.tif 000006
で示される化合物、式（２６）：
【化６】
0005842932.tif 000007
（式中、Ｒｆ１は炭素数１〜１０のパーフルオロアルキレン基）で示される化合物、および式（２７）：
【化７】
0005842932.tif 000008
（式中、ｎは１〜１０の整数）で示される化合物などが例示できる。
【０１０９】
具体的な架橋剤としては、式（２４）で示される架橋性反応基を２個有する式（２８）：
【化８】
0005842932.tif 000009
（式中、Ｒ１は前記と同じ、Ｒ５は、−ＳＯ２−、−Ｏ−、−ＣＯ−、炭素数１〜６のアルキレン基、炭素数１〜１０のパーフルオロアルキレン基、単結合手、または
【化９】
0005842932.tif 000010
で示される基である）で示される化合物や、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（３−アミノ−４−メルカプトフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（３，４−ジアミノフェニル）ヘキサフルオロプロパンなどのほか、
式（２９）：
【化１０】
0005842932.tif 000011
（式中、Ｒ６は同じかまたは異なり、いずれも炭素数１〜１０のアルキル基；フッ素原子を含有する炭素数１〜１０のアルキル基；フェニル基；ベンジル基；フッ素原子および／または−ＣＦ３で１〜５個の水素原子が置換されたフェニル基またはベンジル基である）で示される化合物があげられる。
【０１１０】
これらの具体例としては、限定的ではないが、たとえば２，２−ビス（３，４−ジアミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−メチルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−エチルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−プロピルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−フェニルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−パーフルオロフェニルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−ベンジルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパンなどのビスアミノフェノール系架橋剤などがあげられる。
【０１１１】
上記の架橋剤の中でも、耐熱性が優れており、架橋反応性が特に良好である点から、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン（ＯＨ−ＡＦ）、２，２−ビス［３−アミノ−４−（Ｎ−フェニルアミノ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン（Ｎｐｈ−ＡＦ）、２，２−ビス（３，４−ジアミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン（ＴＡ−ＡＦ）がさらに好ましい。
【０１１２】
また、これらのオキサゾール架橋系、チアゾール架橋系、イミダゾール架橋系では、架橋速度が大きく改善される点から、架橋助剤（Ｄ）を併用してもよい。
【０１１３】
オキサゾール架橋系、チアゾール架橋系、イミダゾール架橋系に併用する架橋助剤（Ｄ）としては、たとえば（Ｄ１）４０〜３３０℃でアンモニアを発生させる化合物、または（Ｄ２）無機窒化物粒子が例示できる。
【０１１４】
（Ｄ１）４０〜３３０℃でアンモニアを発生させる化合物（アンモニア発生化合物）
アンモニア発生化合物（Ｄ１）は、架橋反応温度（４０〜３３０℃）で発生したアンモニアが架橋を引き起こすことにより硬化を生じさせるとともに、架橋剤により硬化も促進する。また微量の水と反応して、アンモニアを発生させるものもある。
【０１１５】
アンモニア発生化合物（Ｄ１）としては、尿素及びその誘導体、並びに、アンモニウム塩が好ましくあげられ、尿素及びアンモニウム塩がより好ましい。アンモニウム塩としては有機アンモニウム塩でも無機アンモニウム塩でもよい。
【０１１６】
尿素の誘導体としては、ビウレア、チオウレア、尿素塩酸塩、ビウレットなどの尿素誘導体も含まれる。
【０１１７】
有機アンモニウム塩としては、特開平９−１１１０８１号公報、国際公開第００／０９６０３号パンフレット、国際公開第９８／２３６７５号パンフレットに記載された化合物、たとえばパーフルオロヘキサン酸アンモニウム、パーフルオロオクタン酸アンモニウムなどのポリフルオロカルボン酸のアンモニウム塩；パーフルオロヘキサンスルホン酸アンモニウム、パーフルオロオクタンスルホン酸アンモニウムなどのポリフルオロスルホン酸のアンモニウム塩；パーフルオロヘキサンリン酸アンモニウム、パーフルオロオクタンリン酸アンモニウムなどのポリフルオロアルキル基含有リン酸、ホスホン酸のアンモニウム塩；安息香酸アンモニウム、アジピン酸アンモニウム、フタル酸アンモニウムなどの非フッ素系のカルボン酸またはスルホン酸のアンモニウム塩が例示できる。なかでも、分散性の観点からはフッ素系のカルボン酸、スルホン酸またはリン酸のアンモニウム塩が好ましく、一方、安価な点からは、非フッ素系のカルボン酸、スルホン酸またはリン酸のアンモニウム塩が好ましい。
【０１１８】
無機アンモニウム塩としては、特開平９−１１１０８１号公報に記載された化合物、たとえば硫酸アンモニウム、炭酸アンモニウム、硝酸アンモニウム、リン酸アンモニウムなどが例示でき、なかでも架橋特性を考慮すると、リン酸アンモニウムが好ましい。
【０１１９】
そのほか、アセトアルデヒドアンモニア、ヘキサメチレンテトラミン、ホルムアミジン、ホルムアミジン塩酸塩、ホルムアミジン酢酸塩、ｔ−ブチルカルバメート、ベンジルカルバメート、ＨＣＦ２ＣＦ２ＣＨ（ＣＨ３）ＯＣＯＮＨ２、フタルアミドなども使用できる。
【０１２０】
これらのアンモニア発生化合物（Ｄ１）は、単独で使用しても、２種以上を併用してもよい。
【０１２１】
（Ｄ２）無機窒化物粒子
無機窒化物粒子（Ｄ２）としては、特に限定されるものではないが、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）、窒化リチウム、窒化チタン、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化バナジウム、窒化ジルコニウムなどがあげられる。これらの中でも、ナノサイズの微粒子が供給可能であることから、窒化ケイ素粒子であることが好ましい。また、これらの窒化物粒子は２種以上混合使用してもよい。
【０１２２】
無機窒化物粒子（Ｄ２）の粒径としては、特に限定されるものではないが、１０００ｎｍ以下であることが好ましく、３００ｎｍ以下であることがより好ましく、１００ｎｍ以下であることがさらに好ましい。下限値は特に限定されない。
【０１２３】
また、これらの無機窒化物粒子（Ｄ２）は、アンモニア発生化合物（Ｄ１）を併用してもよい。
【０１２４】
これらのオキサゾール架橋系、チアゾール架橋系、イミダゾール架橋系は、つぎの特定の架橋性基を有するＶｄＦ系フッ素ゴム、および特定の架橋性基を有するＴＦＥ／Ｐｒ系フッ素ゴムが対象となる。
【０１２５】
（特定の架橋性基を有するＶｄＦ系フッ素ゴム）
特定の架橋性基を有するＶｄＦ系フッ素ゴムは、ＶｄＦと、ＴＦＥ、ＨＦＰおよびフルオロ（ビニルエーテル）よりなる群から選ばれる少なくとも１種のフルオロオレフィンと、シアノ基、カルボキシル基またはアルコキシカルボニル基を含有する単量体との共重合体であるＶｄＦ系ゴムが好ましい。
【０１２６】
ただし、ＶｄＦ単位が全重合単位の２０モル％を超えていることが、低温での脆弱性を改善するために重要である。
【０１２７】
フルオロ（ビニルエーテル）としては、式（３０）：
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２ＣＦＹ２Ｏ）ｐ−（ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｑ−Ｒｆ５      （３０）
（式中Ｙ２は、フッ素原子または−ＣＦ３を表し、Ｒｆ５は、炭素数１〜５のパーフルオロアルキル基を表す。ｐは、０〜５の整数を表し、ｑは、０〜５の整数を表す。）で表される単量体、及び、式（３１）：
ＣＦＸ＝ＣＸＯＣＦ２ＯＲ    （３１）
（式中、ＸはＦまたはＨ；Ｒは炭素数１〜６の直鎖状もしくは分岐状のフルオロアルキル基、炭素数５〜６の環状のフルオロアルキル基、またはフルオロオキシアルキル基。ただし、Ｈ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉから選択される１〜２個の原子を含んでもよい）
で表される単量体からなる群より選択される少なくとも１種が好ましい。
【０１２８】
式（３０）及び式（３１）で示されるものの中でも、ＰＡＶＥが好ましく、ＰＭＶＥ、又は、ＰＰＶＥがより好ましく、特にＰＭＶＥが好ましい。
【０１２９】
これらはそれぞれ単独で、または任意に組み合わせて用いることができる。
【０１３０】
ＶｄＦと特定のフルオロオレフィンとの共重合割合は、ＶｄＦが２０モル％を超えていればよいが、なかでもＶｄＦ４５〜８５モル％と、特定のフルオロオレフィン５５〜１５モル％とからなるＶｄＦ系フッ素ゴムが好ましく、さらにはＶｄＦ５０〜８０モル％と特定のフルオロオレフィン５０〜２０モル％とからなるＶｄＦ系フッ素ゴムが好ましい。
【０１３１】
ＶｄＦと特定のフルオロオレフィンとの具体的な組合せとしては、具体的には、ＶｄＦ／ＨＦＰ共重合体、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ共重合体、ＶｄＦ／ＰＡＶＥ共重合体、ＶｄＦ／ＰＡＶＥ／ＴＦＥ共重合体、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥ共重合体、及びＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体からなる群より選択される少なくとも１種の共重合体が好ましい。
【０１３２】
ＶｄＦ／ＨＦＰ共重合体は、ＶｄＦ／ＨＦＰの組成が、（４５〜８５）／（５５〜１５）（モル％）であることが好ましく、より好ましくは（５０〜８０）／（５０〜２０）（モル％）であり、さらに好ましくは（６０〜８０）／（４０〜２０）（モル％）である。
ＶｄＦ／ＨＦＰ共重合体はまた、ＶｄＦ／ＨＦＰの組成が、（４８〜８５）／（５２〜１５）（モル％）であることも好ましく、より好ましくは（５０〜７８）／（５０〜２２）（モル％）であり、さらに好ましくは（５５〜７７）／（４５〜２３）（モル％）である。
【０１３３】
ＶｄＦ／ＰＡＶＥ共重合体としては、ＶｄＦ／ＰＡＶＥの組成が（６５〜９０）／（３５〜１０）（モル％）のものが好ましい。
ＶｄＦ／ＰＡＶＥ共重合体としてはまた、ＶｄＦ／ＰＡＶＥの組成が（４８〜８５）／（５２〜１５）（モル％）であるものも好ましく、より好ましくは（５０〜７８）／（５０〜２２）（モル％）であり、さらに好ましくは（５５〜７７）／（４５〜２３）（モル％）である。
【０１３４】
ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ共重合体としては、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥの組成が（４８〜８５）／（５２〜１５）／（１〜１０）（モル％）であるものが好ましく、より好ましくは（５０〜７８）／（５０〜２２）／（１〜９）（モル％）であり、さらに好ましくは（５５〜７７）／（４５〜２３）／（１〜８）（モル％）である。
【０１３５】
ＶｄＦ／ＰＡＶＥ／ＴＦＥ共重合体としては、ＶｄＦ／ＰＡＶＥ／ＴＦＥの組成が（４０〜８０）／（１５〜３５）／（３〜４０）（モル％）のものが好ましい。
ＶｄＦ／ＰＡＶＥ／ＴＦＥ共重合体としてはまた、ＶｄＦ／ＰＡＶＥ／ＴＦＥの組成が（４８〜８５）／（５２〜１５）／（１〜１０）（モル％）であるものも好ましく、より好ましくは（５０〜７８）／（５０〜２２）／（１〜９）（モル％）であり、さらに好ましくは（５５〜７７）／（４５〜２３）／（１〜８）（モル％）である。
【０１３６】
ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥ共重合体としては、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥの組成が（６５〜９０）／（３〜２５）／（３〜２５）（モル％）のものが好ましい。
ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥ共重合体としてはまた、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥの組成が（４８〜８５）／（１５〜５２）／（１〜２５）（モル％）のものも好ましく、より好ましくはＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥの組成が（５０〜７８）／（２２〜５０）／（１〜２０）（モル％）、さらに好ましくはＶｄＦ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥの組成が（５５〜７７）／（４５〜２３）／（１〜１５）（モル％）である。
【０１３７】
ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合としては、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥの組成が（４０〜９０）／（０〜２５）／（０〜４０）／（３〜３５）（モル％）のものが好ましく、（４０〜８０）／（３〜２５）／（３〜４０）／（３〜２５）（モル％）のものがより好ましい。
ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合としてはまた、ＶｄＦ／ＨＦＰ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥの組成が（４８〜８５）／（１５〜５２）／（１〜１０）／（１〜２５）（モル％）のものも好ましく、より好ましくは（５０〜７８）／（２２〜５０）／（１〜９）／（１〜２０）（モル％）であり、さらに好ましくは（５５〜７７）／（２３〜４５）／（１〜８）／（１〜１５）（モル％）である。
【０１３８】
シアノ基、カルボキシル基またはアルコキシカルボニル基を含有する単量体は、良好な架橋特性および耐熱性の観点から、ＶｄＦと特定のフルオロオレフィンの合計量に対して、０．１〜５モル％であることが好ましく、０．３〜３モル％であることがより好ましい。
【０１３９】
シアノ基、カルボキシル基またはアルコキシカルボニル基を含有する単量体としては、たとえば、式（３２）〜（３５）：
ＣＹ１２＝ＣＹ１（ＣＦ２）ｎ−Ｘ１                                  （３２）
（式中、Ｙ１は水素原子またはフッ素原子、ｎは１〜８の整数である）
ＣＦ２＝ＣＦＣＦ２Ｒｆ６−Ｘ１                                      （３３）
（式中、Ｒｆ６は−（ＯＣＦ２）ｎ−、−（ＯＣＦ（ＣＦ３））ｎ−
であり、ｎは０〜５の整数である）
ＣＦ２＝ＣＦ（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））ｍＯ（ＣＦ２）ｎ−Ｘ１        （３４）
（式中、ｍは０〜５の整数、ｎは１〜８の整数である）
ＣＦ２＝ＣＦ（ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３））ｍ−Ｘ１                      （３５）
（式中、ｍは１〜５の整数）
（式（３２）〜（３５）中、Ｘ１は、シアノ基（−ＣＮ基）、カルボキシル基（−ＣＯＯＨ基）、またはアルコキシカルボニル基（−ＣＯＯＲ基、Ｒは炭素数１〜１０のフッ素原子を含んでいてもよいアルキル基））で表される単量体などがあげられ、これらをそれぞれ単独で、または任意に組み合わせて用いることができる。
【０１４０】
これらの特定の架橋性基を有するＶｄＦ系フッ素ゴムは、常法により製造することができる。
【０１４１】
また、これらの架橋性基の導入方法としては、国際公開第００／０５９５９号パンフレットに記載の方法も用いることができる。
【０１４２】
また、特定の架橋性基を有するＶｄＦ系フッ素ゴムは、加工性が良好な点から、ムーニー粘度（ＭＬ１＋１０（１２１℃））が５〜１４０、さらには５〜１２０、特に５〜１００であるものが好ましい。
【０１４３】
（特定の架橋性基を有するＴＦＥ／Ｐｒ系フッ素ゴム）
特定の架橋性基を有するＴＦＥ／Ｐｒ系フッ素ゴムは、ＴＦＥ単位４０〜７０モル％と、Ｐｒ単位３０〜６０モル％と、シアノ基、カルボキシル基またはアルコキシカルボニル基を有する単量体単位とを有する非パーフルオロゴムである。
【０１４４】
また、必要に応じて、ＴＦＥ単位及びＰｒ単位の合計に対してＶｄＦ単位０〜１５モル％および／またはＰＡＶＥ単位０〜１５モル％を含んでいてもよい。
【０１４５】
ＴＦＥ単位は４０〜７０モル％、好ましくは５０〜６５モル％であり、Ｐｒとこの範囲においてエラストマー性が得られる。
【０１４６】
Ｐｒ単位は３０〜６０モル％、好ましくは３５〜５０モル％であり、ＴＦＥとこの範囲においてエラストマー性が得られる。
【０１４７】
シアノ基、カルボキシル基またはアルコキシカルボニル基を有する単量体としては、特定の架橋性基を有するＶｄＦ系フッ素ゴムに好適であると説明した単量体も、ＴＦＥ／Ｐｒ系フッ素ゴムに使用できる。
【０１４８】
任意の単位であるＶｄＦ単位またはＰＡＶＥ単位は、ＴＦＥ単位及びＰｒ単位の合計に対して１５モル％までが好ましく、さらには１０モル％までが好ましい。これを超えると前者は耐アミン性、後者は高コストの点で好ましくない。
【０１４９】
また特定の架橋性基を有するＴＦＥ／Ｐｒ系フッ素ゴムは、通常、ムーニー粘度（ＭＬ１＋１０（１２１℃））が５〜１００である。ムーニー粘度が５を下回ると架橋性が低下して架橋ゴムとしての十分な物理特性が出なくなり、１００を超えると流動性が低下し、成型加工性が悪くなる傾向にある。好ましいムーニー粘度（ＭＬ１＋１０（１２１℃））は、１０〜８０である。
【０１５０】
特定の架橋性基を有するＴＦＥ／Ｐｒ系フッ素ゴムは、通常の乳化重合法でも製造できるが、ＴＦＥとＰｒの重合速度は比較的遅いため、たとえば２段重合法（シード重合法）で製造することにより、効率よく製造できる。
【０１５１】
これらのオキサゾール系、チアゾール系、イミダゾール系架橋剤の添加量は、上記特定のフッ素ゴム１００質量部に対して、０．１〜２０質量部であることが好ましく、０．５〜１０質量部であることがより好ましい。架橋剤が、０．１質量部未満であると、実用上充分な機械的強度、耐熱性、耐薬品性が得られない傾向があり、２０質量部を超えると、架橋に長時間がかかるうえ、架橋物が硬くなり柔軟性がなくなる傾向がある。
【０１５２】
これらのオキサゾール架橋系、チアゾール架橋系、イミダゾール架橋系で架橋助剤（Ｄ）を併用する場合、架橋助剤（Ｄ）の添加量は、通常、上記特定のフッ素ゴム１００質量部に対して、０．０１〜１０質量部であり、０．０２〜５質量部であることが好ましく、０．０５〜３質量部であることがより好ましい。
【０１５３】
（トリアジン架橋系）
トリアジン架橋系は、架橋物の圧縮永久歪みが小さく、耐熱性に優れた架橋系である。トリアジン架橋系では、架橋反応を開始する架橋助剤（Ｄ）のみを用いる。
【０１５４】
トリアジン架橋系に用いる架橋助剤（Ｄ）としては、たとえば上記オキサゾール架橋系、チアゾール架橋系およびイミダゾール架橋系において架橋剤と併用可能な架橋助剤である（Ｄ１）４０〜３３０℃でアンモニアを発生させる化合物、または（Ｄ２）無機窒化物粒子が例示できる。
【０１５５】
トリアジン架橋系が対象とするフッ素ゴムとしては、上記オキサゾール架橋系、チアゾール架橋系、イミダゾール架橋系が対象とする特定の架橋性基を有するフッ素ゴムのうち、架橋性基の少なくとも１つがシアノ基であるフッ素ゴムが好ましい。
【０１５６】
アンモニア発生化合物（Ｄ１）の添加量は発生するアンモニアの量により適宜選択すればよいが、通常、上記シアノ基含有フッ素ゴム１００質量部に対して、０．０５〜１０質量部であり、０．１〜５質量部であることが好ましく、０．２〜３質量部であることがより好ましい。アンモニア発生化合物が、少なすぎると架橋密度が低くなるため、実用上、充分な耐熱性、耐薬品性を発現しない傾向があり、多くなりすぎると、スコーチの懸念があり保存安定性が悪くなるという傾向がある。
【０１５７】
無機窒化物粒子（Ｄ２）の添加量は、通常、上記シアノ基含有フッ素ゴム１００質量部に対して、０．１〜２０質量部であり、０．２〜５質量部であることが好ましく、０．２〜１質量部であることがより好ましい。無機窒化物粒子（Ｄ２）が、０．１質量部未満であると架橋密度が低くなるため、実用上、充分な耐熱性、耐薬品性を発現しない傾向があり、２０質量部をこえると、スコーチの懸念があり保存安定性が悪くなるという傾向がある。
【０１５８】
本発明においては、架橋系として過酸化物架橋系、ポリオール架橋系、オキサゾール架橋系、チアゾール架橋系、イミダゾール架橋系、またはトリアジン架橋系が好ましく、過酸化物架橋系、オキサゾール架橋系、チアゾール架橋系、イミダゾール架橋系、またはトリアジン架橋系がより好ましく、それぞれの架橋系に適した架橋剤（Ｃ）または架橋助剤（Ｄ）を用いることが好ましい。
【０１５９】
本発明におけるフッ素ゴム組成物には、必要に応じて通常のゴム配合物、たとえば充填材、加工助剤、可塑剤、着色剤、粘着付与剤、接着助剤、受酸剤、顔料、難燃剤、滑剤、光安定剤、耐候安定剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、離型剤、発泡剤、香料、オイル、柔軟化剤のほか、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリエステル、ポリウレタンなどの他の重合体などを本発明の効果を損なわない範囲で配合してもよい。
【０１６０】
充填材としては、酸化カルシウム、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムなどの金属酸化物；水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、水酸化カルシウムなどの金属水酸化物；炭酸マグネシウム、炭酸アルミニウム、炭酸カルシウム、炭酸バリウムなどの炭酸塩；ケイ酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸アルミニウムなどのケイ酸塩；硫酸アルミニウム、硫酸カルシウム、硫酸バリウムなどの硫酸塩；合成ハイドロタルサイト；二硫化モリブデン、硫化鉄、硫化銅などの金属硫化物；ケイ藻土、アスベスト、リトポン（硫化亜鉛／硫化バリウム）、グラファイト、フッ化カーボン、フッ化カルシウム、コークス、石英微粉末、タルク、雲母粉末、ワラストナイト、炭素繊維、アラミド繊維、各種ウィスカー、ガラス繊維、有機補強剤、有機充填材、ポリテトラフルオロエチレン、マイカ、シリカ、セライト、クレーなどが例示できる。また、受酸剤として、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化鉛、酸化亜鉛、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウム、水酸化アルミニウム、ハイドロタルサイトなどがあげられ、これらの単独または２種以上を適宜配合してもよい。これらは、先述した混練方法で、どの工程で添加するかは任意であるが、密閉式混練機やロール練り機でフッ素ゴムとカーボンブラックを混練する際に添加するのが好ましい。
【０１６１】
加工助剤としては、ステアリン酸、オレイン酸、パルミチン酸、ラウリン酸などの高級脂肪酸；ステアリン酸ナトリウム、ステアリン酸亜鉛などの高級脂肪酸塩；ステアリン酸アミド、オレイン酸アミドなどの高級脂肪酸アミド；オレイン酸エチルなどの高級脂肪酸エステル；カルナバワックス、セレシンワックスなどの石油系ワックス；エチレングリコール、グリセリン、ジエチレングリコールなどのポリグリコール；ワセリン、パラフィンなどの脂肪族炭化水素；シリコーン系オイル、シリコーン系ポリマー、低分子量ポリエチレン、フタル酸エステル類、リン酸エステル類、ロジン、（ハロゲン化）ジアルキルアミン、界面活性剤、スルホン化合物、フッ素系助剤、有機アミン化合物などが例示できる。
【０１６２】
なかでも高級脂肪酸や有機アミン化合物や受酸剤は、フッ素ゴム（Ａ）とカーボンブラック（Ｂ）を密閉式混練機やロール練り機で混練する際に共存させることにより、補強性が向上する点から好ましい配合剤である。混練は、混練温度の最高温度Ｔｍが８０℃〜２２０℃となるように行うことが好ましい。
【０１６３】
高級脂肪酸としては、ステアリン酸が特に好ましい。高級脂肪酸の配合量は、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して０．０１〜５質量部が好ましい。高級脂肪酸が多くなりすぎると混練しにくくなる傾向にあり、また、少なくなりすぎると補強性が低下する傾向にある。さらに好ましい配合量は、補強性の観点から、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して０．１質量部以上であり、補強性の観点と混練しやすさの観点から４質量部以下である。
【０１６４】
有機アミン化合物としては、Ｒ１ＮＨ２で示される１級アミン、Ｒ１Ｒ２ＮＨで示される２級アミン、Ｒ１Ｒ２Ｒ３Ｎで示される３級アミンが好ましくあげられる。Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は同じかまたは異なり、いずれも炭素数１〜５０のアルキル基が好ましく、アルキル基は官能基としてベンゼン環を含んでいてもよいし、二重結合、共役二重結合を含んでいてもよい。尚、アルキル基は直鎖型であってもよいし、分岐型でもあってもよい。
【０１６５】
１級アミンとしては、たとえばココナッツアミン、オクチルアミン、ラウリルアミン、ステアリルアミン、オレイルアミン、牛脂アミン、１７−フェニル−ヘプタデシルアミン、オクタデカ−７，１１−ジエニルアミン、オクタデカ−７，９−ジエニルアミン、オクタデック−９−エニルアミン、７−メチル−オクタデック−７−エニルアミンなどがあげられ、２級アミンとしては、たとえばジステアリルアミンなどが、３級アミンとしては、たとえばジメチルオクチルアミン、ジメチルデシルアミン、ジメチルラウリルアミン、ジメチルミリスチルアミン、ジメチルパルミチルアミン、ジメチルステアリルアミン、ジメチルベヘニルアミンなどがあげられる。なかでも炭素数が２０個程度のアミン、特に１級アミンが入手の容易性や補強性が増大する点から好ましい。
【０１６６】
有機アミン化合物の配合量は、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して０．０１〜５質量部が好ましい。有機アミン化合物が多くなりすぎると混練しにくくなる傾向にあり、また、少なくなりすぎると補強性が低下する傾向にある。さらに好ましい配合量は、補強性の観点から、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して０．１質量部以上であり、補強性の観点と混練しやすさの観点から４質量部以下である。
【０１６７】
受酸剤としては、先述したもののうち、たとえば、水酸化カルシウムなどの金属水酸化物；酸化マグネシウム、酸化亜鉛などの金属酸化物、ハイドロタルサイトなどが、補強性の観点から好ましく、特に酸化亜鉛が好ましい。
【０１６８】
受酸剤の配合量は、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して０．０１〜１０質量部が好ましい。受酸剤が多くなりすぎると物性が低下する傾向にあり、また、少なくなりすぎると補強性が低下する傾向にある。さらに好ましい配合量は、補強性の観点から、フッ素ゴム（Ａ）１００質量部に対して０．１質量部以上であり、物性の観点と混練しやすさの観点から８質量部以下が好ましく、５質量部以下がより好ましい。
【０１６９】
本発明のダイヤフラムは、架橋剤（Ｃ）および／または架橋助剤（Ｄ）を含むフッ素ゴム組成物を架橋して得られる架橋フッ素ゴム層を有するものが好ましい。
【０１７０】
本発明において、フッ素ゴム組成物の架橋及び成形方法は、適宜選択すればよいが、通常のダイヤフラムの架橋及び成形方法が採用される。例えば、未架橋のフッ素ゴムを押出加工（カレンダー成形）して架橋する方法や、未架橋のフッ素ゴムを金型にて、加圧し、架橋することにより製造することができる。得られた架橋物に対しては、更に、熱風循環式電気炉等を用いて、オーブン架橋（２次架橋）を行ってもよい。
また、加硫ブラダーを用いて、フッ素ゴム組成物を金型に押圧して成形する方法も採用される（特開２０１０−０５８３９６号公報参照）。
【０１７１】
得られた架橋フッ素ゴム層は、動的粘弾性試験（例えば、測定モード：引張、チャック間距離：２０ｍｍ、測定温度：１６０℃、引張歪み：１％、歪み分散時の静荷重条件を一定力としたときの静張力値：１５７ｃＮ、周波数：１０Ｈｚ）において、損失弾性率Ｅ”が、４００ｋＰａ以上６０００ｋＰａ以下である。
【０１７２】
損失弾性率Ｅ”が上記範囲であるとき、常態物性および高温時の機械物性などに特に優れたものとなる。下限としては好ましくは４２０ｋＰａ、より好ましくは４３０ｋＰａであり、更に好ましくは４５０ｋＰａであり、更により好ましくは５００ｋＰａであり、特に好ましくは１０００ｋＰａであり、最も好ましくは１５００ｋＰａである。上限としては好ましくは５９００ｋＰａ、より好ましくは５８００ｋＰａであり、更により好ましくは５０００ｋＰａであり、特に好ましくは３０００ｋＰａである。
【０１７３】
また、架橋フッ素ゴム層は、動的粘弾性試験（例えば、測定モード：引張、チャック間距離：２０ｍｍ、測定温度：１６０℃、引張歪み：１％、歪み分散時の静荷重条件を一定力としたときの静張力値：１５７ｃＮ、周波数：１０Ｈｚ）において、貯蔵弾性率Ｅ’が１５００ｋＰａ以上２００００ｋＰａ以下であることが、高温時の機械物性の向上の点からさらに好ましい。下限としては、好ましくは１６００ｋＰａ、より好ましくは１７００ｋＰａであり、更に好ましくは２５００ｋＰａであり、特に好ましくは５０００ｋＰａである。上限としては、好ましくは１９０００ｋＰａ、より好ましくは１８０００ｋＰａであり、特に好ましくは１５０００ｋＰａである。
【０１７４】
また、架橋フッ素ゴム層は、高温環境下での使用などに適したものとなることから、１６０℃において、１００〜７００％の引張破断伸びを有していることが好ましい。１６０℃における引張破断伸びは、１２０％以上がより好ましく、１４０％以上が更に好ましく、１５０％以上が特に好ましい。また６５０％以下が更に好ましく、６００％以下が特に好ましい。
【０１７５】
また、架橋フッ素ゴム層は、高温環境下での使用などに適したものとなることから、１６０℃における引張破断強度が、１．０〜２０ＭＰａであることが好ましい。より好ましくは１．３ＭＰａ以上であり、更に好ましくは１．５ＭＰａ以上であり、特に好ましくは１．８ＭＰａ以上である。また、１８ＭＰａ以下がより好ましく、１５ＭＰａ以下が更に好ましく、１２ＭＰａ以下が特に好ましい。引張破断強度および引張破断伸びは、ＪＩＳ−Ｋ６２５１に準じて、６号ダンベルを用いて測定する。
【０１７６】
また、架橋フッ素ゴム層は、高温環境下での使用などに適したものとなることから、１６０℃における引裂き強度が１．０〜３０ｋＮ／ｍであることが好ましい。より好ましくは２．０ｋＮ／ｍ以上であり、更に好ましくは３．０ｋＮ／ｍ以上である。また、２９ｋＮ／ｍ以下がより好ましく、２８ｋＮ／ｍ以下が更に好ましい。
【０１７７】
また、架橋フッ素ゴム層は、高温環境下での使用などに適したものとなることから、２００℃における引張破断伸びが９０〜７００％であることが好ましい。２００℃における引張破断伸びは、１００％以上がより好ましく、１２０％以上が更に好ましく、１３０％以上が特に好ましい。また、６５０％以下が更に好ましく、６００％以下が特に好ましい。
【０１７８】
また、架橋フッ素ゴム層は、高温環境下での使用などに適したものとなることから、２００℃において、引張破断強度が１．０〜２０ＭＰａであることが好ましい。より好ましくは１．２ＭＰａ以上であり、更に好ましくは１．４ＭＰａ以上であり、特に好ましくは１．５ＭＰａ以上である。また引張破断強度は１８ＭＰａ以下がより好ましく、１５ＭＰａ以下が更に好ましく、１２ＭＰａ以下が特に好ましい。
【０１７９】
また、架橋フッ素ゴム層は、高温環境下での使用などに適したものとなることから、２００℃において、引裂き強度が１．０〜３０ｋＮ／ｍであることが好ましい。より好ましくは、１．５ｋＮ／ｍ以上であり、更に好ましくは２．０ｋＮ／ｍ以上である。また２５ｋＮ／ｍ以下がより好ましく、２０ｋＮ／ｍ以下が更に好ましい。
【０１８０】
また、架橋フッ素ゴム層は、高温環境下での使用などに適したものとなることから、２３０℃において、８０〜７００％の引張破断伸びを有していることが好ましい。２３０℃における引張破断伸びは、９０％以上であることがより好ましく、１００％以上が更に好ましく、１１０％以上が特に好ましい。また６５０％以下が更に好ましく、６００％以下が特に好ましい。
【０１８１】
また、架橋フッ素ゴム層は、高温環境下での使用などに適したものとなることから、２３０℃において、引張破断強度が１．０〜２０ＭＰａであることが好ましい。より好ましくは１．１ＭＰａ以上であり、更に好ましくは１．２ＭＰａ以上であり、特に好ましくは１．３ＭＰａ以上である。また、１８ＭＰａ以下がより好ましく、１５ＭＰａ以下が更に好ましく、１２ＭＰａ以下が特に好ましい。
【０１８２】
また、架橋フッ素ゴム層は、高温環境下での使用などに適したものとなることから、２３０℃において、引裂き強度が１．０〜３０ｋＮ／ｍであることが好ましい。より好ましくは、１．２ｋＮ／ｍ以上であり、更に好ましくは１．５ｋＮ／ｍ以上である。また、２５ｋＮ／ｍ以下がより好ましく、１５ｋＮ／ｍ以下が特に好ましい。
【０１８３】
本発明のダイヤフラムは、上記のフッ素ゴム組成物を架橋して得られる架橋フッ素ゴム層のみからなる単層構造のダイヤフラムであってもよいし、他の層との積層構造の多層ダイヤフラムであってもよい。また、補強のために、織布又は編布を有するものであってもよい。例えば、２層の架橋フッ素ゴム層の間に、織布又は編布を挟んだ構造であってもよいし、架橋フッ素ゴム層と他の層との間に織布又は編布を挟んだ構造であってもよい。織布としては、一般的な平織が挙げられる。
本発明のダイヤフラムは、フッ素ゴムからなるものであるため、耐熱老化性や耐薬品性、耐油性に優れており、更に、上記構成を有することによって、高温時の機械物性にも優れる。
上記フッ素ゴム架橋物のダイヤフラムとしての使用も、本発明の１つである。
【０１８４】
単層構造のダイヤフラムとしては、たとえば、自動車エンジン用途として、燃料ポンプ用ダイヤフラム、キャブレター用ダイヤフラム、プレッシャレギュレータ用ダイヤフラム、パルセーションダンパー用ダイヤフラム、ＯＲＶＲ用ダイヤフラム、キャニスター用ダイヤフラム、オートフューエルコック用ダイヤフラムなどの燃料系に用いられるダイヤフラム；ウェイストゲート用ダイヤフラム、アクチュエータ用ダイヤフラム、ＥＧＲ用ダイヤフラムなどの排気系に用いられるダイヤフラム；エアーブレーキ用ダイヤフラムなどのブレーキ系に用いられるダイヤフラム；オイルプレッシャー用ダイヤフラムなどの駆動系に用いられるダイヤフラム；ディストリビューター用ダイヤフラムなどの点火系に用いられるダイヤフラムが挙げられる。また、自動車エンジン以外の用途としては、一般ポンプ用ダイヤフラム、バルブ用ダイヤフラム、フィルタープレス用ダイヤフラム、ブロワー用ダイヤフラム、空調用機器用ダイヤフラム、制御機器用ダイヤフラム、給水用ダイヤフラム、給湯用の熱水を送液するポンプなどに用いられるダイヤフラム、高温蒸気用ダイヤフラム、半導体装置用ダイヤフラム（例えば製造工程などで使用される薬液移送用ダイヤフラム）、食品加工処理装置用ダイヤフラム、液体貯蔵タンク用ダイヤフラム、圧力スイッチ用ダイヤフラム、石油探索・石油掘削用途で用いられるダイヤフラム（例えば石油掘削ピットなどの潤滑油供給用ダイヤフラム）、ガス瞬間湯沸かし器やガスメーター等のガス器具用ダイヤフラム、アキュムレーター用ダイヤフラム、サスペンションなどの空気ばね用ダイヤフラム、船舶用のスクリューフィダー用ダイヤフラム、医療用の人工心臓用ダイヤフラムなどが挙げられる。
【０１８５】
多層構造のダイヤフラムとしても、たとえば、自動車エンジン用途として、燃料ポンプ用ダイヤフラム、キャブレター用ダイヤフラム、プレッシャレギュレータ用ダイヤフラム、パルセーションダンパー用ダイヤフラム、ＯＲＶＲ用ダイヤフラム、キャニスター用ダイヤフラム、オートフューエルコック用ダイヤフラムなどの燃料系に用いられるダイヤフラム；ウェイストゲート用ダイヤフラム、アクチュエータ用ダイヤフラム、ＥＧＲ用ダイヤフラムなどの排気系に用いられるダイヤフラム；エアーブレーキ用ダイヤフラムなどのブレーキ系に用いられるダイヤフラム；オイルプレッシャー用ダイヤフラムなどの駆動系に用いられるダイヤフラム；ディストリビューター用ダイヤフラムなどの点火系に用いられるダイヤフラムが挙げられる。また、自動車エンジン以外の用途としては、一般ポンプ用ダイヤフラム、バルブ用ダイヤフラム、フィルタープレス用ダイヤフラム、ブロワー用ダイヤフラム、空調用機器用ダイヤフラム、制御機器用ダイヤフラム、給水用ダイヤフラム、給湯用の熱水を送液するポンプなどに用いられるダイヤフラム、高温蒸気用ダイヤフラム、半導体装置用ダイヤフラム（例えば製造工程などで使用される薬液移送用ダイヤフラム）、食品加工処理装置用ダイヤフラム、液体貯蔵タンク用ダイヤフラム、圧力スイッチ用ダイヤフラム、石油探索・石油掘削用途で用いられるダイヤフラム（例えば石油掘削ピットなどの潤滑油供給用ダイヤフラム）、ガス瞬間湯沸かし器やガスメーター等のガス器具用ダイヤフラム、アキュムレーター用ダイヤフラム、サスペンションなどの空気ばね用ダイヤフラム、船舶用のスクリューフィダー用ダイヤフラム、医療用の人工心臓用ダイヤフラムなどが挙げられる。
【０１８６】
本発明のダイヤフラムは、単層又は多層構造のゴム層として、フッ素ゴム組成物を架橋して得られる架橋フッ素ゴム層を用いることにより、これらの要求特性を高い水準で満たすものであり、優れた特性を有するダイヤフラムを提供することができる。
ダイヤフラムの形状は、各用途によって適宜決定される。
【０１８７】
多層構造のダイヤフラムにおいて、他の材料からなる層としては、他のゴムからなる層や熱可塑性樹脂からなる層、各種繊維補強層、金属箔層などがあげられる。
【０１８８】
他のゴムとしては、耐薬品性や柔軟性が特に要求される場合は、アクリロニトリル−ブタジエンゴム及びその水素添加ゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴムとポリ塩化ビニルとのブレンドゴム、フッ素ゴム、エピクロロヒドリンゴム、ＥＰＤＭおよびアクリルゴムからなる群より選ばれる少なくとも１種からなるゴムが好ましく、アクリロニトリル−ブタジエンゴムまたはその水素添加ゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴムとポリ塩化ビニルとのブレンドゴム、フッ素ゴム、及び、エピクロロヒドリンゴムからなる群より選ばれる少なくとも１種のゴムからなることがより好ましい。
【０１８９】
また、熱可塑性樹脂としては、フッ素樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、及び、ポリフェニレンスルフィド系樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種からなる熱可塑性樹脂が好ましく、フッ素樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、及び、ポリフェニレンスルフィド系樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種からなる熱可塑性樹脂がより好ましい。
【０１９０】
また、多層構造のダイヤフラムを作製する場合、必要に応じて表面処理を行ってもよい。この表面処理としては、接着を可能とする処理方法であれば、その種類は特に制限されるものではなく、例えばプラズマ放電処理やコロナ放電処理等の放電処理、湿式法の金属ナトリウム／ナフタレン液処理などがあげられる。また、表面処理としてプライマー処理も好適である。プライマー処理は常法に準じて行うことができる。プライマー処理を施す場合、表面処理を行っていないフッ素ゴムの表面を処理することもできるが、プラズマ放電処理、コロナ放電処理、金属ナトリウム／ナフタレン液処理などを予め施したうえで、更にプライマー処理すると、より効果的である。
【０１９１】
本発明のダイヤフラムは、以下の用途に好適に用いることができる。
例えば、自動車エンジンの用途としては、耐熱性、耐酸化性、耐燃料性、低ガス透過性などが求められる、燃料系、排気系、ブレーキ系、駆動系、点火系などのダイヤフラムが挙げられる。
【０１９２】
自動車エンジンの燃料系に用いられるダイヤフラムとしては、例えば燃料ポンプ用ダイヤフラム、キャブレター用ダイヤフラム、プレッシャレギュレータ用ダイヤフラム、パルセーションダンパー用ダイヤフラム、ＯＲＶＲ用ダイヤフラム、キャニスター用ダイヤフラム、オートフューエルコック用ダイヤフラムなどが挙げられる。
【０１９３】
自動車エンジンの排気系に用いられるダイヤフラムとしては、例えばウェイストゲート用ダイヤフラム、アクチュエータ用ダイヤフラム、ＥＧＲ用ダイヤフラムなどが挙げられる。
自動車エンジンのブレーキ系に用いられるダイヤフラムとしては、例えばエアーブレーキ用ダイヤフラムなどが挙げられる。
自動車エンジンの駆動系に用いられるダイヤフラムとしては、例えばオイルプレッシャー用ダイヤフラムなどが挙げられる。
自動車エンジンの点火系に用いられるダイヤフラムとしては、例えばディストリビューター用ダイヤフラムなどが挙げられる。
【０１９４】
自動車エンジン以外の用途としては、耐熱性、耐油性、耐薬品性、耐スチーム性、低ガス透過性などが求められる、一般ポンプ用ダイヤフラム、バルブ用ダイヤフラム、フィルタープレス用ダイヤフラム、ブロワー用ダイヤフラム、空調用機器用ダイヤフラム、制御機器用ダイヤフラム、給水用ダイヤフラム、給湯用の熱水を送液するポンプなどに用いられるダイヤフラム、高温蒸気用ダイヤフラム、半導体装置用ダイヤフラム（例えば製造工程などで使用される薬液移送用ダイヤフラム）、食品加工処理装置用ダイヤフラム、液体貯蔵タンク用ダイヤフラム、圧力スイッチ用ダイヤフラム、石油探索・石油掘削用途で用いられるダイヤフラム（例えば石油掘削ビットなどの潤滑油供給用ダイヤフラム）、ガス瞬間湯沸かし器やガスメーター等のガス器具用ダイヤフラム、アキュムレーター用ダイヤフラム、サスペンションなどの空気ばね用ダイヤフラム、船舶用のスクリューフィダー用ダイヤフラム、医療用の人工心臓用ダイヤフラムなどが挙げられる。
【実施例】
【０１９５】
つぎに本発明を実施例をあげて説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものではない。
【０１９６】
本発明で採用した各種の物性の測定方法は、以下のとおりである。
【０１９７】
（１）動的粘弾性試験１（損失弾性率Ｅ”および貯蔵弾性率Ｅ’）
（測定装置）
アイティー計測制御（株）製の動的粘弾性測定装置  ＤＶＡ−２２０
（測定条件）
試験片：  幅３ｍｍ×厚さ２ｍｍサイズの長方体の架橋済みゴム
測定モード：引張
チャック間距離：２０ｍｍ
測定温度：１６０℃
歪み分散時の静荷重条件を一定力としたときの静張力値：１５７ｃＮ
周波数：１０Ｈｚ
にて、歪み分散を測定し、引張歪み１％の損失弾性率Ｅ”及び貯蔵弾性率Ｅ’を算出する。
【０１９８】
（２）動的粘弾性試験２（せん断弾性率Ｇ’）
（測定装置）
アルファテクノロジーズ社製ラバープロセスアナライザ（型式：ＲＰＡ２０００）
（測定条件）
１００℃、１Ｈｚにて歪み分散を測定し、せん断弾性率Ｇ’を求める。このとき、動的歪みを１％、１００％として各々Ｇ’を求め、δＧ’（Ｇ’（１％）−Ｇ’（１００％））を算出する。
【０１９９】
（３）引張破断強度および引張破断伸び
オリエンテック社製のＲＴＡ−１Ｔ、（株）島津製作所製のＡＧ−Ｉを用いて、ＪＩＳ−Ｋ６２５１に準じて、６号ダンベルを用いて引張破断強度および引張破断伸びを測定する。測定温度は、２５℃、１６０℃、２００℃および２３０℃とする。
【０２００】
（４）ムーニー粘度（ＭＬ１＋１０（１００℃））
ムーニー粘度は、ＡＳＴＭ−Ｄ１６４６およびＪＩＳ−Ｋ６３００に準拠して測定した。測定温度は１００℃である。
【０２０１】
（５）耐疲労試験
ＪＩＳ  Ｋ６２６０に準じ、２５℃、１５０℃、５Ｈｚにおけるデマッチャ屈曲疲労試験を行った。
【０２０２】
（６）圧縮永久歪み試験
ＪＩＳ  Ｋ６２６２に準じ、１５０℃、圧縮率２５％、試験時間７２時間、Ｐ２４サイズのＯリングで試験を行った。
【０２０３】
実施例および比較例では、つぎのフッ素ゴム、カーボンブラック、架橋剤および架橋促進剤を使用した。
【０２０４】
（フッ素ゴム）
Ａ１：３Ｌのステンレススチール製のオートクレーブに純水１．７Ｌ、ＣＨ２＝ＣＦＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＯＯＮＨ４の５０％水溶液を０．１７ｇ、Ｆ（ＣＦ２）５ＣＯＯＮＨ４の５０％水溶液６．８ｇを仕込み、系内を窒素ガスで充分に置換した。６００ｒｐｍで攪拌しながら８０℃に昇温した後、初期槽内モノマー組成をＶｄＦ／ＨＦＰ＝４５／５５モル％、１．５２ＭＰａとなるようにモノマーを圧入した。ついでＡＰＳ６０ｍｇを５ｍｌの純水に溶解した重合開始剤溶液を窒素ガスで圧入し、反応を開始した。重合の進行に伴い内圧が１．４２ＭＰａに降下した時点でＶｄＦ／ＨＦＰ＝７６／２４モル％の追加混合モノマーを内圧が１．５２ＭＰａとなるまで圧入した。このとき、ジヨウ素化合物Ｉ（ＣＦ２）４Ｉの１．９６ｇを圧入した。昇圧、降圧を繰り返しつつ、３時間ごとにＡＰＳの６０ｍｇ／純水５ｍｌ水溶液を窒素ガスで圧入して、重合反応を継続した。混合モノマーを６００ｇ追加した時点で、未反応モノマーを放出し、オートクレーブを冷却して、固形分濃度２６．６質量％のフッ素ゴムのディスパージョンを６２８ｇ得た。重合時間は７．５時間であった。このフッ素ゴムをＮＭＲ分析により共重合組成を調べたところ、ＶｄＦ／ＨＦＰ＝７６／２４（モル％）であり、ムーニー粘度（ＭＬ１＋１０（１００℃））は８９であった。このフッ素ゴムをフッ素ゴムＡ１とする。
【０２０５】
（カーボンブラック）
Ｂ１：ＨＡＦ（Ｎ２ＳＡ＝７９ｍ２／ｇ、ＤＢＰ吸油量＝１０１ｍｌ／１００ｇ）。東海カーボン（株）製の「シースト３」（商品名）
Ｂ２：ＩＳＡＦ（Ｎ２ＳＡ＝１１９ｍ２／ｇ、ＤＢＰ吸油量＝１１４ｍｌ／１００ｇ）。東海カーボン（株）製の「シースト６」（商品名）
【０２０６】
（架橋剤）
Ｃ１：２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン。日油（株）製の「パーヘキサ２５Ｂ」（商品名）
【０２０７】
（架橋促進剤）
トリアリルイソシアヌレート（ＴＡＩＣ）。日本化成（株）製の「タイク」（商品名）
【０２０８】
（加工助剤）
ステアリルアミン（ファーミン８６Ｔ）（花王（株）製）
ステアリン酸（関東化学（株）製）
【０２０９】
（受酸剤）
酸化亜鉛（一種）（堺化学工業（株）製）
【０２１０】
実施例１
混練機（（株）モリヤマ製のＭｉｘＬａｂｏ０．５Ｌ、ローター直径：６．６ｃｍ、チップクリアランス：０．０５ｃｍ）を用いて、フロントローター回転数：６０ｒｐｍ、バックローター回転数：５０ｒｐｍの混練条件で、フッ素ゴム（Ａ１）１００質量部にカーボンブラック（Ｂ１）１０質量部、ステアリルアミン０．５質量部、酸化亜鉛１．０質量部を混練し、フッ素ゴムプレコンパウンド（Ｄ１）を調製した。なお、排出された混練物の最高温度は１５４℃であった。
【０２１１】
次に、得られたフッ素ゴムプレコンパウンド（Ｄ１）に動的粘弾性試験２を実施し、δＧ’を求めた。結果を表１に示す。
【０２１２】
続いて、８インチオープンロール（関西ロール（株）製）により、フロントロール回転数２１ｒｐｍ、バックロール回転数１９ｒｐｍ、ロール間隙０．１ｃｍの混練条件で、フッ素ゴムプレコンパウンド（Ｄ１）１１１．５質量部に架橋剤を１質量部、架橋促進剤（ＴＡＩＣ）を０．５質量部、ステアリルアミン０．５質量部を３０分間かけて混練し、フッ素ゴムフルコンパウンドを調製した。なお、排出された混練物の最高温度は７１℃であった。
【０２１３】
また、このフッ素ゴムフルコンパウンドを１６０℃で３０分間プレスして架橋を行い、厚さ２ｍｍのシート状試験片を作製した。得られた架橋後のシートより試験片を作製し、引張破断強度および引張破断伸びを測定した。また、耐疲労試験と圧縮永久歪み試験を行った。結果を表１に示す。
【０２１４】
さらに、得られた架橋フッ素ゴムに動的粘弾性試験１を実施し、損失弾性率Ｅ”および貯蔵弾性率Ｅ’を求めた。結果を表１に示す。
【０２１５】
実施例２
カーボンブラックをＢ１からＢ２に変更した以外は、実施例１と同様な条件で混練、プレスして架橋シートを作製し、各種物性を測定した。結果を表１に示す。
【０２１６】
実施例３〜６
フッ素ゴムプレコンパウンド及びフッ素ゴムフルコンパウンドの配合を表２に示すように変更したこと、並びに、プレス架橋に加えてオーブン架橋を実施したこと以外は、実施例１と同様な条件で混練、プレスして架橋シートを作製し、各種物性を測定した。結果を表２に示す。
【０２１７】
【表１】
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【０２１８】
【表２】
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