(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入口側から吸気した大気を出口側から送出する送風機本体と、不活性ガスを前記送風機本体内へ流入させるガス供給路と、前記送風機本体内を流通した前記不活性ガスを排出するガス排出路と、該ガス排出路と前記ガス供給路とを接続する循環流路と、該循環流路の中途位置に設けられるポンプと、前記ガス排出路の中途位置に設けられた開閉手段とを有する送風機の運転休止方法であって、
前記送風機本体内に前記ガス供給路を介して前記不活性ガスを供給するガス供給工程と、
前記不活性ガスが前記送風機本体内に充填された後に、前記送風機本体の前記入口側を封止し、前記出口側を前記開閉手段によって封止する封止工程と、
を備え、
前記封止工程の後に、第二ガス検出手段によって前記送風機本体内の前記不活性ガスの充填状況を検出する第二ガス検出工程と、
該第二ガス検出工程の結果に基づいて、前記送風機本体の前記入口側を開閉し、前記不活性ガスの追加供給を行うガス追加工程と、
をさらに備え、
前記ガス供給工程では、前記送風機本体の前記出口側から前記ガス排出路を介して排出された前記不活性ガスを前記ポンプによって前記循環流路を介して前記入口側から取り込み、前記送風機本体内に前記不活性ガスを循環供給し、
前記ガス供給工程では、前記ポンプが前記開閉手段の開閉状態を検知して前記開閉手段が開放された際に、前記ポンプを駆動することで前記不活性ガスを循環させることを特徴とする送風機の運転休止方法。
【請求項２】
前記ガス供給工程は、前記送風機本体の無負荷運転を行うことで、前記送風機本体内に前記不活性ガスを供給することを特徴とする請求項１に記載の送風機の運転休止方法。
【請求項３】
前記ガス供給工程と前記封止工程との間に、第一ガス検出手段によって前記送風機本体内の前記不活性ガスの充填状況を検出する第一ガス検出工程をさらに備え、
該第一ガス検出工程の結果に基づいて、前記封止工程が実行されることを特徴とする請求項１又は２に記載の送風機の運転休止方法。
【請求項４】
前記ガス供給工程は、前記不活性ガスの除湿を行った後に、前記送風機本体内に前記不活性ガスを供給することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の送風機の運転休止方法。
【請求項５】
入口側から吸気した大気を出口側から送出する送風機本体と、
前記入口側に接続され、不活性ガスを供給するガス供給路と、
前記ガス供給路の開閉を行う第一開閉手段と、
前記出口側に接続され、前記不活性ガスを排出するガス排出路と、
前記ガス排出路の開閉を行う第二開閉手段と、
前記ガス排出路と前記ガス供給路とを接続する循環流路と、
前記循環流路の中途位置に設けられるポンプと、
を備え、
前記ポンプは、前記出口側から前記ガス排出路を介して排出された前記不活性ガスを前記循環流路を介して前記入口側から前記送風機本体に取り込み、かつ、前記第二開閉手段の開閉状態を検知して前記第二開閉手段が開放された際に、前記循環流路を介して前記不活性ガスを循環させることを特徴とする送風機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、送風機の運転休止時における処置方法、特に防錆方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
送風機は、吸引した気体の圧縮を行ない、また気体に運動エネルギー付与して送出する送風装置である。
【０００３】
ここで、例えば製鉄所においては、高炉へ空気を供給するために送風機が用いられている。また、高炉一基に対して複数の送風機が接続されているものもあり、この場合、操業状態に合わせて、複数の送風機のうちの一部を運転休止させることがある。そして、運転休止の際には、送風機内は運転休止時の状態のまま維持されることとなり、即ち、大気等から取り込まれた空気が送風機内に残存した状態となる。従って、特に運転休止状態が長期にわたる場合には、上記残存した空気に含まれる湿分によって、送風機における翼やケーシングに錆びが発生してしまうおそれがある。
【０００４】
このように、翼に錆びが発生してしまった場合には、翼の断面形状の変化によって、送風機の空力性能が低下してしまい、運転効率低下、及びこれによるコスト増大のおそれがある。さらに、錆びが発生した状態で運転再開を行なってしまうと、空気流とともに下流側に錆びが流通してしまい、配管等を閉塞してしまう可能性があった。
【０００５】
ここで、特許文献１には、ボイラ火炉に設けられたガスバーナの消化時に、燃料配管に不活性ガスを供給することで、腐食成分を含む炉内のガスが燃料配管等に侵入してしまうことを防止して、燃料配管等における腐食減肉を防止可能としたバーナ装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−６１８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示されている手法を上記送風機に適用することで、送風機内に残存した空気を吐き出すことは可能であるものの、このような手法を送風機に適用したものはこれまでに知られていない。また現状では、送風機の翼に対して防錆コーティングを施す等によって錆の発生を抑制して運転効率低下を回避しているが、トラブル発生防止やコスト低減のため、さらなる防錆効果の向上が必要とされていた。
【０００８】
本発明はこのような事情を考慮してなされたものであり、さらなる防錆効果の向上を図ることが可能な送風機の運転休止方法、及び送風機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明は以下の手段を採用している。
即ち、本発明に係る送風機の運転休止方法は、入口側から吸気した大気を出口側から送出する送風機本体と、不活性ガスを前記送風機本体内へ流入させるガス供給路と、前記送風機本体内を流通した前記不活性ガスを排出するガス排出路と、該ガス排出路と前記ガス供給路とを接続する循環流路と、該循環流路の中途位置に設けられるポンプと、前記ガス排出路の中途位置に設けられた開閉手段とを有する送風機の運転休止方法であって、前記送風機本体内に前記ガス供給路を介して前記不活性ガスを供給するガス供給工程と、前記不活性ガスが前記送風機本体内に充填された後に、前記送風機本体の前記入口側を封止し、前記出口側を前記開閉手段によって封止する封止工程と、を備え、前記封止工程の後に、第二ガス検出手段によって前記送風機本体内の前記不活性ガスの充填状況を検出する第二ガス検出工程と、該第二ガス検出工程の結果に基づいて、前記送風機本体の前記入口側を開閉し、前記不活性ガスの追加供給を行うガス追加工程と、をさらに備え、前記ガス供給工程は、前記送風機本体の前記出口側から前記ガス排出路を介して排出された前記不活性ガスを前記ポンプによって前記循環流路を介して前記入口側から取り込み、前記送風機本体内に前記不活性ガスを循環供給し、前記ガス供給工程では、前記ポンプが前記開閉手段の開閉状態を検知して前記開閉手段が開放された際に、前記ポンプを駆動することで前記不活性ガスを循環させることを特徴とする
【００１０】
このような送風機の運転休止方法においては、ガス供給工程を実行した後に封止工程を実行することによって、送風機本体内に残存した大気を不活性ガスによって押し出しながら、不活性ガスを送風機本体内に充填した状態を保持することが可能となる。従って、湿分を含む大気の残存を回避でき、さらに、不活性ガスを用いたことによって、送風機本体内に充填された不活性ガスが、仮に外部に漏洩してしまったとしても、引火等の危険性が無いため、安全性の向上も可能となる。
また、不活性ガスを充填して封止した後、時間の経過とともに、徐々に不活性ガスが送風機本体の外部へ漏洩してしまうことがある。ここで、このような第二ガス検出工程によって、送風機本体内のガス濃度、圧力等を第二ガス検出手段で検出して、検出結果が、例えば事前に設定した閾値を下回った時点で、不活性ガスを追加供給することが可能となる。従って、常時、所定量の不活性ガスを送風機本体内に保持することができ、湿分を含む大気が侵入して錆びが発生してしまうことを回避できる。
さらに、不活性ガスの循環を行なうことで、不活性ガスの再利用が可能となり、コスト抑制につながる。
【００１１】
また、前記ガス供給工程は、前記送風機本体の無負荷運転を行うことで、前記送風機本体内に前記不活性ガスを供給してもよい。
【００１２】
このようにガス供給工程を実行することで、不活性ガスを送風機本体内へ吸引して取り込むことができるため、不活性ガスの充填速度の向上を図ることができる。
【００１３】
さらに、本発明に係る送風機の運転休止方法は、前記ガス供給工程と前記封止工程との間に、第一ガス検出手段によって前記送風機本体内の前記不活性ガスの充填状況を検出する第一ガス検出工程をさらに備え、該第一ガス検出工程の結果に基づいて、前記封止工程が実行されてもよい。
【００１４】
このような第一ガス検出工程によって、送風機本体内の不活性ガスの濃度、圧力等を第一ガス検出手段で検出して、検出結果が、例えば事前に設定した閾値以上となった時点で、送風機本体の前記入口側と前記出口側とを封止するようにすることが可能となる。従って、より確実に不活性ガスを充填することができ、湿分を含む大気の残存を回避できる。
【００１９】
また、前記ガス供給工程は、前記不活性ガスの除湿を行った後に、前記送風機本体内に前記不活性ガスを供給してもよい。
【００２０】
このように不活性ガスを除湿することで、乾燥した不活性ガスを送風機本体内へ供給でき、より確実に送風機本体内の湿分を取り除くことができる。また、不活性ガスを循環させる際にも、送風機本体を通過することで湿分を吸収した不活性ガスの除湿を行なった状態で、送風機本体内へ乾燥した不活性ガスを供給することが可能となる。従って、さらに確実に錆びの発生を回避できる。
【００２１】
さらに、本発明に係る送風機は、入口側から吸気した大気を出口側から送出する送風機本体と、前記入口側に接続され、不活性ガスを供給するガス供給路と、前記ガス供給路の開閉を行う第一開閉手段と、前記出口側に接続され、前記不活性ガスを排出するガス排出路と、前記ガス排出路の開閉を行う第二開閉手段とを備えることを特徴とする。
【００２２】
このような送風機においては、第一開閉手段及び第二開閉手段を開放して、送風機本体内に残存した大気を不活性ガスによって排出し、その後、送風機本体に不活性ガスを充填して、第一開閉手段及び第二開閉手段を閉塞する。このようにして不活性ガスを送風機本体内に充填した状態を保持し、防錆効果の向上を図ることが可能となる。さらに、引火等の危険性を回避して、安全性を確保できる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の送風機の運転休止方法、及び送風機によると、不活性ガスを内部に充填して保持することができ、さらなる防錆効果の向上を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】参考例に係る送風機を示す全体系統図である。
【図２】参考例に係る送風機の運転休止方法の工程を示すフロー図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る送風機を示す全体系統図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図１を参照して、参考例に係る送風機１Ａについて説明する。
送風機１Ａは、後述する羽根車の翼によって生じる揚力によって大気Ａ等の気体を上流側から下流側に向かって圧送して、外部へ送出するものであり、圧縮比の差異によりファン、ブロア等に分類される。
【００２６】
送風機１Ａは、大気Ａを圧送する送風機本体１１と、送風機本体１１の上流側に接続された主流入路１２と、主流入路１２の中途位置に設けられた第一主弁１３と、送風機本体１１の下流側に接続された主流出路１４と、主流出路１４の中途位置に設けられた第二主弁１５とを備えている。
【００２７】
また、この送風機１Ａは、第一主弁１３と送風機本体１１との間において、一端２１ａが主流入路１２に接続され、不活性ガスＧを流入可能とするガス供給路２１と、ガス供給路２１の中途位置に設けられた第一ガス開閉弁（第一開閉手段）２３とを備えている。
そして、第二主弁１５と送風機本体１１との間において、主流出路１４に一端２２ａが接続されたガス排出路２２と、ガス排出路２２の中途位置に設けられた第二ガス開閉弁（第二開閉手段）２４とを備えている。
【００２８】
さらに、第二ガス開閉弁２４とガス排出路２２の他端２２ｂとの間に配置された第一ガス検出手段３１と、送風機本体１１とガス排出路２２の一端２２ａとの間に配置された第二ガス検出手段３４とを備えている。
【００２９】
送風機本体１１は、図示はしないが、内部に複数の翼を有する羽根車を備えており、この羽根車の回転によって、入口側となる上流側から大気Ａを内部に取り込み、出口側となる下流側へ圧送するものである。
【００３０】
主流入路１２は、配管等によって構成され、大気Ａを送風機本体１１内へ流入させるものである。
【００３１】
第一主弁１３は、開閉弁装置であり、主流入路１２からの大気Ａを送風機本体１１へ流入可能とし、また停止可能とするものである。
【００３２】
主流出路１４は、配管等によって構成され、送風機本体１１内を流通して圧縮された大気Ａを外部へ送出するものである。
【００３３】
第二主弁１５は、開閉弁装置であり、主流出路１４を流通した大気Ａを外部へ送出可能とし、また送出を停止可能とするものである。
【００３４】
ガス供給路２１は、配管等によって構成され、例えば、窒素や希ガス（アルゴン等）の不活性ガスＧを高圧状態で保持するボンベ２が他端２１ｂに接続され、不活性ガスＧを、送風機本体１１内へ流入させるものである。
【００３５】
第一ガス開閉弁２３は、開閉弁装置であり、ガス供給路２１からの不活性ガスＧを送風機本体１１へ流入可能とし、また停止可能とするものである。
【００３６】
ガス排出路２２は、配管等によって構成され、送風機本体１１内を流通した不活性ガスＧを排出するものである。
【００３７】
第二ガス開閉弁２４は、開閉弁装置であり、送風機本体１１内を流通した不活性ガスＧを排出可能とし、また停止可能とするものである。
【００３８】
第一ガス検出手段３１は、例えば濃度計又は圧力計等の第一検出器３２と、第一検出器３２からの検出結果を受けて、第一ガス開閉弁２３及び第二ガス開閉弁２４の開閉制御を行う第一制御器３３とから構成されている。
【００３９】
第二ガス検出手段３４は、第一ガス検出手段３１同様に、例えば濃度計又は圧力計等の第二検出器３５と、第二検出器３５からの検出結果を受けて、第一ガス開閉弁２３の開閉制御を行う第二制御器３６とから構成されている。
【００４０】
次に、図２を参照して、参考例の送風機１Ａの運転休止方法の手順について説明する。
【００４１】
送風機１Ａの運転休止方法は、主流入路１２からの大気Ａの流入及び主流出路１４からの大気Ａの送出を停止する休止準備工程Ｓ１と、休止準備工程Ｓ１の後に不活性ガスＧを送風機本体１１内へ供給して充填するガス供給工程Ｓ２とを備えている。
さらに、ガス供給工程Ｓ２での不活性ガスＧの充填状況を検出する第一ガス検出工程Ｓ３と、第一ガス検出工程Ｓ３の結果に応じて不活性ガスＧを送風機本体１１内に封止する封止工程Ｓ４と、封止工程Ｓ４の後に不活性ガスＧの充填状況を検出する第二ガス検出工程Ｓ５と、第二ガス検出工程Ｓ５の結果に応じて不活性ガスＧを送風機本体１１内に追加供給するガス追加工程Ｓ６とを備えている。
【００４２】
ここで、送風機１Ａの運転中は、主流入路１２における第一主弁１３、及び、主流出路１４における第二主弁１５は開放されており、大気Ａが送風機本体１１に吸気され、また外部への送出を行なっている。さらにこの際、ガス供給路２１における第一ガス開閉弁２３及びガス排出路２２における第二ガス開閉弁２４は閉塞され、不活性ガスＧの流通が停止されている。
【００４３】
このような状態で、まず、休止準備工程Ｓ１を実行する。即ち、第一主弁１３を閉塞して送風機本体１１内への大気Ａの流入を停止し、また、第二主弁１５を閉塞して外部への大気Ａの送出を停止する。
【００４４】
次に、ガス供給工程Ｓ２を実行する。即ち、第一ガス開閉弁２３を開放して、不活性ガスＧをボンベ２からガス供給路２１を介して送風機本体１１に流入させ、また、第二ガス開閉弁２４を開放して、ガス排出路２２を介して、送風機本体１１内に残存した大気Ａを押し出しながら不活性ガスＧを排出する。
【００４５】
次に、第一ガス検出工程Ｓ３を実行する。即ち、第一検出器３２によって不活性ガスＧの濃度又は圧力が、事前に設定した閾値（送風機本体１１内に十分に不活性ガスＧが充填された状態での濃度又は圧力の値）以上となった際に、この検出結果を第一制御器３３で受けるとともに、第一制御器３３から第一ガス開閉弁２３及び第二ガス開閉弁２４を閉塞するよう指令する。
【００４６】
次に、封止工程Ｓ４を実行する。即ち、第一制御器３３からの指令を受け、第一ガス開閉弁２３及び第二ガス開閉弁２４の閉塞を行ない、送風機本体１１内に不活性ガスＧを充填した状態で送風機本体１１の上流側と下流側とを封止する。
【００４７】
次に、第二ガス検出工程Ｓ５を実行する。即ち、第二検出器３５によって、送風機本体１１内に充填された不活性ガスＧの濃度又は圧力が、事前に設定した閾値（送風機本体１１内に十分に不活性ガスＧが充填された状態での濃度又は圧力の値）を下回った際に、この検出結果を第二制御器３６で受けるとともに、第二制御器３６から第一ガス開閉弁２３を開放するよう指令する。
【００４８】
次に、ガス追加工程Ｓ６を実行する。即ち、第二制御器３６からの指令を受け、第一ガス開閉弁２３の開放を行ない、送風機本体１１内に不活性ガスＧを追加供給する。
その後、第二検出器３５によって、送風機本体１１内に充填された不活性ガスＧの濃度又は圧力が、事前に設定した上記閾値以上となった際に、再度、第二制御器３６からの指令によって第一ガス開閉弁２３の閉塞を行ない、送風機本体１１の封止を行なう。
【００４９】
このような送風機１Ａの運転休止方法においては、まず、休止準備工程Ｓ１で大気Ａの流入を停止した後に、ガス供給工程Ｓ２、封止工程Ｓ４を実行することによって、送風機本体１１内に残存した大気Ａを不活性ガスＧによって押し出しながら、不活性ガスＧを送風機１Ａ内に流入させる。そして、不活性ガスＧを送風機本体１１内に充填した状態を保持することが可能となる。
【００５０】
また、封止工程Ｓ４は、第一ガス検出工程Ｓ３の結果を受けて実行されるため、不活性ガスＧの充填量が、事前に設定した第一検出器３２での上記閾値を下回らないようにできるため、確実に充填量が所定の値となった状態で、送風機本体１１の封止を行なうことができる。
【００５１】
また、封止工程Ｓ４の後には、時間の経過とともに徐々に不活性ガスＧが送風機本体１１の外部へ漏洩してしまうことがあるが、第二ガス検出工程Ｓ５によって、事前に設定した閾値を下回ってしまわないようにできる。従って、常時、充填量を所定の値に保持することができる。従って、湿分を含む大気Ａが送風機本体１１内に残存してしまうことを回避できる。
【００５２】
さらに、不活性ガスＧを用いたことによって、送風機１Ａ内に充填された不活性ガスＧが、仮に外部に漏洩してしまったとしても、引火等の危険性が無く、安全性の確保も可能である。
【００５３】
本参考例の送風機１Ａの運転休止方法によると、不活性ガスＧを送風機本体１１内に充填して保持することができ、さらなる防錆効果の向上を図ることが可能となる。
【００５４】
なお、ボンベ２と送風機本体１１との間で、例えばシリカゲル等の吸湿剤を用いて不活性ガスＧの除湿を行なってもよい。この場合、乾燥した不活性ガスＧを送風機本体１１内へ供給でき、より確実に送風機本体１１内の湿分を取り除くことができる。
【００５５】
次に、本発明の第一実施形態に係る送風機１Ｂの運転休止方法について説明する。
なお、参考例と同様の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、ガス供給工程が参考例とは異なっている。
【００５６】
図３に示すように、送風機１Ｂは、ガス排出路２２の他端２２ｂと、ガス供給路２１の他端２１ｂとを接続する循環流路４１と、この循環流路４１の中途位置に設けられるポンプ４２とをさらに備えている。そして、ガス供給路２１の他端２１ｂとボンベ２との間には、ボンベ開閉弁４５が設けられている。
【００５７】
また、ポンプ４２は、ポンプ本体４３と、ポンプ制御器４４とを有し、ポンプ制御器４４は第二ガス開閉弁２４の開閉状態を検知して、ポンプ本体の駆動、停止の操作を行なうものである。
【００５８】
ボンベ開閉弁４５は、ボンベ２からの不活性ガスＧのガス供給路２１内へ流入可能とし、また停止可能とするものである。
【００５９】
そして、ガス供給工程Ｓ２においては、第二ガス開閉弁２４が開放された際に、ポンプ制御器４４によって、ポンプ本体４３を駆動する。このようにして、ガス排出路２２から排出された不活性ガスＧを、ポンプ４２によって循環流路４１を介してガス供給路２１へ返送し、不活性ガスＧを循環させる。さらにこの際、ボンベ開閉弁４５は閉塞されており、即ち、ガス供給路２１への不活性ガスＧの流入は停止されている。
【００６０】
このような送風機１Ｂの運転休止方法においては、ガス供給工程で不活性ガスＧの循環を行なうことで、再利用が可能となる。なお、その際にも、ボンベ開閉弁４５を開放することで、不活性ガスＧの漏洩分に対してボンベ２から適宜追加することができる。
【００６１】
本実施形態の送風機１Ｂの運転休止方法によると、不活性ガスＧを送風機本体１１内に充填して保持することができ、防錆効果の向上を図り、さらに、例えば不活性ガスＧが高価なアルゴン等の希ガスである場合には、再利用によってコスト低減が可能となる。
【００６２】
なお、循環流路４１、ガス供給路２１、ガス排出路２２のうちのいずれかの中途位置で、例えばシリカゲル等の吸湿剤を用いて、送風機本体１１からの不活性ガスＧの除湿を行なってもよい。この場合、送風機本体１１を通過することで湿分を吸収した不活性ガスＧの除湿を行なった状態で、送風機本体１１内へ乾燥した不活性ガスＧを供給することが可能となる。従って、さらに確実に錆びの発生を回避できる。
【００６３】
なお、配管内を通過する間に不活性ガスＧが湿分を吸収してしまうため、送風機本体１１の入口に出来る限り近い位置で吸湿した方が、より低湿な不活性ガスＧを送風機本体１１内に供給できる。したがって、循環流路４１やガス排出路２２よりも、ガス供給路２１の中途位置において除湿することが好ましい。
【００６４】
また、ポンプ４２の駆動、停止はポンプ制御器４４によらずに、手動等によって行なってもよい。
【００６５】
以上、本発明の実施形態についての詳細説明を行なったが、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内において、多少の設計変更も可能である。
例えば、上述の実施形態では、第一ガス検出工程Ｓ３で用いた第一ガス検出手段３１は、第二ガス開閉弁２４とガス排出路２２の他端２２ｂとの間に配置されているが、この位置に限定されることはない。即ち、送風機本体１１の内部や、送風機本体１１とガス排出路２２の一端２２ａとの間、あるいは、ガス排出路２２の一端２２ａと第二ガス開閉弁２４との間に配置されていてもよい。
【００６６】
また、第一ガス検出手段３１を、送風機本体１１の内部や、送風機本体１１とガス排出路２２の一端２２ａとの間、あるいは、ガス排出路２２の一端２２ａと第二ガス開閉弁２４との間に配置することで、第一ガス検出手段３１に第二ガス検出手段３４の機能をも兼ねさせてもよい。これにより第二ガス検出手段３４を省略できるので装置の簡素化やコスト低減が可能となる。
【００６７】
また、第二ガス検出工程Ｓ５で用いた第二ガス検出手段３４についても、本実施形態での配置位置に限定されず、例えば、送風機本体１１の内部や、ガス排出路２２の一端２２ａと第二ガス開閉弁２４との間に配置されていてもよい。
【００６８】
さらに、ガス供給工程Ｓ２においては、不活性ガスＧを充填する際に、送風機本体１１の無負荷運転を行なって、不活性ガスＧを送風機１Ａ、１Ｂ内へ積極的に吸引して取り込んでもよい。この場合、充填速度の向上を図ることが可能となる。
【００６９】
また、第一ガス検出工程Ｓ３を必ずしも備えていなくともよく、例えば、送風機本体１１への不活性ガスＧの充填が所定量に到達した時点で、手動で封止工程Ｓ４を実行してもよい。
【００７０】
さらに、例えば、封止工程Ｓ４後に不活性ガスＧの漏洩量が無視できる程度であれば、第二ガス検出工程Ｓ５、ガス追加工程Ｓ６を必ずしも備えていなくともよいし、また、不活性ガスＧの漏洩がある場合には、手動で第一ガス開閉弁２３の開閉を行い、不活性ガスＧの追加供給を行ってもよい。
【００７１】
また、第一主弁１３と第一ガス開閉弁２３とに代えて、これらが一体とされた三方弁を用いてもよいし、第二主弁１５と第二ガス開閉弁２４とに代えて、三方弁を用いてもよい。
【符号の説明】
【００７２】
１Ａ…送風機、２…ボンベ、１１…送風機本体、１２…主流入路、１３…第一主弁、１４…主流出路、１５…第二主弁、２１…ガス供給路、２１ａ…一端、２１ｂ…他端、２２…ガス排出路、２２ａ…一端、２２ｂ…他端、２３…第一ガス開閉弁（第一開閉手段）、２４…第二ガス開閉弁（第二開閉手段）、３１…第一ガス検出手段、３２…第一検出器、３３…第一制御器、３４…第二ガス検出手段、３５…第二検出器、３６…第二制御器、Ｇ…不活性ガス、Ａ…大気、Ｓ１…休止準備工程、Ｓ２…ガス供給工程、Ｓ３…第一ガス検出工程、Ｓ４…封止工程、Ｓ５…第二ガス検出工程、Ｓ６…ガス追加工程、１Ｂ…送風機、４１…循環流路、４２…ポンプ、４３…ポンプ本体、４４…ポンプ制御器、４５…ボンベ開閉弁
【図１】
0005881494.tif 000002
【図２】
0005881494.tif 000003
【図３】
0005881494.tif 000004