(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板（３８）上に物体（５０）を移送するための、好ましくは移動するための方法であって、
互いに反対の位置にある二つの側辺（２８）によって互いに離間された入口（２２）と出口（２６）を備え、且つ、コンベアを形成する搬送液体（１６）を保持する、移送領域（１４）を用いて実施され、前記物体（５０）は、この移送領域の前記搬送液体（１６）上に浮遊する粒子の緻密膜（４）によって保持され、前記移送領域において、前記物体（５０）は、前記物体が前記出口（２６）に到達するときに前記基板（３８）上に移送されるように、前記緻密粒子膜（４）によって移動されることを特徴とする方法。
【請求項２】
移送されるべき前記物体（５０）のうちの少なくとも一つは、前記緻密粒子膜によって囲まれるように、コンベアを形成する前記搬送液体（１６）上に浮遊して前記移送領域（１４）に配置されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
移送されるべき前記物体（５０）のうちの少なくとも一つは、前記移送領域（１４）において、前記物体を囲む粒子の圧迫を前記搬送液体（１６）内において形成するように、予め形成された前記緻密粒子膜（４）の上に配置されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記粒子（４）の大きな寸法と、移送されるべき前記物体（５０）の大きな寸法との間の比率は、１０４から１０８の間であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記粒子（４）は、直径約１μｍのシリカビーズであることを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
移送されるべき各物体（５０）は、０．２ｃｍよりも大きい大きな寸法を有することを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
各物体（５０）は、少なくとも一つの疎水性部分を有することを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
移送されるべき各物体（５０）は、シリコンチップ、マイクロバッテリ、有機エレクトロニクス部品、金属要素、光電池、セル及びマイクロセルの群からの要素であることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
搬送流体（１６）上に浮遊する規則性粒子の膜（４）は、圧迫及び／又は双極子間相互作用及び／又は磁場によって得られることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記移送領域の前記入口に取り付けられる粒子循環用の傾斜ランプ（１２）であって、前記傾斜ランプ上に前記搬送液体（１６）が循環されることも目的とする、傾斜ランプを提供することを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記粒子（４）及び前記物体（５０）が前記基板上に移送された後、これらの粒子（４）及び物体（５０）の前記基板上への載置及び付着を促すための熱による焼鈍工程を含むことを特徴とする、請求項１から１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記移送領域（１４）における物体（５０）の載置は、一つ又は複数のコンベア（６０）を用いて行われることを特徴とする、請求項１から１１のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、様々なデバイスを製造するために基板上に物体を移送する、好ましくは移動する、分野に関する。
【０００２】
本発明は、特に、例えばセンサ等のハイブリッドデバイスの製造に関する。指標として、ハイブリッドデバイスは、定義上、例えば、電子機能、光学機能、電子光学機能、圧電機能、熱電機能、機械機能等の様々な機能を有する、単一基板上の物体に関連する。
【０００３】
載置(deposited)／移送される物体は、例えば、
−  トランジスタ、マイクロプロセッサ、集積回路等の能動的電子部品、
−  レジスタ、キャパシタ、ダイオード、フォトダイオード、コイル、導体トラック、溶接プリフォーム(weld preforms)等の受動的電子部品、
−  レンズ、マイクロレンズ、回折格子、フィルタ等の光学部品、
−  セル、マイクロセル、マイクロバッテリ、光センサ、太陽電池セル、ＲＦＩＤシステム等、
−  例えば、酸化物、高分子、金属、半導体、ヤヌス(Janus)、ナノチューブ型等の、能動的又は受動的なナノ又はマイクロメートルの粒子又は集合体
である。
【０００４】
より具体的に、本発明は、
−  部品の場合、マイクロスコピックスケール（数十ミクロン）からマクロスコピックスケール（約１０センチメートル超）までの、
−  粒子及び集合体の場合、ナノメートルから数百ミクロンまでの、
寸法の物体の移送に関する。
【背景技術】
【０００５】
工業分野において、基板上への物体の移送／載置の問題は、一般に、適した把持具によって物体を一つずつ取り、それらを基板上に正確に配置する、「ピックアンドプレイス」と呼ばれる技術を用いて解決される。しかしこの技術は、特に、物体が基板上に一旦載置されると、物体を移動することがしばしば困難であり又は不可能でさえあるという意味において、改善の余地がある。取扱い間違いの場合、物体は、その結果、間違った配置で基板に付着したままとなる場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】加国特許出願第２６９５４４９号明細書
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】Ｓａｃｈｉｎ  Ｋｉｎｇｅ、「Ｓｅｌｆ−Ａｓｓｅｍｂｌｉｎｇ  Ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓ  ａｔ  Ｓｕｒｆａｃｅｓ  ａｎｄ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅｓ」、ＣｈｅｍＰｈｙｓＣｈｅｍ  ２００８、９、２０〜４２
【非特許文献２】Ｌｕｃｉｏ  Ｉｓａら、「Ｐａｒｔｉｃｌｅ  Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ  ｆｒｏｍ  Ｃｏｌｌｏｉｄａｌ  Ｓｅｌｆ−Ａｓｓｅｍｂｌｙ  ａｔ  Ｌｉｑｕｉｄ＿Ｌｉｑｕｉｄ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅｓ」、ａｃｓｎａｎｏ、ＶＯＬ．４、ＮＯ．１０、５６６５〜５６７０、２０１０
【非特許文献３】Ｍａｒｋｕｓ  Ｒｅｔｓｃｈ、「Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｌａｒｇｅ−Ａｒｅａ，  Ｔｒａｎｓｆｅｒａｂｌｅ  Ｃｏｌｌｏｉｄａｌ  Ｍｏｎｏｌａｙｅｒｓ  Ｕｔｉｌｉｚｉｎｇ  Ｓｅｌｆ−Ａｓｓｅｍｂｌｙ  ａｔ  ｔｈｅ  Ａｉｒ／Ｗａｔｅｒ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ」、Ｍａｃｒｏｍｏｌ．  Ｃｈｅｍ．  Ｐｈｙｓ．  ２００９、２１０、２３０〜２４１
【非特許文献４】Ｍａｒｉａ  Ｂａｒｄｏｓｏｖａ、「Ｔｈｅ  Ｌａｎｇｍｕｉｒ−Ｂｌｏｄｇｅｔｔ  Ａｐｐｒｏａｃｈ  ｔｏ  Ｍａｋｉｎｇ  Ｃｏｌｌｏｉｄａｌ  Ｐｈｏｔｏｎｉｃ  Ｃｒｙｓｔａｌｓ  ｆｒｏｍ  Ｓｉｌｉｃａ  Ｓｐｈｅｒｅｓ」、Ａｄｖ．  Ｍａｔｅｒ．  ２０１０、２２、３１０４〜３１２４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
よって、本発明は、従来技術の実施形態に関して上述した欠点を少なくとも部分的に解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的を達成するために、本発明は、互いに反対の位置にある二つの側辺によって互いに離間された入口と出口を備え、且つ、コンベアを形成する搬送液体を保持する、移送領域を用いて、基板上に物体を移送するための、好ましくは移動するための方法であって、前記物体は、この移送領域の搬送液体上に浮遊する粒子の緻密膜によって保持され、移送領域において、前記物体は、物体が出口に到達するときに基板上に移送されるように、前記粒子膜によって移動される、方法に関する。
【００１０】
したがって、本発明は、搬送液体上の適所に物体を保持し、次に、これらの同一の物体を基板に搬送するための、緻密粒子膜の使用に本発明が基づく点において注目に値する。基板上への物体の移送は、結果として、簡単であり、信頼性があり、且つ反復的な方法で正確に行われうる。さらに、物体が基板上に直接載置されないので、この同一の基板上に物体が載置される前に、移送領域において物体の配置を調節することが容易である。
【００１１】
よって、緻密粒子膜は、ナノスコピック、マイクロスコピック若しくはマクロスコピックの均質な又は異質な物体が受けられることを可能にするプラットフォームと似ている。このプラットフォームは、それ自体が、ナノメトリック若しくはマイクロスコピックの均質な又は異質な粒子から成り、好ましくは、移送されるべき物体の成分とは異なる成分を有する粒子から成る。以下で詳細に記載するように、移送されるべき物体は、このプラットフォームに統合され得、又はプラットフォーム上に単に配置されうる。
【００１２】
実際には、第一の可能性によれば、移送されるべき物体のうちの少なくとも一つは、緻密粒子膜によって囲まれるように、コンベアを形成する搬送液体上に浮遊して移送領域に配置される。この場合、物体は、物体の周囲を囲む粒子によって適所に保持される。したがって、物体は搬送液体と直接接触する下面を有する。
【００１３】
第二の可能性によれば、移送されるべき物体のうちの少なくとも一つは、移送用領域において、物体を支持する粒子の圧迫(compression)を搬送液体内において形成するように、予め形成された緻密粒子膜の上に配置される。
【００１４】
この第二の解決策において、各物体の下に位置する圧迫された粒子は、その結果、周囲の膜粒子に関するレベル変化を規定する。その結果、各物体の周囲を囲むのは、これらの同一の周囲の粒子であり、したがって、各物体が適所に保持され、且つ、第一の解決策と類似する方法で運搬されることを可能にする。
【００１５】
もちろん、第一の解決策による粒子膜、及び第二の解決策による他の粒子膜には、本発明の範囲を逸脱することなしに、幾つかの物体が配置されうる。
【００１６】
さらに、上述したように、緻密粒子膜は、異質の粒子によって形成されうる。これらの粒子は、緻密膜の凝集力、よって支持強度を補強するために、粒子間の物理的結合、例えば高分子形式の物理的結合が生ずるように、粒子の表面においても作用しうる。
【００１７】
緻密膜の粒子の大きな寸法と、移送されるべき物体の大きな寸法との間の比率は、１０４から１０８の間であることが好ましい。一例として、緻密膜を形成する粒子は、凡そ１ｎｍ〜５００μｍの大きな寸法を有しうる一方で、この膜によって移送される物体は、約３０ｃｍまで達する大きな寸法を有しうる。
【００１８】
緻密膜の粒子は、直径約１μｍのシリカビーズであることが好ましい。それでも、膜は、異質であってもよく、具体的には様々なサイズのビーズを含んでもよいことに留意されたい。
【００１９】
移送されるべき各物体は、０．２ｃｍよりも大きく、好ましくは３０ｃｍよりも小さい、大きな寸法を有することが好ましい。この後者の値は、移送領域の幅によって調節されうる。実際に、各物体の大きな寸法は、前述した幅に近い値に達しうる。マイクロメトリック又はナノメトリックの物体も、本発明の範囲を逸脱することなしに、載置／移送されうる。
【００２０】
移送されるべき各物体は、少なくとも一つの疎水性部分を有することが好ましい。このことは、この部分を搬送液体に接触させて配置することによって、物体の浮遊を確実にすることを目的とする。液体との接触のためのこの接触面は、全体的に疎水性でありうるか、又は端部デバイスに役立つ親水性及び疎水性の領域の構成からなりうる。
【００２１】
移送されるべき物体は、平らである必要はなく任意の形状を有し得、随意に、例えば５ｃｍ未満の、一つ又は複数の湾曲半径を有し得、又は接続に役立つピンを統合しうる。同様に、膜粒子は、様々な形状を有してもよい。
【００２２】
暗示的な例として、移送されるべき各物体は、シリコンチップ、マイクロバッテリ、有機エレクトロニクス部品、金属要素、光電池、セル及びマイクロセルの群からの要素でありうる。
【００２３】
例えば、検知素子（例えば粒子）を備えたセンサ、一つ又は複数のエネルギー収集システム（ＰＶセル、圧電フィルム、燃料電池）、エネルギー貯蔵システム（マイクロバッテリ）、情報管理システム（シリコンチップ）、通信システム（ＲＦＩＤチップ）、電気接続要素（導体トラック）、電子部品（レジスタ、キャパシタ）及び溶接要素（プリフォーム）等の、複雑なデバイスの製造も含まれる。これらのデバイスを得るために必要な物体は、次に、結果として、液体コンベア上に配置され、必要によって重畳される。
【００２４】
例えば、非特許文献１に概念が開示されている緻密粒子膜は、例えば、圧迫及び／又は双極子間相互作用及び／又は磁場等、当業者に知られている任意の技術によって、搬送液体の表面において得られうることも留意されたい。
【００２５】
双極子間相互作用の技術は、例えば、四面体、六面体又は八面体の粒子等の、ファセット粒子に適用される。これらの形状によって、双極子間相互作用は、粒子の構成において重要な役割を果たす。双極子モーメントは、ファセット間の極性の違いによって、これらの粒子の内部で生じる。
【００２６】
磁場による配置の技術は、粒子間において強い相互作用を生じる、強い磁場を用いて規則的に配置されうる磁性ナノ粒子と共に用いられる。
【００２７】
圧迫の技術は、特に、非特許文献２、非特許文献３、又は非特許文献４から知られている。
【００２８】
この圧迫の技術は、特許文献１に記載される傾斜ランプ解決策も含む。従って、本発明による方法は、移送領域の前記入口に取り付けられる粒子循環用の傾斜ランプであって、傾斜ランプ上に前記搬送液体が循環されることも目的とする傾斜ランプを提供することが好ましい。
【００２９】
通常の状況下で粒子を規則的に配置するために必要なエネルギーの一部は、この場合、その結果、搬送液体及び粒子を運搬する傾斜ランプによってもたらされる。それでもなお、下流部が粒子移送領域を形成する水平面上においてポンプを用いて搬送液体を移動させる等の、他の解決策が可能である。別の解決策は、粒子及び移送されるべき物体が浮遊している搬送液体の表面に空気流が加えられることを可能にする風洞によって、ポンプを置き換えることにある。上述したように、それでも所謂「Ｌａｎｇｍｕｉｒ−Ｂｌｏｄｇｅｔｔ」技術による粒子の圧迫等、他の解決策は、本発明の範囲を逸脱することなしに考えられうる。
【００３０】
最後に、粒子及び物体が基板上に移送された後、方法は、これらの粒子及び物体の基板上への載置及び付着を促すための熱による焼鈍工程を含むことが好ましい。
【００３１】
本発明の他の利点及び特徴は、以下の非限定的な詳細な説明において現れるであろう。
【００３２】
この説明は、添付図面に照らして提供される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の好ましい実施形態による移送システムを図２のＩ−Ｉ線に沿う概略断面図において示す。
【図２】図１に示される移送システムの概略上面図を示す。
【図３】先の図に示されるシステムを用いて実施される移送方法の様々な工程を示す。
【図４】先の図に示されるシステムを用いて実施される移送方法の様々な工程を示す。
【図５】先の図に示されるシステムを用いて実施される移送方法の様々な工程を示す。
【図６】先の図に示されるシステムを用いて実施される移送方法の様々な工程を示す。
【図７】先の図に示されるシステムを用いて実施される移送方法の様々な工程を示す。
【図８】図１及び図２に示されるシステムを用いて同様に実施される別の移送方法の様々な工程を示す。
【図９】図１及び図２に示されるシステムを用いて同様に実施される別の移送方法の様々な工程を示す。
【図１０】本発明の別の好ましい実施形態による移送システムを示す。
【図１１ａ】移送領域に物体を配置するための様々な解決策を示す。
【図１１ｂ】移送領域に物体を配置するための様々な解決策を示す。
【図１１ｃ】移送領域に物体を配置するための様々な解決策を示す。
【図１１ｄ】移送領域に物体を配置するための様々な解決策を示す。
【図１１ｅ】移送領域に物体を配置するための様々な解決策を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
まず図１及び図２を参照すると、図は、基板上に物体を移送するための、好ましくは移動するためのシステム１を示している。この移送は、載置と同様に緻密粒子膜を用いて行われる。
【００３５】
システム１は、数ナノメートルから数百マイクロメートルの間のサイズでありうる粒子４を分配するためのデバイス２を備える。粒子、好ましくは球状の粒子は、例えばシリカ粒子でありうる。対象となる他の粒子は、白金、二酸化チタン、ポリスチレン若しくはＰＭＭＡ等の高分子、炭素等の、金属製又は金属酸化物製でありうる。
【００３６】
より具体的には、好ましい実施形態において、粒子は、分配デバイス２内の溶液中に蓄えられた直径約１μｍのシリカ球である。溶媒の比率は、この場合ブタノールである溶液２００ｍｌに対して粒子約７ｇである。当然、明確性のために、図に示される粒子は、粒子本来の直径よりも大きな直径を有する。
【００３７】
分配デバイス２は、直径約５００μｍの制御可能な吐出ノズル６を有する。
【００３８】
システムは、粒子循環用の傾斜ランプ１２と、実質的に水平又は平坦であり、場合によっては、システムを空にすることを促すために僅かな傾斜を有する移送領域１４とを備える、液体コンベア１０も有する。傾斜ランプの上端は、分配デバイス２からの吐出粒子を受けることを目的とする。このランプは、直線状であり、５から６０°の間、好ましくは１０から３０°の間の角度で傾き、移送領域１４に向けて粒子が搬送されることを可能にする。加えて、搬送液体１６は、移送領域へと、このランプ１２上を循環する。この液体１６は、移送領域１４からランプの上端の間において、一つ又は複数のポンプ１８を用いて再循環もされうる。この場合、液体は、粒子４が浮遊しうる脱イオン化された水であることが好ましい。それでも、開放循環回路を通して新たな液体を選択することが可能である。複数の非混和性液体の集合を使用することも可能である。
【００３９】
この同一のランプの下端は、粒子移送領域１４の入口に接続される。この入口２２は、ランプ１２の傾斜平面にある搬送液体の表面と、移送領域１４の水平部にある搬送液体の表面との間の接続部を示す屈曲線２４に位置する。
【００４０】
粒子入口２２は、領域１４に搬送液体１６を保持する二つの側辺２８によって粒子出口２６から離間する。これらの辺２８は、反対の位置にあり互いにある距離だけ隔てられ、システムにおける搬送液体及び粒子の主流方向と平行に延び、この方向は、図１及び図２において矢印３０によって概略的に表されている。よって、領域は、領域の入口及び出口において開放した通路又は経路の形状を有するが、本発明の範囲を逸脱することなしに、他の形状が選択されてもよい。
【００４１】
移送領域の下流部の下部は、水平方向に対して上流方向に僅かに傾いた、例えば５〜１０°で傾いたプラットフォーム２７を有する。粒子出口２６を部分的に規定するのは、「ブレード」とも称される、この同一のプラットフォーム２７の下流端である。
【００４２】
システム１は、基板３８を移動させることを目的とする基板コンベア３６も備える。この基板は、硬質又は柔軟でありうる。後者の場合、基板は、ローラ４０上を移動されうるものであり、ローラの軸は、領域１４の出口２６と平行であり、出口に近接して位置する。実際には、基板３８は、基板を搬送液体１６に繋ぐ、メニスカスとも称される毛細管ブリッジ４２によって、前記出口に到達する粒子が前記基板上に容易に移送されうるように、出口２６に非常に近接して移動することを意図される。代わりに、基板は、本発明の範囲を逸脱することなしに、移送領域と直接接触しうる。上述した毛細管ブリッジは、その結果もはや必要とされない。
【００４３】
図に示される例において、基板の幅は、領域１４の幅及び領域の出口２６の幅に相当する。幅Ｌ１も、基板上に載置されうる粒子膜の最大幅に相当する。この幅は、凡そ２５〜３０ｃｍでありうる。しかし、粒子が載置されるべき基板の幅は幅Ｌ１よりも小さくてもよい。
【００４４】
毛細管ブリッジ４２は、出口２６に位置する搬送液体１６と、案内／駆動ローラ４０に従動する基板３８の部分との間に作られる。
【００４５】
水平方向４６と、粒子膜及び物体が載置されるべき基板３８の部分との間に形成される外角Ａは、１６０°よりも大きいことが好ましく、例えば凡そ１７５°等、１８０°に近いことがより一層好ましい。
【００４６】
次に図３〜図７を参照して、物体を移送するための方法が記載される。
【００４７】
まず、ランプ１２上への粒子４の分配を開始するために吐出ノズル６が作動する。このことは、領域１４において搬送液体１６が既に要求される水位にある状態で、粒子４によって移送用領域１４を満たす初期工程を含む。
【００４８】
この始動段階中に、デバイス２によって分配された粒子は、図３及び図４に概略的に示されるように、ランプ１２上を循環し、次に、粒子が分散される領域１４に入り込む。
【００４９】
粒子４がランプ１２上に吐出され、移送領域１４に入り込むと、粒子は、基板３８に対して停止し、次に、これらの粒子の上流先端は、屈曲線２４の方向に上流にシフトする傾向にある。粒子の吐出は、この上流先端が線２４を越えた後も続けられ、上流先端は、傾斜ランプ１２を登る。
【００５０】
実際には、粒子の上流縁部５４は、図５に示されるように、屈曲線２４から所与の水平距離「ｄ」に位置するようにランプ１２を登る。距離「ｄ」は、凡そ３０ｍｍでありうる。
【００５１】
このとき、粒子４は、移送領域内及びランプ１２上に規則的に配置され、特に、先端５４との衝突の瞬間に利用される運動エネルギーによって、移送領域及びランプに支援なしに自動的に規則的に配置される。規則的な配置は、得られた緻密膜が所謂「緻密六角形（compact hexagonal）」構造であって、各粒子４が互いに接触する他の六個の粒子４によって囲まれて接触する構造を有するようなものである。その結果、緻密膜は、単に緻密粒子膜又は規則性粒子膜（ordered particle film）として言及される。
【００５２】
移送領域１４に位置する搬送液体の全てを規則性粒子４が一旦覆うと、載置／移送されるべき物体５０は、膜の上部に予め定められた位置に配置されうる。この配置は、物体の性質、形状及び寸法に適した、トング等の従来の操作具又は把持具を用いて行われうる。図１１ａ〜図１１ｅを参照して以下で記載するような他の解決策が考えられる。
【００５３】
図６に示されるように、膜上の物体５０の配置は、コンベアを形成する搬送液体１６において、これらの同一の物体を支持する粒子４の圧迫をもたらす。物体が、この液体の表面に液体の表面張力によって保持されうること、次に、液体の表面張力を修正する粒子膜が、ある程度、これらの物体を保持することを助長しうることに留意されたい。
【００５４】
より具体的には、各物体５０の下に位置する圧迫された粒子４は、次に、周囲の他の粒子４に対するレベル変化５２を規定する。各物体５０の周囲を囲むのは、これらの同一の周囲の粒子であって、したがって、他の粒子に対しても、移送領域の固定構造に対しても、粒子が適所に保持されることを可能にする。
【００５５】
各レベル変化５２は、圧迫された粒子４も周囲の粒子によって保持され支持されるように、粒子４の直径よりも小さいことが好ましい。
【００５６】
第一の物体の配置も、次の物体の配置も、ランプ１２から来る粒子の流れを止めることなく行われることが好ましいが、このことは、本発明の範囲を逸脱することなしに、異なる方法で行われうる。
【００５７】
図７は、図５に示される必要なレベルに先端５４が一旦到達して始動され、基板３８の移動が作動された後のシステムの状態を示している。粒子膜と、先端によって持ち上げられ保持され搬送される物体とは、次に、特許文献１に記載されるように、毛細管ブリッジ４２を利用することによって基板３８上に載置される。上述したように、物体５０に統合したこの膜４’の幅は、出口２６の幅Ｌ１に相当するが、本発明の範囲を逸脱することなしに、より小さな幅が選択されうる。
【００５８】
基板は、粒子の出口と直接接触することがさらに一層好ましい。
【００５９】
移送領域にある搬送液体１６の全表面を規則性粒子４が覆い、したがって、領域１４の出口２６における載置の瞬間まで、規則的な配置が維持される。この規則性の維持は、これらの物体５０が粒子４によって基板上に載置／移送されるまで、物体５０同士の間の正確な相対配置、及び固定された側辺２８に対する正確な配置が維持されることを確実にする。
【００６０】
基板上、好ましくは高分子製の基板上における粒子４及び物体５０の載置及び付着を容易にするために、移送後に熱による焼鈍が行われる。この熱による焼鈍は、例えば、低温ポリエステルに基づく艶消しロール膜、例えば、厚さ１２５μｍを有しＰＥＲＦＥＸ−ＭＡＴＴ（商標）の名称で販売されているロール膜を用いて８０℃で行われる。
【００６１】
基板としての、このような膜の利点は、基板の一面が凡そ８０℃の温度で粘着性となることによって、基板の一面に対する粒子４及び物体５０の付着を促すことを可能にすることにある。この温度が、シリコンチップ又は光電池等、本発明により想定される物体を製造するための温度に対して比較的低いので、これらの物体の取付けは、劣化なしに行われうる。
【００６２】
より具体的には、この温度では、粒子４は、軟化された膜３８において圧迫され、したがって、膜と物体の直接的な接触を可能にし、膜と物体の接合に導く。
【００６３】
代わりに、基板３８は、シリコン、ガラス又は圧電フィルムでありうる。
【００６４】
移送中に、粒子の吐出及び基板の移動速度は、粒子の先端が実質的に同一位置に留まるように、調節される。これを行うために、粒子の流量は、凡そ０．１ｍｌ／分〜数ｍｌ／分でありうる一方で、引き上げ速度とも称される、基板３８の線速度は、凡そ数ｍｍ／分〜数百ｍｍ／分でありうる。もちろん、物体５０は、これらの要素によって形成されたアセンブリが、次に膜が載置／移送される基板３８に到達する前に、移送領域１４において規則性粒子膜４上に徐々に載置される。
【００６５】
移送されるべき物体は、求められる用途に応じて様々な種類でありうる。各物体５０は、０．２ｃｍよりも大きく、Ｌ１よりも小さく又はＬ１と等しい、すなわち３０ｃｍに近い大きな寸法を有することが好ましい。厚さは、約十マイクロメートルと数十ミリメートルの間である。
【００６６】
太陽電池、マイクロバッテリ及び有機部品等、移送されるべき特定の種類の物体は、小さな厚さ及び凡そ０．１〜１００ｃｍ２の表面積を伴う、単純な正方形、長方形又はディスク状の形状を有する。
【００６７】
これらの部品は、接続を生じるために、液体と接触する面にピン又はパッドを備えうる。例示を目的として、素子検出、エネルギー生成又はデータ転送のための他の種類の物体は、例えば、湾曲部又は螺旋部等の複雑な形状を有しうる。
【００６８】
加えて、粒子４の大きな寸法と、移送されるべき物体５０の大きな寸法との間の比率は、１０４から１０８の間であることが好ましい。実際には、粒子の大きな寸法は、例えば凡そ１ｎｍ〜５００μｍである一方で、搬送される物体５０は、約３０ｃｍに達する大きな寸法を有しうる。
【００６９】
搬送液体に接触する各物体５０の面は疎水性であることが好ましいが、この面に親水性部分及び疎水性部分の構成を設けることも可能である。上述したように、搬送液体の表面張力も、これらの物体の浮遊における重要な役割を果たす。
【００７０】
下の表は、これらの物体５０の幾つかの好ましい例を示している。
【００７１】
【表１】
0006027139.tif 000002
【００７２】
次に図８及び図９を参照して、別の実施形態による、物体を移送するための方法の工程が概略的に示される。
【００７３】
この方法は、物体５０が規則性粒子膜４上に配置されずに、この同一の膜によって囲まれながら搬送液体１６上に浮遊する点において、先の方法とは異なる。この場合、物体５０は、次に、物体の周囲を囲むことによって物体を適所に保持するためにこれらの物体を取り囲むことになる緻密粒子膜が形成される前に、搬送液体上に配置されることが好ましい。したがって、物体は搬送液体に直接接触する下面を有する。この実施形態において、物体が適所に保持されること、及び物体が載置されるべき基板に規則正しい方法で移送されることを可能にするのも規則性粒子膜である。
【００７４】
方法の他の工程は、先の方法について記載した工程と類似する。
【００７５】
最後に、図１０は、移動する基板３８が硬質である点において先のシステムとは本質的に異なる、物体５０を移送するための別のシステムを示している。この図において、先の図の要素の符号と同一の符号を伴う要素は、同一又は類似の要素に相当する。
【００７６】
上述したように、物体５０の載置について複数の解決策が可能である。好ましい解決策には、これらの物体を移送領域に運搬するための一つ又は複数のコンベアを設けるという解決策がある。
【００７７】
各コンベア６０は、図１１ａに示されるように、ランプ１２と平行であることが好ましい。固定され又は移動可能なコンベア６０は、当業者によって適切であると考えられる任意の方法で、典型的にはストリップ又は一連のローラを用いて、作られうる。したがって、物体は、これらの物体の粒子膜４に対する所望の配置に応じて、予め定められた速度でコンベア６０によって運搬され載置される。
【００７８】
さらに、この技術によって、図１１ａに示されるように、物体５０を粒子膜４上に載置することが可能となるのみではなく、図１１ｃに概略的に示されるように、移送領域１４において粒子４が物体を囲む前に搬送流体１６上に直接載置することも可能となる。代わりに、図１１ｂ及び図１１ｄに示されるように、物体を他の類似の物体上に載置することも可能となる。図１１ｂにおいて、物体５０は、粒子膜上に配置された他の物体５０上に載置される一方で、図１１ｄの例において、物体５０は、粒子膜４に既に統合された他の物体５０上に載置される。
【００７９】
最後に、物体を所謂「アンワインディング(unwinding)」方法で載置するための、これらの解決策において、図１１ｅに示されるように、コンベア６０を離れる物体５０が、膜の下に滑り込むように膜を貫くことが可能である。安定化の後、搬送液体１６上を浮遊する各物体５０は、物体を囲む膜の粒子４によって保持される。
【００８０】
コンベア６０に関連して、画像処理ソフトウェアを伴う映像モジュール（不図示）は、コンベア６０上における物体のリアルタイムの動き、これらの要素の移送、及び最後に基板上へのアセンブリの引き込みを監視しうる。この映像モジュールは、緻密膜上に載置された物体同士の幾何学的偏差を計算しうるとともに、随意に、載置された物体の適切な配置を確認するために、これらの偏差を予めプログラムされた理論的ダイアグラムと比較しうる。
【００８１】
もちろん、当業者は、単に非限定的な例という観点で上述した本発明に対して様々な修正を加えうる。
【符号の説明】
【００８２】
１  システム
２  分配デバイス
４  粒子、粒子膜、規則性粒子膜
４’  膜
６  吐出ノズル
１０  液体コンベア
１２  傾斜ランプ
１４  移送領域
１６  搬送液体
１８  ポンプ
２２  粒子入口、入口
２４  屈曲線
２６  粒子出口、出口
２７  プラットフォーム
２８  側辺
３０  矢印
３６  基板コンベア
３８  基板、膜
４０  案内／駆動ローラ
４２  毛細管ブリッジ
４６  水平方向
５０  物体
５２  レベル変化
５４  上流縁部、先端
６０  コンベア
Ａ  外角
ｄ  水平距離
Ｌ１  幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１ａ】
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【図１１ｂ】
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【図１１ｃ】
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【図１１ｄ】
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【図１１ｅ】
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