(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部が形成されたフレームと、
蒸着用パターンを具備し、前記フレームに両端部が固定され、前記蒸着用パターンが前記開口部に配置される複数の分割マスクと、を有し、
前記各分割マスクは、第１部分パターンを具備した第１部分マスクと、前記第１部分パターンとともに前記蒸着用パターンを構成する第２部分パターンを具備した第２部分マスクと、を具備し、
前記第１部分マスクと前記第２部分マスクは、相互に接する断面部に接着剤による接合部を有する、薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
【請求項２】
前記第１部分パターンと前記第２部分パターンは、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部上に前記第１部分パターンと前記第２部分パターンとの境界部を有し、前記第１部分パターン、前記第２部分パターン、および前記境界部のいずれも一定のパターンピッチを有することを特徴とする請求項１に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
【請求項３】
前記接着剤は、紫外線硬化型接着剤であることを特徴とする請求項１または２に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
【請求項４】
前記接合部の上面と下面とにそれぞれ前記紫外線硬化型接着剤を有することを特徴とする請求項３に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
【請求項５】
前記接合部をなす前記第１部分マスクおよび第２部分マスクの断面は、互いに平行であることを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
【請求項６】
前記接着剤は、熱硬化型接着剤であることを特徴とする請求項１または２に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
【請求項７】
前記接合部の断面に前記熱硬化型接着剤を有することを特徴とする請求項６に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
【請求項８】
前記接合部をなす前記第１部分マスクおよび第２部分マスクの断面は、互いに平行であることを特徴とする請求項７に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体。
【請求項９】
（ａ）蒸着用パターンのうち一部分に該当する第１部分パターンが割り当てられた第１部分マスクと、前記蒸着用パターンのうち他の部分に該当する第２部分パターンが割り当てられた第２部分マスクと、を準備する段階と、
（ｂ）前記第１部分パターンと前記第２部分パターンとが連結されることにより前記蒸着用パターンが形成されるように、前記第１部分マスクと前記第２部分マスクを結合させた分割マスクを製造する段階と、
（ｃ）前記分割マスクをフレームに固定させる段階と、を含む薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
【請求項１０】
前記部分マスクは、第１部分パターンを有した第１部分マスクと、第２部分パターンを有した第２部分マスクと、を含み、
前記第１部分パターンと前記第２部分パターンは、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部上に前記第１部分パターンと前記第２部分パターンとの境界部を有し、前記第１部分パターン、前記第２部分パターン、および前記境界部のいずれも一定のパターンピッチを有することを特徴とする請求項９に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
【請求項１１】
前記（ｂ）段階は、
前記第１部分マスクと前記第２部分マスクとを相互に接合する断面同士を所定間隔をおいて隣接するように整列させる段階と、
前記隣接した断面に、紫外線硬化型接着剤を塗布する段階と、
前記紫外線硬化型接着剤を紫外線照射で硬化させる段階と、を含むことを特徴とする請求項１０に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
【請求項１２】
前記紫外線硬化型接着剤の塗布及び硬化の段階は、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部の上面に、前記紫外線硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階と、
前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部の下面に、前記紫外線硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階と、を含むことを特徴とする請求項１１に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
【請求項１３】
前記紫外線硬化型接着剤の塗布は、ビジョンカメラが前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部を追跡してガイドし、塗布装置がそのビジョンカメラを追って行きつつ塗布することを特徴とする請求項１２に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
【請求項１４】
前記（ｂ）段階は、
前記第１部分マスクと前記第２部分マスクとの相互接合される断面に、熱硬化型接着剤を塗布する段階と、
前記熱硬化型接着剤が塗布された断面同士を密着させる段階と、
前記熱硬化型接着剤を所定加熱手段で加熱して硬化させる段階と、を含むことを特徴とする請求項１０に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
【請求項１５】
前記熱硬化型接着剤の硬化段階は、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部の一面に熱を加え、前記熱硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階と、
前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部の他面に熱を加え、前記熱硬化型接着剤を硬化させる段階と、を含むことを特徴とする請求項１４に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
【請求項１６】
前記熱硬化型接着剤の硬化段階は、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部の両面に同時に熱を加え、前記熱硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階を含むことを特徴とする請求項１４に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
【請求項１７】
前記加熱手段は、前記接合部に接触して回転しつつ、前記熱硬化型接着剤に熱を加える加熱ローラと、非接触状態で、前記熱硬化型接着剤に熱風を吹き付けるブロワとのうち、いずれか一つを含むことを特徴とする請求項１４〜１６のいずれか１項に記載の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜蒸着用マスクフレーム組立体に係り、さらに詳細には、分割マスクを使用するマスクフレーム組立体及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的にディスプレイ装置のうち有機発光表示装置は、視野角が広く、かつコントラストにすぐれるだけではなく、応答速度が速いという長所を有している。
【０００３】
有機発光表示装置は、アノードとカソードとから注入される正孔と電子とが発光層で再結合して発光する原理によって色相を具現することができるものであり、アノードとカソードとの間に発光層を挿入した積層型構造である。しかし、前述の構造では、高効率発光を得難いために、それぞれの電極と発光層との間に、電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層や正孔注入層などの中間層を選択的に追加挿入して利用している。
【０００４】
一方、有機発光表示装置の電極と、発光層を含んだ中間層とは、さまざまな方法によって形成することができるが、このうちの１つの方法が蒸着法である。蒸着方法を利用して有機発光表示装置を製造するためには、基板上に形成される薄膜などのパターンと同一のパターンを有するファインメタル・マスク（ＦＭＭ：ｆｉｎｅ  ｍｅｔａｌ  ｍａｓｋ）を整列させ、薄膜の元素材を蒸着して、所望するパターンの薄膜を形成する。
【０００５】
ところで、このようなファインメタル・マスクが大きすぎる場合、パターン形成のためのエッチング誤差も大きくなる問題が生じるので、マスクをいくつかのスティック状にした後、フレームに付けて使用する分割マスクが好まれている。すなわち、マザーボード上の有機発光表示装置の画面のいくつかに対して、同時に蒸着することができるマスクを使用するが、マザーボード全体を１枚のマスクでカバーするには、前述のようなエッチング誤差などの問題が生じるので、一定幅のスティック状になった分割マスクいくつかをフレームに付けて使用するのである（たとえば、下記特許文献１〜３を参照）。
【０００６】
ところで、近年、有機発光表示装置の画面がだんだんと大型化されてきて、マスクを介して蒸着する単位画面の面積が分割マスク１つの幅内に全て入らないという問題が生じている。前述のエッチング誤差などを防止して作ることができる分割マスクの最大幅は１５０ｍｍほどである。この幅内に７インチ以下の画面に対応する蒸着パターンを形成するのには問題はない。しかし、それ以上の大きさ、例えば１４インチ画面に対応する蒸着パターンを収容しようとすると、分割マスクの幅を３００ｍｍほどにしなければならないという問題がある。これを解決するために、もし一分割マスクを幅が３００ｍｍになる大きさに製作しようとするならば、前述の通り、エッチング誤差が大きくなる問題が生じる。
【０００７】
従って、これに対する適切な解決策が要求されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】韓国特許出願公開第２００７−２７３００号明細書
【特許文献２】韓国特許出願公開第２００５−１９５０２号明細書
【特許文献３】韓国特許出願公開第２００３−９３９５９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、分割マスク製作時に、エッチング誤差を増大させずに、大型画面に対応した蒸着パターンを容易に収容することができるように改善された薄膜蒸着用マスクフレーム組立体及びその製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の実施形態による薄膜蒸着用マスクフレーム組立体は、開口部が形成されたフレームと、蒸着用パターンを具備し、前記フレームに両端部が固定され、前記蒸着用パターンが前記開口部に配置される複数の分割マスクと、を有し、前記各分割マスクは、第１部分パターンを具備した第１部分マスクと、前記第１部分パターンとともに前記蒸着用パターンを構成する第２部分パターンを具備した第２部分マスクと、を具備し、前記第１部分マスクと前記第２部分マスクは、相互に接する断面部に接着剤による接合部を有する。
【００１２】
前記第１部分パターンと前記第２部分パターンは、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部上に前記第１部分パターンと前記第２部分パターンとの境界部を有し、前記第１部分パターン、前記第２部分パターン、および前記境界部のいずれも一定のパターンピッチを有する。
【００１３】
前記接着剤は、紫外線硬化型接着剤であって、前記接合部は上面と下面とにそれぞれ前記紫外線硬化型接着剤を有する。
【００１４】
前記接合部をなす前記第１部分マスクおよび第２部分マスクの断面は、互いに平行である。
【００１５】
前記接着剤は、熱硬化型接着剤であって、前記接合部は断面に前記熱硬化型接着剤を有する。
【００１６】
前記接合部をなす前記第１部分マスクおよび第２部分マスクの断面は、互いに平行である。
【００１７】
また、本発明の実施形態による薄膜蒸着用マスクフレーム組立体の製造方法は、（ａ）蒸着用パターンのうち一部分に該当する第１部分パターンが割り当てられた第１部分マスクと、前記蒸着用パターンのうち他の部分に該当する第２部分パターンが割り当てられた第２部分マスクと、を準備する段階と、（ｂ）前記第１部分パターンと前記第２部分パターンとが連結されることにより前記蒸着用パターンが形成されるように、前記第１部分マスクと前記第２部分マスクを結合させた分割マスクを製造する段階と、（ｃ）前記分割マスクをフレームに固定させる段階と、を含む。
【００１８】
前記部分マスクは、第１部分パターンを有した第１部分マスクと、第２部分パターンを有した第２部分マスクと、を含むことができ、前記第１部分パターンと前記第２部分パターンは、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部上に前記第１部分パターンと前記第２部分パターンとの境界部を有し、前記第１部分パターン、前記第２部分パターン、および前記境界部のいずれも一定のパターンピッチを有する。
【００１９】
前記（ｂ）段階は、前記第１部分マスクと前記第２部分マスクとを、相互に接合する断面同士を所定間隔をおいて隣接するように整列させる段階と、前記隣接した断面に、紫外線硬化型接着剤を塗布する段階と、前記紫外線硬化型接着剤を紫外線照射で硬化させる段階と、を含むことができる。
【００２０】
前記紫外線硬化型接着剤の塗布及び硬化の段階は、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部の上面に、前記紫外線硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階と、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部の下面に、前記紫外線硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階と、を含むことができる。
【００２１】
前記紫外線硬化型接着剤の塗布は、ビジョンカメラが前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部を追跡してガイドし、塗布装置がそのビジョンカメラを追って行きつつ塗布することができる。
【００２２】
前記（ｂ）段階は、前記第１部分マスクと前記第２部分マスクとの相互に接合される断面に、熱硬化型接着剤を塗布する段階と、前記熱硬化型接着剤が塗布された断面同士を密着させる段階と、前記熱硬化型接着剤を所定加熱手段で加熱して硬化させる段階と、を含むことができる。
【００２３】
前記熱硬化型接着剤の硬化段階は、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部の一面に熱を加え、前記熱硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階と、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部の他面に熱を加え、前記熱硬化型接着剤を硬化させる段階と、を含むことができる。
【００２４】
前記熱硬化型接着剤の硬化段階は、前記第１部分マスクと第２部分マスクとの接合部の両面に同時に熱を加え、前記熱硬化型接着剤を塗布して硬化させる段階を含むことができる。
【００２５】
前記加熱手段は、前記接合部に接触して回転しつつ、前記熱硬化型接着剤に熱を加える加熱ローラと、非接触状態で、前記熱硬化型接着剤に熱風を吹き付けるブロワとのうちいずれか一つを含むことができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体及びその製造方法によれば、大型画面に対応するパターンを収容した分割マスクを、エッチング誤差増大の虞なしに容易に製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態によるマスクフレーム組立体の分離斜視図である。
【図２Ａ】図１に示されたマスクフレーム組立体のうち１つの分割マスク構造を示した図である。
【図２Ｂ】図２Ａに示された分割マスクの要部を拡大した拡大図である。
【図３Ａ】図１に示されたマスクフレーム組立体の一実施形態による製造過程を順次に示した図である。
【図３Ｂ】図３Ａに後続する図である。
【図３Ｃ】図３Ｂに後続する図である。
【図３Ｄ】図３Ｃに後続する図である。
【図３Ｅ】図３Ｄに後続する図である。
【図３Ｆ】図３Ｅに後続する図である。
【図３Ｇ】図３Ｆに後続する図である。
【図３Ｈ】図１に示されたマスクフレーム組立体の一実施形態による製造過程を順次に示した図である。
【図４Ａ】図１に示されたマスクフレーム組立体の他の実施形態による製造過程を順次に示した図である。
【図４Ｂ】図４Ａに後続する図である。
【図４Ｃ】図４Ｂに後続する図である。
【図４Ｄ】図４Ｃに後続する図である。
【図４Ｅ】図１に示されたマスクフレーム組立体の他の実施形態による製造過程を順次に示した図である。
【図４Ｆ】図４Ｅに後続する図である。
【図４Ｇ】図１に示されたマスクフレーム組立体の他の実施形態による製造過程を順次に示した図である。
【図４Ｈ】図４Ｇに後続する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、添付された図面を参照しつつ、本発明の望ましい実施形態について詳細に説明すれば、次の通りである。
【００２９】
図１は、本実施形態による薄膜蒸着用マスクフレーム組立体１００の構造を図示したものである。
【００３０】
図示されているように、本実施形態のマスクフレーム組立体１００は、開口部１２１が形成されたフレーム１２０と、そのフレーム１２０に両端部が固定された複数の分割マスク１１０と、を具備している。図１では、説明の便宜上、開口部１２１を示すために、４個の分割マスク１１０のみを図示したが、実際の製造完了後には、開口部１２１が分割マスク１１０によって充填される。
【００３１】
まず、前記フレーム１２０は、組立体１００の外郭枠組を形成するものであり、中央に開口部１２１が形成された四角形状をしている。このフレーム１２０の互いに対向する１対の辺に、前記分割マスク１１０の両端部が溶接で固定される。
【００３２】
前記分割マスク１１０は、細長いスティック状の部材であり、前記開口部１２１中に位置する蒸着用パターン１１１が形成されており、その両端部は、前述のようにフレーム１２０に溶接される。この分割マスク１１０を、前記開口部１２１が一度に覆われる１つの大きい部材によって作らずに、図１に示すように、複数のスティック状に分割して付着する理由は、前述のように、エッチング誤差を低減させるためである。分割マスク１１０は、例えば、ニッケル、ニッケル合金、ニッケル−コバルト合金などから形成することができる。
【００３３】
一方、前記各分割マスク１１０は、図２Ａに示されているように、単体ではなく、複数の部分マスク１１０ａ，１１０ｂが結合された構造からなっている。すなわち、第１部分パターン１１１ａを有した第１部分マスク１１０ａと、第２部分パターン１１１ｂを有した第２部分マスク１１０ｂとが隣接した断面同士が接合されて１つの分割マスク１１０を構成し、このとき、第１部分パターン１１１ａと第２部分パターン１１１ｂとが連結され、有機発光表示装置の単位画面に対応する蒸着用パターン１１１が形成される。図面では、２つの部分マスク１１０ａ，１１０ｂが１つの分割マスク１１０を構成する場合を例示しているが、それ以上の個数の部分マスクに分けて分割マスク１１０を構成することができることは言うまでもない。
【００３４】
そして、図２Ｂに示されているように第１部分パターン１１１ａと第２部分パターン１１１ｂは、第１部分マスク１１０ａと第２部分マスク１１０ｂとの接合部上に第１部分パターン１１１ａと第２部分パターン１１１ｂとの境界部を有し、第１部分パターン１１１ａ、第２部分パターン１１１ｂ、および境界部のいずれも一定の間隔のパターンピッチＰ１，Ｐ３，Ｐ２を有する（Ｐ１＝Ｐ２＝Ｐ３）。すなわち、蒸着用パターン１１１を構成する第１部分パターン１１１ａのパターンピッチＰ１と、第２部分パターン１１１ｂのパターンピッチＰ３とは同一であり、それらの接合部上に形成される境界部のパターンピッチＰ２も、それと同じパターンピッチを維持するのである。従って、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの接合で形成された分割マスク１１０であるが、１つの蒸着用パターン１１１内でのパターンピッチＰ１，Ｐ２，Ｐ３は、全体的に一定に維持される。
【００３５】
このように、複数個の部分マスク１１０ａ，１１０ｂを接合して分割マスク１１０を作れば、大型化された単位画面に対応する蒸着用パターン１１１を容易に具現することができ、また狭幅の部分マスク１１０ａ，１１０ｂにエッチングにより、第１部分パターン１１１ａ及び第２部分パターン１１１ｂをまず形成するのであるから、大型画面に合わせた広幅部材のエッチング時に生じうるエッチング誤差の負担も小さくなる。
【００３６】
以下、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂを接合して、分割マスク１１０を製造する過程について説明する。
【００３７】
まず、図３Ａないし図３Ｈは、紫外線硬化型接着剤３０１を利用して、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂを接合する例を図示したものである。
【００３８】
まず、図３Ａに示されているように、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂを互いに１０〜２０μｍほどのギャップｄをおいて、隣接した断面同士を平行に対向すべく整列させる。追って、このギャップｄに紫外線硬化型接着剤３０１の一部が染み込む。
【００３９】
第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの整列は、図３Ａのように、ビジョンカメラ２００を利用することができる。例えば、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの下に、レファレンス・パターンガラスをおき、ビジョンカメラ２００が上から、レファレンスパターンと第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂとの位置が一致するか否かを観察しつつ、位置を整列させる方法などが使われる。
【００４０】
その後、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの整列が完了すれば、図３Ｂに示されているように、塗布装置３００を稼動させ、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの接合部の上面に、紫外線硬化型接着剤３０１を塗布する。
【００４１】
それにより、塗布された紫外線硬化型接着剤３０１は、一部がギャップｄ内に染み込んで図３Ｃのような形態となる。紫外線硬化型接着剤３０１を塗布するときには、図３Ｄのように、ビジョンカメラ２００が接合部ラインを追跡しつつガイドし、塗布装置３００がそのビジョンカメラ２００を追って行きつつ塗布する方式が使われる。
【００４２】
この状態で、図３Ｅのように、紫外線照射装置４００で接合部に紫外線４０１を照射すれば、塗布された紫外線硬化型接着剤３０１が硬化するので強固な接合状態を維持する。このときの紫外線４０１の照射は、紫外線照射装置４００に接合部の全体を一時に照射させることもできるし、または、前記塗布装置３００のように、接合部ラインに沿って行きつつ、照射させることもできる。
【００４３】
そして、前記紫外線硬化型接着剤３０１の成分としては、反応性オリゴマー、反応性希釈剤、添加剤及び光重合開始剤などが含まれる。前記反応性オリゴマーは、エポキシ、ポリエステル、ウレタンなどの変性アクリルオリゴマーを含む。前記反応性希釈剤としては、アクリルモノマーが含まれ、添加剤としては、接着性付与剤、充填剤、重合禁止剤、熱硬化触媒、嫌気性触媒、着色剤などが含まれる。
【００４４】
一方、前記のような過程を通じて、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの上面に、紫外線硬化型接着剤３０１を塗布した後には、図３Ｆのように、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂを裏返しにし、下面にも同じ接着剤の塗布作業及び硬化作業を行う。第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂを裏返しにするときには、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂだけ裏返しにするよりは、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂを支持しているジグ（図示せず）まで共に反転させるのが、まず硬化された紫外線硬化型接着剤３０１を落とさないのに有利である。
【００４５】
そして、このように反転された第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの下面に、図３Ｆのように、塗布装置３００で紫外線硬化型接着剤３０１を塗布し、図３Ｇのように、紫外線照射装置４００で紫外線４０１を照射して硬化させる。
【００４６】
このようにすれば、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの上下面に、それぞれ塗布された紫外線硬化型接着剤３０１が硬化するので強固な接合状態を維持する。これにより、大型単位画面に対応する蒸着用パターン１１１を具備した分割マスク１１０が製造される。
【００４７】
そして、このように製造された分割マスク１１０は、図１で説明した通り、フレーム１２０に付着されてマスクフレーム組立体１００を形成する。
【００４８】
一方、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂは、隣接した断面が図３Ｈのように、一定角度の傾きを有し、平行した形態で形成されてもよい。もちろん、この場合にも、図３Ａないし図３Ｇに図示されたところと同じ工程を介して、接合部の上下面に、紫外線硬化型接着剤３０１を塗布して硬化させ、分割マスク１１０を製造することができる。
【００４９】
従って、前述の工程を介して、大型画面に対応する蒸着用パターン１１１を具備しつつも、エッチング誤差増大の虞のない分割マスク１１０を容易に製造することができる。
【００５０】
次に、図４Ａないし図４Ｈを参照しつつ、熱硬化型接着剤５０１を利用し、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂを接合させて分割マスク１１０を製造する過程について説明する。
【００５１】
まず、図４Ａに図示されているように、塗布装置５００を稼動させ、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの相互に接合する断面に、熱硬化型接着剤５０１を塗布する。
【００５２】
ここでは、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの接合部を形成する断面が互いに平行した傾斜面で形成された場合を例示している。もちろん、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの隣接した断面が、図３Ｇのように、垂直に平行した形態で形成されてもよい。
【００５３】
次に、図４Ｂに示されているように、熱硬化型接着剤５０１が塗布された断面同士を密着させる。このとき、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂを密着して整列させるためにビジョンカメラ２００を利用することができる。例えば、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの下に、レファレンス・パターンガラスをおき、ビジョンカメラ２００が、上からレファレンスパターンと、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂとの位置が一致するか否かを観察しつつ、位置を整列させる方法などが使われる。
【００５４】
次に、図４Ｃのように、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂをベースプレート１０に載せ、ヒータ（図示せず）内蔵の加熱ローラ６００を接合部に直接接触させ、熱硬化型接着剤５０１を硬化させる。
【００５５】
すなわち、加熱ローラ６００が接合部のラインに沿ってローリングしつつ、熱硬化型接着剤５０１を加熱する。これによって、熱硬化型接着剤５０１が硬化するので、強固な接合状態を維持する。
【００５６】
前記のような過程を介して、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの上面側の熱硬化型接着剤５０１を硬化させ、ある程度の安定化時間を経た後には、図４Ｄのように、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂを裏返し、下面側についても、同じ加熱硬化作業を行う。
【００５７】
すなわち、反転された第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの下面に、加熱ローラ６００で接合部を加熱し、熱硬化型接着剤５０１を硬化させる。
【００５８】
このようにすれば、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの接合部断面に塗布された熱硬化型接着剤５０１が硬化するので強固な接合状態を維持し、これにより、大型単位画面に対応する蒸着用パターン１１１を具備した分割マスク１１０が製造される。
【００５９】
そして、このように製造された分割マスク１１０は、図１で説明したように、フレーム１２０に付着してマスクフレーム組立体１００を形成する。
【００６０】
一方、前記図４Ｃと図４Ｄとでは、接合部の熱硬化型接着剤５０１を加熱硬化させるための加熱手段として、加熱ローラ６００を例示したが、図４Ｅ及び図４Ｆに示されているように、非接触式で熱風７０１を吹き込んで加熱するブロワ７００が採用されてもよい。
【００６１】
すなわち、図４Ｅに示されているように、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの上面側から、ブロワ７００で熱風７０１を吹き込み、熱硬化型接着剤５０１の上面側を硬化させ、次に、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂを裏返した後、図４Ｆのように、熱硬化型接着剤５０１の下面側も硬化させる。
【００６２】
このようにすれば、同様に、熱硬化型接着剤５０１によって強固に接合された第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの接合体、すなわち、分割マスク１１０が作られ、このように製造された分割マスク１１０は、図１で説明したように、フレーム１２０に付着されてマスクフレーム組立体１００を形成する。
【００６３】
一方、前述の実施形態では、第１部分マスク１１０ａ及び第２部分マスク１１０ｂの上面と下面とを順に硬化させる方式を例示したが、図４Ｇ及び図４Ｈに示されているように、複数個の加熱ローラ６００や複数個のブロワ７００を利用し、両面に対する硬化作業を同時に行うこともできる。
【００６４】
前述の工程を通じて、大型画面に対応する蒸着用パターン１１１を具備しつつも、エッチング誤差増大の虞がない分割マスク１１０を容易に製造することができる。
【００６５】
そして、前記薄膜蒸着用マスクフレーム組立体１００は、有機発光膜のパターニング工程を含んだ各種薄膜蒸着用に使われる。
【００６６】
本発明は、図面に示された一実施形態を参考にして説明したが、それらは例示的なものに過ぎず、本技術分野の当業者であるならば、それらから多様な変形及び均等な他実施形態が可能であるという点を理解することができるであろう。よって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決まるものである。
【符号の説明】
【００６７】
１０  ベースプレート、
１００  マスクフレーム組立体、
１１０  分割マスク、
１１０ａ  第１部分マスク、
１１０ｂ  第２部分マスク、
１１１  蒸着用パターン、
１１１ａ  第１部分パターン、
１１１ｂ  第２部分パターン、
１２０  フレーム、
１２１  開口部、
２００  ビジョンカメラ、
３００，５００  塗布装置、
３０１  紫外線硬化型接着剤、
４００  紫外線照射装置、
４０１  紫外線、
５０１  熱硬化型接着剤、
６００  加熱ローラ、
７００  ブロワ、
７０１  熱風。
【図１】
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【図２Ａ】
0005912416.tif 000003
【図２Ｂ】
0005912416.tif 000004
【図３Ａ】
0005912416.tif 000005
【図３Ｂ】
0005912416.tif 000006
【図３Ｃ】
0005912416.tif 000007
【図３Ｄ】
0005912416.tif 000008
【図３Ｅ】
0005912416.tif 000009
【図３Ｆ】
0005912416.tif 000010
【図３Ｇ】
0005912416.tif 000011
【図３Ｈ】
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【図４Ａ】
0005912416.tif 000013
【図４Ｂ】
0005912416.tif 000014
【図４Ｃ】
0005912416.tif 000015
【図４Ｄ】
0005912416.tif 000016
【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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【図４Ｇ】
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【図４Ｈ】
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