(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基端から末端まで末広がりに延びる笠部と、該笠部の内側で折り畳み式に伸縮可能な筒状の蛇腹部であって、先端に第１吸盤部分を有する蛇腹部とを備え、前記笠部の前記末端が、前記第１吸盤部分の外縁よりも外側に突出して配置される、吸着パッドにおいて、
前記蛇腹部が前記笠部の内側で縮んだ状態で、前記笠部の前記末端と前記第１吸盤部分の前記外縁との間に設けられる環状の第２吸盤部分を有する、吸着パッド。
【請求項２】
前記笠部は、前記蛇腹部が前記笠部の内側で縮んだときに前記蛇腹部を包囲して前記蛇腹部に当接する形状を有する、請求項１に記載の吸着パッド。
【請求項３】
前記笠部は、前記蛇腹部よりも大きな肉厚を有する、請求項１又は２に記載の吸着パッド。
【請求項４】
前記笠部と前記蛇腹部とが互いに一体に形成される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の吸着パッド。
【請求項５】
前記笠部の前記末端に前記蛇腹部の基端が一体に接続される、請求項４に記載の吸着パッド。
【請求項６】
前記笠部と前記蛇腹部とが互いに別体に形成されて互いに連結される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の吸着パッド。
【請求項７】
前記笠部の前記基端に接続される基部をさらに備え、該基部は、前記蛇腹部の内部空間に連通する通気孔を有し、該通気孔が、前記蛇腹部の内部空間の最小横断面積よりも大きな最小横断面積を有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の吸着パッド。
【請求項８】
前記蛇腹部は１つ以上の谷折り部分を有する、請求項１〜７のいずれか１項に記載の吸着パッド。
【請求項９】
前記蛇腹部は、２つの谷折り部分と、それら谷折り部分の間に位置する１つの山折り部分とを有し、
前記笠部の前記末端は、前記山折り部分よりも外側に突出して配置され、
前記蛇腹部が前記笠部の内側で縮んだ状態で、前記山折り部分と前記第１吸盤部分の前記外縁との間に、前記第２吸盤部分に包囲されるように設けられる環状の第３吸盤部分をさらに有する、
請求項８に記載の吸着パッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物を真空吸着する吸着パッドにおいて、折り畳み式に伸縮可能な筒状の蛇腹部を備えたものが知られている。例えば特許文献１は、上向面と下向面とを有する少なくとも１つの括れ部を備えた蛇腹形状の側部を具備する吸盤を開示する。この吸盤は、括れ部の上向面及び下向面の少なくとも一方に、中央から外側に向けて放射状に延びる複数の突起部を備える。突起部により側部の強度が増して、吸盤に吸着した物品の揺動を抑制できる旨が記載されている。
【０００３】
特許文献２は、吸気管の下端周りに開口して固着された小吸盤と、この小吸盤を囲んで吸気管の下端周りに小吸盤と同心状に開口して固着された大吸盤とを備えた物品の吸着搬送用吸盤を開示する。小吸盤及び大吸盤は蛇腹状の伸縮体から構成される。物品を大小両吸盤で吸着したときに、小吸盤の周囲で大吸盤が物品を上から抑えることで物品の横揺れを防止する旨、及び、物品表面の凹凸による一方の吸盤からの空気漏れを他方の吸盤が補完して吸着力を維持できる旨が記載されている。
【０００４】
特許文献３は、果菜を吸着可能な吸引体を備えた果菜運搬装置を開示する。吸引体の腹部にはベロー（蛇腹）が形成され、下部の吸引口を胡瓜の表面に当てて吸引する際にベローが変形する。ベローの変形により、丸みを帯び多数のいぼを有する胡瓜の表面に吸引口を確実に密着させて、胡瓜を吸引吸着できる旨が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−０２４１３８号公報（段落０００９、段落００１０）
【特許文献２】特開２００３−２２５８８０号公報（要約）
【特許文献３】特開平８−１９７４７１号公報（段落００２７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
折り畳み式に伸縮可能な筒状の蛇腹部を備えた吸着パッドにおいて、より簡易な構成により、対象物表面の凹凸等に起因する空気漏れを防止できることが望まれている。また、折り畳み式に伸縮可能な筒状の蛇腹部を備えた吸着パッドにおいて、より簡易な構成により、対象物吸着時の蛇腹部の揺れを抑制できることが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、基端から末端まで末広がりに延びる笠部と、笠部の内側で折り畳み式に伸縮可能な筒状の蛇腹部であって、先端に第１吸盤部分を有する蛇腹部とを備え、笠部の末端が、第１吸盤部分の外縁よりも外側に突出して配置される、吸着パッドにおいて、蛇腹部が笠部の内側で縮んだ状態で、笠部の末端と第１吸盤部分の外縁との間に設けられる環状の第２吸盤部分を有する、吸着パッドである。
【０００８】
上記した吸着パッドにおいて、笠部は、蛇腹部が笠部の内側で縮んだときに蛇腹部を包囲して蛇腹部に当接する形状を有することができる。
【発明の効果】
【０００９】
一態様に係る吸着パッドでは、対象物を吸着するときに、第１吸盤部分と第２吸盤部分との双方が対象物の表面に対し吸着作用を発揮するので、全体として吸着力が増加し、吸着作用の信頼性が向上する。対象物の表面が凹凸を有する場合にも、第１吸盤部分と第２吸盤部分との二重の吸着作用により、外部から蛇腹部の内部空間に空気が侵入することを防止できる。また吸着パッドは、笠部の末端と蛇腹部の第１吸盤部分との間に第２吸盤部分が設けられる構成を有するから、大小２つの吸盤を備える構成に比べて、より簡易な構成を有する。
【００１０】
笠部がその内側で縮んだ蛇腹部を包囲して蛇腹部に当接する形状を有する構成では、対象物吸着時の蛇腹部の揺れが笠部によって抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】一実施形態による吸着パッドを示す図で、（ａ）正面図、（ｂ）斜視図である。
【図２】図１の吸着パッドの断面図である。
【図３】対象物を吸着したときの吸着パッドの（ａ）正面図、（ｂ）斜視図である。
【図４】対象物を吸着したときの吸着パッドの断面図である。
【図５】図４の吸着パッドの一部拡大断面図である。
【図６】図１の吸着パッドの変形例を示す断面図である。
【図７】図１の吸着パッドの他の変形例を示す図で、（ａ）正面図、（ｂ）斜視図である。
【図８】図７の吸着パッドの断面図である。
【図９】対象物を吸着したときの吸着パッドの（ａ）正面図、（ｂ）斜視図である。
【図１０】対象物を吸着したときの吸着パッドの断面図である。
【図１１】他の実施形態による吸着パッドを示す図で、（ａ）正面図、（ｂ）斜視図である。
【図１２】図１１の吸着パッドの分解斜視図である。
【図１３】図１１の吸着パッドの断面図である。
【図１４】対象物を吸着したときの吸着パッドの（ａ）正面図、（ｂ）斜視図である。
【図１５】対象物を吸着したときの吸着パッドの断面図である。
【図１６】図１１の吸着パッドの変形例を示す図で、（ａ）正面図、（ｂ）斜視図である。
【図１７】図１６の吸着パッドの分解斜視図である。
【図１８】図１６の吸着パッドの断面図である。
【図１９】対象物を吸着したときの吸着パッドの断面図である。
【図２０】さらに他の実施形態による吸着パッドを示す図で、（ａ）正面図、（ｂ）斜視図である。
【図２１】図２０の吸着パッドの断面図である。
【図２２】対象物を吸着したときの吸着パッドの（ａ）正面図、（ｂ）斜視図である。
【図２３】対象物を吸着したときの吸着パッドの断面図である。
【図２４】図２３の吸着パッドの一部拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。全図面に渡り、対応する構成要素には共通の参照符号を付す。
【００１３】
図１及び図２は、第１の実施形態による吸着パッド１０を、外力を受けず実質的に変形していない状態で示す。図３及び図４は、吸着パッド１０を、対象物１２を吸着して変形した状態で示す。図５は、図４の吸着パッド１０の一部を拡大して示す。吸着パッド１０は、先端（図で下端）に吸盤を有する全体として中空の筒形部品であって、その内部空間を吸着パッド１０の周囲環境よりも減圧することにより、吸盤を対象物１２の表面１２ａに吸着させて吸着状態を維持することができる。
【００１４】
図１及び図２に示すように、吸着パッド１０は、基端１４から末端１６まで末広がりに延びる笠部１８と、笠部１８の内側（図で下側）で折り畳み式に伸縮可能な筒状の蛇腹部２０とを備える。笠部１８と蛇腹部２０とは、後述するように、吸着パッド１０が対象物１２（図３）を吸着するときに、蛇腹部２０の内部空間２２の減圧に伴い変形して吸着作用を発揮する。
【００１５】
この実施形態では、吸着パッド１０はさらに、笠部１８の基端１４に接続される基部２４を備える。基部２４は、吸着パッド１０を、例えばロボット等の物品搬送機械が有する物品保持部（例えばロボットハンド）のような、所望の構造体（図示せず）に取り付けるための部分である。基部２４は、蛇腹部２０の内部空間２２に連通する通気孔２６を有する。この実施形態では、吸着パッド１０は、実質的に変形していない状態で、軸線１０ａに関して回転対称の形状を有し、笠部１８、蛇腹部２０及び基部２４が互いに同軸に配置される（図２）。なお吸着パッド１０は、基部２４を備えず、笠部１８の基端１４が構造体に直接取り付けられる構成を有することもできる。
【００１６】
図１及び図２に示すように、笠部１８は、所望の厚みを有する弾性変形可能な笠形の環状壁２８を備える。この実施形態では、笠部１８の環状壁２８は、軸線１０ａを中心として基端１４から末端１６に向かって徐々に拡径する円錐台状の外周面２８ａと、軸線１０ａを中心として基端１４から末端１６に向かって徐々に拡径する円錐台状の内周面２８ｂとを有する（図２）。軸線１０ａに対する外周面２８ａの傾斜角度は、軸線１０ａに対する内周面２８ｂの傾斜角度よりも小さくなっており、環状壁２８は、基端１４で最大の厚みを有する一方、末端１６に隣接する部位で最小の厚みを有している（図２）。
【００１７】
図１及び図２に示すように、蛇腹部２０は、所望の厚みを有する折り畳み可能な筒状壁３０を備える。筒状壁３０は、軸線１０ａに沿った方向の中間部位に形成される環状の谷折り部分３２と、笠部１８から離れる方向（図で下方）へ谷折り部分３２から末広がりに延びる第１吸盤部分３４とを有する。第１吸盤部分３４は、吸着パッド１０の先端（図で下端）に設けられ、吸着パッド１０が対象物１２（図３）を吸着する際に対象物１２に接触する。第１吸盤部分３４は、筒状壁３０の軸線方向一端（図で下端）に相当する環状の外縁３６を有する。第１吸盤部分３４は、外縁３６に沿った部位で、吸着パッド１０が対象物１２を吸着する際に対象物１２に最初に接触できる。第１吸盤部分３４は、少なくとも外縁３６及びその近傍領域が、対象物１２との接触時に弾性変形可能となっている。この実施形態では、第１吸盤部分３４は、軸線１０ａを中心として谷折り部分３２から外縁３６に向かって徐々に拡径する円錐台状の外周面３４ａと、軸線１０ａを中心として谷折り部分３２から外縁３６に向かって徐々に拡径する円錐台状の内周面３４ｂとを有する（図２）。内周面３４ｂは、対象物１２の表面１２ａ（図３）に接触可能な吸着面（以下、吸着面３４ｂとも称する）を構成する。
【００１８】
この実施形態では、蛇腹部２０の筒状壁３０は、１つの谷折り部分３２を有するとともに、谷折り部分３２を挟んで第１吸盤部分３４とは反対側で、笠部１８に接近する方向（図で上方）へ谷折り部分３２から末広がりに延びる上壁部分３８を有する。上壁部分３８は、筒状壁３０の軸線方向他端（図で上端）に相当する基端４０を有するとともに、軸線１０ａを中心として谷折り部分３２から基端４０に向かって徐々に拡径する円錐台状の外周面３８ａと、軸線１０ａを中心として谷折り部分３２から基端４０に向かって徐々に拡径する円錐台状の内周面３８ｂとを有する（図２）。第１吸盤部分３４と上壁部分３８とは、谷折り部分３２で互いに一体に接続され、谷折り部分３２及びその周辺部分の変形を伴いながら、互いの成す角度（つまり谷折り角度）を予め定めた範囲で変更できる。なお、蛇腹部２０が笠部１８の内側で折り畳み式に伸縮可能、という構成は、軸線１０ａに視線を合致させて吸着パッド１０を見たときに、蛇腹部２０が笠部１８の末端１６よりも外側にはみ出すことなく、筒状壁３０が谷折り部分３２における谷折り角度を変化させながら軸線１０ａに沿って伸縮し得ることを意味する。
【００１９】
図１及び図２に示すように、笠部１８の末端１６は、第１吸盤部分３４の外縁３６よりも外側に突出して配置される。つまり、軸線１０ａに視線を合致させて吸着パッド１０を見たときに、笠部１８の末端１６の内側に第１吸盤部分３４の外縁３６が位置する。この実施形態では、末端１６の外径Ｄ１が外縁３６の外径Ｄ２よりも大きくなっている（図２）。また、この実施形態では、笠部１８と蛇腹部２０とは、互いに一体に形成される。特にこの実施形態では、笠部１８の末端１６に蛇腹部２０の上壁部分３８の基端４０が一体に接続される。さらにこの実施形態では、笠部１８と基部２４とは、互いに一体に形成される。
【００２０】
図２に示すように、この実施形態では、蛇腹部２０の筒状壁３０は、第１吸盤部分３４の外縁３６の近傍領域を除く実質的全体に渡り、略一様な厚みを有する。第１吸盤部分３４の外縁３６の近傍領域は、外縁３６に向かって徐々に厚みが小さくなる（図５）。筒状壁３０の厚みは、笠部１８の環状壁２８の最小厚みよりも小さい。笠部１８の末端１６と蛇腹部２０の基端４０との接続領域４２は、局所的に、笠部１８の最小厚みよりも大きな厚みを有する。笠部１８の環状壁２８と蛇腹部２０の上壁部分３８とは、接続領域４２及びその周辺部分で弾性変形可能であって、この弾性変形を伴いながら、環状壁２８と上壁部分３８との成す角度を予め定めた範囲で変更できる。笠部１８を、蛇腹部２０に連続する蛇腹構造の一部と見なすこともでき、この場合、接続領域４２を、蛇腹構造の１つの山折り部分と見なすこともできる。
【００２１】
吸着パッド１０は、蛇腹部２０が笠部１８の内側で縮んだ状態で、笠部１８の末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６との間に設けられる環状の第２吸盤部分４４を有する。この構成を、図３〜図５を参照して詳細に説明する。
【００２２】
図３〜図５に示すように、吸着パッド１０は、第１吸盤部分３４を対象物１２の表面１２ａに接触させて蛇腹部２０が笠部１８の内側で軸線方向へ縮んだときに、笠部１８が末端１６で対象物１２の表面１２ａに接触できるように構成される。蛇腹部２０は、第１吸盤部分３４を外縁３６に沿った部位で最初に対象物１２の表面１２ａに接触させた後、笠部１８を対象物１２に接近させることで、笠部１８の内側で軸線１０ａに沿って折り畳み式に縮む。この間、第１吸盤部分３４と上壁部分３８とは、谷折り部分３２の変形を伴いながら谷折り角度を徐々に小さくして、両者の外周面３４ａ、３８ａを徐々に接近させる。同時に、笠部１８の環状壁２８と蛇腹部２０の上壁部分３８とは、接続領域４２の弾性変形を伴いながら環状壁２８と上壁部分３８との成す角度（つまり山折り角度）を徐々に小さくして、両者の内周面２８ｂ、３８ｂを徐々に接近させる。
【００２３】
第１吸盤部分３４の外周面３４ａと上壁部分３８の外周面３８ａとが互いに接触し、環状壁２８の内周面２８ｂと上壁部分３８の内周面３８ｂとが互いに接触した時点で、蛇腹部２０は軸線方向へ最も縮まった状態となる。蛇腹部２０が軸線方向へ最も縮まった状態になると、図３及び図４に示すように、蛇腹部２０は笠部１８の内側で折り畳まれて外部から見えないように笠部１８によって覆われ、笠部１８の末端１６が第１吸盤部分３４の外縁３６の外側で対象物１２の表面１２ａに接触する。つまり笠部１８は、蛇腹部２０が笠部１８の内側で縮んだときに蛇腹部２０を包囲して蛇腹部２０に当接する形状を有する。図５に示すように、笠部１８の末端１６が対象物１２の表面１２ａに接触した状態で、末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６と対象物表面１２ａとの間に、環状の空間４６が形成される。
【００２４】
蛇腹部２０を軸線方向へ最も縮まった状態にする一方で、蛇腹部２０の内部空間２２を減圧することにより、第１吸盤部分３４がその内周面（吸着面）３４ｂで対象物１２の表面１２ａに接触して表面１２ａに吸着する。内部空間２２の減圧状態を維持することにより、第１吸盤部分３４が対象物１２の表面１２ａに吸着した状態が維持される。例えば真空ポンプ等の真空装置（図示せず）を（この実施形態では基部２４の通気孔２６を介して）内部空間２２に接続し、真空装置を作動することにより内部空間２２を所望の真空度に減圧することができる。真空装置の作動を停止して内部空間２２を外気に開放すると、蛇腹部２０は図１の初期状態に復帰することができ、第１吸盤部分３４は対象物１２の表面１２ａから離脱することができる。
【００２５】
第１吸盤部分３４が対象物１２の表面１２ａに吸着している間、内部空間２２と周囲環境との圧力差により、蛇腹部２０及び笠部１８は対象物１２の表面１２ａに押し付けられ、少なくとも第１吸盤部分３４の外縁３６及びその周辺部分並びに笠部１８の末端１６及びその周辺部分が弾性変形する。この圧力下での弾性変形により、笠部１８の末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６との間の空間４６から少なくとも一部の空気が外部に押し出され、空間４６が負圧になる。その結果、図５に示すように、笠部１８の末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６との間に、環状の第２吸盤部分４４が形成される。第２吸盤部分４４は、第１吸盤部分３４を環状に包囲する形態に形成される。この実施形態では、笠部１８の末端１６及び蛇腹部２０の上壁部分３８の基端４０が、第１吸盤部分３４の外縁３６と協働して、第２吸盤部分４４を形成し、末端１６と基端４０との接続領域４２の、対象物表面１２ａに対向する外面部分４４ａが、第２の吸着面（以下、吸着面４４ａとも称する）を構成する。
【００２６】
上記構成を有する吸着パッド１０では、対象物１２を吸着するときに、第１吸盤部分３４と第２吸盤部分４４との双方が対象物１２の表面１２ａに対し吸着作用を発揮するので、全体として吸着力が増加し、吸着作用の信頼性が向上する。対象物１２の表面１２ａが凹凸を有する場合にも、第１吸盤部分３４と第２吸盤部分４４との二重の吸着作用により、吸着面３４ｂ、４６ａを通して外部から蛇腹部２０の内部空間２２に空気が侵入すること（空気漏れ、真空漏れ等とも称する）を防止できる。
【００２７】
例えば、対象物１２の表面１２ａの凹凸に起因して、第１吸盤部分３４の吸着面３４ｂと対象物表面１２ａとの間に、蛇腹部２０の内部空間２２を外部に連通する局部的な隙間が生じた場合、この隙間は内部空間２２を、第１吸盤部分３４の外縁３６と笠部１８の末端１６との間の空間４６に連通するだけであり、結果として内部空間２２の減圧状態が空間４６に波及して空間４６の負圧度が高まるので、第２吸盤部分４４が対象物表面１２ａに一層強固に吸着することになる。他方、対象物１２の表面１２ａの凹凸に起因して、第２吸盤部分４４の吸着面４４ａと対象物表面１２ａとの間に、空間４６を外部に連通する局部的な隙間が生じた場合には、第２吸盤部分４４の吸着力が弱まるだけであって、第１吸盤部分３４は本来の吸着作用を維持できる。第１吸盤部分３４と第２吸盤部分４４との双方にこのような局部的隙間が同時に生ずる確率は低い。
【００２８】
また、上記構成を有する吸着パッド１０では、第１吸盤部分３４と第２吸盤部分４４との双方が対象物１２に吸着している間、蛇腹部２０は笠部１８の内側で折り畳まれて笠部１８に覆われ、蛇腹部２０の上壁部分３８は笠部１８の環状壁２８に当接して環状壁２８に支持される。その結果、対象物吸着時の蛇腹部２０の揺れが、笠部１８によって抑制される。特にこの実施形態では、笠部１８の環状壁２８が蛇腹部２０の筒状壁３０よりも大きな肉厚を有するので、笠部１８による蛇腹部２０の揺れの抑制効果が向上する。
【００２９】
例えば、第１吸盤部分３４と第２吸盤部分４４との双方に前述したような局部的隙間が同時に生じて内部空間２２の真空度が弱まった場合には、真空装置（図示せず）の作動の継続により、蛇腹部２０が完全には縮みきらない状態で第１吸盤部分３４が対象物１２に比較的弱い吸着力で吸着することが想定される。このような不完全吸着状態のまま、例えば吸着パッド１０を装備したロボット等の物品搬送機械により対象物１２を搬送しようとすると、搬送中に完全には縮みきっていない蛇腹部２０が対象物１２と共に揺れを生じ、結果として、物品搬送機械が対象物１２を目標の姿勢で目標位置に搬送することが困難になる場合がある。吸着パッド１０によれば、不完全に縮んでいる蛇腹部２０が揺れを生じたときにも、蛇腹部２０の上壁部分３８が笠部１８の環状壁２８に間欠的に当接することで、蛇腹部２０の揺れが抑制される。
【００３０】
また、上記構成を有する吸着パッド１０では、第１吸盤部分３４と第２吸盤部分４４との双方が対象物１２に吸着している間、蛇腹部２０は笠部１８の内側で折り畳まれて笠部１８に覆われるから、吸着中の第１吸盤部分３４を笠部１８によって保護することができる。したがって、例えば第１吸盤部分３４に外部から物体が衝突して第１吸盤部分３４の吸着作用を失わせるようなことは、未然に防止される。
【００３１】
吸着パッド１０は、笠部１８及び蛇腹部２０のいずれにも、例えば既述の特許文献１に記載されるような補強用の突起部を備えない一方、笠部１８の内側で縮んだ蛇腹部２０に笠部１８が当接することで蛇腹部２０の揺れを抑制するように構成されているから、特許文献１に記載されるような構成に比べて、より簡易な構成を有する。また吸着パッド１０は、笠部１８の末端１６が蛇腹部２０の第１吸盤部分３４と協働して第２吸盤部分４４を形成するように構成されているから、例えば既述の特許文献２に記載されるような大小２つの吸盤を備える構成に比べて、より簡易な構成を有する。したがって吸着パッド１０によれば、より簡易な構成により、対象物表面１２ａの凹凸等に起因する空気漏れを防止できるとともに、対象物吸着時の蛇腹部２０の揺れを抑制できる。
【００３２】
上記した吸着パッド１０において、基部２４の通気孔２６は、蛇腹部２０の内部空間２２の最小横断面積よりも大きな最小横断面積を有するように構成できる。この実施形態では、図２に示すように、通気孔２６の内径Ｄ３が、蛇腹部２２の谷折り部分３２の内径Ｄ４よりも大きくなっている。前述したように笠部１８の末端１６が第１吸盤部分３４の外縁３６よりも外側に突出して配置される構成を採用したことにより、笠部１８の基端１４に接続される基部２４の外形寸法を拡大でき、それに伴い、通気孔２６の内径Ｄ３を拡大できる。この構成によれば、通気孔２６の内径Ｄ３に応じて、内部空間２２を減圧するための真空装置の排気量を増加でき、内部空間２２の減圧能力を向上させて吸着パッド１０の吸着力を高めることができる。また、谷折り部分３２の内径Ｄ４を縮小することにより、第１吸盤部分３４の吸着面３４ｂの面積を、第２吸盤部分４４の有効寸法を確保可能な範囲で拡大できる。吸着面３４ｂの面積が大きいほど、対象物１２の表面１２ａの凹凸に起因して吸着面３４ｂと表面１２ａとの間に内部空間２２を外部に連通する局部的な隙間が生じる可能性を低減できる。
【００３３】
図６は、吸着パッド１０の変形例を示す。この変形例による吸着パッド１０′は、蛇腹部２０の上壁部分３８の基端４０が、笠部１８の末端１６からやや基端１４側にずれた位置に一体に接続される構成を有している。つまり、笠部１８の末端１６からやや基端１４側にずれた位置に、笠部１８と蛇腹部２０の基端４０との接続領域４２が形成される。その結果、笠部１８の末端１６は、蛇腹部２０の上壁部分３８の外側に突出して配置される。その他の構成は、前述した吸着パッド１０の構成と同様である。吸着パッド１０′においても、第１吸盤部分３４を対象物１２の表面１２ａ（図３）に接触させて蛇腹部２０が笠部１８の内側で軸線方向へ縮んだときに、笠部１８が末端１６で対象物表面１２ａに接触し、笠部１８の末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６との間に、環状の第２吸盤部分４４が形成される。
【００３４】
図７及び図８は、吸着パッド１０の他の変形例を、外力を受けず実質的に変形していない状態で示す。この変形例による吸着パッド１０″は、蛇腹部２０が、２つの谷折り部分３２と、それら谷折り部分３２の間に位置する１つの環状の山折り部分４８とを有する。蛇腹部２０の筒状壁３０は、第１吸盤部分３４及び上壁部分３８に加えて、一方（図で下側）の谷折り部分３２を挟んで第１吸盤部分３４とは反対側で山折り部分４８に向かって末広がりに延びる第２の上壁部分５０と、他方（図で上側）の谷折り部分３２を挟んで上壁部分３８とは反対側で山折り部分４８に向かって末広がりに延びる下壁部分５２とを有する。第１吸盤部分３４と第２の上壁部分５０とは、一方（図で下側）の谷折り部分３２で互いに一体に接続され、第２の上壁部分５０と下壁部分５２とは、山折り部分４８で互いに一体に接続され、下壁部分５２と上壁部分３８とは、他方（図で上側）の谷折り部分３２で互いに一体に接続され、上壁部分３８は、接続領域４２で笠部１８の末端１６に一体に接続される。笠部１８の末端１６は、第１吸盤部分３４の外縁３６及び山折り部分４８の双方よりも外側に突出して配置される。その他の構成は、前述した吸着パッド１０の構成と同様である。
【００３５】
図９及び図１０は、吸着パッド１０″を、対象物１２を吸着して変形した状態で示す。吸着パッド１０″は、第１吸盤部分３４を対象物１２の表面１２ａに接触させて蛇腹部２０が笠部１８の内側で軸線方向へ縮んだときに、笠部１８が末端１６で対象物表面１２ａに接触できるように構成される。吸着パッド１０″では、第１吸盤部分３４と第２の上壁部分５０とが互いに接触し、第２の上壁部分５０と下壁部分５２とが互いに接触し、上壁部分３８と下壁部分５２とが互いに接触し、環状壁２８と上壁部分３８とが互いに接触した時点で、蛇腹部２０は軸線方向へ最も縮まった状態となる。蛇腹部２０が軸線方向へ最も縮まった状態になると、蛇腹部２０は笠部１８の内側で折り畳まれて外部から見えないように笠部１８によって覆われ、笠部１８の末端１６が第１吸盤部分３４の外縁３６の外側で対象物１２の表面１２ａに接触する。つまり笠部１８は、蛇腹部２０が笠部１８の内側で縮んだときに蛇腹部２０を包囲して蛇腹部２０に当接する形状を有する。笠部１８の末端１６が対象物１２の表面１２ａに接触した状態で、末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６と対象物表面１２ａとの間に環状の空間４６が形成され、笠部１８の末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６との間に、環状の第２吸盤部分４４が形成される（図１０）。なお、蛇腹部２０の筒状壁３０を、３つ以上の谷折り部分３２と２つ以上の山折り部分４８とを有するように構成することもできる。
【００３６】
これら変形例による吸着パッド１０′、１０″は、吸着パッド１０の前述した効果と同等の効果を奏する。また吸着パッド１０′、１０″は、吸着パッド１０と同様に、基部２４の通気孔２６が、蛇腹部２０の内部空間２２の最小横断面積よりも大きな最小横断面積を有するように構成できる。
【００３７】
上記した吸着パッド１０、１０′、１０″は、少なくとも第１吸盤部分３４及び第２吸盤部分４４を、吸着パッドとして一般的に使用されるゴム材から形成できる。そのようなゴム材として、例えば、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、シリコーンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム（ＦＫＭ）、導電性ＮＢＲ、導電性シリコーンゴム、天然ゴム等を挙げることができる。吸着パッド１０、１０′、１０″は、全体が同一のゴム材から形成されてもよいし、例えば公知の二色成形法等により、異なるゴム材の組合せや、ゴム材と他の合成樹脂との組合せにより形成されてもよい。
【００３８】
上記した吸着パッド１０、１０′、１０″は、笠部１８と蛇腹部２０とが互いに一体に形成される構成を有している。これに代えて、笠部１８と蛇腹部２０とが互いに別体に形成されて互いに連結される構成を採用することができる。この場合、例えば、別々に形成した笠部１８と蛇腹部２０とを、接続領域４２で接着や溶着等により互いに連結することができる。この構成では、笠部１８と蛇腹部２０とを、それぞれに要求される物性を満足する材料で別々に形成することができる。同様に、笠部１８及び基部２４も、上記実施形態のように互いに一体に形成される構成に限定されず、互いに別体に形成されて互いに連結される構成とすることができる。
【００３９】
図１１〜図１３は、別体構造を有する第２の実施形態による吸着パッド６０を、外力を受けず実質的に変形していない状態で示す。図１４及び図１５は、吸着パッド６０を、対象物１２を吸着して変形した状態で示す。吸着パッド６０は、笠部１８と蛇腹部２０とが互いに別体に形成されて互いに連結される構成を有する点以外は、前述した吸着パッド１０と実質的に同一の構成を有する。よって、対応する構成要素には共通の参照符号を付して、その詳細な説明を適宜省略する。
【００４０】
図１１及び図１２に示すように、吸着パッド６０は、笠部１８を有する第１部品６２と、蛇腹部２０を有する第２部品６４とを、互いに組み合わせて構成される。第１部品６２は、基端１４から末端１６まで末広がりに延びる笠部１８と、笠部１８の基端１４に接続される第１基部６６とを備える。図１３に示すように、この実施形態では、笠部１８の環状壁２８は、軸線６２ａを中心として基端１４から末端１６に向かって徐々に拡径する円錐台状の外周面２８ａと、軸線６２ａを中心として基端１４から末端１６に向かって徐々に拡径する円錐台状の内周面２８ｂとを有する。環状壁２８は、基端１４で最大の厚みを有する一方、末端１６で最小の厚みを有する。
【００４１】
第１基部６６は、吸着パッド６０を、例えばロボット等の物品搬送機械が有する物品保持部（例えばロボットハンド）のような、所望の構造体（図示せず）に取り付けるための部分である。第１基部６６は、軸線６２ａに沿って延びる貫通孔６８を有する。図１３に示すように、この実施形態では、第１部品６２は、実質的に変形していない状態で、軸線６２ａに関して回転対称の形状を有し、笠部１８及び第１基部６６が互いに同軸に配置される。またこの実施形態では、笠部１８と第１基部６６とは、互いに一体に形成される。
【００４２】
第２部品６４は、軸線６４ａに沿って折り畳み式に伸縮可能な筒状の蛇腹部２０と、蛇腹部２０の基端４０に接続される第２基部７０とを備える。蛇腹部２０の筒状壁３０は、環状の谷折り部分３２と、第１吸盤部分３４と、上壁部分３８とを有する。図１３に示すように、この実施形態では、第１吸盤部分３４は、軸線６４ａを中心として谷折り部分３２から外縁３６に向かって徐々に拡径する円錐台状の外周面３４ａと、軸線６４ａを中心として谷折り部分３２から外縁３６に向かって徐々に拡径する円錐台状の内周面（吸着面）３４ｂとを有する。またこの実施形態では、上壁部分３８は、軸線６４ａを中心として谷折り部分３２から基端４０に向かって徐々に拡径する円錐台状の外周面３８ａと、軸線６４ａを中心として谷折り部分３２から基端４０に向かって徐々に拡径する円錐台状の内周面３８ｂとを有する。蛇腹部２０の筒状壁３０は、第１吸盤部分３４の外縁３６の近傍領域を除く実質的全体に渡り、略一様な厚みを有する。第１吸盤部分３４の外縁３６の近傍領域は、外縁３６に向かって徐々に厚みが小さくなる。
【００４３】
第２基部７０は、第１基部６６の貫通孔６８に密に挿入可能な外形を有するとともに、蛇腹部２０の内部空間２２に連通する通気孔７２を有する。また第２基部７０は、蛇腹部２０の基端４０に隣接して軸線６４ａに直交する方向へ延びる端面７０ａを有する（図１３）。図１３に示すように、この実施形態では、第２部品６４は、実質的に変形していない状態で、軸線６４ａに関して回転対称の形状を有し、蛇腹部２０及び第２基部７０が互いに同軸に配置される。またこの実施形態では、蛇腹部２０と第２基部７０とは、互いに一体に形成される。
【００４４】
第２基部７０を第１基部６６の貫通孔６８に例えば圧入等により密に挿入すると、第１部品６２の軸線６２ａと第２部品６４の軸線６４ａとが互いに合致して、第１部品６２と第２部品６４とが互いに固定的に組み合わされる。両者の軸線６２ａ、６４ａは、吸着パッド６０の軸線６０ａと一致する。この組合せ状態で、蛇腹部２０は、笠部１８の内側（図で下側）で折り畳み式に伸縮可能な位置に配置される。またこの組合せ状態で、笠部１８の末端１６は、第１吸盤部分３４の外縁３６よりも外側に突出して配置される。この実施形態では、吸着パッド６０は、笠部１８及び蛇腹部２０が実質的に変形していない状態で、軸線６０ａに関して回転対称の形状を有し、笠部１８、蛇腹部２０並びに第１及び第２基部６６、７０が互いに同軸に配置される（図１３）。なお、第２基部７０を第１基部６６の貫通孔６８に例えば接着剤により固定することもできる。
【００４５】
吸着パッド６０は、蛇腹部２０が笠部１８の内側で縮んだ状態で、笠部１８の末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６との間に設けられる環状の第２吸盤部分７４を有する。この構成を、図１４及び図１５を参照して詳細に説明する。
【００４６】
図１４及び図１５に示すように、吸着パッド６０は、第１吸盤部分３４を対象物１２の表面１２ａに接触させて蛇腹部２０が笠部１８の内側で軸線方向へ縮んだときに、笠部１８が末端１６で対象物１２の表面１２ａに接触できるように構成される。吸着パッド６０では、第１吸盤部分３４の外周面３４ａと上壁部分３８の外周面３８ａとが互いに接触し、第２基部７０の端面７０ａと上壁部分３８の内周面３８ｂとが互いに接触した時点で、蛇腹部２０は軸線方向へ最も縮まった状態となる。蛇腹部２０が軸線方向へ最も縮まった状態になると、蛇腹部２０は笠部１８の内側で折り畳まれて外部から見えないように笠部１８によって覆われ、笠部１８の末端１６が第１吸盤部分３４の外縁３６の外側で対象物１２の表面１２ａに接触する。笠部１８の末端１６が対象物１２の表面１２ａに接触した状態で、末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６と対象物表面１２ａとの間に、図５に示す環状の空間４６と同様の空間７６が形成される（図１５）。
【００４７】
蛇腹部２０を軸線方向へ最も縮まった状態にする一方で、蛇腹部２０の内部空間２２を減圧することにより、第１吸盤部分３４がその内周面（吸着面）３４ｂで対象物１２の表面１２ａに接触して表面１２ａに吸着する。第１吸盤部分３４が対象物１２の表面１２ａに吸着している間、内部空間２２と周囲環境との圧力差により、蛇腹部２０及び笠部１８は対象物１２の表面１２ａに押し付けられ、少なくとも第１吸盤部分３４の外縁３６及びその周辺部分並びに笠部１８の末端１６及びその周辺部分が弾性変形する。この圧力下での弾性変形により、笠部１８の末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６との間の空間７６から少なくとも一部の空気が外部に押し出され、空間７６が負圧になる。その結果、笠部１８の末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６との間に、環状の第２吸盤部分７４が形成される。第２吸盤部分７４は、第１吸盤部分３４を環状に包囲する形態に形成される。この実施形態では、笠部１８の末端１６が、第１吸盤部分３４の外縁３６と協働して、第２吸盤部分７４を形成し、笠部１８の環状壁２８の内周面２８ｂの、対象物表面１２ａに対向する面部分７４ａが、第２の吸着面（以下、吸着面７４ａとも称する）を構成する。
【００４８】
上記構成を有する吸着パッド６０では、対象物１２を吸着するときに、第１吸盤部分３４と第２吸盤部分７４との双方が同時に対象物１２の表面１２ａに対し吸着作用を発揮するので、前述した吸着パッド１０と同様に、全体として吸着力が増加し、吸着作用の信頼性が向上する。対象物１２の表面１２ａが凹凸を有する場合にも、第１吸盤部分３４と第２吸盤部分７４との二重の吸着作用により、吸着面３４ｂ、７４ａを通して外部から蛇腹部２０の内部空間２２に空気が侵入すること（空気漏れ、真空漏れ等とも称する）を防止できる。吸着パッド６０は、笠部１８及び蛇腹部２０のいずれにも、例えば既述の特許文献１に記載されるような補強用の突起部を備えないから、より簡易な構成により、対象物表面１２ａの凹凸等に起因する空気漏れを防止できる。また吸着パッド６０では、第１吸盤部分３４と第２吸盤部分７４との双方が対象物１２に吸着している間、蛇腹部２０は笠部１８の内側で折り畳まれて笠部１８に覆われるから、吸着中の第１吸盤部分３４を笠部１８によって保護することができる。さらに、吸着パッド６０によれば、笠部１８を有する第１部品６２と蛇腹部２０を有する第２部品６４とを、それぞれに要求される物性を満足する材料で別々に形成することができる。
【００４９】
図１６〜図１８は、別体構造を有する吸着パッド６０の変形例を、外力を受けず実質的に変形していない状態で示す。この変形例による吸着パッド６０′は、笠部１８を有する第１部品６２′と、蛇腹部２０を有する第２部品６４′とを、互いに組み合わせて構成される。第１部品６２は、軸線６２ａを中心として基端１４から末端１６まで末広がりに延びる笠部１８と、笠部１８の基端１４に接続される第１基部６６′とを備える。第１基部６６′は、軸線６２ａに沿って延びる通気孔６７と、通気孔６７に隣接して笠部１８の基端１４まで広がる凹所６８′とを有する。第２部品６４′は、軸線６４ａに沿って折り畳み式に伸縮可能な筒状の蛇腹部２０と、蛇腹部２０の基端４０に接続される第２基部７０′とを備える。第２基部７０′は、第１基部６６の凹所６８′に密に嵌入可能な外形を有するとともに、蛇腹部２０の内部空間２２に連通する通気孔７２′を有する。通気孔６７と通気孔７２′とは、互いに略同一の内径を有する。第２基部７０′を第１基部６６′の凹所６８′に例えば圧入等により密に挿入すると、第１部品６２′の軸線６２ａと第２部品６４′の軸線６４ａとが互いに合致するとともに、通気孔６７と通気孔７２′とが互いに連通して、第１部品６２′と第２部品６４′とが互いに固定的に組み合わされる。その他の構成は、前述した吸着パッド６０の構成と同様である。
【００５０】
図１９は、吸着パッド６０′を、対象物１２を吸着して変形した状態で示す。吸着パッド６０′は、第１吸盤部分３４を対象物１２の表面１２ａに接触させて蛇腹部２０が笠部１８の内側で軸線方向へ縮んだときに、笠部１８が末端１６で対象物表面１２ａに接触できるように構成される。吸着パッド６０′においても、吸着パッド６０と同様に、蛇腹部２０が軸線方向へ最も縮まった状態になると、蛇腹部２０は笠部１８の内側で折り畳まれて外部から見えないように笠部１８によって覆われ、笠部１８の末端１６が第１吸盤部分３４の外縁３６の外側で対象物１２の表面１２ａに接触する。笠部１８の末端１６が対象物１２の表面１２ａに接触した状態で、末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６と対象物表面１２ａとの間に環状の空間７６が形成され、笠部１８の末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６との間に、環状の第２吸盤部分７４が形成される。
【００５１】
上記変形例による吸着パッド６０′は、吸着パッド６０の前述した効果と同等の効果を奏する。吸着パッド６０、６０′は、前述した吸着パッド１０の材料と同様の材料から作製でき、また吸着パッド１０と同様に適当な部分を別体構造にすることもできる。また吸着パッド６０、６０′は、吸着パッド１０と同様に、第２基部７０の通気孔７２、第１基部６６′の通気孔６７、第２基部７０′の通気孔７２′が、蛇腹部２０の内部空間２２の最小横断面積よりも大きな最小横断面積を有するように構成できる。
【００５２】
図２０及び図２１は、吸盤部分をさらに増加させた第３の実施形態による吸着パッド８０を、外力を受けず実質的に変形していない状態で示す。図２２及び図２３は、吸着パッド８０を、対象物１２を吸着して変形した状態で示す。図２４は、図２３の吸着パッド８０の一部を拡大して示す。吸着パッド８０は、第１吸盤部分３４及び第２吸盤部分４４に加えてさらに第３の吸盤部分を備えた構成を有する点以外は、前述した吸着パッド１０（特に吸着パッド１０″）と実質的に同一の構成を有する。よって、対応する構成要素には共通の参照符号を付して、その詳細な説明を適宜省略する。
【００５３】
図２０及び図２１に示すように、吸着パッド８０は、基端１４から末端１６まで末広がりに延びる笠部１８と、笠部１８の内側（図で下側）で折り畳み式に伸縮可能な筒状の蛇腹部８２とを備える。笠部１８と蛇腹部８２とは、後述するように、吸着パッド８０が対象物１２（図２２）を吸着するときに、蛇腹部８２の内部空間８４の減圧に伴い変形して吸着作用を発揮する。また吸着パッド８０は、笠部１８の基端１４に接続される基部２４を備える。笠部１８及び基部２４は、吸着パッド１０の笠部１８及び基部２４と同様の構成を有する。
【００５４】
蛇腹部８２は、所望の厚みを有する折り畳み可能な筒状壁８６を備える。筒状壁８６は、２つの環状の谷折り部分３２と、それら谷折り部分３２の間に位置する１つの環状の山折り部分８８と、一方（図で下側）の谷折り部分３２から、笠部１８から離れる方向（図で下方）へ末広がりに延びる第１吸盤部分３４と、他方（図で上側）の谷折り部分３２から、笠部１８に接近する方向（図で上方）へ末広がりに延びる上壁部分３８と、一方（図で下側）の谷折り部分３２を挟んで第１吸盤部分３４とは反対側で山折り部分８８に向かって末広がりに延びる第２の上壁部分９０と、他方（図で上側）の谷折り部分３２を挟んで上壁部分３８とは反対側で山折り部分８８に向かって末広がりに延びる下壁部分９２とを有する。第１吸盤部分３４と第２の上壁部分９０とは、一方（図で下側）の谷折り部分３２で互いに一体に接続され、第２の上壁部分９０と下壁部分９２とは、山折り部分８８で互いに一体に接続され、下壁部分９２と上壁部分３８とは、他方（図で上側）の谷折り部分３２で互いに一体に接続され、上壁部分３８は、接続領域４２で笠部１８の末端１６に一体に接続される。第１吸盤部分３４及び上壁部分３８は、吸着パッド１０の第１吸盤部分３４及び上壁部分３８と同様の構成を有する。
【００５５】
図２０及び図２１に示すように、笠部１８の末端１６は、第１吸盤部分３４の外縁３６よりも外側に突出して配置されるとともに、蛇腹部８２の筒状壁８６の山折り部分８８よりも外側に突出して配置される。また、山折り部分８８は、第１吸盤部分３４の外縁３６よりも外側に突出して配置される。笠部１８の環状壁２８と蛇腹部８２の上壁部分３８とは、接続領域４２及びその周辺部分で弾性変形可能であって、この弾性変形を伴いながら、環状壁２８と上壁部分３８との成す角度を予め定めた範囲で変更できる。また下壁部分９２と第２の上壁部分９０とは、山折り部分８８及びその周辺部分で弾性変形可能であって、この弾性変形を伴いながら、下壁部分９２と第２の上壁部分９０との成す角度を予め定めた範囲で変更できる。
【００５６】
吸着パッド８０は、蛇腹部８２が笠部１８の内側で縮んだ状態で、笠部１８の末端１６と第１吸盤部分３４の外縁３６との間に設けられる環状の第２吸盤部分４４を有する。また吸着パッド８０は、蛇腹部８２が笠部１８の内側で縮んだ状態で、蛇腹部８２の山折り部分８８と第１吸盤部分３４の外縁３６との間に、第２吸盤部分４４に包囲されるように設けられる環状の第３吸盤部分９４を有する。この構成を、図２２〜図２４を参照して詳細に説明する。
【００５７】
図２２〜図２４に示すように、吸着パッド８０は、第１吸盤部分３４を対象物１２の表面１２ａに接触させて蛇腹部８２が笠部１８の内側で軸線方向へ縮んだときに、笠部１８が末端１６で対象物１２の表面１２ａに接触できるとともに、蛇腹部８２が山折り部分８８で対象物１２の表面１２ａに接触できるように構成される。蛇腹部８２は、第１吸盤部分３４を外縁３６に沿った部位で最初に対象物１２の表面１２ａに接触させた後、笠部１８を対象物１２に接近させることで、笠部１８の内側で軸線８０ａに沿って折り畳み式に縮む。蛇腹部８２は、第１吸盤部分３４と第２の上壁部分９０とが両者の外周面で互いに接触し、第２の上壁部分９０と下壁部分９２とが両者の内周面で互いに接触し、上壁部分３８と下壁部分９２とが両者の外周面で互いに接触し、環状壁２８と上壁部分３８とが両者の内周面で互いに接触した時点で、軸線方向へ最も縮まった状態となる。
【００５８】
蛇腹部８２が軸線方向へ最も縮まった状態になると、蛇腹部８２は笠部１８の内側で折り畳まれて外部から見えないように笠部１８によって覆われ、笠部１８の末端１６が第１吸盤部分３４の外縁３６及び山折り部分８８の外側で対象物１２の表面１２ａに接触する。つまり笠部１８は、蛇腹部８２が笠部１８の内側で縮んだときに蛇腹部８２を包囲して蛇腹部８２に当接する形状を有する。また蛇腹部８２が軸線方向へ最も縮まった状態になると、山折り部分８８が、第１吸盤部分３４の外縁３６の外側及び笠部１８の末端１６の内側で対象物１２の表面１２ａに接触する。笠部１８の末端１６及び蛇腹部８２の山折り部分８８が対象物１２の表面１２ａに接触した状態で、末端１６と山折り部分８８と対象物表面１２ａとの間に、環状の空間４６が形成され、山折り部分８８と第１吸盤部分３４の外縁３６と対象物表面１２ａとの間に、環状の空間９６が形成される（図２４）。
【００５９】
蛇腹部８２を軸線方向へ最も縮まった状態にする一方で、蛇腹部８２の内部空間８４を減圧することにより、第１吸盤部分３４がその内周面（吸着面）３４ｂで対象物１２の表面１２ａに接触して表面１２ａに吸着する。第１吸盤部分３４が対象物１２の表面１２ａに吸着している間、内部空間２２と周囲環境との圧力差により、蛇腹部８２及び笠部１８は対象物１２の表面１２ａに押し付けられ、少なくとも第１吸盤部分３４の外縁３６及びその周辺部分、山折り部分８８及びその周辺部分、並びに笠部１８の末端１６及びその周辺部分が弾性変形する。この圧力下での弾性変形により、笠部１８の末端１６と山折り部分８８との間の空間４６及び山折り部分８８と第１吸盤部分３４の外縁３６との間の空間９６から少なくとも一部の空気が外部に押し出され、空間４６及び空間９６が負圧になる。その結果、図２４に示すように、笠部１８の末端１６と山折り部分８８との間に、環状の第２吸盤部分４４が形成され、山折り部分８８と第１吸盤部分３４の外縁３６との間に、環状の第３吸盤部分９４が形成される。
【００６０】
第２吸盤部分４４は、第３吸盤部分９４を環状に包囲する形態に形成され、第３吸盤部分９４は、第１吸盤部分３４を環状に包囲する形態に形成される。この実施形態では、笠部１８の末端１６及び蛇腹部８２の上壁部分３８の基端４０が、山折り部分８８と協働して、第２吸盤部分４４を形成し、末端１６と基端４０との接続領域４２の、対象物表面１２ａに対向する外面部分４４ａが、第２の吸着面（以下、吸着面４４ａとも称する）を構成する。また、第２の上壁部分９０の山折り部分８８に隣接する部分が、第１吸盤部分３４の外縁３６と協働して、第３吸盤部分９４を形成し、第２の上壁部分９０の、対象物表面１２ａに対向する外面部分９４ａが、第３の吸着面（以下、吸着面９４ａとも称する）を構成する。
【００６１】
上記構成を有する吸着パッド８０では、対象物１２を吸着するときに、第１吸盤部分３４と第２吸盤部分４４と第３吸盤部分９４との全てが同時に対象物１２の表面１２ａに対し吸着作用を発揮するので、前述した吸着パッド１０と同様に、全体として吸着力が増加し、吸着作用の信頼性が向上する。対象物１２の表面１２ａが凹凸を有する場合にも、第１吸盤部分３４と第２吸盤部分４４と第３吸盤部分９４との三重の吸着作用により、吸着面３４ｂ、４４ａ、９４ａを通して外部から蛇腹部２０の内部空間２２に空気が侵入すること（空気漏れ、真空漏れ等とも称する）を防止できる。吸着パッド８０は、笠部１８及び蛇腹部２０のいずれにも、例えば既述の特許文献１に記載されるような補強用の突起部を備えないから、より簡易な構成により、対象物表面１２ａの凹凸等に起因する空気漏れを防止できる。また吸着パッド８０では、第１吸盤部分３４と第２吸盤部分４４と第３吸盤部分９４との全てが対象物１２に吸着している間、蛇腹部２０は笠部１８の内側で折り畳まれて笠部１８に覆われるから、吸着中の第１吸盤部分３４及び第３吸盤部分９４を笠部１８によって保護することができる。
【００６２】
吸着パッド８０においては、蛇腹部８２の筒状壁８６に、３つ以上の谷折り部分３２と２つ以上の山折り部分８８とを設け、蛇腹部８２が笠部１８の内側で縮んだ状態で、個々の山折り部分８８がいずれも対象物表面１２ａに接触できるようにすることで、さらに多重の吸盤部分を有する構成とすることもできる。
【００６３】
吸着パッド８０は、前述した吸着パッド１０の材料と同様の材料から作製でき、また吸着パッド１０と同様に適当な部分を別体構造にすることもできる。また吸着パッド８０は、吸着パッド１０と同様に、基部２４の通気孔２６が、蛇腹部８２の内部空間８４の最小横断面積よりも大きな最小横断面積を有するように構成できる。
【符号の説明】
【００６４】
１０、６０、８０    吸着パッド
１２    対象物
１６    末端
１８    笠部
２０、８２    蛇腹部
２２、８４    内部空間
２４    基部
２６    通気孔
３２    谷折り部分
３４    第１吸盤部分
３６    外縁
４４、７４    第２吸盤部分
４８、８８    山折り部分
６２    第１部品
６４    第２部品
９４    第３吸盤部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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