(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体内部が仕切板により上下に仕切られ、加熱処理したウエハを収容して冷却する上側空間と、冷却した当該ウエハを収納するカセットを保管する下側空間とを一体的に備えたウエハ冷却保管庫であって、
前記仕切板の高さ位置を回転中心軸にして上下方向へ開閉自在に支持され、前記上側空間の開口部を閉じる扉を備え、当該扉は、開いたときに前記下側空間の開口部を閉じる位置まで回転することを特徴とするウエハ冷却保管庫。
【請求項２】
前記扉に、前記ウエハの製造工程に関わる情報、および前記ウエハを識別する情報のいずれか一方、または両方を持つ情報担体が付されていることを特徴とする請求項１記載のウエハ冷却保管庫。
【請求項３】
前記ウエハの製造工程に関わる情報は加熱処理の温度であって、
前記扉に付された前記情報担体は、前記温度に応じた大きさ、かつ、当該温度に応じた数の同心状の模様が描かれた温度識別表示であることを特徴とする請求項２記載のウエハ冷却保管庫。
【請求項４】
前記カセットには、前記ウエハの製造工程に関わる情報、および前記ウエハを識別する情報のいずれか一方、または両方の情報を持つバーコードまたはＩＣタグが付され、
前記扉に付された前記情報担体は、前記カセットに付されたバーコードまたはＩＣタグとの間で情報の照合が可能なバーコードまたはＩＣタグリーダであることを特徴とする請求項２記載のウエハ冷却保管庫。
【請求項５】
前記上側空間の側方に設けられ、前記扉を、前記上側空間の開口部を閉じた状態に保持する扉保持部と、
前記扉の、前記上側空間の開口部を閉じた状態で前記扉保持部に相対する位置に設けられた取手とを備えることを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれか１項記載のウエハ冷却保管庫。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ベーク工程後のウエハを冷却するウエハ冷却保管庫に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ウエハを収容する樹脂カセットにはバーコード等の識別情報が付与されており、ウエハ製造ラインを通じて樹脂カセット単位にロット等を識別および管理している。しかしながら、ウエハは常に同一の樹脂カセットに収容されるとは限らず、例えばウエハにパターン焼付けを行うベーク工程では、耐熱性の劣る樹脂カセットを使用することはできないため、ウエハをいったん金属カセットに移し替えてベーク炉に入れ加熱処理を行う。その後、金属カセットのウエハを一定時間冷却し（例えば、特許文献１参照）、この冷却工程後にウエハを金属カセットからもとの樹脂カセットに移し替え、次の工程へ進む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−４７４５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来は、冷却庫の場所と樹脂カセットの保管場所が離れているため、作業者が樹脂カセットを取り間違え易く、冷却工程後のウエハを間違った樹脂カセットに移し替える課題があった。
【０００５】
この他にも、例えば、冷却庫の扉が横に開く場合または下から上へ開く場合、ベーク済みのウエハを出し入れする際に開ききっていない扉に接触して損傷する可能性があった。
また例えば、ウエハはロットによってベーク温度と冷却時間が異なるので、冷却時間を間違えないために冷却庫の扉に色による温度識別表示（または冷却時間識別表示）がされている場合がある。しかしながら、冷却庫への出し入れ作業を、ウエハに塗布された感光性物質の露光を防止するために波長制限されたイエロールームで行うため、作業者が温度識別表示の色を見分けにくかった。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、冷却工程後のウエハを金属カセットから樹脂カセットに移し替える際の、樹脂カセットの取り間違えを防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係るウエハ冷却保管庫は、筐体内部が仕切板により上下に仕切られ、加熱処理したウエハを収容して冷却する上側空間と、冷却した当該ウエハを収納するカセットを保管する下側空間とを一体的に備えるウエハ冷却保管庫であって、仕切板の高さ位置を回転中心軸にして上下方向へ開閉自在に支持され、上側空間の開口部を閉じる扉を備え、当該扉は、開いたときに下側空間の開口部を閉じる位置まで回転するものである。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、加熱処理したウエハを収容して冷却する上側空間と、冷却した当該ウエハを収納するカセットを保管する下側空間とを一体化するようにしたので、冷却場所と保管場所が近くなり、樹脂カセットの取り間違えを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】この発明の実施の形態１に係るウエハ冷却保管庫の構成を示す外観斜視図であり、上側空間を閉じた状態である。
【図２】実施の形態１に係るウエハ冷却保管庫の構成を示す外観斜視図であり、下側空間を閉じた状態である。
【図３】実施の形態１に係るウエハ冷却保管庫の構成を示す外観斜視図であり、開閉動作中の状態である。
【図４】実施の形態１に係るウエハ冷却保管庫の構成を示す断面図であり、上側空間を閉じた状態である。
【図５】実施の形態１に係るウエハ冷却保管庫の温度識別表示を説明する図である。
【図６】実施の形態１に係るウエハ冷却保管庫を複数並べて設置した例を示す正面図である。
【図７】実施の形態１に係るウエハ冷却保管庫の変形例を示す外観斜視図であり、上側空間を閉じた状態である。
【図８】実施の形態１に係るウエハ冷却保管庫の変形例を示す外観斜視図であり、下側空間を閉じた状態である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施の形態１．
図１は本実施の形態１に係るウエハ冷却保管庫１の上側空間を閉じた状態を示す外観斜視図、図２は下側空間を閉じた状態を示す外観斜視図、図３は開閉動作中の状態を示す外観斜視図、図４は上側空間を閉じた状態の断面図である。なお、図３および図４では被収容物の図示を省略している。
このウエハ冷却保管庫１は、前面に開口部が形成された略箱形状の筐体２と、この筐体２の内部空間を上側空間と下側空間とに仕切る仕切板３と、上側空間の開口部と下側空間の開口部を交互に開閉する扉４とを備える。詳細は後述するが、上側空間は、ベーク工程後の金属カセット２０Ａ，２０Ｂに入ったウエハ４０を冷却する空間であり、下側空間は、冷却工程後のウエハ４０を入れる樹脂カセット３０Ａ，３０Ｂを、冷却工程のあいだ保管する空間である。
【００１１】
筐体２内部の視認性を確保するために、扉４は透明素材または半透明素材で構成している。この扉４の端部と仕切板３の前面側とが、２つのヒンジ５により連結されている。よって、仕切板３の高さ位置を回転中心軸にして扉４が開閉動作し、上側空間の開口部を閉じたときに下側空間の開口部を開き、反対に上側空間の開口部を開いたときに下側空間の開口部を閉じる。
【００１２】
この扉４は主に上側空間を閉じる目的で設置したものであるので、ここでは、上側空間を閉じたときに外部に露出する面を表、下側空間を閉じたときに外部に露出する面を裏と呼ぶ。図１に示すように、扉４の表面には、後述する温度識別表示１１、ロットの種別を示す「Ａ」および「Ｂ」の文字が提示されていると共に、表側取手６およびタイマ１２Ａ，１２Ｂが取り付けられている。一方、図２に示すように、扉４の裏面には、温度識別表示１１、「Ａ」および「Ｂ」の文字が提示されていると共に、裏側取手７が取り付けられている。
なお、図示例では扉４を仕切板３に連結したが、仕切板３の高さ位置と等しい位置で筐体２に連結してもよい。
【００１３】
扉４の隅には、金属プレート８が取り付けられている。一方、筐体２の上側空間の隅であって扉４が閉じた状態で金属プレート８と対向する位置に、上段マグネット９が取り付けられている。また、筐体２の下側空間の隅であって扉４が閉じた状態で金属プレート８と対向する位置に、下段マグネット１０が取り付けられている。この金属プレート８が上段マグネット９または下段マグネット１０に接着することにより、扉４が上側空間または下側空間を閉じた状態に保持される。
【００１４】
なお、図示例では、上段マグネット９と下段マグネット１０の両方を設置する構成にしたが、少なくとも、上段マグネット９を設置して扉４を上側空間に保持できる構成であればよい。
また、図示例では、扉４を上側空間で保持するための扉保持部を、金属プレート８と上段マグネット９とで構成したが、これに限定されるものではない。例えばヒンジ５に、扉４を付勢するばね部材等の機能を持たせて、扉保持部を構成してもよい。
さらに、ヒンジ５に、開閉動作時のトルクを調整するためのダンパ機構等の機能を持たせて、扉４が自重で落下するときの衝突の衝撃を緩和するようにしてもよい。
【００１５】
また、扉４の表裏面それぞれには同一形状、同一模様の温度識別表示１１が貼付されている。この温度識別表示１１の例を図５および図６に示す。
図５（ａ）はベーク温度９０℃を表す温度識別表示１１、図５（ｂ）はベーク温度１５０℃を表す温度識別表示１１、図５（ｃ）はベーク温度２００℃を表す温度識別表示１１、図５（ｄ）はベーク温度２８０℃を表す温度識別表示１１である。これら温度識別表示１１をベーク温度に応じた大きさの円模様にすることで、作業者がベーク温度の高低を直感的に認識できる。また、これら温度識別表示１１が複数並んだときに（例えば図６）、相対的な大きさの違いが明確になるように、ベーク温度に応じた数の同心円状の模様が描かれている。
【００１６】
なお、図示例では、温度識別表示１１を円形状にしたが、これに限定されるものではなく、例えば多角形状にしてもよい。
また、ベーク温度の他、例えば、冷却時間の長さに応じた大きさの円模様、かつ、冷却時間の長さに応じた数の同心円状の模様を描いた冷却時間識別表示を扉４に貼付してもよい。
【００１７】
次に、ウエハ冷却保管庫１の用途を説明する。
この例ではロットＡのウエハ４０を樹脂カセット３０Ａに収納し、ロットＢのウエハ４０は樹脂カセット３０Ｂに収納して、各製造工程を実施していくこととする。また、樹脂カセット３０Ａ，３０Ｂには、ロットＡ，Ｂを識別するための識別情報をコード化したバーコード３１Ａ，３１Ｂがそれぞれ貼付されている。識別情報の他、加熱温度、冷却時間等の製造工程に関わる情報等が貼付されていてもよい。
【００１８】
ベーク工程において、作業者は、ウエハ４０を樹脂カセット３０Ａから金属カセット２０Ａに移し替え、ベーク炉に入れて所定のベーク温度（例えば９０℃）で加熱する。ウエハ４０を取り出した後の樹脂カセット３０Ａは、ベーク温度９０℃の温度識別表示１１があるウエハ冷却保管庫１の下側空間の文字「Ａ」側に収容して保管する。通常、イエロールーム内でベーク工程および冷却工程を実施するため、温度識別表示１１として色による識別方式を採用した場合には色を見分けにくい。これに対し、本実施の形態１では大きさによる識別方式を採用したので、作業者はイエロールーム内でも温度識別表示１１を見分けることができ、正しいウエハ冷却保管庫１に金属カセット２０Ａおよび樹脂カセット３０Ａを収容できる。
【００１９】
ベーク工程後の冷却工程において、作業者は、高温の金属カセット２０Ａを、ベーク温度９０℃の温度識別表示１１があるウエハ冷却保管庫１の上側空間に収容してタイマ１２Ａをセットし、所定時間、自然冷却する。金属カセット２０Ａをウエハ冷却保管庫１の上側空間に入れる際、作業者が扉４を途中まで開けば、自重により落下し、確実に上側空間を開口できる。そのため、開ききっていない扉４に金属カセット２０Ａが接触することを防止でき、ひいてはウエハ４０の損傷を防止できる。
【００２０】
冷却工程後、作業者はウエハ冷却保管庫１の上側空間に収容された金属カセット２０Ａのウエハ４０を、同じウエハ冷却保管庫１の下側空間に保管されている樹脂カセット３０Ａに移し替える。バーコード３１Ａの貼付された正しい樹脂カセット３０Ａが、金属カセット２０Ａの冷却場所のすぐ近くに保管されているので、樹脂カセット３０Ａ以外の間違った樹脂カセットに移し替える可能性を低減できる。
以上の工程はロットＢについても同様である。
【００２１】
なお、図示例では、ウエハ冷却保管庫１の大きさを、上側空間に２つの金属カセット２０Ａ，２０Ｂ、および下側空間に２つの樹脂カセット３０Ａ，３０Ｂを収容可能な大きさにしたが、これに限定されるものではなく、任意の数のカセットを収容可能な大きさにすればよい。
【００２２】
以上より、実施の形態１によれば、ウエハ冷却保管庫１は、筐体２の内部が仕切板３により上下に仕切られ、加熱処理したウエハ４０を収納した金属カセット２０Ａ，２０Ｂを収容して冷却する上側空間と、冷却したウエハ４０を収納する樹脂カセット３０Ａ，３０Ｂを保管する下側空間とを一体的に備えるように構成した。このため、ウエハ４０の冷却庫と樹脂カセット３０Ａ，３０Ｂの保管棚を一体化でき、作業者による樹脂カセットの取り間違えを防止することができる。
【００２３】
また、実施の形態１によれば、ウエハ冷却保管庫１は、仕切板３の高さ位置を回転中心軸にして上下方向へ開閉自在に支持され、金属プレート８と上段マグネット９とで構成される扉保持部により上側空間の開口部を閉じた状態に保持された扉４を備え、この扉４が、開いたときに下側空間の開口部を閉じる位置まで回転するように構成した。このため、開き始めた扉４が自重で落下するようになり、開ききっていない扉４にウエハ４０が接触して損傷することを防止できる。
【００２４】
また、実施の形態１によれば、扉４には、加熱処理の温度に応じた大きさ、かつ、この温度に応じた数の同心円状の模様が描かれた温度識別表示１１を付すように構成した。このため、イエロールーム内で作業者が温度表示を認識しやすくなり、金属カセット２０Ａ，２０Ｂの入れ間違え、および樹脂カセット３０Ａ，３０Ｂの取り間違えを防止することができる。
【００２５】
なお、上記実施の形態１では、ロットＡ，Ｂの識別情報を持たせた情報担体の例としてバーコード３１Ａ，３１Ｂを挙げたが、これに限定されるものではなく、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）タグ（例えば、ＲＦＩＤ；Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ＩＤｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）等であってもよい。
【００２６】
また、例えば、ロットの識別情報に加え、ベーク温度等の製造工程に関わる情報も記憶させたＲＦＩＤタグを樹脂カセット３０Ａに貼付すると共に扉４にリーダを取り付けておき、樹脂カセット３０Ａをウエハ冷却保管庫１に収容するときにリーダがＲＦＩＤタグの情報を読み取って適切な収容場所か否かを判定し、作業者に報知するようにしてもよい。
あるいは、製造工程に関わる情報をコード化したバーコードを樹脂カセット３０Ａと扉４にそれぞれ貼付しておき、樹脂カセット３０Ａをウエハ冷却保管庫１に収容するときに作業者がリーダで扉４のバーコードと樹脂カセット３０Ａのバーコードを読み取って、リーダ側で適切な収容場所か否かを判定して作業者に報知するようにしてもよい。
【００２７】
このように、樹脂カセット３０Ａ，３０Ｂには、ウエハ４０の製造工程に関わる情報、およびウエハ４０を識別する情報のいずれか一方、または両方を持つバーコート３１Ａ，３１ＢまたはＩＣタグといった情報担体が付され、他方の扉４には、樹脂カセット３０Ａ，３０Ｂに付された情報担体との間で情報の照合が可能なバーコードまたはＩＣタグのリーダが付された構成にすることによって、樹脂カセット３０Ａ，３０Ｂの入れ間違えおよび取り間違え防止効果を高めることができる。
【００２８】
また、上記実施の形態１では、扉４の中央部に表側取手６および裏側取手７を取り付ける構成としたが、取手の取り付け場所はこれに限定されるものではない。以下、図７および図８を用いて変形例を説明する。
図７は、ウエハ冷却保管庫１の変形例であって、上側空間を閉じた状態を示す外観斜視図、図８は下側空間を閉じた状態を示す外観斜視図である。この変形例では、扉４の、上段マグネット９および下段マグネット１０に相対する位置に、表側取手６ａおよび裏側取手７ａを取り付ける構成とした。この構成の場合、扉４を開く際の変形を防止することができる。また、上段マグネット９を上側空間の側方に設置すると共に下段マグネット１０を下側空間の側方に設置したので、金属カセット２０Ａ，２０Ｂおよび樹脂カセット３０Ａ，３０Ｂの出し入れを妨げることがない。
【００２９】
これに対し、図１の構成では、金属プレート８と上段マグネット９（または下段マグネット１０）の接着位置から表側取手６（または裏側取手７）まで多少の距離があるため、扉４を開く際に図７の場合に比べて大きい応力がかかり、変形しやすい。扉４の変形を積極的に防止する必要があれば、例えば上記実施の形態１で述べたように、ヒンジ５に、扉４を付勢するばね部材等の機能を持たせ、金属プレート８と上段マグネット９の代用とすればよい。
【００３０】
上記説明以外にも、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【００３１】
１  ウエハ冷却保管庫、２  筐体、３  仕切板、４  扉、５  ヒンジ、６，６ａ  表側取手、７，７ａ  裏側取手、８  金属プレート（扉保持部）、９  上段マグネット（扉保持部）、１０  下段マグネット、１１  温度識別表示（情報担体）、１２Ａ，１２Ｂ  タイマ、２０Ａ，２０Ｂ  金属カセット、３０Ａ，３０Ｂ  樹脂カセット、３１Ａ，３１Ｂ  バーコード（情報担体）、４０  ウエハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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