(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加振体を正逆方向へのみ加振させる加振装置において、
テーブルベースと、
前記テーブルベースに前記正逆方向へのみ往復移動可能に設けられ、一側に前記正逆方向へ平行な第１連結ロッドを備え、他側に前記正逆方向に平行な前記第２連結ロッドを前記第１連結ロッドと同心状に備え、前記被加振体を装備するスライドテーブルと、
前記テーブルベースに設けられ、前記スライドテーブルを前記正逆方向へのみ往復移動可能に案内する案内機構と、
前記スライドテーブルの一側方に配設され、前記正逆方向に平行であってかつ前記正逆方向へ往復移動可能な第１作動ロッドを備え、前記第１作動ロッドの先端部が前記第１連結ロッドの先端部に当接可能であって、前記スライドテーブルを正方向へ移動させる第１加振アクチュエータと、
前記スライドテーブルの他側方に配設され、前記正逆方向に平行であってかつ前記正逆方向に往復移動可能な第２作動ロッドを備え、前記第２作動ロッドの先端部が前記第２連結ロッドの先端部に当接可能であって、前記スライドテーブルを逆方向へ移動させる第２加振アクチュエータと、を具備し、
前記第１加振アクチュエータ及び前記第２加振アクチュエータの駆動状態を切り替えることによって、カップリングを用いることなく、前記第１作動ロッドの先端部及び前記第２作動ロッドの先端部を前記第１連結ロッドの先端部及び前記第２連結ロッドの先端部にそれぞれ当接させた状態で、前記スライドテーブルが前記正逆方向へのみ往復移動するように構成されている加振装置。
【請求項２】
前記案内機構は、支持流体の静圧を利用して前記スライドテーブルを前記正逆方向へのみ往復移動可能に案内する静圧案内ユニットである請求項１に記載の加振装置。
【請求項３】
前記第１加振アクチュエータが復動型の第１油圧シリンダであって、前記第２加振アクチュエータが復動型の第２油圧シリンダである請求項１又は請求項２に記載の加振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加振体へ正逆方向（加振方向）へ加振させる加振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、加振装置について種々の開発がなされており、一般的な加振装置について簡単に説明すると、次のようになる。
【０００３】
一般的な加振装置は、テーブルベースを具備しており、このテーブルベースには、被加振体を装備するスライドテーブルが正逆方向へ往復移能に設けられており、このスライドテーブルは、一側に、連結ロッドを備えている。また、スライドテーブルの一側方には、スライドテーブルを正逆方向へ往復移動させる加振アクチュエータとしての油圧シリンダが設けられており、この油圧シリンダは、正逆方向へ往復移動可能な作動ロッドとしてのピストンロッドを備えている。ここで、連結ロッドの先端部とピストンロッドの先端部は、カップリング（軸継手）によって接続されるようになっている。
【０００４】
従って、油圧シリンダを駆動させて、ピストンロッドを正逆方向へ往復移動させることにより、カップリングを介してスライドテーブルを正逆方向へ往復移動させる。これにより、被加振体を正逆方向へ加振させることができる。
【０００５】
なお、本発明に関連する先行技術として特許文献１から特許文献３に示すものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１１８７２５号公報
【特許文献２】特開平１１−３１１５８３号公報
【特許文献３】特開２００２−１５３９７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、油圧シリンダの駆動によりスライドテーブルを正逆方向へ往復移動させるには、前述のように、カップリングを加振装置の構成要素とする必要がある。一方、カップリングを加振装置の構成要素にすることによって、カップリングを組付ける際に、テーブルの一部である連結ロッドとピストンロッドとの芯出し（アライメント調整）を行わなければならず、加振装置の設置等を含む運転準備作業が煩雑化する。また、加振装置の加振周波数が高くなるに伴い、カップリングのガタが生じ易く、被加振体を安定した状態で正逆方向へ加振させることが困難になる。
【０００８】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の加振装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の態様は、被加振体を正逆方向（加振方向）へのみ加振させる加振装置において、テーブルベースと、前記テーブルベースに前記正逆方向にのみ往復移動可能に設けられ、一側に前記正逆方向へ平行な第１連結ロッドを備え、他側に前記正逆方向に平行な前記第２連結ロッドを前記第１連結ロッドと同心状に備え、前記被加振体を装備（保持を含む）するスライドテーブルと、前記テーブルベースに設けられ、前記スライドテーブルを前記正逆方向へのみ往復移動可能に案内する案内機構と、前記スライドテーブルの一側方に配設され、前記正逆方向に平行であってかつ前記正逆方向へ往復移動可能な第１作動ロッドを備え、前記第１作動ロッドの先端部が前記第１連結ロッドの先端部に当接可能であって、前記スライドテーブルを正方向（加振方向一方側）へ移動させる第１加振アクチュエータと、前記スライドテーブルの他側方に配設され、前記正逆方向に平行であってかつ前記正逆方向に往復移動可能な第２作動ロッドを備え、前記第２作動ロッドの先端部が前記第２連結ロッドの先端部に当接可能であって、前記スライドテーブルを逆方向（加振方向他方側）へ移動させる第２加振アクチュエータと、を具備し、前記第１加振アクチュエータ及び前記第２加振アクチュエータの駆動状態を切り替えることによって、カップリングを用いることなく、前記第１作動ロッドの先端部及び前記第２作動ロッドの先端部を前記第１連結ロッドの先端部及び前記第２連結ロッドの先端部にそれぞれ当接させた状態で、前記スライドテーブルが前記正逆方向へのみ往復移動するように構成されていることである。
【００１０】
本発明の態様によると、前記第１加振アクチュエータ及び前記第２加振アクチュエータの駆動状態を切り替えて、前記第１作動ロッド及び前記第２作動ロッドを同期して正逆方向へ移動させることにより、前記第１作動ロッドの先端部及び前記第２作動ロッドの先端部を前記スライドテーブルの一側部及び他側部にそれぞれ当接させた状態で、前記スライドテーブルを前記正逆方向へ往復移動させる。これにより、前記被加振体を前記正逆方向へ加振させることができる。
【００１１】
要するに、前記スライドテーブルの一側方及び他側方に前記第１加振アクチュエータ及び前記第２加振アクチュエータがそれぞれ配設され、前記加振装置は、前記第１加振アクチュエータ及び前記第２加振アクチュエータの駆動状態を切り替えることによって、前記第１作動ロッドの先端部及び前記第２作動ロッドの先端部を前記スライドテーブルの一側部及び他側部にそれぞれ当接させた状態で、前記スライドテーブルが前記正逆方向へ往復移動するように構成されているため、前述のように、カップリングを用いることなく、前記スライドテーブルを前記正逆方向へ往復移動させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、前記カップリングを用いることなく、前記スライドテーブルを前記正逆方向へ往復移動させることができるため、前記スライドテーブルの一部と前記第１作動ロッド又は前記第２作動ロッドとの芯出し（アライメント調整）が不要になり、前記加振装置の設置等を含む運転準備作業の煩雑化を抑えることができる。また、同じ理由により、前記加振装置の加振周波数が高くなっても、前記被加振体を安定した状態で前記正逆方向へ加振させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る加振装置の正断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態に係る加振装置の平面図である。
【図３】図３は、図１におけるIII-III線に沿った拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施形態について図１から図３を参照して説明する。図中、「Ｌ」は、左方向、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指している。
【００１５】
図１及び図２に示すように、本発明の実施形態に係る加振装置１は、被加振体Ｅを正逆方向（加振方向、本発明の実施形態にあっては、左右方向）へ加振させるものである。また、加振装置１は、左右方向へ延びた支持フレーム（装置フレーム）３を具備しており、この支持フレーム３には、テーブルベース５が設けられており、このテーブルベース５には、断面逆Ｔ字形状のガイド溝７が形成されている。
【００１６】
テーブルベース５のガイド溝７には、被加振体Ｅを装備（保持を含む）するスライドテーブル９が正逆方向へ往復移動可能に設けられている。そして、スライドテーブル９の具体的な構成は、次のようになる。
【００１７】
テーブルベース５のガイド溝７には、スライドテーブル９の一部を構成するスライド１１が正逆方向へ往復移動可能に設けられており、このスライド１１には、被加振体Ｅを装備するテーブル１３が一体的に設けられている。また、スライド１１の一側（左側）には、正逆方向に平行な第１連結ロッド１７が一体的に設けられており、この第１連結ロッド１７は、先端側に、耐摩耗性材料からなる当接子１９を着脱可能に備えている。更に、スライド１１の他側（右側）には、正逆方向に平行な第２連結ロッド２１が第１連結ロッド１７に同心状に一体的に設けられており、この第２連結ロッド２１は、先端側に、耐摩耗性材料からなる当接子２３を着脱可能に備えている。
【００１８】
テーブルベース５のガイド溝７の内面には、支持油（支持流体の一例）の静圧を利用してスライドテーブル９を正逆方向へ往復移動可能に案内支持する静圧案内ユニット２５が設けられている。換言すれば、テーブルベース５のガイド溝７には、スライドテーブル９が静圧案内ユニット２５を介して正逆方向へ往復移動可能に設けられている。また、静圧案内ユニット２５は、テーブルベース５のガイド溝７の内面に間隔を置いて設けられかつ支持油を噴出可能な複数の静圧パッド２７を備えている。ここで、複数の静圧パッド２７は、支持油を供給する支持油供給源としての支持油用ポンプ（図示省略）に接続されている。なお、テーブルベース５のガイド溝７の内面に静圧案内ユニット２５が設けられる代わりに、スライドテーブル９を正逆方向へ往復移動可能に案内支持する別の案内機構が設けられるようにしても構わない。
【００１９】
支持フレーム３におけるスライドテーブル９の一側方（左側方）には、スライドテーブル９を正方向（加振方向一方側、本発明の実施形態にあっては、右方向）へ移動させる第１加振アクチュエータとして復動型の第１油圧シリンダ２９が配設されている。そして、第１油圧シリンダ２９の具体的な構成は、次のようになる。
【００２０】
支持フレーム３におけるスライドテーブル９の一側方には、第１油圧シリンダ２９の一部を構成する筒状の第１シリンダ本体３１が設けられており、この第１シリンダ本体３１におけるスライドテーブル９側の端部（右端部）には、筒状の第１エンド部材３３が一体的に設けられている。また、第１シリンダ本体３１内には、第１ピストン３５が液密に正逆方向へ往復移動可能に設けられている。更に、第１シリンダ本体３１の内壁面と第１ピストン３５におけるスライドテーブル９側の反対側の側面（左側面）との間には、スライドテーブル９の往動時に作動油（作動流体の一例）を供給するための往動用油圧室３７が区画形成されており、第１エンド部材３３の先端面（左端面）と第１ピストン３５におけるスライドテーブル９側の側面（右側面）との間には、スライドテーブル９の復動時に作動油を供給するための復動用油圧室３９が区画形成されている。
【００２１】
第１ピストン３５におけるスライドテーブル９側の側面は、正逆方向に平行な第１作動ロッドとしての第１ピストンロッド４１が一体的に設けられており、この第１ピストンロッド４１は、第１エンド部材３３にメタル軸受４３を介して正逆方向へ往復移動可能に支持されてあって、第１連結ロッド１７と同心状に位置している。また、第１ピストンロッド４１は、先端側に、耐摩耗性材料からなる当接子４５を着脱可能に備えてあって、第１ピストンロッド４１の先端部である当接子４５は、スライドテーブル９の一側部であってかつ第１連結ロッド１７の先端部である当接子１９に当接可能である。
【００２２】
支持フレーム３におけるスライドテーブル９の他側方（右側方）には、スライドテーブル９を逆方向（加振方向他方側、本発明の実施形態にあっては、左方向）へ移動させる第２加振アクチュエータとして復動型の第２油圧シリンダ４７が配設されている。そして、第２油圧シリンダ４７の具体的な構成は、次のようになる。
【００２３】
支持フレーム３におけるスライドテーブル９の他側方には、第２油圧シリンダ４７の一部を構成する筒状の第２シリンダ本体４９が設けられており、この第２シリンダ本体４９におけるスライドテーブル９側の端部（左端部）には、筒状の第２エンド部材５１が一体的に設けられている。また、第２シリンダ本体４９内には、第２ピストン５３が液密に正逆方向へ往復移動可能に設けられている。更に、第２エンド部材５１の先端面（右端面）と第２ピストン５３におけるスライドテーブル９側の側面（左側面）との間には、スライドテーブル９の往動時に作動油を供給するための復動用油圧室５５が区画形成されており、第２シリンダ本体４９の内壁面と第２ピストン５３におけるスライドテーブル９側の反対側の側面（右側面）との間には、スライドテーブル９の復動時に作動油を供給するための往動用油圧室５７が区画形成されている。
【００２４】
第２ピストン５３におけるスライドテーブル９側の側面には、正逆方向に平行な第２作動ロッドとしての第２ピストンロッド５９が一体的に設けられており、この第２ピストンロッド５９は、第２エンド部材５１にメタル軸受６１を介して正逆方向へ往復移動可能に支持されてあって、第２連結ロッド２１と同心状に位置している。また、第２ピストンロッド５９は、先端側に、耐摩耗性材料からなる当接子６３を着脱可能に備えてあって、第２ピストンロッド５９の先端部である当接子６３は、スライドテーブル９の他側部であってかつ第２連結ロッド２１の先端部である当接子２３に当接可能である。
【００２５】
そして、本発明の実施形態にあっては、加振装置１は、第１油圧シリンダ２９及び第２油圧シリンダ４７の駆動状態を切り替えることによって、第１ピストンロッド４１の当接子４５及び第２ピストンロッド５９の当接子６３を第１連結ロッド１７の当接子１９及び第２連結ロッド２１の当接子２３にそれぞれ当接させた状態、換言すれば、第１ピストンロッド４１の当接子４５と第２ピストンロッド５９の当接子６３の協働によりスライドテーブル９を挟んだ状態で、スライドテーブル９が正逆方向へ往復移動するように構成されている。ここで、「加振装置１は、第１油圧シリンダ２９及び第２油圧シリンダ４７の駆動状態を切り替える」とは、具体的には、往動用油圧室３７，５５と復動用油圧室３９，５７に交互に作動油を供給すること、換言すれば、第１油圧シリンダ２９及び第２油圧シリンダ４７の往動動作と復動動作を交互に切り替えることをいう。
【００２６】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００２７】
復動用油圧室３９，５７から作動油を排出しつつ、往動用油圧室３７，５５に作動油を供給して、第１油圧シリンダ２９を駆動させることにより、第１ピストンロッド４１及び第２ピストンロッド５９を同期して正方向（加振方向一方側、本発明の実施形態にあっては、右方向）へ移動させる。また、往動用油圧室３７，５５から作動油を排出しつつ、復動用油圧室３９，５７に作動油を供給して、第２油圧シリンダ４７を駆動させることにより、第１ピストンロッド４１及び第２ピストンロッド５９を同期して逆方向（加振方向他方側、本発明の実施形態にあっては、左方向）へ移動させる。そして、第１油圧シリンダ２９と第２油圧シリンダ４７を交互に駆動させることにより、第１ピストンロッド４１の当接子４５及び第２ピストンロッド５９の当接子６３を第１連結ロッド１７の当接子１９及び第２連結ロッド２１の当接子２３にそれぞれ当接させた状態、スライドテーブル９を正逆方向へ往復移動させる。これにより、被加振体Ｅを正逆方向へ加振させることができる。
【００２８】
要するに、支持フレーム３におけるスライドテーブル９の一側方及び他側方に第１油圧シリンダ２９及び第２油圧シリンダ４７がそれぞれ配設され、加振装置１は、第１油圧シリンダ２９及び第２油圧シリンダ４７の駆動状態を切り替えることによって、第１ピストンロッド４１の当接子４５及び第２ピストンロッド５９の当接子６３を第１連結ロッド１７の当接子１９及び第２連結ロッド２１の当接子２３にそれぞれ当接させた状態、スライドテーブル９が正逆方向へ往復移動するように構成されているため、前述のように、カップリングを用いることなく、スライドテーブル９を正逆方向へ往復移動させることができる。
【００２９】
従って、本発明の実施形態によれば、スライドテーブル９の一部分である第１連結ロッド１７又は第２連結ロッド２１と第１ピストンロッド４１又は第２ピストンロッド５９との芯出し（アライメント調整）が不要になり、加振装置１の設置等を含む運転準備作業の煩雑化を抑えることができる。また、加振装置１の加振周波数が高くなっても、被加振体Ｅを安定した状態で正逆方向へ加振させることができる。
【００３０】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、例えば、第１油圧シリンダ２９の代わりに第１水圧シリンダ、第１空気圧シリンダ等の別の第１加振アクチュエータ（図示省略）を用いたり、第２油圧シリンダ４７の代わりに第２水圧シリンダ、第２空気圧シリンダ等の別の第２加振アクチュエータ（図示省略）を用いたりする等、適宜の変更を行うことにより、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００３１】
Ｅ      被加振体
１      加振装置
３      支持フレーム
５      テーブルベース
７      ガイド溝
９      スライドテーブル
１１      スライド
１３      テーブル
１７      第１連結ロッド
１９      第１連結ロッドの当接子
２１      第２連結ロッド
２３      第２連結ロッドの当接子
２５      静圧案内ユニット
２７      静圧パッド
２９      第１油圧シリンダ
３１      第１シリンダ本体
３３      第１エンド部材
３５      第１ピストン
３７      往動用油圧室
３９      復動用油圧室
４１      第１ピストンロッド
４５      第１ピストンロッドの当接子
４７      第２油圧シリンダ
４９      第２シリンダ本体
５１      第２エンド部材
５３      第２ピストン
５５      往動用油圧室
５７      復動用油圧室
５９      第２ピストンロッド
６３      第２ピストンロッドの当接子
【図１】
0005910086.tif 000002
【図２】
0005910086.tif 000003
【図３】
0005910086.tif 000004