(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハの表面を覆う保護テープを剥離する保護テープ剥離装置であって、
先端面に少なくとも１つの穴を有するこてと、
前記こてに接続されたヒータと、
前記こてに接続された、前記少なくとも１つの穴の空気を吸気するポンプと、
前記先端面が前記保護テープにあたるように前記こてを制御し、前記ヒータにより前記こてを加熱して前記保護テープを加熱し、前記ポンプにより前記少なくとも１つの穴の直下の前記保護テープを前記ウエハから剥離させる制御装置と、
前記保護テープに剥離用粘着テープを貼り付けて、前記ウエハから前記剥離用粘着テープと前記保護テープを同時に引き剥がす手段と、
を備えたことを特徴とする保護テープ剥離装置。
【請求項２】
前記先端面の面積は、前記ウエハの主面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の保護テープ剥離装置。
【請求項３】
ウエハの表面を覆う保護テープを剥離する保護テープ剥離方法であって、
先端面に少なくとも１つの穴を有するこての前記先端面を、前記保護テープにあてて、前記こてを加熱しつつ、前記少なくとも１つの穴の空気を吸気し、前記少なくとも１つの穴の直下の前記保護テープを前記ウエハから剥離させる剥離工程と、
前記剥離工程の後に、前記こてを前記保護テープから退避させ、前記保護テープに剥離用粘着テープを貼り付けて、前記ウエハから前記剥離用粘着テープと前記保護テープを同時に引き剥がす工程と、
を備えたことを特徴とする保護テープ剥離方法。
【請求項４】
前記先端面の面積は、前記ウエハの主面の面積よりも大きく、
前記穴は複数形成され、
前記剥離工程では、前記保護テープが複数の場所で前記ウエハから剥離することを特徴とする請求項３に記載の保護テープ剥離方法。
【請求項５】
前記剥離工程では前記こてを前記保護テープの端にあてることを特徴とする請求項３に記載の保護テープ剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばウエハ表面に貼り付けられた保護テープを剥離する保護テープ剥離装置、保護テープ剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハに貼り付けられた保護テープは、ウエハを保護するとともに、プロセス工程中のウエハハンドリングのサポート材として機能するものである。特許文献１には、ウエハに貼り付けられた保護テープに剥離テープを貼り付け、保護テープと剥離テープをウエハから剥離する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１７１５３０号公報
【特許文献２】特開２００９−７０８３７号公報
【特許文献３】特開２００７−４３０４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示の技術では、保護テープがウエハに密着し、保護テープをウエハから剥離できないことがあった。特に、ウエハ表面に段差が少ない場合や段差がない場合には、保護テープがウエハに密着しており、保護テープをウエハから剥離できないことがあった。
【０００５】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、保護テープを容易にウエハから剥がすことができる保護テープ剥離装置、保護テープ剥離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願の発明に係る保護テープ剥離装置は、ウエハの表面を覆う保護テープを剥離する保護テープ剥離装置であって、先端面に少なくとも１つの穴を有するこてと、該こてに接続されたヒータと、該こてに接続された、該少なくとも１つの穴の空気を吸気するポンプと、該先端面が該保護テープにあたるように該こてを制御し、該ヒータにより該こてを加熱して該保護テープを加熱し、該ポンプにより該少なくとも１つの穴の直下の該保護テープを該ウエハから剥離させる制御装置と、該保護テープに剥離用粘着テープを貼り付けて、該ウエハから該剥離用粘着テープと該保護テープを同時に引き剥がす手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
本願の発明に係る保護テープ剥離方法は、ウエハの表面を覆う保護テープを剥離する保護テープ剥離方法であって、先端面に少なくとも１つの穴を有するこての該先端面を、該保護テープにあてて、該こてを加熱しつつ、該少なくとも１つの穴の空気を吸気し、該少なくとも１つの穴の直下の該保護テープを該ウエハから剥離させる剥離工程と、該剥離工程の後に、該こてを該保護テープから退避させ、該保護テープに剥離用粘着テープを貼り付けて、該ウエハから該剥離用粘着テープと該保護テープを同時に引き剥がす工程と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、事前に保護テープの一部をウエハから剥離させておくことで、保護テープを容易にウエハから剥がすことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１に係る保護テープ剥離装置を示す図である。
【図２】こての斜視図である。
【図３】ウエハをステージ乗せたことを示す図である。
【図４】こての先端面を保護テープにあてたことを示す図である。
【図５】保護テープと先端面の関係を示す平面図である。
【図６】こてを加熱しつつ、穴の空気を吸気することを示す図である。
【図７】剥離用粘着テープを貼り付ける手段を示す図である。
【図８】保護テープに剥離用粘着テープを貼り付けたことを示す図である。
【図９】剥離用粘着テープと保護テープを同時に引き剥がすことを示す図である。
【図１０】ウエハの表面を覆う保護テープが剥離されたことを示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態２に係る保護テープ剥離装置を示す図である。
【図１２】先端面の正面図である。
【図１３】本発明の実施の形態２における剥離工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る保護テープ剥離装置を示す図である。この保護テープ剥離装置は、ウエハの表面を覆う保護テープを剥離するものである。保護テープ剥離装置は、こて１０を有している。図１において、こて１０は、その断面が描かれている。こて１０は、平坦な先端面１２を有している。先端面１２には穴１４が形成されている。こて１０にはヒータ１６が接続されている。ヒータ１６は、こて１０全体を加熱するものである。こて１０にはバルブ１８を経由してポンプ２０が接続されている。ポンプ２０は穴１４の空気を吸気するものである。
【００１１】
こて１０、ヒータ１６、バルブ１８、及びポンプ２０には制御装置２２が接続されている。制御装置２２は、こて１０、ヒータ１６、バルブ１８、及びポンプ２０を制御するものである。具体的には、制御装置２２は、先端面１２が保護テープにあたるようにこて１０の位置を制御し、こて１０を加熱するためにヒータ１６を稼動させ、穴１４の空気を吸気するためにバルブ１８を開けてポンプ２０を稼動させる。
【００１２】
図２は、こての斜視図である。こて１０は、先端面１２に穴１４を複数有している。複数の穴１４は一列に配置されている。なお、図１のこて１０は、図２の破線における断面を示したものである。次いで、本発明の実施の形態１に係る保護テープ剥離装置を用いた保護テープ剥離方法を説明する。
【００１３】
図３は、ウエハをステージ乗せたことを示す図である。ステージ５０にはウエハ５２の裏面が接している。ウエハ５２の表面は保護テープ５４に覆われている。保護テープ５４は、ウエハ５２の裏面研削の際に、ウエハ５２表面の回路パターンを異物や傷などから保護するために形成されたものである。
【００１４】
次いで、こての先端面を保護テープにあてる。図４は、こての先端面を保護テープにあてたことを示す図である。制御装置２２の指令により、先端面１２が保護テープにあたるようにこて１０を移動する。図５は、保護テープと先端面の関係を示す平面図である。図５に示すように、先端面１２は保護テープ５４の端にあてる。
【００１５】
次いで、こて１０を加熱しつつ、穴１４の空気を吸気し、穴１４の直下の保護テープをウエハ５２から剥離させる。この工程を剥離工程という。図６は、こてを加熱しつつ、穴の空気を吸気することを示す図である。制御装置２２の指令によりヒータ１６を稼動させて、こて１０を加熱する。こて１０を加熱すると、先端面１２近傍の保護テープ５４が高温になり保護テープ５４の糊が溶けるか硬化するかして、保護テープ５４とウエハ５２との接着力が低下する。これと同時に制御装置２２の指令により、バルブ１８を開放しポンプ２０により穴１４の空気を吸気する。穴１４の空気を吸気すると、穴１４の直下の保護テープがウエハ５２から剥離し、剥離部５４ａが形成される。なお、先端面１２を保護テープ５４にあてた後にこて１０を加熱してもよいし、加熱したこて１０の先端面１２を保護テープ５４にあててもよい。剥離工程を終えた後、こて１０を保護テープ５４から退避させる。
【００１６】
次いで、剥離用粘着テープを保護テープに貼り付ける。図７は、剥離用粘着テープを貼り付ける手段を示す図である。剥離用粘着テープ７０は粘着力が強く、保護テープ５４と密着するものを用いる。剥離用粘着テープ７０は、ローラ７２ａ、スキージ７２ｂ、ローラ７２ｃによって支持されている。スキージ７２ｂは、剥離用粘着テープ７０を保護テープ５４に貼り付ける（圧着する）ものである。図８は、保護テープに剥離用粘着テープを貼り付けたことを示す図である。スキージ７２ｂが剥離用粘着テープ７０を保護テープ５４に押し付けながら、保護テープ５４の上を走査することで、剥離用粘着テープ７０を保護テープ５４に貼り付ける。
【００１７】
次いで、ウエハ５２から剥離用粘着テープ７０と保護テープ５４を同時に引き剥がす。図９は、剥離用粘着テープと保護テープを同時に引き剥がすことを示す図である。この引き剥がしは、剥離部５４ａの形成された部分から開始する。このように、保護テープ５４に剥離用粘着テープ７０を貼り付けて、ウエハ５２から剥離用粘着テープ７０と保護テープ５４を同時に引き剥がす。図１０は、ウエハ５２の表面を覆う保護テープが剥離されたことを示す図である。
【００１８】
ところで、こてによる加熱だけで保護テープとウエハの接着力を低下させても、保護テープを引き剥がすまでの時間に、当該接着力が回復することがある。そのため、剥離用粘着テープが保護テープから剥がれてしまい、保護テープをウエハから剥がすことができない場合があった。また、ウエハ表面に段差が少ない場合や段差がない場合には、保護テープがウエハに密着しており、保護テープをウエハから剥がすことができない場合があった。
【００１９】
ところが、本発明の実施の形態１に係る保護テープ剥離装置と保護テープ剥離方法によれば、保護テープ５４をウエハ５２から剥がす前に、保護テープ５４の一部に剥離部５４ａを形成しておく。そのため、剥離部５４ａをきっかけにして容易に保護テープ５４をウエハ５２から剥がすことができる。剥離部５４ａは、こて１０による加熱で保護テープ５４とウエハ５２の接着力を低下させつつ、穴１４の空気を吸気することで容易に形成できる。つまり、保護テープ５４とウエハ５２の接着力が回復する時間を与えることなく剥離部５４ａを形成できる。
【００２０】
保護テープ５４の加熱により、保護テープ５４の糊が溶けたり硬化したりして異物が生じえる。しかしながら、本発明の実施の形態１では、保護テープ５４の加熱とともに穴１４の空気を吸気しているので、ある異物は剥離部５４ａの一部となり、他の異物はポンプ２０によって吸引される。よって、ウエハ５２表面に保護テープ５４の糊（異物）が残ることを防止できる。
【００２１】
耐熱性が高い保護テープを用いた場合には保護テープの加熱だけでは保護テープをウエハから剥がすきっかけを作るのが困難であるが、剥離部５４ａを形成することで容易に保護テープをウエハから剥がすことができる。
【００２２】
こて１０の穴１４は、少なくとも１つの穴であればよくその数は特に限定されない。本発明は、保護テープ５４の一部に剥離部５４ａを形成し、剥離部５４ａを起点（きっかけ）として保護テープ５４をウエハ５２から剥がすものである。この特徴を失わない限りにおいて様々な変形が可能である。
【００２３】
実施の形態２．
本発明の実施の形態２に係る保護テープ剥離装置、保護テープ剥離方法で用いられるこての形状は、実施の形態１に係る保護テープ剥離装置、保護テープ剥離方法で用いたこての形状と相違する。しかしそれ以外の点では実施の形態１と同じである。
【００２４】
図１１は、本発明の実施の形態２に係る保護テープ剥離装置を示す図である。図１１において、こて１００は、その断面が描かれている。こて１００の先端面１０２には複数の穴１０４が形成されている。図１２は、先端面の正面図である。先端面１０２は、ウエハの直径以上の直径を有する円形に形成する。
【００２５】
図１３は、本発明の実施の形態２における剥離工程を示す図である。まず、先端面１０２を保護テープ５４にあてる。先端面１０２は、ウエハ５２の直径以上の直径を有する円形に形成されているので、保護テープ５４の全体がこて１００に覆われる。こて１００を加熱しつつ、複数の穴１０４の空気を吸気すると、剥離部５４ａが形成される。複数の穴１０４は先端面１０２の全面に散らばるように形成されているので、剥離部５４ａも保護テープ５４の全面に散らばるように複数形成される。
【００２６】
本発明の実施の形態２に係る保護テープ剥離装置、保護テープ剥離方法によれば、保護テープ５４の全面に散らばるように複数の剥離部５４ａを形成することができる。そのため、剥離工程後はウエハ５２の全面にわたって保護テープ５４とウエハ５２の接着力が弱い状態となる。よって、保護テープ５４をウエハ５２から剥離する全ての期間において、弱い力で高速に保護テープ５４をウエハ５２から剥離させることができる。
【００２７】
本発明の実施の形態２では、先端面１０２をウエハ５２の直径以上の直径を有する円形に形成したが本発明はこれに限定されない。先端面１０２の面積はウエハ５２の主面（表面）の面積よりも大きければウエハ全面にわたって保護テープ５４とウエハ５２の接着力を弱めることができる。よって、先端面１０２は円形に限定されない。なお、本発明の実施の形態２に係る保護テープ剥離装置、保護テープ剥離方法は、少なくとも実施の形態１係る保護テープ剥離装置、保護テープ剥離方法と同程度の変形が可能である。
【符号の説明】
【００２８】
１０  こて、  １２  先端面、  １４  穴、  １６  ヒータ、  １８  バルブ、  ２０  ポンプ、  ２２  制御装置、  ５０  ステージ、  ５２  ウエハ、  ５４  保護テープ、  ５４ａ  剥離部、  ７０  剥離用粘着テープ、  ７２ａ  ローラ、  ７２ｂ  スキージ、  ７２ｃ  ローラ、  １００  こて、  １０２  先端面、  １０４  穴
【図１】
0005853713.tif 000002
【図２】
0005853713.tif 000003
【図３】
0005853713.tif 000004
【図４】
0005853713.tif 000005
【図５】
0005853713.tif 000006
【図６】
0005853713.tif 000007
【図７】
0005853713.tif 000008
【図８】
0005853713.tif 000009
【図９】
0005853713.tif 000010
【図１０】
0005853713.tif 000011
【図１１】
0005853713.tif 000012
【図１２】
0005853713.tif 000013
【図１３】
0005853713.tif 000014