(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下ガイド部の熱変位をワイヤ電極と工作物とを相対的に移動することで補正する上下部ガイドの熱変位補正機能を有するワイヤ放電加工機であって、
前記上下ガイド部の熱変位補正機能を有するワイヤ放電加工機は、
前記ワイヤ放電加工機の機械部の温度、加工液温度、および機械周囲の温度のうちの少なくとも一つを検出する温度検出手段と、
前記温度検出手段により得た温度情報を記憶する記憶手段と、
基準温度において、各駆動軸により前記ワイヤ電極を基準となる対象物に対して相対的に移動させて前記ワイヤ電極を接触させ、前記ワイヤ電極の位置を基準位置座標として前記基準温度と共に前記記憶手段に記憶する第１記憶実行手段と、
前記基準温度とは異なる温度において、前記各駆動軸により前記ワイヤ電極を基準となる対象物に対して相対的に移動させてワイヤ電極を接触させ、前記ワイヤ電極の位置を測定位置として前記基準温度とは異なる温度と共に前記記憶手段に記憶する第２記憶実行手段と、
前記基準位置座標と前記測定位置に基づいて上下ガイド部の測定結果に基づいた補正量を算出する測定結果に基づいた補正量算出手段と、
予め作成された補正量演算式を記憶し、前記補正量演算式に前記基準温度と前記基準温度とは異なる温度との温度差を代入することにより前記上下ガイド部の位置補正量を算出する補正量算出手段と、
前記上下ガイド部の測定結果に基づいた補正量と前記位置補正量とから補正量調整値を算出する補正量調整手段と、
前記算出された補正量調整値により前記位置補正量を補正する位置補正量調整手段と、
前記位置補正量調整手段により補正された、上下ガイド部の位置補正量に基づいて前記ワイヤ放電加工機の各駆動軸の補正移動量を算出する補正移動量算出手段と、
を備え、
前記各駆動軸の移動量を前記補正移動量により補正し該各駆動軸を制御することを特徴とする上下ガイド部の熱変位補正機能を有するワイヤ放電加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はワイヤ放電加工機に関し、特に、機械の熱変位によるワイヤ電極の位置変位（熱変位）を補正する機能を有するワイヤ放電加工機に関する。
【背景技術】
【０００２】
図５は従来のワイヤ放電加工機を示す概略図である。ワイヤ放電加工機は、ワイヤ電極１と工作物２９との間に、放電を発生させることで工作物２９の加工を行う機械である。工作物２９は加工槽６内で加工液に浸漬させた状態で、工作物取り付け台に載置された工作物２９を加工する。加工によって出た加工屑を含んだ加工液は加工槽６から図示省略した管路を経由して汚水槽２６に排出される。そして、汚水槽２６に回収された加工液はフィルタで加工屑を除去された後、清水槽２７に移される。清水槽２７には、加工液温度調整器２８が設置されている。この加工液温度調整器２８は管路３７を介して加工液を清水槽２７から汲み上げ加工液温度調整器２８を通すことによって清水槽２７に貯留された加工液の温度の調整を行う。温度を調整された加工液は図示しないポンプによって清水槽２７から汲み上げられ管路３５，３６を経由して再び加工槽６内に送り込まれる。
【０００３】
ワイヤ電極１と工作物２９との位置関係は、制御手段２４により各軸のモータを駆動させることで移動を行う。Ｘ軸駆動モータ１７はＸ軸サドル１１、Ｙ軸駆動モータ１８はＹ軸サドル１０を動かすことによって、ワイヤ電極１と工作物２９との相対的な位置決めを行う。Ｕ軸駆動モータ２０はＵ軸サドル１３、Ｖ軸駆動モータ２１はＶ軸サドル１４を動かすことによって、上ヘッド部７の位置を動かし、ワイヤ電極１の傾きの位置決めを行う。Ｚ軸駆動モータ１９は、上ヘッド部７の高さ位置の位置決めを行う。
【０００４】
このようにワイヤ電極１と工作物２９との位置決めは、複数の機械部の組み合わせにより行われている。各軸の位置制御に必要な各軸の位置座標は、各軸のモータに内蔵された位置検出器により検出を行っている。
【０００５】
ワイヤ放電加工機は機械が設置された温度環境、機構部の温度、あるいは加工液の温度が変化してしまうと機械に熱変形が生じる。この熱変形により加工を行うワイヤ電極の位置及び傾きが加工のために指令される位置および傾きから変位してしまう、熱変位という現象が起こる。ワイヤ電極の位置及び傾きが変位してしまうと、ワイヤ電極１と工作物２９との相対位置が変化するため、加工精度の低下が起きてしまうことが問題となっている。そのため、高精度な加工が要求される場合、熱変位が起きないように機械を恒温室などの温度管理をした環境に設置して加工を行う必要がある。
【０００６】
しかし、機械が設置されている環境の温度を管理するためには、温調設備を使用するなどの、多額の投資と運用コストがかかるため、実際には多くのユーザーが、採用できないというのが現状である。
【０００７】
工作機械における熱変位を対策する技術として、特許文献１や特許文献２などで開示される、機械各部に設置した温度検出器より検出した温度情報を基にして、熱変位に対する補正値を演算し、演算した補正値に従って各軸に駆動制御を与えることでワイヤ電極１と工作物２９との相対位置の変位を抑える、熱変位補正機能という技術がある。この技術を用いて、適切な補正値を与えることができれば温度が変化する環境下においてもワイヤ電極１と工作物２９との相対位置が変化することなく、加工精度の低下を抑えることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開昭６１−２９７０５７号公報
【特許文献２】特開平７−７５９３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、ワイヤ放電加工機の機械構成部分は複数の機械要素にて組み立てられており、使用される部材の種類も異なる。また、ワイヤ放電加工機械が設置される環境もユーザーによって様々なため、あらゆる温度環境にあった熱変位に対する補正値を設定することは困難である。温度環境や、ワイヤ放電加工機毎の機差によっては、設定した熱変位に対する補正値と実際の機械の熱変位とに差が生じ、適切な補正を与えられない場合が起こってくる。
【００１０】
この設定した補正値と実際の熱変位との差をユーザー側で調整し、ユーザーごとの温度環境に適した補正値を演算させるようにすることは、精密な測定器を用いた測定や、測定用のセンサを取り付けての測定、複雑な補正値演算プログラムの書き換えなどが必要となるため困難であった。
【００１１】
そこで本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、機械ごとの温度環境に適した熱変位に対する補正値の設定を容易に行うことが可能なワイヤ放電加工機を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本願の請求項１に係る発明は、上下ガイド部の熱変位をワイヤ電極と工作物とを相対的に移動することで補正する上下部ガイドの熱変位補正機能を有するワイヤ放電加工機であって、前記上下ガイド部の熱変位補正機能を有するワイヤ放電加工機は、前記ワイヤ放電加工機の機械部の温度、加工液温度、および機械周囲の温度のうちの少なくとも一つを検出する温度検出手段と、前記温度検出手段により得た温度情報を記憶する記憶手段と、基準温度において、各駆動軸により前記ワイヤ電極を基準となる対象物に対して相対的に移動させて前記ワイヤ電極を接触させ、前記ワイヤ電極の位置を基準位置座標として前記基準温度と共に前記記憶手段に記憶する第１記憶実行手段と、前記基準温度とは異なる温度において、前記各駆動軸により前記ワイヤ電極を基準となる対象物に対して相対的に移動させてワイヤ電極を接触させ、前記ワイヤ電極の位置を測定位置として前記基準温度とは異なる温度と共に前記記憶手段に記憶する第２記憶実行手段と、前記基準位置座標と前記測定位置に基づいて上下ガイド部の測定結果に基づいた補正量を算出する測定結果に基づいた補正量算出手段と、予め作成された補正量演算式を記憶し、前記補正量演算式に前記基準温度と前記基準温度とは異なる温度との温度差を代入することにより前記上下ガイド部の位置補正量を算出する補正量算出手段と、前記上下ガイド部の測定結果に基づいた補正量と前記位置補正量とから補正量調整値を算出する補正量調整手段と、前記算出された補正量調整値により前記位置補正量を補正する位置補正量調整手段と、前記位置補正量調整手段により補正された、上下ガイド部の位置補正量に基づいて前記ワイヤ放電加工機の各駆動軸の補正移動量を算出する補正移動量算出手段と、を備え、前記各駆動軸の移動量を前記補正移動量により補正し該各駆動軸を制御することを特徴とする上下ガイド部の熱変位補正機能を有するワイヤ放電加工機である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により、機械ごとの温度環境に適した熱変位に対する補正値の設定を容易に行うことが可能なワイヤ放電加工機を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明にかかる装置を備えた放電加工機を示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る処理を示すフローチャートである。
【図３】基準となる対象物を用いたワイヤ位置座標を検出する動作を説明する図である（上側の位置）。
【図４】基準となる対象物を用いたワイヤ位置座標を検出する動作を説明する図である（下側の位置）。
【図５】従来のワイヤカット放電加工機の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。なお、従来技術と同じまたは類似する構成は同じ符号を用いて説明する。  
図１は本発明に係るワイヤ放電加工機における熱変位補正値の調整を行う、実施形態を説明する概略図である。
【００１６】
加工液は加工槽６から図示しない配管を介して汚水槽２６に排出される。加工槽６から汚水槽２６に排出された加工液には放電加工によって生じた加工屑が含まれているため、図示しない濾過フィルタを通して清水槽２７に移される。清水槽２７には、加工液温度調整器２８が設置されており、清水槽２７の加工液は管路３７を介して加工液温度調整器２８を循環することで、加工液の温度調節はこの加工液温度調整器２８により行われる。そして、清水槽２７の加工液は管路３５，３６を介して再び加工槽６内に送り込まれる。なお、加工液を清水槽２７から加工槽６に送るポンプなどのポンプは図示していない。
【００１７】
ワイヤ電極１と基準となる対象物４との相対的な位置関係は、制御装置４０の制御手段２４により各軸のモータを駆動することで変わる。Ｙ軸駆動モータ信号線３１を介して制御手段２４によって制御されるＸ軸駆動モータ１７はＸ軸サドル１１を駆動し、Ｘ軸駆動モータ信号線３０を介して制御手段２４によって制御されるＹ軸駆動モータ１８はＹ軸サドル１０を駆動することによって、ワイヤ電極１と基準となる対象物４とのＸＹ方向の相対的な位置決めを行う。
【００１８】
Ｕ軸駆動モータ信号線３３を介して制御手段２４によって制御されるＵ軸駆動モータ２０はＵ軸サドル１３を駆動し、Ｖ軸駆動モータ信号線３４を介して制御手段２４によって制御されるＶ軸駆動モータ２１はＶ軸サドル１４を動かすことによって、上ヘッド部７のＵＶ方向の位置を動かし、ワイヤ電極１の傾きの位置決めを行う。
【００１９】
Ｚ軸駆動モータ信号線３２を介して制御手段２４によって制御されるＺ軸駆動モータ１９はＺ軸サドル１２に取り付けられた上ヘッド部７の高さ位置の位置決めを行う。ワイヤ電極１の位置決めは、各軸の駆動モータ１７，１８，１９，２０，２１に内蔵された、位置検出器により、位置検出しながら行う。
【００２０】
ワイヤ放電加工機の制御装置４０は、上ヘッド部７に取り付けられた上部ガイド２と下ヘッド部８に取り付けられた下部ガイド３との間に張架されたワイヤ電極１には、ワイヤ電極１と基準となる対象物４との間に接触を検知するための電圧を印加する。図１に示されるように工作物取り付台５上に基準となる対象物４を載置し、加工槽６内で加工液に浸漬させた状態で、ワイヤ放電加工機の各軸を駆動し、ワイヤ電極１と基準となる対象物４との接触検知による各軸位置の測定を行う。測定された各軸の位置のデータは制御装置４０の記憶手段２５に格納される。
【００２１】
ワイヤ放電加工機の機械部と加工液の温度検出を行うために、機械部温度検出器２２をベッド１６に、加工液温度検出器２３を加工液温度調整器２８内に設置し、各々の温度情報の検出を行う。各々の温度情報の検出を行う温度検出器の数に限定はない。本実施形態では２箇所であるがより多くの温度検出器、または、１つの温度検出器でも使用してもよい。また、温度検出器の設置箇所についても、機械設計者側で設置箇所を決定するものであり、温度検出器の設置箇所はベッド１６及び加工液温度調整器２８に限らない。加工液温度検出器２３，加工液温度調整器２８で検出されたベッド１６の温度と加工液温度の温度データは制御装置４０の記憶手段２５に格納される。
【００２２】
なお、検出対象についても、機械部品の温度、機械周辺の気温、加工液温度など温度検出が可能であればよく、機械温度と加工液温度に限られない。検出した温度情報は、記憶手段２５に送られる。基準となる対象物４は、工作物取り付台５に設置する。基準となる対象物４は通電可能な材質のものを使用する。
【００２３】
次に、図２に示す処理の手順に従って上記のように構成したワイヤ放電加工機における本発明の実施形態に係る動作の例を説明する。図３，図４は基準となる対象物を用いたワイヤ位置座標を検出する動作を説明する図である。工作物取り付台５に基準となる対象物４が固定されている。なお、図３，図４はワイヤ電極１のＹ方向の傾きを測定する場合を説明する図であり、図３は基準となる対象物を用いたワイヤ位置座標を検出する動作を説明する図であり（上側の位置）、図４は基準となる対象物を用いたワイヤ位置座標を検出する動作を説明する図である（下側の位置）。
【００２４】
Ｙ軸及びＶ軸または、Ｘ軸及びＵ軸の各軸モータ（１８，２１、１７，２０）を駆動させ、ワイヤ電極１を基準となる対象物４に接触させる。ワイヤ電極１と基準となる対象物４とが接触するとワイヤ電極１に通電させていた電流が基準となる対象物４に流れる。この電流の変化を検出することで、ワイヤ電極１と基準となる対象物４とが接触する各軸のワイヤ位置座標を検出する（ステップＳ１０１）。
【００２５】
ステップ１０１のワイヤ電極１と基準となる対象物４とが接触するワイヤ位置座標の検出について、Ｙ軸とＶ軸を例にして説明する。  
まず、測定開始位置のＹ軸とＶ軸の座標を（Ｙ００、Ｖ００）として記憶する。その後、図３（ａ）に示されるように、Ｕ軸を動かして上部ガイド２をＵ方向に動かし、上部ガイド２付近のワイヤ電極１だけが、基準となる対象物４に接触するように傾けた状態にする。その後、図３（ｂ）に示されるように、ワイヤ電極１を傾けた状態でＹ軸を駆動させてＹ方向に動かし、ワイヤ電極１と基準となる対象物４とを接触させる。
【００２６】
ワイヤ電極１は通電されており、ワイヤ電極１が、基準となる対象物４と接触すると電流が基準となる対象物４に通電されるため、この通電を検出することで、ワイヤ電極１と基準となる対象物４との接触を検出する。ワイヤ電極１と基準となる対象物４とが接触したＹ座標を上部ガイド２の位置座標Ｙ上として記憶する（制御装置４０の記憶手段２５）。
【００２７】
下部ガイド３の位置座標Ｙ下についても、図４（ａ），（ｂ）のようにワイヤ電極１を傾けた状態で、ワイヤ電極１と基準となる対象物４との接触を検出する。検出した位置座標Ｙ上と位置座標Ｙ下を用いて、ワイヤ電極１と基準となる対象物４とが接触するＹ軸とＶ軸のワイヤ位置座標データ（Ｙ０、Ｖ０）は、Ｙ０＝Ｙ下，Ｖ０＝Ｖ００＋Ｙ上−Ｙ下で算出される。
【００２８】
Ｘ軸、Ｕ軸についても、Ｙ軸、Ｖ軸と同様にしてワイヤ電極１を傾けながら、基準となる対象物４に接触させ、接触したＸ軸とＵ軸の測定位置座標（Ｘ０、Ｕ０）の測定を行う。
【００２９】
基準となる対象物４を用いて検出した（ステップＳ１０２）各軸のワイヤ位置座標データは、基準位置として記憶される（ステップＳ１０５）。基準位置を検出した際の温度情報は、各温度検出器（機械部温度検出器２２，加工液温度検出器２３）で検出され（ステップＳ１０３、Ｓ１０４）、基準温度として記憶装置に記憶される（ステップＳ１０６）。これにより、熱変位する前のワイヤ電極１の位置と傾きと温度情報である、基準位置と基準温度が関連付けて検出及び記憶される。
【００３０】
その後、基準温度から検出温度が変化したかを監視し（ステップＳ１０７）、基準温度から温度が変化し熱変位が起こっている状態で、再度、各軸を駆動させ（図３，図４参照）、ステップＳ１０１と同様にして、ワイヤ電極１と基準となる対象物４とが接触するＹ軸とＶ軸のワイヤ位置座標データ（Ｙ１、Ｖ１）、及びＸ軸とＶ軸のワイヤ位置座標データ（Ｘ１、Ｕ１）の検出を行う（ステップＳ１０８）。
【００３１】
基準温度から温度変化が起こっている状態で基準となる対象物を用いて検出（ステップＳ１０９）した各軸のワイヤ位置座標データは測定位置として記憶される（ステップＳ１１２）。測定位置を検出した際の、各温度検出器（機械部温度検出器２２，加工液温度検出器２３）で検出（ステップＳ１１０，ステップＳ１１１）した温度情報は、測定温度として記憶手段２５に記憶させる（ステップＳ１１３）。
【００３２】
制御装置４０の記憶手段２５から基準位置（ステップＳ１０５）と測定位置（ステップＳ１１２）を読み込む（ステップＳ１１４）。この基準位置と測定位置の差から熱変位による上部ガイド２の位置変位量と下部ガイド３の位置変位量（ステップＳ１１５）と測定結果に基づいた最適な補正量を算出する（ステップＳ１１６）。
【００３３】
また、制御装置４０の記憶手段２５から基準温度と測定温度を読み込み（ステップＳ１１７）、基準温度（ステップＳ１０６）と測定温度（ステップＳ１１３）との差分を温度変化量として算出する（ステップＳ１１８）。
【００３４】
製作者側で記憶装置内に記憶させている、補正量の演算式を用いて、測定した温度変化量の場合の補正量を演算し（ステップＳ１１９）、ステップＳ１１６で算出した、測定結果に基づく最適な補正量とステップＳ１１８で演算した記憶されている補正量演算式により演算した補正量とを比較し、補正量調整値を演算する（ステップＳ１２０）。補正量演算式をステップＳ１２０で演算した、補正量調整値を用いて補正量演算式を測定結果に基づいたものに調整設定を行う（ステップＳ１２１）。
【００３５】
ここで、ステップＳ１１４からステップ１２１の補正量の演算式調整設定について、Ｙ軸とＶ軸を例に説明する。  
基準位置を（Ｙ０、Ｖ０）、測定位置を（Ｙ１、Ｖ１）とすると、測定した上部ガイド２の位置変位量Ａ１と下部ガイド３の位置変位量Ａ２は、
Ａ１＝Ｙ０−Ｙ１＋Ｖ１−Ｖ０    （式１）
Ａ２＝Ｙ０−Ｙ１                （式２）
により算出される（ステップＳ１１５）。
【００３６】
これより、この位置変位量に基づいた最適な上部ガイド２の位置補正量Ｂ１と下部ガイド３の位置補正量Ｂ２は、
Ｂ１＝−Ａ１    （式３）
Ｂ２＝−Ａ２    （式４）
により算出される（ステップＳ１１６）。
【００３７】
機械部温度検出器２２と加工液温度検出器２３で検出された記憶手段２５に記憶された基準温度（Ｔ０１，Ｔ０２），測定温度（Ｔ１１，Ｔ１２）を読み込む（ステップＳ１１７）。
【００３８】
温度変化量（Ｔ２１，Ｔ２２）は、  
Ｔ２１＝Ｔ１１−Ｔ０１    （式５）
Ｔ２２＝Ｔ１２−Ｔ０２    （式６）
により算出される（ステップＳ１１８）。
【００３９】
ワイヤ放電加工機の製作者側で予め作成し記憶手段２５内に記憶させている上，下部ガイド位置の補正量演算式を、
例えば
Ｄ１＝Ｃ１Ｔ１＋Ｃ２Ｔ２    （式７）
Ｄ２＝Ｃ３Ｔ１＋Ｃ４Ｔ２    （式８）
と表される補正量演算式とする。
【００４０】
なお、Ｄ１は上部ガイド位置の補正量、Ｄ２は下部ガイド位置の補正量、Ｔ１は機械部温度検出器２２の温度変化量、Ｔ２は加工液温度検出器２３の温度変化量、Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４は任意の係数である。なお、補正量演算式は、製作者側で実験などにより基づいて決定するものであり、式７，式８は一例として示す。
【００４１】
（ステップＳ１１８）で算出した温度変化量（Ｔ２１，Ｔ２２）を補正量演算式（式１），（式２）に代入して上部ガイド２の補正量Ｅ１と下部ガイド３の補正量Ｅ２を演算すると、
Ｅ１＝Ｃ１Ｔ２１＋Ｃ２Ｔ２２    （式９）
Ｅ２＝Ｃ３Ｔ２１＋Ｃ４Ｔ２２    （式１０）
となる（ステップＳ１１９）。
【００４２】
（式３）および（式４）の補正量演算式により演算した上，下部ガイド２，３の位置の補正量Ｅ１とＥ２と、（ステップＳ１１６）で演算した実際に測定した結果に基づく最適な上部ガイド２の位置補正量Ｂ１と下部ガイド３の位置補正量Ｂ２とを比較し調整する補正量調整値Ｆ１、Ｆ２は、
Ｆ１＝Ｂ１／Ｅ１    （式１１）
Ｆ２＝Ｂ２／Ｅ２    （式１２）
により演算される（ステップＳ１２０）。  
（ステップＳ１２０）で演算した上部ガイド２と下部ガイド３の補正量調整値Ｆ１，Ｆ２を用いて、（式７），（式８）で演算される位置の補正量を測定結果に基づいた最適なものに書き換えると、
Ｄ１⇒Ｆ１Ｄ１    （式１３）
Ｄ２⇒Ｆ２Ｄ２    （式１４）
となり、
Ｖ軸とＹ軸における補正量Ｙ、Ｖの演算式は、
Ｙ＝Ｄ２          （式１５）
Ｖ＝Ｄ１−Ｄ２    （式１６）
であるため、測定結果に基づいてＹ軸とＶ軸における補正量Ｙ、Ｖの演算式は、
Ｙ＝Ｆ２Ｄ２    （式１７）
Ｖ＝Ｆ１Ｄ１−Ｆ２Ｄ２    （式１８）
となり、補正移動する際には、（式１７），（式１８）に従って補正するように調整設定する（ステップＳ１２１）。
【００４３】
これらの補正値調整設定を行うことにより、補正値の演算式は、測定した結果に基づく形に調整設定される。補正を行う移動の際には調整設定された補正量の演算Ｙ、Ｖに基づいて補正移動を行えるようになる。Ｘ軸、Ｕ軸についてもＹ軸、Ｖ軸と同様にして補正量演算の書き換えを行うことで、検出した結果に基づいた形に変換される。
【００４４】
実際に加工を行うワイヤ放電加工機の温度環境で、加工に使用するワイヤ電極１を直接用いて熱変位によるワイヤ電極１の位置及び傾きの変化量とその際の温度変化量の検出及び算出を行う。そして、それに基づいて熱変位に対する補正値の演算を行うため、よりそれぞれの条件に適した補正値に設定することが可能となる。
【００４５】
また、基準となる対象物４へワイヤ電極１を接触させることで各軸の位置座標を検出し、各温度検出器２２，２３から検出した温度情報の記憶を行っているため、熱変位に対する補正値演算は、制御装置４０の制御手段２４により自動で行われる。このため、人為的なミスも少なく、容易に補正値を設定できる。
【００４６】
位置検出方法も、実際に加工を行うワイヤ電極１を使用し、機械の軸移動によって位置検出を行っているため、補正値の調整を行うために測定器や検出センサ、検出子などを用意する必要もない。また、より加工時に近い条件での測定を可能としている。
【００４７】
また、上述の説明では、温度検出器２２を機械部の一要素であるベッド１６に設置し、温度検出器２３を加工液温度調整器２８に設置し、機械部と加工液の温度を用いたモデルとして説明した。他の機械部や他の位置における加工液の温度を検出した場合や、温度検出手段を増やした場合でも、同様の方法で調整を行うことができる。また、温度検出手段として温度検出器２２、あるいは、温度検出器２３のみを用い、検出された温度情報によるモデルにより上下部ガイドの熱変位補正を行ってもよい。温度検出器により機械が設置された環境温度を検出し、機械が設置された環境温度の情報によるモデルにより上下部ガイドの熱変位補正を行ってもよい。
【００４８】
ゆえに、本発明を用いることにより、機械ごとの温度環境に合った熱変位に対する補正値を演算でき、新たに測定器を用意することなく、容易に熱変位補正値の設定が可能となる。
【００４９】
なお、機械ごとの温度環境とは、機械部品の温度、機械周辺の気温、加工液温度などである。
【符号の説明】
【００５０】
１  ワイヤ電極
２  上部ガイド
３  下部ガイド
４  基準となる対象物
５  工作物取り付台
６  加工槽
７  上ヘッド部
８  下ヘッド部
９  下アーム
１０  Ｙ軸サドル
１１  Ｘ軸サドル
１２  Ｚ軸サドル
１３  Ｕ軸サドル
１４  Ｖ軸サドル
１５  コラム
１６  ベッド
１７  Ｘ軸駆動モータ
１８  Ｙ軸駆動モータ
１９  Ｚ軸駆動モータ
２０  Ｕ軸駆動モータ
２１  Ｖ軸駆動モータ
２２  機械部温度検出器
２３  加工液温度検出器
２４  制御手段
２５  記憶手段
２６  汚水槽
２７  清水槽
２８  加工液温度調整器
２９  工作物
３０  Ｘ軸駆動モータ信号線
３１  Ｙ軸駆動モータ信号線
３２  Ｚ軸駆動モータ信号線
３３  Ｕ軸駆動モータ信号線
３４  Ｖ軸駆動モータ信号線
３５  管路
３６  管路
３７  管路
４０  制御装置
【図２】
0005870143.tif 000002
【図１】
0005870143.tif 000003
【図３】
0005870143.tif 000004
【図４】
0005870143.tif 000005
【図５】
0005870143.tif 000006