(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光を出射する１以上の光源と、前記１以上の光源からの前記照明光を第１の被写体に向けて反射する第１のシャッタとを有し、前記１以上の光源からの前記照明光を前記第１のシャッタにより反射させて前記第１の被写体への照明光軸上に照射する照明部と、
前記照明光軸上に配置され、前記照明部により照射された前記照明光を透過させ、前記透過した照明光により照射された前記第１の被写体からの前記照明光軸と同軸となる第１の反射光を、前記第１の被写体を撮影する撮像装置の撮影光軸上に反射する半透明鏡と
を具備する照明装置。
【請求項２】
請求項１に記載の照明装置であって、
前記照明光軸は、前記第１の被写体に垂直である
照明装置。
【請求項３】
請求項１に記載の照明装置であって、
前記照明部は、前記第１の被写体と対向する位置に配置された支持部と、前記支持部に形成された前記照明光軸が通る開口と、前記支持部の前記第１の被写体と反対側であって前記開口の周囲に設けられた前記照明光を出射する複数の光源と、前記複数の光源からの前記照明光を前記開口へ反射する反射面を有する前記第１のシャッタとを有する
照明装置。
【請求項４】
請求項２に記載の照明装置であって、
前記撮像装置の撮影光軸が前記照明光軸と直交するように、前記照明装置を前記撮像装置に接続する接続部をさらに具備し、
前記半透明鏡は、前記第１の被写体からの前記第１の反射光を直角に反射することで、当該第１の反射光を前記撮影光軸上に反射する
照明装置。
【請求項５】
請求項３に記載の照明装置であって、
前記第１のシャッタは、前記照明光軸の方向で前記第１の被写体と対向する第２の被写体に、前記光源からの照明光が照射されるように移動可能であり、
前記半透明鏡は、前記照明光が照射された前記第２の被写体からの第２の反射光を、前記撮影光軸の方向で前記第１の反射光とは逆の方向に反射し、
前記照明装置は、前記半透明鏡により反射された前記第２の反射光を前記撮影光軸上に反射する反射部をさらに具備する
照明装置。
【請求項６】
請求項５に記載の照明装置であって、
前記半透明鏡と前記第１の被写体との間で前記撮影光軸上に配置され、前記半透明鏡を透過する前記第２の被写体からの前記第２の反射光を吸収する第２のシャッタをさらに具備する
照明装置。
【請求項７】
請求項１に記載の照明装置であって、
前記半透明鏡と前記第１の被写体との間に配置された補助支持部と、前記補助支持部に形成された前記照明光軸が通る補助開口と、前記補助開口の周囲に設けられ前記第１の被写体に補助照明光を照射する１以上の補助光源とを有する補助照明部をさらに具備する
照明装置。
【請求項８】
請求項５に記載の照明装置であって、
前記第１の被写体の正反射率が、前記第２の被写体の正反射率よりも大きい
照明装置。
【請求項９】
請求項５に記載の照明装置であって、
前記第１の被写体は、ペースト材の印刷のためのスクリーンであり、
前記第２の被写体は、前記スクリーンが用いられて前記ペースト材が印刷される印刷対象物である
照明装置。
【請求項１０】
被写体を撮影する撮像部と、
照明光を出射する１以上の光源と、前記１以上の光源からの前記照明光を前記被写体に向けて反射するシャッタとを有し、前記１以上の光源からの前記照明光を前記シャッタにより反射させて前記被写体への照明光軸上に照射する照明部と、
前記照明光軸上に配置され、前記照明部により照射された前記照明光を透過させ、前記透過した照明光により照射された前記被写体からの前記照明光軸と同軸となる反射光を、前記撮像部の撮影光軸上に反射する半透明鏡と
を具備する撮像装置。
【請求項１１】
スクリーンと、当該スクリーンに対向する印刷対象物とをそれぞれ撮影することが可能な撮像部と、
前記スクリーンと前記印刷対象物との間に配置される支持部と、
前記スクリーンと前記印刷対象物とが対向する方向に平行な前記スクリーンへの照明光軸が通る前記支持部に形成された開口と、
前記支持部の前記印刷対象物側であって前記開口の周囲に設けられた複数の光源と、
前記複数の光源からの前記照明光を前記開口へ反射する反射面を有し、前記印刷対象物に前記複数の光源からの照明光が照射される際に移動可能なシャッタと
を含む照明部と、
前記照明部と前記スクリーンとの間で前記照明光軸上に配置され、前記照明部により照射された前記照明光を透過させ前記透過した照明光により照射された前記スクリーンからの前記照明光軸と同軸となる第１の反射光を前記撮像部の撮影光軸上に反射し、前記シャッタが移動することで前記照明光が照射された前記印刷対象物からの第２の反射光を前記撮影光軸の方向で前記第１の反射光とは逆の方向に反射する半透明鏡と、
前記半透明鏡により反射された前記第２の反射光を前記撮影光軸上に反射する反射部と
を有する光学系と、
前記撮像部により撮影された前記スクリーン及び前記印刷対象物のそれぞれの画像をもとに前記スクリーンと前記印刷対象物との相対的な位置を調整し、前記調整された位置にて前記印刷対象物に載置された前記スクリーン上にペースト材を供給し、前記供給されたペースト材を前記印刷対象物に印刷するスクリーン印刷部と
を具備するスクリーン印刷装置。
【請求項１２】
第１の被写体と当該第１の被写体に対向する第２の被写体との間で、１以上の光源から前記第２の被写体に向けて出射された照明光を、前記１以上の光源と前記第２の被写体との間に配置されたシャッタの反射面にて前記第１の被写体へ反射させて、前記照明光を前記第１の被写体への照明光軸上に照射し、
前記照明光軸上に配置された半透明鏡により、前記照明光軸上に照射された照明光を透過させ当該透過した照明光により照射された前記第１の被写体からの前記照明光軸と同軸となる第１の反射光を、前記第１の被写体を撮影する撮像装置の撮影光軸上に反射し、前記第１の被写体を撮影し、
前記シャッタを移動させて前記１以上の光源からの照明光を前記第２の被写体に照射し、
前記半透明鏡により、前記照明光が照射された前記第２の被写体からの第２の反射光を、前記撮影光軸の方向で前記第１の反射光とは逆の方向に反射し、
反射部により、前記半透明鏡により反射された前記第２の反射光を前記撮影光軸上に反射し、前記第２の被写体を撮影し、
前記撮像装置により撮影された前記第１及び前記第２の被写体のそれぞれの画像をもとに、前記第１及び前記第２の被写体の相対的な位置を調整する
位置合わせ方法。
【請求項１３】
スクリーンと当該スクリーンに対向する基板との間で、１以上の光源から前記基板に向けて出射された照明光を、前記１以上の光源と前記基板との間に配置されたシャッタの反射面にて前記スクリーンへ反射させて、前記照明光を前記スクリーンへの照明光軸上に照射し、
前記照明光軸上に配置された半透明鏡により、前記照明光軸上に照射された照明光を透過させ当該透過した照明光により照射された前記スクリーンからの前記照明光軸と同軸となる第１の反射光を、前記スクリーンを撮影する撮像装置の撮影光軸上に反射し、前記スクリーンを撮影し、
前記シャッタを移動させて前記１以上の光源からの照明光を前記基板に照射し、
前記半透明鏡により、前記照明光が照射された前記基板からの第２の反射光を、前記撮影光軸の方向で前記第１の反射光とは逆の方向に反射し、
反射部により、前記半透明鏡により反射された前記第２の反射光を前記撮影光軸上に反射し、前記基板を撮影し、
前記撮像装置により撮影された前記スクリーン及び前記基板のそれぞれの画像をもとに、前記スクリーン及び前記基板の相対的な位置を調整し、前記調整された位置にて前記スクリーンを前記基板に載置して、スクリーン印刷により前記基板にペースト材を印刷し、前記ペースト材が印刷された基板に部品を実装する
基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、例えば基板に電子部品を実装する場合等で使用可能な照明装置、撮像装置、スクリーン印刷装置、位置合わせ方法、及び基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回路基板にクリーム状の半田を印刷する技術として、スクリーン印刷が知られている。スクリーン印刷では、メッシュ又はメタルマスクによって形成されたスクリーンが回路基板に重ね合わせられる。スクリーン上に半田が供給され、当該スクリーン上でスキージが摺動される。これにより、スクリーンに形成された開口から半田が押し出され、回路基板に所定のパターンが印刷される。
【０００３】
例えば特許文献１では、回路基板のスクリーン印刷部分の印刷状態をカメラのみで検査可能にすることを目的とした検査方法が記載されている。この検査方法では、スクリーンマスクと回路基板との間にカメラが配置される。カメラは、スクリーンマスク及び回路基板の両方を撮影可能な構造を有している。すなわちカメラには、スクリーンマスクと対向する位置に、スクリーンマスクの撮影用の照明が設けられる。また回路基板と対向する位置に、回路基板の撮影用の照明が設けられる（特許文献１の図１等参照）。このカメラが適宜用いられて、スクリーン印刷部分の印刷状態が検査されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−８２７１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のようなスクリーン印刷では、スクリーンと回路基板との高精度な位置合わせが求められる。例えば特許文献１に記載のカメラ等を用いて、回路基板とスクリーンとが撮影される。撮影された画像からスクリーンと回路基板とにそれぞれ設けられたアライメントマークが検出される。この検出結果をもとに、スクリーンと回路基板との位置合わせが行われる。この場合、カメラによりアライメントマークが明瞭に撮影され、アライメントマークが精度よく認識されることが求められる。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、例えばスクリーン等に設けられたアライメントマーク等を明瞭に撮影することが可能となる照明装置、撮像装置、スクリーン印刷装置、位置合わせ方法、及び基板の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本技術の一形態に係る照明装置は、照明部と、半透明鏡とを具備する。  
前記照明部は、第１の被写体への照明光を出射する１以上の光源を有し、前記光源からの照明光を前記第１の被写体への照明光軸上に照射する  
前記半透明鏡は前記照明光軸上に配置され、前記照明部により照射された前記照明光を透過させ、前記透過した照明光により照射された前記第１の被写体からの前記照明光軸と同軸となる第１の反射光を、前記第１の被写体を撮影する撮像装置の撮影光軸上に反射する。
【０００８】
この照明装置では、照明部により第１の被写体への照明光軸上に照明光が照射される。また照明光軸上に半透明鏡が配置される。半透明鏡により、照明部により照射された照明光が透過される。また透過した照明光により照射された第１の被写体からの反射光であって照明光軸と同軸となる第１の反射光が、被写体を撮影する撮像装置の撮影光軸上に反射される。これにより第１の被写体が同軸落射照明される。この結果、例えばスクリーン等に設けられたアライメントマーク等を明瞭に撮影することが可能となる。
【０００９】
前記照明光軸は、前記第１の被写体に垂直であってもよい。  
この照明装置では、照明部により照明光が第１の被写体に垂直に照射される。垂直に照射された照明光の正反射光が第１の反射光となる。この第１の反射光が撮影光軸上に反射されることで、第１の被写体が明瞭に撮影される。
【００１０】
前記照明部は、前記第１の被写体と対向する位置に配置された支持部と、前記支持部に形成された前記照明光軸が通る開口と、前記支持部の前記第１の被写体と反対側であって前記開口の周囲に設けられた複数の光源と、前記複数の光源からの前記照明光を前記開口へ反射する反射面を有する第１のシャッタとを有してもよい。
【００１１】
この照明装置では、第１の被写体と対向する位置に配置された支持部の、前記第１の被写体と反対側に複数の光源が設けられる。複数の光源から出射された照明光が第１のシャッタの反射面にて反射される。当該反射された照明光は、支持部に形成された開口を介して照明光軸上に照射される。これにより、例えば外光等の不要な光を防ぎ、複数の光源からの照明光を精度よく照明光軸上に照射することができる。
【００１２】
前記照明装置は、前記撮像装置の撮影光軸が前記照明光軸と直交するように、前記照明装置を前記撮像装置に接続する接続部をさらに具備してもよい。この場合、前記半透明鏡は、前記第１の被写体からの前記第１の反射光を直角に反射することで、当該第１の反射光を前記撮影光軸上に反射してもよい。  
これにより、例えば本照明装置が接続された撮像装置を、撮影光軸が第１の被写体と平行となる状態で適宜移動させて、第１の被写体を撮影することが可能となる。
【００１３】
前記第１のシャッタは、前記照明光軸の方向で前記第１の被写体と対向する第２の被写体に、前記光源からの照明光が照射されるように移動可能であってもよい。  
この場合、前記半透明鏡は、前記照明光が照射された前記第２の被写体からの第２の反射光を、前記撮影光軸の方向で前記第１の反射光とは逆の方向に反射してもよい。  
また前記照明装置は、前記半透明鏡により反射された前記第２の反射光を前記撮影光軸上に反射する反射部をさらに具備してもよい。
【００１４】
この照明装置では、第１のシャッタが移動可能なように設けられる。第１のシャッタが移動することで、照明光軸の方向で第１の被写体と対向する第２の被写体に、光源からの照明光が照射される。第２の被写体からの第２の反射光は、半透明鏡及び反射部を介して撮影光軸上に照射される。従ってこの照明装置を用いることで、光源からの照明光により、第１及び第２の被写体を適宜撮影することができる。
【００１５】
前記照明装置は、前記半透明鏡と前記第１の被写体との間で前記撮影光軸上に配置され、前記半透明鏡を透過する前記第２の被写体からの前記第２の反射光を吸収する第２のシャッタをさらに具備してもよい。  
これにより、第２の被写体が撮影される場合に、例えば外光や第１の被写体からの反射光等を防ぐことができる。この結果、第２の被写体を明瞭に撮影することができる。
【００１６】
前記照明装置は、補助照明部をさらに具備してもよい。  
前記補助照明部は、補助支持部と、補助開口と、１以上の補助光源とを有する。  
前記補助照明部は、前記半透明鏡と前記第１の被写体との間に配置される。  
前記補助開口は、前記補助支持部に形成された前記照明光軸が通る開口である。  
前記１以上の補助光源は、前記補助開口の周囲に設けられ前記第１の被写体に補助照明光を照射する。  
この照明装置では、半透明鏡と第１の被写体との間に補助光源等を有する補助照明部が設けられる。これにより例えば同軸落射照明された第１の被写体を明瞭に撮影することができる。
【００１７】
前記第１の被写体の正反射率が、前記第２の被写体の正反射率よりも大きくてもよい。  
この照明装置では、正反射率が大きい第１の被写体が照明部により同軸落射照明される。そして正反射率の小さい第２の被写体に向けて光源から照明光が出射される。これにより第１及び第２の被写体が明瞭に撮影される。
【００１８】
前記第１の被写体は、ペースト材の印刷のためのスクリーンであってもよい。この場合、前記第２の被写体は、前記スクリーンが用いられて前記ペースト材が印刷される印刷対象物であってもよい。  
このように、照明光軸の方向に対向するスクリーンと印刷対象物との撮影に、本照明装置が用いられてもよい。これにより例えばスクリーン及び印刷対象物にそれぞれ設けられたアライメントマークを明瞭に撮影することができる。
【００１９】
本技術の一形態に係る撮像装置は、撮像部と、照明部と、半透明鏡とを具備する。  
前記撮像部は、被写体を撮影する。  
前記照明部は、前記被写体への照明光を出射する１以上の光源を有し、前記光源からの照明光を前記被写体への照明光軸上に照射する。  
前記半透明鏡は、前記照明光軸上に配置され、前記照明部により照射された前記照明光を透過させ、前記透過した照明光により照射された前記被写体からの前記照明光軸と同軸となる反射光を、前記撮像部の撮影光軸上に反射する。
【００２０】
本技術の一形態に係るスクリーン印刷装置は、撮像部と、照明部と、光学系と、スクリーン印刷部とを具備する。  
前記撮像部は、スクリーンと、当該スクリーンに対向する印刷対象物とをそれぞれ撮影することが可能である。  
前記照明部は、支持部と、開口と、複数の光源と、シャッタとを含む。  
前記支持部は、前記スクリーンと前記印刷対象物との間に配置される。  
前記開口は、前記スクリーンと前記印刷対象物とが対向する方向に平行な前記スクリーンへの照明光軸が通る前記支持部に形成される。  
前記複数の光源は、前記支持部の前記印刷対象物側であって前記開口の周囲に設けられる。  
前記シャッタは、前記複数の光源からの前記照明光を前記開口へ反射する反射面を有し、前記印刷対象物に前記複数の光源からの照明光が照射される際に移動可能である。  
前記光学系は、半透明鏡と、反射部とを有する。  
前記半透明鏡は、前記照明部と前記スクリーンとの間で前記照明光軸上に配置され、前記照明部により照射された前記照明光を透過させ前記透過した照明光により照射された前記スクリーンからの前記照明光軸と同軸となる第１の反射光を前記撮像部の撮影光軸上に反射し、前記シャッタが移動することで前記照明光が照射された前記印刷対象物からの第２の反射光を前記撮影光軸の方向で前記第１の反射光とは逆の方向に反射する。  
前記反射部は、前記半透明鏡により反射された前記第２の反射光を前記撮影光軸上に反射する。  
前記スクリーン印刷部は、前記撮像部により撮影された前記スクリーン及び前記印刷対象物のそれぞれの画像をもとに前記スクリーンと前記印刷対象物との相対的な位置を調整し、前記調整された位置にて前記印刷対象物に載置された前記スクリーン上にペースト材を供給し、前記供給されたペースト材を前記印刷対象物に印刷する。
【００２１】
本技術の一形態に係る位置合わせ方法は、以下の工程を含む。  
第１の被写体と当該第１の被写体に対向する第２の被写体との間で、１以上の光源から前記第２の被写体に向けて出射された照明光を、前記１以上の光源と前記第２の被写体との間に配置されたシャッタの反射面にて前記第１の被写体へ反射させて、前記照明光を前記第１の被写体への照明光軸上に照射する。  
前記照明光軸上に配置された半透明鏡により、前記照明光軸上に照射された照明光を透過させ当該透過した照明光により照射された前記第１の被写体からの前記照明光軸と同軸となる第１の反射光を、前記第１の被写体を撮影する撮像装置の撮影光軸上に反射し、前記第１の被写体を撮影する。  
前記シャッタを移動させて前記１以上の光源からの照明光を前記第２の被写体に照射する。  
前記半透明鏡により、前記照明光が照射された前記第２の被写体からの第２の反射光を、前記撮影光軸の方向で前記第１の反射光とは逆の方向に反射する。  
反射部により、前記半透明鏡により反射された前記第２の反射光を前記撮影光軸上に反射し、前記第２の被写体を撮影する。  
前記撮像装置により撮影された前記第１及び前記第２の被写体のそれぞれの画像をもとに、前記第１及び前記第２の被写体の相対的な位置を調整する。
【００２２】
本技術の一形態に係る基板の製造方法は、以下の工程を含む。  
スクリーンと当該スクリーンに対向する基板との間で、１以上の光源から前記基板に向けて出射された照明光を、前記１以上の光源と前記基板との間に配置されたシャッタの反射面にて前記スクリーンへ反射させて、前記照明光を前記スクリーンへの照明光軸上に照射する。  
前記照明光軸上に配置された半透明鏡により、前記照明光軸上に照射された照明光を透過させ当該透過した照明光により照射された前記スクリーンからの前記照明光軸と同軸となる第１の反射光を、前記スクリーンを撮影する撮像装置の撮影光軸上に反射し、前記スクリーンを撮影する。  
前記シャッタを移動させて前記１以上の光源からの照明光を前記基板に照射する。  
前記半透明鏡により、前記照明光が照射された前記基板からの第２の反射光を、前記撮影光軸の方向で前記第１の反射光とは逆の方向に反射する。  
反射部により、前記半透明鏡により反射された前記第２の反射光を前記撮影光軸上に反射し、前記基板を撮影する。  
前記撮像装置により撮影された前記スクリーン及び前記基板のそれぞれの画像をもとに、前記スクリーン及び前記基板の相対的な位置を調整し、前記調整された位置にて前記スクリーンを前記基板に載置して、スクリーン印刷により前記基板にペースト材を印刷し、前記ペースト材が印刷された基板に部品を実装する。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように、本技術によれば、例えばスクリーン等に設けられたアライメントマーク等を明瞭に撮影することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本技術の一実施形態に係るスクリーン印刷装置として、例えば半田印刷装置を示す模式的な側面図である。
【図２】図１に示した半田印刷装置の模式的な平面図であり、この半田印刷装置の制御システムの構成を示すブロック図を含む図である。
【図３】本実施形態に係るカメラユニットの構成例を示す模式的な断面図である。
【図４】図３に示す照明部の構成例を示す模式的な図である（シャッタの図示省略）。
【図５】図４に示す照明部の他の構成例を示す模式的な図である。
【図６】本実施形態に係る半田印刷装置による半田印刷工程の一例を示すフローチャートである。
【図７】本実施形態に係る半田印刷装置による半田印刷工程の一例を示すフローチャートである。
【図８】図３に示すカメラユニットによる撮影工程を説明するための模式的な図である。
【図９】図３に示すカメラユニットによる撮影工程を説明するための模式的な図である。
【図１０】本実施形態に係る回路基板に電子部品が実装される基板実装工程の一例を示すフローチャートである。
【図１１】表面が鏡面に近いスクリーンを撮影する際の問題点を具体的に説明するための模式的な図及び写真である。
【図１２】同軸落射照明が用いられることを、被写体の正反射率及び拡散反射率に着目して説明するための模式的な図である。
【図１３】同軸落射照明が用いられることを、被写体の正反射率及び拡散反射率に着目して説明するための模式的な図である。
【図１４】同軸落射照明を実現するための一般的な照明ユニットの構成を示す模式的な図である。
【図１５】擬似的な同軸落射照明を実現するための構成例を示す模式的な図である。
【図１６】図３に示す照明装置の変形例を示す模式的な図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２６】
［半田印刷装置の構成］
図１は、本技術の一実施形態に係るスクリーン印刷装置として、例えば半田印刷装置を示す模式的な側面図である。図２は、図１に示した半田印刷装置１００の模式的な平面図であり、この半田印刷装置１００の制御システムの構成を示すブロック図を含む。
【００２７】
半田印刷装置１００は、ペースト状の半田、つまりクリーム半田を、印刷対象物としての回路基板Ｗに印刷する装置である。以降の説明では、説明をわかりやすくするため、便宜的に、図１及び２においてＹ軸方向で右側を半田印刷装置１００の前部とし、左側を半田印刷装置１００の後部とする。
【００２８】
半田印刷装置１００は、回路基板Ｗが載置され、この基板を支持する支持機構としてのステージ機構３０と、ステージ機構３０に支持された回路基板Ｗに対面するように配置されたスクリーン５とを備える。
【００２９】
また半田印刷装置１００は、半田印刷装置１００の前部側でスクリーン５上に配置されたスキージユニット２０と、このスキージユニット２０をＹ軸方向に沿って移動させるスキージ移動機構１９と、半田印刷装置１００の後部側でスクリーン５上にクリーム半田を供給する供給ユニット１０と、供給ユニット１０をＸ及びＹ軸に沿って移動させる供給ユニット移動機構１８とを備える。
【００３０】
スクリーン５は、例えばフレーム５ａとフレーム５ａ内のマスク部５ｂとを有する。ステージ機構３０の上部には、スクリーン５のフレーム５ａを固定して支持するスクリーン支持機構６が設けられている。なお、図２では、スクリーン５及びスクリーン支持機構６等を図示していない。
【００３１】
回路基板Ｗは、複数の導電パッドであるランドを有するものであり、このランド上にマスク部５ｂを介してクリーム半田が塗布される。すなわち、マスク部５ｂには、回路基板Ｗのランドの配置パターンに対応した、多数の孔が設けられており、それらの孔を介してマスク部５ｂ上からクリーム半田がランド上に供給される。
【００３２】
ステージ機構３０は、回路基板Ｗが載置される載置台３２と、載置台３２に載置された回路基板Ｗの両側をクランプするクランプ機構３１と、載置台３２をＸ、Ｙ及びＺ軸で移動させる駆動ユニット３３を有する。クランプ機構３１は、例えば図示しないバネを有するアクチュエータ等により作動するものである。載置台３２は、真空チャックにより回路基板Ｗを保持するための装置を有していてもよい。
【００３３】
駆動ユニット３３は、載置台３２をＸ及びＹ軸に移動させることにより、スクリーン支持機構６に支持されたスクリーン５に対して、Ｘ−Ｙ平面内で回路基板Ｗのアライメントを行う。また、駆動ユニット３３は、載置台３２をＺ軸方向で昇降させることにより、載置台３２に載置された回路基板Ｗをスクリーン５に接触させる。
【００３４】
図１及び図２に示すように、供給ユニット移動機構１８は、スクリーン５の上部に配置されている。供給ユニット移動機構１８は、供給ユニット１０をＸ軸方向に沿って移動させるＸ軸移動機構１６と、そのＸ軸移動機構１６に沿って延設され、供給ユニット１０のＸ軸方向に沿った移動をガイドするガイドレール１６ａとを備える。
【００３５】
また、供給ユニット移動機構１８は、供給ユニット１０をＹ軸方向に沿って移動させるＹ軸移動機構１７と、Ｙ軸移動機構１７に沿って延設され、供給ユニット１０のＹ軸方向に沿った移動をガイドするガイドレール１７ａとを備える。Ｙ軸移動機構１７では、２本のガイドレール１７ａが設けられている。これらのガイドレール１７ａにＸ軸移動機構１６が接続されている。
【００３６】
Ｘ軸移動機構１６及びＹ軸移動機構１７としては、例えばモータ、エアシリンダ、ボールネジ、ベルト、ラックアンドピニオン、あるいはリニアモータ等が用いられる。
【００３７】
図２に示すようにスキージユニット２０は、スキージ移動機構１９によって駆動され、このスキージ移動機構１９は、上記Ｙ軸移動機構１７のガイドレール１７ａを共用している。スキージ移動機構１９は、ガイドレール１７ａに沿って移動し、スキージユニット２０を支持するフレーム部材９を有する。
【００３８】
スキージ移動機構１９の駆動源となるモータと、供給ユニット１０のＹ軸移動機構１７の駆動源となるモータとは別のものであり、供給ユニット１０と、スキージ２１（２１ａ及び２１ｂ）とはそれぞれ独立して駆動される。
【００３９】
スキージ移動機構１９も、上記したＸ軸移動機構Ｘ及びＹ軸移動機構１７と同様に、ボールネジやベルト等が適宜利用される。なおＸ軸移動機構Ｘ、Ｙ軸移動機構１７及びスキージ移動機構１９が、それぞれ同じ部材が利用されて構成される必要はない。
【００４０】
スキージユニット２０は、例えばスキージ２１（前側スキージ２１ａ及び後側スキージ２１ｂ）をスクリーン５に対面するように、かつ、これらのスキージ２１ａ及び２１ｂをスキージユニット２０の移動方向であるＹ軸方向に沿って並ぶように保持するスキージホルダ２２（２２ａ及び２２ｂ）を有する。
【００４１】
また、スキージホルダ２２ａ及び２２ｂは、前側スキージ２１ａ及び後側スキージ２１ｂの長さ方向をＸ軸方向に沿わせるようにそれらを保持する。スキージホルダ２２は、図示しないエアシリンダにより上下方向にそれぞれ独立して駆動するようになっている。
【００４２】
スキージ２１が適宜駆動されることで、スクリーン上に供給された半田が回路基板Ｗに所定のパターンで印刷される。スキージ２１が駆動される際には、図２に示す距離センサ５７により、その距離センサ５７と、スクリーン５上でローリングされるクリーム半田との間の距離が計測される。
【００４３】
距離センサ５７は、例えば反射型の光センサが用いられる。この距離センサ５７によるその距離の計測によって、スキージ２１でローリングされているクリーム半田の径または量が推定される。推定されたクリーム半田の径又は量をもとに例えば供給ユニット１０によるクリーム半田の供給動作やスキージ２１の動作等が適宜制御可能となる。
【００４４】
図１に示すように、半田印刷装置１００は、載置台３２に載置され支持された回路基板Ｗと、スクリーン５との間の高さ位置に配置された、移動可能なカメラユニット５８を備えている。カメラユニット５８は、スクリーン５と回路基板Ｗとのアライメント（位置合わせ）のために用いられる。
【００４５】
カメラユニット５８は、キャリッジ１３により支持されている。キャリッジ１３は、横方向に延びる、上下に所定の間隔を隔てた案内レール１１に接続されている。案内レール１１は、駆動ユニット３３の向こう側（図１で見て奥側）に設けられおり、キャリッジ１３は駆動ユニット３３の向こう側をＹ軸方向に移動する。これによりカメラユニット５８がＹ軸方向に移動可能となっている。
【００４６】
またカメラユニット５８は、Ｘ軸方向に延びる支持台２９にＸ軸方向に移動可能に支持される。カメラユニット５８は、この支持台２９を介してキャリッジ１３に支持されている。例えばキャリッジ１３が案内レール１１に沿ってＹ軸方向に所定の位置まで移動する。カメラユニット５８が、支持台２９上をＸ軸方向に所定の位置まで移動する。このように、本実施形態では、カメラユニット５８がＸ及びＹ軸方向に移動可能である。なおカメラユニット５８を移動させるための構成や移動方法等が限定されない。
【００４７】
カメラユニット５８は、Ｘ及びＹ軸方向の２次元で移動して、スクリーン５及び回路基板Ｗの双方を撮影することが可能である。この撮影により例えばスクリーン５及び回路基板Ｗにそれぞれ設けられたアライメントマークの画像が取得される。その画像をもとにスクリーン５と回路基板Ｗとのアライメントが行われる。カメラユニット５８については後に詳しく述べる。
【００４８】
また案内レール１１には、別のキャリッジ１４が移動可能に接続されている。キャリッジ１４にはクリーニングユニット２５が支持されている。クリーニングユニット２５は、図１に示すクリーニングテープ２６によってスクリーン５の下面をクリーニングするためのものである。そしてクリーニングテープ２６がこのクリーニングユニット２５の繰出しローラ２７から繰出され、クリーニングを終ったクリーニングテープ２６が巻取りローラ２８によって巻採られるようになっている。
【００４９】
半田印刷装置１００には、当該半田印刷装置１００に回路基板Ｗを搬入し、その回路基板Ｗの印刷終了後にその回路基板Ｗを搬出するための、図示しないコンベヤが接続される。コンベヤは例えばベルトやローラ方式のものが用いられ、図１及び２で示すＸ軸方向で回路基板Ｗを搬送する。
【００５０】
図２に示すように、半田印刷装置１００の制御システムは、ホストコンピュータ５０、Ｘ軸移動機構コントローラ５１、Ｙ軸移動機構コントローラ５２、供給ユニットコントローラ５３、ステージ機構コントローラ５４、スキージ移動機構コントローラ５５、スキージユニットコントローラ５６を備えている。
【００５１】
Ｘ軸移動機構コントローラ５１は、供給ユニット１０のＸ軸移動機構１６の駆動を制御する。Ｙ軸移動機構コントローラ５２は、供給ユニット１０のＹ軸移動機構１７の駆動を制御する。供給ユニットコントローラ５３は、供給ユニット１０が有する図示しない昇降モータや開閉部材等の駆動を制御する。ステージ機構コントローラ５４は、ステージ機構３０による載置台３２の水平面内の駆動及び昇降駆動を制御する。スキージ移動機構コントローラ５５は、スキージユニット２０のＹ軸方向に沿った移動を制御する。スキージユニットコントローラ５６は、前側スキージ２１ａ及び後側スキージ２１ｂの上下移動等を制御する。
【００５２】
ホストコンピュータ５０は、上記各コントローラを統括して制御する。また、ホストコンピュータ５０は、距離センサ５７及びカメラユニット５８にも接続されている。ホストコンピュータ５０は、距離センサ５７及びカメラユニット５８から取得された情報を受信し、その情報に基づいて所定の処理を実行する。
【００５３】
ホストコンピュータ５０は、カメラユニット５８の動作を制御し、スクリーン５及び回路基板Ｗの画像を取得する。そしてスクリーン５及び回路基板Ｗのそれぞれの画像をもとに、スクリーン５と回路基板Ｗとの相対的な位置を調整する。これによりスクリーン５と回路基板Ｗとのアライメントが実行される。
【００５４】
ホストコンピュータ５０の制御により、調整された位置にて回路基板Ｗに載置されたスクリーン５上に半田が供給される。スキージ２１が駆動されて、供給された半田が回路基板Ｗに印刷される。このようにホストコンピュータ５０は、本実施形態に係るスクリーン印刷部としても機能する。
【００５５】
上記の各コントローラは、ハードウェアで実現されてもよいし、ソフトウェア及びハードウェアの両方で実現されてもよい。ソフトウェア及びハードウェアの両方で実現される場合、そのハードウェアは、ソフトウェアのプログラムを格納する記憶デバイスを少なくとも含む。ホストコンピュータ５０も同様である。
【００５６】
上記ハードウェアは、典型的には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、ネットワークインターフェース等、その他公知のハードウェアにより実現される。ホストコンピュータ５０も同様である。
【００５７】
［カメラユニットの構成］
図３は、本実施形態に係るカメラユニット５８の構成例を示す模式的な断面図である。
【００５８】
カメラユニット５８は、撮像装置６０と、鏡筒６５と、本実施形態に係る照明装置７０とを有する。なお撮像装置６０は、断面図ではなく側面図が図示されている。
【００５９】
撮像装置６０は、図示しない撮像制御部、撮像素子及び撮像光学系を有する。撮像素子としては、例えばＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）やＣＣＤ（Charge Coupled Devices）センサ等が用いられる。撮像光学系は、撮像素子の撮像面上に被写体像を結像させる。撮像制御部は、例えばＣＰＵ等からの指示に基づき、撮像素子を駆動し、撮像素子から出力される画像信号に対して信号処理を行う。また撮像制御部は、撮像光学系を制御することで、撮像される画像のズーム倍率を設定する。
【００６０】
本実施形態では、図３に示す一点鎖線が、撮像装置６０の撮影光軸Ｐとなる。従ってこの撮影光軸Ｐに沿って撮像素子に入射する光をもとに被写体の画像が生成される。図３に示すように、撮影光軸Ｐの方向は、スクリーン５と回路基板Ｗとが対向するＺ軸方向に対して垂直になっている（すなわちＹ軸方向に平行）。
【００６１】
撮像装置６０のマウント部６１には鏡筒６５が接続される。鏡筒６５はレンズ系６６を有する。撮影光軸Ｐを進む光はレンズ系６６を介して撮像装置６０に入射する。レンズ系６６の構成、及びレンズ系６６に含まれるレンズの種類や数等は限定されない。
【００６２】
鏡筒６５の先端には、本実施形態に係る照明装置７０が接続される。従って本実施形態では、鏡筒６５を介して、照明装置７０が撮像装置６０に接続される。照明装置７０は、図示しない接続部により鏡筒６５に接続される。接続部として、例えばネジ等の部材を用いる構成が採用されてもよい。あるいは、鏡筒６５と互いに係合するような形状を有する構成が採用されてもよい。接続部の構成や接続方法は限定されない。
【００６３】
本実施形態では、カメラユニット５８の上方に配置されるスクリーン５が第１の被写体となる。そしてカメラユニット５８の下方に配置される回路基板Ｗが第２の被写体となる。スクリーン５及び回路基板Ｗは、Ｚ軸方向で互いに対向している。
【００６４】
図３に示すように、照明装置７０は、本体７１と、本体７１の下部に設けられた照明部７２と、本体７１の上部に設けられたシャッタ７３とを有する。本体７１の下部とは、本体７１の回路基板Ｗ側である。従って照明部７２は、本体７１と回路基板Ｗとの間に配置される。本体７１の上部とは、本体７１のスクリーン５側である。従ってシャッタ７３は、本体７１とスクリーン５との間に配置される。
【００６５】
また本体７１の内部には、照明光学系７４が設けられる。従って、スクリーン５と回路基板Ｗとが互いに対向するＺ軸方向で、回路基板Ｗ側から順番に、照明部７２、照明光学系７４、及びシャッタ７３が並ぶことになる。
【００６６】
照明部７２は、スクリーン５への照明光を出射する複数の光源７５を有する。光源７５の数は複数の限定されず、１以上の光源７５が設けられればよい。照明部７２は、光源７５からの照明光を、図３の二点鎖線で示すスクリーン５への照明光軸Ｌ上に照射する。
【００６７】
本実施形態では、照明光軸ＬがＺ軸方向と同じ方向で設定される。従って照明光軸Ｌは、スクリーン５に対して垂直となる。また上記した接続部により、撮像装置６０の撮影光軸Ｐが照明光軸Ｌと直交するように、照明装置７０が撮像装置６０に接続される。
【００６８】
照明部７２は、スクリーン５と対向する位置に配置された支持部７６と、支持部７６に形成された照明光軸Ｌが通る開口７７とを有する。また照明部７２は、支持部７６のスクリーン５と反対側であって開口７７の周囲に設けられた複数の光源７５と、複数の光源７５からの照明光を前記開口７７へ反射する反射面７８を有するシャッタ７９とを有する。
【００６９】
図４は、図３に示す照明部の構成例を示す模式的な図である。この図４は、複数の光源７５等をＺ軸方向で回路基板Ｗから見た図である。なおシャッタ７９の図示は省略されている。
【００７０】
支持部７６は、板状の部材であり、Ｚ軸方向でみて円形状を有している。支持部７６としては、配線部８０が形成された基板が用いられ、その材料や種類等は限定されない。また支持部７６の形状等も円形状に限定されず任意に設計されてよい。
【００７１】
支持部７６の中央には、円形状を有する開口７７が形成される。開口７７の形状や大きさ等も任意である。
【００７２】
開口７７の周囲には、複数の光源７５が設けられる。本実施形態では、光源７５として、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）が用いられる。支持部７６の配線部８０を介して供給される電力により、複数の光源７５から照明光が出射される。なお図４では、配線部８０の図示は簡略化されている。また出射される照明光の波長（色）等は限定されない。
【００７３】
図３及び図４に示すように、複数の光源７５は、支持部７６の中央に向けて所定の角度傾けられて設けられる。例えば複数の光源７５の正面に照明対象物が配置されたとする。その照明対象物の、開口７７の中心を通る線（本実施形態では撮影光軸Ｌに相当）と交わる位置に向けて照明光が出射されるように、複数の光源７５がそれぞれ設けられている。従って複数の光源７５は、支持部７６の正面に配置された照明対象物に対して、斜光照明を実現する。
【００７４】
複数の光源７５が配置される角度、すなわち照明対象物に出射される照明光の角度は限定されない。例えば図５に示すように、支持部７６の周側に所定の角度で曲げられた取り付け部８１が設けられ、その取り付け部８１に光源７５が設けられてもよい。例えばこのように構成することで、複数の光源７５を十分に傾けることができる。
【００７５】
複数の光源７５からの照明光が、開口７７の中心を通る線に集められる構成に限定されない。斜光照明が実現されるのであれば、どのような構成が採用されてもよい。光源７５としてＬＥＤ以外のものが用いられてもよく、また光源７５の数も任意である。
【００７６】
照明部７２が有するシャッタ７９は、支持部７６と回路基板Ｗとの間に配置される。シャッタ７９は、支持部７６と回路基板Ｗとにそれぞれ対向する位置に配置される。シャッタ７９の支持部７６と対向する面は、反射面７８となっている。この反射面７８により、複数の光源７５からの照明光が開口７７へ反射される。
【００７７】
反射面７８は、例えばステンレス、アルミニウム、金、銀等の反射率の高い材料で、シャッタ７９が作成されることで実現される。あるいは、シャッタ７９の上面に金属膜や誘電体膜等の反射率の高い材料が蒸着等により設けられることで実現されてもよい。その他、反射面７８を形成するための任意の方法が適宜採用されてよい。
【００７８】
反射面７８として鏡面が形成されてもよい。また、複数の光源７５からの照明光を開口７７に反射できるのであれば、照明光を拡散反射する反射面７８が形成されてもよい。
【００７９】
以下、回路基板Ｗ側に配置されるシャッタ７９を第１のシャッタ７９と記載し、スクリーン５側に配置されるシャッタ７３を第２のシャッタ７３と記載する。第１及び第２のシャッタ７９及び７３は、図示しないシャッタ開閉機構により、Ｙ軸方向に移動可能である（矢印Ａ参照）。シャッタ開閉機構の構成は任意である。ホストコンピュータ５０からの制御信号によりシャッタ開閉機構が制御される。その結果、第１及び第２のシャッタ７９及び７３の開閉動作（Ｙ軸方向での移動動作）が制御される。
【００８０】
なおスクリーン５側に配置される第２のシャッタ７３は、照明部７２から照明光学系７４を介して入射してくる光を吸収するために用いられる。従って、第２のシャッタ７３の下面には光吸収面８２が形成される。光吸収面８２は、例えば黒のつや消し塗装が行われることで形成される。あるいは、黒色塗料の塗膜などの光吸収膜により光吸収面８２が形成されてもよい。その他、光吸収面８２を形成するための表面処理や方法等が適宜用いられてよい。
【００８１】
図３に示す照明光学系７４は、照明光軸Ｌ上に配置される半透明鏡としてのハーフミラー８３と、撮像装置６０の撮影光軸Ｐに対して垂直に配置された反射部としての反射板８４とを有する。
【００８２】
ハーフミラー８３は、ハーフミラー８３に入射する光の一部分を反射し、他部分を透過する光学素子である。典型的には、透過光の光量と反射光の光量が１対１となるように、入射光を分岐する。しかし分岐の割合は適宜設定されてもよい。
【００８３】
図３に示すように、ハーフミラー８３は、照明光軸Ｌに対して約４５度の角度で配置される。従ってハーフミラー８３は、照明部７２により照明光軸Ｌ上に照射された照明光の約５０％をそのまま照明光軸Ｌ上に透過する。またハーフミラー８３は、照明光軸Ｌ上に照射された照明光の約５０％を、撮影光軸Ｐの方向でハーフミラー８３からみて撮像装置６０が配置されている側と反対側に反射する。
【００８４】
またハーフミラー８３は、照明光軸Ｌに沿ってスクリーン５側から入射する光の約５０％をそのまま照明部７２の開口７７に透過する。またハーフミラー８３は、スクリーン５側からの光の約５０％を、撮影光軸Ｐ上に撮像装置６０に向けて反射する。
【００８５】
反射板８４は、ハーフミラー８３に対して、撮像装置６０の反対側に配置される。すなわち撮影光軸Ｐ上で、撮像装置６０、ハーフミラー８３、及び反射板８４が並ぶことになる。反射板８４としては、例えば第１のシャッタ７９について例示したようなものが用いられればよい。なお反射部８４と第１のシャッタ７９とが互いに同じ構成を有する必要はない。
【００８６】
本実施形態に係るカメラユニット５８の大きさを説明する。以下に述べる数値はあくまで一例であり、この数値に限定される訳ではない。図３に図示されているカメラユニット５８の、Ｘ軸方向での全体的な大きさは約３０ｍｍである。撮像装置６０のＹ軸及びＺ軸方向のそれぞれの大きさはともに約３０ｍｍである。照明装置７０の本体７１の、Ｙ軸及びＺ軸方向のそれぞれの大きさもともに約３０ｍｍである。鏡筒６５とマウント部６１とのそれぞれのＹ軸方向の大きさの合計は、約５０ｍｍである。従ってカメラユニット５８のＹ軸方向での全体的な大きさは約１１０ｍｍである。図４に示す照明部７２の支持部７６の直径は、約３５ｍｍである。開口７７の直径は約８ｍｍである。複数の光源７５は、それぞれの先端が直径が約１５ｍｍの略円上に並ぶように配置される。また支持部７６のＺ軸方向の厚みは約１．８ｍｍであり、支持部７６から光源７５の先端までの距離は約５ｍｍである。各部材の大きさは適宜設定可能である。
【００８７】
本実施形態では、スクリーン５から回路基板Ｗまでの距離が約１００ｍｍ程度である。このスペースを上記のような大きさのカメラユニット５８が移動される。なおスクリーン５から回路基板Ｗまでの距離が限定される訳ではない。
【００８８】
［半田印刷装置の動作］
本実施形態に係る半田印刷装置１００の動作を、カメラユニット５８の動作を中心に説明する。図６及び図７は、半田印刷装置１００による半田印刷工程の一例を示すフローチャートである。図８及び図９は、カメラユニット５８による撮影工程を説明するための模式的な図である。
【００８９】
本実施形態では以下に示すように、カメラユニット５８によりスクリーン５と回路基板Ｗとが撮影される。そしてスクリーン５に形成されたアライメントマークと、回路基板Ｗに形成されたアライメントマークとがそれぞれ検出される。その検出結果をもとに、スクリーン５と回路基板Ｗとの相対的な位置が調整される。これによりスクリーン５と回路基板Ｗとアライメントが実行される。
【００９０】
本実施形態では、スクリーン５の２箇所にアライメントマークが形成されている。当該アライメントマークの位置の情報は半田印刷装置の記憶デバイスに記憶されている。従って２つのアライメントマークを撮影するための撮影位置の情報も、座標情報として予め記憶されている。
【００９１】
回路基板Ｗにも、スクリーン５に形成された２つのアライメントマークにそれぞれ対応するアライメントマークが２つ形成されている。この２つのアライメントマークの位置情報及びアライメントマークを撮影するための撮影位置の情報も予め記憶されている。
【００９２】
これらの情報は、半田印刷装置１００にセットされるスクリーン５及び回路基板Ｗの情報として自動的に記憶されてもよい。あるいは、ユーザにより手動で入力されてもよい。
【００９３】
ステップ１０１にて、スクリーン５に形成されたアライメントマークの画像がすでに取り込み済みか否かが判定される（ステップ１０１）。未だアライメントマークの画像が取り込まれていない場合（ステップ１０１のＮｏ）、スクリーン５側の２つのアライメントマークのうちの１つ（アライメントマークＡと記載する）を撮影するための撮影位置にカメラユニット５８が移動される（ステップ１０２）。これは予め設定された座標情報をもとに実行される。
【００９４】
図８（Ａ）に示すように、第１のシャッタ７９が閉じられる。これにより複数の光源７５に対向する位置に第１のシャッタ７９が配置される。第２のシャッタ７３は開けられる。従って第２のシャッタ７３は、照明光軸Ｌ上から外れた位置にＹ軸方向で（矢印Ａに沿って）移動される（ステップ１０３）。
【００９５】
斜光照明を実現する複数の光源７５から照明光Ｌ１が出射される。図８（Ａ）に示すように、照明光Ｌ１は第１のシャッタ７９に向けて出射される。照明光Ｌ１は、第１のシャッタ７９の反射面７８にて支持部７６の開口７７へ反射される。これにより照明光Ｌ１は、照明光軸Ｌ上に照射される。照明光軸Ｌ上に照射された照明光Ｌ１はハーフミラー８３に入射する。照明光Ｌ１の一部分がハーフミラー８３を透過し、その照明光Ｌ２がスクリーン５へ照射される。
【００９６】
図８（Ｂ）に示すように、照明光Ｌ２が照射されたスクリーン５からの照明光軸Ｌと同軸となる第１の反射光Ｌ３がハーフミラー８３に入射する。本実施形態では、照明光軸Ｌが、スクリーン５に対して垂直に設定されている。すなわち照明光Ｌ２は、スクリーン５に垂直に照射される。従って照明光Ｌ２に対する正反射光が第１の反射光Ｌ３となる。
【００９７】
第１の反射光Ｌ３は、ハーフミラー８３により、撮像装置６０の撮影光軸Ｐ上に反射される。本実施形態では、ハーフミラー８３により、スクリーン５からの第１の反射光Ｌ３が直角に反射される。そして第１の反射光Ｌ３が撮影光軸Ｐ上に照射されている。
【００９８】
これによりスクリーン５が撮影され、アライメントマークＡの画像が撮影される（ステップ１０４）。照明光軸Ｌと同軸となる第１の反射光Ｌ３が撮影光軸Ｐ上に反射されて、スクリーン５が撮影される。従ってスクリーン５は同軸落射照明により撮影されることになる。
【００９９】
撮影されたスクリーン５の画像に対して画像処理が行われ、アライメントマークＡが検出される（ステップ１０５）。これにより、例えば所定の撮影位置に対するアライメントマークＡの位置情報が算出される。画像処理及び位置算出処理は、例えば画像処理部や位置情報算出処置部等として機能するソフトウェアブロックにより実行される。このブロックは、例えば所定のプログラム等によりＣＰＵが動作することこで実現される。その他のハードウェア及びソフトウェアが適宜用いられてこれらの処理が実行されてもよい。
【０１００】
スクリーン５側のもう１つのアライメントマークＢの画像が撮影される。予め定められた座標情報をもとに、アライメントマークＢを撮影するための撮影位置にカメラユニットが移動される（ステップ１０６）。
【０１０１】
アライメントマークＢが撮影される（ステップ１０７）。本実施形態では、アライメントマークＡの撮影時から斜光照明の点灯が継続されている。従ってカメラユニット５８が移動されるとそのまま撮影処理が実行される。なおアライメントマークＡが撮影された時点で照明が消灯されてもよい。そしてカメラユニット５８が移動されたときに改めて複数の光源７５から照明光Ｌ１が出射されてもよい。
【０１０２】
撮影されたスクリーン５の画像に対して画像処理が行われ、アライメントマークＢが検出される（ステップ１０８）。これにより、例えば所定の撮影位置に対するアライメントマークＢの位置情報が算出される。
【０１０３】
複数の光源７５による照明光Ｌ１の出射が停止され、斜光照明が消灯される（ステップ１０９）。そして図７に示す回路基板Ｗの撮影工程に備えて、図９（Ａ）に示すように第２のシャッタ７３が閉じられる。これにより照明光軸Ｌ上に第２のシャッタ７３が配置される。第１のシャッタ７９は開けられる。従って第１のシャッタ７９は、複数の光源７５からの照明光Ｌ１が回路基板Ｗに出射されるようにＹ軸方向で（矢印Ａに沿って）移動される（ステップ１１０）。
【０１０４】
ステップ１０１にて、すでにスクリーン側のアライメントマークの画像が取り込まれていると判定された場合（ステップ１０１のＹｅｓ）、図７に示す回路基板Ｗの撮影工程に進む。
【０１０５】
図７に示す回路基板Ｗの撮影工程について説明する。まずカメラユニット５８が回路基板を待機する位置へ移動される（ステップ２０１）。待機位置とは、回路基板Ｗの搬送を妨げない位置である。例えば図１に示すようにキャリッジ１３が案内レール１１の右端に位置し、その位置にてカメラユニット５８がＸ軸方向で奥側に移動される。ここが待機位置として設定されてもよい。待機位置は任意に設定されてよい。
【０１０６】
コンベヤ等により回路基板Ｗが搬入され、載置台３２に載置される（ステップ２０２）。クランプ機構３１により回路基板Ｗの外形がクランプされる。これにより回路基板Ｗが固定される（ステップ２０３）。
【０１０７】
回路基板Ｗ側の２つのアライメントマークのうちの１つ（アライメントマークＡと記載する）を撮影するための撮影位置にカメラユニット５８が移動される（ステップ２０４）。これは予め設定された座標情報をもとに実行される。
【０１０８】
図９（Ａ）に示すように、斜光照明を実現する複数の光源７５から照明光Ｌ１が出射される。第１のシャッタ７９は開けられているので、照明光Ｌ１は回路基板Ｗに向けて出射される。斜光照明された回路基板Ｗからの第２の反射光Ｌ４は、照明光軸Ｌに沿ってハーフミラー８３へ入射する。第２の反射光Ｌ４は、ハーフミラー８３により撮影光軸Ｐの方向で第１の反射光Ｌ３とは逆の方向に反射される。従って第２の反射光Ｌ４は、反射板８４へ反射される。
【０１０９】
図９（Ｂ）に示すように、反射板８４は、ハーフミラー８３により反射された第２の反射光Ｌ４を撮影光軸Ｐ上に、撮像装置６０に向けて反射する。これにより回路基板Ｗが撮影され、アライメントマークＡの画像が撮影される（ステップ２０５）。回路基板Ｗは、斜光照明により撮影される。
【０１１０】
撮影された回路基板Ｗの画像に対して画像処理が行われ、アライメントマークＡが検出される（ステップ２０６）。これにより例えば所定の撮影位置に対するアライメントマークＡの位置情報が算出される。
【０１１１】
なお図９（Ａ）に示すように、ハーフミラー８３を透過した第２の反射光Ｌ５は、閉じられた第２のシャッタ７３により吸収される。従って、例えばハーフミラー８３を透過した第２の反射光Ｌ５によりスクリーン５が照射され、その反射光が撮影光軸Ｐ上に反射されるといったことを防止することができる。また第２のシャッタ７３が閉じられることで外光の影響も防ぐことができる。この結果、回路基板Ｗを明瞭に撮影することができる。
【０１１２】
回路基板Ｗ側のもう１つのアライメントマークＢの画像が撮影される。予め定められた座標情報をもとに、アライメントマークＢを撮影するための撮影位置にカメラユニット５８が移動される（ステップ２０７）。
【０１１３】
アライメントマークＢが撮影される（ステップ２０８）。斜光照明の点灯は継続されていてもよいし、アライメントマークの撮影ごとに点灯及び消灯が行われてもよい。
【０１１４】
撮影された回路基板Ｗの画像に対して画像処理が行われ、アライメントマークＢが検出される（ステップ２０９）。これにより、例えば所定の撮影位置に対するアライメントマークＢの位置情報が算出される。
【０１１５】
撮像装置６０により撮影されたスクリーン５及び回路基板Ｗのそれぞれの画像をもとにスクリーン５と回路基板Ｗとの相対的な位置が調整される。すなわち、回路基板ＷのアライメントマークＡ及びＢの位置情報と、スクリーン５のアライメントマークＡ及びＢの位置情報がそれぞれ参照される。そしてそれぞれのアライメントマークの座標が一致するように、スクリーン５と回路基板Ｗとのアライメントが補正される（ステップ２１０）。このようにして本実施形態に係る位置合わせ方法が実行される。
【０１１６】
アライメントの補正は、例えばスクリーン５の位置が調整されて行われてもよい。すなわち図１に示すスクリーン５を支持するスクリーン支持機構６が、スクリーン５の位置を調整する機能を有していてもよい。そしてスクリーン支持機構６によりスクリーン５のアライメントが補正されてもよい。あるいは、スクリーン支持機構６自体の位置を補正することが可能な調整機構が設けられてもよい。
【０１１７】
図１に示す駆動ユニット３３により載置台３２が移動されることで、スクリーン５と回路基板Ｗとのアライメントが補正されてもよい。その他、スクリーン５と回路基板Ｗとの相対的な位置を調整するための機構や方法等が適宜採用されてよい。
【０１１８】
調整された位置にてスクリーン５が回路基板Ｗに載置される。本実施形態では、駆動ユニット３３が、載置台３２をＺ軸方向で昇降させる。これにより載置台３２に載置された回路基板Ｗがスクリーン５に接触する。この結果、スクリーン５が回路基板Ｗに載置される（ステップ２１１）。なおスクリーン５を降下させて回路基板Ｗ上に載置する方法等が用いられてもよい。
【０１１９】
スクリーン印刷が実行される（ステップ２１２）。すなわち調整された位置にて回路基板Ｗに載置されたスクリーン５上にペースト状の半田が供給される。スキージ２１が適宜駆動されて、回路基板Ｗに所定のパターンで半田が印刷される。
【０１２０】
駆動ユニット３３が、載置台３２をＺ軸方向で下降させる。そしてコンベヤ等により回路基板Ｗが排出される（ステップ２１３）。
【０１２１】
図１０は、回路基板Ｗに電子部品が実装される基板実装工程の一例を示すフローチャートである。以下に示すように、半田印刷装置１００にて半田が印刷された回路基板Ｗに電子部品等が実装される。これにより電子部品が実装された回路基板Ｗが製造される。
【０１２２】
半田印刷装置１００により半田印刷工程が実行される（ステップ３０１）。半田印刷の後に検査を行うか否かが判定される（ステップ３０２）。判定処理は、例えばユーザの指示をもとに判定される。又は実装される部品の種類、回路基板Ｗに印刷される半田のパターン、半田が印刷された回路基板Ｗの数等の、種々の条件等をもとに判定される。この条件がユーザにより入力されてもよい。判定処理の基準となる条件は限定されない。
【０１２３】
半田印刷後に検査を実行すると判定された場合（ステップ３０２のＹｅｓ）、回路基板Ｗに印刷された半田が検査される（ステップ３０３）。例えば回路基板Ｗのランド上に適正に半田が印刷されているかが検査される。半田がランドからはみ出していないか、又は半田が足らない部分がないか等が検査される。これにより半田が所定のパターンで適正に印刷されているかが判定される。
【０１２４】
判定処理は、半田印刷装置１００に備えられた図示しない検査ユニット等により行われてもよい。あるいは半田印刷装置１００と別個に設けられた検査装置が用いられて行われてもよい。例えば半田が印刷された回路基板Ｗが撮影され、その画像をもとに検査が行われる。その他、検査方法は任意の方法が採用可能である。
【０１２５】
ステップ３０３にて半田の検査が実行されるとステップ３０４に進む。またステップ３０２にて印刷後の検査を実行しないと判定された場合もステップ３０４に進む。
【０１２６】
ステップ３０４では、部品実装装置により部品実装工程が行われる。例えば部品実装装置に、半田印刷装置１００により半田が印刷された回路基板Ｗが搬入される。そして部品実装装置に装着されたテープキャリア等に収納された種々の電子部品がノズル等により吸い上げられる。電子部品を吸着したノズルは回路基板Ｗ上に移動して、所定の位置に電子部品を載置する。部品実装装置の構成や動作、電子部品の実装方法等は限定されない。
【０１２７】
回路基板Ｗ上の所定の位置に電子部品が載置された状態で、リフローにより半田の加熱処理が行われる（ステップ３０５）。例えば回路基板Ｗがリフロー炉に搬入され予熱され、その後本過熱される。これにより半田が溶かされる。その後冷却処理が実行されて、回路基板Ｗに電子部品が接着される。
【０１２８】
検査装置により、リフロー工程後の回路基板Ｗが検査される（ステップ３０６）。例えば電子部品が所定の位置に十分に接着されているかが検査される。リフロー後の回路基板Ｗを撮影する撮影装置や実装された電子部品の位置や高さ等を検出するセンサ等が適宜用いられてよい。
【０１２９】
目視による検査も実行される（ステップ３０７）。このようにして電子部品の実装工程が行われ、回路基板Ｗが製造される。このようにして本実施形態に係る基板の製造方法が実行される。
【０１３０】
以上、本実施形態に係る照明装置７０及び半田印刷装置１００では、照明部７２によりスクリーン５への照明光軸Ｌ上に照明光Ｌ１が照射される。また照明光軸Ｌ上にハーフミラー８３が配置される。ハーフミラー８３により、照明部７２により照射された照明光Ｌ１が透過される。また透過した照明光Ｌ２により照射されたスクリーン５からの反射光であって照明光軸Ｌと同軸となる第１の反射光Ｌ３が、スクリーン５を撮影する撮像装置６０の撮影光軸Ｐ上に反射される。これによりスクリーン５が同軸落射照明される。この結果、例えばスクリーン５等に設けられたアライメントマーク等を明瞭に撮影することが可能となる。
【０１３１】
ここでスクリーン５を同軸落射照明により撮影することについて説明する。一般的には、スクリーンのアライメントマークとしては貫通穴が形成されることが多いが、最近では刻印タイプのアライメントマークも増えている。刻印されたアライメントマークが斜光照明により撮影されると、アライメントマークのエッジの検出が不明瞭となってしまう可能性がある。
【０１３２】
またスクリーンメーカーによっては、表面が鏡面に近いようなスクリーンが製造される。このようなスクリーンを斜光照明で撮影すると、例えば照明自体の像が対象に写ってしまうといったことが発生する。そうすると、アライメントマークを検出するための必要なコントラストが得られないといった問題が起こり得る。
【０１３３】
図１１は、表面が鏡面に近いスクリーンを撮影する際の問題点を具体的に説明するための模式的な図及び写真である。図１１（Ａ）は、スクリーンを撮影するために用いられる照明ユニット５００の図である。照明ユニット５００は、円形状を有する支持基板５０１と、支持基板５０１の中央に形成された撮影孔５０２を有する。撮影孔５０２は撮影光軸が通る孔である。すなわち撮影孔を通った光が撮像装置に入射してスクリーンが撮影される。
【０１３４】
また照明ユニット５００は、撮影孔５０２の周囲に形成された複数の光源５０３を有する。この光源５０３は、支持基板５０１に対して略垂直に設けられる。従って複数の光源５０１からの照明光は支持基板５０１に対して略垂直の方向に出射される。
【０１３５】
このような照明ユニット５００が、表面が鏡面に近いスクリーンの正面に、複数の光源５０１がスクリーンに対向するように配置される。複数の光源５０１からスクリーンに照明光が出射され、その反射光が撮影孔５０２を介して撮影される。
【０１３６】
そうすると図１１（Ｂ）の写真に示すように、撮影孔５０２に対応する部分である画像の中心部分Ｏが暗くなってしまい、画像にムラが発生してしまう。これはスクリーンからの正反射成分が強いため、複数の光源５０３からの照明光が広がりきらないことが原因であると考えられる。画像にムラが発生すると、画像認識が困難となり、アライメントマークの認識も難しくなってしまう。
【０１３７】
このように、表面が鏡面に近いスクリーン等を撮影する場合には、斜光照明よりも同軸落射照明が有利である。このことを被写体の正反射率及び拡散反射率に着目して改めて説明する。図１２及び図１３は、その説明のための模式的な図である。
【０１３８】
表面が鏡面に近いスクリーンや、ステンレス等の反射率の高い金属等により形成されたスクリーンでは、面粗さにもよるが、正反射率が高く（例えば約５５〜８８％）、拡散反射率が低い（例えば約８〜１０％）。これに対して、基板（本実施形態の回路基板Ｗも含む）に形成されるレジストは正反射率が低く（例えば３〜１０％）、拡散反射率が高い（例えば約５０％以上）。なお基板のメッキが施される部分は正反射率が約６０％になる。
【０１３９】
ここで図１２を参照しながら、カメラ６０１の撮影光軸６０２と照明からの照明光軸６０３とが同軸上になく、照明光６０４がやや角度をつけて照射される場合を考える。この場合図１２（Ａ）に示すように、拡散反射率の高い基板面６０５は、照明光６０４に対する拡散反射成分Ｄの拡散光６０５がカメラ６０１に入射する。また照明光６０４に対する正反射成分Ｍの光はカメラに入射しない。
【０１４０】
一方、図１２（Ｂ）に示すように、拡散反射率の低いスクリーン６１０では照明光６０４の殆どの成分が正反射し、カメラ６０１に光が入射しない。もし正反射成分Ｍの光がカメラ６０１に入光する場合でも、拡散反射性分Ｄとの輝度差が大きくなってしまい、照明としての機能は損なわれる。
【０１４１】
また図１３に示すように正反射成分Ｍは入射角θが大きいほど大きくなる（入射角θ１〜θ３参照）。この為、正反射率の高いスクリーンや鏡面に対する照明光軸６０３は、カメラ６０１の撮影光軸６０２と同軸に配置する事が好ましい。
【０１４２】
このことを受けてスクリーン５を同軸落射照明により撮影することが検討される。図１４は、同軸落射照明を実現するための一般的な照明ユニット７００の構成を示す模式的な図である。この照明ユニット７００では、被写体７０１に向けて直線的に延びる撮影光軸７０２上にハーフミラー７０３が配置される。
【０１４３】
光源７０４により撮影光軸７０２に対して垂直な方向で照明光７０５が出射される。照明光７０５はハーフミラー７０３に向けて出射される。ハーフミラー７０３により照明光７０５が撮影光軸７０２上に反射され、被写体７０１に照射される。被写体７０１からの反射光はハーフミラー７０３を透過して、撮影光軸７０２上でカメラ７０６に入射する。これにより同軸落射照明が実現される。
【０１４４】
このような構成を有する照明ユニット７００を採用する場合、例えば図３に示す本体７１の下部に、照明ユニット７００が配置されることになる。しかしながら当該照明ユニット７００を配置するためのスペースを確保することは難しい。また必要な部品点数の増加や、ミラーの光軸調整の必要性等により、コストが増大してしまう可能性がある。また照明回路や配線等も複雑になってしまう可能性がある。さらに、光源のムラをなくすために光路を長くとる必要があることから、サイズが大きくなるという問題もある。
【０１４５】
そこで例えば擬似的に同軸落射照明を実現するということも検討される。擬似的な同軸落射照明とは、撮影光軸と同軸ではないが、撮影光軸の近くから撮影光軸に平行な照明光をスクリーンに照射する照明である。図１５は、擬似的な同軸落射照明を実現するための構成例を示す模式的な図である。
【０１４６】
図１５（Ａ）は、擬似的な同軸落射照明を実現する照明ユニットの一例を示す模式的な図である。照明ユニット８００では、支持基板８０１の中央に形成された撮影孔８０２の大きさが、図１１に示す撮影孔５０２よりも小さくなっている。この撮影孔８０２の周囲を複数の光源８０３が設けられる。複数の光源８０３は、撮影孔８０２に近接して設けられる。また複数の光源８０３は、撮影孔８０２を中心とした略同心円上にも配置される。このような構成により、擬似的な同軸落射照明が実現される。
【０１４７】
このような照明ユニット８００が、表面が鏡面に近いスクリーンの正面に、複数の光源８０３がスクリーンに対向するように配置される。複数の光源８０３からスクリーンに照明光が出射され、その反射光が撮影孔８０２を介して撮影される。
【０１４８】
このような擬似的な同軸落射照明であっても、図１５（Ｂ）に示すように、撮影孔８０２に対応する部分である画像の中心部分Ｏが暗くなってしまい、ムラが発生してしまう。その結果、アライメントマークの認識が困難になってしまう。例えば撮影孔８０２の面積が大きくなってしまうとさらに撮影画像のムラが問題となる。
【０１４９】
このような問題点に対して本技術が考案された。すなわち本実施形態に係る照明装置７０では、スクリーン５と対向する位置に配置された支持部７６の、スクリーン５と反対側に複数の光源７５が設けられる。複数の光源７５から出射された照明光Ｌ１が第１のシャッタ７９の反射面７８にて反射される。当該反射された照明光Ｌ１は、支持部７６に形成された開口７７を介して照明光軸Ｌ上に照射される。これにより、例えば外光等の不要な光を防ぎ、複数の光源７５からの照明光Ｌ１を精度よく照明光軸Ｌ上に照射することができる。
【０１５０】
本技術に係る実施形態である照明装置７０及び半田印刷装置１００によれば、スクリーン５及び回路基板Ｗの間のスペースに収まるような小型なカメラユニット５８を実現できる。またスクリーン５に対して同軸落射照明を実現することができる。これによりスクリーン５として正反射率が高いものが用いられても、当該スクリーン５に刻印等で形成されたアライメントマークを明瞭に撮影することが可能となる。
【０１５１】
また同軸落差照明を実現するためのスペースが少なく、必要な部品点数も抑えることができる。これによりコストを削減することが可能となる。また照明部７２の構成がシンプルであるので、照明回路や配線等が複雑になってしまうことを防止することができる。
【０１５２】
また本実施形態に係る照明装置７０では、複数の光源７５から出射される照明光Ｌ１の光学距離を大きくすることができる。すなわちスクリーン５の正面に光源が配置された場合よりも、光学距離を大きくすることができる。その結果、自然拡散が進み、輝度が均一化した照明光Ｌ１をスクリーン５に照射することが可能となる。従って例えば拡散板等の部品を追加する必要ななくなりコストを抑えることができる。例えばスクリーン５から回路基板Ｗまでの距離を１００ｍｍとすると、照明光の光路長は約９０ｍｍとなる。
【０１５３】
スクリーン５の撮影用の光源と、回路基板Ｗの撮影用の光源とをそれぞれ準備する必要がなく、光源７５を用いて両方を撮影することが可能である。従って照明装置７０の構成がシンプルとなりカメラユニット５８の小型化を図ることができる。
【０１５４】
スクリーン５側に照明がない為、万が一クリーム半田がスクリーン５から落下した際に、その半田により照明基板が破損されてしまうといったことがない。
【０１５５】
本実施形態の照明装置が接続されることで、撮像装置６０を、撮影光軸Ｐがスクリーン５と平行となる状態で適宜移動させて、スクリーン５及び回路基板Ｗを撮影することが可能となる。
【０１５６】
また本照明装置７０では、第１のシャッタ７９が移動可能なように設けられる。第１のシャッタ７９が移動することで、照明光軸Ｌの方向でスクリーン５と対向する回路基板Ｗに、光源７５からの照明光Ｌ１が照射される。回路基板Ｗからの第２の反射光Ｌ４は、ハーフミラー８３及び反射板８４を介して撮影光軸Ｐ上に照射される。このようにして、複数の光源７５からの照明光Ｌ１により、スクリーン５及び回路基板Ｗを適宜撮影することができる。
【０１５７】
この照明装置７０では、正反射率が大きいスクリーン５が用いられる場合でも、当該スクリーン５が照明部７２により同軸落射照明される。そして正反射率の小さい回路基板Ｗが斜光照明される。これによりスクリーン５及び回路基板Ｗが明瞭に撮影される。
【０１５８】
＜変形例＞
本技術に係る実施形態は、上記で説明した実施形態に限定されず種々変形される。
【０１５９】
例えば図１６は、図３に示す照明装置７０の変形例を示す模式的な図である。この照明装置２７０には、本体７１の上部に補助照明部２９０が設けられる。補助照明部２９０は、本体２７１と第２のシャッタ２７３（閉じられた状態）との間に配置される。
【０１６０】
補助照明部２９０は、ハーフミラー２８３とスクリーン５との間に配置された補助支持部２７６と、補助支持部２７６に形成された照明光軸Ｌが通る補助開口２７７と、補助開口２７７の周囲に設けられスクリーン５に補助照明光Ｌ６を照射する１以上の補助光源２７５とを有する。
【０１６１】
補助照明部２９０は、同軸落射照明で撮影されたスクリーン５の画像を明瞭にするために配置される。例えば同軸落射照明で撮影されたスクリーン５の画像では、その縁部が中心部と比べて暗くなってしまう場合がある。従って補助光源２７５からの補助照明光Ｌ６をスクリーン５に照射することで、全体的に明度が高い画像を撮影することが可能となる。これにより明瞭なスクリーン５の画像を撮影することができ、アライメントマークを高精度に認識することが可能となる。その他、スクリーン５に照射される光の光量の補助等が適宜実行されてもよい。
【０１６２】
補助照明部２９０は、例えば図４に示す照明部７２と略同様な構成を有する。補助支持部２７６及び補助開口２７７の形状や大きさは適宜設定可能である。複数の補助光源２７５の数や位置等も設定可能である。例えば照明光軸Ｌがスクリーン５に交わる位置の周辺に補助照明光Ｌ６が照射されるような角度で、複数の補助光源２７５が設けられてもよい。その他任意の構成が採用可能である。
【０１６３】
上記では、カメラユニットにより、正反射率が高いスクリーンと正反射率の低い回路基板とが撮影された。しかしながらカメラユニットが、正反射率の高い被写体（この場合スクリーン）のみを同軸落射照明で撮影することを目的として用いられてもよい。この場合、第２シャッタが設けられず、また照明光学系の反射板の代わりに光を吸収する部材が用いられてもよい。これにより照明部の反対側に位置する被写体を明瞭に撮影することができる。このようなカメラユニットが、本実施形態に係るカメラユニットとして用いられてもよい。
【０１６４】
上記では、半透明鏡としてハーフミラーが用いられた。その他半透明鏡として、半透明プリズムが用いられてもおい。半透明プリズムとして、例えば直角プリズムが二つ貼り合わされ、接合面には誘電体多層膜や金属薄膜のコーティングが施されているものが用いられてもよい。ハーフミラーが用いられる場合、ハーフミラーの厚さによる影響が発生してしまう可能性がある。そのような場合、半透明プリズムを用いることで高精度の同軸落射照明が可能となる。
【０１６５】
第１のシャッタの反射面に対して表面処理が適宜行われてもよい。例えば反射面に対して白色塗装を行うことで、照明光の拡散効果を向上させ、輝度ムラを低減させることができる。
【０１６６】
上記では、回路基板Ｗにペースト状の半田がスクリーン印刷された。しかしながらペースト材として、半田以外の導体ペーストや抵抗体ペーストが用いられてもよい。このようなペースト材がスクリーン印刷される場合でも、本実施形態に係る照明装置７０を用いることができる。
【０１６７】
図３に示すカメラユニット５８の全体が、本実施形態に係る撮像装置として用いられてもよい。この場合、図に示す撮像装置６０が、本実施形態に係る撮像部として機能する。
【０１６８】
上記では、正反射率が高い被写体が同軸落射照明されるように、本体に対して被写体の反対側に照明部が設けられる。従って例えばスクリーンよりも回路基板の方が、正反射率が高いような場合では、カメラユニットの上下を逆にして撮影が行われればよい。
【０１６９】
上記では、照明光軸Ｌが、スクリーン５に対して垂直となる。しかしながら同軸落射照明が可能な範囲であれば、垂直である場合に限定されない。
【０１７０】
上記では、第１の被写体としてスクリーンが例示され、第２の被写体として回路基板が例示された。しかしながらこれらの部材を撮影する場合に限定されない。例えば小さいススペースにおいて対向する２つの部材を撮影する場合に、本技術に係る照明装置を用いることができる。２つの部材のうち１つが正反射率が高い部材である場合、当該被写体を同軸落射照明で撮影することで被写体を明瞭に撮影することが可能となる。
【０１７１】
なお、本技術は以下のような構成も採ることができる。
【０１７２】
（１）第１の被写体への照明光を出射する１以上の光源を有し、前記光源からの照明光を前記第１の被写体への照明光軸上に照射する照明部と、
前記照明光軸上に配置され、前記照明部により照射された前記照明光を透過させ、前記透過した照明光により照射された前記第１の被写体からの前記照明光軸と同軸となる第１の反射光を、前記第１の被写体を撮影する撮像装置の撮影光軸上に反射する半透明鏡と
を具備する照明装置。
（２）前記（１）に記載の照明装置であって、
前記照明光軸は、前記第１の被写体に垂直である
照明装置。
（３）前記（１）又は（２）に記載の照明装置であって、
前記照明部は、前記第１の被写体と対向する位置に配置された支持部と、前記支持部に形成された前記照明光軸が通る開口と、前記支持部の前記第１の被写体と反対側であって前記開口の周囲に設けられた複数の光源と、前記複数の光源からの前記照明光を前記開口へ反射する反射面を有する第１のシャッタとを有する
照明装置。
（４）前記（２）又は（３）に記載の照明装置であって、
前記撮像装置の撮影光軸が前記照明光軸と直交するように、前記照明装置を前記撮像装置に接続する接続部をさらに具備し、
前記半透明鏡は、前記第１の被写体からの前記第１の反射光を直角に反射することで、当該第１の反射光を前記撮影光軸上に反射する
照明装置。
（５）前記（３）又は（４）に記載の照明装置であって、
前記第１のシャッタは、前記照明光軸の方向で前記第１の被写体と対向する第２の被写体に、前記光源からの照明光が照射されるように移動可能であり、
前記半透明鏡は、前記照明光が照射された前記第２の被写体からの第２の反射光を、前記撮影光軸の方向で前記第１の反射光とは逆の方向に反射し、
前記照明装置は、前記半透明鏡により反射された前記第２の反射光を前記撮影光軸上に反射する反射部をさらに具備する
照明装置。
（６）前記（５）に記載の照明装置であって、
前記半透明鏡と前記第１の被写体との間で前記撮影光軸上に配置され、前記半透明鏡を透過する前記第２の被写体からの前記第２の反射光を吸収する第２のシャッタをさらに具備する
照明装置。
（７）前記（１）から（６）のうちいずれか１つに記載の照明装置であって、
前記半透明鏡と前記第１の被写体との間に配置された補助支持部と、前記補助支持部に形成された前記照明光軸が通る補助開口と、前記補助開口の周囲に設けられ前記第１の被写体に補助照明光を照射する１以上の補助光源とを有する補助照明部をさらに具備する
照明装置。
（８）前記（５）から（７）のうちいずれか１つに記載の照明装置であって、
前記第１の被写体の正反射率が、前記第２の被写体の正反射率よりも大きい
照明装置。
（９）前記（５）から（７）のうちいずれか１つに記載の照明装置であって、
前記第１の被写体は、ペースト材の印刷のためのスクリーンであり、
前記第２の被写体は、前記スクリーンが用いられて前記ペースト材が印刷される印刷対象物である
照明装置。
【符号の説明】
【０１７３】
Ｗ…回路基板
Ｐ…撮影光軸
Ｌ…照明光軸
Ｌ１、Ｌ２…照明光
Ｌ３…第１の反射光
Ｌ４、Ｌ５…第２の反射光
Ｌ６…補助照明光
５…スクリーン
５８…カメラユニット
６０…撮像装置
７０…照明装置
７１…本体
７２…照明部
７３…第２のシャッタ
７４…照明光学系
７５…光源
７６…支持部
７７…開口
７８…反射面
７９…第１のシャッタ
８３…ハーフミラー
８４…反射板
１００…半田印刷装置
２７０…照明装置
２７１…本体
２７３…第２のシャッタ
２７５…補助光源
２７６…補助支持部
２７７…補助開口
２８３…ハーフミラー
２９０…補助照明部
【図１】
0005930284.tif 000002
【図２】
0005930284.tif 000003
【図３】
0005930284.tif 000004
【図４】
0005930284.tif 000005
【図５】
0005930284.tif 000006
【図６】
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【図７】
0005930284.tif 000008
【図８】
0005930284.tif 000009
【図９】
0005930284.tif 000010
【図１０】
0005930284.tif 000011
【図１２】
0005930284.tif 000012
【図１３】
0005930284.tif 000013
【図１４】
0005930284.tif 000014
【図１６】
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【図１１】
0005930284.tif 000016
【図１５】
0005930284.tif 000017