(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動を発生する振動子と、
前記振動子により駆動される被駆動体と、
前記振動子を保持する保持手段と、
前記振動子を前記被駆動体に対して加圧するバネ部材と、
前記被駆動体を駆動方向に移動可能に保持するとともに、前記保持手段を前記加圧手段による加圧の方向に移動可能に保持する筺体とを有する振動モータにおいて、
前記筺体は、前記被駆動体の前記加圧手段の方向への移動量を規制する規制部材を備え、前記被駆動体と前記規制部材の隙間をＬ１、前記超音波モータに組み込まれた状態での前記バネ部材のバネ高さをＬ２、前記バネ部材の弾性変形限界でのバネ高さをＬ３としたとき、下記式を満たすことを特徴とする振動モータ。
Ｌ１＜Ｌ２−Ｌ３
【請求項２】
前記被駆動体および前記保持手段は、円環形状であり、
前記筐体は、前記被駆動体を回転可能に保持するとともに、前記保持手段を前記被駆動体の回転軸の方向に移動可能に保持し、
前記規制部材は、前記筺体の円筒面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動モータ。
【請求項３】
前記バネ部材はウェーブワッシャであり、前記バネ部材の弾性変形限界でのバネ高さＬ３は、板厚であることを特徴とする請求項１に記載の振動モータ。
【請求項４】
前記規制部材は、前記筺体への取付部と、前記被駆動体と当接する当接部とを有し、
前記取付部と前記当接部は所定量偏心しており、前記規制部材の回転により前記被駆動体と前記規制部材の当接部の隙間が調整可能であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動モータ。
【請求項５】
前記振動子は、超音波振動を発生することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加圧された振動子に超音波振動を発生させることにより被駆動体を駆動する超音波モータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、無音動作、低速から高速までの駆動が可能、高トルク出力などの特徴を活かして、例えば、カメラやレンズの駆動源として超音波モータが採用されている。特許文献１に開示された超音波モータは、回転軸を有する円環状の被駆動体と、当該被駆動体と接触する接触部を備える複数の振動子とから構成されている。振動子は被駆動体に押圧された状態で保持されており、振動子の接触部が被駆動体に対して加圧されて接触している状態、所謂、加圧接触状態となっている。その加圧接触状態下で当該振動子に超音波振動が励起されると、振動子の接触部に楕円運動が生じ、被駆動体が被駆動体の回転軸を中心に回転駆動される。振動子の被駆動体への加圧接触状態は、押圧用凸部を有する板バネで当該振動子を被駆動体に対し付勢することで得られる。板バネに形成された押圧用凸部で当該振動子の中心付近を押圧付勢することで、振動子の接触部が良好な状態で被駆動体と加圧接触するような構成としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４６６７８３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に開示された超音波モータにおいては、被駆動体であるロータから振動子に向けた方向に大きな加速度が加わった場合に、振動子が損傷してしまう恐れがあるという問題があった。
【０００５】
通常の超音波モータでは、振動子の超音波振動に伴うロータの共振振動によって可聴域の異音が発生しないように、ロータの重量を大きくして共振周波数が可聴域とならないように設定する。すると、ロータから振動子に向けた方向に大きな加速度が加わった場合、ロータから振動子に伝わる力は非常に大きくなり、振動子を加圧する加圧バネが潰れきって振動子が損傷してしまう恐れがあるという問題があった。
【０００６】
（発明の目的）
本発明の目的は、被駆動体から振動子に向けた方向に大きな加速度が加わった場合でも被駆動体から振動子に伝わる力を大きくしないようにすることができる超音波モータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の超音波モータは、振動を発生する振動子と、前記振動子により駆動される被駆動体と、前記振動子を保持する保持手段と、前記振動子を前記被駆動体に対して加圧するバネ部材と、前記被駆動体を駆動方向に移動可能に保持するとともに、前記保持手段を前記加圧手段による加圧の方向に移動可能に保持する筺体とを有する振動モータにおいて、前記筺体は、前記被駆動体の前記加圧手段の方向への移動量を規制する規制部材を備え、前記被駆動体と前記規制部材の隙間をＬ１、前記超音波モータに組み込まれた状態での前記バネ部材のバネ高さをＬ２、前記バネ部材の弾性変形限界でのバネ高さをＬ３としたとき、下記式を満たすことを特徴とするものである。
Ｌ１＜Ｌ２−Ｌ３
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、被駆動体から振動子に向けた方向に大きな加速度が加わった場合でも被駆動体から振動子に伝わる力を大きくしないようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例１である超音波モータの分解斜視図である。
【図２】実施例１の、各部材を組込んだ状態の斜視図である。
【図３】実施例１における振動子とリング部材の接合状態を示す拡大斜視図である。
【図４】実施例１における各部材を組込んだ状態を示す拡大断面図である。
【図５】ロータから振動子に向けて大きな加速度が加わった状態を示す拡大断面図である。
【図６】本発明の実施例２である超音波モータの分解斜視図である。
【図７】実施例２における偏心ダボの斜視図である。
【図８】実施例２におけるロータと偏心ダボの隙間を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明を実施するための形態は、以下の実施例１および２に記載された通りである。
【実施例１】
【００１１】
以下、図１ないし図５を用いて本発明の実施例１について説明する。なお、本実施例１の超音波モータは、デジタルカメラ用のレンズ鏡筒などの駆動用アクチュエータとしてユニット化した回転駆動型モータの例であるが、使用用途はこれに限られたものではない。
【００１２】
図１は、本発明の実施例１の超音波モータの分解斜視図である。なお、図において同一部材は同一記号で図示される。１０１は被駆動体であるロータで、後述する振動子１０９が加圧接触する接触面１０１ａを備える。１０２は、接触面１０１ａに押圧を伴う加圧接触状態で接触する振動板であり、１０３は、振動板１０２に接着剤などにより圧着されている圧電素子である。そして、振動板１０２に圧電素子１０３が圧着された状態で、圧電素子１０３に電圧を印加することにより超音波振動を発生させ、振動板１０２に楕円振動を発生させることができる。振動板１０２と圧電素子１０３とで振動子１０９を構成している。そして、本実施例１では３か所の振動子１０９でロータ１０１を回転駆動する。
【００１３】
１０４は、振動子１０９を保持するためのリング部材である。リング部材１０４は、本発明の保持手段に相当する。リング部材１０４は円環形状をしており、３つの振動子１０９を１２０°の等間隔で保持している。
【００１４】
１０５はロータ１０１を回転可能（駆動方向に移動可能）に保持するとともに、リング部材１０４をロータ１０１の回転軸方向にのみ直動可能（移動可能）に保持する筺体である。筺体１０５には、ロータ１０１の回転軸方向の位置を決めるフランジ部１０５ａが形成されている。後述するバネ部材１０７によって加圧されたロータ１０１は、筺体１０５のフランジ部１０５ａに当接しながら摩擦摺動する。筺体１０５の円筒側面には、後述する規制部材１０６を圧入保持するための圧入穴１０５ｂが１２０°の等間隔で３つ設けられている。
【００１５】
１０６は、ロータ１０１が振動子１０９の方向に進入し過ぎないように規制する規制部材である。ロータ１０１から振動子１０９に向かう方向に大きな加速度が加わった場合、ロータ１０１から振動子１０９に伝わる力が大きくなり、後述するバネ部材１０７が潰れきってしまう。するとリング部材１０４と後述のねじ込み部材１０８は、バネ部材１０７の弾性力を介さずに衝突してしまい、大きな衝撃が発生する。その衝撃により、振動子１０９が損傷してしまう恐れがあった。そこでバネ部材１０７が潰れきらないように、ロータ１０１から振動子１０９に伝わる力を大きくしないようにして、ロータ１０１がバネ部材１０７の方向への移動量を規制する規制部材１０６を設ける。これにより、バネ部材１０７が弾性変形している状態で、ロータ１０１が規制部材１０６に当接するため、リング部材１０４とねじ込み部材１０８が衝突することがなく、振動子１０９の損傷を軽減できる。
【００１６】
規制部材１０６は、筺体１０５にロータ１０１を組み込んだ後に、外側から圧入穴１０５ｂに圧入する。このように規制部材１０６を筺体１０５と別部品にすることで、フランジ部１０５ａを有する筺体１０５に対してロータ１０１を組み込んでいくことが可能になり、組立性の向上が図られる。また、規制部材１０６を筺体１０５の円筒面に取り付く構成にすることにより、ロータ１０１の回転軸方向から投影したときに、規制部材１０６をロータ１０１の内径と外径の中に収めることができる。つまり規制部材１０６を設けるためにユニットの径方向サイズを大きくする必要がない。このように筺体１０５の円筒面に規制部材１０６を設けることで、ユニットのサイズを大きくすることなくロータ１０１の振動子１０９方向への規制することが可能となる。本実施例１では、ロータ１０１の内側面と筺体１０５の外側面とで係合し筺体１０５の外側面に規制部材１０６が取り付く構成で説明をしたが、関係を逆にしてロータ１０１の外側面と筺体１０５の内側面とで係合し筺体１０５の内側面に規制部材１０６が取り付く構成としても、同様のユニットサイズを抑える効果は得られる。
【００１７】
１０７は、振動子１０９をロータ１０１に加圧するためのバネ部材である。バネ部材１０７はウェーブワッシャで構成されている。１０８は、ねじ込み部材である。ねじ込み部材１０８の内周面にはめねじが形成されており、筐体１０５の外周面に形成されたおねじ部にねじ込まれる。そして、バネ部材１０７を弾性変形の範囲で押しつぶす。バネ部材１０７を押しつぶしたときの反力によって、振動子１０９をロータ１０１に加圧接触させる。バネ部材１０７が本発明の加圧手段に相当する。
【００１８】
特許文献１では３つの板バネで振動子を加圧していたが、本実施例１の超音波モータでは、３つの板バネの機能を一つのバネ部材１０７に持たせて一体化している。これにより、本実施例１の超音波モータでは、板バネやビスを削減することが可能となり、コストダウンの効果がある。
【００１９】
以上のように、上述した各部材が組込まれ、超音波モータとしてユニット化される。
【００２０】
図２は、図１の各部材を組込んだ状態の斜視図である。なお、図２において、振動子１０９まわりの構成は３か所とも全て同一であり、図の煩雑さを防ぐため、図中の手前側にだけ番号を付している。図に示すように、筐体１０５が、ロータ１０１、振動子１０９、リング部材１０４、バネ部材１０７、ねじ込み部材１０８を保持している。
【００２１】
ロータ１０１は、内径面で、筺体１０５の外径面と嵌合するとともに、バネ部材１０７による加圧で筺体１０５のフランジ部１０５ａに当接させられている。そのため、ロータ１０１は、筺体１０５に対して、回転可能な状態で保持されている。
【００２２】
リング部材１０４の３か所には、振動子１０９が保持されており、バネ部材１０７の押圧力により振動子１０９とロータ１０１の接触面１０１ａが加圧接触される。
【００２３】
筺体１０５の側面には、ロータ１０１が振動子１０９の方向に進入し過ぎるのを規制する規制部材１０６が３ヶ所備えられている。ロータ１０１から振動子１０９の方向に大きな加速度が加わった場合にも、ロータ１０１が規制部材１０６に当接することで、バネ部材１０７が潰れきってしまうことを防いでいる。これにより振動子１０９が損傷するのを軽減している。また、規制部材１０６は等間隔で３ヶ所備えることで、規制部材１０６に衝突したときにロータ１０１が傾き、筺体１０５にかじりついてしまうのを防いでいる。
【００２４】
なお、実際のレンズ鏡筒などに組み込まれる際には、ロータ１０１をフォーカス機構やズーム機構に連結して駆動する。
【００２５】
次に、超音波モータの構成部材の詳細について説明する。図３は、図１及び図２における振動板１０２とリング部材１０４の接合状態を説明するための拡大斜視図で、ロータ１０１側から見た図、つまり上下を逆にした図である。図において振動板１０２の中央の平板部１０２ａには、２か所の突起部１０２ｂが形成される。突起部１０２ｂの下端面は、接触部としての突起接触面であり、ロータ１０１の接触面１０１ａと当接する面である。２か所の突起接触面は同一平面上に形成され、ロータ１０１の接触面１０１ａとの当接状態を良好にするため、製造工程時には研磨などにより均一な面に仕上げられる。
【００２６】
一方、図３に示す平板部１０２ａの裏面側（２か所の突起部１０２ｂが形成されている面と反対の面側）には圧電素子１０３が接着剤などにより圧着されている。なお、平板部１０２ａの裏面と圧電素子１０３の圧着は、圧着されればその方法は限定されない。この圧電素子１０３は複数の圧電素子膜を積層して一体化したものである。そして、この積層された圧電素子１０３に所望の交流電圧を印加することで励振させ、圧電素子１０３が圧着された振動板１０２に２つの振動モードを励起する。このとき２つの振動モードの振動位相が所望の位相差となるように設定することで、突起部１０２ｂの突起接触面には、図３の矢印で示すような楕円振動が発生する。この楕円振動を図１及び図２に示すような３か所の振動子１０９で発生させ、ロータ１０１の接触面１０１ａに伝達することで、ロータ１０１を回転駆動させることが可能となる。なお、前述の圧電素子１０３の積層構造や振動モードに関する詳細は、特開２００４−３０４８８７号公報に記載されている内容と同様であるため、それらの説明は省略する。
【００２７】
次に、振動板１０２の両端には、リング部材１０４に形成された一段高い平面部１０４ａと接合するための２か所の接合部１０２ｃが形成されている。そして、振動板１０２はリング部材１０４に、この接合部１０２ｃにおいて溶接や接着などにより接合されるが、振動板１０２とリング部材１０４が接合されれば、その方法は限定されない。２か所の接合部１０２ｃと平板部１０２ａとの間には２か所の腕部１０２ｄが形成され、この腕部１０２ｄを介して、圧電素子１０３が圧着された平板部１０２ａはリング部材１０４に固定される。この腕部１０２ｄは、平板部１０２ａに発生する振動を接合部１０２ｃに伝達しにくい構成とするため、図３に示すように平板部１０２ａや接合部１０２ｃに対して細い形状となっている。逆に言い換えると、剛体であるリング部材１０４が平板部１０２ａに発生する振動を阻害しないような連結の構成を、当該腕部１０２ｄによって実現している。また、リング部材１０４の中央付近の平面部１０４ｂと、平面部１０４ｂと対向する圧電素子１０３の面（不図示）との間には所定の隙間２０３（図４（Ａ））が形成されている。
【００２８】
図４（Ａ）、（Ｂ）は、各部材を組込んだ状態を示す拡大断面図でロータ１０１を上側とした図になっており、図２のおける３か所の振動子１０９のうち１か所の周囲のみを拡大している。なお、残りの２か所に関しては同様の構成を有するため説明は省略する。
【００２９】
図４（Ａ）は、ロータ１０１の駆動方向に平行で、ロータ１０１の接触面１０１ａと接触する２つの突起部１０２ｂの突起接触面を含む全突起接触面の重心と、当該重心を起点とするロータ１０１の接触面１０１ａの法線を含む面を切断面としている。
【００３０】
図４（Ｂ）は、図３における振動板１０２において、接触面１０１ａと接触する全突起接触面の重心と接触面１０１ａの法線を含み、且つ図４（Ａ）に直交する面を切断面としている。
【００３１】
ただし、全突起接触面とは、全ての突起部１０２ｂの突起接触面を含んだものであり、ここでは２つの突起接触面を含んでいる。また、全突起接触面の重心（全接触重心部とも記す）は、後述する中心線２０１と接触面１０１ａの交点も含んでいる。
【００３２】
図４（Ａ）、（Ｂ）の２０１は、振動板１０２の接触面１０１ａと接触する全突起接触面の重心を通過し、当該接触面１０１ａの法線を含む中心線である。
【００３３】
突起部１０２ｂの突起接触面は、ロータ１０１の接触面１０１ａと当接し、加圧接触状態にある。また、振動板１０２は、両端の接合部１０２ｃが２か所の平面部１０４ａでリング部材１０４と接合されている。そして、圧電素子１０３とリング部材１０４の平面部１０４ｂの間には所定の隙間２０３が形成されている。
【００３４】
筺体１０５の側面には、ロータ１０１の紙面下方向への移動を規制する規制部材１０６が配置されている。ロータ１０１と規制部材１０６の間には、所定量の隙間Ｌ１が設けられており、特に加速度がかかっていない状態では、ロータ１０１は規制部材１０６に触れることなく、滑らかに回転することができる。
【００３５】
バネ部材１０７は、変形量の変化による押圧力のばらつきを低減するため、ある程度バネ定数を小さくする必要がある。従って、バネ部材１０７は、極力厚みを薄くし、自由高さもできるだけ長くすることで、押圧方向の変位量に多少の変化が生じても押圧力のばらつきを小さく抑えることができる。また、本実施例１の超音波モータに組み込まれて所定量加圧された状態でも、バネ部材１０７の弾性変形限界までの潰し量は、ロータ１０１と規制部材１０６の間の隙間Ｌ１より十分に大きくしておく。そして、紙面下方向に大きな加速度が加わってロータ１０１が規制部材１０６に当接した状態になっても、バネ部材１０７は十分な潰れ量が残っており、弾性変形を維持できるように設定する。今、ロータ１０１と規制部材１０６の間の隙間をＬ１、超音波モータに組み込まれた状態でのバネ部材１０７のバネ高さをＬ２、バネ部材１０７が弾性変形限界でのバネ高さをＬ３とすると、下記条件を満たすように構成する。
Ｌ１＜Ｌ２−Ｌ３  ・・・（１）
【００３６】
これにより、紙面下方向への大きな加速度に対しても、バネ部材１０７は弾性変形限界でのバネ高さＬ３まで潰れてしまうことがなく、安定した加圧力を維持することができる。また、バネ部材１０７が潰れきってしまい、振動子１０９が損傷してしまうことを防いでいる。なお、バネ部材１０７をウェーブワッシャで構成した場合には、弾性変形限界でのバネ高さＬ３は、板厚に相当する。
【００３７】
以上のような構成で、振動子１０９は、バネ部材１０７により、ロータ１０１に対して押圧されている。
【００３８】
図５は、ロータ１０１から振動子１０９に向けて大きな加速度が加わった状態を示す拡大断面図である。特に加速度がかかっていない通常の状態では、ロータ１０１はバネ部材１０７の紙面上方向への加圧力を振動板１０２を介して受けており、筺体１０５のフランジ部１０５ａに当接している。しかし、図５に示すように紙面下方向に大きな加速度が加わった場合には、ロータ１０１は、バネ部材１０７による上方向への加圧力に抗して下方向に移動する。ロータ１０１は、所定量Ｌ１移動したところで、筐体１０５の側面に設けられた規制部材１０６に当接するため、それ以上の下方向への移動は規制される。ここで、ロータ１０１が規制部材１０６に当接する位置は、バネ部材１０７が弾性変形している範囲となるように設定する。ロータ１０１が規制部材１０６に当接したときのバネ部材１０７のバネ高さをＬ４とすると、Ｌ４は下記式で表される。
Ｌ４＜Ｌ２−Ｌ１  ・・・（２）
（１）式および（２）式より下記式が成り立つ。
Ｌ３＜Ｌ４  ・・・（３）
【００３９】
よって、ロータ１０１が規制部材１０６に当接したときのバネ部材１０７のバネ高さＬ４は、バネ部材１０７が弾性変形するバネ高さＬ３より大きいため、バネ部材１０７が潰れきることがない。これにより、リング部材１０４とねじ込み部材１０８とが、バネ部材１０７の弾性力を介さずに衝突し、その衝撃により振動子１０９が損傷してしまうのを軽減している。
【００４０】
本実施例１では、２つの突起部１０２ｂの突起接触面によりロータ１０１の接触面１０１ａとの加圧接触状態が構成されているとして説明したが、これに限定されることはない。
【００４１】
以上のように、振動子１０９に発生する超音波振動により被駆動部を駆動する超音波モータにおいて、ロータ１０１の振動子１０９方向への移動を規制する規制部材１０６を筺体１０５に設けることで、ロータ１０１から振動子１０９に向けて大きな加速度が加わった場合でも、バネ部材１０７が潰れきってリング部材１０４とねじ込み部材１０４とがバネ部材１０７の弾性力を介さずに衝突し、振動子１０９が損傷してしまうのを軽減することが可能である。
【実施例２】
【００４２】
実施例２は、実施例１の規制部材１０６を偏心ダボ１１０で構成することで、ロータ１０１と偏心ダボ１１０の隙間を調整可能な構成とした。これにより、ロータ１０１と偏心ダボ１１０の隙間をより確実に設定することが可能となり、ロータ１０１から振動子１０９方向へ大きな加速度が加わった場合でも、振動子１０９の損傷をより確実に防ぐことが可能となる。また、ロータ１０１と偏心ダボ１１０の隙間をより小さく設定することができるため、超音波モータに組み込んだ状態でのバネ部材１０７のバネ高さＬ２を小さくすることでき、ユニットの小型化が可能となる。
【００４３】
図６は、本発明の実施例２である超音波モータの分解斜視図である。なお、図において同一部材は同一記号で図示される。また実施例１と同一部材のものは、同一記号で図示される。
【００４４】
１１０は、ロータ１０１が振動子１０９の方向に進入し過ぎないように規制する偏心ダボである。ロータ１０１から振動子１０９に向かう方向に大きな加速度が加わった場合、バネ部材１０７が潰れきってしまう。するとリング部材１０４と後述のねじ込み部材１０８は、バネ部材１０７の弾性力を介さずに衝突してしまい、大きな衝撃が発生する。その衝撃により、振動子１０９が損傷してしまう恐れがあった。そこでバネ部材１０７が潰れきらないように、ロータ１０１が振動子１０９へ進入し過ぎるのを規制する偏心ダボ１１０を設ける。これにより、バネ部材１０７が弾性変形している状態で、ロータ１０１が偏心ダボ１１０に当接するため、リング部材１０４とねじ込み部材１０８が衝突することがなく、振動子１０９の接触部の損傷を軽減できる。
【００４５】
偏心ダボ１１０は、筺体１０５にロータ１０１を組み込んだ後に、外側から圧入穴１０５ｂに圧入する。このように偏心ダボ１１０を筺体１０５と別部品にすることで、フランジ部１０５ａを有する筺体１０５に対してロータ１０１を組み込んでいくことが可能になり、組立性の向上が図られる。
【００４６】
図７は、偏心ダボ１１０の斜視図である。１１０ａはロータ１０１の接触面１０１ａと当接する当接部である。ロータ１０１から振動子１０９に向けた方向に大きな加速度が加わった場合でも、ロータ１０１の接触面１０１ａが偏心ダボ１１０の当接部１１０ａに衝突することで、ロータ１０１が振動子１０９の方向に進入し過ぎるのを防いでいる。１１０ｂは筺体１０５の圧入穴１０５ｂに挿入される取付部である。取付部１１０ｂの径は、圧入穴１０５ｂの径より微小量だけ大きいような隙間関係になっており、偏心ダボ１１０は筺体１０５に対して回転可能に圧入保持される。１１０ｃはマイナスドライバーを挿入するためのすり割り部である。すり割り部１１０ｃにマイナスドライバーを挿入することで、偏心ダボ１１０を回転させることができるように構成している。当接部１１０ａと取付部１１０ｂは、所定量偏心（偏心量Ｌ６）している。これにより、偏心ダボ１１０を回転させることで、ロータ１０１の接触面１０１ａと偏心ダボ１１０の当接部１１０ａの隙間を±Ｌ６だけ増減させることができる。
【００４７】
図８は、偏心ダボ１１０とロータ１０１の隙間を説明するための断面図である。偏心ダボ１１０は取付部１１０ｂで筺体１０５の圧入穴１０５ｂに圧入されており、回転可能の保持されている。偏心ダボ１１０の当接部１１０ａと取付部１１０ｂは所定量Ｌ６だけ偏心しており、偏心ダボ１１０の回転により、ロータ１０１と偏心ダボ１１０の隙間は調整可能な構成となっている。図８は、取付部１１０ｂの軸の上に当接部１１０ａの軸がくるような回転角、言い換えるとロータ１０１と偏心ダボ１１０の隙間が最も小さくなるような状態を示している。このときの隙間Ｌ５とすると、取付部１１０ｂの軸の垂直下方に当接部１１０ａの軸がくるような回転角、言い換えるとロータ１０１と偏心ダボ１１０の隙間が最も大きくなるような状態では、ロータ１０１と偏心ダボ１１０の隙間は、下記式で表される。
Ｌ５＋２×Ｌ６  ・・・（４）
【００４８】
このように、偏心ダボ１１０の回転により、ロータ１０１と偏心ダボ１１０の隙間を、Ｌ５から（Ｌ５＋２×Ｌ６）まで調整することが可能となる。
【００４９】
このように実施例２では、ロータ１０１の振動子１０９に向けた方向への移動を規制する部材を偏心ダボ１１０で構成することで、ロータ１０１と偏心ダボ１１０の隙間を調整する隙間調整機構を設けたことを特徴とする。これにより、ロータ１０１と偏心ダボ１１０の隙間をより確実に設定することが可能となり、ロータ１０１から振動子１０９方向へ大きな加速度が加わった場合でも、振動子１０９の損傷をより確実に防ぐことが可能となる。また、ロータ１０１と偏心ダボ１１０の隙間をより小さく設定することができるため、超音波モータに組み込んだ状態でのバネ部材１０７のバネ高さＬ２を小さくすることでき、ユニットの小型化が可能となる。
【００５０】
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０１  ロータ（被駆動体）
１０４  リング部材（保持手段）
１０５  筺体
１０６  規制部材
１０７  バネ部材（加圧手段）
１０９  振動子
１１０  偏心ダボ
１１０ａ  当接部
１１０ｂ  取付部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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