(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極を備えた最下層被接合物上に貫通電極を備えた複数の上層被接合物を電極同士の位置を合わせた状態で順次積層及び接合する３次元実装方法において、前記最下層被接合物のアライメント用位置を第１の認識手段で認識して記憶し、複数の上層被接合物のアライメント用位置を第２の認識手段で順次認識し、前記記憶されている最下層被接合物のアライメント用位置を基準にして、アライメント用位置が認識された全ての上層被接合物の位置を電極が順次接続されていく所定の位置に順次合わせつつ、所定の位置に合わせられた上層被接合物を順次積層及び接合することを特徴とする３次元実装方法。
【請求項２】
前記最下層被接合物のアライメント用位置を、該最下層被接合物の上面に付されたアライメント用マークにより認識し、前記複数の上層被接合物のアライメント用位置を、各上層被接合物の下面に付されたアライメント用マークにより認識する、請求項１に記載の３次元実装方法。
【請求項３】
順次積層されていく上層被接合物毎に、積層方向における前記最下層被接合物の位置またはそれに相当する基準位置に対する実装高さを制御する、請求項１または２に記載の３次元実装方法。
【請求項４】
上層被接合物が実装位置上にあるときに上層被接合物を第２の認識手段で認識する、請求項１〜３のいずれかに記載の３次元実装方法。
【請求項５】
前記被接合物がチップまたはウエハーからなる、請求項１〜４のいずれかに記載の３次元実装方法。
【請求項６】
電極を備えた最下層被接合物上に貫通電極を備えた複数の上層被接合物を電極同士の位置を合わせた状態で順次積層及び接合する３次元実装装置において、ステージ上に保持された前記最下層被接合物のアライメント用位置を認識する第１の認識手段と、該第１の認識手段で認識された最下層被接合物のアライメント用位置を記憶する記憶手段と、前記順次積層されていく上層被接合物を保持するヘッドと前記最下層被接合物を保持した前記ステージとの相対位置を制御可能な移動手段と、前記ヘッドに保持された上層被接合物のアライメント用位置を認識する第２の認識手段と、前記記憶手段に記憶されている最下層被接合物の前記アライメント用位置を基準にして前記第２の認識手段で順次認識される全ての上層被接合物の位置を電極が順次接続されていく所定の位置に順次合わせつつ、所定の位置に合わせられた上層被接合物を順次積層及び接合する実装制御手段と、を有することを特徴とする３次元実装装置。
【請求項７】
前記最下層被接合物のアライメント用位置が、該最下層被接合物の上面に付されたアライメント用マークにより認識され、前記複数の上層被接合物のアライメント用位置が、各上層被接合物の下面に付されたアライメント用マークにより認識される、請求項６に記載の３次元実装装置。
【請求項８】
前記実装制御手段は、順次積層されていく上層被接合物毎に、積層方向における前記最下層被接合物の位置またはそれに相当する基準位置に対する実装高さを変えるように上層被接合物の積層高さ方向の位置を制御する、請求項６または７に記載の３次元実装装置。
【請求項９】
前記第２の認識手段は、上層被接合物を保持するヘッドが実装位置上にあるときに上層被接合物を認識する、請求項６〜８のいずれかに記載の３次元実装装置。
【請求項１０】
前記被接合物がチップまたはウエハーからなる、請求項６〜９のいずれかに記載の３次元実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子等の被接合物を上下方向に順次積層して接合していく３次元実装方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子の３次元実装方法として、チップの上にチップを順次積層していくＣＯＣ工法（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｃｈｉｐ）、ウエハーの上にチップを順次積層していくＣＯＷ工法（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｗａｆｅｒ）、  ウエハーの上にウエハーを順次積層していくＷＯＷ工法（Ｗａｆｅｒ  Ｏｎ  Ｗａｆｅｒ）等がある。いずれの３次元実装方法においても、下層の被接合物の電極（バンプを含む）の位置に対し上層の被接合物の電極の位置を合わせた状態で上層被接合物を順次積層、接合していく必要がある（例えば特許文献１）。【０００３】
このような３次元実装においては、従来、上層被接合物を順次積層するに際し、下層の被接合物の位置（例えば、その電極の位置やアライメントマークの位置）を上方から認識手段（例えば、ＣＣＤカメラ）で認識し、認識した下層の被接合物の位置を基準にその上に積層される上層被接合物の位置を合わせ、積層した上層被接合物の位置を上方から認識手段で認識し、認識した被接合物の位置を基準にその上に積層される上層被接合物の位置を合わせ、これらの動作を必要回数順次繰り返すことで、順次積層されていく上層被接合物の位置合わせを行っていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１１０９９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記のように順次積層された上層被接合物の位置を基準にその上に積層されていく被接合物の位置合わせを行う方法には、以下のような問題がある。
すなわち、最下層の被接合物に対し順次積層されていく上層被接合物は、通常、一面が回路面に形成され、この回路面から裏面へと貫通する電極を有している。この回路面を下面側にして、その下方に位置している被接合物に対し電極同士の位置合わせを行った後、積層し接合していく。接合されたこの上層被接合物の位置を上記回路面とは反対側の裏面側から認識し、認識した位置を基準にさらに上層の被接合物の位置を合わせて、積層、接合していく。したがって、複数の上層被接合物を積層していく途中の段階では、積層された上層被接合物の位置を常に裏面側から読み取って認識しなければならない。【０００６】
しかし、このように順次積層されていく被接合物においては、通常、回路面側はきれいで、電極の位置や位置合わせ用のアライメントマークの位置を鮮明に認識することが可能な状態にあるが、裏面側は、通常、マーク形状等がきれいに刻印あるいはプリントされていないことが多く、そのマークも微小であり、極めて読み取りにくい状態にある。したがって、裏面側から位置認識を行う方法では、認識誤差が発生しやすく、アライメントマーク等の認識誤差は、直接、実装精度の悪化につながることとなっている。また、上層被接合物の裏面のマーク基準で実装した場合では、マーク誤差は順次累積されている形となるので積層数に従い、最下層に対する実装ズレも大きくなってくる。【０００７】
そこで本発明の課題は、上記のような従来の位置認識における問題点に着目し、順次積層されていく上層被接合物を確実にかつ容易に高精度で位置合わせできるようにし、最終的な３次元組立状態での実装精度を向上可能な３次元実装方法および装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る３次元実装方法は、電極を備えた最下層被接合物上に貫通電極を備えた複数の上層被接合物を電極同士の位置を合わせた状態で順次積層及び接合する３次元実装方法において、前記最下層被接合物のアライメント用位置を第１の認識手段で認識して記憶し、複数の上層被接合物のアライメント用位置を第２の認識手段で順次認識し、前記記憶されている最下層被接合物のアライメント用位置を基準にして、アライメント用位置が認識された全ての上層被接合物の位置を電極が順次接続されていく所定の位置に順次合わせつつ、所定の位置に合わせられた上層被接合物を順次積層及び接合することを特徴とする方法からなる。
【０００９】
このような本発明に係る３次元実装方法においては、まず、最下層被接合物のアライメント用位置が認識され、その最下層被接合物の位置を基準に、順次積層されていく全ての上層被接合物の位置合わせが順次行われる。したがって、上層被接合物が何層積層されても、上層被接合物が（上層被接合物の上面〔回路面とは反対側の裏面〕側が）位置合わせのための基準となることはなく、この読み取りにくい側の面に関して位置を認識する必要はない。位置合わせのための上層被接合物のアライメント用位置は、下面側（回路面側）の読み取りやすい面で、認識されればよく、高精度の認識が可能である。その結果、全ての上層被接合物が同一の最下層被接合物のアライメント用位置を基準にして位置合わせされ、かつ、それぞれの上層被接合物の位置合わせに際して各上層被接合物のアライメント用位置を読み取りやすい下面側（回路面側）で認識すればよいことになるので、位置合わせのための認識誤差の生じる余地が無くなり、実装誤差の発生が抑制されて、安定して極めて高精度の３次元実装が可能になる。【００１０】
上記本発明に係る３次元実装方法において、より具体的には、上記最下層被接合物のアライメント用位置を第１の認識手段で認識して（上方から認識して）記憶し、複数の上層被接合物のアライメント用位置を第２の認識手段で順次認識して（下方から認識して）、アライメント用位置が認識された上層被接合物を、記憶されている最下層被接合物のアライメント用位置を基準にして順次上記所定の位置に合わせつつ順次積層及び接合する。第１の認識手段と第２の認識手段は、上下方向に視野を有する２視野の認識手段に構成してもよく、別々の認識手段に構成してもよい。
【００１１】
また、各被接合物のアライメント用位置の認識については、電極の位置や被接合物の外形位置を認識することも可能であるが、特定の形状（例えば、十字形状など）に形成された、アライメント用に付されたマークを認識するようにすれば、認識精度の向上に寄与できる。例えば、上記最下層被接合物のアライメント用位置を、該最下層被接合物の上面に付されたアライメント用マークにより認識し、上記複数の上層被接合物のアライメント用位置を、各上層被接合物の下面に付されたアライメント用マークにより認識するようにすることができる。【００１２】
また、各上層被接合物の高さは、積層が進むにつれて順次変化していくので、ヘッド等に保持された上層被接合物を最下層被接合物上にまたは最下層被接合物に積層された上層被接合物上に積層する際の加圧等のための基準高さについては、積層の進行に伴って順次変更することが好ましい。すなわち、順次積層されていく上層被接合物毎に、積層方向における上記最下層被接合物の位置またはそれに相当する基準位置に対する実装高さを制御できるようにしておくことが好ましい。【００１３】
また、上層被接合物のアライメント用位置の認識は、上層被接合物が実装位置上にあるときに上層被接合物を例えば上記第２の認識手段で認識することが好ましい。実装位置上で認識して、その認識にしたがって続いて実装することにより、実装誤差の入り込む余地が殆ど無くなり、実装精度の向上に寄与できる。ただし、例えば、上層被接合物を実装位置に搬送する途中で上層被接合物のアライメント用位置（例えば、上層被接合物を保持しているヘッドに対する上層被接合物の位置）を認識し、その認識位置に基づいて実装を行うようにすることもできる。この場合には、実装位置において上層被接合物のアライメント用位置の認識のための認識手段の進退動作を不要化可能であるので、搬送から実装までの一連の工程に要する時間の短縮が可能である。【００１４】
本発明において、被接合物としては、電極を備えた最下層被接合物上に貫通電極を備えた複数の上層被接合物を３次元実装するものであれば、あらゆる形態、あらゆる種類の被接合物を使用可能であり、代表的には、被接合物がチップまたはウエハーからなる場合である。この場合、前述のＣＯＣ工法、ＣＯＷ工法、ＷＯＷ工法のいずれも適用できる。【００１５】
本発明は、３次元実装装置についても提供する。すなわち、本発明に係る３次元実装装置は、電極を備えた最下層被接合物上に貫通電極を備えた複数の上層被接合物を電極同士の位置を合わせた状態で順次積層及び接合する３次元実装装置において、ステージ上に保持された前記最下層被接合物のアライメント用位置を認識する第１の認識手段と、該第１の認識手段で認識された最下層被接合物のアライメント用位置を記憶する記憶手段と、前記順次積層されていく上層被接合物を保持するヘッドと前記最下層被接合物を保持した前記ステージとの相対位置を制御可能な移動手段と、前記ヘッドに保持された上層被接合物のアライメント用位置を認識する第２の認識手段と、前記記憶手段に記憶されている最下層被接合物の前記アライメント用位置を基準にして前記第２の認識手段で順次認識される全ての上層被接合物の位置を電極が順次接続されていく所定の位置に順次合わせつつ、所定の位置に合わせられた上層被接合物を順次積層及び接合する実装制御手段と、を有することを特徴とするものからなる。
【００１７】
また、上記最下層被接合物のアライメント用位置が、該最下層被接合物の上面に付されたアライメント用マークにより認識され、上記複数の上層被接合物のアライメント用位置が、各上層被接合物の下面に付されたアライメント用マークにより認識されるように構成できる。【００１８】
また、上記実装制御手段としては、順次積層されていく上層被接合物毎に、積層方向における前記最下層被接合物の位置またはそれに相当する基準位置に対する実装高さを変えるように上層被接合物の積層高さ方向の位置を制御するように構成されていることが好ましい。【００１９】
また、上記第２の認識手段は、上層被接合物を保持するヘッドが実装位置上にあるときに上層被接合物を認識する手段からなることが好ましい。【００２０】
このような３次元実装装置においても、代表的な被接合物としてがチップまたはウエハーを挙げることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る３次元実装方法および装置によれば、最下層被接合物の認識位置を基準に全ての上層被接合物が順次位置合わせされ積層及び接合されていくので、従来のように読み取りにくい各上層被接合物の上面を読み取る必要がなくなり、かつ、マーク誤差が順次累積されていき、積層数に従って最下層に対する実装ズレが大きくなることも防止されて、高精度の位置合わせを容易に行うことができるようになり、実装精度の大幅な向上と高精度３次元実装の確実性の向上が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施態様に係る３次元実装装置の概略構成図である。
【図２】図１の３次元実装装置における２視野の認識手段による最下層、上層被接合物のアライメント用位置認識の状態を示す斜視図である。
【図３】本発明における上層被接合物を順次積層及び接合していく状態を示す概略構成図である。
【図４】上層被接合物の別の認識方法の例を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に、本発明の望ましい実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施態様に係る３次元実装装置を示している。３次元実装装置１は、電極２を備えた最下層被接合物としての最下層チップ３上に、貫通電極４を備えた複数の上層被接合物としての上層チップ５を複数、電極２、４同士の位置を合わせた状態で順次積層するものからなる。３次元実装装置１は、図２にも示すように、ステージ６上に保持された（例えば、吸着保持された）最下層チップ３のアライメント用位置（例えば、アライメント用マークの位置）を認識する第１の認識手段と、ヘッド７（例えば、加圧・加熱ヘッド）に保持された上層チップ５のアライメント用位置（例えば、アライメント用マークの位置）を認識する第２の認識手段とを有しており、本実施態様では、第１の認識手段と第２の認識手段が上下２方向に視野を有する２視野認識手段としての２視野カメラ８として構成されている。２視野カメラ８は、下方の最下層チップ３と上方の上層チップ５との間に、つまり、上層チップ５の実装位置に対し、必要に応じて進退できるように設けられている。
【００２４】
３次元実装装置１は、上記順次積層されていく上層チップ５を保持する上記ヘッド７と上記最下層チップ３を保持した上記ステージ６との相対位置を制御可能な移動手段を有しており、該移動手段の制御により、最下層チップ３に対して上層チップ５が位置合わせされる。本実施態様では、この位置合わせのために、ステージ６側の位置が制御されるようになっているが、ヘッド７側の位置が制御されるように構成してもよく、両側の位置が制御されるように構成してもよい。
【００２５】
そして、３次元実装装置１は、上記第１の認識手段で認識された最下層チップ３のアライメント用位置を基準にして上記第２の認識手段で認識される全ての上層チップ５の位置を貫通電極４が順次接続されていく所定の位置に順次合わせつつ、所定の位置に合わせられた上層チップ５をその下層のチップに順次積層及び接合していく実装制御手段９を有している。
【００２６】
３次元実装は、例えば図３に示すように行われる。
まず、ステージ６上に保持されている最下層チップ３のアライメント用位置（アライメント用マークの位置）が第１の認識手段（２視野カメラ８の下方に視野を有するカメラ）で認識され、その位置情報が実装制御手段９内の記憶手段に記憶される。この記憶手段に記憶された最下層チップ３のアライメント用位置情報を基準に、順次積層されていく全ての上層チップ５の位置合わせが順次行われる。上層チップ５のアライメント用位置（アライメント用マークの位置）は、第２の認識手段（２視野カメラ８の上方に視野を有するカメラ）で認識され、この認識位置情報が上記記憶手段に記憶された最下層チップ３のアライメント用位置情報と突き合わされ、電極２、４同士の位置が合うように、上層チップ５の位置が制御される。実際には、本実施態様ではステージ６側の位置が制御されるので、両位置情報に基づいて、ステージ６の位置制御が行われる。
【００２７】
全ての上層チップ５の位置が同様に位置合わせされるので、たとえ上層チップ５が何層積層される場合にあっても、全ての上層チップ５が、同一の最下層チップ３のアライメント用位置を基準に位置合わせされることになる。したがって、従来のように、順次積層されていく各上層チップ５の各上面側からの読み取り位置情報（つまり、きれいでないので読み取りにくい位置の情報）が位置合わせのために用いられることは必要なくなる。各上層チップ５の位置情報としては、読み取りやすい下面側を第２の認識手段で読み取った位置情報が用いられるので、上記位置合わせの際の誤差の発生が抑制され、位置合わせ精度、ひいてはヘッド７を下降させて行う実装の精度が大幅に向上されるとともに、所望の３次元実装を行うための確実性が大幅に向上し、実装工程の安定性、信頼性向上にも寄与できる。
【００２８】
なお、最上層となる上層チップ５については、必ずしも途中層と同様の貫通電極４である必要はない。
【００２９】
また、上記実施態様においては、上層チップ５の第２の認識手段（２視野カメラ８の上方に視野を有するカメラ）による位置認識を実装位置にてチップ下面側から行うようにしたが、例えば図４に示すように、ヘッド７に保持された上層チップ５が実装位置へと搬送されてくる途中で、上記とは別の構成を有する第２の認識手段（例えば、上方にのみ視野を有するカメラ１１）でアライメント用位置を認識し、その認識位置情報を用いて実装位置で最下層チップ３のアライメント用位置を基準に位置合わせすることも可能である。このようにすれば、上層チップ５の読み取り時間を低減可能であるので、一連の動作を有する３次元実装工程全体の時間短縮が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明に係る３次元実装方法および装置は、電極を備えた被接合物を上下方向に積層していくあらゆる３次元実装に適用可能である。
【符号の説明】
【００３１】
１  ３次元実装装置
２  電極
３  最下層被接合物としての最下層チップ
４  貫通電極
５  上層被接合物としての上層チップ
６  ステージ
７  ヘッド
８  第１の認識手段と第２の認識手段を備えた２視野認識手段としての２視野カメラ
９  実装制御手段
１１  第２の認識手段としてのカメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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