(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の一面上に設けられたタッチパネルセンサ部と、
前記基板の他面上に設けられ、複数色の着色層を有するカラーフィルタ部と、を備え、  前記タッチパネルセンサ部は、第１方向に延びる第１電極パターンと、第１方向と直交する第２方向に延びる第２電極パターンと、を有し、
各第１電極パターンは、前記第１方向に沿って並べられ、透明性を有する複数の第１電極単位と、隣り合う２つの第１電極単位を接続する第１接続部と、を含み、
各第２電極パターンは、前記第２方向に沿って並べられ、透明性を有する複数の第２電極単位と、隣り合う２つの第２電極単位を接続するよう設けられ、透明性を有する第２接続部と、を含み、
各第１接続部は、前記第１方向に延び、その両端が隣り合う２つの第１電極単位にそれぞれ接続された少なくとも２つの接続部材を含み、
前記第１接続部の前記接続部材および前記第２接続部は、前記基板の法線方向から見て重なり合うよう配置されており、
前記第１接続部の前記接続部材と前記第２接続部との間には絶縁層が介在されており、
前記第１接続部の各接続部材は、隣り合う２つの第１電極単位上に各々配置された２つの接触部分と、２つの接触部分の間において前記第１方向に延びる伝導部分と、を含み、
前記第１接続部は、金属材料から形成されており、
前記第１接続部の前記伝導部分の幅は、２０μｍ以下となっていることを特徴とするカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ。
【請求項２】
前記接触部分は、その幅が少なくとも部分的に前記伝導部分の幅より大きくなるよう構成されていることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ。
【請求項３】
前記タッチパネルセンサ部は、各々が各第１電極パターンに電気的に接続され、金属材料からなる複数の第１導電パターンをさらに有し、
前記第１接続部は、前記第１導電パターンと同一の金属材料から形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ。
【請求項４】
前記第１接続部の各接触部分は、前記基板の法線方向から見て湾曲した輪郭を有していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ。
【請求項５】
少なくとも部分的に前記基板の外縁に達するとともに前記第１電極パターンに接触しないよう前記基板の前記一面上に設けられ、導電性を有する除電パターンと、
前記第１電極パターンおよび前記除電パターンを少なくとも部分的に覆うよう前記基板の前記一面上に設けられた保護層と、をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ。
【請求項６】
前記除電パターンは、内方に向かって先細になる先細領域を含み、
前記除電パターンのうち少なくとも前記先細領域の先端部が前記保護層によって覆われていることを特徴とする請求項５に記載のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサと、
前記カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサの前記カラーフィルタ部側に設けられた表示基板と、を備えたことを特徴とするタッチパネル機能付き表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネルセンサ部とカラーフィルタ部とを備えたカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサに関する。また本発明は、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサと表示基板とを備えたタッチパネル機能付き表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
タッチパネル機能を実現するためのタッチパネルセンサとして、静電容量式のタッチパネルセンサが知られている。容量結合式タッチパネルセンサにおいては、人間の指などの外部導体がタッチパネルセンサに接触（接近）するときに発生する静電容量の変化を利用して、タッチパネルセンサ上における人間の指などの外部導体の位置を検出する。静電容量式タッチパネルセンサには表面型と投影型とがあるが、マルチタッチの認識（多点認識）への対応に適していることから、投影型が注目を浴びている。
【０００３】
このようなタッチパネルセンサの形態として、基板と、基板の一面上に設けられたタッチパネルセンサ部と、基板の他面上に設けられたカラーフィルタ部と、を備えたカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサが提案されている（特許文献１）。カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサにおいては、１つの基板上にタッチパネルセンサ部およびカラーフィルタ部の両方を設けることにより、タッチパネル機能およびカラーフィルタ機能をより容易かつ低コストで実現することが図られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１６０７４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサの製造工程においては、一般に、はじめに基板の一面上にタッチパネルセンサ部が形成され、次に基板の他面上にカラーフィルタ部が形成される。一般に、カラーフィルタ部の形成工程においては、基板の一面側を下方に向けた状態で基板が搬送される。このため、基板の搬送の際、基板の一面上に形成されているタッチパネルセンサ部に静電気が発生することが考えられる。
【０００６】
タッチパネルセンサ部に発生した静電気の電荷が所定量を上回ると、放電が生じることになる。この場合、放電による電流は、タッチパネルセンサ部を介して適切な部材へと逃がされる。この時、タッチパネルセンサ部のうち放電電流の経路となる部分の電気抵抗が大きいと、当該部分で大きな熱が発生し、これによって当該部分が損傷してしまうことが考えられる。
【０００７】
本発明は、このような課題を効果的に解決し得るカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサおよびタッチパネル機能付き表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による第１のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサは、基板と、前記基板の一面上に設けられたタッチパネルセンサ部と、前記基板の他面上に設けられ、複数色の着色層を有するカラーフィルタ部と、を備え、前記タッチパネルセンサ部は、第１方向に延びる第１電極パターンを有し、各第１電極パターンは、前記第１方向に沿って並べられ、透明性を有する複数の第１電極単位と、隣り合う２つの第１電極単位を接続する第１接続部と、を含み、各第１接続部は、前記第１方向に延び、その両端が隣り合う２つの第１電極単位にそれぞれ接続された少なくとも２つの接続部材を含むことを特徴とするカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサである。
【０００９】
本発明による第１のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサにおいて、各接続部材は、隣り合う２つの第１電極単位上に各々配置された２つの接触部分と、２つの接触部分の間において前記第１方向に延びる伝導部分と、を含み、
前記接触部分は、その幅が少なくとも部分的に前記伝導部分の幅より大きくなるよう構成されていてもよい。
【００１０】
本発明による第２のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサは、基板と、前記基板の一面上に設けられたタッチパネルセンサ部と、前記基板の他面上に設けられ、複数色の着色層を有するカラーフィルタ部と、を備え、前記タッチパネルセンサ部は、第１方向に延びる第１電極パターンを有し、各第１電極パターンは、前記第１方向に沿って並べられ、透明性を有する複数の第１電極単位と、隣り合う２つの第１電極単位を接続する第１接続部と、を含み、各第１接続部は、隣り合う２つの第１電極単位上に各々配置された２つの接触部分と、２つの接触部分の間において前記第１方向に延びる伝導部分と、を含み、前記接触部分は、その幅が少なくとも部分的に前記伝導部分の幅より大きくなるよう構成されていることを特徴とするカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサである。
【００１１】
本発明によるカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサにおいて、前記第１接続部は、金属材料から形成されていてもよい。この場合、好ましくは、前記第１接続部の前記伝導部分の幅は、５〜２０μｍの範囲内となっている。
【００１２】
本発明によるカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサにおいて、前記タッチパネルセンサ部は、各々が各第１電極パターンに電気的に接続され、金属材料からなる複数の第１導電パターンをさらに有し、前記第１接続部は、前記第１導電パターンと同一の金属材料から形成されていてもよい。
【００１３】
本発明によるカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサにおいて、前記第１接続部は、透明性を有する導電性材料から形成されていてもよい。この場合、好ましくは、前記第１接続部の前記伝導部分の幅は、２０〜２００μｍの範囲内となっている。
【００１４】
本発明によるカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサにおいて、前記第１接続部の各接触部分は、前記基板の法線方向から見て湾曲した輪郭を有していてもよい。
【００１５】
本発明によるカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサにおいて、前記タッチパネルセンサ部は、第１方向と直交する第２方向に延びる第２電極パターンをさらに有し、各第２電極パターンは、前記第２方向に沿って並べられ、透明性を有する複数の第２電極単位と、隣り合う２つの第２電極単位を接続するよう設けられ、透明性を有する第２接続部と、を含み、前記第１接続部および前記第２接続部は、前記基板の法線方向から見て重なり合うよう配置されており、前記第１接続部と前記第２接続部との間には絶縁層が介在されていてもよい。
【００１６】
本発明によるカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサは、少なくとも部分的に前記基板の外縁に達するとともに前記第１電極パターンに接触しないよう前記基板の前記一面上に設けられ、導電性を有する除電パターンと、前記第１電極パターンおよび前記除電パターンを少なくとも部分的に覆うよう前記基板の前記一面上に設けられた保護層と、をさらに備えていてもよい。
【００１７】
本発明によるカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサにおいて、前記除電パターンは、内方に向かって先細になる先細領域を含み、前記除電パターンのうち少なくとも前記先細領域の先端部が前記保護層によって覆われていてもよい。
【００１８】
本発明によるタッチパネル機能付き表示装置は、上記記載のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサと、前記カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサの前記カラーフィルタ部側に設けられた表示基板と、を備えたことを特徴とするタッチパネル機能付き表示装置である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の第１のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサによれば、各第１接続部は、前記第１方向に延び、その両端が隣り合う２つの第１電極単位にそれぞれ接続された少なくとも２つの接続部材を含んでいる。このため、第１接続部によってタッチパネルセンサ部の意匠性が阻害されることを抑制しながら、第１接続部の電気抵抗を低減し、かつ第１接続部と第１電極単位との間の接触抵抗を低減することができる。このため、タッチパネルセンサ部における静電気が放電したとしても、第１接続部において大きな熱が発生し、これによって第１接続部が損傷してしまうことを防ぐことができる。
【００２０】
本発明の第２のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサによれば、各第１接続部は、隣接する２つの第１電極単位上に各々配置された２つの接触部分と、２つの接触部分の間において第１方向に延びる伝導部分と、を含んでいる。このうち接触部分は、その幅が少なくとも部分的に伝導部分の幅より大きくなるよう構成されている。このため、第１接続部によってタッチパネルセンサ部の意匠性が阻害されることを抑制しながら、第１接続部と第１電極単位との間の接触抵抗を低減することができる。このため、タッチパネルセンサ部における静電気が放電したとしても、第１接続部において大きな熱が発生し、これによって第１接続部が損傷してしまうことを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態におけるカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサを示す平面図。
【図２】図２は、図１のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサにおいて枠IIで囲まれた部分を拡大して示す平面図。
【図３Ａ】図３Ａは、図１のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサをIIIＡ−IIIＡ方向から見た縦断面図。
【図３Ｂ】図３Ｂは、図１のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサをIIIＢ−IIIＢ方向から見た縦断面図。
【図３Ｃ】図３Ｃは、図１のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサをIIIＣ−IIIＣ方向から見た縦断面図。
【図４】図４（ａ）は、本発明の第１の実施の形態における表示装置を示す縦断面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）の表示装置のカラーフィルタ部を矢印IVｂ−IVｂから見た図、図４（ｃ）は、図４（ａ）の表示装置の表示基板を矢印IVｃ−IVｃから見た図。
【図５Ａ】図５Ａは、透明電極材料を用いてワーク基板上に第１電極単位、第２電極単位および第２接続部を形成する工程を示す平面図。
【図５Ｂ】図５Ｂは、図５Ａのワーク基板のチップ部を拡大して示す図。
【図５Ｃ】図５Ｃは、図５Ｂのワーク基板をＶＣ−ＶＣ方向から見た縦断面図。
【図６Ａ】図６Ａは、ワーク基板上に絶縁層を形成する工程を示す平面図。
【図６Ｂ】図６Ｂは、図６Ａのワーク基板をVIＢ−VIＢ方向から見た縦断面図。
【図７Ａ】図７Ａは、導電性材料を用いてワーク基板上に導電パターン，端子部および第１接続部を形成する工程を示す平面図。
【図７Ｂ】図７Ｂは、図７Ａのワーク基板のチップ部を拡大して示す図。
【図７Ｃ】図７Ｃは、図７Ｂのワーク基板をVIIＣ−VIIＣ方向から見た縦断面図。
【図８Ａ】図８Ａは、ワーク基板上に保護層を形成する工程を示す平面図。
【図８Ｂ】図８Ｂは、図８Ａのワーク基板をVIIIＢ−VIIIＢ方向から見た縦断面図。
【図９】図９は、カラーフィルタ部を形成する方法を示す図。
【図１０】図１０（ａ）（ｂ）は、ワーク基板が支持台から剥離される様子を示す図。
【図１１Ａ】図１１Ａは、本発明の第１の実施の形態において、タッチパネルセンサ部の層構成の変形例を示す図。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、本発明の第１の実施の形態において、タッチパネルセンサ部の層構成の変形例を示す図。
【図１２】図１２は、本発明の第１の実施の形態において、除電パターンの形状の変形例を示す図。
【図１３】図１３は、本発明の第２の実施の形態におけるタッチパネルセンサ部の第１接続部を拡大して示す平面図。
【図１４】図１４は、図１３のタッチパネルセンサ部をＸIV−ＸIV方向から見た縦断面図。
【図１５】図１５（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明の第２の実施の形態において、第１接続部の形状の変形例を示す図。
【図１６】図１６は、実施例における電圧測定結果を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
第１の実施の形態
以下、図１乃至図１０（ａ）（ｂ）を参照して、本発明の第１の実施の形態について説明する。まず図４（ａ）（ｂ）（ｃ）により、本実施の形態におけるタッチパネル機能付き表示装置６０全体について説明する。なお本実施の形態においては、タッチパネル機能付き表示装置６０の例として、タッチパネル機能付き液晶表示装置を示している。しかしながら、これに限定されることはなく、有機ＥＬディスプレイやプラズマディスプレイなど、タッチパネル機能を備えたその他の表示装置の場合においても、本願発明を適用することにより、タッチパネル機能付き液晶表示装置の場合と同様の効果を得ることができる。
【００２３】
表示装置
図４（ａ）に示すように、タッチパネル機能付きの表示装置６０は、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０と、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０に対向するよう設けられたＴＦＴ基板（表示基板）５０と、を備えている。図４（ａ）に示すように、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０は、基板１１と、基板１１の一面１１ａ上に設けられたタッチパネルセンサ部１０と、基板１１の他面１１ｂ上に設けられたカラーフィルタ部３０と、を有している。また、ＴＦＴ基板５０は、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０のカラーフィルタ部３０と対向するよう設けられている。すなわち、基板１１の他面１１ｂ側が表示基板（ＴＦＴ基板）側となっており、基板１１の一面１１ａ側が観察者側となっている。
【００２４】
図４（ａ）に示すように、カラーフィルタ部３０とＴＦＴ基板５０との間には液晶４０が充填されており、この液晶４０は封止材４１により封止されている。なお図示はしないが、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０のタッチパネルセンサ部１０上には、透光性を有した保護カバーが透明接着剤などを介して設けられていてもよい。保護カバーは、タッチパネルセンサ部１０および表示装置６０を保護するためのものであり、タッチパネル機能付き表示装置６０の入力面（タッチ面、接触面）として機能する。
【００２５】
図４（ｃ）は、図４（ａ）に示す表示装置６０のＴＦＴ基板５０を矢印IVｃ−IVｃの方向から見た場合を示す図である。図４（ｃ）に示すように、ＴＦＴ基板５０は、基板５１と、液晶４０に印加される電圧を制御する複数の透明電極部５２と、透明電極部５２に制御電圧を印加する配線部５３とを有している。このうち各透明電極部５２は、各々が表示装置６０の単位画素に対応している。
【００２６】
カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ
次に図１乃至図３Ｃおよび図４（ａ）（ｂ）を参照して、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０について説明する。上述のように、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０は、基板１１と、基板１１の一面１１ａ上に設けられたタッチパネルセンサ部１０と、基板１１の他面１１ｂ上に設けられたカラーフィルタ部３０と、を有している。
【００２７】
基板１１は、図１に示すように、４辺から構成される矩形形状を有している。しかしながら、基板１１の形状が矩形に限られることはなく、基板１１の形状として、多角形や円形などが適宜選択され得る。この基板１１の材料は、ＴＦＴ基板５０の発光を外部に取り出すことができ、かつ水分および酸素を効率的に遮断することができる限り特に限定されるものではない。例えば、光透過性、安定性や耐久性等に優れたガラスやポリマー等を使用することができる。
【００２８】
カラーフィルタ部
次に図４（ａ）（ｂ）を参照して、カラーフィルタ部３０について説明する。図４（ｂ）は、図４（ａ）に示す表示装置６０のカラーフィルタ部３０を矢印IVｂ−IVｂの方向から見た場合を示す図である。図４（ｂ）に示すように、カラーフィルタ部３０は、基板１１と、基板１１の他面１１ｂ上に設けられたブラックマトリクス層３１と、基板１１の他面１１ｂ上でブラックマトリクス層３１間に設けられた複数色の着色層３２と、を有している。
【００２９】
カラーフィルタ部３０のブラックマトリックス層３１は、カラーフィルタ部３０の法線方向から見て上述したＴＦＴ基板５０の配線部５３に重なり合うよう配置されている。ブラックマトリックス層３１としては、遮光性を有する材料からなる層が用いられる。例えば、スパッタリング法、真空蒸着法等により厚み１０００〜２０００Å程度のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングして形成したもの、カーボン微粒子や金属酸化物等の遮光性粒子を含有させたポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂層を形成し、この樹脂層をパターニングして形成したもの、および、カーボン微粒子や金属酸化物等の遮光性粒子を含有させた感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層をパターニングして形成したもの等、遮光性を有するものが用いられ得る。ブラックマトリックス層３１の厚さは、要求される遮光性などに応じて適宜調整される。
【００３０】
複数色の着色層３２は、ＴＦＴ基板５０および液晶４０を通った光の色を調整するものであり、少なくとも、赤色着色層、青色着色層および緑色着色層を含んでいる。
このうち赤色着色層に用いられる着色剤としては、例えば、ペリレン系顔料、レーキ顔料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノン系顔料、アントラセン系顔料、イソインドリン系顔料等が挙げられる。これらの顔料は単独で用いられてもよく、若しくは、２種以上が混合されて用いられてもよい。
青色着色層に用いられる着色剤としては、例えば、銅フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、インダンスレン系顔料、インドフェノール系顔料、シアニン系顔料、ジオキサジン系顔料等が挙げられる。これらの顔料は単独で用いられてもよく、若しくは、２種以上が混合されて用いられてもよい。
緑色着色層に用いられる着色剤としては、例えば、ハロゲン多置換フタロシアニン系顔料もしくはハロゲン多置換銅フタロシアニン系顔料等のフタロシアニン系顔料、トリフェニルメタン系塩基性染料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料等が挙げられる。これらの顔料または染料は、単独で用いられてもよく、若しくは、２種以上が混合されて用いられてもよい。
複数色の着色層３２が上記の赤色着色層、青色着色層および緑色着色層に限られることは無く、その他の色の着色層、例えば黄色着色層が含まれていてもよい。
【００３１】
なお、ブラックマトリクス層３１および着色層３２と液晶４０の間に保護膜（図示せず）が設けられていてもよい。保護膜の材料としては、珪素、アルミニウム、亜鉛またはスズの酸化物または酸窒化物からなる透明材料、あるいはアクリル樹脂等の有機絶縁膜を挙げることができる。また、ブラックマトリクス層３１及び着色層３２の表面に、画素表示用の共通透明電極（図示せず）が設けられていてもよい。さらに、ブラックマトリクス層３１上に、カラーフィルタ部３０とＴＦＴ基板５０との間の空隙を保持するためのスペーサ（図示せず）が設けられていてもよい。
【００３２】
タッチパネルセンサ部
次に図１乃至図３Ｃを参照して、タッチパネルセンサ部１０について説明する。図１は、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０をタッチパネルセンサ部１０側から見た場合を示す平面図である。図２は、図１のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサにおいて枠IIで囲まれた部分を拡大して示す平面図である。図３Ａ乃至図３Ｃはそれぞれ、図１のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０をIIIＡ−IIIＡ方向乃至IIIＣ−IIIＣ方向から見た縦断面図である。
【００３３】
タッチパネルセンサ部１０は、基板１１の一面１１ａ上に所定パターンで設けられた複数の電極パターン１３，１５と、基板１１の一面１１ａ上に設けられた複数の端子部１７と、基板１１の一面１１ａ上に設けられた複数の導電パターン１４，１６と、を有している。このうち複数の端子部１７は、各々が各電極パターン１３，１５に一対一で対応するよう設けられている。また複数の導電パターン１４，１６は、各々が各電極パターン１３，１５と各端子部１７との間を電気的に接続するよう設けられている。また基板１１の一面１１ａ上には、各電極パターン１３，１５及び各導電パターン１４，１６を覆う保護層２２がさらに設けられている。なお図１においては、説明の便宜上、保護層２２が一点鎖線により表されるとともに、保護層２２に覆われている構成要素が図示されている。
【００３４】
タッチパネルセンサ部１０において、複数の電極パターン１３，１５が設けられている領域は、タッチパネルセンサ部１０が表示装置６０に組み込まれているときに画像が表示される表示領域となっている。一方、複数の導電パターン１４，１６および端子部１７が設けられている領域は、画像が表示されない非表示領域となっている。
【００３５】
（電極パターン）
はじめに電極パターン１３，１５について詳細に説明する。図１に示すように、複数の電極パターン１３，１５は、第１方向（図１に示すｙ方向）に延びる複数の第１電極パターン１５と、第１方向に直交する第２方向（図１に示すｘ方向）に延びる複数の第２電極パターン１３とからなっている。このうち各第１電極パターン１５は、第１方向に沿って並べられ、略正方形の形状を有する複数の第１電極単位１５ａと、隣り合う２つの第１電極単位１５ａを接続する第１接続部１５ｂと、を含んでいる。また各第２電極パターン１３は、基板１１の法線方向から見て第１電極単位１５と重なり合わないよう第２方向に沿って並べられ、略正方形の形状を有する複数の第２電極単位１３ａと、隣り合う第２電極単位１３ａを接続する第２接続部１３ｂと、を含んでいる。
【００３６】
第１電極単位１５ａおよび第２電極単位１３ａの寸法は、タッチパネルセンサ部１０によって検知される指又はペン等に対する必要解像度により決定され、例えば５ｍｍ×５ｍｍとなっている。なお、第１電極単位１５ａおよび第２電極単位１３ａの形状が正方形に限られることはなく、多角形や円形など様々な形状が適宜選択され得る。
【００３７】
第１接続部１５ｂおよび第２接続部１３ｂは、各第１電極単位１５ａ間および各第２電極単位１３ａ間を低抵抗で接続するよう構成されている。なお後述するように、第２接続部１３ｂは、第２電極単位１３ａと同時に一体的に形成されるようになっており、このため、第２接続部１３ｂと第２電極単位１３ａとの間には一般に、第２接続部１３ｂと第２電極単位１３ａとの間で電流が流れる際に障壁となり得るような界面が存在しない。一方、第１接続部１５ｂは、第１電極単位１５ａを形成する工程とは別の工程で形成されるようになっており、このため、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間には、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間で電流が流れる際に障壁となり得る界面が存在している。
【００３８】
本実施の形態においては、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間に、電流が流れる際に障壁となり得る界面が存在する場合であっても、隣り合う２つの第１電極単位１５ａの間で第１接続部１５ｂを介して低抵抗で電流を流すことができるよう、第１接続部１５ｂが構成されている。具体的には、図２に示すように、第１接続部１５ｂは、第１方向に延び、その両端が隣り合う２つの第１電極単位１５ａにそれぞれ接続された２つの接続部材３５を含んでいる。このように複数の接続部材３５を用いて第１接続部１５ｂを構成することにより、１つの接続部材によって第１接続部１５ｂが構成される場合に比べて、第１接続部１５ｂ自体の電気抵抗を低減することができる。また、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の接触面積を増加させることができ、これによって、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の界面における接触抵抗を低減することができる。
【００３９】
次に図３Ａ乃至図３Ｃを参照して、タッチパネルセンサ部１０の層構成について説明する。図３Ａおよび図３Ｂに示すように、第２接続部１３ｂは、第１電極単位１５ａおよび第２電極単位１３ａと同一平面上に形成されている。一方、第１接続部１５ｂは、第１電極単位１５ａおよび第２電極単位１３ａよりも上方に配置されている。そして図３Ｂに示すように、第１電極単位１５ａは部分的に第１接続部１５ｂによって上方から覆われている。すなわち、第１接続部１５ｂは部分的に第１電極単位１５ａの観察者側の面に接している。これによって、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間が電気的に接続されている。
【００４０】
また、第１接続部１５ｂおよび第２接続部１３ｂは、基板１１の法線方向から見て互いに重なり合うよう配置されている。さらに、第１接続部１５ｂと第２接続部１３ｂが接触し、これによって第１接続部１５ｂと第２接続部１３ｂとの間が導通するのを防ぐため、第１接続部１５ｂと第２接続部１３ｂとの間には絶縁層１８が介在されている。なお説明の都合上、図１においては絶縁層１８の表示を省略している。
【００４１】
第１電極単位１５ａ，第２電極単位１３ａおよび第２接続部１３ｂはそれぞれ、導電性を有し、かつ透明な透明電極材料から構成されている。透明電極材料としては、例えば、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化亜鉛、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、カリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛や、酸化亜鉛−酸化錫系、酸化インジウム−酸化錫系、酸化亜鉛−酸化インジウム−酸化マグネシウム系などの金属酸化物が用いられる。これらの金属酸化物が２種以上複合されてもよい。
【００４２】
一方、第１接続部１５ｂは、導電パターン１４，１６および端子部１７の材料と同一の材料を用いて形成される。第１接続部１５ｂの材料については後に詳細に説明する。
【００４３】
（導電パターンおよび端子部）
次に導電パターン１４，１６および端子部１７について説明する。図１に示すように、複数の導電パターン１４，１６は、第１電極パターン１５と端子部１７との間を電気的に接続する第１導電パターン１６と、第２電極パターン１３と端子部１７との間を電気的に接続する第２導電パターン１４と、からなっている。
【００４４】
上述のように、第１導電パターン１６，第２導電パターン１４および端子部１７は、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０の非表示領域に設けられている。このため、第１導電パターン１６，第２導電パターン１４および端子部１７を構成する導電性材料は、透明性を有していてもよく、若しくは透明性を有していなくてもよい。すなわち、第１導電パターン１６，第２導電パターン１４および端子部１７の導電性材料として、上述の透明電極材料と同様にＩＴＯなどの透明な材料が用いられてもよく、若しくは、上述の透明電極材料より高い電気伝導率を有する金属材料が用いられてもよい。第１導電パターン１６，第２導電パターン１４および端子部１７の導電性材料として用いられる金属材料の例としては、アルミニウム、モリブデン、パラジウム、銀、クロム、銅等の金属及びそれらを主成分とする合金、あるいはそれら合金を含む積層体が挙げられる。
【００４５】
なお図１においては、端子部１７の幅が第１導電パターン１６および第２導電パターン１４の幅よりも大きくなっている例を示したが、これに限られることはない。端子部１７が設けられる目的は、導電パターン１４，１６を介して伝達される電極パターン１３，１５からの信号を適切に外部に送るための部分を提供することである。本実施の形態において、端子部１７は、導電パターン１４，１６に電気的に接続されており、かつ保護層２２によって覆われていない部分として定義される。
【００４６】
（第１接続部）
次に第１接続部１５ｂについて詳述する。上述のように、第１接続部１５ｂは、導電パターン１４，１６および端子部１７と同一の導電性材料から形成されている。このため後述するように、第１接続部１５ｂを、導電パターン１４，１６および端子部１７と同時に形成することが可能となっている。これによって、第１接続部１５ｂと導電パターン１４，１６および端子部１７とが別々の工程で形成される場合に比べて、より少ない工数でタッチパネルセンサ部１０を製造することができる。
【００４７】
第１接続部１５ｂを構成する導電性材料として金属材料が用いられる場合、好ましくは、第１接続部１５ｂの各接続部材３５の幅ｗ１（図２参照）は、５〜２０μｍの範囲内となっている。このように各接続部材３５の幅を設定することにより、各接続部材３５の電気抵抗を十分に低くしながら、第１接続部１５ｂによって液晶表示装置６０の表示が妨げられるのを防ぐことができる。なお第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の接触抵抗を考慮すると、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の接触面積を大きくすることが好ましい。従って、第１接続部１５ｂによって液晶表示装置６０の表示が妨げられるのを防ぐことよりも第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の接触抵抗を低減することの方が重視される場合、接続部材３５のうち隣り合う２つの第１電極単位１５ａ上に位置する部分の幅が５〜２０μｍよりも大きくなっていてもよい。すなわち、接続部材３５のうち隣り合う２つの第１電極単位１５ａの間において第１方向（ｙ方向）に延びる部分（図２において矢印Ｒ１で示される部分）の幅のみが５〜２０μｍの範囲内となり、一方、第１電極単位１５ａの上に位置する部分の幅は、矢印Ｒ１で示される部分の幅より大きくなっていてもよい。このような接続部材３５の形態については、後述の第２の実施の形態においてより詳細に説明する。
【００４８】
また第１接続部１５ｂを構成する導電性材料として金属材料が用いられる場合、好ましくは、図３Ａ乃至図３Ｃに示すように、第１接続部１５ｂは、基板１１の法線方向から見てカラーフィルタ部３０のブラックマトリクス層３１に重なり合うよう設けられている。このことにより、第１接続部１５ｂが透明性を有さない金属材料から形成される場合であっても、第１接続部１５ｂによって液晶表示装置６０の表示が妨げられるのを防ぐことができる。この場合、第２方向（ｘ方向）におけるブラックマトリクス層３１の幅は、基材１１の厚さ、第２方向（ｘ方向）における第１接続部１５ｂの幅、液晶表示装置６０の視野角などに応じて適宜設定されるが、例えば５〜１００μｍの範囲内となっている。
【００４９】
（保護層）
次に保護層２２について説明する。保護層２２は、各電極パターン１３，１５及び各導電パターン１４，１６を外部から保護するための層である。例えば後述するように、基板１１の他面１１ｂ上にカラーフィルタ部３０を設ける際、既に基板１１の一面１１ａ上に設けられているタッチパネルセンサ部１０の各電極パターン１３，１５及び各導電パターン１４，１６が損傷するのを防ぐための層である。また保護層２２は、外部の水分を遮蔽するという役割も担っている。このような保護層２２を構成する材料としては、絶縁性を有する材料が用いられ、例えば光硬化性アクリル樹脂が用いられる。
【００５０】
次に、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０の更なる構成要素について説明する。図１乃至図３Ｃに示すように、基板１１の一面１１ａ上には、導電性を有する複数の除電パターン２３がさらに設けられている。以下、除電パターン２３について詳細に説明する。
【００５１】
除電パターン
各除電パターン２３は、図１に示すように、少なくとも部分的に基板１１の外縁に達するともに、電極パターン１３，１５、端子部１７および導電パターン１４，１６のいずれにも接触しないよう設けられている。また、各除電パターン２３は、内方に向かって先細になる先細領域２４を含んでおり、この先細領域２４の先端部２４ａは、保護層２２により覆われている。ここで「内方に向かって先細になる」とは、タッチパネルセンサ部１０の非表示領域から表示領域に向かうにつれて、先細領域２４の幅が狭くなることを意味している。
【００５２】
この除電パターン２３は、静電気により電極パターン１３，１５および導電パターン１４，１６が損傷するのを防ぐことを意図して設けられるものである。例えば、このような除電パターン２３を設けることにより、保護層２２への帯電量を低減させることができると考えられる。また、この除電パターン２３をカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０の外部に設けられた適切な導電体（図示せず）に接続することにより、保護層２２に帯電している電気を、除電パターン２３を介して適切に逃がすことができると考えられる。さらに、仮に保護層２２の静電気が放電した場合であっても、放電の際の静電気の経路が電極パターン１３，１５および導電パターン１４，１６ではなく除電パターン２３になることにより、電極パターン１３，１５および導電パターン１４，１６を保護することができると考えられる。
【００５３】
また上述のように、内方に向かって先細になる先細領域２４を用いて除電パターン２３を構成することにより、先細領域２４をいわゆる避雷針として機能させることができる。従って、保護層２２の電荷が先細領域２４の先端部２４ａに集まりやすくなっている。このため、保護層２２の電荷をより確実に除電パターン２３に逃がすことができる。これによって、保護層２２の帯電量が大きくなるのをより確実に抑制することができる。
【００５４】
好ましくは、先細領域２４の先端部２４ａの角度θ（図１参照）は、０度よりも大きく、かつ９０度以下となるよう設定されている。すなわち、先端部２４ａの角度θは鋭角または直角となっている。これによって、先細領域２４の避雷針としての機能をより高めることができる。
【００５５】
次に、除電パターン２３の具体的な層構成について説明する。除電パターン２３は、除電パターン２３のうち少なくとも保護層２２に接する部分が導電性を有する限りにおいて、様々な態様により構成され得る。例えば図３Ａおよび図３Ｃに示すように、除電パターン２３は、透明電極材料層２７および導電性材料層２９を含んでいる。また除電パターン２３の先細領域２４の先端部２４ａは、透明電極材料層２７および導電性材料層２９に加えてさらに先端部用絶縁層２８を含んでいる。これによって、先細領域２４のうち先端部２４ａをその他の部分に対して上方へ突出させることができる。このことにより、基板１１の一面１１ａと平行な方向だけでなく一面１１ａと直交する方向においても、先細領域２４をいわゆる避雷針として機能させることができる。このため、保護層２２の電荷をより確実に除電パターン２３に逃がすことができる。これによって、保護層２２の帯電量が大きくなるのをより確実に抑制することができる。
【００５６】
次に、除電パターン２３の各層２７，２８，２９を構成する材料について説明する。透明電極材料層２７は、後述するように、上述の第１電極単位１５ａ，第２電極単位１３ａおよび第２接続部１３ｂを形成する材料と同一の材料から、第１電極単位１５ａ，第２電極単位１３ａおよび第２接続部１３ｂと同時に形成される。また先端部用絶縁層２８は、上述の絶縁層１８を形成する材料と同一の材料から、絶縁層１８と同時に形成される。また導電性材料層２９は、上述の第１接続部１５ｂを形成する材料と同一の材料から、第１接続部１５ｂと同時に形成される。これによって、より少ない工数で除電パターン２３を形成することが可能となる。
【００５７】
次に、除電パターン２３の形状についてさらに詳細に説明する。上述のように、除電パターン２３は、少なくとも部分的に基板１１の外縁まで延びている。具体的には、除電パターン２３の先細領域２４が、基板１１の外縁から保護層２２まで延びている。このため除電パターン２３を、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０の外部に設けられた適切な導電体に容易に接続させることができる。例えば後述するように、カラーフィルタ部３０の形成工程において、各除電パターン２３を外枠除電パターン７４（後述）に接続させることができる。
【００５８】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。ここでは、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０および表示装置６０の製造方法について説明する。
【００５９】
カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサの製造方法
ここでは、複数のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサが割り付けられた多面付けワーク基板を製造する方法について説明する。
【００６０】
はじめに、複数のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０が割り付けられるワーク基板７０を準備する。ワーク基板７０は、一面７０ａと他面７０ｂとを有している。またワーク基板７０の一面７０ａおよび他面７０ｂは、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０が形成される複数のチップ部７１と、各チップ部７１を囲む外枠部７２と、に区画される。後述する図５Ａ乃至図８Ｂにおいて、点線で囲まれた部分がチップ部７１となっている。
【００６１】
後述するように、多面付けワーク基板の製造方法において、はじめに、ワーク基板７０の一面７０ａ上の各チップ部７１にタッチパネルセンサ部１０が形成され、次に、ワーク基板７０の他面７０ｂ上の各チップ部７１にカラーフィルタ部３０が形成される。そして、必要に応じて各チップ部７１を切り出すことにより、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０が得られる。この場合、切り出されたワーク基板７０が、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０の基板１１となる。また、ワーク基板７０の一面７０ａは基板１１の一面１１ａに対応しており、ワーク基板７０の他面７０ｂは基板１１の他面１１ｂに対応している。
なお多面付けワーク基板７０から各チップ部７１を切り出す前に、多面付けワーク基板７０とＴＦＴ基板５０とが貼り合わされ、液晶セルの組み立てが行われてもよい。この場合、多面付けワーク基板７０とＴＦＴ基板５０とが貼り合わされた組立体から、個別の液晶セルが切り出される。
【００６２】
（タッチパネルセンサ部の製造方法）
以下、図５Ａ乃至図８Ｂを参照して、ワーク基板７０の一面７０ａ上にタッチパネルセンサ部１０を形成する方法について説明する。
【００６３】
[第１電極単位，第２電極単位および第２接続部の形成工程]
はじめに、ワーク基板７０の一面７０ａ上の各チップ部７１に第１電極単位１５ａ，第２電極単位１３ａおよび第２接続部１３ｂを形成する工程について、図５Ａ乃至図５Ｃを参照して説明する。図５Ａは、ワーク基板７０の一面７０ａを示す平面図であり、図５Ｂは、図５Ａに示すワーク基板７０のチップ部７１を拡大して示す図であり、図５Ｃは、図５Ｂのワーク基板７０をＶＣ−ＶＣ方向から見た縦断面図である。
【００６４】
はじめに、ワーク基板７０の一面７０ａ上にＩＴＯなどの透明電極材料を設ける。透明電極材料を設けるための方法が特に限定されることはなく、例えばスパッタリングなどの方法が適宜用いられる。
【００６５】
次に図５Ａ乃至図５Ｃに示すように、ワーク基板７０の一面７０ａ上に設けられた透明電極材料をパターンニングして、ワーク基板７０の一面７０ａ上の各チップ部７１に第１電極単位１５ａ，第２電極単位１３ａおよび第２接続部１３ｂを形成する。同時に、図５Ａ乃至図５Ｃに示すように、チップ部７１のうち後に除電パターン２３が設けられる部分、および外枠部７２に、透明電極材料からなる透明電極材料層２７が形成される。
【００６６】
透明電極材料をパターンニングする方法は特には限定されず、様々な公知のパターンニング方法を用いることができる。例えばフォトリソグラフィー法を用いることができる。
【００６７】
[絶縁層の形成工程]
次に絶縁層１８を形成する工程について、図６Ａおよび図６Ｂを参照して説明する。図６Ａは、ワーク基板７０のチップ部７１を拡大して示す図であり、図６Ｂは、図６Ａのワーク基板７０をVIＢ−VIＢ方向から見た縦断面図である。
【００６８】
はじめに、絶縁層１８を形成するための材料、例えばアクリル樹脂をワーク基板７０の一面７０ａ上に設け、次に設けられた材料をパターニングする。これによって、図６Ａおよび図６Ｂに示すように、第２接続部１３ｂ上に絶縁層１８が形成される。同時に、図６Ａおよび図６Ｂに示すように、チップ部７１のうち後に除電パターン２３の先細領域２４の先端部２４ａとなる部分に、絶縁層１８の材料と同一の材料からなる先端部用絶縁層２８が形成される。
【００６９】
[導電パターン、端子部および第１接続部の形成工程]
次に、ワーク基板７０の一面７０ａ上の各チップ部７１に第２導電パターン１４，第１導電パターン１６，端子部１７および第１接続部１５ｂを形成する工程について、図７Ａ乃至図７Ｃを参照して説明する。図７Ａは、ワーク基板７０の一面７０ａを示す平面図であり、図７Ｂは、図７Ａに示すワーク基板７０のチップ部７１を拡大して示す図であり、図７Ｃは、図７Ｂのワーク基板７０をVIIＣ−VIIＣ方向から見た縦断面図である。
【００７０】
はじめに、ワーク基板７０の一面７０ａ上に導電性材料、例えばアルミニウムなどの金属材料を設ける。導電性材料を設けるための方法が特に限定されることはなく、例えばスパッタリングなどの方法が適宜用いられる。
【００７１】
次に図７Ａ乃至図７Ｃに示すように、ワーク基板７０の一面７０ａ上に設けられた導電性材料をパターンニングして、ワーク基板７０の一面７０ａ上の各チップ部７１に第２導電パターン１４，第１導電パターン１６，端子部１７および第１接続部１５ｂを形成する。同時に、図７Ａ乃至図７Ｃに示すように、チップ部７１のうち後に除電パターン２３が設けられる部分、および外枠部７２に、導電性材料からなる導電性材料層２９が形成される。
これによって、図７Ｂおよび図７Ｃに示すように、ワーク基板７０の一面７０ａ上の各チップ部７１に、透明電極材料層２７および導電性材料層２９を含む除電パターン２３が形成される。この除電パターン２３は、図７Ｂに示すように、チップ部７１の外縁に達するとともに、チップ部７１の内方に向かうにつれて先細になる先細領域２４を含んでいる。また先細領域２４の先端部２４ａは、図７Ｃに示すように、透明電極材料層２７および導電性材料層２９に加えてさらに先端部用絶縁層２８を含んでいる。このため、先細領域２４のうち先端部２４ａがその他の部分に対して上方へ突出している。
また図７Ａ乃至図７Ｃに示すように、ワーク基板７０の一面７０ａ上の外枠部７２に、透明電極材料層２７および導電性材料層２９を含む外枠除電パターン７４が形成される。この外枠除電パターン７４は、好ましくは、可能な限り大きな面積を有するようなパターンとして形成される。また外枠除電パターン７４は、図７Ｂおよび図７Ｃに示すように、各チップ部７１の除電パターン２３に接続されている。各除電パターン２３および外枠除電パターン７４は、後述するように、ワーク基板７０の一面７０ａ側での帯電量を低減する除電部７３として機能する。
【００７２】
[保護層の形成工程]
次に保護層２２を形成する工程について、図８Ａおよび図８Ｂを参照して説明する。図８Ａは、ワーク基板７０のチップ部７１を拡大して示す図であり、図８Ｂは、図８Ａのワーク基板７０をVIIIＢ−VIIIＢ方向から見た縦断面図である。
【００７３】
はじめに、保護層２２を形成するための材料、例えばアクリル樹脂をワーク基板７０の一面７０ａ上に設け、次に設けられた材料をパターニングする。これによって、図８Ａおよび図８Ｂに示すように、各電極パターン１３，１５および各導電パターン１４，１６を覆う保護層２２が形成される。この際、パターニングは、保護層２２が除電パターン２３のうち少なくとも先細領域２４の先端部２４ａを覆うよう実施される。このようにして、ワーク基板７０の一面７０ａ上の各チップ部７１にタッチパネルセンサ部１０が形成される。
【００７４】
ところで図８Ａおよび図８Ｂに示すように、本実施の形態において、保護層２２は各チップ部７１内にのみ設けられる。すなわち、保護層２２は、外枠部７２には設けられない。そして外枠部７２には、導電性を有する外枠除電パターン７４が形成されている。このため、ワーク基板７０の一面７０ａ全域にわたって保護層が設けられている場合に比べて、ワーク基板７０の一面７０ａ上における保護層２２の面積が小さくなっている。このことにより、後述するカラーフィルタ部３０の形成工程において、保護層２２の帯電量を小さくすることができる。
【００７５】
なお保護層２２をパターニングする具体的な方法が特に限られることはなく、様々なパターニング方法が適宜用いられる。例えば、上述のように保護層２２を構成する材料として光硬化性アクリル樹脂が用いられる場合、パターニング方法としてフォトリソグラフィー法が用いられる。
【００７６】
（カラーフィルタ部の製造方法）
次に、図９を参照して、ワーク基板７０の他面７０ｂ上にカラーフィルタ部３０を形成する方法について説明する。図９は、カラーフィルタ部３０を形成する際に実施される工程で用いられる装置を示す図である。この装置は、塗布手段８１と、乾燥手段８２と、プリベーク手段８３と、露光・現像手段８４と、水切り手段８５とを備えている。
【００７７】
図９に示すように、はじめにワーク基板７０は、複数のタッチパネルセンサ部１０が形成された一面７０ａが下方に向くよう上下反転される。次に図９に示すように、塗布手段８１において、ブラックマトリクス層３１を構成する材料を含む塗工液がワーク基板７０の他面７０ｂ上のチップ部７１に塗布される。この際、図９に示すように、ワーク基板７０は、タッチパネルセンサ部１０が形成された一面７０ａが下方に向けられた状態で、支持台８６により吸着支持される。
【００７８】
次に図９に示すように、乾燥手段８２において、塗工液に含まれる溶剤が減圧乾燥により除去される。なお、ワーク基板７０を塗布手段８１から乾燥手段８２まで搬送する手段として、例えば図９に示すように、回転する搬送ローラー８７が用いられる。この場合、ワーク基板７０の一面７０ａ上に形成されたタッチパネルセンサ部１０が搬送ローラー８７に接触しながら、ワーク基板７０が搬送ローラー８７により搬送される。
【００７９】
その後、図９に示すように、プリベーク手段８３において、例えばホットプレートを用いることにより、他面７０ｂ上に形成されたブラックマトリクス層３１用の材料が加熱される。これによって、他面７０ｂ上に形成されたブラックマトリクス層３１用の材料の乾燥が進む。次に、露光・現像手段８４において、他面７０ｂ上に形成されたブラックマトリクス層３１用の材料がパターニングされる。これによって、他面７０ｂ上に、上述の図４（ｂ）に示すような所定のパターンを有するブラックマトリクス層３１が形成される。その後、水切り手段８５において、ブラックマトリクス層３１上に残っている液がエアーナイフにより除去される。
【００８０】
次に、ブラックマトリクス層３１の間に着色層３２を形成する。このようにして、ワーク基板７０の他面７０ｂ上の各チップ部７１にカラーフィルタ部３０が形成される。これによって、ワーク基板７０の各チップ７１にカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０が形成される。なお、着色層３２を形成する際に実施される工程は、用いられる材料が異なるという点を除いて、上述のブラックマトリクス層３１を形成する際に実施される工程と略同一である。従って、着色層３２を形成する工程の詳細な説明は省略される。
【００８１】
（剥離の際の作用効果）
ところで、塗布手段８１などにおいては、図１０（ａ）に示すように、複数の吸着穴８８を有する支持台８６によってワーク基板７０が支持される。ここで図１０（ｂ）は、ワーク基板７０を支持台８６から剥離させようとしている状態を示す図である。この場合、剥離の際の剥離帯電に起因して、タッチパネルセンサ部１０の保護層２２が帯電することが考えられる。ここで本実施の形態によれば、上述のように、ワーク基板７０の一面７０ａ上には、保護層２２に接続された除電パターン２３と、除電パターン２３に接続された外枠除電パターン７４とが設けられている。このため、保護層２２に蓄えられている静電気を、除電パターン２３および外枠除電パターン７４に引き受けさせることができる。これによって、保護層２２における帯電量を低減させることができ、このことにより、静電気の放電が生じるのを防ぐことができる。これによって、ワーク基板７０を支持台８６から剥離させる際、静電気の放電によってタッチパネルセンサ部１０が損傷するのを防ぐことができる。
【００８２】
また本実施の形態によれば、上述のように、除電パターン２３は、内方に向かって先細になる先細領域２４を含み、先細領域２４の先端部２４ａは、保護層２２により覆われている。このため、先細領域２４をいわゆる避雷針として機能させることができる。従って、保護層２２の電荷が先細領域２４の先端部２４ａに集まりやすくなっている。このことにより、保護層２２における帯電量をより確実に低減させることができる。
【００８３】
さらに本実施の形態によれば、除電パターン２３の先細領域２４のうち先端部２４ａが、その他の部分に対して上方へ突出している。これによって、先細領域２４の避雷針としての機能がさらに高められている。従って、保護層２２の電荷が先細領域２４の先端部２４ａにより集まりやすくなっており、このことにより、保護層２２における帯電量をより確実に低減させることができる。
【００８４】
また本実施の形態によれば、第１接続部１５ｂが複数の接続部材３５を含んでいる。このため、１つの接続部材によって第１接続部１５ｂが構成される場合に比べて、第１接続部１５ｂ自体の電気抵抗を低減することができる。また、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の接触面積を増加させることができ、これによって、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の接触抵抗を低減することができる。このため、ワーク基板７０と支持台８６との間で仮に放電が生じ、これによってタッチパネルセンサ部１０に放電電流が流れるとしても、第１接続部１５ｂにおいて大きな熱が発生することを防止することができ、これによって、放電電流により第１接続部１５ｂが損傷してしまうことを防ぐことができる。
【００８５】
ところで、本実施の形態とは異なり、第１接続部１５ｂが１つの接続部材のみによって構成される場合であっても、この接続部材の幅を大きくすることにより、例えば本実施の形態による接続部材３５の幅の２倍とすることにより、第１接続部１５ｂの電気抵抗を低減することが可能である。以下、このような接続部材を２倍幅接続部材（図示せず）と称する。しかしながら、この場合、２倍幅接続部材が形成された領域全域にわたって、ＴＦＴ基板５０からの光が第１接続部１５ｂにより遮光されることになる。
一方、本実施の形態によれば、第１接続部１５ｂを複数の接続部材３５によって構成することにより、各接続部材３５を間隔を空けて配置することが可能となる。このため、ＴＦＴ基板５０からの光は、隣り合う２つの接続部材３５の間の領域を透過することができる。また一般に、観察者には、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０の法線方向からだけでなくその他の様々な方向からの光が到達する。このため、２つの接続部材３５の面積と上述の２倍幅接続部材の面積とが同一の場合であっても、２つの接続部材３５の方が、液晶表示装置６０の表示を妨げる度合いが小さくなっている。このため、本実施の形態によれば、１つの２倍幅接続部材が用いられる場合と同様の電気抵抗の低減を実現しながら、液晶表示装置６０の表示が妨げられることを抑制することができる。
【００８６】
（搬送の際の作用効果）
また回転する搬送ローラー８７によってワーク基板７０を搬送する場合、搬送ローラー８７に起因して保護層２２が帯電することが考えられる。例えば、搬送ローラー８７が空転する際に搬送ローラー８７が帯電し、この電気が保護層２２に伝導されることが考えられる。この場合も、上述の剥離帯電の場合と同様に、保護層２２に蓄えられている静電気を、除電パターン２３および外枠除電パターン７４に引き受けさせることができる。これによって、保護層２２における帯電量を低減させることができ、このことにより、静電気の放電が生じるのを防ぐことができる。また、仮に放電が生じ、これによってタッチパネルセンサ部１０に放電電流が流れるとしても、複数の接続部材３５を用いて第１接続部１５ｂを構成することにより、第１接続部１５ｂが損傷してしまうことを防ぐことができる。
【００８７】
（液切りの際の作用効果）
また水切り手段８５においてエアーナイフを用いてワーク基板７０上の液を除去する際、エアーナイフによる大気との摩擦帯電によって保護層２２が帯電することが考えられる。この場合も、上述の剥離帯電の場合と同様に、保護層２２に蓄えられている静電気を、除電パターン２３および外枠除電パターン７４に引き受けさせることができる。これによって、保護層２２における帯電量を低減させることができ、このことにより、静電気の放電が生じるのを防ぐことができる。また、仮に放電が生じ、これによってタッチパネルセンサ部１０に放電電流が流れるとしても、複数の接続部材３５を用いて第１接続部１５ｂを構成することにより、第１接続部１５ｂが損傷してしまうことを防ぐことができる。
【００８８】
表示装置の製造方法
次に、複数のカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０が割り付けられた多面付けワーク基板７０から、カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０を１つ１つ取り出す。この際の具体的な方法が特に限られることはなく、例えば切断によりカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０が取り出される。ここで、好ましくは、保護層２２は、ワーク基板７０の一面７０ａ上において、チップ部７１内にのみ設けられている。このため、ワーク基板７０の切断の際、保護層２２が切断されることはない。すなわち、切断の際に保護層２２に過大な力が印加されることはない。これによって、切断の際に保護層２２がワーク基板７０の一面７０ａ上から剥離されるのを防ぐことができる。
【００８９】
取り出されたカラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ２０は、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、液晶４０およびＴＦＴ基板５０と組み合わされる。また、必要に応じて、タッチパネルセンサ部１０上に保護カバー（図示せず）が透明接着剤などを介して設けられる。このようにして、タッチパネル機能付き表示装置６０が製造される。
【００９０】
本実施の形態によれば、上述のように、各第１接続部１５ｂは、第１方向に延び、その両端が隣り合う２つの第１電極単位１５ａにそれぞれ接続された少なくとも２つの接続部材３５を含んでいる。このため、第１接続部１５ｂによってタッチパネルセンサ部１０の意匠性が阻害されることを抑制しながら、第１接続部１５ｂの電気抵抗を低減し、かつ第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の接触抵抗を低減することができる。このため、タッチパネルセンサ部１０における静電気が放電したとしても、第１接続部１５ｂにおいて大きな熱が発生し、これによって第１接続部１５ｂが損傷してしまうことを防ぐことができる。
【００９１】
なお本実施の形態において、第１接続部１５ｂが２つの接続部材３５から構成される例を示した。しかしながら、第１接続部１５ｂに含まれる接続部材３５の数が２に限られることはなく、第１接続部１５ｂが形成される領域の面積や、所望の電気抵抗の値などに応じて、接続部材３５の数が適宜設定されてもよい。例えば、第１接続部１５ｂは、３つまたは４つ以上の接続部材３５を含んでいてもよい。
【００９２】
また本実施の形態において、第１接続部１５ｂを構成する導電性材料として金属材料が用いられる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、第１接続部１５ｂを構成する導電性材料として、ＩＴＯなどの透明性を有する導電性材料が用いられてもよい。これによって、ＴＦＴ基板５０からの光が第１接続部１５ｂにより遮光されることを確実に防ぐことができる。なお、第１接続部１５ｂを構成する導電性材料としてＩＴＯなどの透明性を有する導電性材料が用いられる場合、好ましくは、第１接続部１５ｂの各接続部材３５の伝導部分３７の幅ｗ２は２０〜２００μｍの範囲内となっている。このように各接続部材３５の伝導部分３７の幅を設定することにより、各接続部材３５の電気抵抗を十分に低くすることができる。
【００９３】
除電パターンの層構成の変形例
また本実施の形態によるタッチパネルセンサ部１０の形成工程において、はじめに第１電極単位１５ａ，第２電極単位１３ａおよび第２接続部１３ｂが形成され、次に第２接続部１３ｂ上に絶縁層１８が形成され、その後に第１接続部１５ｂが形成される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、はじめに第１接続部１５ｂを形成し、次に第１接続部１５ｂ上に絶縁層１８を形成し、その後に第１電極単位１５ａ，第２電極単位１３ａおよび第２接続部１３ｂを形成してもよい。
【００９４】
具体的には、はじめに、ワーク基板７０の一面７０ａ上に導電性材料を設ける。次に、設けられた導電性材料をパターニングすることにより第１接続部１５ｂを形成する。その後、第１接続部１５ｂ上に絶縁層１８を形成する。次に、ワーク基板７０の一面７０ａ上に透明電極材料を設ける。その後、設けられた透明電極材料をパターニングすることにより、第１電極単位１５ａ，第２電極単位１３ａおよび第２接続部１３ｂを形成する。これによってタッチパネルセンサ部１０が形成される。図１１Ａおよび図１１Ｂは、このようにして形成されたタッチパネルセンサ部１０を示す縦断面図であり、上述の図３Ａおよび図３Ｂに相当する図である。
【００９５】
図１１Ａおよび図１１Ｂに示すように、本変形例においては、基板１１の一面１１ａ上に２つの接続部材３５からなる第１接続部１５ｂが配置されており、また図１１Ｂに示すように、第１接続部１５ｂは部分的に第１電極単位１５ａによって上方から覆われている。すなわち、第１接続部１５ｂは部分的に第１電極単位１５ａのＴＦＴ基板５０側の面に接している。これによって、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間が電気的に接続されている。
【００９６】
除電パターンの変形例
また本実施の形態において、除電パターン２３が、内方に向かって先細になる先細領域２４によって構成されている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図１２に示すように、除電パターン２３は、基板１１の外縁に達するとともに部分的に基板１１の外縁に沿って延びるよう構成されていてもよい。この場合、好ましくは、除電パターン２３と第２導電パターン１４との間の容量結合によって第２導電パターン１４を通る信号が乱されることのないよう、除電パターン２３と第２導電パターン１４との間の間隔が適切に設定される。
【００９７】
第２の実施の形態
次に図１３および図１４を参照して、本発明の第２の実施の形態について説明する。ここで図１３は、本実施の形態におけるタッチパネルセンサ部の第１接続部を拡大して示す平面図であり、図１４は、図１３のタッチパネルセンサ部をＸIV−ＸIV方向から見た縦断面図である。
【００９８】
図１３および図１４に示す第２の実施の形態は、第１接続部１５ｂの形態が異なるのみであり、他の構成は、図１乃至図１２に示す第１の実施の形態またはその変形例と略同一である。図１３および図１４に示す第２の実施の形態において、図１乃至図１２に示す第１の実施の形態またはその変形例と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００９９】
なお本実施の形態においては、タッチパネルセンサ部１０の形成工程において、はじめに第１接続部１５ｂが形成され、次に第１接続部１５ｂ上に絶縁層１８が形成され、その後に第１電極単位１５ａ，第２電極単位１３ａおよび第２接続部１３ｂが形成される場合について説明する。すなわち図１１Ａおよび図１１Ｂに示す上述の第１の実施の形態の変形例の場合と同様に、第１接続部１５ｂが部分的に第１電極単位１５ａによって上方から覆われている場合について説明する。
【０１００】
第１接続部
図１３に示すように、第１接続部１５ｂは１つの接続部材３５を含んでいる。この接続部材３５は、図１３に示すように、隣り合う２つの第１電極単位１５ａ上に各々配置された２つの接触部分３６と、２つの接触部分３６の間において第１方向（ｙ方向）に延びる伝導部分３７と、を含んでいる。このうち接触部分３６は、その幅が少なくとも部分的に伝導部分３７の幅より大きくなるよう構成されている。例えば図１３に示すように、各接触部分３６は、伝導部分３７の幅ｗ２よりも大きな直径を有する円形の部分となっている。この場合、各接触部分３６は、伝導部分３７との境界において伝導部分３７の幅と同一の幅ｗ２を有している。また接触部分３６の幅は、接触部分３６を構成する円形の中心に至るまで、伝導部分３７から離れるにつれて単調に増加している。
【０１０１】
第１接続部１５ｂを構成する導電性材料として金属材料が用いられる場合、好ましくは、第１接続部１５ｂの各接続部材３５の伝導部分３７の幅ｗ２は５〜２０μｍの範囲内となっている。このように各接続部材３５の伝導部分３７の幅を設定することにより、各接続部材３５の電気抵抗を十分に低くしながら、第１接続部１５ｂによって液晶表示装置６０の表示が妨げられるのを防ぐことができる。
【０１０２】
なお上述のように、本実施の形態においては、第１接続部１５ｂが部分的に第１電極単位１５ａによって上方から覆われているが、図１３においては、説明の便宜上、第１電極単位１５ａの下方に位置する第１接続部１５ｂも図示されている。
【０１０３】
次に図１４を参照して、接触部分３６の幅を少なくとも部分的に伝導部分３７の幅より大きくすることにより得られる作用について説明する。図１４は、図１３のタッチパネルセンサ部をＸIV−ＸIV方向から見た縦断面図であり、隣り合う第１電極単位１５ａの間において第１接続部１５ｂを介して放電電流が右方向へ流れる様子を示す図である。
【０１０４】
一般に電流は、最も電気抵抗が低くなる経路を流れると考えられる。このため本実施の形態においては、図１４に示すように、左側の第１電極単位１５ａから最短距離で右側の第１電極単位１５ａに到達するとともに、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の界面での接触抵抗を可能な限り低くするよう、放電電流が第１接続部１５ｂの表面近傍を流れることが考えられる。
【０１０５】
ところで、第１接続部１５ｂは、第１電極単位１５ａを形成する工程とは別の工程で形成されている。また一般に第１接続部１５ｂは金属材料から構成されており、一方、第１電極単位１５ａは透明電極材料から構成されている。すなわち、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の界面は、異種物質間の界面になっている。従って、第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の界面における接触抵抗は、第１接続部１５ｂ自体の電気抵抗および第１電極単位１５ａ自体の電気抵抗よりも大きくなっていると考えられる。このため、放電電流がタッチパネルセンサ部１０に流れることにより発生する熱は、主に第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の界面近傍で発生することが考えられる。
【０１０６】
ここで本実施の形態によれば、上述のように、第１接続部１５ｂを構成する接続部材３５の接触部分３６は、その幅が少なくとも部分的に接続部材３５の伝導部分３７の幅より大きくなるよう構成されている。このため、接続部材３５の伝導部分３７によってタッチパネルセンサ部の意匠性が阻害されることを抑制しながら、接続部材３５の接触部分３６と第１電極単位１５ａとの間の接触抵抗を低減することができる。このため、静電気の放電が発生したとしても、第１接続部１５ｂにおいて大きな熱が発生し、これによって第１接続部１５ｂが損傷してしまうことを防ぐことができる。
【０１０７】
なお本実施の形態において、接続部材３５の接触部分３６が、伝導部分３７の幅ｗ２よりも大きな直径を有する円形の部分からなる例を示した。しかしながら、接触部分３６の形状が円形に限られることはなく、様々な形状が採用され得る。例えば、接触部分３６の形状が、半円形、三角形または矩形となっていてもよい。
【０１０８】
なお基板１１の法線方向から見た場合の各接触部分３６の輪郭に鋭角な端部が含まれる場合、そのような鋭角な端部がいわゆる避雷針となり、この結果、鋭角な端部に保護層２２の電荷が集まってしまうことが考えられる。このように接触部分３６に保護層２２の電荷が集まってしまうことを防ぐため、好ましくは、各接触部分３６は、基板１１の法線方向から見た場合に湾曲した輪郭を有するよう構成されている。例えば図１５（ａ）（ｂ）（ｃ）にそれぞれ示すように、接触部分３６は、半円形、三角形または矩形の端部の角を湾曲させることにより得られる形状を有していてもよい。これによって、接触部分３６が避雷針となってしまうことを防ぎながら、接触部分３６と第１電極単位１５ａとの間の接触抵抗を低減することができる。
【０１０９】
また本実施の形態において、第１接続部１５ｂを構成する導電性材料として金属材料が用いられる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、第１接続部１５ｂを構成する導電性材料として、ＩＴＯなどの透明性を有する導電性材料が用いられてもよい。これによって、ＴＦＴ基板５０からの光が第１接続部１５ｂにより遮光されることを確実に防ぐことができる。なお、第１接続部１５ｂを構成する導電性材料としてＩＴＯなどの透明性を有する導電性材料が用いられる場合、好ましくは、第１接続部１５ｂの各接続部材３５の伝導部分３７の幅ｗ２は２０〜２００μｍの範囲内となっている。このように各接続部材３５の伝導部分３７の幅を設定することにより、各接続部材３５の電気抵抗を十分に低くすることができる。
【０１１０】
また本実施の形態において、第１接続部１５ｂが１つの接続部材３５から構成される例を示した。しかしながら、第１接続部１５ｂに含まれる接続部材３５の数が１に限られることはなく、上述の第１の実施の形態の場合と同様に、第１接続部１５ｂが複数の接続部材３５を含んでいてもよい。
【０１１１】
また本実施の形態において、第１接続部１５ｂが部分的に第１電極単位１５ａによって上方から覆われている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、本実施の形態においても、図３Ａ乃至図３Ｃに示す第１の実施の形態の場合と同様に、第１電極単位１５ａが部分的に第１接続部１５ｂによって上方から覆われていてもよい。すなわち、タッチパネルセンサ部１０の形成工程において、はじめに第１電極単位１５ａ，第２電極単位１３ａおよび第２接続部１３ｂが形成され、次に第２接続部１３ｂ上に絶縁層１８が形成され、その後に第１接続部１５ｂが形成されてもよい。
【実施例】
【０１１２】
次に、上述した実施の形態の具体的実施例を、比較例とともに説明する。
【０１１３】
（実施例１）
基板１１上に、上述の第１の実施の形態の場合と同様に、２つの接続部材３５から構成される第１接続部１５ｂを有するタッチパネルセンサ部１０を形成した。次に、隣り合う２つの第１電極単位１５ａの一方から他方へ向けて第１接続部１５ｂを介して電流を流した。流れる電流を０〜約０．０４Ａまで変化させ、その際、一方の第１電極単位１５ａのほぼ中心部と他方の第１電極単位１５ａのほぼ中心部との間での電圧を測定した。
【０１１４】
（実施例２）
基板１１上に、上述の第２の実施の形態の場合と同様に、接触部分３６と伝導部分３７とを含む１つの接続部材３５から構成される第１接続部１５ｂを有するタッチパネルセンサ部１０を形成した。次に、実施例１の場合と同様にして、隣り合う２つの第１電極単位１５ａの間での電圧を測定した。
【０１１５】
（比較例１）
第１接続部１５ｂが１つの接続部材３５から構成される点を除いて、実施例１の場合と同様にして、隣り合う２つの第１電極単位１５ａの間での電圧を測定した。
【０１１６】
実施例１、実施例２および比較例１における電圧測定結果をそれぞれ図１６に示す。図１６に示すように、実施例１および実施例２によれば、第１接続部１５ｂ自体の電気抵抗および第１接続部１５ｂと第１電極単位１５ａとの間の接触抵抗が低減されるよう第１接続部１５ｂを構成することにより、隣り合う２つの第１電極単位１５ａの間での電気抵抗を低減することができた。
【符号の説明】
【０１１７】
１０  タッチパネルセンサ部
１１  基板
１１ａ  基板の一面
１１ｂ  基板の他面
１３  第２電極パターン
１３ａ  第２電極単位
１３ｂ  第２接続部
１４  第２導電パターン
１５  第１電極パターン
１５ａ  第１電極単位
１５ｂ  第１接続部
１６  第１導電パターン
１７  端子部
１８  絶縁層
２０  カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサ
２２  保護層
２３  除電パターン
２４  先細領域
２４ａ  先端部
２７  透明電極材料層
２８  先端部用絶縁層
２９  導電性材料層
３０  カラーフィルタ部
３１  ブラックマトリクス層
３２  着色層
３５  接続部材
３６  接続部材
３７  接触部分
３８  伝導部分
４０  液晶
４１  封止材
５０  ＴＦＴ基板
５１  基板
５２  透明電極部
５３  配線部
６０  表示装置
７０  ワーク基板
７０ａ  ワーク基板の一面
７０ｂ  ワーク基板の他面
７１  チップ部
７２  外枠部
７３  除電部
７４  外枠除電パターン
８１  塗布手段
８２  乾燥手段
８３  プリベーク手段
８４  露光・現像手段
８５  水切り手段
８６  支持台
８７  搬送ローラー
８８  吸着穴
【図１】
0005863002.tif 000002
【図２】
0005863002.tif 000003
【図３Ａ】
0005863002.tif 000004
【図３Ｂ】
0005863002.tif 000005
【図３Ｃ】
0005863002.tif 000006
【図４】
0005863002.tif 000007
【図５Ａ】
0005863002.tif 000008
【図５Ｂ】
0005863002.tif 000009
【図５Ｃ】
0005863002.tif 000010
【図６Ａ】
0005863002.tif 000011
【図６Ｂ】
0005863002.tif 000012
【図７Ａ】
0005863002.tif 000013
【図７Ｂ】
0005863002.tif 000014
【図７Ｃ】
0005863002.tif 000015
【図８Ａ】
0005863002.tif 000016
【図８Ｂ】
0005863002.tif 000017
【図９】
0005863002.tif 000018
【図１０】
0005863002.tif 000019
【図１１Ａ】
0005863002.tif 000020
【図１１Ｂ】
0005863002.tif 000021
【図１２】
0005863002.tif 000022
【図１３】
0005863002.tif 000023
【図１４】
0005863002.tif 000024
【図１５】
0005863002.tif 000025
【図１６】
0005863002.tif 000026