(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜トランジスタの形成方法であって、
第１マスクを使用して基板上にゲート電極を堆積しパターニングする工程と、
前記ゲート電極上にゲート誘電体層を堆積させる工程と、
前記ゲート誘電体層上に半導体活性層を堆積させる工程であって、前記半導体活性層は、酸素、窒素、及び、亜鉛、インジウム、カドミウム、ガリウム、及びスズからなる群から選択される１以上の元素を含む工程と、
前記活性層上にエッチストップ層を堆積させる工程と、
前記エッチストップ層上に第２マスクを形成する工程と、
前記エッチストップ層をエッチングし、これによって前記薄膜トランジスタのデバイス部のパターニングされたエッチストップ層を形成し、前記薄膜トランジスタのゲートコンタクト部から前記エッチストップ層を除去し、これによって前記半導体活性層を露出させる工程と、
前記第２マスクを除去して、これによって前記パターニングされたエッチストップ層を露出させる工程と、
前記パターニングされたエッチストップ層及び前記半導体活性層の上に金属層を堆積させる工程と、
前記薄膜トランジスタの前記デバイス部で前記金属層上に第３マスクを形成する工程と、
前記金属層をエッチングして、これによって前記デバイス部にソース電極及びドレイン電極を画定し、前記ゲートコンタクト部から前記金属層を除去する工程と、
前記第３マスクを除去する工程と、
前記第３マスクを除去後、前記ソース電極及び前記ドレイン電極をマスクとして用いて前記半導体活性層をエッチングし、これによって前記ゲートコンタクト部から前記半導体活性層を除去し、前記ゲートコンタクト部内で前記ゲート誘電体層を露出させる工程と、
第４マスクを使用して前記ゲート誘電体層をエッチングし、これによって前記ゲートコンタクト部内で前記ゲート電極を露出させる工程を含む方法。
【請求項２】
前記金属層及び前記半導体活性層は、プラズマエッチングプロセスを用いてエッチングされる請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記活性層をエッチングする工程は、第５マスクを堆積・除去することなく、前記ソース電極、前記ドレイン電極、及び前記パターニングされたエッチストップ層をまとめてマスクとして使用する工程を含む請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記半導体活性層は、ウェットエッチングプロセスを用いてエッチングされ、前記金属層は、プラズマエッチングプロセスを用いてエッチングされる請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記半導体活性層及び前記金属層は、ウェットエッチングプロセスを用いてエッチングされる請求項１記載の方法。
【請求項６】
薄膜トランジスタの形成方法であって、
第１マスクを使用して基板上にゲート電極を堆積しパターニングする工程と、
前記ゲート電極上にゲート誘電体層を堆積させる工程と、
前記ゲート誘電体層上に半導体活性層を堆積させる工程であって、前記半導体活性層は、酸素、窒素、及び、亜鉛、インジウム、カドミウム、ガリウム、及びスズからなる群から選択される１以上の元素を含む工程と、
第２マスクを使用して前記半導体活性層をパターニングし、これによって前記薄膜トランジスタのデバイス部内にアクティブチャネルを形成し、前記薄膜トランジスタのゲートコンタクト部から前記半導体活性層を除去し、前記ゲートコンタクト部内の前記ゲート誘電体層を露出させる工程と、
前記デバイス部内の前記アクティブチャネル上と、前記ゲートコンタクト部内の前記ゲート誘電体層上に、エッチストップ層を堆積させる工程と、
第３マスクを使用して前記エッチストップ層をエッチングし、これによって前記デバイス部内にパターニングされたエッチストップ層を形成し、前記ゲートコンタクト部内で前記エッチストップ層及び前記ゲート誘電体層を通してエッチングし、これによって前記ゲートコンタクト部内の前記ゲート電極を露出させる工程と、
前記パターニングされたエッチストップ層、前記半導体活性層、及び前記ゲートコンタクト部の上に金属層を堆積させる工程と、
第４マスクを使用して前記金属層をエッチングして、これによって前記デバイス部にソース電極及びドレイン電極を画定し、前記ゲートコンタクト部に金属コンタクトを形成する工程を含む方法。
【請求項７】
前記金属層及び前記半導体活性層は、プラズマエッチングプロセスを用いてエッチングされる請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記半導体活性層は、ウェットエッチングプロセスを用いてエッチングされ、前記金属層は、プラズマエッチングプロセスを用いてエッチングされる請求項６記載の方法。
【請求項９】
前記半導体活性層及び前記金属層は、ウェットエッチングプロセスを用いてエッチングされる請求項６記載の方法。
【請求項１０】
薄膜トランジスタの形成方法であって、
第１マスクを使用して基板上にゲート電極を堆積しパターニングする工程と、
前記ゲート電極上にゲート誘電体層を堆積させる工程と、
前記ゲート誘電体層上に半導体活性層を堆積させる工程であって、前記半導体活性層は、酸素、窒素、及び、亜鉛、インジウム、カドミウム、ガリウム、及びスズからなる群から選択される１以上の元素を含む工程と、
前記活性層上にエッチストップ層を堆積させる工程と、
第２マスクを使用して前記エッチストップ層をエッチングし、これによって前記薄膜トランジスタのデバイス部のパターニングされたエッチストップ層を形成し、前記薄膜トランジスタのゲートコンタクト部から前記エッチストップ層を除去し、これによって前記半導体活性層を露出させる工程と、
前記パターニングされたエッチストップ層をマスクとして使用して、前記半導体活性層をエッチングし、これによって前記ゲートコンタクト部内で前記ゲート誘電体層を露出させ、アクティブチャネルを形成する工程と、
前記デバイス部及び前記ゲートコンタクト部の上にパッシベーション層を堆積させる工程と、
第３マスクを使用して前記パッシベーション層及び前記パターニングされたエッチストップ層を通してエッチングし、これによって前記デバイス部内で前記アクティブチャネルを露出させる工程と、前記ゲートコンタクト部内で前記パッシベーション層及び前記ゲート誘電体層を通してエッチングし、これによって前記ゲート電極を露出させる工程と、
前記パターニングされたエッチストップ層及び前記半導体活性層の上に金属層を堆積させる工程と、
第４マスクを使用して前記金属層をエッチングし、これによって前記デバイス部にソース電極及びドレイン電極を、前記ゲートコンタクト部内に金属コンタクトを画定する工程を含み、前記金属層及び前記半導体活性層は、プラズマエッチングプロセスを用いてエッチングされる方法。
【請求項１１】
薄膜トランジスタの形成方法であって、
第１マスクを使用して基板上にゲート電極を堆積しパターニングする工程と、
前記ゲート電極上にゲート誘電体層を堆積させる工程と、
前記ゲート誘電体層上に半導体活性層を堆積させる工程であって、前記半導体活性層は、酸素、窒素、及び、亜鉛、インジウム、カドミウム、ガリウム、及びスズからなる群から選択される１以上の元素を含む工程と、
前記活性層上に第１組成を有する第１金属層を堆積する工程と、
前記第１金属層上に前記第１組成とは異なる第２組成を有する第２金属層を堆積させる工程と、
第２マスクを使用して前記第２金属層をエッチングし、これによって前記薄膜トランジスタのデバイス部上に１以上のエッチストップを形成すると共に、前記薄膜トランジスタのゲートコンタクト部から前記第２金属層を除去する工程と、
前記エッチングされた第２金属層上に第３マスクを形成する工程と、
前記第１金属層をエッチングし、これによって前記ゲートコンタクト部から前記第１金属層を除去し、前記デバイス部上にエッチングされた第１金属層を形成する工程と、
前記半導体活性層をエッチングし、これによって前記デバイス部内にアクティブチャネルを形成し、前記ゲートコンタクト部から前記半導体活性層を除去する工程と、
前記エッチングされた第１金属層をエッチングし、これによってソース・ドレイン電極を形成する工程を含む方法。
【請求項１２】
前記第２金属層をエッチングする工程は、ウェットエッチングを含む請求項１１記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【本発明における政府の権利】
【０００１】
本発明は、ＡＲＬによって授与された契約番号ＤＡＡＤ  １９−０２−３−０００１のもと、米国政府の支援で行われた。米国政府は、本発明において一定の権利を有する。
【発明の背景】
【０００２】
（発明の分野）
本発明の実施形態は、概して薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の製造方法に関する。
【０００３】
（関連技術の説明）
ＴＦＴアレイは、これらのデバイスが、しばしばコンピュータやテレビのフラットパネル用に採用される種類の液晶アクティブマトリックスディスプレイ（ＬＣＤ）に使用可能であるので、現在特に関心が高い。ＬＣＤはまた、バックライト用に発光ダイオード（ＬＥＤ）を含むことができる。更に、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）が、アクティブマトリクスディスプレイ用に使用され、これらのＯＬＥＤは、ディスプレイの動作をアドレッシングするためにＴＦＴを利用している。
【０００４】
活物質としてアモルファスシリコンで作られたＴＦＴは、フラットパネルディスプレイ産業の主要な要素部品となっている。業界内において、ＴＦＴには２つの一般的なタイプがある。第１タイプは、ゲート電極がソース・ドレイン電極の上に配置されているので、トップゲート型ＴＦＴと呼ばれる。第２タイプは、ゲート電極がソース・ドレイン電極の下に配置されているため、ボトムゲート型ＴＦＴと呼ばれている。ボトムゲート型ＴＦＴ構造では、ソース・ドレイン電極は活物質層の上に配置されている。
【０００５】
ボトムゲート型ＴＦＴのソース・ドレイン電極は、活物質層の上に金属層を堆積し、その後金属層をエッチングすることによって製造され、これによってソース・ドレイン電極を画定することができる。エッチングの間、活物質層は、エッチケミストリ（化学薬品）に曝露される可能性がある。しばしば、金属酸化物又は酸窒化物半導体は、ウェットケミストリへの耐性はあまりないが、ソース・ドレイン金属と比べてプラズマドライケミストリに対して高い耐性を有する。したがって、半導体チャネル層に著しく損傷を与えることなく、ウェットケミストリを用いてソース・ドレイン金属電極をエッチングするのは課題である。このため、ソース・ドレイン金属のドライエッチングがしばしば好まれる。しかしながら、例えば銅のように、必ずしもすべての金属がドライプラズマエッチングによって効果的にエッチング可能であるとは限らない。望まれないドライ又はウェットエッチケミストリへの活物質層の曝露を防止するため、エッチストップ又はデュアル金属層を使用可能である。
【０００６】
エッチストップボトムゲート型ＴＦＴは、活物質層と、ソース・ドレイン電極用に使用される金属層との間に堆積されるエッチストップ層を有する。エッチストップ層は、全面的に堆積され、その後マスクを用いてエッチングされ、これによってエッチストップの残りの部分がゲート電極上に配置される。その後、金属層が全面的に堆積され、続いてマスクを用いて活物質層及び金属層をエッチングする。その後、マスクを用いて金属層を通してエッチングすることによってソース・ドレイン電極が画定される。このように、エッチストップボトムゲート型ＴＦＴは、パターニングのために少なくとも５つのマスクを使用する（すなわち、ゲート電極をパターニングし、エッチストップをパターニングし、活物質層及び金属層をパターニングし、活物質層を露出させてアクティブチャネルを形成し、ソース・ドレイン電極を画定する）。クロス誘電体コンタクトが形成される場合は、追加のマスクが使用される場合がある。これとは対照的に、エッチストップ無しのボトムゲート型ＴＦＴでは、必要とするマスクが少なくとも１つより少ないので、エッチストップボトムゲート型ＴＦＴは性能がより優れているにもかかわらず、エッチストップ無しのボトムゲート型ＴＦＴが好まれるＴＦＴとなった。
【０００７】
多重金属層構造において、上部金属は、ほとんどすべてのドライ又はウェットエッチケミストリでエッチングすることができる。アクティブチャネル層に近い金属層は、上部金属のエッチングの間、完全にはエッチングされず、活性層を損なうことなく、特定のプロセス条件下で容易にエッチングできるように選択される。例えば、Ｃｕを上部金属として選択し、Ｍｏを半導体に接触する金属として選択することができる。
【０００８】
したがって、当技術分野において、より少ないマスクを利用したウェット金属エッチングケミストリを用いたエッチストップボトムゲート型ＴＦＴの製造方法に対する必要性がある。
【発明の概要】
【０００９】
本発明は、概してＴＦＴ及びＴＦＴの製造方法に関する。ＴＦＴのアクティブチャネルは、亜鉛、ガリウム、スズ、インジウム、及びカドミウムからなる群から選択される１以上の金属を含むことができる。アクティブチャネルは、窒素及び酸素も含むことができる。ソース・ドレイン電極のパターニング時に、アクティブチャネルを保護するために、エッチストップ層を活性層上に堆積することができる。エッチストップ層は、ソース・ドレイン電極を画定するために使用されるプラズマにアクティブチャネルが曝露されるのを防ぐ。アクティブチャネルに使用される活物質層をウェット又はドライエッチングするときに、エッチストップ層及びソース・ドレイン電極をマスクとして使用することができる。
【００１０】
一実施形態では、薄膜トランジスタの形成方法が開示される。この方法は、第１マスクを使用して基板上にゲート電極を堆積しパターニングする工程と、ゲート電極上にゲート誘電体層を堆積させる工程を含む。この方法はまた、ゲート誘電体層上に半導体活性層を堆積させる工程を含む。半導体活性層は、酸素、窒素、及び、亜鉛、インジウム、カドミウム、ガリウム、及びスズからなる群から選択される１以上の元素を含む。この方法はまた、活性層上にエッチストップ層を堆積させる工程と、エッチストップ層上に第２マスクを形成する工程と、エッチストップ層をエッチングし、これによって薄膜トランジスタのデバイス部のパターニングされたエッチストップ層を形成し、薄膜トランジスタのゲートコンタクト部からエッチストップ層を除去し、これによって半導体活性層を露出させる工程を含む。この方法はまた、第２マスクを除去して、これによってパターニングされたエッチストップ層を露出させる工程と、パターニングされたエッチストップ層及び半導体活性層の上に金属層を堆積させる工程を含む。この方法はまた、薄膜トランジスタのデバイス部の金属層上に第３マスクを形成する工程と、金属層をエッチングして、これによってデバイス部にソース・ドレイン電極を画定し、ゲートコンタクト部から金属層を除去する工程を含む。この方法はまた、第３マスクを除去する工程と、ソース・ドレイン電極をマスクとして使用して半導体活性層をエッチングし、これによってゲートコンタクト部から半導体活性層を除去し、ゲートコンタクト部内でゲート誘電体層を露出させる工程を含む。この方法はまた、第４マスクを使用してゲート誘電体層をエッチングし、これによってゲートコンタクト部内でゲートコンタクトを露出させる工程を含む。
【００１１】
別の一実施形態では、薄膜トランジスタの形成方法が開示される。この方法は、第１マスクを使用して基板上にゲート電極を堆積しパターニングする工程と、ゲート電極上にゲート誘電体層を堆積させる工程を含む。この方法は、ゲート誘電体層上に半導体活性層を堆積させる工程を含む。半導体活性層は、酸素、窒素、及び、亜鉛、インジウム、カドミウム、ガリウム、及びスズからなる群から選択される１以上の元素を含む。この方法はまた、第２マスクを使用して半導体活性層をパターニングし、これによって薄膜トランジスタのデバイス部内にアクティブチャネルを形成し、薄膜トランジスタのゲートコンタクト部から半導体活性層を除去し、ゲートコンタクト部内でゲート誘電体層を露出させる工程を含む。この方法はまた、デバイス部内のアクティブチャネル上と、ゲートコンタクト部内のゲート誘電体層上に、エッチストップ層を堆積させる工程と、第３マスクを使用してエッチストップ層をエッチングし、これによってデバイス部のパターニングされたエッチストップ層を形成し、ゲートコンタクト部内でエッチストップ層及びゲート誘電体層を通してエッチングし、これによってゲートコンタクト部内のゲートコンタクトを露出させる工程を含む。この方法はまた、パターニングされたエッチストップ層、半導体活性層、及びゲートコンタクト部の上に金属層を堆積させる工程を含む。この方法はまた、第４マスクを使用して金属層をエッチングして、これによってデバイス部にソース・ドレイン電極を画定し、ゲートコンタクト部に金属コンタクトを形成する工程を含む。
【００１２】
別の一実施形態では、薄膜トランジスタの形成方法が開示される。この方法は、第１マスクを使用して基板上にゲート電極を堆積しパターニングする工程と、ゲート電極上にゲート誘電体層を堆積させる工程と、ゲート誘電体層上に半導体活性層を堆積させる工程を含む。半導体活性層は、酸素、窒素、及び、亜鉛、インジウム、カドミウム、ガリウム、及びスズからなる群から選択される１以上の元素を含む。この方法はまた、活性層上にエッチストップ層を堆積させる工程と、第２マスクを使用してエッチストップ層をエッチングし、これによって薄膜トランジスタのデバイス部のパターニングされたエッチストップ層を形成し、薄膜トランジスタのゲートコンタクト部からエッチストップ層を除去し、これによって半導体活性層を露出させる工程を含む。この方法はまた、パターニングされたエッチストップ層をマスクとして使用して、半導体活性層をエッチングし、これによってゲートコンタクト部内でゲート誘電体層を露出させ、アクティブチャネルを形成する工程を含む。この方法はまた、デバイス部及びゲートコンタクト部の上にパッシベーション層を堆積させる工程と、第３マスクを使用してパッシベーション層及びパターニングされたエッチストップ層を通してエッチングし、これによってデバイス部内でアクティブチャネルを露出させる工程と、ゲートコンタクト部内でパッシベーション層及びゲート誘電体層を通してエッチングし、これによってゲート電極を露出させる工程を含む。この方法はまた、パターニングされたエッチストップ層及び半導体活性層の上に金属層を堆積させる工程と、第４マスクを使用して金属層をエッチングし、これによってデバイス部にソース・ドレイン電極を、ゲートコンタクト部に金属コンタクトを画定する工程を含む。
【００１３】
別の一実施形態では、薄膜トランジスタの形成方法が開示される。この方法は、第１マスクを使用して基板上にゲート電極を堆積しパターニングする工程と、ゲート電極上にゲート誘電体層を堆積させる工程と、ゲート誘電体層上に半導体活性層を堆積させる工程を含む。半導体活性層は、酸素、窒素、及び、亜鉛、インジウム、カドミウム、ガリウム、及びスズからなる群から選択される１以上の元素を含む。この方法はまた、活性層上に第１組成を有する第１金属層を堆積する工程と、第１金属層上に第１組成とは異なる第２組成を有する第２金属層を堆積させる工程を含む。この方法はまた、第２マスクを使用して第２の金属層をエッチングし、これによって薄膜トランジスタのデバイス部の上に１以上のエッチストップを形成すると共に、薄膜トランジスタのゲートコンタクト部から第２金属層を除去する工程を含む。この方法はまた、エッチングされた第２金属層上に第３マスクを形成する工程と、第１金属層をエッチングし、これによってゲートコンタクト部から第１金属層を除去し、デバイス部の上にエッチングされた第１金属層を形成する工程を含む。この方法はまた、半導体活性層をエッチングし、これによってデバイス部内にアクティブチャネルを形成し、ゲートコンタクト部から半導体活性層を除去する工程を含む。この方法はまた、エッチングされた第１金属層をエッチングし、これによってソース・ドレイン電極を形成する工程を含む。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
本発明の上述した構成を詳細に理解することができるように、上記に簡単に要約した本発明のより具体的な説明を、実施形態を参照して行う。実施形態のいくつかは添付図面に示されている。しかしながら、添付図面は本発明の典型的な実施形態を示すに過ぎず、したがってこの範囲を制限していると解釈されるべきではなく、本発明は他の等しく有効な実施形態を含み得ることに留意すべきである。
【００１５】
【図１Ａ】〜
【図１Ｊ】一実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。
【図２Ａ】〜
【図２Ｈ】別の実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。
【図３Ａ】〜
【図３Ｈ】別の実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。
【図４Ａ】〜
【図４Ｊ】別の実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。
【図５Ａ】〜
【図５Ｃ】ウェット及びドライエッチング技術を用いて製造されたＴＦＴを示す。
【図６Ａ】〜
【図６Ｊ】別の一実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。
【図７Ａ】〜
【図７Ｊ】別の一実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。
【図８Ａ】〜
【図８Ｈ】別の一実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。
【００１６】
理解を促進するために、図面に共通する同一の要素を示す際には可能な限り同一の参照番号を使用している。一実施形態内で開示される要素を特別な説明なしに他の実施形態に有益に利用してもよいと理解される。
【詳細な説明】
【００１７】
本発明は、概してＴＦＴ及びＴＦＴを製造する方法に関する。ＴＦＴのアクティブチャネルは、亜鉛、ガリウム、スズ、インジウム、及びカドミウムからなる群から選択される１以上の金属を含むことができる。アクティブチャネルは、ドープされてもよく、されなくてもよい。アクティブチャネルは、窒素及び酸素も含むことができる。ソース・ドレイン電極のパターニング時に、アクティブチャネルを保護するために、エッチストップ層を活性層上に堆積することができる。エッチストップ層は、ソース・ドレイン電極を画定するために使用されるプラズマにアクティブチャネルが曝露されるのを防ぐ。アクティブチャネルに使用される活物質層をウェットエッチングするときに、エッチストップ層及びソース・ドレイン電極をマスクとして使用することができる。
【００１８】
図１Ａ〜１Ｊは、一実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。図１Ａ〜１Ｊにおいて、図１Ａ、１Ｃ、１Ｅ、１Ｇ及び１Ｉはデバイス部を示し、一方、図１Ｂ、１Ｄ、１Ｆ、１Ｈ及び１Ｊはゲートコンタクト部を示す。ＴＦＴは、ゲート電極１０２と、その上に形成されたゲート誘電体層１０４と、ゲート誘電体層１０４の上に形成された活性層１０６と、最後に活性層１０６の上に形成されたエッチストップ層１０８を有する図１Ａ及び１Ｂ内の構造１００として示される。構造１００は、基板上に形成可能である。一実施形態では、基板はガラスを含むことができる。別の一実施形態では、基板はポリマーを含むことができる。別の一実施形態では、基板はプラスチックを含むことができる。別の一実施形態では、基板は金属を含むことができる。一実施形態では、ゲート電極１０２は導電性材料を含む。別の一実施形態では、ゲート電極１０２は金属を含む。別の一実施形態では、ゲート電極１０２は、クロム、モリブデン、アルミニウム、タングステン、タンタル、銅、又はそれらの組み合わせから成る群から選択される金属を含む。ゲート電極１０２は、第１マスクを使用して、スパッタリング、リソグラフィー、エッチングなどの従来技術を用いて形成可能である。
【００１９】
ゲート誘電体層１０４は、二酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、窒化ケイ素、又はそれらの組み合わせを含むことができる。ゲート誘電体層１０４は、プラズマＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）を含むよく知られた蒸着技術によって堆積させることができる。
【００２０】
一実施形態では、活性層１０６がアニーリングされる。別の一実施形態では、活性層１０６は、プラズマ処理に曝露される。アニーリング及び／又はプラズマ処理は、活性層１０６の移動度を高める可能性がある。活性層１０６は、亜鉛、スズ、ガリウム、カドミウム、及びインジウムからなる群から選択される１以上の元素を有する化合物を含むことができる。一実施形態では、元素はｄ軌道が満たされた元素を含むことができる。別の一実施形態では、元素はｆ軌道が満たされた元素を含むことができる。活性層１０６は、酸素及び窒素を含むこともできる。一実施形態では、化合物はドープされてもよい。使用される好適なドーパントは、Ａｌ、Ｓｎ、Ｇａ、Ｃａ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｉｎ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｖ、Ｍｇ、ＳｉｘＮｙ、ＡｌｘＯｙ、及びＳｉＣを含む。一実施形態では、ドーパントはアルミニウムを含む。一実施形態では、活性層１０６は、酸素、及び、亜鉛、スズ、ガリウム、カドミウム、及びインジウムからなる群から選択される１以上の元素を含むことができる。
【００２１】
活性層１０６は、反応性スパッタリングによって堆積させることができる。反応性スパッタリング法は、カリフォルニア州サンタクララにあるアプライドマテリアルズ社（Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，  Ｉｎｃ．）の子会社であるＡＫＴアメリカ社（ＡＫＴ  Ａｍｅｒｉｃａ，  Ｉｎｃ．）から入手可能な４３００ＰＶＤチャンバなどの大面積基板処理用物理蒸着（ＰＶＤ）チャンバ内で実施することができる。しかしながら、この方法によって製造される活性層は、構造及び組成によって決定される可能性があるので、反応性スパッタリング法は、大面積円形基板を処理するように構成されたシステムや、ロールツーロールプロセスプラットフォーム（ｒoｌl−ｔo−ｒoｌl ｐrｏｃｅｓｓ  ｐｌａｔｆｏｒｍｓ）を含む他のメーカーによって製造されたシステムを含む他のシステム構成の中に実用性を有する可能性があることを理解すべきである。化学蒸着（ＣＶＤ）、原子層堆積（ＡＬＤ）、又はスピンオンプロセスを含む他の方法が、活性層１０６を堆積するために利用することができることを理解すべきである。
【００２２】
ＰＶＤにおいて、スパッタリングターゲットは、亜鉛、インジウム、スズ、ガリウム、及びカドミウムのうちの１以上を含むことができる。１以上のドーパントが存在してもよい。スパッタリングは、完全反応性（フルリアクティブ）スパッタリングを含むことができる。完全反応性スパッタリングは、反応性材料を形成する雰囲気中に反応性物質を含まないターゲットをスパッタリングすることを含む。完全反応性スパッタリングは、ターゲットが金属のみならず反応物質も含むＲＦ反応性スパッタリングとは異なる。ＲＦ反応性スパッタリングでは、材料はスパッタリングされた後に、更に反応性ガス内に提供される追加の反応物質と反応する。
【００２３】
本発明では、完全反応性スパッタリング用スパッタリングターゲットは、亜鉛、インジウム、スズ、ガリウム、及びカドミウムのうちの１以上を含むことができ、ドーパントはあってもよく、無くてもよい。酸素又は窒素は、ターゲット内に存在しない。不活性ガス、窒素含有ガス、酸素含有ガスがスパッタリングチャンバ内に導入されている間、スパッタリングターゲットにはＤＣバイアスが掛けられてもよい。その後、窒素含有ガス中の窒素と酸素含有ガス中の酸素が、亜鉛、インジウム、スズ、ガリウム、及びカドミウムのうちの１以上と反応して、基板上に層を堆積させる。一実施形態では、不活性ガスはアルゴンを含むことができる。一実施形態では、窒素含有ガスは、窒素、窒素酸化物、及びそれらの組み合わせの群から選択することができる。一実施形態では、酸素含有ガスは、酸素、オゾン、窒素酸化物、及びそれらの組み合わせの群から選択することができる。活性層１０６は、結晶性又は半結晶性であることができる。一実施形態では、活性層１０６は、非晶質であることができる。
【００２４】
エッチストップ層１０８は、全面に堆積し、続いてフォトレジストの堆積、続いてパターン現像をすることによって形成できる。エッチストップ層１０８は、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、ＣＨＦ３、Ｃ４Ｆ６などのフッ素含有エッチャント、酸素、窒素、アルゴンなどの不活性ガス、又はこれらの組合せからなる群から選択される１以上のガスを用いたプラズマエッチングによってパターニングすることができる。一実施形態では、エッチストップ層１０８は窒化ケイ素を含むことができる。別の一実施形態では、エッチストップ層１０８は、酸窒化ケイ素を含むことができる。更に別の一実施形態では、エッチストップ層１０８は酸化ケイ素を含むことができる。エッチストップ層１０８は、ＰＥＣＶＤ、スピンオンコーティングを含む、よく知られた堆積技術によって堆積させることができる。一実施形態では、エッチストップ層１０８は、第２マスクを利用してパターン堆積することができる。エッチストップ層１０８が形成された後、第２マスクは除去されることができ、これによって図１Ｃに示されるように、エッチストップ１１０を残すことができる。エッチストップ層１０８は、図１Ｄに示されるように、構造１００のゲートコンタクト部の上で完全に除去される。
【００２５】
エッチストップ１１０の形成に続いて、図１Ｅに示されるように、活性層１０６がエッチングされ、これによって活物質層１０６の不要部が除去される。図１Ｆに示されるように、活物質層１０６はゲートコンタクト部から完全に除去される。エッチングは、第３マスクを使用して実行される。
【００２６】
活物質層１０６及びゲート誘電体層１０４のエッチングに続いて、ゲートコンタクトビア１１２が形成される。ゲートコンタクトビア１１２を形成するために、第４マスクが構造１００上に堆積され、その後、図１Ｈに示されるように、ゲートコンタクト部内でゲート電極１０２上に露出したゲート誘電体層１０４がエッチングされ、これによってゲート電極１０２を露出させる。図１Ｇに示されるように、デバイス部はエッチングされないままである。その後、第４マスクが除去される。
【００２７】
ゲート電極１０２の露出に続いて、金属層を堆積し、エッチングすることができる。金属層をエッチングするために、第５マスクを使用することができる。金属層は、プラズマエッチングを利用してエッチングすることができる。一実施形態では、プラズマエッチングは、塩素、酸素、フッ素、又はそれらの組み合わせから成る群から選択される元素を有するガスを含むプラズマに金属層を露出させることを含んでもよい。その後、ウェットエッチャントを使用して、活性層１０６及びソース・ドレイン電極１１４をエッチングし、これによって活性層１０６及びソース・ドレイン電極１１４の両方に対する最終的な構造を画定することができる。ウェットエッチャントは、エッチストップ１１０及びソース・ドレイン電極１１４をエッチングすることなく、活性層１０６をエッチングするのに効果的な任意の従来のウェットエッチャントを含むことができる。エッチャントは、３よりも低いｐＨを有する酸又は１０より高いｐＨを有する塩基を含むことができる。一実施形態では、エッチャントは希釈したＨＣｌを含むことができる。別の一実施形態では、エッチャントは、フォトレジストを現像するために使用されるものと同じ液体を含むことができる。
【００２８】
エッチング後、第５マスクを除去し、ソース・ドレイン電極１１４は、図１１に示されるようにそのままにして、金属コンタクト１１６は、図１Ｊに示されるように、ゲート電極１０２に接触するゲートコンタクトビア１１６内に堆積されたままにすることができる。このように、図１Ａ〜１Ｊに示されるＴＦＴを形成する際には、５つの別々のマスクが使用される。
【００２９】
図２Ａ〜２Ｈは、別の一実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。図２Ａ〜２Ｈにおいて、図２Ａ、２Ｃ、２Ｅ及び２Ｇはデバイス部を示し、一方、図２Ｂ、２Ｄ、２Ｆ及び２Ｈはゲートコンタクト部を示す。図２Ａ及び図２Ｂに示される構造２００は、上述のように、ゲート電極２０２と、ゲート誘電体層２０４と、活物質層２０６と、エッチストップ層２０８を含む。ゲート電極２０２は、導電層を全面に堆積し、その後、第１マスクを使用してエッチングすることによって形成することができる。
【００３０】
その後、エッチストップ層２０８は、その上に第２マスクを形成することによってパターニングすることができる。一度第２マスクが除去されると、図２Ｃに示されるように、エッチストップ２１０は、デバイス部上に残ったままであるが、図２Ｄに示されるように、エッチストップ層は、ゲートコンタクト部上には残っていない。
【００３１】
形成されたエッチストップ２１０及びエッチストップ層２０８をゲートコンタクト部から除去した後、第３マスクを使用して活物質層２０６をエッチングし、ゲートコンタクト部から除去することができる。パッシベーション層２１２を、その上に堆積させることができる。パッシベーション層２１２は、約１０００オングストローム〜約５０００オングストロームの厚さに堆積させることができる。一実施形態では、パッシベーション層２１２は、二酸化ケイ素又は窒化ケイ素を含むことができる。図２Ｅに示されるように、パッシベーション層２１２は、第４マスクを使用してエッチングされ、これによって活物質層２０６の金属コンタクト領域２１４を画定し、図２Ｆに示されるように、パッシベーション層２１２及びゲート誘電体層２０４を通して開口２１６を形成し、これによってゲート電極２０２を露出させる。その後、金属層が堆積され、第５マスクを使用してパターニングされ、これによって図２Ｇに示されるように、ソース・ドレイン電極２１８と、図２Ｈに示されるゲートコンタクト部内にゲート電極をもつ金属コンタクト２２０を形成することができる。
【００３２】
図３Ａ〜３Ｈは、クロス誘電体コンタクトの無い別の一実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。図３Ａ〜３Ｈにおいて、図３Ａ、３Ｃ、３Ｅ及び３Ｇはデバイス部を示し、一方、図３Ｂ、３Ｄ、３Ｆ及び３Ｈはゲートコンタクト部を示す。構造３００は、ゲート電極３０２と、ゲート誘電体層３０４と、活物質層３０６と、エッチストップ層３０８を含む。前述のように、第１マスクを使用して、ゲート電極３０２を形成するために使用される導電層をパターニングすることができる。第２マスクを使用してエッチストップ層３０８をパターニングし、これによって図３Ｃに示されるように、エッチストップ３１０を形成し、図３Ｄに示されるゲートコンタクト部からエッチストップ層３０８を除去することができる。その後、金属層３１２が、エッチストップ３１０及び活物質層３０６上に堆積される。その後、第３マスクを使用して、図３Ｅに示されるように、ソース・ドレイン電極３１４を画定し、図３Ｆに示されるように、ゲートコンタクト部から金属層３１２を除去し、これによって活物質層３０６がゲートコンタクト部上に残る。その後、露出した活物質層３０６は、ソース・ドレイン電極３１４をマスクとして使用してエッチングされ、これによって活物質層３０６は、図３Ｈに示されるように、ゲートコンタクト部から除去される。このように、図３Ａ〜３Ｈに示されるＴＦＴの形成においては、３つのマスクだけが使用される。ソース・ドレイン電極は、マスクとして機能するので、パターニングの目的だけに堆積及び除去されない。言い換えれば、３つのマスク形成ステップと３つのマスク除去ステップがある。エッチングを実行するには、ドライエッチングプロセスが好ましい。
【００３３】
図４Ａ〜４Ｊは、部分的なクロス誘電体コンタクトを有する別の一実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。図４Ａ〜４Ｊにおいて、図４Ａ、４Ｃ、４Ｅ、４Ｇ及び４Ｉはデバイス部を示し、一方、図４Ｂ、４Ｄ、４Ｆ、４Ｈ及び４Ｊはゲートコンタクト部を示す。図４Ａ及び図４Ｂに示される構造４００は、ゲート電極４０２と、ゲート誘電体層４０４と、活物質層４０６と、エッチストップ層４０８を含む。ゲート電極４０２は、導電層を全面に堆積し、その後、第１マスクを使用して導電層をエッチングすることによって形成することができる。第２マスクを使用してエッチストップ層４０８をパターニングし、これによってエッチストップ層４０８をエッチングし、デバイス部上にエッチストップ４１０を形成すると共に、ゲートコンタクト部からエッチストップ層４０８を除去することができる。その後、図４Ｃ及び図４Ｄに示されるように、金属層４１２が活物質層８０６及びエッチストップ８１０上に堆積される。その後、金属層４１２は第３マスクを使用してパターニングされ、図４Ｅに示されるように、デバイス部上にソース・ドレイン電極４１４を画定し、図４Ｆに示されるように、ゲートコンタクト部から金属層４１２を除去する。その後、図４Ｇに示されるように、ソース・ドレイン電極４１４をマスクとして使用して、活物質層４０６は露出した領域内で除去され、これによって図４Ｈに示されるように、活物質層４０６は、ゲートコンタクト部から除去される。その後、第４マスクを使用してゲート電極層４０４をエッチングすることにより、ゲート電極４０２は、図４Ｊに示されるゲートコンタクト部内で露出され、一方デバイス部は、図４Ｉに示されるように、変わらないままでいる。エッチングに対しては、ドライエッチングが、使用するのに好ましいエッチャントである。
【００３４】
図５Ａ〜５Ｃは、ウェット及びドライエッチング技術を用いて製造されたＴＦＴを示す。図５Ａ〜５Ｃに示される各構造は、ゲート電極５０２と、ゲート誘電体層５０４と、活物質層５０６及びエッチストップ５０８と、ソース・ドレイン電極５１０を有する。図５Ａでは、ソース・ドレイン電極５１０の両方及び活物質層５０６が、ドライ又はプラズマエッチングプロセスを用いてパターニングされた。ドライ又はプラズマエッチングプロセスでエッチングすることによって、各ソース・ドレイン電極５１０は、テーパ形状５１２を有する。活物質層５０６も、テーパ形状５１４を有する。しかしながら、活物質層５０６をウェットエッチャントでパターニングし、ソース・ドレイン電極５１０をドライ又はプラズマエッチャントでパターニングする場合、活物質層５０６は、ソース・ドレイン電極５１０から凹んだアンダーカット部５１６を有すると共に、図５Ｂに示されるように、ソース・ドレイン電極５１０は、テーパ部５１８を有する。活物質層５０６とソース・ドレイン電極５１０の両方がウェットエッチャントでエッチングされる場合、活物質層５０６は、ソース・ドレイン電極５１０から凹んだアンダーカット部５２２を有すると共に、図５Ｃに示されるように、各ソース・ドレイン電極５１０は直線部５２０を有する。このように、エッチングプロセスの選択は、デバイス構造に影響を与える可能性がある。一般的に、ドライ又はプラズマエッチングプロセスは、アンダーカット無しでテーパ形状を提供するため好ましい。また、単一のプロセスレシピは、活物質層とソース・ドレイン電極の両方をエッチングするのに使用できる。ウェットエッチングプロセスが使用される場合、エッチング活物質層とソース・ドレイン電極をエッチングするのに、別々のウェットエッチングケミストリが必要となる可能性がある。
【００３５】
図６Ａ〜６Ｊは、別の一実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。図６Ａ〜６Ｊにおいて、図６Ａ、６Ｃ、６Ｅ、６Ｇ及び６Ｉはデバイス部を示し、一方、図６Ｂ、６Ｄ、６Ｆ、６Ｈ及び６Ｊはゲートコンタクト部を示す。図６Ａ及び図６Ｂに示される構造６００は、ゲート電極６０２と、ゲート誘電体層６０４と、活物質層６０６を含む。ゲート電極６０２は、導電層を堆積し、その後、第１マスクを使用して導電層をエッチングすることによって形成される。その後、第２マスクを使用して活物質層６０６はパターニングされ、これによって図６Ｃに示されるデバイス部上にアクティブチャネル６０８を形成し、図６Ｄに示されるように、ゲートコンタクト部から完全に除去される。次に、エッチストップ層６１０が、露出したゲート誘電体層６０４とアクティブチャネル６０８の上に堆積される。その後、第３マスクを使用して、図６Ｇに示されるようなデバイス部及び図６Ｈに示されるようなゲートコンタクト部の両方において、エッチストップ層６１０内に開口６１２、６１４をエッチングする。ゲートコンタクト部では、ゲート誘電体層６０４もエッチングされる。ゲート誘電体層６０４は、デバイス部ではアクティブチャネル６０８によって覆われており、したがってエッチングされない。その後、導電層が堆積され、第４マスクを用いてパターニングされ、デバイス部にソース・ドレイン電極６１６を、ゲートコンタクト部に金属コンタクト６１８を形成する。エッチングプロセスでは、ウェット又はドライエッチングのいずれかが適している。しかしながら、ＴＦＴを形成するために４つのマスクのみが使用されていることに注意すべきである。
【００３６】
図７Ａ〜７Ｊは、別の一実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。図７Ａ〜７Ｊにおいて、図７Ａ、７Ｃ、７Ｅ、７Ｇ及び７Ｉはデバイス部を示し、一方、図７Ｂ、７Ｄ、７Ｆ、７Ｈ及び７Ｊはゲートコンタクト部を示す。図７Ａ及び図７Ｂに示される構造７００は、ゲート電極７０３と、ゲート誘電体層７０４と、活物質層７０６と、エッチストップ層７０８を含む。ゲートコンタクト７０２は、導電層を堆積し、その後、第１マスクを使用して導電層をエッチングすることによって形成できる。第２マスクを使用してエッチストップ層７０８をエッチングして、図７Ｃに示されるように、エッチストップ７１０を形成し、図７Ｄに示されるように、ゲートコンタクト部からエッチストップ層７０８を完全に除去する。その後、エッチストップ７１０をマスクとして用いて活物質層７０６をエッチングし、これによってゲートコンタクトから活物質層７０６を除去し、アクティブチャネル７１４を形成する。その後、パッシベーション層７１４が、露出したゲート誘電体層７０４及びエッチストップ７１０上に堆積される。その後、パッシベーション層７１４及びゲート誘電体層７０４及びエッチストップ７１０の一部は、第３マスクを使用してエッチングされる。パッシベーション層７１４及びゲート誘電体層７０４はエッチングされ、これによって図７Ｆ及び７Ｈに示されるように、ゲートコンタクト部に開口７１６を形成し、ゲート電極７０２を露出させる。パッシベーション層７１４及びエッチストップ７１０はエッチングされ、図７Ｇに示されるように、アクティブチャネル７１２を露出させる。その後、金属層を堆積し、第４マスクを使用してパターニングし、これによって図７Ｉに示されるデバイス部にソース・ドレイン電極７２０を、図７Ｊに示されるようにゲートコンタクト部に金属コンタクト７２２を形成する。
【００３７】
図８Ａ−８Ｈは、別の一実施形態に係る処理の様々な段階におけるＴＦＴを示す。図８Ａ〜８Ｈにおいて、図８Ａ、８Ｃ、８Ｅ及び８Ｇはデバイス部を示し、一方、図８Ｂ、８Ｄ、８Ｆ及び８Ｈはゲートコンタクト部を示す。図８Ａ及び８Ｂの両図に示されるように、構造８００は、ゲート電極８０２と、ゲート誘電体層８０４と、活物質層８０６と、第１金属層８０８と、第２金属層８１０を含む。ゲート電極８０２は、上述のような材料を含むことができる。ゲート電極８０２は、金属層を堆積し、その後、第１マスクを使用して金属層をエッチングすることによって形成することができる。
【００３８】
その後、第２マスクを使用して第２金属層８１０をエッチングし、これによって、図８Ｄに示されるように、ゲートコンタクト部上で第２金属層８１０を除去し、図８Ｃに示されるように、デバイス部上にエッチストップ８１２を残す。一実施形態では、第２金属層８１０は、金属を含むことができる。別の一実施形態では、第２金属層８１０は、銅を含むことができる。第２金属層８１０は、ウェットエッチングケミストリを用いてエッチングすることができる。第２金属層８１０が銅を含む場合、ドライ又はプラズマエッチングプロセスで銅をエッチングするのは非常に困難であるため、ウェットエッチングケミストリが好ましい。一実施形態では、第２金属層８１０及び第１金属層８０８は、異なる金属を含む。別の一実施形態では、第１金属層はモリブデンを含み、第２金属層は銅を含む。モリブデンは、ドライ／プラズマエッチングプロセスか、ウェットエッチングケミストリの使用のいずれかでエッチングできる。
【００３９】
第２金属層８１０がエッチングされ、エッチングストップ８１２が残された後、フォトレジストを堆積し、パターニングし、第３マスク８１４を形成することができる。第３マスク８１４を用いて、第１金属層８０８は、ドライ又はプラズマエッチングプロセスを用いてエッチングすることができる。第１金属層のエッチングの間、活物質層８０６は、ドライ又はプラズマエッチングケミストリでエッチングすることが困難であるため、活物質層８０６は大幅にはエッチングされない。第１金属層８０８がエッチングされ、エッチングされた金属層８１６が形成された後、エッチングされた金属層８１６はマスクとして使用され、これによって活物質層８０６をエッチングし、アクティブチャンネル８１８を形成する。このように、第４マスクを堆積及び形成することなく、アクティブチャネル８１８を形成することができる。第１金属層８０８がエッチングされ、活物質層８０６がエッチングされると、図８Ｆ及び８Ｈに示されるように、第１金属層８０８及び活物質層８０６は、ゲートコンタクト部から完全に除去される。
【００４０】
図８Ｅに示されるようにアクティブチャンネル８１８を形成した後、マスク８１４を除去することができ、エッチストップ８１２をマスクとして使用して、これによってドライ又はプラズマエッチングプロセスを用いてエッチングされた金属層８１６をエッチングし、図８Ｇに示されるように、ソース・ドレイン電極８２０を形成することができる。このように、エッチングされた金属層８１６は、別のマスクを堆積する必要なくエッチングされる。したがって、図８Ａ〜８Ｈに示されるプロセスは、５つの異なるエッチングステップ（つまり、ゲート電極８０２、第２金属層８１０、第１金属層８０８、活物質層８０６及び既にエッチングされている第１金属層８１６をエッチングするステップ）を用いると同時にたった３つのマスクの形成及び除去によって達成できる。
【００４１】
（ａ）層をエッチングし、そしてエッチング後に除去するという明確な目的のために形成されるマスクと、（ｂ）デバイス内で機能を提供するが、その下の層をエッチングするためのマスクとして使用可能な層との間には違いがあることを理解すべきである。上記のシナリオでは、フォトレジストなどの層を物理的に堆積させ、フォトレジストを現像してマスクを形成し、残りの層がゲート電極となるようにマスクを使用して金属層をエッチングすることによって、ゲート電極はパターニングされる。しかしながら、他の層のいくつかは、その上の層をマスクとして使用してエッチングされる。例えば、活物質層は、いかなるフォトレジスト層の必要性又は堆積又はマスクの堆積無しでエッチングできる。後で除去されるマスクを堆積するのではなく、エッチストップ又はソース・ドレイン電極をマスクとして使用することができる。このように、「マスク」を使用するものの、この「マスク」は、堆積・除去される物理的に別の構成要素ではない。追加のマスクを使用しないことによって、フォトレジストの場合における、マスクの堆積、現像、除去が必要とされないので、基板のスループットを増加させることができる。
【００４２】
ソース・ドレイン電極及びエッチストップをマスクとして利用することによって、追加のマスクを堆積・除去することなく、活性層をエッチングすることができる。追加のマスクを使用することなく、従来の方法におけるいくつかの処理ステップは陳腐化するかもしれない。より少ないマスクを使用することにより、基板のスループットを増加させることができる。より少ないマスクの利用の利点に加えて、ウェットエッチングと、ドライ又はプラズマエッチングの両方がＴＦＴの製造に利用できる。ウェットエッチングの選択性とドライ又はプラズマエッチングの選択性は、技術者にとって有利なように使用することができ、これによってデバイスの個々の層を本質的にマスクとして使用することができ、別々のマスクを堆積・除去する必要がなくなる。したがって、少ないマスクを使用することができ、基板のスループットが増加させることができる。
【００４３】
上記は本発明の実施形態を対象としているが、本発明の他の及び更なる実施形態は本発明の基本的範囲を逸脱することなく創作することができ、その範囲は以下の特許請求の範囲に基づいて定められる。
【図１Ａ】
0005889791.tif 000002
【図１Ｂ】
0005889791.tif 000003
【図１Ｃ】
0005889791.tif 000004
【図１Ｄ】
0005889791.tif 000005
【図１Ｅ】
0005889791.tif 000006
【図１Ｆ】
0005889791.tif 000007
【図１Ｇ】
0005889791.tif 000008
【図１Ｈ】
0005889791.tif 000009
【図１Ｉ】
0005889791.tif 000010
【図１Ｊ】
0005889791.tif 000011
【図２Ａ】
0005889791.tif 000012
【図２Ｂ】
0005889791.tif 000013
【図２Ｃ】
0005889791.tif 000014
【図２Ｄ】
0005889791.tif 000015
【図２Ｅ】
0005889791.tif 000016
【図２Ｆ】
0005889791.tif 000017
【図２Ｇ】
0005889791.tif 000018
【図２Ｈ】
0005889791.tif 000019
【図３Ａ】
0005889791.tif 000020
【図３Ｂ】
0005889791.tif 000021
【図３Ｃ】
0005889791.tif 000022
【図３Ｄ】
0005889791.tif 000023
【図３Ｅ】
0005889791.tif 000024
【図３Ｆ】
0005889791.tif 000025
【図３Ｇ】
0005889791.tif 000026
【図３Ｈ】
0005889791.tif 000027
【図４Ａ】
0005889791.tif 000028
【図４Ｂ】
0005889791.tif 000029
【図４Ｃ】
0005889791.tif 000030
【図４Ｄ】
0005889791.tif 000031
【図４Ｅ】
0005889791.tif 000032
【図４Ｆ】
0005889791.tif 000033
【図４Ｇ】
0005889791.tif 000034
【図４Ｈ】
0005889791.tif 000035
【図４Ｉ】
0005889791.tif 000036
【図４Ｊ】
0005889791.tif 000037
【図５Ａ】
0005889791.tif 000038
【図５Ｂ】
0005889791.tif 000039
【図５Ｃ】
0005889791.tif 000040
【図６Ａ】
0005889791.tif 000041
【図６Ｂ】
0005889791.tif 000042
【図６Ｃ】
0005889791.tif 000043
【図６Ｄ】
0005889791.tif 000044
【図６Ｅ】
0005889791.tif 000045
【図６Ｆ】
0005889791.tif 000046
【図６Ｈ】
0005889791.tif 000047
【図６Ｉ】
0005889791.tif 000048
【図６Ｊ】
0005889791.tif 000049
【図７Ａ】
0005889791.tif 000050
【図７Ｂ】
0005889791.tif 000051
【図７Ｃ】
0005889791.tif 000052
【図７Ｄ】
0005889791.tif 000053
【図７Ｅ】
0005889791.tif 000054
【図７Ｆ】
0005889791.tif 000055
【図７Ｇ】
0005889791.tif 000056
【図７Ｈ】
0005889791.tif 000057
【図７Ｉ】
0005889791.tif 000058
【図７Ｊ】
0005889791.tif 000059
【図８Ａ】
0005889791.tif 000060
【図８Ｂ】
0005889791.tif 000061
【図８Ｃ】
0005889791.tif 000062
【図８Ｄ】
0005889791.tif 000063
【図８Ｅ】
0005889791.tif 000064
【図８Ｆ】
0005889791.tif 000065
【図８Ｇ】
0005889791.tif 000066
【図８Ｈ】
0005889791.tif 000067
【図６Ｇ】
0005889791.tif 000068