(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
充填剤を含み、前記充填剤の平均粒径の４倍の値がシートの厚み以下であり、シートの厚みを１００％としたとき、前記充填剤の最大粒径が、５％以上６７％以下であり、シート厚みが１０００μｍ以下であり、前記充填剤の平均粒径が５０μｍ以下であり、前記充填剤の最大粒径が７５μｍ以下であるシート状封止用樹脂組成物を平行平板でプレスすることによって当該シート状封止用樹脂組成物で半導体チップを埋め込んで覆う工程と、
前記半導体チップを覆う工程の後、前記シート状封止用樹脂組成物を硬化させる工程と、
前記シート状封止用樹脂組成物を硬化させることにより得られた硬化物に、レーザー照射により貫通孔を形成する工程とを含む半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップを内蔵した半導体装置（以下、「半導体パッケージ」ともいう）を積層する技術（以下、「パッケージオンパッケージ」という）が実用化されている。パッケージオンパッケージの実用化に伴って、半導体装置の低背化が求められている。
【０００３】
また、半導体装置の製造技術として、熱硬化性樹脂、充填剤などを含む熱硬化性樹脂シートで半導体チップを覆う技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−７０２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図３０に示すように、半導体チップ５１４及び半導体チップ５１４上に配置された熱硬化性樹脂シート５１２を備える構造物５００をプレスすることにより、半導体チップ５１４を熱硬化性樹脂シート５１２で覆うことができる。しかしながら、構造物５００のプレスに伴って充填剤が半導体チップ５１４に押し付けられることにより、半導体チップ５１４が損傷を受け、半導体チップ５１４にクラックが生じることがある。熱硬化性樹脂シート５１２が薄い場合に、半導体チップ５１４にクラックが生じやすい。
【０００６】
本発明は前記課題を解決し、半導体チップに与える損傷を軽減することが可能な樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明はまた、半導体チップに与える損傷を軽減することが可能な半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明者が鋭意検討したところ、充填剤の平均粒径の４倍の値を樹脂組成物の厚み以下とすることにより、半導体チップに与える損傷を軽減できることを見出し、本発明を完成させた。
【０００８】
すなわち、本発明は、充填剤を含み、充填剤の平均粒径の４倍の値が樹脂組成物の厚み以下である樹脂組成物に関する。
【０００９】
本発明では、充填剤の平均粒径の４倍の値が樹脂組成物の厚み以下であるので、半導体チップに与える損傷を軽減できる。
【００１０】
樹脂組成物の形状としては、タブレット状、シート状などが挙げられる。なかでも、シート状が好ましい。
【００１１】
本発明はまた、樹脂組成物で半導体チップを覆う工程を含む半導体装置の製造方法に関する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、半導体チップに与える損傷を軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】熱硬化性樹脂シートの概略断面図である。
【図２】積層体を下側加熱板と上側加熱板の間に配置した状態の概略を示す断面図である。
【図３】平行平板方式で積層体を熱プレスする様子の概略を示す断面図である。
【図４】封止体などの概略断面図である。
【図５】封止体を加熱して得られた硬化体などの概略断面図である。
【図６】硬化体の概略断面図である。
【図７】硬化体の概略断面図である。
【図８】硬化体上にバッファーコート膜を形成した様子の概略を示す断面図である。
【図９】バッファーコート膜に露光光を照射する様子の概略を示す断面図である。
【図１０】バッファーコート膜に開口部を形成した様子の概略を示す断面図である。
【図１１】貫通孔を形成した様子の概略を示す断面図である。
【図１２】貫通電極を形成した様子の概略を示す断面図である。
【図１３】シード層上に、レジストを形成した様子の概略を示す断面図である。
【図１４】シード層上にめっきパターンを形成した様子の概略を示す断面図である。
【図１５】再配線を完成した様子の概略を示す断面図である。
【図１６】再配線上に保護膜を形成した様子の概略を示す断面図である。
【図１７】再配線体の概略断面図である。
【図１８】再配線上に電極を形成した様子の概略を示す断面図である。
【図１９】電極上にバンプを形成した様子の概略を示す断面図である
【図２０】半導体装置の概略断面図である。
【図２１】積層構造体を下側加熱板と上側加熱板の間に配置した状態の概略を示す断面図である。
【図２２】平行平板方式で積層構造体を熱プレスする様子の概略を示す断面図である。
【図２３】硬化構造体の概略断面図である。
【図２４】硬化構造体の概略断面図である。
【図２５】貫通構造体の概略断面図である。
【図２６】再配線構造体の概略断面図である。
【図２７】半導体装置の概略断面図である。
【図２８】実施例１の硬化物のＳＥＭ観察像である。上段の観察像は、倍率２００倍の観察像である。下段の観察像は、倍率１０００倍の観察像である。
【図２９】比較例１の硬化物のＳＥＭ観察像である。上段の観察像は倍率２００倍の観察像である。下段の観察像は、倍率１０００倍の観察像である。
【図３０】半導体チップ及び半導体チップ上に配置された熱硬化性樹脂シートを備える構造物をプレスする様子の概略を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に実施形態を掲げ、本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。
【００１５】
［実施形態１］
【００１６】
（シート状をなす熱硬化性樹脂組成物１２（以下「熱硬化性樹脂シート１２」という））
熱硬化性樹脂シート１２について説明する。図１に示すように、熱硬化性樹脂シート１２はシート状をなす。
【００１７】
熱硬化性樹脂シート１２は充填剤を含む。そして、充填剤の平均粒径の４倍の値が熱硬化性樹脂シート１２の厚み以下である。
【００１８】
好ましくは、充填剤の平均粒径の５倍の値が熱硬化性樹脂シート１２の厚み以下である。充填剤の平均粒径の５倍の値が熱硬化性樹脂シート１２の厚み以下であると、熱硬化性樹脂シート１２を硬化させることにより得られた硬化物にレーザーで貫通孔を容易に形成できる。具体的には、レーザーの光源よりに位置する入射開口と、入射開口と対向した出射開口で形状が定義される貫通孔に関して、出射開口が入射開口に比べて過度に小さくなることを防止することが可能であるので、硬化物に貫通孔を容易に形成できる。
なお、平均粒径は、次の方法により算出する。
（平均粒径の算出方法）
走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて加速電圧５ｋＶ下、５００倍、１００００倍および５００００倍で熱硬化性樹脂シート１２の断面を観察し、ｉｍａｇｅ  Ｊなどの画像ソフトを用いて５００倍視野で１μｍ以上の充填剤を対象とする第１平均粒径、１００００倍視野で０．１μｍ以上１μｍ未満の充填剤を対象とする第２平均粒径および５００００倍視野で０．０１μｍ未満の充填剤を対象とする第３平均粒径を算出し、第１平均粒径、第２平均粒径および第３平均粒径を基に「平均粒径」を算出する。なお、エリアサイズをモニター内全視野に設定する。
３つの倍率で観察するため、平均粒径を精度よく算出できる。
【００１９】
熱硬化性樹脂シート１２の厚みを１００％としたとき、充填剤の最大粒径は、好ましくは６７％以下、より好ましくは５０％以下、さらに好ましくは４０％以下である。４０％以下であると、半導体チップに与える損傷を軽減できる。一方、熱硬化性樹脂シート１２の厚みを１００％としたとき、充填剤の最大粒径は、好ましくは５％以上である。
【００２０】
熱硬化性樹脂シート１２の厚みは、好ましくは１０μｍ以上、より好ましくは２０μｍ以上、さらに好ましくは３０μｍ以上、特に好ましくは５０μｍ以上である。熱硬化性樹脂シート１２の厚みは、１００μｍ以上でもよく、１５０μｍ以上でもよく、１８０μｍ以上でもよい。一方、熱硬化性樹脂シート１２の厚みは、好ましくは１０００μｍ以下、より好ましくは３００μｍ以下、さらに好ましくは２５０μｍ以下、よりさらに好ましくは２００μｍ以下である。
【００２１】
充填材の平均粒径は、好ましくは５０μｍ以下、より好ましくは３０μｍ以下、よりさらに好ましくは２５μｍ以下、特に好ましくは２０μｍ以下である。２０μｍ以下であると、熱硬化性樹脂シート１２を硬化させることにより得られた硬化物にレーザーで貫通孔を容易に形成できる。一方、充填材の平均粒径は、好ましくは０．５μｍ以上、より好ましくは１μｍ以上、さらに好ましくは３μｍ以上である。
【００２２】
充填材の最大粒径は、好ましくは７５μｍ以下、より好ましくは５４μｍ以下、さらに好ましくは２０μｍ以下である。２０μｍ以下であると、半導体チップに与える損傷を軽減できる。一方、充填材の最大粒径は、好ましくは０．５μｍ以上、より好ましくは３μｍ以上である。
【００２３】
充填剤としては、例えば、無機充填材を挙げることができる。
【００２４】
無機充填材としては、例えば、石英ガラス、タルク、シリカ（溶融シリカや結晶性シリカなど）、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素、窒化ホウ素などが挙げられる。なかでも、熱膨張係数を良好に低減できるという理由から、シリカ、アルミナが好ましく、シリカがより好ましい。シリカとしては、流動性に優れるという理由から、溶融シリカが好ましく、球状溶融シリカがより好ましい。
【００２５】
無機充填材は、シランカップリング剤により処理（前処理）されたものでもよい。これにより、樹脂との濡れ性を向上でき、無機充填材の分散性を高めることができる。
【００２６】
熱硬化性樹脂シート１２中の充填材の含有量は、好ましくは２０体積％以上であり、より好ましくは７０体積％以上であり、さらに好ましくは７４体積％以上である。一方、充填材の含有量は、好ましくは９０体積％以下であり、より好ましくは８５体積％以下である。９０体積％以下であると、良好な凹凸追従性が得られる。
【００２７】
充填材の含有量は、「重量％」を単位としても説明できる。代表的にシリカの含有量について、「重量％」を単位として説明する。
シリカは通常、比重２．２ｇ／ｃｍ３であるので、シリカの含有量（重量％）の好適範囲は例えば以下のとおりである。
すなわち、熱硬化性樹脂シート１２中のシリカの含有量は、８１重量％以上が好ましく、８４重量％以上がより好ましい。熱硬化性樹脂シート１２中のシリカの含有量は、９４重量％以下が好ましく、９１重量％以下がより好ましい。
【００２８】
アルミナは通常、比重３．９ｇ／ｃｍ３であるので、アルミナの含有量（重量％）の好適範囲は例えば以下のとおりである。
すなわち、熱硬化性樹脂シート１２中のアルミナの含有量は、８８重量％以上が好ましく、９０重量％以上がより好ましい。熱硬化性樹脂シート１２中のアルミナの含有量は、９７重量％以下が好ましく、９５重量％以下がより好ましい。
【００２９】
熱硬化性樹脂シート１２は、熱硬化性樹脂を含む。熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などが挙げられる。
【００３０】
エポキシ樹脂としては、特に限定されるものではない。例えば、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、変性ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、変性ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂などの各種のエポキシ樹脂を用いることができる。これらエポキシ樹脂は単独で用いてもよいし２種以上併用してもよい。
【００３１】
エポキシ樹脂の反応性を確保する観点からは、エポキシ当量１５０〜２５０、軟化点もしくは融点が５０〜１３０℃の常温で固形のものが好ましい。なかでも、信頼性の観点から、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂がより好ましい。また、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂が好ましい。
【００３２】
フェノール樹脂は、エポキシ樹脂との間で硬化反応を生起するものであれば特に限定されるものではない。例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ビフェニルアラルキル樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、クレゾールノボラック樹脂、レゾール樹脂などが用いられる。これらフェノール樹脂は単独で用いてもよいし、２種以上併用してもよい。
【００３３】
フェノール樹脂としては、エポキシ樹脂との反応性の観点から、水酸基当量が７０〜２５０、軟化点が５０〜１１０℃のものを用いることが好ましい。硬化反応性が高いという観点から、フェノールノボラック樹脂を好適に用いることができる。また、信頼性の観点から、フェノールアラルキル樹脂やビフェニルアラルキル樹脂のような低吸湿性のものも好適に用いることができる。
【００３４】
熱硬化性樹脂シート１２中のエポキシ樹脂及びフェノール樹脂の合計含有量は、５重量％以上が好ましい。５重量％以上であると、半導体チップなどに対する接着力が良好に得られる。熱硬化性樹脂シート１２中のエポキシ樹脂及びフェノール樹脂の合計含有量は、４０重量％以下が好ましく、２０重量％以下がより好ましい。４０重量％以下であると、吸湿性を低く抑えることができる。
【００３５】
エポキシ樹脂とフェノール樹脂の配合割合は、硬化反応性という観点から、エポキシ樹脂中のエポキシ基１当量に対して、フェノール樹脂中の水酸基の合計が０．７〜１．５当量となるように配合することが好ましく、より好ましくは０．９〜１．２当量である。
【００３６】
熱硬化性樹脂シート１２は、硬化促進剤を含むことが好ましい。
【００３７】
硬化促進剤としては、エポキシ樹脂とフェノール樹脂の硬化を進行させるものであれば特に限定されず、例えば、２−メチルイミダゾール（商品名；２ＭＺ）、２−ウンデシルイミダゾール（商品名；Ｃ１１−Ｚ）、２−ヘプタデシルイミダゾール（商品名；Ｃ１７Ｚ）、１，２−ジメチルイミダゾール（商品名；１．２ＤＭＺ）、２−エチル−４−メチルイミダゾール（商品名；２Ｅ４ＭＺ）、２−フェニルイミダゾール（商品名；２ＰＺ）、２−フェニル−４−メチルイミダゾール（商品名；２Ｐ４ＭＺ）、１−ベンジル−２−メチルイミダゾール（商品名；１Ｂ２ＭＺ）、１−ベンジル−２−フェニルイミダゾール（商品名；１Ｂ２ＰＺ）、１−シアノエチル−２−メチルイミダゾール（商品名；２ＭＺ−ＣＮ）、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミダゾール（商品名；Ｃ１１Ｚ−ＣＮ）、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト（商品名；２ＰＺＣＮＳ−ＰＷ）、２，４−ジアミノ−６−［２’−メチルイミダゾリル−（１’）］−エチル−ｓ−トリアジン（商品名；２ＭＺ−Ａ）、２，４−ジアミノ−６−［２’−ウンデシルイミダゾリル−（１’）］−エチル−ｓ−トリアジン（商品名；Ｃ１１Ｚ−Ａ）、２，４−ジアミノ−６−［２’−エチル−４’−メチルイミダゾリル−（１’）］−エチル−ｓ−トリアジン（商品名；２Ｅ４ＭＺ−Ａ）、２，４−ジアミノ−６−［２’−メチルイミダゾリル−（１’）］−エチル−ｓ−トリアジンイソシアヌル酸付加物（商品名；２ＭＡ−ＯＫ）、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール（商品名；２ＰＨＺ−ＰＷ）、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾール（商品名；２Ｐ４ＭＨＺ−ＰＷ）などのイミダゾール系硬化促進剤が挙げられる（いずれも四国化成工業（株）製）。
【００３８】
なかでも、混練温度での硬化反応を抑えられるという理由からイミダゾール系硬化促進剤が好ましく、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール、２，４−ジアミノ−６−［２’−エチル−４’−メチルイミダゾリル−（１’）］−エチル−ｓ−トリアジンがより好ましく、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾールがさらに好ましい。
【００３９】
硬化促進剤の含有量は、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂の合計１００重量部に対して、好ましくは０．２重量部以上、より好ましくは０．５重量部以上、さらに好ましくは０．８重量部以上である。硬化促進剤の含有量は、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂の合計１００重量部に対して、好ましくは５重量部以下、より好ましくは２重量部以下である。
【００４０】
熱硬化性樹脂シート１２は、熱可塑性樹脂を含んでもよい。熱可塑性樹脂としてはエラストマーが好ましい。
【００４１】
熱可塑性樹脂としては、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、ポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、６−ナイロンや６，６−ナイロンなどのポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、ＰＥＴやＰＢＴなどの飽和ポリエステル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フッ素樹脂、スチレン−イソブチレン−スチレントリブロック共重合体、メチルメタクリレート−ブタジエン−スチレン共重合体（ＭＢＳ樹脂）などが挙げられる。これらの熱可塑性樹脂は単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。
【００４２】
熱硬化性樹脂シート１２中の熱可塑性樹脂の含有量は、１重量％以上が好ましい。１重量％以上であると、柔軟性、可撓性を付与できる。熱硬化性樹脂シート１２中の熱可塑性樹脂の含有量は、好ましくは３０重量％以下、より好ましくは１０重量％以下、さらに好ましくは５重量％以下である。３０重量％以下であると、半導体チップなどに対する接着力が良好に得られる。
【００４３】
熱硬化性樹脂シート１２は、前記成分以外にも、難燃剤成分、顔料などを適宜含有してよい。
【００４４】
難燃剤成分としては、例えば水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化鉄、水酸化カルシウム、水酸化スズ、複合化金属水酸化物などの各種金属水酸化物；ホスファゼン化合物などを用いることができる。なかでも、難燃性、硬化後の強度に優れるという理由から、ホスファゼン化合物が好ましい。
【００４５】
顔料としては特に限定されず、カーボンブラックなどが挙げられる。
【００４６】
熱硬化性樹脂シート１２の製造方法は特に限定されないが、前記各成分（例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、無機充填材及び硬化促進剤など）を混練して得られる混練物をシート状に塑性加工する方法が好ましい。これにより、無機充填材を高充填でき、熱膨張係数を低く設計できる。
【００４７】
具体的には、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、無機充填材及び硬化促進剤などをミキシングロール、加圧式ニーダー、押出機などの公知の混練機で溶融混練することにより混練物を調製し、得られた混練物をシート状に塑性加工する。混練条件として、温度の上限は、１４０℃以下が好ましく、１３０℃以下がより好ましい。温度の下限は、上述の各成分の軟化点以上であることが好ましく、例えば３０℃以上、好ましくは５０℃以上である。混練の時間は、好ましくは１〜３０分である。また、混練は、減圧条件下（減圧雰囲気下）で行うことが好ましく、減圧条件下の圧力は、例えば、１×１０−４〜０．１ｋｇ／ｃｍ２である。
【００４８】
溶融混練後の混練物は、冷却することなく高温状態のままで塑性加工することが好ましい。塑性加工方法としては特に制限されず、平板プレス法、Ｔダイ押出法、スクリューダイ押出法、ロール圧延法、ロール混練法、インフレーション押出法、共押出法、カレンダー成形法などが挙げられる。塑性加工温度としては上述の各成分の軟化点以上が好ましく、エポキシ樹脂の熱硬化性および成形性を考慮すると、例えば４０〜１５０℃、好ましくは５０〜１４０℃、さらに好ましくは７０〜１２０℃である。
【００４９】
熱硬化性樹脂シート１２を塗工方式で製造することも好ましい。例えば、前記各成分を含有する接着剤組成物溶液を作製し、接着剤組成物溶液を基材セパレータ上に所定厚みとなる様に塗布して塗布膜を形成した後、塗布膜を乾燥させることで、熱硬化性樹脂シート１２を製造できる。
【００５０】
接着剤組成物溶液に用いる溶媒としては特に限定されないが、前記各成分を均一に溶解、混練又は分散できる有機溶媒が好ましい。例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ-メチルピロリドン、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶媒、トルエン、キシレンなどが挙げられる。
【００５１】
基材セパレータとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリプロピレンや、フッ素系剥離剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤などの剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルムや紙などが使用可能である。接着剤組成物溶液の塗布方法としては、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工などが挙げられる。また、塗布膜の乾燥条件は特に限定されず、例えば、乾燥温度７０〜１６０℃、乾燥時間１〜５分間で行うことができる。
【００５２】
（半導体装置５４の製造方法）
実施形態１の方法では、Ｆａｎ−ｏｕｔ（ファンアウト）型ウェハレベルパッケージ（ＷＬＰ）を製造する。
【００５３】
図２に示すように、積層体１は、チップ仮固定体１１、チップ仮固定体１１上に配置された熱硬化性樹脂シート１２及び熱硬化性樹脂シート１２上に配置されたセパレーター１３を備える。積層体１は下側加熱板４１と上側加熱板４２の間に配置されている。
【００５４】
チップ仮固定体１１は、支持板１１ａ、支持板１１ａ上に配置された仮固定材１１ｂ及び仮固定材１１ｂ上に配置された半導体チップ１４を備える。
【００５５】
支持板１１ａの材料としては特に限定されず、例えば、ＳＵＳなどの金属材料、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォンなどのプラスチック材料などである。
【００５６】
仮固定材１１ｂの材料としては特に限定されないが、容易に剥離できるという理由から、熱発泡性粘着剤などの熱剥離性粘着剤などが好ましい。
【００５７】
半導体チップ１４は、本体部１４ｂ及び本体部１４ｂ上に配置された電極パッド１４ａを備える。本体部１４ｂの材料は、シリコンなどの半導体などである。半導体チップ１４は、第１主面と、第１主面に対向した第２主面で両面を定義される。第２主面に電極パッド１４ａが位置する。第２主面が仮固定材１１ｂと接する。
【００５８】
セパレーター１３としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムなどを好適に使用できる。熱硬化性樹脂シート１２をセパレーター１３から容易に剥離できるという理由から、セパレーター１３は離型処理が施されたものが好ましい。
【００５９】
図３に示すように、下側加熱板４１及び上側加熱板４２を用いて平行平板方式で積層体１を熱プレスして、封止体５１を形成する。
【００６０】
熱プレスの温度は好ましくは７０℃以上、より好ましくは８０℃以上である。熱プレスの温度は好ましくは１７０℃以下、より好ましくは１５０℃以下、さらに好ましくは１００℃以下である。積層体１を熱プレスする圧力は、好ましくは１．０ＭＰａ以上、より好ましくは１．５ＭＰａ以上である。積層体１を熱プレスする圧力は、好ましくは１０ＭＰａ以下、より好ましくは８ＭＰａ以下である。熱プレスする時間は、好ましくは０．３分以上、より好ましくは１分以上である。また、熱プレスする時間は、好ましくは６０分以下、より好ましくは１０分以下である。
【００６１】
熱プレスは減圧雰囲気下で行うことが好ましい。減圧雰囲気下で熱プレスすることにより、ボイドを低減することが可能で、凹凸を良好に埋めることができる。減圧雰囲気下の圧力は、例えば、０．１ｋＰａ〜５ｋＰａ、０．１Ｐａ〜１００Ｐａなどである。
【００６２】
封止体５１は、半導体チップ１４及び半導体チップ１４を覆う熱硬化性樹脂シート１２を備える。封止体５１は仮固定材１１ｂ及びセパレーター１３と接する。
【００６３】
図４に示すように、封止体５１からセパレーター１３を剥離する。
【００６４】
次いで、封止体５１を加熱し、熱硬化性樹脂シート１２を硬化させて、硬化体５２を形成する。
【００６５】
加熱温度は、好ましくは１００℃以上、より好ましくは１２０℃以上である。一方、加熱温度の上限は、好ましくは２００℃以下、より好ましくは１８０℃以下である。加熱時間は、好ましくは１０分以上、より好ましくは３０分以上である。一方、加熱時間の上限は、好ましくは１８０分以下、より好ましくは１２０分以下である。加圧雰囲気下で封止体５１を加熱することが好ましく、圧力は好ましくは０．１ＭＰａ以上、より好ましくは０．５ＭＰａ以上である。一方、上限は好ましくは１０ＭＰａ以下、より好ましくは５ＭＰａ以下である。
【００６６】
図５に示すように、硬化体５２は、半導体チップ１４及び半導体チップ１４を覆う保護部材２１を備える。硬化体５２は、半導体チップ１４が位置する膜予定面と、膜予定面と対向した面で両面を定義される。
【００６７】
図６に示すように、仮固定材１１ｂを加熱して仮固定材１１ｂの粘着力を低下させた後、硬化体５２から仮固定材１１ｂを剥離する。仮固定材１１ｂを加熱する温度としては、好ましくは１７５℃以上、より好ましくは１８０℃以上である。仮固定材１１ｂを加熱する温度の上限は、例えば２００℃である。
【００６８】
図７に示すように、硬化体５２の膜予定面と対向した面を研削してもよい。研削を行うことにより、硬化体５２の反りを低減できる。研削方法としては、例えば、高速回転する砥石を用いるグラインディング法などが挙げられる。
【００６９】
図８に示すように、膜予定面上にバッファーコート膜６１を形成する。バッファーコート膜６１の材料としては、感光性のポリイミド、感光性のポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）などを使用できる。バッファーコート膜６１を形成する方法としては、スピンコート法、ダイコーティング法、膜予定面上にドライフィルムを配置する方法などが挙げられる。
【００７０】
図９に示すように、バッファーコート膜６１上にマスク６２を配置する。次いで、バッファーコート膜６１の上方に配置した光源９１から露光光を照射することにより、バッファーコート膜６１を感光させる。
【００７１】
次いで、図１０に示すように、バッファーコート膜６１に開口部６１Ａ及び開口部６１Ｂを形成して、保護部材２１の所定の部分及び電極パッド１４ａを露出させる。
【００７２】
図１１に示すように、レーザー照射により保護部材２１に貫通孔７１を形成する。貫通孔７１は、保護部材２１を厚み方向に貫通する。
【００７３】
図１２に示すように、貫通孔７１に金属を充填して、貫通電極７２を形成する。貫通電極７２は保護部材２１の厚み方向に延びる。充填する金属としては、例えば、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、共晶はんだなどが挙げられる。共晶はんだとして、例えば、Ｓｎ−Ａｇ共晶はんだ、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ共晶はんだなどを用いることができる。
【００７４】
次いで、バッファーコート膜６１、電極パッド１４ａ及び貫通電極７２上にシード層を形成する。
【００７５】
図１３に示すように、シード層上にレジスト６３を形成する。
【００７６】
図１４に示すように、電解銅めっきなどのめっき法で、シード層上にめっきパターン６４を形成する。
【００７７】
図１５に示すように、レジスト６３を除去した後、シード層をエッチングして、再配線６５及び再配線７５を完成する。
【００７８】
図１６に示すように、再配線６５及び再配線７５上に保護膜６６を形成する。保護膜６６の材料としては、感光性のポリイミド、感光性のポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）などを使用できる。
【００７９】
図１７に示すように、保護膜６６に開口を形成し、保護膜６６の下方にある再配線６５及び再配線７５を露出させる。これにより、硬化体５２上に再配線６５及び再配線７５を含む再配線層６９が完成し、再配線体５３を得る。再配線体５３は、半導体チップ１４、半導体チップ１４の周辺に配置された保護部材２１、保護部材２１の厚み方向に延び保護部材２１を貫通する貫通電極７２、並びに半導体チップ１４上に配置された再配線層６９を備える。
【００８０】
図１８に示すように、再配線６５上に電極（ＵＢＭ：Ｕｎｄｅｒ  Ｂｕｍｐ  Ｍｅｔａｌ）６７を形成する。また、再配線７５上に電極７７を形成する。
【００８１】
図１９に示すように、電極６７上にバンプ６８を形成する。パンプ６８は、電極６７及び再配線６５を介して電極パッド１４ａと電気的に接続されている。また、電極７７上にバンプ７８を形成する。パンプ７８は、電極７７及び再配線７５を介して貫通電極７２と電気的に接続されている。
【００８２】
図２０に示すように、再配線体５３を個片化（ダイシング）して半導体装置５４を得る。
【００８３】
以上のとおり、実施形態１の半導体装置５４の製造方法は、熱硬化性樹脂シート１２で半導体チップ１４を覆う工程を含む。熱硬化性樹脂シート１２で半導体チップ１４を覆う工程は、積層体１をプレスするステップを含む。
【００８４】
［実施形態２］
図２１に示すように、積層構造体２は、チップ実装ウェハ２１、チップ実装ウェハ２１上に配置された熱硬化性樹脂シート１２及び熱硬化性樹脂シート１２上に配置されたセパレーター１３を備える。積層構造体２は下側加熱板４１と上側加熱板４２の間に配置されている。
【００８５】
チップ実装ウェハ２１は、半導体ウェハ３１及び半導体ウェハ３１上にフリップチップ実装（フリップチップボンディング）された半導体チップ１４を備える。チップ実装ウェハ２１は、半導体ウェハ３１と半導体チップ１４の間に挟まれたアンダーフィル材１５をさらに備える。
【００８６】
半導体チップ１４は本体部１４ｂ及び本体部１４ｂ上に配置されたバンプ１４ｃを備える。本体部１４ｂの材料は、シリコンなどの半導体などである。半導体チップ１４は、第１主面と、第１主面に対向した第２主面で両面を定義される。第２主面にバンプ１４ｃが位置する。
【００８７】
半導体ウェハ３１は、ウェハ部３１ａ、ウェハ部３１ａの厚み方向に延びる貫通電極３１ｂ及び貫通電極３１ｂ上に配置された電極３１ｃを備える。ウェハ部３１ａの材料は、シリコンなどの半導体である。半導体ウェハ３１は、電極面と、電極面と対向した裏面で両面を定義される。半導体ウェハ３１の電極面に、電極３１ｃが位置する。
【００８８】
半導体チップ１４と半導体ウェハ３１は、バンプ１４ｃと電極３１ｃを介して電気的に接続されている。
【００８９】
図２２に示すように、下側加熱板４１及び上側加熱板４２を用いて平行平板方式で積層構造体２を熱プレスして、封止構造体７１を形成する。好適な熱プレス条件は、実施形態１で説明した熱プレス条件と同様である。また、熱プレスは減圧雰囲気下で行うことが好ましい。好適な減圧条件は、実施形態１で説明した減圧条件と同様である。
【００９０】
封止構造体７１は、半導体ウェハ３１、半導体ウェハ３１上にフリップチップ実装された半導体チップ１４及び半導体チップ１４を覆う熱硬化性樹脂シート１２を備える。封止構造体７１は、セパレーター１３と接する。
【００９１】
封止構造体７１からセパレーター１３を剥離する。
【００９２】
封止構造体７１を加熱することで熱硬化性樹脂シート１２を硬化させて、硬化構造体７２を形成する。好適な加熱条件は、実施形態１で説明した加熱条件と同様である。
【００９３】
図２３に示すように、硬化構造体７２は、半導体ウェハ３１、半導体ウェハ３１上にフリップチップ実装された半導体チップ１４及び半導体チップ１４を覆う保護部材２１を備える。硬化構造体７２は、半導体ウェハ３１が位置するウェハ面と、ウェハ面と対向した面で両面を定義される。
【００９４】
図２４に示すように、ウェハ面と対向した面を研削してもよい。
【００９５】
図２５に示すように、ウェハ面を研削することにより、貫通構造体７３を得る。貫通構造体７３は、貫通ウェハ３２、貫通ウェハ３２上にフリップチップ実装された半導体チップ１４及び半導体チップ１４の周辺に配置された保護部材２１を備える。貫通ウェハ３２は、円盤状をなす主部３２ａ、主部３２ａの厚み方向に延び主部３２ａを貫通する貫通電極３１ｂ及び貫通電極３１ｂ上に配置された電極３１ｃを備える。貫通ウェハ３２は、貫通電極３１ｂが位置する形成面と、形成面と対向した面で両面を定義される。
【００９６】
図２６に示すように、セミアディティブ法などを利用して、形成面上に再配線層８１を形成して、再配線構造体７４を形成する。再配線層８１は、再配線８２を備える。次いで、再配線層８１上にバンプ８３を形成する。バンプ８３は再配線８２、電極３１ｃ及び貫通電極３１ｂを介してバンプ１４ｃと電気的に接続している。再配線構造体７４は、貫通ウェハ３２、貫通ウェハ３２上にフリップチップ実装された半導体チップ１４、半導体チップ１４の周辺に配置された保護部材２１、及び形成面上に配置された再配線層８１を備える。
【００９７】
図２７に示すように、再配線構造体７４を個片化（ダイシング）して、半導体装置７５を得る。
【００９８】
（変形例１）
実施形態２では、チップ実装ウェハ２１について半導体チップ１４と半導体ウェハ３１の間にアンダーフィル材１５が充填されているが、変形例１では半導体チップ１４と半導体ウェハ３１の間にアンダーフィル材１５が充填されていない。
【００９９】
以上のとおり、実施形態２の半導体装置７５の製造方法は、熱硬化性樹脂シート１２で半導体チップ１４を覆う工程を含む。熱硬化性樹脂シート１２で半導体チップ１４を覆う工程は、積層構造体２をプレスするステップを含む。
【実施例】
【０１００】
以下に、この発明の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている材料や配合量などは、特に限定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【０１０１】
樹脂シートを作製するために使用した成分について説明する。
エポキシ樹脂１：新日鐵化学（株）製のＹＳＬＶ−８０ＸＹ（ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、エポキン当量１９１ｇ／ｅｑ．軟化点８０℃）
エポキシ樹脂２：三菱化学（株）製のエピコート８２８（ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、エポキン当量１８５ｇ／ｅｑ）
フェノール樹脂：明和化成社製のＭＥＨ−７５００−３Ｓ（水酸基当量１０７ｇ／ｅｑ．、軟化点８３℃）
硬化促進剤：四国化成工業社製の２ＰＨＺ−ＰＷ（２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール）
シリカフィラーＢ：電気化学工業社製のＦＢ−９４５４（溶融球状シリカ、平均粒径２０μｍ、最大粒径５４μｍ）
シリカフィラーＤ：電気化学工業社製の５ＳＤＣ（溶融球状シリカ、平均粒径５μｍ、最大粒径２０μｍ）
シリカフィラーＥ：電気化学工業社製の３ＳＤＣ（溶融球状シリカ、平均粒径３μｍ、最大粒径１０μｍ）
シリカフィラーＧ：龍森社製のＭＳＲ−８０４０（溶融球状シリカ、平均粒径１１μｍ、最大粒径４５μｍ）
アルミナフィラーＩ：昭和電工社製のＡＬ−１７−１（アルミナフィラー、平均粒径６０μｍ）
アルミナフィラーＪ：電気化学社製のＤＡＷ−４５（アルミナフィラー、平均粒径４３μｍ）
シランカップリング剤：信越化学社製のＫＢＭ−４０３（３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン）
カーボンブラック：三菱化学社製の＃２０
【０１０２】
［樹脂シートの作製］
表１に記載の配合比に従い、各成分を配合し、ロール混練機により６０〜１２０℃、１０分間、減圧条件下（０．０１ｋｇ／ｃｍ２）で溶融混練し、混練物を調製した。次いで、混練物を、平板プレス法により、シート状に形成して、縦２００ｍｍ、横２３０ｍｍ、表１に記載の厚みの樹脂シートを作製した。
【０１０３】
【表１】
0005976073.tif 000002
【０１０４】
［評価１  チップクラック］
ガラス板（テンパックスガラス、縦２００ｍｍ、横２３０ｍｍ、厚み１．１ｍｍ）上に熱剥離シート（日東電工社製のリバアルファ「３１９５Ｖ」、縦２００ｍｍ、横２３０ｍｍ、厚み１００μｍ）を積層した。次いで、熱剥離シート上に、シリコンチップ（縦７ｍｍ、横７ｍｍ、厚み２００μｍ）を複数配置した。これにより、ガラス板、ガラス板上に配置された熱剥離シート及び熱剥離シート上に配置されたシリコンチップからなるチップ仮固定体を得た。
【０１０５】
次いで、チップ仮固定体上に樹脂シートを配置した。これにより、チップ仮固定体、及びチップ仮固定体上に配置された樹脂シートからなる積層体を得た。
【０１０６】
次いで、平行平板プレス装置（ミカドテクノス社製）を用いて、真空雰囲気下、９０℃、プレス圧１．０ＭＰａ、１２０秒の条件で積層体を平行平板方式でプレスすることにより、封止体（シリコンチップ及びシリコンチップを覆う樹脂シートからなるもの）を得た。
【０１０７】
封止体の断面を観察し、シリコンチップにクラックがない場合を○と判定した。シリコンチップにクラックがないものの、シリコンチップの上に位置する樹脂の厚みと同等の直径を有するフィラーが確認され、クラックが入るおそれがある場合を△と判定した。シリコンチップにクラックがある場合を×と判定した。結果を表１に示す。
【０１０８】
［評価２  貫通孔の状態］
平行平板プレス装置（ミカドテクノス社製）を用いて、真空雰囲気下、９０℃、プレス圧１．０ＭＰａ、１２０秒の条件で樹脂シートを平行平板方式でプレスすることにより、樹脂シートの厚みを当初の厚みの８０％に調整した。次いで、樹脂シートを１５０℃で６０分間保持することにより、樹脂シートを硬化させた。
【０１０９】
樹脂シートを硬化させることにより得られた硬化物に、表２に示す条件でレーザーを照射し、硬化物に直径５０μｍの貫通孔を形成した。次いで、硬化物を顕微鏡で観察し、円状をなす貫通孔が確認された場合を○と判定した（図２８参照）。一方、充填剤の影響で円状をなす貫通孔が得られなかった場合を×と判定した（図２９参照）。結果を表１に示す。
【０１１０】
【表２】
0005976073.tif 000003
【図１】
0005976073.tif 000004
【図２】
0005976073.tif 000005
【図３】
0005976073.tif 000006
【図４】
0005976073.tif 000007
【図５】
0005976073.tif 000008
【図６】
0005976073.tif 000009
【図７】
0005976073.tif 000010
【図８】
0005976073.tif 000011
【図９】
0005976073.tif 000012
【図１０】
0005976073.tif 000013
【図１１】
0005976073.tif 000014
【図１２】
0005976073.tif 000015
【図１３】
0005976073.tif 000016
【図１４】
0005976073.tif 000017
【図１５】
0005976073.tif 000018
【図１６】
0005976073.tif 000019
【図１７】
0005976073.tif 000020
【図１８】
0005976073.tif 000021
【図１９】
0005976073.tif 000022
【図２０】
0005976073.tif 000023
【図２１】
0005976073.tif 000024
【図２２】
0005976073.tif 000025
【図２３】
0005976073.tif 000026
【図２４】
0005976073.tif 000027
【図２５】
0005976073.tif 000028
【図２６】
0005976073.tif 000029
【図２７】
0005976073.tif 000030
【図２８】
0005976073.tif 000031
【図２９】
0005976073.tif 000032
【図３０】
0005976073.tif 000033