(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛を含有しない圧電材料を含む複合酸化物からなる圧電体層と前記圧電体層を挟む電極とを備えた圧電素子を駆動する圧電素子の駆動方法であって、
前記圧電素子の使用環境温度が所定温度条件であると判断された場合に、前記圧電体層を再分極する再分極波形を前記圧電素子に供給するものであり、
前記所定温度条件は、前記圧電素子の使用環境温度が、所定温度範囲外の温度となった後、前記所定温度範囲内の温度になったことである
ことを特徴とする圧電素子の駆動方法。
【請求項２】
前記所定温度条件が、前記鉛を含有しない圧電材料を含む複合酸化物の相転移温度に基づいて規定された範囲であることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子の駆動方法。
【請求項３】
前記鉛を含有しない圧電材料を含む複合酸化物は、チタン酸バリウム系複合酸化物であることを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電素子の駆動方法。
【請求項４】
鉛を含有しない圧電材料を含む複合酸化物からなる圧電体層と前記圧電体層を挟む電極とを備えた圧電素子と、
前記圧電素子の使用環境温度を検出する温度検出手段と、
前記温度検出手段が所定温度条件を検出した場合に、前記圧電体層を再分極する再分極波形を前記圧電素子に供給する分極手段と、
を備え、
前記所定温度条件は、前記圧電素子の使用環境温度が、所定温度範囲外の温度となった後、所定温度範囲内の温度となったことである
ことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項５】
前記分極手段は、装置起動時に再分極波形を前記圧電素子に供給することを特徴とする請求項４記載の液体噴射装置。
【請求項６】
前記所定温度範囲が、前記鉛を含有しない圧電材料を含む複合酸化物の相転移温度に基づいて規定された範囲であることを特徴とする請求項４又は５に記載の液体噴射装置。
【請求項７】
前記鉛を含有しない圧電材料を含む複合酸化物は、チタン酸バリウム系複合酸化物であることを特徴とする請求項４〜６の何れか一項に記載の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口に連通する圧力発生室に圧力変化を生じさせる電極及び圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置に搭載される液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴として吐出させるインクジェット式記録ヘッドがある。
【０００３】
液体噴射ヘッドに用いられる圧電素子としては、電気的機械変換機能を呈する圧電材料、例えば、結晶化した誘電材料からなる圧電体層を、２つの電極で挟んで構成されたものがある。このような圧電素子は、例えば撓み振動モードのアクチュエーター装置として液体噴射ヘッドに搭載される。ここで、液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴として吐出させるインクジェット式記録ヘッドがある。
【０００４】
このような圧電素子を構成する圧電体層として用いられる圧電材料には高い圧電特性が求められており、圧電材料の代表例として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）が挙げられるが、環境問題の観点から、非鉛又は鉛の含有量を抑えた圧電材料が求められている。鉛を含有しない圧電材料としては、例えば、チタン酸ビスマス系のペロブスカイト型結晶構造を持つ材料が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−６７２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような非鉛又は鉛の含有量を抑えた複合酸化物からなる圧電体層、特にチタン酸バリウム系の圧電材料は、使用環境温度に対しての依存性が高く、使用環境温度によって変位量が大きく変化してしまうという問題があった。
【０００７】
なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外の液滴を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在し、また、液体噴射ヘッド以外に用いられる圧電素子においても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、環境負荷が小さく且つ環境温度依存性が小さい液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は鉛を含有しない圧電材料を含む複合酸化物からなる圧電体層と前記圧電体層を挟む電極とを備えた圧電素子を駆動する圧電素子の駆動方法であって、前記圧電素子の使用環境温度が所定温度条件であると判断された場合に、前記圧電体層を再分極する再分極波形を前記圧電素子に供給することを特徴とする圧電素子の駆動方法にある。
本発明の他の態様は、鉛を含有しない圧電材料を含む複合酸化物からなる圧電体層と前記圧電体層を挟む電極とを備えた圧電素子と、前記圧電素子の使用環境温度を検出する温度検出手段と、前記温度検出手段が所定温度条件を検出した場合に、前記圧電体層を再分極する再分極波形を前記圧電素子に供給する分極手段と、を備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、所定温度条件となって分極状態が崩れた圧電体層に再分極波形を印加して分極処理することで、変位特性を良好に維持することができ、環境温度依存性を低減することができる。
【００１０】
ここで、前記液体噴射装置では、前記分極手段は、装置起動時に再分極波形を前記圧電素子に供給することが好ましい。これにより、装置停止時の温度履歴にかかわらず、始動時に分極処理を行うことで、変位特性の維持を図ることができる。
【００１１】
また、前記所定温度条件は、前記圧電素子の使用環境温度が、所定温度範囲外の温度となった後、所定温度範囲内の温度となったことであるのが好ましい。これによれば、所定温度範囲外の温度となって分極状態が崩れた圧電体層を所定温度範囲内に戻った後に分極処理することにより、変位特性の低下を防止することができる。
【００１２】
また、前記所定温度範囲が、前記鉛を含有しない圧電材料を含む複合酸化物の相転移温度に基づいて規定された範囲であることを特徴とする。これによれば、鉛を含有しない相転移温度に基づいて設定された所定温度範囲外となって分極状態が崩れた圧電体層に再分極波形を印加して、変位特性の低下を防止することができる。
【００１３】
本発明の他の態様は、前記鉛を含有しない圧電材料を含む複合酸化物は、チタン酸バリウム系複合酸化物であることを特徴とする。
かかる態様では、前記鉛を含有しないチタン酸バリウム系複合酸化物からなる圧電体層により、環境負荷を小さくできる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略構成を示す図。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図。
【図５】実施形態１に係るインクジェット式記録装置の制御構成を示すブロック図。
【図６】再分極波形の一例を示す図。
【図７】分極処理の一例を示すフロー図。
【図８】分極処理の他の例を示すフロー図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（実施形態１）
図１は、本発明にかかる液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図１に示すように、インクジェット式記録装置ＩＩにおいて、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００１６】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００１７】
そして、本実施形態のキャリッジ３には記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂの温度を測定するための温度センサー９が設けられている。本実施形態では、温度センサー９はサーミスタからなる。
【００１８】
ここで、このようなインクジェット式記録装置ＩＩに搭載されるインクジェット式記録ヘッドについて、図２〜図４を参照して説明する。なお、図２は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図３は、図２の平面図であり、図４は図３のＡ−Ａ′線断面図である。
【００１９】
図２〜図４に示すように、本実施形態の流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。
【００２０】
流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４及び連通路１５を介して連通されている。連通部１３は、後述する保護基板のマニホールド部３１と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールドの一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。本実施形態では、流路形成基板１０には、圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５からなる液体流路が設けられていることになる。
【００２１】
また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼等からなる。
【００２２】
一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、例えば厚さ３０〜５０ｎｍ程度の酸化チタン等からなり、弾性膜５０等の第１電極６０の下地との密着性を向上させるための密着層５６が設けられている。なお、弾性膜５０上に、必要に応じて酸化ジルコニウム等からなる絶縁体膜が設けられていてもよい。
【００２３】
さらに、この密着層５６上には、第１電極６０と、厚さが３μｍ以下、好ましくは０．３〜１．５μｍの薄膜である圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としての圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０を圧電素子３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエーター装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜５０、密着層５６、第１電極６０及び必要に応じて設ける絶縁体膜が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０や密着層５６を設けなくてもよい。また、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００２４】
そして、本実施形態においては、圧電体層７０を構成する圧電材料は、チタン酸バリウム系複合酸化物からなる。かかる圧電材料は、チタン、バリウムを含むペロブスカイト構造を有する酸化物であり、Ａサイトのバリウムの一部をＳｒやＣａなどで置換したものや、Ｂサイトのチタンの一部をＺｒやＨｆで置換したものであってもよい。また、チタン酸バリウム系複合酸化物としては、このようなチタン酸バリウムやバリウムやチタンの一部を他の元素に置換したものの他、これらに、他の鉛を含有しないペロブスカイト型圧電材料を固溶したものも含む。チタン酸バリウムやその一部置換したものに固溶させるペロブスカイト型圧電材料としては、チタン酸ビスマスナトリウム系、アルカリニオブ系、鉄酸ビスマス系の圧電材料を挙げることができる。
【００２５】
このような本発明で用いる圧電材料は、特に、チタン酸ビスマスは、実際に使用する環境温度に近い範囲に相転移温度を有し、使用環境温度が相転移温度を越えて変化した際に変位特性が大きく変化し、使用環境温度が正常範囲に戻っても変位特性は元に戻らないことわかった。これは、温度が相転移温度を超えて変化して相転移した際に分極状態が崩れるためであることも確認された。
【００２６】
本発明はこのような分極状態が崩れた圧電体層７０に再分極波形を供給して再分極処理を行うことにより、変位特性を元に戻し、変位特性の変化による印刷品質の低下を防止するものである。
【００２７】
純粋なチタン酸バリウムの相転移温度は−９０℃、０℃、及び１２０℃にあるといわれているが、実際の使用環境温度に近いものは、０℃と１２０℃であり、１２０℃はキューリー点といわれる。しかしながら、実際に使用する組成のチタン酸バリウム系複合酸化物からなる圧電体層７０の相転移温度は、１５℃近傍と、１３５℃近傍にあると推定され、１５℃〜１３５℃の範囲ではチタン酸バリウムは正方晶となる。そして、１５℃未満となると正方晶から斜方晶への相転移が生じ、１３５℃を越えると、正方晶から立方晶への相転移が生じる。
【００２８】
本実施形態では、１５℃以上１３５℃以下の範囲を所定温度範囲とし、正常使用温度範囲としている。このような所定温度範囲外の温度に圧電体層７０がさらされると相転移が生じ、変位特性が変化するので、環境温度が所定温度範囲外の場合には、印刷動作を一時停止させるか、圧電体層７０の温度が所定温度範囲に戻るように制御する必要があるが、本実施形態では、印刷動作を停止させ、温度が所定温度範囲内に戻るのを待つように制御している。
【００２９】
そして、一度所定温度範囲外になり、所定温度範囲に戻った際には、圧電体層７０は正方晶に戻るが、分極状態が崩れているので、後述するように、再駆動波形を供給して分極処理を施す制御をしている。
【００３０】
このような圧電素子３００の個別電極である各第２電極８０には、インク供給路１４側の端部近傍から引き出され、弾性膜５０上や必要に応じて設ける絶縁体膜上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。
【００３１】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、第１電極６０、弾性膜５０や必要に応じて設ける絶縁体膜及びリード電極９０上には、マニホールド１００の少なくとも一部を構成するマニホールド部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このマニホールド部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。また、流路形成基板１０の連通部１３を圧力発生室１２毎に複数に分割して、マニホールド部３１のみをマニホールドとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板１０に圧力発生室１２のみを設け、流路形成基板１０と保護基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、必要に応じて設ける絶縁体膜等）にマニホールド１００と各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１４を設けるようにしてもよい。
【００３２】
また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。圧電素子保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００３３】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００３４】
また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。
【００３５】
また、保護基板３０上には、並設された圧電素子３００を駆動するための駆動回路１２０が固定されている。この駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１２０とリード電極９０とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。
【００３６】
また、このような保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜４１によってマニホールド部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、比較的硬質の材料で形成されている。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００３７】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩでは、図示しない外部のインク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの記録信号（駆動信号）に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、密着層５６、第１電極６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００３８】
図５は、このようなインクジェット式記録装置の制御構成例を示すブロック図である。図５を参照して、本実施形態のインクジェット式記録装置の制御について説明する。本実施形態のインクジェット式記録装置は、図５に示すように、プリンターコントローラー５１１とプリントエンジン５１２とから概略構成されている。プリンターコントローラー５１１は、外部インターフェース５１３（以下、外部Ｉ／Ｆ５１３という）と、各種データを一時的に記憶するＲＡＭ５１４と、制御プログラム等を記憶したＲＯＭ５１５と、ＣＰＵ等を含んで構成した制御部５１６と、クロック信号を発生する発振回路５１７と、インクジェット式記録ヘッドＩへ供給するための駆動信号を発生する駆動信号発生回路５１９と、駆動信号や印刷データに基づいて展開されたドットパターンデータ（ビットマップデータ）等をプリントエンジン５１２に送信する内部インターフェース５２０（以下、内部Ｉ／Ｆ５２０という）とを備えている。
【００３９】
外部Ｉ／Ｆ５１３は、例えば、キャラクターコード、グラフィック関数、イメージデータ等によって構成される印刷データを、図示しないホストコンピューター等から受信する。また、この外部Ｉ／Ｆ５１３を通じてビジー信号（ＢＵＳＹ）やアクノレッジ信号（ＡＣＫ）が、ホストコンピューター等に対して出力される。ＲＡＭ５１４は、受信バッファー５２１、中間バッファー５２２、出力バッファー５２３、及び、図示しないワークメモリーとして機能する。そして、受信バッファー５２１は外部Ｉ／Ｆ５１３によって受信された印刷データを一時的に記憶し、中間バッファー５２２は制御部５１６が変換した中間コードデータを記憶し、出力バッファー５２３はドットパターンデータを記憶する。なお、このドットパターンデータは、階調データをデコード（翻訳）することにより得られる印字データによって構成してある。
【００４０】
また、ＲＯＭ５１５には、各種データ処理を行わせるための制御プログラム（制御ルーチン）の他に、フォントデータ、グラフィック関数等を記憶させてある。
【００４１】
制御部５１６は、受信バッファー５２１内の印刷データを読み出すと共に、この印刷データを変換して得た中間コードデータを中間バッファー５２２に記憶させる。また、中間バッファー５２２から読み出した中間コードデータを解析し、ＲＯＭ５１５に記憶させているフォントデータ及びグラフィック関数等を参照して、中間コードデータをドットパターンデータに展開する。そして、制御部５１６は、必要な装飾処理を施した後に、この展開したドットパターンデータを出力バッファー５２３に記憶させる。さらに、制御部５１６は、波形設定手段としても機能し、駆動信号発生回路５１９を制御することにより、この駆動信号発生回路５１９から発生される駆動信号の波形形状を設定する。かかる制御部５１６は、後述する駆動回路（図示なし）などと共に本発明の駆動手段を構成する。また、インクジェット式記録ヘッドＩを駆動する液体噴射駆動装置としては、この駆動手段を少なくとも具備するものであればよく、本実施形態では、プリンターコントローラー５１１を含むものとして例示してある。
【００４２】
そして、インクジェット式記録ヘッドＩの１行分に相当するドットパターンデータが得られたならば、この１行分のドットパターンデータは、内部Ｉ／Ｆ５２０を通じてインクジェット式記録ヘッドＩに出力される。また、出力バッファー５２３から１行分のドットパターンデータが出力されると、展開済みの中間コードデータは中間バッファー５２２から消去され、次の中間コードデータについての展開処理が行われる。
【００４３】
プリントエンジン５１２は、インクジェット式記録ヘッドＩと、紙送り機構５２４と、キャリッジ機構５２５とを含んで構成してある。紙送り機構５２４は、紙送りモーターとプラテン８等から構成してあり、記録紙等の印刷記録媒体をインクジェット式記録ヘッドＩの記録動作に連動させて順次送り出す。即ち、この紙送り機構５２４は、印刷記録媒体を副走査方向に相対移動させる。
【００４４】
キャリッジ機構５２５は、インクジェット式記録ヘッドＩを搭載可能なキャリッジ３と、このキャリッジ３を主走査方向に沿って走行させるキャリッジ駆動部とから構成してあり、キャリッジ３を走行させることによりインクジェット式記録ヘッドＩを主走査方向に移動させる。なお、キャリッジ駆動部は、上述したように駆動モーター６及びタイミングベルト７等で構成されている。
【００４５】
インクジェット式記録ヘッドＩは、副走査方向に沿って多数のノズル開口２１を有し、ドットパターンデータ等によって規定されるタイミングで各ノズル開口２１から液滴を吐出する。そして、このようなインクジェット式記録ヘッドＩの圧電素子３００には、図示しない外部配線を介して電気信号、例えば、後述する駆動信号（ＣＯＭ）や記録データ（ＳＩ）等が供給される。このように構成されるプリンターコントローラー５１１及びプリントエンジン５１２では、プリンターコントローラー５１１と、駆動信号発生回路５１９から出力された所定の駆動波形を有する駆動信号を選択的に圧電素子３００に入力するラッチ５３２、レベルシフター５３３及びスイッチ５３４等を有する駆動回路（図示なし）とが圧電素子３００に所定の駆動信号を印加する駆動手段となる。
【００４６】
なお、これらのシフトレジスター（ＳＲ）５３１、ラッチ５３２、レベルシフター５３３、スイッチ５３４及び圧電素子３００は、それぞれ、インクジェット式記録ヘッドＩの各ノズル開口２１毎に設けられており、これらのシフトレジスター５３１、ラッチ５３２、レベルシフター５３３及びスイッチ５３４は、駆動信号発生回路５１９が発生した吐出駆動信号や緩和駆動信号から駆動パルスを生成する。ここで、駆動パルスとは実際に圧電素子３００に印加される印加パルスのことである。
【００４７】
このようなインクジェット式記録ヘッドＩでは、最初に発振回路５１７からのクロック信号（ＣＫ）に同期して、ドットパターンデータを構成する記録データ（ＳＩ）が出力バッファー５２３からシフトレジスター５３１へシリアル伝送され、順次セットされる。この場合、まず、全ノズル開口２１の印字データにおける最上位ビットのデータがシリアル伝送され、この最上位ビットのデータシリアル伝送が終了したならば、上位から２番目のビットのデータがシリアル伝送される。以下同様に、下位ビットのデータが順次シリアル伝送される。
【００４８】
そして、当該ビットの記録データの全ノズル分が各シフトレジスター５３１にセットされたならば、制御部５１６は、所定のタイミングでラッチ５３２へラッチ信号（ＬＡＴ）を出力させる。このラッチ信号により、ラッチ５３２は、シフトレジスター５３１にセットされた印字データをラッチする。このラッチ５３２がラッチした記録データ（ＬＡＴｏｕｔ）は、電圧増幅器であるレベルシフター５３３に印加される。このレベルシフター５３３は、記録データが例えば「１」の場合に、スイッチ５３４が駆動可能な電圧値、例えば、数十ボルトまでこの記録データを昇圧する。そして、この昇圧された記録データは各スイッチ５３４に印加され、各スイッチ５３４は、当該記録データにより接続状態になる。
【００４９】
そして、各スイッチ５３４には、駆動信号発生回路５１９が発生した駆動信号（ＣＯＭ）も印加されており、スイッチ５３４が選択的に接続状態になると、このスイッチ５３４に接続された圧電素子３００に選択的に駆動信号が印加される。このように、例示したインクジェット式記録ヘッドＩでは、記録データによって圧電素子３００に吐出駆動信号を印加するか否かを制御することができる。例えば、記録データが「１」の期間においてはラッチ信号（ＬＡＴ）によりスイッチ５３４が接続状態となるので、駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）を圧電素子３００に供給することができ、この供給された駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）により圧電素子３００が変位（変形）する。また、記録データが「０」の期間においてはスイッチ５３４が非接続状態となるので、圧電素子３００への駆動信号の供給は遮断される。この記録データが「０」の期間において、各圧電素子３００は直前の電位を保持するので、直前の変位状態が維持される。
【００５０】
なお、上記の圧電素子３００は、撓み振動モードの圧電素子３００である。この、撓み振動モードの圧電素子３００を用いると、圧電体層７０が電圧印加に伴い電圧と垂直方向（３１方向）に縮むことで、圧電素子３００および振動板が圧力発生室１２側に撓み、これにより圧力発生室１２を収縮させる。一方電圧を減少させることにより圧電体層７０が３１方向に伸びることで、圧電素子３００および振動板が圧力発生室１２の逆側に撓み、これにより圧力発生室１２を膨張させる。このようなインクジェット式記録ヘッドＩでは、圧電素子３００に対する充放電に伴って対応する圧力発生室１２の容積が変化するので、圧力発生室１２の圧力変動を利用してノズル開口２１から液滴を吐出させることができる。
【００５１】
ここで、圧電素子３００に入力される本実施形態の駆動信号（ＣＯＭ）を表す駆動波形について説明する。
【００５２】
圧電素子３００に入力される駆動波形は、共通電極（第１電極６０）を基準電位（本実施形態ではＶｂｓ）として、個別電極（第２電極８０）に印加されるものである。
【００５３】
そして、本実施形態では、温度センサー９からＡ／Ｄ変換器５４１を介して入力させる温度情報は、温度情報取得手段５４２によりメモリーに格納されるようになっており、温度センサー９及び温度情報取得手段５４２が温度検出手段に相当する。分極手段５４３は、メモリーに格納された温度情報に基づいて再分極波形を圧電素子３００に印加するかどうかの判断を行い、必要な場合には、再分極波形を圧電素子３００に印加する。
【００５４】
図６は、再分極波形の一例であり、基準となる電圧から所定電圧まで電圧を上昇する電圧上昇工程Ｐ１と、所定電圧を保持する電圧保持工程Ｐ２と、電圧を基準となる電圧まで降下する電圧降下工程Ｐ３とからなる。かかる再分極波形は、各工程が数秒、例えば、６秒程度で一周期が１８秒、Ｖｈが３０Ｖ〜４０Ｖの波形であり、一周期が１０〜２０μｓｅｃの駆動波形とは全く異なるものである。
【００５５】
以下、本実施形態の分極処理の流れの一例を図７を参照して説明する。
図７に示すように、分極手段５４３は、温度情報取得手段５４２がメモリーに格納した温度情報を取得し、現状の温度が所定温度範囲、本実施形態では、１５℃以上１３５℃以下の範囲に入っているか否かを判断し（ステップＳ１）、入っている場合には（ステップＳ１；Ｙｅｓ）、何もしない。所定温度範囲外である場合（ステップＳ１；Ｎｏ）には、印刷などの動作を一時停止する指令を制御部に送り、動作を一時停止させる（ステップＳ２）。そして、その後、温度が所定温度範囲内か否かを判断し（ステップＳ３）、温度が所定温度範囲内に戻らなければ（ステップＳ３；Ｎｏ）、待機し、所定温度範囲内に戻ったら（ステップＳ３；Ｙｅｓ）、再分極波形の印加の指令を制御部に送り（ステップＳ４）、その後、動作を再開させる（ステップＳ５）。
【００５６】
以上のフローにより、圧電素子３００が所定温度範囲外の温度になった際に、印刷動作を一時停止させて変位特性の変化による印字品質の低下を防止する。また、その後、所定温度範囲内に戻った際には、印刷動作を再開する前に、再分極波形を圧電素子３００に印加し、分極処理を行うことで、変位特性を元に戻し、その後の印刷品質を保持することができる。
【００５７】
また、装置始動時においては、始動するまでの温度履歴をとっておいて、所定温度範囲外の温度履歴があった場合に、再分極波形を印加するようにしてもよいが、装置停止時の温度履歴はとらずに、装置始動時には必ず再分極波形を印加するようにしてもよく、本実施形態では装置始動時には再分極波形を必ず印加するようにしている。
【００５８】
さらに、上述したフローでは、所定温度範囲外の温度になった際には、動作を一時停止させて所定温度範囲の温度になるまで待機するようになっているが、圧電素子３００を加熱又は冷却する手段を搭載し、所定温度範囲外になったら、圧電素子３００を加熱又は冷却して所定温度範囲内に戻すようにすることもできる。この場合のフローの一例を図８に示す。図８のフローは基本的には図７と同じであるが、所定温度範囲外である場合（ステップＳ１；Ｎｏ）には、印刷などの動作を一時停止する指令を制御部に送り、動作を一時停止させる（ステップＳ２）と同時に、加熱又は冷却手段により圧電素子３００の温度が所定温度範囲内になるように加熱又は冷却する（ステップＳ６）点が異なる。
【００５９】
なお、このような加熱又は冷却手段を有する場合には、圧電素子３００の温度が所定温度範囲外になりそうな状態で加熱又は冷却を施して、動作中は常に所定温度範囲内になるように温度制御してもよい。
【００６０】
また、再分極波形の一例を図６に示したが、これに限定されるものではなく、圧電素子３００の圧電体層７０が再分極される波形であればよいことはいうまでもない。さらに、再分極波形として、所定温度範囲より低い温度になってから所定温度範囲に戻った場合の再分極波形と、所定温度範囲より高い温度になってから所定温度範囲に戻った場合の再分極波形とを異なるものとし、それぞれ最適な再分極処理ができるような再分極波形としてもよいことはいうまでもない。
【００６１】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、流路形成基板１０として、シリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ＳＯＩ基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。
【００６２】
さらに、上述した実施形態では、基板（流路形成基板１０）上に第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を順次積層した圧電素子３００を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子を具備する液体噴射装置にも本発明を適用することができる。
【００６３】
なお、上記各実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００６４】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ＩＩ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通部、  １４  インク供給路、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ３１  マニホールド部、  ３２  圧電素子保持部、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  弾性膜、  ６０  第１電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２電極、  ９０  リード電極、  １００  マニホールド、  １２０  駆動回路、  ３００  圧電素子
【図１】
0005930164.tif 000002
【図２】
0005930164.tif 000003
【図３】
0005930164.tif 000004
【図４】
0005930164.tif 000005
【図５】
0005930164.tif 000006
【図６】
0005930164.tif 000007
【図７】
0005930164.tif 000008
【図８】
0005930164.tif 000009