(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
原料ガス及びキャリアガスの供給を受けてナノカーボン材料を成長させる反応管と、
前記反応管に接続され、前記ナノカーボン材料と前記キャリアガスとのエアロゾル状の混合体が通過する連結管と、
前記連結管に接続され、前記混合体から前記ナノカーボン材料を回収する回収管と、を備え、
前記回収管は、
前記キャリアガスを上方に流す一方で、前記ナノカーボン材料を重力沈降によって下方に落下させて前記混合体から分離する前記連結管との接続部分と、
前記連結管との接続部分よりも上方に位置し、前記混合体に含まれる前記キャリアガスを外部に排出する排出部と、
前記連結管との接続部分よりも下方に位置し、重力沈降によって前記混合体から分離した前記ナノカーボン材料を捕捉する捕捉部と、を有するナノカーボン材料製造装置。
【請求項２】
前記排出部には、前記ナノカーボン材料を遮断するフィルタが設けられている請求項１記載のナノカーボン材料製造装置。
【請求項３】
前記連結管は、前記混合体が前記反応管から前記回収管に向かって下降しながら流れるように傾斜している請求項１又は２記載のナノカーボン材料製造装置。
【請求項４】
前記反応管は、
触媒担体を内部に有し、前記触媒担体周りの前記ナノカーボン材料の成長が行われ、前記キャリアガスによる前記触媒担体の攪拌によって前記触媒担体からの前記ナノカーボン材料の剥離がなされる主反応部と、
前記主反応部の上方に位置し、前記キャリアガスに同伴されずに落下する前記触媒担体と前記キャリアガスに同伴される前記剥離されたナノカーボン材料の分離がなされる分離部と、を有し、
前記分離部の断面積は、前記主反応部の断面積よりも大きくなっている請求項１〜３のいずれか一項記載のナノカーボン材料製造装置。
【請求項５】
前記反応管は、
前記分離部の上方に位置し、前記連結管との接続部分となる導入部を更に有し、
前記分離部の断面積は、前記導入部の断面積よりも大きくなっている請求項４記載のナノカーボン材料製造装置。
【請求項６】
前記回収管の断面積は、前記連結管の断面積よりも大きくなっている請求項１〜５のいずれか一項記載のナノカーボン材料製造装置。
【請求項７】
前記回収管は、前記捕捉部で捕捉された前記ナノカーボン材料を外部に開放する開放弁を更に備える請求項１〜６のいずれか一項記載のナノカーボン材料製造装置。
【請求項８】
反応管において、原料ガス及びキャリアガスの供給を受けてナノカーボン材料を成長させる成長工程と、
前記ナノカーボン材料と前記キャリアガスとのエアロゾル状の混合体を、前記反応管に接続された連結管に通過させる通過工程と、
前記連結管に接続された回収管において、前記混合体から前記ナノカーボン材料を回収する回収工程と、を備え、
前記回収工程において、前記連結管と前記回収管との接続部分から、前記混合体に含まれる前記キャリアガスを上方に流し外部に排出する一方で、前記ナノカーボン材料を重力沈降によって下方に落下させて前記混合体から分離し捕捉する、ナノカーボン材料の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ナノカーボン材料製造装置及びそれを用いたナノカーボン材料の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の分野の技術として、例えば特許文献１に記載のカーボンナノチューブの製造装置がある。この装置では、反応管の上部から、炭素源及び触媒を含む原料ガスと、キャリアガスとを供給することにより、反応管を下降する過程でカーボンナノチューブを成長、合成している（いわゆる気相流動法）。また、特許文献２に記載のナノカーボン材料の製造装置では、反応部において、触媒担体に炭素原料及び流動ガスを供給することにより、ナノカーボン材料を成長させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００９／０８１６４５号パンフレット
【特許文献２】特開２００８−１８８５６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば特許文献１に記載のカーボンナノチューブの製造装置では、反応管で成長したカーボンナノチューブは、キャリアガスの流れに乗って回収装置に送られる。この回収装置は、反応管の下部に設けられた排出管にフィルタを備えており、このフィルタによってカーボンナノチューブが捕捉される。しかしながら、１つのフィルタの捕捉量を超えた多量のカーボンナノチューブを回収するには、フィルタを逐次交換する必要があり、回収作業が煩雑であった。【０００５】
また、特許文献２に記載のナノカーボン材料の製造装置では、反応部で触媒担体上に成長させたナノカーボン材料は触媒担体ごと回収装置で回収される。この回収処理の後、ナノカーボン材料を触媒担体と分離するために酸処理などによって精製する必要があり、回収作業が煩雑であった。したがって、従来のナノカーボン材料の回収装置では、多量のナノカーボン材料を容易に回収できる技術が求められていた。【０００６】
本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、多量のナノカーボン材料を容易に回収することができるナノカーボン材料製造装置及びそれを用いたナノカーボン材料の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の課題を解決するため、本発明のナノカーボン材料製造装置は、原料ガス及びキャリアガスの供給を受けてナノカーボン材料を成長させる反応管と、反応管に接続され、ナノカーボン材料とキャリアガスとのエアロゾル状の混合体が通過する連結管と、連結管に接続され、混合体からナノカーボン材料を回収する回収管と、を備え、回収管は、連結管との接続部分よりも上方に位置し、混合体に含まれるキャリアガスを外部に排出する排出部と、連結管との接続部分よりも下方に位置し、重力沈降によって混合体から分離したナノカーボン材料を捕捉する捕捉部と、を有することを特徴とする。【０００８】
このナノカーボン材料製造装置では、反応管で成長したナノカーボン材料は、キャリアガスの流れに乗って混合体として連結管を通過し、回収管に送られる。ここで、このナノカーボン材料製造装置では、連結管との接続部分よりも上方に排出部が設けられ、連結管との接続部分よりも下方に捕捉部が設けられている。したがって、混合体に含まれるキャリアガスは、接続部分から上方に流れて排出部から排出される一方で、混合体中のナノカーボン材料は、重力沈降によって接続部分から下方に落下して混合体から分離し、捕捉部によって捕捉される。したがって、このナノカーボン材料製造装置では、多量のナノカーボン材料を容易に回収できる。【０００９】
また、排出部には、ナノカーボン材料を遮断するフィルタが設けられていることが好ましい。【００１０】
回収管に送られたナノカーボン材料の一部は、重力沈降によって捕捉部に捕捉される前に、キャリアガスの流れによって連結管との接続部分よりも上方に舞い上がることがある。したがって、排出部にフィルタを設けておくことにより、ナノカーボン材料が排出部に流れることを防止できる。また、フィルタで遮断されたナノカーボン材料は、一定量が集まると重力沈降によって落下し、捕捉部よって捕捉される。これにより、このナノカーボン材料製造装置では、より多量のナノカーボン材料を容易に回収できる。【００１１】
また、連結管は、混合体が反応管から回収管に向かって下降しながら流れるように傾斜していることが好ましい。【００１２】
このように混合体が反応管から回収管に向かって下降しながら流れるように、連結管を傾斜させることにより、混合体が連結管内に滞留することを抑制し、混合体をスムーズに回収管へ移動させることができる。【００１３】
また、反応管は、触媒担体を内部に有し、触媒担体周りのナノカーボン材料の成長と、キャリアガスによる触媒担体の攪拌によって触媒担体からのナノカーボン材料の剥離が行われる主反応部と、主反応部の上方に位置し、キャリアガスに同伴されずに落下する触媒担体と、キャリアガスに同伴されるナノカーボン材料との分離がなされる分離部と、を有し、分離部の断面積は、主反応部の断面積よりも大きくなっていることが好ましい。【００１４】
この構成により、主反応部内におけるキャリアガスの流速よりも分離部内におけるキャリアガスの流速を遅くすることができる。よって、主反応部内において、キャリアガスの流速を速くし攪拌を激しくすることで触媒担体からのナノカーボン材料の剥離を促進するとともに、分離部において、キャリアガスの流速を遅くすることで触媒担体の落下を促進することで、触媒担体とナノカーボン材料の分離を容易にできる。これにより、従来のナノカーボン材料の製造装置のように、ナノカーボン材料が成長した触媒担体の回収後にナノカーボン材料を触媒担体と分離して精製する必要がなくなるので、ナノカーボン材料の回収手順が容易となる。【００１５】
また、反応管は、分離部の上方に位置し、連結管との接続部分となる導入部を更に有し、分離部の断面積は、導入部の断面積よりも大きくなっていることが好ましい。【００１６】
この構成により、分離部内におけるキャリアガスの流速よりも、導入部内におけるキャリアガスの流速を速くすることができる。よって、ナノカーボン材料とキャリアガスとの混合体が導入部内に滞留することが抑制され、混合体を分離部から連結部へスムーズに移動させることができる。【００１７】
また、回収管の断面積は、連結管の断面積よりも大きくなっていることが好ましい。【００１８】
この構成により、連結管内におけるキャリアガスの流速よりも、回収管内におけるキャリアガスの流速を遅くすることができる。よって、ナノカーボン材料に対するキャリアガスの流れの影響が低くなるので、ナノカーボン材料の重力沈降が効果的に行われて回収管の捕捉部に落ちやすくなる。従って、ナノカーボン材料の回収が効率的に行われる。【００１９】
また、回収管は、捕捉部で捕捉されたナノカーボン材料を外部に開放する開放弁を更に備えることが好ましい。【００２０】
開放弁を開けることにより、捕捉部で捕捉されたナノカーボン材料を外部に開放し、容易に回収することができる。【００２１】
本発明のナノカーボン材料の製造方法は、上述したナノカーボン材料装置を用いた製造方法である。【００２２】
従来のナノカーボン材料の製造方法では、成長したナノカーボン材料が付着している触媒担体を充填した流動層装置の内部から触媒担体を取り出す工程、触媒担体からナノカーボン材料を液相処理等によって分離・回収する工程、及び、触媒担体を流動層装置への再充填する工程が不可欠である。加えて、キャリアガスなどの供給工程、ナノカーボン材料の成長工程、混合体からのナノカーボン材料の回収工程が順番に一つずつ行われるバッチ式方法では、触媒担体を取り出す工程の前に流動層装置を停止させて冷却する工程と、触媒担体を再充填する工程の後に流動層装置を立ち上げて昇温する工程がさらに必要となる。これら一連の工程の実施には、ナノカーボン材料の成長時間に比べて膨大な長い時間を要するため、生産効率の面で問題がある。これに対し、本発明の製造方法によれば、温度一定のままキャリアガスの切り替えるだけでナノカーボン材料のみを分離・回収できる。このため、一連の工程に要する時間を極めて短縮することができ、ナノカーボン材料の生産効率を高めることができる。【００２３】
また、従来のナノカーボン材料の製造方法では、高温の触媒担体を流動層装置から取り出す機構や、取り出した触媒担体からナノカーボン材料を分離する機構などの付帯設備が必要となり、流動層装置よりも付帯設備の方が大きくなることがある。これに対し、本発明の製造方法では、ナノカーボン材料をキャリアガスの流れに乗せて触媒担体から分離・回収するため、単体の装置でナノカーボン材料を製造できる。【００２４】
さらに、従来のナノカーボン材料の製造方法のように、触媒担体ごと流動層装置から取り出した後、触媒担体からナノカーボン材料を液相処理で分離する場合、ナノカーボン材料が処理液に濡れてしまうこととなる。この場合、ナノカーボン材料を乾燥させる必要が生じるが、乾燥時にナノカーボン材料が密に凝集して後処理に制約が生じるおそれがある。また、処理液からの不純物の混入が生じる等、ナノカーボン材料の品質が低下するおそれもある。これに対し、本発明のナノカーボン材料の製造方法では、キャリアガスの流れに乗せて分離・回収することにより、高純度（９９ｗｔ％）のナノカーボン材料を得ることができる。これにより、ナノカーボン材料の後工程での各種処理が容易になる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、多量のナノカーボン材料を容易に回収することができるナノカーボン材料製造装置及びそれを用いたナノカーボン材料の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明に係るナノカーボン材料製造装置の一実施形態を示す図である。
【図２】図２（ａ）は、主反応部内の触媒担体に原料ガス及びキャリアガスを供給する状態を示す図である。図２（ｂ）は、主反応部内でナノカーボン材料が成長した状態を示す図である。
【図３】図３（ａ）は、分離部内でナノカーボン材料と触媒担体とを分離する状態を示す図である。図３（ｂ）は、ナノカーボン材料とキャリアガスとの混合体が導入部及び連結管を通過する状態を示す図である。
【図４】図４（ａ）は、ナノカーボン材料が捕捉されるとともに、キャリアガスが排出される状態を示す図である。図４（ｂ）は、フィルタに捕捉されたナノカーボン材料が捕捉部に落下していく状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を参照しながら、本発明に係るナノカーボン材料製造装置及びそれを用いたナノカーボン材料の製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００２８】
図１は、本発明に係るナノカーボン材料製造装置の一実施形態を示す図である。同図に示すように、ナノカーボン材料製造装置１は、ナノカーボン材料を成長させる反応管２と、反応管２で成長したナノカーボン材料を回収する回収管３と、反応管２及び回収管３を接続する連結管４と、反応管２を加熱する加熱部Ｈと、を備える。ここで、ナノカーボン材料とは、少なくとも一方向のサイズがナノメートル単位またはマイクロメートル単位のカーボン材料であり、ファイバ状、チューブ（中空）状などの種々の形状を有するカーボン材料である。
【００２９】
反応管２、回収管３、及び連結管４の各々は、例えば断面円形のガラス管やステンレス管である。反応管２は、主反応部２１と、分離部２２と、導入部２３とを有している。反応管２の主反応部２１は、図２（ａ）に示すように、原料ガス供給源５１からの原料ガスの供給、及びキャリアガス供給源５２からのキャリアガスの供給を受け、図２（ｂ）に示すように、例えばセラミックビーズといった触媒担体１０の周りに、ナノカーボン材料９を成長させる部分である。主反応部２１は、反応管２の底部側に位置している。また、図１に示すように、主反応部２１の断面の直径Ｄ１は、例えば２．５ｃｍとなっている。原料ガスには、例えば炭化水素ガスといった炭素原料が用いられる。キャリアガスには、例えば水素、アルゴン、窒素などが用いられる。主反応部２１において触媒担体１０の周りに成長したナノカーボン材料９は、図３（ａ）に示すように、触媒担体１０から剥離され、キャリアガスに同伴されて分離部２２へ移動する。また、ナノカーボン材料９と剥離した触媒担体１０の一部は、分離部２２へ移動する。
【００３０】
加熱部Ｈは、主反応部２１におけるナノカーボン材料９の成長を行う際、主反応部２１を加熱してナノカーボン材料９の成長を促進する部分である。加熱部Ｈは、主反応部２１の周囲に設けられ、ナノカーボン材料９を成長させる際の主反応部２１の温度を約８００℃に維持する。
【００３１】
分離部２２は、図３（ａ）に示すように、キャリアガスに同伴されずに落下する触媒担体１０と、キャリアガスに同伴されるナノカーボン材料９との分離がなされる部分である分離部２２は、主反応部２１の上方に位置している。また、図１に示すように、分離部２２の断面の直径Ｄ２は、例えば５ｃｍとなっており、主反応部２１の断面の直径Ｄ１よりも大きくなっている。このような構成により、分離部２２の断面積Ｓ２は、主反応部２１の断面積Ｓ１よりも大きくなっており、分離部２２内では、主反応部２１におけるキャリアガスの流速Ｕ１よりも遅い流速Ｕ２でナノカーボン材料９がキャリアガスに同伴され、触媒担体１０はキャリアガスに同伴されずに落下することで、触媒担体１０とナノカーボン材料９が効率良く分離するようになっている。触媒担体１０から分離したナノカーボン材料９は、キャリアガス５とともにエアロゾル状の混合体Ｍとして搬送される。
【００３２】
なお、上記流速Ｕ１は、触媒担体１０を攪拌することによりナノカーボン材料９を触媒担体１０から分離できる速さ以上となるように調整されている。また、上記流速Ｕ２は、触媒担体１０が、分離部２２を超えて導入部２３まで噴き上がる速さ（終端速度）以下となるように調整されている。
【００３３】
また、分離部２２における主反応部２１側の端部は、主反応部２１側に向かうに従って断面積が小さくなるようなテーパー形状をなしており、導入部２３側の端部は、導入部２３側に向かうに従って断面積が小さくなるようなテーパー形状をなしている。このような構成により、分離部２２の直径が大きくなっていても、分離部２２の隅に触媒担体１０が溜まりにくくなり、分離部２２に進入した触媒担体１０を主反応部２１に容易に戻すことができる。また、触媒担体１０から分離したナノカーボン材料をスムーズに導入部２３に流すことができる。
【００３４】
導入部２３は、図３（ｂ）に示すように、分離部２２を通過したナノカーボン材料９及びキャリアガス５の混合体Ｍを連結管４に向けて導入する部分である。導入部２３は、分離部２２よりもさらに上方に位置している。また、導入部２３の断面の直径Ｄ３は、例えば２．５ｃｍとなっており、分離部２２の断面の直径Ｄ２よりも大きくなっている。これにより、分離部２２の断面積Ｓ２は、導入部２３の断面積Ｓ３よりも大きくなっており、導入部２３内におけるキャリアガスの流速Ｕ３は、分離部２２内におけるキャリアガスの流速Ｕ２よりも速くなり、混合体Ｍを分離部２２から連結管４にスムーズに導入させることができる。
【００３５】
連結管４は、反応管２から回収管３にナノカーボン材料９及びキャリアガス５の混合体Ｍを導入させる部分である。連結管４の一端は、導入部２３の先端部分に連結され、他端は、回収管３の中間部分に連結されている。また、連結管４は、導入部２３から導入された混合体Ｍが回収管３に向かって下降しながら流れるように、所定の角度θで傾斜した状態となっている。この角度θは、例えば１°以上９０°以下の範囲で適宜設定される。
【００３６】
また、連結管４の断面の直径Ｄ４は、例えば２．５ｃｍとなっており、導入部２３の断面の直径Ｄ３と同等となっている。これにより、連結管４内におけるキャリアガスの流速Ｕ４は、導入部２３内におけるキャリアガスの流速Ｕ３と同等となっている。これらの流速Ｕ３，Ｕ４は、導入部２３あるいは連結管４の内壁に沈積または堆積したナノカーボン材料を押し流せる速さ以上となるように調整されている。なお、導入部２３の断面の直径Ｄ３及び連結管４の断面の直径Ｄ４は、いずれも主反応部２１の断面の直径Ｄ１よりも小さくなっていることが好ましい。この場合、主反応部２１で生成されたナノカーボン材料９を導入部２３及び連結管４を経由して回収管３へスムーズに移動させることができる。
【００３７】
回収管３は、連結管４を通過した混合体Ｍからナノカーボン材料９を回収する部分である。この回収管３は、捕捉部３１と排出部３２とを有している。排出部３２は、連結管４との接続部分３３よりも上方に位置している。キャリアガスはキャリアガス供給源５２から大気圧以上で供給されることで、図４（ａ）に示すように、混合体Ｍ中のキャリアガス５が接続部分３３から上方に流れて外部に排出される。
【００３８】
一方、捕捉部３１は、連結管４と回収管３との接続部分３３よりも下方において、排出部３２の真下に位置している。この捕捉部３１には、図４（ａ）に示すように、重力沈降によって混合体Ｍから分離したナノカーボン材料９１，９３が堆積する。そして、捕捉部３１に堆積したナノカーボン材料９３は、開放弁７の開放によって外部に回収される。
【００３９】
また、上述した排出部３２には、ナノカーボン材料９２を遮断するフィルタＦが設けられている。これにより、重力沈降によって捕捉部３１に捕捉される前にキャリアガス５の流れによって接続部分３３よりも上方にナノカーボン材料９２が舞い上がったとしても、フィルタＦでナノカーボン材料９２を捕捉することができる。フィルタＦで捕捉されたナノカーボン材料９２は、図４（ｂ）に示すように、一定量が集まることによって重力沈降し、捕捉部３１で捕捉される。なお、フィルタＦに定期的に振動を与え、フィルタＦからのナノカーボン材料９２の落下を促すようにしてもよい。また、キャリアガス流量を間歇的に低下させて、ないしは逆流させて、フィルタＦからのナノカーボン材料９２の落下を促すようにしてもよい。
【００４０】
このような回収管３の断面の直径Ｄ５は、例えば８ｃｍとなっており、連結管４の断面の直径Ｄ４よりも大きくなっている。これにより、回収管３の断面積Ｓ５は、連結管４の断面積Ｓ４よりも大きくなっており、回収管３内におけるキャリアガスの流速Ｕ５は、連結管４内におけるキャリアガスの流速Ｕ４よりも遅くなり、キャリアガス５の流れに逆らってナノカーボン材料９１が重力沈降し易いようになっている。なお、この流速Ｕ５は、回収管３の捕捉部３１に堆積したナノカーボン材料が舞い上がらない速度以下となるように調整されている。
【００４１】
また、回収管３の断面の直径Ｄ５は、分離部２２の断面の直径Ｄ２以上となっていることが好ましい。この場合、回収管３の捕捉部３１の容量が十分確保され、ナノカーボン材料９１，９２，９３の回収量を大きくすることができる。なお、説明の便宜上、図２〜図４では、ナノカーボン材料の製造の流れを断続的に示したが、実際にはナノカーボン材料の成長は一定時間実施されるものであり、図２〜図４に示される一連の流れが連続的に行われている。
【００４２】
以上のように、このナノカーボン材料製造装置１では、反応管２で成長したナノカーボン材料９がキャリアガス５の流れに乗って混合体Ｍとして連結管４を通過し、回収管３に送られる。ここで、このナノカーボン材料製造装置１では、連結管４との接続部分３３よりも上方に排出部３２が設けられ、連結管４との接続部分３３よりも下方に捕捉部３１が設けられている。よって、混合体Ｍに含まれるキャリアガス５は、接続部分３３から上方に流れて排出部３２から排出される一方で、混合体Ｍ中のナノカーボン材料は、重力沈降によって接続部分３３から下方に落下して混合体Ｍから分離し、捕捉部３１によって捕捉される。したがって、このナノカーボン材料製造装置１では、従来のようにフィルタの交換等を行わずとも、多量のナノカーボン材料を容易に回収できる。また、回収管の捕捉部３１の容量に応じて、一度に多量のナノカーボン材料を回収できる。
【００４３】
また、このナノカーボン材料製造装置１では、あらかじめ攪拌によって触媒担体１０からナノカーボン材料９を分離するので、酸処理などのナノカーボン材料にダメージを与える精製処理を用いる必要がなくなるので、このような精製処理に起因するナノカーボン材料へのダメージがなくなる。
【００４４】
本発明に係るナノカーボン材料の製造方法は、ナノカーボン材料製造装置１を用いた製造方法である。従来のナノカーボン材料の製造方法における触媒担体を流動層装置から取り出す工程等の一連の工程の実施には、ナノカーボン材料の成長時間（約１０分間）に比べて膨大な時間（数時間〜数日）を要するため、生産効率の面で問題がある。これに対し、このナノカーボン材料製造装置１を用いた製造方法では、温度一定のままキャリアガス５の切り替えだけでナノカーボン材料９のみを触媒担体１０から分離・回収できる。このため、一連の工程に要する時間を極めて短縮することができる。これにより、ナノカーボン材料の生産効率を高めることができる。
【００４５】
また、ナノカーボン材料製造装置１を用いた製造方法では、キャリアガス５の流れに乗せてナノカーボン材料９を触媒担体１０から分離・回収することにより、単体のナノカーボン材料製造装置１でナノカーボン材料を製造できる。さらに、ナノカーボン材料製造装置１を用いた製造方法では、キャリアガス５の流れに乗せてナノカーボン材料９を触媒担体１０から分離・回収することにより、高純度（９９ｗｔ％）のナノカーボン材料を得ることができる。これにより、ナノカーボン材料の後工程での各種処理が容易になる。
【００４６】
以上、本実施形態におけるナノカーボン材料製造装置１及びナノカーボン材料製造装置１を用いた製造方法を説明したが、本発明はこれらに限定されない。例えば、反応管２、回収管３、及び連結管４の断面形状は、円形に限られず、例えば楕円や矩形などでもよい。また、図１に示す例では、排出部３２が捕捉部３１の真上に位置するが、排出部３２は、連結管４との接続部分３３よりも上方であれば、捕捉部３１の真上から横にずれた位置に設けられていてもよい。さらに、連結管４内を流れるキャリアガスの流速Ｕ４が、ナノカーボン材料を移動させるに足りるほど速い場合には、連結管４の傾斜の角度θが９０度以上であってもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１…ナノカーボン材料製造装置、２…反応管、２１…主反応部、２２…分離部、２３…導入部、３…回収管、３１…捕捉部、３２…排出部、３３…接続部分、４…連結管、７…開放弁、１１…取り出し部、Ｆ…フィルタ、Ｈ…加熱部、５１…原料ガス供給源、５２…キャリアガス供給源、９，９１，９２，９３…ナノカーボン材料。
【図１】
0005862559.tif 000002
【図２】
0005862559.tif 000003
【図３】
0005862559.tif 000004
【図４】
0005862559.tif 000005