(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持テーブルと、前記保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと、スピンドルハウジングと、前記スピンドルハウジング内に回転可能に支持されたスピンドルと、前記スピンドル先端のテーパ部に係合し着脱自在に装着され且つ前記切削ブレードを端面で支持するフランジと、を有する切削装置において、前記スピンドル先端の前記テーパ部に前記フランジを装着する装着方法であって、
前記スピンドル先端の前記テーパ部に前記フランジを装着するフランジ装着工程と、
前記フランジ装着工程の後に、前記フランジの端面の修正を行う端面修正工程と、
前記フランジ装着工程の後で前記端面修正工程の前又は後に、前記スピンドルの先端及び前記フランジに互いの位置を揃えるように装着方向を示すマークを形成する装着方向マーキング工程と、
前記装着方向マーキング工程の後に、端面修正を行った前記フランジを前記スピンドルから取り外した後に、再度、前記スピンドル先端のマーク及び前記フランジのマークの位置を揃えた状態で、端面修正を行った前記フランジを前記スピンドル先端のテーパ部に装着するフランジ再装着工程と、からなることを特徴とするフランジの装着方法。
【請求項２】
被加工物を保持する保持テーブルと、前記保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと、スピンドルハウジングと、前記スピンドルハウジング内に回転可能に支持されたスピンドルと、前記スピンドル先端のテーパ部に係合し着脱自在に装着され且つ前記切削ブレードを端面で支持するフランジと、を有する切削装置において、前記スピンドル先端の前記テーパ部に前記フランジを装着する装着方法であって、
前記スピンドル先端の任意の箇所に位置を揃えるための第１のマーク及び前記フランジの任意の箇所に位置を揃えるための第２のマークが形成されており、
前記スピンドル先端の前記第１のマーク及び前記フランジの前記第２のマークの位置を揃えた状態で前記フランジを前記スピンドル先端の前記テーパ部に装着するフランジ装着工程と、
前記フランジ装着工程の後に、前記フランジの端面の修正を行う端面修正工程と、
端面修正を行った前記フランジを前記スピンドルの先端から取り外した後、再度、前記スピンドル先端の前記第１のマーク及び前記フランジの前記第２のマークの位置を揃えた状態で、前記端面修正を行ったフランジを前記スピンドル先端のテーパ部に装着するフランジ再装着工程と、からなることを特徴とするフランジの装着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、端面に当接されるように切削ブレードが取り付けられるフランジを切削装置のスピンドルに装着する装着方法に関し、特に、端面の修正されたフランジをスピンドルから取り外した後に再びスピンドルに装着する装着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面にデバイスの形成されたウェーハは、例えば、ブレードユニットを備える切削装置によって各チップに分割される。ブレードユニットは、モータの回転力を伝達するスピンドルと、スピンドルの一端側に装着されるフランジと、フランジに取り付けられる環状の切削ブレードとを含んで構成されている。この切削ブレードとして、円環状に成形された砥石のみからなるワッシャーブレードや、円板状の基部の外周に円環状の砥石が固着されたハブブレードなどが知られている。
【０００３】
切削ブレードは、フランジに取り付けられた状態においてフランジの端面に当接される。このため、フランジの端面とスピンドルの回転軸とのなす角度が９０°からずれると、スピンドルの回転時に切削ブレードがばたついてしまいウェーハの加工精度は低下する。この問題を解消するため、スピンドルに装着された状態のフランジの端面を研削し、端面と回転軸とのなす角度を９０°に修正する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３４７２３９０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述の方法でフランジの端面を修正した後に、フランジをスピンドルから取り外して再び装着させると、スピンドルに対するフランジの装着状態は変化されて端面の再修正が必要になる。このように、フランジの再装着の度に端面の修正を行っていると、修正量の増大でフランジの寿命は短くなる。また、フランジの端面を修正する頻度が高いと、それだけ端面の修正に要する時間も多くなるので、切削装置の実質的な稼働時間は短くなってしまう。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、端面の修正されたフランジをスピンドルに再装着した後の端面の修正量を低減可能なフランジの装着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のフランジの装着方法は、被加工物を保持する保持テーブルと、前記保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと、スピンドルハウジングと、前記スピンドルハウジング内に回転可能に支持されたスピンドルと、前記スピンドル先端のテーパ部に係合し着脱自在に装着され且つ前記切削ブレードを端面で支持するフランジと、を有する切削装置において、前記スピンドル先端の前記テーパ部に前記フランジを装着する装着方法であって、前記スピンドル先端の前記テーパ部に前記フランジを装着するフランジ装着工程と、前記フランジ装着工程の後に、前記フランジの端面の修正を行う端面修正工程と、前記フランジ装着工程の後で前記端面修正工程の前又は後に、前記スピンドルの先端及び前記フランジに互いの位置を揃えるように装着方向を示すマークを形成する装着方向マーキング工程と、前記装着方向マーキング工程の後に、端面修正を行った前記フランジを前記スピンドルから取り外した後に、再度、前記スピンドル先端のマーク及び前記フランジのマークの位置を揃えた状態で、端面修正を行った前記フランジを前記スピンドル先端のテーパ部に装着するフランジ再装着工程と、からなることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、端面を修正されたフランジは、スピンドル先端のマーク及びフランジのマークの位置を揃えた状態でスピンドル先端のテーパ部に再装着されるので、適切に端面を修正された状態に近い装着状態が再現されて、再装着後の端面の修正量を最小限に留めることができる。その結果、フランジの装着の度に端面の修正を行っても、フランジの寿命の低下を抑制できると共に、切削装置の稼働時間を十分に確保可能になる。
【０００９】
また、本発明のフランジの装着方法は、被加工物を保持する保持テーブルと、前記保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと、スピンドルハウジングと、前記スピンドルハウジング内に回転可能に支持されたスピンドルと、前記スピンドル先端のテーパ部に係合し着脱自在に装着され且つ前記切削ブレードを端面で支持するフランジと、を有する切削装置において、前記スピンドル先端の前記テーパ部に前記フランジを装着する装着方法であって、前記スピンドル先端の任意の箇所に位置を揃えるための第１のマーク及び前記フランジの任意の箇所に位置を揃えるための第２のマークが形成されており、前記スピンドル先端の前記第１のマーク及び前記フランジの前記第２のマークの位置を揃えた状態で前記フランジを前記スピンドル先端の前記テーパ部に装着するフランジ装着工程と、前記フランジ装着工程の後に、前記フランジの端面の修正を行う端面修正工程と、端面修正を行った前記フランジを前記スピンドルの先端から取り外した後、再度、前記スピンドル先端の前記第１のマーク及び前記フランジの前記第２のマークの位置を揃えた状態で、前記端面修正を行ったフランジを前記スピンドル先端のテーパ部に装着するフランジ再装着工程と、からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、端面の修正されたフランジをスピンドルに再装着した後の端面の修正量を低減可能なフランジの装着方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態１の装着方法に用いられる切削装置の構成を示す斜視図である。
【図２】切削装置のブレードユニットの構成を示す斜視図である。
【図３】実施の形態１に係る装着方法の流れを示すフローチャートである。
【図４】実施の形態１に係る装着方法を説明する模式図である。
【図５】実施の形態２に係る装着方法に用いられるブレードユニットを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１３】
（実施の形態１）
本実施の形態に係る装着方法（フランジの装着方法）は、切削ブレードの当接されるフランジをスピンドルに装着するフランジ装着工程と、フランジの端面を修正する端面修正工程と、端面修正工程の後（又は前）に、装着方向を示すマークをスピンドル及びフランジに形成するマーキング工程（装着方向マーキング工程）と、フランジをスピンドルから取り外した後に、スピンドルのマークの位置とフランジのマークの位置とを揃えた状態でフランジをスピンドルに再装着するフランジ再装着工程とを含む。
【００１４】
この装着方法において、フランジは、スピンドルのマークの位置とフランジのマークの位置とを揃えた状態でスピンドルに再装着されるので、適切に端面を修正された状態に近い装着状態が再現されて、再装着後の端面の修正量を最小限に留めることができる。その結果、フランジの装着の度に端面の修正を行っても、フランジの寿命の低下を抑制できると共に、切削装置の稼働時間を十分に確保可能になる。以下、本実施の形態に係る装着方法の詳細について説明する。
【００１５】
図１を参照して、本実施の形態の装着方法に用いられる切削装置の構成について説明する。図１は、本実施の形態の装着方法に用いられる切削装置１の構成を示す斜視図である。図１には、切削装置１の加工対象となるウェーハ（被加工物）Ｗを併せて示している。なお、本実施の形態の装着方法に用いられる切削装置及び切削装置の加工対象となるウェーハは、図１に示す切削装置１及びウェーハＷに限定されない。
【００１６】
切削装置１の加工対象となるウェーハＷは、略円板状の外形形状を有している。ウェーハＷは、裏面側に貼着されるダイシングテープＴを介して円環状のフレームＦに支持されている。ウェーハＷの表面は、格子状に配列されたストリートによって複数の領域に区画されており、区画された各領域にはデバイスが形成されている。ウェーハＷは、各ストリートに沿って切削されて個々のチップに分割される。なお、切削装置１の加工対象はウェーハに限定されない。
【００１７】
切削装置１は、上面形状が略平坦な基台２を有している。基台２は、略直方体状の基部２１と、その一部の角部において前方に突設された突設部２２とを備える。突設部２２には内部空間が形成されており、この内部空間には、カセットエレベータ３が上下動可能に設けられている。カセットエレベータ３の上面にはウェーハＷを収納するカセット３１が載置されている。カセット３１は、高さ方向（Ｚ軸方向）において、ウェーハＷをそれぞれ１枚ずつ収納する複数の収納部３２を備えている。
【００１８】
基部２１の上面には、カセットエレベータ３と隣接する位置に仮置き機構４が設けられている。仮置き機構４は、引出部４１と一対のレール４２とを備えている。引出部４１は第１方向（Ｙ軸方向）に移動可能に構成されており、カセットエレベータ３の上下動により引出部４１と同じ高さに位置付けられたウェーハＷをレール４２側に引き出す。レール４２は略Ｌ字型の断面形状を有しており、第１方向に垂直な第２方向（Ｘ軸方向）において相互に離間接近可能に構成されている。ウェーハＷは、引出部４１によってレール４２上の所定位置まで引き出され、一対のレール４２の相互の接近によって第２方向において挟み込まれる。これにより、ウェーハＷは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において位置合わせされる。
【００１９】
基部２１の仮置き機構４に隣接する位置には、Ｘ軸方向に延在する開口が形成されている。開口は、テーブル移動基台５及び防水カバー５１により覆われている。防水カバー５１の下方には、テーブル移動基台５をＸ軸方向に移動可能なＸ軸移動機構（不図示）が設けられている。Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のガイドレール、ガイドレール間のＸ軸ボールねじ、及びＸ軸ボールねじを回転駆動するＸ軸パルスモータ（いずれも不図示）を備える。テーブル移動基台５は、ナット部（不図示）を介してＸ軸ボールネジと連結され、Ｘ軸ボールネジの回転によりガイドレールに沿って移動される。
【００２０】
テーブル移動基台５上には、チャックテーブル（保持テーブル）５２が設けられている。チャックテーブル５２は円板状に形成されており、その上面中央部分にはポーラスセラミック材による吸着面５３が設けられている。吸着面５３においてウェーハＷを裏面側から吸着することで、ウェーハＷはチャックテーブル５２上の所定位置に保持される。チャックテーブル５２は、回転機構（不図示）によりテーブル移動基台５上においてＺ軸周りに回転（θ回転）可能に支持されている。チャックテーブル５２には、仮置き機構４でＸ軸方向及びＹ軸方向に位置合わせされたウェーハＷが不図示の搬送機構によって搬送される。
【００２１】
Ｙ軸方向においてテーブル移動基台５と隣接する位置には、テーブル基台６が配置されている。テーブル基台６には、Ｙ軸移動機構６１が設けられている。Ｙ軸移動機構６１は、Ｙ軸方向に平行な一対のガイドレール６２、ガイドレール６２間のＹ軸ボールねじ（不図示）、及びＹ軸ボールねじを回転駆動するＹ軸パルスモータ６３を備える。テーブル基台６の上面には、Ｙ軸テーブル６４が支持されている。Ｙ軸テーブル６４は、テーブル基台６に接する基部６４ａと、基部６４ａに対して立設された壁部６４ｂとを備えている。Ｙ軸テーブル６４は、基部６４ａに設けたナット部（不図示）を介してＹ軸ボールネジと連結され、Ｙ軸ボールネジの回転によりガイドレール６２に沿って移動される。
【００２２】
Ｙ軸テーブル６４の壁部６４ｂには、Ｚ軸移動機構６５が設けられている。Ｚ軸移動機構６５は、壁部６４ｂの前面に配置されＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６６、ガイドレール６６間のＺ軸ボールねじ６７、及びＺ軸ボールねじ６７と連結されるＺ軸パルスモータ６８を備える。壁部６４ｂの前面には、Ｚ軸テーブル６９が支持されている。Ｚ軸テーブル６９は、壁部６４ｂに接する基部６９ａと、基部６９ａの端部において前方（Ｙ軸方向）に突設された壁部６９ｂとを備えている。Ｚ軸テーブル６９は、基部６９ａに設けたナット部を介してＺ軸ボールネジ６７と連結され、Ｚ軸ボールネジ６７の回転によりガイドレール６６に沿って移動される。
【００２３】
Ｚ軸テーブル６９の壁部６９ｂには、チャックテーブル５２の上方の位置においてブレードユニット７が支持されている。ブレードユニット７は、スピンドルユニット７１と、スピンドルユニット７１の一端側に着脱可能に装着される切削ブレード７２とを備える。スピンドルユニット７１の他端側にはモータ７３が連結されており、スピンドルユニット７１の一端側に装着された切削ブレード７２を回転できるようになっている。この切削ブレード７２を回転させてウェーハＷに切り込ませることで、ウェーハＷは切削される。ブレードユニット７には、切削ブレード７２に隣接して撮像ユニット８が設けられている。
【００２４】
切削装置１の制御部（不図示）は、撮像ユニット８で撮像された撮像画像に基づきＸ軸移動機構及びＹ軸移動機構６１を制御して、ブレードユニット８の切削ブレード７２をウェーハＷのストリートに位置合わせする。切削ブレード７２と位置合わせされたウェーハＷは、切削水を噴き付けられながら、回転された切削ブレード７２によって切り込まれる。切削されたウェーハＷは、搬送手段（不図示）によってピックアップされて、基部２１の上面に設けられた洗浄乾燥機構９に移動される。
【００２５】
洗浄乾燥機構９は、基台２に形成された円筒状の空間において基板Ｗを保持するスピンナテーブル９１を備えている。また、洗浄乾燥機構９は、洗浄液噴射機構及び気体噴射機構（いずれも不図示）を備えている。スピンナテーブル９１の下方には、回転機構（不図示）が設けられている。回転機構は、スピンナテーブル９１に対して回転力を付与するスピンナテーブルモータ（不図示）を有しており、スピンナテーブル９１を所定の速度で回転できるようになっている。スピンナテーブル９１に基板Ｗが保持されると、円筒状の空間内においてスピンナテーブル９１は回転される。この状態において、洗浄液噴射機構から洗浄液が噴射されることで基板Ｗは洗浄される。洗浄後の基板Ｗは、気体噴射機構から噴射されるエアによって乾燥される。
【００２６】
次に、図２を参照して、切削装置１のブレードユニット７について詳細に説明する。図２は、切削装置１のブレードユニット７の構成を示す斜視図である。上述のように、ブレードユニット７は、スピンドルユニット７１と切削ブレード７２とを備えている。スピンドルユニット７１は、回転軸を構成するスピンドルシャフト（スピンドル）７１１と、スピンドルシャフト７１１を支持するスピンドルハウジング７１２とを含む。
【００２７】
スピンドルユニット７１は、例えば、エアスピンドルであり、圧縮エアのエア層によりスピンドルシャフト７１１を浮動状態で支持する。スピンドルシャフト７１１においてテーパ状に構成された先端部（テーパ部）７１１ａは、スピンドルハウジング７１２から前方に突出されており、切削ブレード７２の装着されるフランジ７４を取り付けることができるようになっている。スピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａには、ネジ穴７１１ｂが設けられている。
【００２８】
フランジ７４は、径方向外向きに延出されるフランジ部７４１と、フランジ部７４１から前方に突出されるボス部７４２とを有している。フランジ７４の裏面側には、スピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａを嵌め込むことができる嵌合孔（不図示）が設けられている。フランジ７４の嵌合孔にスピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａを嵌め込んだ状態でネジ穴７１１ｂにネジ７６を締め込めば、フランジ７４はスピンドルシャフト７１１に固定される。
【００２９】
フランジ７４のフランジ部７４１は、外周部において切削ブレード７２の裏面側が当接される端面７４１ａを有している。端面７４１ａは、スピンドルシャフト７１１の回転軸線方向から見て円環状に形成されている。ボス部７４２は、略円筒形状に構成されており、外周部にリング状の固定ナット７５を締め込まれるネジ部７４２ａが設けられている。
【００３０】
切削ブレード７２は、例えば、中央にフランジ７４のボス部７４２が係合される係合孔７２１ａを有する円板状の基部７２１と、ダイヤモンド等からなる砥粒を結合材料で結合した円環状の砥石部７２２とで構成されている。砥石部７２２は、基部７２１の外周部に固着されており、基部７２１から径方向外向きに延出される薄板形状を有している。基部７２１は、略平坦な表面７２１ｂ及び裏面（不図示）を有している。切削ブレード７２の装着においては、係合孔７２１ａにボス部７４２を係合させると共に、基部７２１の裏面をフランジ部７４１の端面７４１ａに当接させる。
【００３１】
切削ブレード７２は、砥石部７２２の外径がフランジ部７４１の外径より十分に大きくなるように形成されている。このため、切削ブレード７２をフランジ７４に装着すると、砥石部７２２は、フランジ部７４１の外周縁から径方向外側に張り出される。切削ブレード７２を回転させ、フランジ部７４１から張り出した砥石部７２２をウェーハＷに接触させることで、ウェーハＷは切削加工される。
【００３２】
フランジ７４に切削ブレード７２が装着された状態で、ボス部７４２にはリング状の固定ナット７５が締め込まれる。固定ナット７５の中央には、ボス部７４２のネジ部７４２ａに対応するネジ穴７５ａが設けられている。ボス部７４２に固定ナット７５が締め込まれると、切削ブレード７２は、フランジ７４と固定ナット７５とで挟持固定される。具体的には、基部７２１の表面７２１ｂが固定ナット７５の裏面に当接されると共に、基部７２１の裏面がフランジ部７４１の当接面７４１ａに当接され、切削ブレード７２は所定位置に保持される。
【００３３】
次に、図３及び図４を参照して、本実施の形態の装着方法の詳細を説明する。図３は、本実施の形態の装着方法の流れを示すフローチャートである。図４は、本実施の形態に係る装着方法を説明する模式図である。
【００３４】
まず、フランジ装着工程（ステップＳＴ１）において、スピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａにフランジ７４を装着させる。すなわち、フランジ７４の裏面の嵌合孔にスピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａを嵌合させて、ネジ穴７１１ｂにネジ７６を締め込む（図２参照）。これにより、フランジ７４は、スピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａに固定されてスピンドルシャフト７１１と共に回転されるようになる。
【００３５】
スピンドルシャフト７１１にフランジ７４を装着させた状態において、図４Ａに示すように、端面７４１ａとスピンドルシャフト７１１の回転軸Ｏ１とのなす角度は９０°からずれていることがある。このずれは、スピンドルシャフト７１１及びフランジ７４の製造誤差や、スピンドルシャフト７１１の回転軸Ｏ１の傾斜などに起因して生じる。この状態でフランジ７４に切削ブレード７２を取り付けると、切削ブレード７２と回転軸Ｏ１とのなす角度も９０°からずれてしまう。その結果、スピンドルシャフト７１１を回転させると、切削ブレード７２の外周部がばたついてしまい、ウェーハＷの加工精度は低下する。
【００３６】
そこで、フランジ装着工程の後には、フランジ７４の端面７４１ａを修正する端面修正工程（ステップＳＴ２）を行う。端面７４１ａの修正（端面修正）は、図４Ｂに示すように、フランジ７４を回転させた状態で端面７４１ａに研削チップ（研磨チップ）Ｃを接触させることにより行われる。これにより、端面７４１ａは、フランジ７４の装着状態（回転軸Ｏ１に対する端面７４１ａの傾き）に応じた研削量で研削される。
【００３７】
具体的には、まず、研削チップＣの先端部分とフランジ７４の端面７４１ａとが十分に近接されるように、研削チップＣをチャックテーブル５２（図１参照）に吸着保持させる。次に、モータ７３（図１参照）によりスピンドルシャフト７１１に装着されたフランジ７４を回転させる。そして、Ｙ軸移動機構６１（図１参照）によりフランジ７４を研削チップＣに向かって移動させ、回転される端面７４１ａに研削チップＣの先端部分を接触させる。この際、研削チップＣは、Ｘ軸移動機構によりＸ軸方向において繰り返し往復される。この端面修正工程により、端面７４１ａと回転軸Ｏ１とのなす角度は９０°に修正される。
【００３８】
端面７４１ａの修正後には、切削ブレード７２をフランジ７４に装着させる。すなわち、切削ブレード７２の係合孔７２１ａにフランジ７４のボス部７４２を係合させて、基部７２１の裏面をフランジ部７４１の端面７４１ａに当接させる（図２参照）。また、ボス部７４２にリング状の固定ナット７５を締め込んで、フランジ７４と固定ナット７５とで切削ブレード７２を挟持固定する（図２参照）。上述の端面修正により端面７４１ａと回転軸Ｏ１とのなす角度は９０°に修正されているので、切削ブレード７２と回転軸Ｏ１とのなす角度も９０°になる。その結果、回転に伴う切削ブレード７２のぶれは低減され、加工精度の低下は抑制される。
【００３９】
ところで、上述の端面修正工程の後にフランジ７４が取り外されてスピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａに再び装着されると、先端部７１１ａに対するフランジ７４の装着状態は変化される。そうすると、端面７４１ａと回転軸Ｏ１とのなす角度は９０°からずれ、再装着後の端面修正により端面７４１ａを大幅に研削しなくてはならないことがある。
【００４０】
このように端面修正の修正量が大きくなると、フランジ７４の寿命はそれだけ短くなってしまう。特に、フランジ７４の着脱頻度が高いと、端面修正の頻度も高くなるので、フランジ７４の寿命は著しく短くなってしまう。また、端面修正の頻度が高いと、端面修正の総時間も多くなり、切削装置１の実質的な稼働時間は短くなってしまう。
【００４１】
そこで、本実施の形態の装着方法では、端面修正工程の後のマーキング工程（ステップＳＴ３）で、スピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａにマーク（第１のマーク）７１１ｃを形成し、フランジ７４にマーク（第２のマーク）７４３を形成する。具体的には、互いの位置（向き、角度）を揃えるように、マーク７１１ｃ及びマーク７４３を形成する。これにより、後のフランジ再装着工程において、適切に端面修正されたフランジ装着工程の装着状態に近い装着状態を容易に再現できるようになる。なお、マーク７１１ｃ及びマーク７４３は、例えば、先端部７１１ａ及びフランジ７４に塗料を塗布することで形成できる。
【００４２】
フランジ７４が取り外された後のフランジ再装着工程（ステップＳＴ４）においては、マーク７１１ｃ及びマーク７４３の位置（向き、角度）を揃えるようにスピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａにフランジ７４を装着させる。これにより、適切に端面修正されたフランジ装着工程の装着状態に近い装着状態が再現されるので、再装着後の端面修正工程における端面７４１ａの修正量を最小限に留めることができる。
【００４３】
ここで、例えば、上述のように端面修正されたフランジ７４（図４Ｂ）を、図４Ｃに示すように、スピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａに対して回転軸Ｏ１の周りに１８０°回転させた状態で装着させる場合を考える。フランジ７４は、マーク７１１ｃ及びマーク７４３が揃うようにスピンドルシャフト７１１に装着された状態で端面７４１ａを修正されている。このため、図４Ｃのようにフランジ７４を装着させると、端面７４１ａと回転軸Ｏ１とのなす角度は９０°から大幅にずれて、再装着後の端面修正工程における端面７４１ａの修正量は極端に大きくなってしまう。
【００４４】
これに対して、本実施の形態の装着方法では、端面修正されたフランジ７４を、マーク７１１ｃ及びマーク７４３の位置を揃えるように再装着させるので、フランジ装着工程の装着状態に近い装着状態をフランジ再装着工程で実現できる。つまり、適切に端面修正された状態に近い装着状態が再現されるので、再装着後の端面修正工程における端面７４１ａの研削量を最小限に留めることができる。
【００４５】
このように、本実施の形態の装着方法によれば、端面７４１ａを修正されたフランジ７４は、スピンドルシャフト（スピンドル）７１１の先端部（テーパ部）７１１ａのマーク７１１ｃ及びフランジ７４のマーク７４３の位置を揃えた状態でスピンドルシャフトの先端部（テーパ部）に再装着されるので、適切に端面７４１ａを修正された状態に近い装着状態が再現されて、再装着後の端面７４１ａの修正量を最小限に留めることができる。その結果、フランジ７４の装着の度に端面７４１ａの修正を行っても、フランジ７４の寿命の低下を抑制できると共に、切削装置１の稼働時間を十分に確保可能になる。
【００４６】
なお、本実施の形態では、端面修正工程の後にマーク７１１ｃ及びマーク７４３を形成するマーキング工程を行っているが、このマーキング工程は、端面修正工程の前に行うようにしても良い。
【００４７】
（実施の形態２）
本実施の形態では、実施の形態１とは異なる装着方法について説明する。なお、本実施の形態の装着方法は、多くの点において実施の形態１の装着方法と共通している。このため、共通する点についての詳細な説明は省略する。図５は、本実施の形態の装着方法に用いられるブレードユニット７の構成を示す斜視図である。なお、図５において、図２と同じ構成には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。また、図５では、説明の便宜上、ブレードユニット７の構成の一部を省略して示している。
【００４８】
本実施の形態の装着方法では、図５に示すように、スピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａ及びフランジ７４に、あらかじめマーク（第１のマーク）７１１ｃ及びマーク（第２のマーク）７４３の形成されているブレードユニット７を用いる。なお、マーク７１１ｃ及びマーク７４３の形成される位置については特に限られない。例えば、マーク７４３は、フランジ７４の端面７４１ａ以外の目視可能な位置に形成されていれば良い。
【００４９】
本実施の形態の装着方法では、まず、フランジ装着工程において、マーク７１１ｃ及びマーク７４３の位置（向き、角度）を揃えるように先端部７１１ａにフランジ７４を装着させる。フランジ７４の装着後には、端面修正工程を行う。ただし、本実施の形態に用いるブレードユニット７において、マーク７１１ｃ及びマーク７４３は既に形成されているので、マーキング工程は行わない。
【００５０】
フランジ再装着工程では、マーク７１１ｃ及びマーク７４３の位置（向き、角度）を揃えるように先端部７１１ａにフランジ７４を再装着させる。つまり、スピンドルシャフト７１１の先端部７１１ａとフランジ７４との位置関係（向き、角度）をブレード装着工程と同じくした状態でフランジ７４を再装着させる。これにより、適切に端面７４１ａを修正された状態に近い装着状態が再現されて、再装着後の端面７４１ａの修正量を最小限に留めることができる。その結果、フランジ７４の装着の度に端面７４１ａの修正を行っても、フランジ７４の寿命の低下を抑制できると共に、切削装置１の稼働時間を十分に確保可能になる。
【００５１】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、マーキング工程において、互いの位置（向き、角度）を揃えるようにスピンドルシャフトの先端部及びフランジにマークを形成しているが、形成されるマークの位置関係は任意である。少なくとも、同様の装着状態を実現できるようにマークが形成されていれば良い。
【００５２】
また、マークの形状や数量、大きさ、具体的な形成位置などについても特に限定されない。例えば、円形、三角形、四角形、矢印等の各種図形をマークとして用いることができる。その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、端面の修正されたフランジをスピンドルから取り外して再装着する際に有用である。
【符号の説明】
【００５４】
１  切削装置
７  ブレードユニット
７１  スピンドルユニット
７２  切削ブレード
７３  モータ
７４  フランジ
７５  固定ナット
７５ａ  ネジ穴
７６  ネジ
７１１  スピンドルシャフト（スピンドル）
７１１ａ  先端部（テーパ部）
７１１ｂ  ネジ穴
７１１ｃ  マーク（第１のマーク）
７１２  スピンドルハウジング
７２１  基部
７２１ａ  係合孔
７２１ｂ  表面
７２２  砥石部
７４１  フランジ部
７４１ａ  端面
７４２  ボス部
７４２ａ  ネジ部
７４３  マーク（第２のマーク）
Ｃ  研削チップ
Ｏ１  回転軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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