(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル孔に連通した圧力発生室を複数有する流路形成板と、
前記流路形成板の上方に形成された振動板と、
前記振動板の上方に、前記圧力発生室に対応して設けられた第１電極と、前記第１電極の上方に形成された圧電体層と、前記圧電体層の上方に形成された第２電極と、を備えた圧電素子と、
複数の前記第１電極と接続した共通導電層と、
を含み、
前記第１電極は、複数の前記圧電素子の共通電極であり、
前記第２電極は、前記圧電素子毎に設けられた個別電極であり、
第１の方向に延びるように形成された複数の前記圧電素子が、前記第１の方向に直交した第２の方向において並設された能動領域と、
前記能動領域の外周辺の少なくとも一部を囲むように設けられ、前記共通導電層と接続することで、前記第１電極と電気的に接続した第１の配線と、
を含み、
前記能動領域内において、隣り合う前記圧電素子の間に配置され、前記第１電極と電気的に接続した第２の配線を含み、
前記第１の配線は、
前記能動領域の前記第１の方向における一方の側方に形成され、前記共通導電層と接続した第１の部分と、
前記能動領域の前記第１の方向における他方の側方に形成され、前記第２の配線と接続した第２の部分と、
前記第１の部分と前記第２の部分とを連続する第３の部分と、
を含む、液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、
前記第２の配線は、前記共通導電層と接続し、前記第１電極と電気的に接続した、液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記第１の配線及び前記第２の配線は金を含む、液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項において、
前記能動領域内において前記第２電極の前記第１の方向における一方の端部と接続し、前記能動領域外に引き出される第３の配線を含む、液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドを有する、液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばインクジェットプリンター等の液体噴射装置において、インク等の液滴を噴射する液体噴射ヘッドが知られている。このような液体噴射ヘッドは、圧力発生室内の圧力を変化させるために圧電素子備える。圧電素子は、上部電極および下部電極に挟まれた圧電体層を有し、外部に設けられた駆動回路からの駆動信号等によって圧電体層が変形することにより、振動板を屈曲させることができる。これにより、液体噴射ヘッドは、ノズル孔から圧力発生室内に供給されたインク等を噴射させることができる。
【０００３】
このような液体噴射ヘッドであって、複数の圧電素子を備え、下部電極（振動板と圧電体層との間の電極）を複数の圧電素子間の共通電極として用いることが知られている（特許文献１参照）。共通電極は、駆動回路の端子と接続され、例えば、陰極電極として機能する。
【０００４】
一般的に、圧電素子の製造工程において、圧電体層は下部電極上で焼成されて形成される。これに対し、上部電極は結晶化した圧電体層の上に新たに成膜される。したがって、下部電極と圧電体層との境界面は、上部電極と圧電体層との境界面と比較して対クラック耐性が高く信頼性が高い。故に、下部電極をコモン電圧が印加される（もしくは、接地回路に接続される）陰極の共通電極とし、上部電極を各セグメントに個別の駆動電圧（順バイアス電圧）が印加される陽極の個別電極として圧電素子を駆動することで（このような駆動仕様を「順バイアス駆動」とも言う）、圧電素子の対クラック耐性を向上させることができる。
【０００５】
しかしながら、このような液体噴射ヘッドにおいては下部電極が圧電層に覆われていない部分があるため、圧電素子の上部電極、下部電極との間にある圧電体の側壁部を水分等から保護するための保護膜を設ける必要があり、材料コストや保護膜製造工程が必要となり、生産性が低下する。
【０００６】
また、近年、高解像度化等の要求から、ノズル孔の数がより多く設けられ、液体噴射ヘッド内において配列される圧電素子の数が増加している。これによれば、各々の圧電素子と共通電極の駆動回路との接続部との導通経路の長さに関し、圧電素子間において個体差が生じる。したがって、各々の圧電素子の変位量に対する共通電極自体の電気的抵抗の影響が大きくなり、各ノズル孔からの吐出液体体積の均一性が低下する可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第２００５／０２８２０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、良好な対クラック耐性を有する液体噴射ヘッドを提供することにある。
【０００９】
また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、圧電素子用の保護膜を設ける必要がない液体噴射ヘッドを提供することにある。
【００１０】
また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、液滴吐出の均一性が向上した液体噴射ヘッドを提供することにある。
【００１１】
また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
（１）本発明に係る液体噴射ヘッドは、
ノズル孔に連通した圧力発生室を複数有する流路形成板と、
前記流路形成板の上方に形成された振動板と、
前記振動板の上方に、前記圧力発生室に対応して設けられた第１電極と、前記第１電極の上方に形成された圧電体層と、前記圧電体層の上方に形成された第２電極と、を備えた圧電素子と、
複数の前記第１電極と接続した共通導電層と、
を含み、
前記第１電極は、複数の前記圧電素子の共通電極であり、
前記第２電極は、前記圧電素子毎に設けられた個別電極である。
【００１３】
本発明によれば、圧電素子用の保護膜を設ける必要がなく、良好な対クラック耐性を有する液体噴射ヘッドを提供することができる。
【００１４】
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの（以下「Ａ」という）の「上方」に他の特定のもの（以下「Ｂ」という）を形成する」などと用いる。本発明に係る記載では、この例のような場合に、Ａ上に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ上に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いる。同様に、「下方」という文言は、Ａ下に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ下に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとする。
【００１５】
（２）本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
第１の方向に延びるように形成された複数の前記圧電素子が、前記第１の方向に直交した第２の方向において並設された能動領域と、
前記能動領域の外周辺の少なくとも一部を囲むように設けられ、前記共通導電層と接続することで、前記第１電極と電気的に接続した第１の配線と、
を含んでいてもよい。
【００１６】
（３）本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記能動領域内において、隣り合う前記圧電素子の間に配置され、前記第１電極と電気的に接続した第２の配線を含み、
前記第１の配線は、
前記能動領域の前記第１の方向における一方の側方に形成され、前記共通導電層と接続した第１の部分と、
前記能動領域の前記第１の方向における他方の側方に形成され、前記第２の配線と接続した第２の部分と、
前記第１の部分と前記第２の部分とを連続する第３の部分と、
を含んでいてもよい。
【００１７】
（４）本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記第２の配線は、前記共通導電層と接続し、前記第１電極と電気的に接続していてもよい。
【００１８】
（５）本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記第２の配線は、前記第１配線の前記第１の部分と接続し、前記第１電極と電気的に接続していてもよい。
【００１９】
（６）本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記第１の配線及び前記第２の配線は金を含んでいてもよい。
【００２０】
（７）本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、
前記能動領域内において前記第２電極の前記第１の方向における一方の端部と接続し、前記能動領域外に引き出される第３の配線を含んでいてもよい。
【００２１】
（８）本発明に係る液体噴射装置は、
上記のいずれかの液体噴射ヘッドを有する。
【００２２】
本発明によれば、下部電極用の保護膜を設ける必要がなく、良好な対クラック耐性を有する液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１実施形態に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す平面図。
【図２】第１実施形態に係る液体噴射ヘッドを模式的に示す分解斜視図。
【図３】第１実施形態に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す平面図。
【図４】第１実施形態に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す断面図。
【図５】第１実施形態に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す断面図。
【図６】第２実施形態に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す平面図。
【図７】第２実施形態に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す平面図。
【図８】第２実施形態に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す断面図。
【図９】第２実施形態に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す断面図。
【図１０】第２実施形態の変形例に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す平面図。
【図１１】第２実施形態の変形例に係る液体噴射ヘッドの要部を模式的に示す断面図。
【図１２】本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造工程を模式的に示す断面図。
【図１３】本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造工程を模式的に示す断面図。
【図１４】本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造工程を模式的に示す断面図。
【図１５】本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造工程を模式的に示す断面図。
【図１６】本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造工程を模式的に示す断面図。
【図１７】本実施形態に係る液体噴射装置を模式的に示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下に、本発明を適用した実施形態の一例について図面を参照して説明する。ただし、本発明は以下の実施形態のみに限定されるものではない。本発明は、以下の実施形態およびその変形例を組み合わせたものを含むものとする。
【００２５】
１．  液体噴射ヘッド
１．１  第１実施形態
以下、図面を参照して、第１実施形態に係る液体噴射ヘッド６００について説明する。まず、液体噴射ヘッド６００の主要な構成を説明した後、液体噴射ヘッド６００が備える圧電素子５０の詳細を説明する。
【００２６】
［液体噴射ヘッドの構成］
図１は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド６００の要部を模式的に示す平面図である。図１においては、圧電素子５０が形成される能動領域２（圧電素子５０の詳細な構成等）は便宜的に簡略化され、能動部２５（図示の例では斜線部分）のみが図示されている。能動部２５は、圧電素子５０の構成のうち、能動的に変形する部分である（図５参照）。図２は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド６００を模式的に示す分解斜視図である。図２においても、圧電素子５０は簡略化して図示されている。
【００２７】
なお、本発明に係る記載では、「平面図」という文言を、例えば、後述される振動板１の基面（圧電素子５０が形成される面）の法線方向から対象物を見た場合の平面図という意味で用いる。
【００２８】
図２に示すように、本実施形態に係る液体噴射ヘッド６００は、圧力発生室６２２を有する流路形成板６２０と、流路形成板６２０の上方に形成された振動板１（図２の例では下）と、振動板１の上方に形成された圧電素子５０（図２の例では下）と、流路形成板６２０の下方に形成されたノズル板６１０（図２の例では上）と、を含む。さらに、液滴噴射ヘッド６００は、図２に示すように、筐体６３０を有していてもよい。
【００２９】
また、図２に示すように、液体噴射ヘッド６００には、圧電素子５０と接続される駆動回路（ＩＣ）１０００が搭載されていてもよい（接続配線は図示せず）。図２に示すように、駆動回路１０００は、筐体６３０に搭載されていてもよい。電気的な接続方法は、特に限定されず、例えばワイヤーボンディングにより接続されていてもよい。また、図示はされないが、液体噴射ヘッド６００に内蔵され、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）接続されていてもよい。
【００３０】
ノズル板６１０は、図２に示すように、ノズル孔６１２を有する。ノズル孔６１２からは、インクなどの液体等（液体のみならず、各種の機能性材料を溶媒や分散媒によって適当な粘度に調整したもの、または、メタルフレーク等を含むものなどを含む。以下同じ。）が液滴として吐出される。ノズル板６１０には、例えば、多数のノズル孔６１２が一列に設けられる。ノズル板６１０の材質としては、例えば、シリコン、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などを挙げることができる。
【００３１】
流路形成基板６２０は、ノズル板６１０上（図２の例では下）に、ノズル孔６１２に連通した圧力発生室を複数有するように設けられる。流路形成基板６２０の材質としては、例えば、シリコンなどを例示することができる。流路形成基板６２０がノズル板６１０と後述される振動板１との間の空間を区画することにより、図２に示すように、リザーバー（液体貯留部）６２４と、リザーバー６２４と連通する供給口６２６と、供給口６２６と連通する圧力発生室６２２と、が設けられる。複数の圧力発生室６２２は、それぞれ壁部６２１により隔てられる。この例では、リザーバー６２４と、供給口６２６と、圧力発生室６２２とを区別して説明するが、これらはいずれも液体等の流路であって、このような流路はどのように設計されても構わない。また、例えば供給口６２６は、図示の例では流路の一部が狭窄された形状を有しているが、設計にしたがって任意に形成することができ、必ずしも必須の構成ではない。リザーバー６２４、供給口６２６および圧力発生室６２２は、ノズル板６１０と流路形成基板６２０と振動板１とによって区画される。リザーバー６２４は、外部（例えばインクカートリッジ）から、振動板１に設けられた貫通孔６２８を通じて供給されるインクを一時貯留することができる。リザーバー６２４内のインクは、供給口６２６を介して、圧力発生室６２２に供給されることができる。圧力発生室６２２は、振動板１の変形により容積が変化する。圧力発生室６２２はノズル孔６１２と連通しており、圧力発生室６２２の容積が変化することによって、ノズル孔６１２から液体等が吐出される。
【００３２】
振動板１は、図２に示すように、ノズル孔６１２に連通する圧力発生室６２２の上（図２の例では下）に形成される。振動板１は、プレート状の部材であって、後述する圧電素子５０が形成される基面を有する。振動板の材質としては、例えば、酸化シリコン、酸化ジルコニウムなどの酸化物や、ＳＵＳ、ニッケルなどの金属、ポリイミドなどの樹脂膜、またはこれらの積層体が挙げられる。振動板１０は、可撓性を有し、圧電体層２０の動作によって変形（屈曲）することができる。
【００３３】
図１に示すように、振動板１上方の複数の圧電素子５０（能動部２５）が設けられた領域を能動領域２（図示の例では、一点破線で囲まれた領域）とし、振動板１上方の能動領域２以外の領域を非能動領域３（能動領域２と隣り合う領域）とする。
【００３４】
圧電素子５０は、流路形成基板６２０上（図２の例では下）に、圧力発生室６２２に対応して設けられる。圧電素子５０は、圧力発生室６２２に対応して設けられた第１電極１０と、第１電極１０の上方に形成された圧電体層２０と、圧電体層２０の上方に形成された第２電極３０と、を備える（図４参照）。
【００３５】
圧電素子５０の第１電極１０および第２電極３０は、それぞれ駆動回路１０００に接続される。第１電極１０と第２電極３０とに挟まれた圧電体層２０である能動部２５は、駆動回路１０００からの可変の駆動電圧からなる駆動信号に基づいて所望の動作（振動、変形）をすることができる。第１電極１０は、駆動回路１０００の一定の電圧を印加する端子（または接地回路）と接続され、第２電極３０は、駆動回路１０００の可変の駆動電圧が印加される端子と接続される。動作時においては、第１電極１０は、陰極電極として機能し、第２電極３０は、陽極電極として機能する。第１電極１０は、複数の圧電素子５０の共通電極として機能する。第２電極３０は、複数の圧電素子５０の個別電極として機能する。詳細は後述される。
【００３６】
能動領域２において、図１に示すように、圧電素子５０は第１の方向（図示の例ではＸ軸方向）に延びるように形成される。より具体的には、圧電素子５０は、第１の方向に延びる能動部２５を有する。
【００３７】
ここで、「第１の方向に延びている」とは、第１の方向における幅が、第１の方向と直行する第２の方向（図示の例ではＹ軸方向）の幅よりも長いことを意味する。以下、その他の部材においても同様である。
【００３８】
能動領域２において、図１に示すように、複数の圧電素子５０が、第２の方向において隣り合うように並設される。したがって、能動領域２は４辺の外周辺を有する矩形の領域であってもよい。
【００３９】
第１の配線６０（図示の例では、灰色で示される領域の一部）は、図１に示すように、振動板１の上方の非能動領域３に形成される。第１の配線６０は、能動領域２の外周辺の少なくとも一部を囲むように形成される。また、第１の配線６０は、能動領域２内の圧電素子５０の第１電極１０と電気的に接続するように形成される。第１の配線６０と第１電極１０との電気的な接続構造は後述される。したがって、第１の配線６０は、共通電極である複数の第１電極１０と駆動回路１０００とを電気的に接続するリード配線の一部である。
【００４０】
図１に示すように、第１の配線６０は、能動領域２の第１の方向（Ｘ軸方向）における一方の側方に形成された第１の部分６１と、能動領域２の第１の方向における他方の側方に形成された第２の部分６２と、能動領域の第２の方向（Ｙ軸方向）における一方の側方に形成され、第１の部分６１と第２の部分６２とを連続する第３の部分６３と、を含む。
【００４１】
第１の配線６０の構造および材料は、特に限定されない。例えば、第１の配線６０は、単層で形成されていてもよい。あるいは、第１の配線６０は、複数の膜の積層体で形成されていてもよい。
【００４２】
第１の配線６０の材質は、導電性を有する物質である限り特に限定されない。第１の配線６０の材質として、例えば、Ｎｉ、Ｉｒ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｗ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｐｄなどの各種の金属およびこれらの金属の合金、それらの導電性酸化物（例えば酸化イリジウムなど）、ＳｒとＲｕの複合酸化物、ＬａとＮｉの複合酸化物などを用いることができる。
【００４３】
好適には、第１の配線６０は、圧電素子５０の第１電極１０および第２電極３０よりも良好な導電性を有する材料（電気的抵抗値がより低い材料）から構成される。例えば、第１の配線６０は、Ａｕを含む導電層であってもよい。
【００４４】
第１の配線６０の配線幅や厚みは設計上、適宜決定できる事項である。したがって、これらの事項は、レイアウトのデザインルールや製造方法上の制約が許容する範囲内において、第１の配線６０の表面積がより広くなり、その厚みがより厚くなるように設定することができる。例えば、第１の配線６０の膜厚は、１．０μｍ以上（１．３μｍ程度）であってもよい。このような第１の配線６０を設けることで、共通電極である複数の第１電極１０に電圧を印加する際、リード配線自体の抵抗に起因した電圧降下を効果的に抑制することができる。
【００４５】
なお、図示はされないが、能動領域２の第２の方向（Ｙ軸方向）における他方の側方（第３の部分６３とは反対側）において、第１の部分６１と第２の部分６２とを接続する第４の部分が設けられていてもよい。換言すれば、第１の配線６０は、能動領域２の全外周辺を囲むように設けられていてもよい。これによれば、第１の配線６０の面積がより広くなり、電圧降下をより抑制することができる。
【００４６】
配線７０は、図１に示すように、非能動領域３において、能動領域２内から第２の部分６２の方へ延びるように形成される。複数の配線７０は、能動領域２内において、複数の圧電素子５０の第２電極３０とそれぞれ接続し、能動領域２外に引き出される。または、配線７０は、能動領域２内の第２電極３０がそのまま非能動領域３に延びている部分であってもよい。配線７０は、第２電極１０と駆動回路１０００とを接続するリード配線である。上述したように、第２電極３０は個別電極であるため、複数の配線７０には、それぞれ個別に駆動電圧が印加される。
【００４７】
配線７０の構造および材料は、特に限定されない。例えば、第１の配線６０と同じ構造および材料から形成されていてもよい。また、第１の配線６０と一体形成されていてもよい。
【００４８】
駆動回路１０００の出入力端子からの配線と、第１の配線６０および配線７０との接続部分は、特に限定されない。例えば、駆動回路１０００の出入力端子からの配線は、ワイヤーボンディング等により、第１の配線６０および配線７０にそれぞれ適宜接続される。
【００４９】
筐体６３０は、図２に示すように、ノズル板６１０、流路形成基板６２０および圧電素子５０等を収納することができる。筐体６３０の材質としては、例えば、樹脂、金属などを挙げることができる。
【００５０】
［圧電素子（能動領域）］
以下、図面を参照して、本実施形態に係る液体噴射ヘッド６００に係る圧電素子５０（能動領域２）の詳細について説明する。
【００５１】
図３は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド６００の能動領域２および非能動領域３の一部を模式的に示す拡大平面図である。図４は図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。図５は図３のＶ−Ｖ線断面図である。
【００５２】
図３〜図５に示すように、能動領域２には、複数の圧電素子５０が設けられる。複数の圧電素子５０は、圧電体層２０に形成された開口部２２によってそれぞれ離間されていてもよい。図示はされないが、隣り合う圧電素子５０が完全に離間するように、開口部２２ではなく溝部を形成してもよい。
【００５３】
第１電極１０は、図３、図５に示すように、第１の方向（Ｘ軸方向）に延びるように形成される。図４に示すように、第１電極１０は圧力発生室６２２に対応して設けられる。図３および図５に示すように、第１電極１０は、第１の方向（Ｘ軸方向）における一方の端部１１を圧力発生室６２２の上方において有する。図５に示すように、端部１１は、能動部２５の第１の方向（Ｘ軸方向）における一方の端面を規定することができる。
【００５４】
第１電極１０は、圧電素子５０において下部電極（第２電極３０と対になる電極）を構成する。第１電極１０の構造および材料は、特に限定されない。例えば、第１電極１０は、単層で形成されていてもよい。あるいは、第１電極１０は、複数の膜の積層体で形成されていてもよい。第１電極１０の材質は、導電性を有する物質である限り特に限定されない。第１電極１０の材質として、例えば、Ｎｉ、Ｉｒ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｗ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｐｄ、Ｃｕなどの各種の金属およびこれらの金属の合金、それらの導電性酸化物（例えば酸化イリジウムなど）、ＳｒとＲｕの複合酸化物、ＬａとＮｉの複合酸化物などを用いることができる。また、第１電極１０は後述する圧電体層２０の成膜を補助する、又は特性を改善するための機能を有していてもよい。
【００５５】
図３に示すように、複数の第１電極１０は、非能動領域３において形成された共通導電層１５と接続するように形成される。第１電極１０は、図３に示すように、共通導電層１５と一体的に形成されていてもよい。換言すれば、能動領域２内の第１電極１０から非能動領域３へ延びた部分が共通導電層１５であってもよい。また、図示はされないが、能動領域２内から引き出された第１電極１０と、非能動領域３に別途形成された共通導電層１５とが、非能動領域３において接続するように形成されていてもよい。このように、複数の第１電極１０が接続する共通導電層１５を設けることにより、第１電極１０は、複数の圧電素子５０の共通電極であることができる。共通導電層１５の配置は、特に限定されない。例えば、圧電素子５０が並列する方向（Ｙ軸方向）に沿って形成される。
【００５６】
共通導電層１５の構造および材料は、特に限定されない。例えば、第１電極１０と同じ構造および材料から形成されていてもよい。また、第１電極１０と一体形成されていてもよい。
【００５７】
図３および図５に示すように、共通導電層１５は、第１の接続部１６を有する。第１の接続部１６は、共通導電層１５の一部であり、複数設けられていてもよい。図５に示すように、第１の接続部１６は、第１の配線６０の第１の部分６１が共通導電層１５と接続する部分である。これにより、第１の配線６０と第１電極１０とが共通導電層１５を介して電気的に接続される。
【００５８】
また、図５に示すように、振動板１の上には、導電層１９が設けられていてもよい（図３には図示せず）。導電層１９は、第１電極１０を所望の形状にパターニングされる際に、同じ材料でもって同時に形成されてもよい。また導電層１９は後述する圧電体層２０の成膜を補助する、又は特性を改善するための機能を有していてもよい。
【００５９】
導電層１９の形成される領域は、第１電極１０と電気的に絶縁される限り特に限定されない。これによれば、後述される圧電体層２０の結晶成長界面のうち、より多くの面を導電層とすることができるため、圧電体層２０の成膜を補助する、又は特性を改善することができる。
【００６０】
なお、図示はしないが、第１電極１０と振動板１との間には、例えば、両者の密着性を付与する層が形成されてもよい。このような層の例としては、例えば、ジルコニウムやチタンなどの各種の金属、または、それらの酸化物の層が挙げられる。
【００６１】
また、図示はしないが、第１電極１０と圧電体層２０との間には、例えば、圧電体層２０の成膜を補助する、または特性を改善するための層が形成されていてもよい。例えば、圧電体層２０の結晶方位を制御するためにチタンが成膜されていてもよい。
【００６２】
圧電体層２０は、図４および図５に示されるように、第１電極１０と第２電極３０との間に配置される。図４および図５に示されるように、圧電体層２０は、第１電極１０および振動板１の上に形成される。図３および図５に示すように、圧電体層２０は、圧力発生室６２２の上方において、第１の方向（Ｘ軸方向）に延びるように形成されていてもよい。図４に示すように、圧電体層２０は、振動板１の上において、第１電極１０が露出しないように形成される（覆うように形成される）。一般的に、第１電極１０が大気に露出している場合、大気中の水分等の影響を防ぐために保護膜等によって覆う必要がある。しかしながら、本実施形態に係る液体噴射ヘッドによれば、第１電極１０が露出しないため、第１電極１０の保護膜を形成する必要がない。
【００６３】
図４に示すように、圧電体層２０は、後述される第２電極３０が形成される上面２１（第１電極１０側の面とは反対側の面）と、テーパー状の側面２２と、を有する。側面２２は、圧電体層２０の上面２１とは反対側の面と、上面２１と、を連続する面である。図３および図４に示すように、側面２２は、開口部２２の一部を構成していてもよい。
【００６４】
圧電体層２０の材質としては、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト型酸化物が好適に用いられる。このような材質の具体的な例としては、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ３）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、ニオブ酸カリウムナトリウム（（Ｋ，Ｎａ）ＮｂＯ３）などが挙げられる。
【００６５】
圧電体層２０は、図３および図５に示すように、共通導電層１５の第１の接続部１６の上に開口部２６が形成される。これより、第１の接続部１６が圧電体層２０から露出し、第１の配線６０と接続することができる。
【００６６】
第２電極３０は、図３〜図５に示すように、複数の圧電体層２０の上にそれぞれ形成される。第２電極３０は、第１電極１０と共に、圧電体層２０を挟むように配置される。図３および図５に示すように、第２電極３０は、第１の方向（Ｘ軸方向）において、延びるように形成される。図５に示すように、第２電極３０は、第１の方向（Ｘ軸方向）における一方の端部３１を圧力発生室６２２の上方において有していてもよい。図５に示すように、端部３１は、能動部２５のＸ軸方向における他方の端面を規定することができる。
【００６７】
図示はされないが、第２電極３０は、圧電体層２０の側面２２を覆っていてもよい。しかしながら、隣り合う第２電極３０は、互いに離間し、電気的に分離されるように形成される。
【００６８】
第２電極３０は、圧電素子５０において上部電極（第１電極１０と対になる電極）を構成する。第２電極３０の構造および材料は、特に限定されない。例えば、第２電極３０は、単層で形成されていてもよい。あるいは、第２電極３０は、複数の膜の積層体で形成されていてもよい。第２電極３０の材質は、導電性を有する物質である限り特に限定されない。第２電極３０の材質として、例えば、Ｎｉ、Ｉｒ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｗ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｐｄなどの各種の金属およびこれらの金属の合金、それらの導電性酸化物（例えば酸化イリジウムなど）、ＳｒとＲｕの複合酸化物、ＬａとＮｉの複合酸化物などを用いることができる。
【００６９】
図３および図５に示すように、第２電極３０は、配線７０と接続する。上述のように、配線７０は、駆動回路１０００と接続されるリード配線である。したがって、第２電極３０は、配線７０を介して駆動回路１０００と電気的に接続される。
【００７０】
図５に示すように、圧電体層２０の開口部２６内には、導電層３５が形成されていてもよい（図３には図示せず）。導電層３５は、第１の接続部１６と、第１の配線６０の第１の部分６１との間に設けられていてもよい。導電層３５によれば、エッチングやレジスト剥離などの加工時において、第１の接続部１６の表面に露出する第１電極１０のオーバーエッチを防ぐことができ、第１電極１０と第１の配線６０との間の電気的導通を良好にすることができる（断線を回避することができる）。
【００７１】
以上のいずれかの構成により、本実施形態に係る液体噴射ヘッド６００の構成とすることができる。
【００７２】
なお、ここでは、液滴噴射ヘッド６００がインクジェット式記録ヘッドである場合について説明した。しかしながら、本発明の液滴噴射ヘッドは、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどとして用いられることもできる。
【００７３】
本実施形態に係る液体噴射ヘッド６００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００７４】
これまでは、下部電極である第１電極１０を共通電極として用いる場合、特許文献１の国際公開第２００５／０２８２０７号公報に記載されるように、下部電極上に、圧電体層と上部電極を備えたセグメントを複数形成する形態が知られている。しかしながら、このような形態においては、下部電極の一部がセグメント間で露出する構造になっている。したがって、プロセスダメージや水分付着等から下部電極を保護するために、保護膜を別途形成する必要があった。
【００７５】
これに対し、液滴噴射ヘッド６００の圧電素子５０においては、第１電極１０は、圧電体層２０に覆われており露出していないため、上記のような問題が発生せず、保護膜を形成する必要がない。
【００７６】
また、液滴噴射ヘッド６００は、複数の第１電極１０と接続した共通導電層１５を備えることで、第１電極１０を複数の圧電素子の共通電極として用いることができる。故に、第１電極１０を陰極として用い、第２電極３０を陽極として用い、第２電極３０に駆動電圧を印加することができる。液体噴射ヘッド６００は順バイアス駆動でもって圧電素子５０を駆動させることができるため、下部電極を陽極とし上部電極を陰極とする場合と比べて、より良好な対クラック耐性を有することができる。
【００７７】
以上から、液滴噴射ヘッド６００によれば、第１電極１０用の保護膜を形成する必要がなく、より良好な対クラック耐性を有する液体噴射ヘッドを提供することができる。
【００７８】
１．２  第２実施形態
以下、図面を参照して、第２実施形態に係る液体噴射ヘッド６０１について説明する。第２実施形態に係る液体噴射ヘッド６０１は、第１実施形態に係る液体噴射ヘッド６００と比べて第１電極１０と駆動回路１０００とを電気的に接続するリード配線の構成のみ異なる。したがって、液体噴射ヘッド６０１に係る説明では、液体噴射ヘッド６００と同様の構成は同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００７９】
図６は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド６０１の要部を模式的に示す平面図である。図６においても、図１と同様、能動領域２内の圧電素子５０等の詳細な構成は省略され、能動部２５（図示の例では斜線部分）のみを簡略化して図示している。
【００８０】
まず、図６を参照し、非能動領域３におけるリード配線の構成に関して説明する。
【００８１】
本実施形態に係る液体噴射ヘッド６０１においては、図６に示すように、第１の配線６０の第２の部分６２から能動領域２内に延びる第２の配線８０（図示の例では、灰色で示される領域の一部）が形成される。第２の配線８０は、能動領域２内において圧電素子５０の第１電極１０と電気的に接続するように形成される。したがって、第２の配線８０は、第１電極１０と駆動回路１０００とを電気的に接続するリード配線の一部である。
【００８２】
第２の配線８０の構造および材料は、特に限定されない。例えば、第２の配線８０および第１の配線６０は、一体的に形成され、連続した導電層であってもよい。
【００８３】
次に、第２の配線８０と第１電極１０との電気的接続の態様の一例について説明する。
【００８４】
図７は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド６０１の能動領域２および非能動領域３の一部を模式的に示す拡大平面図である。図８は、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。図９は、図７のＩＸ−ＩＸ線断面図である。
【００８５】
第２の配線８０は、図７〜図９に示すように、能動領域２内の振動板１の上において第１の方向（Ｘ軸方向）に延びる複数の配線であって、隣り合う圧電素子５０の間にそれぞれ配置される（図７の例では、灰色で示される領域の一部）。図４および図６に示すように、第２の配線８０は、能動領域２内において、開口部２２内であって、壁部６２１の上方に形成される。
【００８６】
共通導電層１５は、図７および図９に示すように、第２の配線８０と接続する第２の接続部１７を有していてもよい。第２の接続部１７は、複数の圧電素子５０の間のそれぞれの領域において、第２の配線８０に対応して形成されていてもよい。第２の接続部１７は、能動領域２内において圧電体層２０に形成された開口部２２から露出し、第２の配線８０と接続されていてもよい。
【００８７】
上述のように、第２の配線８０は、第１の配線６０の第２の部分６２と接続されている。したがって、共通導電層１５（第１電極１０）は、第２の接続部１７および第２の配線８０を経由して第１の配線６０と接続される。なお、第２の配線８０が第２の接続部１７と接続する部分の配置は、特に限定されない。
【００８８】
［変形例］
以下、図面を参照して、変形例に係る液体噴射ヘッド６０２について説明する。図１０は、本実施形態に係る液体噴射ヘッド６０１の変形例を示す平面図である。図１１は、図７のＸＩ−ＸＩ線断面図である。
【００８９】
変形例に係る液体噴射ヘッド６０２において、第２の部分６２から能動領域２内へ延びた第２の配線８０は、能動領域２内から非能動領域３へさらに延び、第１の配線６０の第１の部分６１と直接、接続するように形成されていてもよい。第２の配線８０は、開口部２２内の振動板１上から圧電体層２０上の第１の部分６１に至るように形成されていてもよい。
【００９０】
第２の配線８０がこのような態様である場合、図１０に示すように、共通導電層１５は、第２の接続部１７は含まない。変形例に係る第２の配線８０は、第１の接続部１６を介して第１電極１０と電気的に接続される。
【００９１】
以上のいずれかの構成により、本実施形態に係る液体噴射ヘッド６０１（６０２）の構成とすることができる。
【００９２】
本実施形態に係る液体噴射ヘッド６０１（６０２）は、第１実施形態に係る液体噴射ヘッド６００の備える特徴に加えて、例えば、以下の特徴を有する。
【００９３】
液滴噴射ヘッド６０１（６０２）によれば、複数の圧電素子５０が形成された能動領域２内において、隣り合う前記圧電素子５０の間にそれぞれ配置された第２の配線８０を備え、第２の配線８０は、共通導電層１５を介して複数の第１電極１０と電気的に接続される。これによれば、共通電極である第１電極１０に対するリード配線として、第２の配線８０が更に加わるため、第１電極１０へのリード配線における電圧降下をより効果的に抑制することができる。また、第１の配線６０の第１の部分６１をさらに広面積化したり、膜厚をより厚くしたりすることが設計上の理由から困難である場合であっても、第２の配線８０を設けることで、第１電極１０へのリード配線における電圧降下を図ることができる。
【００９４】
また、上述のように、近年、液体噴射ヘッド内において配列される圧電素子の数が増加しているため、圧電素子間において共通電極自体の抵抗による電圧降下の影響が大きくなり、各ノズル孔からの吐出液体体積の均一性が低下する可能性がある。
【００９５】
ここで、圧電素子の実際の変位量は、下部電極と上部電極とによって印加される実質的な電圧値により決定される。つまりは、駆動回路１０００の端子からの配線との接続部から、それぞれの圧電素子の下部電極までのリード配線の距離が長いほど、電圧降下の影響により印加される電圧値が低下するため、複数の圧電素子間における変位量に個体差が発生する。
【００９６】
これに対し、第２の配線８０を設けることで、第１電極１０へのリード配線における電圧降下を抑制することができるため、複数の圧電素子間における変位量の個体差をより低減し、複数の圧電素子５０が変形して吐出される液体の体積を均一化することができる。故に、液滴噴射ヘッド６０１（６０２）によれば、液体噴射ヘッドの液滴吐出の均一性を向上させることができる。
【００９７】
２．  液体噴射ヘッドの製造方法
以下、図面を参照して、液体噴射ヘッド６００（６０１、６０２）の製造方法の一例について説明する。図１２〜図１６は、液体噴射ヘッド６００（６０１、６０２）の製造方法を模式的に示す断面図である。なお、図１２〜図１６は、図３のＶ−Ｖ線における断面図と対応する。
【００９８】
なお、液体噴射ヘッドの製造方法は、流路形成板６２０、ノズル板６１０を形成するために用いられる材質が単結晶シリコン等を用いる場合と、ステンレス等を用いる場合とによって異なる。以下において、単結晶シリコンを用いた場合の液体噴射ヘッドの製造方法を一例として記載する。本実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、特に以下の製造方法に限定されず、ニッケルやステンレス鋼、ステンレス等を材料として用いる場合は、公知の電鋳法等の工程を含んでいてもよい。また、各工程の先後は、以下に記載の製造方法に限定されるものではない。
【００９９】
図１２に示すように、準備された単結晶シリコンからなり、加工されて流路形成基板６２０となる基板６２０ａの上に、振動板１を形成する。振動板１は、公知の成膜技術によって形成される。例えば、振動板１は、酸化シリコンからなる第２の層１ｂを熱処理法などにより形成した後、酸化ジルコニウムからなる第１の層１ａをスパッタリング法等によって形成してもよい。
【０１００】
振動板１を形成した後に、図１２に示すように、振動板１の振動板１上に第１電極１０を形成する。ここで、第１電極１０の詳細な構成は、前述されているため、省略する。第１電極１０は、公知の成膜技術によって形成されてもよい。例えば、白金、イリジウム等をスパッタリング法等によって積層することによって導電層（図示せず）を形成し、導電層を所定の形状にエッチングすることによって第１電極１０を形成してもよい。このとき、第１電極１０をパターニングする際に、共通導電層１５、第２の接続部１７、導電層１９を適宜形成してもよい（図５、図９参照）。
【０１０１】
ここで、図示はされないが、第１電極１０を形成するための導電層がエッチングによってパターニングされる前に、該導電層の上に圧電体層２０と同じ材料からなるエッチング保護層を形成してもよい。この層は下部電極の表面がレジスト剥離等のダメージによって変質し、圧電体の結晶配向制御機能が失われることを回避し、かつダメージによる変質によって下部電極と圧電体の界面が劣化し、絶縁性や圧電特性が低下することを防ぐ。この保護層は、少なくとも、所望の形状にパターニングされる第１電極１０が形成される領域に形成されてもよい。これによれば、第１電極１０をパターニングするエッチング工程において、使用されるエッチャントによる化学的なダメージから第１電極１０の表面を保護することができる。
【０１０２】
次に、図１３に示すように、第１電極１０を覆うように圧電体層２０を形成する。ここで、圧電体層２０の詳細な構成は、前述されているため、省略する。圧電体層２０は、スパッタ法、ＣＶＤ法、塗布法などにより成膜された圧電体層膜をパターニングすることによって形成される。これにより、圧電体層２０の側面２２が形成される。ここで、開口部２２を形成してもよい（図３および図４参照）。具体的には、圧電体層膜は、例えば、公知の圧電材料である前駆体を振動板１の上に塗布して加熱処理されて形成されてもよい。用いられる前駆体としては、加熱処理によって焼成した後、必要に応じて分極処理され、圧電特性を発生させるものであれば特に限定されず、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛等の前駆体を用いてもよい。なお、エッチング保護膜が形成される場合、エッチング保護膜は圧電体層２０と同じ圧電材料から形成されているため、焼成後、エッチング保護膜は圧電体層２０と一体化することができる。
【０１０３】
ここで、例えば圧電体層２０をチタン酸ジルコン酸鉛によって形成する場合、図示はされないが、第１電極１０、共通導電層１５、導電層１９等を形成後、チタンからなる中間チタン層を振動板１の上の全面に形成した後に、圧電材料である前駆体を塗布したりしてもよい。これによれば、下部電極がなく、振動板１が露出する領域で成長する圧電体の結晶性を制御することができ、下部電極上に成長する圧電体との差を少なくすることができ、圧電素子の信頼性を向上させることができる。なお、中間チタン層は圧電体成膜時の加熱処理によって圧電体層２０の結晶内に取り込まれることができる。
【０１０４】
また、図示はされないが、圧電体層２０をエッチングにより所望の形状にパターニングし、開口部２６を形成する際、圧電体層全面に導電層を形成した後にエッチングしてもよい。この導電層は圧電体表面をレジスト剥離等のプロセスダメージから守る事により、圧電体と上部電極の界面を良好に保ち、圧電特性や信頼性を向上させることができ、かつ、レジストと併用することでエッチング時のハードマスクとして用いてもよい。これによれば、圧電体層２０にテーパー状の側面２２を容易に形成することができる。
【０１０５】
導電層の材質としては、第２電極３０と同様の材質が使用でき、第２電極３０と同質でも異質でもよい。また膜厚は第２電極３０よりも厚くても薄くてもよい。
【０１０６】
次に、図１４に示すように、第２電極３０を圧電体層２０の上に形成する。ここで、第２電極３０の詳細な構成は、前述されているため、省略する。図１４に示すように、第２電極３０をパターニングにより形成する際、導電層３５を形成してもよい。第２電極３０は、公知の成膜技術によって形成されてもよい。第２電極３０は、例えば、白金、イリジウム等をスパッタリング法等によって積層することによって形成してもよい。ここで、導電層３５を形成することにより、第１の接続部１６をプロセスダメージから保護することができる。例えばレジストを塗布した後、露光処理と現像処理を行ってレジスト膜を形成し、レジスト膜をマスクとしてエッチングを行う場合、有機アルカリ現像液、有機剥離液、洗浄液等が用いられる。したがって、開口部２６内の第１電極１０の第１の接続部１６が、オーバーエッチングされる可能性を無くすことができる。また、エッチングの後に、開口部２６内の第１電極１０の第１の接続部１６が、有機剥離液、洗浄液等に晒されて化学的ダメージを受けることを防ぐことができる。
【０１０７】
次に、図１５に示すように、第１の配線６０、配線７０、および／または第２の配線８０を適宜形成する（図１５の例では、第１の配線６０の第１の部分６１および配線７０の一部のみを示す）。ただし、第１実施形態に係る液体噴射ヘッド６００を製造する場合、第２の配線８０は形成されないことは言うまでもない。ここで、第１の配線６０、配線７０、および第２の配線８０の詳細な構成は、前述されているため、省略する。第１の配線６０、配線７０、および第２の配線８０は、公知の成膜技術によって成膜された導電層を所望の形状にパターニングすることによって形成される。
【０１０８】
図１６に示すように、封止板６３０を圧電素子５０の上方より搭載する。ここで、圧電素子５０は、封止領域内に封止されることができる。封止板６３０は、例えば、接着剤によって圧電素子５０を封止してもよい。次に、図１６に示すように、基板６２０ａを所定の厚みに薄くし、圧力発生室６２２などを区画する。例えば、所定の厚みを有した基板６２０ａに対し、所望の形状にパターニングされるようにマスク（図示せず）を、振動板１が形成された面と反対の面に形成し、エッチング処理することによって、圧力発生室６２２、壁部６２０、供給路（および連通路）６２６、およびリザーバ６２４を区画する（図２参照）。以上によって、振動板１の下方に圧力発生室６２２を有した流路形成板６２０を形成することができる。流路形成板６２０を形成した後、図１６に示すように、ノズル孔６１２を有したノズル板６１０を、例えば接着剤等により所定の位置に接合する。これによって、ノズル孔６１２は、圧力発生室６２２と連通する。
【０１０９】
以上のいずれかの方法により、液体噴射ヘッド６００（６０１、６０２）を製造することができる。なお、前述の通り、液体噴射ヘッド６００（６０１、６０２）の製造方法は、上述の製造方法に限定されずに、流路形成板６２０およびノズル板６１０を、電鋳法等を用いて一体形成してもよい。
【０１１０】
３．  液体噴射装置
次に、本実施形態にかかる液体噴射装置について、図面を参照しながら説明する。図１７は、本実施形態にかかる液体噴射装置７００を模式的に示す斜視図である。
【０１１１】
液体噴射装置７００は、本発明に係る液体噴射ヘッドを有する。以下では、本発明に係る液体噴射ヘッドとして、液体噴射ヘッド６００（６０１、６０２）を用いた例について説明する。
【０１１２】
液体噴射装置７００は、図１７に示すように、ヘッドユニット７３０と、駆動部７１０と、制御部７６０と、を含む。さらに、液体噴射装置７００は、装置本体７２０と、給紙部７５０と、記録用紙Ｐを設置するトレイ７２１と、記録用紙Ｐを排出する排出口７２２と、装置本体７２０の上面に配置された操作パネル７７０と、を含むことができる。
【０１１３】
ヘッドユニット７３０は、上述した液体噴射ヘッド６００（６０１、６０２）から構成されるインクジェット式記録ヘッド（以下単に「ヘッド」ともいう）を有する。ヘッドユニット７３０は、さらに、ヘッドにインクを供給するインクカートリッジ７３１と、ヘッドおよびインクカートリッジ７３１を搭載した運搬部（キャリッジ）７３２と、を備える。
【０１１４】
駆動部７１０は、ヘッドユニット７３０を往復動させることができる。駆動部７１０は、ヘッドユニット７３０の駆動源となるキャリッジモーター７４１と、キャリッジモーター７４１の回転を受けて、ヘッドユニット７３０を往復動させる往復動機構７４２と、を有する。
【０１１５】
往復動機構７４２は、その両端がフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸７４４と、キャリッジガイド軸７４４と平行に延在するタイミングベルト７４３と、を備える。キャリッジガイド軸７４４は、キャリッジ７３２が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ７３２を支持している。さらに、キャリッジ７３２は、タイミングベルト７４３の一部に固定されている。キャリッジモーター７４１の作動により、タイミングベルト７４３を走行させると、キャリッジガイド軸７４４に導かれて、ヘッドユニット７３０が往復動する。この往復動の際に、ヘッドから適宜インクが吐出され、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。
【０１１６】
なお、本実施形態では、液体噴射ヘッド６００（６０１、６０２）および記録用紙Ｐがいずれも移動しながら印刷が行われる液体噴射装置の例を示しているが、本発明の液体噴射装置は、液体噴射ヘッド６００（６０１、６０２）および記録用紙Ｐが互いに相対的に位置を変えて記録用紙Ｐに印刷される機構であればよい。また、本実施形態では、記録用紙Ｐに印刷が行われる例を示しているが、本発明の液体噴射装置によって印刷を施すことができる記録媒体としては、紙に限定されず、布、フィルム、金属など、広範な媒体を挙げることができ、適宜構成を変更することができる。
【０１１７】
制御部７６０は、ヘッドユニット７３０、駆動部７１０および給紙部７５０を制御することができる。
【０１１８】
給紙部７５０は、記録用紙Ｐをトレイ７２１からヘッドユニット７３０側へ送り込むことができる。給紙部７５０は、その駆動源となる給紙モーター７５１と、給紙モーター７５１の作動により回転する給紙ローラー７５２と、を備える。給紙ローラー７５２は、記録用紙Ｐの送り経路を挟んで上下に対向する従動ローラー７５２ａおよび駆動ローラー７５２ｂを備える。駆動ローラー７５２ｂは、給紙モーター７５１に連結される。制御部７６０によって供紙部７５０が駆動されると、記録用紙Ｐは、ヘッドユニット７３０の下方を通過するように送られる。ヘッドユニット７３０、駆動部７１０、制御部７６０および給紙部７５０は、装置本体７２０の内部に設けられる。
【０１１９】
液体噴射装置７００によれば、液体噴射ヘッド６００（６０１、６０２）を有することができる。
【０１２０】
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。
【符号の説明】
【０１２１】
１  振動板、２  能動領域、３  非能動領域、１０  第１電極、１１  端部、
１５  共通導電層、１６  第１の接続部、１７  第２の接続部、
１９  導電層、２０  圧電体層、２１  上面、２２  側面（開口部）、２５  能動部、
２６  開口部、３０  第２電極、３１  端部、３５  導電層、５０  圧電素子、
６０  第１の配線、６１  第１の部分、６２  第２の部分、６３  第３の部分、
７０  配線、８０第２の配線、
６００、６０１、６０２  液体噴射ヘッド、６１０  ノズル板、６１２  ノズル孔、
６２０  流路形成基板、６２２  圧力発生室、６２４  リザーバー、６２６  供給口、
６２８  貫通孔、６３０  筐体、７００  液体噴射装置、７１０  駆動部、
７２０  装置本体、７２１  トレイ、７２２  排出口、７３０  ヘッドユニット、
７３１  インクカートリッジ、７３２  キャリッジ、７４１  キャリッジモーター、
７４２  往復動機構、７４３  タイミングベルト、７４４  キャリッジガイド軸、
７５０  給紙部、７５１  給紙モーター、７５２  給紙ローラー、
７５２ａ  従動ローラー、７５２ｂ  駆動ローラー、７６０  制御部、
７７０  操作パネル。
【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図８】
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【図９】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１】
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【図３】
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【図６】
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【図７】
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【図１０】
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