(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力発生手段により圧力発生室の液体に圧力変化を生じさせ、前記圧力発生室内の液体をノズルプレートに形成されたノズル開口を介して吐出させる液体噴射ヘッドであって、
前記ノズルプレートの圧力発生室と反対の面に形成され、電圧の印加により形成される電位の傾斜に基づき電気化学的に濡れ性を制御し得る撥液膜と、
相互間の電気的絶縁を保った状態で前記撥液膜に埋設された電極対と、
前記電極対のうち一方の電極への印加電圧の正負極性に対し、もう一方の電極へは逆符号極性の電圧を印加可能な電圧印加手段と、を有し、
前記撥液膜が、可逆な酸化還元能を有する官能基を持つ有機分子、又は、多核金属錯体を官能基に持つ有機分子からなることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記電極対が複数組形成されるとともに、
前記電圧印加手段が、電圧を印加される電極がノズル開口側から経時的に移動されるように切替えて前記電極対の一組に電圧を印加するように構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載する液体噴射ヘッドを搭載したことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関し、特にノズルプレートに付着した液滴をノズル開口から離隔させる場合に適用して有用なものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置としては、例えば圧電素子からなる圧力発生手段によりインク滴吐出のための圧力を発生させる圧力発生室と、該圧力発生室内に充填されたインクに圧力変化を生じさせ、ノズルプレートに形成されたノズル開口を介してインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドともいう）を具備するインクジェット式記録装置（以下、記録装置ともいう）が知られている。
【０００３】
この種の記録装置においては、その記録ヘッドのノズル開口の高密度配置および高速駆動化がその印刷速度向上のために有効である。ところが、記録ヘッドの高速駆動時には、ノズル開口から吐出されるインク滴に付随して飛散するミスト状の微少のインク滴がノズルプレートのノズル開口の近傍に付着し、吐出インク滴の飛行曲がりや不吐出などの吐出不良を誘発する。
【０００４】
このため、ノズル開口が形成されたノズルプレートの表面に対して、ワイプのようなメンテナンス動作を定期的に実施するなどの対応が採られている。しかし、このようなメンテナンス動作の結果として、高速動作の目的である装置の高スループット性が低下することとなる。
【０００５】
一方、ノズルプレートへの微少なインク滴の付着によって生ずる吐出不良に対して、ノズル開口の周辺に撥液部を設け、撥液部に溝や撥液度の劣る円環状のパターンを併設することにより、吐出孔近傍に付着した液滴を排除する構造が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。特許文献１は、ノズル面に大きな滴状で保持されている液滴を撥液性の異なる部分で排除し、ノズル吐出口に液滴が残留して生起される吐出不良を防止するようにしたものである。また、特許文献２は、液滴の進入し易さに差を付けて複数形成された撥液層と複数の親水性領域からなる吐出面を有し、慣性力や空気流による力を利用して、液滴をノズルから遠ざけるようにしたものである。この結果、ワイプ頻度を低減し、吐出面の長寿命化、およびメンテナンス頻度の低下によるスループット向上という効果を得ている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−８６０２１号公報
【特許文献２】特開２００５−３１３６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、特許文献１，２に開示される従来技術は、撥液・親液性の表面張力差によりパターン上の付着液移動を促すものに過ぎない。この結果、前記パターン上の液滴は表面エネルギーの釣合い位置で静止することから、適切な液滴移動手段とはなりえず、スループット向上の手段としては充分ではない。
【０００８】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、ノズル開口の近傍に付着された液滴を除去してノズル開口を介した液滴の吐出性能を良好に保持するとともにスループットのさらなる向上に寄与させることができる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、圧力発生手段により圧力発生室の液体に圧力変化を生じさせ、前記圧力発生室内の液体をノズルプレートに形成されたノズル開口を介して吐出させる液体噴射ヘッドであって、前記ノズルプレートの圧力発生室と反対の面に形成され、電圧の印加により形成される電位の傾斜に基づき電気化学的に濡れ性を制御し得る撥液膜と、相互間の電気的絶縁を保った状態で前記撥液膜に埋設された電極対と、前記電極対のうち一方の電極への印加電圧の正負極性に対し、もう一方の電極へは逆符号極性の電圧を印加可能な電圧印加手段と、を有し、前記撥液膜が、可逆な酸化還元能を有する官能基を持つ有機分子、又は、多核金属錯体を官能基に持つ有機分子からなることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様によれば、撥液膜に対して正負電極対が形成する電圧勾配に沿って親液・撥液性の勾配が生ずる。このため、撥液膜に付着している液滴は親液性を有する領域に引き込まれ、撥液性を有する領域からは排斥される。この結果、液滴をノズル開口から離隔される方法への移動力が作用し、液滴をノズル開口の近傍から排除することができる。この結果、ノズル開口から吐出される液滴の飛行曲がり等の吐出不良を有効に防止することができる。
ここで、前記電極対が複数組形成され、電圧を印加される電極がノズル開口側から経時的に移動されるように切替えて前記電極対の一組に電圧を印加するように前記電圧印加手段が構成されているのが望ましい。この場合には、撥液膜に付着する液滴をノズル開口から離隔する方向へ積極的に移動させることができ、より確実にノズル開口近傍の液滴を排除し得るからである。
本発明の他の態様は、前記液体噴射ヘッドを搭載したことを特徴とする液体噴射装置にある。
本態様によれば、従来ワイピング等のメンテナンスに要していた時間を可及的に低減することができるので、その分スループットを向上させることができる。
また、他の態様は、圧力発生手段により圧力発生室の液体に圧力変化を生じさせ、前記圧力発生室内の液体をノズルプレートに形成されたノズル開口を介して吐出させる液体噴射ヘッドであって、前記ノズルプレートの圧力発生室と反対の面に形成され、電圧の印加により形成される電位の傾斜に基づき電気化学的に濡れ性を制御し得る撥液膜と、相互間の電気的絶縁を保った状態で前記撥液膜に埋設された電極対と、前記電極対のうち、一方の電極への印加電圧の正負極性に対し、もう一方の電極へは逆符号極性の電圧を印加可能な電圧印加手段とを有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様によれば、撥液膜に対して正負電極対が形成する電圧勾配に沿って親液・撥液性の勾配が生ずる。このため、撥液膜に付着している液滴は親液性を有する領域に引き込まれ、撥液性を有する領域からは排斥される。この結果、液滴をノズル開口から離隔される方法への移動力が作用し、液滴をノズル開口の近傍から排除することができる。この結果、ノズル開口から吐出される液滴の飛行曲がり等の吐出不良を有効に防止することができる。
【００１０】
ここで、前記電極対が複数組形成され、電圧を印加される電極がノズル開口側から経時的に移動されるように切替えて前記電極対の一組に電圧を印加するように前記電圧印加手段が構成されているのが望ましい。この場合には、撥液膜に付着する液滴をノズル開口から離隔する方向へ積極的に移動させることができ、より確実にノズル開口近傍の液滴を排除し得るからである。
【００１１】
本発明の他の態様は、前記液体噴射ヘッドを搭載したことを特徴とする液体噴射装置にある。
本態様によれば、従来ワイピング等のメンテナンスに要していた時間を可及的に低減することができるので、その分スループットを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】液体噴射装置の構成を示す模式的斜視図である。
【図２】実施の形態に係る記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図である。
【図３】図２の平面図である。
【図４】図３のＡ―Ａ′線断面図である。
【図５】ノズルプレートの表面を拡大して示す拡大平面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ′線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
図１は、インクジェット式記録装置（以下、記録装置ともいう）の一例を示す概略図である。図１に示すように、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置Ｉに設けられている。すなわち、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インクジェット式記録装置Ｉのキャリッジ３に搭載され、キャリッジ３は、インクジェット式記録装置Ｉの装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出する。
【００１４】
記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、キャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図１中には図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００１５】
図２は、図１に示す記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂを内蔵するインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドともいう）の概略構成を示す分解斜視図であり、図３は、図２の平面図であり、図４は図３のＡ−Ａ′線断面図である。
【００１６】
図２〜図４に示すように、記録ヘッド１０の流路形成基板１１は、シリコン単結晶基板からなる。流路形成基板１１の一方の面には二酸化シリコンからなり、本形態における振動部となる弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１１には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１１の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４及び連通路１５を介して連通されている。連通部１３は、後述する保護基板３０のマニホールド部３１と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００の一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、本形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。かくして本形態では、流路形成基板１１に、圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５からなる液体流路が設けられていることになり、圧力発生室１２にインクが充填される。
【００１７】
また、流路形成基板１１の一方の面である開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。ここで、ノズルプレート２０は、例えばシリコン単結晶基板、ステンレス鋼等で好適に構成することができる。ノズルプレート２０の表面には、これが前記シリコン単結晶基板やステンレス鋼等の導電体の場合は絶縁膜５１を介して撥液膜５２が形成されている。ここで、本形態における撥液膜５２は電圧の印加により形成される電位の傾斜に基づき電気化学的に濡れ性を制御し得る材料で形成してある。例えばフェロセニルアルカンチオールのような可逆な酸化還元能を有する官能基を持つ有機分子からなる有機薄膜で好適に所望の撥液膜５２を形成することができる。また、他のメタロセン類やルテニウム錯体等の多核金属錯体を官能基に持つ有機分子からなる有機薄膜で形成することもできる。
【００１８】
さらに、図１〜図４には図示しないが、撥液膜５２には複数の電極対が埋設されている。電極対に関しては後に詳述する。
【００１９】
流路形成基板１１の反対側の開口面には、上述したように弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、例えば厚さ３０〜５０ｎｍ程度の酸化チタン等からなり弾性膜５０等の第１電極６０の下地との密着性を向上させるための密着層５６が設けられている。なお、弾性膜５０上に、必要に応じて酸化ジルコニウム等からなる絶縁体膜が設けられていてもよい。
【００２０】
さらに、この密着層５６上には、第１電極６０と、厚さが２μｍ以下、好ましくは０．３〜１．５μｍの薄膜である圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、本形態における圧力発生手段であり、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本形態では、第１電極６０を圧電素子３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエーター装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜５０、密着層５６、第１電極６０及び必要に応じて設ける絶縁体膜が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０や密着層５６を設けなくてもよい。また、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００２１】
かかる圧電素子３００の個別電極である第２電極８０には、インク供給路１４側の端部近傍から引き出され、弾性膜５０上や必要に応じて設ける絶縁体膜上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。
【００２２】
圧電素子３００が形成された流路形成基板１１上、すなわち、第１電極６０、弾性膜５０や必要に応じて設ける絶縁体膜及びリード電極９０上には、マニホールド１００の少なくとも一部を構成するマニホールド部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このマニホールド部３１は、本形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１１の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。また、流路形成基板１１の連通部１３を圧力発生室１２毎に複数に分割して、マニホールド部３１のみをマニホールドとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板１１に圧力発生室１２のみを設け、流路形成基板１１と保護基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、必要に応じて設ける絶縁体膜等）にマニホールド１００と各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１４を設けるようにしてもよい。
【００２３】
また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。圧電素子保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００２４】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１１の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本形態では、流路形成基板１１と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成してある。
【００２５】
また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられており、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍が、貫通孔３３内に露出するように構成してある。
【００２６】
一方、保護基板３０上には、後に詳述する制御装置（図２〜図４には図示せず）で制御されて圧電素子３００を駆動する駆動回路１２０が固定されている。この駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１２０とリード電極９０とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。ここで、本形態における駆動回路１２０にはその温度を管理するための温度検出センサー（図２〜図４には図示せず)が内蔵されている。この点に関しては後に詳述する。
【００２７】
また、このような保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜４１によってマニホールド部３１の一方面が封止されている。
【００２８】
固定板４２は、比較的硬質の材料で形成されている。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００２９】
かかる記録ヘッド１０では、図示しない外部のインク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの駆動信号にしたがい、圧力発生室１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧が印加される。かくして弾性膜５０、密着層５６、第１電極６０及び圧電体層７０を撓み変形させることにより、振動部として機能する弾性膜５０を介して各圧力発生室１２内のインクに前記変形に伴う振動を伝達させる。この結果、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出される。
【００３０】
図５はノズルプレートの表面を拡大して示す拡大平面図、図６は図５のＢ−Ｂ′線断面図である。両図に示すように、前述の如く、ノズルプレート２０の表面には、電圧の印加により形成される電位の傾斜に基づき電気化学的に濡れ性が変化する撥液膜５２が絶縁膜５１を介して形成されているが、撥液膜５２には複数対（図では１０対）の電極対５３が埋設されている。すなわち、本形態においては、複数のノズル開口２１で形成するノズル列の中心線を通るとともにノズル開口２１の外周に沿って連続する中央の電極５４と、この電極５４に対し、両側において平行に配設された複数の電極５４Ａ１，５４Ｂ１，５４Ｃ１，５４Ｄ１，５４Ｅ１，５４Ａ２，５４Ｂ２，５４Ｃ２，５４Ｄ２，５４Ｅ２が形成されている。かくして、ノズル列に対し直角な方向に沿いノズル開口２１から離隔される両方向（左右方向）に電極５４Ａ１〜５４Ｅ１および電極５４Ａ２〜５４Ｅ２が形成されている。
【００３１】
電圧印加手段５５は各電極対５３を形成する電極５４，５４Ａ１〜５４Ｅ１，５４Ａ２〜５４Ｅ２間に所定の電圧を印加する。ここで、電圧印加手段５５は、各電極対５３のうちノズル開口２１側の電極５４または電極５４Ａ１〜５４Ｄ１，電極５４Ａ２〜５４Ｄ２がマイナスで、反対側の電極５４Ａ１〜５４Ｅ１，電極５４Ａ２〜５４Ｅ２がプラスとなるように電圧を印加するとともに、電圧を印加する電極対５３が電極（５４、５４Ａ１）、（５４、５４Ａ２）から順次ノズル開口２１から離隔する方向（図中の左または右方向）に経時的に移動するように印加する。すなわち、最初は電極（５４、５４Ａ１）、（５４、５４Ａ２）間に所定の電圧を印加するとともに、この電圧を印加する電極を電極（５４Ａ１、５４Ｂ１）、（５４Ａ２、５４Ｂ２）から電極（５４Ｅ１、５４Ｄ１）、（５４Ｅ２、５４Ｄ２）へと経時的に移動させる。
【００３２】
かかる本形態においては電圧の印加により形成される電圧勾配により撥液膜５２の濡れ性が変化する。すなわち、付着するインク滴に対してプラス側が親液性（あるいは撥液性）を持ち、マイナス側が撥液性（あるいは親液性）を持つようになる。この結果、撥液膜５２に付着しているインク滴５７には電位がマイナス側からプラス側（あるいはプラス側からマイナス側）に向かう移動力が作用する。特に、本形態では、電極５４Ａ１〜５４Ｅ１，５４Ａ２〜５４Ｅ２の極性をノズル開口２１から離隔する方向に向けて経時的に順次切替えているので、インク滴５７には図５および図６中の矢印で示す方向（左右方向）に移動させるような駆動力が連続的に作用する。例えば、付着インク滴５７に対する撥水膜５２の濡れ性変化が印加電圧のプラス側で撥液化、マイナス側で親液化する場合、図５および図６に実線で示すように、インク滴５７がノズル開口２１の間に付着されても電極５４がマイナス、電極５４Ａ１，５４Ａ２がプラスとなるように電圧印加手段５５で電圧が印加され、その後電極５４Ａ１，５４Ａ２がマイナス、電極５４Ｂ１，５４Ｂ２がプラスというようにノズル開口２１から離隔された電極対５３に順次切替えて電圧が印加された場合には、図５および図６に点線で示すように、インク滴５７がノズル開口２１から離隔される方向に移動される。この結果、インク滴５７はノズル開口２１から離隔されて当該ヘッドの吐出性能に悪影響を与えることはない。
【００３３】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、電極対５３は原理的には一対あれば良い。この場合には、ノズル開口２１側が撥液性、その反対側が親液性となるように電圧を印加する。このことによってもインク滴５７に対しノズル開口２１から離隔する方向に移動する力が作用し、ノズル開口２１から隔離することでノズル開口２１から吐出されるインク滴の飛行曲がりや不吐出などの吐出不良を未然に防止し得るからである。ここで、上記実施の形態の如く電極対５３を複数組形成し、ノズル開口２１側から反対側に向かって電圧を印加される電極対５３が経時的に移動されるように切替えることでインク滴５７をより確実にノズル開口２１の近傍から排除し得る。
【００３４】
さらに、インク滴５７が移動されるノズルプレート２０の端部に溝を形成してインク滴５７を回収するように構成することもできる。また、シリアル方式の記録装置の場合にはノズルプレート２０の端部に移動させたインク滴５７を、主走査方向の一方の端部にヘッドが移動したとき、ヘッドの動きを中断させることなく拭き取るように構成することもできる。
【００３５】
ノズルプレート２０を絶縁体、例えばガラスセラミックスで形成した場合には、絶縁膜５１を省略することができる。この場合にはノズルプレート２０に直接電極５４Ａ１〜５４Ｅ１，５４Ａ２〜５４Ｅ２を形成するとともに、これらが埋設されるようにノズルプレート２０の表面に撥液膜５２を形成すれば良い。また、電極５４等の形状は上記実施例のものに限定するものではない。必要に応じ、任意の形状とすることができる。
【００３６】
また、上記実施の形態における記録ヘッド１０は、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子３００を用いたもので説明したが、特にこれに限定する必要はない。例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。
【００３７】
なお、図１に示す実施の形態は、記録シートＳの搬送方向と交差する方向（主走査方向）に移動するキャリッジ３に記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂを搭載し、記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂを主走査方向に移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置であるがこれに限るものではない。記録ヘッド本体が固定されて記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット記録装置であっても、勿論構わない。
【００３８】
さらに上記実施の形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００３９】
Ｉ  記録装置（インクジェット式記録装置）、  １Ａ、１Ｂ  記録ヘッドユニット、  １０  記録ヘッド（インクジェット式記録ヘッド）、  １２  圧力発生室、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ５１  絶縁膜、  ５２  撥液膜、  ５３  電極対、  ５４，５４Ａ１〜５４Ｅ１，５４Ａ２〜５４Ｅ２  電極、  ５５  電圧印加手段、  ５７  インク滴、  ３００  圧電素子
【図１】
0005979345.tif 000002
【図２】
0005979345.tif 000003
【図３】
0005979345.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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