(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板と、前記透明基板上に形成されるブラックマトリクス及び少なくとも２色のカラー樹脂パターンと、を備えるカラーフィルタ基板の製造方法であって、
前記透明基板に前記ブラックマトリクスを形成する第一ステップと、
前記透明基板に前記少なくとも２色の前記カラー樹脂パターンを形成する第二ステップと、を備え、
前記第二ステップが、前記透明基板に、前記カラー樹脂パターンに対応する色のカラー樹脂層を付着させるステップと、
前記透明基板の前記ブラックマトリクスが形成されている一側から、フォトマスクを利用して感光させながら、前記透明基板の前記ブラックマトリクスが形成されている側の対側から、前記フォトマスクを利用せずに感光させるステップと、を備え、
前記フォトマスクが、複数の透明部を備え、各透明部の端部には、半透明部が形成されていることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２】
前記半透明部の透明度が１０％〜９０％であることを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項３】
前記ブラックマトリクスが、間隔をあけて設置される複数の遮光部を備え、前記半透明部の長さが、前記遮光部の長さの二分の一より短いことを特徴とする、請求項１又は２に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項４】
前記半透明部が、前記ブラックマトリクスの隣接する２つの遮光部の間の上方に位置し、前記隣接する２つの半透明部の長さと前記隣接する２つの半透明部の間の透明部の長さとの総和が、前記隣接する２つ遮光部の間の距離に等しいことを特徴とする、請求項１から３の何れか一項に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項５】
前記半透明部が、前記ブラックマトリクスの遮光部の上方に位置し、前記隣接する２つの半透明部の長さと前記隣接する２つの半透明部の間の透明部の長さとの総和が、前記隣接する２つ遮光部の間の距離より長く、前記隣接する２つの半透明部の間の透明部の長さが、前記隣接する２つの遮光部の間の距離に等しいことを特徴とする、請求項１から３の何れか一項に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項６】
各半透明部の一部が、前記ブラックマトリクスの隣接する２つの遮光部の間の上方に位置し、前記半透明部の残部が、前記ブラックマトリクスの遮光部の上方に位置し、前記隣接する２つの半透明部の長さと前記隣接する２つの半透明部の間の透明部の長さとの総和が、前記隣接する２つ遮光部の間の距離より長く、前記隣接する２つの半透明部の間の透明部の長さが、前記隣接する２つの遮光部の間の距離より短いことを特徴とする、請求項１から３の何れか一項に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ基板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術において、液晶ディスプレイパネルのカラーフィルタ基板を製造する際、ブラックマトリクスがフォトマスクと位置ずれした場合、カラー樹脂層がブラックマトリクスに緊密に連接されず、液晶ディスプレイパネルは漏光したり又は混色現象が起こったりする。現在、パネルのサイズを変えないことを前提に、液晶ディスプレイパネルの解像度を向上させるには、ブラックマトリクスの光を遮断する箇所のサイズを小さくする必要がある。しかしこの際、ブラックマトリクスがフォトマスクと位置ずれてしまうことが多く、製品の品質を下げる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的は、上記問題を解決し、漏光又は混色現象が発生しないカラーフィルタ基板の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するために、本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法は、透明基板にブラックマトリクスを形成する第一ステップと、透明基板に少なくとも２色を備えるカラー樹脂パターンを形成する第二ステップと、を備え、第二ステップは、透明基板に、カラー樹脂パターンに対応する色のカラー樹脂層を付着させるステップと、透明基板のブラックマトリクスが形成されている一側から、フォトマスクを利用して感光させながら、透明基板のブラックマトリクスが形成されている側の反対側から、フォトマスクを利用せずに感光させるステップと、を備える。
【発明の効果】
【０００５】
本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法は、透明基板のブラックマトリクスが形成されている一側から、フォトマスクを利用して感光させながら、透明基板のブラックマトリクスが形成されている側の反対側から、フォトマスクを利用せずに感光させることによって、漏光又は混色現象の発生を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法によって製造されたカラーフィルタ基板を分解した状態を示す側面図である。
【図２】図１に示すカラーフィルタ基板のフォトマスクがブラックマトリクスと位置ずれしている状態で感光されている状態を示す側面図である。
【図３】図２に示す感光されたカラーフィルタ基板のカラー樹脂パターンを示す側面図である。
【図４】図１に示すカラーフィルタ基板の半透明部が遮光部の間の上方に位置する状態を示す側面図である。
【図５】図１に示すカラーフィルタ基板の半透明部が遮光部の上方にそれぞれ位置する状態を示す側面図である。
【図６】図１に示すカラーフィルタ基板の半透明部の一部が遮光部の間の上方、半透明部の残部が遮光部の上方にそれぞれ位置する状態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
図１〜図３に示したように、本発明の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法によって製造されるカラーフィルタ基板は、透明基板１と、透明基板１上に形成されているブラックマトリクス２と、少なくとも二色を備えるカラー樹脂層３と、を備える。カラーフィルタ基板の製造方法は以下のステップを備える。
【０００８】
ステップＳ１において、透明基板１上にブラックマトリクス２を形成する。透明基板１は、ガラス、石英又は透明樹脂などの材料から製造される。ブラックマトリクス２を形成する方法は、スパッタ法、蒸着法、又は被覆法などである。形成されたブラックマトリクス２は、透明基板１上に設置され、且つ同じ長さを有する複数の遮光部２０を備える。この複数の遮光部２０は、互いに間隔を開けて配置される。
【０００９】
ステップＳ２において、ブラックマトリクス２が形成された透明基板１上に少なくとも２色を備えるカラー樹脂パターンを形成する。各色のカラー樹脂パターンを形成するプロセスは、以下のステップを備える。
【００１０】
ステップａにおいて、ブラックマトリクス２が形成された透明基板１上に、カラー樹脂パターンに対応する色のカラー樹脂層３を付着させる。カラー樹脂層３はブラックマトリクス２上に形成される。
【００１１】
ステップｂにおいて、透明基板１の反対の両側から透明基板１を同時に感光させる。具体的には、透明基板１のブラックマトリクス２が形成されている一側から、フォトマスク４を利用して感光させながら、透明基板１の他側（即ち、ブラックマトリクス２が形成されている側に対して対向する側）から、フォトマスク４を利用せずに感光させる。次いで現像作業を行って、図３に示すように、対応する色のカラー樹脂パターン５を形成する。図１に示したように、本実施形態において、フォトマスク４は、複数の透明部４０を備える。
【００１２】
上記のように、透明基板１を両側から同時に感光させることによって、フォトマスク４とブラックマトリクス２との間に位置ずれが起こっても、形成されたカラーフィルタ基板における、漏光と混色現象の発生を回避できる。
【００１３】
図２に示したのは、フォトマスク４とブラックマトリクス２との間に大きな位置ずれが発生した場合、例えば、フォトマスク４がブラックマトリクス２の遮光部２０に対して、遮光部２０の長さの二分の一（Ｌ／２）だけ位置ずれした場合、フォトマスク４の各透明部４０は、隣接する２つの遮光部２０の間の部分と交差する。この状態で感光すると、隣接する２つの遮光部２０の内、一つの遮光部２０に隣接する一部分（例えば、図２に示すＡ部分）は、対向する両方向から強力に照射され、カラー樹脂層３は照射によって遊離基反応を発生し、現像作業の後、該Ａ部分に隣接する遮光部２０のフォトマスク４に遮断される部分にも、カラー樹脂パターンが形成される。また、他方の遮光部２０の上方にある残部の部分（例えば、図２に示すＢ部分）は、上方から照射されるので、現像作業の後、該他方の遮光部２０の上面にも、カラー樹脂パターンが形成される。以上により、図３に示したように、隣接する遮光部２０の間にも、隣接する遮光部２０の上面にもカラー樹脂が形成されて、カラー樹脂パターン５が形成されるので、漏光及び混色現象を回避できる。
【００１４】
本発明の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法に係るフォトマスク４及びブラックマトリクス２の位置ずれ誤差は下表に示される。ブラックマトリクス２の遮光部２０の長さは３〜１０μｍであり、フォトマスク４が位置ずれする長さはブラックマトリクス２の各遮光部２０の長さＬの二分の一（Ｌ／２）より短い。
【００１５】
【表１】
0005940627.tif 000002
【００１６】
図４に示したように、他の実施形態において、フォトマスク４の透明部の端部には半透明部４１が形成され、この半透明部４１は、ブラックマトリクス２上のカラー樹脂パターン５の厚さを制限するために用いられる。半透明部４１の透明度は１０％〜９０％であるが、３０％〜７０％が望ましい。
【００１７】
半透明部４１は、ブラックマトリクス２の隣接する２つの遮光部２０の間の上方に位置する。隣接する２つの半透明部４１の長さとその間の透明部４０の長さとの総和は、隣接する２つ遮光部２０の間の距離に等しい。従って、感光光線は半透明部４１を通過して透明基板１を透過する。
【００１８】
図５に示したように、他の実施形態において、半透明部４１はブラックマトリクス２の遮光部２０の上方に位置する。隣接する２つの半透明部４１の長さとその間の透明部４０の長さとの総和は、隣接する２つ遮光部２０の間の距離より長い。また、隣接する２つの半透明部４１の間の透明部４０の長さは、隣接する２つの遮光部２０の間の距離に等しい。従って、半透明部４１を透過する感光光線は、遮光部２０に遮断される。
【００１９】
図６に示したように、他の実施形態において、各半透明部４１の一部は、ブラックマトリクス２の隣接する２つの遮光部２０の間の上方に位置し、半透明部の残部はブラックマトリクス２の遮光部２０の上方に位置する。隣接する２つの半透明部４１の長さと、その間の透明部４０の長さとの総和は、隣接する２つ遮光部２０の間の距離より長い。また、隣接する２つの半透明部４１の間の透明部４０の長さは、隣接する２つの遮光部２０の間の距離より短い。従って、半透明部４１を透過する感光光線の一部は、透明基板１を透過し、感光光線の残部は遮光部２０に遮断される。しかし、各半透明部４１の半分が対応する遮光部２０の上方に位置し、残りの半分が隣接する２つの遮光部２０の間の上方に位置するのが望ましい。
【００２０】
半透明部４１の長さとブラックマトリクス２の各遮光部２０の長さとの関係は以下の表２に示される。半透明部４１の長さは、遮光部２０の長さの二分の一より短い又は遮光部２０の長さの二分の一に等しい。表２に示す長さの単位はμｍである。
【００２１】
【表２】
0005940627.tif 000003
【符号の説明】
【００２２】
１  透明基板
２  ブラックマトリクス
３  カラー樹脂層
４  フォトマスク
５  カラー樹脂パターン
２０  遮光部
４０  透明部
４１  半透明部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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