(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
指令値に応じて押圧力を可変に設けられたスキージを備え、回路基板の印刷範囲に位置決めされたマスクに前記スキージを摺動させてクリームはんだのスクリーン印刷を行うスクリーン印刷機であって、
前記押圧力に応じて前記回路基板が前記スキージから受ける印刷圧力を測定する印圧センサと、
前記印刷範囲の少なくとも一部の領域における前記スキージの位置と前記指令値の関係を示す制御データを、前記領域の全域に亘って測定された前記印刷圧力と予め設定されている前記印刷圧力の目標値とに基づいて補正するデータ補正部と、
補正された前記制御データに基づいて前記スクリーン印刷を制御する印刷制御部と、
を備えるスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記データ補正部は、前記領域の全域に亘って測定された前記印刷圧力を前記目標値に対して反転した印圧反転データに基づいて前記制御データを補正する、請求項１のスクリーン印刷機。
【請求項３】
前記データ補正部は、前記指令値の補正量に対する前記印刷圧力の変化量を示す印圧特性に基づいて前記制御データを補正する、請求項１または請求項２のスクリーン印刷機。
【請求項４】
前記印刷制御部は、前記スクリーン印刷の実行中において、測定された前記印刷圧力が前記目標値に対して許容範囲に収まるように前記指令値を修正するフィードバック制御を行い、
前記データ補正部は、前記制御データにおける前記指令値と前記フィードバック制御における前記指令値の修正値との偏差に基づいて前記制御データを補正する、請求項１〜請求項３の何れか一項のスクリーン印刷機。
【請求項５】
前記データ補正部は、複数回に亘る前記スクリーン印刷の際に測定された前記印刷圧力に基づいて前記制御データを補正する、請求項１〜請求項４の何れか一項のスクリーン印刷機。
【請求項６】
前記データ補正部は、複数回に亘る前記スクリーン印刷の際に測定された前記印刷圧力に基づいて、当該印刷圧力に含まれる突発的な変化を除去するフィルタリング処理部を有する、請求項５のスクリーン印刷機。
【請求項７】
前記データ補正部は、複数回に亘る前記スクリーン印刷の際に測定された前記印刷圧力の平均値と前記目標値との差分と、１未満に設定された係数との積に基づいて、前記制御データを補正する、請求項５または請求項６のスクリーン印刷機。
【請求項８】
前記スクリーン印刷機は、前記スクリーン印刷の際に摺動方向が反対となる一対の前記スキージを有し、
前記印刷制御部は、一対の前記スキージにそれぞれ設定された前記制御データに基づいて前記スクリーン印刷を制御する、請求項１〜請求項７の何れか一項のスクリーン印刷機。
【請求項９】
前記データ補正部は、一対の前記スキージのうち一方に設定された前記制御データを、前記印刷範囲における前記スキージの摺動方向中央に対して反転した制御反転データに基づいて、一対の前記スキージのうち他方の前記制御データを補正する、請求項８のスクリーン印刷機。
【請求項１０】
前記データ補正部は、前記回路基板の形状、前記回路基板の曲げ剛性、前記スクリーン印刷機における保持状態のうち少なくとも一つが含まれる印刷環境に基づいて、前記制御データを補正する、請求項１〜請求項９の何れか一項のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷機に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機の一形式として、特許文献１に示されているものが知られている。特許文献１の図１に示されているように、スクリーン印刷機は、指令値に応じて押圧力を可変に設けられたスキージ１７（スキージ部材）を備え、回路基板１０の印刷範囲に位置決めされたマスク１２（マスクプレート）にスキージ１７を摺動させてクリームはんだのスクリーン印刷を行うものである。特許文献１の図８−１０に示されているように、スクリーン印刷機においては、マスクプレート１２上で同一の印刷圧力が付与される範囲を区分し、区画ごとに押圧パラメータを設定する構成が開示されている。この場合、押圧パラメータとしてはエア圧がある。スクリーン印刷機においては、助走部分と印刷部分を区画したり、マスク厚の変化により区画したり、基板の高さ変化により区画したりするようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１４３１７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した特許文献１に記載されているスクリーン印刷機においては、区画ごとに異なるエア圧が付与される場合もあるものの、同一区画内では同一のエア圧が付与されるようになっている。しかし、同一区画内で一定のエア圧が付与されていても、回路基板１０の状態（形状（切り欠きの有無など）、パターン形状、部品搭載状態）、回路基板１０のバックアップ状態などに起因して、回路基板１０がスキージ１２から受ける実際の印刷圧力が、スクリーン印刷の印刷範囲内で変動するという問題があった。【０００５】
本発明は、上述した問題を解消するためになされたもので、スクリーン印刷機において、回路基板の状態や、回路基板のバックアップ状態などに起因して、実際の印刷圧力がスクリーン印刷の印刷範囲内で変動することを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、本発明に係るスクリーン印刷機は、指令値に応じて押圧力を可変に設けられたスキージを備え、回路基板の印刷範囲に位置決めされたマスクにスキージを摺動させてクリームはんだのスクリーン印刷を行うスクリーン印刷機であって、押圧力に応じて回路基板がスキージから受ける印刷圧力を測定する印圧センサと、印刷範囲の少なくとも一部の領域におけるスキージの位置と指令値の関係を示す制御データを、前記領域の全域に亘って測定された印刷圧力と予め設定されている印刷圧力の目標値とに基づいて補正するデータ補正部と、補正された制御データに基づいてスクリーン印刷を制御する印刷制御部と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明によるスクリーン印刷機の一実施形態を示す側面図である。
【図２】図１に示すスクリーン印刷機を構成する制御装置を示すブロック図である。
【図３】図２に示す制御装置において実行されるプログラム（テスト印刷）のフローチャートである。
【図４】制御データの一例を示す図である。
【図５】上段が制御データの一例を示す図であり、中段が下段に示す回路基板をスクリーン印刷する際の印圧データを示す図であり、下段がスクリーン印刷の対象となる回路基板およびクランプ部の上面図である。
【図６】図５に示す印圧データとその印圧反転データを示す図である。
【図７】補正された制御データの一例を示す図である。
【図８】一対の印刷用スキージの一方の制御データを左右反転させて生成された他方の制御データを示す図である。
【図９】図２に示す制御装置において実行されるプログラム（実印刷）のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明によるスクリーン印刷機の一実施形態について説明する。図１は、スクリーン印刷機の側面図である。図１に示すように、スクリーン印刷機１０は、基板昇降装置２０、バックアップ装置３０、クランプ装置４０、基板搬送装置５０、マスク装置６０、スキージ装置７０および制御装置９０を備えている。
【０００９】
基板昇降装置２０は、基台１１の上面に設けられている。基板昇降装置２０は、メインテーブル２１、メインテーブル用サーボモータ２２、ボールねじ部２３およびナット側テーブル２４を備えている。
【００１０】
メインテーブル２１は、長方形板状に形成されており、基台１１の上方に平行に配置され、基台１１の上面に対して上下方向に昇降される。メインテーブル２１の下面には、長方形板状に形成されたナット側テーブル２４が当接して配置されている。ナット側テーブル２４には、ボールねじ部２３のナット２３ｂが固定されている。
【００１１】
ボールねじ部２３は、ねじ軸２３ａ、ナット２３ｂ、および、ねじ軸２３ａとナット２３ｂとの間で転がり運動をする図示しないボールからなるボールねじである。ねじ軸２３ａの下端は、基台１１の上面に固定されているメインテーブル用サーボモータ２２の駆動軸に連結されている。メインテーブル用サーボモータ２２の駆動軸が軸まわりに回転すると、ねじ軸２３ａも一体的に軸まわりに回転することにより、ナット２３ｂはねじ軸２３ａの軸方向（上下方向）に沿って移動する。これにより、ナット側テーブル２４ひいてはメインテーブル２１が上下方向に移動する。
メインテーブル用サーボモータ２２には、メインテーブル用エンコーダ（図示省略）が設けられている。
【００１２】
バックアップ装置３０は、バックアップテーブル３１、複数のバックアップピン３２、バックアップテーブル用サーボモータ３３、ボールねじ部３４およびナット側テーブル３５を備えている。
【００１３】
バックアップテーブル３１は、長方形板状に形成されている。バックアップテーブル３１は、メインテーブル２１の上方に平行に配設され、メインテーブル２１に対して上下方向に相対的に移動する。バックアップテーブル３１の上面には、複数のバックアップピン３２が配置されている。バックアップピン３２は、回路基板Ｓを下方から支持するものである。バックアップテーブル３１は、長方形板状に形成されたナット側テーブル３５の上面に配置されている。ナット側テーブル３５には、ボールねじ部３４のナット３４ｂが固定されている。
【００１４】
ボールねじ部３４は、ねじ軸３４ａ、ナット３４ｂ、および、ねじ軸３４ａとナット３４ｂとの間で転がり運動をする図示しないボールからなるボールねじである。ねじ軸３４ａの下端は、ナット側テーブル２４の上面に固定されているバックアップテーブル用サーボモータ３３の駆動軸に連結されている。バックアップテーブル用サーボモータ３３の駆動軸が軸まわりに回転すると、ねじ軸３４ａも一体的に軸まわりに回転することにより、ナット３４ｂはねじ軸３４ａの軸方向（上下方向）に沿って移動する。これにより、ナット側テーブル３５ひいてはバックアップテーブル３１が上下方向に移動する。
バックアップテーブル用サーボモータ３３には、バックアップテーブル用エンコーダ（図示省略）が設けられている。
【００１５】
クランプ装置４０は、固定クランプ４１および可動クランプ４２を備えている。固定クランプ４１は、フレーム部４１ａおよびクランプ部４１ｂを備えている。可動クランプ４２は、フレーム部４２ａおよびクランプ部４２ｂを備えている。
【００１６】
フレーム部４１ａおよびフレーム部４２ａは、それぞれ下方に開口するほぼＵ字状に形成されている。フレーム部４１ａとフレーム部４２ａとは、バックアップテーブル３１を挟んで対向して配設されている。フレーム部４１ａはメインテーブル２１の一端縁（例えば前縁）から上方に向けて立設固定されている。フレーム部４２ａはメインテーブル２１の他端縁（たとえば後縁）から上方に向けて立設されている。このフレーム部４２ａは、図示しない駆動装置によって前後方向（図１にて左右方向）に移動可能である。
【００１７】
クランプ部４１ｂは、細長い板状に形成されてフレーム部４１ａの上端に固定されている。クランプ部４２ｂは、細長い板状に形成されてフレーム部４２ａの上端に固定されている。両クランプ部４１ｂ，４２ｂは、互いに平行に対向して配設されており、回路基板Ｓを両側からはさみ込んで固定する。
【００１８】
基板搬送装置５０は、一対のコンベアベルト５１，５２を備えている。コンベアベルト５１，５２は、それぞれ左右方向（基板搬送方向）に延在している。コンベアベルト５１は固定クランプ４１のフレーム部４１ａの後面上縁に、コンベアベルト５２は可動クランプ４２のフレーム部４２ａの前面上縁に、それぞれ配置されている。一対のコンベアベルト５１，５２は、互いに平行に対向している。回路基板Ｓは、一対のコンベアベルト５１，５２間に架設されている。回路基板Ｓは、一対のコンベアベルト５１，５２により、左側（上流側）から右側（下流側）に搬送される。
【００１９】
マスク装置６０は、フレーム６１、メッシュ６２およびスクリーンマスク６３を備えている。マスク装置６０は、クランプ装置４０の上方に配置されている。フレーム６１は、長方形枠状に形成されている。メッシュ６２は、長方形枠状に形成されている。メッシュ６２は、フレーム６１の枠内に配置されている。スクリーンマスク６３は、長方形薄板状に形成されている。スクリーンマスク６３は、メッシュ６２に張設されている。スクリーンマスク６３には、多数のパターン孔（図略）が形成されている。パターン孔は、回路基板Ｓの印刷位置に応じて、所定のパターンで配置されている。
【００２０】
マスク装置６０は、マスク保持台１４によって支持されている。マスク保持台１４は矩形の枠体であり、その上にフレーム６１を載置して位置決め固定するようになっている。また、スクリーンマスク６３の上には、図略の半田供給装置よりペースト状のクリームはんだＨが供給されるようになっている。マスク保持台１４は、基台１１から上方に向けて立設されている一対のフレーム１２，１３に固定されている。フレーム１２とフレーム１３との間に、基板昇降装置２０、バックアップ装置３０、クランプ装置４０、基板搬送装置５０、マスク装置６０およびスキージ装置７０が配設されている。
【００２１】
スキージ装置７０は、図１に示すように、スライド７１と、スライド７１に保持される第１の昇降装置７２及び第２の昇降装置７３と、第１の昇降装置７２に保持される第１の印刷用スキージ７４と、第２の昇降装置７３に保持される第２の印刷用スキージ７５と、スライド７１をＹ軸方向に送るスライド送り装置７６を備えている。スライド送り装置７６は、ボールねじ機構７６ａと駆動源としてのスキージ用サーボモータ７６ｂとを含み、スキージ用サーボモータ７６ｂの回転がボールねじ機構７６ａにより直線運動に変換されて、スライド７１がＹ軸方向に移動する。また、このスキージ用サーボモータ７６ｂは制御装置９０によって制御される。
【００２２】
スライド７１の移動は、スライド７１の両側にＹ軸方向に延在するガイドレール７７と、スライド７１の両側面に夫々固定されてガイドレール７７に相対移動可能に夫々嵌合する図略のガイドブロックとにより案内される。ガイドレール７７は、フレーム１２とフレーム１３との間に装架されている。
【００２３】
スキージ用サーボモータ７６ｂには、スキージ用エンコーダ７６ｂ１が設けられている。スキージ用エンコーダ７６ｂ１は、第１および第２の印刷用スキージ７４，７５のＹ軸方向の位置を検出するものであり、その検出結果は制御装置９０に出力されるようになっている。なお、この位置を検出するセンサとして、赤外線などを使用する測距センサを用いてもよい。
【００２４】
スライド７１には一対の側壁及び天壁を備えて下方に開口するほぼＵ字状に形成されたフレーム７８が固定されている。スライド７１に固定されるフレーム７８には、第１の昇降装置７２及び第１の印刷用スキージ７４と、第２の昇降装置７３及び第２の印刷用スキージ７５とが、スキージ装置７０の移動方向（摺動方向）に直交する面に対して左右対称に設けられている。これらの昇降装置７２,７３及び印刷用スキージ７４,７５は構成が同じであり、第１の昇降装置７２及び第１の印刷用スキージ７４を代表例として説明する。
【００２５】
第１の昇降装置７２は、図１に示すように、エアが封入されるシリンダ部７９と封入されるエアの圧力によりシリンダ部７９内を摺動するピストン部８１とを有している。このピストン部８１の下端部にはガイドロッド８２が固定され、ガイドロッド８２はスライド７１に立設された案内筒８３に摺動可能に嵌合されて第１の印刷用スキージ７４の昇降を案内するようになっている。第１の昇降装置７２の下部には、スキージ保持部材８４が着脱可能に組み付けられている。スキージ保持部材８４は、第１の印刷用スキージ７４を保持する。第１の印刷用スキージ７４は、長方形薄板状に形成されたスキージ本体部を備えている。
【００２６】
さらに、第１の昇降装置７２には、印刷用スキージ７４の押圧力に応じて回路基板Ｓが第１の印刷用スキージ７４から受ける印刷圧力を測定する印圧センサ８５が設けられている。印圧センサ８５の検出結果は制御装置９０に出力されるようになっている。印圧センサ８５としては、例えばロードセルを使用する。印圧センサ８５は、ガイドロッド８２に設けるのが望ましい。印圧センサ８５は、スキージ装置７０側でなく、バックアップ装置３０側に設けるようにしてもよい。例えば、バックアップピン３２や、バックアップテーブル３１に設けるようにすればよい。
【００２７】
シリンダ部７９は、エア圧供給源８６に連通され、シリンダ部７９とエア圧供給源８６との間に設けたレギュレータ８７によりエアの供給が調整されるようになっている。また、エア圧供給源８６としては、エアポンプ、アキュムレータ、コンプレッサなどがある。なお、このレギュレータ８７は制御装置９０により制御される。これにより、第１の印刷用スキージ７４は、制御装置９０からの指令値に応じて押圧力を可変に制御することができる。
【００２８】
制御装置９０は、スクリーン印刷機１０によるスクリーン印刷の制御を行う。スクリーン印刷は、回路基板Ｓの印刷範囲に位置決めされたスクリーンマスク６３に第１の印刷用スキージ７４（または７５）を摺動させてクリームはんだを塗布することである。制御装置９０は、図２に示すように、上述したスキージ用エンコーダ７６ｂ１、印圧センサ８５、各サーボモータ２２，３３，７６ｂ、レギュレータ８７および記憶装置９０ａが接続されている。また、制御装置９０はマイクロコンピュータ（図示省略）を有しており、マイクロコンピュータは、バスを介してそれぞれ接続された入出力インターフェース、ＣＰＵ、ＲＡＭおよびＲＯＭ（いずれも図示省略）を備えている。
【００２９】
制御装置９０は、データ補正部９１および印刷制御部９２を備えている。データ補正部９１は、印刷範囲の少なくとも一部の領域（すなわち印刷範囲の全部または一部の領域）における印刷用スキージ７４，７５の位置と指令値の関係を示す制御データを、前記領域の全域に亘って測定された印刷圧力と予め設定されている印刷圧力の目標値とに基づいて補正する。印刷制御部９２は、補正された制御データに基づいてスクリーン印刷を制御する。
【００３０】
上記のように構成されたスクリーン印刷機１０の基本的な作動について、説明する。本実施形態におけるスクリーン印刷機１０を使用して、回路基板Ｓに印刷剤としてペースト状のクリームはんだＨを印刷する場合には、スクリーンマスク６３は固定されているマスク保持台１４上に位置決めされ、そのスクリーンマスク６３の上に半田供給装置よりクリームはんだＨが載せられる。
【００３１】
スキージ装置７０において、スライド７１はスクリーンマスク６３の印刷範囲中、Ｙ軸方向において一方の端に位置し、第１の印刷用スキージ７４及び第２の印刷用スキージ７５は、いずれも上昇端に位置される。そして、回路基板Ｓが、基板搬送装置５０により所定位置まで搬入される。バックアップ装置３０を上昇させ、所定位置にある回路基板Ｓを、クランプ装置４０のクランプ部４１ｂ、４２ｂの上面とほぼ面一（回路基板Ｓの方が若干上となる）となる位置まで上昇させる。クランプ装置４０の可動クランプ４２を移動させ、クランプ部４１ｂ、４２ｂにより回路基板Ｓを保持する。基板昇降装置２０を上昇させ、回路基板Ｓの上面がスクリーンマスク６３の下面に接触する印刷位置に位置決め保持する。
【００３２】
続いて、レギュレータ８７が調整されて、第１の昇降装置７２により第１の印刷用スキージ７４が下降されて、第１の印刷用スキージ７４の下端がスクリーンマスク６３の上面に接触する状態となる。このとき、第２の印刷用スキージ７５は上昇端に保持されたままの状態にある。続いて、スキージ用サーボモータ７６ｂを駆動させて、図１に示すように、スライド７１をＹ軸方向（図１において左方向）に移動させ、第１の印刷用スキージ７４及び第２の印刷用スキージ７５をＹ軸方向に移動させる。このとき、第１の印刷用スキージ７４の下端部が、スクリーンマスク６３の表面に接触しながら摺動し、スクリーンマスク６３上に置かれたクリームはんだＨを回路基板Ｓに形成されたパターン孔に押し込んで、回路基板Ｓの表面に印刷を行う。
【００３３】
さらに、上述したスクリーン印刷機１０のテスト印刷動作の一例について、図３に示すフローチャートに沿って説明する。
制御装置９０は、ステップＳ１０２において、テスト印刷用の制御データを記憶装置９０ａから取得する（読みだす）。テスト印刷用の制御データＡは、スキージ位置（Ｙ軸方向の位置）と指令値との関係を示すデータである。指令値は、所望のエア圧力を発生させるための制御指令値である。例えば、図４に示すように、テスト印刷用の制御データＡは、指令値が一定であるものである。なお、後述するように、テスト印刷用の制御データＡは、回路基板Ｓの形状、回路基板Ｓの曲げ剛性、スクリーン印刷機における保持状態のうち少なくとも一つが含まれる印刷環境に基づいて補正されたものを使用するようにしてもよい。
【００３４】
制御装置９０は、ステップＳ１０４において、テスト印刷用の制御データＡに基づいてテスト印刷を実行する。具体的には、印刷圧力が制御データの指令値に対応したエア圧力の目標値となるように、レギュレータ８７を制御してスキージ装置７０の押圧力を調整する。すなわち、制御装置９０は、図４に示す一定の指令値に対応したエア圧力値の押圧力にてスクリーン印刷を行う。
【００３５】
制御装置９０は、ステップＳ１０６において、印圧データを取得する。印圧データは、印刷範囲の全域に亘って印圧センサ８５によって測定された印刷圧力のデータであり、スキージ位置と測定された印刷圧力（実際の印刷圧力）との関係を示すデータである。例えば、図５に示すように、一定の指令値に対応する押圧力（圧力の目標値）を付与した場合には、実際の印刷圧力は圧力の目標値とはずれる場合、すなわち、指令値どおりに実際の印刷圧力がかからない場合がある。
【００３６】
この場合の例を説明する。印刷開始時点においては印刷用スキージ７４（７５）がクランプ部４１ｂ（４２ｂ）に接触しているが、印刷が進むと回路基板Ｓに接触する。このとき、クランプ部４１ｂ（４２ｂ）の長手方向長さは載置できる最大回路基板Ｓに設定されているため、回路基板Ｓの長手方向長さはクランプ部４１ｂ（４２ｂ）より短い場合がある（図５下段参照）。この場合には、回路基板Ｓにおける接触長さがクランプ部４１ｂと比較して短くなり、実際の印刷圧力は小さくなる。なお、回路基板Ｓに切り欠きがある場合（図５下段参照）も同様である。
【００３７】
また、クランプ４１，４２によって保持されている回路基板Ｓにおいて、クランプ部４１ｂ、４２ｂの上面より回路基板Ｓの上面が高くなるように設定している場合、印刷用スキージ７４（７５）がクランプ部４１ｂ（４２ｂ）に乗りあがる際には、印刷用スキージ７４（７５）に上方に持ち上がる反力が作用する。この場合には、実際の印刷圧力は大きくなる。
【００３８】
また、回路基板Ｓの曲げ剛性がスキージ位置の方向に沿って異なる場合（例えば、下面に既に実装されている場合、銅箔パターンの配設状況が異なる場合など）にも、印刷用スキージ７４（７５）に上方に持ち上がる反力が異なるため、実際の印刷圧力はスキージ位置によって異なる。また、回路基板Ｓを支持するバックアップピン３２によって支持されているか否かによっても、印刷用スキージ７４（７５）に上方に持ち上がる反力が異なるため、実際の印刷圧力はスキージ位置によって異なる。
【００３９】
例えば、図５中段に示す印圧データは、印刷用スキージ７４が図１右側から左側に印刷する際のデータである。全体的に、目標値より実際の印刷圧力は小さい。印刷用スキージ７４が最初のクランプ部４２ｂから回路基板Ｓに乗り上げる際には、実際の印刷圧力は瞬間的に大きくなる。印刷用スキージ７４が回路基板Ｓに乗り上がると、接触長さが短くなるため、実際の印刷圧力は最初のクランプ部４２ｂと比較して小さくなる。さらに、印刷用スキージ７４が回路基板Ｓの切り欠き部に達すると、さらに接触長さが短くなるため、実際の印刷圧力はさらに小さくなる。印刷用スキージ７４が回路基板Ｓの切り欠き部を通り過ぎると、接触長さが切り欠き前のもとの値に戻るため、実際の印刷圧力は大きくなり、切り欠き前のもとの大きさに戻る。そして、印刷用スキージ７４が回路基板Ｓから最後のクランプ部４１ｂに移行する際には、実際の印刷圧力は大きくなる。
【００４０】
制御装置９０は、ステップＳ１０８にて、ステップＳ１０６にて取得した印圧データから印圧反転データを生成する。具体的には、印圧データを目標値に対して上下反転させて印圧反転データを生成する。図６に印圧反転データを示す。
さらに、制御装置９０は、ステップＳ１１０にて、ステップＳ１０８にて生成した印圧反転データから制御データＢを生成する。具体的には、印圧反転データは印刷圧力であるので、発生させるべきエア圧力に相当する制御指令値に変換して制御データＢを生成する。図７に制御データを示す。要するに、制御装置９０は、指令値の補正量に対する印刷圧力の変化量を示す印圧特性に基づいて制御データを補正することになる。印刷特性は指令値に対する印刷圧力の変換係数である。指令値と印刷圧力が同じ値となる場合には、その変換係数は１である。
【００４１】
このように、上述したステップＳ１０２からステップＳ１１０までの処理によって、一対の印刷用スキージ７４，７５のうち一方の印刷用スキージ７４の制御データＢを生成することができる。そして、制御装置９０は、このようにして生成した制御データＢを用いて上述したスクリーン印刷を行う。
【００４２】
なお、一方の印刷用スキージ７４の制御データＢと同様に、上述したステップＳ１０２からステップＳ１１０までの処理によって、他方の印刷用スキージ７５の制御データＣを生成することができる。
また、他方の印刷用スキージ７５の制御データＣは、一方の印刷用スキージ７４の制御データＢを左右反転したものを利用することで生成することもできる。このとき、上述したステップＳ１０２において、一定の指令値（制御データＡ）の代わりに制御データＢを左右反転したもの（制御データＣ）を使用すればよい（図８参照）。また、上述したステップＳ１１０において、制御データＣに上述した印圧反転データの値を加算して補正するようにしてもよい。
【００４３】
さらに、上述したスクリーン印刷機１０の実印刷の一例について、図９に示すフローチャートに沿って説明する。
制御装置９０は、ステップＳ２０２において、テスト印刷にて生成された制御データＢ（または制御データＣ）を記憶装置９０ａから取得する。制御装置９０は、ステップＳ２０４において、実際にスクリーン印刷を実行する。このとき、ステップＳ２０２にて取得した制御データＢ（または制御データＣ）に基づいてスクリーン印刷を実行する。このとき、制御装置９０は、フィードバック制御を行っている。具体的には、制御装置９０は、スクリーン印刷の実行中において、測定された印刷圧力（印刷範囲に亘ってスキージ位置と関係付けされた）が目標値に対して許容範囲に収まるように指令値を修正するフィードバック制御を行う。この修正値は、指令値の修正値であり、印刷圧力の目標値と測定された印刷圧力との差分に相関がある値である。
さらに、ステップＳ２０４において、制御装置９０は、ステップＳ２０２における指令値の修正値とスキージ位置との関係である修正値データを生成して記憶装置９０ａに記憶する。この修正値データは、回路基板Ｓ毎に生成されている。また、制御装置９０は、測定された印刷圧力もスキージ位置と関係付けして記憶装置９０ａに記憶する。
【００４４】
制御装置９０は、ステップＳ２０６において、先に生成した修正値データによって制御データを補正する。すなわち、制御データにおける指令値とフィードバック制御における指令値の修正値との偏差に基づいて制御データを補正する。つまり、スキージ位置毎において、制御データの指令値と修正値データの修正値との偏差に基づいて制御データの指令値を補正する。
【００４５】
次に、制御装置９０は、ステップＳ２０８からステップＳ２１２までの処理によって、印圧データを統計的に処理して制御データの補正に使用する。
制御装置９０は、過去ｎ回分（ｎは２以上であり（複数回）、例えば１０である。）の印圧データを記憶装置９０ａから取得し（ステップＳ２０８）、フィルタリング処理を行う（ステップＳ２１０）。このフィルタリング処理は、複数回に亘るスクリーン印刷の際に測定された印刷圧力に基づいて、当該印刷圧力に含まれる突発的な変化を除去する。具体的には、例えば過去ｎ回分の平均値を中心とする所定範囲から外れたり、過去ｎ回分の標準偏差から外れたりする印圧データを除去する。このとき、印圧データ全体を除去してもよいし、印圧データの一部分を除去するようにしてもよい。
【００４６】
制御装置９０は、ステップＳ２１２において、複数回（例えば１０回）に亘るスクリーン印刷の際に測定された印刷圧力（印圧データ）の平均値と目標値との差分に、１未満に設定された係数（例えば０．５）を乗算する。これにより、必要以上の補正を抑制することができ、ひいては補正が発振するのを抑制することができる。
【００４７】
制御装置９０は、ステップＳ２１４において、ステップＳ２１２の積を用いて印圧反転データを生成する。この積は平均値と目標値との差分に係数を乗算したものであるので、差分の正負を反対にすれば印圧反転データを得ることができる。
【００４８】
制御装置９０は、ステップＳ２１６において、ステップＳ２１４にて生成した印圧反転データによって制御データを補正する。具体的には、印圧反転データは印刷圧力であるので、発生させるべきエア圧力に相当する制御指令値に変換して制御データを生成する。上述したステップＳ２０６で補正した制御データをこの生成された制御データに加算して制御データを補正する。
上述したステップＳ２０４からステップＳ２１６までの処理は、実印刷が終了するまで（ステップＳ２１８にて「ＹＥＳ」と判定するまで）、繰り返し実行される。
【００４９】
本実施形態によれば、データ補正部９１が、回路基板Ｓの印刷範囲におけるスキージ７４，７５の位置と指令値の関係を示す制御データを、印刷範囲の全域に亘って測定された印刷圧力と予め設定されている印刷圧力の目標値とに基づいて補正する。印刷制御部９２が、補正された制御データに基づいてスクリーン印刷を制御する。これにより、回路基板Ｓの印刷範囲の全域に亘って測定された印刷圧力と予め設定されている印刷圧力の目標値とに基づいて補正された制御データを使用して、スクリーン印刷が制御される。すなわち、スキージ７４（または７５）の各位置における指令値に相当する印刷圧力の目標値と測定した実際の印刷圧力とを比較した結果に基づいて指令値を補正することで、その補正された指令値を使用して実際に付与される印刷圧力の一定化を図ることができる。よって、回路基板Ｓの状態や、回路基板Ｓのバックアップ状態などに起因して、実際の印刷圧力がスクリーン印刷の印刷範囲内で変動することを抑制することができる。
【００５０】
また、生産基板種や生産状態の設定により定常的に発生する印刷誤差を予め予測し制御データに反映させるため、生産中に発生する誤差は回路基板Ｓ個々の状態に起因する誤差のみとなり、印刷精度が向上する。
【００５１】
なお、制御データは、誤差（印刷圧力変動）がスキージの接触長さに起因する場合には、接触長さと誤差との関係をデータベース化するのが望ましい。また、誤差が基板の段差などの高さに起因する場合には、高さと誤差との関係をデータベース化するのが望ましい。
【００５２】
また、データ補正部９１は、印刷範囲の全域に亘って測定された印刷圧力を目標値に対して反転した印圧反転データに基づいて制御データを補正する（ステップＳ１０６−１１０）。これにより、指令値の補正の効率化を図ることができる。
【００５３】
また、データ補正部９１は、指令値の補正量に対する印刷圧力の変化量を示す印圧特性に基づいて制御データを補正する（ステップＳ１１０、２１６）。これにより、指令値の補正精度の向上を図ることができる。すなわち、指令値と印刷圧力（測定値）に相関があることを明確にすることができる。スキージ装置７０の構成によっては、指令値が測定値と同じ圧力[Ｎ]（または[Ｐａ]）である場合もあり、一方、スキージのＺ位置（上下方向位置）をもって印圧を変動させる構成を想定した場合には、測定値に対応した指令値に変換する必要がある。そこで、指令値と測定値を関連付ける印圧特性を有することで、両者に相関があり、制御データの補正が可能となる。
【００５４】
また、印刷制御部９２は、スクリーン印刷の実行中において、測定された印刷圧力が目標値に対して許容範囲に収まるように指令値を修正するフィードバック制御を行い（ステップＳ２０４）、データ補正部９１は、制御データにおける指令値とフィードバック制御における指令値の修正値との偏差に基づいて制御データを補正する（ステップＳ２０６）。これにより、フィードバック制御における指令値の修正値をも加味して指令値を補正することができ、ロット内での指令値の補正を最適化することができる。よって、印刷時の実印刷圧力に基づいて指令値を補正するので、生産を繰り返す毎に指令値の確度を向上することができる。
【００５５】
また、データ補正部９１は、複数回に亘るスクリーン印刷の際に測定された印刷圧力に基づいて制御データを補正する（ステップＳ２０８，２１６）。これにより、生産中の最新の状態を反映して、すなわち統計的に補正の高精度化を図ることができる。また、回路基板Ｓ個々に発生する突発的な誤差をより抑制することができる。
【００５６】
また、データ補正部９１は、複数回に亘るスクリーン印刷の際に測定された印刷圧力に基づいて、当該印刷圧力に含まれる突発的な変化を除去するフィルタリング処理部（ステップＳ２１０）を有する。これにより、突発変化を除去することで最新の状態を反映してより補正の高精度化を図ることができる。
【００５７】
また、データ補正部９１は、複数回に亘るスクリーン印刷の際に測定された印刷圧力の平均値と目標値との差分と、１未満に設定された係数との積（ステップＳ２１２）に基づいて、制御データを補正する（ステップＳ２１６）。これにより、補正される指令値の振動・発散を防止することができる。
【００５８】
また、スクリーン印刷機１０は、スクリーン印刷の際に摺動方向が反対となる一対の印刷用スキージ７４，７５を有し、印刷制御部９２は、一対の印刷用スキージ７４，７５にそれぞれ設定された制御データに基づいてスクリーン印刷を制御する。これにより、各印刷用スキージ７４，７５に対応した個別の印刷制御を適切に行うことができる。
【００５９】
また、データ補正部９１は、一対の印刷用スキージ７４，７５のうち一方に設定された制御データを、印刷範囲におけるスキージの摺動方向中央に対して反転した制御反転データに基づいて、一対の印刷用スキージのうち他方の制御データを補正する。これにより、制御データの生成・補正の効率化を図ることができる。
【００６０】
また、データ補正部９１は、回路基板Ｓの形状、回路基板Ｓの曲げ剛性、スクリーン印刷機１０における保持状態のうち少なくとも一つが含まれる印刷環境に基づいて、制御データを補正する。これにより、種々の印圧変動要素を勘案して、指令値の補正を適切に行うことができる。
【００６１】
なお、上述した実施形態においては、制御装置９０は、印刷範囲の全域に係る制御データを、印刷範囲の全域に亘って測定された印刷圧力を用いて補正したが、印刷範囲の少なくとも一部の領域に係る制御データを、その領域の全域に亘って測定された印刷圧力を用いて補正するようにしてもよい。この場合、印刷圧力を測定された領域（印刷範囲の少なくとも一部の領域）におけるスキージ位置と実際の印刷圧力との関係を示す印圧データを取得し、その印圧データから、前記測定された領域に対応する印圧反転データを生成し、前記測定された領域に対応した制御データを生成するようにすればよい。
【００６２】
これによれば、データ補正部９１が、回路基板Ｓの印刷範囲の少なくとも一部の領域におけるスキージ７４，７５の位置と指令値の関係を示す制御データを、前記領域の全域に亘って測定された印刷圧力と予め設定されている印刷圧力の目標値とに基づいて補正する。印刷制御部９２が、補正された制御データに基づいてスクリーン印刷を制御する。これにより、回路基板Ｓの印刷範囲の少なくとも一部の領域の全域に亘って測定された印刷圧力と予め設定されている印刷圧力の目標値とに基づいて補正された制御データを使用して、スクリーン印刷が制御される。すなわち、回路基板Ｓの印刷範囲の少なくとも一部の領域において、スキージ７４（または７５）の各位置における指令値に相当する印刷圧力の目標値と測定した実際の印刷圧力とを比較した結果に基づいて指令値を補正することで、その補正された指令値を使用して実際に付与される印刷圧力の一定化を図ることができる。よって、回路基板Ｓの状態や、回路基板Ｓのバックアップ状態などに起因して、実際の印刷圧力がスクリーン印刷の印刷範囲内で変動することを抑制することができる。
【００６３】
また、生産基板種や生産状態の設定により定常的に発生する印刷誤差を予め予測し制御データに反映させるため、生産中に発生する誤差は回路基板Ｓ個々の状態に起因する誤差のみとなり、印刷精度が向上する。
【００６４】
また、上述した実施形態においては、スキージ装置はエア圧によって押圧力を付与する構成であるが、ボールねじで位置決め移動される付勢部材（ばね、ゴムなど）の付勢力によって押圧力を付与する構成としてもよい。
【００６５】
また、上述した実施形態においては、複数回の実測値をフィルタリング処理するようにしたが、複数の実測値について重み付けをするようにしてもよい。
【００６６】
また、印刷圧力を測定するタイミングとしては、上述したテスト印刷時（段取り替え）の他に、はんだの練込時、測定コマンド（印刷測定専用の動作）時、実印刷時がある。
【符号の説明】
【００６７】
Ｓ…回路基板、１０…スクリーン印刷機、１１…基台、１２，１３…フレーム、１４…マスク保持台、２０…基板昇降装置、２１…メインテーブル、２２…メインテーブル用サーボモータ、２３…ボールねじ部、２３ａ…ねじ軸、２３ｂ…ナット、２４…ナット側テーブル、３０…バックアップ装置、３１…バックアップテーブル、３２…バックアップピン、３３…バックアップテーブル用サーボモータ、３４…ボールねじ部、３４ａ…ねじ軸、３４ｂ…ナット、３５…ナット側テーブル、４０…クランプ装置、４１…固定クランプ、４１ａ…フレーム部、４１ｂ…クランプ部、４２…可動クランプ、４２ａ…フレーム部、４２ｂ…クランプ部、５０…基板搬送装置、５１，５２…コンベアベルト、６０…マスク装置、６１…フレーム、６２…メッシュ、６３…スクリーンマスク（マスク）、７０…スキージ装置、７１…スライド、７２，７３…第１および第２の昇降装置、７４，７５…第１および第２の印刷用スキージ（スキージ）、７６…スライド送り装置、７６ａ…ボールねじ機構、７６ｂ…スキージ用サーボモータ、７６ｂ１…スキージ用エンコーダ、７７…ガイドレール、７８…フレーム、７９…シリンダ部、８１…ピストン部、８２…ガイドロッド、８３…案内筒、８４…スキージ保持部材、８５…印圧センサ、８６…エア圧供給源、８７…レギュレータ、９０…制御装置、９０ａ…記憶装置、９１…データ補正部、９２…印刷制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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