(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出孔、および該吐出孔と連通する加圧室、該加圧室へ液体を供給する第１流路、および前記加圧室から液体を回収する第２流路を備えている複数の吐出ユニットと、
前記加圧室を加圧する加圧部と、
複数の前記吐出ユニットのそれぞれの前記第１流路に共通して接続されており、該吐出ユニットへ液体を供給する第３流路と、
複数の前記吐出ユニットのそれぞれの前記第２流路に共通して接続されており、該吐出ユニットから液体を回収する第４流路と、
前記吐出ユニット同士を接続しており、前記第１流路および前記第２流路よりも流路抵抗の大きい第５流路と、を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第３流路および前記第４流路が第１方向に延びており、
前記第５流路が前記第１方向に延びている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
複数の前記吐出ユニットが前記第１方向に配列されており、
前記第５流路が、前記第１方向に隣り合っている前記吐出ユニット同士を３つ以上連続して接続している、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
複数の前記吐出ユニットが前記第１方向に配列されており、
前記第５流路が、複数の前記吐出ユニットのうち、一の前記吐出ユニットと、当該一の吐出ユニットに対して前記第１方向に隣り合っている２つの前記吐出ユニットのうちどちらか一方の前記吐出ユニットとを接続している、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第３流路および前記第４流路が第１方向に延びており、
前記第５流路が前記第１方向に交差する方向である第２方向に延びている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
複数の前記吐出ユニットが前記第４流路を挟んで設けられており、
前記第１方向および前記第２方向のそれぞれと直交する方向を第３方向とするとき、
前記加圧部は、前記第４流路より前記第３方向の一方側に位置しており、
前記吐出孔は、前記第４流路より前記第３方向の他方側に位置しており、
前記第５流路が前記第４流路より前記第３方向の他方側に位置している、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
複数の前記吐出ユニットが前記第３流路を挟んで設けられており、
前記第１方向および前記第２方向のそれぞれと直交する方向を第３方向とするとき、
前記加圧部は、前記第３流路より前記第３方向の一方側に位置しており、
前記吐出孔は、前記第３流路より前記第３方向の他方側に位置しており、
前記第５流路が前記第３流路より前記第３方向の一方側に位置している、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第５流路が、ダンパに面している、請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第５流路の一端が、前記第１流路または前記第２流路に接続されている、請求項１〜８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記第５流路の他端が、前記第１流路または前記第２流路に接続されている、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記第５流路の他端が、前記加圧室に接続されている、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記第５流路が、前記第１流路同士または前記第２流路同士を接続している、請求項１〜８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、印刷用ヘッドとして、例えば、吐出孔、および吐出孔と連通する加圧室、加圧室へ液体を供給する第１流路、および加圧室から液体を回収する第２流路を備える複数の吐出ユニットと、加圧室を加圧する加圧部と、複数の吐出ユニットのそれぞれの第１流路に共通して接続され、吐出ユニットへ液体を供給する第３流路と、複数の吐出ユニットのそれぞれの第２流路に共通して接続され、吐出ユニットから液体を回収する第４流路とを備える液体吐出ヘッドが知られている（例えば、特許文献１参照）。【０００３】  上記の液体吐出ヘッドは、各吐出ユニットが、加圧部により加圧室を加圧して圧力を発生させ、加圧室内の液体に圧力を加えることにより、各吐出孔から液体を記録媒体に吐出して印画を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２１４８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  しかしながら、加圧室に生じた圧力の一部は、加圧室に連通している第１流路および第２流路に伝幡することがある。その場合、各吐出ユニットに共通して接続された第３流路および第４流路に圧力が到達してしまい、第３流路および４流路に接続されたそれぞれの吐出ユニットの吐出に悪影響を与える場合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明の液体吐出ヘッドは、吐出孔、および該吐出孔と連通する加圧室、該加圧室へ液体を供給する第１流路、および前記加圧室から液体を回収する第２流路を備えている複数の吐出ユニットと、前記加圧室を加圧する加圧部と、複数の前記吐出ユニットのそれぞれの前記第１流路に共通して接続されており、該吐出ユニットへ液体を供給する第３流路と、複数の前記吐出ユニットのそれぞれの前記第２流路に共通して接続されており、該吐出ユニットから液体を回収する第４流路と、前記吐出ユニット同士を接続しており、前記第１流路および前記第２流路よりも流路抵抗の大きい第５流路と、を備えていることを特徴とする。【０００７】  本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】  本発明の液体吐出ヘッドによれば、圧力が吐出ユニットから第３流路および第４流路に到達する可能性を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は平面図である。
【図２】（ａ）は図１の液体吐出ヘッドの斜視図であり、（ｂ）は、縦断面図である。
【図３】図１に示す液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体の平面図であり、（ｂ）は一次流路部材を除いた平面図である。
【図４】図３（ｂ）の一部の拡大平面図である。
【図５】（ａ）は図４（ｂ）の一部の拡大平面図であり、（ｂ）は図５（ａ）のＩ−Ｉ線断面図である。
【図６】（ａ）は個別電極および個別供給流路を省略した図４（ｂ）の一部の拡大平面図であり、（ｂ）は図６（ａ）のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図７】第２実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体を示し、図６（ａ）に対応する拡大平面図である。
【図８】第３実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体を示し、（ａ）は図６（ａ）に対応する拡大平面図であり、（ｂ）はＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図９】第４実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】  ＜第１実施形態＞  図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタ１（以下で単にプリンタと言うことがある）の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐをガイドローラ８２ａから搬送ローラ８２ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。
【００１１】  本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
【００１２】  プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行になるように平板状のヘッド搭載フレーム７０（以下で単にフレームと言うことがある）が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。
【００１３】  液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
【００１４】  ４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体、例えば、インクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群７２で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。
【００１５】  プリンタ１に搭載されている液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能の液体吐出ヘッド２を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。
【００１６】  さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。
【００１７】  プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０ｂは、搬送ローラ８２ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、５０ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。
【００１８】  記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを直接搬送して、記録媒体を搬送ベルト上に置いて搬送してもよい。そのようにすれば、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどを記録媒体することができる。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
【００１９】  また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付けて、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。例えば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力などが、吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）に影響を与えている場合などに、それらの情報に応じて、液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
【００２０】  次に、本発明の一実施形態の液体吐出ヘッド２について図２〜６を用いて説明する。なお、図３〜６では、図面を分かり易くするために、下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いており、図７，８においても同様である。また、図５においては、連結路１７を省略して示している。
【００２１】  液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ以外に、金属あるいは樹脂製の筐体、放熱板、ドライバＩＣ、および配線基板９０などを含んでいてもよい。ヘッド本体２ａは、外部から送られてきた信号に基づき液体を吐出する機能を有している。
【００２２】  配線基板９０は、ヘッド本体２ａに電流を供給する機能、およびヘッド本体２ａに信号を送る機能を有しており、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などにより形成することができる。配線基板９０は、アクチュエータ基板４０と電気的に接続されており、上方に引き出されている。上方に引き出された配線基板９０は、一次流路部材６の貫通孔６ａを挿通している。
【００２３】  ヘッド本体２ａは、一次流路部材６と、二次流路部材４と、アクチュエータ基板４０とを備えている。二次流路部材４上にアクチュエータ基板４０が設けられており、二次流路部材４上にアクチュエータ基板４０を取り囲むように一次流路部材６が設けられている。なお、一次流路部材６は必ずしも設けなくてもよい。以下、二次流路部材４に設けられている二次供給流路２０および二次回収流路２４が延びる方向を第１方向と称し、二次供給流路２０および二次回収流路２４が並んでいる方向を第２方向と称する。
【００２４】  一次流路部材６は、第２方向に長く設けられている。そのため、一次流路部材６の長手方向は第２方向となっている。一次流路部材６は、外部から供給された液体を二次流路部材４へ供給する機能を有する。二次流路部材４は、第２方向に長く設けられており、一次流路部材６から供給された液体を吐出孔８から吐出するための各種流路を有している。アクチュエータ基板４０は、第２方向に長く設けられており、変位素子５０を含んでいる。変位素子５０は、二次流路部材４に設けられた加圧室１０内にある液体を個別に加圧する機能を有している。
【００２５】  一次流路部材６は、内部に各種流路を有しており、枠体形状をなしている。一次流路部材６は、アクチュエータ基板４０が接続されていない領域で二次流路部材４と接合されており、アクチュエータ基板４０を囲むように接合されている。そのため、アクチュエータ基板４０に、吐出した液体の一部がミストとなって付着するのを抑制できる。また、一次流路部材６による二次流路部材４の固定が、二次流路部材４の外周で行なわれるため、二次流路部材４が変位素子５０の駆動に伴って振動し、共振などが生じるのを抑制することができる。
【００２６】  図２（ａ）に示すように、一次流路部材６は、開口６ａと、貫通孔６ｂ１〜６ｂ４とを備えている。開口６ａは、配線基板９０を上方へ引き出すために設けられている。貫通孔６ｂ１〜６ｂ４には、カプラ等を介してチューブが接続され、貫通孔６ｂ１〜６ｂ４を介して、一次流路部材６への液体の給排が行なわれる。
【００２７】  一次流路部材６は、一次供給流路２２と、一次回収流路２６と、を備えている。一次供給流路２２は、一次供給流路本体２２ａと、接続流路２２ｂと、開口２２ｃ，２２ｄとを有している。一次供給流路本体２２ａは、一次流路部材６の一方の側面に隣り合うように第２方向に沿って設けられており、外部から供給された液体を二次流路部材４に供給する機能を有している。接続流路２２ｂは、第２方向に複数配列されており、二次流路部材４の二次供給流路２０に個別に液体を供給する機能を有している。開口２２ｃは貫通孔６ｂ１と連通しており、開口２２ｄは貫通孔６ｂ２と連通している。
【００２８】  一次回収流路２６は、一次回収流路本体２６ａと、接続流路２６ｂと、開口２６ｃ，２６ｄとを有している。一次回収流路本体２６ａは、一次流路部材６の他方の側面に隣り合うように第２方向に沿って設けられており、二次流路部材４を流れた液体を回収する機能を有している。接続流路２６ｂは、第２方向に複数配列されており、二次流路部材４の二次回収流路２４から個別に液体を回収する機能を有している。開口２６ｃは貫通孔６ｂ３と連通しており、開口２６ｄは貫通孔６ｂ４と連通している。
【００２９】  液体の入っていない液体吐出ヘッド２に液体を供給するとき、一次供給流路２２内の液体が外部に排出され易いように、一方の開口（例えば開口２２ｃ）から液体を供給し、一次流路部材４に液体を供給するとともに、空気および溢れた液体を他の開口（例えば２２ｄ）から排出することで、一次流路部材４に気体が入り込み難くできる。一次回収流路２６についても同様に、一方の開口（例えば開口２６ｃ）から液体を供給し、他方の開口（例えば開口２６ｄ）から液体を排出するようにすればよい。
【００３０】  印刷をする場合における、液体の供給および回収にはいくつかの方法がある。一つは、一次供給流路２２に供給した液体のすべてが、一次流路部材４に入り、さらに一次回収流路２６に入って外部に排出される。この際、一次回収流路２６へは、外部からの液体は供給されない。この場合さらに、２つの開口２２ｃ、２２ｄから液体を供給し、２つの開口２６ｃ、２６ｄから液体を回収する方法と、開口２２ｃ、２２ｄのどちらか一方から液体を供給し、他方は閉じておき、開口２６ｃ、２６ｄのどちらか一方から液体を回収し、他方は閉じておく方法がある。どちらの開口を用いるかは組み合わせ可能なので、合計４通りの方法があることになる。圧力損失による圧力の差を小さくするには、２つの開口から液体を供給し、２つの開口から液体を回収するのが好ましいが、液体を給排するチューブの接続や、圧力の制御が煩雑になるおそれがある。１つの開口から液体を供給し、１つの開口から液体を回収すると、接続や圧力の制御が簡単になる。その場合、供給と回収は、第２方向に関して反対側の位置にある開口を組にして行なえば、圧力損失の影響が相殺するようになるので好ましい。具体的には、開口２２ｃから液体を供給し開口２６ｄから回収する、あるいは開口２２ｄから供給し開口２６ｃから液体を回収するようにすればよい。
【００３１】  他には、次のような方法がある。一次供給流路２２の一方の開口（例えば２２ｃ）から液体を供給し、他方の開口（例えば２２ｄ）から液体を回収し、一次回収流路２６の一方の開口（例えば２６ｄ）から液体を供給し、他方の開口（例えば２６ｃ）から液体を回収する。それぞれの液体の給排の圧力を調節して、一次供給流路２２の圧力が、一次回収流路２６の圧力より高くなるようにすれば、一次流路部材４に液体が流れるようになる。このようにすると、各吐出孔８のメニスカスに加わる圧力の差は、ここまで説明した方法の中ではもっとも小さくなる。
【００３２】  上述の方法を組み合わせて、一次供給流路２２に対して液体の給排を行なって、一次回収流路２６からは液体の回収だけにしてもよい。逆に、一次供給流路２２に対しては液体の供給だけを行ない、一次回収流路２６には液体の給排を行なってもよい。
【００３３】  またさらに、以上で説明した供給と回収の関係を逆にしてもよい。例えば、一次回収流路２６の開口２６ｄは閉じて、開口２６ｃから液体を供給し、一次供給流路２２の開口２２ｃは閉じて、開口２２ｄから液体を回収してもよい。
【００３４】  一次流路部材６は、例えば、流路パターンが形成されたプレートを積層して作製することができる。一次流路部材６の厚みは５〜３０ｍｍとすることができる。なお、一次供給流路２２および二次回収流路２６には、ダンパを設けて、液体の吐出量の変動に対して液体の供給、あるいは排出が安定するようにしてもよい。また、一次供給流路２２および二次回収流路２６内に、フィルタを設けることにより、異物や気泡が、二次流路部材４に入り込み難くしてもよい。
【００３５】  このように、一次供給流路２２および一次回収流路２６を、一次流路部材６内に配置することで、一次供給流路２２および一次回収流路２６の断面積を大きくすることができる。それにより、一次供給流路２２と二次供給流路２０とが接続される位置、および一次回収流路２６と二次回収流路２４とが接続される位置の差による圧力損失の差を小さくできる。そのため、一次供給流路２２および一次回収流路２６の流路抵抗は、二次供給流路２０および二次回収流路２４の１／１００以下にするのが好ましい。
【００３６】  二次流路部材４は、平板状の形状を有しており、その厚さは０．５〜２ｍｍ程度である。二次流路部材４は、二次流路部材本体４ａとノズルプレート４ｂとにより形成されており、例えば、金属プレートを積層して作製することができる。二次流路部材４の加圧室面４−１には、加圧室１０が平面方向にマトリクス状に並んで配置されている。二次流路部材４の吐出孔面４−２には、液体が吐出される吐出孔８が平面方向にマトリクス状に並んで配置されている。吐出孔８は加圧室１０と連通している。
【００３７】  二次流路部材４は、複数の二次供給流路２０と、複数の二次回収流路２４と、複数の吐出ユニット１５と、連結路１７とを備えている。吐出ユニット１５は、二次供給流路２０と、二次回収流路２４との間に配置されている。第１方向に並んでいる吐出ユニット１５は、連結路１７により互いに連結されている。
【００３８】  吐出ユニット１５は、個別供給流路１２と、個別回収流路１４と、吐出孔８と、加圧室１０とを備えており、二次流路部材４に複数設けられている。なお、本実施形態では、第１流路を個別供給流路１２、第２流路を個別回収流路１４、第３流路を二次供給流路２０、第４流路を二次回収流路２４、第５流路を連結路１７として説明する。
【００３９】  二次供給流路２０および二次回収流路２４は、第１方向に沿って延びるように複数配置されている。また、二次供給流路２０と二次回収流路２４とは、第１方向と交差する方向である第２方向に交互に並んで配置されている。
【００４０】  このように、二次供給流路２０と二次回収流路２４とが交互に配置されていることにより、二次供給流路２０および二次回収流路２４を面積効率よく配置することができ、吐出ユニット１５の数を増やして高解像度化したり、二次供給流路２０や二次回収流路２４を太くしてそれぞれの流路抵抗を小さくし、吐出ユニット１５からの吐出特性の差を小さくしたり、ヘッド本体２ａの平面方向の大きさを小さくすることができる。
【００４１】  吐出ユニット１５は、二次供給流路２０と二次回収流路２４との間において、第１方向に沿って配列されている、吐出ユニット列９ａ，９ｂを構成している。吐出ユニット１５は、吐出ユニット１５の上方に配置された変位素子５０の変形に伴って加圧され、吐出孔８から液体を吐出する。
【００４２】  図４に示すように、吐出ユニット列９ａ，９ｂは、それぞれ１６個の吐出ユニット１５を備えている。吐出孔８を第２方向と直交する方向に投影すると、吐出ユニット列９ａ，９ｂに属している吐出ユニット１５の吐出孔８は、それぞれ等間隔になっている。また、吐出ユニット列９ａに属している吐出ユニット１５の吐出孔８は、吐出ユニット列９ｂに属している吐出ユニット１５の吐出孔８の間に投影されるようになっている。このようにすることで吐出孔８は、第２方向と直交する方向において、３６０ｄｐｉの間隔で並ぶ。これにより、第２方向に印刷用紙Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷することができる。
【００４３】  また、吐出ユニット列９ａと吐出ユニット列９ｂとは、第２方向に交互に配置されている。つまり、二次供給流路２０および二次回収流路２４は、吐出ユニット列９ａと吐出ユニット列９ｂとの間に挟まれている。
【００４４】  吐出ユニット列９ａと、吐出ユニット列９ｂとは、第１方向に互い違いにずれた状態で配置されている。すなわち、吐出ユニット列９ｂは、吐出ユニット列９ａよりも一次供給流路２２側に配置されている。その結果、吐出ユニット１５は千鳥状に配置されることとなる。それゆえ、隣り合う吐出ユニット１５同士の距離を大きくすることができる。
【００４５】  また、二次供給流路２０は、第１方向における一次供給流路２２側に開口２０ａを備えている。二次回収流路２４は、第１方向における一次回収流路２６側に開口２４ａを備えている。そのため、各吐出ユニット１５の配置による液体の流量の差を小さくできる。なお、二次供給流路２０の開口２０ａ、および二次回収流路２４の開口２４ａはともに、加圧室面４−１に開口している。
【００４６】  以下、吐出ユニット１５について説明する。各吐出ユニット１５は、個別供給流路１２と、個別回収流路１４と、吐出孔８と、加圧室１０とを１つずつ備えている。個別供給流路１２や個別回収流路１４は、複数備えていてもよい。そして、個別供給流路１２が、吐出ユニット１５に隣り合っている二次供給流路２０に接続され、個別回収流路１４が、吐出ユニット１５に隣り合っている二次回収流路２４に接続されている。それにより、個別供給流路１２から供給された液体は、一部が吐出孔８より吐出され、残りが個別回収流路１４を通じて回収される。また、１つの吐出ユニット列９ａを構成する吐出ユニット１５は、連結路１７により接続されている。１つの吐出ユニット列９ｂを構成する吐出ユニット１５も同様に、連結路１７により接続されている。
【００４７】  加圧室１０は、加圧室本体１０ａと、部分流路１０ｂとを備えている。加圧室１０の下方には吐出孔８が設けられている。吐出孔８は、加圧室１０ごとに設けられており、加圧室本体１０ａと吐出孔８とは、部分流路１０ｂを介して繋がっている。吐出孔８は、吐出孔面４−２に向けて平面視面積が小さくなる形状を有している。
【００４８】  加圧室１０には、個別供給流路１２と個別回収流路１４とが接続されている。個別供給流路１２は加圧室本体１０ａに接続されており、個別回収流路１４は部分流路１０ｂに接続されている。
【００４９】  そのため、吐出ユニット１５は、二次供給流路２０から供給された液体が、個別供給流路１２に流れ込み、加圧室本体１０ａにて加圧され、部分流路１０ｂに送出されることとなる。そして、部分流路１０ｂに送出された液体の一部は、吐出孔８から吐出されて記録媒体Ｐへ印画を行なう。
【００５０】  吐出孔８から吐出されなかった一部の液体は、個別回収流路１４に流入し、個別回収流路１４を通って、二次回収流路２４へ流れ出すこととなる。そして、各吐出ユニット１５から集められた二次回収流路２４を通る液体は、一次回収流路２６へ流入し回収されることとなる。
【００５１】  二次流路部材４の上面には、変位素子５０を含むアクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子５０が加圧室１０上に位置するように配置されている。アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の加圧室面４−１にアクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。
【００５２】  アクチュエータ基板４０は、ヘッド本体２ａと同じく第２方向に長い長方形状である。また、アクチュエータ基板４０には、各変位素子５０に信号を供給するための配線基板９０が電気的に接続されている。
【００５３】  アクチュエータ基板４０は、圧電セラミックス層４０ａ、４０ｂと、共通電極４２と、個別電極４４とを有している。
【００５４】  アクチュエータ基板４０は、圧電セラミックス層４０ｂと、共通電極４２と、圧電セラミックス層４０ａと、個別電極４４とが積層されて構成されており、圧電セラミックス層４０ａを介して共通電極４２と個別電極４４とが対向する領域が変位素子５０として機能する。圧電セラミックス層４０ｂは振動板として機能している。
【００５５】  これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ３系、ＢａＴｉＯ３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ３系、ＢｉＮａＮｂ５Ｏ１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層２１ｂは、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。
【００５６】  共通電極４２は、圧電セラミックス層４０ａと圧電セラミックス層４０ｂとの間に設けられており、圧電セラミックス層４０ａ、４０ｂの全域にわたって設けられている。共通電極４２は、例えば、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料により形成されており、厚さは２μｍ程度である。なお、図示していないが、圧電セラミックス層４０ａを貫通するビアホールが設けられており、圧電セラミックス層４０ａの表面に設けられた共通電極用表面電極と電気的に接続されている。
【００５７】  個別電極４４は、個別電極本体４４ａと、引出電極４４ｂと、接続電極４４ｃとを有している。個別電極本体４４ａと、引出電極４４ｂとは、Ａｕ系などの金属材料により形成されており、厚さは１μｍ程度である。接続電極４４ｃは、銀粒子などの導電性粒子を含んだ導電性樹脂であり、５〜２００μｍ程度の厚さで形成されている。個別電極本体４４ａは加圧室１０上に配置されており、加圧室１０に対応して設けられている。個別電極本体４４ａと共通電極４２との間に電圧が印加されることにより、変位素子５０が変位する。
【００５８】  引出電極４４ｂは、個別電極本体４４ａから加圧室１０より外側まで引き出されている。そして、接続電極４４ｃは、引出電極４４ｂ上の加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分に形成されている。また、接続電極４４ｃは、配線板９０の配線と電気的に接合されている。
【００５９】  連結路１７は、図４，６に示すように吐出ユニット１５同士を接続しており、第１方向に延びるように設けられている。より詳細には、連結路１７は、吐出ユニット列９ａ，９ｂを構成する各吐出ユニット１５を接続している。
【００６０】  連結路１７は、吐出ユニット１５ｂの部分流路１０ｂｂと、吐出ユニット１５ｃの個別回収流路１４ｃとを接続している。そして、連結路１７の流路抵抗は、吐出ユニット１５ｂ，１５ｃの個別供給流路１２ｂ，１２ｃの流路抵抗、および個別回収流路１４ｂ，１４ｃの流路抵抗よりも大きくなっている。また、吐出ユニット１５ｂと吐出ユニット１５ｃとを繋いでいる流路のうちで、連結路１７を通る流路は、連結路１７を通らない他の流路よりも、流路抵抗が大きくなっている。これは、より詳細には、連結路１７および個別回収流路１４ｂの一部を通って、吐出ユニット１５ｂと吐出ユニット１５ｃとを繋いでいる流路の流路抵抗は、図５（ａ）に示した経路Ｃ１の流路抵抗および図６（ａ）に示した経路Ｃ２の流路抵抗より大きいということである。経路Ｃ１は、１つの個別供給流路１２を通り、連結路１７が繋がっている先の吐出ユニニット１５まで二次供給流路２０に沿って進み、他の個別供給流路１２を通る経路である。経路Ｃ２は、１つの個別回収流路１４を通り、連結路１７が繋がっている先の吐出ユニニット１５まで二次回収流路２４に沿って進み、他の個別回収流路１４を通る経路である。アクチュエータ基板４０の加圧により、加圧室１０に生じた圧力の一部は、加圧室１０に連通している個別供給流路１２および個別回収流路１４に伝幡することがある。その場合、個別供給流路１２および個別回収流路１４を通じて、各吐出ユニット１５に共通して接続された二次供給流路２０および二次回収流路２４に圧力が到達してしまい、二次供給流路２０および二次回収流路２４に接続されたそれぞれの吐出ユニット１５の吐出に悪影響を与える場合がある。
【００６１】  このような影響を低減する構造として、吐出ユニット１５に繋がっている他の流路を設ける構造が考えられる。吐出ユニット１５の圧力の一部が、その流路に伝わることにより、二次供給流路２０および二次回収流路２４に出ていく圧力を減らすことができると考えられる。周囲に存在する流路への圧力の影響を少なくするという観点では、そのような流路は、周囲の流路と繋がっていない、行き止まりの流路とするのがよい。しかし、行き止まりの流路を形成しても、使用する際に、その部分に液体を充填した状態にするのは難しい。また、ヘッド本体２ａ全体を真空中に置いた後に、液体を入れれば、液体を充填することはできるかもしれないが、一度充填された液体を排出するのは、さらに難しくなる。充填された液体は、長期的には変質するおそれがあるし、液体を排出できなければ、異なる液体に入れ替えて、吐出させることもできない。
【００６２】  そこで、吐出ユニット１５に繋げる流路としては、行き止まりの流路ではなく、隣の吐出ユニット１５と繋がっている連結路１７を設ける。連結路１７は、吐出ユニット１５同士を繋げているため、連通路１７を通って伝わる圧力も生じるが、連結路１７の流路抵抗が大きいため、その影響は小さくできる。それゆえ、連結路１７を介して伝わる圧力が増える影響よりも、個別供給流路１２および個別回収流路１４介して伝わる圧力を減らす影響の方が大きくなり、加圧室１０に生じた圧力が伝播する影響を低減することができる。
【００６３】  つまり、連結路１７の流路抵抗が、吐出ユニット１５ａ，１５ｂの個別供給流路１２ａ，１２ｂの流路抵抗、および個別回収流路１４ａ，１４ｂの流路抵抗よりも大きくなっているため、連結路１７に伝播した圧力は、連結路１７を通過する間に減衰されることとなる。そのため、吐出ユニット１５ａにより生じた圧力が、連結路１７を通過して吐出ユニット１５ｂに伝播する可能性を低減することができる。
【００６４】  連結路１７を圧力が伝搬する際の、圧力の減衰を大きくするには、連結路１７に面してダンパを設けるのが好ましい。ダンパとは流路の壁面が変形することで、流路の体積を変えることができるものである。ダンパが存在すれば、連結路１７中の液体の圧力が変わった際に、ダンパが変形することで、圧力の変化を低減できる。連結路１７の吐出孔面４−２側は、ノズルプレート４ｂに面しており、ノズルプレート４ｂの、連結路１７と反対側の面は、外部空間となっている。そのため、連結路１７に面したノズルプレート４ｂは、撓み変形して、連結路１７の体積を変えることのできるダンパとなっている。ダンパの効率を良くするためには、ダンパの厚さ、すなわちノズルプレート４ｂの厚さは、連結路１７の幅以下であるのが好ましく、さらに連結路１７の幅の１／２以下、特に連結路１７の幅の１／４以下であるのが好ましい。例えば、連結路１７の幅が１８０μｍであれば、ノズルプレート４ｂの厚さは、１８０μｍ以下が好ましく、さらに９０μｍ以下、特に４５μｍ以下であるのが好ましい。
【００６５】  また、連結路１７は、吐出ユニット１５同士を接続しており、二次供給流路２０および二次回収流路２４に接続されていない。そのため、連結路１７に圧力が伝播した場合には、二次供給流路２０および二次回収流路２４に圧力が伝播することを防止することができる。また、連結路１７の端部は、吐出ユニット１５に接続されており、行き止まりとなっている端部がない。これにより、そのような部分があることで生じる液体の滞留や、液体の導入および排出が困難になる可能性を低減できる。
【００６６】  また、ヘッド本体２ａは、二次供給流路２０および二次回収流路２４が第１方向に延び、連結路１７が第１方向に延びる構成を有している。そのため、二次流路部材４のうち、二次供給流路２０と二次回収流路２４との間に位置する隔壁部分に、連結路１７を設けることができる。その結果、二次流路部材４の内部の空間を効率よく使用することができる。
【００６７】  ここで、吐出ユニット１５ａに接続された連結路１７が、他の吐出ユニット１５ｂに接続されていない場合、連結路１７の端部に閉塞空間が生じることとなる。そうすると、ヘッド本体２ａに液体を充填すると、閉塞空間に気泡が生じる可能性がある。
【００６８】  これに対して、連結路１７は吐出ユニット１５同士を接続しているため、連結路１７の両端が吐出ユニット１５に接続されることとなる。その結果、連結路１７の端部に閉塞空間が生じることはなく、ヘッド本体２ａに液体を充填しても、気泡が生じる可能性を低減することができる。
【００６９】  また、複数の吐出ユニット１５が第１方向に配列されており、連結路１７が、第１方向に隣り合っている吐出ユニット１５ａ〜１５ｃ同士を３つ以上連続して接続している。すなわち、吐出ユニット１５が吐出ユニット列９ａを構成しており、吐出ユニット列９ａを構成する各吐出ユニット１５が、連結路１７により連続して接続されている。
【００７０】  そのため、吐出ユニット列９ａを構成する各吐出ユニット１５同士が、共通して連通することとなる。その結果、ヘッド本体２ａに液体を充填する際に、各吐出ユニット１５にくまなく液体を充填することができ、ヘッド本体２ａの内部に気泡が生じる可能性を低減することができる。
【００７１】  なお、１つの連結路１７が、吐出ユニット列９ａを構成する吐出ユニット９のすべてを接続していなくてもよい。例えば、２つの連結路１７が吐出ユニット列９ａを構成する吐出ユニット１５の半分ずつを接続していてもよい。具体的には、吐出ユニット列９ａにおいて、第１〜８行目に位置する吐出ユニット１５を連結する連結路１７と、第９〜１６行目に位置する吐出ユニット１５を連結する連結路１７とを設けてもよい。
【００７２】  また、連結路１７の一端が、個別回収流路１４に接続されている。そのため、圧力が個別回収流路１４に伝播した場合においても、個別回収流路１４内の圧力を連結路１７に伝播させることができ、二次回収流路２４に圧力が伝播する可能性を低減することができる。
【００７３】  また、個別回収流路１４が、第１方向に延びたあと、第１方向に直交する方向に屈曲している。そして、連結路１７が、個別回収流路１４が屈曲する部分に接続されるとともに、第１方向に延びるように設けられている。そのため、加圧室１０から伝搬してきた、個別回収流路１４を第１方向に沿って伝播する圧力を効率よく連結路１７に伝えることができる。
【００７４】  また、連結路１７の他端が部分流路１０ｂに接続されている。それにより、部分流路１０ｂに接続された個別回収流路１４に圧力が伝播する可能性を低減することができる。
【００７５】  特に、液体を吐出するために、加圧室から吐出孔８に向けて圧力が伝播されるため、連結路１７の一端を個別回収流路４に接続し、連結路１７の他端を部分流路１０ｂに接続することにより、圧力が二次回収流路２４に伝播することを効果的に抑えることができる。
【００７６】  なお、連結路１７の一端を個別供給流路１２に接続してもよい。そのため、圧力が個別供給流路１２に伝播した場合においても、個別供給流路１２内の圧力を連結路１７に伝播させることができ、二次供給流路２０に圧力が伝播する可能性を低減することができる。
【００７７】  ＜第２の実施形態＞  図７を用いて液体吐出ヘッド１０２のヘッド本体１０２ａについて説明する。ヘッド本体１０２ａは、連結路１１７の形状がヘッド本体２ａと異なっており、その他の点は同一であるため説明は省略する。なお、同一の部材については同一の符号を付し、以下同様とする。
【００７８】  連結路１１７ａが、複数の吐出ユニット１５ａ〜１５ｃのうち、一の吐出ユニット１５ｂと、当該一の吐出ユニットに第１方向に隣り合う２つの吐出ユニット１５ａ，１５ｃのうち一方の吐出ユニット１５ａと、を接続している。
【００７９】  より詳細には、吐出ユニット列９ａ，９ｂが吐出ユニット１５ａ〜１５ｄを有している。そして、連結路１１７ａは、吐出ユニット１５ａの部分流路１０ｂａと、吐出ユニット１５ｂの個別回収流路１４ｂとを接続している。また、連結路１１７ｂは、吐出ユニット１５ｃの部分流路１０ｂｃと、吐出ユニット１５ｄの個別回収流路１４ｄとを接続している。
【００８０】  すなわち、吐出ユニット１５ｂは、隣り合う吐出ユニット１５ａ，１５ｃのどちらか一方のみと連結部１１７ａにより接続されている。言い換えると、吐出ユニット１５ａ，１５ｂを連結路１１７ａにて接続しており、これを複数備えている。
【００８１】  そのため、二次流路部材４内における連結路１１７の体積を減少することができ、二次流路部材４の剛性が低下することを抑えることができる。また、複数の薄い金属プレートを積層して二次流路部材４を作製する場合に、金属プレートのハンドリング性が低下することを抑えることができる。
【００８２】  ＜第３の実施形態＞  図８を用いて、ヘッド本体２０２ａについて説明する。ヘッド本体２０２ａは、二次流路部材２０４の構造が、二次流路部材４と異なっている。
【００８３】  二次流路部材２０４は、二次流路部材本体２０４ａと、ノズルプレート２０４ｂと、第１回収プレート２０４ｃ１と、第２回収プレート２０４ｃ２とを備えている。二次流路部材本体２０４ａと、ノズルプレート２０４ｂとについては、二次流路部材本体４ａと、ノズルプレート４ｂと同様のため説明を省略する。
【００８４】  第１回収プレート２０４ｃ１と第２回収プレート２０４ｃ２とは、二次流路部材本体２０４ａと、ノズルプレート２０４ｂとの間に配置されている。第１回収プレート２０４ｃ１には、個別回収流路２１４が形成されている。第２回収プレート２０４ｃ２には、個別回収流路２１４および連結路２１７が形成されている。そのため、連結路２１７と二次回収流路２４との間には、第１回収プレート２０４ｃ１が介在しており、連結路２１７と二次回収流路２４とは連通せずに、連結路２１７が二次回収流路２４の下方に位置する構成となっている。
【００８５】  ここで、第１方向および第２方向のそれぞれと直交する方向を第３方向とする。吐出ユニット１５の第３方向の一方側には、加圧部である変位素子５０および変位素子５０により直接加圧される加圧室本体１０ａが配置されている。また、吐出ユニット１５の第３方向の他方側には、吐出孔８が配置されている。
【００８６】  そのため、吐出ユニット１５への液体の給排は、吐出ユニット１５の第３方向の一方側にある加圧室本体１０ａへ液体を供給し、吐出ユニット１５の第３方向の他方側にある部分流路１０ｂから回収するが好ましい。つまり、吐出ユニット１５と二次供給流路２０とは、吐出ユニット１５の第３方向の一方側で接続しているのが好ましく、吐出ユニット１５と二次回収流路２４とは、吐出ユニット１５の第３方向の他方側で接続しているのが好ましい。そして、吐出ユニット１５同士を、液体の回収する側に近い位置で接続する際には、吐出ユニット１５の回収側、すなわち第３方向の他方側で、連結路２１７を接続するのが好ましい。そのような場合、連結路２１７を二次回収流路２４より第３方向の他方側に配置すれば、空間の利用効率が高くできる。また、その場合、第３方向から見た場合に、連結路２１７は、一部が、二次回収流路２４と重なるように配置すれば、連結路２１７を複雑な引き回しにしなくても吐出ユニット１５同士を接続することができる。
【００８７】  連結路２１７は、吐出ユニット２１５ａと吐出ユニット２１５ｃとを接続している。また、連結路２１７は、吐出ユニット２１５ｂと吐出ユニット２１５ｄとを接続している。そのため、連結路２１７は、二次回収流路２４を挟んで設けられた吐出ユニット２１５同士を接続している。
【００８８】  そのため、連結路２１７の距離を長くすることができ、連結路２１７の内部に圧力が伝播した場合においても、連結路２１７を通過する際に圧力を減衰させることができ、連結路２１７にて繋がれた吐出ユニットに圧力が伝播する可能性を低減することができる。
【００８９】  また、個別回収流路２１４ａは、引出部２１４ａ１と屈曲部２１４ａ２とを備えている。引出部２１４ａ１は、第１方向に沿って引き出されており、第１方向から第２方向にかけて、個別回収流路２１４が屈曲部２１４ａ２にて屈曲している。
【００９０】  そして、連結路２１７は、個別回収流路２１４ａの屈曲部２１４ａ２と、個別回収流路２１４ｃの屈曲部２１４ｃ２とを接続している。また、連結路２１７は、個別回収流路２１４ｂの屈曲部２１４ｂ２と、個別回収流路２１４ｄの屈曲部２１４ｄ２とを接続している。そのため、連結路２１７は、個別回収流路２１４ａに伝播した圧力を、連結路２１７の内部で圧力を減衰させながら個別回収流路２１４ｃに伝播させることとなる。その結果、連結路２１７にて圧力を減衰しきれなかった場合においても、二次回収流路２４に圧力が伝播される可能性を低減することができる。
【００９１】  なお、連結路２１７が、途中に流路抵抗が大きくなる拡大部を有してもよい。それにより、連結路２１７を通る圧力が拡大部に伝播すると、拡大部から圧力が逃げにくい構成となり、連結路２１７を圧力が通過する可能性をさらに抑えることができる。
【００９２】  逆に、吐出ユニット１５同士を液体の供給側に近い位置で接続する際には、吐出ユニット１５の供給側、すなわち第３方向の一方側で、連結路２１７と接続するのが好ましい。そのような場合、連結路２１７を二次供給流路２０より第３方向の一方側に配置すれば空間の利用効率が高くできる。また、その場合、第３方向から見た場合に、連結路２１７は、一部が、二次供給流路２０と重なるように配置すれば、連結路２１７を複雑な引き回しにしなくても吐出ユニット１５同士を接続することができる。その場合、連結路２１７は、例えば、隣り合う吐出ユニット２１５の個別供給流路２１２同士を接続するのが好ましい。
【００９３】  ＜第４の実施形態＞  図９を用いて、ヘッド本体３０２ａについて説明する。ヘッド本体３０２ａは、液体が通る流路の構成としては、図６に示したヘッド本体２０２ａとほぼ同じであり、連結路３１７は、個別回収流路１４同士を接続している。ヘッド本体３０２ａには、ダンパ２８Ａ〜Ｅが設けられている。ダンパ２８Ａ〜Ｅを設けるため、二次流路部材３０４は、プレート３０４ａ〜ｌのプレートを積層して構成されている。なお、差異の少ない部材については同一の符号を付し、説明を省略する。
【００９４】  図９は、図５（ｂ）とほぼ同じ位置の縦断面図である。ただし、二次供給流路２０および二次回収流路２４の断面の全体が図面に含まれるように、図５（ｂ）よりも左右に広い範囲を描いている。
【００９５】  ダンパ２８Ａは、二次供給流路２０の吐出孔面３０４−２側に面して配置されている。ダンパ２８Ａの、二次供給流路２０とは反対側の面は、ダンパ室２９に面しており、ダンパ２８Ａは、撓み変形することで、二次供給流路２０の体積を変えことができる。これにより、二次供給流路２０内の液体の圧力の変動を減衰させて低減することができる。以下で説明するダンパ２８Ｂ〜Ｅについても、ダンパの基本的働きは同じである。
【００９６】  ダンパ２８Ｂは、二次排出流路２４の加圧室面３０４−１側に面して配置されている。ダンパ２８Ｂの、二次排出流路２４とは反対側の面は、ダンパ室２９に面している。
【００９７】  ダンパ２８Ｃは、二次排出流路２４の吐出孔面３０４−２側に面して配置されている。ダンパ２８Ｃの、二次排出流路２４とは反対側の面は、ダンパ室２９に面している。ヘッド本体３０４ａでは、個別回収流路１４は、二次排出流路２４の吐出孔面３０４−２側に接続されているのではなく、側面に接続されている。このように接続することで、二次排出流路２４の吐出孔面３０４−２側を、二次排出流路２４の幅と同じダンパ２８Ｃにすることができ、ダンパの効果を大きくすることができる。
【００９８】  連結路３１７の一端は、一の吐出ユニット１５の個別回収流路１４の途中に接続されており、他端は、図９に描いた部分の左側の外側で、隣り合っている吐出ユニット１５の個別回収流路１４の途中に接続されている。連結路３１７は、プレート３０４ｋの吐出孔面３０４−２に形成された溝を、ノズルプレート３０４ｌで塞いで構成されている。プレート３０４ｋの溝は、例えば、ハーフエッチングで形成することができる。
【００９９】  連結路３１７の吐出孔面３０４−２側は、外部空間をダンパ室とするダンパ２８Ｄとなっている。連結路３１７の加圧室面３０４−１側は、ダンパ２８Ｅとなっている。つまり、連結路３１７の上下の両面が、ダンパとなっているので、圧力の減衰効果が高く、連結路３１７が接続している吐出ユニット間で、連結路３１７を介した圧力伝搬を低減できる。
【０１００】  ダンパ２８Ｅの連結路３１７と反対側の面は、ダンパ室２９に面している。ダンパ２８Ｄの面しているダンパ室２９と、ダンパ２８Ｃが面しているダンパ室２９は、同一である。同一のダンパ室２９を共用することで、空間の利用効率を高くすることができる。
【０１０１】  以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、第１実施形態である液体吐出ヘッド２を用いたプリンタ１を示したが、これに限定されるものではなく、他の実施形態に係る液体吐出ヘッド１０２，２０２をプリンタ１に用いてもよい。また、複数の実施形態である液体吐出ヘッド２，１０２，２０２を組み合わせてもよい。
【０１０２】  また、加圧部として、加圧室１０を圧電変形によりを加圧する圧電アクチュエータ基板を用いる例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、加圧室１０ごとに発熱部を設け、発熱部の熱により加圧室１０の内部の液体を加熱し、液体の熱膨張により加圧する加圧部としてもよい。
【０１０３】  また、液体吐出ヘッド２の内部の液体の流れを変更してもよい。すなわち、循環する液体の流れる方向を逆にしてもよい。例えば、第１流路を個別回収流路１４、第２流路を個別供給流路１２、第３流路を二次回収流路２４、および第４流路を二次供給流路２０としてもよい。その場合液体は、二次回収流路２４、個別回収流路１４、部分流路１０ｂ、加圧室本体１０ａ、個別供給流路１２、および二次供給流路２０の順に流れることとなる。
【符号の説明】
【０１０４】  １・・・カラーインクジェットプリンタ  ２・・・液体吐出ヘッド    ２ａ、１０１ａ、２０２ａ、３０２ａ・・・ヘッド本体  ４・・・二次流路部材    ４ａ・・・二次流路部材本体    ４ｂ・・・ノズルプレート    ４−１・・・加圧室面    ４−２・・・吐出孔面  ６・・・一次流路部材  ８・・・吐出孔  ９ａ，９ｂ・・・吐出ユニット列  １０・・・加圧室    １０ａ・・・加圧室本体    １０ｂ・・・部分流路  １２・・・個別供給流路（第１流路）  １４・・・個別回収流路（第２流路）  １５・・・吐出ユニット  １７、１１７、２１７、３１７・・・連結路（第５流路）  ２０・・・（第３流路）  ２２・・・一次供給流路  ２４・・・二次回収流路（第４流路）  ２６・・・一次回収流路  ２８Ａ〜Ｅ・・・ダンパ  ２９・・・ダンパ室  ４０・・・アクチュエータ基板    ４０ａ、４０ｂ・・・圧電セラミック層  ４２・・・共通電極  ４４・・・個別電極    ４４ａ・・・個別電極本体    ４４ｂ・・・引出電極    ４４ｃ・・・接続電極  ５０・・・変位素子  ７０・・・ヘッド搭載フレーム  ９０・・・配線基板  Ｐ・・・印刷用紙 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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