(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟質発泡シートの両面に合成樹脂フィルムが積層された後、円状プレス裁断機で裁断してなり、かつ、前記合成樹脂フィルムの表面抵抗が１０３〜１０１２Ωであることを特徴とするウェーハ保護クッション材の製造方法。
【請求項２】
前記合成樹脂フィルムが、格子状又はドット状にエンボス加工されてなることを特徴とする請求項１記載のウェーハ保護クッション材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ保護クッション材に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、複数枚の半導体ウェーハを横置きに積み重ねるコインスタック式搬送容器について記載されている。該容器内の最上段と最下段にはクッション材が設けられ、そのクッション材間にウェーハとスペーサーシートとが交互に介在され、輸送中の振動・衝撃等によるウェーハの損傷を抑制している。
【０００３】
一方で近年、半導体製造技術の進歩により、製品の高集積化・精密化が進み、それに伴い製品に付帯する生産設備や包装資材等に、より清浄度（クリーン性）の高いものが求められている。特に、クリーンルーム内に浮遊する塵や埃などのパーティクル（粒子状汚染物質）や包装資材自体から発生するパーティクルは、半導体デバイスの特性や製造上の歩留りに大きな影響を及ぼす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０９−１２９７１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１記載のクッション材は、軟質ポリウレタンフォーム、ポリエチレンフォーム、ポリプロピレンフォーム、ポリスチレンフォーム等の軟質発泡シートに、帯電防止剤または導電性フィラーを含有させることで帯電防止性や導電性を付与し、クッション材にパーティクルが付着するのを抑制している。
【０００６】
ところが、クッション材にパーティクルが付着するのを完全に防ぐことは難しく、例えば図５に示すように軟質発泡シートのセル同士間に塵や埃などのパーティクルが入り込んでしまう。そして、その塵や埃を除去することは難しく、清浄度（クリーン性）の高いクッション材を提供することは困難であった。その結果、搬送容器内においてクッション材をはじめ、スペーサーシート、ウェーハの清浄度(クリーン性)が低くなり、すなわち、搬送容器内のような局所空間の清浄化、いわゆるミニエンバイロメントを実現することはできていなかった。
【０００７】
そこで、本発明は、これまで実現されていなかった清浄度(クリーン性)の高いクッション材を提供することを目的とする。具体的には、クッション材に空気中に浮遊していた塵や埃などのパーティクルが付着しても、その塵や埃を除去することができ、しかもクッション材自体から発生する塵や埃などのパーティクルを抑制することができる、すなわち、清浄度(クリーン性)の高いクッション材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１記載のウェーハ保護クッション材の製造方法は、軟質発泡シートの両面に合成樹脂フィルムが積層された後、円状プレス裁断機で裁断してなり、かつ、前記合成樹脂フィルムの表面抵抗が１０３〜１０１２Ωであることを特徴とする。
また、請求項２記載のウェーハ保護クッション材の製造方法は、請求項１記載の構成に加えて、前記合成樹脂フィルムが、格子状又はドット状にエンボス加工されてなることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のウェーハ保護クッション材は、空気中に浮遊していた塵や埃などのパーティクルが付着しても、その塵や埃などのパーティクルを容易に除去することができ、しかもクッション材自体から発生する塵や埃などのパーティクルを抑制することができた清浄度(クリーン性)の高いクッション材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明のウェーハ保護クッション材を示す図である。
【図２】図１の点線部を拡大した図である。
【図３】本発明の合成樹脂フィルムをエンボス加工した図である。(ａ)が格子状のエンボス模様、(ｂ)ドット状にエンボス加工した合成樹脂フィルムを示す図である。
【図４】本発明のウェーハ保護クッション材を、搬送容器に収納する際の状態を示す図である。
【図５】従来の軟質発泡シートのみをウェーハ保護クッション材とし、そのクッション材を拡大した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照して詳細を説明する。
【００１２】
図１に示すように本発明のウェーハ保護クッション材１は、軟質発泡シートの両面に合成樹脂フィルムが積層されてなり、かつ、前記合成樹脂フィルムの表面抵抗が１０３〜１０１２Ωであることを特徴とする。
【００１３】
本発明のウェーハ保護クッション材１は、従来のようにセル同士間に塵埃が入り込むことがなく、図２に示すように合成樹脂フィルム３上に塵埃が付着しても、洗浄水やエアー等で洗浄することにより容易に塵埃を除去することができる。更に、軟質発泡シート２の製造時に起因するガスやイオン性物質を外部環境へ放出するのを抑制することができる。
【００１４】
また、本発明の軟質発泡シート２の素材としては、軟質ポリエチレンシート、軟質ポリウレタンシート、軟質ポリプロピレンシート、軟質ポリスチレンシート等を用いることができる。
【００１５】
また、軟質発泡シート２の厚みは１〜２０ｍｍであり、好ましくは３〜１０ｍｍである。この厚みが１ｍｍ未満であると、緩衝性に劣る。また、厚みが２０ｍｍを超えると、容器中のウェーハを収納するスペースが少なくなり、搬送性に劣る。
【００１６】
また、軟質発泡シート２は、緩衝性や腰の強さを考えると、独立気泡率の軟質発泡シートが好ましい。なお、ここでいう独立気泡率の軟質発泡シートとは、独立気泡の占める体積の割合がシート全体の２５％以上の軟質発泡シートをいう。
【００１７】
また、軟質発泡シート２にも導電性や帯電防止性を付与させ、その表面抵抗が１０１１Ω以下としてもよい。導電性や帯電防止性を付与するためには、軟質発泡シート中に導電性フィラーや帯電防止材を含有させることが挙げられる。
【００１８】
本発明の合成樹脂フィルム３の表面抵抗は１０３〜１０１２Ωであり、好ましくは、１０５〜１０１０Ωである。なお、静電気放電と電界から静電気敏感性デバイス（ＥＳＤＳ）を保護するための一般要求事項を規定した（ＲＣＪＳ−５−１：２０１０（日本電子部品信頼性センター規格））において、静電気拡散性の表面抵抗は１０５〜１０１０Ωが望ましいとされている。
また、合成樹脂フィルムの表面抵抗を１０３〜１０１２Ωにするためには、合成樹脂フィルム中に導電性フィラーや帯電防止剤を含有させる、或いは合成樹脂フィルムの表面にポリピロールやポリアニリン、ポリチオフェン等の導電性ポリマーの薄膜を設けることが挙げられる。
【００１９】
本発明の合成樹脂フィルム３の素材としては、ポリエチレンフィルムやポリプロピレンフィルム等のポリオレフィン系フィルム、およびポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム等を用いることができる。また、これらフィルムは、インフレーション法や押出し法により連続的に成形することができる。
【００２０】
また、合成樹脂フィルム３の厚みは１０〜２００μｍであり、好ましくは２０〜５０μｍである。この厚みが１０μｍ未満であると、容器やスペーサーシートとの接触時に破損し易く、ウェーハ保護クッション材を容器へ収納或いは取り出す際に用いる自動機との接触時にも破損し易い。また、厚みが２００μｍを超えると、軟質発泡シートの緩衝性を低下させる原因となり易い。
【００２１】
また、合成樹脂フィルム３は、図３に示すように格子状(ａ)又はドット状(ｂ)にエンボス加工してもよい。このようにエンボス加工された合成樹脂フィルムを、軟質発泡シートの両面に積層させることで復元性を向上させることができる。
ウェーハ保護クッション材は、例えば搬送容器に収納される際、或いは搬送容器から取り出される際、折れ曲がる場合がある。そうすると、クッション材にシワが発生し、そのシワ部分に塵や埃が溜まり、クリーン性が低くなり易い。そこで、合成樹脂フィルムにエンボス加工することで表面に微細な凹凸を設け、それによりウェーハ保護クッション材が折れ曲がっても元の形状に復元し易くなる。
【００２２】
次に、本発明のウェーハ保護クッション材１の製造方法について説明する。
軟質発泡シート２の両面に、合成樹脂フィルム３を加熱しながら対ロールでラミネート加工し、軟質発泡シート２の両面に合成樹脂フィルム３が積層されたウェーハ保護クッション材１を得る。なお、対ロールには多数の突起を有するエンボスロールが使用されていてもよく、そうすることで格子状或いはドット状の凹凸が多数形成された合成樹脂フィルム３を、軟質発泡シート２の両面にラミネートすることができる。
そして、得られたクッション材を円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材１を得た。
【００２３】
本発明のウェーハ保護クッション材１は、例えば図４に示すような容器本体と蓋体とからなる搬送容器に収納される。具体的には、ウェーハＷとスペーサシートＳとは交互に複数枚重ねられて容器内に収納されると共に、その上下端部には本発明のウェーハ保護クッション材１が設けられる。したがって、運搬時の振動等により容器に与えられる衝撃は、本発明のウェーハ保護クッション材１によって吸収され、ウェーハＷは該衝撃から保護される。
【実施例】
【００２４】
（合成樹脂フィルムＡの作製）  
低密度ポリエチレン樹脂（プライムポリマー社製：ミラソン １６Ｐ)１００重量部に、高分子型帯電防止剤１５重量部（三井・デュポンポリケミカル社製：Ｅｎｔｉｒａ ＳＤ１００）、及びピンク色顔料３重量部を添加し、押出し法にて厚み３０μｍの合成樹脂フィルムＡを得た。
【００２５】
なお、得られた合成樹脂フィルムＡの表面抵抗をＪＩＳ Ｋ ６９１１に準じて、ハイレスタ−ＵＰ（三菱化学社製のＭＣＰ−ＨＴ４５０型）を用いて測定した結果、１０８〜１０１０Ωであった。
【００２６】
(合成樹脂フィルムＢの作製)
低密度ポリエチレン樹脂（プライムポリマー社製：ミラソン １６Ｐ) を、押出し法にて厚み３０μｍのフィルムを成形した。
続いて、得られたフィルムを、π電子共役系高分子モノマーとしてピロール １ｗｔ％に酸化重合剤兼ドーパント剤としてパラトルエンスルホン酸第二鉄 ５ｗｔ％ を加えた水溶液中へ浸漬させ、ピロールモノマーを重合（化学酸化重合）させて、フィルム両面にポリピロールを析出させ、厚み３０μｍの合成樹脂フィルムＢを得た。
【００２７】
なお、得られた合成樹脂フィルムＢの表面抵抗をＪＩＳ Ｋ ６９１１に準じて、ハイレスタ−ＵＰ（三菱化学社製のＭＣＰ−ＨＴ４５０型）を用いて測定した結果、１０５〜１０７Ωであった。
【００２８】
（実施例１）
厚みが３ｍｍの軟質発泡ポリエチレンシート(積水化成社製のライトロン Ｓ：独立気泡)の両面に、得られた合成樹脂フィルムＡを加熱しながら対ロールでラミネート加工し、クッション材を得た。なお、対ロールには多数の突起を有するエンボスロールが使用されており、合成樹脂フィルムＡに格子状の凹凸が多数形成された状態で軟質発泡ポリエチレンシートの両面にラミネートされている。
続いて、得られたクッション材を直径３００ｍｍの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材を得た。
【００２９】
(実施例２)
厚みが３ｍｍの軟質発泡ポリエチレンシート(積水化成社製のライトロン Ｓ：独立気泡)の両面に、得られた合成樹脂フィルムＡを加熱しながら対ロールでラミネート加工され、クッション材を得た。なお、対ロールにはエンボスロールは使用されていない、すなわち、軟質発泡ポリエチレンシートの両面には、表面が平滑である合成樹脂フィルムＡがラミネートされている。
続いて、得られたクッション材を直径ウェーハ３００ｍｍの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材を得た。
【００３０】
(実施例３)
厚みが３ｍｍの軟質発泡ポリエチレンシート(積水化成社製のライトロン Ｓ：独立気泡)の両面に、得られた合成樹脂フィルムＢを加熱しながら対ロールでラミネート加工され、クッション材を得た。なお、対ロールには多数の突起を有するエンボスロールが使用されており、合成樹脂フィルムＢに格子状の凹凸が多数形成された状態で軟質発泡ポリエチレンシートの両面にラミネートされている。
続いて、得られたクッション材を直径３００ｍｍの円状プレス裁断ウェーハ断し、ウェーハ保護クッション材を得た。
【００３１】
(実施例４)
厚みが３ｍｍの軟質発泡ポリエチレンシート(積水化成社製のライトロン Ｓ：独立気泡)の両面に、得られた合成樹脂フィルムＢを加熱しながら対ロールでラミネート加工され、クッション材を得た。なお、対ロールにはエンボスロールは使用されていない、すなわち、軟質発泡ポリエチレンシートの両面には、表面が平滑である合成樹脂フィルムＢがラミネートされている。
続いて、得られたクッション材を直径３００ｍｍの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッシウェーハを得た。
【００３２】
(比較例１)
厚みが３ｍｍの軟質発泡ポリエチレンシート(アキレス社製のプロトスクッション（ＰＥ）：独立気泡)を、直径３００ｍｍの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材とした。
【００３３】
なお、この軟質発泡ポリエチレンシートの表面抵抗をＪＩＳ Ｋ ６９１１に準じて、ハイレスタ−ＵＰ（三菱化学社製のＭＣＰ−ＨＴ４５０型）を用いて測定した結果、１０７〜１０８Ωであった。
【００３４】
(比較例２)
厚みが３ｍｍで円状(直径３００ｍｍ)の軟質発泡ポリエチレンシート(Ｆｉｘｅｏｎ社製のＣＣＦ：独立気泡)を、ウェーハ保護クッション材として用いた。
【００３５】
なお、この軟質発泡ポリエチレンシートの表面抵抗をＪＩＳ Ｋ ６９１１に準じて、ハイレスタ−ＵＰ（三菱化学社製のＭＣＰ−ＨＴ４５０型）を用いて測定した結果、１０９〜１０１１Ωであった。
【００３６】
(比較例３)
厚みが３ｍｍの軟質発泡ポリウレタンシート(アキレス社製のプロトスクッション（ＰＵ）：連続気泡)を、直径３００ｍｍの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材とした。
【００３７】
なお、この軟質発泡ポリウレタンシートの表面抵抗をＪＩＳ Ｋ ６９１１に準じて、ハイレスタ-ＵＰ（三菱化学社製のＭＣＰ−ＨＴ４５０型）を用いて測定した結果、１０９〜１０１１Ωであった。
【００３８】
(比較例４)
厚みが３ｍｍの軟質発泡ポリエチレンシート(積水化成社製のライトロン Ｓ：独立気泡)を、直径３００ｍｍの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材とした。
【００３９】
なお、この軟質発泡ポリエチレンシートの表面抵抗をＪＩＳ Ｋ ６９１１に準じて、ハイレスタ-ＵＰ（三菱化学社製のＭＣＰ−ＨＴ４５０型）を用いて測定した結果、１０１３以上であった。
【００４０】
実施例１〜４、および比較例１〜４にて得られたクッション材について、１）発塵性、２）洗浄性、３）復元性の評価を行った。その結果を表１に示す。なお、評価方法と評価基準について、以下に示す通りである。
【００４１】
１）発塵性
得られたウェーハ保護クッション材を、側方散乱方式の気中パーティクルカウンタ（リオン社製：ＫＭ−２７型）により、片面を１分間ずつ(両面で２分間)吸引し、粒子径が０．５μｍ以上の発塵量を計測した。
【００４２】
２）洗浄性
得られたウェーハ保護クッション材を搬送容器に収納し、実使用を想定した輸送試験（ＪＩＳ Ｚ ０２３２準拠）後に搬送容器からクッション材を取り出し、続いて洗浄水で該クッション材を洗浄し、側方散乱方式の気中パーティクルカウンタ（リオン社製：ＫＭ−２７型）により、片面を１分間ずつ(両面で２分間)吸引し、粒子径が０．５μｍ以上の発塵量を計測した。
【００４３】
３）復元性
得られたウェーハ保護クッション材を、中央で半分に折り、１分後にシワの状態が回復するか否かを目視で観察した。
◎：シワの状態が回復した。
○：部分的にシワの状態が回復しない部分があった。
【００４４】
【表１】
0005976307.tif 000002
【符号の説明】
【００４５】
１   ウェーハ保護クッション材
２   軟質発泡シート
３   合成樹脂フィルム
Ｗ   ウェーハ
Ｓ   スペーサーシート
【図１】
0005976307.tif 000003
【図２】
0005976307.tif 000004
【図３】
0005976307.tif 000005
【図５】
0005976307.tif 000006
【図４】
0005976307.tif 000007