(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装機のユニット取付スペースにキャスタ付きの部品供給ユニットを挿入して該部品供給ユニットを該部品実装機に取り付ける部品実装機の部品供給ユニットの取付装置において、
前記部品実装機は、前記ユニット取付スペースに挿入された前記部品供給ユニットを持ち上げるユニット持上げ手段と、前記ユニット持上げ手段で持上げた前記部品供給ユニットを前記部品実装機の内部に引き込むユニット引込み手段と、前記ユニット引込み手段で引き込んだ前記部品供給ユニットを前記ユニット持上げ手段により所定の高さ位置まで下降させてクランプするクランプ手段とを備え、
前記部品供給ユニットは、前記キャスタに対して上下動可能に支持され、
前記キャスタには、前記ユニット持上げ手段による前記部品供給ユニットの持上げ力を補助する持上げ力補助手段が設けられていることを特徴とする部品実装機の部品供給ユニットの取付装置。
【請求項２】
前記クランプ手段は、前記ユニット持上げ手段に設けられたクランプ部材と、前記部品実装機側に設けられた受け部材とを備え、前記受け部材上に前記部品供給ユニット側の固定部材を載せて該部品供給ユニットを該受け部材に支持させた状態で前記ユニット持上げ手段により前記クランプ部材を下降させて該クランプ部材で該固定部材を該受け部材との間に挟み込んでクランプすることを特徴とする請求項１に記載の部品実装機の部品供給ユニットの取付装置。
【請求項３】
前記部品実装機は、前記ユニット取付スペースへの前記部品供給ユニットの挿入を確認する挿入確認センサと、前記ユニット持上げ手段による前記部品供給ユニットの持上げを確認する持上げ確認センサと、前記ユニット引込み手段による前記部品供給ユニットの引込みを確認する引込み確認センサとを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の部品実装機の部品供給ユニットの取付装置。
【請求項４】
部品実装機のユニット取付スペースにキャスタ付きの部品供給ユニットを挿入して該部品供給ユニットを該部品実装機に取り付ける部品実装機の部品供給ユニットの取付装置において、
前記部品実装機は、前記ユニット取付スペースに挿入された前記部品供給ユニットを持ち上げるユニット持上げ手段と、前記ユニット持上げ手段で持上げた前記部品供給ユニットを前記部品実装機の内部に引き込むユニット引込み手段と、前記ユニット引込み手段で引き込んだ前記部品供給ユニットを前記ユニット持上げ手段により所定の高さ位置まで下降させてクランプするクランプ手段とを備え、
前記部品実装機は、前記ユニット取付スペースへの前記部品供給ユニットの挿入を確認する挿入確認センサと、前記ユニット持上げ手段による前記部品供給ユニットの持上げを確認する持上げ確認センサと、前記ユニット引込み手段による前記部品供給ユニットの引込みを確認する引込み確認センサとを備えていることを特徴とする部品実装機の部品供給ユニットの取付装置。
【請求項５】
前記部品実装機は、前記ユニット持上げ手段及び前記ユニット引込み手段の動作を制御する制御手段を備え、
前記制御手段は、前記挿入確認センサにより前記部品実装機のユニット取付スペースへの前記部品供給ユニットの挿入が確認された後に、前記ユニット持上げ手段による前記部品供給ユニットの持上げ動作を実行し、前記持上げ確認センサにより前記ユニット持上げ手段による前記部品供給ユニットの持上げ動作の完了が確認された後に、前記ユニット引込み手段による前記部品供給ユニットの引込み動作を実行し、前記引込み確認センサにより前記部品供給ユニットの引込み動作の完了が確認された後に、前記ユニット持上げ手段により前記部品供給ユニットを所定の高さ位置まで下降させて前記クランプ手段でクランプすることを特徴とする請求項３又は４に記載の部品実装機の部品供給ユニットの取付装置。
【請求項６】
前記部品実装機は、前記クランプ手段で前記部品供給ユニットをクランプした状態で該部品実装機の通信線及び／又は電源線のコネクタを該部品供給ユニットのコネクタに差し込み接続するコネクタ接続装置を備えていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の部品実装機の部品供給ユニットの取付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装機のユニット取付スペースにキャスタ付きの部品供給ユニットを挿入して該部品供給ユニットを該部品実装機に取り付ける部品実装機の部品供給ユニットの取付装置に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
部品実装機に部品を供給する部品供給ユニットには、様々なタイプがあり、例えば、台車に多数のテープフィーダを搭載した部品供給ユニット（特許文献１，２参照）、マガジン内にトレイ部品を積載したトレイパレットを多段に収納した部品供給ユニット（特許文献３参照）、ウエハを多段に収納した部品供給ユニット（特許文献４参照）、ウエハ部品を載せたウエハパレットとトレイ部品を載せたトレイパレットとを多段に混載した部品供給ユニット（特許文献５参照）等が存在する。これらいずれのタイプの部品供給ユニットも大型で重量が重いため、部品供給ユニットの脚部にキャスタを設けて、部品供給ユニットを部品実装機に取り付ける場合は、作業者が部品供給ユニットを押して移動させて、該部品供給ユニットを部品実装機のユニット取付スペースに押し込んで取り付けるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１４６５７６号公報
【特許文献２】特開２００９−２６６９９０号公報
【特許文献３】特開２００２−２３２１９８号公報
【特許文献４】特開２０１２−３３５９２号公報
【特許文献５】特開２０１０−１２９９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
部品実装機に部品供給ユニットを取り付ける際に、部品実装機に対して部品供給ユニットの高さ位置を合わせる必要があるため、部品実装機の手前側からユニット取付スペースに向かってスロープを設置して、作業者が部品供給ユニットを押してスロープを乗り上げさせて部品実装機のユニット取付スペースに押し込むようにしているが、部品供給ユニットは重量が重いため、部品供給ユニットを押しむ作業が重労働であり、しかも、部品供給ユニットがスロープを乗り上げる勢いで部品供給ユニットが部品実装機に衝突して破損する可能性もある。更に、床面が平坦でなかったり、傾いている場合は、作業者が各キャスタの高さ位置を調整して部品供給ユニットの水平度を調整する必要があり、その作業も甚だ面倒である。また、床面に設置するスロープの傾斜を緩やかにする必要があるため、スロープが大型化して、スロープを設置するスペースが大きくなると共に、スロープの手前側に部品供給ユニットを移動させるためのスペースも必要となり、部品実装機のユニット取付スペースの手前側の床面に広い空きスペースを確保しなければならず、省スペース化に対応できない。【０００５】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、部品実装機への部品供給ユニットの取付作業の労力軽減と作業時間短縮を実現できると共に、作業時の装置破損を極力防止でき、更に、比較的狭い作業スペースでも部品供給ユニットの取付作業を行うことができる部品実装機の部品供給ユニットの取付装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、部品実装機のユニット取付スペースにキャスタ付きの部品供給ユニットを挿入して該部品供給ユニットを該部品実装機に取り付ける部品実装機の部品供給ユニットの取付装置において、前記部品実装機は、前記ユニット取付スペースに挿入された前記部品供給ユニットを持ち上げるユニット持上げ手段と、前記ユニット持上げ手段で持上げた前記部品供給ユニットを前記部品実装機の内部に引き込むユニット引込み手段と、前記ユニット引込み手段で引き込んだ前記部品供給ユニットを前記ユニット持上げ手段により所定の高さ位置まで下降させてクランプするクランプ手段とを備えた構成を前提とし、後述する技術的特徴を備えている。
【０００７】
この構成では、部品実装機のユニット取付スペースの床面が平坦でなかったり、傾いている場合でも、その床面にスロープ等を設置する必要がないばかりか、作業者が各キャスタの高さを調整して部品供給ユニットの水平度を調整する作業を行う必要がなく、作業者は、部品供給ユニットを部品実装機のユニット取付スペースに挿入する作業を行うだけで良く、その後は、ユニット持上げ手段により該部品供給ユニットを持ち上げて、ユニット引込み手段により該部品供給ユニットを部品実装機の内部に引き込んで、該部品供給ユニットを該ユニット持上げ手段により所定の高さ位置まで下降させて、該部品供給ユニットを部品実装機に対して位置決めしてクランプ手段でクランプするという一連の動作を自動的に行うことができる。これにより、部品供給ユニットの取付作業の労力軽減と作業時間短縮を実現できると共に、スロープを使用せずに部品供給ユニットを部品実装機のユニット取付スペースに挿入できるため、部品供給ユニットを部品実装機のユニット取付スペースに挿入する作業も容易となり、作業時の装置破損を極力防止できると共に、比較的狭い作業スペースでも部品供給ユニットの取付作業を行うことができる。【０００８】
この場合、部品供給ユニットをキャスタに対して上下動可能に支持させると共に、該キャスタには、ユニット持上げ手段による部品供給ユニットの持上げ力を補助する持上げ力補助手段（例えばスプリング等の弾性部材）を設けるようにすると良い。このようにすれば、部品供給ユニットの重量が重くても、ユニット持上げ手段による部品供給ユニットの持上げ力を持上げ力補助手段によって補助することができるため、ユニット持上げ手段の持上げ力を軽減することができ、ユニット持上げ手段のコンパクト化が可能となる。【０００９】
更に、クランプ手段は、ユニット持上げ手段に設けられたクランプ部材と、部品実装機側に設けられた受け部材とを備え、該受け部材上に部品供給ユニット側の固定部材を載せて該部品供給ユニットを該受け部材に支持させた状態でユニット持上げ手段によりクランプ部材を下降させて該クランプ部材で該固定部材を該受け部材との間に挟み込んでクランプするように構成すると良い。この構成では、クランプ手段の動力源としてユニット持上げ手段の動力源を利用できるため、クランプ手段の構成を簡単化できる。【００１０】
また、部品実装機は、ユニット取付スペースへの部品供給ユニットの挿入を確認する挿入確認センサと、ユニット持上げ手段による部品供給ユニットの持上げを確認する持上げ確認センサと、ユニット引込み手段による部品供給ユニットの引込みを確認する引込み確認センサとを備えた構成としても良い。この構成では、ユニット取付スペースへの部品供給ユニットの挿入、部品供給ユニットの持上げ、部品供給ユニットの引込みをそれぞれ各確認センサで確認できるため、部品供給ユニットのより確実な取付が可能になると共に、安全性も向上できる。【００１１】
この場合、部品実装機は、ユニット持上げ手段及びユニット引込み手段の動作を制御する制御手段を備え、該制御手段は、挿入確認センサにより部品実装機のユニット取付スペースへの部品供給ユニットの挿入が確認された後に、ユニット持上げ手段による部品供給ユニットの持上げ動作を実行し、持上げ確認センサによりユニット持上げ手段による部品供給ユニットの持上げ動作の完了が確認された後に、ユニット引込み手段による部品供給
ユニットの引込み動作を実行し、引込み確認センサにより部品供給ユニットの引込み動作の完了が確認された後に、ユニット持上げ手段により部品供給ユニットを所定の高さ位置まで下降させてクランプ手段でクランプするようにすれば良い。ここで、ユニット持上げ手段による部品供給ユニットの持上げ動作は、作業者によるスイッチ等の操作を条件として開始するようにしても良い。【００１２】
更に、部品実装機は、クランプ手段で部品供給ユニットをクランプした状態で該部品実装機の通信線及び／又は電源線のコネクタを該部品供給ユニットのコネクタに差し込み接続するコネクタ接続装置を備えた構成としても良い。このようにすれば、部品実装機に部品供給ユニットをクランプした状態で、部品実装機と部品供給ユニットとの間の通信線及び／又は電源線の接続を確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は本発明の一実施例におけるダイ供給ユニットの外観斜視図である。
【図２】図２は突き上げユニットとその周辺部分の外観斜視図である。
【図３】図３はウエハパレットの外観斜視図である。
【図４】図４は部品実装機のユニット取付スペースの外観斜視図である。
【図５】図５は部品供給ユニットのキャスタ及びその周辺部分の外観斜視図である。
【図６】図６はユニット挿入ガイドレール及びその周辺部分の外観斜視図である。
【図７】図７はユニット挿入ガイドレールに部品供給ユニットの挿入位置決め摺動部材を挿入した状態を示す外観斜視図である。
【図８】図８はユニット持上げ装置のロッドが下降した状態を示す外観斜視図である。
【図９】図９はユニット持上げ装置のロッドが上昇した状態を示す外観斜視図である。
【図１０】図１０はユニット持上げ装置の支持ローラ上に部品供給ユニット側の固定部材で持ち上げた状態を示す側面図である。
【図１１】図１１は部品供給ユニット側の固定部材をクランプした状態を示す側面図である。
【図１２】図１２はユニット引込み装置を部品供給ユニット取出し方向に作動させた状態を示す外観斜視図である。
【図１３】図１３はユニット引込み装置を部品供給ユニット挿入方向に作動させた状態を示す外観斜視図である。
【図１４】図１４は部品供給ユニット側のコネクタとその周辺部分を示す外観斜視図である。
【図１５】図１５は部品実装機側のコネクタ接続装置を示す外観斜視図である。
【図１６】図１６は制御系の構成を示すブロック図である。
【図１７】図１７は自動クランプ動作制御プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
【図１８】図１８は部品供給ユニットのキャスタの支持構造を部分的に破断して示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を説明する。
まず、図１乃至図３を用いて部品供給ユニット１１の構成を概略的に説明する。
【００１５】
本実施例の部品供給ユニット１１は、ダイ（ウエハ部品）を供給するユニットであり、マガジン保持部２２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル２３、ＸＹ移動機構２５、突き上げユニット２８（図２参照）等を備えた構成となっている。この部品供給ユニット１１は、大型で重量が重いため、部品供給ユニット１１を支持する複数の脚部１２（図１８参照）の下端部に、それぞれキャスタ２４が設けられ、作業者が部品供給ユニット１１を押して移動させて、該部品供給ユニット１１のパレット引き出しテーブル２３側の部分を部品実装機２０のユニット取付スペース２１（図４参照）に挿入して取り付けるようにしている。
【００１６】
図１８に示すように、各キャスタ２４の脚部１２は、部品供給ユニット１１の筒状部材１３に上下動可能に挿通支持されている。各キャスタ２４の脚部１２は、パイプ状に形成され、後述するユニット持上げ装置５２による部品供給ユニット１１の持上げ力を補助する持上げ力補助手段であるスプリング１４（弾性部材）が収納されている。各キャスタ２４の脚部１２の上部側は、部品供給ユニット１１に下向きに取り付けられた固定パイプ１５に上下動可能に嵌合支持され、該固定パイプ１５の下端によりスプリング１４が圧縮され、該スプリング１４の弾発力によって固定パイプ１５が押し上げられることで、ユニット持上げ装置５２による部品供給ユニット１１の持上げ力が補助されるようになっている。
【００１７】
一方、部品供給ユニット１１のマガジン保持部２２（図１参照）内に上下動可能に収納されたマガジン（図示せず）には、ウエハ張設体３０を装着したウエハパレット３２が多段に積載され、生産中にマガジンからウエハパレット３２がパレット引き出しテーブル２３上に引き出されるようになっている。図３に示すように、ウエハ張設体３０は、ウエハを碁盤目状にダイシングして形成したダイ３１を貼着した伸縮可能なダイシングシート３４を、円形の開口部を有するウエハ装着板３３にエキスパンドした状態で装着したものであり、該ウエハ装着板３３がパレット本体３５にねじ止め等により取り付けられている。
【００１８】
突き上げユニット２８（図２参照）は、ウエハパレット３２のダイシングシート３４下方の空間領域をＸＹ方向に移動可能に構成されている。そして、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピン（図示せず）で局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。
【００１９】
この突き上げユニット２８は、サーボモータ（図示せず）を駆動源として突き上げユニット２８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット２８が上昇して突き上げポット３７の上面がウエハパレット３２のダイシングシート３４にほぼ接触する所定のシート吸着位置まで上昇すると、ストッパ機構（図示せず）によって突き上げユニット２８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット３７の上面から突き上げピンが上方に突出して、ダイシングシート３４のうちのピックアップしようとするダイ３１の貼着部分を突き上げるようになっている。この場合、
駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピンの突き上げ高さ位置（突き上げ量）を調整できるようになっている。
【００２０】
図１に示すように、ＸＹ移動機構２５には、吸着ヘッド４１とカメラ４２とが組み付けられ、該ＸＹ移動機構２５によって吸着ヘッド４１とカメラ４２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成されている。吸着ヘッド４１には、ダイシングシート３４上のダイ３１を吸着する吸着ノズル（図示せず）が上下動するように設けられている。カメラ４２は、ダイシングシート３４上のダイ３１を上方から撮像してその撮像画像を画像処理することで、吸着ノズルで吸着しようとするダイ３１の位置を認識できるようになっている。
【００２１】
部品供給ユニット１１の制御装置５１（図１６参照）は、ダイシングシート３４上のダイ３１のうち、吸着しようとするダイ３１をカメラ４２で撮像して得られた画像を処理して該ダイ３１の位置を認識して、該ダイ３１の突き上げ位置及び吸着位置を決定し、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピンで局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせながら、該ダイ３１を吸着ノズルで吸着してピックアップするようにしている。
【００２２】
次に、図４乃至図１６を用いて、部品供給ユニット１１を部品実装機２０のユニット取付スペース２１に挿入して取り付ける取付装置の構成を説明する。
【００２３】
図４及び図６に示すように、部品実装機２０のユニット取付スペース２１の左右両側面の下部には、部品供給ユニット１１の挿入をガイドするＵ字溝状のユニット挿入ガイドレール４３が前後方向（Ｙ方向）に延びるように固定されている。
【００２４】
これに対応して、図１及び図５に示すように、部品供給ユニット１１の左右両側面の下部には、それぞれ複数個（例えば２個）の逆Ｌ字形部材４４が前後方向（Ｙ方向）に並んで固定され、各逆Ｌ字形部材４４の下端部に丸棒状の挿入位置決め摺動部材４５が部品供給ユニット１１の側面と平行に前後方向（Ｙ方向）に延びるように設けられている。これにより、作業者が部品供給ユニット１１を押して部品実装機２０のユニット取付スペース２１内に挿入する際に、図７に示すように、挿入位置決め摺動部材４５をユニット挿入ガイドレール４３に挿入することで、ユニット取付スペース２１に対して部品供給ユニット１１を左右方向に位置決めして挿入できるようになっている。
【００２５】
また、図４及び図８に示すように、部品実装機２０のユニット取付スペース２１の左右両側面には、それぞれ複数個（例えば２個）のユニット持上げ装置５２（ユニット持上げ手段）が前後方向（Ｙ方向）に並んで設けられている。図８及び図９に示すように、各ユニット持上げ装置５２は、駆動源となるエアシリンダ５３がロッド５４を上向きにした状態で部品実装機２０の本体フレーム２０ａに取り付けられ、該ロッド５４の上部に、昇降部材５５がねじ等で固定されていると共に、該昇降部材５５の内面側に、部品供給ユニット１１の荷重を受け支える支持ローラ５６が回転可能に設けられている。昇降部材５５はクランプ部材（クランプ手段）としても機能し、該昇降部材５５の上端部には、クランプ爪５７がユニット取付スペース２１の内側に突出するように形成されている。
【００２６】
これに対応して、図１に示すように、部品供給ユニット１１の左右両側面には、それぞれ前後方向（Ｙ方向）に延びる横長の固定部材６０が固定され、図１０に示すように、該固定部材６０が上記ユニット持上げ装置５２の支持ローラ５６で受け支えられることで、部品供給ユニット１１が支持ローラ５６の回転によって前後方向（Ｙ方向）に容易にスライド移動できるようになっている。
【００２７】
部品実装機２０のユニット取付スペース２１の左右両側面には、それぞれユニット引込み手段であるユニット引込み装置６１（図１０乃至図１３参照）が設けられている。各ユニット引込み装置６１は、部品供給ユニット１１を引き込む引込みアーム６２と、該引込みアーム６２を駆動するエアシリンダ６４とから構成され、該エアシリンダ６４のロッド６５を奥方向（部品供給ユニット１１の挿入方向）に向けた状態で、該エアシリンダ６４の底部側（ロッド６４とは反対側）が支持軸６６を介して部品実装機２０の本体フレーム２０ａ側に固定された取付金具６７に回動可能に支持され、該支持軸６６を支点にしてロッド６５側が上下動できるようになっている。このエアシリンダ６４のロッド６５と引込みアーム６２との間がリンク機構６８で連結されている。引込みアーム６２は、部品実装機２０の本体フレーム２０ａ側に固定された取付金具６９に回動軸７０を介して回動可能に支持され、該引込みアーム６２の先端部には引込みローラ７１が回転可能に設けられている。エアシリンダ６４のロッド６５の突出／引込み動作により引込みアーム６２が回動軸７０を中心にして挿入方向／取出し方向に回動して該引込みアーム６２の先端部の引込みローラ７１が挿入方向／取出し方向に旋回するようになっている。
【００２８】
これに対応して、部品供給ユニット１１の左右両側面に固定された固定部材６０には、図１０及び図１１に示すように、２箇所の当接壁部７３，７４が引込みアーム６２の先端部の引込みローラ７１を挟んで前後両側に位置するように形成されている。これにより、図１２に示すように、ユニット引込み装置６１のエアシリンダ６４のロッド６５が引っ込んだ状態では、図１０に示すように、引込みアーム６２の引込みローラ７１が取出し方向側（反挿入方向側）の当接壁部７３に当接して、該引込みアーム６２が取出し方向側に回動することで、部品供給ユニット１１が取出し方向に押し出されようになっている。一方、図１３に示すように、ユニット引込み装置６１のエアシリンダ６４のロッド６５が挿入方向側に突出した状態では、図１１に示すように、引込みアーム６２の引込みローラ７１が挿入方向側の当接壁部７４に当接して、該引込みアーム６２が挿入方向側に回動することで、部品供給ユニット１１が挿入方向に引き込まれるようになっている。
【００２９】
部品実装機２０のユニット取付スペース２１の左右両側面には、それぞれ部品供給ユニット１１の荷重を受け支える受け部材７６（図１０及び図１１参照）が前後２箇所に設けられ、図１１に示すように、部品供給ユニット１１の左右両側面の固定部材６０の前後両端部をそれぞれ受け部材７６上に載せることで、部品供給ユニット１１の高さが位置決めされて該部品供給ユニット１１の荷重が受け部材７６で受け支えられ、この状態で、クランプ爪５７で固定部材６０を受け部材７６との間に挟み付けることで、固定部材６０をクランプして部品供給ユニット１１の取付状態を保持できるようになっている。
【００３０】
部品供給ユニット１１の所定位置には、通信線及び／又は電源線のコネクタ８１（図１４参照）が設けられている。これに対応して、部品実装機２０のユニット取付スペース２１の所定位置には、部品供給ユニット１１のコネクタ８１に部品実装機２０の通信線及び／又は電源線のコネクタ８２を接続するコネクタ接続装置８３（図１５参照）が設けられている。このコネクタ接続装置８３は、駆動源となるエアシリンダ８４のロッドの先端部にコネクタ８２が取り付けられ、該コネクタ８２の上下両側にそれぞれ位置決めピン８５が差し込み接続方向に突出するように設けられている。これに対応して、部品供給ユニット１１のコネクタ８１の上下両側にそれぞれ位置決め孔８６が形成されている。部品供給ユニット１１のクランプ後に、コネクタ接続装置８３のエアシリンダ８４を作動させてそのロッドを突出させることで、部品実装機２０側の位置決めピン８５を位置決め孔８６に挿入して部品実装機２０側のコネクタ８２を部品供給ユニット１１側のコネクタ８１に位置合わせして両者を接続するようにしている。
【００３１】
一方、部品実装機２０のユニット取付スペース２１の所定位置には、該ユニット取付ス
ペース２１への部品供給ユニット１１の挿入作業の完了を確認する挿入確認センサ９１（図１６参照）と、ユニット持上げ装置５２による部品供給ユニット１１の持上げ動作の完了を確認する持上げ確認センサ９２（図１６参照）と、ユニット引込み装置６１による部品供給ユニット１１の引込み動作の完了を確認する引込み確認センサ９３（図１６参照）とが設けられている。各確認センサ９１〜９３は、それぞれ非接触式センサ（例えば近接センサ、光センサ、赤外線センサ、光電センサ等）又は接触式センサ（例えばリミットスイッチ、接触式変位センサ等）により構成されている。各確認センサ９１〜９３の出力信号は、部品実装機２０の制御装置９５に入力される。この部品実装機２０の制御装置９５には、各種情報を表示する表示装置９６や、キーボード、マウス、タッチパネル等の入力装置９７が接続されている。
【００３２】
また、部品実装機２０には、ユニット取付スペース２１に挿入した部品供給ユニット１１を自動クランプするための自動クランプスイッチ９８（取付操作スイッチ）と、そのクランプを解除するクランプ解除スイッチ９９（取り外し操作スイッチ）がユニット取付スペース２１の入口側の作業者の手の届く位置に設けられ、自動クランプスイッチ９８とクランプ解除スイッチ９９の信号も部品実装機２０の制御装置９５に入力される。その他、各確認センサ９１〜９３で確認した情報を表示するランプ又は表示パネル等が設けられている。これらの情報は、部品実装機２０の表示装置９６に表示しても良いし、或は、音声で作業者に知らせても良い。また、自動クランプスイッチ９８及び／又はクランプ解除スイッチ９９を省略して、部品実装機２０の制御装置９５に接続された入力装置９７の操作によって自動クランプ及び／又はクランプ解除の実行指令を制御装置９５に入力するようにしても良い。
【００３３】
部品実装機２０の制御装置９５（制御手段）は、図１７の自動クランプ動作制御プログラムを実行することで、各確認センサ９２〜９４と自動クランプスイッチ９８等の出力信号に基づいて、ユニット持上げ装置５２、ユニット引込み装置６１及びコネクタ接続装置８３の動作を制御して、部品実装機２０のユニット取付スペース２１に挿入した部品供給ユニット１１を自動的にクランプする。これにより、作業者は、部品供給ユニット１１を部品実装機２０のユニット取付スペース２１に挿入して自動クランプスイッチ９８をＯＮ操作するだけで良く、自動クランプスイッチ９８のＯＮ操作後は、図１７の自動クランプ動作制御プログラムに従って部品供給ユニット１１が自動的にクランプされる。以下、図１７の自動クランプ動作制御プログラムの処理内容を説明する。
【００３４】
図１７の自動クランプ動作制御プログラムは、部品実装機２０の制御装置９５の電源がＯＮされた後に起動される。本プログラムが起動されると、まずステップ１０１で、挿入確認センサ９１がＯＮするまで（つまりユニット取付スペース２１への部品供給ユニット１１の挿入作業が完了するまで）、待機する。この後、挿入確認センサ９１がＯＮして部品供給ユニット１１の挿入作業の完了が確認された時点で、ステップ１０２に進み、ランプの点灯又は点滅、或は、表示パネル等の表示、又は音声によって、部品供給ユニット１１の挿入作業が完了したことを作業者に知らせて、自動クランプスイッチ９８をＯＮ操作するように作業者に促す。
【００３５】
この後、ステップ１０３に進み、作業者が自動クランプスイッチ９８をＯＮ操作するまで待機する。そして、作業者が自動クランプスイッチ９８をＯＮ操作した時点で、ステップ１０４に進み、ユニット持上げ装置５２を上昇動作させることで、部品供給ユニット１１を持ち上げる。
【００３６】
この後、ステップ１０５に進み、持上げ確認センサ９２がＯＮするまで部品供給ユニット１１の持上げ動作を継続する。そして、持上げ確認センサ９２がＯＮして部品供給ユニット１１の持上げ動作の完了が確認された時点で、ステップ１０６に進み、ユニット引込
み装置６１を引込み動作させることで、部品供給ユニット１１を挿入方向に引き込む。
【００３７】
この後、ステップ１０７に進み、引込み確認センサ９３がＯＮするまで部品供給ユニット１１の引込み動作を継続する。そして、引込み確認センサ９３がＯＮして部品供給ユニット１１の引込み動作の完了が確認された時点で、ステップ１０８に進み、ユニット持上げ装置５２を下降動作させることで、部品供給ユニット１１を下降させる。これにより、図１１に示すように、部品供給ユニット１１の左右両側面の固定部材６０が部品実装機２０側の受け部材７６上に載せられることで、部品供給ユニット１１の高さが位置決めされて該部品供給ユニット１１の荷重が受け部材７６で受け支えられ、この状態で、クランプ爪５７で固定部材６０が受け部材７６との間に挟み付けられて部品供給ユニット１１がクランプされた状態となる。
【００３８】
この後、ステップ１０９に進み、コネクタ接続装置８３のエアシリンダ８４を作動させてそのロッドを突出させることで、部品実装機２０側のコネクタ８２を部品供給ユニット１１側のコネクタ８１に差し込み接続し、本プログラムを終了する。これにより、部品供給ユニット１１のクランプが完了する。
【００３９】
その後、部品実装機２０から部品供給ユニット１１を取り外す場合は、作業者がクランプ解除スイッチ９９をＯＮ操作すれば、上述した自動クランプ動作とは逆の順序で自動的に部品供給ユニット１１のクランプが次のようにして解除される。
【００４０】
クランプ解除動作が開始されると、まず、コネクタ接続装置８３のエアシリンダ８４のロッドを引っ込めることで、部品実装機２０側のコネクタ８２を部品供給ユニット１１側のコネクタ８１から抜き外した後、ユニット持上げ装置５２を上昇動作させて、クランプ爪５７を上昇させて固定部材６０のクランプを解除して部品供給ユニット１１を持ち上げる。
【００４１】
そして、持上げ確認センサ９２がＯＮして部品供給ユニット１１の持上げ動作の完了が確認された時点で、ユニット引込み装置６１を押出し動作させることで、部品供給ユニット１１を取出し方向に押し出す。この部品供給ユニット１１の押出し動作の完了が確認された時点で、ユニット持上げ装置５２を下降動作させることで、部品供給ユニット１１を下降させる。
【００４２】
この部品供給ユニット１１の下降動作が完了すると、挿入確認センサ９１がＯＮして、ランプの点灯又は点滅、或は、表示パネル等の表示、又は音声によって、部品供給ユニット１１の自動クランプ解除動作が完了したことを作業者に知らせて、部品実装機２０のユニット取付スペース２１から部品供給ユニット１１を引き出すように作業者に促す。この後、作業者は、部品供給ユニット１１の把手等を手でつかんで引っ張ることで、部品実装機２０のユニット取付スペース２１から部品供給ユニット１１を引き出すことができる。
【００４３】
尚、部品供給ユニット１１の押出し動作の完了の確認のために、押出し確認センサ（非接触式センサ又は接触式センサ）を設けるようにしても良い。
【００４４】
以上説明した本実施例によれば、部品実装機２０のユニット取付スペース２１に挿入した部品供給ユニット１１を自動的にクランプする自動クランプ機構を設けた構成としたので、部品実装機２０のユニット取付スペース２１の床面が平坦でなかったり、傾いている場合でも、その床面にスロープ等を設置する必要がないばかりか、作業者が各キャスタ２４の高さを調整して部品供給ユニット１１の水平度を調整する作業を行う必要がなく、作業者は、部品供給ユニット１１を部品実装機２０のユニット取付スペース２１に挿入する作業を行うだけで良く、その後は、ユニット持上げ装置５２により該部品供給ユニット１
１を持ち上げて、ユニット引込み装置６１により該部品供給ユニット１１を部品実装機２０の内部に引き込んで、該部品供給ユニット１１を該ユニット持上げ装置５２により所定の高さ位置まで下降させて、該部品供給ユニット１１を部品実装機２０に対して位置決めしてクランプ爪５７でクランプするという一連の動作を自動的に行うことができる。これにより、部品供給ユニット１１の取付作業の労力軽減と作業時間短縮を実現できると共に、スロープを使用せずに部品供給ユニット１１を部品実装機２０のユニット取付スペース２１に挿入できるため、部品供給ユニット１１を部品実装機２０のユニット取付スペース２１に挿入する作業も容易となり、作業時の装置破損を極力防止できると共に、比較的狭い作業スペースでも部品供給ユニット１１の取付作業を行うことができ、省スペース化も実現できる。
【００４５】
しかも、本実施例では、部品供給ユニット１１をキャスタ２４に対して上下動可能に支持させると共に、該キャスタ２４を支持する脚部１２には、ユニット持上げ装置５２による部品供給ユニット１１の持上げ力を補助するスプリング１４を設けるようにしたので、部品供給ユニット１１の重量が重くても、ユニット持上げ装置５２による部品供給ユニット１１の持上げ力をスプリング１４の弾発力によって補助することができて、ユニット持上げ装置５２の持上げ力を軽減することができ、ユニット持上げ装置５２のコンパクト化が可能となる。
【００４６】
更に、本実施例では、ユニット持上げ装置５２の昇降部材５５の上端部にクランプ爪５７（クランプ手段）を設けて、部品実装機２０側の受け部材７６上に部品供給ユニット１１側の固定部材６０を載せて該部品供給ユニット１１を該受け部材７６に支持させた状態でユニット持上げ装置５２によりクランプ爪５７を下降させて該クランプ爪５７で該固定部材６０を該受け部材７６との間に挟み込んでクランプするように構成したので、クランプ爪５７の動力源としてユニット持上げ装置５２の動力源（エアシリンダ５３）を利用することができ、クランプ手段の構成を簡単化できる。
【００４７】
但し、本発明は、この構成に限定されず、クランプ手段を専用の動力源で駆動するようにしても良い。
【００４８】
また、上記実施例では、ユニット持上げ装置５２、ユニット引込み装置６１、コネクタ接続装置８３、クランプ部材の駆動源として、エアシリンダを用いたが、油圧シリンダやモータ等の他のアクチュエータを用いても良い。
【００４９】
また、部品実装機２０のユニット取付スペース２１に取り付ける部品供給ユニットは、ダイ（ウエハ部品）を供給する部品供給ユニット１１のみに限定されず、例えば、台車に多数のテープフィーダを搭載した部品供給ユニット、マガジン内にトレイ部品を積載したトレイパレットを多段に収納した部品供給ユニット、ウエハ部品を載せたウエハパレットとトレイ部品を載せたトレイパレットとを多段に混載した部品供給ユニット等を取り付ける場合も、本発明を同様に適用して実施できる。
【００５０】
その他、本発明は、ユニット持上げ装置５２、ユニット引込み装置６１、コネクタ接続装置８３、クランプ手段（クランプ部材）の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５１】
１１…部品供給ユニット、１２…脚部、１４…スプリング（持上げ力補助手段）、１５…固定パイプ、２０…部品実装機、２０ａ…本体フレーム、２１…ユニット取付スペース、２４…キャスタ、３０…ウエハ張設体、３１…ダイ、３２…ウエハパレット、３４…ダイシングシート、４１…吸着ヘッド、４３…ユニット挿入ガイドレール、４５…挿入位置
決め摺動部材、５１…部品供給ユニットの制御装置、５２…ユニット持上げ装置（ユニット持上げ手段）、５３…エアシリンダ、５５…昇降部材（クランプ部材）、５６…支持ローラ、５７…クランプ爪（クランプ部材）、６０…固定部材、６１…ユニット引込み装置（ユニット引込み手段）、６２…引込みアーム、６４…エアシリンダ、７１…引込みローラ、７３，７４…当接壁部、７６…受け部材、８１，８２…コネクタ、８３…コネクタ接続装置、８４…エアシリンダ、８５…位置決めピン、８６…位置決め孔、９１…挿入確認センサ、９２…持上げ確認センサ、９３…引込み確認センサ、９５…部品実装機の制御装置（制御手段）、９６…表示装置、９７…入力装置、９８…自動クランプスイッチ、９９…クランプ解除スイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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