(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体モジュールと、
制御回路基板と、
前記半導体モジュール及び前記制御回路基板を覆うケースとを備え、
前記半導体モジュールは、
導電板と、
制御電極、上面電極、及び下面電極を有し、前記導電板上に設けられ、前記導電板に前記下面電極が接続された第１の半導体素子と、
上面電極、及び下面電極を有し、前記導電板上に設けられ、前記導電板に前記下面電極が接続された第２の半導体素子と、
前記第１及び第２の半導体素子を覆う樹脂と、
一端が前記第１の半導体素子の前記制御電極に接続され、他端が前記樹脂から導出されて前記制御回路基板に接続された制御端子と、
一端が前記第１及び第２の半導体素子の前記上面電極に接続され、他端が前記樹脂から導出された第１の主電極と、
一端が前記導電板に接続され、他端が前記樹脂から導出された第２の主電極とを有し、
前記第１及び第２の主電極はフレキシブルフラットケーブル又はフレキシブルプリント回路であり、
前記第１及び第２の主電極は前記ケースの外側に導出され、
前記第１及び第２の半導体素子は前記第１の主電極により並列接続されていることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体モジュールと制御回路基板をケースで覆った半導体装置に関し、特に部品点数及び組立工数を削減し、製造コストを低減することができる半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インバータなどの半導体モジュールの制御電極と制御回路基板をフレキシブルフラットケーブルで接続した半導体装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２９７９７２号公報の図２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、半導体モジュールのＮ側主電極及びＰ側主電極は金属板であったため、これらの主電極をケース側の電極にネジ止め又は溶接する必要があった。従って、溶接装置、溶接工程、及びその品質管理が必要であった。
【０００５】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は部品点数及び組立工数を削減し、製造コストを低減することができる半導体装置を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る半導体装置は、半導体モジュールと、制御回路基板と、前記半導体モジュール及び前記制御回路基板を覆うケースとを備え、前記半導体モジュールは、導電板と、制御電極、上面電極、及び下面電極を有し、前記導電板上に設けられ、前記導電板に前記下面電極が接続された第１の半導体素子と、上面電極、及び下面電極を有し、前記導電板上に設けられ、前記導電板に前記下面電極が接続された第２の半導体素子と、前記第１及び第２の半導体素子を覆う樹脂と、一端が前記第１の半導体素子の前記制御電極に接続され、他端が前記樹脂から導出されて前記制御回路基板に接続された制御端子と、一端が前記第１及び第２の半導体素子の前記上面電極に接続され、他端が前記樹脂から導出された第１の主電極と、一端が前記導電板に接続され、他端が前記樹脂から導出された第２の主電極とを有し、前記第１及び第２の主電極はフレキシブルフラットケーブル又はフレキシブルプリント回路であり、前記第１及び第２の主電極は前記ケースの外側に導出され、前記第１及び第２の半導体素子は前記第１の主電極により並列接続されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明により、部品点数及び組立工数を削減し、製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態１に係る半導体装置を示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る半導体モジュールを示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る半導体モジュールの回路図である。
【図４】比較例に係る半導体装置を示す断面図である。
【図５】比較例に係る半導体モジュールを示す断面図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係る半導体モジュールを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の実施の形態に係る半導体装置について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１０】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る半導体装置を示す断面図である。銅等からなるベース板１上に、接触面積を増して熱伝導率を向上するためのシリコングリス２を介して半導体モジュール３が設けられている。押さえ板４が半導体モジュール３を上側からベース板１に押さえつけて固定している。
【００１１】
押さえ板４の上方に、駆動回路や保護回路等を実装したプリント配線板５（Printed Circuit Board）が設けられ、半導体モジュール３とプリント配線板５との間にアルミ等からなる導電性のシールド板６が設けられている。このシールド板６は、急峻な電圧及び電流変化により生ずる電磁誘導ノイズからプリント配線板５をシールドする。
【００１２】
ベース板１上に設けられたケース７が、半導体モジュール３、押さえ板４、プリント配線板５、及びシールド板６を覆っている。押さえ板４、プリント配線板５、及びシールド板６は、それぞれケース７にネジ止めされている。
【００１３】
図２は、本発明の実施の形態１に係る半導体モジュールを示す断面図である。図３は、実施の形態１に係る半導体モジュールの回路図である。ＩＧＢＴ等のスイッチング素子８と還流ダイオード９が銅等の導電材からなるベース配線板１０の上面に並べて設けられ、スイッチング素子８のコレクタ電極１１と還流ダイオード９のカソード電極１２がベース配線板１０にはんだ等により接合されている。スイッチング素子８のエミッタ電極１３と還流ダイオード９のアノード電極１４にＮ側主電極１５の一端がはんだバンプや異方性導電ペースト等により接合されている。従って、スイッチング素子８と還流ダイオード９は並列に接続されている。
【００１４】
Ｐ側主電極１６の一端がベース配線板１０に接続されている。制御端子１７の一端がスイッチング素子８のゲート電極１８にはんだバンプや異方性導電ペースト等により接合されている。
【００１５】
ベース配線板１０の下面にセラミックや樹脂等の絶縁シート１９を設けて、半導体モジュール３内のパワー半導体とケース７側のベース板１を絶縁している。絶縁シート１９を保護するために裏面銅箔２０が設けられている。
【００１６】
半導体モジュール３は、スイッチング素子８や還流ダイオード９等をモールド樹脂２１で覆ったＴＰＭ（Transfer mold Power Module）である。制御端子１７の他端は、モールド樹脂２１から導出されてプリント配線板５に圧接又はコネクタ接合されている。Ｎ側主電極１５の他端及びＰ側主電極１６の他端は、モールド樹脂２１から導出され、更にケース７の外側に導出されている。
【００１７】
スイッチング素子８及び還流ダイオード９から発生した熱は、ベース配線板１０及び裏面銅箔２０を介して半導体モジュール３外部に放出される。その放出された熱はシリコングリス２及びベース板１を介して装置外部の冷却装置等へ放出される。
【００１８】
本実施の形態の特徴として、Ｎ側主電極１５、Ｐ側主電極１６及び制御端子１７はフレキシブルフラットケーブル（FFC: Flexible Flat Cable）又はフレキシブルプリント回路（FPC: Flexible printed circuits）である。
【００１９】
続いて、本実施の形態の効果を比較例と比較して説明する。図４は、比較例に係る半導体装置を示す断面図である。図５は、比較例に係る半導体モジュールを示す断面図である。比較例では、Ｎ側主電極２２及びＰ側主電極２３は銅等の金属板（リードフレーム）からなり、それぞれケース７側のケース側電極２４，２５にネジ止め又は溶接される。従って、溶接装置、溶接工程、及びその品質管理などが必要である。
【００２０】
一方、本実施の形態では、半導体モジュール３のＮ側主電極１５及びＰ側主電極１６はフレキシブルフラットケーブル又はフレキシブルプリント回路である。従って、ネジ止めや溶接を圧接やコネクタ接合等に変更できる。また、Ｎ側主電極１５及びＰ側主電極１６は柔軟性を有するため、折り曲げてケース７の穴から外側に導出させることができる。従って、比較例のケース７側のケース側電極２４，２５が不要となる。この結果、部品点数及び組立工数を削減し、製造コストを低減することができる。
【００２１】
また、比較例では、制御端子２６は銅等の金属板（リードフレーム）からなり、一端が半導体モジュール３のゲート電極１８にワイヤ２７により接続され、他端がプリント配線板５のスルーホールを貫通して噴流はんだ付けにより接合されている。従って、噴流はんだ付け装置が必要であり、噴流はんだ付け工程とその品質管理が必要である。また、装置が多機能化して１台あたりに実装される半導体モジュール３の数が増すと、プリント配線板５の多くのスルーホールに全ての制御端子２６を貫通させるために高い加工精度や組立位置精度が必要となる。また、機械的振動や周囲温度の変化による熱膨張収縮の繰り返しによってプリント配線板５のスルーホールと制御端子２６との接合部にクラックが生じ、スルーホール内部の銅薄膜が剥離して信頼性が低下する。
【００２２】
一方、本実施の形態では、制御端子１７はフレキシブルフラットケーブル又はフレキシブルプリント回路であるため、圧接又はコネクタ接合によりプリント配線板５に接合させることができる。従って、噴流はんだ付け工程やその品質管理を省略できる。また、高い加工精度や組立位置精度が不要であり、機械的振動や熱膨張収縮の繰り返しに対する信頼性が高い。
【００２３】
実施の形態２．
図６は、本発明の実施の形態２に係る半導体モジュールを示す断面図である。銅等の金属板（リードフレーム）からなる中継端子２８，２９，３０がモールド樹脂２１内に設けられている。
【００２４】
中継端子２８は、還流ダイオード９のアノード電極１４にアルミワイヤ３１により接続され、かつＮ側主電極１５の一端に接続されている。中継端子２９は、ベース配線板１０にアルミワイヤ３２により接続され、かつＰ側主電極１６の一端に接続されている。中継端子３０は、スイッチング素子８のゲート電極１８にアルミワイヤ３３によりワイヤ接続され、かつ制御端子１７の一端に接続されている。スイッチング素子８のエミッタ電極１３と還流ダイオード９のアノード電極１４がアルミワイヤ３４により接続されている。
【００２５】
本実施の形態では、上記のように中継端子２８，２９，３０をモールド樹脂２１内に設けて半導体素子と外部端子を中継させる。これにより、高温・高湿環境において、フレキシブルフラットケーブル又はフレキシブルプリント回路からなる外部端子とモールド樹脂２１との界面からの水分進入による絶縁低下を防いで信頼性を高めることができる。
【符号の説明】
【００２６】
３  半導体モジュール
５  プリント配線板（制御回路基板）
７  ケース
８  スイッチング素子（半導体素子）
９  還流ダイオード（半導体素子）
１０  ベース配線板（導電板）
１１  コレクタ電極（下面電極）
１２  カソード電極（下面電極）
１３  エミッタ電極（上面電極）
１４  アノード電極（上面電極）
１５  Ｎ側主電極（第１の主電極）
１６  Ｐ側主電極（第２の主電極）
１７  制御端子
１８  ゲート電極（制御電極）
２１  モールド樹脂（樹脂）
２８  中継端子（第１の中継端子）
２９  中継端子（第２の中継端子）
３０  中継端子（第３の中継端子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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