(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
すくい面および逃げ面を有する表面被覆切削工具であって、
基材と、前記基材上に形成された被膜とを備え、
前記被膜は、α−Ａｌ2Ｏ3層を含み、
前記α−Ａｌ2Ｏ3層は、複数のα−Ａｌ2Ｏ3の結晶粒を含み、
前記結晶粒の粒界は、ＣＳＬ粒界と、一般粒界とを含み、
すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層は（００１）配向を示し、
前記すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、ＣＳＬ粒界のうちΣ３型結晶粒界の長さＬＲ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＲ３−２９の８０％超であり、かつ前記長さＬＲ３−２９と一般粒界ＬＲＧの長さとの和である全粒界の合計長さＬＲの１０％以上５０％以下であり、
逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層は（００１）配向を示し、
前記逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、ＣＳＬ粒界のうちΣ３型結晶粒界の長さＬＦ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＦ３−２９の８０％超であり、かつ前記長さＬＦ３−２９と一般粒界の長さＬＦＧとの和である全粒界の合計長さＬＦの１０％以上５０％以下であり、
前記長さＬＲ３と前記長さＬＲ３−２９との比ＬＲ３／ＬＲ３−２９は、前記長さＬＦ３と前記長さＬＦ３−２９との比ＬＦ３／ＬＦ３−２９よりも小さく、
前記（００１）配向を示すとは、（００１）面に対する法線方向が前記α−Ａｌ2Ｏ3層表面の法線方向に対して±２０°以内となる前記α−Ａｌ2Ｏ3の結晶粒の割合が前記α−Ａｌ2Ｏ3層中で５０％以上となる場合を言う、表面被覆切削工具。
【請求項２】
前記ＣＳＬ粒界は、Σ３型結晶粒界、Σ７型結晶粒界、Σ１１型結晶粒界、Σ１７型結晶粒界、Σ１９型結晶粒界、Σ２１型結晶粒界、Σ２３型結晶粒界、およびΣ２９型結晶粒界からなり、
前記長さＬＲ３−２９は、前記すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層におけるΣ３型結晶粒界、Σ７型結晶粒界、Σ１１型結晶粒界、Σ１７型結晶粒界、Σ１９型結晶粒界、Σ２１型結晶粒界、Σ２３型結晶粒界、およびΣ２９型結晶粒界のそれぞれの長さの総計であり、
前記長さＬＦ３−２９は、前記逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層におけるΣ３型結晶粒界、Σ７型結晶粒界、Σ１１型結晶粒界、Σ１７型結晶粒界、Σ１９型結晶粒界、Σ２１型結晶粒界、Σ２３型結晶粒界、およびΣ２９型結晶粒界のそれぞれの長さの総計である、請求項１に記載の表面被覆切削工具。
【請求項３】
前記α−Ａｌ2Ｏ3層は、２〜２０μｍの厚みを有する、請求項１または請求項２に記載の表面被覆切削工具。
【請求項４】
前記α−Ａｌ2Ｏ3層は、表面粗さＲａが０．２μｍ未満である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の表面被覆切削工具。
【請求項５】
前記α−Ａｌ2Ｏ3層は、前記被膜の表面側から２μｍ以内の領域に圧縮応力の絶対値が最大となる地点を含み、前記地点における圧縮応力の絶対値は１ＧＰａ未満である、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の表面被覆切削工具。
【請求項６】
前記被膜は、前記基材と前記α−Ａｌ2Ｏ3層との間にＴｉＣxＮy層を含み、
前記ＴｉＣxＮy層は、０．６≦ｘ／（ｘ＋ｙ）≦０．８という関係の原子比を満たすＴｉＣxＮyを含む、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の表面被覆切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面被覆切削工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、基材上に被膜を形成した表面被覆切削工具が用いられてきた。たとえば、特開２００６−１９８７３５号公報（特許文献１）は、Σ３型結晶粒界がΣ３−２９型結晶粒界に占める割合が６０−８０％となるα−Ａｌ2Ｏ3層を含む被膜を有する表面被覆切削工具を開示している。【０００３】
また、特表２０１４−５２６３９１号公報（特許文献２）は、Σ３型結晶粒界の長さがΣ３−２９型結晶粒界の長さの８０％超となるα−Ａｌ2Ｏ3層を含む被膜を有する表面被覆切削工具を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１９８７３５号公報
【特許文献２】特表２０１４−５２６３９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
多結晶のα−Ａｌ2Ｏ3からなるα−Ａｌ2Ｏ3層を含む被膜において、α−Ａｌ2Ｏ3層に含まれる粒界におけるΣ３型結晶粒界の占める割合が高くなるほど機械特性をはじめとする種々の特性が向上し、以って耐摩耗性や耐欠損性が向上することから切削工具の寿命が長くなることが期待される。【０００６】
しかしながら、近年の切削加工においては、高速化および高能率化が進行し、切削工具にかかる負荷が増大し、切削工具の寿命が短期化することが問題となっていた。このため、切削工具の被膜の機械特性をさらに向上させ、切削工具の寿命をさらに長寿命化することが求められている。【０００７】
本開示は、このような状況に鑑みなされたものであって、その目的とするところは、被膜の機械特性を向上させ、切削工具の寿命をさらに長寿命化した表面被覆切削工具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一態様に係る表面被覆切削工具は、すくい面および逃げ面を有する表面被覆切削工具であって、基材と、基材上に形成された被膜とを備える。被膜はα−Ａｌ2Ｏ3層を含み、α−Ａｌ2Ｏ3層は複数のα−Ａｌ2Ｏ3の結晶粒を含み、結晶粒の粒界はＣＳＬ粒界と一般粒界とを含む。すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層は（００１）配向を示し、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、ＣＳＬ粒界のうちΣ３型結晶粒界の長さＬＲ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＲ３−２９の８０％超であり、かつ長さＬＲ３−２９と一般粒界ＬＲＧの長さとの和である全粒界の合計長さＬＲの１０％以上５０％以下である。逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層は（００１）配向を示し、逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、ＣＳＬ粒界のうちΣ３型結晶粒界の長さＬＦ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＦ３−２９の８０％超であり、かつ長さＬＦ３−２９と一般粒界の長さＬＦＧとの和である全粒界の合計長さＬＦの１０％以上５０％以下である。長さＬＲ３と長さＬＲ３−２９との比ＬＲ３／ＬＲ３−２９は、長さＬＦ３と長さＬＦ３−２９との比ＬＦ３／ＬＦ３−２９よりも小さい。
【発明の効果】
【０００９】
上記によれば、被膜の機械特性が向上し、切削工具の寿命をさらに長寿命化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本開示の一実施形態に係る表面被覆切削工具の斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線矢視断面図である。
【図３】ホーニング加工された刃先稜線部を有する表面被覆切削工具を例示する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
[本発明の実施形態の説明]
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
【００１２】
［１］本開示の一態様に係る表面被覆切削工具は、すくい面および逃げ面を有する表面被覆切削工具であって、基材と、基材上に形成された被膜とを備える。被膜はα−Ａｌ2Ｏ3層を含み、α−Ａｌ2Ｏ3層は複数のα−Ａｌ2Ｏ3の結晶粒を含み、結晶粒の粒界はＣＳＬ粒界と一般粒界とを含む。すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層は（００１）配向を示し、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、ＣＳＬ粒界のうちΣ３型結晶粒界の長さＬＲ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＲ３−２９の８０％超であり、かつ長さＬＲ３−２９と一般粒界ＬＲＧの長さとの和である全粒界の合計長さＬＲの１０％以上５０％以下である。逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層は（００１）配向を示し、逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、ＣＳＬ粒界のうちΣ３型結晶粒界の長さＬＦ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＦ３−２９の８０％超であり、かつ長さＬＦ３−２９と一般粒界の長さＬＦＧとの和である全粒界の合計長さＬＦの１０％以上５０％以下である。長さＬＲ３と長さＬＲ３−２９との比ＬＲ３／ＬＲ３−２９は、長さＬＦ３と長さＬＦ３−２９との比ＬＦ３／ＬＦ３−２９よりも小さい。この表面被覆切削工具は、被膜の機械特性が向上し、寿命が長寿命化されたものとなる。
【００１３】
［２］上記表面被覆切削工具において、ＣＳＬ粒界は、Σ３型結晶粒界、Σ７型結晶粒界、Σ１１型結晶粒界、Σ１７型結晶粒界、Σ１９型結晶粒界、Σ２１型結晶粒界、Σ２３型結晶粒界、およびΣ２９型結晶粒界からなり、長さＬＲ３−２９は、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層におけるΣ３型結晶粒界、Σ７型結晶粒界、Σ１１型結晶粒界、Σ１７型結晶粒界、Σ１９型結晶粒界、Σ２１型結晶粒界、Σ２３型結晶粒界、およびΣ２９型結晶粒界のそれぞれの長さの総計であり、長さＬＦ３−２９は、逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層におけるΣ３型結晶粒界、Σ７型結晶粒界、Σ１１型結晶粒界、Σ１７型結晶粒界、Σ１９型結晶粒界、Σ２１型結晶粒界、Σ２３型結晶粒界、およびΣ２９型結晶粒界のそれぞれの長さの総計である。
【００１４】
［３］上記α−Ａｌ2Ｏ3層は、２〜２０μｍの厚みを有することが好ましい。これにより、上記の特性が最も効果的に発揮される。
【００１５】
［４］上記α−Ａｌ2Ｏ3層は、表面粗さＲａが０．２μｍ未満であることが好ましい。これにより、被削材と工具刃先との凝着摩耗が抑制され、その結果として刃先の耐チッピング性が向上したものとなる。
【００１６】
［５］上記α−Ａｌ2Ｏ3層は、上記被膜の表面側から２μｍ以内の領域に圧縮応力の絶対値が最大となる地点を含み、該地点における圧縮応力の絶対値は１ＧＰａ未満であることが好ましい。これにより、断続切削加工時に発生する機械的、熱的疲労による工具刃先の欠損が抑制され、その結果として刃先の信頼性が向上したものとなる。
【００１７】
［６］上記被膜は、上記基材と上記α−Ａｌ2Ｏ3層との間にＴｉＣxＮy層を含み、該ＴｉＣxＮy層は、０．６≦ｘ／（ｘ＋ｙ）≦０．８という関係の原子比を満たすＴｉＣxＮyを含むことが好ましい。これにより、基材とα−Ａｌ2Ｏ3層との密着性が向上する。
【００１８】
[本発明の実施形態の詳細]
以下、本発明の実施形態（以下「本実施形態」とも記す）に係る表面被覆切削工具について、図１〜図３を用いながら、さらに詳細に説明する。
【００１９】
＜表面被覆切削工具＞
図１を参照し、本実施形態の表面被覆切削工具１０（以下、単に「工具１０」と記す）は、すくい面１と、逃げ面２と、すくい面１と逃げ面２とが交差する刃先稜線部３とを有する。すなわち、すくい面１と逃げ面２とは、刃先稜線部３を挟んで繋がる面である。刃先稜線部３は、工具１０の切刃先端部を構成する。このような工具１０の形状は、後述する基材の形状に依拠する。
【００２０】
図１には旋削加工用刃先交換型切削チップとしての工具１０が示されるが、工具１０はこれに限られず、ドリル、エンドミル、ドリル用刃先交換型切削チップ、エンドミル用刃先交換型切削チップ、フライス加工用刃先交換型切削チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップなどの切削工具として好適に使用することができる。
【００２１】
また、工具１０が刃先交換型切削チップ等である場合、工具１０は、チップブレーカを有するものも、有さないものも含まれ、また、刃先稜線部３は、その形状がシャープエッジ（すくい面と逃げ面とが交差する稜）（図１参照）、ホーニング（シャープエッジに対してアールを付与したもの）（図３参照）、ネガランド（面取りをしたもの）、ホーニングとネガランドとを組み合せたもののいずれのものも含まれる。
【００２２】
図２を参照し、上記工具１０は、基材１１と、該基材１１上に形成された被膜１２とを備えた構成を有する。工具１０において、被膜１２は、基材１１の全面を被覆することが好ましいが、基材１１の一部がこの被膜１２で被覆されていなかったり、被膜１２の構成が部分的に異なったりしていたとしても本実施形態の範囲を逸脱するものではない。
【００２３】
＜基材＞
本実施形態の基材１１は、すくい面１１ａと、逃げ面１１ｂと、すくい面１１ａと逃げ面１１ｂとが交差する刃先稜線部１１ｃとを有する。すくい面１１ａ、逃げ面１１ｂ、および刃先稜線部１１ｃは、工具１０のすくい面１、逃げ面２、および刃先稜線部３を構成する。
【００２４】
基材１１としては、この種の基材として従来公知のものであればいずれのものも使用することができる。たとえば、超硬合金（たとえばＷＣ基超硬合金、ＷＣの他、Ｃｏを含み、あるいはＴｉ、Ｔａ、Ｎｂ等の炭窒化物を添加したものも含む）、サーメット（ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ等を主成分とするもの）、高速度鋼、セラミックス（炭化チタン、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウムなど）、立方晶型窒化硼素焼結体、またはダイヤモンド焼結体のいずれかであることが好ましい。これらの各種基材の中でも、特にＷＣ基超硬合金、サーメット（特にＴｉＣＮ基サーメット）を選択することが好ましい。これは、これらの基材が特に高温における硬度と強度とのバランスに優れ、上記用途の表面被覆切削工具の基材として優れた特性を有するためである。
【００２５】
＜被膜＞
本実施形態の被膜１２は、α−Ａｌ2Ｏ3層を含む限り、他の層を含んでいてもよい。他の層としては、たとえばＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層、ＴｉＢＮＯ層、ＴｉＣＮＯ層、ＴｉＢ2層、ＴｉＡｌＮ層、ＴｉＡｌＣＮ層、ＴｉＡｌＯＮ層、ＴｉＡｌＯＮＣ層等を挙げることができる。その積層の順も特に限定されない。
【００２６】
なお、本実施形態において、「ＴｉＮ」、「ＴｉＣＮ」、「ＴｉＣxＮy」等の化学式において特に原子比を特定していないものは、各元素の原子比が「１」のみであることを示すものではなく、従来公知の原子比が全て含まれるものとする。
【００２７】
このような本実施形態の被膜１２は、基材１１を被覆することにより、耐摩耗性や耐チッピング性等の諸特性を向上させる作用を有するものである。
【００２８】
被膜１２は、３〜３０μｍ（３μｍ以上３０μｍ以下、なお本願において数値範囲を「〜」を用いて表わす場合、その範囲は上限および下限の数値を含むものとする）、より好ましくは５〜２０μｍの厚みを有することが好適である。その厚みが３μｍ未満では、耐摩耗性が不十分となる場合があり、３０μｍを超えると、断続加工において被膜１２と基材１１との間に大きな応力が加わった際に被膜１２の剥離または破壊が高頻度に発生する場合がある。
【００２９】
＜α−Ａｌ2Ｏ3層＞
本実施形態の被膜１２は、α−Ａｌ2Ｏ3層を含む。このα−Ａｌ2Ｏ3層は、当該被膜１２中に一層または二層以上含まれることができる。
【００３０】
このα−Ａｌ2Ｏ3層は、複数のα−Ａｌ2Ｏ3（結晶構造がα型である酸化アルミニウム）の結晶粒を含んだ層である。すなわち、この層は、多結晶のα−Ａｌ2Ｏ3により構成される。通常この結晶粒は、約１００〜２０００ｎｍ程度の大きさの粒径を有する。複数のα−Ａｌ2Ｏ3の結晶粒間には「結晶粒界」が存在する。
【００３１】
結晶粒界は、結晶粒成長などの物質特性、クリープ特性、拡散特性、電気特性、光学特性、および機械特性に大きな影響を及ぼす。考慮すべき重要な特性としては、たとえば、物質中の結晶粒界密度、界面の化学組成、および結晶学的組織、すなわち結晶粒界面方位および結晶粒方位差である。特に、対応格子（ＣＳＬ）結晶粒界が特殊な役割を果たしている。ＣＳＬ結晶粒界（単に「ＣＳＬ粒界」ともいう）は、多重度インデックス（multiplicity  index）Σによって特徴付けられ、それは結晶粒界で接している２つの結晶粒の結晶格子部位密度と、両結晶格子を重ね合わせた場合に対応する部位の密度との比率として定義される。単純な構造の場合、低Σ値の結晶粒界は、低界面エネルギーおよび特殊な特性を有する傾向にあることが一般的に認められている。したがって、特殊結晶粒界の割合およびＣＳＬモデルから推定される結晶粒方位差の分布の制御は、セラミック被膜の特性およびこれらの特性を向上させる方法にとって重要であると考えられる。
【００３２】
近年、電子線後方散乱回折（ＥＢＳＤ）として知られる走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）に基づく技術が出現し、セラミック物質中の結晶粒界の研究に用いられている。ＥＢＳＤ技術は、後方散乱電子によって発生する菊池回折パターンの自動分析に基づいている。
【００３３】
対象とする物質の各結晶粒について、結晶学的方位は、対応する回折パターンのインデックス後に決定される。市販のソフトウェアにより、組織分析および結晶粒界性格分布（ＧＢＣＤ）の決定がＥＢＳＤを用いることによって比較的容易に行なわれる。ＥＢＳＤを界面に適用することにより、界面の大きなサンプル集団について結晶粒界の方位差を決定することが可能である。通常、方位差分布は、物質の処理条件と関連付けられている。結晶粒界方位差は、オイラー角、角／軸対（angle/axis  pair）、またはロドリゲスベクトルなどの通常の方位パラメータによって得ることができる。ＣＳＬモデルは、特性決定用のツールとして広く用いられている。
【００３４】
本実施形態のα−Ａｌ2Ｏ3層中の結晶粒界は、上述のＣＳＬ粒界と一般粒界とを含む。ＣＳＬ粒界は、Σ３型結晶粒界、Σ７型結晶粒界、Σ１１型結晶粒界、Σ１７型結晶粒界、Σ１９型結晶粒界、Σ２１型結晶粒界、Σ２３型結晶粒界、およびΣ２９型結晶粒界からなる。ただし、上記のＥＢＳＤで観察した場合に、Σ３型結晶粒界以外のいずれか１以上の結晶粒界が観察されない場合でも本実施形態の効果を示す限り本実施形態の範囲を逸脱するものではない。一般粒界は、ＣＳＬ結晶粒界以外の結晶粒界である。よって、一般粒界とは、ＥＢＳＤで観察した場合のα−Ａｌ2Ｏ3の結晶粒の全粒界からＣＳＬ粒界を除いた残余部分となる。
【００３５】
そして、本実施形態のα−Ａｌ2Ｏ3層は、以下（１）〜（４）を満たすことを特徴とする。
（１）すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層、および逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層は各々（００１）配向を示す；
（２）すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、Σ３型結晶粒界の長さＬＲ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＲ３−２９の８０％超であり、かつＬＲ３−２９と一般粒界の長さＬＲＧとの和である全粒界の合計長さＬＲの１０％以上５０％以下である；
（３）逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、Σ３型結晶粒界の長さＬＦ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＦ３−２９の８０％超であり、かつＬＦ３−２９と一般粒界の長さＬＦＧとの和である全粒界の合計長さＬＦの１０％以上５０％以下である；
（４）長さＬＲ３と長さＬＲ３−２９との比ＬＲ３／ＬＲ３−２９は、長さＬＦ３と長さＬＦ３−２９との比ＬＦ３／ＬＦ３−２９よりも小さい。
【００３６】
上記（１）について説明する。本明細書において各面側のα−Ａｌ2Ｏ3層が「（００１）配向を示す」とは、（００１）面に対する法線方向がα−Ａｌ2Ｏ3層表面（被膜の表面側に位置する表面とする）の法線方向に対して±２０°以内となる結晶粒（α−Ａｌ2Ｏ3）の割合（面積割合）がα−Ａｌ2Ｏ3層中で５０％以上となる場合を言うものとする。具体的には、ＥＢＳＤを備えたＳＥＭを用いてすくい面側および逃げ面側の各α−Ａｌ2Ｏ3層の垂直断面（上記α−Ａｌ2Ｏ3層表面の法線方向に平行な断面）を観察し、それをカラーマッピングによる画像処理をした場合、画像処理後の各観察像において、α−Ａｌ2Ｏ3層に占める上記の結晶粒の面積比率が５０％以上となる場合をいうものとする。
【００３７】
なお、α−Ａｌ2Ｏ3層のカラーマッピングされる領域は、厚さ方向においてはα−Ａｌ2Ｏ3層の全ての範囲である。すなわち、α−Ａｌ2Ｏ3層の被覆表面側に位置する表面から、α−Ａｌ2Ｏ3層の基材側に位置する表面までの全ての領域について、カラーマッピングされる。マイクロオーダーの厚さを有するα−Ａｌ2Ｏ3層は、１つの観察像によって厚さ方向の全ての範囲を確認することができる。一方、α−Ａｌ2Ｏ3層の面内方向（厚さ方向に直交する方向）においては、任意の範囲がカラーマッピングされればよい。
【００３８】
一般的に、α−Ａｌ2Ｏ3層の（００１）配向性が高まるほど、α−Ａｌ2Ｏ3層の硬度が向上することから、上記（１）を満たす本実施形態のα−Ａｌ2Ｏ3層によれば、加工時の衝撃によるクラックの発生を抑えることができ、切削工具の靭性を大幅に向上させることができ、以って高い耐摩耗性を有することができる。
【００３９】
なお「被膜の表面側」とは、α−Ａｌ2Ｏ3層の厚み方向において、基材側とは反対側のサイドを意味し、α−Ａｌ2Ｏ3層上に他の層が形成されない場合はα−Ａｌ2Ｏ3層の表面を意味する。
【００４０】
上記（２）および（３）について説明する。Σ３型結晶粒界は、α−Ａｌ2Ｏ3のＣＳＬ結晶粒界の中で最も低い粒界エネルギーを有するものと考えられ、以って全ＣＳＬ結晶粒界に占める割合を高くすることにより機械特性（特に耐塑性変形性）を高めることができると考えられる。このため、本実施形態では、全ＣＳＬ結晶粒界をΣ３−２９型結晶粒界という表記で表わし、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層におけるΣ３型結晶粒界の長さＬＲ３を、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層におけるΣ３−２９型結晶粒界の長さＬＲ３−２９の８０％超として規定し、逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層におけるΣ３型結晶粒界の長さＬＦ３を、逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層におけるΣ３−２９型結晶粒界の長さＬＲ３−２９の８０％超として規定したものである。
【００４１】
長さＬＲ３は、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層をＥＢＳＤを備えたＳＥＭで観察した場合に、観察される視野中のΣ３型結晶粒界の合計長さを示し、長さＬＲ３−２９は、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層をＥＢＳＤを備えたＳＥＭを用いて観察した場合に、観察される視野中の、Σ３型結晶粒界、Σ７型結晶粒界、Σ１１型結晶粒界、Σ１７型結晶粒界、Σ１９型結晶粒界、Σ２１型結晶粒界、Σ２３型結晶粒界、およびΣ２９型結晶粒界のそれぞれの長さの総計を示す。同様に、長さＬＦ３とは、逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層をＥＢＳＤを備えたＳＥＭで観察した場合に、観察される視野中のΣ３型結晶粒界の合計長さを示し、長ＬＦ３−２９さとは、逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層をＥＢＳＤを備えたＳＥＭを用いて観察した場合に、観察される視野中の、Σ３型結晶粒界、Σ７型結晶粒界、Σ１１型結晶粒界、Σ１７型結晶粒界、Σ１９型結晶粒界、Σ２１型結晶粒界、Σ２３型結晶粒界、およびΣ２９型結晶粒界のそれぞれの長さの総計を示す。
【００４２】
長さＬＲ３は、より好ましくは長さＬＲ３−２９の８３％以上であり、さらに好ましくは８５％以上である。長さＬＦ３についても同様であり、より好ましくは長さＬＦ３−２９の８３％以上であり、さらに好ましくは８５％以上である。このように、その数値は、高くなればなる程好ましく、その上限を規定する必要はないが、多結晶薄膜であるという観点からその上限は９９％以下である。
【００４３】
一方、このΣ３型結晶粒界は、低い粒界エネルギーを有していることからも明らかなように高い整合性を有する結晶粒界であることから、Σ３型結晶粒界を粒界とする２つの結晶粒は単結晶または双晶類似の挙動を示し、粗粒化する傾向を示す。結晶粒が粗粒化すると、耐チッピング性等の被膜特性が低下するため、粗粒化を抑制する必要がある。そのため、本実施形態では、すくい面および逃げ面のいずれの面に位置するα−Ａｌ2Ｏ3層においても、Σ３型結晶粒界の長さＬＲ３，ＬＦ３のそれぞれを全粒界の合計長さＬＲ，ＬＦの１０％以上５０％以下と規定し、上記の抑制効果を担保したものである。
【００４４】
Σ３型結晶粒界の長さＬＲ３，ＬＦ３が、各面側における全粒界の合計長さＬＲ，ＬＦの５０％を超えると結晶粒が粗粒化するため好ましくなく、また１０％未満では上記の優れた機械特性が得られなくなる。Σ３型結晶粒界の長さＬＲ３，ＬＦ３のより好ましい範囲は、２０〜４５％、さらに好ましい範囲は３０〜４０％である。
【００４５】
なお全粒界とは、ＣＳＬ結晶粒界以外の一般粒界とＣＳＬ結晶粒界とを加算したものである。したがって、すくい面側における「全粒界の合計長さＬＲ」は、「Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＲ３−２９と一般粒界の長さＬＲＧの和」として表わすことができ、逃げ面側における「全粒界の合計長さＬＦ」は、「Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＦ３−２９と一般粒界の長さＬＦＧの和」として表わすことができる。
【００４６】
上記（４）について説明する。上記（４）を満たすα−Ａｌ2Ｏ3層は、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、ＣＳＬ粒界のうちΣ３型結晶粒界の占める割合が比較的大きく、逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、ＣＳＬ粒界のうちΣ３型結晶粒界の占める割合が比較的小さいこととなる。したがって、上記（２）および（３）を満たし、さらに上記（４）を満たすα−Ａｌ2Ｏ3層は、逃げ面側においては特に耐塑性変形性に優れ、すくい面側においてはΣ３型結晶粒界が多すぎることに起因する耐チッピング性等の被膜特性の低下を十分に抑制することができる。
【００４７】
高速条件および低送り条件下での切削加工（以下、「高速・低送り切削加工」とも記す）においては、逃げ面側での熱による負荷が大きく、逃げ面の摩耗が増大する傾向がある。これに対し、上記（２）〜（４）を満たすα−Ａｌ2Ｏ3層であれば、逃げ面側に加えられる負荷に耐えることができるため、特に逃げ面側において過酷な切削条件となる高速・低送り切削加工においても、長寿命を維持することができる。
【００４８】
比ＬＲ３／ＬＲ３−２９と比ＬＦ３／ＬＦ３−２９との差{（ＬＲ３／ＬＲ３−２９）−（ＬＦ３／ＬＦ３−２９）}は、−１〜−１０であることが好ましい。この場合、すくい面側の耐チッピング性の向上と、逃げ面側の耐塑性変形性の向上とのバランスに優れる。上記差は、より好ましくは−４〜−９である。このような差を満たすためには、Σ３型結晶粒界の長さＬＲ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＲ３−２９の８０〜９５％であることが好ましく、８３〜９５％であることがより好ましく、８０〜９０％であることが特に好ましく、Σ３型結晶粒界の長さＬＦ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＦ３−２９の９０〜９９％であることが好ましく、９１〜９９％であることがより好ましい。
【００４９】
本実施形態において、α−Ａｌ2Ｏ3層が上記（１）を満たすか否かは次のようにして確認することができる。
【００５０】
まず、α−Ａｌ2Ｏ3層を後述の製造方法に基づいて基材上に形成する。そして、形成されたすくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層を（基材なども含め）α−Ａｌ2Ｏ3層に垂直な断面が得られるように切断する（すなわち、α−Ａｌ2Ｏ3層の表面に対する法線を含む平面でα−Ａｌ2Ｏ3層を切断した切断面が露出するように切断する）。その後、その切断面を耐水研磨紙（研磨剤としてＳｉＣ砥粒研磨剤を含むもの）で研磨する。
【００５１】
なお、上記の切断は、たとえばα−Ａｌ2Ｏ3層表面（α−Ａｌ2Ｏ3層上に他の層が形成されている場合は被膜表面とする）を十分に大きな保持用の平板上にワックス等を用いて密着固定した後、回転刃の切断機にてその平板に対して垂直方向に切断する（該回転刃と該平板とが可能な限り垂直となるように切断する）ものとする。この切断は、このような垂直方向に対して行なわれる限り、α−Ａｌ2Ｏ3層の任意の部位で行なうことができる。
【００５２】
また、上記の研磨は、当該耐水研磨紙＃４００、＃８００、＃１５００を順に用いて行なうものとする（耐水研磨紙の番号（＃）は研磨剤の粒径の違いを意味し、数字が大きくなるほど研磨剤の粒径は小さくなる）。
【００５３】
引続き、上記の研磨面をＡｒイオンによるイオンミーリング処理によりさらに平滑化する。イオンミーリング処理の条件は以下の通りである。
加速電圧：６ｋＶ
照射角度：α−Ａｌ2Ｏ3層表面の法線方向（すなわち該切断面におけるα−Ａｌ2Ｏ3層の厚み方向に平行となる直線方向）から０°
照射時間：６時間。
【００５４】
また、上記切断の位置は少なくとも刃先稜線部３近傍を避けて設定される。具体的には、図３を参照し、すくい面１に接する面（図３中左右に延びる点線で示される）とすくい面１とが接する領域の外縁Ａ1と、逃げ面２に接する面（図３中上下に延びる点線で示される）と逃げ面２とが接する領域の外縁Ａ2とを繋ぐ領域を、刃先稜線部３とみなし、少なくとも刃先稜線部３の端部である外縁Ａ1から０．２ｍｍ以上離れた位置（図３において外縁Ａ1から左側へ離れた位置）を、断面の作製位置として適用する。α−Ａｌ2Ｏ3層の逃げ面２側の断面においても同様に、刃先稜線部３の端部である外縁Ａ2から０．２ｍｍ以上離れた位置（図３において外縁Ａ2から下側へ離れた位置）を、断面の作製位置として適用する。
【００５５】
そして、上記の平滑化された研磨面を、ＥＢＳＤを備えたＳＥＭで観察する。ＳＥＭは、HKL  NL02  EBSD検出器を備えたZeiss  Supra  35  VP（CARL  ZEISS社製）を用いる。ＥＢＳＤデータは、集束電子ビームを各ピクセル上へ個別に位置させることによって順に収集する。
【００５６】
サンプル面（平滑化処理したα−Ａｌ2Ｏ3層の断面）の法線は、入射ビームに対して７０°傾斜させ、分析は、１５ｋＶにて行なう。帯電効果を避けるために、１０Ｐａの圧力を印加する。開口径６０μｍまたは１２０μｍと合わせて高電流モードを用いる。データ収集は、研磨面上、５０×３０μｍの面領域に相当する５００×３００ポイントについて、０．１μｍ／ステップのステップにて行なう。
【００５７】
そして、市販のソフトウェア（商品名：「orientation  Imaging  microscopy  Ver  6.2」、ＥＤＡＸ社製）を用いて各測定ピクセルの（００１）面の法線方向と、α−Ａｌ2Ｏ3層表面（被膜表面側に位置する表面とする）の法線方向（すなわち該切断面におけるα−Ａｌ2Ｏ3層の厚み方向に平行となる直線方向）とのなす角度を算出し、その角度が±２０°以内となるピクセルが選択されるようなカラーマップを作成する。
【００５８】
具体的には、上記ソフトウェアに含まれる「Cristal  Direction  MAP」の手法を用いて、α−Ａｌ2Ｏ3層表面の法線方向と各測定ピクセルの（００１）面の法線方向とのTolerance２０°（方向差が±２０°以内となるもの）のカラーマップを作成する。そして、このカラーマップに基づいて上記ピクセルの面積比を算出することにより、その面積比が５０％以上となる場合に「すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層が（００１）配向を示す」ものとする。
【００５９】
同様にして、逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層が（００１）配向を示すか否かを確認する。そして、いずれの面側のα−Ａｌ2Ｏ3層においても（００１）配向を示す、すなわち、（００１）面に対する法線方向がα−Ａｌ2Ｏ3層表面（被膜の表面側に位置する表面とする）の法線方向に対して±２０°以内となる結晶粒（α−Ａｌ2Ｏ3）の割合が５０％以上であることが確認された場合、α−Ａｌ2Ｏ3層が上記（１）を満たすことになる。
【００６０】
また、本実施形態において、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層および逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層の各々が上記（２）および（３）を満たし、さらにこれらが上記（４）を満たすか否かは、次のようにして確認することができる。
【００６１】
まず、上記と同様にしてα−Ａｌ2Ｏ3層に垂直な断面が得られるように、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層を切断した後、同じく同様にして研磨および平滑化処理を行なう。そしてこのようい処理された切断面に対して、上記と同様のＥＢＳＤを備えたＳＥＭで観察する。
【００６２】
サンプル面（平滑化処理したα−Ａｌ2Ｏ3層の断面）の法線は、入射ビームに対して７０°傾斜させ、分析は、１５ｋＶにて行なう。帯電効果を避けるために、１０Ｐａの圧力を印加する。開口径６０μｍまたは１２０μｍと合わせて高電流モードを用いる。データ収集は、研磨面上、５０×３０μｍの面領域に相当する５００×３００ポイントについて、０．１μｍ／ステップのステップにて行なう。
【００６３】
データ処理は、ノイズフィルタリング有りおよび無しで行なう。ノイズフィルタリングおよび結晶粒界性格分布は、市販のソフトウェア（商品名：「orientation  Imaging  microscopy  Ver  6.2」、ＥＤＡＸ社製）を用いて決定する。結晶粒界性格分布の分析は、Grimmer（H．Grimmer，R．Bonnet，Philosophical  Magazine  A  61（1990），493-509）から入手可能であるデータに基づいて行なう。ブランドンの条件（Brandon  criterion）（ΔΘ＜Θ0（Σ）-0.5、ここで、Θ0＝１５°）を用いて、実験値の理論値からの許容誤差を考慮に入れる（D．Brandon  Acta  metall．14（1966），1479-1484）。任意のΣ値に対応する特殊結晶粒界を計数し、全結晶粒界に対する比として表すことによって確認することができる。
【００６４】
以上により、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層における、Σ３型結晶粒界の長さＬＲ３、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＲ３−２９、および全粒界ＬＲの合計長さを求めることができる。同様にして、逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層におけるΣ３型結晶粒界の長さＬＦ３、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＦ３−２９、および全粒界ＬＦの合計長さを求めることができる。求めた値から、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層、逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層が上記（２）および（３）を満たすか否かを確認することができ、さらに、α−Ａｌ2Ｏ3層が上記（４）を満たすか否かを確認することができる。
【００６５】
＜α−Ａｌ2Ｏ3層の厚み＞
α−Ａｌ2Ｏ3層は、２〜２０μｍの厚みを有することが好ましい。これにより、上記のような優れた効果を発揮することができる。その厚みは、２〜１５μｍであることがより好ましく、２〜１０μｍであることがさらに好ましい。
【００６６】
上記厚みが２μｍ未満である場合、上記のような優れた効果を十分に発揮できない場合があり、２０μｍを超えると、α−Ａｌ2Ｏ3層と下地層等の他の層との線膨張係数の差に起因する界面応力が大きくなり、α−Ａｌ2Ｏ3の結晶粒が脱落する場合がある。このような厚みは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等を用いて基材と被膜の垂直断面観察により確認することができる。
【００６７】
＜α−Ａｌ2Ｏ3層の表面粗さ＞
α−Ａｌ2Ｏ3層は、表面粗さＲａが０．２μｍ未満であることが好ましい。これにより、切りくずと工具刃先との間の摩擦係数が低減し、耐チッピング性が向上するだけでなく、安定した切りくず排出性を発揮できる。表面粗さＲａは、０．１５μｍ未満であることがより好ましく、０．１０μｍ未満であることがさらに好ましい。このように表面粗さＲａは、低くなればなる程好ましく、その下限を規定する必要はないが、被膜は基材の表面性状の影響を受けるという観点からその下限は０．０５μｍ以上である。
【００６８】
なお、本願において表面粗さＲａは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１（２００１）の算術平均粗さＲａを意味するものとする。
【００６９】
＜α−Ａｌ2Ｏ3層の圧縮応力＞
α−Ａｌ2Ｏ3層は、被膜の表面側から２μｍ以内の領域に圧縮応力の絶対値が最大となる地点を含み、該地点における圧縮応力の絶対値は１ＧＰａ未満であることが好ましい。これにより、断続切削加工時に発生する工具刃先の機械的、熱的疲労に伴う刃先の突発欠損が抑制され、省人／省エネルギー効果を発揮できる。該絶対値は、より好ましくは０．９ＧＰａ未満であり、さらに好ましくは０．８ＧＰａ未満である。上記絶対値の下限は、特に限定されないが、耐摩耗性と耐欠損性のバランスという観点からその下限は０．２ＧＰａ以上である。
【００７０】
なお、本実施形態における圧縮応力は、従来公知のＸ線を用いたｓｉｎ2ψ法、侵入深さ一定法等により測定することができる。
【００７１】
＜ＴｉＣxＮy層＞
本実施形態の被膜は、基材とα−Ａｌ2Ｏ3層との間にＴｉＣxＮy層を含むことができる。このＴｉＣxＮy層は、０．６≦ｘ／（ｘ＋ｙ）≦０．８という関係の原子比を満たすＴｉＣxＮyを含むことが好ましい。これにより、基材とα−Ａｌ2Ｏ3層との密着性が向上する。
【００７２】
該原子比は、より好ましくは０．６５≦ｘ／（ｘ＋ｙ）≦０．７５であり、さらに好ましくは０．６７≦ｘ／（ｘ＋ｙ）≦０．７２である。ｘ／（ｘ＋ｙ）が０．６未満の場合、耐摩耗性が不十分となることがあり、０．８を超えると耐チッピング性が不十分となることがある。
【００７３】
＜製造方法＞
本実施形態の表面被覆切削工具は、基材上に被膜を化学気相蒸着（ＣＶＤ）法により形成することによって製造することができる。被膜のうち、α−Ａｌ2Ｏ3層以外の層が形成される場合、それらの層は化学気相蒸着装置を用いて従来公知の条件で形成することができる。一方、α−Ａｌ2Ｏ3層は、以下のようにして形成することができる。
【００７４】
原料ガスとして、ＡｌＣｌ3、ＨＣｌ、ＣＯ2、Ｈ2Ｓ、Ｏ2、およびＨ2を用いる。配合量は、ＡｌＣｌ3を３〜５体積％、ＨＣｌを４〜６体積％、ＣＯ2を０．５〜２体積％、Ｈ2Ｓを１〜５体積％、Ｏ2を０．０００１〜０．０１体積％とし、残部はＨ2とする。さらに、０．１≦ＣＯ2／Ｈ2Ｓ≦１、０．１≦ＣＯ2／ＡｌＣｌ3≦１、０．５≦ＡｌＣｌ3／ＨＣｌ≦１という体積比を採用する。
【００７５】
原料ガスは、化学気相蒸着装置の反応容器内に配置された基材に対して吹き付けられるが、このときの原料ガスの噴出方向は、基材の逃げ面が原料ガスの噴出方向に対して略垂直となり、基材のすくい面が原料ガスの噴出方向に対して略平行となるように調整される。また、化学気相蒸着法の諸条件は、温度が９５０〜１０５０℃であり、圧力が１〜５ｋＰａであり、ガス流量（全ガス量）が５０〜１００Ｌ／ｍｉｎである。また、原料ガスの反応容器内への導入速度を、１．７〜３．５ｍ／ｓｅｃとする。
【００７６】
そして、上述の条件下での化学気相蒸着法によりα−Ａｌ2Ｏ3層を一旦形成した後、アニールを行なう。アニールの条件は、温度が１０５０〜１０８０℃であり、圧力が５０〜１００ｋＰａであり、時間が１２０〜３００分である。またこのアニールの雰囲気は、２０〜３０Ｌ／ｍｉｎの流量のＨ2とＡｒ（アルゴン）とを流すことにより行なわれる。
【００７７】
このようにして、所望の厚みの本実施形態のα−Ａｌ2Ｏ3層を形成することができる。とりわけ、原料ガスにおけるＯ2の配合量を上記範囲とし、かつ基材の逃げ面が原料ガスの噴出方向に対して略垂直となり、基材のすくい面が原料ガスの噴出方向に対して略平行となるように、原料ガスの噴出方向が調整されることにより、上記（２）〜（４）を満たすα−Ａｌ2Ｏ3層を形成することができる。その理由は、次のように推察される。
【００７８】
Ｏ2は、ＣＯ2等の他のガスと比較して反応性が高く、α−Ａｌ2Ｏ3の核数を増加させたり、成膜速度を高めたりする作用を有する。また、Ｏ2は、ＣＳＬ結晶粒界におけるΣ３型結晶粒界の割合を低下させる作用をも有し得る。これは、成膜速度が速すぎる場合、高い整合性を有する結晶粒界であるΣ３型結晶粒界が生成され難くなるためである。
【００７９】
ところで、原料ガスの噴出方向に対して略平行となるすくい面側においては、原料ガスの流速密度が比較的高くなる傾向があり、原料ガスの噴出方向に対して略垂直となる逃げ面側においては、原料ガスの流速密度が比較的低くなる傾向がある。すなわち、すくい面側においては、原料ガスの滞留時間が短くなり、逃げ面側においては、原料ガスの滞留時間が長くなる傾向があり、換言すれば、すくい面側は、逃げ面側と比してより頻繁に原料ガスが供給される傾向がある。
【００８０】
したがって、見かけ上、すくい面側におけるＯ2の吸着・拡散が、逃げ面側におけるＯ2の吸着・拡散よりも頻繁に起こることになり、これにより、すくい面側において、Ｏ2の作用に起因するΣ３型結晶粒界の減少が引き起こされ、結果的に、逃げ面側におけるΣ３型結晶粒界の割合が、すくい面側と比して大きくなる。
【００８１】
また成膜後に上記のようなアニールを行なうことによりα−Ａｌ2Ｏ3層中に硫黄等の不純物が残存することを防止できるため、本実施形態のα−Ａｌ2Ｏ3層の製造方法として特に優れたものとなる。
【実施例】
【００８２】
以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。【００８３】
＜基材の調製＞
以下の表１に記載の基材Ｐおよび基材Ｋの２種類の基材を準備した。具体的には、表１に記載の配合組成からなる原料粉末を均一に混合し、所定の形状に加圧成形した後、１３００〜１５００℃で１〜２時間焼結することにより、形状がＣＮＭＧ１２０４０８ＮＵＸ（住友電気工業製）の超硬合金製の基材を得た。【００８４】
【表１】
0005871354.tif 000002
【００８５】
＜被膜の形成＞
上記で得られた各基材に対してその表面に被膜を形成した。具体的には、基材を化学気相蒸着装置内にセットすることにより、基材上に化学気相蒸着法により被膜を形成した。基材は、すくい面がガスの噴出方向に略平行となり、逃げ面がガスの噴出方向に略直交となるように反応容器内に配置した。【００８６】
被膜の形成条件は、以下の表２および表３に記載した通りである。表２はα−Ａｌ2Ｏ3層以外の各層の形成条件を示し、表３はα−Ａｌ2Ｏ3層の形成条件を示している。なお、表２中のＴｉＢＮＯとＴｉＣＮＯは後述の表５の中間層であり、それ以外のものも表５中のα−Ａｌ2Ｏ3層を除く各層に相当することを示す。また、ＴｉＣxＮy層は、原子比ｘ／（ｘ＋ｙ）が０．７であるＴｉＣxＮyからなるものである。【００８７】
また、表３に示すように、α−Ａｌ2Ｏ3層の形成条件はＡ〜ＧとＸ〜Ｚの１０通りであり、このうちＡ〜Ｇが実施例の条件であり、Ｘ〜Ｚが比較例（従来技術）の条件である。α−Ａｌ2Ｏ3層の形成において、原料ガスの導入速度は２ｍ／ｓｅｃとし、基材を固定しつつ、原料ガスを噴出されるためのガス管を２ｒｐｍで回転させた。なお、Ａ〜Ｇの条件で形成した実施例のα−Ａｌ2Ｏ3層のみについて、表３に記載したアニール時間の間、１０５０℃、５０ｋＰａ、Ｈ2の流量を２０Ｌ／ｍｉｎ、Ａｒの流量を３０Ｌ／ｍｉｎの条件でアニールを行なった。【００８８】
たとえば、形成条件Ａは、３．２体積％のＡｌＣｌ3、４．０体積％のＨＣｌ、１．０体積％のＣＯ2、２体積％のＨ2Ｓ、０．００３体積％のＯ2、そして残部Ｈ2からなる組成の原料ガスを化学気相蒸着装置へ供給し、圧力３．５ｋＰａおよび温度１０００℃の条件下、流量（全ガス量）７０Ｌ／ｍｉｎの条件で化学気相蒸着法を実行し、その後、上記の条件で１８０分間アニールすることによってα−Ａｌ2Ｏ3層が形成されることを示している。【００８９】
なお、表２に記載したα−Ａｌ2Ｏ3層以外の各層についても、アニールを行なわないことを除き、同様に化学気相蒸着法により形成した。なお、表２中の「残り」とは、Ｈ2が原料ガスの残部を占めることを示している。また、「全ガス量」とは、標準状態（０℃、１気圧）における気体を理想気体とし、単位時間当たりに化学気相蒸着装置に導入された全体積流量を示す（表３のα−Ａｌ2Ｏ3層についても同じ）。また、各層の厚みは、成膜時間を適宜調節することにより調整した（各層の成膜速度は約０．５〜２．０μｍ／時間である）。【００９０】
【表２】
0005871354.tif 000003
【００９１】
【表３】
0005871354.tif 000004
【００９２】
＜表面被覆切削工具の作製＞
上記の表２および表３の条件により基材上に被膜を形成することにより、以下の表４および表５に示した実施例１〜１５および比較例１〜６の表面被覆切削工具を作製した。【００９３】
表４および表５に関し、各被膜の組成および厚みは、ＳＥＭ−ＥＤＸ（走査型電子顕微鏡−エネルギー分散型Ｘ線分光）により確認し、α−Ａｌ2Ｏ3層のΣ３型結晶粒界の長さ、Σ３−２９型結晶粒界の長さ、および全粒界の合計長さを、上述の方法により確認した。また、すくい面側および逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層に関し、上述の方法により、（００１）面に対する法線方向がα−Ａｌ2Ｏ3層表面（被膜表面側に位置する表面とする）の法線方向に対して±２０°以内となる結晶粒（α−Ａｌ2Ｏ3）の割合（％）を確認した。【００９４】
たとえば表４を参照し、実施例１の表面被覆切削工具は、基材として表１に記載の基材Ｐを採用し、その基材Ｐの表面に下地層として厚み１．２μｍのＴｉＮ層を表２の条件で形成し、その下地層上に厚み１３．０μｍのＴｉＣxＮy層を表２の条件で形成し、そのＴｉＣxＮy層上に中間層として厚み０．７μｍのＴｉＢＮＯ層を表２の条件で形成し、その中間層上に厚み８．６μｍのα−Ａｌ2Ｏ3層を表３の形成条件で作成し、その後、最外層として厚み０．９μｍのＴｉＮ層を表２の条件で形成することにより、基材上に合計厚み２４．３μｍの被膜を形成した構成であることを示している。なお、表４中の空欄は、該当する層が形成されていないことを示す。【００９５】
また、表５を参照し、実施例１に関し、すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、Σ３型結晶粒界の長さＬＲ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＲ３−２９の８９％であり、かつ全粒界の合計長さＬＲの１７％である。また逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、Σ３型結晶粒界の長さＬＦ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＦ３−２９の９４％であり、かつ全粒界の合計長さＬＦの２０％である。また、（ＬＲ３／ＬＲ３−２９）の比（％）から（ＬＦ３／ＬＦ３−２９）の比（％）を除した値が「（ＬＲ３／ＬＲ３−２９）−（ＬＦ３／ＬＦ３−２９）」の欄に示されるが、この値が「−」であることから、比ＬＲ３／ＬＲ３−２９が、比ＬＦ３／ＬＦ３−２９よりも小さいことが分かる。さらに、このα−Ａｌ2Ｏ3層は、すくい面側および逃げ面側において、（００１）配向を示す。【００９６】
なお、比較例１〜６のα−Ａｌ2Ｏ3層は全て本発明の方法に従わない従来技術の条件で形成されているため、それらのα−Ａｌ2Ｏ3層は、本発明のような特性を示さない結晶組織により構成されることになる（表５参照）。【００９７】
【表４】
0005871354.tif 000005
【００９８】
【表５】
0005871354.tif 000006
【００９９】
＜切削試験＞
上記で得られた表面被覆切削工具を用いて、以下の２種類の切削試験を行なった。以下の切削試験は、高速・低送り切削加工に類する。【０１００】
＜切削試験１＞
以下の表６に記載した実施例および比較例の表面被覆切削工具について、以下の切削条件により逃げ面摩耗量（Ｖｂ）が０．２０ｍｍとなるまでの切削時間を測定するとともに刃先の最終損傷形態を観察した。その結果を表６に示す。切削時間が長いもの程、耐摩耗性に優れ、工具寿命が長くなっていることを示す。【０１０１】
＜切削条件＞
被削材：ＳＣＭ４３５丸棒外周切削
周速：４００ｍ／ｍｉｎ
送り速度：０．１ｍｍ／ｒｅｖ
切込み量：１．０ｍｍ
切削液：あり。【０１０２】
【表６】
0005871354.tif 000007
【０１０３】
表６より明らかなように実施例の表面被覆切削工具は、比較例の表面被覆切削工具に比し、耐摩耗性および耐チッピング性の両者に優れており、工具寿命が長期化していることは明らかである。すなわち、実施例の表面被覆切削工具の被膜の機械特性が向上していることが確認できた。【０１０４】
＜切削試験２＞
以下の表７に記載した実施例および比較例の表面被覆切削工具について、以下の切削条件によりクレーター摩耗量（Ｋｔ）が０．２０ｍｍとなるまでの切削時間を測定した。その結果を表７に示す。切削時間が長いもの程、耐摩耗性に優れ、工具寿命が長くなっていることを示す。【０１０５】
＜切削条件＞
被削材：Ｓ５５Ｃ丸棒外周切削
周速：３００ｍ／ｍｉｎ
送り速度：０．０５ｍｍ／ｒｅｖ
切込み量：２．０ｍｍ
切削液：あり。【０１０６】
【表７】
0005871354.tif 000008
【０１０７】
表７より明らかなように実施例の表面被覆切削工具は、比較例の表面被覆切削工具に比し、耐欠損性に優れており、工具寿命が長期化していることは明らかである。すなわち、実施例の表面被覆切削工具の被膜の機械特性が向上していることが確認できた。【０１０８】
＜α−Ａｌ2Ｏ3層の表面粗さＲａの効果確認＞
実施例１、実施例２、および実施例１１の表面被覆切削工具に対して、α−Ａｌ2Ｏ3層の表面粗さＲａをＪＩＳ  Ｂ  ０６０１（２００１）に従って測定した。その結果を表１０に示す。【０１０９】
次いで、上記の各表面被覆切削工具のα−Ａｌ2Ｏ3層に対して以下の条件のエアロラップ処理を行なうことによって、それぞれ実施例１Ａ、実施例２Ａ、および実施例１１Ａの表面被覆切削工具を作製した。そして、これらの各表面被覆切削工具に対して、α−Ａｌ2Ｏ3層の表面粗さＲａを上記と同様にして測定した。その結果を表１０に示す。【０１１０】
＜エアロラップ処理の条件＞
メディア：平均粒径０．１μｍのダイヤモンド砥粒を含んだ直径１ｍｍ程度の弾性ゴムメディア（商品名：「マルチコン」、ヤマシタワークス社製）
投射圧力：０．５ｂａｒ
投射時間：３０秒
湿式／乾式：乾式。【０１１１】
そして、これらの実施例１、１Ａ、２、２Ａ、１１、および１１Ａの表面被覆切削工具について、以下の切削条件により逃げ面摩耗量（Ｖｂ）が０．２０ｍｍとなるまでの切削時間を測定した。その結果を表８に示す。切削時間が長いもの程、切りくずと工具刃先との間の摩擦係数が低減し、安定した切りくず排出性を発揮できることを示す。【０１１２】
＜切削条件＞
被削材：ＳＳ４００丸棒外周切削
周速：３００ｍ／ｍｉｎ
送り速度：０．１ｍｍ／ｒｅｖ
切込み量：１．０ｍｍ
切削液：なし。【０１１３】
【表８】
0005871354.tif 000009
【０１１４】
表８より明らかなように、０．２μｍ未満の表面粗さＲａを有するα−Ａｌ2Ｏ3層を備えた実施例１Ａ、２Ａ、１１Ａの表面被覆切削工具は、０．２μｍ以上の表面粗さＲａを有するα−Ａｌ2Ｏ3層を備えた実施例１、２、１１の表面被覆切削工具に比し、切りくずと工具刃先との間の摩擦係数が低減し、安定した切りくず排出性を発揮できることが確認できた。【０１１５】
＜α−Ａｌ2Ｏ3層の圧縮応力付与の効果確認＞
実施例１、実施例２、および実施例１１の表面被覆切削工具に対して、α−Ａｌ2Ｏ3層において被膜の表面側から２μｍ以内の領域に応力の絶対値が最大となる地点があることを確認し、その地点における応力の絶対値を測定した。その結果を表１１（「応力値」の項）に示す。なお、応力の測定はＸ線を用いたｓｉｎ2ψ法により実行し、表１１の「応力値」の項において、数値は絶対値を示し、引張応力は「引張」、圧縮応力は「圧縮」と表記した。【０１１６】
次いで、上記の各表面被覆切削工具のα−Ａｌ2Ｏ3層に対して以下の条件の湿式ブラスト処理を行なうことによって、それぞれ実施例１Ｂ、実施例１Ｃ、実施例２Ｂ、実施例２Ｃ、および実施例１１Ｂの表面被覆切削工具を作製した。そして、これらの各表面被覆切削工具に対して、上記と同様にしてα−Ａｌ2Ｏ3層において被膜の表面側から２μｍ以内の領域に応力の絶対値が最大となる地点があることを確認し、その地点における応力の絶対値を測定した。その結果を表１１（「応力値」の項）に示す。なお、実施例１Ｂと実施例１Ｃ、および実施例２Ｂと実施例２Ｃの応力の差異は、湿式ブラスト処理の投射圧力の差異によるものである。【０１１７】
＜湿式ブラスト処理の条件＞
メディア：アルミナメディア（φ５０μｍ）
投射圧力：１〜２ｂａｒ
投射時間：１０秒
湿式／乾式：湿式。【０１１８】
そして、これらの実施例１、１Ｂ、１Ｃ、２、２Ｂ、２Ｃ、１１、および１１Ｂの表面被覆切削工具について、以下の切削条件により工具が欠損するまでの切削時間を測定した。その結果を表９に示す。切削時間が長いもの程、断続切削加工時に発生する機械的、熱的疲労による工具刃先の欠損が抑制され、その結果として刃先の信頼性が向上したものとなっていることを示す。【０１１９】
＜切削条件＞
被削材：ＳＵＳ３０４（６０°×３溝外周切削）
周速：２５０ｍ／ｍｉｎ
送り速度：０．０５ｍｍ／ｒｅｖ
切込み量：１．０ｍｍ
切削液：なし。【０１２０】
【表９】
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【０１２１】
表９より明らかなように、α−Ａｌ2Ｏ3層において被膜の表面側から２μｍ以内の領域に応力の絶対値が最大となる地点を含み、その地点における応力が引張応力であるよりも、その絶対値が１ＧＰａ未満の圧縮応力である方が断続切削加工時に発生する機械的、熱的疲労による工具刃先の欠損が抑制され、その結果として刃先の信頼性が向上したものとなっていることが確認できた。【０１２２】
以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の各実施の形態および実施例の構成を適宜組み合わせたり、様々に変形することも当初から予定している。【０１２３】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態ではなく請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１２４】
１  すくい面、２  逃げ面、３  刃先稜線部、１０  工具、１１  基材、１１ａ  すくい面、１１ｂ  逃げ面、１１ｃ  刃先稜線部、１２  被膜。
【要約】
本発明の表面被覆切削工具（１０）は、基材（１１）と、基材上に形成された被膜（１２）とを備える。被膜はα−Ａｌ2Ｏ3層を含み、α−Ａｌ2Ｏ3層は複数のα−Ａｌ2Ｏ3の結晶粒を含み、結晶粒の粒界はＣＳＬ粒界と一般粒界とを含む。すくい面（１）側および逃げ面（２）側のα−Ａｌ2Ｏ3層の各々は（００１）配向を示す。すくい面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、Σ３型結晶粒界の長さＬＲ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＲ３−２９の８０％超であり、全粒界の合計長さＬＲの１０％以上５０％以下である。逃げ面側のα−Ａｌ2Ｏ3層において、Σ３型結晶粒界の長さＬＦ３は、Σ３−２９型結晶粒界の長さＬＦ３−２９の８０％超であり、かつ全粒界の合計長さＬＦの１０％以上５０％以下である。長さＬＲ３と長さＬＲ３−２９との比ＬＲ３／ＬＲ３−２９は、長さＬＦ３と長さＬＦ３−２９との比ＬＦ３／ＬＦ３−２９よりも小さい。【図１】
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【図２】
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【図３】
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