(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１端子群を備えて入射面に入射する放射線を検出して電気信号を出力する放射線検出パネルと、
前記放射線検出パネルの前記入射面の反対側の面を支持する支持板と、
第２端子群を備えて前記支持板の前記放射線検出パネルの反対側に位置して前記放射線検出パネルを駆動する回路基板と、
前記第１端子群と前記第２端子群との間を前記支持板の外縁よりも外側を通って延びて電気的に接続するフレキシブル基板と、
前記回路基板に沿って延びる板状の固定部と前記回路基板から前記支持板に向かう方向に前記固定部から起立して前記回路基板上に位置する素子の少なくとも一部と前記フレキシブル基板との間を横切って延びる板状の遮蔽部とを有する導電性のノイズ遮蔽体と、
前記フレキシブル基板に実装され、前記放射線検出パネルが出力した電気信号を積分して増幅する積分アンプと、
を具備し、
前記フレキシブル基板と、前記積分アンプとは、前記遮蔽部を挟んで前記素子側とは反対側に設けられていることを特徴とする放射線検出装置。
【請求項２】
前記遮蔽部は前記第２端子群の端子の配列方向に沿って延びることを特徴とする請求項１に記載の放射線検出装置。
【請求項３】
前記回路基板にはグランドが露出した部分が形成され、前記固定部は前記回路基板の前記グランドが露出した部分に接触し、前記支持板は前記回路基板に対向する側に位置して放射線を遮蔽する金属製の放射線遮蔽板を有し、前記ノイズ遮蔽体は前記放射線遮蔽板に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載の放射線検出器。
【請求項４】
前記固定部と前記支持板との間に延びる導電性のスペーサを具備することを特徴とする請求項３に記載の放射線検出器。
【請求項５】
前記固定部と前記遮蔽部とが押出し成型および板材の曲げ加工のいずれかにより一体として形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の放射線検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の各実施の形態は、放射線検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
放射線、特にＸ線を検出する診断用検出器としてアクティブマトリックスを用いたＸ線画像検出器が大きな注目を集めている。平面状の検出器にＸ線を当てることで、Ｘ線撮影像またはリアルタイムのＸ線画像がデジタル信号として出力される。このＸ線画像検出器は、固体検出器であることから、画質性能や安定性の面でも極めて期待が大きい。このため、多くの大学やメーカーが研究開発に取り組んできた。
【０００３】
実用化の最初の用途として、比較的大きな線量で静止画像を収集する胸部・一般撮影用に開発され、近年商品化されている。より高い技術的なハードルをクリアして、透視線量下で秒３０コマ以上のリアルタイム動画を実現させる必要のある循環器、消化器分野への応用に対しても近い将来に商品化が予想される。この動画用途に対しては、Ｓ／Ｎの改善や微小信号のリアルタイム処理技術などが重要な開発項目となっている。
【０００４】
放射線、特にＸ線を検出する放射線検出装置は、工業用の非破壊検査や医療診断、構造解析などの化学研究用など広い分野で利用されている。放射線検出装置の中でも、高感度で高精細な装置として、光電変換素子部を有する平面型光検出器上に蛍光体層が直接形成された放射線検出パネルを備えた放射線検出装置が知られている。この放射線検出装置の蛍光体層では、放射線を光電変換素子部で検出可能な光に変換する。また、この放射線検出装置の光電変換素子部では、複数のフォトセンサおよびＴＦＴ（Thin Film Transistor：薄膜トランジスタ）を備えた画素がガラス基板上に２次元的に配置されている。各画素のスイッチング素子は、行を表すゲート線と列を表す信号線に接続されている。ゲート線と信号線は格子状に配置され、格子状に配置している各画素に接続されている。
【０００５】
平面型光検出器上にＸ線を可視光に変換する蛍光体を積層することにより、外部から入射したＸ線は蛍光体内部にて可視光に変換され、発生した可視光は平面型光検出器に入射する。この平面型光検出器内部のフォトダイオードにて入射した可視光は電荷に変換され、フォトダイオード内部もしくは並列接続されている容量素子内部に蓄積される。電荷に変換されたＸ線画像情報は、フォトダイオードに接続されているスイッチング素子（ＴＦＴ）を通して基板外部へと伝達される。ゲート線の電位が変化することで、電位の変化したゲート線に接続されたＴＦＴは導通状態となり、導通状態となったＴＦＴに接続されているフォトダイオードもしくは容量素子内部に蓄積された電荷はＴＦＴを通して外部に出力される。外部に出力された電荷はＴＦＴに接続している信号線を通してガラス基板外部へと出力される。
【０００６】
ガラス基板外部に出力された電荷信号は、各信号線に接続された積分増幅器へと入力される。積分増幅器に入力された電荷情報は増幅され、電位信号に変換されて出力される。積分増幅器から出力された電位信号はアナログ、デジタル変換機にてデジタル値に変換され、最終的には画像信号として編集されてＸ線画像検出器の外部へと出力される。放射線検出パネルは板状の支持部材の一面に支持され、支持部材の他面に放射線検出パネルを駆動する回路基板が支持され、これらの放射線検出パネルと回路基板がフレキシブル回路基板にて電気的に接続されている。
【０００７】
この放射線検出パネルを支持する支持部材や、放射線検出パネルに接続されている回路基板を外部から保護し、一体となるよう金属や樹脂部品を組合せることで放射線検出装置の筐体が構成されている。放射線検出パネル基板から外部に出力された電荷信号にノイズが与えられると、画像信号に欠点もしくは異常値が発生する可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−２８７３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
放射線検出装置を駆動させると、回路基板から放射線検出パネル外部に出力された電荷信号に影響を与えるノイズが発生する。放射線検出パネルにて検出された微小な電荷信号を回路基板へ伝達するフレキシブル回路基板は、前記ノイズの影響を受け、ノイズ成分の多い画像信号を取得してしまう可能性がある。
【００１０】
また、回路基板は拡張性や生産性を考慮して複数枚で構成されることが多い。複数枚で構成される回路基板は、必要機能を回路基板毎に分割し、回路基板を結合することで一つの駆動回路として機能している。これら分割された回路基板に対して、各々が異なったグランド電圧を持つと、前記積分増幅器から出力された電位信号が分割された回路基板ごとにシフトした画像信号を取得してしまう可能性がある。
【００１１】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、フレキシブル基板を流れる電気信号に与えるノイズの影響を低減した放射線検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、実施形態の放射線検出装置は、第１端子群を備えて入射面に入射する放射線を検出して電気信号を出力する放射線検出パネルと、前記放射線検出パネルの前記入射面の反対側の面を支持する支持板と、第２端子群を備えて前記支持板の前記放射線検出パネルの反対側に位置して前記放射線検出パネルを駆動する回路基板と、前記第１端子群と前記第２端子群との間を前記支持板の外縁よりも外側を通って延びて電気的に接続するフレキシブル基板と、前記回路基板に沿って延びる板状の固定部と前記回路基板から前記支持板に向かう方向に前記固定部から起立して前記回路基板上に位置する素子の少なくとも一部と前記フレキシブル基板との間を横切って延びる板状の遮蔽部とを有する導電性のノイズ遮蔽体と、前記フレキシブル基板に実装され、前記放射線検出パネルが出力した電気信号を積分して増幅する積分アンプと、を具備する。
そして、前記フレキシブル基板と、前記積分アンプとは、前記遮蔽部を挟んで前記素子側とは反対側に設けられている。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態による放射線検出装置の図２のＩ−Ｉ矢視断面図である。
【図２】図１のII−II矢視平面図である。
【図３】第１の実施形態による放射線検出装置のブロック図である。
【図４】第１の実施の形態による放射線検出パネルの模式的斜視図である。
【図５】第１の実施形態による画像検出部の回路図である。
【図６】第１の実施形態による放射線検出パネルの平面図である。
【図７】本第１の実施形態による回路基板の平面図である。
【図８】第１の実施形態の放射線検出装置の変形例におけるノイズ遮蔽体の近傍の断面図である。
【図９】第２の実施形態による放射線検出装置の断面図である。
【図１０】図９のＸ−Ｘ矢視平面図である。
【図１１】第３の実施形態による放射線検出装置のノイズ遮蔽体の近傍の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下実施の形態の放射線検出装置を、図面を参照して説明する。なお、同一または類似の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
［第１の実施の形態］
図３は、第１の実施の形態による放射線検出装置のブロック図である。図４は、本実施の形態における放射線検出パネルの模式的斜視図である。図５は、本実施の形態における画像検出部の回路図である。
【００１５】
放射線検出装置３０は、放射線検出パネル２１とゲートドライバー３２と積分アンプ３３とＡ／Ｄ変換器３４と行選択回路３５と画像合成回路３６とを有している。放射線検出パネル２１は、蛍光変換膜３８と画像検出部１２とを有している。蛍光変換膜３８は、Ｘ線３７が入射すると可視光領域の蛍光を発生する。発生した蛍光は、画像検出部１２の表面に到達する。
【００１６】
画像検出部１２は、蛍光変換膜３８で発生した蛍光を受光して電気信号を発生する。その結果、入射したＸ線３７によって蛍光変換膜３８で発生した可視光像は、画像検出部１２において電気信号で表現された画像情報に変換される。
【００１７】
画像検出部１２は、正方格子状に配列された複数の微細な画素を有している。それぞれの画素は、保持基板１１上に形成されている。保持基板１１は、ガラスで形成された板である。なお、図３および図４において、画素は５行５列あるいは４行４列分しか記載していないが、実際にはもっと多く、解像度、撮像面積に応じて必要な画素が形成されている。また、図３において、蛍光変換膜３８と画像検出部１２と分離して描いているが、実際には両者は密着している。
【００１８】
それぞれの画素は、薄膜トランジスタ１４とコンデンサー１５とフォトダイオード３９とを有している。フォトダイオード３９とコンデンサー１５とは、並列に薄膜トランジスタ１４のソース端子に接続されている。薄膜トランジスタ１４のゲート端子は、ゲート線１３に接続されている。薄膜トランジスタ１４のドレイン端子は、信号線１７に接続されている。
【００１９】
ゲート線１３は、画素が配列された格子の行の数と同数設けられていて、同じ行の画素中の薄膜トランジスタ１４のゲート端子は同じゲート線に接続されている。信号線１７は、画素が配列された格子の列の数と同数設けられていて、同じ列の画素中の薄膜トランジスタ１４のゲート端子は同じゲート線に接続されている。
【００２０】
ゲート線１３は、それぞれゲートドライバー３２に接続されている。ゲートドライバー３２は、たとえば複数である。ゲートドライバー３２は、行選択回路３５に接続されている。ゲートドライバー３２は行選択回路３５からの信号を受信して、多数のゲート線１３の電圧を順番に変更していく。行選択回路３５は、Ｘ線画像を走査する所定の行を選択するための信号をゲートドライバー３２へと送る。
【００２１】
信号線１７は、それぞれ積分アンプ３３に接続されている。積分アンプ３３は、放射線検出パネル２１から信号線１７を通じて出力される極めて微小な電荷信号を増幅し出力する。積分アンプ３３は、Ａ／Ｄ変換器３４に接続されている。Ａ／Ｄ変換器３４は、画像合成回路３６に接続されている。
【００２２】
図６は、本実施の形態における放射線検出パネルの平面図である。
【００２３】
放射線検出パネル２１には、ゲート線１３および信号線１７を引き出す端子群６１が形成されている。ゲート線１３を引き出す端子群６１および信号線１７を引き出す端子群６１は、それぞれ放射線検出パネル２１の隣り合う辺に沿ってそれらの辺の近傍に配列されている。放射線検出パネル２１には、蛍光変換膜３８を覆う防湿体６５が固定されていてもよい。
【００２４】
図７は、本実施の形態における回路基板の平面図である。
【００２５】
ゲートドライバー３２、行選択回路３５、Ａ／Ｄ変換器３４、画像合成回路３６などは、回路基板２３上に形成されている。回路基板２３には、電気回路と、放射線検出パネル２１のゲート線１３および信号線１７とを接続する端子群６２が形成されている。ゲート線１３と接続する端子群６２および信号線１７と接続する端子群６２は、それぞれ回路基板２３の隣り合う辺に沿ってそれらの辺の近傍に配列されている。
【００２６】
図１は、本実施の形態における放射線検出装置の図２のＩ−Ｉ矢視断面図である。図２は、図１のII−II矢視平面図である。
【００２７】
放射線検出装置３０は、筐体２２を有している。筐体２２は、Ｘ線検知面側に放射線入射窓１９で覆われた開口が形成された箱である。
【００２８】
筐体２２の内部には、放射線検出パネル２１、支持板２０、回路基板２３、ノイズ遮蔽体２４およびフレキシブル基板１８が収められている。支持板２０は、たとえば正方形の平板である。支持板２０は、複数の板で構成されていてもよい。また、支持板２０を構成する板に、Ｘ線を遮蔽するたとえば鉛製の板が含まれていてもよい。支持板２０は、図示しない支持柱などで筐体２２に固定されている。
【００２９】
放射線検出パネル２１は、Ｘ線３７の入射面の反対側の面、すなわち、保持基板１１のＴＦＴ回路層１０などが形成された面の反対側の面が支持板２０の一方の面に載置されている。放射線検出パネル２１の支持板２０の反対側の面は、筐体２２の内面に固定された押しつけ部材６４で支持板２０に押し付けられている。
【００３０】
回路基板２３は、回路基板支持柱２５で支持板２０に固定されている。放射線検出パネル２１と回路基板２３との間には、フレキシブル基板１８が延びている。フレキシブル基板１８は、支持板２０の外縁よりも外側を通って延びている。つまり、フレキシブル基板１８は、支持板２０の外縁と筐体２２の側面との間を通過している。放射線検出パネル２１の周辺部分に配列された端子群６１と回路基板２３の周辺部分に配列された端子群６２との間に延びている。
【００３１】
ノイズ遮蔽体２４は、固定部５１と遮蔽部５２とからなっている。固定部５１は、回路基板２３に沿って延びる板状に形成されている。遮蔽部５２は、回路基板２３から支持板２０に向かう方向に固定部５１から起立した板状に形成されている。また、遮蔽部５２は、回路基板２３上に位置するゲートドライバー３２などの素子の少なくとも一部とフレキシブル基板１８との間を横切って延びている。ノイズ遮蔽体２４は、アルミ、ステンレス鋼、銅などの導電材料で形成されている。ノイズ遮蔽体２４は、たとえば金属を押出成形により、固定部５１および遮蔽部５２を一体として製作したものである。
【００３２】
固定部５１は、回路基板２３に、たとえばねじ５３を用いて固定されている。回路基板２３には、回路基板２３上に形成された回路のグランドが露出している部分が形成されていて、固定部５１はこのグランドが露出している部分に接している。また、遮蔽部５２の固定部５１に対して反対側の端部は、支持板２０に接している。
【００３３】
次に、この放射線検出装置３０の動作を説明する。
【００３４】
初期状態では、フォトダイオード３９と並列に接続されたコンデンサー１５には、電荷が蓄えられており、並列接続されているフォトダイオード３９には逆バイアス状態の電圧が加えられている。この電圧は、信号線１７に加えられている電圧と同じである。フォトダイオード３９はダイオードの一種なので、逆バイアスの電圧が加えられても電流はほとんど流れることは無い。そのためコンデンサー１５に蓄えられた電荷は減少することなく保持されることになる。
【００３５】
このような状況において、Ｘ線３７が蛍光変換膜３８に入射すると、蛍光変換膜３８内部において高エネルギーのＸ線が低エネルギーの多数の可視光に変換される。蛍光変換膜３８内部にて発生した蛍光の一部は、画像検出部１２表面に配置されているフォトダイオード３９へと到達する。
【００３６】
フォトダイオード３９に入射した蛍光は、フォトダイオード３９内部で電子とホールからなる電荷に変換され、コンデンサー１５にて印加されている電界方向に沿ってフォトダイオード３９の持つ両端子へと到達する。この電荷の移動は、フォトダイオード３９内部を流れる電流として観測される。
【００３７】
蛍光の入射により発生したフォトダイオード３９内部を流れる電流は、並列接続されているコンデンサー１５へと流れ込む。これに伴い、コンデンサー１５内部に蓄えられていた電荷が打ち消される。その結果、コンデンサー１５に蓄えられていた電荷は減少し、コンデンサー１５の端子間に発生していた電位差も初期状態と比べて低下する。
【００３８】
ゲートドライバー３２は、多数のゲート線１３の電位を順番に変化させる機能を有している。ある特定の時間においては、ゲートドライバー３２によって電位が変化しているゲート線１３は１本のみである。電位の変化したゲート線１３に接続されている信号線１７に並列接続されている薄膜トランジスタ１４のソース端子およびドレイン端子間は、絶縁状態から導通状態へと変化する。各信号線１７には、特定の電圧がかけられている。信号線に印加された電圧は、電位の変化したゲート線１３に接続された薄膜トランジスタ１４のソースおよびドレイン端子を通じて接続されているコンデンサー１５に印加されることになる。
【００３９】
初期状態においてコンデンサー１５は信号線１７と同じ電位状態になっているため、コンデンサー１５の電荷量が初期状態と変化していない場合、コンデンサー１５には信号線１７からの電荷の移動は発生しない。しかし、外部から入射したＸ線３７よって蛍光変換膜３８内部にて発生した蛍光が入射したフォトダイオード３９と並列接続しているコンデンサー１５では、内部に蓄えられている電荷が減少しており、初期状態の電位とは変化している。このため、導通状態となった薄膜トランジスタ１４を通じて信号線１７より電荷の移動が発生し、コンデンサー１５内部に蓄えられた電荷量は初期状態に戻る。また、移動した電荷量は信号線１７を流れる信号となり外部へと伝わる。
【００４０】
信号線１７を流れる電流は、対応する積分アンプ３３へと入力される。積分アンプ３３では一定時間内に流れる電流を積分し、その積分値に対応した電圧を外部へと出力する。この動作をおこなうことで、ある一定時間内に信号線１７を流れる電荷量を電圧値に変換することができる。この結果、Ｘ線３７によって蛍光変換膜３８内部に発生した蛍光の強弱分布に対応したフォトダイオード３９内部に発生する電荷信号は、積分アンプ３３によって電位情報へと変換される。
【００４１】
積分アンプ３３に発生した電位は、Ａ／Ｄ変換器３４によって順次デジタル信号へと変換される。デジタル値となった信号は、画像合成回路３６内部で画像検出部１２内部に配置された画素の行と列にしたがって順次整理され、画像信号として外部へと出力される。
【００４２】
これらの動作を連続して行うことにより、外部から入射したＸ線画像情報は電気信号による画像情報へと変換され、外部へと出力される。外部へと出力された電気信号による画像情報は、たとえば一般的なディスプレイ装置によって画像化され、その画像によりＸ線画像を可視光による画像として観察することができる。
【００４３】
このような放射線検出装置３０を駆動させると、放射線検出装置３０の一部である回路基板２３からノイズが発生してしまう。たとえば回路基板２３上のコイルやコンデンサーなどの素子によって形成された電源回路は、主要なノイズ発生源の一つである。また、ゲートドライバー３２などの素子もノイズ発生源となりうる。発生したノイズは、放射線検出パネル２１から出力される電荷信号に影響を与える可能性がある。特に、放射線検出パネル２１にて検出された微小な電荷信号を回路基板２３へ伝達するフレキシブル基板１８は、ノイズの影響を受けやすい。このためノイズの影響がフレキシブル基板１８に及ぶと、特にノイズ成分の多い画像信号を取得してしまう可能性がある。
【００４４】
しかし、本実施の形態の放射線検出装置３０は、回路基板２３から支持板２０に向かう方向に起立して回路基板２３上に位置する素子の少なくとも一部とフレキシブル基板１８との間を横切って延びている板状の遮蔽部５２を持つノイズ遮蔽体２４を備えている。このため、遮蔽部５２に対してフレキシブル基板１８の一方の側に位置する素子で発生したノイズは、遮蔽部５２で遮られて反対側のフレキシブル基板１８側まで到達しにくい。このため、本実施の形態の放射線検出装置３０では、それ自体が発生したノイズの影響を受けにくい。その結果、放射線検出装置３０が出力する電気信号による画像情報がノイズの影響を受けにくくなる。
【００４５】
特に、遮蔽部５２が回路基板２３上に位置する電源回路その他のノイズ発生源とフレキシブル基板１８との間を横切るように設けることにより、ノイズ発生源で発生したノイズのフレキシブル基板１８を流れる電気信号に及ぼす影響を小さくすることができる。特にノイズの影響を受けやすい積分アンプ３３がフレキシブル基板１８上に実装されている場合には、ノイズの影響がフレキシブル基板１８に及ばないようにすることにより、画像情報へのノイズの影響が極めて小さくなる。
【００４６】
本実施の形態では、回路基板２３に設けられてフレキシブル基板１８が接続された端子群６２は、フレキシブル基板１８の周辺部に設けられている。回路基板２３の端子群６２よりも外縁側に電気素子は配置されていない。このため、回路基板２３の端子群６２の近傍にこの端子群６２に沿って延びるように遮蔽部５２を設けることにより、遮蔽部５２が回路基板２３上に位置する電源回路その他のノイズ発生源とフレキシブル基板１８との間を横切るようにすることができる。
【００４７】
また、回路基板２３にはグランドが露出した部分が形成されており、このグランドが露出した部分は、固定部５１に接触している。また、遮蔽部５２は、支持板２０に接している。このため、ノイズ遮蔽体２４および支持板２０のノイズ遮蔽体２４に接する部分が導電性であれば、回路基板２３のグランドは、大きな導電性部材と電気的に接続されることになる。これにより放射線検出装置３０のグランド（接地部）の電位が安定し、動作の安定性が向上し、また、ノイズの影響を受けにくくなる。
【００４８】
ノイズ遮蔽体２４は、板を組み合わせた形状であるため、たとえば押出成形で容易に製作することができる。あるいは、金属平板の曲げ加工によってノイズ遮蔽体２４を容易に製作することもできる。したがって、成型加工に要する時間および費用を低減することができる。
【００４９】
放射線検出装置３０の支持板２０はある程度の強度を持つ必要があるため、比較的重くなる傾向にある。さらに、支持板２０にＸ線の遮蔽効果を持たせる場合には、鉛などの重い金属を用いる必要があるため、重くなる。このため、放射線検出装置３０は、重量が大きくなる傾向にある。しかし、本実施の形態のノイズ遮蔽体２４は、板などの薄い部分を組み合わせた形状とすることにより、中実の角柱などを用いる場合に比べて、ノイズ発生源とフレキシブル基板１８との間を横切る面積を同じとしつつ材料の使用量を低減することができる。これにより、材料費が低減されるとともに、軽量化される。
【００５０】
図８は、本実施の形態の変形例におけるノイズ遮蔽体の近傍の断面図である。
【００５１】
この変形例におけるノイズ遮蔽体２４は、２つの平行な固定部５１と２つの平行な遮蔽部５２を組み合わせた角パイプ形状に形成されている。この変形例のノイズ遮蔽体２４は、たとえば押出し成形によって製作することができる。
【００５２】
このようなノイズ遮蔽体２４を用いることにより、固定部５１および遮蔽部５２がそれぞれ１枚のものに比べて剛性を高めることができる。このため、このノイズ遮蔽体２４の２つの固定部５１を回路基板２３および支持板２０にそれぞれ固定して回路基板２３を支持する場合などノイズ遮蔽体２４に高い剛性が必要な場合に有効である。
［第２の実施の形態］
図９は、第２の実施形態のよる放射線検出装置の図１０のIX−IX矢視断面図である。図１０は、図９のＸ−Ｘ矢視平面図である。
【００５３】
本実施の形態では、回路基板２３は、２つに分割されている。一方の回路基板２３には、ゲートドライバー３２その他、放射線検出パネル２１を制御し、放射線検出パネルから伝達される信号を処理する電気回路が形成されている。他方の回路基板２３には、放射線検出装置３０を駆動するための電源回路が形成されている。
【００５４】
本実施の形態のように、信号処理に影響を与えるノイズの主要な発生源となりうる電源回路を、信号処理のための電気回路とは別の回路基板２３上に形成することにより、信号処理がノイズの影響を受けにくくなる。しかし、これらの回路を別の回路基板２３上に形成することによって、それぞれの回路のグランドの結合が細い導線のみとなり、あるいは、互いに独立する場合がある。このような場合、放射線検出装置のグランドの各部での電位がわずかに異なってしまう可能性がある。
【００５５】
本実施の形態では、複数の回路基板２３のグランドが導電性のノイズ遮蔽体２４で電気的に結合されている。このため、複数の回路基板２３のグランドの各部の電位の差を小さくすることができる。
［第３の実施の形態］
図１１は、第３の実施形態による放射線検出装置のノイズ遮蔽体の近傍の断面図である。
【００５６】
本実施の形態の放射線検出装置において、ノイズ遮蔽体２４は、１枚の固定部５１のそれぞれの長辺に遮蔽部５２が起立している。これらの遮蔽部５２の支持板２０側の端辺は、支持板２０に接触していない。また、固定部５１と支持板２０の間には、たとえば円柱状のスペーサ５４が配置されている。このスペーサ５４は、導電性の材料で形成されている。
【００５７】
遮蔽部５２の支持板２０側の端辺が支持板２０に接触していないノイズ遮蔽体２４であっても、フレキシブル基板１８と回路基板２３上のノイズ発生源との間に遮蔽部５２が位置することにより、ノイズの影響を低減することができる。特に、遮蔽部５２の端辺と支持板２０との隙間２７が約０．５ｍｍ以下であれば、十分なノイズ低減効果が得られることが実験によって確認された。また、ノイズ遮蔽体２４と支持板２０との間に導電性のスペーサ５３を配置することによって、回路基板２３のグランドを大きな支持板２０に電気的に接続することができる。
［他の実施の形態］
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５８】
１０…ＴＦＴ回路層、１１…保持基板、１２…画像検出部、１３…ゲート線、１４…薄膜トランジスタ、１５…コンデンサー、１７…信号線、１８…フレキシブル基板、１９…放射線入射窓、２０…支持板、２１…放射線検出パネル、２２…筐体、２３…回路基板、２４…ノイズ遮蔽体、２５…回路基板支持柱、２７…隙間、３０…放射線検出装置、３２…ゲートドライバー、３３…積分アンプ、３４…Ａ／Ｄ変換器、３５…行選択回路、３６…画像合成回路、３７…Ｘ線、３８…蛍光変換膜、３９…フォトダイオード、５１…固定部、５２…遮蔽部、５３…ねじ、５４…スペーサ、６１…端子群、６２…端子群、６３…素子、６４…押しつけ部材、６５…防湿体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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