(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一つの金属層ともう一つの金属層とを接触させて構成される積層物であって、前記一つの金属層における前記もう一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）および前記もう一つの金属層における前記一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）の内いずれか一方または両方が３．５μｍ以下である積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が厚みが５μｍ以上の樹脂で覆われてなる積層体であって、前記樹脂の前記厚みは前記積層体を平面視したときに金属層を覆う部分の樹脂の厚みであって金属層の厚み方向に沿った厚みである積層体。
【請求項２】
一つの金属層ともう一つの金属層とを分離可能に接触させて構成される積層物であって、前記一つの金属層における前記もう一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）および前記もう一つの金属層における前記一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）の内いずれか一方または両方が３．５μｍ以下である積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が厚みが５μｍ以上の樹脂で覆われてなる積層体であって、前記樹脂の前記厚みは前記積層体を平面視したときに金属層を覆う部分の樹脂の厚みであって金属層の厚み方向に沿った厚みである積層体。
【請求項３】
一つの金属層ともう一つの金属層とを接合させて構成される積層物であって、前記一つの金属層における前記もう一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）および前記もう一つの金属層における前記一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）の内いずれか一方または両方が３．５μｍ以下である積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が厚みが５μｍ以上の樹脂で覆われてなる積層体であって、前記樹脂の前記厚みは前記積層体を平面視したときに金属層を覆う部分の樹脂の厚みであって金属層の厚み方向に沿った厚みである積層体。
【請求項４】
一つの金属層ともう一つの金属層である金属層同士を接合させて構成される積層物であって、前記金属層同士の接合部を除去することで金属層同士が分離可能となる積層物であり、前記一つの金属層における前記もう一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）および前記もう一つの金属層における前記一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）の内いずれか一方または両方が３．５μｍ以下である積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が厚みが５μｍ以上の樹脂で覆われてなる積層体であって、前記樹脂の前記厚みは前記積層体を平面視したときに金属層を覆う部分の樹脂の厚みであって金属層の厚み方向に沿った厚みである積層体。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の積層体において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の全体にわたって樹脂で覆われてなる積層体。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の積層体において、少なくとも一方の金属層の面において平面視したときに、金属層が露出している積層体。
【請求項７】
前記金属層同士を、離型層を用いて貼り合わせてなる請求項１〜６のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項８】
前記金属層同士の剥離強度が０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である請求項１〜７のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項９】
２２０℃で３時間、６時間または９時間のうちの少なくとも一つの加熱後における、金属層同士の剥離強度が、０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である請求項１〜８のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項１０】
前記樹脂が熱硬化性樹脂を含む請求項１〜９のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項１１】
前記樹脂が熱可塑性樹脂を含む請求項１〜１０のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の積層体において、前記樹脂が前記金属層の外側において、孔が設けられた積層体。
【請求項１３】
請求項１２に記載の積層体において、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層体。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか一項に定義される積層物であって、当該積層物を貫通する孔が設けられ、当該積層物の両側の表面に樹脂を積層し、当該積層物の両側の樹脂の表面に配線層を積層する用途に用いられる積層物。
【請求項１５】
請求項１４に記載の積層物であって、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層物。
【請求項１６】
請求項１４または１５に記載の積層物を有する積層体。
【請求項１７】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の積層体であって、前記積層物は孔を有する積層体。
【請求項１８】
請求項１７に記載の積層体であって、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層体。
【請求項１９】
少なくとも一方の金属層が銅または銅合金で構成される請求項１〜１３、１６〜１８のいずれか一項記載の積層体。
【請求項２０】
請求項１４または１５に記載の積層物からなる群から選択される積層物を二つ以上有する積層体。
【請求項２１】
板状樹脂と、当該板状樹脂の両面にそれぞれ積層される、一つの金属層ともう一つの金属層とを分離可能に接触させて構成される積層物であって、前記一つの金属層における前記もう一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）および前記もう一つの金属層における前記一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）の内いずれか一方または両方が３．５μｍ以下である積層物とを有し、
前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が厚みが５μｍ以上の樹脂で覆われてなる積層体であって、前記樹脂の前記厚みは前記積層体を平面視したときに金属層を覆う部分の樹脂の厚みであって金属層の厚み方向に沿った厚みである積層体。
【請求項２２】
請求項２１に記載の積層体において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の全体にわたって樹脂で覆われてなる積層体。
【請求項２３】
請求項２１または２２に記載の積層体において、前記板状樹脂と、前記樹脂とが一体的に形成されている積層体。
【請求項２４】
請求項２１または２２に記載の積層体において、前記板状樹脂と、前記樹脂とが別々の部材として形成されている積層体。
【請求項２５】
金属層同士を、離型層を用いて貼り合わせてなる請求項２１〜２４のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項２６】
前記金属層同士の剥離強度が０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である請求項２１〜２５のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項２７】
２２０℃で３時間、６時間または９時間のうちの少なくとも一つの加熱後における、金属層同士の剥離強度が、０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である請求項２１〜２６のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項２８】
前記樹脂が熱硬化性樹脂を含む請求項２１〜２７のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項２９】
前記樹脂が熱可塑性樹脂を含む請求項２１〜２８のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項３０】
請求項２１〜２９のいずれか一項に記載の積層体において、前記樹脂が前記金属層の外側において、孔が設けられた積層体。
【請求項３１】
請求項３０に記載の積層体において、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層体。
【請求項３２】
少なくとも一方の金属層が銅または銅合金で構成される請求項２１〜３１のいずれか一項に記載の積層体。
【請求項３３】
請求項１〜１３および１６〜３２のいずれか一項に記載の積層体を、金属層の面において平面視したときに、前記金属層同士の積層面にて切断して得られるキャリア付金属層。
【請求項３４】
以下の（１）、（３）、（５）、（７）〜（１１）、（１３）〜（１７）、（２０）〜（３０）、および（３２）〜（３７）のいずれか一つに記載の積層体、あるいは下記（１）、（３）、（５）、（７）〜（１１）、および（１３）〜（１７）のいずれか一つに定義される積層物、あるいは下記（１８）もしくは（１９）に記載の積層物において、前記それぞれの金属層の、他方の金属層とは接していない側の表面に、当該表面の全面を覆うようにそれぞれ板状樹脂を積層し、当該それぞれの板状樹脂の一方の板状樹脂と他方の板状樹脂が接着してなる多層積層体。
（１）
一つの金属層ともう一つの金属層とを接触させて構成される積層物であって、前記一つの金属層における前記もう一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）および前記もう一つの金属層における前記一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）の内いずれか一方または両方が３．５μｍ以下である積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われてなる積層体
（３）
一つの金属層ともう一つの金属層とを分離可能に接触させて構成される積層物であって、前記一つの金属層における前記もう一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）および前記もう一つの金属層における前記一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）の内いずれか一方または両方が３．５μｍ以下である積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われてなる積層体
（５）
一つの金属層ともう一つの金属層とを接合させて構成される積層物であって、前記一つの金属層における前記もう一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）および前記もう一つの金属層における前記一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）の内いずれか一方または両方が３．５μｍ以下である積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われてなる積層体
（７）
一つの金属層ともう一つの金属層である金属層同士を接合させて構成される積層物であり、前記金属層同士の接合部を除去することで金属層同士が分離可能となる積層物であって、前記一つの金属層における前記もう一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）および前記もう一つの金属層における前記一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）の内いずれか一方または両方が３．５μｍ以下である積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われてなる積層体
（８）
（１）、（３）、（５）、および（７）のいずれか一つに記載の積層体において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の全体にわたって樹脂で覆われてなる積層体
（９）
（１）、（３）、（５）、（７）、および（８）のいずれか一つに記載の積層体において、両方の金属層の面において平面視したときに、金属層が露出している積層体
（１０）
前記金属層同士を、離型層を用いて貼り合わせてなる（１）、（３）、（５）、および（７）〜（９）のいずれか一つに記載の積層体
（１１）
前記金属層同士の剥離強度が０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である（１）、（３）、（５）、および（７）〜（１０）のいずれか一つに記載の積層体
（１３）
２２０℃で３時間、６時間または９時間のうちの少なくとも一つの加熱後における、金属層同士の剥離強度が、０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である（１）、（３）、（５）、および（７）〜（１１）のいずれか一つに記載の積層体
（１４）
前記樹脂が熱硬化性樹脂を含む（１）、（３）、（５）、（７）〜（１１）、および（１３）のいずれか一つに記載の積層体
（１５）
前記樹脂が熱可塑性樹脂を含む（１）、（３）、（５）、（７）〜（１１）、（１３）、および（１４）のいずれか一つに記載の積層体
（１６）
（１）、（３）、（５）、（７）〜（１１）、（１３）、（１４）、および（１５）のいずれか一つに記載の積層体において、前記樹脂が前記金属層の外側において、孔が設けられた積層体
（１７）
（１６）に記載の積層体において、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層体
（２０）
以下の（１８）または（１９）に記載の積層物を有する積層体
（１８）
前記（１）、（３）、（５）、（７）〜（１１）、（１３）、（１４）、（１５）、（１６）、および（１７）のいずれか一つに定義される積層物であって、孔が設けられた積層物
（１９）
前記（１８）に記載の積層物であって、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層物
（２１）
前記（１）、（３）、（５）、（７）〜（１１）、（１３）、（１４）、（１５）、（１６）、および（１７）のいずれか一つに記載の積層体であって、前記積層物は孔を有する積層体
（２２）
前記（２１）に記載の積層体であって、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層体
（２３）
少なくとも一方の金属層が銅または銅合金で構成される前記（１）、（３）、（５）、（７）〜（１１）、（１３）、（１４）、（１５）、（１６）、（１７）、および（２０）〜（２２）のいずれか一つに記載の積層体
（２４）
前記（１）、（３）、（５）、（７）〜（１１）、（１３）、（１４）、（１５）、（１６）、および（１７）のいずれか一つに定義される積層物、および前記（１８）または（１９）に記載の積層物からなる群から選択される積層物を二つ以上有する積層体
（２５）
板状樹脂と、当該板状樹脂の両面にそれぞれ積層される、一つの金属層ともう一つの金属層とを分離可能に接触させて構成される積層物であって、前記一つの金属層における前記もう一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）および前記もう一つの金属層における前記一つの金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）の内いずれか一方または両方が３．５μｍ以下である積層物とを有し、
前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われてなる積層体
（２６）
前記（２５）に記載の積層体において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の全体にわたって樹脂で覆われてなる積層体
（２７）
前記（２５）または（２６）に記載の積層体において、前記板状樹脂と、前記樹脂とが一体的に形成されている積層体
（２８）
前記（２５）または（２６）に記載の積層体において、前記板状樹脂と、前記樹脂とが別々の部材として形成されている積層体
（２９）
金属層同士を、離型層を用いて貼り合わせてなる前記（２５）〜（２８）のいずれか一つに記載の積層体
（３０）
前記金属層同士の剥離強度が０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である前記（２５）〜（２９）のいずれか一つに記載の積層体
（３２）
２２０℃で３時間、６時間または９時間のうちの少なくとも一つの加熱後における、金属層同士の剥離強度が、０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である前記（２５）〜（３０）のいずれか一つに記載の積層体
（３３）
前記樹脂が熱硬化性樹脂を含む前記（２５）〜（３０）および（３２）のいずれか一つに記載の積層体
（３４）
前記樹脂が熱可塑性樹脂を含む前記（２５）〜（３０）、（３２）、および（３３）のいずれか一つに記載の積層体
（３５）
前記（２５）〜（３０）および（３２）〜（３４）のいずれか一つに記載の積層体において、前記樹脂が前記金属層の外側において、孔が設けられた積層体
（３６）
前記（３５）に記載の積層体において、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層体
（３７）
少なくとも一方の金属層が銅または銅合金で構成される前記（２５）〜（３０）および（３２）〜（３６）のいずれか一つに記載の積層体
【請求項３５】
金属層の面において平面視したときに、前記金属箔の面積をＳａとし、前記二つの板状樹脂の内、平面視した場合の面積が大きい前記板状樹脂の面積をＳｂとした場合、Ｓａ／Ｓｂが１．０未満である請求項３４に記載の多層積層体。
【請求項３６】
請求項３４または３５に記載の積層体において、前記それぞれの樹脂の表面にさらに別の金属層を積層してなる多層積層体。
【請求項３７】
金属層の面において平面視したときに、前記金属層同士の積層面の大きさよりも前記別の金属層の大きさが大きい請求項３６に記載の多層積層体。
【請求項３８】
請求項３６または３７に記載の多層積層体を、前記別の金属層の表面において平面視したときに、前記樹脂と、前記別の金属層との積層面にて切断されている多層積層体。
【請求項３９】
請求項３６または３７に記載の多層積層体において、前記（１）、（３）、（５）、（７）〜（１１）、（１３）、（１４）、（１５）、（１６）、および（１７）、および（２０）〜（３０）、および（３２）〜（３７）のいずれか一つに記載の積層体、あるいは前記（１）、（３）、（５）、（７）〜（１１）、（１３）、（１４）、（１５）、（１６）、および（１７）のいずれか一つに定義される積層物、あるいは前記（１８）もしくは（１９）に記載の積層物において貫通する孔が設けられた多層積層体。
【請求項４０】
請求項３９に記載の多層積層体を、前記別の金属層の表面において平面視したときに、前記樹脂と、前記別の金属層との積層面にて切断されている多層積層体。
【請求項４１】
請求項４０に記載の多層積層体において、前記孔よりも内側に、当該多層積層体全体を貫通する孔が設けられた多層積層体。
【請求項４２】
請求項１〜１３、１７、１８、および２１〜３２のいずれか一項に記載の積層体、あるいは請求項３４〜４１のいずれか一項に記載の多層積層体の少なくとも一つの金属層の面方向に対して、樹脂又は金属層を１回以上積層することを含む多層金属張積層板の製造方法。
【請求項４３】
請求項１〜１３、１７、１８、および２１〜３２のいずれか一項に記載の積層体、あるいは請求項３４〜４１のいずれか一項に記載の多層積層体の少なくとも一つの金属層の面方向に対して、樹脂、片面あるいは両面金属張積層板、請求項１〜１３および１６〜３２のいずれか一項に記載の積層体、請求項１〜１３のいずれか一項に定義されている積層物、請求項１４または１５に記載の積層物、請求項３３に記載のキャリア付金属層、請求項３４〜４１のいずれか一項に記載の多層積層体、樹脂基板付金属層または金属層を１回以上積層することを含む多層金属張積層板の製造方法。
【請求項４４】
請求項４２または４３に記載の多層金属張積層板の製造方法において、前記積層体を、金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層面の少なくとも一つにて切断する工程を含む多層金属張積層板の製造方法。
【請求項４５】
請求項４４に記載の多層金属張積層板の製造方法において、積層した前記キャリア付金属層の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含む多層金属張積層板の製造方法。
【請求項４６】
請求項４４に記載の多層金属張積層板の製造方法において、前記切断後の積層体の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含む多層金属張積層板の製造方法。
【請求項４７】
請求項４５または４６に記載の製造方法において、剥離して分離した金属層の一部または全部をエッチングにより除去する工程を含む多層金属張積層板の製造方法。
【請求項４８】
請求項１〜１３、１７、１８、および２１〜３２のいずれか一項に記載の積層体、あるいは請求項３４〜４１のいずれか一項に記載の多層積層体と、当該多層積層体の少なくとも一つの金属層の面側に設けられた、樹脂又は金属層の一つ以上とを有する多層金属張積層板。
【請求項４９】
請求項１〜１３、１７、１８、および２１〜３２のいずれか一項に記載の積層体、あるいは請求項３４〜４１のいずれか一項に記載の多層積層体と、当該多層積層体の少なくとも一つの金属層の面側に設けられ、樹脂、片面あるいは両面金属張積層板、請求項１〜１３および１６〜３２のいずれか一項に記載の積層体、請求項１〜１３のいずれか一項に定義されている積層物、請求項１４または１５に記載の積層物、請求項３３に記載のキャリア付金属層、請求項３４〜４１のいずれか一項に記載の多層積層体、樹脂基板付金属層または金属層から選択される層の１つ以上とを有する多層金属張積層板。
【請求項５０】
請求項４８または４９に記載の多層金属張積層板であって、前記多層金属張積層板の金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層面の少なくとも一つが切断されている多層金属張積層板。
【請求項５１】
請求項１〜１３、１７、１８、および２１〜３２のいずれか一項に記載の積層体、あるいは請求項３４〜４１のいずれか一項に記載の多層積層体の少なくとも一つの金属層の面方向に対して、ビルドアップ配線層を一層以上形成する工程を含むビルドアップ基板の製造方法。
【請求項５２】
ビルドアップ配線層はサブトラクティブ法又はフルアディティブ法又はセミアディティブ法の少なくとも一つを用いて形成される請求項５１に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項５３】
請求項１〜１３、１７、１８、および２１〜３２のいずれか一項に記載の積層体、あるいは請求項３４〜４１のいずれか一項に記載の多層積層体の少なくとも一つの金属層の面方向に対して、樹脂、片面あるいは両面配線基板、片面あるいは両面金属張積層板、請求項１〜１３および１６〜３２のいずれか一項に記載の積層体、請求項１〜１３のいずれか一項に定義されている積層物、請求項１４または１５に記載の積層物、請求項３３に記載のキャリア付金属層、請求項３４〜４１のいずれか一項に記載の多層積層体、樹脂基板付金属層、配線、回路または金属層を１回以上積層することを含むビルドアップ基板の製造方法。
【請求項５４】
請求項５３に記載のビルドアップ基板の製造方法において、片面あるいは両面配線基板、片面あるいは両面金属張積層板、積層体の金属層、積層体の樹脂、金属層、キャリア付金属層の樹脂、キャリア付金属層の金属層、多層積層体の金属層、多層積層体の樹脂、多層積層体の別の金属層、樹脂基板付金属層の樹脂、樹脂基板付金属層の金属層又は樹脂に穴を開け、当該穴の側面および底面に導通めっきをする工程を更に含むビルドアップ基板の製造方法。
【請求項５５】
請求項５３または５４に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記片面あるいは両面配線基板を構成する金属層、片面あるいは両面金属張積層板を構成する金属層、及び積層体を構成する金属層、キャリア付金属層を構成する金属層、多層積層体の金属層、多層積層体の別の金属層、樹脂基板付金属層の金属層、及び金属層の少なくとも一つに配線を形成する工程を１回以上行うことを更に含むビルドアップ基板の製造方法。
【請求項５６】
配線形成された表面の上に、請求項１〜１３および１６〜３２のいずれか一項に記載の積層体、請求項３３に記載のキャリア付金属層、または請求項３４〜４１のいずれか一項に記載の多層積層体を積層する工程を更に含む請求項５３〜５５のいずれか一項に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項５７】
請求項５１〜５６のいずれか一項に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記積層体を、金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層面の少なくとも一つにて切断する工程を含むビルドアップ基板の製造方法。
【請求項５８】
請求項５１〜５６のいずれか一項に記載のビルドアップ基板の製造方法において、積層した前記キャリア付金属層の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
【請求項５９】
請求項５７に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記切断後の積層体の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
【請求項６０】
請求項５８または５９に記載のビルドアップ配線板の製造方法において、剥離して分離した金属層の一部または全部をエッチングにより除去する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
【請求項６１】
請求項５８〜６０のいずれか一項に記載の製造方法によりビルドアップ配線板を製造する工程を含むプリント回路板の製造方法。
【請求項６２】
請求項１〜１３および１６〜３２のいずれか一項に記載の積層体、あるいは請求項１４もしくは１５に記載の積層物の二つの金属層の面方向に対して、樹脂を１回以上積層することを含む多層金属張積層板の製造方法。
【請求項６３】
請求項６２に記載の方法において、前記それぞれの樹脂の表面にさらに別の金属層を１回以上積層することを含む多層金属張積層板の製造方法。
【請求項６４】
請求項１〜１３および１６〜３２のいずれか一項に記載の積層体、あるいは請求項１４もしくは１５に記載の積層物と、当該積層物の二つの金属層の面側に設けられた、１層以上の樹脂とを有する多層金属張積層板。
【請求項６５】
請求項１〜１３および１６〜３２のいずれか一項に記載の積層体、あるいは請求項１４もしくは１５に記載の積層物と、当該積層物の二つの金属層の面側に設けられた、樹脂と別の金属層との各１層以上とを有する多層金属張積層板。
【請求項６６】
請求項１〜１３および１６〜３２のいずれか一項に記載の積層体、あるいは請求項１４もしくは１５に記載の積層物の二つの金属層の面方向に対して、それぞれ樹脂および別の金属層をこの順で１回以上積層することを含むビルドアップ基板の製造方法。
【請求項６７】
請求項６６に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記別の金属層および樹脂に穴を開け、当該穴の側面および底面に導通めっきをする工程を更に含むビルドアップ基板の製造方法。
【請求項６８】
請求項６６または６７に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記別の金属層の少なくとも一つに配線を形成する工程を１回以上行うことを更に含むビルドアップ基板の製造方法。
【請求項６９】
配線形成された表面の上に、請求項１〜１３および１６〜３２のいずれか一項に記載の積層体、請求項３３に記載のキャリア付金属層、または請求項３４〜４１のいずれか一項に記載の多層積層体を積層する工程を更に含む請求項６８に記載のビルドアップ基板の製造方法。
【請求項７０】
請求項６６〜６９のいずれか一項に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記積層体を、金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層面の少なくとも一つにて切断する工程を含むビルドアップ基板の製造方法。
【請求項７１】
請求項６６〜７０のいずれか一項に記載のビルドアップ基板の製造方法において、積層した前記積層体の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
【請求項７２】
請求項７０に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記切断後の積層体の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
【請求項７３】
請求項７１または７２に記載のビルドアップ配線板の製造方法において、剥離して分離した金属層の一部または全部をエッチングにより除去する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
【請求項７４】
請求項７１〜７３のいずれか一項に記載の製造方法によりビルドアップ配線板を製造する工程を含むプリント回路板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属層同士を分離可能に接触させて構成される積層物を含む積層体に関する。より詳細には、プリント配線板に使用される片面若しくは２層以上の多層積層板又は極薄のコアレス基板の製造において用いられる積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリント配線板は、合成樹脂板、ガラス板、ガラス不織布、紙などの基材に合成樹脂を含浸させて得た「プリプレグ（Ｐｒｅｐｒｅｇ）」と称する誘電材を、基本的な構成材料としている。また、プリプレグと相対する側には電気伝導性を持った銅又は銅合金箔等のシートが接合されている。このように組み立てられた積層物を、一般にＣＣＬ（Copper Clad Laminate）材と呼んでいる。銅箔のプリプレグと接する面は、接合強度を高めるためにマット面とすることが通常である。銅又は銅合金箔の代わりに、アルミニウム、ニッケル、亜鉛などの箔を使用する場合もある。これらの厚さは５〜２００μｍ程度である。この一般的に用いられるＣＣＬ（Copper Clad Laminate）材を図１に示す。
【０００３】
特許文献１には、合成樹脂製の板状キャリアと、該キャリアの少なくとも一方の面に、機械的に剥離可能に密着させた金属箔からなるキャリア付金属箔が提案され、このキャリア付金属箔はプリント配線板の組み立てに供することができる旨記載されている。そして、板状キャリアと金属箔の剥離強度は、１ｇｆ／ｃｍ〜１ｋｇｆ／ｃｍであることが望ましいことを示した。当該キャリア付金属箔によれば、合成樹脂で銅箔を全面に亘って支持するので、積層中に銅箔に皺の発生を防止できる。また、このキャリア付金属箔は、金属箔と合成樹脂が隙間なく密着しているので、金属箔表面を鍍金又はエッチングする際に、これを鍍金又はエッチング用の薬液に投入することが可能となる。更に、合成樹脂の線膨張係数は、基板の構成材料である銅箔及び重合後のプリプレグと同等のレベルにあることから、回路の位置ずれを招くことがないので、不良品発生が少なくなり、歩留りを向上させることができるという優れた効果を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２７２５８９号公報
【特許文献２】特開２０００−１９６２０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のキャリア付金属箔は、プリント配線板の製造工程を簡素化及び歩留まりアップにより製造コスト削減に大きく貢献する画期的な発明であるが、板状キャリアおよび金属箔の積層の方法などについては未だ検討の余地が残されている。特に、従来のキャリア付金属箔は、搬送時や加工時（ハンドリング中）に角の部分が他の部材とぶつかり、あるいは接触している金属層同士の間の界面に薬液が浸入することなどにより、接触していた金属層が剥がれ、不良となることがあり、改善が望まれている。そこで本発明は、ハンドリング中の金属層同士の剥がれ防止に対応した積層体を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者等は、金属層同士を重ねて得られる積層体の構造につき、鋭意検討した結果、金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部を樹脂で覆うことにより、金属層同士を重ね合わせた後に他の部材がぶつかって金属層同士が離れてしまったり、両者の界面に薬液が浸入して金属層の腐食や侵食を防ぐことができることを見出し、本発明を完成させた。
【０００７】
すなわち、本発明は、以下のとおりである。
（１）金属層同士を接触させて構成される積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われてなる積層体。
（２）金属層同士を分離可能に接触させて構成される積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われてなる積層体。
（３）金属層同士を接合させて構成される積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われてなる積層体。
（４）（１）〜（３）のいずれかに記載の積層体において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の全体にわたって樹脂で覆われてなる積層体。
（５）（１）〜（４）のいずれかに記載の積層体において、少なくとも一方の金属層の面において平面視したときに、金属層が露出している積層体。
（６）金属層同士を、離型層を用いて貼り合わせてなる（１）〜（５）のいずれかに記載の積層体。
（７）前記金属層同士の剥離強度が０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である（１）〜（６）のいずれかに記載の積層体。
（８）前記金属層における他の金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）が、３．５μｍ以下である（１）〜（７）のいずれかに記載の積層体。
（９）２２０℃で３時間、６時間または９時間のうちの少なくとも一つの加熱後における、金属層同士の剥離強度が、０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である（１）〜（８）のいずれかに記載の積層体。
（１０）樹脂が熱硬化性樹脂を含む（１）〜（９）のいずれかに記載の積層体。
（１１）樹脂が熱可塑性樹脂を含む（１）〜（１０）のいずれかに記載の積層体。
（１２）（１）〜（１１）のいずれかに記載の積層体において、前記樹脂が前記金属層の外側において、孔が設けられた積層体。
（１３）（１２）に記載の積層体において、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層体。
（１４）（１）〜（１３）のいずれかに定義される積層物であって、孔が設けられた積層物。
（１５）（１４）に記載の積層物であって、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層物。
（１６）（１４）または（１５）に記載の積層物を有する積層体。
（１７）（１）〜（１３）のいずれかに記載の積層体であって、前記積層物は孔を有する積層体。
（１８）（１７）に記載の積層体であって、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層体。
（１９）少なくとも一方の金属層が銅または銅合金で構成される（１）〜（１３）のいずれかに記載の積層体。
（２０）（１）〜（１３）のいずれかに定義される積層物、および（１４）または（１５）に記載の積層物からなる群から選択される積層物を二つ以上有する積層体。
（２１）板状樹脂と、当該板状樹脂の両面にそれぞれ積層される、金属層同士を分離可能に接触させて構成される積層物とを有し、
前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われてなる積層体。
（２２）（２１）に記載の積層体において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の全体にわたって樹脂で覆われてなる積層体。
（２３）（２１）または（２２）に記載の積層体において、前記板状樹脂と、前記樹脂とが一体的に形成されている積層体。
（２４）（２１）または（２２）に記載の積層体において、前記板状樹脂と、前記樹脂とが別々の部材として形成されている積層体。
（２５）金属層同士を、離型層を用いて貼り合わせてなる（２１）〜（２４）のいずれかに記載の積層体。
（２６）前記金属層同士の剥離強度が０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である（２１）〜（２５）のいずれかに記載の積層体。
（２７）前記金属層における他の金属層と接する側表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）が、３．５μｍ以下である（２１）〜（２６）のいずれかに記載の積層体。
（２８）２２０℃で３時間、６時間または９時間のうちの少なくとも一つの加熱後における、金属層同士の剥離強度が、０．５ｇｆ／ｃｍ以上２００ｇｆ／ｃｍ以下である（２１）〜（２７）のいずれかに記載の積層体。
（２９）樹脂が熱硬化性樹脂を含む（２１）〜（２８）のいずれかに記載の積層体。
（３０）樹脂が熱可塑性樹脂を含む（２１）〜（２９）のいずれかに記載の積層体。
（３１）（２１）〜（３０）のいずれかに記載の積層体において、前記樹脂が前記金属層の外側において、孔が設けられた積層体。
（３２）（３１）に記載の積層体において、前記孔は直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍであり、１〜１０箇所設けられている積層体。
（３３）少なくとも一方の金属層が銅または銅合金で構成される（２１）〜（３２）のいずれかに記載の積層体。
（３４）（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体を、金属層の面において平面視したときに、前記金属層同士の積層面にて切断して得られるキャリア付金属層。
（３５）（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体において、前記それぞれの金属層の表面に樹脂を積層してなる多層積層体。
（３６）（３５）に記載の積層体において、前記それぞれの樹脂の表面にさらに別の金属層を積層してなる多層積層体。
（３７）（３６）に記載の多層積層体を、前記別の金属層の表面において平面視したときに、前記樹脂と、前記別の金属層との積層面にて切断して得られる多層積層体。
（３８）（３６）に記載の多層積層体において、（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体の部分において貫通する孔が設けられた多層積層体。
（３９）（３８）に記載の多層積層体を、前記別の金属層の表面において平面視したときに、前記樹脂と、前記別の金属層との積層面にて切断して得られる多層積層体。
（４０）（３９）に記載の多層積層体において、前記孔よりも内側に、当該多層積層体全体を貫通する孔が設けられた多層積層体。
（４１）（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれか一項に記載の積層体、あるいは（３５）〜（４０）のいずれかに記載の多層積層体の少なくとも一つの金属層の面方向に対して、樹脂又は金属層を１回以上積層することを含む多層金属張積層板の製造方法。
（４２）（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体、あるいは（３５）〜（４０）のいずれかに記載の多層積層体の少なくとも一つの金属層の面方向に対して、樹脂、片面あるいは両面金属張積層板、（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体、（１）〜（１３）のいずれかに定義されている積層物、（１４）または（１５）に記載の積層物、（３４）に記載のキャリア付金属層、（３５）〜（４０）のいずれかに記載の多層積層体、樹脂基板付金属層または金属層を１回以上積層することを含む多層金属張積層板の製造方法。
（４３）（４１）または（４２）に記載の多層金属張積層板の製造方法において、前記積層体を、金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層面の少なくとも一つにて切断する工程を含む多層金属張積層板の製造方法。
（４４）（４３）に記載の多層金属張積層板の製造方法において、積層した前記キャリア付金属層の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含む多層金属張積層板の製造方法。
（４５）（４３）に記載の多層金属張積層板の製造方法において、前記切断後の積層体の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含む多層金属張積層板の製造方法。
（４６）（４４）または（４５）に記載の製造方法において、前記剥離して分離した金属層の一部または全部をエッチングにより除去する工程を含む多層金属張積層板の製造方法。
（４７）（４１）〜（４３）のいずれかに記載の製造方法により得られる多層金属張積層板。
（４８）（４４）〜（４６）のいずれかに記載の製造方法により得られる多層金属張積層板であって、薬液の浸入による金属層の腐食や侵食が防がれている多層金属張積層板。
（４９）（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体、あるいは（３５）〜（４０）のいずれかに記載の多層積層体の少なくとも一つの金属層の面方向に対して、ビルドアップ配線層を一層以上形成する工程を含むビルドアップ基板の製造方法。
（５０）ビルドアップ配線層はサブトラクティブ法又はフルアディティブ法又はセミアディティブ法の少なくとも一つを用いて形成される（４９）に記載のビルドアップ基板の製造方法。
（５１）（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体、あるいは（３５）〜（４０）のいずれかに記載の多層積層体の少なくとも一つの金属層の面方向に対して、樹脂、片面あるいは両面配線基板、片面あるいは両面金属張積層板、（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体、（１）〜（１３）のいずれかに定義されている積層物、（１４）または（１５）に記載の積層物、（３４）に記載のキャリア付金属層、（３５）〜（４０）のいずれかに記載の多層積層体、樹脂基板付金属層、配線、回路または金属層を１回以上積層することを含むビルドアップ基板の製造方法。
（５２）（５１）に記載のビルドアップ基板の製造方法において、片面あるいは両面配線基板、片面あるいは両面金属張積層板、積層体の金属層、積層体の樹脂、金属層、キャリア付金属層の樹脂、キャリア付金属層の金属層、多層積層体の金属層、多層積層体の樹脂、多層積層体の別の金属層、樹脂基板付金属層の樹脂、樹脂基板付金属層の金属層又は樹脂に穴を開け、当該穴の側面および底面に導通めっきをする工程を更に含むビルドアップ基板の製造方法。
（５３）（５１）または（５２）に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記片面あるいは両面配線基板を構成する金属層、片面あるいは両面金属張積層板を構成する金属層、及び積層体を構成する金属層、キャリア付金属層を構成する金属層、多層積層体の金属層、多層積層体の別の金属層、樹脂基板付金属層の金属層、及び金属層の少なくとも一つに配線を形成する工程を１回以上行うことを更に含むビルドアップ基板の製造方法。
（５４）配線形成された表面の上に、（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体、（３４）に記載のキャリア付金属層、または（３５）〜（４０）のいずれかに記載の多層積層体を積層する工程を更に含む（５１）〜（５３）のいずれかに記載のビルドアップ基板の製造方法。
（５５）（４９）〜（５４）のいずれかに記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記積層体を、金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層面の少なくとも一つにて切断する工程を含むビルドアップ基板の製造方法。
（５６）（４９）〜（５４）のいずれかに記載のビルドアップ基板の製造方法において、積層した前記キャリア付金属層の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
（５７）（５５）に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記切断後の積層体の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
（５８）（５６）または（５７）に記載のビルドアップ配線板の製造方法において、前記剥離して分離した金属層の一部または全部をエッチングにより除去する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
（５９）（５６）または（５７）に記載の製造方法により得られるビルドアップ配線板であって、薬液の浸入による金属層の腐食や侵食が防がれているビルドアップ配線板。
（６０）（５８）に記載の製造方法において金属層の一部をエッチングにより除去することにより得られるビルドアップ配線板であって、薬液の浸入による金属層の腐食や侵食が防がれているビルドアップ配線板。
（６１）（５６）〜（５８）のいずれかに記載の製造方法によりビルドアップ配線板を製造する工程を含むプリント回路板の製造方法。
（６２）（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体の二つの金属層の面方向に対して、樹脂を１回以上積層することを含む多層金属張積層板の製造方法。
（６３）（６２）に記載の方法において、前記それぞれの樹脂の表面にさらに別の金属層を１回以上積層することを含む多層金属張積層板の製造方法。
（６４）（６２）または（６３）に記載の製造方法により得られる多層金属張積層板。
（６５）（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体の二つの金属層の面方向に対して、それぞれの樹脂および別の金属層をこの順で１回以上積層することを含むビルドアップ基板の製造方法。
（６６）（６５）に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記別の金属層および樹脂に穴を開け、当該穴の側面および底面に導通めっきをする工程を更に含むビルドアップ基板の製造方法。
（６７）（６５）または（６６）に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記別の金属層の少なくとも一つに配線を形成する工程を１回以上行うことを更に含むビルドアップ基板の製造方法。
（６８）配線形成された表面の上に、（１）〜（１３）、および（１６）〜（３３）のいずれかに記載の積層体、（３４）に記載のキャリア付金属層、または（３５）〜（４０）のいずれかに記載の多層積層体を積層する工程を更に含む（６７）に記載のビルドアップ基板の製造方法。
（６９）（６５）〜（６８）のいずれかに記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記積層体を、金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層面の少なくとも一つにて切断する工程を含むビルドアップ基板の製造方法。
（７０）（６５）〜（６９）のいずれかに記載のビルドアップ基板の製造方法において、積層した前記キャリア付金属層の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
（７１）（６９）に記載のビルドアップ基板の製造方法において、前記切断後の積層体の金属層同士を剥離して分離する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
（７２）（７０）または（７１）に記載のビルドアップ配線板の製造方法において、前記剥離して分離した金属層の一部または全部をエッチングにより除去する工程を更に含むビルドアップ配線板の製造方法。
（７３）（７０）または（７１）に記載の製造方法により得られるビルドアップ配線板であって、薬液の浸入による金属層の腐食や侵食が防がれているビルドアップ配線板。
（７４）（７２）に記載の製造方法において金属層の一部をエッチングにより除去することにより得られるビルドアップ配線板であって、薬液の浸入による金属層の腐食や侵食が防がれているビルドアップ配線板。
（７５）（７０）〜（７２）のいずれかに記載の製造方法によりビルドアップ配線板を製造する工程を含むプリント回路板の製造方法。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によって、金属層同士を重ねて得られる積層体を、搬送時や加工時の状況により金属層同士が剥がれにくくすることができる。そのため、積層体のハンドリング性が向上し、積層体を利用したプリント配線板の生産性が向上するという利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】ＣＣＬの一構成例を示す。
【図２】本発明に係る積層体を平面視したときの典型的な構成例を示す。
【図３】図２の構成例のＡ−Ａ’断面図である。
【図４】本発明に係る積層体の他の典型的な構成例を示す。
【図５】本発明に係る積層体の他の典型的な構成例を示すものであり、図４の構成例のＡ−Ａ’断面図を示す。
【図６】本発明に係る積層体の他の典型的な構成例を示す。
【図７】本発明に係る積層体の他の典型的な構成例を示す。
【図８】本発明に係るキャリア付銅箔（樹脂板の片面に銅箔が接合した形態）を利用した多層ＣＣＬの組み立て例を示す。
【図９】本発明に係るキャリア付銅箔（樹脂板の両面に銅箔が接合した形態）を利用した多層ＣＣＬの組み立て例を示す。
【図１０】本発明の実施例の構成を示す図である。
【図１１】本発明の他の実施例の構成を示す図である。
【図１２】本発明の他の実施例の構成を示す図である。
【図１３】本発明の他の実施例の構成を示す図である。
【図１４】本発明の他の実施例の構成を示す図である。
【図１５】本発明の他の実施例の構成を示す図である。
【図１６】本発明に係る積層体を利用した多層ＣＣＬの組み立て例を説明する模式図である。
【図１７】本発明に係る積層体を利用した多層ＣＣＬの組み立て例を説明する模式図である。
【図１８】本発明に係る積層体を利用した多層ＣＣＬの組み立て例を説明する模式図である。
【図１９】本発明に係る積層体を利用した多層ＣＣＬの組み立て例を説明する模式図である。
【図２０】本発明に係る積層体を利用した多層ＣＣＬの組み立て例を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明に係る積層体の一実施形態においては、金属層同士を分離可能に接触させて構成される積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われてなる。
【００１１】
本発明で使用する積層体の実施形態における互いに接触する金属層同士は、密着性を備える場合、いずれ分離、すなわち剥がさなければならないので過度に密着性が高いのは不都合であるが、プリント回路板作製過程で行われるめっき等の薬液処理工程において剥離しない程度の密着性を備える方が好ましい。このような観点から、金属層間での剥離強度は、０．５ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、１ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、２ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、３ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、５ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、１０ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、３０ｇｆ／ｃｍ以上であることがより好ましく、５０ｇｆ／ｃｍ以上であることが一層好ましい一方で、２００ｇｆ／ｃｍ以下であることが好ましく、１５０ｇｆ／ｃｍ以下であることがより好ましく、８０ｇｆ／ｃｍ以下であることが一層好ましい。金属層同士が密着性を備える場合、その金属層間での剥離強度をこのような範囲とすることによって、搬送時や加工時に剥離することない一方で、人手で容易に剥がすことができる。
【００１２】
このような密着性を実現するための剥離強度の調節は、後述するように、いずれか一方の金属層の表面に対して、特定の表面処理を施すことで容易に実現することができる。
【００１３】
ここで、キャリア付金属層は、例えば図２、図３に示したような積層体２０を樹脂２１−金属層（金属キャリア）２２−離型層２４−金属層（金属箔）２３−樹脂２１の積層構造を含む面であるカットラインＢにてカットして得られる。あるいは、後述するように、金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層面にてカットしてもよい。積層体の上に、後述のように、配線層、樹脂、ビルドアップ層などを積層した後で、上述したような所定の位置でカットして金属層同士を分離することで、多層金属張積層板やビルドアップ基板の最表面に金属層が露出した状態としてもよい。
【００１４】
このようにして露出させた金属層を回路形成に供することで、従来のようにプリント回路板の製造工程の簡素化および歩留まりアップにより製造コスト削減の効果を維持しつつ、生産性の向上を実現することができる。
【００１５】
この積層体２０は、金属層２２および２３において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われるとともに、金属層の全体を覆う構造をとる。樹脂により覆われる金属層同士の積層部分は、当該金属層同士の積層部分の周縁部の全周（すなわち、金属層同士を分離可能に接触させて構成される積層物において、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の全周）の部分とするのが好ましい。
すなわち、好ましい態様として、金属層の面において平面視したときに、樹脂が金属層の全体を覆うとともに金属層同士の積層部分の全周を覆う態様１（図２、図３）、樹脂が金属層の表面の全体を覆うとともに金属層同士の積層部分の外周の一部を覆う態様２（例えば、図４）、樹脂が金属層の面において平面視したときに開口部を有するように金属層同士の積層部分の外周を覆い、当該開口部において金属層が露出する態様３（例えば、図６、図７、図１０、図１１）などが考えられる。
【００１６】
図２、３は、積層体の典型的な構成例を示す。図２はこの構成例を平面視したときの図であり、図３はこの構成例のＡ−Ａ’断面図である。
図２、３において、金属層（金属キャリア）２２が、離型層２４を介して金属層（金属箔）２３と接触するとともに、樹脂２１が金属層２２、２３の全体を覆うとともに、金属層同士の積層面の全周を覆うことにより、積層体２０が構成される。
【００１７】
このような構成とすることにより、金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層部分が樹脂により覆われ、他の部材がこの部分の側方向、すなわち積層方向に対して横からの方向から当たることを防ぐことができるようになり、結果としてハンドリング中の金属層同士の剥がれを少なくすることができる。また、金属層同士の積層部分の外周を露出しないように覆うことにより、前述したような薬液処理工程におけるこの界面への薬液の浸入を防ぐことができ、金属層の腐食や侵食を防ぐことができる。
【００１８】
なお、本発明の他の典型的な構成例としては、図４に示したように、平面視したときに、金属層同士の積層部分の一部が露出していてもよい。すなわち、図４においては金属層３２の側方向において樹脂３１により覆われていないが、金属層同士が離れないという観点からはこの態様においても同様の効果を得ることができる。この樹脂３１で覆われていない側面において、金属層同士の積層部分が露出した形となっているため、この方向からの薬液の浸入を防ぐことが難しい。このため、金属層の腐食や侵食がシビアに問題となる場合には、四方向からの薬液の浸入を防ぐ必要があり、この場合図２の態様が好ましい。
【００１９】
なお、図２〜４の積層体において、例えば金属層２２、２３を接触させて得られる積層物を、二つの板状樹脂で挟んで、当該構造を維持するために、板状樹脂同士を加熱接着する。この加熱接着は、樹脂が流動する状態になる温度にてホットプレスにて行う。あるいは、加熱接着しなくても、ある程度の密着性があれば足りる。そこで接着により樹脂同士を密着させる場合、エポキシ樹脂系接着剤などのような接着剤を好適に使用することができる。さらに、この密着性は、板状樹脂を接着または加熱接着させる領域が一定範囲のときに効果的に発揮させることができる。この観点から、平面視したときの金属層の面積（Ｓａ）と板状樹脂の面積（Ｓｂ）との比（Ｓａ／Ｓｂ）を０．６以上１．０未満、好ましくは０．８０以上０．９５以下とすることで、板状樹脂同士を接着または加熱接着する必要十分な面積を確保することができるため好ましい。また、別の観点から、前記二つの板状樹脂が接着または加熱接着されている面積（Ｓｐ）と、前記当該接着または加熱接着された面を含む板状樹脂の面積（Ｓｑ）との比（Ｓｐ／Ｓｑ）を０．００１以上０．２以下、好ましくは０．０１以上０．２０以下とすることによっても、板状樹脂同士を接着または加熱接着する必要十分な面積を確保することができるため好ましい。それぞれの金属層に直接積層されている二つの板状樹脂の面積および形状は同一であることが好ましいが、異なっていても良い。前記二つの板状樹脂の面積および形状が異なる場合は、ＳａおよびＳｑの値としては面積が大きい方の板状樹脂のものを使用することとする。
【００２０】
なお、樹脂の形状は金属層同士の積層部分を覆うことができれば形状において制限されることはない。すなわち、図２〜４において樹脂の平面視したときの形状が四角形である場合を示したが、これ以外の形状としてもよい。一方、金属層についても四角形以外の形状としてもよい。
【００２１】
また、図５に示したように、図３の態様で用いた離型層を形成しないで、二つの金属層（金属板）４２、４３を直接接するように積層し、二つの金属層４２、４３の積層部分の外周を覆うように、樹脂４１を形成して積層体４０としてもよい。この場合も、積層体４０を、金属層４２の面において平面視したときに、金属層４２、４３の積層面、例えばカットラインＢにてカットして、後述するビルドアップ方法などにより適宜回路が形成された積層体または金属層が得られる。
【００２２】
また、離型層を形成しないで行う金属層同士の積層は、単に重ね合わせる他、例えば以下の方法で行ってもよい。
（ａ）冶金的接合方法：融接（アーク溶接、ＴＩＧ（タングステン・イナート・ガス）溶接、ＭＩＧ（メタル・イナート・ガス）溶接、抵抗溶接、シーム溶接、スポット溶接）、圧接（超音波溶接、摩擦撹拌溶接）、ろう接；
（ｂ）機械的接合方法：かしめ、リベットによる接合（セルフピアッシングリベットによる接合、リベットによる接合）、ステッチャー；
（ｃ）物理的接合方法：接着剤、（両面）粘着テープ
一方の金属層の一部または全部と他方の金属層の一部または全部とを、上記接合方法を用いて接合することにより、一方の金属層と他方の金属層を積層し、金属層同士を分離可能に接触させて構成される積層物を製造することができる。一方の金属層と他方の金属層とが弱く接合されて、一方の金属層と他方の金属層とが積層されている場合には、一方の金属層と他方の金属層との接合部を除去しないでも、一方の金属層と他方の金属層とは分離可能である。また、一方の金属層と他方の金属層とが強く接合されている場合には、一方の金属層と他方の金属層とが接合されている箇所を切断や化学研磨（エッチング等）、機械研磨等により除去することにより、一方の金属層と他方の金属層を分離することができる。
【００２３】
積層体の金属層の面において平面視したときに、積層体が占める領域において積層体の使用領域（例えば、最終的に回路が形成される）の外側に十分にスペースがとられた態様では、この積層体の使用領域の外側のスペースにおいて、ドリルなどを用いて、直径０．０１ｍｍ〜１０ｍｍ程度の孔を１〜１０箇所程度設けてもよい。ここで、直径とは、孔を取り囲む円の最小直径を意味する。このようにして設けられた孔は、後述する多層金属張積層板の製造や、ビルドアップ基板の製造に際して、位置決めピンなどを固定するための手段として用いることができる。図１５に孔開けを行った積層体の断面の一例を示す。図１５では、二つの金属層４２、４３を端部にて接着剤１１２を用いて接合した積層体１１０において、積層体１１０を平面視したときに接着剤１１２よりも内側に孔１１４を開けた例が示される。なお、この孔開けに先立って、一方の金属層と他方の金属層とを同じ形状とし、各端部を合わせる、すなわち矩形形状である場合、平面視したときに四角の位置がずれないように重ね合わせるようにすることが、孔開けの際の位置合わせを容易にするため、好ましい。
【００２４】
また、離型層としては、例えばキャリア付銅箔（キャリア付極薄銅箔）において当業者に知られた任意の剥離層または中間層を用いることができる。例えば、剥離層はＣｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｐ、Ｃｕ、Ａｌ、又はこれらの合金、またはこれらの水和物、またはこれらの酸化物、あるいは有機物の何れか一種以上を含む層で形成することが好ましい。剥離層は複数の層で構成されても良い。なお、剥離層は拡散防止機能を有することができる。ここで拡散防止機能とは母材からの元素を極薄銅層側への拡散を防止する働きを有する。
【００２５】
本発明の一実施形態において、離型層は金属層２２（金属キャリア）側からＣｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｐ、Ｃｕ、Ａｌの元素群の内何れか一種の元素からなる単一金属層、又は、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｐ、Ｃｕ、Ａｌの元素群から選択された一種以上の元素からなる合金層（これらは拡散防止機能をもつ）と、その上に積層されたＣｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｐ、Ｃｕ、Ａｌの元素群から選択された一種以上の元素の水和物若しくは酸化物または有機物からなる層とから構成される。
また、例えば離型層は、金属層２２（金属キャリア）側からＣｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｐ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｚｎの元素群の内何れか一種の元素からなる単一金属層、あるいはＣｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｐ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｚｎの元素群から選択された一種以上の元素からなる合金層、その次にＣｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｐ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｚｎの元素群の内何れか一種の元素からなる単一金属層、あるいはＣｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｐ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｚｎの元素群から選択された一種以上の元素からなる合金層で構成することができる。なお、各元素の合計付着量は例えば１〜５００００μｇ／ｄｍ2とすることができ、また例えば付着量は１〜６０００μｇ／ｄｍ2とすることができる。
【００２６】
離型層はＮｉ含有層及びＣｒ含有層の２層で構成されることが好ましい。この場合、Ｎｉ含有層は金属層２２（金属キャリア）との界面に、Ｃｒ含有層は金属層２３（金属箔、金属層２２、２３を接触して得られる積層物がキャリア付極薄銅箔の場合には極薄銅層）との界面にそれぞれ接するようにして積層する。
【００２７】
離型層は、例えば電気めっき、無電解めっき及び浸漬めっきのような湿式めっき、或いはスパッタリング、ＣＶＤ及びＰＤＶのような乾式めっきにより得ることができる。コストの観点から電気めっきが好ましい。
【００２８】
また、例えば、離型層は、キャリア上に、ニッケル層、ニッケル−リン合金層又はニッケル−コバルト合金層と、クロム層またはクロム含有層とがこの順で積層されて構成することができる。ニッケルと銅との接着力はクロムと銅の接着力よりも高いので、金属層２３（金属箔）がキャリア付銅箔の極薄銅層の場合には、極薄銅層を剥離する際に、極薄銅層とクロム層またはクロム含有層との界面で剥離するようになる。また、離型層のニッケル層にはキャリアからキャリアの構成元素である成分が金属層２３（金属箔、例えばキャリア付極薄銅箔の極薄銅層）へと拡散していくのを防ぐバリア効果が期待される。離型層におけるニッケルの付着量は好ましくは１００μｇ／ｄｍ2以上４００００μｇ／ｄｍ2以下、より好ましくは１００μｇ／ｄｍ2以上４０００μｇ／ｄｍ2以下、より好ましくは１００μｇ／ｄｍ2以上２５００μｇ／ｄｍ2以下、より好ましくは１００μｇ／ｄｍ2以上１０００μｇ／ｄｍ2未満であり、離型層におけるクロムの付着量は５μｇ／ｄｍ2以上１００μｇ／ｄｍ2以下であることが好ましい。離型層を金属層２２の片面にのみ設ける場合、金属層２２（金属キャリア）の反対面にはＮｉめっき層などの防錆層を設けることが好ましい。なお、クロム含有層はクロメート処理層であってもよく、クロム合金めっき層であってもよい。クロム層はクロムめっき層であってもよい。
なお、離型層は金属層２２（金属キャリア）の両面に設けてもよい。
【００２９】
さらに、図６、図７、図１０〜図１２に示すように、積層体５０（または積層体６０）が、少なくとも一方の面において平面視したときに、開口部５２（または開口部６２）を有し、この開口部において、金属層２２（または金属層４２または金属層２３）が露出した構造をとってもよい。この開口部は、通常のフォトリソグラフィ技術や、マスキングテープやマスキングシート等を積層した後に開口部のみエッチング除去する技術、または樹脂に対して、プレスにより、二つの金属層を接触させて得られる積層物を圧着または熱圧着することなどにより形成することができる。この開口部は、平面視したときに、金属層の端部（外周）より内側で形成されていてもよいし、金属層の端部または二つの金属層の積層部分の外周の少なくとも一部に到達していてもよい。
また、図１０〜図１２に示すように、一つの積層体の中に、金属層同士を接触させた積層物を二つ以上含むこともでき、このとき板状樹脂と樹脂とを一体的に形成することもできる。すなわち、板状樹脂と積層面を覆う樹脂とを同じタイミングで加熱硬化させるなどして一体的に形成してもよい。
また、図１３、図１４に示すように、板状樹脂と樹脂とが別々の部材として形成されていてもよい。すなわち、積層体９０（または積層体１００）において、キャリア付金属層で挟まれる板状樹脂９１（または板状樹脂１０１）と、積層面を側面から覆うように形成した樹脂９３（または樹脂１０３）とを異なるタイミングで形成し、図１０〜図１２のように板状樹脂と積層面を覆う樹脂とが一体にならないようにしてもよい。なお、図１３、図１４において、板状樹脂９１（または板状樹脂１０１）と、樹脂９３（または樹脂１０３）とが異なる種類であってもよいし、同じ種類であってもよい。両者が異なる場合、例えば板状樹脂９１（または板状樹脂１０１）を後述するようなプリプレグとし、樹脂９３（または樹脂１０３）をエポキシ樹脂などとすることができる。
なお、図１３、図１４に示したような積層体は、例えば板状樹脂の両面に、本発明の積層体をそれぞれ積層し、必要に応じて、表面の金属層をマスクして、積層面に対して側面から後述するような樹脂を塗布して加熱硬化させることで得られる。
【００３０】
本発明に係る製造方法は、以上説明したとおりであるが、本発明を行うにあたり、前記各工程に悪影響を与えない範囲において、前記各工程の間あるいは前後に、他の工程を含めてもよい。例えば、離型層形成の前に金属層の表面を洗浄する洗浄工程を行ってもよい。
【００３１】
また、多層プリント配線板の製造過程では、積層プレス工程やデスミア工程で加熱処理することが多い。そのため、積層体が受ける熱履歴は、積層数が多くなるほど厳しくなる。従って、特に多層プリント配線板への適用を考える上では、所要の熱履歴を経た後にも、金属層同士に密着性を持たせる場合、その金属層同士の剥離強度が先述した範囲にあることが望ましい。
【００３２】
従って、本発明の更に好ましい一実施形態においては、多層プリント配線板の製造過程における加熱条件を想定した、例えば２２０℃で３時間、６時間または９時間のうちの少なくとも一つの加熱後における、金属層同士の剥離強度が、０．５ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、１ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、２ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、３ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、５ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、１０ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、３０ｇｆ／ｃｍ以上であることが好ましく、５０ｇｆ／ｃｍ以上であることがより好ましい。また、当該剥離強度が２００ｇｆ／ｃｍ以下であることが好ましく、１５０ｇｆ／ｃｍ以下であることがより好ましく、８０ｇｆ／ｃｍ以下であることが更により好ましい。
【００３３】
２２０℃での加熱後の剥離強度については、多彩な積層数に対応可能であるという観点から、３時間後および６時間後の両方、または６時間および９時間後の両方において剥離強度が上述した範囲を満たすことが好ましく、３時間、６時間および９時間後の全ての剥離強度が上述した範囲を満たすことが更に好ましい。
【００３４】
本発明において、剥離強度はＪＩＳ  Ｃ６４８１に規定される９０度剥離強度測定方法に準拠して測定する。
【００３５】
以下、このような剥離強度を実現するための各材料の具体的構成要件について説明する。
【００３６】
金属層同士の積層部分の外周を覆う樹脂としては、特に制限はないが、熱硬化性樹脂、例えばフェノール樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、スチレンブタジエン樹脂エマルジョン、アクリロニトリルブタジエン樹脂エマルジョン、カルボキシ変性スチレンブタジエン共重合樹脂エマルジョン、アクリル樹脂エマルジョン、あるいは熱硬化性ポリウレタン、または天然ゴム、または松脂、フッ素樹脂（ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン等）、シリコン樹脂、シリコーンまたは熱可塑性樹脂、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、アクリル樹脂、熱可塑性ポリウレタン、あるいは熱可塑性天然ゴム等を使用することができる。より典型的には、２５０℃でも溶融しないおよび／またはガラス転移温度が２００℃以上である耐熱性樹脂、例えばフッ素樹脂（ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン等）、好ましくは２５０℃でも溶融せず、かつ、ガラス転移温度が２００℃以上である耐熱性樹脂、例えばポリイミド樹脂や液晶ポリマー樹脂（ＬＣＰ樹脂）などを使用することができる。また、樹脂は耐薬液性、特に耐酸性、耐デスミア液性を有するものが好ましい。なお、ここで「デスミア処理」とは、樹脂にレーザおよび／またはドリルで穴を開けた後、または樹脂表面に金属箔または金属層を貼り合わせた後、エッチング等により金属箔または金属層を除去した後に、樹脂や金属箔または金属層例えば銅箔または銅層の残りかす等を処理液により除去することをいい、「デスミア液」とはその際に用いられる処理液をいう。さらに、また、この樹脂の粘度は、０．５Ｐａ・ｓ以上、１Ｐａ・ｓ以上、５Ｐａ・ｓ以上、１０Ｐａ・ｓ以上、かつ、１００００Ｐａ・ｓ以下、５０００Ｐａ・ｓ以下、３０００Ｐａ・ｓ以下であればよく、１００Ｐａ・ｓ以下の範囲についてはＪＩＳ  Ｚ  ８８０３（２０１１）に準拠し、ＪＩＳ  Ｚ  ８８０３（２０１１）の「６  細管粘度計による粘度測定方法６．２．３  ウベローデ粘度計」を用いて測定し、１００Ｐａ・ｓよりも高い範囲については同「７  落球粘度計による粘度測定方法」を用いて測定する。また、熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂が含浸されたプリプレグを使用することもできる。特に熱硬化性樹脂を含浸させたプリプレグを用いる場合、金属層に、貼り合わせる前のプリプレグはＢステージの状態にあるものがよい。プリプレグ（Ｃステージ）の線膨張係数は１２〜１８（×１０-6／℃）と、基板の構成材料である銅箔の１６．５（×１０-6／℃）、またはＳＵＳプレス板の１７．３（×１０-6／℃）とほぼ等しいことから、プレス前後の基板サイズが設計時のそれとは異なる現象（スケーリング変化）による回路の位置ずれが発生し難い点で有利である。更に、これらのメリットの相乗効果として多層の極薄コアレス基板の生産も可能になる。ここで使用するプリプレグは、回路基板を構成するプリプレグと同じ物であっても異なる物であってもよい。
【００３７】
プリプレグを使用する場合、金属層同士を分離可能に接触させて構成される積層物を金属層側から平面視したときに、一回り大きなサイズのものを用いることが、積層体側面への薬液の侵入を効果的に抑える観点から好ましい。このＢステージのプリプレグの上に、さらに一回り大きいサイズの金属層を積層することが、プレスした際にプリプレグが広がってはみ出すことを防ぎ、他の層を汚染することを効果的に防ぐことができる観点から、好ましい。
【００３８】
また、樹脂の熱膨張率が、金属層の熱膨張率の＋１０％、−３０％以内であることが望ましい。これによって、金属層と樹脂との熱膨張差に起因する回路の位置ずれを効果的に防止することができ、不良品発生を減少させ、歩留りを向上させることができる。
【００３９】
樹脂の厚みは特に制限はなく、リジッドでもフレキシブルでもよいが、厚すぎるとホットプレス中の熱分布に悪影響がでる一方で、薄すぎると撓んでしまいプリント配線板の製造工程を流れなくなることから、通常５μｍ以上１０００μｍ以下であり、５０μｍ以上９００μｍ以下が好ましく、１００μｍ以上４００μｍ以下がより好ましい。
【００４０】
また、平面視したときに金属層の表面の少なくとも一部を樹脂で覆う態様において、樹脂層の厚みは小さいほど好ましいが、典型的には５０μｍ以下、好ましくは４０μｍ以下、さらに好ましくは３０μｍ以下、および典型的には１μｍ以上、好ましくは２μｍ以上、さらに好ましくは５μｍ以上である。なお、ここでいう樹脂層の厚みとは、例えば図１０に示したように、積層体７０を平面視したときの樹脂７１の金属層２２を覆う部分の厚みｔを指す。
【００４１】
また、積層体を平面視したときに開口部を設けることが歩留まりの観点から好ましく、金属層２２の端部に接線を引き、その接線に垂直な方向であり、かつ、平面視した際の金属層端部における接線に垂直な方向における樹脂の幅、例えば図１０に示したような態様において、樹脂７１の開口部７２の端部から金属層２２の端部に到達するまでの樹脂７１の幅ｗが、典型的には１０ｍｍ以下、好ましくは５ｍｍ以下、さらに好ましくは３ｍｍ以下であり、かつ、典型的には０．１ｍｍ以上、好ましくは０．２ｍｍ以上、さらに好ましくは０．５ｍｍ以上である。この樹脂層の幅が、大きすぎると、歩留まりの観点から好ましくなく、逆に小さすぎると開口部端部からの薬液浸み込みを効果的に抑える効果が小さくなる。
【００４２】
金属層としては、銅又は銅合金箔や板が代表的なものであるが、アルミニウム、ニッケル、亜鉛などの箔や板を使用することもできる。特に、銅又は銅合金箔の場合、電解箔又は圧延箔を使用することができる。金属層は、限定的ではないが、プリント回路基板の配線としての使用を考えると、１μｍ以上、好ましくは５μｍ以上、および４００μｍ以下、好ましくは１２０μｍ以下の厚みを有するのが一般的である。重ね合わせる金属層としては、同じ厚みのものを用いても良いし、異なる厚みのものを用いても良い。
【００４３】
使用する金属層には各種の表面処理が施されていてもよい。例えば、耐熱性付与を目的とした金属めっき（Ｎｉめっき、Ｎｉ−Ｚｎ合金めっき、Ｃｕ−Ｎｉ合金めっき、Ｃｕ−Ｚｎ合金めっき、Ｚｎめっき、Ｃｕ−Ｎｉ−Ｚｎ合金めっき、Ｃｏ−Ｎｉ合金めっきなど）、防錆性や耐変色性を付与するためのクロメート処理（クロメート処理液中にＺｎ、Ｐ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｔｉ等の合金元素を１種以上含有させる場合を含む）、表面粗度調整のための粗化処理（例：銅電着粒やＣｕ−Ｎｉ−Ｃｏ合金めっき、Ｃｕ−Ｎｉ−Ｐ合金めっき、Ｃｕ−Ｃｏ合金めっき、Ｃｕ−Ｎｉ合金めっき、Ｃｕ−Ｗ合金めっき、Ｃｕ−Ａｓ合金めっき、Ｃｕ−Ａｓ−Ｗ合金めっき等の銅合金めっきによるもの）が挙げられる。粗化処理が金属層と板状キャリアの剥離強度に影響を与えることはもちろん、クロメート処理も大きな影響を与える。クロメート処理は防錆性や耐変色性の観点から重要であるが、剥離強度を有意に上昇させる傾向が見られるので、剥離強度の調整手段としても意義がある。
【００４４】
本発明では、樹脂を金属層の面に貼り合せる場合には剥離強度が高いことが望まれるので、例えば、金属層（例えば電解銅箔）のマット面（Ｍ面）を樹脂との接着面とし、粗化処理等の表面処理を施すことによって化学的および物理的アンカー効果による接着力向上を図ることが好ましい。また、樹脂側においても、金属層との接着力をアップするために各種バインダーが添加される等されることが好ましい。
【００４５】
そこで、本発明に係る積層体の金属層の面を樹脂で覆う場合には、好ましい一実施形態においては、樹脂と金属層の面の剥離強度を好ましい範囲（例えば８００ｇｆ／ｃｍ以上）に調節するため、貼り合わせ面の表面粗度を、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１：２００１に準拠して測定した金属層表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）で表して、０．４μｍ以上とすることが好ましく、０．５μｍ以上とすることが好ましく、０．８μｍ以上とすることが好ましく、１．０μｍ以上とすることが好ましく、１．２μｍ以上とすることが好ましく、１．５μｍ以上とすることが好ましく、２．０μｍ以上とすることが好ましい。また上限は特に設定をする必要は無いが、例えば、１０．０μｍ以下とすることが好ましく、８．０μｍ以下とすることが好ましく、７．０μｍ以下とすることが好ましく、６．０μｍ以下とすることが好ましく、５．０μｍ以下とすることが好ましい。
【００４６】
また、本発明に係る積層体の好ましい一実施形態においては、金属層同士の剥離強度を先述した好ましい範囲に調節するため、金属層のもう一つの金属層と接触させる側の表面の表面粗度を、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１：２００１に準拠して測定した金属層表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）で表して、３．５μｍ以下、更に３．０μｍ以下とすることが好ましい。但し、表面粗度を際限なく小さくするのは手間がかかりコスト上昇の原因となるので、０．１μｍ以上とするのが好ましく、０．３μｍ以上とすることがより好ましい。金属層として電解銅箔を使用する場合、このような表面粗度に調整すれば、光沢面（シャイニー面、Ｓ面）及び粗面（マット面、Ｍ面）の何れを使用することも可能であるが、Ｓ面を用いた方が上記表面粗度への調整が容易である。一方で、前記金属層の前記キャリアと接しない側の表面の十点平均粗さ（Ｒｚ  ｊｉｓ）は、０．４μｍ以上１０．０μｍ以下であることが好ましい。
【００４７】
金属層同士を分離可能に接触させて構成される積層物を樹脂に埋め込むことで、前記金属層において平面視したときに積層部分の外周の少なくとも一部が樹脂で覆われる積層体を製造するためのホットプレスの条件としては、樹脂としてプリプレグ（例えば板状プリプレグ）を使用する場合、圧力３０〜４０ｋｇ／ｃｍ2、プリプレグのガラス転移温度よりも高い温度でホットプレスすることが好ましい。
【００４８】
さらに、別の観点から、本発明は、上述した積層体の用途を提供する。
第一に、上述した積層体の少なくとも一つの金属層の面方向、すなわち金属層の表面に対して略垂直な方向に対して、樹脂又は金属層を１回以上、例えば１〜１０回積層することを含む多層金属張積層板の製造方法が提供される。
【００４９】
第二に、上述した積層体の少なくとも一つの金属層の面方向に対して、樹脂、片面あるいは両面金属張積層板、または本発明の積層体、または本発明の積層体を切断して得られるキャリア付金属層、樹脂基板付金属層、または金属層を１回以上積層することを含む多層金属張積層板の製造方法が挙げられる。なお、この積層は、所望する回数だけ行われ、各積層回とも、樹脂、片面あるいは両面金属張積層板、本発明の積層体、本発明のキャリア付金属層、および金属層からなる群から任意に選択することができる。また、樹脂基板付金属層としては、従来の樹脂キャリア付の金属箔などを好適に使用することができる。
【００５０】
上記の多層金属張積層板の製造方法においては、前記積層体を、金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層面の少なくとも一つにて、例えば前記積層体の金属層上で切断する工程と、また積層したキャリア付金属層、または切断後の積層体の金属層同士を剥離して分離する工程とをそれぞれ更に含むことができる。上記の多層金属張積層板の製造方法においては、前記積層体を、金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層面の少なくとも一つにて切断する工程を更に含むことができる。
【００５１】
さらに、金属層同士を剥離して分離した後、金属層の一部または全部をエッチングにより除去する工程を更に含むことができる。
【００５２】
第三に、上述した積層体の少なくとも一つの金属層の面方向に対して、樹脂、片面あるいは両面配線基板、片面あるいは両面金属張積層板、または本発明の積層体、または本発明の積層体を切断して得られるキャリア付金属層、樹脂基板付金属層、配線、回路または金属層を１回以上、例えば１〜１０回積層することを含むビルドアップ基板の製造方法が提供される。なお、この積層は、所望する回数だけ行われ、各積層回とも、樹脂、片面あるいは両面配線基板、片面あるいは両面金属張積層板、本発明の積層体、本発明のキャリア付金属層、および金属層からなる群から任意に選択することができる。また、上述と同様に、樹脂基板付金属層としては、従来の樹脂キャリア付の金属箔などを好適に使用することができる。
【００５３】
第四に、上述した積層体の少なくとも一つの金属層の面方向に対して、ビルドアップ配線層を一層以上積層する工程を含むビルドアップ基板の製造方法が提供される。この際、ビルドアップ配線層はサブトラクティブ法又はフルアディティブ法又はセミアディティブ法の少なくとも一つを用いて形成することができる。
【００５４】
ここで、積層体の第四の用途、すなわちビルドアップ基板の製造方法における、サブトラクティブ法とは、金属張積層板や配線基板（プリント配線板、プリント回路板を含む）上の金属層の不要部分を、エッチングなどによって、選択的に除去して、導体パターンを形成する方法を指す。フルアディティブ法とは、導体層に金属層を使用せず、無電解めっき又は／および電解めっきにより導体パターンを形成する方法であり、セミアディティブ法は、例えば金属層からなるシード層上に無電解金属析出と、電解めっき、エッチング、又はその両者を併用して導体パターンを形成した後、不要なシード層をエッチングして除去することで導体パターンを得る方法である。
【００５５】
上記のビルドアップ基板の製造方法においては、片面あるいは両面配線基板、片面あるいは両面金属張積層板、積層体の金属層、積層体の樹脂、金属層、キャリア付金属層の樹脂、キャリア付金属層の金属層、樹脂基板付金属層の樹脂、樹脂基板付金属層の金属層、又は樹脂に穴を開け、当該穴の側面および底面に導通めっきをする工程を更に含むことができる。また、前記片面あるいは両面配線基板を構成する金属層、片面あるいは両面金属張積層板を構成する金属層、積層体を構成する金属層、キャリア付金属層を構成する金属層、樹脂基板付金属層の金属層、及び金属層の少なくとも一つに配線を形成する工程を１回以上行うことを更に含むこともできる。
【００５６】
上記のビルドアップ基板の製造方法においては、配線形成された表面の上に、本発明の積層体、または本発明の積層体を切断して得られるキャリア付金属層を積層する工程を更に含むこともできる。
【００５７】
なお、「配線形成された表面」とは、ビルドアップを行う過程で都度現れる表面に配線形成された部分を意味し、ビルドアップ基板としては最終製品のものも、その途中のものも包含する。
【００５８】
上記のビルドアップ基板の製造方法においては、前記積層体を、金属層の面において平面視したときに、金属層同士の積層面の少なくとも一つにて、例えば前記積層体の金属層上で切断する工程と、また積層したキャリア付金属層、または切断後の積層体の金属層同士を剥離して分離する工程とをそれぞれ更に含むことができる。上記のビルドアップ基板の製造方法においては、前記積層体を、平面視したときに、金属層が接合または溶接または接着されている部分よりも内側で切断する工程を更に含むこともできる。金属層と金属層との接合部を切断、研削、機械研磨、エッチング等の化学研磨等により除去することもできる。
【００５９】
さらに、金属層同士を剥離して分離した後、金属層の一部または全面をエッチングにより除去する工程を更に含むこともできる。
【００６０】
なお、上述の多層金属張積層板の製造方法およびビルドアップ基板の製造方法において、各層同士は熱圧着を行うことにより積層させることができる。この熱圧着は、一層一層積層するごとに行ってもよいし、ある程度積層させてからまとめて行ってもよいし、最後に一度にまとめて行ってもよい。
【００６１】
特に、本発明は、上記のビルドアップ基板の製造方法において、片面あるいは両面配線基板、片面あるいは両面銅張積層板、積層体の金属層、積層体の板状キャリア、金属層、キャリア付金属層の板状キャリア、キャリア付金属層の金属層、樹脂基板付金属層の樹脂、樹脂基板付金属層の金属層、または樹脂に穴を開け、当該穴の側面および底面に導通めっきをし、更に前記片面あるいは両面配線基板を構成する金属箔および回路部分、片面あるいは両面銅張積層板を構成する金属箔、積層体を構成する金属層、キャリア付金属層を構成する金属層、樹脂基板付金属層の金属層、または金属層に回路を形成する工程を少なくとも１回以上行うビルドアップ基板の製造方法を提供する。
【００６２】
以下、上述した用途の具体例として、本発明に係るキャリア付金属層を利用した４層ＣＣＬの製法を説明する。ここで使用するキャリア付金属層は、金属層１１ｂおよび金属層１１ａ同士を分離可能に接触させて構成される積層物を、樹脂１１ｃおよびプリプレグ１２で挟んで構成されるキャリア付金属層である。このキャリア付金属層に、所望枚数のプリプレグ１２、次に内層コア１３と称する２層プリント回路基板または２層金属張積層板、次にプリプレグ１２、更にキャリア付金属層を順に重ねることで１組の４層ＣＣＬの組み立てユニットが完成する。次に、このユニット１４（通称「ページ」と言う）を１０回程度繰り返し、プレス組み立て物１５（通称「ブック」と言う）を構成する（図８）。その後、このブック１５を積層金型１０で挟んでホットプレス機にセットし、所定の温度及び圧力で加圧成型することにより多数の４層ＣＣＬを同時に製造することができる。積層金型１０としては例えばステンレス製プレートを使用することができる。プレートは、限定的ではないが、例えば１〜１０ｍｍ程度の厚板を使用することができる。４層以上のＣＣＬについても、一般的には内層コアの層数を上げることで、同様の工程で生産することが可能である。
【００６３】
以下、上述した用途の具体例として、本発明に係る積層体をカットして得られる、金属層１１ｂおよび金属層１１ａ同士を分離可能に接触させて構成される積層物を、二つの樹脂１１ｃで挟んで構成されるキャリア付金属層１１を利用したコアレスビルドアップ基板の製法を例示的に説明する。この方法では、キャリア付金属層１１の両側にビルドアップ層１６を必要数積層して、最終的に金属層１１ａ、１１ｂを剥離する（図９参照）。
【００６４】
また例えば、本発明の積層体に、絶縁層としての樹脂、２層回路基板、絶縁層としての樹脂を順に重ね、その上に本発明の積層体あるいはキャリア付金属層を順に重ねて、このようにして得られる最終の積層体における金属層同士の積層面にてカットすることでビルドアップ基板を製造することができる。
【００６５】
また、別の方法としては、本発明の積層体に、絶縁層としての樹脂、導体層としての金属層を順に積層する。次に、必要に応じて金属層の全面を、ハーフエッチングして厚みを調整する工程を含めてもよい。次に、積層した金属層の所定位置にレーザー加工を施して金属層と樹脂を貫通するビアホールを形成し、ビアホールの中のスミアを除去するデスミア処理を施した後、ビアホール底部、側面および金属層の全面または一部に無電解めっきを施して層間接続を形成して、必要に応じて更に電解めっきを行う。金属層上の無電解めっきまたは電解めっきが不要な部分にはそれぞれのめっきを行う前までに予めめっきレジストを形成おいてもよい。また、無電解めっき、電解めっき、めっきレジストと金属層の密着性が不十分である場合には予め金属層の表面を化学的に粗化しておいてもよい。めっきレジストを使用した場合、めっき後にめっきレジストを除去する。次に、金属層および、無電解めっき部、電解めっき部の不要部分をエッチングにより除去することで回路を形成する。その後、積層体における金属層同士の積層面にてカットすることでビルドアップ基板を製造することができる。樹脂、銅箔の積層から回路形成までの工程を複数回行ってさらに多層のビルドアップ基板としてもよい。
さらに、このビルドアップ基板の最表面には、本発明の積層体、または前述のように本発明の積層体をカットして得られるキャリア付金属層を接触させて積層してもよい。なお、最後に積層体を密着させる場合、その前段までで重ね合わせた金属層同士の積層面にてカットをしておいてもよいが、最後の積層体の密着までカットを行わず、最後に全ての積層体の金属層同士の積層面が切断面に含まれるようにカットされるように、一度にカットしてもよい。
【００６６】
ここで、ビルドアップ基板作製に用いる樹脂基板としては、熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂を含有するプリプレグを好適に用いることができる。
【００６７】
また、別の方法としては、本発明の積層体の板状キャリアに開口部を設けて露出する金属層の露出表面に、絶縁層としての樹脂例えばプリプレグまたは感光性樹脂を積層する。その後、樹脂の所定位置にビアホールを形成する。樹脂として例えばプリプレグを用いる場合、ビアホールはレーザー加工により行うことができる。レーザー加工の後、このビアホールの中のスミアを除去するデスミア処理を施すとよい。また、樹脂として感光性樹脂を用いた場合、フォトリソグラフィ法によりビアホールを形成部の樹脂を除去することができる。次に、ビアホール底部、側面および樹脂の全面または一部に無電解めっきを施して層間接続を形成して、必要に応じて更に電解めっきを行う。樹脂上の無電解めっきまたは電解めっきが不要な部分にはそれぞれのめっきを行う前までに予めめっきレジストを形成しておいてもよい。また、無電解めっき、電解めっき、めっきレジストと樹脂の密着性が不十分である場合には予め樹脂の表面を化学的に粗化しておいてもよい。めっきレジストを使用した場合、めっき後にめっきレジストを除去する。次に、無電解めっき部または電解めっき部の不要部分をエッチングにより除去することで回路を形成する。その後、積層体における金属層同士の積層面にてカットすることでビルドアップ基板を製造することができる。樹脂の積層から回路形成までの工程を複数回行ってさらに多層のビルドアップ基板としてもよい。
さらに、このビルドアップ基板の最表面には、本発明の積層体、または前述のように本発明の積層体をカットして得られるキャリア付金属層を接触させて積層してもよい。なお、最後に積層体を密着させる場合、その前段までで重ね合わせた金属層同士の積層面にてカットをしておいてもよいが、最後の積層体の密着までカットを行わず、最後に全ての積層体の金属層同士の積層面が切断面に含まれるようにカットされるように、一度にカットしてもよい。
【００６８】
また、別の方法としては、図１６〜図１８に示したようなビルドアップ方法が挙げられる。
すなわち、図１６においては、図１５に示した積層体の金属層４２、４３のそれぞれの露出面にプリプレグ１１５、１１６を積層させ、さらに回路形成用の金属層１１７、１１８を積層させる。積層後に、カットラインＢにてカットする。この一連の操作の際に、孔１１４はアライメントホールとして機能し、孔１１４の上面にプリプレグ、金属層を積層させても、Ｘ線を当てることで位置検出をすることができるようになっている。なお、金属層４２、４３のプリプレグ１１５、１１６に積層される側の表面は電着により製造した金属層（電解金属層）のＭ面（マット面、析出面）の表面や、金属層に粗化処理した面の表面等、凹凸を有する表面であることが好ましい。金属層４２、４３とプリプレグ１１５、１１６とが良好に密着するためである。
【００６９】
続いて、図１７においては、図１６で得られた積層体の孔１１４の内側に積層方向に貫通する孔１２４を開ける。これにより、人間にも孔が視覚化されることになる。また、孔１１４よりも内側に孔１２４を開けることにより積層物の金属層と金属層との間に薬液が染み込むのを防止できる。
【００７０】
そして、図１８においては、図１７で得られた積層体の最外層の金属層１１７、１１８に回路を形成し、回路領域１２２、１２３を設けてビルドアップ基板１２１を得る。この後、図１９に示すように、図１８で得られたビルドアップ基板１２１にさらにビルドアップ層１３２を形成し、さらに必要に応じてビルドアップ層の形成を続けて、最後に、平面視したときに孔１２４の内側に設定した所定のカットラインＢにてカットして、矢印Ｄに沿って金属層の界面にて分けて二つの基板１３３、１３４にしてもよい。また、図１８に示したように、平面視したときに孔１２４の内側に設定した所定のカットラインＢにてカットし、金属層４２、４３の界面にて分けて二つのビルドアップ基板を得て、図２０に示すように、それぞれのビルドアップ基板１４１の両面に対して引き続きビルドアップ層１４２を形成していってもよいし、片面だけにビルドアップ層を形成していってもよい。
また、図示はしないが、図１５の積層体の金属層４２、４３の表面に極薄金属箔を形成しておき、この極薄金属箔の表面にプリプレグ、金属層を積層していってもよい。
【００７１】
このようにして作製されたコアレスビルドアップ基板に対しては、めっき工程及び／又はエッチング工程を経て表面に配線を形成し、更に金属層同士の間で、剥離分離させることでビルドアップ配線板が完成する。剥離分離後に金属層の剥離面に対して、配線を形成してもよいし、金属層全面をエッチングにより除去して多層ビルドアップ配線板としてもよい。更に、ビルドアップ配線板に電子部品類を搭載することで、プリント回路板が完成する。また、剥離前のコアレスビルドアップ基板に直接、電子部品を搭載してもプリント回路板を得ることができる。
【実施例】
【００７２】
以下に本発明の実施例を比較例と共に示すが、これらの実施例は本発明及びその利点をよりよく理解するために提供するものであり、発明が限定されることを意図するものではない。
【００７３】
＜実験例１＞
ＪＸ日鉱日石金属（株）製の電解銅箔（ＪＴＣ；厚さ１８μｍ；光沢面：表面粗さＲｚ  ｊｉｓ（十点平均粗さ）  １．５μｍ；マット面（析出面）：表面粗さＲｚ  ｊｉｓ  ３．１μｍ）を２枚用いて、光沢面と光沢面とを接着剤を介して積層して、さらに積層部分の外周を樹脂で覆って図２に示した構造の積層体を作製した。このときの剥離強度は１５０ｇｆ／ｃｍであった。また、金属層の積層部分の外周を樹脂で覆う際には、金属層同士を接触させて得られた積層物の両側を積層物よりも一回り大きい二つのプリプレグ（ＦＲ−４プリプレグ（南亜プラスティック社製））で挟んで、ホットプレスにて接合した。
【００７４】
＜実験例２＞
ＪＸ日鉱日石金属（株）製の電解銅箔（ＪＴＣ；厚さ１８μｍ；光沢面：表面粗さＲｚ  ｊｉｓ（十点平均粗さ）  １．５μｍ；マット面（析出面）：表面粗さＲｚ  ｊｉｓ  ３．１μｍ）を２枚用いて、光沢面と光沢面とを接着剤を介して積層して、さらに積層部分の外周を樹脂で覆って図４、５に示した構造の積層体を作製した。このときの剥離強度は２００ｇｆ／ｃｍであった。また、金属層の積層部分の外周を樹脂で覆う際には、金属層同士を接触させて得られた積層物の両側を二つのプリプレグ（ＦＲ−４プリプレグ（南亜プラスティック社製））で挟んで、ホットプレスにて接合した。なお、金属層を平面視した際に、一方の対向する一対の辺の長さが、積層物よりも長く、もう一方の対向する一対の辺の長さが積層物と同じであるプリプレグを使用した。
【００７５】
＜実験例３＞
ＪＸ日鉱日石金属（株）製の圧延銅箔（タフピッチ銅（ＪＩＳ  Ｈ３１００  Ｃ１１００）；厚み３５μｍ；表面粗さＲａ＝０．０９μｍ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１  １９９４））を２枚積層し、超音波溶接で両端の三箇所ずつ接合して、さらに積層部分の外周を樹脂で覆って図６に示した構造の積層体を作製した。なお、各金属層同士の積層に関して、剥離強度は、それぞれ５５ｇｆ／ｃｍおよび６７ｇｆ／ｃｍであった。また、金属層の積層部分の外周を樹脂で覆う際には、金属層同士を接触させて得られた積層物の両側を、積層物よりも一回り大きい二つのプリプレグ（ＦＲ−４プリプレグ（南亜プラスティック社製））で挟んで、ホットプレスにて接合した後、開口部が形成されるようにマスキングをしてエッチング処理した。
【００７６】
＜実験例４＞
ＪＸ日鉱日石金属（株）製の圧延銅箔（タフピッチ銅（ＪＩＳ  Ｈ３１００  Ｃ１１００）；厚み３５μｍ；表面粗さＲａ＝０．０９μｍ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１  １９９４））を２枚積層して、さらに積層部分の外周を樹脂で覆って図７に示した構造の積層体を作製した。また、金属層の積層部分の外周を樹脂で覆う際には、金属層同士を接触させて得られた積層物の両側を、積層物よりも一回り大きい二つのプリプレグ（ＦＲ−４プリプレグ（南亜プラスティック社製））で挟んで、ホットプレスにて接合した後、開口部が形成されるようにマスキングをしてエッチング処理した。
【００７７】
＜実験例５＞
以下の手順により、積層物としてキャリア付極薄銅箔を使用し、図１０に示した構造の二つの積層物を有する積層体を作製した。
キャリアとして、厚さ３５μｍの長尺の電解銅箔（ＪＸ日鉱日石金属社製ＪＴＣ）を用意した。この銅箔の光沢面（シャイニー面）に対して、以下の条件でロール・トウ・ロール型の連続めっきラインで電気めっきすることにより４０００μｍ／ｄｍ2の付着量のＮｉ層を形成した。
【００７８】
（１）Ｎｉ層（Ｎｉ含有層、剥離層：下地メッキ１）
銅箔キャリアのＳ面に対して、以下の条件でロール・トウ・ロール型の連続メッキラインで電気メッキすることにより１０００μｇ／ｄｍ2の付着量のＮｉ層を形成した。具体的なメッキ条件を以下に記す。
【００７９】
硫酸ニッケル：２７０〜２８０ｇ／Ｌ
塩化ニッケル：３５〜４５ｇ／Ｌ
酢酸ニッケル：１０〜２０ｇ／Ｌ
ホウ酸：３０〜４０ｇ／Ｌ
光沢剤：サッカリン、ブチンジオール等
ドデシル硫酸ナトリウム：５５〜７５ｐｐｍ
ｐＨ：４〜６
浴温：５５〜６５℃
電流密度：１０Ａ／ｄｍ2
【００８０】
（２）Ｃｒ層（Ｃｒ含有層、剥離層：下地メッキ２）
次に、（１）にて形成したＮｉ層表面を水洗及び酸洗後、引き続き、ロール・トウ・ロール型の連続メッキライン上でＮｉ層の上に１１μｇ／ｄｍ2の付着量のＣｒ層を以下の条件で電解クロメート処理することにより付着させた。
重クロム酸カリウム１〜１０ｇ／Ｌ、亜鉛０ｇ／Ｌ
ｐＨ：７〜１０
液温：４０〜６０℃
電流密度：２Ａ／ｄｍ2
【００８１】
（３）極薄銅層
次に、（２）にて形成したＣｒ層表面を水洗及び酸洗後、引き続き、ロール・トウ・ロール型の連続メッキライン上で、Ｃｒ層の上に厚み２μｍの極薄銅層を以下の条件で電気メッキすることにより形成し、キャリア付極薄銅箔を作製した。
銅濃度：８０〜１２０ｇ／Ｌ
硫酸濃度：８０〜１２０ｇ／Ｌ
電解液温度：５０〜８０℃
電流密度：１００Ａ／ｄｍ2
【００８２】
上記の処理によるキャリア付銅箔（極薄銅層の厚さ２μｍ、極薄銅層粗化形成面粗さ：Ｒｚ０．６μｍ）を用い、この銅箔の粗面（マット面：Ｍ面）に、下記に示す粗化めっきを行った。以下に、処理条件を示す。これらはいずれも、本願発明の銅箔への粗化処理層を形成するための工程である。粗化粒子形成時の対限界電流密度比は２．５０とした。
【００８３】
（液組成１）
Ｃｕ：１５ｇ／Ｌ
Ｈ2ＳＯ4：１００ｇ／Ｌ
Ｗ：３ｍｇ／Ｌ
ドデシル硫酸ナトリウム添加量：１０ｐｐｍ
（電気めっき温度１）５０℃
【００８４】
本粗化処理の後、下記に示す正常めっきを行った。以下に、処理条件を示す。
（液組成２）
Ｃｕ：４０ｇ／Ｌ
Ｈ2ＳＯ4：１００ｇ／Ｌ
（電気めっき温度１）４０℃
（電流条件１）
電流密度：３０  Ａ／ｄｍ2
クーロン量：１５０Ａｓ／ｄｍ2
【００８５】
次に、耐熱・防錆層の上に電解クロメート処理を行った。
電解クロメート処理（クロム・亜鉛処理（酸性浴））
ＣｒＯ3：１．５ｇ／Ｌ
ＺｎＳＯ4・７Ｈ2Ｏ：２．０ｇ／Ｌ
Ｎａ2ＳＯ4：１８ｇ／Ｌ
ｐＨ：４．６
浴温：３７℃
電流密度：２．０Ａ／ｄｍ2
時間：１〜３０秒
（ｐＨ調整は硫酸又は水酸化カリウムで実施）
【００８６】
次に、このクロメート皮膜層の上に、シラン処理（塗布による）を施した。シラン処理の条件は、次の通りである。
０．２％  ３‐グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
なお、各金属層同士の積層に関して、剥離強度は、それぞれ１３ｇｆ／ｃｍおよび１０ｇｆ／ｃｍであった。
このようにして得られた積層物の上に金属層よりも一回り小さい０．１ｍｍのアルミ板を配置した。そして、アルミ板／積層物／プリプレグ（ＦＲ−４プリプレグ（南亜プラスティック社製））／積層物／アルミ板の順に積層した後に、ホットプレスにより熱圧着し、その後アルミ板を除去して、図１０に示した構造の積層体を得た。なお、プリプレグには、積層物よりも一回り大きいプリプレグを用いた。なお、積層物であるキャリア付極薄銅箔を極薄銅層側からプリプレグに積層して積層体を得た。
【００８７】
＜実験例６＞
以下の手順により、積層物としてキャリア付極薄銅箔を使用し、図１１に示した構造の二つの積層物を有する積層体を作製した。
以下の条件にて、剥離層の形成および金属層の粗化処理を行った後の処理以外は、実験例５と同様の手順にて行った。極薄銅層厚みは３μｍとした。
【００８８】
（剥離層の形成）
（１）「Ｎｉ−Ｚｎ」：ニッケル亜鉛合金めっき
上記ニッケルめっきの形成条件において、ニッケルめっき液中に硫酸亜鉛（ＺｎＳＯ4）の形態の亜鉛を添加し、亜鉛濃度：０．０５〜５ｇ／Ｌの範囲で調整してニッケル亜鉛合金めっきを形成した。
Ｎｉ付着量は、３０００μｇ／ｄｍ2であり、Ｚｎ付着量は、２５０μｇ／ｄｍ2であった。
【００８９】
（２）「有機」：有機物層形成処理
上記で形成したニッケル亜鉛合金めっき層の上に、濃度１〜３０ｇ／Ｌのカルボキシベンゾトリアゾール（ＣＢＴＡ）を含む、液温４０℃、ｐＨ５の水溶液を、２０〜１２０秒間シャワーリングして噴霧することにより行った。有機物層厚みは、２５ｎｍであった。
【００９０】
（粗化処理）
以下の条件にて、粗化処理１、粗化処理２、防錆処理、クロメート処理、及び、シランカップリング処理をこの順に行った。なお、極薄銅箔の厚みは３μｍとした。
・粗化処理１
液組成        ：銅１０〜２０ｇ／Ｌ、硫酸５０〜１００ｇ／Ｌ
液温            ：２５〜５０℃
電流密度    ：１〜５８Ａ／ｄｍ2
クーロン量：４〜８１Ａｓ／ｄｍ2
・粗化処理２
液組成        ：銅１０〜２０ｇ／Ｌ、ニッケル５〜１５ｇ／Ｌ、コバルト５〜１５ｇ／Ｌ
ｐＨ            ：２〜３
液温            ：３０〜５０℃
電流密度    ：２４〜５０Ａ／ｄｍ2
クーロン量：３４〜４８Ａｓ／ｄｍ2
・防錆処理
液組成        ：ニッケル５〜２０ｇ／Ｌ、コバルト１〜８ｇ／Ｌ
ｐＨ            ：２〜３
液温            ：４０〜６０℃
電流密度    ：５〜２０Ａ／ｄｍ2
クーロン量：１０〜２０Ａｓ／ｄｍ2
・クロメート処理
液組成        ：重クロム酸カリウム１〜１０ｇ／Ｌ、亜鉛０〜５ｇ／Ｌ
ｐＨ            ：３〜４
液温            ：５０〜６０℃
電流密度    ：０〜２Ａ／ｄｍ2
クーロン量：０〜２Ａｓ／ｄｍ2
・シランカップリング処理
ジアミノシラン水溶液の塗布（ジアミノシラン濃度：０．１〜０．５ｗｔ％）
【００９１】
なお、各金属層同士の積層に関して、剥離強度は、５ｇｆ／ｃｍおよび８ｇｆ／ｃｍであった。
このようにして得られた積層物の上に金属層よりも一回り小さい０．１ｍｍのアルミ板を配置した。そして、アルミ板／積層物／プリプレグ（ＦＲ−４プリプレグ（南亜プラスティック社製））／積層物／アルミ板の順に積層した後に、ホットプレスにより熱圧着し、その後アルミ板を除去して、図１１に示した構造の積層体を得た。なお、プリプレグには、積層物よりも一回り大きいプリプレグを用いた。なお、積層物であるキャリア付極薄銅箔をキャリア側からプリプレグへ積層して、積層体を得た。
【００９２】
＜実験例７＞
以下の手順により、積層物としてキャリア付極薄銅箔を使用し、図１２に示した構造の二つの積層物を有する積層体を作製した。
金属層同士を接触させた積層物を、実験例６に示した手順を同様にして得た。なお、各金属層同士の積層に関して、剥離強度は、５ｇｆ／ｃｍおよび８ｇｆ／ｃｍであった。
そして、積層物／プリプレグ（ＦＲ−４プリプレグ（南亜プラスティック社製））／積層物の順に積層した後に、ホットプレスにより熱圧着して、図１２に示した構造の積層体を得た。なお、プリプレグには、積層物よりも一回り大きいプリプレグを用いた。なお、積層物であるキャリア付極薄銅箔をキャリア側からプリプレグへ積層して、積層体を得た。
【００９３】
＜実験例８＞
以下の手順により、積層物としてキャリア付極薄銅箔を使用し、図１３に示した構造の二つの積層物を有する積層体を作製した。
金属層同士を接触させた積層物を、実験例６に示した手順を同様にして得た。なお、各金属層同士の積層に関して、剥離強度は、５ｇｆ／ｃｍおよび８ｇｆ／ｃｍであった。
このようにして得られた積層物とプリプレグとを積層物／プリプレグ（ＦＲ−４プリプレグ（南亜プラスティック社製））／積層物の順に積層した後に、ホットプレスにより熱圧着した。その後、前記積層物の表面に金属層よりも一回り小さい厚み０．１ｍｍのアルミ板を配置し、さらに積層面に対して側面からエポキシ樹脂（粘度１Ｐａ・ｓ）を塗布して加熱硬化させた後に、アルミ板を除去して、図１３に示した構造の積層体を得た。なお、プリプレグは、積層物を極薄銅箔について平面視したときに、積層物と同じ大きさのものを用いた。なお、積層物であるキャリア付極薄銅箔をキャリア側からプリプレグへ積層して、積層体を得た。
【００９４】
＜実験例９＞
以下の手順により、積層物としてキャリア付極薄銅箔を使用し、図１４に示した構造の二つの積層物を有する積層体を作製した。
金属層同士を接触させた積層物を、実験例６に示した手順を同様にして得た。なお、各金属層同士の積層に関して、剥離強度は、５ｇｆ／ｃｍおよび８ｇｆ／ｃｍであった。
このようにして得られた積層物の上に金属層よりも一回り大きい厚み０．１ｍｍのアルミ板を配置した。そして、積層物／プリプレグ（ＦＲ−４プリプレグ（南亜プラスティック社製））／積層物の順に積層した後に、ホットプレスにより熱圧着し、さらに積層面に対して側面からエポキシ樹脂（粘度１５Ｐａ・ｓ）を塗布して加熱硬化させ、その後アルミ板を除去して、図１４に示した構造の積層体を得た。なお、プリプレグは、積層物を極薄銅箔について平面視したときに、積層物と同じ大きさのものを用いた。なお、積層物であるキャリア付極薄銅箔をキャリア側からプリプレグへ積層して、積層体を得た。
【００９５】
このようにして作製した積層体の両側に、表面に金属層（銅箔）が露出している側にはＦＲ−４プリプレグ（南亜プラスティック社製）、銅箔（ＪＸ日鉱日石金属（株）製、ＪＴＣ１２μｍ（製品名））を順に重ね、表面に樹脂が露出している側には、銅箔（ＪＸ日鉱日石金属（株）製、ＪＴＣ１２μｍ（製品名））、ＦＲ−４プリプレグ（南亜プラスティック社製）、銅箔（ＪＸ日鉱日石金属（株）製、ＪＴＣ１２μｍ（製品名））を順に重ね、３ＭＰａの圧力で１７０℃・１００分間ホットプレスを行い、４層〜６層銅張積層板を作製した。
【００９６】
次に、前記４層〜６層銅張積層板表面の銅箔とその下の絶縁層（硬化したプリプレグ）を貫通する直径１００μｍの孔をレーザー加工機を用いて空けた。続いて、前記孔の底部に露出した内層に存在する銅箔表面と、前記孔の側面、前記４層〜６層銅張積層板表面の銅箔上に無電解銅めっき、電気銅めっきにより銅めっきを行い、内層に存在する銅箔と、４〜６層銅張積層板表面の銅箔との間に電気的接続を形成した。次に、４〜６層銅張積層板表面の銅箔の一部を塩化第二鉄系のエッチング液を用いてエッチングし、回路を形成した。このようにして、４〜６層ビルドアップ基板を作製することができる。
【００９７】
続いて、前記４〜６層ビルドアップ基板を、前記金属層上の位置で切断した後、前記積層体を構成する金属層と金属層を剥離して分離することにより、２組の２〜３層ビルドアップ配線板を得た。
【００９８】
続いて、前記の２組の２〜３層ビルドアップ配線板上の、金属層（銅箔）と接触していた金属層である銅箔をエッチングし配線を形成して、２組の２〜３層ビルドアップ配線板を得た。
【符号の説明】
【００９９】
１０    積層金型
１１    キャリア付金属層
１１ａ  金属層
１１ｂ  金属層
１１ｃ  樹脂
１２    プリプレグ
１３    内層コア
１４    ページ
１５    ブック
１６    ビルドアップ層
２０    積層体
２１    樹脂
２２、２３    金属層
２４    離型層
３０    積層体
３１    樹脂
３２、３３    金属層
４０    積層体
４１    樹脂
４２、４３    金属層
５０    積層体
５１    樹脂
５２    開口部
６０    積層体
６１    樹脂
６２    開口部
【図１２】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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