(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ上に保持されたシート部材の上面に液状樹脂を供給し、該液状樹脂に板状のワークを載置して押圧し、該液状樹脂を該ワークの下面に広げて該シート部材と該ワークとに挟まれた所定の厚さの樹脂膜を形成する樹脂塗布装置であって、
シート部材を保持するステージと、該ステージに保持された該シート部材の上面に液状樹脂を吐出する液状樹脂吐出手段と、該シート部材の上面に吐出された液状樹脂に該ワークを載置して押圧する押圧手段と、該押圧手段を制御する制御手段と、から少なくとも構成され、
前記ステージは前記シート部材を吸引保持する保持面を有し、
前記液状樹脂吐出手段は、液状樹脂を貯留する樹脂タンクと、該樹脂タンクに貯留された該液状樹脂を搬送する配管経路と、該液状樹脂を吐出する吐出ノズルと、該液状樹脂を所定量だけ該吐出ノズルに送るポンプと、該ポンプによって所定量の該液状樹脂を該吐出ノズルに送って吐出させる際に該ポンプと該吐出ノズルとをつなぐ該配管経路内に発生する吐出圧力値を測定して前記制御手段に送る吐出圧力測定手段と、前記吐出ノズルを前記ステージに保持された前記シート部材の上面に前記液状樹脂を吐出可能な吐出位置と前記押圧手段に干渉しない退避位置とに選択的に位置付ける吐出ノズル移動手段と、を有し、
前記押圧手段は、前記ステージの上方に配設され下面に前記ワークを該ステージに対向させて吸引保持する押圧面が形成された押圧部材と、該押圧部材を該ステージの前記保持面に対して垂直な方向に近接または離反させる移動手段と、該ステージに保持された前記シート部材の上面に吐出された前記液状樹脂に該押圧部材が該ワークを載置して押圧する際の押圧荷重値を測定して前記制御手段に送る押圧荷重測定手段とを有し、
前記制御手段は、前記液状樹脂の粘度と所定量の該液状樹脂を所定速度で吐出する際の前記吐出圧力値との関係および該液状樹脂の粘度と所定量の該液状樹脂で所定の厚さの樹脂膜を形成する際の前記押圧荷重値との関係とから予め求められた、所定の厚さの樹脂膜を形成する際の吐出圧力と押圧荷重との関係を示す制御テーブルと、前記吐出圧力測定手段から送られた該吐出圧力値と、前記押圧荷重測定手段から送られた該押圧荷重値と、を記憶する記憶手段と、該吐出圧力測定手段で測定された該吐出圧力値と該記憶手段に記憶された該制御テーブルとから所定の厚さの樹脂膜を形成するために必要な押圧荷重値を算出する演算手段とを有し、該押圧荷重測定手段で測定されて該制御手段に送られた該押圧荷重値が、該演算手段によって算出された押圧荷重値と等しくなるように前記押圧手段を制御すること
を特徴とする樹脂塗布装置。
【請求項２】
前記液状樹脂は外的刺激によって硬化する外的刺激硬化性の液状樹脂であり、前記ステージには外的刺激を付加する外的刺激付加手段が配設され、
該外的刺激付加手段は、該ステージ上で前記押圧手段が前記ワークを押圧し、該液状樹脂を該ワークの下面に広げて前記シート部材と該ワークとに挟まれた所定の厚さの樹脂膜を形成した状態で該液状樹脂に外的刺激を付加して硬化させる
ことを特徴とする請求項１に記載の樹脂塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の薄板状のワークに液状樹脂を塗布して均一な厚さの樹脂膜を得るための樹脂塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や電子部品の材料となる半導体ウェーハは、シリコン等の原材料からなる円柱状のインゴットをワイヤソーなどによりスライスして円板状の素材を得、この素材を研削して所定の厚さに加工されている。ところで、このようにスライスされて得られるウェーハ素材等の被加工物には、うねりや反り等が生じている場合が多く、そのため、被加工物の片面に液状樹脂を被覆することで平坦な面を形成する加工が行われる。被加工物に液状樹脂を被覆するには、例えば、平坦面に載置されたシートに液状樹脂を供給し、その液状樹脂に被加工物を押圧して片面が液状樹脂で被覆された状態として、液状樹脂を硬化させるといった手法が採られる。そして平坦なシート面を基準として被加工物を研削することで、最終的に被加工物の両面を平坦に、かつ厚さを均一に形成することができる。従来、被加工物の片面に液状樹脂を供給する装置としては、例えば特許文献１等で知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１４８８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、シート上に供給される液状樹脂は、製造段階で粘度がばらついており、製造ロット間で粘度に違いが生じている場合が多い。また、装置内の温度の影響を受けて粘度が変化していく場合もある。このような粘度の相違や変化は、ワークの片面に液状樹脂を塗布し、押圧して形成する樹脂の膜厚の均一性に影響を及ぼす。すなわち、粘度が高い液状樹脂では同じ荷重で押圧しても樹脂が広がりにくく膜厚が厚くなりがちであり、一方、粘度が低い液状樹脂では同じ荷重で押圧しても樹脂が広がりやすく膜厚が薄くなりがちである。よって粘度の違いにより、シート上に形成される液状樹脂による樹脂膜の厚さを一定にしにくいという問題があった。
【０００５】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、使用する液状樹脂において製造ロット間の粘度の違いや使用中に温度の影響を受けて発生する粘度の違いが生じても、均一な厚さの樹脂膜を得ることができる樹脂塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の樹脂塗布装置は、ステージ上に保持されたシート部材の上面に液状樹脂を供給し、該液状樹脂に板状のワークを載置して押圧し、該液状樹脂を該ワークの下面に広げて該シート部材と該ワークとに挟まれた所定の厚さの樹脂膜を形成する樹脂塗布装置であって、シート部材を保持するステージと、該ステージに保持された該シート部材の上面に液状樹脂を吐出する液状樹脂吐出手段と、該シート部材の上面に吐出された液状樹脂に該ワークを載置して押圧する押圧手段と、該押圧手段を制御する制御手段と、から少なくとも構成され、前記ステージは前記シート部材を吸引保持する保持面を有し、前記液状樹脂吐出手段は、液状樹脂を貯留する樹脂タンクと、該樹脂タンクに貯留された該液状樹脂を搬送する配管経路と、該液状樹脂を吐出する吐出ノズルと、該液状樹脂を所定量だけ該吐出ノズルに送るポンプと、該ポンプによって所定量の該液状樹脂を該吐出ノズルに送って吐出させる際に該ポンプと該吐出ノズルとをつなぐ該配管経路内に発生する吐出圧力値を測定して前記制御手段に送る吐出圧力測定手段と、前記吐出ノズルを前記ステージに保持された前記シート部材の上面に前記液状樹脂を吐出可能な吐出位置と前記押圧手段に干渉しない退避位置とに選択的に位置付ける吐出ノズル移動手段と、を有し、前記押圧手段は、前記ステージの上方に配設され下面に前記ワークを該ステージに対向させて吸引保持する押圧面が形成された押圧部材と、該押圧部材を該ステージの前記保持面に対して垂直な方向に近接または離反させる移動手段と、該ステージに保持された前記シート部材の上面に吐出された前記液状樹脂に該押圧部材が該ワークを載置して押圧する際の押圧荷重値を測定して前記制御手段に送る押圧荷重測定手段とを有し、前記制御手段は、前記液状樹脂の粘度と所定量の該液状樹脂を所定速度で吐出する際の前記吐出圧力値との関係および該液状樹脂の粘度と所定量の該液状樹脂で所定の厚さの樹脂膜を形成する際の前記押圧荷重値との関係とから予め求められた、所定の厚さの樹脂膜を形成する際の吐出圧力と押圧荷重との関係を示す制御テーブルと、前記吐出圧力測定手段から送られた該吐出圧力値と、前記押圧荷重測定手段から送られた該押圧荷重値と、を記憶する記憶手段と、該吐出圧力測定手段で測定された該吐出圧力値と該記憶手段に記憶された該制御テーブルとから所定の厚さの樹脂膜を形成するために必要な押圧荷重値を算出する演算手段とを有し、該押圧荷重測定手段で測定されて該制御手段に送られた該押圧荷重値が、該演算手段によって算出された押圧荷重値と等しくなるように前記押圧手段を制御することを特徴とする。
【０００７】
本発明では、シート部材の上面に吐出される液状樹脂の吐出圧力値を吐出圧力測定手段で測定し、ワークを介して液状樹脂をシート部材の上面に押圧して樹脂膜を形成する際の押圧手段の押圧荷重値を押圧荷重測定手段で測定する。ここで、吐出圧力測定手段で測定される吐出圧力値を液状樹脂の粘度の指標とし、所定厚さの樹脂膜が形成され得る吐出圧力値と押圧荷重値との関係を、制御手段が制御テーブルとして予め記憶しておく。実際に樹脂膜を形成する際には、制御テーブルに基づき、吐出圧力測定手段で測定された吐出圧力値に応じた押圧荷重で押圧手段がワークを押圧し、シート部材の上面に樹脂膜を形成する。これにより液状樹脂の粘度が異なっていても、その粘度に応じて押圧荷重が適切に制御され、常に一定厚さの樹脂膜がシート部材の上面に形成される。
【０００９】
また、本発明では、前記液状樹脂は外的刺激によって硬化する外的刺激硬化性の液状樹脂であり、前記ステージには外的刺激を付加する外的刺激付加手段が配設され、該外的刺激付加手段は、該ステージ上で前記押圧手段が前記ワークを押圧し、該液状樹脂を該ワークの下面に広げて前記シート部材と該ワークとに挟まれた所定の厚さの樹脂膜を形成した状態で該液状樹脂に外的刺激を付加して硬化させる形態を含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、使用する液状樹脂において製造ロット間の粘度の違いや使用中に温度の影響を受けて発生する粘度の違いが生じても、均一な厚さの樹脂膜を得ることができる樹脂塗布装置が提供されるといった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る樹脂塗布装置の斜視図である。
【図２】同樹脂塗布装置の構成を模式的に示す側面図である。
【図３】同樹脂塗布装置の液状樹脂吐出手段の構成を模式的に示す側面図である。
【図４】同樹脂塗布装置の樹脂塗布動作を示す側面図である。
【図５】同樹脂塗布装置の制御手段の構成を示すブロック図である。
【図６】同樹脂塗布装置の制御手段が備える制御テーブルの一例を示す線図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
図１は、一実施形態の樹脂塗布装置１の外観を概略的に示している。図１の符号１１は、一端側にポスト１２が立設された装置台１１である。装置台１１上のポスト１２側には円板状のステージ２０が配設されており、ポスト１２と反対側の他端側には、帯状の長尺なポリオレフィン等からなる透明なシート部材がロール状に蓄積されたシート部材ロールＳＲが、シート部材をステージ２０方向に供給可能なように回転可能に配設されている。ステージ２０は、後述するように紫外線を透過可能に透明部材によって形成されている。
【００１３】
シート部材ロールＳＲからは、シート部材がステージ２０側に巻き出されるようになっている。巻き出されたシート部材は、カッタ手段３１によって矩形状の所定の大きさに切断され、図２に示すように、切断されたシート部材Ｓは、シート部材搬送手段３２によりステージ２０上に搬送されて載置されるようになっている。ステージ２０は水平な上面がシート部材Ｓの保持面２１となっており、シート部材Ｓは保持面２１上に載置される。保持面２１は多孔質材で形成され、図示せぬ負圧手段で下側から吸引されることにより、シート部材Ｓは保持面２１に吸引保持される。
【００１４】
図１および図２に示すように、装置台１１の所定箇所には、吐出ノズル４２が配設されている。この吐出ノズル４２は、図３に示す液状樹脂吐出手段４０の一部を構成している。液状樹脂吐出手段４０は、ステージ２０上に保持されたシート部材Ｓの上面に吐出ノズル４２から液状樹脂Ｐを供給するものであり、下流端に吐出ノズル４２が接続され、上流端に樹脂タンク４３が接続された配管経路４１を有している。配管経路４１の途中には、上流側から下流側に向かって、バッファタンク４４、ポンプ４５が配設されている。液状樹脂Ｐは、例えば５００〜５０００ｍＰａの粘度を有し、無溶剤である硬化樹脂が用いられ、本実施形態では、紫外線硬化型樹脂が好適に用いられる。
【００１５】
バッファタンク４４内には、樹脂タンク４３から液状樹脂Ｐが供給されて所定範囲量貯留され、バッファタンク４４内の液状樹脂Ｐがポンプ４５によって吐出ノズル４２に送られる。ポンプ４５は、ベローズ式ポンプ等の所定量の液状樹脂を吸入して吐出する形式のものが適用される。ポンプ４５と吐出ノズル４２との間の配管経路４１には、ポンプ４５と吐出ノズル４２との間の配管経路４１内に発生する吐出圧力値を測定する吐出圧力測定手段４６が接続されている。
【００１６】
吐出ノズル４２は、装置台１１に旋回可能に支持されており、装置台１１内に収容されて液状樹脂吐出手段４０を構成する吐出ノズル移動手段４２１により旋回させられ、ステージ２０の上方であってシート部材Ｓの上面に液状樹脂を吐出可能な吐出位置と、ステージ２０の上方に配設されている押圧手段５０に干渉しない退避位置とに選択的に位置付けられる。
【００１７】
押圧手段５０は、シート部材Ｓの上面に吐出ノズル４２から吐出されて供給された液状樹脂Ｐに半導体ウェーハ等の円板状のワークＷを載置して押圧するもので、図２に示すように、ステージ２０の上方に配設され、ステージ２０に対向する水平な下面が押圧面５１１として形成された押圧部材５１と、押圧部材５１をステージ２０の保持面２１に対して垂直な方向、すなわち鉛直方向に沿って昇降させ、保持面２１に近接させたり離反さたりする移動手段５２と、押圧部材５１の押圧荷重値を測定する押圧荷重測定手段５３とを有している。
【００１８】
図１および図２に示すように、移動手段５２は、ポスト１２の前面にガイド１３を介して鉛直方向に昇降可能に支持され、背面にナット部材５２１ａが固定されているスライダ５２１と、鉛直方向に延び、ナット部材５２１ａに螺合して回転可能に支持されたボールねじ５２２と、ボールねじ５２２を回転駆動するモータ５２３とを備えており、押圧手段５０はスライダ５２１の前面に固定されている。移動手段５２では、モータ５２３でボールねじ５２２が回転駆動されると、その回転方向に応じてスライダ５２１が昇降し、これによって押圧部材５１が昇降するようになっている。押圧部材５１の押圧面５１１には、ステージ２０の保持面２１と同様に、負圧手段によってワークＷが吸引保持される。
【００１９】
本実施形態の樹脂塗布装置では、ステージ２０の保持面２１にシート部材Ｓを吸引保持した状態で、図４（ａ）に示すようにシート部材Ｓの上面に吐出位置に位置付けられた吐出ノズル４２から所定量の液状樹脂Ｐが供給され、次いで吐出ノズル４２はステージ２０の外側の退避位置に位置付けられる。次に、図４（ｂ）に示すように移動手段５２によって押圧部材５１が下降し、シート部材Ｓ上の液状樹脂ＰがワークＷで押圧され、液状樹脂ＰはワークＷの下面で広がり樹脂膜Ｐ１が形成される。
【００２０】
図４に示すように、装置台１１の内部には上方のステージ２０に向けて紫外線を照射する紫外線照射手段６０が収容されており、紫外線照射手段６０から照射された紫外線は透明なステージ２０およびシート部材Ｓを透過して樹脂膜Ｐ１に照射される。これにより樹脂膜Ｐ１は硬化し、ワークＷの下面に樹脂膜Ｐ１が被覆される。この後、押圧部材５１を上昇させてワークＷを押圧面５１１から剥離することで、片面に樹脂膜Ｐ１を介してシート部材Ｓが貼着されたワークＷを得る。
【００２１】
さて、本実施形態の樹脂塗布装置１は、図５に示す制御手段７０を備えている。制御手段７０は押圧手段５０を制御するものであり、制御手段７０には、吐出圧力測定手段４６で測定された吐出圧力値と、押圧荷重測定手段５３で測定された押圧荷重値とが送られる。
【００２２】
制御手段７０は、制御プログラムにしたがって演算処理するＣＰＵ（演算手段）７１と、制御プログラム等を格納するＲＯＭ７２と、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ（記憶手段）７３と、入力インターフェイス７４および出力インターフェイス７５を備えている。入力インターフェイス７４には、吐出圧力測定手段４６で測定された吐出圧力値の信号と、押圧荷重測定手段５３で測定された押圧荷重値の信号が入力される。また、出力インターフェイス５５からは、押圧手段５０のモータ５２３に制御信号が送られる。
【００２３】
制御手段７０のＲＡＭ７３には、制御テーブルが記憶されている。図６は制御テーブルの一例を示しており、この場合の制御テーブルは、液状樹脂Ｐの粘度と、ポンプ４５から所定量の液状樹脂Ｐを所定速度で吐出する際の吐出圧力値との関係、および、液状樹脂Ｐの粘度と、所定量の液状樹脂Ｐで所定厚さの樹脂膜Ｐ１を形成する際の押圧荷重値との関係とから予め求められた、所定の厚さの樹脂膜Ｐ１を形成する際の吐出圧力と押圧荷重との関係を示している。
【００２４】
制御手段７０は、上記のようにシート部材Ｓの上面に供給された液状樹脂Ｐを押圧手段５０で押圧する際には、次のような制御を行う。すなわち、吐出圧力測定手段４６から送られた吐出圧力値と、押圧荷重測定手段５３から送られた押圧荷重値とをＲＡＭ７３に記憶し、ＣＰＵ７１が、送られた吐出圧力値と制御テーブルとから、所定の厚さの樹脂膜Ｐ１を形成するために必要な押圧荷重値を算出する。そして、押圧手段５０によって液状樹脂Ｐを押圧している現在の押圧荷重値が、ＣＰＵ７１によって算出された押圧荷重値と等しくなるように押圧手段５０のモータ５２３を制御する。これにより、押圧部材５１で押圧されて形成される樹脂膜Ｐ１は、液状樹脂Ｐの粘度にかかわらず常に一定の厚さに形成される。
【００２５】
本実施形態の樹脂塗布装置１によれば、使用する液状樹脂Ｐにおいて製造ロット間の粘度の違いや使用中に温度の影響を受けて発生する粘度の違いが生じても、均一な厚さの樹脂膜Ｐ１を得ることができる。
【００２６】
なお、上記実施形態の液状樹脂Ｐは紫外線を外的刺激として硬化する紫外線硬化型の樹脂であるが、この他には、例えば熱を外的刺激として硬化する熱硬化型の樹脂を用いてもよく、その場合には、上記紫外線照射手段６０の代わりに加熱手段が用いられる。
【符号の説明】
【００２７】
１…樹脂塗布装置
２０…ステージ
２１…保持面
４０…液状樹脂吐出手段
４１…配管経路
４２…吐出ノズル
４２１…吐出ノズル移動手段
４３…樹脂タンク
４５…ポンプ
４６…吐出圧力測定手段
５０…押圧手段
５１…押圧部材
５１１…押圧部材の押圧面
５２…移動手段
５３…押圧荷重測定手段
６０…紫外線照射手段（外的刺激付加手段）
７０…制御手段
７１…ＣＰＵ（演算手段）
７３…ＲＡＭ（記憶手段）
Ｐ…液状樹脂
Ｐ１…樹脂膜
Ｓ…シート部材
Ｗ…ワーク
【図１】
0005991853.tif 000002
【図２】
0005991853.tif 000003
【図３】
0005991853.tif 000004
【図４】
0005991853.tif 000005
【図５】
0005991853.tif 000006
【図６】
0005991853.tif 000007