(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリウレタン系弾性樹脂製の軟質樹脂シートであって、被研磨物を保持するための保持面側にスキン層を有するとともに、該スキン層より内部側に、前記軟質樹脂シートの厚さ方向に縦長で前記保持面側の孔径が該保持面と反対の面側より小さい気泡が網目状に連通し、かつ、該気泡が前記スキン層を介して前記保持面に連通した連続気泡構造を有する軟質樹脂シートを備えた保持パッドにおいて、前記軟質樹脂シートの樹脂部分には、数平均分子量が１００００以上であり、かつ、エチレンオキサイドが質量比率５０％以下の範囲で結合されたポリアルキレンオキサイドと、アシル化セルロースとが含有されており、前記ポリアルキレンオキサイドの含有量が前記軟質樹脂シートを構成する樹脂成分に対して１質量％〜８質量％の範囲であり、前記アシル化セルロースの含有量が前記ポリアルキレンオキサイドに対して４０質量％〜１００質量％の範囲であることを特徴とする保持パッド。
【請求項２】
前記アシル化セルロースは、化学式ＣＨ３（ＣＨ２）ｎＣＯ（ｎ＝０〜２）で表されるアシル基がセルロースに導入されたものであり、セルロースを構成するグルコース単位あたりの水酸基に対する前記アシル基の置換度の平均が１〜３の範囲のものであることを特徴とする請求項１に記載の保持パッド。
【請求項３】
前記アシル化セルロースは、前記樹脂成分を溶解する極性溶媒に対し溶解可能であり、かつ、水に対し難溶ないし不溶であることを特徴とする請求項２に記載の保持パッド。
【請求項４】
前記ポリアルキレンオキサイドは、エチレンオキサイドとプロピレンオキサイドとの共重合体であることを特徴とする請求項１に記載の保持パッド。
【請求項５】
前記ポリアルキレンオキサイドは、分子量が１２０００以上であることを特徴とする請求項４に記載の保持パッド。
【請求項６】
前記ポリアルキレンオキサイドは前記樹脂成分に対する含有量が２質量％〜７質量％の範囲であり、前記アシル化セルロースは前記ポリアルキレンオキサイドに対する含有量が５０質量％〜９０質量％の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の保持パッド。
【請求項７】
前記軟質樹脂シートは、Ａ硬度が５度〜２０度の範囲であることを特徴とする請求項６に記載の保持パッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は保持パッドに係り、特に、ポリウレタン系弾性樹脂製の軟質樹脂シートであって、被研磨物を保持するための保持面側にスキン層を有するとともに、該スキン層より内部側に、軟質樹脂シートの厚さ方向に縦長で保持面側の孔径が該保持面と反対の面側より小さい気泡が網目状に連通し、かつ、該気泡がスキン層を介して保持面に連通した連続気泡構造を有する軟質樹脂シートを備えた保持パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来半導体ウェハ、半導体デバイスの層間絶縁膜やメタル配線、各種記録用ディスク、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）用ガラス等の被研磨物に対し精密平面研磨を行う場合は、通常、研磨機に貼りつけられた保持パッドを介して被研磨物を保持しながら研磨加工がおこなわれている。保持パッドとしては、湿式成膜法により形成され連続気泡構造を有するポリウレタン発泡体が広く使用されている。
【０００３】
湿式成膜法によるポリウレタン発泡体では、被研磨物を保持するための保持面側にスキン層を有しており、スキン層より内部側に多数の気泡が連続状に形成されている。保持面には湿式成膜に伴う溶剤抽出の痕跡として多数の微小な間隙が形成されており、これら多数の間隙がスキン層を介して内部の気泡へ連通している。このような保持パッドでは、保持面に形成された微小な間隙に水等を含ませることで、水等の表面張力が作用するため、被研磨物を密着させ被研磨物保持性を効果的に発揮させることができる。
【０００４】
ところが、研磨使用条件下では、多量の研磨液（スラリー）が保持パッドの周り、すなわち、保持面の被研磨物が接触していない部分にかかるため、経時的に保持面の微小な間隙から保持パッド内部の気泡へ研磨液の液体成分が浸入することとなる。さらには、短時間で保持パッドの気泡全体が液体成分で満たされてしまうこともある。このような状態では、研磨加工時にかけられる研磨圧により、気泡を満たした液体成分が保持面側に押し出されることとなり、被研磨物保持性を低下させるおそれがある。結果として、保持パッド上で被研磨物の“浮き”が発生し、被研磨物の平坦性を損なううえに、研磨加工の継続が難しくなる。また、保持パッド内部に研磨液の液体成分が浸入してしまうと、被研磨物の保持パッドに接触している面側（裏面側）が常時研磨液に曝されるため、被研磨物裏面の表面粗さを低下させることもある。
【０００５】
保持パッド内への研磨液の液体成分の浸入を防ぐため、フッ素系撥水剤を重量比で１％以上含有する撥水剤を用い、撥水性を付与した保持パッドの技術が開示されている（特許文献１参照）。また、多孔質シート上に粘着剤を塗工し、シート内に撥水剤を配合した保持パッドの技術が開示されている（特許文献２参照）。さらに、２層構造とすることにより下層まで研磨液が浸入することを抑え、被研磨物側の層に撥水剤を配合した保持パッドの技術が開示されている。（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２５４０２７号公報
【特許文献２】特開２００５−２２４８８８号公報
【特許文献３】特開２０１０−２７４３６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１で用いられるようなフッ素系撥水剤では、世界的規制の対象となりつつある環境汚染物質のパーフルオロオクチル硫酸塩（ＰＦＯＳ）やパーフルオロオクタン酸塩（ＰＦＯＡ）などが含まれる場合があり、使用を避けることが好ましい。一方、特許文献２では、多孔質シート上に塗工された粘着剤層により、被研磨物を強固に保持することができるものの、研磨終了後に被研磨物の取り外しが難しくなり、被研磨物を損傷させるおそれもある。また、特許文献３では、２層構造のため生産コストがかさむうえ、下層が独立発泡構造のため、圧縮率を大きくしても保持パッドとして期待されるクッション効果、つまり、適度な沈みこみと戻り性を得ることが難しくなる。
【０００８】
本発明は上記事案に鑑み、研磨液の液体成分が浸入することを抑制し、被研磨物保持性を確保しつつ寿命を向上させることができる保持パッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は、ポリウレタン系弾性樹脂製の軟質樹脂シートであって、被研磨物を保持するための保持面側にスキン層を有するとともに、該スキン層より内部側に、前記軟質樹脂シートの厚さ方向に縦長で前記保持面側の孔径が該保持面と反対の面側より小さい気泡が網目状に連通し、かつ、該気泡が前記スキン層を介して前記保持面に連通した連続気泡構造を有する軟質樹脂シートを備えた保持パッドにおいて、前記軟質樹脂シートの樹脂部分には、数平均分子量が１００００以上であり、かつ、エチレンオキサイドが質量比率５０％以下の範囲で結合されたポリアルキレンオキサイドと、アシル化セルロースとが含有されており、前記ポリアルキレンオキサイドの含有量が前記軟質樹脂シートを構成する樹脂成分に対して１質量％〜８質量％の範囲であり、前記アシル化セルロースの含有量が前記ポリアルキレンオキサイドに対して４０質量％〜１００質量％の範囲であることを特徴とする。
【００１０】
この場合において、アシル化セルロースを、化学式ＣＨ３（ＣＨ２）ｎＣＯ（ｎ＝０〜２）で表されるアシル基がセルロースに導入されたものであり、セルロースを構成するグルコース単位あたりの水酸基に対する前記アシル基の置換度の平均が１〜３の範囲のものとしてもよい。このとき、アシル化セルロースが、樹脂成分を溶解する極性溶媒に対し溶解可能であり、かつ、水に対し難溶ないし不溶であることが好ましい。また、ポリアルキレンオキサイドをエチレンオキサイドとプロピレンオキサイドとの共重合体とすることができる。このとき、ポリアルキレンオキサイドの数平均分子量を１２０００以上としてもよい。また、ポリアルキレンオキサイドの樹脂成分に対する含有量を２質量％〜７質量％の範囲とし、アシル化セルロースのポリアルキレンオキサイドに対する含有量を５０質量％〜９０質量％の範囲とすることが好ましい。軟質樹脂シートのＡ硬度を５度〜２０度の範囲とすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ポリウレタン系弾性樹脂製の軟質樹脂シートを構成する樹脂成分に対して１質量％〜８質量％の範囲のポリアルキレンオキサイドと、ポリアルキレンオキサイドに対して４０質量％〜１００質量％の範囲のアシル化セルロースとが軟質樹脂シートの樹脂部分に含有されたことで軟質樹脂シート全体の疎水性が高められるため、研磨加工時に供給される研磨液の液体成分が保持面からスキン層を介して連通する気泡内に浸入することを抑制し、被研磨物保持性を確保しつつ寿命を向上させることができる、という効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明を適用した実施形態の保持パッドを模式的に示す断面図である。
【図２】実施形態の保持パッドの製造方法の要部を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明を適用した保持パッドの実施の形態について説明する。
【００１４】
（構成）
図１に示すように、本実施形態の保持パッド１０は、ポリウレタン系弾性樹脂製の軟質樹脂シートとしてのウレタンシート２を備えている。ウレタンシート２は、湿式成膜法により形成されており、一面側に、被研磨物を保持するための保持面Ｐを有している。
【００１５】
ウレタンシート２は、保持面Ｐの直近の厚さ数μｍにわたるスキン層２ａを有している。スキン層２ａより内側には、多数のセル（気泡）５が略均等に分散した状態で形成されている。セル５は、ウレタンシート２の厚さ方向に縦長で丸みを帯びた円錐状（断面縦長三角状）に形成されており、保持面Ｐ側の孔径が保持面Ｐと反対の面側より小さく形成されている。すなわち、セル５は保持面Ｐ側で縮径されている。セル５の縦長方向の長さは、ウレタンシート２の厚さの範囲でバラツキを有している。セル５間のポリウレタン系弾性樹脂は、セル５を画定するように隔壁状に形成されており、内部にセル５より小さい図示を省略した多数の微細孔が形成されている。すなわち、ウレタンシート２では、セル５および図示を省略した多数の微細孔が網目状に連通しており、隔壁状に形成された樹脂部分がマイクロポーラス構造を有している。
【００１６】
スキン層２ａは、湿式成膜法による成膜時に溶剤抽出の痕跡として形成された緻密な構造を有している。このため、スキン層２ａの表面、つまり、保持面Ｐには多数の微小な間隙が形成されている。なお、図１では、スキン層２ａの微小な間隙を捨象して示している。また、保持面Ｐに形成された微小な間隙は、実質的に研磨液に含有される研磨粒子（砥粒）の通過を許容するものではなく、研磨液の液体成分のみが浸透するような極めて緻密な間隙を意味している。
【００１７】
ウレタンシート２の（セル５間の）ポリウレタン系弾性樹脂部分には、ポリアルキレンオキサイドと、アシル化セルロースとが含有されている。ポリアルキレンオキサイドには、エチレンオキサイド（以下、ＥＯと略記する。）が質量比率５０％以下の範囲で結合され、かつ、数平均分子量が１００００以上のものが用いられている。アシル化セルロースには、化学式ＣＨ３（ＣＨ２）ｎＣＯ（ｎ＝０〜２）で表されるアシル基、すなわち、アセチル基、プロピオニル基、ブチリル基がセルロースに導入されたものであり、セルロースを構成するグルコース単位あたりの水酸基に対するアシル基の置換度の平均が１〜３の範囲のものが用いられている。ポリアルキレンオキサイドの含有量は、ウレタンシート２を構成するポリウレタン系弾性樹脂に対して１〜８質量％（ｗｔ％）の範囲に調整されている。アシル化セルロースの含有量は、ポリアルキレンオキサイドに対して４０〜１００質量％の範囲に調整されている。
【００１８】
このウレタンシート２では、Ａ硬度が５〜２０度の範囲に調整されている。Ａ硬度は、用いるポリウレタン系弾性樹脂の分子量や凝固価、成膜条件等により調整することができる。凝固価はゲル化点と同じであり、本例では、次のようにして測定した値を示している。すなわち、ポリウレタン系弾性樹脂が１質量％となるように極性溶媒（Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド）に溶解させたポリウレタン系弾性樹脂溶液を調製し、このポリウレタン樹脂溶液の１００ｇを２５℃に温度調整しながら、スターラーで攪拌しつつ、２５℃の貧溶媒（水）を滴下する。この際、ポリウレタン系弾性樹脂がゲル化してポリウレタン系弾性樹脂溶液の白濁が消えなくなる点に到達するのに要した貧溶媒量（単位：ｍｌ）を示している。また、ウレタンシート２では、ポリウレタン系弾性樹脂部分にポリアルキレンオキサイドとアシル化セルロースとが含有されているため、保持面Ｐに水滴を滴下したときの水に対する接触角が８０〜１１０度の範囲を示す。
【００１９】
また、保持パッド１０は、ウレタンシート２の保持面Ｐと反対の面側に、研磨機に保持パッド１０を装着するための両面テープ７が貼り合わされている。両面テープ７は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと略記する。）製フィルム等の可撓性フィルムの基材（不図示）を有しており、基材の両面にアクリル系粘着剤等の粘着剤層（不図示）がそれぞれ形成されている。両面テープ７は、基材の一面側の粘着剤層でウレタンシート２と貼り合わされており、他面側（ウレタンシート２と反対側）の粘着剤層が剥離紙８で覆われている。なお、この両面テープ７の基材は、保持パッド１０の基材を兼ねている。
【００２０】
（製造）
保持パッド１０は、図２に示すように、湿式成膜法によりウレタンシートを作製し、バフ処理後得られたウレタンシート２と両面テープ７とを貼り合わせることにより製造される。湿式成膜法では、ポリウレタン系弾性樹脂、ポリアルキレンオキサイド、アシル化セルロース、添加剤や極性溶媒を準備する準備工程、極性溶媒にポリウレタン系弾性樹脂等の成分を溶解ないし分散させ得られた樹脂溶液を成膜基材にシート状に塗布する塗布工程、樹脂溶液を凝固液中で凝固させシート状のポリウレタン系弾性樹脂を形成するシート形成工程、形成されたシート状のポリウレタン系弾性樹脂を洗浄し乾燥させる洗浄・乾燥工程を経てウレタンシートが作製される。以下、工程順に説明する。
【００２１】
準備工程では、ポリウレタン系弾性樹脂、ポリウレタン系弾性樹脂を溶解可能な水混和性の極性溶媒（良溶媒）、ポリアルキレンオキサイド、アシル化セルロースおよび添加剤を準備する。ポリウレタン系弾性樹脂には、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から１００％モジュラスが３０ＭＰａ以下のものであり、上述した凝固価が８以上のものを選択して用いる。極性溶媒としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略記する。）やＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）等を用いることができるが、本例では、ＤＭＦを用いる。添加剤としては、セル５の大きさや量（個数）を制御するカーボンブラック等の顔料を用いることができる。なお、従来湿式成膜法で用いられるような、セル形成を促進させる親水性活性剤やポリウレタン系弾性樹脂の再生を安定化させる疎水性活性剤等の助剤を添加してもよい。
【００２２】
ポリアルキレンオキサイドとしては、本例では、ＥＯとプロピレンオキサイド（以下、ＰＯと略記する。）との共重合体を用いる。この共重合体では、ＥＯが質量比率５０％以下、ＰＯが質量比率２０％以上の割合で結合しており、数平均分子量（Ｍｎ）が１００００以上である。ＥＯのみの重合体が水溶性を有するのに対し、本例で用いるポリアルキレンオキサイドは、ＥＯが５０％以下、ＰＯが２０％以上の割合で結合しており、数平均分子量が１００００以上のため、水に対して不溶性となり、ポリウレタン系弾性樹脂の溶解に用いる極性溶媒であるＤＭＦに溶解する。
【００２３】
また、アシル化セルロースとしては、本例では、セルロースにプロピオニル基が導入されたプロピオニル化セルロースを用いる。プロピオニル化セルロースは、セルロースを構成するグルコース単位あたりの水酸基に対するプロピオニル基の置換度の平均が１〜３の範囲であり、平均重合度が２００〜４００の範囲である。また、プロピオニル化セルロースは、ポリウレタン系弾性樹脂を溶解する極性溶媒、つまり、ＤＭＦに対し溶解可能であり、かつ、凝固液として用いる水に対し不溶である。換言すれば、用いるプロピオニル化セルロースは、ＤＭＦに溶解可能となるように置換度が調整される。
【００２４】
塗布工程では、まず、準備工程で準備した各材料で樹脂溶液を調製する。このとき、ポリウレタン系弾性樹脂、ポリアルキレンオキサイドおよびプロピオニル化セルロースを、それぞれ、例えば、３０ｗｔ％となるようにＤＭＦに溶解させ、各成分が上述した含有量となるように各溶液を混合する。添加剤のカーボンブラックを分散させた後、減圧下で脱泡することで樹脂溶液を調製する。得られた樹脂溶液を常温下でナイフコータ等の塗布装置により帯状の成膜基材にシート状に略均一に塗布する。このとき、ナイフコータ等と成膜基材との間隙（クリアランス）を調整することで、樹脂溶液の塗布厚さ（塗布量）を調整する。成膜基材としては、布帛や不織布等を用いることもできるが、本例では、ＰＥＴ製フィルムを用いる。
【００２５】
シート形成工程では、成膜基材に塗布された樹脂溶液を、ポリウレタン系弾性樹脂に対して貧溶媒である水を主成分とする凝固液（水系凝固液）に連続的に案内する。凝固液としては、水にＤＭＦやＤＭＡｃ等の極性溶媒を混合しておくこともできるが、本例では、水を用いる。凝固液中で樹脂溶液が凝固し、連続気泡構造を有するシート状のポリウレタン系弾性樹脂が再生する。このとき、樹脂溶液に配合されているポリアルキレンオキサイドおよびプロピオニル化セルロースは、分子鎖がポリウレタン系弾性樹脂の分子鎖と絡まり合いながら再生する。
【００２６】
ここで、気泡形成について説明する。樹脂溶液を凝固液中に案内すると、まず、樹脂溶液と凝固液との界面に皮膜が形成され、皮膜の直近の樹脂中に緻密なスキン層が厚さ数μｍ程度にわたって形成される。その後、樹脂溶液中のＤＭＦの凝固液中への拡散と、凝固液中の水の樹脂中への浸入との協調現象、すなわち、溶媒置換がスキン層を通じて進行し連続気泡構造のウレタンシートが形成される。ＤＭＦが樹脂溶液から脱溶媒し、ＤＭＦと凝固液とが置換することにより、スキン層２ａより内側のポリウレタン樹脂中にセル５および図示しない微細孔が形成され、セル５および図示しない微細孔を網目状に連通する不図示の連通孔が形成される。このとき、成膜基材のＰＥＴ製フィルムが水を浸透させないため、樹脂溶液の表面側（スキン層２ａ側）で脱溶媒が生じて成膜基材側が表面側より大きなセル５が形成される。
【００２７】
図２に示すように、洗浄・乾燥工程では、シート形成工程で形成されたシート状のポリウレタン系弾性樹脂（以下、成膜樹脂という。）を水等の洗浄液中で洗浄して成膜樹脂中に残留するＤＭＦを除去した後、乾燥させる。成膜樹脂の乾燥には、本例では、内部に熱源を有するシリンダを備えたシリンダ乾燥機を用いる。成膜樹脂がシリンダの周面に沿って通過することで乾燥する。乾燥後の成膜樹脂をロール状に巻き取る。
【００２８】
バフ処理工程では、洗浄・乾燥工程で乾燥させた成膜樹脂のスキン層２ａと反対の面、すなわち裏面側にバフ処理を施す。湿式成膜法により形成された成膜樹脂では、樹脂溶液の塗布時やポリウレタン系弾性樹脂の再生時に厚さバラツキが生じている。成膜樹脂のスキン層２ａ側の表面に、表面が平坦な圧接治具を圧接することで、成膜樹脂の裏面側に凹凸が出現する。この凹凸をバフ処理で除去する。本例では、連続的に製造された成膜樹脂が帯状のため、圧接ローラを圧接しながら、連続的にバフ処理を施す。成膜樹脂がバフ処理されて形成されたウレタンシート２では厚さが均一化されている。
【００２９】
貼り合わせ工程では、ウレタンシート２のバフ処理された面（裏面）側と、両面テープ７とを貼り合わせる。このとき、両面テープ７の一面側の粘着剤層とウレタンシート２とを貼り合わせる。両面テープ７の他面側の粘着剤層は表面が剥離紙８で覆われたまま残される。そして、円形等の所望の形状、所望のサイズに裁断した後、キズや汚れ、異物等の付着がないことを確認する等の検査を行い、保持パッド１０を完成させる。
【００３０】
保持パッド１０を用いて被研磨物の研磨加工を行うときは、例えば、保持用定盤および研磨用定盤が対向するように配置された片面研磨機が使用される。保持用定盤には保持パッド１０を貼着し、研磨用定盤には研磨パッドを装着する。保持用定盤に保持パッド１０を貼着するときは、剥離紙８を取り除き露出した粘着剤層で貼着する。被研磨物を保持させるときは、保持面Ｐに水を吹き付け、被研磨物を保持パッド１０側に押し付ける。被研磨物は水の表面張力等により保持面Ｐに密着し保持用定盤に保持されることとなる。被研磨物の加工面と研磨パッド間に研磨粒子を含む研磨液を循環供給するとともに、被研磨物に研磨圧をかけながら保持用定盤ないし研磨用定盤を回転させることで、被研磨物（加工面）を研磨加工する。
【００３１】
＜作用等＞
次に、本実施形態の保持パッド１０の作用等について説明する。
【００３２】
ここで保持パッド１０での説明をわかりやすくするために、従来の保持パッドについて説明する。従来保持パッドとしては、湿式成膜法により形成されたスキン層を有する樹脂シートが多用されている。スキン層では、表面平坦性を有することで被研磨物に対する接触性に優れており、表面に湿式成膜に伴う溶剤抽出の痕跡として多数の微小な間隙が形成されている。スキン層に水等を含ませることで水等の表面張力が作用し、被研磨物を確実に保持することが可能となる。ところが、研磨使用条件下では、多量の研磨液が保持パッドの周りにかかるため、経時的に保持面の微小な間隙から保持パッド内部の気泡へ研磨液の液体成分が浸入する。スラリーは、酸性またはアルカリ性であり、場合により酸化剤が含まれているため、スラリーが浸入すると、ポリウレタン系弾性樹脂の加水分解や酸化劣化等が起こる。被研磨物が、通常、保持パッドの保持面における定位置に水等の表面張力により吸着保持されるため、被研磨物が接触している部分からスラリーが浸入することはないが、研磨圧により被研磨物が保持パッド内に沈み込むと、その周辺部からスラリーが浸入しやすくなる。このため、周辺部から劣化が生じ、ウレタンシートと基材（両面テープ）との層間剥離によって保持パッドの盛り上がりを生じたり、保持面に亀裂が生じる、といった不具合を起こす場合がある。このような場合は、吸着力が低下したり、周辺部の平坦性が低下しやすくなる。吸着力が低下すると、被研磨物が外れ、破損するため、研磨機を停止しなければならなくなる。再稼働のためには、研磨パッドや保持パッドの交換だけではなく、循環使用されるスラリー中にまぎれ込んだ被研磨物の破片のすべてをスラリーの循環ラインおよび研磨機から取り除かなければならず、生産効率を大きく低下させる。以上のように、保持パッドの周辺部が劣化した場合は、被研磨物の破損や平坦性低下を招く前に保持パッドの交換が必要になるため、保持パッドの寿命にバラツキを生じるうえに、短寿命となる。研磨液の液体成分が浸入することを抑制するためにフッ素系等の撥水剤を添加することもあるが、環境的配慮から使用を避けることが好ましい。本発明者らは、これらの問題を解決しウレタンシートの疎水性を高めるために検討を重ねた結果、ポリアルキレンオキサイドとアシル化セルロースとを併用することで驚くような効果が得られることを見出した。本発明者らの認識によれば、ポリアルキレンオキサイドとアシル化セルロースとを併用することは従来みられない技術である。
【００３３】
本実施形態の保持パッド１０では、ウレタンシート２の樹脂部分に、ポリアルキレンオキサイドとプロピオニル化セルロースとが含有されている。プロピオニル化セルロースのみを含有させた場合は、疎水性が向上するものの保持パッドの柔軟な弾性が損なわれるうえ、疎水性が強くなりすぎて被研磨物保持（吸着）性を低下させることが確認されている。ポリアルキレンオキサイドを併用することにより、被研磨物保持性を維持しながら、保持パッドに疎水性を付与することができる。これにより、保持パッド全体の疎水性が高められるため、研磨液の液体成分が保持面の微小な間隙から保持パッド内部の気泡へ浸入することを抑制することができる。
【００３４】
また、本実施形態では、ポリアルキレンオキサイドの含有量が、ポリウレタン系弾性樹脂に対して１〜８質量％の範囲に調整されている。ポリアルキレンオキサイドを過剰に添加すると被研磨物を保持するときに被研磨物と保持面Ｐとの間に介在させる水がはじかれてしまううえに、ポリウレタン系弾性樹脂の弾性が損なわれるため、被研磨物保持性が低下する。ポリアルキレンオキサイドの含有量を上述した範囲とすることで、研磨液の液体成分が気泡内に浸入することを抑制しつつ、被研磨物保持性を確保することができる。ウレタンシート２の疎水性を高める効果、被研磨物保持性の確保をバランスよく達成することを考慮すれば、ポリアルキレンオキサイドの含有量を２〜７質量％の範囲とすることが好ましい。また、ポリアルキレンオキサイドの含有量を、樹脂溶液中の全固形分に対する割合とする場合は、顔料等の添加剤の量にもよるが、概ね、１〜６質量％の範囲とすればよい。
【００３５】
更に、ポリアルキレンオキサイドには、ＥＯの質量比率が５０％以下のものが用いられている。ＥＯの質量比率が５０％を越える場合は、親水性が増すこととなり、研磨液の液体成分がセル５内に浸入しやすくなるため好ましくない。ＥＯの質量比率を上述した範囲とすることで、ウレタンシート２の疎水性を適度に確保することができる。ウレタンシート２の疎水性確保の観点では、ＥＯの質量比率を４０％以下とすることが好ましい。また、ポリアルキレンオキサイドの数平均分子量が１００００以上に制限されている。数平均分子量が１００００に満たないと溶出する可能性があり、効果を持続できなくなるため好ましくない。溶出を確実に抑えるためには、ポリアルキレンオキサイドの数平均分子量を１２０００以上とすることが好ましい。一方、数平均分子量が高すぎる場合は、湿式成膜法による成膜性が悪くなることがある。このため、成膜性を考慮すれば、ポリアルキレンオキサイドの数平均分子量を概ね８００００以下とすることが好ましい。
【００３６】
また更に、本実施形態では、プロピオニル化セルロースの含有量が、ポリアルキレンオキサイドに対して４０〜１００質量％の範囲に調整されている。プロピオニル化セルロースの含有量がポリアルキレンオキサイドに対して４０質量％に満たないと、疎水性を高めることができず、研磨液の液体成分が保持パッド内部に浸入しやすくなるため好ましくない。プロピオニル化セルロースを過剰に添加しようとすると、樹脂溶液を作製するときに、プロピオニル化セルロースとポリウレタン系弾性樹脂とが相分離を起こし、湿式成膜時の成膜性が悪化することがある。プロピオニル化セルロースの含有量を上述した範囲とすることで、通常の湿式成膜法の条件によりウレタンシート２を形成することができる。成膜性を悪化させることなく、ウレタンシート２の疎水性を高めることを考慮すれば、プロピオニル化セルロースの含有量を５０〜９０質量％の範囲とすることが好ましい。プロピオニル化セルロースの含有量を、樹脂溶液中の全固形分に対する割合とする場合は、顔料等の添加剤の量にもよるが、概ね、１〜３質量％の範囲とすればよい。また、プロピオニル化セルロースにおけるプロピオニル基の置換度は、セルロースのグルコース単位あたりの水酸基に対し平均１〜３の範囲に調整されている。置換度が低すぎたり高すぎたりする場合は、ＤＭＦ等の極性溶媒に対する溶解性が悪くなるため好ましくない。ウレタンシート２の疎水性を高める機能、極性溶媒に対する溶解性を考慮すれば、置換度の平均が１．５〜２．４の範囲のものを用いることが好ましい。
【００３７】
更にまた、本実施形態では、平均重合度が２００〜４００の範囲のプロピオニル化セルロース、数平均分子量が１００００以上のポリアルキレンオキサイドが用いられている。このため、湿式成膜法による成膜時に、プロピオニル化セルロースおよびポリアルキレンオキサイドの分子鎖がポリウレタン系弾性樹脂の分子鎖と絡まり合いながらウレタンシート２が形成される。これにより、研磨加工に継続使用しても、プロピオニル化セルロースおよびポリアルキレンオキサイドが溶出することなく上述した作用が発揮されるので、保持パッド１０の寿命を向上させることができる。さらに、ポリアルキレンオキサイドおよびプロピオニル化セルロースの両者を含有させることで疎水性を高めるため、従来用いられるような比較的低分子量のフッ素系撥水剤を使用することなく研磨液の液体成分の浸入を防ぐことができる。
【００３８】
また、本実施形態では、ウレタンシート２の作製に、凝固価が８以上のポリウレタン系弾性樹脂が用いられている。このため、成膜時に、ポリウレタン系弾性樹脂と水との親和性が高くなり、ＤＭＦの凝固液中への溶出に対する樹脂溶液中への水の浸透速度が早くなる。これにより、樹脂溶液の凝固が早くなり、得られるウレタンシート２ではセル５が形成された連続気泡構造を有するものとなる。被研磨物を保持する際に、適度な沈み込み（弾性）を発揮することを考慮すれば、凝固価を１０〜１６の範囲とすることが好ましい。
【００３９】
なお、本実施形態では、ポリアルキレンオキサイドにおけるＰＯの質量比率が２０％以上の例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない。ポリアルキレンオキサイドとしては、ＥＯの質量比率が５０％以下であれば上述した効果を得ることができる。ＰＯの比率が２０％に満たない場合は、親水性が増すこととなり、研磨液の液体成分がセル５内に浸入しやすくなる。このため、ＥＯの質量比率を上述した範囲とすることに加え、ＰＯの質量比率を２０％以上とすることが好ましい。また、本実施形態では、ポリアルキレンオキサイドとして、炭素数２のＥＯと炭素数３のＰＯとの共重合体を例示したが、本発明はこれに制限されるものではない。ポリアルキレンオキサイドとしては、ＥＯの質量比率が５０％以下、数平均分子量１００００以上であればよく、炭素数４以上のアルキレンオキサイドが結合されていてもよい。
【００４０】
また、本実施形態では、アシル化セルロースとして、セルロースを構成するグルコース単位あたりの水酸基に対するプロピオニル基の置換度の平均が１〜３の範囲であり、平均重合度が２００〜４００の範囲のプロピオニル化セルロースを用いる例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない。アシル化セルロースとしては、化学式ＣＨ３（ＣＨ２）ｎＣＯ（ｎ＝０〜２）で表されるアシル基がセルロースに導入されたものを用いることができる。すなわち、プロピオニル基に代えて、アセチル基、ブチリル基としてもよい。セルロースにアセチル基を導入したアセチルセルロースでは、置換度の平均が１〜３の範囲の場合にアセチル化度（酢化度）が３０〜６２．５の範囲となる。アセチル化度は、セルロースのアセチル化条件により調整することができる。アセチルセルロースとしては、例えば、α−セルロース含有量が９０〜９７％のリンターパルプを酢酸法で処理したものを用いることができる。このようなアセチルセルロースは、例えばα−セルロース含有量が９０〜９７％の木材パルプやリンターパルプを、硫酸触媒法やメチレンクロライド法等の慣用の方法で処理して得ることができるが、アセチル化度３０〜６２．５％、重合度２００〜４０００のジアセチルセルロースないしトリアセチルセルロースであることが好ましい。極性溶媒（ＤＭＦ、ＤＭＡｃなど）への溶解性を考慮すれば、アセチル化度４５〜６２％、重合度２００〜３５０のアセチルセルロースを用いることがより好ましい。なお、アセチル化度は、セルロース単位重量当りの結合酢酸の重量百分率を表すものであり、例えば、ＡＳＴＭ：Ｄ−８１７−９１「セルロースアセテート等の試験方法」のアセチル化度の測定法に準じて測定することができる。さらに、本実施形態では、プロピオニル化セルロースが、ポリウレタン系弾性樹脂の溶解に用いるＤＭＦに対し溶解可能であり凝固液として用いる水に対し不溶である例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない。本発明で用いるアシル化セルロースとしては、樹脂溶解用の極性溶媒に溶解可能であり、凝固液である水に対して難溶ないし不溶であればよい。このようにすれば、湿式成膜法により、樹脂成分とともに溶解、凝固させることができる。
【００４１】
更に、本実施形態では、湿式成膜法により作製したポリウレタン系弾性樹脂製のウレタンシート２を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、ポリウレタン系弾性樹脂以外に、ポリエチレン樹脂等を用いることも可能であり、湿式成膜法によりスキン層が形成される樹脂であれば、いずれのものも使用することができる。保持パッドとして用いることを考慮すれば、被研磨物に対する損傷を抑制するために適度な弾性を有する樹脂であることが好ましい。また、本実施形態では、１００％モジュラスが３０ＭＰａ以下のポリウレタン系弾性樹脂を用いる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。１００％モジュラスを３０ＭＰａ以下とすることで、適度な弾性を発揮し、被研磨物を保持する際に被研磨物に密着するように変形しやすくなる。さらに、本実施形態では、ポリウレタン系弾性樹脂の凝固価を８以上とする例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。凝固価としては、８未満のものを用いてもよいが、上述した連続気泡構造を有するウレタンシートを得ることを考慮すれば、凝固価を８以上とすることが好ましい。
【００４２】
また更に、本実施形態では、ウレタンシート２のＡ硬度を５〜２０度の範囲とする例を示したが、本発明はこれに制限されるものではなく、Ａ硬度がこの範囲外となるようにしてもよい。被研磨物を保持するときに、被研磨物が保持パッド１０側に適度に沈み込み、確実に保持されるようにすることを考慮すれば、Ａ硬度を上述した範囲とすることが好ましく、８〜１５度の範囲とすることがより好ましい。
【００４３】
更にまた、本実施形態では、湿式成膜法により作製された成膜樹脂のスキン層２ａと反対の面側にバフ処理を施した例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、湿式成膜法による成膜樹脂の厚さが均一化されていれば、バフ処理することなく両面テープ７と貼り合わせるようにしてもよい。また、両面テープ７に代えて、例えば、基材を有することなく粘着剤のみが２枚の剥離紙に挟まれたノンサポートテープを用いることも可能である。更に、スキン層２ａ側の面にバフ処理を施すことも可能であるが、内部のセル５が開口するほどバフ処理をしてしまうと被研磨物保持性の低下を招くため、セル５が開口しない程度のバフ処理とすることが好ましい。
【実施例】
【００４４】
以下、本実施形態に従い製造した保持パッド１０の実施例について説明する。なお、比較のために製造した比較例の保持パッドについても併記する。また、プロピオニル化セルロース（以下、ＰＣと略記する。）の含有量を固定しポリアルキレンオキサイド（以下、ＡＯと略記する。）の含有量を変えた場合、ＡＯの含有量を固定しＰＣの含有量を変えた場合、ＡＯの含有量に対するＰＣの含有量の比率を一定にして含有量全体を変えた場合、ＡＯにおけるＥＯの質量比率を変えた場合、ＡＯの数平均分子量を変えた場合、アシル化セルロースにおけるアシル基の種類を変えた場合、についてそれぞれ説明する。
【００４５】
＜ＰＣの含有量を固定しＡＯの含有量を変えた場合＞
（実施例１）
実施例１では、ポリウレタン系弾性樹脂（以下、ＰＵと略記する。）として、１００％モジュラスが１８ＭＰａであり、凝固価が１２のポリエステルＭＤＩ（ジフェニルメタンジイソシアネート）系ＰＵを用いた。ＡＯとしては、ＥＯとＰＯとの共重合体であり、ＥＯの質量比率が４０％、数平均分子量が１２０００のものを用いた。ＰＣとしては、セルロースのグルコース単位あたりの水酸基に対し、プロピオニル基の置換度の平均が２のものを用いた。各成分を、固形分濃度が３０ｗｔ％となるようにＤＭＦにそれぞれ溶解させＤＭＦ溶液を調製した。下表１に示すように、ＰＵのＤＭＦ溶液１００重量部に対して、ＡＯのＤＭＦ溶液を２．５重量部、ＰＣのＤＭＦ溶液を１．５重量部、顔料のカーボンブラックを６重量部、および、ＤＭＦを５５重量部の配合割合で混合して樹脂溶液を調製した。得られた樹脂溶液をＰＥＴ製の成膜基材に塗布し、凝固再生によりシート状に形成した後、洗浄・乾燥、バフ処理、貼り合わせの各工程を経て保持パッド１０を製造した。実施例１の配合割合では、ＡＯの含有量がＰＵに対して２．５ｗｔ％であり、ＰＣの含有量がＡＯに対して６０．０ｗｔ％である。また、下表２に示すように、樹脂溶液中の全固形分が３７．２重量部となることから、全固形分に対する各成分の配合量は、ＰＵが８０．６％、ＡＯが２．０％、ＰＣが１．２％、カーボンブラックが１６．１％となる。
【００４６】
（実施例２）
表１に示すように、実施例２では、ＡＯの配合割合を１．５重量部としたこと以外は実施例１と同様にした。実施例２の配合割合では、ＡＯの含有量がＰＵに対して１．５ｗｔ％であり、ＰＣの含有量がＡＯに対して１００．０ｗｔ％である。また、表２に示すように、樹脂溶液中の全固形分が３６．９重量部となることから、全固形分に対する各成分の配合量は、ＰＵが８１．３％、ＡＯが１．２％、ＰＣが１．２％、カーボンブラックが１６．３％となる。
【００４７】
（比較例１〜比較例４）
表１、表２に示すように、比較例１では、ＡＯおよびＰＣを配合しないこと以外は実施例１と同様にし、比較例１の保持パッドを製造した。すなわち、比較例１は従来の保持パッドである。比較例２では、ＡＯを配合しないこと以外は実施例１と同様にし、ＡＯを配合せずＰＣを配合した保持パッドを製造した。比較例３、比較例４では、ＡＯの配合割合をそれぞれ７．５重量部、１０．０重量部としたこと以外は実施例１と同様にして保持パッドを製造した。
【００４８】
【表１】
0005912770.tif 000002
【００４９】
【表２】
0005912770.tif 000003
【００５０】
＜ＡＯの含有量を固定しＰＣの含有量を変えた場合＞
（実施例３〜実施例５）
下表３、下表４に示すように、実施例３〜実施例５では、ＡＯの配合割合を実施例１と同じ２．５重量部とし、ＰＣの配合割合を変えたこと以外は実施例１と同様にして保持パッド１０を製造した。ＰＣの配合割合は、実施例３では１．０重量部、実施例４では２．０重量部、実施例５では２．５重量部とした。なお、表３、表４では、実施例１および比較例１の数値も併記している。
【００５１】
（比較例５〜比較例７）
表３、表４に示すように、比較例５では、ＰＣを配合しないこと以外は実施例３と同様にし、ＰＣを配合せずＡＯを配合した保持パッドを製造した。比較例６、比較例７では、ＰＣの配合割合をそれぞれ０．５重量部、３．０重量部としたこと以外は実施例３と同様にして保持パッドを製造した。
【００５２】
【表３】
0005912770.tif 000004
【００５３】
【表４】
0005912770.tif 000005
【００５４】
＜ＡＯの含有量に対するＰＣの含有量の比率を一定にして含有量全体を変えた場合＞
（実施例６）
下表５、下表６に示すように、実施例６では、ＰＵのＤＭＦ溶液１００重量部に対して、ＡＯのＤＭＦ溶液を５．０重量部、ＰＣのＤＭＦ溶液を３．０重量部、顔料のカーボンブラックを６重量部、および、ＤＭＦを５５重量部の配合割合で混合して樹脂溶液を調製した。なお、表５、表６では、実施例１および比較例１の数値も併記している。
【００５５】
（比較例８〜比較例９）
表５、表６に示すように、比較例８では、ＰＵのＤＭＦ溶液１００重量部に対して、ＡＯのＤＭＦ溶液を０．８重量部、ＰＣのＤＭＦ溶液を０．５重量部としたこと以外は実施例６と同様にして保持パッドを製造した。比較例９では、ＰＵのＤＭＦ溶液１００重量部に対して、ＡＯのＤＭＦ溶液を１０．０重量部、ＰＣのＤＭＦ溶液を６．０重量部としたこと以外は実施例６と同様にして保持パッドを製造した。
【００５６】
【表５】
0005912770.tif 000006
【００５７】
【表６】
0005912770.tif 000007
【００５８】
＜ＡＯにおけるＥＯの質量比率を変えた場合＞
（実施例７）
下表７、下表８に示すように、実施例７では、ＡＯとして、分子中のＥＯの質量比率が０％のものを用いた以外は実施例６と同様にして保持パッドを製造した。すなわち、実施例７で用いたＡＯは、ポリプロピレンオキサイドである。なお、表７、表８では、実施例６の数値も併記している。
【００５９】
（比較例１０〜比較例１１）
表７、表８に示すように、比較例１０〜比較例１１では、ＥＯの質量比率が異なるＡＯを用いた以外は実施例７と同様にして保持パッドを製造した。用いたＡＯにおけるＥＯの質量比率は、比較例１０では１００ｗｔ％、比較例１１では６０ｗｔ％である。すなわち、比較例１０で用いたＡＯは、ポリエチレンオキサイドである。
【００６０】
【表７】
0005912770.tif 000008
【００６１】
【表８】
0005912770.tif 000009
【００６２】
＜ＡＯの数平均分子量を変えた場合＞
（比較例１２〜比較例１３）
下表９、下表１０に示すように、比較例１２〜比較例１３では、ＡＯとして、分子量の異なるものを用いた以外は実施例６と同様にして保持パッドを製造した。用いたＡＯの分子量は、比較例１２では２０００、比較例１３では７０００である。なお、表９、表１０では、実施例６の数値も併記している。
【００６３】
【表９】
0005912770.tif 000010
【００６４】
【表１０】
0005912770.tif 000011
【００６５】
＜アシル化セルロースにおけるアシル基の種類を変えた場合＞
（実施例８〜実施例９）
下表１１、下表１２に示すように、実施例８〜実施例９では、アシル化セルロース（以下、ＡＣと略記する。）として、ＰＣに代えて、アセチル化セルロース、ブチリル化セルロースをそれぞれ用いた以外は実施例６と同様にして保持パッドを製造した。なお、表１１、表１２では、実施例６の数値も併記している。
【００６６】
【表１１】
0005912770.tif 000012
【００６７】
【表１２】
0005912770.tif 000013
【００６８】
（評価）
各実施例および比較例の保持パッドについて、保持面における水に対する接触角、および、被研磨物の吸着力を評価した。水に対する接触角は、自動接触角計（協和界面科学株式会社製  ＤｒｏｐＭａｓｔｅｒ５００）による液滴法にて測定した。すなわち、自動接触角計の注射器に蒸留水を入れ、温度２０℃、湿度６０％の条件の下に、注射針から水滴１滴を研磨シート表面に滴下し、滴下してから１０秒後の接触角を読み取った。水に対する接触角は、８０〜１１０度の範囲のものを合格と判定し、８０度未満のもの、および、１１０度を超えるものを不合格と判定した。また、測定試料であるガラス基板の吸着力は、テンシロン（株式会社エー・アンド・デイ製、テンシロン万能試験機、ＲＴＦ−１２１０）を使用し、以下の手順で垂直方向吸着力を測定した。すなわち、試験台の上に保持パッドを保持面Ｐが上面になるように両面テープ７を介して貼り付け、保持面Ｐを蒸留水で濡らした。保持面Ｐの水分を十分に取り除いた後、上定盤に接着剤で固定したガラス基板（１２５ｍｍφ）を保持面Ｐの上に載せ、ガラス基板と上定盤の自重とで約４ｋｇｆ（３９Ｎ）の力を加えた状態で１分間静置した。上定盤を上方に引っ張り、保持パッドがガラス基板から外れたときの荷重を測定した。測定は、試料を交換せずに、３回連続して行った。被研磨物の吸着力は、測定サンプルを１０ｋｇｆ（９８Ｎ）以上の力で吸着したものを合格と判定し、吸着力が１０ｋｇｆに満たないものを不合格と判定した。
【００６９】
＜ＰＣの含有量を固定しＡＯの含有量を変えた場合＞
（実施例１〜実施例２、比較例１〜比較例４）
ＡＯおよびＰＣを含有していない比較例１では、浸水性が高くなり、接触角が不合格の判定となった。また、吸着力が不合格の判定となり、保持パッドの耐久性が低下した。ＡＯを含有せずにＰＣのみを含有した比較例２では、保持パッドの弾性が低下し、被研磨物保持性が不十分となり、吸着力が不合格の判定となった。また、比較例３、比較例４では、ＡＯに対するＰＣの含有量が４０ｗｔ％未満のため、保持パッドの疎水性を高める効果が不十分となり、接触角、吸着力がともに不合格の判定となった。これに対し、実施例１〜実施例２の保持パッド１０では、ＡＯとＰＣとを上述した範囲で含有させたことにより、疎水性が高められたことで、接触角、吸着力がともに合格の判定となり、被研磨物を良好に保持することができた。
【００７０】
＜ＡＯの含有量を固定しＰＣの含有量を変えた場合＞
（実施例３〜実施例５、比較例５〜比較例７）
ＰＣを含有させていない比較例５、ＡＯに対するＰＣの含有量が４０ｗｔ％未満の比較例６では、保持パッドの疎水性を高める効果が不十分となり、接触角、吸着力がともに不合格の判定となった。また、ＡＯに対するＰＣの含有量が１００ｗｔ％を超える比較例７では、保持パッドの弾性が低下し、被研磨物保持性が不十分となり、吸着力が不合格の判定となった。これに対し、実施例３〜実施例５では、ＡＯとＰＣとを上述した範囲で含有させたことにより、疎水性が高められたことで、接触角、吸着力がともに合格の判定となり、被研磨物を良好に保持することができた。
【００７１】
＜ＡＯの含有量に対するＰＣの含有量の比率を一定にして含有量全体を変えた場合＞
（実施例６、比較例８〜比較例９）
ＡＯに対するＰＣの質量比が一定であっても、ＰＵに対するＡＯの含有量が１質量％に満たない比較例８では、浸水性が高くなり、接触角が不合格の判定となった。また、吸着力が不合格の判定となり、保持パッドの耐久性が低下した。反対に、ＰＵに対するＡＯの含有量が８質量％を超える比較例９では、ポリウレタン樹脂と、ＡＯおよびＰＣとの相溶性が低下し、成膜安定性が低下した。このような保持パッドでは、発泡形状にバラツキが生じてしまい被研磨物を平坦化することが難しくなる。これに対し、実施例６では、ＡＯとＰＣとを上述した範囲で含有させたことにより、疎水性が高められたことで、接触角、吸着力がともに合格の判定となり、被研磨物を良好に保持することができた。
【００７２】
＜ＡＯにおけるＥＯの質量比率を変えた場合＞
（実施例７、比較例１０〜比較例１１）
ＡＯの構成単位としてＥＯを５０質量％を超える割合で含む比較例１０、比較例１１では、保持パッドの濡れ性が高まることで、浸水性が高くなり、接触角が不合格の判定となった。また、吸着力が不合格の判定となり、保持パッドの耐久性が低下した。これに対し、実施例７の保持パッド１０では、ＡＯとして、ＥＯ比率が０％、つまり、ポリプロピレンオキサイドとＰＣとを上述した範囲で含有させたことにより、疎水性が高められたことで、接触角、吸着力がともに合格の判定となり、被研磨物を良好に保持することができた。
【００７３】
＜ＡＯの数平均分子量を変えた場合＞
（比較例１２〜比較例１３）
ＡＯの数平均分子量が１００００未満である比較例１２、比較例１３では、分子量が小さくなるほど、保持パッドの洗浄時にＡＯの溶出が認められた。このため、保持パッドの浸水性が高くなり、被研磨物の吸着力が不合格の判定となった。従って、ＡＯの数平均分子量を１００００以上とすることで、使用時の溶出、吸着力の低下を抑制することができることが明らかとなった。
【００７４】
＜アシル化セルロースにおけるアシル基の種類を変えた場合＞
（実施例８〜実施例９）
アシル化セルロースのアシル基としてアセチル基を導入したアセチル化セルロースを用いた実施例８、ブチリル基を導入したブチリル化セルロースを用いた実施例９では、ＡＯとＰＣとを上述した範囲で含有させたことにより、疎水性が高められたことで、いずれの保持パッド１０でも、被研磨物を良好に保持することができた。従って、アシル化セルロースのアシル基をアセチル基、プロピオニル基、ブチリル基のいずれとしても、その置換度が１．５〜２．４の範囲であれば、保持パッドの疎水性を高める効果の得られることが明らかとなった。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明は研磨液の液体成分が浸入することを抑制し、被研磨物保持性を確保しつつ寿命を向上させることができる保持パッドを提供するものであるため、保持パッドの製造、販売に寄与するので、産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００７６】
Ｐ  保持面
２  ウレタンシート（軟質樹脂シート）
２ａ  スキン層
５  気泡
１０  保持パッド
【図１】
0005912770.tif 000014
【図２】
0005912770.tif 000015