(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルが第１の方向に沿って複数列設されて成るノズル群を有するノズル形成部材と、
前記複数のノズルにそれぞれ対応して複数の圧力室が形成された圧力室形成基板、各圧力室にそれぞれ対応して設けられた複数の圧力発生手段、および前記圧力発生手段を収容する状態で前記圧力室形成基板に接続された保護基板を有する圧力発生ユニットと、
前記圧力室と前記ノズルとを連通するノズル連通路、前記複数の圧力室に連通して共通液室の一部を区画する液室空部が形成された連通部材と、
前記圧力発生ユニット並びに前記連通部材が固定されたケース部材と、を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記ケース部材には、前記圧力発生ユニットを収容する収容空部、および、前記液室空部と連通して共通液室を画成する液室形成空部が形成され、
前記液室形成空部は、仕切部により前記第１の方向に複数分割された状態で形成され、
前記各液室空部は、仕切壁により前記第１の方向に複数分割された状態で形成され、
当該液室空部の前記ケース部材側の開口には、前記ケース部材の一部と前記圧力発生ユニットの前記圧力室の一部が臨む状態に配置され、
前記収容空部における前記ケース部材と前記圧力発生ユニットとの間には、接着剤が充填されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記液室空部の前記ケース部材側の開口において、前記ケース部材と前記圧力発生ユニットとの間の隙間は接着剤で封止されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関するものであり、特に、ノズルが複数列設されたノズル形成部材と、圧力室に圧力変動を生じさせる圧力発生手段を含む圧力発生ユニットと、共通液室の一部となる液室空部および当該液室空部と圧力室とを連通する供給側連通路が形成された連通部材と、ノズル形成部材および圧力発生ユニットが接合された連通部材が固定されるケース部材とを備えた液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
この種の液体噴射ヘッドには、例えば、ノズルが複数開設されたノズルプレート、各ノズルに連通する圧力室を含む個別流路および各圧力室に共通な液体が貯留される共通液室（リザーバー或いはマニホールドとも言う）の一部となる空部が形成された流路形成基板、各圧力室にそれぞれ対応して設けられた複数の圧電素子（圧力発生手段の一種）、および、各圧力室に共通な液体が貯留される共通液室となる共通液室空部が形成された共通液室形成基板を備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。この構成では、エッチング処理によって高い精度で流路等を形成することが可能であることから、ノズルプレートや流路形成基板の材料としては、シリコン単結晶成基板（結晶性基板の一種）が採用されている。ところが、このようなシリコン単結晶成基板は、合成樹脂等と比較してコストが嵩むという問題がある。特に、圧力室が形成された流路形成基板は、シリコン単結晶ウェハー上に複数個分形成された後、当該ウェハーを分割することで作製されている。このため、コストの低減を図るためには、より小型化して流路形成基板の取り数を増やすことが望ましい。
【０００４】
具体的には、上記の流路形成基板において共通液室の一部となる空部を設けず、その分、流路形成基板を小型化する構成も提案されている。
図７は、流路形成基板等を小型化した構成の一例を示す模式図であり、（ａ）は要部断面図、（ｂ）は要部平面図である。なお、図７（ａ）紙面に垂直な方向がノズル列方向であり、図７（ｂ）における上下方向がノズル列方向である。この例において、符号５５が、圧力室５６が形成された流路形成基板、符号５７が、ノズル５８が開設されたノズルプレート、符号５９が、圧力室５６とノズル５８とを連通するノズル連通路６０が形成された連通基板、符号６４は圧電素子６２を備えたアクチュエーターユニットであり、これらの部材を積層してヘッド本体部５４が構成されている。この構成では、共通液室６１は、シリコン単結晶以外の材料から成る他の部材（この例では、ケース部材６５）によりヘッド本体部５４の側方に区画・形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２１９２４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の構成において、例えば、１つのノズル列に対して当該ノズル列方向に沿って複数の共通液室６１を各々独立した状態で設ける場合、すなわち、１つのノズル列に対して１つの共通液室６１であるところを複数の共通液室６１に分割する場合、隣り合う共通液室６１同士を区画する区画壁６６の側端面を、ヘッド本体部５４の側面に接着剤によって接合する必要がある（図７（ｂ）における領域Ｘ）。ところが、この部分の接着面積を十分に確保することができないため、また、複数の構成部材を積層して成るヘッド本体部５４の側面に段差ができて十分に接着剤を流し込めないため、該接合部分から隣り合う共通液室６１間でインクが漏出するという問題があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズル列に対して複数の共通液室を設ける構成において、共通液室間の液漏れを防止しつつコストの低減が可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズルが第１の方向に沿って複数列設されて成るノズル群を有するノズル形成部材と、
前記複数のノズルにそれぞれ対応して複数の圧力室が形成された圧力室形成基板、各圧力室にそれぞれ対応して設けられた複数の圧力発生手段、および前記圧力発生手段を収容する状態で前記圧力室形成基板に接続された保護基板を有する圧力発生ユニットと、
前記圧力室と前記ノズルとを連通するノズル連通路、前記複数の圧力室に連通して共通液室の一部を区画する液室空部が形成された連通部材と、
前記圧力発生ユニット並びに前記連通部材が固定されたケース部材と、を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記ケース部材には、前記圧力発生ユニットを収容する収容空部、および、前記液室空部と連通して共通液室を画成する液室形成空部が形成され、
前記液室形成空部は、仕切部により前記第１の方向に複数分割された状態で形成され、
前記各液室空部は、仕切壁により前記第１の方向に複数分割された状態で形成され、
当該液室空部の前記ケース部材側の開口には、前記ケース部材の一部と前記圧力発生ユニットの前記圧力室の一部が臨む状態に配置され、
前記収容空部における前記ケース部材と前記圧力発生ユニットとの間には、接着剤が充填されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、ケース部材には、圧力発生ユニットを収容する収容空部、および、液室空部と連通して共通液室を画成する液室形成空部が形成され、液室形成空部は、仕切部により第１の方向に複数分割された状態で形成され、各液室空部は、仕切壁により第１の方向に複数分割された状態で形成され、液室空部のケース部材側の開口には、ケース部材の一部と圧力発生ユニットの圧力室の一部が臨む状態に配置され、収容空部におけるケース部材と圧力発生ユニットとの間には、接着剤が充填されたので、液室空部側から収容空部側に液体が侵入することが防止される。そして、圧力発生ユニット、特に、圧力室形成基板を小型化した場合に、第１の方向に隣り合う共通液室同士を区画する壁の側端面を圧力発生ユニットの側面に接合することなく連通形成部材の上面とケース部材の下面とを接合するだけで、互いに独立した複数の共通液室を画成することができる。これにより、１つのノズル群に対して当該方向に複数の共通液室を設ける構成であっても、共通液室間の液漏れを防止しつつ、圧力発生ユニット、特に、圧力室形成基板の小型化が可能となり、液体噴射ヘッド全体のコストの削減を図ることが可能となる。
【００１０】
上記構成において、前記液室空部の前記ケース部材側の開口において、前記ケース部材と前記圧力発生ユニットとの間の隙間は接着剤で封止されている構成を採用することが望ましい。
【００１１】
また、本発明の液体噴射装置は、上記何れかの構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】プリンターの構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドを斜め上方から観た分解斜視図である。
【図３】ヘッドユニットの断面図である。
【図４】図３における領域Ａの拡大断面図である。
【図５】連通基板の下面図である。
【図６】ケースヘッドの下面図である。
【図７】従来の液体噴射ヘッドの構成の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式プリンター（本発明の液体噴射装置の一種）を例に挙げて行う。
【００１４】
プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対して液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、インクを噴射する記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送するプラテンローラー６等を備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ７がプリンター１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて記録ヘッド３に供給される構成を採用することもできる。
【００１５】
上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。従ってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。
【００１６】
図２は、上記記録ヘッド３の構成を示す分解斜視図である。本実施形態における記録ヘッド３は、ケース１５と、複数のヘッドユニット１６と、ユニット固定板１７と、ヘッドカバー１８とにより概略構成されている。
ケース１５は、複数のヘッドユニット１６や、当該ヘッドユニット１６へインクを供給する供給流路（図示せず）を備える箱体状部材であり、上面側に針ホルダー１９が形成されている。この針ホルダー１９は、インク導入針２０が立設された部材であり、本実施形態においては各色のインクカートリッジ７のインクに対応させて合計８本のインク導入針２０がこの針ホルダー１９に横並びに配設されている。このインク導入針２０は、インクカートリッジ７内に挿入される中空針状の部材であり、先端部に開設された導入孔（図示せず）からインクカートリッジ７内に貯留されたインクをケース１５内の供給流路を通じてヘッドユニット１６側に導入する。
【００１７】
また、ケース１５の底面側には、４つのヘッドユニット１６が、主走査方向に横並びに位置決めされた状態で、各ヘッドユニット１６に対応した４つの開口部１７′を有する金属製のユニット固定板１７に接合される。さらに、同じく各ヘッドユニット１６に対応する４つの開口部１８′が開設された金属製のヘッドカバー１８によって固定される。
【００１８】
図３は、ヘッドユニット１６（本発明の液体噴射ヘッドの一種）の内部構成を示す断面図である。また、図４は、図３における領域Ａの拡大図である。なお、説明の便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。本実施形態におけるヘッドユニット１６は、圧力発生ユニット１４および流路ユニット２１を備え、これらの部材が積層された状態でケースヘッド２６（本発明におけるケース部材に相当）に取り付けて構成されている。流路ユニット２１は、ノズルプレート２２（ノズル形成部材の一種）、連通基板２３（連通部材の一種）、及び、コンプライアンスシート２５（コンプライアンス部材の一種）を有している。また、圧力発生ユニット１４は、圧力室３１が形成された圧力室形成基板２９、弾性膜３０、圧電素子３５（圧力発生手段）、および保護基板２４が積層されてユニット化されている。
【００１９】
圧力発生ユニット１４の構成部材である圧力室形成基板２９は、シリコン単結晶基板（結晶性基板の一種。以下、単にシリコン基板とも言う。）から作製されている。この圧力室形成基板２９には、シリコン基板に対して異方性エッチング処理によって複数の圧力室３１が、ノズルプレート２２の各ノズル２７に対応して複数形成されている。このように、シリコン基板に対して異方性エッチングによって圧力室を形成することで、より高い寸法・形状精度を確保することができる。後述するように、本実施形態におけるノズルプレート２２にはノズル２７の列が２条形成されているので、圧力室形成基板２９には、圧力室３１の列が各ノズル列に対応して２条形成されている。圧力室３１は、ノズル２７の並設方向（第１の方向）に直交する方向（第２の方向）に長尺な空部である。圧力室形成基板２９（圧力発生ユニット１４）が後述する連通基板２３に対して位置決めされた状態で接合されると、圧力室３１の第２の方向の一端部は、後述する連通基板２３のノズル連通路３６を介してノズル２７と連通する。また、圧力室３１の第２の方向の他端部は、連通基板２３の第２の連通部３３ｂ（後述）を介して共通液室３２（液室空部３３）と連通する。
【００２０】
圧力室形成基板２９の上面（連通基板２３との接合面とは反対側の面）には、圧力室３１の上部開口を封止する状態で弾性膜３０が形成されている。この弾性膜３０は、例えば厚さが約１μｍの二酸化シリコンから構成される。また、この弾性膜３０上には、図示しない絶縁膜が形成される。この絶縁膜は、例えば、酸化ジルコニウムから成る。そして、この弾性膜３０および絶縁膜上における各圧力室３１に対応する位置に、圧電素子３５がそれぞれ形成される。圧電素子３５は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３５は、弾性膜３０および絶縁膜上に、金属製の下電極膜、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層、および、金属製の上電極膜（何れも図示せず）が順次積層された後に、圧力室３１毎にパターニングされて構成される。そして、上電極膜または下電極膜の一方が共通電極とされ、他方が個別電極とされる。また、弾性膜３０、絶縁膜、および下電極膜が、圧電素子３５の駆動時に振動板として機能する。
【００２１】
各圧電素子３５の個別電極（上電極膜）からは、図示しない電極配線部が絶縁膜上にそれぞれ延出されており、これらの電極配線部の電極端子に相当する部分に、フレキシブルケーブル４９の一端側の端子が接続される。このフレキシブルケーブル４９は、例えば、ポリイミド等のベースフィルムの表面に銅箔等で導体パターンを形成し、この導体パターンをレジストで被覆した構成とされる。フレキシブルケーブル４９の表面には、圧電素子３５を駆動する駆動ＩＣ５０が実装されている。各圧電素子３５は、駆動ＩＣ５０を通じて上電極膜および下電極膜間に駆動信号（駆動電圧）が印加されることにより、撓み変形する。
【００２２】
上記圧電素子３５が形成された連通基板２３の上面には保護基板２４が配置される。この保護基板２４は下面側が開口した中空箱体状の部材であり、例えば、ガラス、セラミックス材料、シリコン単結晶基板、金属、合成樹脂等から作製される。この保護基板２４の内部には、圧電素子３５に対向する領域に当該圧電素子３５の駆動を阻害しない程度の大きさの逃げ凹部３９が形成されている。さらに、保護基板２４において、隣り合う圧電素子列の間には、基板厚さ方向を貫通した配線空部３８が形成されている。この配線空部３８内には、圧電素子３５の電極端子とフレキシブルケーブル４９の一端部とが配置される。
【００２３】
上記の圧力発生ユニット１４の寸法に関し、少なくとも第２の方向の寸法Ｗ１は、連通基板２３の同方向の寸法Ｗ２およびケースヘッド２６の同方向の寸法Ｗ３よりも小さく設定されている。
【００２４】
上記のノズルプレート２２は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル２７を列状に開設した板材である。本実施形態では、３６０ｄｐｉに対応するピッチで３６０個のノズル２７を列設することでノズル列（ノズル群の一種）が構成されている。本実施形態においては、当該ノズルプレート２２に２条のノズル列が形成されている。本実施形態におけるノズルプレート２２はシリコン基板から作製されている。そして、当該基板に対してドライエッチングを施すことにより円筒形状のノズル２７が形成されている。このようにノズル２７をドライエッチングによって形成することで、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材に対して塑性加工によりノズルを形成する構成と比較して、より高い精度でノズル２７を形成することが可能となる。これにより、ノズル２７から噴射されるインクの着弾精度が向上する。
【００２５】
ノズルプレート２２の寸法に関し、少なくともノズル列に直交する方向（第２の方向）の寸法Ｗ４は、圧力発生ユニット１４の同方向の寸法Ｗ１、連通基板２３の同方向の寸法Ｗ２、および、ケースヘッド２６の同方向の寸法Ｗ３よりも小さく設定されている。具体的には、後述するノズル連通路３６とノズル２７との液密が確実に確保される範囲内で（即ち、ノズル連通路３６とノズル２７とを液密状態で連通させ得る接合代が確保できる限りにおいて）可及的に小さく設定されている。このようにノズルプレート２２を可及的に小型化することで、コストの低減に寄与することが可能となる。なお、ノズル連通路３６とノズル２７とが位置決めされて連通する状態で連通基板２３とノズルプレート２２とが接合された状態では、後述する液室空部３３（３３ａ，３３ｂ）は、ノズルプレート２２に覆われることなく露出する。
【００２６】
図５は、連通基板２３の構成を説明する図（ケースヘッド２６および圧力発生ユニット１４と接合された状態）であり、（ａ）は、ノズルプレート２２およびコンプライアンスシート２５が接合される側の面（下面）から見た平面図、（ｂ）は（ａ）における領域Ｂの拡大図である。連通基板２３の開口部３３ｂを通して流路形成基板側の圧力室３１の開口部と接着剤５１が見える。この連通基板２３は、シリコン基板から作製された板材である。この連通基板２３には、共通液室３２の一部となる液室空部３３が、異方性エッチングによって板厚方向を貫通する状態で形成されている。この連通基板２３において、１条のノズル列に対して同ノズル列方向（第１の方向）に複数、本実施形態においては合計３つの液室空部３３が形成されている。これにより、１条のノズル列に対して異なる複数種類のインクを割り当てることが可能となる。本実施形態においては、ノズルプレート２２に２条のノズル列が形成されているので、連通基板２３に合計６つの液室空部３３が形成されている。隣り合う液室空部３３同士は、仕切壁４０によって仕切られており、互いに独立した空部となっている。即ち、第１の方向に沿って途中を仕切壁４０によって３つに分割された状態で形成されている。
【００２７】
液室空部３３は、ケースヘッド２６の液室形成空部４６（後述）と連通する第１の連通部３３ａと、当該第１の連通部３３ａと圧力室３１とを連通する第２の連通部３３ｂとから構成される。第１の連通部３３ａは、ケースヘッド２６の液室形成空部４６（後述）の底面側の開口形状に倣った形状および寸法の開口を有する空部である。また、第２の連通部３３ｂは、第１の連通部３３ａに対して第２の方向の内側（中央寄り）に隣接した位置に形成された平面視矩形状の開口を有する空部である。図５（ａ）に示すように、この第２の連通部３３ｂは、第１の方向において、第１の連通部３３ａの一端から他端にかけて当該第１の連通部３３ａに沿って延在している。また、図５（ｂ）に示すように、第２の連通部３３ｂは、第２の方向において、第１の連通部３３ａ（すなわち、液室形成空部４６との連通位置）から、ケースヘッド２６の隔壁４８（後述）の下方（ノズルプレート２２側）、及びこの隔壁４８と圧力発生ユニット１４との間に形成される収容空部４７の隙間４７ａの下方を通って圧力室３１の他端部の下方に至るまで延在している。すなわち、この第２の連通部３３ｂの第２の方向における一端部は第１の連通部３３ａと連通する一方、同方向の他端部は、連通基板２３に接合された圧力室形成基板２９の圧力室３１に連通する位置に形成されている。したがって、第２の連通部３３ｂの開口内には、隔壁４８の一部、隙間４７ａの一部、および、圧力室３１の一部（他端部）が臨む。そして、図５（ｂ）に示すように、連通基板２３がケースヘッド２６および圧力発生ユニット１４に接合された状態では、隔壁４８と圧力発生ユニット１４との間に形成される収容空部４７の隙間４７ａの開口部の一部が、第２の連通部３３ｂ（液室空部３３）の開口内に臨む。この隙間４７ａの開口部は、接着剤５１が隙間無く充填されることにより封止されている。
【００２８】
液室空部３３、すなわち、第１の連通部３３ａおよび第２の連通部３３ｂは、保護基板２４の下面におけるノズルプレート２２との接合部分から第２の方向における外側に外れた位置に開口している。そして、液室空部３３の開口部は、コンプライアンスシート２５によって封止される。このコンプライアンスシート２５は、可撓性を有する合成樹脂や金属等から成る薄手のシート材である。このコンプライアンスシート２５は、共通液室３２内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス部として機能する。
【００２９】
図６は、ケースヘッド２６の下面（流路ユニット２１の連通基板２３が接合される側の面）の平面図である。ケースヘッド２６は、ノズルプレート２２、コンプライアンスシート２５、および圧力発生ユニット１４が接合された連通基板２３が底面側に固定される合成樹脂製の箱体状部材である。このケースヘッド２６の平面視における中心部分にはノズル列方向に沿って長尺な矩形状の開口を有する貫通空部４４が、ケースヘッド２６の高さ方向を貫通する状態で形成されている。この貫通空部４４は、圧力発生ユニット１４の配線空部３８と連通して、フレキシブルケーブル４９の一端部および駆動ＩＣが収容される空部を形成する。また、ケースヘッド２６の下面側には、当該下面からケースヘッド２６の高さ方向の途中まで後退した収容空部４７が形成されている。この収容空部４７の深さは、圧力発生ユニット１４の厚さ（高さ）よりも少し大きく設定されている。また、収容空部４７の第１方向の寸法および第２方向の寸法は、それぞれ、圧力発生ユニット１４の対応する方向の寸法よりも少し大きく設定されている。そして、流路ユニット２１がケースヘッド２６の下面に位置決めされた状態で接合されると、連通基板２３上に積層された圧力発生ユニット１４が収容空部４７に収容される。また、上記の貫通空部４４の下端は、収容空部４７の天井面に開口している。
【００３０】
ケースヘッド２６には、液室形成空部４６およびインク導入路４５が形成されている。液室形成空部４６は、ケースヘッド２６における収容空部４７に対し、隔壁４８を間に挟んで第２の方向の外側に外れた位置に形成されている。より具体的には、連通基板２３の各液室空部３３にそれぞれ対応して、収容空部４７の両側にそれぞれ３つずつ、合計６つの液室形成空部４６が形成されている。隣り合う液室形成空部４６同士は、仕切部４１によって仕切られており、互いに独立した空部となっている。即ち、液室形成空部４６は、仕切部４１によって、第１の方向に沿って３つに分割された状態に形成されている。そして、ケースヘッド２６に連通基板２３が接合された状態では、各液室形成空部４６は、それぞれ対応する液室空部３３と連通し、共通液室３２を画成する。インク導入路４５は、液室形成空部４６毎に設けられた流路であり、その一端はケースヘッド２６の上面に開口し、下端は対応する液室形成空部４６に開口している。そして、インクカートリッジ７側からのインクは、インク導入路４５を通じて、液室形成空部４６（共通液室３２）に導入される。
【００３１】
上記の構成のヘッドユニット１６を製造する際には、まず、圧力室形成基板２９（圧力室３１が形成されていない状態のシリコン基板）の上面に弾性膜３０、絶縁膜が順次形成された後、圧電素子３５が焼成により形成される。この上に、逃げ凹部３９に圧電素子３５が収容される状態で保護基板２４が接合される。そしてこの状態で、圧力室形成基板２９の下面側から異方性エッチングによって圧力室３１が形成される。このように、圧力室形成基板２９に圧力室３１が形成される前の段階で、当該圧力室形成基板２９の上面側に圧電素子３５および保護基板２４を積層してユニット化しておくことで、圧力発生ユニット１４の組み立て工程中に圧力室形成基板２９が破損することが抑制される。
【００３２】
次に、ノズル連通路３６とノズル２７とが連通する状態で、連通基板２３の下面にノズルプレート２２が接着剤により接合される。さらに、連通基板２３の下面に、液室空部３３の開口を塞ぐ状態で、コンプライアンスシート２５が接合される。このようにして流路ユニット２１がユニット化される。続いて、この流路ユニット２１における連通基板２３の上面に、上記の圧力発生ユニット１４が接合される。具体的には、圧力室３１の第２の方向の一端部がノズル連通路３６と連通すると共に、圧力室３１の第２の方向の他端部が第２の連通部３３ｂの個別連通路４２と連通する状態で、流路基板２３の上面に、圧力発生ユニット１４の圧力室形成基板２９が接着剤によって接合される。
【００３３】
流路ユニット２１と圧力発生ユニット１４が組み付けられたならば、保護基板２４の配線空部を通じて各圧電素子３５の電極端子に対してフレキシブルケーブル４９の配線が行われる。即ち、各圧電素子３５の電極端子に相当する部分に、フレキシブルケーブル４９の一端部の端子がそれぞれ電気的に接続される。
【００３４】
続いて、流路ユニット２１の連通基板２３とケースヘッド２６とが接着剤により接合される。具体的には、連通基板２３の上面とケースヘッド２６の下面とが、接着剤によって接合される。流路ユニット２１とケースヘッド２６とが接合されると、収容空部４７内に圧力発生ユニット１４が収容されると共に、液室形成空部４６と液室空部３３とが液密に連通して、複数（本実施形態においては合計６つ）の共通液室３２が、相互に独立した空部として画成される。また、フレキシブルケーブル４９の一端部および駆動ＩＣ５０は、ケースヘッド２６の貫通空部４４内に収容される。これにより、ヘッドユニット１６が組み上がる。そして、ヘッドユニット１６の内部には、インク導入路４５から共通液室３２を通って第２の連通部３３ｂまでの一連の共通流路と、圧力室３１からノズル連通路３６を通ってノズル２７に至るまでの個別流路と、が形成される。
【００３５】
そして、この状態で、ケースヘッド２６の収容空部４７において圧力発生ユニット１４との間に生じる隙間に、低粘度の接着剤５１が充填される。この接着剤５１としては、例えば、シリコン系接着剤またはエポキシ系接着剤などが好適である。例えば、図４に示すように、収容空部４７と圧力発生ユニット１４との隙間のうち、貫通空部４４側のＡで示す開口部分から接着剤５１が注入され、第２の連通部３３ｂ側の開口Ｂまで毛細管力を利用して充填される。これにより、液室空部３３の開口内に臨む隙間４７ａの開口部が、接着剤５１により封止される。これにより、液室空部３３側から収容空部４７側にインクが侵入することが防止される。そして、１つのノズル列に対して当該方向に複数の共通液室３２を設ける構成において圧力発生ユニット１４を小型化した場合に、第１の方向に隣り合う共通液室３２同士を区画する壁の側面を圧力発生ユニット１４の側面に接合することなく、仕切壁４０を含む連通基板２３の上面と、ケースヘッド２６の下面と、を接合するだけで、互いに独立した複数の共通液室３２を画成することができる。これにより、１つのノズル列に対して当該方向に複数の共通液室３２を設ける構成においても、共通液室３２間の液漏れを防止しつつ、圧力発生ユニット１４、特に、シリコン基板で作製された圧力室形成基板２９の小型化が可能となり、ヘッドユニット１６全体のコストの削減を図ることが可能となる。なお、接着剤５１に関し、第２の連通部３３ｂの開口内に臨む隙間４７ａの開口部が、接着剤５１により封止されていれば良く、必ずしも収容空部４７と圧力発生ユニット１４との隙間の全てに接着剤５１を充填しなくても良い。
【００３６】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００３７】
例えば、上記実施形態では、ノズルプレート２２の下面におけるにコンプラインスシート２５が共通液室３３内の圧力変動を吸収するコンプライアンス部として機能する構成を例示したが、これには限られない。要は、共通液室３３の圧力変動を吸収可能な位置にコンプライアンス部が設けられていれば良く、例えば、ケースヘッド２６における液室形成空部４６に隣接する位置にコンプライアンス部を設けても良い。この場合、連通基板２３における液室空部３３および第２の連通部３３ｂは、連通基板２３の下面に開口していない構成（上面側から連通基板２３の厚さ方向の途中まで形成された構成）を採用することができる。または、連通基板２３における液室空部３３および第２の連通部３３ｂが、連通基板２３の下面に開口する構成であって、当該開口部がノズルプレート２２によって封止される構成を採用することもできる。この構成では、ノズルプレート２２は、連通基板２３の下面全体を概ね覆うことが可能な程度の寸法とされる。
【００３８】
そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３（ヘッドユニット１６）を例に挙げて説明したが、本発明は、ケースヘッドに圧力発生ユニットおよび流路ユニットを固定する構成を採用する他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１…プリンター，３…記録ヘッド，１４…圧力発生ユニット，１６…ヘッドユニット，２１…流路ユニット，２２…ノズルプレート，２３…連通基板，２４…保護基板，２５…コンプライアンスシート，２６…ケースヘッド，２７…ノズル，２９…圧力室形成基板，３１…圧力室，３２…共通液室，３３…液室空部，３３ａ…第１の連通部，３３ｂ…第２の連通部，３５…圧電素子，３６…ノズル連通路，４０…仕切壁，４６…液室形成空部，４７…収容空部，４８…隔壁，５１…接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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