(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の電子部品が実装されたプリント基板を設置する基板テーブルと、
前記基板テーブルに設置された前記プリント基板の検査対象部の光学画像を撮像する光学撮像装置と、
前記検査対象部にＸ線を照射するＸ線照射ユニットと、
前記プリント基板を透過したＸ線から当該検査対象部のＸ線画像を撮像するＸ線カメラと、
前記Ｘ線照射ユニットから前記Ｘ線カメラに到達するＸ線の到達経路が接写用の第１距離となる接写ポジションと、前記到達経路が前記第１距離よりも長くなる非接写ポジションとの間で、前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとを相対的に変位して、当該Ｘ線画像の倍率を変更する倍率変更手段と、
前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとの間で前記検査対象部に臨む撮像ポジションと、前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとが相対的に前記接写ポジションに向かって移動できるように前記撮像ポジションから退避する退避ポジションとの間で前記光学撮像装置を移動させる駆動手段と、
前記Ｘ線照射ユニットまたは前記Ｘ線カメラの少なくとも一方が移動する必要がある場合に、事前に前記光学撮像装置が前記退避ポジションに退避するように前記駆動手段を制御する撮像ポジション制御手段と、
前記退避ポジションにある光学撮像装置によって前記検査対象部が撮像できるように、前記基板テーブルを当該基板テーブルと平行な平面上で移動するテーブル駆動機構と、
前記光学撮像装置が前記退避ポジションに退避している場合に、この退避ポジションで前記検査対象部を撮像するように、前記テーブル駆動機構を制御するテーブル移動制御手段と
を備えていることを特徴とするプリント基板の複合検査装置。
【請求項２】
請求項１記載のプリント基板の複合検査装置において、
前記光学撮像装置は、前記プリント基板の上方に位置するものであり、
前記Ｘ線照射ユニットは、前記検査対象部に上方からＸ線を照射するものであり、
前記Ｘ線カメラは、前記プリント基板の下方において、前記プリント基板を透過したＸ線を受けて前記検査対象部のＸ線画像を撮像するものであり、
前記倍率変更手段は、前記プリント基板に対する前記Ｘ線照射ユニットの高さを可変とする昇降装置を含み、
前記光学撮像装置は、前記撮像ポジションに位置する状態で前記検査対象部の光学画像を撮像する一方、前記Ｘ線カメラは、前記Ｘ線照射ユニットが前記非接写ポジションにある場合と前記接写ポジションにある場合の両方において、前記検査対象部のＸ線画像を撮像するように構成されている
ことを特徴とするプリント基板の複合検査装置。
【請求項３】
請求項２記載のプリント基板の複合検査装置において、
前記プリント基板が複数の検査対象部を有し、
前記テーブル駆動機構は、前記基板テーブルを当該基板テーブルと平行な平面上で所定の方向と所定の方向と直交する方向の両方向に移動して各検査対象要部を一か所ずつ前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとの間に移動可能に構成されており、
前記光学撮像装置は、前記撮像ポジションに位置する状態で前記テーブル駆動機構により前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとの間に移動された各検査対象部の光学画像を撮像する一方、前記Ｘ線カメラは、前記Ｘ線照射ユニットが前記非接写ポジションにある場合と前記接写ポジションにある場合の両方において、前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとの間に移動された各検査対象部のＸ線画像をそれぞれ撮像するように構成されている
ことを特徴とするプリント基板の複合検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載のプリント基板の複合検査装置において、
前記Ｘ線照射ユニットに設けられ、前記Ｘ線源から照射されるＸ線に指向性を与えるＸ線照射装置と、
前記Ｘ線カメラを前記プリント基板と平行な平面上で前記両方向に移動するＸ線カメラ移動手段と、をさらに備え、
事前に前記光学撮像装置が前記退避ポジションに退避する必要がある場合において、所定の方向の斜視画像を撮像するときには、前記Ｘ線カメラ移動手段が前記検査対象部に対し予め設定される角度の仰角で、前記Ｘ線カメラが当該仰角に沿って前記Ｘ線照射装置が照射するＸ線の延長上に前記Ｘ線カメラを位置させ、テーブル駆動機構が当該仰角に沿って対向する前記Ｘ線源と前記Ｘ線カメラとの間に基板テーブルを位置させる
ように構成されていることを特徴とするプリント基板の複合検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載のプリント基板の複合検査装置において、
前記Ｘ線照射ユニットは、当該Ｘ線カメラが所定の方向の斜視画像を撮像可能なように前記Ｘ線照射装置を上下軸回りに回動して照射されるＸ線の向きを変更するＲ軸モータを備えている
ことを特徴とするプリント基板の複合検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板の複合検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
多数の電子部品が実装されたプリント基板を検査するに当たり、特許文献１、２に開示されているように、Ｘ線を利用した透過検査と、可視光を利用した外観検査とを同一の装置で実現することのできる複合検査装置が知られている。
【０００３】
複合検査装置は、透過検査用のＸ線撮像装置と、外観検査用の光学撮像装置とを備えている。
【０００４】
例えば、特許文献１は、Ｘ線撮像装置として、Ｘ線源と、このＸ線源に対して相対的に対向間隔を調整可能なＸ線用のイメージセンサとを開示している。また、特許文献１は、光学撮像装置として、Ｘ線撮像装置と一体的に移動可能なミラーと、Ｘ線撮像装置に固着されミラーを通して検査対象部の画像を撮像するビジコンとを開示している。
【０００５】
また、特許文献２は、Ｘ線撮像装置として、検査対象となる電子部品を挟んで対向するＸ線源（Ｘ線照射ユニット）及びＸ線撮像部（ＣＣＤカメラ）を開示している。また、特許文献２は、光学撮像装置として、電子部品とＸ線照射ユニットとの間に、同軸状に配置されたミラーと、電子部品からミラーに反射された光を受けて撮像する撮像装置とを開示している。特許文献２のＸ線照射ユニットは固定的であり、検査対象となる電子部品が搭載された被写体基板が、Ｘ線照射ユニットから照射されるＸ線照射方向に対し、直角な平面上を移動可能に構成されている。
【０００６】
特許文献１、２の装置によれば、検査対象部を透過するＸ線の経路上にミラーを介在させ、Ｘ線による透過検査と光学カメラによる外観検査とを同時に実行することができるので、検査効率が向上するという利点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平２−５２２４６号公報
【特許文献２】特開２００４−３４０６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、近年のプリント基板は、極めて小型に集積された電子部品が高密度に実装されており、その検査対象箇所も飛躍的に微小化している。そのため、特許文献１、２の構成で全ての検査項目を処理しようとしても、近年要請されている倍率で接写されたＸ線画像を得ることができなかった。
【０００９】
まず、特許文献１の構成では、Ｘ線画像を撮像するイメージセンサがＸ線源に対して相対的に対向間隔を変更可能に構成されているので、倍率の変更そのものは、可能にはなっている。しかしながら、特許文献１の構成では、イメージセンサの直下にミラーが配置されたまま一体的に移動する構成になっているので、ミラーがイメージセンサと検査対象となる電子部品との間に介在する分、接写時の部品高さ制限が厳しくなり、必要な拡大倍率を得ることが困難であった。
【００１０】
一方、特許文献２の構成では、Ｘ線源としてのＸ線照射ユニットおよびＸ線撮像部としてのＣＣＤカメラは、固定的であり、検査対象となる電子部品が搭載された被写体基板が、Ｘ線照射ユニットから照射されるＸ線照射方向に対し、直角な平面上を移動可能に構成されているにすぎなかった。そのため、そもそもＸ線画像の倍率変更は、できなかった。また、特許文献２の構成においても、Ｘ線照射ユニットとＣＣＤカメラとの間に、ミラーを介在させ、同軸撮像を実行する構成となっているので、仮に、特許文献１のような構成を加えて、倍率変更を可能にしたとしても、依然、ミラーがじゃまになり、倍率の大きな接写画像を得ることができなかった。
【００１１】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、所要の拡大倍率で接写されたＸ線画像を得ることのできるプリント基板の複合検査装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明は、多数の電子部品が実装されたプリント基板を設置する基板テーブルと、前記基板テーブルに設置された前記プリント基板の検査対象部の光学画像を撮像する光学撮像装置と、前記検査対象部にＸ線を照射するＸ線照射ユニットと、前記プリント基板を透過したＸ線から当該検査対象部のＸ線画像を撮像するＸ線カメラと、前記Ｘ線照射ユニットから前記Ｘ線カメラに到達するＸ線の到達経路が接写用の第１距離となる接写ポジションと、前記到達経路が前記第１距離よりも長くなる非接写ポジションとの間で、前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとを相対的に変位して、当該Ｘ線画像の倍率を変更する倍率変更手段と、前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとの間で前記検査対象部に臨む撮像ポジションと、前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとが相対的に前記接写ポジションに向かって移動できるように前記撮像ポジションから退避する退避ポジションとの間で前記光学撮像装置を移動させる駆動手段と、前記Ｘ線照射ユニットまたは前記Ｘ線カメラの少なくとも一方が移動する必要がある場合に、事前に前記光学撮像装置が前記退避ポジションに退避するように前記駆動手段を制御する撮像ポジション制御手段と、前記退避ポジションにある光学撮像装置によって前記検査対象部が撮像できるように、前記基板テーブルを当該基板テーブルと平行な平面上で移動するテーブル駆動機構と、前記光学撮像装置が前記退避ポジションに退避している場合に、この退避ポジションで前記検査対象部を撮像するように、前記テーブル駆動機構を制御するテーブル移動制御手段とを備えていることを特徴とするプリント基板の複合検査装置である。この態様では、多数の電子部品を搭載したプリント基板を検査するに当たり、光学撮像装置が撮像ポジションにあるときは、従来技術と同様に、同一のプリント基板に対し、光学撮像装置が撮像した可視光での画像に基づく外観検査と、前記Ｘ線カメラが撮像したＸ線画像に基づく透過検査とを並行して実現することができる。しかも、本態様では、倍率変更手段によって、Ｘ線画像の倍率を切り換えることができるので、近年要請されている種々の撮像要求に応じることが可能となる。加えて、本態様の光学撮像装置は、駆動手段によって撮像ポジションと、この撮像ポジションから退避する退避ポジションとの間で移動されるように構成されている。そして、Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラが接写ポジションに移動する必要がある場合には、撮像ポジション制御手段によって、光学撮像装置が退避ポジションに退避するように駆動手段が制御されるので、光学撮像装置に妨げられることなく、Ｘ線照射ユニットをプリント基板近くまで下降させて、接写ポジションに移動することが可能となる。従って、近年要請されているより一層高い倍率の接写Ｘ線画像を得ることができる。
【００１３】
また、前記Ｘ線カメラが接写ポジションにて透過画像を撮像するために、光学撮像装置が退避ポジションに移動している間に、この光学撮像装置を作動させ、プリント基板の外観検査を実行することができる。このため、光学撮像装置の稼働率が上昇し、検査時間の短縮に寄与することが可能となる。
【００１４】
好ましい態様におけるプリント基板の複合検査装置において、前記光学撮像装置は、前記プリント基板の上方に位置するものであり、前記Ｘ線照射ユニットは、前記検査対象部に上方からＸ線を照射するものであり、前記Ｘ線カメラは、前記プリント基板の下方において、前記プリント基板を透過したＸ線を受けて前記検査対象部のＸ線画像を撮像するものであり、前記倍率変更手段は、前記プリント基板に対する前記Ｘ線照射ユニットの高さを可変とする昇降装置を含み、前記光学撮像装置は、前記撮像ポジションに位置する状態で前記検査対象部の光学画像を撮像する一方、前記Ｘ線カメラは、前記Ｘ線照射ユニットが前記非接写ポジションにある場合と前記接写ポジションにある場合の両方において、前記検査対象部のＸ線画像を撮像するように構成されている。この態様では、プリント基板を一定の位置に保持したまま、前記Ｘ線照射ユニットを非接写ポジションに位置させてのＸ線透過画像の撮像と光学撮像装置による撮像の両方を同時並行的に実施できるとともに、前記Ｘ線照射ユニットを接写ポジションにする際、前記Ｘ線照射ユニットが前記光学撮像装置に衝突することがない。さらに前記Ｘ線照射ユニットを接写ポジションにしてのＸ線透過画像の撮像においても、同じ位置の前記検査対象部に対して撮像するので、高い精度で前記検査対象部における非接写のＸ線画像、接写のＸ線画像及び光学画像の３種の画像に基づく検査が可能となる。
【００１５】
好ましい態様におけるプリント基板の複合検査装置において、前記プリント基板が複数の検査対象部を有し、前記テーブル駆動機構は、前記基板テーブルを当該基板テーブルと平行な平面上で所定の方向と所定の方向と直交する方向の両方向に移動して各検査対象要部を一か所ずつ前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとの間に移動可能に構成されており、前記光学撮像装置は、前記撮像ポジションに位置する状態で前記テーブル駆動機構により前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとの間に移動された各検査対象部の光学画像を撮像する一方、前記Ｘ線カメラは、前記Ｘ線照射ユニットが前記非接写ポジションにある場合と前記接写ポジションにある場合の両方において、前記Ｘ線照射ユニットと前記Ｘ線カメラとの間に移動された各検査対象部のＸ線画像をそれぞれ撮像するように構成されている。この態様では、検査対象部が複数あっても、それぞれの検査対象部の非接写のＸ線画像、接写のＸ線画像、および光学画像を得ることができる。
【００１６】
好ましい態様におけるプリント基板の複合検査装置において、前記Ｘ線照射ユニットに設けられ、前記Ｘ線源から照射されるＸ線に指向性を与えるＸ線照射装置と、前記Ｘ線カメラを前記プリント基板と平行な平面上で前記両方向に移動するＸ線カメラ移動手段と、をさらに備え、事前に前記光学撮像装置が前記退避ポジションに退避する必要がある場合において、所定の方向の斜視画像を撮像するときには、前記Ｘ線カメラ移動手段が前記検査対象部に対し予め設定される角度の仰角で、前記Ｘ線カメラが当該仰角に沿って前記Ｘ線照射装置が照射するＸ線の延長上に前記Ｘ線カメラを位置させ、テーブル駆動機構が当該仰角に沿って対向する前記Ｘ線源と前記Ｘ線カメラとの間に基板テーブルを位置させるように構成されている。この態様では、前記Ｘ線カメラにより上下軸回りに広い方向の斜視のＸ線画像をプリント基板上の１つ以上の検査対象部において撮像することができるとともに、前記光学撮像装置が前記斜視のＸ線画像の撮像の障害とならないので、前記Ｘ線照射ユニットを前記非接写ポジションに位置させ、前記仰角が比較的小さな高い倍率の前記斜視画像を撮像することも、前記Ｘ線照射ユニットを前記接写ポジションに位置させ、前記仰角が大きなより一層高い倍率の前記斜視画像を撮像することもできる。
【００１７】
好ましい態様におけるプリント基板の複合検査装置において、前記Ｘ線照射ユニットは、当該Ｘ線カメラが所定の方向の斜視画像を撮像可能なように前記Ｘ線照射装置を上下軸回りに回動して照射されるＸ線の向きを変更するＲ軸モータを備えている。この態様では、Ｘ線の照射方向に指向性のあるＸ線照射装置であっても、前記Ｘ線カメラにより上下軸回りに、より一層広い方向の斜視のＸ線画像をプリント基板上の１つ以上の検査対象部において撮像することができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明によれば、光学撮像装置による可視光を利用した外観検査と、Ｘ線撮像装置によるＸ線透過検査とを同一の装置で実現するに当たり、所要の拡大倍率で接写されたＸ線画像を得ることができるという顕著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の一形態に係る複合検査装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図１の複合検査装置の構造体を示す斜視図である。
【図３】図１の複合検査装置に採用されているＸ線カメラユニットの概略構成を示す斜視図である。
【図４】図１の複合検査装置に採用されている基板テーブル等の概略構成を示す斜視図である。
【図５】図４の基板テーブルを拡大して示す斜視図である。
【図６】図４の基板テーブルの平面図である。
【図７】図１の複合検査装置の基板搬送方向下流側を示す断面図である。
【図８】図１の複合検査装置の裏面側を示す断面図である。
【図９】図１の複合検査装置の裏面側を示す断面図である。
【図１０】図１の複合検査装置において採用可能なＸ線照射装置の一例を示す概略構成図である。
【図１１】図１の複合検査装置の制御ユニットを示すブロック図である。
【図１２】図１の複合検査装置の検査動作を示すフローチャートである。
【図１３】図１２における並行撮像検査サブルーチンを示すフローチャートである。
【図１４】図１２及び図１３の動作シーケンスを示すタイミングチャートである。
【図１５】図１の複合検査装置に採用されているＸ線カメラユニットによるＸ線画像の倍率の変化についての説明図であり、（Ａ）は、接写ポジション、（Ｂ）はと非接写ポジションの到達経路をそれぞれ示す。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、以下の説明では、本発明の実施の形態に係る複合検査装置１０に対し、検査対象となるプリント基板Ｗが搬送される方向をＸ軸とし、このＸ軸に直交する水平方向をＹ軸とし、上下方向をＺ軸とする直交座標系に基づいて、各部を説明する。プリント基板Ｗには、多数の電子部品が実装されており、通電部部分がはんだ付けされている。本実施形態に係る複合検査装置１０は、各電子部品の各はんだ付け部分を主な検査対象部として、プリント基板Ｗの合否を検査するように構成されている装置である。
【００２１】
図１を参照して、複合検査装置１０は、鉛等でシールドされたハウジング１１を備えている。ハウジング１１は、略立方体であり、その正面１１ａがＹ軸方向の一端側に向いている。ハウジング１１の両側部には、基板Ｗを搬出入する一対の基板搬送コンベア１２、１４が併設されている。基板搬送コンベア１２、１４は、何れもベルトコンベア対１２ａ、１２ｂ、１４ａ、１４ｂで構成されている。基板搬送コンベア１２、１４は、設置される設備の仕様に応じて、一方が基板搬入コンベアを構成し、他方が基板搬出コンベアを構成する。図示の例では、図１の右側の基板搬送コンベア１２を搬入側、左側の基板搬送コンベア１４を搬出側としている。複合検査装置１０が設置される設備では、基板搬入コンベアから搬入されたプリント基板Ｗがハウジング１１内で検査され、その後、複合検査装置１０から基板搬出コンベアに搬出される構成になっている。ハウジング１１が各基板搬送コンベア１２、１４と対向する壁１１ｂ、１１ｃには、シャッタ機構がそれぞれ設けられており、このシャッタ機構によって開閉される基板搬出入口１１ｄ、１１ｅ（図２参照）からプリント基板Ｗが搬出入されるように構成されている。
【００２２】
図２を参照して、ハウジング１１内には、複合検査装置１０に設けられる各装置を支持する構造体２０が構成されている。構造体２０は、ハウジング１１の底部を構成する基台２１と、基台２１の上部に立設されて対をなし、それぞれ、Ｘ軸方向の一端側と他端側の内壁部分を補強する一対のゲート部２２、２３と、各ゲート部２２、２３の上部中央に固定された一対のフレーム部２４、２５と、両フレーム部２４、２５間に掛け渡された梁３０とを含んでいる。これら構造体２０の各部は、何れも種々の鋼材や板金部材を組み合わせたものである。
【００２３】
基台２１には、Ｘ軸方向の中央部分が、矩形に窪んでＹ軸方向に沿って延びる底部２１ａが形成されている。底部２１ａ内には、後述するＸ線カメラユニット４０が配置される（図３参照）。基台２１の底部２１ａの両側には、一部がＸ軸方向にそって中央側に突出し、Ｙ軸方向に沿って水平に延びる棚部２１ｂが一体に設けられている。棚部２１ｂの上面には、それぞれゲート部２２、２３と対向するＹ軸レール２６、２７が設けられている。各Ｙ軸レール２６、２７には、後述する基板テーブル６０が載置され、このＹ軸レール２６、２７に沿って、前後に往復移動できるように構成されている。
【００２４】
各ゲート部２２、２３は、ハウジング１１の対応する基板搬出入口１１ｄ、１１ｅを跨ぐゲート型に形成されており、それぞれハウジング１１の対応する壁１１ｂ、１１ｃに設けられたシャッタ機構を内蔵している。
【００２５】
各フレーム部２４、２５は、その下部が、対応するゲート部２２、２３の上部に溶接されているとともに、その上面部が、上記梁３０のＸ軸方向両端部にそれぞれ溶接されている。そして、フレーム部２４、２５は、これらゲート部２２、２３、梁３０とともに、堅固なフレーム構造を構築している。
【００２６】
梁３０は、詳しくは後述する、Ｘ線源としてのＸ線照射ユニットを担持する構造体である（図７〜図９参照）。
【００２７】
次に、図３を参照して、Ｘ線カメラユニット４０は、基台２１の底部２１ａに固定配置され、Ｙ軸方向に間隔を隔ててそれぞれがＸ軸方向に延びる一対のＸ軸ガイドレール４１、４２と、両Ｘ軸ガイドレール４１、４２上にガイドされてＸ軸方向に移動するＸ軸スライドテーブル４３と、Ｘ軸スライドテーブル４３の下部に設けられ、当該Ｘ軸スライドテーブル４３をＸ軸方向に沿って駆動するＸ軸ボールねじ機構４４と、Ｘ軸スライドテーブル４３の上部に固定されて対をなし、それぞれＹ軸方向に沿って延びる一対のＹ軸ガイドレール４５、４６と、両Ｙ軸ガイドレール４５、４６にガイドされてＹ軸方向に移動するＹ軸スライドテーブル４７と、Ｙ軸スライドテーブル４７の下部に設けられ、当該Ｙ軸スライドテーブル４７をＹ軸方向に沿って駆動するＹ軸ボールねじ機構４８と、Ｙ軸スライドテーブル４７上に設けられたＸ線カメラ５０とを備えている。
【００２８】
Ｘ軸ガイドレール４１、４２は、底部２１ａの中央部分において、幾分後方寄りに配設され、この位置で、Ｘ軸スライドテーブル４３をＸ軸方向に沿って往復移動可能にガイドしている。
【００２９】
Ｘ軸スライドテーブル４３は、Ｙ軸方向に長く延びる平面視長方形に形成されている。
【００３０】
Ｘ軸ボールねじ機構４４は、底部２１ａに取り付けられるＸ軸モータ４４ａと、このＸ軸モータ４４ａによって回転駆動されるボールねじ４４ｂと、ボールねじ４４ｂに螺合し、且つ、Ｘ軸スライドテーブル４３の底面に固定されるナットユニット４４ｃを備えており、ボールねじ４４ｂの回転によってナットユニット４４ｃがＸ軸方向に沿って移動することにより、Ｘ軸スライドテーブル４３をＸ軸方向に沿って往復移動可能に構成されている。
【００３１】
Ｙ軸ガイドレール４５、４６は、Ｘ軸スライドテーブル４３の幅方向（Ｘ軸方向）に間隔を隔ててＹ軸方向に沿い、Ｘ軸スライドテーブル４３の略全長にわたって延びており、これら両Ｙ軸ガイドレール４５、４６がＹ軸スライドテーブル４７をＹ軸方向に沿って前後に往復移動可能にガイドしている。
【００３２】
Ｙ軸スライドテーブル４７は、平面で見て、Ｘ軸方向が僅かに長く設定された長方形の部材であり、その上面に、Ｘ線カメラ５０を担持している。従って、Ｘ線カメラ５０は、Ｘ軸スライドテーブル４３とＹ軸スライドテーブル４７の移動によって、底部２１ａ上で前後左右（ＸＹ軸方向）に自在移動することが可能になっている。また、Ｙ軸スライドテーブル４７上に載置されることにより、Ｘ線カメラ５０は、基台２１の棚部２１ｂよりも幾分上方に突出している。
【００３３】
Ｙ軸ボールねじ機構４８は、Ｘ軸スライドテーブル４３の後端部に取り付けられるＹ軸モータ４８ａと、このＹ軸モータ４８ａによって回転駆動されるボールねじ４８ｂと、ボールねじ４８ｂに螺合し、且つ、Ｙ軸スライドテーブル４７の底面に固定されるナットユニット４８ｃを備えており、ボールねじ４８ｂの回転によってナットユニット４８ｃがＹ軸方向に沿って移動することにより、Ｙ軸スライドテーブル４７をＹ軸方向に沿って往復移動可能に構成されている。すなわち、Ｘ軸ガイドレール４１、４２、Ｘ軸スライドテーブル４３、Ｘ軸ボールねじ機構４４、Ｙ軸ガイドレール４５、４６、Ｙ軸スライドテーブル４７、およびＹ軸ボールねじ機構４８は、Ｘ線カメラ５０をプリント基板Ｗと平行な平面上でＸ軸方向Ｙ軸方向の両方向に移動するＸ線カメラ移動手段４９を構成する。
【００３４】
次に、図４〜図６を参照して、基板テーブル６０は、本体部分となる枠体６１と、枠体６１上でプリント基板Ｗを搬送・保持するコンベアユニット７０と、コンベアユニット７０に設けられた基板搬送コンベア７３、７４を駆動するコンベア駆動機構８０と、コンベアユニット７０の対向間隔を変更する間隔調整機構９０とを備えている。また、本実施形態に係る複合検査装置１０には、基板テーブル６０をＸ軸方向とＹ軸方向とに駆動するためのテーブル駆動機構１００が設けられている（図４、図７、及び図８参照）。
【００３５】
枠体６１は、後述するテーブル駆動機構１００に連結されて、ＸＹ軸方向に移動可能に配置されている。図示の通り、枠体６１は、Ｘ軸方向に延びる一対のＸ軸片６２、６３と、このＸ軸片６２、６３の両端部分に設けられてＹ軸方向に延びる一対のＹ軸片６４、６５とを一体に備えた四角形の枠状に形成されており、その中央部分には、Ｘ線を透過させる開口６６を区画している。
【００３６】
枠体６１のＹ軸片６４、６５の上面には、それぞれＹ軸レール６７、６８が固定されている。両Ｙ軸レール６７、６８には、コンベアユニット７０が搭載されており、コンベアユニット７０は、Ｙ軸レール６７、６８上で、Ｙ軸方向に沿って移動可能に構成されている。
【００３７】
コンベアユニット７０は、Ｙ軸方向において、前後に配置される一対のフレーム体７１、７２と、各フレーム体７１、７２に設けられた基板搬送コンベア７３、７４と、一方のフレーム体（図示の例では、Ｙ軸方向において、後側に配置されるフレーム体）７２に付設されるクランプユニット７５とを備えている。
【００３８】
各フレーム体７１、７２は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って延び、端部が枠体６１から突出するＸ軸フレーム７１ａ、７２ａと、Ｘ軸フレーム７１ａ、７２ａの上面に固定され、側部が開口６６側に突出する抑えプレート７１ｂ、７２ｂを備えている。各Ｘ軸フレーム７１ａ、７２ａは、下記する間隔調整機構９０によりプリント基板Ｗ幅に対応して互いにＹ軸方向に沿って移動することにより両者間の距離が変化し、各種幅のプリント基板Ｗを搬送可能なように構成されている。
【００３９】
基板搬送コンベア７３、７４は、各フレーム体７１、７２が、互いに対向する面に沿って配設された多数のローラ７４ａと、各ローラ７４ａに巻回されたベルト７４ｂとによって構成されている。図５では、手前側の基板搬送コンベア７３のローラ、およびベルトは、隠れているが、これらは、後ろ側の基板搬送コンベア７４のローラ７４ａ、ベルト７４ｂと同一仕様に設定のものである。
【００４０】
クランプユニット７５は、Ｚ軸方向にロッドを進退させるエアシリンダと、このエアシリンダのロッドの進退によって昇降する図略のクランプとを有しており、エアシリンダによってクランプが上昇し、各フレーム体７１、７２の各抑えプレート７１ｂ、７２ｂとクランプとの間でプリント基板ＷのＹ方向の両端部をそれぞれ上下に挟持し保持することができるようになっている。
【００４１】
コンベア駆動機構８０は、枠体６１の手前側のＸ軸方向一端部分に取り付けられ、Ｙ軸回りの動力を出力するモータ８１と、Ｙ軸方向に沿って両基板搬送コンベア７３、７４間に配置され、モータ８１によってＹ軸回りに回転駆動される駆動シャフト８２と、駆動シャフト８２に連結されて基板搬送コンベア７３、７４毎に設けられ、対応する基板搬送コンベア７３、７４のベルト７４ｂに動力を出力する出力プーリ８３（基板搬送コンベア７４のもののみ図示）とを備えている。モータ８１に駆動される駆動シャフト８２は、断面が多角形に形成されており、各出力プーリ８３は、駆動シャフト８２との相対的な回転が規制された状態で、駆動シャフト８２に対し、Ｙ軸方向に沿って相対的に移動可能に連結されている。図示の例では、枠体６１のＹ軸片６５に取り付けられた軸受８４により、駆動シャフト８２が滑らかに回転自在に支持されている。
【００４２】
間隔調整機構９０は、両フレーム体７１、７２のＸ軸方向両側に配設され、それぞれＹ軸方向に沿って延びる両ねじボルト９１と、後ろ側のフレーム体７２の背面に設けられ、双方の両ねじボルト９１、９１に同一方向の回転力を伝達する動力伝達ユニット９２と、後ろ側のフレーム体７２のＸ軸方向他端側に取り付けられ、動力伝達ユニット９２に対し、Ｙ軸回りの回転力を出力するモータ９３とを備えている。両ねじボルト９１には、そのＹ軸方向中央部を境に右ねじと左ねじとが対称に形成されており、それぞれフレーム体７１、７２に取り付けられたナット機構９４、９５に螺合している。そして、両ねじボルト９１は、一方向（例えば、時計回り方向）に回転することによって、ナット機構９４、９５と協働し、図６の仮想線で示すように、両フレーム体７１、７２が互いに近接する方向に引き寄せるとともに、他方向（例えば、反時計回り方向）に回転することによって、図６の実線で示すように、両フレーム体７１、７２が互いに離反する方向に引き離すように構成されている。
【００４３】
次に、図７を参照して、テーブル駆動機構１００は、基板テーブル６０をＸ軸方向に沿って駆動するＸ軸駆動ユニット１１０と、このＸ軸駆動ユニット１１０を介して、基板テーブル６０をＹ軸方向に駆動するＹ軸駆動ユニット１４０（図４参照）とを備えている。
【００４４】
Ｘ軸駆動ユニット１１０は、基板テーブル６０の枠体６１の下面に配置される可動フレーム１１１と、可動フレーム１１１上にＹ軸方向に間隔を隔てて配置され、基板テーブル６０をＸ軸方向に沿ってガイドする一対のＸ軸レール１１２、１１３と、後方のＸ軸レール１１３の後ろ側に並設されたＸ軸ボールねじ機構１１４とを備えている。可動フレーム１１１は、枠体６１と同様に、中央が開口している枠状の構造体である。Ｘ軸ボールねじ機構１１４は、Ｘ軸方向に沿って延びるボールねじ１１４ａと、このボールねじ１１４ａに螺合するナット部（図示せず）と、ボールねじ１１４ａをＸ軸回りに駆動するＸ軸モータ１１４ｂとを備えている。ナット部は、基板テーブル６０の枠体６１に固定されており、ボールねじ１１４ａの回転力を受けて、可動フレーム１１１に対し、相対的に基板テーブル６０をＸ軸方向に移動する力を伝達する。従って、Ｘ軸モータ１１４ｂが回転し、ボールねじ１１４ａが回転すると、ナット部からＸ軸方向の力を受けて、基板テーブル６０は、Ｘ軸方向に往復移動することができるようになっている。
【００４５】
図４を参照して、Ｙ軸駆動ユニット１４０は、棚部２１ｂに設けられた前記一対のＹ軸レール２６、２７と、Ｘ軸方向において基板搬送方向下流側のＹ軸レール２７の内側（Ｘ軸方向において、基板搬送方向上流側のＹ軸レール２６に対向する側）に並設されたＹ軸ボールねじ機構１４１とを備えている。Ｙ軸レール２６、２７は、それぞれ可動フレーム１１１をＹ軸方向に往復移動可能にガイドしている。Ｙ軸ボールねじ機構１４１は、Ｙ軸方向に沿って延びるボールねじ１４１ａと、このボールねじ１４１ａに螺合する図略のナット部と、ボールねじ１４１ａを回転駆動するＹ軸モータ１４１ｂとを備えている。ボールねじ１４１ａは、図略の軸受によって、棚部２１ｂ上で回転自在に支持されている。ナット部は、可動フレーム１１１の下面に固定され、ボールねじ１４１ａの回転力を受けて、可動フレーム１１１を介し、基板テーブル６０をＹ軸方向に駆動する力を伝達するものである。従って、Ｙ軸モータ１４１ｂが回転し、ボールねじ１４１ａが回転すると、ナット部からＹ軸方向の力を受けて、基板テーブル６０は、Ｙ軸方向に往復移動することができるようになっている。
【００４６】
次に、基板テーブル６０に保持されたプリント基板Ｗを透過検査するためのＸ線照射ユニット（Ｘ線源の一例）１６０について説明する。Ｘ線照射ユニット１６０は、Ｘ線源を昇降することでＸ線画像の倍率を変更可能とする倍率変更手段（昇降装置）の一例であるＸ線源支持機構１５０に担持されている。そこで、まず、このＸ線源支持機構１５０について、先に説明する。
【００４７】
図８及び図９を参照して、Ｘ線源支持機構１５０は、梁３０の背面に固定された板状の支持プレート１５１と、この支持プレート１５１の背面に固定され、Ｚ軸方向に沿って延びる一対の昇降レール１５２、１５３と、昇降レール１５２、１５３に連結された昇降スライダ１５４と、昇降スライダ１５４を上下駆動するボールねじ機構１５５とを備えている。支持プレート１５１は、梁３０とともに構造体２０を構成する板金部材であり、図示の例では、梁３０に対し、堅固に固定されている。支持プレート１５１には、図略のストッパが設けられており、このストッパで規定されるストローク範囲において、昇降スライダ１５４は、Ｚ軸方向に昇降可能にガイドされている。上記ストローク範囲は、複合検査装置１０のＸ線画像に要請される所要の倍率に基づいて決定される。
【００４８】
図１５を参照して、この昇降スライダ１５４は、Ｘ線照射ユニット１６０を直接担持しており、この昇降スライダ１５４が、昇降レール１５２、１５３に沿って上下に移動することによって、図１５において点状のＸ線源すなわち点Ｘ線源として示すＸ線照射ユニット１６０から基板テーブル６０に保持されたプリント基板Ｗまでの距離Ｌ１を変化させ、これによりプリント基板ＷからＸ線カメラユニット４０まで距離Ｌ０が一定であっても、Ｘ線照射ユニット１６０からプリント基板Ｗを透過してＸ線カメラユニット４０に到達するＸ線の到達経路の距離Ｌ２（＝Ｌ０＋Ｌ１）が変化するようになっている。これらの距離Ｌ１，Ｌ２を変更することにより、Ｘ線カメラユニット４０で撮像されるＸ線画像の倍率Ｌ２／Ｌ１（＝１＋Ｌ０／Ｌ１）が変化する。図８及び図１５（Ａ）に示すように、Ｘ線照射ユニット１６０が降下しているときは、上記到達経路が第１の距離になり、Ｘ線画像の倍率は、等倍よりもより一層大きくなる接写倍率となる。すなわちＸ線照射ユニット１６０は下降して接写ポジションをとる。また、図９及び図１５（Ｂ）に示すように、Ｘ線照射ユニット１６０が上昇しているときは、上記到達経路が、第１の距離よりも長くなる第２の距離になり、接写ポジションでの撮像よりも広角の低倍率の非接写倍率（等倍よりは大きい倍率）となる。すなわちＸ線照射ユニット１６０は上昇して非接写ポジションをとる。そして、昇降レール１５２、１５３は、この接写ポジションと非接写ポジションとの間で、Ｘ線照射ユニット１６０が昇降するように、昇降スライダ１５４をガイドしている。
【００４９】
また、本実施形態の複合検査装置１０は、Ｘ線をプリント基板Ｗに対して所定の仰角（例えば、４５°）で照射し、斜めから検査対象部を撮像した斜視撮像を実行するように構成されている。この斜視撮像においては、必ず、接写ポジションで撮像するように制約条件が後述する制御ユニット６００に設定されている。
【００５０】
ボールねじ機構１５５は、Ｚ軸方向に延びて、支持プレート１５１の背面に軸支されるボールねじ１５５ａと、このボールねじ１５５ａに螺合する図略のナット部と、ボールねじ１５５ａをＺ軸回りに回転駆動するＺ軸モータ１５５ｂと、Ｚ軸モータ１５５ｂの出力をボールねじ１５５ａに伝達するベルト機構１５５ｃとを備えている。ボールねじ１５５ａは、上記ストローク範囲でＸ線照射ユニット１６０が昇降できるように、支持プレート１５１の概ね全高にわたって延びている。上記図略のナット部は、昇降スライダ１５４の前面に固定されており、ボールねじ１５５ａの回転力を受けて昇降スライダ１５４に対し、上下方向に移動する力を伝達するものである。上記Ｚ軸モータ１５５ｂは、出力軸を下方に向けてＺ軸方向に沿って支持プレート１５１の前面に取り付けられている。前記ベルト機構１５５ｃは、Ｚ軸モータ１５５ｂの出力軸に取り付ける出力プーリと、前記ボールねじ１５５ａの下端に取り付けられる入力プーリと、両プーリ間に巻回されるベルトとを有し、これらプーリ、ベルトを介して、Ｚ軸モータ１５５ｂの駆動力をボールねじ１５５ａに伝達するように構成されている。このように、Ｚ軸ボールねじ機構１５５を含むＸ線源支持機構１５０は、Ｘ線照射ユニット１６０から照射されるＸ線がＸ線カメラ５０に到達するまでの直線距離が接写用に近接する接写ポジション（図８参照）とＸ線照射ユニット１６０から照射されるＸ線がＸ線カメラ５０に到達するまでの直線距離が接写ポジションでの距離よりも長くなる非接写ポジション（図９参照）との間で、Ｘ線照射ユニット１６０を変位して、当該Ｘ線画像の倍率を変更する倍率変更手段、すなわち昇降装置を構成している。
【００５１】
次に、図示の例において、Ｘ線照射ユニット１６０は、ハウジング１６１と、このハウジング内に収容されている図略の高電圧発生ユニットと、この高電圧発生ユニットから給電されてＸ線を照射するＸ線照射装置２００とを備えている。
【００５２】
図１０を参照して、Ｘ線照射装置２００は、放射窓２０１ａを有するガラス管２０１と、ガラス管２０１の一端部に固定され、ガラス管２０１の他端側に集束筒２０２ａを有する陰極２０２と、ガラス管２０１の他端側に固定され、陰極２０２の集束筒２０２ａに対向するターゲット（焦点）２０３ａを有する陽極２０３とを備えている。陰極２０２の集束筒２０２ａには、フィラメント２０４が設けられており、陽極２０３のターゲット２０３ａに臨んでいる。ターゲット２０３ａは、タングステン製で、ガラス管２０１の中心線に対して例えば、４５°傾斜しており、フィラメント２０４から放射されたＸ線を放射窓２０１ａからガラス管２０１の外側に放射できるようになっている。ここで、ターゲット２０３ａの斜面に熱電子を照射した場合、Ｘ線は、図１０のＲｙで示すように、全方位にわたって均等にはならず、ターゲット２０３ａの傾斜下側に対応する部位が影になって、略ハート形に分布する。そこで、Ｘ線照射ユニット１６０の例えば、Ｘ線照射装置２００をＺ軸回りに回動させて、略ハート形に分布するＸ線の照射方向をＺ軸回りに回転することができ、図１０の陰極２０２から陽極２０３に向かう方向（例えば図９に示す基板搬送方向上流側）に斜めの照射が確保できる。これにより、Ｘ線カメラユニット４０においてＸ線カメラ５０を図９の左方移動させることで、左下方に照射されるＸ線を使った基板ＷのＸ線傾斜画像を得ることができる。この時のＸ線傾斜画像は、プリント基板Ｗに対して交差する角度（右方上方から左下方にＸ線が抜けるので左仰角）のＸ線による画像である。
【００５３】
図８及び図９に示すように、プリント基板Ｗ上の各部位に対して全方位の所定の複数の仰角のＸ線傾斜画像を得るために、テーブル駆動機構１００により基板テーブル６０がＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動制御され、Ｘ線カメラユニット４０においてＸ線カメラ５０がＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動制御され、Ｘ線照射ユニット１６０のＸ線照射装置２００がＲ軸モータ１７０の作動によってＺ軸回りに回動移動される。Ｒ軸モータ１７０は下記する制御ユニット６００により回転制御される。
【００５４】
次に、このＸ線照射ユニット１６０に並設された光学撮像装置３００について説明する。光学撮像装置３００は、光学系駆動手段としての光学駆動機構１８０に担持されている。そこで、まず、この光学駆動機構１８０について説明する。
【００５５】
光学駆動機構１８０は、梁３０の一方を支持するフレーム部２５の直下に設けられ、Ｘ軸方向に延びるガイドフレーム１８１と、このガイドフレーム１８１の背面にＺ軸方向に間隔を隔てて配置され、それぞれＸ軸方向に沿って平行に延びる一対のガイドレール１８２、１８３と、このガイドレール１８２、１８３に連結されて、Ｘ軸方向に移動可能に支持されるスライダ１８４と、スライダ１８４とガイドフレーム１８１との間に設けられたボールねじ機構１８５とを備えている。ガイドフレーム１８１は、梁３０やフレーム部２５とともに、構造体２０の一部を構成する板金部材である。ガイドフレーム１８１には、図略のストッパが設けられており、このストッパで規定されるストローク範囲において、スライダ１８４は、Ｘ軸方向に往復移動可能にガイドされている。このストローク範囲において、ガイドレール１８２、１８３は、図９に示すように、Ｘ線照射ユニット１６０が非接写ポジションにあるときに、光学撮像装置３００をＸ線照射ユニット１６０の直下に臨ませて、可視光による撮像を可能とする撮像ポジションと、図８に示すように、この撮像ポジションからＸ軸方向に待避して、Ｘ線照射ユニット１６０が非接写ポジションから接写ポジションに降下するのを許容する退避ポジションとの間で、光学撮像装置３００が変位するように、スライダ１８４をガイドしている。ボールねじ機構１８５は、Ｘ軸方向に延びて、ガイドフレーム１８１の背面に軸支されるボールねじ１８５ａと、このボールねじ１８５ａに螺合する図略のナット部と、ボールねじ１８５ａをＸ軸回りに回転駆動するＸ軸モータ１８５ｂとを備えている。ボールねじ１８５ａは、上記ストローク範囲で光学撮像装置３００が移動できるように、ガイドフレーム１８１の概ね全長にわたって延びている。上記ナット部は、スライダ１８４の前面に固定されており、ボールねじ１８５ａの回転力を受けてスライダ１８４に対し、Ｘ軸方向に沿って移動する力を伝達するものである。上記Ｘ軸モータ１８５ｂは、出力軸をＸ軸方向に沿わせた状態で構造体２０の適所に取り付けられており、このＸ軸モータ１８５ｂの駆動力がボールねじ１８５ａに伝達するように構成されている。このように、光学駆動機構１８０は、Ｘ線照射ユニット１６０とＸ線カメラ５０との間で検査対象部に臨む撮像ポジション（図９参照）と、Ｘ線照射ユニット１６０とＸ線カメラ５０とが相対的に接写ポジションに向かって移動できるように撮像ポジションから退避する退避ポジション（図８参照）との間で光学撮像装置３００を移動させる駆動手段を構成している。
【００５６】
次に、光学撮像装置３００は、スライダ１８４に担持されるＣＣＤカメラ３０１と、このＣＣＤカメラ３０１とユニット化され、基板テーブル６０の上方に臨む光学系３０２とを備えている。ＣＣＤカメラ３０１は、図略のレンズをＸ軸方向に沿って向けており、光学系３０２からの光を受光できるようになっている。光学系３０２は、環状のフード３０２ａと、このフード３０２ａの上部に配置され、４５°に傾斜してＣＣＤカメラ３０１の側部に臨むミラー３０２ｂとを備えている。フード３０２ａの内部には、多数のＬＥＤが設けられており、これらのＬＥＤから下方に光を照射することができるようになっている。また、フード３０２ａは中央部に貫通穴が空けられてＸ線、およびプリント基板Ｗの検査対象部からの反射光が通過可能とされ、ミラー３０２ｂは、フード３０２ａの下方でプリント基板Ｗの検査対象部から反射された光をさらにＸ軸方向に沿って反射させ、当該反射光をＣＣＤカメラ３０１に導くとともに、Ｘ線が透過可能となるように構成されている。本実施形態において、中央部に貫通穴が空けられてたフード３０２ａ並びにミラー３０２ｂは、光学撮像装置を構成するとともにＸ線が通過する受光部の一例である。ここで、図示の実施形態においては、光学撮像装置３００が撮像ポジションにあるとき、このミラーの中心が、Ｘ線照射ユニット１６０の直下に位置するように設定されている。そのため、Ｘ線照射ユニット１６０が、直下の検査対象部を検査するためにＸ線を照射する際には、この照射動作と並行して同一位置の検査対象部を同時に撮像することが可能となる。なお、この非接写ポジションのＸ線照射ユニット１６０によるプリント基板Ｗの垂直上方からのＸ線によるＸ線画像の撮像と、ミラー３０２ｂを介した垂直上方からの可視光による撮像は、プリント基板Ｗ上の各部位に対して実施され、このためにこれらの撮像ごとにテーブル駆動機構１００により基板テーブル６０がＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動制御される。
【００５７】
さらに、図７を参照して、Ｘ線照射ユニット１６０の前方には、レーザ検査装置４００が設けられている。レーザ検査装置４００は、当該Ｘ線照射ユニット１６０に近接した位置から、基板テーブル６０上のプリント基板Ｗに臨む位置に配置されている。また、レーザ検査装置４００は、下方にレーザを照射する照射部と検査対象部から反射されたレーザ光を受光する受光部とを備えており、受光部が受けた光に基づいて、検査対象部の高さを検出するためのものである。この高さ検出は、プリント基板Ｗ上の所定の各部位に対して、Ｘ線撮像および光学撮像と同時並行あるいは独立に実施され、このために高さ検出ごとにテーブル駆動機構１００により基板テーブル６０がＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動制御されて位置決めされる。
【００５８】
次に、図１及び図１１を参照して、複合検査装置１０には、全体を制御する制御ユニット６００が装備されている。制御ユニット６００は、Ｘ線照射ユニット１６０が接写ポジションに向かって移動する必要がある場合に予め光学撮像装置３００が退避ポジションに退避するように光学駆動機構１８０を制御する撮像ポジション制御手段、テーブル駆動機構１００により基板テーブル６０をＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動制御するテーブル移動制御手段、Ｘ線カメラ５０をＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動制御するＸ線カメラ移動制御手段、並びに光学撮像装置３００が退避ポジションに退避している場合に、所定の方位の所定の複数の仰角のＸ線傾斜画像を得るために、Ｒ軸モータ１７によりＸ線照射装置２００をＺ軸回りに回動制御するＸ線照射装置回動制御手段の一例である。なお、光学撮像装置３００が退避ポジションに退避している場合に、Ｘ線照射ユニット１６０は接写ポジションをとる。Ｘ線照射ユニット１６０は接写ポジションにおいて、所望の接写倍率に見合った高さ位置とされ、プリント基板Ｗの垂直上方からのＸ線による接写のＸ線画像の撮像、プリント基板Ｗに対して所定の方位および所定の仰角のＸ線によるＸ線傾斜画像の撮像が、基板テーブル６０の位置、Ｘ線カメラ５０位置、およびＸ線照射装置２００のＺ軸回り位置が変えられつつ、プリント基板Ｗの所定の部位について実施される。本実施形態において、複合検査装置１０の正面には、表示パネル６１０や、キーボード６２０が取り付けられている。また、複合検査装置１０の頂部には、動作状況を示すランプ６１１が立設されている。さらに、制御ユニット６００の基板搬送方向上流側には、電源装置６３０が設置されている。
【００５９】
制御ユニット６００は、マイクロプロセッサ等で具体化される主制御部（ＣＰＵ）６０１を備えており、この主制御部６０１に、記憶装置６０２、Ｘ線画像ボード６０３、光学画像ボード６０４、駆動系ボード６０５、センサ系ボード６０６、表示ボード６０７、入力ボード６０８、通信ボード６０９等が接続されている。
【００６０】
記憶装置６０２は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、補助記憶装置等によって具体化されるものであり、複合検査装置１０の各部を制御し、検査を実行するために必要なプログラムやマスターデータ、検査対象となるプリント基板Ｗ並びに実装部品、検査項目等、検査対象品のマスターデータ、並びに検査対象項目に対する検査仕様等を定めたトランザクションデータ等が記憶されている。
【００６１】
Ｘ線画像ボード６０３は、Ｘ線カメラ５０と主制御部６０１を接続するためのインターフェースであり、このＸ線画像ボード６０３を通して、主制御部６０１は、Ｘ線カメラ５０が撮像したＸ線画像に基づき、検査対象品の透過検査を実行することができるようになっている。
【００６２】
光学画像ボード６０４は、ＣＣＤカメラ３０１と主制御部６０１を接続するためのインターフェースであり、この光学画像ボード６０４を通して、主制御部６０１は、ＣＣＤカメラ３０１が撮像した光学画像に基づき、検査対象品の外観検査を実行することができるようなっている。
【００６３】
駆動系ボード６０５は、複合検査装置１０に設けられている各種モータ類（例えば、ボールねじ機構４４、１１４、１４１、１５５、１８５の各Ｘ軸モータ４４ａ、１４１ｂ、１１４ｂ、１４４ｂ、１５５ｂ、１８５ｂ等）や、クランプユニット７５のアクチュエータ等と主制御部６０１を接続するためのインターフェースであり、この駆動系ボード６０５を通して、主６０１は、各種モータ類の回転方向、回転量、回転速度、動作タイミング等を制御したり、或いは、クランプユニット７５のエアシリンダの開閉動作を制御することができるようになっている。
【００６４】
センサ系ボード６０６は、複合検査装置１０に設けられている各種のセンサ類と主制御部６０１とを接続するインターフェースであり、このセンサ系ボード６０６を通して主制御部６０１は、各種のセンサ類が検出した検出結果に基づき、各部の動作タイミングやプリント基板Ｗの有無等を検出することができるようになっている。
【００６５】
表示ボード６０７は、複合検査装置１０の正面に取り付けられた表示パネル６１０やランプ６１１と主制御部６０１とを接続するインターフェースであり、この表示ボード６０７を通して、主制御部６０１は、制御情報を表示パネル６１０にグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）で表示したり、或いは、複合検査装置１０の頂部に設けたランプ６１１（図１参照）を点滅したりすることができるようになっている。
【００６６】
入力ボード６０８は、複合検査装置１０の正面に取り付けられたキーボード６２０等のポインティングディバイスと主制御部６０１とを接続するインターフェースであり、この入力ボード６０８を通して、主制御部６０１は、ユーザが操作したキーボード６２０等のデータを受け付けることができるようになっている。
【００６７】
通信ボード６０９は、複合検査装置１０が設置される設備の生産プログラムを管理するホストコンピュータとデータの通信を実行するためものであり、この通信ボード６０９を通して主制御部６０１は、ＬＡＮ及び／またはＷＡＮでホストコンピュータと接続され、検査対象となるプリント基板Ｗの品番等、検査対象項目に関する情報を取得することができるようになっている。
【００６８】
記憶装置６０２に記憶されているプログラム等に基づき、主制御部６０１は、複合検査装置１０の各部を以下の手順で制御する。
【００６９】
図１、図１２、並びに図１４を参照して、まず、主制御部６０１は、基板受入動作を実行する（ステップＳ１）。この基板受入動作は、上流工程を終了したプリント基板Ｗが基板搬送コンベア１２から搬送されてくると、基板搬出入口１１ｄのシャッタ機構が開き、基板搬出入口１１ｄを開放して、プリント基板Ｗを受け入れる。このとき、基板テーブル６０は、Ｘ軸ボールねじ機構１１４のＸ軸モータ１１４ｂに駆動されて、基板搬出入口１１ｄ側に移動し、基板搬送コンベア１２から搬入されたプリント基板Ｗを受け入れるようになっている。多品種少量生産の環境で、本複合検査装置１０が使用される場合には、搬入されるプリント基板Ｗの幅がまちまちであるが、この搬入受入動作では、基板テーブル６０の間隔調整機構９０が作動し、事前にホストコンピュータから取得した通信データに基づき、搬入されるプリント基板Ｗの幅に適合する寸法に、コンベアユニット７０の両フレーム体７１、７２の対向間隔を調整している。基板搬出入口１１ｄから搬入されたプリント基板Ｗは、コンベアユニット７０のコンベア駆動機構８０によって基板テーブル６０上に搬入される。搬入後は、Ｘ線撮像時のＸ線が漏洩しないように、搬入側のシャッタ機構が作動して、基板搬出入口１１ｄを再び閉じる。
【００７０】
搬入されたプリント基板Ｗは、所定位置に移動したところで、クランプユニット７５により、コンベアユニット７０の両フレーム体７１、７２間にクランプされ、保持される（ステップＳ２）。
【００７１】
プリント基板Ｗがクランプされると、基板テーブル６０は、再びＸ軸ボールねじ機構１１４のＸ軸モータ１１４ｂに駆動されて、複合検査装置１０内の所定位置に移動する。これにより、プリント基板Ｗは、当該検査位置に設置されることになる。この基板テーブル６０の移動と並行して、Ｘ線撮像のために、カメラユニット４０のＸ軸モータ４４ａ、Ｙ軸モータ４８ａがそれぞれ作動し、Ｘ線カメラ５０を予め設定された撮像位置に移動する。
【００７２】
次に、主制御部６０１は、検査のために、光学撮像装置３００の退避が必要であるか否かを判定する（ステップＳ４）。ここで、仮にプリント基板Ｗの垂直上方からのＸ線による接写のＸ線画像の撮像や、所定の方位および所定の仰角のＸ線によるＸ線傾斜画像の撮
像（斜視撮像）が必要である場合、主制御部６０１は、光学撮像装置３００の退避が必要と判定するように、制約条件がプログラムされている。仮に退避が必要な場合、主制御部６０１は、並行撮像検査サブルーチン（ステップＳ５）を実行する。また、退避が不要な場合、主制御部６０１は、同軸撮像検査サブルーチン（ステップＳ６）を実行する。並行撮像検査サブルーチンについては、後述する。また、同軸撮像検査サブルーチンは、プリント基板Ｗの検査対象部とＸ線照射ユニット１６０との間に、光学撮像装置３００の光学系３０２のミラー３０２ｂを同軸に配置し、Ｘ線カメラ５０で撮像したＸ線画像に基づく透過検査と、ＣＣＤカメラ３０１で撮像した光学画像に基づく外観検査とを同時に実行する検査態様であり、実質的に従来技術と同様であるので、その詳細については、説明を省略する。なお、並行撮像検査サブルーチンと、同軸撮像検査サブルーチンは、何れもＸ線カメラ５０およびＣＣＤカメラ３０１が一回に撮像することのできる視野を単位とするエリア毎に実行される。
【００７３】
並行撮像検査サブルーチン（ステップＳ５）または、同軸撮像検査サブルーチン（ステップＳ６）を実行した後、主制御部６０１は、全てのエリアでの撮像が終了したか否かを判定する（ステップＳ７）。仮に未撮像のエリアが残っている場合、主制御部６０１は、ステップＳ３に移行して上述した処理を繰り返す。なお、本実施形態では、同一の検査対象部に対し、非接写ポジションでの広角でのＸ線撮像と接写ポジションでの接写Ｘ線撮像の双方を実行しなければならない場合があるので、このステップＳ７の判定においては、同一エリアであっても、必要な撮像検査の全てが終了するまでは、未撮像のエリアが残っているものとして、主制御部６０１は、ステップＳ３に移行して上述した処理を繰り返す。
【００７４】
また、全てのエリアでの撮像が終了した場合、主制御部６０１は、検査後のプリント基板Ｗを搬出位置に移動する処理を実行する（ステップＳ８）。この搬出移動動作では、テーブル駆動機構１００のＸ軸駆動ユニット１１０が再び作動し、基板テーブル６０をＸ軸方向に沿って基板搬送方向下流側（図示の例では、基板搬出入口１１ｅに近づく方向。図２等参照）に駆動する。そして、基板テーブル６０が搬出側の基板搬出入口１１ｅに臨み、基板テーブル６０の移動が停止すると、今度は、基板テーブル６０のクランプが解除され（ステップＳ９）、搬出動作が実行される（ステップＳ１０）。この搬出動作では、搬出側のシャッタ機構が作動して、基板搬出入口１１ｅを開く。その後、コンベア駆動機構８０が基板搬送コンベア７３、７４を作動させ、検査済のプリント基板Ｗを搬出側の基板搬送コンベア１４に搬出する。搬出後は、シャッタ機構を作動させて、基板搬出入口１１ｅを閉じるとともに、次の動作に移行するために、テーブル駆動機構１００のＸ軸駆動ユニット１１０が再び作動し、基板テーブル６０をＸ軸方向に沿って基板搬送方向上流側（図示の例では、基板搬出入口１１ｄに近づく方向。図２等参照）に駆動する。
【００７５】
主制御部６０１は、搬出動作Ｓ１０の後、全てのプリント基板Ｗの検査が終了したか否かを判定する（ステップＳ１１）。仮に未処理のプリント基板Ｗがある場合、主制御部６０１は、ステップＳ１に移行して上述した処理を繰り返し、全てのプリント基板Ｗの検査を終了した場合には、処理を終了する。
【００７６】
次に、図７、図８、図１３、及び図１４を参照して、並行撮像検査の詳細について説明する。
【００７７】
近年、プリント基板Ｗの高集積化に伴い、プリント基板Ｗに実装される電子部品も相当小さくなっているので、Ｘ線照射ユニット１６０をプリント基板Ｗに近接し、検査対象部を接写する必要が多くなっている。かかる接写を実現するため、本実施形態では、光学撮像装置３００を光学駆動機構１８０によって退避させ、Ｘ線照射ユニット１６０をプリント基板Ｗに近接させるようにしている（ステップＳ５０１）。
【００７８】
具体的には、まず、主制御部６０１は、光学駆動機構１８０のボールねじ機構１８５を構成するＸ軸モータ１８５ｂを駆動させて、光学撮像装置３００を担持しているスライダ１８４を図９に示す位置から図８に示す位置に移動する。これにより、光学撮像装置３００は、図９に示す撮像ポジションから図８に示す退避ポジションに移動する。
【００７９】
次いで、主制御部６０１は、Ｘ線源支持機構１５０に組み込まれたボールねじ機構１５５を構成するＺ軸モータ１５５ｂを駆動させて、昇降スライダ１５４を図９示す位置から図８に示す位置に降下させる（ステップＳ５０２）。これにより、昇降スライダ１５４に担持されているＸ線照射ユニット１６０は、図９に示す非接写ポジションから、図８に示す接写ポジションにまで降下する。図示の例では、この接写ポジションにおいて、Ｘ線照射ユニット１６０は、Ｘ軸方向において、光学撮像装置３００の下流側に臨んでいる。
【００８０】
この状態で、主制御部６０１は、Ｘ線カメラ５０を作動させ、Ｘ線の接写画像を撮像する（ステップＳ５０３）。これにより、近年、要請されている大倍率のＸ線（透過）画像を得ることができる。
【００８１】
次いで、主制御部６０１は、Ｘ線画像の撮像に際し、プリント基板Ｗの垂直上方からのＸ線による接写のＸ線画像の撮像や、所定の方位および所定の仰角のＸ線によるＸ線傾斜画像の撮像（斜視撮像）が必要であるか否かを判定する（ステップＳ５０４）。仮に、斜視撮像等を実行する必要がある場合、主制御部６０１は、検査プログラムに基づき、プリント基板Ｗの所定の部位について、所定の方位および所定の仰角のＸ線によるＸ線傾斜画像の撮像が得られるように、Ｒ軸モータ１７０を停止のままとするか作動させてＸ線照射装置２００のＺ軸回り位置を変え、これとともに、主制御部６０１は、Ｘ線カメラユニット４０のＸ軸ボールねじ機構４４、Ｙ軸ボールねじ機構４８の各Ｘ軸モータ４４ａ、４８ａをそれぞれ作動させて、例えば図７に示すように、Ｘ線カメラ５０の撮像位置を変更し、テーブル駆動機構１００により基板テーブル６０をＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動し位置決めする。（ステップＳ５０５）。
【００８２】
この状態で、主制御部６０１は、Ｘ線カメラ５０を作動させ、プリント基板Ｗの垂直上方からのＸ線による接写のＸ線画像の撮像や、斜視Ｘ線画像を撮像し、撮像画像に基づいて、透過検査を実行する（ステップＳ５０６）。検査結果は、記憶装置６０２の補助記憶装置に記憶される。なお、プリント基板Ｗの所定の部位（エリア）、あるいは及び所定の方位および所定の仰角が複数ある場合は、これらの組み合わせの数だけステップＳ５０５およびステップＳ５０６が繰り返される。
【００８３】
ここで、本実施形態においては、以下のような手法を用いて、検査処理の効率化を図っている。
【００８４】
図７及び図８を参照して、Ｘ線カメラ５０が接写を実行している間は、光学撮像装置３００は、図８に示す退避ポジションに退避しているのであるが、Ｘ線カメラ５０によるプリント基板Ｗの所定の検査対象の部位すなわち検査対象部（エリア）、あるいは及び所定の方位および所定の仰角がそれぞれ複数ある場合は、これらの組み合わせの全てについての接写あるいは及び非接写の、プリント基板Ｗの垂直方向のＸ線画像や斜視画像の撮像後に、撮像ポジション下方位置から退避ポジション下方位置へ基板テーブル６０を移動させることにより、光学撮像装置３００を退避ポジションに退避させたまま、外観検査を実行することができる場合がある。
【００８５】
そこで、本実施形態においては、Ｘ線カメラ５０が接写撮像等を実行した後、光学撮像装置３００を退避ポジションに退避させている位置で外観検査を実行するようにしている。
【００８６】
具体的には、主制御部６０１は、外観検査の要否を判定し（ステップＳ５０７）、外観検査が必要な場合には、テーブル駆動機構１００を駆動させて、基板テーブル６０を移動し、当該基板テーブル６０上に保持されているプリント基板Ｗの検査対象部を退避ポジションに退避している光学撮像装置３００の光学系３０２の直下に移動する（ステップＳ５０８）。なお、本実施形態では、このタイミングで、Ｘ線照射ユニット１６０を非接写ポジションに移動させることにしている。
【００８７】
そして、基板テーブル６０の移動が終了すると、今度は、光学撮像装置３００を作動させて、光学画像を撮像し、この光学画像に基づいて、検査対象部の外観検査を実行する（ステップＳ５０９）。具体的には、光学系のフード３０２ａのＬＥＤによって、検査対象部を照明し、その反射光をミラー３０２ｂで反射させて、ＣＣＤカメラ３０１に導き、この反射光によって、検査対象部の光学画像をＣＣＤカメラ３０１で撮像する。なお、プリント基板Ｗの検査対象部（エリア）が複数ある場合は、この数だけステップＳ５０８およびステップＳ５０９が繰り返される。
【００８８】
光学撮像動作が終了した場合、または、ステップＳ５０７において、外観検査が不要であった場合、主制御部６０１の制御は、メインルーチンに復帰する。なお、レーザ検査装置４００については、Ｘ線撮像装置や光学撮像装置３００の移動に拘わらず、定位置で高さ検査を実行することができることから、並行撮像検査サブルーチン（ステップＳ５）における外観検査と同様に、基板テーブル６０の移動によって、適宜必要な検査を実行することができる。
【００８９】
以上説明したように、本実施形態によれば、多数の電子部品を搭載したプリント基板Ｗを検査するに当たり、前記Ｘ線照射ユニットが非接写ポジションにある場合に、駆動手段としての光学駆動機構１８０によって光学撮像装置３００を撮像ポジションにすることができ、従来技術と同様に、同一のプリント基板Ｗに対し、光学撮像装置３００が撮像した可視光での画像に基づく外観検査と、Ｘ線カメラ５０が撮像したＸ線画像に基づく透過検査とを同時的に並行して実現することができる。しかも、本実施形態では、駆動手段としての光学駆動機構１８０によって光学撮像装置３００を退避ポジションにすることで、倍率変更手段（昇降装置）としてのＺ軸ボールねじ機構１５５によって、Ｘ線画像の倍率を切り換えることができるので、近年要請されている種々の撮像要求に応じることが可能となる。すなわち、本実施形態の光学撮像装置３００は、駆動手段としての光学駆動機構１８０によって撮像ポジションと、この撮像ポジションから退避する退避ポジションとの間で移動されるように構成されている。そして、Ｘ線照射ユニット１６０とＸ線カメラ５０の少なくとも何れか一方（本実施形態では、Ｘ線照射ユニット１６０）が接写ポジションに移動する必要がある場合には、撮像ポジション制御手段としての制御ユニット６００によって、光学撮像装置３００が退避ポジションに退避するように光学駆動機構１８０が制御されるので、Ｘ線照射ユニット１６０は、光学撮像装置３００に妨げられることなくプリント基板Ｗに近接した、接写ポジションに移動することが可能となる。従って、近年要請されている高い倍率の接写Ｘ線画像を得ることができる。すなわち、プリント基板Ｗを一定の位置に保持したまま、Ｘ線照射ユニット１６０を非接写ポジションに位置させてのＸ線透過画像の撮像と光学撮像装置３００による撮像の両方を同時並行的に実施できるとともに、Ｘ線照射ユニット１６０を接写ポジションにする際、Ｘ線照射ユニット１６０が光学撮像装置３００に衝突することがない。さらにＸ線照射ユニット１６０を接写ポジションにしてのＸ線透過画像の撮像においても、同じ位置の検査対象部に対して撮像するので、高い精度で検査対象部における非接写のＸ線画像、接写のＸ線画像及び光学画像の３種の画像に基づく検査が可能となる。
【００９０】
また実施形態では、退避ポジションにある光学撮像装置３００によって検査対象部が撮像できるように、基板テーブル６０を当該基板テーブル６０と平行な平面上で移動するテーブル駆動機構１００と、光学撮像装置３００が退避ポジションに退避している場合に、この退避ポジションで検査対象部を撮像するようにプリント基板ＷをＸ線照射装置２００からＸ線カメラ５０に至る領域の外である退避ポジションに位置する光学撮像装置３００の下方、具体的にはミラー３０２ｂの下方に位置させるべく、テーブル駆動機構１００を制御するテーブル移動制御手段としての制御ユニット６００とをさらに備えている。このため本実施形態では、プリント基板Ｗを前記領域の中に位置させてＸ線カメラ５０が接写ポジションにて透過画像を撮像するとともに、光学撮像装置３００が退避ポジションに移動している間に、プリント基板Ｗを前記領域の外すなわち退避ポジションに位置する光学撮像装置３００の下方に位置させ、この状態でこの光学撮像装置３００を作動させ、プリント基板Ｗの外観検査を実行することができる。このため、光学撮像装置３００の稼働率が上昇し、検査時間の短縮に寄与することが可能となる。
【００９１】
また実施形態では、プリント基板Ｗを保持する基板テーブル６０を、基板テーブル６０と平行な平面上で所定の方向（Ｘ軸方向）と所定の方向と直交する方向（Ｙ軸方向）の両方向に移動するテーブル駆動機構１００を備えており、テーブル駆動機構１００によりプリント基板Ｗの複数の検査対象部を一か所づつ、Ｘ線照射ユニット１６０のＸ線照射装置２００からＸ線カメラ５０に至る領域内に位置させた状態で、Ｘ線照射ユニット１６０が非接写ポジションにある場合と接写ポジションにある場合の両方において、Ｘ線カメラ５０が検査対象部のＸ線画像をそれぞれ撮像する一方、撮像ポジションに位置する光学撮像装置３００が検査対象部の光学画像をそれぞれ撮像するようにしている。これにより、検査対象部が複数あっても、それぞれの検査対象部の非接写のＸ線画像、接写のＸ線画像、および光学画像を得ることができる。
【００９２】
なお、Ｘ線照射ユニット１６０を非接写ポジションに、光学撮像装置３００を撮像ポジションにそれぞれ位置させた状態で、非接写のＸ線画像の撮像と光学画像の撮像を並行実施することを、基板テーブル６０を移動させつつ複数の検査対象部についてそれぞれ行った後、光学撮像装置３００を退避ポジションに移動させ、Ｘ線照射ユニット１６０を接写ポジションに位置させた状態で、基板テーブル６０を移動させつつ複数の検査対象部についてそれぞれ接写のＸ線画像の撮像を実施する。これにより撮像を効率することができる。
【００９３】
また実施形態では、Ｘ線カメラ５０をプリント基板Ｗと平行な平面上でＸ軸方向Ｙ軸方向の両方向に移動するＸ線カメラ移動手段４９を備え、複数の検査対象部のそれぞれに対し予め設定される角度の前記仰角で、それぞれの検査対象部における上下軸回りに所定の方向の斜視画像を撮像する場合には、テーブル駆動機構１００により、所定の方向の斜視画像を撮像する検査対象部における所定の方向のＸ線照射装置２００のＸ線源に向けての仰角が、予め設定された角度となるように基板テーブル６０を位置させ、Ｘ線カメラ移動手段４９により、所定の方向の斜視画像を撮像する検査対象部における所定の方向の仰角が前記予め設定された角度となるように、前記Ｘ線源から検査対象部に向かうＸ線の延長上にＸ線カメラ５０を位置させるとともに、撮像ポジション制御手段（制御ユニット６００）は、事前に光学撮像装置３００が前記退避ポジションに退避するように駆動手段（光学駆動機構１８０）を制御する。
【００９４】
この状態でＸ線照射ユニット１６０を非接写ポジションに位置させて非接写Ｘ線画像を撮像し、Ｘ線照射ユニット１６０を接写ポジションに位置させて接写Ｘ線画像を撮像しする。これらを複数の検査対象部のそれぞれに対し実施する。これにより、光学撮像装置３００が障害となることなく、それぞれの複数の検査対象部のそれぞれに対し予め設定される角度の前記仰角で、それぞれの検査対象部における上下軸回りに所定の方向の斜視画像を撮像することができる。
【００９５】
なお、昇降手段によるＸ線照射ユニット１６０の移動より、テーブル駆動機構１００による基板テーブル６０の移動およびＸ線カメラ移動手段４９によるＸ線カメラ５０の移動の方が高速で移動時間が短くなる場合には、複数の検査対象部のそれぞれに対し予め設定される角度の前記仰角で、それぞれの検査対象部における上下軸回りに所定の方向の非接写あるいは接写の一方の斜視画像を撮像した後、Ｘ線照射ユニット１６０を昇降し、複数の検査対象部のそれぞれに対し予め設定される角度の前記仰角で、それぞれの検査対象部における上下軸回りに所定の方向の非接写あるいは接写の他方の斜視画像を撮像する。これにより撮像を効率化できる。
【００９６】
また実施形態では、Ｘ線照射ユニット１６０は、Ｘ線を照射するＸ線照射装置２００を上下軸回りに回動するＲ軸モータ１７０を備え、前記Ｘ線カメラ５０が所定の検査対象部における前記上下軸回りの所定の方向の斜視画像を撮像可能なように、前記Ｘ線照射装置２００から照射されるＸ線が前記所定の検査対象部を通り前記Ｘ線カメラ５０に到達するようＲ軸モータ１７０を回転制御するようにしたものである。
【００９７】
これにより、Ｘ線の照射方向に指向性のあるＸ線照射装置２００であっても、前記Ｘ線カメラ５０により上下軸回りに、より一層広い方向の斜視のＸ線画像をプリント基板Ｗ上の１つ以上の検査対象部において撮像することができる。
【００９８】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることはいうまでもない。
【００９９】
例えば、本実施形態では、Ｘ線カメラ５０を基板テーブル６０の下方に配置し、Ｘ線照射ユニット１６０を基板テーブル６０の上方に配置しているが、Ｘ線カメラ５０を基板テーブル６０の上方に配置し、Ｘ線照射ユニット１６０を基板テーブル６０の下方に配置してもよい。
【０１００】
また、本実施形態では、Ｘ線照射ユニット１６０をＸ線源支持機構１５０で昇降する構成を採用しているが、Ｘ線照射ユニット１６０を定位置に固定し、Ｘ線カメラ５０をＺ軸方向に駆動できるように構成してもよい。
【０１０１】
さらに、本実施形態では、退避ポジションにある光学撮像装置３００に検査対象部を臨ませるために、基板テーブル６０をＸＹ軸方向に移動可能に構成しているが、光学撮像装置３００が退避ポジションのエリア内で移動可能に構成されていてもよい。
【０１０２】
その他、本発明の特許請求の範囲内で、種々の変更が可能であることは、いうまでもない。
【符号の説明】
【０１０３】
１０  複合検査装置
１２、１４  基板搬送コンベア
４０  Ｘ線カメラユニット
４１、４２  Ｘ軸ガイドレール
５０  Ｘ線カメラ
６０  基板テーブル
１００  テーブル駆動機構
１５０  Ｘ線源支持機構（倍率変更手段の一例）
１６０  Ｘ線照射ユニット
１７０  Ｒ軸モータ（仰角変更手段の一例）
１８０  光学駆動機構（光学系駆動手段の一例）
３００  光学撮像装置
３０１  ＣＣＤカメラ
３０２  光学系
３０２ａ  照明装置
３０２ｂ  ミラー
４００  レーザ検査装置
６００  制御ユニット
Ｗ  プリント基板
【図１】
0005912553.tif 000002
【図２】
0005912553.tif 000003
【図３】
0005912553.tif 000004
【図４】
0005912553.tif 000005
【図５】
0005912553.tif 000006
【図６】
0005912553.tif 000007
【図７】
0005912553.tif 000008
【図８】
0005912553.tif 000009
【図９】
0005912553.tif 000010
【図１０】
0005912553.tif 000011
【図１１】
0005912553.tif 000012
【図１２】
0005912553.tif 000013
【図１３】
0005912553.tif 000014
【図１４】
0005912553.tif 000015
【図１５】
0005912553.tif 000016