(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着対象物に当接し、複数の吸引孔が形成された吸着部と、
該吸着部と協働して略密閉された負圧室を形成する側壁及び天壁と、
前記負圧室から前記吸引孔内に延びるピン形状の弁体と、
該弁体が前記吸引孔内をスライドすることにより前記弁体の一部と前記吸引孔の内壁の一部とが密接して前記吸引孔を閉塞する閉塞部と
を備え、
前記弁体は、前記負圧室に位置する一方の端部である根元部を有し、
該根元部は、前記負圧室内で前記側壁間に架け渡されて固定された可撓性を有する板形状の可撓体に固定され、
前記可撓体は、複数の貫通孔を有していることを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
前記吸着対象物側に露出した前記吸引孔の開口部の孔径は２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の吸着装置。
【請求項３】
前記吸引孔の軸線間の間隔は３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項２に記載の吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を吸着して保持するための吸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板製造プロセスにおいて基板を取り扱う際、基板のような板材を吸着保持する吸着装置が用いられている（例えば特許文献１参照）。特許文献１のような吸着装置は、空気を吸引することで負圧を利用して板材を吸着保持する。具体的には、特許文献１の吸着装置は、吸引される孔内に自由移動可能な弁体を備え、この弁体が重力により作用される動作を利用して板材への負圧による保持を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２８４８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような重力の作用を利用する場合、吸引孔が下向きの場合のみしか使用できない。板材を上側にして上向きにすると、弁体が重力により下がって負圧室と板材との間を弁体が塞いでしまい、板材を吸引保持することができない。【０００５】
本発明は、上記従来技術を考慮してなされたものであり、吸着対象物たる板材（基板）に対する空気の吸引方向がどのような向きであっても、吸着対象物を確実に吸引保持することができる吸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明では、吸着対象物に当接し、複数の吸引孔が形成された吸着部と、該吸着部と協働して略密閉された負圧室を形成する側壁及び天壁と、前記負圧室から前記吸引孔内に延びるピン形状の弁体と、該弁体が前記吸引孔内をスライドすることにより前記弁体の一部と前記吸引孔の内壁の一部とが密接して前記吸引孔を閉塞する閉塞部とを備え、前記弁体は、前記負圧室に位置する一方の端部である根元部を有し、該根元部は、前記負圧室内で前記側壁間に架け渡されて固定された可撓性を有する板形状の可撓体に固定され、前記可撓体は、複数の貫通孔を有していることを特徴とする吸着装置を提供する。【０００７】
好ましくは、前記吸着対象物側に露出した前記吸引孔の開口部の孔径は２ｍｍ以下である。【０００８】
好ましくは、前記吸引孔の軸線間の間隔は３ｍｍ以下である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、弁体をピン形状としてその根元部が負圧室内で固定されているので、重力により弁体が吸引孔内を自由に移動することはない。したがって、吸着対象物たる板材（基板）に対する空気の吸引方向がどのような向きであっても、弁体が重力により移動して閉塞部により吸引孔を塞ぐことを防止できる。このため、吸着対象物を確実に吸引保持することができる。また、吸着対象物に吸引孔と連通して吸着対象物の外部と連通する部分（連通部）があっても、弁体の根元部は可撓性を有する可撓体に固定されているため、吸引時に可撓体が撓んで弁体を移動させ、閉塞部にて当該吸引孔を閉塞するので負圧室内の負圧を維持して確実に吸着対象物を吸引保持することができる。また、可撓体には複数の貫通孔が設けられているので、負圧室が可撓体にて塞がれることはなく、吸引ポンプから吸引孔までの吸引経路を確実に確保することができ、やはり確実に吸着対象物を吸引保持することができる。【００１０】
また、開口部の孔径を２ｍｍ以下とすることで、個々の吸引孔の吸着力を低減させることができる。このため、吸着対象物が重ねられていて、吸引孔とさらに外側に位置する他の吸着対象物とが上記連通部を介して通じていたとしても、他の吸着対象物を吸引することはない。したがって、取り扱い性が向上する。また、このような小径の吸引孔とすることで、薄いガラス基板であっても吸引孔を介した吸引痕が発生しないことを確認している。【００１１】
また、吸引孔の軸線間の間隔を３ｍｍ以下とすることで、吸引孔が密になる。このような間隔にすることで、吸着対象物に上記連通部が多数あったとしても当該吸着対象物に適用して吸引保持することが可能であることを確認している。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る吸着装置の一例を示す概略図である。
【図２】本発明に係る吸着装置の一例を示す拡大概略図である。
【図３】吸着部の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１及び図２に示すように、本発明に係る吸着装置１は、吸着部２、側壁３、及び天壁４を有している。この例では、吸着部２はシート材５、６、７を重ねた３層構造となっている。それぞれのシート材５、６、７には当該シート材５、６、７を貫通する貫通孔が複数形成され、これら貫通孔が互いに連通して吸引孔８を形成している。したがって、吸着部２には吸引孔８が複数形成されている。シート材５、６は例えばアクリル製の板材で形成される。シート材７は吸引保持すべき吸着対象物たる基板９が当接するため、ゴム製のゴムシートであることが好ましい。
【００１４】
側壁３及び天壁４は、吸着部２と協働して略密閉された負圧室１０を形成している。具体的には、側壁３をそれぞれ対向させて４辺を形成し、一方の端部に天壁４を配し、他方の端部に吸着部２を配して箱体を形成する。天壁４、側壁３、シート材５、６は例えばボルト１１により互いに締結されて固定される。シート材７はシート材６に例えば接着されて固定される。このようにして形成された箱体の内部が負圧室１０となる。天壁４には接続管１２が貫通されていて、この接続管１２を介して負圧室１０は吸引ポンプ（不図示）と連通する。吸引ポンプを作動させることにより、負圧室内１０の空気は吸引されて負圧室１０内を負圧状態とすることができる。
【００１５】
吸引孔８内にはピン形状の弁体１３が配設されている。この弁体１３は吸引孔８内を吸引孔８の軸方向にスライド可能である。弁体１３の一方の端部である根元部１３ａは負圧室１０内に配設されている。弁体１３の他方の端部である先端部１３ｂは吸引孔８内に配設されている。すなわち、弁体１３は負圧室１０から吸引孔８内に延びている。先端部１３ｂは先端に向けて徐々に拡径する拡径部１４を有している。一方で、吸引孔８（図ではシート材５に形成された貫通孔）は弁体１３の先端部１３側に向けて徐々に拡径する拡径部１５を有している。弁体１３が根本部１３ａ側にスライドすると、弁体１３の一部である拡径部１４と吸引孔８の一部である拡径部１５とが密接する。このように拡径部１４、１５が密接することで閉塞部１６が形成され、閉塞部１６が形成された吸引孔８は閉塞されて空気の流通が遮断される。
【００１６】
対向する側壁４間には可撓体１７が架け渡されて固定されている。可撓体１７は可撓性を有し、例えばゴムシートや板ばね、あるいは樹脂系の板材を用いることができる。可撓体１７の両端は例えば側壁４に対してねじ１８を用いてねじ止めされる。可撓体１７には、適当な間隔で複数の貫通孔１９が形成される。
【００１７】
このような吸着装置１を用いて吸着対象物たる基板９を吸引保持する場合、まず基板９に対して吸着部２のシート材９を当接する。この状態で上述した吸引ポンプを作動させ、負圧室１０内の空気を吸引する。図２に示すように、基板９により吸引孔８の基板９側に露出する開口部８ａが塞がれるので、吸引ポンプによって吸引される空気の流れは矢印Ａで示すとおりになる。すなわち、吸引孔８から吸引孔８と弁体１３との間を通り、可撓体１７の貫通孔１９を通って負圧室１０から流出する。これにより負圧室１０内は負圧となる。このときは、吸引ポンプから基板９までの吸引空気の流路が確保されているので、吸着装置１にて基板９を吸引保持することができる。
【００１８】
さらにいえば、基板９に対する吸引孔８内の空気の吸引方向がどのような向きであっても基板９を吸引保持可能である。すなわち、図２に示すように開口部８ａを下向きにしてもよいし、横向きでも上向きでもどのような角度の向きでも可能である。これは、弁体１３をピン形状としてその根元部１３ａを負圧室１０内で固定したので、重力により弁体１３が吸引孔８内を自由に移動することがないためである。弁体１３が重力により作用されないので、開口部８ａを上向きにして吸引しても、弁体が重力で下がって閉塞部１６を形成することはない。したがって、吸着対象物たる板材（基板９）に対する空気の吸引方向がどのような向きであっても、弁体１３が重力により移動して閉塞部１６により吸引孔８を塞ぐことを防止できる。このため、基板９を確実に吸引保持することができる。なお、吸引時に可撓体１７が多少撓んで弁体１３が負圧室１０側に移動するが、負圧室１０内が真空状態のため閉塞部１６を形成するほどまでは弁体１３は負圧室１０側に移動しない。
【００１９】
一方で、基板９には様々な加工が施されている。例えば、基板９を貫通するスルーホール２０である（図１参照）。このようなスルーホール２０がある場合、上述したように弁体１３が固定されていると基板９の外部から空気が吸引孔８内に流入することになるため、負圧室１０内の負圧が維持されず、基板９の吸引保持が不安定となってしまう。しかしながら可撓体１７が可撓性を有しているため、吸引ポンプの吸引作用により可撓体１７がさらに撓み、弁体１３を負圧室１０側に移動させる。これにより、拡径部１４と拡径部１５とが密接して閉塞部１６が形成される。したがって負圧室１０内は負圧状態が維持されて真空状態となり、他の吸引孔８によって基板９を吸引保持できる。
【００２０】
上述したスルーホール２０は、基板９に形状加工が施されて連通部８と基板９の外部との間に空気の流通経路が確保されている部分（連通部）としての一例である。このような連通部としては、他に基板製造プロセスにおいて基板を分割する部分に基板の途中深さまで切れ込みを入れるＶカットがある。このＶカット部分に開口部８ａが配されても、可撓体１７が撓んで閉塞部１６が形成され、負圧室１０内の負圧状態は維持される。このように連通部に配される吸引孔８に挿通された弁体１３のみをスライドさせるため、根本部１３ａが固定された周囲に貫通孔１９を設けることが好ましい。これにより、当該弁体１３のみを確実にスライド移動させることができる。また、このような弁体１３の移動は吸引時に自動的に行われるので、基板９に形成された連通部の位置を考慮することなく吸引保持作業を行うことができ、効率的である。また、可撓体１７の材質等を変更することでたわみ量を変更できる。
【００２１】
図３に示すように、吸着部２が有するシート材７は、吸着対象物たる基板９側には吸引孔８の開口部８ａが露出している。この開口部８ａの孔径ｄは２ｍｍ以下であることが好ましい。開口部８ａの孔径を２ｍｍ以下とすることで、個々の吸引孔８の吸着力を低減させることができる。このため、吸着対象物たる基板９が重ねられていて、吸引孔８とさらに外側に位置する他の吸着対象物とが上記連通部２０を介して通じていたとしても、他の吸着対象物９を吸引することはない。したがって、取り扱い性が向上する。また、このような小径の吸引孔８とすることで、吸着対象物９が薄いガラス基板であっても吸引孔８を介した吸引痕が発生しないことを確認している。
【００２２】
また、図３に示すように、吸引孔８の軸線間の間隔は３ｍｍ以下であることが好ましい。吸引孔８の軸線間の間隔ｐを３ｍｍ以下とすることで、吸引孔８が密になる。このような間隔にすることで、吸着対象物９に上記連通部２０が多数あったとしても当該吸着対象物９に適用して吸引保持することが可能であることを確認している。
【符号の説明】
【００２３】
１：吸着装置、２：吸着部、３：側壁、４：天壁、５：シート材、６：シート材、７：シート材、８：吸引孔、８ａ：開口部、９：基板（吸着対象物）、１０：負圧室、１１：ボルト、１２：接続管、１３：弁体、１３ａ：根元部、１３ｂ：先端部、１４：拡径部、１５：拡径部、１６：閉塞部、１７：可撓体、１８：ねじ、１９：貫通孔、２０：スルーホール（連通部）
【図１】
0005922803.tif 000002
【図２】
0005922803.tif 000003
【図３】
0005922803.tif 000004