(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に円錐形テーパを有する電極、電極の円錐形テーパに嵌合する耐圧シール用の嵌合面を有し電極が嵌挿される電極用アダプタ、先端に円錐形テーパを有する流体用配管、流体用配管の円錐形テーパに嵌合するシール用の嵌合面を有し流体用配管が嵌挿される配管用アダプタ、前記電極用アダプタおよび配管用アダプタの電極および流体用配管の嵌挿部の裏側に設けられる嵌合面に嵌合する嵌合面を有する凹所とマイクロ流路を有するセル本体とを備え、
前記電極が、電極用配管内に電極用細線および電極用配管−電極細線間に金属酸化物絶縁層を有し、
前記マイクロ流路の内径が１.０ｍｍ以下、前記電極の電極細線の外径が１.０ｍｍ以下であり、
前記マイクロ流路に前記流体用配管を介して外部から流入させた流体場での電気化学測定を行うことを特徴とする耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセル。
【請求項２】
前記セル本体が、ニッケル、鉄、チタン、タンタルおよびそれらを主とする合金またはそれら合金の流体側にチタン、タンタル、アルミニウムの層またはそれらの酸化物層を有する構造であり、当該構造により耐食性や絶縁性を確保することを特徴とする請求項１に記載の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセル。
【請求項３】
前記電極用アダプタおよび配管用アダプタが、ニッケル、鉄、チタン、タンタルおよびそれらを主とする合金またはそれら合金の流体側にチタン、タンタル、アルミニウムの層またはそれらの酸化物層を有する構造であり、当該構造により耐食性や絶縁性を確保することを特徴とする請求項１に記載の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセル。
【請求項４】
前記流体用配管が、ニッケル、鉄、チタン、タンタルおよびそれらを主とする合金またはそれら合金の内側にチタン、タンタル、アルミニウムの層またはそれらの酸化物層を有する構造であり、当該構造により耐食性や絶縁性を確保することを特徴とする請求項１に記載の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセル。
【請求項５】
前記電極用配管が、ニッケル、鉄、チタン、タンタルおよびそれらを主とする合金またはそれら合金の内側にチタン、タンタル、アルミニウムの層またはそれらの酸化物層を有する構造であり、当該構造により耐食性や絶縁性を確保することを特徴とする請求項１に記載の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセル。
【請求項６】
前記電極用配管および流体用配管外周に設置されたフランジをボルトにより押すことで、前記電極および流体用配管先端の耐圧シールのための円錐形テーパ部を前記電極用アダプタおよび配管用アダプタに押しつけ、さらに前記電極用アダプタおよび配管用アダプタを前記セル本体の前記嵌合面を有する凹所に押しつけることにより耐圧シールを維持することを特徴とする請求項１に記載の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセル。
【請求項７】
前記電極用アダプタおよび配管用アダプタにおける前記電極および流体用配管の嵌挿部の外周がネジ加工されていることにより、高温高圧下での使用により前記セル本体と前記電極用アダプタおよび配管用アダプタ間が焼付いた場合であっても、外部からネジを利用して容易に前記電極用アダプタおよび配管用アダプタを前記セル本体から外すことが可能であることを特徴とする請求項１に記載の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセル。
【請求項８】
使用温度が１５０℃〜５５０℃であることを特徴とする請求項１に記載の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセル。
【請求項９】
使用圧力が１ＭＰａ〜１００ＭＰａであることを特徴とする請求項１に記載の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高温場、高圧場、高温高圧場での電気化学測定や電気化学反応の関与する分析装置や反応装置等に用いられる耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルに関する。
【背景技術】
【０００２】
高温高圧流体は、温度圧力操作により流体物性を大幅かつ連続的に変化させることができる。特に高温高圧水は、環境負荷が極めて低いことに加えて、有機溶媒の代替機能、酸塩基触媒機能を有する。そのため、ナノ材料の合成や有機合成・変換の新規な環境調和型反応場として期待できる。一方で、高温高圧水場は自然界において、地球内部でのマントル付近、海底の熱水噴出孔などに存在する。マントル付近での高温高圧水と鉱物の相互作用は地球活動と密接に関連している。熱水噴出孔付近の高温高圧水中では、初期生命が誕生した可能性が指摘されている。このように高温高圧流体場は、材料合成場としてだけでなく地球の活動から生命の起源に至る幅広い分野で興味深い場として古くから注目を集めている。高温高圧流体場での現象の定量的な理解や予測のためには、水溶液のｐＨ、電気伝導度、相平衡に代表される物性データが不可欠となる。また、装置用金属の腐食挙動の把握においては腐食電位データなどが重要となる。これらデータの蓄積には、電気化学測定法が有効である。さらに、高温高圧流体と電気化学反応やプラズマなどとの融合は、新規な材料製造プロセスに繋がる可能性を秘めている。
流体操作におけるマイクロメートルサイズの空間(流路)の利用は、熱交換や混合の高速化、温度、滞在時間、流動状態の精密制御、耐圧性の向上という特徴を持つ。そのため、分析や反応の高速化、効率化が期待でき、その空間を利用するための装置（マイクロ流体デバイス）開発を含めて、積極的な研究が進められてきた。
【０００３】
高温高圧流体場で電気化学的な測定や反応を実施するための電極としては、以下のようなものが知られている。なお、高温高圧流体中への電極の設置において、合金で作製される装置と電極間の絶縁と電極自体の耐圧シールが最大の課題である。３００℃程度までの条件では絶縁性に優れたシール材としてテフロン（登録商標）などが一般的であり、高温高圧装置に直接固定・設置する方法が広く使用されている（非特許文献１参照）。
一方で３００℃以上では、高温高圧装置に接続された高圧配管や冷却ジャケットなどを介して設けられる常温部で耐圧シールし、電極線の先端測定部を装置内高温部に挿入する方法が用いられている（非特許文献２、３、４参照）。
しかし、あくまで内容積や配管径の大きな特定の高温高圧装置への設置を目的としており、マイクロ流体デバイスへの設置は構造上不可能である。
【０００４】
高温高圧流体場で使用するマイクロ流体デバイスは、通常、マイクロメートルサイズの流路を有する継手や配管の接続により構成される。耐熱耐圧構造を有する継手としては、流路内径が０.３〜０.８ｍｍのＴ型継手、中心衝突流利用型継手、旋回流利用型継手が広く知られている（非特許文献５、特許文献１、非特許文献６参照）。
また、耐食構造を有するマイクロ流体デバイスとしては、耐食材としてチタンを、耐熱耐圧材としてインコネル６２５を用いた二重構造で、流路内径が０.５ｍｍ程度のＴ型継手やチタン内張管が知られている（特許文献２、３参照）。
マイクロ流体デバイスへの電極の設置については、マイクロ流路を加工したアクリル樹脂、ガラス、シリコン、ピーク製などからなる基板内に、白金などからなる薄膜電極を配置することで作製される（特許文献４、５参照）。
様々なタイプの電気化学測定や反応を可能とするマイクロ流路デバイスが提案されているが、あくまで常温常圧付近での使用を想定したものであり、高温高圧での使用は構造上不可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０―０７５９１４号公報
【特許文献２】特開２００８−１２８２５５号公報
【特許文献３】特開２０１０−０６９４７４号公報
【特許文献４】特開２００５−０３１０４９号公報
【特許文献５】特開２００８−０２６１４５号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】Palmer, Geochimica etCosmochimica Acta, 65(2001) 2081-2095.
【非特許文献２】Goemans, Journal ofSupercritical Fluids, 11(1997) 61-72.
【非特許文献３】Sue, Review of ScientificInstruments, 72(2001) 4442-4448.
【非特許文献４】Sue, Journal of SupercriticalFluids, 39(2006) 271-276.
【非特許文献５】Sue, Chemical EngineeringJournal, 166(2011) 947-953.
【非特許文献６】Kawasaki, Journal of OleoScience, 59(2010) 557-562.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明者らは、上記従来技術に鑑みて以下の事項を満たす新しい技術を提供することを目的として鋭意研究を重ねた。
（１）高温高圧腐食性流体中での電気化学測定や電気化学反応を正確に実施するため、セル本体は特に温度や滞在時間を厳密に制御可能なマイクロ流路（流路内径１.０ｍｍ以下）を有しつつ、耐熱耐圧耐食性に優れ、さらに温度制御や安全性の点から過大でない構造を有すること。
（２）マイクロ流路内に電極線を挿入、固定することが可能なマイクロ電極を有すること。電極線を周囲と絶縁環境に設置可能であること。なお、マイクロ電極は電極の消耗や汚染時の交換を前提とした脱着式であること。また、マイクロ電極自体が耐熱耐圧耐食性に優れた構造を有すること。さらに、温度制御や安全性の点から、セル本体と比較してマイクロ電極部が過大な構造をとらないこと。
（３）高温高圧腐食性流体操作では溶液の汚染軽減のため流通式手法が有効であるため、セル本体には溶液の流入および流出用の少なくとも２箇所の配管接続部を有すること。さらに、温度制御や安全性の点から、セル本体と比較して配管部が過大な構造をとらないこと。なお配管としては外径が４ｍｍ以下好ましくは１.５９ｍｍのものが望ましい。
（４）セル本体とマイクロ電極および配管接続部の耐圧シール構造は同一とし、セルの作製コストを最小限とすること。
（５）高温高圧環境および酸塩基や塩などの共存した腐食性環境での使用が想定されるため、接液部は全て耐食性構造を有すること。
その結果、セル本体をマイクロ流路を有する耐食性金属部と耐熱耐圧性を維持する金属部に分けた構造とし、セル本体のマイクロ電極および配管の接続部の構造を円錐形のテーパ面を有するアダプタを介した耐圧シール構造として統一しつつ容易に着脱可能な構造とし、さらに、マイクロ電極を耐熱耐圧性配管内に電極線および絶縁層を形成させた構造とし、接液部全てを耐食構造としつつ、外部を耐熱耐圧構造とすることで、所期の目的を達成し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
本発明は、上記の問題点に着目してなされたもので、耐熱耐圧耐食性に優れた電気化学マイクロセルを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルは、先端に円錐形テーパを有する電極、電極の円錐形テーパに嵌合する耐圧シール用の嵌合面を有し電極が嵌挿される電極用アダプタ、先端に円錐形テーパを有する配管、配管の円錐形テーパに嵌合する耐圧シール用の嵌合面を有し配管が嵌挿される配管用アダプタ、前記電極用アダプタおよび配管用アダプタの電極および配管の嵌挿部の裏側に設けられる嵌合面に嵌合する嵌合面を有する凹所とマイクロ流路を有するセル本体とを備え、前記電極が、配管内に電極用細線および配管−電極細線間に金属酸化物絶縁層を有し、前記マイクロ流路の内径が１.０ｍｍ以下、前記電極の電極細線の外径が１.０ｍｍ以下であり、前記マイクロ流路に配管を介して外部から流入させた流体場での電気化学測定を行うことを特徴とする。
また、本発明は、上記耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルにおいて、前記セル本体が、ニッケル、鉄、チタン、タンタルおよびそれらを主とする合金またはそれら合金の流体側にチタン、タンタル、アルミニウムの層またはそれらの酸化物層を有する構造であり、当該構造により耐食性または絶縁性を確保することを特徴とする。
また、本発明は、上記耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルにおいて、前記アダプタが、ニッケル、鉄、チタン、タンタルおよびそれらを主とする合金またはそれら合金の流体側にチタン、タンタル、アルミニウムの層またはそれらの酸化物層を有する構造であり、当該構造により耐食性や絶縁性を確保することを特徴とする。
また、本発明は、上記耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルにおいて、前記配管部が、ニッケル、鉄、チタン、タンタルおよびそれらを主とする合金またはそれら合金の内側にチタン、タンタル、アルミニウムの層またはそれらの酸化物層を有する構造であり、当該構造により耐食性や絶縁性を確保することを特徴とする。
また、本発明は、上記耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルにおいて、前記電極に用いる配管部が、ニッケル、鉄、チタン、タンタルおよびそれらを主とする合金またはそれら合金の内側にチタン、タンタル、アルミニウムの層またはそれらの酸化物層を有する構造であり、当該構造により耐食性や絶縁性を確保することを特徴とする。
また、本発明は、上記耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルにおいて、前記電極および配管外周に設置されたフランジをボルトにより押すことで、電極および配管先端の耐圧シールのための円錐形テーパ部をアダプタに押しつけ、さらにアダプタを前記セル本体接続部に押しつけることにより耐圧シールを維持することを特徴とする。
また、本発明は、上記耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルにおいて、前記アダプタにおける電極および配管嵌挿部の外周がネジ加工されていることにより、高温高圧下での使用によりデバイス本体とアダプタ間が焼付いた場合であっても、外部からネジを利用して容易にアダプタをデバイス本体から外すことが可能であることを特徴とする。
また、本発明は、上記耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルにおいて、使用温度が１５０℃〜５５０℃であることを特徴とする。
また、本発明は、上記耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルにおいて、使用圧力が１ＭＰａ〜１００ＭＰａであることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルにより、次のような格別の効果が奏される。
（１）セルは温度や滞在時間を厳密に制御可能なマイクロ流路(内径１.０ｍｍ以下）を有しつつ、耐熱耐圧耐食性に優れ、さらに温度制御や安全性の点から過大でない構造を有するため、高温高圧腐食性流体中での電気化学測定や電気化学反応を安全かつ正確に実施することができる。
（２）マイクロ電極は、電極線自体が周囲と絶縁環境に設置され、電極線を含む電極部全体が耐熱耐圧耐食性に優れた構造を有し、セル本体と比較してマイクロ電極部が過大とならない構造を有し、電極線をマイクロ流路内に挿入、固定することが可能であるとともに、脱着式であるため電極の消耗や汚染時に容易に交換することが可能で、高温高圧腐食性流体中での電気化学測定や電気化学反応を安全かつ正確に実施することができる。
（３）セルは、溶液の流入および流出用の少なくとも２箇所の配管接続部を有し、溶液の汚染を最小限に抑えつつ、高温高圧腐食性流体中での電気化学測定や電気化学反応を安全かつ正確に実施することができる。
（４）セル本体とマイクロ電極および配管接続部の耐圧シール構造は同一であるため、セルの作製コストを最小限とすることができる。
（５）接液部は全て耐食性構造であるため、高温高圧環境および酸塩基や塩などの共存した腐食性環境での使用でも長時間の安定性が保障できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルの一例である実施例１を説明する図である。
【図２】図１の実施例１の配管および電極、アダプタ、本体の嵌合部の詳細を説明する図である。
【図３】本発明の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルの実施例２を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、実施例１〜２に基づいて、本発明の「耐熱耐圧耐食性に優れた電気化学マイクロセル」を具体的に説明するが、本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。
【実施例】
【００１２】
（実施例１）
図１は本発明の実施例１を示す図であり、マイクロ電極を２箇所、温度センサ（白金測温抵抗体）を１箇所、配管を２箇所に接続し、高温高圧腐食性流体の温度を正確に測定し制御した後、２つの電極を用いて高温高圧腐食性流体の電気伝導度を測定することを想定した電気化学マイクロセルである。本電気化学マイクロセルは、セル本体、配管接続用アダプタ、電極接続用アダプタ、温度センサ挿入用アダプタ、温度センサ挿入用アダプタ固定スペーサ、配管、ボルトより構成される。また、図２には配管および電極、アダプタ、本体の嵌合部の詳細を示す。
セル本体の電極、配管、温度センサ接続部、電極および配管の先端部には耐圧シール用の円錐テーパ構造が作製されている。電極および配管は、電極および配管側とセル本体側の両側に耐圧シール用の円錐テーパ構造を有する「電極接続用アダプタ」および「配管接続用アダプタ」を介して、接続および耐圧シールされる。なお、「配管接続用アダプタ」には０.５ｍｍの流路が加工されている。「電極接続用アダプタ」は流路径が０.７ｍｍである以外は、「配管接続用アダプタ」と同形状である。電極および配管にはフランジが固定されており、ボルトを締め付けることによりフランジを用いてアダプタのシール面に押し付けられ、さらに、アダプタのシール面がセル本体に押し付けられる仕組みとなっている。
【００１３】
電極は、以下の手順で作製した。耐熱耐圧性を有するインコネル６２５製配管（１.５９ｍｍ外径、０.８ｍｍ内径）に対して、電極用白金線（直径０.４ｍｍ）周囲にアルミナゾルを付着させた後に挿入して、電極線を配管中心に仮固定した。その後、チタニアスラリを上部から導入し、空隙部に充填した。その後、配管周囲を加熱器により３００℃に加熱した状態で、チタニアゾル（結晶子径５ｎｍ、０.０１ｍｏｌ／ｋｇ）を４５ＭＰａの定圧モードで６０分間供給することで残っている微細な空隙部を埋めた。常圧に戻した後、同加熱器により５００℃に加熱することで絶縁層を強固に結晶化させてマイクロ電極を作製した。セル本体との接続のため、インコネル６２５製配管の先端部に耐圧シール用の円錐テーパ構造を加工するとともに、フランジを取り付けた。
温度センサ接続部は、セル本体側に「配管接続用アダプタ」の設置個所と同形状のテーパ構造が形成され、また「温度センサ挿入用アダプタ」のデバイス本体との接触部にも「配管接続用アダプタ」と同形状のテーパ構造が形成されている。また、「温度センサ挿入用アダプタ」は「配管接続用アダプタ」の流路を封じつつ、挿入側の形状を温度センサの挿入および固定に適した凹構造となっている。この構造により温度センサ自体に外圧を加えることなく、セル内の高温高圧流体に極めて近い位置で温度測定を実施することが可能となる。なお、「温度センサ挿入用アダプタ」はドーナツ型の「温度センサ挿入用アダプタ固定スペーサ」を用いてアダプタをセル本体に押し付けることで、電極や配管の接続部と同様にボルトで固定、耐圧シールすることができる。
【００１４】
電極、配管、セル本体、アダプタの接液部は全て耐食性に優れたチタン、チタニア、アルミナ製であり、外部は耐熱耐圧性に優れるインコネル６２５製である。流路径は全て０.５ｍｍである。
ボルトと電極および配管のフランジ間には、ボルト締め付け時に電極や配管が回転して耐圧シール部に傷が付くのを回避するためにステンレス製のワッシャを２枚挟み込む構造となっている。
３種のアダプタの外周部にはネジ加工がされており、焼付きなどによりセル本体からのアダプタの取り外しが困難となった場合、専用治具を用いて外部から容易に取り外しすることが可能である。
【００１５】
本セルは、電極間に通電することによる高温高圧流体中での電気化学反応を利用した物質合成・変換や、電極を合金に変えることにより腐食電位測定などへも流用可能である。
【００１６】
（実施例２）
図３は本発明の実施例２を示す図であり、マイクロ電極（１および２）を２箇所、温度センサ（白金測温抵抗体１〜３）を３箇所、配管を３箇所に接続し、高温高圧腐食性流体として参照液（高温高圧下での水素イオン活量既知）と被検液（水素イオン活量未知）をそれぞれ左右から供給し、温度センサ（白金測温抵抗体１および２）によりそれぞれの流入液の温度を正確に測定し制御した後、２つの電極部をそれぞれ通過させ、二液をセル中央部で混合後、混合液の温度を測定した後、セル外へ連続的に排出する構造を有し、この間の二液間の電極電位差を測定し、最終的に高温高圧下での被検液中の水素イオン活量を決定することを想定した電気化学マイクロセルである。
デバイス本体以外の各部品の構造は上記実施例１と同様である。
【産業上の利用可能性】
【００１７】
本発明の耐熱耐圧耐食性電気化学マイクロセルによれば、マイクロ流路を用いた、高温場、高圧場、高温高圧場での電気化学測定や電気化学反応の関与する分析装置や反応装置等に用いることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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