(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨部材固定用の両面接着テープであって、
基材と、
前記基材の一方の面に設けられ、熱可塑性エラストマーを熱接着剤の全質量に対して４０〜１００質量％含有する熱接着剤で構成される熱接着剤層と、
前記基材の他方の面に設けられた粘着剤層と、を備え、
前記熱可塑性エラストマーは、モノビニル置換芳香族化合物と共役ジエン化合物のブロック共重合体又はその水素添加物を含有し、
前記熱接着剤層は、
ガラス転移点が６０℃以下の粘着付与剤を含有し、
溶融温度が５０〜１１０℃であり、
温度５０℃、圧力５．１９ｋｇｆ、時間３０秒でポリエチレンテレフタレートフィルムに圧着したときのポリエチレンテレフタレートフィルムに対する１８０°引き剥がし粘着力が、５０ｍｍ／分の引張速度で１５Ｎ／２０ｍｍ以上であることを特徴とする両面接着テープ。
【請求項２】
前記粘着剤層は、ゴム系粘着剤およびアクリル系粘着剤からなる群から選択される１以上の粘着剤を含有する請求項１に記載の両面接着テープ。
【請求項３】
前記熱接着剤層は、スチレン−ブタジエン系エラストマーを含有する請求項１または２に記載の両面接着テープ。
【請求項４】
前記粘着付与剤の含有量は、前記スチレン−ブタジエン系エラストマー１００質量部に対して５０〜１５０質量部である請求項３に記載の両面接着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、両面接着テープに関し、特に研磨部材固定用の両面接着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶用ガラス、シリコンウェハ、ハードディスク基板等の表面を研磨する研磨装置が知られている。研磨装置では、研磨パッドや研磨布等の研磨部材を研磨装置の定盤に固定する際に、両面接着テープが用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２０３４００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
研磨部材固定用の両面接着テープとしては、研磨部材と定盤とを強固に固定したいという要求を満たすために、また研磨部材の位置合わせを容易にするために、加熱圧着により研磨部材および定盤を接着する熱接着タイプの両面接着テープが望ましい。
【０００５】
しかしながら、研磨部材、両面接着テープおよび定盤を加熱圧着すると、各部材の熱収縮率の差によって熱接着後の研磨部材に反りやうねりが発生し、その結果、研磨精度が低下してしまうおそれがあった。特に近年、例えば液晶ディスプレイの大型化に伴なう液晶用ガラスの大型化や、半導体基板の大型化が進行している。また、生産性向上のために一度に多数の被研磨部材を研磨したいという要求がある。大型化した被研磨部材を研磨するため、あるいは一度に多数の被研磨部材を研磨するために、研磨装置で使用される研磨部材も大型化してきている。そして、大型化した研磨部材を定盤に固定するため、大型の両面粘着テープが必要とされている。両面接着テープを大型化した場合には、接着時の加熱による研磨部材の反りやうねりが一層顕著になるため、研磨精度がより低下してしまう。
【０００６】
また、例えば、研磨部材に両面接着テープを貼り付けた状態で保存すべく、両面粘着テープの片側の剥離ライナー（セパレータ）を剥離して研磨部材に熱接着した場合、残った剥離ライナーに加熱により反りが発生し、この剥離ライナーが剥がれてしまうおそれがあった。
【０００７】
加熱による研磨部材の反りやうねり、あるいは残った剥離ライナーの剥離を防ぐ方法としては、両面接着テープをより低温で研磨部材および定盤に熱接着させることが考えられる。しかしながら、従来の両面粘着テープでは、低温での熱接着では十分な接着強度を得られない場合があった。また、両面接着テープの大型化に伴い、感圧タイプの両面接着テープでは取り扱いが難しく、両面接着テープと研磨部材との位置合わせが困難な場合があった。
【０００８】
本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、より低温での熱接着で高い接着強度を得ることができる研磨部材固定用の両面接着テープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のある態様は、両面接着テープである。当該両面接着テープは、研磨部材固定用の両面接着テープであって、基材と、基材の一方の面に設けられ、熱可塑性エラストマーを熱接着剤の全質量に対して４０〜１００質量％含有する熱接着剤で構成される熱接着剤層と、基材の他方の面に設けられた粘着剤層と、を備え、熱接着剤層は、温度５０℃、圧力５．１９ｋｇｆ、時間３０秒でポリエチレンテレフタレートフィルムに圧着したときのポリエチレンテレフタレートフィルムに対する１８０°引き剥がし粘着力が、５０ｍｍ／分の引張速度で１５Ｎ／２０ｍｍ以上であることを特徴とする。
【００１０】
この態様の両面接着テープによれば、より低温での熱接着で高い接着強度を得ることができる。
【００１１】
上記態様の両面接着テープにおいて、粘着剤層は、ゴム系粘着剤およびアクリル系粘着剤からなる群から選択される１以上の粘着剤を含有してもよい。また、熱接着剤層の溶融温度が５０〜１１０℃であってもよい。また、熱接着剤層は、スチレン−ブタジエン系エラストマーを含有してもよい。また、熱接着剤層は、粘着付与剤を含有してもよい。また、熱接着剤層は、スチレン−ブタジエン系エラストマーおよび粘着付与剤を含有し、粘着付与剤の含有量は、スチレン−ブタジエン系エラストマー１００質量部に対して５０〜１５０質量部であってもよい。また、粘着付与剤は、ガラス転移点が６０℃以下であってもよい。
【００１２】
なお、上述した各要素を適宜組み合わせたものも、本件特許出願によって特許による保護を求める発明の範囲に含まれうる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、より低温での熱接着で高い接着強度を得ることができる研磨部材固定用の両面接着テープを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態に係る両面接着テープの構成を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００１６】
図１は、実施の形態に係る両面接着テープの構成を示す概略断面図である。本実施の形態に係る両面接着テープ１０は、基材２０と、熱接着剤層３０と、粘着剤層４０とを備える。両面接着テープ１０は、研磨布、研磨パッド等の研磨部材を固定するためのテープである。具体的には、両面接着テープ１０は、液晶用ガラス、シリコンウェハ、ハードディスク基板等の被研磨部材を研磨するための研磨装置の定盤に、研磨部材を固定するために用いられる。なお、両面接着テープ１０は、被研磨部材を、直接あるいは固定用パッド等を介して研磨装置の定盤に固定する際に用いることもできる。以下に両面接着テープ１０を構成する各部について詳細に説明する。
【００１７】
（基材）
基材２０は、プラスチックフィルム、紙、金属箔、織布、不織布等の、基材として従来用いられるものを使用可能であるが、強度や厚み精度の点からはプラスチックフィルムが好ましい。プラスチックフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系フィルム、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン系フィルム等が使用できる。基材の厚さは、例えば１０μｍ〜３００μｍ、好ましくは２５μｍ〜１００μｍである。
【００１８】
（熱接着剤層）
熱接着剤層３０は、基材２０の一方の面に設けられた、熱接着剤で構成される層であり、研磨部材の接着に用いられる。熱接着剤は、加熱により接着力を発揮する接着剤であり、加熱溶融した後、冷却固化して接着するタイプ（熱溶融型接着剤）と、加熱硬化により接着するタイプ（熱硬化型接着剤）とが挙げられるが、熱溶融型接着剤が好ましい。熱接着剤層３０の厚さは、例えば２０〜１００μｍである。
【００１９】
熱接着剤層３０を構成する熱溶融型接着剤としては、熱可塑性エラストマーを熱接着剤の全質量に対して４０〜１００質量％含有する接着剤が好ましい。前記熱可塑性エラストマーとしては、例えば、モノビニル置換芳香族化合物と共役ジエン化合物の共重合体（特にブロック共重合体）が挙げられる。前記モノビニル置換芳香族化合物としては、例えばスチレンやα−メチルスチレン、ビニルトルエンやビニルキシレン等が挙げられる。共役ジエン化合物としては、例えば１，３−ブタジエンやイソプレン等が挙げられる。前記熱可塑性エラストマーの具体例としては、好ましくは、スチレンとブタジエンやイソプレンなどの共役ジエンとのブロック共重合体、あるいはその水素添加物が挙げられ、より好ましくは、スチレン−ブタジエン系エラストマーを含有する接着剤が挙げられる。熱接着剤層３０を構成する熱接着剤における熱可塑性エラストマーの含有量は、４０〜１００質量％が好ましく、５０〜９５質量％がより好ましく、６０〜９０質量％がさらに好ましい。なお、熱接着剤層３０は、粘着付与剤を含有してもよい。
【００２０】
上記スチレン−ブタジエン系エラストマーとしては、例えば、スチレンと共役ジエンであるブタジエンとのブロック共重合体であるスチレン−ブタジエンブロック共重合体が好ましく例示される。スチレン−ブタジエンブロック共重合体としては、スチレン系ＡＢ型ジブロック共重合体、スチレン系ＡＢＡ型トリブロック共重合体、スチレン系ＡＢＡＢ型テトラブロック共重合体、スチレン系ＡＢＡＢＡ型ペンタブロック共重合体、これら以上のＡＢ繰り返し単位を有するスチレン系マルチブロック共重合体等が挙げられる。なかでも、スチレンポリマーのブロックとブタジエンポリマーのブロックが交互に存在するＡＢＡ型ブロック共重合体である、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）またはその水素添加物が好ましく用いられる。
【００２１】
スチレン−ブタジエンブロック共重合体におけるスチレンポリマーの含有量は、通常１０〜４０質量％、好ましくは１３〜３５質量％である。また、共重合体全体の重量平均分子量は、５万〜７０万が好ましく、１０万〜４０万がより好ましい。重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ法で測定される値である。具体的には、移動相としてテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）を用い、流速１．０ｍＬ／分の条件で、ゲルパーミエーションクロマトグラフにて測定し、ポリスチレン換算した値を重量平均分子量とした。
【００２２】
熱接着剤層３０が含有する粘着付与剤としては、例えばロジン系樹脂、テルペン系樹脂、石油系樹脂、水添石油系樹脂、脂肪族炭化水素系樹脂、芳香族炭化水素系樹脂などの粘着付与樹脂が挙げられる。一例として、スチレン系粘着付与樹脂を必須成分の１つとして使用することが好ましい。また、別の例としては、スチレン系粘着付与樹脂を含有せずに、脂肪族炭化水素系樹脂を必須成分の１つとして使用することが好ましい。この場合、熱接着前のタック（圧着直後の接着力）を向上させることができ、その結果、研磨部材への仮圧着から、熱接着による本圧着までの間に、テープの浮きやズレが生じることを抑制できる。また、粘着付与剤は、ガラス転移点が６０℃以下であることが好ましい。ガラス転移点が６０℃以下の粘着付与剤を熱接着剤層３０に含有させることで、低温での熱接着で得られる接着強度を高めることができる。
【００２３】
粘着付与剤の含有量は、スチレン−ブタジエン系エラストマー１００質量部に対して１０〜１５０質量部であることが好ましく、３０〜１５０質量部であることがより好ましく、５０〜１５０質量部であることがさらに好ましい。スチレン−ブタジエン系エラストマーと粘着付与剤の含有量をこのような範囲とすることで、室温でのタックを少なくして研磨部材を固定するための位置決め作業を容易にすることができる。また反対に、室温でのタックを高くして研磨部材を固定するための位置決め作業時にテープの浮きやズレが生じることを抑制することもできる。このように、粘着付与剤の含有量が上記範囲内であれば、適度なタックを付与することができ、位置決め後の加熱により研磨部材を容易に接着することできる。
【００２４】
熱接着剤層３０は、温度５０℃、圧力５．１９ｋｇｆ、時間３０秒でポリエチレンテレフタレートフィルムに圧着したときのポリエチレンテレフタレートフィルムに対する１８０°引き剥がし粘着力が、５０ｍｍ／分の引張速度で１５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、好ましくは２０Ｎ／２０ｍｍ以上である。また、当該１８０°引き剥がし粘着力は、好ましくは３０Ｎ／２０ｍｍ以下である。熱接着剤層３０の１８０°引き剥がし粘着力を１５Ｎ／２０ｍｍ以上とすることで、５０℃程度の低温での熱接着によっても十分な接着強度を得ることができ、研磨部材と定盤とを強固に固定することができる。また、熱接着剤層３０の１８０°引き剥がし粘着力を３０Ｎ／２０ｍｍ以下とすることで、研磨部材の交換作業等が困難になることを抑制することができる。
【００２５】
また、熱接着剤層３０は、溶融温度が５０〜１１０℃であることが好ましく、５０℃以上、７５℃未満であることがより好ましい。熱接着剤層３０の溶融温度を５０℃以上、１１０℃以下とすることで、低温での熱接着による研磨部材への接着強度を高めることができる。ここで、前記「溶融温度」は、熱接着剤層３０が溶融し、タックを発現し始めたときの温度をいう。
【００２６】
熱接着剤層３０には、上述した成分以外に、必要に応じて軟化剤、可塑剤、充填剤、酸化防止剤（老化防止剤）、着色剤などの添加剤が含まれていてもよい。
【００２７】
（粘着剤層）
粘着剤層４０は、基材２０の他方の面に設けられた粘着剤層であり、研磨装置の定盤への接着に用いられる。粘着剤層４０の組成は特に限定されず、従来公知の各種粘着剤層を用いることができる。粘着剤層４０として具体的には、ゴム系粘着剤層、アクリル系粘着剤層等を挙げることができる。
【００２８】
（ゴム系粘着剤層）
ゴム系粘着剤層は、例えば天然ゴムおよび合成ゴムの少なくとも一方を、両者の合計でゴム系粘着剤の全質量に対して５０〜１００質量％含有するゴム系粘着剤で構成される粘着剤層が好適に用いられる。ゴム系粘着剤層を構成するゴム系粘着剤における天然ゴムおよび合成ゴムの合計の含有量は、５０〜１００質量％が好ましく、５５〜９０質量％がより好ましく、６０〜８０質量％がさらに好ましい。
【００２９】
ゴム系粘着剤層に用いられる天然ゴムは、特に限定されないが、素練ロールにて素練りし、ムーニー粘度をたとえば１０〜１００程度になるよう調整して用いられる。また、ゴム系粘着剤層に用いられる合成ゴムは、特に限定されないが、たとえば、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）、前記スチレン系ブロック共重合体の水素添加物、スチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ポリイソプレンゴム（ＩＲ）、ポリイソブチレン（ＰＩＢ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）などが挙げられる。
【００３０】
ゴム系粘着剤層は、上記天然ゴムおよび／または合成ゴムに加えて、粘着付与剤を含んでいてもよい。粘着付与剤としては、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂、石油系樹脂などが挙げられる。粘着付与剤の使用量は、天然ゴムおよび／または合成ゴム１００質量部に対して、たとえば２０〜１５０質量部である。
【００３１】
ゴム系粘着剤層には、上述した成分以外に、必要に応じて軟化剤、可塑剤、充填剤、酸化防止剤、着色剤などの添加剤が含まれていてもよい。
【００３２】
（アクリル系粘着剤層）
アクリル系粘着剤層は、特には限定されないが、アルキル基の炭素数が２〜１４の（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含むモノマー組成物を重合して得られるアクリル系ポリマーを、ベースポリマーとして含有する粘着剤で構成される粘着剤層が好適に用いられる。
【００３３】
アルキル基の炭素数が２〜１４の（メタ）アクリル酸アルキルエステルのアルキル基は、直鎖または分岐鎖のいずれであってもよい。アルキル基の炭素数が２〜１４の（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらのなかでも性能、コスト、汎用性からｎ−ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレートが好適に用いられる。
【００３４】
前記アクリル系ポリマーは、モノマー構成単位として、カルボキシル基含有不飽和モノマーを含んでいてもよい。カルボキシル基含有不飽和モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸、イタコン酸、フマル酸、マレイン酸が挙げられる。カルボキシル基含有不飽和モノマーとしては、性能、コスト、汎用性からアクリル酸が好適に用いられる。
【００３５】
前記アルキル基の炭素数が２〜１４の（メタ）アクリル酸アルキルは、通常、５０〜９９質量部程度を用いることが好ましく、より好ましくは７５〜９９質量部程度であり、さらに好ましくは９０〜９９質量部程度である。
【００３６】
また、アクリル系ポリマーには、アルキル基の炭素数が２〜１４の（メタ）アクリル酸アルキルエステル、カルボキシル基含有不飽和モノマーに加えて、他の任意モノマーを共重合させることができる。例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート等の水酸基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、アクリロイルモルフォリン等の含窒素（メタ）アクリレート；メチル（メタ）アクリレート、アルキル基の炭素数が１５以上の（メタ）アクリル酸アルキル、酢酸ビニル等の極性モノマーが挙げられる。これらの極性モノマ−は、粘着剤の凝集力を高めるために有効である。また、（メタ）アクリロニトリル、スチレン、塩化ビニリテン、プロピオン酸ビニル等のガラス転移点の高いポリマーを付与するモノマーを用いることもできる。前記任意モノマーは、アルキル基の炭素数が２〜１４の（メタ）アクリル酸アルキルエステル１００質量部に対して、通常は０〜５０質量部が用いられる。
【００３７】
アクリル系ポリマーの平均分子量は特に制限されないが、重量平均分子量（ＧＰＣ）は、３０万〜２５０万程度であることが好ましい。前記アクリル系ポリマーは、各種公知の方法により製造することができ、例えば、バルク重合法、溶液重合法、懸濁重合法、乳化重合法等のラジカル重合法を適宜選択することができる。
【００３８】
アクリル系粘着剤層は、粘着付与樹脂を含むことが好ましく、天然物を原料として含む粘着付与樹脂を用いることがより好ましい。原料となる天然物としては、ピネンやリモネンに代表されるテルペンや、ロジン等の天然に存在する物質が挙げられる。また、これらの粘着付与樹脂は、天然物を原料としていればよく、化学反応を施したものを含む。化学反応としては、原料の天然物に不均化、水素添加、二量化を施して天然物をその誘導体にすること、またマレイン酸、フマル酸、（メタ）アクリル酸等の不飽和化合物を反応させた変性物とすること、またフェノール類等を反応させた変性物とすることや、天然物またはその誘導体と多価アルコールとを反応させたエステル化物とすること等があげられる。
【００３９】
前記天然物としては、ロジンが好適である。ロジンは不均化ロジン、水添ロジン、重合ロジン、マレイン化ロジン、フマル化ロジン等の誘導体とすることができる。粘着付与樹脂としては、ロジンフェノール樹脂、ロジンエステルが好適である。ロジンフェノール樹脂とは、前記ロジン系樹脂（天然ロジン、ロジン誘導体）にフェノール類を付加反応させて得られたものや、レゾール型フェノール樹脂とロジン系樹脂とを反応させて得られる、いわゆるロジン変性フェノール樹脂が挙げられる。ロジンフェノール樹脂は、ロジンフェノール樹脂の金属塩として用いることができる。ロジンエステルとしては、前記ロジン系樹脂と多価アルコールとを反応させたエステル化物が挙げられる。なお、ロジンフェノール樹脂をエステル化物とすることもできる。
【００４０】
天然物を原料として含有する粘着付与樹脂の市販品としては、テルペンフェノール樹脂としてはＹＳポリスターＴ１４５（ヤスハラケミカル社製）が挙げられる。ロジンフェノール樹脂としてはタマノル８０３（荒川化学工業社製）、タマノル８０３Ｌ（荒川化学工業社製）、スミライトレジンＰＲ−１２６０３Ｎ（住友ベークライト社製）等が挙げられる。ロジンエステルの例としては、重合ロジンペンタエリスリトールエステルとしてはＫＴ−２（ハリマ化成社製）、ペンセルＤ１２５（荒川化学工業社製）、ペンタリンＣＪ（理化ファインテク社製）、リカタックＰＣＪ（ハリマ化成社製）；不均化マレイン酸変性ロジンエステルとしてはスーパーエステルＡ１２５（荒川化学工業社製）、スーパーエステルＡ１００（荒川化学工業社製）；水添ロジングリセリンエステルとしてはステベライトエステル１０（理化ファインテク社製）、エステルガムＨ（荒川化学工業社製）、水添ロジンメチルエステルのハーコリンＤ（ハーキュレスジャパン製）等があげられる。
【００４１】
これら天然物を原料として含有する粘着付与樹脂は、分子構造が各々異なる前記樹脂を少なくとも４種類用いることが好ましい。また粘着付与樹脂は、イソパラフィン系炭化水素に対する曇点が異なり、かつ各樹脂の曇点の差が２０℃以上になるように選択することが好ましい。また粘着付与樹脂は、軟化点１００℃以上のものを少なくとも２種類、軟化点１００℃未満のものを少なくとも２種類含むように選択することが好ましい。
【００４２】
粘着付与樹脂の各配合量は、アクリル系ポリマー１００質量部に対して各５質量部以上２０質量部以下である。好ましくは５質量部以上１５質量部以下である。なお、粘着付与樹脂の各配合量は、同じであってもよく、異なっていてもよい。
【００４３】
また、粘着付与樹脂の総配合部数は、アクリル系ポリマー１００質量部に対して、２０質量部以上８０質量部以下である。粘着付与樹脂の総配合部数は、好ましくは３０質量部以上６０質量部以下、より好ましくは３０質量部以上５０質量部以下である。粘着付与樹脂の総配合量が２０質量部以上であれば、粘着付与樹脂の効果を十分発揮することができ、粘着性能がより向上する。また、配合部数が８０質量部以下であれば、凝集力、耐熱性をより向上させることができる。
【００４４】
アクリル系粘着剤層は、前記アクリル系ポリマーおよび粘着付与樹脂の他に、架橋剤を含有することができる。架橋剤としては、例えば、エポキシ系架橋剤、イソシアアート系架橋剤、アジリジン系架橋剤等が挙げられる。より高度に再剥離性と粘着性能を両立させるためには、イソシアネート系架橋剤を使用することが好ましい。架橋剤の添加量は、用途や架橋剤の種類によって異なるがアクリル系ポリマー１００質量部に対して５質量部以下、好ましくは０．０１〜５質量部程度である。
【００４５】
アクリル系粘着剤層は、顔料、染料、難燃剤、熱安定剤等の添加剤を糊残り性と粘着特性を悪化させない程度であれば適宜添加してもよい。
【００４６】
（両面接着テープの形状）
両面接着テープ１０は、使用前の状態、すなわち研磨部材または定盤に接着される前の状態で、両主表面上、すなわち熱接着剤層３０および粘着剤層４０の主表面上に剥離ライナー（セパレータ）が設けられていてもよい。両面接着テープ１０は、２枚の剥離ライナーにより両主表面が保護されてもよいし、両面が剥離面となっている１枚の剥離ライナーにより、ロール状に巻回される形態で両主表面が保護されていてもよい。剥離ライナーは熱接着剤層３０および粘着剤層４０の保護材として用いられ、両面接着テープ１０を被着体（研磨部材、定盤）に貼着する際に剥がされる。なお、剥離ライナーは必ずしも設けられなくてもよい。剥離ライナーとしては、例えば、シリコーン系剥離剤や長鎖アルキル系剥離剤等の剥離剤が表面に塗布されたプラスチックフィルムや紙等を使用することができる。
【００４７】
本実施の形態の両面接着テープ１０の幅は、１３００〜３０００ｍｍ、好ましくは１５００〜２８００ｍｍ、より好ましくは２１００〜２５００ｍｍである。
【００４８】
本実施の形態の両面接着テープ１０は、広幅（好ましくは２１００〜３０００ｍｍ、より好ましくは２５００〜３０００ｍｍ）の基材２０または剥離ライナーを準備し、基材２０または剥離ライナーの幅に対応した広幅の粘着剤組成物塗工装置にて熱接着剤層３０を構成する熱接着剤、および粘着剤層４０を構成する粘着剤を塗布することにより製造することが好ましい。広幅の粘着剤組成物塗工装置としては、たとえば、グラビアコーター、ファウンテンダイコーター、リップコーター、コンマコーター等の、ロール幅が２１００〜３０００ｍｍの塗工装置を挙げることができる。かかる広幅の粘着剤組成物塗工装置を使用して、広幅の熱接着剤層３０および粘着剤層４０をそれぞれ一括で塗工することで、外観不良発生リスクをより低減化させることができる。
【００４９】
以上説明したように、本実施の形態の両面粘着テープ１０では、熱接着剤層３０が熱可塑性エラストマーを主成分とする熱接着剤からなる。そして、熱接着剤層３０は、温度５０℃、圧力５．１９ｋｇｆ、時間３０秒でポリエチレンテレフタレートフィルムに圧着したときのポリエチレンテレフタレートフィルムに対する１８０°引き剥がし粘着力が、５０ｍｍ／分の引張速度で１５Ｎ／２０ｍｍ以上である。そのため、従来の研磨部材固定用の両面接着テープに比べて、より低温での熱接着で高い接着強度を得ることができる。これにより、十分な接着強度を得ることを目的とした高温での熱接着を回避することができるため、研磨部材、両面接着テープ１０および定盤の熱収縮率の差に起因した反りやうねりの発生等を抑制することができる。よって、本実施の形態の両面接着テープ１０は、特に大型化（大面積化・広幅化）した研磨部材の固定に好適に採用することができる。
【実施例】
【００５０】
以下に、実施例に基づいて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。
【００５１】
表１に、実施例１〜４および比較例１に係る両面接着テープの構成を示す。
【００５２】
【表１】
0006049464.tif 000002
【００５３】
（実施例１〜３）
＜熱接着剤組成物の作製＞
スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）（旭化成ケミカルズ社製、商品名「アサプレンＴ−４２０」）５０質量部と、ＳＢＳ（旭化成ケミカルズ社製、商品名「アサプレンＴ−４３２」）５０質量部とを、溶剤としてのトルエン２２０質量部に添加し、ＳＢＳが溶解するまで、例えば約３０分間攪拌した。得られた混合液に、タッキファイヤ（荒川化学工業社製、商品名「アルコンＭ１１５」）１００質量部と、タッキファイヤ（ＨＥＲＣＵＬＥＳ社製、商品名「ピコテックス＃１２０」）２０質量部とを添加し、タッキファイヤが溶解するまで、例えば約３０分間攪拌した。アルコンＭ１１５は、脂環族飽和炭化水素樹脂を主成分とし、軟化点が１１５±５℃、ガラス転移点が５９℃（ＩＳＯ−１１３５７−２に準じたＤＳＣ測定による）である。ピコテックス♯１２０はビニルトルエン−メチルスチレン共重合体を主成分とし、軟化点が１１８℃、ガラス転移点が７０℃である。
【００５４】
上記作業とは別に、酸化防止剤（大内新興化学工業社製、商品名「ノクラックＮＳ−６」）２質量部と、酸化防止剤（大内新興化学工業社製、商品名「ノクラックＭＢ」）１質量部とを、溶剤としてのイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）８質量部に添加し、数分間撹拌して酸化防止剤を溶剤に分散させた。得られた酸化防止剤の溶液を、ＳＢＳおよびタッキファイヤが溶解した混合液に添加し、約６０分間撹拌した。以上の工程により、実施例１〜３の熱接着剤組成物溶液を得た。
【００５５】
＜ゴム系粘着剤組成物の作製＞
天然ゴム（ムーニー粘度７５）１００質量部、ＳＩＳ（日本ゼオン社製、商品名「クインタック３４６０Ｃ」放射状構造ＳＩＳ、スチレン含有量２５質量％）３０質量部、無水マレイン酸変性Ｃ５，Ｃ９レジン（日本ゼオン社製、商品名「クイントンＤ−２００」）４０質量部、フェノール変性ロジン（住友ベークライト社製、商品名「スミライトＰＲ１２６０３Ｎ」）４０質量部、およびフェノール系老化防止剤（大内新興化学工業社製、商品名「ノクラックＮＳ−６」）１質量部をトルエンに溶解させた後、架橋剤として、イソシアネート（日本ポリウレタン社製、商品名「コロネートＬ」）３質量部を加えてゴム系粘着剤組成物溶液を調製した。
【００５６】
＜両面接着テープの作製＞
片面をシリコーンで剥離処理した厚さ３８μｍのポリエステルフィルムからなる剥離ライナーＡおよび剥離ライナーＢを用意した。剥離ライナーＡおよび剥離ライナーＢの幅は、２５００ｍｍであった。
【００５７】
また、基材として、実施例１は厚さ７５μｍ、実施例２，３は厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用意した。基材の幅は２５００ｍｍであった。
【００５８】
基材の一方の面に、上述した熱接着剤組成物を塗工幅が２４８０ｍｍの粘着剤塗工装置（コンマコーター）にて塗工し、１００℃のオーブン中で３分間加熱し溶剤を除去して、研磨部材用接着剤層としての熱接着剤層を備えた積層体Ａを作製した。熱接着剤層は、幅が２４８０ｍｍ、乾燥後の厚さが実施例１，２は８０μｍ、実施例３は５０μｍであった。
【００５９】
次に、剥離ライナーＡの剥離処理された面を熱接着剤層の表面に向けて、熱接着剤層に剥離ライナーＡをラミネートした。
【００６０】
剥離ライナーＢの剥離処理された面に、上述したゴム系粘着剤組成物を塗工幅が２４８０ｍｍの粘着剤塗工装置（コンマコーター）にて塗工し、１００℃のオーブン中で３分間加熱し溶剤を除去して、幅２４８０ｍｍ、乾燥後の厚さが４０μｍの、定盤用粘着剤層としてのゴム系粘着剤層を備えた積層体Ｂを作製した。
【００６１】
次に、積層体Ａの基材側を積層体Ｂのゴム系粘着剤層に向けて、積層体Ｂに積層体Ａをラミネートし、実施例１〜３の両面接着テープ（剥離ライナーＡ／研磨部材用接着剤層（熱接着剤層）／基材／定盤用粘着剤層（ゴム系粘着剤層）／剥離ライナーＢ）を得た。
【００６２】
（比較例１）
研磨部材用接着剤層を形成するための接着剤組成物として、クロロプレンゴム（ＣＲ）を主成分とする接着剤組成物を作製した。具体的には、クロロプレン・メタクリル酸共重合（昭和電工エラストマー社製、商品名「ショウプレン  ＡＦ」９０質量部、ポリククロプレン共重合物（昭和電工エラストマー社製、商品名「ショウプレン  ＷＲＴ」）１０質量部をトルエンに溶解させた後、別途トルエンに希釈させたテトラエチレンペンタミン（和光純薬工業社製）０．３質量部と混合させた。さらに、ＩＰＡ３０質量部、軟水５質量部、フェノール系老化防止剤（大内新興化学工業社製、商品名「ノクラックＮＳ−６」）２質量部、フェノール変性ロジン（住友ベークライト社製、商品名「スミライトＰＲ１２６０３Ｎ」）１８質量部をトルエンに溶解させた。さらに別途トルエンに分散させた、水添ロジン化物（荒川化学工業社製、商品名「エステルガムＨＴ−７５」）３０質量部、エチレンチオウレア（川口化学工業社製、商品名「アクセル  ２２−Ｓ」）０．５質量部、酸化マグネシウム（協和化学工業社製、商品名「キョーワマグ１５０」）５質量部、酸化亜鉛１質量部、アルキルフェノール樹脂（荒川化学工業社製、商品名「タマノル５２６」）２質量部を加え、粘着剤組成物溶液を調製した。また、実施例１〜３と同一のゴム系粘着剤組成物を作製した。そして、実施例１〜３と同様の手順で積層体を作製し、比較例１の両面接着テープを得た。
【００６３】
（実施例４）
＜熱接着剤組成物の作製＞
スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）（旭化成ケミカルズ社製、商品名「アサプレンＴ−４２０」）５０質量部と、ＳＢＳ（旭化成ケミカルズ社製、商品名「アサプレンＴ−４３２」）５０質量部とを、溶剤としてのトルエン２２０質量部に添加し、ＳＢＳが溶解するまで、例えば約３０分間攪拌した。得られた混合液に、タッキファイヤ（荒川化学工業社製、商品名「アルコンＭ１１５」）１００質量部を添加し、タッキファイヤが溶解するまで、例えば約３０分間攪拌した。
【００６４】
上記作業とは別に、酸化防止剤（大内新興化学工業社製、商品名「ノクラックＮＳ−６」）２質量部と、酸化防止剤（大内新興化学工業社製、商品名「ノクラックＭＢ」）１質量部とを、溶剤としてのイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）８質量部に添加し、数分間撹拌して酸化防止剤を溶剤に分散させた。得られた酸化防止剤の溶液を、ＳＢＳおよびタッキファイヤが溶解した混合液に添加し、約６０分間撹拌した。以上の工程により、実施例４の熱接着剤組成物溶液を得た。
【００６５】
＜アクリル系粘着剤組成物の作製＞
アクリル系ポリマー（アクリル酸ブチル：１００質量部、酢酸ビニル：５質量部、アクリル酸：３質量部、アクリル酸２−ヒドロキシエチル：０．１質量部の割合で用いて重合させて得られるアクリル系ポリマー）１００質量部に対して、粘着付与剤である商品名「スミライトレジンＰＲ−１２６０３Ｎ」（テルペン変性フェノール樹脂、住友ベークライト社製）１５質量部、商品名「リカタックＰＣＪ」（重合ロジンペンタエリスリトールエステル、ハリマ化成社製）１０質量部、商品名「リカタックＳＥ１０」（水添ロジングリセリンエステル、ハリマ化成社製）１０質量部、商品名「Ｍ−ＨＤＲ」（水添ロジンメチルエステル、広西梧州日成林産化工社製）５質量部を添加し、さらに、イソシアネート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」日本ポリウレタン工業社製）４質量部とトルエンを加えて均一の溶液とし、アクリル系粘着剤組成物を得た。
【００６６】
＜両面接着テープの作製＞
片面をシリコーンで剥離処理した厚さ３８μｍのポリエステルフィルムからなる剥離ライナーＡおよび剥離ライナーＢを用意した。剥離ライナーＡおよび剥離ライナーＢの幅は、２５００ｍｍであった。
【００６７】
また、基材として、厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用意した。基材の幅は２５００ｍｍであった。
【００６８】
基材の一方の面に、上述した熱接着剤組成物を塗工幅が２４８０ｍｍの粘着剤塗工装置（コンマコーター）にて塗工し、１００℃のオーブン中で３分間加熱し溶剤を除去して、研磨部材用接着剤層としての熱接着剤層を備えた積層体Ａを作製した。熱接着剤層は、幅が２４８０ｍｍ、乾燥後の厚さは８０μｍであった。
【００６９】
次に、剥離ライナーＡの剥離処理された面を熱接着剤層の表面に向けて、熱接着剤層に剥離ライナーＡをラミネートした。
【００７０】
剥離ライナーＢの剥離処理された面に、上述したアクリル系粘着剤組成物を塗工幅が２４８０ｍｍの粘着剤塗工装置（コンマコーター）にて塗工し、１００℃のオーブン中で３分間加熱し溶剤を除去して、幅２４８０ｍｍ、乾燥後の厚さが４０μｍの、定盤用粘着剤層としてのアクリル系粘着剤層を備えた積層体Ｂを作製した。
【００７１】
次に、積層体Ａの基材側を積層体Ｂのアクリル系粘着剤層に向けて、積層体Ｂに積層体Ａをラミネートし、実施例４の両面接着テープ（剥離ライナーＡ／研磨部材用接着剤層（熱接着剤層）／基材／定盤用粘着剤層（アクリル系粘着剤層）／剥離ライナーＢ）を得た。
【００７２】
（圧着後の反り・浮き判定と１８０°引き剥がし粘着力試験）
実施例１〜４および比較例１に係る両面接着テープについて、定盤用粘着剤層側の剥離ライナーＢを剥がし、厚さ５０μｍのＰＥＴフィルムを貼り合わせて裏打ちした。この裏打ちされた両面接着テープを幅２０ｍｍ、長さ１００ｍｍの方形状に切断して試験片を作製した。各実施例および比較例において、後述する５０℃圧着用の試験片αと１２０℃圧着用の試験片βを用意した。そして、各試験片の剥離ライナーＡを剥がし、被着体としての厚さ５０μｍのＰＥＴフィルムに研磨部材用接着剤層を接触させ、各実施例および比較例の試験片αについては温度５０℃、圧力５．１９ｋｇｆ、時間３０秒で両者を圧着した。また、各実施例および比較例の試験片βについては、温度１２０℃、圧力５．１９ｋｇｆ、時間３０秒で両者を圧着した。これを２３℃、相対湿度（ＲＨ）５０％の環境下で３０分間放置した。
【００７３】
引張試験機（島津製作所社製「オートグラフ」）を用いて、ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７（２００５）に準拠して２３℃、ＲＨ５０％の環境下、剥離角度１８０°、引張速度５０ｍｍ／分の条件で、被着体ＰＥＴフィルム（ＰＥＴ板）に対する１８０°引き剥がし粘着力（単位：Ｎ／２０ｍｍ）を測定した。結果を表１に示す。
【００７４】
表１に示すように、１２０℃で圧着した場合は、各実施例および比較例が１５Ｎ／２０ｍｍ以上の高い粘着力を示した。特に各実施例は、２０Ｎ／２０ｍｍ以上のより高い粘着力を示した。一方、５０℃で圧着した場合は、各実施例では１５Ｎ／２０ｍｍ以上、さらには２０Ｎ／２０ｍｍ以上の高い粘着力を示したが、比較例１は１．５Ｎ／２０ｍｍと極めて低い粘着力であった。これより、本実施の形態の両面接着テープによれば、低温での熱接着によっても高い接着強度を得られることが確認された。
【００７５】
また、剥離ライナーを剥がしていない各試験片を、上記と同じ５０℃、１２０℃条件下で熱圧着を行い、３０分以上室温にて放冷した後、テープの反り及び剥離ライナーの浮きの有無を目視にて観察した。結果を表１に示す。
【００７６】
表１に示すように、５０℃で圧着した場合は圧着後の反りや浮きが見られず、１２０℃で圧着した場合はいずれも反りや浮きが確認された。このことから、本実施の形態の両面接着テープは、低温圧着時でも反り、浮きを発生することなく高い粘着力を有することが確認された。
【００７７】
（タック性評価）
上記実施例１および４に係る両面接着テープについて、定盤用粘着剤層側の剥離ライナーＢを剥がし、厚さ５０μｍのＰＥＴフィルムを貼り合わせて裏打ちした。この裏打ちされた両面接着テープを幅２０ｍｍ、長さ１００ｍｍの方形状に切断して試験片を作製した。各試験片の剥離ライナーＡを剥がし、被着体として不織布（商品名「ヒメロンＳＰ３０Ｂ」、アンビック株式会社製）に研磨部材用接着剤層を接触させ、温度２３℃の環境下、０．５ｋｇローラーで両者を圧着した。
【００７８】
圧着後すぐに、引張試験機（島津製作所社製「オートグラフ」）を用いて、ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７（２００５）に準拠して２３℃、ＲＨ５０％の環境下、剥離角度１８０°、引張速度５０ｍｍ／分の条件で、被着体に対する１８０°引き剥がし粘着力（単位：Ｎ／２０ｍｍ）を測定し、両面接着テープのタック性を評価した。また、圧着に用いたローラーを２ｋｇ、５ｋｇにそれぞれ変更した条件でも同様に測定した。
【００７９】
さらに、被着体である不織布を、不織布（商品名「ヒメロンＮ９７９５Ｂ」、アンビック株式会社製）に変更したこと以外は同様の操作を行い、０．５ｋｇ、２ｋｇ、５ｋｇのローラーで圧着した際の各サンプルのタック性（被着体に対する１８０°引き剥がし粘着力（単位：Ｎ／２０ｍｍ））を測定し、タック性を評価した。結果を表２に示す。
【００８０】
【表２】
0006049464.tif 000003
【００８１】
表２に示すように、熱接着剤組成物にタッキファイヤ（ＨＥＲＣＵＬＥＳ社製、商品名「ピコテックス＃１２０」）を含有しない実施例４は、当該タッキファイヤを含有する実施例１に比べて、タック性、すなわち被着体に圧着された直後の接着力が向上することが確認された。タック性の向上により、両面接着テープの研磨部材への仮圧着から本圧着までの取り扱いの際に、テープの浮き・ズレが生じることを抑制することができる。
【００８２】
（耐薬品性試験）
上記実施例２の両面接着テープを用いて作製した、被着体ＰＥＴフィルム、両面接着テープおよび裏打ち用ＰＥＴフィルムからなる積層体を複数用意した。この積層体の一部をｐＨ２の硝酸水溶液（ＨＮＯ３水溶液）に浸漬し、残りをｐＨ１２の水酸化ナトリウム水溶液（ＮａＯＨ水溶液）に浸漬した。そして、常温（２３℃）で２４時間浸漬した後、ＨＮＯ３水溶液中の試験片の１つと、ＮａＯＨ水溶液中の試験片の１つを取り出し、洗浄した後、水分を拭き取って、上記方法と同様にして研磨部材用接着剤層の被着体ＰＥＴフィルムに対する１８０℃引き剥がし粘着力と、定盤用粘着剤層の裏打ち用ＰＥＴフィルムに対する１８０℃引き剥がし粘着力を測定した。また、４８時間浸漬した試験片、および７２時間浸漬した試験片についても同様にして１８０℃引き剥がし粘着力を測定した。さらに、浸漬０時間、すなわち水溶液に浸漬しなかった試験片についても同様にして１８０℃引き剥がし粘着力を測定した。結果を表３に示す。
【００８３】
【表３】
0006049464.tif 000004
【００８４】
表３に示すように、研磨部材用接着剤層である熱接着剤層、および定盤用粘着剤層であるゴム系粘着剤層において、浸漬２４時間、浸漬４８時間、浸漬７２時間での各粘着力は、ＨＮＯ３水溶液およびＮａＯＨ水溶液ともに浸漬０時間の結果とほとんど変化がなかった。このことから、本実施の形態の両面接着テープは、高い耐薬品性を備えることが確認された。
【符号の説明】
【００８５】
１０  両面接着テープ、  ２０  基材、  ３０  熱接着剤層、  ４０  粘着剤層。
【図１】
0006049464.tif 000005