(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電気信号を出力する第１電気信号出力部と、測定対象体に対する前記第１電気信号の供給に伴って生じる第２電気信号を検出する検出部とを備えて、前記検出部によって検出された前記第２電気信号の値と前記第１電気信号の値とに基づいて前記測定対象体の抵抗値を測定すると共に当該第１電気信号の供給によって当該測定対象体に帯電した電荷を除去可能に構成された抵抗測定装置であって、
前記電荷を除去するための抵抗と、前記抵抗と前記測定対象体との接続および切断を切り替える切り替え部と、交流信号を出力する交流信号出力部と、制御部とを備え、
前記制御部は、前記測定対象体に対する第１電気信号の供給停止状態において前記切り替え部を制御して当該測定対象体と前記抵抗とを接続させて前記電荷を除去する第１除電処理を実行した後に、前記切り替え部を制御して前記測定対象体と前記抵抗との接続を解除させると共に前記交流信号出力部を制御して当該測定対象体に対して前記交流信号を供給させて前記電荷を除去する第２除電処理を実行すると共に、前記測定対象体に対する前記第１電気信号および前記交流信号の供給停止状態において前記第２除電処理の実行後に前記検出部によって検出された前記第２電気信号の値が予め決められた値以上のときに、前記第２除電処理を再実行する抵抗測定装置。
【請求項２】
前記交流信号出力部は、前記交流信号の大きさおよび周波数の少なくとも一方を変更可能に構成され、
前記少なくとも一方を変更させる操作が可能な操作部を備えている請求項１記載の抵抗測定装置。
【請求項３】
測定対象体に第１電気信号を供給し、当該第１電気信号の供給に伴って生じる第２電気信号を検出し、当該検出した第２電気信号の値と前記第１電気信号の値とに基づいて前記測定対象体の抵抗値を測定すると共に当該第１電気信号の供給によって当該測定対象体に帯電した電荷を除去する抵抗測定方法であって、
前記測定対象体に対する第１電気信号の供給停止状態において当該測定対象体と電荷除去用の抵抗とを接続して前記電荷を除去する第１除電処理を実行し、当該第１除電処理の実行後に、前記測定対象体と前記抵抗との接続を解除すると共に当該測定対象体に対して交流信号を供給して前記電荷を除去する第２除電処理を実行すると共に、前記測定対象体に対する前記第１電気信号および前記交流信号の供給停止状態において前記第２除電処理の実行後に前記第２電気信号の値を検出し、当該検出した値が予め決められた値以上のときに、前記第２除電処理を再実行する抵抗測定方法。
【請求項４】
前記第２除電処理において、前記交流信号の大きさおよび当該交流信号の周波数の少なくとも一方を変更して前記測定対象体に対して供給する請求項３記載の抵抗測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象体に第１電気信号を供給して測定対象体の抵抗値を測定すると共に第１電気信号の供給によって測定対象体に帯電した電荷を除去する抵抗測定装置および抵抗測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の測定装置として、特開２０１１−１１２５８２号公報に開示された検査装置が知られている。この検査装置は、検査用抵抗、電源、電圧計および判定手段を備えて、検査対象体（コンデンサ）の抵抗値を測定すると共に、測定した抵抗値に基づいて検査対象体の良否を検査可能に構成されている。この検査装置では、電源から出力さたれ直流電圧が検査対象体および検査対象体に直列接続された検査用抵抗に供給（印加）され、検査用抵抗に並列接続された電圧計が検査用抵抗の両端電圧を測定する。また、判定手段が、電圧計によって測定された電圧に基づいて検査対象体の抵抗値を求めてその抵抗値に基づいて検査対象体の良否を判定する。また、この検査装置では、直流電圧の供給によって帯電した電荷を放電することが可能となっている。具体的には、この検査装置では、検査の終了後に、検査対象体に対する直流電圧の供給が停止している状態で、検査対象体と放電用抵抗とが接続される。これによって検査対象体の電荷が放電される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１１２５８２号公報（第５−７頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記した従来の検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、上記の検査装置では、検査対象体と放電用抵抗とを接続することによって検査対象体の電荷を放電している。一方、この種の検査装置を用いて、例えば、薄手で面積が大きい検査対象体（例えば、絶縁性を有する樹脂シート）の抵抗値を測定したときにも、直流電圧の供給によって検査対象体に電荷が帯電する。この場合、発明者は、帯電した検査対象体の電荷を十分に除去するためには、放電用抵抗を検査対象体に接続した状態で長時間（例えば、数日）放置する必要があることを見いだしている。このため、従来の検査装置には、このような検査対象体の抵抗値の測定を何回か繰り返して行うような測定形態（検査形態）において、帯電した電荷の除去に長時間を要することに起因して、測定効率（検査効率）が悪いという問題点が存在する。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、測定対象体の抵抗を測定する際の測定効率を向上し得る抵抗測定装置および抵抗測定方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の抵抗測定装置は、第１電気信号を出力する第１電気信号出力部と、測定対象体に対する前記第１電気信号の供給に伴って生じる第２電気信号を検出する検出部とを備えて、前記検出部によって検出された前記第２電気信号の値と前記第１電気信号の値とに基づいて前記測定対象体の抵抗値を測定すると共に当該第１電気信号の供給によって当該測定対象体に帯電した電荷を除去可能に構成された抵抗測定装置であって、前記電荷を除去するための抵抗と、前記抵抗と前記測定対象体との接続および切断を切り替える切り替え部と、交流信号を出力する交流信号出力部と、制御部とを備え、前記制御部は、前記測定対象体に対する第１電気信号の供給停止状態において前記切り替え部を制御して当該測定対象体と前記抵抗とを接続させて前記電荷を除去する第１除電処理を実行した後に、前記切り替え部を制御して前記測定対象体と前記抵抗との接続を解除させると共に前記交流信号出力部を制御して当該測定対象体に対して前記交流信号を供給させて前記電荷を除去する第２除電処理を実行すると共に、前記測定対象体に対する前記第１電気信号および前記交流信号の供給停止状態において前記第２除電処理の実行後に前記検出部によって検出された前記第２電気信号の値が予め決められた値以上のときに、前記第２除電処理を再実行する。
【０００８】
また、請求項２記載の抵抗測定装置は、請求項１記載の抵抗測定装置において、前記交流信号出力部は、前記交流信号の大きさおよび周波数の少なくとも一方を変更可能に構成され、前記少なくとも一方を変更させる操作が可能な操作部を備えている。
【０００９】
また、請求項３記載の抵抗測定方法は、測定対象体に第１電気信号を供給し、当該第１電気信号の供給に伴って生じる第２電気信号を検出し、当該検出した第２電気信号の値と前記第１電気信号の値とに基づいて前記測定対象体の抵抗値を測定すると共に当該第１電気信号の供給によって当該測定対象体に帯電した電荷を除去する抵抗測定方法であって、前記測定対象体に対する第１電気信号の供給停止状態において当該測定対象体と電荷除去用の抵抗とを接続して前記電荷を除去する第１除電処理を実行し、当該第１除電処理の実行後に、前記測定対象体と前記抵抗との接続を解除すると共に当該測定対象体に対して交流信号を供給して前記電荷を除去する第２除電処理を実行すると共に、前記測定対象体に対する前記第１電気信号および前記交流信号の供給停止状態において前記第２除電処理の実行後に前記第２電気信号の値を検出し、当該検出した値が予め決められた値以上のときに、前記第２除電処理を再実行する。
【００１１】
また、請求項４記載の抵抗測定方法は、請求項３記載の抵抗測定方法において、前記第２除電処理において、前記交流信号の大きさおよび周波数の少なくとも一方を変更して前記測定対象体に対して供給する。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載の抵抗測定装置、および請求項３記載の抵抗測定方法では、測定対象体と抵抗と接続して電荷を除去する第１除電処理の実行後に測定対象体に対して交流信号を供給して電荷を除去する第２除電処理を実行する。したがって、この抵抗測定装置および抵抗測定方法によれば、測定対象体に帯電している電荷の多くを第１除電処理によって短時間で除去することができると共に、移動が制限されることによって第１除電処理では除去されずに測定対象体に残留している電荷を第２除電処理によって短時間でかつ確実に除去することができる。この結果、この抵抗測定装置および抵抗測定方法によれば、抵抗測定の際に測定対象体に帯電した電荷の除去に要する時間を十分に短縮することができるため、１つの測定対象体の抵抗を複数回繰り返して測定する際の測定効率を十分に向上させることができる。
【００１３】
また、この抵抗測定装置およびこの抵抗測定方法によれば、第２除電処理の実行後に第２電気信号の値を検出し、検出した値が予め決められた値以上のときに第２除電処理を再実行することにより、第２除電処理を１回実行するだけでは除去しきれない電荷をより確実に除去することができる。
【００１４】
また、請求項２記載の抵抗測定装置、および請求項４記載の抵抗測定方法では、第２除電処理において、交流信号の大きさおよび周波数の少なくとも一方を変更して測定対象体に対して供給する。このため、この抵抗測定装置および抵抗測定方法によれば、例えば、耐電圧性が低い測定対象体に対して第２除電処理を実行するときには、交流信号の大きさを小さくすることで、測定対象体の破損を防止することができる。また、測定対象体の厚みが薄いほど、電気双極子を構成する異極性の電荷同士のクーロン力が強いため、このような測定対象体に対して第２除電処理を実行するときには、交流信号の大きさを大きくすることで、除電効果を高めることができる。また、除電効率が高い交流信号の周波数は、測定対象体の種類によって異なるため、測定対象体の種類に応じて周波数を変更することで、除電効率を十分に高めることができる。したがって、この抵抗測定装置および抵抗測定方法によれば、測定対象体に適した態様で第２除電処理を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】抵抗測定装置１の構成を示す構成図である。
【図２】除電処理５０のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る抵抗測定装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１７】
最初に、抵抗測定装置１の構成について、図面を参照して説明する。図１に示す抵抗測定装置１は、測定対象体（例えば、非導電性材料（樹脂）で形成されたシート体１００）の抵抗値Ｒｍを測定可能に構成されている。また、抵抗測定装置１は、抵抗値Ｒｍの測定の際に帯電した電荷を除去する機能を備えて構成されている。具体的には、抵抗測定装置１は、一例として、直流電源１１、検出部１２、操作部１３、記憶部１４、表示部１５、抵抗１６、交流電源１７、プローブ１８ａ，１８ｂ（以下、区別しないときには「プローブ１８」ともいう）、スイッチ１９〜２１および制御部２２を備えて構成されている。
【００１８】
直流電源１１は、第１電気信号出力部に相当し、測定対象体の抵抗値Ｒｍを測定する際に用いる電圧が１００Ｖ〜１０００Ｖ程度の直流電圧Ｖｄ（第１電気信号の一例）を出力する。検出部１２は、制御部２２の制御に従い、直流電圧Ｖｄの供給に伴って生じる直流電流Ｉｄ（第２電気信号の一例）を検出する。
【００１９】
操作部１３は、電源スイッチ、モード切り替えスイッチ、レンジ切り替えスイッチおよびメジャースイッチ等の各種のスイッチ（いずれも図示せず）を備えて構成され、各スイッチが操作されたときに操作信号を出力する。また、操作部１３は、後述する交流電源１７から出力される交流電圧Ｖａの電圧値（大きさ）および周波数を変更させる操作を行うための操作キーを備えて構成され、この操作キーの操作に応じて操作信号を出力する。記憶部１４は、制御部２２によって測定された抵抗値Ｒｍを記憶する。また、記憶部１４は、後述する除電処理５０（図２参照）において用いる規定値Ｉｒを記憶する。表示部１５は、制御部２２の制御に従って抵抗値Ｒｍ等を表示する。
【００２０】
抵抗１６は、抵抗値Ｒｍの測定時に直流電圧Ｖｄの供給によって測定対象体に帯電した電荷を除去するための抵抗（除電用の抵抗）であって、後述する第１除電処理の際に用いられる。交流電源１７は、制御部２２の制御に従い、後述する第２除電処理の際に用いられる交流電圧Ｖａを出力する。また、交流電源１７は、交流電圧Ｖａの電圧値（大きさ）および周波数を変更可能に構成され、制御部２２の制御に従って（操作部１３に対する操作に従って）この電圧値および周波数を変更する。
【００２１】
プローブ１８は、シート状の測定対象体の抵抗値Ｒｍの測定に適したプローブであって、一例として、測定対象体の表面に面的に接触可能な電極を有しており、このプローブ１８を介して直流電圧Ｖｄおよび交流電圧Ｖａが測定対象体の両面間（図１に示すシート体１００の表面１０１ａ，１０１ｂ間）に供給される。
【００２２】
スイッチ１９は、制御部２２の制御に従って作動して、直流電源１１とプローブ１８との接断を切り替えることにより、測定対象体に対する直流電圧Ｖｄの供給および供給停止を行う。スイッチ２０は、切り替え部に相当し、制御部２２の制御に従って作動して、抵抗１６と測定対象体（測定対象体に接触しているプローブ１８）との接続および切断（以下、接続および切断を合わせて「接断」ともいう）を切り替える。スイッチ２１は、制御部２２の制御に従って作動して、交流電源１７とプローブ１８との接断を切り替えることにより、測定対象体に対する交流電圧Ｖａの供給および供給停止を行う。
【００２３】
制御部２２は、検出部１２を制御して直流電流Ｉｄの電流値Ｉｍを検出させると共に、検出された電流値Ｉｍ、および直流電源１１から出力される（測定対象体に供給される）直流電圧Ｖｄの電圧値Ｖｍに基づいて測定対象体の抵抗値Ｒｍを測定する。また、制御部２２は、測定した抵抗値Ｒｍを記憶部１４に記憶させると共に、抵抗値Ｒｍを表示部１５に表示させる。また、制御部２２は、図２に示す、除電処理５０を実行する。この場合、制御部２２は、この除電処理５０において、各スイッチ１９〜２０を制御することにより、測定対象体に対する直流電圧Ｖｄの供給および供給停止、抵抗１６と測定対象体との接断、並びに測定対象体に対する交流電圧Ｖａの供給および供給停止を行わせる。
【００２４】
次に、抵抗測定装置１を用いて測定対象体としてのシート体１００の抵抗値Ｒｍを測定する抵抗測定方法、およびその際の抵抗測定装置１の動作について、図面を参照して説明する。なお、１つのシート体１００に対して抵抗値Ｒｍの測定を複数回行い、測定した各抵抗値Ｒｍの平均値を求める例について説明する。
【００２５】
この抵抗測定装置１では、操作部１３の電源スイッチが操作されたときに、初期化処理が行われる。この場合、記憶部１４に抵抗値Ｒｍが記憶されているときには、初期化処理によってその抵抗値Ｒｍが消去される。また、初期化処理がされた状態（初期状態）では、各スイッチ１９〜２０がオフ状態に維持される。
【００２６】
次いで、操作部１３のモード切り替えスイッチを操作して測定モードを選択し、続いて、操作部１３のレンジ切り替えスイッチを操作して測定レンジを選択する。次に、例えば図１に示すように、シート体１００における一方の表面１０１ａに一方のプローブ１８ａを接触させ、シート体１００における他方の表面１０１ｂに他方のプローブ１８ｂを接触させる。
【００２７】
続いて、操作部１３のメジャースイッチを操作する。これに応じて、制御部２２が、スイッチ１９を制御して、プローブ１８と直流電源１１とを接続させる。これにより、プローブ１８を介してシート体１００の両表面１８間に直流電圧Ｖｄ（一例として、電圧が５００Ｖ程度の直流電圧）が供給される。次いで、制御部２２は、検出部１２を制御して、直流電圧Ｖｄの供給によって生じた直流電流Ｉｄを検出させる。
【００２８】
続いて、制御部２２は、検出部１２によって検出された直流電流Ｉｄの電流値Ｉｍと、直流電源１１から出力される（測定対象体に供給される）直流電圧Ｖｄの電圧値Ｖｍとに基づいて測定対象体の抵抗値Ｒｍを測定する。次いで、制御部２２は、測定した抵抗値Ｒｍを記憶部１４に記憶させると共に、抵抗値Ｒｍを表示部１５に表示させる。以上により、１回目の測定処理が完了する。
【００２９】
続いて、２回目の測定処理を実行する。この場合、この１回目の測定処理が終了した時点におけるシート体１００には、直流電圧Ｖｄの供給によって電荷が帯電している。この場合、電荷が帯電している状態で次の（２回目）の測定処理を実行したときには、その電荷の影響によって直流電流Ｉｄの電流値Ｉｍを正確に検出することができず（本来検出されるべき電流値Ｉｍよりも大きな電流値Ｉｍや小さな電流値Ｉｍが検出される）、その電流値Ｉｍに基づいて測定した抵抗値Ｒｍが不正確な値となる。このため、このような電荷の影響を回避するため、次の測定に先立って除電を行う。具体的には、操作部１３における操作キーを操作して、交流電源１７から出力される交流電圧Ｖａの電圧値および周波数を設定する。一例として、この設定処理において、電圧値を２００Ｖに変更（調整）して設定し、周波数を６０Ｈｚに変更（調整）して設定する。
【００３０】
次いで、操作部１３のモード切り替えスイッチを操作して除電モードを選択する。これに応じて、制御部２２が、図４に示す除電処理５０を実行する。この除電処理５０では、制御部２２は、スイッチ１９を制御して、シート体１００（シート体１００に接触しているプローブ１８）と直流電源１１との接続を解除（切断）させて、シート体１００に対する直流電圧Ｖｄの供給を停止させる（ステップ５１）。次いで、制御部２２は、この状態（直流電圧Ｖｄの供給停止状態）においてスイッチ２０を制御して、シート体１００（シート体１００に接触しているプローブ１８）と抵抗１６とを接続させる（ステップ５２）。
【００３１】
ここで、シート体１００内では、直流電圧Ｖｄを供給したときのプローブ１８ａ，１８ｂの極性に応じて、各プローブ１８ａ，１８ｂの各近傍に極性が異なる電荷（正の電荷および負の電荷）が集積して、プローブ１８ａ，１８ｂの各近傍間に電位差が生じている。このため、シート体１００と抵抗１６とが接続されることにより、検出部１２、抵抗１６、プローブ１８ａ，１８ｂおよびスイッチ２０によって構成される回路（図１参照）に直流電流Ｉｄ（つまり、シート体１００に帯電している電荷の流れ）が生じ、これによってシート体１００に帯電している電荷の多くが除去される。この場合、この電位差による直流電流Ｉｄは、短時間のうち（瞬時）に終了する。なお、上記したステップ５１，５２によって行われる処理が第１除電処理に相当する。
【００３２】
一方、シート体１００に帯電している電荷の多くは、上記の第１除電処理によって除去されるものの、シート体１００には依然として電荷が残留する。ここで、シート体１００のように薄手の測定対象体では、極性が異なる（異極性の）電荷（つまり、正の電荷および負の電荷）がシート体１００の厚み方向に沿って近接した状態で対向して、一対の異極性の電荷同士がクーロン力によって互いに引き合って電気双極子が構成されることがある。このような電気双極子を構成する各電荷は、互いに引き合って分離し難いため移動が制限される。この場合、上記した第１除電処理では、電荷の除去が進むにつれて、電位差も減少する。このため、電気双極子を構成して移動が制限されている電荷は、第１除電処理を実行しても除去されずにシート体１００に残留することとなる。
【００３３】
この抵抗測定装置１では、このようにして残留した電荷を除去するため、制御部２２が、第１除電処理（上記したステップ５１，５２）を実行した後に第２除電処理を実行する。この第２除電処理では、制御部２２は、交流電源１７を作動させる（ステップ５３）。続いて、制御部２２は、シート体１００に対する直流電圧Ｖｄの供給を停止している状態（直流電圧Ｖｄの供給停止状態）において、スイッチ２０を制御して、シート体１００（プローブ１８）と抵抗１６との接続を解除（切断）させる（ステップ５４）。
【００３４】
次いで、制御部２２は、スイッチ２１を制御して、プローブ１８と交流電源１７とを接続させることにより、シート体１００に交流電圧Ｖａ（この例では、電圧値が２００Ｖで周波数が６０Ｈｚの交流電圧）を供給させる（ステップ５５）。
【００３５】
この交流電圧Ｖａの供給により、移動が制限されている電荷が移動して除去される。具体的には、例えば、表面１０１ａ側に負の電荷（電子）が残留すると共に表面１０１ｂに正の電荷が残留して上記した電気双極子が構成されている場合において、交流電圧Ｖａの各半周期（１／２周期）のうちの、表面１０１ａに接触しているプローブ１８ａが正極で表面１０１ｂに接触しているプローブ１８ｂが負極となっている半周期においては、表面１０１ａ側の負の電荷が交流電源１７を介してプローブ１８ａからプローブ１８ｂに向かって移動し、表面１０１ｂ側の正の電荷と移動してきた負の電荷とが互いに相殺（中和）し合う。
【００３６】
また、例えば、表面１０１ａ側に正の電荷が残留すると共に表面１０１ｂに負の電荷（電子）が残留して上記した電気双極子が構成されている場合において、交流電圧Ｖａの各半周期のうちの、表面１０１ａに接触しているプローブ１８ａが負極で表面１０１ｂに接触しているプローブ１８ｂが正極となっている半周期においては、表面１０１ｂ側の負の電荷が交流電源１７を介してプローブ１８ｂからプローブ１８ａに向かって移動し、表面１０１ａ側の正の電荷と移動してきた負の電荷とが互いに相殺（中和）し合う。このようにして第２除電処理を実行することにより、第１除電処理では除去しきれなかった電荷が除去される。
【００３７】
続いて、制御部２２は、スイッチ２１を制御してプローブ１８と交流電源１７との接続を解除（切断）して、シート体１００に対する交流電圧Ｖａの供給を停止させる（ステップ５６）。次いで、制御部２２は、検出部１２を制御して直流電流Ｉｄを検出させる（ステップ５７）。続いて、制御部２２は、記憶部１４から規定値Ｉｒを読み出して、検出部１２によって検出された直流電流Ｉｄの電流値Ｉｍが規定値Ｉｒ以上か否かを判別する（ステップ５８）。この場合、シート体１００に電荷が残留しているときには、直流電流Ｉｄが流れるため、その電流値Ｉｍが予め決められた規定値Ｉｒ以上であるか否かを判別することで、シート体１００に電荷が残留しているか否かを判別することができる。制御部２２は、このステップ５８において電流値Ｉｍが規定値Ｉｒ以上と判別したときには、ステップ５５〜５７を再び実行する。一方、ステップ５８において電流値Ｉｍが規定値Ｉｒ未満と判別したときには、除電処理５０を終了する。
【００３８】
これにより、シート体１００の除電が終了する。次いで、制御部２２は、２回目の測定処理を上記したようにして実行する。また、制御部２２は、３回目の測定処理を実行するときには、その測定処理に先立ち、上記した除電処理５０を実行する。以下、制御部２２は、予め決められた回数の測定処理を実行すると共に、各測定処理に先だって除電処理５０を実行する。続いて、制御部２２は、予め決められた回数の測定処理が終了したときには、各測定処理において測定した抵抗値Ｒｍの平均値を算出して、その平均値を記憶部１４に記憶させると共に、表示部１５に表示させる。
【００３９】
このように、この抵抗測定装置１および抵抗測定方法では、測定対象体と抵抗１６と接続して電荷を除去する第１除電処理の実行後に測定対象体に対して交流電圧Ｖａを供給して電荷を除去する第２除電処理を実行する。したがって、この抵抗測定装置１および抵抗測定方法によれば、測定対象体に帯電している電荷の多くを第１除電処理によって短時間で除去することができると共に、移動が制限されることによって第１除電処理では除去されずに測定対象体に残留している電荷を第２除電処理によって短時間でかつ確実に除去することができる。この結果、この抵抗測定装置１および抵抗測定方法によれば、抵抗測定の際に測定対象体に帯電した電荷の除去に要する時間を十分に短縮することができるため、１つの測定対象体の抵抗を複数回繰り返して測定する際の測定効率を十分に向上させることができる。
【００４０】
また、この抵抗測定装置１および抵抗測定方法によれば、第２除電処理の実行後に直流電流Ｉｄの値を検出し、検出した電流値Ｉｍが規定値Ｉｒ以上のときに第２除電処理を再実行することにより、第２除電処理を１回実行するだけでは除去しきれない電荷をより確実に除去することができる。
【００４１】
また、この抵抗測定装置１および抵抗測定方法では、第２除電処理において、交流電圧Ｖａの電圧値（大きさ）および周波数を変更して前記測定対象体に対して供給する。このため、この抵抗測定装置１および抵抗測定方法によれば、例えば、耐電圧性が低い測定対象体に対して第２除電処理を実行するときには、交流電圧Ｖａの電圧値を小さくすることで、測定対象体の破損を防止することができる。また、測定対象体の厚みが薄いほど、電気双極子を構成する異極性の電荷同士のクーロン力が強いため、このような測定対象体に対して第２除電処理を実行するときには、交流電圧Ｖａの大きさを大きくすることで、除電効果を高めることができる。また、除電効率が高い交流信号の周波数は、測定対象体の種類によって異なるため、測定対象体の種類に応じて周波数を変更（調整）することで、除電効率を十分に高めることができる。したがって、この抵抗測定装置１および抵抗測定方法によれば、測定対象体に適した態様で第２除電処理を実行することができる。
【００４２】
なお、抵抗測定装置および抵抗測定方法の構成および方法は、上記の構成および方法には限定されない。例えば、電圧値が２００Ｖで周波数が６０Ｈｚの交流電圧Ｖａを用いているが、これは一例であって、測定対象体の種類（測定対象体の耐電圧性や、測定対象体の厚み等）に応じて第２除電処理において測定対象体に対して供給する交流電圧Ｖａの電圧値（大きさ）や周波数を任意に変更（調整）することができる。
【００４３】
また、交流電圧Ｖａの電圧値および周波数の双方を変更可能な交流電源１７と、交流電圧Ｖａの電圧値および周波数の双方を変更する操作が可能な操作部１３とを備えた構成、並びに第２除電処理において交流電圧Ｖａの電圧値および周波数の双方を変更する方法を例に挙げて説明したが、交流電圧Ｖａの電圧値および周波数のいずれか一方だけを変更可能な交流電源１７と、そのいずれか一方だけを変更する操作が可能な操作部１３とを備えた構成、並びにそのいずれか一方だけを変更する方法を採用することもできる。
【００４４】
また、抵抗測定装置１および抵抗測定方法を用いて測定対象体としてのシート体１００の抵抗値Ｒｍを測定する例について上記したが、測定対象体は、シート体１００に限定されず、いずれの測定対象体に対する測定においても上記した効果と同様の効果を実現することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１  抵抗測定装置
１１  直流電源
１２  検出部
１３  操作部
１６  抵抗
１７  交流電源
１９  スイッチ
２０  スイッチ
２１  スイッチ
２２  制御部
１００  シート体
Ｉｄ  直流電流
Ｉｍ  電流値
Ｉｒ  規定値
Ｒｍ  抵抗値
Ｖａ  交流電圧
Ｖｄ  直流電圧
Ｖｍ  電圧値
【図１】
0005955592.tif 000002
【図２】
0005955592.tif 000003