(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両用支承組付体を製造する方法であって、
前記支承組付体は、第１支承要素（１２）と、前記第１支承要素（１２）のチャンネルに沿った動き方向（ｒ）に可動な第２支承要素（１６）とを有し、
前記第１支承要素（１２）は当初、前記動き方向（ｒ）に対して垂直な隙間方向（ｐ）に前記チャンネルの幅に対応する隙間を有して前記第２支承要素（１６）を受容し、並びに、その後前記第１支承要素（１２）及び／又は前記第２支承要素（１６）が、前記第１支承要素（１２）及び前記第２支承要素（１６）が前記隙間方向（ｐ）に隙間なく互いに支承し合うまで、スタンピング方向（ｘ）の作用を受けることにより塑性変形を受け、
前記第２支承要素（１６）が前記第１支承要素（１２）によって受容された後であって前記塑性変形の前に、前記第１支承要素（１２）は、隙間の減少を伴う弾性変形を受け、
前記第１支承要素（１２）は、前記塑性変形の後に前記弾性変形から戻り、その結果、前記第１支承要素（１２）と前記第２支承要素（１６）との間に所定の隙間嵌めがもたらされ、
前記弾性変形を目的として、前記第１支承要素（１２）は、凹面状に湾曲する支持体（Ｈ）上に載置され、及び、スタンプ（Ｓ）によって、前記動き方向（ｒ）に対してかつ前記隙間方向（ｐ）に対して垂直に配向されたスタンピング方向（ｘ）の作用を受ける方法。
【請求項２】
前記支持体（Ｈ）上に載置された前記第１支承要素（１２）は当初、間をおいて及び／又は直線状に前記支持体（Ｈ）に支承され、並びに前記スタンプ（Ｓ）による作用を受けて前記支持体（Ｈ）に対してぴったり接するように支承される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記スタンプ（Ｓ）は、前記第１支承要素（１２）の前記弾性変形の後に前記塑性変形を行う、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記スタンプ（Ｓ）が、前記第１支承要素（１２）及び／又は前記第２支承要素（１６）の複数の変位箇所（１４ｄ）における材料を変位させることにより、前記変位箇所（１４ｄ）に隣接する複数の突起（１４ｐ）が前記隙間方向（ｐ）又は対向方向に形成される、請求項３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１のプリアンブルの特徴を有する支承組付体を製造する方法、及び同方法により製造された支承組付体を有する車両シート用継手に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば支承組付体において、締まり嵌めをもたらすには、小さな製造公差を維持しなければならないため、コストがかかる。したがって、複雑な製造方法のみが使用されるか又は公差群への分類及び振り分けが行われる必要がある。これは、高い物流及び製造コストにつながる。公差群を特定的に作ることができない場合、必ずしも振り分けができるとは限らないので、廃棄しなければならない余剰部品が製造される結果となる。締まり嵌めを有する支承組付体又はさらなるサブ組付体を製造する方法であって、個々のコンポーネントが大きな公差により製造可能であり、かつ、大きな公差がすべて補償されるステップを含む方法が望まれている。
【０００３】
導入で述べたタイプの方法により製造される支承組付体は、特許文献１に開示されている。当該方法によれば、複数の材料抜き部によって囲まれた開口が第１支承要素に設けられる。材料抜き部と開口との間に変形領域が配置される。第２支承要素がピンとして構成され、その動く方向は、周方向に延びる。第１支承要素はその開口を介して第２支承要素を受容する。当初は大きな程度の隙間が、径方向に画定される隙間方向に存在する。その後、変形領域が塑性変形される結果、隙間方向に突起が形成され、最終的には、当該突起が、隙間を全く有さずに第２支承要素を支承する。しかしながら、隙間がないので、２つの支承要素が互いにつかえて動かなくなる危険性が存在する。
【０００４】
特許文献２は、第１支承要素の開口に当初突起が製造され、その後当該突起の弾性変形によって第２支承要素が第１支承要素の開口に挿入される支承組付体を開示する。弾性変形の程度によっては、動きの自由が一定程度欠如する危険性が存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】独国特許出願公開第１０３  ２９  ２３７（Ａ１）号明細書
【特許文献２】独国実用新案第２０  ２０１０  ０１５  １７１（Ｕ１）号明細書
【発明の概要】
【０００６】
本発明の目的は、支承組付体を製造するための導入で述べたタイプの方法を改善すること、及び同方法により製造された支承組付体を有する継手を与えることにある。この目的は、本発明によれば、請求項１の特徴を有する方法及び請求項７の特徴を有する継手によって達成される。有利な実施形態が従属項の主題を形成する。
【０００７】
第１支承要素の弾性変形が、第２支承要素を受容する第１支承要素の幾何学的配列を一時的に変える。幾何学的配列が一時的に変わることにより、支承組付体の隙間がこの時点で塑性変形によって排除される。すなわち、支承要素が隙間なしに互いに支承し合う。したがって、幾何学的配列が一時的に変わることは反転可能とすることができる。すなわち、当該弾性変形は、支承組付体の所定の隙間嵌めをもたらすべく反転させることができる。この隙間嵌めの隙間の程度は、好ましくは０．０２から０．１０ｍｍであって、弾性変形の程度に依存するが、最小（かつゼロではない）となるように選択することができる。０．５ｍｍの撓みによる弾性変形では、例えば０．０５ｍｍの隙間がもたらされる。支承要素の異なる（製造）公差が塑性変形によって補償される結果、当該支承要素の本来の公差とは（実質的に）無関係に最小の隙間が画定される。
【０００８】
公差群への分類及び振り分けがなくて済む。コストのかかる製造方法がなくて済む。その結果、製造の全体的なコスト効率が向上する。
【０００９】
好ましくは、不均一な支持体、特に凹面又は凸面支持体によって弾性変形が達成される。支持体上には第１支承要素が、当初は間をおいて及び／又は直線状に支承されるがその後、例えばスタンプ又は異なるタイプの突き当てによって、すなわち第１支承要素の対応する撓みによって、当該支持体に対してぴったり接して支承されるようになる。当該突き当てが中断されると、第１支承要素はその本来の形状まで戻る。ただし、塑性変形は除く。
【００１０】
塑性変形は、例えば変位箇所においてスタンプにより材料が変位されて突起の形成が引き起こされることによって、好ましくは支承要素の支承表面に沿っての例えばかしめによって行われる。第２支承要素はその後、第１支承要素の突起を支承する（又は逆もまた同様である）。
【００１１】
本発明に係る方法により製造された支承組付体は、例えば車両シートにおいて使用される継手の（一体的）コンポーネントであり、例えば、バックレストを異なる傾斜の使用位置にもたらし又はバックレストを非使用位置まで枢動させる。支承組付体は、互いに対して回転可能な複数の継手部品、又はかんぬき及び当該かんぬきを案内する継手部品に関する。かかる継手は、バックレスト以外の、車両シートの異なる位置において使用され、及び支承組付体は、車両シートの又は車両の異なる位置で使用される。本発明に係る方法により、所定の隙間を有するさらなる締まり嵌めをもたらすこともできる。
【００１２】
以下、図面に示される一例の実施形態を参照して本発明が詳細に説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】弾性変形前の支承組付体の概略的な断面を示す。
【図２】弾性変形中の図１に対応する図を示す。
【図３】塑性変形中の図１及び２に対応する図を示す。
【図４】弾性変形の反転後の図１〜３に対応する図を示す。
【図５】継手の分解図を示す。
【図６】図７のＶＩ−ＶＩ線に沿った継手の径方向断面を示す。
【図７】継手の軸方向断面を示す。
【図８】車両シートの概略図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
自動車用車両シート１は、シート部品３と、当該シート部品３に対して傾斜を調整することができるバックレスト４とを有する。バックレスト４の傾斜を調整するべく、伝動ロッド７が手動で、例えばハンドレバー５によって回転する。当該伝動ロッドは、シート部品３とバックレスト４との遷移領域において水平方向に配列される。車両シート１の両側部において、伝動ロッド７が、回転不能な（又は所定の自由進行と連動するべく結合される）接続により継手１０と係合する。
【００１５】
継手１０は第１継手部品１１及び第２継手部品１２を有する。これらは、軸Ａまわりに互いに回転し合うことができる。この例の（仮想）軸Ａは、伝動ロッド７と整合し、かつ、使用される円筒座標系の方向情報を画定する。２つの継手部品１１及び１２は、いずれの例でも、近似的に円板形状として表すことができる。継手部品１１及び１２は双方とも、少なくとも複数の領域が硬化され得る金属、特に鋼からなることが好ましい。軸方向に作用する力を吸収するべく、すなわち継手部品１１及び１２を一緒に軸方向に保持するべく、クランプリング１３が設けられる。クランプリング１３は、好ましくは未硬化の金属、特に鋼からなることが好ましい。クランプリング１３は、実質的に平坦な環状の形が好ましいが、代替的な実施形態では、円筒部分を有しかつ平坦な環状部分の前面を有するＬ字形状の外形であってもよい。
【００１６】
クランプリング１３は、２つの継手部品１１及び１２の一方に、この例では外側環状部分である第２継手部品１２に、例えばレーザ溶接によって又は周知のさらなる締結方法によって固定的に接続される。クランプリング１３は、軸方向に垂直な平面内に配列される内側環状部分によって第１継手部品１１を取り囲む。オプションとして、径方向外側周縁領域に、２つの継手部品１１及び１２の相対的な動きを妨げることのない滑りリングが介在される。加えて、２つの継手部品１１及び１２の互いに向かい合う内側表面が、異物及び汚れの侵入並びに破損から保護される。
【００１７】
クランプリング１３及びこれに固定的に接続された継手部品１１又は１２は、２つの継手部品１１及び１２の相対的に可動な他方をクランプする。したがって、構造的には、２つの継手部品１１及び１２は（クランプリング１３とともに）一緒になって円板形状のユニットを形成する。
【００１８】
継手１０を取り付ける場合、第１継手部品１１は、バックレスト４の構造物に対して、例えば固定的に接続される。すなわち、バックレストに固定される。そして第２継手部品１２は、シート部品３の構造物に対して固定的に接続される。すなわち、シート部品に固定される。しかしながら、継手部品１１及び１２の割り当ては互換可能である。すなわち、その場合、第１継手部品１１がシート部品に固定され、かつ、第２継手部品１２がバックレストに固定される。継手１０は、バックレスト４とシート部品３との間の力の束の中に配置される。
【００１９】
継手１０は、第１継手部品１１及び第２継手部品１２を一緒にロックすることができるラッチ継手として構成される。これは、例えば独国実用新案第２０  ２００９  ０１６  ９８９（Ｕ１）号明細書に開示されている。その関連する開示内容は、本発明に明示的に組み入れられる。
【００２０】
第２継手部品１２は、この例では４つ存在する案内セグメント１４を有する。これらは、いずれの場合も、側方に対となる直線状の案内表面によって、かんぬき１６を径方向に案内する。この例では４つ存在するかんぬき１６は、２つの継手部品１１と１２との間の設置空間において、この例では相対的に９０°だけ互いにずれて配列される。複数のかんぬき１６は、径方向外側端に歯が設けられる。この歯は、第１継手部品１１の、リングギアとして構成された歯付きリング１７に係合する（落ち込む）ようになる。歯付きリング１７及びかんぬき１６が協働すると継手１０がロックされる。
【００２１】
第１継手部品１１は、第２継手部品１２の抜き部に配列され、かつ、径方向外周がこれによって取り囲まれる。その結果、２つの継手部品１１及び１２は互いに支承し合う。この例では、第１継手部品１１の径方向外側周縁領域には、案内セグメント１４と第２継手部品１２の径方向外側周縁領域（第１継手部品１１を支承するべく機能する）との間において歯付きリング１７が配列される。例えば衝突事象のような高負荷の例では、第１継手部品１１は、変形後その歯付きリング１７により、負荷方向において近くに位置する案内セグメント１４を支承する。当該案内セグメントは、歯付きリング１７の方を向いた対応する（同心の）湾曲表面を有する。これにより、継手１０の強度が増大する。
【００２２】
第１継手部品１１は、第２継手部品１２に取り付けることができる。しかしながら、この関係は正確に反転させることができる。すなわち、第２継手部品１２は、第１継手部品１１に取り付けることができる。ただし、原則的には、これらの配列は双方とも等価である。
【００２３】
例えば可塑性材料から作られた駆動要素２１が、継手１０の中心に配列される。当該駆動要素は、２つの継手部品１１及び１２の少なくとも一方、この例では第１継手部品１１、さらに具体的にはその中心開口に回転可能に取り付けられる。車両シートの両側部において、駆動要素２１が回転不能に接続され、又は、中空駆動要素２１の穴２３に挿入される伝動ロッド７との連動を目的として少なくとも結合される。駆動要素２１の一端、この例では第２継手部品１２の当該端には、締結リング２４が設けられる。当該締結リングは、この例では可塑性材料からなり、かつ、好ましくは駆動要素２１に対して超音波溶接によって締結される。締結リング２４には、ハンドレバー５が回転不能にクリップ留めで固定される。
【００２４】
偏心器２７が回転不能に配置され、又は駆動要素２１との連動を目的として少なくとも結合される。当該偏心器は、継手部品１１と１２との間の設置空間に配列される。例えば一つの又は一緒に入れ子とされた２つのコイルばねのようなばね装置３５が、２つの継手部品１１及び１２の一方、この例では第２継手部品１２の中心受容器において、この例では外側が支持されて配列される。ばね装置３５は、この例では駆動要素２１の内側に回転不能に配置されることによって偏心器２７に作用する。かかるばね装置３５は、例えば、すでに前述した独国実用新案第２０  ２００９  ０１６  ９８９（Ｕ１）号明細書に、又は独国特許第１０  ２００５  ０４６  ８０７（Ｂ３）号明細書に開示されている。これらの関連する開示内容は、本発明に明示的に組み入れられる。ばね装置３５による作用を受ける偏心器２７は、径方向に可動なかんぬき１６に作用し、かつ、当該かんぬきに突き当たる。その結果、これらが径方向外側に押し出されて歯付きリング１７に係合する。これにより、継手１０がロックされる。
【００２５】
制御円板３６が、かんぬき１６と第１継手部品１１との間の設置空間において軸方向に配列され、かつ、この例では偏心器２７に回転不能に配置される。この例では４つの制御円板３６は、いずれの例でも各かんぬき１６のラグ３８と協働する軌道を制御する。ラグ３８は、この例では当該ラグに割り当てられたかんぬき１６から軸方向に突出する。駆動要素２１の（いくつかの角度だけの）及びこれにより駆動される偏心器２７と制御円板３６との回転に伴い、制御円板３６は、ばね装置３５の力に対抗してかんぬき１６を径方向内側に、すなわち歯付きリング１７から外れるように引っ張る。これにより継手１０がロック解除され、２つの継手部品１１及び１２が互いに対して軸Ａまわりに回転することができる。このときバックレスト４は、その傾斜を調整するべく、すなわち異なる使用位置を採用するべく、軸Ａまわりに回転可能となる。
【００２６】
２ドア自動車では、バックレスト４を自由枢動させることにより、後部シート列へのアクセスを容易にすることが意図される。これを目的として、ロック解除されたバックレスト４は前に枢動され、使用位置から、シートの使用に適さない自由枢動位置に至る。完全な自由枢動の間にハンドレバー５又はさらなる作動要素を保持する必要がなく、かつ、いずれの例でも継手が自由枢動位置においてロックされるのであれば、ユーザの快適性は増す。これを目的として、環状の自由枢動制御要素４５が、継手１０において軸Ａまわりの制御円板３６と第１継手部品１１との間にオプションとして設けられる。これは、例えば独国特許第１０  ２００６  ０１５  ５６０（Ｂ３）号明細書に開示されている。その関連する開示内容は、本発明に明示的に組み入れられる。
【００２７】
第２継手部品１２及びかんぬき１６が、車両シート１の支承組付体を画定する。これにより、第２継手部品１２に対するかんぬき１６の、対応する動き方向ｒへの所望の動きが許容される。第２継手部品１２は、その案内セグメント１４とともに第１支承要素を形成する。かんぬき１６は、いずれの例でも、第１支承要素に対して可動な第２支承要素を形成する。
【００２８】
かんぬき１６が所望の態様で可動となり、かつ、複数の案内セグメント１４間でつかえることがないように、所定の隙間嵌めが必要となる。すなわち、かんぬき１６の動き方向ｒに対して垂直な、隙間方向ｐの最小の隙間が必要となる。かんぬき幅ｂは、動き方向ｒに対して垂直な、すなわち隙間方向ｐの、一つの（又はいずれかの）かんぬき１６の寸法である。２つの案内セグメント１４間では、かんぬき１６を受容するチャンネルが、当該案内セグメント１４の互いに向かい合うエッジによって画定されてかんぬき１６を案内し、かつ、隙間方向ｐには当該エッジ間の空間として画定される本来のチャンネル幅ｃ１を有する。所望の定められた隙間を達成するべく、本来のチャンネル幅ｃ１は、かんぬき幅ｂよりもほんのわずか大きい。すなわち公差とは無関係である。先行技術であれば、このためには極めて正確なコンポーネント公差が、又は公差群への分類及び振り分けが必要とされる。
【００２９】
本発明によれば、個々の部品が、大きな公差を有して製造され、かつ、所望の隙間嵌めが継手１０の組み付け時に調整される。この例では、第２継手部品１２は案内セグメント１４によって、公差を有する本来のチャンネル幅ｃ１が、公差を有するかんぬき幅ｂよりもかなり大きくなるように製造される。
【００３０】
第２継手部品１２の軸方向外側を向く前面が、凹面支持体Ｈ上に載置される。支持体Ｈは、４つのかんぬき１６からは球面状に湾曲され、かつ、２つのかんぬき１６からは円筒状に湾曲される。支持体Ｈの曲率中心点が、スタンピング方向ｘに配置される。スタンピング方向ｘは、この例では、第２継手部品１２に対して固定され、かつ、動き方向ｒ及び隙間方向ｐに対して垂直に配向された軸方向に一致する。第２継手部品１２は、平坦な前面を有するので、間をおいて及び／又は直線状に、すなわちエッジ上で支持体Ｈに支承される。他方、中心では支持体Ｈから離間される。かんぬき１６は、第２継手部品１２の位置決めの前又は後に、複数の案内セグメント１４間において（チャンネル内に向かって）支持体Ｈ上に載置される。かんぬき１６と第２継手部品１２の複数の案内セグメント１４との間には、大きな未定の隙間（ｃ−ｂ）が存在する。
【００３１】
その後、スタンピング方向ｘに動くことができるスタンプＳが、継手部品１２の前面に軸方向内側を向いて、詳しくは案内セグメント１４に適用される。スタンピング方向ｘに適用されたスタンプＳは、所定の力分布で第２継手部品１２に作用する。スタンプＳの作用により、第２継手部品１２は弾性変形し、かつ、支持体Ｈに対してぴったり接して、換言すれば表面接触で支承される。すなわち、第２継手部品１２は弾性的に撓む。本来のチャンネル幅ｃ１は、複数の案内セグメント１４のエッジが互いに近づくにつれて減少する。対応して、かんぬき１６と第２継手部品１２の複数の案内セグメント１４との間の隙間が減少する。
【００３２】
同スタンプＳ（又は代替的にさらなるスタンプ）の力が増大すると、今度は、第２継手部品１２の案内セグメント１４及びかんぬき１６が隙間なしで（圧力嵌めで）互いに支承し合うまで、案内セグメント１４は局所的に、すなわちエッジにおいて塑性変形する。これを目的として、第２継手部品１２上にスタンピング方向ｘに作用するスタンプＳは、案内セグメント１４の材料を、少なくとも近似的に隙間方向ｐに、ひいては対応するかんぬき１６の動き方向ｒに対して垂直に、すなわちこの例では径方向に対する接線方向に変位させる。好ましくは、いずれの例でも、各案内セグメント１４のかんぬき１６に面する各エッジ沿いの２つの変位箇所１４ｄにおいて、すなわち、この例では、第２継手部品１２の合計１６の変位箇所１４ｄにおいて、局所的な突き当て及び局所的な塑性変形が生じる。隙間方向ｐの（又は対向方向の）方を向く突起１４ｐが、各変位箇所１４ｄに隣接して形成される。突起はかんぬき１６を支承する。形成された突起１４ｐが、チャンネルの形状を変え、かつ、今や実効的なチャンネル幅ｃ２を画定する。実効的なチャンネル幅ｃ２は、塑性変形によってかんぬき幅ｂまで減少する。局所的な塑性変形の程度は、本来的に製造された公差に左右される。
【００３３】
スタンプＳが再び動いてスタンピング方向ｘの反対方向に戻ると、すなわち、第２継手部品１２への作用が中断されると、継手部品１２の弾性変形が反転する。すなわち、第２継手部品１２が、支持体Ｈに対してぴったり接する支承から解放される。その結果、当該前面は再び平坦となる。案内セグメント１４の塑性変形は変位箇所１４ｄ及び突起１４ｐにおいて維持されるが、実効的なチャンネル幅ｃ２は、弾性変形の反転に応じてかんぬき幅ｂよりも増大する。すなわち、突起１４ｐが動いて再びかんぬき１６から離れる結果、隙間ｃ２−ｂを有する所定の隙間嵌めが所望どおりにもたらされる。実効的なチャンネル幅ｃ２が最終的な値にまで増大する程度は、支持体Ｈの幾何学的配列に左右され、かつ、本来の製造公差とは実質的に無関係である。
【００３４】
第２継手部品１２の案内セグメント１４の塑性変形の代わりに（又は累積して）、かんぬき１６も塑性変形することができる。
【００３５】
本発明に係る方法は、各かんぬき１６に対して別個に及び連続して、又はすべてのかんぬき１６に対して同時に若しくは互いに対向する一対のかんぬき１６に対して同時に及び当該対に対して連続して行うことができる。所定の隙間嵌めが２つの対向するかんぬき１６にのみ形成される一方で、他のかんぬき１６を、例えば独国特許出願公開第１０２  ５３  ０５４（Ａ１）号明細書に開示されるようなターゲットを絞った態様で傾動可能とするべく、さらに緩い嵌めとすることもできる。これを目的として、例えば２つのみの突起１４ｐが形成される。突起は、互いに径方向内側に又は対角線上に対向するように配列される。
【００３６】
本発明により製造された支承組付体は、２つの継手部品１１及び１２間に支承要素として形成することもできる。この場合、動き方向ｒは周方向となる。この支承組付体を製造するべく、第１継手部品１１が凸面支持体上に載置され又は第２継手部品１２が凹面支持体上に載置され、弾性変形を受ける。その結果、第１継手部品１１の外側寸法が増大し、又は第１継手部品１１を受容するべく設けられた第２継手部品１２の抜き部の内側寸法が減少する。対応する他方の継手部品１２又は１１が、弾性変形の前又は後に位置決めされる。弾性変形の前に、隙間方向に又は対向方向に複数の突起が形成された複数の変位箇所で塑性変形が生じる。その後、弾性変形が反転されることにより、所定の隙間がもたらされる。
【００３７】
図示しない一代替変形例では、案内セグメント１４をスタンピングするべく、高度にくぼんだ凹面が使用される。案内セグメント１４の限られた弾性により、当該案内セグメントは、成形後にその初期状態になるが、特に平坦になるが、これは、当該材料の戻り挙動に起因するものではない。所望の平坦性、特に成形工程前の平坦性を達成するべく、当該成形工程前に追加的な較正工程が必要となる。この工程のステップは、スタンピングツールに統合されるのが好ましい。
【００３８】
代替的な変形例では（図示せず）、案内セグメント１４をスタンピングするべく、他の継手部品１２又は１１が使用される代わりに、充填片が使用される。対応する形状に応じ、実効的なチャンネル幅ｃ２の程度を、スタンピング工程後の充填片によって可変的に調整することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１  車両シート
３  シート部品
４  バックレスト
５  ハンドレバー
７  伝動ロッド
１０  継手
１１  第１継手部品
１２  第２継手部品、第１支承要素
１３  クランプリング
１４  案内セグメント
１４ｄ  変位箇所
１４ｐ  突起
１６  かんぬき、第２支承要素
１７  歯付きリング
２１  駆動要素
２３  穴
２４  締結リング
２７  偏心器
３５  ばね装置
３６  制御円板
３８  ラグ
４５  自由枢動制御要素
Ａ  軸
ｂ  かんぬき幅
ｃ１  本来のチャンネル幅
ｃ２  実効的なチャンネル幅
Ｈ  支持体
ｐ  隙間方向
ｒ  動き方向
Ｓ  スタンプ
ｘ  スタンピング方向
【図１】
0005911957.tif 000002
【図２】
0005911957.tif 000003
【図３】
0005911957.tif 000004
【図４】
0005911957.tif 000005
【図５】
0005911957.tif 000006
【図６】
0005911957.tif 000007
【図７】
0005911957.tif 000008
【図８】
0005911957.tif 000009