(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光の照射により試料上の分析位置をイオン化するためのイオン化室と、イオンを検出する質量分析器を有する分析室とを備え、
前記イオン化室の筐体内部から前記分析室の内部にイオンを導くための導入管又は導入孔が形成された質量分析装置であって、
前記イオン化室の筐体内部に形成された排気管と、
前記排気管に空気を引き込むファンとを備え、
前記排気管は、回収部と接続されており、
前記ファンを駆動させることにより、前記導入管又は導入孔に導入されなかったイオン及び／又は前記試料から発生した微粒子を含む空気を前記排気管に吸引して、前記回収部で回収するようになっていることを特徴とする質量分析装置。
【請求項２】
前記排気管は、前記イオン化室の筐体外部と連通し、
前記イオン化室の器壁には、空気流入経路が形成されており、
前記導入管又は導入孔に導入されなかったイオン及び／又は微粒子を含む空気は、前記イオン化室の筐体外部に排出されるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項３】
前記空気流入経路中には、埃を除去するフィルタが配置されていることを特徴とする請求項２に記載の質量分析装置。
【請求項４】
前記導入管又は導入孔に導入されなかったイオン及び／又は微粒子を含む空気は、前記回収部でイオン及び／又は微粒子が回収された後、前記イオン化室の筐体内部に戻されるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項５】
前記回収部には、抗菌作用を有するフィルタが配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の質量分析装置。
【請求項６】
前記イオン化室で実行されるイオン化法は、マトリックス支援レーザ脱離イオン化法又はレーザ脱離イオン化法であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の質量分析装置。
【請求項７】
前記排気管の導入口の大きさは、前記導入管又は導入孔の導入口の大きさより大きくなっており、前記排気管の導入口の内部に、前記導入管又は導入孔が配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大気圧雰囲気下又は大気圧に近いガス圧雰囲気下でマトリックス支援レーザ脱離イオン化法（ＭＡＬＤＩ：Matrix Assisted Laser Desorption Ionization）やレーザ脱離イオン化法（ＬＤＩ）等により試料をイオン化し、発生したイオンを、高真空雰囲気中まで輸送して質量分析する質量分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
医学（新規バイオマーカの探索、病気の機構解明）や、薬学（薬物動態／安全性試験への応用）や、工学（材料開発／劣化解析への応用（有機ＥＬ、液晶、太陽電池））や、農学（異物検出（食品安全検査）、品種改良）等の分野では、試料をイオン化し、発生したイオンを質量分析することが行われている。薬物やペプチド等の試料を分析する場合には、例えば、大気圧ＭＡＬＤＩイオン源と四重極イオントラップと飛行時間型質量分離器（ＴＯＦＭＳ）とを備えたＭＡＬＤＩ質量分析装置が使用されている（例えば特許文献１参照）。このような大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置では、大気圧ＭＡＬＤＩイオン源で発生したイオンを四重極イオントラップにより捕捉し、必要に応じて多段階に開裂させ、ＴＯＦＭＳで質量分析している。【０００３】
図６は、大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置の全体構成図である。なお、地面に水平な一方向をＸ方向とし、地面に水平でＸ方向と垂直な方向をＹ方向とし、Ｘ方向とＹ方向とに垂直な方向をＺ方向とする。
大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置２０１は、試料Ｓを大気圧雰囲気（例えば１０５Ｐａ）下でイオン化するためのイオン化室２１０と、イオン化室２１０から導入されたイオンを高真空雰囲気（例えば１０−３Ｐａ〜１０−４Ｐａ）中で検出する質量分析部２０とから構成される。【０００４】
質量分析部２０には、イオン化室２１０に隣接する第１中間真空室２１と、第１中間真空室２１に隣接する第２中間真空室２２と、第２中間真空室２２に隣接する分析室２３とが設置されている。そして、イオン化室２１０の筐体内部は、大気圧雰囲気（例えば１０５Ｐａ）になっており、第１中間真空室２１の内部は、ロータリーポンプ２６により低真空状態（例えば１０２Ｐａ）に真空排気され、第２中間真空室２２の内部は、ターボ分子ポンプ２５により中真空状態（例えば１０−１Ｐａ〜１０−２Ｐａ）に真空排気され、分析室２３の内部は、ターボ分子ポンプ２５により高真空状態（例えば１０−３Ｐａ〜１０−４Ｐａ）に真空排気されるようになっている。すなわち、大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置２０１は、イオン化室２１０から分析室２３に向かって真空度を段階的に高くした多段差動排気系の構成となっている。
【０００５】
イオン化室２１０は、直方体形状（例えば幅６０ｃｍ×奥行き６０ｃｍ×高さ８０ｃｍ）のチャンバ１１（筐体）と、試料ステージ５０と、光学顕微鏡３０と、レーザ光源４１とを備える。これにより、チャンバ１１の内部に空間が形成されることになる。
チャンバ１１の内部の下面には、試料ステージ５０が設置されている。試料ステージ５０は、試料Ｓが載置されるためのブロック状の試料台と、試料台をＸ方向とＹ方向とＺ方向とに駆動させる駆動機構とを備える。【０００６】
チャンバ１１の内部の左部には、光学顕微鏡３０が配置されている。光学顕微鏡３０は、チャンバ１１の内部の上部に設置された落射照明用光源部３１及び画像取得装置３３と、チャンバ１１の内部の下部に配置された透過照明用光源部３２とを備える。
このような光学顕微鏡３０によれば、落射照明用光源部３１から出射された光は、試料ステージ５０によって所定の観察位置Ｐ１に配置された試料Ｓの設定領域に−Ｚ方向から照射されるようになっている。そして、試料Ｓの設定領域でＺ方向に反射した光が画像取得装置３３に導かれる。また、透過照明用光源部３２から出射された光は、試料ステージ５０によって所定の観察位置Ｐ１に配置された試料Ｓの設定領域にＺ方向から照射されるようになっている。そして、試料Ｓの設定領域でＺ方向に透過した光が画像取得装置３３に導かれる。その結果、画像取得装置３３は、検出された光に基づいて、試料Ｓの設定領域の拡大像をモニタ等に表示している。これにより、オペレータは、試料Ｓの設定領域の拡大像を観察しながら、試料Ｓ上における分析位置（特定位置）の決定等を行うことになる。そして、分析位置（特定位置）の決定等が行われた情報に基づいて、コンピュータ等は試料ステージ５０によって観察位置Ｐ１からイオン化位置Ｐ２に試料Ｓを移動させるようになっている。なお、落射照明用光源部３１と透過照明用光源部３２とは、基板や試料Ｓの透過性等によって使い分けられている。【０００７】
また、チャンバ１１の内部の右上部には、パルス状のレーザ光Ｌを出射するレーザ光源４１が設置され、マトリックス支援レーザ脱離イオン化法が実行されるようになっている。
そして、チャンバ１１の右側側壁には、温調機構が内蔵されたヒータブロックが固定してあり、ヒータブロックには、円管形状の導入管１２が形成されており、チャンバ１１の内部と第１中間真空室２１の内部とは、導入管１２を介して連通されている。なお、導入管１２は、Ｌ字形状となっており、導入口が下方（−Ｚ方向）を向き、出口が第１中間真空室２１の内部で右方（Ｘ方向）を向くように配置されている。【０００８】
このようなイオン化室２１０では、レーザ光源４１から出射されたレーザ光Ｌは、試料ステージ５０によって所定のイオン化位置Ｐ２に配置された試料Ｓの分析位置に上方から照射される。レーザ光Ｌが試料Ｓの分析位置に照射されると、試料Ｓの分析位置の目的物質は急速に加熱され、気化してイオン化される。このとき、チャンバ１１の内部に存在する空気は、チャンバ１１の内部と第１中間真空室２１の内部との差圧により、導入管１２を通して第１中間真空室２１の内部に流れ込むこととなり、この空気流に乗ってチャンバ１１の内部で生成されたイオンも導入管１２に引き込まれ、第１中間真空室２１の内部に吐出されることになる。【０００９】
第１中間真空室２１の内部には、第１イオンレンズが設けられている。第１イオンレンズにより発生する電場は、導入管１２を介したイオンの引き込みを助けるとともに、イオンを収束させる。
第２中間真空室２２の内部には、１個の円環状のリング電極と、それを挟むように対向して配置された一対のエンドキャップ電極とからなる３次元四重極型のイオントラップが設けられている。そして、第２中間真空室２２の内部に導入されたイオンは、３次元四重極型のイオントラップによって分析室２３の内部へと送られるようになっている。【００１０】
分析室２３の内部には、飛行管とイオン検出器２４とが設けられている。そして、所定の質量（厳密には質量電荷比ｍ／ｚ）を有するイオンが飛行管の空間を所定の時間で通り抜ける。飛行管を通り抜けたイオンは、イオン検出器２４に到達し、イオン検出器２４では到達したイオン量に応じたイオン強度信号を検出信号として出力する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００９−０５４４４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上述したような大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置２０１では、チャンバ１１の内部で生成されたイオンは、空気流に乗って導入管１２に引き込まれるようになっているが、一部のイオンやイオン化時に生じる微粒子は、導入管１２に引き込まれず、チャンバ１１内に拡散してチャンバ１１の内部全体を汚染してしまうという問題点があった。特に試料Ｓにヒトや動物等から採取された組織切片等の生体サンプルを用いた場合には、生物学的安全性の観点から、イオンや微粒子（エアロゾル）を拡散させてしまうことには問題があった。
そこで、本発明は、導入管に引き込まれなかったイオンや微粒子が、チャンバの内部に拡散することを防止した質量分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するためになされた本発明の質量分析装置は、レーザ光の照射により試料上の分析位置をイオン化するためのイオン化室と、イオンを検出する質量分析器を有する分析室とを備え、前記イオン化室の筐体内部から前記分析室の内部にイオンを導くための導入管又は導入孔が形成された質量分析装置であって、前記イオン化室の筐体内部に形成された排気管と、前記排気管に空気を引き込むファンとを備え、前記排気管は、回収部と接続されており、前記ファンを駆動させることにより、前記導入管又は導入孔に導入されなかったイオン及び／又は前記試料から発生した微粒子を含む空気を前記排気管に吸引して、前記回収部で回収するようになっている。
【００１４】
ここで、「微粒子」とは、レーザ光の照射によって試料から放出される目的物質の分子や、目的物質以外の分子や、目的物質の分子と目的物質以外の分子とが混ざったもの等の集合体のことをいう。
また、「導入管又は導入孔」は、イオン化室の筐体内部から分析室の内部にイオンを導くためのものであり、イオン化室と分析室との間に、真空度を段階的に高くするための中間真空室が配設された場合には、イオン化室の筐体内部と中間真空室の内部とを連通する導入管又は導入孔となる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明の質量分析装置によれば、導入管や導入孔に引き込まれなかったイオンや微粒子（エアロゾル）は、排気管に吸引されるため、イオン化室の筐体内部への拡散を防止することができ、汚染領域を限定することができる。このとき、ファンの風量を最適化することで、大きなサイズの微粒子はガス流の影響を強く受けて、導入管や導入孔に引き込まれにくくなり、その一方で、小さなサイズのイオンはガス流の影響を受けにくく、導入管や導入孔に引き込まれやすくなる。その結果、ＭＳ感度に影響を与えることを防止することができる。【００１６】
（他の課題を解決するための手段及び効果）
また、本発明の質量分析装置において、前記排気管は、前記イオン化室の筐体外部と連通し、前記イオン化室の器壁には、空気流入経路が形成されており、前記導入管又は導入孔に導入されなかったイオン及び／又は微粒子を含む空気は、前記イオン化室の筐体外部に排出されるようにしてもよい。【００１７】
また、本発明の質量分析装置において、前記空気流入経路中には、埃を除去するフィルタが配置されるようにしてもよい。
本発明の質量分析装置によれば、イオン化室の筐体内部への埃の侵入を抑制することができる。【００１８】
また、本発明の質量分析装置において、前記の導入管又は導入孔に導入されなかったイオン及び／又は微粒子を含む空気は、前記回収部でイオン及び／又は微粒子が回収された後、前記イオン化室の筐体内部に戻されるようにしてもよい。
【００１９】
また、本発明の質量分析装置において、前記回収部には、抗菌作用を有するフィルタが配置されるようにしてもよい。
また、本発明の質量分析装置において、前記イオン化室で実行されるイオン化法は、マトリックス支援レーザ脱離イオン化法又はレーザ脱離イオン化法であるようにしてもよい。【００２０】
そして、本発明の質量分析装置において、前記排気管の導入口の大きさは、前記導入管又は導入孔の導入口の大きさより大きく、前記排気管の導入口の内部に前記導入管又は導入孔が配置されているようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係る大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置の全体構成図。
【図２】第一実施形態に係るイオン化室の要部構成を示す斜視図。
【図３】軸流ファンの風量と、チャンバの内部に拡散されたイオンや微粒子の量との関係を説明する写真。
【図４】軸流ファンの風量と、イオン検出器で検出されたイオン収量との関係を示すグラフ。
【図５】第二実施形態に係るイオン化室の要部構成を示す斜視図。
【図６】従来の大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置の全体構成図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれる。
【００２３】
＜第一実施形態＞
図１は、本発明の実施形態に係る大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置の全体構成図である。なお、試料Ｓは、例えばヒトから採取された組織切片（生体サンプル）等であり、導電性のサンプルプレート（例えば７６ｍｍ×２６ｍｍ×１ｍｍ）上に載置されて用いられることとする。また、上述した大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置２０１と同様のものについては、同じ符号を付している。
大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置１は、試料Ｓを大気圧雰囲気（例えば１０５Ｐａ）下でイオン化するためのイオン化室１０と、イオン化室１０から導入されたイオンを高真空雰囲気（例えば１０−３Ｐａ〜１０−４Ｐａ）中で検出する質量分析部２０とから構成される。
【００２４】
ここで、図２は、第一実施形態に係るイオン化室１０の要部の構成を示す斜視図である。なお、一部を見やすくするために切断して示している。
イオン化室１０は、直方体形状（例えば幅６０ｃｍ×奥行き６０ｃｍ×高さ８０ｃｍ）のチャンバ（筐体）１１と、試料ステージ５０と、光学顕微鏡３０と、レーザ光源４１とを備える。これにより、チャンバ１１の内部に空間が形成されることになる。
【００２５】
そして、第一実施形態に係るチャンバ１１の内部の右上部には、円管形状（直径外径６ｃｍ、内径５ｃｍ）の排気ダクト（排気管）１３が形成されている。排気ダクト１３は、導入口１３ａが所定のイオン化位置Ｐ２に配置された試料Ｓの上方で下方（−Ｚ方向）を向き、排気口がチャンバ１１の外部となるように配置されている。そして、排気ダクト１３中には、排気ダクト１３中に空気をＺ方向（上方）に引き込むための軸流ファン１５が配置されている。なお、軸流ファン１５は、風量が調整可能となっている。
【００２６】
チャンバ１１の右側側壁には、温調機構が内蔵されたヒータブロックが固定してあり、ヒータブロックには、円管形状の導入管１２が形成されている。導入管１２は、Ｌ字形状となっており、導入口が下方（−Ｚ方向）を向き、導入口付近が排気ダクト１３の内部の中心に配置され、出口付近が排気ダクト１３の側壁を貫通した後、出口が第１中間真空室２１の内部で右方（Ｘ方向）を向くように配置されている。
【００２７】
また、第一実施形態に係るチャンバ１１の左側側壁の下部には、円形状（例えば直径５ｃｍ）の空気流入経路１９が形成されている。そして、空気流入経路１９中には、チャンバ１１の内部への埃の侵入を抑制することができるフィルタ１９ａが配置されている。
【００２８】
このようなイオン化室１０によれば、軸流ファン１５を適切な風量で駆動させることにより、所定量の空気が排気ダクト１３に吸引されて、チャンバ１１の外部に排出されるとともに、空気流入経路１９からチャンバ１１内部に所定量の空気が導入される。そして、レーザ光源４１から出射されたレーザ光Ｌは、試料ステージ５０によって所定のイオン化位置Ｐ２に配置された試料Ｓの分析位置に上方から照射される。レーザ光Ｌが試料Ｓの分析位置に照射されると、試料Ｓの分析位置の目的物質は急速に加熱され、気化してイオン化される。このイオン化時には微粒子も生じる。
そして、チャンバ１１の内部に存在する空気は、チャンバ１１の内部と第１中間真空室２１の内部との差圧により、導入管１２を通して第１中間真空室２１の内部に流れ込むこととなり、この空気流に乗ってチャンバ１１の内部で生成されたイオンも導入管１２に引き込まれ、第１中間真空室２１の内部に吐出される。一方、導入管１２に導入されなかったイオンや微粒子は、チャンバ１１の内部に存在する所定量の空気とともに、排気ダクト１３を通してチャンバ１１の外部に排出される。
【００２９】
ここで、軸流ファン１５の風量と、チャンバ１１の内部に拡散されたイオンや微粒子の量との関係について説明する。図３は、軸流ファン１５の風量と、チャンバ１１の内部に拡散されたイオンや微粒子の量との関係について説明するための写真である。
図３は、レーザ光源４１からレーザ照射直径１００μｍのレーザ光Ｌを、「蛍光物質」（試料）Ｓに３４時間、照射した分析後の写真であり、上段の写真は、試料台の下方（−Ｚ方向）となるチャンバ１１の下面のものであり、下段の写真は、試料台上のサンプルプレートの周縁部を撮影したものである。
【００３０】
比較例１は、軸流ファン１５を駆動させなかったとき（風量０）の写真であり、実施例１は、軸流ファン１５を風量０．０２５ｍ３／ｍｉｎで駆動させたときの写真であり、実施例２は、軸流ファン１５を風量０．０５ｍ３／ｍｉｎで駆動させたときの写真である。
比較例１では、試料台の下方となるチャンバ１１の下面（サンプルプレートの直下）にも、試料台上のサンプルプレートの周縁部（横）にも、多量のイオンや微粒子が付着していることがわかる。一方、実施例１及び実施例２では、試料台の下方となるチャンバ１１の下面にも、試料台上のサンプルプレートの周縁部にも、イオンや微粒子がほとんど付着していないことがわかる。
【００３１】
次に、軸流ファン１５の風量と、イオン検出器２４で検出されたイオン収量との関係について説明する。図４は、軸流ファン１５の風量と、イオン検出器２４で検出されたイオン収量との関係について説明するためのグラフである。
なお、図４のグラフは、試料Ｓとして「AngiotensinII+DHB」を分析したときのイオン収量比であり、軸流ファン１５を駆動させなかったときのイオン収量を基準の１．０としている。
【００３２】
実施例１は、軸流ファン１５を風量０．０２５ｍ３／ｍｉｎで駆動させたときのイオン収量比であり、実施例２は、軸流ファン１５を風量０．０５ｍ３／ｍｉｎで駆動させたときのイオン収量比であり、実施例３は、軸流ファン１５を風量０．４ｍ３／ｍｉｎで駆動させたときのイオン収量比である。
実施例１と実施例２とでは、イオン収量はほとんど変化しなかったが、実施例３では、イオン収量は低くなり、排気ダクト１３に吸引する際の風量を強くしすぎると、イオン収量に影響することがわかる。
【００３３】
以上のように、本発明の大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置１によれば、導入管１２に引き込まれなかったイオンや微粒子は、排気ダクト１３に吸引されるため、チャンバ１１内部への拡散を防止することができて、汚染領域を限定することができる。このとき、軸流ファン１５の風量を最適化することで、イオンはガス流の影響を受けにくく、導入管に引き込まれやすくなる。その結果、ＭＳ感度に影響を与えることを防止することができる。
【００３４】
＜第二実施形態＞
上述した大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置１では、排気ダクト１３の出口がチャンバ１１の外部に配置されるような構成としたが、排気ダクト１１３中に回収部１１４が形成され、排気ダクト１１３の出口１１３ｂがチャンバ１１１の内部に配置されるような構成としてもよい。図５は、第二実施形態に係るイオン化室１１０の要部の構成を示す斜視図である。なお、上述した大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置１と同様のものについては、同符号を付すことにより説明を省略する。
【００３５】
イオン化室１１０は、直方体形状（例えば幅６０ｃｍ×奥行き６０ｃｍ×高さ８０ｃｍ）のチャンバ（筐体）１１１と、試料ステージ５０と、光学顕微鏡３０と、レーザ光源４１とを備える。これにより、チャンバ１１１の内部に空間が形成されることになる。
そして、第二実施形態に係るチャンバ１１１の内部の右上部には、円管形状（直径外径６ｃｍ、内径５ｃｍ）の排気ダクト（排気管）１１３が形成されている。排気ダクト１１３は、導入口１１３ａが所定のイオン化位置Ｐ２に配置された試料Ｓの上方で下方（−Ｚ方向）を向き、出口１１３ｂがチャンバ１１１の内部の上部で左方（−Ｘ方向）を向くように配置されている。そして、排気ダクト１１３中には、回収部１１４と、排気ダクト１１３中に空気をＺ方向（上方）に引き込み、チャンバ１１１の内部の上部で左方（−Ｘ方向）に排出するための軸流ファン１１５とが配置されている。
【００３６】
回収部１１４は、四角筒形状の筐体と、筐体内部にフィルタとを有し、導入管１２に導入されなかったイオンや微粒子を含む空気を一端部から筐体内部に流通させ、筐体内部のフィルタでイオンや微粒子を回収した後、イオンや微粒子が除去された空気を他端部に排出することが可能となっている。
上記フィルタは、抗菌作用を有するものが好ましく、例えばセパレータ・ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタ（商品名「殺菌・酵素パックマン」、日本ケンブリッジフィルター株式会社製）等が挙げられる。
【００３７】
このようなイオン化室１１０によれば、軸流ファン１１５を適切な風量で駆動させることにより、所定量の空気が排気ダクト１１３に吸引されて、回収部１１４を通過した後にチャンバ１１１の内部へ排出される。そして、レーザ光源４１から出射されたレーザ光Ｌは、試料ステージ５０によって所定のイオン化位置Ｐ２に配置された試料Ｓの分析位置に上方から照射される。レーザ光Ｌが試料Ｓの分析位置に照射されると、試料Ｓの分析位置の目的物質は急速に加熱され、気化してイオン化される。このイオン化時には微粒子も生じる。
そして、チャンバ１１１の内部に存在する空気は、チャンバ１１１の内部と第１中間真空室２１（図１参照）の内部との差圧により、導入管１２を通して第１中間真空室２１の内部に流れ込むこととなり、この空気流に乗ってチャンバ１１１の内部で生成されたイオンも導入管１２に引き込まれ、第１中間真空室２１の内部に吐出される。一方、導入管１２に導入されなかったイオンや微粒子は、チャンバ１１１の内部に存在する所定量の空気とともに、排気ダクト１１３を通して回収部１１４に導かれる。回収部１１４は、導入管１２に導入されなかったイオンや微粒子を含む空気を筐体内部に流通させ、フィルタでイオンや微粒子を回収した後、イオンや微粒子が除去された空気をチャンバ１１１の内部に排出する。
【００３８】
以上のように、本発明の第二実施形態に係る大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置によれば、導入管１２に引き込まれなかったイオンや微粒子は、排気ダクト１１３により吸引されて回収部１１４に回収されるため、チャンバ１１１内部への拡散を防止することができるとともに、汚染領域を回収部１１４のみに限定することができる。
【００３９】
＜他の実施形態＞
（１）上述した大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置１では、マトリックス支援レーザ脱離イオン化法を用いた構成を示したが、レーザ脱離イオン化（Laser desorption ionization）や、帯電液滴を試料に吹き付ける脱離エレクトロスプレイイオン化（Desorption electrospray ionization）や、Ｈｅ等の準安定原子を用いたぺニングイオン化等のイオン化の手段を用いた構成としてもよい。
（２）上述した大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置１では、試料Ｓ上における分析位置（特定位置）の決定等を行うために、光学顕微鏡３０を備える構成を示したが、観察手段としてズームレンズ等を備えるような構成としてもよい。
（３）上述した大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置１では、チャンバ１１の右側側壁には、Ｌ字形状の円管形状の導入管１２が形成されている構成を示したが、チャンバの右側側壁には、一直線形状の円管形状の導入管が形成されたり、円形状や四角形状の導入孔が形成されたりしているような構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、大気圧雰囲気下又は大気圧に近いガス圧雰囲気下でマトリックス支援レーザ脱離イオン化法やレーザ脱離イオン化法等により試料をイオン化し、発生したイオンを、高真空雰囲気中まで輸送して質量分析する大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置等に好適に利用できる。
【符号の説明】
【００４１】
１  大気圧ＭＡＬＤＩ質量分析装置
１０  イオン化室
１１  チャンバ（筐体）
１２  導入管
１３  排気ダクト
１５  軸流ファン
２１  第１中間真空室
２２  第２中間真空室
２３  分析室
２４  イオン検出器
【図１】
0006004093.tif 000002
【図２】
0006004093.tif 000003
【図３】
0006004093.tif 000004
【図４】
0006004093.tif 000005
【図５】
0006004093.tif 000006
【図６】
0006004093.tif 000007