(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧を供給する負圧ラインと、
大気圧を供給する大気圧ラインと、
該負圧ラインと該大気圧ラインとを切替可能なバルブと、
該バルブに連通し、該負圧ラインから供給される負圧により、複数のダイが貼着されたダイシングフィルムのうち、取出対象となる該ダイが表面に貼着された領域の裏面を吸着する吸着孔と、表裏方向に進退可能であって該領域が吸着された状態で該領域の一部を表側に突出させ、吸着ノズルにより該ダイが取り出される位置まで、該ダイシングフィルムから剥がしながら該ダイを突出させるピンと、を有する吸着ステージと、
該バルブの切替動作と、該ピンの進退動作と、を所定のタイミングで連動させる共用の駆動部と、
該バルブの切替動作を行うバルブ用カムと、
該ピンの進退動作を行うピン用カムと、
を備え、
該駆動部は、該バルブ用カムと該ピン用カムとが環装される回転軸を有し、
該バルブは、該負圧ラインおよび該大気圧ラインを分断して配置されると共に、該回転軸および該バルブ用カムの回転に伴って往復動可能であり、
該バルブは、該往復動により、該負圧ラインまたは該大気圧ラインに連通可能な切替連通孔を有するダイ供給装置。
【請求項２】
前記駆動部は、
前記吸着孔に負圧を供給するために、前記バルブを前記負圧ラインに切り替える負圧切替動作と、
該負圧切替動作により該負圧が所定値まで到達した後に、前記吸着ノズルにより取り出される位置まで前記ダイを表側に突出させるために、前記ピンを表側に進行させる進行動作と、
を前後して行う請求項１に記載のダイ供給装置。
【請求項３】
前記駆動部は、
前記吸着ノズルにより前記ダイが取り出された後に、前記吸着孔に大気圧を供給するために、前記バルブを前記大気圧ラインに切り替える大気圧切替動作と、
前記ピンを裏側に退出させる退出動作と、
を同期して行う請求項２に記載のダイ供給装置。
【請求項４】
前記ダイは、ウェハのチップである請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のダイ供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、基板に装着するチップをウェハから取り出す際に用いられるダイ供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板に実装されるチップは、ダイ供給装置から供給される。多数のチップは、円形のウェハが格子状に裁断されることにより、形成されている。ダイ供給装置において、多数のチップは、ダイシングフィルムに貼り付けられている。
【０００３】
ダイ供給装置から基板にチップを供給する場合、ダイシングフィルムからチップを剥がす必要がある。特許文献１に記載されているように、ダイシングフィルムからチップを剥がす作業は、吸着孔とピンとを有するポットを用いて行われる。
【０００４】
すなわち、ポットは、ダイシングフィルムの下方に配置されている。ポットは、取出対象であるダイの座標に対応して、水平方向に移動可能である。吸着孔はポットの上面に開設されている。吸着孔からは、バルブにより、負圧と大気圧とが切替可能に供給される。ピンは、ポットの上面に対して、出退可能に（上下方向に往復動可能に）配置されている。
【０００５】
ダイシングフィルムからチップを取り出す際の動きについて簡単に説明する。まず、取出対象であるチップが貼られている領域の真下に、ポットを移動させる。次いで、吸着孔に負圧を供給し、当該領域を吸着する。それから、ピンを上方に動かし、吸着状態の当該領域の一部を、下方から突き上げる。こうすると、チップは、ダイシングフィルムを介して、ピンにより上方に突き上げられる。並びに、チップは、ダイシングフィルムから剥離される。その後、剥離がある程度進んだ状態で、吸着ノズルにより、上方からチップを取り出す。それから、吸着孔から大気圧を供給し、ダイシングフィルムをポット上面から解放する。並びに、ピンを下方に動かし、ポット内に退出させる。なお、取り出されたチップは、吸着ノズルにより基板の所定の座標に装着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２７３１９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように、ダイシングフィルムからチップを取り出す場合、吸着孔には、負圧、大気圧が切り替えられて供給される。また、ピンは、ポットの上面から、上方に往復動する。このため、チップの取出作業を迅速に行うためには、吸着孔に負圧、大気圧を供給するバルブの切替動作と、ピンの進退動作と、を所定のタイミングで精確に連動させる必要がある。
【０００８】
また、バルブで負圧ラインと大気圧ラインとを切り替えてから、実際に吸着孔に所定値の圧力（負圧または大気圧）が供給されるまでの間には、タイムラグが存在する。当該タイムラグを短くすることも、チップの取出作業を迅速に行うためには重要である。
【０００９】
本発明のダイ供給装置は、上記課題に鑑みて完成されたものである。本発明は、ダイの取出作業を迅速に行うことが可能なダイ供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）上記課題を解決するため、本発明のダイ供給装置は、負圧を供給する負圧ラインと、大気圧を供給する大気圧ラインと、該負圧ラインと該大気圧ラインとを切替可能なバルブと、該バルブに連通し、該負圧ラインから供給される負圧により、複数のダイが貼着されたダイシングフィルムのうち、取出対象となる該ダイが表面に貼着された領域の裏面を吸着する吸着孔と、表裏方向に進退可能であって該領域が吸着された状態で該領域の一部を表側に突出させ、吸着ノズルにより該ダイが取り出される位置まで、該ダイシングフィルムから剥がしながら該ダイを突出させるピンと、を有する吸着ステージと、該バルブの切替動作と、該ピンの進退動作と、を所定のタイミングで連動させる共用の駆動部と、を備えてなることを特徴とする。
【００１１】
本発明のダイ供給装置には、バルブ用およびピン用として、共用の駆動部が配置されている。このため、バルブの切替動作と、ピンの進退動作と、を所定のタイミングで精確に連動させることができる。したがって、ダイの取出作業を迅速に行うことができる。
【００１２】
また、バルブとピンとの駆動部が共用化されているため、吸着ステージに近接して、あるいは吸着ステージの内部に、バルブを配置することができる。このため、バルブから吸着孔の開口までの間の距離を、短くすることができる。したがって、バルブで圧力を切り替える際のタイムラグを短くすることができる。この点においても、本発明のダイ供給装置によると、ダイの取出作業を迅速に行うことができる。
【００１３】
（２）好ましくは、上記（１）の構成において、前記バルブの切替動作を行うバルブ用カムと、前記ピンの進退動作を行うピン用カムと、を備え、前記駆動部は、該バルブ用カムと該ピン用カムとが環装される回転軸を有する構成とする方がよい。
【００１４】
本構成によると、共用の回転軸を回転させることにより、バルブ用カムを介してバルブを、ピン用カムを介してピンを、駆動することができる。すなわち、バルブとピンとを機械的に連動させることができる。
【００１５】
（３）好ましくは、上記（１）または（２）の構成において、前記駆動部は、前記吸着孔に負圧を供給するために、前記バルブを前記負圧ラインに切り替える負圧切替動作と、該負圧切替動作により該負圧が所定値まで到達した後に、前記吸着ノズルにより取り出される位置まで前記ダイを表側に突出させるために、前記ピンを表側に進行させる進行動作と、を前後して行う構成とする方がよい。本構成によると、ダイの取出作業の前半部分を迅速に行うことができる。
【００１６】
（４）好ましくは、上記（３）の構成において、前記駆動部は、前記吸着ノズルにより前記ダイが取り出された後に、前記吸着孔に大気圧を供給するために、前記バルブを前記大気圧ラインに切り替える大気圧切替動作と、前記ピンを裏側に退出させる退出動作と、を同期して行う構成とする方がよい。本構成によると、ダイの取出作業の後半部分を迅速に行うことができる。
【００１７】
（５）好ましくは、上記（１）ないし（４）のいずれかの構成において、前記ダイは、ウェハのチップである構成とする方がよい。本構成によると、ウェハからのチップの取出作業を迅速に行うことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によると、ダイの取出作業を迅速に行うことが可能なダイ供給装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第一実施形態のダイ供給装置の透過斜視図である。
【図２】同ダイ供給装置のＸ方向移動テーブルより上の部分の透過斜視図である。
【図３】同部分の大気圧供給状態の前後方向断面図である。
【図４】同部分の負圧供給状態の前後方向断面図である。
【図５】同ダイ供給装置のチップ供給時のタイミングチャートである。
【図６】第二実施形態のダイ供給装置のＸ方向移動テーブルより上の部分の大気圧供給状態の前後方向断面図である。
【図７】第三実施形態のダイ供給装置のＸ方向移動テーブルより上の部分の大気圧供給状態の前後方向断面図である。
【図８】第四実施形態のダイ供給装置のＸ方向移動テーブルより上の部分の大気圧供給状態の前後方向断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
次に、本実施形態のダイ供給装置の実施の形態について説明する。
【００２１】
＜第一実施形態＞
［ダイ供給装置の構成］
まず、本実施形態のダイ供給装置の構成について説明する。図１に、本実施形態のダイ供給装置の透過斜視図を示す。図２に、同ダイ供給装置のＸ方向移動テーブルより上の部分の透過斜視図を示す。図３に、同部分の大気圧供給状態の前後方向断面図を示す。図４に、同部分の負圧供給状態の前後方向断面図を示す。
【００２２】
図１〜図４に示すように、本実施形態のダイ供給装置１は、負圧ライン２と、大気圧ライン３と、バルブ４と、吸着ステージ５と、駆動部６と、ピン用カム７０と、バルブ用カム７１と、カム収容ケース７２と、ベース８０と、Ｙ方向移動テーブル８１と、Ｘ方向移動テーブル８２と、ウェハ固定ステージ８３と、を備えている。ダイ供給装置１は、電子部品実装機（図略）に並置されている。ダイ供給装置１は、電子部品実装機の基板（図略）に、チップ９３を供給している。
【００２３】
（ベース８０）
図１に示すように、ベース８０は、長方形板状を呈してる。ベース８０の上面には、一対のＹ方向ガイドレール８００が配置されている。一対のＹ方向ガイドレール８００は、各々、前後方向に延在している。一対のＹ方向ガイドレール８００は、左右方向に対向している。
【００２４】
（Ｙ方向移動テーブル８１）
図１に示すように、Ｙ方向移動テーブル８１は、長方形板状を呈してる。Ｙ方向移動テーブル８１は、ベース８０の上面に配置されている。Ｙ方向移動テーブル８１は、一対のＸ方向ガイドレール８１０と、一対のＹ方向被ガイド凹部８１１と、を備えている。
【００２５】
一対のＸ方向ガイドレール８１０は、Ｙ方向移動テーブル８１の上面に配置されている。一対のＸ方向ガイドレール８１０は、各々、左右方向に延在している。一対のＸ方向ガイドレール８１０は、前後方向に対向している。
【００２６】
一対のＹ方向被ガイド凹部８１１は、Ｙ方向移動テーブル８１の下面に配置されている。一対のＹ方向被ガイド凹部８１１は、各々、前後方向に延在している。一対のＹ方向被ガイド凹部８１１は、左右方向に対向している。一対のＹ方向被ガイド凹部８１１には、一対のＹ方向ガイドレール８００が挿入されている。Ｙ方向駆動モータ（図略）により、一対のＹ方向被ガイド凹部８１１（つまりＹ方向移動テーブル８１）は、一対のＹ方向ガイドレール８００（つまりベース８０）に対して、前後方向に移動可能である。
【００２７】
（Ｘ方向移動テーブル８２）
図１に示すように、Ｘ方向移動テーブル８２は、長方形板状を呈してる。Ｘ方向移動テーブル８２は、Ｙ方向移動テーブル８１の上面に配置されている。Ｘ方向移動テーブル８２の下面には、一対のＸ方向被ガイド凹部８２１が配置されている。一対のＸ方向被ガイド凹部８２１は、各々、左右方向に延在している。一対のＸ方向被ガイド凹部８２１は、前後方向に対向している。一対のＸ方向被ガイド凹部８２１には、一対のＸ方向ガイドレール８１０が挿入されている。Ｘ方向駆動モータ（図略）により、一対のＸ方向被ガイド凹部８２１（つまりＸ方向移動テーブル８２）は、一対のＸ方向ガイドレール８１０（つまりＹ方向移動テーブル８１）に対して、左右方向に移動可能である。
【００２８】
なお、図示しないが、図３に示すＸ方向移動テーブル８２よりも上の部分全体（後述するカム機構に関する部分全体）は、上下方向に移動可能である。図３に示す状態に対して当該部分全体が下降することにより、水平移動時におけるダイシングフィルム９１との摺接を防止することができる。
【００２９】
（カム収容ケース７２、駆動部６、ピン用カム７０、バルブ用カム７１）
図１〜図４に示すように、カム収容ケース７２は、下方に開口する箱状を呈している。カム収容ケース７２は、Ｘ方向移動テーブル８２の上面に伏設されている。図３、図４に示すように、カム収容ケース７２の上壁には、シャフト挿通孔７２０と、バルブ挿通孔７２１と、が穿設されている。
【００３０】
図２〜図４に示すように、駆動部６は、回転軸６０と、カム駆動モータ６１と、を備えている。カム駆動モータ６１は、Ｘ方向移動テーブル８２の上面に配置されている。回転軸６０は、前後方向（水平方向）に延在している。回転軸６０の外端は、カム駆動モータ６１に連結されている。回転軸６０の内端は、カム収容ケース７２に収容されている。回転軸６０は、カム駆動モータ６１により、自身の軸周りに回転可能である。
【００３１】
ピン用カム７０は、回転軸６０の後寄り部分に環装されている。ピン用カム７０は、回転軸６０と一体的に回転可能である。ピン用カム７０の外周面は、後述するピン５４の動作に対応した、曲面状を呈している。
【００３２】
バルブ用カム７１は、回転軸６０の前寄り部分に環装されている。バルブ用カム７１は、回転軸６０と一体的に回転可能である。バルブ用カム７１の外周面は、後述するバルブ４の動作に対応した、曲面状を呈している。
【００３３】
（吸着ステージ５）
図２〜図４に示すように、吸着ステージ５は、大径部５０と、小径部５１と、カムフォロア５２と、四つの吸着孔５３と、ピン５４と、を備えている。大径部５０は、円柱状を呈している。大径部５０は、カム収容ケース７２の上面に立設されている。大径部５０には、シャフト収容室５０１と、バルブ収容室５０２と、負圧供給通路５０３と、大気圧供給通路５０４と、が区画されている。
【００３４】
図３、図４に示すように、シャフト収容室５０１は、大径部５０の径方向中心に配置されている。シャフト収容室５０１は、上下方向に大径部５０を貫通している。シャフト収容室５０１は、シャフト挿通孔７２０と上下方向に連なっている。
【００３５】
負圧供給通路５０３は、シャフト収容室５０１から前方（径方向外側）に延在している。負圧供給通路５０３の径方向外端には、負圧配管２０が接続されている。大気圧供給通路５０４は、シャフト収容室５０１から前方に延在している。大気圧供給通路５０４は、負圧供給通路５０３の下方に並設されている。大気圧供給通路５０４の径方向外端には、大気圧配管３０が接続されている。
【００３６】
バルブ収容室５０２は、シャフト収容室５０１の前方に配置されている。バルブ収容室５０２は、上下方向に延在している。バルブ収容室５０２の上端は閉塞されている。バルブ収容室５０２の下端は開口している。バルブ収容室５０２は、負圧供給通路５０３の前後方向中間部、および大気圧供給通路５０４の前後方向中間部を、上下方向から分断している。バルブ収容室５０２は、バルブ挿通孔７２１と上下方向に連なっている。
【００３７】
小径部５１は、大径部５０よりも小径の、下方に開口する有底円筒状を呈している。小径部５１は、大径部５０の上面の径方向中心に伏設されている。小径部５１は、シャフト収容室５０１を上方から覆っている。小径部５１には、ヘッド収容室５１０が区画されている。小径部５１の上底壁の径方向中心には、ピン挿通孔５１１が穿設されている。四つの吸着孔５３は、小径部５１の上底壁に穿設されている。四つの吸着孔５３は、ピン挿通孔５１１の周囲に配置されている。
【００３８】
カムフォロア５２は、シャフト５２０とヘッド５２１とを備えている。シャフト５２０は、上下方向に延在する、丸棒状を呈している。シャフト５２０は、シャフト収容室５０１に収容されている。シャフト５２０の下端は、シャフト挿通孔７２０を介して、カム収容ケース７２の内部に進入している。シャフト５２０の下端は、ピン用カム７０に摺接している。シャフト５２０の上端は、ヘッド収容室５１０の内部に進入している。ヘッド５２１は、上下方向に延在する、短軸円柱状を呈している。ヘッド５２１は、ヘッド収容室５１０に収容されている。ヘッド５２１は、シャフト５２０の上端に固定されている。ヘッド５２１は、四本の連通孔５２１ａを備えている。四本の連通孔５２１ａは、各々、上下方向にヘッド５２１を貫通している。四本の連通孔５２１ａと、四つの吸着孔５３と、は上下方向に対向している。ピン５４は、上下方向に延在する、針状を呈している。ピン５４は、ヘッド５２１の上面の径方向中心に配置されている。ピン５４は、ピン挿通孔５１１に収容されている。ピン５４は、ピン挿通孔５１１を介して、小径部５１の上面から、上下方向に出退可能である。
【００３９】
（バルブ４）
図２〜図４に示すように、バルブ４は、上下方向に延在する、丸棒状を呈している。バルブ４は、バルブ収容室５０２に収容されている。バルブ４の下端は、バルブ挿通孔７２１を介して、カム収容ケース７２の内部に進入している。バルブ４の下端は、バルブ用カム７１に摺接している。
【００４０】
図３、図４に示すように、バルブ４は、負圧供給通路５０３および大気圧供給通路５０４を分断している。バルブ４は、切替連通孔４０を備えている。切替連通孔４０は、バルブ４を前後方向（径方向）に貫通している。切替連通孔４０は、負圧供給通路５０３と大気圧供給通路５０４とを選択的に連通させることができる。
【００４１】
（負圧ライン２、大気圧ライン３）
図３、図４に示すように、負圧ライン２は、真空ポンプ２１と、負圧配管２０と、負圧供給通路５０３と、シャフト収容室５０１と、ヘッド収容室５１０と、を備えている。大気圧ライン３は、大気圧配管３０と、大気圧供給通路５０４と、シャフト収容室５０１と、ヘッド収容室５１０と、を備えている。大気圧配管３０の外端は、大気開放されている。
【００４２】
（ウェハ固定ステージ８３）
図１、図３、図４に示すように、ウェハ固定ステージ８３は、円環状であって、吸着ステージ５の上方に配置されている。ウェハ固定ステージ８３の上面には、円環状のウェハリング９０が配置されている。ウェハリング９０には、ダイシングフィルム９１が張設されている。ダイシングフィルム９１は、ウェハリング９０の開口を覆っている。ダイシングフィルム９１の上面には、多数の個片状のチップ９３が貼り付けられている。多数の個片状のチップ９３は、全体として円形を呈している。多数の個片状のチップ９３は、円板状のウェハ９２が格子状に裁断されることにより、形成されている。
【００４３】
［吸着ステージ５、ピン５４、バルブ４の動き］
次に、本実施形態のダイ供給装置１の吸着ステージ５、ピン５４、バルブ４の動きについて説明する。まず、吸着ステージ５の動きについて説明する。図１に示すように、吸着ステージ５を前後方向に移動させる場合は、制御装置（図略）がＹ方向駆動モータを駆動する。そして、一対のＹ方向被ガイド凹部８１１を一対のＹ方向ガイドレール８００で案内しながら、ベース８０に対して、Ｙ方向移動テーブル８１つまり吸着ステージ５を、前後方向に移動させる。
【００４４】
吸着ステージ５を左右方向に移動させる場合は、制御装置がＸ方向駆動モータを駆動する。そして、一対のＸ方向被ガイド凹部８２１を一対のＸ方向ガイドレール８１０で案内しながら、Ｙ方向移動テーブル８１に対して、Ｘ方向移動テーブル８２つまり吸着ステージ５を、左右方向に移動させる。このように、吸着ステージ５を、前後左右方向に動かすことにより、取出対象であるチップ９３の真下に、ピン５４および吸着孔５３を配置することができる。
【００４５】
次に、ピン５４の動きについて説明する。図２〜図４に示すように、ピン５４を上下方向に往復動させる場合は、制御装置がカム駆動モータ６１を駆動する。カム駆動モータ６１が駆動されると、回転軸６０が自身の軸周りに回転する。回転軸６０が回転すると、ピン用カム７０も一体的に回転する。ここで、ピン用カム７０の外周面の上部には、シャフト５２０の下端が摺接している。このため、ピン用カム７０の外周面の形状に応じたタイミング、速度で、カムフォロア５２が上下方向に往復動する。したがって、ヘッド５２１の上面に配置されているピン５４も、上下方向に往復動する。当該往復動により、ピン５４は、ピン挿通孔５１１を介して、小径部５１の上面から出退する。
【００４６】
次に、バルブ４の動きについて説明する。図２〜図４に示すように、図２〜図４に示すように、バルブ４を上下方向に往復動させる場合は、制御装置がカム駆動モータ６１を駆動する。カム駆動モータ６１が駆動されると、回転軸６０が自身の軸周りに回転する。回転軸６０が回転すると、バルブ用カム７１も一体的に回転する。ここで、バルブ用カム７１の外周面の上部には、バルブ４の下端が摺接している。このため、バルブ用カム７１の外周面の形状に応じたタイミング、速度で、バルブ４が上下方向に往復動する。当該往復動により、バルブ４は、負圧供給通路５０３（つまり負圧ライン２）と、大気圧供給通路５０４（つまり大気圧ライン３）と、を選択的に連通させる。
【００４７】
このように、ピン５４とバルブ４とは、共にカム駆動モータ６１および回転軸６０に従動している。このため、ピン５４とバルブ４とは、ピン用カム７０、バルブ用カム７１の形状に応じて、所定のタイミングで連動している。
【００４８】
［ダイ供給装置１のチップ９３供給時の動き］
次に、本実施形態のダイ供給装置１のチップ９３供給時の動きについて説明する。図５に、本実施形態のダイ供給装置のチップ供給時のタイミングチャートを示す。まず、図３に示す大気圧ライン３が連通している状態で、図１に示すように、吸着ステージ５を、取出対象であるチップ９３の真下まで移動させる。図３に示すように、ダイシングフィルム９１における、当該チップ９３が貼着された領域Ｃ１の下面に、小径部５１の上面は当接している。
【００４９】
次に、図４、図５に示すように、電子部品実装機の吸着ノズル９５を、当該チップ９３の真上まで移動させる。そして、吸着ノズル９５を、高度Ｂ１（搬送高度）から高度Ｂ２（吸着高度）まで下降させる。なお、吸着ノズル９５は、ＸＹロボット（図略。図１に示すベース８０、Ｙ方向移動テーブル８１、Ｘ方向移動テーブル８２のように、水平方向に移動可能なロボット）により駆動される。また、吸着ノズル９５は、ボールねじ（図略）により、ＸＹロボットに対して、上下方向に移動可能である。
【００５０】
続いて、回転軸６０の回転を開始し、図３→図４に示すように、バルブ４およびピン５４を上方に移動させる。なお、回転軸６０は、後述するようにバルブ４およびピン５４が下降するまで、回転を継続する。バルブ４とピン５４のうち、最初にバルブ４を上昇させる（負圧切替動作）。そして、四つの吸着孔５３の連通先を、大気圧ライン３から負圧ライン２に切り替える。なお、負圧ライン２には、予め、真空ポンプ２１から負圧が供給されている。すなわち、制御装置は、常時、真空ポンプ２１を駆動している。図５に示すように、負圧ライン２に切り替えられることにより、吸着孔５３の圧力は、大気圧Ｐ１から徐々に減圧される。このため、ダイシングフィルム９１の領域Ｃ１が吸着孔５３に吸着される。
【００５１】
吸着孔５３の圧力が所定値Ｐ２まで減圧されたら、図３→図４に示すように、ピン５４を上昇させる（進行動作）。そして、ピン挿通孔５１１を介して、ピン５４を小径部５１の上面から突出させる。図５に示すように、ピン５４は、高度Ａ２から高度Ａ１まで上昇する。このため、図４に示すように、ダイシングフィルム９１の領域Ｃ１のうち、取出対象であるチップ９３の真下に配置され、かつチップ９３よりも小さい領域Ｃ２が、ピン５４により突き上げられる。突き上げられる際、チップ９３は、徐々にダイシングフィルム９１から剥離される。なお、ピン５４が上昇する間に、図５に示すように、吸着孔５３の圧力は最低圧Ｐ３まで到達する。
【００５２】
チップ９３に対するダイシングフィルム９１の貼着力よりも、吸着ノズル９５の吸引力の方が、上回るようになったら、吸着ノズル９５でチップ９３を吸着する。そして、図５に示すように、吸着ノズル９５を、高度Ｂ２から高度Ｂ１まで上昇させる。なお、チップ９３は、吸着ノズル９５により、基板の所定の座標に装着される。
【００５３】
吸着ノズル９５が高度Ｂ１まで上昇したら、図４→図３に示すように、回転中の回転軸６０の動きに従って、バルブ４およびピン５４を下方に移動させる。バルブ４の下降（大気圧切替動作）と、ピン５４の下降（退出動作）と、は同期して進行する。バルブ４を下降させることにより、四つの吸着孔５３の連通先を、負圧ライン２から大気圧ライン３に切り替える。図５に示すように、バルブ４を下降させることにより、吸着孔５３の圧力は、最低圧Ｐ３から大気圧Ｐ１まで増圧される。このため、ダイシングフィルム９１の領域Ｃ１が吸着孔５３から解放される。また、高度Ａ１から高度Ａ２までピン５４を下降させることにより、ピン挿通孔５１１を介して、ピン５４を小径部５１の内部に進入させる。
大気圧ライン３の連通とピン５４の進入とが完了したら、図１に示すように、次の取出対象であるチップ９３の真下まで、吸着ステージ５を移動させる。このように、ダイ供給装置１は、次々とチップ９３を吸着ノズル９５に受け渡す。
【００５４】
［作用効果］
次に、本実施形態のダイ供給装置１の作用効果について説明する。図３に示すように、本実施形態のダイ供給装置１には、バルブ４用およびピン５４用として、共用の駆動部６が配置されている。このため、バルブ４の切替動作と、ピン５４の進退動作と、を所定のタイミングで精確に連動させることができる。したがって、チップ９３の取出作業を迅速に行うことができる。
【００５５】
また、バルブ４とピン５４との駆動部６が共用化されているため、吸着ステージ５の内部にバルブ４を配置することができる。このため、バルブ４から吸着孔５３の開口までの間の距離を、短くすることができる。したがって、バルブ４で圧力を切り替える際のタイムラグを短くすることができる。この点においても、本実施形態のダイ供給装置１によると、チップ９３の取出作業を迅速に行うことができる。
【００５６】
また、図３に示すように、本実施形態のダイ供給装置１によると、共用の回転軸６０を回転させることにより、バルブ用カム７１を介してバルブ４を、ピン用カム７０を介してピン５４を、駆動することができる。すなわち、バルブ４とピン５４とを機械的に連動させることができる。
【００５７】
また、図５に示すように、本実施形態のダイ供給装置１によると、共用の回転軸６０を回転させることにより、バルブ４を負圧ライン２に切り替える負圧切替動作と、負圧が所定値Ｐ２まで到達した後にピン５４を上方に進行させる進行動作と、を前後して行うことができる。
【００５８】
また、図５に示すように、本実施形態のダイ供給装置１によると、共用の回転軸６０を回転させることにより、バルブ４を大気圧ライン３に切り替える大気圧切替動作と、ピン５４を下方に退出させる退出動作と、を同期して行うことができる。
【００５９】
＜第二実施形態＞
本実施形態のダイ供給装置と第一実施形態のダイ供給装置との相違点は、負圧ライン、大気圧ラインに加えて、正圧ラインが配置されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。
【００６０】
図６に、本実施形態のダイ供給装置のＸ方向移動テーブルより上の部分の大気圧供給状態の前後方向断面図を示す。なお、図３と対応する部位については、同じ符号で示す。図６に示すように、吸着ステージ５には、正圧供給通路５０５が配置されている。正圧供給通路５０５は、負圧供給通路５０３と大気圧供給通路５０４との間に配置されている。正圧供給通路５０５は、負圧供給通路５０３および大気圧供給通路５０４と同様に、バルブ４により分断されている。正圧ライン８５は、ポンプ８５１と、正圧配管８５０と、正圧供給通路５０５と、シャフト収容室５０１と、ヘッド収容室５１０と、を備えている。
【００６１】
負圧切替動作を行う際、バルブ４は、一時的に正圧ライン８５を経由して、四つの吸着孔５３の連通先を、大気圧ライン３から負圧ライン２に切り替える。ただし、この際、ポンプ８５１は停止している。
【００６２】
大気圧切替動作を行う際、バルブ４は、一時的に正圧ライン８５を経由して、四つの吸着孔５３の連通先を、負圧ライン２から大気圧ライン３に切り替える。この際、制御装置は、ポンプ８５１を駆動している。このため、ライン切替の際、瞬間的に吸着孔５３に正圧が供給される。
【００６３】
本実施形態のダイ供給装置１と第一実施形態のダイ供給装置とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。また、本実施形態のダイ供給装置１によると、図５を援用して示すように、最低圧Ｐ３から大気圧Ｐ１に増圧する際の増圧時間Ｔ１を短くすることができる。
【００６４】
＜第三実施形態＞
本実施形態のダイ供給装置と第一実施形態のダイ供給装置との相違点は、バルブが回転軸のスプライン溝により駆動されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。
【００６５】
図７に、本実施形態のダイ供給装置のＸ方向移動テーブルより上の部分の大気圧供給状態の前後方向断面図を示す。なお、図３と対応する部位については、同じ符号で示す。図７に示すように、カム収容ケース７２の上壁には、前後方向に延在する、バルブ挿通孔７２１が穿設されている。バルブ４は、Ｌ字状に屈曲している。すなわち、バルブ４は、立壁部４１と天壁部４２とを備えている。切替連通孔４０は、天壁部４２に穿設されている。
【００６６】
負圧供給通路５０３は、クランク状に屈曲ながら、負圧配管２０とシャフト収容室５０１とを連通している。大気圧供給通路５０４は、クランク状に屈曲ながら、大気圧配管３０とシャフト収容室５０１とを連通している。バルブ４の天壁部４２は、負圧供給通路５０３および大気圧供給通路５０４の上下方向延在部を分断している。
【００６７】
回転軸６０の外周面には、スプライン溝６００が形成されている。バルブ４の立壁部４１の下端は、スプライン溝６００に摺接している。スプライン溝６００は、バルブ４の動作に対応した、曲線状を呈している。回転軸６０が回転すると、立壁部４１とスプライン溝６００との摺接点が前後方向に移動する。このため、立壁部４１つまりバルブ４が前後方向に移動する。当該移動により、バルブ４は、四つの吸着孔５３の連通先を、大気圧ライン３から負圧ライン２に、あるいは負圧ライン２から大気圧ライン３に、切り替える。
【００６８】
本実施形態のダイ供給装置１と第一実施形態のダイ供給装置とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。本実施形態のダイ供給装置１のように、回転軸６０にスプライン溝６００を設けて、バルブ４を駆動してもよい。
【００６９】
＜第四実施形態＞
本実施形態のダイ供給装置と第一実施形態のダイ供給装置との相違点は、バルブが負圧供給通路および大気圧供給通路の下流端に配置されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。
【００７０】
図８に、本実施形態のダイ供給装置のＸ方向移動テーブルより上の部分の大気圧供給状態の前後方向断面図を示す。なお、図３と対応する部位については、同じ符号で示す。図８に示すように、シャフト収容室５０１とバルブ収容室５０２とは一体化されている。すなわち、バルブ４は、負圧供給通路５０３および大気圧供給通路５０４の下流端と、バルブ収容室５０２と、の間に介装されている。また、ピン用カム７０とバルブ用カム７１とは一体化されている。
【００７１】
本実施形態のダイ供給装置１と第一実施形態のダイ供給装置とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。本実施形態のダイ供給装置１によると、バルブ４下流側の負圧ライン２のライン長、大気圧ライン３のライン長を短くすることができる。また、ピン用カム７０とバルブ用カム７１とが一体化されている分、部品点数を少なくすることができる。
【００７２】
＜その他＞
以上、本発明のダイ供給装置１の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【００７３】
Ｙ方向ガイドレール８００およびＹ方向被ガイド凹部８１１は、Ｙ方向移動テーブル８１を前後方向に案内するＹ方向ガイド部としての機能を有している。また、Ｘ方向ガイドレール８１０およびＸ方向被ガイド凹部８２１は、Ｘ方向移動テーブル８２を左右方向に案内するＸ方向ガイド部としての機能を有している。これらのガイド部の凹凸関係は、逆であってもよい。
【００７４】
Ｙ方向移動テーブル８１は、吸着ステージ５を前後方向に動かす、Ｙ方向駆動部としての機能を有している。Ｘ方向移動テーブル８２は、吸着ステージ５を左右方向に動かす、Ｘ方向駆動部としての機能を有している。これらの駆動部は、テーブル状に限定されない。また、これらの駆動部の上下関係は、逆であってもよい。
【００７５】
Ｙ方向駆動モータは、Ｙ方向移動テーブル８１を前後方向に動かす、Ｙ方向駆動源としての機能を有している。Ｘ方向駆動モータは、Ｘ方向移動テーブル８２を左右方向に動かす、Ｘ方向駆動源としての機能を有している。カム駆動モータ６１は、ピン用カム７０とバルブ用カム７１とを回転させる、カム駆動源としての機能を有している。これらの駆動源は、モータに限定されない。シリンダ、ソレノイドなど、他のアクチュエータであってもよい。
【００７６】
バルブ収容室５０２は、バルブ４の移動方向を規制する、バルブガイド部としての機能を有している。ヘッド収容室５１０は、ヘッド５２１の移動方向を規制する、ヘッドガイド部としての機能を有している。ピン挿通孔５１１は、ピン５４の移動方向を規制する、ピンガイド部としての機能を有している。回転軸６０は、ピン用カム７０とバルブ用カム７１とに駆動力を伝達する、伝達部としての機能を有している。
【００７７】
ピン用カム７０、バルブ用カム７１に用いられる、カムの種類は限定されない。板カム、溝カムなどの平面カムであってもよい。また、円筒カム、斜板カム、端面カム、球面カムなどの立体カムであってもよい。
【００７８】
また、回転動→直線動に運動方向を変換するカムではなく、直線動→直線動に運動方向を変換するカムであってもよい。例えば、バルブの動作に対応したバルブ用曲面と、ピンの動作に対応したピン用曲面と、を上面に有し、かつ水平方向に往復動する直進カムを配置し、バルブ４をバルブ用曲面に摺接させ、カムフォロア５２をピン用曲面に摺接させることにより、バルブ４およびピン５４を、各々、所定のタイミングで上下方向に往復動させてもよい。吸着孔５３の配置数、位置、形状、大きさは特に限定されない。
【００７９】
また、上記実施形態においては、静止状態のチップ９３つまりウェハ固定ステージ８３に対して、ピン５４つまり吸着ステージ５を水平方向に移動させたが、静止状態の吸着ステージ５に対してウェハ固定ステージ８３を水平方向に移動させてもよい。すなわち、チップ９３とピン５４との相対的な水平方向位置関係が、変更可能であればよい。
【００８０】
また、上記実施形態においては、図５に示すように、吸着ノズル９５を高度Ｂ１（搬送高度）から高度Ｂ２（吸着高度）まで下降させた後で、ピン５４を高度Ａ２から高度Ａ１まで上昇させた。しかしながら、吸着ノズル９５を高度Ｂ２まで下降させる前に、ピン５４の上昇を開始してもよい。また、吸着ノズル９５を高度Ｂ２まで下降させる前に、ピン５４が高度Ａ１に到達してもよい。
【００８１】
また、上記実施形態においては、図５に示すように、吸着ノズル９５を高度Ｂ１（搬送高度）から高度Ｂ２（吸着高度）まで下降させた後で、吸着孔５３の圧力を大気圧Ｐ１から最低圧Ｐ３まで減圧した。しかしながら、吸着ノズル９５を高度Ｂ２まで下降させる前に、減圧を開始してもよい。また、吸着ノズル９５を高度Ｂ２まで下降させる前に、圧力が所定値Ｐ２、または最低圧Ｐ３に到達してもよい。
【００８２】
また、バルブ４の種類も特に限定されない。例えば、スプールバルブ、ゲートバルブ、グローブバルブ、ボールバルブ、ニードルバルブ、ストップバルブ、バタフライバルブ、スライドバルブ、ポペットバルブ、ピストンバルブ、スリーブバルブ、ロータリーバルブなど、あらゆるバルブを用いることができる。
【００８３】
また、本実施形態のダイ供給装置１は、セラミック（ガラス、シリコン、サファイアなど）などから形成される薄板を裁断して作製される、個片状のあらゆるダイに対して用いることができる。
【符号の説明】
【００８４】
１：ダイ供給装置、２：負圧ライン、３：大気圧ライン、４：バルブ、５：吸着ステージ、６：駆動部。
２０：負圧配管、２１：真空ポンプ、３０：大気圧配管、４０：切替連通孔、４１：立壁部、４２：天壁部、５０：大径部、５１：小径部、５２：カムフォロア、５３：吸着孔、５４：ピン、６０：回転軸、６１：カム駆動モータ、７０：ピン用カム、７１：バルブ用カム、７２：カム収容ケース、８０：ベース、８１：Ｙ方向移動テーブル、８２：Ｘ方向移動テーブル、８３：ウェハ固定ステージ、８５：正圧ライン、９０：ウェハリング、９１：ダイシングフィルム、９２：ウェハ、９３：チップ、９５：吸着ノズル。
５０１：シャフト収容室、５０２：バルブ収容室、５０３：負圧供給通路、５０４：大気圧供給通路、５０５：正圧供給通路、５１０：ヘッド収容室、５１１：ピン挿通孔、５２０：シャフト、５２１：ヘッド、５２１ａ：連通孔、６００：スプライン溝、７２０：シャフト挿通孔、７２１：バルブ挿通孔、８００：Ｙ方向ガイドレール、８１０：Ｘ方向ガイドレール、８１１：Ｙ方向被ガイド凹部、８２１：Ｘ方向被ガイド凹部、８５０：正圧配管、８５１：ポンプ。
Ａ１：高度、Ａ２：高度、Ｂ１：高度、Ｂ２：高度、Ｃ１：領域、Ｃ２：領域、Ｐ１：大気圧、Ｐ２：所定値、Ｐ３：最低圧、Ｔ１：増圧時間。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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