(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波数試験プローブのグラウンドを受けるためのグラウンド・スプリングであって、
おおよそ環状の環状ベース部と、
該ベース部から内側に向かっておおよそ放射状に伸び、内側端面を有する複数の細長いスプリング・フィンガーとを具え、
複数の上記内側端面が、上記グラウンド・スプリングの中心にほぼ円形の開口を形成し、上記スプリング・フィンガーの夫々は、相対的に広い基部と、相対的に細い上記内側端部を含むテイパード形状を有すると共に、上記スプリング・フィンガーの夫々の長手軸は、上記グラウンド・スプリングの中心から上記フィンガー夫々の上記基部の中心へと伸ばした基準線に対して傾斜していることを特徴とするグラウンド・スプリング。
【請求項２】
ＢＭＡコネクタであって、
該ＢＭＡコネクタのメス部が、
適合するＢＭＡコネクタのオス部を受けるおおよそ円筒形の受入部と、
適合する上記ＢＭＡコネクタの上記オス部のグラウンド端を受けるグラウンド・スプリングとを具え、
上記グラウンド・スプリングが、
おおよそ環状の環状ベース部と、
該ベース部から内側に向かっておおよそ放射状に伸び、内側端面を有する複数の細長いスプリング・フィンガーとを含み、
複数の上記内側端面が、上記グラウンド・スプリングの中心にほぼ円形の開口を形成し、上記スプリング・フィンガーの夫々は、相対的に広い基部と、相対的に細い上記内側端部を含むテイパード形状を有すると共に、上記スプリング・フィンガーの夫々の長手軸は、上記グラウンド・スプリングの中心から上記フィンガー夫々の上記基部の中心へと伸ばした基準線に対して傾斜していることを特徴とするＢＭＡコネクタ。
【請求項３】
入力信号を受けて出力を生成するよう構成されたプロセッサと、
該プロセッサからの出力を表示するよう構成された表示ユニットと、
ＢＭＡコネクタのメス部を含む入力ユニットとを具え、
上記ＢＭＡコネクタの上記メス部が、
適合するＢＭＡコネクタのオス部を受けるおおよそ円筒形の受入部と、
適合する上記ＢＭＡコネクタの上記オス部のグラウンド端を受けるグラウンド・スプリングとを有し、
上記グラウンド・スプリングが、
おおよそ環状の環状ベース部と、
該ベース部から内側に向かっておおよそ放射状に伸び、内側端面を有する複数の細長いスプリング・フィンガーとを含み、
複数の上記内側端面が、上記グラウンド・スプリングの中心にほぼ円形の開口を形成し、上記スプリング・フィンガーの夫々は、相対的に広い基部と、相対的に細い上記内側端部を含むテイパード形状を有すると共に、上記スプリング・フィンガーの夫々の長手軸は、上記グラウンド・スプリングの中心から上記フィンガー夫々の上記基部の中心へと伸ばした基準線に対して傾斜していることを特徴とする試験測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験測定装置と、これに使用するＢＭＡコネクタ、そしてそのグラウンド・スプリングに関し、具体的には、試験測定装置が高周波数信号を正確に測定することを可能にする試験測定装置用の高精度グラウンド・スプリングを用いた技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
本願は、２０１２年１月４日出願の米国仮出願第６１／５８２，９６７号に基づく優先権を主張するものである。
【０００３】
試験測定装置は、複数の試験リード線を通して信号を受け、それらについての試験を行う。リード線は、コネクタを介して試験測定装置に結合される。コネクタの１形態に、ＢＭＡリード線と呼ばれるものがあり、これは、「ブラインド・メイトＡ（BlindMate A）」コネクタを表しており、３ＧＨｚから３００ＧＨｚのレンジのマイクロウェーブ無線周波数のような高周波数の試験信号を受けるＲＦ（無線周波数）コネクタである。
【０００４】
グラウンド・スプリングは、ＢＭＡコネクタのグラウンド（接地）と接触するスプリングである。グラウンド・スプリングの機能は、ＢＭＡコネクタへ電気的な接続を提供することであり、これによって、このグラウンドに対して信号を測定可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−７１８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
現在のグラウンド・スプリングは、信頼性の点で問題がある。グラウンドに充分に接続しないことが度々発生し、これによって被試験信号に関するデータの欠落が生じる。特に、約２０ＧＨｚよりも高い周波数の信号において、これが著しい。また、現在のグラウンド・スプリングは、コネクタを数回脱着しただけで、スプリング機能が喪失する傾向がある。
【０００７】
本発明による実施形態は、従来技術のこうした課題等を解決しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、高周波数試験プローブのグラウンド端子を受けるグラウンド・スプリングに関する。グラウンド・スプリングは、おおよそ環状のベース部と、ベース部から伸びる複数の細長いスプリング・フィンガーとを有している。細長いスプリング・フィンガーは、内側に向かっておおよそ放射状に伸び、また、グラウンド・スプリングの中心にほぼ円形の開口を形成する複数の内側端面を有している。フィンガーの夫々は、相対的に広い基部と、相対的に細い内側端部を含んでおり、先が細くなる形状（tapered shape：テイパード形状）を有している。フィンガーの夫々には長手軸があり、これは、グラウンド・スプリングの中心から各フィンガーの基部の中心へと伸ばした基準線に対して傾斜している。
【０００９】
隣接するフィンガー間には間隙があり、これは、間隙が環状ベース部から、グラウンド・スプリングの中心に向かって進むに従って狭くなっている。グラウンド・スプリングは、おおよそ凹んだ形状となっており、その高さは約０.０１７インチ（約４.４ミリ・メータ）である。基部から伸びる細長いスプリング・フィンガーの夫々は、ほぼ平面である。グラウンド・スプリングは、好ましくは、細長い複数のスプリング・フィンガーを有する金めっきしたベリリウム銅から形成され、約０.００２５インチ（約０.６４ミリ・メータ）の厚さがある。細長いスプリング・フィンガーの夫々の長手軸は、グラウンド・スプリングの中心から各フィンガーの基部の中心へと伸ばした基準線から約４０度傾斜している。
【００１０】
グラウンド・スプリングは、ＢＭＡコネクタのオス部を受けるためのおおよそ円筒状の受入部を有するＢＭＡコネクタのメス部に配置される。グラウンド・スプリングは、適合するＢＭＡコネクタのオス部のグラウンド端を受ける。グラウンド・スプリングは、おおよそ環状のベース部と、このベース部から伸びる複数の細長いスプリング・フィンガーを有する。これら細長いスプリング・フィンガーは、内側に向かっておおよそ放射状に広がると共に、夫々が内側端面を有し、これらはグラウンド・スプリングの中心にほぼ円形の開口を形成する。フィンガーの夫々は、相対的に広い基部と、相対的に細い内側端部を含む先が細くなる形状（tapered shape：テイパード形状）を有している。細長いスプリング・フィンガーの夫々の長手軸は、グラウンド・スプリングの中心から各フィンガーの基部の中心へと伸ばした基準線に対して約４０度傾斜している。
【００１１】
グラウンド・スプリングは、プロセッサを有し、入力信号を受けて出力信号を生成する試験測定装置において実施される。試験測定装置は、プロセッサからの出力信号を表示する表示装置と、ＢＭＡコネクタのメス部を含む入力ユニットとを有している。ＢＭＡコネクタのメス部は、適合するＢＭＡコネクタのオス部を受けるためのおおよそ円筒状の受入部と、適合するＢＭＡコネクタのオス部のグラウンド端を受けるグラウンド・スプリングとを有する。グラウンド・スプリングは、おおよそ環状のベース部と、このベース部から伸びる複数の細長いスプリング・フィンガーを有する。これら細長いスプリング・フィンガーは、内側に向かっておおよそ放射状に広がると共に、夫々が内側端面を有し、これらはグラウンド・スプリングの中心にほぼ円形の開口を形成する。フィンガーの夫々は、相対的に広い基部と、相対的に細い内側端部を含んでおり、先が細くなる形状（tapered shape：テイパード形状）を有している。細長いスプリング・フィンガーの夫々の長手軸は、グラウンド・スプリングの中心から各フィンガーの基部の中心へと伸ばした基準線に対して約４０度傾斜している。
【００１２】
より具体的には、本発明の概念１は、高周波数試験プローブのグラウンドを受けるためのグラウンド・スプリングであって、
おおよそ環状の環状ベース部と、
該ベース部から内側に向かっておおよそ放射状に伸び、内側端面を有する複数の細長いスプリング・フィンガーとを具え、
複数の上記内側端面が、上記グラウンド・スプリングの中心にほぼ円形の開口を形成し、上記スプリング・フィンガーの夫々は、相対的に広い基部と、相対的に細い上記内側端部を含むテイパード形状を有すると共に、上記スプリング・フィンガーの夫々の長手軸は、上記グラウンド・スプリングの中心から上記フィンガー夫々の上記基部の中心へと伸ばした基準線に対して傾斜していることを特徴としている。
【００１３】
本発明の概念２は、上記概念１のグラウンド・スプリングであって、隣接する上記フィンガー間の間隙が、上記環状ベース部から上記グラウンド・スプリングの上記中心に向かうほど狭くなることを特徴としている。
【００１４】
本発明の概念３は、上記概念１のグラウンド・スプリングであって、上記グラウンド・スプリングがおおよそ凹んだ形状を有することを特徴としている。
【００１５】
本発明の概念４は、上記概念３のグラウンド・スプリングであって、凹みの高さが約０.０１７インチ（約４.４ミリ・メータ）であることを特徴としている。
【００１６】
本発明の概念５は、上記概念１のグラウンド・スプリングであって、上記グラウンド・スプリングがベリリウム銅から形成されることを特徴としている。
【００１７】
本発明の概念６は、上記概念１のグラウンド・スプリングであって、上記グラウンド・スプリングが約０.００２５インチ（約０.６４ミリ・メータ）の厚さであることを特徴としている。
【００１８】
本発明の概念７は、上記概念１のグラウンド・スプリングであって、更に、金めっきされていることを特徴としている。
【００１９】
本発明の概念８は、上記概念１のグラウンド・スプリングであって、上記フィンガーがほぼ平面であることを特徴としている。
【００２０】
本発明の概念９は、上記概念１のグラウンド・スプリングであって、上記長手軸が上記基準線から約４０度傾斜していることを特徴としている。
【００２１】
本発明の概念１０は、ＢＭＡコネクタであって、
該ＢＭＡコネクタのメス部が、
適合するＢＭＡコネクタのオス部を受けるおおよそ円筒形の受入部と、
適合する上記ＢＭＡコネクタの上記オス部のグラウンド端を受けるグラウンド・スプリングとを具え、
上記グラウンド・スプリングが、
おおよそ環状の環状ベース部と、
該ベース部から内側に向かっておおよそ放射状に伸び、内側端面を有する複数の細長いスプリング・フィンガーとを含み、
複数の上記内側端面が、上記グラウンド・スプリングの中心にほぼ円形の開口を形成し、上記スプリング・フィンガーの夫々は、相対的に広い基部と、相対的に細い上記内側端部を含むテイパード形状を有すると共に、上記スプリング・フィンガーの夫々の長手軸は、上記グラウンド・スプリングの中心から上記フィンガー夫々の上記基部の中心へと伸ばした基準線に対して傾斜していることを特徴としている。
【００２２】
本発明の概念１１は、上記概念１０のＢＭＡコネクタであって、隣接する上記フィンガー間の間隙が、上記環状ベース部から上記グラウンド・スプリングの上記中心に向かうほど狭くなると共に、上記フィンガーがほぼ平面であることを特徴としている。
【００２３】
本発明の概念１２は、上記概念１０のＢＭＡコネクタであって、上記グラウンド・スプリングが、約０.０１７インチ（約４.４ミリ・メータ）のおおよそ凹んだ形状を有することを特徴としている。
【００２４】
本発明の概念１３は、上記概念１０のＢＭＡコネクタであって、上記グラウンド・スプリングが、金めっきされたベリリウム銅から形成されることを特徴としている。
【００２５】
本発明の概念１４は、上記概念１０のＢＭＡコネクタであって、上記フィンガーが約０.００２５インチ（約０.６４ミリ・メータ）の厚さであることを特徴としている。
【００２６】
本発明の概念１５は、試験測定装置であって、
入力信号を受けて出力を生成するよう構成されたプロセッサと、
該プロセッサからの出力を表示するよう構成された表示ユニットと、
ＢＭＡコネクタのメス部を含む入力ユニットとを具え、
上記ＢＭＡコネクタの上記メス部が、
適合するＢＭＡコネクタのオス部を受けるおおよそ円筒形の受入部と、
適合する上記ＢＭＡコネクタの上記オス部のグラウンド端を受けるグラウンド・スプリングとを有し、
上記グラウンド・スプリングが、
おおよそ環状の環状ベース部と、
該ベース部から内側に向かっておおよそ放射状に伸び、内側端面を有する複数の細長いスプリング・フィンガーとを含み、
複数の上記内側端面が、上記グラウンド・スプリングの中心にほぼ円形の開口を形成し、上記スプリング・フィンガーの夫々は、相対的に広い基部と、相対的に細い上記内側端部を含むテイパード形状を有すると共に、上記スプリング・フィンガーの夫々の長手軸は、上記グラウンド・スプリングの中心から上記フィンガー夫々の上記基部の中心へと伸ばした基準線に対して傾斜していることを特徴としている。
【００２７】
本発明の概念１６は、上記概念１５の試験測定装置であって、隣接する上記フィンガー間の間隙が、上記環状ベース部から上記グラウンド・スプリングの上記中心に向かうほど狭くなると共に、上記フィンガーがほぼ平面であることを特徴としている。
【００２８】
本発明の概念１７は、上記概念１５の試験測定装置であって、上記グラウンド・スプリングが、約０.０１７インチ（約４.４ミリ・メータ）のおおよそ凹んだ形状を有することを特徴としている。
【００２９】
本発明の概念１８は、上記概念１５の試験測定装置であって、上記グラウンド・スプリングが、金めっきされたベリリウム銅から形成されることを特徴としている。
【００３０】
本発明の概念１９は、上記概念１５の試験測定装置であって、上記フィンガーが約０.００２５インチ（約０.６４ミリ・メータ）の厚さであることを特徴としている。
【００３１】
本発明の目的、効果及び他の新規な点は、以下の詳細な説明を添付の特許請求の範囲及び図面とともに読むことによって明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】図１は、本発明の実施形態によるグラウンド・スプリングを含むＢＭＡコネクタの等角断面図である。
【図２】図２は、図１のＢＭＡコネクタの等角断面図であり、グラウンド・スプリングの詳細を拡大した図である。
【図３】図３は、従来のグラウンド・スプリングの上面図である。
【図４】図４は、本発明の実施形態によるグラウンド・スプリングの上面図である。
【図５】図５は、図３のグラウンド・スプリングの側面図である。
【図６】図６は、本発明の実施形態によるグラウンド・スプリングを含む試験測定装置のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
図１及び図２は、本発明の実施形態によるグラウンド・スプリングを含むＢＭＡコネクタ１０の等角断面図である。
【００３４】
ＢＭＡコネクタ１０は、オス部１２及びメス部１４を含み、これらは手作業で互いに着脱可能となっている。典型的には、メス部１４が試験測定装置に装着され、オス部１２はメス部に着脱可能に連結される。ＢＭＡコネクタのオス部１２は、プローブとも呼ばれる。
【００３５】
ＢＭＡコネクタ１０のオス部１２をメス部１４に連結すると、オス部はメス部に挿入又は差し込まれる。オス部１２のオス・ピン２０は、メス部１４の対応する受入部２２で受け止められる。オス部１２のグラウンド３０には、側部グラウンド３２及び端部グラウンド３４が含まれる。挿入されたとき、側部グラウンド３２は、図１に示すように、樽型スプリング４２に接触する。オス部１２の端部グラウンド３４は、グラウンド・スプリング４４に接触する。上述のように、グラウンド・スプリング４４は、ＢＭＡコネクタ１０のオス部１２と良好なグラウンド接続を確立することが重要で、それによって、ＢＭＡコネクタ１０に結合された試験測定装置がグラウンド信号を正しく読み取ることができる。
【００３６】
図２に詳しく示すように、ＢＭＡコネクタ１０のオス部１２がメス部に完全に挿入されると、端部グラウンド３４がグラウンド・スプリング４４に物理的に接触する。詳しくは後述するように、これによって、グラウンド・スプリング４４のフィンガー（指）が変形する。グラウンド・スプリング４４のフィンガーの復元力により、ＢＭＡコネクタのオス部１２の端部グラウンド３４とグラウンド・スプリングとの接触が一定に維持され、これによって、試験測定装置が利用する電気的接続が強固なものとなる。
【００３７】
図３は、従来のグラウンド・スプリング７０の上面図である。グラウンド・スプリング７０は、環状部７２と、一連の伸張部７４を含む。図示しないが、伸張部７４は、環状部７２よりも凹んでいる。ＢＭＡコネクタ１０のオス部１２がメス部１４に挿入され、従来のグラウンド・スプリング７０が受け止めると、伸張部７４が折り曲がる。言い換えると、ＢＭＡコネクタのオス部が挿入されることによる応力によって、伸張部７４がその弾性限界を超えて、つまり、負荷がない場合のオリジナルの状態に戻れる限界を超えて、曲げられる。伸張部７４がこの限界を超えて曲げられると、伸張部７４は永続的に変形し、ＢＭＡコネクタ１０のオス部１２と良好なグラウンド接触を確立しなくなる。これは、被測定信号中の信号が欠落する原因となる。先の屈曲が原因で、全ての伸張部７４がＢＭＡコネクタ１０のオス部１２に必ずしも接触できないことが、この信号欠落の原因となり得るのである。
【００３８】
図４は、本発明の実施形態によるグラウンド・スプリング１００の上面図である。グラウンド・スプリング１００は、従来のスプリング７０と同じ外部形状及び外形寸法を有しており、変更無しで標準のＢＭＡコネクタ内に収まる。
【００３９】
グラウンド・スプリング１００は、おおよそ環状のベース部１０２、ベース部１０２から伸びる多数の細長いスプリング・フィンガー１１０を含んでいる。フィンガー１１０は、ベース部１０２から内側に向かっておおよそ放射状に伸びると共に、内側端面１１２を有する。複数の内側端面１１２によって、グラウンド・スプリング１００の中心部分に、ほぼ円形の開口が形成される。フィンガー１１０の夫々は、相対的に広い基部１１４と、相対的に細い内側端部１１５を含んでおり、先が細くなる形状（tapered shape：テイパード形状）を有している。
【００４０】
フィンガー１１０の夫々の長手軸１２０は、グラウンド・スプリング１００の中心１３０から、各フィンガーの基部１１４の中心へと伸ばした基準線１２５に対して傾斜している。好ましい実施形態では、基準線１２５及び長手軸１２０間の角度は、３０度から５０度の間であり、好ましくは約４０度である。もちろん、本願で開示するものと同じ原理に従って、その他のオフセット角度でも動作するのであって、特定角度の選択は、設計事項に過ぎない。
【００４１】
図２の伸張部７４と比較すると、グラウンド・スプリング１００のフィンガー１１０は、大幅に長くなっており、これによって、ＢＭＡコネクタ１０のオス部１２が挿入されて、スプリング１００に接触した場合において、フィンガー１１０にかかる応力が低減される。
【００４２】
グラウンド・スプリング１００は、好ましくは、ベリリウム銅から形成され、更に、従来技術を用いて金（ゴールド）の層でコーティングしても良い。グラウンド・スプリングは、好ましくは、基部１１４及び内側端部１１５の両方において、約０.００２５インチ（約０.６４ミリ・メータ）の厚さがある。グラウンド・スプリング１００は、適切な方法を用いて形成しても良く、好ましくは、放電加工（ＥＤＭ）技術を用いて形成しても良い。ＥＤＭによってスプリング１００のおおよその形状が切り出された後は、凹ませることなどによって整形し、図５を参照して後述するような形状とする。凹ませた後、グラウンド・スプリング１００は化学的にエッティングされ、続いて、スプリングの総合的な強度を増加させるために加熱処理される。最後に、グラウンド・スプリング１００は、ニッケルを下地にめっきをした上で、金でめっきをしても良い。
【００４３】
隣接するフィンガー１１０間の間隙（ギャップ）１２１には、丸端部１２２と、グラウンド・スプリング１００の中心部分に向かって開かれた開放端１２４が含まれる。間隙１２１は、環状ベース部１０２から、グラウンド・スプリングの中心１３０に向かって進むに従って狭くなっている。
【００４４】
図５に示すように、グラウンド・スプリング１００は、遷移（Transition）リング１０４（図４）においてフィンガー１１０を曲げることによって、おおよそ凹んだ形状を形成するようにしても良い。１つの実施形態では、凹み形状の厚さ１４０は、約０.０１４インチ（約３.６ミリ・メータ）から約０.０１７インチ（約４.４ミリ・メータ）である。遷移リング１０４の内側エッジからは、フィンガー１１０は、好ましくは、おおよそ平らである。言い換えると、フィンガー１１０は、遷移リング１０４の内側エッジからグラウンド・スプリング１００の中心１３０に向かって平面に沿って伸びており、グラウンド・スプリングの凹み形状は、遷移リング１０４においてスプリングを変形させることによって生じる。好ましくは、フィンガー１１０は、各フィンガーの幅方向についても平らであり、複数のフィンガー１１０を横断する面についても丸い形状にはなっていない。この形状によれば、ＢＭＡコネクタ１０のオス部１２の挿入による応力が、スプリング１００全体に効果的に広がり、このため、フィンガー１１０を、そのばねの弾性限界内にとどめておけるようになる。これによって、スプリング１００を数百回又は数千回使用することが可能になり、ＢＭＡコネクタを外した後には、元の屈曲状態に戻る。
【００４５】
図６は、本発明の実施形態によるグラウンド・スプリングを含む試験測定装置６００のブロック図である。試験測定装置は、ＢＭＡコネクタ６１０を含み、この中にプローブ６２０、つまり、ＢＭＡコネクタのオス部を挿入できる。ＢＭＡコネクタ６１０は、図４のグラウンド・スプリング１００を含み、これはＢＭＡコネクタのオス部と接触すると共に、グラウンドに接続される。試験測定装置で試験される信号は、試験リード線に沿って、種々の被試験対象から受け入れるＢＭＡコネクタ６１０へと運ばれる。
【００４６】
いったん試験測定装置６００が被試験信号を受けると、プロセッサ６４０が、その信号やその他の信号（図示せず）に対して種々の動作及び処理を実行する。これら処理は、周知の手段を使って、ユーザがユーザ・インタフェース６３０を介して制御するようにしても良い。試験測定装置６００の出力は、表示装置６５０に送っても良いし、装置６００のユーザの使用に適した他の形態で出力しても良い。
【００４７】
図示した実施形態を参照しながら、本発明の原理を説明及び図示してきたが、こうした原理から離れることなく、説明した実施形態の形状や細部を変更しても良いし、また、所望の形態に組み合わせても良いと理解すべきである。また、上述の説明は、特定の実施形態に絞っているが、その他の構成を考えても良い。特に、本願では「本発明の実施形態による」などの表現が用いられているが、これら言い回しは、基本となる実施形態の可能性を意味しているのであり、特定の実施形態の構成に本発明を限定することは意図していない。本願で用いたように、これら用語は、同じ又は異なる実施形態を組み合わせて他の実施形態とすることが可能なことにも言及している。
【００４８】
従って、本願で説明したきた実施形態に対して種々の変更が幅広く可能であるという観点から、本願の詳細な説明は、単に説明の都合で行ったものに過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。
【符号の説明】
【００４９】
１０  ＢＭＡコネクタ
１２  オス部（プローブ）
１４  メス部
４４  グラウンド・スプリング
１００  グラウンド・スプリング
１０２  環状ベース部
１０４  遷移（トランジション）リング
１１０  スプリング・フィンガー
１１２  内側端面
１１４  スプリング・フィンガーの基部
１１５  スプリング・フィンガーの内側端部
１２０  スプリング・フィンガーの長手軸
１２１  スプリング・フィンガー間の間隙
１２５  基準線
１３０  グラウンド・スプリングの中心
６００  試験測定装置
６１０  ＢＭＡコネクタ
６２０  プローブ（ＢＭＡコネクタのオス部）
６３０  ユーザ・インタフェース
６４０  プロセッサ
６５０  表示装置
【図１】
0006043984.tif 000002
【図２】
0006043984.tif 000003
【図３】
0006043984.tif 000004
【図４】
0006043984.tif 000005
【図５】
0006043984.tif 000006
【図６】
0006043984.tif 000007