(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気部品検査用ソケットと、前記電気部品検査用ソケットに収納された検査対象の電気部品を検査する検査機構とを備えた電気部品検査装置であって、
前記電気部品検査用ソケットが、
ベースと、
前記ベースからスプリングを介し、前記ベースから間をあけてフローティング支持されたプレートと、
前記プレートの前記ベースと対向する対向面に交差するように、前記ベースに設けられたプローブと、
前記ベースと前記プレートの間であって、口を前記プローブに向けて前記プレートの対向面に平行して設けられたニードルと、
前記ニードルが収納されるように、前記プレートの対向面に前記ニードルに沿って設けられた溝と
を有し、
前記ニードルの口から前記プローブへ不活性ガスを噴射させて供給するガス供給機構と、
前記スプリングに抗して前記ベースに前記プレートを当接させて前記溝内に前記ニードルを収納し、前記ニードルから前記プローブへのガス供給を遮断するシャッタ機構と
を備え、
前記シャッタ機構によって前記ガス供給機構からのガス供給を遮断して前記検査機構によって検査を行うことを特徴とする電気部品検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の電気部品検査装置において、
前記プローブがマトリクス状に群をなして設けられ、
ガス噴射の方向が互い違いとなるように、前記プローブの群を挟んで対をなす前記ニードルが互いに位置をずらして前記プローブの群の隅に口を向けて設けられることを特徴とする電気部品検査装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の電気部品検査装置において、
前記ニードルの口が、該ニードルの長さ方向またはこれと交差する方向に設けられることを特徴とする電気部品検査装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気部品検査装置において、
前記電気部品検査用ソケットが、
前記プレートの対向面と反対側の反対面に設けられ、前記電気部品が収納される凹部と、
前記プレートの対向面から前記凹部の底部へ貫通して設けられ、前記プローブが挿入された孔と
を有することを特徴とする電気部品検査装置。
【請求項５】
ベースと、
前記ベースからスプリングを介し、前記ベースから間をあけてフローティング支持されたプレートと、
前記プレートの前記ベースと対向する対向面に交差するように、前記ベースに設けられたプローブと、
前記ベースと前記プレートの間であって、口を前記プローブに向けて前記プレートの対向面に平行して設けられたニードルと、
前記スプリングに抗して前記ベースに前記プレートが当接した際に前記ニードルが収納されるように、前記プレートの対向面に前記ニードルに沿って設けられた溝と、
前記プレートの対向面と反対側の反対面に設けられ、検査対象の電気部品が収納される凹部と、
前記プレートの対向面から前記凹部の底部へ貫通して設けられ、前記プローブが挿入された孔と
を有することを特徴とする電気部品検査用ソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気部品検査装置およびこれに用いられる電気部品検査用ソケット（以下、ソケットという）に関し、特に、半導体素子を含んでパッケージングされた電気部品の電気的特性を測定する検査に適用して有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
実用新案登録第３１４２６７７号公報（特許文献１）には、電気部品のテスト（検査ともいう）に用いられる装置に関する技術が記載されている。この装置では、電気部品収容部が形成されたステージを基台に内装し、また、基台に設けられたガス供給穴の出口位置を、電気部品収容部とコンタクトピン（テストプローブともいう）の配置した領域に連通する位置に設定している。そして、ガス供給穴から電気部品収容部、コンタクトピン配置部およびその周囲などに不活性ガスを供給して連続的に不活性ガスパージすることで、テスト中の外気混入を阻止して、コンタクトピンの表面の酸化を防止し、磨耗粉塵を除去する（特許文献１の請求項１、図２、段落［００１０］）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実用新案登録第３１４２６７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、チップ状の半導体素子（いわゆる半導体チップ）を含んでパッケージングされた電気部品（半導体装置）がある。この電気部品のいわゆる後工程では、不良品の発見などを目的として、電気的特性を測定する最終検査が行われる。この最終検査は、ソケットで電気部品を固定して、テストプローブを電気部品の外部端子に接触させて行われる。
【０００５】
このようにテストプローブと電気部品の外部端子とが接触してテストが行われるため、その接触抵抗は低いことが好ましい。しかしながら、累積して例えば１０００〜４０００個程度の電気部品を検査した後のテストプローブでは、接触抵抗が高くなり、導通が取れずに検査ができない問題が生じる。
【０００６】
この原因として、王冠状のプローブ先端（接触部）の剪断力による電気部品の外部端子の削りかす（例えば酸化膜）、半導体（例えばシリコン）やソケット材料（例えば樹脂）のかす、空気中の浮遊物などの異物がプローブ先端に付着することが考えられる。また、プローブ先端が、摩擦によるジュール熱、高温検査時における電気部品への加熱、スパーク、通電によるジュール熱などの影響による金属溶着や、摩耗、アウトガス（空気）による劣化（例えば酸化）することも考えられる。
【０００７】
特に、錫やハンダ（鉛フリー）を主体とした外部端子を備えたＢＧＡ（Ball Grid Array）、ＱＦＰ（Quad Flat Package）、ＱＦＮ（Quad Flat Non-Leaded Package）構造の電気部品では、外部端子と接触するプローブ先端が酸化錫などの異物で汚れやすい。
【０００８】
このため、最終検査工程では、プローブ先端の異物（例えば酸化膜）を除去するために、人手によって、化学的なクリーニング（例えばアルコール洗浄）や、物理的なクリーニング（例えば消しゴム、粘着テープ、ステンレスブラシによる清掃）を、数千個をテストした後に一度の割合で行っている。また、最終検査工程を行う検査装置は高額であるため秒単価が高く、人手によるクリーニングでのダウンタイムは検査効率において非常に大きな損失となってしまう。
【０００９】
なお、最終検査において、例えば、特許文献１に記載の装置を用いることもできる。しかしながら、この装置は、電気部品収容部、コンタクトピン配置部およびその周囲などを連続的に不活性ガスでパージするものであるため、大量の不活性ガスを消費してしまう。また、特許文献１の装置は、所定温度（例えば１３０℃〜１５０℃）に電気部品を加熱して行う高温検査には不向きであると考えられる。なぜなら、電気部品収容部に収容された電気部品が不活性ガスによって常に冷却されて所定温度で検査できない、あるいは所定温度になるまで電気部品を加熱し続ける必要があると考えられるからである。
【００１０】
本発明の目的は、電気部品の電気的特性を測定する検査の信頼性と効率を向上することのできる技術を提供することにある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明の一実施形態における電気部品検査装置は、電気部品検査用ソケットと、前記電気部品検査用ソケットに収納された検査対象の電気部品を検査する検査機構とを備える。前記電気部品検査用ソケットが、ベースと、前記ベースからスプリングを介し、前記ベースから間をあけてフローティング支持されたプレートと、前記プレートの前記ベースと対向する対向面に交差するように、前記ベースに設けられたプローブと、前記ベースと前記プレートの間であって、口を前記プローブに向けて前記プレートの対向面に平行して設けられたニードルと、前記ニードルが収納されるように、前記プレートの対向面に前記ニードルに沿って設けられた溝とを有する。また、前記電気検査装置は、前記ニードルの口から前記プローブへ不活性ガスを噴射させて供給するガス供給機構と、前記スプリングに抗して前記ベースに前記プレートを当接させて前記溝内に前記ニードルを収納し、前記ニードルから前記プローブへのガス供給を遮断するシャッタ機構とを備える。
そして、前記電気検査装置は、前記シャッタ機構によって前記ガス供給機構からのガス供給を遮断して前記検査機構によって検査を行う。
【発明の効果】
【００１２】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。本発明の一実施形態によれば、電気部品の電気的特性を測定する検査の信頼性と効率を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態における電気部品検査装置の概略構成の説明図である。
【図２】図１に示した電気部品検査装置の要部であるソケットの平面図である。
【図３】図２に示したソケットの要部の平面図である。
【図４】図１に示した電気部品検査装置の要部の動作説明図である。
【図５】図４に続く電気部品検査装置の要部の動作説明図である。
【図６】図５に続く電気部品検査装置の要部の動作説明図である。
【図７】図６に続く電気部品検査装置の要部の動作説明図である。
【図８】図１に示した電気部品検査装置の効果を説明するための特性図である。
【図９】図８に示した電気部品検査装置の効果と比較するための特性図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下の本発明の実施形態では、必要な場合に複数のセクションなどに分けて説明するが、原則、それらはお互いに無関係ではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細などの関係にある。このため、全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１５】
また、構成要素の数（個数、数値、量、範囲などを含む）については、特に明示した場合や原理的に明らかに特定の数に限定される場合などを除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。また、構成要素などの形状に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうではないと考えられる場合などを除き、実質的にその形状などに近似または類似するものなどを含むものとする。
【００１６】
（電気部品検査装置の構成）
本発明の一実施形態における電気部品検査装置１０およびこれに用いられるソケット１１の構成について、図１および図２を参照して説明する。図１は、電気部品検査装置１０の概略構成の説明図である。また、図２は、図１に示した電気部品検査装置１０の要部であるソケット１１の平面図である。ここで、図１では、電気部品検査装置１０の断面を示しているが、説明を明解にするために一部にハッチングを付していない。また、図１では、図２のＡ−Ａ線に対応してソケット１１を示している。また、図２では、説明を明解にするために一部を透視して示している。
【００１７】
まず、電気部品検査装置１０について説明する。電気部品検査装置１０は、種々の部品およびそれらを含んで構成された種々の機構を備えている。図１に示すように、電気部品検査装置１０は、検査対象（ワーク）である電気部品Ｗの検査を行う際に、電気部品Ｗを収納するソケット１１を備えている。また、電気部品検査装置１０は、電気部品Ｗを検査する検査機構１２と、ソケット１１に不活性ガスを供給するガス供給機構１３と、ガス供給を遮断するシャッタ機構１４と、電気部品Ｗを保持してソケット１１へ搬送する搬送機構１５とを備えている。
【００１８】
また、電気部品検査装置１０は、テスタ２０と、ハーネス２１を介してテスタ２０と電気的に接続され、またソケット１１と電気的に接続された配線基板２２とを備えている。電気部品検査装置１０（検査機構１２）では、このような電気的接続を介して、ソケット１１に収納された電気部品Ｗの電気的特性を測定する検査が行われる。
【００１９】
また、電気部品検査装置１０は、ガス管２３を介してソケット１１にガスを供給するガス供給部２４を備えている。電気部品検査装置１０（ガス供給機構１３）では、供給された不活性ガスによって、ソケット１１のクリーニング（例えば異物除去）やメンテナンス（例えば劣化防止）が行われる。
【００２０】
また、電気部品検査装置１０は、電気部品Ｗを搬送するシャトル（不図示）と、シャトルからソケット１１へ電気部品Ｗを搬送するアーム（不図示）と、このアームの先端に設けられ、電気部品Ｗを保持するプッシャー１６とを備えている。電気部品検査装置１０（搬送機構１５）では、シャトルからソケット１１へ電気部品Ｗがロードされ、検査後、ソケット１１からシャトルへ電気部品Ｗがアンロードされる。
【００２１】
また、電気部品検査装置１０は、ソケット１１の一部を露出するために底部が開口した凹部３０ａを有するドッグプレート３０と、ソケット１１の取り付けを補強するための樹脂補強板３１および金属補強板３２とを備えている。
【００２２】
電気部品検査装置１０では、外形がブロック状のソケット１１が、ドッグプレート３０の凹部３０ａに嵌め込まれる。そして、積み重ねられたドッグプレート３０、ソケット１１、配線基板２２、樹脂補強板３１および金属補強板３２が、所定の位置（図２に示す平面視矩形状のソケット１１の四隅の位置）でそれらを貫通するボルトによって一体に組み付けられている。ここでは、ソケット１１は、ドッグプレート３０から電気部品Ｗを収納する側が露出して組み付けられる。また、配線基板２２が主に樹脂基板であるため、配線基板２２と金属補強板３２との緩衝に樹脂補強板３１を用いている。
【００２３】
なお、ドッグプレート３０に複数の凹部３０ａを設けて、それぞれに複数のソケット１１を嵌め込んで共通の配線基板２２を介してテスタ２０と接続すれば、複数の電気部品Ｗの検査を一度に行うことができる。
【００２４】
次に、電気部品検査装置１０の要部であるソケット１１について説明する。ソケット１１は、ベース４０と、このベース４０の一面（図１中、上側面）を覆い、厚さ方向に貫通した開口部４１ａを有するフレームカバー４１と、この開口部４１ａ内においてベース４０から間をあけてフローティング支持されたプレート４２（フローティングプレート）とを備えている。カバー４１は、プレート４２の周囲でベース４０にボルト４３（図２参照）によって一体に組み付けられている。プレート４２は、ベースからコイル状のスプリング４４を介してフローティング支持され、ストッパ４５によってベース４０との間隔、すなわち空間が確保されている。
【００２５】
ストッパ４５は、平面視矩形状のプレート４２の四隅で、ベース４０とプレート４２とを組み付けている。スプリング４４は、ストッパ４５で囲まれた領域よりも内側で、ベース４０およびプレート４２のそれぞれに形成された凹部に両端が挿入されて、ベース４０とプレート４２とを付勢している。スプリング４４は、例えば、０．３〜０．６ｍｍ径のピアノ線を巻いて形成されたものである。
【００２６】
また、ソケット１１は、プレート４２のベース４０と対向する対向面４２ａに交差するように、ベース４０の一面から直立してベース４０に設けられたプローブ４６（テストプローブ）と、プローブ４６の端部でプローブ４６を固定するリテーナ４７とを備えている。プローブ４６は、平面視マトリクス状（例えば８×８の行列）に群Ｇ（図２参照）をなしてベース４０の厚さ方向に貫通して設けられている。これらプローブ４６は、リテーナ４７によって、脱落しないように固定されている。このリテーナ４７は、ベース４０の他面（図１中、下側面）に形成された凹部内でボルト４８によって組み付けられている。
【００２７】
プローブ４６は、電気部品Ｗに形成された外部端子と接触する先端（当接部が王冠状のプランジャ４６ａ）と、配線基板２２の一面（図１中、上側面）に形成された外部端子（配線に含まれる）と接触する他端（バーレル４６ｂ）と、プランジャ４６ａとバーレル４６ｂとの間に設けられたスプリング（不図示）とを有している。バーレル４６ｂに対してプランジャ４６ａはスプリングによって付勢され、上下に移動可能となっている。また、プランジャ４６ａの一部、バーレル４６ｂの一部、およびスプリングが筒４６ｃ内に挿入されており、この筒４６ｃによってプランジャ４６ａが上下に移動可能に案内される。
【００２８】
プランジャ４６ａは、例えばベリリウム銅で形成され、その表面にニッケル系（ニッケル、ニッケル−リンなど）めっき、金めっきの順でめっき膜が形成されたものである。また、バーレル４６ｂは、例えば銅合金で形成され、その表面にニッケル系めっきでめっき膜が形成されたものである。また、プローブ４６のスプリングは、例えばピアノ線を巻いて形成されたものである。
【００２９】
プランジャ４６ａの最表面を金めっき膜で覆うことでプランジャ４６ａの酸化を防止し、接触抵抗の低下を図ることができる。また、ベリリウム銅と金めっき膜との間にニッケル系めっき膜を介在させることで金めっき膜の密着性を向上させ、プランジャ４６ａの経時劣化を防止することができる。
【００３０】
また、ソケット１１は、ベース４０とプレート４２の間であって、口５０ａ（先端）をプローブ４６に向けてプレート４２の対向面４２ａに平行して設けられたニードル５０を備えている。このニードル５０は、例えばステンレスで形成されたものである。
【００３１】
ニードル５０は、外径が例えば０．５ｍｍ程度、内径が例えば０．３ｍｍ程度であり、カバー４１の外周側部から開口部４１ａまで貫通する貫通孔４１ｂに挿入されている。この貫通孔４１ｂは、ニードル５０の他端でニードル５０を片持ち支持することとなる。ニードル５０の他端がガス管２３に接続されており、ガス供給部２４からの供給を受けてニードル５０の口５０ａからガスが噴射される。なお、ニードル５０を貫通孔４１ｂの長さ方向に移動させることで、ソケット１１の大きさを変えずに、大きさの異なる電気部品Ｗにも対応することができる。
【００３２】
ここで、ニードル５０の平面配置について、図３を参照して説明する。図３は、図２に示したソケット１１の要部の平面図である。図３では、矢印でガスが流れる方向を示している。図２および図３に示すように、ガス噴射の方向が互い違いとなるように、プローブ４６の群を挟んで対をなすニードル５０が互いに位置をずらして平面視マトリクス状のプローブ４６の群Ｇの隅Ｃ１〜Ｃ４に口５０ａを向けて設けられている。
【００３３】
具体的には、隅Ｃ１、Ｃ３にそれぞれ口５０ａを向けた一対のニードル５０Ａ、５０Ａが、ガス噴射の方向（隅Ｃ１から隅Ｃ４への方向と、隅Ｃ３から隅Ｃ２への方向）が互い違いとなるように、互いに位置をずらして同一平面内に延在している。また、隅Ｃ２、Ｃ４にそれぞれ口５０ａを向けた一対のニードル５０Ｂ、５０Ｂが、ガス噴射の方向（隅Ｃ２から隅Ｃ１への方向と、隅Ｃ４から隅Ｃ３への方向）が互い違いとなるように、互いに位置をずらして同一平面内に延在している。そして、これらニードル５０の口５０ａは、プローブ４６からオフセットされた位置に設けられている。また、ニードル５０の口５０ａは、ニードル５０の長さ方向に設けられている。なお、ニードル５０の口５０ａは、ニードル５０の長さ方向と交差する方向（すなわちニードル５０の外周面）に設けられても良い。
【００３４】
これにより、例えば図３に示すような渦巻き状のガス流が発生して群Ｇ内を攪拌していく。したがって、群Ｇの中心に設けられているプローブ４６までガスを行き渡らせることができる。また、プローブ４６（プランジャ４６ａ）に噴射されるガスとして、例えば、高純度の窒素や二酸化炭素などの不活性ガスが用いることで、プランジャ４６ａの表面の酸化を防止することができる。
【００３５】
なお、群Ｇの中心に設けられているプローブ４６までガスを行き渡らせるためには、例えば、プローブ４６の群Ｇの周囲に口５０ａを揃えて並べた複数のニードル５０を設けることも考えられる。しかしながら、本実施形態のように、互い違いにガス噴射して渦巻き状のガス流を発生させるために少なくとも一対のニードル５０Ａ、５０Ａを設ければ、少ないニードル本数で群Ｇの中心までガスを行き渡らせることができる。これにより、ソケット１１の部材点数を抑制することができる。
【００３６】
また、ソケット１１は、プレート４２の対向面４２ａと反対側の反対面４２ｂに設けられ、電気部品Ｗが収納される収納凹部５１（パッケージガイド部）を備えている。収納凹部５１では、電気部品Ｗを収納しやすいように、開口側から底部側へすぼまるように内壁が傾斜して形成され、また平面視矩形状の電気部品Ｗの四隅に合わせてポケット５２（図２参照）が形成されている。
【００３７】
また、ソケット１１は、プレート４２の対向面４２ａから収納凹部５１の底部へ貫通して設けられ、プローブ４６の先端（プランジャ４６ａ）が挿入された貫通孔５３を備えている。貫通孔５３（図４参照）では、一端部５３ａが、収納凹部５１の底部側が電気部品Ｗの外部端子を収納しやすいように、他端部５３ｂ（プランジャ４６ａの外径寸法）よりも大きく開口して形成されている。この貫通孔５３の一端部５３ａに電気部品Ｗの外部端子Ｂ（バンプ電極）を収納することで、外部端子Ｂが形成された側の面で電気部品Ｗを収納凹部５１の底面に当接させることができる（図５参照）。
【００３８】
また、ソケット１１は、スプリング４４に抗してベース４０にプレート４２が当接した際にニードル５０が収納されるように、プレート４２の対向面４２ａにニードル５０に沿って設けられたニードル溝５４を備えている。このニードル溝５４は、ニードル５０の径寸法よりも深く、プレート４２の外周側部から貫通孔５３（あるいはポケット５２）の手前までプレート４２の対向面４２ａに形成されている。ニードル５０の口５０ａがプローブ４６（プランジャ４６ａ）にガス噴射できるようにプランジャ４６ａの手前に設けられるので、これに合わせて貫通孔５３の手前までニードル溝５４を形成している。
【００３９】
（電気部品検査装置の動作）
本発明の一実施形態における電気部品検査装置１０の動作について、図４〜図７を参照して説明する。図４〜図７は、電気部品検査装置１０の動作説明図であって、特に、ソケット１１の要部断面を示している。
【００４０】
図４に示すように、ニードル５０の口５０ａからプローブ４６へ不活性ガスを噴射させて供給する（ガス供給機構１３）。また、プッシャー１６によって、電気部品Ｗを収納凹部５１内に搬送する（搬送機構１５）。
【００４１】
不活性ガスの噴射により、図３に示すような渦巻き状の不活性ガスの流れが発生し、群Ｇの中心に設けられているプローブ４６までガスを行き渡らせることができる。そして、このプローブ４６の軸方向に沿って不活性ガスが上昇し、プローブ４６の先端（プランジャ４６ａ）と貫通孔５３との間を通って収納凹部５１まで達する。
【００４２】
また、プランジャ４６ａを不活性ガスで吹くことで、付着している異物を取り除くこと（クリーニング）ができる。また、検査によって温度上昇したプローブ４６を冷却し、プローブ４６の劣化を防止することができる。また、プローブ４６周りを不活性ガス雰囲気とすることでプランジャ４６ａが酸化するのを防止すること（メンテナンス）ができる。
【００４３】
また、プローブ４６へ噴射された不活性ガスが、貫通孔５３を通じて収納凹部５１側へ流れることとなり、プランジャ４６ａとともに電気部品Ｗの外部端子Ｂの酸化も防止することができる。また、接触する直前まで不活性ガスが電気部品Ｗに吹き付けられるので、そのエアクッション効果により、プランジャ４６ａの耐久性を向上することができる。
【００４４】
続いて、図５に示すように、位置合わせしてハンドラ２５によって電気部品Ｗを収納凹部５１に収納する。この際、電気部品Ｗの四隅がポケット５２（図２参照）に収納され、また、電気部品Ｗの外部端子Ｂが貫通孔５３の一端部５３ａに収納される。
【００４５】
続いて、図６に示すように、プッシャー１６によって、電気部品Ｗを収納凹部５１の底部に押し付けると共に、スプリング４４に抗してプレート４２をベース４０側へ下降させる。ベース４０とプレート４２との間の空間はガス雰囲気となっており、ベース４０とプレート４２との間にはエアクッション効果が生じている。これにより、ベース４０とプレート４２とが当接しても損傷を低減することができるので、ソケット１１の耐久性を向上することができる。
【００４６】
続いて、図７に示すように、更に、プッシャー１６によって、電気部品Ｗを収納凹部５１の底部に押し付けると共に、スプリング４４に抗してベース４０にプレート４２を当接させてニードル溝５４内にニードル５０を収納し、ニードル５０からプローブ４６へのガス供給を遮断する（シャッタ機構１４）。この際、プローブ４６のスプリングに抗してプランジャ４６ａも下降する。ここで、ニードル５０の口５０ａから不活性ガスが噴出していても、ニードル溝５４およびベース４０とプレート４２の当接により、不活性ガスは、プローブ４６まで不活性ガスが到達せず、カバー４１の開口部４１とプレート４２との隙間から排出される。
【００４７】
次いで、ソケット１１に収納された電気部品Ｗを検査する（検査機構１２）。なお、常温検査時の他に、高温検査時においては、ガス供給を遮断することで、電気部品Ｗの温度低下を防止して、高温検査の信頼性を確保することができる。
【００４８】
ここで、電気部品検査装置１０の一効果について、図８および図９を参照して説明する。図８は不活性ガス（例えば窒素ガス）をプローブ４６（ソケット１１）へ供給した場合（例えば流速０．５Ｌ／ｍｉｎ）、図９は不活性ガスを供給しない場合の特性図である。図８および図９の横軸が累積した測定回数、縦軸が接触抵抗値である。また、図８および図９には、それぞれ５つのプローブ（チャンネルＣＨ２１〜ＣＨ２５）の特性を示している。また、図８および図９の接触抵抗値には測定系配線抵抗（約３５０ｍΩ）が含まれている。なお、電気部品Ｗの平面サイズは、縦横それぞれ例えば５ｍｍ程度である。
【００４９】
図９に示すように、不活性ガスを供給しない場合は、測定回数が増加するにつれ、接触抵抗値が増加していくことがわかる。これは、プローブ４６の先端に異物（絶縁物）が付着したり、プローブ４６の先端が劣化（酸化）したりして、増加したものと考えられる。
【００５０】
これに対して、図８に示すように、不活性ガスをプローブ４６へ供給した場合は、測定回数が増加しても、接触抵抗値が一定であることがわかる。これは、プローブ４６の先端に異物（絶縁物）が付着するのが防止および除去され、また、プローブ４６の先端が劣化（酸化）するのが防止されたからであると考えられる。
【００５１】
電気部品検査装置１０では、不活性ガスの流速０．２Ｌ／ｍｉｎ以上から、図８で示したような効果がみられた。これは、プローブ４６の手前までガス噴射するニードル５０を設け、限定した空間に不活性ガスを供給するからと考えられる。なお、不活性ガスの使用量はできるだけ少量（流速１．０Ｌ／ｍｉｎ以下）が好ましい。
【００５２】
以上、本発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、代表的なものの新規な特徴およびこれによって得られる作用、効果を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００５３】
電気部品検査装置１０は、電気部品検査用ソケット１１と、電気部品検査用ソケット１１に収納された検査対象の電気部品Ｗを検査する検査機構１２とを備えている。この電気部品検査用ソケット１１が、ベース４０と、ベース４０からスプリング４４を介し、ベース４０から間をあけてフローティング支持されたプレート４２と、プレート４２のベース４０と対向する対向面に交差するように、ベース４０に設けられたプローブ４６とを有している。さらに、電気部品検査用ソケット１１が、ベース４０とプレート４６の間であって、口５０ａをプローブ４６に向けてプレート４２の対向面４２ａに平行して設けられたニードル５０と、ニードル５０が収納されるように、プレート４２の対向面４２ａにニードル５０に沿って設けられたニードル溝５４とを有している。そして、電気部品検査装置１０は、ニードル５０の口５０ａからプローブ４６へ不活性ガスを噴射させて供給するガス供給機構１３と、スプリング４４に抗してベース４０にプレート４２を当接させてニードル溝５４内にニードル５０を収納し、ニードル５０からプローブ４６へのガス供給を遮断するシャッタ機構１４とを備えている。電気部品検査装置１０は、シャッタ機構１４によってガス供給機構１３からのガス供給を遮断して検査機構１２によって検査を行う。
【００５４】
これによれば、プローブ４６の先端（プランジャ４６ａ）を不活性ガスで吹いて、付着している異物を取り除くことができる。また、検査によって温度上昇したプローブ４６を冷却し、プローブ４６の劣化を防止することができる。また、プローブ４６周りを不活性ガス雰囲気とすることでプローブ４６の先端が酸化するのを防止することができる。すなわち、人手によるクリーニングでのダウンタイムを減少させることができるので、電気部品Ｗの電気的特性を測定する検査の信頼性と効率を向上することができる。
【００５５】
また、プローブ４６手前までガス噴射するニードル５０を設け、限定した空間に不活性ガスを供給するので、不活性ガスの使用を少量で済ますことができる。また、検査時においては、ガス供給を遮断することで、特に、高温検査の信頼性を確保することができる。このような効果により、検査を繰り返しても接触抵抗値が安定し、また接触不良によるリトライ検査数を低減することができる。
【００５６】
また、電気部品検査装置１０では、プローブ４６がマトリクス状に群Ｇをなして設けられ、ガス噴射の方向が互い違いとなるように、プローブ４６の群を挟んで対をなすニードル５０が互いに位置をずらしてプローブ４６の群Ｇの隅に口５０ａを向けて設けられることを特徴とする。
【００５７】
これによれば、ニードル５０から噴射された不活性ガスが、渦巻き状となり、プローブ群Ｇの中心に設けられているプローブ４６まで不活性ガスを行き渡らせることができる。この機構であれば、高温試験時において、ガス供給を遮断することで、電気部品Ｗの温度低下を防止することができる。
【００５８】
また、電気部品検査装置１０では、ニードル５０の口５０ａが、該ニードル５０の長さ方向またはこれと交差する方向に設けられることを特徴とする。
【００５９】
このニードル５０によれば、ストレート穴（口５０ａ）や、複数の横穴（口５０ａ）を有する形状とすることができる。すなわち、プローブ群Ｇの配置やソケット１１の形状などに合わせたニードル５０の形状とすることで、より最適な状態を作り出すことができる。
【００６０】
また、電気部品検査装置１０では、電気部品検査用ソケット１１が、プレート４２の対向面４２ａと反対側の反対面４２ｂに設けられ、電気部品Ｗが収納される収納凹部５１と、プレート４２の対向面４２ａから収納凹部５１の底部へ貫通して設けられ、プローブ４６が挿入された貫通孔５３とを有することを特徴とする。
【００６１】
これによれば、プローブ４６へ噴射された不活性ガスが、貫通孔５３を通じて収納凹部５１側へ流れることとなり、プローブ４６の先端（プランジャ４６ａ）とともに電気部品Ｗの外部端子の酸化も防止することができる。また、プランジャ４６ａと外部端子とが接触する直前まで不活性ガスが電気部品Ｗに吹き付けられるので、そのエアクッション効果により、プローブ４６（プランジャ４６ａ）の耐久性を向上することができる。
【００６２】
また、本発明の実施形態における電気部品検査用ソケット１１は、ベース４０と、ベース４０からスプリング４４を介し、ベース４０から間をあけてフローティング支持されたプレート４２と、プレート４２のベース４０と対向する対向面４２ａに交差するように、ベース４０に設けられたプローブ４６とを有する。また、電気部品検査用ソケット１１は、ベース４０とプレート４２の間であって、口５０ａをプローブ４６に向けてプレート４２の対向面４２ａに平行して設けられたニードル５０と、スプリング４４に抗してベース４０にプレート４２が当接した際にニードル５０が収納されるように、プレート４２の対向面４２ａにニードル５０に沿って設けられたニードル溝５４とを有する。さらに、電気部品検査用ソケット１１は、プレート４２の対向面４２ａと反対側の反対面４２ｂに設けられ、検査対象の電気部品Ｗが収納される収納凹部５１と、プレート４２の対向面４２ａから収納凹部５１の底部へ貫通して設けられ、プローブ４６が挿入された貫通孔５３とを有する。
【００６３】
これによれば、電気部品検査装置１０の効果と同様に、電気部品Ｗの電気的特性を測定する検査の信頼性と効率を向上することができる。
【００６４】
さらに、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００６５】
前記実施形態では、スプリングに抗してベースにプレートを当接させるシャッタ機構であり、搬送機構のプッシャーに兼用させた場合について説明した。これに限らず、例えば、電気部品を介さずに直接プレートをベース側に押圧するプッシャーを設けることも考えられる。また、シャッタ機構では、ニードルを開閉する電磁弁を設けて適用することも考えられる。
【００６６】
また、前記実施形態では、電気部品を常温および高温検査に適用した場合について説明した。これに限らず、低温検査にも適用することが考えられる。
【符号の説明】
【００６７】
１０  電気部品検査装置
１１  ソケット
１２  検査機構
１３  ガス供給機構
１４  シャッタ機構
１５  搬送機構
１６  プッシャー
２０  テスタ
２１  ハーネス
２２  配線基板
２３  ガス管
２４  ガス供給部
３０  ドッグプレート
３１  樹脂補強板
３２  金属補強板
４０  ベース
４１  カバー
４２  プレート
４３  ボルト
４４  スプリング
４５  ストッパ
４６  プローブ
４７  リテーナ
４８  ボルト
５０  ニードル
５１  収納凹部
５２  ポケット
５３  貫通孔
５４  ニードル溝
Ｗ  電気部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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