(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に延ばされており、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って分割することにより複数の圧電アクチュエータを形成するための積層セラミック構造体であって、
複数のセラミック層が積層されており、直方体状の積層セラミック本体を備え、
前記積層セラミック本体は、上面と、下面と、対向し合う第１，第２の側面と、対向し合う第１，第２の端面とを有し、前記上面、下面及び第１，第２の側面が前記第１の方向に延びており、前記第１，第２の端面が前記第２の方向に延びており、
前記積層セラミック本体の上面に設けられた上面対向電極と、
前記積層セラミック本体の下面に設けられた下面対向電極と、
前記積層セラミック本体内に設けられており、前記上面及び前記下面と平行に配置された内部対向電極と、
前記第１の側面に設けられた第１の側面電極と、
前記第２の側面に設けられた第２の側面電極とをさらに備え、
前記上面対向電極が、前記第１の側面に至るように延ばされて、前記第１の側面電極に電気的に接続されており、前記内部対向電極のうち、最上部に位置する内部対向電極が、前記第２の側面に引き出されて、前記第２の側面電極に電気的に接続されており、
前記上面対向電極、前記内部対向電極及び前記下面対向電極が、前記積層セラミック構造体の上下方向において交互に前記第１の側面電極または前記第２の側面電極に引き出されており、
前記積層セラミック構造体の上下方向において交互に前記第１の側面電極または前記第２の側面電極に引き出されている、前記上面対向電極、前記下面対向電極及び前記内部対向電極が、平面視した際に重なり合う対向部を構成しており、
前記第１の側面電極に接続されている前記上面対向電極において、前記対向部と、前記第１の側面との間の領域の部分に、前記第１の方向に延びるスリットが設けられている、積層セラミック構造体。
【請求項２】
前記上面対向電極、前記内部対向電極及び前記下面対向電極が積層されている対向部において、対向電極間に挟まれたセラミック層が厚み方向において分極されており、かつ分極方向が隣り合うセラミック層において逆方向とされている、請求項１に記載の積層セラミック構造体。
【請求項３】
前記スリットが、前記上面対向電極の前記対向部と前記第１の側面電極との間の領域に位置している部分において、前記上面対向電極の前記第１の方向における両端部に至らないように設けられている、請求項１または２に記載の積層セラミック構造体。
【請求項４】
前記スリットが、前記上面対向電極の前記対向部と前記第１の側面電極との間の領域に位置している部分において、前記上面対向電極の一方側端部には至らず、他方側端部には至っている、請求項１または２に記載の積層セラミック構造体。
【請求項５】
前記上面対向電極が、前記スリットにより、第１の上面対向電極部と、第２の上面対向電極部とに分割されており、
前記スリットが、前記第１の方向に延びるスリット本体部と、前記スリット本体部の前記第１の方向において、一方側の端部から前記積層セラミック本体の前記第１の側面に至るように延ばされている第１のスリット延長部と、前記スリット本体の前記第１の方向において他方端から前記第１の側面電極に至るように延ばされている第２のスリット延長部とを有し、前記スリットが前記第１の上面対向電極部により囲まれており、前記第２の上面対向電極部が、前記スリットにより囲まれており、前記第１の上面対向電極部及び前記第２の上面対向電極部が、前記第１の側面に至るように設けられている、請求項１または２に記載の積層セラミック構造体。
【請求項６】
前記積層セラミック本体の上面において、前記上面対向電極と隔てられて、前記スリット内において前記第１の方向に延びるように設けられた検査用電極をさらに備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載の積層セラミック構造体。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の積層セラミック構造体の製造方法であって、
前記上面対向電極、前記内部対向電極及び前記下面対向電極が設けられている前記積層セラミック本体を用意する工程と、
前記積層セラミック本体の前記第１，第２の側面電極間に異なる電位を印加し、分極する工程とを備える、積層セラミック構造体の製造方法。
【請求項８】
前記上面対向電極と、下面対向電極とを用いて、電気的特性を測定する工程をさらに備える、請求項７に記載の積層セラミック構造体の製造方法。
【請求項９】
前記積層セラミック本体の上面に、前記上面対向電極と隔てられて、前記スリット内において前記第１の方向に延びるように検査用電極を設ける工程をさらに備える、請求項７または８に記載の積層セラミック構造体の製造方法。
【請求項１０】
前記検査用電極と前記上面対向電極との間で短絡の有無を検査する工程をさらに備える、請求項９に記載の積層セラミック構造体の製造方法。
【請求項１１】
前記積層セラミック本体の上面において、前記上面対向電極を形成するにあたり、前記第１の方向に延びるスリット本体と、前記スリット本体の前記第１の方向における一方端から前記第１の側面に延びる第１のスリット延長部と、前記スリット本体の前記第１の方向の他方端から前記積層セラミック本体の前記側面に至る第２のスリット延長部とを有するスリットと、第１の上面対向電極部と、前記スリットに囲まれた第２の上面対向電極部とを設ける、請求項７または８に記載の積層セラミック構造体の製造方法。
【請求項１２】
前記第１の上面対向電極部と前記第２の上面対向電極部との間で短絡の有無を検査する工程をさらに備える、請求項１１に記載の積層セラミック構造体の製造方法。
【請求項１３】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の積層セラミック構造体を用意する工程と、
前記積層セラミック構造体を前記第１の側面と前記第２の側面とを結ぶ前記第２の方向に、かつ前記第１の方向に沿って複数の位置で切断して分割することにより複数の圧電アクチュエータを得る工程とを備える、圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１４】
前記上面対向電極と、下面対向電極とを用いて、電気的特性を測定する工程をさらに備える、請求項１３に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１５】
前記積層セラミック構造体を分割する工程の後に、前記スリットが設けられている部分よりも前記第１の方向外側の部分において前記上面対向電極と下面対向電極とを用いて電気的特性を測定する工程をさらに備える、請求項１４に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１６】
前記積層セラミック本体の上面に、前記上面対向電極と隔てられて、前記スリット内において前記第１の方向に延びるように検査用電極を設ける工程をさらに備える、請求項１３に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１７】
前記検査用電極と前記上面対向電極との間で短絡の有無を検査する工程をさらに備える、請求項１６に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１８】
前記積層セラミック本体の上面において、前記上面対向電極を形成するにあたり、前記第１の方向に延びるスリット本体と、前記スリット本体の前記第１の方向における一方端から前記第１の側面に延びる第１のスリット延長部と、前記スリット本体の前記第１の方向の他方端から前記積層セラミック本体の前記側面に至る第２のスリット延長部とを有するスリットと、第１の上面対向電極部と、前記スリットに囲まれた第２の上面対向電極部とを設ける、請求項１３〜１７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１９】
前記第１の上面対向電極部と前記第２の上面対向電極部との間で短絡の有無を検査する工程をさらに備える、請求項１８に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のセラミック層が積層されている積層セラミック本体を有する積層セラミック構造体及びその製造方法に関し、特に、複数の圧電アクチュエータに分割される積層セラミック構造体及びその製造方法、並びに該圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、積層セラミック本体を用いた圧電アクチュエータが種々提案されている。例えば、下記の特許文献１に記載の圧電アクチュエータでは、圧電セラミックスからなる複数のセラミック層が積層されている。このセラミック層と内部電極とが交互に積層されている活性層が、積層セラミック本体内に配置されている。活性層の積層方向外側に、内部電極を有しない不活性層が積層されている。この圧電アクチュエータでは、活性層が駆動されて屈曲振動する。なお、積層セラミック本体の下面には電極は設けられていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−０２３１８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の圧電アクチュエータでは、屈曲振動により、積層セラミック本体を構成しているセラミックスの脱粒が生じることがあった。脱粒が生じると、粒が周囲の部品等に付着し、悪影響を与えるおそれがあった。【０００５】
他方、特許文献１に記載の圧電アクチュエータや、該圧電アクチュエータを得るためのマザーの積層体段階においては、分極処理や電気的特性検査のための電気的接続を側面を利用して行わねばならなかった。そのため、取り扱いが煩雑であった。さらに、側面を利用して電気的特性を検査した場合には、側面が伸縮する部分にあたるため、測定精度が十分でなかった。【０００６】
本発明の目的は、上記脱粒が生じ難く、かつ分極処理や電気的特性検査を容易に行うことができる、積層セラミック構造体及びその製造方法を提供することにある。【０００７】
本発明の他の目的は、動作時に脱粒が生じ難く、かつ電気的特性検査を容易に行い得る、圧電アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願の第１の発明は、第１の方向に延ばされており、第１の方向と直交する第２の方向に沿って分割することにより複数の圧電アクチュエータを形成するための積層セラミック構造体である。第１の発明に係る積層セラミック構造体は、複数のセラミック層が積層されており、直方体状の積層セラミック本体を備え、前記積層セラミック本体は、上面と、下面と、対向し合う第１，第２の側面と、対向し合う第１，第２の端面とを有し、前記上面、下面及び第１，第２の側面が前記第１の方向に延びており、前記第１，第２の端面が前記第２の方向に延びており、前記積層セラミック本体の上面に設けられた上面対向電極と、前記積層セラミック本体の下面に設けられた下面対向電極と、前記積層セラミック本体内に設けられており、前記上面及び前記下面と平行に配置された内部対向電極と、前記第１の側面に設けられた第１の側面電極と、前記第２の側面に設けられた第２の側面電極とをさらに備え、前記上面対向電極、前記下面対向電極及び前記内部対向電極が、平面視した際に重なり合う対向部を構成しており、前記上面対向電極が、前記第１の側面に至るように延ばされて、前記第１の側面電極に電気的に接続されており、前記内部対向電極のうち、最上部に位置する内部対向電極が、前記第２の側面に引き出されて、前記第２の側面電極に電気的に接続されており、前記上面対向電極、前記内部対向電極及び前記下面対向電極が、前記積層セラミック構造体の上下方向において交互に第１の側面電極または第２の側面電極に引き出されており、前記上面対向電極の前記対向部と、前記第１の側面との間の領域の部分に、前記第１の方向に延びるスリットが設けられている。【０００９】
第１の発明に係る積層セラミック構造体のある特定の局面では、前記上面対向電極、前記内部対向電極及び前記下面対向電極が積層されている対向部において、対向電極間に挟まれたセラミック層が厚み方向において分極されており、かつ分極方向が隣り合うセラミック層において逆方向とされている。【００１０】
第１の発明に係る積層セラミック構造体の他の特定の局面では、前記スリットが、前記上面対向電極の前記対向部と前記第１の側面電極との間の領域に位置している部分において、上面対向電極の第１の方向における両端部に至らないように設けられている。【００１１】
第１の発明に係る積層セラミック構造体の別の特定の局面では、前記スリットが、前記上面対向電極の対向部と前記第１の側面電極との間の領域に位置している部分において、前記上面対向電極の一方側端部には至らず、他方側端部には至っている。【００１２】
第１の発明に係る積層セラミック構造体の他の特定の局面では、前記上面対向電極が、前記スリットにより、第１の上面対向電極部と、第２の上面対向電極部とに分割されており、前記スリットが、前記第１の方向に延びるスリット本体部と、前記スリット本体部の前記第１の方向において、一方側の端部から前記積層セラミック本体の第１の側面に至るように延ばされている第１のスリット延長部と、前記スリット本体の第１の方向において他方端から第１の側面電極に至るように延ばされている第２のスリット延長部とを有し、前記スリットが前記第１の上面対向電極部により囲まれており、前記第２の上面対向電極部が、前記スリットにより囲まれており、前記第１の上面対向電極部及び前記第２の上面対向電極部が、前記第１の側面に至るように設けられている。【００１３】
第１の発明に係る積層セラミック構造体のさらに他の特定の局面では、前記積層セラミック本体の上面において、前記上面対向電極と隔てられて、前記スリット内において前記第１の方向に延びるように設けられた検査用電極がさらに備えられている。【００１４】
本願の第２の発明は、第１の発明に従って構成されている上記積層セラミック構造体の製造方法であり、前記上面対向電極、前記内部対向電極及び前記下面対向電極が設けられている前記積層セラミック本体を用意する工程と、前記積層セラミック本体の前記第１，第２の側面電極間に異なる電位を印加し、分極する工程とを備える。【００１５】
第２の発明に係る積層セラミック構造体の製造方法のある特定の局面では、前記上面対向電極と、下面対向電極とを用いて、電気的特性を測定する工程がさらに備えられている。【００１６】
第２の発明に係る積層セラミック構造体の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記電気的特性を測定した後に、前記積層セラミック本体を前記第１の側面と前記第２の側面とを結ぶ方向に、かつ前記第１の方向に沿って複数の位置で切断して分割する工程がさらに備えられている。【００１７】
第２の発明に係る積層セラミック構造体の製造方法のさらに別の特定の局面では、前記積層セラミック本体を分割する工程の後に、前記スリットが設けられている部分よりも前記第１の方向外側の部分において前記上面対向電極と下面対向電極とを用いて電気的特性を測定する工程がさらに備えられている。【００１８】
第２の発明に係る積層セラミック構造体の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記積層セラミック本体の上面に、前記上面対向電極と隔てられて、前記スリット内において前記第１の方向に延びるように検査用電極を設ける工程がさらに備えられている。【００１９】
第２の発明に係る積層セラミック構造体の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記検査用電極と前記上面対向電極との間で短絡の有無を検査する工程がさらに備えられている。【００２０】
第２の発明に係る積層セラミック構造体の製造方法の別の特定の局面では、前記積層セラミック本体の上面において、前記上面対向電極を形成するにあたり、第１の方向に延びるスリット本体と、前記スリット本体の第１の方向における一方端から第１の側面に延びる第１のスリット延長部と、前記スリット本体の第１の方向の他方端から前記積層セラミック本体の前記側面に至る第２のスリット延長部とを有するスリットと、第１の上面対向電極部と、前記スリットに囲まれた第２の上面対向電極部とを設ける。【００２１】
第２の発明に係る積層セラミック構造体の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記第１の上面対向電極部と前記第２の上面対向電極部との間で短絡の有無を検査する工程がさらに備えられている。【００２２】
本願の第３の発明は、圧電アクチュエータであり、複数のセラミック層が積層されている、直方体状のアクチュエータ本体を備え、前記アクチュエータ本体が、上面と下面と、対向し合う第１，第２の側面と、対向し合う第１，第２の端面とを有し、前記第１，第２の端面を結ぶ方向が第１の方向であり、前記アクチュエータ本体の上面に設けられた上面対向電極と、前記アクチュエータ本体の下面に設けられた下面対向電極と、前記アクチュエータ本体の内部に配置されており、上面及び下面と平行に設けられた内部対向電極と、前記アクチュエータ本体の第１の側面に設けられた第１の側面電極と、前記アクチュエータ本体の第２の側面に設けられた第２の側面電極とをさらに備え、前記上面対向電極、前記内部対向電極及び前記下面対向電極は、平面視した場合に重なり合う対向部を有しており、前記上面対向電極は第１及び第２の側面電極に電気的に接続されていないフロート電極とされており、前記内部対向電極及び下面対向電極が、前記アクチュエータ本体の上下方向において交互に第２の側面または第１の側面に引き出され、第２の側面電極または第１の側面電極に電気的に接続されており、前記内部対向電極及び下面対向電極のうち上下方向において隣り合う対向電極に挟まれたセラミック層が厚み方向に分極されており、かつ厚み方向に隣り合うセラミック層が逆方向に分極されている。【００２３】
本願の第４の発明は、第１の方向に延ばされており、第１の方向と直交する方向に沿って分割することにより複数の圧電アクチュエータを形成するための積層セラミック構造体であって、複数のセラミック層が積層されており、前記第１の方向に延びる第１，第２の側面を有する直方体状の積層セラミック本体を備え、前記積層セラミック本体は、上面と、下面と、対向し合う第１，第２の側面と、対向し合う第１，第２の端面とを有し、前記上面、下面及び第１，第２の側面が前記第１の方向に延びており、前記第１，第２の端面が第２の方向に延びており、前記積層セラミック本体の上面に設けられた上面対向電極と、前記積層セラミック本体の下面に設けられた下面対向電極と、前記積層セラミック本体内に設けられており、前記上面及び前記下面と平行に配置された内部対向電極と、前記第１の側面に設けられた第１の側面電極と、前記第２の側面に設けられた第２の側面電極とをさらに備え、前記上面対向電極、前記下面対向電極及び前記内部対向電極が、平面視した際に重なり合う対向部を構成しており、前記上面対向電極が、前記第１の側面に至るように延ばされて、前記第１の側面電極に電気的に接続されており、前記内部対向電極のうち、最上部に位置する内部対向電極が、前記第１の側面に引き出されて、前記第１の側面電極に電気的に接続されており、前記内部対向電極及び前記下面対向電極が、前記積層セラミック構造体の上下方向において交互に第１の側面電極または第２の側面電極に引き出されている、積層セラミック構造体である。【００２４】
第４の発明に係る積層セラミック構造体のある特定の局面では、前記上面対向電極と、前記最上部の前記内部対向電極との間のセラミック層が分極されておらず、前記最上部の内部対向電極を含む内部対向電極と、前記下面対向電極とが積層されている対向部において、対向電極間に挟まれたセラミック層が厚み方向に分極されており、かつ分極方向が隣り合うセラミック層において逆方向とされている。【００２５】
本願の第５の発明は、複数のセラミック層が積層されている直方体状のアクチュエータ本体を備え、前記アクチュエータ本体が、上面と下面と、対向し合う第１，第２の側面と、対向し合う第１，第２の端面とを有し、前記第１，第２の端面を結ぶ方向が第１の方向であり、前記アクチュエータ本体の上面に設けられた上面対向電極と、前記アクチュエータ本体の下面に設けられた下面対向電極と、前記アクチュエータ本体の内部に配置されており、上面及び下面と平行に設けられた内部対向電極と、前記アクチュエータ本体の第１の側面に設けられた第１の側面電極と、前記アクチュエータ本体の第２の側面に設けられた第２の側面電極とをさらに備え、前記上面対向電極、前記内部対向電極及び前記下面対向電極は、平面視した場合に重なり合う対向部を有しており、前記上面対向電極と最上部に位置している前記内部対向電極との間のセラミック層が分極されておらず、前記最上部に位置している内部対向電極を含む内部対向電極と、前記下面対向電極とが積層されている部分においては、対向電極間に挟まれたセラミック層が厚み方向に分極されており、２以上のセラミック層が対向している場合には厚み方向において隣り合うセラミック層が逆方向に分極されており、前記上面対向電極及び最上部に位置する前記内部対向電極が前記第１の側面電極に引き出されており、前記最上部に位置する内部対向電極を含む内部対向電極及び下面対向電極が積層されている部分においては、アクチュエータ本体の上下方向において内部対向電極及び下面対向電極が交互に第１の側面または第２の側面に引き出され、第１の側面電極または第２の側面電極に電気的に接続されている、圧電アクチュエータである。
【発明の効果】
【００２６】
第１の発明に係る積層セラミック構造体及びその製造方法である第２の発明によれば、脱粒が生じ難く、かつ分極処理や電気的特性検査を容易に行うことを可能とする積層セラミック構造体を提供することができる。【００２７】
また、第３の発明に係る圧電アクチュエータでは、動作時に脱粒が生じ難く、かつ電気的特性検査を容易に行うことができる。【００２８】
第４の発明に係る積層セラミック構造体によれば、動作時に脱粒が生じ難い第５の発明に係る圧電アクチュエータを得るための積層セラミック構造体を得ることができ、かつ分極処理や電気的特性検査を容易に行い得る積層セラミック構造体を提供することができる。【００２９】
第５の発明によれば、動作時に脱粒が生じ難く、電気的特性検査を容易に行い得る圧電アクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る積層セラミック構造体の斜視図である。
【図２】図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う部分の断面図である。
【図３】図３は、図１のＢ−Ｂ線に沿う部分の断面図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施形態において、積層セラミック構造体を第２の方向に沿って分割する工程を説明するための模式的平面図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施形態で得られた圧電アクチュエータを示す斜視図である。
【図６】図６は、本発明の第２の実施形態に係る積層セラミック構造体を示す斜視図である。
【図７】図７は、本発明の第３の実施形態に係る積層セラミック構造体を示す斜視図である。
【図８】図８は、図７のＡ２−Ａ２線に沿う部分の断面図である。
【図９】図９は、図７のＢ２−Ｂ２線に沿う部分の断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の第１の実施形態に係る積層セラミック構造体の第１の変形例を説明するための斜視図である。
【図１１】図１１は、本発明の第１の実施形態に係る積層セラミック構造体の第２の変形例の積層構造を説明するための斜視図である。
【図１２】図１２は、本発明の第１の実施形態の第２の変形例に係る積層セラミック構造体の斜視図である。
【図１３】図１３は、本発明の第４の実施形態に係る積層セラミック構造体の斜視図である。
【図１４】図１４は、図１３のＡ３−Ａ３線に沿う部分の断面図である。
【図１５】図１５は、本発明の第４の実施形態で得られた圧電アクチュエータの斜視図である。
【図１６】図１６は、本発明の第５の実施形態に係る積層セラミック構造体の断面図である。
【図１７】図１７は、本発明の第６の実施形態に係る積層セラミック構造体の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００３２】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る積層セラミック構造体の斜視図である。図２及び３は、それぞれ、図１のＡ−Ａ線及びＢ−Ｂ線に沿う部分の断面図である。
【００３３】
積層セラミック構造体１は、積層セラミック本体２を有する。積層セラミック本体２は、直方体状の形状を有する。より具体的には、積層セラミック本体２は、上面２ａと、下面２ｂと、対向し合う第１，第２の側面２ｃ，２ｄと、対向し合う第１，第２の端面２ｅ，２ｆとを有する。第１の端面２ｅと、第２の端面２ｆとを結ぶ方向を第１の方向とする。すなわち、上面２ａ、下面２ｂ及び第１，第２の側面２ｃ，２ｄは第１の方向に延ばされている。
【００３４】
また、第１の側面２ｃと第２の側面２ｄとを結ぶ方向を、第１の方向と直交する第２の方向とする。
【００３５】
本実施形態の積層セラミック構造体１は、第２の方向と平行な方向に沿って分割することにより複数の圧電アクチュエータを形成するのに用いられる。すなわち、積層セラミック構造体１は、多数の圧電アクチュエータを得るためのマザーの構造体である。
【００３６】
上記積層セラミック本体２では、圧電セラミックスからなる複数のセラミック層が積層されている。これらの複数のセラミック層の積層方向は、上面２ａと下面２ｂとを結ぶ方向である。
【００３７】
積層セラミック本体２の上面２ａには、上面対向電極３が設けられている。図２及び図３に示すように、下面２ｂには下面対向電極４が設けられている。
【００３８】
また、積層セラミック本体２内には、上面２ａ，下面２ｂと平行に複数の内部対向電極５，６が設けられている。
【００３９】
上面対向電極３は、第１の端面２ｅと上面２ａとのなす端縁及び上面２ａと第２の端面２ｆとのなす端縁には至らないように設けられている。すなわち、上面対向電極３の第１の方向外側には、上面対向電極３が設けられていない領域２ａ１，２ａ２が設けられている。
【００４０】
特に図示はしないが、下面２ｂに設けられた下面対向電極４は、領域２ａ１，２ａ２と重なり合う領域には至っていない。
【００４１】
上面対向電極３は、スリット３ａを有する。スリット３ａは、第１の方向に延びる細長い矩形形状を有している。スリット３ａを設けることにより、スリット３ａに、上面２ａの一部が露出していることとなる。
【００４２】
上面対向電極３は、第１の側面２ｃに設けられた第１の側面電極７に接続されている。第１の側面電極７は、第１の側面２ｃを覆っているが、さらに、下面２ｂの一部に至るように設けられている。もっとも、第１の側面電極７は、下面２ｂに至っておらずともよい。
【００４３】
図２及び図３に示すように、第２の側面２ｄには、第２の側面電極８が設けられている。下面対向電極４は、第２の側面電極８に電気的に接続されている。
【００４４】
内部対向電極５は、複数の内部対向電極５，６のうち最上部に位置する内部対向電極である。この内部対向電極５は、第２の側面２ｄに引き出されており、第２の側面電極８に電気的に接続されている。他方、内部対向電極６は、第１の側面２ｃに引き出されており、第１の側面電極７に電気的に接続されている。
【００４５】
上面対向電極３、内部対向電極５、内部対向電極６及び下面対向電極４は、平面視した場合、積層セラミック本体２の第２の方向中央領域において重なり合っている。この重なり合っている部分が、本発明における対向部を構成している。
【００４６】
前述したスリット３ａは、上記対向部と、第１の側面２ｃとの間の領域において、第１の方向に延びるように設けられている。
【００４７】
積層セラミック本体２では、複数のセラミック層２ｇ，２ｈ，２ｉが積層されている。そして、図２及び図３に矢印で示すように、セラミック層２ｇ，２ｈ，２ｉが厚み方向に分極されている。より具体的には、隣り合うセラミック層であるセラミック層２ｇとセラミック層２ｈとは、分極方向が逆方向とされている。同様に、隣り合うセラミック層同士である、セラミック層２ｈとセラミック層２ｉの分極方向も逆方向とされている。言い換えれば、複数のセラミック層２ｇ〜２ｉは、上下方向において交互に逆方向に分極されている。
【００４８】
上記セラミック層２ｇ〜２ｉは、適宜の圧電性セラミックスにより構成することができる。圧電セラミックスとしては、例えば、ＰＺＴ系セラミックスなどを好適に用いることができる。
【００４９】
他方、上面対向電極３、下面対向電極４、内部対向電極５，６及び第１，第２の側面電極７，８などの各種電極は、Ａｇ、Ａｇ−Ｐｄ、Ｐｔなどの適宜の金属もしくは合金により形成することができる。
【００５０】
製造に際しては、圧電セラミックスを主体とするセラミックグリーンシート上に、上記内部対向電極６を印刷する。他方、内部対向電極５が印刷されたセラミックグリーンシート及び上面対向電極３が印刷されたセラミックグリーンシートを別途用意する。これらのセラミックグリーンシートを積層する。しかる後、得られた積層体に、下面対向電極４及び第１，第２の側面電極７，８を形成するために導電ペーストを印刷する。しかる後、積層体を焼成する。
【００５１】
焼成後に、セラミック層２ｇ〜２ｉを分極処理する。このようにして、積層セラミック構造体１を得ることができる。
【００５２】
なお、上面対向電極３、第１，第２の側面電極７，８及び下面対向電極４は、焼結後に導電ペーストを塗布し焼き付けることや、スパッタや蒸着等により形成されてもよい。
【００５３】
上記分極に際しては、上面対向電極３及び下面対向電極４を電源と接続し直流電圧を印加すればよい。従って、分極に際しての電気的接続を容易に行うことができる。
【００５４】
分極時には、積層セラミック構造体１はｄ３１方向に伸縮する。従って、積層セラミック構造体１において反りは生じ難い。
【００５５】
また、上記積層セラミック構造体１の段階で電気的特性を測定してもよい。このような電気的特性の測定に際しても、上面対向電極３及び下面対向電極４を測定装置と電気的に接続すればよい。従って、電気的特性を容易に測定することができる。
【００５６】
また、上面２ａ及び下面２ｂを保持して上記電気的特性を測定することができるので、測定精度も高められる。これは、伸縮方向を拘束せずに電気的特性を測定し得ることによる。
【００５７】
さらに、上記分極処理に際しては、セラミック層２ｇ〜２ｉの全てがｄ３１方向に伸縮する。従って、分極に際して、積層セラミック本体２に反りが生じ難い。
【００５８】
加えて、積層セラミック本体２の上面２ａ及び下面２ｂにおいて少なくとも対向部が上面対向電極３及び下面対向電極４で被覆されている。従って、分極処理時や、上記電気的特性の測定時に脱粒が生じ難い。
【００５９】
上記積層セラミック構造体１を得た後に、本実施形態では、図４に平面図で示すように、積層セラミック構造体１を第２の方向に平行な方向に沿って複数の位置で分割する。すなわち、図４の実線Ｃ，Ｃは、第２の方向に平行に延びる切断線を示す。これらの複数の切断線に沿って積層セラミック構造体１を分割することにより、図５に示す圧電アクチュエータ１１を得ることができる。圧電アクチュエータ１１は、上記スリット３ａが設けられている部分において積層セラミック構造体１から切り出された部分に相当する。なお、積層セラミック本体２を分割した後に、スリット３ａが設けられている部分よりも第１の方向外側の部分において上面対向電極３と下面対向電極４とを用いて電気的特性を測定してもよい。
【００６０】
図５に示すように、圧電アクチュエータ１１では、積層セラミック本体２が分割されて、個々の圧電アクチュエータ１１単位のアクチュエータ本体２Ａが形成されている。アクチュエータ本体２Ａの上面には、上面対向電極３Ａが、下面には下面対向電極４Ａが形成されている。また、アクチュエータ本体２Ａ内には、内部対向電極５Ａ，６Ａが配置されている。さらに、第１，第２の側面電極７Ａ，８Ａが、第１の側面２Ａ１及び第２の側面２Ａ２を覆うように設けられている。
【００６１】
図５から明らかなように、セラミック層２ｇ〜２ｉは図１に示した積層セラミック構造体１の場合と同様に分極処理されているが、セラミック層２ｇには駆動時に電圧は印加されない。上面対向電極３Ａは、第１の側面電極７Ａと分離されている。すなわち、図４のスリット３ａが設けられていた部分において、上面対向電極３Ａが、第１の側面電極７Ａと分離されている。従って、セラミック層２ｇには駆動時に電圧は印加されない。よって、セラミック層２ｇは、不活性層となる。
【００６２】
第１の側面電極７Ａと第２の側面電極８Ａとの間に電圧を印加すると、セラミック層２ｈとセラミック層２ｉとが活性層として駆動され、セラミック層２ｈ，２ｉが伸縮する。上述のように、セラミック層２ｇは不活性層となる。
【００６３】
前述した特許文献１では、積層セラミック本体の上面は電極で覆われていたが、下面には電極が設けられていなかったため、下面側において脱粒が生じやすかった。
【００６４】
これに対して、駆動時に屈曲したとしても、アクチュエータ本体２Ａの上面は上面対向電極３Ａで覆われており、下面も下面対向電極４Ａで覆われている。従って、セラミックスの脱粒が生じ難い。
【００６５】
なお、上記圧電アクチュエータ１１の製造に際しては、好ましくは粘着シート上に、複数の積層セラミック構造体１を張り付けた後に、該粘着シート上において前述したように図４の実線Ｃ，Ｃに沿って積層セラミック構造体１を分割することが望ましい。そして、このように粘着シート上に、分割された複数の圧電アクチュエータ１１が貼付された状態で、圧電アクチュエータ１１を提供することが望ましい。その場合には、上記粘着シートに保持された状態で、分割により得られた個々の圧電アクチュエータ１１の電気的特性検査も、容易に行うことができる。
【００６６】
また、上記圧電アクチュエータ１１では、上記のように駆動時に脱粒が生じ難いだけでなく、電気的特性の測定も、下面対向電極４Ａと、第１の側面電極７Ａとを用いて容易に行うことができる。
【００６７】
図６は、本発明の第２の実施形態に係る積層セラミック構造体の斜視図である。積層セラミック構造体２１では、上面対向電極３のスリット３ａが上面対向電極３の第２の端面２ｆ側の端部において閉じておらず、第２の端面２ｆ側に向かって開いている。このように、スリット３ａは、第２の端面２ｆ側において開いていてもよい。あるいは逆に、スリット３ａは、第２の端面２ｆ側ではなく、第１の端面２ｅ側において開いていてもよい。もっとも、分極を行うためには、上面対向電極３のスリット３ａの両側の部分は電気的に接続されている必要がある。
【００６８】
その他の構成は、積層セラミック構造体２１は積層セラミック構造体１と同様であるため、第１の実施形態と同様の効果を奏する。
【００６９】
図７は、本発明の第３の実施形態に係る積層セラミック構造体の斜視図である。第３の実施形態の積層セラミック構造体３１は、積層セラミック本体３２を有する。積層セラミック本体３２は、直方体状の形状を有する。積層セラミック本体３２は、上面３２ａと、下面３２ｂと、第１の側面３２ｃと、第２の側面３２ｄと、第１の端面３２ｅと第２の端面３２ｆとを有する。なお、図７〜図９では、第１，第２の側面３２ｃ，３２ｄの位置は、図１〜図３に示した第１、第２の側面２ｃ，２ｄと逆の側に位置している。本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、上面対向電極３３が上面３２ａ上に形成されている。また、図８及び図９に示すように、下面３２ｂ上に、下面対向電極３４が設けられている。
【００７０】
上面対向電極３３には、スリット３３ａが設けられている。スリット３３ａはスリット３ａと同様に第１の方向に延ばされている。本実施形態では、スリット３３ａは、第１の方向両端が閉じられているが、前述した第２の実施形態のように、一方端が開いていてもよい。
【００７１】
本実施形態の積層セラミック構造体３１では、積層セラミック本体３２内に、内部対向電極３５が設けられている。内部対向電極３５は、第２の側面３２ｄに引き出されており、第２の側面電極３８に電気的に接続されている。本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、以下の点にある。
【００７２】
図８及び図９に示すように、１層の内部対向電極３５のみが形成されている。そして、上面対向電極３３は第１の側面３２ｃ側に引き出されており、第１の側面３２ｃ上に設けられた第１の側面電極３７に電気的に接続されている。下面対向電極３４も同様に、第１の側面電極３７に電気的にされている。
【００７３】
積層セラミック本体３２は２層のセラミック層３２ｇ，３２ｈを有する。分極に際しては、第１，第２の側面電極３７，３８間に直流電圧を印加する。その結果、積層セラミック本体３２では、セラミック層３２ｇ，３２ｈが厚み方向において互いに逆方向に分極処理されている。この分極方向を図８及び図９に矢印で示す。
【００７４】
本実施形態のように、複数層のセラミック層が積層セラミック本体内に配置されていてもよい。
【００７５】
上記スリット３３ａが設けられている部分において第２の方向に平行な方向に沿って積層セラミック本体３２を切断することにより、第１の実施形態と同様に圧電アクチュエータを得ることができる。この場合、図９から類推されるように、得られた圧電アクチュエータでは、第１，第２の側面電極３７，３８間に電圧を駆動すると、内部対向電極３５と下面対向電極３４との間にのみ、すなわちセラミック層３２ｈのみに電圧が印加されることになる。セラミック層３２ｇは不活性層となる。
【００７６】
本実施形態においても、得られた圧電アクチュエータでは、少なくとも対向部を上面及び下面に投影した領域が、上面対向電極及び下面対向電極で覆われることになる。そのため、駆動に際しての脱粒を効果的に抑制することができる。
【００７７】
また、本実施形態においても、第１及び第２の実施形態と同様に、積層セラミック構造体３１段階での分極処理及び電気的特性検査を容易に行うことができる。加えて、電気的特性の精度を高めることもできる。さらに、積層セラミック構造体３１を分割して得られた圧電アクチュエータにおいても、電気的特性を容易に測定することができる。
【００７８】
第１〜第３の実施形態から明らかなように、上記積層セラミック構造体１，２１，３１では、３層または２層のセラミック層が積層されていたが、セラミック層の積層数は特に限定されず、４層以上の偶数層または５層以上の奇数層であってもよい。
【００７９】
図１３は、本発明の第４の実施形態に係る積層セラミック構造体の斜視図である。
【００８０】
積層セラミック構造体４１は、直方体状の積層セラミック本体４２を有する。積層セラミック本体４２は、上面４２ａ、下面４２ｂ、第１，第２の側面４２ｃ，４２ｄ及び第１，第２の端面４２ｅ，４２ｆを有する。
【００８１】
また、積層セラミック本体４２では、圧電セラミックスからなるセラミック層４２ｇ，４２ｈが積層されている。
【００８２】
上面４２ａ上に、上面対向電極４３が形成されている。上面対向電極４３は、第１の実施形態とは異なり、スリットを有しない。上面対向電極４３は、上面４２ａと第１の側面４２ｃとのなす端縁に引き出されている。上面対向電極４３は、第１の側面電極４７に電気的に接続されている。第１の側面電極４７は、図１３に示すように、第１の側面４２ｃを覆い、かつ下面４２ｂの一部に至るように設けられている。もっとも、下面４２ｂに至らずともよい。
【００８３】
積層セラミック本体４２の下面には、下面対向電極４４が設けられている。下面対向電極４４は、下面４２ｂと第２の側面４２ｄとのなす端縁に至るように設けられている。第２の側面４２ｄ上には、第１の側面電極４８が設けられている。図１４に示すように、第２の側面電極４８に、下面対向電極４４が電気的に接続されている。
【００８４】
積層セラミック本体４２内には内部対向電極４５が設けられている。すなわち、２層のセラミック層４２ｇ，４２ｈ間に、１層の内部対向電極４５が設けられている。
【００８５】
上面対向電極４３、内部対向電極４５及び下面対向電極４４は平面視した際に重なり合う部分、すなわち対向部を形成するように設けられている。
【００８６】
本実施形態の積層セラミック構造体４１では、分極処理に際し、上面対向電極４３と下面対向電極４４との間に直流電圧を印加すればよい。その結果、図１４に矢印で示すように、セラミック層４２ｈが厚み方向に分極される。他方、セラミック層４２ｇは分極されない。
【００８７】
よって、セラミック層４２ｇは、最終的に得られる圧電アクチュエータにおいて駆動されない、不活性層となる。
【００８８】
上記積層セラミック構造体４１においても、上面対向電極４３及び下面対向電極４４を用いて電圧を印加することにより上記分極処理を行い得る。従って、分極が容易である。加えて、電気的特性検査に際しても、上面対向電極４３及び下面対向電極４４を外部と電気的に接続したり、上面及び下面側から保持して電気的特性を測定したりすることができる。従って、電気的特性検査を容易にかつ高精度に行い得る。
【００８９】
上記積層セラミック構造体４１から圧電アクチュエータを得るに際しては、第１の実施形態と同様に、第１の方向と直交する第２の方向と平行な方向に沿って積層セラミック構造体４１を分割すればよい。この場合、上面対向電極４３が設けられている部分から、図１５に示す個々の圧電アクチュエータ４９を得ることができる。
【００９０】
圧電アクチュエータ４９は、積層セラミック本体４２を切断して得られたアクチュエータ本体４２Ａを有する。アクチュエータ本体４２Ａの上面には、上面対向電極４３Ａが形成されており、内部には、内部対向電極４５Ａが形成されている。下面には、下面対向電極４４Ａが位置することとなる。また、第１，第２の側面電極４７Ａ，４８Ａが第１，第２の側面を覆うように位置することとなる。
【００９１】
従って、内部対向電極４５Ａと下面対向電極４４Ａとの間に直流電圧を印加することにより、圧電アクチュエータ４９を駆動することができる。
【００９２】
圧電アクチュエータ４９においても、駆動に際して屈曲振動する対向部の上方の面及び下面が、上面対向電極４３Ａ及び下面対向電極４４Ａで覆われている。従って、脱粒を確実に防止することができる。もっとも、セラミック層４２ｇが不活性層となるため、分極時には、積層セラミック本体４２が反るおそれはある。
【００９３】
なお、本実施形態では、スリットを設ける必要がないため、加工工程の簡略化を図ることができる。
【００９４】
第１〜第３の実施形態では、スリットが設けられている部分よりも第１の方向外側において、上面対向電極が連なっている部分が存在する。上面対向電極において、スリットの両側を接続しているこの部分は、第１〜第３の実施形態では、圧電アクチュエータとして取り出すことができない部分となる。従って、第１〜第３の実施形態では、積層セラミック構造体から取り出される圧電アクチュエータの数が少なくなる。
【００９５】
これに対して、第４の実施形態では、上面対向電極４３の第１の方向全長にわたる部分の全てから、圧電アクチュエータを切り出すことができる。従って、同じ寸法の積層セラミック構造体を用意した場合、第４の実施形態によれば第１〜第３の実施形態よりも多くの数の圧電アクチュエータを取り出すことができる。
【００９６】
図１６は、本発明の第５の実施形態に係る積層セラミック構造体の断面図である。第５の実施形態の積層セラミック構造体５１は、第４の実施形態の積層セラミック構造体４１の変形例に相当する。すなわち、積層セラミック本体５２内に、本実施形態では、３層の内部対向電極５５ａ〜５５ｃが設けられており、それによって４層のセラミック層５２ｇ〜５２ｊが積層されている。セラミック層５２ｈ〜５２ｊが図示の矢印で示すように分極されている。内部対向電極５５ａ，５５ｃが、第１の側面電極４７に電気的に接続されている。中央に位置している内部対向電極５５ｂは第２の側面電極４８に電気的に接続されている。
【００９７】
本実施形態の積層セラミック構造体５１は、積層セラミック本体５２内の構造が第４の実施形態の積層セラミック本体４２と異ならされていることを除いては、第４の実施形態と同様である。従って、他の部分には積層セラミック本体４２と同じ参照番号を付する。このように、積層セラミック本体５２内に、４層のセラミック層５２ｇ〜５２ｊを構成してもよい。この場合においても、最上部のセラミック層５２ｇは分極されず、不活性層となる。
【００９８】
図１０は、図１に示した第１の実施形態に係る積層セラミック構造体の第１の変形例を説明するための斜視図である。図１０に示す変形例に係る積層セラミック構造体８０では、積層セラミック本体２の上面２ａ上に検査用電極８１が設けられている。検査用電極８１は、細長いストリップ状の形状を有する。検査用電極８１は、スリット３ａ内において前述した第１の方向に延ばされている。また、検査用電極８１は、スリット３ａを介して上面対向電極３と隔てられている。
【００９９】
検査用電極８１は、適宜の金属などの導電性材料からなる。好ましくは、上面対向電極３と同じ金属からなることが望ましい。それによって、同一プロセスにより、上面対向電極３と検査用電極８１を形成することができる。
【０１００】
検査用電極８１が設けられていることを除いては、積層セラミック構造体８０は、第１の実施形態に係る積層セラミック構造体１を同様である。従って、同一の参照番号を付することにより同一部分の説明を省略する。
【０１０１】
検査用電極８１が設けられているため、上面対向電極３と、検査用電極８１との間で、短絡の有無を検査することができる。
【０１０２】
第１の実施形態に係る積層セラミック構造体１では、上面対向電極３の膜厚が薄いと、目視により、スリット３ａが確実に形成されているか否かを確認することが困難である。また、この確認を電気的に行うことができない。スリット３ａが正しく形成されないと、スリット３ａの第２の方向両側の上面対向電極部分が短絡するおそれがある。よって、最終的に切り出された圧電アクチュエータが正しく動作しなくなるおそれがある。
【０１０３】
これに対して、検査用電極８１が設けられていると、上面対向電極３と検査用電極８１との間の短絡がないことを検査することができる。それによって、スリット３ａの第２の方向両側の上面対向電極部分の短絡が生じていないことを確実に電気的に確認することができる。
【０１０４】
図１１は、第１の実施形態の第２の変形例の製造工程を説明するための斜視図であり、図１２は、第２の変形例の積層セラミック構造体の斜視図である。
【０１０５】
図１１に示すように、積層セラミック本体２の上面２ａ上において、上面対向電極３として、第１の上面対向電極部３ｘ及び第２の上面対向電極部３ｙを形成する。第１の上面対向電極部３ｘと第２の上面対向電極部３ｙとは、スリット３ａにより隔てられている。スリット３ａは、スリット本体部３ａ１と、第１，第２のスリット延長部３ａ２，３ａ３とを有する。スリット本体部３ａ１は、第１の方向に延ばされている。スリット本体部３ａ１の第１の方向一端側において、第１のスリット延長部３ａ２が連ねられている。第１のスリット延長部３ａ２は、スリット本体部３ａ１の上記一端側から、第１の側面２ｃに至るように設けられている。第２のスリット延長部３ａ３は、スリット本体部３ａ１の第１の方向他端側から第１の側面２ｃに至るように設けられている。
【０１０６】
特に限定されないが、第１，第２のスリット延長部３ａ２，３ａ３は第２の方向に延びている。
【０１０７】
第１の上面対向電極部３ｘは、平面視において、上記スリット３を囲む形状とされている。また、平面視において、上記第２の上面対向電極部３ｙは、上記スリット３に囲まれた形状とされている。第２の上面対向電極部３ｙは、第１の方向に延びるストリップ状の平面形状を有する。また、第２の上面対向電極部３ｙは、側面２ｃと上面２ａとのなす端縁に沿うように設けられている。
【０１０８】
第１の上面対向電極部３ｘは、第１の方向両端から、それぞれ、側面２ｃと上面２ａとのなす端縁に至る延長部３ｘ１，３ｘ２とを有する。
【０１０９】
従って、第１の上面対向電極部３ｘと、第２の上面対向電極部３ｙとは隔てられているが、いずれも側面２ｃと上面２ａとのなす端縁に至るように設けられている。
【０１１０】
しかる後、図１２に示すように、第１の側面電極７ｘを形成する。第１の側面電極７ｘは、第１の側面２ｃを覆うように設けられている。また、第１の側面電極７ｘは、上面２ａと側面２ｃとのなす端縁において、第１，第２の上面対向電極部３ｘ，３ｙに電気的に接続されている。
【０１１１】
図１２に示した第２の変形例に係る積層セラミック構造体８２では、上面対向電極３が上記のように形成されていることを除いては、第１の実施形態の積層セラミック構造体１と同様である。従って、同一部分については、同一の参照番号を付することにより、その説明を省略する。
【０１１２】
第２の変形例では、図１１に示した状態で、すなわち第１の側面電極７ｘの形成前に、第１の上面対向電極部３ｘと、第２の上面対向電極部３ｙとの間で、短絡の有無を電気的に検査すればよい。すなわち、短絡が生じていない場合、スリット３ａのスリット本体部３ａ１の第１の方向両側に位置している第１の上面対向電極部３ｘと上面対向電極部３ｙとの絶縁を確実に確認することができる。
【０１１３】
しかも、図１２に示すように、第１の側面電極７ｘを形成した後には、第１，第２の上面対向電極部３ｘ，３ｙが電気的に接続される。そのため、分極や、特性確認は第１の実施形態と同様に行うことができる。
【０１１４】
図１７は、第６の実施形態に係る積層セラミック構造体の断面図である。第６の実施形態に係る積層セラミック構造体６１は、第４の実施形態の積層セラミック構造体４１の変形例に相当する。ここでは、積層セラミック本体６２が、３層のセラミック層６２ｇ〜６２ｉを上面側から順に配置した構造を有する。そして、２層の内部対向電極６５ａ，６５ｂがセラミック層６２ｈを介して重なり合っている。
【０１１５】
積層セラミック本体６２においては、最上部のセラミック層６２ｇは分極処理されていない。セラミック層６２ｈ，６２ｉが図示の矢印で示すように分極されている。
【０１１６】
その他の構成は、積層セラミック構造体６１は、積層セラミック構造体４１と同様である。従って、他の部分には積層セラミック本体４２と同じ参照番号を付する。本実施形態のように、積層セラミック本体６２内には、奇数層のセラミック層６２ｇ〜６２ｉが積層されていてもよい。
【０１１７】
第５及び第６の実施形態の積層セラミック構造体５１，６１は、その他の点においては、第４の実施形態の積層セラミック構造体４１と同様の構造を有する。従って、第４の実施形態と同様の効果を奏する。
【０１１８】
なお、第４〜第６の実施形態から明らかなように、最上部のセラミック層が不活性層となる構造の積層セラミック構造体においても、セラミック層の積層数は偶数層であってもよく、奇数層であってもよく、その積層数は特に限定されない。
【符号の説明】
【０１１９】
１…積層セラミック構造体
２…積層セラミック本体
２Ａ…アクチュエータ本体
２Ａ１，２Ａ２…第１，第２の側面
２ａ…上面
２ａ１，２ａ２…領域
２ｂ…下面
２ｃ，２ｄ…第１，第２の側面
２ｅ，２ｆ…第１，第２の端面
２ｇ〜２ｉ…セラミック層
３，３Ａ…上面対向電極
３ｘ，３ｙ…上面対向電極部
３ｘ１，３ｘ２…延長部
３ａ…スリット
３ａ１…スリット本体部
３ａ２，３ａ３…スリット延長部
４，４Ａ…下面対向電極
５，５Ａ，６，６Ａ…内部対向電極
７，７Ａ，７ｘ…第１の側面電極
８，８Ａ…第２の側面電極
１１…圧電アクチュエータ
２１，３１…積層セラミック構造体
３２…積層セラミック本体
３２ａ…上面
３２ｂ…下面
３２ｃ，３２ｄ…第１，第２の側面
３２ｅ，３２ｆ…第１，第２の端面
３２ｇ，３２ｈ…セラミック層
３３…上面対向電極
３３ａ…スリット
３４…下面対向電極
３５…内部対向電極
３７，３８…第１，第２の側面電極
４１，５１，６１…積層セラミック構造体
４２，５２，６２…積層セラミック本体
４２Ａ…アクチュエータ本体
４２ａ…上面
４２ｂ…下面
４２ｃ，４２ｄ…第１，第２の側面
４２ｅ，４２ｆ…第１，第２の端面
４２ｇ，４２ｈ，５２ｇ〜５２ｊ，６２ｇ〜６２ｉ…セラミック層
４３，４３Ａ…上面対向電極
４４，４４Ａ…下面対向電極
４５，４５Ａ，５５ａ〜５５ｃ，６５ａ，６５ｂ…内部対向電極
４７，４７Ａ…第１の側面電極
４８，４８Ａ…第２の側面電極
４９…圧電アクチュエータ
８０，８２…積層セラミック構造体
８１…検査用電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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