(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁によって区画された発光層を有する表示パネルの製造方法であって、
基板上に隔壁層を形成する第１工程と、
第１の複数の開口部に対応する第１露光マスクを用いて、前記隔壁層の第１領域を露光する第２工程と、
第２の複数の開口部に対応する第２露光マスクを用いて、前記第１領域の一部と重複するように前記隔壁層の第２領域を露光する第３工程と、
前記第１及び第２の複数の開口部に対応する領域における前記隔壁層を除去することにより前記隔壁層に前記第１の複数の開口部及び前記第２の複数の開口部を形成して、前記隔壁を形成する第４工程と、
前記第1及び第２の複数の開口部の各々に前記発光層を形成する第５工程と、を含み、
前記第１及び第２の複数の開口部は、所定個の開口部を一単位として一画素を構成するように形成され、
前記第１露光マスクのマスクパターンは、前記第１領域と前記第２領域とが重複する領域である重複領域における前記第１の複数の開口部の中の少なくとも１つの開口部が前記一画素内の一の開口部に対応するように構成され、
前記第２露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第２の複数の開口部の中の少なくとも１つの開口部が前記一画素内の前記一の開口部以外の他の開口部に対応するように構成される、
表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記一画素を構成する前記所定個の開口部の各々は、複数色の各々に対応し、
前記複数色は、青色を含み、
前記第１露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記一の開口部が前記青色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成され、
前記第２露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記他の開口部が前記複数色の中の前記青色以外の色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成される、
請求項１記載の表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記一画素を構成する前記所定個の開口部は、更に、赤色の光を発する前記発光層に対応する開口部及び緑色の光を発する前記発光層に対応する開口部を含み、
前記第２露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記他の開口部が前記赤色及び緑色の各々の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成される、
請求項２記載の表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記隔壁層に形成された前記第１及び第２の複数の開口部は、前記一画素内における各色の光を発する発光層の単位で分離している、
請求項２又は請求項３に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクは、前記一画素を構成する前記所定個の開口部が配列される配列方向に対して垂直な方向に配列されるように配置され、
前記第１及び第２の複数の開口部のうち前記重複領域に形成される開口部は、前記配列方向に対して垂直な方向に配列された前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクによって形成される、
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項６】
前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクは、前記一画素を構成する前記所定個の開口部が配列される配列方向に対して平行に配列されるように配置され、
前記第１及び第２の複数の開口部のうち前記重複領域に形成される開口部は、前記配列方向に対して平行な方向に配列された前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクによって形成される、
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項７】
前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクを用いた露光は、ポジ方式であり、
前記第１及び第２の複数の開口部に対応する前記隔壁層を露光する、
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項８】
前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクを用いた露光は、ネガ方式であり、
前記第１及び第２の複数の開口部以外の領域に対応する前記隔壁層を露光する、
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項９】
前記第５工程において形成される前記発光層は、有機発光層である、
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１０】
前記第1及び第２の複数の開口部を構成する前記一画素には、第１の一画素と第２の一画素とが含まれ、
前記第１露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第１の複数の開口部が、少なくとも、前記第１の一画素内における一の開口部と、前記第２の一画素内における一の開口部とに対応するように構成され、
前記第２露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第２の複数の開口部が、少なくとも、前記第１の一画素内における他の開口部と、前記第２の一画素内における他の開口部とに対応するように構成され、
前記第４工程において、前記第１の一画素内の前記一の開口部と前記第２の一画素内の前記他の開口部とが、同じ色の光を発する前記発光層に対応する開口部となるように形成される
請求項１記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１１】
前記第１及び第２の一画素を構成する前記所定個の開口部の各々は、複数色の各々に対応し、
前記複数色は、青色を含み、
前記第１露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第１の一画素内の前記一の開口部が前記青色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成され、
前記第２露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第２の一画素内の前記他の開口部が前記青色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成される、
請求項１０記載の表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの製造方法に関し、特に、複数の開口部が形成された隔壁を有する有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示パネル等の表示パネルでは、マトリクス状に配列された複数の画素によって表示領域が構成されている。複数の画素のそれぞれは、赤色、緑色及び青色の３色に対応するサブ画素によって構成されている。さらに、各サブ画素は、各色に対応する発光層を有し、各発光層はバンクと呼ばれる隔壁によって区画されている。各発光層は、発光色ごとに、隔壁の各開口部内に形成されている。このような隔壁としては、複数のサブ画素を列単位で区画するラインバンクやサブ画素単位で区画するピクセルバンク等がある。
【０００３】
隔壁は、感光性樹脂を用いて形成されることが多く、例えば、基板上にポジ型の感光性樹脂又はネガ型の感光性樹脂を塗布し、その後、所定のマスクパターンを有する露光マスク（レチクル）を用いて露光及び現像することによって開口部を形成する。これにより、所定形状の隔壁を形成することができる。
【０００４】
近年、表示パネルの大画面化に伴って基板も大型化し、一枚の露光マスクを用いて一度に所定形状の隔壁を形成することが困難になってきている。このため、隔壁を形成する領域を複数の領域に分割し、この分割した複数の領域に対応させた複数の露光マスクを用いて露光を行う方法（分割露光）が提案されている。また、大型の基板ではない場合であっても、露光装置の方式によっては、分割露光を行うことが必要な場合もある。
【０００５】
このような分割露光による隔壁の形成方法について、図１６を用いて説明する。図１６は、従来の分割露光による隔壁の形成方法を説明するための図である。図１６（ａ）は、一般的な表示パネルの平面図であり、図１６（ｂ）は、同表示パネルにおける表示領域の一部拡大図である。
【０００６】
図１６（ａ）に示すように、表示パネル１１００の表示領域１２００は、マトリクス状に配列された複数の画素１３００によって構成されている。表示パネル１１００の表示領域１２００に隔壁を形成する際、図１６（ａ）に示すように、例えば、表示領域１２００を９つの領域（ブロック）に均等に分割して行う。具体的には、９つの分割領域１２００Ａ〜１２００Ｉの各分割領域に対応する１枚の露光マスクを準備し、この露光マスクを用いて９つの分割領域１２００Ａ〜１２００Ｉに対して順次９回の露光を行うことによって表示領域１２００全体の露光を行う。なお、表示領域１２００全体の露光が完了した後は、現像等することによって開口部を形成することで所定形状の隔壁を得ることができる。
【０００７】
しかしながら、このように表示領域を単純に分割してしまうと、露光精度の問題で分割領域毎に露光マスクの位置ズレが生じて、隔壁における露光マスクの繋ぎ合わせ部分（分割ライン）が顕著化してしまうという問題がある。すなわち、図１６（ａ）において、９つの分割領域１２００Ａ〜１２００Ｉのそれぞれに対して露光マスクの位置合わせを正確に行うことができなかった場合に、露光マスクの繋ぎ合わせ部分において隣接画素における隔壁のパターンがずれてしまうという問題がある。例えば、図１６（ｂ）に示すように、分割領域１２００Ｄに対応する画素１３００Ｄの隔壁のパターンと、分割領域１２００Ｄの右側に隣接する分割領域１２００Ｅに対応する画素１３００Ｅの隔壁パターンとが、画素の列方向にずれてしまう場合がある。
【０００８】
そこで、分割露光を行う場合に、露光マスクの繋ぎ合わせ部分で一方の露光マスクが他方の露光マスクと重なるようにして露光を行うとともに、分割ラインが一直線とならないように露光マスクの重なり部分におけるマスクパターンを例えば１画素を基本とする千鳥状として露光するパターン形成方法が提案されている（特許文献１参照）。
【０００９】
特許文献１に開示されたパターン形成方法は、画素の電極等をパターン形成するものであり、図１７に示すように、個々の画素パターンの３個分が第１露光マスク２１００と第２露光マスク２２００との重なり部分となっており、第１露光マスク２１００のパターン形成領域２１０１及び第２露光マスク２２００のパターン形成領域２２０１と、第１露光マスク２１００の遮光領域２１０２及び第２露光マスク２２００の遮光領域２２０２とが、縦方向及び横方向に交互に千鳥状に並んでいる。これにより、仮に、露光マスクの繋ぎ合わせ部分にズレが生じたとしても、そのズレを目立たなくすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平９−２３６９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、露光マスクのパターンを画素単位で工夫しただけでは、露光マスクの繋ぎ合わせ部分にズレが生じた場合に、隔壁における露光マスクの繋ぎ合わせ部分のズレが認識されてしまうという問題がある。すなわち、露光マスクの位置ズレに伴う画素ズレの軽減が十分ではないという問題がある。
【００１２】
また、図１７に示すような方法では、千鳥状という複雑なマスクパターンを有する露光マスクが必要となり、レチクル数又は露光数（ショット数）が増えるという問題がある。
【００１３】
本発明は、このような問題を鑑みてなされたものであり、分割露光を行う場合であっても、露光マスクのマスクパターンを複雑にすることなく、隔壁における露光マスクの繋ぎ合わせ部分のズレを目立たなくする表示パネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記問題を解決するために、本発明に係る表示パネルの製造方法の一態様は、隔壁によって区画された発光層を有する表示パネルの製造方法であって、基板上に隔壁層を形成する第１工程と、第１の複数の開口部に対応する第１露光マスクを用いて、前記隔壁層の第１領域を露光する第２工程と、第２の複数の開口部に対応する第２露光マスクを用いて、前記第１領域の一部と重複するように前記隔壁層の第２領域を露光する第３工程と、前記第１及び第２の複数の開口部に対応する領域における前記隔壁層を除去することにより前記隔壁層に前記第１の複数の開口部及び前記第２の複数の開口部を形成して、前記隔壁を形成する第４工程と、前記第１及び第２の複数の開口部の各々に前記発光層を形成する第５工程と、を含み、前記第１及び第２の複数の開口部は、所定個の開口部を一単位として一画素を構成するように形成され、前記第１露光マスクのマスクパターンは、前記第１領域と前記第２領域とが重複する領域である重複領域における前記第１の複数の開口部の中の少なくとも１つの開口部が前記一画素内の一の開口部に対応するように構成され、前記第２露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第２の複数の開口部の中の少なくとも１つの開口部が前記一画素内の前記一の開口部以外の他の開口部に対応するように構成される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、露光マスクの繋ぎ合わせ部分における隔壁のパターンずれを目立たなくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態１に係る表示パネルの構成を説明するための図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’線における発明の実施の形態１に係る表示パネルの断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法における当該表示パネルと露光マスクとの配置関係を説明するための図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法に用いられる第１露光マスクの構成を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法に用いられる第２露光マスクの構成を示す図である。
【図６Ａ】本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法において、図３に示す重複領域における第１露光マスクと第２露光マスクとの配置関係を示す図である。
【図６Ｂ】図６Ａに示すマスクの配置によって形成された隔壁のパターンを示す図である。
【図７】本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法の各工程を説明するための断面図である。
【図８】本発明の実施の形態２に係る表示パネルの製造方法に用いられる第１露光マスクの構成を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態２に係る表示パネルの製造方法に用いられる第２露光マスクの構成を示す図である。
【図１０Ａ】本発明の実施の形態２に係る表示パネルの製造方法において、図３に示す重複領域における第１露光マスクと第２露光マスクとの配置関係を示す図である。
【図１０Ｂ】図１１Ａに示すマスクの配置によって形成された隔壁のパターンを示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態３に係る表示パネルの製造方法に用いられる第１露光マスクの構成を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態３に係る表示パネルの製造方法に用いられる第２露光マスクの構成を示す図である。
【図１３】本発明の実施の形態４に係る表示パネルの製造方法における表示パネルの分割領域を説明するための図である示す図である。
【図１４】本発明の実施の形態４に係る表示パネルの製造方法に用いられる露光マスクの構成を示す図である。
【図１５】本発明の実施の形態４に係る表示パネルの製造方法における露光マスクとの配置関係を説明するための図である。
【図１６】従来の分割露光による隔壁の形成方法を説明するための図である。
【図１７】特許文献１に開示されたパターン形成方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明に係る表示パネルの製造方法の一態様は、基板上に隔壁層を形成する第１工程と、第１の複数の開口部に対応する第１露光マスクを用いて、前記隔壁層の第１領域を露光する第２工程と、第２の複数の開口部に対応する第２露光マスクを用いて、前記第１領域の一部と重複するように前記隔壁層の第２領域を露光する第３工程と、前記第１及び第２の複数の開口部に対応する領域における前記隔壁層を除去することにより前記隔壁層に前記第１の複数の開口部及び前記第２の複数の開口部を形成して、前記隔壁を形成する第４工程と、前記第１及び第２の複数の開口部の各々に前記発光層を形成する第５工程と、を含み、前記第１及び第２の複数の開口部は、所定個の開口部を一単位として一画素を構成するように形成され、前記第１露光マスクのマスクパターンは、前記第１領域と前記第２領域とが重複する領域である重複領域における前記第１の複数の開口部の中の少なくとも１つの開口部が前記一画素内の一の開口部に対応するように構成され、前記第２露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第２の複数の開口部の中の少なくとも１つの開口部が前記一画素内の前記一の開口部以外の他の開口部に対応するように構成される。
【００１８】
本態様によれば、分割露光によって隔壁を形成する際、隔壁層における第１露光マスクと第２露光マスクとの重複領域において、第１露光マスクを用いて露光する第１領域と第２露光マスクを用いて露光する第２領域との境が、複数の開口部を含む一画素単位ではなく、一画素内の複数の開口部のうちの１つの開口部に対応するサブ画素単位で区分けされている。
【００１９】
これにより、第１露光マスクを用いて露光する第１領域と第２露光マスクを用いて露光する第２領域との境を画素単位で区分けする場合と比較して、第１露光マスクと第２露光マスクとを重複させる領域をより狭くすることが可能となる。このため、露光マスクの重複領域を小さくする分だけ、重複領域に形成される開口部の視認性を低下させることができる。この結果、仮に、第１露光マスク及び第２露光マスクの位置がずれて、第１露光マスクによって形成された開口部と第２露光マスクによって形成された開口部とにズレが生じたとしても、露光マスクの重複領域自体を小さくできるので、一枚の表示パネルに対して複数の露光マスクを用いて隔壁を形成する場合であっても、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを軽減できる。
【００２０】
また、第１露光マスクによって形成された開口部と第２露光マスクによって形成された開口部とにズレが生じたとしても、このズレは一画素内でのズレである。人は、表示画素を見るとき、一画素内のそれぞれの開口部によって放出される光を混同させて、画素毎に、ある特定の色を表示する画素として認識する。従って、仮に、一画素内でズレが生じたとしても、人が認識する表示画素としては大きな差異が無いので、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを軽減できる。
【００２１】
さらに、第１露光マスクによる露光領域（第１領域）と第２露光マスクによる露光領域（第２領域）との境をサブ画素単位とすることにより、第１露光マスクによる露光領域と第２露光マスクによる露光領域との境を直線状とすることができる。これにより、隔壁層の重複領域に対応する第１露光マスク及び第２露光マスクのマスクパターンを直線状にすることができ、マスクパターンを単純化することができる。従って、レチクル数やショット数を増加させることなく、隔壁層の重複領域における開口部のパターンのズレを目立たなくすることができる。
【００２２】
さらに、本発明に係る表示パネルの製造方法の一態様において、前記一画素を構成する前記所定個の開口部の各々は、複数色の各々に対応し、前記複数色は、青色を含み、前記第１露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記一の開口部が前記青色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成され、前記第２露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記他の開口部が前記複数色の中の前記青色以外の色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成されることが好ましい。
【００２３】
本態様によると、一画素内において、第１露光マスクを用いて形成される開口部は青色の光を発する発光層が形成される開口部に対応し、第２露光マスクを用いて形成される開口部は青色以外の色の光を発する発光層が形成される開口部に対応する。これにより、隔壁層の重複領域において、第１露光マスクにより形成された開口部と、第２露光マスクにより形成された開口部とにズレが生じたとしても、青色の光を発する発光層に対応する開口部と青色以外の色の光を発する発光層に対応する開口部との間においてズレが生じずることなる。この場合、ズレの発生箇所は、画素と画素との間ではなく、サブ画素とサブ画素との間となり、一画素内に紛れることになる。特に、青色は人の目による視認性が低いので、仮に、青色の光を発する発光層に対応する開口部と青色以外の色の光を発する発光層に対応する開口部とにズレが生じていたとしても、人の目にはズレとして認識されにくくなる。この結果、一枚の表示パネルに対して複数の露光マスクを用いて隔壁を形成する場合であっても、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを一層軽減することができる。
【００２４】
さらに、本発明に係る表示パネルの製造方法の一態様において、前記一画素を構成する前記所定個の開口部は、更に、赤色の光を発する前記発光層に対応する開口部及び緑色の光を発する前記発光層に対応する開口部を含み、前記第２露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記他の開口部が前記赤色及び緑色の各々の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成される、とすることができる。
【００２５】
さらに、本発明に係る表示パネルの製造方法の一態様において、前記隔壁層に形成された前記第１及び第２の複数の開口部は、前記一画素内における各色の光を発する発光層の単位で分離していることが好ましい。
【００２６】
さらに、本発明に係る表示パネルの製造方法の一態様において、前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクは、前記一画素を構成する前記所定個の開口部が配列される配列方向に対して垂直な方向に配列されるように配置され、前記第１及び第２の複数の開口部のうち前記重複領域に形成される開口部は、前記配列方向に対して垂直な方向に配列された前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクによって形成される、としてもよい。あるいは、前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクは、前記一画素を構成する前記所定個の開口部が配列される配列方向に対して平行に配列されるように配置され、前記第１及び第２の複数の開口部のうち前記重複領域に形成される開口部は、前記配列方向に対して平行な方向に配列された前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクによって形成される、としてもよい。
【００２７】
さらに、本発明に係る表示パネルの製造方法の一態様において、前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクを用いた露光は、ポジ方式であり、前記第１及び第２の複数の開口部に対応する前記隔壁層を露光するようにしてもよい。あるいは、前記第１露光マスク及び前記第２露光マスクを用いた露光は、ネガ方式であり、前記第１及び第２の複数の開口部以外の領域に対応する前記隔壁層を露光するようにしてもよい。
【００２８】
さらに、本発明に係る表示パネルの製造方法の一態様において、前記第５工程において形成される前記発光層は、有機発光層である、とすることができる。
【００２９】
さらに、本発明に係る表示パネルの製造方法の一態様において、前記第１及び第２の複数の開口部を構成する前記一画素には、第１の一画素と第２の一画素とが含まれ、前記第１露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第１の複数の開口部が、少なくとも、前記第１の一画素内における一の開口部と、前記第２の一画素内における一の開口部とに対応するように構成され、前記第２露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第２の複数の開口部が、少なくとも、前記第１の一画素内における他の開口部と、前記第２の一画素内における他の開口部とに対応するように構成され、前記第４工程において、前記第１の一画素内の前記一の開口部と前記第２の一画素内の前記他の開口部とが、同じ色の光を発する前記発光層に対応する開口部となるように形成されることが好ましい。
【００３０】
本態様によると、重複領域に対応する第１露光マスク及び第２露光マスクの各々のマスクパターンは、異なる色の光を発する発光層及び同じ色の光を発する発光層の開口部に対応するパターンを有するように構成されている。すなわち、隔壁層の重複領域に対応する第１露光マスク及び第２露光マスクの各々には、一画素分の開口部に相当するマスクパターンが形成されている。これにより、重複領域に形成される開口部の規則性が緩和されるので、重複領域における各画素内での開口部のズレを一層認識されにくくすることができる。この結果、一枚の表示パネルに対して複数の露光マスクを用いて隔壁を形成する場合であっても、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを一層軽減することができる。
【００３１】
さらに、本発明に係る表示パネルの製造方法の一態様において、前記第１及び第２の一画素を構成する前記所定個の開口部の各々は、複数色の各々に対応し、前記複数色は、青色を含み、前記第１露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第１の一画素内の前記一の開口部が前記青色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成され、前記第２露光マスクのマスクパターンは、前記重複領域における前記第２の一画素内の前記他の開口部が前記青色の光を発する前記発光層が形成される開口部に対応するように構成されることが好ましい。
【００３２】
本態様によると、重複領域に対応する第１露光マスク及び第２露光マスクの各々には、一画素分の開口部に相当するマスクパターンが形成されていることに加えて、さらに、１個の開口部を青色の光を発する発光層に対応する開口部としている。これにより、重複領域に形成される開口部の規則性を緩和することができるとともに、人の目による視認性が低い青色に対応する開口部を境としてズレが生じるので人の目にはズレとして認識されにくくなる。この結果、一枚の表示パネルに対して複数の露光マスクを用いて隔壁を形成する場合であっても、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを一層軽減することができる。
【００３３】
（実施の形態）
以下、本発明に係る表示パネルの製造方法について、実施の形態に基づいて図面を参照しながら説明する。なお、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示したものではない。また、全ての図を通じて同じ構成要素には同じ符号を付しており、詳しい説明は省略又は簡略化する。
【００３４】
（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１に係る表示パネル１００の構成について、図１及び図２を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態１に係る表示パネルの構成を説明するための図である。図２は、図１のＡ−Ａ’線における同表示パネルの断面図である。
【００３５】
図１（ａ）に示すように、表示パネル１００は、画像が表示される表示領域２００を備える。表示領域２００は複数の画素によって構成されており、複数の画素は隔壁（バンク）によって区画されている。表示パネル１００において隔壁を形成する場合、表示領域２００を複数の領域（ブロック）に分割して露光及び現像等を行う。例えば、図１（ａ）に示すように、表示領域２００を２つの分割領域２００Ａと分割領域２００Ｂとに左右均等に分割して露光及び現像等を行う。
【００３６】
分割領域２００Ａ及び２００Ｂの各々は、露光マスクの１ショットに対応し、マトリクス状に配列された複数の画素３００によって構成されている。また、各画素３００は、複数の開口部が形成された隔壁３１０を有しており、本実施の形態における隔壁３１０は、図１（ｂ）に示すように、赤色の光を発する発光層（赤色発光層）に対応する開口部である赤色用開口部３１０Ｒと、緑色の光を発する発光層（緑色発光層）に対応する開口部である緑色用開口部３１０Ｇと、青色の光を発する発光層（青色発光層）に対応する開口部である青色用開口部３１０Ｂとを有する。
【００３７】
また、本実施の形態における表示パネル１００は、発光層等の有機材料が塗布方式によって形成された有機ＥＬ表示パネルであって、図２に示すように、基板３２０と、基板３２０上に順次形成された、下部電極（陽極）３３０、発光層３４１を含む有機層３４０、及び上部電極（陰極）３５０からなる有機ＥＬ素子と、発光層３４１を複数の発光領域に分離して区画するための所定形状の隔壁３１０と、封止樹脂層３５０と、透光基板３７０とを備える。
【００３８】
隔壁３１０は、発光色ごとに発光層３４１を分離して区画するためのバンクであり、例えば、レジストなどの黒色の感光性樹脂によって構成されている。
【００３９】
基板３２０は、例えば、透明の無アルカリガラスからなる透明ガラス基板である。なお、図示しないが、基板３２０と有機ＥＬ素子との間に、薄膜トランジスタ等の回路素子を含む駆動回路と当該駆動回路を平坦化するための平坦化膜とからなる平坦化層を備えていてもよい。
【００４０】
下部電極３３０は、画素ごとに分離形成された陽極（アノード）であり、反射電極として形成することができる。下部電極３３０は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）などの反射金属によって構成することができる。
【００４１】
発光層３４１は、隔壁３１０の赤色用開口部３１０Ｒに対応する赤色発光層３４１Ｒと、隔壁３１０の緑色用開口部３１０Ｇに対応する緑色発光層３４１Ｇと、隔壁３１０の青色用開口部３１０Ｂに対応する青色発光層３４１Ｂとからなる。
【００４２】
赤色発光層３４１Ｒ、緑色発光層３４１Ｇ及び青色発光層３４１Ｂの各発光層は、下部電極３３０と上部電極３５０とに所定の電圧が印加されることにより注入された電子と正孔とが再結合して生じるエネルギーにより、当該発光層を構成する発光材料が励起されて発光する。各発光層は、発光色ごとに所定の電界発光機能を有する有機材料によって構成された有機発光層である。
【００４３】
上部電極３５０は、下部電極３３０と対向するように形成された陰極（カソード）であり、透明電極として構成することができる。上部電極３５０は、例えば、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）等の透明金属酸化物によって構成することができる。なお、上部電極３５０は、全画素に共通の共通電極である。
【００４４】
また、有機層３４０は、発光層３４１の他に、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層又は電子注入層を有するように構成しても構わない。また、図示しないが、上部電極３５０上には封止樹脂層３６０が形成され、その上には接着樹脂層（不図示）を介してガラス基板等の透光基板３７０が接着される。
【００４５】
次に、隔壁３１０を形成する場合における表示パネル１００と露光マスクとの関係について、図３を用いて説明する。図３は、本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法における当該表示パネルと露光マスクとの配置関係を説明するための図である。
【００４６】
図３に示すように、本実施の形態では、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０との２種類の露光マスクを用いて隔壁３１０を形成する。図３において横線のハッチングで示される第１露光マスク１０は、図１に示される分割領域２００Ａに対応するように配置される。また、図３において縦線のハッチングで示される第２露光マスク２０は、図１に示される分割領域２００Ｂに対応するように配置される。
【００４７】
第１露光マスク１０は、隔壁３１０を形成するためのベース層となる隔壁層における第１領域を露光するためのフォトマスクであり、隔壁３１０の第１の複数の開口部に対応するパターンが描画されている。一方、第２露光マスク２０は、隔壁層における第２領域を露光するためのフォトマスクであり、隔壁３１０の第２複数の開口部に対応するパターンが描画されている。
【００４８】
また、隔壁層を露光する際、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とは、隔壁層上において、第１露光マスク１０によって露光される第１領域と第２露光マスク２０によって露光される第２領域とが一部重複するように配置される。すなわち、図３に示すように、隔壁層には、第１露光マスク１０によって露光される第１領域と第２露光マスク２０によって露光される第２領域とが重複する領域（重複露光領域）として、重複領域３０が設定されている。
【００４９】
重複領域３０は、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とが横方向に重なり合う部分に対応する領域であり、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とは、各露光時において各露光マスクの重複領域３０が一致するように配置される。すなわち、第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０は、各露光時において、一画素を構成する所定個の開口部が配列される配列方向に対して平行に配列されるように配置される。
【００５０】
次に、第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０のマスクパターンについて、図４及び図５を用いて説明する。図４は、本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法に用いられる第１露光マスクの構成を示す図である。図５は、本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法に用いられる第２露光マスクの構成を示す図である。
【００５１】
図４（ａ）に示すように、第１露光マスク１０においては、基本領域１１におけるマスクパターンと、基本領域１１の周辺の領域である周辺領域１２におけるマスクパターンとが異なっている。
【００５２】
基本領域１１のマスクパターンは、一画素単位で全て同じパターンとなっており、隔壁３１０における一画素分の所定個の開口部に対応するように構成される。本実施の形態における基本領域１１のマスクパターンは、図４（ｂ）に示すように、一画素当たり、一画素分の開口部（ＲＧＢ３つの開口部）が含まれるようなパターンであり、具体的には、赤色用開口部３１０Ｒに対応する開口である赤色用開口パターン１１Ｒと、緑色用開口部３１０Ｇに対応する開口である緑色用開口パターン１１Ｇと、青色用開口部３１０Ｂに対応する開口である青色用開口パターン１１Ｂとからなる。
【００５３】
一方、周辺領域１２のマスクパターンは、一画素当たり、一画素内の一つの開口部に対応するパターンであり、本実施の形態では、サブ画素単位で全て同じパターンとなるように構成されている。具体的に、周辺領域１２のマスクパターンは、図４（ｃ）に示すように、青色用開口部３１０Ｂに対応する開口である青色用開口パターン１２Ｂのみによって構成されている。また、周辺領域１２における青色用開口パターン１２Ｂは、画素の列方向に沿って描画されている。
【００５４】
なお、本実施の形態において、基本領域１１の青色用開口パターン１１Ｂと、周辺領域１２の青色用開口パターン１２Ｂとは同じ形状及び大きさである。
【００５５】
また、図５（ａ）に示すように、第２露光マスク２０においては、基本領域２１におけるマスクパターンと、基本領域２１の周辺の領域である周辺領域２２におけるマスクパターンとが異なっている。なお、第２露光マスク２０は、第１露光マスク１０と全体の形状及び大きさが同じである。また、第２露光マスク２０における基本領域２１と第１露光マスク１０における基本領域１１とは同じ形状及び大きさであり、第２露光マスク２０における周辺領域２２と第１露光マスク１０における周辺領域１２とも同じ形状及び大きさである。
【００５６】
第２露光マスク２０の基本領域２１のマスクパターンは、第１露光マスク１０の基本領域１１のマスクパターンと同じであり、一画素単位で全て同じパターンとなっており、隔壁３１０における一画素分の所定個の開口部に対応するように構成される。従って、本実施の形態における基本領域２１のマスクパターンは、図５（ｂ）に示すように、一画素当たり、一画素分の開口部（ＲＧＢ３つの開口部）が含まれるようなパターンであり、具体的には、赤色用開口部３１０Ｒに対応する開口である赤色用開口パターン２１Ｒと、緑色用開口部３１０Ｇに対応する開口である緑色用開口パターン２１Ｇと、青色用開口部３１０Ｂに対応する開口である青色用開口パターン２１Ｂとからなる。
【００５７】
一方、第２露光マスク２０の周辺領域２２のマスクパターンと第１露光マスク１０の周辺領域１２のマスクパターンとは、隔壁３１０における一画素内のサブ画素単位の開口部に対応するように構成されている点は同じであるが、互いに異なる色の光を発する発光層の開口部に対応する点で異なる。
【００５８】
すなわち、第２露光マスク２０の周辺領域２２のマスクパターンは、隔壁３１０における一画素内の他の開口部に対応するパターンであり、図５（ｃ）に示すように、赤色用開口部３１０Ｒに対応する開口である赤色用開口パターン２２Ｒと、緑色用開口部３１０Ｇに対応する開口である緑色用開口パターン２２Ｇとからなる。赤色用開口パターン２２Ｒと緑色用開口パターン２２Ｇとは、画素の列方向に沿って並列に描画されている。なお、第２露光マスク２０の周辺領域２２におけるマスクパターンは、第１露光マスク１０の周辺領域１２におけるマスクパターンと同様に、サブ画素単位で全て同じパターンとなるように構成されている。
【００５９】
なお、本実施の形態において、基本領域２１における赤色用開口パターン２１Ｒ及び緑色用開口パターン２１Ｇと、周辺領域２２における赤色用開口パターン２２Ｒ及び緑色用開口パターン２２Ｇとは、同じ形状及び大きさである。
【００６０】
このように、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とにおいて、隔壁層の重複領域３０に対応する周辺領域１２及び２２のマスクパターンは、同一画素内に形成される複数の開口部が割り当てられるように構成されている。本実施の形態では、第１露光マスク１０の周辺領域１２における青色用開口パターン１２Ｂと、第２露光マスク２０の周辺領域２２における赤色用開口パターン２２Ｒ及び緑色用開口パターン２２Ｇとで、一画素分の３つのＲＧＢの開口部に対応するように構成されている。
【００６１】
また、本実施の形態において、表示領域２００全体に対して、第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０の２つのマスクを用いて順次露光するので、表示領域２００全体における隔壁３１０の全ての開口部は、第１の複数の開口部と第２の複数の開口部とによって構成される。隔壁３１０における第１及び第２の複数の開口部は、所定個の開口部を一単位として一画素を構成するように形成され、本実施の形態では、ＲＧＢ３個の開口部を一単位として一画素が構成されている。
【００６２】
次に、第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０を用いて露光する際における両マスクの配置と、このときに形成される隔壁３１０とについて、図６Ａ及び図６Ｂを用いて説明する。図６Ａは、本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法において、図３に示す重複領域における第１露光マスクと第２露光マスクとの配置関係を示す図である。図６Ｂは、図６Ａに示すマスクの配置によって形成された隔壁のパターンを示す図である。
【００６３】
図６Ａに示すように、第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０は、画素の行方向における第１露光マスク１０の周辺領域１２と第２露光マスク２０の周辺領域２２とが丁度重なり合うようにして配置される。この場合、周辺領域１２及び２２は、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とが重複する重複領域３０と一致する。
【００６４】
このとき、重複領域３０における第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とで構成されるマスクパターンが、一画素分の各開口部に割り当てられるように構成されているので、重複領域３０に形成される一画素当たりの開口部は、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とで丁度一画素分の数の開口部となるように形成される。本実施の形態では、図６Ａに示すように、重複領域３０に形成される一画素当たりの開口部は、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とで丁度ＲＧＢ３つの開口部となるように形成される。
【００６５】
このように配置される第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とを用いて、隔壁層に対して露光及び現像等を施すことにより、図６Ｂに示すように、重複領域３０における隔壁層に、赤色用開口部３１０Ｒ、緑色用開口部３１０Ｇ及び青色用開口部３１０Ｂが形成され、所定形状の隔壁３１０を形成することができる。
【００６６】
このとき、第１露光マスク１０又は第２露光マスク２０が所定の位置からずれて、図６Ｂに示すように、第１露光マスク１０によって形成された青色用開口部３１０Ｂと第２露光マスク２０によって形成された赤色用開口部３１０Ｒ及び緑色用開口部３１０Ｇとの間にズレが生じたとしても、このズレは、一画素を構成するサブ画素単位のズレであるので、重複領域３０に形成される青色用開口部３１０Ｂと赤色用開口部３１０Ｒ及び緑色用開口部３１０Ｇとの間のズレは目立たない。これにより、露光マスクの位置ズレに伴う画素ズレを軽減することができる。
【００６７】
また、第１露光マスク１０による露光領域（第１領域）と第２露光マスク２０による露光領域（第２領域）との境をサブ画素単位とすることによって、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、第１露光マスク１０によって露光される第１領域と第２露光マスク２０によって露光される第２領域との境が直線状であっても、重複領域３０における隔壁３１０の開口部のパターンのズレを目立たなくすることができる。すなわち、第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０のマスクパターンを単純化した場合であっても、隔壁３１０における開口部のパターンのズレを目立たなくすることができる。このように、本実施の形態ではマスクパターンを単純化することができるので、レチクル数やショット数を増加させることがない。
【００６８】
なお、図６Ａでは、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とが重なるように図示されているが、露光の際には、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とが同時に重なることはなく、第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０のいずれか一方のマスクでの露光が終わった後に、他方のマスクでの露光を行う。
【００６９】
次に、本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法について説明する。本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法は、基板上に隔壁層を形成する第１工程と、第１露光マスクを用いて隔壁層の第１領域を露光する第２工程と、第２露光マスクを用いて隔壁層の第２領域を露光する第３工程と、露光領域に従って隔壁層に複数の開口部を形成して所定形状の隔壁を形成する第４工程と、複数の開口部に発光層を形成する第５工程とを含む。以下、各工程について、図７を用いて詳細に説明する。図７は、本発明の実施の形態１に係る表示パネルの製造方法の各工程を説明するための断面図である。なお、図７では、重複領域３０（周辺領域１２、２２）のみを図示している。また、第１露光マスク１０の基本領域１１及び第２露光マスク２０の基本領域２１に対応する露光については説明しないが、基本領域１１及び２１における露光は、一画素内におけるＲＧＢ３つの開口部に対応する隔壁層３１１の領域に対して同時に行われる。
【００７０】
まず、図７（ａ）に示すように、基板３２０上に、感光性樹脂からなる隔壁層３１１を形成する（第１工程）。なお、基板３２０には平坦化層が形成されており、隔壁層３１１を形成する前に、図２に示すように、当該平坦化層上に所定形状の下部電極３３０をパターン形成しておいても構わない。
【００７１】
次に、図７（ｂ）に示すように、第１露光マスク１０を用いて、隔壁層３１１の第１領域を露光する（第２工程）。このとき、第１露光マスク１０の青色用開口パターン１２Ｂによって、青色用開口部３１０Ｂに対応する隔壁層３１１の第１領域が露光される。
【００７２】
この第１露光マスク１０による第１露光工程は、例えば、まずは、図１に示す分割領域２００Ａに対して行う。この場合、分割領域２００Ａ以外の領域は、露光されないように遮光されている。
【００７３】
次に、図７（ｃ）に示すように、第２露光マスク２０を用いて、重複領域３０において第１露光マスク１０の周辺領域１２と第２露光マスク２０の周辺領域２２とが重複するようにして隔壁層３１１の第２領域を露光する（第３工程）。このとき、第１露光マスク１０の青色用開口パターン１２Ｂによって、青色用開口部３１０Ｂに対応する隔壁層３１１の第１領域が露光される。
【００７４】
この第２露光マスク２０による第２露光工程は、例えば、図１に示す分割領域２００Ｂに対して行う。この場合、分割領域２００Ｂ以外の領域は、露光されないように遮光されている。
【００７５】
これにより、図７（ｄ）に示すように、重複領域３０における隔壁層３１１の露光が完了する。すなわち、重複領域３０の隔壁層３１１において、一画素を構成する所定個の開口部に対応する部分の露光が完了する。本実施の形態では、一画素を構成する３つの開口部、すなわち、赤色用開口部３１０Ｒ、緑色用開口部３１０Ｇ及び青色用開口部３１０Ｂに対応する部分の隔壁層３１１が露光される。
【００７６】
表示領域２００全体の露光が完了した後は、所定の現像液を用いて隔壁層３１１を現像することにより、図７（ｅ）に示すように、第１露光工程及び第２露光工程によって露光された部分の隔壁層３１１を除去し、隔壁層３１１に複数の開口部を形成して所定形状の隔壁３１０を形成する（第４工程）。本実施の形態では、隔壁層３１１に、赤色用開口部３１０Ｒ、緑色用開口部３１０Ｇ及び青色用開口部３１０Ｂの３つの開口部が形成される。
【００７７】
次に、図７（ｆ）に示すように、隔壁３１０の各開口部に発光層３４１を形成する（第５工程）。具体的には、隔壁３１０における赤色用開口部３１０Ｒ、緑色用開口部３１０Ｇ及び青色用開口部３１０Ｂのそれぞれに対応して、赤色発光層３４１Ｒ、緑色発光層３４１Ｇ及び青色発光層３４１Ｂが含まれるように、所定の有機材料からなる有機層３４０を形成する。その後、有機層３４０上に上部電極３５０を形成する。なお、その後は、上部電極３５０上に封止樹脂層３６０を形成し、その上に接着樹脂層（不図示）を形成して透光基板３７０を貼り合わせることによって表示パネル１００が完成する。
【００７８】
以上、本実施の形態によれば、分割露光によって隔壁３１０を形成する際、重複領域３０において、第１露光マスク１０を用いて露光する領域と第２露光マスク２０を用いて露光する領域との境がサブ画素単位で区分けされている。
【００７９】
これにより、露光領域の境を画素単位で設ける場合と比較して、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０とを重複させる領域をより狭くすることができる。このため、当該露光マスクの重複領域を小さくする分だけ、重複領域に形成される開口部の視認性を低下させることができる。この結果、仮に、第１露光マスク１０又は第２露光マスク２０が所定の位置からずれて、第１露光マスク１０によって形成された青色用開口部３１０Ｂと第２露光マスク２０によって形成された赤色用開口部３１０Ｒ及び緑色用開口部３１０Ｇとの間にズレが生じたとしても、露光マスクの重複領域自体を小さくすることができるので、分割露光によって隔壁３１０を形成する場合であっても、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを軽減できる。
【００８０】
また、このように、第１露光マスク１０によって形成された青色開口部３１０Ｂと第２露光マスク２０によって形成された赤色用開口部３１０Ｒ及び緑色用開口部３１０Ｇとにズレが生じたとしても、このズレは一画素内でのズレである。人は、表示画素を見るとき、一画素内のそれぞれの開口部によって放出される色の光を混同させて、画素毎に、ある特定の色を表示する画素として認識する。従って、仮に、一画素内でズレが生じたとしても、人が認識する表示画素としては大きな差異が無いので、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを軽減できる。
【００８１】
また、本実施の形態のように、第１露光マスク１０による露光領域（第１領域）と第２露光マスク２０による露光領域（第２領域）との境をサブ画素単位とすることにより、第１露光マスク１０による露光領域と第２露光マスク２０による露光領域との境を直線状とすることができる。これにより、重複領域３０に対応する第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０のマスクパターンを直線状することができ、マスクパターンを単純化することができる。従って、レチクル数やショット数を増加させることなく、重複領域３０における青色用開口部３１０Ｂと赤色用開口部３１０Ｒ及び緑色用開口部３１０Ｇとの間のパターンのずれを目立たなくすることができる。
【００８２】
さらに、本実施の形態では、重複領域３０における第１露光マスク１０のマスクパターンは、青色発光層３４１Ｂが形成される青色用開口部３１０Ｂに対応する青色用開口パターン１２Ｂで構成されている。また、重複領域３０における第２露光マスク２０のマスクパターンは、赤色発光層３４１Ｒが形成される赤色用開口部３１０Ｒに対応する赤色用開口パターン２２Ｒと、緑色発光層３４１Ｇが形成される緑色用開口部３１０Ｇに対応する緑色用開口パターン２２Ｇとからなる。すなわち、第１露光マスク１０と第２露光マスク２０との分割ラインが、緑色用開口部３１０Ｇと青色用開口部３１０Ｂとの間にあり、青色用開口部３１０Ｂを基準として設定されている。
【００８３】
これにより、重複領域３０において、第１露光マスク１０又は第２露光マスク２０が所定の位置からずれたとしても、青色用開口部３１０Ｂと赤色用開口部３１０Ｒ及び緑色用開口部３１０Ｇとの間において、開口部のパターンのズレが生じることになる。この場合、ズレの発生箇所は、画素と画素との間ではなく、一画素内に紛れることになる。特に、青色は人の目による視認性が低いため、仮に、青色用開口部３１０Ｂと赤色用開口部３１０Ｒ及び緑色用開口部３１０Ｇとの間にズレが生じていたとしても、人の目にはズレとして認識されにくくなる。この結果、分割露光によって隔壁３１０を形成する場合であっても、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを一層軽減することができる。
【００８４】
なお、本実施の形態において、有機ＥＬ表示パネルは、塗布方式によって製造したが、これに限らない。但し、発光領域が隔壁により規定される方式の場合（例えば、本実施の形態のような塗布方式）において本発明の効果は顕著である。
【００８５】
上記のとおり、本実施の形態のように、一画素内（例えば、緑色用開口部と青色用開口部との間）に分割露光の分割ラインを設けることによって、人の目によるズレの認識が発光領域でなされるため、分割領域（ブロック）毎のズレが埋もれて見えにくくなる。
【００８６】
なお、本実施の形態に係る表示パネル１００の製造方法において、第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０を用いた露光はポジ方式としたが、ネガ方式としても構わない。すなわち、本実施の形態では、隔壁層３１１のうち第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０によって露光された部分を除去して隔壁３１０を形成したが、隔壁層３１１のうち開口部が形成される領域以外を露光することにより隔壁をしても構わない。この場合、ネガ方式で用いる露光マスクは、ポジ方式で用いる露光マスクの透光領域と遮光領域とを反転させたマスクである。具体的に、ポジ方式の本実施の形態においては、第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０における各開口パターンを透光領域とし、それ以外を遮光領域としたが、ネガ方式においては、第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０における各開口パターンに対応する部分を遮光領域とし、それ以外の部分を透光領域とすればよい。
【００８７】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２に係る表示パネル１００の製造方法について説明する。本実施の形態における製造方法が、実施の形態１における製造方法と異なる点は露光マスクの構成である。なお、本実施の形態における表示パネル１００の構成は、実施の形態１に係る表示パネル１００と同様である。
【００８８】
以下、本実施の形態で用いられる第１露光マスク１０Ａ及び第２露光マスク２０Ａのマスクパターンについて、図８及び図９を用いて説明する。図８は、本発明の実施の形態２に係る表示パネルの製造方法に用いられる第１露光マスクの構成を示す図である。図９は、本発明の実施の形態２に係る表示パネルの製造方法に用いられる第２露光マスクの構成を示す図である。
【００８９】
図８（ａ）に示すように、本実施の形態における第１露光マスク１０Ａにおいては、実施の形態１の第１露光マスク１０と同様に、基本領域１１におけるマスクパターンと周辺領域１２におけるマスクパターンとが異なっており、基本領域１１のマスクパターンは、図８（ｂ）に示すように、実施の形態１と同じである。一方、第１露光マスク１０Ａにおける周辺領域１２のマスクパターンは、サブ画素単位で構成されている点では実施の形態１と同様であるが、本実施の形態では、周辺領域１２内に異なる色のサブ画素に対応するパターンが混在している。
【００９０】
具体的に、第１露光マスク１０Ａにおける周辺領域１２のマスクパターンは、図８（ｃ）に示すように、赤色用開口部３１０Ｒに対応する赤色用開口パターン１２Ｒと、緑色用開口部３１０Ｇに対応する緑色用開口パターン１２Ｇと、青色用開口部３１０Ｂに対応する青色用開口パターン１２Ｂとが混在している。
【００９１】
本実施の形態において、赤色用開口パターン１２Ｒ、緑色用開口パターン１２Ｇ及び青色用開口パターン１２Ｂは、周辺領域１２の内側領域においては、赤色用開口パターン１２Ｒと緑色用開口パターン１２Ｇとが一組となって画素の列方向に沿って並列に描画されており、周辺領域１２の外側領域においては、青色用開口パターン１２Ｂが画素の列方向に沿って直線状に描画されている。
【００９２】
また、図９（ａ）に示すように、本実施の形態における第２露光マスク２０Ａにおいては、実施の形態１の第２露光マスク２０と同様に、基本領域２１におけるマスクパターンと周辺領域２２におけるマスクパターンとが異なっており、基本領域２１のマスクパターンは、図９（ｂ）に示すように、実施の形態１と同じである。一方、第２露光マスク２０Ａにおける周辺領域２２のマスクパターンは、サブ画素単位で構成されている点では実施の形態１と同様であるが、本実施の形態では、異なる色のサブ画素に対応するパターンが混在している。
【００９３】
具体的に、第２露光マスク２０Ａにおける周辺領域２２のマスクパターンは、図９（ｃ）に示すように、赤色用開口部３１０Ｒに対応する赤色用開口パターン２２Ｒと、緑色用開口部３１０Ｇに対応する緑色用開口パターン２２Ｇと、青色用開口部３１０Ｂに対応する青色用開口パターン２２Ｂとが混在している。
【００９４】
さらに、本実施の形態において、赤色用開口パターン２２Ｒ、緑色用開口パターン２２Ｇ及び青色用開口パターン２２Ｂは、周辺領域２２の内側領域においては、青色用開口パターン１２Ｂが画素の列方向に沿って直線状に描画されており、周辺領域１２の外側領域においては、赤色用開口パターン１２Ｒと緑色用開口パターン１２Ｇとが一組となって画素の列方向に沿って並列に描画されている。
【００９５】
このように、本実施の形態においては、重複領域３０に対応するマスクパターンとしては、異なる色の複数の開口部に対応するパターンが混在しているが、実施の形態１と同様に、第１露光マスク１０Ａと第２露光マスク２０Ａとにおいて、重複領域３０に対応する周辺領域１２及び２２のマスクパターンは、同一画素内に形成される複数の開口部が割り当てられるように構成されている。
【００９６】
次に、第１露光マスク１０Ａ及び第２露光マスク２０Ａを用いて露光する際における両マスクの配置と、このときに形成される隔壁３１０とについて、図１０Ａ及び図１０Ｂを用いて説明する。図１０Ａは、本発明の実施の形態２に係る表示パネルの製造方法において、図３に示す重複領域における第１露光マスクと第２露光マスクとの配置関係を示す図である。図１０Ｂは、図１０Ａに示すマスクの配置によって形成された隔壁のパターンを示す図である。
【００９７】
図１０Ａに示すように、実施の形態１と同様に、第１露光マスク１０Ａ及び第２露光マスク２０Ａは、画素の行方向における第１露光マスク１０Ａの周辺領域１２と第２露光マスク２０Ａの周辺領域２２とが丁度重なり合うようにして配置される。この場合、周辺領域１２及び２２は、第１露光マスク１０Ａと第２露光マスク２０Ａとの重複領域３０と一致する。
【００９８】
このとき、重複領域３０における第１露光マスク１０Ａと第２露光マスク２０Ａとで構成されるマスクパターンが、一画素分の各開口部に割り当てられるように構成されているので、重複領域３０に形成される一画素当たりの開口部は、第１露光マスク１０Ａと第２露光マスク２０Ａとで丁度一画素分の数の開口部となるように形成される。本実施の形態では、図１０Ａに示すように、重複領域３０に形成される一画素当たりの開口部は、第１露光マスク１０Ａと第２露光マスク２０Ａとで丁度ＲＧＢ３つの開口部となるように形成される。
【００９９】
このように配置される第１露光マスク１０Ａと第２露光マスク２０Ａとを用いて、隔壁層に対して露光及び現像等を施すことにより、図１０Ｂに示すように、重複領域３０における隔壁層に、赤色用開口部３１０Ｒ、緑色用開口部３１０Ｇ及び青色用開口部３１０Ｂが形成され、所定形状の隔壁３１０を形成することができる。
【０１００】
このとき、第１露光マスク１０又は第２露光マスク２０が所定の位置からずれて、図１０Ｂに示すように、第１露光マスク１０Ａによって形成された青色用開口部３１０Ｂと第２露光マスク２０Ａによって形成された赤色用開口部３１０Ｒ及び緑色用開口部３１０Ｇとの間にズレが生じるとともに、第１露光マスク１０Ａによって形成された赤色用開口部３１０Ｒ及び緑色用開口部３１０Ｇと第２露光マスク２０Ａによって形成された青色用開口部３１０Ｂとの間にズレが生じたとしても、このズレは、一画素を構成するサブ画素単位のズレであるので、重複領域３０に形成される青色用開口部３１０Ｂと赤色用開口部３１０Ｒ及び緑色用開口部３１０Ｇとの間のズレは目立たない。
【０１０１】
このように、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、第１露光マスク１０Ａによって露光される第１領域と第２露光マスク２０Ａによって露光される第２領域との境が直線状であっても、重複領域３０における隔壁３１０の開口部のパターンのズレを目立たなくすることができる。従って、マスクパターンを単純化することができるので、レチクル数やショット数を増加させることなく、隔壁３１０の開口部のパターンのずれを目立たなくすることができる。
【０１０２】
しかも、本実施の形態では、第１露光マスク１０Ａの周辺領域１２及び第２露光マスク２０Ａの周辺領域２２のいずれにおいても、赤色用開口パターン、緑色用開口パターン及び青色用開口パターンが混在している。これにより、重複領域３０に形成される開口部の規則性が緩和されるので、重複領域３０における各画素内での開口部のズレを一層認識されにくくすることができる。この結果、分割露光によって隔壁を形成する場合であっても、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを一層軽減することができる。
【０１０３】
なお、本実施の形態に係る表示パネル１００の製造方法は、実施の形態１に係る表示パネル１００の製造方法と同様であり、本実施の形態における製造方法の各工程は、実施の形態１における製造方法と同様の工程である。
【０１０４】
以上、本発明の実施の形態２に係る表示パネル１００の製造方法によれば、実施の形態１と同様に、分割露光によって隔壁３１０を形成する際、重複領域３０において、第１露光マスク１０Ａを用いて露光する領域と第２露光マスク２０Ａを用いて露光する領域との境がサブ画素単位で区分けされている。
【０１０５】
これにより、第１露光マスク１０Ａと第２露光マスク２０Ａとを重複させる領域を狭くすることができ、重複領域に形成される開口部の視認性を低下させることができる。この結果、仮に、第１露光マスク１０Ａ又は第２露光マスク２０Ａが所定の位置からずれて、隔壁３１０の開口部間にズレが生じたとしても、露光マスクの重複領域自体を小さくすることができるので、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを軽減できる。
【０１０６】
また、第１露光マスク１０Ａによる露光領域と第２露光マスク２０Ａによる露光領域との境をサブ画素単位とすることにより、第１露光マスク１０Ａによる露光領域と第２露光マスク２０Ａによる露光領域との境を直線状とすることができる。これにより、重複領域３０に対応する第１露光マスク１０Ａ及び第２露光マスク２０Ａのマスクパターンを直線状することができ、マスクパターンを単純化することができる。従って、レチクル数やショット数を増加させることなく、重複領域３０における開口部間のパターンのずれを目立たなくすることができる。
【０１０７】
さらに、本実施の形態によれば、重複領域３０における第１露光マスク１０Ａ及び第２露光マスク２０Ｂのマスクパターンが、異なる色のサブ画素に対応する開口パターンが混在している。
【０１０８】
すなわち、第１の一画素及び第２の一画素に対して、重複領域３０における第１露光マスク１０Ａのマスクパターンが、第１の一画素内における一の開口部（青色用開口部３１０Ｂ）に対応する一の開口パターン（青色用開口パターン１２Ｂ）と、第２の一画素内における一の開口部（赤色用開口部３１０Ｒ、緑色用開口部３１０Ｇ）に対応する一の開口パターン（赤色用開口パターン１２Ｒ、緑色用開口パターン１２Ｇ）とで構成される。また、重複領域３０における第２露光マスク２０Ａのマスクパターンが、第１の一画素内における他の開口部（赤色用開口部３１０Ｒ、緑色用開口部３１０Ｇ）に対応する他の開口パターン（赤色用開口パターン２２Ｒ、緑色用開口パターン２２Ｇ）と、第２の一画素内における他の開口部（青色用開口部３１０Ｂ）に対応する他の開口パターン（青色用開口パターン２２Ｂ）とで構成される。そして、露光後の隔壁層３１１から所定形状の隔壁３１０を形成する工程において、第１の一画素内の一の開口部と第２の一画素内の他の開口部とが、いずれも青色用開口部３１０Ｂとなるように形成される。また、第１の一画素内の一の開口部と第２の一画素内の他の開口部とが、いずれも赤色用開口部３１０Ｒ又は緑色用開口部３１０Ｇとなるように形成される。
【０１０９】
このように、本実施の形態では、重複領域３０に対応する第１露光マスク１０Ａ及び第２露光マスク２０Ａの各々には、一画素分の開口部に相当するマスクパターンが形成されている。これにより、重複領域３０に形成される開口部の規則性が緩和されるので、重複領域３０における各画素内での開口部のズレを一層認識されにくくすることができる。この結果、分割露光によって隔壁３１０を形成する場合であっても、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを一層軽減することができる。
【０１１０】
さらに、本実施の形態では、実施の形態１と同様に、青色用開口部３１０Ｂに対応する青色用開口パターン１２Ｂ及び２２Ｂによって分割露光の境界を設定している。これにより、仮に、青色用開口部３１０Ｂと赤色用開口部３１０Ｒ及び緑色用開口部３１０Ｇとの間にズレが生じていたとしても、青色は人の目による視認性が低いので、人の目にはズレとして認識されにくくなる。この結果、分割露光によって隔壁３１０を形成する場合であっても、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを一層軽減することができる。
【０１１１】
なお、本実施の形態に係る表示パネル１００の製造方法においても、第１露光マスク１０及び第２露光マスク２０を用いた露光は、ポジ方式及びネガ方式のいずれの方式を用いても構わない。
【０１１２】
（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３に係る表示パネルの製造方法について説明する。本実施の形態における表示パネルが実施の形態１における表示パネル１００と異なる点は、画素の構成である。すなわち、実施の形態１では、一画素当たりＲＧＢ３色の発光層を設けていたが、本実施の形態では、一画素当たりＲＧＢＷ４色の発光層を設けている。４色の発光層の各々は隔壁における複数の開口部の各々に形成されており、隔壁は、赤色の光を発する発光層（赤色発光層）に対応する開口部である赤色用開口部と、緑色の光を発する発光層（緑色発光層）に対応する開口部である緑色用開口部と、青色の光を発する発光層（青色発光層）に対応する開口部である青色用開口部と、白色の光を発する発光層（白色発光層）に対応する開口部である白色用開口部とを有する。このような隔壁を備える表示パネルに対して用いられる露光マスクは、実施の形態１で用いる露光マスクと異なる。
【０１１３】
以下、本実施の形態で用いられる第１露光マスク１０Ｂ及び第２露光マスク２０Ｂのマスクパターンについて、図１１及び図１２を用いて説明する。図１１は、本発明の実施の形態３に係る表示パネルの製造方法に用いられる第１露光マスクの構成を示す図である。図１２は、本発明の実施の形態３に係る表示パネルの製造方法に用いられる第２露光マスクの構成を示す図である。
【０１１４】
図１１（ａ）に示すように、本実施の形態における第１露光マスク１０Ｂにおいては、実施の形態１の第１露光マスク１０と同様に、基本領域１１におけるマスクパターンと周辺領域１２におけるマスクパターンとが異なっている。
【０１１５】
第１露光マスク１０Ｂの基本領域１１のマスクパターンは、一画素単位で全て同じパターンとなっており、実施の形態１と同様に、隔壁における一画素分の所定個の開口部に対応するように構成される。但し、本実施の形態における基本領域１１のマスクパターンは、図１１（ｂ）に示すように、一画素当たり、一画素分の開口部（ＲＧＢＷ４つの開口部）が含まれるようなパターンであり、具体的には、赤色用開口部に対応する開口である赤色用開口パターン１１Ｒと、緑色用開口部に対応する開口である緑色用開口パターン１１Ｇと、青色用開口部に対応する開口である青色用開口パターン１１Ｂと、白色用開口部に対応する開口である白色用開口パターン１１Ｗとからなる。
【０１１６】
周辺領域１２のマスクパターンは、隔壁における一画素内の二つの開口部に対応するパターンであり、サブ画素単位において全て同じパターンとなっている。具体的に、周辺領域１２のマスクパターンは、図１１（ｃ）に示すように、一画素当たり、一画素の対角線上に配置された、赤色用開口部に対応する開口である赤色用開口パターン１２Ｒと、青色用開口部に対応する開口である青色用開口パターン１２Ｂとからなる。
【０１１７】
また、図１２（ａ）に示すように、第２露光マスク２０Ｂにおいては、基本領域２１におけるマスクパターンと、基本領域２１の周辺の領域である周辺領域２２におけるマスクパターンとが異なっている。
【０１１８】
第２露光マスク２０Ｂの基本領域２１のマスクパターンは、第１露光マスク１０Ｂの基本領域１１のマスクパターンと同じであり、図１２（ｂ）に示すように、一画素当たり、赤色用開口部に対応する開口である赤色用開口パターン２１Ｒと、緑色用開口部に対応する開口である緑色用開口パターン２１Ｇと、青色用開口部に対応する開口である青色用開口パターン２１Ｂと、白色用開口部に対応する開口である白色用開口パターン２１Ｗとからなる。
【０１１９】
一方、第２露光マスク２０Ｂの周辺領域２２のマスクパターンは、図１２（ｃ）に示すように、一画素当たり、画素の対角線上に配置された、緑色用開口部に対応する開口である緑色用開口パターン２２Ｇと、白色用開口部に対応する開口である白色用開口パターン２２Ｗとによって構成されている。
【０１２０】
このように、本実施の形態においても実施の形態１と同様に、第１露光マスク１０Ｂと第２露光マスク２０Ｂとにおいて、隔壁層の重複領域３０に対応する周辺領域１２及び２２のマスクパターンは、同一画素内に形成される複数の開口部が割り当てられるように構成されている。本実施の形態では、第１露光マスク１０Ｂの周辺領域１２における赤色用開口パターン１２Ｒ及び青色用開口パターン１２Ｂと、第２露光マスク２０Ｂの周辺領域２２における緑色用開口パターン２２Ｇ及び白色用開口パターン２２Ｗとで、一画素分の開口部（ＲＧＢＷ４つの開口部）が形成される。
【０１２１】
なお、本実施の形態に係る表示パネルの製造方法は、実施の形態１に係る表示パネル１００の製造方法と同様であり、本実施の形態における製造方法の各工程は、実施の形態１における製造方法と同様の工程である。
【０１２２】
以上のとおり、本発明の実施の形態３に係る表示パネルの製造方法においても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【０１２３】
（実施の形態４）
次に、本発明の実施の形態４に係る表示パネルの製造方法について、図１３を用いて説明する。図１３は、本発明の実施の形態４に係る表示パネルの製造方法における表示パネルの分割領域を説明するための図である示す図である。
【０１２４】
本実施の形態における表示パネルが実施の形態１における表示パネル１００と異なる点は、表示領域の分割数である。すなわち、実施の形態１では、表示領域２００を２つの分割領域２００Ａ及び２００Ｂに分割して露光及び現像等を行ったが、本実施の形態では、図１３（ａ）に示すように、表示領域２００を９つの分割領域２００Ａ〜２００Ｉに均等に分割して露光及び現像等を行う。
【０１２５】
分割領域２００Ａ〜２００Ｉの各々は、露光マスクの１ショットに対応し、図１３（ｂ）に示すように、N行M列のマトリクス状に配列されたＮ×Ｍ個の複数の画素３００によって構成されている。各画素３００は、実施の形態１と同様に、図１３（ｃ）に示すように、赤色用開口部３１０Ｒと緑色用開口部３１０Ｇと青色用開口部３１０Ｂとを有する隔壁３１０によって構成されている。
【０１２６】
次に、隔壁３１０を形成するための露光マスクのマスクパターンについて、図１４を用いて説明する。図１４は、本発明の実施の形態４に係る表示パネルの製造方法に用いられる露光マスクの構成を示す図である。
【０１２７】
図１４に示すように、本実施の形態では、第１露光マスク４０Ａ〜第９露光マスク４０Ｉの９個の露光マスクを用いて隔壁３１０を形成する。第１露光マスク４０Ａ〜第９露光マスク４０Ｉのそれぞれは、「Ｎ」（白抜き）で示される基本領域におけるマスクパターンと、「Ａ」（横線のハッチング）、「Ｂ」（縦線のハッチング）及び「■」（黒塗り）で示される周辺領域におけるマスクパターンとによって構成されている。
【０１２８】
第１露光マスク４０Ａ〜第９露光マスク４０Ｉにおいて、「Ｎ」で示される基本領域におけるマスクパターンは、例えば、図４（ｂ）や図５（ｂ）に示されるような、一画素当たり、一画素分の開口部（ＲＧＢ３つの開口部）が含まれるような通常の画素に対応するパターンであり、具体的には、赤色用開口部３１０Ｒに対応する開口である赤色用開口パターン１１Ｒと、緑色用開口部３１０Ｇに対応する開口である緑色用開口パターン１１Ｇと、青色用開口部３１０Ｂに対応する開口である青色用開口パターン１１Ｂとからなる。
【０１２９】
また、「Ａ」で示される周辺領域のマスクパターンは、一画素当たり、一画素内の一つの開口部に対応するパターンであり、例えば、サブ画素単位で全て同じパターンとなるように構成されている。具体的に、周辺領域１２のマスクパターンは、図４（ｃ）に示すように、青色用開口部３１０Ｂに対応する開口である青色用開口パターン１２Ｂのみによって構成されている。
【０１３０】
また、「Ｂ」で示される周辺領域のマスクパターンは、隔壁３１０における一画素内の他の開口部に対応するパターンであり、例えば、図５（ｃ）に示されるような、赤色用開口部３１０Ｒに対応する開口である赤色用開口パターン２２Ｒと、緑色用開口部３１０Ｇに対応する開口である緑色用開口パターン２２Ｇとからなる。
【０１３１】
また、「■」で示される周辺領域のマスクパターンは、遮光領域であり、開口パターンは形成されていない。
【０１３２】
次に、隔壁３１０を形成する場合における露光マスクの配置について、図１５を用いて説明する。図１５は、本発明の実施の形態４に係る表示パネルの製造方法における露光マスクとの配置関係を説明するための図である。
【０１３３】
図１５に示すように、本実施の形態では、第１露光マスク４０Ａ〜第９露光マスク４０Ｉのそれぞれは、図１３に示される分割領域２００Ａ〜２００Ｉに対応するように配置される。このとき、隣り合う露光マスクが重複するように配置され、重複する領域（重複露光領域）として、第１重複領域３１及び第２重複領域３２が設定されている。第１重複領域３１は、上下に隣り合う露光マスクが縦方向に重なり合う部分に対応する領域であり、第２重複領域３２は、左右に隣り合う露光マスクが横方向に重なり合う部分に対応する領域である。
【０１３４】
このように、第１露光マスク４０Ａ〜第９露光マスク４０Ｉにおいて、第１重複領域３１及び第２重複領域３２に対応する周辺領域のマスクパターンは、「Ａ」又は「Ｂ」で示される周辺領域のマスクパターンとなっており、同一画素内に形成される複数の開口部のいずれか１つが割り当てられるように構成されている。すなわち、第１重複領域３１及び第２重複領域３２では、同一画素内における複数の開口部のいずれか１つが１回のみパターン形成されるように構成されている。本実施の形態では、「Ａ」で示されるマスクパターンである青色用開口パターン１２Ｂと、「Ｂ」で示されるマスクパターンである赤色用開口パターン２２Ｒ及び緑色用開口パターン２２Ｇとで、一画素分の３つのＲＧＢの開口部に対応するように構成されている。
【０１３５】
以上のとおり、本発明の実施の形態４に係る表示パネルの製造方法においても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【０１３６】
なお、本実施の形態に係る表示パネルの製造方法は、実施の形態１に係る表示パネル１００の製造方法に準じて行うことができ、第１露光マスク４０Ａ〜第９露光マスク４０Ｉを用いて９つの分割領域２００Ａ〜２００Ｉに対して順次露光を行うことにより表示領域２００全体の露光を行うことができる。
【０１３７】
また、本実施の形態に係る表示パネルの製造方法においても、ポジ方式及びネガ方式のいずれの方式を用いても構わない。
【０１３８】
また、第１露光マスク４０Ａ〜第９露光マスク４０Ｉにおいて、「Ａ」及び「Ｂ」で示される周辺領域のマスクパターンは、図４（ｃ）及び図５（ｃ）で示されるパターンの組み合わせとしたが、これに限らない。例えば、図８（ｃ）及び図９（ｃ）で示されるパターンの組み合わせ、あるいは、図１１（ｃ）及び図１２（ｃ）で示されるパターンの組み合わせとしてもよい。
【０１３９】
以上、本発明に係る表示パネルの製造方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明に係る表示パネルの製造方法は、上記の実施の形態に限定されるものではない。
【０１４０】
例えば、上記の実施の形態において、一画素を構成する複数の開口部は、赤色、緑色及び青色の３色、あるいは、赤色、緑色、青色及び白色の４色に対応するようにして、第１露光マスク及び第２露光マスクのマスクパターンをこれらの複数色の開口部に対応するように構成したが、これに限らない。例えば、複数の開口部及び当該複数の開口部に対応する第１及び第２の露光マスクの開口パターンは、上記以外の色に対応するように構成しても構わない。さらに、第１の露光マスクのマスクパターンと第２の露光マスクのマスクパターンとが対応する色関係（色順序、色分け、色の組み合わせ等）も上記の実施の形態に限らない。
【０１４１】
なお、この場合であっても、第１露光マスクによって形成された開口部と第２露光マスクによって形成された開口部とにズレが生じたとしても、露光マスクの重複領域自体を小さくすることができ、また、このズレは一画素内でのズレであって人が認識する表示画素としては大きな差異が無いので、各露光マスク間の境界のズレによって認識される画素ズレを軽減できる。
【０１４２】
また、上記の実施の形態において、表示領域を２つ又は９つの領域（ブロック）に分割して２つ又は９つの分割領域としたが、これに限らない。例えば、表示領域を、３つの領域等に分割してもよいし、１６個の領域等の９つ以上の領域に分割してもよい。
【０１４３】
その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１４４】
本発明は、有機ＥＬ表示パネル等の表示パネルの製造方法として有用であり、表示パネルを備える表示装置等において広く利用することができる。
【符号の説明】
【０１４５】
１０、１０Ａ  第１露光マスク
１１、２１  基本領域
１１Ｒ、１２Ｒ、２１Ｒ、２２Ｒ  赤色用開口パターン
１１Ｇ、１２Ｇ、２１Ｇ、２２Ｇ  緑色用開口パターン
１１Ｂ、１２Ｂ、２１Ｂ、２２Ｂ  青色用開口パターン
１１Ｗ、２１Ｗ、２２Ｗ  白色用開口パターン
１２、２２  周辺領域
３０  重複領域
３１  第１重複領域
３２  第２重複領域
１００、１１００  表示パネル
２００、１２００  表示領域
２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃ、２００Ｄ、２００Ｅ、２００Ｆ、２００Ｇ、２００Ｈ、２００Ｉ、１２００Ａ、１２００Ｂ、１２００Ｃ、１２００Ｄ、１２００Ｅ、１２００Ｆ、１２００Ｇ、１２００Ｈ、１２００Ｉ  分割領域
３００、１３００、１３００Ｄ、１３００Ｅ、２３００Ｄ、２３００Ｅ  画素
３１０  隔壁
３１０Ｒ  赤色用開口部
３１０Ｇ  緑色用開口部
３１０Ｂ  青色用開口部
３１１  隔壁層
３２０  基板
３３０  下部電極
３４０  有機層
３４１  発光層
３４１Ｒ  赤色発光層
３４１Ｇ  緑色発光層
３４１Ｂ  青色発光層
３５０  上部電極
３６０  封止樹脂層
３７０  透光基板
【図１】
0005879575.tif 000002
【図２】
0005879575.tif 000003
【図３】
0005879575.tif 000004
【図４】
0005879575.tif 000005
【図５】
0005879575.tif 000006
【図６Ａ】
0005879575.tif 000007
【図６Ｂ】
0005879575.tif 000008
【図７】
0005879575.tif 000009
【図８】
0005879575.tif 000010
【図９】
0005879575.tif 000011
【図１０Ａ】
0005879575.tif 000012
【図１０Ｂ】
0005879575.tif 000013
【図１１】
0005879575.tif 000014
【図１２】
0005879575.tif 000015
【図１３】
0005879575.tif 000016
【図１４】
0005879575.tif 000017
【図１５】
0005879575.tif 000018
【図１６】
0005879575.tif 000019
【図１７】
0005879575.tif 000020