(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄媒体を気流により飛翔させ、前記洗浄媒体を洗浄対象物に当てて洗浄対象物の洗浄を行う乾式クリーニング筐体において、
前記洗浄媒体を飛翔させる内部空間と、
前記洗浄対象物に当接して前記洗浄媒体を前記洗浄対象物に衝突させる開口部と、
外部からの空気を前記内部空間へ通す通気路と、
前記通気路を介して前記内部空間に導入された空気を吸引することにより前記内部空間に旋回気流を生じさせる吸気口と、
前記洗浄対象物から除去された除去物を前記吸気口側へ通過させる多孔手段と、
前記通気路における流路の断面積の一部を任意に塞いで、該塞がれた部位に対応する前記内部空間の部位の前記旋回気流を低減ないし停止させ、該部位に前記洗浄媒体を集めるマスク手段と、
を有していることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項２】
請求項１に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記マスク手段が、前記通気路における流路の断面積の一部を塞ぐマスク板と、該マスク板を駆動するマスク板駆動手段とを有し、前記通気路における流路の断面積の一部を開閉して前記内部空間における前記洗浄媒体の偏りを調整することを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項３】
請求項２に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記マスク板駆動手段は、前記マスク板を前記通気路の開口面に沿ってスライドさせることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記マスク手段が、前記通気路の旋回軸方向に複数配置され、前記通気路の旋回軸方向における任意の部位を開閉可能であることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項５】
請求項２又は３に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記マスク板駆動手段は、前記マスク板を旋回軸方向に移動させることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項６】
請求項２又は３に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記マスク板駆動手段は、前記マスク板を旋回軸方向と交差する方向に移動させることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項７】
請求項６に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記マスク板は、予め塞ぐ部位が決められた開口パターンを有し、移動に伴って塞ぐ部位が旋回軸方向に変化することを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項８】
請求項２又は３に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記内部空間における前記洗浄媒体を検知する洗浄媒体検知手段を有し、該洗浄媒体検知手段により洗浄媒体の量が少ないと判断された部位を前記マスク板で塞ぐことを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載の乾式クリーニング筐体において、
前記通気路が旋回軸方向に複数に区画され、区画された面積単位で塞ぐことを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１つに記載の乾式クリーニング筐体と、前記吸気口に接続される吸引手段と、前記洗浄媒体とから構成されることを特徴とする乾式クリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、飛翔する洗浄媒体を洗浄対象物（以下、「被洗浄物」ともいう）に接触（衝突の概念を含む）させて洗浄する乾式クリーニング装置に関し、詳しくは、洗浄対象物の任意の部位に当てて洗浄することが可能で特にハンディタイプとして好適な乾式クリーニング装置及び該乾式クリーニング装置に用いられる乾式クリーニング筐体に関する。
本発明は、例えば、フローはんだ槽工程で用いられる、ディップパレットもしくはキャリアパレットと呼称されるマスク治具に付着したフラックスを除去するのに用いられ、特に洗浄対象物の側面や開口部の周辺など、狭い領域に固着したフラックスを除去することに適している。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリント基板製造におけるフローはんだ槽によるはんだ付け工程において、はんだ付け処理する領域以外をマスクする治具が多く用いられている。このようなマスク治具（ディップパレット、キャリアパレットと呼ばれる）は、繰り返し使用されるうちに、表面にフラックスが堆積して固着しマスクの精度を下げるために、定期的に洗浄する必要があった。
一般的には、このような洗浄は溶剤に浸漬して行うため、大量の溶剤を消費しており、コストアップを避けられず、作業者への負荷も極めて大きい。
浸漬せずに装置内で溶剤を洗浄対象物に噴射する方式も知られているが、溶剤を大量に使用するという点に変わりはない。
【０００３】
この問題を解消する技術として、飛翔する洗浄媒体を洗浄対象物に接触させて洗浄する乾式の洗浄装置が知られている。
特許文献１、２には、円筒形の容器の側面に開口部を設け、容器内で圧縮気流の旋回空気流により円周方向に洗浄媒体を飛翔させ、開口部に接した洗浄対象物に洗浄媒体を衝突させる洗浄方法が開示されている。
しかしながらこの方式では、圧縮気流で旋回空気流を形成しているため、開口部から洗浄対象物が離された際に、洗浄媒体が容器外部に漏出するという問題を避けられない。
この問題を解消すべく、特許文献１では開口部に網部材を設けて漏出を防いでいるが、洗浄媒体が洗浄対象物に衝突する際のエネルギーが低下したり、網部材に洗浄媒体が挟まって洗浄能力が低下するなどの新たな問題を抱えている。
特許文献２では、開口部を塞ぐ開閉蓋を設けて漏出を防ぐようにしているが、開口部から洗浄対象物が離された際に開閉蓋を素早く移動させて塞ぐ必要があり、作業者に余計な注意力や労力を強いるとともに、機構的に複雑で操作が難しく、故障しやすいという問題があった。
【０００４】
このような状況に鑑み、本出願人は、筐体に吸気手段を接続し、開口部が洗浄対象物で塞がれた状態で通気路（インレット）を介して筐体外部から内部へ流入する気流により発生する旋回空気流によって薄片状の洗浄媒体を飛翔させるとともに、筐体内に気体や粉塵の通過を許容し且つ洗浄媒体の通過を不可とする、例えば網目状の多孔手段を設けて旋回空気流形成領域で洗浄媒体が留まるようにし、旋回空気流によって洗浄媒体の循環飛翔が継続する乾式クリーニング装置を提案した（特願２０１０−１７５６８７号；以下、「先願技術」という）。
この乾式クリーニング装置によれば、開口部から洗浄対象物が離されても、通気路が大気圧と同レベルとなって旋回空気流が消失するとともに、吸気による負圧で開口部から外気が筐体内に多く流入するため、筐体内の洗浄媒体は多孔手段に吸着された状態となって筐体内に留まり、開口部からは漏れない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような可搬性ないし機動性を有するハンディタイプの乾式クリーニング装置において、クリーニングの自由度を維持しつつ広い面積の同時クリーニング化に対応する場合、必然的に筐体および開口部を大型化する必要がある。
この場合、旋回空気流の旋回軸方向にサイズを大きくすることが、洗浄の原理から望ましい。すなわち、サイズ拡大方向において、旋回径が変わらないため旋回空気流の流速を一定に保つことができ、サイズ拡大方向全体に亘って洗浄能力を均一にすることが容易となる。
しかしながら、単純に乾式クリーニング筐体を旋回軸方向に引き延ばした場合、筐体の旋回軸方向端部に配置された分離板へ旋回空気流が向かう螺旋気流が生じるため、分離板と遠い位置から分離板へと洗浄媒体が飛翔していく。その結果、分離板と遠い位置での洗浄媒体の数が少なくなり、筐体の旋回軸方向において洗浄媒体の数に偏差が生じる。洗浄媒体の数が少なくなった部位では洗浄能力が低下し、全体では洗浄ムラが発生する。
「分離板と遠い位置」とは、両側吸引方式においては、筐体の旋回軸方向中央部が最も遠い位置であり、片側吸引方式では、分離板と反対側の端部が最も遠い位置となる。
【０００６】
また、開口部が塞がれるまでは、洗浄媒体は分離板に吸着保持されており、その状態からインレットからの高速空気流で分離板から剥がされて飛翔する。このため、必然的に分離板から遠い位置では洗浄媒体は飛翔しにくくなる。
独立に洗浄能力を有する筐体を旋回軸方向に複数直列配置して「広い面積の同時クリーニング化」構成とするレイアウトも考えられるが、筐体は、吸引手段に接続するための構成を個々に有しているため、単純に直列配置した場合、各筐体の開口部間に吸引手段に接続するための構成が必要なため、開口部間の連結が阻害されることを避けられない。
このように、単純連結方式では、開口部と開口部との間に、非洗浄領域としての大きな隙間が存在するため、「広い面積の同時クリーニング化」は実現できるものの、洗浄面が旋回軸方向に不連続となる。
このため、洗浄されなかった部分を洗浄するために筐体をずらさなければならず、筐体のサイズ拡大に対する洗浄効率が低いとともに、複数回洗浄方式となって、全体として洗浄品質が一定に保たれない。
この問題を解消すべく、筐体のサイズを旋回軸方向に拡大して、１回洗浄方式（以下、「ワンスキャン方式」ともいう）とする構成とした場合、上記のような負圧旋回方式の原理に基づく洗浄ムラの問題が生じる。
【０００７】
本発明は、このような現状に鑑みてなされたもので、ワンスキャン方式の構成において、洗浄ムラや洗浄媒体の漏出等の問題を来たすことなく大面積同時クリーニング化に対応でき、クリーニングの自由度も維持できる乾式クリーニング筐体の提供を、その主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、洗浄媒体を気流により飛翔させ、前記洗浄媒体を洗浄対象物に当てて洗浄対象物の洗浄を行う乾式クリーニング筐体において、前記洗浄媒体を飛翔させる内部空間と、前記洗浄対象物に当接して前記洗浄媒体を前記洗浄対象物に衝突させる開口部と、外部からの空気を前記内部空間へ通す通気路と、前記通気路を介して前記内部空間に導入された空気を吸引することにより前記内部空間に旋回気流を生じさせる吸気口と、前記洗浄対象物から除去された除去物を前記吸気口側へ通過させる多孔手段と、前記通気路における流路の断面積の一部を任意に塞いで、該塞がれた部位に対応する前記内部空間の部位の前記旋回気流を低減ないし停止させ、該部位に前記洗浄媒体を集めるマスク手段と、を有していることを特徴とする。
【０００９】
本明細書における用語の定義は以下の通りである。
本発明における「筐体」とは、内側に旋回空気流を発生させやすい形状の空間を備えた容器状の構造物を示す。旋回空気流を発生させやすい形状とは、気流が筐体の内壁を沿って流れて循環する、連続した内壁を持つ形状であり、より望ましくは回転体形状の内壁または内部空間を備える形状である。
「通気路」とは、気流を一定の方向に流れやすくする手段のことであり、滑らかな内面を備える管形状であることが一般的である。しかしながら、たとえば滑らかな面を持つ、板状の流路制御板などを用いても、気体を面に沿った方向に流れやすくする、整流効果が発現するため、このような形態も含めて通気路とする。
【００１０】
また、気流が直線的に流れる形状が一般的であるが、流路抵抗をあまり生じない緩やかなカーブを備えていても整流効果を得ることができる。ただし、特に記載されない場合、通気路の方向とは空気流入口において噴出する気流の方向のことを意味する。
管形状を備え、一方の端部が筐体内壁の空気流入口に接続し、もう一方の端部が筐体外の大気に開放されている空気取り入れ口である通気路を、本発明では「インレット」と呼称する。インレットは一般的に流体抵抗が低く、滑らかな内面を持ち、管の断面は円形、長方形、スリット形状などが用いられる。
【００１１】
本発明において、「旋回気流」とは、空気流入口からの流入気流により加速された気流が、筐体の内壁に沿って方向を変えつつ流れ、空気流入口の位置に、循環して戻り、流入気流と合流する気流である。気流を形成する流体が空気の場合には「旋回空気流」と同義である。一般的には、内壁が連続している閉空間内で、内壁の接線方向に向けて気流を流入させることにより発生する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、大面積同時クリーニング構成において、旋回軸方向の洗浄媒体の数量的偏差を是正でき、洗浄ムラを高精度に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る乾式クリーニング筐体の透視的斜視図である。
【図２】インレットの区画領域とこれに対応したマスク板との関係を示す平面図である。
【図３】筐体内における洗浄媒体の集まり状態を示す模式図で、（ａ）は旋回軸方向端部に偏って集まる様子を示す図、（ｂ）はマスク板で塞がれた部位に洗浄媒体が集まる様子を示す図である。
【図４】筐体の断面図で、（ａ）はインレットがマスク板で塞がれていない状態を示す図、（ｂ）はマスク板で塞がれた状態を示す図である。
【図５】洗浄試験結果を示す図で、（ａ）は開口部が通常サイズ（小面積）の場合の結果を示す図、（ｂ）は開口部を旋回軸方向に拡大した大面積構成の場合でインレットを塞がない場合の結果を示す図である。
【図６】図５の結果をグラフ化した図である。
【図７】開口部を旋回軸方向に拡大した大面積構成においてマスク手段を用いた場合の洗浄試験結果を示す図である。
【図８】図７の結果をグラフ化した図である。
【図９】マスク板の移動方向の変形例を示す断面図である。
【図１０】第２の実施形態を説明するためのタイミングチャートである。
【図１１】第３の実施形態におけるマスク板を示す平面図である。
【図１２】第４の実施形態におけるマスク板を示す平面図である。
【図１３】第５の実施形態における断面図である。
【図１４】本発明の乾式クリーニング装置の基本となる構成を示す概要断面図である。
【図１５】同装置の洗浄動作を示す図である。
【図１６】同乾式クリーニング装置の使用状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図を参照して説明する。
まず、図１４乃至図１６に基づいて、本発明の基礎となった上記先願技術に係るハンディタイプの乾式クリーニング装置の基本構成及び機能について説明する。
図１４に基づいて、該ハンディタイプの乾式クリーニング装置２の構成の概要を説明する。図１４（ａ）はＡ−Ａ線での横断面図、（ｂ）はＢ−Ｂ線での縦断面図である。
乾式クリーニング装置２は、内部に洗浄媒体５の飛翔空間を有する乾式クリーニング筐体（以下、単に「筐体」という）４と、筐体４内を負圧化する吸気手段６とを備えている。
筐体４は、筐体本体部としての円筒形状の上部筐体４Ａと、逆円錐形状の下部筐体４Ｂとから一体として構成されている。ここでの上部、下部は図面上の便宜的呼称であって、実機上の上下とは必ずしも関係はない。
【００１５】
下部筐体４Ｂは、その円錐頂部に吸気口８を一体に備えており、吸引ダクトとして機能する。
吸気手段６は、吸気口８に一端を接続されたフレキシブルな吸引ホース１０と、該吸引ホース１０の他端に接続された吸引装置１２とを有している。吸引装置１２としては、家庭用掃除機、真空モータや真空ポンプ、あるいは流体の圧送により間接的に低圧化ないし負圧化を生じさせる装置などを適宜用いることができる。なお、部材の上面、底面等の上下の位置関係は図面上の基準にすぎない。
【００１６】
上部筐体４Ａの底面部は、下部筐体４Ｂの上端部を結合する嵌合凹部４Ａ−１となっており、上部筐体４Ａと下部筐体４Ｂは分離可能となっている。上部筐体４Ａの上面４Ａ−２は密閉されている。
上部筐体４Ａの底面部における下部筐体４Ｂとの境界部分には、多孔手段としての多孔性の分離板１４が設けられている。分離板１４は、パンチングメタルのような穴が空いた板状の部材である。分離板１４は、吸引されたときの洗浄媒体５の下部筐体４Ｂ側への移動を阻止するものである。図１４（ａ）では分離板１４の表示を一部省略している。なお、洗浄媒体５は分かり易くするためにその大きさを誇張表示している。
多孔手段としては、洗浄媒体５を通さずに空気及び粉塵（洗浄対象物から除去された除去物）を通過させる大きさの細孔を多く備える多孔形状であればよく、スリット板や網などを用いてもよく、材質も滑らかな面を備えていれば、樹脂や金属などを自由に選択して良い。
多孔手段は旋回空気流の旋回軸と直交する面として配置されている。これにより、多孔手段に沿う方向に気流が流れることにより、洗浄媒体５の滞留を防ぐ効果がある。
旋回空気流の減衰を抑えるために、筐体内面は段差、凹凸がなく平滑であることが望ましい。
【００１７】
多孔手段は、旋回空気流に沿った面に配置されることにより、表面に吸着した洗浄媒体を再飛翔させることができる。
筐体４の材質は特に限定されないが、異物の付着や洗浄媒体との摩擦による消耗を防ぐために、例えばアルミ二ウムやステンレスなどの金属製が好適であるが、樹脂製のものを用いることもできる。
【００１８】
上部筐体４Ａの内部中心には、上部筐体４Ａの円筒軸を共通の軸とするように、円筒状の流路制限部材１６が筐体の一部として設けられ、流路制限部材１６の下端は分離板１４に固定されている。
流路制限部材１６は旋回空気流の流路断面積を絞って流速を向上させる目的で設けられている。流路制限部材１６により上部筐体４Ａ内には滑らかな壁面を有するリング状の旋回空気流移動空間（洗浄媒体の飛翔空間）が形成されている。
上部筐体４Ａの形状によっては、流路制限部材１６の中心軸と上部筐体４Ａの中心軸を必ずしも共通にする必要はなく、リング状の空間が確保できていれば偏芯していても良い。
【００１９】
上部筐体４Ａの側面の一部には、旋回空気流で飛翔する洗浄媒体５を洗浄対象物に接触ないし衝突させるための開口部１８が形成されている。
上部筐体４Ａは直径に対して高さが極めて小さい円筒形状であり、その高さを形成する側面の一部に開口部１８を設けることにより、筐体４全体としては、図１４（ｂ）に示すように、開口部１８以外の外周部分が洗浄対象物２０から大きく逃げる（離れる）レイアウトとなり、洗浄対象物２０に対する局所的当接、換言すればピンポイントクリーニングの自由度が高められている。
開口部１８は、上部筐体４Ａの側面を円筒軸に平行な平断面により切断した形状であり、円筒軸と直交する方向から見て矩形形状をなしている。
【００２０】
上部筐体４Ａの側面には空気流入口２２が形成されており、空気流入口２２には、旋回空気流発生手段で且つ通気路としてのインレット２４が上部筐体４Ａの外方から接続されて上部筐体４Ａに一体に固定されている。
インレット２４は分離板１４に略平行に設定されており、その通気方向は、上部筐体４Ａの半径方向に対して傾き、その通気路中心の延長線が開口部１８に達するように位置している。
インレット２４は、上部筐体４Ａの高さ方向に延びる幅を有している。インレット２４は上部筐体４Ａの高さよりも径又は幅が小さいものを１つ配置してもよく、単体のインレットを高さ方向に複数配置する構成としてもよい。
図１４に示すように、開口部１８が洗浄対象物２０に当接して塞がれると、筐体４内が閉空間としてなり、インレット２４から外気が高速で流入し、この高速気流は洗浄媒体５を開口部１８へ向けて加速させるとともに旋回気流としての旋回空気流３０を生成する。
閉空間が形成された時に生じる旋回空気流は、分離板１４上に吸着した洗浄媒体を吹き払い、再飛翔させる効果を有する。
【００２１】
開口部１８は、開放されたときに、空気流入口２２における内圧を、大気圧もしくはその近傍にするために十分な大きさの面積を備える。また、空気流入口２２も、開口部１８の開放時に大気圧もしくはその近傍になりやすい位置に配置される。
このような構成を備えることにより、乾式クリーニング装置２を洗浄対象物に当てていない間は、空気流入口２２が大気圧に近づくことによって、外部との差圧が低下し、その結果流入する気流が劇的に低減する。一方、開口部１８から流入する気流は多くなるため、洗浄媒体５が筐体４内から漏れ出ることを防ぐことができる。
また、開口部１８が開放されている状態では、閉塞されている場合に比べて流入する気流の総量が２〜３倍になるため、とくに薄片状の洗浄媒体では多孔手段上に吸着されるため、再飛翔せず筐体の外に漏れることがない。これを開口部開放時における洗浄媒体吸着効果という。
【００２２】
洗浄媒体５は、薄片状の洗浄片の集合であるが、ここでは薄片状の洗浄片単体としての意味でも用いている。
薄片状の洗浄媒体とは面積が１ｍｍ２以上２００ｍｍ２以下の薄片である。また、洗浄媒体の材質はポリカーボネイト、ポリエチレンテレフタラート、アクリル、セルロース樹脂などの耐久性のある素材からなるフィルムであり、厚みは０．０２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である。
但し、洗浄対象物によっては洗浄媒体の厚みやサイズや材質を変えることが効果的な場合もあり、これらの洗浄媒体を使用する場合も本発明の範囲に含まれるため、前記洗浄媒体条件にはとらわれないものとする。
洗浄媒体の材質に関しては、樹脂だけにとどまらず、紙、布などの薄片や、あるいは、雲母などの鉱物、セラミックやガラス、金属箔であっても、薄く軽量で飛翔しやすい形状にすることで使用することができる。
【００２３】
上部筐体４Ａのリング状の内部空間２６は、旋回空気流によって洗浄媒体５を飛翔させて開口部１８に対向する洗浄対象物２０に接触させる機能を担う空間である。
流路制限部材１６の内部空間３４は、旋回空気流が作用しない空間である。
【００２４】
以上のように構成される乾式クリーニング装置２による洗浄動作（以下、クリーニング動作という）を、図１５を参照して説明する。なお、図１５では、部材の厚み等を省略し、分かり易くするために静空間としての内部空間３４をハッチングで表示している。
図１５（ｂ）は、開口部１８を洗浄対象物２０から離して開口部１８を開放し吸気を行っている状態を、図１５（ａ）は、開口部１８を洗浄対象物２０に当てて閉塞した状態を示している。
クリーニング動作に先立って、洗浄媒体５を筐体４内に供給する。筐体４内に供給された洗浄媒体５は、図１５（ｂ）下図に示すように、分離板１４に吸い付けられて筐体４内に保持される。
筐体４内は吸気により負圧状態となっているので、筐体外部の空気がインレット２４を通して筐体４内に流入するが、このときのインレット２４内の流れは流速・流量ともに小さいので、筐体４内に発生する旋回空気流３０は洗浄媒体５を飛翔させる強さには至らない。
【００２５】
筐体４内に洗浄媒体５が供給・保持されたら、図１５（ａ）に示すように、開口部１８を洗浄対象物２０の表面のクリーニングすべき部位に当てて閉塞状態にする。
開口部１８が塞がれると、開口部１８からの吸気が止まるので、筐体４内の負圧は一気に増大し、インレット２４を通じて吸い込まれる空気量・流速ともに増大し、インレット２４内で整流され、インレット出口（空気流入口２２）から筐体４内に高速空気流となって吹き出す。
吹き出した空気流は、分離板１４上に保持されている洗浄媒体５を開口部１８に対向する洗浄対象物２０の表面に向けて飛翔させる。
上記空気流は、旋回空気流３０となって、筐体４の内壁に沿って円環状に流れつつ、一部は分離板１４の穴を通って吸気手段６により吸気される。
このように筐体４内を円環状に流れた旋回空気流３０がインレット２４の出口部に戻ると、インレット２４から入り込む空気流が旋回空気流３０に合流しつつ加速する。このようにして筐体４内に安定した旋回空気流３０が形成される。
【００２６】
洗浄媒体５は、この旋回空気流により筐体４内で旋回し、洗浄対象物２０の表面に繰り返し衝突する。この衝突による衝撃で、洗浄対象物２０の表面から汚れが微小粒状あるいは粉状となって分離する。
分離した汚れは、分離板１４の穴を通って吸気手段６により筐体４の外部へ排出される。
筐体４内に形成される旋回空気流３０は、その旋回軸が、分離板１４の表面に直交しており、旋回空気流３０は分離板１４の表面に平行方向の気流となる。
このため、旋回空気流３０は分離板表面に吸い着けられた洗浄媒体５に、横方向から吹き付けて洗浄媒体５と分離板１４の間に入り込み、分離板１４に吸い付けられている洗浄媒体５を分離板１４から引き剥がして再度飛翔させる効果が生じる。
また、開口部１８が塞がれて上部筐体４Ａ内の負圧が増大して、下部筐体４Ｂ内の負圧に近くなるため、洗浄媒体５を分離板１４の表面に吸い付ける力も低下して、洗浄媒体５の飛翔がより容易になる効果が生じる。
旋回空気流３０は、一定の方向に気流が加速されるため高速の気流が生成しやすく、洗浄媒体５の高速飛翔運動も容易となる。高速で旋回移動する洗浄媒体５は、分離板１４に吸い付けられにくく、洗浄媒体５に付着した汚れが、遠心力により洗浄媒体５から分離され易い。
【００２７】
図１６に上述した乾式クリーニング装置２によるクリーニングの実際的な例を示す。
洗浄対象物は前述したフローはんだ槽工程で用いられるディップパレットであり、符号１００で示す。
ディップパレット１００には、マスク開口部１０１、１０２、１０３が開口しており、これらマスク開口部の穴周辺にフラックスＦＬが堆積・固化している。この堆積・固化したフラックスＦＬが除去すべき汚れである。
図１６に示すように、下部筐体４Ｂの根元部（吸気口８部位）を手ＨＤで握り、吸気状態で、筐体４の開口部１８を被クリーニング部位に押し当てる。
開口部１８が被クリーニング部位に押し当てられる以前は、筐体４内は吸気され、洗浄媒体５は分離板１４に吸い付けられているので、開口部１８は下方を向いているものの、筐体４内から洗浄媒体５が外部へ漏れることは無い。
勿論、開口部１８が被クリーニング部位に押し当てられた以後は、筐体内が気密状態となり、洗浄媒体の漏れ出しはない。
【００２８】
開口部１８を被クリーニング部位に押し当てると、インレット２４による流入気流が急増し、筐体４内に強い旋回空気流３０を発生させ、分離板１４に吸い付けられた洗浄媒体５を飛翔させ、ディップパレット１００の被クリーニング部位に付着固化したフラックスＦＬに衝突させてフラックスＦＬを除去する。
クリーニング作業者は、上述の如く下部筐体４Ｂの根元を手ＨＤに持ち、ディップパレット１００に対して移動させて、被クリーニング部位を順次移動させ、付着・固化したフラックスＦＬを全て除去することができる。
図１６の状態では、ディップパレット１００のマスク開口部１０１の周辺部がクリーニングされ、マスク開口部１０２、１０３の周辺部がクリーニング途上である。
被クリーニング部位に対して開口部を移動させる時に被クリーニング部位から開口部１８が離されても、前述の洗浄媒体吸着効果により、洗浄媒体５が筐体内から漏れ出さないため、洗浄媒体数が維持され、洗浄媒体量の減少によるクリーニング性能の低下は生じない。
【００２９】
洗浄媒体５は、繰り返し使用される間にクリーニング部位に対する衝突による衝撃により次第に破壊され、クリーニング部位のディップパレット１００から除去したフラックス（汚れ）と共に、吸引装置１２に吸引回収されるため、乾式クリーニング装置を長時間使用していると、筐体内に保持された洗浄媒体の量が減少する。
このような場合は、新しい洗浄媒体群を筐体４内に補給する。
【００３０】
図１乃至図９に基づいて本発明の第１の実施形態を説明する。なお、上記基本構成と同一部分は適宜同一符号で示す。また、洗浄動作及び洗浄媒体の飛翔原理は上記基本構成と同様であり、乾式クリーニング装置としての用い方も同様であるので、乾式クリーニング装置としての全体構成は省略する。
本実施形態に係る乾式クリーニング筐体４０は、上記基本構成を旋回軸方向に長くし（ここでは約４倍）、旋回軸方向の両側から吸引する構成としている。
図１及び図２に示すように、乾式クリーニング筐体４０は、ロングサイズの筐体本体４２と、筐体本体４２の旋回軸方向両端に一体に形成された吸気口８と、筐体本体４２の旋回軸方向両端において吸気口８との連結部分に配置された分離板４４と、筐体本体４２の内部に旋回軸方向に沿って配置され、旋回軸を規定する円筒状の流路制限部材５２と、筐体本体４２の外周面に一体に形成され、筐体本体４２の内部空間に連通するインレット５０と、インレット５０の一部を任意に塞ぐマスク手段５４等から構成されている。流路制限部材５２は、分離板４４と同様に多孔構造を有している。
乾式クリーニング装置の構成では、各吸気口８に上記吸引ホース１０の図示しない二股構成の分離ホースが接続される。
【００３１】
筐体本体４２は、上記基本構成の上部筐体に相当する単位筐体を４つ連結して構成されており、上記のように旋回軸方向両端部のみに分離板４４を配置している。したがって、一方の分離板４４と他方の分離板４４との間、換言すれば筐体本体４２の内部空間は、実質的に仕切りの無い空間となっている。
本実施形態では、筐体本体４２を複数の単位筐体を連結して構成したが、一体物として構成してもよい。
筐体本体４２の大サイズ化に伴って、開口部１８とインレット５０も旋回軸方向に面積が拡大している。
インレット５０は、上記各単位筐体に対応して旋回軸方向に、領域５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄの４つに区画されている。
マスク手段５４は、各領域５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄを閉塞する大きさのマスク板５６ａ、５６ｂ、５６ｃ、５６ｄと、これらのマスク板を平面上で往復移動（スライド）させてインレット５０の一部を開閉するマスク板駆動手段５８ａ、５８ｂ、５８ｃ、５８ｄとを有している。
マスク板５６は、インレット部の吸引圧力に耐えられるものであれば特に限定されず、通常は軽量化のために樹脂板や金属の薄板を用いる。
マスク可動手段５８は、一軸動作が可能なものであれば特に限定されず、通常は小型化のために空気圧や電気駆動のシリンダやソレノイドを用いる。
【００３２】
マスク板を全て開いている場合、すなわちインレット５０を全面開放している場合、図３（ａ）に示すように、筐体本体４２の旋回軸方向両一端に配置された分離板４４へ旋回空気流が向かう螺旋気流が生じるため、分離板４４と遠い位置、ここでは旋回軸方向中央部から分離板４４へと洗浄媒体５が飛翔していく。
分離板４４から離れるに従い洗浄媒体５の数が少なくなる。すなわち、旋回軸方向において、両端部の領域では洗浄媒体５が多くなり、中央部では少なくなるという数量的偏差が生じる。
その状態が続くと、洗浄媒体の数に比例した洗浄能力の低下が起こり、全域で観察すると中央部では洗浄ムラが発生することになる。洗浄媒体の数が少なくなると、図４（ａ）に示すように、洗浄媒体５がインレット５０からの流入気流及び旋回空気流３０で加速されて洗浄対象物２０に衝突する回数が減り、洗浄能力は低下する。
【００３３】
マスク板を閉じた箇所は、図３（ｂ）、図４（ｂ）に示すように、旋回空気流が減速され停止状態に近い状態となる。ただしマスク板を閉じた箇所以外の旋回空気流の影響や慣性力等により完全に停止することはなく、旋回空気流が弱められた状態となる。
また多孔性の流路制限部材５２を介して中心部からの吸引があるため、マスク板を閉じた箇所では、局所的に流入空気が少なくなり吸引圧力は高まる。そのため、マスク板を閉じた箇所の両脇では、そこへ向かって気流（螺旋気流）が発生し、洗浄媒体が集まる。
洗浄媒体が集まった後、マスク板を開くと、その箇所では洗浄媒体が豊富な状態で旋回空気流３０が再開し、洗浄能力が高まる。
本実施形態ではこのインレット５０の一部を塞ぐことによる洗浄媒体集約原理を利用して、旋回軸方向における洗浄媒体の数量的偏差を緩和して洗浄ムラを低減するものである。
【００３４】
インレット５０の一部を塞いで洗浄媒体の数量的偏差を緩和する制御としては種々の方法が考えられるが、例えば、使用開始時においては所定の旋回空気流を得るべくインレット５０を全面開放し、予め把握された洗浄媒体の種類や大きさに基づく「偏り特性」を考慮し、これに基づいてインレット５０の１つ又は複数の特定領域を閉じたり開いたりして、筐体内に投入されている適正量の洗浄媒体の旋回軸方向における偏差を是正する。
この偏差是正制御は予め実験により求められたマスク板の開閉タイミングや開閉箇所パターンによって行われる。洗浄初期にこの偏差是正制御がなされ、その後はインレット５０が全面開放されて洗浄がなされる。
時間経過とともに偏りが生じる場合には、その特性を予め把握してその偏りを無くすように、稼動中に偏差是正制御を実施することもできる。
本実施形態では、偏差是正を自動化する構成を例示したが、作業者が手作業でマスク板を移動させる構成としてもよい。
この場合、筐体本体４２を透明な部材で構成し、洗浄媒体の偏在を目視しながら操作すればよい。
また、マスク板で塞がれた部位への洗浄媒体の移動は、吸引圧力の相対的な差で発生するため、必ずしもマスク板は完全にインレットの対応領域を塞ぐ必要はなく、対応領域トの一部を塞ぐことでも効果が発生する。
【００３５】
図５に洗浄能力を視覚化した実験結果を写真画像として示す。本写真は、樹脂板に貼り付けた感圧紙に対して１０秒間洗浄を加え、洗浄媒体の衝突による打痕を感圧紙上に生じさせて、スキャナーで画像読み取りしたものである。
画像が黒い領域ほど打痕の密度が高く、洗浄媒体が多く衝突しているために洗浄能力が高いことを示している。
図５（ａ）は、上記先願技術に係る乾式クリーニング筐体を用いた洗浄結果（小面積）を示し、図５（ｂ）は、本実施形態に係る乾式クリーニング筐体をマスク手段を用いずに行った洗浄結果（大面積）を示す。
図５（ｂ）から明らかなように、単に大面積化した場合、中心部の洗浄能力が低くなることがわかる。図６は、図５の画像をグラフ化した図で、実線（ａ）は図５（ａ）に、破線（ｂ）は図５（ｂ）に対応している。
図７に、大面積化構成においてマスク手段を動作させた場合の洗浄試験結果を示す。
図７から明らかなように、マスク手段を動作させた場合、大面積化しても旋回軸方向全体に亘って洗浄ムラを解消することができる。図８は、図７の画像をグラフ化した図である。
【００３６】
本実施形態では、マスク板の移動方向（スライド方向）を、インレット５０の開口面に沿った水平方向としているが、図９に示すように、ヒンジ６０などを用いて垂直面内で回動して開閉する構成としてもかまわない。
ただし、インレットからの吸引圧力に打ち勝つ出力が必要なため、干渉などの問題がないかぎり移動方向は水平が好ましい。
図９では、マスク板５６ａのみを表示し、他のマスク板及びマスク板駆動手段は省略している。
【００３７】
図１０に第２の実施形態を示す。なお、上記実施形態と同一部分は同一符号で示し、特に必要がない限り既にした構成上及び機能上の説明は省略して要部のみ説明する（以下の他の実施形態において同じ）。
筐体内に収容される洗浄媒体の数量には、洗浄面積（開口部の面積）に対応して適正量が存在する。
本発明は、この適正量の旋回軸方向における偏差を是正して洗浄ムラを抑制するものであるが、上記「インレット５０の一部を塞ぐことによる洗浄媒体集約原理」を利用すれば、洗浄媒体群を旋回軸方向に所定時間毎に移動させることによって全体を洗浄する使用形態とすることもできる。
図１０に示すように、まず、マスク板駆動手段５８ａ（マスク板駆動手段１）を作動させてマスク板５６ａを開き、一定時間が経過したらマスク板５６ａを閉じ、次いでマスク板駆動手段５８ｂ（マスク板駆動手段２）を作動させてマスク板５６ｂを開く。このように順にマスク板を開いていく。
このようにすれば、適正量よりも少ない洗浄媒体量で全体を洗浄することができる。
【００３８】
図１１に第３の実施形態を示す。
上記各実施形態では、複数のマスク板とこれに対応した数のマスク板駆動手段を設け、各マスク板を独立して開閉する構成としたが、本実施形態では、予め塞ぐ部位が決められた開口パターンを有するマスク板６２を１つのマスク板駆動手段（不図示）で駆動する構成としている。
マスク板６２の旋回軸方向と交差する方向（ここでは直交する方向）の移動に伴って塞ぐ部位が旋回軸方向に変化する。本実施形態では第２の実施形態に相当した順次開閉方式の開口パターンとしたが、洗浄媒体の材質や大きさに起因する偏差特性に対応した開口パターンとしてもよい。
本実施形態では、マスク板駆動手段が１つであるので、構成及び駆動制御を簡略化できる利点がある。
【００３９】
図１２に第４の実施形態を示す。
上記各実施形態では、マスク板を旋回軸方向と交差する方向に移動させる構成としたが、本実施形態では、旋回軸方向に移動させることを特徴としている。
マスク板６４は、インレット５０の各領域を塞ぐマスク本体部６４と、図示しないマスク板駆動手段に接続するための接続部６４ｂとを有している。
このようにしても上記各実施形態と同様の効果を得ることができる。本実施形態では１枚のマスク板６４を１つのマスク板駆動手段で駆動する構成としたが、マスク板６４の移動距離を少なくして偏差是正制御の応答性を速くするために、旋回軸方向両側にそれぞれマスク板駆動手段を設けるとともに、それぞれに対応してマスク板６４を設け、各々が２つのインレットの領域の開閉を担う構成としてもよい。
【００４０】
図１３に第５の実施形態を示す。
本実施形態では、筐体内の洗浄媒体の数量を検知して自動的に偏差是正を行うことを特徴としている。
筐体本体４２には、内部空間における洗浄媒体を検知する洗浄媒体検知手段としての光学センサ６６が配置されている。
光学センサ６６は、インレット５０の区画領域に対応した旋回領域（内部空間）の洗浄媒体を区画領域毎に検知できるように、旋回軸方向に複数配置されている。洗浄媒体５が光学センサ６６の検知面を通過すると、光学センサ６６がオン又はオフし、洗浄媒体５の通過が検知される。
制御手段６８は、光学センサ６６からの検知信号に基づいて、単位時間当たりに洗浄媒体が通過した数をカウントする。
カウント数が少ない箇所は、洗浄媒体の量が少ない箇所であり、カウント数が少ないと判断したときは、マスク板駆動手段を作動させて該インレット領域を塞ぎ、洗浄媒体の量の調整を行う。適正なカウント数は予め実験により求められ、制御手段６８のメモリに記憶されている。
このように自動検知する構成とすれば、洗浄媒体の偏差を正確に把握でき、洗浄ムラの発生を高精度に抑制することができる。
洗浄媒体検知手段としては非接触方式の光学センサに限らず、接触方式の機械式センサを用いてもよい。
また、光学センサ６６としては反射型、筐体本体４２と流路制限部材５２との間に発光部、受光部を備えた透過型のいずれでもよい。
【符号の説明】
【００４１】
２  乾式クリーニング装置
５  洗浄媒体
８  吸気口
１２  吸引手段
１８  開口部
２０  洗浄対象物
４０  乾式クリーニング筐体
４４  多孔手段としての分離板
５０  通気路
５４  マスク手段
５６、６２、６４  マスク板
５８  マスク板駆動手段
６６  洗浄媒体検知手段としての光学センサ
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４２】
【特許文献１】特開平４−８３５６７号公報
【特許文献２】特開昭６０−１８８１２３号公報
【図１】
0005862262.tif 000002
【図２】
0005862262.tif 000003
【図３】
0005862262.tif 000004
【図４】
0005862262.tif 000005
【図５】
0005862262.tif 000006
【図６】
0005862262.tif 000007
【図７】
0005862262.tif 000008
【図８】
0005862262.tif 000009
【図９】
0005862262.tif 000010
【図１０】
0005862262.tif 000011
【図１１】
0005862262.tif 000012
【図１２】
0005862262.tif 000013
【図１３】
0005862262.tif 000014
【図１４】
0005862262.tif 000015
【図１５】
0005862262.tif 000016
【図１６】
0005862262.tif 000017