(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被照射体の第１部材の少なくとも片面に設けられた紫外線硬化剤を紫外線の照射によって硬化させる紫外線硬化装置であって、紫外線を照射するための面状光源と、前記面状光源を点灯するための電源とを備えており、
前記面状光源は、実質上接触乃至近接するように管長方向に対して直角な方向に並列に配設された複数本の直管蛍光放電管から構成されており、
前記第１部材が前記複数本の直管蛍光放電管の上に接触して載置され、前記面状光源から上方に放射される紫外線が下方から前記紫外線硬化剤に照射されることを特徴とする紫外線照射硬化装置。
【請求項２】
前記被照射体の前記第１部材の片面側には前記紫外線硬化剤を介して第２部材が配設され、前記第１部材又は前記第２部材が前記面状光源に載置され、前記面状光源からの紫外線が下方から前記第１部材又は前記第２部材を通して前記紫外線硬化剤に照射されることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射硬化装置。
【請求項３】
前記複数本の直管蛍光放電管は低圧水銀蒸気蛍光直管蛍光放電管から構成され、前記複数本の低圧水銀蒸気蛍光直管蛍光放電管は高周波インバータにより点灯駆動されて非脈動の紫外線照射光を放射することを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射硬化装置。
【請求項４】
前記複数本の直管蛍光放電管は、管本体の一端部が片側に突出する第１の放電管組と、前記管本体の他端部が他側に突出する第２の放電管組とを含み、前記第１の放電管組の突出端部に対応して第１冷却手段が配設され、前記第２の放電管組の突出端部に対応して第２冷却手段が配設されていることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射硬化装置。
【請求項５】
前記第１及び第２冷却手段は、冷却用フィン、冷却用ファン、冷却用ペルチェ素子又は熱伝導性部材であることを特徴とする請求項４に記載の紫外線照射硬化装置。
【請求項６】
前記複数本の直管蛍光放電管は、照射硬化ハウジングに収容され、前記複数本の直管蛍光放電管の少なくとも一部が、熱伝導性支持部材を介して前記照射硬化ハウジングに支持されており、前記複数本の直管蛍光放電管の少なくとも一部からの熱は、前記熱伝導性支持部材を介して前記照射硬化ハウジングに伝達され、前記照射硬化ハウジングから外部に放熱されることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射硬化装置。
【請求項７】
前記面状光源の上に紫外線透過シート又は紫外線透過プレートが配設され、前記紫外線透過シート又は前記紫外線透過プレートを介して前記被照射体が載置されることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の紫外線照射硬化装置。
【請求項８】
前記面状光源によって照射される被照射体が太陽電池モジュールであり、前記太陽電池モジュールを製造するための太陽電池製造設備の搬送ラインの照射域に関連して前記面状光源が配設され、前記太陽電池モジュールが前記照射域を通して搬送される間に、前記面状光源からの紫外線が下方から紫外線硬化剤に照射されることを特徴とする請求項２に記載の紫外線照射硬化装置。
【請求項９】
前記太陽電池モジュールは、搬送ユニットの密閉収容空間に収容されて前記搬送ラインの前記照射域を通して搬送されるように構成され、前記搬送ユニットは、前記面状光源からの紫外線を透過する紫外線透過性密閉空間を規定し、前記照射域においては、前記紫外線透過性密閉空間内に乾燥気体が充填された状態にて、前記面状光源からの紫外線が前記搬送ユニットを通して照射されることを特徴とする請求項８に記載の紫外線照射硬化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１部材に塗布などされた紫外線硬化剤を紫外線によって硬化させる紫外線照射硬化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
紫外線を照射して紫外線硬化剤（例えば、シール剤）を重合硬化させる装置として、例えば、光源として複数のＬＥＤ（発光ダイオード）を用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この紫外線照射硬化装置では、被照射体としての基材（その上面に紫外線硬化剤が塗布されている）の上方に光源（ＬＥＤ）が配置され、この光源からの紫外線が紫外線硬化剤に照射され、この紫外線により紫外線硬化剤が硬化される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２２６２７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この紫外線照射硬化装置には、次の通りの解決すべき問題がある。第１に、光源（ＬＥＤ）は小型で配光指向性が鋭いために、基材の上方に間隔を置いて配設されると、光源からの照射光は、基材（紫外線硬化剤）上に離散状に照射される。照射光の離散の緩和を図るために光源と基材との間の距離を大きくすると、光源からの照射光が基材（紫外線硬化剤）に到達するまでに照射エネルギーが弱まり、所望の照射エネルギーを得ようとすると大出力の光源が必要となる。特に、光源の下方で基材の交換などのハンドリングをする場合、ハンドリングするための空間が必要となって上記距離（光源と基材との間隔）が大きくなる傾向にあり、このようなことからも大出力の光源が必要となり（例えば、多数のＬＥＤを高密度に配設する等が必要になる）、その結果、装置全体が大型化するとともに、消費電力が大きくなる。また、ＬＥＤは本来的に点光源であり、その照射光には鋭い指向性があるために、被照射面をムラなく均一に照射することが難しい。
【０００５】
このような不都合を解消するために光源と基材との間に拡散板を挿入すると、照射エネルギーが小さくなって短時間で紫外線硬化剤を硬化させるのが難しく、硬化作業の効率が低下する。それ故に、紫外線硬化剤を硬化させるためには長時間照射しなければならず、このように長時間照射すると、基材の温度が上昇する、或いは被照射面上の物質(特に、被照射体が色素増感太陽電池モジュールである場合にこれに用いる増感用色素)が劣化する。
【０００６】
第２に、被照射体のサイズが大きくなる（例えば、縦×横：３０ｃｍ×３０ｃｍ）と、被照射体の全面を均一に照射することが難しくなり、例えば光源としてＬＥＤを用いたときには一層難しくなる。
【０００７】
このような不都合を解消するためには、被照射体を回転テーブルに載置し、かく載置した状態で回転テーブルを回転させながら照射することによってある程度改善することができるが、このように構成した場合、回転テーブル及びこれを支持して回転駆動するための構造が必要となるとともに、回転駆動のためにハンドリング空間が拡大し、被照射体のサイズの割に装置が大型化するとともに、製作コストが高くなる。また、被照射体が大きくなると、その自重によって基材の中央部付近に生じる撓みが大きくなり、回転テーブル方式の場合、この問題を解消するのが難しくなり、またこの被照射体を水平に安定的に支持して回転することが難しくなる。特に、この撓みが大きくなると、例えば、紫外線硬化剤を挟んで存在する一対の部材間の間隔が一定とならず、紫外線硬化剤が圧縮されたり引張されたりして正常な状態で硬化されなくなる。
【０００８】
本発明の目的は、光源からの距離（光路パス）を短く一定にして高い照射強度を得ることにより紫外線硬化剤を効率良く硬化させることができる紫外線照射硬化装置を提供することである。
【０００９】
本発明の他の目的は、被照射体を撓みなく安定的に支持して紫外線硬化剤を正常に配置した状態で硬化することができる紫外線照射硬化装置を提供することである。
【００１０】
本発明の更に他の目的は、回転機構を用いることなく被照射体を実質上均一に照射して紫外線硬化剤をムラなく硬化することができる紫外線照射硬化装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の請求項１に記載の紫外線照射硬化装置は、被照射体の第１部材の少なくとも片面に設けられた紫外線硬化剤を紫外線の照射によって硬化させる紫外線硬化装置であって、紫外線を照射するための面状光源と、前記面状光源を点灯するための電源とを備えており、
前記面状光源は、実質上接触乃至近接するように管長方向に対して直角な方向に並列に配設された複数本の直管蛍光放電管から構成されており、
前記第１部材が前記複数本の直管蛍光放電管の上に接触して載置され、前記面状光源から上方に放射される紫外線が下方から前記紫外線硬化剤に照射されることを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項２に記載の紫外線照射硬化装置では、前記被照射体の前記第１部材の片面側には前記紫外線硬化剤を介して第２部材が配設され、前記第１部材又は前記第２部材が前記面状光源に載置され、前記面状光源からの紫外線が下方から前記第１部材又は前記第２部材を通して前記紫外線硬化剤に照射されることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の請求項３に記載の紫外線照射硬化装置では、前記複数本の直管蛍光放電管は低圧水銀蒸気蛍光直管蛍光放電管から構成され、前記複数本の低圧水銀蒸気蛍光直管蛍光放電管は高周波インバータにより点灯駆動されて非脈動の紫外線を放射することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項４に記載の紫外線照射硬化装置では、前記複数本の直管蛍光放電管は、管本体の一端部が片側に突出する第１の放電管組と、前記管本体の他端部が他側に突出する第２の放電管組とを含み、前記第１の放電管組の突出端部に対応して第１冷却手段が配設され、前記第２の放電管組の突出端部に対応して第２冷却手段が配設されていることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の請求項５に記載の紫外線照射硬化装置では、前記第１及び第２冷却手段は、冷却用フィン、冷却用ファン、冷却用ペルチェ素子又は熱伝導性部材であることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の請求項６に記載の紫外線照射硬化装置では、前記複数本の直管蛍光放電管は、照射硬化ハウジングに収容され、前記複数本の直管蛍光放電管の少なくとも一部が、熱伝導性支持部材を介して前記照射硬化ハウジングに支持されており、前記複数本の直管蛍光放電管の少なくとも一部からの熱は、前記熱伝導性支持部材を介して前記照射硬化ハウジングに伝達され、前記照射硬化ハウジングから外部に放熱されることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の請求項７に記載の紫外線照射硬化装置では、前記面状光源の上に紫外線透過性シート又は紫外線透過性プレートが配設され、前記紫外線透過シート又は前記紫外線透過プレートを介して前記被照射体が載置されることを特徴とする。
【００２３】
また、本発明の請求項８に記載の紫外線照射硬化装置では、前記面状光源によって照射される被照射体が太陽電池モジュールであり、前記太陽電池モジュールを製造するための太陽電池製造設備の搬送ラインの照射域に関連して前記面状光源が配設され、前記太陽電池モジュールが前記照射域を通して搬送される間に、前記面状光源からの紫外線が下方から紫外線硬化剤に照射されることを特徴とする。
【００２４】
更に、本発明の請求項９に記載の紫外線照射硬化装置では、前記太陽電池モジュールは、搬送ユニットの密閉収容空間に収容されて前記搬送ラインの前記照射域を通して搬送されるように構成され、前記搬送ユニットは、前記面状光源からの紫外線を透過する紫外線透過性密閉収容空間を規定し、前記照射域においては、前記紫外線透過性密閉空間内に乾燥気体が充填された状態にて、前記面状光源からの紫外線が前記搬送ユニットを通して照射されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の請求項１に記載の紫外線照射硬化装置によれば、光源として面状光源を用いているので、第１部材の少なくとも片面側に設けられた紫外線硬化剤を水平方向において実質上均一に照射することができる。また、第１部材が面状光源としての複数本の直管蛍光放電管の上に接触して載置されるので、面状光源と照射領域（換言すると、紫外線硬化剤）との間隔（所謂、光路パス）が小さくなり、面状光源からの照射エネルギーが効率良く紫外線硬化剤に到達し、小出力の面状光源であっても短時間で紫外線硬化剤を所要の通りに硬化することができ、これによって、装置全体の小型化及び製作コストの低減を図ることができるとともに、消費電力も低く抑えることができる。
また、面状光源は、実質上接触乃至近接するように管長方向に対して直角な方向に並列に配設された複数本の直管蛍光放電管から構成されているので、安価な直管蛍光放電管を用いて面状光源とすることができる。また、複数本の直管蛍光放電管が実質上接触乃至近接するように並列に配置されるので、面状光源として適用しても照射ムラ（具体的には、管長方向のみならず、円形断面を含む上記水平方向における照射ムラ）を少なくすることができる。
【００２６】
尚、第１部材が紫外線透過性の材料から形成されている場合、この第１部材を面状光源に直接的又は間接的に載置するようにすればよく、第１部材が非紫外線透過性の材料から形成されている場合、この第１部材の片面側を面状光源に載置するようにすればよい。
【００２７】
このような紫外線照射硬化装置は、印刷の分野（例えば、シールラベルの印刷）、塗装の分野（例えば、光学フィルムのコーティング、フィルムのハードコーティング）、接着の分野（例えば、チップ部品の接着）などに広く用いることができる。
【００２８】
本発明の請求項２に記載の紫外線照射硬化装置によれば、第１部材（又は第２部材）の実質上全域が面状光源に載置されて支持されるので、被照射体のサイズが大きくなっても撓みの発生がなく安定して支持することができ、これによって、第１及び第２部材間の間隔を一定に保ち、実質上均一な間隔でもって紫外線硬化剤を照射することができ、紫外線硬化剤の硬化ムラをなくすことができる。また、第１部材（又は第２部材）が面状光源に載置されるので、面状光源と照射領域との間隔（所謂、光路パス）が小さくなり、その結果、上述したと同様の効果を達成することができる。特に、被照射体が色素増感太陽電池モジュールである場合、照射時間の短縮によって面状光源の温度を低く保つことができ、これによって、これに用いる増感用植物性色素の劣化を著しく抑えることが可能となる。尚、第１部材及び／又は第２部材は、単一の部材でもよく、或いは複数の部材（例えば、シート状部材）などでもよい。
【００３０】
また、本発明の請求項３に記載の紫外線照射硬化装置によれば、直管蛍光放電管が低圧水銀蒸気直管蛍光放電管から構成されているので、可視光に近い周波数の紫外線（所謂、近紫外線：ＵＶ−Ａ）が発生し、この近紫外線によって紫外線硬化剤を人体にほぼ無害で効果的に硬化させることができる。また、低圧水銀蒸気直管蛍光放電管が高周波インバータにより点灯駆動されるので、この蛍光放電管からの近紫外線は非脈動の照射光となって紫外線硬化剤を照射し、これによって、被照射体全体を経時的に均一に照射することができ、被照射体への照射ムラを少なくすることができる。
【００３１】
また、本発明の請求項４に記載の紫外線照射硬化装置によれば、第１放電管組の直管蛍光放電管の端部が片側に突出し、この突出端部に対応して第１冷却手段が設けられているので、第１放電組管の直管蛍光放電管（具体的には、その管壁）の温度上昇を抑えることができ、これによって、かかる蛍光放電管内のガス圧力を発光に最適な温度に維持することができる。また、第２放電管組の直管蛍光放電管の端部が他側に突出し、この突出端部に対応して第２冷却手段が設けられているので、第２放電組管の直管蛍光放電管（具体的には、その管壁）の温度上昇を抑えることができ、これによって、これらの蛍光放電管内のガス圧力も発光に最適な温度状態に維持することができる。
【００３２】
また、本発明の請求項５に記載の紫外線照射硬化装置によれば、第１及び第２冷却手段が冷却用フィン、冷却用ファン又は冷却用ペルチェ素子であるので、実質上接触乃至近接するように並列に配設された複数本の直管蛍光放電管を冷却して発光に最適な温度状態に保つことができる。第１及び第２冷却手段は熱伝導性部材でもよく、かかる場合、直管蛍光放電管からの熱は熱伝導性部材を介して例えば照射硬化ハウジングに伝達され、かかる照射硬化ハウジングの壁面から直接的に又はヒートシンク、ファンなどを介して例えば大気中に放熱することができる。
【００３３】
また、本発明の請求項６に記載の紫外線照射硬化装置によれば、複数本の直管蛍光放電管の少なくとも一部が熱伝導支持部材を介して支持されているので、少なくとも一部の直管蛍光放電管からの熱は、熱伝導支持部材を介して照射硬化ハウジングに伝達され、照射硬化ハウジングの壁面から外部（例えば、大気中）に放熱することができ、従って、この場合においても、直管蛍光放電管の温度を適正に保持することができる。
【００３４】
また、本発明の請求項７に記載の紫外線照射硬化装置によれば、面状光源の上に紫外線透過性シート又は紫外線透過性プレートが配設されるので、被照射体が直接的に面状光源に接触することがなく、これによって、被照射体の交換の際に、この被照射体が汚れるのを防止することができる。
【００３９】
また、本発明の請求項８に記載の紫外線照射硬化装置によれば、例えば、太陽電池製造設備の搬送ラインに関連して面状光源が配設され、太陽電池モジュールが照射域を通して搬送される間に面状光源からの紫外線が下方から照射され、このように構成することによって、太陽電池製造設備に好都合に適用して、下方に配設された面状光源からの紫外線により紫外線硬化剤を硬化させることができる。
更に、本発明の請求項９に記載の紫外線照射硬化装置によれば、搬送ラインの照射域を通して搬送ユニットが搬送されるように構成され、この搬送ユニットの紫外線透過性密閉収容空間内に太陽電池モジュールが収容され、この密閉空間内には予め乾燥気体（例えば、窒素ガス）が充填される。照射域においては、この紫外線透過性密閉収容空間内に乾燥気体が充填された状態で搬送され、面状光源からの紫外線が、搬送ユニットを通して照射され、このように照射することによって、湿気の影響を受けることなく紫外線硬化剤を硬化せることができる。尚、この場合、搬送ユニット全体を紫外線透過部材から構成してもよく、或いはその一部（例えば、底壁のみ）を紫外線透過部材から構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】太陽電池モジュールの一例を一部断面で示す模式斜視図。
【図２】図１の太陽電池モジュールを製造するときの紫外線照射硬化工程の説明するための部分拡大模式断面図。
【図３】本発明に従う紫外線照射硬化装置の第１の実施形態を上から見た斜視図。
【図４】図３におけるＩＶ−ＩＶ線平面による断面図。
【図５】図３の紫外線照射硬化装置の照射硬化ハウジングを下側から見た底面図。
【図６】第２の実施形態の紫外線照射硬化装置の照射硬化ハウジングを下側から見た底面図。
【図７】図６の紫外線照射硬化装置の制御系を示すブロック図。
【図８】第３の実施形態における紫外線照射硬化装置を示す斜視図。
【図９】第４の実施形態における紫外線照射硬化装置を示す平面図。
【図１０】図９の紫外線照射硬化装置の熱伝導性支持部材及びそれに関連する構成を示す部分斜視図。
【図１１】図３の紫外線照射硬化装置における照射時間とエネルギー比との関係を示す図。
【図１２】第５の実施形態の紫外線照射硬化装置を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
以下、添付図面を参照して更に詳細に説明する。まず、図１を参照して、被照射体としての太陽電池モジュール、例えば色素増感太陽電池モジュールに適用して説明する。図１において、被照射体の一例としての図示の太陽電池モジュール２は、透明導電性ガラス基板４（第１部材を構成する）と、この透明導電性ガラス基板４の下側に配設された非透明ガラス板６（第２部材を構成する）とを備えている。図１は、太陽電池モジュール２の一部断面を模式的に示し、太陽光は、太陽電池モジュール２の透明導電性ガラス基板４側から、即ち図１において上側から矢印５で示すように照射される。
図２は、照射硬化工程における載置状態を模式的に示し、後述する照射光（紫外線）は、太陽電池モジュール２の透明導電性ガラス基板４側から、即ち図２において下側から矢印７で示すように照射される。
【００４２】
透明導電性ガラス基板４の内面（図１において下面、図２において上面）には作用極（透明導電膜）（図示せず）が設けられ、非透明ガラス板６の内面（透明導電性ガラス板４にセルを介して対向する面であって、図１において上面、図２において下面）に対向極（図示せず）が設けられ、透明導電性ガラス基板４と非透明ガラス板６との間の間隙（約４０μｍ程度の間隙）に、色素増感型太陽電池の複数のセルを接続するための配線部材（図示せず）及び電解液（図示しないが、硬化後に注入される）並びにセルの外周部をシールするためのシール剤８（紫外線硬化剤）が配設され、シール剤８は、未硬化の状態で透明導電性ガラス基板４の導電内面側又は非透明ガラス板６の電極内面側に塗布されるが、この実施形態では、透明導電性ガラス基板４の導電内面側にセルを分離するように所定のパターンに沿って塗布され、かく塗布されたシール剤８が後述する如くして硬化される。
このシール剤８は、紫外線硬化型のものが用いられ、後述するように紫外線を照射することによって重合硬化され、透明導電性ガラス基板４と非透明ガラス板６との間を所定の間隔（約４０μｍの間隔：透明導電性ガラス基板４の内面に厚さ約１０μｍの透明導電膜が設けられており、従って、残りの約３０μｍが間隙となり、シール剤８の硬化後に、かかる間隙に電解液が充填される）に保持固着する。
【００４３】
未硬化状態のシール剤８の照射硬化は、図２に示す照射原理を適用した紫外線照射硬化装置を用いて行われる。次に、図２を参照して、本発明に従う紫外線照射硬化装置の照射原理について説明すると、図１に示した被照射体２Ａ（太陽電池モジュール２）は、紫外線を平面上に照射する面状光源１０の上側に載置され、透明導電性ガラス基板４の下面側からこれを透過して照射される。
この面状光源１０は、横方向（図２において直管蛍光放電管１２の管長に直角方向、即ち図２の紙面に垂直な方向であって、透明導電性ガラス基板４の平面に平行な方向）に並列に配設された複数本の直管蛍光放電管１２（図２において、一本のみ示す）から構成され、これら直管蛍光放電管１２が実質上接触乃至近接するように配置され、このように実質上接触乃至近接するように配置することによって、複数本の直管蛍光放電管１２の上端により規定される平面（即ち、被照射体２Ａが接触する平面、この形態では透明導電性ガラス基板４の図２における下面）における照射強度（照射エネルギー）がほぼ均一となり、これによって、複数本の直管蛍光放電管１２を面状光源１０として機能させることができる。
【００４４】
直管蛍光放電管１２を直接接触するように配設すると、放電管１２を新しいものに交換するのが難しくなるために、実質上接触乃至近接するように配設し、直径２５．５ｍｍ管を用いた場合、０．２５〜１．５ｍｍ程度の間隔でもって並列的に配設され、放電管１２の直径が大きくなると、実質上接触乃至近接する配設間隔は、上述の値よりも幾分大きくなるが、放電管１２の管径が小さくなると、実質上接触乃至近接する間隔は、上述の値は幾分小さくなる。この形態では、被照射体２Ａは、複数本の直管蛍光放電管１２の上側に柔軟性のある紫外線透過シート１４を介して載置支持される。
紫外線透過シート１４は、例えばアクリル樹脂製シートを用いることができ、例えば０．５〜２ｍｍ程度の厚さのものを用いることができる。このような軟質の紫外線透過シート１４に代えて硬質の紫外線透過プレートを用いるようにしてもよく、この場合、例えば１〜５ｍｍ程度の厚さのものを用いることができる。このように複数本の直管蛍光放電管１２（面状光源）と被照射体２Ａとの間に紫外線透過シート１４（又は紫外線透過プレート）を介在させることによって、直管蛍光放電管１２に載置した際などの被照射体２Ａの汚れを防止することができる。尚、被照射体２Ａの汚れが問題とならないときには、この紫外線透過シート１４（又は紫外線透過プレート）を省略することができる。
【００４５】
被照射体２Ａが色素増感太陽電池モジュールである場合、増感用の植物性色素（又は増感用の合成色素）が用いられるので、この植物性色素（又は合成色素）の紫外線による劣化を防止するために、紫外線透過シート１４（又は紫外線透過プレート）と透明導電性ガラス基板４との間に紫外線マスクガラス１１が介在される。紫外線マスクガラス１１は、ガラス本体１３を備え、このガラス本体１３の片面（図２において上面であって、透明導電性ガラス基板４に接触する面）に非透過性マスク部１５が設けられる。この非透過性マスク部１５は、植物性色素（又は合成色素）が存在する導電膜の領域に対応して設けられ、このように構成することによって、植物性色素（または合成色素）が面状光源１０からの紫外線により照射されることを防止することができる。この紫外線マスクガラス１１は、非透過性マスク部１５が透明導電性ガラス基板４側となるように配設される。
【００４６】
このように面状光源（複数本の直管蛍光放電管１２）の上側に被照射体２Ａを載置する構成とすることによって、面状光源と被照射体２Ａ（具体的には、紫外線硬化剤としてのシール剤８）との距離が短くなり、これによって、面状光源からの照射エネルギーがほとんど弱められることなく被照射体２Ａ（シール剤８）に伝わり、その結果、出力の小さい面状光源であってもシール剤８を所要の通りに硬化することができ、また照射時間の短縮も図ることができる。
【００４７】
この面状光源としては、複数の直管蛍光放電管１２に代えて、冷陰極管と導光板との組合せ構造を用いることもでき、この場合、導光板の上側に被照射体を直接的に（又は紫外線透過シート、紫外線透過プレートを介して）載置するようにすればよい。
【００４８】
被照射体２Ａのシール剤８は、例えば、次のようにして照射硬化することができる。被照射体２Ａが色素増感太陽電池モジュールである場合、透明導電性ガラス基板４の片面（図２において上面）に形成された導電膜面に設計パターンの形状に対応してシール剤８を塗布する。そして、複数本の直管蛍光放電管１２の上側に紫外線透過シート１４を載置し、この上側に非透過性マスク部１５が上側となるように紫外線マスクガラス１１を載置し、更にその上側に、シール剤８が上側となるように透明導電性ガラス基板４を載置し、このシール剤１４の上側に非透明ガラス板６（対向極が設けられた面が透明導電性ガラス基板４と対向するように）を載置する。
【００４９】
そして、この載置状態において、非透明ガラス板６の上面にウエイト（図示せず）を載置するなどして透明導電性ガラス基板４と非透明ガラス板６との間の間隔が所定間隔（約４０μｍ）となるように調整する。このとき、透明導電性ガラス基板４の面積が大きいときには、複数のウエイトを用いるようになるが、被照射体２Ａの実質上全域（前面）が面状光源１０（複数本の直管蛍光放電管１２）により支持されているので、被照射体２Ａが撓むことがほとんどなく、被照射体２Ａのサイズが大きくても透明導電性ガラス基板４と被ガラス板６との間隔を所要の一定間隔に保つことができる。
【００５０】
その後、かかる載置状態にて複数本の直管蛍光放電管１２を所定時間点灯する。かく点灯すると、複数本の直管蛍光放電管１２からの紫外線が紫外線透過シート１４及び透明導電性ガラス基板４を介してシール剤８に到達し、直管蛍光放電管１２からの紫外線によって重合硬化され、このようにして図１に示す構造の太陽電池モジュール２を製作することができる。この説明では、第１部材としての透明導電性ガラス基板４を直管蛍光放電管１２の直上に載置しているが、例えば、第２部材が透明材料から形成されている場合には、この第２部材を直管蛍光放電管１２の直上に載置するようにしてもよい。
【００５１】
被照射体２Ａのシール剤８を硬化するための紫外線照射硬化装置２２は、例えば、図３〜図９に示すように構成することができる。図３〜図５において、図示の紫外線照射硬化装置２２は、上面が開放された箱状の照射硬化ハウジング２４を備える。この照射硬化ハウジング２４はアルミ材により、若しくは内面にアルミ蒸着層又はアルミ箔層を有する樹脂材などで形成され、このように構成することによって、照射硬化ハウジング２４の内面を紫外線を反射させる反対面として機能させることができ、複数本の直管放電管２６（２６ａ、２６ｂ）から下方若しくは水平方向に放射された紫外線は、照射硬化ハウジング２４の紫外線反対面により上方に反射される。この照射硬化ハウジング内に、面状光源を構成する複数本（具体的には、１４本）の直管蛍光放電管２６が並列に配設されている。これら直管蛍光放電管２６は、それらの横方向（管長方向に対して直角方向であって、図４において紙面の上下方向）に実質上接触乃至近接するように並列に配設され、これによって隣接する直管蛍光放電管２６の間隔は、その管長にわたって接触乃至近接状態（例えば、直径２５．５ｍｍ管を用いた場合、０．２５〜１．５ｍｍ程度の間隔）に保たれる。この実施形態では、１４本の直管蛍光放電管２６（２６ａ、２６ｂ）を用いるが、被照射体２Ａのサイズに応じて用いる直管蛍光放電管２６（２６ａ，２６ｂ）の本数を適宜設定することができる。
【００５２】
この実施形態では、図４において上側から奇数番目（第１番目、第３番目、第５番目、第７番目、第９番目、第１１番目及び第１３番目）の直管蛍光放電管２６ａが第１の放電管組を構成し、上側から偶数番目（第２番目、第４番目、第６番目、第８番目、第１０番目、第１２番目及び第１４番目）の直管蛍光放電管２６ｂが第２の放電管組２６ｂを構成する。第１の放電管組の直管蛍光放電管２６ａの管端は、片側（図４及び図５において左側）に突出し、第２の放電管組の直管蛍光放電管２６ｂの管端は、他側（図４及び図５において右側）に突出し、複数本の直管蛍光放電管２６（２６ａ，２６ｂ）は、図４及び図５において左右方向に交互に突出している。
【００５３】
第１の放電管組の直管蛍光放電管２６ａの両端部（管端部）は、第１ソケット２７に装着され、かかる第１ソケット２７が照射硬化ハウジング２４の底壁２８に取り付けられている。また、第２放電管組の直管蛍光放電管２６ｂの両端部（管端部）は、第２ソケット２９に装着され、かかる第２ソケット２９が上記底壁２８に取り付けられている。
【００５４】
この実施形態では、第１の放電管組の直管蛍光放電管２６ａの突出端部に対応して、照射硬化ハウジング２４の底壁２８の一端部（図４及び図５において左端部）に円形開口３０が設けられ、各円形開口３０は、対応する直管蛍光放電管２６ａの突出端部の下方に配置され、かかる突出端部に対応して第１冷却手段が配設されている。また、第２の放電管組の直管蛍光放電管２６ｂの突出端部に対応して、照射硬化ハウジング２４の底壁２８の他端部（図４及び図５において右端部）に円形開口３２が設けられ、各円形開口３２は、対応する直管蛍光放電管２６ｂの突出端部の下方に配置され、かかる突出端部に対応して第２冷却手段が配設されている。尚、これらの開口３０，３２は、円形である必要はなく、矩形状、楕円状などの適宜の形状でよい。
【００５５】
第１の放電管組の直管蛍光放電管２６ａに対応する円形開口３０に関連して、これら円形開口３０を覆うように細長い矩形状の第１冷却ハウジング３４が設けられ、かかる第１冷却ハウジング３４が照射硬化ハウジング２４の底壁２８の一端部に取り付けられている。第１冷却ハウジング３４の前面には吸入開口３６が設けられ、またこの第１冷却ハウジング３４内には、冷却用ファンとしての第１吸入ファン（図示せず）が設けられ、第１冷却ハウジング３４及び第１吸入ファン（図示せず）が第１冷却手段を構成する。また、照射硬化ハウジング２４の側壁１１０（又は側壁１１２）（図４参照）に排気開口（図示せず）が設けられ、かかる排気開口を通して空気が排出される。
【００５６】
かく構成されているので、第１吸入ファンが作動すると、外気が吸入開口３６を通して第１冷却ハウジング３４内に吸入され、各円形開口３０を通して第１の放電管組の直管蛍光放電管２６ａの突出端部に向けて流れた後、照射硬化ハウジング２４の排気開口（図示せず）を通して外部に排出され、この空気の流れによって第１放電管組の直管蛍光放電管２６ａの突出端部が冷却され、その管端部の壁面を冷却することができ、これによって、直管蛍光放電管２６ａの管内ガス圧の適正化を図ることができる。
【００５７】
また、第２の放電管組の直管蛍光放電管２６ｂに対応する円形開口３２に関連して、これら円形開口３２を覆うように細長い矩形状の第２冷却ハウジング３８が設けられ、かかる第２冷却ハウジング３８が照射硬化ハウジング２４の底壁２８の他端部に取り付けられている。第２冷却ハウジング３８の前面には吸入開口４０が設けられ、またこの第２冷却ハウジング３８内には、冷却用ファンとしての第２吸入ファン（図示せず）が設けられ、第２冷却ハウジング３８及び第２吸入ファン（図示せず）が第２冷却手段を構成する。また、照射硬化ハウジング２４の側壁１１０（又は側壁１０８）（図４参照）に排気開口（図示せず）が設けられ、かかる排気開口を通して空気が排出される。
【００５８】
かく構成されているので、第２吸入ファンが作動すると、外気が吸入開口４０を通して第２冷却ハウジング３８内に吸入され、各円形開口３２を通して第２の放電管組の直管蛍光放電管２６ｂの突出端部に向けて流れた後に、照射硬化ハウジング２４の排気開口（図示せず）を通して外部に排出され、この空気の流れによって第２放電管組の直管蛍光放電管２６ｂの突出端部が冷却され、これによって、上述した同様に直管蛍光放電管２６ｂの管内ガス圧の適正化を図ることができる。
【００５９】
第１及び第２冷却ハウジング３４，３８の吸入開口３６，４０は、第１及び第２冷却ハウジング３４、３８の前面に代えて下面などに設けるようにしてもよく、また円形以外の他の適宜の形状、例えば矩形状などでもよい。
【００６０】
この形態では、直管蛍光放電管２６（２６ａ，２６ｂ）が実質上接触乃至近接するように配設されているが、第１の放電管組の直管蛍光放電管２６ａを片側に突出させ、第２の放電管組の直管蛍光放電管２６ｂを他側に突出させているので、それらの突出端部に外気流を送って効果的に冷却することができる。この形態では、直管蛍光放電管２６を一つずつ左右にずらしているが、例えば、二つずつ（又は三つずつ）左右にずらすようにしてもよく、この場合、図４において左側にずらした直管蛍光放電管２６が第１の放電管組を構成し、第１の放電管組の二つ（又は三つ）の直管蛍光放電管２６の突出端部に対応して開口が設けられ、また図４において右側にずらした直管蛍光放電管２６が第２の放電管組を構成し、第２の放電管組の二つ（又は三つ）の直管蛍光放電管２６の突出端部に対応して開口が設けられる。
【００６１】
この第１及び第２冷却ハウジング３４，３８の開口３６，４０には、フィルタ（図示せず）を設けるのが好ましく、フィルタを設けることによって、ダストなどが第１及び第２冷却ハウジング３４，３８（換言すると、照射硬化ハウジング２４）内に流入するのを防止することができる。
【００６２】
複数本の直管蛍光放電管２６（２６ａ，２６ｂ）は、低圧水銀蒸気蛍光放電管（低圧水銀蒸気蛍光放電ランプ）から構成するのが好ましい。低圧水銀蒸気蛍光放電管は点灯して近紫外線（可視光に近い波長の紫外線）を発生し、硬化に近紫外線を用いることによって、シール剤８を効果的に硬化させることができる。この低圧水銀蒸気蛍光放電管は、管壁温度が約４０℃のときに最大出力が得られるように設計されており、このようなことから第１及び第２吸入ファン（図示せず）の吸入能力を適切に設定して低圧水銀蒸気蛍光放電管の管壁温度が約４０℃に維持されるように冷却するのが望ましい。尚、第１及び第２吸入ファンについては、低圧水銀蒸気蛍光放電管の管壁温度が４０℃を超えたときに作動させて冷却するようにしてもよく、或いはこの管壁温度が４０℃を超えて上昇するにつれて第１及び第２吸入ファンの回転数を上昇させて冷却能力が増大するように構成することもできる。
【００６３】
上述した実施形態では、第１及び第２冷却手段として外気を吸入する第１及び第２吸入ファンを用いているが、第１及び第２冷却手段として、気体を排出する第１及び第２排気ファンを用いるようにしてもよく、この場合、例えば、第１冷却手段の排気ファンに関連して照射硬化ハウジング２４の例えば側壁１１２（図４参照）に吸入開口が設けられ、第２冷却手段の排気ファンに関連して照射硬化ハウジング２４の例えば側壁１０８（図４参照）に吸入開口が設けられる。
【００６４】
この実施形態では、第１及び第２の放電管組の直管蛍光放電管２６ａ，２６ｂに対応して第１及び第２冷却ハウジング３４，３８並びにこれに関連する構成（排気開口など）を設けているが、これらの構成を省略して図６に示すように構成することができる。図６において、この実施形態では、照射硬化ハウジング２４の底壁２８の各円形開口３０，３２に対応して、冷却用ファンとしての第１及び第２冷却ファン４２，４４が配設されている。第１及び第２冷却ファン４２，４４は、例えば軸流ファンから構成され、底壁２８の下面に取り付けられている。第１及び第２冷却ファン４２，４４は、外気を吸入する第１及び第２吸入用ファン４２ａ，４４ａと、照射硬化ハウジング２４内の空気を排出する第１及び第２排気用ファン４２ｂ．４４ｂとを含み、この形態では、第１及び第２吸入用ファン４２ａ，４４ａと第１及び第２排気用ファン４２ｂ，４４ｂとが交互に配設されている。
【００６５】
このように構成されているので、第１及び第２吸入用ファン４２ａ，４４ａが作動すると、外気が照射硬化ハウジング２４の円形開口３０，３２を通して吸入され、また第１及び第２排気用ファン４２ｂ，４４ｂが作動すると、照射硬化ハウジング２４内の空気が円形開口３０，３２を通して排出され、外気吸入の円形開口３０，３２から空気排気の円形開口３０，３２への空気流が直管蛍光放電管２６ａ，２６ｂの端部周囲を流れ、かかる空気流によって直管蛍光放電管２６ａ，２６ｂを効果的に冷却することができる。図６の紫外線照射硬化装置のその他の構成は、図３〜図５に示す構成と実質上同一でよい。
【００６６】
尚、例えば、上述したように直管蛍光放電管２６ａ，２６ｂを例えば二つずつ左右にずらすようにしてもよく、この場合、二つの直管蛍光放電管２６の突出端部に対応して設けられる開口に第１及び第２冷却ファン（第１及び第２吸入用ファン並びに第１及び第２排気用ファン）を設けることができる。
【００６７】
図６に示す紫外線照射硬化装置は、例えば図７に示す制御系によって作動制御される。図７において、この制御系は、面状光源１２（この形態では、直管蛍光放電管２６）を点灯するための点灯制御系１３１と、第１及び第２冷却手段（この形態では、第１及び第２冷却ファン４２，４４）を駆動するためのファン制御系１３３とを備えている。この制御系は、電源としてＡＣ電源１３２、例えば商用交流電源に電気的に接続され、ＡＣ電源１３２からの電力がタイマ手段１３５（後述する）に供給され、その後整流されて高周波インバータ１４０に接続され、この高周波インバータ１４０にて高周波電流に変換され、例えば周波数が２０〜３０ｋＨｚ程度の高周波電流に変換される。また、ＡＣ電源からの電力は、タイマ手段１３５を介してアダプタ１３７に供給され、このアダプタ１３７にて直流電力（例えば、１２Ｖの直流電力）に変換された後に冷却手段（第１及び第２冷却ファン４２，４４）に供給される。
【００６８】
タイマ手段１３５は、面状光源１２（直管蛍光放電管２６）の照射時間を設定するものであり、本実施形態の場合、例えば１０秒程度に設定され、かく設定した時間の間、面状光源１２（直管蛍光放電管２６）が点灯される。この形態の場合、タイマ手段１３５により設定された時間の間、冷却手段（第１及び第２冷却ファン４２，４４）も作動され、面状光源１２が点灯している間にわたって冷却手段による面状光源１２の冷却が行われる。
【００６９】
直管蛍光放電管２６として上述の低圧水銀蒸気放電管を用いて上述した高周波電流（２０〜３０ｋＨｚ）でもって点灯させた場合には、通常の周波数電流（例えば、６０Ｈｚ）でもって点灯させた場合に比して紫外線の出力が約２０％程度増加するとともに、管内ガス中の導電イオンがランプ電流の極性反転に追従できなくなるために、紫外線の出力波形が一定の直流状になって脈動がなくなり、これによって、被照射体２Ａ（この形態では、透明導電性ガラス基板４と非透明ガラス板６との間）のシール剤８（図２参照）を均斉に硬化させることができ、また照射時間の短縮化を図ることができる。
【００７０】
冷却手段として冷却ファンを用いることに代えて、図８に示すように構成することもできる。図８において、第１の放電管組（又は第２放電管組）の直管蛍光放電管２６ａ（又は２６ｂ）の端部（管端）に対応して熱伝導性支持部材５２が設けられ、この熱伝導性支持部材５２の取付部５４が取付ねじ５６により照射硬化ハウジング２４の底壁２８に取り付けられる。熱伝導性支持部材５２は、アルミニウム、銅などの熱伝導率の高い金属材料を含んで形成され、その片側支持部５８は、取付部５４の一端から上方に伸び、その他側支持部６０は、取付部５４の他端から上方に伸び、一対の支持部５８，６０の対向する部位には取付凹部６２，６４が設けられ、直管蛍光放電管２６ａ（又は２６ｂ）の端部（管端）は熱伝導性支持部材５２の一対の取付凹部６２，６４間に弾性的に支持される。尚、熱伝導性支持部材５２による熱伝導効果を高めるためには、その幅（図８において左下から右上方向の幅）を長くするなどの熱抵抗の低減を図ることが望ましい。
【００７１】
この熱伝導性支持部材５２に対応して第１冷却手段（又は第２冷却手段）としてのペルチェ素子６６（又は６８）が配設され、例えば、照射硬化ハウジング２４の底壁２８の外側下面に設けられる。このペルチェ素子６６（又は６８）は、電流の流れを制御して可変冷却用として用いることもできる。
【００７２】
このように構成されているので、直管蛍光放電管２６ａ（又は２６ｂ）からの熱は、熱伝導性支持部材５２を介して照射硬化ハウジング２４の底壁２８に伝達され、この底壁２８から大気中に放熱されるとともに、ペルチェ素子６６（又は６８）によって強制的に冷却され、このようにして直管蛍光放電管２６ａ（又は２６ｂ）を所要の通りに冷却して所定温度に保つことができる。尚、第１冷却手段（又は第２冷却手段）としてのペルチェ素子に代えて、放熱フィンを用いることができ、この場合、放熱フィンは照射硬化ハウジング２４の底壁２８の外側下面に取り付けられる。
【００７３】
熱伝導性支持部材としては、図９及び図１０に示すように構成することもできる。この熱伝導性支持部材７２は、第１の放電管組の複数本の直管蛍光放電管２６ａに関連して設けられるとともに、第２の放電管組の複数本の直管蛍光放電管２６ｂに関連して設けられる。即ち、片方の熱伝導性支持部材７２は、第１の放電管組の直管蛍光放電管２６ａの突出端部に対応して配置され、この熱伝導性支持部材７２の支持部材本体７４の上部には、第１の放電管組の各直管蛍光放電管２６ａに対応して接触受部７６が設けられ、これら直管蛍光放電管２６ａの突出端部が、図９に示すように、熱伝導性支持部材７２の接触受部７６に接触状態で受け入れられる。尚、第２の放電管組の直管蛍光放電管２６ｂの端部（図９において左側の端部であって、具体的にはこの端部が装着される第２ソケット２９）は、この片方の熱伝導性支持部材７２の内側に位置する。
【００７４】
また、他方の熱伝導性支持部材７２は、第２の放電管組の直管蛍光放電管２６ｂの突出端部に対応して配置され、この熱伝導性支持部材７２の支持部材本体７４の上部には、第２の放電管組の各直管蛍光放電管２６ｂに対応して接触受部７６が設けられ、これら直管蛍光放電管２６ｂの突出端部が、第１の放電管組と同様に、熱伝導性支持部材７２の接触受部７６に接触状態で受け入れられる。尚、第１の放電管組の直管蛍光放電管２６ａの端部（図９において右側の端部であって、具体的にはこの端部が装着される第１ソケット２７）は、この他方の熱伝導性支持部材７２の内側に位置する。
【００７５】
このように構成することによって、複数本の直管蛍光放電管２６ａ（及び２６ｂ）からの熱を一つの熱伝導性支持部材７２でもって照射硬化ハウジング２４の底壁２８に伝達し、この底壁２８から大気中に放熱することができ、簡単な構成の熱伝導性支持部材７２でもって複数本の直管蛍光放電管２６ａ（及び２６ｂ）を冷却することができる
図示の形態では、この支持部材本体７４は、熱伝導性シート７８を介して照射硬化ハウジング２４の底壁２８に取り付けられているが、このように構成することに代えて、直接的に照射硬化ハウジング２４に取り付けるようにしてもよい。
【００７６】
一対の熱伝導性支持部材７２は、第１及び第２放電管組の複数本の直管蛍光放電管２６ａ，２６ｂに関連して設けられ、それらの直管蛍光放電管２６ａ及び２６ｂの突出端部に対応して配置され、各直管蛍光放電管２６ａ及び２６ｂの突出端部が、対応する熱伝導性支持部材７２の接触受部７６に接触状態で受け入れられるので、直管蛍光放電管２６ａ及び２６ｂからの熱を一対の熱伝導性支持部材７２でもって照射硬化ハウジング２４の底壁２８に伝達し、この底壁２８から大気中に放熱（又は熱放散）することができ、簡単な構成の熱伝導性支持部材７２でもって複数本の直管蛍光放電管２６ａ及び２６ｂを冷却することができる。尚、この熱伝導性支持部材７２に関連して、ベルチェ素子、放熱フィンなどを設けることもできる。
【００７７】
再び図３及び図４に戻って、照射硬化ハウジング２４の上面開口部には、この上面開口を覆うための上蓋１０２が載置される。上蓋１０２は、照射硬化ハウジング２４の上面開口とほぼ等しい大きさの蓋本体１０４を備え、この蓋本体１０４の一側端部（図３において上側側端部）の内面には、図示しないＬ型位置付け部材が設けられ、この位置付け部材を上記上面開口の一側縁に当接することによって、この蓋本体１０４が照射硬化ハウジング２４の４側壁１０６，１０８，１１０，１１２の上端面に正しく載置される。上蓋１０２の載置状態においては、照射硬化ハウジング２４及び上蓋１０２が照射硬化空間１１４を規定し、かかる照射硬化空間１１４内に複数本の直管蛍光放電管２６（２６ａ，２６ｂ）及び被照射体２Ａが収容され、これら直管蛍光放電管２６（２６ａ，２６ｂ）からの紫外線が外部に漏れることがない。
【００７８】
上蓋１０２の蓋本体１０４の上面には、一対の取っ手部１０６が取り付けられ、これら取っ手部１０６を把持して上蓋１０２の取付け、取外しを容易に行うことができる。この蓋本体１０４も照射硬化ハウジング２４と同様に、アルミ材により、若しくは内面にアルミ蒸着層又はアルミ箔層を有する樹脂材などで形成され、このように構成することによって、上蓋１０２の内面を反射面として機能させることができる。かく構成することにより、複数本の直管蛍光放電管２６（２６ａ，２６ｂ）からの紫外線は、上蓋１０２の紫外線反射面に反射されて被照射体２Ａ側に向けられ、被照射体２Ａのシール剤８（図２参照）をより効果的に照射硬化することができる。
【００７９】
この形態では、また、直管蛍光放電管２６（２６ａ，２６ｂ）が点灯していることを表示する点灯表示部１２０（点灯表示器として機能する）が設けられている。照射硬化ハウジング２４の前側の側壁１０６に開口１２２が設けられ、この側壁１０６の内側に、開口１２２を塞ぐように透光性蛍光プレート１２４が設けられ、この透光性蛍光プレート１２４によって点灯表示部１２０が構成されている。複数個の直管蛍光放電管２６（２６ａ，２６ｂ）が点灯すると、これら直管蛍光放電管２６からの紫外線の一部が透光性蛍光プレート１２４を照射し、この紫外線が可視光に変換されて透光性蛍光プレート１２４を透過し、この透過光によって、外部から直管蛍光放電管２６が点灯していることを知ることができる。尚、このような点灯表示部１２０は、上蓋１０２に、或いは上蓋１０２と照射硬化ハウジング２４との間隙に設けるようにしてもよい。
【００８０】
この形態では、照射硬化ハウジング２４の下側に上述した制御系、即ち電源部１２６が設けられ、この電源部１２６内に複数本の直管蛍光放電管２６（２６ａ、２６ｂ）を点灯するための点灯制御系１３１及びファン制御系１３３（図７参照）が内蔵されている。また、照射硬化ハウジング２４の底壁２８の四個所には支持脚１３０（図３において二つのみ示す）が取り付けられ、これら支持脚１３０は、この電源部２６の四角部を貫通して下方に延びており、これら支持脚１３０を介して工場の机上面などに設置される。尚、製造ラインなどに設置して用いる場合には、支持脚１３０を省略し、下部ハウジング１２６をこの製造ライン下等に設置するようにすればよい。
【００８１】
この紫外線照射硬化装置２２を用いて被照射体２Ａ（例えば、太陽電池モジュール２）のシール剤８（図２参照）を硬化させるには、例えば、次の通りに行うことができる。主として図２、図３及び図４を参照して、まず図２に示すように、透明導電性ガラス基板４の上面の導電性側（作用極側）にシール剤８を所定のパターン形状に塗布し、このシール剤８の上面に非透明ガラス板６（対向電極側を透明導電性ガラス基板４に対向させて）を載置し、このようにして被照射体２Ａを準備する。
【００８２】
次いで、上蓋１０２を取り外し、準備した被照射体２Ａを照射硬化ハウジング２４内に収容された複数本の直管蛍光放電管２６（低圧水銀蒸気蛍光直管蛍光放電管）の上側に載置し、その後、上蓋１０２を取り付けて照射硬化ハウジング２４の上面開口を覆う。被照射体２Ａが色素増感太陽電池モジュールである場合、上述したように、直管蛍光放電管２６とこの太陽電池モジュール２との間に紫外線透過シート１４及び紫外線マスクガラス１１が介在される。
【００８３】
その後、複数本の直管蛍光放電管２６を点灯する。かくすると、直管蛍光放電管２６からの紫外線が、（色素増感型太陽電池モジュールの場合、紫外線透過シート１４及び紫外線マスクガラス１１を通過した後に）被照射体２Ａの透明導電性ガラス基板４を透過して照射され、この紫外線照射によってシール剤８が硬化され（色素部分については紫外線マスクガラス１１の非透過性マスク部１５によってガードされている）、このようにして透明導電性ガラス基板４と非透明ガラス板６との間のシール剤８が所定のパターン形状に重合硬化し，ガラス基板４とガラス板６とが上述したように固着される。直管蛍光放電管２６の照射時間は、タイマ手段１３５により設定され、例えば数秒程度（例えば、５〜１０秒程度）照射することによって、シール剤８を重合硬化させることができる。尚、照射硬化の後は、上蓋１０２を取り外して被照射体２Ａを取り出せばよい。
【００８４】
この紫外線照射硬化装置２２においては、複数本の直管蛍光放電管２６（面状光源）の上側に被照射体２Ａを載置するので、直管蛍光放電管２６と被照射体２Ａのシール剤８との間隔が短く、直管蛍光放電管２６からの紫外線が非常に有効に作用し、シール剤８を短時間（例えば、５〜１０秒程度）で所要の通りに硬化させることができる。
【００８５】
この紫外線照射硬化装置２２においては、複数本（１４本）の直管蛍光放電管２６からの紫外線による累積放射エネルギー及び照射エネルギーは、例えば、図１１に実線Ａ及びＢで示す通りであり、照射エネルギー（Ｂ）は脈動のない一定レベルとなり、累積放射エネルギーは時間の経過とともに増加する。そして、シール剤８の硬化エネルギーが破線（Ｃ）で示す通りであるとすると、直管蛍光放電管２６の点灯後約２秒経過した時点で累積放射エネルギーが硬化エネルギーを超えてシール剤８の硬化が始まり、累積放射エネルギーが図１０に示すように変化すると、５秒以上経過した時点でシール剤８の硬化が充分となり、例えば１０秒経過した時点て直管蛍光放電管２６の点灯を終了させて照射硬化を終了させることができる。
【００８６】
上述した実施形態の紫外線照射硬化装置は、次の特徴を有している。第１に、非照射体が面状光源に載置される構成であるので、面状光源と被照射体（具体的には、紫外線硬化剤）との間隔が短く、小さい照射エネルギー（放射エネルギー）でもって紫外線硬化剤を効果的に重合硬化することができる。
【００８７】
第２に、面状光源の上方空間が被照射体を取り扱うハンドリング空間となるので、照射硬化ハウジングの容積を小さくすることが可能となり、照射硬化ハウジングの小型化を達成することができると共に、この照射硬化ハウジング内に乾燥気化（例えば窒素ガス）を充填しようとする場合、その使用料を少なくすることができる。
【００８８】
第３に、複数の直管蛍光放電管が管長方向にずれて配設され、第１の放電管組においては一端側に突出し、第２の放電管組においては他端側に突出しているので、複数の直管蛍光放電管を実質上接触乃至近接して配設することができ、これによって複数の直管蛍光放電管を面状光源として用いることができる。
【００８９】
第４に、照射硬化ハウジング及び上蓋の内面に紫外線反射面が設けられているので、面状光源（複数の直管蛍光放電管）から下方若しくは水平方向に放射された紫外線は、照射硬化ハウジングの紫外線反射面により上方に反射され、更に上蓋の紫外線反射面により下方に反射され、かくして、面状光源から上方に放射される光と上述したように反射されて下方に放射される光によって、被照射体を両面から照射することができる。
【００９０】
第５に、この実施形態では、太陽電池モジュール２（透明導電性ガラス基板４及び非透明ガラス板６）の大きさは、３０ｃｍ×３０ｃｍのサイズであるが、この紫外線照射硬化装置はそれ以上のサイズ、例えば窓ガラスサイズの大型太陽電池モジュールに対しても、長尺の直管蛍光放電管を用いることによって、上述したと同様に紫外線硬化を行うことができる。
【００９１】
以上、本発明に従う紫外線照射硬化装置の実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変更乃至修正が可能である。
【００９２】
上述した実施形態では、太陽電池モジュールにおける透明導電性ガラス基板と非透明ガラス板との間のシール剤の硬化に適用して説明したが、本発明はこのような分野に限定されず、ベース部材への透明フィルムなどの密着、両面プリント基板への部品密着などへのシール剤の硬化にも同様に適用することがで、またシール剤のみならず、紫外線硬化用接着剤、紫外線硬化用感光剤の硬化にも同様に適用することができる。
【００９３】
また、上述した実施形態では、紫外線照射硬化装置を大気中で使用しているが、大気中の湿気が問題となるおそれがあるときには、乾燥気体（例えば、窒素ガス）雰囲気中で使用するようにすればよく、例えば、図１２に示すように構成することができる。図１２において、この紫外線照射硬化装置２２Ａでは、照射硬化ハウジング２４Ａの上面開口に対応して、上蓋１０２Ａにおける蓋本体１０４Ａの内面の外周部及び照射硬化ハウジング２４Ａの上面開口の外周部に、例えば柔軟なゴム製の密封シール２０２が設けられている。この密封シール２０２は、上蓋１０２Ａ側に、又は照射硬化ハウジング２４Ａ側に（具体的には、上面開口の開口部に）設けるようにしてもよい。
【００９４】
また、上蓋１０２Ａは複数（例えば２つ又は３つ程度）の蝶番（図示せず）（又は蝶ねじなど）を介して照射硬化ハウジング２４Ａに開閉自在に装着され、上蓋１０２Ａを開状態に保持すると、照射硬化ハウジング２４Ａの上面開口が開放され、硬化の際の被照射体（図示せず）の載置、また硬化後の被照射体の交換を行うことができ、またこの上蓋１０２Ａを閉状態に保持すると、照射硬化ハウジング２４Ａの上面開口が閉塞され、密閉シール２０２を介して照射硬化ハウジング２４Ａと上蓋２２Ａとの間が密封され、照射硬化空間（照射ハウジング２４Ａ及び上蓋１０２Ａによって規定される空間）が気密状態に保たれる。
【００９５】
この形態では、例えば、照射硬化ハウジング２４Ａの側壁１０６Ａ（図１２において前側の側壁１０６Ａ）に、乾燥気体（例えば、窒素ガス）を供給するための気体供給流路２０４の一部を規定するＬ型接続管２０５が接続されるとともに、乾燥気体を排出するための気体排出流路２０６の一部を規定するＬ型接続管２０７が接続される。気体供給流路２０４には、供給弁２０８が配設され、またこの供給弁２０８の上流側には乾燥気体を供給する気体供給源２１０が配設される。また、気体排出流路２０６には排出弁２１２が配設されている。供給弁２０８及び排出弁２１２は手動で開閉操作を行う手動式のもの（例えば、開閉コック付など）でもよく、或いは電動で開閉操作を行う電磁式のものでもよい。
【００９６】
このような紫外線硬化照射装置２２Ａにおいては、上蓋１０２Ａを閉状態に保持した状態において供給弁２０８及び排出弁２１２を開状態にすると、気体供給源２１０からの乾燥気体（例えば、窒素ガス）が気体供給流路２０４を通して照射硬化ハウジング２４Ａ内（即ち、照射硬化空間内）に供給される一方、照射硬化ハウジング２４Ａ内の気体が気体排出流路２０６を通して排出され、このようにして照射硬化ハウジング２４Ａ内の気体を乾燥気体に入れ替えて充満させることができる。そして、このように乾燥気体で満たした環境下において被照射体（図示せず）のシール剤（紫外線硬化剤）を硬化させることによって、湿気の影響を無くした状態でシール剤を硬化させることができる。尚、この場合、面状光源（例えば、直管蛍光放電管）の冷却については、照射吸気ハウジングの外面に冷却手段としての冷却フィン、ペルチェ素子などを設けることができる。
【００９７】
このように構成することによって、容易に理解されるように、従来の置換ボックス内に紫外線照射硬化装置を収納する場合に比して乾燥気体（例えば、窒素ガス）の使用量を大幅に減らすことができるとともに、取扱いのためのグローブなども不要となり、従来に比して極めて容易に照射硬化作業を行うことが可能となる。
また、上述した実施形態では、紫外線照射硬化装置を単独で用いているが、例えば太陽電池モジュールの製造設備の照射域に関連して用いることができる。例えば、太陽電池製造設備の搬送ラインに関連して紫外線照射硬化装置を設ける場合、例えば搬送ライン中に照射硬化ハウジング（内部に面状光源が配設される）を設け、この面状光源上を太陽電池モジュール（被照射体）を移動させるようにすればよく、このように構成したときには、太陽電池モジュールが面状光源上を移動する間にシール剤が、下方から照射される面状光源からの紫外線により硬化される。また、例えば、製造設備の搬送ラインの横側に紫外線照射硬化装置を設ける場合、この搬送ラインの外側に隣接して照射硬化ハウジング（内部に面状光源が配設されている）を設け、搬送ラインによって搬送される太陽電池モジュールを照射硬化ハウジング内の面状光源上に一時的に載置するようにすればよく、このように構成したときには、面状光源上に載置された状態にて面状光源からの紫外線によりシール剤が硬化される。
【００９８】
この太陽電池製造設備の照射硬化において湿気の影響をなくすには、例えば、次のように構成することができる。太陽電池モジュールを搬送するための搬送ユニットが搬送ラインの照射域を通して移動されるように構成される。この搬送ユニットは、開閉自在な密閉収容空間を規定し、この密閉収容空間に太陽電池モジュールが収容された後に、この密閉収容空間に乾燥気体（例えば、窒素ガス）が充填される。
【００９９】
この搬送ユニットは、紫外線を透過する紫外線透過性密閉空間を規定し、例えば、搬送ユニットの一部が紫外線透過性密閉空間を規定する場合、次のように構成される。即ち、この搬送ユニットの底壁には、紫外線を透過する紫外線透過部材が設けられ、搬送ラインの照射域においては、密閉空間内に乾燥気体が充填された状態にて、面状光源からの紫外線が下方から紫外線透過部材を通して太陽電池モジュールのシール剤に照射され、このように適用することによって、太陽電池製造設備に適用することができる。このように構成して搬送ユニットの紫外線透過性密閉収容空間の容積を小さくすることによって、簡単な構成でもって湿気の影響を無くしてシール剤を硬化させることができるとともに、乾燥気体（例えば、窒素ガス）の使用量を大幅に抑えることができる。
【０１００】
また、搬送ユニット全体が紫外線透過性密閉空間を規定する場合には、例えば、次のように構成することができる。即ち、紫外線を透過する材料から形成された密閉袋（気密状態に保つことができる袋）などを搬送ユニットとして用い、この密閉袋内に太陽電池モジュールなど（紫外線マスクガラスなどを含む）を収容した後に乾燥気体（例えば、窒素ガス）を充填し、かかる状態にて照射域にて面状光源からの紫外線を照射するようにすればよい。尚、この密閉袋を用いる方法は、搬送ユニット以外の照射硬化装置についても同様に適用できる。
【符号の説明】
【０１０１】
２  太陽電池モジュール
２Ａ  被照射体
４  透明導電性ガラス基板
６  被透明ガラス板
８  シール剤（紫外線硬化剤）
２２，２２Ａ  紫外線照射硬化装置
２４，２４Ａ  照射硬化ハウジング
２６，２６ａ，２６ｂ  直管蛍光放電管
３４，３８  冷却ハウジング
４２，４４  冷却ファン
５２，７２  熱伝導支持部材
６６，６８，９８，１００  ぺルチェ素子
１０２，１０２Ａ  上蓋
１４０  高周波インバータ
【図１】
0005979656.tif 000002
【図２】
0005979656.tif 000003
【図３】
0005979656.tif 000004
【図４】
0005979656.tif 000005
【図５】
0005979656.tif 000006
【図６】
0005979656.tif 000007
【図７】
0005979656.tif 000008
【図８】
0005979656.tif 000009
【図９】
0005979656.tif 000010
【図１０】
0005979656.tif 000011
【図１１】
0005979656.tif 000012
【図１２】
0005979656.tif 000013