(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気−機械エネルギー変換素子と、前記電気−機械エネルギー変換素子が接合された振動板とを有する振動子と、
前記振動子の接触部と加圧接触する摩擦面を備えており該振動子に対して前記摩擦面に沿う相対移動方向に相対駆動する被駆動体と、を有する振動型駆動装置であって、前記振動子を保持する保持部材と、
前記保持部材を前記摩擦面の法線方向に沿って移動可能にガイドするガイド機構と、前記摩擦面に対する前記法線方向に沿う押圧力と共に前記相対移動方向に沿う押圧力を、前記保持部材に発生させる加圧手段と、
を有することを特徴とする振動型駆動装置。
【請求項２】
前記振動型駆動装置は、前記被駆動体を挟んで対向するように配置された第一の振動子と第二の振動子を有し、
前記二つの振動子を保持する保持部材は、前記第一の振動子を保持する第一保持部材と、前記第二の振動子を保持する第二保持部材とによって構成され、
前記第一保持部材と前記第二保持部材とが、前記ガイド機構によって前記摩擦面の法線方向に移動可能にガイドされ、
前記加圧手段によって、弾性力を発生させることで前記被駆動体における前記振動子の接触部との前記摩擦面に前記法線方向に沿う押圧力を与えると共に、前記ガイド機構に対して前記相対移動方向に沿う押圧力を発生させることを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。
【請求項３】
前記振動子は、前記被駆動体を挟んで対向するように配置された第一の振動子と転動部材によって構成されると共に、
前記振動子を保持する保持部材は、前記第一の振動子を保持する第一保持部材と、前記転動部材を保持する第二保持部材とによって構成され、
前記第一保持部材と前記第二保持部材とが、前記ガイド機構によって前記摩擦面の法線方向に移動可能にガイドされ、
前記加圧手段によって、弾性力を発生させることで前記被駆動体における前記振動子の接触部との前記摩擦面に前記法線方向に沿う押圧力を与えると共に、前記ガイド機構に対して前記相対移動方向に沿う押圧力を発生させることを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。
【請求項４】
前記ガイド機構は、略円筒状の穴と略円柱状の部材とによる嵌め合いを含み構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項５】
前記加圧手段は、前記法線方向に対して傾斜して配置され引っ張り力を発生するコイルばねで構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は振動型駆動装置に関する。特に、異なる振動モードの振動を組み合わせることにより超音波振動子と被駆動体を相対移動させる振動型駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波振動子に異なる振動モードの振動を発生させてこれらの振動を組み合わせることにより超音波振動子と被駆動体を相対移動させる振動型駆動装置が提案されている。
この振動型駆動装置には超音波振動子と被駆動体との間に摩擦力を発生させるための加圧構造が備えられる。また、発生する出力を増やすために同形状の超音波振動子を二つ用いる振動型駆動装置が、例えば特許文献１等において提案されている。
特許文献１に開示されているような振動型駆動装置では、超音波振動子と被駆動体に押圧力を与えるための一つの加圧ばねと、二つの超音波振動子を保持固定するための４つの支持ばねを備えている。
また、これらのばねが弾性力を発生できるように略箱形状のケース部品でばねや超音波振動子を囲んでいる。
一対の支持ばねで一つの超音波振動子の長手方向両端、即ち相対運動方向に加圧、支持が行われている。二つの超音波振動子それぞれが同様に加圧、支持されている。
このような構成により、振動波駆動装置が出力を発生させるときに生じる反力による超音波振動子のずれやガタつきを抑制している。
【０００３】
以上のほか超音波振動子を２つ用いる振動型駆動装置として、例えば図１５、図１６に示す形態を採るものが知られている。
図１５は従来例における振動型駆動装置の斜視図、図１６は同振動型駆動装置の分解斜視図である。
振動型駆動装置１は略各棒状の被駆動体２０を備える。被駆動体２０は超音波振動子と摩擦接触するので例えばステンレス材等の耐摩耗性に優れる材料で形成される。
被駆動体２０に対して図中−Ｚ側に超音波振動子を備える第一の振動子ユニット３−１が配される。
第一の振動子ユニット３−１は振動子ユニット固定部材２４に固定される。被駆動体２０の図中＋Ｚ側に超音波振動子を備える第二の振動子ユニット３−２が配される。第二の振動子ユニット３−２は振動子ユニット固定部材２５に固定される。
振動子ユニット固定部材２４には、略図中Ｚ方向に向けて丸穴形状に形成される二つのガイド穴２４ｂが形成される。
振動子ユニット固定部材２４には、後述する弾性部材２７と組み合わされる二つの突起部２４ｃが形成されている。
同様に振動子ユニット固定部材２５には、略図中Ｚ方向に向けて丸穴形状に形成される二つのガイド穴２５ｂが形成される。振動子ユニット固定部材２５には、後述する弾性部材２７と組み合わされる二つの突起部２５ｃが形成されている。
【０００４】
振動型駆動装置１は伝達部材１６を備える。伝達部材１６は振動型駆動装置１の発生する出力を外部へ伝達する伝達部１６ａ、及び略図中Ｚ方向へ延出する四つの伝達ピン１６ｂを備える。
伝達部材１６の二つの伝達ピン１６ｂは振動子ユニット固定部材２４の二つのガイド穴２４ｂと嵌合されてガイド機構を形成する。
同様に伝達ピン１６ｂと振動子ユニット固定部材２５の二つのガイド穴２５ｂとが嵌合されてガイド機構を形成する。
このように組み合わされることで伝達部材１６に対して振動子ユニット固定部材２４及び２５は図中Ｚ方向にのみ移動可能となる。
振動子ユニット３−１、３−２で被駆動体２０を挟むように対向して配置しており、また、振動子ユニット３−１、３−２は被駆動体２０に対して図中Ｚ方向即ち接触部の押圧方向に相対移動可能である。
振動子ユニット固定部材２４と２５がＺ方向に互いに引っ張り合うように二つの弾性部材２７により弾性的な力が作用している。
このように、前述したガイド機構により二つの超音波振動子とスライダの摺動面とに所望の押圧力を与えることを阻害せず、Ｘ方向への発生力の伝達を行う作用が得られる。
ただし、ここで示したガイド機構は丸棒と丸穴が滑るように嵌合させているために図中Ｘ方向に数〜１０マイクロメートル程度の隙間が生じることは避けられない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−８６７７７号公報（［００１３］等、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１により開示されている振動型駆動装置における超音波振動子の支持構造の場合、超音波振動子と被駆動体との間に押圧力を発生させるための加圧ばね、及び超音波振動子を保持固定するための４つの支持ばねの計５つのばね部品を備えている。
加えて、上記振動型駆動装置は略箱形状のケース部品を要している。
このように上記振動型駆動装置では、超音波振動子を支持固定するために複数の部品とスペースが必要となるという課題を有する。
また、図１５及び図１６で説明した振動型駆動装置においては、部品点数や小型化に関しては有効な構成であるが、前述したガイド機構に内在する隙間によるガタつきが生じるために高精度の位置決めや応答性能が得られないという課題を有する。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑み、部品点数を増加させず小型化することができ、位置決め精度や応答性能の向上を図ることが可能となる振動型駆動装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の振動型駆動装置は、電気−機械エネルギー変換素子と、前記電気−機械エネルギー変換素子が接合された振動板とを有する振動子と、
前記振動子の接触部と加圧接触する摩擦面を備えており該振動子に対して前記摩擦面に沿う相対移動方向に相対駆動する被駆動体と、を有する振動型駆動装置であって、
前記振動子を保持する保持部材と、
前記保持部材を前記摩擦面の法線方向に沿って移動可能にガイドするガイド機構と、
前記摩擦面に対する前記法線方向に沿う押圧力と共に前記相対移動方向に沿う押圧力を、前記保持部材に発生させる加圧手段と、
を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、部品点数を増加させず小型化することができ、位置決め精度や応答性能の向上を図ることが可能となる振動型駆動装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態１における振動型駆動装置の構成例を示す斜視図。
【図２】本発明の実施形態１における振動型駆動装置の構成例を示す平面図。
【図３】本発明の実施形態１における振動型駆動装置の構成例を示す分解斜視図。
【図４】本発明の実施形態１における振動型駆動装置の構成例を示す断面図。
【図５】本発明の実施形態１における振動型駆動装置を用いた駆動機構の斜視図。
【図６】本発明の実施形態１における超音波振動子の斜視図。
【図７】本発明の実施形態１における超音波振動子の振動モードを表わす図。
【図８】本発明の実施形態１における振動子ユニットを示す斜視図。
【図９】本発明の実施形態１における振動型駆動装置の他の形態を示す斜視図。
【図１０】本発明の実施形態２における振動型駆動装置の構成例を示す分解斜視図。
【図１１】本発明の実施形態２における振動型駆動装置の構成例を示す斜視図。
【図１２】本発明の実施形態３における振動型駆動装置の構成例を示す斜視図。
【図１３】本発明の実施形態３における振動型駆動装置の構成例を示す分解斜視図。
【図１４】本発明の実施形態３における振動型駆動装置の構成例を示す断面図。
【図１５】従来例における振動型駆動装置の構成を示す斜視図。
【図１６】従来例における振動型駆動装置の構成を示す分解斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳述する。
（実施形態１）
実施形態１として、振動型駆動装置の構成例について、図１を用いて説明する。
先ず、本実施形態における振動型駆動装置の概要について説明する。
図１に示すように、振動型駆動装置１は略角棒状の被駆動体２０を備える。
被駆動体２０は超音波振動子２と摩擦接触するので、例えばステンレス材等の耐摩耗性に優れる材料で形成される。
被駆動体２０に対して、図中−Ｚ側に第一の振動子ユニット３−１が配される。振動子ユニット３−１は、後述する超音波振動子２の突起部１１ｂが被駆動体２０と当接するように向きが決められている。
第一の振動子ユニット３−１は、振動子ユニット固定部材（第一保持部材）１４に固定される。
また、被駆動体２０の図中＋Ｚ側に、第二の振動子ユニット３−２が配される。振動子ユニット３−２は、後述する超音波振動子２の突起部が被駆動体２０と当接するように向きが決められている。
第二の振動子ユニット３−２は、振動子ユニット固定部材（第二保持部材）１５に固定される。
【００１２】
振動型駆動装置１は伝達部材１６を備える。
伝達部材１６は振動子ユニット固定部材１４及び１５を保持すると共に振動型駆動装置１の発生する出力を外部へ伝達する作用を成す。
さらに、振動子ユニット固定部材１４と１５とに保持される、二つの弾性部材（加圧手段）１７が配される。
本実施形態においては弾性部材１７としてコイルばねを用いている。コイルばねであればサイズに対して発生力が得られるので結果として振動型駆動装置１の小型化を達成し易い。
ただし、弾性部材１７としては板バネ等、他の形態を用いても良い。
【００１３】
つぎに、本発明の実施形態１における超音波振動子２の構成について、更に説明する。
図６に、実施形態１で用いる超音波振動子２の斜視図を示す。
超音波振動子２は金属材料により略板状に形成される振動板１１、及び電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子材料により略矩形形状に形成される圧電素子板１２を接着等により接合され一体化して形成される。
超音波振動子２には圧電素子板１２と外部との電気的な接続を行う不図示のフレキシブル基板等が備えられる。
振動板１１は略中央に位置する矩形状の振動部１１ａ、振動部１１ａの上面における図中Ｘ方向２箇所に形成される突起部１１ｂ、及び振動部１１ａのＸ方向両側に形成される固定部１１ｃを備えている。
振動板１１はＸ方向及びＹ方向に略対称形状である。二つの突起部１１ｂの上端は不図示の被駆動体の摩擦面と加圧接触する箇所である。
【００１４】
図７を用いて、以上で説明した超音波振動子２に励起される二つの振動モードについて説明する。
本実施形態では圧電素子板１２に交流電圧を印加して超音波振動子２に二つの面外曲げ振動モード（ＭＯＤＥ−ＡとＭＯＤＥ−Ｂ）を励振する。
ＭＯＤＥ−Ａは超音波振動子２の長手方向である図中Ｘ方向に略平行に二つの節が現れる一時の面外曲げ振動モードで、ＹＺ面に略対称な形状である。
ＭＯＤＥ−Ａの振動により二つの突起部１１ｂには被駆動体と接触する面と垂直な方向（Ｚ方向）に変位する振幅が励振される。ＭＯＤＥ−Ｂは超音波振動子２の図中Ｙ方向に略平行に三箇所の節が現れる支持の面外曲げ振動モードで、ＹＺ面に逆対称且つＸＺ面に略対称な形状である。
ＭＯＤＥ−Ｂの振動によって二つの突起部１１ｂには被駆動体と接触する面と平行な方向（Ｘ方向）に変位する振幅が励振される。
これら二つの振動モードを組み合わせることで接触部である二つの突起部１１ｂの上面に略ＸＺ面内の楕円運動成分が発生し、略Ｘ方向に被駆動体を駆動させる力が発生する。
このように生成可能とされた楕円運動による駆動力によって、超音波振動子２と被駆動体とは略Ｘ方向に相対移動する。
【００１５】
図８に、超音波振動子２を用いた振動子ユニット３の斜視図を示す。
振動子ユニット３は図６等を用いて説明した超音波振動子２と、振動子保持部材１３とから形成される。
振動子保持部材１３は略板状に形成される基部１３ａ、一つの面に突出している二つの振動子固定部１３ｂが形成される。
振動子固定部１３ｂは超音波振動子２の固定部１１ｃと接着や溶接等の手段で接合される。
【００１６】
図１に戻り、本実施形態における振動型駆動装置１について、更に詳細な説明をする。
図２に示す本実施形態の振動型駆動装置の平面図をＹ方向から見た分解斜視図を、図３に示す。
これら図１〜図３を用いて振動型駆動装置１を説明する。
振動子ユニット固定部材１４には、略図中Ｚ方向に向けて丸穴形状に形成される二つのガイド穴１４ｂが形成される。
振動子ユニット固定部材１４には、弾性部材１７と組み合わされる二つの突起部１４ｃが形成されている。
同様に振動子ユニット固定部材１５には、略図中Ｚ方向に向けて丸穴形状に形成される二つのガイド穴１５ｂが形成される。
振動子ユニット固定部材１５には、弾性部材１７と組み合わされる二つの突起部１５ｃが形成されている。
【００１７】
伝達部材１６は振動型駆動装置１の発生する出力を外部へ伝達する伝達部１６ａ、及び略図中Ｚ方向へ延出する四つの伝達ピン（略円柱状の部材）１６ｂを備える。
伝達部材１６の二つの伝達ピン１６ｂは振動子ユニット固定部材１４の二つのガイド穴（略円筒状の穴）１４ｂと嵌合されてガイド機構を形成する。
同様に、伝達ピン１６ｂと振動子ユニット固定部材１５の二つのガイド穴１５ｂとが嵌合されてガイド機構を形成する。
このように組み合わされることで、伝達部材１６に対して振動子ユニット固定部材１４及び１５は図中Ｚ方向にのみ移動可能となる。
振動子ユニット３−１、３−２で被駆動体２０を挟むように対向して配置しており、また、振動子ユニット３−１、３−２は被駆動体２０に対して図中Ｚ方向、即ち接触部の押圧方向に相対移動することが可能である。
このことから、後述するように加圧力を与えた時にその力が押圧力として作用する。
ただし、ここで示したガイド機構は丸棒と丸穴が滑るように嵌合させているために図中Ｘ方向に数〜１０マイクロメートル程度の隙間が生じることは避けられない。
ガイド機構としてはここで説明した構成に限定されず、二つの振動子ユニット固定部材１４と１５とがＸ方向にガイドされる構成を選択すれば良い。
ただし、一般的な滑りを伴う位置規制機構においては同様の隙間が避けられない。
振動子ユニット固定部材１４の二つの突起部１４ｃと振動子ユニット固定部材１５の二つの突起部１５ｃとを繋ぐように二つの弾性部材１７が配される。
この弾性部材１７により生じる弾性力で二つの振動子ユニット固定部材１４、１５が互いに引張られることで被駆動体２０と二つの超音波振動子２の突起部１１ｂとに押圧力が生じる。
【００１８】
二つの弾性部材１７は図２に示すようにＺ方向に対してＸＺ面内で角度を持つように配され、弾性部材１７はＸ方向の引張り力を発生する。
図４は伝達部材１６の伝達ピン１６ｂを含むＸＺ面における振動型駆動装置の断面を模式的に表わしたものである。
二つの弾性部材１７により振動子ユニット固定部材１４は＋Ｚ方向の力と共に＋Ｘ方向の力を受ける。
この＋Ｘ方向の力は二つのガイド穴１４ｂと伝達ピン１６ｂとの接触面に作用して、伝達部材１６に対して振動子ユニット固定部材１４が＋Ｘ方向に規制される。
同様に、二つの弾性部材１７により振動子ユニット固定部材１５は−Ｚ方向の力と共に−Ｘ方向の力を受ける。
この−Ｘ方向の力は二つのガイド穴１５ｂと伝達ピン１６ｂとの接触面に作用して、伝達部材１６に対して振動子ユニット固定部材１５が−Ｘ方向に規制される。
このように、弾性部材（加圧手段）１７によって、Ｚ方向（法線方向）に弾性力を発生させることで被駆動体における振動子の接触部との摩擦面に押圧力を与えると共に、ガイド機構に対してＸ方向（相対移動方向）の押圧力を発生させることができる。
この結果、ガイド機構に内在する隙間に起因するガタつきを抑え、二つの振動子ユニット３の駆動力をダイレクトに伝達部材１６に伝えることが可能となり、高精度の位置決め、応答性の高い振動型駆動装置１を実現することができる。
また、本実施形態の振動型駆動装置１は二つの超音波振動子２の発生力が合成されることで高出力を得ることができる。
【００１９】
図５に振動型駆動装置１を用いた駆動機構４を示す。
駆動機構４はベース部材３１、二つのガイド保持部材３２，３３、二つのガイド軸３６，３７、稼働部３５を備えている。
ガイド保持部材３２，３３はベース部材３１に固定される。二つのガイド軸３６，３７は各々の両端がガイド保持部材３２，３３に固定される。稼働部３５は二つのガイド軸３６，３７と組み合わされて図中Ｘ方向に移動可能に保持される。振動型駆動装置１の被駆動体２０はその両端をガイド保持部材３２，３３及び二つの被駆動体固定部材３４により固定される。振動型駆動装置１に備えられる伝達部材１６の固定部１６ａは稼働部３５に固定される。
超音波振動子２と被駆動体との相対移動力により稼働部３５が図中Ｘ方向に駆動される。
本発明は直動運動を発生する振動型駆動装置に限定しない。例えば、図９に示すように回転運動が得られる被駆動体２１を用いた回転運動を発生する振動型駆動装置にも適用できる。
【００２０】
（実施形態２）
実施形態２として、実施形態１のように超音波振動子を二つ用いる形態とは異なり、超音波振動子を一つ用いた振動型駆動装の構成例について、図１０、図１１を用いて説明する。
図１０は本実施形態における振動型駆動装置の分解斜視図であり、図１１は斜視図である。
本実施形態のように、必要な出力に応じて超音波振動子を１個としても、本発明は適用可能である。
なお、本実施形態において、超音波振動子１、振動子ユニット３は実施形態１で説明したものと同一である。
また、振動子ユニット固定部材（第一保持部材）１４、伝達部材１６、被駆動体２０も実施形態１で説明したものと同一である。よってこれらの構成品の説明は省略する。
【００２１】
被駆動体２０を挟んで振動子ユニット３と対向する位置に、ガイドローラ（転動部材）１８が配される。
ガイドローラ１８はガイドローラ保持部材（第二保持部材）１９により自転可能に保持される。
ガイドローラ保持部材１９には、略図中Ｚ方向に向けた丸穴形状に形成される二つのガイド穴１９ｂが形成される。
ガイドローラ保持部材１９には、弾性部材１７と組み合わされる二つの突起部１９ｃが形成されている。
伝達部材１６の二つの伝達ピン１６ｂとガイドローラ保持部材１９の二つのガイド穴１９ｂとが嵌合されてガイド機構を形成する。
このように組み合わされることでガイドローラ１８及びガイドローラ保持部材１９は被駆動体２０に対して図中Ｚ方向に移動可能となる。
【００２２】
振動子ユニット固定部材１４の二つの突起部１４ｃとガイドローラ保持部材１９の二つの突起部１９ｃとを繋ぐように二つの弾性部材１７が配される。
この弾性部材１７により生じる弾性力で振動子ユニット固定部材１４とガイドローラ保持部材１９が互いに引張られることで被駆動体２０と超音波振動子２の突起部１１ｂとに押圧力が生じる。
二つの弾性部材１７は図２に示すようにＺ方向に対してＸＺ面内で角度を持つように配され、弾性部材１７はＸ方向の引張り力を発生する。
実施形態１と同様に弾性部材１７の発生力を用いて、超音波振動子２と被駆動体２０との押圧力、及びガイド機構への図中Ｘ方向への位置関係を規制する力を発生させることができる。
この結果、振動子ユニット３の駆動力をダイレクトに伝達部材１６に伝えられるので、高精度の位置決め、応答性の高い振動型駆動装置１を実現できる。
【００２３】
（実施形態３）
実施形態３として、超音波振動子を一つ用いた振動型駆動装の上記実施形態２とは異なる形態の振動型駆動装置の構成例について、図１２、図１３を用いて説明する。
図１２は本実施形態における振動型駆動装置１の斜視図であり、図１３は分解斜視図である。
本実施形態において、超音波振動子１、振動子ユニット３及び被駆動体２０は実施形態１、２で説明したものと同じであるので説明を省略する。
また、振動子ユニット固定部材１５は実施形態１で説明したものと同じであるので説明を省略する。
【００２４】
振動型駆動装置１は振動子ユニット３−１を固定する振動子ユニット固定部材２２を備える。
振動子ユニット固定部材２２は振動子ユニット３−１を固定する固定部２２ａ、振動型駆動装置１の発生する出力を外部へ伝達する伝達部２２ｃ及び略図中Ｚ方向へ延出する二つの伝達ピン２２ｂを備える。
更に二つの突起部２２ｄを備える。
振動子ユニット３−１に備えられる超音波振動子２の発生力は、振動子ユニット固定部材２２を介して直接外部に伝達することができる。
振動子ユニット固定部材２２の二つの伝達ピン２２ｂは振動子ユニット固定部材１５のガイド穴１５ｂと嵌合されて互いにＺ方向に変位可能に組み合わされる。振動子ユニット固定部材１５の二つの突起部１５ｃと振動子ユニット固定部材２２の二つの突起部２２ｄとを繋ぐように二つの弾性部材１７が配される。
この弾性部材１７により生じる弾性力で二つの振動子ユニット固定部材１５、２２が互いに引っ張られることで被駆動体２０と二つの超音波振動子２の突起部１１ｂとに押圧力が生じる。
二つの弾性部材１７は図２に示すようにＺ方向に対してＸＺ面内で角度を持つように配され、弾性部材１７はＸ方向の引張り力を発生する。
【００２５】
図１４は、振動子ユニット固定部材２２の伝達ピン２２ｂを含むＸＺ面における振動型駆動装置の断面を模式的に表わしたものである。
二つの弾性部材１７により振動子ユニット固定部材２２は＋Ｚ方向の力と共に＋Ｘ方向の力を受け、振動子ユニット固定部材１５は−Ｚ方向の力と共に−Ｘ方向の力を受ける。
これらＸ方向の力は二つのガイド穴１５ｂと伝達ピン２２ｂとの接触面に作用して、振動子ユニット固定部材２２に対して振動子ユニット固定部材１５が−Ｘ方向に規制される。
この結果、振動子ユニット３−２の駆動力がダイレクトに振動子ユニット固定部材２２に伝えられる。
前述のように振動子ユニット３−１の駆動力はダイレクトに振動子ユニット固定部材２２に伝えられるので、二つの振動子ユニット３−、３−２の発生力をダイレクトに取り出すことができる。
この結果、高精度の位置決め、応答性の高い振動型駆動装置１を実現できる。
以上で説明した本発明の各実施形態の構成によれば、振動型駆動装置における超音波振動子の保持と出力伝達を行うガイド機構に内在する隙間に起因するガタつきを、部品点数を増加させることなく抑えることが可能となる。
これらにより、簡易で省スペースであると共に優れた位置決め精度や応答性能が得られる振動型駆動装置が実現できる。
【符号の説明】
【００２６】
１：振動型駆動装置
２：超音波振動子
３：振動子ユニット
４：駆動機構
１１：振動板
１２：圧電素子板
１３：振動子保持部材
１４：振動子ユニット固定部材（第一保持部材）
１５：振動子ユニット固定部材（第二保持部材）
１６：伝達部材
１７：弾性部材
１８：ガイドローラ
１９：ガイドローラ保持部材
２０：被駆動体
２１：被駆動体
２２：振動子ユニット固定部材
【図１】
0006049277.tif 000002
【図２】
0006049277.tif 000003
【図３】
0006049277.tif 000004
【図４】
0006049277.tif 000005
【図５】
0006049277.tif 000006
【図６】
0006049277.tif 000007
【図７】
0006049277.tif 000008
【図８】
0006049277.tif 000009
【図９】
0006049277.tif 000010
【図１０】
0006049277.tif 000011
【図１１】
0006049277.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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