(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融金属めっき浴に連続的に鋼帯を浸漬し、前記溶融金属めっき浴から引き出された直後の前記鋼帯にガスワイピングノズルから気体を吹きつけてめっき付着量を制御する連続溶融金属めっき方法において、前記ガスワイピングノズル先端と鋼帯との距離Ｄと、前記ガスワイピングノズルギャップＢの比で表されるＤ／Ｂ値に応じて、前記ガスワイピングノズルから噴射されるワイピングガスの温度Ｔを制御する連続溶融金属めっき方法。
【請求項２】
請求項１に記載の連続溶融金属めっき方法において、前記ガスワイピングノズルから噴射されるワイピングガスは不活性ガスである連続溶融金属めっき方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の連続溶融金属めっき方法において、前記溶融金属めっき浴の溶融金属の融点をＴＭとすると、ワイピングガスの温度ＴをＤ／Ｂ値に応じて下記式（１）の範囲で制御する連続溶融金属めっき方法。
【数１】
0006011740.tif 000006
Ｔ：ガスワイピングノズルから噴射されるワイピングガスの温度［℃］
ＴＭ：溶融金属の融点［℃］
Ｄ：鋼帯とガスワイピングノズル先端の距離［ｍ］
Ｂ：ガスワイピングノズルギャップ［ｍ］
ｃ１、ｃ２、ｃ３：定数
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の連続溶融金属めっき方法により製造される、鋼帯表面に、Ａｌ：１．０〜１０質量％、Ｍｇ：０．２〜１．０質量％、Ｎｉ：０．００５〜０．１０質量％を含有し、残部がＺｎ及び不可避的不純物からなるＡｌ−Ｚｎ系めっき層を形成する溶融亜鉛めっき鋼帯の製造方法。
【請求項５】
鋼帯とガスワイピングノズル先端との距離を非接触で測定する距離計と、前記距離計により測定された距離Ｄと、前記ガスワイピングノズルのギャップＢとに基づいて、ガスワイピングノズルから噴射するワイピングガスの目標温度Ｔを算出する制御装置と、ガスワイピングノズルから噴射する気体を前記制御装置により算出された目標温度Ｔまで昇温させる気体加熱装置とを有する連続溶融金属めっき設備。
【請求項６】
前記目標温度Ｔは、前記距離計により測定された距離Ｄと、前記ガスワイピングノズルのギャップＢの比で表されるＤ／Ｂ値に応じて以下の式（１）により算出される請求項５に記載の連続溶融金属めっき設備。
【数１】
0006011740.tif 000007
Ｔ：ガスワイピングノズルから噴射されるワイピングガスの温度［℃］
ＴＭ：溶融金属の融点［℃］
Ｄ：鋼帯とガスワイピングノズル先端の距離［ｍ］
Ｂ：ガスワイピングノズルギャップ［ｍ］
ｃ１、ｃ２、ｃ３：定数
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続溶融金属めっき方法および溶融亜鉛めっき鋼帯ならびに連続溶融金属めっき設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
連続溶融めっきプロセスにおいては、図４に示すように、鋼帯１は、スナウト２内からめっき槽３内の溶融金属４に進入し、シンクロール５により方向転換されてめっき槽３から引き上げられる。次いで、めっき槽３上方に設置されたガスワイピングノズル６により余剰の溶融金属が掻き取られ、所定のめっき付着量に制御されるとともに、鋼帯１の表面に付着した溶融金属が板幅方向および板長手方向で均一化される。ガスワイピングノズル６は、多様な鋼帯幅に対応するため、また、鋼帯引き上げ時の幅方向の位置ズレなどに対応するため、通常、鋼帯幅より長く構成されており、鋼帯１の幅端部より外側まで延びている。【０００３】
このようなガスワイピング方式では、ワイピングガスの吹き付けによる鋼帯の微小振動やめっき層の不規則な湯流れなどのために、めっき表面に波形流紋状の湯ジワ（湯ダレとも呼ばれる）を発生することが多い。このような湯ジワが生じためっき鋼板は、外装板の用途においてめっき表面を塗装下地表面とした場合、塗膜の表面性状、特に平滑性が阻害され、外観の優れた塗装処理に適合すべき外装板に用いることが出来ず、めっき鋼板の歩留まりに大きな影響を及ぼす。【０００４】
上記に対して、溶融金属めっき鋼板の外観不良である湯ジワ欠陥を防止するため、以下のような方法が提案されている。【０００５】
特許文献１に示される方法は、鋼板めっき後の工程である調質圧延を行うに際して、調質圧延ロールの表面性状や圧延条件を変えることで、湯ジワを目立たなくする方法である。特許文献２に示される方法は、鋼板を溶融亜鉛めっき浴中に導入する前に、スキンパスミル及びテンションレベラー等を用いて鋼板表面の粗さをめっき付着量に応じて調整して湯ジワの発生を抑制する方法である。特許文献３に示される方法は、板厚に対して適正なラインスピード、ワイピングノズルの浴面からの高さを設定し、湯ジワの発生を抑制する方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２７２６３号公報
【特許文献２】特開昭５５−２１５６４号公報
【特許文献３】特開平９−４１１１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、本発明者らが検討したところによれば、特許文献１に示された方法では軽微な湯ジワは改善されるが、重度の湯ジワ欠陥に対しては効果が見られなかった。また、特許文献２に示された方法では、溶融亜鉛めっき浴の前工程にスキンパスミル、テンションレベラー等を設置する必要性からコスト的な問題点がある。また、これらを設置した場合も、前処理設備及び焼鈍炉での酸洗及び再結晶化に伴う化学的・物理的変化によって理想とする表面粗度が得られにくく、湯ジワ発生を完全に防止することが困難であると考えられる。さらに、特許文献３に示された方法では、板厚の変化点に対してライン速度やワイピングノズル高さはすぐに追従できないため、湯ジワが発生する鋼板が出来てしまい、歩留まりロスに繋がってしまう。【０００８】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであって、ガスワイピングノズルを用いてめっき付着量の制御を行う連続溶融金属めっき方法において、湯ジワ欠陥の発生を抑え、高品質の溶融金属めっき鋼帯をより低コストで安定して製造することができる連続溶融金属めっき方法および溶融亜鉛めっき鋼帯ならびに連続溶融金属めっき設備を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の要旨は以下のとおりである。
［１］溶融金属めっき浴に連続的に鋼帯を浸漬し、前記溶融金属めっき浴から引き出された直後の前記鋼帯にガスワイピングノズルから気体を吹きつけてめっき付着量を制御する連続溶融金属めっき方法において、前記ガスワイピングノズル先端と鋼帯との距離Ｄと、前記ガスワイピングノズルギャップＢの比で表されるＤ／Ｂ値に応じて、前記ガスワイピングノズルから噴射されるワイピングガスの温度Ｔを制御する連続溶融金属めっき方法。
［２］［１］に記載の連続溶融金属めっき方法において、前記ガスワイピングノズルから噴射されるワイピングガスは不活性ガスである連続溶融金属めっき方法。
［３］［１］または［２］に記載の連続溶融金属めっき方法において、前記溶融金属めっき浴の溶融金属の融点をＴＭとすると、ワイピングガスの温度ＴをＤ／Ｂ値に応じて下記式（１）の範囲で制御する連続溶融金属めっき方法。【００１０】
【数１】
0006011740.tif 000002
【００１１】
Ｔ：ガスワイピングノズルから噴射されるワイピングガスの温度［℃］
ＴＭ：溶融金属の融点［℃］
Ｄ：鋼帯とガスワイピングノズル先端の距離［ｍ］
Ｂ：ガスワイピングノズルギャップ［ｍ］
ｃ１、ｃ２、ｃ３：定数
［４］［１］〜［３］のいずれかに記載の連続溶融金属めっき方法により製造され、鋼帯表面に、Ａｌ：１．０〜１０質量％、Ｍｇ：０．２〜１．０質量％、Ｎｉ：０．００５〜０．１０質量％を含有し、残部がＺｎ及び不可避的不純物からなるＡｌ−Ｚｎ系めっき層を有する溶融亜鉛めっき鋼帯。
［５］鋼帯とガスワイピングノズル先端との距離を非接触で測定する距離計と、前記距離計により測定された距離Ｄと、前記ガスワイピングノズルのギャップＢとに基づいて、ガスワイピングノズルから噴射するワイピングガスの目標温度Ｔを算出する制御装置と、ガスワイピングノズルから噴射する気体を前記制御装置により算出された目標温度Ｔまで昇温させる気体加熱装置とを有する連続溶融金属めっき設備。
［６］前記目標温度Ｔは、前記距離計により測定された距離Ｄと、前記ガスワイピングノズルのギャップＢの比で表されるＤ／Ｂ値に応じて以下の式（１）により算出されることを特徴とする［５］に記載の連続溶融金属めっき設備。【００１２】
【数１】
0006011740.tif 000003
【００１３】
Ｔ：ガスワイピングノズルから噴射されるワイピングガスの温度［℃］
ＴＭ：溶融金属の融点［℃］
Ｄ：鋼帯とガスワイピングノズル先端の距離［ｍ］
Ｂ：ガスワイピングノズルギャップ［ｍ］
ｃ１、ｃ２、ｃ３：定数
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、湯ジワと呼ばれるめっき表面欠陥の発生を抑え、高品質の溶融金属めっき鋼帯をより低コストで安定して製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の一実施形態である連続溶融金属めっき鋼帯の製造設備の概略図である。
【図２】図２は、本発明の一実施形態であるガスワイピングノズルの先端の拡大図である。
【図３】図３は、Ｄ／Ｂ値とワイピングガスの温度Ｔとの関係における、湯ジワ発生の有無を示すグラフである。
【図４】図４は、従来の連続溶融金属めっき鋼帯の製造設備の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明について具体的に説明する。
本発明の連続溶融金属めっき設備は、鋼帯を、溶融金属めっき浴槽内のめっき浴に連続的に浸漬してめっき処理を行った後、めっき浴から引上げ、めっき浴上方に設置したガスワイピングノズルからめっき鋼帯にワイピングガスを吹付けてめっき金属付着量を調整する設備である。そして、本発明の連続溶融金属めっき設備は、溶融金属めっき装置において、鋼帯とガスワイピングノズル先端との距離を非接触で測定する距離計と、前記距離計により測定された距離Ｄと、前記ガスワイピングノズルのギャップＢとに基づいて、ガスワイピングノズルから噴射するワイピングガスの目標温度Ｔを算出する制御装置と、ガスワイピングノズルから噴射する気体を前記制御装置により算出された目標温度Ｔまで昇温させる気体加熱装置とを有することを特徴とする。
【００１７】
図１は、本発明の実施の形態に係る連続溶融金属めっき装置である。図１において、１は鋼帯、２はスナウト、３はめっき槽、４は溶融金属、５はシンクロール、６はガスワイピングノズル、７は距離計、８は制御装置（ＣＵ：Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｕｎｉｔ）、９は気体加熱装置である。矢印は鋼帯１の移動方向を示す。鋼帯１は、スナウト２内からめっき槽３内の溶融金属４に進入し、シンクロール５により方向転換されてめっき槽３から引き上げられる。次いで、めっき槽３上方に設置されたガスワイピングノズル６により余剰の溶融金属が掻き取られ所定の付着量に制御される。
【００１８】
図２はガスワイピングノズル６の先端の拡大図である。本発明では、便宜的に、ガスワイピングノズル６の先端と鋼帯１との距離をＤで表す。また、ガスワイピングノズル６の上ノズル部材を６ａ、ガスワイピングノズルの下ノズル部材を６ｂとするとき、ガスワイピングノズル６のギャップをＢで表す。
【００１９】
距離計７は例えばガスワイピングノズル６の下方に設けられる。距離計７は、ガスワイピングノズル６の先端と鋼帯１との距離Ｄを連続的に測定し、その情報を制御装置８に入力する。制御装置８は、距離計７から送られてくる距離Ｄの測定情報に基づき、気体加熱装置９で加熱するワイピングガスの目標温度を算出する。気体加熱装置９では、制御装置８で算出した目標温度までワイピングガスを昇温させ、昇温したワイピングガスをガスワイピングノズル６に供給する機能を有する。なお、距離計７については、非接触の形式であればよい。制御装置８の形式は特に限定されない。気体加熱装置９についても形式は特に限定されず、ガスワイピングノズル６と鋼帯１との距離Ｄに合わせて遅滞無くワイピングガスを昇温する機能を有していればよい。また、気体加熱装置９における、ガスワイピングノズル６に供給するワイピングガスの昇温方法についても、特に限定されない。例えば、熱交換器で加熱昇温して供給する方法、焼鈍炉の燃焼排ガスと空気を混合する方法が挙げられる。
【００２０】
本発明では、ガスワイピングノズル６の先端と鋼帯１との距離Ｄと、ガスワイピングノズル６のギャップＢの比で表されるＤ／Ｂ値に応じて、ガスワイピングノズル６から噴射されるワイピングガスの温度Ｔを制御することを特徴とする。Ｄ／Ｂ値に応じてワイピングガスの温度Ｔを制御することにより、溶融金属の流動性が向上する。その結果、溶融金属が規則的に流下するため、湯ジワ欠陥を防止する効果を十分に発揮することができる。
【００２１】
本発明では、ガスワイピングノズル６から噴射されるワイピングガスは、不活性ガスであることが好ましい。不活性ガスにすることで、鋼板表面上の溶融金属の酸化を防止できるため、溶融金属の流動性をさらに向上させることができる。不活性ガスとしては、窒素、アルゴン、ヘリウム、二酸化炭素等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００２２】
ワイピングガス温度が低すぎると、溶融金属の流動性低下による湯ジワ欠陥が起きてしまう。また、ワイピングガスの温度が高すぎると合金化が促進され、鋼板の外観が悪化してしまう。このため、Ｄ／Ｂの値に応じて最適なワイピングガスの温度Ｔを選定する必要がある。そこで本発明では、湯ジワ欠陥の発生しない外観が良好な製品を得るためのＤ／Ｂ値とワイピングガスの温度Ｔとの関係について求めた。溶融亜鉛めっき浴の温度は４６０℃、ライン速度は１００ｍ／ｍｉｎ、ノズルヘッダの圧力は３０ｋＰａ、ガス種は空気として、板厚１．２ｍｍ×板幅１０００ｍｍの鋼帯を連続溶融金属めっき設備に通板させた。その結果、図３に示すような関係が得られた。なお、図３において、湯ジワの発生状況に関する判定基準は下記の基準により行った。Ｗａは、ＪＩＳ  Ｂ０６０１−２００１の規格に基づいて測定した算術平均うねりＷａ［μm］の値である。
×：不合格＝目視で大きな湯ジワが確認できる亜鉛めっき鋼板（１．５０＜Ｗａ）
△：不合格＝目視で小さな湯ジワが確認できる亜鉛めっき鋼板（１．００＜Ｗａ≦１．５０）
○：合格＝目視で湯ジワが確認できない美麗な亜鉛めっき鋼板（０．５０＜Ｗａ≦１．００）
図３の結果より、ワイピングガスの温度ＴをＤ／Ｂ値に応じて下記式（１）で示される範囲内で制御することが好ましい。
【００２３】
【数１】
0006011740.tif 000004
【００２４】
Ｔ：ガスワイピングノズルから噴射されるワイピングガスの温度［℃］
ＴＭ：溶融金属の融点［℃］
Ｄ：鋼帯とガスワイピングノズル先端の距離［ｍ］
Ｂ：ガスワイピングノズルギャップ［ｍ］
ｃ１、ｃ２、ｃ３：定数
なお、式（１）中の定数ｃ１、ｃ２、ｃ３はワイピングノズルギャップＢの大きさやノズル形状によって変化するため、事前にオフラインで求める必要がある。具体的には、鋼帯に見立てた板表面に温度計をセットし、その温度計の値を「ワイピングガスが鋼帯と衝突する衝突位置でのワイピングガスの温度」とする。D/Bの値を何条件か変更して、上記温度を測定し、c1〜ｃ3の値を求める。
さらに、Ｄ／Ｂ値が６０超えではワイピングガスの掻き落とし力がほとんどないため、ワイピングガスを加熱する意味がない。このため、Ｄ／Ｂ値の上限は、６０以下とすることが好ましい。
【００２５】
また、本発明では、ワイピングガスが鋼帯と衝突する衝突位置でのワイピングガスの温度を溶融金属の融点ＴＭの上下２００℃（（ＴＭ±１００）℃）以内に制御することが好ましい。ワイピングガスが鋼帯と衝突する衝突位置でのワイピングガスの温度を（ＴＭ−１００）℃未満にすると、鋼板に付着している溶融金属の凝固割合が非常に高くなり、溶融金属の流動性が低下するため、湯ジワ欠陥が発生してしまう。なお、例えば、熱交換器を使用する際には、加熱側である気体や液体の温度を変更することで、被加熱側であるワイピングガスの温度を制御することができる。しかしながら、上記の制御方法に限定されない。
【００２６】
一方で、ワイピングガスが鋼帯と衝突する衝突位置でのワイピングガスの温度を（ＴＭ＋１００）℃超えにすると、鋼帯と溶融金属の合金化を促進してしまい、鋼板の外観が悪化するのに加えて、狙いのめっき付着量よりも増加してしまう。さらに、気体の加熱に余分なエネルギーが消費されるため、エネルギー効率も悪化してしまう。また、非特許文献１（鉄と鋼  Ｖｏｌ．８１  （１９９５）  Ｎｏ．２、Ｐ４９）のＦｉｇ．５に示されているように、ワイピングガスのポテンシャルコアはＤ／Ｂ値に比例して減衰することが知られているため、Ｄ／Ｂ値に応じて適切なガス温度を設定する必要がある。
【００２７】
なお、溶融金属めっき（めっき層）の成分が変わると融点が変化するため、ワイピングガス温度Tの最適範囲は変化する。
【００２８】
また、鋼帯表面に、Ａｌ：１．０〜１０質量％、Ｍｇ：０．２〜１．０質量％、Ｎｉ：０．００５〜０．１０質量％を含有し、残部がＺｎ及び不可避的不純物からなるＡｌ−Ｚｎ系めっき層を有する溶融亜鉛めっき鋼帯の場合、ＡｌやＺｎよりも酸化しやすいＭｇが入っているため、ワイピングガス温度が低い場合、特に溶融金属の流動性が悪化して湯ジワが発生しやすくなることが確認されている。その結果、表面外観が悪くなる。そのため、本発明のガスワイピング方法を用いて製造した溶融亜鉛めっき鋼帯であって、鋼帯表面に、Ａｌ：１．０〜１０質量％、Ｍｇ：０．２〜１．０質量％、Ｎｉ：０．００５〜０．１０質量％を含有し、残部がＺｎ及び不可避的不純物からなるＡｌ−Ｚｎ系めっき層を有する溶融亜鉛めっき鋼帯の場合、ワイピングガス温度を最適化することにより湯ジワ欠陥を防止する効果がより顕著に表れる。
【実施例１】
【００２９】
ガスワイピングノズルの最適な設置条件、実施形態を調査するため、溶融亜鉛めっき鋼帯の製造試験を行った。ガスワイピングノズルは、ノズルギャップＢ＝１．２ｍｍを備えるものを使用した。溶融亜鉛めっき浴面からガスワイピングノズル高さを３５０ｍｍとし、ワイピングガスの噴射方向は鋼帯面に垂直とした。具体的には、板厚１．２ｍｍ×板幅１０００ｍｍの鋼帯を、ライン速度１００ｍ／ｍｉｎで通板し、めっき層の組成、ガスワイピングノズル先端と鋼帯間の距離Ｄ、ガスワイピングノズルから噴射するガス圧力（ノズルヘッダ圧力）、ガス設定温度、ガス種、めっき付着量を変化させ、鋼板の外観を評価した。溶融亜鉛めっき浴温度は４６０℃とした。なお、事前のオフラインテストで式（１）中の定数をそれぞれ求めたところ、ｃ１＝４５、ｃ２＝１．５、ｃ３＝２．５であった。
また、ガスワイピングノズルへのガス供給方法として、常温のガスを熱交換器で所定温度まで加熱し、ブロアで所定圧力に加圧したものを供給する方法を採用した。なお、溶融金属の融点（ＴＭ）はＡｌ=0.2質量％の場合はＴＭ=420℃、Ａｌ=4.5質量％、Ｍｇ=0.5質量％、Ｎｉ=0.05質量％の場合はＴＭ=375℃である。【００３０】
鋼板の外観評価については、以下の基準で合否を判断した。なお、Ｗａは、ＪＩＳ  Ｂ０６０１−２００１の規格に基づいて測定した算術平均うねりＷａ［μｍ］の値である。
×：不合格＝目視で大きな湯ジワが確認できる亜鉛めっき鋼板（１．５０＜Ｗａ）
△：不合格＝目視で小さな湯ジワが確認できる亜鉛めっき鋼板（１．００＜Ｗａ≦１．５０）
○：合格＝目視で湯ジワが確認できない美麗な亜鉛めっき鋼板（０．５０＜Ｗａ≦１．００）
◎：合格＝目視で湯ジワが確認できない非常に美麗な亜鉛めっき鋼板（０＜Ｗａ≦０．５０）
結果を表１に示す。【００３１】
【表１】
0006011740.tif 000005
【００３２】
発明例１は、Ｄ／Ｂ値に応じた最適なガス温度でワイピングすることにより、湯ジワ欠陥を防止できている。湯ジワ欠陥を防止できた理由としては、Ｄ／Ｂ値に応じた最適なガス温度でワイピングを行ったのに加え、ワイピングガスが鋼帯と衝突する衝突位置でのワイピングガスの温度が（ＴＭ−１００）℃以上になることで、噴出ガスによる冷却効果を阻害し、鋼板に付着した溶融亜鉛が比較的凝固せず、規則的に流下できたためと考えられる。【００３３】
また、発明例２では、Ｄ／Ｂを変更し、その値に応じた最適なワイピングガスの温度Ｔでワイピングしており、発明例１と同じく湯ジワ欠陥を防止できている。発明例３〜８に各Ｄ／Ｂ値に対して、ワイピング温度を変更した際の結果を示している。【００３４】
一方、比較例１及び比較例２では、Ｄ／Ｂ値から導出される最適ガス温度範囲を外れた場合の実施例を示している。比較例１で付着量が増加する原因として、Ｄ／Ｂ値に応じた最適ガス温度範囲を外れた温度でワイピングを行ったのに加え、ノズルから噴出されたワイピングガスが周囲の気体と混合され、鋼帯衝突位置でのワイピングガスの温度が（ＴＭ−１００）℃を下回ったためと考えられる。比較例２では、発明例１よりも更に高いワイピングガスの温度に昇温しており、付着量は増加している。これはワイピングガス温度が高すぎるため、鋼帯表層の亜鉛めっきの合金化が促進されたためと考えられる。なおかつ、合金化の促進により、鋼板表面が白っぽく変色して外観も悪化してしまった。その他のワイピング条件での結果は、比較例３〜１１に示す。【００３５】
また、発明例１０及び比較例１２ではめっき層の組成を変更した実施例を示している。溶融亜鉛の成分を変更したことで亜鉛浴の融点が３７５℃に低下したため、ワイピングガスの最適温度範囲も変化している。比較例１２では比較例１よりも、より大きな湯ジワの発生が確認できた。これは、めっき層成分中のＭｇが酸化しやすいため、湯ジワが発生しやすくなったと考えられる。発明例１０では、ワイピングガスの温度Ｔを制御することで、発明例１と同じく湯ジワ欠陥を防止することができた。【００３６】
さらに、発明例９及び発明例１０では、ガス種を不活性ガスである窒素にしたため、発明例１と比べてより良好な外観を得られている。【００３７】
以上より、適切なワイピングガスの温度でワイピングすることにより、湯ジワ欠陥防止効果が得られる。
【符号の説明】
【００３８】
１    鋼帯
２    スナウト
３    めっき槽
４    溶融金属
５    シンクロール
６    ガスワイピングノズル
６ａ  ガスワイピングノズルの上ノズル部材
６ｂ  ガスワイピングノズルの下ノズル部材
７    距離計
８    制御装置（ＣＵ）
９    気体加熱装置
【図１】
0006011740.tif 000008
【図２】
0006011740.tif 000009
【図３】
0006011740.tif 000010
【図４】
0006011740.tif 000011