(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
前記ワイヤ電極と前記ワークとを前記ワイヤ電極の長手方向と交差する方向に相対的に移動させる駆動部と、  前記ワイヤ電極を前記長手方向に移動させるワイヤ移動部と、  前記ワイヤ電極と前記ワークとの間の静電容量を測定する静電容量測定部と、  前記ワイヤ電極の前記長手方向の移動を停止させた状態で、前記駆動部に前記ワイヤ電極と前記ワークとを相対的に移動させながら前記静電容量測定部に前記静電容量を測定させた後、前記ワイヤ移動部に前記ワイヤ電極を前記長手方向に移動させた状態で、前記静電容量測定部に前記静電容量を測定させて、静電容量測定部の測定結果に基づいて、前記駆動部に前記ワイヤ電極と前記ワークとの相対位置を調整させる制御装置と、  を備えることを特徴とするワイヤ放電加工機。
【請求項２】
前記ワイヤ電極に前記長手方向に沿って張力を付与する張力付与部を備え、  前記制御装置は、前記ワイヤ移動部に前記ワイヤ電極を前記長手方向に移動させた状態で、前記静電容量測定部に前記静電容量を測定させて、前記駆動部に前記ワイヤ電極と前記ワークとの相対位置を調整させる際に、前記張力付与部に前記ワイヤ電極に放電加工を施す際と同じ張力を付与させることを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項３】
前記制御装置は、  前記ワイヤ電極の前記長手方向の移動を停止させた状態で、前記駆動部に前記ワイヤ電極と前記ワークとを相対的に移動させながら前記静電容量測定部に前記静電容量を測定させる際に、前記静電容量測定部が測定した測定結果から前記ワイヤ電極と前記ワークとの距離と、前記静電容量との関係を規定する校正データを取得することを特徴とする請求項２に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項４】
前記制御装置は、  前記ワイヤ電極の前記長手方向の移動を停止させた状態で、前記駆動部が前記ワイヤ電極と前記ワークとを相対的に移動させながら前記静電容量測定部に前記静電容量を測定させる際に、前記ワイヤ電極に前記ワークを接触させることを特徴とする請求項３に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項５】
前記制御装置は、  前記ワイヤ移動部に前記ワイヤ電極を前記長手方向に移動させた状態で、前記静電容量測定部に前記静電容量を測定させて、前記駆動部に前記ワイヤ電極と前記ワークとの相対位置を調整させる際に、前記静電容量測定部の測定結果と、前記校正データとに基づいて、前記長手方向に移動中の前記ワイヤ電極と前記ワークとの距離を求めることを特徴とする請求項４に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項６】
加工電圧が印加されてワークとの間に放電を発生させるワイヤ電極と、前記ワイヤ電極と前記ワークとを前記ワイヤ電極の長手方向と交差する方向に相対的に移動させる駆動部と、前記ワイヤ電極を前記長手方向に移動させるワイヤ移動部と、前記ワイヤ電極と前記ワークとの間の静電容量を測定する静電容量測定部と、を備えるワイヤ放電加工機の制御装置の制御方法であって、  前記ワイヤ電極の前記長手方向の移動を停止させた状態で、前記駆動部に前記ワイヤ電極と前記ワークとを相対的に移動させながら前記静電容量測定部に前記静電容量を測定させる校正データ取得ステップと、  前記ワイヤ移動部に前記ワイヤ電極を前記長手方向に移動させた状態で、前記静電容量測定部に前記静電容量を測定させて、前記駆動部に前記ワイヤ電極と前記ワークとの相対位置を調整させる調整ステップと、  を備えることを特徴とするワイヤ放電加工機の制御装置の制御方法。
【請求項７】
加工電圧が印加されてワークとの間に放電を発生するワイヤ電極の長手方向の移動を停止させた状態で、前記ワイヤ電極と前記ワークとを前記長手方向と交差する方向に相対的に移動させながら前記ワイヤ電極と前記ワークとの間の静電容量を測定させる校正データ取得ステップと、  前記ワイヤ電極を前記長手方向に沿って移動させた状態で、前記ワイヤ電極と前記ワークとの間の静電容量を測定して、前記長手方向と交差する方向の前記ワイヤ電極と前記ワークとの相対位置を調整する調整ステップと、  を備えることを特徴とする位置決め方法。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、ワイヤ電極とワークとの間に加工電圧を印加してワークに放電加工を施すワイヤ放電加工機、ワイヤ放電加工機の制御装置の制御方法及び位置決め方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  ワイヤ放電加工においては、加工に先立ってワイヤ電極とワークとの間である極間の位置関係を正確に把握して、極間の位置決めを実行する必要がある。ワイヤ放電加工における従来の極間の位置決め方法は、特許文献１及び特許文献２に示すように、ワイヤ電極とワークとの電気的接触を検出する方法が一般的である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−１７１１２０号公報
【特許文献２】特開昭６０−１３５１２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  特許文献１及び特許文献２に示す位置決め方法は、ワイヤ電極の移動時にワイヤ電極が振動するので、ワークがワイヤ電極の振動の範囲内に接近すると電気的接触を検出してしまう。このとき、ワイヤ電極の振動の振幅及び周波数は、ワイヤ放電加工機間のワイヤ電極に付与する張力の強さ及び向きの差に起因して、一定とはならない。このために、特許文献１及び特許文献２に示す位置決め方法は、電気的接触を検出することのみに基づいて極間の位置関係を正確に検出することは困難である。したがって、特許文献１及び特許文献２に示す位置決め方法は、同じワークに対してワイヤ電極の位置決めを行ったときでも、極間の位置がワイヤ電極の振動幅だけばらついてしまう。【０００５】  ワイヤ電極の移動を停止させて位置決めを行った場合は、ワイヤ電極を保持するダイスにおけるワイヤ貫通部分の隙間であるクリアランスの範囲でワイヤ電極の位置のばらつきが発生するため、極間の位置関係を正確に把握することが難しい。【０００６】  また、特許文献１及び特許文献２に示された位置決め方法は、外径が７０μｍ以下の極細線であるワイヤ電極を位置決めする際には、ワイヤ電極が細いためにワイヤ電極とワークとの間の電気的な抵抗が大きくなって、ワイヤ電極とワークとが接触した位置を正確に検出することが困難になることがある。このように、特許文献１及び特許文献２に示された位置決め方法は、ワイヤ電極とワークとを正確に位置決めすることが困難になる場合があった。【０００７】  本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ワイヤ電極とワークとを正確に位置決めすることが可能なワイヤ放電加工機を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、加工電圧が印加されてワークとの間に放電を発生させるワイヤ電極と、ワイヤ電極とワークとをワイヤ電極の長手方向と交差する方向に相対的に移動させる駆動部と、ワイヤ電極を長手方向に移動させるワイヤ移動部と、ワイヤ電極とワークとの間の静電容量を測定する静電容量測定部と、を備える。また、本発明は、ワイヤ電極の長手方向の移動を停止させた状態で、駆動部にワイヤ電極とワークとを相対的に移動させながら静電容量測定部に静電容量を測定させた後、ワイヤ移動部にワイヤ電極を長手方向に移動させた状態で、静電容量測定部に静電容量を測定させて、静電容量測定部の測定結果に基づいて、駆動部にワイヤ電極とワークとの相対位置を調整させる制御装置を備える。
【発明の効果】
【０００９】  本発明にかかるワイヤ放電加工機は、ワイヤ電極とワークとを正確に位置決めすることが可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の構成を示す図
【図２】本発明の実施の形態１にかかるワイヤ放電加工機の静電容量測定部の構成の一例を示す図
【図３】本発明の実施の形態１にかかるワイヤ放電加工機の制御装置の構成の一例を示す図
【図４】本発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の加工動作の一例を示すフローチャート
【図５】図４のステップＳＴ５で取得した測定結果の一例を示す図
【図６】図５に示された測定結果から取得された校正データの一例を示す図
【図７】図４のステップＳＴ９で求めるワイヤ電極とワークとの極間距離に対応する静電容量の一例を示す図
【図８】本発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工機のワイヤ電極を停止した状態を示す図
【図９】図８に示されたワイヤ電極を移動させている状態を示す図
【図１０】本発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の比較例のワークにワイヤ電極を接近させる状態を示す図
【図１１】図１０に示された比較例のワークにワイヤ電極を接触させた状態を示す図
【図１２】図１０に示された比較例が極細線のワイヤ電極にワークが接触したと検出できる状態を示す図
【図１３】本発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工機のファーストカット前のワイヤ電極とワークとを示す斜視図
【図１４】本発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工機のセカンドカット前のワイヤ電極とワークとを示す斜視図
【図１５】本発明の実施の形態３に係るワイヤ放電加工機の加工動作の一例を示すフローチャート
【図１６】本発明の実施の形態４に係るワイヤ放電加工機の制御装置が求めたワイヤ電極とワークとの極間距離の一例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１１】  以下に、本発明の実施の形態にかかるワイヤ放電加工機、ワイヤ放電加工機の制御装置の制御方法及び位置決め方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１２】実施の形態１．  図１は、本発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の構成を示す図である。図２は、本発明の実施の形態１にかかるワイヤ放電加工機の静電容量測定部の構成の一例を示す図である。図３は、本発明の実施の形態１にかかるワイヤ放電加工機の制御装置の構成の一例を示す図である。
【００１３】  ワイヤ放電加工機１は、ワークＷにワイヤ放電加工を施す装置であって、図１に示すように、放電電極となるワイヤ電極１０、ワイヤ電極１０をこのワイヤ電極１０の長手方向に沿って移動するワイヤ移動部２０、ワークＷを保持するワーク保持部３０、及び、ワイヤ電極１０とワークＷとを相対的に移動させる駆動部４０を備える。また、ワイヤ放電加工機１は、ワイヤ電極１０に張力を付与する張力付与部５０、駆動部４０によるワークＷの移動量を測定する測定手段であるリニアスケール６０、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量を測定する静電容量測定部７０、及び、駆動部４０にワイヤ電極１０とワークＷとの相対位置を調整させる制御装置１００を備える。
【００１４】  ワイヤ電極１０は、加工電圧が印加されてワークＷとの間に放電を発生させるものである。ワイヤ電極１０は、導電性を有する金属により構成され、長尺状に形成されている。ワイヤ電極１０の断面形状は、円形に形成される。実施の形態１において、ワイヤ電極１０の外径は、２０μｍ以上でかつ３００μｍ以下である。
【００１５】  ワイヤ移動部２０は、ワイヤ電極１０を巻回して供給するワイヤボビン２１と、複数のワイヤ送りローラ２２と、ワイヤ電極１０をワークＷに向けて送り出す上ノズル２３を備えた加工ヘッド２４と、ワイヤ電極１０を通す下ノズル２５と、ワイヤ電極１０を回収する回収ローラ２６とを備える。ワイヤ送りローラ２２は、軸心回りに回転自在に支持される。ワイヤ送りローラ２２は、ワイヤボビン２１と加工ヘッド２４との間に少なくとも一つ設けられ、ワイヤ電極１０が巻回されて、ワイヤ電極１０をワイヤボビン２１から加工ヘッド２４に導く。ワイヤ送りローラ２２は、下ノズル２５と回収ローラ２６との間に少なくとも一つ設けられ、ワイヤ電極１０が巻回されて、ワイヤ電極１０を下ノズル２５から回収ローラ２６に導く。ワイヤ送りローラ２２は、ワイヤ電極１０の移動により回転する。
【００１６】  加工ヘッド２４は、内側にワイヤ電極１０を通すヘッド本体２４ａと、ヘッド本体２４ａに設けられかつワイヤ電極１０に接触した接触子２４ｂと、ヘッド本体２４ａのワークＷに対面する下面に取り付けられた上ノズル２３とを備える。上ノズル２３は、図８に示すように、内側にワイヤ電極１０を通すガイド孔２３ａを備える。ガイド孔２３ａの内径とワイヤ電極１０の外径との差は、数μｍである。
【００１７】  下ノズル２５は、加工ヘッド２４の上ノズル２３の下方に配置される。下ノズル２５は、図８に示すように、内側にワイヤ電極１０を通すガイド孔２５ａを備える。ガイド孔２５ａの内径とワイヤ電極１０の外径との差は、数μｍである。上ノズル２３と下ノズル２５とは、ガイド孔２３ａ，２５ａにワイヤ電極１０を通すことで、ワイヤ電極１０を上ノズル２３と下ノズル２５との間で直線状に支持する。実施の形態１において、上ノズル２３と下ノズル２５とは、鉛直方向に間隔をあけて対向されて、上ノズル２３と下ノズル２５との間のワイヤ電極１０を鉛直方向と平行に支持するが、上ノズル２３と下ノズル２５が対向する方向及び上ノズル２３と下ノズル２５との間のワイヤ電極１０の長手方向が鉛直方向と交差しても良い。
【００１８】  回収ローラ２６は、ワイヤ電極１０をワイヤ送りローラ２２との間に挟み、かつ図示しないモータにより回転される。回収ローラ２６は、ワークＷに放電加工を施す際に、モータにより回転されることで、上ノズル２３のガイド孔２３ａと下ノズル２５のガイド孔２５ａとに通されたワイヤ電極１０を回収する。また、回収ローラ２６は、モータによる回転速度が変更されることで、ワイヤ電極１０の移動速度を変更することができる。
【００１９】  ワーク保持部３０は、導電性を有する金属により構成され、外縁の平面形状が四角形の枠状に形成されている。ワーク保持部３０は、表面が平坦に形成され、水平方向と平行に配置される。ワーク保持部３０は、内側に上ノズル２３と下ノズル２５との間のワイヤ電極１０を通す。
【００２０】  駆動部４０は、ワイヤ電極１０とワークＷとをノズル２３，２５間のワイヤ電極１０の長手方向と交差する方向に相対的に移動させる。駆動部４０は、エンコーダを内蔵したモータ４１と、モータ４１により軸心回りに回転される図示しないボールねじと、ボールねじがねじ込まれかつワーク保持部３０に取り付けられた図示しないナットとを備える。モータ４１は、アンプ４２を介して制御装置１００に接続している。モータ４１は、ボールねじを軸心回りに回転する。モータ４１に内蔵されたエンコーダは、ボールねじの回転角度を測定し、測定結果を制御装置１００に出力する。駆動部４０は、モータ４１がボールねじを軸心回りに回転することで、ワーク保持部３０に保持されたワークＷをワイヤ電極１０に対して移動させる。駆動部４０は、ワークＷを移動させることで、ワークＷがノズル２３，２５間のワイヤ電極１０に接近したりノズル２３，２５の間のワイヤ電極１０から離れる方向にワークＷを移動させたりする。
【００２１】  実施の形態１において、駆動部４０は、ノズル２３，２５間のワイヤ電極１０の長手方向に直交する方向にワークＷを移動させるが、ワークＷをノズル２３，２５間のワイヤ電極１０の長手方向に直交しない方向に移動させても良い。また、駆動部４０は、ノズル２３，２５間のワイヤ電極１０とワークＷとの双方を移動させても良く、ワークＷを移動させることなく、ノズル２３，２５間のワイヤ電極１０をワークＷに対して移動させても良い。
【００２２】  ワイヤ電極１０とワークＷとの間には、電源８０から加工電圧が印加される。電源８０は、接触子２４ｂを介してワイヤ電極１０に電気的に接続されており、ワーク保持部３０を介してワークＷに接続されている。電源８０は、接触子２４ｂと、ワーク保持部３０との間に加工電圧を印加することで、ワイヤ電極１０とワークＷとの間に加工電圧を印加する。電源８０が印加する加工電圧は、ノズル２３，２５間のワイヤ電極１０とワークＷとの間の絶縁を破壊して、放電を発生させ、放電によりワークＷの一部を除去する電圧である。実施の形態１において、ノズル２３，２５間のワイヤ電極１０とワークＷとの距離である極間距離が１０μｍ以上でかつ２０μｍ以下である時に、加工電圧は、ワイヤ電極１０とワークＷとの間に放電を発生させる電圧であるが、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離は、１０μｍ以上でかつ２０μｍ以下に限定されない。
【００２３】  張力付与部５０は、ワイヤ電極１０に加工電圧が印加されてワークＷを放電加工する際にワイヤ電極１０に張力を付与する。張力付与部５０は、張力付与ローラ５１と、張力付与ローラ５１を回転可能な図示しないモータとを備える。張力付与ローラ５１は、ワイヤボビン２１と加工ヘッド２４との間に設けられ、ワイヤ電極１０をワイヤ送りローラ２２との間に挟む。張力付与部５０のモータは、張力付与ローラ５１をワイヤ電極１０がワイヤボビン２１に巻き取られる方向に回転する。張力付与部５０のモータの駆動トルクは、回収ローラ２６を回転するモータの駆動トルクよりも弱い。張力付与部５０は、ワークＷに放電加工を施す際に、回収ローラ２６を回転するモータの駆動トルクよりも弱い駆動トルクでモータが張力付与ローラ５１を回転しようとすることで、ワイヤ電極１０にノズル２３，２５間のワイヤ電極１０の長手方向に沿って張力を付与する。
【００２４】  リニアスケール６０は、スケールと、スケールに移動自在に設けられかつワーク保持部３０に固定された検出器とを備える。リニアスケール６０は、検出器のスケールに対する移動量を測定することで、ワークの移動量を測定し、測定結果を制御装置１００に出力する。測定手段は、リニアスケール６０の代わりに、モータ４１の駆動信号又はモータ４１のエンコーダの測定結果に基づいてワークＷの移動量を測定する手段でも良い。
【００２５】  静電容量測定部７０の一端は、接触子２４ｂを介してワイヤ電極１０に電気的に接続されており、その他端はワーク保持部３０を介してワークＷに接続されている。静電容量測定部７０は、図２に示すように、正弦波の交流電圧を供給する測定用の交流電源７１と、交流電源７１の一端に接続された直流成分遮断コンデンサ７２と、交流電源７１の接地された他端に接続された電流検出抵抗７３と、電流検出抵抗７３の接地されていない端子における交流電圧を電圧の振幅値に変換して制御装置１００に出力する整流回路７４と、を備える。直流成分遮断コンデンサ７２は、接触子２４ｂを介してワイヤ電極１０に接続されており、電流検出抵抗７３は、ワーク保持部３０を介してワークＷに接続されている。静電容量測定部７０は、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量に対応する電圧値を測定する。静電容量測定部７０は、測定結果を制御装置１００に出力する。
【００２６】  制御装置１００は、数値制御装置であって、図３に示すように、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）のような演算装置１０１と、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、ハードディスクドライブ、ストレージデバイス又はこれらを組み合わせた不揮発性記憶装置により構成され、数値制御プログラムを保持する記憶装置１０２とを備えるコンピュータにより構成される。制御装置１００は、記憶装置１０２に保持される数値制御プログラムを演算装置１０１が実行して加工条件を生成し、ワイヤ放電加工機１の各部に加工条件を出力することにより、ワイヤ放電加工機１の各部の動作を制御する。制御装置１００は、記憶装置１０２に保持される数値制御プログラムを演算装置１０１が実行することによりワークＷをワイヤ電極１０に対して位置決めする。その後、制御装置１００は、ワイヤ電極１０とワークＷとの間に放電を発生させてワークＷに放電加工を施す。
【００２７】  また、実施の形態１において、制御装置１００には、加工条件を生成するために必要な情報が入出力ユニット１０３に接続された入力装置１０４から入力される。入力装置１０４は、タッチパネル、キーボート、マウス、トラックボール又はこれらの組合せにより構成される。
【００２８】  次に、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１の加工動作、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法を図面に基づいて説明する。図４は、本発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の加工動作の一例を示すフローチャートである。図５は、図４のステップＳＴ５で取得した測定結果の一例を示す図である。図６は、図５に示された測定結果から取得された校正データの一例を示す図である。図７は、図４のステップＳＴ９で求めるワイヤ電極とワークとの極間距離に対応する静電容量の一例を示す図である。図８は、本発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工機のワイヤ電極を停止した状態を示す図である。図９は、図８に示されたワイヤ電極を移動させている状態を示す図である。図１０は、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機の比較例のワークにワイヤ電極を接近させる状態を示す図である。図１１は、図１０に示された比較例のワークにワイヤ電極を接触させた状態を示す図である。図１２は、図１０に示された比較例が極細線のワイヤ電極にワークが接触したと検出できる状態を示す図である。
【００２９】  ワイヤ放電加工機１は、制御装置１００に入力装置１０４から加工条件を生成するために必要な情報が入力され、加工開始指令が入力されることにより加工動作を開始する。加工動作では、ワイヤ放電加工機１の制御装置１００は、入力された情報に基づいてワイヤ電極１０とワークＷとを位置決めする。制御装置１００は、ワイヤ電極１０とワークＷとを位置決めした後、入力された情報に基づいて加工条件を生成し、生成した加工条件を駆動部４０、ワイヤ移動部２０、駆動部４０及び電源８０に出力する。すると、ワイヤ放電加工機１は、電源８０がワイヤ電極１０とワークＷとの間に加工電圧を印加し、ワイヤ電極１０とワークＷとの間に放電を発生させて、ワークＷに放電加工を施す。
【００３０】  ワイヤ放電加工機１は、ワーク保持部３０にワークＷが保持された後、制御装置１００が入力装置１０４から入力された加工開始指令を受け付けると、ワイヤ電極１０とワークＷとの位置決めを実行する（ステップＳＴ１）。制御装置１００は、ワイヤ電極１０とワークＷとを位置決めする際に、まず、ワイヤ移動部２０にワイヤ電極１０の移動を停止させる（ステップＳＴ２）。制御装置１００は、駆動部４０にワークＷをワイヤ電極１０に接近する方向に移動させる（ステップＳＴ３）。制御装置１００は、静電容量測定部７０の測定結果に基づいて、ワイヤ電極１０にワークＷが接触したか否かを判定する（ステップＳＴ４）。制御装置１００は、静電容量測定部７０が検出したワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量が零になると、ワイヤ電極１０にワークＷが接触したと判定し、静電容量測定部７０が検出したワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量が零ではないと、ワイヤ電極１０にワークＷが接触していないと判定する。
【００３１】  制御装置１００は、ワイヤ電極１０にワークＷが接触していないと判定する（ステップＳＴ４：Ｎｏ）と、ステップＳＴ３に戻る。制御装置１００は、ワイヤ電極１０にワークＷが接触したと判定する（ステップＳＴ４：Ｙｅｓ）と、駆動部４０にワークＷの移動を停止させた後、駆動部４０にワークＷをワイヤ電極１０から離れる方向に移動させながら、ワークＷの位置と、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量との関係を取得する（ステップＳＴ５）。制御装置１００は、リニアスケール６０の検出結果と、静電容量測定部７０の測定結果であるワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量とを１対１で対応付けて、図５に示すように、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量とワークＷの移動距離との関係を取得する。制御装置１００は、図５に取得した関係に基づいて最小二乗法を用いて、図６に示すように、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離と、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量との関係を規定する校正データＫを取得し、記憶する。
【００３２】  ワイヤ放電加工機１は、制御装置１００がステップＳＴ１からステップＳＴ５の処理を実行することで、ワイヤ電極１０の長手方向の移動を停止させた状態で、駆動部４０にワイヤ電極１０とワークＷとを相対的に移動させながら静電容量測定部７０に静電容量を測定させる。また、制御装置１００は、ステップＳＴ５の処理を実行することで、静電容量測定部７０に静電容量を測定させる際に、静電容量測定部７０が測定した測定結果から校正データＫを取得する。また、制御装置１００は、ステップＳＴ４の処理を実行することで、静電容量測定部７０に静電容量を測定させる際に、ワイヤ電極１０にワークＷを接触させる。また、ステップＳＴ１からステップＳＴ５の処理は、ワイヤ電極１０の長手方向の移動を停止させた状態で、駆動部４０にワイヤ電極１０とワークＷとを相対的に移動させながら静電容量測定部７０に静電容量を測定させる校正データ取得ステップＳ１を構成する。
【００３３】  制御装置１００は、ワークＷがワイヤ電極１０から指定距離だけ後退したか否かを判定する（ステップＳＴ６）。なお、ワイヤ移動部２０によりワイヤ電極１０が移動された際に、ワイヤ電極１０は、ノズル２３，２５のガイド孔２３ａ，２５ａの内面に接触して、図９の実線で示すように、ノズル２３，２５間の中央において、ワイヤ電極１０の移動方向と直交する方向に最大１０μｍの範囲で振動する。指定距離は、ワイヤ移動部２０により移動されるワイヤ電極１０の振動の範囲に基づいて設定される。実施の形態１において、指定距離は、ワイヤ電極１０の振動する最大範囲である１０μｍであるが、指定距離は、１０μｍに限定されない。制御装置１００は、ワークＷがワイヤ電極１０から指定距離だけ後退していないと判定する（ステップＳＴ６：Ｎｏ）と、ステップＳＴ５に戻る。
【００３４】  制御装置１００は、ワークＷがワイヤ電極１０から指定距離だけ後退したと判定する（ステップＳＴ６：Ｙｅｓ）と、駆動部４０にワークＷの移動を停止させ、張力付与部５０にワイヤ電極１０に放電加工時と同じ強さの張力を付与させ、ワイヤ移動部２０にワイヤ電極１０を放電加工時と同じ速度で移動させる（ステップＳＴ７）。実施の形態１において、ワイヤ移動部２０による移動が停止されたワイヤ電極１０は、図８に実線で示す位置から張力付与部５０により放電加工時と同じ張力が付与されると、図８に一点鎖線で示す位置までワイヤ電極１０の移動方向に直交する方向に数μｍ移動する。更に、ワイヤ電極１０は、ワイヤ移動部２０により放電加工時と同じ速度で移動されると、図９に実線で示すように、ノズル２３，２５間においてワイヤ電極１０の移動方向に直交する方向に最大１０μｍ振動する。
【００３５】  制御装置１００は、静電容量測定部７０の測定結果に基づいて、ワイヤ電極１０にワークＷが接触せず、かつ、極間距離の変化により静電容量が変化する図６に示す範囲Ｈ内にワークＷが位置するように、ワークＷをワイヤ電極１０に接近させて、ワークＷが図６に示す範囲Ｈ内に位置すると、ワークＷの移動を停止する（ステップＳＴ８）。
【００３６】  制御装置１００は、静電容量測定部７０にワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量を測定させる。このとき、ワイヤ電極１０は、図９に実線で示すように、ノズル２３，２５のガイド孔２３ａ，２５ａの中央がワイヤ電極１０の長手方向に直交する方向に振動するので、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量は、図７に示すように、時間の経過とともに増減する。制御装置１００は、測定した静電容量の平均値を求め、この平均値をワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量の図７に示す値Ｃｘとする。実施の形態１において、実施の形態１において、静電容量の平均値は、相加平均値である。
【００３７】  制御装置１００は、静電容量測定部７０の測定結果である静電容量の値Ｃｘと、ステップＳＴ５で取得した図６に示す校正データＫとに基づいて、長手方向に移動中のワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を求める（ステップＳＴ９）。実施の形態１では、制御装置１００は、図６に示す校正データＫにおいて、静電容量の値Ｃｘとなるワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離Ｄｘを求め、この極間距離Ｄｘをワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離とする。制御装置１００は、ステップＳＴ９で求めたワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離と、リニアスケール６０の検出結果に基づいて、放電加工時に設定された加工条件に対応するワイヤ電極１０からの極間距離となる位置まで駆動部４０にワークＷを移動させる（ステップＳＴ１０）。一例として、制御装置１００は、ステップＳＴ９で求めたワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離と、加工条件に対応したワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離との差を求め、この差が零となる方向に駆動部４０にワークＷを移動させるとともに、リニアスケール６０の検出結果からワークＷの移動量を前述した差に対応した値にする。制御装置１００は、ワイヤ電極１０とワークＷとの位置決めを完了する。その後、制御装置１００は、静電容量測定部７０に静電容量の測定を停止させ、電源８０にワイヤ電極１０とワークＷとの間に加工電圧を加工条件に通りに印加させ、ワークＷに放電加工を施す。ワイヤ放電加工機１は、ワークＷに放電加工を施す際には、純水又は加工油により構成された加工液がワイヤ電極１０とワークＷとの間に供給される。
【００３８】  ワイヤ放電加工機１は、制御装置１００がステップＳＴ６からステップＳＴ１０の処理を実行することで、ワイヤ移動部２０にワイヤ電極１０を長手方向に移動させながら静電容量測定部７０に静電容量を測定させて、静電容量測定部７０の測定結果に基づいて、駆動部４０にワイヤ電極１０とワークＷとの相対位置を調整させる。また、制御装置１００は、ステップＳＴ７の処理を実行することで、駆動部４０にワイヤ電極１０とワークＷとの相対位置を調整させる際に、張力付与部５０にワイヤ電極１０に放電加工を施す際の同じ強さの張力を付与させる。また、制御装置１００は、ステップＳＴ９の処理を実行することで、駆動部４０にワイヤ電極１０とワークＷとの相対位置を調整させる際に、静電容量測定部７０の測定結果である静電容量の値Ｃｘと校正データＫとに基づいて、長手方向に移動中のワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を求める。また、ステップＳＴ６からステップＳＴ１０の処理は、ワイヤ移動部２０にワイヤ電極１０を長手方向に移動させた状態で、静電容量測定部７０に静電容量を測定させて駆動部４０にワイヤ電極１０とワークＷとの相対位置を調整させる調整ステップＳ２を構成する。
【００３９】  以上のように、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量に基づいて求める。このため、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離の変化により静電容量が変化し、ワイヤ電極１０とワークＷとが接触すると静電容量が零になるので、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の電気的な導通によりワイヤ電極１０とワークＷとが接触した位置を検出する図１０、図１１及び図１２に示す比較例よりもワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を正確に測定することができる。その結果、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることが可能になる。
【００４０】  図１０、図１１及び図１２に示す比較例は、ワイヤ電極１０が、外径が７０μｍ以下の極細線１０Ｓである場合である。図１０に示すように、極細線１０ＳにワークＷを接近させていくと、図１１に示すように、極細線１０ＳとワークＷとが接触しても、接触面積が小さいために接触したことを検出できないことがある。この場合、比較例は、更に、ワークＷを極細線１０Ｓに接近させて、図１２に示すように、図１１に示す接触した位置よりもワークＷを極細線１０Ｓ寄りに移動させた位置で極細線１０ＳとワークＷとが接触したことを検出する。このような比較例に対して、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０が極細線１０Ｓであっても、極細線１０ＳとワークＷとが接触すると、極細線１０ＳとワークＷとの間の静電容量が直ちに零になるので、極細線１０ＳとワークＷとが接触する位置を正確に検出でき、極細線１０ＳとワークＷとの極間距離を正確に測定することができる。
【００４１】  また、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量に基づいて求める。その結果、ワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、加工液として加工油を用いる場合であっても、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を正確に把握して、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることが可能になる。
【００４２】  また、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０の長手方向の移動を停止した状態で、ワイヤ電極１０の長手方向と交差する方向にワイヤ電極１０とワークＷとを相対的に移動させながら静電容量測定部７０にワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量を測定させる。このために、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０を長手方向に移動させるとワイヤ電極１０が振動しても、ワイヤ電極１０が停止した状態で測定するので、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離と、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量との正確な関係を取得することができる。
【００４３】  また、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０の長手方向の移動を停止した状態で、静電容量測定部７０にワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量を測定させた後、ワイヤ移動部２０にワイヤ電極１０を長手方向に移動させながら静電容量測定部７０に静電容量を測定させて、ワイヤ電極１０とワークＷとの相対位置を調整させる。このため、ワイヤ電極１０を停止した状態と、ワイヤ電極１０を移動させた状態とで、ワイヤ電極１０とワークＷとの相対的な位置がずれても、ワイヤ電極１０を位置決めする前に、ワイヤ電極１０が停止した状態で取得した静電容量に基づいて、長手方向に移動するワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を正確に求めることができる。その結果、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることが可能になる。
【００４４】  また、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０の長手方向の移動を停止した状態で、静電容量測定部７０にワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量を測定させて、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離と、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量との関係を規定する校正データＫを取得する。その結果、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０を長手方向に移動させるとワイヤ電極１０が振動しても、ワイヤ電極１０が停止した状態で取得した校正データＫに基づいて、ワイヤ電極１０とワークＷとの相対位置を調整するので、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることが可能になる。
【００４５】  また、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０の長手方向の移動を停止した状態で取得した校正データＫに基づいて、ワイヤ電極１０とワークＷとを位置決めする。このため、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、実際の加工に用いられるワイヤ電極１０とワークＷとを用いて取得した校正データＫを用いるので、ワイヤ電極１０とワークＷとの少なくとも一方の形状が種々変化しても、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることが可能になる。
【００４６】  また、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離と、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量との関係を取得した後、ワイヤ電極１０を長手方向に移動させて、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を求める。このため、ワイヤ電極１０を停止した状態と、ワイヤ電極１０を移動させた状態とで、ワイヤ電極１０とワークＷとの相対的な位置がずれても、ワイヤ電極１０を位置決めする前に、長手方向に移動するワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を求めることができる。その結果、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０とワークＷとを位置決めする前に、ワイヤ電極１０を放電加工時と同様に移動させるので、放電加工時のワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を測定でき、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることが可能になる。
【００４７】  また、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、移動しているワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を、静電容量測定部７０の測定結果である静電容量の平均値である値Ｃｘを用いて求める。このため、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、移動するワイヤ電極１０が振動しても、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を正確に測定でき、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることが可能になる。
【００４８】  また、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、移動しているワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を、張力付与部５０によりワイヤ電極１０に放電加工時と同じ張力を付与した状態で測定する。このため、ワイヤ電極１０に張力を付与した状態と、ワイヤ電極１０に張力を付与しない状態とで、ワイヤ電極１０とワークＷとの相対的な位置がずれても、ワイヤ電極１０を位置決めする前に、長手方向に移動するワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を正確に求めることができる。その結果、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０とワークＷとを位置決めする前に、ワイヤ電極１０に放電加工時と同じ張力を付与するので、放電加工時のワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を測定でき、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることが可能になる。
【００４９】  実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離と、ワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量との関係を規定する校正データＫを取得する際に、一度、ワイヤ電極１０とワークＷとを接触させる。このため、ワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０とワークＷとが接触した位置を基準にして、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を測定することができる。その結果、実施の形態１に係るワイヤ放電加工機１、制御装置１００の制御方法及び位置決め方法は、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることが可能になる。
【００５０】実施の形態２．  次に、本発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１を図面に基づいて説明する。図１３は、本発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工機のファーストカット前のワイヤ電極とワークとを示す斜視図である。図１４は、本発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工機のセカンドカット前のワイヤ電極とワークとを示す斜視図である。図１３及び図１４において、実施の形態１と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００５１】  実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１は、実施の形態１と同じ構成である。実施の形態２に係る図１３及び図１４に示すワイヤ放電加工機１は、放電加工によりワークＷにくり抜き加工を施すファーストカットを行った後、ファーストカットよりも低い加工電圧をワイヤ電極１０とワークＷとの間に印加し、ファーストカットと同じ経路でワイヤ電極１０とワークＷとを相対的に移動させるセカンドカットを行う。ワイヤ放電加工機１は、セカンドカットにおいて、ファーストカットで加工した面を仕上げる。ここで、ワイヤ放電加工機１は、ファーストカットにおいて、ワイヤ電極１０とワークＷとの間に供給される加工液の温度上昇と、ワークＷ内に生じる内部歪との少なくとも一方により、加工精度が低下することがある。
【００５２】  実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１の制御装置１００は、ファーストカット前と、セカンドカット前とにおいて、ワークＷの任意の位置に対するワイヤ電極１０の相対的な位置を静電容量測定部７０の測定結果により測定する。実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１の制御装置１００は、ファーストカット前の測定結果と、セカンドカット前の測定結果とを対比して、ファーストカット時のワイヤ電極１０とワークＷとの間の位置ずれを測定する。実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１の制御装置１００は、セカンドカット時に、位置ずれを考慮して、ワイヤ電極１０とワークＷとを相対的に移動させる経路を補正する。実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１は、セカンドカット時に、ワイヤ電極１０とワークＷとを相対的に移動させる経路を補正する以外は、実施の形態１と同じ動作を行う。
【００５３】  実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１は、ワイヤ電極１０とワークＷとを位置決めする際に、実施の形態１と同様に、ワイヤ電極１０の長手方向の移動を停止した状態で、校正データＫを取得する。その後、ワイヤ電極１０を長手方向に移動させて、校正データＫに基づいて、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を求める。その結果、実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１は、実施の形態１と同様に、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることができる。
【００５４】  また、実施の形態２に係るワイヤ放電加工機１は、セカンドカット時に、ワイヤ電極１０とワークＷとを相対的に移動させる経路を補正するので、加工精度の低下を抑制することができる。
【００５５】実施の形態３．  次に、本発明の実施の形態３に係るワイヤ放電加工機１を図面に基づいて説明する。図１５は、本発明の実施の形態３に係るワイヤ放電加工機の加工動作の一例を示すフローチャートである。図１５において、実施の形態１と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００５６】  実施の形態３に係るワイヤ放電加工機１は、実施の形態１と同じ構成である。実施の形態３に係るワイヤ放電加工機１の制御装置１００は、ワークＷをワイヤ電極１０に接近する方向に移動させた後（ステップＳＴ３）、ワークＷをワイヤ電極１０に接近する方向に移動させながら、校正データＫを取得し、保存する（ステップＳＴ５）。
【００５７】  制御装置１００は、校正データＫを取得している間に、静電容量測定部７０の測定結果に基づいて、ワイヤ電極１０にワークＷが接触したか否かを判定する（ステップＳＴ４）。制御装置１００は、ワイヤ電極１０にワークＷが接触していないと判定する（ステップＳＴ４：Ｎｏ）と、ステップＳＴ３に戻る。制御装置１００は、ワイヤ電極１０にワークＷが接触したと判定する（ステップＳＴ４：Ｙｅｓ）と、駆動部４０にワークＷをワイヤ電極１０から離れる方向に移動させ、ワークＷがワイヤ電極１０から指定距離だけ後退するまで、ワークＷを移動させる（ステップＳＴ６−３）。制御装置１００は、ワークＷがワイヤ電極１０から指定距離だけ後退すると、実施の形態１と同様に、ステップＳＴ７、ステップＳＴ８、ステップＳＴ９及びステップＳＴ１０の処理を実行する。
【００５８】  実施の形態３に係るワイヤ放電加工機１は、ワイヤ電極１０とワークＷとを位置決めする際に、実施の形態１と同様に、ワイヤ電極１０の長手方向の移動を停止した状態で、校正データＫを取得する。その後、ワイヤ電極１０を長手方向に移動させて、校正データＫに基づいて、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を求める。その結果、実施の形態３に係るワイヤ放電加工機１は、実施の形態１と同様に、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることができる。
【００５９】  また、実施の形態３に係るワイヤ放電加工機１は、ワイヤ電極１０にワークＷを接近させながらワイヤ電極１０にワークＷが接触するまで校正データＫを取得する。その結果、実施の形態３に係るワイヤ放電加工機１は、ワイヤ電極１０とワークＷとを位置決めするために係る所要時間を抑制することができる。
【００６０】実施の形態４．  次に、本発明の実施の形態４に係るワイヤ放電加工機１を図面に基づいて説明する。図１６は、本発明の実施の形態４に係るワイヤ放電加工機の制御装置が求めたワイヤ電極とワークとの極間距離の一例を示す図である。
【００６１】  実施の形態４に係るワイヤ放電加工機１は、実施の形態１と同じ構成である。実施の形態４に係るワイヤ放電加工機１の制御装置１００は、ステップＳＴ９において、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を求める際に、静電容量測定部７０が測定したワイヤ電極１０とワークＷとの間の静電容量を校正データＫに基づいて、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離に変換する。制御装置１００は、図１６に示すように、時間の経過とともに変化するワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を取得する。制御装置１００は、取得した極間距離の平均値を求め、この平均値をワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離Ｄｘとする。実施の形態４において、取得した極間距離の平均値は、相加平均値である。制御装置１００は、ステップＳＴ９以外は、実施の形態１と同様にワイヤ放電加工機１の各部を制御する。
【００６２】  実施の形態４に係るワイヤ放電加工機１は、ワイヤ電極１０とワークＷとを位置決めする際に、実施の形態１と同様に、ワイヤ電極１０の長手方向の移動を停止した状態で、校正データＫを取得する。その後、ワイヤ電極１０を長手方向に移動させて、校正データＫに基づいて、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を求める。その結果、実施の形態４に係るワイヤ放電加工機１は、実施の形態１と同様に、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることができる。
【００６３】  また、実施の形態４に係るワイヤ放電加工機１は、ステップＳＴ９において、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を求める際に、静電容量測定部７０が測定した静電容量をワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離に変換して、極間距離の平均値をワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離Ｄｘとする。その結果、実施の形態４に係るワイヤ放電加工機１は、ワイヤ電極１０とワークＷとの極間距離を正確に求めることができ、ワイヤ電極１０とワークＷとを正確に位置決めすることができる。
【００６４】  以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
【符号の説明】
【００６５】  １  ワイヤ放電加工機、１０  ワイヤ電極、２０  ワイヤ移動部、４０  駆動部、５０  張力付与部、７０  静電容量測定部、１００  制御装置、Ｗ  ワーク。
【要約】  本発明は、ワイヤ電極とワークとを正確に位置決めすることを目的とする。本発明のワイヤ放電加工機（１）の備える制御装置（１００）は、ワイヤ電極（１０）の長手方向の移動を停止させた状態で、駆動部（４０）にワイヤ電極（１０）とワーク（Ｗ）とを相対的に移動させながら静電容量測定部（７０）に静電容量を測定させた後、ワイヤ移動部（２０）にワイヤ電極（１０）を長手方向に移動させた状態で、静電容量測定部（７０）に静電容量を測定させて、駆動部（４０）にワイヤ電極（１０）とワーク（Ｗ）との相対位置を調整させる構成とした。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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