(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出対象の流体が流入する流体通路が内部に形成された本体と、上記流体通路に連通して上記本体に設けられ、上記流体通路内の流体圧力を検出する圧力センサとを備えたセンサ装置であって、
上記本体は、円柱状の内周面を有する筒状部を有しており、
外周面に螺旋状の溝が形成された棒状に形成され、上記本体の筒状部に挿入され該筒状部の内周面と上記螺旋状の溝とによって螺旋状の上記流体通路を形成する内挿体と、
上記流体の温度を検出する測温抵抗体または熱電対が内蔵された円柱状に形成され、先端が上記内挿体から突出する状態で該内挿体に挿入されるシース管を有する温度センサとを備えている
ことを特徴とするセンサ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のセンサ装置において、
上記内挿体の螺旋状の溝は、上下方向に延びており、上記圧力センサの連通箇所へ向かうに従って下方へ傾斜する下り部を有している
ことを特徴とするセンサ装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のセンサ装置において、
上記内挿体の螺旋状の溝は、横断面視が円弧状に形成されている
ことを特徴とするセンサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、高温流体の圧力を検出するセンサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に開示されているように、各種プラントや製造装置等で扱われる流体（ガス）の圧力を検出するセンサ装置が知られている。このセンサ装置は、検出対象のガスが流入する通気路が形成された計測ロッドと、該計測ロッドに取り付けられ、通気路に流入したガスの圧力を検出する圧力センサとを有している。このセンサ装置では、計測ロッドの端部がガスの流通箇所に配置されることにより、ガスが通気路に流入してそのガス圧が圧力センサによって検出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１２１０７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、一般に圧力センサには使用温度が設定されており、検出対象の流体が高温のものになると、使用温度の高い圧力センサを用いなければならない。そのため、センサ装置のコストが高くなるという問題があった。【０００５】
そこで、流体の通路（通気路）を螺旋状の通路に形成することが考えられる。螺旋状の通路は、例えば直線状の通路と比べて本体における流体の接触面積を増大させることができる。これにより、流体と本体との熱伝達を促進させることができ、流体の通路において流入口付近では高温の流体であっても圧力センサの連通箇所では流入口付近よりも低い温度の流体にすることができる。しかしながら、本体の内部に螺旋状の通路を形成するのは、例えば直線状の通路を形成する場合と比べて製作コストが懸かる。そのため、センサ装置のコストが高くなってしまう。【０００６】
本願に開示の技術は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、内部に螺旋状の通路が形成される本体を安価に製作し得るセンサ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願に開示の技術は、検出対象の流体が流入する流体通路が内部に形成された本体と、上記流体通路に連通して上記本体に設けられ、上記流体通路内の流体圧力を検出する圧力センサとを備えたセンサ装置を前提としている。そして、上記本体は、円柱状の内周面を有する筒状部を有している。さらに、本願のセンサ装置は、外周面に螺旋状の溝が形成された棒状に形成され、上記本体の筒状部に挿入され該筒状部の内周面と上記螺旋状の溝とによって螺旋状の上記流体通路を形成する内挿体を備えている。
【発明の効果】
【０００８】
本願のセンサ装置によれば、外周面に螺旋状の溝（螺旋溝）が形成された棒状の内挿体を本体の筒状部に挿入して、筒状部の内周面と螺旋状の溝とで螺旋状の流体通路を形成するようにした。これにより、例えば本体の内部に螺旋状の通路をくりぬいて作製するよりも安価に螺旋状の通路を作製することができる。よって、内部に螺旋状の通路が形成される本体を安価に製作することができ、センサ装置のコストを抑えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施形態１に係るセンサ装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】図２は、実施形態１に係るセンサ装置を上側から視て示す図である。
【図３】図３は、実施形態１に係るセンサ装置の要部を示す断面図である。
【図４】図４は、実施形態２に係るセンサ装置の要部を示す断面図である。
【図５】図５は、実施形態２に係るセンサ装置の要部を示す断面図である。
【図６】図６は、実施形態３に係るセンサ装置の概略構成を示す断面図である。
【図７】図７は、実施形態３に係るセンサ装置の要部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本願の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本願に開示の技術、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【００１１】
（実施形態１）
本願の実施形態１について図１〜図３を参照しながら説明する。本実施形態のセンサ装置１は、プラント等において流体が流れる配管に取り付けられて、流体の温度および圧力の２つを検出（測定）するものである。本実施形態において、検出対象（測定対象）である流体は蒸気として説明する。なお、配管内を流れる蒸気の温度は約５００℃である。
【００１２】
図１および図２に示すように、センサ装置１は、本体１０と、温度センサ２０（熱電対）と、圧力センサ３０と、取付部材４０とを備えている。
【００１３】
本体１０の内部には、検出対象の蒸気が流入するガス通路１３が形成されている。このガス通路１３は、本願の請求項に係る流体通路を構成している。具体的に、本体１０は、棒状部１１と頭部１２を有する。棒状部１１は、上下方向（図１において矢印で示す方向）に延びる円筒状に形成されており、本願の請求項に係る筒状部を構成している。棒状部１１は、一端（下端側）が蒸気の流入端を構成し、他端（上端側）に頭部１２が一体形成されている。頭部１２は、平面視六角形に形成されている。ガス通路１３は、棒状部１１において形成される螺旋通路１４（螺旋状の通路）と、頭部１２において形成される横通路１６とを有する。螺旋通路１４は、一端である流入口１４ａが棒状部１１の下端面１１ａに開口しており（図３参照）、他端が横通路１６に連通している。つまり、螺旋通路１４の流入口１４ａは、ガス通路１３の流入口でもあり、棒状部１１の軸方向端面に開口している。そして、棒状部１１では螺旋通路１４が軸方向（上下方向）に延びて形成されている。
【００１４】
頭部１２には、温度センサ２０および圧力センサ３０が設けられている。温度センサ２０は、蒸気の温度を検出する測温抵抗体または熱電対が内蔵されたシース管２１を有している。シース管２１は、本体１０の棒状部１１に挿入されている。圧力センサ３０は、ガス通路１３の横通路１６に連通する状態で頭部１２に設けられ、横通路１６内（即ち、ガス通路１３内）の蒸気の圧力を検出するものである。つまり、ガス通路１３では螺旋通路１４が流入口１４ａから圧力センサ３０の連通箇所までにおいて形成されている。温度センサ２０および圧力センサ３０では、それぞれ検出された温度および圧力に関する信号が電線２６，３１を通じて外部機器へ送られる。
【００１５】
本体１０の棒状部１１には、センサ装置１を配管に取り付けるための取付部材４０が設けられている。センサ装置１は、棒状部１１の下端側（図１に示す測定対象側）が配管内に挿入された状態で取付部材４０によって配管に固定される。その際、センサ装置１は棒状部１１が上下方向に延びる状態で固定される。なお、取付部材４０は棒状部１１の挿入長さを調節可能に構成されている。こうして固定されたセンサ装置１では、棒状部１１の下端側が配管内の蒸気に曝された状態となり、配管内の蒸気が螺旋通路１４に流入して横通路１６まで流通する。
【００１６】
次に、ガス通路１３の螺旋通路１４についてさらに詳しく説明する。棒状部１１の内周面１１ｂは、円柱状に形成されている。棒状部１１には、温度センサ２０のシース管２１が挿入されている。図３にも示すように、シース管２１は、細長い棒状（具体的には、円柱状）に形成されており、その外周面２２に螺旋溝２３（螺旋状の溝）が形成されている。螺旋溝２３は、シース管２１の外周面２２において軸方向（上下方向）に延びている。螺旋溝１５は、シース管２１において棒状部１１の全長に相当する領域に形成されている。また、螺旋溝２３は、横断面視が円弧状に形成されている。なお、横断面視とは、螺旋溝２３をその軸方向（長さ方向）に対して垂直に切断した断面を意味する。
【００１７】
棒状部１１に挿入されるシース管２１の外径は、棒状部１１の内径と略同じである。つまり、シース管２１は、外周面２２が棒状部１１の内周面１１ｂと接する状態で棒状部１１に挿入されている。そして、棒状部１１では、その内周面１１ｂとシース管２１の螺旋溝２３とによって上述した螺旋通路１４が形成される。つまり、温度センサ２０のシース管２１は、棒状部１１に挿入されて棒状部１１の内周面１１ｂとの間で螺旋通路１４を形成する内挿体を構成している。
【００１８】
また、図３に示すように、棒状部１１では、シース管２１の下端面２４が棒状部１１の下端面１１ａよりも内方に位置している。つまり、棒状部１１の下端には、シース管２１の下端面２４が内方に位置する分だけ空間１１ｃが形成されており、その空間１１ｃに螺旋通路１４の流入口１４ａが連通している。こうした空間１１ｃを設けることにより、配管内を流れる蒸気が棒状部１１の螺旋通路１４（ガス通路１３）に流入しやすくなる。
【００１９】
以上のように、上記実施形態のセンサ装置１によれば、外周面２２に螺旋溝２３（螺旋状の溝）が形成された棒状の内挿体（シース管２１）を本体１０の棒状部１１に挿入して、棒状部１１の内周面１１ｂと螺旋溝２３とで螺旋通路１４（螺旋状の通路）を形成するようにした。これにより、例えば本体の内部をくりぬいて作製するよりも安価且つ容易に螺旋通路１４を作製することができる。よって、内部に螺旋通路１４が形成される本体１０を安価に製作することができ、センサ装置１のコストを抑えることが可能である。
【００２０】
また、ガス通路１３において螺旋通路１４が形成されることにより、例えば直線状の通路と比べて棒状部１１における蒸気の接触面積を増大させることができる。そのため、蒸気と棒状部１１（本体１０）との熱伝達を促進させることができる。したがって、ガス通路１３において蒸気が流入口１４ａ付近では高温であっても圧力センサ３０の付近では低い温度にすることができる。つまり、ガス通路１３において蒸気は本体１０と熱交換して徐々に温度が低下するところ、蒸気と本体１０との接触面積を増大させたことによって蒸気の温度低下量を増大させることができる。そうすると、検出対象が高温の蒸気（流体）であっても、その温度よりも低く設定された使用温度の圧力センサ３０を用いることができるため、高温対応の圧力センサを用いる必要がなくなり、センサ装置１のコストを抑えることが可能になる。
【００２１】
また、上記実施形態のセンサ装置１によれば、圧力センサ３０だけでなく温度センサ２０も備えるようにしたため、１台のセンサ装置１で蒸気の圧力および温度の２つを検出（測定）することができる。しかも、棒状部１１に挿入する内挿体として温度センサ２０のシース管２１を用いるようにしたため、内挿体を別途設ける必要がなくなり、部品点数の削減および装置のコンパクト化を図ることができる。
【００２２】
また、内挿体（シース管２１）の外周面２２に形成した螺旋溝２３は横断面視が円弧状であるため、例えば横断面視が四角等の角形である場合に比べて、蒸気（流体）の流通抵抗を低減することができる。したがって、蒸気の圧力をより正確に検出することが可能である。
【００２３】
（実施形態２）
本願の実施形態２について図４および図５を参照しながら説明する。本実施形態は、上記実施形態１における螺旋通路１４の構成（形状）を変更するようにしたものである。ここでは、上記実施形態１と異なる点について言及する。
【００２４】
図４に示すように、本実施形態の螺旋通路１４は、途中に下方へ傾斜する下り部１４ｃが形成されている。具体的に、シース管２１の外周面２２に形成された螺旋溝２３は、圧力センサ３０の連通箇所（即ち、横通路１６）へ向かうに従って上方へ傾斜する上り部１４ｂと、圧力センサ３０の連通箇所へ向かうに従って下方へ傾斜する下り部１４ｃ（図３において破線で示す部分）とを交互に有している。この螺旋溝２３の構成により、螺旋通路１４では上下方向において上り部１４ｂと下り部１４ｃとが交互に形成される。
【００２５】
本実施形態のセンサ装置１では、図５に示すように、螺旋通路１４内または横通路１６内における蒸気凝縮により発生したドレン水を下り部１４ｃから上り部１４ｂへと連続する部分に溜めることができる。螺旋通路１４において蒸気は本体１０との熱交換によって凝縮してドレン水になる場合があるが、そのドレン水を螺旋通路１４の途中に貯留させることができる。こうして螺旋通路１４の途中に液体であるドレン水を介在させることにより、流入口１４ａ付近の高温がガス通路１３を通じて圧力センサ３０に伝達されるのを抑制することができる。つまり、一般に液体（ドレン水）は気体（蒸気）よりも熱伝達率が低いところ、ガス通路１３の一部に液体を介在させることによってガス通路１３における熱伝達を阻害することが可能になる。これによっても、使用温度が低い圧力センサ３０を用いることができ、このため、センサ装置１のコストをより一層抑えることができる。その他の構成、作用および効果は上記実施形態１と同様である。
【００２６】
なお、本実施形態の螺旋通路１４では、下り部１４ｃを複数設けているが、本願に開示の技術はこれに限らず、下り部１４ｃを１つだけ設けるようにしてもよい。
【００２７】
（実施形態３）
本願の実施形態３について図６および図７を参照しながら説明する。本実施形態のセンサ装置１は、上記実施形態１における螺旋通路の形成態様を変更するようにしたものである。ここでは、上記実施形態１と異なる点について言及する。
【００２８】
本実施形態のセンサ装置１は、図６に示すように、通信用のアンテナ３を有する無線式の通信機２が取り付けられている。センサ装置１は、本体５０と、内挿体５６と、温度センサ６０（熱電対）と、圧力センサ７０と、取付部材８０とを備えている。
【００２９】
図７にも示すように、本体５０の内部には、上記実施形態１と同様、検出対象の蒸気が流入するガス通路５３が形成されている。具体的に、本体５０は、棒状部５１と頭部５２を有する。棒状部５１は、上下方向（図６において矢印で示す方向）に延びる円筒状に形成されており、本願の請求項に係る筒状部を構成している。棒状部５１は、一端（下端側）が蒸気の流入端を構成し、他端（上端側）に頭部５２が嵌め込まれて接続されている。頭部５２は、正面視で略Ｌ字状に形成されている。ガス通路５３は、棒状部５１の螺旋通路５４（螺旋状の通路）と、頭部５２の横通路５５とを有する。螺旋通路５４は、一端である流入口（図示省略）が棒状部５１の下端面５１ａに開口し、他端が横通路５５に連通している。つまり、螺旋通路５４の流入口は、ガス通路５３の流入口でもあり、棒状部５１の軸方向端面に開口している。そして、棒状部５１では螺旋通路５４が軸方向（上下方向）に延びて形成されている。
【００３０】
棒状部５１の内周面５１ｂは円柱状に形成されており、その棒状部５１に棒状（具体的には、円柱状）の内挿体５６が挿入されている。内挿体５６は、外周面５７に螺旋溝５８（螺旋状の溝）が形成されている。螺旋溝５８は、内挿体５６の外周面５７において軸方向（上下方向）に延びており、棒状部５１の全長に相当する領域に形成されている。なお、本実施形態の螺旋溝５８は、横断面視が矩形状に形成されている。内挿体５６の外径は、棒状部５１の内径と略同じである。つまり、内挿体５６は外周面５７が棒状部５１の内周面５１ｂと接する状態で棒状部５１に挿入されている。そして、棒状部５１では、その内周面５１ｂと内挿体５６の螺旋溝５８とによって上述した螺旋通路５４が形成される。つまり、本実施形態のセンサ装置１では、内挿体５６が本体５０の棒状部５１に挿入されて棒状部５１の内周面５１ｂとの間で螺旋通路５４を形成する。
【００３１】
頭部５２には、上記実施形態１と同様、温度センサ６０および圧力センサ７０が設けられている。温度センサ６０のシース管６１は、細長い円柱状に形成されており、内挿体５６に形成された貫通孔５６ａに挿入されている。なお、シース管６１は内挿体５６の貫通孔５６ａにスキマバメにより嵌合している。また、シース管６１は、先端６１ａが棒状部５１の下端面５１ａから突出した状態で設けられている。圧力センサ７０は、上記実施形態１と同様、横通路５５に連通する状態で頭部５２に設けられ、横通路５５内の蒸気の圧力を検出する。本実施形態のセンサ装置１は、頭部５２が通信機２の下側にボルト４によって締結固定されている。センサ装置１では、温度センサ６０および圧力センサ７０によって検出された温度および圧力に関する信号が電線（図示省略）を通じて通信機２へ送られる。通信機２では、温度センサ６０等から送られた信号が処理され、アンテナ３を通じて外部機器へ送信される。なお、本体５０の棒状部５１には、上記実施形態１と同様に取付部材８０が設けられている。
【００３２】
また、棒状部５１では、内挿体５６の下端面５９が棒状部５１の下端面５１ａよりも内方に位置している。つまり、棒状部５１の下端には、内挿体５６の下端面５９が内方に位置する分だけ空間５１ｃが形成されており、その空間５１ｃに螺旋通路５４の流入口（図示省略）が連通している。こうした空間５１ｃを設けることにより、上記実施形態１と同様、配管内を流れる蒸気が棒状部５１の螺旋通路５４（ガス通路５３）に流入しやすくなる。
【００３３】
以上のように、本実施形態のセンサ装置１においても、外周面５７に螺旋溝５８（螺旋状の溝）が形成された棒状の内挿体５６を本体５０の棒状部５１に挿入し、棒状部５１の内周面５１ｂと螺旋溝５８とで螺旋通路５４（螺旋状の通路）を形成するようにしているので、上記実施形態１と同様の作用効果を奏する。その他の構成、作用および効果は上記実施形態１と同様である。
【００３４】
なお、本実施形態のセンサ装置１においても、螺旋通路５４は、上記実施形態２と同様に途中に上り部および下り部が形成されるものであってもよい。
【００３５】
なお、本願に開示の技術は、上記の各実施形態において以下のような構成としてもよい。
【００３６】
例えば、上記実施形態１および２において内挿体に形成する螺旋溝２３の横断面視形状は円弧状以外の例えば四角等の角形であってもよいし、上記実施形態３において内挿体５６に形成する螺旋溝５８の横断面視形状は円弧状であってもよい。
【００３７】
また、上記実施形態１および２において温度センサ２０を省略するようにしてもよい。その場合、上記実施形態３で示したように、外周面に螺旋溝が形成された棒状の内挿体が棒状部１１に挿入されることにより本体１０の内部に螺旋通路が形成される。また、上記実施形態３においても温度センサ６０を省略するようにしてもよい。
【００３８】
また、上記実施形態１および３のセンサ装置１では、検出対象が蒸気である場合について説明したが、本願に開示の技術に係る検出対象は蒸気以外のガスや液体であってもよい。また、上記実施形態２のセンサ装置１では、検出対象が蒸気以外のガスであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本願に開示の技術は、流体の圧力を検出する圧力センサを備えたセンサ装置について有用である。
【符号の説明】
【００４０】
１        センサ装置
１０,５０      本体
１１,５１      棒状部（筒状部）
１１ｂ,５１ｂ    内周面
１３,５３      ガス通路（流体通路）
１４,５４      螺旋通路（螺旋状の通路）
１４ｃ    下り部
２０,６０      温度センサ
２１      シース管（内挿体）
２２      外周面
２３      螺旋溝（螺旋状の溝）
３０,７０      圧力センサ
５６      内挿体
５７      外周面
５８      螺旋溝（螺旋状の溝）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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