(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円形板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された円形板状ワークを研削加工する研削手段と、該研削手段によって研削された円形板状ワークの外周縁を保持し該チャックテーブルから搬出する搬出手段と、該搬出手段の搬出経路に配設され該チャックテーブルに吸引保持されていた円形板状ワークの被保持面を洗浄する洗浄手段と、を備える研削装置において、
該搬出手段は、均等な角度で少なくとも３つ配置され円形板状ワークの外周縁を保持する保持部と、該保持部を放射方向に動作させる案内部と、該案内部に沿って該保持部を移動させる移動手段と、を備え、該移動手段によって駆動されて移動する該保持部を円形板状ワークの外周縁に接触させ円形板状ワークを保持するように構成され、
該洗浄手段は、該搬出手段が保持する円形板状ワークの該被保持面に垂直な回転軸と、該回転軸を回転させる回転手段と、該回転軸に連結され均等な角度で少なくとも３つ配置され円形板状ワークの外周部を洗浄する洗浄部材と、該洗浄部材を円形板状ワークに当接させ該回転手段によって該洗浄部材を回転させる洗浄動作によって円形板状ワークが回転するのを防止するための回転防止手段と、から構成され、
該回転防止手段は、該洗浄手段の該回転軸と軸心を同じくし、該洗浄手段と相対的に上下する上下動手段と、該洗浄手段の回転軸を中心に均等な角度で少なくとも３つ配置され該搬出手段の保持部より内側に位置する回転防止部材と、を備えており、
該搬出手段に保持された円形板状ワークの中心が該洗浄手段の回転軸と一致する該搬出手段の搬出経路上のワーク洗浄位置において、該洗浄部材が、円形板状ワークの該被保持面の外周部を洗浄する研削装置。
【請求項２】
請求項１に記載の研削装置において、前記洗浄手段を用いて円形板状ワークを洗浄する方法であって、
前記洗浄手段を構成する洗浄部材に、前記搬出手段が保持した円形板状ワークの被保持面を接触させ、該洗浄手段を構成する回転防止部材を上昇させ該被保持面に接触させて該洗浄部材の回転動作によって該被保持面のうち該回転防止部材が接触している箇所以外の部分を洗浄し、
その後、該回転防止部材を下降させて、該被保持面のうち該回転防止部材が接触していた部分を露出させ、該洗浄部材を所定角度回転させることによって円形板状ワークが該所定角度と同じ角度回転した後、再び該回転防止部材を上昇させ該被保持面に接触させて該洗浄部材の回転動作によって該被保持面の未洗浄部分を洗浄する、
円形板状ワークの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削時にチャックテーブルに保持されていた被加工物の面をチャックテーブルから搬出する際に洗浄することができる研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体ウェーハのような円形板状ワークは、一方の面が研削装置のチャックテーブルに保持された状態で、他方の面に研削砥石が接触して研削が行われて所定の厚さに形成されるが、円形板状ワークの厚さが数十μｍ以下のように極めて薄くなると、破損しやすくなり、その後の搬送等の取り扱いが困難になるという問題がある。そこで、円形板状ワークの外周部は研削せずに厚みを残したままとして環状の補強部を形成することにより、破損を防止するとともに、取り扱いを容易としている。
【０００３】
ところが、環状の補強部が形成された円形板状ワークを全面吸着パッドによって吸引保持して搬送しようとすると、薄く形成された部分を吸着することができないため、薄く形成された部分が湾曲して破損するという問題がある。
【０００４】
そこで、放射方向に移動可能な少なくとも３つの保持部材を備えた保持機構を用い、これら保持部材が円形板状ワークの補強部の外周部を側面側から支持することにより、薄く形成された部分の湾曲による破損を防止する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、円形板状ワークの研削加工時には、研削装置のチャックテーブルに保持され保護テープが貼着されている被保持面側にも研削屑等が付着するため、スポンジ等からなる柔軟部材を保護テープに接触させて洗浄を行う洗浄機構が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２５８４５０号公報
【特許文献２】特開２０１０−９４７８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１に開示された保持機構は、円形板状ワークの外周部において被保持面側も保持部材によって保持するため、洗浄機構を用いて被保持面を洗浄しようとすると、洗浄機構が保持部材に接触し、被保持面の全面を洗浄することができないという問題がある。
【０００８】
また、円形板状ワークの被保持面側に保護テープは、洗浄機構による洗浄後に保護テープの周縁部に剥離テープを貼着し、剥離テープを引っ張ることによって円形板状ワークから剥離されるが、保持機構の保持部材によって保持されている部分が洗浄されていないと、当該部分の保護テープに研削屑が付着しているため、研削屑が付着している部分に剥離テープを貼り付けてしまうと、引っ張ったときに研削屑だけが剥離テープにくっついてきてしまい、保護テープを剥離できないという問題がある。したがって、かかる問題を回避するためには、保護テープのうち洗浄機構による洗浄が行われていない部分を認識し、その部分を避けて剥離テープを貼着するという煩雑な処理が必要となる。
【０００９】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、研削装置のチャックテーブルに保持されていた円形板状ワークの被保持面側が保持部材によって保持されている場合において、被保持面のうち保持部材によって保持されている部分についても洗浄できるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の発明は、円形板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された円形板状ワークを研削加工する研削手段と、研削手段によって研削された円形板状ワークの外周縁を保持しチャックテーブルから搬出する搬出手段と、搬出手段の搬出経路に配設されチャックテーブルに吸引保持されていた円形板状ワークの被保持面を洗浄する洗浄手段と、を備える研削装置に関するもので、搬出手段は、均等な角度で少なくとも３つ配置され円形板状ワークの外周縁を保持する保持部と、保持部を放射方向に動作させる案内部と、案内部に沿って保持部を移動させる移動手段と、を備え、移動手段によって駆動されて移動する保持部を円形板状ワークの外周縁に接触させ円形板状ワークを保持するように構成され、洗浄手段は、搬出手段が保持する円形板状ワークの被保持面に垂直な回転軸と、回転軸を回転させる回転手段と、回転軸に連結され均等な角度で少なくとも３つ配置され円形板状ワークの外周部を洗浄する洗浄部材と、洗浄部材を円形板状ワークに当接させ回転手段によって洗浄部材を回転させる洗浄動作によって円形板状ワークが回転するのを防止するための回転防止手段と、から構成され、回転防止手段は、洗浄手段の回転軸と軸心を同じくし、洗浄手段と相対的に上下する上下動手段と、洗浄手段の回転軸を中心に均等な角度で少なくとも３つ配置され搬出手段の保持部より内側に位置する回転防止部と、を備えており、搬出手段に保持された円形板状ワークの中心が洗浄手段の回転軸と一致する搬出手段の搬出経路上のワーク洗浄位置において、洗浄部が、円形板状ワークの被保持面の外周部を洗浄する。
【００１１】
第２の発明は、上記研削装置において、上記洗浄手段を用いて円形板状ワークを洗浄する方法に関するもので、洗浄手段を構成する洗浄部材に、搬出手段が保持した円形板状ワークの被保持面を接触させ、洗浄手段を構成する回転防止手段を上昇させ被保持面に接触させて洗浄部材の回転動作によって被保持面のうち回転防止部が接触している箇所以外の部分を洗浄し、その後、回転防止手段を下降させて、被保持面のうち回転防止手段が接触していた部分を露出させ、洗浄部材を所定角度回転させることによって円形板状ワークが所定角度と同じ角度回転した後、再び回転防止部を上昇させ被保持面に接触させて洗浄部材の回転動作によって被保持面の未洗浄部分を洗浄する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、被保持面に洗浄部材が接触した円形板状部材を回転させることにより、未洗浄部分を残して被保持面の外周部を洗浄した後、円形板状部材を回転させて未洗浄部分を露出させてから、洗浄部材を当該未洗浄部分に接触させて円形板状部材を回転させることで、被保持面の外周部を全周にわたって洗浄することができる。したがって、被保持面が保護テープである場合に、保護テープを剥離するための剥離テープを貼着する部分に研削屑が付着していることがないため、剥離テープを貼着して引っ張ることにより、確実に保護テープを円形板状ワークから確実に剥離することができ、保護テープのうち洗浄が行われていない部分を認識し、その部分を避けて剥離テープを貼着するという煩雑な処理が不要となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】研削装置の一例を模式的に示した平面図である。
【図２】搬出手段を構成する保持機構の一例を示す斜視図である。
【図３】同保持機構の一例を示す分解斜視図である。
【図４】保持機構の動作例を模式的に示す平面図である。
【図５】洗浄手段の一例を略示的に示す断面図である。
【図６】同洗浄手段を模式的に示す底面図である。
【図７】研削後の被加工物の一例を示す断面図である。
【図８】保持機構が同被加工物を保持した状態を略示的に示す断面図である。
【図９】洗浄手段によって被加工物を洗浄する状態を略示的に示す断面図である。
【図１０】同洗浄手段によって被加工物を洗浄する手順の一例を模式的に示す底面図である。
【図１１】同洗浄手段によって洗浄された被加工物の洗浄された領域を示す底面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１に示す研削装置１は、円形板状ワークを吸引保持する複数の（図示の例では４つの）チャックテーブル２と、チャックテーブル２に保持された円形板状ワークに対して研削加工を施す第1研削手段３０及び第２研削手段３１と、研削された円形板状ワークを研磨する研磨手段３２とを備えている。複数のチャックテーブル２は、ターンテーブル２ａによって公転及び自転可能に支持されている。
【００１５】
研削装置１の前部側には、加工前の円形板状ワークＷを収容する第１カセット４０と、加工後の円形板状ワークＷを収容する第２カセット４１とを備えている。そして、第１カセット４０及び第２カセット４１の近傍には、第１カセット４０からの円形板状ワークＷの取り出し及び第２カセット４１への円形板状ワークＷの収容を行うロボット４２が配設されている。なお、円形板状ワークＷには、結晶方位識別マークであるオリエンテーションフラットやノッチが形成されているものも含まれる。
【００１６】
ロボット４２は、円形板状ワークＷを吸引保持するハンド部４２０と、ハンド部４２０に連結され屈曲可能なアーム部４２１と、ハンド部４２０及びアーム部４２１をＸ軸方向に移動させる駆動手段４２２とを備えている。
【００１７】
ハンド部４２０の可動域には、加工前の円形板状ワークＷを所定の位置に位置あわせする仮置きテーブル４３が配設されている。
【００１８】
第１研削手段３の前方は、加工前の円形板状ワークＷをチャックテーブル２に載置したり、加工後の円形板状ワークＷを次の工程に移送するためにチャックテーブル２から取り出したりする領域である搬出入領域４４となっている。搬出入領域４４の近傍には、仮置きテーブル４３から搬出入領域４４に位置するチャックテーブル２への円形板状ワークＷの搬入を行う搬入手段４５と、搬出入領域４４に位置するチャックテーブル２からの円形板状ワークＷの搬出を行う搬出手段５とが配設されている。搬出手段５は、アーム部１１の先端に取り付けられ円形板状ワークＷを保持する保持機構１０を備えている。保持機構１０は、研削された円形板状ワークＷの外周縁を保持し、その状態でアーム部１１を旋回及びＹ軸方向に移動させることにより、円形板状ワークＷをチャックテーブル２から搬出することができる。
【００１９】
搬出手段５による円形板状ワークＷの搬出経路には、保持機構１０によって保持された円形板状ワークＷの下面、すなわちチャックテーブル２によって吸引保持されていた被保持面を洗浄する洗浄手段６を備えている。また、洗浄手段６の近傍には、円形板状ワークＷの上面側を洗浄し乾燥する洗浄乾燥手段７が配設されている。なお、洗浄手段６の配設位置は、搬出手段６による円形板状ワークＷの搬出経路の下方であれば、図示の位置には限定されない。
【００２０】
図２に示すように、保持機構１０は、板状ワークの外周縁に係合して板状ワークを保持する少なくとも３個の保持部１３と、保持部１３を板状ワークの外周縁に対して水平方向に移動可能に支持する支持プレート１４と、支持プレート１４の上面側において支持プレート１４に対して所定範囲回動可能に配設された回動プレート１５と、アーム部１１の先端の取り付けられ支持プレート１４に対して傾斜可能に連結された取り付け板１６と、支持プレート１４を鉛直方向に移動させる垂直方向駆動部１７とを備えている。
【００２１】
図３に示すように、保持部１３は、フッ素系樹脂等の摩擦抵抗の小さい合成樹脂によって形成され係合凹部１３０ａを備えた係合部材１３０と、係合部材１３０から上方に立設された円柱状の被支持部１３１とから構成され、被支持部１３１の内周面には、ボルトを螺合させる雌ねじ穴１３１ａが形成されている。３つの保持部１３は、支持プレート１４の中心を基準に均等な角度で配置されており、係合凹部１３０ａにおいて円形板状ワークＷの外周縁を係合させることにより、円形板状ワークＷを外周面側から保持することができる。
【００２２】
支持プレート１４には、保持部１３の個数及び位置に対応して、径方向に長く表裏面を貫通する長孔１４０が形成されている。長孔１４０は、保持部１３の被支持部１３１を長孔１４０の長手方向に移動自在に支持し、３つの保持部１３を放射方向に動作させる際の案内部として機能する。長孔１４０の幅は、被支持部１３１の直径よりわずかに大きく形成されている。
【００２３】
支持プレート１４の下面からは、保持対象の円形板状ワークＷの水平方向の移動を規制する少なくとも３個の長さが等しい水平方向移動規制ピン１８が下方に突出して形成されており、その下端は保持部１３より下方に位置している。支持プレート１４の上面からは、３本の複数の支持柱１９が立設されている。支持柱１９の上端には雌ねじ穴１９ａが形成されている。それぞれの支持柱１９には、コイルバネ１９０が挿嵌されている。一方、支持プレート１４の中心部上面には、大径部２０ａ及び小径部２０ｂを有する段つきナット２０が取り付けられている。
【００２４】
回動プレート１５は、段突きナット２０の小径部２０ｂに嵌合する内径を有する中心孔１５０と、周方向に長く形成され表裏面を貫通する３個の長孔１５１と、所定間隔をおいて外周方向に突出形成された３個のアーム部１５２とを有している。それぞれのアーム部１５２の先端には、枢軸１５３によってアーム部１５２に対して回動可能にリンク１５４が連結されている。リンク１５４には、表裏面を貫通する貫通孔１５４ａが形成されている。３個のアーム部１５２のうちの１つから周方向に突出した位置には、上方に突出する連結突起１５５が形成されている。
【００２５】
支持プレート１４の上面側には、ピストンロッド２１を出没させるエアシリンダ２２が配設されており、ピストンロッド２１の先端部には、回動プレート１５においてリング状に形成された連結突起１５５と係合する連結係合部２１ａが形成されている。
【００２６】
また、図２に示したように、ボルト２３を図３に示した貫通孔１５４ａ、スペーサ２４及び長孔１４０に挿通し、係合部材１３の雌ねじ穴１３１ａに螺合させると、枢軸１５３を中心としてリンク１５４が回動することにより回動プレート１５が支持プレート１４に対して所定範囲回動可能となった状態で、支持プレート１４と回動プレート１５とが連結される。段つきナット２０にはボルト２６を螺合させ、回動プレート１５の抜けを防止する。
【００２７】
また、アーム部１５２から側方に突出した位置に設けられた連結突起１５５をピストンロッド２１の先端の連結係合部２１ａに係合させると、エアシリンダ２２によってピストンロッド２１が図２における矢印Ａ方向に駆動されることにより、回動プレート１５が矢印Ｂ方向に回動可能となる。そして、回動プレート１５が矢印Ｂ方向に回動すると、それにともないリンク１５４が矢印Ｃ方向に動くため、リンク１５４に連結された保持部１３が矢印Ｄ方向、すなわち支持プレート１４の中心に向かう方向に移動する。この動きについて図４を参照して説明すると、初期状態では、図４（ａ）に示すように、３個のアーム部１５２がリンク１５４と一直線上にある。そして、図４（ｂ）に示すように、エアシリンダ２２によって駆動されて回動プレート１５が矢印Ｂ方向に回動すると、アーム部１５２とリンク１５４とが一直線上でなくなり、Ｃ方向に向きを変えたリンク１５４が保持部１３を支持プレート１４の中心に向かう方向に引っぱり、これによって保持部１３が長孔１４０に沿って互いが近づく方向（Ｄ方向）に移動する。
【００２８】
このように、エアシリンダ２２及びピストンロッド２１並びに回動プレート１５は、３つの係合部材１３を、互いが近づく方向に移動させる移動手段２７を構成しており、移動手段２７によって駆動されて移動する保持部１３を円形板状ワークＷの外周縁に接触させて円形板状ワークＷを保持するように構成されている。
【００２９】
さらに、図３に示すように、取り付け板１６においては、支持プレート１４の上面から立設された３本の支持柱１９に対応する位置に３つの貫通孔１６０が配設されており、これら貫通孔１６０に挿通するボルト２５を支持柱１９に形成された雌ねじ穴１９ａに螺合させることにより、取り付け板１６に支持プレート１４が固定される。
【００３０】
図５に示すように、洗浄手段６は、回転軸６０と、回転軸６０を回転させるモータからなる回転手段６１と、回転軸６０に連結された洗浄部６２とを備えている。
【００３１】
回転軸６０の軸心は、搬出手段５を構成する図２及び図３に示した保持機構１０が保持する円形板状ワークＷの被保持面に対して垂直となっている。ここで、被保持面は、研削時に図１に示したチャックテーブル２に保持される面である。
【００３２】
洗浄部６２は、図６に示すように、回転軸６０に連結され放射状に延びる少なくとも３つの板部材６２０と、板部材６２０の先端部上面に固着された少なくとも３つの洗浄部材６２１とを備えている。洗浄部材６２１は、均等な角度で少なくとも３個配設されている。個々の洗浄部材６２１は、スポンジのような柔軟な部材であり、例えばアイオン株式会社のソフラスという製品を使用することができる。洗浄部６２は、円形板状ワークＷの被保持面に接触し回転することにより、被保持面の外周部を洗浄することができる。
【００３３】
図５に示すように、洗浄部６２の下方には、洗浄手段６によって洗浄される円形板状ワークが回転するのを防止する回転防止手段８が配設されている。回転防止手段８は洗浄手段６の回転軸６０と軸心を同じくしており、回転軸６０の周囲に筒部８０が巻かれている。図６に示すように、筒部８０からは放射状に少なくとも３つの板部材８１が延びており、板部材８１の先端部上面には回転防止部材８２が固着されている。回転防止部材８２は、洗浄手段６の回転軸６０を中心に均等な角度で配置されている。また、搬出手段５が洗浄手段６及び回転防止手段８の直上に位置する状態では、３つの回転防止部材８２は、搬出手段５の３つの保持部１３を結ぶ円弧よりも内側に位置している。
【００３４】
図５に示すように、筒部８０の外周側にはシリンダ８３によって駆動されて昇降するピストン８４が連結されており、ピストン８４の昇降とともに筒部８０も昇降する構成となっており、シリンダ８３とピストン８４とで、回転防止手段８を洗浄手段６に対して相対的に上下動させる上下動手段８５を構成している。
【００３５】
図１に示した研削装置１においては、ロボット４２によって第１カセット４０から加工前の円形板状ワークＷが取り出され、仮置きテーブル４３に搬送される。そして、仮置きテーブル４３において円形板状ワークＷが所定の位置に位置決めされた後、搬入手段４５によって搬出入領域４４に位置するチャックテーブル２に搬送され保持される。
【００３６】
次に、ターンテーブル２ａが回転することによりチャックテーブル２に保持された円形板状ワークＷが第１研削手段３０、第２研削手段３１、研磨手段３２の下方に順次移送され、円形板状ワークＷの露出面（上面）に対してそれぞれの手段による加工が行われる。そして、図７に示すように、円形板状ワークＷの裏面Ｗ２のうち、デバイスが存在しない周縁部の領域である余剰領域を研削せず、デバイス領域の裏側のみを研削すると、余剰領域については当初の厚さが維持されて補強部Ｗ３が形成される。補強部Ｗ３が形成された円形板状ワークＷは、補強部Ｗ３のない円形板状ワークと比較して、その後の搬送等の取り扱いが容易となる。円形板状ワークＷの表面Ｗ１には、デバイス保護のための保護テープＴが貼着されている。
【００３７】
こうして研磨手段３２による加工が行われた後、ターンテーブル２ａの回転によって加工後の円形板状ワークＷが搬出入領域４４に移動し、搬出手段５によって加工後の円形板状ワークＷが保持される。
【００３８】
搬出手段５を構成する保持機構１０においては、図８に示すように、３つの保持部１３が円形板状ワークＷの外周縁Ｗ４に接触して保持される。またこのとき、水平方向移動規制ピン１８によって円形板状ワークＷが水平方向にずれるのを防止する。
【００３９】
このようにして加工後の円形板状ワークＷが保持機構１０によって保持されると、図１に示したアーム部１１のＹ軸方向の移動及び旋回により、円形板状ワークＷが、搬出経路に位置する洗浄手段６及び回転防止手段８の直上に移動し、そこで停止する。このとき、搬出手段５に保持された円形板状ワークＷの位置は、その中心が洗浄手段６の回転軸６０と一致するワーク洗浄位置となる。
【００４０】
円形板状ワークＷがワーク洗浄位置に位置した状態で、保持機構１０が下降することにより、図９に示すように、円形板状ワークＷの被保持面Ｗ１側の保護テープＴに洗浄部材６２１を接触させる。また、上下動手段８５の駆動により、回転防止手段８を上昇させて、回転防止部材８２を保護テープＴに接触させる。このとき、回転防止部材８２の上面は、洗浄部材６２１の上面よりも０．５ｍｍほど高い位置にあり、回転防止部材８２は、洗浄部材６２１よりも強く保護テープＴを押圧する。このようにして、回転防止部材８２が保護テープＴ及び円形板状ワークＷの回転を阻止する。
【００４１】
図９に示したように、洗浄部材６２１及び回転防止部材８２を保護テープＴに接触させた時は、洗浄部材６２１と回転防止部材８２とが重ならない位置に位置している。そして、図１０（ａ）に示すように、回転手段６１の駆動により洗浄手段６を矢印Ｐ方向に回転させる。具体的には、洗浄手段６は、１つの洗浄部材６２１が２つの回転防止部材８２に衝突しない範囲で回転させてから停止させる。このようにして、洗浄部材６２１が保護テープＴに接触した状態で回転することにより、図１１（ａ）に示すように、被保持面である保護テープＴの外周部のうち、回転防止部材８２が接触している箇所以外の部分である第１領域１００が洗浄される。洗浄中は、図９に示した回転手段６１が洗浄部材６２１を回転させることによって円形板状ワークＷが回転するのを回転防止手段８２が防止するため、洗浄を確実に行うことができる。この段階では、隣り合う第1領域１００間に、未洗浄領域である第２領域が残されている。なお、図１１においては、洗浄済みの領域に斜線を引いて示している。
【００４２】
次に、回転防止手段８を下降させることにより回転防止部材８２と保護テープＴとの接触状態を解除した後、図１０（ｂ）に示すように、洗浄手段６を矢印Ｑ方向に回転させる。そうすると、保護テープＴが回転防止部材８２と接触していないため、洗浄部材６２１とともに保護テープＴ及び円形板状ワークＷも矢印Ｑ方向に回転する。
【００４３】
そして、図１１（ｂ）に示すように、被保持面である保護テープＴのうち回転防止手段８を構成する回転防止部材８２が接触していた部分である未洗浄の第２領域１０１が露出する。
【００４４】
このようにして第２領域１０１が露出した後、再び回転防止部材８２を上昇させて保護テープＴに接触させ、図１０（ｃ）に示すように、洗浄部材６２１の矢印Ｒ方向の回転動作によって第２領域１０１を洗浄する。そうすると、図１１（ｃ）に示すように、第２領域１０１にも洗浄部材６２１が接触して洗浄され、外周部が全周にわたって洗浄される。なお、２回目の洗浄を行う場合は、回転防止部材８２が接触していた第３領域１０２が未洗浄となっているため、第３領域１０２が露出するようにしてから洗浄を行えばよい。
【００４５】
洗浄部材６２１は、１回目の洗浄において保護テープＴの汚れた面と接触するため、研削屑がわずかに付着するが、保護テープＴに付着する研削屑は、円形板状ワークの品質には影響しない。
【００４６】
このようにして保護テープＴが洗浄されると、保護テープＴに剥離テープを貼着し、剥離テープを引っ張ることによって、保護テープＴが円形板状ワークから剥離される。剥離テープを保護テープＴに貼着する際には、保護テープＴに研削屑等が付着していないため、剥離テープを貼りつける位置を選ぶ必要がない。
【符号の説明】
【００４７】
１：研削装置
２：チャックテーブル  ２ａ：ターンテーブル
３０：第１研削手段  ３１：第２研削手段  ３２：研磨手段
４０：第１カセット  ４１：第２カセット
４２：ロボット  ４２０：ハンド部  ４２１：アーム部  ４２２：駆動手段
４３：仮置きテーブル  ４４：搬出入領域  ４５：搬入手段
５：搬出手段
６：洗浄手段  ６０：回転軸  ６１：回転手段
６２：洗浄部  ６２０：板部材  ６２１：洗浄部材
７：洗浄乾燥手段
８：回転防止手段  ８０：筒部  ８１：板部材  ８２：回転防止部材
８３：シリンダ  ８４：ピストン
１０：保持機構
１１：アーム部
１３：保持部  
１３０：係合部材  １３１：被保持部  １３１ａ：雌ねじ穴
１４：支持プレート  １４０：長孔（案内部）
１５：回動プレート
１５０：中心孔  １５１：長孔  １５２：アーム部  １５３：枢軸
１５４：リンク  １５４ａ：貫通孔  １５５：連結突起
１６：取り付け板  １６０：貫通孔
１７：垂直方向駆動部
１８：水平方向移動規制ピン
１９：支持柱  １９ａ：雌ねじ穴  １９０：コイルバネ
２０：段つきナット  ２０ａ：大径部  ２０ｂ：小径部
２１：ピストンロッド  ２１ａ：連結係合部  ２２：エアシリンダ
２３：ボルト  ２４：スペーサ  ２５：ボルト  ２６：ボルト
２７：移動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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