(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視光を分光する分光測定装置であって、
第１の光を射出する第１光源と、
第２の光を射出する第２光源と、
前記第１の光と前記第２の光とを混合し、第３の光を出射する光混合器と、
前記第３の光のうちの光である第４の光を通過させる波長可変干渉フィルターと、
前記第４の光を受光する受光部と、
を含み、
前記第１の光は、第１の波長における光量より、前記第１の波長より長い第２の波長における光量が大きく、
前記第２の光は、前記第１の波長より長く、前記第２の波長より短く、かつ可視光の波長域にある第３の波長と、前記第２の波長より短く、第３の波長より長い第４の波長と、で光量がピークとなり、前記第３の波長における光量より前記第４の波長における光量が小さく、
前記第１の光と前記第２の光とは、リフレクターで反射されて前記光混合器の一面に入射されることを特徴とする分光測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の分光測定装置において、
前記光混合器は、前記第１の光及び前記第２の光を多重反射させることを特徴とする分光測定装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の分光測定装置において、
前記光混合器は、石英又は樹脂を含むことを特徴とする分光測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入射光の分光特性を測定する分光測定装置、及び当該分光測定装置に用いられる波長可変干渉フィルターに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、入射光の各波長光の光特性（色度や明るさなど）を測定する分析装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載の分析装置は、光源から射出され、試料により反射された光を、波長可変干渉フィルターに入射させ、波長可変干渉フィルターを透過した光をフォトダイオードで受光する。そして、フォトダイオードから出力される電流を検出することで、測定を実施する装置である。このような分析装置では、波長可変干渉フィルターを制御することで、波長可変干渉フィルターを透過する光を可変でき、入射した光から所望の波長の光を順次切り替えてフォトダイオードで受信させることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１０６７５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、光源に可視光の波長域内にピーク波長を有さないタングステンランプ等の白色光を用いる場合には、短波長域における光量が低下するため、波長可変干渉フィルターにおける分光可能な波長域のうち、短波長域の光の光量が低下するおそれがある。このため、フォトダイオードで受光する光量が低下して、短波長域における分光特性の測定精度が悪くなる。これにより、入射光に対する正確な分光特性の測定を実施できないという課題がある。
【０００６】
本発明の目的は、精度の高い分光特性の測定ができる分光測定装置、及び当該分光測定装置に用いられる波長可変干渉フィルターを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の分光測定装置は、可視光を分光する分光測定装置であって、第１の光を射出する第１光源と、第２の光を射出する第２光源と、前記第１の光と前記第２の光とを混合し、第３の光を出射する光混合器と、前記第３の光のうちの光である第４の光を通過させる波長可変干渉フィルターと、前記第４の光を受光する受光部と、含み、前記第１の光は、第１の波長における光量より、前記第１の波長より長い第２の波長における光量が大きく、前記第２の光は、前記第１の波長より長く、前記第２の波長より短く、かつ可視光の波長域にある第３の波長と、前記第２の波長より短く、第３の波長より長い第４の波長と、で光量がピークとなり、前記第３の波長における光量より前記第４の波長における光量が小さく、前記第１の光と前記第２の光とは、リフレクターにて反射されて前記光混合器の一面に入射されることを特徴とする。
本発明の分光測定装置では、前記光混合器は、前記第１の光及び前記第２の光を多重反射させることが好ましい。
本発明の分光測定装置では、前記光混合器は、石英又は樹脂を含むことが好ましい。
本発明の関連技術に係る波長可変干渉フィルターは、上記本発明の分光測定装置に用いられることを特徴とする。
【０００８】
本発明の参考技術に係る分光測定装置は、可視光の波長域における光を分光する分光測定装置であって、前記可視光の波長域にピーク波長を有さず、短波長から長波長に向かうに従って光量が増大する光を射出する第１光源と、前記可視光の波長域にピーク波長を有する光を射出する第２光源と、前記第１光源及び前記第２光源から射出される光を混合する光混合器と、前記光混合器で混合された光が入射され、前記混合された光の入射光のうち、特定波長の光を透過させる波長可変干渉フィルターと、前記波長可変干渉フィルターを透過した光を受光する受光部と、前記波長可変干渉フィルターの透過する光の波長を切り替え、前記受光部により受光された光に基づいて、前記波長可変干渉フィルターを透過した光の分光特性を測定する測定制御部とを備えることを特徴とする。
上記参考技術によれば、可視光の波長域にピーク波長を有さず、短波長から長波長に向かうに従って光量が増大する光を射出する第１光源、及び可視光の波長域にピーク波長を有する光を射出する第２光源と、各光源から射出された光を混合する光混合器とを備える。そして、光混合器が各光源から射出される光を混合し、受光部が波長可変干渉フィルターを透過した検査対象光を受光して、測定制御部が検査対象光の分光特性を測定する。ここで、上述したように、可視光の波長域にピーク波長を有さない第１光源のみを用いた場合、可視光の波長域において、所定の波長域内で光量が著しく低下する。しかし、本発明によれば、第２光源が、例えば短波長域（第１光源の光量が少ない波長域）において、ピーク波長を有する光を射出すれば、第１光源の光量が著しく低下する短波長域の光量を効果的に補うことができる。従って、光量が低下する波長域における分光特性の測定精度を高めることができ、ひいては、精度の高い分光特性の測定をすることができる。
【０００９】
本発明の参考技術に係る分光測定装置では、前記第２光源は、３８５ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の範囲内にピーク波長を有することが好ましい。
【００１０】
ところで、波長可変干渉フィルターの波長可変域を３８０ｎｍ〜７８０ｎｍとし、タングステンランプ等の短波長域の光量が小さい第１光源を用いた場合では、第１光源は特に短波長域の光量が低下する。そこで、精度の高い分光特性の測定を行うには、短波長域の光量を補う必要がある。上記参考技術によれば、３８５ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の範囲内にピーク波長を有する第２光源を用いたので、短波長域の光量を第２光源で補うことが可能となる。従って、短波長域においても光量を十分得ることが可能となり、精度の高い分光特性の測定を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る第１実施形態の分光測定装置の概略構成図。
【図２】前記第１実施形態の光源部のスペクトル分布を示すグラフ。
【図３】前記第１実施形態のエタロンの概略構成を示す断面図。
【図４】前記第１実施形態のエタロンの波長校正の処理を示すフローチャート。
【図５】前記第１実施形態の受光部で生成した電気信号の電流値と駆動電圧との関係を示すグラフ。
【図６】前記第１実施形態のエタロンの波長校正を説明するための図。
【図７】本発明に係る第２実施形態の分光測定装置の概略構成図。
【図８】前記第２実施形態の光源部のスペクトル分布を示すグラフ。
【図９】前記第２実施形態のエタロンの波長校正を説明するための図。
【図１０】本発明の変形例に係る光源部のスペクトル分布を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［第１実施形態］
以下、本発明に係る第１実施形態を図面に基づいて説明する。
〔１．分光測定装置の概略構成〕
図１は、第１実施形態の分光測定装置１の概略構成を示す図である。
分光測定装置１は、図１に示すように、検査対象Ａに光を射出する光源装置２と、検査対象Ａで反射された検査対象光を分光するエタロン５（波長可変域３８０ｎｍ〜７８０ｎｍ）を備えた分光装置３と、分光測定装置１の全体動作を制御する制御装置４とを備える。そして、この分光測定装置１は、光源装置２から射出される光を検査対象Ａにて反射させ、反射された検査対象光を分光装置３にて分光し、分光装置３から出力される検出信号に基づいて、分光した各波長の光の光量をそれぞれ測定する分光特性測定を実施する装置である。
また、この分光測定装置１は、光源装置２の後述する紫色ＬＥＤ２１２のみを点灯させて、エタロン５の波長校正を行う装置でもある。この場合には、検査対象Ａとして、白色の標準反射板が用いられる。なお、エタロン５の波長校正の詳細については、後述する。
【００１３】
〔２．光源装置の構成〕
光源装置２は、図１に示すように、光源部２１と、光混合器２２と、レンズ２３とを備えて、これらが一体化された装置である。
光源部２１は、白色光を射出するタングステンランプ２１１（第１光源）と、紫色ＬＥＤ（Light Emitting Diode）２１２（第２光源）と、タングステンランプ２１１及び紫色ＬＥＤ２１２から射出された光を反射するリフレクター２１３とを備える。そして、光源装置２は、検査対象光の分光測定を行う場合、タングステンランプ２１１及び紫色ＬＥＤ２１２の双方を点灯させ、エタロン５の波長校正を行う場合、紫色ＬＥＤ２１２のみを点灯させる。
光混合器２２は、石英ガラスやアクリル樹脂等で筒状に形成され、リフレクター２１３で反射された光を内部で多重反射させて、タングステンランプ２１１及び紫色ＬＥＤ２１２から射出された光を混合、すなわち合成させる。
レンズ２３は、光混合器２２で多重反射された光を平行光とし、平行化された光を検査対象Ａに入射させる。
【００１４】
図２は、本実施形態のおける光源部２１のスペクトル分布を示すグラフである。
タングステンランプ２１１は、図２に示す破線部分のスペクトル分布を有している。すなわち、タングステンランプ２１１は、短波長から長波長に向かうに従って、光量が増大するので、波長４００ｎｍ近傍の短波長域において、光量が小さい。
一方、紫色ＬＥＤ２１２は、図２に示す実線部分のスペクトル分布を有している。このため、紫色ＬＥＤ２１２は、波長約３８５ｎｍ〜約４３０ｎｍの範囲でスペクトル分布を有し、波長４０５ｎｍに光量が最大となるピーク波長を有している。
以上により、タングステンランプ２１１及び紫色ＬＥＤ２１２から射出された光が光混合器２２で混合されることで、図２の二点鎖線に示すスペクトル分布となる。すなわち、紫色ＬＥＤ２１２は、タングステンランプ２１１の光量が小さい波長４００ｎｍ近傍の光量を効果的に補うことができる。
【００１５】
〔３．分光装置の構成〕
分光装置３は、図１に示すように、検査対象Ａで反射された検査対象光を所定方向へ反射させてエタロン５に集光させる凹面鏡３Ａを有した装置本体３０を備える。この装置本体３０は、凹面鏡３Ａから入射された検査対象光を分光するエタロン５（波長可変干渉フィルター）と、エタロン５で分光された各波長の光を受光する受光部３１とを備える。
【００１６】
〔３−１．受光部の構成〕
受光部３１は、光検出器として動作する受光素子であり、例えば、フォトダイオード、フォトＩＣ等で構成される。この受光部３１は、エタロン５にて透過された検査対象光を受光すると、受光した検査対象光の光量に応じた電気信号を生成する。そして、受光部３１は、制御装置４に接続されており、生成した電気信号を受光信号として制御装置４に出力する。
なお、一般的な受光素子では、短波長域の受信感度が長波長域の受信感度よりも悪いため、本実施形態では、図２に示すように、特に短波長域にピーク波長を有する紫色ＬＥＤ２１２を用いたことで、短波長域の受信感度を向上させている。
【００１７】
〔３−２．エタロンの構成〕
図３は、エタロン５の概略断面図である。
エタロン５は、例えば、平面視略正方形状の板状の光学部材であり、一辺が例えば１０ｍｍに形成されている。このエタロン５は、図３に示すように、固定基板５１と、可動基板５２とを備える。そして、これらの基板５１，５２は、例えば、プラズマ重合膜を用いたシロキサン接合などにより接合層５３を介して互いに接合されて一体的に構成される。これらの２枚の基板５１，５２は、それぞれ例えば、ソーダガラス、結晶性ガラス、石英ガラス等の各種ガラスや、水晶等により形成されている。
【００１８】
また、固定基板５１と可動基板５２との間には、固定ミラー５４及び可動ミラー５５が設けられる。ここで、固定ミラー５４は、固定基板５１における可動基板５２に対向する面に固定され、可動ミラー５５は、可動基板５２における固定基板５１に対向する面に固定されている。また、これらの固定ミラー５４及び可動ミラー５５は、ギャップＧを介して対向配置されている。
さらに、固定基板５１と可動基板５２との間には、固定ミラー５４及び可動ミラー５５の間のギャップＧの寸法を調整するための静電アクチュエーター５６が設けられている。
【００１９】
固定基板５１は、厚みが例えば５００μｍのガラス基材をエッチングにより加工することで形成される。この固定基板５１には、図３に示すように、エッチングにより電極形成溝５１１が形成され、電極形成溝５１１には、静電アクチュエーター５６を構成する第１電極５６１が形成される。この第１電極５６１は、図示しない電極引出部を介して制御装置４（図１参照）に接続されている。
【００２０】
可動基板５２は、厚みが例えば２００μｍのガラス基材をエッチングにより加工することで形成される。この可動基板５２には、第１電極５６１に所定のギャップを介して対向する、静電アクチュエーター５６を構成する第２電極５６２が形成されている。この第２電極５６２は、図示しない電極引出部を介して制御装置４（図１参照）に接続されている。
そして、制御装置４から出力される電圧により、第１電極５６１及び第２電極５６２の間に静電引力が働き、ギャップＧの寸法が調整され、当該ギャップＧの寸法に応じて、エタロン５を透過する光の透過波長が決定される。すなわち、静電アクチュエーター５６によりギャップ間隔を適宜調整することで、エタロン５を透過する光が決定されて、エタロン５を透過した光が受光部３１で受光される。
【００２１】
〔４．制御装置の構成〕
制御装置４は、分光測定装置１の全体動作を制御する。この制御装置４としては、例えば汎用パーソナルコンピューターや、携帯情報端末、その他、測色専用コンピューターなどを用いることができる。
そして、制御装置４は、図１に示すように、光源制御部４１と、測定制御部４２と、校正部４３とを備えて構成されている。また、制御装置４は、図示しないメモリーやハードディスクなどの記録媒体である記憶部を備え、当該記憶部には、駆動電圧に対する透過光の透過波長を示す透過特性データ（Ｖ−λデータ）が記憶されている。
【００２２】
光源制御部４１は、光源部２１に接続されている。そして、光源制御部４１は、例えば分光特性の測定処理を行うという、利用者の設定入力に基づいて、光源部２１に所定の制御信号を出力し、光源部２１のタングステンランプ２１１及び紫色ＬＥＤ２１２から所定の明るさの光を射出させる。また、光源制御部４１は、例えば、エタロン５の波長校正を行うという、利用者の設定入力に基づいて、光源部２１に所定の制御信号を出力し、光源部２１の紫色ＬＥＤ２１２のみから光を射出させる。
【００２３】
測定制御部４２は、上述したように、エタロン５の第１電極５６１、及び第２電極５６２に接続されている。そして、測定制御部４２は、第１電極５６１、及び第２電極５６２に駆動電圧を印加することで、エタロン５のギャップＧの寸法を変化させ、エタロン５を透過する光の波長を切り替える。
また、測定制御部４２は、受光部３１に接続され、検査対象光の分光特性の測定処理を実施する。
分光特性の測定処理の際、測定制御部４２は、受光部３１から入力された受光信号に基づいて、各波長に対する受光量を算出し、検査対象光の分光特性の測定処理を実施する。
【００２４】
校正部４３は、受光部３１に接続され、エタロン５の波長校正処理を実施する。
エタロン５の波長校正の際、校正部４３は、受光部３１から入力される駆動電圧毎の受光信号を受信に基づいて、受光信号、及び駆動電圧の関係を算出する。そして、校正部４３は、紫色ＬＥＤ２１２のピーク波長である、４０５ｎｍにおける駆動電圧を算出し、エタロン５の波長校正（上述した透過特性データの補正）を実施する。
【００２５】
〔５．エタロンの校正について〕
分光測定装置１は、上述したように、エタロン５を透過した検査対象光の分光特性の測定の他、紫色ＬＥＤ２１２のみを点灯させてエタロン５の波長校正を行う。ここでは、エタロン５の波長校正について、図４に示すフローを参照して説明する。
エタロン５では、環境温度の変化により、ミラー５４，５５や電極５６１，５６２の温度に依存する線膨張係数が変動するため、ミラー５４，５５や電極５６１，５６２の内部応力が変動し、基板５１，５２が撓むおそれがある。これにより、ミラー間ギャップＧの寸法が変動し、所望の透過波長を得られないという問題がある。そこで、エタロン５を所定の環境温度下に設置した際において、駆動電圧に対するギャップＧの寸法（透過波長）を予め設定しておくことが好ましい。
【００２６】
具体的に、光源制御部４１により、紫色ＬＥＤ２１２のみを点灯させる（ステップＳ１）。そして、測定制御部４２は、駆動電圧を例えば、０．１Ｖ単位で変化させていく（ステップＳ２）。次に、受光部３１は、駆動電圧毎に検査対象Ａで反射された検査対象光を受光し、受光した検査対象光の光量に応じた電気信号を生成する。これにより、校正部４３は、受光部３１で生成した電気信号の電流値と電圧（駆動電圧）との関係を示した図５のデータを取得する（ステップＳ３）。
そして、校正部４３は、図５のデータに基づいて、最大電流値となる電圧値Ｖ１を取得し（ステップＳ４）、この電圧値Ｖ１を印加した場合における波長は、４０５ｎｍ（紫色ＬＥＤ２１２のピーク波長）である。
【００２７】
次に、校正部４３は、記憶部からＶ−λデータを読み出して校正する（ステップＳ５）。
ところで、環境温度の変化やこの他の要因（エタロン５の配設位置の変化による重力の変動等）に応じて、Ｖ−λデータの変動パターンがシミュレーションにより予め分かっている。
図６では、環境温度の変化により波長変動が一定となる場合を示しており、具体的に、破線部分は校正前のデータであり、実線部分は校正後のデータを示している。図６によれば、Ｖ−λデータの１点を補正すればよいため、校正部４３は、前記所定の環境温度下において、駆動電圧Ｖ１における波長を４０５ｎｍと校正する。
【００２８】
〔６．本実施形態の作用効果〕
本実施形態によれば、可視光の波長域にピーク波長を有さないタングステンランプ２１１、及び可視光の波長域にピーク波長を有する紫色ＬＥＤ２１２と、各光源２１１，２１２から射出された光を混合する光混合器２２とを備える。そして、光混合器２２が各光源２１１，２１２から射出される光を混合し、受光部３１がエタロン５を透過した検査対象光を受光して、測定制御部４２が検査対象光の分光特性を測定する。ここで、上述したように、可視光の波長域にピーク波長を有さないタングステンランプ２１１のみを用いた場合、可視光の波長域において、短波長域で光量が著しく低下する。しかし、本実施形態によれば、可視光の波長域において、特に短波長域にピーク波長を有する紫色ＬＥＤ２１２を備えるので、各光源２１１，２１２から射出される光を混合することで、タングステンランプ２１１の光量が著しく低下する短波長域の光量を効果的に補うことができる。従って、光量が低下する短波長域における分光特性の測定精度を高めることができ、ひいては、精度の高い分光特性の測定をすることができる。
【００２９】
また、波長４０５ｎｍにピーク波長を有する紫色ＬＥＤ２１２を用いたので、短波長域の光量を紫色ＬＥＤ２１２で補うことが可能となる。従って、短波長域においても光量を十分得ることが可能となり、精度の高い分光特性の測定を実施することができる。
【００３０】
［第２実施形態］
図７は、第２実施形態の分光測定装置１Ａの概略構成を示す図である。
前記第１実施形態では、光源部２１は、２つの光源であるタングステンランプ２１１、及び紫色ＬＥＤ２１２を備えていたが、本実施形態では、光源部２１Ａは、さらに２つの光源である青色ＬＥＤ２１４、及び緑色ＬＥＤ２１５を備え、４つの光源２１１，２１２，２１４，２１５を備える点で相違する。
【００３１】
図８は、本実施形態における光源部２１Ａのスペクトル分布を示すグラフである。
青色ＬＥＤ２１４は、図８に示す実線Ｌ１のスペクトル分布を有している。このため、青色ＬＥＤ２１４は、波長約４２０ｎｍ〜約５２５ｎｍの範囲でスペクトル分布を有し、波長４７０ｎｍに光量が最大となるピーク波長を有している。
緑色ＬＥＤ２１５は、図８に示す実線Ｌ２のスペクトル分布を有している。このため、緑色ＬＥＤ２１５は、波長約４８０ｎｍ〜約６１０ｎｍの範囲でスペクトル分布を有し、波長５３０ｎｍに光量が最大となるピーク波長を有している。
また、紫色ＬＥＤ２１２、青色ＬＥＤ２１４、及び緑色ＬＥＤ２１５のピーク波長の強度は、波長が高くなるにつれて小さくなるように設定される。
以上により、タングステンランプ２１１、紫色ＬＥＤ２１２、青色ＬＥＤ２１４、及び緑色ＬＥＤ２１５から射出された光が光混合器２２で混合されることで、図８の二点鎖線に示すスペクトル分布となる。すなわち、紫色ＬＥＤ２１２は、タングステンランプ２１１の光量が小さい波長４００ｎｍ近傍の光量を補いつつ、青色ＬＥＤ２１４及び緑色ＬＥＤ２１５は、短波長から長波長に向かうに従って、タングステンランプ２１１の光量を補う。すなわち、前記第１実施形態に比べて、可視光域における光量がより増加している。
【００３２】
次に、上述した光源部２１Ａを有する分光測定装置１Ａでは、以下のように、エタロン５の波長校正を実施する。以下では、本実施形態では、環境温度の変化に加えて、エタロン５の配設位置の変化（重力の変動）等により波長変動が生じる場合に対するエタロン５の波長校正について説明する。
上述したように、Ｖ−λデータの変動パターンがシミュレーションにより予め分かっているため、環境温度の変化に加えて、重力の変動等により波長変動が生じる場合には、図９に示すように、Ｖ−λデータの少なくとも３点を補正する必要がある。そこで、校正部４３は、紫色ＬＥＤ２１２に加えて、青色ＬＥＤ２１４及び緑色ＬＥＤ２１５を用いて、エタロン５の波長校正を実施する。
【００３３】
具体的に、前記第１実施形態と同様に、図４に示すステップＳ１からステップＳ５を実施するが、本実施形態では、紫色ＬＥＤ２１２の他、青色ＬＥＤ２１４及び緑色ＬＥＤ２１５においても同様に、図４に示すステップＳ１からステップＳ５をそれぞれ実施する。
これにより、校正部４３は、図９に示すように、破線部分の校正前のデータにおいて、駆動電圧Ｖ１における波長を４０５ｎｍと校正する他、青色ＬＥＤ２１４における最大電流値となる駆動電圧Ｖ２における波長をλ２（青色ＬＥＤ２１４のピーク波長）と校正し、緑色ＬＥＤ２１５における最大電流値となる駆動電圧Ｖ３における波長をλ３（緑色ＬＥＤ２１５のピーク波長）と実線部分の校正後のデータに校正する。
【００３４】
上述した第２実施形態によれば、前記第１実施形態と同様の効果を奏する他、以下の効果を奏する。
本実施形態によれば、光源部２１Ａに４つの光源２１１，２１２，２１４，２１５を設けたので、エタロン５の波長変動による校正を行う際、可視光の波長域にピーク波長を有する３つの光源２１２，２１４，２１５を用いて、より精度の高い校正を実施できる。
また、波長が高くなるにつれて、紫色ＬＥＤ２１２、青色ＬＥＤ２１４、及び緑色ＬＥＤ２１５のピーク波長の強度が小さくなるように設定されるので、光混合器２２により各波長において光量が著しく低下することを防止できる。従って、より精度の高い分光特性の測定をすることができる。
【００３５】
［実施形態の変形］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記各実施形態では、本発明に係る第２光源として、紫色ＬＥＤ２１２を用いたが、波長３８５ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の範囲内にピーク波長を有する光源であればよく、例えば、ピーク波長が３８５ｎｍの紫外線ＬＥＤを用いてもよい。この場合には、図１０に示すようなスペクトル分布となるため、前記実施形態と同様に、タングステンランプ２１１の光量が小さい波長４００ｎｍ近傍の光量を効果的に補うことができる。
【００３６】
前記実施形態では、静電アクチュエーター５６により、ミラー間ギャップＧを調整可能なエタロン５の構成を例示したが、例えば、電磁コイルと永久磁石とを有する電磁アクチュエーターや、電圧印加により伸縮可能な圧電素子を設ける構成としてもよい。
前記実施形態において、各基板５１，５２は、接合層５３により接合されるとしたが、これに限られない。例えば、接合層５３が形成されず、各基板５１，５２の接合面を活性化し、活性化された接合面を重ね合わせて加圧することにより接合する、いわゆる常温活性化接合により接合させる構成などとしてもよく、いかなる接合方法を用いてもよい。
前記実施形態では、可動基板５２の厚み寸法を例えば２００μｍとしたが、固定基板５１と同じ５００μｍとしてもよい。この場合には、可動部５２１の厚み寸法も５００μｍとなって厚くなるため、可動ミラー５５の撓みを抑制でき、各ミラー５４，５５をより平行に維持できる。
【００３７】
前記実施形態では、検査対象光を分光した各波長の光の光量をそれぞれ測定する分光測定装置１を例示したが、このような分光測定装置１を検査対象光の色度、すなわち検査対象Ａの色を分析して測定する測色装置や、分光カメラや、分光分析器に用いてもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１…分光測定装置、５…エタロン（波長可変干渉フィルター）、２２…光混合器、３１…受光部、４２…測定制御部、２１１…タングステンランプ（第１光源）、２１２…紫色ＬＥＤ（第２光源）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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