(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心軸に交差する頂面と側面および背面を有する金属製の共通基台と、前記共通基台の前記頂面に３以上の一軸型センサーユニットを固定してなり、前記背面を地軸に対して直角な基準面とする多軸型重力センサーであって、
前記金属製の共通基台は、３ｍ個（ｍは２以上の自然数）の側面を有する３ｍ角柱の中心軸に直角な面で切断した面を前記背面とし、
前記頂面には、前記中心軸を頂点とし、前記中心軸から離れるに従って前記背面に接近する如く傾斜する３以上の同一形状を有するセンサーユニット固定面を有し、
前記頂面に有する前記センサーユニット固定面は、前記３ｍ個の側面と前記頂面の境界を底辺とし、共有する隣接２辺間距離が前記中心軸に向かって漸次幅狭となって前記中心軸で各頂点が一致する３ｍ個の３角形の傾斜面のうちの合同３角形の傾斜面で、かつ前記中心軸周りに等角度で位置する傾斜面であり、
前記センサーユニット固定面のそれぞれに、前記一軸型センサーユニットを前記中心軸周りに固定したことを特徴とする多軸型重力センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電片に作用する重力の変化を当該圧電片の発振周波数の変化として検出する重力センサーに係り、特に、圧電片で構成した複数のセンサーユニットを共通基台に所定の位置関係で配置することにより重力加速度の相対変化を高精度で測定可能とした多軸型重力センサーに関する。
【背景技術】
【０００２】
地球あるいは他の惑星等において、その重力加速度の変化を検出して地下あるいは海底下に埋蔵されている資源の探査を遠隔で行う手段にＭＥＭＳ技術を利用した高感度重力センサーが用いられる。重力センサーを利用して資源探査を遠隔で行う既知の技術を開示したものとしては、例えば、特許文献１、特許文献２に記載がある。
【０００３】
この分野では、従来から重力加速度センサーとして、コイルばねや板ばねで錘を吊るし、重力変化に応じたばねの伸縮量を読み取る機械式が広く使用されている。このような重力センサーは装置が大型である。ここでいう重力センサーは、重力の方向を検出するだけでなく、特定位置での総体変化量（水準面での値からの偏差値だけでなく、注目位置の周囲との間の変化分）を測定するもので、本明細書では、地球における重力検出を例として説明する。
【０００４】
上記の機械式以外の重力測定センサーには、様々な方式が知られているが、圧電物質が重力の変化でその共振周波数が変化することを利用する本発明者等が新規に開発した重力測定センサーに類似する測定装置として次のようなものがある。
【０００５】
すなわち、水晶片等の圧電物質を用い、水晶片に付着した物質の質量変化を振動周波数の変化で測定するＱＣＭプローブ（水晶天秤）が特許文献３に開示がある。このＱＣＭプローブは、片持ち支持した圧電素子（水晶片）で構成したセンサーユニットを用い、物質の付着による重力変化で圧電素子が歪み、発生電流が変化することに基づいて質量の変化量（変化値）を測定するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−４０１５５号公報
【特許文献２】特開２０００−２０６２６６号公報
【特許文献３】ＷＯ９７/０４３１４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
開発中の重力センサーでは、圧電物質を利用する重力センサーとして、水晶に代表される圧電物質を薄片に加工し、その表又は表裏あるいは固定部材側に適宜の電極を設け、その１端部を片持ち支持した振動素子で構成し、これを適宜の容器に封入してセンサーユニットとする。このセンサーユニットを地軸（地球中心を通る直線）に対して所定の角度で配置し、重力変化に応じた前記センサーユニットを構成する前記振動素子の振動出力を発振器に印加して、その発振周波数の変化に基づいた周波数の偏差をデータ処理手段で演算し、演算結果から重力の変化量（変化値）を検出する。
【０００８】  しかしながら、圧電片を用いた重力測定用のセンサーユニットを一つ用いた、所謂一軸用重力センサーでは、５ｍｇａｌが限度であり、それよりも精密な重力変化を検出することは難しい。特に、重力変化を、一桁精度の高い高精度、例えば０．１ｍｇａｌオーダーでの重力変化値を測定することは困難である。また、このセンサーユニットを複数備える構成の所謂多軸型重力センサーでは、これら複数のセンサーユニットのそれぞれを地軸に対して所定の角度および所定の姿勢で精度よく設置しかつ互いに所定の位置関係で配置することが容易ではないといった課題を有している。【０００９】  本発明の目的は、上記した０．１ｍｇａｌの高精度で重力変化の相対値の測定ができると共に、設計裕度があり、製造容易、かつ低コストの多軸型重力測定センサーを提供することにある。また、複数のセンサーユニットのそれぞれが、容易に地軸に対して所定の角度および所定の姿勢で精度よく設置されかつ互いに所定の位置関係で配置されて形成される多軸型重力測定センサーを提供することも本発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明は、地軸に対して任意に選定した所定の角度、かつ所定の姿勢で設置する複数の一軸用重力測定用のセンサーユニットと、この複数の一軸用重力測定用のセンサーユニットを正確かつ確実に固定可能とした共通基台(以下、単に基台とも言う)を用いる。この基台として、３面以上の任意の数の一軸用重力測定センサーユニットを設置する固定面（facet：ファセット、センサーユニット固定面）と地軸に対する基準面（base plane）を持つ多角柱、円柱、センサーユニット固定面、基準面の形成のための精密加工が容易な金属材料（金属ブロックが好適）を用いることによって達成される。この共通基台を構成する金属材料は、熱膨張率が小さく、加工が容易で、環境による劣化が少ないアルミニウム、銅、鉄、ニッケル、若しくはこれらの合金等が好適である。そして、この金属のブロックを削り出し加工して形成するのが望ましい。
【発明の効果】
【００１１】
複数の一軸用重力測定のセンサーユニットを設置する基台のセンサーユニット固定面は金属加工で精密に形成される。すなわち、基台の材料として任意形状の精密加工が容易な上記の金属を用いることで、複数のセンサーユニット固定面を基準面に対して同一角度或いは正確な姿勢で、かつ複数の一軸用重力測定センサーユニットが互いに等間隔となるように正確に、かつ地軸に対する任意の設置角度で固定可能に形成することができる。共通基台の地軸に対する前記基準面も、地軸に直角（重力の作用方向と水平な方向）となるよう、精密に加工して形成できる。
【００１２】
複数の一軸用重力測定センサーを固定する共通基台のセンサーユニット固定面を精密に、かつ地軸に対して任意の角度で設定できることで、各一軸用重力測定センサーの共振周波数を正確に決定することができることになり、複数の一軸用重力センサーの共振周波数を最適に決定できる。したがって、例えば０．１ｍｇａｌオーダーの高精度で重力変化を検出できる多軸型重力測定センサーを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施例１を説明する多軸型重力センサーを構成するセンサーユニットの斜視図である。
【図２】本発明の実施例１を説明する多軸型重力センサーの４面図である。
【図３】本発明の実施例２を説明する多軸型重力センサーの２面図である。
【図４】本発明の実施例３を説明する多軸型重力センサーの２面図である。
【図５】本発明の多軸型重力センサーを構成するセンサーユニットの１構成例の説明図である。
【図６】本発明の多軸型重力センサーを構成するセンサーユニットの１構成例の説明図である。
【図７】本発明の多軸型重力センサーを用いた重力測定回路の一例を説明する概略ブロック図である。
【図８】センサーユニットの水晶片が傾斜角θが零、即ちθ＝０degにある場合の説明図である。
【図９】センサーユニットの水晶片が傾斜角θが０でない値を持つ場合の説明図である。
【図１０】センサーユニットの水晶片が傾斜角θが９０度、即ちθ＝９０degにある場合の説明図である。
【図１１】センサーユニットの感度軸を重力方向に平行で、初期の角度θに対して±Δθ傾斜させたときの、当該変化角度（Δθ）に対する変化加速度（ΔＧ）を説明する図である。
【図１２】センサーユニットの感度軸を重力方向に平行で、初期の角度θがずれている場合、当該、初期の角度θに対して±Δθ傾斜させたときの、変化角度（Δθ）に対する変化加速度（ΔＧ）を説明する図である。
【図１３】初期傾斜を誤差と見立てた０．１ｍｇａｌ相当の傾斜（０．０８１１ｄｅｇ）を印加したときに発生する加速度変化の説明図である。
【図１４】傾斜評価機の傾斜補正前のデータで、横軸は時間（秒：ｓｅｃ）、縦軸はセンサー出力（μＧ）で、センサーユニットの設置角度＋傾斜評価機の水平度による未既値θの状態で、未後へ傾斜０．５７３ｄｅｇ→左へ傾斜０．５７３ｄｅｇとしたときのセンサー出力を示す。
【図１５】傾斜評価機の初期傾斜を補正後に測定した結果の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は、本発明の実施例１を説明する多軸型重力センサーの斜視図である。この多軸型重力センサー１は、６角柱の頂面近傍の部分を柱状部の一部とともに切り取った６角盤形状を有する金属（例えば、アルミニウム）からなるセンサー基台１０に３以上の複数の一軸用重力測定用のセンサーユニット（以下、単にセンサーユニットとも称する）を固定して構成される。以下では、説明の便宜上、センサー基台１０を単に６角柱と記す。６角柱の頂面（長軸：図の高さ方向軸と交差する面）に形成した６面（６個のファセット）の一面置きに３つのセンサーユニット４ａ,４ｂ,４ｃが、当該６面の一つ置きに位置する３つのセンサーユニット固定面３ａ,３ｂ,３ｃに等間隔に固定されている。基台１０を構成する６角柱の頂面の反対側（裏面）には、その面で地軸に対する基準面を構成する基部２を有している。この基部２の高さは任意で、この高さ寸法が大きい（軸方向寸法が長い）ほど６角柱の形状表現に適う（suitableもの）となる。
【００１６】
図２は、本発明の実施例１を説明する多軸型重力センサーの４面図であって、図２(a)は頂面図、図２(ｂ)は図２(a)を矢印Ａ方向から見た側面図、図２(ｃ)は図２(a)を矢印Ｂ方向から見た側面図、図２(ｄ)は底面図である。図１と同じ部分には同じ符号を付してある。多軸型重力センサー１の基台１０を構成する６角柱の中心軸Ｃは６面の３角形に共通な頂点を通り、センサーユニット固定面３ａ,３ｂ,３ｃの前記頂点での角度θ1、θ2、θ3は、θ1＝θ2＝θ3である。他の残り３つの面の前記頂点での対応する角度は等しい。なお、これら残り３つの面の前記頂点での角度はセンサーユニット固定面３ａ,３ｂ,３ｃの前記頂点での角度と必ずしも等しい必要はない。実施例１は軸対称の正６角柱なので、上記残り３つの面の前記頂点での角度とセンサーユニット固定面３ａ,３ｂ,３ｃの前記頂点での角度とは等しい。
【００１７】
図１、図２で説明した多軸型重力センサーについて、例えば、正６面の各３つのセンサーユニット固定面３ａ,３ｂ,３ｃに等間隔にセンサーユニットを固定した場合を説明する。この場合、長軸と直行する平面に対するセンサーユニット固定面３ａ,３ｂ,３ｃの傾斜角度を１２０度とする。この傾斜面に一軸用重力測定用のセンサーユニット４ａ,４ｂ,４ｃを接着剤で固定する。図２（b）に示したＹ面は６角柱の長軸であるＺ軸に対して垂直であり、長軸と直行する平面に平行で、地球中心を通る直線に対して垂直である。
【００１８】
センサーユニット４ａ,４ｂ,４ｃを固定する接着剤の粘性やＹ面の設置機構との取り付け誤差等により、各一軸用重力測定用のセンサーユニット４ａ,４ｂ,４ｃの傾斜１２０度に±３度程度の誤差が生じる。この誤差は事前の校正で払拭できる。センサーユニット固定面３ａ,３ｂ,３ｃの傾斜角度が１２０度以外の下記する各実施例の場合も、同程度の誤差が生じる。この誤差の校正については、図７以下を参照して後述する。
【実施例２】
【００１９】
図３は、本発明の実施例２を説明する多軸型重力センサーの２面図であって、図３(a)は頂面図、図３(ｂ)は図３(a)を矢印Ａ方向から見た側面図である。図１と同じ符号は同じ部分を示す。実施例２は、基台を構成する３角柱の頂面に形成した３面（３個のファセット）のそれぞれに一軸用重力測定用のセンサーユニット４ａ,４ｂ,４ｃを等間隔に固定したものである。３個のファセットの頂点Ｃでの角度θ1、θ2、θ3は、θ1＝θ2＝θ3である。基台１０の３角柱の頂面の反対側（裏面）には、その面で地軸に対する基準面を構成する基部２を有している。この基部２の高さ（Ｚ軸方向の寸法）は任意で、この高さ寸法が長いほど３角柱の形状表現に適うものとなる。
【実施例３】
【００２０】
図４は、本発明の実施例３を説明する多軸型重力センサーの２面図であって、図４(a)は頂面図、図４(ｂ)は図４(a)を矢印Ａ方向から見た側面図である。図１と同じ符号は同じ対応部分を示す。実施例３は、基台１０を構成する正４角柱の頂面のセンサーユニット固定面３eと、側面のセンサーユニット固定面３ａ,３ｂ,３ｃ,３ｄのそれぞれに一軸用重力測定用のセンサーユニット４ｅ,４ａ,４ｂ,４ｃ,４ｄを固定したものである。４角柱の長軸（図の高さ方向：Ｚ軸方向の中心軸）に直角な面である４角柱の頂面の反対側には、その下面で基準面を構成する基部２を有している。この基部２のＺ軸方向の高さは任意で、この高さ寸法が長いほど正４角柱の形状表現に適うものとなる。
【００２１】
図５は、本発明の実施例４を説明する多軸型重力センサーの２面図であって、図５(a)は頂面図、図５(ｂ)は図５(a)を矢印Ａ方向から見た側面図である。図１と同じ符号は同じ対応部分を示す。実施例４は、基台１０を構成する円柱の頂面のセンサーユニット固定面３ａ,３ｂ,３ｃのそれぞれに一軸用重力測定用のセンサーユニット４ａ,４ｂ,４ｃを固定したものである。円柱の長軸（図の高さ方向の中心軸）に直角な面である縁柱の頂面の反対側には、その下面で基準面を構成する基部２を有している。この基部２の高さは任意で、高さ寸法が長いほど縁柱の形状表現に適うものとなる。
【００２２】
なお、多軸型重力センサーは上記した実施例１〜４で説明したものに限らず、基台１０として３以上の角柱以上の頂面と、複数の等間隔に形成した複数の側面を持つものであればよい。
【００２３】
図６は、本発明の多軸型重力センサーを構成する一軸用センサーユニットの１構成例の説明図で、図６（a）は断面図、図６（ｂ）は平面図である。この一軸用センサーユニット４は、容器４１ａに収納した台座４２の一箇所に、導電性接着剤４３で片持ち固定したカンチレバー型水晶片５を有し、内部に不活性ガスを満たして蓋４１ｂで密閉されている。水晶片５の一方の面には電極（可動電極）５ａを有し、台座４２には、水晶片５の可動電極５ａと対応する内面には固定電極５ｂが設けられている。このセンサーユニットの動作については後述する。
【００２４】
可動電極５aに接続する導電性接着剤４３での固定箇所と、台座４２に設けた固定電極５ｂにはそれぞれ出力端子が設けられており、次に説明する図６の重力測定回路の入力端子に接続される。
【００２５】
図７は、本発明の多軸型重力センサーを用いた重力測定回路の一例を説明する概略ブロック図である。この重力測定回路は、前記した基台に固定した複数の一軸用センサーユニット４ａ,４ｂ,４c，・・・に励振電力を供給して発振回路を構成する発振部７ａ,７ｂ,７c，・・・、発振部７ａ,７ｂ,７ｃ，・・・の発振出力に基づいて、各発振部の共振周波数における偏差を検出する周波数偏差検出部８と、周波数偏差検出部８の周波数偏差値を補正演算し、センサーユニットの間のノイズを除去する補正を施し、正確な重力偏差の相対値を出力する重力偏差演算部９から構成される。
【００２６】
次に、図８乃至図１５を用いて、図６で説明したセンサーユニットの取り付け誤差の校正について、その動作原理と共に説明する。図８乃至図１５において、図中、符号１１は水晶片５の片持ち固定部、５ａは可動電極、５ｂは固定電極、Ｓは感度軸、ａは重力加速度を示す。
【００２７】
図８は、センサーユニットの水晶片が傾斜角θが零、即ちθ＝０degにある場合を示す。センサーユニットの水晶片５が地軸と直角な面に平行に設置されている場合である。この状態では、ｃｏｓθ＝０なので、感度軸Ｓに印加される重力加速度ａは、
ａ＝９．８（ｍ／ｓｅｃ2）×ｃｏｓθ
＝９．８（ｍ／ｓｅｃ2）
となる。
【００２８】
図９は、センサーユニットの水晶片が傾斜角θが０でない値を持つ場合、即ちθ＝Δｄｅｇにある場合を示す。センサーユニットの水晶片５が地軸と直角な面からΔθｄｅｇで傾斜しているとき、ｃｏｓθ＝Δθｄｅｇにおいて、感度軸Ｓに印加される重力加速度ａは、
ａ＝９．８（ｍ／ｓｅｃ2）×ｃｏｓΔθ
となる。
【００２９】
図１０は、センサーユニットの水晶片が傾斜角θ９０度、即ちθ＝９０ｄｅｇにある場合を示す。センサーユニットの水晶片５が地軸と平行に設置されている場合である。この状態では、ｃｏｓθ＝０なので、感度軸Ｓに印加される重力加速度ａは、
ａ＝９．８（ｍ／ｓｅｃ2）×ｃｏｓθ
＝０
となる。
【００３０】
そして、このセンサーユニットの出力は、次のように示すことができる。
Ｖout1＝ｋ×ｃｏｓθ・・・・・・・・・・・（１）
Ｖout2＝ｋ×ｃｏｓ（θ＋Δθ）・・・・・・（２）
ここで、ｋはセンサーユニットの感度係数である。なお、Ｖout1は、基準の重力加速度、Ｖout2は、変化した際の重力加速度である。
【００３１】
印加される重力の変化分ΔＧは、
ΔＧ＝（ｃｏｓθ―ｃｏｓΔθ）×９．８（ｍ／ｓｅｃ2）・・・（３）
【００３２】
印加される重力加速度ΔＧが変化したときのセンサーユニットの出力ΔＶoutは、
ΔＶout＝Ｖout1―Ｖout2・・・・・・（４）
【００３３】
重力方向に垂直（地面に水平）な角度θ＝０degとしたときに、Δθ傾斜させたときのセンサーユニットの感度は、
Ｖout1―Ｖout2＝ｋ×（１―ｃｏｓΔθ）・・・（５）
【００３４】
このセンサーユニットは、重力の計測を目的とするものあるため、重力加速度方向に感度軸を配置し、その状態を０点としている。よって、０ｄｅｇあるいは予め設定された角度からの出力変化分を評価し、センサーユニットの感度軸に対して正確に決められた角度へ感度軸をセットする必要がある。
【００３５】
図１１は、センサーユニットの感度軸を重力方向に平行で、初期の角度θに対して±Δθ傾斜させたときの、当該変化角度（Δθ）に対する変化加速度（ΔＧ）を説明する図である。図１０に示されたように、初期傾斜角度が０ｄｅｇに対し±Δθの両側に傾斜させたときの、当該変化角度（Δθ）に対する変化加速度（ΔＧ）は、図の左（−）、同右（＋）方向で、夫々、
ΔＧ＝１−ｃｏｓ（±Δθ）・・・・・・（６）
であり、両者の変化分は一致し、印加される重力加速度の変化ΔＧは（６）式で決まる。
【００３６】
図１２は、センサーユニットの感度軸を重力方向に平行で、初期の角度θがずれている場合、当該、初期の角度θに対して±Δθ傾斜させたときの、変化角度（Δθ）に対する変化加速度（ΔＧ）を説明する図である。図１２に示されたように、初期傾斜角度が０ｄｅｇに対し±Δθの両側に傾斜させたときの、当該変化角度（Δθ）に対する変化加速度（ΔＧ）は、図の左側を−、右側を＋としたとき、左側（ΔＧ1）、右側（ΔＧ2）で、
ΔＧ1＝ｃｏｓθ−ｃｏｓ（θ―Δθ）・・・・・・（７）
ΔＧ2＝ｃｏｓθ−ｃｏｓ（θ＋Δθ）・・・・・・（８）
であり、初期角度（θ）が既知値でないため、印加される重力加速度の測定精度は著しく低下する。
【００３７】
図１３は、例として、初期傾斜を誤差と見立てた０．１ｍｇａｌ相当の傾斜（０．０８１１ｄｅｇ）を印加したときに発生する加速度変化の説明図である。初期傾斜０．１ｄｅｇズレている傾斜評価機もしくはセンサーに１ｍｇａｌ感度の評価をした場合、実際に印加される加速度変化分は５ｍｇａｌとなり、初期傾斜が既値でない場合は、５００％誤差で高精度なセンサー評価とならない。
【００３８】
図１４で説明したような誤差を補正する方法を以下に説明する。センサーの傾斜を０ｄｅｇに合わせる方法として、センサー出力を計測しながら傾斜させていき、出力が最大となる角度をθ＝０ｄｅｇとする方法がある。しかし、ｃｏｓ（０ｄｅｇ）近傍での出力変化は僅かであるため、補正は困難である。そこで、未既値θの状態で±Δθを印加し、そのときのセンサー出力から初期傾斜角度θを算出して補正することで、高精度評価が可能となる。
【００３９】
図１４おいて、
ｃｏｓ（θ―Δθ）＝ｃｏｓθ・ｃｏｓΔθ―ｓｉｎθ・ｓｉｎΔθ
＝ΔＧ1・・・・・・（９）
ｃｏｓ（θ＋Δθ）＝ｃｏｓθ・ｃｏｓΔθ＋ｓｉｎθ・ｓｉｎΔθ
＝ΔＧ2・・・・・・（１０）
ΔＧ1、ΔＧ2はセンサーへ約１Ｇ印加したときの出力から正規化した加速度とする。
式（１）、（２）から、初期傾斜角度θは、
θ＝ｓｉｎ-1[（ΔＧ1―ΔＧ2）／２・ｓｉｎΔθ]・・・（１１）
となる。式（１０）での補正状態を図１３、図１４のグラフ図に示す。
【００４０】
図１４は、傾斜評価機の傾斜補正前のデータで、横軸は時間（秒：ｓｅｃ）、縦軸はセンサー出力（μＧ）で、センサーユニットの設置角度＋傾斜評価機の水平度による未既値θの状態で、未後へ傾斜０．５７３ｄｅｇ→左へ傾斜０．５７３ｄｅｇとしたときのセンサー出力を示す。
【００４１】
図１５は、傾斜評価機の初期傾斜を補正後に測定した結果を示す。測定結果を式（３）に代入し、求めた補正角度０．５６ｄｅｇで傾斜評価機を左へ補正して再度計測した結果を示す。なお、縦軸の単位である（μＧ）は（ｍｇａｌ）とほぼ等価である。このときの傾斜センサー（水準器）は、リオン株式会社製ＬＳ−４０Ｃ「高感度加速度センサー」を用いて補正方法の確認を行った。
【００４２】
以上説明したような校正により、各センサーユニット３の測定誤差が修正される。修正された複数のセンサーユニットを共通の金属製の基台（台座）に固定して多軸型重力センサーとすることで、重力加速度の相対変化を高精度で測定可能とした多軸型重力センサーを得ることができる。
【符号の説明】
【００４３】
１・・・多軸型重力センサー、２・・・基部、３（３ａ,３ｂ,３ｃ,３ｄ, ３ｅ）・・・センサーユニット固定面、４（４ａ,４ｂ,４ｃ,４ｄ, ４ｅ）・・・センサーユニット、４１ａ・・・容器、４１ｂ・・・蓋、４２・・・台座、４３・・・導電性接着剤、５・・・水晶片、５ａ・・・可動電極、５ｂ・・・固定電極、７（７a,７ｂ,7ｃ,・・）・・・発振部、８・・・周波数偏差検出部、９・・・重力偏差演算部、１０・・・共通基台、１１・・・片持ち固定部。
【図１】
0006028193.tif 000002
【図２】
0006028193.tif 000003
【図３】
0006028193.tif 000004
【図４】
0006028193.tif 000005
【図５】
0006028193.tif 000006
【図６】
0006028193.tif 000007
【図７】
0006028193.tif 000008
【図８】
0006028193.tif 000009
【図９】
0006028193.tif 000010
【図１０】
0006028193.tif 000011
【図１１】
0006028193.tif 000012
【図１２】
0006028193.tif 000013
【図１３】
0006028193.tif 000014
【図１４】
0006028193.tif 000015
【図１５】
0006028193.tif 000016