(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁式のアクチュエータ（２００）であって、該アクチュエータ（２００）が、
磁極コア（６）を取り囲むコイル（２１４）を有する電磁石（２０１）と、
該電磁石（２０１）によって磁極コア（６）の方向に運動可能であるソレノイドアーマチュア（５）と
を有しており、
該ソレノイドアーマチュア（５）が、磁極コア（６）に向けられた載着面（１１）を有しており、
磁極コア（６）が、相応に向かい合って位置する対応載着面（１２）を有しているアクチュエータにおいて、
載着面（１１）および／または対応載着面（１２）が、対応載着面（１２）への載着面（１１）の直接的な接触を阻止しかつ接近運動を減衰する層（１）を有しており、
層（１）が、複数のウェブ（２）と、それぞれ２つの隣り合ったウェブ（２）の間に設けられた自由室（３）とを有しており、
自由室（３）は、該自由室（３）内に存在する媒体が、載着面（１１）と対応載着面（１２）との接近運動時に各自由室（３）の少なくとも一部領域で堰き止められて、対応載着面（１２）への載着面（１１）の接近運動を液圧的に減衰するように、ウェブ（２）によって成形されていることを特徴とする、電磁式のアクチュエータ。
【請求項２】
層（１）が、載着面（１１）および／または対応載着面（１２）に結合されている、請求項１記載の電磁式のアクチュエータ。
【請求項３】
層（１）が、均一な厚さを有している、請求項１または２記載の電磁式のアクチュエータ。
【請求項４】
層（１）が、載着面（１１）および／または対応載着面（１２）の表面に形成された凹部内に少なくとも部分的に挿入されていて、該凹部内に固定されており、層（１）の少なくとも一部が、対応載着面（１２）もしくは載着面（１１）の方向に突出している、請求項１から３までのいずれか１項記載の電磁式のアクチュエータ。
【請求項５】
層（１）が、少なくとも部分的に金属、複合材またはプラスチックから成っている、請求項１から４までのいずれか１項記載の電磁式のアクチュエータ。
【請求項６】
弁において、該弁が、
所定のばね力（Ｆｆ）を有するばね（１０１）と、
ばね力（Ｆｆ）に抗して作用可能なアクチュエータ力（Ｆａ）を有する、請求項１から５までのいずれか１項記載の電磁式のアクチュエータ（２００）と、
該アクチュエータ（２００）によって操作可能である弁部材（１０２，１０７）と、
該弁部材（１０２，１０７）に連接可能であるシールエレメント（１０３）と、
シール座（１０４）と
を有していて、シールエレメント（１０３）がシール座（１０４）に接触している場合に弁が閉鎖されており、
弁部材（１０２，１０７）は、アクチュエータ（２００）とばね（１０１）とに関して、弁がアクチュエータ力（Ｆａ）によってばね力（Ｆｆ）に抗して開放されるように配置されているかまたは弁がアクチュエータ（２００）の作動時にアクチュエータ力（Ｆａ）によってばね力（Ｆｆ）に抗して閉鎖されるように配置されており、
アクチュエータ（２００）が、
磁極コア（６）を取り囲むコイル（２１４）を有する電磁石（２０１）と、
該電磁石（２０１）によって磁極コア（６）の方向に運動可能であるソレノイドアーマチュア（５）と
を有しており、
該ソレノイドアーマチュア（５）が、磁極コア（６）に向けられた載着面（１１）を有しており、
磁極コア（６）が、相応に向かい合って位置する対応載着面（１２）を有していることを特徴とする、弁。
【請求項７】
請求項６記載の少なくとも１つの弁を備えた、内燃機関に用いられる噴射ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁式のアクチュエータ、このようなアクチュエータを備えた弁、特に燃料噴射ポンプに用いられる流入弁ならびにこのような弁を備えた噴射ポンプに関する。
【０００２】
電磁式のアクチュエータと、燃料噴射ポンプの内部に設けられた弁とは、特に国際公開第２０１３０９８２４９号に基づき公知である。
【０００３】
冒頭で述べた電磁式のアクチュエータおよび弁では、この弁の操作時に、電磁式のアクチュエータのソレノイドアーマチュアと磁極コアとの、互いに向かい合った面同士が衝突する。このことは、場合により、大きな運転騒音を引き起こすだけでなく、特に閉鎖速度が急速な弁の場合には、互いに衝突し合う表面に損傷を与えてしまう。結果として、場合により、弁の寿命もしくは使用期間が制限され、弁が比較的短いインターバルで検査または交換されなければならなくなってしまう。公知先行技術では、電磁弁において、この問題に電磁石の制御の最適化によって対処することが試みられている。
【０００４】
本発明の課題は、公知の弁よりも騒音放出が少ないと共に使用期間が長く、同時に廉価に製造することができる電磁式のアクチュエータを提供することである。さらに、本発明の課題は、このようなアクチュエータを備えた弁と、このような弁を備えた噴射ポンプとを提供することである。
【０００５】
これらの課題は、請求項１記載の電磁式のアクチュエータ、請求項８記載の弁ならびに請求項９記載の噴射ポンプによって解決される。
【０００６】
第１の態様によれば、電磁式のアクチュエータが、特に磁極コアを取り囲むコイルを有する電磁石と、この電磁石によって磁極コアの方向に運動可能である（ソレノイド）アーマチュアとを有しており、このソレノイドアーマチュアが、磁極コアに向けられた載着面を有しており、磁極コアが、相応に向かい合って位置する対応載着面を有している。
【０００７】
載着面および／または対応載着面は、対応載着面への載着面の直接的な接触を阻止しかつ接近運動を減衰する層を有している。
【０００８】
この層は、たとえば金属、複合材、たとえば炭素繊維、またはプラスチックから成っていてよい。「プラスチック」という概念には、固形の粒子の混加の有無にかかわらず、たとえば載着面および／または対応載着面に吹付け塗布されてもよいし、印刷されてもよい塗料、樹脂、着色剤等も含まれている。層は、種々異なる材料から成る複数の層または構成要素から形成されていてもよい。層は少なくとも部分的に、弾性変形可能な材料から形成されていてもよいし、このような材料を含んでいてもよい。
【０００９】
層は、所定の材料から成っていて、所定の形状を有しており、これによって、弁の閉鎖運動が層によって少なくとも液圧的、特に空圧的に減衰される。したがって、たとえば載着面への対応載着面の衝突時に発生する騒音も同時に有効に減衰することができる。これによって、弁騒音が低減される。層は、載着面への対応載着面の機械的な衝突の衝撃を減衰するので、弁における機械的な損傷が生じることはほとんどあり得なくなる。したがって、コスト節約的なより長い弁の使用期間を達成することができる。
【００１０】
減衰する層（以下、「減衰層」と呼ぶ）は、載着面および／または対応載着面に固く結合されていて、たとえば載着、接着または溶接されている。好適には、減衰層は、全体において均一な厚さを有している。減衰層が載着面および対応載着面に形成されている場合、両減衰層は、好適には、最大の接近時に重なり合わないように配置されている。
【００１１】
しかし、載着面および／または対応載着面は、表面に、減衰層が少なくとも部分的に挿入され、たとえば形状接続または付着によって保持される切欠きを有していてもよい。この切欠きの範囲内に減衰層は、切欠きの深さよりも大きい厚さを有していてよく、これによって、減衰層が、載着面および／または対応載着面の上面を越えて突出している。
【００１２】
減衰層の幾何学形状または形状は自由に選択可能であり、弁の使用に基づく必要性、たとえば所望の減衰特性および／または所望の剛性に適合させることができる。幾何学形状は、たとえば減衰層の形状が、弁の閉鎖時にこの弁を通って流れる媒体の流出をアシストするように選択されてよい。同時に、この媒体の流出は、設定された幾何学形状によって、閉鎖運動を液圧的に減衰することができる。
【００１３】
このためには、減衰層が、たとえば、複数のウェブと、それぞれ２つの隣り合ったウェブの間に設けられた自由室とを有していてよい。減衰層のウェブおよび自由室は、それぞれ同一のまたは異なる形状を有していてよい。好適には、１つの減衰層の全てのウェブおよび全ての自由室が同一に成形されている。自由室は、その内部に保たれている媒体が、載着面と対応載着面との接近運動による自由室からの流出時に圧縮されかつ／または加速させられるように成形されていてよい。たとえば、自由室は、流出の方向への、媒体を押し退けなければならない狭幅部を備えてポケット状に形成されていてよい。これによって、狭幅部ないし狭幅部付近での媒体の停滞による所望の液圧的な減衰が達成される。これによって、この領域での媒体の圧縮が可能となる。狭幅部内では、同時に、出口に向かって媒体が加速させられる。これによって、自由室からの媒体の完全な流出がアシストされる。
【００１４】
減衰層は、ウェブの領域に、閉じられた表面または構造化された表面、たとえば多数の突起を有していてよい。この表面は波形であってもよいし、歯形であってもよい。減衰層の表面が、閉じられた表面を有していない場合には、この表面の幾何学形状は、好適には、表面構造内に存在する材料、特に空気が、載着面と対応載着面との接近時に自由室内に押し退けられるように選択される。
【００１５】
ウェブ同士の間の自由室に減衰層の材料が存在することはできない。すなわち、この領域では、載着面および／または対応載着面に減衰層が設けられていない。減衰層は、択一的には、この減衰層に複数の凹部として形成されたにすぎない自由室を有していてよく、これによって、減衰層が、ウェブと自由室との合計に等しい大きさの底面積を有している。この大きな底面積は、載着面および／または対応載着面の面積との減衰層の載着・結合面積を成している。自由室の底部は、減衰層の表面に対して平行に延びていてよく、これによって、自由室が全体において等しい深さを有している。しかし、底部は、自由室のハウジング側の端部における最小の深さと、反対の側に位置する弁中心側の端部における最大の深さとを備えて、少なくとも部分的に傾いていてもよい。自由室の別の構成、たとえば、自由室の長手方向軸線に対して横方向の付加的な傾き成分を備えた底部、階段状の底部等も可能である。
【００１６】
すなわち、載着面と対応載着面との接近時に主として有効な減衰層を成すウェブの幾何学形状を介して、アクチュエータの機械的な減衰特性を調整することができる。ウェブの幾何学形状のパラメータは、たとえばウェブの厚さおよび形状であってよい。自由室の幾何学形状を介して、アクチュエータの液圧的なまたは空圧的な減衰特性を調整することができる。自由室のパラメータは、たとえば自由室の深さおよび形状であってよい。
【００１７】
第２の態様によれば、弁が、所定のばね力を有するばねと、ばね力に抗して作用可能なアクチュエータ力を有する、第１の態様に係るアクチュエータと、このアクチュエータによって操作可能である弁部材と、この弁部材に連接可能であるシールエレメントと、シール座とを有していて、シールエレメントがシール座に接触している場合に弁が閉鎖されている。
【００１８】
弁部材は、アクチュエータとばねとに関して、第１の変化態様によれば、弁がアクチュエータ力によってばね力に抗して開放することができるように配置されているかまたは、第２の変化態様によれば、弁がアクチュエータの作動時にアクチュエータ力によってばね力に抗して開放することができるように配置されている。第１の変化態様は、「通電されていない状態で閉鎖されている変化態様」とも呼ばれる。このような変化態様は、たとえば国際公開第２０１３０９８２４９号に図示されている。第２の変化態様は、相応して、「通電されていない状態で開放されている変化態様」と呼ばれる。第２の変化態様では、通電されていない状態で閉鎖されている変化態様と比較して、ソレノイドアーマチュアの配置が、弁部材の運動方向を基準として、磁極コアの配置と入れ換えられている。
【００１９】
特に複数の可能な実施の形態、特に減衰層の可能な幾何学形状を図面に基づき以下に示す。これらは、好適な複数の実施の形態のうちの１つの選択にすぎない。本発明は、図示の実施の形態に限定されるものではない。図面からしか認めることができない特徴または組み合わされた特徴も本発明の範囲に含まれており、個別でまたは示した組合せで本発明を有利に改良することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第２の態様に係る弁の内部に設けられた本発明の第１の態様に係るアクチュエータを示す図である。
【図２】第１の例示的な幾何学形状を有する層を示す図である。
【図３】第２の例示的な幾何学形状を有する層を示す図である。
【図４】第３の例示的な幾何学形状を有する層を示す図である。
【図５】第４の例示的な幾何学形状を有する層を示す図である。
【図６】第５の例示的な幾何学形状を有する層を示す図である。
【図７】第６の例示的な幾何学形状を有する層を示す図である。
【００２１】
図１には、弁１００が示してある。この弁１００は、特にポンプの流入弁である。ポンプは、特に高圧ポンプ、好ましくはラジアルピストンポンプとして形成されている。ポンプ内には、ポンプピストンが運動可能に支承されている。このポンプピストンの一端には、圧力室が位置している。この圧力室に流体を充填することができるようにするために、この圧力室は流入管路を有していて、この流入管路内に、好ましくは流入弁として形成された弁１００が配置されている。この弁１００は、好ましくはデジタル切換式の弁として形成されている。弁１００は、圧力室への流体充填を容易にし、弁１００が閉鎖されている場合には、流体の吐出の際に、流入管路内への流体の逆流を阻止するために調整されている。流体は圧力室から、たとえば流出管路を介して吐出することができる。
【００２２】
弁１００は、ばね１０１と、ピン１０２と、シールエレメント１０３とを有している。ばね１０１は、弁１００のアクチュエータ２００の磁極コア６に支持されていることにより、ピン１０２にシールエレメント１０３から離れる方向で予荷重を加える。ばね１０１はその第２の端部でソレノイドアーマチュアエレメント２０９に支持されている。このソレノイドアーマチュアエレメント２０９は、別のソレノイドアーマチュアエレメント２１０と共通して、ソレノイドアーマチュア５の一部である。
【００２３】
ピン１０２は長手方向に延ばされていて、磁極コア６を通る長手方向軸線Ｌに沿って延在している。ピン１０２は磁極コア６の一方の側でソレノイドアーマチュアエレメント２０９に連結されている。特にこのソレノイドアーマチュアエレメント２０９は溶接結合部１１１によってピン１０２に連結されている。ピン１０２は、磁極コア６の、長手方向軸線Ｌに沿った反対の側に張出し領域１０５を有している。ピン１０２は、弁１００のシール座１０４に近い方の別の張出し領域１０７も有している。
【００２４】
アクチュエータ２００は電磁石２０１を有している。この電磁石２０１は、特に磁極コア６を取り囲むように環状に配置されたコイル２１４を有している。このコイル２１４は長手方向軸線Ｌを同軸的に取り囲んでいる。この長手方向軸線Ｌに沿って、ソレノイドアーマチュア５と、これに続いて磁極コア６と、これに続いてシール座１０４とが配置されている。このシール座１０４の、アクチュエータ２００と反対の側に、シールエレメント１０３が配置されている。シール座１０４は少なくとも１つの貫通孔１１０を取り囲んでいる。シールエレメント１０３がシール座１０４に接触していない場合には、この貫通孔１１０を介して流体が流れることができる。特にこの流体は流体流入路１０８から貫通孔１１０を通って流体流出路１０９内に流れることができる。
【００２５】
電磁石２０１、特にコイル２１４に電流が流されるかもしくは電圧が印加されると、電磁石２０１が、ソレノイドアーマチュア５にシールエレメント１０３に向かって磁力の影響を与える。このアクチュエータ力Ｆａはピン１０２に伝達される。なぜならば、ソレノイドアーマチュアエレメント２０９と別のソレノイドアーマチュアエレメント２１０とが溶接結合部１１２を介して互いに相対的に運動不能に連結されているだけでなく、ソレノイドアーマチュア５も溶接結合部１１１を介してピン１０２に互いに相対的に運動不能に連結されているからである。したがって、ピン１０２がアクチュエータ力Ｆａによってシールエレメント１０３の方向に運動させられる。ピン１０２がシールエレメント１０３に連接し、更なる運動経過において、このシールエレメント１０３をシール座１０４から離れる方向に押圧する。したがって、弁１００が開放される。
【００２６】
弁１００は、ピン１０２が運動させられなくても、ピン１０２とシールエレメント１０３とが互いに接触させられなくても、単にシールエレメント１０３の上流側と下流側との圧力差に基づき開放される。シールエレメント１０３は、流入路１０８の側における圧力が流出路１０９の側における圧力よりも高い場合にシール座１０４から離反する。
【００２７】
すなわち、弁１００は２つのモードで開放することができる。弁１００は、アクチュエータ２００によって強制的に開放することができるかまたは流出路１０９からの圧力に抗して開いた状態に保つことができる。しかし、弁１００は、ポンプが吸入段階にあって、その吸入行程を実施し、流体を圧力室内に吸い込む場合には、電気的に制御される必要なしに、受動的に開放されてもよい。
【００２８】
アクチュエータ２００への通電が行われていない休止位置では、ばね１０１がピン１０２をシールエレメント１０３から離れる方向に押圧している。ばね１０１のばね力Ｆｆはピン１０２を、シールエレメント１０３がシール座１０４に接触することができるように保持している。ばね力Ｆｆとアクチュエータ力Ｆａとは、互いに逆方向に向けられている。ばね力Ｆｆとアクチュエータ力Ｆａとは、長手方向軸線Ｌに対して整合させられている。弁１００を閉鎖するためには、シールエレメント１０３がその上流側と下流側との圧力状況によってシール座１０４に向かって押圧され、したがって、流出路１０９から流入路１０８内への流体流れを阻止している。
【００２９】
すなわち、弁１００の運転状態では、シール座１０４に対して相対的なシールエレメント１０３の運動が、ピン１０２の運動に左右されない。ピン１０２によって、弁１００の開放をアシストすることができ、かつ／またはポンプの圧縮段階における圧送行程の間でも、弁１００をその開放位置に保つことができる。したがって、吸い込まれた流体の設定された割合分を圧力室から再び流入路１０８内に送り戻す、ポンプの部分圧送を達成することができる。このためには、シールエレメント１０３がピン１０２によってシール座１０４に対して間隔を置いて保持される。アクチュエータ２００がアクチュエータ力Ｆａをピン１０２に加え、これによって、このピン１０２がシールエレメント１０３を圧力室からの流体圧に抗して保持し、ひいては、流体を貫通孔１１０を通して流入路１０８内に逆流させることができるようになっている。
【００３０】
ポンプの完全圧送は、アクチュエータ２００に左右されずに実現可能である。ポンプの吸入段階では、アクチュエータ２００が、シールエレメント１０３をシール座１０４に向かって押圧するばね力Ｆｆに抗して作業する必要はない。圧縮段階では、閉鎖動作の際にシールエレメント１０３がばね１０１をアシストする。なぜならば、シールエレメント１０３がピン１０２を運動させるからである。したがって、弁１００の短い閉鎖時間が実現可能となる。休止状態では、別のソレノイドアーマチュアエレメント２１０と磁極コア６との間のエアギャップ２１３は一定である。
【００３１】
電磁石２０１への通電時には、ソレノイドアーマチュア５が、連結されたピン１０２と共に磁極コア６の方向に吸い寄せられる。ピン１０２がシールエレメント１０３を開放する。電磁石２０１への通電が行われなくなると、ソレノイドアーマチュア５が、ピン１０２と共にばね１０１によって出発位置に押圧される。これによって、流入弁がロック解除される。
【００３２】
シールエレメント１０３から離れる方向へのピン１０２の運動は、当接エレメント２０４によって制限される。特にピン１０２の張出し領域１０５が、面状に拡げられた当接エレメント２０４に当接する。ピン１０２は、ばね弾性的なシールエレメント１０３から切り離されている。このシールエレメント１０３は、電磁石２０１がオフに切り換えられた場合に、ピン１０２によるシールエレメント１０３への加圧が存在しないように形成されている。弁１００は、電磁石２０１およびピン１０２に左右されずに作業することができ、特に電磁石２０１に左右されずに吸入段階で開放することができる。圧縮段階では、シールエレメント１０３のばね力が、ばね１０１に対して付加的に作用し、これによって、流入弁が閉鎖される。
【００３３】
当接エレメント２０４は、ピン１０２の運動の制限部材として働く。張出し領域１０５が当接エレメント２０４に接触すると、シールエレメント１０３からさらに離れる方向へのピン１０２の運動はもはや不可能となる。これによって、休止位置でのピン１０２とシールエレメント１０３との間の間隔１０６も設定されている。シールエレメント１０３の方向へのピン１０２の運動は、別の張出し領域１０７とシール座１０４とによって制限される。当接エレメント２０４は、ピン１０２を案内する孔２０６を有している。当接エレメント２０４は、磁極コア６の、ソレノイドアーマチュア５と反対の側に配置されている。特に当接エレメント２０４は溶接結合部２０８を介して磁極コア６に連結されている。当接エレメント２０４は、特に硬化させられたディスクである。このディスクは、より軟質の磁極コア６を保護している。
【００３４】
当接エレメント２０４は、本実施の形態によれば、少なくとも１つの別の孔２０７を有している。この孔２０７は、磁極コア６の、この磁極コア６を通してピン１０２を案内している孔に液圧的に接続されている。さらに、ソレノイドアーマチュアエレメント２０９は、磁極コア６の孔に液圧的に接続されているソレノイドアーマチュア孔２０５を有している。したがって、ソレノイドアーマチュア５の、シールエレメント１０３とは反対の側と、当接エレメント２０４の、シールエレメント１０３に向けられた側とが、互いに液圧的に接続されている。これによって、流体流入路１０８における流体案内領域とソレノイドアーマチュア５の領域との間で圧力補償を行うことができる。したがって、圧力不平衡に基づくピン１０２の運動が回避される。
【００３５】
磁極コア６は溶接結合部２１２を介してハウジング４に連結されている。このハウジング４内には、ソレノイドアーマチュア５および部分的にピン１０２も配置されている。ハウジング４は、ピン１０２と、ソレノイドアーマチュア５と、磁極コア６とを流体密に取り囲んでいる。
【００３６】
当接エレメント２０４によって、ばね力Ｆｆの方向へのピン１０２の運動が制限され、このピン１０２の運動の制動時の力が、当接エレメント２０４によって受け止められる。さらに、ピン１０２の運動の制限によって、エアギャップ２１３の正確な調整が可能となる。したがって、ピン１０２がシールエレメント１０３に固く連結されていないにもかかわらず、当接エレメント２０４によって、ピン１０２の運動に対する制限が与えられている。
【００３７】
ソレノイドアーマチュア５の載着面１１には、層１が固定されているかまたは載着されている。この層１は、磁極コア６の対応載着面１２に取り付けられていてもよい。択一的には、載着面１１と対応載着面１２とに層１が被着されていてよい。
【００３８】
図２には、（弁）ハウジング４と、ソレノイドアーマチュア５と、磁極コア６とを備えた電磁弁の一部の平面図が示してある。ソレノイドアーマチュア５に層１が固定されているかまたは載着されている。この層１は、複数のウェブ２と、それぞれ２つの隣り合ったウェブ２の間に自由室３とを有している。この自由室３の幾何学形状は、ウェブ２の形状によって規定される。図２では、自由室３が、たとえば圧送ポンプの歯を有していてよいような形状を有している。
【００３９】
層１はハウジング側の外縁部１ａを有している。この外縁部１ａは、図示の実施の形態では、全周にわたって閉じられている。自由室３はその磁極コア側の端部３ａで僅かに狭められている。これによって、弁の閉鎖運動時に、自由室３内に存在する媒体が、この狭幅箇所を通って押し退けられなければならない。したがって、弁の閉鎖運動が減衰される。
【００４０】
同時に、ウェブ２によって、電磁弁の図示の部分と、図示していない対応部分との間の直接的な機械的な接触が生じないようになっている。これによって、付加的に、弁の閉鎖時の消音を達成することができ、弁の磁気的なかつ／または液圧的な貼付きが阻止される。
【００４１】
図３にも同じく、電磁弁の一部の平面図が示してある。この電磁弁は磁極コア６とばね受け７とを有している。このばね受け７には、通電されていない弁を閉鎖位置に保つことができるばね（図示せず）が支持されている。層１の内側の端部は磁極コア６に対して、図２に示した形態よりも大きな間隔を有している。同時に、自由室３は、より狭い出口３ａを有しており、これによって、両形態の液圧的な減衰が、恐らくほぼ同じ大きさとなる。
【００４２】
図４には、層１の別の形態が示してある。この形態では、ウェブ２の面積が自由室３の面積に勝っている。これによって、弁の閉鎖運動のより良好な機械的な減衰が行われると同時に液圧的な減衰は低下させられる。
【００４３】
図５には、第１の室３ｂと、第２の室３ｃと、両室３ｂ，３ｃの間の通路接続部３ｄとを有する自由室３を備えた層１が示してある。この幾何学形状によって、媒体が第１の室３ｂから押し出されるまで、閉鎖運動が良好に液圧的に減衰され、これに続く最終閉鎖運動のむらが取り除かれる。
【００４４】
図６および図７には、層１が一体型に形成されているのではなく、複数の部分層１から成る形態が示してある。両形態も、複数のウェブ２と、それぞれ２つの隣り合ったウェブ２の間に形成された自由室３とを有している。この自由室３は、図２〜図５に示した自由室３と同様に形成されていてもよいし、あらゆる別の任意の形状を有していてもよい。この任意の形状によって、アクチュエータ２００の載着面１１と対応載着面１２との接近運動時に、液圧的、特に空圧的な減衰効果が達成され、媒体を自由室３から弁出口内に確実に可能な限り完全に押し退けることができるようになっている。
【図１】
0006000460.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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