(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送容器本体と搬送容器扉を有する搬送容器であって、環状シール部材であって、その断面がシート状物を基本とし、その両端部に壁部がそれぞれ同方向に設けられ、シート状の両面にそれぞれ膨出部を設けてなるものである環状シール部材を、該搬送容器扉に設けた溝内に設置することにより、搬送容器本体と搬送容器扉の密着連結により密閉可能なシール構造を構成する搬送容器。
（但し、該環状シール部材が、ウエハーキャリアの蓋部材に装着されて前記蓋部材と箱部材との間をシールするガスケットであって、前記箱部材に接離自在に当接する第一シール部と、前記蓋部材のガスケット装着溝にシール対象物が侵入するのを防ぐ第二シール部とを有し、かつ、該ガスケットにおいて、第一シール部は、箱部材に接離自在に密接するリップタイプシールであり、第二シール部は、ガスケット装着溝の両側において蓋部材に弾性的に密接するリップタイプシールであることを特徴とするガスケット、である場合を除く。）
【請求項２】
搬送容器本体と搬送容器扉を磁力により固定する請求項１記載の搬送容器。
【請求項３】
該環状シール部材のシート状の両面に設けられた膨出部のうちの壁部が設けられた方向への膨出部は、他面に設けられた膨出部より高いものである請求項１又は２記載の搬送容器。
【請求項４】
搬送容器本体と搬送容器扉を有する搬送容器に使用され、搬送容器又は搬送容器扉に設けた溝に設けるための環状シール部材であって、その断面がシート状物を基本とし、その両端部に壁部がそれぞれ同方向に設けられ、シート状の両面にそれぞれ膨出部を設けてなるものである環状シール部材。
【請求項５】
該環状シール部材のシート状の両面に設けられた膨出部のうちの壁部が設けられた方向への膨出部は、他面に設けられた膨出部より高いものである請求項４記載の環状シール部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送容器及び搬送容器扉のシール部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
容器には、搬送の容易さを確保するために、軽さと小ささ、及びメカニズムのシンプルさが要請される。この要請に叶うためには、容器開閉方法、特に、容器扉を開く際の扉の収納方法に工夫を要する。具体的には、前室との連結時に、物容器の扉をウエハ容器内に収納する方式は、扉の収納スペースが必要となることから、この要請に反してしまうことに留意しなければならない。このことから、ウエハ容器の扉は、前室内へ収納されるのが妥当な連結構造であるということになる。HP社は、この点を考慮した連結方法について、一つの特許（特許文献１）を取得している。
【０００３】
この特許では、３つのサブシステム：(1)前室、(2)ウエハ搬送容器、(3)前室内のウエハ転送メカがあること、そして、「２つの扉を合体して、清浄な内部空間へ移動する。」ことを主な特徴としている。特許名である、"Standard Mechanical InterFace: SMIF(スミフ)"は、その後、この方式の名称となった。２つの扉を合体するのは、以下の理由による。２つの扉が微粒子を含む外界に接する外側の面には、それぞれ微粒子が付着してくる。それを合体することで、それらの微粒子を両扉の間に閉じこめて、前室内部へ収納し、微粒子の局所クリーン環境への拡散を防ぐことができる。
【０００４】
またこれらの容器には、外気と遮断するためのシール部材を使用することが必要であるが、ガスケットや、断面が円であるＯリングを使用するに留まっていた。このようなシール部材を使用すると、単純な構造にもかかわらず、容器の開閉時に該シール部材がシール部材を収納する溝との間でパーティクルを発生するし、シール部材がシールする相手方との間での相互作用によってパーティクルを発生することがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２１２６４４号公報
【特許文献２】特開２０１０−１０２５９号公報
【特許文献３】特開２００６−２２８８０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体ウエハ等用の搬送容器として、外気との連通を防止することを前提として、搬送容器の蓋を開閉する際に、シール部材の構造を検討してシール部材及び蓋や本体からパーティクルが発生することを防止することを課題とする。
さらに、半導体等の製造において、ウエハ等を各プロセス装置間で移動させる際に、移動中に容器内部にパーティクル等が入ることを防止すると共に、各製造装置と容器とをドッキングし、内部のウエハ等を受け渡す際に容器内部の各部品が擦られることによるパーティクルの発生を防止することを課題とする。  
【課題を解決するための手段】
【０００７】
１．搬送容器本体と搬送容器扉を有する搬送容器であって、環状シール部材であって、その断面がシート状物を基本とし、その両端部に壁部がそれぞれ同方向に設けられ、シート状の両面にそれぞれ膨出部を設けてなるものである環状シール部材を、該搬送容器扉に設けた溝内に設置することにより、搬送容器本体と搬送容器扉の密着連結により密閉可能なシール構造を構成する搬送容器。
２．搬送容器本体と搬送容器扉を磁力により固定する１記載の搬送容器。
３．該環状シール部材のシート状の両面に設けられた膨出部のうちの壁部が設けられた方向への膨出部は、他面に設けられた膨出部より高いものである１又は２記載の搬送容器。
４．搬送容器本体と搬送容器扉を有する搬送容器に使用され、搬送容器又は搬送容器扉に設けた溝に設けるための環状シール部材であって、その断面がシート状物を基本とし、その両端部に壁部がそれぞれ同方向に設けられ、シート状の両面にそれぞれ膨出部を設けてなるものである環状シール部材。
５．該環状シール部材のシート状の両面に設けられた膨出部のうちの壁部が設けられた方向への膨出部は、他面に設けられた膨出部より高いものである４記載の搬送容器。
【発明の効果】
【０００８】
ウエハ等の搬送容器を確実に密閉することができると共に、蓋を開閉する際に容器の蓋や本体、さらにはシール部材からパーティクルが発生することを防止する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】搬送容器と装置の前室との接続の模式図（ａ）（ｂ）
【図２】本発明の搬送容器と装置の連結システムの模式図
【図３】搬送容器
【図４】容器本体
【図５】搬送容器の断面図
【図６】容器本体の断面図
【図７】本発明のシール部材上面図
【図８】本発明のシール部材断面図
【図９】本発明のシール部材の断面説明図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
搬送容器と装置の間で被搬送物である内容物を出し入れする際に、搬送容器内部と装置内部を個別に外界と遮断可能にするため、搬送容器と装置の両方に扉を設ける必要があることは明らかである。
本発明の搬送容器は、専ら搬送容器と装置本体を気密に連結し、これらの間で内容物を移動させるための容器である。その際に必要な扉は最低２つである。一つは容器の扉であり、もう一つは、装置本体の扉である。これらの２つの扉は、搬送容器と装置が気密に連結した時だけ連結室を形成できるような形状を有する。元々その連結室の内面は２つの扉の外面であるから、外部空間にさらされることで汚染された可能性がある表面である。    従って、連結室を形成して連結室内部の清浄化機構を具備する場合には、さらに清浄性を確保でき、搬送容器内部、装置内部及び連結室からなる内部空間と外部との分離を実現できる。
【００１１】
本発明の搬送容器は、従来の局所クリーン化生産システムの不完全な内外遮断性能を解決する。本発明においては、装置と搬送容器の連結時に、外部から密閉遮断される連結室を形成させる。そのために、以下のシール部材を採用する。
具体的には、本発明においては特に断面形状が特別なシール部材を採用する。
【００１２】
まず、搬送容器は、搬送容器本体と搬送容器扉の密着連結により密閉可能な本発明の第１番目のシール構造（シール１）を有する。
搬送容器と装置の連結に使用する機構としてはラッチ等の公知の手段を採用することができ、少なくとも以下に示す第２及び３のシール構造を必要とする。
装置は、装置本体と装置扉の密着連結により密閉可能な第２番目のシール構造（シール２）を有する。最後に、搬送容器本体と装置本体は、両者の密閉連結により密閉可能な第３番目のシール構造（シール３）を有する。搬送容器と装置が連結する際には、最初の２つのシールに加えて、３番目のシールが成立するので、これらの３つのシールにより、分割されない１つの密閉化された連結室が形成される。
【００１３】
装置と搬送容器の合体時に形成される連結室を形成する壁は、搬送容器本体、搬送容器扉、装置本体、装置扉のそれぞれの一部分で構成されている。装置と搬送容器が合体していない状態においては、その連結室の内部壁になる部分の表面は、外部空間に接しており、外部空間の汚染物質やガス分子が付着して汚染されている。これらの外部空間へさらされた表面は、合体時において連結室の内部壁を形成しても、依然として汚染されている。この連結室内部壁の付着汚染は、連結室に設けられている清浄気体導入用ポートから、清浄気体を噴出することで、壁に付着した微粒子をその気体の風力によって表面から脱離させ、排気用ポートから排出することができる。また、清浄気体の導入により、化学的に表面に吸着しているガス分子も、清浄気体と置換することで、表面から脱離させることができる。
【００１４】
重要なことは、清浄気体の導入によって排除出来ない固着物質や強い結合力で表面に残存する分子類は、搬送容器と装置を一体化するため、搬送容器扉と装置扉を開けた後も、表面から離脱することはないので、無視できることである。さらに、合体時に搬送容器と装置が物理的に接触することで、摩擦などにより、発生する微粒子とガス分子も、２つの扉を開ける前に、清浄気体の導入によって、連結室から排除できる。このように、シール３の形成によって発生する連結室内の汚染は、本方法によって排除可能である。
また、連結室内の雰囲気を装置内部の雰囲気と同じ雰囲気に制御すると、搬送容器扉と装置扉を開ける前後において、装置内の雰囲気の組成が変化することがない。
【００１５】
連結室を清浄気体によって清浄化した後、シール１とシール２を解放する、すなわち、搬送容器扉と装置扉を装置内部に向けて開けることで、搬送容器と装置内の空間が一体化し、物体の両者間の搬送が可能になる。シール１とシール２のシールを物理的に引き離す際に、これらのシール部や２つの扉それぞれが搬送容器や装置の部材と面していた箇所から、多少の微粒子やガス分子が発生する可能性がある。これらの発生した汚染物が、搬送容器内と装置内へ侵入すると、搬送する物体の汚染の原因になる。従って、このシール部で発生した汚染物は、連結室側へ移動するような工夫が必要である。汚染物質の連結室内への移動は、連結室の圧力を搬送容器内部及び装置内部の両方の圧力よりも低く設定することで可能になる。物質は圧力の低い方へ流れるからである。連結室へ吸引された汚染物質は、排気孔から外部へ排出される。このような連結部分で発生した汚染物質の排除は、連結室を設けることで初めて可能になる。
ただし、連結室の気圧が、搬送容器内部又は装置内部の気圧に対してある程度の気圧差を有する場合には、その圧力差に抗して搬送容器扉や装置扉を開けることが困難になる可能性がある。
【００１６】
以上の構造と操作から明らかなように、一時的に形成する連結室は真空排気が可能である。従って、装置本体や搬送容器内部が真空圧の場合でも、連結室を真空にすることで、扉の両側の圧力差がほとんど無い状態で開くことができる。一般に、真空装置では、真空装置本体の真空を大気に戻す時間とそれにより生ずる汚染を避けるため、真空装置本体は常に真空に保持する場合が多い。そのため、通常は真空装置に前室を設ける。この前室が大気と真空を行き来する。このため、この前室をair-lock室と呼ぶ場合がある。本発明では、連結室がこのair-lock室の役割を果たすために、つまり大気と真空を行き来するために、従来型の固定された前室は不要となる。通常、前室自体が扉や搬送メカニズムを持つため、前室の体積は、比較的大きなものとなっている。このため、前室を排気するにも相当の時間を要する。一方、本発明では、連結室は、容器と装置の合体時にできるわずかな小空間で済むため、連結室自体の連結時の清浄化には、それほど時間がかからないし、それに要する装置は小規模なもので済む。ただし、本発明においても、前室を設けることを排除するものではない。
【００１７】
微粒子による製造物への汚染が問題となる場合においては、とりわけ、連結室の清浄化操作が必要である。一方、微粒子汚染が問題とならず、ガス分子汚染が問題となる場合においては、その汚染の影響が比較的重大でないときに、連結室のガス導入とガス排気ポートは省略できる可能性がある。連結室の容積は従来の前室と比較して極めて小さなものであるから、その内部の汚染物質の絶対量も少なく、それが搬送容器と製造装置の容積内に拡散して希薄化されると、たとえば４桁以上濃度が低下する。この希薄汚染濃度で問題のない用途では、連結室の清浄化のための真空化、あるいは清浄気体を導入するためのポートを設置する等を行う必要がない。
【００１８】
次に搬送容器の開閉方法について述べる。
搬送容器の扉は装置との合体の後に装置内部に開かれる構造を有することができる。仮に、容器扉が容器の外へ合体前に開く方法では、容器内部が外部にさらされないよう、もう一つ扉が必要になってしまうので、省スペースとメカニズムの効率の点で、不利である。容器の内部へ搬送容器の扉が格納される方法では、奥方向へ引き込まれると、それだけ搬送容器の扉の移動に使う容積が増えてしまい、搬送する容器が大型化して望ましくない。従って、搬送容器の扉は装置内部へ格納される。
【００１９】
搬送容器の扉の格納構造においては、扉に蝶番をつけて開閉する、住居用ドアに採用される方式をとる可能性がある。しかし、蝶番の摺動部から大量の微粒子が発生するのでこれも適切な方法ではない。本発明では、搬送容器扉は、装置本体へ分離格納されるものであることが好ましい。搬送容器扉と搬送容器本体を密閉しているシール１は、搬送容器扉と搬送容器本体の間に位置する。具体的には搬送容器扉の搬送容器本体の接する面に溝を設け、その溝内にシール部材を設けてもよく、逆に搬送容器本体の搬送容器扉に接する面に溝を設け、該溝にシール部材を設けも良い。いずれの場合においても、搬送容器扉が装置本体へ垂直に格納移動されると、シールに対して横ずれがないため、扉と本体の擦れは最小限に留まる。
【００２０】
容器扉は、装置扉に具備される扉のフック機構等によって開閉される。
本発明では、搬送容器本体と搬送容器扉に磁性体（少なくとも一方が磁石）を設けて、この磁性体間の引力によって搬送容器扉と搬送容器を閉じても良い。また、装置扉に磁石を組み込み、その磁気力によって搬送容器扉を装置扉に吸引することで、搬送容器扉を開くようにしても良い。このときには、作用する磁気力を調整するために、場合により電磁石や磁性体等を密着させないことが必要である。
【００２１】
[搬送容器]
本発明における搬送容器は、外気に直接触れることにより汚染や反応等の何らかの支障を生じる物を搬送するための密閉容器である。この「物」としては、半導体用基板、センサ用基板、微生物、培地、遺伝子、不安定な化合物、酸化されやすい金属、有害物質等、化合物や菌等による汚染を避けるべき物質、拡散を防止すべき物質、反応性が高い物質等、各種用途に使用され、現在において、クリーンルームやグローブボックス等の装置内にて取り扱うべきものが広く対象となる。中でも広く使用される用途としては加工途中のハーフインチから４５０ｍｍ等の大口径に至る各種口径の半導体ウエハ、半導体チップの搬送等である。
【００２２】
このような搬送される物の特性に応じて、搬送容器の本体と扉の材料や特性を選択することができ、例えば、ポリ（メタ）アクリレート、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、石英、ガラス等の耐湿性及び寸法安定性に優れた材料を使用することが好ましい。搬送容器扉の開閉が上記のように磁力による場合には、少なくともこれら材料による搬送容器本体の扉と密閉する箇所に磁性体及び磁石を有する部材を配置することが可能である。
【００２３】
もちろん、搬送容器の大きさは搬送されるものの大きさに関連して決定され、また１つの搬送容器に複数の物を収納するための複数の室を設けることも可能である。例えば、１つの搬送容器の表裏面にそれぞれ１つずつの扉を設け、その内部に独立した室を設けることや、円盤状の搬送容器の表面に複数の扉を互いに隣接させて設けて、各扉には対応する室を設けること等が可能である。
【００２４】
搬送容器が搬送されている途中等、搬送容器が単独で容器として使用されているときに、不用意に扉が開かないように扉をロックするための機構を備えること、及びそのロックは搬送容器と装置が密着連結したときに自動的に解除されるような機構も設けることが利用性の点から好ましい。
【００２５】
搬送容器内に収納された物が不用意に移動すると、搬送容器の扉を開けて装置内に導入することが困難になり、収納されている物自体が破損する可能性が高くなるので、搬送容器内においては、収納された物を固定するための押圧部材等の何らかの手段を設けることが必要である。
【００２６】
[搬送容器と装置のインターフェイス]
搬送容器の扉側の面が装置扉に接続されるが、ここで搬送容器の扉が装置扉に対してずれることなく高精度に位置決めされることが必要である。この点は、搬送容器を手動で装置扉に接続する場合であっても、あるいは搬送装置にて搬送し接続する場合であっても同じである。
しかも、搬送容器と装置扉との間で摺擦する部分があれば、その部分からはパーティクルを発生することになり、その後、装置内を汚染し搬送容器内の物品を汚染することになりかねない。このため、搬送容器の扉側には特定の構造を持たせる必要がある。
【００２７】
まず、搬送容器の扉は、搬送容器本体に埋め込まれるようにして設置される。そして搬送容器本体の扉側の面の周縁部には搬送容器側面にかけての傾斜部を設ける。この傾斜部は装置本体のポートの周縁部に、ポート中心部に向けて設けられた傾斜部と一致するようにされている。
さらに搬送容器の扉の周囲の搬送容器本体部には、複数の突起部を設けてなり、該突起部は装置本体のポートに設けられた凹部に嵌合するようにされている。
搬送容器の扉の外面には３つの先端が半球状の突起として設けられ、この突起に対応して装置扉表面には３つのＶ字状の溝が放射状に設けられている。
【００２８】
このような構造の搬送容器本体、搬送容器扉、装置本体及び装置扉を使用して以下の通りに搬送容器は装置扉に高精度に接続される。
まず、装置本体に接近してきた搬送容器は、上記の搬送容器本体の扉側の面の周縁部に設けた傾斜部を装置本体のポートの周縁部に設けた傾斜部に合わせるようにして挿入され始める。途中まで挿入されて、搬送容器は装置本体に対して多少の遊びがある程度に位置決めされる。
【００２９】
次いで、上記の搬送容器の扉の周囲の搬送容器本体部に設けた複数の突起部が、対応する該装置本体のポートに設けられた凹部に嵌合する。この際に上記の多少の遊びは削減されて、搬送容器の垂直軸に対する回転が抑制される。
【００３０】
その状態でさらに搬送容器本体が装置扉に接近すると、搬送容器の扉に設けた３つの先端の半球状の突起が、装置本体の扉に設けた上記の３つのＶ字の溝に入ることになる。このときには、１つのＶ字の溝を構成する対向した２つの斜面それぞれが、該半球状の突起と接触し、該半球状の突起は２箇所において該対向した２つの斜面それぞれと接触する。
この結果、搬送容器は垂直軸に対する回転方向へのぶれが無くなり、かつ水平方向へのぶれも放射状の３つのＶ字の溝により解消する。
このような機構によって、搬送容器は装置本体に対して垂直方向への移動以外は不可能となり固定される。
【００３１】
[装置]
上記搬送容器と密着連結される装置としては、上記のように搬送される「物」が取り扱われる各種装置でよく、「物」が半導体用基板であれば半導体製造用装置、センサ用基板であればセンサ製造用装置、微生物や培地、あるいは遺伝子であれば培養装置や分析装置、不安定な化合物や酸化されやすい金属であれば反応装置や分析装置、有害物質であれば分析装置等のそれを取り扱う装置等、外気を遮断して操作することが必要な公知の各種の装置を選択し得る。
なかでも半導体製造装置としては、半導体製造工程にて使用される一連の各種装置を採用することができる。
【実施例】
【００３２】
以下図面に基づいて実施例を説明する。
図１（ａ）は本発明の搬送容器１と装置２が密着連結している模式図であり、図示はしないが、搬送容器本体３と容器扉４からなる搬送容器１を、装置本体５と装置扉６からなる装置２に固定し、密着連結させるための公知の手段に基づいて、搬送容器１と装置２が密着している。
装置に設けられた前室は、搬送容器に収納された物品を装置内に搬入させるために、大気と減圧下、あるいは大気と特定の雰囲気下という環境が異なる外気と装置内を接続するために機能するものである。
【００３３】
これに対して、前室を設けず搬送容器と装置により形成された連結室が存在する場合には、それがあたかも該前室であるかのように、連結室内部の環境が、密着連結直後の外界と同じ環境から、容器扉４と装置扉６が一体となって装置内に向けて移動し、２つの扉が開くまでの間に、連結室に接続された気体供給用ポート１４及び気体排出用のポート１５を介して装置内の雰囲気と同様の雰囲気となるように調整されうる。吸気用ポートを用いる場合を図１（ｂ）に示す。
【００３４】
半導体のように真空下において処理する工程に付すものは、特にこのような清浄用気体の供給と排出が要求される。この場合、複数の工程毎に異なる装置を用いる製造設備においては、各工程に使用する装置それぞれに本発明の連結システムを必要とする。
装置内の雰囲気が真空であれば、気体排出用ポート１５から連結室１０内の気体を真空ポンプ等により排出し、必要であれば、続いて気体供給用ポート１４から不活性の気体を連結室内に導入後、さらに気体排出用ポート１５からその気体を排出する操作を任意の回数行う等により、微粒子等を含有している連結室１０内の環境を装置内の環境と同程度のものとすることが可能である。
【００３５】
もちろん、目的とする装置内の清浄度や雰囲気に応じて、必要であれば、連結室１０内の環境を装置内の環境と近づけるようにすることができる。
このように、本発明は搬送容器を前室ではなく直接装置８に密着連結できるものであり、そのために密着連結により形成された連結室１０には、気体導入用ポート１４及び気体排出用のポート１５が接続されるように、装置８にはこれらのポートを設けることができる。
これらのポートにより連結室１０内を気体が流通して清浄化するにあたっては、気体が連結室１０内全てにわたって流通することが必要であるし、搬送容器扉１２と装置扉９が密着していた搬送容器７の開口部及び装置８の開口部に付着している、粒子等も除去可能なように気体が流通することも必要である。
【００３６】
図２の状態では、搬送容器７は搬送容器本体１１が搬送容器扉１２と磁気力等によって強力に密着し、搬送容器本体１１の内部は外気とは確実に遮断されている。また、装置８の装置扉９は何らかの手段により装置本体１３に確実に密着しており、装置本体１３もまた外気とは確実に遮断された状態である。
【００３７】
このような図２の状態から、搬送容器７は搬送容器扉１２を下方に向けた状態で、上面に装置扉９を設けてなる装置８の装置扉９に重ね合わされるようにして載置される。このとき、搬送容器７と装置８の一方に位置決め用のピンを設け、他方にその位置決め用ピンを嵌合する穴を設ける等して、搬送容器７と装置８が正確に重ね合わされるようにすることが重要である。その位置決めのための機構としてはピンに限定されるものではなく、公知の位置決め手段を採用することも可能である。
【００３８】
装置本体１３と装置扉９も、公知のシール手段により気密にシールされている。
搬送容器７を装置８の上に正確な位置で載置した後には、両者を密着連結させるための操作を行う。密着連結をしない場合には、搬送容器７と装置８が気密にシールされず、それらの間には隙間が形成されることになり、その状態で扉を開くと外気が搬送容器７内や装置８内に侵入し、これらの内部が外気と微粒子等で汚染されることになる。
この密着連結するための手段としては、ラッチ機構等の公知の手段でよく、その密着強度としては搬送容器本体１１と装置本体１３の間に介在するガスケット等の公知のシール手段によるシールが有効に機能する程度の強度でよい。
【００３９】
搬送容器７を装置８に密着した後に、搬送容器本体１１と装置本体１３との間に、どちらか一方又は両方に設けられていた公知のシール手段により気密なシール構造が形成される。そしてそのシール手段により区画された搬送容器扉１２と装置扉９との間に形成された連結室１０を装置内の環境と同じ環境にすべく、予め装置に設けられている気体供給用ポート１４及び気体排出用のポート１５を用いて、連結室１０内の環境を調整しても良い。
具体的な調整方法としては、当初は外気と同じ環境の連結室１０内の空気を気体排出用ポート１５から排気して減圧とする。次いで気体供給用ポート１４から例えば乾燥した窒素ガスを導入し、さらに気体排出用ポート１５から排気して減圧とする工程からなる方法を採用できる。
【００４０】
このような方法によれば、当初は外気と同じ環境であって、酸素等の反応性ガスの他に微粒子等の汚染物質が存在した連結室１０は、気体の排気と供給による気流により、除去が可能な微粒子等が除去されると共に、酸素等の反応性ガスも排気される。その後に、装置８内の環境と同じ環境、つまり、装置８内が減圧下であれば、連結室１０も減圧下、装置８内が不活性ガス雰囲気下であれば、連結室１０も不活性ガス雰囲気下に調整される。もちろん連結室１０の環境の調整はその他の工程によってもよい。
【００４１】
このような連結室１０の環境の調整は、従来の装置において前室においてなされていた調整と特に変わることはないが、搬送容器７と装置８の双方の扉等により規定される連結室は従来の前室と比較して小さいので、気体の供給や排気に要する装置もより小規模な装置で十分であり、また所要時間が短時間で済むものである。
【００４２】
搬送容器７内に収納されているウエハ１６を装置８内に移動させる方法を説明する。
図示していないが、装置扉９を開閉するためのエレベータ等の装置が装置８内に設けられており、搬送容器７の容器扉に固定されたウエハを、搬送容器扉１２及び装置扉９ごと装置８内に移送して装置内の処理手段による処理に付すことになる。
一体化した搬送容器扉１２と装置扉９を共に装置８内に移動させるに際して、搬送容器扉１２と搬送容器７との密着を公知の手段により解除する。このようにしてウエハを装置内に導入する。
【００４３】
上記のような搬送容器を用いて内部に収納したウエハを装置内に導入するために、搬送容器本体１１と搬送容器扉１２との間を気密しシールするために、図示はしないがシール部材が設けられ、搬送容器本体１１と容器扉１２との間を気密にシールする。また搬送容器本体１１と装置本体１３を気密にシールするためのＯリング等のシール部材が設けられており、これらのシール部材により、容器７の内部と装置本体１３の内部は、容器７が装置本体１３に接続しているときはもちろん、そうでないときも、内部が外気から遮断された状態でいられることが可能である。
【００４４】
このような搬送容器の具体例としては図３に示す外観の搬送容器であり、この図において搬送容器本体は搬送容器扉によって密封されている。この図３に示す搬送容器７は装置扉に対向する面を上に向けている。４本の装置側に向かうべきピンと、容器扉に設けられた３つの四角形の溝、容器側部に設けられた凸部によって装置扉に対して位置決めされる。
【００４５】
図４は、図３に示した搬送容器の搬送容器扉を開けて取り外した状態の搬送容器本体の図であり、内部にはウエハ等を設置して振動等を受けて破損することがないように、固定するための機構が設けられている。
その容器本体の内部にも、凸部等を設けることによって、容器扉を位置決めしながら容器本体に合わせて閉じることができる。
【００４６】
これら図３及び４には、搬送容器内に設けるシール部材を示していないが、図５に示す搬送容器扉１２が閉じた状態の搬送容器７の断面図、及び図６に示した搬送容器扉１２を開けた状態の搬送容器本体１１を比較してわかるように、搬送容器本体１１の内部に接する搬送容器扉１２に溝Ｍが設けられ、その内部に本発明のシール部材Ｓが設置されている。
そのシール部材Ｓとしては、図７に示すように円環状でも良く、容器の形状に応じて角が丸くされた多角形状でも良い。いずれにしても搬送装置扉と搬送容器本体とを気密にシールできることが必要である。
また、シール部材Ｓを設置する溝を搬送容器扉ではなく搬送容器本体に設けることもできる。
【００４７】
さらに図８は図７において線IIにより切断した部分の切断面側からの側面図であり、その図８に示すように、本発明のシール部材はその断面図がシート部材２０であることを基本とし、その両端部に壁部２１がそれぞれ同方向に設けられ、シート部材２０の両面にそれぞれ膨出部２２及び２３を設けてなる。なお、図８には該壁部２１が設けられた方向が下方に向けられた状態を示している。
さらにシール部材Ｓの膨出部２２を含む面はフッ素樹脂等によるコーティングＣにより処理されて表面の粘着性を削減される。その結果、表面平滑性が向上し、かつ密着性が低下するので、搬送容器扉を開閉する度に僅かながら発生するパーティクルの量を削減することが可能になる。
【００４８】
上記本発明のシール部材の断面形状を説明する際の考え方は以下の通り。図９は本発明のシール部材の製造工程を示す図ではなく、本発明のシール部材の断面形状を説明するために、各箇所を説明するための図である。
図９（ａ）に示すようにシート部材２０を基本にして、図９（ｂ）に示すように、その両端部に同方向に向けて壁部２１を設ける。この壁部２１の高さは、使用するシール部に設けられており、本発明のシール部材が収納される溝の深さよりも小さい。
次いで、図９（ｃ）に示すように、シート部材２０の該壁部２１が形成された側の面ではない面に膨出部２２を設けて、この膨出部はシール部材が対向して密着すべき相手の部材と密に接する部分となる。また、同時にシート部材２０の該壁部２１が形成された側の面に膨出部２３を設けて、本発明のシール部材が設置された溝部の底に密着させることができるようにする。
このとき、シート部材２０の両面のうち、該壁部２１が設けられた方向とは逆の方向に設けられた膨出部２２の高さｈ１よりも、該壁部２１が設けられた方向と同じ方向に設けられた膨出部２３の高さｈ２が高い状態が示されている。また、膨出部２３の高さｈ２は該壁部２１の高さと同じ高さとすることができ、また、該壁部２１の高さよりも低く、あるいは該壁部２１の高さよりも高くすることができる。
また、本発明のシール部材を使用する対象によって、上記のｈ１とｈ２を同じ高さとすることも可能であるし、ｈ１をｈ２よりも高くすることも可能である。
【００４９】
壁部２１の形状は、図９に示すように先端に丸味を付けても良いが、必ずしも付けなくてはならないものではない。但し、先端に丸味を付けることによりシール部材を設けるために容器扉に設けた溝に設置することが容易となる。
また、膨出部２２及び２３の断面形状は、半円状でも円弧状でもよいが、膨出していれば良く、楕円形状の一部であってもよい。さらに直線による山状を呈することも可能である。
【００５０】
シール部材Ｓを搬送容器扉側に設けた溝の内部に設置する。このとき、搬送容器扉を閉める際に、シール部材Ｓの膨出部２２の側の面を搬送容器本体に接するように設置する。
搬送容器扉が搬送容器本体に接し、続けて密着されるときにおいて、該シール部材Ｓの膨出部２２の側の面が先に搬送容器本体に接し、その押圧がシール部材全体に伝わる際に、シール部材Ｓの壁部２１の先端が開くように動くことによって、搬送装置扉に設けた溝の内壁面とシール部材とが密着される。
【００５１】
加えて、シール部材Ｓの膨出部２３もまた、搬送容器扉に設けた溝の底面に接して押圧されて変形することによって、搬送容器扉と搬送容器本体とが、より強く密閉される。
なお、上記の例は搬送容器扉にシール部材を設けた例であるが、その逆に搬送容器本体側に本発明のシール部材を設けてもよい。
本発明によれば、溝の中に位置するシール部材が、十分にシール性能を発揮することができ、その理由としては、シールするために係る圧力はその圧力が加わる方向のシール部材によるシールに寄与することに加え、環状のシール部材の内側及び外側に対して同様にシール性を発揮できるので、搬送容器扉と搬送容器本体とのシールをより確実に行うことができる。
【符号の説明】
【００５２】
１・・・搬送容器
２・・・装置
３・・・搬送容器本体
４・・・容器扉
５・・・装置本体
６・・・装置扉
７・・・搬送容器
８・・・装置
９・・・装置扉
１０・・連結室
１１・・搬送容器本体
１２・・搬送容器扉
１３・・装置本体
１４・・気体供給用ポート
１５・・気体排出用ポート
１６・・ウエハ
２０・・シート部材
２１・・壁部
２２・・膨出部
２３・・膨出部
Ｓ・・・シール部材
Ｍ・・・溝
Ｃ・・・コーティング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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