(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
通信光を受光し、前記通信光の光強度を検出する受光部と、  前記受光部により受光される前記通信光の光軸の傾きを検出する傾きセンサと、  前記受光部により検出される前記光強度が所定光強度以下に低下したことを検出する光強度低下検出手段と、  前記傾きセンサにより検出される前記光軸の傾きが所定角度以上に傾いたことを検出する光軸傾き検出手段と、  前記光強度低下検出手段により前記光強度が前記所定光強度以下と検出されず、前記光軸傾き検出手段により前記光軸の傾きが前記所定角度以上と検出される場合に（第１検出状態）、前記傾きセンサに対してドリフト補正を行うドリフト補正手段とを備えることを特徴とする光通信装置。
【請求項２】
前記ドリフト補正手段は、  前記光強度低下検出手段により前記光強度が前記所定光強度以下と検出され、前記光軸傾き検出手段により前記光軸の傾きが所定角度以上と検出されない場合に（第２検出状態）、前記傾きセンサに対してドリフト補正を行うことを特徴とする請求項１に記載の光通信装置。
【請求項３】
前記ドリフト補正手段が前記ドリフト補正を所定時間継続して行った後においても、前記第１検出状態、もしくは前記第２検出状態が継続する場合に、前記通信光の発光を停止することを特徴とする請求項２に記載の光通信装置。
【請求項４】
前記ドリフト補正手段は、所定期間ごとにサンプリングされた前記光軸の傾きの平均値を算出し、算出された前記平均値と傾き基準値との差異を温度ドリフトによる変動値としてドリフト補正を行うことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の光通信装置。
【請求項５】
前記光軸の傾きを調整するアクチュエータと、  前記光強度低下検出手段により前記光強度が前記所定光強度以下と検出され、前記光軸傾き検出手段により前記光軸の傾きが前記所定角度以上と検出される場合に（第３検出状態）、前記アクチュエータを駆動することを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の光通信装置。
【請求項６】
電子部品の基板への実装作業に係る各種のデータを通信光により伝送する電子部品装着装置であって、  前記通信光を受光し、前記通信光の光強度を検出する受光部と  前記受光部により受光される前記通信光の光軸の傾きを検出する傾きセンサと、  前記受光部により検出される前記光強度が前記所定光強度以下に低下したことを検出する光強度低下検出手段と、  前記傾きセンサにより前記光軸の傾きが所定角度以上に傾いたことを検出する光軸傾き検出手段と、  前記光強度低下検出手段により前記光強度が所定光強度以下と検出されず、前記光軸傾き検出手段により検出される前記光軸の傾きが前記所定角度以上と検出される場合に（第１検出状態）前記傾きセンサに対してドリフト補正を行うドリフト補正手段とを備えることを特徴とする電子部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、光通信装置、および電子部品装着装置に関するものであり、特に光通信装置に備えられる傾きセンサのドリフト補正に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来より、光空間伝送装置においては、ホルダの回動軸の一端に角度センサが固定され、これによりハーフミラーの傾きを検出し得るようになされ、残りの一端にアクチュエータが固定され、当該アクチュエータを駆動してハーフミラーの傾きを可変し得るようになされている。アクチュエータにおいては、角度センサを内蔵するようになされ、位置検出素子の出力信号だけでなく、角度センサの検出結果を基準にして位置制御し得るようになされ、照射位置を補正し得る技術が開示されている（特許文献１など）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０５−０８９３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  ところで、光通信装置は、移動装置と制御装置間の信号伝送を光信号による無線伝送で行う装置であり、一方は、スライド機構等の移動装置に移動可能に備えられ、他方は制御装置に備え付けられる。通信光の光軸を一致させるため、移動装置側の光通信装置には、傾きを調整するアクチュエータが備えられる。さらに、アクチュエータを制御するために、光通信装置の傾きを検出する傾きセンサが備えられる。この傾きセンサは、傾きを示すセンサ傾き値を、傾きが０度のときの値を傾き基準値として出力する。光軸が一致している状態を傾きが０度とし、このときのセンサ傾き値の出力が傾き基準値となるように設定すれば、通信光が光軸から外れた場合においても、センサ傾き値に応じてアクチュエータを駆動することで、再度光軸を一致させることができる。しかしながら、この傾き基準値は、温度ドリフトや、その他の要因により変動が生じる。例えば、傾きセンサの温度の違いによって傾きセンサの特性が変動する場合、正確なセンサ傾き値が得られない問題がある。【０００５】  これに対し、上記特許文献１に記載の背景技術は、角度センサの検出結果を基準にして角度を制御し得る技術が開示されているに過ぎない。つまり、上記特許文献１に記載の背景技術は、光通信装置に備えられる傾きセンサにかかる傾き基準値の温度ドリフトに関しては何ら記載がない。よって、上記特許文献１に記載の背景技術では、温度ドリフトの補正に関しては何ら記載がなく、傾き基準値が温度ドリフトにより変動した場合に、変動後、正確なセンサ傾き値が得ることができないという課題がある。【０００６】  本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、傾きセンサの特性に温度ドリフトにより変動が生じた場合においても、温度ドリフトによる変動を補正して正確なセンサ傾き値を検出することで、光無線通信における通信光の光軸を調整することが可能な光通信装置、および電子部品装着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】  上記課題を鑑みてなされた本願の請求項１に記載の光通信装置、および請求項６に記載の電子部品装着装置は、受光部、傾きセンサ、光強度低下検出手段、光軸傾き検出手段、およびドリフト補正手段を備える。受光部は、通信光を受光し、通信光の光強度を検出する。傾きセンサは、受光部により受光される通信光の光軸の傾きを検出する。光強度低下検出手段は、受光部により検出される光強度が所定光強度以下に低下したことを検出する。光軸傾き検出手段は、傾きセンサにより検出される光軸の傾きが所定角度以上に傾いたことを検出する。ドリフト補正手段は、光強度低下検出手段により光強度が所定光強度以下と検出されず、光軸傾き検出手段により光軸の傾きが所定角度以上と検出される場合に（第１検出状態）、傾きセンサに対してドリフト補正を行う。【０００８】  また、請求項２に記載の光通信装置は、請求項１に記載の光通信装置において、光強度低下検出手段により光強度が所定光強度以下と検出され、光軸傾き検出手段により光軸の傾きが所定角度以上と検出される場合に（第２検出状態）、傾きセンサに対してドリフト補正を行う。【０００９】  また、請求項３に記載の光通信装置は、請求項２に記載の光通信装置において、ドリフト補正手段がドリフト補正を所定時間継続して行った後においても、第１検出状態、もしくは第２検出状態が継続する場合に、通信光の発光を停止する。【００１０】  また、請求項４に記載の光通信装置は、請求項１から３の何れか１項に記載の光通信装置において、ドリフト補正手段は、所定期間ごとにサンプリングされた光軸の傾きの平均値を算出し、算出された平均値と傾き基準値との差異を温度ドリフトによる変動値としてドリフト補正を行う。【００１１】  また、本願の請求項５に記載の光通信装置は、請求項１から４の何れか１項に記載の光通信装置において、光軸の傾きを調整するアクチュエータを備える。光強度低下検出手段により光強度が所定光強度以下と検出され、光軸傾き検出手段により光軸の傾きが所定角度以上と検出される場合に（第３検出状態）、アクチュエータを駆動する。
【発明の効果】
【００１２】  請求項１に記載の光通信装置、および請求項６に記載の電子部品装着装置では、受光部により受光される通信光の光強度が所定光強度より大きいが通信光の光軸の傾きが所定角度以上の場合（第１検出状態）に、ドリフト補正を傾きセンサに対して行う。光強度が所定光強度より大きいならば通信光の光軸は正常な角度範囲に調整されていることとなる。光軸の角度が正常な角度範囲にあるにも拘らず光軸の傾きが所定角度以上であると検出される場合（第１検出状態）とは、傾きセンサの出力値が温度ドリフトにより変動していることを示している。第１検出状態を検出した場合に、ドリフト補正手段により温度ドリフトの補正を行うことにより傾きセンサの温度ドリフトによる変動を解消することができる。【００１３】  請求項２に記載の光通信装置では、受光部により受光される通信光の光強度が所定光強度以下と検出され、通信光の光軸の傾きが所定角度より小さい場合に（第２検出状態）、ドリフト補正を傾きセンサに対して行う。光強度が所定光強度以下ならば通信光の光軸は正常な角度範囲から外れていることとなる。光軸の角度が正常な角度範囲から外れているにも拘らず光軸の傾きが所定角度より小さいと検出される場合（第２検出状態）とは、傾きセンサの出力値が温度ドリフトにより変動していることを示している。第２検出状態を検出した場合に、ドリフト補正手段により温度ドリフトの補正を行うことにより傾きセンサの温度ドリフトによる変動を解消することができる。【００１４】  請求項３に記載の光通信装置では、傾きセンサに対する温度ドリフト補正にも拘わらず、異常な状態である第１、第２検出状態が解消されない状態である。この場合、装置に何らかの異常が発生したものと判断して通信光の発光を停止する。これにより、異常な状態での装置の稼働を防止することができる。【００１５】  請求項４に記載の光通信装置では、所定期間ごとにサンプリングされた光軸の傾きの平均値を算出する。稼働状態において装置が静止状態での位置を中心として振動する場合に、平均値は静止状態での光軸の傾きを示す。傾き基準値とは、温度ドリフトがない状態での装置の静止状態での光軸の傾きを示す。したがって、算出された平均値の傾き基準値からの差異が温度ドリフトによる変動値であるとすることができ、これに基づいてドリフト補正を行うことができる。稼働時において装置が振動する状態においても、温度ドリフトによる変動がない状態に合わせることができる。【００１６】  請求項５に記載の光通信装置では、第３検出状態を検出した場合には、光軸の傾きにより光強度が確保できないと判断されるので、アクチュエータを駆動して光軸の傾きを調整することで、通信光の光強度を所定光強度以上に調整し光無線を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態の通信システムが適用される電子部品装着装置の斜視図である。
【図２】図１に示す電子部品装着装置の上部カバーを取り外した状態の概略平面図である。
【図３】電子部品装着装置のブロック図である。
【図４】Ｘ軸スライダ５４を、図２の＋Ｙ方向から見た光通信装置１を模式的に示す図である。
【図５】光強度（Ｐ）と光軸ＡＸの傾き、およびＺ方向のずれを示すセンサ出力値（Ｒ）と光軸ＡＸの傾きの相関関係を併せて示すグラフである。
【図６】光通信装置１の起動処理、光軸ＡＸの傾き調整処理、ドリフト補正処理を示すフローチャートである。
【図７】ステップＳ３２のサブルーチンのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】  以下、本発明の実施形態について図を参照して説明する。初めに、本願の光通信装置を適用する装置の一例として電子部品装着装置（以下、「装着装置」とする場合がある）について説明する。
【００１９】（装着装置１０の構成）  図１に示すように、装着装置１０は、装置本体１１と、装置本体１１に一体的に設けられる一対の表示装置１３と、装置本体１１に対して着脱可能に設けられる供給装置１５、１６とを備える。本実施形態の装着装置１０は、図３に示す制御装置８０の制御に基づいて、装置本体１１内に収容される搬送装置２１にて搬送される回路基板１００に対して電子部品（図示略）の装着作業を実施する装置である。なお、本実施形態では、図１に示すように、搬送装置２１により回路基板１００が搬送される方向（図２における左右方向）をＸ軸方向、回路基板１００の搬送方向に水平でＸ軸方向に対して直角な方向をＹ軸方向と称し、説明する。
【００２０】  装置本体１１は、Ｘ軸方向の一端側でＹ軸方向における両端部に表示装置１３を各々備える。各表示装置１３は、タッチパネル式の表示装置であり、電子部品の装着作業に関する情報を表示する。また、装置本体１１は、Ｙ軸方向の両側から挟むようにして装着される供給装置１５、１６を備える。供給装置１５は、フィーダ型の供給装置であり、各種の電子部品がテーピング化されリールに巻回させた状態で収容されるテープフィーダ１５Ａを複数有している。供給装置１６は、トレイ型の供給装置であり、複数の電子部品が載置された部品トレイ１６Ａ（図２参照）を複数有している。
【００２１】  図２は、装置本体１１の上部カバー１１Ａ（図１参照）を取り除いた状態で装着装置１０を上方（図１における上側）からの視点において示した概略平面図である。図２に示すように、装置本体１１は、上記搬送装置２１と、回路基板１００に対して電子部品を装着する装着ヘッド２２と、その装着ヘッド２２を移動させる移動装置２３とを基台２０の上に備える。
【００２２】  搬送装置２１は、基台２０におけるＹ軸方向の略中央部に設けられており、１対のコンベアベルト３１と、コンベアベルト３１に保持された基板保持装置３２と、基板保持装置３２を移動させる電磁モータ３３とを有している。基板保持装置３２は回路基板１００を保持する。電磁モータ３３は、出力軸がコンベアベルト３１に駆動連結されている。電磁モータ３３は、例えば、回転角度を制御可能なサーボモータである。搬送装置２１は、電磁モータ３３の駆動に基づいてコンベアベルト３１が周回動作を行うことで、基板保持装置３２とともに回路基板１００がＸ軸方向に移動する。
【００２３】  装着ヘッド２２は、回路基板１００と対向する下面に電子部品を吸着する吸着ノズル４１を有する。吸着ノズル４１は、正負圧供給装置４２（図３参照）を介して負圧エア、正圧エア通路に通じており、負圧にて電子部品を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持した電子部品を離脱する。また、装着ヘッド２２は、吸着ノズル４１を昇降させるノズル昇降装置４３（図３参照）及び吸着ノズル４１をそれの軸心回りに自転させるノズル自転装置４４（図３参照）を有しており、保持する電子部品の上下方向の位置及び電子部品の保持姿勢を変更する。ノズル昇降装置４３は、駆動源として例えば電磁モータ４３Ａ（図３参照）を備える。また、装着ヘッド２２は、保持する電子部品の上下方向の位置を検出するための位置検出センサ４５（図３参照）を有している。また、装着ヘッド２２には、回路基板１００を撮影するためのマークカメラ４７が下方を向いた状態で固定されている。なお、吸着ノズル４１は、装着ヘッド２２に対し着脱可能であり、電子部品のサイズ、形状等に応じて変更できる。
【００２４】  また、装着ヘッド２２は、移動装置２３によって基台２０上の任意の位置に移動する。詳述すると、移動装置２３は、装着ヘッド２２をＸ軸方向に移動させるためのＸ軸方向スライド機構５０と、装着ヘッド２２をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸方向スライド機構５２とを備える。Ｘ軸方向スライド機構５０は、Ｘ軸方向に移動可能に基台２０上に設けられたＸ軸スライダ５４と、駆動源として電磁モータ５６とを有している。Ｘ軸スライダ５４は、電磁モータ５６の駆動に基づいてＸ軸方向の任意の位置に移動する。Ｘ軸スライダ５４は、後述するアクチュエータ７と、アクティブマスダンパ９とを備える。
【００２５】  また、Ｙ軸方向スライド機構５２は、Ｙ軸方向に移動可能にＸ軸スライダ５４の側面に設けられたＹ軸スライダ５８と、駆動源としての電磁モータ６０とを有している。Ｙ軸スライダ５８は、電磁モータ６０の駆動に基づいて、Ｙ軸方向の任意の位置に移動する。そして、装着ヘッド２２は、Ｙ軸スライダ５８に取り付けらており、移動装置２３の駆動にともなって基台２０上の任意の位置に移動する。これにより、マークカメラ４７は、装着ヘッド２２が移動させられることで回路基板１００の任意の位置の表面が撮像可能となる。マークカメラ４７により撮影された画像データは、画像処理装置７１（図３参照）により処理され制御装置８０に出力される。また、装着ヘッド２２は、Ｙ軸スライダ５８にコネクタ４８を介して取り付けられワンタッチで着脱可能であり、種類の異なる作業ヘッド、例えば、ディスペンサヘッド等に変更できる。
【００２６】  また、基台２０は、Ｙ軸方向の両側に設けられた各側面部に供給装置１５、１６が接続されている。各供給装置１５、１６は、供給する電子部品の不足や電子部品の種類の変更等に対応するべく、基台２０に着脱可能とされている。また、基台２０には、各供給装置１５、１６が接続される部分におけるＸ軸方向の略中央部にパーツカメラ７３が各々設けられている。各パーツカメラ７３は、上方を向いた状態で設けられており、各供給装置１５、１６から装着ヘッド２２の吸着ノズル４１に吸着保持された電子部品を撮像する。パーツカメラ７３は、撮影された画像データを画像処理装置７１（図３参照）に出力する。画像処理装置７１は、処理したデータを制御装置８０に出力する。
【００２７】（装着装置１０に適用される光通信装置１、３）  ここで、図３に示すように、本実施形態の装着装置１０は、装着装置１０の制御装置８０と制御装置８０以外の部分（各種装置）との間のデータ通信に光無線の多重化通信を用いる。なお、図３に示す装着装置１０の構成は、光通信装置１、３を適用する場合の一例であり、装着装置１０が備える装置の種類や数等に応じて適宜変更する。また、本願の光通信装置１、３は、装着装置１０に例示される電子部品装着装置の他に、様々な製造ラインにおいて稼働する自動機などに適用可能なシステムである。
【００２８】  図３に示すように、制御装置８０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えたコンピュータを主体とするコントローラ８２と、画像ボード８４と、駆動制御ボード８５と、Ｉ／Ｏボード８６とを備える。コントローラ８２は、各ボード８４、８５、８６を介して各種装置と通信を行う。各ボード８４、８５、８６は、光通信装置３を介して伝送路２の一端に接続され、その伝送路２の他端には光通信装置１を介して各種装置（カメラ、モータ、センサ等）が接続されている。各ボード８４、８５、８６と各種装置とが入出力するデータは、光通信装置１、３を介して伝送路２において光無線による通信で伝送される。例えば、図２に示すように、移動装置２３には、制御装置８０に接続される光通信装置３に対向して、光通信装置１が設けられている。これにより、光通信装置１、３間で各種通信が可能とされている。
【００２９】  図３に示す画像ボード８４は、画像データの入出力を制御するボードである。例えば、コントローラ８２は、画像ボード８４を介して画像処理装置７１がマークカメラ４７の画像データに対する処理から検出した回路基板１００に関する情報（種類・形状等）や回路基板１００の基板保持装置３２による保持位置の誤差等の情報を受信する。駆動制御ボード８５は、電磁モータに対する動作指令や電磁モータからリアルタイムでフィードバックされる情報等の入出力を制御するボードである。例えば、コントローラ８２は、駆動制御ボード８５を介して電磁モータ４３Ａにより取得されるトルク情報や位置情報（吸着ノズル４１に保持される電子部品の上下位置）などのサーボ制御情報を受信する。Ｉ／Ｏボード８６は、例えば位置検出センサ４５の出力信号等の入出力を制御するボードである。これら制御装置８０に各装置から入力されるデータは、光通信装置１により多重化された上で光無線信号として伝送路２を伝送される。光通信装置３は、伝送された多重化信号の多重化を解除し個々のデータに分離する処理を行う。光通信装置３は、分離されたデータのうち、画像データを画像ボード８４に、サーボ制御情報を駆動制御ボード８５に、Ｉ／Ｏ信号をＩ／Ｏボード８６に転送する。
【００３０】  一方で、コントローラ８２は、光通信装置３により受信された各データを処理する。コントローラ８２は、例えば処理結果に基づいた電磁モータ４３Ａに対する制御信号を、駆動制御ボード８５を介して光通信装置３に出力する。光通信装置１は、光通信装置３から伝送される制御信号をノズル昇降装置４３に転送する。これにより、電磁モータ４３Ａが制御信号に基づいて動作する。また、コントローラ８２は、例えば表示装置１３の表示を変更する制御信号をＩ／Ｏボード８６、光通信装置３、光通信装置１を介して表示装置１３に出力する。このように、制御装置８０と制御装置８０以外の各装置とで送受信される各種情報は、伝送路２上を多重化されたデータ、例えば時分割多重（ＴＤＭ）方式のフレームデータとして送受信される。なお、制御装置８０と他の装置間の通信は、その一部だけを光無線通信にて実施してよい。
【００３１】  上述した装着装置１０では、基板保持装置３２に保持された回路基板１００に対して装着ヘッド２２によって電子部品の装着作業を行う。具体的には、コントローラ８２は、搬送装置２１を駆動して回路基板１００を作業位置まで搬送し、電磁モータ３３を停止させて回路基板１００を固定的に保持させる。次に、コントローラ８２は、移動装置２３を駆動して装着ヘッド２２を回路基板１００上に移動させマークカメラ４７により回路基板１００を撮像する。この際に、コントローラ８２は、画像処理装置７１から受信した回路基板の種類及び回路基板１００の保持位置の誤差を判定する。次に、コントローラ８２は、基板の種類に対する判定結果に応じた電子部品を有する供給装置１５、１６を駆動し、該当する電子部品を装着ヘッド２２への供給位置に送り出す制御を行う。次に、コントローラ８２は、移動装置２３を駆動して供給位置の搬送された電子部品を装着ヘッド２２の吸着ノズル４１により吸着保持させる。
【００３２】  次に、コントローラ８２は、電子部品を保持した装着ヘッド２２をパーツカメラ７３上に移動させて電子部品の状態を撮像させる。この際に、コントローラ８２は、撮像結果に基づいて電子部品の保持位置の誤差を取得する。次に、コントローラ８２は、装着ヘッド２２を回路基板１００上の装着位置に移動させ回路基板及び電子部品の保持位置誤差に基づいて吸着ノズル４１を自転させた後に電子部品を回路基板１００に装着させる。
【００３３】  図４は、Ｘ軸スライダ５４を図２の−Ｙ方向から見た光通信装置１を模式的に示す図である。図４においてＺ方向は装置の上下方向である。Ｘ軸スライダ５４の上部には、光通信装置１、傾きセンサ５、アクチュエータ７、アクティブマスダンパ９が備えられる。光通信装置１は、Ｘ軸スライダ５４に備えられているため、稼働状態において、Ｘ軸スライダ５４の移動による、光通信装置３との間の光軸ＡＸのずれや光通信装置１の振動が生ずる恐れがある。よって、このような場合においても、光通信装置１と光通信装置３とを結ぶ光軸ＡＸが、光通信装置１の受発光部１Ａで受発光される通信光が通信に十分な光強度を確保できるような傾きに保持されるように、傾きセンサ５、アクチュエータ７、およびアクティブマスダンパ９が用いられる。
【００３４】  また、光通信装置１には、受発光素子１Ａ、制御部１Ｂが備えられる。受発光素子１Ａは、通信光の受光を行うフォトダイオード等の受光素子、および通信光の発光を行うレーザダイオード等の発光素子を備える。受発光される通信光の光強度が、確実な通信が可能である十分な強度となるように、光軸ＡＸの傾きが調整される。受光素子であるフォトダイオードは、通信光の光強度（Ｐ）（図５）に応じた電流量の電流を流す。制御部１Ｂは、流れる電流の電流量から入射される通信光の光強度（Ｐ）を検出する。流れる電流の温度によるばらつきは、後述する傾きセンサ５の出力のばらつきと比べ、十分に小さいものである。制御部１Ｂは、受発光素子１Ａ、および傾きセンサ５から入力される信号を処理し、処理結果に基づいてアクチュエータ７、およびアクティブマスダンパ９の制御を行う。また、制御部１Ｂは、フラッシュメモリ等の不揮発性メモリ（不図示）を備え、後述する光強度（Ｐ）のしきい値である光強度しきい値ＰＬ１（図５）、および後述するセンサ出力値（Ｒ）（図５）のしきい値である傾きしきい値ＲＬ（図５）を記憶する。
【００３５】  傾きセンサ５は、Ｘ軸スライダ５４のＺ方向の振動による変位を検出するものである。傾きセンサ５は、図示しないジャイロセンサを備える。ジャイロセンサは角速度を検出する。傾きセンサ５では、ジャイロセンサからの出力である角速度を示す電圧値を時間積分することでセンサ出力値（Ｒ）を検出する。ジャイロセンサは、Ｘ、Ｙ、Ｚの３方向の角速度を検出することもでき、この場合には制御部１Ｂは、各方向に対する振動による変位を検出する。センサ出力値（Ｒ）は、図５において後述するように温度ドリフトを有している（センサ出力値特性線ＲＡ、ＲＢ、ＲＣ）。
【００３６】  アクチュエータ７は、制御部１Ｂの制御により、光通信装置１の姿勢を調整することで光軸ＡＸの傾きを調整して、受発光素子１Ａの受発光面に十分な光強度の通信光が入出力されるように駆動される。アクティブマスダンパ９は、制御部１Ｂの制御により、Ｘ軸スライダ５４に発生する振動を緩和する。
【００３７】  図５は、光強度（Ｐ）と光軸ＡＸの傾き（θ）、およびＺ方向のずれを示すセンサ出力値（Ｒ）と光軸ＡＸの傾き（θ）の相関関係を併せて示すグラフである。以下の説明では、前者を光強度特性線ＰＷ、後者をセンサ出力値特性線ＲＡ、ＲＢ、ＲＣとして説明する。ここで、Ｘ軸は光軸ＡＸの傾き（θ）であり、図４に示すＺ方向への変位に応じて生ずる傾きである。
【００３８】  Ｙ１軸は、受発光素子１Ａに受光される通信光の光強度（Ｐ）を示す。光強度特性線ＰＷは、光軸ＡＸの傾き（θ）が増加するほど、光強度（Ｐ）は低減する相関関係を示す。光強度値Ｐ０は、光強度（Ｐ）が最も高い値である。光軸ＡＸの傾き（θ）がゼロのときの光強度値を示す。光強度（Ｐ）が光強度しきい値ＰＬ１より高いときには、正常な光強度（Ｐ）により光無線が行われる。光強度しきい値ＰＬ２は、光無線において、所定の通信品質を満たす最低限の光強度（Ｐ）である。
【００３９】  Ｙ２軸は、傾きセンサ５が検出するセンサ出力値（Ｒ）を示す。センサ出力値特性線ＲＡは温度ドリフトを含まない場合であり、センサ出力値特性線ＲＢ、ＲＣは温度ドリフトを含む場合である。センサ出力値特性線ＲＢは正の温度ドリフトを含み、センサ出力値特性線ＲＣは負の温度ドリフトを含む。傾き基準値Ｒ０は、温度ドリフトがない状態での光通信装置１の静止状態における、光軸ＡＸの傾き（θ）であり、制御部１Ｂに記憶されるセンサ出力値の基準値である。傾き基準値ＲＡ０、ＲＢ０、ＲＣ０は、実際の光軸ＡＸの傾き（θ）がゼロの場合に、各々のセンサ出力値特性線ＲＡ、ＲＢ、ＲＣにおいて傾きセンサ５が出力するセンサ出力値を示す。温度ドリフトがないセンサ出力値特性線ＲＡでは、傾き基準値ＲＡ０が傾き基準値Ｒ０に一致する。正の温度ドリフトを有するセンサ出力値特性線ＲＢでは、傾き基準値ＲＢ０は傾き基準値Ｒ０より大きな傾きを有して出力され、負の温度ドリフトを有するセンサ出力値特性線ＲＣでは、傾き基準値ＲＣ０は傾き基準値Ｒ０より小さな傾きを有して出力される。センサ出力値（Ｒ）が傾きしきい値ＲＬ以下の場合に、温度ドリフトがない条件で、光通信装置１の受発光部１Ａで受発光される通信光の光強度が光無線に必要な正常な強度の範囲内にある傾きであるとされる。
【００４０】  先ず、傾きセンサ５に温度ドリフトがない場合について説明する。この場合、傾きセンサ５はセンサ出力値特性線ＲＡの特性を示す。光強度特性線ＰＷと光強度しきい値ＰＬ１との交点Ｘ１、およびセンサ出力値特性線ＲＡと傾きしきい値ＲＬとの交点Ｘ２における光軸ＡＸの傾き（θ）は、傾きθ０で一致する。センサ出力値特性線ＲＡが温度ドリフトがない特性線であるので、実際の傾きしきい値ＲＬにおいて光強度しきい値ＰＬ１が一致するからである。
【００４１】  光軸ＡＸの傾き（θ）がゼロから傾きθ０までの領域では、光強度特性線ＰＷが光強度しきい値ＰＬ１より大きい範囲にあり光無線には十分な光強度が確保される（光強度○）。またセンサ出力値特性線ＲＡが傾きしきい値ＲＬより小さい範囲にあり傾きセンサ５から出力されるセンサ出力値（Ｒ）は許容範囲内にあると検出される（センサ出力値○）。光強度○、センサ出力値○を検出する場合は、正常な光強度、センサ出力値により光無線が行われる。
【００４２】  光軸ＡＸの傾きが、傾きθ０を越える領域では、光強度特性線ＰＷが光強度しきい値ＰＬ１以下と検出され（光強度×）、かつセンサ出力値特性線ＲＡが傾きしきい値ＲＬ以上と検出される（センサ出力値×）。制御部１Ｂは、光強度×およびセンサ出力値×（第３検出状態）を検出すると、アクチュエータ７を駆動して、光軸ＡＸの傾き（θ）を調整することで、受発光素子１Ａの受発光面に十分な光強度の通信光が入出力されるようにする。
【００４３】  次に、傾きセンサ５に正の温度ドリフトがある場合について説明する。この場合、傾きセンサ５はセンサ出力値特性線ＲＢの特性を示す。センサ出力値特性線ＲＢと傾きしきい値ＲＬとの交点Ｘ３における光軸ＡＸの傾き（θ）は、傾きθ１である。光強度特性線ＰＷと光強度しきい値ＰＬ１との交点Ｘ１における光軸ＡＸの傾き（θ）と不一致となる。傾きセンサ５における正の温度ドリフトにより、交点Ｘ３での光軸ＡＸの傾き（θ＝θ１）は、交点Ｘ１での光軸ＡＸの傾き（θ＝θ０）より小さな傾きとなる（θ１＜θ０）。
【００４４】  光軸ＡＸの傾き（θ）がゼロから傾きθ１までの領域では、光強度特性線ＰＷが光強度しきい値ＰＬ１より大きい範囲にあり光無線には十分な光強度が確保される（光強度○）。またセンサ出力値特性線ＲＢが傾きしきい値ＲＬより小さい範囲にあり傾きセンサ５から出力されるセンサ出力値（Ｒ）は許容範囲内にあると検出される（センサ出力値○）。光強度○、センサ出力値○を検出する場合であり、正常な光強度、センサ出力値により光無線が行われる。
【００４５】  光軸ＡＸの傾き（θ）が傾きθ１からθ０までの領域では、光強度特性線ＰＷが光強度しきい値ＰＬ１より大きい範囲にあり光無線には十分な光強度が確保される（光強度○）。一方、センサ出力値ＲＢが傾きしきい値ＲＬ以上と検出される（センサ出力値×）。よって、制御部１Ｂは、光強度○およびセンサ出力値×（第１検出状態）を検出すると、傾きセンサ５に温度ドリフトがあるとして後述するドリフト補正を行う。
【００４６】  光軸ＡＸの傾き（θ）が傾きθ０を越える領域では、光強度特性線ＰＷが光強度しきい値ＰＬ１以下と検出され（光強度×）、かつセンサ出力値特性線ＲＡが傾きしきい値ＲＬ以上と検出される（センサ出力値×）。制御部１Ｂは、光強度×およびセンサ出力値×（第３検出状態）を検出すると、アクチュエータ７を駆動して、光軸ＡＸの傾き（θ）を調整することで、受発光素子１Ａの受発光面に十分な光強度の通信光が入出力されるようにする。
【００４７】  次に、傾きセンサ５に負の温度ドリフトがある場合について説明する。この場合、傾きセンサ５はセンサ出力値特性線ＲＣの特性を示す。センサ出力値特性線ＲＣと傾きしきい値ＲＬとの交点Ｘ４における光軸ＡＸの傾き（θ）は、傾きθ２である。光強度特性線ＰＷと光強度しきい値ＰＬ１との交点Ｘ１における光軸ＡＸの傾き（θ）と不一致となる。傾きセンサ５における負の温度ドリフトにより、交点Ｘ４での光軸ＡＸの傾き（θ＝θ２）は、交点Ｘ１での光軸ＡＸの傾き（θ＝θ０）より大きな傾きとなる（θ２＞θ０）。
【００４８】  光軸ＡＸの傾き（θ）がゼロから傾きθ０までの領域では、光強度特性線ＰＷが光強度しきい値ＰＬ１より大きい範囲にあり光無線には十分な光強度が確保される（光強度○）。またセンサ出力値特性線ＲＣが傾きしきい値ＲＬより小さい範囲にあり傾きセンサ５から出力されるセンサ出力値（Ｒ）は許容範囲内にあると検出される（センサ出力値○）。光強度○、センサ出力値○を検出する場合であり、正常な光強度、センサ出力値により光無線が行われる。
【００４９】  光軸ＡＸの傾き（θ）が、傾きθ０からθ２までの領域では、光強度特性線ＰＷが光強度しきい値ＰＬ１以下と検出される（光強度×）。一方、センサ出力値ＲＣが傾きしきい値ＲＬより小さい範囲にあり傾きセンサ５から出力されるセンサ出力値（Ｒ）は許容範囲内にあると検出される（センサ出力値○）。よって、制御部１Ｂは、光強度×およびセンサ出力値○（第２検出状態）を検出すると、傾きセンサ５に温度ドリフトがあるとて後述するドリフト補正を行う。
【００５０】  光軸ＡＸの傾き（θ）が傾きθ２を越える領域では、光強度特性線ＰＷが光強度しきい値ＰＬ１以下と検出され（光強度×）、かつセンサ出力値特性線ＲＣが傾きしきい値ＲＬ以上と検出される（センサ出力値×）。制御部１Ｂは、光強度×およびセンサ出力値×（第３検出状態）を検出すると、アクチュエータ７を駆動して、光軸ＡＸの傾き（θ）を調整することで、受発光素子１Ａの受発光面に十分な光強度の通信光が入出力されるようにする。
【００５１】  装着装置１０の稼働状態において、光通信装置１が備えられるＸ軸スライダ５４の移動により光通信装置１が±Ｚ方向に振動し、光軸ＡＸに±Ｚ方向の振動が発生する。よって、稼働状態において検出されるセンサ出力値（Ｒ）は、振動による光軸ＡＸの傾き（θ）のずれを含んだ値となる。しかしながら、装着装置１０の稼働状態における振動は、十分に長い時間幅で見ると、＋Ｚ方向と−Ｚ方向とに均等に振れていると考えられる。つまり、センサ出力値（Ｒ）を複数回数のモニタリングサンプリングにより検出し、各々のセンサ出力値（Ｒ）の平均値を算出することで、擬似的な静止状態での光軸ＡＸの傾き（θ）を導き出すことができる。こうして得られたセンサ出力値（Ｒ）の平均値は、稼働状態における擬似的な静止状態の位置、すなわちＺ軸方向の光通信装置１の振動の中心位置に略一致する。ここで、傾きセンサ５は、温度に応じて出力されるセンサ出力値（Ｒ）に温度ドリフトを含んだものとなる。したがって、算出されたセンサ出力値（Ｒ）の平均値を、センサ出力値の基準値である傾き基準値Ｒ０に調整することによりドリフト補正を行うことができる。稼働時において装置が振動する状態においても、温度ドリフトによる変動がない状態に合わせることができる。なお、傾き基準値Ｒ０は、あらかじめ、装着装置１０の工場出荷時やキャリブレーション時などに計測された値であり、図示しない記憶部などに記憶されているものとする。
【００５２】  図６は、装着装置１０の起動処理、光軸ＡＸの傾き調整処理、ドリフト補正処理を示すフローチャートである。まず、ステップＳ０で、装着装置１０の起動が開始され、制御部１Ｂは、カウンタＣ１、Ｃ２、Ｃ３を初期化する（Ｃ１＝Ｃ２＝Ｃ３＝０）（Ｓ２）。ここで、カウンタＣ１は後述する（光強度○、センサ出力値×（第１検出状態））の継続を計数するカウンタであり、カウンタＣ２は後述する（光強度×、センサ出力値○（第２検出状態））の継続を計数するカウンタである。そして、光強度しきい値ＰＬ１、傾きしきい値ＲＬを不揮発性メモリ（不図示）から読み出す初期化処理を行う（Ｓ４）。次に、モニタリングタイミングを計時するタイマを起動し、光通信装置１、３の間での光無線を開始する（Ｓ６）。所定期間経過しモニタリングタイミングに達すると（Ｓ８：ＹＥＳ）、光強度（Ｐ）、センサ出力値（Ｒ）をモニタリングする（Ｓ１０）。
【００５３】  制御部１Ｂが、光強度（Ｐ）が光強度しきい値ＰＬ１より大きいと検出され、かつセンサ出力値（Ｒ）が傾きしきい値ＲＬより小さいと検出されると（光強度○、センサ出力値○）（Ｓ１２：ＹＥＳ）、カウンタＣ１をリセットして（Ｓ１４）、ステップＳ８に戻る。光強度○、センサ出力値○ではない場合は（Ｓ１２：ＮＯ）、ステップＳ１６に進む。光強度（Ｐ）が光強度しきい値ＰＬ１以下と検出され、かつセンサ出力値（Ｒ）が傾きしきい値ＲＬ以上と検出されると（光強度×、センサ出力値×（第３検出状態））（Ｓ１６：ＹＥＳ）、カウンタＣ２をリセットする（Ｓ１８）。次に、アクチュエータ７を駆動し、光軸ＡＸの傾き（θ）を調整することで、受発光素子１Ａの受発光面に十分な光強度の通信光が入出力されるようにする（Ｓ２０）。
【００５４】  ステップＳ２０のアクチュエータ７の駆動が完了すると、カウンタＣ３のカウント値を１つ加算し（Ｓ２２）、次に、カウンタＣ３のカウント値が所定値Ｃ３Ｘ以上か否かを判定する（Ｓ２４）。ここで、カウンタＣ３のカウントは、（光強度×、センサ出力値×（第３検出状態））を検出した際に（Ｓ１６：ＹＥＳ）アクチュエータ７の駆動を行い（Ｓ２０）、第３検出状態が解消するためのタイムアウトを規定する値である。このアクチュエータ７の駆動はモニタリングタイミングごとに行われるところ、ステップＳ２０のアクチュエータ７の駆動を連続して所定値Ｃ３Ｘの回数行うとして規定されている。カウンタＣ３による所定値Ｃ３Ｘのカウントにより連続補正回数を計数してタイムアウトとする。
【００５５】  カウンタＣ３のカウント値が所定値Ｃ３Ｘより小さい場合には（Ｓ２４：ＮＯ）、ステップＳ８に戻る。その後のモニタリングにより（Ｓ１０）、光強度○、センサ出力値○が検出されると（Ｓ１２：ＹＥＳ）、ステップＳ１４においてカウンタＣ３がリセットされる。又は、光強度○、センサ出力値○、および光強度×、センサ出力値×（第３検出状態）のどちらでもない場合（Ｓ１２：ＮＯ、Ｓ１６：ＮＯ）、ステップＳ３０においてカウンタＣ３がリセットされる。第３検出状態が解消されることによりカウンタＣ３がリセットされる。一方、カウンタＣ３の値が所定値Ｃ３Ｘに達することにより（Ｓ２４：ＹＥＳ）、ステップＳ２０のアクチュエータ７の駆動が規定回数である所定値Ｃ３Ｘ回繰り返されても、光強度×、センサ出力値×（第３検出状態）が解消しないことを示す。この場合、受発光素子１Ａや傾きセンサ５、アクチュエータ７の故障等が考えられる。このような場合には、通信光の発光源であるレーザーを停止し、外部に、光強度×、センサ出力値×（第３検出状態）が解消しないことを示すエラー信号を出力してから（Ｓ２６）、光通信装置１、３間での光無線を終了する（Ｓ２８）。
【００５６】  光強度○、センサ出力値○、もしくは光強度×、センサ出力値×（第３検出状態）のどちらでもない場合（Ｓ１２：ＮＯ、Ｓ１６：ＮＯ）、ステップＳ３２に移り温度ドリフトの補正処理を行う（Ｓ３２）。
【００５７】  図７は、ステップＳ３２のサブルーチンのフローチャートである。制御部１Ｂが、光強度（Ｐ）が光強度しきい値ＰＬ１より大きいと検出され、センサ出力値（Ｒ）が傾きしきい値ＲＬ以上と検出されると（光強度○、センサ出力値×（第１検出状態））（Ｓ１０２：ＹＥＳ）、ステップＳ１０４のドリフト補正を行う。ステップＳ１０４のドリフト補正が完了すると、カウンタＣ１のカウント値を１つ加算し（Ｓ１０８）、次に、カウンタＣ１のカウント値が所定値Ｃ１Ｘ以上か否かを判定する（Ｓ１１２）。ここで、カウンタＣ１のカウントは、（光強度○、センサ出力値×（第１検出状態））を検出した際に（Ｓ１０２：ＹＥＳ）ドリフト補正を行い（Ｓ１０４）、第１検出状態が解消するためのタイムアウトを規定する値である。この補正動作はモニタリングタイミングごとに行われるところ、ステップＳ１０４のドリフト補正を連続して所定値Ｃ１Ｘの回数行うとして規定されている。カウンタＣ１による所定値Ｃ１Ｘのカウントにより連続補正回数を計数してタイムアウトとする。
【００５８】  カウンタＣ１のカウント値が所定値Ｃ１Ｘより小さい場合には（Ｓ１１２：ＮＯ）、図７のステップＳ３２のサブルーチンを終了し（Ｓ１２０）、ステップＳ８に戻る。その後のモニタリングにより（Ｓ１０）、光強度○、センサ出力値○が検出されると（Ｓ１２：ＹＥＳ）、ステップＳ１４においてカウンタＣ１がリセットされる。第１検出状態が解消されることによりカウンタＣ１がリセットされる。一方、カウンタＣ１の値が所定値Ｃ１Ｘに達することにより（Ｓ１１２：ＹＥＳ）、ステップＳ１０４のドリフト補正が規定回数である所定値Ｃ１Ｘ回繰り返されても、光強度○、センサ出力値×（第１検出状態）が解消しないことを示す。規定回数連続してドリフト補正（Ｓ１０４）を行っても、傾きセンサ５のセンサ出力値（Ｒ）が正常な値を示さず、ドリフト補正の不備、受発光素子１Ａや傾きセンサ５の故障等が考えられる。このような場合には、通信光の発光源であるレーザーを停止し、外部に、光強度○、センサ出力値×（第１検出状態）が解消しないことを示すエラー信号を出力してから（Ｓ１１６）、光通信装置１、３間での光無線を終了する（Ｓ１１８）。
【００５９】  また、ステップＳ１０２において、光強度（Ｐ）が光強度しきい値ＰＬ１以下と検出され、センサ出力値（Ｒ）が傾きしきい値ＲＬより小さいと検出されると（光強度×、センサ出力値○（第２検出状態））（Ｓ１０２：ＮＯ）、ステップＳ１０６のドリフト補正を行う。ステップＳ１０６のドリフト補正が完了すると、カウンタＣ２のカウント値を１つ加算し（Ｓ１１０）、次に、カウンタＣ２のカウント値が所定値Ｃ２Ｘ以上か否かを判定する（Ｓ１１４）。ここで、カウンタＣ２のカウントは、（光強度×、センサ出力値○（第２検出状態））を検出した際に（Ｓ１０２：ＮＯ）ドリフト補正を行い（Ｓ１０６）、第２検出状態が解消するためのタイムアウトを規定する値である。この補正動作はモニタリングタイミングごとに行われるところ、ステップＳ１０６のドリフト補正を連続して所定値Ｃ２Ｘの回数行うとして規定されている。カウンタＣ２による所定値Ｃ２Ｘのカウントにより連続補正回数を計数してタイムアウトとする。
【００６０】  カウンタＣ２のカウント値が所定値Ｃ２Ｘより小さい場合には（Ｓ１１４：ＮＯ）、図７のステップＳ３２のサブルーチンを終了し（Ｓ１２０）、ステップＳ８に戻る。その後のモニタリングにより（Ｓ１０）、光強度×、センサ出力値×（第３検出状態）が検出されると（Ｓ１６：ＹＥＳ）、ステップＳ１８においてカウンタＣ２がリセットされる。第２検出状態が解消されることによりカウンタＣ２がリセットされる。一方、カウンタＣ２の値が所定値Ｃ２Ｘに達することにより（Ｓ１１４：ＹＥＳ）、ステップＳ１０６のドリフト補正が規定回数である所定値Ｃ２Ｘ回繰り返されても、光強度×、センサ出力値○（第２検出状態）が解消しないことを示す。規定回数連続してドリフト補正（Ｓ１０６）を行っても、傾きセンサ５のセンサ出力値（Ｒ）が正常な値を示さず、光通信装置３から出力される通信光が遮断されたことや、ドリフト補正の不備、受発光素子１Ａ、傾きセンサ５の故障等が考えられる。このような場合には、通信光の発光源であるレーザーを停止し、外部に、光強度×、センサ出力値○（第２検出状態）が解消しないことを示すエラー信号を出力してから（Ｓ１１６）、光通信装置１、３間での光無線を終了する（Ｓ１１８）。
【００６１】  以上、詳細に説明した通り、本実施形態の光通信装置１によれば、受発光素子１Ａによって光強度（Ｐ）が検出され、傾きセンサ５によってセンサ出力値（Ｒ）が検出される。制御部１Ｂは、ステップＳ８のモニタリングタイミングごとに、ステップＳ１０２により、光強度（Ｐ）が光強度しきい値ＰＬ１より大きいと検出され、センサ出力値（Ｒ）が傾きしきい値ＲＬ以上と検出されると（光強度○、センサ出力値×（第１検出状態））、光強度○であるので、光軸ＡＸの傾き（θ）は正常な角度範囲に調整されていることとなる。その一方、センサ出力値×であることから、傾きセンサ５の出力値であるセンサ出力値（Ｒ）が本来の光軸ＡＸの傾き（θ）からずれた値を出力していることとなる。このずれは温度ドリフトにより生じているものと考え、ドリフト補正を行う（Ｓ１０４）。これにより、傾きセンサ５のセンサ出力値（Ｒ）における温度ドリフトによる変動を解消することができる。
【００６２】  また、光通信装置１によれば、制御部１Ｂは、ステップＳ８のモニタリングタイミングごとに、光強度（Ｐ）が光強度しきい値ＰＬ１以下と検出され、センサ出力値（Ｒ）が傾きしきい値ＲＬより小さいと検出されると（光強度×、センサ出力値○（第２検出状態））、光強度×から、光軸ＡＸの傾き（θ）が正常な角度範囲から外れていることが検出される。一方、センサ出力値○であることから、傾きセンサ５の出力値であるセンサ出力値（Ｒ）が温度ドリフトにより変動して、本来なら正常な傾き範囲から外れているにもかかわらず正常の範囲内にあるとのセンサ出力値（Ｒ）を出力する。この場合に、ドリフト補正を行うことで傾きセンサ５の温度ドリフトによる変動を解消することができる。
【００６３】  また、光通信装置１によれば、制御部１Ｂは、カウンタＣ１の値を所定値Ｃ１Ｘまでカウントすることで（Ｓ１１２）、光強度○、センサ出力値×（第１検出状態）からのドリフト補正におけるタイムアウトとすることができる。また、カウンタＣ２の値を所定値Ｃ２Ｘまでカウントすることで（Ｓ１１４）、光強度×、センサ出力値○（第２検出状態）からのドリフト補正におけるタイムアウトとすることができる。これらのタイムアウトまでカウンタＣ１、Ｃ２がカウントされることで、ドリフト補正（Ｓ１０４、Ｓ１０６）での補正動作が規定回数繰り返されてもセンサ出力値（Ｒ）のずれが解消できなければ、装置上の何らかの不具合があるものとして通信光の発光を停止し、外部に、第１検出状態、もしくは第２検出状態が解消しないことを示すエラー信号を出力してから（Ｓ１１６）、光通信装置１、３間での光無線を終了する（Ｓ１１８）。これにより、異常な状態での光無線の継続を回避することができる。
【００６４】  また、光通信装置１によれば、ステップＳ１０４、Ｓ１０６のドリフト補正において、センサ出力値（Ｒ）の平均値を算出することで、稼働状態において、擬似的に静止状態での光軸ＡＸの傾き（θ）を導き出すことができる。温度ドリフトを含んだセンサ出力値（Ｒ）の平均値を、センサ出力値の基準値である傾き基準値Ｒ０に調整することによりドリフト補正がされる。これにより、稼働時において装置が振動する状態においても、温度ドリフトを相殺してドリフト変動がない状態に合わせることができる。
【００６５】  また、光通信装置１によれば、ステップＳ１６において、光強度（Ｐ）が光強度しきい値ＰＬ１以下と検出され、かつセンサ出力値（Ｒ）が傾きしきい値ＲＬ以上と検出された時（光強度×、センサ出力値×（第３検出状態））、アクチュエータ７を駆動して（Ｓ２０）、光軸ＡＸの傾き（θ）を調整することで、通信光の光強度（Ｐ）を所定光強度より大きな状態（光強度○）に調整し、光無線を維持することができる。
【００６６】  なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。  また、傾きセンサ５は、姿勢の傾きをセンサ出力値（Ｒ）を出力するとして説明したが、傾きセンサはこれに限定されるものではなく、傾きセンサ５に代えて角速度を検出する角速度センサを利用することもできる。この場合、角速度センサが検出する角速度は、制御部１Ｂに入力される。制御部１Ｂによって角速度の積分処理がされ、センサ出力値（Ｒ）が検出されるようにすれば良い。  また、センサ出力値（Ｒ）の平均値を求めるモニタリングサンプリングの回数は、例えば４０９６回である。４０９６回のサンプリングで得られたセンサ出力値（Ｒ）を平均化することにより、稼動状態において擬似的な静止状態でのセンサ出力値（Ｒ）を求めることができる。なお、サンプリングの回数は、４０９６回に限定されない。センサ出力値（Ｒ）が＋Ｚ方向と−Ｚ方向とに均等に振れるみなすことができる回数のサンプリングによるセンサ出力値（Ｒ）を平均化してやればよい。  また、傾きセンサ５に備えられるジャイロセンサは、性質上、急加速・急停止のとき、正確な角速度を検出できない恐れがある。よって、センサ出力値（Ｒ）の変化量の大きさが所定値を越える場合に、このセンサ出力値（Ｒ）を平均化の算出から除外してもよい。これにより、平均値に発生する誤差を低減することができる。  また、ジャイロセンサなどの角速度センサを用いる場合において、角速度センサが検出する角速度から、急加速・急停止が発生したことを検出してもよい。この場合、角速度が所定の値を超える時点に対応するセンサ出力値（Ｒ）は、サンプリングデータから除外することが好ましい。これにより、検出される傾きの精度を向上させることができる。  また、センサ出力値のしきい値として、Ｚ方向の１軸に代えて複数軸のセンサ出力値に対して設定しても良い。例えば、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に対するセンサ出力値のしきい値を設けてもよい。また、Ｚ方向に対する傾きしきい値ＲＬとして＋Ｚ方向のしきい値のみを備える場合について説明したが、本願はこれに限定されるものではなく、±Ｚ方向のそれぞれの方向にしきい値を設け、またそれぞれの値が異なる値であっても構わない。  また、実施形態において説明したドリフト補正方法は、温度ドリフトだけでなく、経時ドリフトなど、その他の要因により変動が生じた場合にも、傾きセンサ５について補正することができる。  また、ステップＳ２０（図６）のアクチュエータ７の駆動は、カウンタＣ３の値が所定値Ｃ３Ｘ未満と判断された後に（Ｓ２４：ＮＯ）行っても構わない。この場合、カウンタＣ３の値が所定値Ｃ３Ｘに達すると（Ｓ２４：ＹＥＳ）、次にレーザーを停止し、エラー信号を出力してから（Ｓ２６）、光通信装置１、３間での光無線を終了する（Ｓ２８）。これにより、アクチュエータ７の駆動を省いて、速やかに、光通信装置１、３間での光無線を終了することができる。同様に、ステップＳ１０４（図７）のドリフト補正は、カウンタＣ１の値が所定値Ｃ１Ｘ未満と判断された後に（Ｓ１１２：ＮＯ）行っても構わない。また、ステップＳ１０６（図７）のドリフト補正は、カウンタＣ２の値が所定値Ｃ２Ｘ未満と判断された後に（Ｓ１１４：ＮＯ）行っても構わない。  また、本発明は、光通信装置、および電子部品装着装置の態様の他に、傾きセンサを備え、センサ出力値を運動制御、姿勢制御、方向制御に用いる装置に適用できる。これら傾きセンサは、例えばクレーンによって運ばれる運搬物の振れ検出や、車両、船舶、航空機、ロボット等の姿勢検出等に用いられる。
【００６７】  上記実施形態において、受発光素子１Ａは受光部の一例であり、また、制御部１Ｂは光強度低下検出手段、および光軸傾き検出手段の一例であり、また、ステップＳ１０４、Ｓ１０６はドリフト補正手段の一例である。
【符号の説明】
【００６８】  １、３：光通信装置    １Ａ：受発光素子    １Ｂ：制御部    ５：傾きセンサ    ７：アクチュエータ    ９：アクティブマスダンパ    ＡＸ：光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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