(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学変調器を含む電気光学距離測定装置であって、電気光学変調器は集積電気光学変調器であり、非線形の光学材料からなる光導波路（２２）と、電極（２３）とを含み、前記電極（２３）は、電圧が電極（２３）に印加されたときに導波路（２２）の変調領域（１７）において電界を発生させることにより、導波路（２２）を通過する光の位相を変調させるように配置され、
・  光の位相の変調に関する、変調領域（１７）を通過する光の進行方向の前方の電気光学応答は、前記進行方向の後方の電気光学応答と同じである、電気光学距離測定装置。
【請求項２】
変調領域（１７）の電気光学応答は平坦な特徴を有する、請求項１に記載の距離測定装置。
【請求項３】
変調領域（１７）の電気光学応答は低域通過特性を有する、請求項１または２に記載の距離測定装置。
【請求項４】
変調領域（１７）の電気光学応答は帯域通過特性を有する、請求項１または２に記載の距離測定装置。
【請求項５】
光を放出する光源（１０１）をさらに含み、電気光学変調器は、光源（１０１）によって放出された光が、距離測定装置から放出される前に電気光学変調器を第１の方向に通過するように、かつ、距離測定装置の外側にある目標物から反射した後の出射光が、電気光学変調器を第１の方向とは逆の第２の方向に通過するように、距離測定装置に配置される、請求項１から４のいずれか一項に記載の距離測定装置。
【請求項６】
変調の重心は変調周波数とは無関係であり、前記変調の重心は、導波路に沿った位置に関して、位相変調の積分で割られた位置との、単位長当たりの位相変調の積の、導波路に沿った位置に関する積分である、請求項１から５のいずれか一項に記載の距離測定装置。
【請求項７】
変調の重心が導波路を２つの区域に分割し、両方の区域における光の変調合計が同じである、請求項６に記載の距離測定装置。
【請求項８】
・  変調領域（１７）は、変調の重心によって分割される第１のサブ領域（１７ａ）および第２のサブ領域（１７ｂ）を含み、電極（２３）は、第１のサブ領域（１７ａ）を一方向に通過する光に対して、第２のサブ領域（１７ｂ）を逆方向に通過する光に対するのと同じ変調をもたらすことができる、請求項１から７のいずれか一項に記載の距離測定装置。
【請求項９】
電極（２３）は、第１の分岐（３ａ）、第２の分岐（３ｂ）、および前記２つの分岐間における中間点（１６）を含み、電極（２３）は、電気マイクロ波信号源に接続されると、導波路（２２）において、中間点（１６）に対して対称的な電界分布を発生させることができる、請求項１から８のいずれか一項に記載の距離測定装置。
【請求項１０】
第１および第２の分岐（３ａ，３ｂ）を含む電極（２３）の形状は中間点に対して対称的である、請求項１から９のいずれか一項に記載の距離測定装置。
【請求項１１】
電極（２３）の形状は、中間点を通過する面であって導波路（２２）に対して垂直である面に対して鏡面対称である、請求項１０に記載の距離測定装置。
【請求項１２】
電極（２３）の形状は、中間点を通過する軸であって電極線（３）が位置する面に対して垂直である軸を中心として回転対称を有する、請求項１０に記載の距離測定装置。
【請求項１３】
導波路（２２）および電極線（３）が配置される表面とは反対側にある、基板（１）の底面（１５）は、くさび型にされる、すなわち、反対側の表面に対して傾斜させられる、請求項１から１２のいずれか一項に記載の距離測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対応する独立請求項のプリアンブルに記載される電気光学距離測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
関連する距離測定装置が、たとえば、ＥＰ０２０５４０６、ＥＰ０３１３５１８、ＥＰ−Ａ−１６４７８３８、ＷＯ９７／１８４８６およびＥＰ特許出願番号１０４０５０７８から公知である。上記出願の内容はその全体が、絶対距離測定のためのフィゾー法の作用を説明するために引用により援用されている。ＵＳ３，４２４，５３１は、回転歯車と同様に、光を断続的に透過させる光変調器を用いる距離測定装置を開示している。
【０００３】
図１は、先行技術に従って絶対距離を測定するための距離測定装置を概略的に示す。光源１０１は、典型的には可視範囲または赤外線範囲の光を放出し、中心波長λを有し、光源のスペクトル幅Δλは、低コヒーレンス光の放出を確実にするのに十分なほどに幅が広い。広帯域の光源１０１が放出した並列光ビームは偏光ビームスプリッタ１０２を照らし、これにより、透過したビームのうちの１本に関して確実に直線偏光状態にする。偏光されたビームは、両側に電極１０４を備えた電気光学結晶１０３を通過する。入射光ビームは、遅（異常）軸および速（通常）軸と称される電気光学結晶１０３の主軸に対して４５°で、それぞれ異なる屈折率ｎｅ＞ｎｏで偏光される。入射光場の直交軸に投射することで生じる２つの波は、それらの間で９０°の偏光角をなして電気光学結晶１０３において伝搬する。電極１０４は、電気光学結晶１０３の主結晶軸のうちの１つに対して平行な電界を加えることを可能にする。周波数ｆを有する正弦波電気信号を信号源１０８によって発生させて、電極１０４に印加する。この電界は、結晶の遅光学軸と速光学軸との間の屈折率差に変化を生じさせる。こうして位相変調が２つの直交波間に導入される。遅軸αｓおよび速軸αｆに対する変調度の値は、考慮される結晶方位についての電気光学係数ｒ、遅軸および速軸のそれぞれの屈折率の三乗、電極間の距離間隔、結晶の長さ、光学波長、および、電気信号の電圧振幅に依存している。光の経路に沿った偏光方向が小さい矢印で示されている。
【０００４】
電気光学結晶１０３の出力において、４分の１波長板１０５が、その軸を電気光学結晶１０３の主軸に対して４５°に配向した状態で配置される。４分の１波長板１０５を通過した後の光ビームは、測定されるべき距離に沿って進み、目標物に到達する。コーナーミラー１０６または他の反射要素が目標物に固定されており、これに光が反射して光源に戻っていく。４分の１波長板１０５を２回通過した後、戻ってくる光の２つの直交波が９０°回転し、２回目には逆方向に電気光学結晶１０３と交差する。最初に遅軸に沿って変調された波はこのとき速軸に沿って変調され、最初に速軸に沿って変調された波は、このとき遅軸に沿って変調される。光が受ける変調は、前方および後方に通過する光に関して同じであるが、波が目標物に向かって進んで行きそして戻ってくる移動時間の分だけ遅延している。戻ってくる光と出射される光の一部とが、次いで、第２の偏光子出力口において再結合される。結果として得られる２つの線形波はここで干渉し合うことができる。干渉に従って振幅が変調された最終的なビームは、受光器１０７によって捕捉される。
【０００５】
こうして、基本的には、レーザまたは広帯域光源から光ビームを発生させ、収束光学ユニットによって、光を直線的に偏光させるための偏光ビームスプリッタ上に誘導し、次いで、電気光学変調器、λ／４リターダおよび出口光学ユニットによって測定経路上に誘導する。測定経路に沿って戻ってくる光は、上述の要素を通過して偏光ビームスプリッタにまで到達し、後者（偏光ビームスプリッタ）によって検出器にまで誘導される。評価ユニットは、検知器信号に基づいて測定経路の長さを決定するための役割を果たす。
【０００６】
本願の文脈における関連事項は、この方法においては、出ていく測定光および戻ってくる測定光が変調器において変調される点である。上記変調の頻度を変えることによって、検出された測定光ビームの最低限の強度（または実質的に同義的には、強度の導関数のゼロ交差）が決定される。測定装置と逆反射体または半協働的（semi-cooperative）目標物との間の測定経路の長さは最低周波数から決定される。半協働的目標物は、たとえば拡散反射によって、入射光の少なくとも一部を入射光の方向に沿って戻らせる。
【０００７】
フィゾー原理に基づいた距離測定装置の最新の実現例では、バルク結晶がポッケルス効果（Pockels-effect）を示す電気光学変調器が用いられる。（〜１ｍｍの結晶幅に対して）十分に変調させるのに必要な数１００Ｖの電圧を実現するために、変調器は〜１Ｗの駆動電力を必要とし、結晶は電気共振器に配置される。特定の変調周波数を設定することにより、共振器の機械的調整が必要となり、こうして、測定率が（たとえば２０Ｈｚに）制限される。
【０００８】
距離測定装置において集積光学変調器を用いることによって測定を速めることが望ましい。しかしながら、距離測定装置の測定原理は、光が変調器を２回、相対する方向に通過することを必要とするので、公知の単回通過変調器は好適ではない。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、出ていく光および戻ってくる光が横断する集積光学変調器を用いる距離測定装置を製造することである。
【００１０】
本発明のさらに別の目的は、公知の変調器よりも低変調電圧および低消費電力で動作させることが可能な電気光学変調器を備えた距離測定装置を製造することである。
【００１１】
これらの目的は、請求項１に記載の距離測定装置によって達成される。
このように、電気光学距離測定装置は集積電気光学変調器を含む。集積電気光学変調器は、非線形の光学材料からなる光導波路と、進行波電極とを含む。進行波電極は、電圧が電極に印加されたときに導波路の変調領域に（移動）電界を発生させることによって、導波路を通過する光の位相を変調させるように配置される。ここでは、
・  変調領域の前方の電気光学応答（forward electro-optic response）は後方の電気光学応答（backward electro-optic response）と同じである（言いかえれば、変調器を一方向に通過する光および逆方向に通過する光に対する位相シフトなどの効果は同じである）。
【００１２】
一実施形態においては、使用された変調周波数範囲における電気光学応答は平坦な（たとえば低域通過または帯域通過）特徴を有する。一実施形態においては、これは、１２５ＭＨｚを超える帯域幅にわたって、電気光学応答の損失が２５％未満であること、または、１２５ＭＨｚを超える帯域幅にわたって、電気光学応答が２５％未満だけ変化することを意味する。
【００１３】
これにより、２本の光ビームが互いに逆方向に変調器を通過する適用例において変調器を使用することが可能となり、この場合、２本のビームが高周波数で、たとえばＧＨｚ範囲内で、本質的に同じ態様で変調されることが重要である。
【００１４】
注：「帯域通過特性」は、一般に知られているように、直流電圧が電極線に印加されたときに電気光学応答が本質的にゼロになり、周波数が上昇するのに応じて最大値にまで上昇し、次いで少なくとも１回低下することを意味する。同様に、「低域通過特性」は、直流電圧が電極線に印加されたときに電気光学応答が本質的にその最大値（「最初の最大値」）になり、周波数の上昇に応じて、如何なる周波数の場合にも、または特定の周波数になるまでは、連続的に低下し、最小値に達し、その後再び、さらなる最大値にまで、通常は最初の最大値よりも低いレベルの値にまで上昇し、再び低下する。この低下および上昇は、周波数が上昇する場合には、通常、最大値の高さレベルが低下するのに応じて繰り返されてもよい。
【００１５】
注：光導波路は、電磁波を光学スペクトルで誘導する物理的構造である。一般的なタイプの光導波路は光ファイバおよび矩形導波路を含む。光導波路においては、選択された光モードだけが導波路の長さに沿って伝搬することができる。というのも、導波路の横方向寸法（すなわち、光が伝搬する導波路の長さに対して直交する寸法）が光のほんの数波長の範囲内にあるからである。
【００１６】
これとは対照的に、バルク結晶または体積結晶（volume crystal）においては、横方向寸法は、結晶を通過する光ビームの直径または光の波長よりも著しく大きく、光をさまざまなモードで伝搬させる場合も結晶の寸法の影響を受けない。結晶の種類に応じて、光は、当然、結晶の他の特性（屈折、分散など）によって影響を受ける可能性がある。導波路とは異なり、バルク結晶または体積結晶は光誘導機能を備えていない。
【００１７】
このため、導波路と電極とがほんのわずかしか離れていないこのような集積光学変調器では、十分に変調させるのに必要な電界強度がわずか数ボルトの変調電圧で実現され、結果として駆動電力が劇的に低下し、外部共振器や、時間のかかるその機械的調整が不要となる。
【００１８】
一実施形態においては、変調の重心は変調周波数とは無関係である。変調の重心は導波路に沿った点である。その位置ｙＣＯＧは、導波路に沿った位置に関して、位相変調の積分で割られた位置ｙとの、単位長ａ当たりの位相変調の積の、導波路に沿った位置に関する積分として規定される。
【００１９】
【数１】
0006017018.tif 000002
【００２０】
ここで、ｙ１およびｙ２は、導波路軸Ｙに沿った変調領域の開始位置および終端位置である。結果として、変調の重心によって導波路が２区域に分割され、両方の区域における光の変調合計は同じとなる（一方の区域における変調合計は、その区域に沿った変調の積分である）。
【００２１】
距離測定装置は電気光学変調器を含む。これにより、高い測定速度、高精度および低消費電力で距離測定装置を動作させることが可能となる。
【００２２】
一実施形態においては、距離測定装置は光を放出する光源を含み、電気光学変調器は、光源によって放出された光が、距離測定装置から放出される前に電気光学変調器を第１の方向に通過するように、そして、距離測定装置の外側にある目標物から反射した後の出射光が第１の方向とは逆の第２の方向に電気光学変調器を通過するように、距離測定装置に配置される。
【００２３】
一実施形態においては、変調領域は第１のサブ領域および第２のサブ領域を含む。電極線は、第１のサブ領域を一方向に通過する光に対して、第２のサブ領域を逆方向に通過する光に対するのと同じ変調をもたらすことができる。
【００２４】
変調領域に影響を及ぼす２つの線区域からの電界を重ね合わせることにより、結果として、導波路における電界が定常波のように振動することとなり、これらの線の長さに沿って対称的になり、さらに対称的な光学応答をもたらす。
【００２５】
一実施形態においては、電極は、第１の分岐、第２の分岐、およびこれら２つの分岐間の中間点を含み、電極は、電気的なマイクロ波信号源に接続されると、中間点に対して対称的な導波路において電界分布を発生させることができる。
【００２６】
結果として、変調区域の長さに沿って一方向に導波路を通過する光は、同時に逆方向に通過する光と全体的に同じ位相シフトを経験する（これは、変調区域に沿った時間依存の電圧誘起位相シフト（voltage induced phase shift）と位置依存の電圧誘起位相シフトとの積分である）。言いかえれば、前方の電気光学応答は後方の電気光学応答と同じである。
【００２７】
分岐の電気的特性に関するこのような対称的な構成は、光学回路において光の伝搬の前方および後方について同じ電気光学応答を得ることを可能にする。電気的特性に関する対称的な構成は、分岐の幾何学的対称性によって得られてもよい。
【００２８】
したがって、一実施形態においては、第１の分岐および第２の分岐を含む電極線の形状は中間点に対して対称的である。電極線の形状は、中間点を通過する面であって導波路に対して垂直である面に対して鏡面対称であってもよい。代替的には、電極線の形状は、中間点を通過する軸であって電極線が位置する面に対して垂直である軸を中心として回転対称を有していてもよい。
【００２９】
一実施形態においては、導波路および電極線が配置される面（上面）とは反対側の基板の底面は上面に対して平行ではなく、または、言いかえれば、底面は反対側の上面に対して傾斜している（くさび型である）。このため、基板はくさび型の部分からなる形状を有する。これにより、圧電効果によって基板において生じる可能性のある機械的共振が抑制されるかまたは排除される。
【００３０】
要約すると、電気光学変調器は、以下の特徴のうち１つ以上を含む：
・  複屈折の電気光学結晶。
【００３１】
・  通常軸（ordinary axis）および異常軸（extraordinary axis）は光の伝搬方向に対して直交する。
【００３２】
・  光の伝搬方向は通常軸のうちの１つに対して平行である。
・  対称的な構成は、光学回路における光伝搬の前方および後方に関して同じ電気光学応答を得ることを可能にする。
【００３３】
本発明の主題は、概略的に示される添付の図面において図示される例示的な好ましい実施形態に関連付けて、以下の文脈においてより詳細に説明されるだろう。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】絶対距離を測定するための光学距離測定装置の構造を示す図である。
【図２ａ】距離測定装置において測定された信号の周波数依存性を示す図である。
【図２ｂ】距離測定装置において測定された信号の周波数依存性を示す図である。
【図３ａ】対称的な電極を備えた集積位相変調器を示す図である。
【図３ｂ】対称的な電極を備えた集積位相変調器を示す図である。
【図４】図３の変調器の電気光学位相変調の振幅の周波数応答を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
原則的に、同一の部分には図面において同じ参照符号が付されている。
規則：位相変調器は電気光学結晶を用いる。変調の指数により、いわゆる半波電圧Ｖπが規定されるだろう。半波電圧は、電気光学変調器の特徴であり、透過光の光学位相をπラジアンだけ変えるために結晶に印加される必要のある電圧に対応している。
【００３６】
電気光学変調器の導波構成は以下のとおりである：直線形の光導波路が結晶面に形作られて、断面の幅および高さが数マイクロメートルである狭い通路に光を閉じ込めることを可能にする。共面電極は、数マイクロメートルの隙間を空けて導波路の付近に配置され、これにより導波路に強電界を加えることを可能にする。半波電圧は、バルク結晶変調器の場合よりもはるかに低いほんの数ボルトにまで下げることができる。
【００３７】
導波変調器（guided wave modulators）は、たとえばニオブ酸リチウムでは、この低電圧構成のおかげで、超高周波数で動作可能である。共面導波路（ＣＰＷ：coplanar waveguides）マイクロ波線で作られた特別な進行波電極により、導波路において伝搬する光波とＣＰＷ線において伝搬するマイクロ波との間に位相整合条件を得ることが可能となる。これらの波はともに、同じ方向に同じ速度で移動する。一般的に、高速進行波の集積光学変調器においては、マイクロ波電気信号は、変調器の一方側では、導波路の光入力付近において、ＣＰＷ線の入力ストリップに供給される。マイクロ波線の端部は光導波路出力の付近に設定される。
【００３８】
図１におけるような距離計測構成において集積位相変調器を用いると、受光器１０７の出力における平均的な電力Ｐ（ｆ）の形状が、変調周波数の関数として、図２ａに示される曲線と同様になることが分かる。主な特性は、Ｐ（ｆ）のゼロが適所にとどまることである。理想的には、曲線は対称的であるが、これは、曲線のゼロ点を決定することを必要とする距離測定のための前提条件となる。ゼロ点を決定するための一方法においては、ゼロ点自体を決定するのではなく、同じ電力Ｐ（ｆｋａ）＝Ｐ（ｆｋｂ）を有するゼロ点の左側および右側における２点が決定される。次に、ゼロ点の周波数は、曲線が対称的であると想定した場合、（ｆｋａ＋ｆｋｂ）／２として計算される。しかしながら、マイクロ波電極の幾何学的性質および物理的性質に応じて、ゼロ点のまわりの曲線の形状は非対称的になる可能性がある。これは図２ｂにおいて示される。これにより、距離測定に歪みが生じる。基準Ｐ（ｆｋａ）＝Ｐ（ｆｋｂ）であれば、この非対称性により、最終的な（ｆｋａ＋ｆｋｂ）／２が正確なｆｋとは異なるものになる可能性があり、絶対距離Ｌの決定に誤差が生じる可能性がある。
【００３９】
さらに、電極が電極線の中間部分によって給電される場合、Ｐ（ｆ）がゼロに等しくなり、光伝搬の前方および後方の両方に関して変調器の応答の完全な対称性が回復されることを証明することができる。さらに、変調の重心は、変調周波数とは無関係に同じ位置にとどまる。
【００４０】
このため、実現可能な設計としては、２本の平行な線が電極のちょうど中心に設定された入力電気ストリップによって給電され、光の伝搬方向とは全く無関係に応答を行う装置に完全な対称性をもたらす。
【００４１】
図３ａの上面図および図３ｂの断面図は、このような対称的な電極を備えたこのような集積位相変調器を示す。基板２１においては、導波路２２が埋込まれ、共面電極対２３が導波路２２に電界を与えるように配置される。電極対２３の一方の電極は、たとえば信号発生器２６から入力ストリップ２４または第１の接触区域によって給電され、他方の電極は出力ストリップ２５または第２の接触区域によって、たとえば終端抵抗器配列２７に接続される。
【００４２】
電極２３は、第１の分岐３ａおよび第２の分岐３ｂを含む。これらの分岐３ａおよび３ｂはともに、第１および第２の接触区域、すなわち入力ストリップ２４および出力ストリップ２５（たとえば、ともにマイクロストリップ型である）から始まるが、導波路２２に沿って互いに逆方向に延在する。分岐３ａおよび３ｂの各々は、一方端が入力ストリップ２４に接続され導波路２２に沿って延びる第１の電極区域１１と、一方端が出力ストリップ２５に接続され導波路２２に沿って延びる第２の電極区域１２とを備える。第１の電極区域１１および第２の電極区域１２は、導波路２２に対して対称的に配置され得る。分岐３ａおよび３ｂの各々は、対応する分岐終点９ａおよび９ｂにおいて終端する。入力ストリップ２４は、信号発生器２６に電気的に接続され、当該信号発生器２６によって給電され、出力ストリップ２５は、電極の特性インピーダンスに整合させることのできるインピーダンスを有する抵抗器２７などの終端要素に電気的に接続される。入力ストリップ２４および出力ストリップ２５は、電極の長さに沿って中間点１６に位置し、好ましくは対称的な形状にされ、各々がＴ−カプラ８によって、第１の線区域１１および第２の線区域１２の始端にそれぞれ取付けられる。
【００４３】
電極２３は、電気光学変調応答に低域通過フィルタ特徴を与え、結果として、高周波数（たとえばＧＨｚ範囲）で機能させるには理想的には適さないものとなる。この効果は、電極長を短くすることによって限られた程度にまで抑制することができるであろうが、必要な半波電圧Ｖπを上昇させることになるだろう。
【００４４】
電極分岐３ａおよび３ｂ上の電気信号は分岐３ａおよび３ｂの付近に電界を発生させる。導波路２２のうち、導波路２２に沿って通過する光がこの電界によって影響を受けている区域は、変調領域１７と称することとする。その長さは、本質的には、導波路２２に沿った電極の長さであり、言いかえれば、第１の分岐３ａおよび第２の分岐３ｂの延在部の合計である。各々の分岐３ａおよび３ｂのために、２つの区域１１および１２の電界が重ね合わされ、結果として重ね合わされた電界または全体の電界が変調領域１７に影響を及ぼすこととなる。第１の分岐３ａは、第１のサブ領域１７ａにおける光に影響を及ぼし、第２の分岐３ｂは、変調領域１７の第２のサブ領域１７ｂにおける光に影響を及ぼす。本願において示される実施形態においては、電極長は本質的には変調領域１７の長さと等しく、各々の分岐３ａおよび３ｂの延在部は対応するサブ領域１７ａおよび１７ｂの長さと等しい。
【００４５】
図３ｂは図３ａの集積位相変調器のＸＺ面に沿った断面を示す。既に記載した要素に加えて、この図は、電極線を担持し、傾斜した表面またはくさび型の表面を有する面とは反対側にある底面１５を概略的に示す。これにより、電気信号が電極２３に加えられたときに生じる可能性のある音響共振をなくすかまたは少なくとも抑制する。
【００４６】
図４は、電気光学位相変調Δφ（ｆ）の振幅の周波数応答を概略的に示す。導波路２２において伝搬する光波に適用される位相変調の振幅は低域通過関数に従う。すなわち、振幅はゼロの周波数でその値が最大となり、ゼロ以外の周波数の場合にはより低い値となり、一定の周波数にまで単調に低下し、その後、再び上昇および低下を繰り返し得るが、最大値になるまでは、周波数が上昇するのに応じて順々に低下する。周波数応答は、変調器、特に電極、の幾何学的形状を想定してシミュレートすることができる。逆に、特定の周波数範囲における応答の平坦性についての条件などの周波数応答に関する特定の要件を前提とすると、変調器、特に電極のサイズを設計することは簡単である。
【００４７】
上記に示される集積変調器を利用する距離測定装置は、好ましくは、図１の距離測定装置と同様の構造を有し、図１の距離測定装置と同様に動作させられるが、バルク電気光学結晶１０３は、この明細書中に記載される集積変調器２１、２２および２３
と置換えられてもよい。
【００４８】
一実施形態においては、マイクロ波信号の中心周波数は、たとえば、２ＧＨｚ〜３ＧＨｚの範囲内である。変調帯域幅は、たとえば、数１００ＭＨｚの範囲内にある。これは、距離測定に適用するのに十分に適している。
【００４９】
本実施形態において本発明を記載してきたが、本発明がこれらに限定されず、添付の特許請求の範囲内でさまざまに具体化および実施され得ることが明確に理解される。たとえば、これまでに示された実施形態は入力ストリップに接続された単一の源および出力に接続された終端抵抗を用いるのに対して、代替的な実施形態は、一般化されたインピーダンスまたは出力に接続された第２の源を有し得る。
【図１】
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【図２ａ−２ｂ】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４】
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