(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流動する圧力室を備え、前記圧力室の壁面の少なくとも一部が圧電体で形成された流路部材と、前記流路部材の変形によって加圧された前記圧力室内の前記液体を吐出する吐出口を備えるノズルプレートと、前記液体を前記圧力室に供給する絞り開口を備える絞り板と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記流路部材は、前記圧力室と独立して設けられ前記壁面を介して前記圧力室に隣接して形成される、第１の温度制御用液体が流動する第１の温度制御用液体流路を有し、
前記第１の温度制御用液体流路は前記第１の温度制御用液体を循環するための第１の循環用液体流路と連通し、
前記絞り板は、前記第１の温度制御用液体流路の出口側と前記第１の循環用液体流路とを接続する第１の出口側流路、または前記第１の循環用液体流路と前記第１の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第１の入口側流路を有している、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
液体が流動する圧力室を備え、前記圧力室の壁面の少なくとも一部が圧電体で形成された流路部材と、前記流路部材の変形によって加圧された前記圧力室内の前記液体を吐出する吐出口を備えるノズルプレートと、前記液体を前記圧力室に供給する絞り開口を備える絞り板と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記流路部材は、前記圧力室と独立して設けられ前記壁面を介して前記圧力室に隣接して形成される、第１の温度制御用液体が流動する第１の温度制御用液体流路を有し、
前記第１の温度制御用液体流路は前記第１の温度制御用液体を循環するための第１の循環用液体流路と連通し、
前記ノズルプレートは、前記第１の温度制御用液体流路の出口側と前記第１の循環用液体流路とを接続する第１の出口側流路、または前記第１の循環用液体流路と前記第１の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第１の入口側流路を有している、液体吐出ヘッド。
【請求項３】
液体が流動する圧力室を備え、前記圧力室の壁面の少なくとも一部が圧電体で形成された流路部材と、前記流路部材の変形によって加圧された前記圧力室内の前記液体を吐出する吐出口と、前記液体を前記圧力室に供給する絞り開口と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記流路部材は、前記圧力室と独立して設けられ前記壁面を介して前記圧力室に隣接して形成される、第１の温度制御用液体が流動する第１の温度制御用液体流路を有し、
前記第１の温度制御用液体流路は前記第１の温度制御用液体を循環するための第１の循環用液体流路と連通し、
被記録媒体搬送方向と直交する方向に配列した複数の前記吐出口を有し、前記流路部材は前記複数の吐出口に対応した複数の前記圧力室を有し、前記第１の温度制御用液体流路と前記圧力室が、前記流路部材に、前記被記録媒体搬送方向と直交する方向に交互に設けられている、液体吐出ヘッド。
【請求項４】
液体が流動する圧力室を備え、前記圧力室の壁面の少なくとも一部が圧電体で形成された流路部材と、前記流路部材の変形によって加圧された前記圧力室内の前記液体を吐出する吐出口を備えるノズルプレートと、前記液体を前記圧力室に供給する絞り開口を備える絞り板と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記流路部材は、前記圧力室と独立して設けられ前記壁面を介して前記圧力室に隣接して形成される、第１の温度制御用液体が流動する第１の温度制御用液体流路を有し、
前記第１の温度制御用液体流路は前記第１の温度制御用液体を循環するための第１の循環用液体流路と連通し、
前記ノズルプレートは、２次元状に配列した複数の前記吐出口を有し、前記流路部材は前記複数の吐出口に対応した複数の前記圧力室を有し、前記ノズルプレートの前記流路部材に面する面には、前記吐出口と前記圧力室とを結ぶ流路を各々が備え前記流路部材に向かって突き出した複数の突起部が２次元状に設けられ、前記第１の温度制御用液体流路は、前記複数の突起部の周囲を延び互いに交差する複数の溝として形成されている、液体吐出ヘッド。
【請求項５】
液体が流動する圧力室を備え、前記圧力室の壁面の少なくとも一部が圧電体で形成された流路部材と、前記流路部材の変形によって加圧された前記圧力室内の前記液体を吐出する吐出口を備えるノズルプレートと、前記液体を前記圧力室に供給する絞り開口を備える絞り板と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記流路部材は、前記圧力室と独立して設けられ前記壁面を介して前記圧力室に隣接して形成される、第１の温度制御用液体が流動する第１の温度制御用液体流路を有し、
前記第１の温度制御用液体流路は前記第１の温度制御用液体を循環するための第１の循環用液体流路と連通し、
前記圧力室および前記第１の温度制御用液体流路と独立して前記流路部材に設けられ、前記圧力室と前記圧電体を介して隣接する第２の温度制御用液体が流動する第２の温度制御用液体流路と、前記第２の温度制御用液体流路と連通する第２の循環用液体流路と、を有している、液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第２の温度制御用液体の温度を制御する第２の温度制御手段を有している、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記絞り板は、前記第１の温度制御用液体流路の出口側と前記第１の循環用液体流路とを接続する第１の出口側流路、前記第１の循環用液体流路と前記第１の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第１の入口側流路、前記第２の温度制御用液体流路の出口側と前記第２の循環用液体流路とを接続する第２の出口側流路、または前記第２の循環用液体流路と前記第２の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第２の入口側流路を有している、請求項５または６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記ノズルプレートは、前記第１の温度制御用液体流路の出口側と前記第１の循環用液体流路とを接続する第１の出口側流路、前記第１の循環用液体流路と前記第１の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第１の入口側流路、前記第２の温度制御用液体流路の出口側と前記第２の循環用液体流路とを接続する第２の出口側流路、または前記第２の循環用液体流路と前記第２の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第２の入口側流路を有している、請求項５または６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記流路部材は、前記第１の温度制御用液体流路の出口側と前記第１の循環用液体流路とを接続する第１の出口側流路、前記第１の循環用液体流路と前記第１の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第１の入口側流路、前記第２の温度制御用液体流路の出口側と前記第２の循環用液体流路とを接続する第２の出口側流路、または前記第２の循環用液体流路と前記第２の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第１の入口側流路を有している、請求項５または６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記ノズルプレートと前記流路部材との間に第１のノズルプレート側中間プレートを、前記第１のノズルプレート側中間プレートと前記流路部材との間に第２のノズルプレート側中間プレートを有し、前記第１および第２のノズルプレート側中間プレートはそれぞれ、前記第１の温度制御用液体流路の出口側と前記第１の循環用液体流路とを接続する第１の出口側流路、前記第１の循環用液体流路と前記第１の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第１の入口側流路、前記第２の温度制御用液体流路の出口側と前記第２の循環用液体流路とを接続する第２の出口側流路、または前記第２の循環用液体流路と前記第１の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第２の入口側流路のいずれかを備え、前記第１のノズルプレート側中間プレートはさらに、前記吐出口および前記圧力室と連通し前記吐出口よりも流路断面積の広い拡幅部を有している、請求項５または６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記絞り板と前記流路部材との間に絞り板側中間プレートを有し、前記絞り板側中間プレートは、前記第１の温度制御用液体流路の出口側と前記第１の循環用液体流路とを接続する第１の出口側流路、前記第１の循環用液体流路と前記第１の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第１の入口側流路、前記第２の温度制御用液体流路の出口側と前記第２の循環用液体流路とを接続する第２の出口側流路、または前記第２の循環用液体流路と前記第２の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第２の入口側流路を有している、請求項５または６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記ノズルプレートには、被記録媒体搬送方向と直交する方向に配列した複数の前記吐出口からなる吐出口列が、前記被記録媒体搬送方向に互いに間隔をおきかつ前記直交する方向に互いにずらされて複数列設けられ、前記流路部材は前記複数の吐出口に対応した複数の前記圧力室を有し、前記流路部材には、前記被記録媒体搬送方向と直交する方向に前記圧力室と前記第１の温度制御用液体流路とが交互に設けられた前記吐出口列と、前記被記録媒体搬送方向と直交する方向に前記第２の温度制御用液体流路が一列に配列した前記吐出口列とが、前記圧力室の前記被記録媒体搬送方向に交互に設けられている、請求項５から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
液体が流動する圧力室を備え、前記圧力室の壁面の少なくとも一部が圧電体で形成された流路部材と、前記流路部材の変形によって加圧された前記圧力室内の前記液体を吐出する吐出口と、前記液体を前記圧力室に供給する絞り開口と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記流路部材は、前記圧力室と独立して設けられ前記壁面を介して前記圧力室に隣接して形成される、第１の温度制御用液体が流動する第１の温度制御用液体流路を有し、
前記第１の温度制御用液体流路は前記第１の温度制御用液体を循環するための第１の循環用液体流路と連通し、
前記流路部材は、複数の前記圧力室が設けられた第１の圧電基板と、複数の前記第１の温度制御用液体流路が設けられた第２の圧電基板と、が交互に積層してなり、
前記第２の圧電基板は、前記吐出口側で前記複数の第１の温度制御用液体流路と接続し、前記第１の循環用液体流路と連通する第１の接続流路と、前記絞り開口側で前記複数の第１の温度制御用液体流路と接続し、前記第１の循環用液体流路と連通する第２の接続流路と、を有する、液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記第１の温度制御用液体の温度を制御する第１の温度制御手段を有している、請求項１から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記絞り開口は複数の前記圧力室に対応して複数設けられ、
前記液体が流動し、前記各絞り開口を介して前記各圧力室と連通する共通液室を有している、請求項１から１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
請求項１から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを有する液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子により液体を吐出する液体吐出ヘッドの温度制御をするための構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置に代表される液体吐出装置に搭載される液体吐出ヘッドについては種々の提案がなされている。その中でも、圧電素子を液体吐出エネルギーの発生源とする液体吐出ヘッドは、吐出させる液体（インク）の種類を選ばないというメリットを有している。
【０００３】
近年、インクジェット記録装置をＰＯＤ（Ｐｒｉｎｔ Ｏｎ Ｄｅｍａｎｄ）などの商業印刷に用いる試みがなされており、印刷速度の高速化が求められている。そのためには液体吐出ヘッドの駆動周波数の向上が要求される。
【０００４】
一方、液体吐出ヘッドから吐出されるインクに含まれている水分による被記録媒体の変形（カールやコックリングなど）を低減するために、水分量を減らした高粘度インクの使用が検討されている。
【０００５】
図１７に、従来の液体吐出ヘッドの一例を示す。同図（ａ）は、液体吐出ヘッドの側面図、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ線に沿った液体吐出ヘッドの断面図、同図（ｃ）は、同図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った液体吐出ヘッドの断面図である。図１７（ｂ）に示すように、流路部材１３に複数の溝が所定の間隔で略平行に配列されている。各溝の長手方向一端と上部は開放されており、それぞれがノズルプレート８と、流路部材１３の一部をなすカバープレート１９と、によって封鎖されている。各々の溝は圧力室１４として用いられる。ノズルプレート８には各圧力室１４に連通する吐出口１１が形成されており、吐出口１１から液体が吐出される。溝の長手方向の、吐出口１１とは反対側の端部には、圧力室１４と連通する絞り開口２６が形成された絞り板２５が設けられ、絞り開口２６を介して圧力室１４と共通液室２８とが連通し、液体が共通液室２８から各圧力室１４へ供給される。
【０００６】
このような構成は吐出効率が高く、大きな吐出圧力を発生できるため、高粘度の液体を高周波数で吐出するのに適している。その反面、圧電素子を使用した液体吐出ヘッドは、一般に、圧電素子に印加する駆動電圧および周波数に依存する誘電損失が発生し、温度上昇を引き起こす。圧電素子の発熱は、圧電素子の電気特性の低下やインク特性の劣化を招くおそれがある。
【０００７】
常温では吐出できない高粘度の液体を吐出する場合に、液体の温度を高めることにより粘度を下げて吐出させる技術が知られている。しかし、液体の粘度や表面張力は温度に依存するため、温度調節を正確に行うことができないと、吐出量や吐出速度などの吐出性能が変わってしまい、画質に大きな影響を与える。
【０００８】
インク温度を調節することを目的とする技術が特許文献１に開示されている。特許文献１に開示されている技術では、流路部材に所定の間隔で略平行に配列された複数の溝を、配列方向に沿って交互に圧力室およびエア流路として用いている。このエア流路内に温度調整されたエアを送り込むことでインク温度の調節が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−１８１８１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
誘電損失による発熱量は、印加電圧の二乗に比例して大きくなり、周波数に比例して大きくなる。高粘度の液体を吐出する場合、低粘度の液体を吐出する場合に比べて大きな電圧を圧電素子に印加する必要があり、さらに高周波数での液滴吐出を行うと、圧電素子の発熱が過大になり、電気特性の低下を招くおそれがある。
【００１１】
特許文献１に開示された技術では、温度調整されたエアをエア流路に送り出しているが、高粘度の液体を高周波数で吐出することによる発熱を吸熱するためには高い熱伝達率が求められるので、エアでは圧電素子を十分に冷却することは難しい。
【００１２】
インク温度の制御を行う場合にも、熱伝達率の低いエアでは十分に熱を運ぶことが難しい。これに加えて、エアは圧力などにより温度が変わりやすいために、エアによりインクの温度を正確に調節することは困難である。
【００１３】
本発明の目的は、液体が流動する圧力室を備え圧力室の壁面の少なくとも一部が圧電体で形成された流路部材を有し、流路部材と吐出される液体の温度を効果的に制御することができる液体吐出ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の一実施態様に係る液体吐出ヘッドは、液体が流動する圧力室を備え、圧力室の壁面の少なくとも一部が圧電体で形成された流路部材と、流路部材の変形によって加圧された液体を吐出する吐出口を備えるノズルプレートと、液体を圧力室に供給する絞り開口を備える絞り板と、を有している。さらに、流路部材は、圧力室と独立して設けられ壁面を介して圧力室に隣接して形成される、第１の温度制御用液体が流動する第１の温度制御用液体流路を有している。第１の温度制御用液体流路は第１の温度制御用液体を循環するための第１の循環用液体流路と連通している。絞り板は、第１の温度制御用液体流路の出口側と第１の循環用液体流路とを接続する第１の出口側流路、または第１の循環用液体流路と第１の温度制御用液体流路の入口側とを接続する第１の入口側流路を有している。
【００１５】
このように、本発明の液体吐出ヘッドでは、第１の循環用液体流路と連通する第１の温度制御用液体流路を設け、第１の温度制御用液体が第１の温度制御用液体流路を流動するため、流路部材を効率的に温度調整することができる。その結果、吐出される液体も効果的に温度調整することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、液体が流動する圧力室を備え圧力室の壁面の少なくとも一部が圧電体で形成された流路部材を有し、流路部材と吐出される液体の温度を効果的に制御することができる液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係る液体吐出装置の概略構成図である。
【図２】第１の実施形態に係る液体吐出装置の概略構成図である。
【図３】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図４】図２に示す液体吐出ヘッドの第１の循環用液体流路を示す概念図である。
【図５】図２に示す液体吐出ヘッドのポンプを示す概念図である。
【図６】図２に示す液体吐出ヘッドの他の第１の循環用液体流路を示す概念図である。
【図７】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図８】第２の実施形態に係る他の液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図９】第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図１０】第３の実施形態に係る液体吐出装置の概略構成図である。
【図１１】第３の実施形態に係る他の液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図１２】第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図１３】第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図１４】第６の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図１５】第６の実施形態に係る液体吐出装置の概略構成図である。
【図１６】図１４に示す液体吐出ヘッドの第２の圧電基板を示す概念図である。
【図１７】従来の液体吐出ヘッドの一例を示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の液体吐出ヘッドのいくつかの実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本発明は以下の実施形態によって限定されるものではない。
【００１９】
まず、図１を参照して、本発明の液体吐出ヘッドが好適に適用できる液体吐出装置１について説明する。液体吐出装置１は、搬送ローラー４によって張力を掛けられながら駆動される無端ベルトからなる搬送ベルト５を有している。被記録媒体３は搬送ベルト５上をＡで示した被記録媒体搬送方向に搬送される。
【００２０】
液体吐出装置１は、例えばイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｂｋ）の４色に対応した４つの液体吐出ヘッド２を有している。４つの液体吐出ヘッド２は、被記録媒体搬送方向Ａに、任意の順番で相前後して配置されている。各液体吐出ヘッド２はノズルプレート８（後述）を有し、ノズルプレート８には、被記録媒体３の幅（紙面直交方向）に対応した範囲に亘って、複数の吐出口１１（後述）が形成されている。被記録媒体３を搬送しながら、インクタンク６に貯蔵された各色インクをポンプ７によって各液体吐出ヘッド２に送り、各液体吐出ヘッド２の吐出口１１から吐出させることによって、被記録媒体３に高速でフルカラー記録を行うことができる。
【００２１】
図２〜７には、本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示している。図２（ａ）は、液体吐出装置の概略構成図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線に沿った液体吐出ヘッドの断面図、図２（ｃ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った液体吐出ヘッドの断面図である。図３は、液体吐出ヘッド２を構成する各部材を３次元的に示す分解斜視図である。
【００２２】
図２（ｂ）に示すように、液体吐出ヘッド２は流路部材１３を有している。流路部材１３は圧電体本体１７と、カバープレート１９と、から構成されている。流路部材１３には、各吐出口１１に連通し各吐出口１１から吐出される液体を保持する圧力室１４と、第１の温度制御用液体が流動する第１の温度制御用液体流路１５とが、被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄに交互に形成されている。圧力室１４は、複数の吐出口１１に対応して複数設けられている。第１の温度制御用液体流路１５は、圧力室１４と独立して設けられている。
【００２３】
圧力室１４および第１の温度制御用液体流路１５は、流路部材１３の圧電体本体１７に形成された溝と、流路部材１３の一部をなすカバープレート１９と、から構成されている。この結果、圧力室１４の２つの側面は圧電体からなる隔壁１８で、１つの側面は圧電体本体１７の底面で、残りの側面はカバープレート１９で形成されている。カバープレート１９を用いる代わりに、圧力室１４と第１の温度制御用液体流路１５を構成する貫通孔を圧電体に形成してもよい。すなわち、流路部材１３は、圧力室１４の壁面の少なくとも一部が圧電体で形成されていればよく、必ずしも全てが圧電体で形成されている必要はない。
【００２４】
流路部材１３の圧力室１４の隔壁１８をなす部分には、駆動電圧を供給するための電極配線（不図示）が設けられている。各々の隔壁１８に独立して駆動電圧が印加されることにより流路部材１３が変形し、流路部材１３の変形によって加圧された液体が吐出口１１から吐出される。
【００２５】
一例では、圧力室１４および第１の温度制御用液体流路１５の幅ｄ１は７０μｍ、深さｈは３００μｍ、長さＬは１０ｍｍであり、各隔壁１８の厚さｔは７０μｍである。
【００２６】
ノズルプレート８には、圧力室１４と連通し、液体を吐出する複数の吐出口１１が形成されている。
【００２７】
ノズルプレート８には、第１の温度制御用液体流路１５と第１の循環用液体流路５１とを接続する第１の出口側流路３１が溝状に形成され、第１の出口側流路３１はノズルプレート８に沿ってノズルプレート８の側面まで延びている。
【００２８】
ノズル９の流抵抗を下げて吐出しやすくするために、図２（ｃ）に示したように、吐出口１１を流路断面積の広い拡幅部１２に接続しても良い。本実施形態においては、ノズルプレート８に第１の出口側流路３１を形成するため、ノズルプレート８は第１の出口側流路３１を形成するのに十分なだけ厚くなくてはならない。吐出口１１は吐出したい液体の量に応じて設計されるので、一般に直径１０μｍ程度と細い。よって、拡幅部１２が存在せず、吐出口１１がノズルプレート８の厚さに亘って形成された構造であると、吐出口１１の流抵抗が非常に大きくなり、液体を吐出することが困難である。
【００２９】
一例では、ノズルプレート８の厚みは２００μｍである。吐出口１１は、直径１０μｍ、長さ１７μｍの円筒形状であり、拡幅部１２は、図２（ｃ）における断面寸法が５０μｍ×５０μｍの角柱形状である。また、第１の出口側流路３１は、幅１２０μｍ、高さ（ノズルプレート８の厚さ方向）１５０μｍである。吐出口１１および拡幅部１２は、テーパー形状であってもよい。
【００３０】
流路部材１３のノズルプレート８と反対側の端面には、絞り板２５が設けられている。絞り板２５は、液体を圧力室１４に供給する絞り開口２６を備えている。絞り開口２６は圧力室１４に対応して複数設けられている。絞り板２５は、第１の循環用液体流路５１と第１の温度制御用液体流路１５とを接続する第１の入口側流路２９を有している。第１の入口側流路２９は溝状に形成され、絞り板２５に沿って絞り板２５の側面まで延びている。
【００３１】
一例では、絞り板２５の厚さは２００μｍであり、圧力室１４と連通する絞り開口２６は５０μｍ×５０μｍの矩形形状である。第１の入口側流路２９は、幅１２０μｍ、高さ１５０μｍである。
【００３２】
マニホールド２７には、液体が流動し、絞り開口２６を介して各圧力室１４と連通する共通液室２８が形成されている。
【００３３】
図３を用いて、圧電体本体１７およびカバープレート１９から成る流路部材１３の温度を制御するための循環経路について説明する。第１の温度制御用液体を第１の循環用液体流路出口３６、第１の入口側流路２９、第１の温度制御用液体流路１５、第１の出口側流路３１、第１の循環用液体流路入口３５の順に流す。これにより、流路部材１３の温度を制御することができる。
【００３４】
この例に限らず、第１の循環用液体流路入口３５、第１の出口側流路３１、第１の温度制御用液体流路１５、第１の入口側流路２９、第１の循環用液体流路出口３６の順に流しても構わない。
【００３５】
第１の温度制御用液体としては、吐出口１１から吐出させる液体と同じものであっても、または吐出させる液体以外の液体であっても構わない。
【００３６】
図４は、第１の温度制御用液体流路１５を流動する第１の温度制御用液体を循環させる第１の循環用液体流路５１の概略構成図である。第１の循環用液体流路５１は循環用液体流路形成部材３４を有し、循環用液体流路形成部材３４には、第１の入口側流路２９および第１の出口側流路３１と直接接続する２つの貫通穴３９が形成されている。貫通穴３９は、チューブ４１と連結するための継ぎ手の付いた蓋部材４０により塞がれている。２つの貫通穴３９の内、第１の出口側流路３１と接続している方が第１の循環用液体流路入口３５であり、第１の入口側流路２９と接続している方が第１の循環用液体流路出口３６である。チューブ４１には、ポンプ７および温度制御手段４３が設けられている。温度制御手段４３としてはペルチェ素子を用いることができる。
【００３７】
本実施形態においては、ポンプ７としてチューブポンプを用いている（図５参照）。ポンプ７のローラー４２でチューブ４１を押圧し変形させることにより、チューブ４１内部の液体を押し出し、第１の出口側流路３１側から第１の入口側流路２９側へ第１の温度制御用液体を圧送することができる。
【００３８】
以下に、この方法により十分に圧電体本体１７およびカバープレート１９から成る流路部材１３の温度を制御できることについて説明する。流路部材１３の発熱量と第１の温度制御用液体による吸熱量の関係を示す。式（１）は、流路部材１３を構成する圧電体の誘電損失による発熱量を表す式である。
【００３９】
【数１】
0005979921.tif 000002
【００４０】
ここで、ｆ（駆動周波数）を５０ｋＨｚ、ε（誘電率）を１.５×１０−８Ｆ／ｍ、ｄ（圧電素子の厚さ）を７０μｍ、Ｅ（電界）を７１４ｋＶ／ｍ、ｔａｎδ（誘電損失）を０．３２％とすると、発熱量Ｐは約２７０Ｗ／ｍ２となる。
【００４１】
次に、式（２）に水による熱伝達率を示す。
【００４２】
【数２】
0005979921.tif 000003
【００４３】
ｕ（水の流速）を０．０４ｍ／ｓ、ρ（水の密度）を９９６ｋｇ／ｍ３、Ｃｐ（水の比熱）を４１７７Ｊ／Ｋｇ・Ｋ、λ（熱伝導率）を０．６１０４Ｗ／ｍ・Ｋ、Ｌ（代表長さ）を５．１５ｍｍ、ν（動粘性係数）を８.５７×１０−７ｍ２／ｓとする。このとき、熱伝達率は２１９８Ｗ／ｍ２・Ｋとなる。
【００４４】
発熱面積と吸熱面積が同じとすると、第１の温度制御用液体流路１５は両サイドの隔壁１８の発熱を吸熱するため、５４０Ｗ／ｍ２の発熱量を２１９８Ｗ／ｍ２・Ｋの熱伝達率で吸熱することになる。これにより、水の温度上昇は０．２５Ｋで、流路部材１３の誘電損失による温度上昇を抑えることが可能である。
【００４５】
また、第１の循環用液体流路５１には、流路部材１３および第１の温度制御用液体の温度をさらに正確に制御するため、第１の循環用液体流路５１に第１の温度制御用液体の温度を測定する温度センサー４４を設けても良い。温度センサー４４により測定された第１の温度制御用液体の温度から、第１の温度制御用液体が流路部材１３から受け取ったエネルギーが分かるので、それを基に流路部材１３の温度を知ることができる。流路部材１３の目標温度と実際の温度との差に基づき、温度制御手段４３の一例であるペルチェ素子に流す電流を制御することにより流路部材１３の温度を正確に制御することができる。
【００４６】
以上述べたように、本実施形態によれば、第１の温度制御用液体の温度を制御することによって、流路部材１３および吐出される液体の温度を効果的に制御することができる。
【００４７】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。以下の説明では、第１の実施形態と共通する事項については説明を省略する。
【００４８】
第１の実施形態では吐出口１１および拡幅部１２を１枚のノズルプレート８に形成したが、吐出口１１および拡幅部１２を１枚のノズルプレート８に形成するよりも簡便な方法について説明する。
【００４９】
図７に、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２の分解斜視図を示す。
【００５０】
本実施形態の液体吐出ヘッド２では、第１の実施形態におけるノズルプレート８を、吐出口が形成されたノズルプレート８と、流路部材１３とノズルプレート８との間に設けられ、拡幅部１２が形成された第１のノズルプレート側中間プレート４６とに分割した。ノズルプレート８と、第１のノズルプレート側中間プレート４６とを貼り合わせ、ダイシングにより、第１のノズルプレート側中間プレート４６に第１の出口側流路３１を溝状に形成した。
【００５１】
一例では、ノズルプレート８の厚さは１７μｍであり、第１のノズルプレート側中間プレート４６の厚さは１５０μｍである。
【００５２】
以上のように形成した液体吐出ヘッド２を用いた本実施形態において、図７を用いて、圧電体本体１７およびカバープレート１９から成る流路部材１３の温度を制御するための循環経路について説明する。第１の温度制御用液体を第１の循環用液体流路出口３６、第１の入口側流路２９、第１の温度制御用液体流路１５、第１の出口側流路３１、第１の循環用液体流路入口３５の順に流す。これにより、流路部材１３の温度を制御することができる。
【００５３】
図８に示したように、第１の出口側流路３１が形成された第１のノズルプレート側中間プレート４６は、ノズルプレート８の流路部材１３と反対側に設けてもよい。このような構成の場合、第１のノズルプレート側中間プレート４６が吐出口１１から吐出された液体の進路を妨げないように、第１のノズルプレート側中間プレート４６には吐出口１１と連通し、吐出口１１よりも十分に大きな貫通孔を設ける。
【００５４】
本実施形態では、吐出口１１と拡幅部１２とが異なる部材に形成されるので、一つの部材に段差（吐出口１１と拡幅部１２との間に生じる段差）を持った構造を形成する必要がなく、液体吐出ヘッド２の作製が容易でありながら、流路部材１３の温度制御もできる。
【００５５】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。以下の説明では、第１および第２の実施形態と共通する事項については説明を省略する。
【００５６】
本実施形態では、実効的なノズルピッチを高めるために、ノズル９が２次元的に配置された液体吐出ヘッド２に本発明を適用した場合の構成について説明する。
【００５７】
図９（ａ）は、液体吐出ヘッド２を構成する各部材を３次元的に示す分解斜視図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）の流路部材１３の断面図で、圧力室１４近傍を拡大したものである。図１０は、本実施形態の液体吐出装置１の概略構成図である。
【００５８】
本実施形態では、図９（ａ）に示したように、ノズル９が２次元的に配置されている。具体的には、ノズルプレート８には、被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄに配列した複数のノズル９からなるノズル列（吐出口列）１０が複数列設けられている。ノズル列１０は、被記録媒体搬送方向Ａに互いに間隔をおいて配置され、かつＤで示した被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向に、互いにずらされている。このようなノズル９（吐出口１１）の配列により、実効的なノズルピッチを高めることができる。
【００５９】
本実施形態では、被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄにおける各ノズル列１０のノズルピッチは３６ｄｐｉ(dot per inch)である。このノズル列１０を５列設け、同一ノズル列内の隣接する吐出口１１の間隔の１／５ずつ、被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄにずらして配置することにより、実効的なノズルピッチを１８０ｄｐｉにすることができる。被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄにずらして配置されるノズル列を増やすことで、実効的なノズルピッチをさらに高めることが可能である。
【００６０】
本実施形態では、第２の温度制御用液体が流動する第２の温度制御用液体流路１６が流路部材１３に設けられている。第２の温度制御用液体流路１６は、圧力室１４および第１の温度制御用液体流路１５と独立して設けられている。また、第２の温度制御用液体流路１６を循環させる第２の循環用液体流路５２が設けられている（図１０参照）。第２の循環用液体流路５２は第１の循環用液体流路５１と同様の構成を有している。
【００６１】
図９（ａ）における流路部材１３は、第１の圧電基板２０と第２の圧電基板２１とが交互に積層されることにより形成される。
【００６２】
第１の圧電基板２０には、吐出口１１に対応した複数の圧力室１４と、第１の温度制御用液体流路１５とが、被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄに交互に設けられている。
【００６３】
第２の圧電基板２１には、圧力室１４と隣接し、第２の温度制御用液体が流動する第２の温度制御用液体流路１６が被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄに一列に配列されている。この結果、各圧力室１４の周囲には４つの隔壁１８を介して、２つの第１の温度制御用液体流路１５と２つの第２の温度制御用液体流路１６とが位置している（図９（ｂ）参照）。第１の温度制御用液体流路１５と第２の温度制御用液体流路１６は相互に交換可能であり、第１の圧電基板２０に第２の温度制御用液体流路１６が、第２の圧電基板２１に第１の温度制御用液体流路１５が設けられていてもよい。
【００６４】
圧力室１４の４つの内面には駆動電圧を供給するための電極配線（不図示）が設けられている。この電極配線に駆動電圧が印加されることにより４つの隔壁１８が変形し、液体が吐出口１１から吐出される。
【００６５】
一例では、圧力室１４の断面形状は１２０μｍ×１２０μｍ、第１の温度制御用液体流路１５の幅は３４６μｍ、高さは１４０μｍ、第２の温度制御用液体流路１６の幅は４８０μｍ、高さは３１０μｍである。圧力室１４の長さ、第１温度制御用液体流路１５および第２の温度制御用液体流路１６の長さは１０ｍｍであり、４つの隔壁１８の厚さは１２０μｍである。
【００６６】
ノズルプレート８は、第１の温度制御用液体流路１５と第１の循環用液体流路５１とを接続する複数の第１の出口側流路３１を有している。第１の出口側流路３１は、被記録媒体搬送方向Ａに隣接する複数の第１の温度制御用液体流路１５と接続される溝であり、ノズルプレート８に沿ってノズルプレート８の側面まで延びている。ノズルプレート８には、圧力室１４と連通し、液体を吐出する複数の吐出口１１が形成されている。
【００６７】
一例では、ノズルプレート８の厚みは２００μｍであり、吐出口１１は直径１０μｍ、長さ１７μｍの円筒形状であり、第１の出口側流路３１は幅１６０μｍ、高さ１５０μｍである。
【００６８】
図９（ａ）に示したように、ノズルプレート８と流路部材１３との間には、第１のノズルプレート側中間プレート４６が設けられている。第１のノズルプレート側中間プレート４６は、第２の温度制御用液体流路１６と第２の循環用液体流路５２とを接続する複数の第２の出口側流路３２を有している。また、吐出口１１と接続する拡幅部１２および第１の温度制御用液体流路１５が第１のノズルプレート側中間プレート４６を貫通している。第２の出口側流路３２は、複数の第２の温度制御用液体流路１６と接続する溝であり、第１のノズルプレート側中間プレート４６に沿って第１のノズルプレート側中間プレート４６の側面まで延びている。
【００６９】
一例では、第１のノズルプレート側中間プレート４６の厚さは２００μｍで、第２の出口側流路３２は幅３５０μｍ、高さ１５０μｍ、であり、拡幅部１２は断面形状が８０ｍ×８０μｍの角柱形状である。
【００７０】
絞り板２５は、第１の温度制御用液体流路１５と第１の循環用液体流路５１とを接続する第１の入口側流路２９を有している。第１の入口側流路２９は、被記録媒体搬送方向Ａに隣接する複数の第１の温度制御用液体流路１５と連通する溝であり、絞り板２５に沿って絞り板２５の側面まで延びている。絞り開口２６は圧力室１４に対応して複数設けられている。一例では、絞り板２５の厚さは２００μｍ、絞り開口２６の断面は７０μｍ×７０μｍ、第１の入口側流路２９は、幅１６０μｍ、高さ１５０μｍである。
【００７１】
図示は省略するが、液体吐出ヘッド２は、液体が流動し、各絞り開口２６と連通する共通液室２８を有している。
【００７２】
流路部材１３と絞り板２５との間には、絞り板側中間プレート４５が設けられている。絞り板側中間プレート４５は、第２の温度制御用液体流路１６と第２の循環用液体流路５２とを接続する第２の入口側流路３０を有している。圧力室１４および第１の温度制御用液体流路１５が絞り板側中間プレート４５を貫通している。第２の入口側流路３０は、複数の第２の温度制御用液体流路１６と接続する溝であり、絞り板側中間プレート４５に沿って絞り板側中間プレート４５の側面まで延びている。
【００７３】
一例では、絞り板側中間プレート４５の厚さは２００μｍ、第２の入口側流路３０は、幅３５０μｍ、高さ１５０μｍである。
【００７４】
図９および図１０を用いて、第１の圧電基板２０および第２の圧電基板２１から成る流路部材１３の温度を制御するための循環経路について説明する。本実施形態においては、循環用液体流路が２系統ある。１つ目の系統では、第１の温度制御用液体を第１の循環用液体流路出口３６、第１の入口側流路２９、第１の温度制御用液体流路１５、第１の出口側流路３１、第１の循環用液体流路入口３５の順に流す。２つ目の系統では、第２の温度制御用液体を第２の循環用液体流路出口３８、第２の入口側流路３０、第２の温度制御用液体流路１６、第１の出口側流路３２、第２の循環用液体流路入口３７の順に流す。これにより、流路部材１３の温度を制御することができる。
【００７５】
この例に限らず、逆方向の循環経路にしても構わない。例えば、１つ目の系統において、第１の循環用液体流路入口３５、第１の出口側流路３１、第１の温度制御用液体流路１５、第１の入口側流路２９、第１の循環用液体流路出口３６の順に流しても構わない。２つ目の系統においても同様である。
【００７６】
本実施形態においては２系統の循環用液体流路を保有する実施形態について説明したが、いずれか一方の系統の循環用液体流路のみ保有する形態であっても構わない。
【００７７】
さらに、本実施形態においては、第１のノズルプレート側中間プレート４６をノズルプレート８と流路部材１３との間に設けたが、第１のノズルプレート側中間プレート４６をノズルプレート８の流路部材１３と反対側に設けてもよい（図１１参照）。同様に、絞り板側中間プレート４５を絞り板２５の流路部材１３と反対側に設けてもよい。
【００７８】
本実施形態によれば、実効的なノズルピッチを高めるために、ノズル９が２次元状に配置された液体吐出ヘッド２を用いる場合にも、流路部材１３および吐出される液体の温度を効果的に制御することができる。
【００７９】
（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。第１〜第３の実施形態と共通する事項については説明を省略する。
【００８０】
本実施形態では、絞り板側中間プレート４５や第１のノズルプレート側中間プレート４６などの追加の部材を設けることなく、１系統の循環用液体流路のみで、効果的に温度制御することができる構成について説明する。
【００８１】
図１２に、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２を示す。
【００８２】
本実施形態で用いた液体吐出ヘッド２の第１の圧電基板２０および第２の圧電基板２１から成る流路部材１３の形状は、第３の実施形態で用いたものと同様である。
【００８３】
ノズルプレート８の流路部材１３に面する面には、吐出口１１と圧力室１４とを結ぶ流路（拡幅部１２）を各々が備え、流路部材１３に向かって突き出した複数の突起部４８が２次元直交格子点状に設けられている。
【００８４】
一例では、ノズルプレート８の厚みは２００μｍ、突起部４８は２４０μｍ×２４０μｍの角柱形状である。吐出口１１は直径１０μｍ、長さ１７μｍの円筒形状であり、拡幅部１２は断面形状が５０μｍ×５０μｍである。
【００８５】
ノズル９が形成された各突起部４８の周囲に、各圧力室１４に隣接する２つの第１の温度制御用液体流路１５および２つの第２の温度制御用液体流路１６と連通する第３の出口側流路３３が形成されている。第３の出口側流路３３は、各突起部４８の周囲を延びる、互いに交差する複数の溝として形成され、全ての第１の温度制御用液体流路１５および第２の温度制御用液体流路１６と連通している（図１０参照）。
【００８６】
同様に、図示は省略するが、厚さ２００μｍの絞り板２５には、流路部材１３に向かって突き出した複数の突起部が２次元直交格子点状に形成されている。絞り開口２６が形成された突起部の周囲には突起部４８の周囲の溝と同様の溝が設けられており、全ての第１の温度制御用液体流路１５および第２の温度制御用液体流路１６と連通する第３の入口側流路（不図示）が形成されている。
【００８７】
一例では、突起部は２４０μｍ×２４０μｍの角柱形状であり、絞り開口２６の断面は７０μｍ×７０μｍである。
【００８８】
図１２を用いて、第１の圧電基板２０および第２の圧電基板２１から成る流路部材１３の温度を制御するための循環経路について説明する。第１の温度制御用液体を第１の循環用液体流路出口３６、第３の入口側流路（不図示）、第１の温度制御用液体流路１５および第２の温度制御用液体流路１６、第３の出口側流路３３、第１の循環用液体流路入口３５の順に流す。これにより、流路部材１３の温度を制御することができる。
【００８９】
これに限らず、逆方向の循環経路にしても構わない。すなわち、第１の循環用液体流路入口３５、第３の出口側流路３３、第１の温度制御用液体流路１５および第２の温度制御用液体流路１６、第３の入口側流路（不図示）、第１の循環用液体流路出口３６の順に流しても構わない。
【００９０】
本実施形態によれば、第３の入口側流路と第３の出口側流路３３とが、絞り板２５とノズルプレート８にそれぞれ形成されているため、追加の部材を設ける必要がない。さらに、全ての第１の温度制御用液体流路１５および第２の温度制御用液体流路１６が１つの第３の入口側流路および１つの第３の出口側流路３３と連通しているので、循環用液体流路を１系統設ければ十分である。よって、部品点数を減らし、コストを抑えつつ、液体吐出ヘッド２および吐出される液体の温度を効果的に制御することができる。
【００９１】
（第５の実施形態）
次に、本発明の第５の実施形態について説明する。第１〜第４の実施形態と共通する事項については説明を省略する。
【００９２】
本実施形態で用いた液体吐出ヘッド２では、流路部材１３とノズルプレート８との間に２枚のノズルプレート側中間プレートを備えた。これにより、第３の実施形態で１枚のノズルプレート８に形成した吐出口１１および拡幅部１２を、別の部材に分割して形成することができ、より簡便に液体吐出ヘッド２を作製することができる。
【００９３】
図１３に、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２を示す。
【００９４】
本実施形態で用いた液体吐出ヘッド２の第１の圧電基板２０および第２の圧電基板２１から成る流路部材１３の形状は、第３の実施形態で用いたものと同様である。
【００９５】
ノズルプレート８には、圧力室１４と連通する吐出口１１が２次元状に配列されている。
【００９６】
一例では、ノズルプレート８は厚さ１７μｍで、直径１０μｍの吐出口１１が形成されている。
【００９７】
流路部材１３とノズルプレート８との間には、第１のノズルプレート側中間プレート４６および第２のノズルプレート側中間プレート４７が設けられている。
【００９８】
第１のノズルプレート側中間プレート４６はノズルプレート８と隣接しており、第１の温度制御用液体流路１５と連通する第１の出口側流路３１が形成されている。第２のノズルプレート側中間プレート４７は流路部材１３と隣接しており、第２の温度制御用液体流路１６と連通する第２の出口側流路３２が形成されている。第１のノズルプレート側中間プレート４６および第２のノズルプレート側中間プレート４７には、圧力室１４および吐出口１１と連通する拡幅部１２も設けられている。
【００９９】
一例では、第１のノズルプレート側中間プレート４６は、厚さ２００μｍで、第１の出口側流路３１は、幅１６０μｍ、高さ１５０μｍである。また、第２のノズルプレート側中間プレート４７は厚さ２００μｍで、第２の出口側流路３２は、幅３５０μｍ、高さ１５０μｍである。
【０１００】
絞り板２５および絞り板側中間プレート４５は、第３の実施形態で用いたものと同様である。
【０１０１】
図１３を用いて、第１の圧電基板２０および第２の圧電基板２１から成る流路部材１３の温度を制御するための循環経路について説明する。本実施形態においては、循環用液体流路が２系統ある。１つ目の系統では、第１の温度制御用液体を第１の循環用液体流路出口３６、第１の入口側流路２９、第１の温度制御用液体流路１５、第１の出口側流路３１、第１の循環用液体流路入口３５の順に流す。２つ目の系統では、第２の温度制御用液体を第２の循環用液体流路出口３８、第２の入口側流路３０、第２の温度制御用液体流路１６、第１の出口側流路３２、第２の循環用液体流路入口３７の順に流す。これにより、流路部材１３の温度を制御することができる。
【０１０２】
この例に限らず、逆方向の循環経路にしても構わない。例えば、１つ目の系統において、第１の循環用液体流路入口３５、第１の出口側流路３１、第１の温度制御用液体流路１５、第１の入口側流路２９、第１の循環用液体流路出口３６の順に流しても構わない。２つ目の系統においても同様である。
【０１０３】
本実施形態においては、流路部材１３とノズルプレート８との間に第１のノズルプレート側中間プレート４６および第２のノズルプレート側中間プレート４７を設けたが、これらの一方、あるいは両方をノズルプレート８の流路部材１３と反対側に設けてもよい。
【０１０４】
本実施形態では、ノズル９が２次元状に配置された液体吐出ヘッド２を用いる場合にも、一つの部材に段差を持った構造を形成する必要がなく、液体吐出ヘッド２の作製を容易にしながら、流路部材１３の温度制御もできる。
【０１０５】
（第６の実施形態）
次に、本発明の第６の実施形態について説明する。第１〜第５の実施形態と共通する事項については説明を省略する。
【０１０６】
本実施形態では、ノズル９を２次元状に配置された液体吐出ヘッド２を用いる場合にも、ノズルプレート８や流路部材１３に溝を形成するような複雑なプロセスを必要としない構成について説明する。さらに、本実施形態によれば、循環用液体流路を１系統のみしか必要とせず、部品点数を減らすことができる。
【０１０７】
図１４（ａ）は、液体吐出ヘッド２を構成する各部材を３次元的に示す分解斜視図であり、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）の流路部材１３の断面図で、圧力室１４近傍を拡大したものである。図１５は、本実施形態の液体吐出装置１の概略構成図である。
【０１０８】
本実施形態では、図１４（ａ）に示したように、ノズル９が２次元的に配置されている。具体的には、ノズルプレート８には、被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄに配列した複数のノズル９からなるノズル列１０が複数列設けられている。ノズル列１０は、被記録媒体搬送方向Ａに互いに間隔をおいて配置され、かつ被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄに、互いにずらされている。
【０１０９】
本実施形態では、被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄにおける各ノズル列１０のノズルピッチは３６ｄｐｉである。このノズル列１０を５列設け、同一ノズル列内の隣接する吐出口１１の間隔の１／５ずつ被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄにずらして配置することにより、実効的なノズルピッチを１８０ｄｐｉにすることができる。
【０１１０】
ノズルプレート８には、圧力室１４と連通し、液体を吐出する複数の吐出口１１が形成されている。
【０１１１】
一例では、ノズルプレート８の厚みは１７μｍであり、吐出口１１は直径１０μｍの円筒形状である。
【０１１２】
流路部材１３は、第１の圧電基板２０と第２の圧電基板２１とが交互に積層されることにより形成される。
【０１１３】
第１の圧電基板２０には、吐出口１１に対応した複数の圧力室１４が配置されている。圧力室１４は、被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄに、空気室２２と交互に設けられている。
【０１１４】
第２の圧電基板２１には、圧力室１４と隣接し、第１の温度制御用液体が流動する第１の温度制御用液体流路１５が被記録媒体搬送方向Ａと直交する方向Ｄに一列に配されている。この結果、各圧力室１４の周囲には４つの隔壁１８を介して、２つの空気室２２と２つの第１の温度制御用液体流路１５が位置している（図１４（ｂ）参照）。
【０１１５】
圧力室１４の４つの内面には駆動電圧を供給するための電極配線（不図示）が設けられている。この電極配線に駆動電圧が印加されることにより４つの隔壁１８が変形し、液体が吐出口１１から吐出される。
【０１１６】
一例では、圧力室１４の断面形状は１２０μｍ×１２０μｍ、空気室２２の幅は３４６μｍ、高さは１４０μｍ、第１の温度制御用液体流路１５の幅は４８０μｍ、高さは３１０μｍである。圧力室１４の長さは１０ｍｍであり、４つの隔壁１８の厚さは１２０μｍである。
【０１１７】
図１６は、本実施形態で用いた液体吐出ヘッド２の第２の圧電基板２１を示す概念図である。第２の圧電基板２１には、複数の第１の温度制御用液体流路１５および第４の入口側流路５３と接続する第１の接続流路２３が形成されている。さらに、第２の圧電基板２１には、複数の第１の温度制御用液体流路１５および第４の出口側流路５４と接続する第２の接続流路２４が形成されている。
【０１１８】
第２の圧電基板２１は、ダイシングにより第１の温度制御用液体流路１５、第１の接続流路２３、第２の接続流路２４となる溝を形成する方法で容易に作製することができる。
【０１１９】
絞り板２５には、圧力室１４に対応した絞り開口２６が複数設けられている。
【０１２０】
一例では、絞り板２５の厚さは２００μｍ、圧力室１４と連通する絞り開口２６の断面は７０μｍ×７０μｍである。
【０１２１】
図示は省略するが、液体吐出ヘッド２は、液体が流動し、各絞り開口２６と連通する共通液室を有している。
【０１２２】
本実施形態では、第１の循環用液体流路出口３６および第１の温度制御用液体流路１５と接続する第４の入口側流路５３が形成された入口側流路プレート４９が設けられている。また、第１の循環用液体流路入口３５および第１の温度制御用液体流路１５と接続する第４の出口側流路５４が形成された出口側流路プレート５０が設けられている。
【０１２３】
一例では、入口側流路プレート４９の厚さは２００μｍであり、第４の入口側流路５３は幅２００μｍ、高さ１５０μｍである。出口側流路プレート５０の厚さは２００μｍであり、第４の出口側流路５４は幅２００μｍ、高さ１５０μｍである。
【０１２４】
図１４〜図１６を用いて、第１の圧電基板２０と第２の圧電基板２１とから成る流路部材１３の温度を制御するための循環経路について説明する。第１の温度制御用液体を第１の循環用液体流路出口３６、第４の入口側流路５３、第１の接続流路２３、第１の温度制御用液体流路１５、第２の接続流路２４、第４の出口側流路５４、第１の循環用液体流路入口３５の順に流す。これにより、流路部材１３の温度を制御することができる。
【０１２５】
これに限らず、逆方向の循環経路にしても構わない。すなわち、第１の循環用液体流路入口３５、第４の出口側流路５４、第２の接続流路２４、第１の温度制御用液体流路１５、第１の接続流路２３、第４の入口側流路５３、第１の循環用液体流路出口３６の順に流しても構わない。
【０１２６】
本実施形態によれば、ノズルプレート８や流路部材１３に溝を形成するような複雑なプロセスが必要ない。さらに、循環用液体流路を１系統のみ設けるので、部品点数を減らすことができる。よって、ノズル９を２次元状に配置した液体吐出ヘッド２を用いる場合にも、液体吐出ヘッド２の作製を容易にしながら、部品点数を減らし、コストを抑えつつ、流路部材１３を効果的に温度制御することができる。
【符号の説明】
【０１２７】
２  液体吐出ヘッド
１１  吐出口
１３  流路部材
１４  圧力室
１５  第１の温度制御用液体流路
５１  第１の循環用液体流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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