(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収容するチャンバ部と、
前記チャンバ部内の気体を排気する排気装置と、
前記チャンバ部内の圧力を計測する圧力計と、
気体を冷却し、冷却によって生じた液化物を回収する回収装置と、
前記チャンバ部と前記排気装置とを接続し、途中に前記回収装置を経由する配管である第１配管と、
を備え、
前記排気装置により前記第１配管を通じて前記チャンバ部の内部の気体を排気させて減圧することによって、基板に塗布された塗布液を減圧乾燥し、減圧乾燥によって塗布液から揮発した溶剤を前記回収装置で冷却することにより液化させて回収させる減圧乾燥装置であり、
前記チャンバ部と前記排気装置とを接続し、途中に前記回収装置を経由しない配管である第２配管がさらに設けられ、前記チャンバ部内の排気により前記圧力計の計測値が水の飽和蒸気圧もしくは前記溶剤の飽和蒸気圧と略等しくなった時に前記第１配管を経由する排気が開始することを特徴とする、減圧乾燥装置。
【請求項２】
前記圧力計の計測値の減少ペースが急激に緩くなった時に前記第１配管を経由する排気が開始することを特徴とする、請求項１に記載の減圧乾燥装置。
【請求項３】
前記排気装置が前記チャンバ部内の気体を排気する際に経由する配管を、前記第１配管と前記第２配管との間で切替える切替部をさらに有することを特徴とする、請求項１または２のいずれかに記載の減圧乾燥装置。
【請求項４】
基板を収容するチャンバ部と、
気体を排気する排気装置と、
前記チャンバ部内の圧力を計測する圧力計と、
気体を冷却し、冷却によって生じた液化物を回収する回収装置と、
前記チャンバ部と前記排気装置とを接続し、途中に前記回収装置を経由する配管である第１配管と、
前記チャンバ部と前記排気装置とを接続し、途中に前記回収装置を経由しない配管である第２配管と、
を備え、
前記排気装置により前記第１配管を通じて前記チャンバ部の内部の気体を排気させて減圧することによって、基板に塗布された塗布液を減圧乾燥し、減圧乾燥によって塗布液から揮発した溶剤を前記回収装置で冷却することにより液化させて回収させる減圧乾燥方法であり、
前記第２配管を経由して前記チャンバ部の内部の気体を排気し、塗布液を乾燥させる不回収乾燥工程と、
前記第１配管を経由して前記チャンバ部の内部の気体を排気し、塗布液を乾燥させる回収乾燥工程と、
を含み、前記チャンバ部内の排気により前記圧力計の計測値が水の飽和蒸気圧もしくは前記溶剤の飽和蒸気圧と略等しくなった時に前記回収乾燥工程が開始することを特徴とする、減圧乾燥方法。
【請求項５】
前記圧力計の計測値の減少ペースが急激に緩くなった時に前記回収乾燥工程が開始することを特徴とする、請求項４に記載の減圧乾燥方法。
【請求項６】
前記不回収乾燥工程を行った後、前記排気装置が前記チャンバ部内の気体を排気する際に経由する配管を、前記第１配管から前記第２配管へ切替えて、続いて前記回収乾燥工程を行うことを特徴とする、請求項４または５のいずれかに記載の減圧乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布液が塗布された基板に対し、減圧環境下で塗布液中の溶剤を揮発させることにより塗布液を乾燥させ、さらに揮発した溶剤を液化して回収する減圧乾燥装置および減圧乾燥方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、基板上にレジスト液が塗布されたもの（塗布基板と称す）が使用されている。この塗布基板の生産工程では、まず、塗布装置により基板上にレジスト液が均一に塗布されることによって塗布膜が形成され、その後、たとえば減圧乾燥装置といった乾燥装置によって塗布膜の乾燥が行われる。
【０００３】
この減圧乾燥装置は、チャンバに基板が収容された状態で、チャンバを減圧させることにより塗布基板上の塗布液を乾燥させるようになっている。具体的には、塗布基板がチャンバ内に載置された状態でチャンバ内の空気が外部へ排気され、チャンバ内が減圧環境下になることにより、塗布基板上の塗布液に含まれる溶剤が揮発し、塗布液が乾燥する。
【０００４】
ここで、下記特許文献１では、チャンバの外部に溶剤液化装置を設けており、チャンバ内で発生した溶剤蒸気を溶剤液化装置内で冷却することにより液化し、回収タンクで回収する旨の記載がある。この方法を減圧乾燥装置の排気機構に利用することにより、回収した溶剤を塗布装置のノズルや配管の洗浄などに再利用することができ、コストを低減することが可能である。また、排気機構の真空ポンプなど排気設備へ溶剤が付着することを軽減し、排気設備の負荷を軽減することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−５４６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記特許文献１に記載された溶剤回収方法では、回収した液体の中には溶剤のほかに水分を含むため、純度の高い溶剤を得られない場合があるといった問題があった。具体的には、溶剤液化装置にはチャンバ内で発生した溶剤蒸気のほかに、チャンバ内の空気も排気により流れ込んでおり、この空気が溶剤液化装置で冷却されると、空気が含んでいた水蒸気が液化して水になるため、この水が溶剤に混じって回収タンクに貯留されることとなる。したがって、溶剤が水と分離することが難しい物質であった場合は、この回収方法によって純度の高い溶剤を得られないおそれがあった。
【０００７】
また、溶剤の回収効率を高くするために溶剤液化装置内の温度を氷点下に設定すると、空気が含んでいた水蒸気が液化を経て溶剤液化装置内で氷結するおそれがあり、これによって冷却の効率が低下したり、溶剤液化装置と回収タンクとの間の配管がつまるおそれがあった。
【０００８】
本発明は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、基板上の塗布液を減圧乾燥させつつ、水分の混入を少なくして溶剤を回収することが可能な減圧乾燥装置および減圧乾燥方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明の減圧乾燥装置は、基板を収容するチャンバ部と、前記チャンバ部内の気体を排気する排気装置と、前記チャンバ部内の圧力を計測する圧力計と、気体を冷却し、冷却によって生じた液化物を回収する回収装置と、前記チャンバ部と前記排気装置とを接続し、途中に前記回収装置を経由する配管である第１配管と、を備え、前記排気装置により前記第１配管を通じて前記チャンバ部の内部の気体を排気させて減圧することによって、基板に塗布された塗布液を減圧乾燥し、減圧乾燥によって塗布液から揮発した溶剤を前記回収装置で冷却することにより液化させて回収させる減圧乾燥装置であり、前記チャンバ部と前記排気装置とを接続し、途中に前記回収装置を経由しない配管である第２配管がさらに設けられ、前記チャンバ部内の排気により前記圧力計の計測値が水の飽和蒸気圧もしくは前記溶剤の飽和蒸気圧と略等しくなった時に前記第１配管を経由する排気が開始することを特徴としている。
【００１０】
上記減圧乾燥装置によれば、途中に回収装置を経由しない配管である第２配管がさらに設けられていることにより、第１配管のみを用いる場合に比べて、水分の混入を少なく溶剤を回収することが可能である。すなわち、第２配管も用いて塗布液の乾燥を行うことによって、チャンバ部内の気体に含まれていた水分のうち第１配管および回収装置へ流れる量を少なくすることができる。また、回収装置への水分の混入が少なくなるため、回収装置の氷結を防ぐこともできる。また、チャンバ部内の排気により圧力計の計測値が水の飽和蒸気圧もしくは溶剤の飽和蒸気圧と略等しくなった時に第１配管を経由する排気が開始することにより、回収装置への水分の混入がほとんど無く、多くの溶剤を回収することができる。ここで、圧力計の計測値の減少ペースが急激に緩くなった時に第１配管を経由する排気が開始するようにしても良い。こうすることにより、溶剤の飽和蒸気圧が未知であってもチャンバ部内の圧力が溶剤の飽和蒸気圧と略等しくなった時に第１配管を経由する排気を開始することができる。
【００１１】
また、前記排気装置が前記チャンバ部内の気体を排気する際に経由する配管を、前記第１配管と前記第２配管との間で切替える切替部をさらに有すると良い。
【００１２】
このように切替部をさらに有することにより、第１配管を用いるときに第２配管も一緒に用いる場合と比べて溶剤の回収量を多くすることが可能である。すなわち、チャンバ部内部の気体に水分が多く含まれるときは第２配管のみを用い、その後第１配管に切替えて用いてチャンバ部内部の減圧乾燥を行うことにより、第１配管に切替えた時にチャンバ部内の気体を全て回収装置へ流すことができるため、溶剤の回収量を多くすることが可能である。
【００１３】
また、上記課題を解決するために本発明の減圧乾燥方法は、基板を収容するチャンバ部と、気体を排気する排気装置と、前記チャンバ部内の圧力を計測する圧力計と、気体を冷却し、冷却によって生じた液化物を回収する回収装置と、前記チャンバ部と前記排気装置とを接続し、途中に前記回収装置を経由する配管である第１配管と、前記チャンバ部と前記排気装置とを接続し、途中に前記回収装置を経由しない配管である第２配管と、を備え、前記排気装置により前記第１配管を通じて前記チャンバ部の内部の気体を排気させて減圧することによって、基板に塗布された塗布液を減圧乾燥し、減圧乾燥によって塗布液から揮発した溶剤を前記回収装置で冷却することにより液化させて回収させる減圧乾燥方法であり、前記第２配管を経由して前記チャンバ部の内部の気体を排気し、塗布液を乾燥させる不回収乾燥工程と、前記第１配管を経由して前記チャンバ部の内部の気体を排気し、塗布液を乾燥させる回収乾燥工程と、を含み、前記チャンバ部内の排気により前記圧力計の計測値が水の飽和蒸気圧もしくは前記溶剤の飽和蒸気圧と略等しくなった時に前記回収乾燥工程が開始することを特徴としている。
【００１４】
このように不回収乾燥工程と回収乾燥工程とを有することにより、回収乾燥工程のみを行う場合に比べて、チャンバ部内の気体に含まれていた水分のうち第１配管および回収装置へ流れる量を少なくすることができるため、回収装置の氷結を防ぐことができるのと同時に、水分の混入を少なくして溶剤を回収することが可能である。また、チャンバ部内の排気により圧力計の計測値が水の飽和蒸気圧もしくは溶剤の飽和蒸気圧と略等しくなった時に回収乾燥工程が開始することにより、回収装置への水分の混入がほとんど無く、多くの溶剤を回収することができる。ここで、圧力計の計測値の減少ペースが急激に緩くなった時に第１配管を経由する排気が開始するようにしても良い。こうすることにより、溶剤の飽和蒸気圧が未知であってもチャンバ部内の圧力が溶剤の飽和蒸気圧と略等しくなった時に回収乾燥工程が開始することができる。
【００１５】
また、前記不回収乾燥工程を行った後、前記排気装置が前記チャンバ部内の気体を排気する際に経由する配管を、前記第１配管から前記第２配管へ切替えて、続いて前記回収乾燥工程を行うようにすると良い。
【００１６】
このようにすることにより、回収乾燥工程を行うときに不回収乾燥工程も一緒に行う場合と比べて溶剤の回収量を多くすることが可能である。すなわち、チャンバ部内部の気体に水分が多く含まれるときは不回収乾燥工程を行い、水分が十分に少なくなってから配管を切替えて用いて回収乾燥工程を行うことにより、水分が少なくなった気体を全て回収装置へ流すことができるため、溶剤の回収量を多くすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の減圧乾燥装置および減圧乾燥方法によれば、基板上の塗布液を減圧乾燥させつつ、水分の混入を少なくして溶剤を回収することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態における減圧乾燥装置の概略図であり、側面図である。
【図２】溶剤および水の飽和蒸気圧を示すグラフである。
【図３】減圧乾燥装置の内圧の経時変化、およびチャンバ部内の溶剤量、水分量の経時変化を表すグラフである。
【図４】本発明の一実施形態における減圧乾燥方法の動作フローである。
【図５】本発明の他の実施形態における減圧乾燥装置の概略図であり、側面図である。
【図６】本発明の他の実施形態における減圧乾燥方法の動作フローである。
【図７】本発明の他の実施形態における減圧乾燥装置の概略図であり、側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
【００２０】
本発明の一実施形態における減圧乾燥装置の側面図を図１に示す。減圧乾燥装置１は、チャンバ部２、排気装置３および回収装置４を有し、排気装置３がチャンバ部２の内部の気体を排気して減圧することにより、チャンバ部２に収容した基板Ｗの表面に塗布された塗布液Ｒから溶剤を揮発させる。なお、以降の説明では、溶剤が揮発することを乾燥と呼ぶ。
【００２１】
また、チャンバ部２と排気装置３とを接続する配管は、途中に回収装置４を経由する第１配管５と、回収装置４を経由しない第２配管６との２種類があり、これらの配管が切替部７で切替えられ、塗布液Ｒの減圧乾燥が行われる。ここで、チャンバ部２内の気体が第１配管５を経由して排気される場合、その気体は回収装置４で冷却され、この冷却で液化した気体は、回収装置４の回収容器２３に回収される。
【００２２】
チャンバ部２は、チャンバ本体１１、チャンバ蓋部１２、載置部１３、および排気口１４を有している。
【００２３】
チャンバ本体１１とチャンバ蓋部１２とは、チャンバ蓋部１２に設けられた図示しない昇降機構を駆動制御することにより接離可能となっており、チャンバ蓋部１２がチャンバ本体１１に当接することによりチャンバ部２の内部に密閉空間が形成される。レジストなどの塗布液Ｒが塗布された基板Ｗがこの密閉空間に収容された状態で、排気装置３によりこの密閉空間の気体を排気し、減圧状態にすることによって、塗布液Ｒから溶剤が揮発し、塗布液Ｒが乾燥する。また、チャンバ蓋部１２がチャンバ本体１１から離間した状態の場合、図示しない搬送ロボットなどによりチャンバ部２への基板Ｗの搬入出が可能となる。
【００２４】
載置部１３は、本実施形態ではチャンバ本体１１に設けられた複数のピンであり、これらの先端が基板Ｗの裏面と当接することによって、減圧乾燥を行う際に基板Ｗを支持する。これにより、ピンの間をぬって基板Ｗの下へロボットハンドなどが入り込むことが可能であり、基板Ｗの搬入出が容易となっている。
【００２５】
ここで、基板Ｗにおいて載置部１３が接する部分と接しない部分とでは、少なからず温度に差が生じて塗布液Ｒの乾燥の進行に差が部分的に生じる。それを防ぐため、載置部１３の基板Ｗに当接する側の端部は尖った形状をとっており、基板Ｗとの接触面積を小さくすることにより、基板Ｗの中で温度差が生じにくくなっている。
【００２６】
排気口１４は、チャンバ本体１１に設けられた開口であり、この排気口１４を通じてチャンバ部２の内部と排気装置３とが配管を用いて接続される。
【００２７】
排気装置３は、真空ポンプ、ブロワーなどであり、配管で接続されたチャンバ部２の内部の気体を排気するものである。ここで、チャンバ部２と排気装置３とを接続する配管は、途中に回収装置４を経由する第１配管５と、回収装置４を経由しない第２配管６との２種類が設けられている。また、第１配管５のチャンバ部２と回収装置４の間、および第２配管には、切替部７が設けられており、チャンバ部２内の気体の排気を行う際に経由する配管を切替えることができる。
【００２８】
回収装置４は、本実施形態では冷却容器２１、冷却コイル２２、および回収容器２３を有し、冷却コイル２２によって低温が維持された冷却容器２１内に流れ込んだ気体を冷却し、一部を液化させる。そして、液化した気体を、回収容器２３内で回収する。
【００２９】
冷却容器２１は、内部に密閉空間を有する略円柱状の容器であり、第１配管５と接続する２つの接続口、および、冷却コイル２２を内部に引き込みむための開口、冷却コイル２２を外部へ出すための開口を有する。ここで、冷却容器２１内に流れ込んだ気体が効率よく冷却されるよう、第１配管５と接続する２つの接続口は、冷却容器２１内で離れた位置にある方が良い。
【００３０】
また、冷却容器２１は、底面に回収容器２３と接続するための接続口を有しており、冷却容器２１内で液化した気体は、ここから回収容器２３へ流れ込む。ここで、液化した気体がより回収容器２３へ流れ込み易くなるよう、冷却容器２１の底面は、回収容器２３との接続口の高さを最も低くした、すり鉢状の形状をとると良い。
【００３１】
冷却コイル２２は、冷媒を流す配管であり、冷却容器２１の内部に通され、そこでは冷却容器２１の内壁に沿うようにらせん状に巻かれている。本実施形態では、冷媒の温度は約−５０℃であり、冷媒によって冷却された冷却コイル２２が冷却容器２１の内部の温度を低温に維持する。また、冷却容器２１の内部でらせん状に巻かれていることにより冷却容器２１内を通る冷却コイル２２の全長が長くなり、冷却容器２１内の温度をより低温に維持できるようになっている。
【００３２】
回収容器２３は、冷却容器２１の底面に設けられた接続口を通じて冷却容器２１と接続されたタンクであり、冷却容器２１内で液化した気体はこの回収容器２３に流れ込み、貯留される。
【００３３】
また、本実施形態では、冷却容器２１と回収容器２３との間の配管にバルブ２４が設けられ、また、回収容器２３の底面には配管が設けられ、その配管にもバルブ２５が設けられている。そして、塗布液Ｒの減圧乾燥を行って溶剤の回収を行う際は、バルブ２４が開状態、バルブ２５が閉状態となっており、回収容器２３内に溶剤が貯留される。また、貯留した溶剤を再利用に充てる際は、バルブ２４が閉状態、バルブ２５が開状態となり、図示しない移送容器などに溶剤が排出される。
【００３４】
切替部７は、バルブ３１およびバルブ３２を有し、バルブ３１は第１配管５のチャンバ部２と回収装置４の間に、バルブ３２は、第２配管に設けられている。ここで、図示しない制御装置による制御によりバルブ３１が開状態、バルブ３２が閉状態となった状態で排気が行われることにより、チャンバ部２内の気体は第１配管５のみを経由して排気され、バルブ３１が閉状態、バルブ３２が開状態となった状態で排気が行われることにより、チャンバ部２内の気体は第２配管６のみを経由して排気される。すなわち、切替部７により、チャンバ部２内の気体の排気を行う際に経由する配管を切替えることが可能である。
【００３５】
次に、上記の構成を有する減圧乾燥装置１を用いた減圧乾燥方法について説明する。
【００３６】
図２は、発明者が通常使用する塗布液Ｒに含まれる溶剤の飽和蒸気圧を示すグラフであり、水の飽和蒸気圧のグラフとともに示している。
【００３７】
図２には５種類の溶剤と水の飽和蒸気圧を表しているが、全ての溶剤がどの温度でも水よりも低い飽和蒸気圧を示しており、通常フォトリソグラフィなどに用いるレジストに含まれる溶剤は、このように水よりも低い飽和蒸気圧を有するものと考える。
【００３８】
ここで、２０℃の場合の飽和蒸気圧を例にとり確認すると、水の飽和蒸気圧が約２５００Ｐａであるのに対し、最も水の飽和蒸気圧に近い溶剤の飽和蒸気圧は、約５００Ｐａである。
【００３９】
また、溶剤が液体の状態で含まれる塗布液Ｒが塗布された基板Ｗを収容したチャンバ部２をチャンバ内温度を２０℃として大気圧から減圧していくことを想定すると、まずチャンバ部２の内圧が約２５００Ｐａとなった時点で水の沸点は２０℃となり、仮にチャンバ部２内に液体の水が存在していたとしても、ここで蒸発する。このとき、溶剤は、まだ沸点に達していないため、揮発する量は少量であり、大部分は液体として塗布液Ｒ中に存在している。
【００４０】
チャンバ部２の内圧を約２５００Ｐａからさらに減圧を進めると、チャンバ部２内の水分は、チャンバ部２の内圧の減少にしたがって減少するが、溶剤は内圧が約５００Ｐａになるまで大部分が液体のままでチャンバ部２に残存する。そして、チャンバ部２の内圧が約５００Ｐａに達した時点で溶剤の沸点は２０℃となり、溶剤の揮発が活発化する。
【００４１】
図３は、水より低い飽和蒸気圧を有する溶剤を含んだ塗布液Ｒを減圧乾燥装置１を用いて減圧乾燥した場合のチャンバ部２の内圧の経時変化、およびチャンバ部２内の溶剤量、水分量の経時変化を表すグラフである。
【００４２】
図３（ａ）は、チャンバ部２の内圧の経時変化を示している。塗布液Ｒが塗布された基板Ｗがチャンバ部２の内部に載置されてから減圧乾燥が開始すると、しばらくの間は順調にチャンバ部２の内圧は下がり続けるが、内圧がある値に達すると（図３に示す時刻ｔ１、圧力Ｐ１の状態）、圧力の減少のペースが急激に緩やかになる。これは、チャンバ２部の内圧がＰ１となった時点から塗布液Ｒ内の溶剤の揮発が活発になり、排気によってチャンバ部２内が減圧されるのに対して溶剤の揮発が圧力を増加させる方向に働き、その結果、チャンバ部２内の圧力の減少量が少なくなるためである。
【００４３】
すなわち、圧力Ｐ１が溶剤の飽和蒸気圧、時刻ｔ１がチャンバ部２の内圧が溶剤の飽和蒸気圧に達する時刻である。
【００４４】
そして、溶剤の揮発が進み、塗布液Ｒ内の溶剤がほぼ全て無くなると、チャンバ部２の内圧の減少のペースは再び早まる挙動を示す。
【００４５】
図３（ｂ）に、溶剤量の経時変化を示す。先述の通り、チャンバ部２の内圧が溶剤の飽和蒸気圧Ｐ１に達するまでは塗布液Ｒから揮発する溶剤の量は少量であり、時刻ｔ１で内圧がＰ１に達した時点から溶剤は活発に揮発し、溶剤量は急激に減少する。
【００４６】
図３（ｃ）は、水分量の経時変化を示す。通常、チャンバ部２内に水分は液体としては存在せず、空気の中に水蒸気として存在するだけである。また、時刻ｔ１に達するまでは、チャンバ部２内に存在する気体はほとんどが減圧乾燥開始時にチャンバ部２内にあった空気であるため、チャンバ部２の内圧の減少にほぼ比例して水分量も減少する。ここで、先述の例と同様に温度が２０℃である場合を例にとると、大気圧が約１０００００Ｐａであるのに対し、水の飽和蒸気圧は約２５００Ｐａであるので、チャンバ部２の内圧が水の飽和蒸気圧に達したときにチャンバ部２内に存在する水分量は、減圧乾燥開始時の約３％になる。したがって、時刻ｔ１より前に存在する、チャンバ部２の内圧が水の飽和蒸気圧（図３に示す圧力Ｐ０）になる時刻ｔ０においても、チャンバ部２内の水分量は十分少なくなっていると考える。
【００４７】
以上より、水より低い飽和蒸気圧を有する溶剤を減圧によって揮発させる場合、溶剤の揮発が活発になるまでは、溶剤は大部分がチャンバ部２内に残存する一方、チャンバ部２内の水分は内圧の減少にしたがって着実に減少している。
【００４８】
したがって、溶剤の揮発が活発になり始めるあたりから第１配管５を経由した排気が始まり、回収装置４に気体が通るようにすれば良い。こうすることにより、多くの溶剤を回収でき、かつ水分の混入はほとんど無くなって、回収装置の氷結を防ぐことができると同時に純度の高い溶剤を回収することが可能である。また、この場合、第１配管５を経由した排気が行われるまでは、第２配管６を経由した排気が行われることとなる。
【００４９】
なお、本発明では、第１配管５を経由して排気することにより、回収装置４を通して減圧乾燥する工程を回収乾燥工程と呼び、第２配管６を経由して排気することにより、回収装置４を通さずに減圧乾燥する工程を不回収乾燥工程と呼ぶ。
【００５０】
ここで、回収乾燥工程を始めるタイミングの具体的な目安は、たとえばチャンバ部２の内圧が水の飽和蒸気圧Ｐ０に達したとき、もしくは、溶剤の飽和蒸気圧Ｐ１に達したときなどに設定されると良い。そうすることにより、上述の通り水分の混入がほとんど無く、多くの溶剤を回収することができ、また、Ｐ０およびＰ１は水および溶剤における一意的な数値であるので、これらの数値となるタイミングで制御が行われることにより、制御が容易になる。なお、チャンバ部２の内圧がＰ１に達したときに回収乾燥工程が始まる場合は、Ｐ０に達したときに回収乾燥工程が始まる場合に比べ、溶剤の回収量が若干減少するものの、さらに水分を減少させた回収が可能である。
【００５１】
これらのタイミングを実際の減圧乾燥処理中に確認する方法として、図示しない圧力計がチャンバ部２にさらに設けられ、この圧力計がチャンバ部２の内圧を計測する方法が挙げられる。そして、その計測値がＰ０、もしくはＰ１になったときに回収乾燥工程が始まるようにすると良い。また、無論、Ｐ０およびＰ１の値より多少前後した値を目安としても良い。
【００５２】
また、溶剤の飽和蒸気圧Ｐ１が未知である場合は、チャンバ部２の内圧の減少ペースを圧力計で計測し続け、減少ペースが急激に緩くなったタイミング（すなわち、時刻ｔ１）で回収乾燥工程が始まるようにしても良い。
【００５３】
また、チャンバ部２の内圧がＰ０もしくはＰ１に達する時刻ｔ０、ｔ１が経験的に判明している場合、圧力計は用いずに、減圧乾燥開始時から所定の時間が経過したタイミングで回収乾燥工程が始まるようにしても良い。
【００５４】
次に、減圧乾燥装置１を用いた減圧乾燥方法の動作フローを図４に示す。ここで、排気装置３は常時稼働しているものとし、回収乾燥工程を始めるタイミングはチャンバ部２の内圧が溶剤の飽和蒸気圧Ｐ１に達したときに設定されているものとする。
【００５５】
まず、塗布液Ｒが塗布された基板Ｗがチャンバ部２へ搬入される（ステップＳ１）。具体的には、図示しない搬送ロボットなどが、チャンバ本体１１とチャンバ蓋部１２とが離間状態となっているチャンバ部２の載置部１３へ基板Ｗを載置し、その後、チャンバ蓋部１２が下降してチャンバ本体１１と当接し、チャンバ部２内に密閉空間が形成される。なお、この時点では、切替部７のバルブ３１およびバルブ３２は、ともに閉状態であり、チャンバ部２から排気装置３への気体の流れが遮断されているものとする。
【００５６】
次に、切替部７のバルブ３２が開状態となり（ステップＳ２）、第２配管６を経由した塗布液Ｒの減圧乾燥（不回収乾燥工程）が実施される（ステップＳ３）。
【００５７】
この不回収乾燥工程は、チャンバ部２の内圧がＰ１に達するまで続き（ステップＳ４）、チャンバ部２の内圧がＰ１に達すると、切替部７のバルブ３２が閉状態となり（ステップＳ５）、続いて切替部７のバルブ３１が開状態となり（ステップＳ６）、第２配管６を経由した減圧乾燥（不回収乾燥工程）から第１配管５を経由した減圧乾燥（回収乾燥工程）に切替わる。そして、第１配管５途中の回収装置４を通った揮発溶剤が冷却、液化され、回収される（ステップＳ７）。
【００５８】
この回収乾燥工程は、塗布液Ｒ中の溶剤のほとんどが揮発して減圧乾燥が完了するまで続き（ステップＳ８）、減圧乾燥が完了すると、切替部７のバルブ３１が閉状態となってチャンバ部２から排気装置３への気体の流れが遮断される（ステップＳ９）。
【００５９】
最後に、チャンバ部２の内部が大気開放された後、チャンバ蓋部１２が上昇してチャンバ本体１１から離間し、図示しない搬送ロボットなどにより基板Ｗが載置部１３から搬出される（ステップＳ１０）。
【００６０】
次に、本発明の他の実施形態を、図５に示す。図１では、排気装置は１つのみ設けられ、チャンバ部２と排気装置３との間で配管が第１配管５と第２配管６とに分岐していたが、図５に示すように、第１配管５と第２配管６とが独立して設けられ、それぞれの配管に排気装置３が設けられていても良い。ここで、先の実施形態では、第１配管５と第２配管６とが切替部７により切替えて用いられ、不回収乾燥工程の後に回収乾燥工程を実施し、不回収乾燥工程と回収乾燥工程は一緒に実施しないようになっていたが、配管が切替えて使用されるのではなく、不回収乾燥工程は減圧乾燥完了まで続けて実施し、回収乾燥工程の開始後は、回収乾燥工程と不回収乾燥工程を一緒に実施しても構わない。
【００６１】
図５に示す減圧乾燥装置１により回収乾燥工程と一緒に不回収乾燥工程も続ける場合の減圧乾燥方法の動作フローを、図６に示す。ここで、排気装置３は常時稼働しているものとし、回収乾燥工程を始めるタイミングはチャンバ部２の内圧が溶剤の飽和蒸気圧Ｐ１に達したときに設定されているものとする。
【００６２】
まず、塗布液Ｒが塗布された基板Ｗがチャンバ部２へ搬入される（ステップＳ２１）。なお、この時点では、第１配管５に設けられたバルブ４１、および第２配管に設けられたバルブ４２は、ともに閉状態であり、チャンバ部２から排気装置３への気体の流れが遮断されているものとする。
【００６３】
次に、バルブ４２が開状態となり（ステップＳ２２）、第２配管６を経由した塗布液Ｒの減圧乾燥（不回収乾燥工程）が実施される（ステップＳ２３）。
【００６４】
この不回収乾燥工程は、チャンバ部２の内圧がＰ１に達するまで単独で行われ（ステップＳ２４）、チャンバ部２の内圧がＰ１に達すると、バルブ４１が開状態となり（ステップＳ２５）、第２配管６を経由した減圧乾燥（不回収乾燥工程）と第１配管５を経由した減圧乾燥（回収乾燥工程）とが一緒に行われるようになる。そして、第１配管５途中の回収装置４を通った揮発溶剤が冷却、液化され、回収される（ステップＳ２６）。
【００６５】
この不回収乾燥工程と回収乾燥工程は、塗布液Ｒ中の溶剤のほとんどが揮発して減圧乾燥が完了するまで続き（ステップＳ２７）、減圧乾燥が完了すると、バルブ４１が閉状態となり（ステップＳ２８）、続いてバルブ４２が閉状態となって（ステップＳ２９）、チャンバ部２から排気装置３への気体の流れが遮断される。
【００６６】
最後に、基板Ｗがチャンバ部２から搬出される（ステップＳ３０）。
【００６７】
このような減圧乾燥方法によれば、チャンバ部２の内圧がＰ１に達してからは第１配管５と第２配管６の両方を経由して減圧乾燥が行われるため、回収装置４へ流れ、回収される溶剤の量は少なくなるものの、乾燥タクトを早くすることができる。
【００６８】
次に、本発明のさらに他の実施形態を、図７に示す。塗布液Ｒ中に、たとえば溶剤ａと溶剤ｂというように複数種類の溶剤が含まれる場合、これらの溶剤の飽和蒸気圧の差を利用して、各溶剤を分けて回収することが可能である。
【００６９】
具体的には、溶剤の種類数と同じ数の回収容器２３（図７に示す回収容器２３ａおよび回収容器２３ｂ）が設けられ、各回収容器と冷却容器２１とを接続する配管にバルブ２４（図７に示すバルブ２４ａおよびバルブ２４ｂ）が減圧乾燥装置１に設けられている。ここで、溶剤ａの飽和蒸気圧がＰ１ａ、溶剤ｂの飽和蒸気圧がＰ１ｂであり、Ｐ１ａ＞Ｐ１ｂであるとする。
【００７０】
この減圧乾燥装置１でチャンバ２の減圧を行うにあたり、減圧開始時は先述と同様に第２配管６を経由させて減圧を行って、回収容器２１へ混入する水分を減らすようにした後、チャンバ２の内圧がＰ１ａになる時点の近傍において第１配管５を経由する減圧に切替え、そのときバルブ２４ａを開状態、その他のバルブ２４（バルブ２４ｂ）を閉状態にしておく。圧力Ｐ１ａ近傍では、溶剤ａの揮発が活発になるが、溶剤ｂについてはまだ飽和蒸気圧に達していないため、揮発量は少ない。したがって、このときにバルブ２４ａを開状態にしておくことにより、回収容器２３ａに純度の高い溶剤ａが回収される。
【００７１】
さらに減圧を続け、チャンバ２の内圧がＰ１ｂ近傍になる時点において、バルブ２４ａを閉状態にし、バルブ２４ｂを開状態にすることにより、回収される溶剤は回収容器２４ｂに流れ込むようになる。この時点で、溶剤ａはほとんど揮発しきっており、また、溶剤ｂの揮発が活発となるため、回収容器２３ｂには純度の高い溶剤ｂが回収されることとなる。そして、バルブ２５ａおよびバルブ２５ｂが開状態になることにより、回収容器２３ａおよび回収容器２３ｂから図示しない移送容器などに溶剤ａおよび溶剤ｂが排出される。
【００７２】
なお、溶剤の種類が３種類以上であっても、上記と同様のバルブ２４の切替えを行うことにより、純度の高いそれぞれの溶剤を各回収容器２３に回収することが可能である。
【００７３】
また、上記のような溶剤ａおよび溶剤ｂが塗布液Ｒに含まれていた場合、チャンバ部２の内圧がＰ１ｂになるまで第２配管６を経由した減圧を続け、その時点で第１配管５を経由した減圧に切替えることにより、（溶剤ａは回収されないが、）純度の高い溶剤ｂのみを選択して回収することも、もちろん可能である。
【００７４】
以上の減圧乾燥装置および減圧乾燥方法により、基板上の塗布液を減圧乾燥させつつ、水分の混入を少なくして溶剤を回収することが可能である。
【符号の説明】
【００７５】
１  減圧乾燥装置
２  チャンバ部
３  排気装置
４  回収装置
５  第１配管
６  第２配管
７  切替部
１１  チャンバ本体
１２  チャンバ蓋部
１３  載置部
１４  排気口
２１  冷却容器
２２  冷却コイル
２３  回収容器
２３ａ  回収容器
２３ｂ  回収容器
２４  バルブ
２４ａ  バルブ
２４ｂ  バルブ
２５  バルブ
２５ａ  バルブ
２５ｂ  バルブ
３１  バルブ
３２  バルブ
４１  バルブ
４２  バルブ
Ｒ  塗布液
Ｗ  基板
【図１】
0005871646.tif 000002
【図２】
0005871646.tif 000003
【図３】
0005871646.tif 000004
【図４】
0005871646.tif 000005
【図５】
0005871646.tif 000006
【図６】
0005871646.tif 000007
【図７】
0005871646.tif 000008