(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
仕切弁であって、
中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段と、
を具備し、
前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、
前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、
前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、
前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、
前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、
を具備するとともに、
前記第２付勢部は、第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に形成されたエアシリンダとされ、該エアシリンダには、その摺動部分に溝内に設けられたＯリングを有するシール部が備えられ、
前記シール部には、前記溝内で閉塞空間が形成されないように前記閉塞空間部分を低圧側に連通するためのリーク孔が設けられてなることを特徴とする仕切弁。
【請求項２】
前記リーク孔が、前記第1可動弁部の付勢方向に延在する部分と、これに直交する部分とを有しこれらが連通されてなることを特徴とする請求項１記載の仕切弁。
【請求項３】
前記リーク孔の低圧側出口には、凹部が形成されてなることを特徴とする請求項１または２記載の仕切弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弁体（弁板）による流路を開閉する動作に加えて、弁体をスライド動作させる振り子型，直動型，ドア型等に適した仕切弁と、弁体をスライド動作させる振り子型に適したスライド弁とに関する。
特に、本発明は、真空装置等において、異なる圧力、及び異なるプロセスを行う２つの空間をつなげている流路を仕切り（閉鎖し）、この仕切り状態を開放（２つの空間をつなぐ）し、弁の開度が調整可能であり、流路の一部を制限する（流路の開口面積を制限する）仕切弁及びスライド弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空装置等においては、チャンバと配管との間、配管と配管との間、あるいは配管とポンプ等との間等、異なる真空度の２つの空間の間を仕切り、仕切られた２つの空間をつなげる仕切りバルブが設けられている。このような仕切りバルブとしては、様々な形態の弁があり、仕切弁（特許文献１参照）、振り子型仕切弁（特許文献２参照）が知られている。
【０００３】
このようなバルブや真空装置において、摺動面を封止する部分には、Ｏリング溝内に設けられたＯリングによってシールされる場合があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１８１２０５号公報
【特許文献２】特許第３６５５７１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、このようなバルブや真空装置においては、真空に暴露される部位に、閉塞空間が存在すると、閉塞空間からの微小リークにより、真空装置の圧力が下がりにくくなるという現象がみられる。その閉塞空間のタイプにより、対応する各種の気抜き構造が知られているが、摺動面を封止するＯリング溝においては、従来、十分には検討がなされておらず、これを解決したいという要求がある。この問題は、従来Ｏリングによる封止が適用されていなかった程度に真空度の高い状態でもＯリングによる封止がおこなわれるようになってきたことから、新たに発生したもので、従来は検討されてこなかった問題である。
特に、大口径バルブにおいて、逆圧に耐え得る摺動面を封止するＯリング溝における閉塞空間はその体積が大きく、超高真空側へのリーク量の総計が大きくなるためその影響が大きく、真空度の低下、不純物の混入など、これを解決しなくてはならないという新たな問題を見出したものである。
【０００６】
本発明は、スライド弁の流路閉鎖箇所に設けられたＯリング等、閉塞空間が大きくリークの影響が大きくなる部分の気抜きを確実におこなって、超高真空における圧力低下を確実におこなうことを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第１開口部を閉塞可能な中立弁体と、
前記中立弁体を、前記第１開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と前記第１開口部から退避した開放状態とする弁開放位置との間で動作する位置切り替え手段と、
を具備し、
前記中立弁体が、前記切り替え手段に接続される中立弁部と、該中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される可動弁部と、を有し、
前記可動弁部が、該可動弁部に周設され前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続される第１可動弁部と、
前記第１可動弁部を前記流路方向前記第１開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第１開口部周囲の弁箱内面に密着可能とする第１付勢部と、
前記第１可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、
前記第１付勢部の付勢力に対抗して前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との前記流路方向厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部と、
前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との流路方向厚み寸法変化に対応して、前記第１可動弁部を前記中立弁部に対して流路方向位置変更可能に接続するとともに、前記第１可動弁部を前記流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部と、
を具備するとともに、
前記第２付勢部は、第２周囲領域において前記第１可動弁部と前記第２可動弁部との間に形成されたエアシリンダとされ、該エアシリンダには、その摺動部分に溝内に設けられたＯリングを有するシール部が備えられ、
前記シール部には、前記溝内で閉塞空間が形成されないように前記閉塞空間部分を低圧側に連通するためのリーク孔が設けられてなることを特徴とする。
本発明の第１態様の仕切弁においては、前記リーク孔が、前記第1可動弁部の付勢方向に延在する部分と、これに直交する部分とを有しこれらが連通されてなることが好ましい。
本発明の第１態様の仕切弁においては、前記リーク孔の低圧側出口には、凹部が形成されてなることができる。
【０００８】
本発明の仕切弁における摺動部分におけるシール部分としては、図５に示すように、第２シール部５１ａ、第３シール部５２ａを例示することができるが、このような摺動部分Ｓｅａｌにおいて、図１に示すように、摺動部分ｓｅａｌの一方５０ｄに設けられたＯリング溝Ｓｅａｌ１内にＯリングＳｅａｌ２が位置し、このＯリング溝Ｓｅａｌ１から突出した部分Ｓｅａｌ２ａが他方の摺動部分６０ｄに当接して押圧されるとともに、この当接部分Ｓｅａｌ２ａとその反対側においてＯリング溝Ｓｅａｌ１の底面Ｓｅａｌ３に当接する部分Ｓｅａｌ２ｂとでシール状態が維持されている。
【０００９】
この摺動部分Ｓｅａｌにおいては高圧側８０から低圧側１１にむけて圧力差が存在することにより、ＯリングＳｅａｌ２は低圧側に向かって差圧を受けて、Ｏリング溝Ｓｅａｌ１内で低圧側に移動する。このため、図２に示すように、ＯリングＳｅａｌ２の低圧側の部分Ｓｅａｌ２ｃがＯリング溝Ｓｅａｌ１の側壁Ｓｅａｌ４に当接して、当該位置Ｓｅａｌ２ｃの底面Ｓｅａｌ３側に、閉塞空間Ｓｅａｌ５を形成してしまう。この密閉空間Ｓｅａｌ５は閉塞されているため内部にガスが存在している可能性がある。低圧側１１が十分な真空度を維持している場合に、ＯリングＳｅａｌ２が動く等の何らかの原により密閉空間Ｓｅａｌ５内部に含まれるガスを低圧側１１に放出する場合があり、これが、低圧側の真空度低下の一因となっていることを本願発明者らは突き止めた。
【００１０】
このような閉塞空間Ｓｅａｒ５からのガス放出を防止するために、本願発明者らは、図３に示すように、閉塞空間Ｓｅａｌの形成位置となるＯリング溝Ｓｅａｌ１内に、このＯリング溝Ｓｅａｌ１と低圧側１１とを連通するリーク孔Ｓｅａｌ６を設けることにより閉塞空間の形成を防止するという本願発明を完成した。
【００１１】
具体的には、図４に示すように、弁体４０の最外周である第１周囲領域４０ａに隣接した第２周囲領域４０ｂに設けられた円環状のエアシリンダ８０において、その外周面５０ｆおよび内周面５０ｇに設けられた第２シール部５１ａ、第３シール部５２ａにおいて、それぞれのＯリングＳａｅｌ２の収納されたＯリング溝Ｓｅａｌ１の低圧側となる第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂに近い側にリーク孔Ｓｅａｌ６が設けられる。
【００１２】
外周側の第２シール部５１ａは、Ｏリング溝Ｓｅａｌ１の底面Ｓｅａｌ３付近に貫通するように摺動方向に延在するリーク孔Ｓｅａｌ６ｅが設けられる。
内周側の第３シール部５２ａには、Ｏリング溝Ｓｅａｌ１の底面Ｓｅａｌ３付近に貫通するように摺動方向に延在するリーク孔Ｓｅａｌ６ａと、このリーク孔Ｓｅａｌ６ａに連通して略直交するが設けられリーク孔Ｓｅａｌ６ｂとが設けられ、リーク孔Ｓｅａｌ６ａの低圧の側一端が閉塞部材Ｓｅａｌ６ｃにより閉塞され、リーク孔Ｓｅａｌ６ｂの低圧の側一端が閉塞部材Ｓｅａｌ６ｄにより閉塞される。
【００１３】
このように閉塞空間が形勢される可能性のある位置に、リーク孔Ｓｅａｌ６を設けたことにより、この部分が低圧側に連通して、低圧側の真空引きと連動して内部圧力が低下し、ガスが噴出を防止でき、低圧側の真空度を悪化させることがない。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の仕切弁によれば、Ｏリング溝内の閉塞空間が形成される可能性のある位置に、低圧側と連通するリーク孔を設けることで、低圧側の真空度の悪化を防止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のスライド弁に係る第１実施形態におけるシール部の動作を説明するための横断面図である。
【図２】本発明のスライド弁に係る第１実施形態におけるシール部の動作を説明するための横断面図である。
【図３】本発明のスライド弁に係る第１実施形態におけるシール部の動作を説明するための横断面図である。
【図４】本発明のスライド弁に係る第１実施形態におけるエアシリンダを示す拡大横断面図である。
【図５】本発明のスライド弁に係る第１実施形態におけるエアシリンダとリーク孔の位置を示す模式横面図である。
【図６】本発明のスライド弁に係る第１実施形態における閉塞部材を示す拡大図である。
【図７】本発明のスライド弁に係る第１実施形態における実験例を示すグラフである。
【図８】本発明の第１実施形態における仕切弁の構成を示す横断面図である。
【図９】本発明の第１実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が退避動作可能位置とされている場合を示す図である。
【図１０】図９におけるシリンダ付近の要部拡大図である。
【図１１】本発明の第１実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が弁閉位置とされている場合を示す図である。
【図１２】図１１におけるメインバネ付近の要部拡大図である。
【図１３】本発明の第１実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、弁体が退避位置とされている場合を示す図である。
【図１４】回転軸に固定された接続部材を示す要部拡大平面図（ａ）及び要部拡大断面図（ｂ）である。
【図１５】接続部材と接続される中立弁部の一端を示す要部拡大平面図（ａ）及び要部拡大断面図（ｂ）である。
【図１６】接続部材と中立弁部とを嵌合させた状態を示す要部拡大平面図（ａ）及び要部拡大断面図（ｂ）である。
【図１７】本発明の第２実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、シリンダ付近の要部拡大図である。
【図１８】本発明の第２実施形態における接続ピン付近の要部拡大図である。
【図１９】本発明の第２実施形態における締結部材付近の要部拡大図である。
【図２０】本発明の第２実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リング付近の要部を拡大して示す径方向断面図である。
【図２１】本発明の第２実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リング付近の要部を拡大して示す軸方向断面図である。
【図２２】本発明の第２実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（伸位置）である。
【図２３】本発明の第２実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（縮位置）である。
【図２４】ラック部材、および滑り軸受を示す要部拡大断面図である。
【図２５】緩衝溝の作用を示す断面図である。
【図２６】緩衝溝の作用を示す断面図である。
【図２７】ラック部材とピニオンとの噛合部分を示す要部拡大断面図である。
【図２８】本発明の第２実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングの要部を透視した模式斜視図である。
【図２９】本発明の第２実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングの要部を透視した模式断面図である。
【図３０】本発明の他の実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングを示す要部を透視した斜視図である。
【図３１】本発明の他の実施形態のスライド弁における回転軸および流体経路リングを示す軸方向断面図である。
【図３２】本発明の第２実施形態のスライド弁における流体経路リングの内周面および回転軸の摺動面付近を示す軸方向断面図である。
【図３３】本発明の第２実施形態における接続ピン付近の要部拡大図である。
【図３４】本発明の第２実施形態におけるガイドピン付近を示す要部拡大図である。
【図３５】本発明の第３実施形態におけるスライド弁の構成を示す横断面図である。
【図３６】本発明の第３実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ３、伸位置Ｐａ２）である。
【図３７】本発明の第３実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２，Ｐｂ３）である。
【図３８】本発明の第３実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（伸位置Ｐａ１，Ｐｃ３，Ｐａ３）である。
【図３９】本発明の第３実施形態における緩衝材の作用を示す模式図である。
【図４０】本発明の第３実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（縮位置Ｐｂ１、中間位置Ｐｃ３、伸位置Ｐａ２）である。
【図４１】本発明の第３実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（中間位置Ｐｃ１、Ｐｃ３，伸位置Ｐａ２）である。
【図４２】本発明の第３実施形態における回転軸駆動機構を示す断面図（中間位置Ｐｃ１、Ｐｃ２，Ｐｃ３）である。
【図４３】本発明の第３実施形態における回転軸駆動機構での圧縮空気供給切り替え状態を示す図である。
【図４４】本発明の第３実施形態における回転軸駆動機構での圧縮空気供給切り替え状態を示す図である。
【図４５】制御緩衝流路を示す要部拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係るスライド弁（仕切弁）の第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
また、以下の説明に用いられる各図においては、各構成要素を図面上で認識し得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法及び比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。
本発明の技術範囲は、以下に述べる実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００１７】
（第１実施形態）
図８は、本実施形態におけるスライド弁の構成を示す平面図である。図９は、本発明の第１実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避動作可能位置とされている場合を示す図である。図１０は、図９の中立弁部と第１可動弁部の接続部分および第１と第２との付勢部付近を示す要部拡大図である。図１１は、本発明の第１実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が密閉閉塞位置とされている場合を示す図である。図１２は、図１１の中立弁部と第１可動弁部の接続部分および第１と第２との付勢部付近を示す要部拡大図である。図１３は、本発明の第１実施形態におけるスライド弁の構成を示す縦断面図で、弁体が退避位置とされている場合を示す図である。
【００１８】
［振り子型仕切弁］
第１実施形態の仕切弁（スライド弁）１００は、図８〜図１１に示すように、振り子型仕切弁である。
この仕切弁１００は、互いに対向した第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとが設けられた弁箱１０と、弁箱１０を貫通した切り替え手段としての回転軸２０と、回転軸２０に接続された中立弁部３０と、回転軸２０の軸線方向に移動可能として中立弁部３０に接続された可動弁部４０と、可動弁部４０の厚さ方向寸法を拡大する方向に付勢されるメインバネ７０（第１付勢部）と、メインバネ７０の付勢方向と反対方向に伸張可能な駆動用のエアシリンダ８０（第２付勢部）と、可動弁部４０を弁箱１０の中央位置に向けて移動させようとする位置規制用の補助バネ９０（第３付勢部）と、を備えている。中立弁部３０及び可動弁部４０は、中立弁体５を構成している。また、可動弁部４０は、第２可動弁部５０（可動弁板部）と第１可動弁部６０（可動弁枠部）とによって構成されている。第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂに向かって流路Ｈ（流路方向Ｈ）が設定されている。
【００１９】
また、後述するように、可動弁部４０の厚み寸法が縮んだ状態で第２可動弁部５０（可動弁板部）と第１可動弁部６０（可動弁枠部）とを締結可能な締結ボルト４３（締結部材）が設けられている。
【００２０】
回転軸２０が符号Ａ１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転すると、この回転に従って中立弁部３０も方向Ａ１に沿って回動する。また、可動弁部４０は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能として接続されているため、可動弁部４０は、中立弁部３０と一体に回転する。
このように中立弁部３０を回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１に位置する退避位置から第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈの弁閉位置に可動弁部４０が振り子運動で移動する。
【００２１】
そして、メインバネ７０が伸張する方向に作用することで流路Ｈ方向に可動弁部４０の厚さ寸法が拡大する動作により（閉弁動作）、後述するように、可動弁枠部６０のシール部６１と、可動弁板部５０の反力伝達部５９とが、それぞれ、弁箱１０の内面１５ａと内面１５ｂとを押圧することにより、可動弁部４０は流路Ｈを閉鎖する。逆に、エアシリンダ８０が作用することで、メインバネ７０の付勢力にエアシリンダ８０の押圧力が打ち勝って流路Ｈ方向に可動弁部４０の厚さ寸法が収縮する動作により可動弁部４０が表裏とも弁箱１０の内面１５ａおよび内面１５ｂから離間した後に（解除動作）、回転軸２０が符号Ａ２で示された向きに回転する（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部４０も向きＡ２に回動する。
この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０は上記弁開閉位置から上記退避位置に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。
【００２２】
［弁箱１０］
弁箱１０は、中空部１１を有するフレームによって構成されている。フレームの図示上面には第１開口部１２ａが設けられており、フレームの図示下面には第２開口部１２ｂが設けられている。
仕切弁１００は、第１開口部１２ａが露出されている空間（第１空間）と第２開口部１２ｂが露出されている空間（第２空間）の間に挿入される。仕切弁１００は、第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとをつなげている流路Ｈ、即ち、第１空間と第２空間とをつなげている流路Ｈを仕切り（閉鎖し）、この仕切り状態を開放する（第１空間と第２空間をつなぐ）。
弁箱１０の中空部１１には、回転軸２０、回転軸２０に固着された接続部材９１、この接続部材９１を介して回転軸２０に接続された中立弁部３０、可動弁部４０、メインバネ７０（第１付勢部）、エアシリンダ８０（第２付勢部）、及び補助バネ９０（第３付勢部）が設けられている。
【００２３】
回転軸２０が符号Ａ１で示された方向（流路方向Ｈに交差する方向）に回転すると、この回転に従って、接続部材９１を介して回転軸２０に固定されている中立弁部３０も方向Ａ１に沿って回動する。
【００２４】
［回転軸２０、中立弁部３０、接続部材９１］
回転軸２０は、流路Ｈとほぼ平行状態に延在して弁箱１０を貫通するとともに回転可能に設けられている。
この回転軸２０には、接続部材９１が固着されている。この接続部材９１は、例えば略平板状の部材であり、図１４に示すように、回転軸２０の一端２０ａに対してネジ９２によって固着される。図１４（ｂ）に示すように、接続部材９１は、流路方向Ｈに沿った一端側が広がった略Ｔ字状の断面形状を成す突起部９３が形成されている。
なお、回転軸２０には中立弁部３０が固設されてもよい。
【００２５】
一方、中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直行する方向に延在し、この方向に平行な面を有している。図８に示すように、中立弁部３０は、可動弁部４０に重なる円形部３０ａと、回転軸２０の回転に伴って円形部を回転させる回転部３０ｂとを有する。回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置しており、回転部３０ｂの幅は回転軸２０から円形部３０ａに向けて徐々に増加している。これら回転軸２０、中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しないように設けられている。
【００２６】
そして、図８及び図１５に示すように、この中立弁部３０の一端には、接続部材９１の突起部９３と嵌合する凹部９５が形成されている。この凹部９５は、その断面形状が接続部材９１の断面形状と合致する略Ｔ字状を成す。こうした凹部９５は、中立弁部３０の流路方向Ｈにおける一面側３０Ａ（第一面）と他面側３０Ｂ（第二面）の両側に、それぞれ凹部９５Ａ，９５Ｂとして形成されている。これによって、回転軸２０（図１６参照）は、中立弁部３０に対して流路方向Ｈに沿った上側と下側のいずれにも選択的に接続することができる。あるいは、回転軸２０に対して、中立弁体５全体を両面どちらにも取り付けることができる。即ち、接続部材９１の凹部９５Ａの側に中立弁体５を取り付ければ、仕切弁１００Ａの閉弁時において、可動弁部４０が第１開口部１２ａを塞ぐ向き（図９参照）となる。逆に、接続部材９１の凹部９５Ｂの側に中立弁体５を取り付ければ、可動弁部４０が第２開口部１２ａｂを塞ぐ向きとなる。
【００２７】
図１６に示すように、接続部材９１に形成された突起部９３と、中立弁部３０に形成された凹部９５とは互いに嵌合される。図１６（ａ）に示すように、接続部材９１と中立弁部３０とは、係合状態において、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第一間隔ｔ１で離間した一組の第一平行面９６ａ，９６ｂと、流路方向Ｈに沿って互いに平行に広がり第一間隔ｔ１よりも広い第二間隔ｔ２で離間した一組の第二平行面９７ａ，９７ｂとで互いに接触している。
【００２８】
こうした一組の第一平行面９６ａ，９６ｂ、および一組の第二平行面９７ａ，９７ｂは、それぞれ、流路方向Ｈに直角に延びる一軸Ｌを挟んで対称に配される。また、第一平行面９６ａ，９６ｂと第二平行面９７ａ，９７ｂとは、この一軸Ｌに沿って互いに重ならない位置に配される。
【００２９】
図１４に示すように、接続部材９１の突起部９３には、この一組の第一平行面９６ａ，９６ｂを構成する第一接触面９３ａ，９３ｂと、第二平行面９７ａ，９７ｂを構成する第二接触面９３ｃ，９３ｄとが形成されている。そして、これら第一接触面９３ａ，９３ｂと第二接触面９３ｃ，９３ｄのそれぞれを繋ぐ第一傾斜面９３ｅ，９３ｆとともに、突起部９３は全体として２段階の幅を持つ突起形状を成している。
【００３０】
一方、図１５に示すように、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５は、一組の第一平行面９６ａ，９６ｂを構成する第三接触面９５ａ，９５ｂと、第二平行面９７ａ，９７ｂを構成する第四接触面９５ｃ，９５ｄとが形成されている。そして、これら第三接触面９５ａ，９５ｂと第四接触面９５ｃ，９５ｄのそれぞれを繋ぐ第二傾斜面９５ｅ，９５ｆとともに、凹部９５は全体として２段階の幅を持つ溝形状を成している。
【００３１】
更に、図１４、図１６に示すように、回転軸２０の中心には、接続部材９１を介して回転軸２０と中立弁部３０とを締結するための雄ネジ２１（締結具１２１）を貫通させる貫通穴２２が形成されている。また、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５には、雄ネジ２１（締結具）と螺合する雌ネジ３１が形成されている。更に、接続部材９１には、雄ネジ２１（締結具）を貫通させるネジ溝のない開口９８が形成されている。
【００３２】
以上の構成によって、接続部材９１に形成された突起部９３と、中立弁部３０に形成された凹部９５とを嵌合させ、更に、回転軸２０の上端側から、雄ネジ２１（締結具）を貫通穴２２および開口９８に貫通させ、雄ネジ２１の先端部分を、中立弁部３０の雌ネジ３１にネジ止めすることにより、回転軸２０と中立弁部３０とは、接続部材９１を介して締結（固定）される。
【００３３】
中立弁部３０のメンテナンス、例えば、繰り返し開閉による中立弁部３０の交換等で、中立弁部３０を回転軸２０に固着された接続部材９１に取り付ける際には、中立弁部３０の一端に形成された凹部９５を接続部材９１に形成された突起部９３に対向させる。
次に、中立弁部３０の凹部９５を突起部９３に差し込むと、凹部９５の第三接触面９５ａ，９５ｂが、それぞれ突起部９３の第一接触面９３ａ，９３ｂに接触する。また、凹部９５の第四接触面９５ｃ，９５ｄが、それぞれ突起部９３の第二接触面９３ｃ，９３ｄに接触する。
【００３４】
こうした挿入工程での凹部９５と突起部９３との接触面は、第一平行面９６ａ，９６ｂ、および第二平行面９７ａ，９７ｂに限られ、突起部９３の第一傾斜面９３ｅ，９３ｆと、凹部９５の第二傾斜面９５ｅ，９５ｆとは接触しない。つまり、矢印Ｂ１で示す方向である接続方向において、回転軸２０の軸線を挟んだ両側位置となる部分で周方向の取り付け位置を規制することができるので、取り付け位置、特に、回転軸２０の軸線周りの中立弁部３０の取り付け方向の正確性を容易に向上することができる。同時に、例えば、凹部９５と突起部９３との接触面（第一平行面９６ａ，９６ｂ、第二平行面９７ａ，９７ｂ）のクリアランス（隙間）を極めて小さく設定しても、凹部９５を突起部９３に押し込む際の摩擦力が軽減され、スムーズに凹部９５と突起部９３とを嵌合させることができる。
【００３５】
また、互いに幅の異なる第一平行面９６ａ，９６ｂ、および第二平行面９７ａ，９７ｂで凹部９５と突起部９３とを接触させることによって、凹部９５を突起部９３に押し込む際の取付精度を向上させると共に、取付時に摩擦力の軽減によって、容易にその取付位置、即ち、突起部９３に対する凹部９５の押し込み量を調整することができる。即ち、凹部９５と突起部９３との係合時には、凹部９５に形成された雌ネジ３１のネジ穴位置を、接続部材９１の突起部９３に形成された開口９８と合致させる必要がある。
【００３６】
本実施形態のように、第一平行面９６ａ，９６ｂ、および第二平行面９７ａ，９７ｂだけで凹部９５と突起部９３とを接触させることで、雌ネジ３１のネジ穴位置と突起部９３に形成された開口９８とを容易に微調整しつつ合致させることができる。これによって、回転軸２０の貫通穴１２１Ａから開口９８を介して雄ネジ１２１（締結具）を容易に雌ネジ３１に締結することができる。また、端面９３ｍと端面９５ｍとを接触させることで、図３４において矢印Ｂ１で示す方向である接続方向における互いの位置決めを行うことも可能である。
【００３７】
なお、本実施形態においては、接続部材９１に突起部９３を、また中立弁部３０の一端に凹部９５を設けているが、凹凸が逆の構造とすることもできる。つまり、回転軸２０に固着される接続部材に凹部を形成して、この凹部と嵌合する突起部を中立弁部の一端に形成する構造である。
【００３８】
［可動弁部４０、第２可動弁部５０（可動弁板部）、第１可動弁部６０（可動弁枠部）］
可動弁部４０は略円板状とされ、円形部３０ａと略同心円状に形成された可動弁板部５０と、この可動弁板部５０の周囲を囲むように配置された略円環状の第２可動弁部６０とを有する。第２可動弁部６０は、中立弁部３０に流路Ｈ方向に摺動可能として接続されている。また、可動弁板部５０は、第２可動弁部６０に摺動可能として嵌合されている。可動弁板部５０と第２可動弁部６０とは、メインバネ７０及びエアシリンダ８０によって符号Ｂ１，Ｂ２で示された方向（往復方向）に摺動しながら移動可能である。ここで、符号Ｂ１，Ｂ２で示された方向とは、可動弁板部５０および第２可動弁部６０の面に垂直な方向であり、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。
また、可動弁板部５０の外周付近における全領域には、内周クランク部５０ｃが形成されている。また、可動弁枠部６０の内周付近における全領域には、外周クランク部６０ｃが形成されている。
第１実施形態においては、外周クランク部６０ｃと内周クランク部５０ｃとが、流路Ｈ方向と平行な摺動面５０ｂ、６０ｂどうしで摺動可能に嵌合している。
【００３９】
弁箱１０の内面に対向（当接）する可動弁枠部６０の表面には、第１開口部１２ａの形状に対応して円環状に形成された、例えば、Ｏリング等からなる第１シール部６１（主シール部）が設けられている。
この第１シール部６１は、閉弁時に可動弁部４０が第１開口部１２ａを覆っている状態で、第１開口部１２ａの周縁となる弁箱１０の内面１５ａに接触し、可動弁枠部６０及び弁箱１０の内面によって押圧される。これによって、第１空間は第２空間から確実に隔離される（仕切り状態が確保される）。
【００４０】
［メインバネ７０（第１付勢部）］
メインバネ７０（第１付勢部）は、可動弁部４０の最外周となる第１周囲領域４０ａに隣接した第１周囲領域４０ｂに配置されている。メインバネ７０においては、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて（Ｂ１方向）に押圧するように、同時に、可動弁板部５０を第２開口部１２ｂに向けて（Ｂ２方向）に押圧するように復元力が生じている。これにより、可動弁部４０による弁閉状態において、メインバネ７０は、可動弁板部５０に力を加え（付勢し）、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ｂに向けて可動弁板部５０を押圧して内面１５ｂと可動弁板部５０の反力伝達部５９とを当接させている。更に、メインバネ７０は、同時に、可動弁枠部６０に力を加え（付勢し）、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａに向けて可動弁枠部６０を押圧して内面１５ａと可動弁枠部６０の第１シール部６１とを当接させている。
【００４１】
本実施形態においては、メインバネ７０は、可動弁板部５０に第２開口部１２ｂ側を向いて開口するよう設けられた凹部５０ａとこの凹部５０ａの対向位置に可動弁枠部６０に第１開口部１２ａ側を向いて開口するよう設けられた凹部６０ａとに嵌め込まれて設けられた弾性部材（例えば、スプリング、ゴム、密閉されたエアダンパーなど）である。
メインバネ７０は、第一端と第二端とを有する。第一端は、可動弁板部５０の凹部５０ａの底面に当接している。第二端は、可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面に当接している。また、図８に示すように、円環状の可動弁枠部６０において、複数の第１付勢部７０が周方向に沿って等間隔に設けられている。
【００４２】
メインバネ７０を構成する弾性部材の自然長は、可動弁枠部６０のシール部６１と、可動弁板部５０の反力伝達部５９とが、それぞれ、弁箱１０の内面１５ａと内面１５ｂとを押圧する可動弁部４０の最大厚さ寸法となった状態における可動弁板部５０の凹部５０ａの底面と可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面との間の距離よりも大きい。このため、可動弁板部５０の凹部５０ａの底面と可動弁枠部６０の凹部６０ａの天井面とによって圧縮されつつ凹部５０ａおよび凹部６０ａの内部に配置されているメインバネ７０においては、弾性復元力（延伸力，付勢力）が生じている。この弾性復元力が作用することにより、可動弁枠部６０がＢ１方向に、同時に、可動弁板部５０がＢ２方向に摺動しながら、第１シール部６１および反力伝達部５９が弁箱１０の内面に当接して押圧され、閉弁動作が行われる。
【００４３】
また、メインバネ７０は、第１シール部６１に対する押圧力を効率よく伝達して仕切弁１００の閉塞を確実にするために、第１シール部６１に近接した第２周囲領域４０ｂに配置される。具体的には、第１シール部６１直下のすぐ外周位置には後述する反力伝達部５９となる突条が位置するのに対し、可動弁板部５０の径方向位置として、この第１シール部６１を挟んだ突条５９（反力伝達部）の反対側位置にメインバネ７０は位置される。これにより、メインバネ７０の付勢力は効率よく可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９とに伝達され、第１シール部６１の変形による弁の密閉の確実性を向上することができる。
また、メインバネ７０は、第１シール部６１を直接押圧できるようにするために、第１シール部６１の直下付近とされる第２周囲領域４０ｂに配置されることもできる。この場合、仕切弁においては、第１付勢部７０を可動弁枠部６０に設けられているので、第１付勢部７０を第１シール部６１の直下に位置させることが可能である。
【００４４】
このように、仕切弁１００においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行う第２付勢部８０（後述）とが近接して設けられている。この構成において、メインバネ７０及び第２付勢部８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域（第１周囲領域４０ａ及び第２周囲領域４０ｂ）において、互いに近接するように径方向に隣接して配置されている。また、メインバネ７０は、第１シール部６１の直下付近に位置している。つまり、仕切弁１００の構造は、第１シール部６１、反力伝達部５９、メインバネ７０の位置関係が、作用点及び支点が存在するモーメント荷重を加える構造として効率よくシールを行うことができるように構成される。
【００４５】
さらに、メインバネ７０の付勢力が可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを拡げる方向、つまり、可動弁部４０の厚さを増大して、可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９とを弁箱１０の内面１５ａ，１５ｂに押圧する方向に設定されている。このため、停電等によってユーティリティ設備から仕切弁１００を備える装置への電力供給（エネルギー供給）が停止した場合であっても、メインバネ７０において生じる機械的な力のみで確実に仕切弁１００を閉じることができる。このため、フェイルセーフな仕切弁を確実に実現できる。
【００４６】
［エアシリンダ８０（第２付勢部）］
エアシリンダ８０は、可動弁部４０の最外周となる第１周囲領域４０ａに配置されている。エアシリンダ８０においては、エアシリンダ８０に駆動流体として圧縮空気が供給された際に、可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂに向けて（Ｂ２方向）移動させる力（付勢力、圧縮空気に起因する力）が生じる。同時に、可動弁板部５０を第１開口部１２ａに向けて（Ｂ１方向）に移動させる力（付勢力、圧縮空気に起因する力）が生じる。これによって、メインバネ７０の付勢力に打ち勝って、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａから可動弁枠部６０を離間させるのと同時に、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ｂから可動弁板部５０を離間させる。
これにより、後述する補助バネ９０（第３付勢部）の付勢力により体４０は流路Ｈ方向において弁箱１０の厚さ中央位置となりの弁箱１０内で回動可能な状態となる。
【００４７】
なお、可動弁部４０において、第１周囲領域４０ａは、円環状である可動弁枠部６０のシール部６１と可動弁板部５０の反力伝達部５９との内側に位置する。同時に、可動弁部４０において、第２周囲領域４０ｂは、第１周囲領域４０ａの内側に位置する。即ち、可動弁部４０の径方向において、メインバネ７０は、エアシリンダ８０の内側に配置されている。言い換えれば、エアシリンダ８０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向（流路Ｈ方向）に交差する方向においてメインバネ７０に隣接している。つまり、エアシリンダ８０は、可動弁部４０の径方向において、シール部６１および反力伝達部５９、と、メインバネ７０との間に位置する。
【００４８】
本実施形態においては、エアシリンダ８０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に設けられた１つのエアシリンダ（空隙）である。
具体的に、このエアシリンダ８０は、可動弁枠部６０の第１開口部１２ａに向けて開口した凹部６０ｄと可動弁板部５０の第２開口部１２ｂに向けて突出した凸部５０ｄとが勘合した状態で形成され、これら環状の凹部６０ｄと環状の凸部５０ｄとが摺動するように形成されている。また、このエアシリンダ８０は、可動弁枠部６０の周縁部に形成された円環状の空間、および、可動弁板部５０の最外周に形成された突条（環状凸部）からなり、１つの円環シリンダ（円環空隙）として機能する。また、言い換えると、円環シリンダは、流路Ｈを囲むように形成されている。
【００４９】
エアシリンダ８０に駆動用流体である圧縮空気が供給されると、第２付勢部８０の体積を膨張させる膨張力（付勢力）がＢ１，Ｂ２方向に生じる。膨張力の大きさがメインバネ７０に生じる復元力よりも大きい場合、この膨張力がメインバネ７０の付勢力に打ち勝ってメインバネ７０が圧縮され、可動弁板部５０がＢ１方向に可動弁枠部６０がＢ２方向に摺動して弁体４０の厚さ方向寸法が縮小して、第１シール部６１が弁箱１０の内面１５ａから離間し、同時に、反力伝達部５９が弁箱１０の内面１５ｂから離間して、開弁動作が行われる。この際、円環状の凹部６０ｄと凸部５０ｄとが摺動することで、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との移動する方向が流路方向のみに規制されるとともに、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが、シール部６１および反力伝達部５９が弁箱１０内面１５ａ、１５ｂに当接した状態から平行移動するように位置規制される。つまり、このエアシリンダ８０は可動弁板部５０と可動弁枠部６０との相対移動方向とその姿勢を規制することができる。
【００５０】
［補助バネ９０（第３付勢部）］
補助バネ９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との間に設けられ、弁箱１０の流路方向ほぼ中央に位置する中立弁部３０に対して、弁体４０の厚さ寸法が縮小した際に、弁体４０を弁箱１０の中央よりに付勢する。
補助バネ９０は、中立弁部３０の外周位置（図９，図１１では右側位置）に設けられた開口３０ａを貫通して可動弁枠部６０に接続された棒状の位置規制部６５に設けられている。補助バネ９０もメインバネ７０と同様に弾性部材（例えば、スプリング、ゴム、密閉されたエアダンパーなど）である。
補助バネ９０は、中立弁部３０開口３０ａの第１開口部１２ａ側に設けられたフランジ部３０ｂと、位置規制部６５の先端６５ａとに係止されて、可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂ側に移動するＢ２に向かう向きに付勢されている。
【００５１】
補助バネ９０は、この中立弁部３０より第１開口部１２ａ側に位置する可動弁枠部６０を第２開口部１２ｂに向けて付勢して、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａに可動弁枠部６０のシール部６１が当接している場合であって、エアシリンダ８０に駆動用流体である圧縮空気が供給された際に、可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面１５ａから離間するように付勢している。
これにより、エアシリンダ８０に圧縮空気が供給された際に、弁体４０が弁箱１０の流路方向ほぼ中央に向かって移動し、最終的に、弁体４０が弁箱１０の流路方向ほぼ中央に位置するように弁体の姿勢が制御される。また、補助バネ９０の付勢力は、メインバネ７０の付勢力とエアシリンダ８０の付勢力の差よりも遙かに小さい。つまり、弁体の厚さ寸法を変化させるために補助バネ９０は機能するため、弁閉状態を実現するための能動的バネ、あるいは、アクチュエータとしてのメインバネ７０やエアシリンダ８０に比べて、補助バネ９０の付勢力は、極めて小さくてよい。
【００５２】
このように、仕切弁１００においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、弁体４０厚さを増大する動作を行うメインバネ７０と、弁体４０厚さを縮小する動作を行うエアシリンダ８０と、弁体４０を流路方向において弁箱１０の中央位置側に配置させるように弁体４０の姿勢を制御する補助バネ９０と、が設けられている。この構成において、メインバネ７０及びエアシリンダ８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域において、互いに近接するように並列に配置されている。
この構成によれば、一方向に圧縮空気を第２付勢部８０に供給する供給路４１が１つ設けられていれば、圧縮空気を円環状のエアシリンダ８０の内部に供給することで弁体４０の厚さ寸法の伸縮（開弁動作及び閉弁動作）を行うことができるとともに、この動作中において補助バネ９０により弁体４０の伸縮に伴う弁体４０の流路方向位置を弁箱１０の中央付近に容易に維持することができる。
また、エアシリンダ８０は、開弁動作を行うために用いられるので、第２付勢部８０において発生する力の大きさ（出力）として、第１付勢部７０を圧縮することができる大きさ（出力）があれば十分である。
【００５３】
図１０は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに嵌合されている部分および中立弁部３０と可動弁板部５０とが互いに嵌合されている部分を示す拡大縦断面図であり、第１付勢部７０及びガイドピン６２が設けられた部位を示している。
【００５４】
［第２シール部５１ａ，５１ｂ（２重シール部）及び第３シール部５２ａ，５２ｂ（２重シール部）］
可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の外周面には、可動弁枠部６０の環状凹部６０ｄの内周面に当接し、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間をシールする２重シール部として、Ｏリング等の円環状の第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂが設けられている。
【００５５】
具体的には、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の径方向外側に位置する第１外周面５０ｆに第２シール部５１ａ，５１ｂが設けられている。また、径方向において第１外周面５０ｆの内側である第２内周面５０ｇに、第３シール部５２ａ，５２ｂが設けられている。第２シール部５１ａ，５１ｂは、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆに当接し、第３シール部５２ａ，５２ｂは、可動弁枠部６０の第２外周面６０ｇに当接する。
第２シール部５１ａ，５１ｂは、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第１開口部１２ａに近い中空部１１とを仕切り、仕切り状態を確保する。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂは、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第２開口部１２ｂに中空部１１とを仕切り、仕切り状態を確保する。
【００５６】
第２シール部５１ａ，５１ｂは、駆動用の圧縮空気が供給されて圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、例えば圧力が低い空間である第１開口部１２ａに連通する第１空間側とを遮断し、この仕切り状態を確保することができる。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂは、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間であって第２開口部１２ｂに近い第２空間側とを仕切り、仕切り状態を確保することができる。
【００５７】
［リーク孔Ｓｅａｌ６］
第２シール部５１ａおよび第３シール部５２ａの低圧側には、図４，図５に示すように、弁体４０の最外周である第１周囲領域４０ａに隣接した第２周囲領域４０ｂに設けられた円環状のエアシリンダ８０において、その外周面５０ｆおよび内周面５０ｇに設けられた第２シール部５１ａ、第３シール部５２ａにおいて、それぞれのＯリングＳａｅｌ２の収納されたＯリング溝Ｓｅａｌ１の低圧側となる第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂに近い側にリーク孔Ｓｅａｌ６が設けられる。なお、図１０，図１２では、リーク孔Ｓｅａｌ６等は省略した記載となっている。
【００５８】
外周側の第２シール部５１ａは、Ｏリング溝Ｓｅａｌ１の底面Ｓｅａｌ３付近に貫通するように摺動方向に延在するリーク孔Ｓｅａｌ６ｅが設けられる。
内周側の第３シール部５２ａには、Ｏリング溝Ｓｅａｌ１の底面Ｓｅａｌ３付近に貫通するように摺動方向に延在するリーク孔Ｓｅａｌ６ａと、このリーク孔Ｓｅａｌ６ａに連通して略直交するリーク孔Ｓｅａｌ６ｂとが設けられ、リーク孔Ｓｅａｌ６ａの低圧の側一端が閉塞部材Ｓｅａｌ６ｃにより閉塞され、リーク孔Ｓｅａｌ６ｂの低圧の側一端が閉塞部材Ｓｅａｌ６ｄにより閉塞される。リーク孔Ｓｅａｌ６ｂの開口側には、該開口径よりも大きい範囲に、周辺よりも凹んだ凹部Ｓｅａｌ６７が設けられている。
【００５９】
このように閉塞空間が形勢される可能性のある位置に、リーク孔Ｓｅａｌ６を設けたことにより、この部分が低圧側に連通して、低圧側の真空引きと連動して内部圧力が低下し、ガスが噴出を防止でき、低圧側の真空度を悪化させることがない。
【００６０】
リーク孔Ｓｅａｌ６ａは、図４に示すように、弁体４０または第１開口部１２ａの径方向に延在するように設けられる。また、本実施形態では、リーク孔Ｓｅａｌ６ｅがリーク孔Ｓｅａｌ６ａを形成した際の凹部に連通している。
【００６１】
リーク孔Ｓｅａｌ６ａは、環状凸部５０ｄの径方向外周面５０ｆ側から内周面５０ｇ側に貫通孔として形成し、リーク孔Ｓｅａｌ６ｂは、環状凸部５０ｄの低圧側表面からＯリング溝Ｓｅａｌ１の底面Ｓｅａｌ３側となる側壁Ｓｅａｌ４まで貫通孔として形成し、これらがいずれも閉塞部材Ｓｅａｌ６ｃ，Ｓｅａｌ６ｄによって閉塞される。
閉塞部材Ｓｅａｌ６ｃ，Ｓｅａｌ６ｄは、図６に示すように、ボルトの頭側にＯリングを設けたものとされるが、密閉閉塞加納であれば嵌め殺しその他の構成とすることもできる。
【００６２】
［ガイドピン６２］
ガイドピン６２は、可動弁枠部６０に固設されて流路方向に立設された太さ寸法均一の棒状体とされ、エアシリンダ８０内を貫通し、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）に形成された孔部５０ｈに嵌合している。
このガイドピン６２は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向が符号Ｂ１，Ｂ２に示された方向からずれないように、かつ、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にもその姿勢が変化せずに平行移動を行うように、これらの位置規制を確実に誘導する。
【００６３】
これによって、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが、符号Ｂ１，Ｂ２に対して斜め方向に移動することを防止している。同時に、可動弁枠部６０は、弁閉状態としてシール部６１と反力伝達部５９とがそれぞれ弁箱１０の内面１５ａ，１５ｂに当接した状態に対して、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との流路方向位置が変化した場合でも、これらが平行状態を維持して平行移動し、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが傾いてしまうことを防止している。
【００６４】
この構造においては、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに位置決めされつつ、符号Ｂ１及びＢ２で示された方向に平行状態を維持したまま相対的に移動し、閉弁動作及び開弁動作を行うことができる。
【００６５】
また、このようにガイドピン６２を備えた構造においては、例えば、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動する方向に対して直角に重力が作用するように仕切弁１００が取り付けられている場合、摺動する部材である可動弁板部５０と可動弁枠部６０との重量がガイドピン６２に加わる。このため、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂ（Ｏ−ｒｉｎｇ）に可動弁板部５０と可動弁枠部６０との重量が直接的に加わることを防止される。
ガイドピン６２と孔部５０ｈとの摺動面の面積を低減するため、また、仕切弁１００の外部である第１空間及び第２空間からガイドピン６２を隔離するために、ガイドピン６２は、エアシリンダ８０内を貫通するように配置されている。
【００６６】
［ワイパー５３，５４］
可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の径方向外側に位置する第１外周面５０ｆには、可動弁部６０の内周面に当接する円環状のワイパー５３が設けられている。同様に、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の径方向において第１外周面５０ｆの内側である第２内周面５０ｇには、可動弁部６０の外周面に当接する円環状のワイパー５４が設けられている。
【００６７】
ワイパー５３は、第２シール部５１ａ，５１ｂと同様にして、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆに当接し、ワイパー５４は、第３シール部５２ａ，５２ｂと同様にして、可動弁枠部６０の第１外周面６０ｇに当接する。
ワイパー５３，５４、第２シール部５１ａ，５１ｂ、第３シール部５２ａ，５２ｂは、いずれも、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）に配置されている。第２シール部５１ａは、第１開口部１２ａ（第１空間）に近い位置に配置されている。第３シール部５２ａは、第２開口部１２ｂ（第２空間）に近い位置に配置されている。ワイパー５３，５４はリーク孔Ｓｅａｌ６と干渉しないように設けられる。
【００６８】
これらのワイパー５３，５４は、開弁動作及び閉弁動作によって環状の凹部６０ｄと環状の凸部５０ｄとが摺動するエアシリンダ８０において、その可動弁枠部６０の凹部６０ｄの内周面を潤滑あるいは清掃し、上記摺動によって発生するダスト及びエアシリンダ８０から発生するダストを第１空間及び第２空間に放出させない機能を有する。
また、ワイパー５３，５４を構成する部材（材料）として、例えば、スポンジ状のポーラスな弾性体を選択すれば、その部材の内部に潤滑油を浸透（保持）させておくことができる。
これにより、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂによってシールされるシール面に一定の膜厚を有する薄い油膜が形成された状態を維持することが可能となる。つまり、ワイパー５３，５４は、余剰な油膜を拭き取り、油膜が枯渇した際には一定の膜厚を有する油膜を塗布する。
【００６９】
［中間大気室５５，５６］
第２シール部５１ａ，５１ｂによって仕切られたエアシリンダ８０の表面には、大気圧の空間（空隙）である中間大気室５５が設けられている。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂによって仕切られたエアシリンダ８０の表面には、大気圧の空間（空隙）である中間大気室５６が設けられている。
具体的には、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の外周面５０ｆで第２シール部５１ａ，５１ｂによって仕切られた部分に中間大気室５５が設けられている。また、可動弁板部５０の環状凸部５０ｄ（突条）の内周面５０ｇで第３シール部５２ａ，５２ｂによって仕切られた部分に中間大気室５６が設けられている。中間大気室５５は、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｆと可動弁板部５０の外周面５０ｆに設けられた溝とで形成された空間であり、中間大気室５６は、可動弁枠部６０の第１外周面６０ｇと可動弁板部５０の第２内周面５０ｇに設けられた溝とで形成された空間である。
【００７０】
そして、これらの中間大気室５５，５６は、後述する供給路４１と同様の構成とされ図示しない連絡路によって仕切弁１００の外部に連通され、エアシリンダ８０の加圧中に１重目のシールが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）を仕切弁外部に向けて逃がして、圧縮空気が弁箱１０内部に放出されてしまうことを防止するようになっている。
つまり、加圧状態にあるエアシリンダ８０に対して、１重目のシールである第２シール部５１ｂが破れた際に、２重目のシールである第２シール部５１ａより気体供給側に、駆動用気体を仕切弁外部に向けて逃がす中間大気室５５および連絡路が設けられている。また、加圧状態にあるエアシリンダ８０に対して、１重目のシールである第３シール部５２ｂが破れた際に、２重目のシールである第３シール部５２ａより気体供給側に、駆動用気体を仕切弁外部に向けて逃がす中間大気室５６および連絡路が設けられている。
これにより、圧縮空気が弁体１０内部に噴出して、仕切弁１００内部、および、第１空間、第２空間、に悪影響を及ぼすことを防止できる。
【００７１】
同時にまた、これらの中間大気室５５，５６の圧力は、連絡路によりモニタ可能である。即ち、圧力計が中間大気室５５，５６の圧力を測定するように仕切弁１００外部に設けられるとともに連絡路によって接続されており、ユーザによってその圧力が監視される。
例えば、第１開口部１２ａに近い第１空間が減圧空間であり、第２シール部５１ａが破損している場合においては、中間大気室５５の圧力は、大気圧よりも低くなる。
また、圧縮空気が供給されているエアシリンダ８０内の圧力は大気圧よりも高くなるため、第２シール部５１ｂが破損している場合には、中間大気室５５の圧力は、大気圧よりも高くなる。
同様に、第２開口部１２ｂに近い第２空間が減圧空間であり、第３シール部５２ａが破損している場合においては、中間大気室５６の圧力は、大気圧よりも低くなる。
また、圧縮空気が供給されているエアシリンダ８０内の圧力は大気圧よりも高くなるため、第３シール部５２ｂが破損している場合には、中間大気室５６の圧力は、大気圧よりも高くなる。
【００７２】
このように仕切弁１００は、中間大気室５５，５６の圧力をモニタする構造を有することができるので、例えば、中間大気室５５，５６の圧力値が大気圧よりも低い圧力であって閾値の圧力よりも低い場合、あるいは大気圧よりも高い圧力であって閾値の圧力よりも高い場合に、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂの異常を検知することができる。
例えば、中間大気室５５，５６中あるいは連絡路にアラーム装置が設けられた構造、或いは、仕切弁１００に接続された制御装置にアラーム装置が設けられた構造が採用されていれば、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂの異常をアラームによって報知することができる。従って、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂが破損し、内部リークが仕切弁１００に発生し、メンテナンスが必要であることをすぐに認識することができる。
これにより、真空装置等の外部から検知することができない、仕切弁において発生した内部リーク等の不具合を確実に判断することができる。
【００７３】
［接続ピン部６９、供給路４１］
仕切弁１００には、図に二点差線で示すように、エアシリンダ８０に駆動用気体を供給する供給路４１が形成され、この供給路４１は、可動弁枠部６０の躯体内部、および、中立弁部３０の躯体内部、回転軸１０内部を経由して、仕切弁１００の外部に設けられた図示しない駆動用気体供給手段に連通するよう設けられている。
この供給路４１には、可動弁枠部６０と中立弁部３０との流路方向位置が変化した際にも、可動弁枠部６０と中立弁部３０との間で駆動用気体を供給可能に摺動接続する接続ピン部６９が設けられる。
【００７４】
接続ピン部６９は、中立弁部３０に流路方向と平行に穿孔された円形断面の孔部３８と、この孔部３８に回動可能に勘合された棒状の接続ピン６８とからなっている。孔部３８の内面３８ａは、開口側の内面３８ａに比べて底部側の内面３８ｂが縮径され、これに対応して、接続ピン６８の径寸法も基部６８ａに対して先端６８ｂが縮径している。そして、この径寸法が変化する部分にそれぞれ段差３８ｃ、段差６８ｃが形成されている。
【００７５】
接続ピン部６９は、図に二点差線で示すように、その中心軸線付近に供給路４１が形成されて管状となっており、可動弁枠部６０内部の供給路４１が連通されている。また、接続ピン６８の先端面６８ｄａには供給路４１が開口しており、この先端面６８ｄと孔部３８の底部３８ｄ付近とで形成される加圧空間６９ａには、中立弁部３０躯体内に形成された供給路４１が連通されている。駆動用気体供給手段から供給された圧縮空気は、中立弁部３０内部の供給路４１を介して空間６９ａに噴出し、接続ピン部６９内部の供給路４１および可動弁枠部６０内部の供給路４１を介してエアシリンダ８０に供給される。
【００７６】
接続ピン部６９においては、接続ピン６８の外周面６８ａには孔部３８の内周面３８ａが当接するとともに、接続ピン６８の外周面６８ｂには孔部３８の内周面３８ｂが当接している。接続ピン６８には、孔部３８内で接続ピン６８が軸線方向（流路方向）に移動した場合でも、加圧面となる先端面６８ｄと底面３８ｄとの間ではなく、摺動方向となる面に、駆動用の圧縮空気が供給されて圧力が高い空間である加圧空間６９ａと、例えば圧力が低い空間である第２開口部１ｂに連通する第２空間側とを遮断する２重シール部が設けられる。シール部としては、加圧空間６９ａと中空部１１との仕切り状態を確保できる部材が使用される。
【００７７】
具体的には、接続ピン６８には、接続ピン６８と孔部３８との間をシールする２重シール部として、Ｏリング等とこれを埋設する周設溝とされる円環状の太シール部６８ｆが設けられるとともに、Ｏリング等とこれを埋設する周設溝とされる円環状の小シール部６８ｇが外周面６８ｂに設けられている。
同時に、段差６８ｃおよび段差３８ｃで形成された円環状の中間大気室６９ｃが、この２重シールの間にあり、図示しない連絡路４２に連通されることで、圧縮空気が弁箱１０内部に噴出して、仕切弁１００内部、および、第１空間、第２空間、に悪影響を及ぼすことを防止できる。
【００７８】
特に、加圧面となるとともにその距離が変化する先端面６８ｄと底面３８ｄとの間でシールするのではなく、直接的に加圧面とはならずかつ摺動面であり距離が変化しない外周面６８ａと内周面３８ａおよび外周面６８ｂと内周面３８ｂとの間でシールを行うので、より確実な密閉状態を維持することが可能となる。
このようなシール部６８ｆ、６８ｇの構成によれば、上述したエアシリンダ８０における第２シール部５１ａ，５１ｂ（２重シール部）及び第３シール部５２ａ，５２ｂ（２重シール部）およびガイドピン６２の構成と同様の作用効果を奏することが可能となる。
【００７９】
孔部３８内で接続ピン６８が軸線方向（流路方向）に移動中あるいは移動して流路方向の相対位置が変化した場合でも、駆動用気体供給手段から供給された圧縮空気は、中立弁部３０内部の供給路４１を介して空間６９ａに噴出し、この体積の変化した空間６９ａを介して、接続ピン部６９内部の供給路４１および可動弁枠部６０内部の供給路４１を介してエアシリンダ８０に安定的に供給される。
【００８０】
以上のように、本実施形態においては、上述した構成によって、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱の内面１５ａ、１５ｂに押圧して、シール部６１及び反力伝達部５９とで確実に弁閉塞を行うことができる。同時に、閉塞空間Ｓｅａｌ５が形勢される可能性のある位置に、リーク孔Ｓｅａｌ６を設けたことにより、この部分が低圧側１１に連通して、低圧側の真空引きと連動してリーク孔Ｓｅａｌ６および閉塞空間Ｓｅａｌ５ｎの内部圧力が低下し、ガスの噴出を防止でき、低圧側の真空度を悪化させることがない。
【００８１】
また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを中空部１１の流路方向中央位置側に向けて移動させることで、弁箱１０に弁体４０が接触しないようにして回動させ、回動以外の動作が必要な機構に比べて小型で出力の小さい駆動機構によって退避位置まで弁体４０を移動することができる。この構成においては、１つの可動弁部４０と３つの付勢部７０，８０，９０とによって弁体を形成することができる。また、可動弁部４０の周囲領域に配置されたメインバネ７０の復元力によって可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱１０の内面に直接押し付けて、確実に閉弁できる。同様に、可動弁部４０の周囲領域に配置されたエアシリンダ８０に供給された圧縮空気の作用によって可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを弁箱１０の内面から離間させて、確実に回動可能状態として開弁できる。従って、第１実施形態においては、簡単な構造を有し、高い信頼性で仕切り動作を行うことができる仕切弁を実現することができる。
【００８２】
（第２実施形態）
図１７は、本発明の第２実施形態における仕切弁の構成を示す縦断面図であり、固定弁部と可動弁部とが嵌合されているシリンダ付近の要部拡大図である。
図７において、図１ないし図１６に示した第１実施形態と対応する部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。
【００８３】
第１実施形態においては、可動弁板部５０の外周にＵ字形状のＵ字部が形成されており、可動弁枠部６０の内周に逆Ｕ字形状の逆Ｕ字部が形成されている。また、可動弁板部５０のＵ字部と可動弁枠部６０の逆Ｕ字部とが互いに嵌合するように、可動弁板部５０及び可動弁枠部６０が設けられている。
一方、第２実施形態の可動弁部４０の構造においては、図１７に示すように可動弁板部５０の外周に形成された外周クランク部と可動弁枠部６０の内周に形成された内周クランク部とが嵌合されている。
【００８４】
メインバネ７０を構成する弾性部材の自然長は、凹部６０ａの深さよりも大きい。このため、凹部６０ａの天井面と可動弁板部５０とによって圧縮されつつ凹部６０ａ内に配置されている第１付勢部７０においては、弾性復元力（延伸力，付勢力）が生じている。この弾性復元力が作用することにより、可動弁部６０がＢ１方向に摺動しながら、第１シール部６１が弁箱１０の内面に当接して押圧され、閉弁動作が行われる。
【００８５】
メインバネ７０は、第１シール部６１を直接押圧できるようにするために、第１シール部６１の直下に配置されることが望ましい。
第２実施形態においては、メインバネ７０が可動弁枠部６０に設けられているので、メインバネ７０を第１シール部６１の直下に位置させることが可能である。
【００８６】
本実施形態においては、閉弁動作及び開弁動作を行うアクチュエータとして、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行うエアシリンダ８０とが設けられている。この構成において、メインバネ７０及びエアシリンダ８０は、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域において、互いに近接するように並列に配置されている。
具体的には、弁体４０の最外周である第１周囲領域４０ａにメインバネ７０が設けられ、第１周囲領域４０ａに隣接した第２周囲領域４０ｂにはエアシリンダ８０が配置される。また、メインバネ７０は、第１シール部６１の直下に位置している。
この構造においては、メインバネ７０は第１シール部６１を直接押圧することができ、第１シール部６１にほぼ垂直方向に荷重を直接加える。つまり、仕切弁１００は、作用点及び支点が存在するモーメント荷重を加える構造ではないため、梃子に相当する部分の構造部材（強度）は必要なく、可動弁部６０には自重を支えることができる強度があれば十分である。
【００８７】
この第２実施形態においては、第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４の位置が、第１実施形態とは異なっている。
具体的に、第１実施形態においては、第１外周面５０ｆとは反対の面である内側面５０ｇに第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４が設けられているが、第２実施形態においては、第２外周面５０ｊに第３シール部５２ｂ，中間大気室５６，第３シール部５２ａ，及びワイパー５４が設けられている。
【００８８】
可動弁板部５０の外周クランク部において、径方向外側に位置する第１外周面５０ｆに第２シール部５１ａ，５１ｂ、ワイパー５３が設けられている。また、径方向において第１外周面５０ｆの内側であって第２シール部５１ａ，５１ｂの下方に位置する第２外周面５０ｊに、第３シール部５２ａ，５２ｂ、ワイパー５４が設けられている。第２シール部５１ａ，５１ｂは、可動弁枠部６０の第１内周面６０ｊに当接し、第３シール部５２ａ，５２ｂは、可動弁部６０の第１内周面６０ｊの下方に位置する第２内周面６０ｋに当接する。
第２シール部５１ａ，５１ｂ、ワイパー５３、中間大気室５５は、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第１開口部１２ａに近い第１空間とを仕切り、仕切り状態を確保する。同様に、第３シール部５２ａ，５２ｂ、ワイパー５４、中間大気室５６は、圧力が高い空間であるエアシリンダ８０と、圧力が低い空間等であって第２開口部１２ｂに近い第２空間とを仕切り、仕切り状態を確保する。
本実施形態の第２シール部５１ａ、第３シール部５２ａにおいても、図示しないが、それぞれのＯリングＳａｅｌ２の収納されたＯリング溝Ｓｅａｌ１の低圧側となる第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂに近い側にリーク孔Ｓｅａｌ６が設けられる。
【００８９】
これらのワイパー５３，５４は、開弁動作及び閉弁動作によって摺動する可動弁枠部６０の内周面を潤滑あるいは清掃し、上記摺動によって発生するダスト及びエアシリンダ８０から発生するダストを第１空間及び第２空間に放出させない機能を有する。
また、ワイパー５３，５４の内部に潤滑油を浸透（保持）させておくことができる。
これにより、第２シール部５１ａ，５１ｂ及び第３シール部５２ａ，５２ｂによってシールされるシール面に一定の膜厚を有する薄い油膜が形成された状態を維持することが可能となる。つまり、ワイパー５３，５４は、余剰な油膜を拭き取り、油膜が枯渇した際には一定の膜厚を有する油膜を塗布する。
【００９０】
以上のように、本実施形態によれば、上記第１実施形態と同様の効果が得られる。更に、第２実施形態においては、閉弁動作を行うメインバネ７０と、開弁動作を行うエアシリンダ８０とを、第１シール部６１に近い可動弁部４０の周囲領域に配置しているので、弁箱１０にアクチュエータを設ける必要がなく、簡単な構成を有する仕切弁を実現できる。
【００９１】
図１８は、本実施形態における中立弁部と可動弁部（可動弁枠部）とが接続されている接続ピン部付近の要部拡大縦断面図である。
図１８において、図１ないし図１６に示した第１実施形態と対応する部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。
【００９２】
第１実施形態においては、接続ピン部６９として、可動弁枠部６０と一体とされた接続ピン６８が形成されていたが、本実施形態の接続ピン部６９としては、可動弁枠部６０に接続されたフローティングピン６８Ａ（接続ピン）が貫通孔６７に勘合されている。
フローティングピン６８Ａは、図１８に示すように、孔部３８に回動可能かつ軸方向に摺動可能として勘合されている図示下部側が、上述した第１実施形態と略同等の構成とされている。
【００９３】
本実施形態の接続ピン部６９は、可動弁枠部６０に流路方向と平行に穿孔された円形断面の貫通孔６７を有し、この貫通孔６７にフランジ部６８Ａａを有する棒状のフローティングピン６８Ａが回動可能かつ半径方向に微動可能で、かつ傾斜は最小限になる様に勘合されている。貫通孔６７の内面６７ａは、フランジ部６８Ａａの径寸法に対応して可動弁枠部６０に対向した孔部３８よりも拡径したフランジ内面６７ａを有し、この開口側のフランジ内面６７ａに比べて図示上となる貫通側のガス接続位置内面３８ｂが縮径され、このガス接続位置内面６７ｂに比べて図示上となる貫通側の支持位置内面６７ｃが縮径され、この支持位置内面６７ｃに比べて図示上となる貫通側の外側内面６７ｄが拡径されている。
【００９４】
フローティングピン６８Ａは、その径寸法がこの貫通孔６７の径寸法に対応して、フランジ部６８Ａａに対して縮径したガス接続部６８Ａｂが縮径し、ガス接続部６８Ａｂに対して固定端６８Ａｃが縮径している。
固定端６８Ａｃには、固定溝６８Ａｄが周設されて、この固定溝６８Ａｄに勘合されたワッシャ等の固定部材６８Ａｅが、貫通孔６７の外側面６７ｅに当接することでフローティングピン６８Ａの軸方向（流路方向）における内側方向（図示下方向）の移動を規制し位置を固定している。
フランジ部６８Ａａの上側となるシール面６８Ａｆと、ガス接続部６８Ａｂの上側となるシール面６８Ａｇは、対向する段差面６７ｆおよび段差面６７ｇとの間に、Ｏリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊが設けられている。
【００９５】
フローティングピン６８Ａの外径寸法として、固定端６８Ａｃは支持位置内面６７ｃの内径寸法とほぼ等しく設定されているが、フランジ部６８Ａａおよびガス接続部６８Ａｂは、それぞれ、フランジ内面６７ａおよびガス接続位置内面３８ｂに対して、微少寸法小さく設定されて、フローティングピン６８Ａが可動弁枠部６０に対して径方向に僅かに遊びがある状態とされている。傾斜すると、シール部材６７ｈの潰し代が変化してしまう為、傾斜は最低限に抑え、径方向に微小変位するというのが技術的特徴である。このため、径方向の外力に応じて固定端６８Ａｃを支持位置として僅かに傾斜・移動する余地がある。
【００９６】
フローティングピン６８Ａは、固定端６８Ａｃの固定部材６８Ａｅと、シール面６８Ａｆおよびシール面６８Ａｇのシール部材６７ｈ、６７ｊで対向する方向に可動弁枠部６０を挟持するように固定されている。これにより、フローティングピン６８Ａは、図示上側に押圧された状態で、軸線方向（貫通孔６７の長さ方向）には移動しないように可動弁枠部６０に固定されている。
同時に、フローティングピン６８Ａは、シール部材６７ｈがシール面６８Ａｆと段差面６７ｆとに押圧されて変形するとともに、シール部材６７ｊがシール面６８Ａｇと段差面６７ｇとに押圧されて変形するようになっている。
このように、フローティングピン６８ＡのＯリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊが段差面６７ｆおよび段差面６７ｇに押圧されて変形することで、ガス接続部６８Ａｂ、および、接続位置内面６７ｂ部分がシールされる。
本実施形態のシール部材６７ｈ、６７ｊ、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇにおいても、図示しないが、それぞれのＯリングの収納されたＯリング溝の低圧側ｂに近い側にリーク孔Ｓｅａｌ６を設けることができる。
【００９７】
孔部３８の底部３８ｄ付近には、供給路４１となる開口が設けられる。
フローティングピン６８Ａの内部には、その先端面６８ｄに開口し軸方向に沿って中心に開けられるとともに、接続位置内面６７ｂに設けられた開口に対向する位置とされるガス接続部６８Ａｂの表面に開口する供給路４１が設けられて、加圧空間６９ａとエアシリンダ８０とを接続可能となっている。
【００９８】
本実施形態のフローティングピン６８Ａにおいては、摺動面と同じ方向となる内面６７ａとフランジ部６８Ａａの外周との間にシール部材は設けられていない。また、ガス接続位置内面６７ｂとガス接続部６８Ａｂとの間にシール部材は設けられていない。加圧面となる先端面６８ｄと平行な面（方向）との間、つまり、シール部材６７ｊがシール面６８Ａｇと段差面６７ｇとの間に設けられている。また、シール部材６７ｈがシール面６８Ａｆ（摺動方向と直行する面）と段差面６７ｆとの間に設けられている。このため、フローティングピン６８Ａが傾斜した場合や、フローティングピン６８Ａが僅かに径方向に移動した場合であっても、Ｏリング等とされるシール部材６７ｈ、６７ｊの潰し代は変化しない。したがって、このようにフローティングピン６８Ａが移動した場合、つまり、中立弁部３０と可動弁枠部６０とが、流路方向以外の相対位置変動した場合であっても、加圧されたガス接続部６８Ａｂ付近の供給路４１に対するシールを維持し、密閉が破れることがない。
【００９９】
同時に、本実施形態においては、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇにおいて、製作公差等によってフローティングピン６８Ａに対して半径方向の位置ズレなどがある場合においても、フローティングピン６８Ａと可動弁枠部６０に流路と直交する方向（フローティングピン６８Ａ径方向）の遊びがあるため、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇの摺動Ｏリングには偏芯が生じない。したがって、摺動時にも接続ピン６８と孔部３８との間のシールを維持し、密閉が破れることがない。
同時に、フローティングピン６８Ａの位置変動時においても、太シール部６８ｆおよび小シール部６８ｇに変形が集中することがないので、変形・破損の可能性を低減することができ、密閉維持をより確実に行うことができる。
【０１００】
なお、上記実施形態においては、第１付勢部７０としてスプリングが用いられた構造について説明したが、他の弾性体を用いてもよい。
【０１０１】
図１９は、本実施形態における締結部材付近の要部拡大図である。
図１９において、図１から図１６に示した実施形態と対応する部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。
【０１０２】
［締結ボルト４３（締結部材）］
締結ボルト４３（締結部材）は、図１９に示すように、外周面に雄ネジの設けられた先端部分４３ａが可動弁枠部６０に設けられた締結螺着部６３に設けられたネジ穴６３ａに螺接されている。締結ボルト４３は、可動弁体４０の厚さ方向、つまり、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との移動方向であるＢ１方向またはＢ２方向と平行な方向に軸線が向くように設けられている。
【０１０３】
締結ボルト４３の中央部分４３ｂは、先端部分４３ａと略同径とされ、可動弁板部５０に設けられた締結螺着部６３に設けられた貫通孔５７ｂに軸方向移動可能として貫通されている。中央部分４３ｂの径寸法は貫通孔５７ｂの径寸法よりも小さく設定され、これらが軸方向に相対移動した場合でも互いに接触しないようになっている。
締結ボルト４３の基端部分４３ｃには、先端部分４３ａおよび中央部分４３ｂよりも拡径したボルトヘッドとされ、先端部分４３ａ側の当接面４３ｄが、対向する締結部５７における貫通孔５７ｂ外側の当接面５７ｄと当接して、締結ボルト４３と可動弁板部５０との流路方向変動位置を規制可能になっている。
【０１０４】
締結ボルト４３には、先端部分４３ａの雄ネジが螺設された部分より先端位置に、係止用溝４３ｅが周設されて、この係止用溝４３ｅに勘合されたワッシャ等の止め輪４３ｆ（係止部材）が、ネジ穴６３ａの外側面６３ｆに当接することで締結ボルト４３の軸方向（流路方向）における内側方向（図示下方向）の移動を規制し、締結ボルト４３を回転させても可動弁枠部６位から離脱しないように係止している。
止め輪４３ｆ（係止部材）は、締結ボルト４３（締結部材）が単純に外れないだけではなく、可動弁板部５０と可動弁枠部６０と締結解除した状態で、締結ボルト４３が、長期的に緩みなく、かつ、位置を保持していることを可能とする。つまり係止部材４３ｆが締付軸力を安定的に負担する必要があるため、Ｅ形止め輪、Ｃ型止め輪、ピン型も適応可能で、ピン型の場合は、係止用溝４３ｅに代えて締結ボルト４３の径方向に設けられた係止孔に固定されることができる。
【０１０５】
締結ボルト４３の長さは、止め輪４３ｆが外側面６３ｆに当接した状態で、可動弁部４０が最大厚さとなっても、先端部分４３ａ側の当接面４３ｄが、対向する締結部５７における貫通孔５７ｂ外側の当接面５７ｄと当接しない程度に長く設定されている。また、可動弁部４０が最小厚さとなった場合には、締結螺着部６３と締結螺着部６３との対向する当接面６３ｇと、当接面５７ｇとが当接することで、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との位置規制が行われる。つまり、螺接された締結ボルト４３に対して、可動弁板部５０は、Ｂ１方向には当接面５７ｇが当接面６３ｇに当接する位置まで、また、Ｂ２方向には当接面５７ｄが当接面４３ｄに当接する位置まで移動可能となる。
【０１０６】
したがって、締結ボルト４３をネジ穴６３ａに対して回転し、締結長さを変化することで、可動弁板部５０の移動範囲、つまり、可動弁板部５０と可動弁枠部６０との流路方向位置を規制することができる。特に、エアシリンダ８０によって、メインバネ７０の付勢力に打ち勝って可動弁部４０の厚さが縮小した状態で、当接面５７ｄが当接面４３ｄに当接するように、締結ボルトを回動させることにより、エアシリンダ８０の駆動を停止した状態でも、可動弁部４０の厚さが縮小した状態を維持することが可能となる。これにより、メンテナンス時などに、中立弁体５を弁箱１０と接触しないように自由な状態で回動可能とすることができる。
【０１０７】
また、締結ボルト４３は、複数設けられたメインバネ７０の付勢力に打ち勝って安定的に可動弁部４０の厚さが縮小した状態を維持するために、可動弁部４０を流路方向に平面視して、複数のメインバネ７０が配置された中心位置に対して、この締結ボルト４３が対称に配置される。
【０１０８】
［回転軸２０、ケーシング１４］
回転軸２０は、図２０及び図２１に示すように、弁箱１０に固設されるケーシング１４に、ベアリング等とされる軸受１６Ａ，１６Ｂを介して、この弁箱１０を貫通して回動可能に支持されている。軸受１６Ａ，１６Ｂは、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に可能な限り離間して配置される。
ケーシング１４は、弁箱１０に対して密閉状態として貫通するように固定されるとともに、回転軸２０が密閉状態で回動自在に貫通するシールケーシング１４Ａと、このシールケーシング１４Ａに接続され、その内周側に設けられた軸受１６Ａ，１６Ｂを介して回転軸２０を回動自在に支持する円筒ケーシング１４Ｂ（４１４Ｂ）と、円筒ケーシング１４Ｂの一端を閉塞する蓋体ケーシング１４Ｃとからなり、これらは互いに固定接続されている。蓋体ケーシング１４Ｃには回転軸２０を挿抜可能な開孔を閉塞する蓋体１４Ｄが設けられる。
【０１０９】
シールケーシング１４Ａには、弁箱１０内部をシールするために、シール部１４Ａａ、１４Ａｂ，１４Ａｃおよび、大気圧の空間（空隙）である中間大気室１４Ａｄが設けられている。
円筒ケーシング１４Ｂの内周面側には、軸線ＬＬ方向における軸受１６Ａ，１６Ｂの間の位置に、流体経路リング１７，１８が、回転軸２０の外周面２０ｂに摺動可能に接触するように固定されている。
回転軸２０の外周面２０ｂの流体経路リング１７，１８の間の中心位置には、この回転軸２０を駆動させる（回転させる）ための回転軸駆動機構３００Ａを構成するピニオン４２１が固着される。ピニオン４２１は外部から密閉可能なケーシング４１４Ｂの内部空間４２２ｈに収納され、このピニオン４２１には、図２１において紙面奥行方向に往復動作することで、ピニオン１２１（後述するピニオン４２１に対応）を介して回転軸２０を回動させる丸棒状のラック部材１２２（後述するラック部材４２２に対応）が接続される。
【０１１０】
［回転軸駆動機構３００Ａ］
図２２は、回転軸駆動機構を示す概要図である。
回転軸２０を回転させるための回転軸駆動機構３００Ａは、回転軸２０に固着されたピニオン４２１と、このピニオン４２１と噛合するラック歯４２２ａを備えたラック部材４２２とを有している。回転軸駆動機構３００Ａは、ラック部材４２２を往復運動させるための回転駆動エアシリンダ４１０を備えている。回転駆動エアシリンダ４１０によって、ラック部材４２２は軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能とされる。
また、後述する第１５実施形態において具体的に述べるが、回転軸駆動機構３００Ａには、リミッタスイッチ（回転動作終了検出スイッチ）ｃｄＳが設けられている。このスイッチは、シリンダ本体４１１の一端側４１１ａに設けられており、縮位置Ｐｂにピストン４１２がある場合に動作する接触式のリミッタスイッチである。
【０１１１】
ラック部材４２２は、図２２，図２３に示すように、回転軸２０の軸線と直交方向の軸線を有し往復動作するピストン４１２に接続されている。ピストン４１２は筒状のシリンダ本体４１１（ケーシング）に格納されて回転駆動エアシリンダ４１０（駆動手段）を構成している。この回転駆動エアシリンダ４１０に接続されたラック部材４２２は、ピストン４１２のラック部材４２２に対して反対側の伸圧力空間４１３に圧縮空気（駆動用気体）を供給することで伸張し、ピストン４１２のラック部材４２２側の縮圧力空間４２２ｃに圧縮空気（駆動用気体）を供給することで収縮する。
【０１１２】
ラック部材４２２は、ケーシング４１４Ｂと一体とされたケーシング４１４Ｂｂ内部に、ラック部材４２２の径寸法よりも大きな径寸法とされて回転軸２０と直行する方向に延在するように設けられたラック収納空間４２２ｄ、４２２ｇ、４２２ｍ（空間）の内部に軸方向に移動可能として収納される。この空間４２２ｄ、４２２ｇ、４２２ｍの内部では、ラック部材４２２は、その軸線方向においてピニオン４２１と噛み合う両側位置とされる２箇所の外周を覆うように設けられた滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃ（軸受）によって往復移動可能に支承されている。軸受４１５Ｂ，４１５Ｃは、いずれも、ケーシング４１４Ｂｂと一体とされて、空間４２２ｇよりも小さな径寸法となるように縮径された外周面として形成されており、この軸受４２２Ｂ，４２２Ｃは、ラック部材４２２の外周面に密着している。
【０１１３】
ラック部材４２２の外周面の周方向の片側にはピニオン４２１と噛合うラック歯４２２ａが軸方向に隣接して多数設けられ、このラック歯４２２ａとは異なる周方向位置に、ラック部材４２２の軸線方向に対して軸受４１５Ｂ両側位置の空間４２２ｄおよび空間４２２ｇに連通する連通溝４１６が設けられる。この連通溝４１６は、図２４に示すように、軸線方向に対して軸受４１５Ｃ両側位置の空間４２２ｇおよび空間４２２ｍに連通するとともに、ラック部材４２２が往復動作した場合でも、軸受４２２Ｂ両側位置の空間４２２ｄと空間４２２ｇにおける連通状態および軸受４２２Ｃ両側位置の空間４２２ｇと空間４２２ｍにおける連通状態を維持する長さとなるよう設定されている。
【０１１４】
伸圧力空間４１３ａは、伸通気口４１４（供給路）を介して回転駆動エアシリンダ４１０外部から伸張用の圧縮空気を供給する供給源に接続されている。
縮圧力空間４２２ｃには回転駆動エアシリンダ４１０外部から収縮用の圧縮空気を供給源から供給する供給源が接続されている。その経路は、縮圧力空間４２２ｃ、ラック部材４２２の収納された空間４２２ｄ、縮径した軸受４１５Ｂに対応する位置の連通溝４１６およびラック歯４２２ａに対応する部分空間、軸受４１５Ｂと軸受４１５Ｃとの間で拡径した空間４２２ｇ、ピニオン４２１の収納されるケーシング４１４Ｂの内部空間４２２ｈ、この内部空間４２２ｈとケーシング４１４Ｂ外部とに接続された供給路４２２ｊ（縮通気口）、とされている。
【０１１５】
軸受１６Ａ，１６Ｂ（図２１参照）によってケーシング１４に対して支持された回転軸２０は、回転駆動エアシリンダ（回転駆動手段）によって往復運動するラック部材４２２により駆動され、このラック部材４２２に噛み合うピニオン４２１とともに回転動作する。
【０１１６】
また、回転駆動エアシリンダ４１０（駆動手段）の収縮動作時、および、ラック部材４２２の収縮位置Ｐｂを維持する間は、以下の空間（シリンダ）において加圧状態が維持される。具体的に、縮圧力空間４２２ｃ、収納空間４２２ｄ、ラック部材４２２の収納された空間４２２ｇ、縮径した軸受４１５Ｂに対応する位置の連通溝４１６およびラック歯４２２ａの噛み合わせ位置に対応する空間４２２ｇ、軸受４１５Ｂと軸受４１５Ｃとの位置にかかわらず拡径している空間４２２ｄ、４２２ｇ、４２２ｍ、ピニオン４２１の収納されるケーシング４１４Ｂの内部空間４２２ｈ、この内部空間４２２ｈとケーシング４１４Ｂ外部とに接続された供給路４２２ｊ、のいずれにおいても、加圧状態が維持される。
【０１１７】
回転駆動エアシリンダ４１０（シリンダ）は、回転軸２０を収納するケーシング４１４Ｂと一体とされ、一端側４１１ａが閉塞された円筒状のシリンダ本体４１１と、このシリンダ本体４１１の内部空間４１１ｂに摺動可能に収容されたピストン４１２とを備えている。そして、この内部空間４１１ｂには、シリンダ本体４１１の一端側４１１ａとピストン４１２の一面側４１２ａ（第一面）とで区画されて、ピストン４１２の移動によって容量が可変する伸圧力空間４１３が形成される。また、シリンダ本体４１１には、この伸圧力空間４１３に連通し、外部から伸圧力空間４１３に駆動用に圧縮空気を供給する伸通気口４１４（通気口）が形成されている。こうした通気口４１４は、スライド弁１００Ｂの外部に設けられた駆動用圧力空気供給源として例えばポンプが接続されていればよい。
【０１１８】
ピストン４１２は、シリンダ本体４１１の内部空間４１１ｂにおいて、軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能に収容されている。こうしたピストン４１２は、伸圧力空間４１３が最大に拡張され、シリンダ本体４１１の内部空間４１１ｂにおいて最も一端側４１１ａから遠ざかった位置にピストン４１２がある伸位置Ｐａ（図２２）と、ピストン４１２のラック部材４２２側の縮圧力空間４２２ｃが最大に拡張されて収縮し、伸圧力空間４１３が最小に縮小され、最も一端側４１１ａに接近した位置にピストン４１２がある縮位置Ｐｂ（図２３）との間で摺動可能にされている。
【０１１９】
また、ピストン４１２の一面側４１２ａには、突起部４１２ｃが形成されている。シリンダ本体４１１の一端側４１１ａには、ピストン４１２が縮位置Ｐｂにある時に突起部４１２ｃが入り込む凹部４１１ｃが形成されている。突起部４１２ｃの外径と凹部４１１ｃの内径とは略等しく、これらが摺動する際には凹部４１１ｃ内部と伸圧力空間４１３とが気密状態に近くなるように設定されている。通気口４１４の一端側は、この凹部４１１ｃで露呈する位置に形成されている。また、ピストン４１２の他面側４１２ｂ（第二面）には、突起部４１２ｃと同様に形成された突起部４１２ｄ（接続部）を介してラック部材４２２が固着される。接続部４１２ｄの外径とラック収納空間４２２ｄの内径とは略等しく、これらが摺動している際には、ラック収納空間４２２ｄ内部と縮圧力空間４２２ｃとが気密状態に近くなるように設定されている。
【０１２０】
ピストン４１２の突起部４１２ｃには、ピストン４１２の往復運動方向、即ち、軸線（長手方向）Ｃに沿って断面積が連続的に変化し、伸圧力空間４１３内の空気を通気口４１４に向けて徐々に通気させる緩衝溝４１８（縮緩衝溝）が形成されている。
具体的には、図２５及び図２６に示すように、緩衝溝４１８は、ピストン４１２の突起部４１２ｃに形成された、ピストン４１２の一面側４１２ａからシリンダ本体４１１の一端側４１１ａに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した溝からなる。
【０１２１】
ピストン４１２の突起部４１２ｄには、ピストン４１２の往復運動方向、即ち、軸線（長手方向）Ｃに沿って断面積が連続的に変化し、縮圧力空間４２２ｃ内の空気を空間４２２ｇに向けて徐々に通気させる緩衝溝４１９（伸緩衝溝）が形成されている。
緩衝溝４１９（伸緩衝溝）は、図２５Ａ及び図２６に示した緩衝溝４１８と同様に、ピストン４１２の突起部４１２ｄに形成され、ピストン４１２の一面側４１２ｂからラック部材４２２側の空間４２２ｄに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した溝からなる。
【０１２２】
ラック部材４２２（１２２）は、図２２、図２３，図２４に示すように、軸線（長手方向）Ｃに垂直な断面が円形を成す丸棒状に形成されている。そして、この丸棒状のラック部材４２２の周面の一部には、ラック歯４２２ａが軸線（長手方向）Ｃに沿って所定のピッチで配列形成されている。
【０１２３】
回転軸２０に固着されたピニオン４２１とラック歯４２２ａとの噛合部分Ｓの両側にはそれぞれ、ラック部材４２２を摺動可能に支持する滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃが配されている。この滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃは、図２４に示すように、ラック部材４２２の断面よりも僅かに大きい断面円形の内周面４１５ａが形成され、その内周面４１５ａに外周が接触する丸棒状のラック部材４２２を軸線（長手方向）Ｃに沿って円滑に摺動可能に支持する。
【０１２４】
また、図２２、図２４に示すように、ラック部材４２２（１２２）の表面（周面）には、上述したように連通溝４１６（溝）が、軸線Ｃ方向において、滑り軸受４１５Ｂと滑り軸受４１５Ｃとの両外位置側まで延在するように形成されている。また、ラック部材４２２を収納するケーシング４１４Ｂには、この連通溝４１６に入り込むボス（図示略）が形成されて、連通溝４１６とボスとの係合によって、ラック部材４２２が軸線Ｃ周りに回動することを防止することもできる。これによって、ラック部材４２２が往復運動する際に軸線Ｃ周りに捩れることがない。
【０１２５】
図２７は、滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃの配置位置を示す説明図である。
滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃは、ピニオン４２１とラック歯４２２ａとの噛合部分Ｓに生じるラック部材４２２の作用線（の延長線）Ｌ１，Ｌ２と、ラック部材４２２の軸心（軸中心線）Ｃとの交点Ｐ１，Ｐ２よりも、噛合部分Ｓから遠ざかる方向に配されるのが好ましい。
【０１２６】
即ち、２つの噛合歯であるピニオン４２１とラック歯４２２ａとの接触点の移動方向である作用線Ｌ１，Ｌ２が、それぞれラック部材４２２の軸心（軸中心線）Ｃと交差する点を交点Ｐ１，Ｐ２としたときに、滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃの中心線Ｑがこの交点Ｐ１，Ｐ２よりも外側になるように、滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃをそれぞれ配置する。
【０１２７】
滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃの配置位置を上述したように設定することによって、滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃは、ピニオン４２１の回転によって生じる外力、即ち、ピニオン４２１から遠ざかる方向に向かう力を受けることがなくなる。これによって、滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃは、ラック部材４２２との接触部分において、軸心（軸中心線）Ｃに直角な方向の応力が加わることを防止して、ラック部材４２２との摩擦力を低減して円滑に摺動可能にラック部材４２２を保持することが可能になる。
【０１２８】
以上のような構成の回転軸駆動機構３００Ａによれば、例えば、図２３に示す縮位置Ｐｂにピストン４１２がある場合には、このピストン４１２に固着されたラック部材４２２からピニオン４２１を介して連動（回転）される回転軸２０が、その回動範囲において、図２３中の反時計回り方向いっぱいに回転した状態とされ、この回転軸２０の位置においては、回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの弁閉位置Ｅ２（図８）に置かれる。
【０１２９】
一方、この縮位置Ｐｂから、図２２に示す伸位置Ｐａにピストン４１２を移動させる際には、シリンダ本体４１１の内面とピストン４１２の一面側４１２ａとで区画された伸圧力空間４１３内に、通気口４１４から駆動用圧縮空気を送り込む。すると伸圧力空間４１３の内圧が高まることによって、ピストン４１２は軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体４１１の一端側４１１ａから遠ざかる方向に移動（摺動）し、圧力空間４１３が広がる。この際、縮圧力空間４２２ｃ内部の余分な空気は、縮圧力空間４２２ｃから、ラック部材４２２が収納される空間４２２ｄ、軸受４１５Ｂに対応する位置の連通溝４１６およびラック歯４２２ａに対応する部分空間、ケーシング４１４Ｂｂの内部空間４２２ｇ、ケーシング４１４Ｂの内部空間４２２ｈ、通気口４２２ｊを介して、外部へ排出される。
【０１３０】
ピストン４１２がシリンダ本体４１１の一端側４１１ａから遠ざかる方向に伸位置Ｐａまで移動すると、ピストン４１２に固着されたラック部材４２２は、ラック歯４２２ａと噛合するピニオン４２１を図２２中の時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図８）に振り子運動で移動する。
【０１３１】
さらに、図２２に示す伸位置Ｐａにピストン４１２があり、可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図８）とされた場合に、この伸位置Ｐａ（図２２）から、縮位置Ｐｂ（図２３）にピストン４１２を移動させる際には、ケーシング４１４Ｂｂの端面４１４Ｂａ側とシリンダ本体４１１の内面４１１ｂとピストン４１２の他面側４１２ｂとで区画された縮圧力空間４２２ｃ内に、通気口４２２ｊから駆動用圧縮空気を送り込む。すると縮圧力空間４２２ｃの内圧が高まることによって、ピストン４１２は軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体４１１の一端側４１１ａに近づく方向に移動（摺動）し、圧力空間４１３が縮まる。
【０１３２】
この際、伸圧力空間４１３内部の余分な空気は、伸圧力空間４１３から、通気口４１４を介して、外部へ排出される。
縮圧力空間４２２ｃには、通気口４２２ｊからピニオン４２１の収納された内部空間４２２ｈ、ラック部材４２２が収納された内部空間４２２ｇ、軸受４１５Ｂに対応する位置の連通溝４１６およびラック歯４２２ａの噛み合わせ位置に対応する空間４２２ｇ、収納空間４２２ｄを介して、圧縮空気が供給される。この際、軸受４１５Ｃに対応した連通溝４１６内部、空間４２２ｄも加圧状態となっている。
【０１３３】
ピストン４１２がシリンダ本体４１１の一端側４１１ａに近づく方向に縮位置Ｐｂまで移動すると、ピストン４１２に固着されたラック部材４２２は、ラック歯４２２ａと噛合するピニオン４２１を図４４中の反時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も反時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの弁閉位置Ｅ２（図８）に振り子運動で移動する。
【０１３４】
このように、回転軸駆動機構３００Ａを構成するシリンダ本体４１１内の伸圧力空間４１３および縮圧力空間４２２ｃの内圧を可変させ、ピストン４１２を伸位置Ｐａ（図２２）と縮位置Ｐｂ（図２３）との間で直線運動させることによって、ラック部材４２２、ピニオン４２１を介して回転軸２０を回動させ、可動弁部４０を流路Ｈに対して退避位置Ｅ１と弁閉位置Ｅ２（図８）との間で移動させることができる。
【０１３５】
以上のようなピストン４１２の伸位置Ｐａと縮位置Ｐｂとの間の移動においては、緩衝溝４１８によって、ピストン４１２の縮位置Ｐｂへの移動を滑らかに変化させる。同様に、緩衝溝４１９によって、ピストン４１２の伸位置Ｐａへの移動を滑らかに変化させる。
【０１３６】
緩衝溝４１８について説明する。
ピストン４１２を伸位置Ｐａから縮位置Ｐｂに移動させる際には、伸圧力空間４１３の急激な縮小によるピストン４１２の急停止、即ち、ラック部材４２２とピニオン４２１との噛合部分Ｓに急激に大きな応力が加わらないように、ピストン４１２の突起部４１２ｃ形成された緩衝溝４１８によって、ピストン４１２の縮位置Ｐｂへの移動を滑らかに変化させる。
【０１３７】
例えば、図２５に示すように、縮圧力空間４２２ｃに駆動用圧縮空気を供給しその内圧を増大させてピストン４１２を縮位置Ｐｂに向けて移動させる際に、突起部４１２ｃがシリンダ本体４１１の凹部４１１ｃに入り込む位置まで移動してくると、突起部４１２ｃ周囲の伸圧力空間４１３から凹部４１１ｃに流入して通気口４１４から排出されていた空気の流れが遮断される。また、突起部４１２ｃの周縁に広がる伸圧力空間４１３ａの内圧が急に高まり（伸圧力空間４１３ａが圧縮され）、ピストン４１２の移動速度が急激に減少する方向に力が働く。
【０１３８】
しかしながら、突起部４１２ｃに形成された緩衝溝４１８によって、伸圧力空間４１３ａ内の空気はこの緩衝溝４１８を介して通気口４１４に誘導される。即ち、伸圧力空間４１３ａは緩衝溝４１８を介して通気口４１４に連通される。
【０１３９】
しかも、この緩衝溝４１８は、ピストン４１２の一面側４１２ａからシリンダ本体４１１の一端側４１１ａに向かって断面積が広がるように形成されているので、図２６に示すように、ピストン４１２が縮位置Ｐｂ（図２３）に近づくほど、緩衝溝４１８の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストン４１２が縮位置Ｐｂに至る直前では、伸圧力空間４１３ａから通気口４１４に至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、伸圧力空間４１３ａの内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストン４１２を緩やかに縮位置Ｐｂで停止させることができる。よって、伸圧力空間４１３の急激な縮小によるピストン４１２の急停止を防止し、ラック部材４２２とピニオン４２１との噛合部分Ｓ（図４７）に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。
【０１４０】
同様に、緩衝溝４１９によって、ピストン４１２の伸位置Ｐａへの移動を滑らかに変化させる。
伸圧力空間４１３に駆動用圧縮空気を供給しその内圧を増大させてピストン４１２の伸位置Ｐａに向けて移動させる際に、突起部４１２ｄがケーシング４１４Ｂｂの空間４２２ｄに入り込む位置まで移動してくると、突起部４１２ｄ周囲の縮圧力空間４２２ｃから空間４２２ｄに流入して空間４２２ｈ側に移動して通気口４２２ｊから排出されていた空気の流れが遮断される。また、突起部４１２ｄの周縁に広がる縮圧力空間４２２ｃの内圧が急に高まり（縮圧力空間４２２ｃが圧縮され）、ピストン４１２の移動速度が急激に減少する方向に力が働く。
【０１４１】
しかしながら、突起部４１２ｄに形成された緩衝溝４１９によって、縮圧力空間４２２ｃ内の空気はこの緩衝溝４１９を介して通気口４２２ｊに連通する空間４２２ｄに誘導される。即ち、縮伸圧力空間４２２ｃは緩衝溝４１９を介して空間４２２ｄに連通される。
【０１４２】
しかも、この緩衝溝４１９は、ピストン４１２の一面側４１２ｂからケーシング４１４Ｂｂの他端側４１４Ｂａに向かって断面積が広がるように形成されているので、ピストン４１２が伸位置Ｐａ（図２２）に近づくほど、緩衝溝４１９の断面積、即ち、開口面積が減少する。これによって、ピストン４１２が伸位置Ｐａに至る直前では、縮圧力空間４２２ｃから空間４２２ｄに至る空気の流量が徐々に絞られる（減少する）ため、縮圧力空間４２２ｃの内圧減少が徐々に低下する。これによって、ピストン４１２を緩やかに伸位置Ｐａで停止させることができる。よって、縮圧力空間４２２ｃの急激な縮小によるピストン４１２の急停止を防止し、ラック部材４２２とピニオン４２１との噛合部分Ｓ（図２７）に急激に大きな応力を加えずに滑らかに停止させることが可能になる。
【０１４３】
回転駆動エアシリンダ４１０には、上記の緩衝溝４１８，４１９に加えて、ピストン４１２が伸位置Ｐａに至る直前、または、ピストン４１２が伸位置Ｐａから移動し始めた直後におけるピストン４１２の移動速度を調節するための制御緩衝流路４１９ａが設けられる。
【０１４４】
制御緩衝流路４１９ａは、図２２，図２３，図４５に示すように、ピストン４１２が伸位置Ｐａ（図２２）とされた際に、突起部４１２ｄによって閉塞される位置の空間４２２ｄに一端が開口するとともに、他端がケーシング４１４Ｂｂの他面側４１４Ｂａ（第二面）に開口する流路４１９ａとされる。
この流路４１９ａには、交わる方向に連通し、ケーシング４１４Ｂｂ外部に開口する制御用孔４１６ｂが設けられ、この制御用孔４１６ｂ内部には、流路４１９ａを閉塞可能な制御ピン４１９ｃが制御用孔４１９ｂの延在する方向に摺動可能に設けられている。
【０１４５】
この制御緩衝流路４１９ａは、緩衝溝４１９と同様、縮圧力空間４２２ｃと空間４２２ｄとの間で移動する空気の流量を制御する。
制御緩衝流路４１９ａでは、図４５に示すように、制御ピン４１９ｃが制御用孔４１６ｂ内部を移動すると、その位置によって、流路４１９ａの断面積が変化する。これにより、縮圧力空間４２２ｃと空間４２２ｄとの間で移動する空気の流量が変化する。したがって、制御緩衝流路４１９ａが、空間４２２ｄに開口した状態で、かつ、突起部４１２ｄがケーシング４１４Ｂｂの空間４２２ｄに入り込んだ状態の間は、制御ピン４１９ｃの位置によって、流路４１９ａの開度を調節し、ピストン４１２の移動速度を制御することができる。
【０１４６】
制御ピン４１９ｃを抜いて流路４１９ａの断面積を増やすと、ラック部材４２２の移動速度、つまり、可動弁体４０の振り子運動の移動速度が増大する。また、制御ピン４１９ｃを挿入して流路４１９ａの断面積を減少させると、ラック部材４２２の移動速度、つまり、可動弁体４０の振り子運動の移動速度が減少する。
特に、ピストン４１２が伸位置Ｐａに到着する直前のみならず、ピストン４１２が伸位置Ｐａから縮位置Ｐｂに動き始める場合、つまり、可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図８）に振り子運動で移動し始める場合にもこのようなエアダンパー効果を奏する。これにより、ラック部材４２２とピニオン４２１との噛合部分Ｓ（図２７）に急激に大きな応力を加えずに滑らかに動作開始、および、停止させることが可能となる。
【０１４７】
このようなシリンダ４１０であると、圧縮空気の供給を伸通気口４１４と縮通気口４２２ｊとで切り替えるだけでシリンダ４１０の伸縮を行って中立弁体５の揺動動作をさせることが可能である。
【０１４８】
［流体経路リング１７と流体経路リング１８］
流体経路リング１７と流体経路リング１８とは、図２０，図２１，図２８、図２９に示すように、回転軸２０とほぼ等しい内径とされ、ピニオン１２１よりも弁箱１０側の流体経路リング１７の外径がベアリング１６Ａの外径より大きくかつピニオン４２１（１２１）の外径寸法よりも小さく設定され、ピニオン４２１よりも蓋体１４Ｄ側の流体経路リング１８の外径がピニオン４２１の径寸法よりも大きく設定されている。ベアリング１６Ａ，１６Ｂで支持された回転軸２０が回動すると、流体経路リング１７と流体経路リング１８とに対して、接触位置が周方向に変化することになる。
【０１４９】
流体経路リング１７には、第２周囲領域４０ａにおいて可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に形成されたエアシリンダ８０に駆動用気体を供給する供給路４１の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面１７ａ及び内周面１７ｂに開口する径方向リング経路１７ｃが設けられる。この径方向リング経路１７ｃの外周面１７ａ側は円筒ケーシング１４Ｂの径方向に貫通する経路１４Ｂｃに連通している。
【０１５０】
流体経路リング１８には、第２周囲領域４０ａにおいて可動弁板部５０と可動弁枠部６０との間に形成されたエアシリンダ８０に設けられた２重シール部において２重目のシール５１ａ，５２ａより気体供給側に設けられた中間大気室５５に接続され、１重目のシール５１ｂ，５２ｂが破れた際に駆動用気体をスライド弁１００Ｂ外部に向けて逃がす連絡路４２の一部とされる流体経路として、径方向に延在しその外周面１８ａ及び内周面１８ｂに開口する径方向リング経路１８ｃが設けられる。この径方向リング経路１８ｃの外周面１８ａ側は円筒ケーシング１４Ｂの径方向に貫通する経路１４Ｃｃに連通している。
【０１５１】
流体経路リング１７には、内周面１７ｂに溝１７ｄが周設され、回転軸２０の外周面２０ｂとで囲まれることで周方向経路となっている。
溝１７ｄに対向する位置とされる回転軸２０の外周面２０ｂには、径方向軸内経路２７が開口し、径方向軸内経路２７は、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に延在して回転軸２０の一端面２０ａに開口する軸方向軸内経路１２５に連通している。
【０１５２】
流体経路リング１８には、内周面１８ｂに溝１８ｄが周設され、回転軸２０の外周面２０ｂとで囲まれることで周方向経路となっている。
溝１８ｄに対向する位置とされる回転軸２０の外周面２０ｂには、径方向軸内経路２８が開口し、径方向軸内経路２８は、回転軸２０の軸線ＬＬ方向に延在して回転軸２０の一端面２０ａに開口する軸方向軸内経路１２６に連通している。
これら軸方向軸内経路１２５と軸方向軸内経路１２６とは、互いに平行状態でかつ軸線ＬＬに平行とされ、回転軸２０の蓋体１４Ｄ側の他端２０ｃ側は閉塞されている。
軸方向軸内経路１２５と軸方向軸内経路１２６とは、いずれも、中立弁部３０内部の供給路４１及び、連絡路４２に接続されている。
【０１５３】
流体経路リング１７には、内周面１７ｂと回転軸２０の外周面２０ｂとの間において径方向軸内経路２７の開口部分および溝１７ｄを摺動可能にシールするＯリング等のシール部材１７ｈ，１７ｊ，１７ｋが周設されている。
流体経路リング１７には、外周面１７ａと円筒ケーシング１４Ｂ内面との間において径方向リング経路１７ｃの開口部分および経路１４ＢｃをシールするＯリング等のシール部材１７ｅ，１７ｆ，１７ｇが周設されている。
【０１５４】
流体経路リング１８には、内周面１８ｂと回転軸２０の外周面２０ｂとの間において径方向軸内経路２７の開口部分および溝１８ｄを摺動可能にシールするＯリング等のシール部材１８ｈ，１８ｊ，１８ｋが周設されている。
流体経路リング１８には、外周面１８ａと円筒ケーシング１４Ｂ内面との間において径方向リング経路１８ｃの開口部分および経路１４ＣｃをシールするＯリング等のシール部材１８ｅ，１８ｆ，１８ｇが周設されている。
【０１５５】
流体経路リング１７と流体経路リング１８とは、図２０，図２１，図２８，及び図２９に示すように、周方向経路となる溝１７ｄ，１８ｄが設けられていることで、どのような回転軸２０の回動位置になっても、径方向軸内経路２７と径方向軸内経路２８が連通した状態を維持できるため、密閉度よく、後述するように駆動用流体の供給等を行うことができる。しかも、供給路４１と連絡路４２とを、独立してそれぞれ接続しているので、回転軸２０の回動位置にかかわらず、異なる圧力状態あるいは、異なるガス状態の２系統を弁体１０内部に影響を与えずに、制御することが可能となる。
同時に、周方向経路となる溝１７ｄ，１８ｄが周設されているため、溝１７ｄ、１８ｄ内の流体からの圧力が回転軸２０の外周面２０ｂに一周するように作用するため、径方向に作用する圧力を全周で均等にすることができるため、これらの流路における圧力状態にかかわらず、軸受１６Ａと軸受１６Ｂにおける回転軸２０の支持状態に対して影響を及ぼすことを防止できる。
【０１５６】
同時に、軸受１６Ａと軸受１６Ｂとの間にこれらの流体経路リング１７と流体経路リング１８を位置して、回転軸を支持する軸受１６Ａと軸受１６Ｂとの間の距離をできるだけ長く確保することができる。これにより、回転軸２０が傾く方向に回転軸へ作用するモーメントを軸受１６Ａと軸受１６Ｂで保持する場合、これらの軸受１６Ａと軸受１６Ｂが受けるラジアル荷重を最小にすることができ、それによりこれら軸受１６Ａと軸受１６Ｂの耐久性を向上させることができる。または、必要な回転軸２０の傾斜方向における変形防止能を維持した状態で回転軸２０の軸線方向長さを確保することができ、回転軸２０の駆動手段を小型化し、バルブとしての小型化を図ることができる。
また、軸受１６Ａと軸受１６Ｂ、流体経路リング１７、ピニオン１２１および流体経路リング１８の外径寸法を上記の構成とすることにより、部品の構成を変えずに部品の組立方向を変えることのみによって、回転機構部の弁箱に対する取付面を反転させて、これらをケーシング１４に対して組み付けることが可能である。
【０１５７】
本実施形態においてエアシリンダ８０の駆動用とされる圧縮空気を、弁箱１０内部の中空部１１に露出（暴露）することなく、回転軸２０内部経由で中立弁体５へ供給するとともに、後述する中間大気室５５，５６への連絡路４２を回転軸２０内部経由で弁箱１０外部に連通させることが可能となる。
【０１５８】
本実施形態の回転軸２０には、供給路４１と連絡路４２となる軸方向経路１２５，１２６がそれぞれ平行に設けられている。更に、供給路４１と連絡路４２とに対応する流体経路リング１７と流体経路リング１８とが回転軸２０の異なる軸線ＬＬ方向位置に設けられている。この構成により、一本の回転軸２０内部を介して複数の経路１２５，１２６を同時にそれぞれ別個に連通状態とすることができる。このため、エアシリンダ８０の駆動用流体の供給路４１とセーフティー用の中間大気用の連絡路４２とを一つの回転軸２０のみで他の構成を用いずに配置することが可能となる。
【０１５９】
本実施形態における供給路４１と連絡路４２と対応する流体経路リング１７，１８が、軸受１６Ａ，１６Ｂの軸線方向中間位置に対して対称に配置されてなることにより、軸受１６Ａ，１６Ｂに対する加重を略均等にして軸受１６Ａ，１６Ｂの耐久性を向上し、スライド弁１００Ｂのメンテナンス費用を低減することができる。
【０１６０】
なお、本実施形態においては、周方向経路として、図２０，図２１，図２８，及び図２９に示すように、溝１７ｄ、１８ｄを流体経路リング１７と流体経路リング１８との内面１７ｂ、１８ｂのみに形成したが、図３０に示すように、回転軸２０の外周面２０ｂに溝１２２，溝２３を形成することが可能である。あるいは、これら流体経路リング１７と流体経路リング１８との内面１７ｂ、１８ｂおよび回転軸２０の外周面２０ｂの両方に溝を形成することもできる。
【０１６１】
また、本実施形態においては、周方向経路として、図２８及び図２９に示すように、溝１７ｄ、１８ｄを回転軸２０の全周に設けたが、図２４に矢印Ａ１，Ａ２で示した中立弁体５の回動範囲に対応した必要部分のみ、つまり、図３１に示すように、回転軸２０に要求される回動範囲に対応した周方向円弧範囲Ａ１Ａ２に対応した部分に円弧状に溝１７ｄ、１８ｄを形成することもできる。この例では、溝１７ｄが径方向リング経路１８ｃに対する径方向軸内経路２７の移動範囲Ａ１Ａ２に円弧状に設けられ、この溝１７ｄは中立弁体５の回動範囲に体操する中心角度範囲とほぼ等しい中心角度範囲とされる。また、溝１８ｄが、径方向リング経路１８ｃに対する径方向軸内経路２８の移動範囲Ａ１Ａ２に加えて、径方向リング経路１８ｃに対する接続部分Ａ１Ａ２ａにも設けられている。
【０１６２】
流体経路リング１７の内周面１７ｂにおいて、シール部材１７ｈとシール部材１７ｊとの間には、径方向リング経路１７ｃに連通する溝１７ｄが設けられ、シール部材１７ｊとシール部材１７ｋとの間には、溝１７ｐが周設されている。
この溝１７ｐと対向する回転軸２０の外周面２０ｂとは、大気圧の空間（空隙）である第２中間大気室を形成するとともに第２連通路４２Ａによって、ケーシング外部に接続されている。
【０１６３】
これらシール部材１７ｊとシール部材１７ｋとは、駆動用気体の存在する供給路４１となる溝１７ｄに対する２重シール部として機能している。このため、エアシリンダ８０の加圧中に、回転軸２０における１重目のシールであるシール部材１７ｊが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）を溝１７ｐおよび第２連通路４２Ａを介してケーシング１４外部に逃がす。これによって、ケーシング１４Ｂ内において流体経路リング１７の溝１７ｄ側からピニオン１２１側の内部空間１２２ｈに圧縮空気が放出されてしまう等、溝１７ｄと内部空間１２２ｈとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。
【０１６４】
同時に、シール部材１７ｋとシール部材１７ｊとは、回転軸２０の回転駆動エアシリンダ（駆動手段）において加圧空間となる内部空間１２２ｈに対する２重シール部として機能している。このため、回転駆動エアシリンダの収縮中に、回転軸２０における１重目のシールであるシール部材１７ｋが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）を溝１７ｐおよび第２連通路４２Ａを介してケーシング１４外部に逃がす。これによって、ケーシング１４Ｂ内において内部空間１２２ｈ側から供給路４１となる溝１７ｄに圧縮空気が放出されてしまう等、溝１７ｄと内部空間１２２ｈとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。
【０１６５】
これらの溝１７ｄ、内部空間１２２ｈは、いずれも加圧空間であるが、所定の動作に対応する圧力状態が、シール部の破れによって変化した場合、中立弁体５の厚さがいきなり膨張する、中立弁体５が回動動作するといった予期せぬ動作を起こしてしまうことを防止する。
つまり、シール部材１７ｋ、シール部材１７ｊ、溝１７ｐおよび第２連通路４２Ａにより、スライド弁１００Ｂがシール破れによって破損する等を防止することができる。
【０１６６】
流体経路リング１８の内周面１８ｂにおいて、シール部材１８ｋとシール部材１８ｊとの間には、径方向リング経路１８ｃに連通する溝１８ｄが設けられ、シール部材１８ｊとシール部材１８ｈとの間には、溝１８ｐが周設されている。
この溝１８ｐと対向する回転軸２０の外周面２０ｂとは、大気圧の空間（空隙）である第２中間大気室を形成するとともに第２連通路４２Ａによって、ケーシング外部に接続されている。
【０１６７】
これらシール部材１８ｊとシール部材１８ｈとは、回転軸２０の回転駆動エアシリンダ（駆動手段）において加圧空間となる内部空間１２２ｈ（４２２ｈ）に対する２重シール部として機能している。回転駆動エアシリンダの収縮中に、回転軸２０における１重目のシールであるシール部材１８ｈが破れた場合でも、圧縮空気（駆動用気体）を溝１８ｐおよび第２連通路４２Ａを介してケーシング１４外部に逃がす。これのよって、ケーシング１４Ｂ内において内部空間１２２ｈ側から連通路４２となる溝１８ｄに圧縮空気が放出されてしまう等、溝１８ｄと内部空間１２２ｈとの間で圧力状態が変化してしまうという不具合を防止するようになっている。
【０１６８】
これにより、内部空間４２２ｈは加圧空間であり、所定の動作に対応する圧力状態が、シール部の破れによって変化した場合、中立弁体５が回動動作するといった予期せぬ動作を起こしてしまうことを防止する。
つまり、シール部材１８ｈ、シール部材１８ｊ、溝１８ｐおよび第２連通路４２Ａにより、スライド弁１００がシール破れによって破損する等を防止することができる。
【０１６９】
また、溝１７ｄおよび溝１８ｄには、図３２に示すように、その回転軸２０の外周面２０ｂ側開口位置に、テーパ面１７ｍ、テーパ面１８ｍが設けられて、拡径されている。
このテーパ面１７ｍ，１８ｍは、流体経路リング１７，１８の径方向に奥行き寸法Ｔｔ１を有し、この奥行き寸法Ｔｔ１は、シール部材１７ｈ，１７ｊ，１７ｋ，１８ｈ，１８ｊ，１８ｋがＯリングとされた場合に、シール時における潰し代ではなく、回転軸２０が流体経路リング１７，１８と接触しない状態で、このＯ−リングが回転軸２０の外周面２０ｂかた突出した高さ寸法Ｔｔ２よりも大きくなるように設定される。
【０１７０】
また、テーパ面１７ｍ，１８ｍは、流体経路リング１７，１８内周面の径方向の法線となす角度θが４５°以上、好ましくは３０°以上となるように設定される。
これにより、回転軸２０のケーシング１４への組み付け時に、Ｏ−リングが溝１７ｄ，１８ｄの開口部分に引っかかって破損するなどの不具合を防止することができる。
なお、テーパ面１７ｍ，１８ｍは、Ｏ−リングの破損が可能であれば、この形状に限定されない。
【０１７１】
さらに、溝１７ｄおよび溝１８ｄの回転軸２０の外周面２０ｂ側開口位置には、テーパ面１７ｍ，１８ｍの代わりに、角を丸めた曲面を形成することもできる。
この曲面の奥行き寸法Ｔｔ１は、同様に、Ｏ−リングが回転軸２０の外周面２０ｂかた突出した高さ寸法Ｔｔ２よりも大きくなるように設定されることができる。
【０１７２】
円筒ケーシング１４Ｂ（４１４Ｂ）のシールケーシング１４Ａ側には、径方向に延在するリーク流路１４Ｈｅが設けられる。このリーク流路１４Ｈｅは、図２１に示すように、軸受１６Ａよりもシールケーシング１４Ａ側となるとともに回転軸２０の表面２０ｂと接するリーク空間１２２Ｈｅに連通している。
【０１７３】
リーク空間１２２Ｈｅと接する回短軸２０の内部には、軸方向リーク流路２７Ｈｅが設けられている。この軸方向リーク流路２７Ｈｅは、その一端が、図２０および図２９に示すように、リーク空間１２２Ｈｅに開口している。軸方向リーク流路２７Ｈｅの他端は、後述するように、図２１および図１６に示すように、回転軸２０の中心に軸線方向に貫通し接続部材９１を介して回転軸２０と中立弁部３０とを締結するための雄ネジ１２１（締結具）を貫通させる貫通穴１２１Ａに向けて開口している。
【０１７４】
貫通穴１２１Ａは、接続部材９１の開口９８および中立弁部３０に設けられ、雄ネジ１２１を螺合する雌ネジ３１（締結具）のある空間３１Ｈｅに連通している。
後述するように雄ネジ１２１は、図１６に示すように、締結されている雌ネジ３１のある空間３１Ｈｅまでネジ溝のない開口９８を貫通している。この空間３１Ｈｅは溝９５Ｂ側が、図示しない閉塞部材によって閉塞されている。
【０１７５】
中立弁部３０の空気溜まり空間３１Ｈｅは、その先の溝９５Ｂ側における図示しないＯリング等による封止が破れているかを調べるヘリウムリークテストを行うことが必要である。このため、空気溜まり空間３１Ｈｅは、開口９８、貫通穴１２１Ａ、軸方向リーク流路２７Ｈｅ、リーク空間１２２Ｈｅ、リーク流路１４Ｈｅを介してリーク空間１２２Ｈｅ側に連通され、ここから、空気溜まり空間３１Ｈｅ、開口９８、貫通穴１２１Ａに対する密閉状態を検査するヘリウムリークテストのためにヘリウムの供給が可能となっている。
このように、軸方向リーク流路２７Ｈｅおよびリーク流路１４Ｈｅを設けることで、空気溜まり空間３１Ｈｅ、開口９８、貫通穴１２１Ａに対するヘリウムリークテストが可能となる。
【０１７６】
同時に、リーク流路１４Ｈｅから、回転軸２０の表面２０ｂに沿ったシール手段としてのシール部１４Ａａ、１４Ａｂ，１４Ａｃおよび、大気圧の空間（空隙）である中間大気室１４Ａｄに対して、中空部１１へのシールテストを行うことが可能となる。つまり、として、リーク流路１４Ｈｅから、リーク空間１２２Ｈｅ側にヘリウムを供給し中空部１１に対するリークを調べることで、ヘリウムリークテストを行うことが可能となる。
【０１７７】
さらに、リーク流路１４Ｈｅは、シール部材１７ｈ，１７ｊ，１７ｋ、シール部材１７ｅ，１７ｆ，１７ｇなどによる封止が破綻して、加圧空間である内部空間１２２ｈおよび径方向リング経路１７ｃ、溝１７ｄなどから、圧縮空気がリーク空間１２２Ｈｅに漏れだした場合に、この圧縮空気を外部に逃がすことができる。これにより、シール部１４Ａａ、１４Ａｂ，１４Ａｃに圧力が加わることを防止して、漏れた圧縮空気が中空部１１へ流入してしまうことが防止できる。
【０１７８】
［接続ピン部６９、フローティングピン６８Ａ、供給路４１］
本実施形態の接続ピン部６９は、図１８に示すように、供給路４１として設けられている。
【０１７９】
［接続ピン部６９、フローティングピン６８Ｂ、連絡路４２］
本実施形態の接続ピン部６９としては、連絡路４２として設けられたフローティングピン６８Ｂが、図３３に示すように、可動弁枠部６０側は図１１に示すフローティングピン６８Ａと略同様の構成とされるため、対応する構成には同一の符号を付すか、６８Ａとの符号を６８Ｂと読み替えてその説明を省略する。
フローティングピン６８Ｂは、中立弁部３０側が短くなっている。  このため、中間大気室となる空間６９Ｂａは加圧されておらず、開口した連絡路４２は、段差６８ｃに対応する位置で端面６８Ｂｄとなっている。また、加圧状態でないため、２重シールも採用されていない。連絡路４２の一部であるフローティングピン６８Ｂと、供給路４１の一部であるフローティングピン６８Ａとは、図８に示すように、中立弁体５の面内で異なる位置にそれぞれ設けられている。このように、連絡路４２と供給路４１とは、回転軸２０内部において平行位置とされたように、並行して中立弁部３０内部、可動弁枠部６０内部に設けられている。
【０１８０】
フローティングピン６８Ｂの内部には、その先端面６８Ｂｄに開口し軸方向に沿って中心に開けられるとともに、接続位置内面６７ｂに設けられた開口に対向する位置とされるガス接続部６８Ｂｂの表面に開口する連絡路４２が設けられて、中間大気空間６９Ｂａと中間大気室５５，５６とを接続可能となっている。中立弁部３０と可動弁枠部６０とが、流路方向以外の相対位置変動した場合であっても、フローティングピン６８Ａでは加圧されたガス接続部６８Ａｂ付近の供給路４１に対するシールを維持し、密閉が破れることがないのと同様に、フローティングピン６８Ｂも連絡路４２に対するシールを維持し、密閉が破れることがない。
【０１８１】
［ガイドピン６２］
ガイドピン６２には、図３４に示すように、その先端と可動弁枠部６０側に形成された内部空間６２ａに連通する開口を有し、ガイドピン６２内部を貫通する軸方向経路６２ｂが設けられその基部側が、連絡路４２に接続されている。また、円筒状の内部空間６２ａは、中立弁部５の径方向内側および外側に向かう経路４２ａを介してガイドピン６２中心側に位置する中間大気室５５，５６にそれぞれ連通されている。ガイドピン６２の可動弁板部５０側となる先端側には、Ｏリング等とされるシール部材６２ｃが設けられて孔部５０ｈとの摺動面をシールしている。
【０１８２】
（第３実施形態）
次に本発明の第３実施形態における回転軸駆動機構３００Ｂについて述べる。
以下、本実施形態のスライド弁おいては、前述した各実施形態と同様の構成には、同一の番号を付す。
図３５は、本実施形態におけるスライド弁の構成を示す平面図である。図３６は、本実施形態における回転軸駆動機構３００Ｂの構成を示す断面図であり、回転駆動エアシリンダ（シリンダ）が伸位置にある時の状態である。図３７は、回転軸駆動機構３００Ｂの構成を示す断面図であり、シリンダが縮位置にある時の状態である。図３８は、回転軸駆動機構３００Ｂの構成を示す断面図であり、シリンダが伸位置にある時の状態である。図３９は、回転軸駆動機構３００Ｂの構成を示す断面図であり、シリンダが中間位置にある時の状態である。
なお、本実施形態において、図１ないし図３４に示した実施形態と対応する構成、部材には同一符号を付し、また、その説明は省略または簡略化し、ピニオン４２１、回転軸２０側は図示を省略する。
【０１８３】
本実施形態においては、シリンダ本体４１１の内部空間４１１ｂに収容されているピストン４１２は１つであり、このピストン４１２の停止位置として伸位置Ｐａと縮位置Ｐｂの２位置が設定されていた（図２２，図２３参照）。
一方、以下に説明する実施形態においては、シリンダ本体５１１の第１の内部空間５１１ｂおよび第２の内部空間５１１ｃには、直列に２つのピストン５２１ａ，５２１ｂがそれぞれ収容される。そして、これら２つのピストン５２１ａ，５２１ｂがそれぞれ、３つの停止位置、即ち、伸位置Ｐａ１，Ｐａ２，縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２，および中間位置Ｐｃ１，Ｐｃ２が設定される。
【０１８４】
こうした２つのピストン５２１ａ，５２１ｂにそれぞれ３つの停止位置が設定されることによって、図３５に示す本実施形態におけるスライド弁の可動弁部４０は、可動弁部における３つの停止位置で停止可能となる。具体的に、３つの停止位置とは、流路Ｈが設けられていない中空部１１に位置する退避位置Ｅ１、第１開口部１２ａに対応する位置である流路Ｈの弁閉位置Ｅ２、およびこれら退避位置Ｅ１と弁閉位置Ｅ２との中間にあって流路Ｈの開口面積のうち半分ほどを覆う（遮蔽する）半開位置Ｅ３である。この半開位置Ｅ３の状態が調整可能である。
なお、それ以外の構成は第２実施形態と同様である。以下、回転軸駆動機構３００Ｂを構成するシリンダ５１０を中心に、その構成と作用を説明する。
【０１８５】
回転軸２０を回転させるための回転軸駆動機構３００Ｂは、回転軸２０に固着されたピニオン４２１と、このピニオン４２１と噛合するラック歯４２２ａを備えたラック部材４２２とを有し、これらがケーシング１４他の内部に密閉されている。
また、回転軸駆動機構３００Ｂは、ラック部材４２２を往復運動させるためのシリンダ５１０を備えている。シリンダ５１０によって、ラック部材４２２は軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能とされる。
【０１８６】
回転駆動エアシリンダ５１０（シリンダ）は、回転軸２０を収納するケーシング４１４Ｂと一体とされ、一端側５１１ａが閉塞された略円筒形のシリンダ本体５１１を有している。
シリンダ本体５１１の内部は、中間隔壁５２３によって互いに仕切られた第１の内部空間５１１ｂおよび第２の内部空間５１１ｃが区画されている。
また、第１の内部空間５１１ｂに摺動可能に収容された第１ピストン５２１と、第２の内部空間５１１ｃに摺動可能に収容された第２ピストン５２２とを備えている。そして、このシリンダ本体５１１と第１ピストン５２１の一面側５２１ａ（第一面）とで区画され、第１ピストン５２１の移動によって容量が可変する停止位置設定用圧力空間５２４（第１圧力空間）が形成される。また、シリンダ本体５１１の中間隔壁５２３と第２ピストン５２２の一面側５２２ａ（第一面）とで区画され、第２ピストン５２２の移動によって容量が可変する第２伸圧力空間５２５および、ケーシング４１４Ｂｂの他面側４１４Ｂａと第２ピストン５２２とで区画され、第２ピストン５２２の移動によって容量が可変する第２縮圧力空間４２２ｃが形成される。
【０１８７】
シリンダ本体５１１には、第１圧力空間５２４に連通し、外部から第１圧力空間５２４に空気を送り込み、又は第１圧力空間５２４から外部に空気を排出する伸通気口５２６（通気口）と、第１ピストン５２１の移動によって容量が可変する第１圧力空間５２４と反対側の容量可変空間５２３Ａに連通して第１ピストン５２１の移動に従って容量可変空間５２３Ａ内部の空気を外部との間でやりとりする連通穴５２３ｂが形成されている。
また、シリンダ本体５１１には、第２圧力空間５２５に連通し、外部から第２圧力空間５２５に空気を送り込み、又は第２圧力空間５２５から外部に空気を排出する伸通気口５２７（通気口）が形成されている。ケーシング４１４Ｂには、第２縮圧力空間４２２ｃには空間４２２ｄ（図２２、図２３参照）、空間４２２ｇ、空間４２２ｈに連通し、外部から圧力空気を送り込み、または、排出する縮通気口４２２ｊが設けられる。（図２２、図２３参照）
これら伸通気口５２６，５２７、縮通気口４２２ｊは、それぞれ外部に例えばポンプ等の圧力空気供給源が接続されていればよい。
【０１８８】
第１ピストン５２１は、中心部分が一面側５２１ａから第２圧力空間５２５に向けて延びる中空の突出部５３１が形成されている。中間隔壁５２３には、この突出部５３１を摺動可能に貫通させる貫通孔５２３ａが形成されている。突出部５３１は、第１ピストン５２１の一面側５２１ａが狭窄部５３１ａとされ、中間隔壁５２３側に広がる中空部分よりも開口幅が狭められている。突出部５３１は、第１ピストン５２１がシリンダ本体５１１の一端側５１１ａに位置した場合には、貫通孔５２３ａが第２ピストン５２２側に対して、第１１実施形態における凹部４１１ｃに対応する凹部となるようにその軸方向Ｃ長さ寸法が設定される。また、貫通孔５２３ａ内面の容量可変空間５２３Ａ側には、突出部５３１を密閉状態で摺動可能にするシール手段としてのＯリング５２３ｃが周設されている。
【０１８９】
シリンダ本体５１１の一端側５１１ａには、長ネジ５３２、回動ツマミ５３３、および長ネジ５３２の一端に螺合されたナット５３４とからなる第１ピストン規制部材５３５が回動可能に設けられている。
このうち、長ネジ５３２は一端側が第１ピストン５２１の突出部５３１における狭窄部５３１ａを貫通し、突出部５３１の中空部分でナット５３４が締結されている。このナット５３４の外径は、狭窄部５３１ａの開口幅よりも大きい。また、ナット５３４は、長ネジ５３２を回転した際、ナット５３４は回動せずに、長ネジ５３２への螺合位置が軸方向に変化するように、突出部５３１の中空部分内面によってその回動が規制されている。
【０１９０】
一方、第２ピストン５２２の一面側５２２ａには、突起部５２２ｂが形成されている。
そして、この突起部５２２ｂは、第２実施形態における突起部４１２ｃと同様の作用を得られるよう、図３６に示すように、突起部５２２ｂの外径と貫通孔５２３ａの内径とは略等しく、これらが摺動する際には、突出部５３１先端と貫通孔５２３ａで形成される凹部内と伸圧力空間５２５とが気密状態に近くなるように設定されている。同時に、貫通孔５２３ａ内面の伸圧力空間５２５側には、突起部５２２ｂと貫通孔５２３ａ内部とにおける気密性を維持するためのエアクッションパッキン５２３ｄが周設されている。これとともに、突起部５２２ｂには、ピストン５２１の往復運動方向、即ち、軸線（長手方向）Ｃに沿って断面積が連続的に変化し、貫通孔５２３ａ内部の空気を徐々に伸圧力空間５２５に向けて通気させる緩衝溝５１８が、第２実施形態における緩衝溝４１８（縮緩衝溝）と同様に設けられている。
【０１９１】
突起部５２２ｂの一端には、緩衝材５３６が形成されている。第１ピストン５２１と第２ピストン５２２とは、突出部５３１の第２ピストン５２２側の外面（底面）と突起部５２２ｂとで当接し、こうした当接部分においては、この緩衝材５３６を介して第１ピストン５２１と第２ピストン５２２とが当接する。緩衝材５３６は、例えば、ゴム、ゲルなど弾性材料、スポンジなどの多孔質材料から構成されていればよい。
こうしたと第２ピストン５２２の他面側５２２ｃ（第二面）には、突起部５２２ｄ（接続部）を介してラック部材４２２が固着される。
【０１９２】
第１ピストン５２１は、シリンダ本体５１１の第１の内部空間５１１ｂにおいて、軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能に収容されている。こうした第１ピストン５２１は、第１圧力空間５２４が最大に拡張され、第１の内部空間５１１ｂにおいて最も一端側５２１ａから遠ざかった位置、即ち、第１ピストン５２１の他面側５２１ｂ（第二面）が中間隔壁５２３に接する位置にある伸位置Ｐａ１（図３６）と、第１の内部空間５１１ｂが最小に縮小され、最も一端側５１１ａに接近した位置にある縮位置Ｐｂ１（図３７）と、この伸位置Ｐａ１と縮位置Ｐｂ１の中間付近にある中間位置Ｐｃ１（図３９）の３位置の停止位置が設定される。
【０１９３】
なお、第１ピストン５２１は、第１ピストン規制部材５３５によって、中間位置Ｐｃ１（図３９）における停止位置を調整することが可能とされている。即ち、第１ピストン規制部材５３５の回動ツマミ５３３を回すことによって、突出部５３１の内面に接して回動が抑止されたナット５３４と、長ネジ５３２との位置を変化させる。
【０１９４】
これによって、例えば、ナット５３４の長ネジ５３２に対する締結位置をシリンダ本体５１１の一端側５１１ａに寄せた位置にすると、第１ピストン５２１が伸位置Ｐａ１に向けて移動させる際に、狭窄部５３１ａにナット５３４が当接し、第１ピストン５２１はそれ以上中間隔壁５２３に向かって移動することができなくなる。これによって、第１ピストン５２１の中間位置Ｐｃ１における停止位置を調整、即ち、回転軸２０を介して接続された可動弁部４０の半開位置（Ｅ３）における停止位置を調整することが可能になる。
【０１９５】
第２ピストン５２２は、シリンダ本体５１１の第２の内部空間５１１ｃにおいて、軸線（長手方向）Ｃに沿って直線的に往復運動可能に収容されている。こうした第２ピストン５２２が停止する位置は、伸位置Ｐａ２（図３６），縮位置Ｐｂ２（図３７），及び中間位置Ｐｃ２（図３８）の３位置（停止位置）に設定される。ここで、伸位置Ｐａ２は、第２圧力空間５２５が最大に拡張される、第２の内部空間５１１ｃにおいて最も中間隔壁５２３から遠ざかった位置である。縮位置Ｐｂ２は、第２の内部空間５１１ｃが最小に縮小され、第２ピストン５２２の一面側５２２ａが中間隔壁５２３に近接、ないし接した位置である。中間位置Ｐｃ２は、伸位置Ｐａ２と縮位置Ｐｂ２の中間付近であり、第１ピストン５２１の中間位置Ｐｃ１によって設定される。
第２ピストン５２２の突起部５２２ｄには、第２ピストン５２２の往復運動方向、即ち、軸線（長手方向）Ｃに沿って断面積が連続的に変化し、縮圧力空間４２２ｃ内の空気を空間４２２ｇに向けて徐々に通気させる緩衝溝５１９（伸緩衝溝）が、第１１実施形態の緩衝溝４１９と同様に形成されている。
【０１９６】
ラック部材４２２は、軸線（長手方向）Ｃに垂直な断面が円形を成す丸棒状に形成されている。そして、この丸棒状のラック部材４２２の周面の一部には、ラック歯４２２ａが軸線（長手方向）Ｃに沿って所定のピッチで配列形成されている。また、回転軸２０に固着されたピニオン４２１とラック歯４２２ａとの噛合部分Ｓの両側にはそれぞれ、ラック部材４２２を摺動可能に支持する滑り軸受４１５Ｂ，４１５Ｃが配されている。（図２２，図２３参照）
また、回転軸駆動機構３００Ｂには、リミッタスイッチ（回転動作終了検出スイッチ）ｃｄＳが設けられている。このスイッチは、シリンダ本体５１１の中間隔壁５２３に設けられており、縮位置Ｐｂ２に第２ピストン５２２がある場合に動作する接触式のリミッタスイッチである。
【０１９７】
以上のような構成の回転軸駆動機構３００Ｂを備えたスライド弁の作用を説明する。
例えば、初期状態として、図３７に示す縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２にそれぞれ第１ピストン５２１，第２ピストン５２２がある場合には、この第２ピストン５２２に固着されたラック部材４２２からピニオン４２１を介して連動（回転）される回転軸２０が、図２３中と同様に反時計回りに回転した状態とされ、この回転軸２０の位置においては、回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの弁閉位置Ｅ２（図３５）に置かれる。
【０１９８】
ここで、第１ピストン規制部材５３５における初期状態として、図３６，図３７に示すように、回動ツマミ５３３を回して、縮位置Ｐｂ１とされた第１ピストン５２１において狭窄部５３１ａがナット５３４に当接する縮位置Ｐｂ３となるように、ナット５３４と、長ネジ５３２との位置を調節する。（case1,2）
【０１９９】
第１ピストン規制部材５３５における初期状態を縮位置Ｐｂ３とした状態で、終状態として、第２ピストン５２２を縮位置Ｐｂ２から、図３６に示す伸位置Ｐａ２、即ち、可動弁部４０の流路Ｈの退避位置Ｅ１（図３５）に移動させる際には、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給するとともに、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給せず排気可能とする。すると，第２圧力空間５２５の内圧が高まるとともに、縮圧力空間４２２ｃの圧力が低下することによって、第２ピストン５２２は、軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体５１１の一端側５１１ａから遠ざかる方向に移動（摺動）し、第２圧力空間５２５の内容積がそれぞれ広がるとともに、縮圧力空間４２２ｃの内容積が収縮する。
【０２００】
第２ピストン５２２がシリンダ本体５１１の一端側５１１ａからそれぞれ遠ざかる方向に移動すると、第２ピストン５２２に固着されたラック部材４２２は、ラック歯４２２ａと噛合するピニオン４２１を図４９中の時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図３５）に振り子運動で移動する。
【０２０１】
次に、第１ピストン規制部材５３５における初期状態として、図３８に示すように、回動ツマミ５３３を回して、伸位置Ｐａ１とされた第１ピストン５２１において狭窄部５３１ａがナット５３４に当接する伸位置Ｐａ３となるように、ナット５３４と、長ネジ５３２との位置を調節する。（case3〜6）
また、初期状態として、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を供給せず排気可能とし、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給せず排気可能とし、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給する。これにより、図４９に示す縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２にそれぞれ第１ピストン５２１，第２ピストン５２２を位置する。
【０２０２】
第１ピストン規制部材５３５における初期状態を伸位置Ｐａ３とした状態で、第２ピストン５２２を初期状態の縮位置Ｐｂ２から、終状態として図３６に示す伸位置Ｐａ２、即ち、可動弁部４０の流路Ｈの退避位置Ｅ１（図５１）に移動させる際には、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給するとともに、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給せず排気可能とする。すると，第２圧力空間５２５の内圧が高まるとともに、縮圧力空間４２２ｃの圧力が低下することによって、第２ピストン５２２は、軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体５１１の一端側５１１ａから遠ざかる方向に移動（摺動）し、第２圧力空間５２５の内容積がそれぞれ広がるとともに、縮圧力空間４２２ｃの内容積が収縮する。
【０２０３】
これにより、第１ピストン５２１が縮位置Ｐｂ１、第２ピストン５２２伸位置Ｐａ２となり、第２ピストン５２２がシリンダ本体５１１の一端側５１１ａからそれぞれ遠ざかる方向に移動する。すると、第２ピストン５２２に固着されたラック部材４２２は、ラック歯４２２ａと噛合するピニオン４２１を図２２と同様に時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図３５）に振り子運動で移動する。
【０２０４】
同様に、初期状態として、第１ピストン規制部材５３５のナット５３４が伸位置Ｐａ３、第１ピストン５２１が縮位置Ｐｂ１、第２ピストン５２２が縮位置Ｐｂ２とする。
【０２０５】
この状態で、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を供給し、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給し、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給せず排気可能とする。これにより、第１ピストン５２１，および第２ピストン５２２がシリンダ本体５１１の一端側５１１ａからそれぞれ遠ざかる方向に移動して、第１ピストン５２１、第２ピストン５２２をともに伸位置Ｐａ１，Ｐａ２となる。すると、第２ピストン５２２に固着されたラック部材４２２は、ラック歯４２２ａと噛合するピニオン４２１を図３７中の時計回り方向に回転させる。これによって、回転軸２０も時計回り方向に回転され、この回転軸２０に固定された中立弁部３０を介して可動弁部４０が流路Ｈの退避位置Ｅ１（図３５）に振り子運動で移動する。
【０２０６】
このように、第１ピストン５２１，第２ピストン５２２を伸位置Ｐａ１，Ｐａ２に移動させる際、第１ピストン規制部材５３５によって、第１ピストン５２１の伸位置Ｐａ１における停止位置を微調整することも可能である。つまり、第１ピストン５２１の伸位置Ｐａ１における停止位置を微調整、即ち、回転軸２０を介して接続された可動弁部４０の弁開位置Ｅ１における停止位置を微調整することが可能になる。
【０２０７】
次に、第１ピストン規制部材５３５における初期状態として、図４０〜図４２に示すように、回動ツマミ５３３を回して、縮位置Ｐｂ３と伸位置Ｐａ３との間の任意の位置である中間位置Ｐｃ３となるように、ナット５３４と、長ネジ５３２との位置を調節する。
（case7〜14）
【０２０８】
まず、初期状態として、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を供給せず排気可能とし、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給せず排気可能とし、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給する。これにより、第１ピストン５２１および第２ピストン５２２が、縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２とする。
【０２０９】
次いで、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を供給せず排気可能とし、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給し、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給せず排気可能とする。これにより、図４０に示すように、第１ピストン５２１が縮位置Ｐｂ１，第２ピストン５２２が伸位置Ｐａ２となる。
【０２１０】
この状態で、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を供給し、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給し、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給せず排気可能とする。これにより、図４１に示すように、第１ピストン５２１が中間位置Ｐｃ１，第２ピストン５２２が伸び位置Ｐａ２となる。
【０２１１】
この状態で、第１圧力空間５２４内に通気口５２６から圧縮空気を給を維持し、第２圧力空間５２５内に通気口５２７から圧縮空気を供給せず排気可能とし、通気口４２２ｊには圧縮空気を供給する。これにより、図４２に示すように、第１ピストン５２１および第２ピストン５２２が中間位置Ｐｃ１，Ｐｃ２となる。この時、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂが第１ピストン５２１の突出部５３１に衝突する。しかしながら、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂには、緩衝材５３６が形成されているので、中間位置Ｐｃ１で停止している第１ピストン５２１には、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂがこの緩衝材５３６を介して当接することになる。これによって、衝突の衝撃は緩衝材５３６によって吸収され、第２ピストン５２２の移動によって第１ピストン５２１に強い衝撃が加わることを防止できる。
【０２１２】
そして、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂが緩衝材５３６を介して第１ピストン５２１の突出部５３１に当接した位置で第２ピストン５２２が停止し、第２ピストン５２２は中間位置Ｐｃ２に配置される。
こうした第１ピストン５２１および第２ピストン５２２が、それぞれ中間位置Ｐｃ１，Ｐｃ２にある時は、回転軸２０に中立弁部３０を介して固定された可動弁部４０は、流路Ｈの半開位置Ｅ３（図３５）に位置する。こうした半開位置Ｅ３においては、可動弁部４０が流路Ｈを半分ほど覆う形となり、例えば、流路Ｈの開口面積が弁開位置Ｅ１の半分ほどに制限される。このような半開位置Ｅ３を設定することによって、スライド弁を通過する流量を弁開位置Ｅ１よりも制限する弁位置として適用することができる。
【０２１３】
なお、こうした回転軸駆動機構３００Ｂにおいても、第１実施形態の回転軸駆動機構３００と同様に、第１ピストン５２１や第２ピストン５２２に対して緩衝溝を形成し、これら第１ピストン５２１や第２ピストン５２２が縮位置Ｐｂ１，Ｐｂ２に向けて移動する際に、シリンダ本体５１１に対して第１ピストン５２１や第２ピストン５２２が緩やかに当接する構成とすればよい。
【０２１４】
本実施形態においては、図４３，図４４に示すように、第１ピストン規制部材５３５における初期状態を、回動ツマミ５３３を回して、縮位置Ｐｂ３、伸位置Ｐａ３、中間位置Ｐｃ３から選択する。第１ピストン５２１における初期状態および終状態を、縮位置Ｐｂ２、伸位置Ｐａ２、中間位置Ｐｃ２から選択する。第２ピストン５２２における初期状態および終状態を、縮位置Ｐｂ１、伸位置Ｐａ１、中間位置Ｐｃ１から選択する。第１圧力空間５２４内への通気口５２６からの圧縮空気供給状態、第２圧力空間５２５内への通気口５２７からの圧縮空気供給状態、縮圧力空間４２２ｃ内への通気口４２２ｊからの圧縮空気供給状態、をそれぞれ設定して切り替える。これのよって、可動弁部４０における退避位置Ｅ１（弁開位置）Ｅ１、弁閉位置Ｅ２、半開位置Ｅ３を切り替えることができる。
【０２１５】
しかも、第１ピストン規制部材５３５における初期状態として、図４０〜図４２に示すように、回動ツマミ５３３を回して、中間位置Ｐｃ３を、縮位置Ｐｂ３と伸位置Ｐａ３との間の任意の位置となるように、ナット５３４と、長ネジ５３２との位置を調節することで、可動弁部４０における半開位置Ｅ３の半壊状体を、退避位置Ｅ１（弁開位置）Ｅ１と弁閉位置Ｅ２との間で任意に設定することができる。
【０２１６】
さらに、本実施形態においては、図３９に示すように、通気口５２７から第２圧力空間５２５内に圧縮空気を供給せず排気可能とし、通気口５２６から第１圧力空間５２４内に供給する圧縮空気の圧力状態と、通気口４２２ｊから、圧力空間４２２ｃに供給する圧縮空気の圧力状態とを制御することで、図３９に示すように、第１ピストン５２１，第２ピストン５２２を中間位置、Ｐｃ１，Ｐｃ２とすることも可能である。
【０２１７】
この場合、第１ピストン５２１，第２ピストン５２２を伸位置Ｐａ１，Ｐａ２から中間位置Ｐａ３，Ｐａ３、即ち、可動弁部４０の半開位置Ｅ３に移動させる際には、図３９に示すように、まず、第１圧力空間５２４内の空気を通気口５２６から排出して第１圧力空間５２４を縮める（縮小させる）。これによって、第１ピストン５２１は、軸線（長手方向）Ｃに沿って、シリンダ本体５１１の一端側５１１ａに近づく方向に向けて移動（摺動）する。そして、所定の中間位置Ｐｃ１で停止させる。
【０２１８】
その後、第２圧力空間５２５内の空気を通気口５２７から排出して第２圧力空間５２５を縮める（縮小させる）。この時、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂが第１ピストン５２１の突出部５３１に衝突する。しかしながら、第２ピストン５２２の突起部５２２ｂには、緩衝材５３６が形成されているので、中間位置Ｐｃ１で停止している第２ピストン５２２の突起部５２２ｂにはこの緩衝材５３６を介して当接することになる。これによって、衝突の衝撃は緩衝材５３６によって吸収され、第２ピストン５２２の移動によって第１ピストン５２１に強い衝撃が加わることを防止できる。
【０２１９】
以下、本発明の実験例について説明する。
【０２２０】
＜突発的ガス放出現象＞
リーク、透過の両現象は、初期は上昇カーブを描き、一定時間後はほぼ一定値を保つことが知られている。また、従来、リーク量の測定は、Ｈｅ検知型の質量分析計（通称：リークディテクタ）を用いて数分で測定を終了していた。これは、Ｈｅは数分で透過が開始する為、これ以上の長時間測定では、リークと透過の切り分けが困難であるからである。一方、透過量の測定は、汎用的な質量分析計を用い、導入ガス（通常は、大気成分ｏｒアルゴンなど）成分の、上昇カーブを、長い期間での変動に着目して測定する。今回、大気圧もしくは、高圧空間と真空空間との境界部のシール手段としてＯリングを用いた真空装置において、上記のリーク量、透過量の両測定手法とは異なり、サンプリング周期を数秒とした極めて高い時間分解能にて、１ｈ以上の長時間に渡って連続的に質量分析計を用いて測定した結果、本願発明者らは、図に示すように、数秒〜数分の微小期間の突発的なガス量の増加が観測されることを見出した。この突発的なガス量の増加は、通常の真空プロセスでは問題となることはないが、分析計などのより高真空でかつ、Ｏリングシールを用いる事が必要な機器においては、悪影響を及ぼす場合がある。本発明によって、閉塞空間Ｓｅａｌ５をリーク孔Ｓｅａｌ６によって連通させることで、Ｏリングシール構造における、突発的放出ガス現象を確実に低減させることができる。
【産業上の利用可能性】
【０２２１】
本発明は、大気圧もしくは、高圧空間と真空空間との境界部のシール手段としてＯリングを用いた真空装置、特に、成膜装置や、分析装置等、開口部が大きなスライド弁など、Ｏリングの延長が長くなって閉塞空間Ｓｅａｌ５の体積が大きく、閉塞空間Ｓｅａｌ５から噴出するガス量が真空度に対して悪影響を及ぼすシール箇所を有するもの、に広く適用できる。
また、Ｏリングシールとして、断面矩形の角溝Ｏリングを励磁したが、閉塞空間を形成する形状であればどのような断面形状、シール形状でも適応可能である。
【符号の説明】
【０２２２】
５…中立弁体、１０，１０ａ，１０ｂ…弁箱、１１…中空部、１２ａ…第１開口部、１２ｂ…第２開口部、１７，１８…流体経路リング、２０…回転軸、２１，１２１…雄ネジ、２５…弁棒、３０…中立弁部、３１…雌ネジ、４０…可動弁部、４１…供給路、４２…連絡路、４３…締結ボルト（締結部材）、４３ｆ…止め輪（係止部材）、５０…可動弁板部（第２可動弁部）、５１ａ，５１ｂ…第２シール部、５２ａ，５２ｂ…第３シール部、５３，５４…ワイパー、５５，５６…中間大気室、６０…可動弁枠部（第１可動弁部）、６１…第１シール部、６２…ガイドピン、６８…接続ピン、６８Ａ…フローティングピン、６９…接続ピン部、７０…メインバネ（第１付勢部）、８０…エアシリンダ（第２付勢部、円環状エアシリンダ）、９０…補助バネ（第３付勢部）、９１…接続部材、９３…突起部、９５…凹部、９６ａ，９６ｂ…第一平行面、９７ａ，９７ｂ…第二平行面、１２１，４２１，６２１…ピニオン、１２２，４２２，６２２…ラック、１２５，１２６…軸方向軸内経路、１００，１００Ａ，１０００…仕切弁、１００Ｂ…スライド弁、３００Ａ，３００Ｂ，３００Ｃ，３００Ｄ…回転軸駆動機構、４１０，５１０，６１０，７１０…シリンダ、４１１，５１１，６１１，７１１…シリンダ本体、４１２，５２１，６１２，７１２…ピストン、４１３，６１３…圧力空間、４１４，６１４…通気口、４１８，６１８…緩衝溝、５３６，７３６…緩衝材、Ｓｅａｌ６…リーク孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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