(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロービング対象体の表面に平行な平面に沿ってプローブを移動させて当該表面に設けられている複数のプロービングポイントに当該プローブを順次プロービングさせるための当該プローブの移動経路を作成する処理部を備え、
前記処理部は、前記表面が枡目状に区画された複数の第１領域の各々に含まれる全ての前記プロービングポイントを１回ずつ経由する前記移動経路を特定する特定処理を当該第１領域毎に実行して当該第１領域毎の各移動経路を当該各第１領域について規定された連結順序で連結して前記プロービング対象体についての全体の前記移動経路を作成する移動経路作成装置であって、
前記連結順序は、当該連結順序における順位が連続する前記各第１領域同士が上下方向および左右方向のいずれかの方向に隣接するように規定され、
前記処理部は、前記各第１領域が４つの第２領域にそれぞれ枡目状に区画されると共に前記プローブの初期位置に最も近い前記第１領域の前記連結順序を１番目として、当該１番目の第１領域についての前記特定処理において、当該第１領域における前記４つの第２領域のうちの前記初期位置に最も近い１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第２領域の対角に位置する他の１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路を特定し、
前記連結順序が２番目以降の前記各第１領域についての前記特定処理において、当該各第１領域における前記４つの第２領域のうちの前記連結順序が直近上位の前記第１領域における前記終点に最も近い１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第２領域の対角に位置する他の１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路をそれぞれ特定し、
前記連結順序に従い、前記各第１領域の前記終点と、前記連結順序が直近下位の前記第１領域の前記始点とを連結して前記全体の移動経路を作成する移動経路作成装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記連結順序が１番目の第１領域における前記１つの第２領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記初期位置に最も近いプロービングポイントを前記始点として規定する請求項１記載の移動経路作成装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記連結順序が１番目の第１領域における前記他の１つの第２領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記初期位置から最も遠いプロービングポイントを前記終点として規定する請求項１または２記載の移動経路作成装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記連結順序が２番目以降の前記第１領域における前記１つの第２領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記連結順序が直近上位の前記第１領域における前記終点に最も近いプロービングポイントを前記始点として規定する請求項１から３のいずれかに記載の移動経路作成装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記連結順序が２番目以降の前記第１領域における前記他の１つの第２領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記連結順序が直近上位の前記第１領域における前記終点から最も遠いプロービングポイントを前記終点として規定する請求項１から４のいずれかに記載の移動経路作成装置。
【請求項６】
前記処理部は、前記特定処理に先立ち、前記各第１領域を前記４つの第２領域にそれぞれ区画する請求項１から５のいずれかに記載の移動経路作成装置。
【請求項７】
前記処理部は、前記特定処理に先立ち、前記表面を前記複数の第１領域に区画する請求項１から６のいずれかに記載の移動経路作成装置。
【請求項８】
前記処理部は、前記各第１領域の配列方向おける縦方向および横方向の少なくとも１つの方向に沿って前記第１領域が奇数個並ぶように前記表面を区画し、
前記第１領域が奇数個並ぶ１つの方向に並んだ前記各第１領域の前記連結順序における順位が連続するように当該連結順序を規定する請求項７記載の移動経路作成装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載の移動経路作成装置と、前記プローブを移動させて前記プロービング対象体に対するプロービングを行う移動機構と、当該移動機構を制御する制御部と、前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記プロービング対象体を検査する検査部とを備え、
前記制御部は、前記移動経路作成装置によって作成された前記移動経路に沿って前記プローブを移動させる検査装置。
【請求項１０】
プロービング対象体の表面に平行な平面に沿ってプローブを移動させて当該表面に設けられている複数のプロービングポイントに当該プローブを順次プロービングさせるための当該プローブの移動経路を作成する際に、前記表面を枡目状に区画した複数の第１領域の各々に含まれる全ての前記プロービングポイントを１回ずつ経由する前記移動経路を特定する特定処理を当該第１領域毎に実行して当該第１領域毎の各移動経路を当該各第１領域について規定された連結順序で連結して前記プロービング対象体についての全体の前記移動経路を作成する移動経路作成方法であって、
前記連結順序における順位が連続する前記各第１領域同士が上下方向および左右方向のいずれかの方向に隣接するように当該連結順序を規定し、
前記各第１領域を４つの第２領域にそれぞれ枡目状に区画すると共に前記プローブの初期位置に最も近い前記第１領域の前記連結順序を１番目として、当該１番目の第１領域についての前記特定処理において、当該第１領域における前記４つの第２領域のうちの前記初期位置に最も近い１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第２領域の対角に位置する他の１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路を特定し、
前記連結順序が２番目以降の前記各第１領域についての前記特定処理において、当該各第１領域における前記４つの第２領域のうちの前記連結順序が直近上位の前記第１領域における前記終点に最も近い１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第２領域の対角に位置する他の１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路をそれぞれ特定し、
前記連結順序に従い、前記各第１領域の前記終点と、前記連結順序が直近下位の前記第１領域の前記始点とを連結して前記全体の移動経路を作成する移動経路作成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブを移動させる移動経路を作成する移動経路作成装置、その移動経路作成装置を備えた検査装置、およびプローブを移動させる移動経路を作成する移動経路作成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回路基板に設けられているプロービングポイントにプローブを接触させて回路基板の検査を行う装置として、特開平９−２３０００５号公報において出願人が開示した回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置は、検査対象の回路基板を保持する基板保持具、プローブを移動させる移動機構、および移動機構を制御すると共に回路基板の良否検査を行う制御装置を備えている。この場合、制御装置は、移動制御用データに従って移動機構を制御して、予め決められた移動経路でプローブを移動させて、回路基板に設けられている各プロービングポイントにプローブを順次プロービングさせる。
【０００３】
一方、数多くのプロービングポイントが設けられている回路基板の検査を行うときには、検査効率を向上させるために、効率的な移動経路（無駄な動きが少ない移動経路）を作成する必要がある。ここで、効率的な移動経路を作成する手法としては、さまざまな手法（例えば、「巡回セールスマン問題の解法」等）が従来から知られているが、いずれの手法においても、対象となるプロービングポイント数が多ければ多い程、移動経路の作成処理に長い時間を要する。例えば、作成処理に要する時間は、プロービングポイントの数の二乗に比例して長くなる。このため、発明者は、次のような方法で移動経路を作成する移動経路作成機能を備えた回路基板検査装置を既に開発している。この回路基板検査装置では、プロービングポイントが設けられている回路基板の表面を枡目状に複数に区画し、区画した各区画領域に含まれる全てのプロービングポイントを経由する移動経路を区画領域毎に特定する。次いで、区画領域毎に特定した各移動経路を連結して回路基板全体についての移動経路を作成する。このように複数の区画領域に区画することで、１つの区画領域に含まれるプロービングポイントの数が少なくなるため、１つの区画領域についての移動経路を特定する時間を短縮することができる。このため、この回路基板検査装置では、移動経路の作成時間を短縮することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−２３０００５号公報（第４−６頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記した移動経路作成機能を備えた回路基板検査装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この回路基板検査装置では、区画領域毎に特定した各移動経路を連結することで、回路基板全体についての移動経路の短時間での作成が可能となっている。しかしながら、例えば、隣接する２つの区画領域の一方についての移動経路の終点と、その２つの区画領域の他方についての移動経路の始点とが離れているときには、両移動経路を連結したときに、一方の区画領域の終点から他方の区画領域の始点までの距離が長くなる。したがって、このような箇所が数多く存在するときには、回路基板全体としての移動経路も長くなって検査効率の向上が困難となるおそれがある。
【０００６】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、検査効率の向上が可能なプローブの移動経路を短時間で作成し得る移動経路作成装置、検査装置および移動経路作成方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく請求項１記載の移動経路作成装置は、プロービング対象体の表面に平行な平面に沿ってプローブを移動させて当該表面に設けられている複数のプロービングポイントに当該プローブを順次プロービングさせるための当該プローブの移動経路を作成する処理部を備え、前記処理部は、前記表面が枡目状に区画された複数の第１領域の各々に含まれる全ての前記プロービングポイントを１回ずつ経由する前記移動経路を特定する特定処理を当該第１領域毎に実行して当該第１領域毎の各移動経路を当該各第１領域について規定された連結順序で連結して前記プロービング対象体についての全体の前記移動経路を作成する移動経路作成装置であって、前記連結順序は、当該連結順序における順位が連続する前記各第１領域同士が上下方向および左右方向のいずれかの方向に隣接するように規定され、前記処理部は、前記各第１領域が４つの第２領域にそれぞれ枡目状に区画されると共に前記プローブの初期位置に最も近い前記第１領域の前記連結順序を１番目として、当該１番目の第１領域についての前記特定処理において、当該第１領域における前記４つの第２領域のうちの前記初期位置に最も近い１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第２領域の対角に位置する他の１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路を特定し、前記連結順序が２番目以降の前記各第１領域についての前記特定処理において、当該各第１領域における前記４つの第２領域のうちの前記連結順序が直近上位の前記第１領域における前記終点に最も近い１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第２領域の対角に位置する他の１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路をそれぞれ特定し、前記連結順序に従い、前記各第１領域の前記終点と、前記連結順序が直近下位の前記第１領域の前記始点とを連結して前記全体の移動経路を作成する。
【０００８】
また、請求項２記載の移動経路作成装置は、請求項１記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記連結順序が１番目の第１領域における前記１つの第２領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記初期位置に最も近いプロービングポイントを前記始点として規定する。
【０００９】
また、請求項３記載の移動経路作成装置は、請求項１または２記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記連結順序が１番目の第１領域における前記他の１つの第２領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記初期位置から最も遠いプロービングポイントを前記終点として規定する。
【００１０】
また、請求項４記載の移動経路作成装置は、請求項１から３のいずれかに記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記連結順序が２番目以降の前記第１領域における前記１つの第２領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記連結順序が直近上位の前記第１領域における前記終点に最も近いプロービングポイントを前記始点として規定する。
【００１１】
また、請求項５記載の移動経路作成装置は、請求項１から４のいずれかに記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記連結順序が２番目以降の前記第１領域における前記他の１つの第２領域に含まれる前記プロービングポイントのうちの前記連結順序が直近上位の前記第１領域における前記終点から最も遠いプロービングポイントを前記終点として規定する。
【００１２】
また、請求項６記載の移動経路作成装置は、請求項１から５のいずれかに記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記特定処理に先立ち、前記各第１領域を前記４つの第２領域にそれぞれ区画する。
【００１３】
また、請求項７記載の移動経路作成装置は、請求項１から６のいずれかに記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記特定処理に先立ち、前記表面を前記複数の第１領域に区画する。
【００１４】
また、請求項８記載の移動経路作成装置は、請求項７記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記各第１領域の配列方向おける縦方向および横方向の少なくとも１つの方向に沿って前記第１領域が奇数個並ぶように前記表面を区画し、前記第１領域が奇数個並ぶ１つの方向に並んだ前記各第１領域の前記連結順序における順位が連続するように当該連結順序を規定する。
【００１５】
また、請求項９記載の検査装置は、請求項１から８のいずれかに記載の移動経路作成装置と、前記プローブを移動させて前記プロービング対象体に対するプロービングを行う移動機構と、当該移動機構を制御する制御部と、前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記プロービング対象体を検査する検査部とを備え、前記制御部は、前記移動経路作成装置によって作成された前記移動経路に沿って前記プローブを移動させる。
【００１６】
また、請求項１０記載の移動経路作成方法は、プロービング対象体の表面に平行な平面に沿ってプローブを移動させて当該表面に設けられている複数のプロービングポイントに当該プローブを順次プロービングさせるための当該プローブの移動経路を作成する際に、前記表面を枡目状に区画した複数の第１領域の各々に含まれる全ての前記プロービングポイントを１回ずつ経由する前記移動経路を特定する特定処理を当該第１領域毎に実行して当該第１領域毎の各移動経路を当該各第１領域について規定された連結順序で連結して前記プロービング対象体についての全体の前記移動経路を作成する移動経路作成方法であって、前記連結順序における順位が連続する前記各第１領域同士が上下方向および左右方向のいずれかの方向に隣接するように当該連結順序を規定し、前記各第１領域を４つの第２領域にそれぞれ枡目状に区画すると共に前記プローブの初期位置に最も近い前記第１領域の前記連結順序を１番目として、当該１番目の第１領域についての前記特定処理において、当該第１領域における前記４つの第２領域のうちの前記初期位置に最も近い１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第２領域の対角に位置する他の１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路を特定し、前記連結順序が２番目以降の前記各第１領域についての前記特定処理において、当該各第１領域における前記４つの第２領域のうちの前記連結順序が直近上位の前記第１領域における前記終点に最も近い１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを始点として規定すると共に当該第２領域の対角に位置する他の１つの前記第２領域に含まれるいずれか１つの前記プロービングポイントを終点として規定して当該始点から当該終点までの前記移動経路をそれぞれ特定し、前記連結順序に従い、前記各第１領域の前記終点と、前記連結順序が直近下位の前記第１領域の前記始点とを連結して前記全体の移動経路を作成する。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１記載の移動経路作成装置、請求項９記載の検査装置、および請求項１０記載の移動経路作成方法では、連結順序が２番目以降の各第１領域についての特定処理において、各４つの第２領域のうちの連結順序が直近上位の第１領域における終点に最も近い１つの第２領域に含まれる１つのプロービングポイントを始点として規定すると共にその第２領域の対角に位置する他の１つの第２領域に含まれる１つのプロービングポイントを終点として規定して始点から終点までの移動経路を特定する。この場合、各第１領域についての移動経路の始点および終点についての規定を設けていない構成では、１つの第１領域についての移動経路の終点とこの第１領域に隣接する他の第１領域についての移動経路の始点とが離間して、終点から次の始点までの距離が長くなることがある。これに対して、この移動経路作成装置、検査装置および移動経路作成方法では、上記のように始点および終点を規定することで、終点から次の始点までの距離を十分に短くすることができる。このため、この移動経路作成装置、検査装置および移動経路作成方法によれば、プローブの無駄な移動を十分に少なく抑えることができる。また、この移動経路作成装置、検査装置および移動経路作成方法では、回路基板の表面を複数に区画した第１領域毎に移動経路を特定して各移動経路を連結してプロービング対象体の全体としての移動経路を作成する。このため、区画を行うことなく全体としての移動経路を直接作成する構成と比較して、全体としての移動経路の作成時間を十分に短縮することができる。したがって、この移動経路作成装置、検査装置および移動経路作成方法によれば、プローブをプロービングさせてプロービング対象体を検査する際の検査効率を十分に向上させることが可能なプローブの移動経路を短時間で作成することができる。
【００１８】
また、請求項２記載の移動経路作成装置、および請求項９記載の検査装置によれば、プローブの初期位置に最も近いプロービングポイントを連結順序が１番目の第１領域における始点として規定することにより、初期位置から最初にプロービングを行うプロービングポイントまでの距離を十分に短くすることができるため、検査効率をさらに向上させることが可能な移動経路を作成することができる。
【００１９】
また、請求項３記載の移動経路作成装置、および請求項９記載の検査装置によれば、初期位置から最も遠いプロービングポイントを連結順序が１番目の第１領域における終点として規定することにより、連結順序が１番目の第１領域における終点と連結順序が２番目の第１領域における始点との間の距離を十分に短くすることができるため、検査効率をさらに向上させることが可能な移動経路を作成することができる。
【００２０】
また、請求項４記載の移動経路作成装置、および請求項９記載の検査装置によれば、連結順序が直近上位の第１領域における終点に最も近いプロービングポイントを次の第１領域の始点として規定することにより、連結順序が直近上位の第１領域における終点と次の第１領域の始点との間の距離をさらに短くすることができるため、検査効率をさらに向上させることが可能な移動経路を作成することができる。
【００２１】
また、請求項５記載の移動経路作成装置、および請求項９記載の検査装置によれば、連結順序が直近上位の第１領域における終点から最も遠いプロービングポイントを次の第１領域の終点として規定することにより、次の第１領域の終点と、さらに次の第１領域の始点との間の距離を十分に短くすることができるため、検査効率をさらに向上させることが可能な移動経路を作成することができる。
【００２２】
また、請求項６記載の移動経路作成装置、および請求項９記載の検査装置によれば、処理部が各第１領域を４つの第２領域にそれぞれ区画することにより、第２領域に区画する作業を手動で行う構成と比較して、移動経路をさらに短時間でかつ容易に作成することができる。
【００２３】
また、請求項７記載の移動経路作成装置、および請求項９記載の検査装置によれば、処理部がプロービング対象体の表面を複数の第１領域に区画することにより、第１領域に区画する作業を手動で行う構成と比較して、移動経路をさらに短時間でかつ容易に作成することができる。
【００２４】
また、請求項８記載の移動経路作成装置、および請求項９記載の検査装置によれば、各第１領域の配列方向おける縦方向および横方向の少なくとも１つの方向に沿って第１領域が奇数個並ぶようにプロービング対象体の表面を区画すると共に、第１領域が奇数個並ぶ１つの方向に並んだ各第１領域の連結順序における順位が連続するように連結順序を規定することにより、連結順序が直近上位の第１領域の終点が含まれる第２領域と、次の第１領域における各第２領域のうちの直近上位の終点に最も近い第２領域とを常に隣接させることができる、このため、この移動経路作成装置および検査装置によれば、直近上位の終点と次の始点との間の距離を常に短くすることができる結果、検査効率を一層向上させることが可能な移動経路を作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】基板検査装置１によって実行される移動経路作成処理を説明する第１の説明図である。
【図３】基板検査装置１によって実行される移動経路作成処理を説明する第２の説明図である。
【図４】基板検査装置１によって実行される移動経路作成処理を説明する第３の説明図である。
【図５】基板検査装置１によって実行される移動経路作成処理を説明する第４の説明図である。
【図６】基板検査装置１によって実行される移動経路作成処理を説明する第５の説明図である。
【図７】基板検査装置１によって実行される移動経路作成処理を説明する第６の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、移動経路作成装置、検査装置および移動経路作成方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２７】
最初に、基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、検査装置の一例であって、同図に示すように、固定台２、移動機構３、測定部４、記憶部５および制御部６を備えて、プロービング対象体としての回路基板１００の良否を検査可能に構成されている。この場合、回路基板１００の表面（同図における上面）には、複数の導体パターン（図示せず）が形成されている。また、図４に示すように、各導体パターンには、検査の際にプローブ３１をプロービングさせるべきプロービングポイントＰが設けられている。なお、記憶部５および制御部６によって移動経路作成装置が構成される。
【００２８】
固定台２は、図１に示すように、上部に配設された板状の電極２ａを備えて構成されている。この場合、この電極２ａには、吸気口（図示せず）が形成されて、この吸気口からの吸気によって電極２ａの上に載置された回路基板１００を固定することが可能となっている。
【００２９】
移動機構３は、制御部６の制御に従い、固定台２の電極２ａ（つまり、電極２ａに載置された回路基板１００の表面）に平行な平面に沿った方向、および電極２ａに垂直な方向（上下方向）にプローブ３１を移動させて、固定台２に固定されている回路基板１００の各プロービングポイントＰにプローブ３１をプロービングさせる。
【００３０】
測定部４は、プローブ３１がプロービングさせられている回路基板１００のプロービングポイントＰ、および固定台２の電極２ａの間に測定用信号を供給すると共に、その測定用信号の供給によって生じる信号を検出して、その信号（検出信号）に基づいてプローブ３１がプロービングさせられている回路基板１００のプロービングポイントＰと固定台２の電極２ａとの間の静電容量を測定する。
【００３１】
記憶部５は、測定部４によって測定された静電容量の測定値、および制御部６によって実行される検査処理において用いられる基準データを記憶する。また、記憶部５は、制御部６によって作成される後述する移動経路Ｒを示す移動経路データＤｒを記憶する。また、記憶部５は、移動経路Ｒの作成に用いられる基板データＤｂを記憶する。この場合、基板データＤｂには、一例として、プロービングポイントＰが設けられている回路基板１００の表面の形状や大きさを示す情報、および各プロービングポイントＰの位置を示す情報が含まれている。
【００３２】
制御部６は、移動機構３および測定部４を制御する。また、制御部６は、測定部４と共に検査部として機能し、測定部４によって測定される静電容量の測定値と予め決められた基準範囲とを比較して、回路基板１００の良否を検査する検査処理を実行する。また、制御部６は、処理部として機能し、回路基板１００に設けられている全てのプロービングポイントＰにプローブ３１を順次プロービングさせる際のプローブ３１の移動経路Ｒ（以下、回路基板１００の全体としての移動経路Ｒを「移動経路Ｒｗ」ともいう）を作成する移動経路作成処理を実行する。
【００３３】
この場合、制御部６は、この移動経路作成処理において、回路基板１００の表面を複数（例えば、１２個）の矩形の第１領域Ａ１〜Ａ１２（図２参照：以下、区別しないときには「第１領域Ａ」ともいう）に枡目状に区画（仮想的に区画）する。また、制御部６は、この移動経路作成処理において、各第１領域Ａの各々に含まれる全てのプロービングポイントＰを１回ずつ経由する移動経路Ｒを特定する特定処理を第１領域Ａ毎に実行し（以下の説明において、１つの第１領域Ａについての移動経路Ｒを「移動経路Ｒａ」ともいう）、第１領域Ａ毎の各移動経路Ｒａを連結して（各移動経路Ｒａにおける後述する終点Ｐｅと次の移動経路Ｒａにおける後述する始点Ｐｓとを繋いで）移動経路Ｒｗを作成する。
【００３４】
次に、基板検査装置１を用いて回路基板１００を検査する方法について、図面を参照して説明する。
【００３５】
この基板検査装置１では、プローブ３１をプロービングさせるべきプロービングポイントＰが数多く設けられている回路基板１００の検査を行う際の検査効率を向上させるために、プローブ３１を効率的に移動させる（無駄な動きが少ない）移動経路Ｒを作成する機能を備えている。具体的には、この基板検査装置１では、図外の操作部に対して移動経路Ｒの作成指示がされたときに、制御部６が移動経路作成処理を実行する。
【００３６】
この移動経路作成処理では、制御部６は、記憶部５から基板データＤｂ読み出す。次いで、制御部６は、基板データＤｂに基づいて回路基板１００の表面の形状や大きさを特定する。続いて、制御部６は、図２に示すように、回路基板１００の表面を複数（例えば、１２個）の矩形の第１領域Ａ１〜Ａ１２に枡目状に区画（仮想的に区画）する。この場合、制御部６は、一例として、第１領域Ａ１〜Ａ１２を同じ形状でかつ同じ大きさに区画する。また、制御部６は、一例として、枡目における縦方向（縦方向および横方向の少なくとも１つの方向の一例）に沿って第１領域Ａが奇数個（この例では、３個）並び、枡目における横方向に沿って第１領域Ａが偶数個（この例では、４個）並ぶように区画する。
【００３７】
次いで、制御部６は、第１領域Ａ毎の各移動経路Ｒａを連結して移動経路Ｒｗを作成する際の連結順序を各第１領域Ａについて規定する。この場合、制御部６は、プローブの初期位置Ｌ（図２参照）に最も近い第１領域Ａ（この例では、同図に示す第１領域Ａ１）を連結順序の１番目に規定すると共に、連結順序における順位が連続する各第１領域Ａ同士（つまり連結順序が前後する各第１領域Ａ同士）が隣接し、かつ各第１領域Ａの配列方向における縦方向（第１領域Ａが奇数個並ぶ方向）に並んだ各第１領域Ａの順序が連続するようにこの連結順序を規定する。一例として、制御部６は、同図に矢印で示すように、各第１領域Ａに付した符号（「Ａ１〜Ａ１２」の符号）の昇順を連結順序として規定する。また、制御部６は、この連結順序に従って（つまり、第１領域Ａ１〜Ａ１２の各符号の昇順に従って）各第１領域Ａを処理対象とする特定処理（各第１領域Ａについての特定処理）を順次実行する。
【００３８】
続いて、制御部６は、図３に示すように、各第１領域Ａを４つの第２領域Ｂａ〜Ｂｄ（以下、区別しないときには「第２領域Ｂ」ともいう）にそれぞれ枡目状に区画する。この場合、制御部６は、各第２領域Ｂを同じ形状でかつ同じ大きさに区画する。
【００３９】
次いで、制御部６は、１回目の特定処理（連結順序が１番目の第１領域Ａを処理対象とする特定処理）を実行する。この１回目の特定処理では、制御部６は、処理対象の第１領域Ａ１における４つの矩形の第２領域Ｂ（図４に示す第２領域Ｂａ１〜Ｂｄ１）のうちの初期位置Ｌに最も近い１つの第２領域Ｂ（この例では、第２領域Ｂａ１）に含まれるいずれか１つのプロービングポイントＰを移動経路Ｒａの始点（以下、「始点Ｐｓ」ともいう）として規定する。この場合、制御部６は、同図に示すように、第２領域Ｂａ１に含まれる各プロービングポイントＰのうちの、初期位置Ｌに最も近いプロービングポイントＰを始点Ｐｓとして規定する。
【００４０】
続いて、制御部６は、第２領域Ｂａ１の対角に位置する他の１つの第２領域Ｂ（図４に示す第２領域Ｂｃ１）に含まれるいずれか１つのプロービングポイントＰを移動経路Ｒａの終点（以下、「終点Ｐｅ」ともいう）として規定する。この場合、制御部６は、同図に示すように、第２領域Ｂｃ１に含まれる各プロービングポイントＰのうちの、初期位置Ｌから最も遠いプロービングポイントＰを終点Ｐｅとして規定する。
【００４１】
次いで、制御部６は、始点Ｐｓから終点Ｐｅに至る第１領域Ａ１に含まれる全てのプロービングポイントＰを１回ずつ経由する移動経路Ｒａを特定する。この場合、制御部６は、一例として、次のような手法（アルゴリズム）で移動経路Ｒａを特定する。
【００４２】
この手法では、第１領域Ａ１に含まれる各プロービングポイントＰに対してプローブ３１を移動させる順番となる番号を付番する。まず、始点Ｐｓに対して「１」を付番する。続いて、始点Ｐｓおよび終点Ｐｅを除く第１領域Ａ１内の他のプロービングポイントＰ（以下、単に「他のプロービングポイントＰ」ともいう）の中から、始点Ｐｓに最も近いプロービングポイントＰ（図４に示すプロービングポイントＰ２）を特定して、「２」を付番する。次いで、プロービングポイントＰ２をさらに除いた他のプロービングポイントＰの中から、プロービングポイントＰ２に最も近いプロービングポイントＰ（同図に示すプロービングポイントＰ３）を特定して、「３」を付番する。
【００４３】
続いて、プロービングポイントＰ２，Ｐ３をさらに除いた他のプロービングポイントＰの中から、プロービングポイントＰ３に最も近いプロービングポイントＰ（図４に示すプロービングポイントＰ４）を特定して、「４」を付番する。以下、同様にして、他のプロービングポイントＰに対して１ずつ大きな番号を順番に付番し、最後に、終点Ｐｅに対して付番する。次いで、このようにして付番した各プロービングポイントＰを、付番した番号順に並べて移動経路Ｒａとする。以上により、移動経路Ｒａの特定が終了する。続いて、制御部６は、特定した移動経路Ｒａを示す移動経路データＤｒを生成して記憶部５に記憶させる。
【００４４】
次いで、制御部６は、２回目の特定処理（連結順序が２番目の第１領域Ａ２を処理対象とする特定処理）を実行する。この２回目の特定処理では、制御部６は、処理対象の第１領域Ａ２における４つの矩形の第２領域Ｂ（図４に示す第２領域Ｂａ２〜Ｂｄ２）のうちの、連結順序が直近上位の第１領域Ａ１における終点Ｐｅに最も近い１つの第２領域Ｂ（この例では、第２領域Ｂｄ２）に含まれるいずれか１つのプロービングポイントＰを第１領域Ａ２における始点Ｐｓとして規定する。この場合、制御部６は、同図に示すように、第２領域Ｂｄ２に含まれる各プロービングポイントＰのうちの、第１領域Ａ１における終点Ｐｅに最も近いプロービングポイントＰを始点Ｐｓとして規定する。
【００４５】
次いで、制御部６は、第２領域Ｂｄ２の対角に位置する他の１つの第２領域Ｂ（図４に示す第２領域Ｂｂ２）に含まれるいずれか１つのプロービングポイントＰを移動経路Ｒａの終点Ｐｅとしてとして規定する。この場合、制御部６は、同図に示すように、第２領域Ｂｂ２に含まれる各プロービングポイントＰのうちの、第１領域Ａ１における終点Ｐｅから最も遠いプロービングポイントＰを第１領域Ａ２における終点Ｐｅとして規定する。
【００４６】
続いて、制御部６は、始点Ｐｓから終点Ｐｅに至る第１領域Ａ２に含まれる全てのプロービングポイントＰを経由する移動経路Ｒａを上記した手法で特定すると共に、移動経路Ｒａを示す移動経路データＤｒを生成して記憶部５に記憶させる。
【００４７】
次いで、制御部６は、２回目の特定処理と同様にして、各第１領域Ａ３〜Ａ１２を処理対象として特定処理を実行し、各第１領域Ａ３〜Ａ１２についての移動経路Ｒａを特定して、各移動経路Ｒａを示す移動経路データＤｒを記憶部５に記憶させる。
【００４８】
続いて、制御部６は、図３に矢印で概念的に示すように、各移動経路Ｒａを連結順序に従って連結して回路基板１００の全体としての移動経路Ｒｗを作成する。具体的には、制御部６は、記憶部５に記憶されている移動経路データＤｒに基づいて各移動経路Ｒａを特定する。なお、同図において矢印に付した「Ｎｏ．」は、連結順序を表している。次いで、制御部６は、図５に示すように、各第１領域Ａにおける終点Ｐｅと、連結順序が直近下位の各第１領域Ａにおける始点Ｐｓとを繋ぐ（結ぶ）ことによって各移動経路Ｒａを連結する。これにより、同図に示すように、移動経路Ｒｗが作成される。次いで、制御部６は、移動経路Ｒｗを示す移動経路データＤｒを生成して記憶部５に記憶させる。以上により、移動経路Ｒｗの作成が終了する。
【００４９】
この基板検査装置１では、上記のように各第１領域Ａにおける始点Ｐｓおよび終点Ｐｅを規定することで、移動経路Ｒａの終点Ｐｅから次の移動経路Ｒａの始点Ｐｓまでの距離を十分に短くすることができるため、各移動経路Ｒａを連結した移動経路Ｒｗの長さを十分に短縮することが可能となっている。
【００５０】
次に、回路基板１００に対する検査を開始させる際には、操作部に対して検査の開始を指示する。これに応じて、制御部６は、検査処理を開始する。
【００５１】
この検査処理では、制御部６は、記憶部５から移動経路データＤｒを読み出す。続いて、制御部６は、移動経路データＤｒに基づいて最初のプロービングポイントＰ（最初にプロービングさせるべきプロービングポイントＰ）を特定する。次いで、制御部６は、移動機構３を制御して最初のプロービングポイントＰ（この例では、第１領域Ａ１の始点Ｐｓとして規定したプロービングポイントＰ（図４参照））にプローブ３１をプロービングさせる。
【００５２】
続いて、制御部６は、測定部４を制御して測定処理を実行させる。この測定処理では、測定部４は、プローブ３１および電極２ａに供給した電気信号、およびその電気信号の供給によって発生する電気信号を検出して両電気信号に基づいてプローブ３１がプロービングさせられているプロービングポイントＰと電極２ａとの間の静電容量を測定する。次いで、制御部６は、基準データを記憶部５から読み出し、続いて、測定部４によって測定された静電容量と基準データによって特定される基準範囲とを比較する。この場合、制御部６は、一例として、測定値が基準範囲内のときには、そのプロービングポイントＰにおいて欠陥が無いと判別する。一方、測定値が基準範囲（基準範囲の下限値）よりも小さいときには、プロービングポイントＰが設けられている導体パターンに断線が生じている可能性がある。また、測定値が基準範囲（基準範囲の上限値）よりも大きいときには、プロービングポイントＰが設けられている導体パターンと他の導体パターンとが短絡している可能性がある。このため、これらのとき（測定値が基準範囲外のとき）には制御部６は、そのプロービングポイントＰにおいて欠陥があると判別する。
【００５３】
次いで、制御部６は、移動経路データＤｒに基づいて次のプロービングポイントＰを特定し、続いて、移動機構３を制御して、そのプロービングポイントＰにプローブ３１をプロービングさせる。次いで、制御部６は、測定部４を制御して測定処理を実行させると共に、測定部４によって測定された静電容量の測定値と基準値とを比較してそのプロービングポイントＰにおける欠陥の有無を判別する。以下、制御部６は、移動機構３を制御して、移動経路データＤｒによって特定される新たなプロービングポイントＰにプローブ３１を順次移動させ（つまり、移動経路Ｒｗに沿ってプローブ３１を移動させ）、各プロービングポイントＰにおける欠陥の有無を判別する。続いて、制御部６は、回路基板１００の全てのプロービングポイントＰにおける欠陥の有無の判別を終了したときには、その欠陥の有無に基づいて回路基板１００の良否を判定する。この場合、欠陥が存在しないときには、回路基板１００を良好と判定し、欠陥が存在するときには回路基板１００を不良と判定する。
【００５４】
この場合、この基板検査装置１では、上記した移動経路作成処理によって作成した移動経路Ｒｗに沿ってプローブ３１を移動させているため、プローブ３１の移動を効率的に行うことが可能となっている。このため、この基板検査装置１によれば、検査効率を十分に向上させることが可能となっている。
【００５５】
このように、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法では、連結順序が２番目以降の各第１領域Ａについての特定処理において、各４つの第２領域Ｂのうちの連結順序が直近上位の第１領域Ａにおける終点Ｐｅに最も近い１つの第２領域Ｂに含まれる１つのプロービングポイントＰを始点Ｐｓとして規定すると共にその第２領域Ｂの対角に位置する他の１つの第２領域Ｂに含まれる１つのプロービングポイントＰを終点Ｐｅとして規定して始点Ｐｓから終点Ｐｅまでの移動経路Ｒａを特定する。この場合、各第１領域Ａについての移動経路Ｒａの始点Ｐｓおよび終点Ｐｅについての規定を設けていない構成では、１つの第１領域Ａについての移動経路Ｒａの終点Ｐｅとこの第１領域Ａに隣接する他の第１領域Ａについての移動経路Ｒａの始点Ｐｓとが離間して、終点Ｐｅから次の始点Ｐｓまでの距離が長くなることがある。これに対して、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法では、上記のように始点Ｐｓおよび終点Ｐｅを規定することで、終点Ｐｅから次の始点Ｐｓまでの距離を十分に短くすることができる。このため、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法によれば、プローブ３１の無駄な移動を十分に少なく抑えることができる。また、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法では、回路基板１００の表面を複数に区画した第１領域Ａ毎に移動経路Ｒａを特定して各移動経路Ｒａを連結して回路基板１００の全体としての移動経路Ｒｗを作成する。このため、区画を行うことなく全体としての移動経路Ｒｗを直接作成する構成と比較して、移動経路Ｒｗの作成時間を十分に短縮することができる。したがって、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法によれば、プローブ３１をプロービングさせて回路基板１００を検査する際の検査効率を十分に向上させることが可能なプローブ３１の移動経路Ｒｗを短時間で作成することができる。
【００５６】
また、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法によれば、初期位置Ｌに最も近いプロービングポイントＰを連結順序が１番目の第１領域Ａにおける始点Ｐｓとして規定することにより、初期位置Ｌから最初にプロービングを行うプロービングポイントＰまでの距離を十分に短くすることができるため、検査効率をさらに向上させることが可能な移動経路Ｒｗを作成することができる。
【００５７】
また、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法によれば、初期位置Ｌから最も遠いプロービングポイントＰを連結順序が１番目の第１領域Ａにおける終点Ｐｅとして規定することにより、連結順序が１番目の第１領域Ａにおける終点Ｐｅと連結順序が２番目の第１領域Ａにおける始点Ｐｓとの間の距離を十分に短くすることができるため、検査効率をさらに向上させることが可能な移動経路Ｒｗを作成することができる。
【００５８】
また、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法によれば、連結順序が直近上位の第１領域Ａにおける終点Ｐｅに最も近いプロービングポイントＰを次の第１領域Ａの始点Ｐｓとして規定することにより、連結順序が直近上位の第１領域Ａにおける終点Ｐｅと次の第１領域Ａの始点Ｐｓとの間の距離をさらに短くすることができるため、検査効率をさらに向上させることが可能な移動経路Ｒｗを作成することができる。
【００５９】
また、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法によれば、連結順序が直近上位の第１領域Ａにおける終点Ｐｅから最も遠いプロービングポイントＰを次の第１領域Ａの終点Ｐｅとして規定することにより、次の第１領域Ａの終点Ｐｅと、さらに次の第１領域Ａの始点Ｐｓとの間の距離を十分に短くすることができるため、検査効率をさらに向上させることが可能な移動経路Ｒｗを作成することができる。
【００６０】
また、この移動経路作成装置および基板検査装置１によれば、制御部６が各第１領域Ａを４つの第２領域Ｂにそれぞれ区画することにより、第２領域Ｂに区画する作業を手動で行う構成と比較して、移動経路Ｒｗをさらに短時間でかつ容易に作成することができる。
【００６１】
また、この移動経路作成装置および基板検査装置１によれば、制御部６が回路基板１００の表面を複数の第１領域Ａに区画することにより、第１領域Ａに区画する作業を手動で行う構成と比較して、移動経路Ｒｗをさらに短時間でかつ容易に作成することができる。
【００６２】
また、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法によれば、各第１領域Ａの配列方向おける縦方向および横方向の少なくとも１つの方向に沿って第１領域Ａが奇数個並ぶように回路基板１００の表面を区画すると共に、連結順序における順位が連続する第１領域Ａ同士が隣接し、かつ第１領域Ａが奇数個並ぶ方向に並んだその各第１領域Ａの順位が連続するように連結順序を規定することにより、連結順序が直近上位の第１領域Ａの終点Ｐｅが含まれる第２領域Ｂと、次の第１領域Ａにおける各第２領域Ｂのうちの直近上位の終点Ｐｅに最も近い第２領域Ｂとを常に隣接させることができる、このため、この移動経路作成装置、基板検査装置１および移動経路作成方法によれば、直近上位の終点Ｐｅと次の始点Ｐｓとの間の距離を常に短くすることができる結果、検査効率を一層向上させることが可能な移動経路Ｒｗを作成することができる。
【００６３】
なお、移動経路作成装置、検査装置および移動経路作成方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、上記の例では、初期位置Ｌに最も近いプロービングポイントＰを連結順序が１番目の第１領域Ａにおける始点Ｐｓとして規定しているが、初期位置Ｌに最も近い第２領域Ｂに含まれる他の任意のプロービングポイントＰを始点Ｐｓとして規定することができる。また、上記の例では、初期位置Ｌから最も遠いプロービングポイントＰを連結順序が１番目の第１領域Ａにおける終点Ｐｅとして規定しているが、初期位置Ｌに最も近い第２領域Ｂの対角に位置する第２領域Ｂに含まれる他の任意のプロービングポイントＰを終点Ｐｅとして規定することができる。
【００６４】
また、上記の例では、連結順序が直近上位の第１領域Ａにおける終点Ｐｅに最も近いプロービングポイントＰを次の第１領域Ａの始点Ｐｓとして規定しているが、次の第１領域Ａにおけるその終点Ｐｅに最も近い第２領域Ｂに含まれる他の任意のプロービングポイントＰを次の第１領域Ａの始点Ｐｓとして規定することができる。また、連結順序が直近上位の第１領域Ａにおける終点Ｐｅから最も遠いプロービングポイントＰを次の第１領域Ａの終点Ｐｅとして規定しているが、次の第１領域Ａにおけるその終点Ｐｅに最も近い第２領域Ｂの対角に位置する第２領域Ｂに含まれる他の任意のプロービングポイントＰを次の第１領域Ａの始点Ｐｓとして規定することができる。
【００６５】
また、第１領域Ａ毎の各移動経路Ｒａを連結する連結順序は、上記した連結順序（各第１領域Ａに付した符号の昇順）には限定されず、任意に規定することができる。なお、例えば、図６に矢印で示すように、各第１領域Ａが互いに隣接するように連結順序を規定するのが好ましい。
【００６６】
この場合、図６に示すように、横方向（第１領域Ａが偶数個並ぶ方向）に並んだ各第１領域Ａの順位が連続するように連結順序が規定されたときには、各移動経路Ｒａが、図７に矢印で概念的に示すように連結される。なお、同図において矢印に付した「Ｎｏ．」は、連結順序を表している。この場合、同図に示すように、連結順序が４番目の第１領域Ａ１２と連結順序が５番目の第１領域Ａ１１との間では、第１領域Ａ１２の終点Ｐｅが含まれる第２領域Ｂｄと、その終点Ｐｅに最も近い第１領域Ａ１１の第２領域Ｂｄとが離間している。また、連結順序が８番目の第１領域Ａ２と連結順序が６番目の第１領域Ａ３との間では、第１領域Ａ２の終点Ｐｅが含まれる第２領域Ｂａと、その終点Ｐｅに最も近い第１領域Ａ３の第２領域Ｂａとが離間している。一方、横方向に隣接する各第１領域Ａの間では、連結順序が直近上位の第１領域Ａの終点Ｐｅが含まれる第２領域Ｂと、次の第１領域Ａにおける直近上位の終点Ｐｅに最も近い第２領域Ｂとが隣接する。このため、少なくとも横方向に隣接する各第１領域Ａの間では、終点Ｐｅから次の始点Ｐｓまでの距離を十分に短くすることができるため、回路基板１００の全体としての移動経路Ｒｗの長さを十分に短縮することが可能となっている。
【００６７】
また、回路基板１００の表面を１２個の第１領域Ａに区画した例について上記したが、１２個以外の任意の複数の第１領域Ａに枡目状に区画することができる。また、上記の例では、枡目における縦方向に沿って第１領域Ａが奇数個並び、枡目における横方向に沿って第１領域Ａが偶数個並ぶように区画したが、縦方向に沿って第１領域Ａが偶数個並び、横方向に沿って第１領域Ａが奇数個並ぶように区画することもできる。また、縦方向に沿って第１領域Ａが奇数個並び、横方向に沿っても第１領域Ａが奇数個並ぶように区画することもできる。この場合、このように縦方向および横方向の少なくとも１つの方向に沿って第１領域Ａが奇数個並ぶときには、奇数個並ぶ方向（縦方向および横方向の双方に沿って奇数個並ぶときには、いずれか１つの方向）において各第１領域Ａの順序が連続するように連結順序を規定するのが好ましい。さらに、縦方向に沿って第１領域Ａが偶数個並び、横方向に沿っても第１領域Ａが偶数個並ぶように区画することもできる。
【００６８】
また、上記の例では、制御部６が連結順序を規定しているが、使用者が操作部を用いて連結順序を入力する構成および方法を採用することもできる。また、回路基板１００の表面を複数の第１領域Ａに区画する処理を制御部６が行う例について上記したが、この処理を使用者が操作部を用いて行う構成および方法を採用することもできる。また、第１領域Ａを４つの第２領域Ｂにそれぞれ区画する処理を制御部６が行う例について上記したが、この処理を使用者が操作部を用いて行う構成および方法を採用することもできる。
【００６９】
また、１つのプローブ３１を移動させる構成および方法において用いる移動経路Ｒｗを作成する例について上記したが、２つ以上のプローブ３１を移動させる構成および方法において、プローブ３１毎の移動経路Ｒｗを作成する際に適用できるのは勿論である。また、プローブ３１を用いて測定した静電容量に基づいて回路基板１００の良否を検査する基板検査装置１に適用した例について上記したが、プローブ３１を用いてプロービングポイントＰ間の抵抗値を測定し、その抵抗値に基づいて回路基板１００の検査を行う検査装置に適用することもできる。
【００７０】
また、移動経路Ｒａを特定する際に用いた上記の手法（アルゴリズム）は一例であって、他の手法を用いることができる。例えば、上記の手法における付番の際に、始点Ｐｓと終点Ｐｅとを結ぶ直線から各プロービングポイントＰまでの距離に応じた重み係数を各プロービングポイントＰの位置を示す座標に掛けて重み付けを行い、重み付け後の座標に基づいて算出した距離が最も近いプロービングポイントＰを次のプロービングポイントＰとして付番する手法を採用することもできる。
【００７１】
また、１つの処理部（上記の例では、制御部６）が全ての第１領域Ａについての特定処理を順次実行する例について上記したが、複数の処理部が異なる第１領域Ａについての特定処理を並行してそれぞれ実行する構成を採用することもでき、このような構成を採用することで、移動経路Ｒｗを作成する時間をさらに短縮することができる。
【符号の説明】
【００７２】
１  基板検査装置
３  移動機構
４  測定部
５  記憶部
６  制御部
３１  プローブ
１００  回路基板
Ａ１〜Ａ１２  第１領域
Ｂａ〜Ｂｄ  第２領域
Ｌ  初期位置
Ｐ  プロービングポイント
Ｐｅ  終点
Ｐｓ  始点
Ｒａ  移動経路
Ｒｗ  移動経路
【図１】
0005912623.tif 000002
【図２】
0005912623.tif 000003
【図３】
0005912623.tif 000004
【図４】
0005912623.tif 000005
【図５】
0005912623.tif 000006
【図６】
0005912623.tif 000007
【図７】
0005912623.tif 000008