(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
断面視で平行四辺形または菱形を呈する線状体を並べて配置して、フィルム状物を搬送する搬送面を形成し、
前記搬送面に、流体を噴出して前記フィルム状物を浮揚させる複数の開口部が設けられており、
前記搬送面は、前記フィルム状物の幅方向中央に対応して搬送方向に延びる中央領域と、幅方向において前記中央領域の両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域と、を有してなり、
前記開口部として、前記一対の脇領域にそれぞれ複数設けられて前記中央領域に向けて流体を面方向に噴出する脇開口部を備えることを特徴とする、
浮揚搬送装置。
【請求項２】
前記線状体には、側部に複数の切欠きが形成されており、
前記切欠きを前記開口部とすることを特徴とする、
請求項１に記載の浮揚搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムや、金属箔、織物、紙、テープ、粘着テープなどのフィルム状の物体、あるいはガラス板（液晶用ガラス基板など）や金属板の板状物（シリコン基板やプリント基板なども含む）、更には板厚の厚めの物体（以下、これらをまとめて単にフィルム状物という。）を流体によって浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、フィルム状物をエアなどの流体によって浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この浮揚搬送装置は、ワイヤ等の線状体を巻き付けることで形成された搬送面を備えている。この搬送面には、流体を噴出する複数の開口部が、線状体同士の間に形成されている。この浮揚搬送装置によれば、開口部から流体が噴出するので、フィルム状物を浮揚させつつ搬送できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０８−２４５０２８号公報（図１、図１４参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、取付機械精度が悪かったりフィルム状物の精度が悪かったりすることを原因としてフィルム状物が蛇行することを防止した浮揚搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）本発明は、断面視で平行四辺形または菱形を呈する線状体を並べて配置して、フィルム状物を搬送する搬送面を形成し、前記搬送面に、流体を噴出して前記フィルム状物を浮揚させる複数の開口部が設けられていることを特徴とする、浮揚搬送装置である。
【０００６】
（２）本発明はまた、前記線状体には、側部に複数の切欠きが形成されており、前記切欠きを前記開口部とすることを特徴とする、上記（１）に記載の浮揚搬送装置である。
【０００７】
（３）本発明はまた、前記搬送面は、前記フィルム状物の幅方向中央に対して搬送方向に延びる中央領域と、幅方向において前記中央領域の両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域と、を有してなり、前記開口部として、前記一対の脇領域にそれぞれ複数設けられて前記中央領域に向けて流体を面方向に噴出する脇開口部を備えることを特徴とする、上記（１）または（２）に記載の浮揚搬送装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の上記（１）〜（３）に記載の浮揚搬送装置によれば、線状体を所望の姿勢で配置して搬送面を形成しておくことで、フィルム状物が蛇行することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す浮揚搬送装置の部分拡大斜視図であり、（Ｃ）は（Ａ）に示す搬送面の断面図である。
【図２】ワイヤを架け渡す補強部材の例を示す外観斜視図である。
【図３】（Ａ）は図１に示す搬送面の分解斜視図であり、（Ｂ）は当該搬送面の断面図である。
【図４】（Ａ）は図１に示す搬送面の分解斜視図であり、（Ｂ）は当該搬送面の断面図である。
【図５】（Ａ）は第１実施形態の一つ目の変形例に係る浮揚搬送装置の部分拡大斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す搬送面の断面図である。
【図６】（Ａ）は第１実施形態の二つ目の変形例に係る浮揚搬送装置の部分拡大斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す搬送面の断面図である。
【図７】図１に示す浮揚搬送装置の正面図等であり、（Ａ）〜（Ｃ）はフィルム状物の定常状態を示し、（Ｄ）はフィルム状物が蛇行した状態を示す。
【図８】図１に示す浮揚搬送装置を適用した乾燥システムに係る概略構成図である。
【図９】図１に示す浮揚搬送装置を適用した洗浄システムに係る概略構成図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｅ）は、本発明の第２〜第６実施形態に係る浮揚搬送装置における搬送面の断面図である。
【図１１】（Ａ）は本発明の第７実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す浮揚搬送装置の側面図である。
【図１２】（Ａ）および（Ｂ）は、本発明の第８および第９実施形態に係る浮揚搬送装置における搬送面の断面図である。
【図１３】本発明の第１０実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図である。
【図１４】本発明の第１１実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図である。
【図１５】（Ａ）は本発明の第１２実施形態に係る浮揚搬送装置の正面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す浮揚搬送装置の側面図である。
【図１６】本発明の第１３実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して、本発明の第１〜第１３実施形態に係る浮揚搬送装置について詳細に説明する。
【００１１】
［第１実施形態］まず、図１〜図６を用いて第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０の構成について説明する。図１（Ａ）は、浮揚搬送装置１０の外観斜視図である。図１（Ｂ）は、浮揚搬送装置１０の部分拡大斜視図である。図１（Ｃ）は、搬送面１５の断面図である。図２は、ワイヤ１６，１７を架け渡す補強部材１９の例を示す外観斜視図である。図３（Ａ）は、搬送面１５の分解斜視図であり、図３（Ｂ）は、当該搬送面１５の断面図である。図４（Ａ）は、搬送面１５の分解斜視図であり、図４（Ｂ）は、当該搬送面１５の断面図である。図５（Ａ）は、第１実施形態の一つ目の変形例に係る浮揚搬送装置１０の部分拡大斜視図である。図５（Ｂ）は、図５（Ａ）に示す搬送面１５の断面図である。図６（Ａ）は、第１実施形態の二つ目の変形例に係る浮揚搬送装置１０の部分拡大斜視図である。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）に示す搬送面１５の断面図である。なお、各図において、図面の簡略化のため、一部の構成の図示を適宜省略する。
【００１２】
図１に示す浮揚搬送装置１０は、所定の幅を有する一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、走行するフィルム状物Ｆ１の途中に配置される。この浮揚搬送装置１０は、ブロア装置１１で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物Ｆ１に噴き付ける。フィルム状物Ｆ１は、エアチャンバ１２における幅方向の中心に全体に満たされるように配置される。浮揚搬送装置１０は、本体となるエアチャンバ１２と、このエアチャンバ１２にブロア装置１１からのエアを供給する一対の供給管１３，１４と、を備えている。なお、フィルム状物Ｆ１を走行させる駆動源（図示省略）としては、ＢＥＬＬＭＡＴＩＣ株式会社（東京都西多摩郡瑞穂町）が市販するサクションローラなどを採用できる。以下、浮揚搬送装置１０の各構成について説明する。
【００１３】
エアチャンバ１２は、断面視でかまぼこ型をなす長尺形を呈する金属製である。ただし、エアチャンバ１２は、金属製であることに限定されず、ポリ塩化ビニル製、ポリエチレン製、ポリプロピレン製などであってもよい。これらの場合、後述する第２の用途例のように水溶液中で用いるときに腐食しない。このエアチャンバ１２は、両側面に設けられた一対の供給口（図示省略）と、フィルム状物Ｆ１を搬送する搬送面１５と、を備えている。
【００１４】
一対の供給口には、それぞれ、供給管１３または１４が接続される。エアチャンバ１２内には、一対の供給管１３，１４を通じて一対の供給口から、ブロア装置１１で圧縮されたエアが供給される。なお、供給口の一方を蓋などで閉塞して、一方の供給管１３または１４を通じてエアの供給を受けるようにしてもよい。例えば、供給管１３が接続される供給口を蓋などで閉塞して、供給管１４を通じてエアの供給を受けるようにしてもよい。
【００１５】
搬送面１５は、ワイヤ１６または１７を補強部材１９（図２参照）に巻回することで形成される。すなわち、搬送面１５を含めたエアチャンバ１２の表面は、補強部材１９にワイヤ１６，１７を巻き付けること（並べて配置すること）で形成される。ワイヤ１６，１７は、ＳＵＳ（ステンレス）やＡｌ（アルミニウム）等の金属、あるいはプラスチックからなる線状体である。これらワイヤ１６，１７は、接着剤（図示省略）により、半田により、ロー付により、あるいは、機械的に固定される。
【００１６】
補強部材１９としては、図２に示すように、複数の通気孔（符号省略）が形成された金属筒が適用できる。複数の通気孔は、ドリルによって穿孔される。これら複数の通気孔の直径は、特に限定されないが、１ｍｍ以上２０ｍｍ以下であることが好ましい。なお、金属筒の形状は、チャンバの形状に応じて適宜変更できる。また、補強部材１９の材質は、金属に限定されず、他の材質であってもよい。
【００１７】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、ワイヤ１６は、断面視で正方形等の矩形を呈する。ワイヤ１６の側部には、上下方向（図３（Ａ）および図３（Ｂ）における上下方向）に延びる複数の切欠き１６ａが、互いに所定の間隔をおいて形成されている。これら複数の切欠き１６ａは、機械加工、エッチング、またはサンドブラスト等によって形成される。詳しくは後述するが、複数の切欠き１６ａは、面方向に対する直角方向にエアを噴出してフィルム状物Ｆ１を浮揚させる開口部として機能する。なお、ワイヤ１６の厚みと幅は、特に限定されないが、厚みが０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましく、幅が０．５ｍｍ以上１００ｍｍ以下であることが好ましい。また、各切欠き１６ａの形状は、特に限定されないが、Ｖ字形、Ｕ字形、半円形、半円弧形、角形等が挙げられる。
【００１８】
図４（Ａ）および図４（Ｂ）に示すように、ワイヤ１７は、断面視で菱形を呈する。ワイヤ１７の側部には、上下方向（図４（Ａ）および図４（Ｂ）における上下方向）に延びる複数の切欠き１７ａが、互いに所定の間隔をおいて形成されている。これら複数の切欠き１７ａは、機械加工、エッチング、またはサンドブラスト等によって形成される。詳しくは後述するが、複数の切欠き１７ａは、搬送面１５の面方向にエアを噴出してフィルム状物Ｆ１を浮揚させる開口部として機能する。なお、ワイヤ１７の幅は、特に限定されないが、各辺が０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下となる幅であることが好ましい。そして、複数の切欠き１７ａの互いの間隔は、特に限定されないが、１ｍｍ以上３ｍｍ以下であることが好ましい。また、各切欠き１７ａの形状は、特に限定されないが、Ｖ字形、Ｕ字形、半円形、半円弧形、角形等が挙げられる。さらに、ワイヤ１７の形状は、断面視で菱形であることに限定されず、断面視で平行四辺形であってもよい。
【００１９】
再び図１に戻って説明する。搬送面１５は、断面視で半円弧形の曲面１５ａと、この曲面１５ａに滑らかに連続する一対の平面１５ｂと、からなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。この搬送面１５は、一方（図面における上側）の平面１５ｂ、曲面１５ａ、他方（図面における下側）の平面１５ｂの順に流れる方向を、フィルム状物Ｆ１の搬送方向とする。すなわち、搬送面１５は、搬送方向を、矢印Ａ１からＡ２の方向に１８０°転換する。
【００２０】
搬送面１５は、フィルム状物Ｆ１の幅方向中央に対応して搬送方向（Ａ１→Ａ２）に延びる中央領域Ｐと、幅方向において中央領域Ｐの両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【００２１】
中央領域Ｐの幅は、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して狭くなるように設定されている。一対の脇領域Ｑ，Ｒの幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の脇領域Ｑ，Ｒの面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域Ｐおよび一対の脇領域Ｑ，Ｒを合わせた幅、すなわち、搬送面１５の幅は、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して広くなるように設定されている。
【００２２】
各脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心は、それぞれ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。各脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の外側、すなわち、搬送面１５の外側には、スペース（符号省略）が設けられている。なお、中央領域Ｐの幅は、フィルム状物Ｆ１の幅の５０％以上７０％以下となるように設定されていることが好ましい。ただし、中央領域Ｐおよび一対の脇領域Ｑ，Ｒの幅は、それぞれ、フィルム状物Ｆ１の幅などによって適宜設定される。
【００２３】
中央領域Ｐには、複数の切欠き１６ａが設けられたワイヤ１６が巻回され、当該切欠き１６ａが中央開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。なお、ワイヤ１６に代えて、断面視で丸形のワイヤを、互いの間に一定の隙間を空けて配置して、当該隙間を中央開口部として機能させてもよい。
【００２４】
エアチャンバ１２に供給されたエアは、複数の切欠き１６ａを通じて中央領域Ｐからフィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。具体的に、複数の切欠き１６ａを通ったエアは、フィルム状物Ｆ１に対する略直交方向で当該フィルム状物Ｆ１を押し上げる方向の流れを形成して、フィルム状物Ｆ１を押し上げる。中央開口部の開口率は、全ての中央開口部の面積の合計を中央領域Ｐの面積で除してから１００を乗じた値と定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。
【００２５】
各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、複数の切欠き１７ａが設けられたワイヤ１７が巻回され、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、搬送方向に沿い、且つ、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように配置される。
【００２６】
エアチャンバ１２に供給されたエアは、複数の切欠き１７ａを通じて各脇領域Ｑ，Ｒからフィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。具体的に、複数の切欠き１７ａを通ったエアは、中央領域Ｐに向けて搬送方向と直交する流れ（図１（Ｂ）における矢印Ｂ１方向の流れ）を形成して、搬送面１５の面方向に噴出する。すなわち、脇領域Ｑに設けられる脇開口部と、脇領域Ｒに設けられる脇開口部とは、互いに対向するエアの流れを形成する。脇領域に設けられる脇開口部からのエアの流量と、脇領域Ｒに設けられる脇領域からのエアの流量とは、互いに略同一となるように設定されている。
【００２７】
各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、一方の脇領域Ｑに設けられる孔部２３は、他方の脇領域Ｒに設けられる孔部２３との間隔が、フィルム状物Ｆ１の幅と略同じになるように設定されている。ただし、各孔部２３の互いの間隔は、孔部２３における幅方向の中心を基準にする場合、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して、±５ｍｍ以内のズレが許容できる。なお、各孔部２３は、搬送面１５を形成した後に形成するようにしてもよい。
【００２８】
これらの各孔部２３は、複数の孔２７を備えている。これら複数の孔２７は、ワイヤ１７に対してドリルやレーザーで穿孔することで形成される。複数の孔２７は、それぞれが円形を呈し、互いに所定の間隔を空けて設けられている。各孔部２７の大きさは、特に限定されないが、それぞれ、面積が０．０２５πｍｍ２以上２５πｍｍ２以下であること、すなわち、π≒３．１４であるから、面積が０．０７８５ｍｍ２以上７８．５ｍｍ２以下であることが好ましい。あるいは、径の最大値が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００２９】
エアチャンバ１２に供給されたエアは、孔部２３を通じて面外方向（図１（Ｂ）における矢印Ｂ２方向）に噴出して、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部に噴き付けられ、フィルム状物Ｆ１が幅方向に位置決めされる。
【００３０】
なお、本実施形態では、孔部２３は、円形を呈する複数の孔２７を備えているが、これに限定されず、楕円その他の丸形、あるいは、三角形、四角形などの多角形を呈する複数の小孔（図示省略）を備えるようにしてもよい。この場合、複数の小孔は、プレス打抜き（パンチング）によって形成される。あるいは、孔部２３として、スリット（図示省略）を構成するようにしてもよい。
【００３１】
また、本実施形態では、孔２７は、ワイヤ１７に対してドリルで穿孔することで形成されているが、これに限定されず、図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示すように、ワイヤ１７と共に並べられたリボン状の長尺プレート１８や断面視で角形のワイヤ（図示省略）に穿孔されていてもよい。あるいは、図６（Ａ）および図６（Ｂ）に示すように、複数の孔２７からなる孔部２３を備えなくてもよい。
【００３２】
次に、浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作について、図７に基づいて説明する。図７は、浮揚搬送装置１０の正面図等であり、（Ａ）〜（Ｃ）はフィルム状物Ｆ１の定常状態を示し、（Ｄ）はフィルム状物Ｆ１が蛇行した状態を示す。
【００３３】
図７（Ａ）〜図７（Ｃ）に示すように、浮揚搬送装置１０によって浮揚されつつ搬送されるフィルム状物Ｆ１は、定常状態において、幅方向における両端部が、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心、すなわち、孔部２３に重なるように位置する。各脇領域Ｑ，Ｒは、それぞれ、そのうちの略５０％の領域がフィルム状物Ｆ１と重なる。この定常状態において、脇領域Ｑに設けられた脇開口部からのエアの力は、脇領域Ｒに設けられた脇開口部からのエアの力との間で均衡が保たれる。各脇領域Ｑ，Ｒに設けられた孔部２３からのエアの力は、定常状態に維持する力としてフィルム状物Ｆ１に作用する。
【００３４】
一方、図７（Ｄ）に示すように、浮揚搬送装置１０によって浮揚されつつ搬送されるフィルム状物Ｆ１は、何らかの原因により蛇行した状態において、幅方向における両端部が、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心からズレるように位置する。各脇領域Ｑ，Ｒは、それぞれ、そのうちの５０％より多い領域、またはそのうちの５０％より少ない領域がフィルム状物Ｆ１と重なる。例えば、脇領域Ｑは、そのうちの略８０％の領域がフィルム状物Ｆ１と重なり、脇領域Ｒは、そのうちの略２０％の領域がフィルム状物Ｆ１と重なる。このフィルム状物Ｆ１が蛇行した状態において、脇領域Ｑに設けられた脇開口部からのエアの力は、脇領域Ｒに設けられた脇開口部からのエアの力との間で均衡が崩れている。
【００３５】
フィルム状物Ｆ１が脇領域Ｑの方向に蛇行している場合、脇領域Ｑに設けられた脇開口部からのエアの力が、脇領域Ｒに設けられた脇開口部からのエアの力と比較して大きい。脇領域Ｑ，Ｒに設けられた脇開口部全体としてのエアの力は、脇領域Ｑから脇領域Ｒの方向、すなわち、フィルム状物Ｆ１が定常状態に復帰する方向に作用する。この力は、フィルム状物Ｆ１のズレが大きいほど大きく、定常状態に近いほど小さい。脇領域Ｑの方向に蛇行していたフィルム状物Ｆ１は、定常状態に復帰し、あるいは、さらに脇領域Ｒの方向に蛇行する。脇領域Ｑ，Ｒに設けられた脇開口部全体としてのエアの力は、定常状態に近付くにつれて漸次小さくなるので、最終的に定常状態に復帰する。
【００３６】
フィルム状物Ｆ１が脇領域Ｒの方向に蛇行している場合、脇領域Ｒに設けられた脇開口部からのエアの力が、脇領域Ｑに設けられた脇開口部からのエアの力と比較して大きい。脇領域Ｑ，Ｒに設けられた脇開口部全体としてのエアの力は、脇領域Ｒから脇領域Ｑの方向、すなわち、フィルム状物Ｆ１が定常状態に復帰する方向に作用する。脇領域Ｒの方向に蛇行していたフィルム状物Ｆ１は、定常状態に復帰し、あるいは、さらに脇領域Ｑの方向に蛇行する。脇領域Ｑ，Ｒに設けられた脇開口部全体としてのエアの力は、定常状態に近付くにつれて漸次小さくなるので、最終的に定常状態に復帰する。
【００３７】
各脇領域Ｑ，Ｒに設けられた孔部２３からのエアの力は、定常状態に復帰した後にさらに他方の脇領域Ｑ，Ｒの方向に蛇行することを防止する力としてフィルム状物Ｆ１に作用する。
【００３８】
次に、浮揚搬送装置の用途例について説明する。
【００３９】
［第１の用途例］まず、浮揚搬送装置の第１の用途例について、図８に基づいて説明する。図８は、浮揚搬送装置１０を適用した乾燥システム２９に係る概略構成図である。なお、浮揚搬送装置１０，３１へのエアの供給経路の図示は適宜省略する。
【００４０】
図８に示す乾燥システム２９は、フィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚搬送しつつ乾燥させるシステムであり、本発明に係る浮揚搬送装置１０，３１を適用している。この乾燥システム２９は、システムの中核をなす乾燥炉３０と、この乾燥炉３０内に適宜配置された複数の浮揚搬送装置１０と、これら複数の浮揚搬送装置１０と共に乾燥炉３０内に適宜配置された二つの浮揚搬送装置３１と、乾燥炉３０からエアを回収し、回収したエアを圧縮してから各浮揚搬送装置１０，３１に供給するブロア装置１１と、このブロア装置１１が回収するエアを濾過するフィルタ３２と、各浮揚搬送装置１０，３０に供給されるエアを加熱するヒーター３３と、各浮揚搬送装置１０，２０に供給されるエアの圧力を計測する圧力計３４と、を備えている。
【００４１】
複数の浮揚搬送装置１０は、乾燥炉３０内に、上下に平行に、かつ、上下が互い違いとなるようにそれぞれ配置されている。これら複数の浮揚搬送装置１０には、フィルム状物Ｆ１がＳ字形を描くように巻き掛けられる。これにより、乾燥炉３０の省スペースを実現する。二つの浮揚搬送装置３１は、乾燥炉３０におけるフィルム状物Ｆ１の入口３０ａまたは出口３０ｂの傍らに、それぞれ配置されている。これら二つの浮揚搬送装置３１は、それぞれ、断面視で９０°の円弧形を呈する曲面からなる搬送面（符号省略）を備えている。各浮揚搬送装置３１には、フィルム状物Ｆ１がＬ字形を描くように巻き掛けられる。各浮揚搬送装置１０，３１に供給されたエアは、フィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。
【００４２】
［第２の用途例］次に、浮揚搬送装置３６の第２の用途例について、図９に基づいて説明する。図９は、浮揚搬送装置１０を適用した洗浄システム３７に係る概略構成図である。なお、浮揚搬送装置３１へのエアの供給経路の図示は適宜省略する。
【００４３】
図９に示す洗浄システム３７は、フィルム状物Ｆ１を、酸性やアルカリ性を示す水溶液などの液体Ｌによって浮揚搬送しつつ洗浄するシステムであり、本発明に係る浮揚搬送装置３６，３１を適用している。浮揚搬送装置３６は、所定の幅を有する一のフィルム状物Ｆ１を液体Ｌによって浮揚させつつ搬送する装置であり、ポンプ３９で圧縮された液体Ｌの供給を受けて、当該液体Ｌをフィルム状物Ｆ１に噴き付ける。なお、浮揚搬送装置３６の基本構成は、浮揚搬送装置１０と同様である。
【００４４】
洗浄システム３７は、システムの中核をなす液槽３８と、この液槽３８内に適宜配置され、液体に浸された複数の浮揚搬送装置３６と、液槽３８から液体Ｌを回収し、回収した液体Ｌを各浮揚搬送装置３６に供給するポンプ３９と、液槽３８内の液体面上方に適宜配置された二つの浮揚搬送装置３１と、液槽３８外に適宜配置された二つの浮揚搬送装置３１と、各浮揚搬送装置３１にエアを供給するブロア装置（図示省略）と、を備えている。
【００４５】
複数の浮揚搬送装置３６は、液槽３８内に、上下に平行に、かつ、上下が互い違いとなるようにそれぞれ配置されている。これら複数の浮揚搬送装置３６には、フィルム状物Ｆ１がＳ字形を描くように巻き付けられる。これにより、液槽３８の省スペースを実現する。各浮揚搬送装置３６に供給された液体Ｌは、フィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。
【００４６】
液槽３８内の二つの浮揚搬送装置３１、および液槽３８外の二つの浮揚搬送装置３１は、液槽３８におけるフィルム状物Ｆ１の入口３８ａまたは出口３８ｂの傍らに、それぞれ配置されている。各浮揚搬送装置３１には、フィルム状物Ｆ１がＬ字形を描くように巻き付けられる。各浮揚搬送装置３１に供給されたエアは、フィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。
【００４７】
このように、浮揚搬送装置１０によれば、開口部として機能する切欠き１６ａ，１７ａが設けられた搬送面１５を安価で高精度に形成できる。また、脇領域Ｑ，Ｒを構成するワイヤ１７は、断面視で菱形を呈し、隣接するワイヤ１７同士で締め付け合うので、強固な搬送面１５が形成できる。これにより、フィルム状物Ｆ１が蛇行することが防止される。
【００４８】
さらに、孔部２３を備えているので、フィルム状物Ｆ１のセンタリング性能を向上させられる。具体的には、フィルム状物Ｆ１の寸法や材質、あるいは搬送する速度などによって異なるが、フィルム状物Ｆ１の幅方向の蛇行量を、従来の１０分の１以下である±０．３ｍｍ程度に収められる。
【００４９】
［第２実施形態］次に、図１０（Ａ）を用いて、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５の構成について説明する。図１０（Ａ）は、浮揚搬送装置６５における搬送面６７の断面図である。
【００５０】
なお、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５の特徴部分のみを説明し、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０と同様の構成、作用、および効果についての説明は省略する。後述する第３〜第１３実施形態についても、特徴部分のみを説明し、他の実施形態と同様の構成、作用、および効果についての説明は、図面に符号を付すなどして省略する。
【００５１】
図１０（Ａ）に示す浮揚搬送装置６５は、互いに異なる所定の幅を有する二つのフィルム状物Ｆ１，Ｆ２から選択された一のフィルム状物Ｆ１またはＦ２を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。各フィルム状物Ｆ１，Ｆ２は、エアチャンバ６６における幅方向の中心に配置される。なお、相対的に幅が狭いフィルム状物をＦ１とし、相対的に幅が広いフィルム状物をＦ２として説明する。
【００５２】
浮揚搬送装置６５は、エアチャンバ６６などを備えている。エアチャンバ６６は、一対の供給口（図示省略）と、フィルム状物Ｆ１またはＦ２を搬送する搬送面６７と、を備えている。搬送面６７は、フィルム状物Ｆ１，Ｆ２の幅方向中央に対応して搬送方向（Ａ１→Ａ２）に延びる中央領域Ｐと、幅方向において中央領域Ｐの両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域Ｑ，Ｒと、搬送方向に延びて脇領域Ｑを二つの脇領域Ｑ１，Ｑ２に分ける中間領域Ｔと、搬送方向に延びて脇領域Ｒを二つの脇領域Ｒ１，Ｒ２に分ける中間領域Ｕと、を有してなる。
【００５３】
中央領域Ｐの幅は、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して狭くなるように設定されている。一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１の幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１の面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域Ｐおよび一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１を合わせた幅は、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して広くなるように設定されている。
【００５４】
一対の中間領域Ｔ，Ｕの幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の中間領域Ｔ，Ｕの面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域Ｐ、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１、および一対の中間領域Ｔ，Ｕを合わせた幅は、フィルム状物Ｆ２の幅と比較して狭くなるように設定されている。
【００５５】
一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２の幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２の面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域Ｐ、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１、一対の中間領域Ｔ，Ｕ、および一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２を合わせた幅、すなわち、搬送面６７の幅は、フィルム状物Ｆ２の幅と比較して広くなるように設定されている。
【００５６】
各脇領域Ｑ１，Ｒ１における幅方向の中心は、それぞれ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。各脇領域Ｑ２，Ｒ２における幅方向の中心は、それぞれ、フィルム状物Ｆ２の幅方向における端部と略重なるように設定されている。各脇領域Ｑ２，Ｒ２における幅方向の外側、すなわち、搬送面６７の外側には、スペース（符号省略）が設けられている。
【００５７】
なお、中央領域Ｐの幅は、フィルム状物Ｆ１の幅の５０％以上７０％以下となるように設定されていることが好ましい。また、中央領域Ｐ、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１、および一対の中間領域Ｔ，Ｕを合わせた幅は、フィルム状物Ｆ２の幅の５０％以上７０％以下となるように設定されていることが好ましい。ただし、中央領域Ｐ、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１、一対の中間領域Ｔ，Ｕ、および一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２の幅は、それぞれ、フィルム状物Ｆ１，Ｆ２の幅などによって適宜設定される。
【００５８】
中央領域Ｐには、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０と異なり、中央開口部として機能する切欠き１６ａが設けられていない。すなわち、中央領域Ｐを形成するワイヤ１６には、切欠き１６ａが形成されていない。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。エアチャンバ６６に供給されたエアは、中央領域Ｐからフィルム状物Ｆ１またはＦ２に噴き付けられることはない。
【００５９】
各脇領域Ｑ１，Ｒ１には、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ１，Ｒ１における幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、一方の脇領域Ｑ１に設けられる孔部２３は、他方の脇領域Ｒ１に設けられる孔部２３との間隔が、フィルム状物Ｆ１の幅と略同じになるように設定されている。ただし、各孔部２３の互いの間隔は、孔部２３における幅方向の中心を基準にする場合、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して、±５ｍｍ以内のズレが許容できる。
【００６０】
エアチャンバ６６に供給されたエアは、複数の切欠き１７ａを通じて中央領域Ｐに向けて搬送方向と直交する流れを形成して、各脇領域Ｑ１，Ｒ１からフィルム状物Ｆ１またはＦ２に噴き付けられると共に、孔部２３を通じてフィルム状物Ｆ１の幅方向における端部に噴き付けられ、フィルム状物Ｆ１が幅方向に位置決めされる。
【００６１】
脇領域Ｑ１における脇開口部の開口率は、脇領域Ｑ１における全ての脇開口部の面積の合計を脇領域Ｑ１の面積で除してから１００を乗じた値と定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。脇領域Ｒ１における脇開口部の開口率は、脇領域Ｑ１における脇開口部の開口率と同様に定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。
【００６２】
各中間領域Ｔ，Ｕには、後述する第４実施形態に係る浮揚搬送装置７３と異なり、中間開口部として機能する切欠き１６ａが設けられていない。すなわち、中間領域Ｔ，Ｕを形成するワイヤ１６には、切欠き１６ａが形成されていない。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。エアチャンバ６６に供給されたエアは、各中間領域Ｔ，Ｕからフィルム状物Ｆ２に噴き付けられることはない。
【００６３】
各脇領域Ｑ２，Ｒ２には、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ２，Ｒ２における幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ２の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、一方の脇領域Ｑ２に設けられる孔部２３は、他方の脇領域Ｒ２に設けられる孔部２３との間隔が、フィルム状物Ｆ２の幅と略同じになるように設定されている。ただし、各孔部２３の互いの間隔は、孔部２３における幅方向の中心を基準にする場合、フィルム状物Ｆ２の幅と比較して、±５ｍｍ以内のズレが許容できる。
【００６４】
エアチャンバ６６に供給されたエアは、複数の切欠き１７ａを通じて中央領域Ｐに向けて搬送方向と直交する流れを形成して、各脇領域Ｑ２，Ｒ２からフィルム状物Ｆ２に噴き付けられると共に、孔部２３を通じてフィルム状物Ｆ２の幅方向における端部に噴き付けられ、フィルム状物Ｆ２が幅方向に位置決められる。
【００６５】
脇領域Ｑ２，Ｒ２における脇開口部の開口率は、それぞれ、脇領域Ｑ１における脇開口部の開口率と同様に定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。
【００６６】
なお、浮揚搬送装置６５におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作は、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【００６７】
フィルム状物Ｆ２を浮揚させつつ搬送する場合、何らかの原因によりフィルム状物Ｆ２が蛇行したときであっても、脇領域Ｑ１に設けられた脇開口部からのエアの力は、脇領域Ｒ１に設けられた脇開口部からのエアの力との間で均衡が保たれている。すなわち、各脇領域Ｑ１，Ｒ１に設けられた脇開口部からのエアがフィルム状物Ｆ２に影響を及ぼすことはない。
【００６８】
［第３実施形態］次に、図１０（Ｂ）を用いて、第３実施形態に係る浮揚搬送装置６９の構成について説明する。図１０（Ｂ）は、浮揚搬送装置６９における搬送面７１の断面図である。
【００６９】
図１０（Ｂ）に示す浮揚搬送装置６９は、二つのフィルム状物Ｆ１，Ｆ２から選択された一のフィルム状物Ｆ１またはＦ２を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置６９は、エアチャンバ７０などを備えている。エアチャンバ７０は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面７１と、を備えている。搬送面７１は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【００７０】
中央領域Ｐおよび一対の脇領域Ｑ，Ｒを合わせた幅、すなわち、搬送面７１の幅は、フィルム状物Ｆ２の幅と比較して広くなるように設定されている。
【００７１】
中央領域Ｐには、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５と同様、中央開口部として機能する切欠き１６ａが設けられていない。すなわち、中央領域Ｐを形成するワイヤ１６には、切欠き１６ａが形成されていない。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。
【００７２】
各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に二の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。幅方向における内側の各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の内側にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。幅方向における外側の各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の外側にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ２の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【００７３】
なお、浮揚搬送装置６９におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作は、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作に準ずる。
【００７４】
［第４実施形態］次に、図１０（Ｃ）を用いて、第４実施形態に係る浮揚搬送装置７３の構成について説明する。図１０（Ｃ）は、浮揚搬送装置７３における搬送面６３の断面図である。
【００７５】
図１０（Ｃ）に示す浮揚搬送装置７３は、二つのフィルム状物Ｆ１，Ｆ２から選択された一のフィルム状物Ｆ１またはＦ２を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置７３は、エアチャンバ７４などを備えている。エアチャンバ７４は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面６３と、を備えている。搬送面６３は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１と、一対の中間領域Ｔ，Ｕと、一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２と、を有してなる。
【００７６】
各脇領域Ｑ１，Ｒ１における幅方向の中心は、それぞれ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。各脇領域Ｑ２，Ｒ２における幅方向の中心は、それぞれ、フィルム状物Ｆ２の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【００７７】
中央領域Ｐには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中央開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。エアチャンバ７４に供給されたエアは、中央領域Ｐからフィルム状物Ｆ１またはＦ２に噴き付けられる。
【００７８】
各脇領域Ｑ１，Ｒ１には、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ１，Ｒ１における幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【００７９】
各中間領域Ｔ，Ｕには、それぞれ、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中間開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。エアチャンバ７４に供給されたエアは、複数の切欠き１６ａを通じて、各中間領域Ｔ，Ｕからフィルム状物Ｆ２に噴き付けられる。
【００８０】
中間領域Ｔにおける中間開口部の開口率は、中間領域Ｔにおける全ての中間開口部の面積の合計を中間領域Ｔの面積で除してから１００を乗じた値と定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。中間領域Ｕにおける中間開口部の開口率は、中間領域Ｔにおける中間開口部の開口率と同様に定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。
【００８１】
各脇領域Ｑ２，Ｒ２には、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ２，Ｒ２における幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ２の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【００８２】
なお、浮揚搬送装置７３におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作は、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作に準ずる。
【００８３】
フィルム状物Ｆ１を浮揚させつつ搬送する場合、各中間領域Ｔ，Ｕに設けられた中間開口部からのエアは、各脇領域Ｑ２，Ｒ２に設けられた脇開口部からのエアをフィルム状物Ｆ１から遮蔽する。これにより、各脇領域Ｑ２，Ｒ２に設けられた脇開口部からのエアがフィルム状物Ｆ１に作用することを防止する。
【００８４】
［第５実施形態］次に、図１０（Ｄ）を用いて、第５実施形態に係る浮揚搬送装置８９の構成について説明する。図１０（Ｄ）は、浮揚搬送装置８９における搬送面９１の断面図である。
【００８５】
図１０（Ｄ）に示す浮揚搬送装置８９は、一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置８９は、エアチャンバ９０などを備えている。エアチャンバ９０は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面９１と、を備えている。搬送面９１は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【００８６】
中央領域Ｐには、第３実施形態に係る浮揚搬送装置６９と同様、中央開口部として機能する切欠き１６ａが設けられていない。すなわち、中央領域Ｐを形成するワイヤ１６には、切欠き１６ａが形成されていない。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。
【００８７】
各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるよう孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心に設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【００８８】
なお、浮揚搬送装置８９におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第３実施形態に係る浮揚搬送装置６９におけるフィルム状物Ｆ２のセンタリング動作に準ずる。
【００８９】
［第６実施形態］次に、図１０（Ｅ）を用いて、第６実施形態に係る浮揚搬送装置１７４の構成について説明する。図１０（Ｅ）は、浮揚搬送装置１７４における搬送面１７６の断面図である。
【００９０】
図１０（Ｅ）に示す浮揚搬送装置１７４は、選択された一のフィルム状物Ｆ１またはＦ２を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、各フィルム状物Ｆ１，Ｆ２は、エアチャンバ１７５における幅方向の一端を基準に配置される。この浮揚搬送装置１７４は、グラビア印刷等に用いられる。浮揚搬送装置１７４は、エアチャンバ１７５などを備えている。
【００９１】
エアチャンバ１７５は、一対の供給口（図示省略）と、フィルム状物Ｆ１またはＦ２を搬送する搬送面１７６と、を備えている。搬送面１７６は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ１，Ｒと、中間領域Ｔと、脇領域Ｑ２と、を有してなる。
【００９２】
脇領域Ｑ１における幅方向の中心は、脇領域Ｒにおける幅方向の中心と共に、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と重なるように設定されている。脇領域Ｑ２における幅方向の中心は、脇領域Ｒにおける幅方向の中心と共に、フィルム状物Ｆ２の幅方向における端部と重なるように設定されている。
【００９３】
中央領域Ｐには、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５と同様、中央開口部として機能する切欠き１６ａが設けられていない。すなわち、中央領域Ｐを形成するワイヤ１６には、切欠き１６ａが形成されていない。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。
【００９４】
各脇領域Ｑ１，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。各孔部２３は、脇領域Ｑ１，Ｒにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【００９５】
中間領域Ｔには、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５と同様、中間開口部として機能する切欠き１６ａが設けられていない。すなわち、中間領域Ｔを形成するワイヤ１６には、切欠き１６ａが形成されていない。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。
【００９６】
脇領域Ｑ２には、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。孔部２３は、脇領域Ｑ２における幅方向の中心に設けられ、脇領域Ｒにおける孔部２３と共に、フィルム状物Ｆ２の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【００９７】
なお、浮揚搬送装置１７４におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作は、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作に準ずる。
【００９８】
［第７実施形態］次に、図１１を用いて、第７実施形態に係る浮揚搬送装置７６の構成について説明する。図１１（Ａ）は、浮揚搬送装置７６の外観斜視図である。図１１（Ｂ）は、浮揚搬送装置７６の側面図である。
【００９９】
図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）に示す浮揚搬送装置７６は、一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置７６は、本体となる第１エアチャンバ７７と、この第１エアチャンバ７８と対をなす第２エアチャンバ７８と、第１エアチャンバ７７にブロア装置１１からのエアを供給する一対の供給管１３，１４と、第２エアチャンバ７８にブロア装置１１からのエアを供給する供給管７９と、を備えている。
【０１００】
第１エアチャンバ７７は、断面視で凸となる略底浅茶碗形を呈する。この第１エアチャンバ７７は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面８０と、を備えている。
【０１０１】
搬送面８０は、断面視で凸となる円弧形の曲面８０ａと、この曲面８０ａに滑らかに連続する一対の平面８０ｂと、からなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。この搬送面８０は、一方（図面における右側）の平面８０ｂ、曲面８０ａ、他方（図面における左側）の平面８０ｂの順に流れる方向を、フィルム状物Ｆ１の搬送方向とする。すなわち、搬送面８０は、搬送方向を、矢印Ａ１からＡ２の方向に約１２０°転換する。
【０１０２】
搬送面８０は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１０３】
中央領域Ｐには、第４実施形態に係る浮揚搬送装置６９と同様、中央開口部として機能する切欠き１６ａが設けられていない。すなわち、中央領域Ｐを形成するワイヤ１６には、切欠き１６ａが形成されていない。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。
【０１０４】
各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【０１０５】
第２エアチャンバ７８は、断面視で凹となる略底浅茶碗形を呈する。この第２エアチャンバ７８は、上面に設けられた供給口（図示省略）と、搬送面８１と、を備えている。
【０１０６】
搬送面８１は、断面視で凹となる円弧形の曲面８１ａと、この曲面８１ａに滑らかに連続する一対の平面８１ｂと、からなる。この第２エアチャンバ７８の搬送面８１は、第１エアチャンバ７７の搬送面８０と対向して、その搬送面８０と共に、フィルム状物Ｆ１が通る隙間を形成する。搬送面８１は、一方（図面における右側）の平面８１ｂ、曲面８１ａ、他方（図面における左側）の平面８１ｂの順に流れる方向を、フィルム状物Ｆ１の搬送方向とする。
【０１０７】
搬送面８１は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１０８】
中央領域Ｐには、第３実施形態に係る浮揚搬送装置６９と同様、中央開口部として機能する切欠き１６ａが設けられていない。すなわち、中央領域Ｐを形成するワイヤ１６には、切欠き１６ａが形成されていない。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。
【０１０９】
各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、第２エアチャンバ７８の各孔部２３は、第１エアチャンバ７７の孔部２３と対向するように設けられている。
【０１１０】
なお、浮揚搬送装置７６におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第３実施形態に係る浮揚搬送装置６９におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１１１】
［第８実施形態］次に、図１２（Ａ）を用いて、第８実施形態に係る浮揚搬送装置８３の構成について説明する。図１２（Ａ）は、浮揚搬送装置８３における搬送面８６，８７の断面図である。
【０１１２】
図１２（Ａ）に示す浮揚搬送装置８３は、二つのフィルム状物Ｆ１，Ｆ２から選択された一のフィルム状物Ｆ１またはＦ２を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置８３は、第１エアチャンバ８４と、第２エアチャンバ８５と、などを備えている。第１エアチャンバ８４は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面８６と、を備えている。搬送面８６は、凸となる曲面と一対の平面（いずれも図示省略）とからなり、フィルム状物Ｆ１またはＦ２と対向する。この搬送面８６は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１と、一対の中間領域Ｔ，Ｕと、一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２と、を有してなる。
【０１１３】
中間領域Ｐには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中央開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。各脇領域Ｑ１，Ｒ１には、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。
【０１１４】
各中間領域Ｔ，Ｕには、それぞれ、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中間開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。各脇領域Ｑ２，Ｒ２には、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。
【０１１５】
第２エアチャンバ８５は、供給口（図示省略）と、搬送面８７と、を備えている。搬送面８７は、凹となる曲面と一対の平面（いずれも図示省略）とからなる。この第２エアチャンバ８５の搬送面８７は、第１エアチャンバ８４の搬送面８６と対向して、その搬送面８６と共に、フィルム状物Ｆ１またはＦ２が通る隙間を形成する。搬送面８７は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１と、一対の中間領域Ｔ，Ｕと、一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２と、を有してなる。
【０１１６】
中間領域Ｐには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中央開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。各脇領域Ｑ１，Ｒ１には、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。
【０１１７】
各中間領域Ｔ，Ｕには、それぞれ、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中間開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。各脇領域Ｑ２，Ｒ２には、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。
【０１１８】
なお、浮揚搬送装置８３におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作は、第４実施形態に係る浮揚搬送装置７３におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作に準ずる。
【０１１９】
［第９実施形態］次に、図１２（Ｂ）を用いて、第９実施形態に係る浮揚搬送装置１０４の構成について説明する。図１２（Ｂ）は、浮揚搬送装置１０４における搬送面１０７，１０８の断面図である。
【０１２０】
図１２（Ｂ）に示す浮揚搬送装置１０４は、一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置１０４は、第１エアチャンバ１０５と、第２エアチャンバ１０６と、などを備えている。第１エアチャンバ１０５は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面１０７と、を備えている。搬送面１０７は、凸となる曲面と一対の平面（いずれも図示省略）とからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。この搬送面１０７は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１２１】
中間領域Ｐには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中央開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【０１２２】
第２エアチャンバ１０６は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面１０８と、を備えている。搬送面１０８は、凹となる曲面と一対の平面（いずれも図示省略）とからなる。この第２エアチャンバ１０６の搬送面１０８は、第１エアチャンバ１０５の搬送面１０７と対向して、その搬送面１０７と共に、フィルム状物Ｆ１が通る隙間を形成する。搬送面１０８は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１２３】
中間領域Ｐには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中央開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【０１２４】
なお、浮揚搬送装置１０４におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第７実施形態に係る浮揚搬送装置７６におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１２５】
［第１０実施形態］次に、図１３を用いて、第１０実施形態に係る浮揚搬送装置１０９の構成について説明する。図１３は、浮揚搬送装置１０９の外観斜視図である。
【０１２６】
図１３に示す浮揚搬送装置１０９は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、ブロア装置１１０，１１１で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物Ｆ１に噴き付ける。
【０１２７】
この浮揚搬送装置１０９は、本体となる一対の第１エアチャンバ１１２と、これら一対の第１エアチャンバ１１２と共に本体となる一対の第２エアチャンバ１１３と、一対の第１エアチャンバ１１２にブロア装置１１０からのエアを供給する二対の供給管１３，１４と、一対の第２エアチャンバ１１３にブロア装置１１１からのエアを供給する二つの供給管１１４と、を備えている。
【０１２８】
第１エアチャンバ１１２は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面１１５と、を備えている。搬送面１１５は、曲面１１５ａと一対の平面１１５ｂとからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。
【０１２９】
搬送面１１５は、曲面領域Ｖを有してなる。この曲面領域Ｖには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが曲面開口部として機能すると共に、搬送方向に対の列となるように孔部２３が幅方向に繰り返して設けられている。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。第１エアチャンバ１１２に供給されたエアは、複数の切欠き１６ａを通じて無方向の流れを形成して、曲面領域Ｖからフィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。
【０１３０】
第２エアチャンバ１１３は、側面に設けられた供給口（図示省略）と、搬送面１１６と、を備えている。搬送面１１６は、平行四辺形（略長方形）の平面１１６ａからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。平面１１６ａは、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を一つのセットとして、当該セットを幅方向に繰り返して有する。本実施形態では、五つのセットを繰り返す。各中央領域Ｐおよび各脇領域Ｑ，Ｒは、それぞれ、平行四辺形（略長方形）を呈する。
【０１３１】
各中央領域Ｐには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中央開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。
【０１３２】
一対の第１エアチャンバ１１２と、一対の第２エアチャンバ１１３とは、各第１エアチャンバ１１２の平面１１５ｂと、各第２エアチャンバ１１３の平面１１６ａと、が連続し、すなわち、各第１エアチャンバ１１２の搬送面１１５と、各第２エアチャンバ１１３の搬送面１１６と、が連続して周面をなすように配置される。これにより、中央領域Ｐを基準としてフィルム状物Ｆ１を螺旋状に巻き付けることが可能となる。
【０１３３】
なお、浮揚搬送装置１０９におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１３４】
［第１１実施形態］次に、図１４を用いて、第１１実施形態に係る浮揚搬送装置１６０の構成について説明する。図１４は、浮揚搬送装置１６０の外観斜視図である。
【０１３５】
図１４に示す浮揚搬送装置１６０は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置１６０は、本体となる一対の第１エアチャンバ１５７と、これら一対の第１エアチャンバ１５７と共に本体となる一対の第２エアチャンバ１２１と、二対の供給管１３，１４と、二つの供給管１１４と、を備えている。
【０１３６】
第１エアチャンバ１５７は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面１５８と、を備えている。搬送面１５８は、曲面１５８ａと一対の平面１５８ｂとからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。搬送面１５８は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を一つのセットとして、当該セットを幅方向に繰り返して有する。各中央領域Ｐおよび各脇領域Ｑ，Ｒは、それぞれ、平面展開視で平行四辺形（略長方形）を呈する。
【０１３７】
各中央領域Ｐには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中央開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。
【０１３８】
第２エアチャンバ１２１は、側面に設けられた供給口（図示省略）と、搬送面１２２と、を備えている。搬送面１２２は、平面１２２ａからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。
【０１３９】
平面１２２ａは、平面領域Ｗを有してなる。この平面領域Ｗには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが平面開口部として機能すると共に、搬送方向に対の列となるように孔部２３が幅方向に繰り返して設けられている。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。第２エアチャンバ１２１に供給されたエアは、複数の切欠き１６ａを通じて無方向の流れを形成して、平面領域Ｗからフィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。
【０１４０】
一対の第１エアチャンバ１５７と、一対の第２エアチャンバ１２１とは、各第１エアチャンバ１５７の平面１５８ｂと、各第２エアチャンバ１２１の平面１２２ａと、が連続し、すなわち、各第１エアチャンバ１５７の搬送面１５８と、各第２エアチャンバ１２１の搬送面１２２と、が連続して周面をなすように配置される。これにより、中央領域Ｐを基準としてフィルム状物Ｆ１を螺旋状に巻き付けることが可能となる。
【０１４１】
なお、浮揚搬送装置１６０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第１０実施形態に係る浮揚搬送装置１０９におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。本実施形態の浮揚搬送装置１６０は、一対の第２エアチャンバ１２１を備えているが、これら一対の第２エアチャンバ１２１を備えないようにしてもよい。
【０１４２】
［第１２実施形態］次に、図１５を用いて、第１２実施形態に係る浮揚搬送装置１２５の構成について説明する。図１５（Ａ）は、浮揚搬送装置１２５の正面図である。図１５（Ｂ）は、浮揚搬送装置１２５の側面図である。
【０１４３】
図１５（Ａ）および図１５（Ｂ）に示す浮揚搬送装置１２５は、一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置１２５は、本体となるエアチャンバ１２６と、このエアチャンバ１２６にブロア装置１１からのエアを供給する供給管１２７と、を備えている。
【０１４４】
エアチャンバ１２６は、直方体の形を呈する。このエアチャンバ１２６は、供給口（図示省略）と、搬送面１２８と、を備えている。供給口には、供給管１２７が接続される。エアチャンバ１２６内には、供給管１２７を通じて供給口から、ブロア装置１１で圧縮されたエアが供給される。搬送面１２８は、平面１２８ａからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。この搬送面１２８は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１４５】
中央領域Ｐには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中央開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出すうように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【０１４６】
なお、浮揚搬送装置１２５におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１４７】
［第１３実施形態］次に、図１６を用いて、第１３実施形態に係る浮揚搬送装置１６３の構成について説明する。図１６は、浮揚搬送装置１６３の外観斜視図である。
【０１４８】
図１６に示す浮揚搬送装置１６３は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、ブロア装置１６４，１６５，１６６で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物Ｆ１に噴き付ける。
【０１４９】
この浮揚搬送装置１６３は、本体となる第１エアチャンバ１６７と、この第１エアチャンバ１６７と共に本体となる一対の第２エアチャンバ１６８と、第１エアチャンバ１６７にブロア装置１６４からのエアを供給する一対の供給管１３，１４と、一対の第２エアチャンバ１６８にブロア装置１６５，１６６からのエアを供給する二対の供給管１６９，１７０と、を備えている。
【０１５０】
第１エアチャンバ１６７は、円柱形を呈する。この第１エアチャンバ１６７は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面１７１と、を備えている。搬送面１７１は、円柱面１７１ａからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。円柱面１７１ａは、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を一つのセットとして、当該セットが螺旋状を呈するように幅方向に繰り返して有する。
【０１５１】
中央領域Ｐには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中央開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心に設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【０１５２】
第２エアチャンバ１６８は、円柱形を呈する。この第２エアチャンバ１６８は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面１７２と、を備えている。搬送面１７２は、円柱面１７２ａからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。円柱面１７２ａは、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有する。中央領域Ｐおよび一対の脇領域Ｑ，Ｒは、それぞれ、環状を呈する。
【０１５３】
中央領域Ｐには、ワイヤ１６が配置されて複数の切欠き１６ａが設けられ、当該切欠き１６ａが中央開口部として機能する。ワイヤ１６は、搬送方向に沿うように配置される。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、ワイヤ１７が配置されて複数の切欠き１７ａが設けられ、当該切欠き１７ａが脇開口部として機能すると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。ワイヤ１７は、中央領域Ｐに向けてエアを噴出するように、搬送方向に沿うように配置される。各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心に設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【０１５４】
第１エアチャンバ１６７には、中央領域Ｐを基準としてフィルム状物Ｆ１を螺旋状に巻き付けることが可能である。各第２エアチャンバ１６８には、中央領域Ｐを基準としてフィルム状物Ｆ１を巻き付けることが可能であり、各第２エアチャンバ１６８は、フィルム状物Ｆ１の搬送方向を９０°転換する。
【０１５５】
なお、浮揚搬送装置１６３におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１５６】
本発明は、上記各実施形態および上記用途例に限られるものではなく、その趣旨および技術思想を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
【０１５７】
すなわち、上記各実施形態において、搬送面は、流体を噴出する複数の開口部が設けられた平面、または、断面視で円弧形をなす曲面からなるが、円柱面、楕円柱面、または、断面視で楕円弧形をなす曲面からなるようにしてもよい。
【０１５８】
あるいは、上記各実施形態において、互いに異なる所定の幅を有する三つ以上のフィルム状物から選択された一のフィルム状物を、浮揚させつつ搬送するようにしてもよい。この場合、各フィルム状物に対応して、孔部２３を複数の列となるように設ければよい。
【０１５９】
あるいは、上記各実施形態において、フィルム状物Ｆ１，Ｆ２を、エアによって浮揚させつつ搬送することに代えて、水などの液体、その他の流体によって浮揚させつつ搬送するようにしてもよい。この場合、洗浄、改質、または鍍金を行う装置などに適用できる。
【０１６０】
あるいは、上記各実施形態および上記各用途例の構成を、可能な範囲で他の実施形態または他の用途例に適用してもよい。
【符号の説明】
【０１６１】
１０，３１，３６，６５，６９，７３，７６，８３，８９，１０４，１０９，１２５，１６０，１６３，１７４  浮揚搬送装置
１５，６３，６７，７１，８０，８１，８６，８７，９１，１０７，１０８，１１５，１１６，１２８，１５８，１７１，１７２，１７６  搬送面
１５ａ，６３ａ，６７ａ，７１ａ，８０ａ，８１ａ，８６ａ，８７ａ，９１ａ，１０７ａ，１０８ａ，１１５ａ，１５８ａ，１７６ａ  曲面
１５ｂ，６３ｂ，６７ｂ，７１ｂ，８０ｂ，８１ｂ，８６ｂ，８７ｂ，９１ｂ，１０７ｂ，１０８ｂ，１１５ｂ，１１６ａ，１２８ａ，１５８ｂ，１７６ｂ  平面
１６，１７  ワイヤ
１６ａ，１７ａ  切欠き
２３  孔部
２７  孔
Ｆ１，Ｆ２  フィルム状物
Ａ１，Ａ２  搬送方向
Ｐ  中央領域
Ｑ，Ｑ１，Ｑ２，Ｒ，Ｒ１，Ｒ２  脇領域
Ｗ  平面領域
Ｔ，Ｕ  中間領域
Ｖ  曲面領域
Ｌ  液体
【図１】
0005877521.tif 000002
【図２】
0005877521.tif 000003
【図３】
0005877521.tif 000004
【図４】
0005877521.tif 000005
【図５】
0005877521.tif 000006
【図６】
0005877521.tif 000007
【図７】
0005877521.tif 000008
【図８】
0005877521.tif 000009
【図９】
0005877521.tif 000010
【図１０】
0005877521.tif 000011
【図１１】
0005877521.tif 000012
【図１２】
0005877521.tif 000013
【図１３】
0005877521.tif 000014
【図１４】
0005877521.tif 000015
【図１５】
0005877521.tif 000016
【図１６】
0005877521.tif 000017