(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダ本体（１２）の軸線方向に沿ってスライドテーブル（１４）を往復動作させるリニアアクチュエータ（１０、１５０、２００）において、
前記シリンダ本体（１２）に取り付けられ、複数の転動体（５８）が循環する循環溝（８０、８８）の形成されたガイドブロック（７６）と、前記ガイドブロック（７６）の端部に設けられるカバー部材（７８ａ、７８ｂ、２０８ａ、２０８ｂ）とを有し、前記スライドテーブル（１４）を前記シリンダ本体（１２）の軸線方向に沿って案内するガイド機構（１６、２０６）と、
前記ガイドブロック（７６）に装着され、前記循環溝（８０）内に前記転動体（５８）を循環自在に保持すると共に、前記カバー部材（７８ａ、７８ｂ、２０８ａ、２０８ｂ）を前記ガイドブロック（７６）に対して保持する保持手段と、
を備え、
前記循環溝（８０）は、前記ガイドブロック（７６）において長手方向に沿って開口して形成されると共に、前記保持手段は、前記ガイドブロック（７６）に対して着脱自在に設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記保持手段は、前記転動体（５８）を保持する保持部材（８２ａ、８２ｂ、２０２ａ、２０２ｂ、２３０）を備え、前記保持部材（８２ａ、８２ｂ、２０２ａ、２０２ｂ、２３０）は、前記循環溝（８０）に沿って延在し前記転動体（５８）を保持する転動体保持部（１１２、２０４ａ、２０４ｂ、２３２）と、前記転動体保持部（１１２、２０４ａ、２０４ｂ、２３２）に対して折曲して前記カバー部材（７８ａ、７８ｂ、２０８ａ、２０８ｂ）を保持するカバー保持部（１１４ａ、１１４ｂ、２１０、２１２ａ、２１２ｂ、２３４ａ、２３４ｂ）とを有することを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記循環溝（８０）は、前記シリンダ本体（１２）側に向かって開口していることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項４】
請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記保持手段は、前記保持部材（８２ａ、８２ｂ、２０２ａ、２０２ｂ、２３０）と共に前記カバー部材（７８ａ、７８ｂ、２０８ａ、２０８ｂ）を前記ガイドブロック（７６）の端部に保持する別の保持部材（８４ａ、８４ｂ）を備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項５】
請求項４記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記別の保持部材（８４ａ、８４ｂ）は、前記ガイドブロック（７６）に沿って延在する直線部（１１８）と、
前記直線部（１１８）に対して折曲し、前記カバー部材（７８ａ、７８ｂ、２０８ａ、２０８ｂ）を保持する一組のカバー保持部（１２０ａ、１２０ｂ）とを有することを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記シリンダ本体（１２）には、前記循環溝（８０）に潤滑油を供給する潤滑油供給部（１５２）が設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項７】
請求項６記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記潤滑油供給部（１５２）は、前記シリンダ本体（１２）の外部に露呈し、前記循環溝（８０）に臨む部位まで延在する供給溝（１５４、１５６）であることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項８】
請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記転動体保持部（２０４ａ、２０４ｂ）は、互いに離間して平行に一対設けられ、前記循環溝（８０）の開口部（２２０）に設けられ、前記循環溝（８０）の延在方向に沿って配置されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項９】
請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記保持部材（８２ａ、８２ｂ、２０２ａ、２０２ｂ）は、線材を折曲させた状態で形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項１０】
請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記保持部材（２３０）は、板材をプレス成形した状態で形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項１１】
請求項８記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記保持部材（２３０）は、前記転動体保持部（２３２）が平面状に形成され、該前記転動体保持部（２３２）には、潤滑油の充填される充填部（２３６）が形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記充填部（２３６）は、前記転動体保持部（２３２）において前記転動体（５８）に臨む位置に設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。                                                                        
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】  従来から、ワーク等の搬送手段として、例えば、圧力流体の供給作用下に流体圧シリンダ等のリニアアクチュエータが用いられている。本出願人は、特許第３７９５９６８号公報に開示されているように、シリンダ本体に沿ってスライドテーブルを直線状に往復運動させることにより、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送可能なリニアアクチュエータを提案している。上述したようなリニアアクチュエータでは、近年、構成の簡素化及び製造コストの削減が要請されている。
【発明の概要】
【０００３】  本発明の一般的な目的は、構成の簡素化を図ると共に、安価に製造することが可能なリニアアクチュエータを提供することにある。
【０００４】  本発明は、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータにおいて、  前記シリンダ本体に取り付けられ、複数の転動体が循環する循環溝の形成されたガイドブロックと、前記ガイドブロックの端部に設けられるカバー部材とを有し、前記スライドテーブルを前記シリンダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、  前記ガイドブロックに装着され、前記循環溝内に前記転動体を循環自在に保持すると共に、前記カバー部材を前記ガイドブロックに対して保持する保持手段と、  を備え、  前記循環溝は、前記ガイドブロックにおいて長手方向に沿って開口して形成されると共に、前記保持手段は、前記ガイドブロックに対して着脱自在に設けられることを特徴とする。
【０００５】  本発明によれば、リニアアクチュエータを構成するガイド機構は、ガイドブロックの長手方向に沿って開口した循環溝を備え、前記循環溝を循環する複数の転動体が保持手段によって保持される。この保持手段は、複数の転動体をガイドブロックの循環溝に対して循環自在に保持すると共に、前記ガイドブロックの端部に設けられるカバー部材を保持している。
【０００６】  従って、カバー部材を、例えば、ガイドブロックに対してボルト等で組み付ける場合と比較し、保持手段を用いることで簡便に組み付けることができると共に構成の簡素化を図ることができる。
【０００７】  また、ガイドブロックには、転動体の循環する貫通孔を設ける代わりに、長手方向に沿って開口した循環溝を形成しているため、該貫通孔を形成する場合と比較し、その加工工数及び加工コストの削減を図ることが可能となる。その結果、リニアアクチュエータにおける製造コストが削減され、安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータの外観斜視図である。
【図２】図２は、図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図３】図３は、図２のリニアアクチュエータを別の方向から見た分解斜視図である。
【図４】図４は、図１のリニアアクチュエータの全体縦断面図である。
【図５】図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。
【図６】図６は、図４のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【図７】図７は、図４のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。
【図８】図８は、図１のリニアアクチュエータを構成するガイド機構の外観斜視図である。
【図９】図９は、図８のガイド機構を別の方向から見た外観斜視図である。
【図１０】図１０は、図８に示すガイド機構の分解斜視図である。
【図１１】図１１は、本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータの外観斜視図である。
【図１２】図１２は、図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った断面図である。
【図１３】図１３は、本発明の第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図１４】図１４は、図１３のリニアアクチュエータを構成するガイド機構の外観斜視図である。
【図１５】図１５は、図１４のガイド機構を別の方向から見た外観斜視図である。
【図１６】図１６は、図１４に示すガイド機構の分解斜視図である。
【図１７】図１７は、図１４のガイド機構に用いられるボールクリップの外観斜視図である。
【図１８】図１８は、図１４のＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図１９】図１９は、図１３のリニアアクチュエータの長手方向と直交方向を示す縦断面図である。
【図２０】図２０は、変形例に係るボールクリップを示す外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】  このリニアアクチュエータ１０は、図１〜図７に示されるように、シリンダ本体１２と、該シリンダ本体１２の上部に設けられ、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル１４と、前記シリンダ本体１２とスライドテーブル１４との間に介装され、前記スライドテーブル１４を長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って案内するガイド機構１６と、前記スライドテーブル１４の変位量を調整自在なストッパ機構１８とを含む。
【００１０】  シリンダ本体１２は、断面長方形状で長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定長さで形成され、その上面には、略中央部に断面略円弧状に窪んだ凹部２０が形成される（図２参照）。この凹部２０は、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って延在すると共に、シリンダ本体１２とガイド機構１６とを連結する連結ボルト２２の挿通される一組のボルト孔２４が貫通している。
【００１１】  また、シリンダ本体１２の一側面には、圧力流体の供給・排出される第１及び第２ポート２６、２８が該シリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と直交するように形成され、後述する一対の貫通孔３０ａ、３０ｂと連通している。さらに、シリンダ本体１２の両側面には、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿ってセンサ取付溝３２ａ、３２ｂがそれぞれ形成され、図示しないセンサが装着される。
【００１２】  シリンダ本体１２の下面には、軸線上となる幅方向の中央部に一組のボルト孔２４が形成され、下方より連結ボルト２２が挿通される。そして、連結ボルト２２は、その先端部が前記シリンダ本体１２の上面より突出し、ガイド機構１６のガイドブロック７６に螺合されることによって互いに連結される。
【００１３】  一方、シリンダ本体１２の内部には、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って貫通した一対の貫通孔３０ａ、３０ｂが形成され、一方の貫通孔３０ａと他方の貫通孔３０ｂとは、所定間隔離間して略平行に並設されている。貫通孔３０ａ、３０ｂには、外周面にシールリング３４及びマグネット３６が装着されたピストン３８と、前記ピストン３８に連結されたピストンロッド４０とを含むシリンダ機構４２がそれぞれ設けられる。このシリンダ機構４２は、一対のピストン３８及びピストンロッド４０が一対の貫通孔３０ａ、３０ｂにそれぞれ内装され構成される。
【００１４】  貫通孔３０ａ、３０ｂの一端部は、図５に示されるように、キャップ４４によって閉塞され、前記貫通孔３０ａ、３０ｂの他端部は、止め輪を介して保持されるロッドホルダ４６によって気密に閉塞される。
【００１５】  さらに、一方の貫通孔３０ａは、第１及び第２ポート２６、２８とそれぞれ連通し、他方の貫通孔３０ｂは、一方の貫通孔３０ａとの間に形成された一組の接続通路４８を介して互いに連通している。すなわち、第１及び第２ポート２６、２８に供給された圧力流体は、一方の貫通孔３０ａへと導入された後、接続通路４８を通じて他方の貫通孔３０ｂにも導入される。この接続通路４８は、貫通孔３０ａ、３０ｂの延在方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と直交するように形成されている。
【００１６】  スライドテーブル１４は、テーブル本体５０と、該テーブル本体５０の他端部に連結されるエンドプレート５２とを備え、前記エンドプレート５２は、前記テーブル本体５０に対して直交するように連結される。
【００１７】  テーブル本体５０は、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定厚さで延在するベース部５４と、該ベース部５４の両側部から直交するように下方へと延在した一対のガイド壁５６ａ、５６ｂとからなる。そして、ガイド壁５６ａ、５６ｂの内面には、後述するガイド機構１６のボール（転動体）５８が案内される第１ボール案内溝６０が形成される。この第１ボール案内溝６０は、断面略半円状に窪んで形成される。
【００１８】  また、テーブル本体５０の一端部には、一対のボルト６２ａによって後述するストッパ機構１８のホルダ部６４が固定される。また、テーブル本体５０の他端部には、別の一対のボルト６２ｂによってエンドプレート５２が固定される。
【００１９】  ベース部５４には、例えば、互いに所定間隔離間して配置された４個のワーク保持用孔部６６が形成され、このワーク保持用孔部６６は、例えば、スライドテーブル１４に載置されたワーク（図示せず）を固定するために用いられる。
【００２０】  エンドプレート５２は、テーブル本体５０の他端部に固定され、シリンダ本体１２の端面に臨むように設けられると共に、一組のロッド孔６８に挿通されたピストンロッド４０の端部がそれぞれ固定される。これにより、エンドプレート５２を含むスライドテーブル１４が、ピストンロッド４０と共にシリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位する。
【００２１】  また、エンドプレート５２の略中央部には、ダンパ装着孔を介してダンパ７０が装着される。このダンパ７０は、例えば、ゴム等の弾性材料からなり、その端部がエンドプレート５２の端面から突出し、スライドテーブル１４の変位作用下に共に前記ダンパ７０がシリンダ本体１２の端面に当接する。
【００２２】  ストッパ機構１８は、テーブル本体５０における一端部の下面に設けられるホルダ部６４と、前記ホルダ部６４に対して螺合されるストッパボルト７２と、前記ストッパボルト７２の進退動作を規制するロックナット７４とを有し、シリンダ本体１２に設けられたガイド機構１６の端面に臨むように設けられる。
【００２３】  ホルダ部６４は、ブロック状に形成され、スライドテーブル１４を構成するテーブル本体５０のベース部５４に対して２本のボルト６２ａで固定される。このホルダ部６４の中心部には、ねじ孔を介してストッパボルト７２に螺合される。
【００２４】  ストッパボルト７２は、例えば、外周面にねじの刻設された軸状のスタッドボルトからなり、ホルダ部６４のねじ孔に螺合され、ホルダ部６４の端面から突出した部位にはロックナット７４が螺合される。
【００２５】  そして、ストッパボルト７２をホルダ部６４に対して螺回させることにより、該ストッパボルト７２が軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位し、ガイド機構１６に接近・離間させると共に、ロックナット７４を螺回することで前記ストッパボルト７２の進退動作を規制する。
【００２６】  ガイド機構１６は、図８〜図１０に示されるように、幅広扁平状のガイドブロック７６と、該ガイドブロック７６の両端部に設けられる一対のカバーブロック（カバー部材）７８ａ、７８ｂと、前記ガイドブロック７６の長手方向に沿って循環する複数のボール５８と、前記ボール５８を前記ガイドブロック７６のボール循環溝８０に保持する一対のボールクリップ（保持部材）８２ａ、８２ｂとを含む。また、ガイド機構１６は、前記カバーブロック７８ａ、７８ｂを前記ガイドブロック７６に対して保持する一対のカバークリップ（別の保持部材）８４ａ、８４ｂと、前記カバーブロック７８ａ、７８ｂに装着される二対のカバープレート８６ａ、８６ｂとを含む。
【００２７】  ガイドブロック７６は、例えば、ステンレスや炭素鋼等の金属製材料から形成され、その両側面に長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って第２ボール案内溝８８が形成されると共に、その下面にはボール５８の装填される一対のボール循環溝８０が長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って形成される。すなわち、第２ボール案内溝８８とボール循環溝８０とが略平行に形成される。なお、第２ボール案内溝８８は、第１ボール案内溝６０と同様に断面半円状に形成される。
【００２８】  そして、ガイド機構１６の上部にスライドテーブル１４が配置された際、第２ボール案内溝８８は、第１ボール案内溝６０と対向する位置に形成され、ボール循環溝８０はシリンダ本体１２の上面に臨むように形成される。
【００２９】  また、ガイドブロック７６の上面には、その中央部に長手方向に沿って延在し、上方へと膨出した突部９０が形成される。この突部９０は、上方に向かって若干だけ幅狭となる断面台形状に形成される。
【００３０】  カバーブロック７８ａ、７８ｂは、例えば、ナイロン等の樹脂製材料からなり、本体部９２と、該本体部９２の幅方向略中央で切り欠かれた切欠部９４とを有している。
【００３１】  本体部９２は、切欠部９４を中心として幅方向左右に２分割して形成されると共に、ガイドブロック７６に当接する一端面が平面状に形成され、該一端面と反対側となる他端面が段付状に形成される。
【００３２】  また、本体部９２の幅方向略中央には、下方に向かって断面円弧状に膨出した円弧部９６が形成され、前記円弧部９６は、ガイド機構１６がシリンダ本体１２の上部に連結された際、凹部２０に挿入される。
【００３３】  さらに、本体部９２は、ガイドブロック７６の端面に当接した際、ボール循環溝８０の端部を閉塞すると共に、切欠部９４は、カバーブロック７８ａ、７８ｂの一端面から他端面まで貫通しているため、前記ガイドブロック７６の端面が前記切欠部９４を介して露呈している。そして、スライドテーブル１４の変位作用下にガイドブロック７６の端面に対してストッパ機構１８のストッパボルト７２が当接することにより、スライドテーブル１４の変位が規制される。
【００３４】  また、本体部９２の一端面には、ボール５８の循環方向を反転させる一組のリターンガイド９８が装着孔１００を介してそれぞれ設けられる。このリターンガイド９８は、断面半円状に形成され外周面にボール５８の転動する溝状のガイド部１０２を備える。そして、リターンガイド９８の装着されたカバーブロック７８ａ、７８ｂがガイドブロック７６の両端面に装着された際、前記リターンガイド９８の一端部がボール循環溝８０に接続され、他端部が第２ボール案内溝８８に接続される。
【００３５】  すなわち、リターンガイド９８によってボール循環溝８０と第２ボール案内溝８８とが連続的に接続され、ボール５８は、前記リターンガイド９８においてボール循環溝８０からガイド部１０２を介して第１及び第２ボール案内溝６０、８８へと１８０°方向変換して連続的に転動する。
【００３６】  一方、本体部９２の他側面には、切欠部９４を中心として一対の保持穴１０４ａ、１０４ｂが互いに等間隔離間して形成されると共に、該保持穴１０４ａ、１０４ｂに対して幅方向外側には、長手方向に突出した位置決めピン１０６ａ、１０６ｂがそれぞれ形成される。この保持穴１０４ａ、１０４ｂは、前記本体部９２の一端面側に向かって所定深さで形成される。
【００３７】  また、本体部９２の他端面は、位置決めピン１０６ａ、１０６ｂを有する部位が、保持穴１０４ａ、１０４ｂの形成される部位に対して一端面から離間する方向に突出して形成される。
【００３８】  すなわち、本体部９２の他端面は、切欠部９４に隣接した中央部近傍に対して幅方向外側が一端面から離間する方向に所定高さだけ突出した段付状に形成される。
【００３９】  さらに、本体部９２には、保持穴１０４ａ、１０４ｂの側部にボールクリップ８２ａ、８２ｂの一部が挿入されるクリップ溝１０８が形成される。このクリップ溝１０８は、本体部９２の他端面から下面に連続するように断面略Ｌ字状に形成され、その一端部がボール循環溝８０に連通し、他端部には、本体部９２の一端面側に向かって窪んだクリップ穴（図示せず）が形成される。なお、クリップ溝１０８は、後述するボールクリップ８２ａ、８２ｂの太さに対応した幅寸法で形成される。
【００４０】  ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、例えば、ステンレス等の金属製材料から形成された線材からなり、一直線上に形成された第１直線部１１２と、該第１直線部１１２の両端部に形成された一対の第１折曲部１１４ａ、１１４ｂとを備える。この第１折曲部１１４ａ、１１４ｂは、第１直線部１１２に対して略直交するように形成される。なお、一方の第１折曲部１１４ａと他方の第１折曲部１１４ｂとは、第１直線部１１２に対して同一方向に折曲され、且つ、互いに略平行となるように形成される。
【００４１】  また、第１折曲部１１４ａ、１１４ｂの端部には、該端部からさらに略直角に折曲して互いに接近する方向に延在した係合部１１６がそれぞれ形成される。この係合部１１６は、第１直線部１１２と略平行に形成され、第１折曲部１１４ａ、１１４ｂに対して所定長さで形成される。
【００４２】  さらに、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、一方の第１折曲部１１４ａと他方の第１折曲部１１４ｂとの長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った離間距離が、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂとガイドブロック７６との長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った長さと略同等若しくは若干だけ小さくなるように形成される。
【００４３】  そして、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、第１直線部１１２がガイドブロック７６の下面側となるように装着され、ボール循環溝８０の内部に挿入される。詳細には、第１直線部１１２は、ボール循環溝８０においてガイドブロック７６の中心側、且つ、該ガイドブロック７６の下面に近接した部位に配置される（図７参照）。
【００４４】  すなわち、この第１直線部１１２が、ボール循環溝８０においてボール５８の外周面に当接することによって該ボール５８が保持され、前記ボール５８は、前記ボール循環溝８０から離間する方向への脱落が防止された状態で該ボール循環溝８０に保持される。
【００４５】  換言すれば、第１直線部１１２は、ボール循環溝８０において複数のボール５８をガイドブロック７６の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って循環自在にガイドしている。
【００４６】  また、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、ガイドブロック７６の両端面に一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂがそれぞれ設けられた状態で、第１直線部１１２の両端部及び第１折曲部１１４ａ、１１４ｂが前記カバーブロック７８ａ、７８ｂのクリップ溝１０８に挿入されると共に、係合部１１６がクリップ穴にそれぞれ挿入される。これにより、ボールクリップ８２ａ、８２ｂが、ガイドブロック７６及びカバーブロック７８ａ、７８ｂに対して保持されると同時に、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂが、ボールクリップ８２ａ、８２ｂによって前記ガイドブロック７６を挟んで互いに引っ張られる方向に付勢されるため、前記ガイドブロック７６に当接した状態で保持される。
【００４７】  すなわち、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、複数のボール５８をガイドブロック７６に対して保持する機能と、該ガイドブロック７６の両端部に対して一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂを保持する機能とを兼ね備えている。
【００４８】  カバークリップ８４ａ、８４ｂは、例えば、ステンレス等の金属製材料から形成された線材からなり、一直線上に形成された第２直線部１１８と、該第２直線部１１８の両端部に形成された一対の第２折曲部１２０ａ、１２０ｂとからなる。なお、カバークリップ８４ａ、８４ｂは、例えば、ボールクリップ８２ａ、８２ｂより太い線材で形成される。
【００４９】  この第２折曲部１２０ａ、１２０ｂは、第２直線部１１８に対して略直交するように形成されると共に、その端部近傍には前記第２直線部１１８の延在方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に膨出した膨出部１２２を備える。なお、一方の第２折曲部１２０ａと他方の第２折曲部１２０ｂとは、第２直線部１１８に対して同一方向に折曲され、互いに略平行となるように形成される。
【００５０】  膨出部１２２は、例えば、断面円弧状に形成され、一方の第２折曲部１２０ａにおける膨出部１２２と他方の第２折曲部１２０ｂにおける膨出部１２２とが互いに接近する方向に膨出している。
【００５１】  また、カバークリップ８４ａ、８４ｂは、一方の第２折曲部１２０ａと他方の第２折曲部１２０ｂとの長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った離間距離が、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂとガイドブロック７６との長手方向に沿った長さと略同等若しくは若干だけ小さくなるように形成される。
【００５２】  カバープレート８６ａ、８６ｂは、例えば、金属製材料からなるプレートをプレス成形することによって形成され、一方及び他方のカバーブロック７８ａ、７８ｂにおける本体部９２の他側面に対してそれぞれ一対ずつ装着される。
【００５３】  このカバープレート８６ａ、８６ｂは、カバーブロック７８ａ、７８ｂの他側面に対応した段付状に形成され、その一端部に形成され保持穴１０４ａ、１０４ｂに挿入される挿入部１２４と、該挿入部１２４に対してカバープレート８６ａ、８６ｂの幅方向外側となる他端部に形成されたピン孔１２６とを備える。
【００５４】  挿入部１２４は、カバープレート８６ａ、８６ｂの厚さ方向において一側面側に半球状に突出し、他側面側となる内部が凹状に窪んで形成される。
【００５５】
そして、カバープレート８６ａ、８６ｂは、カバーブロック７８ａ、７８ｂに装着される際、該カバープレート８６ａ、８６ｂを前記カバーブロック７８ａ、７８ｂの他端面に当接させ、ピン孔１２６に位置決めピン１０６ａ、１０６ｂを挿入すると共に、挿入部１２４を保持穴１０４ａ、１０４ｂに挿入する。これにより、一対のカバープレート８６ａ、８６ｂが、カバーブロック７８ａ、７８ｂの他端面に対して位置決めされた状態で装着される。
【００５６】
また、ガイドブロック７６の両端面に一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂが装着された状態で、前記ガイドブロック７６の上方側からカバークリップ８４ａ、８４ｂを装着する。この際、カバークリップ８４ａ、８４ｂの第２直線部１１８が、ガイドブロック７６の上面に当接し、且つ、突部９０に接するように配置されると共に、膨出部１２２が挿入部１２４の他側面側となる窪みにそれぞれ挿入され係合される。
【００５７】  これにより、カバープレート８６ａ、８６ｂがカバーブロック７８ａ、７８ｂに当接し、該カバーブロック７８ａ、７８ｂがガイドブロック７６の端面に当接した状態で、前記カバープレート８６ａ、８６ｂ、カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びガイドブロック７６が、一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂによって長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に相対変位することがないように保持される。換言すれば、カバークリップ８４ａ、８４ｂは、カバープレート８６ａ、８６ｂ、カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びガイドブロック７６を、前記ガイドブロック７６の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に連接させた状態で保持する。
【００５８】  この際、カバークリップ８４ａ、８４ｂは、その第２直線部１１８がガイドブロック７６の上方に露呈するように配置され、一方、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、その第１直線部１１２が前記ガイドブロック７６の下方に露呈するように配置される。
【００５９】  本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次に前記リニアアクチュエータ１０を構成するガイド機構１６の組み付けについて説明する。
【００６０】  先ず、図１０に示される状態から、ガイドブロック７６のボール循環溝８０及び第２ボール案内溝８８に複数のボール５８を装填した後、前記ガイドブロック７６の両端面にそれぞれカバーブロック７８ａ、７８ｂを当接させる。なお、この場合、第２ボール案内溝８８に装填されたボール５８は、図示しない治具等によってガイドブロック７６から脱落することがないように保持される。
【００６１】  次に、一対のボールクリップ８２ａ、８２ｂをガイドブロック７６に対して接近させ、その第１直線部１１２をそれぞれ一対のボール循環溝８０内に挿入して配置した後、第１折曲部１１４ａ、１１４ｂをクリップ溝１０８に挿入すると共に係合部１１６をクリップ孔にそれぞれ挿入する。これにより、ボール循環溝８０において複数のボール５８がボールクリップ８２ａ、８２ｂの第１直線部１１２によって保持され、前記ボール５８が開口したボール循環溝８０から脱落することがない。
【００６２】  また、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂは、一対のボールクリップ８２ａ、８２ｂの係合部１１６がクリップ孔に係合され、且つ、第１折曲部１１４ａ、１１４ｂがクリップ溝１０８に挿入されることで、それぞれガイドブロック７６側に向かって押圧される。そのため、カバーブロック７８ａ、７８ｂが、ボールクリップ８２ａ、８２ｂによってガイドブロック７６の両端面に対して保持される。換言すれば、一方のカバーブロック７８ａと他方のカバーブロック７８ｂとが、ボールクリップ８２ａ、８２ｂによって互いに接近する方向へと引張される。
【００６３】  最後に、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂに対してそれぞれカバープレート８６ａ、８６ｂを装着する。この場合、先ず、カバープレート８６ａ、８６ｂの挿入部１２４をカバーブロック７８ａ、７８ｂの保持穴１０４ａ、１０４ｂに挿入し、ピン孔１２６に位置決めピン１０６ａ、１０６ｂを挿入することで、前記カバーブロック７８ａ、７８ｂに対して一対のカバープレート８６ａ、８６ｂがそれぞれ位置決めされる。そして、ガイドブロック７６及びカバーブロック７８ａ、７８ｂに対してボールクリップ８２ａ、８２ｂとは反対側から一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂを接近させ、第２直線部１１８を突部９０近傍に当接させると共に、膨出部１２２を前記カバープレート８６ａ、８６ｂの挿入部１２４に対して挿入する。
【００６４】  これにより、一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂの両端部によってカバープレート８６ａ、８６ｂがそれぞれカバーブロック７８ａ、７８ｂに装着された状態で保持され、前記カバープレート８６ａ、８６ｂによってクリップ溝１０８及びクリップ孔に挿入されたボールクリップ８２ａ、８２ｂの両端部が覆われ保持される。また、カバープレート８６ａ、８６ｂ、カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びガイドブロック７６が一体的に固定される。
【００６５】  その結果、カバープレート８６ａ、８６ｂがカバーブロック７８ａ、７８ｂに当接し、該カバーブロック７８ａ、７８ｂがガイドブロック７６の端面に当接した状態で、前記カバープレート８６ａ、８６ｂ、カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びガイドブロック７６が、一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂによって長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に相対変位することがないように連接され一体的に保持される。
【００６６】  そして、このように組み付けられたガイド機構１６を、連結ボルト２２を介してシリンダ本体１２の上部に固定する。
【００６７】  以上のように、第１の実施の形態では、リニアアクチュエータ１０を構成するガイド機構１６において、一対のボールクリップ８２ａ、８２ｂを用いることで複数のボール５８をガイドブロック７６に対して循環自在に保持することができると共に、前記ガイドブロック７６の両端部に当接させた一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂを一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂで簡便に固定することができる。その結果、ガイドブロック７６、カバーブロック７８ａ、７８ｂ等を含むガイド機構１６を、例えば、ボルト等を用いて互いに組み付ける場合と比較し、簡便に組み付けることができると共に、構成の簡素化を図ることができる。そのため、ガイド機構１６を含むリニアアクチュエータ１０において製造工数の削減を図ることができる。
【００６８】  また、ガイドブロック７６には、ボール５８の循環する貫通孔を設ける代わりに、下方に向かって開口したボール循環溝８０を形成し、該ボール循環溝８０に前記ボール５８を循環させる構成としている。そのため、前記貫通孔を形成する場合と比較し、加工工数及び加工コストの削減を図ることが可能となる。その結果、リニアアクチュエータ１０における製造コストの削減を図ることができる。
【００６９】  さらに、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、弾性を有しているため、ガイドブロック７６及びカバーブロック７８ａ、７８ｂに装着された状態で、複数のボール５８の外周面に対して追従するように変形させることが可能であり、前記ボール５８を循環可能な状態で確実に保持することが可能である。
【００７０】  また、ボールクリップ８２ａ、８２ｂは、カバーブロック７８ａ、７８ｂに形成されたクリップ溝１０８に装着されることで確実且つ簡便に位置決めされるため、前記ボールクリップ８２ａ、８２ｂを常に複数のボール５８に対して同じ位置で保持することが可能となり、前記ボール５８を安定的に保持することができる。
【００７１】  さらに、カバークリップ８４ａ、８４ｂは、その膨出部１２２がカバープレート８６ａ、８６ｂの挿入部１２４に挿入され係合されることで、該カバープレート８６ａ、８６ｂに対する脱落してしまうことが防止される。その結果、カバークリップ８４ａ、８４ｂによってカバープレート８６ａ、８６ｂ、カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びガイドブロック７６を確実且つ安定的に連結状態とすることができる。
【００７２】  さらにまた、一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂを、一対のボールクリップ８２ａ、８２ｂでガイドブロック７６に対して保持すると同時に、該ボールクリップ８２ａ、８２ｂより太い線材で形成された一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂで前記カバーブロック７８ａ、７８ｂを保持しているため、前記カバーブロック７８ａ、７８ｂを確実且つ強固に前記ガイドブロック７６の両端面に対して固定することができる。
【００７３】  またさらに、ガイドブロック７６において、ボール５８の装填されるボール循環溝８０が、シリンダ本体１２に臨む下面側に開口するように設けられているため、前記ボール５８は、ボールクリップ８２ａ、８２ｂで保持され、該ボールクリップ８２ａ、８２ｂが前記シリンダ本体１２の上面に当接することで保持される。そのため、ボールクリップ８２ａ、８２ｂの強度を大きく設定しなくとも、前記シリンダ本体１２の上面と共に前記ボール５８を確実に保持することが可能である。
【００７４】  次に、上述したように組み付けられたガイド機構１６を含むリニアアクチュエータ１０の動作並びに作用効果について簡単に説明する。なお、図４及び図５に示されるように、スライドテーブル１４を構成するエンドプレート５２が、シリンダ本体１２の端面に当接した状態を初期位置として説明する。
【００７５】  先ず、図示しない圧力流体供給源から圧力流体を第１ポート２６へと導入する。この場合、第２ポート２８は、図示しない切換弁の操作下に大気開放状態としておく。
【００７６】  この第１ポート２６に供給された圧力流体は、一方の貫通孔３０ａへ供給されると共に、接続通路４８を通じて他方の貫通孔３０ｂへと供給され、ピストン３８をロッドホルダ４６側（矢印Ａ方向）に向かって押圧する。これにより、ピストン３８に連結されたピストンロッド４０と共に、スライドテーブル１４がシリンダ本体１２から離間する方向へと変位する。
【００７７】  この際、ガイド機構１６を構成するボール５８が、スライドテーブル１４の変位に伴ってボール循環通路に沿って転動することにより、前記スライドテーブル１４が前記ガイド機構１６によって軸線方向に沿って案内される。
【００７８】  そして、スライドテーブル１４の一端部に設けられたストッパボルト７２の端部が、ガイド機構１６を構成するガイドブロック７６の端面に当接することにより、前記スライドテーブル１４の変位が停止した変位終端位置となる。
【００７９】  このストッパ機構１８は、ロックナット７４を緩め、ストッパボルト７２の進退動作を可能とした後、該ストッパボルト７２を螺回させてホルダ部６４の端面からの突出量を調整することにより、スライドテーブル１４の変位量を調整することが可能である。
【００８０】  一方、上述した変位終端位置からスライドテーブル１４を前記とは反対方向に変位させる場合には、第１ポート２６に供給されていた圧力流体を第２ポート２８に対して供給すると共に、前記第１ポート２６を大気開放状態とする。これにより、第２ポート２８から一対の貫通孔３０ａ、３０ｂへと供給された圧力流体によってピストン３８がロッドホルダ４６から離間する方向（矢印Ｂ方向）へと変位し、該ピストン３８と共にピストンロッド４０を介してスライドテーブル１４がシリンダ本体１２に接近する方向へと変位する。そして、スライドテーブル１４を構成するエンドプレート５２に設けられたダンパ７０が、シリンダ本体１２の端面に当接することにより初期位置へと復帰する。
【００８１】
なお、上述したガイド機構１６では、複数のボール５８及び一対のカバーブロック７８ａ、７８ｂを保持するためのボールクリップ８２ａ、８２ｂと、前記カバーブロック７８ａ、７８ｂ及びカバープレート８６ａ、８６ｂを保持するためのカバークリップ８４ａ、８４ｂとをそれぞれ備える構成としているが、この構成に限定されるものではなく、例えば、カバープレート８６ａ、８６ｂ及びカバークリップ８４ａ、８４ｂを設けることなく、ボールクリップ８２ａ、８２ｂのみで前記ボール５８と共にカバーブロック７８ａ、７８ｂを保持する構成としてもよい。この場合には、ガイド機構１６の部品点数及び組み付け工数の削減を図ることができる。
【００８２】  次に、第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０を図１１及び図１２に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００８３】  この第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０では、図１１及び図１２に示されるように、シリンダ本体１２及びガイド機構１６において、例えば、グリス等の潤滑油をボール循環溝８０のボール５８へと供給可能な潤滑油供給部１５２を備えている点で、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と相違している。
【００８４】  この潤滑油供給部１５２は、例えば、シリンダ本体１２の上面に形成され、該シリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と直交方向に延在した第１供給溝１５４と、前記第１供給溝１５４と連通し、ガイド機構１６を構成するガイドブロック７６の下面に形成された第２供給溝１５６とからなる。
【００８５】  この第１供給溝１５４は、例えば、複数（４本）設けられ、シリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定間隔離間して配置されると共に、前記シリンダ本体１２の凹部２０を中心とした両側にそれぞれ形成される。そして、第１供給溝１５４は、シリンダ本体１２の上面に対して所定深さだけ窪んで形成され、シリンダ本体１２の両側面からガイドブロック７６のボール循環溝８０に臨む位置まで延在している。
【００８６】  第２供給溝１５６は、第１供給溝１５４と同様に複数設けられ、ガイドブロック７６の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と直交して延在し、ガイド機構１６がシリンダ本体１２に組み付けられた際に、前記第１供給溝１５４と一直線状となるように形成される。また、第２供給溝１５６は、ガイドブロック７６の両側面から一対のボール循環溝８０まで延在し、その端部が前記ボール循環溝８０内に装填されたボール５８と対峙するように形成される。
【００８７】  そして、図示しない潤滑油供給手段（例えば、グリス注入具）で第１供給溝１５４の端部から潤滑油をそれぞれ給油することにより、前記潤滑油が前記第１供給溝１５４に沿ってガイド機構１６側へと導かれると共に、該潤滑油の一部が前記第１供給溝１５４から第２供給溝１５６へと導かれる。これにより、潤滑油がボール循環溝８０の内部に供給され、複数のボール５８を潤滑する。
【００８８】  すなわち、潤滑油供給部１５２に潤滑油を定期的に供給することで、簡便且つ確実に複数のボール５８の潤滑を行うことができ、前記ボール５８を円滑に循環させることによりスライドテーブル１４を円滑に変位させることが可能であり、しかも、前記ボール５８の耐久性を向上させることが可能となる。
【００８９】  また、ボール５８の潤滑を行う際に、リニアアクチュエータ１５０を分解することなく潤滑油供給部１５２を介して簡便に行うことができるため、前記リニアアクチュエータ１５０におけるメンテナンス性の向上を図ることができる。
【００９０】  さらに、ガイドブロック７６において、ボール５８の装填されるボール循環溝８０が、シリンダ本体１２に臨む下面側に開口しているため、前記シリンダ本体１２の上面側に第１供給溝１５４を設けることで、簡便に潤滑油を前記ボール循環溝８０へと供給することが可能となる。
【００９１】  さらにまた、上述した構成を有するガイド機構１６は、第１及び第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０、１５０のように、シリンダ本体１２に供給される圧力流体によって変位するシリンダ機構４２を有し、前記シリンダ機構４２及びガイド機構１６を介してスライドテーブル１４を駆動させる流体圧シリンダに用いられる場合に限定されるものではない。例えば、上述したガイド機構１６を備え、モータ等の駆動源によってスライドテーブル１４をシリンダ本体１２に沿って変位させる電動アクチュエータに適用するようにしてもよい。
【００９２】  次に、第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２００を図１３〜図１９に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００９３】  このリニアアクチュエータ２００は、一対の直線部２０４ａ、２０４ｂを有してボール５８を保持可能なボールクリップ２０２ａ、２０２ｂを備え、且つ、カバープレート８６ａ、８６ｂを廃止したガイド機構２０６を用いている点で、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と相違している。
【００９４】  このガイド機構２０６は、図１３〜図１６に示されるように、幅広扁平状のガイドブロック７６と、該ガイドブロック７６の両端部に設けられる一対のカバーブロック２０８ａ、２０８ｂと、前記ガイドブロック７６の長手方向に沿って循環する複数のボール５８と、前記ボール５８を前記ガイドブロック７６のボール循環溝８０に保持する一対のボールクリップ２０２ａ、２０２ｂと、前記カバーブロック２０８ａ、２０８ｂを前記ガイドブロック７６に対して保持する一対のカバークリップ８４ａ、８４ｂとを含む。
【００９５】  ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂは、図１７に示されるように、例えば、ステンレス等の金属製材料から形成された線材からなり、一直線上に形成され、且つ、略平行に形成された一対の直線部２０４ａ、２０４ｂと、該直線部２０４ａ、２０４ｂの一端部同士を接続する接続部２１０と、前記直線部２０４ａ、２０４ｂの他端部に形成された折曲部２１２ａ、２１２ｂとを含む。
【００９６】  直線部２０４ａ、２０４ｂは、例えば、ボール循環溝８０の幅寸法と略同一の間隔で離間して設けられると共に、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った長さが、一対のカバーブロック２０８ａ、２０８ｂとガイドブロック７６との長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った長さと略同等若しくは若干だけ小さくなるように形成される。
【００９７】  接続部２１０は、一方の直線部２０４ａにおける一端部と、他方の直線部２０４ｂにおける一端部とを接続するように断面略Ｕ字状に形成され、前記直線部２０４ａ、２０４ｂの長手方向と直交するように形成される。
【００９８】  折曲部２１２ａ、２１２ｂは、直線部２０４ａ、２０４ｂの他端部に対して端部が一端部側（矢印Ａ方向）となるように折曲され形成される。なお、一方の折曲部２１２ａと他方の折曲部２１２ｂとは、互いに略平行となるように形成される。このボールクリップ２０２ａ、２０２ｂは、例えば、単一の線材をプレス成形等によって折り曲げることによって形成される。
【００９９】
カバーブロック２０８ａ、２０８ｂは、ガイドブロック７６の一端部及び他端部側にそれぞれ設けられ、その本体部には、前記ガイドブロック７６のボール循環溝８０と一直線状となる位置にそれぞれ第１クリップ溝２１４が形成されると共に、前記第１クリップ溝２１４に対して円弧部９６側となる位置には、カバークリップ８４ａ、８４ｂの係合される一対の第２クリップ溝２１６が形成される。
【０１００】  第１クリップ溝２１４は、カバーブロック２０８ａ、２０８ｂの端面に対してガイドブロック７６側へと窪み、その上部が前記ガイドブロック７６側に向かうように傾斜して形成される。すなわち、図１８に示されるように、第１クリップ溝２１４は、下端部から上端部に向かってガイドブロック７６側へと所定角度だけ傾斜するように形成される。
【０１０１】  この第１クリップ溝２１４は、所定間隔離間して上方に向かって延在し、その間には、ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂの接続部２１０が係合される凸部２１８が設けられる。凸部２１８は、例えば、上端部が半円状に形成され、前記第１クリップ溝２１４に対して所定高さでカバーブロック２０８ａ、２０８ｂの端面側に突出している。
【０１０２】  第２クリップ溝２１６は、その上方が第１クリップ溝２１４から離間する方向に傾斜してそれぞれ形成され、カバークリップ８４ａ、８４ｂの第２折曲部１２０ａ、１２０ｂがそれぞれ挿入され係合される。
【０１０３】  そして、ガイド機構２０６においてボールクリップ２０２ａ、２０２ｂ、カバークリップ８４ａ、８４ｂを装着する際には、先ず、ボール循環溝８０が上方となるようにガイドブロック７６を載置し、該ボール循環溝８０に複数のボール５８を装填した状態で、ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂの直線部２０４ａ、２０４ｂを前記ボール５８の外周面に当接するようにボール循環溝８０の開口部２２０へと載置する（図１９参照）。
【０１０４】  次に、ガイドブロック７６の両端部にそれぞれカバーブロック２０８ａ、２０８ｂを配置し、第２クリップ溝２１６にそれぞれカバークリップ８４ａ、８４ｂの第２折曲部１２０ａ、１２０ｂを係合させることにより、一対のカバーブロック２０８ａ、２０８ｂがガイドブロック７６の両端部に保持され、同時に、ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂの接続部２１０を、一方のカバーブロック２０８ａにおける凸部２１８に係合させ、折曲部２１２ａ、２１２ｂを、他方のカバーブロック２０８ｂにおける第１クリップ溝２１４へと係合させる。
【０１０５】  これにより、ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂが、接続部２１０及び折曲部２１２ａ、２１２ｂを介して一対のカバーブロック２０８ａ、２０８ｂに保持され、直線部２０４ａ、２０４ｂによって複数のボール５８がボール循環溝８０内に保持された状態となり、ガイド機構２０６に対して一対のボールクリップ２０２ａ、２０２ｂ及びカバークリップ８４ａ、８４ｂが組み付けられた状態となる。
【０１０６】  以上のように、第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２００では、上述した第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０で用いられていたカバープレート８６ａ、８６ｂが不要となるため、部品点数を削減して小型軽量化を図ることができると共に、組付工数の削減を図ることにより、製造性の向上を図ることができ、しかも、製造コストの削減も可能となる。
【０１０７】  また、ガイドブロック７６のボール循環溝８０に装填されるボール５８を、一対の直線部２０４ａ、２０４ｂで該ボール５８の進行方向に沿って移動可能に保持できるため、前記ボール５８を確実に保持でき、前記ボール循環溝８０からの脱落を確実に防止できる。さらに、ボール５８を、一対の直線部２０４ａ、２０４ｂで保持することで、例えば、１本の直線部でボール５８をボール循環溝８０に対して保持する場合と比較し、前記ボール５８の摺動抵抗を低減できるため、スライドテーブル１４を移動させる際に、前記ボール５８をボール循環溝８０に沿ってより一層円滑に転動させることができる。
【０１０８】  さらに、ボールクリップ２０２ａ、２０２ｂによってボール循環溝８０内のボール５８を確実に保持できるため、前記ボール循環溝８０の開口部２２０を大きく形成することが可能となり、例えば、該ボール循環溝８０を有したガイドブロック７６を引抜加工や鍛造等によって形成する場合の製造性を向上させることができる。
【０１０９】  また、上述したボールクリップ２０２ａ、２０２ｂは、図１７に示されるような線材から形成される場合に限定されるものではなく、図２０に示される変形例に係るボールクリップ２３０のように、例えば、金属製材料や樹脂製材料からなる板材をプレス成形することで形成するようにしてもよい。
【０１１０】  このボールクリップ２３０は、所定幅を有して長手方向に延在し、ボール５８を保持するボール保持部２３２と、前記ボール保持部２３２の両端部に形成され、略直角に折曲した一対の折曲部２３４ａ、２３４ｂとを備える。ボール保持部２３２は、例えば、平板状に形成され、その中央部にはグリス等の潤滑油が充填される充填溝２３６が形成される。充填溝２３６は、ボール保持部２３２の長手方向に沿って互いに離間するように複数設けられ、該ボール保持部２３２の表面に対して所定深さで窪んで形成される。
【０１１１】  折曲部２３４ａ、２３４ｂは、その上端部が断面半円状に形成され、中央に係合孔２３８が形成されたフレーム状に形成される。なお、折曲部２３４ａ、２３４ｂは、ボール保持部２３２と略同一の幅寸法で形成される。
【０１１２】
そして、上述したボールクリップ２３０をガイドブロック７６、カバーブロック２０８ａ、２０８ｂに装着する際、前記ガイドブロック７６のボール循環溝８０にボール５８を装填した状態で、ボール保持部２３２の表面、すなわち、充填溝２３６側の面を前記ボール５８に臨むように配置した後、折曲部２３４ａ、２３４ｂをそれぞれカバーブロック２０８ａ、２０８ｂの第１クリップ溝２１４に挿入すると共に、係合孔２３８を凸部２１８に対して係合させる。
【０１１３】  これにより、ボールクリップ２３０が、一対の折曲部２３４ａ、２３４ｂを介して一対のカバーブロック２０８ａ、２０８ｂに保持され、ボール保持部２３２によって複数のボール５８がボール循環溝８０内に保持された状態となり、しかも、潤滑油の充填された充填溝２３６が複数のボール５８に臨む位置に配置されるため、前記ボール循環溝８０に沿ってボール５８が転動する際に、潤滑油によって好適に潤滑がなされる。
【０１１４】  このように、板材をプレス成形することでボールクリップ２３０を形成することにより、製造コストを削減できると共に、製造性を向上させることができる。また、ボール保持部２３２を平板状とすることで、潤滑油を充填可能な充填溝２３６を形成することが可能となり、ボール５８の潤滑機能を持たせることができる。
【０１１５】  なお、本発明に係るリニアアクチュエータは、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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