(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセットに格納された板状のワークを前記カセットに形成された取出口から所定の取出方向に引き出して取り出し、所定の搬送位置に搬送するワーク搬送装置において、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第１アームと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動し、前記第１アームの下に重ねて配置可能な第２アームと、
前記第１アームに設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、
前記第１アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する吸着保持手段と、
前記第２アームに設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、
前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、
を備え、
前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、
前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、
前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、
位置決めされた前記ワークの上方に前記吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記吸着保持手段で保持し、
前記吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記搬送位置に搬送することを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記第１アームに設けられ、前記吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
カセットに格納された板状のワークを前記カセットに形成された取出口から所定の取出方向に引き出して取り出し、所定の第１搬送位置に搬送するとともに、前記第１搬送位置から所定の第２搬送位置に搬送するワーク搬送装置において、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第１アームと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動し、前記第１アームの下に重ねて配置可能な第２アームと、
前記第１アームに設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、
前記第１アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第１吸着保持手段と、
前記第２アームに設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、
前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、
前記第２アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第２吸着保持手段と、
を備え、
前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、
前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、
前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、
位置決めされた前記ワークの上方に前記第１吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記第１吸着保持手段で保持し、
前記第１吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記第１搬送位置に搬送し、
前記第１搬送位置の上方に前記第２吸着保持手段を移動させて、前記第１搬送位置にある前記ワークの上面を前記第２吸着保持手段で保持し、
前記第２吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記第２搬送位置に搬送することを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項６】
前記第１アームに設けられ、前記第１吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段と、
前記第２アームに設けられ、前記第２吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段と、
を更に備えたことを特徴とする請求項５に記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
前記第１吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備え、
前記第２吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする請求項５又は６に記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
前記第１吸着保持手段又は前記第２吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする請求項５から７のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項９】
内部に格納された板状のワークが、所定の取出口から所定方向に引き出されて取り出されるカセットと、
前記ワークが前記取出口から所定の取出方向に引き出されて取り出されるように前記カセットが載置されるカセットステージと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第１アームと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動し、前記第１アームの下に重ねて配置可能な第２アームと、
前記第１アームに設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、
前記第１アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する吸着保持手段と、
前記第２アームに設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、
前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、
前記ワークが載置され、ワーク交換位置とワーク加工位置との間を移動するワークテーブルと、
前記ワーク加工位置に移動した前記ワークテーブル上の前記ワークを加工する加工手段と、
を備え、
前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、
前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、
前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、
位置決めされた前記ワークの上方に前記吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記吸着保持手段で保持し、
前記吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブルの上に搬送することを特徴とするワーク加工装置。
【請求項１０】
前記第１アームに設けられ、前記吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段を更に備えたことを特徴とする請求項９に記載のワーク加工装置。
【請求項１１】
前記吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする請求項９又は１０に記載のワーク加工装置。
【請求項１２】
前記吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする請求項９から１１のいずれか１項に記載のワーク加工装置。
【請求項１３】
内部に格納された板状のワークが、所定の取出口から所定方向に引き出されて取り出されるカセットと、
前記ワークが前記取出口から所定の取出方向に引き出されて取り出されるように前記カセットが載置されるカセットステージと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第１アームと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動し、前記第１アームの下に重ねて配置可能な第２アームと、
前記第１アームに設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、
前記第１アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第１吸着保持手段と、
前記第２アームに設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、
前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、
前記第２アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第２吸着保持手段と、
前記ワークが載置され、ワーク交換位置とワーク加工位置との間を移動するワークテーブルと、
前記ワーク加工位置に移動した前記ワークテーブル上の前記ワークを加工する加工手段と、
所定の後処理位置に設置され、加工後の前記ワークを後処理する後処理手段と、
を備え、
前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、
前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、
前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、
位置決めされた前記ワークの上方に前記第１吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記第１吸着保持手段で保持し、
前記第１吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブルの上に搬送し、
前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブルの上方に前記第２吸着保持手段を移動させて、前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブル上の前記ワークの上面を前記第２吸着保持手段で保持し、
前記第２吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを後処理手段に搬送することを特徴とするワーク加工装置。
【請求項１４】
前記第１アームに設けられ、前記第１吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段と、
前記第２アームに設けられ、前記第２吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段と、
を更に備えたことを特徴とする請求項１３に記載のワーク加工装置。
【請求項１５】
前記後処理位置は、前記ワークを前記カセットから引き出す際の前記ワークの移動経路の延長線上に設定され、前記ワーク交換位置は、前記カセットステージと前記後処理手段の間であって、前記延長線上の位置から前記ワーク加工位置側にズレた位置に設定されることを特徴とする請求項１４に記載のワーク加工装置。
【請求項１６】
前記第１吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備え、
前記第２吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする請求項１３から１５のいずれか１項に記載のワーク加工装置。
【請求項１７】
前記第１吸着保持手段又は前記第２吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする請求項１３から１６のいずれか１項に記載のワーク加工装置。
【請求項１８】
前記後処理手段は、前記加工後のワークを洗浄することを特徴とする請求項１３から１７のいずれか１項に記載のワーク加工装置。
【請求項１９】
前記加工手段は、環状のフレームにテープを介してマウントされたウェーハを回転するダイシングブレードでチップに分割する手段であることを特徴とする請求項１３から１８のいずれか１項に記載のワーク加工装置。
【請求項２０】
前記ワーク交換位置と前記ワーク加工位置との間に開閉自在なシャッタが更に設けられ、前記加工手段が隔離可能であることを特徴とする請求項１３から１９のいずれか１項に記載のワーク加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク搬送装置及びワーク加工装置に係り、特にカセットに格納されたワークをカセットから取り出し、位置決めしてワークテーブルに載置するワーク搬送装置及びワーク加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路などが形成されたウェーハを個々のチップに分割する装置としてダイシング装置が知られている。ダイシング装置は、ワークテーブルに吸着保持されたウェーハを高速回転するダイシングブレードでストリート（切断ライン）に沿って賽の目状に切削することにより、個々のチップに分割する。
【０００３】
ウェーハを自動処理するダイシング装置では、ウェーハの搬送装置が備えられ、カセットに格納されたウェーハが、自動的にカセットから取り出されて、ワークテーブルに供給される。この際、ワークは位置決めされて、ワークテーブルに供給される。
【０００４】
特許文献１、２には、カセットの前方に位置決め装置を設置し、カセットから取り出したウェーハを位置決め装置で位置決めした後、ワークテーブルに供給するダイシング装置が記載されている。このダイシング装置では、搬出手段によってウェーハをカセットから取り出して、位置決め装置に搬送し、位置決め装置で位置決めされたウェーハを搬送手段によってワークテーブルに移送する。
【０００５】
また、特許文献３には、ウェーハをカセットから取り出して、位置決め装置に搬送する手段と、位置決め装置で位置決めされたウェーハをワークテーブルに移送する手段とを一体化した構成のダイシング装置が記載されている。
【０００６】
更に、引用文献４には、位置決め装置を移動可能に設け、位置決め装置でウェーハをワークテーブルに供給、回収するダイシング装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−７０５８号公報
【特許文献２】特開２００２−３５９２１１号公報
【特許文献３】特開２００９−１８８２９６号公報
【特許文献４】特開２００９−２５３２２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、特許文献１、２のダイシング装置では、ワークテーブルがウェーハを受け取る位置の上方に位置決め装置が設置される。このように加工部の近傍に位置決め装置を設置すると、加工中に発生するミストなどによって位置決め装置が汚れやすいという欠点がある。また、加工部の手前に位置決め装置が配置されるため、加工部のメンテナンスがしにくいという欠点もある。
【０００９】
一方、特許文献３のダイシング装置では、加工部から離れた位置に位置決め装置を設置しているが、このように加工部から離して位置決め装置を設置すると、装置が大型化するという欠点がある。
【００１０】
また、特許文献４のダイシング装置では、位置決め装置で加工前のウェーハを加工部に搬送し、加工後のウェーハも位置決め装置で搬送する構成とされている。しかしながら、このように加工後のウェーハも位置決め装置で搬送すると、加工時にウェーハに付着した汚れが位置決め装置に付着するという欠点がある。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、コンパクトな構成でワークを汚すことなく搬送することができるワーク搬送装置及びワーク加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
［１］ワーク搬送装置の第１の態様は、カセットに格納された板状のワークを前記カセットに形成された取出口から所定の取出方向に引き出して取り出し、所定の搬送位置に搬送するワーク搬送装置において、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第１移動手段と、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第２移動手段と、前記第１移動手段に設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、前記第１移動手段に設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する吸着保持手段と、前記第２移動手段に設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、を備え、前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、位置決めされた前記ワークの上方に前記吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記吸着保持手段で保持し、前記吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記搬送位置に搬送することを特徴とする。
【００１３】
本態様のワーク搬送装置では、次の手順でカセットからワークを取り出して、所定の搬送位置に搬送する。カセットに格納されたワークの縁部を把持手段で把持する。把持手段を移動させて、ワークをカセットから引き出す。カセットから引き出されたワークの下方にトレイを移動させる。ワークをトレイに載置する。トレイに載置されたワークを位置決め手段で位置決めする。位置決めされたワークの上方に吸着保持手段を移動させ、ワークの上面を吸着保持手段に吸着する。吸着保持手段を移動させて、ワークを搬送位置に搬送する。位置決め手段を備えたトレイは、移動可能な構成であるため、必要なとき以外は所定の位置に退避させておくことができる。同様に把持手段及び吸着保持手段も移動可能な構成であるため、必要なとき以外は所定の位置に退避させておくことができる。これにより、たとえば、汚れの影響を受けやすい環境に搬送位置が設定されている場合であっても、汚れの影響を受けるのを防止することができる。また、トレイ等を移動させることにより、搬送位置の上部空間を開放できるため、搬送位置の近辺に設置される製品（特に搬送位置の奥に設置される製品）のメンテナンスも容易に行うことができる。
【００１４】
［２］ワーク搬送装置の第２の態様は、上記第１の態様のワーク搬送装置において、前記第１移動手段に設けられ、前記吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる第３移動手段を更に備えたことを特徴とする。
【００１５】
本態様によれば、吸着保持手段が、取出方向と直交する方向に水平移動することができる。上記第１の態様のワーク搬送装置では、ワークをカセットから引き出す際のワークの移動経路の延長線上に搬送位置を設定する必要があるが、本態様によれば、この延長線上以外の位置に搬送位置を設定することができる。これにより、搬送位置の設定の自由度を向上させることができる。
【００１６】
［３］ワーク搬送装置の第３の態様は、上記第１又は２の態様のワーク搬送装置において、前記吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
本態様によれば、吸着保持手段に複数の吸着パッドが備えられ、ワークのサイズに応じて吸着パッドの設置間隔を調整することができる。これにより、さまざまなサイズのワークを安定して搬送することができる。吸着パッドの間隔の調整は、手動で行う構成とすることもできるし、また、自動で行う構成とすることもできる。手動で行う構成の場合であっても、吸着保持手段は、移動可能であるため、その作業を容易に行うことができる。
【００１８】
［４］ワーク搬送装置の第４の態様は、上記第１から第３のいずれか１の態様のワーク搬送装置において、前記吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする。
【００１９】
本態様によれば、吸着保持手段に吸着保持されて搬送されるワークを撮像することができる。これにより、得られる映像を利用して、ワークを検査したり、ワークの状態を確認したりすることができる。撮像手段は、たとえば、ワークの下面を撮像する電子カメラや、ワークの下面をスキャンするスキャナ等で構成することができる。
【００２０】
［５］ワーク搬送装置の第５の態様は、カセットに格納された板状のワークを前記カセットに形成された取出口から所定の取出方向に引き出して取り出し、所定の第１搬送位置に搬送するとともに、前記第１搬送位置から所定の第２搬送位置に搬送するワーク搬送装置において、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第１移動手段と、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第２移動手段と、前記第１移動手段に設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、前記第１移動手段に設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第１吸着保持手段と、前記第２移動手段に設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、前記第２移動手段に設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第２吸着保持手段と、を備え、前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、位置決めされた前記ワークの上方に前記第１吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記第１吸着保持手段で保持し、前記第１吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記第１搬送位置に搬送し、前記第１搬送位置の上方に前記第２吸着保持手段を移動させて、前記第１搬送位置にある前記ワークの上面を前記第２吸着保持手段で保持し、前記第２吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記第２搬送位置に搬送することを特徴とする。
【００２１】
本態様のワーク搬送装置では、次の手順でカセットからワークを取り出して、第１搬送位置に搬送する。カセットに格納されたワークの縁部を把持手段で把持する。把持手段を移動させて、ワークをカセットから引き出す。カセットから引き出されたワークの下方にトレイを移動させる。ワークをトレイに載置する。トレイに載置されたワークを位置決め手段で位置決めする。位置決めされたワークの上方に第１吸着保持手段を移動させ、ワークの上面を第１吸着保持手段に吸着する。第１吸着保持手段を移動させて、ワークを第１搬送位置に搬送する。また、第１搬送位置から第２搬送位置へは、次の手順でワークを搬送する。第１搬送位置にあるワークの上方に第２吸着保持手段を移動させ、第２ワーク吸着保持手段でワークの上面を吸着保持する。第２ワーク吸着保持手段を移動させて、ワークを第２搬送位置に搬送する。位置決め手段を備えたトレイと、第２吸着保持手段は移動可能な構成であるため、必要なとき以外は所定の位置に退避させておくことができる。同様に把持手段及び第１吸着保持手段も移動可能な構成であるため、必要なとき以外は所定の位置に退避させておくことができる。これにより、たとえば、汚れの影響を受けやすい環境に第１搬送位置又は第２搬送位置が設定されている場合であっても、汚れの影響を受けるのを防止することができる。また、トレイ等を移動させることにより、第１搬送位置及び第２搬送位置の上部空間を開放できるため、第１搬送位置及び第２搬送位置の近辺に設置される製品のメンテナンスも容易に行うことができる。更に、カセットから第１搬送位置へのワークの搬送と、第１搬送位置から第２搬送位置へのワークの搬送を異なる搬送手段で行うことにより、ワークの状態（たとえば、汚れ状態）に応じて、使用する搬送手段を切り替えることができる。
【００２２】
［６］ワーク搬送装置の第６の態様は、上記第５の態様のワーク搬送装置において、前記第１移動手段に設けられ、前記第１吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる第３移動手段と、前記第２移動手段に設けられ、前記第２吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる第４移動手段と、を更に備えたことを特徴とする。
【００２３】
本態様によれば、第１吸着保持手段と第２吸着保持手段が、それぞれ取出方向と直交する方向に水平移動することができる。上記第５の態様のワーク搬送装置では、ワークをカセットから引き出す際のワークの移動経路の延長線上に第１搬送位置及び第２搬送位置を設定する必要があるが、本態様によれば、この延長線上以外の位置に第１搬送位置及び第２搬送位置を設定することができる。これにより、第１搬送位置と第２搬送位置の設定の自由度を向上させることができる。
【００２４】
［７］ワーク搬送装置の第７の態様は、上記第５又は６の態様のワーク搬送装置において、前記１吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備え、前記２吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする。
【００２５】
本態様によれば、第１吸着保持手段と第２吸着保持手段にそれぞれ複数の吸着パッドが備えられ、それぞれワークのサイズに応じて吸着パッドの設置間隔を調整することができる。これにより、さまざまなサイズのワークを安定して搬送することができる。吸着パッドの間隔の調整は、手動で行う構成とすることもできるし、また、自動で行う構成とすることもできる。手動で行う構成の場合であっても、第１吸着保持手段及び第２吸着保持手段は、移動可能であるため、その作業を容易に行うことができる。
【００２６】
［８］ワーク搬送装置の第８の態様は、上記第５から７のいずれか１の態様のワーク搬送装置において、前記１吸着保持手段又は前記第２吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする。
【００２７】
本態様によれば、第１吸着保持手段又は第２吸着保持手段に吸着保持されて搬送されるワークを撮像することができる。これにより、得られる映像を利用して、ワークを検査したり、ワークの状態を確認したりすることができる。撮像手段は、たとえば、ワークの下面を撮像する電子カメラや、ワークの下面をスキャンするスキャナ等で構成することができる。
【００２８】
［９］ワーク加工装置の第１の態様は、内部に格納された板状のワークが、所定の取出口から所定方向に引き出されて取り出されるカセットと、前記ワークが前記取出口から所定の取出方向に引き出されて取り出されるように前記カセットが載置されるカセットステージと、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第１移動手段と、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第２移動手段と、前記第１移動手段に設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、前記第１移動手段に設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する吸着保持手段と、前記第２移動手段に設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、前記ワークが載置され、ワーク交換位置とワーク加工位置との間を移動するワークテーブルと、前記ワーク加工位置に移動した前記ワークテーブル上の前記ワークを加工する加工手段と、を備え、前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、位置決めされた前記ワークの上方に前記吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記吸着保持手段で保持し、前記吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブルの上に搬送することを特徴とする。
【００２９】
本態様のワーク加工装置では、次の手順でワークの供給が行われる。カセットに格納されたワークの縁部を把持手段で把持する。把持手段を移動させて、ワークをカセットから引き出す。カセットから引き出されたワークの下方にトレイを移動させる。ワークをトレイに載置する。トレイに載置されたワークを位置決め手段で位置決めする。位置決めされたワークの上方に吸着保持手段を移動させ、ワークの上面を吸着保持手段に吸着する。吸着保持手段を移動させて、ワークをワーク交換位置に位置したワークテーブルの上に搬送する。位置決め手段を備えたトレイは、移動可能な構成であるため、必要なとき以外は所定の位置に退避させておくことができる。同様に把持手段及び吸着保持手段も移動可能な構成であるため、必要なとき以外は所定の位置に退避させておくことができる。これにより、必要なとき以外は加工手段から離れた位置に退避させておくことができ、加工手段の影響を受けて、トレイ等が汚れるのを防止することができる。また、トレイ等を移動させることにより、ワークテーブルの上部空間を開放できるので、ワークテーブルや加工手段のメンテナンスも容易に行うことができる。
【００３０】
［１０］ワーク加工装置の第２の態様は、上記第１の態様のワーク加工装置において、前記第１移動手段に設けられ、前記吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる第３移動手段を更に備えたことを特徴とする。
【００３１】
本態様によれば、吸着保持手段が、取出方向と直交する方向に水平移動することができる。上記第１の態様のワーク加工装置では、ワークをカセットから引き出す際のワークの移動経路の延長線上にワーク交換位置を設定する必要があるが、本態様によれば、この延長線上以外の位置にワーク交換位置を設定することができる。これにより、ワーク交換位置の設定の自由度を向上させることができる。特に、ワーク交換位置をワーク加工位置側に近づけて設定することにより、汚れの影響をより受けにくくすることができる。また、ワーク交換位置とワーク加工位置との間を近くすることができ、装置のコンパクト化を図ることができる。
【００３２】
［１１］ワーク加工装置の第３の態様は、上記第１又は２の態様のワーク加工装置において、前記吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする。
【００３３】
本態様によれば、吸着保持手段に複数の吸着パッドが備えられ、ワークのサイズに応じて吸着パッドの設置間隔を調整することができる。これにより、さまざまなサイズのワークを安定して搬送することができる。吸着パッドの間隔の調整は、手動で行う構成とすることもできるし、また、自動で行う構成とすることもできる。手動で行う構成の場合であっても、吸着保持手段は、移動可能であるため、その作業を容易に行うことができる。
【００３４】
［１２］ワーク加工装置の第４の態様は、上記第１から３のいずれか１の態様のワーク加工装置において、前記吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする。
【００３５】
本態様によれば、吸着保持手段に吸着保持されて搬送されるワークを撮像することができる。これにより、得られる映像を利用して、ワークを検査したり、ワークの状態を確認したりすることができる。撮像手段は、たとえば、ワークの下面を撮像する電子カメラや、ワークの下面をスキャンするスキャナ等で構成することができる。
【００３６】
［１３］ワーク加工装置の第５の態様は、内部に格納された板状のワークが、所定の取出口から所定方向に引き出されて取り出されるカセットと、前記ワークが前記取出口から所定の取出方向に引き出されて取り出されるように前記カセットが載置されるカセットステージと、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第１移動手段と、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第２移動手段と、前記第１移動手段に設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、前記第１移動手段に設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第１吸着保持手段と、前記第２移動手段に設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、前記第２移動手段に設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第２吸着保持手段と、前記ワークが載置され、ワーク交換位置とワーク加工位置との間を移動するワークテーブルと、前記ワーク加工位置に移動した前記ワークテーブル上の前記ワークを加工する加工手段と、所定の後処理位置に設置され、加工後の前記ワークを後処理する後処理手段と、を備え、前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、位置決めされた前記ワークの上方に前記第１吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記第１吸着保持手段で保持し、前記第１吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブルの上に搬送し、前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブルの上方に前記第２吸着保持手段を移動させて、前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブル上の前記ワークの上面を前記第２吸着保持手段で保持し、前記第２吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを後処理手段に搬送することを特徴とする。
【００３７】
本態様のワーク加工装置では、次の手順でワークの供給が行われる。カセットに格納されたワークの縁部を把持手段で把持する。把持手段を移動させて、ワークをカセットから引き出す。カセットから引き出されたワークの下方にトレイを移動させる。ワークをトレイに載置する。トレイに載置されたワークを位置決め手段で位置決めする。位置決めされたワークの上方に第１吸着保持手段を移動させ、ワークの上面を第１吸着保持手段に吸着する。第１吸着保持手段を移動させて、ワークをワーク交換位置に位置したワークテーブルの上に搬送する。また、ワーク交換位置に位置したワークテーブルからから後処理手段へは、次の手順でワークを搬送する。ワーク交換位置に位置したワークテーブルの上にワークの上方に第２吸着保持手段を移動させ、第２ワーク吸着保持手段でワークの上面を吸着保持する。第２ワーク吸着保持手段を移動させて、ワークを後処理手段に搬送する。位置決め手段を備えたトレイと、第２吸着保持手段は移動可能な構成であるため、必要なとき以外は所定の位置に退避させておくことができる。同様に把持手段及び第１吸着保持手段も移動可能な構成であるため、必要なとき以外は所定の位置に退避させておくことができる。これにより、必要なとき以外は加工手段から離れた位置（たとえば、後処理位置）に退避させておくことができ、加工手段の影響を受けて、トレイ等が汚れるのを防止することができる。また、トレイ等を移動させることにより、ワークテーブルや後処理手段の上部空間を開放できるため、ワークテーブルや後処理手段、加工手段のメンテナンスも容易に行うことができる。また、トレイ等のメンテナンスも容易に行うことができる。更に、加工後の汚れたワークの搬送は第２吸着保持手段で行い、汚れていないワークの搬送は第１吸着保持手段で行うことにより、汚れていないワークが、搬送によって汚れることを防止することができる。なお、後処理後のワークの搬送は、たとえば、次のように行うことができる。後処理手段にあるワークの上方に第１吸着保持手段を移動させ、ワークの上面を第１吸着保持手段に吸着する。一方、トレイをカセットの前方に移動させる。第１吸着保持手段を移動させて、ワークをトレイに載置する。トレイに載置されたワークを位置決め手段で位置決めする。位置決めされたワークの縁部を把持手段で把持する。把持手段を移動させて、ワークをカセットに収納する。これにより、ワークをカセットに回収することができる。
【００３８】
［１４］ワーク加工装置の第６の態様は、上記第５の態様のワーク加工装置において、前記第１移動手段に設けられ、前記第１吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる第３移動手段と、前記第２移動手段に設けられ、前記第２吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる第４移動手段と、を更に備えたことを特徴とする。
【００３９】
本態様によれば、第１吸着保持手段と第２吸着保持手段が、それぞれ取出方向と直交する方向に水平移動することができる。上記第５の態様のワーク加工装置では、ワークをカセットから引き出す際のワークの移動経路の延長線上にワーク交換位置及び後処理位置を設定する必要があるが、本態様によれば、この延長線上以外の位置にワーク交換位置及び後処理位置を設定することができる。これにより、ワーク交換位置と後処理位置の設定の自由度を向上させることができる。特に、ワーク交換位置をワーク加工位置側に近づけて設定することにより、汚れの影響をより受けにくくすることができる。また、ワーク交換位置とワーク加工位置との間を近くすることができ、装置のコンパクト化を図ることができる。
【００４０】
［１５］ワーク加工装置の第７の態様は、上記第５又は６の態様のワーク加工装置において、前記１吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備え、前記２吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも２箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする。
【００４１】
本態様によれば、第１吸着保持手段と第２吸着保持手段とにそれぞれ複数の吸着パッドが備えられ、それぞれワークのサイズに応じて吸着パッドの設置間隔を調整することができる。これにより、さまざまなサイズのワークを安定して搬送することができる。吸着パッドの間隔の調整は、手動で行う構成とすることもできるし、また、自動で行う構成とすることもできる。手動で行う構成の場合であっても、第１吸着保持手段及び第２吸着保持手段は、移動可能であるため、その作業を容易に行うことができる。
【００４２】
［１６］ワーク加工装置の第８の態様は、上記第５から７のいずれか１の態様のワーク加工装置において、前記後処理位置は、前記ワークを前記カセットから引き出す際の前記ワークの移動経路の延長線上に設定され、前記ワーク交換位置は、前記カセットステージと前記後処理手段の間であって、前記延長線上の位置から前記ワーク加工位置側にズレた位置に設定されることを特徴とする。
【００４３】
本態様によれば、ワーク交換位置が、カセットと後処理手段と結ぶ直線から加工手段側に退避した位置に設定される。これにより、ワーク交換位置の前方に解放空間を形成することができるとともに、ワーク交換位置の前方から加工手段までの距離を短くすることができる。これにより、装置内でのメンテナンス作業の作業性を向上させることができる。
【００４４】
［１７］ワーク加工装置の第９の態様は、上記第５から８のいずれか１の態様のワーク加工装置において、前記１吸着保持手段又は前記第２吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする請求項１３から１６のいずれか１項に記載のワーク加工装置。
【００４５】
本態様によれば、第１吸着保持手段又は第２吸着保持手段に吸着保持されて搬送されるワークを撮像することができる。これにより、得られる映像を利用して、ワークを検査したり、ワークの状態を確認したりすることができる。撮像手段は、たとえば、ワークの下面を撮像する電子カメラや、ワークの下面をスキャンするスキャナ等で構成することができる。
【００４６】
［１８］ワーク加工装置の第１０の態様は、上記第５から９のいずれか１の態様のワーク加工装置において、前記後処理手段は、前記加工後のワークを洗浄することを特徴とする。
【００４７】
本態様によれば、後処理手段が洗浄手段で構成される。これにより、装置内で加工後のワークを洗浄することができる。また、洗浄後のワークも汚さずにカセットに回収することができる。
【００４８】
［１９］ワーク加工装置の第１１の態様は、上記第５から１０のいずれか１の態様のワーク加工装置において、前記加工手段は、環状のフレームにテープを介してマウントされたウェーハを回転するダイシングブレードでチップに分割する手段であることを特徴とする。
【００４９】
本態様によれば、ワークがフレームにマウントされたウェーハで構成される。加工手段は、このウェーハをダイシングブレードで切削して、チップに分割する。ダイシングブレードでワークを切削する場合、ミストが発生するが、加工手段から離れた位置でトレイ等を待機させることができるので、トレイ等が汚れるのを防止できる。
【００５０】
［２０］ワーク加工装置の第１２の態様は、上記第５から１１のいずれか１の態様のワーク加工装置において、前記ワーク交換位置と前記ワーク加工位置との間に開閉自在なシャッタが更に設けられ、前記加工手段が隔離可能であることを特徴とする。
【００５１】
本態様によれば、加工手段がシャッタで隔離される。これにより、汚れの影響を更に効果的に防止することができる。
【発明の効果】
【００５２】
本発明によれば、コンパクトな構成でワークを汚すことなく搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】ダイシング装置の第１の実施の形態の概略構成を示す平面図
【図２】ダイシング装置の第１の実施の形態の概略構成を示す正面図
【図３】加工部の概略構成を示す正面図
【図４】ウェーハ把持機構及び第１吸着保持機構の概略構成を示す正面図
【図５】ウェーハ把持機構及び第１吸着保持機構の概略構成を示す平面図
【図６】トレイ、位置決め機構及び第２吸着保持機構の概略構成を示す平面図
【図７】第２吸着保持機構の概略構成を示す下面図
【図８】供給・回収部、加工部、洗浄部のレイアウトと、搬送部による搬送経路を示す平面図
【図９】搬送部が待機状態（非動作状態）の時のダイシング装置の概略構成を示す正面図
【図１０】第１吸着保持機構をＸ軸方向に移動させる機構の構成を示す正面図
【図１１】第１吸着保持機構をＸ軸方向に移動させる機構の構成を示す平面図
【図１２】第１吸着保持機構をＸ軸方向に移動させる機構の構成を示す平面図
【図１３】第２吸着保持機構をＸ軸方向に移動させる機構の構成を示す平面図
【図１４】第２の実施の形態のダイシング装置における供給・回収部、加工部、洗浄部のレイアウトと、搬送部による搬送経路を示す平面図
【図１５】第１吸着保持機構の構成を示す正面図
【図１６】第１吸着保持機構の構成を示す下面図
【図１７】第２吸着保持機構の構成を示す下面図
【図１８】ダイシング装置の外観構成を示す正面図
【図１９】ダイシング装置の内部の概略構成を示す平面断面図
【図２０】正面扉を開いた状態を示すダイシング装置の正面図
【図２１】第５の実施の形態のダイシング装置の内部の概略構成を示す平面図
【図２２】カバーの取り付け構造を示す側面図
【図２３】カバーを閉じた状態を示す斜視図
【図２４】カバーを開いた状態を示す斜視図
【図２５】その他の例のカバーの取り付け状態を示す側面図
【図２６】カバーを閉じた状態を示す斜視図
【図２７】カバーを開いた状態を示す斜視図
【図２８】ダイシング装置の第６の実施の形態の概略構成を示す正面図
【図２９】ダイシング装置の第６の実施の形態の概略構成を示す平面図
【図３０】ダイシング装置の他の例の概略構成を示す平面図
【発明を実施するための形態】
【００５４】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について説明する。
【００５５】
［第１の実施の形態］
≪全体構成≫
図１、図２は、それぞれ本発明に係るワーク加工装置の第１の実施の形態の概略構成を示す平面図と正面図である。
【００５６】
同図に示すワーク加工装置１０は、ウェーハＷを賽の目状に切削してチップ化するダイシング装置である（以下、ダイシング装置という。）。このダイシング装置１０は、ウェーハＷを供給・回収する供給・回収部１２と、ウェーハＷを加工する加工部１４と、ウェーハＷを洗浄する洗浄部１６と、ウェーハＷを搬送する搬送部１８とを備えて構成される。
【００５７】
〈供給・回収部〉
供給・回収部１２は、ウェーハＷを格納するカセットＣと、カセットＣが載置されるカセットステージ２０と、カセットステージ２０を昇降させるカセットステージ昇降機構２２とを備えて構成される。
【００５８】
カセットＣは、正面部分が開口した四角い箱状に形成される。カセットＣの内部は、水平な間仕切に仕切られて、格納室が複数段形成される。各格納室には、ウェーハＷが１枚ずつ格納される。開口したカセットＣの正面部分は、ウェーハＷの取出口とされ、この取出口を介して各収納室にウェーハＷが格納される。この際、ウェーハＷは一方向に出し入れされる。すなわち、正面から背面に向けて水平に出し入れされる。
【００５９】
カセットＣには、ダイシングフレームＦにマウントされたウェーハＷが格納される。ダイシングフレームＦは、環状に形成され、その外周部には直線部が４箇所に形成される。直線部は、隣り合う直線部同士が互いに直交するように形成される（対向する直線部同士が互いに平行になるように形成される。）。ダイシングフレームＦの内周部には、ダイシングテープＴが弛みなく取り付けられる。ダイシングテープＴは、一方側の面が貼着面とされる。ウェーハＷは、この貼着面に貼り付けられることにより、ダイシングフレームＦにマウントされる。
【００６０】
カセットステージ２０は、矩形状に形成され、所定のワーク供給・回収位置に水平に設置される。カセットステージ２０の上には位置決め枠２４が設けられる。位置決め枠２４は、カセットステージ２０の上に載置されるカセットＣの外周を囲うように設けられる。カセットＣは、この位置決め枠２４の内側に底部を嵌め込んで、カセットステージ２０の上に載置する。これにより、カセットＣが、カセットステージ２０の上に位置決めされて載置される。
【００６１】
なお、カセットＣは、格納されたウェーハＷが所定の取出方向で取り出されるように、取出口を所定方向に向けて水平な姿勢でカセットステージ２０の上に載置される。カセットＣは、底部を位置決め枠２４の内側に嵌め込んでカセットステージ２０の上に載置することにより、自動的にこのような姿勢でカセットステージ２０の上に載置される。
【００６２】
カセットステージ昇降機構２２は、カセットステージ２０を垂直方向（Ｚ軸方向）に昇降させる。カセットステージ昇降機構２２は、たとえば、モータによって駆動される送りねじ機構で構成される。
【００６３】
〈加工部〉
加工部１４は、ウェーハＷを吸着保持するワークテーブル３０と、ワークテーブル送り機構（不図示）と、一対のスピンドルユニット３２Ａ、３２Ｂと、各スピンドルユニット３２Ａ、３２ＢをＹ軸方向に送るスピンドルユニットＹ送り機構３４Ａ、３４Ｂと、各スピンドルユニット３２Ａ、３２ＢをＺ軸方向に送るスピンドルユニットＺ送り機構３６Ａ、３６Ｂと、ワークテーブル３０に載置されたウェーハＷを撮像する撮像ユニット３８とを備えて構成される。
【００６４】
ワークテーブル３０は、円盤状に形成され、その上面にウェーハＷを載置するワーク載置面が形成される。ワークテーブル３０は、このワーク載置面が水平になるように設置される。ワークテーブル３０には、ワーク載置面に載置されたウェーハＷを真空吸着する吸着機構（不図示）が備えられる。
【００６５】
ワークテーブル送り機構（不図示）は、ワークテーブル３０を所定の送り方向（Ｘ軸方向）に沿って水平移動させる。ワークテーブル送り機構は、たとえば、モータによって駆動される送りねじ機構で構成される。ワークテーブル３０は、このワークテーブル送り機構によって「ワーク交換位置」と「ワーク加工位置」との間を移動する。
【００６６】
なお、「ワーク交換位置」とは、加工対象とするウェーハＷの交換処理（受け取り・受渡）を行う位置であり、「ワーク加工位置」とは、ウェーハＷの加工処理を開始する位置である。ワーク加工位置に位置したワークテーブル３０は、必要に応じて更にＸ軸方向に移動し、加工対象のウェーハＷにＸ軸方向の送りを与える。
【００６７】
一対のスピンドルユニット３２Ａ、３２Ｂは、それぞれスピンドルユニット本体４０Ａ、４０Ｂと、スピンドルユニット本体４０Ａ、４０Ｂの先端に回転自在に設けられる主軸４２Ａ、４２Ｂと、スピンドルユニット本体４０Ａ、４０Ｂに内蔵されるモータ（不図示）とで構成される。この一対のスピンドルユニット３２Ａ、３２Ｂは、ワーク加工位置に位置したワークテーブル３０の上方に配置される。各スピンドルユニット３２Ａ、３２Ｂは、ワークテーブル３０の移動方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）に並列して配置され、互いの主軸４２Ａ、４２Ｂが対向するように配置される。
【００６８】
スピンドルユニット本体４０Ａ、４０Ｂは、円筒状に形成され、先端に主軸４２Ａ、４２Ｂが設けられる。各主軸４２Ａ、４２Ｂは、スピンドルユニット本体４０Ａ、４０Ｂに内蔵されたモータ（不図示）に駆動されて高速回転する。各主軸４２Ａ、４２Ｂには、それぞれダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂが着脱可能に取り付けられる。ダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂは、円盤状に形成され、その外周に切削刃が形成される。ウェーハＷは、このダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂによって切削される。
【００６９】
図３に示すように、スピンドルユニットＹ送り機構３４Ａ、３４Ｂは、Ｙ軸方向に移動するスピンドルユニットＹ送りテーブル４６Ａ、４６Ｂを有する。スピンドルユニットＹ送りテーブル４６Ａ、４６Ｂは、Ｙ軸方向に沿って配設されたスピンドルユニットＹ送りガイドレール４８Ａ、４８ＢにガイドされてＹ軸方向にスライド自在に設けられる。また、スピンドルユニットＹ送りテーブル４６Ａ、４６Ｂは、図示しない駆動機構（たとえば、モータによって駆動される送りねじ機構）に駆動されて、スピンドルユニットＹ送りガイドレール４８Ａ、４８Ｂ上をＹ軸方向に移動する。
【００７０】
スピンドルユニットＹ送りガイドレール４８Ａ、４８Ｂは、スピンドルユニット支持フレーム５０に配設される。スピンドルユニット支持フレーム５０は、ダイシング装置１０の本体フレーム（不図示）に支持されて、ワークテーブル３０の上方位置に梁状に配設される。このスピンドルユニット支持フレーム５０は、ダイシング装置１０の正面側にＹＺ平面と平行な支持面が形成される。スピンドルユニットＹ送りガイドレール４８Ａ、４８Ｂは、この支持面に沿って配設される。
【００７１】
スピンドルユニットＺ送り機構３６Ａ、３６Ｂは、Ｚ軸方向に移動するスピンドルユニットＺ送りテーブル５２Ａ、５２Ｂを有する。スピンドルユニットＺ送りテーブル５２Ａ、５２Ｂは、Ｚ軸方向に沿って配設されたスピンドルユニットＺ送りガイドレール５４Ａ、５４ＢにガイドされてＺ軸方向にスライド自在に設けられる。また、スピンドルユニットＺ送りテーブル５２Ａ、５２Ｂは、図示しない駆動機構（たとえば、モータによって駆動される送りねじ機構）に駆動されて、スピンドルユニットＺ送りガイドレール５４Ａ、５４Ｂ上をＺ軸方向に移動する。
【００７２】
スピンドルユニットＺ送りガイドレール５４Ａ、５４Ｂは、スピンドルユニットＹ送りテーブル４６Ａ、４６Ｂに配設される。したがって、スピンドルユニットＹ送りテーブル４６Ａ、４６Ｂが、Ｙ軸方向に移動すると、スピンドルユニットＺ送りテーブル５２Ａ、５２ＢもＹ軸方向に移動する。
【００７３】
一対のスピンドルユニット３２Ａ、３２Ｂは、スピンドルユニットＺ送りテーブル５２Ａ、５２Ｂに取り付けられる。これにより、スピンドルユニットＺ送りテーブル５２Ａ、５２ＢをＺ軸方向に移動させると、スピンドルユニット３２Ａ、３２ＢをＺ軸方向に移動させることができる。また、スピンドルユニットＹ送りテーブル４６Ａ、４６ＢをＹ軸方向に移動させると、スピンドルユニット３２Ａ、３２ＢをＹ軸方向に移動させることができる。
【００７４】
スピンドルユニット３２Ａ、３２Ｂは、Ｚ軸方向に移動することにより、ダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂの高さを調整することができる。また、Ｙ軸方向に移動することにより、ダイシングブレード４４Ａ、４４ＢのＹ軸方向の位置を調整することができる。
【００７５】
ウェーハＷの加工は、ダイシングブレード４４Ａ、４４ＢのＹ軸方向の位置、高さを調整した後、ダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂを高速回転させ、この高速回転するダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂに対して、ワークテーブル３０をＸ軸方向に送ることにより行われる。これにより、ウェーハＷの表面に高速回転するダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂが接触し、ウェーハＷがＸ軸方向に沿って切削される。ダイシングブレード４４Ａ、４４ＢのＹ軸方向の位置をストリート（切断ライン）に合わせて、ワークテーブル３０をＸ軸方向に送ることにより、ウェーハＷがストリートに沿って切削される。
【００７６】
なお、この加工に際して、ダイシングブレード４４Ａ、４４ＢとウェーハＷとの接触部に向けて図示しないノズルから切削液（水）が供給され、切削部の冷却及び切削屑の洗い流しが行われる。
【００７７】
図１に示すように、撮像ユニット３８は、一方のスピンドルユニット３２Ａに撮像ユニット支持ブラケット３８Ａを介して取り付けられる。撮像ユニット３８は、ワークテーブル３０に保持されたウェーハＷの表面を撮像する。この撮像ユニット３８で撮像された画像に基づいてアライメント処理や加工状態の評価等が行われる。
【００７８】
〈洗浄部〉
洗浄部１６は、加工後のウェーハＷを洗浄するワーク洗浄装置５６を有する。ワーク洗浄装置５６は、たとえば、スピン洗浄装置で構成され、ワーク洗浄位置に設置される。スピン洗浄装置は、ウェーハＷを回転させながら、洗浄液を付与して、ウェーハＷを洗浄する。洗浄後は、ウェーハＷを回転させながら、エアを吹き付けて乾燥させる。なお、この種のワーク洗浄装置の構成は公知なので、その具体的な構成の説明については省略する。
【００７９】
加工後のウェーハＷは、ワーク洗浄装置５６の上部からワーク洗浄装置５６に受け渡される（ワーク洗浄装置５６の上部から垂直に下降させて、ワーク洗浄装置５６に受け渡される。）。また、洗浄後のウェーハＷは、ワーク洗浄装置５６の上部から回収される（ワーク洗浄装置５６の上部から垂直に引き上げられて回収される。）。
【００８０】
図１及び図２に示すように、搬送部１８は、カセットステージ２０に載置されたカセットＣからウェーハＷを取り出して、ワーク交換位置に位置したワークテーブル３０に搬送するとともに、ワーク交換位置に位置したワークテーブル３０から加工後のウェーハＷを回収し、ワーク洗浄装置５６に搬送する。また、洗浄後のウェーハＷをワーク洗浄装置５６から回収し、カセットステージ２０に載置されたカセットＣに収納する。
【００８１】
〈搬送部〉
搬送部１８は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能な第１アーム６０と、第１アーム６０をＹ軸方向に移動させる第１アームＹ移動機構６２と、第１アーム６０をＺ軸方向に移動させる第１アームＺ移動機構６４と、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能な第２アーム６６と、第２アーム６６をＹ軸方向に移動させる第２アームＹ移動機構６８と、第２アーム６６をＺ軸方向に移動させる第２アームＺ移動機構７０と、第１アーム６０に設けられ、ウェーハＷを把持するウェーハ把持機構７２と、第１アーム６０に設けられ、ウェーハＷの上面を吸着保持する第１吸着保持機構７４と、第２アーム６６に設けられ、カセットＣから取り出されたウェーハＷが載置されるトレイ７６と、第２アーム６６に設けられ、トレイ７６に載置されたウェーハＷを位置決め（プリアライメント）する位置決め機構７８と、第２アーム６６に設けられ、ウェーハＷの上面を吸着保持する第２吸着保持機構８０を備えて構成される。
【００８２】
第１アーム６０は、棒状に形成され、Ｘ軸方向に沿って水平に設置される。第１アーム６０の先端には、ウェーハ把持機構７２及び第１吸着保持機構７４を取り付けるための第１取付ベース８２が設けられる。第１取付ベース８２は、所定の外形（本例では八角形）を有する平板状に形成され、第１アーム６０の先端に水平に取り付けられる。
【００８３】
第１アームＹ移動機構６２は、Ｙ軸方向に移動する第１アームＹ移動テーブル８４を有する。第１アームＹ移動テーブル８４は、Ｙ軸方向に沿って配設された第１アームＹ移動ガイドレール８６にガイドされてＹ軸方向にスライド自在に設けられる。また、第１アームＹ移動テーブル８４は、図示しない駆動機構（たとえば、モータによって駆動される送りねじ機構）に駆動されて、Ｙ軸方向に移動する。
【００８４】
第１アームＹ移動ガイドレール８６は、搬送部支持フレーム８８に配設される。搬送部支持フレーム８８は、ダイシング装置１０の本体フレーム（不図示）に支持されて、ワークテーブル３０の上方位置に梁状に配設される。搬送部支持フレーム８８には、ＹＺ平面と平行な前支持面８８Ａと後支持面８８Ｂとが、ダイシング装置１０の正面側と背面側とに形成される。第１アームＹ移動ガイドレール８６は、この搬送部支持フレーム８８の前支持面８８Ａに配設される。
【００８５】
第１アームＺ移動機構６４は、Ｚ軸方向にスライドする第１アームＺスライドロッド９０を有する。第１アームＺスライドロッド９０は、第１アームＺスライドロッド支持部９２に支持されて、Ｚ軸方向にスライド自在に設けられる。また、第１アームＺスライドロッド９０は、図示しない駆動機構（たとえば、モータによって駆動される送りねじ機構、あるいは、シリンダ）に駆動されて、Ｚ軸方向にスライドする。
【００８６】
第１アームＺスライドロッド支持部９２は、第１アームＹ移動テーブル８４に設けられる。したがって、第１アームＹ移動テーブル８４がＹ軸方向に移動すると、第１アームＺスライドロッド９０もＹ軸方向に移動する。
【００８７】
第１アーム６０は、第１アームＺスライドロッド９０の先端に取り付けられる。これにより、第１アームＺスライドロッド９０をＺ軸方向にスライドさせると、第１アーム６０がＺ軸方向に移動する。また、第１アームＹ移動テーブル８４をＹ軸方向に移動させると、第１アーム６０がＺ軸方向に移動する。
【００８８】
第２アーム６６は、棒状に形成され、Ｘ軸方向に沿って水平に設置される。第２アーム６６の先端には、トレイ７６及び第２吸着保持機構８０を取り付けるための第２取付ベース９４が設けられる。第２取付ベース９４は、所定の外形（本例では八角形）を有する平板状に形成され、第２アーム６６の先端に水平に取り付けられる。
【００８９】
第２アームＹ移動機構６８は、Ｙ軸方向に移動する第２アームＹ移動テーブル９６を有する。第２アームＹ移動テーブル９６は、Ｙ軸方向に沿って配設された第２アームＹ移動ガイドレール９８にガイドされてＹ軸方向にスライド自在に設けられる。また、第２アームＹ移動テーブル９６は、図示しない駆動機構（たとえば、モータによって駆動される送りねじ機構）に駆動されて、Ｙ軸方向に移動する。第２アームＹ移動ガイドレール９８は、搬送部支持フレーム８８の後支持面８８Ｂに配設される。
【００９０】
第２アームＺ移動機構７０は、Ｚ軸方向にスライドする第２アームＺスライドロッド１００を有する。第２アームＺスライドロッド１００は、第２アームＺスライドロッド支持部１０２に支持されて、Ｚ軸方向にスライド自在に設けられる。また、第２アームＺスライドロッド１００は、図示しない駆動機構（たとえば、モータによって駆動される送りねじ機構、あるいは、シリンダ）に駆動されて、Ｚ軸方向にスライドする。
【００９１】
第２アームＺスライドロッド支持部１０２は、第２アームＹ移動テーブル９６に設けられる。したがって、第２アームＹ移動テーブル９６がＹ軸方向に移動すると、第２アームＺスライドロッド１００もＹ軸方向に移動する。
【００９２】
第２アーム６６は、第２アームＺスライドロッド１００の先端に取り付けられる。これにより、第２アームＺスライドロッド１００をＺ軸方向にスライドさせると、第２アーム６６がＺ軸方向に移動する。また、第２アームＹ移動テーブル９６をＹ軸方向に移動させると、第２アーム６６がＺ軸方向に移動する。
【００９３】
なお、第１アーム６０と第２アーム６６は、上下に重ねて配置することができるように構成される。この際、第１アーム６０が第２アーム６６の下に配置されるように構成される。
【００９４】
図４及び図５に示すように、ウェーハ把持機構７２は、ダイシングフレームＦの縁部を把持するフィンガ１０４を有する。フィンガ１０４は、フィンガ本体１０４Ａに備えられた上下一対の把持爪１０４ＢによってダイシングフレームＦの縁部を把持する。一対の把持爪１０４Ｂは、それぞれ矩形の平板状に形成され、フィンガ本体１０４Ａに内蔵された図示しない駆動機構に駆動されて、その隙間の間隔が開閉する。ダイシングフレームＦは、この一対の把持爪１０４Ｂによって、縁部が上下から挟まれて、フィンガ１０４に把持される。
【００９５】
フィンガ１０４は、フィンガ揺動アーム１０６の先端に取り付けられる。フィンガ揺動アーム１０６の基端部は、Ｘ軸方向に沿って配置された回転軸１０６Ａに固定される。回転軸１０６Ａは、第１取付ベース８２に取り付けられたフィンガ揺動アーム支持ブラケット１０８に回転自在に支持される。フィンガ揺動アーム支持ブラケット１０８には、フィンガ移動モータ１１０が取り付けられる。フィンガ移動モータ１１０の出力軸は、回転軸１０６Ａに連結される。回転軸１０６Ａは、フィンガ移動モータ１１０を駆動することにより、所定の角度範囲で正逆回転する。そして、この回転軸１０６Ａが回転することにより、フィンガ揺動アーム１０６が揺動し、フィンガ１０４が「フィンガ把持位置」と「フィンガ退避位置」との間を移動する。フィンガ１０４は、フィンガ把持位置に移動することにより、第１取付ベース８２の下方に移動する。また、フィンガ退避位置に移動することにより、第１取付ベース８２の上方に移動する。
【００９６】
フィンガ把持位置に移動することにより、フィンガ１０４は、カセットステージ２０に載置されたカセットＣの取出口に対向して配置される。これにより、カセットＣに格納されたウェーハＷのダイシングフレームＦの縁部を把持することが可能になる。
【００９７】
図４及び図５に示すように、第１吸着保持機構７４は、４つの第１吸着パッド１１２で構成される。４つの第１吸着パッド１１２は、ウェーハＷのダイシングフレームＦの上面部分を吸着保持するように、第１取付ベース８２の下面部に取り付けられる。この４つの第１吸着パッド１１２は、第１取付ベース８２の中心を中心とした同心円上に所定の間隔をもって配置され、ダイシングフレームＦの上面部を吸着可能に配置される（ウェーハＷの中心と第１取付ベース８２の中心とを一致させたときにダイシングフレームＦの上面部を吸着可能な位置に配置される。）。
【００９８】
トレイ７６は、第２取付ベース９４の上面部に設けられる。このトレイ７６は、一対のフレームガイドレール１１４で構成される。フレームガイドレール１１４は、Ｌ字状に形成され、水平部１１４Ａと垂直部１１４Ｂとで構成される。水平部１１４Ａは、ＸＹ平面と平行に設けられ、垂直部１１４Ｂは、ＹＺ平面と平行に設けられる。一対のフレームガイドレール１１４は、互いの水平部１１４Ａを内側にして、一定の間隔をもって平行に配置される。カセットＣから取り出されたウェーハＷは、この平行に配置された一対のフレームガイドレール１１４の水平部１１４Ａに載置される。
【００９９】
位置決め機構７８は、トレイ７６を構成する一対のフレームガイドレール１１４を互いに近づく方向／互いに離れる方向に移動させ、その間隔を拡縮させる。この位置決め機構７８は、位置決め用ガイドレール１１６と、ピニオンギア１１８と、一対のラック１２０と、位置決め用シリンダ１２２とを備えて構成される。
【０１００】
位置決め用ガイドレール１１６は、第２取付ベース９４の上に設けられる。位置決め用ガイドレール１１６は、ＸＹ平面上をＸ軸方向に沿って配設される。フレームガイドレール１１４は、この位置決め用ガイドレール１１６にガイドされて、Ｘ軸方向に移動自在に設けられる。
【０１０１】
ピニオンギア１１８は、第２取付ベース９４の中央に配置されたピニオンギア支持軸１２４に回転自在に支持される。ピニオンギア支持軸１２４は、第２取付ベース９４の上面に垂直に立設され、Ｚ軸方向に沿って配設される。
【０１０２】
一対のラック１２０は、ピニオンギア１１８を挟んで位置決め用ガイドレール１１６と平行に配設される。各ラック１２０は、ピニオンギア１１８に噛み合わされるとともに、一端がフレームガイドレール１１４に連結される。これにより、ピニオンギア１１８を回転させると、フレームガイドレール１１４が互いに近づく方向／互いに離れる方向に移動する。
【０１０３】
位置決め用シリンダ１２２は、そのシリンダ本体が第２取付ベース９４の上に設けられる。位置決め用シリンダ１２２は、Ｘ軸方向に沿って配設され、そのロッドの先端部が、一方のフレームガイドレール１１４に連結される。
【０１０４】
位置決め用シリンダ１２２を駆動すると、一方のフレームガイドレール１１４がＸ軸方向に移動する。これにより、一対のフレームガイドレール１１４が、第２取付ベース９４の中心を中心にして、互いに近づく方向／互いに離れる方向に移動して、その間隔が拡縮する。
【０１０５】
ウェーハＷは、フレームガイドレール１１４の間隔を広げた状態でフレームガイドレール１１４の水平部１１４Ａの上に載置される。水平部１１４Ａの上に載置されたウェーハＷは、フレームガイドレール１１４の垂直部１１４Ｂに挟まれて、位置決め（プリアライメント）される。
【０１０６】
図６及び図７に示すように、第２吸着保持機構８０は、４つの第２吸着パッド１２６で構成される。４つの第２吸着パッド１２６は、ウェーハＷのダイシングフレームＦの上面部分を吸着保持するように、第２取付ベース９４の下面部に取り付けられる。この４つの第２吸着パッド１２６は、第２取付ベース９４の中心を中心とした同心円上に所定の間隔をもって配置され、ダイシングフレームＦの上面部を吸着可能に配置される（ウェーハＷの中心と第２取付ベース９４の中心とを一致させたときにダイシングフレームＦの上面部を吸着可能な位置に配置される。）。
【０１０７】
〈レイアウト〉
図８は、供給・回収部、加工部、洗浄部のレイアウトと、搬送部による搬送経路を示す平面図である。
【０１０８】
同図に示すように、供給・回収部１２と洗浄部１６は、Ｙ軸と平行な直線Ｌ上に配置される。すなわち、カセットステージ２０が設置されるワーク供給・回収位置と、ワーク洗浄装置５６が設置されるワーク洗浄位置は直線Ｌ上に設定される。
【０１０９】
加工部１４は、供給・回収部１２と洗浄部１６との間に配置される。この加工部１４のワーク交換位置は、直線Ｌ上に設定されるとともに、ワーク供給・回収位置とワーク洗浄位置との間（ほぼ中間位置）に設定される。また、ワーク加工位置は、ワーク交換位置からＸ軸方向に所定距離離れた位置に設定される。
【０１１０】
搬送部１８の第１アーム６０に設けられたウェーハ把持機構７２と第１吸着保持機構７４、及び、第２アーム６６に設けられたトレイ７６と第２吸着保持機構８０は、直線Ｌ上を移動する。
【０１１１】
カセットＣは、取出口を洗浄部１６に向けてカセットステージ２０の上に載置される。カセットＣに格納されたウェーハＷは、取出口からＹ軸方向に出し入れされる。
【０１１２】
上記のように、ウェーハ把持機構７２のフィンガ１０４は、フィンガ把持位置に移動することにより、カセットステージ２０に載置されたカセットＣの取出口に対向して配置される。
【０１１３】
〈ウェーハの搬送〉
ウェーハＷの搬送は、次のように行われる。
【０１１４】
カセットＣに格納されたウェーハＷは、第１アーム６０に設けられたウェーハ把持機構７２によってカセットＣから引き出される。ウェーハ把持機構７２は、フィンガ１０４でダイシングフレームＦの縁部を把持し、洗浄部１６に向けてＹ軸方向に所定量移動することにより、ウェーハＷをカセットＣから引き出す。
【０１１５】
なお、ウェーハ把持機構７２がカセットＣからウェーハＷを引き出す高さ位置は常に一定であり、カセットステージ２０が上下方向に移動して、カセットＣから引き出すウェーハＷの高さ位置を調整する。
【０１１６】
カセットＣから引き出されたウェーハＷは、第２アーム６６に設けられたトレイ７６の上に載置される。なお、トレイ７６は、ウェーハＷの取り出しに連動して、あらかじめウェーハＷが引き出される位置の下に位置している。
【０１１７】
ウェーハＷをトレイ７６に載置すると、ウェーハ把持機構７２は、フィンガ１０４をフィンガ退避位置に移動させる。これにより、第１アーム６０に設けられた第１吸着保持機構７４でウェーハＷを保持することが可能になる。
【０１１８】
トレイ７６に載置されたウェーハＷは、位置決め機構７８によって位置決め（プリアライメント）される。位置決めは、一対のフレームガイドレール１１４の間隔を狭めることにより行われる。ウェーハＷは、一対のフレームガイドレール１１４の間隔を広げた状態でトレイ７６に載置される。ウェーハＷが載置された後、この一対のフレームガイドレール１１４の間隔を狭めることにより、一対のフレームガイドレール１１４でウェーハＷが挟持され、ウェーハＷが位置決めされる。一対のフレームガイドレール１１４は、ウェーハＷを位置決めすると、元の位置に戻り、その間隔を広げる。
【０１１９】
ウェーハＷが位置決めされると、第１アーム６０に設けられた第１吸着保持機構７４によって、トレイ７６からウェーハＷが回収される。
【０１２０】
ウェーハＷを回収した第１吸着保持機構７４は、Ｙ軸方向に移動して、ワーク交換位置に位置したワークテーブル３０にウェーハＷを搬送する。
【０１２１】
ウェーハＷが搬送されたワークテーブル３０は、ウェーハＷを受け取った後、ワーク加工位置に向けて移動する。この後、ウェーハＷは、ダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂによって、ダイシング加工される。
【０１２２】
ダイシング加工が終了すると、ワークテーブル３０は、ワーク交換位置に移動する。
【０１２３】
ワークテーブル３０が、ワーク交換位置に移動すると、第２アーム６６に設けられた第２吸着保持機構８０によって、ワークテーブル３０からウェーハＷが回収される。
【０１２４】
ウェーハＷを回収した第２吸着保持機構８０は、Ｙ軸方向に移動して、ウェーハＷをワーク洗浄装置５６に搬送する。
【０１２５】
ウェーハＷが搬送されたワーク洗浄装置５６は、ウェーハＷを受け取った後、そのウェーハＷを洗浄処理する。
【０１２６】
洗浄が完了すると、洗浄後のウェーハＷが、第１アーム６０に設けられた第１吸着保持機構７４によってワーク洗浄装置５６から回収される。
【０１２７】
ウェーハＷを回収した第１吸着保持機構７４は、Ｙ軸方向に移動して、カセットＣの手前の位置であらかじめ待機したトレイ７６の上にウェーハＷを搬送する。
【０１２８】
トレイ７６に載置されたウェーハＷは、位置決め機構７８によって位置決めされた後、カセットＣの元の位置（そのウェーハＷが格納されていた格納室）に格納される。カセットＣへの格納は、第１アーム６０に設けられたフィンガ１０４によって、トレイ７６に載置されたウェーハＷをカセットＣに向けて押し込むことにより行われる。
【０１２９】
なお、このようにトレイ７６に載置されたウェーハＷは、フィンガ１０４によってカセットＣに向けて押し込むことにより、カセットＣに格納できる。したがって、トレイ７６は、載置されたウェーハＷをカセットＣに向けて押し込むことにより、ウェーハＷをカセットＣに格納できる位置であらかじめ待機する。
【０１３０】
以上のように、ウェーハＷは、第１アーム６０に設けられたウェーハ把持機構７２によってカセットＣから引き出され、第２アーム６６に設けられたトレイ７６の上に載置された後、トレイ７６の上で位置決めされる。そして、位置決めされたウェーハＷは、第１アーム６０に設けられた第１吸着保持機構７４によってトレイ７６からワークテーブル３０に搬送され、ワークテーブル３０によってワーク加工位置に搬送されて、ダイシング加工される。ダイシング加工されたウェーハＷは、ワークテーブル３０によってワーク交換位置に搬送された後、第２アーム６６に設けられた第２吸着保持機構８０によってワーク洗浄装置５６に搬送され、洗浄処理される。洗浄されたウェーハＷは、第１アーム６０に設けられた第１吸着保持機構７４によって、カセットＣの手前まで搬送され、そのカセットＣの手前に待機したトレイ７６の上に載置される。そして、トレイ７６の上で位置決めされた後、第１アーム６０に設けられたウェーハ把持機構７２によってカセットＣの元の位置に格納される。
【０１３１】
なお、図９に示すように、第１アーム６０と第２アーム６６は、非動作時、所定の搬送機構退避位置で退避する。この搬送機構退避位置は、ＸＹ平面上でワーク洗浄位置と同じ位置に設定される。したがって、第１アーム６０と第２アーム６６は、ワーク洗浄装置５６の上方に退避する。この際、第１アーム６０と第２アーム６６とは、上下に重なるようにして、搬送機構退避位置に退避する。
【０１３２】
このように、第１アーム６０と第２アーム６６を搬送機構退避位置に退避させることにより、加工部１４の手前側（装置正面側）の空間が開放され、ダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂの交換や、ワークテーブル３０のメンテナンス等を容易に行うことができる。
【０１３３】
≪作用≫
以上のように構成される本実施の形態のダイシング装置１０によるウェーハＷの加工処理は、次のように行われる。
【０１３４】
まず、加工処理対象のウェーハＷが格納されたカセットＣをカセットステージ２０の上にセットする。上記のように、カセットＣは、その取出口を所定の方向（洗浄部１６の方向）に向けてカセットステージ２０にセットされる。カセットＣのセット後、加工処理がスタートされる。
【０１３５】
まず、１枚目のウェーハＷがカセットＣから引き出される。上記のように、ウェーハＷは、第１アーム６０に設けられたウェーハ把持機構７２によってカセットＣから引き出される。
【０１３６】
カセットＣから引き出されたウェーハＷは、第２アーム６６に設けられたトレイ７６の上に載置される。そして、そのトレイ７６の上で位置決め（プリアライメント）される。
【０１３７】
位置決めされたウェーハＷは、次に、第１アーム６０に設けられた第１吸着保持機構７４によってトレイ７６から回収され、ワーク交換位置に位置したワークテーブル３０に搬送される。
【０１３８】
ワークテーブル３０は、第１吸着保持機構７４によって搬送されたウェーハＷを受け取り、吸着保持して、ワーク加工位置に移動する。
【０１３９】
ワーク加工位置に搬送されたウェーハＷは、ダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂによりダイシング加工される。
【０１４０】
ウェーハＷの加工は、ダイシングブレード４４Ａ、４４ＢのＹ軸方向の位置、高さを調整した後、ダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂを高速回転させ、この高速回転するダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂに対して、ワークテーブル３０をＸ軸方向に送ることにより行われる。これにより、ウェーハＷの表面に高速回転するダイシングブレード４４Ａ、４４Ｂが接触し、ウェーハＷがＸ軸方向に沿って切削される。ダイシングブレード４４Ａ、４４ＢのＹ軸方向の位置をストリート（切断ライン）に合わせて、ワークテーブル３０をＸ軸方向に送ることにより、ウェーハＷがストリートに沿って切削される。この処理を繰り返すことにより、ウェーハＷがチップに分割される。
【０１４１】
ウェーハＷの加工が終了すると、ワークテーブル３０がワーク交換位置に移動する。ワークテーブル３０がワーク交換位置に移動すると、第２アーム６６に設けられた第２吸着保持機構８０よってウェーハＷがワークテーブル３０から回収される。
【０１４２】
ワークテーブル３０から回収されたウェーハＷは、第２アーム６６に設けられた第２吸着保持機構８０によってワーク洗浄装置５６に搬送される。
【０１４３】
ワーク洗浄装置５６は、第２吸着保持機構８０からウェーハＷを受け取り、洗浄処理する。
【０１４４】
洗浄が終了すると、第１アーム６０に設けられた第１吸着保持機構７４によって、洗浄後のウェーハＷがワーク洗浄装置５６から回収される。
【０１４５】
第１吸着保持機構７４は、回収したウェーハＷをカセットＣの手前まで搬送し、そのカセットＣの手前であらかじめ待機したトレイ７６の上にウェーハＷを載置する。
【０１４６】
トレイ７６に載置されたウェーハＷは、位置決め機構７８によって位置決めされた後、第１吸着保持機構７４によってカセットＣに向けて押し込まれる。これにより、取り出したときと同じ格納室にウェーハＷが格納される。
【０１４７】
以上一連の工程で１枚目のウェーハＷの加工処理が終了する。１枚目のウェーハＷの加工処理が終了すると、カセットＣが所定量上昇する（次に処理するウェーハＷをウェーハ把持機構７２によって取り出し可能な位置まで上昇する。）。そして、上記同様の手順で２枚目のウェーハＷがカセットＣから取り出されて加工処理される。
【０１４８】
本実施の形態のダイシング装置１０によれば、カセットＣからウェーハＷを取り出すためのウェーハ把持機構７２と、カセットＣから取り出されたウェーハＷを載置し、位置決め（プリアライメント）するためのトレイ７６とが、それぞれ移動可能に設けられているので、必要なときにのみ移動させて使用することができる。これにより、別途、トレイやウェーハの取り出し機構を設置するためのスペースを確保する必要がなく、装置全体をコンパクト化することができる。
【０１４９】
また、加工部１４のメンテナンス等を行う場合には、邪魔にならない位置に退避させることができるので、メンテナンス作業の作業性を向上させることができる。
【０１５０】
また、ウェーハ把持機構７２が設けられる第１アーム６０には、第１吸着保持機構７４が設けられ、トレイ７６が設けられる第２アーム６６には、第２吸着保持機構８０が設けられて、ウェーハＷの搬送も行うことができるので、搬送機構の簡略化、コンパクト化も図ることができる。
【０１５１】
また、加工後の汚れたウェーハＷは、第２吸着保持機構８０で搬送し、汚れていない正常なウェーハＷは、専ら第１吸着保持機構７４で搬送するように構成されているので、加工前の清浄なウェーハＷや洗浄後の清浄なウェーハＷを二次的に汚すことなく搬送することができる。
【０１５２】
［第２の実施の形態］
上記第１の実施の形態では、第１吸着保持機構７４が、第１アーム６０に固定されているため、ウェーハＷを直線Ｌに沿ってのみ搬送可能に構成されている。同様に、第２吸着保持機構８０が、第２アーム６６に固定されているため、ウェーハＷを直線Ｌに沿ってのみ搬送可能に構成されている。この場合、装置のレイアウトとしては、ワーク供給・交換位置と、ワーク交換位置と、ワーク洗浄位置とを同一直線上（直線Ｌ上）に設定する必要がある。
【０１５３】
一方、メンテナンスの作業性等を考慮すると、ワーク交換位置とワーク加工位置は、可能な限り近く設定することが好ましい（スピンドルユニットまでのアクセスが容易になり、ダイシングブレードの交換作業等がしやすくなる。）。
【０１５４】
そこで、本実施の形態のワーク加工装置（ダイシング装置）では、第１吸着保持機構７４と第２吸着保持機構８０をそれぞれＸＹ平面内でＸ軸方向に移動可能に設け、ウェーハＷをＸ軸方向にも搬送できるように構成する。
【０１５５】
以下、上記第１の実施の形態のダイシング装置において、第１吸着保持機構７４と第２吸着保持機構８０をＸ軸方向に移動させるための構成について説明する。
【０１５６】
図１０は、第１吸着保持機構をＸ軸方向に移動させる機構の構成を示す正面図である。また、図１１は、第１吸着保持機構をＸ軸方向に移動させる機構の構成を示す平面図である。
【０１５７】
同図に示すように、第１吸着保持機構７４を構成する４つの第１吸着パッド１１２は、第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０に取り付けられる。
【０１５８】
第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０は、矩形の平板状に形成される。この第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０は、第１取付ベース８２と平行に設けられ、第１取付ベース８２の下部に配置される。
【０１５９】
第１取付ベース８２の下面には、一対の第１吸着保持機構Ｘ送りガイドレール１３２がＸ軸と平行に敷設される。第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０は、この第１吸着保持機構Ｘ送りガイドレール１３２にスライダを介してスライド自在に支持される。
【０１６０】
一対の第１吸着保持機構Ｘ送りガイドレール１３２の間には、第１吸着保持機構Ｘ送り用シリンダ１３４が配置される。第１吸着保持機構Ｘ送り用シリンダ１３４は、Ｘ軸と平行に配設され、そのシリンダ本体が第１取付ベース８２の下面に固定される。また、そのシリンダロッドの先端が第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０に固定される。
【０１６１】
４つの第１吸着パッド１１２は、ウェーハＷのダイシングフレームＦの上面部分を吸着保持するように、第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０の下面部に取り付けられる。この４つの第１吸着パッド１１２は、第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０の中心を中心とした同心円上に所定の間隔をもって配置され、ダイシングフレームＦの上面部を吸着可能に配置される（ウェーハＷの中心と第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０の中心とを一致させたときにダイシングフレームＦの上面部を吸着可能な位置に配置される。）。
【０１６２】
第１吸着保持機構Ｘ送り用シリンダ１３４を駆動すると、第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０が、第１吸着保持機構Ｘ送りガイドレール１３２に沿ってスライドし、図１２に示すように、Ｘ軸方向に移動する。これにより、第１吸着保持機構７４をＸ軸方向に移動させることが可能になり、第１吸着保持機構７４によってウェーハＷをＸ軸方向にも搬送することが可能になる。
【０１６３】
図１３は、第２吸着保持機構をＸ軸方向に移動させる機構の構成を示す平面図である。
【０１６４】
同図に示すように、第２吸着保持機構８０を構成する４つの第２吸着パッド１２６は、第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０に取り付けられる。
【０１６５】
第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０は、矩形の平板状に形成される。この第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０は、第２取付ベース９４と平行に設けられ、第２取付ベース９４の下部に配置される。
【０１６６】
第２取付ベース９４の下面には、一対の第２吸着保持機構Ｘ送りガイドレール１４２がＸ軸と平行に敷設される。第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０は、この第２吸着保持機構Ｘ送りガイドレール１４２にスライダを介してスライド自在に支持される。
【０１６７】
一対の第２吸着保持機構Ｘ送りガイドレール１４２の間には、第２吸着保持機構Ｘ送り用シリンダ１４４が配置される。第２吸着保持機構Ｘ送り用シリンダ１４４は、Ｘ軸と平行に配設され、そのシリンダ本体が第２取付ベース９４の下面に固定される。また、そのシリンダロッドの先端が第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０に固定される。
【０１６８】
４つの第２吸着パッド１２６は、ウェーハＷのダイシングフレームＦの上面部分を吸着保持するように、第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０の下面部に取り付けられる。この４つの第２吸着パッド１２６は、第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０の中心を中心とした同心円上に所定の間隔をもって配置され、ダイシングフレームＦの上面部を吸着可能に配置される（ウェーハＷの中心と第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０の中心とを一致させたときにダイシングフレームＦの上面部を吸着可能な位置に配置される。）。
【０１６９】
第２吸着保持機構Ｘ送り用シリンダ１４４を駆動すると、第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０が、第２吸着保持機構Ｘ送りガイドレール１４２に沿ってスライドし、Ｘ軸方向に移動する。これにより、第２吸着保持機構８０をＸ軸方向に移動させることが可能になり、第２吸着保持機構８０によってウェーハＷをＸ軸方向にも搬送することが可能になる。
【０１７０】
図１４は、第２の実施の形態のダイシング装置における供給・回収部、加工部、洗浄部のレイアウトと、搬送部による搬送経路を示す平面図である。
【０１７１】
同図に示すように、第１アーム６０に設けられる第１吸着保持機構７４をＸ軸方向に移動可能とするとともに、第２アーム６６に設けられる第２吸着保持機構８０をＸ軸方向に移動可能に設けることにより、ワーク交換位置をワーク加工位置に近づけて設定することができる。
【０１７２】
これにより、装置正面からスピンドルユニット３２Ａ、３２Ｂまでの距離を短縮することができるとともに、装置正面から装置内部に立ち入れるスペースを形成することができ、装置内部でのメンテナンス作業（たとえば、ダイシングブレードの効果など）の作業性を向上させることができる。
【０１７３】
［第３の実施の形態］
上記第１、２の実施の形態のダイシング装置では、第１吸着保持機構７４を構成する４つの第１吸着パッド１１２が一定位置に固定して設置されている。同様に、第２吸着保持機構８０を構成する４の第２吸着パッド１２６が一定位置に固定して設置されている。この場合、一定サイズのウェーハＷしか搬送することができない。
【０１７４】
そこで、本実施の形態のダイシング装置では、第１吸着保持機構７４及び第２吸着保持機構８０において、さまざまなサイズのウェーハＷを搬送できるように構成する。
【０１７５】
以下、上記第２の実施の形態のダイシング装置において、異なるサイズのウェーハＷを搬送するための構成について説明する。
【０１７６】
図１５は、吸着保持するウェーハＷのサイズを切り替え可能な第１吸着保持機構の構成を示す正面図である。また、図１６は、その下面図である。
【０１７７】
同図に示すように、第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０の上面には、一対の第１吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ａが敷設される。この一対の第１吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ａは、第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０の中心に対して左右対称に配置され、Ｙ軸方向に沿って敷設される。
【０１７８】
各第１吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ａには、それぞれ第１吸着保持機構サイズ調整用スライダ１４６Ａが一定のフリクションをもってスライド可能に支持される（一定以上の力を付与することによりスライド可能に支持される。）。
【０１７９】
また、各第１吸着保持機構サイズ調整用スライダ１４６Ａには、それぞれ第１吸着パッド支持アーム１４８Ａが取り付けられる。第１吸着パッド支持アーム１４８Ａは、矩形の棒状に形成され、第１吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ａと直交して配置される。
【０１８０】
第１吸着保持機構７４を構成する４つの第１吸着パッド１１２は、各第１吸着パッド支持アーム１４８Ａに２つずつ配置される。各第１吸着パッド支持アーム１４８Ａに配置される２つの第１吸着パッド１１２は、所定の間隔をもって配置され、鉛直下向きに取り付けられる。
【０１８１】
第１吸着保持機構サイズ調整用スライダ１４６Ａを第１吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ａに沿ってスライドさせることにより、第１吸着パッド支持アーム１４８ＡがＹ軸方向に沿って移動し、この結果、２つの第１吸着パッド１１２が、Ｙ軸方向に沿って移動する。
【０１８２】
第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル１３０には、この第１吸着パッド１１２が、Ｙ軸方向に沿って移動できるように、Ｙ軸方向に沿って切欠き１４９Ａが形成される。
【０１８３】
一対の第１吸着保持機構サイズ調整用スライダ１４６Ａを第１吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ａに沿ってスライドさせることにより、一対の第１吸着パッド支持アーム１４８Ａの間の間隔が拡大、縮小する。これにより、左右２つずつある第１吸着パッド１１２の間隔が拡大、縮小し、ウェーハＷのサイズ（ダイシングフレームＦのサイズ）に応じて、その位置を調整することができる。
【０１８４】
図１７は、吸着保持するウェーハＷのサイズを切り替え可能な第２吸着保持機構の構成を示す下面図である。
【０１８５】
同図に示すように、第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０の上面には、一対の第２吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ｂが敷設される。この一対の第２吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ｂは、第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０の中心に対して左右対称に配置され、Ｙ軸方向に沿って敷設される。
【０１８６】
各第２吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ｂには、それぞれ第２吸着保持機構サイズ調整用スライダ１４６Ｂが、所定フリクションをもってスライド可能に支持される。
【０１８７】
また、各第２吸着保持機構サイズ調整用スライダ１４６Ｂには、それぞれ第２吸着パッド支持アーム１４８Ｂが取り付けられる。第２吸着パッド支持アーム１４８Ｂは、矩形の棒状に形成され、第２吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ｂと直交して配置される。
【０１８８】
第２吸着保持機構８０を構成する４つの第２吸着パッド１２６は、各第２吸着パッド支持アーム１４８Ｂに２つずつ配置される。各第２吸着パッド支持アーム１４８Ｂに配置される２つの第２吸着パッド１２６は、所定の間隔をもって配置され、鉛直下向きに取り付けられる。
【０１８９】
第２吸着保持機構サイズ調整用スライダ１４６Ｂを第２吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ｂに沿ってスライドさせることにより、第２吸着パッド支持アーム１４８ＢがＹ軸方向に沿って移動し、この結果、２つの第２吸着パッド１２６が、Ｙ軸方向に沿って移動する。
【０１９０】
第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル１４０には、この第２吸着パッド１２６が、Ｙ軸方向に沿って移動できるように、Ｙ軸方向に沿って切欠き１４９Ｂが形成される。
【０１９１】
一対の第２吸着保持機構サイズ調整用スライダ１４６Ｂを第２吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール１４５Ｂに沿ってスライドさせることにより、一対の第２吸着パッド支持アーム１４８Ｂの間の間隔が拡大、縮小する。これにより、左右２つずつある第２吸着パッド１２６の間隔が拡大、縮小し、ウェーハＷのサイズ（ダイシングフレームＦのサイズ）に応じて、その位置を調整することができる。
【０１９２】
以上のように構成される第１吸着保持機構及び第２吸着保持機構を用いることにより、異なるサイズのウェーハＷを搬送することができる。
【０１９３】
なお、一般にウェーハのサイズは規格化されている。したがって、ウェーハのサイズに応じて第１吸着パッド及び第２吸着パッドの左右の間隔を一定の間隔で拡大、縮小できるように構成することが好ましい。たとえば、第１吸着保持機構サイズ調整用スライダと第１吸着保持機構サイズ調整用ガイドレールとの間にクリック機構を設け、所定の間隔で第１吸着保持機構サイズ調整用スライダが移動できるように構成する。同様に、第２吸着保持機構サイズ調整用スライダと第２吸着保持機構サイズ調整用ガイドレールとの間にクリック機構を設け、所定の間隔で第２吸着保持機構サイズ調整用スライダが移動できるように構成する。
【０１９４】
［第４の実施の形態］
本実施の形態では、本発明に係るダイシング装置の外観構成について説明する。
【０１９５】
図１８は、ダイシング装置の外観構成を示す正面図である。また、図１９は、ダイシング装置の内部の概略構成を示す平面断面図である。
【０１９６】
ダイシング装置１０は、供給・回収部１２の上部空間を除く全体がハウジング１５０で覆われる。供給・回収部１２の上部空間については、カセットＣの交換を容易にするため、ハウジング１５０で覆わずに解放される。
【０１９７】
カセットステージ２０に載置されたカセットＣの取出口と対向するハウジング１５０の壁面１５０Ａには、ウェーハ取出用開口部１５２が形成される。ウェーハ取出用開口部１５２には、ウェーハ取出用開口部開閉シャッタ１５４が設けられる。ウェーハ取出用開口部開閉シャッタ１５４は、図示しない駆動手段に駆動されて開閉される。このウェーハ取出用開口部開閉シャッタ１５４は、カセットＣからのウェーハＷの取り出し、及び、カセットＣへのウェーハＷの格納に連動して自動で開閉される。
【０１９８】
また、ハウジング１５０は、装置正面に正面開口部１５６が形成される。正面開口部１５６は、加工部１４におけるワークテーブル３０の上方空間、及び、洗浄部１６におけるワーク洗浄装置５６の上方空間を解放するように、装置正面のほぼ上半分に形成される。
【０１９９】
正面開口部１５６には、正面扉１５８が設けられ、この正面扉１５８によって開閉される。正面扉１５８は、一方側（図１８の右側）の側辺部に設けられた正面扉開閉用ヒンジ１５８Ａを介してハウジング１５０に取り付けられ、横方向に揺動して正面開口部１５６を開閉する。この正面扉１５８は、板状に形成され、装置の内部状況を確認できるように、一部が透明体（ガラス板、アクリル板など）で形成される。また、この正面扉１５８には、開閉を容易にするため、取手１６０が設けられる。
【０２００】
図２０は、正面扉を開いた状態を示すダイシング装置の正面図である。同図に示すように、正面扉１５８を開けることにより、装置内部へのアクセスが可能になる。これにより、加工部１４、洗浄部１６及び搬送部１８が露出し、これらのメンテナンス等を行うことが可能になる。
【０２０１】
また、このように装置全体をハウジング１５０で覆うことにより、動作中の機器（特にダイシングブレード）にオペレータが触れたりするのを防止でき、安全に装置を稼働させることができる。
【０２０２】
また、加工時に発生するミスト等が周囲に飛散して、周囲を汚染するのを防止できる。
【０２０３】
一方、供給・回収部１２については、外部に露出して設置することにより、カセットＣの交換を容易に行うことができる。また、加工中であっても、カセットＣの交換を行うことが可能になり、使い勝手を向上させることができる。
【０２０４】
ところで、上記のように、ダイシング装置では、切削水を供給しながら加工を行うため、ミストが発生する。装置外部へのミストの飛散は、ハウジング１５０及び正面扉１５８によって防ぐことができる。
【０２０５】
一方、装置内部では、ミストが飛散する。一般にダイシング装置には、排気システムが設けられ、内部のミストを吸引できるように構成される。
【０２０６】
しかしながら、排気システムだけでは、完全にはミストを排除することはできない。ミストが、搬送部１８を構成する機器に付着すると、加工前のウェーハＷや洗浄後のウェーハＷに汚れが付着する。
【０２０７】
そこで、本実施の形態のダイシング装置には、ハウジング１５０の内部に隔離壁１６２が設けられ（図２０の斜格子部分）、加工部１４が隔離して形成される。
【０２０８】
隔離壁１６２は、スピンドルユニット３２Ａ、３２Ｂの設置部と搬送部１８との間に設けられる。この隔離壁１６２には、装置正面側から加工部１４のメンテナンスを行うことができるように、メンテナンス用開口部１６４が形成される。
【０２０９】
メンテナンス用開口部１６４は、ワークテーブル３０の移動経路上に設けられ、装置正面側から加工部１４（特にスピンドルユニット３２Ａ、３２Ｂ）にアクセスできるように所定の大きさで形成される。本例では、ワークテーブル３０の移動経路上に矩形状に形成されている。
【０２１０】
メンテナンス用開口部１６４には、メンテナンス用開口部開閉用シャッタ１６６が設けられる。メンテナンス用開口部開閉用シャッタ１６６は、隔離壁１６２に沿って横方向（Ｙ軸方向）にスライド自在に設けられ、図示しない駆動手段に駆動されて、メンテナンス用開口部１６４を開閉する。
【０２１１】
メンテナンス用開口部開閉用シャッタ１６６は、ウェーハＷの加工に連動して開閉する。すなわち、ウェーハＷの加工が開始されると閉じられ、加工が終了すると開かれる。ワークテーブル３０は、このメンテナンス用開口部開閉用シャッタ１６６の下を通過して、ワーク加工位置とワーク交換位置との間を移動する。
【０２１２】
なお、本例では、メンテナンス用開口部開閉用シャッタ１６６の開閉を図示しない駆動手段で自動的に行う構成としているが、手動で開閉する構成とすることもできる。
【０２１３】
このように、装置内で加工部１４を隔離することにより、加工部１４で発生するミストが、洗浄部１６や搬送部１８に飛散して、加工前のウェーハＷを汚したり、洗浄後のウェーハＷを汚したりするのを防止することができる。
【０２１４】
［第５の実施の形態］
上記第２、第３の実施の形態のダイシング装置では、ワーク交換位置をワーク加工位置に近づけて設定し、装置内にオペレータが立ち入れるスペースを形成している。この場合、ハウジング１５０は、装置正面部において、供給・回収部１２と洗浄部１６との間に窪みが形成される（天井部は除く。）。そして、このように装置正面部分に窪みが形成されたハウジング１５０の正面開口部１５６を板状に形成された正面扉１５８で閉じると、窪みの部分が開口してしまう。このような開口部が装置にあると、開口部から装置内に塵埃が入り込んだり、また、装置内で発生したミストが、開口部から外部に飛散したりするおそれがある。
【０２１５】
本実施の形態のダイシング装置では、この開口部を覆う開閉自在なカバーが備えられる。
【０２１６】
図２１は、本実施の形態のダイシング装置の内部の概略構成を示す平面図である。
【０２１７】
同図に示すように、ハウジング１５０の正面部に形成される窪み１７０と、正面扉１５８との間には開口部１７２が形成される。カバー１７４は、この開口部１７２を覆うように形成される。本例では、開口部１７２は矩形状に形成される。カバー１７４は、この矩形の開口部１７２よりも一回り大きな矩形の板状に形成される。
【０２１８】
カバー１７４は、図２２に示すように、ヒンジ１７６を介して、ハウジング１５０に取り付けられる。カバー１７４は、このヒンジ１７６によってＹ軸と平行な軸の周りを揺動自在に設けられる。
【０２１９】
図２２（ａ）及び図２３は、カバー１７４を閉じた状態を示している。また、図２２（ｂ）及び図２４は、カバー１７４を開いた状態を示している。
【０２２０】
図２２（ａ）及び図２３に示すように、カバー１７４は、閉じたとき、その左右両縁部が供給・回収部１２及び洗浄部１６を構成するフレームの縁部に載置される。これにより、水平に支持されて、開口部１７２を遮蔽する。
【０２２１】
図２２（ｂ）及び図２４に示すように、開いたカバー１７４は、１８０度回転して、水平に支持される。この時、カバー１７４は、ワークテーブル３０の走行経路の両サイドに配置されたフレーム１７８の上に載置されて、水平に支持される。ワークテーブル３０は、ワーク交換位置に位置したとき、この開かれたカバー１７４の下に配置される。
【０２２２】
ダイシング装置の運転中、カバー１７４は閉じられる。これにより、開口部１７２から装置内に塵埃が入り込んだり、装置内で発生したミストが装置外に飛散するのを防止できる。
【０２２３】
また、このカバー１７４は、ウェーハＷの搬送経路上に配置されるため、たとえば、加工後のウェーハＷに付着した切削水等が、落下した場合には、このカバー１７４で受けることができる。これにより、開口部１７２の下部が汚れるのを防止することができる。
【０２２４】
また、開口部１７２をカバー１７４で覆うことにより、巻き込み等を有効に防止でき、装置を安全に稼働させることができる。
【０２２５】
一方、メンテナンス時などは、カバー１７４を開ける。これにより、オペレータが装置内に立ち入る空間を確保することができる。
【０２２６】
また、開けられたカバー１７４は、ワーク交換位置に位置したワークテーブル３０の上部を覆うようにして水平に配置されるため、オペレータがワークテーブルに接触するのを防止することができる。
【０２２７】
また、水平に支持されたカバー１７４は、メンテナンス時に工具等を一時的に載置するトレイとして使用することができる。これにより、メンテナンス時の作業性を向上させることができる。
【０２２８】
図２５は、カバーの他の例を示す概略構成図である。同図に示すように、この例のカバー１７４は、３枚の板材１７４Ａ、１７４Ｂ、１７４Ｃで構成される。
【０２２９】
３枚の板材１７４Ａ、１７４Ｂ、１７４Ｃは、それぞれ同じサイズの矩形状の平板で構成され、隣り合う板材同士が連結用ヒンジ１８０で連結されて、折り畳み可能に形成される。
【０２３０】
折り畳み可能に連結されたカバー１７４は、一端に位置する板材１７４Ａがヒンジ１７６を介して、ハウジング１５０に取り付けられる。
【０２３１】
図２５（ａ）及び図２６は、カバー１７４を閉じた状態を示している。また、図２５（ｂ）及び図２７は、カバー１７４を開いた状態を示している。
【０２３２】
図２５（ａ）及び図２６に示すように、カバー１７４は、折り畳まれた状態で閉じられる。このとき、最下層に位置する板材１７４Ａの左右両縁部が供給・回収部１２及び洗浄部１６を構成するフレームの縁部に載置される。これにより、水平に支持されて、開口部１７２を遮蔽する。
【０２３３】
図２５（ｂ）及び図２７に示すように、カバー１７４は、展開された状態で開かれ、ワークテーブル３０の走行経路の両サイドに配置されたフレーム１７８の上に載置されて、水平に支持される。ワークテーブル３０は、ワーク交換位置に位置したとき、この開かれたカバー１７４の下に配置される。
【０２３４】
このように、カバー１７４を折り畳み可能に形成することにより、カバー１７４を開いたとき、より広範囲にワークテーブル３０の移動経路をカバー１７４で覆うことができる。これにより、メンテナンス時の作業性を更に向上させることができる。
【０２３５】
なお、本例では、カバー１７４をハウジング１５０にヒンジ１７６で取り付けているが、着脱自在に設け、着脱して開口部１７２を開閉する構成とすることもできる。また、たとえば、Ｘ軸方向にスライド自在に設け、スライドさせて開口部１７２を開閉する構成とすることもできる。
【０２３６】
［第６の実施の形態］
図２８、図２９は、それぞれダイシング装置の第６の実施の形態の概略構成を示す正面図と平面図である。
【０２３７】
同図に示すように、本実施の形態のダイシング装置には、第１吸着保持機構７４によって搬送されるウェーハＷを撮像するためのラインスキャナ１９０が備えられている。
【０２３８】
ラインスキャナ１９０は、洗浄部１６の上方に配置され、ウェーハＷの搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って配置される。
【０２３９】
洗浄部１６で洗浄されたウェーハＷは、第１吸着保持機構７４に吸着保持されて搬送される過程でダイシングテープ越しに裏面が、ラインスキャナ１９０によって撮像される（読み取られる。）。
【０２４０】
ラインスキャナ１９０で撮像されたウェーハＷの画像データは、図示しないダイシング装置の制御部（マイコン）に出力される。制御部は、得られた画像データを解析し、加工状態等を検出する。
【０２４１】
このように、本実施の形態のダイシング装置によれば、搬送部１８で搬送されるウェーハＷを搬送過程で撮像することができる。これにより、加工状態を効率よく把握することができる。
【０２４２】
なお、本例では、ラインスキャナで撮像する構成としているが、電子カメラで撮像する構成とすることもできる。また、ウェーハＷの全面ではなく、一部のみを撮像する構成とすることもできる。
【０２４３】
また、本例では、第１吸着保持機構７４によって吸着保持されて搬送されるウェーハＷを撮像する構成としているが、その他の搬送手段で搬送されるウェーハＷを撮像するようにしてもよい。また、複数か所に撮像手段を設置し、複数個所でウェーハＷを撮像できるようにしてもよい。
【０２４４】
≪その他の実施の形態≫
上記各実施の形態では、本発明をブレード式のダイシング装置に適用した場合を例に説明したが、いわゆるレーザ方式のダイシング装置にも本発明は適用することができる。
【０２４５】
また、搬送部の構成については、他の加工装置にも同様に適用することができる。
【０２４６】
また、上記実施の形態では、ハウジングがほぼ直方体形状に形成されているが、ハウジングの形状は、これに限定されるものではない。たとえば、図３０に示すように、背面部を直角二等辺三角形状に形成する構成とすることもできる。
【０２４７】
また、上記実施の形態では、ワークテーブルから洗浄装置へのウェーハの搬送（加工後のウェーハの搬送）を第２アームに備えられた第２吸着保持機構で行う構成としているが、加工後のウェーハの搬送については、別の搬送機構で行う構成とすることもできる。
【０２４８】
また、上記実施の形態では、トレイからワークテーブルへのウェーハの搬送（加工前のウェーハの搬送）を第１アームに備えられた第１吸着保持機構で行う構成としているが、加工前のウェーハの搬送については、別の搬送機構で行う構成とすることもできる。
【符号の説明】
【０２４９】
１０…ワーク加工装置（ダイシング装置）、１２…供給・回収部、１４…加工部、１６…洗浄部、１８…搬送部、２０…カセットステージ、２２…カセットステージ昇降機構、２４…位置決め枠、３０…ワークテーブル、３２Ａ、３２Ｂ…スピンドルユニット、３４Ａ、３４Ｂ…スピンドルユニットＹ送り機構、３６Ａ、３６Ｂ…スピンドルユニットＺ送り機構、３８…撮像ユニット、３８Ａ…撮像ユニット支持ブラケット、４０Ａ、４０Ｂ…スピンドルユニット本体、４２Ａ、４２Ｂ…主軸、４４Ａ、４４Ｂ…ダイシングブレード、４６Ａ、４６Ｂ…スピンドルユニットＹ送りテーブル、４８Ａ、４８Ｂ…スピンドルユニットＹ送りガイドレール、５０…スピンドルユニット支持フレーム、５２Ａ、５２Ｂ…スピンドルユニットＺ送りテーブル、５４Ａ、５４Ｂ…スピンドルユニットＺ送りガイドレール、５６…ワーク洗浄装置、６０…第１アーム、６２…第１アームＹ移動機構、６４…第１アームＺ移動機構、６６…第２アーム、６８…第２アームＹ移動機構、７０…第２アームＺ移動機構、７２…ウェーハ把持機構、７４…第１吸着保持機構、７６…トレイ、７８…位置決め機構、８０…第２吸着保持機構、８２…第１取付ベース、８４…第１アームＹ移動テーブル、８６…第１アームＹ移動ガイドレール、８８…搬送部支持フレーム、８８Ａ…前支持面、８８Ｂ…後支持面、９０…第１アームＺスライドロッド、９２…第１アームＺスライドロッド支持部、９４…第２取付ベース、９６…第２アームＹ移動テーブル、９８…第２アームＹ移動ガイドレール、１００…第２アームＺスライドロッド、１０２…第２アームＺスライドロッド支持部、１０４…フィンガ、１０４Ａ…フィンガ本体、１０４Ｂ…把持爪、１０６…フィンガ揺動アーム、１０６Ａ…回転軸、１０８…フィンガ揺動アーム支持ブラケット、１１０…フィンガ移動モータ、１１２…第１吸着パッド、１１４…フレームガイドレール、１１４Ａ…水平部、１１４Ｂ…垂直部、１１６…位置決め用ガイドレール、１１８…ピニオンギア、１２０…ラック、１２２…位置決め用シリンダ、１２４…ピニオンギア支持軸、１２６…第２吸着パッド、１３０…第１吸着保持機構Ｘ送りテーブル、１３２…第１吸着保持機構Ｘ送りガイドレール、１３４…第１吸着保持機構Ｘ送り用シリンダ、１４０…第２吸着保持機構Ｘ送りテーブル、１４２…第２吸着保持機構Ｘ送りガイドレール、１４４…第２吸着保持機構Ｘ送り用シリンダ、１４５Ａ…第１吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール、１４５Ｂ…第２吸着保持機構サイズ調整用ガイドレール、１４６Ａ…第１吸着保持機構サイズ調整用スライダ、１４６Ｂ…第２吸着保持機構サイズ調整用スライダ、１４８Ａ…第１吸着パッド支持アーム、１４８Ｂ…第２吸着パッド支持アーム、１４９Ａ、１４９Ｂ…切欠き、１５０…ハウジング、１５０Ａ…壁面、１５２…ウェーハ取出用開口部、１５４…ウェーハ取出用開口部開閉シャッタ、１５６…正面開口部、１５８…正面扉、１５８Ａ…正面扉開閉用ヒンジ、１６０…取手、１６２…隔離壁、１６４…メンテナンス用開口部、１６６…メンテナンス用開口部開閉用シャッタ、１７０…窪み、１７２…開口部、１７４…カバー、１７４Ａ、１７４Ｂ、１７４Ｃ…板材、１７６…ヒンジ、１７８…フレーム、１８０…連結用ヒンジ、１９０…ラインスキャナ、Ｃ…カセット、Ｗ…ウェーハ、Ｆ…ダイシングフレーム、Ｔ…ダイシングテープ
【図１】
0005874950.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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