(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
メインラミネート装置を備え、前記メインラミネート装置の後工程に、少なくとも一台のサブラミネート装置を備えたラミネート装置であって、
前記メインラミネート装置の熱板を、熱板上の被加工物への給熱部を熱伝導率が１１０（Ｗｍ−１Ｋ−１）以上、３９８（Ｗｍ−１Ｋ−１）以下の材料で形成し、
前記サブラミネート装置の熱板を、熱板上の被加工物への給熱部を熱伝導率が２０（Ｗｍ−１Ｋ−１）以下の材料で形成した
ことを特徴とするラミネート装置。
【請求項２】
前記メインラミネート装置は、押圧部材を備えた上ケースと、熱板を有し、
その前記熱板上に被加工物を載置し、上ケースと熱板を閉合し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記押圧部材により仕切られた下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートすること
を特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項３】
前記メインラミネート装置及び前記サブラミネート装置は、押圧部材を備えた上ケースと、熱板を有し、
その前記熱板上に被加工物を載置し、上ケースと熱板を閉合し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記押圧部材により仕切られた下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートすること
を特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項４】
前記メインラミネート装置は、押圧部材を備えた上ケースと、熱板を備えた下ケースとを有し、
その前記熱板上に被加工物を載置し、上ケースと下ケースとを閉合し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記押圧部材により仕切られた下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートすること
を特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項５】
前記メインラミネート装置及び前記サブラミネート装置は、押圧部材を備えた上ケースと、熱板を備えた下ケースとを有し、
その前記熱板上に被加工物を載置し、上ケースと下ケースとを閉合し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記押圧部材により仕切られた下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートすること
を特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項６】
前記メインラミネート装置及び前記サブラミネート装置のいずれかの熱板に電気式ヒータを埋設したことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のラミネート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱板上に太陽電池モジュール等の被加工物を配置し、熱板により加熱した被加工物を熱板と押圧部材とで挟圧してラミネート加工する際に、複数台のラミネート装置を使用したラミネート装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年の温室効果ガス等の問題から、環境を汚さない太陽電池が注目されている。太陽電池を構成する太陽電池モジュールは、カバーガラス、充填材、太陽電池セル、裏面材等の複数の部材が重なり合って構成されている。この種の太陽電池を製造する際には、太陽電池の構成部材を重ね合わせ、真空状態で加熱しながら、ラミネート加工して各構成部材を接着させるラミネート装置が使用されている（例えば，特許文献１参照）。このようなラミネート装置は，上チャンバと下チャンバを密閉して減圧した後，ダイヤフラム内に大気を導入することにより，太陽電池モジュールをダイヤフラムとヒータ盤の上面との間で挟圧し，ヒータ盤（熱板）によって加熱する構成になっている。またこのようなラミネート装置に関して，上チャンバと下チャンバとの間に進入するシートを備えたラミネート装置が開示されている（特許文献２参照）。このラミネート装置は，太陽電池モジュールをシート上に載せて，シートを移動させることで太陽電池モジュールをダイヤフラムとヒータ盤（熱板）の間に搬送するようになっており，太陽電池モジュールをダイヤフラムとシートとの間で挟圧する構成になっている。また，上チャンバにヒータ盤（熱板）を備え，太陽電池モジュールをシート上に載せて搬送し，太陽電池モジュールをヒータ盤（熱板）の下面とシートとの間で挟圧する構成としたラミネート装置が提案されている（特許文献３参照）。
【０００３】
ラミネート加工は、太陽電池モジュールを製造する工程の中でも長時間の加工時間を要する工程である。したがって、必要な太陽電池モジュールの製造数量を確保するために、ラミネート加工時間を短縮することが課題となっている。
【０００４】
しかしながら，これら特許文献１から特許文献３に記載のラミネート装置は，太陽電池モジュールを効率良く大量にラミネート加工することが困難であった。このような問題を解決するために特許文献４に記載のとおりラミネート装置を隣接して２台並設したものが開示されている。
【０００５】
特許文献４に記載のラミネート装置では、ラミネート装置を２台並設しているので搬入コンベアの設置スペースが節約される効果はあるものの、ラミネート加工時間は、ラミネート装置を２台分使用した場合と同程度の短縮であり、それ以上の時間短縮は十分ではなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２８２９２０号公報
【特許文献２】特開平１１−２０４８１１号公報
【特許文献３】特開平１１−２５４５２６号公報
【特許文献４】特開２００５−２０９８８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は，このような事情に鑑みて、なされたものであり、太陽電池モジュールなどの被加工物を更に効率的にラミネートすることができるとともに、構造が簡易なラミネート装置を提供することをその目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の目的を達成するための第１発明のラミネート装置は、メインラミネート装置を備え、前記メインラミネート装置の後工程に、少なくとも一台のサブラミネート装置を備えたラミネート装置であって、前記メインラミネート装置の熱板を、熱板上の被加工物への給熱部を熱伝導率が１１０（Ｗｍ−１Ｋ−１）以上、３９８（Ｗｍ−１Ｋ−１）以下の材料で形成し、前記サブラミネート装置の熱板を、熱板上の被加工物への給熱部を熱伝導率が２０（Ｗｍ−１Ｋ−１）以下の材料で形成したことを特徴とする。
【０００９】
第１発明によれば、メインラミネート装置の熱板の給熱部分に熱伝率の高い素材を使用して形成しているので、熱板の温度を従来よりも高い温度に短時間で昇温させることができるとともに、被加工物の温度を短時間で所定温度に昇温することができる。したがってメインラミネート装置の熱板温度をサブラミネート装置の熱板温度よりも高くすることにより、メインラミネート装置とサブラミネート装置を組み合わせ使用することにより、単にラミネート装置を２台併設した場合に比べラミネート加工時間を短縮することができる。
【００１０】
第２発明のラミネート装置は、第１発明において、前記メインラミネート装置は、押圧部材を備えた上ケースと、熱板を有し、その前記熱板上に被加工物を載置し、上ケースと熱板を閉合し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記押圧部材により仕切られた下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートすることを特徴とする。
【００１１】
第２発明は、従来のラミネート装置で使用していた下ケースを廃止し、熱板としたものである。その熱板を第１発明のものを使用している。従って第１発明の効果以外に、装置の構造は非常に簡略化され安価となるという効果が発現する。
【００１２】
第３発明のラミネート装置は、第１発明において、前記メインラミネート装置及び前記サブラミネート装置は、押圧部材を備えた上ケースと、熱板を有し、その前記熱板上に被加工物を載置し、上ケースと熱板を閉合し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記押圧部材により仕切られた下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートすることを特徴とする。
【００１３】
第３発明によれば、第２発明と同様の効果が発現する。
【００１４】
第４発明のラミネート装置は、第１発明において、前記メインラミネート装置は、押圧部材を備えた上ケースと、熱板を備えた下ケースとを有し、その前記熱板上に被加工物を載置し、上ケースと下ケースとを閉合し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記押圧部材により仕切られた下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートすることを特徴とする。
【００１５】
第４発明によれば、第１発明と同様の効果が発現する。
【００１６】
第５発明のラミネート装置は、第１発明において、前記メインラミネート装置及び前記サブラミネート装置は、押圧部材を備えた上ケースと、熱板を備えた下ケースとを有し、その前記熱板上に被加工物を載置し、上ケースと下ケースとを閉合し、前記熱板により加熱した前記被加工物を、前記押圧部材により仕切られた下チャンバを真空とし前記上チャンバに大気を導入し前記熱板と前記押圧部材とで挟圧してラミネートすることを特徴とする。
【００１７】
第５発明によれば、第１発明と同様の効果が発現する。
【００１８】
第６発明のラミネート装置は、第１発明から第５発明のいずれかいにおいて、  前記メインラミネート装置及び前記サブラミネート装置のいずれかの熱板に電気式ヒータを埋設したことを特徴とする。
【００１９】
第６発明によれば、熱板に電気式ヒータを使用しているので、従来の油加熱式に比べ短時間で熱板の温度を上昇させることができる。このため第１発明の効果を顕著に発現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明のラミネート装置が対象とする太陽電池モジュールの説明図。
【図２】本発明のラミネート装置の説明図。
【図３】本発明のラミネート装置のラミネート加工部の説明図。
【図４】本発明のラミネート装置のラミネート加工部の説明図。
【図５】本発明のラミネート装置用の熱板の説明図。
【図６】本発明のラミネート装置用の熱板用のシースヒータの説明図。
【図７】本発明の別例のラミネート装置の説明図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
【００２２】
＜１＞被加工物（太陽電池モジュール）
ここで本発明のラミネート装置でラミネートされる被加工物１０について説明する。
【００２３】
図１は、被加工物１０として結晶系セルを使用した太陽電池モジュールの構成を示す断面図である。太陽電池モジュール１０は、図示のように、透明なカバーガラス１１と裏面材１２との間に、充填材１３、１４を介して複数列のストリング１５を挟み込んだ構成を有する。裏面材１２にはポリエチレン樹脂等の材料が使用される。また、充填材１３、１４にはＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂等が使用される。ストリング１５は、結晶系セルとしての太陽電池セル１８を複数枚リード線１９を介して接続した構成である。この複数列のストリング１５は、電極１６、１７の間でリード線により接続されている。
【００２４】
また、被加工物１０としては、上述した太陽電池モジュールだけではなく、一般に薄膜式と呼ばれる太陽電池モジュールを対象とすることもできる。この薄膜式太陽電池モジュールの代表的な構造例では、透明なカバーガラスに、予め、透明電極、半導体、裏面電極からなる発電素子が蒸着してある。このような薄膜式太陽電池モジュールは、カバーガラス（基板ガラス）を下向きに配置し、カバーガラス上の発電素子の上に充填材を被せる。更に、充填材の上に裏面材を被せた構造になっている。このような状態で真空加熱ラミネートすることにより薄膜式太陽電池モジュールの構成部材が接着される。すなわち、薄膜式太陽電池モジュールは、上述した太陽電池モジュールの結晶系セルが蒸着された発電素子に変わるだけである。薄膜式太陽電池モジュールの基本的な封止構造は上述した太陽電池モジュールと同じである。
【００２５】
尚本発明のラミネート装置及びラミネート方法は、上記の発電素子を蒸着した基板ガラスに充填材を被せ、さらにその上にカバーガラスを被せた構成の薄膜式太陽電池モジュールにも適用することができる。
【００２６】
＜２＞本発明のラミネート装置の概略構成の説明
本発明のラミネート装置は、メインラミネート装置（以下、主機と略称する）の後工程に少なくとも１台のサブラミネート装置（以下、副機と略称する）を設置した構成である。主機と副機にて使用するラミネート装置については、図２を使用して説明する。
【００２７】
本発明のラミネート装置ＬＭは、主機１００の後工程に主機と離して別置として副機４００を複数台配置する構成とすることも可能である。本実施形態の説明においては、図２のように主機の後部に副機を１台、コンベア等で接続した形態にて説明する。
【００２８】
主機及び副機の構成は、それぞれ別構成（別形態）のものを使用することもできる。しかし本実施形態の説明においては、同一形態のものを使用する場合で説明する。熱板以外は同一であるので、主機の構成について説明する。主機１００は、上ケース１１０と、下ケース１２０と、被加工物１０を搬送するための搬送シート１３０とを有する。搬送シート１３０は、被加工物１０を上ケース１１０と下ケース１２０との間に搬送する。主機１００には、ラミネート前の被加工物１０を主機１００に搬送するための搬入コンベア２００が設けられている。また、主機１００には、ラミネート後の被加工物１０を主機１００から搬出し、副機４００へ搬入するための接続コンベア３００が設けられている。搬入コンベア２００と接続コンベア３００とは、主機に連接されている。被加工物１０は、搬入コンベア２００から搬送シート１３０に受け渡され、搬送シート１３０から接続コンベア３００に受け渡される。
【００２９】
副機４００にてラミネ−ト加工するための被加工物１０は接続コンベア３００から副機に搬入され、ラミネート加工を行う。ラミネート加工後、被加工物１０は搬出コンベア５００に受け渡さされる。接続コンベア３００と搬出コンベア５００とは、副機に連接されている。
【００３０】
主機１００には、シリンダ及びピストンロッド等で構成される図示しない昇降装置が設けられている。昇降装置は、上ケース１１０を水平状態に維持したまま下ケース１２０に対して昇降させることができる。昇降装置が上ケース１１０を下降させることで、上ケース１１０と下ケース１２０との内部空間を密閉させることができる。
【００３１】
＜３＞ラミネート部
次に、本実施形態に係る主機１００のラミネート部１０１の構成についてより具体的に説明する。副機のラミネート部の構成は同一であるので＜２＞と同様、主機についてのみ説明する。図３は、主機１００において被加工物１０をラミネート加工する前のラミネート部１０１の側断面図である。図４は、ラミネート加工時におけるラミネート部１０１の側断面図である。
【００３２】
上ケース１１０には、下方向に開口された空間が形成されている。この空間には、空間を水平に仕切るように押圧部材としてのダイヤフラム１１２が設けられている。ダイヤフラム１１２は、シリコーン系のゴム等の耐熱性のあるゴムにより成形されている。後述するように、ダイヤフラム１１２は、被加工物１０を押圧する押圧部材として機能し、ラミネートを行う。上ケース１１０内には、ダイヤフラム１１２によって仕切られた空間（上チャンバ１１３）が形成される。
【００３３】
また、上ケース１１０の上面には、上チャンバ１１３と連通する吸排気口１１４が設けられている。上チャンバ１１３では、吸排気口１１４を介して、上チャンバ１１３内を真空ポンプにより真空引きして真空状態にしたり、上チャンバ１１３内に大気を導入したりすることができる。
【００３４】
下ケース１２０には、上方向に開口された空間（下チャンバ１２１）が形成されている。この空間には、熱板１５０（パネル状のヒータ）が設けられている。熱板１５０は、下ケース１２０の底面に立設された支持部材によって、水平状態を保つように支持されている。この場合に、熱板１５０は、その表面が下チャンバ１２１の開口面とほぼ同一高さになるように支持される。この熱板１５０は、副機は異なる構成のものを使用する。この点については後述する。
【００３５】
また、下ケース１２０の下面には、下チャンバ１２１と連通する吸排気口１２３が設けられている。下チャンバ１２１では、吸排気口１２３を介して、下チャンバ１２１内を真空ポンプにより真空引きして真空状態にしたり、下チャンバ１２１内に大気を導入したりすることができる。
【００３６】
上ケース１１０と下ケース１２０との間であって、熱板１５０の上方には、搬送シート１３０が移動自在に設けられている。搬送シート１３０は、図２の搬入コンベア２００からラミネート前の被加工物１０を受け取ってラミネート部１０１の中央位置、すなわち熱板１５０の中央部に正確に搬送する。また、搬送シート１３０は、主機にてラミネート加工後の被加工物１０を図２の接続コンベア３００に受け渡す。
【００３７】
＜４＞熱板の構成
本実施形態では、主機と副機の熱板１５０を以下のように構成している。本実施形態の説明では、主機と副機の熱板は材質のみの違いであり基本的な構成は同じであるため、同一番号を付している。
【００３８】
主機の熱板１５０は、その熱板上の被加工物１０への給熱部を熱伝導率が１１０（Ｗｍ−１Ｋ−１）以上、３９８（Ｗｍ−１Ｋ−１）以下の材料で形成している。すなわち主機では、ラミネート加工する被加工物１０の温度上昇を早めるために熱板の給熱部の素材をアルミニウム合金材の熱伝導率以上の素材を使用している。これにより熱板から被加工物へ迅速に給熱され、被加工物の温度を目標温度に早期に到達させることができる。また主機の熱板の設定温度を被加工物内の充填材料の架橋温度以上とすることができるので、更に被加工物の温度を迅速に上昇させることができる。また熱板１５０全体を本素材にて形成することでも良い。
【００３９】
一方副機の熱板１５０は、熱板上の被加工物への給熱部を熱伝導率が２０（Ｗｍ−１Ｋ−１）以下の材料で形成している。すなわちステンレス材等の熱伝導率以下の素材にて熱板の供熱部を形成している。副機においては、熱板の温度を被加工物の充填材の架橋温度に設定し充填材の架橋反応を促進させラミネート加工を行う。このためアルミニウム合金のように熱伝導率が良好ということよりも、熱伝導率は小さくとも、熱容量（比熱×密度）の大きな材料を使用し温度変化を無くし安定的に保持することが必要である。このためステンレス材のような材料が好ましい。また主機と同じように、熱板１５０全体を本素材にて形成することでも良い。
【００４０】
本実形態の主機及び副機に使用する熱板は、一例として電気式ヒータを使用し図５に示すように構成することができる。また熱板内の温度分布を一様にするためにヒートパイプを併用することも可能である。
【００４１】
熱板１５０は、図５に示すように、上記で説明した素材により、被加工物１０を載置できるようなパネル状に形成されている。熱板本体１５１には、ヒータ１５２およびヒートパイプ１５３を埋設するために、奥行き方向に収容溝１５４が加工されている。この収容溝１５４にＵ字状のヒータ１５２が平行に複数配設されている。ヒートパイプ１５３は、Ｕ字状のヒータ１５２の中央に平行に設けられている。ヒータ１５２とヒートパイプ１５３は、クッション材１５５を介して熱板本体１５１と略同一寸法の裏板１５６を熱板本体１５１とボルト等により固定し収容溝１５４内に埋設固定される。これによりヒータの外周、およびヒートパイプの外周が収容溝１５４の底面と密着する。このようにヒータとヒートパイプが複数組設けられている。尚ヒータ１５２は、Ｕ字状でなくても良く、直線状のものを使用することでも良い。
【００４２】
ここでは、ヒータとしては、公知のシースヒータＳＨを使用することができる。シースヒータＳＨは、図６に示すように、中心にコイル状に加工されたニクロム線ＳＨ１と、ニクロム線ＳＨ１の周りに充填された酸化マグネシウム等の絶縁材ＳＨ２と、絶縁材ＳＨ２の全周を覆うシースＳＨ３（外周をなす外皮）から構成される。
【００４３】
ヒートパイプ１５３は，公知の構成のものを使用することができる。ヒートパイプは、管内に作動液が飽和蒸気圧の状態で密封されていて、ヒートパイプの長さ方向に温度差があると高温部から低温部に蒸気流が発生します。そして作動液は、高温部で蒸発熱を奪い、低温部では凝縮熱を与えることになる。
【００４４】
＜５＞本発明のラミネート方法
主機及び副機のラミネート加工の詳細は、＜６＞にて説明するが、ラミネート加工時間の短縮はラミネート加工中の被加工物の加熱時間をいかに短くするかに依存している。このため熱板の温度を高く設定すると昇温時間は短縮され、加熱時間も短縮される。しかしながら主機を１台のみでラミネート加工する場合は、熱板の設定温度を充填材の架橋温度以上に設定することは困難である。
【００４５】
そこで本発明のラミネート方法では、図２に示すように、主機の後部に副機を配置する構成としている。このような構成とすることにより主機の熱板１５０の設定温度を被加工物１０内の充填材１３、１４の架橋温度以上に設定することが可能となり、熱板上の被加工物１０の温度を架橋温度付近に迅速に加熱することが可能である。架橋温度付近に加熱された被加工物１０は、副機に搬入され、再度ラミネート加工される。副機の熱板は、その温度は架橋温度に設定されている。被加工物１０は、副機で一定時間加圧加熱され充填材料の架橋反応が促進されてラミネート加工が終了する。
【００４６】
本発明のラミネート方法によれば、２台の主機の熱板温度を架橋温度に設定して２台同時に運転してラミネート加工する場合に比べ合計のラミネート加工時間が短縮され生産効率が大幅に向上する。
【００４７】
＜６＞主機のラミネート工程の説明
次に、本実施形態に係る主機のラミネート工程についてより具体的に説明する。まず、図３に示すように、搬送シート１３０は、被加工物１０をラミネート部１０１の中央位置に搬送する。
【００４８】
次に、昇降装置は、上ケース１１０を下降させる。上ケース１１０を下降させることにより、図４に示すように、上ケース１１０と下ケース１２０との内部空間は、密閉される。すなわち、上ケース１１０と下ケース１２０との内部にて上チャンバ１１３及び下チャンバ１２１は、それぞれ密閉状態に保つことができる。
【００４９】
次に、主機１００は、上ケース１１０の吸排気口１１４を介して、上チャンバ１１３内を真空ポンプにより真空引きを行う。同様に、主機１００は、下ケース１２０の吸排気口１２３を介して、下チャンバ１２１内を真空ポンプにより真空引きを行う（以下真空工程という）。真空工程の到達真空度は、通常のラミネート装置と同程度であり、具体的には約１３０Ｐａ程度である。下チャンバ１２１の真空引きにより、被加工物１０内に含まれている気泡やガスは、被加工物１０外に送出される。
【００５０】
被加工物１０は、温度制御装置ＣＬ（図５参照）の温度制御により加熱された熱板１５０によって加熱されるので、被加工物１０の内部に含まれる充填材１３、１４も加熱される。
【００５１】
次に、主機１００は、下チャンバ１２１の真空状態を保ったまま、上ケース１１０の吸排気口１１４を介して、上チャンバ１１３に大気を導入する。これにより、上チャンバ１１３と下チャンバ１２１との間に気圧差が生じることで、ダイヤフラム１１２が膨張する。従って、ダイヤフラム１１２は、図４に示すように下方に押し出される（以下加圧工程という）。被加工物１０は、下方に押し出されたダイヤフラム１１２と、熱板１５０とで挟圧される。この挟圧とともに、主機１００の熱板の温度は、＜５＞にて説明のとおり、被加工物１０内の充填材の架橋温度以上に設定されている。このため被加工物１０は、早期に温度上昇する。また挟圧により、加熱溶融された充填材１３、１４によって各構成部材が接着される。
【００５２】
このようにして架橋反応が完了する一定時間前に、主機１００は、下ケース１２０の吸排気口１２３を介して、下チャンバ１２１に大気を導入する。このとき、昇降装置は、上ケース１１０を上昇させる。上ケース１１０を上昇させることにより、図３に示すように、搬送シート１３０を移動させることができるようになる。搬送シート１３０は、ラミネート後の被加工物１０を接続コンベア３００に受け渡す。
【００５３】
＜７＞副機のラミネート工程の説明
次に、本実施形態に係る副機４００のラミネート工程についてより具体的に説明する。まず、接続コンベア３００上の主機でラミネート加工した被加工物１０を副機の搬送シート１３０により、ラミネート部１０１の中央位置に搬送する。図３と同じような状態とする。
【００５４】
次に、昇降装置は、上ケース１１０を下降させる。上ケース１１０を下降させることにより、図４に示すように、上ケース１１０と下ケース１２０との内部空間は、密閉される。すなわち、上ケース１１０と下ケース１２０との内部にて上チャンバ１１３及び下チャンバ１２１は、それぞれ密閉状態に保つことができる。
【００５５】
次に、副機４００は、上ケース１１０の吸排気口１１４を介して、上チャンバ１１３内を真空ポンプにより真空引きを行う。同様に、副機４００は、下ケース１２０の吸排気口１２３を介して、下チャンバ１２１内を真空ポンプにより真空引きを行う（以下真空工程という）。副機の真空工程の到達真空度は、既に被加工物内の気泡が外部に送出されているので。主機ほど到達真空度は小さくなくても良い。被加工物の特性に応じて適宜設定することができる。
【００５６】
被加工物１０は、温度制御装置の温度制御ＣＬ（図５参照）により加熱された熱板１５０によって加熱される。主機同様、被加工物１０の内部に含まれる充填材１３、１４（既に溶融状態である）も加熱される。
【００５７】
次に、副機４００は、下チャンバ１２１の真空状態を保ったまま、上ケース１１０の吸排気口１１４を介して、上チャンバ１１３に大気を導入する。これにより、上チャンバ１１３と下チャンバ１２１との間に気圧差が生じることで、ダイヤフラム１１２が膨張する。従って、ダイヤフラム１１２は、図４に示すように下方に押し出される（以下加圧工程という）。被加工物１０は、下方に押し出されたダイヤフラム１１２と、熱板１５０とで挟圧される。この挟圧とともに、副機４００の熱板の温度は、＜５＞にて説明のとおり、被加工物１０の内部に含まれる充填材１３、１４は架橋温度に設定されており、被加工物１０内の充填材等の温度は架橋温度に一定時間保持される。これにより充填材の架橋反応が促進し、目標となる架橋密度を有するラミネート体が完成しラミネート加工が終了する。
【００５８】
このように被加工物１０のラミネート加工が終了した後に、副機４００は、下ケース１２０の吸排気口１２３を介して、下チャンバ１２１に大気を導入する。このとき、昇降装置は、上ケース１１０を上昇させる。上ケース１１０を上昇させることにより、図３に示すように、搬送シート１３０を移動させることができるようになる。搬送シート１３０は、ラミネート後の被加工物１０を搬出コンベア５００に受け渡す。
【００５９】
＜８＞本発明の別例のラミネート装置
図７により本発明の別例のラミネート装置の実施形態について説明する。本実施形態のラミネート装置を主機及び副機に使用しても良いし、主機または副機のいずれか一方に使用しても良い。尚説明において図３のラミネート装置と同様の機能及び構造を有する部位には同一番号を付している。
【００６０】
図７に示すように、本実施形態のラミネート装置６００は、上ケース１１０を有し、下ケースは熱板６５０と兼用する構成である。被加工物１０は熱板６５０上を走行する搬送シート１３０により熱板６５０上の所定位置に載置される。ラミネート加工の内容は＜５＞から＜７＞の記載と同様である。真空工程は、上ケースの吸排気口１１４と熱板に適宜の数箇所設けられた下方への吸排気用の貫通孔６２３により行われる。また加圧工程は、押圧部材であるダイヤフラム１１２により行われる。
【００６１】
ラミネート装置を本実施形態のような構成とすることにより、＜５＞で記載したラミネート加工時間が短縮され生産効率が大幅に向上するという効果が得られるとともに装置の構成が大幅に簡略化され装置のコストを安価とすることができる。
【００６２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が当業者にとって可能であるのは勿論である。
【符号の説明】
【００６３】
１０        被加工物（太陽電池）
１３        充填材
１４        充填材
１００      ラミネート装置（主機）
１０１      ラミネート部    
１１０      上ケース
１２０      下ケース
１５０      熱板
１３０      搬送シート
２００      搬入コンベア
３００      接続コンベア
４００      ラミネート装置（副機）
５００      搬出コンベア
６００      別例のラミネート装置
６５０      熱板
ＬＭ        本発明のラミネート装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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