(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の貫通孔を有するステータと、
前記貫通孔を導通させる導通溝を有するシールと、を備えた流路切り替えバルブであって、
前記シールは、
少なくとも前記ステータとの接触面を含む領域の垂直下方に存在する第一の部分と、
前記第一の部分の外側に、前記第一の部分よりも剛性が低い第二の部分を有し、
前記第二の部分は、前記シールにおける前記ステータと対向する面以外の面に溝を設けることにより形成されることを特徴とする流路切り替えバルブ。
【請求項２】
請求項１に記載された流路切り替えバルブであって、
当該シールに設けられた溝の内径は、前記シールの導通孔の直径以上であり、かつ、前記シールと前記ステータとの接触面の直径以下であることを特徴とする流路切り替えバルブ。
【請求項３】
複数の貫通孔を有するステータと、
前記貫通孔を導通させる導通溝を有するシールと、を備えた流路切り替えバルブであって、
前記シールは、
少なくとも前記ステータとの接触面を含む領域の垂直下方に存在する第一の部分と、
前記第一の部分の外側に、前記第一の部分よりも剛性が低い第二の部分を有し、
前記第二の部分は、
前記シールの内部に空隙を設けることにより形成されることを特徴とする流路切り替えバルブ。
【請求項４】
複数の貫通孔を有するステータと、
前記貫通孔を導通させる導通溝を有するシールと、を備えた流路切り替えバルブであって、
前記シールは、
少なくとも前記ステータとの接触面を含む領域の垂直下方に存在する第一の部分と、
前記第一の部分の外側に、前記第一の部分よりも剛性が低い第二の部分を有し、
前記第二の部分は、
前記第一の部分とは異なる材料により構成されることを特徴とする流路切り替えバルブ。
【請求項５】
請求項４に記載された流路切り替えバルブであって、
前記第一の部分は金属材料により構成され、前記第二の部分は樹脂材料により構成されることを特徴とする流路切り替えバルブ。
【請求項６】
複数の貫通孔を有するステータと、
貫通孔子を導通させる導通溝を有するシールと、を備えた流路切り替えバルブを備えた液体試料導入装置であって、
前記シールは、
少なくとも前記ステータとの接触面を含む領域の垂直下方に存在する第一の部分と、
前記第一の部分の外側に、前記第一の部分よりも剛性が低い第二の部分を有し、
前記第二の部分は、前記シールにおける前記ステータと対向する面以外の面に溝を設けることにより形成されることを特徴とする液体試料導入装置。
【請求項７】
複数の貫通孔を有するステータと、
貫通孔子を導通させる導通溝を有するシールと、を備えた流路切り替えバルブを備えた液体クロマトグラフ装置であって、
前記シールは、
少なくとも前記ステータとの接触面を含む領域の垂直下方に存在する第一の部分と、
前記第一の部分の外側に、前記第一の部分よりも剛性が低い第二の部分を有し、
前記第二の部分は、前記シールにおける前記ステータと対向する面以外の面に溝を設けることにより形成されることを特徴とする液体クロマトグラフ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体の流路を切り替える流路切り替えバルブに関し、さらには流路切り替えバルブを用いた液体クロマトグラフ装置、及び液体クロマトグラフシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を扱う分析装置における多くの製品では、液体の流路を切り替える流路切り替えバルブが利用される。例えば、液体クロマトグラフ装置においては、移動相流路中に導入された分析対象となる試料を、成分毎に分離するカラムへ搬送するために、高圧条件下で流路を切り替える流路切り替えバルブが使用される。
【０００３】
図１６に、従来の一般的な流路切り替えバルブの構造を示す。流路切り替えバルブは、基本的には、流体入出用のチューブを接続する貫通孔１０１を有するステータ１０２と、ステータ１０２に接続されるロータシール１０４とから構成される。ステータ１０２と、ロータシール１０４とは接触面を介して互いに摩擦しながら、流体が外部に漏れないように流路を密閉する。
【０００４】
特許文献１には、流路切り替えバルブにおけるステータとロータシールとの摩擦への対処として、これらのいずれか一方における接触面側に空間を設け、摩擦が生じる面積を低減する手法について説明されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】ＷＯ２０１２１０９１０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、流体の送液圧力の高速化・高圧化が進んでおり、それに伴ってバルブの締め付け荷重も増加している。すなわち、ステータとロータシールの接触面にかかる荷重が大きくなっているため、接触面がより摩耗しやすい状況となる。
【０００７】
ロータシールはステータに比べて軟らかい材料で構成されることが多く、かつ、ステータに対して回転するため特に摩耗しやすい。ステータとロータシールの接触面外周部は回転時の移動距離が長いため、摩耗粉が生じる場合が多く、これによって接触面がさらに傷ついたり、また発生した摩耗粉が流路に混入してしまうおそれがある。
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載された技術においては、接触面に空間を設けて摩耗が生じうる面積を物理的に減少させているものの、その他の接触面における摩耗の生じやすさ自体は変わらないため、依然として上記のような事態が発生しうる。
【０００９】
また、特許文献１におけるステータとロータシールとの接触面に設けられた空間は、その形成時に発生したバリ（突起）などにより、ロータシールの回転時に接触面を傷つけることがないよう、成形の際には高い加工精度が要求される。さらに、このような空間の配置は、ステータ、ロータシールの流路に対して一定の距離をおいて形成されなければならないなどの制約が多い。
【００１０】
本発明の目的は、ステータ、ロータシール間に生じる摩擦の現象そのものを低減する流路切り替えバルブ、および当該バルブを用いた液体クロマトグラフ装置を提供することである。  
【課題を解決するための手段】
【００１１】
発明者らによる鋭意研究の結果、流路切り替えバルブにおいて摩擦の現象を引き起こす原因の一つである、ステータと、ロータシールの接触面に負荷される圧力の低減に寄与する構成を見出した。すなわち、本発明では、上記課題を解決するための一態様として、複数の貫通孔を有するステータと、貫通孔を導通させる導通溝を有するシールと、を備えた流路切り替えバルブであって、前記シールは、少なくとも前記ステータとの接触面を含む領域の垂直下方に存在する第一の部分と、前記第一の部分の外側に、前記第一の部分よりも剛性が低い第二の部分を有することを特徴とする流路切り替えバルブ、および当該バルブを用いた液体クロマトグラフ装置を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
上記一態様によれば、ステータとロータシールの接触面の面積を小さくするのではなく、接触面外周部に負荷される圧力を減らすことにより、摩擦の現象そのものの発生を抑制する流路切り替えバルブ、および当該バルブを用いた装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１−Ａ】本発明の実施の形態に係る流路切り替えバルブ全体の構成例を示す図。
【図１−Ｂ】本発明の実施の形態（実施例１）に係る流路切り替えバルブの構成例（第１の例）を示す図。
【図２】本発明の実施の形態に係る凹部による接触面外周部の圧力低減原理を説明する図。
【図３】本発明の実施の形態に係るロータシールの上面を示す図。
【図４】本発明の実施の形態に係る凹部の有無による接触面上の圧力の変化を説明する図。
【図５】本発明の実施の形態に係る凹部の内径と流路、接触面の位置関係を示す図。
【図６】本発明の実施の形態（実施例１）に係る流路切り替えバルブの構成例（第２の例）を示す図。
【図７−Ａ】本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第３の例）を示す図。
【図７−Ｂ】本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第４の例）を示す図。
【図８】本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第５の例）を示す図。
【図９】本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第６の例）を示す図。
【図１０】本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第７の例）を示す図。
【図１１】本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第８の例）を示す図。
【図１２】本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第９の例）を示す図。
【図１３】本発明の実施の形態（実施例３）に係る流路切り替えバルブの構成例（第１０の例）を示す図。
【図１４】本発明の実施の形態（実施例３）に係る流路切り替えバルブの構成例（第１１の例）を示す図。
【図１５】本発明の実施の形態（実施例４）に係る流路切り替えバルブを用いた液体クロマトグラフの構成を示す図。
【図１６】従来の流路切り替えバルブの構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１５】
本実施の形態では、ステータとシールの接触面外周部の圧力を低減する流路切り替えバルブの例について説明する。
【００１６】
図１は、本発明の実施の形態に係る流路切り替えバルブの構成例を示す。図１−Ａはバルブの全体構成図、図１−Ｂはバルブの構成例（第１の例）を示す図であり、ステータとロータシールの接触を示す拡大断面図である。
【００１７】
流路切り替えバルブ１００は、ステータ１０２、ロータシール１０４、ベアリング１０８、ロータ１０９、ハウジング１１０、皿ばね１１１、皿ばね受け１１２、軸受１１３、ワッシャー１１４、ハウジング１１５、ナット１１６により構成される。ステータ１０２は貫通孔１０１を有する。ロータシール１０４は、導通溝１０３、ピン貫通孔１０６、および、ステータ１０２の接触面とは反対側の面に形成された凹部１０７を有する。ステータ１０２に接触するようにロータシール１０４が配置され、ロータシール１０４はロータ１０９により回転が可能になっている。ステータ１０２とハウジング１１０およびハウジング１１５はねじで固定されている。
【００１８】
本実施の形態に係る流路切り替えバルブの構成と、上記の図１６に示した従来の流路切り替えバルブの構成とは、ロータシール１０４において、ステータ１０２との接触面とは反対側の面に凹部１０７を設けている点で異なる。このような構成とすることで、後述するように接触面１０５外周部の圧力を低減することができる。
【００１９】
次に、図１に示す凹部１０７が、ステータ１０２とロータシール１０４との接触面１０５の外周部の圧力低減に効果を発揮するメカニズムを、図２を用いて示す。
【００２０】
図２は、本実施の形態に係る凹部による接触面外周部の圧力低減の原理を説明する図である。
【００２１】
ステータ１０２とロータシール１０４は、貫通孔１０１および導通溝１０３から成る流路からの液漏れを防ぐために、上下方向からの締め付け荷重を受ける。ステータ１０２とロータシール１０４の関係に注目すると、この荷重は接触面１０５でつりあっているとみなせる。そのため、図２（Ａ）に示すようにロータシール１０４の上面が接触面１０５と同じ形状（面積）であれば、ステータ１０２側の荷重２０１とロータシール１０４側の荷重２０２により接触面１０５内で均等な力のつり合いが得られる。しかし、既存のロータシール１０４の形状は図２（Ｂ）に示すように、上面全体の面積は接触面１０５よりも広い。そのため、ステータ１０２側から加わる荷重２０１に対して、接触面１０５よりも外側のロータシール１０４の上面の領域である、接触面外周部１１７においても荷重２０１を支えようとして、荷重２０３が新たに加わる。その結果、接触面外周部１１７は中心部に比べて大きな荷重が作用するため摩耗しやすい。
【００２２】
そこで、図２（Ｃ）に示すようにロータシール１０４の接触面とは反対側の表面に凹部１０７を設けて、少なくとも接触面を含む領域の垂直下方に存在する領域が、その周囲の領域に比べて高い剛性を持つ構造にする。このような構造とすることにより、周囲の領域のシール部材を減らすことができるため、シール部材が変形しやすくなり、図２（Ｂ）と比べて荷重２０３の大きさを低減できる。
【００２３】
次に、図２で示した凹部１０７による接触面外周部１１７の圧力低減効果を有限要素法により検証した結果について説明する。図３はロータシール１０４の上面図である。図４は、本発明の実施の形態に係る凹部１０７の有無による接触面での圧力の変化を説明する図であって、図３に示されたロータシール１０４の中心点０から、導通溝１０３と重ならない箇所に位置する貫通孔１０１の中心を通る矢印方向、すなわち図３中のＸ方向における面圧について、凹部１０７を設けた構造における圧力の値から、凹部１０７を設けていない構造における圧力の値を引いた値を示すグラフである。ステータ１０２はｓｔａｉｎｌｅｓｓ  ｕｓｅｄ  ｓｔｅｅｌ（ＳＵＳ）製、ロータシール１０４は樹脂材のｐｏｌｙｅｔｈｅｒ―ｅｔｈｅｒ―ｋｅｔｏｎｅ（ＰＥＥＫ）製とする。横軸は、図３におけるロータシール１０４の中心点０からＸ方向への距離ｘを表す。縦軸は距離ｘにおける上記接触面での圧力の差分の値を示す。ｘが約１．１ｍｍから１．４ｍｍ程度の範囲は貫通孔１０１に相当するため、凹部１０７の有無に関わらず接触面上に力が働かず、面圧はゼロとなる。ｘが約１．７５ｍｍから２．２ｍｍ程度の範囲は、ステータ１０２とロータシール１０４との接触面の外周部に相当し、この部分においては、凹部１０７を設けた構造では、凹部１０７を設けていない構造に比べて、接触面外周部１１７での面圧が小さくなっていることが分かる。すなわち、シール回転時に生じる摩擦の現象そのものを軽減できている。さらに、中心点０からｘが約１．１ｍｍ程度の範囲と、１．４ｍｍから１．７ｍｍ程度の範囲、すなわち流路である貫通孔１０１の周囲の領域における面圧は、凹部１０７を設けた構造の方が凹部１０７を設けていない構造よりも高くなっていることが示され、これは流路のシール性向上にもつながる。また、面圧の分布に着目すると、凹部１０７を設けない構造の場合は接触面の外周部に近づくに従って徐々に面圧が大きくなる傾向を持つが、凹部１０７を設けた場合には全体に均一な分布となっている。すなわち、上記の構成によれば、締め付け荷重を面内に効率よく分配することができる。従って、従来よりも締め付け荷重を小さくしても、十分に高いシール性を得ることができる。締め付け荷重を小さくすることで、ロータシール１０４を回転するために必要なモータの出力を減らすことにもつながり、モータの構造の簡素化も期待できる。均一な面圧分布であれば、摩耗量の径方向のばらつきを減らすことも期待できる。これらの効果によって、バルブの製品寿命を延ばすことが可能になる。
【００２４】
図５を用いて、接触面外周部１１７の圧力低減に効果的な凹部１０７の構成の条件について説明する。図５は、本発明の実施の形態に係る凹部の内径と流路、接触面の位置関係を示す図である。導通溝１０３の外径をａ、凹部内径をｂ、接触面１０５の最外周３０３の径をｃとする。このとき、流路である導通溝１０３の外側には液漏れを防ぐために十分な圧力が必要であるため、ａ≦ｂとするのが良い。また、接触面最外周より外側のシールは荷重２０３の原因となるため、ｂ≦ｃとするのが良い。すなわち凹部１０７の内径ｂが、ａ≦ｂ≦ｃを満たすように設定すると、接触面１０５の外周部における面圧を効果的に低減することができる。
【００２５】
ステータ１０２およびロータシール１０４は、バルブの仕様に合わせて自由に選択することが出来る。上記の圧力低減効果は、ステータ１０２およびロータシール１０４の材料の組み合わせに依らない。凹部１０７を形成する際には、ＰＥＥＫ材などの樹脂材料であれば射出成形もしくは成形後に切削加工を行う。ＳＵＳ材等の金属材料の場合は切削加工を用いる。図６は、本発明の実施の形態（実施例１）に係る流路切り替えバルブの構成例（第二の例）を示す。上記の切削加工を行う際には工具を利用するため、本図示す凹部１０７のように、角部には工具に応じた曲線である刃具Ｒ６０１がついても良い。このように、加工に際して、凹部１０７を設ける位置が流路を含む接触面ではないので、高い表面精度を要せず、加工費を抑えることが出来る。
【実施例２】
【００２６】
本実施の形態では、接触面外周部１１７の面圧低減に効果のある流路切り替えバルブの凹部の種々の態様について説明する。
【００２７】
図７−Ａは、本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第３の例）を示す。
【００２８】
図１の流路切り替えバルブ１００のうち、既に説明した図１に示された同一の符号を付された構成と、同一の機能を有する部分については、説明を省略する。凹部１０７の内径を実施例１で説明した条件を満たすように設定した場合、図７−Ａに示すようにロータシール１０４の側面から凹部１０７を形成しても良い。この場合も、少なくとも接触面を含む領域の垂直下方に存在する領域が、その周囲の領域に比べて高い剛性を持つ構造となるため、実施例１と同様の面圧低減効果が得られる。また、この方式ではロータシール１０４がロータ１０９と接触する面に凹部が存在しないため、ロータシール１０４とロータ１０９の接触面積が広くなり、接触安定性が向上する。
【００２９】
図７−Ｂには、図７−Ａのロータシール１０４を上下２つに分割し、その間にシム１１８を挿入した構成例（第４の例）を示す。図７−Ｂに示す構成であれば、分割したそれぞれのロータシールは容易に加工可能であり、また図７−Ａに示す構成と比較してコストを低減できる。さらに、２つのロータシール部材の間に挿入するシム１１８は、ステータ１０２とロータシール１０４の接触面の傾きを低減する。これにより、ステータ１０２とロータシール１０４の接触面に圧縮力が均等に分布して、流路の密閉性を保つ事ができる。
【００３０】
シム１１８は高い圧縮強度をもつＰＥＥＫ等の樹脂材料が好ましい。
【００３１】
図８は、本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第５の例）を示す。本図に示すように、ロータシール１０４の、ステータ１０２との接触面を少なくとも含む領域の垂直下方の部分を残すように、その外周部の領域を取り去ったＴ字形としても良い。切削加工等を行う際、特に金属製のロータシール１０４を用いる場合には、図１や図７の溝形状よりも、本図に示すように外周部を取り去る方が容易である。本構成によれば、ステータ１０２とロータシール１０４との接触面を広く確保できるので、接触面の表面処理がしやすい。
【００３２】
図９は、本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第６の例）を示す。本図に示すように、ロータシール１０４の、ステータ１０２との接触面を少なくとも含む領域の垂直下方の部分を残すように、その外周部の領域を取り去って空間を設けた逆Ｔ字形としてもよい。本構成によれば、ロータシール１０４の下面を広く確保できるので、安定性が高くなる。
【００３３】
図１０は、本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第７の例）を示す。本図に示すように、凹部に段差を設けてもよい。本構成によれば、ステータ１０２とロータシール１０４との接触面の表面処理を容易にし、かつ、接触安定性を高くすることができる。
【００３４】
図１１は、本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第８の例）を示す。本図に示すように、ピン貫通孔１０６の周囲に凸部を設けても良い。ピン貫通孔１０６を通るピンによってロータシール１０４は回転するロータ１０９と接続されるため、バルブの使用環境に応じて凸部による補強を行って良い。
【００３５】
図１２は、本発明の実施の形態（実施例２）に係る流路切り替えバルブの構成例（第９の例）を示す。本図に示すように、ロータシール１０４の内部に空隙１２０１を設けた構造としてもよい。例えば３Ｄプリンタなどの積層造形法を用いることで、本図に示す空隙１２０１を有するシールを製造できる。
【実施例３】
【００３６】
本実施例では、上記の例において形成された凹部１０７の空間に代えて、剛性の異なる領域を設けた流路切り替えバルブの構成について説明する。
【００３７】
図１３は、本発明の実施の形態（実施例３）に係る流路切り替えバルブの構成例（第１０の例）を示す。実施例３における流路切り替えバルブ１００の構成図の一例である。剛性を高めたい領域に、ロータシール１０４の構成材料をより高密度とした高密度領域１３０１を設ける。例えば樹脂製シールの場合、高密度領域１３０１の部分に対しては、他の領域よりも樹脂を高圧力で充填することでこの構成を実現できる。
【００３８】
図１４は、本発明の実施の形態（実施例３）に係る流路切り替えバルブの構成例（第１１の例）を示す。本図に示すように、ロータシール１０４内の空間に異種の材料を埋め込んだ、異種材料埋め込み領域１４０１を設けても良い。例えば、ロータシール１０４を樹脂製として、異種材料埋め込み領域１４０１の材料をＳＵＳとする事で、本領域の剛性を他の領域よりも高くすることができる。異種材料の埋め込み方法としては、種々の手法があるが、例えば、ロータシール１０４に予め凹部を形成しておいて、この部分に異種材料をはめ込む方法が挙げられる。また、予め異種材料としてＳＵＳ等の材料を用意しておき、その周囲に樹脂材料を流し込むことでも製造可能である。
【実施例４】
【００３９】
本実施例では、流路切り替えバルブ１００を用いた液体クロマトグラフ装置の構成について説明する。
【００４０】
図１５は、本発明の実施形態による液体クロマトグラフ装置を示すブロック図である。
【００４１】
移動相１５０１は、ポンプ１５０２により分離カラム１５０４に送液される。分離カラム１５０４は、恒温槽１５０５に配置されている。ポンプ１５０２により送液された移動相流路への試料の導入を行うのが、流路切り替えバルブ１００を含むオートサンプラ１５０３である。流路切り替えバルブ１００によって分離対象である試料は移動相１５０１とともに分離カラム１５０４に流入される。流入した試料と移動相１５０１は、分離カラム１５０４内で成分ごとに脱着を繰り返しながら流出側に移動することにより、試料を構成する化学成分ごとに分離する。
【００４２】
分離カラム１５０４にて分離した各分離成分は、検出器１５０６により検知される。
【００４３】
本実施形態によれば、流路切り替えバルブ１００の接触面下部とその周囲の領域との剛性の違いから、接触面外周部１１７の圧力が低減するため、摩耗粉が流路に混入して試料を誤検知する可能性が低くなる。また、摩耗の現象そのものの発生を低減するため、バルブ交換の寿命を延ばすことができる。このように、検知性能と耐久性に優れた流路切り替えバルブおよび当該バルブを用いた液体クロマトグラフ装置を得ることが出来る。
【００４４】
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換える事が可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をする事が可能である。
【符号の説明】
【００４５】
１００  流路切り替えバルブ
１０１  貫通孔
１０２  ステータ
１０３  導通溝
１０４  シール
１０５  接触面
１０６  ピン貫通孔
１０７  凹部
１０８  ベアリング
１０９  ロータ
１１０  ハウジング
１１１  皿ばね
１１２  皿ばね受け
１１３  軸受
１１４  ワッシャー
１１５  ハウジング
１１６  ナット
１１７  接触面外周部
１１８  シム
２０１  ステータ側から接触面に加わる荷重
２０２  シール側から接触面に加わる荷重
２０３  接触面外周部に加わる荷重
３０１  貫通孔１０１の外周接触部
３０２  凹部外周
３０３  接触面１０５の最外周
３０４  凹部内周
６０１  刃具Ｒ
１２０１  空隙
１３０１  高密度領域
１４０１  異種材料埋め込み領域
１５０１  移動相
１５０２  ポンプ
１５０３  オートサンプラ
１５０４  分離カラム
１５０５  恒温槽
１５０６  検出器
【図１−Ａ】
0005865403.tif 000002
【図１−Ｂ】
0005865403.tif 000003
【図２】
0005865403.tif 000004
【図３】
0005865403.tif 000005
【図４】
0005865403.tif 000006
【図５】
0005865403.tif 000007
【図６】
0005865403.tif 000008
【図７−Ａ】
0005865403.tif 000009
【図７−Ｂ】
0005865403.tif 000010
【図８】
0005865403.tif 000011
【図９】
0005865403.tif 000012
【図１０】
0005865403.tif 000013
【図１１】
0005865403.tif 000014
【図１２】
0005865403.tif 000015
【図１３】
0005865403.tif 000016
【図１４】
0005865403.tif 000017
【図１５】
0005865403.tif 000018
【図１６】
0005865403.tif 000019