(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気を吸引する真空ポンプを備えた真空引き装置における、上記真空ポンプの吸引力によって空気が吸入される吸入口に接続される吸入ノズルであって、
円筒状のノズル本体部と、
該ノズル本体部の内周面に配された１つ又は複数のリブと、
上記ノズル本体部の軸方向の基端部において外側に向かって立設され、上記吸入口に取り付けられる円環状の鍔部と、を有しており、
上記リブは、上記ノズル本体部の内周面と少なくとも２つの接合部において接続されると共に、各接合部の間を連続して繋ぐように形成されており、
上記ノズル本体部は、該ノズル本体部の軸方向の基端側部分に、上記リブが配されたリブ配置部を有すると共に、上記ノズル本体部の軸方向の先端側部分に、上記リブが配されていない連通部を有しており、
上記鍔部の形成箇所を除く上記ノズル本体部の外径は一定であり、
上記リブ配置部の内周面の内径は、上記連通部の内周面の内径よりも大きく、かつ、上記リブ配置部における、上記鍔部の形成箇所を除く部分の厚みは、上記連通部の厚みよりも小さいことを特徴とする吸入ノズル。
【請求項２】
請求項１に記載の吸入ノズルにおいて、上記リブ配置部における軸方向に直交する開口断面積Ｓ１と、上記連通部における軸方向に直交する開口断面積Ｓ２とは、Ｓ２≦Ｓ１≦１．１Ｓ２の関係を有していることを特徴とする吸入ノズル。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の吸入ノズルにおいて、上記ノズル本体部と上記リブとは、一体に形成されていることを特徴とする吸入ノズル。
【請求項４】
請求項１〜３に記載の吸入ノズルにおいて、上記真空引き装置は、上記吸入口と上記吸入ノズルとの間に、空気の流路を開閉可能に構成された真空バルブを有しており、上記吸入ノズルにおける上記ノズル本体部の内周面と上記リブとに内接するリブ内接円の最大直径Ｒ１が、上記真空バルブにおける通過可能直径Ｒ２よりも小さいことを特徴とする吸入ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異物の吸入を防止可能な吸入ノズルと、これを用いた真空引き装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車の製造において、冷却液やブレーキ液等の液体の充填の際には、高低差や狭小な流路内へ液体を行き渡らせるために、液体が充填される空間を真空引きした後、液体を供給する真空充填が多く用いられている（特許文献１参照）。この真空充填は、空間の空気を吸入し真空とする真空引き装置と、液体を供給する給液装置とを備えている。真空引き装置は、空気を吸入する真空ポンプと、真空ポンプの吸入口と接続された吸入ノズルと、真空ポンプと吸入ノズルとを接続する吸入配管と、吸入配管の流路を開閉可能に構成された真空バルブとを備えたものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１４５３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記の真空引き装置には以下の問題点がある。
真空引き装置が空気を吸入している状態で、吸入ノズルの先端近傍に異物があると、誤って異物が吸入される場合がある。このとき、吸入された異物の大きさによっては、真空バルブ内に異物が引っ掛り、真空バルブが故障することとなる。
【０００５】
本発明は、上記の背景に鑑みてなされたものであり、真空バルブに損傷を与えるような比較的大きな異物の吸入を防止可能な吸入ノズルと、これを用いた異物の吸入による故障が起こりにくい真空引き装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、空気を吸引する真空ポンプを備えた真空引き装置における、上記真空ポンプの吸引力によって空気が吸入される吸入口に接続される吸入ノズルであって、
円筒状のノズル本体部と、
該ノズル本体部の内周面に配された１つ又は複数のリブと、
上記ノズル本体部の軸方向の基端部において外側に向かって立設され、上記吸入口に取り付けられる円環状の鍔部と、を有しており、
上記リブは、上記ノズル本体部の内周面と少なくとも２つの接合部において接続されると共に、各接合部の間を連続して繋ぐように形成されており、
上記ノズル本体部は、該ノズル本体部の軸方向の基端側部分に、上記リブが配されたリブ配置部を有すると共に、上記ノズル本体部の軸方向の先端側部分に、上記リブが配されていない連通部を有しており、
上記鍔部の形成箇所を除く上記ノズル本体部の外径は一定であり、
上記リブ配置部の内周面の内径は、上記連通部の内周面の内径よりも大きく、かつ、上記リブ配置部における、上記鍔部の形成箇所を除く部分の厚みは、上記連通部の厚みよりも小さいことを特徴とする吸入ノズルにある（請求項１）。
【発明の効果】
【０００７】
上記吸入ノズルにおいては、上記ノズル本体部の内周面から立設する上記リブを設けることにより、上記吸入ノズルにおける固形物の有効な通過可能範囲を縮小することができる。つまり、上記ノズル本体部内を通過し得る異物の大きさを小さくすることができる。そのため、上記真空引き装置の故障を引き起こし得る大きさの異物は、上記リブに引っ掛かり、異物の吸入を防止することができる。このように、上記吸入ノズルによれば、上記真空引き装置の故障を引き起こし得る大きさの異物の吸入を防止し、上記真空引き装置の故障を防止することができる。
【０００８】
また、上記真空引き装置は、上述した異物の吸入を防止可能な吸入ノズルを備えている。これにより、上述したごとく、上記真空引き装置は、異物の吸入による故障が起きにくい。
【０００９】
以上のごとく、上記吸入ノズルによれば、真空バルブに損傷を与えるような比較的大きな異物の吸入を防止することが可能であり、これを用いることによって、異物の吸入による故障の防止が可能な真空引き装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例１における、吸入ノズルを示す断面図（図２のＢ−Ｂ矢視線断面相当）。
【図２】実施例１における、Ａ−Ａ矢視線断面図。
【図３】実施例１における、真空充填装置を示す説明図。
【図４】実施例１における、真空充填装置の注入ガンを示す部分拡大断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
上記吸入ノズルにおいて、上記リブは、上記ノズル本体部の内周面と少なくとも２つの接合部において接続されると共に各接合部の間を連続して繋ぐように形成されている。また、上記ノズル本体部における上記リブが配されたリブ配置部においては、その内側の空間が上記リブによって２つ以上に分割されていてもよい。この場合には、上記リブ配置部の内周面と上記リブとが少なくとも２箇所の接合部で接続されると共に、この接合部の間を繋ぐように上記リブは両持ちで保持される。そのため、上記リブの強度を向上し、耐久性を向上することができる。また、上記リブが補強部材の役割を果たし、ノズル本体部の強度を向上することができる。
【００１２】
また、上記ノズル本体部は、軸方向において、上記リブ配置部と上記リブを配していない連通部とを有しており、上記ノズル本体部の内周面の内径寸法は、上記連通部よりも上記リブ配置部の方が大きく設定してある。仮に、上記ノズル本体部の内径寸法を一様な寸法で形成し、上記リブを設けた場合、上記リブ配置部において圧損が増大し、吸入効率が低下する場合がある。そこで、上記のごとく、上記リブ配置部の内径寸法を拡大することにより、上記リブを設けることによる圧損の増大を抑制し、吸入効率の低下を防止することができる。
【００１３】
また、上記リブ配置部における軸方向に直交する開口断面積Ｓ１と、上記連通部における軸方向に直交する開口断面積Ｓ２とは、Ｓ２≦Ｓ１≦１．１Ｓ２の関係を有していてもよい（請求項２）。上記開口断面積Ｓ１と上記開口断面積Ｓ２とを上記の関係とすることにより、上記リブを配することによる圧損の増大を確実に抑制することができる。
【００１４】
このとき、上記リブ配置部と上記連通部とは、軸方向において、上記連通部を先端側とし、上記リブ配置部を基端側とすることが好ましい。上記のごとく、開口断面積Ｓ１を設定した場合、上記リブ配置部における内径寸法を大きくするため肉厚が薄くなりやすい。したがって、上記リブ配置部の強度は、上記連通部に比べて低下しやすい。上記吸入ノズルにおいて、その先端部は、周辺に配された設備等に接触する機会が、基端部に比べて多いため、強度的に不利となりやすい。それゆえ、上記リブ配置部を基端側に配することで、損傷や変形を防止することができる。
【００１５】
また、上記ノズル本体部と上記リブとは、一体に形成されていることが好ましい（請求項３）。上記吸入ノズルは、別部品からなる上記ノズル本体部と上記リブとを接合して組み合わせることもできるが、両者を一体とし一部品により形成した場合には、両者の境界における接続強度を容易に大きくすることができる。これにより、吸入された異物が上記リブに衝突した際に、上記リブが上記吸入ノズルから脱落することを防止することができる。
具体的な構成としては、金属塊からの削り出し加工により、上記ノズル本体部と上記リブとが一体の部品からなる上記吸入ノズルを形成することが可能である。
【００１６】
また、上記真空引き装置は、上記吸入口と上記吸入ノズルとの間に、空気の流路を開閉可能に構成された真空バルブを有しており、上記吸入ノズルにおける上記ノズル本体部の内周面と上記リブとに内接するリブ内接円の最大直径Ｒ１が、上記真空バルブにおける通過可能直径Ｒ２よりも小さくてもよい（請求項４）。この場合には、上記吸入ノズルを通過した異物が、上記真空バルブを通過することができる。そのため、吸入された異物により上記真空バルブの詰まりや噛み込み等の故障が発生することを防止できる。
上記リブ内接円の最大直径Ｒ１が、上記真空バルブにおける通過可能直径Ｒ２よりも大きい場合、上記リブ配置部を通過した異物が上記真空バルブを通過することができず、上記真空バルブの故障につながることがある。
【実施例】
【００１７】
（実施例１）
吸入ノズル及びこれを用いた真空引き装置にかかる実施例について、図１〜図４を参照して説明する。
図１に示すごとく、吸入ノズル１は、空気を吸引する真空ポンプ１０１（図３）を備えた真空引き装置２（図３）において、真空ポンプ１０１の吸引力によって空気が吸入される吸入口（図示略）に接続されるものである。吸入ノズル１は、円筒状のノズル本体部１１と、ノズル本体部１１の内周面に配された１つのリブ１２とを有している。
【００１８】
以下、さらに詳細に説明する。
本例の吸入ノズル１は、ハイブリッド車におけるインバータの冷却装置に冷却水を充填する真空充填装置２に配されるものである。
本例において、真空充填を行うインバータの冷却装置（図示略）は、内部を流通する冷却水により熱交換を行う熱交換機と、熱交換機内の冷却水を循環させるための冷却水ポンプと、冷却水を貯留するリザーバタンク５（図４）とを有している。
【００１９】
図４に示すごとく、リザーバタンク５は、その内部に冷却水を注水するための注水部５１を備えている。注水部５１は略円筒状をなしており、筒部本体５２と、筒部本体５２の開口端部側に形成された外筒部５２１と、外筒部５２１の内周側に形成された内筒部５２２とを有している。
【００２０】
図４に示すごとく、外筒部５２１は、その上端部外周から外側に向かって延設された円環状の注水鍔部５４を有している。
内筒部５２２は、その内周が筒部本体５２と連通した注水口を形成している。
リザーバタンク５は、図示しない熱交換機及び冷却水ポンプと接続されており、冷却装置は、リザーバタンク５に貯留された冷却水を冷却水ポンプによって送り出し、熱交換機内を循環するよう構成されている。
【００２１】
図３に示すごとく、上記の冷却装置の真空充填を行う真空充填装置２は、真空引きを行う真空引き装置１００と、冷却水を供給する給液装置４との両方の機能を備えており、上記の吸入ノズル１を備えた注入ガン２０から真空引き及び給液を行うように構成されている。
【００２２】
図４に示すごとく、注入ガン２０は、注水口５３に挿入される注入ガン先端部２２と、注水鍔部５４に係合可能に構成された一対のアーム部２３と、これらを保持する注入ガン本体部２１とを有している。
注入ガン先端部２２は、注入ガン本体部２１と相対して、その軸線方向に進退可能に構成されており、注入ガン本体部２１と接続された先端側基部２２１と、先端側基部２２１の外周側面に配されたシール部材２２３と、先端側基部２２１から先端側に突出するように配された上記の吸入ノズル１とを備えている。
【００２３】
図１及び図２に示すごとく、注入ガン先端部２２に配された吸入ノズル１は、上記のノズル本体部１１とリブ１２とを備えている。
図１に示すごとく、ノズル本体部１１の外周面は、一様な外径からなる円筒面を形成しており、外周面の基端部には外側に向かって立設した円環状の鍔部１１４を有している。
【００２４】
図１に示すごとく、ノズル本体部１１の内周側には、基端側に配されると共に内周面にリブ１２が設けられたリブ配置部１１３と、リブ配置部１１３の先端側に配されたリブ１２が設けられていない連通部１１１とを有しており、連通部１１１とリブ配置部１１３との間は、連通部１１１からリブ配置部１１３へと拡径するテーパ上の内周面を有する傾斜部１１２によって繋がっている。また、リブ配置部１１３の内径寸法は、連通部１１１の内径寸法に比べて大きく設定してある。
【００２５】
図１及び図２に示すごとく、ノズル本体部１１におけるリブ配置部１１３の内周面には、１つのリブ１２が形成されている。
また、リブ１２は、ノズル本体部１１の内周面と２つの接合部１２２において接続されると共に、接合部１２２の間を連続して繋ぐように形成されている。また、リブ１２は、ノズル本体部１１の中心軸線方向において、基端部から傾斜部１１２の先端までの間に連続して形成されている。ノズル本体部１１におけるリブ配置部１１３においては、その内側の空間がリブ１２によって２つに分割されている
【００２６】
図２に示すごとく、リブ配置部１１３における軸方向に直交する開口断面積Ｓ１と、連通部１１１における軸方向に直交する開口断面積Ｓ２とは、Ｓ１＝１．１Ｓ２の関係を有している。尚、開口断面積Ｓ１は、分割された２つの開口部の面積を合わせたものである。
また、図２に示すごとく、ノズル本体部１１の軸方向と直交する断面における、リブ配置部１１３の内周面と、リブ１２とに内接するリブ内接円１３の最大直径Ｒ１は、後述する真空バルブ１０２、１０３における通過可能直径Ｒ２よりも小さい。
【００２７】
本例の吸入ノズル１は、真鍮からなる円柱状の棒材を削り出し加工することによって形成されており、ノズル本体部１１とリブ１２とは一体に形成されている。
また、吸入ノズル１は、図４に示すごとく、注入ガン先端部２２をリザーバタンク５の注水口５３に挿入配置した際に、その先端の高さ位置が、リザーバタンク５における基準液面Ｗｂと一致するように配されている。
【００２８】
図４に示すごとく、先端側基部２２１は、注入ガン本体部２１の内部に形成された本体側流路２１１と連通する先端側流路２２２を有しており、先端側の開口部には、上述した吸入ノズル１が配してある。
同図に示すごとく、注入ガン先端部２２の外周面に配されたシール部材２２３は、外筒部５２１の内周面及び内筒部５２２の先端面と密着するよう構成されており、注水部５１に注入ガン本体部２１を挿入配置することにより、リザーバタンク５を密閉することができる。
【００２９】
図４に示すごとく、注水鍔部５４に係合可能な一対のアーム部２３は、注入ガン本体部２１の外周面に回動可能に配されたアーム基部２３１と、アーム基部２３１と一体に固定された棒状のアーム本体部２３２と、アーム本体部２３２の先端に配されたアーム係合部２３３とを備えている。
【００３０】
図４に示すごとく、アーム基部２３１は、略長方形状の板材からなり、長手方向における一方の端部近傍に配された回動軸２３４によって、注入ガン本体部２１の外周面へと回動可能に軸支されている。
アーム基部２３１における他方の端部には、アーム本体部２３２が配されている。アーム本体部２３２は、四角形断面を有する角柱からなり、その長手方向における略中央位置において、アーム基部２３１と連結されている。
【００３１】
図４に示すごとく、アーム本体部２３２の先端部に設けられたアーム係合部２３３は、略四角形状の平板状をなしており、注入ガン本体部２１側に向かって突出するように配されている。アーム係合部２３３における注入ガン本体部２１側に向かって突出した部位は、注水鍔部５４の下面と係合可能に構成されている。
【００３２】
図４に示すごとく、上記の注入ガン先端部２２及びアーム部２３を保持する注入ガン本体部２１は、略円筒状をなしている。注入ガン本体部２１の内部には、先端側流路２２２と連通した本体側流路２１１を備えており、その基端側開口部には、耐圧ホース２４の一端が配されている。
【００３３】
図３に示すごとく、耐圧ホース２４の他端には、耐圧ホース２４と連結された集合部３１と、集合部３１から２つに分かれた一対の分岐部３２とを有する分岐配管３が配されている。分岐配管３において、一方の分岐部３２は、真空引き装置１００と連結されており、他方の分岐部３２は、給液装置４と連結されている。
【００３４】
図３に示すごとく、真空引き装置１００は、上記の注入ガン２０と、空気を吸入する吸入口を有する真空ポンプ１０１と、分岐部３２と真空ポンプ１０１の吸入口とに連結された吸入配管１０４とを有している。また、真空引き装置１００は、分岐部３２と真空ポンプ１０１との間に配された２つの真空バルブ１０２、１０３と、２つの真空バルブ１０２、１０３の間に配されたセパレータ１０５とを有している。
吸入配管１０４に配された２つの真空バルブ１０２、１０３は、それぞれ吸入配管１０４を開閉可能に構成されている。
【００３５】
図３に示すごとく、２つの真空バルブ１０２、１０３の間に配されたセパレータ１０５は、略長円形のタンク状をなしており、その上部には、真空バルブ１０２と連結された吸入配管１０４と真空バルブ１０３と連結された吸入配管１０４とがそれぞれ接続されている。真空ポンプ１０１によって吸入配管１０４内に吸引された冷却水や異物は、セパレータ１０５を通過する際に、セパレータ１０５の内側に落下して貯留される。これにより、真空ポンプ１０１へ冷却水や異物が到達することを防止できる。尚、セパレータ１０５内に貯留された冷却水は、給液装置４が有する貯留タンク４２へと戻される。
【００３６】
図３に示すごとく、給液装置４は、分岐部３２に連結された給液配管４１と、冷却水を貯留する貯留タンク４２と、貯留タンク４２と分岐部３２との間に配された貯留タンク４２内の冷却水を注入ガン２０へと送る給液ポンプ４３と、給液配管４１内の流路を開閉可能に構成された給液バルブ４４とを有している。給液バルブ４４は、給液ポンプ４３よりも分岐配管３側の位置に配されている。
【００３７】
次に、上記のごとく構成された真空充填装置２によって、インバータの冷却装置に真空充填を行う手順について説明する。
まず、冷却装置のリザーバタンク５における注水口５３に、真空充填装置２の注入ガン２０を配置する。図３に示すごとく、待機スタンド（図示略）に載置された注入ガン２０を、リザーバタンク５の注水口５３へと移動すると共にアーム係合部２３３を注水鍔部５４に係合させた後、注入ガン先端部２２を先端側に前進させて注入ガン先端部２２を注水口５３の内側に挿入する。このとき、注入ガン先端部２２の外周に配されたシール部材２２３と注水口５３の内周面とが密着し、注水口５３は注入ガン先端部２２によって密閉される。尚、注入ガン２０を移動する際には、冷却水の垂れ落ち防止のため、真空引き装置１００を作動させ吸引している。
【００３８】
次に、真空引き装置１００によって、冷却装置内における冷却水を充填する空間を真空引きする。２つの真空バルブ１０２、１０３を開状態とし、真空ポンプ１０１によって冷却装置内の空気の吸い出しを行う。
冷却装置内の真空引きを行い、所定の気圧まで下がった後、注入ガン２０側に配された真空バルブ１０２、１０３を閉状態とする。尚、真空引きを行う際には、給液装置４における給液バルブ４４を閉状態としてある。
【００３９】
真空引き装置１００の真空バルブ１０２、１０３を閉状態とした後、給液装置４の給液バルブ４４を開状態とし、貯留タンク４２内の冷却水を給液ポンプ４３によって送り出す。これにより、冷却水は、熱交換機、冷却水ポンプの内部及び真空充填装置２における真空引きされた空間に充填される。
【００４０】
冷却装置内へ冷却水を充填した際に、冷却水の充填量は基準液量より多いため、真空引き装置１００によって液量の調整を行う。給液バルブ４４を閉状態とすると共に、真空バルブ１０２、１０３を開状態とし、真空引き装置１００を作動させリザーバタンク５内の冷却水を吸い出す。上記のごとく、吸入ノズル１の先端が適正液量における基準液面Ｗｂの高さ位置にあるため、吸入可能な冷却水を吸入することで、リザーバタンク５内の冷却水を適正液量とすることができる。
【００４１】
吸入された冷却水は、吸入配管１０４を流通しセパレータ１０５において空気と分離され、セパレータ１０５に一時的に貯留される。セパレータ１０５内の冷却水を貯留タンク４２へと戻す際には、真空ポンプ１０１側に配された真空バルブ１０２、１０３を閉状態とし、冷却水を貯留タンク４２へと流動させる。
冷却水の液量調整が完了した後、リザーバタンク５の注水口５３から注入ガン２０を取り外し、注入ガン２０を待機スタンドへと移動し、真空充填作業が完了する。
【００４２】
次に、本例の作用効果について説明する。
吸入ノズル１においては、リブ１２を設けることにより、リブ配置部１１３における有効な通過可能範囲を縮小することができる。つまり、ノズル本体部１１内を通過し得る異物の大きさを小さくすることができる。そのため、真空引き装置１００の故障を引き起こし得る大きさの異物は、リブ１２に引っ掛かり、異物の吸入を防止することができる。このように、吸入ノズル１によれば、真空引き装置１００の故障を引き起こし得る大きさの異物の吸入を防止し、真空引き装置１００の故障を防止することができる。
【００４３】
また、リブ１２は、ノズル本体部１１の内周面と２つの接合部１２２において接続されると共に、接合部１２２の間を連続して繋ぐように形成されており、ノズル本体部１１におけるリブ１２が配されたリブ配置部１１３においては、その内側の空間がリブ１２によって２つに分割されている。そのため、各接合部１２２の間を繋ぐようにリブ１２は両持ちで保持される。これにより、リブ１２の強度を向上し、耐久性を向上することができる。また、リブ１２が補強部材の役割を果たし、ノズル本体部１１の強度を向上することができる。これにより、リブ１２を設けた範囲における、ノズル本体部１１の肉厚を薄肉化することができる。
【００４４】
また、ノズル本体部１１は、リブ配置部１１３とリブを配していない連通部１１１とを有しており、リブ配置部１１３の内径寸法は、連通部１１１の内径寸法よりも大きく設定してある。仮に、ノズル本体部１１の内径寸法を一様な寸法で形成し、リブ１２を設けた場合、リブ配置部１１３において圧損が増大し、吸入効率が低下する場合がある。そこで、上記のごとく、リブ配置部１１３の内径寸法を拡大することにより、リブ１２を設けることによる圧損の増大を抑制し、吸入効率の低下を防止することができる。
【００４５】
また、吸入ノズル１の軸方向から見たとき、リブ配置部１１３における軸方向に直交する開口断面積Ｓ１と、連通部１１１における軸方向に直交する開口断面積Ｓ２とは、Ｓ２≦Ｓ１≦１．１Ｓ２の関係を満たしている。開口断面積Ｓ１と開口断面積Ｓ２とを上記の関係とすることにより、リブ１２を配することによる圧損の増大を確実に抑制することができる。
【００４６】
また、ノズル本体部１１とリブ１２とは、一体に形成されている。そのため、ノズル本体部１１とリブ１２とが別部品を接合したものではなく一体に形成された一部品からなり、両者の境界における接続強度が大きい。これにより、吸入された異物がリブ１２に衝突した際に、リブ１２が吸入ノズル１から脱落することを防止することができる。
【００４７】
また、吸入ノズル１のリブ内接円１３の最大直径Ｒ１は、真空引き装置１００が有する真空バルブ１０２における通過可能直径Ｒ２よりも小さく設定してある。そのため、吸入ノズル１を通過した異物が、真空バルブ１０２を通過することができる。そのため、吸入された異物により真空バルブ１０２の詰まりや噛み込み等の故障が発生することを防止できる。
【００４８】
また、真空引き装置１００は、上述した異物の吸入を防止可能な吸入ノズル１を備えていため、真空引き装置１００は、異物の吸入による故障がおきにくい。
【００４９】
また、真空引き装置１００は、液体を供給する給液装置４を備えており、給液装置４と接続された給液配管４１が、真空バルブ１０２、１０３よりも吸入ノズル１側の位置で、吸入配管１０４と合流している。そのため、真空引き装置１００によって、真空引きと給液を行うことができ、真空充填を行うことができる。
【００５０】
以上のごとく、吸入ノズル１によれば、異物の吸入を防止することが可能であり、これを用いることによって、異物の吸入による故障の防止が可能な真空引き装置１００を提供することができる。
【００５１】
尚、本例に示したリブの形状は一例であり、種々の形状のリブを用いることができる。リブの形状としては、例えば、先端側から見たとき十字型をなしたものや、本例に示した平板状のリブを複数並べてもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１  吸入ノズル
１００  真空引き装置
１０１  真空ポンプ
１０２、１０３  真空バルブ
１１  ノズル本体部
１１１  連通部
１１３  リブ配置部
１２  リブ
１２２  接合部
１３  リブ内接円
【図１】
0005884641.tif 000002
【図２】
0005884641.tif 000003
【図３】
0005884641.tif 000004
【図４】
0005884641.tif 000005