(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
式（１）：
Ｍｇ１−ｘＺｎｘ（ＯＨ）２            （１）
（式中、ｘは０．０１≦ｘ＜０．５である）
で示され、Ａｌの含有量が３０〜２００ｐｐｍであり、Ｆｅの含有量が３０〜２００ｐｐｍであって、変曲点径が０．３〜０．６μｍであり、粒子間空隙が０．９×１０−３〜１．３×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であることを特徴とする、複合金属水酸化物粒子。
【請求項２】
細孔分布における、モード径が０．３０〜０．６０μｍであり、モード容積が２．８０×１０−３〜３．３０×１０−３ｍ３・ｋｇ−１である、請求項１記載の複合金属水酸化物粒子。
【請求項３】
結晶外形が、平行な上下２面の基底面と外周６面の角錐面とからなり、前記角錐面がミラー・ブラベ指数で表わされる（１０・１）の型面に属する角錐面で上向き傾斜面と下向き傾斜面とが交互に配列された８面体形状を有し、前記基底面の長軸径に対する前記上下２面の基底面間の厚みの比率（長軸径／厚み）が１〜９である、請求項１又は２記載の複合金属水酸化物粒子。
【請求項４】
ゼータ電位が−８〜−１５ｍＶである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の複合金属水酸化物粒子。
【請求項５】
複合金属水酸化物粒子の製造方法であって、
（１Ａ）（１ａ）Ｍｇ２＋を含む水溶液に、水溶性であるＺｎ化合物を添加し、次いでアルカリ源を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程、
（２ａ）水に、Ｍｇ化合物及びＺｎ化合物を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程、又は、
（３ａ）水に、共沈法により得られるＭｇとＺｎの複合金属水酸化物を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程、
（１Ｂ）第１の部分固溶化水酸化物分散液に、部分固溶化複合金属水酸化物に対して、金属換算でＡｌ化合物を３０〜２００ｐｐｍ、Ｆｅ化合物を３０〜２００ｐｐｍ添加して、第２の部分固溶化水酸化物分散液を得、濾過、水洗し、その後乾燥させて、部分固溶化水酸化物を得る工程、
（１Ｃ）部分固溶化水酸化物を、８００〜１５００℃の範囲で焼成することにより、複合金属酸化物を得る工程、及び
（１Ｄ）複合金属酸化物を、カルボン酸、カルボン酸の金属塩、無機酸、及び無機酸の金属塩からなる群より選ばれる１種以上の酸又はその金属塩を含み、酸又は酸の金属塩の量が、複合金属酸化物１００ｇに対して０．０１〜６ｍｏｌである水溶液に添加し、攪拌しながら、４０℃以上の温度で水和反応させることにより、複合金属水酸化物を得る工程
を含む、製造方法。
【請求項６】
工程（１Ｃ）で得られる複合金属酸化物のメディアン粒子径が３〜３０μｍである、請求項５記載の製造方法。
【請求項７】
（I）エポキシ樹脂、
（II）硬化剤、
（III）無機充填材、及び
（IV-１）請求項１〜４のいずれか１項記載の式（１）で示される複合金属水酸化物粒子を含む樹脂組成物。
【請求項８】
（I）エポキシ樹脂、
（II）硬化剤、
（III）無機充填材、及び
（IV-２）難燃剤として、請求項１〜４のいずれか１項記載の式（１）で示される複合金属水酸化物粒子を含む樹脂組成物。
【請求項９】
前記複合金属水酸化物粒子の含有量が、前記樹脂組成物の１〜３５質量％である、請求項７又は８記載の樹脂組成物。
【請求項１０】
半導体用の封止剤である、請求項７〜９のいずれか１項記載の樹脂組成物。
【請求項１１】
請求項７〜１０のいずれか１項記載の樹脂組成物を使用した半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複合金属水酸化物粒子、及びそれを含む樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
水酸化マグネシウムは、焼結時に有毒ガスの発生がなく環境性に優れているため、樹脂
組成物、例えば半導体装置の封止用樹脂組成物に難燃剤として配合されている。このよう
な水酸化マグネシウム難燃剤には、難燃性が良好であることはもちろん、樹脂に対する充
填性が良好であることなどの特性が要求されている。
【０００３】
従来の水酸化マグネシウムは、微細結晶が凝集し、二次粒子径が平均で１０〜１００μｍ程度の凝集体を形成している。そのため、上記水酸化マグネシウムを樹脂の添加剤として使用した際に、分散性が悪く、添加剤としての機能を充分に発揮しなかったり、樹脂本来の物性を損なう等の欠点を有していた。このような問題を解決するために、分散性を向上させる目的で特定の形状を持った、金属水酸化物固溶体（特許文献１）が提案されている。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されたマグネシウム系の金属水酸化物固溶体は、形状を変化させたために、分散性はある程度向上したが、十分なものとはいえなかった。さらに、微細な粒子や、結晶形状が不定形な粒子を含有しているため、添加剤として合成樹脂に混練すると樹脂の粘度が急激に上昇しやすく、流動性や加工性が悪くなり、成形速度が低下して生産性が悪くなるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１１９４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、添加剤として合成樹脂に混練した際の流動性や加工性を向上させる金属水酸化物粒子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記の課題を解決するために鋭意検討した結果、微細な粒子、及び不定形な結晶形状の粒子を含まず、ほぼ均一な結晶形状で形成される複合金属水酸化物粒子が、添加剤として合成樹脂に混練した際の流動性や加工性を向上させることが可能であることを見出し、本発明に至った。また、本発明者らは、前記の複合金属水酸化物粒子は、原料である複合金属酸化物に含まれる不純物の量を制御して水和反応を行うことにより得られることを見出した。
【０００８】
すなわち、本発明は、式（１）：
Ｍｇ１−ｘＺｎｘ（ＯＨ）２            （１）
（式中、ｘは０．０１≦ｘ＜０．５である）
で示され、変曲点径が０．３〜０．６μｍであり、粒子間空隙が０．９×１０−３〜１．３×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であることを特徴とする、複合金属水酸化物粒子に関する。
本発明は、細孔分布における、モード径が０．３０〜０．６０μｍであり、モード容積が２．８０×１０−３〜３．３０×１０−３ｍ３・ｋｇ−１である、前記に記載の複合金属水酸化物粒子に関する。
本発明は、結晶外形が、平行な上下２面の基底面と外周６面の角錐面とからなり、前記角錐面がミラー・ブラベ指数で表わされる（１０・１）の型面に属する角錐面で上向き傾斜面と下向き傾斜面とが交互に配列された８面体形状を有し、前記基底面の長軸径に対する前記上下２面の基底面間の厚みの比率（長軸径／厚み）が１〜９である、前記に記載の複合金属水酸化物粒子に関する。
本発明は、複合金属水酸化物に対して、Ａｌの含有量が３０〜２００ｐｐｍであり、Ｆｅの含有量が３０〜２００ｐｐｍである、前記に記載の複合金属水酸化物粒子に関する。
本発明は、複合金属水酸化物粒子の製造方法であって、
（１Ａ）（１ａ）Ｍｇ２＋を含む水溶液に、水溶性であるＺｎ化合物を添加し、次いでアルカリ源を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程、
（２ａ）水に、Ｍｇ化合物及びＺｎ化合物を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程、又は、
（３ａ）水に、共沈法により得られるＭｇとＺｎの複合金属水酸化物を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程、
（１Ｂ）第１の部分固溶化水酸化物分散液に、複合金属水酸化物対して、金属換算でＡｌ化合物を３０〜２００ｐｐｍ、Ｆｅ化合物を３０〜２００ｐｐｍ添加して、第２の部分固溶化水酸化物分散液を得、濾過、水洗し、その後乾燥させて、部分固溶化水酸化物を得る工程、
（１Ｃ）部分固溶化水酸化物を、８００〜１５００℃の範囲で焼成することにより、複合金属酸化物を得る工程、及び
（１Ｄ）複合金属酸化物を、カルボン酸、カルボン酸の金属塩、無機酸、及び無機酸の金属塩からなる群より選ばれる１種以上の酸又はその金属塩を含み、酸又は酸の金属塩の量が、複合金属酸化物１００ｇに対して０．０１〜６ｍｏｌである水溶液に添加し、攪拌しながら、４０℃以上の温度で水和反応させることにより、複合金属水酸化物を得る工程
を含む、製造方法に関する。
本発明は、工程（１Ｃ）で得られる複合金属酸化物のメディアン粒子径が３〜３０μｍである、前記に記載の製造方法に関する。
本発明は、（I）エポキシ樹脂、（II）硬化剤、（III）無機充填材、及び（IV-１）前記に記載の式（１）で示される複合金属水酸化物粒子又は前記に記載の製造方法により得られる複合金属水酸化物粒子を含む樹脂組成物に関する。
本発明は、（I）エポキシ樹脂、（II）硬化剤、（III）無機充填材、及び（IV-２）難燃剤として、前記に記載の式（１）で示される複合金属水酸化物粒子、又は前記に記載の製造方法により得られる複合金属水酸化物粒子、を含む樹脂組成物に関する。
本発明は、前記複合金属水酸化物粒子の含有量が、前記樹脂組成物の１〜３５質量％である、前記に記載の樹脂組成物に関する。
本発明は、半導体用の封止剤である、前記に記載の樹脂組成物に関する。
本発明は、前記に記載の樹脂組成物を使用した半導体装置に関する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明により、添加剤として合成樹脂に混練した際の流動性や加工性を向上させる金属水酸化物粒子が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明の複合金属水酸化物粒子の結晶構造を示す概念図であり、斜視図である。
【図２】図２は、さまざまな角度から見た本発明の複合金属水酸化物粒子の結晶構造を示す概念図であり、（１）は平面図であり、（２）及び（３）は側面図であり、（４）〜（８）は、斜視図である。
【図３】図３は、本発明の複合金属水酸化物粒子の電子顕微鏡写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
１．複合金属水酸化物粒子
本発明の複合金属水酸化物粒子は、式（１）：
Ｍｇ１−ｘＺｎｘ（ＯＨ）２          （１）
（式中、ｘは０．０１≦ｘ＜０．５である）
で表され、かつ変曲点径が０．３〜０．６μｍであり、粒子間空隙が０．９×１０−３〜１．３×１０−３ｍ３・ｋｇ−１である。本発明の複合金属水酸化物粒子は、Ｍｇ（ＯＨ）２にＺｎが固溶された固溶体である。
【００１２】
本発明において、亜鉛の含有量に相当するｘは、０．０１≦ｘ＜０．５である。このような亜鉛の含有量であれば、金属水酸化物の形状が、球状に近い本発明のような多面体構造を持つ。ｘは、０．１≦ｘ≦０．３であるのが好ましい。
【００１３】
複合金属水酸化物粒子の変曲点径は０．３〜０．６μｍであり、粒子間空隙は０．９×１０−３〜１．３×１０−３ｍ３・ｋｇ−１である。変曲点径及び粒子間空隙は、水銀圧入式細孔分布測定から求めることができる。水銀圧入式細孔分布測定から求めた細孔直径と累積細孔容積の関係曲線を、累積細孔容積曲線という。
【００１４】
具体的には、水銀圧入式細孔分布測定において、横軸に圧入圧力から求めた細孔直径、縦軸に累積細孔容積をプロットし、累積細孔容積曲線を得る。水銀の圧入圧力から細孔直径への換算は、下記（Ｉ）式（Ｗａｓｈｂｕｒｎの式）を用いて変換する。
Ｄ＝−（１／Ｐ）・４γ・ｃｏｓψ            （Ｉ）
ここで、Ｄ：細孔直径（ｍ）、
Ｐ：圧力（Ｐａ）
γ：水銀の表面張力（４８５ｄｙｎｅ／ｃｍ（０．４８５Ｐａ・ｍ））、
ψ：水銀の接触角（１３０°＝２．２６８９３ｒａｄ）である。
【００１５】
変曲点径は、累積細孔容積曲線が急激に立ち上る変曲点のうち、最も細孔直径が大きい点における細孔直径をいう。また、粒子間空隙は、変曲点径における累積細孔容積である。
【００１６】
本発明において、変曲点径が０．３μｍ未満では、複合金属水酸化物粒子が、不均一な結晶形状を有する微細な粒子を含有している。そのため、変曲点径が０．３μｍ未満である粒子を添加剤として合成樹脂に混練すると、樹脂の粘度が急激に上昇し、流動性が悪くなる。また、変曲点径が０．６μｍを超える場合は、一部の粒子の結晶形状が不定形となり、粒子が凝集しやすくなり、粗大な凝集粒子を含む。そのため、変曲点径が０．６μｍを超える粒子を添加剤として合成樹脂に混練すると、添加剤が樹脂中に沈降したり、偏析しやすく、流動性や加工性を阻害する。変曲点径は、好ましくは０．３〜０．５μｍである。
【００１７】
本発明において、粒子間空隙が０．９×１０−３ｍ３・ｋｇ−１未満では、複合金属水酸化物粒子が、不均一な結晶形状を有する微細な粒子を含有している。そのため、粒子間空隙が０．９×１０−３ｍ３・ｋｇ−１未満である粒子を、添加剤として合成樹脂に混練すると、樹脂の粘度が急激に上昇し、流動性が悪くなる。また、粒子間空隙が１．３×１０−３ｍ３・ｋｇ−１を超える場合は、一部の粒子の結晶形状が不定形となり、粒子が凝集しやすくなり、粗大な凝集粒子を含む。そのため、粒子間空隙が１．３×１０−３ｍ３・ｋｇ−１を超える粒子を、添加剤として合成樹脂に混練すると、添加剤が樹脂中に沈降しやすく、流動性や加工性を阻害する。粒子間空隙は、好ましくは、０．９×１０−３〜１．２×１０−３ｍ３・ｋｇ−１である。
【００１８】
さらに、本発明の複合金属水酸化物粒子は、細孔分布における、モード径が０．３０〜０．６０μｍであり、モード容積が２．８０×１０−３〜３．３０×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であるのが好ましい。本発明において、細孔分布における、モード容積及びモード径は、水銀圧入法によって求められる。モード容積は、ｌｏｇ微分細孔容積分布曲線の最大値であり、モード径は、ｌｏｇ微分細孔容積分布曲線の最大値に対応する細孔直径である。本発明の複合金属水酸化物の細孔分布を水銀圧入法によって測定した場合、モード径は、粒子を構成している複合金属水酸化物同士の間の空隙の直径に対応する。このようなモード径及びモード容積を有する複合金属水酸化物粒子は、結晶形状がさらに均一になり、添加剤として合成樹脂に混練すると、粒子の分散性が良好になり、樹脂中に沈降しにくく、流動性や加工性が良好である。本発明において、モード径が０．３０〜０．５５μｍであり、モード容積が２．８５×１０−３〜３．２５×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であるのがより好ましい。
【００１９】
さらに、本発明の複合金属水酸化物粒子は、結晶外形が、平行な上下２面の基底面と外周６面の角錐面とからなり上記角錐面が、ミラー・ブラベ指数で表わされる（１０・１）の型面に属する角錐面で上向き傾斜面と下向き傾斜面とが交互に配設された８面体形状を有し、基底面の長軸径と上下の基底面間の厚みとの比率（長軸径／厚み）が１〜９であるのが好ましい。具体的には、本発明の好ましい複合金属水酸化物は、図１に示すように、平行な上下２面の基底面１と外周６面の角錐面２とからなり、前記角錐面２がミラー・ブラベ指数で表わされる（１０・１）の型面に属する角錐面で上向き傾斜面２ａと下向き傾斜面２ｂとが交互に配列された８面体形状であり、前記基底面１の長軸径Ｘに対する前記上下２面の基底面間の厚みＹの比率（Ｘ／Ｙ）が１〜９である。また、図２には、さまざまな角度から見た、本発明の好ましい複合金属水酸化物の結晶構造が示されている。また、本発明の好ましい複合金属水酸化物は、図１におけるｃ軸方向、すなわち厚み方向への結晶成長が大きい８面体形状を有する。このような形状であれば、添加剤として樹脂に添加・混錬する際に、充填性が良好であると同時に、添加後の樹脂組成物の流動性及び加工性が向上し、成型速度が向上して生産性が良好となる。また、樹脂中の分散性が良好であるため、難燃剤、紫外線吸収剤、補強剤、放熱剤等の添加剤として使用した場合に、それらの機能を十分に発揮することが可能となる。
【００２０】
本発明において、基底面の長軸径と上下の基底面間の厚みとの比率（長軸径／厚み）は１〜９であるのが好ましく、１〜５であるのがより好ましい。このような範囲であれば、粒子の形状が球状に近くなり分散性が向上する点で好ましい。
【００２１】
本発明の複合金属水酸化物粒子は、複合金属水酸化物に対して、Ａｌの含有量が３０〜２００ｐｐｍであり、Ｆｅの含有量が３０〜２００ｐｐｍであるのが好ましい。このような、Ａｌ及びＦｅの含有量であれば、結晶形状が安定し、より均一な複合金属水酸化物粒子となる。
【００２２】
本発明の複合金属水酸化物粒子は、ゼータ電位が−８〜−１５ｍＶであるのが好ましい。ゼータ電位がこの範囲であれば、樹脂中への分散性が良く、十分な流動性が得られる。
【００２３】
２．複合金属水酸化物粒子の製造方法
本発明の複合金属水酸化物粒子は、以下の方法により得られる。水溶性マグネシウム化合物を含む水溶液に、水溶性であるＺｎ化合物を添加するか、水に、Ｍｇ化合物及びＺｎ化合物を添加するか、又は、水に、共沈法により得られる部分固溶化水酸化物を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得、さらにＡｌ化合物、Ｆｅ化合物を添加し、第２の部分固溶化水酸化物分散液を得、濾過水洗を行い、その後乾燥させて原料である部分固溶化水酸化物を得る。前記の部分固溶化水酸化物を、８００〜１５００℃の範囲、好ましくは１０００〜１３００℃の範囲で焼成することにより、複合金属酸化物を得る。続いて、前記の複合金属酸化物を、カルボン酸、カルボン酸の金属塩、無機酸および無機酸の金属塩からなる群から選ばれた少なくとも一種が、前記の複合金属酸化物１００ｇに対して、０．１〜６ｍｏｌ共存する水媒体中の系で、強攪拌しながら４０℃以上の温度で水和反応させることにより、本発明の複合金属水酸化物を得る。
【００２４】
より具体的には、本発明の複合金属水酸化物の製造方法は、
（１Ａ）（１ａ）Ｍｇ２＋を含む水溶液に、水溶性であるＺｎ化合物を添加し、次いでアルカリ源を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程、（２ａ）水に、Ｍｇ化合物及びＺｎ化合物を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程、又は、（３ａ）水に、共沈法により得られるＭｇとＺｎの複合金属水酸化物を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程、
（１Ｂ）第１の部分固溶化水酸化物分散液に、部分固溶化複合金属水酸化物に対して、金属換算でＡｌ化合物を３０〜２００ｐｐｍ、Ｆｅ化合物を３０〜２００ｐｐｍ添加して、第２の部分固溶化水酸化物分散液を得、濾過、水洗し、その後乾燥させて、部分固溶化水酸化物を得る工程、
（１Ｃ）部分固溶化水酸化物を、８００〜１５００℃の範囲で焼成することにより、複合金属酸化物を得る工程、及び
（１Ｄ）複合金属酸化物を、カルボン酸の金属塩、無機酸、及び無機酸の金属塩からなる群より選ばれる１種以上の酸又はその金属塩を含み、酸又は酸の金属塩の量が、複合金属酸化物１００ｇに対して０．０１〜６ｍｏｌである水溶液に添加し、攪拌しながら、４０℃以上の温度で水和反応させることにより、複合金属水酸化物を得る工程
を含む。
【００２５】
（１）工程（１Ａ）
工程（１Ａ）は、（１ａ）Ｍｇ２＋を含む水溶液に、水溶性であるＺｎ化合物を添加し、次いでアルカリ源を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程、（２ａ）水に、Ｍｇ化合物及びＺｎ化合物を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程、又は、（３ａ）水に、共沈法により得られるＭｇとＺｎの複合金属水酸化物を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程である。工程（１Ａ）において、（１ａ）〜（３ａ）のいずれか１つの工程を実行することで、第１の部分固溶化水酸化物が得られる。
【００２６】
工程（１ａ）は、（１ａ）Ｍｇ２＋を含む水溶液に、水溶性であるＺｎ化合物を添加し、次いでアルカリ源を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程である。工程（１ａ）では、共沈法により部分固溶化複合金属水酸化物を析出させることにより、第１の部分固溶化水酸化物分散液が得られる。
【００２７】
工程（１ａ）において、Ｍｇ２＋を含む水溶液は、水に、水溶性であるＭｇ化合物を添加することにより得られる。このような水溶性であるＭｇ化合物としては、水に溶解してＭｇ２＋イオンを生じさせるマグネシウムの化合物であれば特に限定されない。Ｍｇ２＋を含む水溶液を得るために用いられる水溶性であるＭｇ化合物としては、硝酸マグネシウム、酢酸マグネシウム、及び塩化マグネシウムが挙げられ、硝酸マグネシウム、及び酢酸マグネシウムが好ましい。これらのＭｇ化合物は、単独で用いてもよく、また複数を組み合わせて用いてもよい。
【００２８】
水溶性であるＺｎ化合物は、亜鉛の化合物であれば特に限定されず、硝酸亜鉛、酢酸亜鉛、塩化亜鉛、及び亜鉛の塩類が挙げられ、硝酸亜鉛及び塩化亜鉛が好ましい。これらの亜鉛化合物は、単独で用いてもよく、また複数を組み合わせて用いてもよい。
【００２９】
本発明において、Ｍｇ２＋を含む水溶液を得るための水溶性であるマグネシウム化合物の使用量、及びＺｎ化合物の使用量は、式（１）で定義されたマグネシウム及び亜鉛の含有量を満足するものであれば、特に限定されない。例えば、水溶性であるマグネシウム化合物の濃度は、水溶液におけるＭｇ２＋の濃度が０．５〜２．０ｍｏｌ／Ｌであるのが好ましく、０．６〜１．８ｍｏｌ／Ｌであるのがより好ましい。また、水溶性であるＺｎ化合物の濃度は、水溶液におけるＺｎ２＋の濃度が０．０５〜１．０ｍｏｌ／Ｌであるのが好ましく、０．０６〜０．９ｍｏｌ／Ｌであるのがより好ましい。
【００３０】
Ｍｇ２＋を含む水溶液に使用する水として、イオン交換水が好ましい。
【００３１】
工程（１ａ）において、Ｍｇ２＋を含む水溶液に、水溶性であるＺｎ化合物を添加して、Ｍｇ２＋及びＺｎ２＋を含む水溶液を得る。このＭｇ２＋及びＺｎ２＋を含む水溶液に対して、アルカリ源、例えば水酸化カルシウム、及び水酸化ナトリウムを添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る。Ｍｇ２＋及びＺｎ２＋を含む水溶液にアルカリ源を添加することにより、アルカリ源は水に溶解し、これによりＭｇ及びＺｎを含む水酸化物、すわなち、部分固溶化水酸化物が析出する。
【００３２】
アルカリ源の添加量は、部分固溶化水酸化物の析出を確実にする点から、工程（１ａ）で用いられる原料化合物の使用量から計算される、ＭｇとＺｎの合計１モルに対して、１〜１．５モルであるのが好ましい。
【００３３】
工程（２ａ）は、水に、Ｍｇ化合物及びＺｎ化合物を添加して、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程である。工程（２ａ）において、第１の部分固溶化水酸化物分散液は、水に、Ｍｇ化合物及びＺｎ化合物を分散させることによって得られる。このようなＭｇ化合物及びＺｎ化合物は、水に分散できる化合物であれば特に限定されない。また、工程（２ａ）において、Ｍｇ化合物及びＺｎ化合物は、同時に添加してもよく、又は別々に加えてもよい。具体的には、第１の部分固溶化水酸化物分散液は、水に、Ｍｇ化合物を添加してＭｇ化合物の分散液を得、続いてＺｎ化合物を添加することによるか、水に、Ｚｎ化合物を添加してＺｎ化合物の分散液を得、続いてＭｇ化合物を添加することによるか、又は、水に、Ｍｇ化合物及びＺｎ化合物を同時に添加することにより、得ることができる。
【００３４】
工程（２ａ）で用いられるＭｇ化合物として、酸化マグネシウム、水酸化マグネシウム及び炭酸マグネシウムが挙げられ、酸化マグネシウム及び水酸化マグネシウムが好ましい。これらのＭｇ化合物は、単独で用いてもよく、また複数を組み合わせて用いてもよい。Ｍｇ化合物は、メディアン粒子径が０．５〜５０μｍ程度であれば、特に限定されない。このようなメディアン粒子径を有するＭｇ化合物は、市販されているＭｇ化合物をポットミル等で粉砕することにより得ることができる。市販されている水酸化マグネシウムとして、例えばタテホ化学工業株式会社製のＭＡＧＳＴＡＲ＃２０、ＭＡＧＳＴＡＲ＃４、ＭＡＧＳＴＡＲ＃５、及びＭＡＧＳＴＡＲ＃２が挙げられる。また、市販されている酸化マグネシウムとして、例えばタテホ化学工業株式会社製のＴＡＴＥＨＯＭＡＧ＃５００、ＴＡＴＥＨＯＭＡＧＨ−１０、ＴＡＴＥＨＯＭＡＧ＃１０００、及びＴＡＴＥＨＯＭＡＧ＃５０００が挙げられる。
【００３５】
工程（２ａ）において、Ｍｇ化合物の使用量は、第１の部分固溶化水酸化物分散液中のＭｇ元素の濃度が０．５〜２．５ｍｏｌ／Ｌであるのが好ましく、０．８〜２．０ｍｏｌ／Ｌであるのがより好ましい。
【００３６】
工程（２ａ）において、Ｚｎ化合物は、亜鉛の化合物であれば特に限定されず、硝酸亜鉛、酢酸亜鉛、塩化亜鉛、酸化亜鉛、水酸化亜鉛及び亜鉛の塩類が挙げられ、酸化亜鉛及び水酸化亜鉛が好ましい。これらの亜鉛化合物は、単独で用いてもよく、また複数を組み合わせて用いてもよい。これらの化合物は、市販されている亜鉛化合物を用いることができる。Ｚｎ化合物の濃度は、分散液におけるＺｎの濃度が０．０１〜１．０ｍｏｌ／Ｌであるのが好ましく、０．０５〜０．９ｍｏｌ／Ｌであるのがより好ましい。
【００３７】
マグネシウム化合物分散液に使用する水として、イオン交換水が好ましい。
【００３８】
工程（３ａ）は、水に、共沈法によって得られるＭｇ及びＺｎの複合金属水酸化物を添加することにより、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得る工程である。工程（３ａ）で得られる分散液の溶媒として用いられる水として、イオン交換水が好ましい。共沈法により得られるＭｇ及びＺｎの複合金属水酸化物は、例えば、工程（１ａ）で得られる、第１の部分固溶化水酸化物分散液を濾過、水洗し、その後乾燥させて得られる部分固溶化水酸化物である。分散液における、共沈法によって得られるＭｇ及びＺｎの複合金属水酸化物の濃度は、工程（１ａ）で述べたＭｇ２＋を含む水溶液を得るための水溶性であるマグネシウム化合物の濃度、及び水溶性であるＺｎ化合物の濃度を満足するのが好ましい。
【００３９】
（２）工程（１Ｂ）
工程（１Ｂ）は、工程（１Ａ）で得られた第１の部分固溶化水酸化物分散液に、部分固溶化複合金属水酸化物に対して、金属換算でＡｌ化合物を３０〜２００ｐｐｍ、Ｆｅ化合物を３０〜２００ｐｐｍ添加して、第２の部分固溶化水酸化物分散液を得、濾過、水洗し、その後乾燥させて、部分固溶化水酸化物を得る工程である。
【００４０】
本発明において、部分固溶化複合金属水酸化物の重量に対して、Ａｌ化合物の添加量がＡｌ換算で３０〜２００ｐｐｍであり、Ｆｅ化合物の添加量がＦｅ換算で３０〜２００ｐｐｍであれば、粒子の結晶形状が均一な複合金属水酸化物粒子を得ることができ、前記した変曲点径及び粒子間空隙を有する複合金属水酸化物粒子を得ることができる。なお、本発明において、部分固溶化複合金属水酸化物の重量は、工程（１Ａ）において第１の部分固溶化水酸化物分散液を得るために用いられたＭｇ及びＺｎの量から算出することができる。
【００４１】
Ａｌ化合物として、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、硝酸アルミニウム、塩化アルミニウム及び酢酸アルミニウムが挙げられ、酸化アルミニウムが好ましい。Ａｌ化合物は、単独で用いても、複数を組み合わせて用いてもよい。
【００４２】
Ｆｅ化合物として、酸化鉄（酸化第一鉄及び酸化第二鉄）、水酸化鉄、硝酸鉄、塩化鉄及び酢酸鉄が挙げられ、酸化鉄が好ましい。Ｆｅ化合物は、単独で用いても、複数を組み合わせて用いてもよい。
【００４３】
濾過は、濾紙等を用いて行うことができ、水洗は、水酸化マグネシウムに対して、質量基準で５〜１００倍の純水を投入することにより行うことができる。
【００４４】
（３）工程（１Ｃ）
工程（１Ｃ）は、工程（１Ｂ）で得られた部分固溶化水酸化物の原料を、８００〜１５００℃の範囲で焼成することにより、複合金属酸化物を得る工程である。
【００４５】
焼成は、例えば、大気雰囲気中で、昇温速度１〜２０℃／分、好ましくは３〜１０℃／分で、８００〜１５００℃まで、好ましくは１０００〜１３００℃まで昇温し、昇温後、８００〜１５００℃、好ましくは１０００〜１３００℃で０．１〜５時間焼成することにより行うことができる。
【００４６】
本発明において、工程（１Ｃ）で得られる複合金属酸化物は、好ましくは、式（２）：
Ｍｇ１−ｘＺｎｘＯ            （２）
（式中、ｘは、式（１）で定義されたとおりである。）
で表される。
【００４７】
焼成物である複合金属酸化物は、分級して、メディアン粒子径を制御するのが好ましい。分級して得られる複合金属酸化物のメディアン粒子径は３〜３０μｍであるのが好ましく、５〜２０μｍであるのがより好ましい。粒子径が３μｍ未満の粒子が存在すれば不均一な粒子を形成しやすくなり、粗大な粒子が混在する可能性が高くなる、また粒子径が３０μｍを超える粒子が存在すれば、工程（１Ｄ）の水和反応が完全に進まず、未反応の酸化マグネシウムが残留してしまい、本発明の水酸化マグネシウムを得ることができない。分級は、例えば５〜１０時間ボールミルを用いることにより行うことができる。なお、本発明において、メディアン粒子径は、レーザ回折散乱式粒度分布測定装置を用いて測定した場合の、体積平均基準の累積５０％粒子径（Ｄ５０）である。
【００４８】
（４）工程（１Ｄ）
工程（１Ｄ）は、工程（１Ｃ）で得られた複合金属酸化物を、カルボン酸、カルボン酸の金属塩、無機酸、及び無機酸の金属塩からなる群より選ばれる１種以上の酸又は酸の金属塩を含み、酸又は酸の金属塩の量が、複合金属酸化物１００ｇに対して０．０１〜６ｍｏｌである水溶液に添加し、攪拌しながら、４０℃以上の温度で水和反応させることにより、複合金属水酸化物を得る工程である。
【００４９】
水和反応時の攪拌は、均一性、分散性のバランス、カルボン酸、無機酸、又はこれらの酸の金属塩との接触効率向上等のため、強攪拌が好ましく、さらに高剪断攪拌であればなお好ましい。このような攪拌は、例えば、回転羽根式の攪拌機において、回転羽根の周速を８〜１８ｍ／ｓで行うことが好ましく、９〜１５ｍ／ｓで行うことがより好ましい。また、攪拌羽根形状は剪断力の強いタービン羽根やＤＳインペラ羽根等の形状のものを使用することが好ましい。
【００５０】
カルボン酸としては、特に限定されるものではないが、好ましくはモノカルボン酸、オキシカルボン酸（オキシ酸）が挙げられる。モノカルボン酸としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、カプロン酸、アクリル酸、及びクロトン酸等が挙げられる。また、オキシカルボン酸（オキシ酸）としては、グリコール酸、乳酸、ヒドロアクリル酸、α−オキシ酪酸、グリセリン酸、サリチル酸、安息香酸、及び没食子酸等が挙げられる。また、カルボン酸の金属塩としては、特に限定されるものではないが、好ましくは酢酸マグネシウム、酢酸亜鉛等があげられる。
【００５１】
無機酸としては、特に限定されるものではないが、好ましくは硝酸、塩酸等があげられる。また、無機酸の金属塩としては、特に限定されるものではないが、好ましくは硝酸マグネシウム、硝酸亜鉛等があげられる。
【００５２】
カルボン酸、無機酸、及びそれらの金属塩の量は、複合金属酸化物１００ｇに対して０．０１〜６ｍｏｌであり、０．０１〜０．０５ｍｏｌであるのがより好ましい。なお、カルボン酸、無機酸、及びそれらの金属塩を混合物として用いる場合は、これらの合計の量をいう。
【００５３】
水溶液、及び水溶液に複合金属水酸化物を添加することにより得られる分散液の溶媒として、イオン交換水が好ましい。また、本発明において、複合金属酸化物の使用量は、所望の水和反応が進む量であれば特に限定されず、５０〜２００ｇ／Ｌであるのが好ましく、６０〜１５０ｇ／Ｌであるのがより好ましい。
【００５４】
水和反応の温度は、４０℃以上であり、４０〜１００℃が好ましい。また、攪拌時間は、酸化マグネシウムの水和反応の程度に応じて変更でき、例えば０．５〜６時間とすることができる。
【００５５】
上記の工程により、複合金属水酸化物が得られる。好ましくは、本発明の製造方法により得られる複合金属水酸化物は、本発明の複合金属水酸化物である。
【００５６】
本発明の金属水酸化物は、各種の表面処理を施すことにより、樹脂に対する親和性、耐酸性、撥水性、紫外線吸収性等の機能を向上させることができる。本発明の金属水酸化物固溶体は、上述したように樹脂中の分散が良くなり、上記のように表面処理によって機能を付与した場合にも、その機能を充分に発揮できる。
【００５７】
樹脂との親和性を高めるための表面処理剤としては、例えば、高級脂肪酸またはそのアルカリ金属塩、リン酸エステル、シランカップリング剤類、多価アルコールの脂肪酸エステル類等があげられる。また、耐酸性、撥水性等を高めるためには、例えば、メチルシリケート、エチルシリケートの加水分解によるシリカコーティング、シリコーンオイル、ポリフルオロアルキルリン酸エステル塩等によるコーティング等が行われる。また、紫外線吸収性を高めるためには、例えば、硫酸チタニルを加水分解反応させて二酸化チタンを被覆することが行われる。
【００５８】
本発明の複合金属水酸化物は、樹脂の添加剤、例えば、難燃剤、紫外線吸収剤、補強剤、放熱剤等として用いることができ、好ましくは難燃剤として用いられる。
【００５９】
３．樹脂組成物
本発明は、上記の複合金属水酸化物固溶体を含む樹脂組成物を提供する。このような樹脂組成物としては、例えば、（I）エポキシ樹脂、（II）硬化剤、（III）無機充填材及び（IV-１）上記式（１）で示される複合金属水酸化物固溶体を含むものが好ましく、（I）エポキシ樹脂、（II）硬化剤、（III）無機充填材及び（IV-２）難燃剤として、上記式（１）で示される複合金属水酸化物固溶体を含む樹脂組成物が好ましい。
【００６０】
成分（I）のエポキシ樹脂としては、特に限定されるものではなく、公知のものを使用することができる。具体的には、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂などが挙げられ、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂が好ましい。
【００６１】
成分（II）の硬化剤としては、特に限定されるものではなく、公知のものが使用でき、例えば、フェノール樹脂、酸無水物、アミン化合物が挙げられ、フェノール樹脂が好ましい。
【００６２】
成分（III）の無機充填材としては、例えば、石英ガラス粉末、タルク、シリカ粉末、アルミナ粉末、炭酸カルシウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素及びカーボンブラック粉末などが挙げられる。なかでも、シリカ粉末が好ましく、とくに球状シリカ粉末、とりわけ球状溶融シリカ粉末が好ましい。
【００６３】
本発明の樹脂組成物は、上記により得られた複合金属水酸化物を、エポキシ樹脂、硬化剤、無機充填材等とともに混練して得られる。この樹脂組成物において、複合金属水酸化物の添加剤の含有量は、樹脂組成物全体の１〜３５質量％であることが好ましい。さらに、本発明の樹脂組成物において、無機物の合計、すなわち、本発明の複合金属水酸化物の添加剤と、無機充填材との合計配合量が、樹脂組成物全体の６０〜９５質量％であるのがより好ましい。
【００６４】
上記の樹脂組成物は、難燃性、耐湿性、耐酸性などの耐環境性にも優れており、半導体用の封止剤として有用であるため、この樹脂組成物により封止された各種半導体装置を製造することができる。
【００６５】
半導体封止用樹脂組成物は、各種原材料を均一に分散混合できるものであれば、調製法は特に限定されるものではない。具体例をあげると、例えば、ミキサー等によって十分混合し、ミキシングロール、押出機等によって溶融混練した後、冷却、粉砕し、これを顆粒状に成形したもの、成形条件に合うような寸法及び重量でタブレット化したもの、あるいは、上記樹脂組成物の各成分の混合物をパレット上に受け入れ、これを冷却後、プレス圧延、ロール圧延、又は溶媒を混合したものを塗工してシート化するなどの方法によりシート状に成形したもの等様々な形態のものとすることができる。
【００６６】
このようにして得られる半導体封止用樹脂組成物を用いた半導体素子の封止方法は、特に限定されるものではなく、例えば通常のトランスファー成形等の公知の成形方法を使用することができる。
【実施例】
【００６７】
本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、実施例において得られた複合金属水酸化物粒子及び複合金属酸化物の、メディアン粒子径、Ｚｎ量、Ａｌ量及びＦｅ量、及び細孔分布（変曲点径、粒子間空隙、モード容積、モード径）の測定は、以下の方法で行った。
【００６８】
（１）メディアン粒子径（体積基準の５０％粒子径（Ｄ５０））の測定
レーザ回折散乱式粒度分布測定装置（商品名：ＭＴ３３００、日機装社製）を使用して、メディアン粒子径を測定した。
【００６９】
（２）複合金属水酸化物のＺｎ量の測定
Ｚｎ量は、蛍光Ｘ線分析装置（商品名：ＺＳＸ１００ｅ、リガク製）を用い、試料をビードに溶解したのち測定した。
【００７０】
（３）原料の複合金属水酸化物及び複合金属水酸化物のＡｌ量、及びＦｅ量の測定
測定対象となる元素（Ａｌ、及びＦｅ）は、ＩＣＰ発光分析装置（商品名：ＳＰＳ−５１００、セイコーインスツルメンツ製）を使用して、試料を酸に溶解した後、質量を測定した。
【００７１】
（４）細孔分布（変曲点径、粒子間空隙、モード容積、及びモード径）の測定
水銀圧入式細孔分布測定により得られる、変曲点径、粒子間空隙、ｌｏｇ微分細孔容積分布曲線の最大値（モード容積）及び、モード容積に対応する細孔直径（モード径）は、以下の条件で求めた。水銀圧入式細孔分布測定装置は、マイクロメトリックス社製オートポア９４１０を使用し測定した。水銀は、純度９９．５ｍａｓｓ％以上、密度１３．５３３５×１０３ｋｇ／ｍ３である特級の水銀試薬を用いた。測定セルは、セル内容積５×１０−６ｍ３、ステム容積０．３８×１０−６ｍ３の粉体試料用セルを用いた。測定試料は、あらかじめ３３０メッシュ標準篩（ＪＩＳ−Ｒ８８０１−８７）で粒径を揃えた試料を、質量０．１０×１０−３〜０．１３×１０−３ｋｇの範囲で精密に秤量し、測定セルに充填した。測定セルを装置に装着した後、セル内部を圧力５０μＨｇ（６．６７Ｐａ）以下で２０分間、減圧状態に保持した。次に、測定セル内に、圧力が１．５ｐｓｉａ（１０３４２Ｐａ）になるまで水銀を充填した。その後、圧力が２ｐｓｉａ（１３７９０Ｐａ）から６００００ｐｓｉａ（４１３．７ＭＰａ）の範囲で水銀を圧入して、細孔分布を測定した。
水銀の圧入圧力を細孔直径に換算するには、下記（Ｉ）式を用いた。
Ｄ＝−（１／Ｐ）・４γ・ｃｏｓΨ            （Ｉ）
ここで、Ｄ：細孔直径（ｍ）、
Ｐ：水銀の圧入圧力（Ｐａ）、
γ：水銀の表面張力（４８５ｄｙｎｅ・ｃｍ−１（０．４８５Ｐａ・ｍ））、
Ψ：水銀の接触角（１３０°＝２．２６８９３ｒａｄ）である。
【００７２】
＜評価試験１＞
実施例及び比較例で得られた水酸化マグネシウム粒子を、以下の表１に示した割合でエポキシ樹脂に混練して、得られた樹脂組成物のスパイラルフロー及び難燃性を下記の条件で測定した。ここで、スパイラルフローは、熱可塑性樹脂組成物及び熱硬化性樹脂組成物の流動性を表す値である。
【００７３】
なお、エポキシ樹脂としては、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（エポキシ当量１９８）、硬化剤としては、フェノールノボラック樹脂（水酸基当量１０５）、硬化促進剤としては、トリフェニルホスフィン、無機充填材としては、球状溶融シリカをそれぞれ使用した。
【００７４】
【表１】
0005877745.tif 000002
【００７５】
（難燃性測定方法）
エポキシ樹脂組成物を用いて、厚み１／１６インチの難燃性試験片を作製し（成形条件：温度１７５℃、時間１２０秒間、ポストキュア１７５℃×６時間）、ＵＬ−９４  Ｖ−０規格の方法に準じて難燃性を評価した。
【００７６】
（スパイラルフロー測定方法）
スパイラルフロー測定用金型を用い、温度１７５℃、圧力６０８６ＭＰａの条件で、ＥＭＭＩ  １−６６に準じてスパイラルフロー値を測定した。
【００７７】
＜評価試験２＞
（ゼータ電位の測定方法）
複合金属水酸化粒子を、０．００３ｇを超純水３００ｍｌに約１０分間超音波分散させた後、レーザーデータ電位計  ＥＬＳ−８０００（大塚電子（株）製）で測定した。測定温度は２５℃、測定方法は電気泳動光散乱法で測定した。
【００７８】
［実施例１］
硝酸マグネシウムと硝酸亜鉛の混合溶液（Ｍｇ２＋＝１．６ｍｏｌ／Ｌ、Ｚｎ２＋＝０．４ｍｏｌ／Ｌ）２０Ｌを、５０Ｌの反応容器に入れ、攪拌しながら２．０ｍｏｌ／ＬのＣａ（ＯＨ）２を２０Ｌ加えて反応させて、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得た。次いで、得られた第１の部分固溶化水酸化物分散液に、Ｚｎ及びＭｇの量から計算される部分固溶化複合金属水酸化物の重量に対してＡｌが１５０ｐｐｍになるように、酸化アルミニウム添加し、またＺｎ及びＭｇの量から計算される部分固溶化複合金属水酸化物の重量に対してＦｅが１５０ｐｐｍになるように、酸化鉄を添加して、第２の部分固溶化水酸化物分散液を得た。得られた第２の部分固溶化水酸化物分散液を濾過し、水洗し、乾燥させた。
【００７９】
この乾燥物をボールミルで粉砕し、電気炉を用いて１２００℃で２時間焼成して、焼成物を得た。この焼成物をボールミルで８時間粉砕した後、分級し、複合金属酸化物を得た。分級後の複合金属酸化物のメディアン粒子径は８．３μｍであった。この複合金属酸化物を、０．０１ｍｏｌ／Ｌの酢酸１０Ｌを入れた２０Ｌ容器に、酸化物濃度が１００ｇ／Ｌとなるように添加した。そして、高速攪拌機（商品名：ホモミクサー、特殊機化社製）で、タービン羽根の周速を１０ｍ／ｓとして攪拌しながら、９０℃で４時間水和反応を進めた。これを濾過、水洗、乾燥させ、本発明の複合金属水酸化物を得た。
【００８０】
得られた複合金属水酸化物について、細孔分布における、変曲点径は０．４８μｍであり、粒子間空隙は１．１３×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であり、モード径は０．４１μｍであり、モード容積は３．０９×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であった。
【００８１】
［実施例２］
メディアン粒子径４.８μｍの水酸化マグネシウムをイオン交換水に添加することにより得られる水酸化マグネシウムスラリー（Ｍｇ（ＯＨ）２１００ｇ／Ｌ（Ｍｇ＝１．７ｍｏｌ／Ｌ））２０Ｌを、５０Ｌの反応容器に入れ、攪拌しながら０．５ｍｏｌ／ＬのＺｎＣｌ２を１７．１Ｌ加えて反応させて第１の部分固溶化水酸化物分散液を得た。次いで、第１の部分固溶化水酸化物分散液に、Ｚｎ及びＭｇの量から計算される部分固溶化複合金属水酸化物の重量に対してＡｌが５０ｐｐｍになるように、酸化アルミニウム添加し、またＺｎ及びＭｇの量から計算される部分固溶化複合金属水酸化物の重量に対してＦｅが５０ｐｐｍになるように、酸化鉄を添加して、第２の部分固溶化水酸化物分散液を得た。得られた第２の部分固溶化水酸化物分散液を濾過し、水洗し、乾燥させた。
【００８２】
この乾燥物をボールミルで粉砕し、電気炉を用いて１１００℃で２時間焼成して、焼成物を得た。この焼成物をボールミルで１０時間粉砕した後、分級し、複合金属酸化物を得た。分級後の複合金属酸化物のメディアン粒子径は５．２μｍであった。この複合金属酸化物を、０．０３ｍｏｌ／Ｌの酢酸１０Ｌを入れた２０Ｌ容器に、酸化物濃度１００ｇ／Ｌとなるように添加した。そして、エッジタービン羽根付き攪拌機を用い、エッジタービン羽根の周速を１０ｍ／ｓとして攪拌しながら、９０℃で６時間水和反応を進めた。これを濾過、水洗、乾燥させ、本発明の複合金属水酸化物を得た。
【００８３】
得られた複合金属水酸化物について、細孔分布における、変曲点径は０．３８μｍであり、粒子間空隙は０．９２×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であり、モード径は０．３２μｍであり、モード容積は２．８６×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であった。
【００８４】
［比較例１］
硝酸マグネシウムと硝酸亜鉛の混合溶液（Ｍｇ２＋＝１．６ｍｏｌ／Ｌ、Ｚｎ２＋＝０．４ｍｏｌ／Ｌ）２０Ｌを、５０Ｌの反応容器に入れ、攪拌しながら２．０ｍｏｌ／ＬのＣａ（ＯＨ）２を２０Ｌ加えて反応させて、第１の分散液を得た。得られた第１の分散液を濾過し、水洗し、乾燥させた。
【００８５】
この乾燥物をボールミルで粉砕したのち、電気炉を用いて１２００℃で２時間焼成した。この焼成物をボールミルで８時間粉砕し、分級し、複合金属酸化物を得た。分級後の複合金属酸化物のメディアン粒子径は７．６μｍであった。この複合金属酸化物を、０．０３ｍｏｌ／Ｌの酢酸１０Ｌを入れた２０Ｌ容器に、酸化物濃度１００ｇ／Ｌとなるように添加した。そして、高速攪拌機（商品名：ホモミクサー）で、タービン羽根の周速を１０ｍ／ｓとして攪拌しながら、９０℃で４時間水和反応を進めた。この反応物を５００ｍｅｓｈのふるいにかけ、引き続き濾過、水洗、乾燥させ、本発明の複合金属水酸化物を得た。
【００８６】
得られた複合金属水酸化物について、細孔分布における、変曲点径は０．２８μｍであり、粒子間空隙は０．７６×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であり、モード径は０．２４μｍであり、モード容積は２．６６×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であった。
【００８７】
［比較例２］
硝酸マグネシウムと硝酸亜鉛の混合溶液（Ｍｇ２＋＝１．６ｍｏｌ／Ｌ、Ｚｎ２＋＝０．４ｍｏｌ／Ｌ）２０Ｌを、５０Ｌの反応容器に入れ、攪拌しながら２．０ｍｏｌ／ＬのＣａ（ＯＨ）２を２０Ｌ加えて反応させて、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得た。次いで、得られた第１の部分固溶化水酸化物分散液に、Ｚｎ及びＭｇの量から計算される部分固溶化複合金属水酸化物の重量に対してＡｌが１００ｐｐｍになるように、酸化アルミニウム添加して、第２の部分固溶化水酸化物分散液を得た。得られた第２の部分固溶化水酸化物分散液を濾過し、水洗し、乾燥させた。
【００８８】
この乾燥物をボールミルで粉砕し、電気炉を用いて１２００℃で２時間焼成して、焼成物を得た。この焼成物をボールミルで８時間粉砕し、分級し、複合金属酸化物を得た。分級後の複合金属酸化物のメディアン粒子径は８．８μｍであった。この複合金属酸化物を、０．０３ｍｏｌ／Ｌの酢酸１０Ｌを入れた２０Ｌ容器に、酸化物濃度１００ｇ／Ｌとなるように添加した。そして、高速攪拌機（商品名：ホモミクサー）で、タービン羽根の周速を１０ｍ／ｓとして攪拌しながら、９０℃で４時間水和反応を進めた。この反応物を５００ｍｅｓｈのふるいにかけ、引き続き濾過、水洗、乾燥させ、本発明の金属水酸化物粒子を得た。
【００８９】
得られた複合金属水酸化物について、細孔分布における、変曲点径は０．６４μｍであり、粒子間空隙は１．３４×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であり、モード径は０．５２μｍであり、モード容積は３．３８×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であった。
【００９０】
［比較例３］
硝酸マグネシウムと硝酸亜鉛の混合溶液（Ｍｇ２＋＝１．６ｍｏｌ／Ｌ、Ｚｎ２＋＝０．４ｍｏｌ／Ｌ）２０Ｌを、５０Ｌの反応容器に入れ、攪拌しながら２．０ｍｏｌ／ＬのＣａ（ＯＨ）２を２０Ｌ加えて反応させて、第１の部分固溶化水酸化物分散液を得た。次いで、得られた第１の部分固溶化水酸化物分散液に、Ｚｎ及びＭｇの量から計算される部分固溶化複合金属水酸化物の重量に対してＦｅが１００ｐｐｍになるように、酸化鉄を添加して、第２の部分固溶化水酸化物分散液を得た。得られた第２の部分固溶化水酸化物分散液を濾過し、水洗し、乾燥させた。
【００９１】
この乾燥物をボールミルで粉砕し、電気炉を用いて１２００℃で２時間焼成して、焼成物を得た。この焼成物をボールミルで８時間粉砕し、分級し、複合金属酸化物を得た。分級後の複合金属酸化物のメディアン粒子径は８．２μｍであった。この複合金属酸化物を、０．０３ｍｏｌ／Ｌの酢酸１０Ｌを入れた２０Ｌ容器に、酸化物濃度１００ｇ／Ｌとなるように添加した。そして、高速攪拌機（商品名：ホモミクサー）で、タービン羽根の周速を１０ｍ／ｓとして攪拌しながら、９０℃で４時間水和反応を進めた。この反応物を５００ｍｅｓｈのふるいにかけ、引き続き濾過、水洗、乾燥させ、本発明の金属水酸化物粒子を得た。
【００９２】
得られた複合金属水酸化物について、細孔分布における、変曲点径は０．６１μｍであり、粒子間空隙は１．３３×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であり、モード径は０．５４μｍであり、モード容積は３．４１×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であった。
【００９３】
結果を表２及び表３にまとめる。なお、Ａｌ及びＦｅの値は、得られた複合金属水酸化物における量である。
【００９４】
【表２】
0005877745.tif 000003
【００９５】
【表３】
0005877745.tif 000004
【００９６】
表２の結果からも明らかなように、本発明の複合金属水酸化物粒子は、変曲点径が０．４〜０．６μｍであり、粒子間空隙が０．９×１０−３〜１．３×１０−３ｍ３・ｋｇ−１であるので、添加剤として樹脂に混練した際、従来の水酸化マグネシウム粒子よりもスパイラルフローが大きく流動性が良好であることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００９７】
本発明の複合金属水酸化物粒子は、微細粒子や、不定形な粒子を含有しないため粒子全体が均一な結晶形状のもので構成されていることから、樹脂への親和性が良好である。よって、本発明の複合金属水酸化物粒子は難燃性に優れており、及び、樹脂に対する流動性や加工性に優れている。しがたって、トランジスタ、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体装置に封止用樹脂の充填材として極めて有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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