(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体に取り付けられた磁石の回転数を発電部により検出する回転数検出器であって、
前記発電部は、大バルクハウゼン効果により磁化反転する磁性ワイヤと当該磁性ワイヤを巻回するピックアップコイルを備えた発電素子をＮ個（Ｎは１以上の自然数）備え、
前記発電素子の前記磁性ワイヤの延伸方向において当該磁性ワイヤは前記ピックアップコイルの巻回部分より長く、前記磁性ワイヤは前記磁石の回転中心の上方に配置されており、前記ピックアップコイルは、前記磁石の上方ではない外側に配置されている
ことを特徴とする回転数検出器。
【請求項２】
Ｎは２以上の自然数であって、Ｎ個の前記発電素子それぞれの前記磁性ワイヤの前記ピックアップコイルに巻回されていない部分が前記回転中心の上方で重ね合わせられている
ことを特徴とする請求項１に記載の回転数検出器。
【請求項３】
前記磁石は、円板形状でＳ極・Ｎ極がそれぞれ１極ずつ着磁された径方向着磁、もしくはそれぞれ２極ずつ着磁された両面４極着磁である
ことを特徴とする請求項１または２に記載の回転数検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用ＦＡ機器向けや車載用途などの様々な分野で用いられる回転体の回転数をカウントする磁性ワイヤを用いた回転数検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的な回転数検出器の中で、磁性ワイヤとピックアップコイルを用いた自己発電による回転数検出器として、特許文献１および特許文献２に示すような従来技術がある。特許文献１では、Ｓ/Ｎ各１極が着磁された磁石と、大バルクハウゼン効果を持つ磁性ワイヤとピックアップコイルを組み合わせた発電装置を用いて、発電装置からの電力供給で検出器の電源バックアップを行っている。発電素子は１回転に対して９０度の位相差にて２個の発電装置が配置されている。【０００３】
また、特許文献２は磁性線とコイルの組み合わせを放射状に複数個配置してそのインダクタンス変化を電気信号に変換している。【０００４】
ここで、大バルクハウゼン効果とは、磁性ワイヤが磁石のＳ/Ｎ極境界付近で一斉に磁化反転する現象のことで、その磁化反転をピックアップコイルで検出することにより、モータ等の被検出物の回転速度に依らず常に一定の発電パルスが得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１４７９９号公報
【特許文献２】実開昭６３−１１７５０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
Ｓ/Ｎ各１極が着磁された磁石と発電素子を組合わせたとき、発電素子を磁石の中心即ち回転中心に配置したときが最も発電素子の発電量が大きい。磁性ワイヤの製法にもよるが、磁石外周付近に発電素子を配置すると、磁石の回転中心に配置したときの４割程度の発電量しか得られない。即ち、特許文献１の図のように、磁石の中心を避けて発電素子を配置すると、１つの発電素子を磁石の中心上に配置したときと比較して各々の発電素子からの発電量が低下し、検出器の信頼性低下を招くという問題があった。【０００７】
また、磁石の中心と回転中心がずれた場合、磁石が偏芯した状態で回転する、即ち発電素子から見ると、磁石に対する発電素子の位置（磁石中心からの変位量）が磁石の回転角に伴って変化することとなるが、磁石の中心付近に発電素子を配置した場合は、磁石に対する発電素子の位置の変動に対する発電量の変動量が少ない。それに対して、磁石の中心を避けて発電素子を配置すると、磁石に対する発電素子の位置の変動に対する発電量の変動量が大きく、発電量のバラツキが大きくなって検出器の信頼性低下を招く。【０００８】
回転方向を判別するために特許文献１のように１回転に対して９０度の位相差を持って２個の発電装置を配置し、なおかつ上記の課題を解決するために、発電素子を磁石の回転中心上方に配置しようとすると、２個の発電素子を積み重ねるように配置する必要がある。このとき、以下に示す２つの課題が生じる。１つ目は、例えば発電素子のコイルの外径を５ｍｍ程度とすると、発電素子を２個積み重ねると、厚さが１０ｍｍとなり、その分検出器が厚くなってしまうという課題である。２つ目は、磁石と下側の発電素子(磁性ワイヤ)までの距離をＧｍｍとすると、上側の発電素子までの距離はＧ＋５ｍｍとなり、磁石からの距離が２個の発電素子で異なり、出力パルスに差異が生じることによる検出信頼性の低下が懸念されるという課題である。【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、薄型であり、かつ、より安定な発電パルスを得ることが可能な、信頼性の高い回転数検出器を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、回転体に取り付けられた磁石の回転数を発電部により検出する回転数検出器であって、前記発電部は、大バルクハウゼン効果により磁化反転する磁性ワイヤと当該磁性ワイヤを巻回するピックアップコイルを備えた発電素子をＮ個（Ｎは１以上の自然数）備え、前記発電素子の前記磁性ワイヤの延伸方向において当該磁性ワイヤは前記ピックアップコイルの巻回部分より長く、前記磁性ワイヤは前記磁石の回転中心の上方に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明にかかる回転数検出器は、設計自由度が高く、薄型化と発電信頼性の向上を両立させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、回転数検出器の磁石に対する位置と発電量の関係を示すグラフを示す図である。
【図２】図２は、実施の形態１における回転数検出器の概略構成の斜視図である。
【図３】図３は、実施の形態１における回転数検出器の発電素子の詳細構成を示す図である。
【図４】図４は、実施の形態１における回転数検出器の磁化反転発生点を説明する図である。
【図５−１】図５−１は、従来の回転数検出器における発電パルスの例を示す図である。
【図５−２】図５−２は、実施の形態１における回転数検出器における発電パルスの例を示す図である。
【図６】図６は、実施の形態１における回転数検出器に用いられる他の磁石の例を示す図である。
【図７】図７は、実施の形態２における回転数検出器の概略構成の斜視図である。
【図８】図８は、実施の形態３における回転数検出器の概略構成の斜視図である。
【図９】図９は、実施の形態３における回転数検出器の磁化反転発生点を説明する図である。
【図１０】図１０は、実施の形態４における回転数検出器の概略構成の斜視図である。
【図１１】図１１は、実施の形態４における回転数検出器の概略構成の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明にかかる回転数検出器の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１４】
実施の形態１．
Ｓ/Ｎ各１極が着磁された磁石と発電素子を組合わせたときの、磁石に対する発電素子の位置（磁石中心からの変位量）を横軸に、発電素子からの発電量を縦軸にしたときの発電素子の位置と発電量の関係を図１に示す。図１に示されるように、発電素子を磁石の中心即ち回転中心に配置したときが最も発電素子の発電量が大きい。磁性ワイヤの製法にもよるが、磁石外周付近に発電素子を配置すると、磁石の回転中心に配置したときの４割程度の発電量しか得られない。
【００１５】
また、磁石の中心と回転中心がずれた場合、磁石が偏芯した状態で回転する、即ち発電素子から見ると、図１の横軸（磁石中心からの変位量）が磁石の回転角に伴って変化することとなるが、磁石の中心付近に発電素子を配置した場合は、図１の横軸変動に対する発電量の変動量が少ない。即ち、図１の曲線の傾きの絶対値が小さい。それに対して、磁石の中心を避けて発電素子を配置すると、横軸変動に対する発電量の変動量（曲線の傾きの絶対値）が大きく、発電量のバラツキが大きくなって検出器の信頼性低下を招く。
【００１６】
本発明の実施の形態１における回転数検出器の構成を図２〜図６を用いて以下に説明する。
【００１７】
図２は、実施の形態１における回転数検出器１００の概略構成の斜視図を示している。本実施の形態における回転数検出器１００は、回転シャフト４、回転シャフト４に取り付けられて一体となって回転する磁石１、磁石１の回転に伴い発電パルスを発生する発電部２、および発電部２からの発電パルスを用いてカウント処理を行う処理部（非図示）を備える。
【００１８】
磁石１はＳ極およびＮ極が各１極着磁された径方向着磁磁石であり、回転シャフト４の回転中心と磁石の中心がほぼ一致するように取付けられている。発電部２は、発電素子３０および４０を一体でパッケージングしたものであり、磁石１から回転軸方向に間隔（ギャップ）Ｇだけ離れた位置に配置されている。発電素子３０および４０は磁石１の一回転に対して９０度位相差となる間隔で直交して配置されている。図３に示すように、発電素子３０は２個のピックアップコイル３１および３２とそれらに巻回される１本の磁性ワイヤ３３から構成されている。即ち、発電素子３０のピックアップコイルは所定間隔離間し且つ直列接続された２つの巻回部分を有している。発電素子４０も発電素子３０と同様の構成である。
【００１９】
２つの巻回部分であるピックアップコイル３１および３２は、図３のように間隔Ｌにて配置され、なおかつ直列に接続されている。従って、磁性ワイヤ３３の延伸方向の長さである磁性ワイヤ長さＪは、ピックアップコイル３１および３２の長さの和より大きい。そして、ピックアップコイル３１の左端およびピックアップコイル３２の右端が処理部に接続される。間隔Ｌはコイルの外径Φに対してＬ＞Φという関係を有しており、２個の発電素子３０および４０は、コイル同士が干渉しないように図２で示されるように磁性ワイヤ部分のみを磁石１の回転中心上で重ね合わせている。
【００２０】
コイルごと２個の発電素子３０および４０を重ね合わせると、発電部２の厚さは２Φとなるが、磁性ワイヤ部分だけを重ね合わせると、発電部２の厚さはΦ＋２Ｗ＋α（Ｗ：磁性ワイヤのワイヤ径、α：２本の磁性ワイヤの隙間）となる。発電素子３０および４０においては、例えば、Φ＝５ｍｍ、Ｗ＝０．２ｍｍ程度であるため、α＝０．１ｍｍであるとすると、２Φ＝１０ｍｍに対してΦ＋２Ｗ＋α＝５．５ｍｍとなり、回転数検出器１００の大幅な薄型化が可能となる。また、発電素子３０を下側、発電素子４０を上側とすると、磁石１と発電素子３０の間隔Ｇに対して、磁石１と発電素子４０の間隔がＧ＋Ｗ＋αとなり、例えば、磁石１と発電素子３０の間隔Ｇ＝３ｍｍとすると、磁石１と発電素子４０の間隔はＧ＋Ｗ＋α＝３．３ｍｍとなり、磁石１と２つの発電素子３０および４０との間隔を近い値に設定することが出来る。コイルごと２個の発電素子３０および４０を重ね合わせると、磁石１と発電素子４０の間隔がＧ＋Φ＝８ｍｍとなり、磁石１と２個の発電素子３０および４０の間隔の差が大きくなる。
【００２１】
次に、本実施の形態における回転数検出器１００の動作について説明する。発電素子３０および４０はそれぞれ、磁石１の回転に対してＮ→Ｓ極の境界付近で正のパルス、Ｓ→Ｎ極の境界付近で負のパルスが発生する。このとき、発電素子１個のみで構成した場合は、磁石１が時計回り（正転）に回転してＮ→Ｓ極となった場合と、反時計回りに回転（反転）してＮ→Ｓ極となった場合と同じ正のパルスが発生するため、回転方向の区別ができない。それに対して発電素子を２個配置すると、発電素子３０が正パルスを発生した後、発電素子４０が正のパルスか負のパルスかどちらを発生するかで正転と反転の区別をすることが可能となる。
【００２２】
次に、本実施の形態の発電素子３０および４０の詳細な動作について、図４、図５−１、および図５−２を用いて説明する。発電素子３０は、磁性ワイヤ３３が大バルクハウゼン効果により一斉に磁化反転した時の磁界変化をピックアップコイルにより検出する。図４に示すように、磁化反転は磁性ワイヤ３３のある点である磁化反転発生点１０から発生し、磁性ワイヤ３３の全体に波及する。この磁化反転発生点１０はワイヤごとに異なる。磁化反転発生点１０とピックアップコイル３１，３２の距離をそれぞれＸ１，Ｘ２（＝Ｌ−Ｘ１）、磁化反転の速度をＶとすると、ピックアップコイル３１，３２から生じる発電パルスには（Ｘ２／Ｖ−Ｘ１／Ｖ）のタイムラグＴが生じる。
【００２３】
図５−１は、従来の１つの磁性ワイヤと１つのピックアップコイル（巻数：Ｎ）の組合せによる発電素子から得られる発電パルス（半値幅Ｈｗ）の例を示す。半値幅Ｈｗは、１つのピックアップコイルが磁性ワイヤを覆っている状態では、ピックアップコイルのコイル長さに依存した値であり、例えば、５０μｓｅｃである。これに対して、本実施の形態においては、２つのピックアップコイル３１，３２（巻数の和：Ｎ）からのタイムラグ（磁化反転を検出する時間の差）Ｔを生じさせることにより、直列接続されたピックアップコイル両端からの出力は、図５−２に示すように、タイムラグＴの分ずれた２つのパルス波形を重ね合わせたような波形となる。即ち、Ｈｗ’＝Ｈｗ＋Ｔとなる。従って、コイル間隔Ｌを変えることにより所望のパルス半値幅Ｈｗ’を得ることができる。半値幅Ｈｗ’の値は、例えば、１００μｓｅｃなどの値となる。
【００２４】
処理部にて回転数の演算を行う際、発電パルスの半値幅Ｈｗが短い決まった値だと、その間に処理する必要があるので処理時間が限られてしまい、用いる回路部品に制約が発生してコスト上昇要因になる可能性がある。しかし、本実施の形態においては、以下に述べるようにタイムラグＴを制御して設定することにより従来の発電パルス半値幅Ｈｗに対して大きく、かつ所望の半値幅Ｈｗ’を得ることが出来る。発電パルス半値幅が大きくなることにより、上記処理の実行可能な時間幅が伸びることになる。従って、より自由度の高い回路処理を行うことが出来て、コストダウンを図ることが可能となる。
【００２５】
なお、磁性ワイヤごとに異なる磁化反転発生点１０の位置、および磁化反転速度Ｖはピックアップコイルを用いた検査装置を用いることにより事前に測定することができ、各々測定された磁化反転発生点１０の位置、磁化反転速度Ｖの値からコイル間隔Ｌを設定することにより、所望の半値幅Ｈｗ’のパルスを得ることができる。即ち、磁性ワイヤごとに異なる磁化反転発生点１０の位置、および磁化反転速度Ｖが分かっていれば、コイル間隔Ｌを変えることにより所望のＴ＝（Ｘ２／Ｖ−Ｘ１／Ｖ）が求まる。従って、仮に従来の（ピックアップコイルの巻回部分が１つの場合の）半値幅Ｈｗが不明であっても、Ｈｗ’＝Ｈｗ＋Ｔの関係より、所望の値以上に半値幅Ｈｗ’を設定することが可能である。また、半値幅Ｈｗが既知の場合は、所望の値に半値幅Ｈｗ’を設定することが可能である。よって、コイル間隔Ｌを調整することで、任意の発電パルス幅を得ることが出来るので、処理回路での設計自由度が向上する。
【００２６】
なお、上記では、本実施の形態にかかる磁石１の着磁はＳ極・Ｎ極をそれぞれ１極ずつ着磁した径方向着磁の例を用いて説明したが、本実施の形態の磁石１はこれに限らず、例えば図６のような両面４極磁石であってもかまわない。以下の実施の形態においても同様である。
【００２７】
実施の形態２．
本発明の実施の形態２における回転数検出器２００の構成を図７を用いて以下に説明する。
【００２８】
図７は、実施の形態２における回転数検出器２００の概略構成の斜視図を示している。回転数検出器２００の構成は基本的には実施の形態１の回転数検出器１００と同様であるが、発電部２の詳細構成が異なる。発電部２は、発電素子３０，４０、および５０を一体でパッケージングしたものであり、磁石１から回転軸方向に間隔Ｇだけ離れた位置に配置されている。発電素子３０，４０、および５０は磁石１の一回転に対して１２０度位相差となる間隔で等間隔に配置されている。発電素子３０は、図３に示すように２個のピックアップコイル３１および３２と１本の磁性ワイヤ３３から構成されている。発電素子４０および５０も発電素子３０と同様の構成である。
【００２９】
ピックアップコイル３１および３２は、実施の形態１と同様に間隔Ｌにて配置され、なおかつ直列に接続されており、ピックアップコイル３１の左端およびピックアップコイル３２の右端が処理部に接続される。間隔Ｌはコイルの外径Φに対してＬ＞Φという関係を有しており、３個の発電素子３０，４０、および５０は、コイル同士が干渉しないように図７に示されるように磁性ワイヤ部分のみを磁石１の中心上で重ね合わせている。
【００３０】
コイルごと３個の発電素子３０，４０、および５０を重ね合わせると、発電部２の厚さは３Φとなるが、磁性ワイヤ部分だけを重ね合わせると、発電部２の厚さはΦ＋３Ｗ＋２α（Ｗ：磁性ワイヤのワイヤ径、α：隣接する磁性ワイヤの隙間）となる。一般的な発電素子においては、例えば、Φ＝５ｍｍ、Ｗ＝０．２ｍｍ程度であるため、α＝０．１ｍｍであるとすると、３Φ＝１５ｍｍに対してΦ＋３Ｗ＋２α＝５．８ｍｍとなり、実施の形態１よりも更に大幅な検出器薄型化が可能となる。また、発電素子３０を最下段、発電素子５０を最上段とすると、磁石１と発電素子３０の間隔Ｇに対して、磁石１と発電素子５０の間隔がＧ＋２Ｗ＋２αとなり、例えば、磁石１と発電素子３０の間隔Ｇ＝３ｍｍとすると、磁石１と発電素子５０の間隔がＧ＋２Ｗ＋２α＝３．６ｍｍとなり、磁石１と３つの発電素子３０，４０、および５０との間隔を近い値に設定することが出来る。コイルごと３個の発電素子３０，４０、および５０を重ね合わせると、磁石１と発電素子５０の間隔がＧ＋２Φ＝１３ｍｍとなり、磁石と３個の発電素子の間隔の差が大きくなる。
【００３１】
次に、発電素子を３個配置した回転数検出器２００の動作について説明する。発電素子３０，４０、および５０はそれぞれ、磁石１の回転に対してＮ→Ｓ極の境界付近で正のパルス、Ｓ→Ｎ極の境界付近で負のパルスが発生する。
【００３２】
実施の形態１の回転数検出器１００では、正常にパルスが発生している場合は問題なく回転数および回転方向が判別できるが、磁気ノイズなどの外乱要因によってパルスが１回消失すると、回転方向の判別ができなくなり、回転数の誤カウントが発生する。本実施の形態の回転数検出器２００では、発電素子を３個配置することにより、例えば発電素子３０の正のパルスが消失した場合にも、発電素子４０に正パルスが発生した場合は正転、発電素子５０に正パルスが発生した場合は反転と判断でき、１回のパルス抜けを補正することができる。
【００３３】
同様に、発電素子をＮ個配置することによりＮ−２回のパルス抜けを補正することが出来る。このように、パルス抜けを補正する為により多くの発電素子を配置したい場合、本実施の形態の方法で発電素子を重ねた回転数検出器においては検出器の厚さを殆ど変えることなく発電素子の数を増やすことが出来る。
【００３４】
実施の形態３．
本発明の実施の形態３における回転数検出器３００の構成を図８を用いて以下に説明する。
【００３５】
図８は、実施の形態３における回転数検出器３００の概略構成の斜視図を示している。回転数検出器３００の構成は基本的には実施の形態２の回転数検出器２００と同様であるが、発電部２の詳細構成が異なる。発電部２は、発電素子３０，４０、および５０を一体でパッケージングしたものであり、磁石１から回転軸方向に間隔Ｇだけ離れた位置に配置されている。発電素子３０，４０、および５０は磁石１の一回転に対して１２０度位相差となる間隔で配置されている。発電素子３０は、図９に示すように１個のピックアップコイル３１と１本の磁性ワイヤ３３から構成されている。発電素子４０および５０も発電素子３０と同様の構成である。ピックアップコイル３１は磁石１の回転中心と外縁のちょうど中間付近上方に配置され、磁性ワイヤ３３の延伸方向における磁性ワイヤ長さＪはコイル長さＫに対して大きく、図８に示されるように、磁石１の回転中心上で３本の磁性ワイヤ部分のみを重ね合わせている。
【００３６】
磁性ワイヤの材料や製法によっては、図９のように磁化反転発生点１０を磁性ワイヤ３３の端部に設定したほうが効率よく発電パルスを取り出せるものがある。この場合は図８のように磁石１の回転中心で３本の磁性ワイヤの端部同士を重ね合わせることでより大きな発電パルスを得ることができる。
【００３７】
実施の形態４．
本発明の実施の形態４における回転数検出器４００の構成を図１０および１１を用いて以下に説明する。
【００３８】
図１０は、実施の形態４における回転数検出器４００の概略構成の斜視図を、図１１はその側面図を示している。回転数検出器４００の構成は基本的には実施の形態３の回転数検出器３００と同様であるが、発電部２の詳細構成が異なる。発電部２は、発電素子３０のみから構成されており、発電素子３０は１個のピックアップコイル３１と１本の磁性ワイヤ３３から構成されている。図１１に示されるように、ピックアップコイル３１は磁石１の外側のちょうど磁石１と同じ高さ付近に配置され、磁性ワイヤ長さの全長はコイル長さＫに対して大きく、磁石１の回転中心上を磁性ワイヤ部分のみが通っている。磁性ワイヤ３３は大バルクハウゼン効果により、ある部分から磁化反転が始まってワイヤ全体に磁化反転が波及する為、必ずしもピックアップコイル３１は磁性ワイヤ３３と同じ長さでなくても構わない。即ち、必要な電力さえ取り出すことが出来れば、本実施の形態の発電素子３０ように磁性ワイヤ３３の端部にのみピックアップコイル３１を配置することで、コイルの厚さの分更に検出器を薄型化することが出来る。磁性ワイヤ３３は磁石１の外側で折り曲げられているが、必ずしも折り曲げられる必要は無く、回転数検出器４００のデザインに合わせて形状を定めれば良い。これにより、例えば、空きスペースに発電素子を配置しやすくなり、設計自由度の向上を図ることができる。
【００３９】
従来の発電素子は、「磁性ワイヤの長さ」＝「ピックアップコイルの長さ」が常識であったが、上記説明したように、本発明の実施の形態においては、「磁性ワイヤの長さ」より「ピックアップコイルの長さ」を短くしている。そして、磁性ワイヤが磁石の回転中心の上方、即ち、最も発電量が得られ、且つ、偏芯に対して強い位置に配置されていれば、ピックアップコイルはワイヤ端に配置されていても良い。これにより、上述したように空きスペースに発電素子を配置しやすくなり、設計自由度が向上する。また、複数の発電素子をピックアップコイルが巻回していない磁性ワイヤ部分でのみクロスさせる（重ね合わせる）ことで、回転数検出器の薄型化と発電信頼性の向上を両立させることが可能となる。
【００４０】
さらに、本願発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。また、上記実施の形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出されうる。例えば、実施の形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出されうる。更に、異なる実施の形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
以上のように、本発明にかかる回転数検出器は、産業用ＦＡ機器向けや車載用途などの様々な分野で用いられる回転体の回転数をカウントする磁性ワイヤを用いた回転数検出器に有用であり、特に、薄型であり、かつ、より安定な発電パルスを得ることが可能な、信頼性の高い回転数検出器に適している。
【符号の説明】
【００４２】
１  磁石、２  発電部、４  回転シャフト、１０  磁化反転発生点、３０，４０，５０  発電素子、３１，３２  ピックアップコイル、３３  磁性ワイヤ、１００，２００，３００，４００  回転数検出器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５−１】
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【図５−２】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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