(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料台に載置された試料の表面に圧子により所定の試験力を負荷してくぼみを形成させ、当該くぼみの寸法を計測することにより試料の硬さを測定する硬さ試験機において、
前記試料台を水平方向に移動させるＸＹステージと、
対物レンズを介して前記試料の表面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された前記試料の表面の画像を表示する表示手段と、
前記表示手段に表示された前記画像上で、前記くぼみを形成させる試験位置を指定する試験位置指定手段と、
前記ＸＹステージの移動に伴い、前記くぼみ形成時における前記圧子の中心位置である前記画像の中心位置と、前記試験位置と、の水平方向のずれ量を算出し、当該算出されたずれ量を前記表示手段に表示させる制御手段と、
を備えることを特徴とする硬さ試験機。
【請求項２】
前記制御手段は、前記算出されたずれ量に基づいて、前記試験位置から前記圧子の中心位置までの距離の遠近を報知手段により報知させることを特徴とする請求項１に記載の硬さ試験機。
【請求項３】
前記制御手段は、前記算出されたずれ量が０になった場合に、前記試験位置が前記圧子の中心位置に到達したことを報知手段により報知させることを特徴とする請求項１又は２に記載の硬さ試験機。
【請求項４】
前記制御手段は、前記算出されたずれ量に基づいて、前記試験位置が前記圧子の中心位置から遠ざかっていると判定した場合に、反対方向への移動であることを報知手段により報知させることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の硬さ試験機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、硬さ試験機に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、金属部品では、部品に求められる機械的性質の向上を目的として、熱処理により表面の硬さを硬くする処理が行われる。そして、この熱処理により「表面の硬さが要求される硬さになったか否か」、或いは「表面から一定の深さまで規定の硬さが得られたか否か」などが、硬さ試験を行うことにより評価される。
【０００３】
従来、ビッカース硬さ試験法、ヌープ硬さ試験法など、平面形状が多角形の圧子を試料の表面に押し付け、試料表面に生じる多角形のくぼみの対角線長さより硬度を測定する硬さ試験機を用いた押し込み式の硬さ試験法はよく知られており、これは金属材料の機械的性質の評価に多く用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
周知のように、ビッカース硬さ試験法は、ダイヤモンド正四角錘による圧子を使用し、試料表面に生じる正四角錘形状のくぼみの二つの対角線長さの平均値と圧子の試料に対する押し付け荷重との関係において硬度を示すものであり、ヌープ硬さ試験法は、ダイヤモンド長四角錘による圧子を使用し、試料表面に生じる長四角錘形状のくぼみの長い方の対角線長さと圧子の試料に対する押し付け荷重との関係において硬度を示すものである。
【０００５】
通常、硬さ試験機で対象の金属部品（以下、試料と称する）の硬さを評価する場合、ユーザは予め試料の試験位置を決定し、ＸＹステージを移動させて目標の試験位置にくぼみが形成されるように試料を位置決めし、硬さ試験処理を行う。図１０に示すように、試験位置Ｐ、…は、多くの場合、試料Ｓの端部から水平方向の内側の方向に向かう直線Ｌ１、Ｌ２、…上に所定のピッチ毎に指定される。なお、試料Ｓの形状は複雑な形状であるので、上記の試験位置Ｐ、…は、様々な方向に向かう直線Ｌ１、Ｌ２、…上に指定される。
【０００６】
自動で駆動制御されるＸＹステージを備える硬さ試験機においては、試験位置Ｐ、…のレイアウトなどをＰＣ上で行い、試料Ｓの位置決めに際しては、目標の試験位置Ｐ、…をくぼみが形成される位置に配置させるまでの移動量をＰＣが自動で計算することにより、自動的にＸＹステージを移動させて試料Ｓを位置決めさせるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−２８６５４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、手動式のＸＹステージを備える硬さ試験機において硬さ試験を行う場合、ユーザが自分で計算して上記移動量を求める必要があるため、手間が生じていた。また、ＸＹステージを手動で移動させる際にどの程度移動させたかを容易に把握することができないため、算出した移動量分だけＸＹステージを移動させる作業が困難であった。
【０００９】
本発明は、手動式のＸＹステージを備える場合であっても、容易に試料の位置決めを行うことができる硬さ試験機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、上記目的を達成するためになされたものであり、
試料台に載置された試料の表面に圧子により所定の試験力を負荷してくぼみを形成させ、当該くぼみの寸法を計測することにより試料の硬さを測定する硬さ試験機において、
前記試料台を水平方向に移動させるＸＹステージと、
対物レンズを介して前記試料の表面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された前記試料の表面の画像を表示する表示手段と、
前記表示手段に表示された前記画像上で、前記くぼみを形成させる試験位置を指定する試験位置指定手段と、
前記ＸＹステージの移動に伴い、前記くぼみ形成時における前記圧子の中心位置である前記画像の中心位置と、前記試験位置と、の水平方向のずれ量を算出し、当該算出されたずれ量を前記表示手段に表示させる制御手段と、
を備えることを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の硬さ試験機において、
前記制御手段は、前記算出されたずれ量に基づいて、前記試験位置から前記圧子の中心位置までの距離の遠近を報知手段により報知させることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の硬さ試験機において、
前記制御手段は、前記算出されたずれ量が０になった場合に、前記試験位置が前記圧子の中心位置に到達したことを報知手段により報知させることを特徴とする。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載の硬さ試験機において、
前記制御手段は、前記算出されたずれ量に基づいて、前記試験位置が前記圧子の中心位置から遠ざかっていると判定した場合に、反対方向への移動であることを報知手段により報知させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、試料の試験位置を実際にくぼみが形成される圧子の位置に配置させるまでの移動すべき量をＸＹステージの移動に伴いリアルタイムで表示手段に表示させることができることとなって、手動式のＸＹステージを備える場合であっても、容易に試料の位置決めを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る硬さ試験機の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る硬さ試験機の試験機本体を示す模式図である。
【図３】本発明に係る硬さ試験機の硬さ測定部を示す模式図である。
【図４】本発明に係る硬さ試験機の制御構造を示すブロック図である。
【図５】本発明に係る硬さ試験機の動作を示すフローチャートである。
【図６】モニタに表示される試料の表面の画像の一例を示す図である。
【図７】図６の画像上で試験位置がレイアウトされた様子の一例を示す図である。
【図８】図７の画像上で最初の試験位置が画像の中心位置に配置されるまでのＸＹステージの移動量が表示された様子の一例を示す図である。
【図９】図８の状態から、最初の試験位置が画像の中心位置に配置されるように試料を移動させた様子の一例を示す図である。
【図１０】従来技術に係る硬さ試験機において、試験位置が指定された様子の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明において、図１におけるＸ方向を左右方向とし、Ｙ方向を前後方向とし、Ｚ方向を上下方向とする。また、Ｘ−Ｙ面を水平面とする。
【００１７】
本実施形態に係る硬さ試験機１００は、例えば、ビッカース硬さ試験機であり、図１及び図２に示すように、試験機本体１０と、制御部６と、操作部７と、モニタ８等を備えている。
【００１８】
試験機本体１０は、試料Ｓの硬さ測定を行う硬さ測定部１と、試料Ｓを載置する試料台２と、試料台２を水平方向に移動させるＸＹステージ３と、試料Ｓの表面に焦点を合わせるために試料台２及びＸＹステージ３を上下方向に昇降する昇降機構部５等を備えている。
【００１９】
硬さ測定部１は、図３に示すように、試料Ｓの表面を照明する照明装置１１と、試料Ｓの表面を撮像するＣＣＤカメラ１２と、圧子１４１を備える圧子軸１４と対物レンズ１５を備え、回転することにより圧子軸１４と対物レンズ１５との切り替えが可能なターレット１６等により構成されている。
【００２０】
照明装置１１は、光を照射することにより試料Ｓの表面を照明するものであり、照明装置１１から照射される光は、レンズ１ａ、ハーフミラー１ｄ、ミラー１ｅ、対物レンズ１５を介して試料Ｓの表面に到達する。
【００２１】
ＣＣＤカメラ１２は、試料Ｓの表面から対物レンズ１５、ミラー１ｅ、ハーフミラー１ｄ、ミラー１ｇ、及びレンズ１ｈを介して入力された反射光に基づき、当該試料Ｓの表面や圧子１４１により試料Ｓの表面に形成されるくぼみを撮像して画像データを取得し、複数フレームの画像データを同時に蓄積、格納可能なフレームグラバ１７を介して、制御部６に出力する。
即ち、ＣＣＤカメラ１２は、撮像手段として機能する。
【００２２】
圧子軸１４は、ターレット１６の下面に複数保持されており、ターレット１６の回転により試料Ｓの上方に配置されることで、制御部６が出力する制御信号に応じて駆動される負荷機構部（図示省略）により、試料台２に載置された試料Ｓに向け移動され、先端部に備えたダイヤモンド正四角錘による圧子１４１を試料Ｓの表面に所定の試験力で押し付ける。
【００２３】
対物レンズ１５は、それぞれ異なる倍率からなる集光レンズであり、ターレット１６の下面に複数保持されており、ターレット１６の回転により試料Ｓの上方に配置されることで、照明装置１１から照射される光を一様に試料Ｓの表面に照射させる。
【００２４】
ターレット１６は、下面に圧子軸１４と複数の対物レンズ１５を取り付け、Ｚ軸方向を中心に回転することにより、当該圧子軸１４と複数の対物レンズ１５の中の何れか一つを切り替えて、試料Ｓの上方に配置可能なように構成されている。つまり、圧子軸１４を試料Ｓの上方に配置することで試料Ｓの表面にくぼみを形成し、対物レンズ１５を試料Ｓの上方に配置することで当該形成されたくぼみを観察することが可能となる。
【００２５】
試料台２は、上面に載置される試料Ｓを試料固定部２ａで固定する。
ＸＹステージ３は、ユーザにより手動で駆動され、試料台２を圧子１４１の移動方向（Ｚ軸方向）に垂直な方向（Ｘ軸，Ｙ軸方向）、即ち、水平方向に移動させる。
昇降機構部５は、ユーザにより手動で駆動され、試料台２及びＸＹステージ３を上下方向（Ｚ軸方向）に昇降させることで、試料台２と対物レンズ１５との間の相対距離を変化させる。
【００２６】
操作部７は、キーボード７１、マウス７２等により構成されており、硬さ試験を行う際のユーザによる入力操作を実行させる。そして、操作部７により所定の入力操作がなされると、その入力操作に応じた所定の操作信号が制御部６に出力される。
【００２７】
例えば、操作部７は、ユーザに、当該硬さ試験機１００による硬さ試験を実施する際の試験条件値を入力させることができる。そして、入力された試験条件値は制御部６に送信される。ここで、試験条件値とは、例えば、試料Ｓの材質、圧子１４１により試料Ｓに負荷される試験力（Ｎ）、対物レンズ１５の倍率、等の値である。
また、操作部７は、ユーザに、モニタ８に表示された試料Ｓの表面の画像上で、くぼみを形成させる試験位置を指定させることができる。
即ち、操作部７は、試験位置指定手段として機能する。
【００２８】
モニタ８は、例えば、ＬＣＤなどの表示装置により構成されており、操作部７において入力された硬さ試験の設定条件、試験位置のレイアウト、硬さ試験の結果、ＣＣＤカメラ１２が撮像した試料Ｓの表面や試料Ｓの表面に形成されるくぼみの画像等を表示する。
即ち、モニタ８は、表示手段として機能する。
【００２９】
制御部６は、図４に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）６１、ＲＡＭ（Random Access Memory）６２、記憶部６３等を備えて構成され、記憶部６３に記憶された所定のプログラムが実行されることにより、所定の硬さ試験を行うための動作制御等を行う機能を有する。
【００３０】
ＣＰＵ６１は、記憶部６３に格納された処理プログラム等を読み出して、ＲＡＭ６２に展開して実行することにより、硬さ試験機１００全体の制御を行う。
【００３１】
ＲＡＭ６２は、ＣＰＵ６１により実行された処理プログラム等を、ＲＡＭ６２内のプログラム格納領域に展開するとともに、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果等をデータ格納領域に格納する。
【００３２】
記憶部６３は、例えば、プログラムやデータ等を記憶する記録媒体（図示省略）を有しており、この記録媒体は、半導体メモリ等で構成されている。また、記憶部６３は、ＣＰＵ６１が硬さ試験機１００全体を制御する機能を実現させるための各種データ、各種処理プログラム、これらプログラムの実行により処理されたデータ等を記憶する。
【００３３】
次に、本実施形態に係る硬さ試験機１００の動作について、図５のフローチャートを参照して説明する。
まず、ＣＣＤカメラ１２により試料Ｓの表面の画像データを取得する（ステップＳ１）。具体的には、ユーザは、試料台２に硬さ試験の対象となる試料Ｓを載置して試料固定部２ａで固定し、ターレット１６を回転させて対物レンズ１５を試料Ｓの上方に配置させる。ＣＣＤカメラ１２は、対物レンズ１５を介して試料Ｓの表面を撮像して画像データを取得し、制御部６に出力する。
【００３４】
次に、試料Ｓの表面の画像をモニタ８に表示する（ステップＳ２）。具体的には、ＣＰＵ６１は、ＣＣＤカメラ１２から出力された試料Ｓの表面の画像データに基づいて、試料Ｓの表面の画像Ｇをモニタ８に表示させる（図６参照）。
【００３５】
次に、目標となる試験位置を画像Ｇ上でレイアウトする（ステップＳ３）。具体的には、ユーザは、操作部７を操作して、モニタ８に表示された試料Ｓの表面の画像Ｇ上で、くぼみを形成させる所望の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…を指定する（図７参照）。ユーザは、試験位置Ｐ１、Ｐ２、…の指定が全て完了すると、操作部７を操作して試験位置の指定完了を示す指示を入力する。
【００３６】
次に、画像Ｇの中心位置Ｏと、最初の試験位置Ｐ１と、のＸＹ方向（水平方向）のずれ量を表示する（ステップＳ４）。具体的には、ＣＰＵ６１は、試験位置の指定完了を示す指示の入力操作に応じた操作信号を操作部７から受け付けると、試料Ｓにくぼみが形成される際の圧子１４１の中心位置である画像Ｇの中心位置Ｏと、目標である最初の試験位置Ｐ１と、のＸＹ方向のずれ量を算出し、当該算出されたずれ量、即ち、最初の試験位置Ｐ１が画像Ｇの中心位置Ｏに配置されるまでのＸＹステージ３の移動すべき量をモニタ８に表示させる（図８参照）。例えば、図８に示す例では、最初の試験位置Ｐ１は、画像Ｇの中心位置ＯからＸ方向に「−５．００」、Ｙ方向に「１．００」ずれていることが示されている。
即ち、ＣＰＵ６１は、ＸＹステージ３の移動に伴い、くぼみ形成時における圧子１４１の中心位置と、試験位置Ｐ１、Ｐ２、…と、のＸＹ方向のずれ量を算出し、当該算出されたずれ量をモニタ８に表示させる制御手段として機能する。
【００３７】
次に、最初の試験位置Ｐ１が画像Ｇの中心位置Ｏに配置されるように試料Ｓを位置決めする（ステップＳ５）。具体的には、ユーザは、ステップＳ４で表示されたＸＹ方向のずれ量を参照して、ＸＹステージ３をＸＹ方向に移動させる。このとき、ＣＰＵ６１は、画像Ｇの中心位置Ｏと、最初の試験位置Ｐ１と、のＸＹ方向のずれ量を随時算出し、当該算出されたＸＹ方向のずれ量をモニタ８にリアルタイムで表示させる。そして、ユーザは、上記ＸＹ方向のずれ量がＸ方向、Ｙ方向ともに「０」となる位置までＸＹステージ３を移動させる（図９参照）。
【００３８】
次に、圧子１４１により最初の試験位置Ｐ１にくぼみを形成する（ステップＳ６）。具体的には、ユーザは、ターレット１６を回転させて、圧子１４１を試料Ｓの上方に配置させ、操作部７を操作してくぼみ付けの指示を入力する。ＣＰＵ６１は、上記入力操作に応じた操作信号を操作部７から受け付けると、負荷機構部を駆動することにより、圧子１４１を下降させ、最初の試験位置Ｐ１にくぼみを形成させる。以下、残りの試験位置Ｐ２、…において、ステップＳ３４〜ステップＳ３６の処理を繰り返すことにより、全ての試験位置Ｐ１、Ｐ２、…においてくぼみを形成させる。
【００３９】
次に、ＣＣＤカメラ１２により試料Ｓの表面の画像データを取得する（ステップＳ７）。具体的には、ユーザは、ターレット１６を回転させて、対物レンズ１５を試料Ｓの上方に配置させる。ＣＣＤカメラ１２は、対物レンズ１５を介して試料Ｓの表面を撮像して画像データを取得し、制御部６に出力する。
【００４０】
次に、試料Ｓの表面に形成されたくぼみに基づいて、試料Ｓの硬さ値を算出する（ステップＳ８）。具体的には、ＣＰＵ６１は、ＣＣＤカメラ１２から出力された試料Ｓの表面の画像データを解析し、試料Ｓの表面に形成されたくぼみの対角線長さを計測し、当該計測された対角線長さに基づいて試料Ｓの硬さ値を算出する。
【００４１】
以上のように、本実施形態に係る硬さ試験機１００によれば、試料台２を水平方向に移動させるＸＹステージ３と、対物レンズ１５を介して試料Ｓの表面を撮像するＣＣＤカメラ１２と、ＣＣＤカメラ１２により撮像された試料Ｓの表面の画像Ｇを表示するモニタ８と、モニタ８に表示された画像Ｇ上で、くぼみを形成させる試験位置Ｐ１、Ｐ２、…を指定する操作部７と、ＸＹステージ３の移動に伴い、くぼみ形成時における圧子１４１の中心位置と、試験位置Ｐ１、Ｐ２、…と、のＸＹ方向のずれ量を算出し、当該算出されたずれ量をモニタ８に表示させるＣＰＵ６１と、を備えるので、試料Ｓの試験位置Ｐ１、Ｐ２、…を実際にくぼみが形成される圧子１４１の位置に配置させるまでの移動すべき量をＸＹステージ３の移動に伴いリアルタイムでモニタ８に表示させることができることとなって、手動式のＸＹステージ３を備える場合であっても、容易に試料Ｓの位置決めを行うことができる。
【００４２】
以上、本発明に係る実施形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
【００４３】
（変形例１）
例えば、上記実施形態では、試料Ｓにくぼみが形成される際の圧子１４１の中心位置である画像Ｇの中心位置Ｏと、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…と、のＸＹ方向のずれ量を算出し、当該算出されたずれ量をモニタ８に表示させるようにしているが、これに加えて、ＣＰＵ６１の制御により、上記算出されたずれ量に基づいて、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…から画像Ｇの中心位置Ｏまでの距離の遠近をユーザに報知させるようにしてもよい。
【００４４】
例えば、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…が画像Ｇの中心位置Ｏから所定の距離内に接近した場合に、上記ずれ量を赤く表示させ、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…が画像Ｇの中心位置Ｏから所定の距離以上離れた場合に、上記ずれ量を青く表示させるようにしてもよい。この場合、モニタ８が報知手段として機能する。
また、音声を出力可能なスピーカ（図示省略）等を設けるようにし、上記所定の距離内に接近した場合に、「目標位置まであと少しです」と音声を出力させ、上記所定の距離以上離れた場合に、「目標位置から遠くなりました」と音声を出力させるようにしてもよい。この場合、スピーカが報知手段として機能する。
また、上記所定の距離内に接近した場合に、ＸＹステージ３を振動させ、上記所定の距離以上離れた場合に、ＸＹステージ３を移動させる際の負荷を増加させるようにしてもよい。この場合、ＸＹステージ３が報知手段として機能する。
なお、上記した色や音声、操作感の組み合わせについては一例に過ぎず、ユーザに遠近を報知できる範囲で適宜変更することが可能である。
【００４５】
以上のように、変形例１に係る硬さ試験機１００によれば、ＣＰＵ６１は、算出されたずれ量に基づいて、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…から圧子１４１の中心位置（画像Ｇの中心位置Ｏ）までの距離の遠近を報知手段（モニタ８、スピーカ、ＸＹステージ３）により報知させるので、ユーザはＸＹステージ３を移動させながら目標までの距離の遠近を把握することができることとなって、更に容易に試料Ｓの位置決めを行うことができる。
【００４６】
（変形例２）
また、例えば、上記変形例１では、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…から圧子１４１の中心位置（画像Ｇの中心位置Ｏ）までの距離の遠近をユーザに報知させるようにしているが、これに加えて、ＣＰＵ６１の制御により、算出されたずれ量が０になった場合に、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…が画像Ｇの中心位置Ｏに到達したことをユーザに報知させるようにしてもよい。
【００４７】
例えば、算出されたずれ量が０になった場合に、モニタ８に表示される「０」の文字を黄色く表示させるようにしてもよい。また、「０」の文字を点滅表示させるようにしてもよい。
また、算出されたずれ量が０になった場合に、「目標位置に到達しました」と音声を出力させるようにしてもよい。
また、算出されたずれ量が０になった場合に、ＸＹステージ３をロックさせるようにしてもよい。
なお、上記した色や音声、操作感については一例に過ぎず、ユーザに到達を報知できる範囲で適宜変更することが可能である。
【００４８】
以上のように、変形例２に係る硬さ試験機１００によれば、ＣＰＵ６１は、算出されたずれ量が０になった場合に、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…が圧子１４１の中心位置に到達したことを報知手段（モニタ８、スピーカ、ＸＹステージ３）により報知させるので、ユーザはＸＹステージ３を移動させながら目標位置への到達を把握することができることとなって、更に容易に試料Ｓの位置決めを行うことができる。
【００４９】
（変形例３）
例えば、上記変形例１では、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…から圧子１４１の中心位置（画像Ｇの中心位置Ｏ）までの距離の遠近をユーザに報知させるようにし、上記変形例２では、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…が画像Ｇの中心位置Ｏに到達したことをユーザに報知させるようにしているが、これに加えて、ＣＰＵ６１の制御により、算出されたずれ量に基づいて、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…が画像Ｇの中心位置Ｏから遠ざかっていると判定した場合に、反対方向への移動であることをユーザに報知させるようにしてもよい。
【００５０】
例えば、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…が画像Ｇの中心位置Ｏから遠ざかっていると判定した場合に、モニタ８に表示されるずれ量を緑色で表示させるようにしてもよい。また、ずれ量の表示を消去させるようにしてもよい。
また、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…が画像Ｇの中心位置Ｏから遠ざかっていると判定した場合に、「目標位置とは反対の方向です」と音声を出力させるようにしてもよい。
また、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…が画像Ｇの中心位置Ｏから遠ざかっていると判定した場合に、ＸＹステージ３を移動させる際の負荷を増加させるようにしてもよい。
なお、上記した色や音声、操作感については一例に過ぎず、ユーザに反対方向への移動であることを報知できる範囲で適宜変更することが可能である。
【００５１】
以上のように、変形例３に係る硬さ試験機１００によれば、ＣＰＵ６１は、算出されたずれ量に基づいて、目標の試験位置Ｐ１、Ｐ２、…が圧子１４１の中心位置から遠ざかっていると判定した場合に、反対方向への移動であることを報知手段（モニタ８、スピーカ、ＸＹステージ３）により報知させるので、ユーザはＸＹステージ３を移動させながら誤った方向への操作を把握することができることとなって、試料Ｓの位置決めを効率的に行うことができる。
なお、変形例１〜３についてはそれぞれ単独で適用することもできるし、任意に組み合わせることも可能である。
【００５２】
また、上記実施形態では、硬さ試験機１００としてビッカース硬さ試験機を例示して説明しているが、これに限定されるものではない。例えば、ダイヤモンド長四角錘による圧子を備えるヌープ硬さ試験機や、圧子の形状が球形状に形成されたブリネル硬さ試験機に適用することも可能である。
【００５３】
その他、硬さ試験機１００を構成する各装置の細部構成及び細部動作に関しても、本発明の趣旨を逸脱することのない範囲で適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１００  硬さ試験機
１０  試験機本体
１  硬さ測定部
１１  照明装置
１２  ＣＣＤカメラ（撮像手段）
１４  圧子軸
１４１  圧子
１５  対物レンズ
１６  ターレット
１７  フレームグラバ
２  試料台
３  ＸＹステージ（報知手段）
５  昇降機構部
６  制御部
６１  ＣＰＵ（制御手段）
６２  ＲＡＭ
６３  記憶部
７  操作部（試験位置指定手段）
８  モニタ（表示手段、報知手段）
Ｓ  試料
Ｇ  画像
Ｐ１〜Ｐ９  試験位置
【図１】
0005977557.tif 000002
【図２】
0005977557.tif 000003
【図３】
0005977557.tif 000004
【図４】
0005977557.tif 000005
【図５】
0005977557.tif 000006
【図６】
0005977557.tif 000007
【図７】
0005977557.tif 000008
【図８】
0005977557.tif 000009
【図９】
0005977557.tif 000010
【図１０】
0005977557.tif 000011