(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ群を有するレンズユニットと、前記レンズユニットに固定され、前記レンズ群を通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を有する撮像モジュールであって、前記レンズユニットが、前記レンズ群および磁性体部材を有する手振れ補正可動部と、前記手振れ補正可動部を前記レンズ群の光軸に対して垂直方向に移動自在でかつ前記光軸に対して垂直な軸の周りに傾き可能に支持する弾性支持部と、を有している撮像モジュールの製造方法において、
磁界発生部を有する電子機器に前記レンズユニットが組み込まれた状態で予め取得された前記手振れ補正可動部の傾き量及び傾き方向に基づき、前記レンズ群の光軸を前記撮像素子の撮像面に直交する第１の基準姿勢から前記傾き方向と反対側の方向に前記傾き量だけ傾けた状態で、前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとを固定する固定ステップを有する撮像モジュールの製造方法。
【請求項２】
レンズ群を有するレンズユニットと、前記レンズユニットに固定され、前記レンズ群を通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を有する撮像モジュールであって、前記レンズユニットが、前記レンズ群および磁性体部材を有する手振れ補正可動部と、前記手振れ補正可動部を前記レンズ群の光軸に対して垂直方向に移動自在でかつ前記光軸に対して垂直な軸の周りに傾き可能に支持する弾性支持部と、を有している撮像モジュールの製造方法において、
測定チャートに直交する軸上に前記撮像素子ユニットと前記レンズユニットをセットして、前記測定チャートに直交する軸上における前記撮像素子ユニット、前記レンズユニット、及び前記測定チャートの相対位置を変化させ、各相対位置において前記撮像素子で前記測定チャートを撮像し、前記相対位置ごとに得られた前記撮像素子の撮像信号から、前記撮像素子の撮像面上に設定された複数の撮像位置ごとの合焦度合を示す第１の合焦情報を取得する合焦情報取得ステップと、
前記合焦情報取得ステップで取得された前記第１の合焦情報に基づき、前記レンズ群の第２の基準姿勢を算出する基準姿勢算出ステップと、
前記基準姿勢算出ステップで算出された前記第２の基準姿勢と、磁界発生部を有する電子機器に前記レンズユニットが組み込まれた状態で予め取得された前記手振れ補正可動部の傾き量及び傾き方向とに基づき、前記レンズ群の光軸を前記第２の基準姿勢から前記傾き方向と反対側の方向に前記傾き量だけ傾けた状態で、前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとを固定する固定ステップと、
を有する撮像モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記傾き量および傾き方向は、前記磁界発生部から前記レンズユニットに磁界を印加した状態と印加しない状態とでの前記手振れ補正可動部の前記傾き量及び傾き方向をそれぞれ測定して比較することで取得される請求項１または２記載の撮像モジュールの製造方法。
【請求項４】
前記傾き量および傾き方向は、前記磁界発生部から前記レンズユニットに磁界を印加した状態で、前記測定チャートに直交する軸上における前記撮像素子ユニット、前記レンズユニット、及び前記測定チャートの相対位置を変化させ、各相対位置において前記撮像素子で前記測定チャートを撮像し、前記相対位置ごとに得られた前記撮像素子の撮像信号から、前記撮像面上に設定された複数の撮像位置ごとの合焦度合を示す第２の合焦情報を前記相対位置ごとに取得し、前記第１の合焦情報と前記第２の合焦情報を比較することで取得される請求項２記載の撮像モジュールの製造方法。
【請求項５】
前記第１および第２の合焦情報は、前記レンズ群の解像度を測定することで得られる請求項４記載の撮像モジュールの製造方法。
【請求項６】
前記測定チャートは、縞パターンにより構成されており、前記第１および第２の合焦情報は、前記解像度としてＭＴＦを測定することで得られる請求項５記載の撮像モジュールの製造方法。
【請求項７】
前記ＭＴＦは、前記撮像素子の１０画素分から２０画素分のパターン間隔を有する前記縞パターンを撮像することにより得られる低周波数ＭＴＦである請求項６記載の撮像モジュールの製造方法。
【請求項８】
前記傾き量および傾き方向は、前記第２の合焦情報から前記レンズ群の傾斜姿勢を求め、前記第２の基準姿勢と比較することで得られる請求項６または７記載の撮像モジュールの製造方法。
【請求項９】
前記固定ステップでは、前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの間に接着剤を供給し、前記撮像素子ユニットに対して前記レンズユニットを傾けた後で前記接着剤を硬化させることにより前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとを固定する請求項１から８のいずれか１項に記載の撮像モジュールの製造方法。
【請求項１０】
前記撮像素子の画素ピッチが１．０μｍ以下である請求項１から９いずれか１項に記載の撮像モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学式手振れ補正機能を有する撮像モジュールの製造方法及び撮像モジュールの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話機、スマートフォン、タブレット端末等の電子機器に組み込まれる撮像モジュールとして、近年では光学式手振れ補正（ＯＩＳ：Optical Image Stabilizer）機能を有するものが良く知られている（特許文献１参照）。【０００３】
特許文献１に開示のＯＩＳ機構は、所謂サスペンション支持構造を採用しており、光学式手振れ補正機構は、手振れ補正可動部（撮影ユニット）の４隅を４本のサスペンションワイヤで支持し、光軸に垂直な２軸方向に手振れ補正可動部を駆動することによって手振れを補正する構造となっている。この手振れ補正可動部の駆動機構は、手振れ補正可動部を搭載したカバー部の４つの外周側面に設けられたマグネットと、マグネットに対向するように固定体側ヨークに設けられたコイルとにより構成されている。この駆動機構により、手振れ補正可動部が光軸に垂直な２軸に独立して手振れ補正駆動可能となる。【０００４】
このようなＯＩＳ機構（手振れ補正可動部、サスペンションワイヤ等）及びレンズ群を有するレンズユニットを、撮像素子を有する撮像素子ユニットに固定することで撮像モジュールが製造される。ここで、レンズユニットと撮像素子ユニットとを固定する際に、撮像素子に対するレンズ群の姿勢を的確に設定しないと、画像内の一部でピンボケが生じる所謂片ボケの不具合が生じる。そこで、例えば特許文献１に開示されているような冶具を用いてレンズ群を所定の基準姿勢に調整した状態でレンズユニットを撮像素子ユニットに固定する方法がある。【０００５】
また、特許文献２には、測定チャートに直交する軸上に撮像素子ユニットとレンズユニットをセットし、撮像素子ユニット、レンズユニット、及び測定チャートの軸上の相対位置を変化させ、各相対位置にて撮像素子で測定チャートを撮像した結果に基づきレンズ群の基準姿勢を算出し、この結果に基づき撮像素子ユニット及びレンズユニットの傾きや位置を調整した状態で両者を固定する撮像モジュールの製造方法が開示されている。【０００６】
ところで、サスペンション支持構造のＯＩＳ機構を有する撮像モジュールは、この撮像モジュールが搭載される電子機器から発生する磁場の影響を受ける。図２７は、スマートフォン２に撮像モジュール１を搭載した場合のスマートフォン２の要部断面図である。同図に示すように、撮像モジュール１の近傍には、スピーカ３が配置されており、撮像モジュール１は、スピーカ３から発生する磁力の影響を受け、レンズ群が基準姿勢から傾いてしまうという問題が発生する。【０００７】
特許文献３には、磁界発生部であるスピーカの磁力が１００ガウスであった場合には、撮像モジュールをスピーカから１０ｍｍ以上離すと撮像モジュールの確実な動作が保証されることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１２−２５６０１７号公報
【特許文献２】特開２０１０−０２１９８５号公報
【特許文献３】特開２００９−０７１４９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献３に記載の発明のように、撮像モジュールを電子機器内の磁界発生部から距離を離して配置することが一般的に行われているが、電子機器のデザイン、スペース等の関係で撮像モジュールを電子機器内の磁界発生部の近傍に配置しなければならない場合がある。この場合には、磁界発生部から発生する磁界の影響を受けて手振れ補正可動部が傾き、これに伴い手振れ補正可動部内のレンズ群が基準姿勢から傾くという問題が発生する。【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、電子機器内における部品配置の自由度を上げることができる撮像モジュールの製造方法及び撮像モジュールの製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の目的を達成するための撮像モジュールの製造方法は、レンズ群を有するレンズユニットと、レンズユニットに固定され、レンズ群を通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を有する撮像モジュールであって、レンズユニットが、レンズ群および磁性体部材を有する手振れ補正可動部と、手振れ補正可動部をレンズ群の光軸に対して垂直方向に移動自在でかつ光軸に対して垂直な軸の周りに傾き可能に支持する弾性支持部と、を有している撮像モジュールの製造方法において、磁界発生部を有する電子機器にレンズユニットが組み込まれた状態で予め取得された手振れ補正可動部の傾き量及び傾き方向に基づき、レンズ群の光軸を撮像素子の撮像面に直交する第１の基準姿勢から傾き方向と反対側の方向に傾き量だけ傾けた状態で、レンズユニットと撮像素子ユニットとを固定する固定ステップを有する。【００１２】
本発明によれば、撮像モジュールを電子機器に組み込んだ際に、磁界発生部からレンズユニットに印加される磁界により手振れ補正可動部が傾くことでレンズ群が第１の基準姿勢に調整される。これにより、撮像モジュールを電子機器内の磁界発生部の近傍に配置しても、レンズ群の第１の基準姿勢からの傾きを抑えることができる。その結果、撮像モジュールにより撮像される画像面内の解像度の均一性を図ることができる。【００１３】
本発明の目的を達成するための撮像モジュールの製造方法は、レンズ群を有するレンズユニットと、レンズユニットに固定され、レンズ群を通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を有する撮像モジュールであって、レンズユニットが、レンズ群および磁性体部材を有する手振れ補正可動部と、手振れ補正可動部をレンズ群の光軸に対して垂直方向に移動自在でかつ光軸に対して垂直な軸の周りに傾き可能に支持する弾性支持部と、を有している撮像モジュールの製造方法において、測定チャートに直交する軸上に撮像素子ユニットとレンズユニットをセットして、撮像素子ユニット、レンズユニット、及び測定チャートの測定チャートに直交する軸上の相対位置を変化させ、各相対位置において撮像素子で測定チャートを撮像し、相対位置ごとに得られた撮像素子の撮像信号から、撮像素子の撮像面上に設定された複数の撮像位置ごとの合焦度合を示す第１の合焦情報を取得する合焦情報取得ステップと、合焦情報取得ステップで取得された第１の合焦情報に基づき、レンズ群の第２の基準姿勢を算出する基準姿勢算出ステップと、基準姿勢算出ステップで算出された第２の基準姿勢と、磁界発生部を有する電子機器にレンズユニットが組み込まれた状態で予め取得された手振れ補正可動部の傾き量及び傾き方向とに基づき、レンズ群の光軸を第２の基準姿勢から傾き方向と反対側の方向に傾き量だけ傾けた状態で、レンズユニットと撮像素子ユニットとを固定する固定ステップと、を有する。【００１４】
本発明によれば、撮像モジュールを電子機器に組み込んだ際に、磁界発生部からレンズユニットに印加される磁界により手振れ補正可動部が傾くことでレンズ群が第２の基準姿勢に調整される。これにより、撮像モジュールを電子機器内の磁界発生部の近傍に配置しても、レンズ群の第２の基準姿勢からの傾きを抑えることができる。その結果、撮像モジュールにより撮像される画像面内の解像度の均一性を図ることができる。【００１５】
本発明の他の態様に係る撮像モジュールの製造方法において、傾き量および傾き方向は、磁界発生部が無い状態と有る状態とでの手振れ補正可動部の傾き量及び傾き方向をそれぞれ測定して比較することで取得される。評価環境（磁界発生部が無い状態）と実使用環境（磁界発生部が有る状態）の差分から予め手振れ補正可動部の傾き量及び傾き方向を取得することができる。【００１６】
本発明の他の態様に係る撮像モジュールの製造方法において、傾き量および傾き方向は、磁界発生部が有る状態で、撮像素子ユニット、レンズユニット、及び測定チャートの測定チャートに直交する軸上の相対位置を変化させ、各相対位置において撮像素子で測定チャートを撮像し、相対位置ごとに得られた撮像素子の撮像信号から、撮像面上に設定された複数の撮像位置ごとの合焦度合を示す第２の合焦情報を相対位置ごとに取得し、第１の合焦情報と第２の合焦情報を比較することで取得される。これにより、手振れ補正可動部の傾き量及び傾き方向を自動測定することができる。【００１７】
本発明の他の態様に係る撮像モジュールの製造方法において、第１および第２の合焦情報は、レンズ群の解像度を測定することで得られる。レンズ群の解像度の測定結果を利用して第１および第２の合焦情報を取得することができる。また、撮像モジュールにより撮像される画像面内の解像度の均一性を図ることができる。【００１８】
本発明の他の態様に係る撮像モジュールの製造方法において、測定チャートは、縞パターンにより構成されており、第１および第２の合焦情報は、解像度としてＭＴＦを測定することで得られる。最も一般的な解像度であるＭＴＦの測定結果を利用して第１および第２の合焦情報を取得することができる。【００１９】
本発明の他の態様に係る撮像モジュールの製造方法において、ＭＴＦは、撮像素子の１０画素分から２０画素分のパターン間隔を有する縞パターンを撮像することにより得られる低周波数ＭＴＦであることが好ましい。高周波数ＭＴＦを用いた場合にはレンズ群の成形、組立誤差等の製造誤差が第１および第２の合焦情報に反映されてしまうが、低周波数ＭＴＦを用いることで磁界の影響を正確に測定することができるので、より正確な第１および第２の合焦情報を取得することができる。【００２０】
本発明の他の態様に係る撮像モジュールの製造方法において、傾き量および傾き方向は、第２の合焦情報からレンズ群の傾斜姿勢を求め、第２の基準姿勢と比較することで得られる。これにより、手振れ補正可動部の傾き量及び傾き方向を取得することができる。【００２１】
本発明の他の態様に係る撮像モジュールの製造方法において、固定ステップでは、レンズユニットと撮像素子ユニットとの間に接着剤を供給し、撮像素子ユニットに対してレンズユニットを傾けた後で接着剤を硬化させることによりレンズユニットと撮像素子ユニットとを固定する。これにより、撮像素子ユニットに対してレンズユニットを傾けた後でレンズユニットと撮像素子ユニットとを固定することができる。【００２２】
本発明の他の態様に係る撮像モジュールの製造方法において、撮像素子の画素ピッチが１．０μｍ以下であることが好ましい。撮像素子の画素ピッチが狭くなると、許容錯乱円の半径が小さくなり、焦点深度が浅くなる。従って、画素ピッチが１．０μｍ以下になると、レンズ群を撮像素子に対して高い精度で位置合わせ（正対）させる必要がある。本発明で得られる撮像モジュールは、レンズ群を撮像素子に対して高い精度で位置合わせさせる。【００２３】
本発明の目的を達成するための撮像モジュールの製造装置は、測定チャートを設置するための測定チャート設置部と、測定チャート設置部に設置された測定チャートに直交する軸上に、レンズ群を有するレンズユニットを通して被写体を撮像する撮像素子を有する撮像素子ユニットを保持するための撮像素子ユニット保持部と、測定チャート設置部と撮像素子ユニット保持部との間の軸上でレンズユニットを保持するためのレンズユニット保持部と、測定チャート設置部、レンズユニット保持部、及び撮像素子ユニット保持部の軸上の相対位置を変化させ、各相対位置において、撮像素子ユニット保持部により保持された撮像素子ユニットの撮像素子により、レンズユニット保持部により保持されたレンズユニットを通して、測定チャート設置部に設置された測定チャートを撮像させるチャート撮像制御部と、撮像素子により相対位置ごとに得られた撮像信号から、撮像素子の撮像面上に設定された複数の撮像位置ごとの合焦度合を示す第１の合焦情報を相対位置ごとに取得する合焦情報取得部と、合焦情報取得部により取得された相対位置ごとの第１の合焦情報に基づき、レンズ群の第２の基準姿勢を算出する基準姿勢算出部と、第２の基準姿勢に対する補正角度および補正方向を入力するための入力部と、基準姿勢算出部により算出された第２の基準姿勢と、入力部に入力された補正角度および補正方向とに基づき、レンズユニット保持部により保持されたレンズユニットに対する撮像素子ユニット保持部により保持された撮像素子ユニットの傾きを調整する調整部と、調整部により調整後の撮像素子ユニットをレンズユニットに固定するユニット固定部と、を備える。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の撮像モジュールの製造方法及び撮像モジュールの製造装置によれば、電子機器内の部品配置自由度を高めた撮像モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】撮像モジュールの外観斜視図である。
【図２】撮像素子ユニットの外観斜視図である。
【図３】図１に示す撮像モジュールのＡ−Ａ線断面図である。
【図４】ＯＩＳ機構及び焦点調節機構の電気的接続構成を示すブロック図である。
【図５】レンズユニットが電子機器に組み込まれる前の状態における手振れ補正可動部の傾き方向及び傾き量の測定を説明するための説明図である。
【図６】レンズユニットが電子機器に組み込まれた状態における手振れ補正可動部の傾き方向及び傾き量の測定を説明するための説明図である。
【図７】第１実施形態の撮像モジュール製造装置の概略図である。
【図８】第１実施形態の撮像モジュール製造装置によるレンズユニットと撮像素子ユニットとの固定処理を説明するための説明図である。
【図９】第１実施形態の撮像モジュール製造装置による手振れ補正可動部の傾き調整を説明するための説明図である。
【図１０】第１実施形態の撮像モジュール製造装置の取り外しを説明するための説明図である。
【図１１】電子機器に組み込まれた状態の撮像モジュールを説明するための説明図である。
【図１２】（Ａ）は比較例に係る従来の撮像モジュールのレンズ群と撮像素子ユニットとの関係、及び撮像素子の画面内の解像度の分布を示す図であり、（Ｂ）は本発明に係る撮像モジュールのレンズ群と撮像素子ユニットとの関係、及び撮像素子の画面内の解像度の分布を示す図である。
【図１３】第２実施形態の撮像モジュール製造装置の概略図である。
【図１４】図１３に示す撮像モジュール製造装置の測定チャートの正面図である。
【図１５】第２実施形態の撮像モジュール製造装置によるレンズユニットと撮像素子ユニットの保持状態を説明するための説明図である。
【図１６】第２実施形態の撮像モジュール製造装置内の一部の拡大図であり、撮像モジュール製造装置内に磁界発生部を取り付けた状態を説明するための図である。
【図１７】第２実施形態の撮像モジュール製造装置の電気的構成を示すブロック図である。
【図１８】第２の基準姿勢、基準ＸＹ方向回転角度、傾斜ＸＹ方向回転角度、及びＸＹ方向補正値の関係を説明するための説明図である。
【図１９】入力部からのＸＹ方向補正値の入力を説明するための説明図である。
【図２０】第２実施形態の撮像モジュール製造装置のよる撮像モジュールの製造、特にレンズユニットと撮像素子ユニットとの固定処理の流れを示したフローチャートである。
【図２１】第３実施形態の撮像モジュール製造装置の概略図である。
【図２２】第３実施形態の撮像モジュール製造装置により測定されるＭＴＦ値測定データを説明するための説明図である。
【図２３】第３実施形態の撮像モジュール製造装置により測定されるＭＴＦ値測定データのＭＴＦ値の波形がピーク位置に対して略左右非対称形状となる場合のＸＹ方向回転角度の算出を説明するための説明図である。
【図２４】（Ａ）低周波数ＭＴＦと（Ｂ）高周波数ＭＴＦを説明するための説明図である。
【図２５】電子機器の実施形態であるスマートフォンの外観を示す図である。
【図２６】スマートフォンの電気的構成を示すブロック図である。
【図２７】スマートフォンに撮像モジュールを搭載した場合のスマートフォンの要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、添付図面に従って本発明に係る撮像モジュールの製造方法及び撮像モジュールの製造装置について説明する。
【００２７】
＜撮像モジュールの構成＞
図１は、本発明に係る撮像モジュールの製造方法及び撮像モジュールの製造装置にて製造される撮像モジュール１００の外観斜視図である。
【００２８】
撮像モジュール１００は、レンズ群１２を有するレンズユニット１０と、レンズ群１２を通して被写体を撮像する撮像素子２７（図２参照）を有する撮像素子ユニット２０と、を備える。なお、図１では、撮像素子２７の撮像面に垂直な軸に沿う方向をＺ方向とし、Ｚ方向に直交する２方向であって互いに直交する２つの方向をそれぞれＸ方向、Ｙ方向としている。なお、レンズ群１２の光軸Ａｘは、電子機器（図１で不図示）に搭載されていない状態ではＺ方向に対して傾いている（図３参照）。
【００２９】
レンズユニット１０は、後述する各構成部材を内部に収容する筐体１１を備える。筐体１１の天面１１ａには、レンズ群１２の光軸Ａｘを中心とする開口１１ｂが形成されている。撮像モジュール１００は、被写体光を開口１１ｂからレンズ群１２に取り込んで撮像を行う。
【００３０】
また、天面１１ａには、撮像モジュール１００の製造時にレンズユニット１０を製造装置に保持するための位置決め用の凹部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃが形成されている。天面１１ａの対角線上に配置される凹部９５Ａ，９５Ｃの底面には、凹部９５Ａ，９５Ｃよりも小さい凹部９５Ａ１，９５Ｃ１が形成されている。
【００３１】
筐体１１の外部には、筐体１１に収容されるフレキシブル基板１３の一部が露出している。このフレキシブル基板１３の露出部分の先端には、端子１４Ａ〜１４Ｆを含むレンズユニット端子部１４が接続されている。レンズユニット端子部１４は、筐体１１を構成する面のうちの天面１１ａ以外の面から露出している。なお、レンズユニット端子部１４は、後述するように、端子１４Ａ〜１４Ｆ以外の端子も含むが、図１では、簡略化のために端子１４Ａ〜１４Ｆのみを図示し、その他の端子の図示を省略している。
【００３２】
図２は、図１に示す撮像モジュール１００においてレンズユニット１０を省略した状態の外観斜視図である。
【００３３】
図２に示すように、撮像素子ユニット２０は、ＣＣＤ（charge coupled device）イメージセンサ又はＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）イメージセンサ等の撮像素子２７が実装される基板２１と、基板２１と電気的に接続されるフレキシブル基板２２と、を備える。
【００３４】
撮像素子２７の画素ピッチは特に限定されないが、本実施形態においては１．０μｍ以下の画素ピッチを有する撮像素子が用いられる。ここで、画素ピッチとは、撮像素子２７が有する画素に含まれる光電変換領域の中心間距離のうち、最も小さい距離のことをいう。
【００３５】
近年、画素数の増加に伴い、撮像素子の画素ピッチは狭くなっているが、画素ピッチが狭くなると、１画素あたりの面積が小さくなる。これにより、許容錯乱円の半径が小さくなり、焦点深度が浅くなる。さらに、１画素あたりの集光量を多くする必要があるため、レンズのＦナンバーも小さくなる傾向にある。これらのことから、近年の撮像モジュールは、非常に焦点深度が浅く、レンズユニットと撮像素子ユニットの位置合わせは高い精度が要求されている。画素ピッチが１．０μｍ以下になると、特に高い位置合わせ精度が要求される。
【００３６】
基板２１上には、撮像素子２７に対応する開口を有する筒状のベース部材２５が配設され、ベース部材２５内部に撮像素子２７が配置されている。ベース部材２５の中空部には撮像素子２７上方においてカバーガラス２６（図３参照）が嵌め込まれる。
【００３７】
ベース部材２５の外側における基板２１表面には、レンズユニット１０との電気的接続をとるための端子２４Ａ〜２４Ｆを含む撮像素子ユニット端子部２４（図１参照）が設けられている。この撮像素子ユニット端子部２４も、レンズユニット端子部１４と同様に、一部の端子のみ図示している。
【００３８】
基板２１には、撮像素子２７のデータ出力用端子及び駆動用端子等と接続される撮像素子用配線が設けられている。撮像素子用配線は、フレキシブル基板２２に設けられた配線を経由して、フレキシブル基板２２端部に設けられた外部接続用端子部２３に接続されている。外部接続用端子部２３は、撮像素子２７と電気的に接続された電気接続部として機能する。
【００３９】
また、基板２１には、撮像素子ユニット端子部に含まれる各端子と接続されるレンズユニット用配線が設けられている。レンズユニット用配線は、フレキシブル基板２２に設けられた配線を経由して、フレキシブル基板２２端部に設けられた外部接続用端子部２３に接続されている。
【００４０】
レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とを固定した状態では、レンズユニット端子部の各端子とこれに対応する撮像素子ユニット端子部の各端子とが電気的に接続される。例えば図１では、端子１４Ａと端子２４Ａとが電気的に接続され、端子１４Ｂと端子２４Ｂとが電気的に接続され、端子１４Ｃと端子２４Ｃとが電気的に接続され、端子１４Ｄと端子２４Ｄとが電気的に接続され、端子１４Ｅと端子２４Ｅとが電気的に接続され、端子１４Ｆと端子２４Ｆとが電気的に接続されている。
【００４１】
図３は、図１に示す撮像モジュール１００のＡ−Ａ線断面図である。図３に示すように、撮像素子２７は、基板２１に配置されると共に、基板２１上に設けられたベース部材２５及びベース部材２５に嵌め込まれたカバーガラス２６によって封止されている。
【００４２】
また、レンズユニット１０は、カバーガラス２６の上方に配置された複数（図３の例では５枚）のレンズを含むレンズ群１２と、レンズ群１２を支持する筒状のレンズバレル１５と、手振れ補正可動部３０と、手振れ補正可動部３０をレンズ群１２の光軸Ａｘに対して垂直方向に移動自在でかつ光軸Ａｘに対して垂直な軸の周りに傾き可能に支持する弾性支持部４０と、手振れ補正可動部３０を光軸と直交する方向に移動させるＯＩＳ機構５０と、レンズバレル１５を光軸方向に移動させる焦点調節機構６０と、を備えている。
【００４３】
手振れ補正可動部３０は、レンズバレル１５を収納しているとともに、詳しくは後述するがマグネット等の磁性体部材を有している。なお、図示は省略するが、手振れ補正可動部３０の天面には、被写体光をレンズ群１２に通すための開口が形成されている。
【００４４】
弾性支持部４０は、手振れ補正可動部３０の側方に延出する板バネ４２と、一端が板バネ４２に固定され、他端がベース部材２５側に固定された４本のサスペンションワイヤ４４と、サスペンションワイヤ４４の他端が固定されると共にベース部材２５上に接着固定されるワイヤ固定部４６と、を有している。
【００４５】
ＯＩＳ機構５０は、ベース部材２５側（固定側）に固定されたＯＩＳ駆動用コイル５２と、手振れ補正可動部３０側（可動側）に固定されたＯＩＳ駆動用マグネット５４と、を有している。ＯＩＳ駆動用マグネット５４は、後述のＡＦ用マグネット６４と共に本発明の磁性体部材に相当する。なお、レンズユニット１０に他の磁性体部材が設けられていてもよい。
【００４６】
また、図３には、撮像素子２７の撮像面２７ａに垂直な方向（点線Ｖで示す方向）をＺ軸とする３軸直交座標系のＸ方向（図中の左右方向）の一対のＯＩＳ駆動用コイル５２とＯＩＳ駆動用マグネット５４とが図示されているが、Ｙ方向（図中の紙面に直交する方向）にも一対のＯＩＳ駆動用コイルとＯＩＳ駆動用マグネットとが設けられている。Ｘ方向及びＹ方向のＯＩＳ駆動用コイルを駆動し、手振れ補正可動部３０を光軸Ａｘと直交（略直交を含む）する方向に移動させることにより手振れ補正を行うことができる。
【００４７】
焦点調節機構６０は、手振れ補正可動部３０の内側に配設されたオートフォーカス（ＡＦ）用コイル６２と、レンズバレル１５の周囲に配設されたＡＦ用マグネット６４とを有するボイスコイルモータにより構成されている。ボイスコイルモータを駆動し、レンズバレル１５を光軸方向に移動させることにより焦点調節を行うことができる。
【００４８】
また、ＯＩＳ機構５０および焦点調節機構６０は、レンズ群１２（レンズバレル１５）のＸＹＺ方向の位置をそれぞれ検出する位置検出素子としてのホール素子を備える。
【００４９】
レンズユニット１０のワイヤ固定部４６を、撮像素子ユニット２０上のベース部材２５に接着剤１８（ここでは一例として紫外線硬化型接着剤）で固定することにより、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とが固定されて、撮像モジュール１００が製造される。この撮像モジュール１００の製造の際には、磁界発生部を有する電子機器にレンズユニット１０が組み込まれた状態での手振れ補正可動部３０の傾き量及び傾き方向が予め取得されている。そして、予め取得された傾き量及び傾き方向に基づき、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とは、磁界発生部からの磁界が印加されていない状態で、レンズ群１２の光軸Ａｘが撮像面２７ａに直交する第１の基準姿勢（光軸Ａｘが図中の撮像面２７ａに直交する点線Ｖに平行となる姿勢）から上述の傾き方向と反対側の方向に上述の傾き量だけ傾けた状態で接着固定されている。
【００５０】
＜ＯＩＳ機構及び焦点調節機構の電気的接続構成＞
図４は、図３に示したＯＩＳ機構５０及び焦点調節機構６０の電気的接続構成を示すブロック図である。
【００５１】
図４に示すように、ＯＩＳ機構５０は、手振れ補正可動部３０をＸ方向に移動させるためのボイスコイルモータ５０Ａ（図３に示したＯＩＳ駆動用コイル５２及びＯＩＳ駆動用マグネット５４、以下、Ｘ方向ＶＣＭ５０Ａと略す）と、手振れ補正可動部３０のＸ方向位置を検出するためのＸ方向ホール素子５０Ｂと、手振れ補正可動部３０をＹ方向に移動させるためのボイスコイルモータ５０Ｃ（以下、Ｙ方向ＶＣＭ５０Ｃと略す）と、手振れ補正可動部３０のＹ方向位置を検出するためのＹ方向ホール素子５０Ｄとを備えている。
【００５２】
また、焦点調節機構６０は、手振れ補正可動部３０に対してレンズ群１２（レンズバレル１５）を光軸方向に移動させるためのボイスコイルモータ６０Ｅ（図３に示したＡＦ用コイル６２とＡＦ用マグネット６４、以下、Ｚ方向ＶＣＭ６０Ｅと略す）と、レンズバレル１５のＺ方向位置を検出するためのＺ方向ホール素子６０Ｆとを備えている。
【００５３】
Ｘ方向ＶＣＭ５０Ａには２つの端子があり、この２つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４Ａ、端子１４Ｂと電気的に接続されている。
【００５４】
Ｘ方向ホール素子５０Ｂには４つの端子があり、この４つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４ａ、端子１４ｂ、端子１４ｃ、端子１４ｄと電気的に接続されている。
【００５５】
Ｙ方向ＶＣＭ５０Ｃには２つの端子があり、この２つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４Ｃ、端子１４Ｄと電気的に接続されている。
【００５６】
Ｙ方向ホール素子５０Ｄには４つの端子があり、この４つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４ｅ、端子１４ｆ、端子１４ｇ、端子１４ｈと電気的に接続されている。
【００５７】
Ｚ方向ＶＣＭ６０Ｅには２つの端子があり、この２つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４Ｅ、端子１４Ｆと電気的に接続されている。
【００５８】
Ｚ方向ホール素子６０Ｆには４つの端子があり、この４つの端子の各々は、フレキシブル基板１３に形成された配線を介して、端子１４ｉ、端子１４ｊ、端子１４ｋ、端子１４ｌと電気的に接続されている。
【００５９】
このように、レンズユニット端子部１４の各端子は、レンズユニット１０のＯＩＳ機構５０及び焦点調節機構６０と電気的に接続された電気接続部として機能する。なお、ＯＩＳ機構５０及び焦点調節機構６０と各ホール素子について必要な端子の数は一例であり、上述した構成には限定されない。
【００６０】
［第１実施形態の撮像モジュールの製造方法］
次に、図５から図１０を用いて上記構成の撮像モジュール１００の製造方法、特にレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との固定処理について説明を行う。
【００６１】
＜傾き方向及び傾き量取得＞
図５及び図６に示すように、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との固定を行う前に、磁界発生部３００を有する電子機器３０１にレンズユニット１０が組み込まれた状態での手振れ補正可動部３０の傾き量及び傾き方向の取得が予め行われる。なお、傾き量及び傾き方向の取得は、レンズユニット１０を撮像素子ユニット２０に固定した状態で行ってもよい。
【００６２】
最初に、図５に示すように、レンズユニット１０が電子機器３０１に組み込まれる前の状態、すなわち、磁界発生部３００からの磁界の印加が無い状態において、レンズユニット１０のレンズバレル１５の天面のＺ軸に対する傾き方向及び傾き量を測定する。具体的には、レーザ変位計２１０を用いて、開口１１ｂ及び手振れ補正可動部３０の開口を通して露呈しているレンズバレル１５の天面の４箇所（例えば四隅など、３箇所以上でも可）の高さを測定する。レーザ変位計２１０の測定結果は傾き測定装置２１１に出力される。なお、レーザ変位計２１０の代わりに接触式変位計などの各種変位計を用いてもよい。
【００６３】
次いで、図６に示すように、レンズユニット１０が電子機器３０１に組み込まれた状態である実使用環境において、レンズバレル１５の天面のＺ軸に対する傾き方向及び傾き量を測定する。具体的には、磁界の印加が無い状態における測定と同様に、レーザ変位計２１０を用いてレンズバレル１５の天面の４箇所の高さを測定し、レーザ変位計２１０の測定結果を傾き測定装置２１１に出力する。
【００６４】
この際にレンズユニット１０には、実使用環境においてはレンズユニット１０の近傍に配置された磁界発生部３００（例えば電子機器３０１がスマートフォンである場合にはスピーカなど、図２７参照）から磁界が印加される。弾性支持部４０により支持される手振れ補正可動部３０は光軸Ａｘに対して垂直な軸の周りに傾き可能であるので、手振れ補正可動部３０は、磁界発生部３００から印加される磁界により、磁界が印加されていない状態から変位、具体的には傾いてしまう。また、磁界により、手振れ補正可動部３０は傾いた状態のままＺ方向に平行移動する場合もある。なお、ここでいう「近傍に配置された磁界発生部３００」とは、手振れ補正可動部３０の姿勢に影響を及ぼす範囲内に配置された磁界発生部３００であり、この範囲は磁界発生部３００から発生する磁界の強度などによって増減する。
【００６５】
傾き測定装置２１１は、レンズユニット１０が電子機器３０１に組み込まれていない状態と組み込まれた状態とにおけるレーザ変位計２１０の測定結果を比較（例えば差分を演算）して、組み込みの前後での手振れ補正可動部３０の姿勢の変化を示す傾き測定結果２１５を算出する。この傾き測定結果２１５には、手振れ補正可動部３０の傾き方向及び傾き量が含まれる。これにより、手振れ補正可動部３０が磁界発生部３００から印加される磁界の影響を受けて傾く傾き方向及び傾き量が求められる。この傾き測定結果２１５は、同機種の電子機器３０１に搭載される同機種の撮像モジュール１００であれば基本的には同じ値となるので、電子機器３０１の機種及び撮像モジュール１００の機種の組み合わせごとに求めればよい。
【００６６】
なお、本実施形態ではレンズユニット１０を電子機器３０１に組み込んだ状態でレーザ変位計２１０による測定を行っているが、レンズユニット１０を電子機器３０１に組み込むことなく、磁界発生部３００またはこれに相当する磁性体などをレンズユニット１０に対して所定の位置に配置してレーザ変位計２１０による測定を行ってもよい。ここでいう「所定の位置」とは、レンズユニット１０が電子機器３０１に組み込まれた状態で磁界発生部３００から手振れ補正可動部３０に印加される磁界と同じ大きさの磁界を手振れ補正可動部３０に印加可能な位置である。
【００６７】
＜撮像モジュール製造装置の構成＞
図７及び図８に示すように、傾き測定結果２１５の取得後あるいは既に取得済みである場合には、撮像モジュール製造装置１９０を用いてレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との固定が行われる。なお、図７及び図８では、図面の煩雑化を防止するために筐体１１の図示は省略しているが、筐体１１はレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との固定後に撮像モジュール１００に取り付けてもよい。
【００６８】
撮像モジュール製造装置１９０は、撮像素子ユニット２０に対するレンズユニット１０の位置及び傾きを調整し、この調整後にレンズユニット１０を撮像素子ユニット２０に固定して撮像モジュール１００を完成させる。撮像モジュール製造装置１９０は、大別して、固定冶具２４０と、アーム部駆動機構２４２と、接着剤供給部２４４と、紫外線ランプ２４６と、を備えている。
【００６９】
固定冶具２４０は、中空部を有する環状の台座２４７と、環状のアーム部２４８と、支持バネ２４９とを有している。台座２４７は、撮像素子ユニット２０あるいは撮像素子ユニット２０がセットされる図示しないステージ等に固定される。
【００７０】
アーム部２４８は、開口１１ｂ及び手振れ補正可動部３０の開口を通してレンズバレル１５（手振れ補正可動部３０でも可）の天面部を着脱自在に把持する。また、アーム部２４８の外周には、アーム部２４８がレンズバレル１５を把持した際に、弾性支持部４０の天面部に当接する環状の当接部２４８ａが形成されている。これにより、アーム部２４８を介して、手振れ補正可動部３０及び弾性支持部４０を一体的に傾き調整することができる。
【００７１】
支持バネ２４９は、台座２４７の中空部内でアーム部２４８をＸＹＺ軸の各方向にそれぞれ移動自在に支持するとともに、アーム部２４８をＸＹ軸の各軸の周りに傾き可能（すなわち、傾き調整可能）に支持する。
【００７２】
アーム部駆動機構２４２は、アーム部２４８に接続しており、このアーム部２４８をＸＹＺ軸の各方向にそれぞれシフト移動させるとともに、ＸＹ軸の各軸の周りに傾ける。
【００７３】
また、アーム部駆動機構２４２には入力部２４２ａが設けられている。入力部２４２ａには、傾き測定結果２１５から求めた補正値２６０が入力される。補正値２６０は、手振れ補正可動部３０が磁界発生部３００から印加される磁界の影響を受けて傾いた状態から、レンズ群１２の光軸Ａｘが撮像面２７ａに直交するようにレンズ群１２（ここでは手振れ補正可動部３０及び弾性支持部４０）の姿勢を調整するための補正値である。この補正値２６０は、傾き測定結果２１５が示す傾き方向とは反対側の方向を示す補正方向と、傾き測定結果２１５が示す傾き量と同じ傾き量を示す補正量とで構成されている。アーム部駆動機構２４２は、入力部２４２ａに入力された補正値２６０に基づき、アーム部２４８をＸＹ軸の各軸の周りに傾けることで、手振れ補正可動部３０及び弾性支持部４０を傾き測定結果２１５が示す傾き方向とは反対側の方向に傾き量だけ傾ける。
【００７４】
接着剤供給部２４４は、ワイヤ固定部４６とベース部材２５との間に紫外線硬化型の接着剤１８を供給する。なお、接着剤供給部２４４の位置は図中に示した位置に限定されず、ワイヤ固定部４６とベース部材２５との間に接着剤１８を供給可能な位置に設けられている。また、接着剤供給部２４４を図７に示した位置に設けた場合には、接着剤１８の供給後に接着剤供給部２４４をワイヤ固定部４６とベース部材２５との間から退避させる。
【００７５】
紫外線ランプ２４６は、接着剤１８に対して紫外線を照射して硬化させる。なお、紫外線ランプ２４６の位置は図中に示した位置に限定されず、ワイヤ固定部４６とベース部材２５との間にある接着剤１８に紫外線を照射可能な位置に設けられている。
【００７６】
＜レンズユニットと撮像素子ユニットとの固定処理＞
次に、撮像モジュール製造装置１９０によるレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との固定処理（本発明の固定ステップ）の一例について説明を行う。最初に固定冶具２４０のアーム部２４８にレンズバレル１５の天面部を把持させるとともに、当接部２４８ａを弾性支持部４０の天面部に当接させる。その後、アーム部駆動機構２４２を制御して、レンズ群１２の光軸Ａｘが撮像面２７ａに直交する第１の基準姿勢（図７参照）となるようにアーム部２４８の傾き調整を行った後、光軸Ａｘが撮像面２７ａの中心位置あるいは所定の基準位置に一致するようにアーム部２４８のＸＹ方向の位置を調整する。
【００７７】
次いで、接着剤供給部２４４を作動させてワイヤ固定部４６とベース部材２５との間に接着剤１８を供給させる。また、アーム部駆動機構２４２を制御して、手振れ補正可動部３０及び弾性支持部４０（すなわち、レンズユニット１０）をＺ方向に沿って撮像素子ユニット２０に向けてシフト移動させる。そして、ワイヤ固定部４６がベース部材２５に当接または圧接した状態でアーム部駆動機構２４２の動作を一時停止させた後、入力部２４２ａに補正値２６０を入力する。
【００７８】
図９に示すように、アーム部駆動機構２４２は、補正値２６０に基づき、手振れ補正可動部３０及び弾性支持部４０が補正方向に補正量だけ傾くように、アーム部２４８をＸＹ軸の各軸の周りに傾ける（図９では撮像モジュール製造装置１９０の図示は省略）。その結果、レンズ群１２が前述の第１の基準姿勢から、傾き測定結果２１５が示す傾き方向とは反対側の方向に傾き量だけ傾けられる。また、この傾き調整により、ワイヤ固定部４６とベース部材２５との間にある接着剤１８の厚みが不均一になる。
【００７９】
次いで、ワイヤ固定部４６とベース部材２５との間にある接着剤１８に向けて紫外線ランプ２４６から紫外線を照射する。これにより、接着剤１８が厚みの不均一な状態で硬化して、レンズ群１２が前述の第１の基準姿勢から傾けられた状態でレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とが固定される。
【００８０】
図１０に示すように、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とが固定された後、アーム部２４８によるレンズバレル１５の把持を解除させて、固定冶具２４０を取り外す。これにより、撮像モジュール製造装置１９０によるレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との固定処理が完了し、撮像モジュール１００が完成する。
【００８１】
なお、上記第１の実施形態で説明した撮像モジュール製造装置１９０は一例であり、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とを固定する際にレンズ群１２を第１の基準姿勢から傾けることが可能な装置であれば特に限定されない。また、ここでいう「レンズ群１２を第１の基準姿勢から傾ける」には、レンズ群１２に対して撮像素子ユニット２０を傾けることが含まれる。すなわち、撮像素子ユニット２０に対してレンズ群１２を相対的に第１の基準姿勢から傾ければよい。
【００８２】
＜本発明の効果＞
以上のように本発明で製造される撮像モジュール１００では、レンズ群１２が前述の第１の基準姿勢から傾き測定結果２１５が示す傾き方向とは反対側の方向に傾き量だけ傾けられた状態でレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とが固定される。このため、図１１に示すように、この撮像モジュール１００を電子機器３０１に組み込むと、磁界発生部３００からレンズユニット１０に印加される磁界により、手振れ補正可動部３０が前述の傾き測定結果２１５が示す傾き方向に傾き量だけ傾く。その結果、レンズ群１２の光軸Ａｘが撮像面２７ａに直交する、すなわち、レンズ群１２が第１の基準姿勢に調整される。これにより、撮像モジュール１００を電子機器３０１内の磁界発生部３００の近傍に配置しても、レンズ群１２の第１の基準姿勢からの傾きを抑えることができる。これにより、電子機器３０１内における部品（撮像モジュール１００や磁界発生部３００など）の配置の自由度を上げることができる。
【００８３】
また、図１２（Ａ）に示す比較例のように、レンズ群１２が第１の基準姿勢となる状態でレンズユニットと撮像素子ユニットとを固定して製造された撮像モジュールを電子機器３０１に組み込むと、磁界発生部３００からレンズユニットに印加される磁界により手振れ補正可動部３０が傾くことでレンズ群１２が第１の基準姿勢から傾いてしまう。その結果、この撮像モジュールにより得られる画像の画面内の解像度分布図に示されるように、レンズ群１２の傾きにより画面内の解像度がばらついてしまう。なお、図１２において、画面内の解像度は、明暗により表されており、明るい程、解像度が高い領域を示している。
【００８４】
このような比較例に対して本発明では、図１２（Ｂ）に示すように、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とを固定する際に、レンズ群１２を補正値２６０（傾き測定結果２１５）に従って第１の基準姿勢から傾けている。このため、撮像モジュール１００を電子機器３０１内に組み込んだ際に、磁界発生部３００からレンズユニット１０に印加される磁界により手振れ補正可動部３０が傾くことでレンズ群１２が第１の基準姿勢に調整される。その結果、本発明の撮像モジュール１００により得られる画像の画面内の解像度分布は均一になるので、良好な画像が得られる。
【００８５】
なお、図１２（Ｂ）に示した本発明のレンズ群１２は、図１２（Ａ）に示した比較例のレンズ群１２を０．２６度傾けた場合である。このように本発明では、磁界発生部３００とレンズユニット１０との距離や磁界発生部３００から発生する磁界の強度にもよるが、上記特許文献１に記載の発明が傾斜の許容値としている０．６度よりも小さい０．２〜０．３度でのレンズ群１２の傾きを調整することで、画面内の解像度分布が均一となる良好な画像を取得することができる。
【００８６】
［第２実施形態の撮像モジュールの製造方法］
次に、図１３から図１５を用いて上記構成の撮像モジュール１００の第２実施形態の製造方法（特にレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との固定処理）について説明を行う。第２実施形態では本発明の撮像モジュールの製造装置に相当する撮像モジュール製造装置２００を用いて撮像モジュール１００を製造する。上記第１実施形態の撮像モジュール製造装置１９０では、レンズ群１２をその光軸Ａｘが撮像面２７ａに直交する第１の基準姿勢から傾けている。これに対して、撮像モジュール製造装置２００では、上記特許文献２に記載の発明と同様に撮像素子２７の撮像面２７ａ上に定められた複数の測定点の解像度が最大となるレンズ群１２の姿勢を第２の基準姿勢として、撮像素子ユニット２０に対してレンズ群１２を第２の基準姿勢から相対的に傾けている。
【００８７】
＜第２実施形態の撮像モジュール製造装置の構成＞
図１３は、撮像モジュール製造装置２００の概略図である。撮像モジュール製造装置２００は、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０の位置及び傾きを調整し、この調整後に撮像素子ユニット２０をレンズユニット１０に固定して撮像モジュール１００を完成させる。
【００８８】
撮像モジュール製造装置２００は、測定チャート設置部７１と、集光ユニット７３と、レンズ位置決めプレート７５と、レンズユニット保持部７７と、撮像素子ユニット保持部７９と、接着剤供給部８１と、光源としての紫外線ランプ８３と、これらを制御する制御部８５と、を備える。測定チャート設置部７１、集光ユニット７３、レンズ位置決めプレート７５、レンズユニット保持部７７、及び撮像素子ユニット保持部７９は、重力方向に垂直な軸８７であって、かつ後述する測定チャート８９に直交する軸８７上で一方向に並べて配置されている。
【００８９】
測定チャート設置部７１は、箱状の筐体７１ａと、筐体７１ａ内に嵌合される測定チャート８９と、筐体７１ａ内に組み込まれて測定チャート８９を背面から平行光で照明する光源９１とを有している。測定チャート８９は、例えば、光拡散性を有するプラスチック板で形成されている。測定チャート８９のチャート面は重力方向に平行となる。測定チャート８９は取り外し可能として別のものに交換できるようにしてもよい。
【００９０】
なお、第２実施形態では、測定チャート８９のチャート面の垂線（軸８７に平行な垂線）であって、チャート面中心８９ａを通る線をＺ軸とし、Ｚ軸に直交する２軸を水平Ｘ軸、垂直Ｙ軸（以下、適宜にＸ軸、Ｙ軸と略す、図１４参照）とする。
【００９１】
図１４は、測定チャート８９のチャート面を示す図である。測定チャート８９は矩形状であり、チャートパターンが設けられたチャート面には、複数のチャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５がそれぞれ印刷されている。
【００９２】
複数のチャート画像は、全て同一の画像であり、黒色の線を所定の一定間隔で配列させた、いわゆるラダー状のチャートパターンである。各チャート画像は、それぞれ画像の水平方向に配列させた水平チャート画像Ｐｘと、画像の垂直方向に配列させた垂直チャート画像Ｐｙとを含む。
【００９３】
図１３に戻って、集光ユニット７３は、Ｚ軸上において、測定チャート設置部７１に対面配置されている。
【００９４】
集光ユニット７３は、軸８７に固定されたブラケット７３ａと、集光レンズ７３ｂとを有している。集光レンズ７３ｂは、測定チャート設置部７１から放射された光を集光し、集光した光をブラケット７３ａに形成された開口７３ｃを通して、レンズ位置決めプレート７５に入射させる。
【００９５】
レンズ位置決めプレート７５及びレンズユニット保持部７７は、測定チャート設置部７１と撮像素子ユニット保持部７９との間のＺ軸上でレンズユニット１０を保持する。すなわち、レンズ位置決めプレート７５は、レンズユニット保持部７７と共に本発明のレンズユニット保持部を構成している。
【００９６】
レンズ位置決めプレート７５は、剛性を有するように形成されており、集光ユニット７３により集光された光を通過させる開口７５ｃが設けられている。レンズ位置決めプレート７５は、Ｚ軸上において集光ユニット７３に対面配置されている。
【００９７】
図１５は、撮像モジュール製造装置２００によるレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０の保持状態を示す説明図である。
【００９８】
図１５に示すように、レンズ位置決めプレート７５のレンズユニット保持部７７側の面には、開口７５ｃの周囲に３個の当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃが設けられている。
【００９９】
当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃは図１に示したレンズユニット１０の凹部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃを受けると共に、挿入ピン９３Ａ１，９３Ｃ１は凹部９５Ａ１，９５Ｃ１に挿入されてレンズユニット１０を位置決めする。このようにしてレンズユニット１０が位置決めされた状態では、Ｚ軸がレンズ群１２の光軸Ａｘと一致する。
【０１００】
図１３に戻って、レンズユニット保持部７７は、Ｚ方向に移動可能な第１スライドステージ９９と、第１スライドステージ９９のステージ部９９ａ上に設けられたプローブユニット１１３及び保持プレート１１４と、を備える。
【０１０１】
第１スライドステージ９９は、電動式の精密ステージであって、図示しないモータの回転によってボールネジを回転させ、このボールネジに噛合されたステージ部９９ａをＺ方向に移動させる。第１スライドステージ９９は制御部８５によって制御される。
【０１０２】
保持プレート１１４は、Ｚ軸上で測定チャート設置部７１に筐体１１の天面１１ａが向くようにレンズユニット１０を保持するための構成であり、ステージ部９９ａをＺ方向に移動させて、レンズ位置決めプレート７５によって位置決めされたレンズユニット１０に保持プレート１１４を押し当てることで、レンズユニット１０を撮像モジュール製造装置２００に保持する。
【０１０３】
プローブユニット１１３は、複数のプローブ１１３ａ（図１３では１つのみ図示）を有する。第１スライドステージ９９がＺ方向に移動し、保持プレート１１４がレンズユニット１０に押し当てられた状態で、レンズユニット１０の各端子１４Ａ〜１４Ｆにプローブ１１３ａの接触子が接触する。
【０１０４】
プローブユニット１１３は、プローブ１１３ａを介して各端子１４Ａ〜１４Ｆに通電し、Ｘ方向ＶＣＭ５０Ａ、Ｙ方向ＶＣＭ５０Ｃ、Ｚ方向ＶＣＭ６０Ｅを駆動する。
【０１０５】
プローブユニット１１３に含まれる各プローブ１１３ａは、所謂スプリング式のプローブであり、被接触部位に接触させるための接触子と、プローブユニット１１３内の回路基板と電気的に接続される接続子と、接触子と接続子の間に設けられ、接触子を付勢するスプリング等の弾性体とを備えて構成される。プローブ１１３ａの接触子は例えば非磁性材料からなる。プローブユニット１１３内の回路基板は、後述するレンズ駆動ドライバ１４５と電気的に接続されている。
【０１０６】
撮像素子ユニット保持部７９は、撮像素子ユニット２０をＺ軸上に保持するための構成である。また、撮像素子ユニット保持部７９は、制御部８５の制御により、撮像素子ユニット２０のＺ方向位置及び傾きが変更可能となっている。ここで、撮像素子ユニット２０の傾きは、Ｚ軸に直交する平面に対する撮像素子２７の撮像面２７ａの傾きを意味する。
【０１０７】
撮像素子ユニット保持部７９は、Ｚ軸上で測定チャート設置部７１に撮像面２７ａが向くように撮像素子ユニット２０を保持するチャックハンド１１５と、チャックハンド１１５が取り付けられた略クランク状のブラケット１１７を保持し、Ｚ軸に直交する２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）の回りで傾きを調整する２軸回転ステージ１１９と、２軸回転ステージ１１９が取り付けられたブラケット１２１を保持してＺ方向に移動させる第２スライドステージ１２３と、を有している。
【０１０８】
チャックハンド１１５は、図１５に示すように、略クランク状に屈曲された一対の挟持部材１１５ａと、これらの挟持部材１１５ａをＺ軸に直交するＸ方向で移動させるアクチュエータ１１５ｂ（図１３参照）とを有している。挟持部材１１５ａは、撮像素子ユニット２０の外枠を挟み込み、撮像素子ユニット２０を保持する。
【０１０９】
図１３に戻って、チャックハンド１１５は、レンズ位置決めプレート７５及びレンズユニット保持部７７により保持されているレンズユニット１０の光軸Ａｘと、撮像面２７ａの中心位置とが一致するように、挟持部材１１５ａに挟持された撮像素子ユニット２０を位置決めする。
【０１１０】
また、チャックハンド１１５は、Ｚ方向にみたときに、撮像素子ユニット２０の撮像素子ユニット端子部２４の各端子と、保持されたレンズユニット１０のレンズユニット端子部１４の各端子とが重なるように、挟持部材１１５ａに挟持された撮像素子ユニット２０を位置決めする。
【０１１１】
２軸回転ステージ１１９は、電動式の２軸ゴニオステージであって、図示しない２つのモータの回転により、撮像面２７ａの中心位置を回転中心にして、撮像素子ユニット２０を、Ｘ軸の回りのθＸ方向と、Ｚ軸及びＸ軸に直交するＹ軸の回りのθＹ方向に傾ける（図１５参照）。これにより、撮像素子ユニット２０を各方向に傾けた際に、撮像面２７ａの中心位置とＺ軸との位置関係がずれることが防止される。
【０１１２】
第２スライドステージ１２３は、電動式の精密ステージであって、図示しないモータの回転によってボールネジを回転させ、このボールネジに噛合されたステージ部１２３ａをＺ方向に移動させる。ステージ部１２３ａにはブラケット１２１が固定されている。
【０１１３】
２軸回転ステージ１１９には、撮像素子ユニット２０のフレキシブル基板２２の先端に設けられた外部接続用端子部２３と接続されるコネクタケーブル１２７が取り付けられている。このコネクタケーブル１２７は撮像素子２７の駆動信号を入力したり、撮像素子２７から出力される撮像画像信号を出力したりする。
【０１１４】
接着剤供給部８１及び紫外線ランプ８３は、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０を固定する本発明のユニット固定部を構成する。
【０１１５】
接着剤供給部８１は、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０の位置及び傾きの調整が終了した後、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との隙間に、光によって硬化する接着剤１８（ここでは一例として紫外線硬化型接着剤）を供給する。
【０１１６】
紫外線ランプ８３は、上記隙間に供給された紫外線硬化型の接着剤１８に紫外線を照射することで、接着剤を硬化させる。なお、接着剤１８としては、紫外線硬化型接着剤の他、瞬間接着剤、熱硬化接着剤、自然硬化接着剤等も利用可能である。
【０１１７】
図１６は、図１３に示した撮像モジュール製造装置２００の一部の拡大図である。撮像モジュール製造装置２００には、撮像モジュール１００が組み込まれる電子機器３０１が有する磁界発生部３００が着脱自在に取り付けられる。例えば本実施形態では、磁界発生部３００をレンズユニット１０と一体的に移動するステージ部９９ａ上の部分に取り付けている。また、撮像モジュール製造装置２００内におけるレンズユニット１０と磁界発生部３００との位置関係は、電子機器３０１内に撮像モジュール１００を組み込んだ場合におけるレンズユニット１０と磁界発生部３００との位置関係と同じ（ほぼ同じを含む）になるように調整されている。すなわち、電子機器３０１に組み込まれた実使用環境のレンズユニット１０に対して磁界発生部３００から印加される磁界と同じ大きさの磁界が、撮像モジュール製造装置２００内のレンズユニット１０に印加される。
【０１１８】
また、電子機器３０１に設けられている磁界発生部３００の代わりに、磁界発生部３００から印加される磁界と同じ大きさの磁界を印加可能な電磁石等の磁界発生部を配置してもよい。なお、ここでいう「同じ」とは、電磁石等から印加される磁界の強度がステップ状に設定できるようになっている場合にはその範囲内にあることを「同じ」という」。例えば磁界の強度を小数点第１位まで設定時に入力できる場合であれば、その桁数までが同じであればよい。
【０１１９】
＜第２実施形態の撮像モジュール製造装置の電気的構成＞
図１７は、撮像モジュール製造装置２００の電気的構成を示すブロック図である。
【０１２０】
制御部８５は、例えば、ＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えたマイクロコンピュータであり、ＲＯＭに記憶されている制御プログラムに基づいて各部を制御している。また、制御部８５には、各種設定を行うキーボードやマウス等の入力部１３１と、設定内容や作業内容、作業結果等が表示される表示部１３３とが接続されている。
【０１２１】
レンズ駆動ドライバ１４５は、Ｘ方向ＶＣＭ５０Ａ、Ｙ方向ＶＣＭ５０Ｃ、Ｚ方向ＶＣＭ６０Ｅを駆動するための駆動回路であり、プローブユニット１１３を介してＸ方向ＶＣＭ５０Ａ、Ｙ方向ＶＣＭ５０Ｃ、Ｚ方向ＶＣＭ６０Ｅの各々に駆動電流を供給する。
【０１２２】
撮像素子ドライバ１４７は、撮像素子２７を駆動するための駆動回路であり、コネクタケーブル１２７を介して撮像素子２７に駆動信号を入力する。
【０１２３】
合焦座標値取得回路１４９は、詳しくは後述するが、撮像素子２７の撮像面２７ａ上に設定された複数の撮像位置（測定チャート８９の各チャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５に対応する位置）について、Ｚ方向における合焦度合の高い位置である合焦座標値をそれぞれ取得する。
【０１２４】
制御部８５は、複数の撮像位置の合焦座標値を取得する際に、第２スライドステージ１２３を制御し、Ｚ軸上に予め離散的に設定された複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）に撮像素子ユニット２０を順次に移動させる。これにより、測定チャート設置部７１、レンズユニット保持部７７、及び撮像素子ユニット保持部７９の軸８７（Ｚ軸）上の相対位置が変化する。
【０１２５】
また、制御部８５は、撮像素子ドライバ１４７を制御し、各測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）でレンズ群１２が結像した測定チャート８９の複数のチャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５を撮像素子２７に撮像させる。すなわち、制御部８５、第２スライドステージ１２３、及び撮像素子ドライバ１４７により本発明のチャート撮像制御部が構成されている。
【０１２６】
このような制御部８５による撮像素子ユニット２０の各測定位置への移動と、測定位置ごとの撮像素子２７による撮像とは、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００がセットされていない状態の他に、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００がセットされた状態でも行われる。
【０１２７】
合焦座標値取得回路１４９は、コネクタケーブル１２７を介して入力された撮像信号から上記複数の撮像位置に対応する画素の信号を抽出し、その画素信号から複数の撮像位置に対する個別の合焦評価値をそれぞれ算出する。そして、各撮像位置について所定の合焦評価値が得られたときの測定位置をＺ軸上の合焦座標値としている。なお、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００がセットされていない状態で取得された合焦座標値が本発明の第１の合焦情報に相当し、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００がセットされた状態で取得された合焦座標値が本発明の第２の合焦情報に相当する。また、合焦座標値取得回路１４９は、本発明の合焦情報取得部に相当する。
【０１２８】
合焦評価値としては、レンズ群１２の解像度を表す値、例えばコントラスト伝達関数値（Ｃｏｎｔｒａｓｔ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｆｕｎｃｔｉｏｎ：以下、ＣＴＦ値と略す）を用いることができる。ＣＴＦ値は、空間周波数に対する像のコントラストを表す値であり、ＣＴＦ値が高いときに合焦度が高いとみなす。
【０１２９】
合焦座標値取得回路１４９は、複数の撮像位置の各々について、Ｚ軸上に設定された複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）毎に、ＸＹ座標平面上で設定した複数方向のそれぞれに対してＣＴＦ値を算出している。
【０１３０】
ＣＴＦ値が算出される方向としては、例えば、撮像面２７ａの横方向である水平方向（Ｘ方向）と、これに直交する垂直方向（Ｙ方向）とし、各方向のＣＴＦ値であるＸ−ＣＴＦ値及びＹ−ＣＴＦ値をそれぞれ算出する。
【０１３１】
合焦座標値取得回路１４９は、各チャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５に対応する複数の撮像位置について、Ｘ−ＣＴＦ値が最大となる測定位置のＺ軸上の座標（Ｚｐ１、Ｚｐ２，Ｚｐ３，Ｚｐ４，Ｚｐ５）を水平合焦座標値（第１の合焦情報、第２の合焦情報）として取得する。また同様に、Ｙ−ＣＴＦ値が最大となる測定位置のＺ軸上の座標を垂直合焦座標値（第１の合焦情報、第２の合焦情報）として取得する。
【０１３２】
結像面算出回路１５１には、合焦座標値取得回路１４９から各撮像位置の水平合焦座標値及び垂直合焦座標値が入力される。
【０１３３】
結像面算出回路１５１は、撮像面２７ａをＸＹ座標平面に対応させたときの各撮像位置のＸＹ座標値と、それぞれの撮像位置毎に得られたＺ軸上の水平合焦座標値及び垂直合焦座標値との組み合わせで表される複数の評価点を、ＸＹ座標平面とＺ軸とを組み合わせた三次元座標系に展開し、これらの評価点の相対位置に基づいて三次元座標系で一平面として表される近似結像面を算出する。この近似結像面は本発明の第２の基準姿勢を示す。従って、結像面算出回路１５１は本発明の基準姿勢算出部に相当する。
【０１３４】
調整値算出回路１５３には、結像面算出回路１５１から近似結像面の情報が入力される。調整値算出回路１５３は、近似結像面とＺ軸との交点であるＺ軸上の結像面座標値と、ＸＹ座標平面に対する近似結像面のＸ軸周り及びＹ軸周りの傾きであるＸＹ方向回転角度（基準ＸＹ方向回転角度、傾斜ＸＹ方向回転角度）とを算出する。調整値算出回路１５３は、結像面座標値を制御部８５に出力するとともに、ＸＹ方向回転角度を補正回路１５４に出力する。
【０１３５】
ここで調整値算出回路１５３は、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００がセットされていない状態、すなわち、磁界発生部３００からレンズユニット１０に磁界が印加されていない状態では、ＸＹ方向回転角度として「基準ＸＹ方向回転角度」を補正回路１５４に出力する。また、調整値算出回路１５３は、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００がセットされている状態、すなわち、磁界発生部３００からレンズユニット１０に磁界が印加されている状態では、ＸＹ方向回転角度として「傾斜ＸＹ方向回転角度」を補正回路１５４に出力する。
【０１３６】
図１８に示すように、基準ＸＹ方向回転角度は、磁界発生部３００からレンズユニット１０に磁界が印加されていない状態において、撮像素子２７に対してレンズ群１２を相対的に近似結像面（第２の基準姿勢）に傾き調整するための傾き方向と傾き量を示す。一方、傾斜ＸＹ方向回転角度は、磁界発生部３００からレンズユニット１０に磁界が印加されてレンズ群１２が傾斜している傾斜姿勢において、撮像素子２７に対してレンズ群１２を相対的に近似結像面（第２の基準姿勢）に傾き調整するための傾き方向と傾き量を示す。この傾斜ＸＹ方向回転角度は本発明の傾斜姿勢に相当する。
【０１３７】
ここで、基準ＸＹ方向回転角度に従ってレンズ群１２を傾き調整した場合、撮像モジュール１００を電子機器３０１に組み込んだ際に、磁界発生部３００からレンズユニット１０に印加される磁界により、レンズ群１２が第２の基準姿勢から傾いてしまう。このため、第１実施形態と同様に、磁界発生部３００からの磁界の印加によりレンズ群１２（手振れ補正可動部３０）が傾く傾き方向と傾き量を予め求めて、レンズ群１２をこの傾き方向とは反対側にこの傾き量だけ傾けておく。すなわち、撮像モジュール１００を電子機器３０１に組み込んだ際に、レンズ群１２が第２の基準姿勢となるようにレンズ群１２を傾き調整しておく。
【０１３８】
磁界の印加によりレンズ群１２（手振れ補正可動部３０）が傾く傾き方向と傾き量は、基準ＸＹ方向回転角度と傾斜ＸＹ方向回転角度とを比較することにより、ＸＹ方向補正値として算出される。ＸＹ方向補正値は、本発明の「手振れ補正可動部の傾き量及び傾き方向」及び「補正角度及び補正方向」に相当する。
【０１３９】
図１７に戻って、補正回路１５４は、調整値算出回路１５３から入力された基準ＸＹ方向回転角度と、傾斜ＸＹ方向回転角度とを比較した結果に基づき、ＸＹ方向補正値を算出して補正値記憶部１５５に記憶させる。なお、ＸＹ方向補正値は、同機種の電子機器３０１に搭載される同機種の撮像モジュール１００であれば基本的には同じ値となるので、電子機器３０１の機種及び撮像モジュール１００の機種の組み合わせごとに算出すればよい。従って、この組み合わせに対応するＸＹ方向補正値が既に補正値記憶部１５５に記憶されている場合には、前述の傾斜ＸＹ方向回転角度の測定、及びＸＹ方向補正値の算出を省略することができる。
【０１４０】
また、補正回路１５４は、調整値算出回路１５３から入力された基準ＸＹ方向回転角度を、補正値記憶部１５５から読み出したＸＹ方向補正値で補正した補正ＸＹ方向回転角度を算出して制御部８５へ出力する。
【０１４１】
制御部８５は、調整値算出回路１５３から入力された結像面座標値及び補正回路１５４から入力された補正ＸＹ方向回転角度に基づき、撮像素子ユニット保持部７９の２軸回転ステージ１１９及び第２スライドステージ１２３を駆動し、撮像素子ユニット２０のＺ方向位置及び傾きを調整する。すなわち、制御部８５及び２軸回転ステージ１１９が本発明の調整部として機能する。
【０１４２】
また、図１９に示すように、電子機器３０１の機種及び撮像モジュール１００の機種の組み合わせに対応したＸＹ方向補正値（以下、単にＸＹ方向補正値と略す）が既知であれば、傾斜ＸＹ方向回転角度の測定及びＸＹ方向補正値の算出を行う代わりに、入力部１３１からＸＹ方向補正値を入力して補正値記憶部１５５に記憶させてもよい。これにより、入力部１３１から入力されたＸＹ方向補正値と、調整値算出回路１５３から入力された基準ＸＹ方向回転角度とに基づいて補正ＸＹ方向回転角度が求められるので、傾斜ＸＹ方向回転角度の測定やＸＹ方向補正値の算出の手間を省くことができる。なお、インターネット等に接続した通信インタフェースを本発明の入力部として用いて、ＸＹ方向補正値の入力を行ってもよい。
【０１４３】
＜第２実施形態の撮像モジュールの製造処理の流れ＞
次に、図２０に示すフローチャートを用いて、上記構成の撮像モジュール製造装置２００による撮像モジュール１００の製造、特にレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との固定処理について説明を行う。
【０１４４】
最初にレンズユニット１０及び撮像素子ユニット２０のセット作業について説明を行う（ステップＳ１）。
【０１４５】
制御部８５は、第１スライドステージ９９を制御して保持プレート１１４をＺ方向に沿って移動させることにより、レンズ位置決めプレート７５と保持プレート１１４との間にレンズユニット１０が挿入可能なスペースを形成する。レンズユニット１０は、図示しないロボットにより保持されて、レンズ位置決めプレート７５と保持プレート１１４との間に移送される。
【０１４６】
制御部８５は、光学センサ等でレンズユニット１０の移動を検知し、第１スライドステージ９９のステージ部９９ａをレンズ位置決めプレート７５に近付ける方向に移動させる。そして、レンズユニット１０の凹部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃが当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃに当接し、凹部９５Ｃ１，９５Ａ１に挿入ピン９３Ａ１，９３Ｃ１が挿入される。これにより、レンズユニット１０は、Ｚ方向と、Ｘ方向及びＹ方向とで位置決めされる。更に、ステージ部９９ａをレンズ位置決めプレート７５に近付ける方向に移動させると、保持プレート１１４とレンズ位置決めプレート７５とでレンズユニット１０が挟まれた状態となり、レンズユニット１０がレンズユニット保持部７７にセットされる。
【０１４７】
レンズユニット１０が保持された状態で、プローブユニット１１３のプローブ１１３ａの接触子をレンズユニット１０の端子１４Ａ〜１４Ｆに接触させて、Ｘ方向ＶＣＭ５０Ａ及びＹ方向ＶＣＭ５０Ｃ及びＺ方向ＶＣＭ６０Ｅと、レンズ駆動ドライバ１４５とを電気的に接続する。
【０１４８】
次いで、制御部８５は、第２スライドステージ１２３を制御して２軸回転ステージ１１９をＺ方向に沿って移動させることにより、レンズユニット保持部７７と２軸回転ステージ１１９との間に撮像素子ユニット２０が挿入可能なスペースを形成する。撮像素子ユニット２０は、図示しないロボットにより保持されて、レンズユニット保持部７７と２軸回転ステージ１１９との間に移送される。
【０１４９】
制御部８５は、光学センサ等で撮像素子ユニット２０の移動を検知し、第２スライドステージ１２３のステージ部１２３ａを保持プレート１１４に近付ける方向に移動させる。そして、作業者は、チャックハンド１１５の挟持部材１１５ａを用いて、撮像素子ユニット２０を撮像素子ユニット保持部７９にセットする。また、コネクタケーブル１２７を撮像素子ユニット２０の外部接続用端子部２３に接続する。これにより、撮像素子２７と制御部８５とが電気的に接続された状態になる。その後、図示しないロボットによる撮像素子ユニット２０の保持が解除される。以上でレンズユニット１０及び撮像素子ユニット２０のセット作業が完了する（ステップＳ１）。
【０１５０】
次いで、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００がセットされていない状態にて、各チャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５に対応する撮像面２７ａの各撮像位置の水平合焦座標値及び垂直合焦座標値の取得が開始される（ステップＳ２）。
【０１５１】
制御部８５は、第２スライドステージ１２３を制御して２軸回転ステージ１１９を保持プレート１１４に近づく方向に移動させ、撮像素子２７がレンズユニット１０に最も近くなる最初の測定位置に撮像素子ユニット２０を移動させる。
【０１５２】
撮像素子ユニット２０の移動後、制御部８５は、測定チャート設置部７１の光源９１を発光させる。また、制御部８５は、レンズ駆動ドライバ１４５によって駆動信号を端子１４Ａ〜１４Ｆに入力させ、Ｘ方向ＶＣＭ５０Ａ及びＹ方向ＶＣＭ５０Ｃ及びＺ方向ＶＣＭ６０Ｅを駆動して、レンズ群１２の光軸ＡｘのＸ方向位置、Ｙ方向位置、Ｚ方向位置を基準位置（例えば実使用時の初期位置）に保持する。
【０１５３】
次に、制御部８５は、撮像素子ドライバ１４７を制御して、レンズユニット１０により結像したチャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５を撮像素子２７に撮像させる。撮像素子２７は、撮像した撮像信号を、コネクタケーブル１２７を介して合焦座標値取得回路１４９に入力する。
【０１５４】
合焦座標値取得回路１４９は、入力された撮像信号から各チャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５に対応する撮像位置における画素の信号を抽出し、その画素信号から各撮像位置についてのＸ−ＣＴＦ値及びＹ−ＣＴＦ値を算出する。制御部８５は、Ｘ−ＣＴＦ値及びＹ−ＣＴＦ値の情報を、例えば、制御部８５内のＲＡＭに記憶する。
【０１５５】
制御部８５は、撮像素子ユニット２０をＺ方向に沿って設定された複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）に順次移動させ、各測定位置において、レンズ群１２の光軸ＡｘのＸ方向位置、Ｙ方向位置、Ｚ方向位置を基準位置に維持した状態で、撮像素子２７に測定チャート８９のチャート画像を撮像させる。合焦座標値取得回路１４９は、各測定位置でそれぞれの撮像位置におけるＸ−ＣＴＦ値及びＹ−ＣＴＦ値を算出する。
【０１５６】
合焦座標値取得回路１４９は、撮像位置の各々について、算出された複数のＸ−ＣＴＦ値、及びＹ−ＣＴＦ値の中から最大値を選択し、最大値が得られた測定位置のＺ軸座標をその撮像位置の水平合焦座標値及び垂直合焦座標値として取得する。以上で水平合焦座標値及び垂直合焦座標値（第１の合焦情報）の取得が完了する（ステップＳ２、合焦情報取得ステップ）。
【０１５７】
合焦座標値取得回路１４９において取得された水平合焦座標値及び垂直合焦座標値は、結像面算出回路１５１に入力される。結像面算出回路１５１は、例えば最小自乗法により、平面近似された近似結像面（第２の基準姿勢）を算出する（ステップＳ２−１、基準姿勢算出ステップ）。
【０１５８】
結像面算出回路１５１で算出された近似結像面の情報は、調整値算出回路１５３に入力される。調整値算出回路１５３は、近似結像面とＺ軸との交点である結像面座標値と、ＸＹ座標平面に対する近似結像面のＸ軸周り及びＹ軸周りの傾きである基準ＸＹ方向回転角度とを算出する（ステップＳ３）。そして、調整値算出回路１５３は、結像面座標値を制御部８５に出力するとともに、基準ＸＹ方向回転角度を補正回路１５４に出力する。
【０１５９】
予め入力部１３１からＸＹ方向補正値が入力されておらず、さらに補正回路１５４によるＸＹ方向補正値の算出も行われていない場合、すなわち、補正値記憶部１５５にＸＹ方向補正値が記憶されていない場合には、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００をセットした状態にて、撮像面２７ａの各撮像位置の水平合焦座標値及び垂直合焦座標値の取得が開始される（ステップＳ４でＮＯ）。
【０１６０】
最初に、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００を取り付ける。これにより、レンズユニット１０が電子機器３０１に組み込まれた状態で磁界発生部３００から印加される磁界と同じ大きさの磁界が、撮像モジュール製造装置２００内のレンズユニット１０に印加される（ステップＳ５）。その結果、レンズ群１２を有する手振れ補正可動部３０が磁界発生部３００から印加される磁界の影響を受けて傾いた状態となる。
【０１６１】
次いで、制御部８５は、前述の基準ＸＹ方向回転角度の算出時と同様に、レンズ駆動ドライバ１４５及び撮像素子ドライバ１４７を制御して、撮像素子ユニット２０をＺ方向に沿って設定された複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）に順次に移動させ、各測定位置において撮像素子２７に測定チャート８９のチャート画像を撮像させる。
【０１６２】
また、合焦座標値取得回路１４９は、各測定位置でそれぞれの撮像位置におけるＸ−ＣＴＦ値及びＹ−ＣＴＦ値を算出する。そして、合焦座標値取得回路１４９は、撮像位置の各々について、算出された複数のＸ−ＣＴＦ値、及びＹ−ＣＴＦ値の中から最大値を選択し、最大値が得られた測定位置のＺ軸座標をその撮像位置の水平合焦座標値及び垂直合焦座標値として取得する。以上で水平合焦座標値及び垂直合焦座標値（第２の合焦情報）の取得が完了する（ステップＳ６）。
【０１６３】
合焦座標値取得回路１４９において取得された水平合焦座標値及び垂直合焦座標値は、結像面算出回路１５１に入力され、結像面算出回路１５１にて近似結像面が算出される。そして、調整値算出回路１５３は、ＸＹ座標平面に対する近似結像面のＸ軸周り及びＹ軸周りの傾きである傾斜ＸＹ方向回転角度を算出し、この傾斜ＸＹ方向回転角度を補正回路１５４に入力する（ステップＳ７）。
【０１６４】
補正回路１５４は、調整値算出回路１５３から入力された基準ＸＹ方向回転角度と、傾斜ＸＹ方向回転角度とを比較した結果に基づき、ＸＹ方向補正値を算出して補正値記憶部１５５に記憶させる（ステップＳ８）。
【０１６５】
一方、補正回路１５４は、入力部１３１から入力されたＸＹ方向補正値または補正回路１５４により算出されたＸＹ方向補正値が既に補正値記憶部１５５が記憶されている場合には、補正値記憶部１５５からＸＹ方向補正値を取得する（ステップＳ４でＹＥＳ、ステップＳ９）。
【０１６６】
補正回路１５４は、ＸＹ方向補正値に基づき、調整値算出回路１５３から入力された基準ＸＹ方向回転角度をＸＹ方向補正値で補正した補正ＸＹ方向回転角度を算出し、この補正ＸＹ方向回転角度を制御部８５へ出力する（ステップＳ１０）。
【０１６７】
制御部８５は、結像面座標値と補正ＸＹ方向回転角度とに基づいて、２軸回転ステージ１１９及び第２スライドステージ１２３を制御し、撮像素子２７の撮像面２７ａの中心位置が結像面座標値に一致するように撮像素子ユニット２０をＺ方向に移動する。また、制御部８５は、補正ＸＹ方向回転角度に基づいて、撮像素子ユニット２０のθＸ方向及びθＹ方向の角度を調整する（ステップＳ１１）。これにより、撮像素子２７に対してレンズ群１２が前述の第２の基準姿勢から、磁界発生部３００の磁界の影響を受けて傾く傾き方向とは反対側の方向に磁界の影響を受けて傾く傾き量だけ相対的に傾けられる。
【０１６８】
制御部８５は、接着剤供給部８１から、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との隙間に接着剤１８を供給させる（ステップＳ１２）。そして、制御部８５は、撮像素子ユニット２０の移動及傾き調整後に紫外線ランプ８３を点灯させる（ステップＳ１３）。これにより、接着剤１８が硬化してレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とが固定される（ステップＳ１４、固定ステップ）。
【０１６９】
レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とが固定された後、制御部８５は、ステージ部９９ａを撮像素子ユニット保持部７９側に移動させて、プローブ１１３ａの接触子とレンズユニット１０の各端子１４Ａ〜１４Ｆとの接触を解除する。その後、完成した撮像モジュール１００は、図示しないロボットにより撮像モジュール製造装置２００から取り出される（ステップＳ１５）。
【０１７０】
なお、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０は、紫外線硬化型の接着剤１８により固定できるが、この接着剤１８による硬化をレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０との仮固定として利用してもよい。例えば、撮像モジュール１００は、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とを仮固定した状態で撮像モジュール製造装置２００から取り出し、清浄処理等の所望の工程を行った後にレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とを、熱硬化接着剤等によって完全に固定してもよい。
【０１７１】
＜第２実施形態の効果＞
以上のように、撮像モジュール製造装置２００で製造される撮像モジュール１００では、レンズ群１２がＸＹ方向補正値に基づき前述の第２の基準姿勢から予め傾けられた状態でレンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とが固定される。このため、撮像モジュール１００を電子機器３０１に組み込むと、磁界発生部３００からレンズユニット１０に印加される磁界により手振れ補正可動部３０が傾けられることで、レンズ群１２が第２の基準姿勢に調整される。その結果、撮像モジュール１００を電子機器３０１内の磁界発生部３００の近傍に配置しても、レンズ群１２の第２の基準姿勢からの傾きを抑えることができる。また、上記第１実施形態で説明した効果と同様の効果が得られる。
【０１７２】
＜第２実施形態の他実施例＞
なお、図２０のステップＳ２，Ｓ６では、レンズ位置決めプレート７５及びレンズユニット保持部７７をＺ方向に移動可能にしておき、撮像素子ユニット保持部７９のＺ方向位置は固定のままレンズユニット保持部７７等をＺ方向に移動させたり、レンズユニット保持部７７等及び撮像素子ユニット保持部７９をそれぞれＺ方向に移動させたりすることで測定位置を変えて、各測定位置で合焦座標値を取得してもよい。
【０１７３】
また、レンズユニット保持部７７等と撮像素子ユニット保持部７９のＺ方向位置は固定した状態で測定チャート設置部７１をＺ方向に移動させることで測定位置を変えて合焦座標値を取得してもよい。また、レンズユニット保持部７７等と撮像素子ユニット保持部７９と測定チャート設置部７１とのそれぞれのＺ方向位置を変えることで測定位置を変えて、合焦座標値を取得してもよい。つまり、レンズユニット１０、撮像素子ユニット２０、及び測定チャート８９のＺ方向の相対位置を変えることで測定位置を変え、各相対位置において、撮像素子２７により測定チャート８９を撮像させて、合焦座標値を取得する構成であればよい。
【０１７４】
上記第２実施形態では、上記相対位置を変えることで、複数の測定位置を実現し、各測定位置となったときに測定チャートを撮像する場合を説明したが、測定チャートの撮像は継続的に行い（つまり動画撮像を行い）、その撮像中に各測定位置となるように、上記相対位置を変化させていくようにしてもよい。
【０１７５】
上述の図２０のステップＳ１１では、レンズユニット１０のＺ方向位置は固定のまま、撮像素子ユニット２０を動かしていくことで、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０のＺ方向位置を調整している。この変形例として、レンズユニット保持部７７等をＺ方向に移動可能にしておき、撮像素子ユニット保持部７９は位置固定のままレンズユニット保持部７７等を移動させたり、レンズユニット保持部７７等と撮像素子ユニット保持部７９をそれぞれ移動させたりして、位置調整を行ってもよい。さらに、撮像素子ユニット保持部７９は位置固定のままレンズユニット保持部７７等でレンズユニット１０の傾き調整を行ってもよい。
【０１７６】
また、図２０のステップＳ１１では、レンズユニット１０に対する撮像素子ユニット２０のＺ方向位置と傾きを調整しているが、Ｚ方向位置の調整は省略してもよい。例えば、レンズユニット１０においてレンズバレル１５を螺子構造等によって光軸Ａｘ方向に摺動可能にした構成であればＺ方向位置の調整を行わなくてすむ。
【０１７７】
なお、撮像モジュール製造装置２００では、撮像素子２７と撮像素子ドライバ１４７との電気的接続を撮像素子ユニット２０の外部接続用端子部２３を用いて行っているが、例えば撮像素子２７の背面に接触する複数のプローブを２軸回転ステージ１１９に設けて両者の電気的接続を行うなど、電気的接続の方法は適宜変更してもよい。
【０１７８】
また、撮像モジュール製造装置２００では、レンズ位置決めプレート７５の当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃに、レンズユニット１０の凹部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃを当接させ、更に、保持プレート１１４でレンズユニット１０をレンズ位置決めプレート７５側に押し当てることで、レンズユニット１０をＺ軸上に保持しているが、各種冶具などを用いてレンズユニット１０をＺ軸上に保持してもよい。
【０１７９】
上記第２実施形態では、水平合焦座標値及び垂直合焦座標値（第２の合焦情報）の取得を撮像モジュール製造装置２００で行っているが、第２の合焦情報の取得を、撮像モジュール１００を組み込んだ電子機器３０１（すなわち、実使用環境）で行ってもよい。例えば、電子機器３０１の撮像モジュール１００の前方に測定チャート８９をセットした状態で、焦点調節機構６０を駆動して手振れ補正可動部３０をＺ方向に沿って設定された複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）に順次に移動させ、各測定位置において撮像素子２７に測定チャート８９のチャート画像を撮像させる。これにより、撮像モジュール製造装置２００と同様に、水平合焦座標値及び垂直合焦座標値（第２の合焦情報）を取得することができる。
【０１８０】
上記第２実施形態では、２軸回転ステージ１１９を用いて撮像素子ユニット２０の傾き調整を行うため、調整値算出回路１５３にてＸＹ方向回転角度を算出しているが、傾き調整するための傾き方向と傾き量を示す補正値であれば特に限定はされない。また、２軸回転ステージ以外を用いて傾き調整を行ってもよい。
【０１８１】
［第３実施形態の撮像モジュールの製造方法及び製造装置］
次に、図２１及び図２２を用いて本発明の第３実施形態の撮像モジュールの製造方法及び製造装置について説明を行う。上記第２実施形態では、複数の撮像位置の各々について、Ｚ軸上に設定された複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）毎にＣＴＦ値を算出し、この算出結果に基づき水平合焦座標値及び垂直合焦座標値（第１の合焦情報、第２の合焦情報）を取得している。これに対して第３実施形態では、合焦評価値としてレンズ群１２の解像度を表す変調伝達関数値（Modulation Transfer Function：以下、ＭＴＦと略す）を算出して、第１の合焦情報及び第２の合焦情報を取得する。
【０１８２】
なお、第３実施形態の撮像モジュールの製造方法に用いられる撮像モジュール製造装置２００Ａは、合焦評価値としてＣＴＦ値の代わりにＭＴＦ値を算出する点を除けば、第２実施形態の撮像モジュール製造装置２００と基本的に同じ構成である。このため、上記第２実施形態と機能・構成上同一のものについては、同一符号を付してその説明は省略する。ただし、撮像モジュール製造装置２００Ａでは、ＭＴＦ値の算出を行うため、例えば白黒の線を交互かつ平行に繰り返し配置した縞パターン（ラダーパターン、矩形波パターンともいう）を有する測定チャート８９Ａ（図２４参照）が用いられる。
【０１８３】
図２１に示すように、撮像モジュール製造装置２００Ａでは、制御部８５が第２スライドステージ１２３を制御し、撮像素子ユニット２０をＺ方向（デフォーカス方向）に沿って複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）に順次に移動させる。また、制御部８５は、撮像素子ドライバ１４７を制御し、各測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）でレンズ群１２が結像した測定チャート８９Ａのチャート画像を撮像素子２７に撮像させる。
【０１８４】
ＭＴＦ値算出回路１５６は、コネクタケーブル１２７等を介して入力された撮像信号から複数の撮像位置（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）に対応する画素の信号を抽出し、その画素信号から複数の撮像位置に対する個別のＭＴＦ値を算出する。なお、撮像位置の個数は特に限定はされない。ＭＴＦ値は、レンズ群１２の解像度を示す値であり、ＭＴＦ値が高いときに合焦度が高いとみなす。
【０１８５】
ＭＴＦ値算出回路１５６は、複数の撮像位置の各々について、Ｚ軸上に設定された複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）毎に、ＸＹ座標平面上で設定した複数方向のそれぞれに対してＭＴＦ値を算出する。ＭＴＦ値が算出される方向としては、例えば、撮像面２７ａの横方向である水平方向（Ｘ方向）と、これに直交する垂直方向（Ｙ方向）とし、各方向のＭＴＦ値であるＸ−ＭＴＦ値及びＹ−ＭＴＦ値をそれぞれ算出する。これにより、複数の測定位置（Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，…）ごとに複数の撮像位置（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）のＸ−ＭＴＦ値及びＹ−ＭＴＦ値を測定してなるＭＴＦ値測定データが得られる。ＭＴＦ値算出回路１５６は、ＭＴＦ値測定データを調整値算出回路１５３Ａへ出力する。
【０１８６】
なお、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００がセットされていない状態で取得されたＭＴＦ値測定データが本発明の第１の合焦情報に相当し、この第１の合焦情報に相当するＭＴＦ値測定データの取得処理が本発明の合焦情報取得ステップに相当し、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００がセットされた状態で取得されたＭＴＦ値測定データが本発明の第２の合焦情報に相当する。
【０１８７】
図２２（Ａ）は、Ｙ−ＭＴＦ値のＭＴＦ値測定データの一例を示した図である。また、図２２（Ｂ）は、レンズ群１２が第２の基準姿勢に調整されている場合のＹ−ＭＴＦ値のＭＴＦ値測定データの一例を示した図であり、複数の撮像位置（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）に対応するＭＴＦ値の波形のピークはほぼ一致している。従って、ＭＴＦ値測定データから複数の撮像位置（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）に対応するＭＴＦ値の波形のピークの位置を算出することで、個々のピークの位置のずれに基づき、レンズ群１２を第２の基準姿勢にするためのＸ軸周りの回転角度であるＸ方向回転角度が算出できる（基準姿勢算出ステップ）。
【０１８８】
例えば、撮像位置Ｐ１と撮像位置Ｐ２とのピーク位置のずれが「ｚ」であり、撮像位置Ｐ１と撮像位置Ｐ２とのＹ方向の位置ずれ量が「ｙ」（図２１参照）である場合に、Ｘ方向回転角度は式［ｔａｎθ＝ｚ／ｙ］のθとして求められる。また、同様にして、Ｘ−ＭＴＦ値に対応するＭＴＦ値測定データからＹ方向回転角度を算出することができる。
【０１８９】
なお、図２２に示した複数の撮像位置（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）に対応するＭＴＦ値の波形は、各々の波形のピーク位置に対して略左右対称形状であるが、例えば、図２３（Ａ）に示すように、ＭＴＦ値の波形がそのピーク位置に対して左右非対称形状となる場合もある。このような場合でも、図２３（Ｂ）に示すように、複数の撮像位置（図２３ではＰ１、Ｐ２のみを表示）に対応するＭＴＦ値の波形のピーク位置が重なるようなＸＹ方向回転角度を算出する。
【０１９０】
図２１に戻って、調整値算出回路１５３Ａは、上記図２２を参照して説明したように、ＭＴＦ値算出回路１５６から入力されるＭＴＦ値測定データに基づき、複数の撮像位置（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）に対応するＭＴＦ値の波形のピークの位置のずれを算出することで、ＸＹ方向回転角度を算出する。
【０１９１】
ここで、上記第２実施形態と同様に、調整値算出回路１５３Ａは、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００がセットされていない状態では、ＸＹ方向回転角度として「基準ＸＹ方向回転角度」を補正回路１５４に出力する。また、調整値算出回路１５３は、撮像モジュール製造装置２００内に磁界発生部３００がセットされた状態では、ＸＹ方向回転角度として「傾斜ＸＹ方向回転角度」を補正回路１５４に出力する。なお、「基準ＸＹ方向回転角度」及び「傾斜ＸＹ方向回転角度」は共にレンズ群１２の第２の基準姿勢を示す数値であるので、第３実施形態における調整値算出回路１５３Ａは本発明の基準姿勢算出部に相当する。
【０１９２】
補正回路１５４は、第２実施形態と同様に、調整値算出回路１５３から入力された基準ＸＹ方向回転角度と、傾斜ＸＹ方向回転角度とを比較した結果に基づき、ＸＹ方向補正値を算出して補正値記憶部１５５に記憶させる。また、調整値算出回路１５３から入力された基準ＸＹ方向回転角度をＸＹ方向補正値で補正した補正ＸＹ方向回転角度を算出して制御部８５へ出力する。なお、ＸＹ方向補正値については、上記第２実施形態と同様に、予め入力部１３１から入力されたＸＹ方向補正値を用いてもよい。
【０１９３】
制御部８５は、補正回路１５４から入力された補正ＸＹ方向回転角度に基づき、２軸回転ステージ１１９を制御して撮像素子ユニット２０の傾き調整を行う。以下、上記第２実施形態で説明したステップＳ１２からステップＳ１４までの処理（図２０参照）を行って、レンズユニット１０と撮像素子ユニット２０とを固定する（固定ステップ）。
【０１９４】
このように第３実施形態においても、第２実施形態と同様に、撮像素子２７に対してレンズ群１２が前述の第２の基準姿勢から、磁界発生部３００の磁界の影響を受けて傾く傾き方向とは反対側の方向に磁界の影響を受けて傾く傾き量だけ相対的に傾けられる。このため、第３実施形態で製造された撮像モジュール１００を電子機器３０１に組み込むと、磁界発生部３００からレンズユニット１０に印加される磁界により手振れ補正可動部３０が傾けられることで、レンズ群１２が第２の基準姿勢に調整される。その結果、上記第２実施形態で説明した効果と同様の効果が得られる。
【０１９５】
＜第３実施形態の他実施例：低周波数ＭＴＦの測定＞
上記第３実施形態では、本発明の解像度としてＭＴＦ値を測定しているが、このＭＴＦ値は低周波数ＭＴＦであることが好ましい。
【０１９６】
図２４（Ａ）に示すように、「低周波数ＭＴＦ」とは、撮像素子２７の１０画素から２０画素分のパターン間隔を有する縞パターンの測定チャート８９Ａを撮像することにより得られるＭＴＦ値である。なお、図２４（Ｂ）に示すように、「高周波数ＭＴＦ」とは、撮像素子２７の２画素から４画素分のパターン間隔を有する縞パターンの測定チャート８９Ａを撮像することにより得られるＭＴＦ値である。低周波数ＭＴＦはコントラストや黒の締まり具合の性能を示す。これに対して高周波数ＭＴＦは解像力の性能（例えば看板等に記載されている小さな文字を判別可能であるか否かの性能）を示し、レンズ群１２の成形、組立誤差等の製造誤差を測定する場合にはレンズ群１２の高周波数ＭＴＦの測定を行うことが一般的である。
【０１９７】
ここで撮像モジュール製造装置２００Ａでは、ＭＴＦ値に基づき「基準ＸＹ方向回転角度」及び「傾斜ＸＹ方向回転角度」を算出できればよく、高周波数ＭＴＦを用いた場合にはレンズ群１２の製造誤差が「基準ＸＹ方向回転角度」及び「傾斜ＸＹ方向回転角度」の算出結果に反映されてしまう。このため、「基準ＸＹ方向回転角度」及び「傾斜ＸＹ方向回転角度」を正確に算出することができない。従って、撮像モジュール製造装置２００Ａでは、ＭＴＦ値として低周波数ＭＴＦを測定することが好ましい。これにより、磁界の影響を正確に測定することができるので、レンズ群１２の製造誤差の影響を抑え、より正確な「基準ＸＹ方向回転角度」及び「傾斜ＸＹ方向回転角度」を算出することができる。
【０１９８】
＜第３実施形態の他実施例：その他＞
上記第３実施形態では、第２実施形態で説明した結像面座標値の算出や撮像素子ユニット２０のＺ方向位置の調整については説明を省略しているが、第２実施形態と同様に行ってもよい。また、上記第２実施形態の他実施例で説明した内容については、第３実施形態にも適用することができる。さらに、上記第２及び第３実施形態では、レンズ群１２の解像度を表す値としてＣＴＦ値やＭＴＦ値を測定しているが、ＳＦＲ（spatial frequency response）値などを測定してもよい。また、風景などの画像からレンズ群１２の解像度を測定してもよい。
【０１９９】
［撮像モジュールのスマートフォンへの適用例］
上記構成の撮像モジュール１００が搭載される電子機器３０１としては、スマートフォン、携帯電話機、タブレット端末、携帯情報端末（ＰＤＡ）、メガネ型情報端末、携帯ゲーム機、携帯音楽プレーヤ、カメラ付き時計などが挙げられる。以下、スマートフォンを例に挙げ、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【０２００】
図２５は、撮像モジュール１００が搭載されたスマートフォン５００の外観を示す。図２５に示すスマートフォン５００は、平板状の筐体５０２を有し、筐体５０２の一方の面に表示部としての表示パネル５２１と、入力部としての操作パネル５２２とが一体となった表示入力部５２０を備えている。また、筐体５０２は、スピーカ５３１と、マイクロホン５３２、操作部５４０と、前述した撮像モジュール１００を含むカメラ部５４１とを備えている。
【０２０１】
なお、カメラ部５４１は、磁界発生部であるスピーカ５３１の近傍であって、スピーカ５３１が配置されている操作側の面と対向する背面側に配設されている。また、筐体５０２の構成はこれに限定されず、例えば、表示部と入力部とが独立した構成を採用することや、折り畳み構造やスライド機構を有する構成を採用することもできる。
【０２０２】
図２６は、図２５に示したスマートフォン５００の構成を示すブロック図である。図２６に示すように、スマートフォン５００の主たる構成要素として、無線通信部５１０と、表示入力部５２０と、通話部５３０と、操作部５４０と、カメラ部５４１と、記憶部５５０と、外部入出力部５６０と、ＧＰＳ(Global Positioning System)受信部５７０と、モーションセンサ部５８０と、電源部５９０と、主制御部５０１とを備える。また、スマートフォン５００の主たる機能として、基地局装置と移動通信網とを介した移動無線通信を行う無線通信機能を備える。
【０２０３】
無線通信部５１０は、主制御部５０１の指示に従って、移動通信網に収容された基地局装置に対し無線通信を行う。この無線通信を使用して、音声データ、画像データ等の各種ファイルデータ、電子メールデータなどの送受信や、Ｗｅｂデータやストリーミングデータなどの受信を行う。
【０２０４】
表示入力部５２０は、主制御部５０１の制御により、画像（静止画及び動画）や文字情報などを表示して視覚的にユーザに情報を伝達すると共に、表示した情報に対するユーザ操作を検出する、いわゆるタッチパネルであって、表示パネル５２１と、操作パネル５２２とを備える。生成された３Ｄ画像を鑑賞する場合には、表示パネル５２１は、３Ｄ表示パネルであることが好ましい。
【０２０５】
表示パネル５２１は、ＬＣＤ(Liquid Crystal Display)、ＯＥＬＤ(Organic Electro-Luminescence Display)などを表示デバイスとして用いる。
【０２０６】
操作パネル５２２は、表示パネル５２１の表示面上に表示される画像を視認可能に載置され、ユーザの指や尖筆によって操作される座標を検出するデバイスである。このデバイスをユーザの指や尖筆によって操作すると、操作に起因して発生する検出信号を主制御部５０１に出力する。次いで、主制御部５０１は、受信した検出信号に基づいて、表示パネル５２１上の操作位置（座標）を検出する。
【０２０７】
図２５に示すように、スマートフォン５００の表示パネル５２１と操作パネル５２２とは一体となって表示入力部５２０を構成しているが、操作パネル５２２が表示パネル５２１を完全に覆うような配置となっている。この配置を採用した場合、操作パネル５２２は、表示パネル５２１外の領域についても、ユーザ操作を検出する機能を備えてもよい。換言すると、操作パネル５２２は、表示パネル５２１に重なる重畳部分についての検出領域（以下、表示領域と称する）と、それ以外の表示パネル５２１に重ならない外縁部分についての検出領域（以下、非表示領域と称する）とを備えていてもよい。
【０２０８】
なお、表示領域の大きさと表示パネル５２１の大きさとを完全に一致させても良いが、両者を必ずしも一致させる必要はない。また、操作パネル５２２が、外縁部分と、それ以外の内側部分の２つの感応領域を備えていてもよい。更に、外縁部分の幅は、筐体５０２の大きさなどに応じて適宜設計される。更にまた、操作パネル５２２で採用される位置検出方式としては、マトリクススイッチ方式、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、電磁誘導方式、静電容量方式などが挙げられ、いずれの方式を採用することもできる。
【０２０９】
通話部５３０は、スピーカ５３１やマイクロホン５３２を備え、マイクロホン５３２を通じて入力されたユーザの音声を主制御部５０１にて処理可能な音声データに変換して主制御部５０１に出力したり、無線通信部５１０あるいは外部入出力部５６０により受信された音声データを復号してスピーカ５３１から出力したりする部分である。また、図２５に示すように、例えば、スピーカ５３１及びマイクロホン５３２を表示入力部５２０が設けられた面と同じ面に搭載することができる。
【０２１０】
操作部５４０は、キースイッチなどを用いたハードウェアキーであって、ユーザからの指示を受け付ける部分である。例えば、操作部５４０は、スマートフォン５００の筐体５０２の表示部の下部、下側面に搭載され、指などで押下されるとオンとなり、指を離すとバネなどの復元力によってオフ状態となる押しボタン式のスイッチである。
【０２１１】
記憶部５５０は、主制御部５０１の制御プログラムや制御データ、通信相手の名称や電話番号などを対応づけたアドレスデータ、送受信した電子メールのデータ、ＷｅｂブラウジングによりダウンロードしたＷｅｂデータや、ダウンロードしたコンテンツデータを記憶し、またストリーミングデータなどを一時的に記憶する部分である。また、記憶部５５０は、スマートフォン内蔵の内部記憶部５５１と着脱自在な外部メモリスロットを有する外部記憶部５５２により構成される。なお、記憶部５５０を構成するそれぞれの内部記憶部５５１と外部記憶部５５２は、フラッシュメモリタイプ（flash memory type）、ハードディスクタイプ（hard disk type）、マルチメディアカードマイクロタイプ（multimedia card micro type）、カードタイプのメモリ（例えば、Micro SD（登録商標）メモリ等）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）などの格納媒体を用いて実現される。
【０２１２】
外部入出力部５６０は、スマートフォン５００に連結される全ての外部機器とのインタフェースの役割を果たす部分であり、他の外部機器に通信等（例えば、ユニバーサルシリアルバス（ＵＳＢ）、IEEE1394など）又はネットワーク（例えば、インターネット、無線ＬＡＮ、ブルートゥース（Bluetooth（登録商標）)、ＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）、赤外線通信（Infrared Data Association：ＩｒＤＡ）（登録商標）、ＵＷＢ（Ultra Wideband）（登録商標）、ジグビー（ZigBee）（登録商標）など）により直接的又は間接的に接続するための部分である。
【０２１３】
スマートフォン５００に連結される外部機器としては、例えば、有／無線ヘッドセット、有／無線外部充電器、有／無線データポート、カードソケットを介して接続されるメモリカード（Memory card）やＳＩＭ(Subscriber Identity Module Card)／ＵＩＭ(User Identity Module Card)カード、オーディオ・ビデオＩ／Ｏ（Input/Output）端子を介して接続される外部オーディオ・ビデオ機器、無線接続される外部オーディオ・ビデオ機器、有／無線接続されるスマートフォン、有／無線接続されるパーソナルコンピュータ、有／無線接続されるＰＤＡ、有／無線接続されるパーソナルコンピュータ、イヤホンなどがある。外部入出力部は、このような外部機器から伝送を受けたデータをスマートフォン５００の内部の各構成要素に伝達することや、スマートフォン５００の内部のデータが外部機器に伝送されるようにすることができる。
【０２１４】
ＧＰＳ受信部５７０は、主制御部５０１の指示に従って、ＧＰＳ衛星ＳＴ１〜ＳＴｎから送信されるＧＰＳ信号を受信し、受信した複数のＧＰＳ信号に基づく測位演算処理を実行し、当該スマートフォン５００の緯度、経度、高度からなる位置を検出する。ＧＰＳ受信部５７０は、無線通信部５１０や外部入出力部５６０（例えば、無線ＬＡＮ）から位置情報を取得できるときには、その位置情報を用いて位置を検出することもできる。
【０２１５】
モーションセンサ部５８０は、例えば、３軸の加速度センサなどを備え、主制御部５０１の指示に従って、スマートフォン５００の物理的な動きを検出する。スマートフォン５００の物理的な動きを検出することにより、スマートフォン５００の動く方向や加速度が検出される。この検出結果は、主制御部５０１に出力される。
【０２１６】
電源部５９０は、主制御部５０１の指示に従って、スマートフォン５００の各部に、バッテリ（図示しない）に蓄えられる電力を供給する。
【０２１７】
主制御部５０１は、マイクロプロセッサを備え、記憶部５５０が記憶する制御プログラムや制御データに従って動作し、スマートフォン５００の各部を統括して制御する。また、主制御部５０１は、無線通信部５１０を通じて、音声通信やデータ通信を行うために、通信系の各部を制御する移動通信制御機能と、アプリケーション処理機能を備える。
【０２１８】
アプリケーション処理機能は、記憶部５５０が記憶するアプリケーションソフトウェアに従って主制御部５０１が動作することにより実現する。アプリケーション処理機能としては、例えば、外部入出力部５６０を制御して対向機器とデータ通信を行う赤外線通信機能や、電子メールの送受信を行う電子メール機能、Ｗｅｂページを閲覧するＷｅｂブラウジング機能などがある。
【０２１９】
また、主制御部５０１は、受信データやダウンロードしたストリーミングデータなどの画像データ（静止画や動画のデータ）に基づいて、映像を表示入力部５２０に表示する等の画像処理機能を備える。画像処理機能とは、主制御部５０１が、上記画像データを復号し、この復号結果に画像処理を施して、画像を表示入力部５２０に表示する機能のことをいう。
【０２２０】
更に、主制御部５０１は、表示パネル５２１に対する表示制御と、操作部５４０、操作パネル５２２を通じたユーザ操作を検出する操作検出制御を実行する。
【０２２１】
表示制御の実行により、主制御部５０１は、アプリケーションソフトウェアを起動するためのアイコンや、スクロールバーなどのソフトウェアキーを表示し、あるいは電子メールを作成するためのウィンドウを表示する。なお、スクロールバーとは、表示パネル５２
１の表示領域に収まりきれない大きな画像などについて、画像の表示部分を移動する指示を受け付けるためのソフトウェアキーのことをいう。
【０２２２】
また、操作検出制御の実行により、主制御部５０１は、操作部５４０を通じたユーザ操作を検出したり、操作パネル５２２を通じて、上記アイコンに対する操作や、上記ウィンドウの入力欄に対する文字列の入力を受け付けたり、あるいは、スクロールバーを通じた表示画像のスクロール要求を受け付ける。
【０２２３】
更に、操作検出制御の実行により主制御部５０１は、操作パネル５２２に対する操作位置が、表示パネル５２１に重なる重畳部分（表示領域）か、それ以外の表示パネル５２１に重ならない外縁部分（非表示領域）かを判定し、操作パネル５２２の感応領域や、ソフトウェアキーの表示位置を制御するタッチパネル制御機能を備える。
【０２２４】
また、主制御部５０１は、操作パネル５２２に対するジェスチャ操作を検出し、検出したジェスチャ操作に応じて、予め設定された機能を実行することもできる。ジェスチャ操作とは、従来の単純なタッチ操作ではなく、指などによって軌跡を描いたり、複数の位置を同時に指定したり、あるいはこれらを組み合わせて、複数の位置から少なくとも１つについて軌跡を描く操作を意味する。
【０２２５】
カメラ部５４１は、ＣＭＯＳ(Complementary Metal Oxide Semiconductor)やＣＣＤ(Charge-Coupled Device)などの撮像素子を用いて電子撮影するデジタルカメラである。このカメラ部５４１に、前述した撮像モジュール１００が適用されている。
【０２２６】
また、カメラ部５４１は、主制御部５０１の制御により、撮影によって得た画像データを、例えばＪＰＥＧ(Joint Photographic coding Experts Group)などの圧縮した画像データに変換し、記憶部５５０に記録したり、外部入出力部５６０や無線通信部５１０を通じて出力したりすることができる。図２５に示すようにスマートフォン５００において、カメラ部５４１は表示入力部５２０と対向する背面に搭載されているが、カメラ部５４１の搭載位置はこれに限らず、表示入力部５２０と同一の面に搭載されてもよいし、あるいは、複数のカメラ部５４１が搭載されてもよい。なお、複数のカメラ部５４１が搭載されている場合には、撮影に供するカメラ部５４１を切り替えて単独にて撮影したり、あるいは、複数のカメラ部５４１を同時に使用して撮影したりすることもできる。
【０２２７】
また、カメラ部５４１はスマートフォン５００の各種機能に利用することができる。例えば、表示パネル５２１にカメラ部５４１で取得した画像を表示することや、操作パネル５２２の操作入力のひとつとして、カメラ部５４１の画像を利用することができる。また、ＧＰＳ受信部５７０が位置を検出する際に、カメラ部５４１からの画像を参照して位置を検出することもできる。更には、カメラ部５４１からの画像を参照して、３軸の加速度センサを用いずに、あるいは、３軸の加速度センサと併用して、スマートフォン５００のカメラ部５４１の光軸方向を判断することや、現在の使用環境を判断することもできる。勿論、カメラ部５４１からの画像をアプリケーションソフトウェア内で利用することもできる。
【０２２８】
［その他］
本実施形態のＯＩＳ機構は、ベース部材側（固定側）にＯＩＳ駆動用コイルが配設され、手振れ補正可動部側（可動側）にＯＩＳ駆動用マグネットが配設されているが、これとは逆に、ベース部材側にＯＩＳ駆動用マグネットを配設し、手振れ補正可動部側にＯＩＳ駆動用コイルを配設してもよい。また、レンズ群１２は、５枚のレンズから構成されたものに限らず、種々のレンズが適用できる。
【０２２９】
本実施形態の弾性支持部は、板バネとサスペンションワイヤとにより構成されているが、手振れ補正可動部（レンズ群）をレンズ群の光軸に対して垂直方向に移動自在でかつ光軸に対して垂直な軸の周りに傾き可能に支持する各種の弾性支持部を有する撮像モジュールの製造方法及び装置にも本発明を適用することができる。
【０２３０】
更に、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の精神を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【０２３１】
１０…レンズユニット，１８…接着剤，２０…撮像素子ユニット，２７…撮像素子，３０…手振れ補正可動部，４０…弾性支持部，５０…ＯＩＳ機構，７１…測定チャート設置部，７７…レンズユニット保持部，７９…撮像素子ユニット保持部，８１…接着剤供給部，８３…紫外線ランプ，８５…制御部，８７…軸，８９…測定チャート，８９Ａ…測定チャート，１００…撮像モジュール，１３１…入力部，１４９…合焦座標値取得回路，１５１…結像面算出回路，１５３…調整値算出回路，１５３Ａ…調整値算出回路，１５４…補正回路，１５５…補正値記憶部，１５６…ＭＴＦ値算出回路，１９０…撮像モジュール製造装置，２００…撮像モジュール製造装置，２００Ａ…撮像モジュール製造装置，２４０…固定冶具，２４６…紫外線ランプ，３００…磁界発生部，３０１…電子機器，５００…スマートフォン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図１２】
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