(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物との間に電流を流す電極と、
前記被加工物と前記電極とで構成される極間に接続された第１の経路に電圧を印加する第１の電源部と、
前記極間に接続された第２の経路に配置されたトランスと、
前記第１の電源部から前記第２の経路の浮遊容量に流入する電流を抑制する方向の電圧を、前記トランスを介して前記第２の経路に印加する第２の電源部と、
前記第１の電源部から前記第２の経路の浮遊容量に流入する電流を抑制する方向の電圧を前記第２の経路に印加させるように前記第２の電源部を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする放電加工電源装置。
【請求項２】
前記第１の電源部が印加する電圧によって前記極間で放電が発生したら、前記第２の経路を介して前記極間に荒加工電流を流す第３の電源部を更に備え、
前記制御部は、
前記荒加工電流が増加する期間では、前記荒加工電流を増加する方向の電圧を前記第２の経路に印加させるように前記第２の電源部を制御し、前記荒加工電流が減少する期間では、前記荒加工電流を抑制する方向の電圧を前記第２の経路に印加させるように前記第２の電源部を制御することを特徴とする請求項１に記載の放電加工電源装置。
【請求項３】
前記トランスは、トロイダルトランスであることを特徴とする請求項１に記載の放電加工電源装置。
【請求項４】
前記トロイダルトランスは、前記極間が配置されている加工槽内に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の放電加工電源装置。
【請求項５】
前記第１の電源部は、第４の電源部、第２のトランスの１次巻線及び２次巻線で構成され、
前記第２の電源部は、前記第４の電源部、前記第２のトランスの１次巻線及び３次巻線で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の放電加工電源装置。
【請求項６】
前記トランス及び前記第２のトランスの各々は、トロイダルトランスであることを特徴とする請求項５に記載の放電加工電源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電極と被加工物との間に放電を生じさせて被加工物を加工する放電加工電源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
放電加工機は、対向する電極と被加工物とで構成される極間にアーク放電を生じさせ、被加工物を溶融除去して加工を行う装置である。電極及び被加工物は、絶縁性の高い液体の中に配置される。絶縁性の高い液体は、脱イオン水又は油が例示される。【０００３】
放電加工機は、比較的長い時間幅の荒加工電流を用いて、後工程での仕上げ加工代を残して加工速度を重視する荒加工と、電流パルスのエネルギーを徐々に小さくして行き、被加工物の面粗さを低減させる仕上げ加工と、を実行する。荒加工電流の時間幅は、数十マイクロ秒が例示される。仕上げ加工での電流パルスのパルス幅は、最終的には数十ナノ秒が例示される。【０００４】
荒加工では、短い時間幅及び高いピーク値を有する荒加工電流が望ましいことが知られている。短い時間幅及び高いピーク値を有する荒加工電流を実現するために、荒加工で一般的に使用されている放電回路が、トランジスタ放電回路である。トランジスタ放電回路では、放電発生を検出し放電電流をトランジスタで制御することにより、短い時間幅及び高いピーク値を有する荒加工電流を得ることができる。【０００５】
仕上げ加工では、被加工面の面粗さを低減するために、電流パルス幅を短くすることが求められる。そこで、仕上げ加工では、電源と極間との間に直列に配置された電流制限抵抗と、極間と並列に配置された極間並列コンデンサとで構成されるＲＣ回路が使用されている。【０００６】
ＲＣ回路は、極間に電圧を印加するための電源と、電源からの電流を制限するための電流制限抵抗と、放電のエネルギーを蓄える極間並列コンデンサとで構成される。また、回路上に素子として存在するものではないが、機械構造又はケーブルに含まれる容量である浮遊容量が存在する。【０００７】
ＲＣ回路では、電源電圧が印加されると、極間並列コンデンサ及び浮遊容量に電荷が蓄えられ、極間電圧が上昇する。電圧増加の時定数τは、電流制限抵抗と極間並列コンデンサとの積で決定される。従って、極間並列コンデンサが大きくなるほど、電圧の上昇速度は低下する。【０００８】
極間の電圧が上昇すると、極間の絶縁が破壊され、極間並列コンデンサ及び浮遊容量に蓄えられていた電荷が、極間を流れる。この電流で発生した熱により、被加工物が溶融除去されることで、仕上げ加工が行われる。【０００９】
ＲＣ回路では、極間の容量成分を減らせば、被加工面の面粗さを低減することができる。従って、極間並列コンデンサを配置せず、浮遊容量だけで微小な容量成分を構成することができる。被加工面の面粗さを更に低減しようとする場合、放電加工機の構造を改良して浮遊容量自体を小さくするか又は浮遊容量の影響を打ち消す電気回路的な対策が必要となる。【００１０】
関連する技術として、下記の特許文献１には、仕上げ加工における面粗さを改善するために、工具電極６の直近にインダクタンスＬＴを配置し、放電時の急峻な電流を抑制する放電加工装置が記載されている（第２図参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開昭５９−４２２２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献１に記載の放電加工装置では、放電電流の全てがインダクタンスＬＴを通るので、本来大きな電流が必要な荒加工においても電流が抑制され、荒加工に悪影響を及ぼす可能性があるという問題があった。また、寄生容量Ｃ２はそのまま存在するので、工具電極６と加工片４との間の電圧を増加させるには、寄生容量Ｃ２を充電する必要があり、工具電極６と加工片４との間の電圧の増加速度が遅くなるという問題があった。【００１３】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、浮遊容量の影響を抑制することができる放電加工電源装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被加工物との間に電流を流す電極と、被加工物と電極とで構成される極間に接続された第１の経路に電圧を印加する第１の電源部と、極間に接続された第２の経路に配置されたトランスと、第１の電源部から第２の経路の浮遊容量に流入する電流を抑制する方向の電圧を、トランスを介して第２の経路に印加する第２の電源部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明にかかる放電加工電源装置は、浮遊容量の影響を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図
【図２】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図
【図３】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の各部の波形を示す図
【図４】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の制御部の処理を示すフローチャート
【図５】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図
【図６】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の極間電圧の波形を示す図
【図７】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図
【図８】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図
【図９】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図
【図１０】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の極間電流の波形を示す図
【図１１】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図
【図１２】実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図
【図１３】実施の形態２にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図
【図１４】実施の形態２にかかる放電加工電源装置の各部の波形を示す図
【図１５】実施の形態２にかかる放電加工電源装置の制御部の処理を示すフローチャート
【図１６】実施の形態２にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図
【図１７】実施の形態３にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図
【図１８】実施の形態３にかかる放電加工電源装置の実装を示す図
【図１９】実施の形態４にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図
【図２０】実施の形態５にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図
【図２１】実施の形態６にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明の実施の形態にかかる放電加工電源装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１８】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図である。放電加工電源装置１は、被加工物３との間に電流を流す電極２と、被加工物３と電極２とで構成される極間４に接続された第１の経路Ａ１に電圧を印加する第１の電源部５と、極間４に接続された第２の経路Ａ２に配置されたトランス６と、第１の電源部５から第２の経路Ａ２の浮遊容量７に流入する電流を抑制する方向の電圧を、トランス６を介して第２の経路Ａ２に印加する第２の電源部８と、第２の電源部８を制御する制御部９と、を備える。
【００１９】
第１の電源部５は、ケーブルＣ１を介して電極２に接続され、ケーブルＣ２を介して被加工物３に接続されている。第１の経路Ａ１は、ケーブルＣ１及びＣ２を含んで構成される。
【００２０】
第１の電源部５は、荒加工の際には、極間４に放電を誘起し、仕上げ加工の際には、極間４に放電を誘起するとともに放電電流で被加工物３を加工するための電源である。放電加工機の分野において、第１の電源部５は、サブ電源と呼ばれることがある。第１の電源部５は、放電加工機で一般的に使用されている、ＲＣ放電回路、トランジスタ放電回路又は高周波電源回路が例示される。しかしながら、第１の電源部５は、これらに限定されず、種々の回路が採用可能である。実施の形態１では、第１の電源部５は、ＲＣ放電回路である。
【００２１】
トランス６の２次巻線６ｂは、電極２に接続されたケーブルＣ３に挿入されている。ケーブルＣ３の一端は、電極２に接続されており、ケーブルＣ３の他端は、スイッチＳＷ１を介して、接続物１０の一端に接続されている。接続物１０の他端は、スイッチＳＷ２及びケーブルＣ４を介して、被加工物３に接続されている。トランス６の１次巻線６ａは、第２の電源部８に接続されている。第２の経路Ａ２は、ケーブルＣ３及びＣ４を含んで構成される。
【００２２】
第２の電源部８は、浮遊容量７による加工への影響を抑制するために、第１の電源部５の構成又は制御方式に合わせた電源が採用される。
【００２３】
トランス６は、第２の電源部８と第２の経路Ａ２とを絶縁しながら、第２の電源部８から第２の経路Ａ２へ電圧を印加することができる。
【００２４】
第２の経路Ａ２に接続される接続物１０は、極間４の状態を検出するための各種基板、極間４に荒加工電流を流すための荒加工用の電源又は放電加工機の筐体が例示される。接続物１０は１つに限定されず、複数であっても良い。実施の形態１では、接続物１０は、極間４に荒加工電流を流すための第３の電源部１０である。実施の形態１では、第３の電源部１０は、トランジスタ放電回路である。
【００２５】
荒加工を行わない際には、第３の電源部１０は、スイッチＳＷ１及びＳＷ２がオフにされてケーブルＣ３及びＣ４から切り離されるが、この場合でも、ケーブルＣ３とケーブルＣ４との間に浮遊容量７が存在する。第２の経路Ａ２は、ケーブルＣ３、浮遊容量７及びケーブルＣ４で構成される。
【００２６】
第３の電源部１０は、荒加工の際に、放電が誘起された極間４に荒加工電流を流して被加工物３を加工するための電源である。放電加工機の分野において、第３の電源部１０は、メイン電源と呼ばれることがある。
【００２７】
第３の電源部１０は、正極側がスイッチＳＷ２及びケーブルＣ４を介して被加工物３に接続された直流電源１０ａと、ソース−ドレイン経路が直流電源１０ａの負極側とスイッチＳＷ１との間に接続されたトランジスタ１０ｂと、トランジスタ１０ｂのゲートにゲート信号を供給するゲート信号供給部１０ｃと、を含む。
【００２８】
ゲート信号供給部１０ｃがハイレベルのゲート信号をトランジスタ１０ｂのゲートに供給したら、トランジスタ１０ｂがオン状態になり、荒加工電流が極間４に流れる。
【００２９】
制御部９は、ゲート信号供給部１０ｃがトランジスタ１０ｂのゲートに供給するゲート信号と、電圧センサ１１によって検出された極間４の電圧と、に基づいて、第１の制御信号９ａ及び第２の制御信号９ｂを第２の電源部８に供給する。
【００３０】
実施の形態１では、第１の電源部５及び第３の電源部１０は、極間４に電圧又は電流を同時には供給しない。従って、放電加工電源装置１は、本発明が適用可能である。
【００３１】
放電加工電源装置１の動作について説明する。実施の形態１では、放電加工電源装置１は、荒加工を行う。
【００３２】
荒加工を行う際、まず、第１の電源部５が、極間４に電圧を印加して、極間４に放電を誘起する。極間４で放電が発生したら、第３の電源部１０が、荒加工電流を極間４に流す。
【００３３】
第１の電源部５が極間４に電圧を印加する際、電極２を正極側にして被加工物３を負極側にする第１の放電電圧印加パターンと、被加工物３を正極側にして電極２を負極側にする第２の放電電圧印加パターンと、がある。第１の放電電圧印加パターンと第２の放電電圧印加パターンとのどちらを採用するかは、条件により決定される。条件は、放電加工機の種類又は構成が例示される。
【００３４】
一方、第３の電源部１０は、荒加工での被加工物３の加工除去量を大きくするために、一般的に、被加工物３から電極２へ向かう向きに荒加工電流を流す。
【００３５】
実施の形態１では、先に、第１の放電電圧印加パターンを採用する場合の放電加工電源装置１の動作について説明し、後で、第２の放電電圧印加パターンを採用する場合の放電加工電源装置１の動作について説明する。
【００３６】
図２は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図である。図２に示すように、まず、タイミングｔ０において、第１の電源部５が、電極２を正極側にして被加工物３を負極側にする第１の放電電圧印加パターンで、第１の経路Ａ１に電圧Ｖ１を印加する。
【００３７】
図３は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の各部の波形を示す図である。タイミングｔ０において、第１の電源部５が、電極２を正極側にして被加工物３を負極側にする第１の放電電圧印加パターンで、第１の経路Ａ１に電圧Ｖ１を印加すると、図３の波形３１で示すように、極間４の極間電圧Ｖが立ち上がる。
【００３８】
図４は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の制御部の処理を示すフローチャートである。
【００３９】
制御部９は、ステップＳ１００において、極間４に電圧が印加されたことが電圧センサ１１により検出されたか否かを判定する。制御部９は、極間４に電圧が印加されたことが電圧センサ１１により検出されていないと判定したら（Ｎｏ）、ステップＳ１００で待機し、極間４に電圧が印加されたことが電圧センサ１１により検出されたと判定したら（Ｙｅｓ）、処理をステップＳ１０２に進める。
【００４０】
制御部９は、ステップＳ１０２において、第１の電源部５から浮遊容量７に流入する電流を抑制する方向の電圧を第２の経路Ａ２に印加するように、第２の電源部８を制御する。具体的には、制御部９は、図３の波形３５で示すように、第１の制御信号９ａをオン、つまりハイレベルにする。
【００４１】
図５は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図である。第１の電源部５が、第１の放電電圧印加パターンで第１の経路Ａ１に電圧Ｖ１を印加すると、第１の経路Ａ１に電流Ｉ１が流れる。また、極間４に電流Ｉ２が流入し、電流Ｉ２による電荷が極間４の容量に蓄電され、極間４の極間電圧Ｖが上昇する。また、第２の経路Ａ２に電流Ｉ３が流入する。ここで、Ｉ１＝Ｉ２＋Ｉ３である。
【００４２】
そこで、制御部９は、第１の電源部５から浮遊容量７に流入する電流Ｉ３を抑制する方向の電圧Ｖ２を第２の経路Ａ２に印加するように、第２の電源部８を制御する。電圧Ｖ２により、電流Ｉ４が第２の経路Ａ２に流れる。ここで、電流Ｉ４の方向は、電流Ｉ３の方向と逆の方向である。
【００４３】
これにより、第２の経路Ａ２を流れる電流Ｉ０はＩ０＝Ｉ３−Ｉ４となる。従って、放電加工電源装置１は、浮遊容量７に流入する電流Ｉ０を抑制することができる。
【００４４】
電流Ｉ４の大きさと電流Ｉ３の大きさとの差は小さいことが好適であり、電流Ｉ４の大きさは電流Ｉ３の大きさと同じであることが更に好適である。このようにすれば、第２の経路Ａ２を流れる電流Ｉ０は、Ｉ０＝Ｉ３−Ｉ４＝０となり、放電加工電源装置１は、浮遊容量７に流入する電流Ｉ０を更に好適に抑制することができる。これにより、放電加工電源装置１は、極間４に流入する電流Ｉ２をＩ２＝Ｉ１とすることができ、電流Ｉ２を大きくすることができる。
【００４５】
このように、放電加工電源装置１は、浮遊容量７に流入する電流Ｉ０を抑制することにより、あたかも浮遊容量７が削減されたようにすることができる。極間４の容量をＣＡとし、浮遊容量７の容量をＣＢとすると、極間４及び浮遊容量７に蓄電される電荷Ｑは、コンデンサの基本式により、Ｑ＝（ＣＡ＋ＣＢ）×Ｖとなる。
【００４６】
放電加工電源装置１は、浮遊容量７に流入する電流Ｉ０を抑制することにより、あたかも浮遊容量７が削減されたようにすることで、極間４に蓄電される電荷Ｑ’をＱ’＝ＣＡ×Ｖとすることができる。つまり、放電加工電源装置１は、浮遊容量７の容量ＣＢの分だけ容量を減少させて、極間電圧Ｖを増加させるための電荷量Ｑ’を小さくすることができる。
【００４７】
図６は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の極間電圧の波形を示す図である。実施の形態１では、第１の電源部５は、ＲＣ放電回路である。ＲＣ放電回路において、ＲＣ放電回路が有する抵抗値をＲとすると、極間電圧Ｖの立ち上がり時間は時定数τ＝Ｒ×（ＣＡ＋ＣＢ）で決定される。
【００４８】
放電加工電源装置１は、電流Ｉ０を抑制することにより、あたかも浮遊容量７が削減されたようにすることで、極間電圧Ｖの立ち上がり時間の時定数τ’をτ’＝Ｒ×ＣＡとすることができる。つまり、放電加工電源装置１は、浮遊容量７の容量Ｃ７の分だけ容量を減少させて、極間電圧Ｖの立ち上がり時間の時定数τ’を小さくすることができる。
【００４９】
従って、放電加工電源装置１は、図６の波形３１で示すように、極間電圧Ｖの立ち上がりを、第２の電源部８及びトランス６が備えられていない場合の極間電圧の波形４１よりも時間４２だけ早くすることができる。
【００５０】
放電加工電源装置１は、極間電圧Ｖの立ち上がりを早くすることで、次の効果を得ることができる。第１に、放電加工電源装置１は、荒加工に要する時間を短くすることができる。第２に、放電加工電源装置１は、極間電圧Ｖが電圧Ｖ１になっている時間を長くすることで、極間４での放電を発生し易くし、極間４での放電が発生する確率を高めることができる。
【００５１】
放電加工電源装置１の動作の説明に戻る。タイミングｔ１において、第１の電源部５によって極間４に放電が発生すると、図３の波形３２で示すように、極間４に極間電流Ｉが流れ、図３の波形３１で示すように、極間電圧Ｖは低下する。
【００５２】
このとき、極間４には電荷が蓄電されているが、浮遊容量７には電荷が蓄電されていないので、極間電流Ｉが流れる時間は、短くなる。
【００５３】
極間４に放電が発生し、極間４に極間電流Ｉが流れると、タイミングｔ２において、第３の電源部１０のゲート信号供給部１０ｃは、図３の波形３３で示すように、トランジスタ１０ｂのゲートに供給するゲート信号をオン、つまりハイレベルにする。
【００５４】
図７は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図である。タイミングｔ２において、ゲート信号がオンになると、トランジスタ１０ｂはオン状態になる。これにより、第３の電源部１０は、被加工物３を正極側にして電極２を負極側にする電圧Ｖ３を第２の経路Ａ２に印加して、被加工物３から電極２へ向かう方向に、荒加工電流Ｉ５を流す。第３の電源部１０が荒加工電流Ｉ５を極間４に流すことにより、図３の波形３２で示すように、極間４に流れる極間電流Ｉが立ち上がり、極間電流Ｉが増加し始める。
【００５５】
再び図４を参照すると、制御部９は、ステップＳ１０４において、極間４で放電が発生したことが電圧センサ１１により検出されたか否かを判定する。つまり、制御部９は、極間電圧Ｖが低下したことが電圧センサ１１により検出されたか否かを判定する。制御部９は、極間４で放電が発生したことが電圧センサ１１により検出されていないと判定したら（Ｎｏ）、ステップＳ１０４で待機し、極間４で放電が発生したことが電圧センサ１１により検出されたと判定したら（Ｙｅｓ）、処理をステップＳ１０６に進める。
【００５６】
制御部９は、ステップＳ１０６において、ゲート信号がオンにされたか否かを判定する。制御部９は、ゲート信号がオンにされていないと判定したら（Ｎｏ）、ステップＳ１０６で待機し、ゲート信号がオンにされたと判定したら（Ｙｅｓ）、処理をステップＳ１０８に進める。
【００５７】
制御部９は、ステップＳ１０８において、荒加工電流Ｉ５を増加する方向の電圧を第２の経路Ａ２に印加するように、第２の電源部８を制御する。具体的には、制御部９は、図３の波形３４で示すように、第２の制御信号９ｂをオン、つまりハイレベルにする。
【００５８】
図８は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図である。第３の電源部１０が、第２の経路Ａ２に電圧Ｖ３を印加すると、極間４に荒加工電流Ｉ５が流れる。
【００５９】
制御部９は、極間４に流れる荒加工電流Ｉ５を増加する方向の電圧Ｖ４を第２の経路Ａ２に印加するように、第２の電源部８を制御する。電圧Ｖ４により、電流Ｉ６が第２の経路Ａ２に流れる。ここで、電流Ｉ６の方向は、荒加工電流Ｉ５の方向と同じ方向である。
【００６０】
従って、放電加工電源装置１は、極間４に流れる極間電流ＩをＩ＝Ｉ５＋Ｉ６に増加することができ、極間電流Ｉの立ち上がりを早くすることができる。極間電流Ｉが極間４に流れることにより、被加工物３の荒加工が行われる。
【００６１】
次に、タイミングｔ３において、第３の電源部１０のゲート信号供給部１０ｃは、図３の波形３３で示すように、トランジスタ１０ｂのゲートに供給するゲート信号をオフ、つまりローレベルにする。
【００６２】
タイミングｔ３において、ゲート信号がオフになると、トランジスタ１０ｂはオフ状態になり、第３の電源部１０は、電圧Ｖ３の印加を終了する。これにより、図３の波形３２で示すように、極間４に流れる極間電流Ｉが減少し始める。
【００６３】
再び図４を参照すると、制御部９は、ステップＳ１１０において、ゲート信号がオフにされたか否かを判定する。制御部９は、ゲート信号がオフにされていないと判定したら（Ｎｏ）、ステップＳ１１０で待機し、ゲート信号がオフにされたと判定したら（Ｙｅｓ）、処理をステップＳ１１２に進める。
【００６４】
制御部９は、ステップＳ１１２において、荒加工電流Ｉ５を抑制する方向の電圧を第２の経路Ａ２に印加するように、第２の電源部８を制御する。具体的には、制御部９は、図３の波形３５で示すように、第１の制御信号９ａをオン、つまりハイレベルにする。
【００６５】
制御部９は、ステップＳ１１４において、予め定められた時間が経過したか否かを判定する。制御部９は、予め定められた時間が経過していないと判定したら（Ｎｏ）、ステップＳ１１４で待機する。制御部９は、予め定められた時間が経過したと判定したら（Ｙｅｓ）、処理をステップＳ１１６に進める。
【００６６】
予め定められた時間は、タイミングｔ３からタイミングｔ４までの時間、つまり極間電流Ｉが減少に転じてから極間電流Ｉが０になるまでの時間である。
【００６７】
制御部９は、ステップＳ１１６において、第２の経路Ａ２への電圧の出力を終了するように第２の電源部８を制御し、処理を終了する。
【００６８】
図９は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図である。制御部９は、極間４に流れる荒加工電流Ｉ５を抑制する方向の電圧Ｖ５を第２の経路Ａ２に印加するように、第２の電源部８を制御する。電圧Ｖ５により、電流Ｉ７が第２の経路Ａ２に流れる。ここで、電流Ｉ７の方向は、荒加工電流Ｉ５の方向と逆の方向である。従って、放電加工電源装置１は、極間４に流れる極間電流ＩをＩ＝Ｉ５−Ｉ７に抑制することができる。
【００６９】
図１０は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の極間電流の波形を示す図である。放電加工電源装置１は、タイミングｔ０からタイミングｔ２までの間は、第１の電源部５から浮遊容量７に流入する電流Ｉ３を抑制する方向の電圧Ｖ２を第２の経路Ａ２に印加する。これにより、浮遊容量７には電荷が蓄電されない。
【００７０】
従って、放電加工電源装置１は、極間電圧Ｖの立ち上がりを早くすることができる。これにより、放電加工電源装置１は、第２の電源部８及びトランス６が備えられていない場合の波形４３と比較して、タイミングｔ１からタイミングｔ２までの間の極間電流Ｉのピークを低く抑えることができるとともに、タイミングｔ１からタイミングｔ２までの極間電流Ｉが流れる時間を短くすることができる。
【００７１】
放電加工電源装置１は、極間電圧Ｖの立ち上がりを早くすることで、次の効果を得ることができる。放電加工電源装置１は、極間電圧Ｖが電圧Ｖ１に達している時間を長くすることで、極間４での放電を発生し易くし、極間４での放電が発生する確率を高めることができる。これにより、放電加工電源装置１は、単位時間当たりの加工除去量を増加することができるので、荒加工速度を向上することができる。
【００７２】
また、放電加工電源装置１は、タイミングｔ２からタイミングｔ３までの間、つまり荒加工電流Ｉ５が増加する期間では、第３の電源部１０が極間４に流す荒加工電流Ｉ５を増加する方向の電圧Ｖ４を第２の経路Ａ２に印加する。
【００７３】
従って、放電加工電源装置１は、第２の電源部８及びトランス６が備えられていない場合の波形４３と比較して、タイミングｔ２からタイミングｔ３までの間の極間電流Ｉのピークを高くすることができるとともに、タイミングｔ２からタイミングｔ３までの時間を短くすることができる。
【００７４】
また、放電加工電源装置１は、タイミングｔ３からタイミングｔ４までの間、つまり荒加工電流Ｉ５が減少する期間では、は、荒加工電流Ｉ５を抑制する方向の電圧Ｖ５を第２の経路Ａ２に印加する。従って、放電加工電源装置１は、第２の電源部８及びトランス６が備えられていない場合の極間電流の波形４３と比較して、タイミングｔ３からタイミングｔ４までの極間電流Ｉが減少する時間を短くすることができる。
【００７５】
これにより、放電加工電源装置１は、荒加工で要請される、短い時間幅及び高いピーク値を有する極間電流Ｉを極間４に流すことができる。これにより、放電加工電源装置１は、好適な荒加工を実現することができる。
【００７６】
更に、放電加工電源装置１は、第２の電源部８及びトランス６から第２の経路Ａ２に電流を供給することで、第１の電源部５による放電から第３の電源部１０による荒加工電流Ｉ５の供給までの間に極間４に電流を供給することができ、エネルギー効率の向上を図ることができる。
【００７７】
次に、第２の放電電圧印加パターンを採用する場合の放電加工電源装置１の動作について説明する。
【００７８】
図１１は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図である。図１１に示すように、まず、タイミングｔ０において、第１の電源部５が、被加工物３を正極側にして電極２を負極側にする第２の放電電圧印加パターンで、第１の経路Ａ１に電圧Ｖ１１を印加する。
【００７９】
制御部９は、ステップＳ１００において、極間４に電圧が印加されたことが電圧センサ１１により検出されたか否かを判定する。制御部９は、極間４に電圧が印加されたことが電圧センサ１１により検出されていないと判定したら（Ｎｏ）、ステップＳ１００で待機し、極間４に電圧が印加されたことが電圧センサ１１により検出されたと判定したら（Ｙｅｓ）、処理をステップＳ１０２に進める。
【００８０】
制御部９は、ステップＳ１０２において、第１の電源部５から浮遊容量７に流入する電流を抑制する方向の電圧を第２の経路Ａ２に印加するように、第２の電源部８を制御する。
【００８１】
図１２は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図である。第１の電源部５が、第２の放電電圧印加パターンで第１の経路Ａ１に電圧Ｖ１１を印加すると、第１の経路Ａ１に電流Ｉ１１が流れる。また、極間４に電流Ｉ１２が流入し、電流Ｉ１２による電荷が極間４の容量に蓄電され、極間４の電圧が上昇する。また、第２の経路Ａ２に電流Ｉ１３が流入する。ここで、Ｉ１１＝Ｉ１２＋Ｉ１３である。
【００８２】
そこで、制御部９は、第１の電源部５から浮遊容量７に流入する電流Ｉ１３を抑制する方向の電圧Ｖ１２を第２の経路Ａ２に印加するように、第２の電源部８を制御する。電圧Ｖ１２により、電流Ｉ１４が第２の経路Ａ２に流れる。ここで、電流Ｉ１４の方向は、電流Ｉ１３の方向と逆の方向である。
【００８３】
これにより、第２の経路Ａ２を流れる電流Ｉ０はＩ０＝Ｉ１３−Ｉ１４となる。従って、放電加工電源装置１は、浮遊容量７に流入する電流Ｉ０を抑制することができる。
【００８４】
電流Ｉ１４の大きさは電流Ｉ１３の大きさに近いことが好適であり、電流Ｉ１４の大きさは電流Ｉ１３の大きさと同じであることが更に好適である。このようにすれば、第２の経路Ａ２を流れる電流Ｉ０は、Ｉ０＝Ｉ１３−Ｉ１４＝０となり、放電加工電源装置１は、浮遊容量７に流入する電流Ｉ０を更に好適に抑制することができる。これにより、放電加工電源装置１は、極間４に流れる電流Ｉ１２をＩ１２＝Ｉ１１とすることができ、電流Ｉ１２を大きくすることができる。
【００８５】
以降の放電加工電源装置１の動作は、先に説明した第１の放電電圧印加パターン採用時と同じである。
【００８６】
放電加工電源装置１は、第２の放電電圧印加パターンを採用した場合であっても、第１の放電電圧印加パターン採用時と同様の効果を奏する。
【００８７】
実施の形態２．
図１３は、実施の形態２にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図である。なお、実施の形態１と同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を省く。
【００８８】
放電加工電源装置１Ａは、被加工物３との間で電流を流す電極２と、被加工物３と電極２とで構成される極間４に接続された第１の経路Ａ１に電圧を印加する第１の電源部５と、極間４に接続された第２の経路Ａ２上に配置されたトランス６と、第１の電源部５から第２の経路Ａ２の浮遊容量７に流入する電流を抑制する方向の電圧を、トランス６を介して第２の経路Ａ２に印加する第２の電源部８と、第２の電源部８を制御する制御部９と、を備える。
【００８９】
実施の形態２では、放電加工電源装置１Ａは、仕上げ加工を行う。従って、第２の経路Ａ２に接続される接続物１２は、第３の電源部１０であっても良いし、他の物であっても良い。他の物は、極間４の状態を検出するための各種基板又は放電加工機の筐体が例示される。
【００９０】
第１の電源部５が極間４に電圧を印加する際、電極２を正極側にして被加工物３を負極側にする第１の放電電圧印加パターンと、被加工物３を正極側にして電極２を負極側にする第２の放電電圧印加パターンと、がある。第１の放電電圧印加パターンと第２の放電電圧印加パターンとのどちらを採用するかは、条件により決定される。条件は、放電加工機の種類又は構成が例示される。
【００９１】
第１の放電電圧印加パターンを採用する場合の放電加工電源装置１Ａの動作について説明する。図１３に示すように、まず、タイミングｔ１０において、第１の電源部５が、電極２を正極側にして被加工物３を負極側にする第１の放電電圧印加パターンで、第１の経路Ａ１に電圧Ｖ２１を印加する。
【００９２】
図１４は、実施の形態２にかかる放電加工電源装置の各部の波形を示す図である。タイミングｔ１０において、第１の電源部５が、電極２を正極側にして被加工物３を負極側にする第１の放電電圧印加パターンで、第１の経路Ａ１に電圧Ｖ２１を印加すると、図１４の波形５１で示すように、極間４の極間電圧Ｖが立ち上がる。
【００９３】
図１５は、実施の形態２にかかる放電加工電源装置の制御部の処理を示すフローチャートである。
【００９４】
制御部９は、ステップＳ１００において、極間４に電圧が印加されたことが電圧センサ１１により検出されたか否かを判定する。制御部９は、極間４に電圧が印加されたことが電圧センサ１１により検出されていないと判定したら（Ｎｏ）、ステップＳ１００で待機し、極間４に電圧が印加されたことが電圧センサ１１により検出されたと判定したら（Ｙｅｓ）、処理をステップＳ１０２に進める。
【００９５】
制御部９は、ステップＳ１０２において、第１の電源部５から浮遊容量７に流入する電流を抑制する方向の電圧を第２の経路Ａ２に印加するように、第２の電源部８を制御する。具体的には、制御部９は、第１の制御信号９ａをオン、つまりハイレベルにする。
【００９６】
図１６は、実施の形態２にかかる放電加工電源装置の動作を説明する図である。第１の電源部５が、第１の放電電圧印加パターンで第１の経路Ａ１に電圧Ｖ２１を印加すると、第１の経路Ａ１に電流Ｉ２１が流れる。また、極間４に電流Ｉ２２が流入し、電流Ｉ２２による電荷が極間４の容量に蓄電され、極間４の極間電圧Ｖが上昇する。また、第２の経路Ａ２に電流Ｉ２３が流入する。ここで、Ｉ２１＝Ｉ２２＋Ｉ２３である。
【００９７】
そこで、制御部９は、第１の電源部５から浮遊容量７に流入する電流Ｉ２３を抑制する方向の電圧Ｖ２２を第２の経路Ａ２に印加するように、第２の電源部８を制御する。電圧Ｖ２２により、電流Ｉ２４が第２の経路Ａ２に流れる。ここで、電流Ｉ２４の方向は、電流Ｉ２３の方向と逆の方向である。
【００９８】
これにより、第２の経路Ａ２を流れる電流Ｉ０はＩ０＝Ｉ２３−Ｉ２４となる。従って、放電加工電源装置１Ａは、浮遊容量７に流入する電流Ｉ０を抑制することができる。
【００９９】
電流Ｉ２４の大きさと電流Ｉ２３の大きさとの差は小さいことが好適であり、電流Ｉ２４の大きさは電流Ｉ２３の大きさと同じであることが更に好適である。このようにすれば、第２の経路Ａ２を流れる電流Ｉ０は、Ｉ０＝Ｉ２３−Ｉ２４＝０となり、放電加工電源装置１Ａは、浮遊容量７に流入する電流Ｉ０を更に好適に抑制することができる。これにより、放電加工電源装置１Ａは、極間４に流入する電流Ｉ２２をＩ２２＝Ｉ２１とすることができ、電流Ｉ２２を大きくすることができる。
【０１００】
このように、放電加工電源装置１Ａは、浮遊容量７に流入する電流Ｉ０を抑制することにより、あたかも浮遊容量７が削減されたようにすることができる。極間４の容量をＣＡとし、浮遊容量７の容量をＣＢとすると、極間４及び浮遊容量７に蓄電される電荷Ｑは、コンデンサの基本式により、Ｑ＝（ＣＡ＋ＣＢ）×Ｖとなる。
【０１０１】
放電加工電源装置１Ａは、浮遊容量７に流入する電流Ｉ０を抑制することにより、あたかも浮遊容量７が削減されたようにすることで、極間４に蓄電される電荷Ｑ’をＱ’＝ＣＡ×Ｖとすることができる。つまり、放電加工電源装置１Ａは、浮遊容量７の容量ＣＢの分だけ容量を減少させて、極間電圧Ｖを増加させるための電荷量Ｑ’を小さくすることができる。
【０１０２】
実施の形態２では、第１の電源部５は、ＲＣ放電回路である。ＲＣ放電回路において、ＲＣ放電回路が有する抵抗値をＲとすると、極間電圧Ｖの立ち上がり時間は時定数τ＝Ｒ×（ＣＡ＋ＣＢ）で決定される。
【０１０３】
放電加工電源装置１Ａは、電流Ｉ０を抑制することにより、あたかも浮遊容量７が削減されたようにすることで、極間電圧Ｖの立ち上がり時間の時定数τ’をτ’＝Ｒ×ＣＡとすることができる。つまり、放電加工電源装置１Ａは、浮遊容量７の容量Ｃ７の分だけ容量を減少させて、極間電圧Ｖの立ち上がり時間の時定数τ’を小さくすることができる。
【０１０４】
従って、放電加工電源装置１Ａは、極間電圧Ｖの立ち上がりを、第２の電源部８及びトランス６が備えられていない場合の極間電圧よりも早くすることができる。
【０１０５】
放電加工電源装置１Ａは、極間電圧Ｖの立ち上がりを早くすることで、次の効果を得ることができる。第１に、放電加工電源装置１Ａは、仕上げ加工に要する時間を短くすることができる。第２に、放電加工電源装置１Ａは、極間電圧Ｖが電圧Ｖ２１になっている時間を長くすることで、極間４での放電を発生し易くし、極間４での放電が不発になることを抑制することができる。
【０１０６】
放電加工電源装置１Ａの動作の説明に戻る。タイミングｔ１１において、第１の電源部５によって極間４に放電が発生すると、図１４の波形５２で示すように、極間４に極間電流Ｉつまり仕上げ加工電流が流れ、図１４の波形５１で示すように、極間電圧Ｖは低下する。
【０１０７】
このとき、極間４には電荷が蓄電されているが、浮遊容量７には電荷が蓄電されていないので、極間電流Ｉが流れる時間は、短くなる。
【０１０８】
再び図１５を参照すると、制御部９は、ステップＳ１０４において、極間４で放電が発生したことが電圧センサ１１により検出されたか否かを判定する。つまり、制御部９は、極間電圧Ｖが低下したことが電圧センサ１１により検出されたか否かを判定する。制御部９は、極間４で放電が発生したことが電圧センサ１１により検出されていないと判定したら（Ｎｏ）、ステップＳ１０４で待機し、極間４で放電が発生したことが電圧センサ１１により検出されたと判定したら（Ｙｅｓ）、処理をステップＳ１０５に進める。
【０１０９】
制御部９は、ステップＳ１０５において、電圧の印加を終了するように、第２の電源部８を制御する。具体的には、制御部９は、第１の制御信号９ａをオフ、つまりローレベルにする。そして、制御部９は、処理を終了する。
【０１１０】
これにより、第２の電源部８は、極間４で放電が発生した際に、電流Ｉ２４を極間電流Ｉつまり仕上げ加工電流に重畳させないことができる。
【０１１１】
放電加工電源装置１Ａは、タイミングｔ１０からタイミングｔ１１までの間は、第１の電源部５から浮遊容量７に流入する電流Ｉ２３を抑制する方向の電圧Ｖ２２を第２の経路Ａ２に印加する。これにより、浮遊容量７には電荷が蓄電されない。
【０１１２】
従って、放電加工電源装置１Ａは、極間電圧Ｖの立ち上がりを早くすることができる。これにより、放電加工電源装置１Ａは、第２の電源部８及びトランス６が備えられていない場合と比較して、タイミングｔ１１からタイミングｔ１２までの間の極間電流Ｉのピークを低く抑えることができるとともに、タイミングｔ１１からタイミングｔ１２までの極間電流Ｉが流れる時間を短くすることができる。
【０１１３】
放電加工電源装置１Ａは、極間電流Ｉのピークを低く抑えるとともに極間電流Ｉが流れる時間を短くすることで、放電１回当たりのエネルギー量を減少することができる。これにより、放電加工電源装置１Ａは、仕上げ加工後の被加工面の面粗さを細かくすることができる。
【０１１４】
放電加工電源装置１Ａは、極間電圧Ｖの立ち上がりを早くすることで、次の効果を得ることができる。放電加工電源装置１Ａは、極間電圧Ｖが電圧Ｖ２１に達している時間を長くすることで、極間４での放電を発生し易くし、極間４での放電が発生する確率を高めることができる。これにより、放電加工電源装置１Ａは、単位時間当たりの加工除去量を増加することができるので、仕上げ加工速度を向上することができる。
【０１１５】
放電加工電源装置１Ａが第２の放電電圧印加パターンを採用する場合も、制御部９は、第１の電源部５から浮遊容量７に流入する電流を抑制する方向の電圧を第２の経路Ａ２に印加するように、第２の電源部８を制御すれば良い。
【０１１６】
実施の形態３．
図１７は、実施の形態３にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図である。なお、実施の形態１及び実施の形態２と同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を省く。
【０１１７】
実施の形態３にかかる放電加工電源装置１Ｂは、実施の形態１にかかる放電加工電源装置１のトランス６に代えて、トロイダルトランス２１を備える。
【０１１８】
トロイダルトランス２１は、トロイダルコア２１ａを備える。トロイダルコア２１ａには、巻線２１ｂが巻き回されている。巻線２１ｂは、第２の電源部８に接続されている。ケーブルＣ３は、トロイダルコア２１ａの開口部２１ｃに通されている。
【０１１９】
放電加工電源装置１Ｂの動作は、実施の形態１にかかる放電加工電源装置１と同様であるので、説明を省く。
【０１２０】
放電加工電源装置１Ｂは、トランス６に代えて、トロイダルトランス２１を備える。トロイダルトランス２１は、取り付けの自由度が高い。従って、放電加工電源装置１Ｂは、実装が容易になるという効果を奏する。
【０１２１】
図１８は、実施の形態３にかかる放電加工電源装置の実装を示す図である。電極２は、加工槽２２内に配置された下部ブロック２３ａと上部ブロック２３ｂとの間に張られている。また、被加工物３も、加工槽２２内に配置されている。加工槽２２内には、絶縁性の高い液体が貯められる。絶縁性の高い液体は、脱イオン水又は油が例示される。トロイダルコア２１は、加工槽２２内の下部ブロック２３ａに近い場所に配置されている。
【０１２２】
極間４から離れている場所の浮遊容量７は、メカニカルなスイッチで回路から切り離すことができる。しかし、極間４に近い場所の浮遊容量７は、メカニカルなスイッチで回路から切り離すことが困難である。また、トランス６を極間に近い場所に配置することは困難である。
【０１２３】
放電加工電源装置１Ｂによれば、トロイダルトランス２１を加工槽２２内部の極間４に近い場所に配置することが可能となる。これにより、放電加工電源装置１Ｂは、液体中の誘電率の高い場所の浮遊容量７の影響を抑制することができる。
【０１２４】
実施の形態４．
図１９は、実施の形態４にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図である。なお、実施の形態１から実施の形態３までと同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を省く。
【０１２５】
実施の形態４にかかる放電加工電源装置１Ｃは、実施の形態２にかかる放電加工電源装置１Ａと同様に、仕上げ加工を行う。
【０１２６】
放電加工電源装置１Ｃは、実施の形態２にかかる放電加工電源装置１Ａの第１の電源部５、第２の電源部８及び制御部９に代えて、第４の電源部３１及び第２のトランス３２を備える。
【０１２７】
第４の電源部３１は、第２のトランス３２の１次巻線３２ａに接続されている。第２のトランス３２の２次巻線３２ｂは、ケーブルＣ１及びＣ２に接続されている。第２のトランス３２の３次巻線３２ｃは、トランス６の１次巻線６ａに接続されている。
【０１２８】
第４の電源部３１が第２のトランス３２の１次巻線３２ａに電圧を出力すると、２次巻線３２ｂに電圧が誘起されて、第１の経路Ａ１に電圧Ｖ２１が印加されるとともに、３次巻線３２ｃに電圧が誘起されて、第２の経路Ａ２に電圧Ｖ２２が印加される。
【０１２９】
つまり、第４の電源部３１、第２のトランス３２の１次巻線３２ａ及び２次巻線３２ｂが、実施の形態２にかかる放電加工電源装置１Ａの第１の電源部５に対応する。また、第４の電源部３１、第２のトランス３２の１次巻線３２ａ及び３次巻線３２ｃが、実施の形態２にかかる放電加工電源装置１Ａの第２の電源部８に対応する。
【０１３０】
従って、放電加工電源装置１Ｃは、実施の形態２にかかる放電加工電源装置１Ａと同様の効果を奏する。
【０１３１】
放電加工電源装置１Ｃは、部品点数を削減することができ、コストを低減することができ、占有スペースを低減することができる。
【０１３２】
実施の形態５．
図２０は、実施の形態５にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図である。なお、実施の形態１から実施の形態４までと同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を省く。
【０１３３】
実施の形態５にかかる放電加工電源装置１Ｄは、実施の形態１にかかる放電加工電源装置１と同様に、荒加工を行う。
【０１３４】
放電加工電源装置１Ｄは、実施の形態４にかかる放電加工電源装置１Ｃの構成に加えて、第２のトランス３２の３次巻線３２ｃとトランス６の１次巻線６ａとの間に、第２の制御部４１を更に備えている。
【０１３５】
第２の制御部４１の処理は、図４のフローチャートで示した実施の形態１にかかる放電加工電源装置１の制御部９の処理と同様であるので、説明を省く。
【０１３６】
放電加工電源装置１Ｄは、実施の形態１にかかる放電加工電源装置１と同様の効果を奏する。
【０１３７】
放電加工電源装置１Ｄは、部品点数を削減することができ、コストを低減することができ、占有スペースを低減することができる。
【０１３８】
実施の形態６．
図２１は、実施の形態６にかかる放電加工電源装置の回路構成を示す図である。なお、実施の形態１から実施の形態５までと同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を省く。
【０１３９】
実施の形態６にかかる放電加工電源装置１Ｅは、実施の形態４にかかる放電加工電源装置１Ｃのトランス６に代えてトロイダルトランス２１を備え、第２のトランス３２に代えて第２のトロイダルトランス３３を備える。トロイダルトランス２１は、トロイダルコア２１ａを備え、第２のトロイダルトランス３３は、第２のトロイダルコア３３ａを備える。
【０１４０】
第４の電源部３１は、第２のトロイダルトランス３３の１次巻線３３ｂに接続されている。第２のトロイダルトランス３３の２次巻線３３ｃは、ケーブルＣ１及びＣ２に接続されている。第２のトロイダルトランス３３の３次巻線３３ｄは、トロイダルトランス２１の１次巻線２１ｂに接続されている。
【０１４１】
第４の電源部３１が第２のトロイダルトランス３３の１次巻線３３ｂに電圧を出力すると、２次巻線３３ｃに電圧が誘起されて、第１の経路Ａ１に電圧Ｖ２１が印加されるとともに、３次巻線３３ｄに電圧が誘起されて、第２の経路Ａ２に電圧Ｖ２２が印加される。
【０１４２】
従って、放電加工電源装置１Ｅは、実施の形態４にかかる放電加工電源装置１Ｃと同様の効果を奏する。
【０１４３】
放電加工電源装置１Ｅは、部品点数を削減することができ、コストを低減することができ、占有スペースを低減することができる。
【０１４４】
放電加工電源装置１Ｅは、トランス６に代えてトロイダルトランス２１を備え、第２のトランス３２に代えて第２のトロイダルトランス３３を備える。トロイダルトランス２１及び第２のトロイダルトランス３３は、取り付けの自由度が高い。従って、放電加工電源装置１Ｅは、実装が容易になるという効果を奏する。
【０１４５】
放電加工電源装置１Ｅによれば、トロイダルトランス２１及び第２のトロイダルトランス３３を加工槽２２内部の極間４に近い場所に配置することが可能となる。これにより、放電加工電源装置１Ｅは、液体中の誘電率の高い場所の浮遊容量７の影響を抑制することができる。
【０１４６】
なお、放電加工電源装置１Ｅは、第２のトロイダルトランス３３の３次巻線３３ｄとトロイダルトランス２１の巻線２１ｂとの間に、実施の形態５で説明した第２の制御部４１を更に備えても良い。このようにすれば、放電加工電源装置１Ｅは、実施の形態５と同様に、荒加工を行うことができる。
【０１４７】
以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
【符号の説明】
【０１４８】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ  放電加工電源装置、２  電極、３  被加工物、４  極間、５  第１の電源部、６  トランス、７  浮遊容量、８  第２の電源部、９  制御部、１０  第３の電源部、２１  トロイダルトランス、３１  第４の電源部、３２  第２のトランス、３３  第２のトロイダルトランス、４１  第２の制御部。
【要約】
放電加工電源装置は、被加工物との間に電流を流す電極と、被加工物と電極とで構成される極間に接続された第１の経路に電圧を印加する第１の電源部と、極間に接続された第２の経路に配置されたトランスと、第１の電源部から第２の経路の浮遊容量に流入する電流を抑制する方向の電圧を、トランスを介して第２の経路に印加する第２の電源部と、を備える。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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