(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
自身の周りに巻かれてコイル巻き群（Ｓ1、Ｓ2、Ｓ'1、Ｓ'2、Ｓ3、Ｓint、Ｓext）を形成する凹部又は穴のない固体の細長片（３、２３、４３、６３）を有する、計時器の共振器用のバランスばね（１、２１、４１、６１）であって、
前記細長片（３、１３、２３、３３、４３、５３、６３、７３）の少なくとも一部は、互いに一体成形されている一連の柱状部分（Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐx）で形成されており、これによって、多角形のばね（１、２１、４１、６１）が形成されることを特徴とするバランスばね（１、２１、４１、６１）。
【請求項２】
少なくとも２つの隣接した柱状部分（Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐz）が、これらの間で鈍角（α、αz1、α12）を形成する
ことを特徴とする請求項１に記載のバランスばね（１、２１、４１、６１）。
【請求項３】
前記バランスばねを形成する前記柱状部分（Ｐ1、Ｐ2）の長さは一定ではない
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のバランスばね（１、２１、４１、６１）。
【請求項４】
前記柱状部分（Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐz）の長さは、当該バランスばねの内側コイル巻き（Ｓint）の第１の柱状部分（Ｐ1）から外側コイル巻きの最後の柱状部分（Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐz）まで連続的に減少する
ことを特徴とする請求項３に記載のバランスばね（１、２１、４１、６１）。
【請求項５】
前記バランスばねを形成する各柱状部分（Ｐ1、Ｐ2）は所定の高さ及び所定の厚さを有する
ことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載のバランスばね（１、２１、４１、６１）。
【請求項６】
巻かれてコイル巻き群（Ｓint、Ｓext）を形成する凹部又は穴のない固体の細長片（１３、３３、５３、７３）を有する計時器の共振器用のバランスばね（１１、３１、５１、７１）であって、
少なくとも１つの他のコイル巻きの方を向く各コイル巻きの２つの対向面（Ｆint、Ｆext）は、非対称であり、
前記少なくとも２つの対向面（Ｆint、Ｆext）の１つの少なくとも一部は、互いに一体成形されている一連の長方形部分で形成されており、これによって、多角形のばね（１１、３１、５１、７１）が形成される
ことを特徴とするバランスばね（１１、３１、５１、７１）。
【請求項７】
前記少なくとも２つの対向面の１つを形成する前記長方形部分の長さは、一定ではない
ことを特徴とする請求項６に記載のバランスばね（１１、３１、５１、７１）。
【請求項８】
前記少なくとも２つの対向面の他のものは、単一のらせん状の表面で形成される
ことを特徴とする請求項６又は請求項７に記載のバランスばね（１１、３１、５１、７１）。
【請求項９】
前記少なくとも２つの対向面（Ｆint、Ｆext）の他のものの少なくとも一部は、互いに一体成形されている一連の長方形部分で形成される
ことを特徴とする請求項６又は請求項７に記載のバランスばね（１１、３１、５１、７１）。
【請求項１０】
前記少なくとも２つの対向面の他のものを形成する前記長方形部分の長さは、一定ではない
ことを特徴とする請求項９に記載のバランスばね（１１、３１、５１、７１）。
【請求項１１】
前記長方形部分の長さは、前記バランスばねの内側コイル巻き（Ｓint）の外面（Ｆext）の第１の長方形部分から外側コイル巻き（Ｓext）の外面（Ｆext）の最後の長方形部分まで、連続的に増加する
ことを特徴とする請求項６〜請求項１０のいずれかに記載のバランスばね（１１、３１、５１、７１）。
【請求項１２】
前記長方形部分の長さは、前記バランスばねの内側コイル巻き（Ｓint）の内面（Ｆint）の第１の長方形部分から外側コイル巻き（Ｓext）の内面（Ｆint）の最後の長方形部分まで、連続的に増加する
ことを特徴とする請求項６〜請求項１１のいずれかに記載のバランスばね（１１、３１、５１、７１）。
【請求項１３】
前記細長片（１３、３３、５３、７３）の厚みは、剛性を増加させるように局所的に厚い
ことを特徴とする請求項１〜請求項１２のいずれかに記載のバランスばね（１、１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１）。
【請求項１４】
前記内側コイル巻き（Ｓint）は、アーバーに固定されるように構成するコレット（６５）と一体成形されている
ことを特徴とする請求項１〜請求項１３のいずれかに記載のバランスばね（１、１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１）。
【請求項１５】
単一片で形成されている
ことを特徴とする請求項１〜請求項１４のいずれかに記載のバランスばね（１、１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１）。
【請求項１６】
ケイ素を含有する材料で作られる
ことを特徴とする請求項１〜請求項１５のいずれかに記載のバランスばね（１、１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１）。
【請求項１７】
請求項１〜請求項１６に記載のバランスばね（１、１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１）を少なくとも１つ有する
ことを特徴とする計時器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ばねが使用されている共振器の作動を改善するために、コイル巻きどうしが密着するリスクが少なくされている多角形バランスばねに関する。
【背景技術】
【０００２】
測時分野において、実質的にアルキメデススパイラル軌道を形成するように細長片が巻かれているようなバランスばねを形成することが通常である。しかし、例えば、結晶ケイ素のような新素材が測時分野において用いられてきているので、コイル巻きどうしの密着が発生するということが観測されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、コイル巻きどうしが密着することを防ぐような、従来のバランスばねの代わりになるバランスばねを提案することによって、前記課題のすべて又は一部を克服することを目的にする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
このために、第１の実施形態によると、本発明は、自身の周りに巻かれてコイル巻き群を形成する固体の細長片を有する、計時器の共振器用のバランスばねであって、前記細長片の少なくとも一部は、互いに一体成形されている一連の柱状部分で形成されており、これによって、多角形のばねが形成されるものに関する。
【０００５】
第２の実施形態によると、本発明は、巻かれてコイル巻き群を形成する固体の細長片を有する計時器の共振器用のバランスばねであって、少なくとも１つの他のコイル巻きの方を向く各コイル巻きの２つの対向面は、非対称であり、前記少なくとも２つの対向面の１つの少なくとも一部は、互いに一体成形されている一連の長方形部分で形成されており、これによって、多角形のバランスばねが形成されるものに関する。
【０００６】
好ましいことに、本発明のこれら２つの実施形態によると、上記のようにして得られた多角形バランスばねによって、幾何学的に、コイル巻きどうしが密着するリスクを減らすことができる。また、コイル巻きの細長片の２つの柱状部分の間又は表面の２つの長方形部分の間の接合面におけるコイル巻き間の接触面を厳しく制限することができる。
【０００７】
本発明の他の有利な変形実施形態によると、以下の特徴を有する。
−第１の実施形態によると、少なくとも２つの隣接した柱状部分の間で鈍角を形成する。
−第１の実施形態によると、バランスばねを形成する柱状部分の長さは一定ではない。
−第１の実施形態によると、柱状部分の長さは、バランスばねの内側コイル巻きの第１の柱状部分から外側コイル巻きの最後の柱状部分まで連続的に減少する。
−第２の実施形態によると、前記少なくとも２つの対向面の１つを形成する長方形部分の長さは一定ではない。
−第２の実施形態によると、前記少なくとも２つの対向面の他のものは単一のらせん状の表面で形成される。
−前記少なくとも２つの対向面の他のものの少なくとも一部は、互いに一体成形されている一連の長方形部分で形成される。
−第２の実施形態によると、前記少なくとも２つの対向面の他のものを形成する長方形部分の長さは一定ではない。
−第２の実施形態によると、前記少なくとも２つの対向面の１つ又は他のものの長方形部分の長さは、バランスばねの内側コイル巻きの第１の長方形部分から外側コイル巻きの最後の長方形部分まで連続的に増加する。
−上記２つの実施形態によると、細長片の厚みがその剛性を増加させるために局所的に厚くされる。
−上記２つの実施形態によると、内側コイル巻きは、アーバーに固定されるように構成するコレットと一体成形されている。
−上記２つの実施形態によると、バランスばねは単一片である。
−上記２つの実施形態によると、バランスばねは、ケイ素を含有する材料で作られる。
【０００８】
最後に、本発明は、さらに、前記変形実施形態のいずれかに記載されたバランスばねを少なくとも１つ有するような計時器に関する。
【０００９】
添付図面を参照して以下の説明（これに限定されない）を読むことによって、他の特徴及び利点を明確に想起することができるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施形態による２つの隣接した柱状部分についての概略図である。
【図２】本発明の第１の実施形態によるバランスばねの２つの例の部分的な平面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態によるバランスばねの２つの例の部分的な平面図である。
【図４】本発明に係るバランスばねのコレット及び内側コイル巻きの開始部分の部分的な斜視図である。
【図５】本発明の第１の実施形態によるバランスばねの代替実施形態の平面図である。
【図６】本発明の第１の実施形態によるバランスばねの代替実施形態の平面図である。
【図７】本発明の第２の実施形態によるバランスばねの代替実施形態又は変形実施形態の平面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態によるバランスばねの代替実施形態又は変形実施形態の平面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態によるバランスばねの代替実施形態又は変形実施形態の平面図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態によるバランスばねの代替実施形態又は変形実施形態の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明は、測時分野向けのバランスばねに関する。具体的には、このバランスばねは、計時器に取り付けられる。例えば、バランスとともに取り付けられる。これによって、計時器の規制メンバーを形成するばね仕掛けバランス共振器を形成する。
【００１２】
上で説明したように、結晶ケイ素製ばねの使用によって、コイル巻きどうしの密着が発生することが観測されている。実際に、対面している２つのコイル巻きの高さＨの部分（すなわち、垂直部分）は、計時器が衝撃を受けた場合などに２つのコイル巻きが近づくだけで付着するほどに非常に滑らかである。この付着は、製造時又は使用時の汚れや潤滑剤でばねが汚染することによって、さらに大きくなることがある。
【００１３】
本発明に係るばね１、１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１は、固体の細長片３、１３、２３、３３、４３、５３、６３、７３を有する。これは、すなわち、長さＬ、高さＨ、厚みＥを有し、凹部や穴がない。細長片３、１３、２３、４３、５３、６３、７３は、コイル巻き群Ｓ1、Ｓ2、Ｓ'1、Ｓ'2、Ｓ3、Ｓext、Ｓintを形成するように自身の周りに巻かれる。
【００１４】
好ましいことに、本発明の第１の実施形態によると、少なくとも一部の細長片３、２３、４３、６３は、互いに一体成形されている一連の柱状部分Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐzで形成され、これによって、多角形のばね１、２１、４１、６１を得る。
【００１５】
このようにして得られた多角形のばね１、２１、４１、６１は、幾何学的に、コイル巻きＳ1、Ｓ2、Ｓ'1、Ｓ'2、Ｓ3、Ｓext、Ｓintの間で密着するリスクを減らしたり、あるいは２つの柱状部分Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐzの間の接合面において、コイル巻きＳ1、Ｓ2、Ｓ'1、Ｓ'2、Ｓ3、Ｓext、Ｓintの間の接触面を厳しく制限する。実際に、各接合においては、部分Ｐどうしで角αを形成する。例えば、図１において、部分Ｐz及び部分Ｐz+1の間で角αz1を形成する。このように、コイル巻きＳ3は、各接合で、実質的に垂直で高さＨに平行であって外側に隣接するコイル巻きの方を向くような接触面５を有する。
【００１６】
上で説明したように、細長片３、２３、４３、６３をそれ自身の周りに巻く必要があるので、少なくとも２つの隣接した柱状部分Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐzは、本発明に従って、好ましくは、鈍角α、すなわち、９０°よりも大きく１８０°未満の角αを形成する。実際に、部分Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐzの必ずしもすべてが厳密に整列していない必要はなく、いくらかの連続する部分Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐzが、例えば、１８０°である角αを形成するように連結していてもよい。
【００１７】
もちろん、各柱状部分Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐzが、少なくとも１つの他の隣接した柱状部分と鈍角を形成するように接合される。このような例を図２及び図５に示した。
【００１８】
図２は、単一の細長片２３で形成されたバランスばね２１の部分的な図であり、これにおいて、２つの連続のコイル巻きＳ1、Ｓ2が、部分Ｐx、Ｐx+1、Ｐx+2、Ｐx+3及び部分Ｐy、Ｐy+1、Ｐy+2、Ｐy+3、Ｐy+4によってそれぞれ形成される。実線で描かれたコイル巻きＳ1は、衝撃時の変位を示すように点線で符号Ｓ1'を付けて描かれている。従来のバランスばねとは異なり、衝撃を受けた場合には、部分Ｐx、Ｐx+1、Ｐx+2、Ｐx+3の間の接合のみがそれぞれ、外側に隣接するコイル巻きＳ2の部分Ｐy、Ｐy+1、Ｐy+2、Ｐy+3、Ｐy+4などと接触する。
【００１９】
部分Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐzの間の接合が外側に隣接するコイル巻きに触れる可能性を増やすために、ばねの内側コイル巻きを形成する柱状部分Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐzの長さは、ばねの外側コイル巻きを形成する柱状部分Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐzの長さよりも大きくなければならない。
【００２０】
しかし、接合以外における接触を完全に防ぐためには、柱状部分Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐzの長さが、ばねの内側コイル巻きの第１の柱状部分から外側コイル巻きの最後の柱状部分まで連続的に減少する。これは、ばねの巻線の状態にかかわらず、すなわち、ばねの縮み又は伸びにかかわらずである。このような例を図３及び図６に示した。
【００２１】
図３は、単一の細長片４３で形成されたバランスばね４１の部分的な図である。これにおいて、２つの連続のコイル巻きＳ'1、Ｓ'2は、部分Ｐ'x、Ｐ'x+1、Ｐ'x+2、Ｐ'x+3及び部分Ｐ'y、Ｐ'y+1、Ｐ'y+2、Ｐ'y+3、Ｐ'y+4によってそれぞれ形成される。実線で示したコイル巻きＳ'1が衝撃時に変位した様子を点線で符号Ｓ'1'を付けて示した。これによってすぐにわかるように、衝撃を受けた際には、幾何学的には、部分Ｐ'x、Ｐ'x+1、Ｐ'x+2、Ｐ'x+3の間のコイル巻きＳ'1の接合のみが、外側に隣接するコイル巻きＳ'2の部分Ｐ'y、Ｐ'y+1、Ｐ'y+2、Ｐ'y+3、Ｐ'y+4などとそれぞれ接触することがあり得る。
【００２２】
図１〜図５の例において、少なくとも１つの他のコイル巻きの方を向くコイル巻きの各柱状部分の対向面Ｆint、Ｆextは、好ましくは、対称的、すなわち、平行である。しかし
、コイル巻きの各柱状部分の対向面Ｆint、Ｆextは、厚みＥにわたって高さＨで形成される断面が、各柱状部分でずっと連続的に変化するように、すなわち、増加し及び／又は
減少するように、非対称であることができる。したがって、各柱状部分の２つの対向面Ｆint、Ｆextの間の非対称性は、各柱状部分の長さＬにわたる厚みＥにおける連続的な変化をもたらす。なお、柱状部分の２つの多角形の基礎部分が、例えば、六角形又は台形、であってもよいことを理解できるであろう。
【００２３】
好ましいことに、本発明の第２の実施形態によると、平面図を示す図７〜図１０の例において示すように、少なくとも１つの他のコイル巻きの方を向く各コイル巻きの２つの対向面Ｆint、Ｆextは、非対称である。なお、厚みＥにわたって高さＨで形成される断面が連続的に変化することを理解できるであろう。すなわち、バランスばねの細長片の長さにわたってずっと増加又は減少している。実際に、２つの対向面Ｆint、Ｆextの間の非対称性によって、バランスばねの細長片の長さにわたっての厚みＥにおける連続的な変化がもたらされる。
【００２４】
好ましくは、前記少なくとも２つの対向面Ｆint、Ｆextの１つの少なくとも一部は、互いに一体成形されている一連の長方形部分で形成され、多角形のばね１１、３１、５１、７１を形成する。
【００２５】
このようにして得られた多角形のばね１１、３１、５１、７１によって、内側コイル巻きＳintと外側コイル巻きＳextの間のコイル巻きどうしが密着するリスクを減少させることが幾何学的に可能になり、そして、さらに、２つの長方形部分の間の接合面（図７〜１０において点が記載されている）においてコイル巻きどうしが接触する面を厳しく制限することも可能になっている。実際に、第１の実施形態におけるように、各接合において２つの長方形部分が角αを形成する。したがって、内側コイル巻きＳintは、各接合において、外側に隣接するコイル巻きの方を向き、かつ、高さＨに実質的に垂直で平行であるような接触面を有する。
【００２６】
上で説明したように、細長片１３、３３、５３、７３をそれ自身の周りに巻く必要があるので、少なくとも２つの隣接した長方形部分が、本発明によれば、好ましくは、鈍角α、すなわち、９０°よりも大きく１８０°未満の角αを形成する。実際に、これらの長方形部分は必ずしもすべてが厳密に整列していない必要はなく、いくつかの連続する部分が、例えば１８０°である角αを成すように連結することが有用であることもある。
【００２７】
また、図７〜図１０の例に示すように、各長方形部分が、少なくとも１つの他の隣接する長方形部分と鈍角を成すように接合されることも、もちろん可能である。
【００２８】
また、前記少なくとも２つの対向面の１つを形成する長方形部分の長さは、一定である必要はない。したがって、図７及び図９に示す第１の代替実施形態によると、内側コイル巻きＳintから開始して、各コイル巻きの外面Ｆextは、お互い一体成形されており、各長方形部分の長さが一定であるような一体成形されている一連の長方形部分で形成される（各接合の箇所に点が記載されている）。
【００２９】
反対に、図８及び図１０に示す第２の代替実施形態によると、内側コイル巻きＳintから開始して、各コイル巻きの外面Ｆextは、互いに一体成形されている一連の長方形部分で形成され、各長方形部分の長さは一定ではない。
【００３０】
好ましくは、長方形部分の長さは、内側コイル巻きＳintの外面Ｆextの第１の長方形部分からバランスばね３１、７１の外側コイル巻きＳextの外面Ｆextの最後の長方形部分まで、連続的に増加する。
【００３１】
図７〜図１０に示すように、各コイル巻きの各対向面Ｆint、Ｆextどうしが非対称、すなわち、平行でないので、他の面の幾何学的構成は無制限となる。これは、各柱状部分の対向面Ｆint、Ｆextが好ましくは対称的、すなわち、平行であるような、第１の実施形態と異なる。したがって、第１の変形実施形態によると、前記少なくとも２つの対向面Ｆintの他のものＦextは、従来のバランスばねのように、単一のらせん状の表面で形成される。
【００３２】
図７に示す例において、バランスばね１１は、単一のらせん状の表面で形成される内面Ｆintを有し、一方、その外面Ｆextは、互いに一体成形されている一連の長方形部分で形成され（各接合には点が記載されている）、各長方形部分の長さは一定である。このように、幾何学的に、細長片１３の厚みＥは一定ではないことを理解できるであろう。
【００３３】
図８に示す例において、バランスばね３１は、単一のらせん状の表面で形成される内面Ｆintを有し、一方、その外面Ｆextは互いに一体成形されている一連の長方形部分で形成され、これらの長方形部分それぞれの長さは一定ではない。より詳細には、長方形部分の長さは、バランスばね３１の内側コイル巻きＳintの外面Ｆextの第１の長方形部分から外側コイル巻きＳextの外面Ｆextの最後の長方形部分まで、連続的に増加する。このようにして、幾何学的に、細長片３３の厚みＥも一定ではないことを理解できるであろう。
【００３４】
第２の変形実施形態によると、前記少なくとも２つの対向面Ｆint、Ｆextの他のものも、第１の面と同様に、互いに一体成形されている一連の長方形部分で形成することができる。
【００３５】
図９に示す例において、ばね５１の内面Ｆintと外面Ｆextはそれぞれ、互いに一体成形されている一連の長方形部分で形成され（各接合に点が記載されている）、これらの長方形部分それぞれの長さは一定である。なお、各面Ｆint、Ｆextのために選ばれる一定の長さは同一ではない。実際に、内面Ｆintの各長方形部分の一定な長さは、外面Ｆextの各長方形部分の一定な長さよりも小さい。したがって、幾何学的に、細長片５３の厚みＥが一定ではないことを理解できるであろう。
【００３６】
図１０に示す例において、ばね７１の内面Ｆintと外面Ｆextはそれぞれ、互いに一体成形されている一連の長方形部分で形成され（各接合に点が記載されている）、これらの長方形部分それぞれの長さは一定ではない。具体的には、面Ｆint、Ｆextそれぞれにおいて、長方形部分の長さは、ばね７１の内側コイル巻きＳintの第１の長方形部分から外側コイル巻きＳextの最後の長方形部分まで、連続的に増加する。なお、各面Ｆint、Ｆextのために選ばれる最小長さは同一ではない。実際に、内面Ｆintの第１の長方形部分の最小長さは、外面Ｆextの第１の長方形部分の最小長さよりも小さい。したがって、幾何学的に、細長片７３の厚みＥは一定ではないことを理解できるであろう。
【００３７】
もちろん、本発明は、図示した例に限定されず、当業者が想起することができる様々な改変を行うことができる。具体的には、実施形態、変形実施形態又は代替実施形態を組み合わせることができる。したがって、例えば、バランスばねの長さの１つの部分を実施形態のうちの１つによって形成し、かつ、バランスばねの長さの別の部分を別の実施形態によって形成することができる。
【００３８】
また、多角形バランスばね１、１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１は、さらに、アーバーに固定されるように構成するコレットと一体成形されている内側コイル巻きＳintを有することができる。このような例を図４に示す。図４は、内側コイル巻きＳintが、互いに角α12を成すように接続され第１の部分Ｐ1がコレット６５と一体成形されているような部分Ｐ1、Ｐ2などで形成されている、単一の細長片６３で形成されたバランスばね６１の部分的な図を示す。コレット６５は、実質的に三弁花状であり、これは、例えば、バランススタッフを受けるように意図された穴６４を有する。
【００３９】
また、実施形態にかかわらず、バランスばね１、１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１の細長片３、１３、２３、３３、４３、５３、６３、７３の厚みＥを、局所的に改変して、例えば、厚くして、例えば、細長片３、１３、２３、３３、４３、５３、６３、７３の剛性を大きくするように局所的に改変することも想起することができる。
【００４０】
上の例についての記載を読むことによって、バランスばね１、１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１が単一片であることができるということは明確である。すなわち、細長片３、１３、２３、３３、４３、５３、６３、７３は、材料の不連続性がないように作ることができる。このようなバランスばねは、ケイ素を含有する材料で作ることができる。すなわち、例えば、単結晶ケイ素、多結晶ケイ素、ドープされた単結晶ケイ素、ドープされた多結晶ケイ素、ドープされた又はドープされていない炭化ケイ素、ドープされた又はドープされていない窒化ケイ素、ドープされた又はドープされていない石英又はシリカのような酸化ケイ素である。実際に、このような材料の異方性エッチングを湿式又は乾式法によって行うことができる。
【符号の説明】
【００４１】
１、１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１、３、１３、２３、３３、４３、５３、６３、７３  細長片
６５  コレット
７３  バランスばね
α、αz1、α12  鈍角
Ｆint、Ｆext  対向面
Ｐ1、Ｐ2、Ｐx、Ｐ'x、Ｐy、Ｐ'y、Ｐz  柱状部分
Ｓ1、Ｓ2、Ｓ'1、Ｓ'2、Ｓ3、Ｓint、Ｓext  コイル巻き群
Ｓint  内側コイル巻き
Ｓext  外側コイル巻き
【図１】
0005978282.tif 000002
【図２】
0005978282.tif 000003
【図３】
0005978282.tif 000004
【図４】
0005978282.tif 000005
【図５】
0005978282.tif 000006
【図６】
0005978282.tif 000007
【図７】
0005978282.tif 000008
【図８】
0005978282.tif 000009
【図９】
0005978282.tif 000010
【図１０】
0005978282.tif 000011