(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の被着面に接着された接着部材の接着強度を測定する接着強度測定装置であって、
前記接着部材の２つの側面が交差する角隅部を前記被着面に平行な方向であって前記接着部材の内部に向かう方向に押圧する押圧手段と、
押圧による荷重を測定する荷重測定手段と、
前記荷重測定手段で測定された最大荷重を出力する接着強度出力手段とを備えていることを特徴とする接着強度測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の接着強度測定装置において、
前記押圧手段は、前記接着部材の角隅部に当接する当接部材を備え、
前記当接部材は、前記被着面の直交方向からみる平面視で外方に拡開した切欠部を備え、当該切欠部で前記接着部材の角隅部に当接することを特徴とする接着強度測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の接着強度測定装置において、
前記切欠部の基端には、前記接着部材の角隅部の先端を収容する収容空間を有した収容部が設けられていることを特徴とする接着強度測定装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の接着強度測定装置において、
前記当接部材における前記被着体との対向面には、当該対向面から一段窪んで前記切欠部と連続する段差部が設けられていることを特徴とする接着強度測定装置。
【請求項５】
請求項２から請求項４のいずれかに記載の接着強度測定装置において、
前記押圧手段は、前記当接部材を前記接着部材側に押圧する押圧部材を備え、
前記当接部材は、前記押圧部材と前記接着部材との間に配置されていることを特徴とする接着強度測定装置。
【請求項６】
請求項２から請求項４のいずれかに記載の接着強度測定装置において、
前記押圧手段は、前記接着部材の角隅部に当接して当該角隅部を押圧する押圧部材を備え、当該押圧部材が前記当接部材として構成されていることを特徴とする接着強度測定装置。
【請求項７】
被着体の被着面に接着された接着部材の接着強度を測定する接着強度測定方法であって、
前記接着部材の２つの側面が交差する角隅部を前記被着面に平行な方向であって前記接着部材の内部に向かう方向に押圧し、
押圧による荷重を測定し、
測定された最大荷重を前記接着強度として出力することを特徴とする接着強度測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に接着された接着部材の接着強度を測定する接着強度測定装置および接着強度測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程には、半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）を接着部材としての半導体素子に個片化した後、基板などの被着体に接着剤を介して半導体素子を接着する。一般的に、半導体素子の接着強度試験としては、ＭＩＬ規格のＭＩＬ−ＳＴＤ−８３３Ｇ（ＭＥＴＨＯＤ  ２０１９．７、２００６年）、電子情報技術産業協会（ＪＥＩＴＡ）規格のＥＩＡＪ  ＥＤ−４７０３（１９９４年）等に規定された方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
これら従来の接着強度試験では、図１１に示すように、接着部材Ｗが接着された被着体Ｔを固定した状態で、接着部材Ｗの側面にシェアツール２を押し当て、接着部材Ｗが被着体Ｔから完全に剥がれるまで、シェアツール２を被着体Ｔの被着面Ｔ１と平行に移動させていく。そして、この間に測定された荷重のうちの最大荷重を接着強度とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−６５０９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前述した従来の方法では、接着部材がどの部分から剥離し始めるかは任意であり、例えば、接着部材の側面側の端縁全体が同時に剥離を開始することもあれば、角部から剥離を開始することもある。このため、接着部材の剥離開始位置によって最大荷重の値が異なってしまい、測定値のばらつきが大きいという問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、測定精度を向上させ、信頼性の高い測定結果を得ることができる接着強度測定装置および接着強度測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の接着強度測定装置は、被着体の被着面に接着された接着部材の接着強度を測定する接着強度測定装置であって、前記接着部材の２つの側面が交差する角隅部を前記被着面に平行な方向であって前記接着部材の内部に向かう方向に押圧する押圧手段と、押圧による荷重を測定する荷重測定手段と、前記荷重測定手段で測定された最大荷重を出力する接着強度出力手段とを備えていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の接着強度測定装置において、前記押圧手段は、前記接着部材の角隅部に当接する当接部材を備え、前記当接部材は、前記被着面の直交方向からみる平面視で外方に拡開した切欠部を備え、当該切欠部で前記接着部材の角隅部に当接することが好ましい。
【０００９】
本発明の接着強度測定装置において、前記切欠部の基端には、前記接着部材の角隅部の先端を収容する収容空間を有した収容部が設けられていることが好ましい。
【００１０】
本発明の接着強度測定装置において、前記当接部材における前記被着体との対向面には、当該対向面から一段窪んで前記切欠部と連続する段差部が設けられていることが好ましい。
【００１１】
本発明の接着強度測定装置において、前記押圧手段は、前記当接部材を前記接着部材側に押圧する押圧部材を備え、前記当接部材は、前記押圧部材と前記接着部材との間に配置されていることが好ましい。
【００１２】
本発明の接着強度測定装置において、前記押圧手段は、前記接着部材の角隅部に当接して当該角隅部を押圧する押圧部材を備え、当該押圧部材が前記当接部材として構成されていることが好ましい。
【００１３】
本発明の接着強度測定方法は、被着体の被着面に接着された接着部材の接着強度を測定する接着強度測定方法であって、前記接着部材の２つの側面が交差する角隅部を前記被着面に平行な方向であって前記接着部材の内部に向かう方向に押圧し、押圧による荷重を測定し、測定された最大荷重を前記接着強度として出力することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
以上のような本発明によれば、接着部材の角隅部を被着体の被着面に平行な方向であって角隅部の基端側に向かう方向に押圧するので、接着部材が常に角隅部から剥離し始めることになる。このため、接着部材の剥離開始位置によって最大荷重の値が異なることを抑制でき、接着強度の測定精度を向上させることができる。
【００１５】
また、接着部材の角隅部に当接する当接部材に被着面の直交方向からみる平面視で外方に拡開した切欠部を設け、当該切欠部を接着部材の角隅部に当接させるようにすれば、切欠部で角隅部を挟むようにして角隅部を押圧することができる。このため、角隅部を確実に押圧することができる。
【００１６】
さらに、当接部材の切欠部の基端に角隅部の先端を収容する収容空間を有した収容部を設ければ、角隅部の先端が当接部材と接触することを防止することができる。このため、当接部材との接触により角隅部が損傷してしまうことを防ぐことができる。
【００１７】
そして、当接部材における被着体との対向面に、当該対向面から一段窪んで切欠部と連続する段差部を設ければ、切欠部側において当接部材と被着体との間に隙間を設けることができる。このため、当接部材で接着剤層を押圧することがないため、測定精度をより向上させることができる。
【００１８】
また、押圧部材と接着部材との間に当接部材を配置するようにすれば、従来の測定装置を用いて測定する場合でも、押圧部材と接着部材との間に当接部材を配置するだけで、本発明の測定を行うことができる。このため、従来の測定装置を有効利用した上で、測定精度を向上させることができる。
【００１９】
一方、押圧部材そのものを当接部材として構成すれば、押圧部材が当接部材を兼ねることになり、装置の部品数を減らすことができる。このため、測定装置の構成を簡略化することができ、装置にかかるコストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る接着強度測定装置の側面図。
【図２】図１の接着強度測定装置の当接部材周辺の構成を示す斜視図。
【図３】図１の接着強度測定装置の他の当接部材周辺の構成を示す斜視図。
【図４】図３の当接部材を下方からみた斜視図。
【図５】図１の接着強度測定装置による測定の様子を示す斜視図。
【図６】図１の接着強度測定装置での接着部材の剥離進行と荷重との関係を示す図。
【図７】図１の接着強度測定装置におけるツール変位と荷重との関係を示すグラフ。
【図８】図５の接着部材に最大荷重を与えた時の剥離長さとエネルギ解放率との関係を示すグラフ。
【図９】本発明の第２実施形態に係る接着強度測定装置の当接部材周辺の構成を示す斜視図。
【図１０】本発明の変形例に係る接着強度測定装置の当接部材周辺の構成を示す斜視図。
【図１１】従来の接着強度測定装置による測定の様子を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態以降において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
【００２２】
〔第１実施形態〕
図１において、接着強度測定装置１は、被着体Ｔに接着された接着部材Ｗの角隅部Ｗ１（図２）を被着体Ｔの被着面Ｔ１と平行に押圧し、押圧により接着部材Ｗが被着体Ｔから剥離されるまでの荷重を測定することで、被着体Ｔに対する接着部材Ｗの接着強度を測定するものである。ここで、接着部材Ｗは、接着剤層Ｓを介して被着体Ｔの被着面Ｔ１に接着されている。
【００２３】
接着強度測定装置１は、図示しない本体部に固定される押圧部材としてのシェアツール２と、接着部材Ｗが接着された被着体Ｔを支持する支持手段３と、シェアツール２と支持手段３とを相対移動させる移動手段４と、シェアツール２に作用する荷重を測定する荷重測定手段５と、支持手段３で支持された接着部材Ｗとシェアツール２との間に配置され、接着部材Ｗに当接する当接部材６と、接着強度を出力する接着強度出力手段７とを備えている。このうち、シェアツール２、支持手段３、移動手段４、および当接部材６によって押圧手段が構成される。
【００２４】
支持手段３は、被着体Ｔが載置されるテーブル３１と、被着体Ｔをテーブル３１に固定する図示しない固定手段とを備えている。ここで、固定手段としては、テーブル３１の載置面３２に設けられた吸引口を介して被着体Ｔを吸引する吸引装置や、被着体Ｔを機械的に固定するチャック装置等が例示できる。
【００２５】
移動手段４は、テーブル３１をＸＹ方向（図１の左右方向および紙面奥行き方向）に移動させるとともに、当該テーブル３１をＺ軸を中心に回転させる。この移動手段４は、Ｘ軸スライダ４１をＸ軸方向（左右方向）に移動可能に構成された駆動機器としてのＸ軸リニアモータ４２と、Ｘ軸スライダ４１上に設けられ、Ｙ軸スライダ４３をＹ軸方向（図１の紙面直交方向）に移動可能に構成された駆動機器としてのＹ軸リニアモータ４４と、Ｙ軸スライダ４３上に固定され、Ｚ軸方向（上下方向）に延びる回転軸４５の上端にテーブル３１が固定された駆動機器としての回転モータ４６とを備えている。
【００２６】
荷重測定手段５は、シェアツール２に作用する荷重を測定する。この荷重測定手段５としては、ロードセル等の荷重センサや、圧力センサ等が例示できる。
【００２７】
当接部材６は、図２にも示すように、側面視Ｌ字状に形成され、支持手段３で支持された接着部材Ｗとシェアツール２との間に配置される。この当接部材６は、シェアツール２により係止される板状の係止部６１と、接着部材Ｗの角隅部Ｗ１に当接する当接部６２とを備えている。
【００２８】
当接部６２において、接着部材Ｗの角隅部Ｗ１と対向する部分には、被着面Ｔ１の直交方向からみる平面視で外方に拡開した切欠部６３が設けられている。この切欠部６３は、当接部６２の被着体Ｔの対向面６６にかけて形成され、切欠部６３の内面は、接着部材Ｗの角隅部Ｗ１に当接する当接面６４となっている。
【００２９】
ここで、図３および図４に示すように、接着部材Ｗの角隅部Ｗ１の先端を収容する収容空間を有した収容部６５を切欠部６３の基端部分に設けたり、対向面６６から一段窪んで切欠部６３および収容部６５と連続する段差部６７を設けたりしてもよい。収容部６５は、接着部材Ｗの角隅部Ｗ１が接触することを防止する部分であり、その形状としては、三角形状や図３に示す四角形状等の多角形状、円形形状等の任意の形状を採用することができる。また、段差部６７の対向面６６に対する段差の大きさは、少なくとも接着剤層Ｓの厚み以上となるように形成されている。
【００３０】
接着強度出力手段７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算処理手段やメモリなどの記憶手段を備えている。この接着強度出力手段７は、荷重測定手段５の測定値を用いて、ディスプレイやプリンタ等の表示手段や他の外部機器に接着強度を出力する。
【００３１】
以上の本実施形態の接着強度測定装置１において、接着強度を測定する手順について説明する。なお、以下の説明では、図３および図４に示した当接部材６を用いている。
先ず、移動手段４によりシェアツール２と接着部材Ｗとを相対移動させ、図５に示すように、シェアツール２と接着部材Ｗとで当接部材６を挟み込む。これにより、当接部材６の係止部６１は、シェアツール２の先端部分により係止される。また、当接部材６の当接面６４は、接着部材Ｗの角隅部Ｗ１を構成する二辺それぞれの側から当該角隅部Ｗ１に当接する。この際、回転モータ４６によりテーブル３１を回転させたり、テーブル３１上の被着体Ｔを回転させたりすることにより、接着部材Ｗの角隅部Ｗ１が、当該角隅部Ｗ１の二等分線の方向に押圧されるようにしておく。これにより、接着部材Ｗの剥離端縁Ｒ（図６）が、角隅部Ｗ１の押圧方向と直交するようになり、接着部材Ｗが押圧方向に向かって左右均等に剥離しやすくなる。
【００３２】
この状態から、接着強度測定装置１は、移動手段４により接着部材Ｗとシェアツール２とが近接する方向にテーブル３１を移動させることで、図５に矢印で示すように、当接部材６を接着部材Ｗの角隅部Ｗ１の基端側に向けて相対移動させる。これにより、角隅部Ｗ１は、被着体Ｔの被着面Ｔ１に平行な方向であって角隅部Ｗ１の基端側に向かう方向に押圧される。そして、荷重測定手段５は、接着部材Ｗが被着体Ｔから完全に剥離するまで荷重を測定する。
【００３３】
接着部材Ｗの角隅部Ｗ１から荷重をかける場合、接着部材Ｗの剥離初期は、図６（Ａ）に示すように、剥離端縁Ｒの幅が狭いため、荷重Ｆの値が小さい。その後、剥離が進行すると、図６（Ｂ）に示すように、接着部材Ｗの剥離長さ（剥離端縁Ｒの長さ）が大きくなる分、接着部材Ｗが剥がれにくくなっていく（効果１）。さらに剥離が進行すると、図６（Ｃ）に示すように、接着部材Ｗの接着面Ａの面積自体が小さくなるため、接着部材Ｗが再び剥がれやすくなっていく（効果２）。すなわち、図６（Ａ）から図６（Ｂ）にかけて、剥離はゆっくりと進行していき、図６（Ｂ）の状態を超えると、一気に剥離が進行する。
【００３４】
図７は、測定時のシェアツール２の変位と荷重Ｆとを示すグラフである。
図７に示すように、荷重Ｆは、シェアツール２の変位の増加に伴って大きくなり、最大荷重Ｐｍをとった後、徐々に減少していく。この図７からも、接着部材Ｗの剥離は、徐々に進行した後に一気に進行することがわかる。そして、図７の最大荷重Ｐｍの時が、一気に剥離が進行するときにあたる。接着強度出力手段７は、この最大荷重Ｐｍを接着強度として出力する。
【００３５】
ところで、接着剤層Ｓに微小なき裂があるとき、そのき裂から製品不良を引き起こすような剥離が生じるかどうかを判断するためには、靭性値が重要な意味を持つ。したがって、靭性値を測定できることが安全な製品設計において大変重要である。
【００３６】
接着強度出力手段７は、荷重測定手段５で測定された最大荷重Ｐｍを用い、有限要素モデルや理論モデル等のモデルに基づく演算により、剥離長さとエネルギ解放率との関係を求める。そして、接着強度出力手段７は、算出したエネルギ解放率の最小値を靭性値として出力する。これは、靭性値が接着部材Ｗの剥がれにくさを意味するところ、前述した接着部材Ｗの剥がれやすさの変化は、有限要素解析や理論解析により、エネルギ解放率もしくは応力拡大係数などの破壊力学パラメータと、剥離長さとの関係を求めることで知ることができるからである。
【００３７】
図８は、接着部材Ｗに測定した最大荷重Ｐｍを与えた時の剥離長さとエネルギ解放率との関係を示すグラフである。
図８に示すように、エネルギ解放率は、上記効果１の影響が大きいうちは値が低下していく。効果２の影響が上記効果１の影響を上回ると、エネルギ解放率は、剥離長さがａｍのときに極小値Ｇｃを取り、その後は増加に転じる。この極小値Ｇｃの時のエネルギ解放率が靭性値を表す。
接着強度出力手段７は、接着強度として、この靭性値も出力する。したがって、試験片に予めき裂を与えることができない場合でも、容易に靭性値を求めることができる。
【００３８】
これに対し、従来の試験方法では、接着部材Ｗの側面側の端縁全体が剥離を開始することがあり、この場合は、上記効果１がないので、グラフは最小値を取らず常に増加し続ける直線となる。また、接着部材Ｗがどの部分から剥離し始めるかは偶然の要素が大きいため、荷重が持つ物理的意味が明確ではない。特に、接着部材Ｗが半導体素子である場合、半導体素子は脆く、接着層が薄いため、特定の場所に予き裂を入れるのは困難である。このため、従来の試験方法では、靭性値を求めることはできない。
【００３９】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、接着強度測定装置１は、接着部材Ｗの角隅部Ｗ１を被着体Ｔの被着面Ｔ１に平行な方向であって角隅部Ｗ１の基端側に向かう方向に押圧するので、接着部材Ｗが常に角隅部Ｗ１から剥離し始めることになる。このため、接着部材Ｗの剥離開始位置によって最大荷重Ｐｍの値が異なることを抑制でき、接着強度の測定精度を向上させることができる。
【００４０】
また、シェアツール２と接着部材Ｗとの間に当接部材６を配置するようにすれば、従来の測定装置を用いて測定する場合でも、シェアツール２と接着部材Ｗとの間に当接部材６を配置するだけで、本実施形態の測定を行うことができる。このため、従来の測定装置を有効利用した上で、測定精度を向上させることができる。
【００４１】
〔第２実施形態〕
本実施形態の接着強度測定装置１は、図９に示すように、シェアツール２自体を当接部材６として構成している点が、第１実施形態と相違する。すなわち、接着強度測定装置１は、当接部材６としてのシェアツール２と、支持手段３と、移動手段４と、荷重測定手段５と、接着強度出力手段７とを備えている。
【００４２】
シェアツール２は、当接部材６を兼ねており、このシェアツール２が接着部材Ｗに直接当接する。このため、シェアツール２の接着部材Ｗに対する当接部分は、第１実施形態の当接部材６の当接部６２と同様に形成されている。本実施形態の接着強度測定装置１では、シェアツール２、支持手段３、および移動手段４によって、押圧手段が構成される。
【００４３】
以上の本実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、シェアツール２自体を当接部材６として構成しているため、シェアツール２と接着部材Ｗの間に当接部材６を挟み込む必要がなく、測定を容易に行うことができる。
また、シェアツール２が当接部材６を兼ねるので、装置の部品数を減らすことができる。このため、接着強度測定装置１の構成を簡略化することができ、装置にかかるコストを低減することができる。
【実施例】
【００４４】
以下、接着強度測定装置１を用いて接着強度を測定した例を示す。
先ず、接着部材Ｗであるシリコンチップの裏面に、このチップと同サイズとなるようにアクリルエポキシ系フィルム接着剤を貼付した。その後、１３０℃、１０Ｎ、１秒間の熱圧着条件で、シリコンウェハでできた被着体Ｔ上に積層した。その後、試験片を１６０度、０．５ＭＰａ、１時間の条件下に置き、フィルム接着剤を硬化させた。接着剤の硬化後、被着体Ｔをテーブル３１に固定した。
【００４５】
測定は、以下の各実施例と比較例とに対して行った。
実施例１：第１実施形態の接着強度測定装置１を用いた測定
実施例２：第２実施形態の接着強度測定装置１を用いた測定
比較例：従来の装置を用いた測定（チップ側面に荷重をかける測定方法）
【００４６】
測定は、室温、かつシェアツール２の速度を０．０１ｍｍ／秒にして行った。いずれの実施例または比較例でも、アクリルエポキシ樹脂を主成分とする４種類の接着剤を用いたサンプルａ〜ｄに対して２０回ずつ測定を行い、表１に示すように、最大荷重の平均値と標準偏差とを得た。なお、表１の数値は、いずれも最大荷重の平均値および標準偏差（標準偏差は括弧内に表示）で、単位はそれぞれＮ（ニュートン）である。
【００４７】
【表１】
0005848952.tif 000002
【００４８】
表１において、本発明の接着強度測定装置１で測定した実施例１，２は、従来の方法で測定した比較例と比べて、標準偏差が大幅に低下しており、測定精度が向上していることがわかる。また、実施例１の場合と実施例２の場合とでは、平均値および標準偏差は殆ど同じであり、実施例１，２間で測定精度に差がないことが理解できる。
【００４９】
さらに、本発明の試験方法に関して、測定した最大荷重を境界条件とした有限要素解析によって、表２に示すように、靭性値を求めた。表２の数値は、いずれも最大荷重の平均値から求めた靭性値で、単位はＪ／ｍ２である。なお、従来法では、前述したように靭性値を求めることはできない。
【００５０】
【表２】
0005848952.tif 000003
【００５１】
なお、観察のために別途ガラスチップを用いて測定を行ったところ、有限要素解析で求めたエネルギ解放率が最小になる剥離長さのところが、測定時には最大荷重となっており、そこから一気に剥離が進む様子が確認できた。
【００５２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００５３】
前記実施形態では、当接部材６の一対の当接面６４は、それぞれ平面状に形成されていたが、これに限らず、例えば、図１０に示すように、当接面６４を曲面状に形成してもよい。この場合でも、前記実施形態と同様の効果を得ることができる。また、当接面６４が曲面状に形成されているため、接着部材Ｗの角隅部Ｗ１の角度が異なる場合でも、当接面６４において角隅部Ｗ１の角度に応じた位置で角隅部Ｗ１と当接させることができる。このため、接着部材Ｗの角隅部Ｗ１の角度や大きさに応じて当接部材６を交換する頻度を減少させることができ、測定を容易に行うことができる。
【００５４】
前記実施形態では、接着強度出力手段７は、接着強度として最大荷重と靭性値とを出力していたが、これに限らず、最大荷重および靭性値のうちのいずれか一方のみを出力するようにしてもよい。
【００５５】
前記実施形態では、被着体Ｔおよび接着剤層Ｓを具体的に例示していないが、本発明の接着強度測定装置１および接着強度測定方法では、被着体Ｔおよび接着剤層Ｓの種別や材質などは、特に限定されない。例えば、被着体Ｔは、基板、半導体ウェハまたは半導体素子等が挙げられる。また、接着剤層Ｓは、シート状のもの、液状のものを硬化させたものであってもよく、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このようなウェハに貼付する接着剤は、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着剤等が適用できる。さらに、被着体Ｔが光ディスクの基板であって、接着剤層Ｓが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体Ｔとしては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００５６】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００５７】
１          接着強度測定装置
２          シェアツール（押圧部材）
３          支持手段
４          移動手段
５          荷重測定手段
６          当接部材
７          接着強度出力手段
６３        切欠部
６５        収容部
６７        段差部
Ｔ          被着体
Ｔ１        被着面
Ｗ          接着部材
Ｗ１        角隅部
【図１】
0005848952.tif 000004
【図２】
0005848952.tif 000005
【図３】
0005848952.tif 000006
【図４】
0005848952.tif 000007
【図５】
0005848952.tif 000008
【図６】
0005848952.tif 000009
【図７】
0005848952.tif 000010
【図８】
0005848952.tif 000011
【図９】
0005848952.tif 000012
【図１０】
0005848952.tif 000013
【図１１】
0005848952.tif 000014