(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記剥離シートの他方の面側から当該剥離シートを貫通するとともに、前記接着シートの繰出方向先端部外縁のみを複数回跨ぐ形状の切込を形成する剥離シート切込手段とを備え、
前記接着シートは、前記剥離シートの幅よりも小さい先端を有する形状に設けられ、
前記切込は、当該切込の内側に前記接着シートの先端の全部が位置する形状に設けられていることを特徴とするシート製造装置。
【請求項２】
前記剥離シート切込手段は、閉ループ状の切込を形成することを特徴とする請求項１記載のシート製造装置。
【請求項３】
帯状の剥離シートの一方の面に、当該剥離シートの幅よりも小さい先端を有する接着シートが接着剤層を介して仮着された原反を繰り出す工程と、
前記剥離シートの他方の面側から当該剥離シートを貫通するとともに、前記接着シートの繰出方向先端部外縁のみを複数回跨ぐ形状の切込であって、当該切込の内側に前記接着シートの先端の全部が位置する形状の切込を形成する工程とを行うことを特徴とするシート製造方法。
【請求項４】
接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記剥離シートを折り返して当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記剥離手段より前記接着シートの繰出方向上流側に、前記剥離シートの他方の面側から当該剥離シートを貫通するとともに、前記接着シートの繰出方向先端部外縁のみを複数回跨ぐ形状の切込を形成する剥離シート切込手段と、前記切込の内側に形成された剥離シート部分を前記接着剤層から離間させ、当該切込の内側の接着剤層部分を表出させる表出手段とを備え、
前記接着シートは前記剥離シートの幅よりも小さい先端を有する形状に設けられ、
前記切込は、当該切込の内側に前記接着シートの先端の全部が位置する形状に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート製造装置及び製造方法、並びに、シート貼付装置に係り、更に詳しくは、接着シートの剥離シートからの剥離不良を防止することができるシート製造装置及び製造方法、並びに、シート貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）及びその外周側に配置されたリングフレームを含む被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されている。（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１のシート貼付装置は、剥離シートに接着剤層を介して仮着された帯状シートに閉ループ状の切込を形成する切込形成手段と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離する剥離板と、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１は、帯状シートを剥離板で急激に折り返し、接着シートの剛性を利用して剥離シートから接着シートを剥離し、プレスローラでウエハ及びリングフレームに押圧する構成であるため、接着シートが薄く低剛性であったり、接着剤層の接着力が強かったりした場合、剥離板で剥離シートを急激に折り返しても、接着シートは剥離シートから剥離されることなく剥離シートと共に折り返されて剥離板を通過してしまう。このため、接着シートの貼付を行えなくなる、という不都合が発生する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明の目的は、接着シートの剥離を確実に行うことができるシート製造装置及び製造方法、並びに、接着シートの貼付を良好に行うことができるシート貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明に係るシート製造装置は、接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記剥離シートの他方の面側から当該剥離シートを貫通するとともに、前記接着シートの繰出方向先端部外縁のみを複数回跨ぐ形状の切込を形成する剥離シート切込手段とを備え、
前記接着シートは前記剥離シートの幅よりも小さい先端を有する形状に設けられ、
前記切込は、当該切込の内側に前記接着シートの先端の全部が位置する形状に設けられる、という構成を採っている。
前記シート製造装置における前記剥離シート切込手段は、閉ループ状の切込を形成するように構成することができる。
【０００７】
また、本発明のシート製造方法は、帯状の剥離シートの一方の面に、当該剥離シートの幅よりも小さい先端を有する接着シートが接着剤層を介して仮着された原反を繰り出す工程と、前記剥離シートの他方の面側から当該剥離シートを貫通するとともに、前記接着シートの繰出方向先端部外縁のみを複数回跨ぐ形状の切込であって、当該切込の内側に前記接着シートの先端の全部が位置する形状の切込を形成する工程とを行う、という方法を採っている。
【０００８】
更に、本発明のシート貼付装置は、接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記剥離シートを折り返して当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記剥離手段より前記接着シートの繰出方向上流側に、前記剥離シートの他方の面側から当該剥離シートを貫通するとともに、前記接着シートの繰出方向先端部外縁のみを複数回跨ぐ形状の切込を形成する剥離シート切込手段と、前記切込の内側に形成された剥離シート部分を前記接着剤層から離間させ、当該切込の内側の接着剤層部分を表出させる表出手段とを備え、
前記接着シートは前記剥離シートの幅よりも小さい先端を有する形状に設けられ、
前記切込は、当該切込の内側に前記接着シートの先端の全部が位置する形状に設けられる、という構成を採っている。
【０００９】
本発明のシート貼付装置において、前記接着剤層が表出した接着シート部分より、前記接着シート部分を剥離シートから剥離する方向へ付勢する付勢手段を備える、という構成も好ましくは採用される。
【００１０】
また、本発明のシート貼付方法は、接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す工程と、
前記剥離シートの他方の面側から当該剥離シートを貫通するとともに、前記接着シートの繰出方向先端部外縁を跨ぐ切込を形成する工程と、
前記切込の内側に形成された剥離シート部分を前記接着剤層から離間させ、当該切込の内側の接着剤層部分を表出させる工程と、
前記剥離シートを折り返して当該剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを備える、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、剥離シートの他方の面側から当該剥離シートを貫通し、接着シートの繰出方向先端部外縁を跨ぐ切込を形成することで、接着シートが剥離シートに仮着された状態で、当該接着シートの接着剤層を予め部分的に表出可能となる。この表出した部分を先端側として原反を繰り出しながら、剥離手段により剥離シートを折り返して接着シートを剥離することで、当該剥離シートと共に接着シートの繰出方向先端部が折り返されることを回避することが可能となる。これにより、接着シートの剛性が低かったり接着シートの接着力が強くても、接着シートの剥離シートからの剥離不良を防止でき、ひいては、被着体への貼付不良を防止することができる。また、切込の内側のシートを指で押し上げて剥離のきっかけにすることもできる。
【００１２】
また、付勢手段を有する場合、接着シートの剥離不良をより良く防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（Ａ）は、実施形態に係るシート貼付装置の概略側面図、（Ｂ）は、前記シート貼付装置の部分平面図、（Ｃ）及び（Ｄ）は、変形例に係る付勢手段の説明図。
【図２】（Ａ）及び（Ｂ）は、変形例に係る剥離シート用切込の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１（Ａ）を正規の方向から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、手前、奥方向が紙面に直交する方向とする。
【００１５】
図１（Ａ）及び（Ｂ）において、シート貼付装置１０は、接着剤層ＡＤを有する帯状シートＷＳが当該接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに接着シート用切込ＳＣを形成し、当該切込ＳＣの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＳＣの外側に不要シートＵＳを形成する切込形成手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、剥離シートＲＬの他方の面側から剥離シートＲＬを貫通するとともに、接着シートＡＳの繰出方向先端部外縁を跨ぐ閉ループ状の切込ＲＣを形成する剥離シート切込手段１８と、切込ＲＣの内側に形成された剥離シート部分としての除去シートＪＳを接着剤層ＡＤから離間させ、切込ＲＣの内側の接着シートＡＳの接着剤層部分を表出させる表出手段１９と、剥離シートＲＬを折り返して接剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板２１と、接着シートＡＳを被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ２２とを備えて構成されている。
【００１６】
前記繰出手段１４は、原反ＲＳを巻回して支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて剥離板２１を経た後の原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ２７及びピンチローラ２８と、これらを通過した後の原反ＲＳを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸２９とを備えている。駆動ローラ２７は、駆動機器としての回動モータＤＭ１を介して回転可能に設けられている。繰出手段１４は、原反ＲＳを間欠送りするように図示しない制御手段によって制御されている。
【００１７】
前記切込形成手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側に配置されたダイプレート３０と、このダイプレート３０を上下方向に移動可能な駆動機器としての直動モータＬＭ１と、原反ＲＳを間に挟んでダイプレート３０と対向配置され、ダイプレート３０の押圧力を受け止める受け台３１とを備えて構成されている。ダイプレート３１は、閉ループ状の切断刃３２を備え、帯状シートＷＳにリングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の接着シート用切込ＳＣを形成可能に設けられている。
【００１８】
前記巻取手段１６は、切込形成手段１５により接着シート用切込ＳＣを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ３４と、剥離ローラ３４を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸３５とを備えて構成されている。巻取軸３５は、駆動機器としての回動モータＤＭ２を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。
【００１９】
前記剥離シート切込手段１８は、繰り出される原反ＲＳの剥離シートＲＬ側に配置されたダイプレート３８と、このダイプレート３８を上下方向に移動可能な駆動機器としての直動モータＬＭ２と、原反ＲＳを間に挟んでダイプレート３８と対向配置され、ダイプレート３８の押圧力を受け止める受け台３９とを備えて構成されている。ダイプレート３８は、閉ループ状の切断刃４０を備え、剥離シートＲＬに接着シート用切込ＳＣより径寸法が小さい略円形の剥離シート用切込ＲＣを形成可能に設けられている。
【００２０】
前記表出手段１９は、粘着テープ４４を巻回して支持する支持ローラ４２と、粘着テープ４４を図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取ローラ４３と、支持ローラ４２及び巻取ローラ４３間に設けられ、押圧部材４８を介して粘着テープ４４を剥離シートＲＬ側に押圧可能な駆動機器としてのエアシリンダ４６と、原反ＲＳの帯状シートＷＳ側に配置され、押圧部材４８の押圧力を受け止めるプレート４７とを備えている。
【００２１】
次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。
なお、図１（Ｂ）では、帯状シートＷＳに格子模様、剥離シートＲＬに網点模様としたが、これは帯状シートＷＳと剥離シートＲＬとを見分けし易くするため、便宜上付したに過ぎないものである。
【００２２】
まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳをダイプレート３０と受け台３１との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ３４に掛け回した後、そのリード端を巻取軸３５に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板２１の先端で折り返して駆動ローラ２７とピンチローラ２８との間を通過させ、そのリード端を巻取軸２９に固定する。
【００２３】
そして、切込形成手段１５が直動モータＬＭ１を駆動し、ダイプレート３０を原反ＲＳに向かって下降させた後上昇させる。これにより、切断刃３２によって基材シートＢＳを貫通し、剥離シートＲＬを貫通しない接着シート用切込ＳＣが形成され、帯状シートＷＳが接着シート用切込ＳＣの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。その後、繰出手段１４が回動モータＤＭ１を駆動し、原反ＲＳを繰り出すと、不要シートＵＳは、剥離ローラ３４で剥離シートＲＬから剥離されて巻取軸５１に巻き取られ、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳは、剥離シート切込手段１８方向へ送られる。
【００２４】
接着シートＡＳの繰り出し方向先端部（左端部）が平面視で切断刃４０の中央に達したことが図示しない検知手段によって検知されると、繰出手段１４が回動モータＤＭ１の駆動を停止し、原反ＲＳの繰り出しを停止させ、剥離シート切込手段１８が直動モータＬＭ２を駆動し、ダイプレート３８を原反ＲＳに向かって上昇させた後下降させる。これにより、切断刃４０によって、接着シートＡＳの繰出方向先端部外縁を跨ぐ領域の剥離シートＲＬに剥離シートＲＬを貫通し、基材シートＢＳを貫通しない剥離シート用切込ＲＣが形成され、剥離シートＲＬが剥離シート用切込ＲＣの内側の除去シートＪＳと、剥離シート用切込ＲＣの外側の剥離シートＲＬ１とに区分される。
【００２５】
その後、繰出手段１４が回動モータＤＭ１を駆動し、原反ＲＳを繰り出し、除去シートＪＳがプレート４７の下方に達したことが図示しない検知手段によって検知されると、回動モータＤＭ１の駆動を停止し、原反ＲＳの繰り出しを停止させる。そして、表出手段１９がエアシリンダ４６を駆動し、押圧部材４８を上昇させて除去シートＪＳに粘着テープ４４を押圧して接着した後、押圧部材４８を下降させて図示しない駆動機器を駆動し、巻取ローラ４３で粘着テープ４４を巻き取ることにより、接着シートＡＳから除去シートＪＳを離間して原反ＲＳから除去シートＪＳを除去する。これにより、接着シートＡＳの繰り出し方向先端部において接着剤層ＡＤが表出することとなる。そして、繰出手段１４が回動モータＤＭ１を駆動し、原反ＲＳを繰り出し、表出した接着剤層ＡＤが剥離板２１の先端に達したことが図示しない検知手段によって検知されると、繰出手段１４が回動モータＤＭ１の駆動を停止する。
【００２６】
次いで、リングクレームＲＦとウエハＷＦとが支持されたテーブル１１が、直動モータ１２により剥離板２１の下方を右側から左側に搬送され、所定の位置に到達したことが図示しない検知手段によって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して繰出手段１４が回動モータＤＭ１を駆動し、原反ＲＳを繰り出し、剥離板２１の先端で剥離シートＲＬ１が折り返されて当該剥離シートＲＬ１から接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ２２による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。
【００２７】
従って、このような実施形態によれば、除去シートＪＳを形成し、接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板２１の先端に到達する前に当該除去シートＪＳを除去するので、接着シートＡＳの剛性が低かったり接着剤層ＡＤの接着力が強くても、接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板２１で接着シートＡＳが剥離されずに剥離シートＲＬと共に折り返されることを回避でき、接着シートＡＳの剥離シートＲＬからの剥離不良や、ウエハＷＦ等への貼付不良を防止することができる。
【００２８】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２９】
例えば、前記シート貼付装置１０の剥離板２１及び押圧ローラ２２を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。
同装置によれば、前記実施形態と同様に剥離シート切込手段１８によって剥離シートＲＬに剥離シート用切込ＲＣを形成し、表出手段１９によって当該切込ＲＣの内側に形成された除去シートＪＳを除去した後、繰出手段１４によって接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを巻取軸２９に巻回して巻き取る。巻取軸２９に巻き取られた原反ＲＳは、必要に応じて切込形成手段を有しないシート貼付装置等で利用したり、接着シートＡＳを人手で被着体に貼付したりすることができる。接着シートＡＳを人手で被着体に貼付する場合、剥離シート用切込ＲＣの内側の接着シートＡＳを指で押し上げて剥離のきっかけにすることもできる。
また、シート製造装置は、表出手段１９を省略することができ、除去シートＪＳを除去せず、剥離シートＲＬに剥離シート用切込ＲＣが形成された原反ＲＳを繰出手段１４によって巻取軸２９に巻回して巻き取る構成としてもよい。これにより、除去シートＪＳを除去することで表出する接着シートＡＳの接着剤層ＡＤに塵埃などの不純物が付着したり、当該接着剤層ＡＤが基材シートＢＳに接着したりすることを防止することができる。
【００３０】
また、シート貼付装置１０及びシート製造装置は、切込形成手段１５を剥離シート切込手段１８や、表出手段１９よりも原反ＲＳの繰出方向下流側に設けてもよく、剥離シート用切込ＲＣを形成してからや、除去シートＪＳを除去してから接着シート用切込ＳＣを形成してもよい。更に、シート貼付装置１０及びシート製造装置は、予め他の装置によって、帯状シートＷＳに所定の間隔を隔てて所定形状の接着シート用切込ＳＣが形成され、当該切込ＳＣの内側に接着シートＡＳが形成されるとともに、当該切込ＳＣの外側に不要シートＵＳが形成された原反を利用する場合、切込形成手段１５を省略することができ、不要シートＵＳが剥離シートＲＬから剥離され、剥離シートＲＬに接着シートＡＳのみが仮着された原反を利用する場合、巻取手段１６を更に省略することができる。
【００３１】
また、シート貼付装置１０は、予め他の装置によって、帯状シートＷＳに所定の間隔を隔てて所定形状の接着シート用切込ＳＣが形成され、当該切込ＳＣの内側に接着シートＡＳが形成されるとともに、当該切込ＳＣの外側に不要シートＵＳが形成された原反を利用する場合であっても、前記巻取手段１６を省略することができ、剥離シートＲＬ１と共に不要シートＵＳを巻取軸２９に巻回して巻き取る構成としてもよい。
【００３２】
更に、図１（Ｃ）に示されるように、剥離板２１の先端側から接着シートＡＳに向かって気体を噴出可能な付勢手段５０を設けてもよい。この付勢手段５０によれば、除去シートＪＳが除去された剥離シート用切込ＲＣの内部を通じて接着シートＡＳに気体を噴出可能となり、剥離板２１の先端で接着シートＡＳが剥離される直前に、その繰り出し方向先端部を剥離シートＲＬから剥離する方向へ付勢することができる。これにより、接着シートＡＳの剥離不良をより良く防止できる他、剥離シート用切込ＲＣの内側に表出する接着剤層ＡＤが剥離板２１に接触することを防ぐことが可能となる。
【００３３】
また、図１（Ｄ）に示されるように、剥離板２１の先端側に向かって気体を吹き付け可能なノズル等を含む付勢手段５１を設けてもよい。この付勢手段５１によれば、剥離シート用切込ＲＣの内部を通じ、剥離板２１先端を通過した直後の接着シートＡＳにおける繰り出し方向先端部に気体を噴出し、当該先端部を剥離シートＲＬから剥離する方向へ付勢することができる。これにより、除去シートＪＳを除去しない場合に比べ、剥離板２１先端で折り返される剥離シートＲＬの厚さ分、付勢力を付与する位置を剥離板２１先端に近付けることができ、接着シートＡＳの剥離不良をより良く防止可能となる。しかも、接着シートＡＳを押圧ローラ２２に沿うように付勢可能となり、接着シートＡＳのウエハＷＦ等への貼付不良も回避することができる。
【００３４】
更に、切断刃３２の平面形状は、帯状シートＷＳに接着シート用切込ＳＣを形成して当該切込ＳＣの内側を接着シートＡＳとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能である。
また、切断刃４０の平面形状は、接着シートＡＳの繰出方向先端部外縁を跨ぐ領域の剥離シートＲＬに剥離シート用切込ＲＣを形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の各形状等に変更可能である。また、閉ループ状のもの以外に、図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、Ｃ字形状、Ｕ字形状、Ｍ字形状、Ｗ字形状、Ｖ字形状等、種々の変更が可能である。この場合、表出手段１９は、前記実施形態のように除去シートＪＳを除去することなく、例えば、Ｕ字の端部を結ぶ直線部を折り曲げる構成とすればよい。また、剥離シート用切込ＲＣを複数形成するように構成してもよい。
【００３５】
また、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよい。
【００３６】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００３７】
更に、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。
【００３８】
また、接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に設けられる中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよいし、基材シートＢＳを有さない接着剤層ＡＤ単体のものでもよい。
【００３９】
更に、切断手段は、ロータリーカッタやレーザーカッタ等で構成してもよい。
【００４０】
また、切込形成手段１５、剥離シート切込手段１８、表出手段１９、剥離板２１での停止のタイミングが異なる場合、それらの繰出方向上流や下流側に、例えば、上下方向に駆動して原反ＲＳの繰り出しと、その停止を同時に行えるバッファ手段を設けてもよい。
【符号の説明】
【００４１】
１０  シート貼付装置
１４  繰出手段
１５  切込形成手段
１８  剥離シート切込手段
１９  表出手段
２１  剥離板（剥離手段）
２２  押圧ローラ（押圧手段）
５０、５１  付勢手段
ＡＤ  接着剤層
ＡＳ  接着シート
ＢＳ  基材シート
ＪＳ  除去シート
ＲＣ  剥離シート用切込
ＲＦ  リングフレーム（被着体）
ＲＬ、ＲＬ１  剥離シート
ＲＳ  原反
ＳＣ  接着シート用切込
ＷＦ  半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ  帯状シート
【図１】
0006054616.tif 000002
【図２】
0006054616.tif 000003