(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象が載置され、当該搬送対象を冷却する載置部と、
前記載置部に載置される搬送対象を前記載置部から搬送する搬送ロボットと、
前記搬送対象を検査するテスターとを有し、
前記搬送ロボットが、
前記載置部に載置される搬送対象を保持する保持部と、
前記載置部から前記保持部を遠ざけるアームと、
前記載置部から遠ざけられた状態で前記保持部が前記搬送対象とともに収容される第１収容体と、
乾燥しているガスを前記第１収容体内に供給する第１乾燥ガス供給部とを備え、
部品検査装置が、
前記載置部を収容する第２収容体と、
乾燥しているガスを前記第２収容体内に供給する第２乾燥ガス供給部とを有する
部品検査装置。
【請求項２】
前記部品検査装置は、
前記第１収容体と前記第２収容体とが接続される状態を有する
請求項１に記載の部品検査装置。
【請求項３】
搬送対象が載置され、当該搬送対象を冷却する載置部と、
前記載置部に載置される搬送対象を前記載置部から搬送する搬送ロボットとを有し、
前記搬送ロボットが、
前記載置部に載置される搬送対象を保持する保持部と、
前記載置部から前記保持部を遠ざけるアームと、
前記載置部から遠ざけられた状態で前記保持部が搬送対象とともに収容される第１収容体と、
乾燥しているガスを前記第１収容体内に供給する第１乾燥ガス供給部とを備え、
ハンドラーが、
前記載置部を収容する第２収容体と、
乾燥しているガスを前記第２収容体内に供給する第２乾燥ガス供給部とを有する
ハンドラー。
【請求項４】
前記載置部が、冷媒の流れる流路を有し、
前記第２乾燥ガス供給部が、前記載置部の前記流路から排出された前記冷媒を前記乾燥しているガスとして前記第２収容体に供給する
請求項３に記載のハンドラー。
【請求項５】
前記第２乾燥ガス供給部は、
前記載置部の前記流路から排出された前記冷媒を加熱する乾燥ガス加熱部を有する
請求項４に記載のハンドラー。
【請求項６】
前記第１収容体及び前記第２収容体は、
前記保持部と、前記保持部に保持された搬送対象とを通過させる開口部を有する
請求項３〜５のいずれか一項に記載のハンドラー。
【請求項７】
前記第１収容体の開口部を第１開口部とし、
前記第２収容体の開口部を第２開口部とし、
前記第１収容体は、前記第１開口部を覆う第１蓋部を有し、
前記第２収容体は、前記第２開口部を覆う第２蓋部を有し、
前記第１蓋部は、前記第１開口部を前記保持部が通過するときに開放され、
前記第２蓋部は、前記第２開口部を前記保持部が通過するときに開放される
請求項６に記載のハンドラー。
【請求項８】
前記第１収容体内の気体の性状を検出するセンサーを有し、
前記センサーの検出結果に基づいて、前記第１乾燥ガス供給部から前記第１収容体に供給される前記乾燥しているガスの流量が変えられる
請求項３〜７のいずれか一項に記載のハンドラー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品検査装置、及び、ハンドラーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体デバイス等の各種デバイスに対する電気的特性の検査には、ハンドラーによって搬送対象であるデバイスの搬送を行う部品検査装置が広く用いられている。部品検査装置では、デバイスの検査が各デバイスの使用環境に合わせた温度で行われ、例えば、０℃以下の低温環境にて行われることも少なくない。こうした低温環境下での検査を行う部品検査装置には、例えば特許文献１に記載のように、デバイスを冷却する恒温槽と、デバイスを冷却しつつ検査を行うテスターとが搭載されている。そして、部品検査装置では、恒温槽にて所定の温度にまで冷却したデバイスがテスターに搬送されて、低温での検査が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３４７３２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、部品検査装置は、一般に、常温に維持された環境中に設置されることから、恒温槽から搬出されたデバイスがテスターにまで搬送されるときに、デバイスの表面と外気との間で温度差が形成され、デバイスの表面にて結露が発生してしまう。そのため、デバイスの表面での結露を避ける上で、特許文献１に記載の部品検査装置では、恒温槽、テスター、及びデバイスの搬送空間を収容するチャンバーが形成されている。そして、このチャンバー内に、上述の温度差によって結露が生じない程度にまで乾燥された空気が供給されている。これにより、デバイスが搬送されるときにデバイスの表面での結露を抑えることができるものの、上述のチャンバーに対して乾燥ガスの供給が必要であることから、乾燥ガスの消費量が多くならざるを得ない。
【０００５】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、搬送対象の搬送に際して、消費される乾燥ガスの量を抑えつつ、搬送対象に結露が生じることを抑えられる部品検査装置、及びハンドラーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の課題を解決するため、本発明における部品検査装置の一態様は、搬送対象が載置され、当該搬送対象を冷却する載置部と、前記載置部に載置される搬送対象を前記載置部から搬送する搬送ロボットと、前記搬送対象を検査するテスターとを有し、前記搬送ロボットが、前記載置部に載置される搬送対象を保持する保持部と、前記載置部から前記保持部を遠ざけるアームと、前記載置部から遠ざけられた状態で前記保持部が前記搬送対象とともに収容される第１収容体と、乾燥しているガスを前記第１収容体内に供給する第１乾燥ガス供給部とを備え、部品検査装置が、前記載置部を収容する第２収容体と、乾燥しているガスを前記第２収容体内に供給する第２乾燥ガス供給部とを有する。
【０００７】
本発明におけるハンドラーの一態様は、搬送対象が載置され、当該搬送対象を冷却する載置部と、前記載置部に載置される搬送対象を前記載置部から搬送する搬送ロボットとを有し、前記搬送ロボットが、前記載置部に載置される搬送対象を保持する保持部と、前記
載置部から前記保持部を遠ざけるアームと、前記載置部から遠ざけられた状態で前記保持部が搬送対象とともに収容される第１収容体と、乾燥しているガスを前記第１収容体内に供給する第１乾燥ガス供給部とを備え、ハンドラーが、前記載置部を収容する第２収容体と、乾燥しているガスを前記第２収容体内に供給する第２乾燥ガス供給部とを有する。
【０００８】
本発明における部品検査装置の一態様、及びハンドラーの一態様によれば、載置部にて冷却された搬送対象の搬送を行う搬送ロボットが、保持部に保持された搬送対象を収容する第１収容体を有し、当該第１収容体の内部に、乾燥しているガスが供給される。そのため、搬送対象が搬送ロボットによって搬送されるとき、搬送対象は乾燥しているガスの供給された空間に保持され、搬送対象が収容体の外側の気体と接触することが抑えられる。それゆえに、冷却された搬送対象が搬送される空間全体に乾燥しているガスが供給されずとも、搬送対象が搬送されるときに、搬送対象の表面に生じる結露を抑えることができる。
また、本発明におけるハンドラーの一態様、及びハンドラーの一態様によれば、載置部を収容する第２収容体の内部にも乾燥しているガスが供給される。そのため、搬送対象が載置部によって冷却されているとき、冷却されている搬送対象が、乾燥しているガスの供給された空間に保持され、搬送対象が、第２収容体の外側の気体に触れにくくなる。それゆえに、搬送対象は、冷却時と搬送時との両方において乾燥しているガスの供給された空間に保持されるため、搬送対象の表面での結露がより生じにくくなる。
【０００９】
本発明における部品検査装置の他の態様は、前記部品検査装置が、前記第１収容体と前記第２収容体とが接続される状態を有する。
【００１０】
本発明における部品検査装置の他の態様によれば、載置部を収容する第２収容体と、搬送対象と保持部とを収容する第１収容体とが接続されるため、搬送対象が収容体及び収容ボックスの外側の気体と接触することがより抑えられる。それゆえに、搬送対象の表面に生じる結露がより抑えられる。
【００１３】
本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記載置部が、冷媒の流れる流路を有し、前記第２乾燥ガス供給部が、前記載置部の前記流路から排出された前記冷媒を前記乾燥しているガスとして前記第２収容体に供給する。
【００１４】
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第２乾燥ガス供給部が、載置部から排出された冷媒を第２収容部に供給することで、第２収容部内に供給される乾燥しているガスとして用いる。そのため、載置部での搬送対象の冷却に用いられる冷媒と、第２収容部に供給される乾燥しているガスとを各別のガスとして準備する場合と比べて、ガスの供給に関わる構成を簡単にしつつ、搬送対象の冷却と、第２収容部への乾燥しているガスの供給との両方を行うことができる。
【００１５】
本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記第２乾燥ガス供給部が、前記載置部の前記流路から排出された前記冷媒を加熱する乾燥ガス加熱部を有する。
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第２乾燥ガス供給部が冷媒を加熱する乾燥ガス加熱部を有しているため、この乾燥ガス加熱部にて加熱された冷媒が上述の乾燥しているガスとして第２収容部に供給される。これにより、第２収容部内に供給されたガスの温度が露点以下となることがより抑えられるため、第２収容部内の搬送対象の表面にて結露が生じにくくなる。また、第２収容部の外表面を構成する部材の温度が、第２収容部の外部雰囲気における露点以下になることが抑えられやすくなり、第２収容部の外表面を構成する部材での結露も生じにくくなる。
【００１６】
本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記第１収容体及び前記第２収容体が、前記保持部と、前記保持部に保持された搬送対象とを通過させる開口部を有する。
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第１収容体と第２収容体とが、搬送ロボットの保持部、及び保持部に保持された搬送対象を通過させる開口部を有している。そのため、載置部に載置された搬送対象が第１収容体内に収容されるときには、第２収容体に形成された開口部と、第１収容体に形成された開口部とを介して搬送対象が搬送されることになる。それゆえに、第１収容体や第２収容体そのものが開閉することで、載置部から第１収容体への搬送を行う構成と比べて、第１収容体及び第２収容体の構成をより簡易なものとすることができる。加えて、搬送対象が、第１収容体及び第２収容体の外側の気体と接触することがより抑えられ、ひいては、搬送対象の表面に結露がより生じにくくなる。
【００１７】
本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記第１収容体の開口部を第１開口部とし、前記第２収容体の開口部を第２開口部とし、前記第１収容体は、前記第１開口部を覆う第１蓋部を有し、前記第２収容体は、前記第２開口部を覆う第２蓋部を有し、前記第１蓋部は、前記第１開口部を前記保持部が通過するときに開放され、前記第２蓋部は、前記第２開口部を前記保持部が通過するときに開放される。
【００１８】
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第１収容体が第１開口部を覆う第１蓋部を有し、第２収容体が第２開口部を覆う第２蓋部を有している。そして、保持部が第１開口部を通過するときに第１蓋部が開放され、保持部が第２開口部を通過するときに第２蓋部が開放される。そのため、第１収容体及び第２収容体が蓋部を有していない場合と比べて、第１収容体内及び第２収容体内には、第１収容体及び第２収容体の外側の気体が混入しにくくなる。それゆえに、第１収容体内及び第２収容体内は、乾燥されているガスで満たされやすくなるため、第１収容体内及び第２収容体内に収容された搬送対象の表面に結露が生じにくくなる。
【００１９】
本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記第１収容体内の気体の性状を検出するセンサーを有し、前記センサーの検出結果に基づいて、前記第１乾燥ガス供給部から前記第１収容体に供給される前記乾燥しているガスの流量が変えられる。
【００２０】
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第１収容体内の気体の性状、例えば、温度や湿度等を検出するセンサーを有している。そして、このセンサーの検出結果に基づいて、第１乾燥ガス供給部から第１収容体に供給される乾燥しているガスの流量が変えられる。そのため、こうしたセンサーを有していない構成と比べて、第１収容体内に供給される乾燥しているガスの流量には、センサーの検出時における第１収容室内の性状が反映されることになる。それゆえに、第１収容室内の気体の性状が所定の条件に維持されやすくなり、ひいては、第１収容体内は、搬送対象の表面に結露を生じさせない環境に保たれやすくなる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明における部品検査装置を具体化した第１実施形態の各構成要素の配置を示す装置構成図。
【図２】第１実施形態におけるハンドラーの備える冷却部の流路系統示す系統図。
【図３】第１実施形態におけるハンドラーの備える搬送ロボット及び第１シャトルの部分構成を示す構成図。
【図４】第１実施形態におけるハンドラーの電気的構成を示す電気ブロック図。
【図５】第１実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。
【図６】第１実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。
【図７】第１実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。
【図８】本発明における部品検査装置を具体化した第２実施形態における搬送ロボット及び第１シャトルの部分構成を示す構成図。
【図９】第２実施形態におけるハンドラーの電気的構成を示す電気ブロック図。
【図１０】第２実施形態におけるハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。
【図１１】第２実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。
【図１２】第２実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。
【図１３】第２実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。
【図１４】第２実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。
【図１５】第２実施形態のハンドラーによるデバイスの搬送態様を示す作用図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
［第１実施形態］
以下、本発明における部品検査装置、及びハンドラーの第１実施形態について、図１〜図７を参照して説明する。まず、ハンドラー及び部品検査装置の全体構成について図１を参照して説明する。
【００２３】
［ハンドラー及び部品検査装置の構成］
図１に示されるように、ハンドラー１０の基台１１には、各種ロボットの搭載される搭載面１１ａが上面として設けられ、搭載面１１ａの大部分は、カバー部材１２によって覆われている。搭載面１１ａとカバー部材１２とにより囲まれた空間である搬送空間には、常温である例えば１８℃に維持された大気が外部から供給されている。
【００２４】
基台１１の搭載面１１ａには、カバー部材１２の外側と内側との間で搬送対象としてのデバイスＴを搬送する４つのコンベアーＣ１〜Ｃ４が配列されている。このうち、コンベアーＣ１〜Ｃ４の配列方向であるＸ方向の一方側には、カバー部材１２の外側から内側に向かって検査前のデバイスＴを搬送する供給用コンベアーＣ１が敷設され、Ｘ方向の他方側には、カバー部材１２の内側から外側に向かって検査後のデバイスＴを搬送する回収用コンベアーＣ２，Ｃ３，Ｃ４が敷設されている。これらのコンベアーＣ１〜Ｃ４では、複数のデバイスＴが各コンベアーＣ１〜Ｃ４上のデバイストレイＣ１ａ〜Ｃ４ａに収容された状態で搬送される。
【００２５】
また、搬送空間を構成する搭載面１１ａの略中央には、搭載面１１ａを貫通する矩形状の開口部１３が形成され、開口部１３には、デバイスＴの電気的特性を検査するテスターのテストヘッド１４が取り付けられている。テストヘッド１４の上面には、デバイスＴの嵌め込まれる検査用ソケット１４ａが取り付けられ、また、テストヘッド１４は、基台１１の内部に収容されたテスターの検査回路に電気的に接続されている。
【００２６】
そして、搭載面１１ａにおけるＸ方向と直交するＹ方向には、検査前及び検査後のデバイスＴが一時的に載置される第１シャトル１５と第２シャトル１６とが、開口部１３を挟んで対向するように配設されている。これらのシャトル１５，１６は、Ｘ方向に延びるように形成され、シャトル１５，１６の上面における供給用コンベアーＣ１側には、検査前のデバイスＴが収容される供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａがそれぞれ固定されている。他方、シャトル１５，１６の上面における回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４側には、検査後のデバイスＴが収容される回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂがそれぞれ固定されている。また、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａ及び回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂの各々の上面には、デバイスＴを収容する複数のデバイスポケット１５ｐ，１６ｐが形成されている。そして、シャトル１５，１６は、搭載面１１ａに固定されたＸ方向に延びるシャトルガイド１５ｃ，１６ｃにそれぞれ連結され、Ｘ方向に沿って往動及び復動する。なお、上述の検査用ソケット１４ａ、シャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂが載置部を構成している。
【００２７】
基台１１の搭載面１１ａ上には、検査用ソケット１４ａ、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａ、及び回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂの各々にデバイスＴを搬送するロボット機構が搭載されている。そして、ロボット機構を構成する供給ロボット２０、搬送ロボット３０、及び回収ロボット４０の動作に合わせて、上述のシャトル１５，１６はシャトルガイド１５ｃ，１６ｃに沿って移動する。
【００２８】
供給ロボット２０は、供給用コンベアーＣ１上のデバイストレイＣ１ａから、シャトル１５，１６上の供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａに検査前のデバイスＴを搬送するロボットであり、供給用コンベアーＣ１のＹ方向に配置されている。詳しくは、供給ロボット２０は、Ｙ方向に延びる固定軸である供給側固定ガイド２１と、供給側固定ガイド２１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された供給側可動ガイド２２と、供給側可動ガイド２２に対してＸ方向に往動及び復動可能に連結された供給用ハンドユニット２３とを有している。また、供給用ハンドユニット２３は、デバイスＴを吸着する吸着部を下端に有し、搭載面１１ａ対して下降及び上昇可能に供給側可動ガイド２２に連結されている。そして、供給側可動ガイド２２及び供給用ハンドユニット２３の移動により、デバイストレイＣ１ａに載置されたデバイスＴが、供給用ハンドユニット２３の吸着部に吸着された状態で搬送され、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａに載置される。
【００２９】
回収ロボット４０は、シャトル１５，１６上の回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂから、回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４上のデバイストレイＣ２ａ〜Ｃ４ａに検査後のデバイスＴを搬送するロボットであり、回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４のＹ方向に配置されている。詳しくは、回収ロボット４０は、上述の供給ロボット２０と同様、Ｙ方向に延びる固定軸である回収側固定ガイド４１と、回収側固定ガイド４１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された回収側可動ガイド４２と、回収側可動ガイド４２に対してＸ方向に往動及び復動可能に連結された回収用ハンドユニット４３とを有している。また、回収用ハンドユニット４３は、デバイスＴを吸着する吸着部を下端に有し、搭載面１１ａに対して下降及び上昇可能に回収側可動ガイド４２に連結されている。そして、回収側可動ガイド４２及び回収用ハンドユニット４３の移動により、回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂに載置されたデバイスＴが、回収用ハンドユニット４３の吸着部に吸着されて搬送され、デバイストレイＣ２ａ〜Ｃ４ａに載置される。
【００３０】
搬送ロボット３０は、搬送空間の略中央に設置されたＹ方向に延びる固定軸である搬送ガイド３１と、搬送ガイド３１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された第１搬送ユニット３２と、同じく搬送ガイド３１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された第２搬送ユニット３３とを有している。このうち、第１搬送ユニット３２は、第１シャトル１５上とテストヘッド１４上との間を往復し、第２搬送ユニット３３は、第２シャトル１６上とテストヘッド１４上との間を往復する。また、第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３の各々は、デバイスＴを吸着する吸着部を下端に有し、搭載面１１ａ対して下降及び上昇可能に搬送ガイド３１に連結されている。
【００３１】
そして、第１搬送ユニット３２は、第１シャトル１５上の供給用シャトルプレート１５ａに載置された検査前のデバイスＴを吸着部に吸着して搬送し、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに所定の押圧力で嵌め込む。検査用ソケット１４ａの底面には、デバイスＴの雄端子と嵌合可能な複数の雌端子が凹設され、デバイスＴの有する雄端子が検査用ソケット１４ａの雌端子に嵌め込まれることによって、デバイスＴの電気的特性がテスターにより検査可能になる。テスターは、ハンドラー１０から検査開始の指令を受けてデバイスＴの検査を開始し、その検査結果とともに検査の終了を示す信号をハンドラー１０に出力する。こうしてデバイスＴの検査が終了すると、第１搬送ユニット３２は、検査後のデバイスＴをテストヘッド１４の検査用ソケット１４ａから第１シャトル１５上の回収用シャトルプレート１５ｂへ搬送する。
【００３２】
同様に、第２搬送ユニット３３は、第２シャトル１６上の供給用シャトルプレート１６ａに載置された検査前のデバイスＴを吸着部に吸着して搬送し、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに所定の押圧力で嵌め込む。そして、テスターによるデバイスＴの検査が終了すると、第２搬送ユニット３３は、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａから第２シャトル１６上の回収用シャトルプレート１６ｂへ検査後のデバイスＴを搬送する。このような第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３によるテストヘッド１４へのデバイスＴの搬送は交互に行われ、テストヘッド１４に搬送されたデバイスＴがテスターによって順次検査される。
【００３３】
なお、供給用ハンドユニット２３、回収用ハンドユニット４３、第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３は、複数のデバイスＴを同時に吸着保持するものであり、各々の吸着部は、例えば真空吸着によってデバイスＴを吸着するエンドエフェクターである。
【００３４】
ここで、本実施形態では、第１シャトル１５の周囲に、第１シャトル１５と供給用シャトルプレート１５ａ及び回収用シャトルプレート１５ｂとを収容する第１収容ボックス５１が配設されている。同様に、開口部１３及び開口部１３に取り付けられたテストヘッド１４の周囲には、テストヘッド１４及び検査用ソケット１４ａを収容する検査ボックス５２が配設されている。さらに、第２シャトル１６の周囲には、第２シャトル１６と供給用シャトルプレート１６ａ及び回収用シャトルプレート１６ｂとを収容する第２収容ボックス５３が配設されている。なお、第１収容ボックス５１は、第１シャトル１５とともにＸ方向に往動及び復動し、また、第２収容ボックス５３は、第２シャトル１６とともにＸ方向に往動及び復動する。そして、第２収容体を構成する第１収容ボックス５１、検査ボックス５２、及び第２収容ボックス５３の各々において、各ボックス５１〜５３内に収容された各部材及びデバイスＴの冷却が行われる。
【００３５】
［冷却部の構成］
上述の各部材及びデバイスＴの冷却を行う冷却部について、図２を参照して説明する。なお、上述の第１収容ボックス５１、検査ボックス５２、及び第２収容ボックス５３の各々にて冷却を行う冷却部は、各冷却部の搭載された位置や冷却対象が異なるものの、冷却対象を冷却する冷媒の流路系統の構成は同様であるため、以下では、第１収容ボックス５１の冷却部についてのみ説明する。
【００３６】
第１収容ボックス５１内に配設された第１シャトル１５の内部には、冷媒としての冷却ガスの流れる流路が形成され、この流路の入口には、図２に示されるように、冷却ガス供給部６１が接続されている。冷却ガス供給部６１は、例えば、液体窒素の貯蔵タンク、流量制御弁、及び気化器からなり、液体窒素の気化により生じた０℃以下、例えば−４５℃の窒素ガスを第１シャトル１５内の流路に供給する。冷却ガス供給部６１の供給する窒素ガスの温度は、当該窒素ガスの供給される環境の温度よりも低い。
【００３７】
そして、第１シャトル１５内の流路に冷却ガス供給部６１から窒素ガスが供給されると、第１シャトル１５が冷却され、次いで、第１シャトル１５を介して、供給用シャトルプレート１５ａ、及び回収用シャトルプレート１５ｂが冷却される。
【００３８】
第１シャトル１５内に形成された流路の出口には、第１シャトル１５の内部を通過した冷却ガスを加熱する乾燥ガス加熱部としての冷却ガス加熱部６２が接続され、冷却ガス加熱部６２の出口には、第１収容ボックス５１が接続されている。冷却ガス加熱部６２は、例えば、冷却ガスよりも高温の気体との間で熱交換を行う熱交換器であり、第１シャトル１５内の流路から排出された冷却ガスを例えば常温にまで加熱し、加熱された冷却ガスを第１収容ボックス５１内に供給する。
【００３９】
これにより、第１収容ボックス５１内に供給されたガスの温度が露点以下なることがより抑えられるため、第１収容ボックス５１内に収容されたデバイスＴの表面にて結露が生じにくくなる。また、第１収容ボックス５１の外表面を構成する部材の温度が、第１収容ボックス５１の外気における露点以下となることが抑えられやすくなり、第１収容ボックス５１の外表面を構成する部材での結露も生じにくくなる。加えて、冷却ガス加熱部６２は、冷却ガスの温度を第１収容ボックス５１の外気における露点以上となるように加熱する。そのため、第１収容ボックス５１内のデバイスＴ、及び第１収容ボックス５１の外表面を構成する部材には、より結露が生じにくくなる。
【００４０】
このように、本実施形態では、第１シャトル１５、シャトルプレート１５ａ，１５ｂ、冷却ガス供給部６１、及び冷却ガス加熱部６２が冷却部を構成している。そして、冷却ガス供給部６１及び冷却ガス加熱部６２が、第２乾燥ガス供給部を構成している。
【００４１】
［搬送ロボット及び収容ボックスの構成］
上述した搬送ロボット３０の構成、特に、搬送ロボット３０の有する搬送ユニット３２，３３及び各ボックス５１〜５３の構成について、図３を参照して説明する。なお、図３には、第１シャトル１５のＸ方向への移動と、第１搬送ユニット３２のＹ方向への移動とにより、第１搬送ユニット３２が第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａの直上に位置した状態が示されている。
【００４２】
また、第１搬送ユニット３２と第２搬送ユニット３３とでは、配設位置や搬送の対象となるデバイスＴ等が異なるものの、デバイスＴを搬送するための構成は同様であるため、以下では、第１搬送ユニット３２についてのみ説明する。そして、第１収容ボックス５１と第２収容ボックス５３とでは、配設位置が異なるものの、内部に搭載されたデバイスＴを収容するための構成は同様であるため、以下では、第１収容ボックス５１についてのみ説明する。さらに、第１収容ボックス５１と検査ボックス５２とでは、配設位置及びボックス内に収容された部材が異なるものの、ボックスに囲まれた空間内にデバイスＴを収容する点では共通であることから、第１収容ボックス５１についての説明により、検査ボックス５２についての説明に代えることとする。
【００４３】
図３に示されるように、第１収容ボックス５１は、第１シャトル１５と供給用シャトルプレート１５ａとを内部に収容する箱体状をなしている。第１収容ボックス５１における第１搬送ユニット３２との対向面である上面には、デバイスポケット１５ｐの直上にデバイスＴの通過可能な第２開口部としての矩形状の開口部５１ｈが形成されている。
【００４４】
第１搬送ユニット３２は、搬送ガイド３１に対してＹ方向への往動及び復動が可能に接続された水平移動アーム７１、水平移動アーム７１に固定された支持部７２、支持部７２に対して相対移動が可能に接続され、Ｙ方向に直交するＺ方向に下降及び上昇するアームとしての垂直移動アーム７３を有している。加えて、第１搬送ユニット３２は、垂直移動アーム７３の下端に接続された保持部としての吸着部７４と、水平移動アーム７１に固定された例えば箱体状の第１収容体としてのアームボックス７５を有している。垂直移動アーム７３は、下降によってシャトルプレート１５ａ，１５ｂに近付き、他方、上昇によってシャトルプレート１５ａ，１５ｂから遠ざかる。
【００４５】
アームボックス７５の上面には、円柱状の支持部７２が挿通される例えば円筒形状の挿通孔７５ａが形成され、支持部７２の外周面と挿通孔７５ａの内周面との間はシール部材等により密封されている。また、アームボックス７５における基台１１との対向面である下面には、デバイスＴを吸着した、あるいは吸着していない吸着部７４が通過できる第１開口部としての矩形状の開口部７５ｈが形成されている。なお、上述した第１収容ボックス５１の開口部５１ｈとアームボックス７５の開口部７５ｈとは、略同一の形状であるものの、デバイスＴを吸着した、あるいは吸着していない吸着部７４が通過可能な大きさであれば同一の形状でなくともよい。
【００４６】
アームボックス７５におけるＺ方向の長さは、支持部７２、最上位置である搬送位置にある垂直移動アーム７３、吸着部７４、及びデバイスＴをアームボックス７５の内部に収容可能な長さである。また、アームボックス７５におけるＺ方向の長さは、第１搬送ユニット３２が第１収容ボックス５１の直上に位置したときに、アームボックス７５の下面と第１収容ボックス５１の上面との間に隙間を形成する長さである。
【００４７】
なお、第１収容ボックス５１及びアームボックス７５にはドライエアーが供給され、これらボックス５１，７５の内部は、それぞれのボックス５１，７５の外部に対して正圧状態となっている。そのため、第１収容ボックス５１の開口部５１ｈ及びアームボックス７５の開口部７５ｈからはドライエアーが流れ出ている。それゆえに、開口部５１ｈから第１収容ボックス５１内に外気が侵入すること、及び開口部７５ｈからアームボックス７５内に外気が侵入することが抑えられる。
【００４８】
そして、アームボックス７５の下面と第１収容ボックス５１の上面との間に形成される隙間は、開口部７５ｈと開口部５１ｈとが対向して配置されるときに、これら開口部７５ｈ，５１ｈから流れ出ているドライエアーによって満たされる大きさである。よって、デバイスＴが第１収容ボックス５１からアームボックス７５に、あるいは、アームボックス７５から第１収容ボックス５１に受け渡される際には、上述の隙間が、ドライエアーによって満たされた状態になる。これにより、アームボックス７５及び第１収容ボックス５１の隙間に位置したデバイスＴが、外気に接触することが抑えられる。
【００４９】
ちなみに、アームボックス７５は、垂直移動アーム７３の位置が、搬送位置と、搬送位置から所定の距離だけ下降した位置である収容位置との間にあるときに、支持部７２、垂直移動アーム７３、吸着部７４、及びデバイスＴを収容する。
【００５０】
アームボックス７５には、アームボックス７５の内部にドライエアーを供給する第１乾燥ガス供給部としてのドライエアー供給部７６が、ドライエアーの流量を調節するエアーバルブ７７を介して接続されている。ドライエアー供給部７６は、例えば、コンプレッサーと乾燥器とを有し、水分量の調節された圧縮空気をアームボックス７５内に供給する。ドライエアー供給部７６が供給する圧縮空気の露点は、各ボックスにてデバイスＴが到達する最低の温度より低い。
【００５１】
［部品検査装置の電気的構成］
部品検査装置の電気的構成について図４を参照して説明する。なお、以下では、部品検査装置を構成するハンドラー１０に搭載された搬送ユニット３２，３３及びシャトル１５，１６の動作に関わる電気的構成について説明し、それ以外の電気的構成についての説明は割愛する。また、搬送ユニット３２，３３の各々の動作に関わる電気的構成は、制御の対象が異なるものの構成要素ごとの機能が同様であるため、第１搬送ユニット３２の動作に関わる電気的構成について説明し、第２搬送ユニット３３の動作に関わる電気的構成についての説明を割愛する。そして、シャトル１５，１６の各々の動作にかかわる電気的構成は、制御対象が異なるものの構成要素ごとの機能が同様であるため、第１シャトル１５の動作に関わる電気的構成について説明し、第２シャトル１６の動作に関わる電気的構成についての説明は割愛する。
【００５２】
図４に示されるように、部品検査装置には、上述のロボット機構を構成する各ロボット２０，３０，４０や各コンベアーＣ１〜Ｃ４の動作を制御する制御装置８０が搭載されている。制御装置８０は、中央処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリ（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリ（ＲＡＭ）を有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。
【００５３】
制御装置８０には、第１搬送ユニット３２を駆動させる第１搬送ユニット駆動部８１が接続され、第１搬送ユニット駆動部８１は、スライドモーター駆動部８１ａ、上下動モーター駆動部８１ｂ、吸着バルブ駆動部８１ｃ、及び、エアーバルブ駆動部８１ｄにより構成されている。
【００５４】
このうちスライドモーター駆動部８１ａは、制御装置８０から入力された駆動指令に基づいて駆動電流を生成し、スライドモーター７１Ｍに出力する。スライドモーター７１Ｍは、入力された駆動電流に応じて正回転あるいは逆回転し、これにより、水平移動アーム７１がＹ方向に往動あるいは復動する。上下動モーター駆動部８１ｂは、制御装置８０から入力された駆動指令に基づいて駆動電流を生成し、上下動モーター７３Ｍに出力する。上下動モーター７３Ｍは、入力された駆動電流に応じて正回転あるいは逆回転し、これにより、垂直移動アーム７３が、Ｚ方向に下降あるいは上昇する。
【００５５】
吸着バルブ駆動部８１ｃは、制御装置８０から入力された開閉指令に基づいて駆動電圧を生成し、吸着部７４によるデバイスＴの吸着動作を制御する吸着バルブ７４Ｖに出力する。吸着バルブ７４Ｖは、入力された駆動電圧に応じて開弁することにより、デバイスＴの吸着を開始する、あるいは、閉弁することによりデバイスＴの吸着を終了する。
【００５６】
エアーバルブ駆動部８１ｄは、制御装置８０から入力された開閉指令に基づいて駆動電圧を生成し、上述のエアーバルブ７７に出力する。エアーバルブ７７は、入力された駆動電圧に応じて開弁することで、アームボックス７５内にドライエアーの供給を開始する、あるいは、閉弁することで、アームボックス７５内へのドライエアーの供給を停止する。
【００５７】
また、制御装置８０には、第１シャトル１５を駆動させる第１シャトル駆動部８２が接続され、第１シャトル駆動部８２は、シャトルモーター駆動部８２ａを有している。シャトルモーター駆動部８２ａは、制御装置８０から入力された駆動指令に基づいて駆動電流を生成し、シャトルモーター１５Ｍに出力する。シャトルモーター１５Ｍは、入力された駆動電流に応じて正回転あるいは逆回転し、これにより、第１シャトル１５がＸ方向に往動あるいは復動する。
【００５８】
［ハンドラー及び部品検査装置の搬送動作］
上述したハンドラー及び部品検査装置の第１搬送ユニット３２が、第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａに収容されたデバイスＴをテストヘッド１４に搬送するときの動作について、図５〜図７を参照して説明する。なお、第１搬送ユニット３２が、テストヘッド１４に収容されたデバイスＴを回収用シャトルプレート１５ｂに搬送するときの動作は、搬送の経路が異なるものの、デバイスＴの搬送に関わる各部の動作方向や動作順序が以下に説明する動作と概ね同様であるため、その説明を割愛する。また、第２搬送ユニット３３が、第２シャトル１６の供給用シャトルプレート１６ａ、回収用シャトルプレート１６ｂ、及びテストヘッド１４の間でデバイスＴを搬送するときの動作も、搬送に関わる部材や搬送の経路が異なるものの、デバイスＴの搬送に関わる各部の動作方向や動作順序が以下に説明する動作と概ね同様であることから、その説明を割愛する。
【００５９】
まず、第１シャトル１５内の流路には、冷却ガス供給部６１から窒素ガスが供給され、第１シャトル１５を介して、供給用シャトルプレート１５ａ、及び回収用シャトルプレート１５ｂが冷却されている。また、第１シャトル１５内の流路から排出された冷却ガスが、冷却ガス加熱部６２によって常温にまで加熱され、加熱された冷却ガスが、第１収容ボックス５１内に供給されている。そして、テストヘッド１４内の流路には、第１シャトル１５と同様、冷却ガス供給部から窒素ガスが供給され、テストヘッド１４を介して検査用ソケット１４ａが冷却されている。また、テストヘッド１４の流路から排出された冷却ガスが、冷却ガス加熱部によって常温にまで加熱され、加熱された冷却ガスが、検査ボックス５２内に供給されている。
【００６０】
この状態から、デバイスＴが第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａからテストヘッド１４に搬送されるとき、まず、制御装置８０は、開弁指令をエアーバルブ駆動部８１ｄに出力し、エアーバルブ駆動部８１ｄによるエアーバルブ７７の開弁によって、アームボックス７５内にドライエアーの供給を開始する。
【００６１】
次いで、制御装置８０は、シャトルモーター１５Ｍを駆動するための駆動信号をシャトルモーター駆動部８２ａに出力し、シャトルモーター駆動部８２ａによるシャトルモーター１５Ｍの駆動によって、第１シャトル１５上の供給用シャトルプレート１５ａを搬送ガイド３１の直下に配置する。
【００６２】
続いて、制御装置８０は、スライドモーター７１Ｍを駆動するための駆動信号をスライドモーター駆動部８１ａに出力し、スライドモーター駆動部８１ａによるスライドモーター７１Ｍの駆動により、水平移動アーム７１をＹ方向に移動させる。これにより、図５に示されるように、第１搬送ユニット３２が、第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａの直上に配置され、アームボックス７５の開口部７５ｈと第１収容ボックス５１の開口部５１ｈとが対向する。
【００６３】
開口部７５ｈと開口部５１ｈとが対向すると、制御装置８０は、上下動モーター７３Ｍを駆動するための駆動信号を上下動モーター駆動部８１ｂに出力し、上下動モーター駆動部８１ｂによる上下動モーター７３Ｍの駆動によって、垂直移動アーム７３を下降させる。これにより、供給用シャトルプレート１５ａにて冷却されているデバイスＴと吸着部７４とが接する。そして、制御装置８０は、吸着バルブ７４Ｖを開弁させるための駆動信号を吸着バルブ駆動部８１ｃに出力し、吸着バルブ駆動部８１ｃによる吸着バルブ７４Ｖの開弁によって、デバイスＴを吸着部７４に吸着させる。
【００６４】
続いて、制御装置８０は、上下動モーター７３Ｍを駆動するための駆動信号を上下動モーター駆動部８１ｂに出力し、上下動モーター駆動部８１ｂによる上下動モーター７３Ｍの駆動によって垂直移動アーム７３を上昇させる。これにより、吸着部７４に吸着されたデバイスＴをアームボックス７５内に収容させる。
【００６５】
この際、吸着部７４に吸着されたデバイスＴは、アームボックス７５に供給されるドライエアー、及び第１収容ボックス５１に供給される加熱された冷却ガスに触れ、且つ、アームボックス７５の外側の気体である外気、及び第１収容ボックス５１の外側の気体である外気には触れにくくなる。そのため、冷却されたデバイスＴが搬送される空間全体にドライエアーが供給されずとも、デバイスＴが搬送されるときに、デバイスＴの表面に生じる結露を抑えることができる。
【００６６】
そして、制御装置８０は、スライドモーター７１Ｍを駆動するための駆動信号をスライドモーター駆動部８１ａに出力し、スライドモーター駆動部８１ａによるスライドモーター７１Ｍの駆動によって、水平移動アーム７１をＹ方向に移動させる。これにより、図６に示されるように、第１搬送ユニット３２は、デバイスＴがアームボックス７５に収容された状態で、第１シャトル１５の直上からテストヘッド１４の直上に向かって移動する。
【００６７】
図７に示されるように、第１搬送ユニット３２がテストヘッド１４の直上に位置し、アームボックス７５の開口部７５ｈと検査ボックス５２の開口部とが対向すると、制御装置８０は、上下動モーター７３Ｍを駆動するための駆動信号を上下動モーター駆動部８１ｂに出力し、上下動モーター駆動部８１ｂによる上下動モーター７３Ｍの駆動によって、垂直移動アーム７３を下降させる。これにより、吸着部７４に吸着されたデバイスＴが、所定の押圧力でテストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに押し付けられる。
【００６８】
この際、吸着部７４に吸着されたデバイスＴは、アームボックス７５に供給されるドライエアー、及び検査ボックス５２に供給される加熱された冷却ガスに触れ、且つ、アームボックス７５の外側の気体、及び検査ボックス５２の外側の気体には触れにくくなる。そのため、冷却されたデバイスＴが搬送される空間全体にドライエアーが供給されずとも、デバイスＴが搬送されるときに、デバイスＴの表面に生じる結露を抑えることができる。
【００６９】
そして、デバイスＴの検査が終了すると、制御装置８０は上下動モーター７３Ｍを駆動するための駆動信号を生成して出力し、上下動モーター駆動部８１ｂが駆動信号に基づいて上下動モーター７３Ｍを駆動させる。これにより、垂直移動アーム７３が上昇し、吸着部７４に吸着されたデバイスＴがアームボックス７５内に収容される。
【００７０】
以上説明したように、部品検査装置及びハンドラーの第１実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。
（１）シャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａにて冷却されたデバイスＴの搬送を行う搬送ロボット３０が、吸着部７４に保持されたデバイスＴを収容するアームボックス７５を有し、アームボックス７５の内部に、ドライエアーが供給される。そのため、デバイスＴが搬送ロボット３０によって搬送されるとき、デバイスＴはドライエアーの供給された空間に保持され、アームボックス７５の外側の気体とデバイスＴとが接触しにくくなる。それゆえに、冷却されたデバイスＴが搬送される空間全体にドライエアーが供給されずとも、デバイスＴが搬送されるときに、デバイスＴの表面に生じる結露を抑えることができる。
【００７１】
（２）各ボックス５１〜５３の内部にもドライエアーが供給される。そのため、デバイスＴがシャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａによって冷却されているとき、冷却されているデバイスＴが、ドライエアーの供給された空間に保持され、デバイスＴが、各ボックス５１〜５３の外側の気体に触れにくくなる。それゆえに、デバイスＴは、冷却時と搬送時との両方においてドライエアーの供給された空間に保持されるため、デバイスＴの表面での結露がより生じにくくなる。
【００７２】
（３）シャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａから排出された冷却ガスが、各ボックス５１〜５３に供給される。これにより、冷却ガスが、各ボックス５１〜５３内に供給されるドライエアーとして用いられる。そのため、シャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａでのデバイスＴの冷却に用いられる冷却ガスと、各ボックス５１〜５３に供給されるドライエアーとが各別のガスとして準備される場合と比べて、ガスの供給に関わる構成が簡単になる。
【００７３】
（４）冷却ガスを加熱する冷却ガス加熱部６２が設けられているため、この冷却ガス加熱部６２にて加熱された冷却ガスがドライエアーとして各ボックス５１〜５３に供給される。これにより、各ボックス５１〜５３内に供給されたドライエアーの温度が露点以下となることがより抑えられるため、各ボックス５１〜５３内のデバイスＴの表面にて結露が生じにくくなる。また、各ボックス５１〜５３の外表面を構成する部材の温度が、各ボックス５１〜５３の外部雰囲気における露点以下になることが抑えられ、各ボックス５１〜５３の外表面を構成する部材での結露も生じにくくなる。
【００７４】
（５）アームボックス７５、及び各ボックス５１〜５３が、搬送ロボット３０の吸着部７４、及び吸着部７４に保持されたデバイスＴを通過させる開口部を有している。そのため、デバイスＴがアームボックス７５内に収容されるときには、各ボックス５１〜５３に形成された開口部と、アームボックス７５に形成された開口部７５ｈとを介してデバイスＴが搬送されることになる。それゆえに、アームボックス７５や各ボックス５１〜５３そのものが開閉することで、シャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａからアームボックス７５への搬送を行う構成と比べて、アームボックス７５及び各ボックス５１〜５３の構成をより簡易なものとすることができる。加えて、デバイスＴが、アームボックス７５及び各ボックス５１〜５３の外側の気体と接触することがより抑えられ、ひいては、デバイスＴの表面に結露がより生じにくくなる。
【００７５】
［第２実施形態］
以下、本発明における部品検査装置、及びハンドラーの第２実施形態について、図８〜図１５を参照して説明する。なお、第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置は、上述の第１実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置と比べて、搬送ロボット３０の搬送ユニット３２，３３、及び各ボックス５１〜５３の構成が異なっている。そのため、以下では、これらの構成について説明し、その他の構成については説明を割愛する。
【００７６】
［搬送ロボット及び収容ボックスの構成］
図８に示されるように、第１収容ボックス５１は、第１実施形態と同様、第１シャトル１５と供給用シャトルプレート１５ａとを内部に収容する箱体状をなしている。第１収容ボックス５１の上面におけるデバイスポケット１５ｐの直上に第１搬送ユニット３２の吸着部７４の通過可能な矩形状の開口部５１ｈを有している。加えて、第１収容ボックス５１は、開口部５１ｈを覆う第２蓋部としての蓋部５１ａを有し、蓋部５１ａは、Ｘ方向に延びる矩形状をなす２枚の板部材５１ｂ，５１ｃと、板部材５１ｂ，５１ｃの各々を駆動する図示されないボックス用開閉シリンダーとを有している。本実施形態では、第１収容ボックス５１と蓋部５１ａとが、第２収容体を構成している。
【００７７】
そして、ボックス用開閉シリンダーに蓋部５１ａを開くための開放圧力が加えられると、ボックス用開閉シリンダーが収縮することで、板部材５１ｂ，５１ｃの各々が第１収容ボックス５１内に収容される。他方、ボックス用開閉シリンダーに蓋部５１ａを閉じるための閉鎖圧力が加えられると、ボックス用開閉シリンダーが伸長することで、板部材５１ｂ，５１ｃの各々が第１収容ボックス５１内から開口部５１ｈに向かって突き出る。これにより、板部材５１ｂ，５１ｃにおけるＸ方向に延びる突出端同士が接することで、板部材５１ｂ，５１ｃによって開口部５１ｈが覆われる。
【００７８】
第１搬送ユニット３２は、上述した第１実施形態と同様、水平移動アーム７１、支持部７２、垂直移動アーム７３、吸着部７４、及びアームボックス７５を有し、アームボックス７５には、エアーバルブ７７を介してドライエアー供給部７６が接続されている。
【００７９】
加えて、第１搬送ユニット３２のアームボックス７５は、上述の開口部７５ｈを覆う第１蓋部としての蓋部７５ｂを有している。蓋部７５ｂは、Ｘ方向に延びる矩形状をなす２枚の板部材７５ｃ，７５ｄと、板部材７５ｃ，７５ｄの各々を駆動する図示されないアーム用開閉シリンダーとを有している。本実施形態では、アームボックス７５と蓋部７５ｂとが、第１収容体を構成している。
【００８０】
そして、アーム用開閉シリンダーに蓋部７５ｂを開くための開放圧力が加えられると、アーム用開閉シリンダーが収縮し、板部材７５ｃ，７５ｄの各々がアームボックス７５内に収容される。他方、アーム用開閉シリンダーに蓋部７５ｂを閉じるための閉鎖圧力が加えられると、アーム用開閉シリンダーが伸長し、板部材７５ｃ，７５ｄの各々が、アームボックス７５内から開口部７５ｈに向かって突き出る。これにより、板部材７５ｃ，７５ｄにおけるＸ方向に延びる突出端同士が接することで、板部材７５ｃ，７５ｄによって開口部７５ｈが覆われる。
【００８１】
［部品検査装置の電気的構成］
部品検査装置の電気的構成について図９を参照して説明する。なお、第２実施形態における電気的構成は、上述の第１実施形態における電気的構成と比べて、アームボックス７５の蓋部７５ｂの動作を制御する電気的構成と、第１収容ボックス５１の動作を制御する電気的構成とを有する点が異なる。そのため、以下では、こうした相違点について詳しく説明する。
【００８２】
図９に示されるように、部品検査装置には、第１実施形態と同様、制御装置８０が搭載され、制御装置８０には、第１搬送ユニット駆動部８１、及び第１シャトル駆動部８２が接続されている。このうち、第１搬送ユニット駆動部８１は、スライドモーター駆動部８１ａ、上下動モーター駆動部８１ｂ、吸着バルブ駆動部８１ｃ、エアーバルブ駆動部８１ｄ、及び、アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅから構成されている。
【００８３】
アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅは、制御装置８０から入力された駆動指令に基づいてアーム用開閉シリンダー９１の作動圧である開放圧力あるいは閉鎖圧力を生成し、アーム用開閉シリンダー９１に出力する。アーム用開閉シリンダー９１は、入力された作動圧に応じて収縮あるいは伸長し、これにより、アームボックス７５の蓋部７５ｂが開放あるいは閉鎖される。
【００８４】
また、第１シャトル駆動部８２は、上述の第１実施形態と同様、シャトルモーター駆動部８２ａを有している。
そして、制御装置８０には、第１収容ボックス駆動部８３が接続され、第１収容ボックス駆動部８３は、ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａを有している。ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａは、制御装置８０から入力された駆動指令に基づいてボックス用開閉シリンダー９２の作動圧である開放圧力あるいは閉鎖圧力を生成し、ボックス用開閉シリンダー９２に出力する。ボックス用開閉シリンダー９２は、入力された作動圧に応じて収縮あるいは伸長し、これにより、第１収容ボックス５１の蓋部５１ａが開放あるいは閉鎖される。
【００８５】
［ハンドラー及び部品検査装置の搬送動作］
上述したハンドラー及び部品検査装置の第１搬送ユニット３２が、第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａに収容されたデバイスＴをテストヘッド１４に搬送するときの動作について、図１０〜図１５を参照して説明する。なお、第２実施形態における搬送動作は、上述の第１実施形態における搬送動作と比べて、アームボックス７５の蓋部７５ｂ及び第１収容ボックス５１の蓋部５１ａの開放及び閉鎖が行われる点が異なる。そのため、以下では、こうした相違点について詳しく説明する。
【００８６】
まず、上述した第１実施形態と同様、第１シャトル１５内の流路には、冷却ガス供給部６１から窒素ガスが供給され、第１シャトル１５を介して、供給用シャトルプレート１５ａ、及び回収用シャトルプレート１５ｂが冷却されている。また、第１シャトル１５内の流路から排出された冷却ガスが、冷却ガス加熱部６２によって常温にまで加熱され、加熱された冷却ガスが、第１収容ボックス５１内に供給されている。そして、同じく第１実施形態と同様、テストヘッド１４内の流路には、冷却ガス供給部から窒素ガスが供給され、テストヘッド１４を介して検査用ソケット１４ａが冷却されている。また、テストヘッド１４の流路から排出された冷却ガスが、冷却ガス加熱部によって常温にまで加熱され、加熱された冷却ガスが、検査ボックス５２内に供給されている。
【００８７】
また、第１搬送ユニット３２のアーム用開閉シリンダー９１、及び第１収容ボックス５１のボックス用開閉シリンダー９２には閉鎖圧力が供給され、蓋部７５ｂ，５１ａが閉鎖されている。また、検査ボックス５２の開閉シリンダーにも閉鎖圧力が供給され、蓋部５２ａが閉鎖されている。なお、これら蓋部５１ａ，５２ａの各々の閉鎖は、各ボックス５１，５２に加熱された冷却ガスが所定の時間供給され、こうしたボックス内のパージの後に行われる。また、蓋部７５ｂの閉鎖も同じく、アームボックス７５にドライエアーが所定の時間供給され、こうしたアームボックス７５内のパージの後に行われる。
【００８８】
次いで、デバイスＴが第１シャトル１５の供給用シャトルプレート１５ａからテストヘッド１４に搬送されるとき、上述した第１実施形態と同様、図１０に示されるように、まず、第１シャトル１５がＸ方向に移動することによって、供給用シャトルプレート１５ａが搬送ガイド３１の直下に位置する。また、水平移動アーム７１がＹ方向に移動することによって、第１搬送ユニット３２が、供給用シャトルプレート１５ａの直上に位置する。
【００８９】
続いて、制御装置８０は、アーム用開閉シリンダー９１を駆動するための駆動信号をアーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅに出力し、アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅによるアーム用開閉シリンダー９１の収縮により蓋部７５ｂを開放する。また、制御装置８０は、ボックス用開閉シリンダー９２を駆動するための駆動信号をボックス用開閉シリンダー９２に出力し、ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａが駆動信号によるボックス用開閉シリンダー９２の収縮により蓋部５１ａを開放する。
【００９０】
この際、蓋部７５ｂが開放され続けている場合と比べて、アームボックス７５の内部に外気が混入しにくくなる。また、蓋部５１ａが開放され続けている場合と比べて、第１収容ボックス５１の内部に外気が混入しにくくなる。そのため、蓋部５１ａ，７５ｂを有しない構成と比べて、デバイスＴの周囲においてドライエアーの濃度を高めること、デバイスＴの搬送先となる空間の各々において加熱された冷却ガスの濃度を高めることが可能になる。しかも、アームボックス７５及び第１収容ボックス５１の各々の内部の圧力は、蓋部５１ａ，７５ｂが開放され続ける場合と比べて、蓋部５１ａ，７５ｂの閉鎖により高められる。そのため、蓋部５１ａ，７５ｂの各々が開放される際にも、アームボックス７５及び第１収容ボックス５１の各々の内部に外気が混入することを抑えることが可能である。
【００９１】
次いで、図１１に示されるように、垂直移動アーム７３が下降し、吸着部７４が供給用シャトルプレート１５ａに収容されたデバイスＴを吸着する。そして、垂直移動アーム７３が上昇することで、吸着部７４に吸着されたデバイスＴがアームボックス７５内に収容される。
【００９２】
続いて、制御装置８０は、アーム用開閉シリンダー９１を駆動するための駆動信号をアーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅに出力し、アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅによるアーム用開閉シリンダー９１の伸長により蓋部７５ｂを閉鎖する。また、制御装置８０は、ボックス用開閉シリンダー９２を駆動するための駆動信号をボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａに出力し、ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａによるボックス用開閉シリンダー９２の伸長により蓋部５１ａを閉鎖する。次いで、水平移動アーム７１がＹ方向に移動することで、図１２に示されるように、第１搬送ユニット３２が、デバイスＴをアームボックス７５に収容した状態で第１シャトル１５の直上からテストヘッド１４の直上に向かって移動する。
【００９３】
そして、図１３に示されるように、第１搬送ユニット３２がテストヘッド１４の直上に位置し、アームボックス７５の蓋部７５ｂと検査ボックス５２の蓋部５２ａとが対向する。続いて、制御装置８０は、アーム用開閉シリンダー９１を駆動するための駆動信号をアーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅに出力し、アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅによるアーム用開閉シリンダー９１の収縮により蓋部７５ｂを開放する。また、制御装置８０は、ボックス用開閉シリンダー９２を駆動するための駆動信号をボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａに出力し、ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａによるボックス用開閉シリンダー９２の収縮により蓋部５１ａを開放する。
【００９４】
次いで、図１４に示されるように、垂直移動アーム７３が下降し、吸着部７４に吸着されたデバイスＴが所定の押圧力でテストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに押し付けられる。そして、デバイスＴの検査が終了すると、垂直移動アーム７３が上昇し、吸着部７４に吸着されたデバイスＴがアームボックス７５内に収容される。
【００９５】
そして、制御装置８０がアーム用開閉シリンダー９１を駆動するための駆動信号を生成して出力し、アーム用開閉シリンダー駆動部８１ｅが駆動信号に基づいてアーム用開閉シリンダー９１を伸長させる。また、制御装置８０がボックス用開閉シリンダー９２を駆動するための駆動信号を生成して出力し、ボックス用開閉シリンダー駆動部８３ａが駆動信号に基づいてボックス用開閉シリンダー９２を収縮させる。これにより、蓋部７５ｂ，５１ａが閉鎖される。
【００９６】
以上説明したように、部品検査装置及びハンドラーの第２実施形態によれば、上述の第１実施形態によって得られる効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
（６）アームボックス７５が開口部７５ｈを覆う蓋部７５ｂを有し、各ボックス５１〜５３が開口部を覆う蓋部を有し、吸着部７４がこれら開口部を通過するときに蓋部が開放される。そのため、アームボックス７５及び各ボックス５１〜５３が蓋部を有していない場合と比べて、アームボックス７５内及び各ボックス５１〜５３内には、これらの外側の気体が混入しにくくなる。それゆえに、アームボックス７５内及び各ボックス５１〜５３内は、ドライエアーで満たされやすくなるため、アームボックス７５内及び各ボックス５１〜５３内に収容されたデバイスＴの表面に結露が生じにくくなる。
【００９７】
なお、上述の第１実施形態及び第２実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・アームボックス７５にデバイスＴが収容される期間は、水平移動アーム７１の移動によってデバイスＴが搬送されている期間の全てであってもよく、また当該期間の一部分であってもよい。要は、デバイスＴの搬送期間における少なくとも一部において、デバイスＴがアームボックス７５内に収容されればよい。
【００９８】
・冷却部を収容するボックスの数量は、１つ又は２つであってもよく、あるいは４つ以上であってもよい。こうしたボックスが設けられていない構成と比較して、ボックスが１つ以上設けられている分だけ、デバイスＴには結露が生じにくくなる。
【０１００】
・冷却ガス供給用の供給部とドライエアー供給用の供給部とが、各別に設けられていてもよい。こうした構成であっても、上述の（１）、（２）、（４）、（５）に準じた効果を得ることができる。
【０１０１】
・冷却ガス加熱部６２は、冷却ガスの温度を外気における露点よりも低い温度に加熱してもよい。こうした構成であっても、第１収容ボックス５１内に収容されたデバイスＴの表面での結露、及び第１収容ボックス５１の外表面での結露は、加熱しない場合と比べて抑えることができる。
【０１０２】
・冷却ガス加熱部６２が割愛された構成であってもよく、こうした構成であっても、上述の（１）〜（３）、（５）に準じた効果を得ることができる。
・第２実施形態では、アームボックス７５に設けられた蓋部７５ｂを割愛したり、各ボックス５１〜５３に設けられた蓋部の一部、あるいは全てを割愛したりしてもよい。つまり、蓋部が全く設けられていない構成と比べて、蓋部のいずれかが設けられている構成であれば、その分だけ上述の（５）に準じた効果を得ることができる。
【０１０３】
・ハンドラー１０の搬送空間には、ドライエアーが供給されていてもよい。こうした構成であっても、アームボックス７５や各ボックス５１〜５３が設けられていれば、ハンドラー１０及び部品検査装置のメンテナンス等に際して、部品検査装置の設置された環境中の雰囲気が流入し、部品検査装置内部の湿度が高められたとしても、アームボックス７５やボックス５１〜５３内はドライエアーが維持されやすくなる。そのため、デバイスＴの表面に結露が生じることを抑えられる。
【０１０４】
また、アームボックス７５内及び各ボックス５１〜５３内にドライエアーが維持されていれば、デバイスＴの搬送等を行うことができるため、こうした構成を備えていない場合と比べて、部品検査装置内の環境を乾燥した状態に復帰させるために供給するドライエアーを必要としない分、ドライエアーの消費量を抑えることができる。また、こうした部品検査装置内の環境を復帰させるための時間も必要としない、あるいは、アームボックス７５及び各ボックス５１〜５３内の環境を復帰させるための時間で足りるため、部品検査装置の稼働効率を高めることもできる。
【０１０５】
・冷却ガス供給部６１には、第１シャトル１５を冷却するガスとして窒素ガスを供給する構成以外にも、例えば、窒素ガスで冷却された圧縮空気を第１シャトル１５に対して供給する構成を採用することもできる。
【０１０６】
・冷却ガス加熱部６２は、冷却ガスの加熱を行う熱交換器以外に、冷却ガスの乾燥を行う乾燥器を有した構成であってもよい。
・アームボックス７５内に供給されるドライエアーは圧縮空気に限らず、例えば窒素ガス等であってもよい。
【０１０７】
・ドライエアー供給部７６の接続先は、アームボックス７５でなくともよく、要は、ドライエアー供給部７６におけるドライエアーの供給口が、アームボックス７５の内部空間にドライエアーを供給可能な箇所に設けられていればよい。
【０１０８】
・ドライエアー供給部７６の供給管は、搬送ロボット３０内を通過している構成であってもよい。
・アームボックス７５には、アームボックス７５内の気体の性状、例えば、温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも１つを検出するセンサーが取り付けられてもよい。そして、制御装置８０は、センサーの検出する検出値に基づいて、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を調節してもよい。
【０１０９】
この場合、ドライエアー供給部７６とアームボックス７５との間に取り付けられたエアーバルブ７７が、その開度が変更されることによって、アームボックス７５に供給されるドライエアーの流量が所定の流量以下に絞られる絞り弁として機能してもよい。あるいは、ドライエアー供給部７６とアームボックス７５との間には、エアーバルブ７７に加えて、アームボックス７５に供給されるドライエアーの流量が所定の流量以下に絞られる絞り弁が連結されてもよい。また、ドライエアー供給部７６とアームボックス７５との間には、アームボックス７５に供給されるドライエアーの圧力を所定の範囲に調節するレギュレーターが連結されてもよい。
【０１１０】
さらには、アームボックス７５にドライエアーを供給する配管が、相対的に高い流量のドライエアーを供給する配管と、相対的に低い流量のドライエアーを供給する配管とに分岐されていてもよい。例えば、相対的に高い流量のドライエアーを供給する配管と、相対的に低い流量のドライエアーを供給する配管とが、アームボックス７５に対して並列に接続されて、こうした流量の違いが各配管に連結される絞り弁によって調整されてもよい。
【０１１１】
また、アームボックス７５にドライエアーを供給する配管が、相対的に高い圧力のドライエアーを供給する配管と、相対的に低い圧力のドライエアーを供給する配管とに分岐されていてもよい。例えば、相対的に高い圧力のドライエアーを供給する配管と、相対的に低い圧力のドライエアーを供給する配管とが、アームボックス７５に対して並列に接続されて、こうした圧力の違いが各配管に連結されるレギュレーターによって調整されてもよい。なお、相対的に高い流量のドライエアーを供給する配管が、相対的に高い圧力のドライエアーを供給する配管を兼ねてもよく、また、相対的に低い流量のドライエアーを供給する配管が、相対的に低い圧力のドライエアーを供給する配管を兼ねてもよい。
【０１１２】
そして、アームボックス７５に取り付けられるセンサーの検出する検出値に基づいて、アームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を以下のように制御する。
例えば、アームボックス７５内で結露が生じない程度の温度の範囲をアームボックス７５内での温度の基準範囲とし、アームボックス７５内の温度が基準範囲を下回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の温度が基準範囲を上回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。また、アームボックス７５内の温度が基準範囲内で下がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の温度が基準範囲内で上がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。
【０１１３】
例えば、後続するデバイスＴの温度の調整に支障を来すことのない程度の温度範囲をアームボックス７５内での温度の基準範囲とし、アームボックス７５内の温度が基準範囲を下回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の温度が基準範囲を上回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。また、アームボックス７５内の温度が基準範囲内で下がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の温度が基準範囲内で上がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。
【０１１４】
例えば、アームボックス７５内で結露が生じない程度の相対湿度又は絶対湿度の範囲をアームボックス７５内での湿度の基準範囲とし、アームボックス７５内の相対湿度又は絶対湿度が基準範囲を下回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。反対に、アームボックス７５内の湿度が基準範囲を上回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。また、アームボックス７５内の相対湿度又は絶対湿度が基準範囲内で下がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。反対に、アームボックス７５内の湿度が基準範囲内で上がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。
【０１１５】
例えば、アームボックス７５内の圧力のうち、アームボックス７５内に入る外気の流量がデバイスＴの温度の制御に影響しない程度である範囲をアームボックス７５内での圧力の基準範囲とする。そして、アームボックス７５内の圧力が基準範囲を下回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の圧力が基準範囲を上回るとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。また、アームボックス７５内の圧力が基準範囲内で下がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス７５内の圧力が基準範囲内で上がるとき、制御装置８０は、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を下げる。
【０１１６】
また、例えば、センサーの検出値が基準範囲に到るまでは、ドライエアーの供給流量を相対的に大きくし、且つ、基準範囲に到ったところで相対的に小さくしてもよい。なお、こうしたドライエアーの供給流量の切り替えは、開始時からの経過時間に基づいて行うようにしてもよい。
【０１１７】
なお、上述の変形例にてアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量の調節は、上述した温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力のうち２以上の性状に基づいて行われてもよい。
【０１１８】
これにより、以下に記載の効果を得ることができる。
（６）アームボックス７５内には、温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも１つを検出するセンサーが取り付けられている。そして、制御装置８０は、このセンサーの検出結果に基づいて、ドライエアー供給部７６からアームボックス７５に供給されるドライエアーの流量を変える。そのため、こうしたセンサーを有していない構成と比べて、アームボックス７５内に供給されるドライエアーの流量には、センサーの検出時におけるアームボックス７５内の温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも１つが反映されることになる。それゆえに、アームボックス７５内の温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも１つが所定の範囲に維持されやすくなる。結果として、アームボックス７５内は、デバイスＴの表面に結露を生じさせない環境に保たれやすくなる。また、アームボックス７５内は、デバイスＴの温度の制御に適した環境に保たれやすくなる。
【０１１９】
（７）アームボックス７５の内部と外部との差圧が基準範囲を上回るときに、ドライエアーの流量を下げるため、アームボックス７５内の圧力が高められることによってデバイスＴの温度が上昇することを抑えられる。これに対して、こうした圧力の制御を行わない構成であれば、アームボックス７５内に流入するドライエアーの温度を相対的に低くすることによってデバイスＴの温度が上昇することを抑える必要がある。つまり、こうした構成と比べて、上述の構成によれば、アームボックス７５内の圧力によってデバイスＴの温度の制御に負荷がかかることを抑えられる。
【０１２０】
また、アームボックス７５の内部と外部との差圧が基準範囲を下回るときに、ドライエアーの流量を上げるため、アームボックス７５内の圧力が低くなることによってデバイスＴの温度が低下することを抑えられる。そのため、こうした圧力の制御を行わない構成と比べて、アームボックス７５内の圧力によってデバイスＴの温度の制御に負荷がかかることを抑えられる。加えて、アームボックス７５の内部への外気の流入を抑えることで、アームボックス７５内の湿度が高くなることを抑えられる。
【０１２１】
・第１収容ボックス５１、検査ボックス５２、及び第２収容ボックス５３にも、アームボックス７５と同様、これらボックス５１〜５３内の温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも１つを検出するセンサーが取り付けられてもよい。この場合にも、上述と同等の態様にて冷却ガス加熱部６２から供給されるガスの流量が調節されればよい。なお、センサーや絞り弁等は、上述のボックス５１〜５３の全てに取り付けられてもよいし、ボックス５１〜５３のいずれか１つ、あるいはいずれか２つの取り付けられてもよい。こうした構成によれば、各ボックス５１〜５３にて、上述のアームボックス７５での効果と同等の効果を得ることができる。
【０１２２】
・第２実施形態では、アームボックス７５の蓋部７５ｂと、各ボックス５１〜５３の蓋部とは、２枚の板部材を有する構成としたが、１枚の板部材によって開口部が覆われる構成であってもよい。また、アームボックス７５の蓋部７５ｂと、各ボックス５１〜５３の蓋部とは、開閉シリンダーからの作動圧によって駆動される構成であるが、それ以外のアクチュエーターによって駆動される構成であってもよい。要は、アームボックス７５に形成された開口部７５ｈや、各ボックス５１〜５３に形成された開口部を覆う部材を備え、この部材が駆動されることによって、蓋部が開放及び閉鎖されることで、吸着部７４が通過できる状態と、通過できない状態となる構成が蓋部として設けられていればよい。
【０１２３】
・第１搬送ユニット３２が第１収容ボックス５１の直上に位置したときに、支持部７２に対するアームボックス７５の相対的な位置が、第１収容ボックス５１側に移動することで、アームボックス７５の下面と第１収容ボックス５１の上面とが接する構成でもよい。また、第１搬送ユニット３２が第１収容ボックス５１の直上に位置したときに、アームボックス７５におけるＺ方向の長さが伸長することで、アームボックス７５の下面と第１収容ボックス５１の上面とが接する構成でもよい。これにより、アームボックス７５と第１収容ボックス５１とが接続される、つまり、アームボックス７５の開口部７５ｈと第１収容ボックス５１の開口部５１ｈとを介して、各ボックスの内部空間が接続される。このため、デバイスＴがアームボックス７５及び第１収容ボックス５１の外側の気体と接触することがより抑えられ、ひいては、デバイスＴの表面に生じる結露がより抑えられる。
【０１２４】
・アームボックス７５におけるＺ方向の長さ、及び第１収容ボックス５１のＺ方向における長さは、第１搬送ユニット３２が第１収容ボックス５１の直上に位置したときに、アームボックス７５の下面と第１収容ボックス５１の上面とが接する長さでもよい。これにより、アームボックス７５と第１収容ボックス５１とが接続されるため、デバイスＴがアームボックス７５及び第１収容ボックス５１の外側の気体と接触することがより抑えられ、ひいては、デバイスＴの表面に生じる結露がより抑えられる。
【０１２５】
・アームボックス７５には、開口部７５ｈが形成されていなくともよく、アームボックスそのものが開閉することによって、吸着部７４及びデバイスＴを内部に収容することと、内部から搬出することとを行う構成でもよい。
【０１２６】
・各ボックス５１〜５３には、開口部が形成されていなくともよく、各ボックス５１〜５３そのものが開閉することによって、吸着部７４及びデバイスＴを内部に収容することと、内部から搬出することとを行う構成でもよい。
【０１２７】
・吸着部７４は、垂直移動アーム７３の下端以外の位置に取り付けられていてもよい。
・ハンドラー１０は、載置部を構成するシャトルプレート１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ、及び検査用ソケット１４ａに向けて下降するアームと、載置部から上昇するアームとが各別に設けられた構成であってもよい。
【０１２８】
・アームボックス７５には、垂直移動アーム７３が収容されていなくともよく、少なくとも吸着部７４とデバイスＴとが収容されればよい。
・搬送ユニット３２，３３は、デバイスＴを保持する保持部として真空吸着以外の方法にてデバイスＴを保持する保持部を有してもよい。
【０１２９】
・ハンドラー１０の搬送対象、及び部品検査装置の検査対象は上述したデバイスＴに限らず、ハンドラー１０によって搬送することの可能な搬送対象であればよい。また、部品検査装置の行う検査も上述した電気的特性の検査に限らず、搬送対象に応じた検査であってもよい。
【符号の説明】
【０１３０】
１０…ハンドラー、１１…基台、１１ａ…搭載面、１２…カバー部材、１３…開口部、１４…テストヘッド、１４ａ…検査用ソケット、１５…第１シャトル、１５ａ，１６ａ…供給用シャトルプレート、１５ｂ，１６ｂ…回収用シャトルプレート、１５ｃ，１６ｃ…シャトルガイド、１５Ｍ…シャトルモーター、１５ｐ，１６ｐ…デバイスポケット、２０…供給ロボット、２１…供給側固定ガイド、２２…供給側可動ガイド、２３…供給側ハンドユニット、３０…搬送ロボット、３１…搬送ガイド、３２…第１搬送ユニット、３３…第２搬送ユニット、４０…回収ロボット、４１…回収側固定ガイド、４２…回収側可動ガイド、４３…回収側ハンドユニット、５１…第１収容ボックス、５１ａ，７５ｂ…蓋部、５１ｈ…開口部、５２…検査ボックス、５３…第２収容ボックス、６１…冷却ガス供給部、６２…冷却ガス加熱部、７１…水平移動アーム、７１Ｍ…スライドモーター、７２…支持部、７３…垂直移動アーム、７３Ｍ…上下動モーター、７４…吸着部、７４Ｖ…吸着バルブ、７５…アームボックス、７５ａ…挿通孔、７５ｈ…開口部、７６…ドライエアー供給部、７７…エアーバルブ、８０…制御装置、８１…第１搬送ユニット駆動部、８１ａ…スライドモーター駆動部、８１ｂ…上下動モーター駆動部、８１ｃ…吸着バルブ駆動部、８１ｄ…エアーバルブ駆動部、８１ｅ…アーム用開閉シリンダー駆動部、８２…第１シャトル駆動部、８２ａ…シャトルモーター駆動部、８３…第１収容ボックス駆動部、８３ａ…ボックス用開閉シリンダー駆動部、９１…アーム用開閉シリンダー、９２…ボックス用開閉シリンダー、Ｃ１…供給用コンベアー、Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４…回収用コンベアー、Ｃ１ａ，Ｃ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａ…デバイストレイ、Ｔ…デバイス。
【図１】
0005874427.tif 000002
【図２】
0005874427.tif 000003
【図３】
0005874427.tif 000004
【図４】
0005874427.tif 000005
【図５】
0005874427.tif 000006
【図６】
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【図７】
0005874427.tif 000008
【図８】
0005874427.tif 000009
【図９】
0005874427.tif 000010
【図１０】
0005874427.tif 000011
【図１１】
0005874427.tif 000012
【図１２】
0005874427.tif 000013
【図１３】
0005874427.tif 000014
【図１４】
0005874427.tif 000015
【図１５】
0005874427.tif 000016