(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、前記ポッド内に対して前記開口を介した前記被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ前記被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に取り付けられるロードポート装置であって、
前記ポッドを載置可能な載置台と、
前記載置台に載置された状態の前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記載置台を支持するベース部材と、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記取付け面から共に等しい距離に配置される一対の前方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記前方車輪を昇降可能とする第一の支持ユニットと、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記前方車輪よりも前記取付け面より遠い位置に配置される後方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記後方車輪を昇降可能とする第二の支持ユニットと、を有し、
前記第一の支持ユニットによる前記前方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作は、前記第二の支持ユニットによる前記後方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作とは独立して行うことが可能であり、
前記前方車輪及び前記後方車輪は上下の一軸方向に沿って移動されることを特徴とするロードポート装置。
【請求項２】
被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、前記ポッド内に対して前記開口を介した前記被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ前記被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に取り付けられるロードポート装置であって、
前記ポッドを載置可能な載置台と、
前記載置台に載置された状態の前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記載置台を支持するベース部材と、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記取付け面から共に等しい距離に配置される一対の前方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記前方車輪を昇降可能とする第一の支持ユニットと、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記前方車輪よりも前記取付け面より遠い位置に配置される後方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記後方車輪を昇降可能とする第二の支持ユニットと、を有し、
前記第一の支持ユニットによる前記前方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作は、前記第二の支持ユニットによる前記後方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作とは独立して行うことが可能であり、
前記前方車輪及び前記後方車輪は上下の一軸方向において位置調整可能であって、前記前方車輪の位置調整範囲は前記後方車輪の位置調整範囲よりも大きいことを特徴とするロードポート装置。
【請求項３】
被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、前記ポッド内に対して前記開口を介した前記被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ前記被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に取り付けられるロードポート装置であって、
前記ポッドを載置可能な載置台と、
前記載置台に載置された状態の前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記載置台を支持するベース部材と、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記取付け面から共に等しい距離に配置される一対の前方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記前方車輪を昇降可能とする第一の支持ユニットと、
前記取付け面に前記ロードポート装置を取付ける際に前記前方車輪よりも前記取付け面より遠い位置に配置される後方車輪により前記ベース部材を支持し、前記ベース部材に対して前記後方車輪を昇降可能とする第二の支持ユニットと、を有し、
前記第一の支持ユニットによる前記前方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作は、前記第二の支持ユニットによる前記後方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作とは独立して行うことが可能であり、
前記後方車輪は、前記後方車輪を支持する方向に延在する部分と前記取付け面から離れる方向に延在する部分とからなるＬ字型構造の後方車輪支持部の前記取付け面から離れた位置を介して前記ベース部材を支持することを特徴とするロードポート装置。
【請求項４】
前記第一の支持ユニットは、前記ベース部材に対して前記前方車輪を昇降させる第一の昇降手段と、前記第一の昇降手段とは独立して前記前方車輪が前記ベース部材を支持しない位置に前記前方車輪を移動させる移動手段と、有することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のロードポート装置。
【請求項５】
前記ベース部材は、前記取付け面に固定可能であって前記取付け面に平行に延在する接続プレートと、前記接続プレートに連結されて前記接続プレートの前記取付け面への固定時に前記取付け面より突出するように配置される板状体からなるメインベースと、からなり、
前記第一の支持ユニット及び前記第二の支持ユニットは前記メインベースへ直接取付けられることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のロードポート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる密閉型の搬送容器の内部に保持された被処理物であるウエハを半導体処理装置間で移載する、或いはウエハを該半導体処理装置より該ポッドに移載する際に用いられる所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システム、即ちロードポート装置に関する。より詳細には、半導体処理装置に対する取付け機構に特徴を有するロードポート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスは、近年では各種処理装置の内部、ウエハを収容して各処理装置間でのウエハ搬送を可能とするポッド、及び該ポッドより各処理装置への基板の受け渡しを行う微小空間、の３空間のみを高清浄状態に保つことで、プロセスを通じての清浄度の管理を行う手法が一般的となっている。このようなポッドは、ウエハを内部に収容し且つ一側面にウエハ挿脱用の開口を有する本体部と、該開口を閉鎖してポッド内部を密閉空間とする蓋と、から構成される。また、該微小空間は、前述したポッドの開口と対向可能な開口部と、該開口部と向かい合い半導体処理装置側に配置される第二の開口部と、を有する。
【０００３】
ロードポート装置は、この開口部が形成された隔壁となる部材即ちサイドベースと称呼される壁と、該開口部を閉鎖するドアと、該ドアの動作を司るドア駆動機構と、ポッドが載置される載置テーブルと、から構成される。ポッドが実際に載置される載置テーブル上の載置台は、ポッドの開口と開口部とを向かい合わせるようにポッドを支持可能であり、且つポッドと共に蓋をドアと近接或いは離間させる。ドアは、ポッドの蓋を保持可能であり、ドア駆動機構によって蓋を保持した状態で開口部と第二の開口部との間の空間より下方に退避させられる。微小空間内にはロボットが配置され、該ロボットは開口部−ポッド開口を介してポッド内部に対する侵入及び退避が可能であって、第二の開口部も介して該ポッド内部と該半導体処理装置との間でウエハの移載を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３６３５２３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ロードポート装置の半導体処理装置への取付け時において、ロードポート装置はある程度の高さまで持ち上げられた後、半導体処理装置の取付け面に対して位置合わせを行った上で取付けられる。ロードポート装置はある程度の重量を有することからこの様な位置合わせ作業は困難を伴うが、当該装置が設置される所謂クリーンルームの性格上、位置合わせ用の過大な装置を設置することは困難である。このため、例えば特許文献１に示されるように、ロードポート装置自体に搬送用の車輪と高さ調整用の機能を付加する構成が提案されている。
【０００６】
ここで、半導体製造工程においては、生産性の向上等を目的として、用いるウエハの大口径化が進められている。これに伴って、前述したポッド、微小空間、及び処理装置内部の空間各々も大型化されている。このため、ロードポート装置も大型化し、その重量も大きく増大せざるを得ない状況にある。この様な重量の増加は非常に大きく、単純な人力による位置合わせは不可能となる。また、特許文献１に示されるリフト装置で対応しようとした場合には、本体を持ち上げるための構成が大きくなりすぎ、リフト装置自体の重量が半導体処理装置の取付け面に対して過大な負荷を与えてしまうといった問題が生ずる可能性がある。
【０００７】
本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、大型化した半導体処理装置に対しても容易に位置決め且つ取付けが可能であり、且つ半導体処理装置の取付け面に対してもロードポート装置本体から受ける以上の過大な負荷を与えることの無いロードポート装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置は、被処理物を挿脱するための開口を有し被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、ポッド内に対して開口を介した被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に取り付けられるロードポート装置であって、ポッドが載置可能な載置台と、載置台に載置された状態のポッドの蓋を保持可能であって、取付け面に対して半導体処理装置の内部側から開口部の開閉を行うドアと、載置台を支持するベース部材と、取付け面にロードポート装置を取付ける際に取付け面から共に等しい距離に配置される一対の前方車輪によりベース部材を支持し、ベース部材に対して前方車輪を昇降可能とする第一の支持ユニットと、取付け面にロードポート装置を取付ける際に前方車輪よりも取付け面より遠い位置に配置される後方車輪によりベース部材を支持し、ベース部材に対して後方車輪を昇降可能とする第二の支持ユニットと、を有し、第一の支持ユニットによる前記前方車輪のベース部材に対する昇降の操作は、第二の支持ユニットによる後方車輪の前記ベース部材に対する昇降の操作とは独立して行うことが可能であることを特徴とする。
【０００９】
なお、前述したロードポート装置において、第一の支持ユニットは、ベース部材に対して前方車輪を昇降させる第一の昇降手段と、第一の昇降手段とは独立して前方車輪が前記ベース部材を支持しない位置に前方車輪を移動させる移動手段と、有することが好ましい。また、ベース部材は、取付け面に固定可能であって取付け面に平行に延在する接続プレートと、接続プレートに連結されて接続プレートの取付け面への固定時に取付け面より突出するように配置される板状体からなるメインベースと、からなり、第一の支持ユニット及び第二の支持ユニットはメインベースへ直接取付けられることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、より大型化した半導体処理装置に対応して重量が大幅に増加したロードポート装置であっても、容易且つ正確に半導体処理装置に対して取り付けることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置を側面から見た状態の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示すロードポート装置を載置台側から見た状態と、該ロードポート装置が取付けられる取付け面との位置関係とを模式的に示す図である。
【図３】図１に示すロードポート装置にあって、特徴部分を図１と同様の様式で拡大してこれを示す図である。
【図４】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の下部での固定様式を、図２と同様の様式にて拡大して模式的に示す図である。
【図５】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の一工程を示す図である。
【図６】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の一工程について、固定側支持部を拡大して示す図である。
【図７】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の一工程について、固定側支持部を拡大して示す図である。
【図８Ａ】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の一工程を示す図である。
【図８Ｂ】図８Ａに示す工程について、固定側支持部を拡大して示す図である。
【図９Ａ】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の一工程を示す図である。
【図９Ｂ】図９Ａに示す状態において、後方車輪が配置される位置から固定支持部を見た状態を模式的に示す図である。
【図１０Ａ】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定した後の状態を示す図である。
【図１０Ｂ】図１０Ａに示す状態において、前方車輪が配置される位置から固定支持部を見た状態を模式的に示す図である。
【図１１Ａ】本発明の第二の実施形態に係るロードポート装置の特徴部分について、固定側支持部５１上に被支持部材１１２ａを当接させた状態を、図１と同様の様式にてこれを拡大して示す図である。
【図１１Ｂ】図１１Ａに示すロードポート装置における前方車輪を同図中の断面１１Ｂ−１１Ｂより見た状態を示す図である。
【図１２】図１１Ａに示すロードポート装置において、前方車輪１６１を退避させる操作に移った状態を図１１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図１３】図１１Ａに示すロードポート装置において、前方車輪１６１の上方への退避が終了した状態を図１１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図１４Ａ】本発明の第三の実施形態に係るロードポート装置の特徴部分について、固定側支持部５１上に被支持部材１１２ａを当接させた状態を、図１と同様の様式にてこれを拡大して示す図である。
【図１４Ｂ】図１４Ａに示すロードポート装置における前方車輪を図１４Ａ中の断面１４Ｂ−１４Ｂより見た状態を示す図である。
【図１５Ａ】図１４Ａに示すロードポート装置において、前方車輪１６１を退避させる操作に移った状態を図１４Ａと同様の様式にて示す図である。
【図１５Ｂ】図１５Ａに示すロードポート装置における前方車輪を図１４Ａ中の断面１４Ｂ−１４Ｂと同じ断面より見た状態を示す図である。
【図１６Ａ】図１４Ａに示すロードポート装置において、前方車輪１６１の上方への退避が終了した状態を図１４Ａと同様の様式にて示す図である。
【図１６Ｂ】図１６Ａに示すロードポート装置における前方車輪を図１４Ａ中の断面１４Ｂ−１４Ｂと同じ断面より見た状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置１００を側方から見た状態を図１に示す。なお、同図中には、該ロードポート装置１００が取付けられる半導体処理装置側の取付け面５０も同時に図示している。取付け面５０にはロードポート装置１００を支持する固定側支持部５１、該固定側支持部に設けられた位置調整手段５３、及び固定側固定部５５が設置されている。固定側支持部５１は、取付け面５０の下端両隅に各々一個配置されて当該ロードポート装置１００を主として支持する。また、位置調整手段５３は例えば公知のボルトナット等から成り、後述する接続プレート１１１を介してロードポート装置１００の取付け面５０に対する取付け位置の調整を可能としている。固定側固定部５５は固定側支持部５１の配置に対応して各々の上方において水平方向で一対となるように配置され、ロードポート装置１００の高さ方向の中央近傍に一対、及び上端に一対配置される。これら固定側固定部５５により、取付け面５０に対するロードポート装置１１１の固定が為される。
【００１３】
図に示すロードポート装置１００は、接続プレート１１１、メインベース１１３、載置台１１５、ドア１１７、開口部カバー部材１２１、ロードポート移動機構１５０及び不図示のドア駆動機構を有する。接続プレート１１１は前述した固定側固定部５５及び固定側支持部５１各々に対応して配置され、これらの水平方向の対に対面するように取付け面５０に対して平行且つ各々も平行に延在するように配置される板状の部材より構成される。本発明に係るロードポート装置は、ウエハが挿脱される開口を有して該ウエハが収容されるポッド（不図示）に対し、その蓋を開閉して該開口を介してポッドへのウエハの挿脱の実施を可能とする。なお、ウエハは本発明における被処理物に対応する。載置台１１５上にはこのポッドが載置される。また、ドア１１７は、載置台１１５上に載置されたポッドの蓋を保持可能であって、動作時においては取付け面５０に対して半導体処理装置の内部側から後述する第一の開口部１２３の開閉を行う。
【００１４】
メインベース１１３は一対として用いられ、各々が個々の接続プレート１１１に対して接続されており、接続プレート１１１を介して取り付け面５０に対して垂直に並立するように配置される。また、メインベース１１３は、載置台１１５の下方に配置されて、該載置台１１５及び該載置台１１５に付随してこれに載置されたポッドを駆動する不図示のポッド駆動機構を支持する。また、本形態において、メインベース１１３は、不図示のドア駆動機構を介してドア１１７を支持する。開口部カバー部材１２１は、取付け面５０に設けられた半導体処理装置側の取付け面側開口部５７を閉鎖して、外部空間から半導体処理装置内にいたる経路を、ドア１１７により開閉可能な第一の開口部１２３に制限している。当該開口部カバー１２１も、メインベース１１３に対して固定されている。
【００１５】
ロードポート装置１００の下端に配置される接続プレート１１１について、当該接続プレート１１１が固定側支持部材５１に支持された状態を図４に拡大して示す。該接続プレート１１１には、固定側支持部５１と当接可能なローラ状の被支持部材１１２ａが配置され、当該被支持部材１１２ａが固定側支持部５１により支持されることでロードポート装置１００自体の支持が為される。また、当該接続プレート１１１には、その両端に配置される被支持部材１１２ａの内側に締結固定手段１１２ｂが配置され、取付け面５０側に配置される締結部５９に対して当該締結手段１１２ｂが固定される。これら締結部５９及び締結手段１１２ｂによって、取付け面５０の下端に対するロードポート装置１００の固定が行われる。これらロードポート装置１００側の被支持部材１１２ａ等と取付け面５０側の締結部５９等との対応関係を参考のために、図２中において矢印にて示す。
【００１６】
次にロードポート移動機構１５０について詳述する。図３は図１に示したロードポート装置１００におけるロードポート移動機構１５０を拡大して示している。ロードポート移動機構１５０は、取付け面５０側に配置される第一の支持ユニット１６０と、該第一の支持ユニット１６０よりも取付け面５０よりも離れて配置される第二の支持ユニット１８０とを有する。なお、本実施形態では、第一の支持ユニット１６０及び第二の支持ユニット１８０は、共に向かい合って配置される一対のメインベース１１３各々の外側面下端に１つずつ配置される。第一の支持ユニット１６０は、前方車輪１６１、前方車輪支持部１６３、前方車輪調整ボルト１６５、支持部固定ボルト１６６、支持スライダ１６７、及び支持スライダ固定治具１６９を有する。ロードポート装置１００が取付け面５０に取付けられる際に、一対の前方車輪１６１は共に取付け面５０から等しい距離に位置するように配されている。
【００１７】
メインベース１１３は下端より上方向に延在するガイド溝１１３ａを有し、支持スライダ１６７が該ガイド溝１１３ａに対して上下方向にスライド可能に収容される。本実施形態において、スライダ固定治具１６９はボルトからなる。支持スライダ１６７に設けられた上下方向に延在する長孔１６７ａを介して、メインベース１１３のガイド溝１１３ａ内に設けられたネジ孔１６９ａと該スライダ固定治具（本形態ではボルト）１６９との締結等より、支持スライダ１６７とメインベース１１３との位置関係を調整し且つ固定する。前方車輪１６１は、前方車輪支持部１６３によって動作可能に支持される。該前方車輪支持部１６３は支持スライダ１６７により支持されており、前方車輪調整ボルト１６５によって支持スライダ１６７との位置関係、特にガイド溝１１３ａの延在方向に関して位置関係の調整が可能とされており、支持部固定ボルト１６６と支持スライダ１６７に設けられたネジ孔との締結により支持スライダ１６７に対して固定される。
【００１８】
第二の支持ユニット１８０は、後方車輪１８１、後方車輪支持部１８３、及び後方車輪調整ボルト１８５、支持部固定ボルト１８７を有する。後方車輪１８１は、後方車輪支持部１８３によって動作可能に支持される。該後方車輪支持部１８３はメインベース１１３により支持されており、後方車輪調整ボルト１８５によってメインベース１１３との位置関係、特にメインベース１１３のガイド溝１１３ａの延在方向に関して位置関係の調整が可能とされている。支持部固定ボルト１８７は後方車輪支持部１８３に設けられた上下方向に延在する長孔１８７ａを介してメインベース１１３のガイド溝１１３ａ内に設けられたネジ孔１１３ｂと締結する。なお、後方車輪１８１の配置は、取付け面５０にロードポート装置１００を取付ける際に、前述した前方車輪１６１に対して取り付け面５０よりも遠い位置とされる。本実施形態では、第一の支持ユニット１６０における前方車輪１６１の位置調整範囲は、位置調整可能な支持スライダ１６７を介してメインベース１１３による支持を為す態様とすることにより、第二の支持ユニット１８０における後方車輪１８１の位置調整範囲よりも大きく設定されている。
【００１９】
なお、これら支持ユニット１６０、１８０における車輪の位置調整機構は、本形態では公知の所謂ボルトナット、及び長孔を組み合わせることにより構成している。しかし、本発明は当該形態に限定されず、上述した調整範囲の相違を確保し且つ取付け面５０に対してロードポート装置１００の的確な位置決めが可能であれば、その他の種々の構成からなる位置決め機構を用いることが可能である。また、ロードポート装置１００が搬送される床１０との位置関係を調整し、且つその調整範囲が床との距離において上述の条件を満たせば、各々の車輪調整ボルト１６５、１８５及び支持スライダ１６７による個々の車輪１６１、１８１の調整方向は上述したガイド溝１１３ａの延在方向に限定されない。
【００２０】
次に、当該ロードポート装置１００の実際の取付け面５０への取付け手順について説明する。図５、８Ａ、９Ａ及び１０Ａは、図１と同様の様式にて、取付け前の段階での取付け面５０及び第一の実施形態に係るロードポート装置１００を夫々示している。取付け前の段階では、前方車輪１６１及び後方車輪１８１が回転可能に床１０に当接しており、ロードポート装置１００自体を移動可能としている。また、前方車輪調整ボルト１６５、支持スライダ１６７、及びスライダ固定治具１６９、及び後方車輪調整ボルト１８５により、被支持部材１１２ａが固定側支持部５１よりも高いい位置に存在するようにメインベース１１３の床からの位置が調整されている。この状態でロードポート装置１００の開口部カバー部材１２１が取付け面側開口部５７を閉鎖するように、ロードポート装置１００を取付け面５０に接近させる。この接近操作は、各接続プレート１１１は図中矢印にて示されるように、設けられた貫通孔に対応する固定側固定部５５が挿貫し、且つ対応した固定側支持部５１の真上に被支持部材１１２ａが位置するところで停止される。その際の固定側支持部５１と被支持部材１１２ａとの位置関係の変化について、図５において円にて囲った領域を拡大して時系列的に図６及び図７に示す。
【００２１】
開口部カバー部材１２１と取付け面５０との間隔が所定の距離以下となった図７に示す状態となった段階で、ロードポート装置１００の移動を停止する。次いで、図８Ａに示すように、前方車輪調整ボルト１６５及び後方車輪調整ボルト１８５を調整して、メインベース１１３を床１０方向に降下させる。この操作により、被支持部材１１２ａが固定側支持部５１に当接し、メインベース１１３の降下が停止される。この当接状態を、図６或いは７と同様の様式にて図８Ｂに示す。続いて、固定側固定部５５に対する接続プレート１１１の仮固定、及び締結部５９に対する締結手段１１２ｂの仮固定を行う。その際、一対の前方車輪１６１は両者共に床１０に接しており、当該前方車輪１６１によってもメインベース１１３は床１０より支持されている（図９Ａ及び９Ｂ参照）。なお、図９Ｂ及び後述する図１０Ｂは、後方車輪１８１が配置される位置から前方車輪１６１或いは固定側支持部５１を見た状態を模式的に示す図である。
【００２２】
仮固定によりロードポート装置１００の取付け面５０からの離間が防止できた後、第一の支持ユニット１６０によるメインベース１１３の支持を停止する。即ち、支持スライダ１６７及びスライダ固定治具１６９を用いて前方車輪１６１を大きく上昇させ、該先方車輪１６１が床１０と設置する余地を無くす。この状態を図１０Ｂ及び１０Ｂに示す。また、後方車輪１８１も後方車輪調整ボルト１８５の操作によって床１０より離間させても良い。次いで、位置調整機構５３を調整することにより取付け面５０に対するメインベース１１３、載置台１１５等の配置の微調整を行う。また、仮固定していた接続プレート１１１等の固定具合を調節して、取付け面５０に対するメインベース１１３、開口部カバー１２１等の傾き等の微調整を行い、その上でロードポート装置１００を取付け面５０へ正式に固定する。以上の操作を行うことにより、ロードポート装置１００を持ち上げる等を為す特別の装置等を用いなくとも、重量の大きなロードポート装置１００を取付け面５０に対して容易且つ好適に固定することが可能となる。
【００２３】
また、本発明の如く、前方車輪１６１を単独にて昇降可能としていることから、後方車輪１８１にて部分的にロードポート装置１００の重量を担わせた状態で取付け面５０への接続プレート１１１の位置調整を行うことが容易である。このことから、ロードポート装置１００の取付け姿勢の調整が容易となる。更に、前方車輪１６１と後方車輪１８１とを独立して昇降可能であることから、何れか一方を床１０から僅かに離す等によって取付け面５０に対するロードポート装置１００の傾きも調整可能である。従って、例えば取付け面５０側に傾けて取付け操作を行うことによってより安全に取付け操作を行うことも可能となる。また、前方車輪１６１の床１０からの離間操作を、微少量の昇降を行う前方車輪調整ボルト１６５と及び支持固定ボルト１６６と、相対的に長い長さの昇降を行う支持スライダ１６７及びスライダ固定治具１６９と、により行う態様としている。これにより、メインベース１１３と床１０との微小な位置調整と、前方車輪１６１の床１０との当接可能性のない位置への迅速な移動と、の両立が可能となる。
【００２４】
なお、ロードポート装置１００の固定後、第二の支持ユニット１８０は後方車輪１８１を降下させて床１０と当接させておくことが好ましい。例えば、何らかの原因によって中段及び上段の接続プレート１１１の固定が解除された場合であっても、当該後方車輪１８１が設置していることにより、ロードポート装置１００が取付け面５０から離れて倒れることを防止することが出来る。この場合、この倒れ防止効果を好適に得るために、図示の如く後方車輪支持部１８３をＬ字型の構造とし、メインベース１１３の接続プレート１１１との連結側端面とは逆の端面より、後方車輪１８１がその外方に突き出すように配置されることが好ましい。また、本実施形態では第二の支持ユニットを一対配置する構成を例示しているが、これを単体として用いても良い。この場合、当該後方車輪１８１は一対のメインベース１１３が向かい合う中間点に配置される等、前方車輪１６１と協同してロードポート装置１００を安定的に支持できる位置に配置されれば良い。
【００２５】
また、本実施形態では、接続プレート１１１の取付け面５０への固定は、所謂ボルト-ナット様式により固定することとしている。しかし、本発明は当該様式に限定されるものではなく、より好適には位置調整が可能な公知の種々の締結、固定構造を用いることが可能である。また、本実施形態では、ロードポート装置１００は、接続プレート１１１を介して位置決めされた各々板状の一対のメインベース１１３によって載置台１１５、ドア１１７等が支持される構造とすることによって、軽量化が図られた構造を例示している。しかし、従来から公知の、取付け面５０に対して平行に配置される板状態をベースプレートとし、種々の構成を当該ベースプレートによって支持する態様からなるロードポート装置に対しても本発明を適用することは可能である。この場合、ベースプレートより本発明におけるメインベース１１３に対応する構造体を付加し、該構造体に対して第一の支持ユニット１６０及び第二の支持ユニット１８０を配置すれば良い。
【００２６】
従って、第一の支持ユニット１６０及び第二の支持ユニット１８０が取付けられる部材は、本形態における接続プレート１１１及びメインベース１１３を含む構造体として、即ち取付け面５０に直接的に取付けられ且つこれら支持ユニットにより支持されるベース部材として総称される。本実施形態の場合は、取付け面５０に固定可能であって取付け面５０に平行に延在する接続プレート１１１と、接続プレート１１１に連結されて接続プレート１１１の取付け面５０への固定時に取付け面５０より突出するように配置される板状体からなるメインベース１１３と、からベース部材が構成されると言える。なお、本形態の如くメインベース１１３に対してこれら支持ユニット１６０、１８０を直接配する構成とすることにより、各々の車輪１６１、１８１がロードポート装置１００より荷重を受ける際の剛性を確保することを可能としている。
【００２７】
次に、第一の支持ユニット１６０の形態の更なる態様を用いた本発明の第二の実施形態について述べる。図１１Ａ、図１２及び１３は本発明の第二の実施形態について図３と同様の様式にこれを示し、各図は固定側支持部５１上に被支持部材１１２ａを当接させた段階、前方車輪１６１の退避操作に移った段階、前方車輪１６１の上方への退避が終了した段階、を各々示している。なお、第一の実施形態で説明した構成と同じ構成に関しては同一の参照番号にてこれを示すこととしてここでの説明は省略する。また、図１１Ｂは、図１１Ａに示した第一の支持ユニット２６０を断面１１Ｂ−１１Ｂ側から見た状態を示している。
【００２８】
本実施形態では、第一の支持ユニット２６０は、前方車輪１６１、前方車輪支持部１６３、前方車輪調整ボルト１６５、回動プレート２６７、回動プレート固定ボルト２６８、及び回動プレート固定治具２６９を有する。なお、本形態では、回動プレート固定治具２６９には、ローレットハンドル２６９ａが付随したネジ部２６９ｂが設けられた固定用ネジと、該固定用ネジの動作に適当な負荷を与える圧縮バネ２６９ｃと、からなる構成を例示する。メインベース１１３には、回動プレート固定ボルト２６８に対応したネジ孔２６８ａ、２６８ｂと該ネジ部２６９ｂに対応したネジ孔１１３ｂが設けられる。回動プレート２６７は延在方向における床１０とは離れた側の端部において前方車輪調整ボルト１６５の下端と当接しており、当該前方車輪調整ボルト１６５によって床１０との距離の微調整が行われる。また、該延在方向に伸びる回動プレート内長孔２６７ａに回動プレート固定治具２６９のローレットネジ部２６９ｂが挿貫され、ローレットハンドル２６９ａの回動によって圧縮バネ２６９ｃを介して該ローレットハンドル２６９ａによって回動プレート２６７はメインベース１１３に対する押し付け固定が為される。回動プレート２６７の延在方向の位置の微調整は、該回動プレート内長孔２６７ａによってガイドされる。また、回動プレート固定ボルト２６８とネジ孔２６８ａとが得地渇されて回動プレート２６７の固定がより強く為される。
【００２９】
回動プレート２６７は、前方車輪１６１の使用時の状態で、延在方向における床１０側の端部近傍に該延在方向に並んで配置されるネジ孔を有する。前方車輪支持部１６３は、このネジ孔各々に対応し且つ該ネジ孔の並び方向とは異なる、本形態では直交する方向に延在する前方車輪支持部内長孔１６３ａを有する。該前方車輪支持部内長孔１６３ａに挿貫されて回動プレートのネジ孔に締結されたネジ１６４を緩めることにより、前方車輪１６１の該前方車輪支持部内の長孔１６３ａに沿った移動が可能となる。当該前方車輪１６１の移動は、可動プレート２６７の延在方向とは直交する方向での前方車輪１６１の突き出し量を変化させることに対応する。実際のロードポート装置２００の取付け面５０に対する取付け操作時の前段階及び図１１Ａに示す段階において、前方車輪１６１は可動プレート２６７の延在方向とは直交する方向において回動プレート２６７から最も突き出した状態にある。当該状態とすることにより、前方車輪１６１と後方車輪１８１の回転中心の間隔を広くすることが可能となり、ロードポート装置２００の移動時の安定性を増すことが可能となる。
【００３０】
次にこの第二の実施形態に係るロードポート装置２００において、該ロードポート装置２００を取付け面５０に取付けた後に行われる第一の支持ユニット２６０の退避動作について説明する。図１２及び図１３は、前述したように、この退避動作における各段階を示す。被支持部材１１２ａが固定側支持部５１上に乗り、取付け面５０に対するロードポート装置２００の仮固定が終わった段階で、前方車輪支持部１６３を固定する回動プレート固定ボルト２６８を取り外す。次に、図１２に示す状態となるように、前方車輪１６１を前方車輪支持部内長孔１６３ａの延在方向に沿って移動させ、前方車輪支持部１６３の回動プレート２６７からの突き出し量を最小とし、その位置で前方車輪１６１を固定する。更にローレットハンドル２６９ａを回転させて回動プレート２６７を回動可能とし、ローレットネジ部２６９ｂを中心に該回動プレート２６７を角度α、本形態では９０度回転させ、当該位置でローレットハンドル２６９ａを締めて且つ回動プレート固定ボルト２６８とネジ孔２６８ｂとを締結して該回動プレート２６７を固定する。以上の操作によって、第一の支持ユニット２６０は、ロードポート装置２００の支持状態より完全に解放される。
【００３１】
本形態では、第一の実施形態と比較して第一の支持ユニット２６０の構造がやや複雑となるが、メインベース１１３に対する加工がごく僅かで済むというメリットがある。また、メインベース１１３に対する掘り込み加工が不要となることからメインベース１１３を薄くできる可能性もあり、ロードポート装置２００の軽量化の観点で有用と考えられる。なお、本形態では回動プレート固定治具２６９としてローレットハンドル２６９ａを有した構造体を例示した。しかし、前方車輪支持部１６３を回動可能に支持する回動プレート２６７を回転-非回転の何れかの状態とすることが可能な固定治具或いは固定方法を提示する構成であれば、種々の構成をこれに用いることが可能である。
【００３２】
次に、第一の支持ユニット１６０の形態の更なる態様を用いた本発明の第三の実施形態について述べる。図１４Ａ、図１５Ａ及び図１６Ａは本発明の第三の実施形態について図３と同様の様式にこれを示し、各図は固定側支持部５１上に被支持部材１１２ａを当接させた段階、前方車輪１６１の退避操作に移った段階、前方車輪１６１の上方への退避が終了した段階、を各々示している。なお、第一の実施形態で説明した構成と同じ構成に関しては同一の参照番号にてこれを示すこととしてここでの説明は省略する。また、図１４Ｂ、図１５Ｂ及び図１６Ｂは、図１１Ｂと同じ様式にて断面１４Ｂ−１４Ｂから図１４Ａ、図１５Ａ及び図１６Ａに示した第一の支持ユニット１６０を見た状態を示している。
【００３３】
本実施形態では、第一の支持ユニット３６０は、前方車輪１６１、前方車輪支持部１６３、前方車輪調整ボルト１６５、被調整部３６７、支持部回動軸３６９及ぶ吸着手段３７１を有する。なお、本形態では、吸着手段３７１には、磁石よりなる吸着部３７１ａと、該吸着部３７１ａの磁力により保持される磁性体からなる被吸着部３７１ｂと、からなる構成を例示する。被調整部３６７は、床１０と前方車輪調整ボルト１６５の下端と当接する部分と結ぶ方向に延在する被調整部内長孔３６７ａを有する。被調整部３６７は該被調整部内の長孔３６７ａを貫通するネジ３６８によりメインベース１１３に対して、当該被調整部内長孔３６７ａの延在方向に対して摺動可能に固定される。これにより前方車輪調整ボルト１６５によって被調整部３６７と床１０との距離の微調整が行われる。また、被調整部３６７は、メインベース１１３及び床１０に平行に延在する支持部回動軸３６９を支持する。支持部回動軸３６９は前方車輪支持部１６３を当該支持部回動軸３６９回りに回動可能に支持する。
【００３４】
なお、前方車輪１６１が床１０に当接した状態にあるとき、支持部回動軸３６９とメインベース１１３との距離が前方車輪支持部１６３の重心位置とメインベース１１３との距離より遠くなるように、支持部回動軸３６９の位置が設定される。即ち、前方車輪支持部１６３の回転支点が前方車輪１６１よりもメインベース１１３に対して外側に配置されることとなり、ロードポート装置３００の重量が前方車輪１６１に作用する状態でも、前方車輪１６１が外側に開くような荷重がかからないようになっている。本構成では、前方車輪１６１が前方車輪調整ボルト１６５のみの操作によって床１０と当接し得る機能位置から退避する場合、前方車輪支持部１６３を支持部回動軸３６９回りに回転させ、前方車輪支持部１６３に固定された被吸着部３７１ｂをメインベース１１３に固定された吸着部３７１ａに吸着させることとしている。
【００３５】
次にこの第三の実施形態に係るロードポート装置３００において、該ロードポート装置３００を取付け面５０に取付けた後に行われる第一の支持ユニット３６０の退避動作について説明する。図１５Ａ及び図１６Ａは、前述したように、この退避動作における各段階を示す。被支持部材１１２ａが固定側支持部５１上に乗り、取付け面５０に対するロードポート装置３００の仮固定が終わった段階で、被調整部３６７を固定するネジ３６８を緩める。次に、図１５Ａ或いは１５Ｂに示す状態となるように、被調整部３６７を被調整部内長孔３６７ａの延在方向に沿って移動させ、前方車輪１６１を床１０より離間させ、その位置で前方車輪１６１が停止するように被調整部３６７を固定する。更に前方車輪支持部１６３を支持部回動軸３６９周りに回転させて、被吸着部３７１ｂを吸着部３７１ａにより吸着保持させる。以上の操作によって、第一の支持ユニット３６０は、ロードポート装置３００の支持状態より完全に解放される。
【００３６】
本形態では、第一或いは第二の実施形態と比較して第一の支持ユニット３６０の構造がやや複雑となり、第二の実施形態と比較して吸着手段３７１の十分な吸着力を以下に確保するかの点で製造コストを考慮することを要する。しかし、第一の実施形態に対してはメインベース１１３に対する加工がごく僅かで済むというメリットがあり、この点に関して第二の実施形態と同様のメリットを第一の実施形態に対して有する。また、第二の実施形態に対しては荷重の付加方向に沿った駆動を行う部分を削減できる点で、より重量の大きなロードポート装置３００に対しても対応可能となるメリットが考えられる。なお、本形態では磁石と磁性体とからなる吸着手段３１７を例示した。しかし、前方車輪支持部１６３を保持することが可能な固定治具或いは固定方法を提示する構成であれば、種々の構成をこれに用いることが可能である。
【００３７】
以上述べたように、第一の支持ユニット１６０、２６０、３６０は、ベース部材を支持すると共に該ベース部材に対して前方車輪１６１を昇降可能にとし、第二の支持ユニット１８０も、ベース部材を支持すると共に該ベース部材に対して後方車輪１８１を昇降可能にとしている。第二の支持ユニット１８０における後方車輪１８１の昇降は、後方車輪調整ボルト１８５により行われる。また、第二の支持ユニット１６０において、前方車輪１６１の床１０との距離を微調整する昇降に関しては前方車輪調整ボルト１６５により行われる。これら第一の支持ユニット１６０による前方車輪１６１の昇降と、第二の支持ユニット１８０による後方車輪１８１の昇降とは、各々独立して行われる。
【００３８】
また、本発明においては昇降の一態様として述べられる前方車輪調整ボルト１６５による昇降の範囲を超えた、上記実施形態で機能位置からの退避として述べた、ベース部材を支持しない位置への移動は、支持スライダ１６７及びスライダ固定治具１６９、回動プレート２６７、回動プレート固定ボルト２６８及び回動プレート固定治具２６９、及び、支持部回動軸３６９及び吸着手段３７１、より構成される移動手段によって行われる。以上に述べた第一の支持ユニット１６０、２６０、３６０、及び第二の支持手段１８０を有するロードポート装置１００、２００、３００とすることにより、より大型化した半導体処理装置に対応して重量が大幅に増加したロードポート装置であっても、容易且つ正確に半導体処理装置に対して取り付けることが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
以上述べたように、本発明は半導体処理装置に対して好適に用いるロードポート装置に関している。しかしながら、本発明の利用可能性は当該処理装置に限定されず、例えば液晶ディスプレイのパネルを扱う処理装置等、半導体に準じた各種処理が行われる種々の処理装置に用いられる所謂ロードポート装置に対しても適用可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１０：床、  ５０：取付け面、  ５１：固定側支持部、  ５３：位置調整手段、  ５５：固定側固定部、  ５７：取付け面側開口部、  ５９：締結部、  １００、２００、３００：ロードポート装置、  １１１：接続プレート、  １１２ａ：被支持部材、  １１２ｂ：締結手段、  １１３：メインベース、  １１３ａ：ガイド溝、  １１３ｂ：ネジ孔、  １１５：載置台、  １１７：ドア、  １２１：開口部カバー部材、  １２３：第一の開口部、  １５０：ロードポート移動機構、  １６０、２６０、３６０：第一の支持ユニット、  １６１：前方車輪、  １６３：前方車輪支持部、  １６３ａ：前方車輪支持部内長孔、  １６４：ネジ、  １６５：前方車輪調整ボルト、  １６６：支持部固定ボルト、  １６７：支持スライダ、  １６９：スライダ固定治具、  １６９ａ：、  １８０：第二の支持ユニット、  １８１：後方車輪、  １８３：後方車輪支持部、  １８５：後方車輪調整ボルト、  １８７：支持部固定ボルト、  １８７ａ：長孔、  ２６７：回動プレート、  ２６７ａ：回動プレート内長孔、  ２６８：回動プレート固定ボルト、  ２６８ａ、２６８ｂ：ネジ孔、２６９：回動プレート固定治具、  ２６９ａ：ローレットハンドル、  ２６９ｂ：ローレットネジ部、  ２６９ｃ：圧縮バネ、  ３６７:被調整部、  ３６７ａ：被調整部内長孔、  ３６８：ネジ、  ３６９：支持部回動軸、  ３７１：吸着手段、  ３７１ａ：吸着部、  ３７１ｂ：被吸着部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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