(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の樹脂と型のパターン面とを接触させて、前記基板上の樹脂にパターンを形成する複数のインプリント装置を備えるインプリントシステムであって、
前記インプリント装置は、前記基板を保持して移動する移動体を備え、
前記インプリントシステムは、
１つの前記インプリント装置が、離型工程を実行する時間帯に、該インプリント装置とは異なる２つ以上の前記インプリント装置の移動体が同時に加速または減速を行わないように、前記２つ以上のインプリント装置のうち少なくとも１つの前記インプリント装置の移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する制御部を備えることを特徴とするインプリントシステム。
【請求項２】
前記制御部は、前記複数のインプリント装置の移動体の加速または減速に関する情報を取得し、該情報に基づいて前記タイミングを設定することを特徴とする請求項１に記載のインプリントシステム。
【請求項３】
前記１つのインプリント装置が樹脂硬化工程および離型工程を実行する時間帯に、該インプリント装置とは異なる２つ以上の前記インプリント装置の移動体が同時に加速または減速を行わないように、前記２つ以上のインプリント装置のうち少なくとも１つの前記インプリント装置の移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する制御部を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリントシステム。
【請求項４】
前記１つのインプリント装置が押型工程、樹脂硬化工程および離型工程を実行する時間帯に、該インプリント装置とは異なる２つ以上の前記インプリント装置の移動体が同時に加速または減速を行わないように、前記２つ以上のインプリント装置のうち少なくとも１つの前記インプリント装置の移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する制御部を備えることを特徴とする請求項３に記載のインプリントシステム。
【請求項５】
前記インプリント装置は、少なくとも３つ以上が同一の梁上に位置するように、複数の梁で構成された床面に設置され、
前記制御部は、前記梁の長手方向に対して平行方向の加速または減速に関する情報を取得し、該情報に基づいて、前記同一の梁上のインプリント装置の前記移動体のうち少なくとも１つの移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインプリントシステム。
【請求項６】
基板上の樹脂と型のパターン面とを接触させて、前記基板上の樹脂にパターンを形成する複数のインプリント装置を用いるインプリント方法であって、
前記インプリント方法は、
前記複数のインプリント装置が備える移動体の加速または減速に関する情報を取得する工程と、
前記情報に基づいて、１つの前記インプリント装置が離型工程を実行する時間帯に、該インプリント装置とは異なる２つ以上の前記インプリント装置の移動体が同時に加速または減速を行わないように、前記２つ以上のインプリント装置のうち少なくとも１つの前記インプリント装置の移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する工程と、を有することを特徴とするインプリント方法。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載のインプリントシステムまたは請求項６に記載のインプリント方法を用いてパターン形成を基板上に行う工程と、
前記工程で前記パターン形成を行われた前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インプリントシステム、およびインプリント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの微細化の要求が進み、従来のフォトリソグラフィー技術に加え、モールド（型）と基板上の未硬化樹脂とを互いに押し付けて、モールドに形成された微細な凹凸パターンに対応する樹脂のパターンを形成する微細加工技術が注目を集めている。この技術は、インプリント技術とも呼ばれ、基板上に数ナノメートルオーダーの微細な構造体を形成することができる。例えば、インプリント技術の一つとして光硬化法がある。光硬化法を採用したインプリント装置では、まず、基板（ウエハ）上のショット領域（インプリント領域）に紫外線硬化樹脂（インプリント樹脂、光硬化樹脂）を塗布する。次に、この樹脂（未硬化樹脂）とモールドとを互いに押し付ける。そして、紫外線を照射して樹脂を硬化させたうえで離型することにより、樹脂のパターンが基板上に形成される。
【０００３】
このインプリント装置においても、上記のように数ナノメートルオーダー、例えば、装置に起因する位置合わせ誤差の許容範囲が数〜数十ｎｍの転写精度に加え、転写速度の向上が求められる。一般的に、インプリント装置による転写速度は、従来のステッパーやスキャナー等の露光方式と比較して時間がかかり、１つの装置でのスループットが低い。これに対して、例えば、基板の位置決めを実施する基板ステージを高速駆動させる方法や、デバイスの製造工場に複数台のインプリント装置を設置し、複数台のインプリント装置で一部のユニットを共有するクラスタ構成のインプリントシステムを採用する方法がある。特に、クラスタ構成のインプリントシステムは、１台あたりのインプリント装置の価格が液浸露光装置等と比較して安いため、インプリント装置を複数台設置した場合でもコスト面に利点がある。
【０００４】
しかしながら、転写速度の向上は、転写精度とトレードオフの関係になる場合が多い。即ち、基板ステージの高速駆動は、そこで発生する反力を増加させて装置自身を加振するだけでなく、周囲に設置している他の装置に影響を及ぼす可能性がある。特に、クラスタ構成を採用する場合、１台の装置で発生する振動が小さくても、複数台の装置で発生する振動の位相や方向成分が重ね合わさることで振動が増幅し、クラスタを構成した工場の床全体を揺らす場合もある。例えば、インプリント装置では、モールドと光硬化樹脂とを互いに押し付ける押型時には、予め取得した位置合わせの条件により高精度な位置関係が維持されている。しかしながら、この振動が装置に伝わると、モールドと未硬化樹脂との接触界面が不安定な状態になり、転写精度が悪化する。特許文献１には、ステージの駆動にともなう反力に起因して除振装置に支持された定盤が振動することを防ぐために、同一定盤上に２つのステージを配置し、互いの反力を打ち消しあうように２つのステージを同期的に駆動することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−２３４８６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この特許文献１に開示された装置では、各ステージの駆動において、加減速開始時刻、および加減速の時間と駆動力との積である力積とを一致させ、かつ、両者の力積の符号が互いに逆となるような同期運転を行う。しかしながら、一方のステージに不具合が生じた場合には、他方のステージは、稼動可能な状態であったとしても、カウンタの役目を果たす機構がないため停止せざるを得ない。その結果、装置の稼働率が低下する。更に、実際に装置の力積を一致させるには、装置の台数や設置位置、回転成分、発生する振動の周波数成分等も考慮する必要があり、他の装置に影響しない程度に力積を一致させることは難しい。
【０００７】
本発明は、このような状況を鑑みてなされたものであり、複数のインプリント装置を含むクラスタ構成において、転写精度の悪化を抑制し、かつ、全体の稼働率を向上させることが可能なインプリントシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、基板上の樹脂と型のパターン面とを接触させて基板上の樹脂にパターンを形成するインプリント装置を複数備えるインプリントシステムであって、インプリント装置は、基板を保持して移動する移動体を備え、インプリントシステムは、１つのインプリント装置が離型工程を実行する時間帯に、該インプリント装置とは異なる２つ以上のインプリント装置の移動体が同時に加速または減速を行わないように、２つ以上のインプリント装置のうち少なくとも１つのインプリント装置の移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する制御部を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、複数のインプリント装置を含むクラスタ構成において、転写精度の悪化を抑制し、かつ、全体の稼働率を向上させることが可能なインプリントシステムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】インプリント装置の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るインプリントシステムを示す概略図である。
【図３】第１実施形態に係る移動体の加速度プロファイルを示すグラフである。
【図４】第１実施形態に係る加速時間制御工程を示すフローチャートである。
【図５】第３実施形態に係る床面の構成とインプリント装置の配置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態について図面等を参照して説明する。
【００１２】
（インプリント装置）
まず、以下で説明する本発明の実施形態に係るインプリントシステムに適用するインプリント装置について説明する。図１は、インプリント装置の構成を示す概略図である。本実施形態におけるインプリント装置は、半導体デバイスの製造工程に使用される、被処理基板であるウエハ上（基板上）に対してモールドのパターンを転写する加工装置であり、インプリント技術の中でも光硬化法を採用した装置である。なお、図１において、モールドに対する光（紫外線）の照射軸に平行にＺ軸を取り、該Ｚ軸に垂直な平面内で後述のモールドベースに対してウエハが移動する方向にＸ軸を取り、該Ｘ軸に直交する方向にＹ軸を取って説明する。このインプリント装置１は、照明系ユニット２と、モールド保持装置４と、ウエハステージ６と、塗布装置７と、モールド搬送装置８とを備える。
【００１３】
照明系ユニット２は、インプリント処理の際に、モールド３に対して紫外線１０を照射する照明手段である。照明系ユニット２は、光源と、該光源から射出された紫外線をインプリントに適切な光に調整するための複数の光学素子から構成される。モールド保持装置４は、モールド３を保持、および固定するための保持装置である。このモールド保持装置４は、モールド３に圧縮力を加えることにより、モールド３に形成されたパターンを所望の形状に補正する形状補正機構１１と、吸着力や静電力によりモールド３を引きつけて保持するモールドベース１２とを備える。また、モールド保持装置４は、ウエハ５上に形成された紫外線硬化樹脂にモールド３を押し付けるために、モールドベース１２をＺ軸方向に駆動する不図示のベース駆動機構を備える。なお、このインプリント装置１では、上記のように、一方のモールド３をＺ軸方向に駆動する構成とするが、例えば、他方のウエハステージ６（ウエハ５）をＺ軸方向に駆動する構成としてもよい。
【００１４】
ウエハ５は、例えば、単結晶シリコンからなる被処理基板であり、被処理面には、成形部となる紫外線硬化樹脂（以下、単に「樹脂」と表記する）が塗布される。また、ウエハステージ６は、ウエハ５を真空吸着により保持し、かつ、ＸＹ平面内を自由に移動可能な基板保持手段（移動体）である。また、塗布装置（ディスペンサー）７は、ウエハ５上に未硬化の樹脂を塗布する塗布手段である。樹脂は、紫外線を受光することにより硬化する性質を有する光硬化樹脂であって、製造する半導体デバイスの種類等により適宜選択される。更に、モールド搬送装置８は、モールド３を搬送し、モールドベース１２に対してモールド３を設置する搬送手段である。
【００１５】
次に、インプリント装置１によるインプリント処理について説明する。まず、後述する制御部は、ウエハステージ６にウエハ５を載置、および固定させた後、ウエハステージ６を塗布装置７の塗布位置へ移動させる。その後、塗布装置７は、塗布工程として、ウエハ５の所定のショット（被処理領域）に樹脂（未硬化樹脂）を塗布する。次に、制御部は、ウエハ５上の塗布面がモールド３の直下に位置するように、ウエハステージ６を移動させる。次に、制御部は、モールド３の押型面とウエハ５上の塗布面との位置合わせ、および形状補正機構１１によるモールド３の形状補正を実施した後、ベース駆動機構を駆動させて、ウエハ５上の樹脂にモールド３のパターン面を押し付ける（押型工程）。このとき、樹脂は、モールド３の押型によりモールド３に形成されたパターンに沿って流動する。この状態で、照明系ユニット２は、樹脂硬化工程として、モールド３の背面（上面）から紫外線１０を照射して、モールド３を透過した紫外線１０により樹脂が硬化する。そして、樹脂が硬化した後、制御部は、ベース駆動機構を再駆動させ、モールド３をウエハ５から引き離す（離型工程）。これにより、ウエハ５上のショットの表面には、モールド３のパターンに倣った３次元形状の樹脂の層が形成される。
【００１６】
（第１実施形態）
次に、本発明の第１実施形態に係る、上記インプリント装置を複数台配置したクラスタ構成によるインプリントシステムについて説明する。なお、本実施形態における「クラスタ構成」とは、同様のインプリント装置を複数台同一フロア（床面）内に集合させて、搬送ロボット等の外部装置を共有することでフットプリントや生産性を確保するための構成を示す。図２は、クラスタ構成によるインプリントシステムを示す構成図である。このインプリントシステム２０は、同一の床面２１上に配置された３台のインプリント装置２２（２２ａ〜２２ｃ）と、各インプリント装置２２ａ〜２２ｃを集中管理する制御部２３とを備える。なお、インプリント装置２２ａ〜２２ｃの各々は、チャンバにより個別に包囲されていてもよい。また、このインプリントシステム２０におけるインプリント装置２２の設置台数は、少なくとも３台以上であれば、特に限定しない。
【００１７】
制御部２３は、各インプリント装置２２ａ〜２２ｃの各構成要素の動作、および調整等を集中管理する制御手段である。この制御部２３は、各インプリント装置２２ａ〜２２ｃの各構成要素に回線（情報伝達手段）２４により接続された、磁気記憶媒体などの記憶手段を有するコンピュータなどで構成され、プログラムなどにより各構成要素の制御を実行する。なお、制御部２３は、インプリントシステム２０として一体で構成してもよいし、または、インプリントシステム２０とは別の場所に設置して、遠隔で制御する構成としてもよい。更には、制御部２３は、あるインプリント装置２２内の制御系に構成するものでもよい。また、１台の制御部２３ですべての装置を管理する集中管理方式にかぎらず、工場内に複数台の制御部が設置され、それぞれが周囲の群を管理する自律分散方式も可能である。この場合、制御部の故障や装置構成の変更などが発生しても個別に制御部を調整することで工場全体の稼働率が低下することを抑制できる。この場合、制御部２３は、回線２４を通じて、各インプリント装置２２ａ〜２２ｃに含まれるウエハステージ６（以下、単に「移動体」と表記する）の加速または減速に関する情報と、各インプリント装置２２ａ〜２２ｃの処理工程に関する情報とを取得する。そして、制御部２３は、この情報に基づいて、各移動体６の加速または減速を開始するタイミングを設定する。加速または減速に関する情報としては、例えば、駆動プロファイルが挙げられ、これはウエハ５に形成されるパターンの形状や、装置の大きさに応じて決まる。なお、各インプリント装置の処理工程に関する情報は、加速または減速に関する情報と対応づけることができるため、この取得を省略してもよく、以下では、加速または減速に関する情報のみを取得する例について説明する。
【００１８】
次に、インプリントシステム２０の作用について説明する。図３は、移動体６の加速度プロファイルを時系列で示すグラフである。ここで、図３（ａ）は、ある１つのインプリント装置２２が有する移動体６の加速度プロファイルに関するグラフである。移動体６の加速度プロファイルは、インプリント装置の処理工程と対応づけることができる。この加速度プロファイルでは、移動体６が駆動状態（加速度発生状態）にある第１区間３０と、移動体６が停止状態にある第２区間３１とがある。第１区間３０は、移動体６が塗布装置７への移動中、または、塗布工程等において加減速を繰り返す時間帯を示す。これに対して、第２区間３１は、押型工程、硬化工程、または離型工程の時間帯（各々を区間３２、３３、３４とする）、即ち、モールド３とウエハ５とが、樹脂を介して接触している時間帯を示している。移動体６は、基本的に停止しているため、この区間での加速度は、ゼロである。
【００１９】
図３（ｂ）は、各インプリント装置２２ａ〜２２ｃがそれぞれ有する３つの移動体６ａ〜６ｃの加速度プロファイルを時系列で示すグラフである。制御部２３は、まず、各移動体の加速または減速に関する情報を取得する。次に、制御部２３は、上記情報に基づいて２台のインプリント装置（例えば２２ｂ、２２ｃ）の移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する。このとき、制御部２３は、１台のインプリント装置（例えば２２ａ）が押型工程、硬化工程、離型工程を実行する時間帯にあるときに、２台のインプリント装置（例えば２２ｂ、２２ｃ）の移動体が同時に加速または減速を行わないように考慮する。なお、同時に２つの移動体が加速または減速しないように制御できるのであれば、２台のインプリント装置（例えば２２ｂ、２２ｃ）のうち、いずれか１台のインプリント装置の移動体に対して、加速または減速を開始するタイミングを設定してもよい。一般に、複数のインプリント装置から個別に発生する振動により、これらの振動が重ね合わされることで増幅し、更に大きな振動となる。制御部２３は、上記のように移動体を加速または減速するタイミングを設定することで、共振や振動の重ねあわせによる振動の増幅が抑制されるので、パターン転写精度への影響を抑えることができる。なお、移動体を加速または減速するタイミングのみならず、加速または減速を行う時間帯そのものを設定してもよい。
【００２０】
移動体を加速または減速するタイミングを設定するために、上述のように、予め各移動体の加速または減速を行う時間帯をスケジューリングして制御する方法があり、それ以外に各移動体の加速または減速の開始を順次許可判定して制御する方法がある。
【００２１】
以下、制御部２３が、各移動体の加速または減速の開始を許可判定し、加速または減速の開始のタイミングを設定する方法について説明する。図４は、この制御方法の一例を示すフローチャートである。まず、制御部２３は、移動体Ａから、加速開始の準備が完了したとの情報を取得する（ステップＳ１００）。次に、制御部２３は、移動体Ａから通知された完了情報に基づいて、移動体Ａの第１区間３０の時間帯を予測する（ステップＳ１０１）。次に、制御部２３は、他の移動体の第１区間３０、第２区間３１に関する情報を取得して、予測された移動体Ａの第１区間３０に、他の移動体の第２区間３１が重なるかどうかを判定する（ステップＳ１０２）。ここで、制御部２３は、移動体Ａの第１区間３０と他の移動体の第２区間３１とが重ならないと判定した場合は（ＮＯ）、パターン転写精度への影響が小さいため、移動体Ａの加速をそのまま開始させる（ステップＳ１０３）。一方、ステップＳ１０１にて、制御部２３は、重なると判定した場合には（ＹＥＳ）、以下のステップＳ１０４に移行する。
【００２２】
続いて、制御部２３は、ステップＳ１０４として、移動体Ａの第１区間３０に対して、第１区間３０が重なる移動体の台数を予測する。次に、制御部２３は、ステップＳ１０５として、予測した移動体の台数が、予め条件付けした許容台数以下であるかどうかを判定する。ここで、制御部２３は、許容台数以下であると判定した場合には（ＹＥＳ）、移動体Ａの加速をそのまま開始させる（ステップＳ１０６）。一方、ステップＳ１０５にて、制御部２３は、許容台数以下でないと判定した場合には（ＮＯ）、一旦、加速開始の準備が完了した移動体Ａを待機させる（ステップＳ１０７）。そして、ステップＳ１０８として、制御部２３は、第１区間３０が重なる移動体の台数が、許容台数以下となったことを確認後、移動体Ａの加速を開始させる。このような制御を、制御対象となるすべての移動体についても行う。なお、制御部２３は、そのインプリント工程やインプリント装置の状態等を考慮し、優先順位を設けて待機させる移動体を選択してもよい。
【００２３】
以上のように、本実施形態のインプリントシステム２０によれば、複数の移動体６の加速時間が重なって増幅した振動による移動体６のパターン転写精度への影響を良好に抑えることができる。
【００２４】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るインプリントシステムについて説明する。上述の通り、図３（ａ）に示す区間３３（硬化工程）、３４（離型工程）において大きな振動が発生すると、硬化した樹脂とモールド３に形成されている凹凸パターンとが干渉し、樹脂に転写された微細パターンが破損する可能性が高い。逆に、区間（押型工程）３２では、硬化前の樹脂が比較的柔らかい状態でモールド３の凹凸パターン間に充填されているため、干渉による破損の可能性が低い。即ち、区間３３と区間３４との時間帯での振動が、パターン転写精度への影響が大きいことになる。更に詳しく言えば、区間３３では、樹脂を介してモールド３とウエハ５とが一体化しているので、区間３４に比べると、干渉により微細パターンが破損する可能性が低い。したがって、１台のインプリント装置（例えば２２ａ）が離型工程を行っているときには、２台のインプリント装置（例えば２２ｂ、２２ｃ）の移動体が、同時に加速または減速を行わないようにする。制御部２３は、この条件を満たすように、２台のインプリント装置（例えば２２ｂ、２２ｃ）の移動体に対し、加速または減速を開始するタイミングを設定する。
【００２５】
更に、第１実施形態において、制御部２３は、第２区間３１が長ければ長いほど、その時間帯の全てにおいて、その他の移動体６ｂ、６ｃの加速時間が重ならないように制御する必要があり、図４のステップＳ１０７における待機時間が長くなる。一方、制御部２３は、第２区間３１が短ければ短いほど、その他の移動体６ｂ、６ｃの加速時間が重ならないように制御する時間帯が短いため、待機時間が短くなる。なお、一般的にインプリント装置では、第２区間３１内の押型工程３２、硬化工程３３、および離型工程３４のうち、押型工程３２での所要時間は、樹脂がモールド３の凹凸パターン間に充填されるまでに時間を要するため、他の工程と比べて長い。
【００２６】
そこで、本実施形態では、制御部２３は、特にパターン転写精度への影響が大きい第２区間３１内の硬化工程３３と離型工程３４との時間帯に限定して、各移動体６ａ〜６ｃの加速時間を制御する。これにより、その他の移動体６ｂ、６ｃの待機時間を減少させることができ、パターン転写精度への影響を抑えつつ、インプリントシステム全体の稼働率を上げることができる。なお、上記以外に、モールド３、またはウエハ５の位置決めの時間帯の振動も、位置決め計測に誤差が発生する可能性があるため、パターン転写精度への影響が大きい場合がある。そこで、制御部２３は、上記の時間帯に加え、更にモールド３、およびウエハ５の位置決めの時間帯においても加速の開始時間を制御するようにしてもよい。
【００２７】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係るインプリントシステムについて説明する。本実施形態に係るインプリントシステムの特徴は、複数のインプリント装置２２が、複数の梁で構成された床面２１に設置されている場合に適用させる点にある。図５は、本実施形態に係る各インプリント装置２２が配置された床面２１の構成を示す概略図である。特に、図５（ａ）は、床面２１を構成する１つの梁４０を示す斜視図であり、図５（ｂ）は、梁４０を複数本で組み合わせた床面２１と、この床面２１上に設置された３つのインプリント装置２２ａ〜２２ｃの配置とを示す平面図である。なお、複数の梁４０で組まれた床面２１の表面上には板材が敷かれているのが一般的であるが、図５（ｂ）では不図示とする。図５（ｂ）に示すように各インプリント装置２２（２２ａ〜２２ｃ）が床面２１に並べられている場合、各インプリント装置２２の各移動体６ａ〜６ｃが梁４０の長手方向に対して平行方向（Ｘ軸方向）に加速または減速して発生する振動は、装置間を伝達しやすい。これに対して、各移動体６ａ〜６ｃが梁４０の長手方向に対して直角方向（Ｙ軸方向）に加速または減速して発生する振動は、装置間を伝達しづらい。これは、梁４０の長手方向に働く圧縮強度が長手方向に対して直角方向に働く曲げ強度に比べて大きく、長手方向の振動が減衰しづらいためである。そこで、上記実施形態の内容を、振動が装置間を伝達しやすくなる梁４０の長手方向に対して平行方向に各移動体６ａ〜６ｃを加速または減速させた場合に限定して適用しても、その効果を奏する。
【００２８】
図５（ｃ）は、図５（ｂ）が３つのインプリント装置２２を設置しているのに対して、それ以上の台数のインプリント装置２２を設置した場合の状態を示す平面図である。例えば、図５（ｃ）に示すように、床面２１上に９つのインプリント装置２２が設置されている場合、設置された９つ全てのインプリント装置２２の移動体６についての加速または減速に関する情報を取得するとなると、制御部２３で取り扱う情報量が多くなる。さらに、全ての移動体６の加速または減速を開始するタイミングを制御しようとすると、制御部２３のソフトウェアが複雑になる。そこで、制御部２３は、図５（ｃ）中の点線で示すように、同一の梁上に支持されたインプリント装置２２ごとにグループ分けし、各グループごとに梁４０の長手方向に対する平行方向の加速または減速に関する情報を取得する。そして、制御部２３は、得られた情報に基づいて、各インプリント装置２２の移動体６を制御する。一例として、梁４０ａ上のグループと梁４０ｂ上のグループとの両方に属するインプリント装置２２ａについて考える。このとき、制御部２３は、Ｘ軸方向に関しては、インプリント装置２２ａ〜２２ｃの移動体６ａ〜６ｃのＸ軸方向の加速または減速に関する情報に基づいてタイミングを制御すればよい。同様に、制御部２３は、Ｙ軸方向に関しては、インプリント装置２２ａ、２２ｄ、２２ｅの各移動体６のＹ軸方向の情報に基づいてタイミングを制御すればよい。これによれば、上記実施形態と同様の効果を奏しつつ、制御部２３が取り扱う情報量を少なくし、ソフトウェアを簡易にすることができる。なお、制御部２３は、１台で各グループごとの情報を管理し、各移動体６を制御するものとしてもよいが、各グループごとに設置するものとしても良い。また、梁４０の位置は、インプリントシステム２０を設置する建屋の構造から事前に把握しておくことが望ましいが、床面２１に複数のセンサを設置し、その計測データから位置や方向を特定してもよい。
【００２９】
（物品の製造方法）
物品としてのデバイス（半導体集積回路素子、液晶表示素子等）の製造方法は、上述したインプリントシステムを用いて基板（ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板）にパターンを形成する工程を含む。更に、該製造方法は、パターンが形成された基板をエッチングする工程を含みうる。なお、パターンドメディア（記録媒体）や光学素子等の他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングの代わりに、パターンが形成された基板を加工する他の処理を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。
【００３０】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【００３１】
上記実施形態では、制御部２３は、ある時間帯に移動体６を待機させ、即ち、加速度をゼロとして振動の増幅を抑制する。但し、本発明のインプリントシステムは、これに限定するものではなく、制御部２３は、例えば、加速度をゼロではなく、通常の加速の開始時に設定される加速度よりもその量を低下させるように調整することによっても、上記実施形態と同様の効果を奏する。
【符号の説明】
【００３２】
１      インプリント装置
３      モールド
５      ウエハ
６ａ    移動体
６ｂ    移動体
６ｃ    移動体
２０    インプリントシステム
２２ａ  インプリント装置
２２ｂ  インプリント装置
２２ｃ  インプリント装置
２３    制御部
【図１】
0005871627.tif 000002
【図２】
0005871627.tif 000003
【図３】
0005871627.tif 000004
【図４】
0005871627.tif 000005
【図５】
0005871627.tif 000006