(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
繊維部材に樹脂部材を含浸させて、前記樹脂部材を少なくとも半硬化させてシート状部材を作製する作製段階と、
前記シート状部材の面に形成された突起を除去する除去段階と
を備え、
前記除去段階では、前記シート状部材を搬送方向に搬送しつつ、前記シート状部材の一方の面側に配置され前記搬送方向と直交する方向の前記シート状部材の幅の全体を覆う刃部材によって、前記突起を切削し、
前記除去段階では、前記シート状部材の他方の面側の突起を弾性部材の弾性変形によって受け入れる樹脂シートの製造方法。
【請求項２】
前記除去段階では、前記搬送方向における前記刃部材の上流側であって、前記シート状部材の前記一方の面側に配置されたガイド部材によって、前記シート状部材の面の法線方向の前記シート状部材の動きを規制しつつ、前記刃部材によって前記突起を除去する
請求項１に記載の樹脂シートの製造方法。
【請求項３】
前記除去段階では、
前記シート状部材の他方の面側に配置された他のガイド部材によって、前記シート状部材の面の法線方向の前記シート状部材の動きを規制しつつ、
前記搬送方向における前記他のガイド部材の下流側であって、前記シート状部材の他方の面側に配置された他の刃部材によって、前記他方の面側に形成された前記突起を切削して除去する
請求項２に記載の樹脂シートの製造方法。
【請求項４】
前記刃部材は、鋭角の刃部、及び、前記刃部の下流側に形成された前記シート状部材が摺動する摺動面を有し、
前記ガイド部材は、前記シート状部材が摺動するガイド面を有し、
前記摺動面及び前記ガイド面は、同一平面上に配置されている
請求項２または３に記載の樹脂シートの製造方法。
【請求項５】
前記刃部材は、前記搬送方向に対して直交する刃部を有する
請求項１から４のいずれか１項に記載の樹脂シートの製造方法。
【請求項６】
前記刃部材は、前記搬送方向の直交する方向から傾斜する刃部を有する
請求項１から４のいずれか１項に記載の樹脂シートの製造方法。
【請求項７】
シート状部材を搬送方向に搬送する搬送部と、
搬送される前記シート状部材の一方の面側に配置されて、前記シート状部材の一方の面に形成された突起を切削して除去する刃部材と、
前記シート状部材の他方の面側に配置され、前記シート状部材の他方の面の突起を弾性変形により受け入れる弾性部材と
を備え、
前記刃部材は、前記搬送方向と直交する方向の前記シート状部材の幅の全体を覆う突起削除装置。
【請求項８】
前記搬送方向における前記刃部材の上流側であって、前記シート状部材の前記一方の面側に配置され、前記シート状部材の面の法線方向の前記シート状部材の動きを規制するガイド部材
を更に備える請求項７に記載の突起削除装置。
【請求項９】
前記シート状部材の他方の面側に配置され、前記シート状部材の面の法線方向の前記シート状部材の動きを規制する他のガイド部材と、
前記搬送方向における前記他のガイド部材の下流側であって、前記シート状部材の他方の面側に配置され、前記他方の面側に形成された前記突起を切削して除去する他の刃部材と
を更に備える請求項８に記載の突起削除装置。
【請求項１０】
前記刃部材は、前記シート状部材が摺動する摺動面を有し、
前記ガイド部材は、前記シート状部材が摺動するガイド面を有し、
前記摺動面及び前記ガイド面は、同一平面上に配置されている
請求項８または９に記載の突起削除装置。
【請求項１１】
前記刃部材に向けて前記シート状部材を押圧する押圧部材を更に備える
請求項７から１０のいずれか１項に記載の突起削除装置。
【請求項１２】
前記刃部材は、前記シート状部材を挟み、一対設けられ、
一方の刃部材の上流側の面の角のうち、前記シート状部材と接する角は、他方の刃部材の上流側の面の角のうち、前記シート状部材と接する角と全長にわたって同じ位置に配置されている
請求項７から１０のいずれか１項に記載の突起削除装置。
【請求項１３】
前記一方の刃部材の上流側の面と、前記他方の刃部材の上流側の面は、同じ向きで平行に配置された状態で同時に研磨される
請求項１２に記載の突起削除装置。
【請求項１４】
前記刃部材の前記シート状部材と対向する面は、前記シート状部材と平行に配される
請求項１２または１３に記載の突起削除装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂シートの製造方法、樹脂シート、銅張り積層板、及び、突起削除装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
繊維部材に樹脂部材を含浸させて、乾燥して得られる樹脂シートは、電子材料に使用される。しかし、樹脂シートは繊維部材の緩みに起因する突起を表面に有する。この突起を低減する方法として、押圧することによって表面の突起を低減する樹脂シートの製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
［特許文献１］  特開２００３−１４５５３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、樹脂シートがガラス繊維等の繊維部材を含む場合、表面の突起は押圧によっては潰れにくく、押圧された後、突起が再生して残るといった課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の第１の態様においては、繊維部材に樹脂部材を含浸させて、前記樹脂部材を少なくとも半硬化させてシート状部材を作製する作製段階と、前記シート状部材の面に形成された突起を除去する除去段階とを備える樹脂シートの製造方法を提供する。【０００５】
本発明の第２の態様においては、上述の樹脂シートの製造方法によって製造された樹脂シートを提供する。【０００６】
本発明の第３の態様においては、上述の樹脂シートを備える銅張り積層板を提供する。【０００７】
本発明の第４の態様においては、シート状部材を搬送する搬送部と、搬送される前記シート状部材の一方の面側に配置されて、前記シート状部材の一面に形成された突起を切削して除去する刃部材とを備える突起削除装置を提供する。【０００８】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】繊維部材１０の全体斜視図である。
【図２】繊維部材１０に樹脂部材１８を含浸させた状態の断面図である。
【図３】シート状部材２０の斜視図である。
【図４】シート状部材２０の断面図である。
【図５】削除段階で使用される突起削除装置１００の概略構成図である。
【図６】刃部材１０８の近傍の拡大図である。
【図７】正常面２４の厚みの測定を説明する断面図である。
【図８】正常面２４の厚みの測定位置を説明する平面図である。
【図９】突起２２の厚みの測定を説明する断面図である。
【図１０】完成した樹脂シート３０の斜視図である。
【図１１】銅張り積層板３２の斜視図である。
【図１２】別の突起削除装置２００の概略構成図である。
【図１３】突起削除装置２００の概略平面図である。
【図１４】突起削除装置２００における上刃部材を変更した実施形態の概略平面図である。
【図１５】突起削除装置２００における上刃部材を変更した実施形態の概略平面図である。
【図１６】突起削除装置２００における上刃部材を変更した実施形態の概略平面図である。
【図１７】突起削除装置２００における上刃部材を変更した実施形態の概略平面図である。
【図１８】突起削除装置２００における上刃部材を変更した実施形態の概略平面図である。
【図１９】突起削除装置２００における上刃部材を変更した実施形態の概略平面図である。
【図２０】別の突起削除装置３００の概略構成図である。
【図２１】別の突起削除装置４００の概略構成図である。
【図２２】別の突起削除装置５００の概略構成図である。
【図２３】突起削除装置５００の中央部の拡大図である。
【図２４】ガイド部材６０６及び刃部材６０８の別の形態を説明する斜視図である。
【図２５】刃部材６０８を移動させた図である。
【図２６】ガイド部材７０６及び刃部材７０８にバックアップロール７０４を追加した別の形態を説明する図である
【図２７】変更したバックアップロール７０５の形態を説明する図である。
【図２８】上側のガイド部材８０６及び上側の刃部材８０８を追加した別の形態を説明する図である。
【図２９】変更した刃部材９０８、９０９を一対設けた形態を説明する図である。
【図３０】刃部材９０８、９０９の製造工程を説明する図である。
【図３１】刃部材９０８、９０９にガイド部材９０６、９０７を追加した形態を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１１】
図１は、繊維部材１０の全体斜視図である。繊維部材１０は、複数のガラス繊維が織り込まれて作製される。尚、ガラス繊維に代えて、カーボンファイバー等の繊維を採用してもよい。繊維部材１０は、経糸１２と、緯糸１４とを有する。経糸と緯糸は、それぞれ数十本から数百本のモノフィラメントの束のヤーンである。モノフィラメントの直径の一例は、３．５μｍから９μｍである。経糸１２と緯糸１４は、互いに直交するように配置されて織り込まれて、ガラスクロス状の繊維部材１０が作製される。経糸１２及び緯糸１４のピッチの一例は、２００μｍから８００μｍである。繊維部材１０には、モノフィラメントが緩んだ緩み部分１６が形成される。緩み部分１６は、意図的に形成するものではないが、完全になくすことはできない。なお、緩み部分は繊維部材またはモノフィラメントの破断によるものも含まれる。
【００１２】
図２は、繊維部材１０に樹脂部材１８を含浸させた状態の断面図である。次に、作製段階では、図２に示すように、繊維部材１０に樹脂部材１８を含浸させる。樹脂部材１８を構成する材料の一例は、熱硬化性のエポキシ樹脂である。尚、エポキシ樹脂に代えて、ポリエステル系、ゴム系、アクリル系、ウレタン系等の他の樹脂、及び、これらの複数の樹脂を混ぜ合わせてなる樹脂組成物を採用してもよい。樹脂部材１８の一部は、緩み部分１６に集まる。
【００１３】
図３は、シート状部材２０の斜視図である。図４は、シート状部材２０の断面図である。次に、繊維部材１０に含浸した樹脂部材１８を１００℃から２００℃に設定された循環式温風乾燥機によって３分から１０分間加熱することにより、樹脂部材１８を半硬化させる。これにより、図３及び図４に示す半硬化状態（＝Ｂステージ）のシート状部材２０が作製される。尚、以下の説明では、樹脂部材１８を半硬化させた状態で説明するが、この時点で樹脂部材１８を本硬化させてもよい。本硬化については後述する。シート状部材２０の後述する搬送方向の長さの一例は、数千ｍである。シート状部材２０は、ロール等に巻かれて、後の工程に送られる。尚、搬送方向とは、後述する除去段階において、シート状部材２０が搬送される方向のことである。
【００１４】
シート状部材２０の幅の一例は、５００ｍｍである。シート状部材２０の幅は、搬送方向と直交する方向の長さのことである。尚、搬送方向と直交する方向であって、シート状部材２０の面と平行な方向を幅方向とする。この状態では、緩み部分１６の樹脂部材１８は、周囲の領域よりも突出した突起２２となる。突起２２の大きさ及び高さは、１５μｍ以上である。突起２２は、他方の面にも形成されている。突起２２が形成されていない領域を正常面２４とする。
【００１５】
図５は、削除段階で使用される突起削除装置１００の概略構成図である。図６は、刃部材１０８の近傍の拡大図である。図５及び図６に示すように、突起削除装置１００は、搬送部１０２と、バックアップロール１０４と、刃部材１０８とを有する。
【００１６】
搬送部１０２は、シート状部材２０を搬送する。搬送部１０２は、二対の上流側ロール対１１０及び下流側ロール対１１２を有する。上流側ロール対１１０は、上流側駆動ロール１１４及び上流側従動ロール１１６を有する。上流側駆動ロール１１４は、モータ等の駆動部から駆動力が伝達されて回転する。上流側従動ロール１１６は、シート状部材２０の搬送経路４０を挟み、上流側駆動ロール１１４の反対側に配置されている。上流側駆動ロール１１４と上流側従動ロール１１６との間の間隔は、シート状部材２０の厚みと略等しい。上流側従動ロール１１６は、上流側駆動ロール１１４とともに、シート状部材２０を挟持する。上流側従動ロール１１６は、上流側駆動ロール１１４の回転によるシート状部材２０の搬送に伴って、回転される。
【００１７】
下流側ロール対１１２は、搬送経路４０において、上流側ロール対１１０の下流側に配置されている。下流側ロール対１１２は、下流側駆動ロール１１８及び下流側従動ロール１２０を有する。下流側駆動ロール１１８及び下流側従動ロール１２０は、それぞれ上流側駆動ロール１１４及び上流側従動ロール１１６と同様の構成を有する。
【００１８】
バックアップロール１０４は、搬送経路４０において、上流側ロール対１１０と下流側ロール対１１２との間に配置されている。バックアップロール１０４は、搬送方向に沿って、右回転する。バックアップロール１０４の幅方向の長さは、シート状部材２０の幅よりも長い。従って、バックアップロール１０４は、シート状部材２０の幅方向の全体を支持する。
【００１９】
バックアップロール１０４は、弾性部材の一例であって、ゴム等の弾性変形可能な樹脂材料によって構成されている。尚、バックアップロール１０４の外周部のみを弾性材料によって構成してもよい。バックアップロール１０４は、突起２２よりも軟性であることが好ましい。これにより、バックアップロール１０４は、バックアップロール１０４の側に形成された突起２２により弾性変形する。バックアップロール１０４は突起２２を受け入れて、シート状部材２０が外側に膨らむことを抑制する。尚、バックアップロール１０４は、金属等の硬質の材料によって構成してもよい。
【００２０】
刃部材１０８は、シート状部材２０及びバックアップロール１０４の外面の側に配置されている。刃部材１０８は、バックアップロール１０４の外周面から間隔Ｄを開けて配置されている。刃部材１０８は、鋼、ステンレス等の金属、切削工具等に使用される超硬合金またはセラミック等の超硬質質材料によって構成することが好ましい。刃部材１０８の先端部には、刃部１２２が形成されている。刃部１２２の先端は、鋭角に形成されている。刃部１２２の幅は、シート状部材２０の全幅よりも長い。尚、刃部１２２は、幅方向において、複数に分割されていてもよい。この場合であっても、分割された全ての刃部１２２によって、シート状部材２０の全幅を覆うように構成することが好ましい。刃部材１０８及び刃部１２２は、シート状部材２０の幅の全体を覆うように配置されている。刃部１２２の先端とバックアップロール１０４の外面との間の間隔Ｄは、シート状部材２０の厚みよりも大きく、シート状部材２０の厚みと突起２２の高さの和よりも小さい。これにより、刃部１２２の先端は、シート状部材２０の正常面２４から間隔Ｄを開けて配置されるとともに、突起２２と当接する位置に配置される。この結果、刃部１２２は、搬送されているシート状部材２０の正常面２４をほとんど摺動することなく、突起２２を切削して除去できる。
【００２１】
次に、突起削除装置１００による削除段階について説明する。まず、作製段階において作製されたシート状部材２０が、バックアップロール１０４に掛けられた状態で、上流側ロール対１１０及び下流側ロール対１１２によって搬送される。これにより、バックアップロール１０４が、シート状部材２０によって回転する。シート状部材２０が搬送されることによって、シート状部材２０の外面に形成された突起２２が搬送経路４０に沿って移動する。これにより、突起２２は、シート状部材２０の外面側に配置された刃部材１０８の刃部１２２に向かって接近して、最終的には、突起２２は刃部１２２に当接する。この結果、シート状部材２０の外面に形成された突起２２は刃部１２２によって切削されて除去される。
【００２２】
更にシート状部材２０が搬送されると、シート状部材２０の内面側に突起２２が形成されている個所が刃部１２２の下方を通過する。内面側の突起２２は、バックアップロール１０４の弾性変形によって受け入れられて吸収されているので、突起２２が形成されている個所が、ほとんど突出しない。これにより、刃部１２２は、当該個所の外側の正常面２４を切削しない。
【００２３】
この後、シート状部材２０が全て搬送されると、シート状部材２０の表裏を反転させて、同じ工程を繰り返す。これにより、シート状部材２０の両面の突起２２が略除去される。除去された突起２２の高さは、１５μｍ未満、より好ましくは１０μｍ以下である。
【００２４】
ここで、突起２２の高さの算出方法について説明する。図７は、正常面２４の厚みの測定を説明する断面図である。図８は、正常面２４の厚みの測定位置を説明する平面図である。図９は、突起２２の厚みの測定を説明する断面図である。厚みを測定する測定器具の一例は、株式会社ミツトヨ製のマイクロメータである。まず、シート状部材２０を１０ｃｍ×１０ｃｍの正方形状に切断して、これを測定用のサンプルとする。次に、図７に示すように、突起２２の周囲の正常面２４の上面及び下面に、測定器具の上測定部材５０及び下測定部材５２を当接させて、正常面２４の厚みを測定する。ここで、図８に示すように、正常面２４の厚みは、１個所だけではなく、数個所、例えば、４個所測定する。そして、４個所の正常面２４の厚みを平均して、それを正常面２４の厚みとする。次に、図９に示すように、上測定部材５０及び下測定部材５２をサンプルの突起２２の上端部及び下面に当接させて、突起２２の厚みを測定する。ここで突起２２は、目視によって確認してもよく、画像処理等によって位置を検出してもよい。また、突起２２を除去した後の測定は、突起２２が除去された個所の厚みを突起２２の厚みとして測定する。平均化された正常面２４の厚みを突起２２の厚みから引くことによって、突起２２の高さを算出する。
【００２５】
この後、半硬化状態のシート状部材２０を加熱等によって本硬化させてＣステージにする。本硬化させる方法の一例は、１５０℃以上に設定された循環式温風乾燥機に投入して、１時間以上加熱する。図１０は、完成した樹脂シート３０の斜視図である。この結果、図１０に示すように、両面に形成された突起２２が削除された樹脂シート３０が完成する。
【００２６】
図１１は、銅張り積層板３２の斜視図である。尚、銅張り積層板３２は、樹脂シート３０が使用される電子材料の一例である。樹脂シート３０が完成した後、樹脂シート３０の一面または両面に接着剤を介して銅箔３４を接着する。半硬化状態の樹脂シート３０に銅箔３４を接着してから本硬化させてもよい。これにより、図１１に示す銅張り積層板３２が完成する。銅張り積層板３２の用途の一例は、銅箔３４がパターニングされて作製されるプリント配線基板である。
【００２７】
上述したように、本実施形態による樹脂シート３０の製造方法では、シート状部材２０の突起２２を除去するので、削除段階の後に突起２２が再生することを抑制することができる。これにより、突起２２を確実に低減させることができる。また、突起２２を刃部材１０８の刃部１２２によって切削するので、突起２２の高さを小さくして目立たなくすることができる。これにより、上述の製造方法により製造された樹脂シート３０は、近年の高品質化の流れに対応できる平滑性を得ることができる。
【００２８】
突起削除装置１００は、弾性変形可能なバックアップロール１０４を有する。これにより、バックアップロール１０４が、シート状部材２０の内面に形成された突起２２を受け入れて、当該突起２２が形成された個所の外面が突出することを抑制できる。この結果、刃部材１０８が、当該個所の正常面２４を破損させることを抑制できるので、樹脂シート３０の質感、外観を向上させることができる。
【００２９】
突起削除装置１００では、刃部材１０８の刃部１２２の先端とバックアップロール１０４との間の間隔Ｄをシート状部材２０の厚みよりも大きくしている。従って、刃部１２２が、シート状部材２０の正常面２４を切削することをより抑制することができる。
【００３０】
図１２は、別の突起削除装置２００の概略構成図である。図１３は、突起削除装置２００の概略平面図である。図１２及び図１３に示すように、突起削除装置２００は、搬送部１０２と、定盤２０４と、上ガイド部材２０６と、上刃部材２０８と、排気部材２１０とを有する。
【００３１】
搬送部１０２は、上流側ロール対１１０及び下流側ロール対１１２を有する。上流側ロール対１１０及び下流側ロール対１１２は、同じ高さに配置されている。上流側駆動ロール１１４及び下流側駆動ロール１１８は、それぞれ上流側従動ロール１１６及び下流側従動ロール１２０の下方に配置されている。上流側駆動ロール１１４及び下流側駆動ロール１１８の上端は、定盤２０４の上面と同じ高さに配置されている。
【００３２】
定盤２０４は、硬質の材料によって構成することが好ましい。尚、定盤２０４の上面部を弾性変形可能な材料によって構成してもよい。定盤２０４は、上流側ロール対１１０と下流側ロール対１１２との間に配置されている。定盤２０４は、床等に固定されている。定盤２０４の上面は、水平面と略平行な平面に形成されている。定盤２０４の上面は、シート状部材２０を水平に保持しつつ、水平方向にガイドする。
【００３３】
上ガイド部材２０６は、定盤２０４の上方であって、シート状部材２０の上面側に配置されている。上ガイド部材２０６は、搬送方向において、上刃部材２０８の上流側に配置されている。上ガイド部材２０６の上流側の面は、略鉛直に形成されている。これにより、上ガイド部材２０６の上端を下流側に傾斜させた場合に比べて、上刃部材２０８を上ガイド部材２０６に近接させて配置することができる。上ガイド部材２０６の下端部は、鋭角に形成されている。上ガイド部材２０６の下端と定盤２０４との間隔は、シート状部材２０の厚みよりも大きく、シート状部材２０の厚みと突起２２の高さの和よりも小さい。これにより、上ガイド部材２０６は、シート状部材２０の面の法線方向である鉛直方向のシート状部材２０の動きを規制する。上ガイド部材２０６は、搬送方向に対して垂直であって、幅方向と水平に配置されている。
【００３４】
上刃部材２０８は、定盤２０４の上方に配置されている。上刃部材２０８は、搬送経路４０において、上ガイド部材２０６よりも下流側に配置されている。上刃部材２０８の下端部には、鋭角に形成された上刃部２２２が形成されている。上刃部２２２は、搬送方向に対して直交する方向である幅方向に延びる直線状に形成されている。上刃部２２２は、シート状部材２０の上面と平行であって、水平に配置されている。上刃部２２２の下端と定盤２０４の上面との間隔は、シート状部材２０の厚みよりも大きく、シート状部材２０の厚みと突起２２の高さの和よりも小さい。尚、上刃部２２２の下端と定盤２０４の上面との間隔は、上ガイド部材２０６の下端と定盤２０４との間隔と等しいことが好ましい。
【００３５】
排気部材２１０は、上刃部材２０８の上刃部２２２よりも上方に配置されている。排気部材２１０は、下方へ向けて排気する。排気部材２１０は、幅方向において、外側へと排気する。従って、図１３の排気部材２１０の内部に矢印で示すように、排気部材２１０の一方の半分と、幅方向の中心を挟み一方の半分と反対側の排気部材２１０の他方の半分は、幅方向において逆向きに排気する。これにより、上刃部２２２によって切削された突起２２が、幅方向の外側へと流される。尚、排気部材２１０に代えて、切削された突起２２を吸引可能な吸引部材を配置してもよく、排気部材２１０を省略してもよい。
【００３６】
次に、突起削除装置２００による削除段階について説明する。突起削除装置２００による削除段階では、シート状部材２０が、定盤２０４の上面を摺動しつつ、搬送部１０２によって水平方向に搬送される。シート状部材２０が搬送されて、シート状部材２０の上面の突起２２が上刃部２２２に当接すると、突起２２が上刃部２２２によって切削されて削除される。この後、削除された突起２２は、排気部材２１０の排気の流れに沿って、シート状部材２０の外側へと排除される。この後、シート状部材２０が搬送されて、シート状部材２０の下面に突起２２が形成された個所が上刃部２２２まで達する。ここで、上刃部２２２の上流側に配置された上ガイド部材２０６が、シート状部材２０のシート状部材２０の鉛直方向の動きを規制するので、裏面に突起２２が形成された個所はほとんど上側に膨らまない。従って、当該個所は、上刃部２２２によってほとんど切削されないので、完成後の樹脂シート３０の質感、外観を向上させることができる。この後、シート状部材２０が全て搬送された後は、上述した工程が行われて樹脂シート３０を完成させる。
【００３７】
図１４、図１５、図１６、図１７、図１８、図１９は、突起削除装置２００における上刃部材を変更した実施形態の概略平面図である。尚、各図において、排気部材２１０は、省略している。図１４に示す実施形態では、直線状の上刃部材２４８及び上刃部２４２が、搬送方向の直交方向である幅方向から傾斜する方向に延びる。上ガイド部材２４６は、上刃部材２４８と平行に配置することが好ましい。
【００３８】
図１５に示す実施形態では、上刃部材２５８及び上刃部２５２が、幅方向において、シート状部材２０の幅よりも長い円弧状に形成されている。上刃部材２５８及び上刃部２５２の開口側が、上流側に向けられている。上刃部２５２は、上刃部材２５８の上流側に形成されている。尚、円弧の中心は、シート状部材２０の幅方向に中心線上に配置されている。従って、上刃部材２５８及び上刃部２５２は、シート状部材２０の幅方向の中心線を対称軸とする線対称となる。上ガイド部材２５６の形状は、上刃部材２５８の形状に合わせることが好ましい。また、図１６に示すように、上刃部材２５８は、下流側に開口する向きに配置してもよい。この場合、上刃部２５２は、上刃部材２５８において、上流側に設けることが好ましい。これにより、上刃部２５２が、上ガイド部材２５６と近接するので、上ガイド部材２５６によるガイド効果を向上させることができる。尚、上刃部材２５８の開口と上ガイド部材２５６の開口は、互いに逆向きにしてもよい。
【００３９】
図１７に示す実施形態では、上刃部材２６８及び上刃部２６２が、Ｖ字状に形成されている。上刃部材２６８及び上刃部２６２の開口側が、上流側に向けられている。上刃部２６２は、上刃部材２６８の上流側に形成されている。上刃部材２６８及び上刃部２６２の頂点は、シート状部材２０の幅方向の中心線上に配置されている。従って、上刃部材２６８及び上刃部２６２は、シート状部材２０の幅方向の中心線を対称軸とする線対称となる。尚、上刃部材２６８及び上刃部２６２の頂点を上流側に配置してもよい。この場合であっても、上刃部材２６８の上刃部２６２は、上流側に形成される。上ガイド部材２６６の形状は、上刃部材２６８の形状に合わせることが好ましい。また、上刃部材２６８は、下流側に開口する向きに配置してもよい。また、図１８に示すように、上刃部材２６８は、下流側に開口する向きに配置してもよい。この場合、上刃部２６２は、上刃部材２６８において、上流側に設けることが好ましい。
【００４０】
図１９に示す実施形態では、一対の上刃部材２７８及び上刃部２７２が、搬送経路４０に沿って、配置されている。各上刃部材２７８及び各上刃部２７２は、複数の円弧を連ねた形状に形成されている。上刃部材２７８及び上刃部２７２の各円弧の開口は、上流側に向けられている。上刃部２７２は、上刃部材２７８の上流側に形成されている。上刃部材２７８及び上刃部２７２の各円弧の幅方向の長さは、シート状部材２０の幅よりも小さい。一方、上刃部材２７８及び上刃部２７２の幅方向の長さは、シート状部材２０の幅よりも長い。上ガイド部材２７６の形状は、上刃部材２７８の形状に合わせることが好ましい。また、上刃部材２７８は、下流側に開口する向きに配置してもよい。この場合でも、上刃部２７２は、上刃部材２７８の上流側に設けることが好ましい。
【００４１】
上述した図１４から図１９の実施形態では、上刃部２４２、２５２、２６２、２７２の少なくとも一部が、搬送方向の直交方向である幅方向から傾斜する。これにより、上刃部２４２、２５２、２６２、２７２と突起２２とが衝突するときの衝撃力を低減することができるので、上刃部２４２、２５２、２６２、２７２の破損を低減できる。
【００４２】
図２０は、別の突起削除装置３００の概略構成図である。図２０に示すように、突起削除装置３００は、搬送部１０２と、上ガイド部材２０６と、上刃部材２０８と、排気部材２１０と、下ガイド部材３０６と、下刃部３２２を有する下刃部材３０８とを備える。
【００４３】
下ガイド部材３０６は、上ガイド部材２０６と同様の構造を有する。下ガイド部材３０６は、シート状部材２０の下面側に配置されている。下ガイド部材３０６は、シート状部材２０の面の法線方向である鉛直方向のシート状部材２０の動きを規制する。また、下ガイド部材３０６は、搬送経路４０を挟み上ガイド部材２０６の下方に配置されている。上ガイド部材２０６と下ガイド部材３０６は、搬送経路４０を対称軸とする線対称に配置及び形成されている。
【００４４】
下刃部材３０８は、上刃部材２０８と同じ構造を有する。下刃部材３０８は、搬送方向において、下ガイド部材３０６の下流側に配置されている。下刃部材３０８は、シート状部材２０の下面側に配置されている。これにより、下刃部材３０８は、シート状部材２０の下面側に形成された突起２２を切削して除去する。また、下刃部材３０８は、搬送経路４０を挟み上刃部材２０８の下方に配置されている。上刃部材２０８と下刃部材３０８は、搬送経路４０を対称軸とする線対称に配置及び形成されている。
【００４５】
上述したように突起削除装置３００では、搬送経路４０の上下に上刃部材２０８及び下刃部材３０８が配置されている。これにより、シート状部材２０が搬送されると、シート状部材２０の上面及び下面に形成された突起２２を一度の搬送によって除去できる。これにより、突起２２の除去に必要な時間を短縮できる。また、上ガイド部材２０６及び下ガイド部材３０６を、搬送経路を挟み両側に配置することにより、シート状部材２０の面の法線方向の両方向の動きを規制することができる。これにより、シート状部材２０のいずれに突起２２が形成されていても、上刃部材２０８及び下刃部材３０８によるシート状部材２０の正常面２４の破損を抑制できる。
【００４６】
図２１は、別の突起削除装置４００の概略構成図である。図２１に示すように、突起削除装置４００は、搬送部１０２と、上刃部材２０８と、排気部材２１０と、下刃部材３０８とを備える。
【００４７】
搬送部１０２は、上流側ロール対１１０と、下流側ロール対１１２とを有する。上流側ロール対１１０は、下流側ロール対１１２と略同じ高さに配置されている。
【００４８】
下刃部材３０８は、搬送経路４０の下側に配置されている。下刃部材３０８の下刃部３２２の先端は、搬送中のシート状部材２０の下側の正常面２４と略同じ高さに配置されている。
【００４９】
上刃部材２０８は、搬送経路４０の上側に配置されている。上刃部材２０８は、下刃部材３０８の下流側に配置されている。上刃部材２０８の上刃部２２２の先端は、搬送中のシート状部材２０の上側の正常面２４と略同じ高さに配置されている。上刃部材２０８の上刃部２２２の先端は、下刃部材３０８の下刃部３２２の先端よりもシート状部材２０の厚みだけ上方に配置されている。尚、上流側ロール対１１０、下刃部材３０８、上刃部材２０８、及び、下流側ロール対１１２の上下方向における位置は適宜変更してよい。
【００５０】
突起削除装置４００では、シート状部材２０は、上刃部材２０８の上刃部２２２の先端及び下刃部材３０８の下刃部３２２の先端を摺動しつつ、搬送される。これにより、シート状部材２０の上面及び下面に形成された突起２２が、一度の搬送によって切削されて削除される。
【００５１】
図２２は、別の突起削除装置５００の概略構成図である。図２３は、突起削除装置５００の中央部の拡大図である。図２２及び図２３に示すように、突起削除装置５００は、搬送部１０２と、上ガイド部材５０６と、上刃部材５０８と、排気部材２１０と、下ガイド部材５４６と、下刃部材５４８とを備える。
【００５２】
搬送部１０２は、上流側ロール対１１０と、下流側ロール対１１２とを有する。上流側ロール対１１０は、下流側ロール対１１２と略同じ高さに配置されている。
【００５３】
上ガイド部材５０６は、搬送経路４０の上側に配置されている。上ガイド部材５０６の下端には、シート状部材２０が摺動する上ガイド面５０７が形成されている。上ガイド面５０７は、水平方向と平行に配置されている。上ガイド面５０７は、幅方向において、シート状部材２０の幅よりも長い。
【００５４】
上刃部材５０８は、搬送経路４０の上側に配置されている。上刃部材５０８は、上ガイド部材５０６の下流側に配置されている。上刃部材５０８の下端部には、上刃部５２２が形成されている。上刃部５２２の上流側の端部は、鋭角に形成されている。上刃部５２２の幅方向の長さは、シート状部材２０の幅よりも長い。上刃部５２２の下流側には、シート状部材２０が摺動する上摺動面５０９が形成されている。上摺動面５０９は、水平方向と平行に配置されている。上摺動面５０９は、上ガイド部材５０６の上ガイド面５０７と同じ高さに配置されている。これにより、上摺動面５０９及び上ガイド面５０７は、同一平面上に配置される。
【００５５】
下ガイド部材５４６は、上ガイド部材５０６よりも上流側に配置されている。下ガイド部材５４６の上端には、下ガイド面５４７が形成されている。下ガイド面５４７は、上ガイド面５０７と同様の形状を有する。下ガイド面５４７は、上ガイド面５０７よりもシート状部材２０の厚みだけ下方に配置されている。
【００５６】
下刃部材５４８は、下ガイド部材５４６よりも下流側であって、上ガイド部材５０６よりも上流側に配置されている。下刃部材５４８の上端部には、下刃部５６２及び下摺動面５４９が形成されている。下刃部５６２及び下摺動面５４９は、上刃部５２２及び上摺動面５０９と略同様の形状を有する。下刃部５６２及び下摺動面５４９は、上刃部５２２及び上摺動面５０９よりもシート状部材２０の厚みだけ下方に配置されている。下摺動面５４９は、下ガイド部材５４６の下ガイド面５４７と同じ高さに配置されている。これにより、下摺動面５４９及び下ガイド面５４７は、同一平面上に配置される。尚、上流側ロール対１１０、下ガイド部材５４６、下刃部材５４８、上ガイド部材５０６、上刃部材５０８、及び、下流側ロール対１１２の上下方向における位置は適宜変更してよい。
【００５７】
突起削除装置５００では、シート状部材２０の下面が下ガイド面５４７及び下摺動面５４９を摺動するとともに、シート状部材２０の上面が上ガイド面５０７及び上摺動面５０９を摺動しつつ、シート状部材２０が搬送される。また、シート状部材２０は、下ガイド面５４７及び下摺動面５４９と、上ガイド面５０７及び上摺動面５０９とからテンションを受けつつ、搬送される。これにより、シート状部材２０の下面に形成された突起２２は、下刃部５６２によって切削されて除去される。また、シート状部材２０の上面に形成された突起２２は、上刃部５２２によって切削されて除去される。
【００５８】
ここで、下刃部５６２の下流側の端部には、下摺動面５４９が形成されているので、下刃部５６２とシート状部材２０との接触面積が大きい。これにより、下刃部５６２からシート状部材２０に作用する圧力が低減される。また、下摺動面５４９と正常面２４とが略平行になる。この結果、下刃部５６２と正常面２４との当たりを柔らかくすることができるので、下刃部５６２によるシート状部材２０の正常面２４の破損をより一層抑制できる。下ガイド部材５４６には、下ガイド面５４７が形成されているので、下ガイド部材５４６からシート状部材２０に作用する圧力を低減できる。また、下ガイド面５４７が、下摺動面５４９と同一面上に配置されているので、下刃部５６２の先端をシート状部材２０に当接させつつ、下摺動面５４９からシート状部材２０に作用する押圧力を低減できる。これにより、下刃部５６２によるシート状部材２０の正常面の破損をより抑制できる。また、上ガイド部材５０６及び上刃部材５０８は、下ガイド部材５４６及び下刃部材５４８と同様の構成を有するので、上刃部５２２によるシート状部材２０の破損の抑制等と同様の上述した効果を奏することができる。
【００５９】
図２４は、ガイド部材６０６及び刃部材６０８の別の形態を説明する斜視図である。図２５は、刃部材６０８を移動させた図である。
【００６０】
図２４及び図２５に示すガイド部材６０６及び刃部６２２を有する刃部材６０８は、連結部材６０７を介して連結されている。これにより、ガイド部材６０６及び刃部材６０８は一体化される。連結部材６０７は、幅方向において、ガイド部材６０６及び刃部材６０８と略同じ長さを有する。
【００６１】
刃部材６０８は、搬送方向において、連結部材６０７の上面を移動可能に構成されている。これにより、刃部材６０８の上前端部とガイド部材６０６の上後端部との間の間隔を変更できる。
【００６２】
図２６は、ガイド部材７０６及び刃部材７０８にバックアップロール７０４を追加した別の形態を説明する図である。バックアップロール７０４は、押圧部材の一例である。図２６に示すガイド部材７０６及び刃部材７０８は、連結部材７０２によって連結されている。ガイド部材７０６の下流側の端部と刃部材７０８の上流側端部の間には、間隔が形成されている。ガイド部材７０６の下流側の端部と刃部材７０８の上流側の端部は、略同じ高さに配置されている。
【００６３】
バックアップロール７０４は、搬送経路を挟んで、ガイド部材７０６及び刃部材７０８と反対側に配置されている。バックアップロール７０４の中心は、搬送方向において、ガイド部材７０６の下流側の端部と刃部材７０８の上流側の端部との間に配置されている。バックアップロール７０４の下端部は、ガイド部材７０６の下流側の端部と刃部材７０８の上流側の端部とが配置されている高さよりも低い位置に配置されている。これにより、バックアップロール７０４は、シート状部材２０をガイド部材７０６及び刃部材７０８に向けて押圧する。この結果、刃部材７０８が、確実に突起２２を削除できる。
【００６４】
バックアップロール７０４の直径は、ガイド部材７０６の下流側の端部と刃部材７０８の上流側の端部との間の間隔よりも大きい。これにより、バックアップロール７０４の表面と刃部材７０８の先端とが、容易にシート状部材２０を挟むことができるので、刃部材７０８が、より確実に突起を削除できる。
【００６５】
バックアップロール７０４は、ゴム等の弾性変形可能な材料によって形成してもよく、金属等の硬質の材料によって構成してもよい。バックアップロール７０４は、回動不能に固定されていてもよく、シート状部材２０の搬送に合わせて回動可能に支持されていてもよい。
【００６６】
図２７は、変更したバックアップロール７０５の形態を説明する図である。図２７に示すように、バックアップロール７０５の直径は、ガイド部材７０６の下流側の端部と刃部材７０８の上流側の端部との間の間隔よりも小さくてもよい。この場合、バックアップロール７０５の中心は、特に限定されるものではないが、ガイド部材７０６の下流側の端部と刃部材７０８の上流側の端部の高さよりも低い位置に配置することが好ましい。ここで、バックアップロール７０５は、シート状部材２０をガイド部材７０６及び刃部材７０８に向けて押圧する。更に、上述のバックアップロール７０５の中心の配置によって、バックアップロール７０５の大部分が、ガイド部材７０６の下流側の端部と刃部材７０８の上流側の端部との間に入り込むので、バックアップロール７０５は、ガイド部材７０６及び刃部材７０８からの離脱を防ぐ大きい張力をシート状部材２０に作用させることができる。これにより、シート状部材２０が突起２２とともに、刃部材７０８の上流側の端部から離れて上方へと逃げることを抑制できる。この結果、刃部材７０８が、突起２２をより確実に削除できる。
【００６７】
図２８は、上側のガイド部材８０６及び上側の刃部材８０８を追加した別の形態を説明する図である。図２８に示すように、上側のガイド部材８０６及び上側の刃部材８０８は、連結部材８０２によって連結されている。ガイド部材８０６及び刃部材８０８が、搬送経路を挟み、ガイド部材７０６及び刃部材７０８と反対側に配置されている。ガイド部材８０６及び刃部材８０８は、鉛直面に沿った縦断面において、ガイド部材７０６及び刃部材７０８と、搬送経路を対称軸とする線対称の位置に配置されるとともに、線対称の形状に形成されている。従って、刃部材８０８の上流側の端部と、刃部材７０８の上流側の端部は、搬送方向において、同じ位置に配置される。これにより、刃部材７０８、８０８が、互いに他方の刃部材８０８、７０８へとシート状部材２０を押圧するので、刃部材７０８、８０８は、突起２２を確実に削除できる。なお、刃部材８０８の上流側の端部及び刃部材７０８の上流側の端部は、搬送経路と直交するように配置してもよく、搬送経路と斜めに交差するように配置してもよい。
【００６８】
図２９は、変更した刃部材９０８、９０９を一対設けた形態を説明する図である。図２９に示すように、刃部材９０８の上流側の面９１０、及び、刃部材９０９の上流側の面９１１は、同一面上に配置されている。刃部材９０８の上流側の面９１０の角のうち、シート状部材２０と接する角９１２は、刃部材９０９の上流側の面９１１の角のうち、シート状部材２０と接する角９１３と、後述する製造工程によって同じ形状に形成されている。これにより、角９１２の一端と角９１３の一端とが位置合わせされ、角９１２の他端と角９１３の他端とが位置合わせされると、角９１２と角９１３とが、全長にわたって、正確に位置合わせされる。従って、角９１２の全域と角９１３の全域とが、搬送方向において、同じ位置となる。この結果、角９１２、９１３は、同じ位置でシート状部材２０に当接するので、突起２２を上方または下方のいずれの方向にも逃すことなく、突起２２を確実に除去できる。なお、刃部材９０８の角９１２及び刃部材９０９の角９１３は、搬送経路と直交するように配置してもよく、搬送経路と斜めに交差するように配置してもよい。
【００６９】
また、刃部材９０８の上面、即ち、刃部材９０８のシート状部材２０と対向する面は、シート状部材２０に平行に配されている。刃部材９０９の下面、即ち、刃部材９０９のシート状部材２０と対向する面は、シート状部材２０に平行に配されている。これにより、刃部材９０８の上面と刃部材９０９の下面は、突起２２が上方または下方に逃げることを抑制するので、刃部材９０８、９０９は、突起２２をより確実に除去できる。尚、図２９に示す刃部材９０８、９０９は、直方体形状に形成したが、形状は適宜変更してよい。
【００７０】
図３０は、刃部材９０８、９０９の製造工程を説明する図である。図３０に示すように、刃部材９０８、９０９の上流側の面９１０、９１１は、同じ向きで平行に配置された状態で、研磨工具９２０によって同時に研磨される。尚、２つの面が平行に配置されるには、２つの面が同一面上となることが含まれる。これにより、刃部材９０８、９０９の上流側の面９１０、９１１は、同一面となる。また、上流側の面９１０、９１１の角９１２、９１３は、互いに同じ形状となる。
【００７１】
図３１は、刃部材９０８、９０９にガイド部材９０６、９０７を追加した形態を説明する図である。ガイド部材９０６、９０７は、押圧部材の一例であって、刃部材９０８、９０９に向けてシート状部材２０を押圧する。図３１に示すように、ガイド部材９０６、９０７が、刃部材９０８、９０９の上流側に配置されている。下側のガイド部材９０６は、連結部９０２を介して、刃部材９０８と連結されている。上側のガイド部材９０７は、連結部９０３を介して、刃部材９０９と連結されている。刃部材９０８、９０９の上流側の面９１０、９１１は、同じ向きで平行に配置された状態で、同一面となるように研磨工具９２０によって同時に研磨される。更に、本実施形態では、刃部材９０８、９０９の下流側の面９１４、９１５は、同じ向きで平行に配置された状態で、同一面となるように研磨工具９２０によって同時に研磨される。これにより、刃部材９０８とガイド部材９０６、刃部材９０９とガイド部材９０７とが、仮にずれた状態で連結されたとしても、刃部材９０８、９０９の下流側の面９１４、９１５の位置をあわせることで、上流側の面９１０、９１１が互いに正確に位置合わせされる。上流側の面９１０、９１１が互いに正確に位置合わせされる。
【００７２】
尚、上述した図２９、図３１の形態において、刃部材９０８、９０９は、搬送方向の位置をずらして配置してもよい。これにより、シート状部材２０の一方の面の突起２２を確実に削除できる。シート状部材２０の両面に突起２２が存在する場合は、一方の面の突起２２を除去してから、他方の面の突起２２を除去することができる。
【００７３】
上述した各実施形態における各構成の形状、材料、配置、個数等は適宜変更してよい。また、製造方法における各段階の順序を変更してもよい。各実施形態を組み合わせてもよい。
【００７４】
例えば、樹脂部材１８を本硬化させてＣステージとした後、除去段階を実行してもよい。本硬化させた後の場合、突起２２は押圧によっては潰れにくいが、上述した各実施形態のように刃部材１０８等によって切削する場合、突起２２を容易に且つ確実に除去できる。本硬化後の除去段階の結果、除去された突起２２の高さは、１５μｍ未満、より好ましくは１０μｍ以下にすることが好ましい。この高さは、本硬化後の除去段階後に、例えば上記図７から図９で説明した計測方法で計測する。
【００７５】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【００７６】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００７７】
１０  繊維部材、        １２  経糸、        １４  緯糸、        １６  緩み部分、        １８  樹脂部材、        ２０  シート状部材、        ２２  突起、        ２４  正常面、        ３０  樹脂シート、        ３２  銅張り積層板、        ３４  銅箔、        ４０  搬送経路、        ５０  上測定部材、        ５２  下測定部材、        １００  突起削除装置、        １０２  搬送部、        １０４  バックアップロール、        １０８  刃部材、        １１０  上流側ロール対、        １１２  下流側ロール対、        １１４  上流側駆動ロール、        １１６  上流側従動ロール、        １１８  下流側駆動ロール、        １２０  下流側従動ロール、        １２２  刃部、        ２００  突起削除装置、        ２０４  定盤、        ２０６  上ガイド部材、        ２０８  上刃部材、        ２１０  排気部材、        ２２２  上刃部、        ２４２  上刃部、        ２４６  上ガイド部材、        ２４８  上刃部材、        ２５２  上刃部、        ２５６  上ガイド部材、        ２５８  上刃部材、        ２６２  上刃部、        ２６６  上ガイド部材、        ２６８  上刃部材、        ２７２  上刃部、        ２７６  上ガイド部材、        ２７８  上刃部材、        ３００  突起削除装置、        ３０６  下ガイド部材、        ３０８  下刃部材、        ３２２  下刃部、        ４００  突起削除装置、        ５００  突起削除装置、        ５０６  上ガイド部材、        ５０７  上ガイド面、        ５０８  上刃部材、        ５０９  上摺動面、        ５２２  上刃部、        ５４６  下ガイド部材、        ５４７  下ガイド面、        ５４８  下刃部材、        ５４９  下摺動面、        ５６２  下刃部、        ６０６  ガイド部材、        ６０７  連結部材、        ６０８  刃部材、        ６２２  刃部、        ７０２  連結部材、        ７０４  バックアップロール、        ７０５  バックアップロール、        ７０６  ガイド部材、        ７０８  刃部材、        ８０２  連結部材、        ８０６  ガイド部材、        ８０８  刃部材、        ９０２  連結部、        ９０３  連結部、        ９０６  ガイド部材、        ９０７  ガイド部材、        ９０８  刃部材、        ９０９  刃部材、          ９０２  連結部、        ９０３  連結部、        ９０６  ガイド部材、        ９０７  ガイド部材、        ９０８  刃部材、        ９０９  刃部材、        ９１０  面、        ９１１  面、        ９１２  角、        ９１３  角、        ９１４  面、        ９１５  面、        ９２０  研磨工具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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