(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
漏れ検出デバイスにおいて、
試験室及び／又は被試験体、及びバッキングポンプに連結された試験ガス管と、
高真空ポンプと
を備えており、
前記高真空ポンプの入口には試験ガス検出器が配置されており、前記高真空ポンプの出口が前記バッキングポンプと連結されており、
前記高真空ポンプは少なくとも１つのロータ要素を備えており、主流路が前記入口から前記少なくとも１つのロータ要素に沿って前記出口に画定されており、
前記高真空ポンプは、第１のポンプ段、該第１のポンプ段と主流方向に連結する第２のポンプ段、及び該第２のポンプ段と前記主流方向に連結する少なくとも１つの更なるポンプ段を備えており、
前記被試験体の大まかな検査のために、前記試験ガス管は、前記更なるポンプ段の内の１つの中間領域で前記更なるポンプ段の内の１つと連結管を介して連結されており、前記高真空ポンプの出口は、前記バッキングポンプと連結されたままであり、前記中間領域から前記入口に延びる試験ガスの向流路が前記主流路より短く、
ガス膨張デバイスが、前記中間領域における前記高真空ポンプの内部吸込能力に一致した圧力に試験ガスを膨張するために前記連結管に配置されており、漏れ検出が、前記高真空ポンプの最大限のプレ真空安定性で開始され得ることを特徴とする漏れ検出デバイス。
【請求項２】
前記高真空ポンプは、前記第２のポンプ段及び／又は第３のポンプ段としてガス摩擦ポンプ段を備えており、ターボ分子ポンプが、好ましくは前記ガス摩擦ポンプ段の上流側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の漏れ検出デバイス。
【請求項３】
前記高真空ポンプは、前記第２のポンプ段及び／又は第３のポンプ段としてホルベック(Holweck) ポンプ段を備えていることを特徴とする請求項２に記載の漏れ検出デバイス。
【請求項４】
前記中間領域は、前記主流方向に見て、前記高真空ポンプの最後のポンプ段に配置されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の漏れ検出デバイス。
【請求項５】
前記中間領域が設けられているポンプ段の向流路は、該ポンプ段の主流路の80％より短いことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の漏れ検出デバイス。
【請求項６】
前記中間領域が設けられているポンプ段の向流路は、該ポンプ段の主流路の60％より短いことを特徴とする請求項５に記載の漏れ検出デバイス。
【請求項７】
前記向流路は、前記主流路の少なくとも５分の１短いことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の漏れ検出デバイス。
【請求項８】
前記向流路は、前記主流路の少なくとも４分の１短いことを特徴とする請求項７に記載の漏れ検出デバイス。
【請求項９】
前記ガス膨張デバイスは、試験ガスの圧力を少なくとも30％下げることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の漏れ検出デバイス。
【請求項１０】
前記ガス膨張デバイスは、試験ガスの圧力を少なくとも40％下げることを特徴とする請求項９に記載の漏れ検出デバイス。
【請求項１１】
前記ガス膨張デバイスはガス選択性の絞りを有していることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の漏れ検出デバイス。
【請求項１２】
大まかな検査のために下げられた試験ガス圧力で前記中間領域に試験ガスを供給するためのバイパス管を更に備えており、該バイパス管は、弁を有しており、前記ガス膨張デバイスを迂回することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の漏れ検出デバイス。
【請求項１３】
前記ガス膨張デバイスは前記高真空ポンプの一部であることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれかに記載の漏れ検出デバイス。
【請求項１４】
前記試験ガス管は、前記向流路を短くする前記主流路の更なる中間領域に少なくとも１つの更なる連結管を介して連結されていることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれかに記載の漏れ検出デバイス。
【請求項１５】
弁が、前記少なくとも１つの更なる連結管に配置されていることを特徴とする請求項１４に記載の漏れ検出デバイス。
【請求項１６】
試験室及び／又は被試験体、及びバッキングポンプと連結された試験ガス管と、高真空ポンプとを備えた漏れ検出デバイスを用いて漏れを検出する方法であって、
前記高真空ポンプの入口には試験ガス検出器が配置されており、前記高真空ポンプの出口が前記バッキングポンプと連結されており、前記高真空ポンプは少なくとも１つのロータ要素を備えており、主流路が前記入口から前記少なくとも１つのロータ要素に沿って前記出口に画定されており、前記高真空ポンプは、第１のポンプ段、該第１のポンプ段と主流方向に連結する第２のポンプ段、及び該第２のポンプ段と前記主流方向に連結する少なくとも１つの更なるポンプ段を備えており、
前記被試験体の大まかな検査のために、前記試験ガス管は、前記更なるポンプ段の内の１つと前記更なるポンプ段の内の１つの中間領域で連結管を介して連結されており、前記高真空ポンプの出口は、前記バッキングポンプと連結されたままであり、前記中間領域から前記入口に延びる試験ガスの向流路が前記主流路より短いことを特徴とする方法。
【請求項１７】
請求項１乃至１５のいずれかに記載の漏れ検出デバイスを用いて漏れを検出することを特徴とする方法。
【請求項１８】
前記大まかな検査は、漏れ検出の始めに直ちに行なわれることを特徴とする請求項１６又は１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記大まかな検査の後、前記試験室及び／又は被試験体は、前記試験ガス管と連結された更なる連結管を介して、前記向流路を短くする更なる中間領域に連結されることを特徴とする請求項１６乃至１８のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、漏れ検出デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
公知の向流式漏れ検出デバイスは、例えば欧州特許第1585951 号明細書から知られているように、ターボ分子ポンプを用いて漏れ検出を行う。被試験体、又は被試験体が配置される試験室が、試験ガス管を介してバッキングポンプに連結されている。更に、試験ガス管はターボ分子ポンプの２以上の中間入口に連結されている。バッキングポンプはターボ分子ポンプの出口に連結されている。ターボ分子ポンプの入口には、試験ガス検出器が、特にはターボ分子ポンプによって排気されるチャンバ内に配置されている。このため、超高感度の試験ガス検出器を使用することが可能になる。特にはヘリウムである試験ガスの検出は、ターボ分子ポンプの主流方向に対してターボ分子ポンプ内を入口に流れる試験ガスによって行われるため、試験ガスが試験ガス検出器によって検出され得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】欧州特許第1585951 号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
欧州特許第1585951 号明細書では、試験ガス管は、被試験体の大まかな検査のためにターボ分子ポンプの出口領域に連結されている。試験ガス管がターボ分子ポンプの出口領域に連結されているため、試験ガスの向流路、つまり戻り流路がターボ分子ポンプ内でかなり長い。試験ガス管内の圧力が低圧であるときのみ、試験ガス管は、ターボ分子ポンプの中間領域と連結されることができ、そのため、向流路は短くなる。些細な変化を考慮に入れずに、試験ガス管内の圧力がターボ分子ポンプの中間領域の圧力に相当する場合、試験ガスは、ターボ分子ポンプのこの中間領域に導入され得る。従って、試験ガス管が更なる中間入口に連結されることにより、向流路は更に短くなるが、このような連結は、試験ガス管内の圧力が更に下げられる少し後でのみ可能である。向流路、つまり戻り流路が、特に被試験体の検査の始めに長いので、試験時間及び応答時間が比較的長い。
【０００５】
欧州特許第1585951 号明細書の図３に例示されている別の実施形態では、高真空ポンプの出口側を試験ガス管に連結する代わりに、試験ガス管を２段のホルベック(Holweck) ポンプ内の領域に連結することが可能である。この場合、バッキングポンプと連結される高真空ポンプの出口側は、ホルベックポンプの同一圧力領域でバッキングポンプに連結されており、高真空ポンプの出口を介してバッキングポンプに連結されていない。そのため、主流路及び向流路は、両方共等しい長さのまま短くなる。高真空ポンプを試験ガス管に、又はバッキングポンプと連結された管に連結するという様々な可能性により、様々な適用分野が簡単に実現され得る。しかしながら、主流路に対して向流路を短くすることは、欧州特許第1585951 号明細書の図３に関して述べられている実施形態では依然として不可能である。
【０００６】
別の漏れ検出デバイスが独国特許出願公開第19735250号明細書から公知である。この漏れ検出デバイスは、主流方向に並んだターボ分子ポンプ、ガス摩擦ポンプ及びバッキングポンプを備えている。大まかな検査のために、試験ガス管はガス摩擦ポンプの出口と連結されている。精密な検査のために、試験ガス管は、ターボ分子ポンプとガス摩擦ポンプとの間の領域に連結され得る。絞り弁が、微調整のためにこの試験ガス管に配置されている。しかしながら、大まかな検査、つまり検査の開始が常に、ガス摩擦ポンプの出口から試験ガス媒体を供給することによりなされる。大まかな検査では、ターボ分子ポンプに試験ガスを直接供給すると、大きな圧力差のためにターボ分子ポンプが損傷するので、ガス摩擦ポンプとターボ分子ポンプとの間の領域に試験ガス媒体を供給することが不可能である。
【０００７】
本発明の目的は、試験時間が短縮され得る漏れ検出デバイス及び漏れ検出方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的は、請求項１及び請求項１２の特徴を備えた本発明によって夫々達成される。
【０００９】
本発明の漏れ検出デバイスは、多段の高圧真空ポンプを備えている。特にはターボ分子ポンプとして設計されてもよい第１のポンプ段の後に、好ましくはガス摩擦ポンプとして設計され、特にはホルベック(Holweck) ポンプ段である第２のポンプ段が設けられている。高真空ポンプは、高真空ポンプの入口で試験ガス検出器に連結されている。更に、高真空ポンプの出口がバッキングポンプと連結されており、高真空ポンプの少なくとも１つのロータ要素が、入口から少なくとも１つのロータ要素に沿って出口に主流路を画定している。少なくとも１つのロータ要素は、ターボ分子ポンプの複数の動翼と、例えば、ホルベックポンプ段として設計された第１のポンプ段の略円筒状のロータ要素とを有していることが好ましい。
【００１０】
本発明によれば、高真空ポンプは、第２のポンプ段と主流方向に隣り合う少なくとも１つの更なるポンプ段、つまり少なくとも１つの第３のポンプ段を更に備えている。好ましい実施形態では、この第３のポンプ段もホルベックポンプ段である。必要に応じて、第４のポンプ段、又は更に多くの更なるポンプ段が第３のポンプ段の後に設けられ、好ましい実施形態では、これらのポンプ段は全てホルベックポンプ段として設計されている。ここで、ホルベックポンプ段の略円筒状のロータ要素は、互いに同心状に配置されていることが好ましい。試験時間を短縮すべく、試験ガス管は、被試験体の大まかな検査のために、更なるポンプ段の内の１つ、つまり第３のポンプ段又は設けられている場合には更なるポンプ段にこのポンプ段の中間領域で連結されている。ここで、高真空ポンプの出口は、主流路の長さと向流路の長さとの差を実現すべくバッキングポンプと連結されたままである。向流路は、試験ガスが中間領域から試験ガス検出器、又は高真空ポンプの入口夫々に移動する流路である。
【００１１】
本発明によって提供されているように、試験ガスの中間領域への導入を可能にするために、開口又は絞りのようなガス膨張デバイスが連結管に更に設けられている。ガス膨張デバイスが連結管に設けられていることによって、出口までの中間領域における高真空ポンプの内部吸込能力及び圧縮比に一致した圧力まで試験ガスを膨張することが可能になる。従って、被試験体の密閉性の大まかな検査がまず行われる検査の始めにも、試験ガスを、短くされた向流路に沿って試験ガス検出器に導くことが可能である。向流路を短くすることにより、試験ガス検出器の応答時間は更に速い。従って、試験時間は著しく短縮され得る。特に被試験体の著しい漏れが検出されるとき、漏れは、かなり迅速に検出され得る。ここで、漏れ検出は高真空ポンプの最大限のプレ真空安定性で、つまり高真空ポンプの圧力に影響を及ぼさない高真空ポンプの出口側での最大許容圧力で開始される。
【００１２】
本発明によって提供されているように、ガス膨張デバイスを連結管に配置することによって、出口までの高真空ポンプの内部吸込能力及び圧縮比が中間領域で一致され得る。ここで、ガス膨張デバイスが可変であるか、又は調整可能であることが好ましい。特に、被試験体の検査の始めに、ガス膨張デバイスは、試験ガスの圧力を少なくとも30%、好ましくは少なくとも40%低下させる。
【００１３】
本発明の配置により、漏れ検出の始めで既に、向流路を主流路に対して少なくとも1/5 、特には少なくとも1/4 短くするという特徴が備えられていることが好ましい。
【００１４】
特に好ましい実施形態では、試験室又は被試験体が検査の始めに高真空室に連結されるための中間領域は、主流方向に見て、最後の分子ポンプ又はガス摩擦ポンプの領域に設けられている。この分子ポンプ段又はガス摩擦ポンプ段の流路の長さに関して、中間領域は、この分子ポンプ段又はガス摩擦ポンプ段の入口より出口に近く設けられていることが好ましい。従って、好ましい実施形態では、中間領域は、最後の分子ポンプ段又はガス摩擦ポンプ段の流路の長さに関して主流方向に見て主流路の後半に配置されている。好ましい実施形態では、中間領域と出口との間の流路に対するこの分子ポンプ又はガス摩擦ポンプの流路全体の比は、1/2 未満であり、特には1/3 未満であり、特に好ましくは1/4 未満である。中間領域が設けられているこの最後のポンプ段内の向流路は、このポンプ段内の主流路の80%未満であることが好ましく、60%未満であることが特に好ましい。具体的には、向流路はこのポンプ段に関して50%であり、中間領域は、このポンプ段の略中央部分に設けられている。本発明によれば、中間領域と出口との距離は、分子ポンプ又はガス摩擦ポンプ内の流路全体に対して０より大きく、好ましくは1/6 より大きく、特には1/5 より大きい。
【００１５】
本発明の別の好ましい実施形態では、ガス選択性ガス膨張デバイス、つまり特にはガス選択性の絞り又は開口が設けられている。従って、ヘリウム、水素又は相当する試験ガス成分のような試験ガスが、他のガスより速くガス膨張デバイスを通過し、そのため、試験ガスが、より短い試験時間で試験ガス検出器によって検出され得る。ガス選択性ガス膨張デバイスを設けることによって、試験時間は、特には漏れ検出の始めに更に短縮され得る。
【００１６】
本発明の好ましい展開では、ガス膨張デバイスを跨ぐバイパス管が設けられている。弁を含むバイパス管は、大まかな検査のための試験ガス圧力より低い試験ガス圧力で中間領域に試験ガスを供給すべく機能する。試験ガスが高真空ポンプの中間領域に供給され得る前に、試験ガス管内の試験ガスを膨張させる必要がなくなるとすぐに、ガス膨張デバイスは迂回される。同様に、ガス膨張デバイスが完全に開放されることができ、従って絞りとして機能しないように、ガス膨張デバイスを設計することが更に可能である。
【００１７】
ガス膨張デバイスは高真空ポンプの一部であることが好ましい。従って、ガス膨張デバイスは、特にはポンプハウジングに配置されているか、又はポンプハウジングに少なくとも直接連結されている。このため、ガス膨張デバイスが介在される必要がないので、高真空ポンプの試験ガス管への連結が容易になるという利点がある。
【００１８】
更に、試験ガス管が中間領域に連結されるための連結管に加えて、少なくとも１つの他の連結管を設けることが可能である。少なくとも１つの更なる連結管を介して、試験ガス管は、高真空ポンプの更なる中間領域に連結され得る。ここで、この中間領域は高真空ポンプの入口の近くに設けられており、そのため、向流路が主流路に対して更に短くなる。更なる連結管を開放することのみ可能になり、従って、試験ガス管内の圧力が適切に低い場合に高真空ポンプの対応する領域を通って試験ガスを供給することのみ可能になるので、更なる連結管は弁を備えていることが好ましい。
【００１９】
更に、本発明は、漏れを検出する方法に関する。ここで、試験室及び／又は被試験体は試験ガス管を介してバッキングポンプと連結されている。更に、高真空ポンプが設けられており、高真空ポンプの入口に試験ガス検出器が配置されており、高真空ポンプの出口がバッキングポンプと連結されている。高真空ポンプは少なくとも１つのロータ要素を備えており、主流路が入口から少なくとも１つのロータ要素に沿って出口に画定されている。更に、高真空ポンプは、特にはターボ分子ポンプとして設計された第１のポンプ段と、第１のポンプ段と主流方向に連結し、特にはガス摩擦ポンプ段として設計された第２のポンプ段とを備えている。更に、本発明によれば、第２のポンプ段と連結し、好ましくはガス摩擦ポンプとして設計されている第３のポンプ段が設けられている。
【００２０】
本発明によれば、被試験体の大まかな検査のために、試験ガス管は、第３のポンプ段又は更なるポンプ段に設けられている中間領域に連結管を介して連結されている。高真空ポンプの出口がバッキングポンプと連結されたままであるので、向流路は、主流路に対して短くなる。大まかな検査は、漏れ検出の始めに直ちに行なわれることが好ましい。好ましい実施形態では、大まかな検査の良好な結果が得られた後、試験室及び／又は被試験体は、試験ガス管と連結された更なる連結管を介して高真空ポンプの更なる中間領域と連結され、そのため、向流路が更に短くなる。特には大まかな検査中に、高真空ポンプに供給される試験ガスの特にはガス選択性の調整又は膨張が行なわれることが更に好ましい。
【００２１】
特に好ましい実施形態では、本発明の方法は、本発明の上述した漏れ検出デバイスを使用して実行される。
【００２２】
本発明を、添付図面を参照して好ましい実施形態により以下に更に詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の漏れ検出デバイスの好ましい実施形態を示す概略断面図である。
【図２】高真空ポンプの第２のポンプ段乃至第５のポンプ段の別の好ましい実施形態を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
例示されている実施形態では、高真空ポンプはターボ分子ポンプ10であり、２つのホルベック(Holweck) ポンプ段（第２のポンプ段及び第３のポンプ段）が搬送方向に見てターボ分子ポンプ10の下流側に配置されている。ターボ分子ポンプ10のロータ12が複数のロータ要素14に連結されている。ブレード状のロータ要素14は、ロータ要素14間に配置されたステータ要素16と協働する。ステータ要素16は、ステータリング18によってポンプハウジング20内に固定されている。ロータ要素である動翼14とステータ要素である静翼16とによって、ガスは矢印22の方向に送られる。ターボ分子ポンプ10に連結するホルベックポンプ段11は円筒状のロータ要素13を有しており、ロータ要素13は、ロータ要素12と連結されており、ネジ状の流路間に配置されている。従って、円筒状のロータ要素13は、夫々のネジ状の流路と共に第２のポンプ段15及び第３のポンプ段17を形成している。そのため、試験ガス検出器38の領域に真空を生成すべくガスはまず、第２のポンプ段15内で矢印26の方向に送られ、その後、第３のポンプ段17内で矢印28の方向に出口領域30に向かって送られる。第１のポンプ段はターボ分子ポンプ10によって形成されている。
【００２５】
例示されている実施形態では、出口領域30は、出口管32を介して高真空ポンプ10のポンプ出口34に連結されている。
【００２６】
試験ガス検出器38は、高真空ポンプ10の入口36と連結されている。バッキングポンプ40が、弁39が配置されている管37を介して高真空ポンプの出口34に連結されている。
【００２７】
被試験体が配置される試験室42が、試験ガス管44を介してバッキングポンプ40に連結されている。試験室42を設ける代わりに、試験ガス管44が、被試験体と直接連結され得る。別の弁46が試験ガス管44に設けられている。
【００２８】
試験ガス管44は、連結管48を介してホルベックポンプ段11の中間領域50に連結されている。中間領域50は、主流方向22，26，28に見て出口領域30の上流側に配置されている領域である。従って、試験ガスは第３のポンプ段17の中間領域50から高真空ポンプの入口36まで流れるだけでよいので、試験ガスの向流路は主流路より短い。出口領域30と中間領域50との間を、試験ガスは通過する必要がない。
【００２９】
弁52に加えて、ガス膨張デバイス54が連結管48に配置されており、ガス膨張デバイス54は具体的には絞りである。絞り54は、弁58が配置されているバイパス管56を通って迂回され得る。高真空ポンプ10の別の中間領域60が、弁64が設けられている更なる連結管62を介して試験ガス管44に連結されている。別の中間領域60は高真空ポンプの入口36により近く、そのため、向流路が更に短くなる。
【００３０】
場合によっては、示された実施形態に例示されているように、高真空ポンプ10の更なる中間領域66が、弁70が設けられている更なる連結管68を介して試験ガス管44と連結され得る。更なる中間領域66は、別の中間領域60より入口36に近く、そのため、この場合も向流路が更に短くなる。
【００３１】
被試験体の検査の始めに、まず弁46を開放し、バッキングポンプ40を使用して試験室42、又は直接被試験体の圧力を下げる。同時に、試験ガス検出器38の領域の圧力が、高真空ポンプを使用して所望の低圧に維持される。
【００３２】
圧力が高真空ポンプのプレ真空安定性レベルまで下げられるとすぐに、大まかな検査が開始され得る。
【００３３】
このために、弁46は開放されたままであり、加えて弁39及び弁52を開放する。従って、バイパス流がガス摩擦ポンプの領域を通過して、存在している試験ガスは試験ガス検出器38に達することが可能である。圧力レベルが更に下がる場合、弁46は閉められ、送られるべきガス流は全てガス摩擦ポンプの出口側領域を通過する。
【００３４】
例えば、中間領域50の範囲内におけるターボ分子ポンプの内部吸込能力は５Ｌ／秒である。例えば２mmの絞り54の断面では、圧力がかなり高い15mbarのガスを、例えば７mbarの許容圧力に中間領域50で膨張することが可能である。
【００３５】
最初の大まかな検査により、被試験体の漏れが検出されなければ、圧力を更に下げる。ここで、弁52は閉じられ、弁58が開放され、そのため、試験ガスがバイパス管56を介して中間領域50に流れ得る。この圧力範囲では、ガス膨張デバイス54による試験ガスの膨張は必要ではない。
【００３６】
その後、試験ガス検出器38によって試験ガスが再度検出され得ない場合、弁52は閉じたままであり、弁58を閉じて、更なる連結管62の弁64を開放して、圧力を更に下げる。この更に下げられた圧力では、試験ガスは別の中間領域60に供給され得る。別の中間領域60は、更に短くされた向流路を有しており、従って、試験ガス検出器38への試験ガスの短くされた流路を有している。
【００３７】
必要に応じて、弁64を閉じて、弁70を開放して試験ガスの更なる連結管68を介した更なる中間領域66への供給を可能にして、圧力を更に下げることが可能である。
【００３８】
図２は、本発明の漏れ検出デバイスの更なる実施形態の詳細を示す。第１のポンプ段10に連結する領域のみが例示されており、第１のポンプ段は、特にはターボ分子ポンプとして設計されている。ここで、同様の要素及び同一の要素は、図１に例示されている実施形態と同一の参照番号によって特定されている。
【００３９】
図１に例示されている実施形態における２つのホルベック(Holweck) ポンプ、つまり第２のポンプ段及び第３のポンプ段の代わりに、図２に例示されている実施形態では４つのホルベックポンプが設けられている。これらのホルベックポンプは、第２のポンプ段15、第３のポンプ段17、第４のポンプ段72及び第５のポンプ段74を形成している。
【００４０】
矢印22によって示されているように、試験ガス検出器38によって吸い込まれた媒体はまず、ターボ分子ポンプ段10を通って主流路に沿って流れる。次に、ガスは、ホルベック(Holweck) ポンプ段として設計された第２のポンプ段15を（矢印26の方向に）通過し、その後第３のポンプ段17を（矢印28の方向に）流れる。このホルベックポンプ段17の主流路の端部で、ガスの向きが矢印76によって示されているように再度変えられ、ガスは第４のポンプ段72に達して矢印78の方向に流れる。
【００４１】
（矢印80の方向への）向きの変更によって、ガスは、第４のポンプ段72から、例示されている実施形態では第５のポンプ段である最後のポンプ段74に流れる。ガスは、最後のポンプ段74から、高真空ポンプの出口34に通じる出口管32に流れる。
【００４２】
本実施形態では、連結管48と連結された中間領域50は、最後のポンプ段、つまり第５のポンプ段74と第５のポンプ段74の中央部分で連結されている。
【図１】
0005948349.tif 000002
【図２】
0005948349.tif 000003