(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気抵抗率が１×１０５Ωｃｍ以上の基板と、
前記基板上に形成され、炭素がドーピングされたＩｎとＳｂを含む第一の化合物半導体層と、
前記第一の化合物半導体層上に形成され、前記第一の化合物半導体層よりも炭素の濃度が小さく、且つＩｎとＳｂを含む第二の化合物半導体層と、を備え、
前記第一の化合物半導体層の膜厚が０．００５μｍ以上、０．２μｍ以下であり、前記第一の化合物半導体層の炭素の濃度が１×１０１５ｃｍ−３以上、５×１０１８ｃｍ−３以下である化合物半導体積層体。
【請求項２】
前記基板がＳｉまたはＧａＡｓである請求項１に記載の化合物半導体積層体。
【請求項３】
前記第一の化合物半導体層が前記基板と前記第二の化合物半導体層の格子不整合を緩和するバッファ層であり、
前記第二の化合物半導体層が素子の少なくとも一部として機能する活性層である請求項１または請求項２に記載の化合物半導体積層体。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の化合物半導体積層体を用いて得られる半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩｎとＳｂを含む化合物半導体多層膜を備える化合物半導体積層体及び半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩｎＳｂ薄膜は電子移動度が大きく、ホール素子や磁気センサの材料として適していることが知られている。磁気センサへの応用では高感度かつ低消費電力が必要とされる。言い換えれば、高電子移動度かつ膜厚が薄いことが必須となる。これらの電子デバイスにおけるＩｎＳｂ薄膜は電流リークを防ぐために半絶縁基板であるＧａＡｓやＩｎＰ基板上に形成されていた（非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】Ｏｈ  ｅｔ．ａｌ．著、「Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ」、Ｖｏｌｕｍｅ  ６６、１９８９年１０月、ｐ．３６１８−３６２１
【非特許文献２】Ｌｉｕ  ｅｔ．ａｌ．著、「Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｖａｃｃｕｍ  Ｓｃｉｅｎｃｅ＆Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｂ」、Ｖｏｌｕｍｅ  １４、１９９６年５月、ｐ．２３３９−２３４２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
非特許文献１に記載されているように、ＧａＡｓやＩｎＰ基板上にＩｎＳｂ薄膜を形成すると、基板とＩｎＳｂの間には大きな格子ミスマッチが存在するため、形成したＩｎＳｂ層中にはミスフィット転移や結晶欠陥が大量に存在する。これらの転移や欠陥は余剰電子を生成し、電子移動度を著しく低下させる。
また、一般に、基板とのミスマッチによる薄膜の結晶欠陥は、基板との界面近傍で著しい。薄膜の成長に伴い結晶欠陥の密度は減少していくが、結晶欠陥濃度が高く電子移動度の低い下部のＩｎＳｂ層も電気特性に寄与するため、結晶欠陥が存在することにより、全体としての電子移動度が低下してしまう。数ミクロンオーダーの、比較的厚めの薄膜を形成すれば界面付近の欠陥による影響は微小になるが、デバイス作製においては現実的でないばかりでなく、膜厚増加による抵抗減少、消費電力増加等の問題も生じる。【０００５】
この問題を解決するためＧａＡｓ基板上に格子不整合を緩和するバッファ層として、高抵抗なＡｌｘＩｎ１−ｘＳｂ（ｘ≧０．０７）を製膜し、その上にＩｎＳｂを製膜させる方法も知られている（非特許文献２参照）。
しかし、ＡｌＩｎＳｂバッファ層を用いるとバッファ層上に製膜されたＩｎＳｂの結晶性が悪化してしまう、これを避けるためにはＡｌＩｎＳｂバッファ層を厚く形成する必要があるが、全体の膜厚が増加するという悪影響が出てしまう。
以上より、高移動度かつ高い結晶性を保ったまま、全体の膜厚が薄いＩｎＳｂを製膜する技術は知られていなかったのが実情である。
そこで、本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、基板との界面付近での余剰電子の発生を抑制し、かつ、結晶性が良好で薄い、高移動度な化合物半導体多層膜を備える化合物半導体積層体及び半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討した結果、電気抵抗率が１×１０５Ωｃｍ以上の基板と、前記基板上に形成された、炭素がドーピングされたＩｎとＳｂを含む第一の化合物半導体層と、前記第一の化合物半導体層上に形成され、ＩｎとＳｂを含む第二の化合物半導体層と、を備え、前記第一の化合物半導体層の膜厚が０．００５μｍ以上、０．２μｍ以下であり、前記第一の化合物半導体層の炭素の濃度が１×１０１５ｃｍ−３以上、５×１０１８ｃｍ−３以下であることより上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。【０００７】
すなわち、本発明の一態様に係る化合物半導体積層体は、電気抵抗率が１×１０５Ωｃｍ以上の基板と、前記基板上に形成され、炭素がドーピングされたＩｎとＳｂを含む第一の化合物半導体層と、前記第一の化合物半導体層上に形成され、前記第一の化合物半導体層よりも炭素の濃度が小さく、且つＩｎとＳｂを含む第二の化合物半導体層と、を備え、前記第一の化合物半導体層の膜厚が０．００５μｍ以上、０．２μｍ以下であり、前記第一の化合物半導体層の炭素の濃度が１×１０１５ｃｍ−３以上、５×１０１８ｃｍ−３以下であることを特徴とする。【０００８】
また、上記の化合物半導体積層体において、前記基板がＳｉまたはＧａＡｓであることを特徴としてもよい。
また、上記の化合物半導体積層体において、前記第一の化合物半導体層が前記基板と前記第二の化合物半導体層の格子不整合を緩和するバッファ層であり、前記第二の化合物半導体層が素子の少なくとも一部として機能する活性層であることを特徴としてもよい。
本発明の別の態様に係る半導体装置は、上記の化合物半導体積層体を用いて得られることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一態様によれば、基板との界面付近での余剰電子の発生を抑制し、かつ、結晶性が良好で薄い、高移動度な化合物半導体多層膜を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係る化合物半導体積層体を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態（以下、本実施形態と称する）について詳細に説明する。
［化合物半導体積層体］
図１に示した本実施形態の化合物半導体積層体１０は、電気抵抗率が１×１０５Ωｃｍ以上の基板１０１と、この基板上に形成され、膜厚が０．００５μｍ以上０．２μｍ以下であり、炭素濃度が１×１０１５ｃｍ−３以上、５×１０１８ｃｍ−３以下であり、ＩｎとＳｂを含む第一の化合物半導体層１０２と、第一の化合物半導体層１０２上に形成され、第一の化合物半導体層１０２よりも炭素の濃度（即ち、ドーピング量）が小さく、且つＩｎとＳｂを含む第二の化合物半導体層１０３と、を備える。これら第一の化合物半導体層１０１と第二の化合物半導体層１０２とにより、化合物半導体多層膜１１０を構成している。
基板１０１と第二の化合物半導体層１０３との間に、膜厚が０．００５μｍ以上０．２μｍ以下であり、炭素濃度が１×１０１５ｃｍ−３以上、５×１０１８ｃｍ−３以下であり、ＩｎとＳｂを含む第一の化合物半導体層１０２を備えることにより、基板１０１と化合物半導体多層膜１１０との界面付近での余剰電子の発生を抑制する。また、第一の化合物半導体層１０２は、基板１０１と第二の化合物半導体層１０３との間の格子不整合を緩和する。
【００１２】
［基板］
本実施形態の化合物半導体積層体における基板１０１としては、電気抵抗率が１×１０５Ωｃｍ以上の基板であれば特に制限されない。ＩｎＳｂと同じ結晶対称性を持っていることが好ましく、さらに安価かつ大型の基板が入手しやすいことから、基板１０１はＳｉ、ＧａＡｓのいずれか一つであることが好ましい。
【００１３】
［第一の化合物半導体層］
本実施形態の化合物半導体積層体における第一の化合物半導体層１０２としては、膜厚が０．００５μｍ以上、０．２μｍ以下であり、炭素濃度が１×１０１５ｃｍ−３以上、５×１０１８ｃｍ−３以下であり、ＩｎとＳｂを含む化合物半導体からなるものである。具体的には、第一の化合物半導体層１０２として、炭素がドーピングされたＩｎＳｂＩｎＡｌＳｂ，ＩｎＧａＳｂ，ＩｎＡｓＳｂ、ＩｎＰＳｂ、ＩｎＡｓＰＳｂ、ＩｎＡｌＧａＳｂ，ＩｎＡｌＡｓＳｂ，ＩｎＧａＡｓＳｂ、ＩｎＧａＰＳｂ、ＩｎＡｌＰＳｂ、ＩｎＡｌＧａＡｓＳｂ、ＩｎＡｌＧａＰＳｂなどが挙げられるが、これに制限されない。
【００１４】
全体の膜厚および電気絶縁層としての観点から、第一の化合物半導体層１０２の膜厚は、０．００５μｍ以上０．２μｍ以下であり、０．００５μｍ以上０．２μｍ未満であることが好ましく、０．００５μｍ以上０．１５μｍ以下であることがより好ましく、０．０１μｍ以上０．１５μｍ以下であることがさらに好ましい。第一の化合物半導体層の膜厚が０．００５μｍよりも薄い場合は、低抵抗層として電流の漏れを防止する効果が十分でなく、移動度の低下も生じる。また０．２μｍよりも厚い場合は、基板との界面近傍での余剰電子の発生を抑制する効果以上に余剰の正孔を発生させ、膜の移動度が低下するなどの問題が生じるため好ましくない。また、第一の化合物半導体層１０２の膜厚は、化合物半導体積層体を表面から深さ方向に対して二次イオン質量分析測定（ＳＩＭＳ）したときの、後述の炭素の濃度のピーク値を含むピークの半値全幅を意味する。
【００１５】
余剰電子を相殺するために必要十分な炭素量を適用する観点から、第一の化合物半導体層１０２の炭素の濃度が１×１０１５ｃｍ−３以上、５×１０１８ｃｍ−３以下であり、５×１０１５ｃｍ−３以上、３×１０１８ｃｍ−３以下であることが好ましく、１×１０１６ｃｍ−３以上、２×１０１８ｃｍ−３以下であることがより好ましく、５×１０１６ｃｍ−３以上、２×１０１８ｃｍ−３以下であることがさらに好ましい。炭素のドーピング量が多すぎると、生成した過剰な正孔によって第一の化合物半導体層の抵抗率が下がってしまい、正孔電流によって移動度が低下するなどの問題が生じるため実用上好ましくない。また、ドーピング量が少なすぎると、余剰電子の補償が十分に起こらず、リーク電流発生の原因となる。第一の化合物半導体層１０２の炭素の濃度は、化合物半導体積層体を表面から深さ方向に対して二次イオン質量分析測定（ＳＩＭＳ）したときの炭素の濃度のピーク値を意味する。
【００１６】
［第二の化合物半導体層］
本実施形態の化合物半導体積層体における第二の化合物半導体層１０３としては、第一の化合物半導体層よりも炭素の濃度が小さく、ＩｎとＳｂを含むものであれば特に制限されない。具体的には、第二の化合物半導体層１０３として、ＩｎＳｂ、ＩｎＡｌＳｂ，ＩｎＧａＳｂ，ＩｎＡｓＳｂ、ＩｎＰＳｂ、ＩｎＡｓＰＳｂ、ＩｎＡｌＧａＳｂ，ＩｎＡｌＡｓＳｂ，ＩｎＧａＡｓＳｂ、ＩｎＧａＰＳｂ、ＩｎＡｌＰＳｂ、ＩｎＡｌＧａＡｓＳｂ、ＩｎＡｌＧａＰＳｂなどが挙げられるが、これに制限されない。
格子不整合を緩和する観点から、第二の化合物半導体層１０３は、ドーパントである炭素を除いて第一の化合物半導体層１０２と同じ材料であることが好ましい。高移動度な化合物半導体層を得る観点から、第二の化合物半導体層１０３は、ＩｎＳｂであることが好ましい。第二の化合物半導体層１０３の膜厚に特に制限はないが、工業製造の観点から０．５μｍ以上３μｍ以下が好ましい。
なお、第二の化合物半導体層１０２の炭素の濃度は、例えばＳＩＭＳによる検出下限以下である。
［応用］
第二の化合物半導体層１０３上にさらに複数の化合物半導体、保護膜または電極を形成することも可能である。この場合、化合物半導体として物質は特に制限されない。またドーピングに関しても特に制限はされない。
【００１７】
［化合物半導体積層体の製造方法］
次に、本実施形態の化合物半導体積層体の製造方法について説明する。
図１に示した基板１０１上に例えば有機金属気相成長（ＭＯＣＶＤ）装置を用いて第一の化合物半導体層１０２を形成する。第一の化合物半導体層１０２の成長温度に特に制限はないが、原料の分解率およびＩｎＳｂの融点から２２０℃以上５３０℃以下が好ましく、２２０℃以上４００℃未満がより好ましい。第一の化合物半導体層の成長温度が２２０℃以上であれば、原料の分解効率が良好で成長速度が遅くならず、目的の膜厚を成長するために著しく時間を要することがないため好ましい。また第一の化合物半導体層の成長温度が５３０℃以下の場合は、成長した膜の一部または全部が溶融することがなく、著しく結晶性を悪化させてしまうことがないため好ましい。第一の化合物半導体層１０２の成膜に用いる装置として特に制限はなく、分子線蒸着、電子線蒸着、抵抗加熱蒸着、化学蒸着などを行う各種装置を用いることが可能である。第一の化合物半導体層１０２の成膜に用いる原料は特に制限されないが、ＩｎＳｂの原料として、トリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）、ドーピング原料として四臭化炭素（ＣＢｒ４）などを用いることが可能である。原料キャリアガスに特に制限はないが、不純物を含まない観点から純度が保証された水素または窒素を用いることが好ましい。
【００１８】
次に、第一の化合物半導体層１０２上に例えばＭＯＣＶＤ装置を用いて第二の化合物半導体層１０３を形成する。第二の化合物半導体層１０３の成長温度に特に制限はないが、原料の分解率およびＩｎＳｂの融点から２２０℃以上５３０℃以下が好ましい。第二の化合物半導体層の成長温度が２２０℃以上であれば、原料の分解効率が良好で成長速度が遅くならず、目的の膜厚を成長するために著しく時間を要することがないため、好ましい。また第二の化合物半導体層の成長温度が５３０℃以下の場合は、成長した膜の一部または全部が溶融することがなく、著しく結晶性を悪化させてしまうことがないため好ましい。
第二の化合物半導体層１０３の成膜に用いる装置として特に制限はなく、分子線蒸着、電子線蒸着、抵抗加熱蒸着、化学蒸着などを行う各種装置を用いることが可能である。第二の化合物半導体層１０３の成膜に用いる原料は特に制限されないが、ＩｎＳｂの原料として、トリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）などを用いることが可能である。原料キャリアガスに特に制限はないが、不純物を含まない観点から純度が保証された水素または窒素を用いることが好ましい。
【００１９】
［半導体装置］
また、本実施形態の化合物半導体積層体を用いて半導体装置を作製してもよい。具体的には、化合物半導体積層体の第二の化合物半導体層を活性層とすればよい。ＩｎおよびＳｂを含む第二の化合物半導体層を活性層として用いる半導体装置の具体例としては、磁気センサやホール素子や赤外線センサ素子等が挙げられる。いずれも公知の方法を用いて作製することが可能である。基板との界面付近での余剰電子の発生を抑制し、かつ、結晶性が良好で薄い、高移動度な化合物半導体積層体を用いているため、高特性の半導体装置を得ることが可能である。
【００２０】
［実施形態の効果］
本発明の実施形態によれば、基板１０１と第二の化合物半導体層１０３との間に、膜厚が０．００５μｍ以上０．２μｍ以下であり、炭素濃度が１×１０１５ｃｍ−３以上、５×１０１８ｃｍ−３以下であり、ＩｎとＳｂを含む第一の化合物半導体層１０２を備える。これにより、基板１０１との界面付近での余剰電子の発生を抑制し、結果として、高移動度の化合物半導体多層膜１１０となる。即ち、第一の化合物半導体層１０２は、その炭素が欠陥起因の余剰電子を相殺することにより高抵抗な層として存在する。また、第一の化合物半導体層１０２は、基板１０１と第二の化合物半導体層１０３との間の格子不整合を緩和し、かつ第二の化合物半導体層１０３との間の格子不整合をなくすことができるため、第二の化合物半導体層１０３の結晶性を高める。
このように、第一の化合物半導体層１０２が余剰電子を相殺して高抵抗な層として存在することと、基板１０１と第二の化合物半導体層１０３との間の格子不整合を緩和することの両方により、結晶性が良好で薄い、高移動度の化合物半導体多層膜１１０を実現することができる。
【実施例】
【００２１】
［実施例１］
４インチの半絶縁ＧａＡｓ基板（基板１０１）を用意した。この半絶縁ＧａＡｓ基板の電気抵抗率は８×１０７Ωｃｍである。この半絶縁ＧａＡｓ基板上に、３６０℃でＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）と、炭素ドーピングの原料として四臭化炭素（ＣＢｒ４）を用いて、炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層（第一の化合物半導体層１０２）を形成した。この炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。
この第一のＩｎＳｂ層上に、ＩｎＳｂの原料として、トリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて４６０℃で第二のＩｎＳｂ層（第二の化合物半導体層１０３）を形成した。この第二のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。ファンダメンタルパラメータ法を用いた蛍光Ｘ線分光（ＸＲＦ）測定から、第一のＩｎＳｂ層と第二のＩｎＳｂ層を併せたＩｎＳｂ層全体の膜厚は０．９５μｍであった。【００２２】
また、第一のＩｎＳｂ層中での炭素の濃度を調べるため、膜の一部を切り出してＳＩＭＳによる分析を行った。この結果、第一のＩｎＳｂ層（第一の化合物半導体層１０２）の位置に１．０×１０１８ｃｍ−３を最大値とするピークが観察され、所定量だけ炭素がドーピングされていることを確認した。また第一のＩｎＳｂ層の厚さとして、ＳＩＭＳによる炭素の濃度測定におけるピークが半値に減少する範囲を求めたところ、０．０３８μｍであった。
このようにして形成された試料に対してｖａｎ  ｄｅｒ  Ｐａｕｗ法によるホール測定を行った結果、４７３００ｃｍ２／Ｖｓの電子移動度、１．６×１０１６ｃｍ−３のｎ型キャリア濃度が得られた。【００２３】
［実施例２］
４インチの半絶縁ＧａＡｓ基板（基板１０１）を用意した、この半絶縁性ＧａＡｓ基板の電気抵抗率は８×１０７Ωｃｍである。この半絶縁性ＧａＡｓ基板上に、３６０℃でＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて、炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層（第一の化合物半導体層１０２）を形成した。この炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。【００２４】
ＩｎＳｂ層を低温成長させることにより、未分解の原料側鎖から炭素が膜中に取り込まれる。この効果によりＳＩＭＳ測定から、第一のＩｎＳｂ層には炭素がドーピングされており、炭素のドーピング量が５×１０１７ｃｍ−３であることを確認した。
この第一のＩｎＳｂ層上に、ＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて、４６０℃で第二のＩｎＳｂ層（第二の化合物半導体層１０３）を形成した。この第二のＩｎＳｂ層の形成にはＭＯＣＶＤ装置を用いた。ＸＲＦ測定から、第一のＩｎＳｂ層と第二のＩｎＳｂ層を併せたＩｎＳｂ層全体の膜厚は０．９５μｍであった。また第一のＩｎＳｂ層の厚さとして、ＳＩＭＳによる炭素濃度測定におけるピークが半値に減少する範囲を求めたところ、０．０３５μｍであった。
このようにして形成された試料に対してｖａｎ  ｄｅｒ  Ｐａｕｗ法によるホール測定を行った結果、４８０００ｃｍ２／Ｖｓの電子移動度、１．７×１０１６ｃｍ−３のｎ型キャリア濃度が得られた。【００２５】
［実施例３］
４インチの半絶縁ＧａＡｓ基板（基板１０１）を用意した。この半絶縁ＧａＡｓ基板の電気抵抗率は８×１０７Ωｃｍである。この半絶縁ＧａＡｓ基板上に、３６０℃でＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を、炭素ドーピングの原料として四臭化炭素（ＣＢｒ４）を用いて、炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層（第一の化合物半導体層１０２）を形成した。この炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。この第一のＩｎＳｂ層は、ＳＩＭＳ測定から炭素のドーピング量が１×１０１８ｃｍ−３であった。【００２６】
この第一のＩｎＳｂ層上に、ＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて４６０℃で第二のＩｎＳｂ層（第二の化合物半導体層１０３）を形成した。この第二のＩｎＳｂ層の形成にはＭＯＣＶＤ装置を用いた。ＸＲＦ測定から、第一のＩｎＳｂ層と第二のＩｎＳｂ層を併せたＩｎＳｂ層全体の膜厚は０．９３μｍであった。また第一のＩｎＳｂ層の厚さとして、ＳＩＭＳによる炭素の濃度測定におけるピークが半値に減少する範囲を求めたところ、０．００８μｍであった。
このようにして形成された試料に対してｖａｎ  ｄｅｒ  Ｐａｕｗ法によるホール測定を行った結果、４０８００ｃｍ２／Ｖｓの電子移動度、２．１×１０１６ｃｍ−３のｎ型キャリア濃度が得られた。【００２７】
［実施例４］
４インチの半絶縁ＧａＡｓ基板（基板１０１）を用意した。この半絶縁ＧａＡｓ基板の電気抵抗率は８×１０７Ωｃｍである。この半絶縁ＧａＡｓ基板上に、３６０℃でＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を、炭素ドーピングの原料として四臭化炭素（ＣＢｒ４）を用いて、炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層（第一の化合物半導体層１０２）を形成した。この炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。この第一のＩｎＳｂ層は、ＳＩＭＳ測定から炭素のドーピング量が１×１０１８ｃｍ−３であった。【００２８】
この第一のＩｎＳｂ層上にＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて４６０℃で第二のＩｎＳｂ層（第二の化合物半導体層１０３）を形成した。この第二のＩｎＳｂ層の形成にはＭＯＣＶＤ装置を用いた。ＸＲＦ測定から、第一のＩｎＳｂ層と第二のＩｎＳｂ層を併せたＩｎＳｂ層全体の膜厚は０．９５μｍであった。また第一のＩｎＳｂ層の厚さとして、ＳＩＭＳによる炭素濃度測定におけるピークが半値に減少する範囲を求めたところ、０．２０μｍであった。
このようにして形成された試料に対してｖａｎ  ｄｅｒ  Ｐａｕｗ法によるホール測定を行った結果、３５６００ｃｍ２／Ｖｓの電子移動度、１．７×１０１６ｃｍ−３のｎ型キャリア濃度が得られた。【００２９】
［実施例５］
４インチの半絶縁ＧａＡｓ基板（基板１０１）を用意した。この半絶縁ＧａＡｓ基板の電気抵抗率は８×１０７Ωｃｍである。この半絶縁ＧａＡｓ基板上に、３６０℃でＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）と、炭素ドーピングの原料として四臭化炭素（ＣＢｒ４）を用いて、炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層（第一の化合物半導体層１０２）を形成した。この炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。この第一のＩｎＳｂ層は、ＳＩＭＳ測定から炭素のドーピング量が４×１０１６ｃｍ−３であった。  【００３０】
この第一のＩｎＳｂ層上に、ＩｎＳｂの原料として、トリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて４６０℃で第二のＩｎＳｂ層（第二の化合物半導体層１０３）を形成した。この第二のＩｎＳｂ層の形成にはＭＯＣＶＤ装置を用いた。ＸＲＦ測定から、第一のＩｎＳｂ層と第二のＩｎＳｂ層を併せたＩｎＳｂ層全体の膜厚は０．９５μｍであった。また第一のＩｎＳｂ層の厚さとして、ＳＩＭＳによる炭素濃度測定におけるピークが半値に減少する範囲を求めたところ、０．０２８μｍであった。
このようにして形成された試料に対してｖａｎ  ｄｅｒ  Ｐａｕｗ法によるホール測定を行った結果、３０５００ｃｍ２／Ｖｓの電子移動度、２．６×１０１６ｃｍ−３のｎ型キャリア濃度が得られた。【００３１】
［実施例６］
４インチの半絶縁ＧａＡｓ基板（基板１０１）を用意した、この半絶縁性ＧａＡｓ基板の電気抵抗率は８×１０７Ωｃｍである。この半絶縁性ＧａＡｓ基板上に、２４０℃でＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて、炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層（第一の化合物半導体層１０２）を形成した。この炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。
実施例２の場合と同様に、ＩｎＳｂ層を低温成長させることにより、未分解の原料側鎖から炭素が膜中に取り込まれるが、実施例２に比べて成長温度が低いためにより多くの炭素がドーピングされ、ＳＩＭＳ測定から第一のＩｎＳｂ層中の炭素のドーピング量が２×１０１８ｃｍ−３であることを確認した。【００３２】
この第一のＩｎＳｂ層上に、ＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて、４６０℃で第二のＩｎＳｂ層（第二の化合物半導体層１０３）を形成した。この第二のＩｎＳｂ層の形成にはＭＯＣＶＤ装置を用いた。ＸＲＦ測定から、第一のＩｎＳｂ層と第二のＩｎＳｂ層を併せたＩｎＳｂ層全体の膜厚は０．９８μｍであった。また第一のＩｎＳｂ層の厚さとして、ＳＩＭＳによる炭素濃度測定におけるピークが半値に減少する範囲を求めたところ、０．０３８μｍであった。
このようにして形成された試料に対してｖａｎ  ｄｅｒ  Ｐａｕｗ法によるホール測定を行った結果、５５６００ｃｍ２／Ｖｓの電子移動度、１．６×１０１６ｃｍ−３のｎ型キャリア濃度が得られた。【００３３】
［比較例１］
４インチの半絶縁ＧａＡｓ基板（電気抵抗率：８×１０７Ωｃｍ）上に、４６０℃でＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて、炭素のドーパントを用いないこと以外は実施例１と同じ条件で第一のＩｎＳｂ層を形成した。この炭素がドーピングされていない第一のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。
この第一のＩｎＳｂ層上にＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて４６０℃で第二のＩｎＳｂ層を形成した。ＸＲＦ測定から、第一のＩｎＳｂ層と第二のＩｎＳｂ層を併せたＩｎＳｂ層全体の膜厚は０．９５μｍであった。またＳＩＭＳによる炭素濃度測定を行ったところ、第一のＩｎＳｂ層の存在する部分にＳＩＭＳ測定における検出感度の下限値以上の炭素がある領域は観察されなかった。
このようにして形成された試料に対してｖａｎ  ｄｅｒ  Ｐａｕｗ法によるホール測定を行った結果、２３０００ｃｍ２／Ｖｓの電子移動度、３．４×１０１６ｃｍ−３のｎ型キャリア濃度が得られた。【００３４】
［比較例２］
４インチの半絶縁ＧａＡｓ基板（基板１０１）を用意した。この半絶縁ＧａＡｓ基板の電気抵抗率は８×１０７Ωｃｍである。この半絶縁ＧａＡｓ基板上に、４６０℃でＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）と、炭素ドーピングの原料として四臭化炭素（ＣＢｒ４）を用いて、炭素を６×１０１４ｃｍ−３の濃度になるように調整して第一のＩｎＳｂ層（第一の化合物半導体層１０２）を形成した。この炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。【００３５】
この第一のＩｎＳｂ層上にＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて４６０℃で第二のＩｎＳｂ層を形成した。ＸＲＦ測定から、第一のＩｎＳｂ層と第二のＩｎＳｂ層を併せたＩｎＳｂ層全体の膜厚は０．９５μｍであった。本比較例においても、第一のＩｎＳｂ層に、ＳＩＭＳ測定における検出感度の下限値以上の炭素がある領域は観察されなかった。
このようにして形成された試料に対してｖａｎ  ｄｅｒ  Ｐａｕｗ法によるホール測定を行った結果、２３５００ｃｍ２／Ｖｓの電子移動度、２．８×１０１６ｃｍ−３のｎ型キャリア濃度が得られた。【００３６】
［比較例３］
４インチの半絶縁ＧａＡｓ基板（基板１０１）を用意した。この半絶縁ＧａＡｓ基板の電気抵抗率は８×１０７Ωｃｍである。この半絶縁ＧａＡｓ基板上に、４６０℃でＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）と、炭素ドーピングの原料として四臭化炭素（ＣＢｒ４）を用いて、炭素を５×１０１８ｃｍ−３よりも多くなるように流量を調整して第一のＩｎＳｂ層（第一の化合物半導体層１０２）を形成した。この炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。この第一のＩｎＳｂ層は、ＳＩＭＳ測定から炭素のドーピング量が５×１０２０ｃｍ−３であった。  【００３７】
この第一のＩｎＳｂ層上に、ＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて、４６０℃で第二のＩｎＳｂ層（第二の化合物半導体層１０３）を形成した。この第二のＩｎＳｂ層の形成にはＭＯＣＶＤ装置を用いた。ＸＲＦ測定から、第一のＩｎＳｂ層と第二のＩｎＳｂ層を併せたＩｎＳｂ層全体の膜厚は０．９８μｍであった。また第一のＩｎＳｂ層の厚さとして、ＳＩＭＳによる炭素濃度測定におけるピークが半値に減少する範囲を求めたところ、０．０４５μｍであった。
このようにして形成された試料に対してｖａｎ  ｄｅｒ  Ｐａｕｗ法によるホール測定を行った結果、９８００ｃｍ２／Ｖｓの電子移動度、４．０×１０１７ｃｍ−３のｎ型キャリア濃度が得られた。【００３８】
［比較例４］
４インチの半絶縁ＧａＡｓ基板（基板１０１）を用意した。この半絶縁ＧａＡｓ基板の電気抵抗率は８×１０７Ωｃｍである。この半絶縁ＧａＡｓ基板上に、４６０℃でＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を、炭素ドーピングの原料として四臭化炭素（ＣＢｒ４）を用いて、第一のＩｎＳｂ層（第一の化合物半導体層１０２）を形成した。この炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。この第一のＩｎＳｂ層は、ＳＩＭＳ測定から炭素のドーピング量が３×１０１６ｃｍ−３であった。
この第一のＩｎＳｂ層上に、ＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて４６０℃で第二のＩｎＳｂ層（第二の化合物半導体層１０３）を形成した。この第二のＩｎＳｂ層の形成にはＭＯＣＶＤ装置を用いた。ＸＲＦ測定から、第一のＩｎＳｂ層と第二のＩｎＳｂ層を併せたＩｎＳｂ層全体の膜厚は０．９３μｍであった。また第一のＩｎＳｂ層の厚さとして、ＳＩＭＳによる炭素濃度測定におけるピークが半値に減少する範囲を求めたところ、０．００４μｍであった。
このようにして形成された試料に対してｖａｎ  ｄｅｒ  Ｐａｕｗ法によるホール測定を行った結果、２５５００ｃｍ２／Ｖｓの電子移動度、２．３×１０１６ｃｍ−３のｎ型キャリア濃度が得られた。【００３９】
［比較例５］
４インチの半絶縁ＧａＡｓ基板（基板１０１）を用意した。この半絶縁ＧａＡｓ基板の電気抵抗率は８×１０７Ωｃｍである。この半絶縁性ＧａＡｓ基板上に、４００℃でＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて、炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層（第一の化合物半導体層１０２）を形成した。この炭素がドーピングされた第一のＩｎＳｂ層の形成には、ＭＯＣＶＤ装置を用いた。実施例２の場合と同様に、ＩｎＳｂ層を低温成長させることにより、未分解の原料側鎖から炭素が膜中に取り込まれるが、その割合は実施例２と比べて少なく、ＳＩＭＳ測定から、第一のＩｎＳｂ層中の炭素のドーピング量は８×１０１４ｃｍ−３であることを確認した。【００４０】
この第一のＩｎＳｂ層上に、ＩｎＳｂの原料としてトリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）、トリスジメチルアミノアンチモン（ＴＤＭＡＳｂ）を用いて４６０℃で第二のＩｎＳｂ層（第二の化合物半導体層１０３）を形成した。この第二のＩｎＳｂ層の形成にはＭＯＣＶＤ装置を用いた。ＸＲＦ測定から、第一のＩｎＳｂ層と第二のＩｎＳｂ層を併せたＩｎＳｂ層全体の膜厚は０．９３μｍであった。また第一のＩｎＳｂ層の厚さとして、ＳＩＭＳによる炭素濃度測定におけるピークが半値に減少する範囲を求めたところ、０．０１７μｍであった。
このようにして形成された試料に対してｖａｎ  ｄｅｒ  Ｐａｕｗ法によるホール測定を行った結果、２７０００ｃｍ２／Ｖｓの電子移動度、２．２×１０１６ｃｍ−３のｎ型キャリア濃度が得られた。【００４１】
［比較の結果］
以上の結果より、膜厚が０．００５μｍ以上、０．２μｍ以下であり、炭素の濃度が１×１０１５ｃｍ−３以上、５×１０１８ｃｍ−３以下であり、ＩｎとＳｂを含む第一の化合物半導体層と、この第一の化合物半導体層よりも炭素の濃度が小さく、且つＩｎとＳｂを含む第二の化合物半導体層とを備えることにより、界面近傍の欠陥より生成した余剰電子を相殺することで、化合物半導体多層膜全体のキャリア濃度が減少し、電子移動度が向上していることを確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明のＩｎとＳｂを含む化合物半導体多層膜は、磁気センサ、赤外線センサ用の化合
物半導体多層膜として好適である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  化合物半導体積層体
１０１  基板
１０２  第一の化合物半導体層
１０３  第二の化合物半導体層  
１１０  化合物半導体多層膜
【図１】
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