(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハの表面に配設された温度センサの測温部から導出され、素線を被覆材で被覆してなる被固定線材が、素線を被覆材で被覆した状態でウエハの表面に固定される温度センサ付きウエハにおいて、
前記被固定線材をウエハの表面に固定する固定部材を備え、前記固定部材が、素線を被覆材で被覆してなる線材で形成されることを特徴とする温度センサ付きウエハ。
【請求項２】
前記固定部材の両端部の被覆材が剥がされてむき出しにされた状態の素線が、接着剤でウエハの表面にそれぞれ固着されることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ付きウエハ。
【請求項３】
前記固定部材の両端を係止する係止部材を備え、該係止部材が素線を被覆材で被覆してなる線材で形成されると共に、該係止部材の両端部の被覆材が剥がされてむき出しにされた状態の素線が、接着剤でウエハの表面にそれぞれ固着されることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ付きウエハ。
【請求項４】
前記被覆材が、高耐熱性を有した網組状態の素材で形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の温度センサ付きウエハ。
【請求項５】
前記固定部材が、一本の、又は一纏めにされた複数の前記被固定線材に巻き付けられた状態に形成されてなる素線抜け止め部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の温度センサ付きウエハ。
【請求項６】
前記固定部材が、前記素線抜け止め部の締め付けを維持する緊締部を有することを特徴とする請求項５に記載の温度センサ付きウエハ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の温度センサ付きウエハの製造方法であって、前記被固定線材の残材を前記固定部材として利用することを特徴とする温度センサ付きウエハの製造方法。
【請求項８】
ウエハの表面に配設された温度センサの測温部から導出され、素線を被覆材で被覆して
なる被固定線材を、素線を被覆材で被覆したままウエハの表面に固定する温度センサの素線の固定方法において、
前記被固定線材に、素線を被覆材で被覆してなる固定用線材を重ね、該固定用線材の両端部をウエハの表面にそれぞれ固定することを特徴とする温度センサの素線の固定方法。
【請求項９】
一本の、又は一纏めにした複数の前記被固定線材に、前記固定用線材を巻き付け、又は巻き付けて縛ることを特徴とする請求項８に記載の温度センサの素線の固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウエハ等の電気絶縁性板状体の表面温度を測定するための温度センサ付きウエハ、その製造方法、及び温度センサの素線の固定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウエハを使用する半導体製造プロセスにおいては、加熱処理装置内のシリコン基板の表面温度を検知することが重要であるため、熱電対（温度センサ）を埋設したウエハセンサを使用している。
【０００３】
この熱電対付きウエハは、熱電対の測温部をウエハに埋設しており、その測温部から０．０２〜０．０５ｍｍΦと非常に細い線の素線を引き出して、外部の計測器に接続している。そのため、使用する際に、素線を介して埋設した測温部に引張り力や捩りモーメント等が加わるので、この負荷により、測温部が抜けて外れてしまう、又は測温部付近の素線が切断されてしまうという問題が起きる。
【０００４】
この問題に対して、接着剤で素線をウエハの表面上に固定すると、測温部に直接力が作用することがなくなるので、測温部が抜けて外れてしまうことを防止することができる。しかし、この方法では、図９又は図１０に示す、別の問題が発生してしまう。
【０００５】
図９に示す、温度センサ付きウエハ１Ｘでは、ウエハ２の表面上に設けた凹部２ａに、熱電対３の測温部４を埋設して、接着剤５で固定する。そして、測温部４から引き出される素線６ａと７ａを被覆材６ｂと７ｂで被覆した被固定線材６と７を、ウエハ２の外縁部の近傍の固定部８に接着剤９Ｘで固着する。これによれば、固定部８に被固定線材６及び７を固定するので、測温部４に直接負荷を掛けることがないため、測温部４が抜けて外れてしまうことがない。
【０００６】
しかし、温度ウエハ１Ｘを使用する際に、図示しない計測器に接続するために被固定線材６及び７を動かすと、被固定線材６と７と接着剤９Ｘとの境界で、被覆材６ｂ及び７ｂが擦れて傷ついてしまう。その結果、被覆材６ｂ及び７ｂが破けて、中の素線６ａ及び７ａがむき出しになってしまう。この問題は、乾いた接着剤９Ｘの角が鋭利であることが原因で起きる。特に、耐熱性の高いアルミナ繊維などを網組加工した被覆材を用いた場合に上記の問題は顕著に発生する。
【０００７】
被覆材６ｂと７ｂが破けて、素線６ａと７ａがむき出しになると、素線６ａと７ａが傷つき切断され、また、破けた被覆材の破片が散らばり、温度ウエハ１Ｘの使用に支障を来すという問題が起きる。
【０００８】
また、図１０に示すように、接着剤９Ｘとウエハ２の表面との膨張率が異なることから、ウエハ２が歪み、ウエハ２が割れてしまうという問題も起きる。この問題は、接着剤９Ｘが乾くときや、実際に温度ウエハ１Ｘを使用して高温状態になり、使用後に冷却されるときに起きる。
【０００９】
この問題は、上記に示した素線の固定方法とは別の固定方法（例えば、特許文献１参照）でも起きる。この固定方法は、支持部材に形成の貫通孔又は切欠部にてケーブルを挿通保持した状態で支持部材を、それの貫通孔位置又は切欠部位置で、かつ、ケーブル挿通方向と交差する方向を折り目にして折り曲げることにより、ケーブルを屈曲させ、この状態で支持部材を固定体に固定する方法であるが、ケーブルの屈曲した部分は、図９で説明し
たように、被覆材が傷つくことがあり、また、支持部材を固定体に固定する際に接着剤を用いると、図１０で説明したように、固定体が割れる、又は表面が破損する場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−８１３５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであり、その目的は、温度センサの素線を、被覆材に覆ったままウエハの表面に固定しても、その被覆材が傷ついて、破けることを防ぐことができると共に、固定に使用する接着剤の量を減らしてウエハ表面の歪みを防止することができる温度センサ付きウエハ、その製造方法、及び温度センサの素線の固定方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を解決するための本発明の温度センサ付きウエハは、ウエハの表面に配設された温度センサの測温部から導出され、素線を被覆材で被覆してなる被固定線材が、素線を被覆材で被覆した状態でウエハの表面に固定される温度センサ付きウエハにおいて、前記被固定線材をウエハの表面に固定する固定部材を備え、前記固定部材が、素線を被覆材で被覆してなる線材で形成されることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、固定部材を、従来の鋭利な角を有するものや乾燥して鋭利な縁ができてしまう接着剤ではなく、素線を被覆材で被覆した線材で形成することで、被固定線材の被覆材を傷つけずにウエハの表面に固定することができる。これにより、温度センサ付きウエハを繰返し使用しても、被固定線材の被覆材が破けることを防止することができる。加えて、ウエハ上に熱電対材料以外の材料がないので、測定に悪影響を与えることを防止することもできる。
【００１４】
また、上記の温度センサ付きウエハにおいて、前記固定部材の両端部の被覆材が剥がされてむき出しにされた状態の素線が、接着剤でウエハの表面にそれぞれ固着されると、接着剤の接地面積を低減することができので、接着剤と温度ウエハとの熱膨張率の差による温度ウエハの表面の歪みを防止することができる。
【００１５】
一方、上記の温度センサ付きウエハにおいて、前記固定部材の両端を係止する係止部材を備え、該係止部材が素線を被覆材で被覆してなる線材で形成されると共に、該係止部材の両端部の被覆材が剥がされてむき出しにされた状態の素線が、接着剤でウエハの表面にそれぞれ固着されると、前述の作用効果に加えて、固定部材を直接接着剤で固着せずに係止部材を用いるので、接着剤による固着数を増やすことでき、接着力を強くすることができる。これにより、複数本の被固定線材をまとめて温度ウエハに固定することができ、複数本の被固定線材を固定部材で固着したときに、固定部材の接着力が弱くなり、温度ウエハから外れてしまうことを防止することができる。
【００１６】
また、上記の温度センサ付きウエハにおいて、前記被覆材が、高耐熱性を有した網組状態の素材で形成されると、上記の作用効果により、被覆材を破けやすいもので形成しても
破けることがないので、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）やシリカ（ＳｉＯ２）などを主成分とし、高耐熱性、高柔軟性、及び電気絶縁性を持つアルミナ繊維（アルミナファイバーともいう）を網組加工して被覆材に使用することができ、熱電対の高耐熱性を向上すると共に、被覆材の柔軟性も向上することができる。
【００１７】
加えて、上記の温度センサ付きウエハにおいて、前記固定部材が、一本の、又は一纏めにされた複数の前記被固定線材に巻き付けられた状態に形成されてなる素線抜け止め部を有すると、被固定線材に固定部材である線材を巻き付けることで、被覆材に被覆された素線をその締め付け力で固定することができる。被覆材に被覆したままの素線を固定したときに、被覆材は固定されているが、素線が十分に固定されていないという問題が発生するが、被固定線材に固定部材である線材を巻き付けることで、その問題を解決し、素線に引張り荷重や捻りモーメントが加わっても測温部が外れてしまうことや、素線が断線してしまうことを防止することができる。
【００１８】
さらに、上記の温度センサ付きウエハにおいて、前記固定部材が、前記素線抜け止め部の締め付けを維持する緊締部を有すると、固定部材を被固定線材に巻き付けてから縛ることで、固定部材の締め付け力が緩むことがなく、温度センサ付きウエハを繰返し使用しても被固定線材の素線をしっかりと固定することができる。
【００１９】
また、上記の目的を解決するための本発明の温度センサ付きウエハの製造方法は、上記に記載の温度センサ付きウエハの製造方法であって、前記被固定線材の残材を前記固定部材として利用することを特徴とする方法である。
【００２０】
この方法によれば、熱電対の残材を固定部材と使用することで、固定部材として別途追加部材が必要なくなるため、温度センサ付きウエハの製造コストを低減することができる。また、線材の加工も容易に行うことができるので、加工工数も低減することができる。加えて、前述した係止部材も被固定線材の残材を用いることができる。
【００２１】
さらに、上記の目的を解決するための本発明の温度センサの素線を固定する方法は、ウエハの表面に配設された温度センサの測温部から導出され、素線を被覆材で被覆してなる被固定線材を、素線を被覆材で被覆したままウエハの表面に固定する温度センサの素線の固定方法において、前記被固定線材に、素線を被覆材で被覆してなる固定用線材を重ね、該固定用線材の両端部をウエハの表面にそれぞれ固定することを特徴とする方法である。
【００２２】
この方法によれば、被固定線材の被覆材は、鋭利な縁などがない同じ被覆材と当接するので、傷つくことがなく、破けることがない。これにより、直接接着剤でウエハの表面に固定したときに発生する、乾いた接着剤の縁で被覆材が切れてしまうことや、板状の固定部材などで固定するときに発生する板材の鋭利な縁で被覆材が切れてしまうことを防ぐことができる。また、被固定線材を、素線を被覆材で被覆したままウエハの表面に固定することができるので、作業を容易に行うことができる。
【００２３】
また、上記の温度センサの素線の固定方法において、一本の、又は一纏めにした複数の前記被固定線材に、前記固定用線材を巻き付け、又は巻き付けて縛ると、固定用線材を被固定線材に巻き付けることで、被固定線材の素線に固定用線材の締め付け力がかかり、素線を確実に固定することができる。これにより、素線を介して測温部に負荷がかかることを防止することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、温度センサの素線を、被覆材に覆ったままウエハの表面に固定しても、その被覆材が傷ついて、破けることを防ぐことができると共に、固定に使用する接着剤の量を減らしてウエハ表面の歪みを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る第１の実施の形態の温度センサ付きウエハを示す斜視図である。
【図２】固定用線材を示す図１のＩＩ−ＩＩ断面の断面図である。
【図３】本発明に係る第２の実施の形態の温度センサ付きウエハの固定線材を示す部分断面図である。
【図４】本発明に係る第３の実施の形態の温度センサ付きウエハを示す斜視図である。
【図５】固定用線材をしめす図４のＶ−Ｖ断面の断面図である。
【図６】本発明に係る第４の実施の形態の温度センサ付きウエハを示す斜視図である。
【図７】係止用線材を示す図６のＶＩＩ−ＶＩＩ断面の断面図である。
【図８】本発明に係る第５の実施の形態の温度センサ付きウエハを示す斜視図である。
【図９】従来の温度センサ付きウエハの第１の問題点を説明するための斜視図である。
【図１０】従来の温度センサ付きウエハの第２の問題点を説明するための斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明に係る実施の形態の温度センサ付きウエハ、その製造方法、及び温度センサの素線の固定方法について、図面を参照しながら説明する。なお、図面に関しては、構成が分かり易いように寸法を変化させており、各部材、各部品の板厚や幅や長さなどの比率も必ずしも実際に製造するものの比率とは一致させていない。また、本発明の実施の形態では、温度センサとして熱電対を用いて説明するが、本発明は熱電対以外の温度センサでも適用することができる。
【００２７】
本発明に係る第１の実施の形態の温度センサ付きウエハについて、図１を参照しながら説明する。なお、温度センサ付きウエハ１上には複数の熱電対３を設けるが、それぞれ同様の構成であり、重複を避けるため、そのうちの一つを例に上げて説明する。
【００２８】
図１に示すように、温度センサ付きウエハ１は、ウエハ２の表面上に設けた凹部２ａに、熱電対（温度センサ）３の測温部４を埋設して、接着剤５で固定する。そして、測温部４から引き出される被固定線材６と７を、素線６ａと７ａを被覆材６ｂと７ｂで被覆したまま、ウエハ２の周縁部の近傍の固定部８に、固定用線材（固定部材）１１の両端部１２のそれぞれを接着剤１３で固着する。
【００２９】
この熱電対３を、熱起電力特性を持つアルメル−クロメル（タイプＫ）、白金−白金ロジウム（タイプＲ）、クロメル−コンスタンタン（タイプＥ）、及び鉄−コンスタンタン（タイプＪ）等の素線を組み合わせて形成する。そして、それぞれの素線をスポット溶接などで接合して、測温部４である測温接点を形成する。本発明の実施の形態では、素線６ａをアルメル、及び素線７ａをクロメルで形成したタイプＫの熱電対３を例に説明するが、本発明に適用する熱電対はタイプＫに限定しない。
【００３０】
被固定線材６及び７の被覆材６ｂと７ｂを、耐熱性の違いから、耐熱ビニールなどの合成樹脂、フッ素樹脂、シリカガラス繊維、及びセラミック繊維などから形成する。この被覆材６ｂと７ｂをシリカガラス繊維、及びセラミック繊維などの繊維質の材料で形成する場合には、柔軟性が高くなるように、網組加工して形成するとよい。
【００３１】
この実施の形態では、ウエハ２の表面温度が３００度〜１２００度と高温になることから、耐熱性、電気絶縁性に優れ、加えて、柔軟性にも優れるアルミナ、シリカを主成分とするアルミナ繊維を網組加工して形成した被覆材６ｂと７ｂを用いて説明する。ただし、本発明はアルミナ繊維で形成した被覆材以外の被覆材を用いた熱電対を使用した場合にも
適用することができる。
【００３２】
次に、図２に示すように、固定用線材１１を用いて被固定線材６と７をウエハ２の表面上に固定する方法について詳細に説明する。固定用線材１１を、被固定線材６と７とにウエハ２の外縁部の近傍の固定部８で重ねる。このとき、被固定線材６と７の延在方向と直交する方向に略直角になるように重ねるとよい。そして、固定用線材１１の両端部１２の被覆材１１ｂを剥がしてむき出しになった素線１１ａをそれぞれ接着剤１３でウエハ２の表面上に固着する。この接着剤１３は、測温部４の固定にも使用したものと同じものでもよい。
【００３３】
固定用線材１１の両端部１２を接着剤１３でウエハ２の表面に固着するときは、固定用線材１１をできるだけ被固定用線材６と７に押し付けるように、つまり、被固定線材６と７に固定用線材１１からの押圧力がかかり、被固定線材６と７の素線６ａと７ａにその押圧力がかかるようにすると、素線６ａと７ａを固定部８にしっかりと固定することができる。
【００３４】
この固定用線材１１は、前述の熱電対３を製造する際の、若しくは以前に別の熱電対を製造した際の残材を用いる。このように、熱電対３の残材を用いることで、本発明の温度センサ付きウエハ１の製造コストを低減することができる。
【００３５】
また、熱電対３の残材を利用することで、固定用線材１１は、熱電対３に用いられる被固定線材６又は７のどちらかと同じ材質の被覆材で、且つ同じ材質の素線を有す。これにより、ウエハ２の表面には、つまり熱電対３によって計測される被計測対象には、熱電対３に用いられる素材以外のものはなく、別の素材を用いることで発生する計測温度のズレがなくなり、正確な温度を測定することができる。
【００３６】
加えて、固定用線材１１も被固定線材６と７と同様に、被覆材１１ｂに被覆したまま接着剤１３で固定してしまうと、被覆材１１ｂが破けてしまうので、固定用線材１１の両端部１２の被覆材１１ｂを剥がして、素線１１ａをむき出しにして、その素線１１ａを接着剤１３で固着する。
【００３７】
この加工は容易に行え、従来のように、別途固定部材を形成して、固定する方法に比べて、温度センサ付きウエハ１を製造する加工工数を低減し、且つ容易に製造することができる。この固定用線材１１は被固定線材６と７をウエハ２の表面に固定する際に、複数用いるとよりしっかりと被固定線材６と７をウエハ２に固定することができるが、その数については限定しない。
【００３８】
上記の構成によれば、被固定線材６と７を、素線６ａと７ａを被覆材６ｂと７ｂに被覆したまま、素線１１ａを被覆材１１ｂに被覆した固定用線材１１によってウエハ２の表面に固定することで、被固定線材６と７の被覆材６ｂと７ｂを傷つけることがないので、固定用線材１１と被固定線材６と７の境界で被覆材６ｂと７ｂとが破けることを防ぐことができる。そのため、アルミナ繊維などを組み込み加工して形成した高耐熱性、高柔軟性であるが、破けやすい被覆材６ｂと７ｂを用いることができる。
【００３９】
また、固定用線材１１の両端部１２をそれぞれ接着剤１３で固着することで、接着剤１３の量を低減すると共に、接着剤１３とウエハ２との接着面積を大幅に低減することができる。そのため、ウエハ２の表面と接着剤１３との熱膨張率との差による、ウエハ２の歪みを抑え、ウエハ２の破砕などを防ぐことができる。
【００４０】
さらに、熱電対３の被固定線材６と７を被覆材６ｂと７ｂを被覆したままウエハ２に固
定することにより、温度センサ付きウエハ１を容易に製造することができ、また、固定部材として熱電対３の残材の固定用線材１１も、被覆材１１ｂを剥がして、素線１１ａをむき出しにするだけの簡単な加工で製造することができるので、温度センサ付きウエハ１を容易に製造し、且つ製造コストを低減することができる。
【００４１】
次に、本発明に係る第２の実施の形態について、図３を参照しながら説明する。この温度センサ付きウエハ２０は、前述の図１の構成に加えて、固定用線材２１の両端部２２をウエハ２の表面に接着剤２３で固着して被固定線材６と７を固定すると共に、被固定線材６と７のそれぞれに固定用線材２１を巻き付けて形成される素線抜け止め部２４を備える。
【００４２】
この素線抜け止め部２４によって、被固定線材６と７の素線６ａと７ａに、固定用線材２１の締め付け力がかかり、素線６ａと７ａとを固定部８から動かないように固定することができる。この実施の形態では、被固定線材６と７を一本ずつ固定用線材２１で巻き付けたが、被固定線材６と７を一纏めにしてから固定用線材２１を巻き付けてもよい。
【００４３】
次に、本発明に係る第３の実施の形態の温度センサ付きウエハについて説明する。この温度センサ付きウエハ３０は、図１の構成に加えて、図４及び図５に示すように、複数の被固定線材６と７を一纏めにして、被固定線材６と７の素線６ａと７ａに十分に固定用線材３１の締め付け力がかかるように、巻き付けて形成した素線抜け止め部３４と、固定用線材３１を縛って形成した緊締部３５を備える。
【００４４】
この素線抜け止め部３４を、固定用線材３１を一纏めにした複数の被固定線材６と７に、複数回巻き付けて形成する。この実施の形態では、約１０回を目安に巻き付けたが、巻き付ける回数は限定しない。また、複数回巻き付けることで、被固定線材の素線をより確実に固定することができる。
【００４５】
加えて、固定用線材３１を巻き付ける際に、素線抜け止め部３４の厚みが厚いと、温度センサ付きウエハ３０を使用したときに、素線抜け止め部３４の温度が高くなってしまうことがあるため、同じ箇所に複数回巻き付けるのではなく、できるだけ帯状になるように巻き付けるとよい。帯状に巻き付けることで、素線抜け止め部３４の厚みが薄くなり、温度を測定したときの影響を少なくすることができる。
【００４６】
この緊締部３５を、素線抜け止め部３４を形成した後に、固定用線材３１を縛ることにより形成し、温度センサ付きウエハ３０を繰返し使用しても素線抜け止め部３４の締め付け力が緩まないように構成する。その縛り方は、素線抜け止め部３４が緩まなければよく、特に限定しない。好ましくは、熱電対３を交換する際に外し易い縛り方がよい。
【００４７】
この構成によれば、前述と同様の作用効果を得ることができ、さらに、固定用線材３１を被固定線材６と７に巻き付けてから縛ることで、被固定線材６と７の素線６ａと７ａに、固定用線材３１の締め付け力をかけることができると共に、温度センサ付きウエハ３０を繰返し使用しても、その締め付け力が弱まらずに、被固定線材６と７を固定部８に固定したままの状態を保つことができる。よって、この実施の形態は、特に、複数の被固定線材を一纏めにして固定するときに好適である。
【００４８】
この第３の実施の形態では、一纏めにした複数の被固定線材に固定用線材３１を巻き付けて、縛る構成を説明したが、例えば、第２の実施の形態のように、被固定線材一本一本に巻き付けて、縛る構成にしてもよい。
【００４９】
次に、本発明に係る第４の実施の形態の温度センサ付きウエハについて説明する。この
実施の形態の温度センサ付きウエハ４０は、図４と図５の構成に加えて、図６及び図７に示すように、固定用線材３１の両端部３２を係止する係止用線材（係止部材）４１をそれぞれ備える。そして、係止用線材４１の両端部４２を接着剤４３でウエハ２の表面に固着する。また、この温度センサ付きウエハ３０は、固定用線材３１の端部３２を、係止用線材４１に巻き付けて形成した係止部３６を備える。
【００５０】
この係止用線材４１を、固定用線材３１と同様に熱電対３の残材の両端部４２の被覆材４１ｂを剥がして、素線４１ａをむき出しにして形成する。むき出しになった素線４１ａを接着剤４３でウエハ２の表面に固着して、固定用線材３１をウエハ２上に係止する。
【００５１】
この係止用線材４１は、固定用線材３１をウエハ２の表面上に係止することができればよい。例えば、熱電対３の素線６ａ又は７ａのどちらかと同様の材質を二股状に形成したピンをウエハ２に埋め込んだものなどを用いることができる。ただし、実施の形態のように、熱電対３の残材で形成すると加工工数が少なく、製造コストを低減することができるので、より好ましい。
【００５２】
係止部３６は、固定用線材３１の両端部３２を係止用線材４１から外れないように係止することができれば、上記の構成に限定しない。例えば、固定用線材３１の両端部３２を係止用線材４１に巻き付けてから接着剤で固着する、また、巻き付けずに接着剤で固着するだけでもよい。
【００５３】
この構成によれば、係止用線材４１も固定用線材３１と同様に、熱電対３の残材を用いるので、前述と同様の作用効果を得ることができ、さらに、固定用線材３１の両端部３２をそれぞれ係止用線材４１で係止し、その係止用線材４１の両端部４２を接着剤４３で固着するので、接着面積が小さいウエハ２との接着点の数を増やすことができる。
【００５４】
一つ一つの接着面積を小さくすることで、接着剤４３とウエハ２の表面との熱膨張率の相違によるウエハ２の表面の破損などを防止することができ、また、接着点数を増やすことで、一纏めにした複数の被固定線材６と７を固定部８に固定し、固定部８にかかる力が大きくなっても、ウエハ２との固着力が強くなるので、固定部８から被固定線材６と７が外れてしまうことを防止することができる。
【００５５】
この第４の実施の形態では、係止用線材４１で固定用線材３１を係止する構成を説明したが、第１及び第２の実施の形態の固定用線材１１、又は２１を係止することもできる。
【００５６】
次に、本発明に係る第５の実施の形態について、図８を参照しながら説明する。この温度センサ付きウエハ５０は、測温部４と固定部８との間に、中間固定部９を備えると共に、固定部８には図４に示す固定用線材３１を、又、中間固定部９には図１に示す固定用線材１１を設ける。
【００５７】
この温度センサ付きウエハ５０は、前述した本発明に係る第３の実施の形態の作用効果に加えて、測温部４と固定部８との間に設けた中間固定部９で、被固定線材６と７を固定用線材１１で固定することができるので、より被固定線材６と７が固定され、測温部４にかかる負荷を低減することができる。
【００５８】
この第５の実施の形態のように、本発明に係る第１〜第４の実施の形態を組み合わすことができる。また、第５の実施の形態では、測温部４と固定部８との間に中間固定部９を設けたが、中間固定部９を設けずに、例えば、固定部８に第３の実施の形態の固定用線材３１を２つ設ける構成にしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明の温度センサ付きウエハは、熱電対の素線を、被覆材に覆ったままウエハの表面に固定しても、その被覆材が傷ついて、破けることを防ぐことができると共に、固定に使用する接着剤の量を減らしてウエハ表面の歪みを防止することができるので、特にアルミナ繊維などを網組加工した被覆材で被覆した素線を有する熱電対をウエハに固定した温度センサ付きウエハに利用することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１、２０、３０、４０、５０  温度センサ付きウエハ
２  ウエハ
３  熱電対
４  測温部
５  接着剤
６、７  被固定線材
６ａ、７ａ  素線
６ｂ、７ｂ  被覆材
８  固定部
９  中間固定部
１１、２１、３１  固定用線材（固定部材）
１１ａ、２１ａ、３１ａ  素線
１１ｂ、２１ｂ、３１ｂ  被覆材
１２、２２、３２  固定用線材の端部
１３、２３、３３  接着剤
２４、３４  素線抜け止め部
３５  緊締部
３６  係止部
４１  係止用線材（係止部材）
４１ａ  素線
４１ｂ  被覆材
４２  係止用線材の端部
４３  接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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