(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板の第１主面側に設けられた可視光に対して透明である窒化物半導体層上に、Ａｕ、Ｖ、及びＴａの何れかからなる膜厚が２ｎｍ以上且つ３０ｎｍ以下の第１の層とＮｉからなる第２の層、又は、Ｔｉ、ＴｉＷ、Ａｌ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｐｔ、Ｔａ、及びＶの何れかからなる膜厚が２ｎｍ以上且つ３０ｎｍ以下の第１の層とＡｕからなる第２の層をこの順に形成する工程と、
前記透明基板の第２主面側に開口を有する選択エッチングのためのマスクを形成する工程と、
前記透明基板の第２主面側から、前記マスクの開口内に露出した前記透明基板および前記窒化物半導体層をエッチングする工程と、
前記マスクの開口内における前記第１の層が前記エッチングで除去されたことによる前記第２の層の露出を確認することにより、前記エッチングの完了を判定する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記エッチングの完了を判定する工程は、可視光によってなすことを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記第２の層は、前記第１の層をシード層としためっき法によって形成されることを特徴とする請求項１または２記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの微細化に伴い、高電圧化・高電力密度化が求められており、これに応える材料として窒化物半導体や炭化ケイ素といったいわゆるワイドバンドギャップ半導体の研究がなされている。特に、窒化物半導体は、広いバンドギャップと直接遷移型という物性的特長に加え、絶縁破壊電圧及び飽和ドリフト速度が大きく、熱伝導性及びヘテロ接合特性が良好である等の特長を兼ね備えている。このようなことから、窒化物半導体は、高出力かつ高周波で動作するパワーデバイスに用いられている。
【０００３】
このようなワイドバンドギャップ半導体を用いたデバイスでも、微細加工にはドライエッチング技術が用いられている。例えば特許文献１は、窒化物半導体層へのプラズマエッチング時のダメージを抑制するドライエッチング方法を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３１７６８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
窒化物半導体は、物理的、化学的に安定であるため、これらにエッチング処理を施して開口を形成する場合には、投入パワーを大きくして行う。しかしながら、投入パワーを大きくしてエッチングを行うと、ウエハ面内や処理バッチ毎でエッチングレートが大きく異なってしまう。このため、エッチング量をエッチング時間で管理することが難しい。このようなことから、開口の形成が完了したかどうかの判断を目視や顕微鏡検査で行うことを検討した。
【０００６】
しかしながら、窒化物半導体である窒化ガリウム及び窒化アルミニウムガリウム等は、透明な半導体であるため、開口の形成が完了したかどうかを目視や顕微鏡検査によって見極めることが難しいという課題が生じた。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、窒化物半導体層に対してエッチングを施す場合に、エッチングが完了したかどうかを容易に見極めることができる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、基板の第１主面側に設けられた窒化物半導体層上に、Ａｕ、Ｖ、及びＴａの何れかからなる第１の層とＮｉからなる第２の層、又は、Ｔｉ、ＴｉＷ、Ａｌ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｐｔ、Ｔａ、及びＶの何れかからなる第１の層とＡｕからなる第２の層をこの順に形成する工程と、前記基板の第２主面側に開口を有する選択エッチングのためのマスクを形成する工程と、前記基板の第２主面側から、前記マスクの開口内に露出した前記基板および前記窒化物半導体層をエッチングする工程と、前記マスクの開口内における前記第２の層の露出を確認することにより、エッチングの完了を判定する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法である。本発明によれば、エッチングが完了したかどうかを容易に見極めることができる。
【０００９】
上記構成において、前記第１の層の膜厚は、２ｎｍ以上３０ｎｍ以下である構成とすることができる。
【００１０】
上記構成において、前記エッチングの完了を判定する工程は、可視光によってなす構成とすることができる。
【００１１】
上記構成において、前記エッチングの完了を判定する工程において、前記マスクの開口内に前記第１の層が確認された場合には、前記エッチングを再度実施する構成とすることができる。
【００１２】
上記構成において、前記エッチングの完了が判断された後、前記基板の第２主面側に前記第２の層に電気的に接続される金属層を形成する工程を有する構成とすることができる。
【００１３】
上記構成において、前記窒化物半導体層には半導体デバイスが形成され、前記第２の層に電気的に接続される前記金属層を介して、前記基板の第２主面側に電極が引き出されてなる構成とすることができる。
【００１４】
上記構成において、前記第２の層は、前記第１の層をシード層としためっき法によって形成される構成とすることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、エッチングが完了したかどうかを容易に見極めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１（ａ）から図１（ｄ）は、比較例に係る半導体装置の製造方法を示す断面図の例である。
【図２】図２（ａ）から図２（ｄ）は、実施例１に係る半導体装置の製造方法を示す断面図の例である。
【図３】図３（ａ）から図３（ｄ）は、実施例２に係る半導体装置の製造方法を示す断面図の例である。
【図４】図４（ａ）から図４（ｄ）は、実施例３に係る半導体装置の製造方法を示す断面図の例である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
まず、窒化物半導体を用いたＨＥＭＴ（High Electron Mobility Transistor）の場合を例に、比較例について説明する。図１（ａ）から図１（ｄ）は、比較例に係る半導体装置の製造方法を示す断面図の例である。まず、図１（ａ）に示す半導体装置を準備する。図１（ａ）に示す半導体装置は、例えば以下の方法により製造することができる。
【００１８】
ＳｉＣ基板である基板１０の上面（第１主面）側に、ＧａＮ層であるチャネル層１２とＡｌＧａＮ層である電子供給層１４とＧａＮ層であるキャップ層１６とをこの順に成膜する。成膜には、ＭＯＣＶＤ法（有機金属気相成長法）を用いることができる。ＧａＮ及びＡｌＧａＮは、バンドギャップエネルギーが大きく、可視光（例えば４００ｎｍ〜７００ｎｍ）を透過することから、可視光に対して透明である。したがって、基板１０上に、窒化物半導体層からなる透明な半導体層１８が形成される。
【００１９】
ドレイン電極２０及びソース電極２２を形成すべき領域に、蒸着法及びリフトオフ法を用いて、キャップ層１６側からＴｉ層とＡｌ層とが順に積層された金属層を成膜する。その後、５００℃から８００℃の温度で金属層にアニールを行い、キャップ層１６にオーミック接触するドレイン電極２０及びソース電極２２を形成する。
【００２０】
ドレイン電極２０とソース電極２２との間に、蒸着法及びリフトオフ法を用いて、キャップ層１６側からＮｉ層２４とＡｕ層２６とが順に積層された金属層であるゲート電極２８を形成する。ゲート電極２８は、キャップ層１６にショットキー接触する。ゲート電極２８の形成と同時に、ソース電極２２よりもチップ端側に位置するソースパッド３０を形成する。ソースパッド３０も、ゲート電極２８と同じく、キャップ層１６側からＮｉ層２４とＡｕ層２６とが順に積層された金属層である。
【００２１】
ドレイン電極２０、ゲート電極２８、ソース電極２２、及びソースパッド３０を覆うように、プラズマＣＶＤ法（プラズマ化学気相成長法）を用いて、第１保護膜３２を成膜する。第１保護膜３２には、窒化シリコン膜を用いることができる。
【００２２】
ドレイン電極２０上、ソース電極２２上、及びソースパッド３０上の第１保護膜３２を除去して開口を形成する。この開口内及び第１保護膜３２上に、スパッタ法を用いて、シード層（不図示）を形成する。その後、シード層上に、電解めっき法を用いて、Ａｕからなる金属層を形成する。これにより、ドレイン電極２０に電気的に接続するドレイン配線３４と、ソース電極２２とソースパッド３０とに電気的に接続し、第１保護膜３２上を延在するソース配線３６と、が形成される。
【００２３】
ドレイン配線３４とソース配線３６とを覆うように、プラズマＣＶＤ法を用いて、第２保護膜３８を形成する。第２保護膜３８には、窒化シリコン膜を用いることができる。
【００２４】
次に、図１（ａ）の半導体装置に対して、ソースパッド３０に電気的に接続される裏面配線用の開口を形成する。まず、図１（ｂ）のように、基板１０の下面（第２主面）側に形成した開口を有するマスク層３９をマスクに用い、ソースパッド３０下の基板１０に対して、基板１０の下面側からエッチング処理を施して第１開口４０を形成する。エッチング処理は、ＲＩＥ（反応性イオンエッチング）やＩＣＰ（誘導結合型プラズマ）エッチング等のドライエッチング法を用いることができる。エッチングガスとしては、フッ素系ガスを用いることができる。
【００２５】
基板１０はＳｉＣ基板であり、物理的、化学的に安定であるため、ドライエッチングは投入パワーを大きくして行う。よって、ウエハ面内や処理バッチ毎でエッチングレートが大きく異なることになる。しかしながら、ＧａＮ層であるチャネル層１２はフッ素系ガスを用いたドライエッチング処理でのエッチングレートが遅く、また、そもそもチャネル層１２も貫通する開口を最終的には形成したいため、チャネル層１２がエッチングされても問題はない。このため、基板１０が完全に除去されるような十分なエッチング量をエッチング時間で管理することができる。
【００２６】
図１（ｃ）のように、基板１０に対するエッチング処理に続いて、透明な半導体層１８に対してエッチング処理を施して、第１開口４０を透明な半導体層１８も貫通する第２開口４２とする。エッチング処理は、基板１０に対する場合と同様に、ＲＩＥやＩＣＰエッチング等のドライエッチング法を用いることができる。また、チャネル層１２及びキャップ層１６はＧａＮ層で、電子供給層１４はＡｌＧａＮ層であり、物理的、化学的に安定であるため、ドライエッチングは投入パワーを大きくして行う。したがって、ウエハ面内や処理バッチ毎でエッチングレートは大きく異なることになる。
【００２７】
基板１０に対するエッチング処理では、チャネル層１２がエッチングされても問題ないため、エッチング時間でエッチング量を管理することができた。しかしながら、透明な半導体層１８に対するエッチング処理では、エッチングが過剰になされると、ソースパッド３０までエッチングされて、第２開口４２内に金属のエッチング残渣４４が発生してしまう。この場合、エッチング残渣４４により、第２開口４２内に形成される裏面配線が剥がれる剥離不良が生じてしまう。
【００２８】
このように、エッチング時間でエッチング量を管理することが難しいことから、透明な半導体層１８に対するエッチング処理が完了したかどうかを目視や顕微鏡検査等、可視光によって判断することを検討した。しかしながら、目視や顕微鏡検査によってエッチング処理が完了したかどうかを判断しようとしても、透明な半導体層１８は透明であることから、どこまでエッチングが到達しているのかを見極めることが難しい。このため、目視や顕微鏡検査による見極めを誤り、エッチング量が足りていない場合には、図１（ｄ）のように、第２開口４２が透明な半導体層１８を貫通して形成されずに、キャップ層１６等が残存してしまう。この場合、第２開口４２内に形成される裏面配線がソースパッド３０と電気的に接続されない接続不良が生じてしまう。もちろん、目視や顕微鏡検査による見極めを誤り、エッチングが過剰に行われてしまうと、図１（ｃ）のように、第２開口４２内にエッチング残渣４４が発生してしまう。
【００２９】
そこで、このような課題を鑑みて、透明な半導体層である窒化物半導体層に対してエッチング処理を施す場合に、エッチング処理が完了したかどうかを容易に見極めることができる実施例について以下に説明する。
【実施例１】
【００３０】
図２（ａ）から図２（ｄ）は、実施例１に係る半導体装置の製造方法を示す断面図の例である。まず、図２（ａ）に示す半導体装置を準備する。図２（ａ）に示す半導体装置は、比較例の図１（ａ）で説明した製造方法において、ドレイン電極２０及びソース電極２２を形成した後、ゲート電極２８とソースパッド３０とを形成する前に、ソースパッド３０を形成すべき領域にモニタ層５０を形成することで得られる。モニタ層５０は、例えば厚さ１０ｎｍのＡｕからなる金属層であり、非透明な層である。モニタ層５０は、蒸着法及びリフトオフ法を用いて形成することができる。モニタ層５０は、透明な半導体層１８の上面に接して形成される。ソースパッド３０に含まれるＮｉ層２４は、モニタ層５０の上面に接して形成される。
【００３１】
次いで、図２（ｂ）のように、基板１０の下面側に形成した開口を有するマスク層３９をマスクに用い、ソースパッド３０下の基板１０に対して、基板１０の下面側からエッチング処理を施して、基板１０を貫通する第１開口５２を形成する。基板１０の厚さは、例えば１００μｍである。第１開口５２の内径は、例えば数十μｍ〜１００μｍである。また、モニタ層５０の幅は、第１開口５２の内径より広く、例えば１２０μｍである。エッチング処理は、ＲＩＥやＩＣＰエッチング等のドライエッチング法を用いることができる。エッチングガスとしては、フッ素系ガスを用いることができる。
【００３２】
図２（ｃ）のように、基板１０に対するエッチング処理に続いて、透明な半導体層１８及びモニタ層５０に対してエッチング処理を施して、第１開口５２を透明な半導体層１８及びモニタ層５０も貫通する第２開口５４とする。第２開口５４は、ソースパッド３０と接続するビアホールである。エッチング処理は、基板１０に対する場合と同様に、ＲＩＥやＩＣＰエッチング等のドライエッチング法を用いることができる。エッチングガスとしては、塩素系ガスを用いることができる。チャネル層１２、電子供給層１４、及びキャップ層１６は、物理的、化学的に安定であるため、ドライエッチングは投入パワーを大きくして行う。以下に、ＲＩＥを用いる場合とＩＣＰエッチングを用いる場合とでのエッチング条件の一例を示す。
１．ＲＩＥのエッチング条件
エッチングガス及びガス流量：Ｃｌ２＝１．０ｓｃｃｍ、又は、Ｃｌ２／Ａｒ＝１．０／０．５〜３．０ｓｃｃｍ
圧力：０．５〜４．０Ｐａ
ＲＦパワー密度：１．０〜４．０Ｗ／ｃｍ２
バイアスパワー密度：０．３〜２．０Ｗ／ｃｍ２
２．ＩＣＰエッチングのエッチング条件
エッチングガス及びガス流量：Ｃｌ２＝１．０ｓｃｃｍ、又はＣｌ２／Ａｒ＝１．０／０．５〜３．０ｓｃｃｍ
圧力：０．２〜４．０Ｐａ
ＩＣＰパワー密度：１．０〜４．０Ｗ／ｃｍ２
バイアスパワー密度：０．１〜２．０Ｗ／ｃｍ２
【００３３】
前述したように、投入パワーを大きくしてドライエッチングを行うと、ウエハ面内や処理バッチ毎でエッチングレートが大きく異なるため、エッチング時間でエッチング量を管理することが難しい。このため、目視や顕微鏡検査等の可視光によってエッチング処理が完了したかを判断する。この際、透明な半導体層１８とソースパッド３０との間にモニタ層５０が設けられていることで、第２開口５４内（即ち、マスク層３９の開口内）が金色であれば、未だＡｕからなるモニタ層５０が残っており、第２開口５４の形成が完了してなく、エッチング処理が完了していないと判断できる。このように、マスク層３９の開口内にモニタ層５０が確認された場合には、エッチングを再度実施する。第２開口５４内（即ち、マスク層３９の開口内）が銀色であれば、モニタ層５０が除去されてＮｉ層２４が露出しているため、第２開口５４の形成が完了し、エッチング処理が完了したと判断できる。このように、第２開口５４内（即ち、マスク層３９の開口内）の色によって、基板１０、透明な半導体層１８、及びモニタ層５０を貫通する第２開口５４の形成が完了し、エッチング処理が完了したかどうかを容易に見極めることができる。
【００３４】
透明な半導体層１８及びモニタ層５０に対するエッチング処理が完了したと判断された後、図２（ｄ）のように、第２開口５４内及び基板１０の下面に、スパッタ法を用いて、Ａｕからなるシード層５６を形成する。その後、シード層５６の下面及び側面に電界めっき法を用いてＡｕからなる金属層５８を形成する。これにより、第２開口５４内及び基板１０の下面にソースパッド３０に電気的に接続される裏面配線５９が形成される。この裏面配線５９を介して、窒化物半導体層である透明な半導体層１８に形成された半導体デバイスは、基板１０の下面に電極が引き出されることになる。
【００３５】
このように、実施例１によれば、基板１０上に設けられた窒化物半導体層である透明な半導体層１８上に、非透明なＡｕからなるモニタ層５０（第１の層）と、モニタ層５０と異なる色を有し、非透明なＮｉ層２４（第２の層）と、をこの順に形成する。そして、基板１０の下面側に開口を有する選択エッチングのためのマスク層３９を形成し、基板１０の下面側から、マスク層３９の開口内に露出した基板１０及び透明な半導体層１８をエッチングする。このとき、第２開口５４内（即ち、マスク層３９の開口内）におけるＮｉ層２４の露出を、Ｎｉ層２４の色が見えることにより確認することで、第２開口５４の形成が完了し、エッチングが完了したかを判断する。これにより、基板１０、透明な半導体層１８、及びモニタ層５０を貫通する第２開口５４の形成が完了し、エッチング処理が完了したかどうかを容易に見極めることができる。なお、Ｎｉ層２４の色が確認できず、モニタ層５０が確認された場合は、第２開口５４がＮｉ層２４まで到達してないため、この場合には、再度第２開口５４に対しエッチング処理を施す。
【００３６】
基板１０、透明な半導体層１８、及びモニタ層５０を貫通する第２開口５４が形成されたことの見極めができるため、図２（ｄ）のように、基板１０の下面側にＮｉ層２４と電気的に接続される裏面配線５９を形成することができる。したがって、裏面配線５９がソースパッド３０と電気的に接続されない接続不良を抑制することができる。また、Ｎｉ層２４に対してエッチングを過剰に行うことも抑制されるため、エッチング残渣の発生も抑制できる。
【００３７】
モニタ層５０の厚さは、その色が認識できる程度の厚さがあればよい。したがって、モニタ層５０の厚さは、２ｎｍ以上の場合が好ましく、５ｎｍ以上の場合がより好ましく、１０ｎｍ以上の場合がさらに好ましい。また、モニタ層５０が厚すぎると（例えばＮｉ層２４の厚さ１００ｎｍと同程度の厚さであると）、モニタ層５０に対するエッチング処理で発生するエッチング残渣が問題となるため、厚すぎないことが望ましい。したがって、モニタ層５０の厚さは、３０ｎｍ以下の場合が好ましく、２５ｎｍ以下の場合がより好ましく、２０ｎｍ以下の場合がさらに好ましい。
【実施例２】
【００３８】
実施例２は、モニタ層が、ドレイン配線３４及びソース配線３６を電解めっき法によって形成する際のシード層を兼用する場合の例である。図３（ａ）から図３（ｄ）は、実施例２に係る半導体装置の製造方法を示す断面図の例である。まず、図３（ａ）に示す半導体装置を準備する。図３（ａ）に示す半導体装置は、比較例の図１（ａ）で説明した製造方法において、ソースパッド３０を形成せずに、ドレイン電極２０上及びソース電極２２上の第１保護膜３２を除去して開口を形成するのと同時に、ソース電極２２よりもチップ端側の第１保護膜３２も除去して開口６６を形成する。これらの開口内及び第１保護膜３２上に、スパッタ法を用いて、Ｔｉ、ＴｉＷ、又はＡｌからなるモニタ層６０を形成した後、モニタ層６０上に、電解めっき法を用いて、Ａｕからなる金属層を形成することで得られる。モニタ層６０は、電解めっき法でのシード層としての機能と、Ａｕの拡散を防止するバリア層としての機能を有する。また、モニタ層６０は、Ｔｉ、ＴｉＷ、又はＡｌからなる金属層であるため、非透明な層である。
【００３９】
これにより、ドレイン電極２０上では、モニタ層６０の上面に接して、Ａｕからなるドレイン配線３４が形成される。ソース電極２２上及び開口６６では、モニタ層６０の上面に接して、Ａｕからなるソース配線３６が形成される。また、開口６６におけるモニタ層６０は、透明な半導体層１８の上面に接して形成される。
【００４０】
図３（ｂ）のように、基板１０の下面側に形成した開口を有するマスク層３９をマスクに用い、開口６６内に形成されたモニタ層６０下の基板１０に対して、基板１０の下面側からエッチング処理を施す。これにより、基板１０を貫通する第１開口６２を形成する。エッチング処理は、実施例１で説明した方法と同じ方法を用いることができる。
【００４１】
図３（ｃ）のように、基板１０に対するエッチング処理に続いて、透明な半導体層１８及びモニタ層６０に対してエッチング処理を施して、第１開口６２を透明な半導体層１８及びモニタ層６０も貫通する第２開口６４とする。エッチング処理は、実施例１で説明した方法と同じ方法を用いることができる。また、第２開口６４の形成が完了し、エッチング処理が完了したかの判断は、実施例１と同様の方法で行なうことができる。つまり、第２開口６４内（即ち、マスク層３９の開口内）が銀色であれば、未だＴｉ、ＴｉＷ、又はＡｌからなるモニタ層６０が残っており、第２開口６４の形成が完了してなく、エッチング処理が完了していないと判断できる。第２開口６４内（即ち、マスク層３９の開口内）が金色であれば、モニタ層６０が除去されてＡｕからなるソース配線３６が露出しているため、第２開口６４の形成が完了し、エッチング処理が完了したと判断できる。
【００４２】
透明な半導体層１８及びモニタ層６０に対するエッチング処理が完了したと判断された後、図３（ｄ）のように、第２開口６４内及び基板１０の下面に、スパッタ法を用いて、Ａｕからなるシード層５６を形成する。その後、シード層５６の下面及び側面に電界めっき法を用いてＡｕからなる金属層５８を形成する。これにより、第２開口６４内及び基板１０の下面にソース配線３６に電気的に接続される裏面配線５９が形成される。
【００４３】
実施例２は、ソース配線３６が、モニタ層６０をシード層とした電界めっきによって形成される場合であり、非透明なモニタ層６０（第１の層）上に、モニタ層６０と異なる色を有し、非透明なソース配線３６（第２の層）が設けられている。この場合でも、第２開口６４内（即ち、マスク層３９の開口内）におけるソース配線３６の露出を、ソース配線３６の色が見えることにより確認することで、第２開口６４の形成が完了し、エッチングが完了したかを判断する。これにより、基板１０、透明な半導体層１８、及びモニタ層６０を貫通する第２開口６４の形成が完了し、エッチング処理が完了したかどうかを容易に見極めることができる。また、実施例２では、モニタ層６０がシード層を兼用しているため、モニタ層６０とシード層とを別々に形成する必要がないため、プロセス工程を削減できる。さらに、ウエハ内の各半導体装置に対し、第２開口６４の形成が完了したかどうかを確認することもできる。
【００４４】
実施例２においても、モニタ層６０の厚さは、その色が認識できる程度の厚さであればよく、２ｎｍ以上の場合が好ましく、５ｎｍ以上の場合がより好ましく、１０ｎｍ以上の場合がさらに好ましい。また、モニタ層６０の厚さが厚すぎると、モニタ層６０に対するエッチング処理で発生するエッチング残渣が問題となるため、厚すぎないことが望ましい。したがって、３０ｎｍ以下の場合が好ましく、２５ｎｍ以下の場合がより好ましく、２０ｎｍ以下の場合がさらに好ましい。
【実施例３】
【００４５】
実施例３は、モニタ層を、ソースパッド３０が形成される場所とは異なる場所に形成する場合の例である。図４（ａ）から図４（ｄ）は、実施例３に係る半導体装置の製造方法を示す断面図の例である。まず、図４（ａ）に示す半導体装置を準備する。図４（ａ）に示す半導体装置は、比較例の図１（ａ）で説明した製造方法において、ドレイン電極２０上、ソース電極２２上、及びソースパッド３０上の第１保護膜３２を除去して開口を形成するのと同時に、スクライブライン８０よりも外側に位置する第１保護膜３２も除去して開口を形成する。これら開口内及び第１保護膜３２上に、スパッタ法を用いて、Ｔｉ、ＴｉＷ、又はＡｌからなるモニタ層７０を順に形成した後、モニタ層７０上に、電解めっき法を用いて、Ａｕからなる金属層を形成することで得られる。モニタ層７０は、Ｔｉ、ＴｉＷ、又はＡｌからなる金属層であるため、非透明な層である。
【００４６】
これにより、ドレイン電極２０上では、モニタ層７０の上面に接して、Ａｕからなるドレイン配線３４が形成される。ソース電極２２上及びソースパッド３０上では、モニタ層７０の上面に接して、Ａｕからなるソース配線３６が形成される。スクライブライン８０よりも外側に位置するモニタ層７０の上面に接して、Ａｕからなるダミー配線７８が形成される。また、ダミー配線７８下におけるモニタ層７０は、透明な半導体層１８の上面に接して形成される。
【００４７】
図４（ｂ）のように、基板１０の下面側に形成した開口を有するマスク層３９をマスクに用い、ソースパッド３０下の基板１０とダミー配線７８下の基板１０とに対して、基板１０の下面側からエッチング処理を施す。これにより、基板１０を貫通する第１開口７２を形成する。エッチング処理は、実施例１で説明した方法と同じ方法を用いることができる。
【００４８】
図４（ｃ）のように、基板１０に対するエッチング処理に続いて、透明な半導体層１８及びモニタ層７０に対してエッチング処理を施す。これにより、ダミー配線７８下の第１開口７２は、基板１０と透明な半導体層１８とモニタ層７０とを貫通する第２開口７４となる。ソースパッド３０下の第１開口７２は、基板１０と透明な半導体層１８とを貫通し、ソースパッド３０の下面が露出する第３開口７６となる。エッチング処理は、実施例１で説明した方法と同じ方法を用いることができる。また、第２開口７４及び第３開口７６の形成が完了し、エッチング処理が完了したかの判断は、実施例１と同様の方法で行なうことができる。つまり、第２開口７４内（即ち、マスク層３９の開口内）が銀色であれば、未だＴｉ、ＴｉＷ、又はＡｌからなるモニタ層７０が残っており、第２開口７４及び第３開口７６の形成が完了していなく、エッチング処理が完了していないと判断できる。第２開口７４内（即ち、マスク層３９の開口内）が金色であれば、モニタ層７０が除去されてＡｕからなるダミー配線７８が露出しているため、第２開口７４及び第３開口７６の形成が完了し、エッチング処理が完了したと判断できる。第２開口７４の形成が完了すると、必然的に、第３開口７６の形成も完了するためである。
【００４９】
透明な半導体層１８及びモニタ層７０に対するエッチング処理が完了したと判断された後、図４（ｄ）のように、第３開口７６内及び基板１０の下面に、スパッタ法を用いて、Ａｕからなるシード層５６を形成する。その後、シード層５６の下面及び側面に電界めっき法を用いてＡｕからなる金属層５８を形成する。これにより、第３開口７６内及び基板１０の下面にソースパッド３０に電気的に接続される裏面配線５９が形成される。また、第２開口７４内にもダミー配線７８に電気的に接続される裏面配線５９が形成される。その後、スクライブライン８０にて、チップを個片化する。これにより、ダミー配線７８が形成された部分は分離される。
【００５０】
実施例３は、非透明なモニタ層７０（第１の層）と、モニタ層７０と異なる色を有し、非透明なダミー配線７８（第２の層）とを、ソースパッド３０が形成される場所とは異なる場所に形成する場合の例である。この場合でも、第２開口７４内（即ち、マスク層３９の開口内）におけるダミー配線７８の露出を、ダミー配線７８の色が見えることにより確認することで、第２開口７４の形成が完了し、エッチングが完了したかを判断する。これにより、基板１０、透明な半導体層１８、及びモニタ層７０を貫通する第２開口７４と基板１０及び透明な半導体層１８を貫通する第３開口７６との形成が完了し、エッチング処理が完了したかどうかを容易に見極めることができる。
【００５１】
モニタ層７０（第１の層）とダミー配線７８（第２の層）とを、ソースパッド３０が形成される場所とは異なる場所に形成することで、ソースパッド３０と透明な半導体層１８との間に余分な層を挿入せずに済む。このため、電気的特性への影響が抑えられる。
【００５２】
実施例３においても、モニタ層７０の厚さは、その色が認識できる程度の厚さであればよく、２ｎｍ以上の場合が好ましく、５ｎｍ以上の場合がより好ましく、１０ｎｍ以上の場合がさらに好ましい。また、モニタ層７０の厚さが厚すぎると、第３開口７６においてＮｉ層２４がエッチングされることで発生するエッチング残渣が問題となるため、厚すぎないことが望ましい。したがって、３０ｎｍ以下の場合が好ましく、２５ｎｍ以下の場合がより好ましく、２０ｎｍ以下の場合がさらに好ましい。
【００５３】
実施例１から３では、第２開口５４、６４、７４内の色が、金色か又は銀色かによって、第２開口の形成が完了し、エッチング処理が完了したかどうかを見極める場合を例に説明したが、この場合に限られる訳ではない。開口の形成が完了し、エッチング処理が完了したかどうかを見極める際の開口内の色に、その他の色を用いてもよい。また、色の明度や彩度を利用して、開口の形成が完了し、エッチング処理が完了したかどうかを見極めてもよい。即ち、開口の形成が完了し、エッチング処理が完了したかどうかを見極める際の開口内の色として、色の三属性のいずれかを利用することができる。したがって、モニタ層（第１の層）とその上に形成される第２の層とは、互いに色の三属性のいずれかが異なるものを用いることができる。特に、実施例１から３のように、開口内の色相によって開口の形成が完了し、エッチング処理が完了したかを判断することで、開口の形成が完了したかどうかをより確実に見極めることができる。したがって、モニタ層（第１の層）とその上に形成される第２の層とは、互いに色相が異なることが好ましい。
【００５４】
実施例１から３では、透明な半導体層１８とモニタ層５０、６０、７０とに対して同じエッチングガス（塩素系ガス）を用いてエッチング処理を施すことで第２開口５４、６４、７４を形成している。このように、モニタ層５０、６０、７０は、透明な半導体層１８に対するエッチング処理で用いられるエッチングガス（塩素系ガス）によってエッチングされることが望ましい。これにより、エッチングガスを変えることなく、モニタ層５０、６０、７０が透明な半導体層１８に続いて連続して除去されるため、第２開口５４、６４、７４内の色によって第２開口５４、６４、７４の形成が完了したかの判断を容易に行うことができる。なお、塩素系ガスによってエッチングされ易い材料として、塩化物となった場合に沸点の低い材料が挙げられ、例えばＡｌ、Ａｓ、Ａｕ、Ｃ、Ｆｅ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｈｇ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｐ、Ｐｔ、Ｓｉ、Ｔａ、Ｔｉ、及びＷの単体若しくはこれらの合金又は化合物が挙げられる。したがって、モニタ層５０、６０、７０には、これらの材料の中から、モニタ層５０、６０、７０上の第２の層と異なる色を有する材料を選ぶことが好ましい。例えば、実施例１のように、モニタ層５０上の第２の層がＮｉからなる場合には、モニタ層５０はＡｕからなる場合や、その他に、Ｖ又はＴａからなる場合が好ましい。実施例２及び３のように、モニタ層６０、７０上の第２の層がＡｕからなる場合には、モニタ層６０、７０はＴｉ、ＴｉＷ、及びＡｌの何れかからなる場合の他に、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｐｔ、Ｔａ、及びＶの何れかからなる場合が好ましい。
【００５５】
モニタ層５０、６０、７０は、金属からなる場合でも、非金属からなる場合でもよいが、実施例１及び２の構造の場合では、金属からなる場合が好ましい。これは、透明な半導体層１８及びモニタ層５０、６０に対するエッチング処理において、モニタ層５０、６０が薄く残存してしまった場合でも、その後に形成する裏面配線５９をソース配線３６に電気的に接続させることができるためである。
【００５６】
実施例１から３において、基板１０は、透明な基板であっても、非透明な基板であってもよい。したがって、基板１０は、ＳｉＣ基板以外の他の基板の場合でもよく、例えばＧａＮ基板、Ｓｉ基板、ＧａＡｓ基板、又はサファイア基板の場合でもよい。また、透明な半導体層１８は、ＧａＮ及びＡｌＧａＮ以外の窒化物半導体からなる場合でもよい。窒化物半導体は、ＧａＮ、ＡｌＧａＮの他に、ＡｌＮ、ＩｎＮ、ＩｎＧａＮ、ＩｎＡｌＮ、ＩｎＡｌＧａＮ等が挙げられる。
【００５７】
実施例１から３では、ＨＥＭＴの場合を例に説明したが、その他のＦＥＴ（Field Effect Transistor）の場合でもよく、例えばＭＥＳＦＥＴ（Metal Semiconductor Field Effect Transistor）の場合でもよい。また、ＦＥＴ以外の半導体装置の場合でもよい。
【００５８】
また、実施例１から３では、基板上に透明な半導体が設けられている場合を例に説明したが、透明な半導体自体が基板としての機能を有する場合でもよい。透明な半導体は、窒化物半導体からなる場合の他にも、可視光に対して透明な半導体を用いることができ、例えば炭化ケイ素（ＳｉＣ）からなる場合でもよい。また、モニタ層（第１の層）上に形成される第２の層は、金属からなる場合に限らず、非金属からなる場合でもよい。
【００５９】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１０  基板
１２  チャネル層
１４  電子供給層
１６  キャップ層
１８  透明な半導体層
２０  ドレイン電極
２２  ソース電極
２４  Ｎｉ層
２６  Ａｕ層
２８  ゲート電極
３０  ソースパッド
３２  第１保護膜
３４  ドレイン配線
３６  ソース配線
３８  第２保護膜
３９  マスク層
５０、６０、７０  モニタ層
５２、６２、７２  第１開口
５４、６４、７４  第２開口
５６  シード層
５８  金属層
５９  裏面配線
７６  第３開口
７８  ダミー配線
８０  スクライブライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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