(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
二つの部材の間に位置して、当該二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置であって、
前記離間距離方向に伸縮する弾性体と、
一方の端面から他方の端面に向けて、当該一方の端面側が大径部となり、当該他方の端面側が小径部となる段付き貫通孔が形成され、外側に向けて第一の縁部が前記一方の端面側に形成された筒状の圧子と、
前記段付き貫通孔の大径部に他方の端面側が挿入され、一方の端面から他方の端面に向けて貫通孔が形成された柱状部と、外側に向けて前記柱状部の一方の端面側に形成されたフランジ部とを有する筒状のガイド部材と、
内側に向けて第二の縁部が一方の開口部に形成された筒状のハウジングと、を有し、
前記ハウジングは、
前記一方の開口部と反対側の他方の開口部が前記二つの部材のうちの一方の部材と対向するように、前記二つの部材の間に配置され、
前記圧子は、
前記第一の縁部が前記第二の縁部と接して、当該圧子の前記他方の端面が前記ハウジングの一方の開口部から突出して、前記二つの部材のうちの他方の部材と当接するように、前記ハウジング内に収容され、
前記ガイド部材は、
当該ガイド部材の柱状部の他方の端面側が前記ハウジング内に収容された前記圧子の前記段付き貫通孔の大径部に挿入されることにより、前記貫通孔の軸心と前記段付き貫通孔の軸心とが一致して、前記ハウジングの内面、前記ガイド部材の側面、前記第一の縁部、および前記フランジ部により筒状の中空部が形成され、
前記弾性体は、
前記ガイド部材を、前記ハウジングの他方の開口部から押し出す方向に付勢して、前記二つの部材のうちの一方の部材に圧接させるように、前記中空部に設けられる
ことを特徴とする離間距離調整装置。
【請求項２】
請求項１に記載の離間距離調整装置であって、
前記二つの部材のうちの一方の部材は、支持対象であり、
前記二つの部材のうちの他方の部材は、ベースであり、
前記離間距離調整装置は、
前記ベース上で前記支持対象を支持し、前記ベースに対する前記支持対象の高さを調整するレベリング装置である
ことを特徴とする離間距離調整装置。
【請求項３】
請求項２に記載の離間距離調整装置であって、
前記支持対象には離間距離調整用ボルト孔が形成されており、
当該離間距離調整装置は、
前記支持対象の当該離間距離調整装置が位置する側と反対側の面である搬送面側から、前記離間距離調整用ボルト孔、前記貫通孔、および前記段付き貫通孔の小径部に挿入されて、前記ベースにネジ止めされることで、前記支持対象を前記ベースに固定し、かつ前記離間距離を調整するためのボルトをさらに有する
ことを特徴とする離間距離調整装置。
【請求項４】
請求項３に記載の離間距離調整装置であって、
前記ハウジングには、当該離間距離調整装置を、前記支持対象の前記搬送面側と反対側の面である裏面に固定するためのボルト挿入用貫通孔が形成されており、
当該離間距離調整装置は、
前記支持対象の裏面にネジ止めされることで、前記ガイド部材が前記ハウジング内に押し込まれ、前記弾性体にプリロードがかかる
ことを特徴とする離間距離調整装置。
【請求項５】
請求項４に記載の離間距離調整装置であって、
前記ボルトによる前記離間距離の調整代は、
前記弾性体にプリロードがかかった状態における、前記ハウジングの前記一方の開口部から前記圧子の前記他方の端面までの長さ、当該状態における、前記ガイド部材の前記他方の端面から前記圧子の前記段付き貫通孔の大径部および小径部間の段差面までの長さ、および前記弾性体の最大縮み量のうちの最も小さい長さの範囲内である
ことを特徴とする離間距離調整装置。
【請求項６】
搬送面から搬送物を浮上させる浮上搬送装置であって、
ベースと、
前記搬送面を備え、当該搬送面から、当該搬送面の反対側の面に向けてボルトを挿入して、当該ボルトの頭を、当該搬送面と当該搬送面の反対側の面との間の位置で固定するための貫通孔が形成されたエアレールと、
支持対象として前記エアレールを前記ベース上で支持する請求項２ないし５のいずれか一項に記載の離間距離調整装置と、を有する
ことを特徴とする浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、離間距離調整装置に関し、特に、搬送対象を浮上させて搬送する浮上搬送装置に好適なレベリング装置の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる基板等の搬送対象を搬送面から浮上させて搬送する浮上搬送装置として、特許文献１記載の基板搬送装置が知られている。
【０００３】
この基板搬送装置は、配列された複数の浮上ブロックの搬送面から圧縮空気を噴出させることによって搬送対象の基板を浮上させながら、この基板を搬送方向に搬送する。ここで、各浮上ブロックの搬送面の高さおよび平面度を調整可能とするため、各浮上ブロックは個別の可動プレート上にネジで固定されており、これらの可動プレートと固定プレートとの間隔がそれぞれ３点で調整できるようになっている。
【０００４】
具体的には、浮上ブロックの底部両側からはり出す可動プレートには合計３ケ所に雌ネジが切られており、固定プレートには、各可動プレートの雌ネジに対向する位置に、それらの雌ネジとはピッチの異なる雌ネジが切られている。そして、可動プレートの雌ネジと固定プレートの雌ネジとにかみあう雄ネジ部を有する調整ネジが、可動プレートと固定プレートとの間に介在するバネ内に挿入された状態で、対向する各組の雌ネジに締結されている。作業者は、隣り合う浮上ブロックの間に工具を差し入れて調整ネジを回転させることにより、可動プレートと固定プレートとの間隔を、両プレートの雌ネジのピッチ差分に相当する距離ずつ増減させ、調節することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２２９２５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載の基板搬送装置では、可動プレートを固定プレートに取り付ける際、作業者は、可動プレートの各雌ネジにねじ込んだ調整ネジにそれぞれバネを挿入し、これらのバネが抜け落ちないように保持しながら、各調整ネジの先端を、固定プレートの対応する雌ネジに位置付ける必要がある。このため、作業性がよくない。
【０００７】
また、作業者が調整ネジの締め・緩め作業を行うための空間を浮上ブロックの両側に確保しておく必要があるため、隣り合う浮上ブロックの間隔をさらに狭くしたり、隣り合う浮上ブロックを密着させたりすることができない。このため、隣り合う浮上ブロックの隙間の位置で、搬送対象に良好な状態で圧縮空気を吹き付けることができず、搬送対象の浮上状態が不安定になる可能性がある。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、二つの部材間の離間距離調整作業の作業性を向上させる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は、二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置において、弾性体等を含む複数の構成部品を簡易に組み立て可能なユニット構造とするとともに、一方の部材の他方の部材への取付け、および離間距離の調整をボルト一本で行えるようした。
【００１０】
例えば、本発明は、二つの部材の間に位置して、当該二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置であって、
前記離間距離方向に伸縮する弾性体と、
一方の端面から他方の端面に向けて、当該一方の端面側が大径部となり、当該他方の端面側が小径部となる段付き貫通孔が形成され、外側に向けて第一の縁部が前記一方の端面側に形成された筒状の圧子と、
前記段付き貫通孔の大径部に他方の端面側が挿入され、一方の端面から他方の端面に向けて貫通孔が形成された柱状部と、外側に向けて前記柱状部の一方の端面側に形成されたフランジ部とを有する筒状のガイド部材と、
内側に向けて第二の縁部が一方の開口部に形成された筒状のハウジングと、を有し、
前記ハウジングは、
前記一方の開口部と反対側の他方の開口部が前記二つの部材のうちの一方の部材と対向するように、前記二つの部材の間に配置され、
前記圧子は、
前記第一の縁部が前記第二の縁部と接して、当該圧子の前記他方の端面が前記ハウジングの一方の開口部から突出して、前記二つの部材のうちの他方の部材と当接するように、前記ハウジング内に収容され、
前記ガイド部材は、
当該ガイド部材の柱状部の他方の端面側が、前記ハウジング内に収容された前記圧子の前記段付き貫通孔の大径部に挿入されることにより、前記貫通孔の軸心と前記段付き貫通孔の軸心とが一致して、前記ハウジングの内面、前記ガイド部材の側面、前記第一の縁部、および前記フランジ部により筒状の中空部が形成され、
前記弾性体は、
前記ガイド部材を、前記ハウジングの他方の開口部から押し出す方向に付勢して、前記二つの部材のうちの一方の部材に圧接させるように、前記中空部に設けられる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、二つの部材間の離間距離調整作業の作業性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置の搬送台１００の概略構成を示す外観図である。
【図２】図２（Ａ）は、ベースフレーム１の外観図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示すベースフレーム１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図３（Ａ）は、エアレール２の外観図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）に示すエアレール２のＢ−Ｂ断面拡大図である。
【図４】図４（Ａ）は、レベリング装置３の外観図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示すレベリング装置３のＣ−Ｃ断面図である。
【図５】図５（Ａ）は、六角穴付きボルト４の外観図であり、図５（Ｂ）は、Ｔナット５の断面図である。
【図６】図６（Ａ）は、レベリング装置３の組立て作業を説明するための断面図であり、図６（Ｂ）は、エアレール２へのレベリング装置３の取付け作業を説明するための断面図である。
【図７】図７は、ベースフレーム１へのエアレール２の取付け作業を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施の形態を説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施の形態に係る浮上搬送装置の搬送台１００の概略構成を示す外観図である。
【００１５】
図示するように、本実施の形態に係る浮上搬送装置は、ＦＰＤ、太陽電池パネル等に用いられるガラス基板等の搬送対象を搬送面２１から浮上させて搬送する搬送台１００を備えている。この搬送台１００は、所定の間隔をおいて並べられた２本の角柱状のベースフレーム（例えばアルミフレーム）１と、２本のベースフレーム１の間にかけ渡された板状のエアレール２と、ベースフレーム１上でエアレール２を支えるための、ベースフレーム１毎に２本（合計４本）のレベリング装置３（一部不図示）と、を有する。なお、本実施の形態では、２本のベースフレーム１の間に１本のエアレール２がかけ渡された場合を例示しているが、実際には、例えば搬送距離分の長さを有する２本のベースフレーム１の間に、複数本のエアレール２がベースフレーム１の長手方向（図１のＹ方向）に並べてかけ渡される。また、本実施の形態では、１本のエアレール２を４本のレベリング装置３で支持しているが、エアレール２を安定に支持可能な本数のレベリング装置３を用いればよい。
【００１６】
また、図１には図示していないが、搬送台１００は、さらに、エアレール２にレベリング装置３を固定するボルト６と、レベリング装置３を介してエアレール２をベースフレーム１に固定するための六角穴付きボルト４およびＴナット５と、を有する（図７参照）。ボルト６は、レベリング装置３毎に２本設けられている。また、六角穴付きボルト４およびＴナット５は、レベリング装置３毎に１対（１本のエアレール２につき合計４対）設けられている。
【００１７】
図２（Ａ）は、ベースフレーム１の外観図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示すベースフレーム１のＡ−Ａ断面図である。
【００１８】
図示するように、ベースフレーム１の４つの外面（上面１２Ａ、左側面１２Ｂ、下面１２Ｃおよび右側面１２Ｄ）の各々には、ベースフレーム１の長手方向の所望の位置にＴナット５を配置するためのＴ字状溝１１が形成されている。Ｔ字状溝１１は、溝縁１１２から溝底１１１までの間において溝幅ｓ１から溝幅ｓ２（＞ｓ１）に変わる段差１１３を含むＴ字状の断面形状を有し、ベースフレーム１の一方の端面（長手方向に垂直な面）１３から他方の端面１４まで連続している。このＴ字状溝１１により、ベースフレーム１の両端面１３、１４にはＴ字状の開口が形成され、４つの外面１２Ａ〜１２Ｄの各々にも、一方の端面１３から他方の端面１４まで連続する溝幅ｓ１の開口が形成される。
【００１９】
なお、本実施の形態では、ベースフレーム１として、４つの外面１２Ａ〜１２ＤのすべてにＴ字状溝１１が形成された４面溝タイプのフレームを使用しているが、ベースフレーム１は、少なくとも、エアレール２側に向けられる上面１２ＡにＴ字状溝１１が形成されたフレームであればよい。
【００２０】
図３（Ａ）は、エアレール２の外観図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）に示すエアレール２のＢ−Ｂ断面拡大図である。
【００２１】
エアレール２は、外部からエア供給口（不図示）に供給された圧縮空気を、内部のエア供給路（不図示）を介して、搬送面２１の複数のエア吹き出し穴（不図示）から噴出する。
【００２２】
図示するように、このエアレール２のベースフレーム１への取付け位置（本実施の形態では４ヶ所）には、それぞれ、搬送面２１から裏面（搬送面２１とは反対側の面）２４に向けて六角穴付きボルト４を挿入するための高さ調整用ボルト孔２３が形成されている。高さ調整用ボルト孔２３には、この高さ調整用ボルト孔２３に搬送面２１側から挿入される六角穴付きボルト４の座面４１２（図５参照）が接触する段差２５が形成されている。搬送面２１から段差２５までの領域（大径部）２８における直径ｒ１は、段差２５から裏面２４までの領域（小径部）２７における直径ｒ２より大きい。
【００２３】
また、エアレール２の裏面２４には、高さ調整用ボルト孔２３の両側に、ボルト６が締結されるネジ穴２６が形成されている。
【００２４】
なお、本実施の形態では、エアレール２のベースフレーム１への取付け位置に高さ調整用ボルト孔２３を形成しているが、ベースフレーム１へのエアレール２の取付け位置が調整可能となるように、例えばエアレール２の長手方向に、高さ調整用ボルト孔２３の断面形状と同様な断面形状の段付き長穴を任意の長さで形成してもよい。
【００２５】
図４（Ａ）は、レベリング装置３の外観図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示すレベリング装置３のＣ−Ｃ断面図である。
【００２６】
レベリング装置３は、ベースフレーム１上でエアレール２を支持し、ベースフレーム１に対するエアレール２の高さを調整する。
【００２７】
図示するように、レベリング装置３は、ベースフレーム１に対するエアレール２の高さ方向（図１のＺ方向）に伸縮する皿バネ群３１と、皿バネ群３１に付勢されてベースフレーム１の上面１２Ａに押し当てられる縁部付き円筒状の圧子３２と、皿バネ群３１に付勢されてエアレール２の裏面２４に押し当てられるフランジ部付き円筒状のスプリングガイド３３と、これらの部品３１〜３３を収容するフランジ部および縁部付き円筒状のハウジング３４と、を有する。
【００２８】
ハウジング３４は、円筒部３４３と、円筒部３４３の内側に向けてはりだすように円筒部３４３の一方の端面（ハウジング３４の底面３４８）側の開口部３４１の内周に沿って形成された第二の縁部３４２と、円筒部３４３の外周から外側にはりだすように円筒部３４３の他方の端面（ハウジング３４の上面３４６）側に形成されたフランジ部３４９と、を有している。
【００２９】
このハウジング３４は、上面３４６側の開口部３４４がエアレール２の高さ調整用ボルト孔２３に対向する状態で上面３４６がエアレール２の裏面２４と接するように、ベースフレーム１とエアレール２との間に配置される。また、フランジ部３４９には、エアレール２の裏面２４のネジ穴２６に対応する位置に、ボルト６が挿入される貫通孔３４７が形成されている。
【００３０】
圧子３２は、ハウジング３４の底面３４８側の開口部３４１からベースフレーム１側に突出する円柱部３２５と、円柱部３２５の外周から外側にはりだすように円柱部３２５の一方の端面（圧子３２の上面３２１）側に形成された第一の縁部３２２と、を有する。円柱部３２５には、一方の端面（圧子３２の上面３２１）から他方の端面（圧子３２の底面３２３）に向けて、この円柱部３２５と共通の軸心を有する段付き貫通孔３２４が形成されている。この段付き貫通孔３２４は、一方の端面３２１側が大径部３２７となり、他方の端面３２３側が小径部３２８となっている。この段付き貫通孔３２４の大径部３２７は、スプリングガイド３３の後述する円柱部３３５がその内部に挿入され、この円柱部３３５を皿バネ群３１の伸縮方向（図１のＺ方向）にガイドする。また、小径部３２８には、六角穴付きボルト４が挿入される（図７参照）。
【００３１】
この圧子３２は、第一の縁部３２２の下面３２６がハウジング３４の第二の縁部３４２の上面３５０に接し、かつ、底面３２３がハウジング３４の底面３４８側の開口部３４１からベースフレーム１側に突出した状態で、ハウジング３４内に収容される。
【００３２】
スプリングガイド３３は、ハウジング３４内の皿バネ群３１および圧子３２の段付き貫通孔３２４の大径部３２７内に挿入される円柱部３３５と、円柱部３３５の外周からはりだすように円柱部３３５の一方の端面（スプリングガイド３３の上面３３１）側に形成され、ハウジング３４内の圧子３２の上面３２１との間で皿バネ群３１を押圧するフランジ部３３２と、を有する。フランジ部３３２は、円柱部３３５と同心の円板状に形成されており、ハウジング３４の円筒部３４３内において皿バネ群３１の伸縮方向にスムーズにガイドされる程度にハウジング３４の円筒部３４３の内径ｒ７よりも小さな外径ｒ８（図６参照）を有している。円柱部３３５には、スプリングガイド３３の上面３３１から底面３３３に向けて六角穴付きボルト４が挿入される貫通孔３３４が、この円柱部３３５と同心に形成されている。円柱部３３５は、圧子３２の段付き貫通孔３２４の大径部３２７内で皿バネ群３１の伸縮方向にスムーズにガイドされる程度に、その外径ｒ９がこの大径部３２７の内径ｒ５（図６参照）よりも小さく設定されている。また、円柱部３３５の貫通孔３３４の内径ｒ４は、圧子３２の段付き貫通孔３２４の小径部３２８の内径ｒ６以上に設定される。本実施の形態では、貫通孔３３４の内径ｒ４を段付き貫通孔３２４の小径部３２８の内径ｒ６とほぼ同寸法に設定している。
【００３３】
このスプリングガイド３３の円柱部３３５が、ハウジング３４内に収容された圧子３２の段付き貫通孔３２４の大径部３２７内に挿入されると、円柱部３３５の外周面３３９、フランジ部３３２の下面３３６、ハウジング３４の内面３４５、および圧子３２の上面３２１により筒状の中空部３３７が形成される。詳細は後述するが、スプリングガイド３３のフランジ部３３２をハウジング３４の円筒部３４３内に挿入するだけで、スプリングガイド３３の円柱部３３５を、圧子３２の段付き貫通孔３２４の大径部３２７に対して位置決めして、この大径部３２７内にスムーズに挿入し、円柱部３３５の貫通孔３３４の軸心と圧子３２の段付き貫通孔３２４の軸心とをほぼ一致させることができる。このため、ベースフレーム１へのエアレール２の取付けの際に、六角穴付きボルト４の挿入穴（スプリングガイド３３の貫通孔３３４と圧子３２の段付き貫通孔３２４の小径部３２８）の軸心合わせ作業が不要となる。
【００３４】
なお、スプリングガイド３３の円柱部３３５の底面３３３からフランジ部３３２の下面３３６までの長さｋ１は、スプリングガイド３３の上面３３１の位置をハウジング３４の上面３４６の位置に揃えたときに、スプリングガイド３３の底面３３３と、圧子３２の段付き貫通孔３２４の大径部３２７および小径部３２８間の段差面３２９との間にエアレール２の高さ調整代以上の隙間が形成される寸法に設定されている。
【００３５】
皿バネ群３１は、筒状の中空部３３７内でエアレール２のベースフレーム１に対する高さ方向に積み重ねられた複数枚の皿バネ３１１により構成されている。皿バネ３１１は、スプリングガイド３３の上面３３１をハウジング３４の上面３４６に揃えた場合におけるフランジ部３３２の下面３３６と圧子３２の上面３２１との間隔よりも皿バネ群３１の自由高さが長くなる枚数、つまり、皿バネ群３１が無負荷の状態においてスプリングガイド３３の上面３３１がハウジング３４の上面３４６側の開口部３４４から突出する枚数だけ積み重ねされている。本実施の形態では、隣り合う皿バネ３１１の向きが逆になるように複数枚の皿バネ３１１を重ね合わせているが（いわゆる直列組合せ方式）、隣り合う皿バネ３１１の向きが同じになるように複数枚の皿バネ３１１を重ね合わせても（いわゆる並列組合せ方式）、あるいはいわゆる直列方式と並列方式との組合せでもよい。また、本実施の形態では、６枚の皿バネ３１１を積み重ねているが、スプリングガイド３３をその上面３３１がハウジング３４の上面３４６の位置に揃うまで押し込んだ場合にフランジ部３３２の下面３３６と圧子３２の上面３２１との間で皿バネ群３１が圧縮されれば、使用する皿バネの積み重ね枚数は適宜変更可能である。
【００３６】
この皿バネ群３１は、圧子３２をハウジング３４の底面３４８側の開口部３４１から押し出す方向に付勢し、圧子３２をベースフレーム１の上面１２Ａに圧接するとともに、スプリングガイド３３をハウジング３４の上面３４６側の開口部３４４から押し出す方向に付勢し、スプリングガイド３３をエアレール２の裏面２４に圧接する。また、皿バネ群３１は、搬送対象の搬送中に受ける荷重（搬送対象、エアレール２等によりレベリング装置３一本あたりにかかる荷重等）を安定に支持可能な許容荷重およびばね定数を有している。このような弾性を有しているものであれば、皿バネ群３１の代わりに、筒状の中空部３３７内に配置することが可能な形状を有する他の弾性体（コイルバネ、筒状のゴム等）を用いてもよい。
【００３７】
なお、本実施の形態においては、フランジ部付き円筒状のスプリングガイド３３と、縁部付き円筒状の圧子３２と、フランジ部および縁部付き円筒状のハウジング３４とを用いているが、皿バネ群３１の軸心がずれない他の立体形状のスプリングガイド３３、圧子３２およびハウジング３４を用いてもよい。
【００３８】
図５（Ａ）は、六角穴付きボルト４の外観図である。
【００３９】
図示するように、六角穴付きボルト４は、頭部４１の上面４１１に六角レンチ用の六角穴４３が形成されている。六角穴付きボルト４の頭部４１の直径ｒ３は、エアレール２の高さ調整用ボルト孔２３の大径部２８の直径ｒ１よりも小さく、かつ小径部２７の直径ｒ２よりも大きい。また、六角穴付きボルト４の頭部４１の厚さｋ２は、エアレール２の高さ調整用ボルト孔２３の大径部２８の長さｋ３（図３（Ｂ）参照）よりも小さい。このため、六角穴付きボルト４は、エアレール２の搬送面２１側から高さ調整用ボルト孔２３に挿入されたとき、頭部４１が搬送面２１より下側にきた位置で座面４１２が高さ調整用ボルト孔２３の段差２５に接触し、高さ調整用ボルト孔２３の大径部２８内に頭部４１が完全に収容される。
【００４０】
また、六角穴付きボルト４の座面４１２からネジ部４２までの長さｋ４は、エアレール２の高さ調整用ボルト孔２３の小径部２７の長さｋ５（図３（Ｂ）参照）と、レベリング装置３のハウジング３４の高さ（一方の開口部３４１から他方の開口部３４４までの長さ）ｋ６（図４（Ｂ）参照）との合計より小さい。また、図４（Ｂ）に示すように、圧子３２の第一の縁部３２２がハウジング３４の第二の縁部３４２と接触して、圧子３２の底面３２３がハウジング３４の開口部３４１から突出している状態において、六角穴付きボルト４の座面４１２からネジ部４２の先端４２１までの長さｋ７は、圧子３２の底面３２３からハウジング３４の上面３４６までの長さｋ８、エアレール２の高さ調整用ボルト孔２３の小径部２７の長さｋ５、およびベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から段差１１３までの深さｋ１０（図２（Ｂ）参照）の合計より大きく、かつ、上述のｋ８、ｋ５、およびベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から溝底１１１までの深さｋ１１（図２（Ｂ)参照）の合計より小さい寸法とされている。
【００４１】
図５（Ｂ）は、Ｔナット５の断面図である。
【００４２】
図示するように、Ｔナット５は、一方の端面（上面５１）から他方の端面（底面５３）までの間において、幅がｓ３からｓ４（＞ｓ３）に変わる段差５２を含むＴ字状の断面形状を有しており、上面５１から底面５３まで貫通した、六角穴付きボルト４のネジ部４２と螺合するネジ穴５４が形成されている。上面５１から段差５２までにおける幅ｓ３は、ベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から段差１１３までにおける溝幅ｓ１（図２（Ｂ）参照）よりも小さい。段差５２から底面５３までにおける幅ｓ４は、ベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から段差１１３までにおける溝幅ｓ１より大きく、かつＴ字状溝１１の段差１１３から溝底１１１までにおける溝幅ｓ２（図２（Ｂ）参照）より小さい。また、段差５２から上面５１までの高さｋ９は、ベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から段差１１３までの深さｋ１０（図２（Ｂ）参照）以下の寸法である。このため、Ｔナット５は、ベースフレーム１のＴ字状溝１１内の所望の位置に配置でき、また、六角穴付きボルト４のネジ部４２とネジ穴５４との締結によりＴ字状溝１１の溝底１１１から溝縁１１２の方向に力が加えられると、段差５２がＴ字状溝１１の段差１１３に接触し、ベースフレーム１に固定される。
【００４３】
つぎに、ベースフレーム１へのエアレール２の取付け作業について説明する。
【００４４】
図６（Ａ）は、レベリング装置３の組立て作業を説明するための断面図であり、図６（Ｂ）は、エアレール２へのレベリング装置３の取付け作業を説明するための断面図である。また、図７は、ベースフレーム１へのエアレール２の取付け作業を説明するための断面図である。
【００４５】
（１）レベリング装置３の組立て
ベースフレーム１へのエアレール２の取付けに必要な本数（本実施の形態では４本）のレベリング装置３をあらかじめ組み立てておく。具体的には、以下の通りである。
【００４６】
図６（Ａ）に示すように、圧子３２を底面３２３側からハウジング３４の円筒部３４３内に挿入し、圧子３２の第一の縁部３２２をハウジング３４の第二の縁部３４２に当接させる。圧子３２の円柱部３２５と段付き貫通孔３２４とが同心に形成されているため、ハウジング３４の円筒部３４３内へ圧子３２を挿入するだけで、ハウジング３４の第二の縁部３４２の内周面と圧子３２の円柱部３２５の外周面との接触により、ハウジング３４の円筒部３４３に対して圧子３２の円柱部３２５の段付き貫通孔３２４が軸心合わせされる。つぎに、隣り合う皿バネ３１１の向きが逆になるように、複数枚の皿バネ３１１を、ハウジング３４内に収容された圧子３２上に積み重ねる。それから、スプリングガイド３３を底面３３３側からハウジング３４内に挿入して、スプリングガイド３３の円柱部３３５を皿バネ群３１および圧子３２の段付き貫通孔３２４の大径部３２７内に挿入する。ここで、スプリングガイド３３の円柱部３３５とフランジ部３３２とは同心に形成されているため、ハウジング３４の円筒部３４３内へスプリングガイド３３のフランジ部３３２まで挿入するだけで、スプリングガイド３３の円柱部３３５が、圧子３２の段付き貫通孔３２４の大径部３２７に対して位置決めされ、この大径部３２７内にスプリングガイド３３の円柱部３３５をスムーズに挿入することができる。そして、スプリングガイド３３の円柱部３３５と貫通孔３３４とは同心に形成されているため、圧子３２の段付き貫通孔３２４の大径部３２７へのスプリングガイド３３の円柱部３３５の挿入により、スプリングガイド３３の貫通孔３３４および圧子３２の段付き貫通孔３２４の軸心がほぼ一致した状態で、圧子３２、皿バネ群３１、およびスプリングガイド３３が、この順番にハウジング３４内に収容され、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すようなレベリング装置３が完成する。
【００４７】
（２）エアレール２へのレベリング装置３の取付け
図６（Ｂ）に示すように、レベリング装置３ごとに、２本のボルト６を、ハウジング３４の貫通孔３４７を介して、エアレール２の裏面２４のネジ穴２６にネジ止めする。これにより、スプリングガイド３３の貫通孔３３４および圧子３２の段付き貫通孔３２４の軸心がエアレール２の高さ調整用ボルト孔２３の軸心とほぼ一致した状態で、ハウジング３４の上面３４６がエアレール２の裏面２４と当接し、レベリング装置３がエアレール２の裏面２４に取り付けられる。
【００４８】
これにより、スプリングガイド３３の上面３３１がハウジング３４の上面３４６と同じ位置にくるまで、スプリングガイド３３がハウジング３４内に押し込まれ、皿バネ群３１にプリロードがかかる。このときのハウジング３４の底面３４８からの圧子３２の突出部分の長さをｃ１とし、スプリングガイド３３の底面３３３から圧子３２の段付き貫通孔３２４の大径部３２７および小径部３２８間の段差面３２９までの長さをｃ２とする。
【００４９】
（３）ベースフレーム１へのエアレール２の取付けと高さ調整
エアレール２を２本のベースフレーム１の間にかけ渡すように配置する。ベースフレーム１の上面１２Ａ側のＴ字状溝１１に２つのＴナット５を挿入し、これらのＴナット５を、エアレール２の高さ調整用ボルト孔２３に対応する位置に配置する。つぎに、図７に示すように、六角穴付きボルト４を、エアレール２の搬送面２１側から、エアレール２の高さ調整用ボルト孔２３、スプリングガイド３３の貫通孔３３４、圧子３２の段付き貫通孔３２４の小径部３２８に挿入し、六角レンチ７を使って、この六角穴付きボルト４のネジ部４２をＴナット５のネジ穴５４にネジ止めする。これにより、ハウジング３４の底面３４８側の開口部３４１からベースフレーム１側に突出している圧子３２の底面３２３がベースフレーム１の上面１２Ａと当接した状態で、エアレール２がレベリング装置３を介してベースフレーム１に取り付けられる。
【００５０】
上述したように、六角穴付きボルト４の頭部４１の座面４１２からネジ部４２までの長さｋ４（図５（Ａ）参照）は、エアレール２の高さ調整用ボルト孔２３の小径部２７の長さｋ５（図３（Ｂ）参照）と、レベリング装置３のハウジング３４の高さ（一方の開口部３４１から他方の開口部３４４までの長さ）ｋ６（図４（Ｂ）参照）との合計より小さい。また、圧子３２の第一の縁部３２２がハウジング３４の第二の縁部３４２と接触して、圧子３２の底面３２３がハウジング３４の開口部３４１から突出している状態において、六角穴付きボルト４の座面４１２からネジ部４２の先端４２１までの長さｋ７（図５（Ａ）参照）は、圧子３２の底面３２３からハウジング３４の上面３４６までの長さｋ８（図４（Ｂ）参照）、エアレール２の高さ調整用ボルト孔２３の小径部２７の長さｋ５（図３（Ｂ）参照）、およびベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から段差１１３までの深さｋ１０（図２（Ｂ）参照）の合計より大きく、かつ上述のｋ８、ｋ５、およびベースフレーム１のＴ字状溝１１の溝縁１１２から溝底１１１までの深さｋ１１（図２（Ｂ)参照）の合計より小さい。
【００５１】
このため、Ｔナット５への六角穴付きボルト４の締め具合を調節することにより、高さ調整代（図６（Ｂ）に示すｃ１、ｃ２、および皿バネ群３１の最大縮み量のうちの最も小さい長さ）の範囲内で、ベースフレーム１に対するエアレール２の高さを調整できる。この高さ調節作業を、エアレール２のベースフレーム１への取付けに用いる４本のレベリング装置３のそれぞれに対して行うことにより、エアレール２の搬送面２１のレベリングを行う。
【００５２】
以上、本発明の一実施の形態を説明した。
【００５３】
本実施の形態に係るレベリング装置３は、皿バネ群３１、圧子３２およびスプリングガイド３３がハウジング３４内に収容されて、皿バネ群３１、圧子３２、スプリングガイド３３、ハウジング３４を含む複数の構成部品がユニット化されているため、エアレール２のベースフレーム１への取付け作業に先だって、あらかじめ必要本数を組み立てておくことが可能である。このため、作業者は、一部の部品の落下等を気にすることなく簡単に、レベリング装置３をエアレール２に取り付けることができ、取付け作業の作業効率が向上する。
【００５４】
また、レベリング装置３の組み立て作業に際して、スプリングガイド３３の円柱部３３５を、皿バネ群３１を介して、圧子３２の段付き貫通孔３２４の大径部３２７に挿入するだけで、スプリングガイド３３の貫通孔３３４と圧子３２の段付き貫通孔３２４とが軸心合わせさせるため、六角穴付きボルト４の挿入穴（スプリングガイド３３の貫通孔３３４と圧子３２の段付き貫通孔３２４の小径部３２８）の軸心合わせ作業が不要ととなり、これにより、簡単に組み立てることが可能となり、組み立て作業の作業効率が向上する。
【００５５】
また、レベリング装置３をエアレール２に取り付けることにより、レベリング装置３の皿バネ群３１にプリロードがかかるため、皿バネ群３１がプリロードされていない場合と比較して少ない回数、六角穴付きボルト４をＴナット５に締め付けるだけで、エアレール２をベースフレーム１に取り付けることができる。
【００５６】
また、レベリング装置３をエアレール２に取り付けることにより、スプリングガイド３３の上面３３１がハウジング３４の上面３４６と同じ位置まで押し込まれて皿バネ群３１にプリロードがかかるので、エアレール２のベースフレーム１への取付け作業に使用する４本のレベリング装置３に対して、面倒なプリロード調整を行わなくても、均等なプリロードをかけておくことができる。
【００５７】
また、六角穴付きボルト４を、エアレール２の搬送面２１側から高さ調整用ボルト孔２３に挿入して、Ｔナット５にネジ止めすることにより、エアレール２をベースフレーム１に取り付けるとともに、六角穴付きボルト４の締め具合を調節することで、エアレール２のベースフレーム１に対する高さを調整するので、特許文献１に記載の基板搬送装置と異なり、高さ調整用の隙間をエアレール２の長手方向（図１のＸ方向）の両側に確保しておく必要がない。したがって、複数のエアレール２を並べた場合、隣り合うエアレール２を密着させる等、複数のエアレール２の間隔寸法を、搬送対象の浮上安定性等を考慮して柔軟に設定することができる。このため、搬送対象をより安定に浮上させて搬送できる。
【００５８】
また、レベリング装置３のハウジング３４に形成された貫通孔３４７を介して、ボルト６を、エアレール２の裏面２４に形成されたネジ穴２６にネジ止めすることにより、皿バネ群３１にプリロードをかけた状態で、レベリング装置３をエアレール２に取り付けるので、エアレール２のベースフレーム１への取付け作業に先だって、必要本数のエアレール２へのレベリング装置３の取付けおよびプリロード作業をあらかじめ行っておくことが可能となる。このため、作業効率がさらに向上する。
【００５９】
なお、本実施の形態では、六角穴付きボルト４およびＴナット５を用いて、レベリング装置３を介してベースフレーム１にエアレール２を取り付けているが、本発明はこれに限定されない。ベースフレーム１の上面１２Ａの、エアレール２の高さ調整用ボルト孔２３に対応する位置に、六角穴付きボルト４のネジ部４２と螺合するネジ穴を形成することで、Ｔナット５を用いずにエアレール２をベースフレーム１に取り付けられるようにしてもよい。
【００６０】
また、本実施の形態では、六角レンチ７を使って、エアレール２の搬送面２１側から、ベースフレーム１へのエアレール２の取付けおよび搬送面２１のレベリングを行えるようにするために、六角穴付きボルト４を用いているが、本発明はこれに限定されない。使用する工具を応じて、例えば、十字穴、すり割り溝等が頭部の上面に形成されたボルトを用いればよい。
【００６１】
また、本実施の形態では、所定の間隔をおいて並べられた２本の角柱状のベースフレーム１上にかけ渡すようにして、エアレール２をベースフレーム１に取り付けているが、本発明はこれに限定されない。例えば、１枚の板状のベースフレーム上に載せるようにして、エアレール２をベースフレーム１に取り付けてもよい。
【００６２】
また、本実施の形態では、搬送台１００を有する浮上搬送装置への適用を例に説明したが、本発明は、レベリング対象面を有するテーブルがベース材に固定されている他の装置にも適用可能である。
【００６３】
また、本実施の形態では、ベースフレーム１上でエアレール２を支持し、ベースフレーム１に対するエアレール２の高さを調整するレベリング装置３を説明したが、本発明は、二つの部材間の離間距離を調整する離間距離調整装置に広く適用できる。
【符号の説明】
【００６４】
１：ベースフレーム、  ２：エアレール、  ３：レベリング装置、  ４：六角穴付きボルト、  ５：Ｔナット、  ６：ボルト、  ７：六角レンチ、  １１：Ｔ字状溝、  １２Ａ〜１２Ｄ：ベースフレーム１の外面、  １３，１４：ベースフレーム１の端面、  ２１：搬送面、  ２３：高さ調整用ボルト孔、  ２４：エアレール２の裏面、  ２５：段差、  ２６：ネジ穴、  ２７：高さ調整用ボルト孔２３の小径部、  ２８：高さ調整用ボルト孔２３の大径部、  ３１：皿バネ群、  ３２：圧子、  ３３：スプリングガイド、  ３４：ハウジング、  ４１：頭部、  ４２：ネジ部、  ４３：六角穴、  ５１，５３：Ｔナット５の端面、  ５２：段差、  ５４：ネジ穴、  １００：搬送台、  １１１：Ｔ字状溝１１の溝底、  １１２：Ｔ字状溝１１の溝縁、  １１３：段差、  ３１１：皿バネ、  ３２１：圧子３２の上面、  ３２２：第一の縁部、  ３２３：圧子３２の底面、  ３２４：段付き貫通孔、  ３２５：円柱部、  ３２６：第一の縁部３２２の下面、  ３２７：段付き貫通孔３２４の大径部、  ３２８：段付き貫通孔３２４の小径部、  ３２９：段付き貫通孔３２４の大径部３２７および小径部３２８間の段差面、  ３３１：スプリングガイド３３の上面、  ３３２：スプリングガイド３３のフランジ部、  ３３３：スプリングガイド３３の底面、  ３３４：貫通孔、  ３３５：スプリングガイド３３の円柱部、  ３３６：フランジ部３３２の下面、  ３３７：筒状の中空部、  ３３９：円柱部３３５の外周面、  ３４１，３４４：ハウジング３４の開口部、  ３４２：ハウジング３４の第二の縁部、  ３４３：ハウジング３４の円筒部、  ３４５：ハウジング３４の内面、  ３４６：ハウジング３４の上面、  ３４７：貫通孔、  ３４８：ハウジング３４の底面、  ３４９：ハウジング３４のフランジ部、  ３５０：第二の縁部３４２の上面、  ４１１：六角穴付きボルト４の頭部４１の上面、  ４１２：六角穴付きボルト４の座面、  ４２１：ネジ部４２の先端
【図１】
0005865164.tif 000002
【図２】
0005865164.tif 000003
【図３】
0005865164.tif 000004
【図４】
0005865164.tif 000005
【図５】
0005865164.tif 000006
【図６】
0005865164.tif 000007
【図７】
0005865164.tif 000008