(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミアンダ配線を含む高密度配線のＣＡＤデータである複数の曲り点の座標及び配線幅を用いて、配線の幅方向の端部上にあり内周側の屈曲点である各端点を求め、それぞれの隣り合う端点間の距離を演算する距離演算部と、
前記距離演算部により演算された端点間の距離の総和を演算することで前記高密度配線の配線長を測定する測定部と、
を備えた配線長測定装置。
【請求項２】
前記距離演算部は、各曲り点に対して前記配線幅が考慮された位置に複数の端点を用意し、隣り合う曲り点の端点間の最短距離を演算する
請求項１に記載の配線長測定装置。
【請求項３】
半導体集積回路の信号周波数、配線幅、曲り数を用いて、前記ミアンダ配線の複数の曲り点間の距離の総和と、前記ミアンダ配線の信号伝播距離と、の誤差が閾値以上であるか否かを判定する判定部をさらに備え、
前記距離演算部は、前記判定部により前記誤差が閾値以上であると判定されたときに、前記端点間の距離を演算する
請求項１に記載の配線長測定装置。
【請求項４】
前記距離演算部は、前記判定部により前記誤差が閾値以上でないと判定されたときは、前記複数の曲り点の間のそれぞれの距離を演算する
請求項３に記載の配線長測定装置。
【請求項５】
前記測定部は、前記配線が円弧部分を有する場合、前記円弧部分の内側円弧長を含めて前記配線長を測定する
請求項１に記載の配線長測定装置。
【請求項６】
コンピュータを、
ミアンダ配線を含む高密度配線のＣＡＤデータである複数の曲り点の座標及び配線幅を用いて、配線の幅方向の端部上にあり内周側の屈曲点である各端点について、それぞれの端点間の距離を演算する距離演算部と、
前記距離演算部により演算された端点間の距離の総和を演算することで前記高密度配線の配線長を測定する測定部と、
して機能させるためのプログラム。
【請求項７】
ミアンダ配線を含む高密度配線のＣＡＤデータである複数のコーナー座標及び配線幅を用いて、コーナー座標毎に、当該コーナー座標の近傍にあり前記ミアンダ配線の境界直線同士の複数の交点を、複数の測定候補点として設定する測定候補点設定部と、
隣接する２つのコーナー座標毎に、一方のコーナー座標に対応する複数の測定候補点のいずれか１つと、他方のコーナー座標に対応する複数の測定候補点のいずれか１つと、の異なる組合せ毎に２点間の距離を演算し、演算した２点間の距離の中から最も短い距離を、前記隣接する２つのコーナー座標間の最短距離とする最短距離演算部と、
前記最短距離演算部により演算された隣接する２つのコーナー座標毎の最短距離の総和を、前記高密度配線の配線長として演算する総和演算部と、
を備えた配線長測定装置。
【請求項８】
前記測定候補点設定部は、前記コーナー座標の始点及び終点については、前記コーナー座標の近傍を通る境界直線と、前記コーナー座標を通り前記境界直線に直交する直線と、の複数の交点を、複数の測定候補点として設定する
請求項７に記載の配線長測定装置。
【請求項９】
前記高密度配線のコーナー部毎に、当該コーナー部の内周側の円弧長を演算する円弧長演算部を更に備え、
前記測定候補点設定部は、前記コーナー部のコーナー座標について、当該コーナー部の近傍を通る複数の境界直線と、当該コーナー部の内周側及び外周側の円弧と、のそれぞれの交点を、複数の測定候補点として設定し、
前記総和演算部は、前記隣接する２つのコーナー座標毎の最短距離と、前記円弧長演算部により演算されたコーナー部毎の円弧長と、の総和を演算する
請求項７に記載の配線長測定装置。
【請求項１０】
前記総和演算部は、前記高密度配線の信号周波数、配線幅、曲り数の乗算値が閾値以下の場合は、前記高密度配線の配線長として、前記コーナー座標間の距離の総和を演算する
請求項７に記載の配線長測定装置。
【請求項１１】
前記ミアンダ配線の配線幅がｍ、隣接する配線との間隔がｓ、凸部の内周側境界から凹部内周側境界までの長さがｂである場合に
３ｍ＜ｓ＜１０ｍ  かつ  ５ｍ＜ｂ  が成立する
請求項７に記載の配線長測定装置。
【請求項１２】
コンピュータを、
ミアンダ配線を含む高密度配線のＣＡＤデータである複数のコーナー座標及び配線幅を用いて、コーナー座標毎に、当該コーナー座標の近傍にあり前記ミアンダ配線の境界直線同士の複数の交点を、複数の測定候補点として設定する測定候補点設定部と、
隣接する２つのコーナー座標毎に、一方のコーナー座標に対応する複数の測定候補点のいずれか１つと、他方のコーナー座標に対応する複数の測定候補点のいずれか１つと、の異なる組合せ毎に２点間の距離を演算し、演算した２点間の距離の中から最も短い距離を、前記隣接する２つのコーナー座標間の最短距離とする最短距離演算部と、
前記高密度配線の配線長として、前記最短距離演算部により演算された隣接する２つのコーナー座標毎の最短距離の総和を演算する総和演算部と、
して機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線長測定装置及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＲＡＭ規格であるＤＤＲ３、ＤＤＲ４等に準拠した高密度配線（例えば、高密度集積回路、インターポーザ配線、プリント配線板など。以下同じ。）においては、周波数が１ＧＨｚ以上の超高速の並列バス信号が１０本以上必要になる。これらの超高速の並列バス信号は、配線遅延誤差が数１０ピコ秒の範囲内で、ドライバからレシーバへ到達する必要がある。【０００３】
このような高密度配線についてＣＡＤで配線設計する場合、並列バス信号の遅延時間を統一させるために、並列バス信号の配線長を揃える必要がある。【０００４】
一方、高密度配線の中の高密度集積回路は、ピンの物理的位置が統一されていない。このため、ピンとピンとを単純に配線しただけでは、並列バス信号の配線長が揃えられない。そこで、それぞれの配線長さを揃えるために、千鳥状（蛇行形状）に形成された配線であるミアンダ配線が使用される。【０００５】
並列バス信号の配線長を揃えるためには、配線長を測定する必要がある。このため、配線長測定は、非常に重要な設計指針となる。このため、ＣＡＤは、設計対象である高密度配線の配線長の計算機能を有しており、配線長を高精度に測定できるよう求められている。【０００６】
従来、複数のクロック同期式順序回路の配置を完了した後に、クロック生成器のクロック出力端子から各クロック同期式順序回路のクロック入力端子までの距離を測定し、各距離が等しくなるように配線する技術が開示されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−２８３６２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、従来の技術を考慮して提案されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る配線長測定装置は、ミアンダ配線を含む高密度配線のＣＡＤデータである複数の曲り点の座標及び配線幅を用いて、配線の幅方向の端部上にあり内周側の屈曲点である各端点を求め、それぞれの隣り合う端点間の距離を演算する距離演算部と、前記距離演算部により演算された端点間の距離の総和を演算することで前記半導体集積回路の配線長を測定する測定部と、を備えている。
本発明に係るプログラムは、コンピュータを本発明に係る配線長測定装置の各部として機能させるためのプログラムである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、ミアンダ配線を含む高密度配線の配線長を精度よく測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】配線長測定装置の構成を示すブロック図である。
【図２】ミアンダ配線の自己クロストークを説明するための図である。
【図３】ミアンダ配線の配線幅に対する配線間隔の規則の一例を説明するための図である。
【図４】ＣＡＤデータで計算されたミアンダ配線の配線長と実際の信号伝播距離とを比較した図である。
【図５】配線長測定ルーチンを示すフローチャートである。
【図６】ステップＳ４で実行される第１のサブルーチンを示すフローチャートである。
【図７Ａ】曲り点(Ｘg，Ｙg）に対する４つの端点を示す図である。
【図７Ｂ】曲り点(Ｘg，Ｙg）に対する４つの端点を示す図である。
【図８Ａ】ミアンダ配線の基本配線長Ｌphyを示す図である。
【図８Ｂ】ミアンダ配線の実際の信号伝播経路を示す図である。
【図８Ｃ】ミアンダ配線の疑似配線長Ｌsigを示す図である。
【図９Ａ】ミアンダ配線の円弧（Ｒ配線）で形成されているコーナー部を示す図である。
【図９Ｂ】ミアンダ配線の３個以上の短い線分で形成されているコーナー部を示す図である。
【図１０】ステップＳ４で実行される第２のサブルーチンを示すフローチャートである。
【図１１】３点の曲り点の位置関係（鋭角側、鈍角側）を示す図である。
【図１２】ミアンダ配線が水平及び垂直の各座標軸方向に対して角度θの方向に沿って設計されている状態を示す図である。
【図１３】ミアンダ配線を各座標軸方向に対して−θ回転させた状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、発明を実施するための形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
［構成］
図１は、配線長測定装置１の構成を示すブロック図である。配線長測定装置１は、信号周波数が１ＧＨｚ以上の高密度配線（例えば、高密度集積回路、インターポーザなど。以下同じ。）を設計するためのＣＡＤシステムに搭載される。配線長測定装置１は、設計対象であるミアンダ配線を含んだ高密度配線の長さ（配線長）を測定する。
【００１３】
配線長測定装置１は、ユーザの操作に応じたデータが入力される入力部１１と、データを一時的に記憶するＲＡＭ１１と、配線長を測定するためのプログラムデータが記憶されているＲＯＭ１２と、ＣＡＤデータ等が記憶されているハードディスク１３と、ＲＯＭ１２のプログラムデータに従って演算処理を行うＣＰＵ１５と、演算処理結果を表示する表示部１５と、を備えている。ＣＡＤデータは、例えば、配線のコーナー（曲り点）座標（Ｘ，Ｙ）、配線の信号周波数ｆ、配線幅ｍなどの配線を設計するのに必要なデータである。また、配線長測定装置１は、いわゆるパーソナルコンピュータ（ＰＣ）に光ディスクなどの記録媒体に記録されたプログラムがインストールされたものでもよい。
【００１４】
［ミアンダ配線］
図２に示すように、高密度配線で使用されるミアンダ配線では、隣接する配線間で自己クロストークが生じる。このため、高密度集積回路を設計する際には、ミアンダ配線の自己クロストークによる信号伝播速度の変化を小さくする必要がある。そこで、図３に示すように、ミアンダ配線の配線間隔ｓは、一般的な配線間隔の２倍以上が要求され、例えば配線幅ｍに対して３〜５倍にする規則がある。
【００１５】
しかし、自己配線間のクロストークの影響を出来るだけ小さくなるような配線を行っても、ミアンダ配線での信号の伝播遅延は一般配線の伝播遅延よりも小さくなる。その要因は、ミアンダ配線の曲り点間の距離を単に積算して配線長を計算するという従来のＣＡＤのアルゴリズムにある。
【００１６】
図４は、配線幅ｍ＝０．１ｍｍ、配線間隔ｓ＝０．４ｍｍで、距離１ｍｍで６段の一般的な規則の小さなミアンダ配線を示す図である。図中のミアンダ配線の中心部を通る線は、ＣＡＤデータにより計算された従来の配線長を示す。ミアンダ配線の幅方向の端部（境界線）上にある内周側の各屈曲点を接続した線は、実際の信号伝播距離を示す。
【００１７】
ＣＡＤデータを用いて計算された配線長と実際の信号伝播距離を比較する。ＣＡＤデータで計算された従来の配線長は、１７．５ｍｍ（＝０．５ｍｍ×１１＋１ｍｍ×１２）であり、実際の信号伝播距離１５．２６ｍｍ（＝０．４ｍｍ×１１＋０．９０５ｍｍ×１２）よりも約１５％も長くなる。そして、伝播遅延誤差は、１３．５（＝（１７．５−１５．２５）×６）ｐｓとなる。
【００１８】
特に、信号周波数が１ＧＨｚ以上ある長距離配線の場合、表皮抵抗の影響を小さくするため、配線幅を大きくすることがある。しかし、配線幅が大きくなると、伝播遅延誤差は更に大きくなる。
そこで、配線長測定装置１は、実際の信号伝播距離に対応するように配線長を測定する。なお、本実施形態では、ミアンダ配線の条件を次のように定義する。
３ｍ＜ｓ＜１０ｍ  かつ  ５ｍ＜ｂ
但し、配線幅ｍ、曲げ長さｂ、配線間隔ｓとする（図３、後述する図８Ｂ参照）。なお、曲げ長さｂは、ミアンダ配線の一方側（例えば図８Ｂのミアンダ配線の凸部）の内周側境界から他方側（例えば図８Ｂのミアンダ配線の凹部）の内周側境界までの縦軸方向（幅方向に対する直交方向）の長さをいう。
【００１９】
［配線長測定ルーチン］
図１のように構成された配線長測定装置１のＣＰＵ１５は、配線長測定ルーチンを実行する。
図５は、ＣＰＵ１５によって実行される配線長測定ルーチンを示すフローチャートである。配線長測定ルーチンは、信号周波数ｆ［ＧＨｚ］であってミアンダ配線を有する高密度集積回路の配線長を測定するためのアルゴリズムである。
【００２０】
ステップＳ１では、ＣＰＵ１５は、ＨＤＤ１３に記憶されているＣＡＤデータの中から配線データ（信号周波数ｆ、配線の曲り点の座標、配線幅ｍなど）を読み出す。さらに、ＣＡＤによりデータの並びや持ち方が異なるので、一連の座標シーケンスになる様に配線データをソートする。さらに、ＣＰＵ１５は、配線の曲り数ｎ（＝曲り点の座標数−２）を演算する。
【００２１】
ステップＳ２では、ＣＰＵ１５は、信号周波数ｆ、配線幅ｍ、曲がり数ｎを乗算した判定式Ａ（＝ｍ・ｎ・ｆ）を演算し、判定式Ａ≧ｐであるかを判定する。なお、ｐは、ＣＡＤベンダであり、ユーザによって任意に設定可能なパラメータである。
【００２２】
判定式Ａ≧ｐでない場合は、従来のＣＡＤにより演算される基本配線長Ｌphyと信号伝播距離との誤差は閾値より小さいので、その誤差は無視できるほど小さい。そこで、ＣＰＵ１５はステップＳ３の処理へ移行する。一方、判定式Ａ≧ｐである場合は、基本配線長Ｌphyと信号伝播距離との誤差が閾値より大きいので、その誤差は無視できない程大きい。そこで、ＣＰＵ１５はステップＳ４の処理へ移行する。
【００２３】
ステップＳ３では、ＣＰＵ１５は、配線の曲り点の座標（Ｘｇ，Ｙｇ）（ｇ＝０〜ｎ））、曲がり数ｎを用いて、曲り点間の距離を積算した基本配線長Ｌphy（後述する図８Ａ参照）を演算する。
【００２４】
【数１】
0005885097.tif 000002
ここで、（Ｘ０，Ｙ０）は配線（曲り点）の始点座標、（Ｘｎ，Ｙｎ）は配線（曲り点）の終点座標である。
【００２５】
ステップＳ４では、ＣＰＵ１５は、後述するサブルーチンを実行して、信号伝播距離に近似する近似配線長Ｌsig（後述する図８Ｃ参照）を演算する。
ステップＳ５では、ＣＰＵ１５は、ステップＳ３又はステップＳ４の演算結果（総和）を配線長のレポートとして表示部１５に表示し、又はマニュアル配線／自動配線ソフトに渡して、本ルーチンを終了する。
【００２６】
［第１サブルーチン］
図６は、ステップＳ４で実行される第１のサブルーチンを示すフローチャートである。ここでは、ミアンダ配線のコーナー部はほぼ直角である。
【００２７】
ステップＳ１１では、ＣＰＵ１５は、配線上の１つの曲り点(Ｘg，Ｙg）に対して、測定候補点である４つの端点（Ｘg 1，Ｙg 1）、（Ｘg 2，Ｙg 2）、（Ｘg 3，Ｙg 3）、（Ｘg 4，Ｙg 4）を用意する。
【００２８】
図７Ａは、曲り点(Ｘg，Ｙg）から派生した４つの端点（Ｘg 1，Ｙg 1）、（Ｘg 2，Ｙg 2）、（Ｘg 3，Ｙg 3）、（Ｘg 4，Ｙg 4）を示す図である。配線領域（図７Ａの斜線領域）は、各曲り点（Ｘg，Ｙg）（ｇ＝０〜ｎ）と配線幅ｍとによって決定される。そして、曲り点(Ｘg，Ｙg）に対する４つの端点は次のように設定される。
【００２９】
最初に、曲り点(Ｘg，Ｙg）に対して、長さが√２・ｍ（ｍ：配線幅）の２本の仮想線を用意する。次に、２本の仮想線を正方形の２本の対角線と同様に交差させる。そして、曲り点（Ｘg,Ｙg）と２本の仮想線の交差点とが一致し、かつ、曲り点（Ｘg，Ｙg）とそれに隣接する曲り点による直線と上記仮想線とのなす角が４５度になるように、当該２本の仮想線を配置する。最後に、図７Ａに示すように、各仮想線の端点をそれぞれ（Ｘg 1，Ｙg 1）、（Ｘg 2，Ｙg 2）、（Ｘg 3，Ｙg 3）、（Ｘg 4，Ｙg 4）とする。ＣＰＵ１５は、配線上のすべての曲り点（Ｘg，Ｙg）に対して、上述のように４つの端点を設定する。
【００３０】
上述した例は、配線の曲り角θが約９０度の場合であるが、曲り角θはこの場合に限定されるものではない。曲り角θが任意の角度（９０度を含む）である場合、曲り点（Ｘg，Ｙg）に対する４つの端点は、次のように求められる。
【００３１】
図７Ｂは、曲り点（Ｘg，Ｙg）に対する４つの端点の求め方の説明図である。
最初に、ＣＰＵ１５は、曲り点（Ｘg，Ｙg）とその直前（隣接する１つ前）の曲り点（Ｘg-1，Ｙg-1）の間に、配線幅ｍの配線領域を形成すると共に、当該配線領域の境界線となる一組の平行な直線（境界直線）Ｌ１，Ｌ２を設定する。このため、境界直線Ｌ１，Ｌ２は、２点の曲り点（Ｘg，Ｙg）及び（Ｘg-1，Ｙg-1）を通る直線を挟んで、それぞれ同じ距離だけ離れている。
【００３２】
次に、ＣＰＵ１５は、曲り点（Ｘg，Ｙg）とその直後（隣接する１つ後）の曲り点（Ｘg+1，Ｙg+1）の間に、配線幅ｍの配線領域を形成すると共に、当該配線領域の境界線となる一組の平行な直線（境界直線）Ｌ３，Ｌ４を設定する。このため、境界直線Ｌ３，Ｌ４は、２点の曲り点（Ｘg，Ｙg）及び（Ｘg＋1，Ｙg＋1）を通る直線を挟んで、それぞれ同じ距離だけ離れている。
【００３３】
最後に、ＣＰＵ１５は、境界直線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４による４つの交点を上述した端点（Ｘg 1，Ｙg 1）、（Ｘg 2，Ｙg 2）、（Ｘg 3，Ｙg 3）、（Ｘg 4，Ｙg 4）に設定する。ＣＰＵ１５は、最初（ｇ＝０）と最後（ｇ＝ｎ）を除いたそれぞれの曲り点（Ｘg，Ｙg）（ｇ＝１から（ｎ−１）まで）において、上述のように４つの端点を設定する。
【００３４】
なお、曲り点（Ｘg，Ｙg）が高密度配線の始点又は終点（ｇ＝０又はｎ）の場合、次のようにして端点が求められる。すなわち、曲り点（Ｘg，Ｙg）に対する複数の端点について、当該曲り点（Ｘg，Ｙg）の近傍を通る境界直線と、当該曲り点（Ｘg，Ｙg）を通り前記境界直線に直交する直線と、の複数の交点が設定される。
【００３５】
ステップＳ１２では、ＣＰＵ１５は、隣り合う２つの曲り点間の距離、つまり（Ｘg， Ｙg）と（Ｘg+1，Ｙg+1）間の距離について、次のように演算する。
ＣＰＵ１５は、曲り点（Ｘg，Ｙg）に対する各端点（Ｘg j，Ｙg j）と、次の曲り点（Ｘg+1，Ｙg+1）に対する各端点（Ｘg+1 j，Ｙg+1 j）と、の距離をそれぞれ演算し、その中の最短距離をその曲り点間の距離とする。そして、全ての隣り合う曲り点間の距離（最短距離）を求める。
【００３６】
例えば図７Ａに示すように、曲り点（Ｘg， Ｙg）と（Ｘg+1，Ｙg+1）間の距離については、端点（Ｘg 3，Ｙg 3）と（Ｘg+1 4，Ｙg+1 4）間の距離、端点（Ｘg 2，Ｙg 2）と（Ｘg+1 1，Ｙg+1 1）間の距離が、最短距離になる。ここでは、コーナー部の内周側である端点（Ｘg 3，Ｙg 3）と（Ｘg+1 4，Ｙg+1 4）間の距離が選ばれる。
【００３７】
ステップＳ１３では、ＣＰＵ１５は、すべての曲り点間の最短距離の総和（g＝０〜ｎ−１）を求め、この総和を近似配線長Ｌsigとする。
【００３８】
【数２】
0005885097.tif 000003
【００３９】
図８Ａは基本配線長Ｌphy、図８Ｂは実際の信号伝播経路、図８Ｃは近似配線長Ｌsigを示す図である。
基本配線長Ｌphyは、図８Ａに示すように、ＣＡＤデータの各曲り点間を単に接続したものであり、常に配線幅の中心部を通っている。しかし、ミアンダ配線内の実際の信号伝播経路は、図８Ｂに示すように、配線の幅方向の端部上にあり内周側の各屈曲点を接続したものである。つまり、実際の信号伝播経路は、配線の始点から終点まで最短距離で連続したものであり、ミアンダ配線内を斜めに伝播することもある。
【００４０】
これに対して、図８Ｃに示すように、近似配線長Ｌsigは、実際の信号伝播距離に近似する長さになる。近似配線長Ｌsigは、各々の曲り点において、当該曲り点に対する各端点と、当該曲り点隣接する曲り点に対する各端点と、の最短距離を求め、これらの最短距離を合計したものである。このため、近似配線長Ｌsigは、連続しておらず、所々で分断されている。よって、近似配線長Ｌsigは、ミアンダ配線内の信号伝播経路の長さに完全に一致していない。
【００４１】
しかし、図８Ｂにおいて、配線幅ｍに対するミアンダ配線の曲げ長さ“ｂ”がその配線幅ｍの１０倍の場合、誤差は０．５％（例えば配線幅ｍが０．１ｍｍであって曲げ長さｂが１ｍｍの場合では、その誤差は０．００５ｍｍ）となる。この程度の誤差であれば無視しても問題ない。
【００４２】
このように、近似配線長Ｌsigは、実際の信号伝播距離より０．５％程度短くなる可能性がある。しかし、これはミアンダ配線の自己クロストーク効果と同じ傾向の誤差である。このため、各々は相殺され、実際の誤差は０．５％より更に小さくなる。つまり、「近似配線長Ｌsigはミアンダ配線内の信号伝播距離にほぼ一致する」と考えても問題はない。このように、近似配線長Ｌsigが実際の信号伝播距離にほぼ一致するためには、図８Ｂにおいて、ミアンダ配線（配線幅ｍ、曲げ長さｂ、配線間隔ｓ）が次の条件を満たせばよい。
３ｍ＜ｓ＜１０ｍ  かつ  ５ｍ＜ｂ
【００４３】
なお、ミアンダ配線の曲げ長さ“ｂ”が配線幅ｍに対して小さい場合は、Ｌsigと、実際の信号伝播距離との誤差は大きくなる。しかし、ｂが小さくなると、ミアンダ配線を行う意味が無い（そのようなミアンダ配線を設計することはない）ので、この場合は考える必要はない。
【００４４】
［ミアンダ配線のコーナー部がＲ配線の場合］
上述した図６に示すサブルーチンは、コーナー部が約９０度に屈曲されたミアンダ配線を対象にしたものである。但し、本サブルーチンは、コーナー部が次のような場合にも適用可能である。
【００４５】
図９Ａはコーナー部が円周角９０度の円弧（Ｒ配線）で形成されている場合、図９Ｂはコーナー部が３個以上の短い線分で形成されている場合を示す図である。これらの場合、図６のステップＳ１１では次の処理が行われる。
【００４６】
ＣＰＵ１５は、図９Ａに示すように、配線の曲り点（Ｘg，Ｙg）におけるコーナー部の内周側と外周側の中心線が半径ｒの円弧で形成されている場合、当該円弧の中心点と同じ中心点である半径（ｒ−ｍ／２）の円弧（内周側円弧）を用意する。このとき、ＣＰＵ１５は、半径ｒの円弧と同じ円周角９０度になるように、半径（ｒ−ｍ／２） の内周側円弧を形成し、当該円弧の端点（始点及び終点）を（Ｘg 1，Ｙg 1）、（Ｘg 2，Ｙg 2）とする。このように、Ｒ配線の場合、曲り点（Ｘg，Ｙg）の端点は、（Ｘg 1，Ｙg 1）、（Ｘg 2，Ｙg 2）の２点のみとなる。
【００４７】
ＣＰＵ１５は、このように端点を用意すると、上述した図６のステップＳ１２以降の処理を実行する。つまり、Ｒ配線におけるステップＳ１２では、ＣＰＵ１５は、曲り点（Ｘg，Ｙg）の各端点（Ｘg j，Ｙg j）と、曲り点（Ｘg+1，Ｙg+1）の各端点（Ｘg+1 j，Ｙg+1 j）との距離をそれぞれ演算し、その中の最短距離をその曲り点間の距離とする。そして、全ての隣り合う曲り点間の距離（最短距離）を求める。但し、ミアンダ配線では円弧は９０度（＝π／２）配線で使用される。
【００４８】
ＣＰＵ１５は、上述のように全ての隣り合う曲り点間の距離（最短距離）を求めるだけでなく、さらに、各円弧部分の長さ（各コーナー部の内周側円弧）について（ｒ−ｍ／２）・π／２を演算する。
そして、ステップＳ１３では、ＣＰＵ１５は、全ての隣り合う曲り点間の最短距離、全ての円弧部分の長さの総和を求める。これにより、配線のコーナー部が円弧であっても、配線長の測定が可能になる。
【００４９】
なお、図９Ｂに示すようにコーナー部が３個以上の短い線分で形成されている場合、コーナー部の内周側の長さは、半径（ｒ−ｍ／２） の内周側円弧の長さとほぼ同じ（これらの誤差は無視できる程度）と考えてよい。したがって、ＣＰＵ１５は、図９Ｂの場合であっても、図９Ａの場合と同様にして、配線長を測定することができる。
【００５０】
［第２サブルーチン］
図１０は、ステップＳ４で実行される第２のサブルーチンを示すフローチャートである。ここでは、ミアンダ配線のコーナー部は直線配線であるものとする。
【００５１】
ステップＳ２１では、ＣＰＵ１５は、任意の曲り点（Ｘg+1，Ｙg+1）における信号伝播経路上の座標を求める。
ここでは、図１１に示すように、最初に、曲り点（Ｘg+1，Ｙg+1）とその前後の座標（Ｘg，Ｙg）及び（Ｘg+2，Ｙg+2）の３点の位置関係（例えば余弦定理を使用）により、曲り点（Ｘg+1，Ｙg+1）の鋭角側、鈍角側を求める。なお、始点（Ｘ0，Ｙ0）と終点（Ｘn，Ｙn）は中心点をそのまま使用するので、求める必要は無い。
【００５２】
そして、（Ｘg+1，Ｙg+1）を起点として、（Ｘg+1，Ｙg+1）を頂点とする鋭角を２等分する方向に沿って長さ√2・ｍ／２の線分を設け、この線分の端点の座標（Ｘg+1a，Ｙg+1a）を信号が流れる座標として求める。すべての曲り点について、同様にして、信号伝播経路上の座標を求める。
【００５３】
ステップＳ２２では、ＣＰＵ１５は、ミアンダ配線の始点から終点において、上述した座標間の総和を求めることで信号伝播経路長を演算する。
【００５４】
以上のように、配線長測定装置１は、ＣＡＤの配線データを用いて、ミアンダ配線の配線幅を考慮して実際の信号伝播距離（又はこれの近似値）である配線長を演算することで、ミアンダ配線長を正確に測定することができる。これにより、配線長測定装置１は、ミアンダ配線の自己ストロークの影響を考慮することなく、比較的簡易な演算でミアンダ配線の正確な長さを求めることができる。
【００５５】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された事項の範囲内で設計変更されたものにも適用可能である。
例えば、上述した実施形態では、ミアンダ配線は、水平方向（０度）及び垂直方向（９０度）に沿って設計されているが、このように設計されたものに限定されない。
【００５６】
図１２に示すように、ミアンダ配線が、水平及び垂直の各座標軸方向に対して角度θの方向に沿って設計されている場合がある。この場合、図１３に示すように、ミアンダ配線を各座標軸方向に対して−θ回転させることによって、ミアンダ配線が水平及び垂直の各座標軸方向に沿って設計されているように補正される。この結果、図１２に示すように、ミアンダ配線が水平及び垂直の各座標軸方向に対して任意の角度θで設計されている場合でも、本実施形態の配線長測定装置は、上述した基本的なアルゴリズムを適用することで、配線長を測定することができる。
【符号の説明】
【００５７】
１  配線長測定装置
１１  入力部
１２  ＲＡＭ
１３  ＲＯＭ
１４  ＨＤＤ
１５  ＣＰＵ
１６  表示部
【図１】
0005885097.tif 000004
【図２】
0005885097.tif 000005
【図３】
0005885097.tif 000006
【図４】
0005885097.tif 000007
【図５】
0005885097.tif 000008
【図６】
0005885097.tif 000009
【図７Ａ】
0005885097.tif 000010
【図７Ｂ】
0005885097.tif 000011
【図８Ａ】
0005885097.tif 000012
【図８Ｂ】
0005885097.tif 000013
【図８Ｃ】
0005885097.tif 000014
【図９Ａ】
0005885097.tif 000015
【図９Ｂ】
0005885097.tif 000016
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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