(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
規則的に配列された複数の収納部を有する保管棚と、
気密性の容器を前記収納部に対して搬入及び搬出する搬送部と、
前記収納部に収納されている前記容器のそれぞれに、予め規定された供給パターンに従って不活性ガスを供給するガス供給部と、
前記搬送部及び前記ガス供給部を含むシステムの稼働状態を表示する表示装置と、を備え、
前記表示装置は、前記保管棚における複数の前記収納部の配列に対応させて複数の表示区画を表示するとともに、複数の前記表示区画のそれぞれに、対応する前記収納部に収納されている前記容器に対する前記不活性ガスの供給状態を、複数の状態を視覚的に識別可能な態様で表象する状態表象オブジェクトの形態で表示し、さらに、前記供給状態の一種として、前記容器の容積に対する供給済みの前記不活性ガスの量の割合を表すパージ進行度を、前記状態表象オブジェクトを経時的に漸増させる態様で表示する物品保管設備。
【請求項２】
前記表示装置は、前記搬送部により前記収納部に対して前記容器が搬入された場合に、当該容器を対象として前記パージ進行度を表示する請求項１に記載の物品保管設備。
【請求項３】
前記供給パターンは、前記不活性ガスの供給時期と目標流量との組み合わせが互いに異なるように設定される複数の供給フェーズを含み、
前記表示装置は、前記供給状態の一種として、前記容器に対して適用されているその時点での前記供給フェーズがいずれであるかを、それぞれの供給フェーズに応じて異なる色彩で表示する請求項１又は２に記載の物品保管設備。
【請求項４】
規則的に配列された複数の収納部を有する保管棚と、
気密性の容器を前記収納部に対して搬入及び搬出する搬送部と、
前記収納部に収納されている前記容器のそれぞれに、予め規定された供給パターンに従って不活性ガスを供給するガス供給部と、
前記搬送部及び前記ガス供給部を含むシステムの稼働状態を表示する表示装置と、を備え、
前記供給パターンは、前記不活性ガスの供給時期と目標流量との組み合わせが互いに異なるように設定される複数の供給フェーズを含み、
前記表示装置は、前記保管棚における複数の前記収納部の配列に対応させて複数の表示区画を表示するとともに、複数の前記表示区画のそれぞれに、対応する前記収納部に収納されている前記容器に対する前記不活性ガスの供給状態の一種として、前記容器に対して適用されているその時点での前記供給フェーズがいずれであるかを、それぞれの供給フェーズに応じて異なる色彩で表示する物品保管設備。
【請求項５】
前記ガス供給部は、前記搬送部によって前記収納部に前記容器が搬入されるよりも前の所定期間に、前記容器に設けられる給気口に嵌合する給気ノズルの清浄化のために前記不活性ガスを供給可能に構成され、
前記表示装置は、前記供給状態の一種として、前記給気ノズルの清浄化のための前記不活性ガスの供給が実行中であることを、複数の前記供給フェーズのそれぞれを表す色彩とは異なる色彩で表示する請求項３又は４に記載の物品保管設備。
【請求項６】
前記容器が前記収納部に搬入されてからの経過時間である在荷期間を取得する在荷期間取得部をさらに備え、
前記表示装置は、特定の前記容器についての在荷期間が予め規定された基準在荷期間を超えている場合に、当該容器が収納されている前記収納部に対応する前記表示区画に、前記基準在荷期間の超過を表す警告情報をさらに表示する請求項１から５のいずれか一項に記載の物品保管設備。
【請求項７】
前記収納部に収納される前記容器の識別情報を取得する識別情報取得部をさらに備え、
前記表示装置は、前記識別情報取得部が特定の前記容器について識別情報を取得できなかった場合に、当該容器が収納されている前記収納部に対応する前記表示区画に、前記識別情報の未取得を表す警告情報をさらに表示する請求項１から６のいずれか一項に記載の物品保管設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品を保管する物品保管設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
物品を保管する物品保管設備として、特開平８−７３０１０号公報（特許文献１）に開示された装置が知られている。特許文献１の装置は自動倉庫における搬送システムに係る装置であり、このような装置では、ユーザからの指定に従って物品の移動（搬入及び搬出を含む）が制御される。特許文献１では、制御用ワークステーションのＣＲＴディスプレイに、保管棚のレイアウトが表示されるとともに、保管棚に現実に物品が収納されている場合には画面上の対応する保管棚の位置に物品オブジェクトが表示される。そして、ユーザは、マウス操作により、ＣＲＴディスプレイ上で物品の移動先の指示操作を行うように構成されている。このように、直感的に理解しやすい指示入力方法を導入することで、物品の移動先指示操作の容易化が図られている。
【０００３】
しかし、特許文献１の装置では、保管棚のレイアウトと共にＣＲＴディスプレイに表示されるのは、物品オブジェクトに限られる。このため、特定の物品保管設備（例えば気密性の容器内に収容される物品を不活性ガス下で保管する設備）に適用する場合には、特許文献１の技術だけでは、ユーザは必ずしも適切な移動先指示操作が行えるとは限らない。つまり、特許文献１では、ＣＲＴディスプレイに表示されるのは、現実の保管棚の所定位置における物品の有無に関する情報だけであるため、例えば物品を収容する容器内に比較的高い濃度で酸素や水蒸気等が残留したままで、搬出指示がなされる可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−７３０１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、容器内に収容される物品を不活性ガス下で保管する物品保管設備において、適切な物品管理を可能とするための技術が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
規則的に配列された複数の収納部を有する保管棚と、
気密性の容器を前記収納部に対して搬入及び搬出する搬送部と、
前記収納部に収納されている前記容器のそれぞれに、予め規定された供給パターンに従って不活性ガスを供給するガス供給部と、
前記搬送部及び前記ガス供給部を含むシステムの稼働状態を表示する表示装置と、を備え、
前記表示装置は、前記保管棚における複数の前記収納部の配列に対応させて複数の表示区画を表示するとともに、複数の前記表示区画のそれぞれに、対応する前記収納部に収納されている前記容器に対する前記不活性ガスの供給状態を表示する物品保管設備が開示される。
本発明に係る物品保管設備の特徴構成は、
規則的に配列された複数の収納部を有する保管棚と、
気密性の容器を前記収納部に対して搬入及び搬出する搬送部と、
前記収納部に収納されている前記容器のそれぞれに、予め規定された供給パターンに従って不活性ガスを供給するガス供給部と、
前記搬送部及び前記ガス供給部を含むシステムの稼働状態を表示する表示装置と、を備え、
前記表示装置は、前記保管棚における複数の前記収納部の配列に対応させて複数の表示区画を表示するとともに、複数の前記表示区画のそれぞれに、対応する前記収納部に収納されている前記容器に対する前記不活性ガスの供給状態を、複数の状態を視覚的に識別可能な態様で表象する状態表象オブジェクトの形態で表示し、さらに、前記供給状態の一種として、前記容器の容積に対する供給済みの前記不活性ガスの量の割合を表すパージ進行度を、前記状態表象オブジェクトを経時的に漸増させる態様で表示する点にある。
【０００７】
この特徴構成によれば、ガス供給部から、保管棚の収納部に収納されている容器のそれぞれに不活性ガスが供給される。よって、容器内に収容される物品を不活性ガス下で保管することができる。このとき、システム全体の稼働状態を表示する表示装置には、収納部に収納されている容器それぞれについて、不活性ガスの供給状態も表示される。よって、容器内に不活性ガスが適切に供給されているか否かについての情報をユーザに提供することができる。これにより、例えば物品の保管上好ましくないガスが、容器内に比較的高い濃度で残存する状態で物品の搬出指示がなされるような事態を抑制することができ、適切な物品管理が可能となる。また、上記の特徴構成では、各容器に対する不活性ガスの供給状態が、保管棚における複数の収納部の配列に対応する配列をなす複数の表示区画のそれぞれに表示される。よって、現実の保管棚のそれぞれの位置に収納された各容器についての不活性ガスの供給状態が直感的に把握されやすい。従って、ユーザにとって容易な態様での適切な物品管理が可能となる。システムにおいて定量的に算出することが可能な、容器容積に対する供給済不活性ガス量の割合は、容器内に含まれていた気体が新たに供給される不活性ガスで置換された割合に概ね一致する。上記の特徴構成によれば、容器内に含まれていた気体が実際に不活性ガスで置換された割合（パージ割合）が、直感的に把握されやすい。よって、ユーザに対して、不活性ガスによるパージ完了までの残り時間の目安を容易に知覚させることができる。
【０００８】
本発明に係る物品保管設備のもう１つの特徴構成は、
規則的に配列された複数の収納部を有する保管棚と、
気密性の容器を前記収納部に対して搬入及び搬出する搬送部と、
前記収納部に収納されている前記容器のそれぞれに、予め規定された供給パターンに従って不活性ガスを供給するガス供給部と、
前記搬送部及び前記ガス供給部を含むシステムの稼働状態を表示する表示装置と、を備え、
前記供給パターンは、前記不活性ガスの供給時期と目標流量との組み合わせが互いに異なるように設定される複数の供給フェーズを含み、
前記表示装置は、前記保管棚における複数の前記収納部の配列に対応させて複数の表示区画を表示するとともに、複数の前記表示区画のそれぞれに、対応する前記収納部に収納されている前記容器に対する前記不活性ガスの供給状態の一種として、前記容器に対して適用されているその時点での前記供給フェーズがいずれであるかを、それぞれの供給フェーズに応じて異なる色彩で表示する点にある。
【０００９】
この特徴構成によれば、ガス供給部から、保管棚の収納部に収納されている容器のそれぞれに不活性ガスが供給される。よって、容器内に収容される物品を不活性ガス下で保管することができる。このとき、システム全体の稼働状態を表示する表示装置には、収納部に収納されている容器それぞれについて、不活性ガスの供給状態も表示される。よって、容器内に不活性ガスが適切に供給されているか否かについての情報をユーザに提供することができる。これにより、例えば物品の保管上好ましくないガスが、容器内に比較的高い濃度で残存する状態で物品の搬出指示がなされるような事態を抑制することができ、適切な物品管理が可能となる。また、上記の特徴構成では、各容器に対する不活性ガスの供給状態が、保管棚における複数の収納部の配列に対応する配列をなす複数の表示区画のそれぞれに表示される。よって、現実の保管棚のそれぞれの位置に収納された各容器についての不活性ガスの供給状態が直感的に把握されやすい。従って、ユーザにとって容易な態様での適切な物品管理が可能となる。また、各収納部に収納された容器に対して適用されているその時点での供給フェーズを、対応する色彩に応じて、ユーザに容易に知覚させることができる。
【００１０】
以下、本発明の好適な態様について説明する。
【００１１】
１つの態様として、前記表示装置は、前記搬送部により前記収納部に対して前記容器が搬入された場合に、当該容器を対象として前記パージ進行度を表示すると好適である。
【００１２】
収納部に対して容器が搬入された時点では、それ以降の任意の時点に比べて、容器内に不活性ガス以外の気体が比較的高い濃度で含まれている可能性が高い。このため、収納部に容器が搬入されてから最初に行われる、容器容積分の不活性ガスの初期供給は非常に重要である。この点に鑑み、上記の構成によれば、重要度の高い不活性ガスの初期供給に際して、パージ完了までの残り時間の目安を、ユーザに容易に知覚させることができる。
【００１３】
１つの態様として、前記供給パターンは、前記不活性ガスの供給時期と目標流量との組み合わせが互いに異なるように設定される複数の供給フェーズを含み、前記表示装置は、前記供給状態の一種として、前記容器に対して適用されているその時点での前記供給フェーズがいずれであるかを、それぞれの供給フェーズに応じて異なる色彩で表示すると好適である。
【００１４】
この構成によれば、各収納部に収納された容器に対して適用されているその時点での供給フェーズを、対応する色彩に応じて、ユーザに容易に知覚させることができる。
【００１５】
１つの態様として、前記ガス供給部は、前記搬送部によって前記収納部に前記容器が搬入されるよりも前の所定期間に、前記容器に設けられる給気口に嵌合する給気ノズルの清浄化のために前記不活性ガスを供給可能に構成され、前記表示装置は、前記供給状態の一種として、前記給気ノズルの清浄化のための前記不活性ガスの供給が実行中であることを、複数の前記供給フェーズのそれぞれを表す色彩とは異なる色彩で表示すると好適である。
【００１６】
この構成によれば、給気ノズルの清浄化のために不活性ガスが供給中であることを、対応する色彩に応じて、ユーザに容易に知覚させることができる。また、色彩の変化に応じて、給気ノズルの洗浄が完了したことをユーザに容易に知覚させることができる。
【００１７】
１つの態様として、前記容器が前記収納部に搬入されてからの経過時間である在荷期間を取得する在荷期間取得部をさらに備え、前記表示装置は、特定の前記容器についての在荷期間が予め規定された基準在荷期間を超えている場合に、当該容器が収納されている前記収納部に対応する前記表示区画に、前記基準在荷期間の超過を表す警告情報をさらに表示すると好適である。
【００１８】
この構成によれば、在荷期間が基準在荷期間を超えている容器が存在する場合に、その事実をユーザに容易に知覚させることができる。よって、例えば収容物品がたとえ不活性ガス雰囲気下であったとしても経時劣化する性質を有するような場合に、保管棚での長期間放置による収容物品の劣化の進行を抑制することができる。
【００１９】
１つの態様として、前記収納部に収納される前記容器の識別情報を取得する識別情報取得部をさらに備え、前記表示装置は、前記識別情報取得部が特定の前記容器について識別情報を取得できなかった場合に、当該容器が収納されている前記収納部に対応する前記表示区画に、前記識別情報の未取得を表す警告情報をさらに表示すると好適である。
【００２０】
この構成によれば、固有の識別情報が取得されなかった容器が存在する場合に、その事実をユーザに容易に知覚させることができる。よって、例えば容器の識別情報を読み取るための機器におけるハード障害を、早期に発見することができる。また、例えば固有の識別情報に基づいて当該容器についての不活性ガスの供給履歴が管理される場合に、適正な履歴管理がなされないままで当該容器が搬出されていくような事態を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】物品保管設備の側面図
【図２】物品保管設備の正面図
【図３】収納部の斜視図
【図４】不活性ガスの供給状態を示す模式図
【図５】不活性ガスの供給パターンを示す模式図
【図６】管理用演算装置の構成を示すブロック図
【図７】表示装置に表示される画像を示す模式図
【図８】各状態表象オブジェクトの説明図
【図９】パージ進行度の表現態様の説明図
【図１０】表示装置に表示される画像を示す模式図
【図１１】表示装置に表示される画像を示す模式図
【図１２】表示区画の構成の説明図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
１．第一の実施形態
本発明に係る物品保管設備の第一の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態では、容器４０内に収容される物品を不活性ガス下で保管するように構成された物品保管設備１を例として説明する。このような物品保管設備１は、例えばクリーンルーム内に設置して用いることができる。
【００２３】
図１及び図２に示すように、物品保管設備１は、複数の収納部１１を有する保管棚１０と、収納部１１に対して容器４０を搬入及び搬出する搬送部２０とを備えている。また、図４に示すように、物品保管設備１は、収納部１１に収納されている容器４０のそれぞれに不活性ガスを供給するガス供給部３０を備えている。また、物品保管設備１は、搬送部２０及びガス供給部３０の動作制御を行う制御装置Ｈを備えている。本実施形態では、制御装置Ｈは、操作卓ＨＳに設けられたワークステーション等の管理用演算装置５０からの指令に基づいて搬送部２０及びガス供給部３０を制御するように構成されている。
【００２４】
容器（搬送容器）４０は、物品を搬送する際にその物品を内部に収容する。搬送物品としては、工業製品、食品、医薬品等に幅広く適用することができる。好適な適用対象としては、半導体ウエハー等からなる半導体基板や、金属薄膜が積層されたガラス板等からなるレチクル基板等の基板Ｂが例示される。基板Ｂ（図４を参照）を収容する容器４０としては、例えばＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と称されるものを用いることができ、このＦＯＵＰにより、半導体ウエハーを好適に収容することができる。このような容器４０は、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠した合成樹脂製の気密容器とすることができる。
【００２５】
図４に示すように、容器４０は、直方体状に形成されたケーシング４１と、このケーシング４１に対して着脱自在な蓋体（図示せず）とを備えている。ケーシング４１は、基板Ｂを出し入れするための開口部を前面に有しており、蓋体の着脱に伴って当該開口部が開閉される。容器４０は、蓋体がケーシング４１に装着された状態で、内部空間が気密状態に密閉されるように構成されている。ケーシング４１の内部には、収容される基板Ｂを幅方向の両側で下方から支持する一対の支持体４２が設けられている。ここでは、複数の基板Ｂを収容するべく、複数組の支持体４２が、所定間隔を隔てて上下方向に並ぶように設けられている。
【００２６】
容器４０は、その上面に、ホイスト式の搬送車２１によって把持されるトップフランジ４３を備えている。容器４０は、その底面に、複数（本例では３つ）の係合溝（図示せず）を有する。この係合溝には、収納部１１の支持部１２に設けられた位置決めピン１３（図３を参照）が係合する。容器４０は、位置決めピン１３と係合溝との係合によって位置決めされた状態で、収納部１１に収納される。
【００２７】
図４に示すように、容器４０は、その底部に、ガス供給部３０から供給される不活性ガスを注入するための給気口４５を有する。給気口４５には、注入側開閉弁（図示せず）が設けられている。注入側開閉弁は、スプリング等の付勢部材によって閉弁側に付勢されており、供給される不活性ガスの吐出圧が、大気圧よりも高い値に設定された設定開弁圧以上となると、その圧力によって開弁する。また、容器４０は、その底部に、内部空間に存在する気体を排出するための排気口４６を有する。排気口４６には、排出側開閉弁が設けられている。排出側開閉弁は、スプリング等の付勢部材によって閉弁側に付勢されており、容器４０の内圧が、大気圧よりも高い値に設定された設定開弁圧以上となると、その圧力によって開弁する。
【００２８】
図１及び図２に示すように、保管棚１０は、規則的に配列された複数の収納部１１を有する。複数の収納部１１は、予め規定された規則に従って（本例では縦横に）配列されている。すなわち、複数の収納部１１は、上下方向に並ぶとともに、上下方向の各位置において左右方向に並ぶように配列されている。複数の収納部１１のそれぞれには、容器４０が収納される。本実施形態では、このような保管棚１０が２つ設けられており、対をなす２つの保管棚１０が、搬送部２０を構成するスタッカークレーン２４を挟んで対向するように設置されている。これら一対の保管棚１０のそれぞれは、“バンク”と称される。一対の保管棚１０とスタッカークレーン２４とは、区画壁１８にて外周部が覆われた保管空間Ｋ内に配設されている。
【００２９】
図３及び図４に示すように、複数の収納部１１のそれぞれは、載置される容器４０を下方から支持する支持部１２を備えている。支持部１２は、幅方向及び奥行方向の寸法に対して上下方向の寸法が小さい板状に形成されている。支持部１２は、後述する移載装置２９に備えられる支持体２９Ａが上下に通過する空間を形成するべく、平面視形状（上下方向に見た形状）がＵ字状となるように形成されている。支持部１２の上面には、複数（本例では３つ）の位置決めピン１３が、上方に向かって突出するように設けられている。上述したように、この位置決めピン１３と容器４０の底面の係合溝とが係合する状態で、容器４０が位置決めされる。
【００３０】
支持部１２の上面には、複数（本例では２つ）の第一センサＳ１が配設されている。第一センサＳ１は、例えば感圧センサ等により構成することができる。第一センサＳ１は、容器４０が支持部１２に載置されているか否か（言い換えれば、容器４０が収納部１１に収納されているか否か）を検出する。この意味で、第一センサＳ１は、“在荷センサ”と称することもできる。第一センサＳ１による検出結果の情報は、制御装置Ｈ及び管理用演算装置５０に入力される。
【００３１】
図３及び図４に示すように、支持部１２は、ガス供給部３０から供給される不活性ガスを容器４０の内部に供給するための給気ノズル１５を有する。この給気ノズル１５には、後述するマスフローコントローラ３２から延びる供給配管３３が接続されている。また、支持部１２は、容器４０の内部から排出される気体を通流させる排気ノズル１６を有する。この排気ノズル１６には、反対側の端部が開放された排気管３５が接続されている。支持部１２に載置された容器４０が位置決めされた状態で、給気ノズル１５は容器４０の給気口４５に連通し、排気ノズル１６は排気口４６に連通する。
【００３２】
図１に示すように、搬送車２１は、本例ではホイスト式搬送車として構成されている。搬送車２１は、物品保管設備１が設置された施設の天井部に敷設されたガイドレールＲｇに沿って走行する。搬送車２１は、区画壁１８の外（保管空間Ｋの外）に配設されている。搬送車２１は、容器４０に設けられたトップフランジ４３を把持した状態で、当該容器４０をコンベヤ２２に対して搬入及び搬出する。コンベヤ２２は、区画壁１８を貫通する状態で配設されており、保管空間Ｋの内部と外部との間で容器４０を移動させる役割を担う。すなわち、コンベヤ２２は、入出庫部（入出庫コンベヤ）として機能する。
【００３３】
本実施形態では、搬送部２０はスタッカークレーン２４により構成されている。スタッカークレーン２４は、走行レールＲｒに沿って走行移動可能な走行台車２５と、走行台車２５に立設されたマスト２６と、このマスト２６に案内される状態で昇降移動可能な昇降台２８とを備えている。なお、走行レールＲｒは、一対の保管棚１０の間（各バンク間）の床面に設置されている。また、保管空間Ｋを画定する区画壁１８の天井部には、走行レールＲｒと平行に、上部ガイドレール（図示せず）が設けられている。スタッカークレーン２４は、マスト２６の上端部に設けられた上部枠２７が上部ガイドレールに摺動しながら移動するように構成されている。
【００３４】
図１に示すように、昇降台２８には、収納部１１との間で容器４０を移載する移載装置２９が装備されている。移載装置２９は、容器４０を下方から支持する板状の支持体２９Ａを備えている。支持体２９Ａは、収納部１１の内部に突出する突出位置と、昇降台２８側に引退した引退位置とに出退可能に構成されている。移載装置２９を備えたスタッカークレーン２４は、収納部１１及びコンベヤ２２に対して、降ろし処理及び掬い処理を行い、それぞれに対する移載作業を行う。ここで、降ろし処理は、支持体２９Ａに載置した容器４０を降ろす処理であり、掬い処理は、容器４０を掬い上げて支持体２９Ａに載置する処理である。
【００３５】
スタッカークレーン２４と移載装置２９とは、互いに協働して、容器４０を収納部１１に搬入する（収納する）入庫作業を行う。また、移載装置２９とスタッカークレーン２４とは、互いに協働して、容器４０を収納部１１から搬出する（取り出す）出庫作業を行う。スタッカークレーン２４及び移載装置２９は、これらの入出庫作業が適切に行われるように、クレーンコントローラＨｃ（図４を参照）によってそれぞれの作動が制御される。これにより、基板Ｂを収容した容器４０は、複数の収納部１１のそれぞれに個別に収納され、複数の収納部１１のそれぞれから個別に取り出される。なお、スタッカークレーン２４には、走行経路上の走行位置を検出する走行位置検出手段と、昇降台２８の昇降位置を検出する昇降位置検出手段とが装備されている。クレーンコントローラＨｃは、それらの検出結果の情報に基づいて、スタッカークレーン２４の運転を制御する。
【００３６】
ガス供給部３０は、収納部１１に収納されている容器４０のそれぞれに不活性ガスを供給する。ここで、不活性ガスとは、容器４０に収容される物品（本例では基板Ｂ）に対する反応性が低い（問題となる化学反応を実質的に生じさせない）気体である。本実施形態では、ガス供給部３０は、不活性ガスとして窒素ガスを供給する。なお、不活性ガスとして、アルゴンガスやクリプトンガス等の希ガスを用いても良い。
【００３７】
ガス供給部３０は、ガスボンベ等の不活性ガス供給源（図示せず）に接続された、流入配管３１とマスフローコントローラ３２と供給配管３３とを備えている。これらは、保管棚１０の各収納部１１に装備されている（図２も参照）。各収納部１１に対する流入配管３１、マスフローコントローラ３２、及び供給配管３３は互いに直列に接続されており、これらの各組が、不活性ガス供給源に対して互いに並列に接続されている。以下、１つの収納部１１に対する配管系に注目して説明する。流入配管３１の一端は、不活性ガス供給源に接続されている（図示せず）。流入配管３１の他端は、マスフローコントローラ３２の流入側ポート３２ｉに接続されている。マスフローコントローラ３２には、その内部の流路を流れる不活性ガスの流量を計測する流量センサと、不活性ガスの流量を変更調節する流量調節弁と、当該流量調節弁の作動を制御する内部制御部が装備されている（図示せず）。
【００３８】
内部制御部は、流量センサの検出結果の情報に基づいて、不活性ガスの流量（言い換えれば、容器４０への供給流量）を後述する目標流量Ｖに調整するべく、流量調節弁の作動を制御する。これにより、マスフローコントローラ３２は、容器４０への不活性ガスの供給流量を制御する役割を担う。マスフローコントローラ３２の吐出側ポート３２ｏには、供給配管３３の一端が接続されている。供給配管３３の他端は、支持部１２に設けられた給気ノズル１５に接続されている。なお、供給配管３３には、手動操作式の開閉弁３４が介装されている。この開閉弁３４は、給気ノズル１５の交換等のためのメンテナンス時に、不活性ガスの供給を強制停止させるために設けられている。
【００３９】
不活性ガス供給源から供給され、マスフローコントローラ３２にて供給流量が調整された不活性ガスは、供給配管３３を介して給気ノズル１５に至る。ここで、上述したように、支持部１２に載置された容器４０が位置決めされた状態では、給気ノズル１５は容器４０の給気口４５に連通し、排気ノズル１６は排気口４６に連通する。これにより、ガス供給部３０から所定圧の不活性ガスが供給された際には、容器４０の内部の気体を排気口４６から外部に排出させながら、給気口４５から容器４０の内部に不活性ガスが注入される。
【００４０】
ガス供給部３０は、不活性ガスの供給モードに関して、第一モードと第二モードとにモード切替可能に構成されている。第一モードは、予め規定された供給パターンＰ（図５を参照）に従って不活性ガスを供給するモード（自動供給モード）である。第二モードは、供給パターンＰとは無関係に人為操作に基づいて不活性ガスを供給するモード（手動供給モード）である。これらは、物品保管設備１のユーザ（オペレータ）の指示に基づいて、複数の収納部１１毎（それぞれに収納される複数の容器４０毎）に択一的に選択可能となっている。
【００４１】
第二モードの選択時には、ユーザは、対象の収納部１１に対して、リアルタイムで不活性ガスの供給流量を指定する。一方、第一モードの選択時には、予め設定された２つ以上のパラメータにより定まる供給パターンＰに基づいて、不活性ガスの供給流量が自動制御される。このような供給パターンＰとして、本実施形態では、保管用、ノズル洗浄用、及びライン洗浄用の３種類の供給パターンが準備されている。また、保管用の供給パターンＰとして、互いに異なる４つの供給パターンが準備されている。すなわち、本実施形態では、図５に示すように、保管用の４つの供給パターンＰ１〜Ｐ４、ノズル洗浄用の１つの供給パターンＰ５、及びライン洗浄用の１つの供給パターンＰ６の、計６つの供給パターンＰが準備されている。
【００４２】
保管用の４つの供給パターンＰ１〜Ｐ４に応じた不活性ガスの供給は、一対の第一センサＳ１によって容器４０が検出されている場合になされる。本実施形態では、保管用の供給パターンＰ１〜Ｐ４は、それぞれ、不活性ガスの供給時期と目標流量Ｖとの組み合わせが互いに異なるように設定される複数の供給フェーズＦを含む。供給パターンＰ１〜Ｐ４は、不活性ガスを予め規定された第一目標流量Ｖ１にて供給する第一供給フェーズＦ１と、第一目標流量Ｖ１よりも小さい値に設定された第二目標流量Ｖ２にて不活性ガスを供給する第二供給フェーズＦ２とを少なくとも含む。供給パターンＰ１〜Ｐ４は、不活性ガスの供給を休止する（言い換えれば、ゼロに設定された第三目標流量にて不活性ガスを供給する）第三供給フェーズＦ３をさらに含んでも良い。
【００４３】
第一供給パターン（第１の保管用供給パターン）Ｐ１は、第一供給フェーズＦ１と第二供給フェーズＦ２とを１つずつ含む。第一供給パターンＰ１では、容器収納完了時点（図５において（Ａ）で示す時点）から第一設定時間ｔ１の間、第一目標流量Ｖ１にて不活性ガスが供給され、その後、第二目標流量Ｖ２にて継続的に不活性ガスが供給される。なお、容器収納完了時点は、収納部１１への容器４０の収納が完了した時点である。本実施形態では、一対の第一センサＳ１が容器４０の存在を検出した後、設定時間（例えば２秒）が経過した時点が、容器収納完了時点とされている。
【００４４】
第二供給パターン（第２の保管用供給パターン）Ｐ２は、１つの第一供給フェーズＦ１と、１つ以上の第二供給フェーズＦ２及び第三供給フェーズＦ３とを含む。第二供給パターンＰ２では、容器収納完了時点から第一設定時間ｔ１の間、第一目標流量Ｖ１にて不活性ガスが供給され、その後は、第二目標流量Ｖ２にて間欠的に不活性ガスが供給される。すなわち、第二供給パターンＰ２では、第一設定時間ｔ１の経過後は、第二設定時間ｔ２の第二目標流量Ｖ２での不活性ガスの供給と、第三設定時間ｔ３の不活性ガスの供給停止とが繰り返される。
【００４５】
第三供給パターン（第３の保管用供給パターン）Ｐ３は、第一供給フェーズＦ１と第二供給フェーズＦ２とを１つ以上ずつ含む。第三供給パターンＰ３は、上述した第一供給パターンＰ１が、予め規定された第一周期Ｔ１毎に繰り返されるパターンとなっている。すなわち、第三供給パターンＰ３では、容器収納完了時点から第一設定時間ｔ１の間、第一目標流量Ｖ１にて不活性ガスが供給され、その後、第二設定時間ｔ２の間、第二目標流量Ｖ２にて不活性ガスが供給される。そして、それを基本パターンとして、この基本パターンが周期的に繰り返される（Ｔ１＝ｔ１＋ｔ２）。
【００４６】
第四供給パターン（第４の保管用供給パターン）Ｐ４は、第一供給フェーズＦ１と第二供給フェーズＦ２と第三供給フェーズＦ３とを１つ以上ずつ含む。第四供給パターンＰ４は、上述した第二供給パターンＰ２が、予め規定された第二周期Ｔ２毎に繰り返されるパターンとなっている。すなわち、第四供給パターンＰ４では、容器収納完了時点から第一設定時間ｔ１の間、第一目標流量Ｖ１にて不活性ガスが供給され、その後は、第二設定時間ｔ２の第二目標流量Ｖ２での不活性ガスの供給と、第三設定時間ｔ３の不活性ガスの供給停止とが繰り返される。そして、それを基本パターンとして、この基本パターンが周期的に繰り返される（Ｔ２＝ｔ１＋Ｎ・（ｔ２＋ｔ３）；Ｎは自然数を表す）。
【００４７】
なお、これら保管用の供給パターンＰ１〜Ｐ４に関しては、ユーザは、基板Ｂの保管状態等を監視しながら、各パラメータ（Ｖ１，Ｖ２，ｔ１，ｔ２，ｔ３，Ｔ１，Ｔ２）を適宜設定変更することができる。そして、ユーザは、保管される基板Ｂに応じて、最適なパラメータで規定された最適な供給パターンＰを選択することができる。
【００４８】
第五供給パターン（ノズル洗浄用供給パターン）Ｐ５に応じた不活性ガスの供給は、容器４０がコンベヤ２２に搬入されたタイミングでなされる。第五供給パターンＰ５では、容器搬入時点（図５において（Ｂ）で示す時点）から第四設定時間ｔ４の間、第四目標流量Ｖ４にて不活性ガスが継続的に供給される。
【００４９】
第六供給パターン（ライン洗浄用供給パターン）Ｐ６に応じた不活性ガスの供給は、保管棚１０の設置時等に、ユーザからの開始指令を受けたタイミングでなされる。第六供給パターンＰ６では、開始指令時点（図５において（Ｃ）で示す時点）から第五設定時間ｔ５の間、第五目標流量Ｖ５にて不活性ガスが継続的に供給される。
【００５０】
第五供給パターンＰ５及び第六供給パターンＰ６における各パラメータ（Ｖ４，Ｖ５，ｔ４，ｔ５）は、予め基準値に設定されている。第四目標流量Ｖ４及び第五目標流量Ｖ５は、保管用の供給パターンＰ１〜Ｐ４における第一目標流量Ｖ１よりも小さく、かつ、第二目標流量Ｖ２よりも大きい値に設定されている。第五目標流量Ｖ５は、第四目標流量Ｖ４よりも小さい値に設定されている。また、第五設定時間ｔ５は、第四設定時間ｔ４よりも大きい値に設定されている。
【００５１】
なお、各パラメータの代表的な設定値としては、例えば以下が例示される。
第一目標流量Ｖ１；４０〜６０［Ｌ／ｍｉｎ］
第二目標流量Ｖ２；１〜１０［Ｌ／ｍｉｎ］
第四目標流量Ｖ４；２５〜３５［Ｌ／ｍｉｎ］
第五目標流量Ｖ５；１５〜２５［Ｌ／ｍｉｎ］
第四設定時間ｔ４；１〜１０［ｓ］
第五設定時間ｔ５；９００〜３０００［ｓ］
第一設定時間ｔ１、第二設定時間ｔ２、第三設定時間ｔ３，及び第二周期Ｔ２は、任意に設定されて良い。
【００５２】
これらの供給パターンＰ１〜Ｐ６に基づき、ガス供給部３０は、収納部１１に容器４０が収納されている状態で、容器４０内を基板Ｂの保管に適した不活性雰囲気とするために不活性ガスを供給可能に構成されている。また、ガス供給部３０は、搬送部２０によって収納部１１に容器４０が収納されるよりも前の所定期間（収納前供給期間）に、給気ノズル１５の清浄化のために不活性ガスを供給可能に構成されている。また、ガス供給部３０は、保管棚１０の設置後の所定期間（設置後供給期間）に、不活性ガス供給源から給気ノズル１５までの配管系の清浄化のために不活性ガスを供給可能に構成されている。
【００５３】
図４に示すように、制御装置Ｈに装備される操作卓ＨＳには、管理用演算装置５０が設けられている。管理用演算装置５０は、ＣＰＵ等の演算処理部を中核部材として備え、入力されたデータに対して種々の処理を行うための複数の機能部が、ハードウェア又はソフトウェア（プログラム）、或いはその両方により構成されている。
【００５４】
図６に示すように、管理用演算装置５０は、入力受付部５１、管理制御部５２、在荷期間取得部５３、識別情報取得部５４、及び表示制御部５５を備えている。また、管理用演算装置５０は、キーボード６１、ポインティングデバイス６２、表示装置６３、及びデータベースＤＢと接続されている。また、管理用演算装置５０は、第一センサＳ１、第二センサＳ２、及び第三センサＳ３による検出結果の情報を取得可能に構成されている。
【００５５】
第一センサ（在荷センサ）Ｓ１は、上述したように支持部１２に設けられており、収納部１１における容器４０の存否を検出する。第二センサＳ２は、搬送車２１からスタッカークレーン２４までの搬送経路における所定位置に設置され、容器４０に付与されたＩＤ（容器ＩＤ）等の識別情報を検出する。第二センサＳ２は、例えば容器４０の所定位置に設けられたＩＣタグに記憶された情報を読み取るタグリーダ等により構成することができる。バーコード（１次元バーコード及び２次元バーコードを含む）を読み取るバーコードリーダ等により構成しても良い。この意味で、第二センサＳ２は、“読取センサ”と称することもできる。第三センサＳ３は、ガス供給部３０における所定位置に設置され、不活性ガスの実際の供給流量を検出する。第三センサＳ３は、上述したマスフローコントローラ３２に設けられる流量センサにより構成することができる。
【００５６】
キーボード６１は、例えばＪＩＳ標準配列等の一般的なキーボードであり、文字や数字等を入力する。ポインティングデバイス６２は、例えばマウスやトラックパッド等であり、座標位置や所定操作等を入力する。表示装置６３は、ＣＲＴや液晶等のディスプレイであり、表示画面に各種の画像・文字等を表示する。なお、タッチパネルと一体化された表示装置６３を用いても良く、その場合にはキーボード６１及びポインティングデバイス６２の少なくとも一方の設置が省略されても良い。データベースＤＢには、保管棚１０の各種仕様に応じた、複数の収納部１１の配列（レイアウト）に関する情報がデータベース化されて格納されている。
【００５７】
入力受付部５１は、キーボード６１及びポインティングデバイス６２（場合によってはタッチパネル機能付の表示装置６３）からの入力を受け付ける。
【００５８】
管理制御部５２は、ガス供給部３０からの不活性ガスの供給状態を管理する。管理制御部５２は、例えば不活性ガスの供給モードを管理し、第一モード（自動供給モード）が選択されている場合には、さらに不活性ガスの供給パターンＰを管理する。また、管理制御部５２は、保管用の供給パターンＰ１〜Ｐ４が選択されている場合には、さらに各パラメータ（Ｖ１，Ｖ２，ｔ１，ｔ２，ｔ３，Ｔ１，Ｔ２）を管理する。管理制御部５２は、キーボード６１及びポインティングデバイス６２等を介して入力されるユーザの指定に基づき、供給モード、供給パターンＰ、各パラメータを管理する。これらの情報は制御装置Ｈ及びパージコントローラＨｐに伝達され、それに基づいて、ガス供給部３０からの不活性ガスの供給が制御される。なお、管理制御部５２は、上記の供給状態管理を、複数の収納部１１（複数の容器４０）のそれぞれについて行う。
【００５９】
また、管理制御部５２は、保管用の供給パターンＰ１〜Ｐ４が選択されている場合には、パージコントローラＨｐから、その時点における供給フェーズＦに係る情報を取得可能に構成されている。本実施形態では、管理制御部５２は、パージコントローラＨｐから取得された、各容器４０に対する不活性ガスの供給フェーズＦに係る情報を、表示制御部５５に伝達する。管理制御部５２は、各容器４０に対する不活性ガスの供給パターンＰに係る情報も、表示制御部５５に伝達する。
【００６０】
在荷期間取得部５３は、容器４０が収納部１１に収納されてからの経過時間である在荷期間を取得する。在荷期間取得部５３は、第一センサＳ１による検出結果の情報に基づいて、在荷期間を取得する。在荷期間取得部５３は、例えば第一センサＳ１により容器４０が収納部１１に収納された時点を検出し、当該容器収納完了時点を始点とするカウントアップタイマーにより、在荷期間を取得する。
【００６１】
識別情報取得部５４は、収納部１１に収納されている容器４０の識別情報（容器ＩＤ）を取得する。識別情報取得部５４は、第二センサＳ２による検出結果の情報に基づいて、容器ＩＤを取得する。
【００６２】
在荷期間取得部５３により取得される在荷期間の情報や、識別情報取得部５４により取得される容器ＩＤの情報は、管理制御部５２に伝達される。管理制御部５２は、これらの情報に基づいて、容器４０の保管期間や、保管対象の容器４０に関する不活性ガスの供給履歴（パージ履歴）の管理も行う。管理制御部５２は、例えば各容器４０についての在荷期間が予め規定された基準在荷期間（例えば、１週間）以内であるか否かを判定し、容器４０の保管期間の妥当性判定を行う。また、管理制御部５２は、例えば識別情報取得部５４（第二センサＳ２）により適切に容器ＩＤが取得できたか否かを判定し、保管対象の容器４０の適正なパージ履歴管理の可否判定を行う。管理制御部５２は、これらの判定結果に係る情報を、表示制御部５５に伝達する。
【００６３】
表示制御部５５は、表示装置６３の画面への表示画像（テキストを含む）を描画制御する。表示制御部５５は、例えば表示装置６３の画面に設定される第一表示領域Ａ１（図７を参照）に、物品保管設備１の制御用アプリケーションにおける各種コマンドを受け付けるためのメニュー画像を描画制御する。また、表示制御部５５は、例えば第二表示領域Ａ２に、搬送部２０及びガス供給部３０を含むシステム全体の稼働状態（運転状態、ガス圧、酸素濃度、在荷状態等）を表す画像を描画制御する。また、表示制御部５５は、例えば第三表示領域Ａ３に、保管棚１０の複数の収納部１１に収納された各容器４０の状態を表す画像を描画制御する。また、表示制御部５５は、ポインティングデバイス６２が指し示す画面上での位置に、ポインタ（カーソル）の画像を描画制御する。表示制御部５５は、表示装置６３の画面に設定される他の表示領域（第四表示領域）に、保管棚１０毎の在荷状態等をより詳細に表す画像を描画制御しても良い。
【００６４】
以下、第三表示領域Ａ３に表示される各容器４０の状態を表す画像について、実際に表示される態様を示した図７を参照して説明する。なお、ここでは、第一モード（自動供給モード）が選択されている状態を想定している。本発明において、第三表示領域Ａ３には、保管棚１０における複数の収納部１１の配列（縦横配列）に対応させて、複数の表示区画Ｃが表示される。それぞれの表示区画Ｃは、矩形状（本例では正方形状）となっている。これらは、画面内で上下方向に並ぶとともに、上下方向の各位置において左右方向に並ぶように配列されている。なお、場合によっては特定の位置に収納部１１が設けられないことがあるが、そのような場合には、対応する位置には表示区画Ｃは表示されない。
【００６５】
複数の表示区画Ｃのそれぞれには、対応する収納部１１に収納されている容器４０に対する不活性ガスの供給状態（以下、「ガス供給状態」と称する）が表示される。本実施形態では、ガス供給状態は、複数の状態を視覚的に識別可能な態様で表象する状態表象オブジェクトＯｓとして表示される。また、本実施形態では、各表示区画Ｃの全体が状態表象オブジェクトＯｓとなっている。
【００６６】
第一モード（自動供給モード）では、上述したように、ガス供給部３０からのガス供給状態は、複数の供給パターンＰに基づいて管理される。また、保管用の供給パターンＰ１〜Ｐ４が選択されている場合には、それらはさらに複数の供給フェーズＦを含む。本実施形態では、保管用の供給パターンＰ１〜Ｐ４における各供給フェーズＦと、保管用以外の供給パターンＰ５，Ｐ６とが、互いに異なるガス供給状態として、視覚的に識別可能な態様で表示される。具体的には、これらは、それぞれに対応する状態表象オブジェクトＯｓの色彩を互いに異ならせて表示される（図８も参照）。
【００６７】
例えば、各収納部１１に収納されている容器４０について保管用の供給パターンＰ１〜Ｐ４が選択されている場合には、その容器４０に対するガス供給状態の一種として、その時点での供給フェーズＦが、当該供給フェーズＦに応じて異なる色彩で表現される。また、ノズル洗浄用の第五供給パターンＰ５が選択されている場合には、その容器４０に対するガス供給状態の一種として、給気ノズル１５の清浄化のためのガス供給中であることが、複数の供給フェーズＦをそれぞれ表す色彩とはさらに異なる色彩で表現される。さらに、ライン洗浄用の第六供給パターンＰ６が選択されている場合には、その容器４０に対するガス供給状態の一種として、ライン全体の清浄化のためのガス供給中であることが、複数の供給フェーズＦ及びノズル洗浄中をそれぞれ表す色彩とはさらに異なる色彩で表現される。
【００６８】
なお、本実施形態では、各収納部１１に容器４０が収納されていないことや、不活性ガスの供給が無効であることも、ガス供給状態の一種として、上記とはさらに異なる色彩で表現される。また、本実施形態では、特定の容器４０の保管期間の適正性や保管対象の容器４０のパージ履歴管理の適正性に関して否定的な判定結果が得られた場合には、それらの事実も、上記とはさらに異なる色彩で表現される。この場合、それらの事実を示す色彩で表された状態表象オブジェクトＯｓは、基準在荷期間の超過及び容器ＩＤの未取得をそれぞれ表す“警告情報”の一種とみなすこともできる。さらに、本実施形態では、特定の収納部１１への不活性ガスの供給に関して、目標流量Ｖに対して実流量が不足している場合や、ユーザによりガス供給が強制停止された場合には、それらの事実も、上記とはさらに異なる色彩で表現される。
【００６９】
このように、本実施形態では、各収納部１１に収納されている容器４０に対するガス供給状態が、供給パターンＰ、供給フェーズＦ、及び各種の非適正状態に応じて、互いに異なる色彩の状態表象オブジェクトＯｓにより表現される。また、それらの状態表象オブジェクトＯｓは、保管棚１０における複数の収納部１１の配列に対応する配列をなすように第三表示領域Ａ３に表示される。よって、ユーザは、現実の保管棚１０のそれぞれの位置（収納部１１）に収納された各容器４０についてのガス供給状態を直感的に把握しやすい。従って、ユーザは、容易かつ適切に基板Ｂの保管管理を行うことができる。
【００７０】
本実施形態では、第一供給フェーズＦ１の状態にある容器４０のうち、特定条件を満足する容器４０に対しては、ガス供給状態の一種として、パージ進行度がさらに表示される。パージ進行度は、容器４０の容積に対する供給済み不活性ガス量の割合を表す。また、パージ進行度は、容器４０内に含まれている既存のガスが新たに供給される不活性ガスで置換された割合に、概ね一致する。特定条件としては、「搬送部２０により収納部１１に対して新たに収納された容器４０であること」が例示される。すなわち、本発明の好適な一態様によれば、収納部１１に対して新たな容器４０が収納された場合に、当該新たに収納された容器４０を対象としてパージ進行度が表示される。別の言い方をすれば、各容器４０について、最初の（１回目の）第一供給フェーズＦ１のみを対象としてパージ進行度が表示される。
【００７１】
図９に示すように、本実施形態では、パージ進行度は、第一供給フェーズＦ１に対応する状態表象オブジェクトＯｓを動的形態とすることによって表現される。すなわち、パージ進行度は、その面積（或いは、上下又は左右に対向する２辺の長さ）が経時的に漸増する状態表象オブジェクトＯｓによって表現される。状態表象オブジェクトＯｓは、第一供給フェーズＦ１の開始時点（容器収納完了時点）における面積又は辺長がゼロの状態から、第一供給フェーズＦ１の完了時点（第一設定時間ｔ１の経過時点）における面積又は辺長が最大の状態となるように変化する。
【００７２】
１つの態様として、状態表象オブジェクトＯｓは、各時点における面積又は辺長の各最大値に対する割合が、パージ進行度に一致するように連続的に変化すると好適である。或いは、状態表象オブジェクトＯｓは、各時点における面積又は辺長の各最大値に対する割合が、パージ進行度に概ね一致するように段階的に変化しても良い。これらのようにすれば、ユーザは、最初に容器４０内に含まれていた空気や水蒸気等の気体が不活性ガスで置換された割合を直感的に把握しやすい。また、不活性ガスによるパージ完了までの残り時間の目安を容易に知覚することができる。
【００７３】
本実施形態では、各表示区画Ｃに対応する収納部１１（容器４０）へのガス供給状態は、各時点において、一対の保管棚１０（バンク）のうちの１つのみを対象として表示される。そして、表示対象となる保管棚１０は、人為操作に基づいて変更可能となっている。ユーザは、第三表示領域Ａ３における上部に表示された棚選択プルダウンメニュー（図７を参照）で所望の保管棚１０を指定することで、その保管棚１０に関する各収納部１１（容器４０）へのガス供給状態を表示させることができる。
【００７４】
第三表示領域Ａ３における上部には、棚選択プルダウンメニューに隣接して、レベル選択プルダウンメニューが表示されている。ユーザは、レベル選択プルダウンメニューで所望の表示レベルを指定することで、対応する詳細度で各種の情報を表示させることができる。なお、本実施形態で説明した表示態様は「簡易レベル」であり、ユーザにとって有益な情報（各容器４０についてのガス供給状態）を、非常にシンプルかつ容易知覚可能な状態で提供することができる。
【００７５】
２．第二の実施形態
本発明に係る物品保管設備の第二の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態では、第三表示領域Ａ３に表示される情報の詳細度が、上記第一の実施形態とは異なっている。それ以外の点に関しては、上記第一の実施形態と同様である。なお、本実施形態の表示態様は、上記第一の実施形態で説明した「簡易レベル」よりも詳細度の高い「標準レベル」である。
【００７６】
図１０に示すように、表示区画Ｃは矩形状（本例では長方形状）となっており、各表示区画Ｃの全体が、各収納部１１（容器４０）へのガス供給状態を表す状態表象オブジェクトＯｓとなっている。本実施形態では、状態表象オブジェクトＯｓに重畳させて、システムの管理状態に関する情報（管理情報）が表示される。このような管理情報としては、例えば棚番号（保管棚１０における各収納部１１の識別番号）、不活性ガスの流量、入庫されてからの経過時間、各収納部１１に収納されている容器４０の容器ＩＤ等が例示される。ユーザは、第三表示領域Ａ３における上部に表示された情報選択プルダウンメニューで所望の管理情報を指定することで、その管理情報を、各収納部１１（容器４０）に対応させて表示させることができる。本実施形態では、ユーザにとって有益な情報（各容器４０についてのガス供給状態及び各種の管理情報）を、シンプルかつ容易知覚可能な状態で提供することができる。
【００７７】
３．第三の実施形態
本発明に係る物品保管設備の第三の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態では、第三表示領域Ａ３に表示される情報の詳細度が、上記第一及び第二の実施形態とは異なっている。それ以外の点に関しては、上記第一及び第二の実施形態と同様である。なお、本実施形態の表示態様は、上記第二の実施形態で説明した「標準レベル」よりもさらに詳細度の高い「詳細レベル」である。
【００７８】
図１１に示すように、表示区画Ｃは矩形状（本例では長方形状）となっている。本実施形態では、各収納部１１（容器４０）へのガス供給状態を表す状態表象オブジェクトＯｓは、各表示区画Ｃの一部を占めるように表示される。具体的には、図１２に拡大して示すように、状態表象オブジェクトＯｓは、表示区画Ｃの中央部に設定される、表示区画Ｃ全体に対して相似比１：２程度の大きさの中央領域に表示される。この状態表象オブジェクトＯｓの表示態様に関しては、警告及び異常に対しては非対応となっている点を除き、上記第一の実施形態と同様である。
【００７９】
本実施形態では、ガス供給状態の一種として、供給パターンＰ及び供給フェーズＦ等に加え、不活性ガスの供給モードがさらに表示される。すなわち、各表示区画Ｃに、状態表象オブジェクトＯｓに加えて、対応する容器４０への不活性ガスの供給モードを表すモード表象オブジェクトＯｍがさらに表示される。モード表象オブジェクトＯｍは、前記中央領域に対して下方に隣接する下方領域に表示される。この下方領域は、表示区画Ｃの下辺に沿って設定されている。これにより、モード表象オブジェクトＯｍは、状態表象オブジェクトＯｓに対して下方に隣接する位置において、表示区画Ｃの下辺に沿って表示される。
【００８０】
本実施形態では、第一モード（自動供給モード）と第二モード（手動供給モード）とが、互いに異なるガス供給状態として、視覚的に識別可能な態様で表示される。具体的には、これらは、それぞれに対応するモード表象オブジェクトＯｍの色彩を互いに異ならせて表示される。また、本実施形態では、不活性ガスの供給が無効であることも、複数の供給モードをそれぞれ表す色彩とはさらに異なる色彩で表現される。さらに、特定の収納部１１への不活性ガスの供給に関して、目標流量Ｖに対して実流量が不足している場合や、ユーザによりガス供給が強制停止された場合には、それらの事実も、それぞれ警告及び異常として、上記とはさらに異なる色彩で表現される。
【００８１】
本実施形態では、ガス供給状態とは別に、システムの管理状態に関する情報（管理情報）がさらに表示される。これらの管理情報は、前記中央領域に対して上方に隣接する上方領域に表示される。この上方領域は、表示区画Ｃの上辺に沿って設定されている。これにより、管理情報は、状態表象オブジェクトＯｓに対して上方に隣接する位置において、表示区画Ｃの上辺に沿って表示される。なお、管理情報の表示態様及び内容に関しては、状態表象オブジェクトＯｓに重畳されない点を除き、上記第二の実施形態と同様である。
【００８２】
本実施形態では、特定の容器４０の保管期間の適正性や保管対象の容器４０のパージ履歴管理の適正性に関して否定的な判定結果が得られた場合には、それらの事実を示す警告情報が、ガス供給状態とは別に表示される。また、本実施形態では、特定の収納部１１への不活性ガスの供給に関して、目標流量Ｖに対して実流量が不足している場合や、ユーザによりガス供給が強制停止された場合には、それらの事実を示す警告情報も表示される。本実施形態では、警告情報は、図柄化されたアイコンＩの形態で表示される。アイコンＩは、表示区画Ｃの中央部において、状態表象オブジェクトＯｓに重畳して表示される。また、本実施形態では、アイコンＩの図柄は、各種の警告内容に応じて異なるものとされる。図１２には、基準在荷期間の超過、容器ＩＤの未取得、実流量の不足、及び強制停止をそれぞれ表象する互いに異なる図柄のアイコンＩが例示されている。
【００８３】
このように、本実施形態では、各収納部１１に収納されている容器４０に対するガス供給状態が、供給パターンＰ、供給フェーズＦ、及び供給モードに応じて、互いに異なる色彩の状態表象オブジェクトＯｓと互いに異なる色彩のモード表象オブジェクトＯｍとの組み合わせにより表現される。さらに、それとは別に、各種の非適正状態が存在する場合には、その事実が、互いに異なる図柄のアイコンＩによって通知される。これらの状態表象オブジェクトＯｓ、モード表象オブジェクトＯｍ、及びアイコンＩは、保管棚１０における複数の収納部１１の配列に対応する配列をなすように配列された表示区画Ｃにまとめて表示される。よって、ユーザは、現実の保管棚１０のそれぞれの位置（収納部１１）における各種の有益な情報（ガス供給状態、供給モード、及び各種警告等の情報）を、容易かつ詳細に得ることができる。
【００８４】
４．その他の実施形態
最後に、本発明に係る物品保管設備の、その他の実施形態について説明する。なお、以下のそれぞれの実施形態で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。
【００８５】
（１）上記の各実施形態では、動的形態の状態表象オブジェクトＯｓによってパージ進行度が表現される例について説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。例えば、状態表象オブジェクトＯｓとは別に、パージ進行度を表象するオブジェクト（進行度表象オブジェクト）が表示されても良い。或いは、テキスト（例えばパーセント表示で表された数値）によってパージ進行度が表示されても良い。この場合、パージ進行度を表すオブジェクト又はテキストは、例えば状態表象オブジェクトＯｓに重畳して表示されても良い。
【００８６】
（２）上記の各実施形態では、各収納部１１（各容器４０）に対する最初の第一供給フェーズＦ１のみを対象としてパージ進行度が表示される例について説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。例えば複数の第一供給フェーズＦ１を含む供給パターンＰが適用される場合において、２回目以降の第一供給フェーズＦ１に対してもパージ進行度が表示されても良い。また、そのようなパージ進行度が表示されることなく、第一供給フェーズＦ１の状態にある収納部１１（容器４０）に関しては、対応する状態表象オブジェクトＯｓが一律の態様で表示されても良い。或いは、第一供給フェーズＦ１に限らず、他の有限期間のフェーズ（第二供給フェーズＦ２）に関しても、その期間における進行度が表示されても良い。
【００８７】
（３）上記の各実施形態では、供給パターンＰ、供給フェーズＦ、及び各種の非適正状態に応じて、これらが互いに異なる色彩の状態表象オブジェクトＯｓにより表現される例について説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。例えば、状態表象オブジェクトＯｓの色彩が、供給パターンＰ及び供給フェーズＦのみに応じて異なるように設定されても良い。また、状態表象オブジェクトＯｓの色彩が、管理用の供給パターンＰ１〜Ｐ４における供給フェーズＦのみに応じて異なるように設定されても良い。
【００８８】
（４）上記の各実施形態では、供給パターンＰの具体例を６つ示して説明した。しかし、これらは単なる例示であって本発明の実施形態はこれに限定されない。供給パターンＰを定めるパラメータの指令内容及び個数は任意に設定可能であり、不活性ガスの供給のために上記の説明とは異なるプロファイルの他の供給パターンが適用されても良い。
【００８９】
（５）上記の各実施形態では、供給モード、供給パターンＰ、供給フェーズＦ、及び警告等が、状態表象オブジェクトＯｓ、モード表象オブジェクトＯｍ、又はアイコンＩによって図形（図柄）として表示される例について説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。例えば、供給モード、供給パターンＰ、供給フェーズＦ、及び警告の１つ以上が、テキストで表示されても良い。
【００９０】
（６）その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で例示であって、本発明の範囲はそれらによって限定されることはないと理解されるべきである。当業者であれば、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜改変が可能であることを容易に理解できるであろう。従って、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で改変された別の実施形態も、当然、本発明の範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
本発明は、物品を保管する物品保管設備に利用することができる。
【符号の説明】
【００９２】
１        ：物品保管設備
１０      ：保管棚
１１      ：収納部
１５      ：給気ノズル
２０      ：搬送部
３０      ：ガス供給部
４０      ：容器
４５      ：給気口
５０      ：管理用演算装置
５２      ：管理制御部
５３      ：在荷期間取得部
５４      ：識別情報取得部
５５      ：表示制御部
６３      ：表示装置
Ｖ        ：目標流量
Ｐ        ：供給パターン
Ｆ        ：供給フェーズ
Ｃ        ：表示区画
Ｏｓ      ：状態表象オブジェクト
Ｏｍ      ：モード表象オブジェクト
Ｉ        ：アイコン（警告情報）
【図１】
0005884779.tif 000002
【図２】
0005884779.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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