(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップが実装される、放熱板付きリードフレームであって、
放熱板と、
一方面と前記一方面と反対側の他方面を備え、前記他方面が前記放熱板に接触するように前記放熱板に重ねて固定されたリードフレームであって、前記放熱板と重なる位置に、前記一方面から前記他方面に貫通する貫通孔が形成されており、前記他方面における前記貫通孔の開口面積が、前記一方面における前記貫通孔の開口面積より大きい前記リードフレームと、からなり、
前記他方面に、前記放熱板と重なる位置に凹部が形成されており、
前記凹部の底面に前記貫通孔が開口している、放熱板付きリードフレーム。
【請求項２】
請求項１に記載の放熱板付きリードフレームと、
前記放熱板付きリードフレームに実装された半導体チップと、
前記半導体チップおよび前記リードフレームを封止する封止樹脂と、を備え、
前記貫通孔に前記封止樹脂が充填されている、半導体装置。
【請求項３】
前記リードフレームに形成された前記貫通孔の内面にプライマー樹脂が塗布されている、請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
半導体チップが実装される、放熱板付きリードフレームを製造する方法であって、
リードフレームに、その一方面から前記一方面と反対側の他方面に貫通する貫通孔を形成する貫通孔形成工程であって、前記他方面における前記貫通孔の開口面積が前記一方面における前記貫通孔の開口面積より大きくなるように前記貫通孔を形成する前記貫通孔形成工程と、
前記他方面が放熱板に接触するように、前記貫通孔が形成された前記リードフレームを前記放熱板に重ねて固定する固定工程であって、前記他方面における前記貫通孔が前記放熱板によって塞がれる前記固定工程と、からなり、
前記貫通孔形成工程では、前記他方面に、前記放熱板と重なる位置に凹部を形成し、前記凹部の底面に前記貫通孔を形成する、方法。
【請求項５】
請求項４に記載の方法により製造された前記放熱板付きリードフレームに半導体チップを実装する実装工程を備える、半導体装置を製造する方法。
【請求項６】
前記半導体チップおよび前記リードフレームを封止樹脂により封止する封止工程を更に備え、
前記封止工程では、前記貫通孔に前記封止樹脂が充填される、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記固定工程の前に、前記貫通孔の内面にプライマー樹脂を塗布するプライマー工程を更に備える、請求項５又は６に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放熱板付きリードフレーム、放熱板付きリードフレームの製造方法、半導体装置、および半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、放熱板とリードフレームが固定された放熱板付きリードフレームが知られている。また、この放熱板付きリードフレームに半導体チップが実装された半導体装置が知られている。特許文献１には、このような放熱板付きリードフレームおよび半導体装置が開示されている。特許文献１に開示の放熱板付きリードフレームは、放熱板と、放熱板に重ねて固定された裏面側リードフレームとを備えている。放熱板には半導体チップが実装される。裏面側リードフレームには、裏面側リードフレームの表裏面を貫通する孔が形成されている。放熱板付きリードフレーム及び半導体チップは封止樹脂により封止されている。これにより半導体チップが封止された半導体装置が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−０１０２０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の半導体装置では放熱板付きリードフレームが封止樹脂により封止されるが、このとき、放熱板付きリードフレームと封止樹脂の密着力を改善することが求められていた。また、密着力を高めるために、リードフレームに形成される孔の寸法精度を高めることが求められていた。
【０００５】
そこで本明細書は、貫通孔を精度良く作ることができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、半導体チップが実装される、放熱板付きリードフレームであって、放熱板と、一方面と前記一方面と反対側の他方面を備え、前記他方面が前記放熱板に接触するように前記放熱板に重ねて固定されたリードフレームであって、前記放熱板と重なる位置に、前記一方面から前記他方面に貫通する貫通孔が形成されており、前記他方面における前記貫通孔の開口面積が、前記一方面における前記貫通孔の開口面積より大きい前記リードフレームと、からなる。
【０００７】
このような構成によれば、リードフレームと放熱板を別体で形成するので、リードフレームの他方面における開口面積が一方面における開口面積より大きいテーパー状の貫通孔を精度良く作ることができる。
【０００８】
また、本発明は、半導体チップが実装される、放熱板付きリードフレームの製造方法であって、リードフレームに、その一方面から前記一方面と反対側の他方面に貫通する貫通孔を形成する貫通孔形成工程であって、前記他方面における前記貫通孔の開口面積が前記一方面における前記貫通孔の開口面積より大きくなるように前記貫通孔を形成する前記貫通孔形成工程と、前記他方面が放熱板に接触するように、前記貫通孔が形成された前記リードフレームを前記放熱板に重ねて固定する固定工程であって、前記他方面における前記貫通孔が前記放熱板によって塞がれる前記固定工程と、からなる。
【０００９】
このような構成によれば、リードフレームと放熱板を固定する前にリードフレームに貫通孔を形成するので、貫通孔を形成する工程が煩雑にならず、容易に貫通孔を形成することができる。また、リードフレームが放熱板に固定されずに単体の状態のときに貫通孔を形成するので、貫通孔を一つの工程で直接形成することができ、寸法精度を高めることができる。よって、封止樹脂との密着力が高く、寸法精度が高い放熱板付きリードフレームを容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施形態に係る半導体装置の断面図である。
【図２】実施形態に係る放熱板付きリードフレームの断面図である。
【図３】裏面側リードフレームの上面図である。
【図４】裏面側リードフレームの一部を拡大して示す断面図である。
【図５】半導体装置の製造方法を説明するための図である（１）。
【図６】半導体装置の製造方法を説明するための図である（２）。
【図７】貫通孔を形成する方法を説明するための図である。
【図８】半導体装置の製造方法を説明するための図である（３）。
【図９】半導体装置の製造方法を説明するための図である（４）。
【図１０】半導体装置の製造方法を説明するための図である（５）。
【図１１】半導体装置の製造方法を説明するための図である（６）。
【図１２】他の実施形態に係る放熱板付きリードフレームの断面図である。
【図１３】更に他の実施形態に係る貫通孔を形成する方法を説明するための図である。
【図１４】更に他の実施形態に係る裏面側リードフレームの一部の上面図である。
【図１５】更に他の実施形態に係る裏面側リードフレームの一部の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、実施形態について添付図面を参照して説明する。実施形態に係る半導体装置１０は、図１に示すように、半導体チップ５０と、半導体チップ５０が実装された放熱板付きリードフレーム２０とを備えている。また、半導体装置１０は、半導体チップ５０に固定された表面側リードフレーム８０を備えている。さらに半導体装置１０は、半導体チップ５０、放熱板付きリードフレーム２０、及び表面側リードフレーム８０を封止する封止樹脂６０を備えている。
【００１２】
半導体チップ５０は、その表面側に形成された表面電極及び信号電極と、裏面側に形成された裏面電極とを備えている（いずれも図示省略）。半導体チップ５０としては例えばＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）やＭＯＳＦＥＴ（Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor）等を用いることができる。半導体チップ５０がＩＧＢＴである場合、半導体チップ５０の内部にはトレンチゲート、エミッタ領域、コレクタ領域等が形成されている（図示省略）。信号電極は、半導体チップ５０に対する信号の入出力に用いられる。半導体チップ５０の表面に表面側リードフレーム８０が固定されている。半導体チップ５０の裏面に放熱板付きリードフレーム２０が固定されている。半導体チップ５０と表面側リードフレーム８０は、接合材６１により固定されている。半導体チップ５０と放熱板付きリードフレーム２０は、接合材６１により固定されている。
【００１３】
表面側リードフレーム８０は、表面（一方面の一例）及び表面と反対側の裏面（他方面の一例）を有する平板状に形成されている。表面側リードフレーム８０の裏面に接合材６１を介して半導体チップ５０が固定される。接合材６１としては、はんだを用いることができる。表面側リードフレーム８０にはバスバー８７が形成されている。バスバー８７は側方に延びている。バスバー８７は半導体チップ５０に対する通電に用いられる。
【００１４】
放熱板付きリードフレーム２０は、図２に示すように、放熱板３０と、放熱板３０に重ねて固定された裏面側リードフレーム４０とを備えている。なお、裏面側リードフレーム４０が請求項に記載のリードフレームに相当している。放熱板３０は表面３１及び裏面３２を有する板状に形成されている。裏面側リードフレーム４０は表面４１及び裏面４２を有する板状に形成されている。放熱板３０の表面３１が裏面側リードフレーム４０の裏面４２に接触している。
【００１５】
放熱板３０は導電性及び熱伝導性を有している。放熱板３０の材料としては例えば銅やアルミニウム等の金属を用いることができる。図１に示すように、放熱板３０に半導体チップ５０が実装される。放熱板３０は、半導体チップ５０が発する熱を外部に放熱することができる。また、放熱板３０を介して電流を流すことができる。放熱板３０の表面３１に接合材６１を介して半導体チップ５０が固定される。接合材６１としては、はんだを用いることができる。
【００１６】
図１に示すように、放熱板３０の裏面３２には冷却器７１が固定されている。冷却器７１は、絶縁グリス（図示せず）を介して放熱板３０の裏面３２に接触している。冷却器７１は、内部に冷媒が循環しており、接触している対象物を冷却することができる。冷却器７１としては水冷式あるいは空冷式の公知の構成を用いることができる。放熱板３０を介して冷却器７１により半導体チップ５０を冷却することができる。
【００１７】
放熱板３０の裏面３２には凹部３３が形成されている。放熱板３０と裏面側リードフレーム４０には、かしめ孔２２が形成されている。かしめ孔２２には、かしめ部材２１が挿入されている。凹部３３及びかしめ孔２２内にはかしめ部材２１が配置されている。放熱板３０と裏面側リードフレーム４０は、かしめ部材２１により加圧固定されている。これによって、放熱板３０と裏面側リードフレーム４０は一体になっている。かしめ固定は、リベット等のかしめ部材を加圧することにより固定対象を加圧固定する方法である。
【００１８】
裏面側リードフレーム４０は導電性及び熱伝導性を有している。裏面側リードフレーム４０の材料としては例えば銅やアルミニウム等の金属を用いることができる。図３に示すように、裏面側リードフレーム４０には複数の開口部４５が形成されている。複数（本実施形態では２つ）の開口部４５は裏面側リードフレーム４０の中央部に形成されている。複数の開口部４５は隣り合って並んで形成されている。開口部４５は裏面側リードフレーム４０の表裏面を貫通している。図２に示すように、開口部４５は、裏面側リードフレーム４０と放熱板３０が重なり合う位置において、裏面側リードフレーム４０に形成されている。開口部４５は、放熱板３０の表面３１の上に形成されている。図１に示すように、開口部４５の中に接合材６１が配置されている。すなわち、半導体チップ５０は、開口部４５内の接合材６１を介して放熱板３０に接続されている。
【００１９】
また、図３に示すように、裏面側リードフレーム４０には複数の貫通孔４３（ディンプル）が形成されている。複数の貫通孔４３の大きさは特に限定されるものではない。複数の貫通孔４３が同じ大きさであっても異なる大きさであってもよい。貫通孔４３は上面視において円形状に形成されている。複数の貫通孔４３は開口部４５の周囲に形成されている。複数の貫通孔４３は間隔をあけて形成されている。貫通孔４３は裏面側リードフレーム４０の表裏面を貫通している。図２に示すように、貫通孔４３は、裏面側リードフレーム４０と放熱板３０が重なり合う位置において、裏面側リードフレーム４０に形成されている。貫通孔４３は、放熱板３０の表面３１の上に形成されている。図４に示すように、貫通孔４３は、裏面側リードフレーム４０の厚み方向（ｚ方向）に沿って開口面積（本実施形態では直径）が変化するように形成されている。裏面側リードフレーム４０の表面４１における貫通孔４３の開口面積Ｓ１が、裏面４２における貫通孔４３の開口面積Ｓ２より小さい（裏面側リードフレーム４０の裏面４２における貫通孔４３の開口面積Ｓ２が、表面４１における貫通孔４３の開口面積Ｓ１より大きい。）。貫通孔４３の開口面積は、裏面側リードフレーム４０の表裏面と平行な方向に貫通孔４３を切断したときの断面積を示している。貫通孔４３の内面はテーパー状に形成されている。また、裏面側リードフレーム４０にはバスバー４７が形成されている。バスバー４７は側方に延びている。バスバー４７は半導体チップ５０に対する通電に用いられる。貫通孔４３には封止樹脂６０が充填される。裏面側リードフレーム４０の表面４１側と裏面４２側における貫通孔４３の開口面積の違いにより、裏面側リードフレーム４０と封止樹脂６０の密着力を高めることができる。
【００２０】
また、裏面側リードフレーム４０には、プライマー処理が施されている。プライマー処理は、裏面側リードフレーム４０の全体にわたって施されている。貫通孔４３の内面にプライマー樹脂６２が塗布されている。プライマー樹脂６２は、裏面側リードフレーム４０と封止樹脂６０との密着力を高める。
【００２１】
また、図１に示すように、半導体装置１０は、信号端子４６を有している。信号端子４６は側方に延びている。信号端子４６は半導体チップ５０に対する信号の入出力に用いられる。図１に示すように、信号端子４６はボンディングワイヤ７２により半導体チップ５０の信号電極に接続される。ボンディングワイヤ７２の一端は信号端子４６に固定されている。ボンディングワイヤ７２の他端は半導体チップ５０の信号電極に固定されている。ボンディングワイヤ７２は、信号端子４６と信号電極を電気的に接続している。なお、図１は、単一の信号端子４６を示しているが、半導体装置１０は複数の信号端子４６を有している。
【００２２】
封止樹脂６０は、半導体チップ５０、放熱板付きリードフレーム２０、及び表面側リードフレーム８０を覆っている。封止樹脂６０は、開口部４５や貫通孔４３に充填されている。封止樹脂６０は例えばエポキシ樹脂などの封止用の公知の樹脂を用いることができる。
【００２３】
次に、上記の構成を備える半導体装置の製造方法について説明する。まず、半導体装置に用いる放熱板付きリードフレームの製造方法について説明する。放熱板付きリードフレームを製造する製造工程では、まず、図５に示すように、板状の金属部材９１を準備し、この金属部材９１に複数の開口部４５を形成する（開口部形成工程）。開口部４５は、例えば図示しない金型を用いたプレス加工により形成される。
【００２４】
次に、図６に示すように、金属部材９１に複数の貫通孔４３を形成する（貫通孔形成工程）。複数の貫通孔４３は、開口部４５の周囲に形成される。また、貫通孔４３は、図４に示すように、裏面側リードフレーム４０の表面４１側における貫通孔４３の開口面積Ｓ１が、裏面４２側における貫通孔４３の開口面積Ｓ２より小さくなるように形成される（裏面側リードフレーム４０の裏面４２側における貫通孔４３の開口面積Ｓ２が、表面４１側における貫通孔４３の開口面積Ｓ１より大きくなるように形成される。）。なお、貫通孔４３の形成は開口部４５の形成より前に行われてもよい。
【００２５】
貫通孔４３を形成する方法は特に限定されるものではないが、本実施形態では図７に示すように、金型９２を用いて貫通孔４３を形成している。金型９２は、下型１９１と上型１９２を備えている。上型１９２は、下方へ突出する複数の凸部１９３を備えている。この金型９２を用いて金属部材９１をプレス加工すると、凸部１９３により貫通孔４３が形成される。
【００２６】
次に、図８に示すように、金属部材９１にかしめ孔２２、信号端子４６、およびバスバー４７を形成する。かしめ孔２２、信号端子４６、およびバスバー４７は、例えば図示しない金型を用いたプレス加工により形成される。これにより、裏面側リードフレーム４０が形成される。なお、この段階では、裏面側リードフレーム４０と各信号端子４６とが繋がっている。
【００２７】
次に、形成された裏面側リードフレーム４０に対してプライマー処理をする（プライマー工程）。プライマー処理は、裏面側リードフレーム４０の全体にわたって施される。プライマー処理により、図４に示すように、裏面側リードフレーム４０の表面４１、裏面４２、開口部４５の内面、および貫通孔４３の内面にプライマー樹脂６２が塗布される。プライマー樹脂６２はスピンコート法により塗布される。プライマー樹脂６２は、裏面側リードフレーム４０と封止樹脂６０との密着力を高める。
【００２８】
次に、裏面側リードフレーム４０と放熱板３０を重ねて、かしめ固定する（固定工程）。裏面側リードフレーム４０と放熱板３０は、両者が重なり合う位置に開口部４５及び貫通孔４３が位置するように重ねられる。これにより、図２に示すように、放熱板付きリードフレーム２０が形成される。固定工程では、裏面側リードフレーム４０の裏面４２における貫通孔４３が放熱板３０によって塞がれる。
【００２９】
続いて、図９に示すように、放熱板付きリードフレーム２０に半導体チップ５０を実装する（実装工程）。半導体チップ５０は、上面視したときに、裏面側リードフレーム４０の開口部４５の中に配置される。また、半導体チップ５０の裏面電極が、放熱板３０の表面３１に接合材６１を介して固定される。
【００３０】
次に、図１０に示すように、半導体チップ５０に表面側リードフレーム８０を固定する。表面側リードフレーム８０は、半導体チップ５０の表面電極に接合材６１を介して固定される。次に、図１１に示すように、ボンディングワイヤ７２を半導体チップ５０の信号電極および信号端子４６に固定する。
【００３１】
次に、半導体チップ５０と放熱板付きリードフレーム２０を、封止樹脂６０により封止する（封止工程）。このとき、貫通孔４３には封止樹脂６０が充填される。貫通孔４３の開口面積が裏面４２側で表面４１側よりも大きいので、封止樹脂６０が貫通孔４３から表面４１側に抜けにくくなる。また、裏面側リードフレーム４６の表面４１及び貫通孔４３の内面に形成されているプライマー樹脂６２によっても、封止樹脂６０の密着性が向上される。したがって、封止工程で形成される封止樹脂６０は、裏面側リードフレーム４６から剥離し難い。
【００３２】
次に、裏面側リードフレーム４０の一部をカットすることで、裏面側リードフレーム４０から各信号端子４６を分離する。最後に、放熱板３０の裏面３２に冷却器７１を固定することにより図１に示す構成となる。以上のようにして半導体装置１０が製造される。
【００３３】
上述の説明から明らかなように、上述の構成を備える放熱板付きリードフレーム２０では裏面側リードフレーム４０の裏面４２側における貫通孔４３の開口面積が表面４１側における貫通孔４３の開口面積より大きい。これにより、放熱板付きリードフレーム２０が封止樹脂６０により封止され、封止樹脂６０が貫通孔４３に充填されたときに、封止樹脂６０が貫通孔４３から抜け難くなる。これにより、放熱板付きリードフレーム２０と封止樹脂６０の密着力が高まる。よって、封止樹脂６０との密着力が高い放熱板付きリードフレーム２０およびそれを備える半導体装置１０を得ることができる。また、上述の製造方法では、まず裏面側リードフレーム４０に貫通孔４３を形成し、その後に、貫通孔４３が形成された裏面側リードフレーム４０と放熱板３０を重ねて固定している。このように、裏面側リードフレーム４０と放熱板３０を固定する前に裏面側リードフレーム４０に貫通孔４３を形成するので、貫通孔４３を形成する工程が煩雑にならず、容易に貫通孔４３を形成することができる。また、裏面側リードフレーム４０が放熱板３０に固定されずに単体の状態のときに貫通孔４３を形成するので、貫通孔４３を一つの工程で直接形成することができ、寸法精度を高めることができる。よって、封止樹脂６０との密着力が高く、寸法精度が高い放熱板付きリードフレーム２０およびそれを備える半導体装置１０を容易に製造することができる。また、裏面側リードフレーム４０に対してプライマー処理をするときにプライマー樹脂６２が貫通孔４３に詰まりにくくなる。よって、プライマー樹脂６２による貫通孔４３の目詰まりを防ぐことができる。また、放熱板３０と裏面側リードフレーム４０が固定される前は別体になっているので、それぞれに対するめっき処理等が行いやすくなる。また、めっき処理等を必要な部分のみに行うことができ、コストを低減することができる。
【００３４】
以上、一実施形態について説明したが、具体的な態様は上記実施形態に限定されるものではない。なお、以下の説明において上述の構成と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。他の実施形態では図１２に示すように、裏面側リードフレーム４０の裏面４２に凹部４４が形成されていてもよい。凹部４４は複数の貫通孔４３の下に形成されている。凹部４４は複数の貫通孔４３と連通している。凹部４４は、裏面側リードフレーム４０と放熱板３０が重なり合う位置において、裏面側リードフレーム４０に形成されている。凹部４４は放熱板３０の表面３１に面している。このような構成によれば、凹部４４に封止樹脂６０が充填されることにより、裏面側リードフレーム４０と封止樹脂６０との密着力を更に高めることができる。
【００３５】
また、上記実施形態では、金型９２を用いたプレス加工により貫通孔４３を形成していたが、貫通孔４３の形成方法はこの構成に限定されるものではない。例えば、金属部材９１をエッチングすることにより貫通孔４３を形成してもよい。より詳細には、貫通孔４３を形成するときは、図１３に示すように、金属部材９１の表面に開口部９４を有するマスク９３を形成し、金属部材９１の表面からエッチングをすることにより貫通孔４３を形成する。マスク９３の開口部９４は貫通孔４３に対応する位置に形成されている。
【００３６】
また、上記実施形態では貫通孔４３が上面視において円形状に形成されていたが、貫通孔４３の形状は特に限定されるものではない。他の実施形態では、貫通孔４３は、図１４に示すように、上面視において三角形状や四角形状等の多角形状に形成されていてもよい。また、貫通孔４３は、図１５に示すような形状であってもよい。図１５に示す貫通孔４３は、中央部１４１と、中央部１４１から側方に突出する複数の突出部１４２とを備えている。中央部１４１は、概して長方形状に形成されている。複数の突出部１４２は、間隔をあけて並んで形成されている。中央部１４１と突出部１４２は連通している。
【００３７】
また、上記実施形態では放熱板３０と裏面側リードフレーム４０がかしめ固定されていたが、放熱板３０と裏面側リードフレーム４０の固定方法はこの構成に限定されるものではない。例えば、放熱板３０と裏面側リードフレーム４０は、はんだ、あるいは、ろう等の接合材により固定されていてもよい。
【００３８】
また、上記実施形態では裏面側リードフレーム４０に対してプライマー処理をしていたが、プライマー処理を省略することもできる。また、裏面側リードフレーム４０にプライマー処理をする場合、プライマー処理が不要な部分についてはマスクを形成することによりプライマー樹脂６２が塗布されないようにしてもよい。
【００３９】
また、上記実施形態では、裏面側リードフレーム４０が板状の構成であったが、この構成に限定されるものではない。裏面側リードフレーム４０は、棒状の構成であってもよい。棒状の裏面側リードフレーム４０に貫通孔４３が形成されている。棒状の裏面側リードフレーム４０の下側面（他方面の他の一例）における貫通孔４３の開口面積が、上側面（一方面の他の一例）における貫通孔４３の開口面積より大きい。
【００４０】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００４１】
１０；半導体装置
２０；放熱板付きリードフレーム
２１；かしめ部材
２２；かしめ孔
３０；放熱板
３１；表面
３２；裏面
３３；凹部
４０；裏面側リードフレーム
４１；表面
４２；裏面
４３；貫通孔
４４；凹部
４５；開口部
４６；信号端子
４７；バスバー
５０；半導体チップ
６０；封止樹脂
６１；接合材
６２；プライマー樹脂
７１；冷却器
７２；ボンディングワイヤ
８０；表面側リードフレーム
８７；バスバー
９１；金属部材
９２；金型
９３；マスク
９４；開口部
１４１；中央部
１４２；突出部
１９１；下型
１９２；上型
１９３；凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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