(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置から前記電子部品を受け取った後、前記電子部品を実装装置へ受け渡すとともに、前記電子部品を前記搬送装置から受け取る受取位置から、前記電子部品を前記実装装置へ受け渡す受渡位置までの間を往復移動する供給ステージと、
前記受取位置に設けられ、前記受渡位置から前記受取位置に移動する前記供給ステージが衝突したときの衝撃を吸収する緩衝機構と、
前記供給ステージに設けられて、前記搬送装置が搬送した電子部品を吸着するとともに、前記供給ステージが前記緩衝機構に衝突して前記受取位置で停止するタイミングで気体を放出するノズルと、
を含むことを特徴とする部品供給装置。
【請求項２】
前記供給ステージは、前記受取位置側に前記ノズルから離脱した電子部品を受け取る電子部品ポケットを有する請求項１に記載の部品供給装置。
【請求項３】
前記ノズルから離脱した電子部品を受け取る電子部品ポケットが、前記受取位置に設けられる請求項１に記載の部品供給装置。
【請求項４】
前記供給ステージは、前記ノズルが配置されている部分から前記電子部品ポケットの間に、前記電子部品ポケットに向かって高さが低くなる傾斜部を有する請求項２または３に記載の部品供給装置。
【請求項５】
供給ステージのノズルが電子部品を吸着する吸着工程と、
前記ノズルが電子部品を吸着する受取位置から、前記供給ステージが実装装置へ前記電子部品を受け渡す受渡位置まで、前記供給ステージが移動する移動工程と、
前記受渡位置から前記受取位置に移動する前記供給ステージが、前記受取位置に設けられる緩衝機構に衝突することにより前記受取位置で停止するタイミングで前記ノズルが気体を放出する部品除去工程と、
を含むことを特徴とする部品供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品をストックする部分から電子部品を搬送して、実装装置に供給する部品供給装置及び部品供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハ又はトレイの形態で供給されるダイを、実装装置が吸着しやすい状態で供給するために、ウェハ又はトレイからダイの個片を、一定の間隔で並べられた供給ノズルに吸着させて供給する装置がある。例えば、特許文献１には、配列された複数の吸着ノズルを備えていると共に、位置決めされた受取位置で、該吸着ノズルに電子部品を吸着保持した後、駆動機構により直線移動された受渡位置で位置決めされ、該電子部品を受け渡す動作を、往復移動により繰り返す供給ヘッドを備えた部品供給装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−９９８４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された部品供給装置は、実装装置の吸着ミス等により、部品供給装置側の供給ノズルにダイが取り残されることがあった。取り残されたダイは、次回のダイの供給時に邪魔となるため、何らかの方法で取り除く必要があった。例えば、実装装置のノズルで取り除いたり、部品供給装置側のノズルで取り除いたり、供給ノズルを備えた供給ヘッドをダイ供給機側に引き戻す際に、エアで吹き飛ばしたりしていた。
【０００５】
しかしながら、実装装置のノズルで取り除く方法及び部品供給装置側のノズルで取り除く方法は生産タクト向上の妨げとなる。供給ステージをダイ供給機側に引き戻す際に、エアで吹き飛ばす方法は、専用のエア噴射装置の追加が必要となり、部品供給装置の製造コストの上昇を招く。
【０００６】
本発明は、生産タクト向上を阻害せず、製造コストの上昇を回避することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、
電子部品を搬送する搬送装置と、前記搬送装置から前記電子部品を受け取った後、前記電子部品を実装装置へ受け渡すとともに、前記電子部品を前記搬送装置から受け取る受取位置から、前記電子部品を前記実装装置へ受け渡す受渡位置までの間を往復移動する供給ステージと、前記供給ステージに設けられて、前記搬送装置が搬送した電子部品を吸着するとともに、前記供給ステージが前記受渡位置から移動を開始するタイミングと前記受取位置で停止するタイミングとの少なくとも一方で気体を放出するノズルと、を含むことを特徴とする部品供給装置である。
【０００８】
本発明において、前記供給ステージが前記受渡位置から移動を開始するタイミングで前記ノズルが気体を放出する場合、前記供給ステージは、前記受渡位置側に前記ノズルから離脱した電子部品を受け取る電子部品ポケットを有することが好ましい。
【０００９】
本発明において、前記供給ステージが前記受取位置で停止するタイミングで前記ノズルが気体を放出する場合、前記供給ステージは、前記受取位置側に前記ノズルから離脱した電子部品を受け取る電子部品ポケットを有することが好ましい。
【００１０】
本発明において、前記ノズルから離脱した電子部品を受け取る電子部品ポケットが、前記受渡位置又は前記受取位置に設けられる請求項１に記載の部品供給装置。
【００１１】
本発明において、前記供給ステージは、前記ノズルが配置されている部分から前記電子部品ポケットの間に、前記電子部品ポケットに向かって高さが低くなる傾斜部を有することが好ましい。
【００１２】
本発明は、  供給ステージのノズルが電子部品を吸着する吸着工程と、前記ノズルが電子部品を吸着する受取位置から、前記供給ステージが実装装置へ前記電子部品を受け渡す受渡位置まで、前記供給ステージが移動する移動工程と、前記供給ステージが前記受渡位置から移動を開始するタイミングと前記受取位置で停止するタイミングとの少なくとも一方で前記ノズルが気体を放出する部品除去工程と、を含むことを特徴とする部品供給方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、生産タクト向上を阻害せず、製造コストの上昇を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本実施形態に係る部品供給装置と、この部品供給装置から部品の供給を受ける表面実装装置とを示す平面図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る部品供給装置を示す平面図である。
【図３】図３は、本実施形態に係る供給ステージの平面図である。
【図４】図４は、図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図５は、本実施形態に係る供給ステージの断面図である。
【図６】図６は、供給ステージが受渡位置から移動するときの動作を説明するための図である。
【図７】図７は、供給ステージが受渡位置から移動するときの動作を説明するための図である。
【図８】図８は、供給ステージが受渡位置から移動するときの動作を説明するための図である。
【図９】図９は、供給ステージが備えるダイポケットとノズルとの位置関係を示す断面図である。
【図１０】図１０は、供給ステージが受取位置で停止するときの動作を説明するための図である。
【図１１】図１１は、供給ステージが受取位置で停止するときの動作を説明するための図である。
【図１２】図１２は、供給ステージが受取位置で停止するときの動作を説明するための図である。
【図１３】図１３は、供給ステージの第１変形例を示す断面図である。
【図１４】図１４は、供給ステージの第２変形例を示す断面図である。
【図１５】図１５は、第２変形例に係る供給ステージが受渡位置から移動するときの動作を説明するための図である。
【図１６】図１６は、第２変形例に係る供給ステージが受渡位置から移動するときの動作を説明するための図である。
【図１７】図１７は、第２変形例に係る供給ステージが受渡位置から移動するときの動作を説明するための図である。
【図１８】図１８は、供給ステージが受取位置で停止するときの動作を説明するための図である。
【図１９】図１９は、供給ステージが受取位置で停止するときの動作を説明するための図である。
【図２０】図２０は、供給ステージが受取位置で停止するときの動作を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成要素の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１６】
図１は、本実施形態に係る部品供給装置と、この部品供給装置から部品の供給を受ける表面実装装置とを示す平面図である。実装装置としての表面実装装置１は、部品供給装置１０から電子部品（本実施形態ではダイ）の供給を受ける。表面実装装置１は、矩形のベース部１Ｂと、ヘッド２と、Ｘ軸ロボットアーム４Ｘと、Ｙ軸ロボットアーム４Ｙと、搬送装置５とを有する。ベース部１Ｂは、Ｘ軸ロボットアーム４Ｘ及びＹ軸ロボットアーム４Ｙと、これらに支持されたヘッド２と、搬送装置５とを搭載して支持する。
【００１７】
ヘッド２は、部品供給装置１０から供給された電子部品を吸着するノズル３を複数備えている。ノズル３は、負圧によって電子部品を吸着する。ヘッド２は、Ｘ軸ロボットアーム４ＸとＹ軸ロボットアーム４Ｙとに支持されている。ヘッド２は、Ｘ軸ロボットアーム４ＸによってＸ方向に移動され、Ｙ軸ロボットアーム４ＹによってＸ方向と直交するＹ方向に移動される。搬送装置５は、一対のレール５Ｒ、５Ｒと、レール５Ｒ、５Ｒに搭載されてＸ方向に移動する搬送ステージ５Ｓとを備える。搬送ステージ５Ｓは、基板Ｓを搭載して搬送する。基板Ｓには、ヘッド２から電子部品が搭載される。
【００１８】
表面実装装置１が電子部品を基板Ｓに搭載する場合、ヘッド２は、Ｘ軸ロボットアーム４ＸとＹ軸ロボットアーム４Ｙとによって移動され、部品供給装置１０の部品供給位置に供給された電子部品をノズル３で吸着保持する。そして、ヘッド２は、搬送装置５によって表面実装装置１に搬送され、位置決めされている基板Ｓの表面に電子部品を搭載する。次に、部品供給装置１０について説明する。
【００１９】
図２は、本実施形態に係る部品供給装置を示す平面図である。部品供給装置１０は、ストック部１１と、保持部１２と、Ｘ軸ロボットアーム１５Ｘと、Ｙ軸ロボットアーム１５Ｙと、搬送装置としての吸着ヘッド１６と、吸着位置認識装置１７と、供給ステージ２０と、直動駆動機構３０とを備えている。部品供給装置１０は、表面実装装置１のベース部１Ｂに接合部１０Ａを介して連結されるとともに位置決めされる。部品供給装置１０及び表面実装装置１は、それぞれ内部に独立した制御装置を持ち、通信インターフェースを介して相互に連携している。次においては、説明の便宜上、部品供給装置１０の制御装置と表面実装装置１の制御装置とを特に区別せず、制御装置として説明する。
【００２０】
部品供給装置１０は、図２に示すように、表面実装装置１が配置されている側とは反対側にストック部１１が設けられている。ストック部１１は、複数のダイシングウェハＷが隙間を空けて積み重ねて保管されている。ダイシングウェハＷは、チップとなる電子回路が複数形成されたシリコンウェハが、所定の回路形成領域を単位に格子状にダイシングされることにより、複数のダイＤとして分離されるとともに、裏面に粘着シートが貼り付けられたものである。
【００２１】
保持部１２は、リング状の保持具１３を有している。保持具１３は、ストック部１１から保持部１２に引き出されたダイシングウェハＷを保持する。Ｘ軸ロボットアーム１５Ｘは、吸着ヘッド１６及び吸着位置認識装置１７を一体としてＸ方向に移動させ、Ｙ軸ロボットアーム１５Ｙは、吸着ヘッド１６及び吸着位置認識装置１７を一体としてＹ方向に移動させる。吸着ヘッド１６は、負圧によって電子部品としてのダイＤを吸着するノズルを有している。吸着ヘッド１６は、保持具１３に保持されたダイシングウェハＷからダイＤを吸着して、供給ステージ２０に受け渡す。
【００２２】
吸着位置認識装置１７は、例えば、画像認識用のカメラ、レーザポインタ又は距離計測センサ等である。吸着位置認識装置１７は、吸着ヘッド１６がダイＤを吸着するべき位置及び供給ステージ２０にダイＤを受け渡す位置等を取得する。吸着位置認識装置１７が取得した位置は、制御装置が取得する。この制御装置は、取得した前記位置に基づいて、吸着ヘッド１６がダイＤを吸着するべき位置又は供給ステージ２０にダイＤを受け渡す位置等を演算する。
【００２３】
供給ステージ２０は、負圧によってダイＤを吸着して保持するノズル２１と、ノズル２１から離脱したダイＤを受け取るダイポケット２２とを備えている。供給ステージ２０は、吸着ヘッド１６からダイＤを受け取った後、ダイＤを表面実装装置１へ受け渡すとともに、ダイＤを吸着ヘッド１６から受け取る受取位置Ｈから、ダイＤを表面実装装置１へ受け渡す受渡位置Ｐまでの間を往復移動する。受取位置Ｈは、吸着ヘッド１６の到達範囲に設けられ、受渡位置は、表面実装装置１のヘッド２の到達範囲に設けられる。供給ステージ２０が往復移動する方向は、Ｙ方向と平行な方向である。供給ステージ２０の構造は、後述する。
【００２４】
直動駆動機構３０は、直動ガイドレール３０Ｒと、無端のタイミングベルト３１と、受取位置Ｈ側の第１プーリ３２Ｈと、受渡位置Ｐ側の第２プーリ３２Ｐとを備える。タイミングベルト３１は、受取位置Ｈ側の第１プーリ３２Ｈと、受渡位置Ｐ側の第２プーリ３２Ｐとに掛け回されている。また、タイミングベルト３１は、供給ステージ２０に連結されている。供給ステージ２０は、直動ガイドレール３０Ｒによって案内されることにより、直線運動する。直動駆動機構３０は、第１プーリ３２Ｈ又は第２プーリ３２Ｈのいずれか一方を、例えば、電動機によって駆動する。そして、直動駆動機構３０は、前記電動機の回転方向を切り替えることにより、受取位置Ｈと受渡位置Ｐとの間で供給ステージ２０を直動ガイドレール３０Ｒに沿って往復直線移動させる。
【００２５】
受取位置Ｈ及び受渡位置Ｐには、それぞれ緩衝機構３３Ｈ、３３Ｐが設けられている。緩衝機構３３Ｈ、３３Ｐは、緩衝機構支持体３４Ｈ、３４Ｐに締結手段３５Ｈ、３５Ｐで締結され、固定される。受取位置Ｈの緩衝機構３３Ｈは、供給ステージ２０よりもストック部１１側に配置され、受渡位置Ｐの緩衝機構３３Ｐは、供給ステージ２０よりも表面実装装置１側に配置される。このような配置により、緩衝機構３３Ｈ、３３Ｐは、直動駆動機構３０によって移動する供給ステージ２０が衝突したときの衝撃を吸収する。この他に、部品供給装置１０は、ダイＤを反転させるダイ反転機構を有していてもよい。次に、部品供給装置１０が本実施形態に係る部品供給方法を実行して、ダイＤを表面実装装置１に供給する際の動作を説明する。
【００２６】
まず、制御装置は、ストック部１１に保管されているダイシングウェハＷを保持部１２に引き出し、保持具１３に位置決めして固定する。次に、制御装置は、Ｘ軸ロボットアーム１５ＸとＹ軸ロボットアーム１５Ｙとを駆動して、保持部１２に位置決めされているダイシングウェハＷの上方に吸着ヘッド１６を移動させる。そして、制御装置は、吸着すべきダイＤの位置を吸着位置認識装置１７で計測し、補正を加えた正確な位置に吸着ヘッド１６位置決めしする。その後、制御装置は、吸着ヘッド１６が備えるノズルを下降させ、ダイＤに前記ノズルの先端部が当接した時点で負圧を働かせてダイＤをノズルの先端部に吸着させる（吸着工程）。
【００２７】
制御装置は、ダイＤを吸着した吸着ヘッド１６のノズルを上昇させた後、Ｘ軸ロボットアーム１５ＸとＹ軸ロボットアーム１５Ｙとを駆動して、ダイＤを吸着した吸着ヘッド１６を受取位置Ｈに移動させ（移動工程）、供給ステージ２０が有するノズル２１と対向させる。次に、制御装置は、ダイＤを吸着した吸着ヘッド１６のノズルを下降させ、供給ステージ２０のノズル２１の先端部にダイＤを当接させる。制御装置は、ダイＤがノズル２１の先端部に当接したタイミングで、ノズル２１に負圧を発生させるとともに、吸着ヘッド１６によるダイＤの吸着を解除する。すると、供給ステージ２０のノズル２１は、吸着ヘッド１６が吸着していたダイＤを吸着する。このようにして、供給ステージ２０は、吸着ヘッド１６からダイＤを受け取る。
【００２８】
供給ステージ２０がダイＤを受け取ったら、制御装置は、吸着ヘッド１６を保持部１２に移動させ、再度他のダイＤを吸着して、まだダイＤを保持していない供給ステージ２０のノズル２１にダイＤを移載する動作を繰り返して行わせる。供給ステージ２０の複数のノズル２１がダイを必要数保持する状態になった時点で、制御装置は、直動駆動機構３０を駆動して、供給ステージ２０を受取位置Ｈから受渡位置Ｐへ移動させる。
【００２９】
受渡位置Ｐにおいて、制御装置は、供給ステージ２０のノズル２１によるダイＤの吸着を解除させる。そして、制御装置は、表面実装装置１のヘッド２を受渡位置Ｐに移動されるとともに、ヘッド２のノズル３に負圧を発生させて、供給ステージ２０のノズル２１上のダイＤをヘッド２のノズル３に吸着させる。このようにして、供給ステージ２０は、ダイＤを表面実装装置１のヘッド２に受け渡す。その後、制御装置は、ヘッド２に基板ＳへダイＤを搭載させる。供給ステージ２０が有するすべてのダイＤがヘッド２に受け渡されたら、制御装置は、供給ステージ２０を受渡位置Ｐから受取位置Ｈへ移動させる。このようにして、部品供給装置１０は、表面実装装置１にダイＤを供給する。次に、供給ステージ２０の構造を説明する。
【００３０】
図３は、本実施形態に係る供給ステージの平面図である。図４は、図３のＡ−Ａ断面図である。図５は、本実施形態に係る供給ステージの断面図である。図５は、図４の断面と同じ位置の断面を示している。以下に示す断面図も同様である。供給ステージ２０は、平面視が長方形形状の本体部２３と、本体部２３の外周部から立設する壁部２４とを有する。複数のノズル２１は、供給ステージ２０、より具体的には、供給ステージ２０の本体部２３のノズル設置部２５に設けられている。壁部２４は、ノズル２１がノズル設置部２５から突出する方向に向かって立設している。壁部２４の端部２４Ｔは、ノズル設置部２５の表面２５Ｐよりも高い位置にある。
【００３１】
本実施形態において、供給ステージ２０は、ノズル２１から離脱した電子部品としてのダイＤを受け取る、電子部品ポケットとしてのダイポケット２２を有している。供給ステージ２０は、受渡位置Ｐ側にダイポケット２２を有している。本実施形態において、ダイポケット２２は、受渡位置Ｐ側に設けられているが、受取位置Ｈ側に設けられていてもよい。ダイポケット２２の底部２２Ｂは、ノズル設置部２５の表面２５Ｐよりも低い位置にある。このため、ダイポケット２２は、ノズル設置部２５よりも凹んでいる。ノズル設置部２５及びダイポケット２２は、壁部２４で囲まれている。
【００３２】
ノズル設置部２５の周囲には、壁部２４を必ずしも設ける必要はないが、壁部２４により、ノズル２１から脱落したダイＤが供給ステージ２０から部品供給装置１０の内部へ落下して紛れ込むおそれを低減できる。壁部２４の端部２４Ｔとノズル２１の先端部との位置関係は、特に限定されるものではなく、いずれが高くてもよいし、両者の高さは同じであってもよい。ダイポケット２２は、ノズル２１から離脱したダイＤを受け取るため、壁部２４に囲まれた空間に、ノズル設置部２５よりも凹ませて形成されている。このようにすることで、ダイポケット２２は、確実にダイＤを保持して、部品供給装置１０の内部へダイＤが落下することを回避することができる。
【００３３】
図５は、供給ステージの変形例を示す断面図である。供給ステージ２０ａは、ノズル２１が配置されている部分であるノズル設置部２５は、ダイポケット２２に向かって高さが低くなる傾斜部２５Ｓで構成されている。傾斜部２５Ｓは、ノズル２１から離脱して落下したダイＤをダイポケット２２へ導く機能を有する。このため、傾斜部２５Ｓを有する供給ステージ２０ａは、ノズル２１から離脱したダイＤを確実にダイポケット２２へ移動させることができる。
【００３４】
ノズル２１は、供給ステージ２０に設けられている。ノズル２１は、吸着ヘッド１６が搬送したダイＤを吸着するとともに、供給ステージ２０が受渡位置Ｐから移動を開始するタイミングと受取位置Ｈで停止するタイミングとの少なくとも一方で気体を放出する。表面実装装置１のヘッド２が有するノズル３が供給ステージ２０のノズル２１からダイＤを吸着できず、ノズル２１の先端部にダイＤが取り残されることがある。取り残されたダイＤは、何らかの方法で取り除く必要がある。
【００３５】
供給ステージ２０は、ノズル２１が上述したタイミングで気体を放出することで、ノズル２１の先端部に取り残されたダイＤを離脱させる。例えば、供給ステージ２０が受渡位置Ｐから移動を開始するタイミングでノズル２１が気体を放出すると、ノズル２１からダイＤが離脱するタイミングで供給ステージ２０が受取位置Ｈに向かって移動、すなわち、受渡位置Ｐから離れていく。ノズル２１から離脱したダイＤは、水平方向においてはその位置に留まろうとするが、供給ステージ２０は、時間の経過とともに受取位置Ｈに向かって移動する。このため、水平方向におけるダイＤと供給ステージ２０との位置関係は変化する。より具体的には、水平方向においてダイＤはノズル２１から離れるとともに、ダイポケット２２に接近する。
【００３６】
ノズル２１から離脱したダイＤは、時間の経過とともに落下する。上述したように、時間の経過とともに、水平方向においてダイＤはダイポケット２２に接近するので、ダイＤの直下にはダイポケット２２が位置することになる。このため、落下したダイＤは、ダイポケット２２に受け止められる。このようにすることで、ノズル２１に取り残されたダイＤを確実に取り除くことができる。次に、部品供給装置１０が本実施形態に係る部品供給方法を実行することにより、供給ステージ２０が受渡位置Ｐから受取位置Ｈに向かって移動する際に、取り残されたダイＤを回収する例を説明する。
【００３７】
図６から図８は、供給ステージが受渡位置から移動するときの動作を説明するための図である。図６に示すように、受渡位置Ｐで供給ステージ２０が停止している。このとき、ノズル２１は負圧を発生しておらず、ダイＤは、ノズル２１に吸着されていない。図１、図２に示す制御装置は、受渡位置Ｐから供給ステージ２０を受取位置Ｈへ向かって移動させる場合、図７に示すように、供給ステージ２０が移動開始するのと同時又は移動を開始する直前のタイミングで、ノズル２１から気体Ｇを放出させる（部品除去工程）。すると、ダイＤは、ノズル２１から離脱する。
【００３８】
ノズル２１からダイＤが離脱した時点で、供給ステージ２０は受取位置Ｈへ向かって移動している。供給ステージ２０は、受渡位置Ｐ側にダイポケット２２を有しているので、供給ステージ２０が受取位置Ｈへ向かって移動すると、図８に示すように、ノズル２１から離脱したダイＤの下方にダイポケット２２が移動してくる。そして、ダイポケット２２は、落下してくるダイＤを受け止める。このように、部品供給装置１０は、供給ステージ２０が受渡位置Ｐから受取位置Ｈに移動を開始するタイミングでノズル２１が気体を放出することにより、ダイＤをノズル２１から離脱させてダイポケット２２に回収することができる。その結果、部品供給装置１０は、ノズル２１の先端部に取り残されていたダイＤを確実に取り除いて回収することができる。
【００３９】
ノズル２１は、取り残されたダイＤの有無に関わらず、供給ステージ２０が受渡位置Ｐに向かって移動を開始する際には気体Ｇを放出することが好ましい。このようにすれば、取り残されているダイＤを検出する装置を用いなくても、取り残されたダイＤをダイポケット２２へ確実に回収することができる。次に、部品供給装置１０が、取り残されたダイＤを回収する他の例を説明する。
【００４０】
図９は、供給ステージが備えるダイポケットとノズルとの位置関係を示す断面図である。図１０から図１２は、供給ステージが受取位置で停止するときの動作を説明するための図である。この例では、供給ステージ２０が有するダイポケット２２を、供給ステージ２０の受取位置Ｈ側に配置する。そして、ノズル２１は、供給ステージが２０受取位置Ｈで停止するタイミングで気体Ｇを放出する。
【００４１】
まず、図１０に示すように、供給ステージ２０が受渡位置Ｐから受取位置Ｈに向かって移動してきている。このとき、ノズル２１は負圧を発生しておらず、また、気体Ｇを放出していない。図１、図２に示す制御装置は、図１１に示すように、供給ステージ２０が受取位置Ｈで停止するのと同時又は停止する直前のタイミングで、ノズル２１から気体Ｇを放出させる。すると、ダイＤは、ノズル２１から離脱する。
【００４２】
ノズル２１からダイＤが離脱した時点で、供給ステージ２０は受取位置Ｈで停止する。供給ステージ２０は、受取位置Ｈの移動方向後方側にダイポケット２２を有しているので、供給ステージ２０が受取位置Ｈで停止すると、図１２に示すように、ノズル２１から離脱したダイＤは、供給ステージ２０が移動してきた方向（受渡位置Ｐから受取位置Ｈに向かう方向）に移動する。供給ステージ２０が移動してきた方向側にはダイポケット２２があるので、ダイポケット２２は、落下してくるダイＤを受け止める。
【００４３】
このように、部品供給装置１０は、供給ステージ２０が受取位置Ｈで停止するタイミングでノズル２１が気体を放出することにより、ダイＤをノズル２１から離脱させてダイポケット２２に回収することができる。その結果、部品供給装置１０は、ノズル２１の先端部に取り残されていたダイＤを確実に取り除いて回収することができる。
【００４４】
供給ステージ２０が受取位置Ｈに向かって移動を開始するタイミング又は受取位置Ｈで停止するタイミングでノズル２１が気体を放出する一連の動作は、供給ステージ２０が次のダイＤを供給するための動作に含まれている。このため、ダイＤの供給タクトには影響を与えず、ダイＤの供給タクト向上を阻害する要因にはならない。また、供給ステージ２０が有するノズル２１を流用してダイＤをノズル２１から離脱させるので、ダイＤをノズル２１から取り除くために新たな専用部品を追加する必要もない。このため、部品供給装置の製造コストの上昇及び保守・点検のコストの上昇を回避できるので、極めて経済的である。
【００４５】
ノズル２１に取り残されるダイＤの種類（寸法等）は予め分かっている。このため、ダイＤの種類に応じてノズル２１が気体Ｇを放出する時間又は強度をダイＤの種類毎に個別に制御することにより、寸法等が異なるダイＤであっても確実にダイポケット２２内にダイＤを落下させて回収することができる。
【００４６】
（供給ステージの第１変形例）
図１３は、供給ステージの第１変形例を示す断面図である。本変形例において、供給ステージ２０ｂは、ノズル２１に対して、受渡位置Ｐと受取位置Ｈとの両方に、それぞれダイポケット２２、２２Ｈを有している。この供給ステージ２０ｂを用いれば、供給ステージ２０が受取位置Ｈに向かって移動を開始するタイミング及び受取位置Ｈで停止するタイミングの両方でノズル２１から気体Ｇを放出させることができる。すなわち、ノズル２１に取り残されたダイＤを回収する機会を多くすることができる。例えば、供給ステージ２０が受取位置Ｈに向かって移動を開始するタイミングでノズル２１から気体Ｇを噴射させたときに取り残されたダイＤを回収できなくても、供給ステージ２０が受取位置Ｈで停止するタイミングで再びノズル２１から気体Ｇを放出させて、取り残されたダイＤをダイポケット２２に回収することができる。
【００４７】
（供給ステージの第２変形例）
図１４は、供給ステージの第２変形例を示す断面図である。本変形例において、供給ステージ２０ｃは、ノズル２１に対して、受渡位置Ｐ側と受取位置Ｈ側とのいずれにもダイポケットを有していない。このような供給ステージ２０ｃが受取位置Ｈに向かって移動を開始するタイミング又は受取位置Ｈで停止するタイミングでノズル２１が気体を放出すると、取り残されたダイＤは、供給ステージ２０の移動方向反対側又は移動方向側に落下する。
【００４８】
このような供給ステージ２０ｃを用いて本実施形態に係る部品供給方法を実行しても、ノズル２１に取り残されたダイＤをノズル２１から取り除くことはできる。しかし、落下したダイＤは、部品供給装置１０内に紛れ込むおそれがあるので、受渡位置Ｐ又は受取位置Ｈの下方に、凹部２７を有するダイポケット２６を配置して、落下してきたダイＤを受け止めて回収する。次に、供給ステージ２０ｃを有する部品供給装置１０が、本実施形態に係る部品供給方法を実行することにより、取り残されたダイＤを回収する例を説明する。
【００４９】
図１５から図１７は、第２変形例に係る供給ステージが受渡位置から移動するときの動作を説明するための図である。図１５に示すように、受渡位置Ｐで供給ステージ２０が停止している。受渡位置Ｐには、ダイポケット２６が設けられる。より具体的には、受渡位置Ｐに設けられたダイポケット２６は、供給ステージ２０ｃの下方に配置される。図１、図２に示す制御装置は、受渡位置Ｐから供給ステージ２０を受取位置Ｈへ向かって移動させる場合、図１６に示すように、供給ステージ２０ｃが移動開始するのと同時又は移動を開始する直前のタイミングで、ノズル２１から気体Ｇを放出させる。すると、ダイＤは、ノズル２１から離脱する。
【００５０】
ノズル２１からダイＤが離脱した時点で、供給ステージ２０は受取位置Ｈへ向かって移動している。供給ステージ２０ｃが受取位置Ｈへ向かって移動すると、図１７に示すように、ノズル２１から離脱したダイＤは受渡位置Ｐで落下する。受渡位置Ｐには、ダイポケット２６が配置されているので、ダイポケット２６は、落下してくるダイＤを受け止める。このように、部品供給装置１０は、供給ステージ２０ｃが受渡位置Ｐから受取位置Ｈに移動を開始するタイミングでノズル２１が気体を放出することにより、ダイＤをノズル２１から離脱させてダイポケット２６に回収することができる。その結果、部品供給装置１０は、ノズル２１の先端部に取り残されていたダイＤを確実に取り除いて回収することができる。次に、供給ステージ２０ｃを有する部品供給装置１０が、取り残されたダイＤを回収する他の例を説明する。
【００５１】
図１８から図２０は、供給ステージが受取位置で停止するときの動作を説明するための図である。まず、図１８に示すように、供給ステージ２０ｃが受渡位置Ｐから受取位置Ｈに向かって移動してきている。このとき、ノズル２１は負圧を発生しておらず、また、気体Ｇを放出していない。図１、図２に示す制御装置は、図１９に示すように、供給ステージ２０ｃが受取位置Ｈで停止するのと同時又は停止する直前のタイミングで、ノズル２１から気体Ｇを放出させる。すると、ダイＤは、ノズル２１から離脱する。受取位置Ｈでノズル２１から離脱したダイＤは、受渡位置Ｐから受取位置Ｈに向かう方向に移動しながら落下する。
【００５２】
受取位置Ｈには、ダイポケット２６が設けられる、より具体的には、受取位置Ｈにおいて、受取位置Ｈで停止した供給ステージ２０ｃと一部が重なるように、供給ステージ２０ｃの下方にダイポケット２６が配置されている。図１９に示すように、受取位置Ｈで供給ステージ２０ｃが停止した状態において、ダイポケット２６は、受渡位置Ｐから受取位置Ｈに向かう方向に凹部２７が張り出している。受取位置Ｈでノズル２１から離脱したダイＤは、供給ステージ２０ｃを超えて落下してくるので、ダイポケット２６は、このダイＤを受け止めて回収する。
【００５３】
このように、供給ステージ２０ｃがダイポケットを有していない場合でも、受渡位置Ｐ又は受取位置Ｈにおいて、ダイポケット２６を供給ステージ２０ｃの下方に配置した上で、本実施形態に係る部品供給方法を実行すれば、供給ステージ２０ｃがダイポケットを有している場合と同様の作用、効果を得ることができる。また、ノズル２１から気体Ｇを放出するタイミングは、前記実施形態に限らずに、受渡位置Ｐと受取位置Ｈとの移動途中であってもよい。この場合、ノズル２１から気体Ｇを放出するタイミングにおいて供給ステージの移動速度を変化させ、供給ステージ２０、２０ｃと離脱したダイＤとの移動方向における相対位置を変えることでも同様の作用、効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００５４】
１  表面実装装置
２  ヘッド
３  ノズル
５  搬送装置
１０  部品供給装置
１１  ストック部
１２  保持部
１３  保持具
１５Ｘ  Ｘ軸ロボットアーム
１５Ｙ  Ｙ軸ロボットアーム
１６  吸着ヘッド
１７  吸着位置認識装置
２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ  供給ステージ
２１  ノズル
２２、２６  ダイポケット
２２Ｂ  底部
２３  本体部
２５  ノズル設置部
２５Ｐ  表面
２５Ｓ  傾斜部
２６  ダイポケット
２７  凹部
３０  直動駆動機構
Ｄ  ダイ
Ｇ  気体
Ｈ  受取位置
Ｐ  受渡位置
Ｓ  基板
Ｗ  ダイシングウェハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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