(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
短辺及び長辺を有する矩形形状であり、両主面にそれぞれ励振電極が形成され、所定の振動数で振動する振動部と、
前記振動部の周りを囲む枠部と、
前記振動部と前記枠部とを連結する１本の連結部と、を含み、
一方の主面に形成される前記励振電極からは、前記連結部の一方の主面を介して前記枠部に第１引出電極が引き出され、
他方の主面に形成される前記励振電極からは、前記連結部の他方の主面、前記連結部の側面、及び前記連結部の一方の主面を介して前記枠部に第２引出電極が引き出され、
前記一方の主面の前記連結部から前記枠部にかけて形成される前記第１引出電極の前記第２引出電極側の辺である第１辺と、前記一方の主面の前記連結部から前記枠部にかけて形成される前記第２引出電極の前記第１引出電極側の辺である第２辺との距離が、前記連結部よりも前記枠部において大きい圧電振動片。
【請求項２】
前記連結部は、前記振動部の前記短辺の中央に連結されている請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記連結部の一方の主面における前記第１引出電極の幅が、前記連結部の一方の主面における前記第２引出電極の幅よりも狭い請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記第１辺又は前記第２辺の何れか一方の辺は前記長辺方向に伸び、他方の辺は前記連結部から前記枠部にかけて前記一方の辺から離れるように直線状に形成される請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記枠部における前記第１辺の端及び前記第２辺の端の少なくとも一方が扇型に形成されている請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記枠部における前記第１辺又は前記第２辺の少なくとも一方が階段状に形成されている請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項７】
前記連結部から前記枠部に引き出された前記第１引出電極は、前記振動部に対して反対側の前記枠部にまで引き出されている請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の圧電振動片と、
前記枠部の一方の主面に接合されるベース板と、
前記枠部の他方の主面に接合され、前記振動部を密封するリッド板と、を備
を備える圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、枠部が形成されている圧電振動片及び圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の振動数で振動する振動部と、振動部を囲むように形成される枠部と、振動部及び枠部を連結する連結部と、を有する圧電振動片、及びこのような圧電振動片を含む圧電デバイスが知られている。振動部の両主面には励振電極が形成され、各励振電極からは枠部に引出電極が引き出される。例えば特許文献１には、振動部、枠部、及び振動部と枠部とを連結する連結部を有する圧電振動片が示されている。圧電振動片は、その連結部の幅を小さくすることにより枠部に加わった応力が振動部に伝わりにくくなって振動特性が良好に維持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−６５４３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１では、連結部の幅をさらに小さくして各引出電極同士が近接して形成された場合に、圧電デバイスの絶縁抵抗が低くなる場合がある。特に、枠部に接合材が形成され、互いに近接した引出電極上に接合材が形成されて圧電デバイスが形成される場合には、接合材に含まれる不純物等により圧電デバイスが絶縁抵抗不良を起こす場合があった。
【０００５】
本発明は、絶縁抵抗不良が防がれた圧電振動片及び圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１観点の圧電振動片は、短辺及び長辺を有する矩形形状であり、両主面にそれぞれ励振電極が形成され、所定の振動数で振動する振動部と、振動部の周りを囲む枠部と、振動部と枠部とを連結する１本の連結部と、を含む。一方の主面に形成される励振電極からは連結部の一方の主面を介して枠部に第１引出電極が引き出され、他方の主面に形成される励振電極からは連結部の他方の主面、連結部の側面、及び連結部の一方の主面を介して枠部に第２引出電極が引き出されている。一方の主面の連結部から枠部にかけて形成される第１引出電極の第２引出電極側の辺である第１辺と、一方の主面の連結部から枠部にかけて形成される第２引出電極の第１引出電極側の辺である第２辺との距離は、連結部よりも枠部において大きい。
【０００７】
第２観点の圧電振動片は、第１観点において、連結部が振動部の短辺の中央に連結されている。
【０００８】
第３観点の圧電振動片は、第１観点及び第２観点において、連結部の一方の主面における第１引出電極の幅が、連結部の一方の主面における第２引出電極の幅よりも狭い。
【０００９】
第４観点の圧電振動片は、第１観点から第３観点において、第１辺又は第２辺の何れか一方の辺が長辺方向に伸び、他方の辺が連結部から枠部にかけて一方の辺から離れるように直線状に形成される。
【００１０】
第５観点の圧電振動片は、第１観点から第３観点において、枠部における第１辺の端及び第２辺の端の少なくとも一方が扇型に形成されている。
【００１１】
第６観点の圧電振動片は、第１観点から第３観点において、枠部における第１辺又は第２辺の少なくとも一方が階段状に形成されている。
【００１２】
第７観点の圧電振動片は、第１観点から第６観点において、連結部から枠部に引き出された第１引出電極が、振動部に対して反対側の枠部にまで引き出されている。
【００１３】
第８観点の圧電デバイスは、第１観点から第７観点に記載の圧電振動片と、枠部の一方の主面に接合されるベース板と、枠部の他方の主面に接合され、振動部を密封するリッド板と、を備える。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の圧電振動片及び圧電デバイスによれば、絶縁抵抗不良を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】圧電デバイス１００の分解斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】（ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。  （ｂ）は、＋Ｙ’軸側からみた圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。
【図４】（ａ）は、圧電振動片２３０の平面図である。  （ｂ）は、＋Ｙ’軸側から見た圧電振動片２３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。
【図５】（ａ）は、圧電振動片３３０の平面図である。  （ｂ）は、＋Ｙ’軸側から見た圧電振動片３３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。
【図６】（ａ）は、圧電振動片４３０の平面図である。  （ｂ）は、＋Ｙ’軸側からみた圧電振動片４３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。
【図７】（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面から見た圧電振動片５３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。  （ｂ）は、圧電デバイス２００の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１７】
（第１実施形態）
＜圧電デバイス１００の構成＞
図１は、圧電デバイス１００の分解斜視図である。圧電デバイス１００は、リッド板１１０と、ベース板１２０と、圧電振動片１３０と、により構成されている。圧電振動片１３０には例えばＡＴカットの水晶振動片が用いられる。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス１００においては圧電デバイス１００の長辺方向をＸ軸方向、圧電デバイス１００の高さ方向をＹ’軸方向、Ｘ及びＹ’軸方向に垂直な方向をＺ’軸方向として説明する。
【００１８】
圧電振動片１３０は、所定の振動数で振動し矩形形状に形成された振動部１３１と、振動部１３１の周りを囲む枠部１３２と、振動部１３１と枠部１３２とを連結する１本の連結部１３３と、を有している。連結部１３３は、振動部１３１の−Ｘ軸側の辺の中央と、振動部１３１の−Ｘ軸側の枠部１３２と、を連結している。振動部１３１と枠部１３２との間の連結部１３３以外の領域には、圧電振動片１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通溝１３６が形成されている。振動部１３１の−Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ａが形成されており、励振電極１３４ａからは連結部１３３を通り枠部１３２にまで第１引出電極１３５ａが引き出されている。また、振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ｂが形成されており、励振電極１３４ｂからは連結部１３３を通り枠部１３２にまで第２引出電極１３５ｂが引き出されている。
【００１９】
ベース板１２０は、＋Ｙ’軸側の面に、−Ｙ’軸側に凹んだ凹部１２１と、凹部１２１を囲む接合面１２２と、接合面１２２の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角に配置される接続電極１２３と、が形成されている。接合面１２２は、圧電振動片１３０の枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に接合材１４１を介して接合される。また、ベース板１２０の−Ｙ’軸側の面には一対の実装端子１２４が形成されている。さらに、ベース板１２０の側面の四隅にはベース板１２０の内側に凹んだキャスタレーション１２６が形成されており、＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側のキャスタレーション１２６の側面にはキャスタレーション電極１２５が形成されている。キャスタレーション電極１２５は、接続電極１２３と実装端子１２４とを電気的に接続している。また、−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角に形成されている接続電極１２３は圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角に形成されている第２引出電極１３５ｂに電気的に接続され、＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角に形成されている接続電極１２３は圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角に形成される第１引出電極１３５ａに電気的に接続される。
【００２０】
リッド板１１０は、−Ｙ’軸側の面に、凹部１１１と、凹部１１１を囲む接合面１１２とが形成されている。接合面１１２は、圧電振動片１３０の枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面に接合材１４１を介して接合される。
【００２１】
図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。圧電デバイス１００は、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側にリッド板１１０が配置され、−Ｙ’軸側にベース板１２０が配置されている。また、圧電デバイス１００の内部には、リッド板１１０の凹部１１１及びベース板１２０の凹部１２１によりキャビティ１５０が形成されており、キャビティ１５０には圧電振動片１３０の振動部１３１が配置されている。キャビティ１５０は、リッド板１１０の接合面１１２と枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面との間、及びベース板１２０の接合面１２２と枠部１３２の−Ｙ’軸側の面との間に接合材１４１が形成されることにより密封されている。また、枠部１３２に形成される第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂがベース板１２０に形成される接続電極１２３に電気的に接続されることにより、励振電極１３４ａ及び励振電極１３４ｂが実装端子１２４に電気的に接続される。
【００２２】
図３（ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面の中央には励振電極１３４ｂが形成されており、励振電極１３４ｂからは枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側に第２引出電極１３５ｂが引き出されている。第２引出電極１３５ｂはまた、貫通溝１３６の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の側面１３６ｂを介して枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に引き出されている。貫通溝１３６の側面１３６ｂは、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面、連結部１３３よりも＋Ｚ’軸側の振動部１３１の−Ｘ軸側の側面、及び−Ｘ軸側の枠部１３２の振動部１３１に面する側面の連結部１３３よりも＋Ｚ’軸側を含んでいる。また、枠部１３２及び連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第２引出電極１３５ｂの−Ｚ’軸側の辺である第３辺１３７ｃは、後述の図３（ｂ）で説明される第２引出電極１３５ｂの第２辺１３７ｂとＹ’軸方向に重なるように形成されており、連結部１３３の＋Ｘ軸側の辺１３３ａと−Ｘ軸側の辺１３３ｂとの間ではＸ軸に平行に直線状に形成され、辺１３３ｂよりも−Ｘ軸側では−Ｘ軸方向の＋Ｚ’軸側に階段状に伸びている。
【００２３】
図３（ｂ）は、＋Ｙ’軸側からみた圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。振動部１３１の−Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４ａからは、連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を介して−Ｘ軸側の枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に引き出され、さらに−Ｚ’軸側の枠部１３２を介して枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角にまで第１引出電極１３５ａが引き出されている。また、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側には、貫通溝１３６の側面１３６ｂを介して＋Ｙ’軸側の面から第２引出電極１３５ｂが引き出されている。
【００２４】
枠部１３２及び連結部１３３の−Ｙ’軸側の面において、第１引出電極１３５ａの第２引出電極１３５ｂに向き合う辺を第１辺１３７ａとし、第２引出電極１３５ｂの第１引出電極１３５ａに向き合う辺を第２辺１３７ｂとする。第１辺１３７ａは、連結部１３３及び枠部１３２においてＸ軸に平行に伸びる直線状に形成されている。また、第２辺１３７ｂは、連結部１３３の辺１３３ａと辺１３３ｂとの間ではＸ軸に平行な直線状に形成され、連結部１３３の辺１３３ｂよりも−Ｘ軸側では−Ｘ軸方向の＋Ｚ’軸側に階段状に伸びている。連結部１３３の−Ｙ’軸側の面における第１辺１３７ａと第２辺１３７ｂとの距離を距離Ｄ１、−Ｘ軸側の枠部１３２の−Ｘ軸側の端における第１辺１３７ａと第２辺１３７ｂとの距離を距離Ｄ２とすると、枠部１３２に於ける第１辺１３７ａと第２辺１３７ｂとの間の距離は距離Ｄ１よりも広く形成される。すなわち、枠部１３２では、第１辺１３７ａと第２辺１３７ｂとが互いに離れるように形成されている。
【００２５】
図３（ｂ）に示されるように、圧電振動片１３０は、１本の幅が狭い連結部１３３により振動部１３１の−Ｘ軸側の辺と−Ｘ軸側の枠部１３２とが連結されている。このように連結部１３３が振動部１３１に連結する領域、すなわち、辺１３３ａのＺ’軸方向の幅が狭い場合には、振動部１３１で発生する振動が枠部１３２に逃げ難くなり、また、枠部１３２等に生じる応力等が振動部１３１に伝わり難くなるため、圧電振動片１３０が安定した振動を得ることができ好ましい。
【００２６】
また、圧電振動片１３０では＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に引き出される第２引出電極１３５ｂが貫通溝１３６の側面１３６ｂを介して引き出されている。第２引出電極１３５ｂを＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面への引き出すように形成する際には、引き出される領域の周辺にも電極を構成する金属膜が付着する。すなわち、枠部１３２の振動部１３１に面する内側側面のみに引出電極を形成しようとしても、その周辺の振動部１３１にも金属膜が形成されてしまう。このようにして振動部に形成される金属膜は振動部の振動に悪影響を与える。圧電振動片１３０では、もともと振動に悪影響を与える連結部１３３及びその周辺に第２引出電極１３５ｂが形成されることにより、振動部１３１の一部に第２引出電極１３５ｂが形成されることの悪影響が顕在化しにくい。
【００２７】
一方、圧電デバイスは、製品試験の際に、圧電デバイスの耐電圧試験が行われる。例えば、一対の実装端子間に電圧をかけることにより、圧電デバイスが５００ＭΩ以上の絶縁抵抗を有しているかが調べられる。このときに、第１引出電極１３５ａと第２引出電極１３５ｂとが近接して形成され、また、枠部１３２の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側に形成される接合材１４１に不純物等が含まれることにより一部の絶縁が弱くなって圧電デバイスの絶縁抵抗が５００ＭΩよりも低くなり、絶縁抵抗規格を満たさなくなる可能性がある。
【００２８】
圧電デバイス１００では、接合材１４１が形成される枠部１３２の表面の第１引出電極１３５ａの第１辺１３７ａと第２引出電極１３５ｂの第２辺１３７ｂとが互いに離れるように形成されることで絶縁抵抗規格を満たすように形成することができる。特に、圧電振動片１３０では、第２引出電極１３５ｂが連結部１３３の辺１３３ｂから枠部１３２の−Ｘ軸側の端まで徐々に＋Ｚ’軸側に寄って伸びることにより第２引出電極１３５ｂの幅が大きく細くならず、第２引出電極１３５ｂの電気抵抗が大きく上昇しないように形成されているため、クリスタルインピーダンス（ＣＩ）を小さく抑えることができて好ましい。
【００２９】
＜圧電振動片２３０の構成＞
圧電振動片では、第１引出電極が貫通溝１３６の側面及び圧電振動片の＋Ｙ’軸側の面に形成されていてもよい。このように第１引出電極を形成することで第１引出電極の表面積が広くなって電気抵抗を下げることができ、圧電デバイスのクリスタルインピーダンス（ＣＩ）を低く抑えることができる。
【００３０】
図４（ａ）は、圧電振動片２３０の平面図である。圧電振動片２３０は、振動部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ｂが形成されており、励振電極１３４ｂからは第２引出電極１３５ｂが引き出されている。また、第１引出電極２３５ａが、貫通溝１３６の−Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の側面１３６ａを介して−Ｙ’軸側の面から＋Ｙ’軸側の面に引き出されており、＋Ｙ’軸側の面の振動部１３１、連結部１３３、及び枠部１３２の貫通溝１３６の側面１３６ａの周囲に形成されている。貫通溝１３６の側面１３６ａは、連結部１３３の−Ｚ’軸側の側面、連結部１３３よりも−Ｚ’軸側の振動部１３１の−Ｘ軸側の側面、及び−Ｘ軸側の枠部１３２の振動部１３１に面する側面の連結部１３３よりも−Ｚ’軸側を含んでいる。
【００３１】
図４（ｂ）は、＋Ｙ’軸側から見た圧電振動片２３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。圧電振動片２３０の−Ｙ’軸側の面の枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側には＋Ｙ’軸側の面から貫通溝１３６の側面１３６ｂを介して引き出されている第２引出電極１３５ｂが形成されている。また、振動部１３１には励振電極１３４ａが形成されており、励振電極１３４ａからは第１引出電極２３５ａが引き出されている。第１引出電極２３５ａは貫通溝１３６の側面１３６ａを介して＋Ｙ’軸側の面へも引き出されている。
【００３２】
圧電振動片２３０は、第１引出電極２３５ａが貫通溝１３６の側面１３６ａ及び＋Ｙ’軸側の面にも形成されていることで第１引出電極２３５ａの面積が広くなって第１引出電極２３５ａの電気抵抗を下げることができ、クリスタルインピーダンス（ＣＩ）を下げることができるため好ましい。
【００３３】
（第２実施形態）
第１引出電極の第１辺及び第２引出電極の第２辺の形状は、さらに様々な変形例が考えられる。以下に、圧電振動片の変形例について説明する。また、以下の説明においては、第１実施形態と同じ部分に関しては、第１実施形態と同じ番号を付してその説明を省略する。
【００３４】
＜圧電振動片３３０の構成＞
図５（ａ）は、圧電振動片３３０の平面図である。圧電振動片３３０は、振動部１３１と、枠部１３２と、連結部１３３と、を有している。振動部１３１には励振電極１３４ｂが形成されており、励振電極１３４ｂからは枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側に第２引出電極３３５ｂが引き出されている。第２引出電極３３５ｂはまた、貫通溝１３６の側面１３６ｂを介して枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に引き出されている。また、枠部１３２及び連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第２引出電極３３５ｂの−Ｚ’軸側の辺である第３辺３３７ｃは、後述の図５（ｂ）で説明される第２引出電極３３５ｂの第２辺３３７ｂとＹ’軸方向に重なるように形成されており、連結部１３３の＋Ｘ軸側の辺１３３ａよりも−Ｘ軸側では−Ｘ軸方向の＋Ｚ’軸側に直線状に伸びている。
【００３５】
図５（ｂ）は、＋Ｙ’軸側から見た圧電振動片３３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。振動部１３１の−Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ａが形成されており、励振電極１３４ａからは第１引出電極１３５ａが引き出されている。また、貫通溝１３６の側面１３６ｂを介して＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面へ第２引出電極３３５ｂが引き出され、枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角にまで形成されている。第２引出電極３３５ｂの第２辺３３７ｂは、連結部１３３の＋Ｘ軸側の辺１３３ａから−Ｘ軸方向の＋Ｚ’軸側に直線状に第１辺１３７ａから離れるように伸びている。そのため、第１辺１３７ａと第２辺３３７ｂとの−Ｘ軸側の端のＺ’軸方向の距離Ｄ２は、連結部１３３の＋Ｘ軸側の辺１３３ａにおける第１辺１３７ａと第２辺３３７ｂとの距離Ｄ１よりも大きく、第１辺１３７ａと第２辺３３７ｂとの距離は連結部１３３よりも枠部１３２において大きい。
【００３６】
圧電振動片３３０では、第２引出電極３３５ｂの第２辺３３７ｂが第１辺１３７ａから離れるように形成されることで、圧電振動片３３０が圧電デバイスに組み込まれた場合に圧電デバイスの絶縁抵抗を高い状態に保つことができる。また、圧電デバイスにおける接合材１４１は枠部１３２からはみ出して連結部１３３に流れ込むことがあるが、圧電振動片３３０では連結部１３３に於いても第１辺１３７ａと第２辺３３７ｂとが離れるように形成されており、連結部１３３に接合材１４１が多少流れ込んでも絶縁抵抗が高い状態を維持することができる。また、連結部１３３の＋Ｘ軸側の辺１３３ａにおける第２引出電極３３５ｂの幅Ｗ２を第１引出電極１３５ａの幅Ｗ１よりも広く形成することにより、連結部１３３において第２辺３３７ｂが第１辺１３７ａから離れるように形成されることによる第２引出電極３３５ｂの電気抵抗の上昇を抑えることができる。
【００３７】
＜圧電振動片４３０の構成＞
図６（ａ）は、圧電振動片４３０の平面図である。圧電振動片４３０は、振動部１３１と、枠部１３２と、連結部１３３と、を有している。振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ｂが形成されており、励振電極１３４ｂからは枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側に第２引出電極４３５ｂが引き出されている。第２引出電極４３５ｂはまた、貫通溝１３６の側面１３６ｂを介して枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に引き出されている。また、枠部１３２及び連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第２引出電極４３５ｂの−Ｚ’軸側の辺である第３辺４３７ｃは、後述の図６（ｂ）で説明される第２引出電極４３５ｂの第２辺４３７ｂとＹ’軸方向に重なるように形成されており、連結部１３３の＋Ｘ軸側の辺１３３ａと−Ｘ軸側の辺１３３ｂとの間ではＸ軸に平行に直線状に形成され、辺１３３ｂよりも−Ｘ軸側では−Ｘ軸方向の＋Ｚ’軸側に−Ｚ’軸方向に膨らむ扇状に伸びている。
【００３８】
図６（ｂ）は、＋Ｙ’軸側からみた圧電振動片４３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。振動部１３１の−Ｙ’軸側の面には励振電極１３４ａが形成されている。励振電極１３４ａからは、連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を介して−Ｘ軸側の枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に引き出され、さらに−Ｚ’軸側の枠部１３２を介して枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角にまで第１引出電極４３５ａが引き出されている。また、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側には、貫通溝１３６の側面１３６ｂを介して＋Ｙ’軸側の面から第２引出電極４３５ｂが引き出されている。
【００３９】
第１引出電極４３５ａの第１辺４３７ａ及び第２引出電極４３５ｂの第２辺４３７ｂは、共に連結部１３３に於いてはＸ軸に平行な直線状に形成され、連結部１３３の−Ｘ軸側の辺１３３ｂよりも−Ｘ軸側では、互いに離れるように−Ｘ軸方向の−Ｚ’軸側及び＋Ｚ’軸側に扇形に伸びている。第１引出電極の第１辺及び第２引出電極の第２辺は互いに離れるように形成されることで各引出電極の幅が狭くなり電気抵抗が上昇する場合があるが、圧電振動片４３０では、第１辺４３７ａ及び第２辺４３７ｂが扇形に形成されることで各引出電極の幅が極端に狭く形成されることがなく、各引出電極の電気抵抗の上昇を抑えることができる。
【００４０】
（第３実施形態）
圧電振動片では、連結部の形状を変えることにより、第１実施形及び第２実施形態の特徴をより生かすことができる場合がある。以下に連結部１３３とは形状が異なる連結部を有する圧電振動片について説明する。また、第１実施形態及び第２実施形態と同じ部分に関しては、第１実施形態及び第２実施形態と同じ番号を付してその説明を省略する。
【００４１】
＜圧電振動片５３０の構成＞
図７（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面から見た圧電振動片５３０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。圧電振動片５３０は、振動部１３１と、枠部１３２と、連結部５３３とを有している。連結部５３３は、振動部１３１の−Ｘ軸側の辺の中央と−Ｘ軸側の枠部１３２とを連結している。連結部５３３は、連結部５３３の−Ｘ軸側の辺５３３ｂのＺ’軸方向の幅ＷＲ２が、連結部５３３の＋Ｘ軸側の辺５３３ａのＺ’軸方向の幅ＷＲ１よりも広く形成されている。また、第１引出電極５３５ａの第１辺５３７ａ及び第２引出電極５３７ｂの第２辺５３７ｂは、連結部５３３の＋Ｘ軸側の辺５３３ａの近傍よりそれぞれ−Ｘ軸方向の−Ｚ’軸側及び＋Ｚ’軸側に直線状に伸び、互いに離れるように形成されている。そのため、第１辺５３７ａと第２辺５３７ｂとの−Ｘ軸側の端における距離ＤＲ３は連結部５３３の辺５３３ｂにおける第１辺５３７ａと第２辺５３７ｂとの距離ＤＲ２よりも広く、距離ＤＲ２は連結部５３３の辺５３３ａにおける第１辺５３７ａと第２辺５３７ｂとの距離ＤＲ１よりも広く形成される。
【００４２】
圧電振動片５３０では距離ＤＲ２が距離ＤＲ１よりも広く形成されているため、連結部５３３において第１引出電極５３５ａの第１辺５３７ａ及び第２引出電極５３５ｂの第２辺５３７ｂが互いに離れるように形成されても各引出電極の幅が狭くならず、各引出電極の電気抵抗が高くなることが防がれている。
【００４３】
＜圧電デバイス２０００の構成＞
図７（ｂ）は、圧電デバイス２００の断面図である。圧電デバイス２００は、圧電振動片６３０と、圧電振動片６３０の＋Ｙ’軸側に配置されるベース板１１０と、圧電振動片６３０の−Ｙ’軸側に配置されるリッド板１２０と、を有している。圧電振動片６３０は、振動部６３１と、枠部１３２と、連結部６３３と、により構成されており、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示される圧電振動片１３０と同様の平面形状を有している。振動部６３１及び連結部６３３は振動部１３１及び連結部６３３よりもＹ’軸方向の厚さが薄く形成されており、振動部６３１及び連結部６３３の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面は、枠部１３２の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面からそれぞれ高さＨＲだけ−Ｙ’軸方向及び＋Ｙ’軸方向に凹んで形成される。
【００４４】
圧電デバイス２００は、連結部６３３の−Ｙ’軸側の面が枠部１３２の−Ｙ’軸側の面から高さＨＲだけ離れていることにより、キャビティ１５０の中にはみ出した接合材１４１が連結部６３３にかかりにくくなっている。そのため、連結部６３３に形成される引出電極と接合材１４１とが接触しにくくなり、圧電デバイス２００の絶縁抵抗が低くなることが防がれている。
【００４５】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【００４６】
例えば、上記の実施形態では圧電振動片にＡＴカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するＢＴカットの水晶振動片などであっても同様に適用できる。さらに圧電振動片は水晶材のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む接合材に基本的に適用できる。
【符号の説明】
【００４７】
１００、２００  …  圧電デバイス
１１０  …  リッド板
１１１  …  凹部
１１２  …  接合面
１２０  …  ベース板
１２１  …  凹部
１２２  …  接合面
１２３  …  接続電極
１２４  …  実装端子
１２５  …  キャスタレーション電極
１２６  …  キャスタレーション
１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０  …  圧電振動片
１３１  …  振動部
１３２  …  枠部
１３３  …  連結部
１３３ａ、５３３ａ  …  連結部の＋Ｘ軸側の辺
１３３ｂ、５３３ｂ  …  連結部の−Ｘ軸側の辺
１３４ａ、１３４ｂ  …  励振電極
１３５ａ、３３５ａ、４３５ａ、５３５ａ  …  第１引出電極
１３５ｂ、２３５ｂ、３３５ｂ、４３５ｂ、５３５ｂ  …  第２引出電極
１３６  …  貫通溝
１３７ａ、４３７ａ、５３７ａ  …  第１辺
１３７ｂ、３３７ｂ、４３７ｂ、５３７ｂ  …  第２辺
１３７ｃ、３３７ｃ、４３７ｃ  …  第３辺
１４１  …  接合材
１５０  …  キャビティ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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