(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円環の一部分の形状を有するコリメータフレームと、
前記コリメータフレームに支持され、前記円環の円周方向に沿って放射状に配列され、放射線に対して遮蔽性を有する複数の第１隔壁板と、
前記第１隔壁板の間隙各々に放射状に配列され、前記放射線に対して遮蔽性を有する複数の第２隔壁板とを具備するコリメータであって、
前記第１隔壁板各々は、遮蔽板と前記遮蔽板の表面に形成されている樹脂層とを有し、前記樹脂層により前記第２隔壁板を保持するための複数のガイド溝が形成されるように前記遮蔽板と前記樹脂層とが前記第１隔壁板に設けられ、
前記ガイド溝は、前記樹脂層を貫通して前記遮蔽板まで達している又は前記樹脂層内に形成されている、
コリメータ。
【請求項２】
前記第２隔壁板は、台形短冊形状を有する請求項１記載のコリメータ。
【請求項３】
前記第２隔壁板は同一の形状を有する請求項１記載のコリメータ。
【請求項４】
前記第１隔壁板は同一の形状を有する請求項１記載のコリメータ。
【請求項５】
Ｘ線を検出するための複数のＸ線検出素子がチャンネル方向とスライス方向とに関して配列されてなるＸ線検出器と、
前記Ｘ線検出器に装着され、前記複数のＸ線検出素子に対して入射指向性を与えるコリメータとを具備するＸ線検出器ユニットにおいて、
前記コリメータは、
円環の一部分の形状を有するコリメータフレームと、
前記コリメータフレームに支持され、前記チャンネル方向に沿って放射状に配列され、Ｘ線に対して遮蔽性を有する複数の第１隔壁板と、
前記第１隔壁板の間隙各々に前記スライス方向に沿って放射状に配列され、前記Ｘ線に対して遮蔽性を有する複数の第２隔壁板とを有し、
前記第１隔壁板各々は、遮蔽板と前記遮蔽板の表面に形成されている樹脂層とを有し、前記樹脂層により前記第２隔壁板を保持するための複数のガイド溝が形成されるように前記遮蔽板と前記樹脂層とが前記第１隔壁板に設けられ、
前記ガイド溝は、前記樹脂層を貫通して前記遮蔽板まで達している又は前記樹脂層内に形成されている、
Ｘ線検出器ユニット。
【請求項６】
Ｘ線源と、
前記Ｘ線源から発生され、被検体を透過するＸ線を検出するための複数のＸ線検出素子がチャンネル方向とスライス方向とに関して配列されてなるＸ線検出器と、
前記Ｘ線検出器に装着され、前記複数のＸ線検出素子に対して入射指向性を与えるコリメータと、
前記Ｘ線検出器の出力に基づいて前記被検体に関する画像データを再構成する再構成部とを具備するＸ線コンピュータ断層撮影装置において、
前記コリメータは、
円環の一部分の形状を有するコリメータフレームと、
前記コリメータフレームに支持され、前記チャンネル方向に沿って放射状に配列され、Ｘ線に対して遮蔽性を有する複数の第１隔壁板と、
前記第１隔壁板の間隙各々に前記スライス方向に沿って放射状に配列され、前記Ｘ線に対して遮蔽性を有する複数の第２隔壁板とを有し、
前記第１隔壁板各々は、遮蔽板と前記遮蔽板の表面に形成されている樹脂層とを有し、前記樹脂層により前記第２隔壁板を保持するための複数のガイド溝が形成されるように前記遮蔽板と前記樹脂層とが前記第１隔壁板に設けられ、
前記ガイド溝は、前記樹脂層を貫通して前記遮蔽板まで達している又は前記樹脂層内に形成されている、
Ｘ線コンピュータ断層撮影装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、コリメータ、Ｘ線検出器ユニット及びＸ線コンピュータ断層撮影装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線コンピュータ断層撮影装置等のＸ線検出器には、Ｘ線に対して各検出素子を分離するとともに、入射Ｘ線方向を制限することにより散乱線を除去し直接線の検出能を向上するためにコリメータが装備される。近年、２次元アレイ型のＸ線検出器の普及が進んでいる。この２次元アレイ型のＸ線検出器は、検出素子列（セグメントともいう）を比較的少数、典型的には、４列並べたものが普及している。しかし、最近では、シンチレータ素子とフォトダイオード素子を組み合わせた固体検出素子、又はＸ線を電荷に直接的に変換するセレン等の固体検出素子の採用により、６４列、さらにそれを越える列数を持った広視野のＸ線検出器が登場している。このような２次元アレイ型のＸ線検出器に適用するコリメータは、Ｘ線遮蔽金属粉を混合した軟材板を格子状に型抜きした格子板を湾曲させたものが想定されている。
【０００３】
しかし、このような構造を有するコリメータでは格子で区画された複数のコリメート領域の照準をＸ線焦点に集束させることはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１９５２３５号公報
【特許文献２】特開２０１０−２２３８３６号公報
【特許文献３】特開２００３−１４９３４８号公報
【特許文献４】特開２０００−３３８２５４号公報
【特許文献５】特開平０２−２５３２００号公報
【特許文献６】特開２００８−８９３４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
目的は、格子状のコリメータの照準性又は集束性を向上することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態に係るコリメータは、円環の一部分の形状を有するコリメータフレームと、コリメータフレームに支持され、円環の円周方向に沿って放射状に配列され、放射線に対して遮蔽性を有する複数の第１隔壁板と、第１隔壁板の間隙各々に放射状に配列され、放射線に対して遮蔽性を有する複数の第２隔壁板とを具備し、前記第１隔壁板各々は、遮蔽板と前記遮蔽板の表面に形成されている樹脂層とを有し、前記樹脂層により前記第２隔壁板を保持するための複数のガイド溝が形成されるように前記遮蔽板と前記樹脂層とが前記第１隔壁板に設けられ、前記ガイド溝は、前記樹脂層を貫通して前記遮蔽板まで達している又は前記樹脂層内に形成されている。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本実施形態に係るコリメータの外観を示す図である。
【図２】本実施形態に係るコリメータを備えたＸ線コンピュータ断層撮影装置全体の構成を示す図である。
【図３】図１のコリメート領域の照準を示す図である。
【図４】図３のコリメートラインを示す図である。
【図５】図１のチャンネル隔壁板とスライス隔壁板との格子構造に関する部分拡大図（平面図）である。
【図６】図１のチャンネル隔壁板とスライス隔壁板との格子構造に関する部分拡大図（斜視図）である。
【図７】図１のチャンネル隔壁板の配列を示す図である。
【図８】図１のスライス隔壁板の配列を示す図である。
【図９】図１のコリメータフレームを示す図である。
【図１０】図９のコリメータフレームの上部／下部フレームのガイド溝を示す図である。
【図１１】図１０のコリメータフレームに装着されるチャンネル隔壁板とスライス隔壁板の装着を示す図である。
【図１２】図１１のチャンネル隔壁板に対するスライス隔壁板の挿入方向を示す図である。
【図１３】図９のチャンネル隔壁板の平面図である。
【図１４】図１３のチャンネル隔壁板に形成されたガイド溝の拡大図である。
【図１５】図９のコリメートラインの照準を示す図である。
【図１６】図１２のスライス隔壁板の平面図である。
【図１７】図１のチャンネル隔壁板とスライス隔壁板との格子構造に関する部分拡大図（斜視図）である。
【図１８】本実施形態のコリメータを構成する内側突当板の外観を示す図である。
【図１９】本実施形態において、チャンネル隔壁板とスライス隔壁板とを整列させる内側突当板と外側突当板とを示す平面図である。
【図２０】本実施形態において、チャンネル隔壁板とスライス隔壁板とを整列させる内側突当板と外側突当板とを示す側面図である。
【図２１】図９のスライス隔壁板の他の構成を示す平面図である。
【図２２】図２１のスライス隔壁板の断面図である。
【図２３】図２１のチャンネル隔壁板とスライス隔壁板との格子構造に関する部分拡大図（平面図）である。
【図２４】図２１のスライス隔壁板の他の構成を示す断面図である。
【図２５】図２１のスライス隔壁板の他の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本実施形態のコリメータは、円環の一部分の形状を有するコリメータフレームを有する。コリメータフレームには、放射線に対して遮蔽性を有する複数のチャンネル隔壁板が指示される。複数のチャンネル隔壁板は円環の円周方向に沿って放射状に配列される。チャンネル隔壁板の間隙各々には、複数のスライス隔壁板が放射状に配列される。チャンネル隔壁板各々は遮蔽板と遮蔽板の表面に形成されている樹脂層とを有する。樹脂層によりスライス隔壁板を保持するための複数のガイド溝が形成されている。
【０００９】
以下、図面を参照しながら本実施形態に係るコリメータを説明する。本実施形態に係るコリメータは、Ｘ線検出器及び他の構成部品とともにＸ線検出器ユニットを構成する。Ｘ線検出器ユニットは、他の構成部品とともにＸ線コンピュータ断層撮影装置を構成する。
【００１０】
図１に示すように本実施形態に係るコリメータ１３は、円環の一部分の形状を有する単一のコリメータフレーム１６を有する。このコリメータフレーム１６には複数のチャンネル隔壁板３１が支持される。複数のチャンネル隔壁板３１は、コリメータフレーム１６の円環の円周方向（チャンネル方向）に沿って放射状に配列される。
【００１１】
配列されたチャンネル隔壁板３１の間隙各々には、複数のスライス隔壁板３３がスライス方向に近似する湾曲方向に沿って放射状に配列される。スライス隔壁板３３は、典型的には、台形短冊形状を有する。スライス隔壁板３３は、長方形の短冊形状を有してもよい。台形短冊形状は、長方形短冊形状よりも、高い集束性及び散乱線除去性能を発揮する。全てのスライス隔壁板３３は互いに同一形状を有する。
【００１２】
本実施形態に係るコリメータ１３は、Ｘ線検出器とともにＸ線検出器ユニットを構成する。Ｘ線検出器ユニットは、Ｘ線コンピュータ断層撮影装置の構成部品である。
【００１３】
図２に示すように、Ｘ線コンピュータ断層撮影装置の２次元アレイ型のＸ線検出器に装備される。Ｘ線コンピュータ断層撮影装置は、架台部（ガントリともいう）１００を主要構造物として有する。架台部１００は回転リング１０２を有し、この回転リング１０２にコーンビーム形Ｘ線管１０１とＸ線検出器１１とが対向して配置されている。Ｘ線検出器１１にはコリメータ１３が取り付けられる。コリメータ１３の詳細は後述する。Ｘ線管１０１は、高電圧発生器１０９から周期的に発生される高電圧パルスを受けて、Ｘ線を発生する。Ｘ線検出器１１は、電離箱形検出器箱又は半導体検出器で構成される。半導体Ｘ線検出器であれば、コーンビームの頂点（Ｘ線焦点Ｆ）を中心として円弧状に複数のＸ線検出素子が配列され、さらにこのＸ線検出素子列が回転リング１０２の回転軸と略平行な方向に沿って複数並列されている。Ｘ線検出器１１には、一般的にＤＡＳ(data acquisition system) と呼ばれているデータ収集システム１０４が接続されている。このデータ収集システム１０４には、Ｘ線検出器１１の各チャンネルの電流信号を電圧に変換するＩ−Ｖ変換器と、この電圧信号をＸ線の曝射周期に同期して周期的に積分する積分器と、この積分器の出力信号を増幅するアンプと、このプリアンプの出力信号をディジタル信号に変換するアナログ・ディジタル・コンバータとが、チャンネルごとに設けられている。データ収集システム１０４には非接触データ伝送装置１０５を介して前処理部１０６が接続される。前処理部１０６は、このデータ収集システム１０４で検出された投影データに対して、チャンネル間の感度不均一を補正したり、またＸ線強吸収体、主に金属部による極端な信号強度の低下又は信号脱落を補正する等の前処理を実行する。前処理部１０６で補正を受けた投影データは記憶装置１１２に記憶される。再構成処理部１１８は、任意のコーンビーム画像再構成アルゴリズムにより記憶された投影データに基づいてＣＴ値の３次元分布を表すボリュームデータを再構成する。コーンビーム画像再構成アルゴリズムの典型的な例としては重み付きフェルドカンプ法(Feldkamp method)がある。このフェルドカンプ法は、ファンビームコンボリューション・バックプロジェクション法をもとにした近似的再構成法であり、コンボリューション処理は、コーン角が比較的小さいことを前提として、データをファン投影データと見なして行われる。しかし、バックプロジェクション処理は、実際のレイ(ray)に沿って行われる。
【００１４】
図示しない画像処理部においてボリュームデータはレンダリング処理又は断面変換処理（ＭＰＲ）等により２次元座標系で表現された画像データに変換される。画像データは表示装置１１６に表示される。ホストコントローラ１１０は、投影データの収集動作、つまりスキャンを実行させるために、回転リング１０２を定速で安定的に回転させるために架台駆動部１０７を制御し、スキャン期間中にＸ線管１０１からＸ線を発生させるために高電圧発生器１０９を制御し、Ｘ線発生に同期してデータ収集システム１０４等を制御する等のスキャンに関わるコントロールを統括している。
【００１５】
２次元アレイ型のＸ線検出器１１は、複数のＸ線検出素子を有する。複数のＸ線検出素子は、チャンネル方向とスライス方向とに関して２次元状に配列される。２次元アレイ型のＸ線検出器１１のＸ線源側には、コリメータ１３が装備される。コリメータ１３は、複数の検出素子を個々に光学的に分離するとともに、複数の検出素子各々に対して入射指向性を与える。それにより散乱線が除去され直接線の検出能が向上される。コリメータ１３は、スライス方向とチャンネル方向との２方向に関して格子状に組まれた複数のＸ線遮蔽板を有する。
【００１６】
ここで、従来のコリメータは、同一構造の複数のコリメータモジュールを有する。複数のコリメータモジュールはＸ線焦点を中心に多角形状に配列される。各モジュールは、部分的なマトリクス（ここではｎ×ｍチャンネルと仮定する）をカバーする。ｍはスライス方向のチャンネル数、ｎはＸ線検出器１１のスライス方向に関する全チャンネル数Ｎをコリメータモジュール数で除算した数である。各モジュールは、チャンネル方向に関して検出素子を分離するために（ｎ＋１）枚の平板形のチャンネル隔壁板を有する。（ｎ＋１）枚のチャンネル隔壁板は、モジュールフレームにチャンネル方向に沿って少しずつ取付角度を変えながら配列される。また各モジュールは、スライス方向に関して検出素子を分離するために（ｍ＋１）枚のスライス隔壁板を有する。各スライス隔壁板は、ｎチャンネル分の感度幅をカバーする幅の櫛形を有し、（ｎ＋１）枚のチャンネル隔壁板に共通して差し込まれる。そのためチャンネル隔壁板とスライス隔壁板とに囲まれた（ｎ×ｍ）個のコリメート領域はその中央チャンネルではＸ線焦点に照準するが、他の多くのコリメート領域の照準はＸ線焦点から外れてしまう。この不具合はスライス方向に関するチャンネル数が増加するほど顕著になる。またコリメータモジュールの接合部分で感度低下を招来させてしまい、また高速回転に伴う遠心力による応力がコリメータモジュールの接合部分に集中して感度分布を不均一にすることも懸念される。本実施形態では、このような不具合を解消することを可能にする。
【００１７】
コリメータ１３は、従来のように個々に組み立てた複数のモジュールを円弧状に配列したものではなく、Ｘ線のファン角に応じた全体を一体構造で組み立てることができるものである。しかもコリメータ１３は、チャンネル方向とスライス方向との２方向に一定の曲率を持たせることができる構造を有している。この構造は、図３に示すように、複数のコリメート領域の全てを正確にＸ線焦点Ｆに照準させることを実現する。なお、コリメート領域は、図４に示すように、コリメータ１３を構成する縦横の隔壁板で囲まれる個々の領域をいう。コリメート領域の一方の端面の中心と他方の端面の中心とを結んだ線をコリメートラインという。コリメートラインはコリメート領域の指向性を示す。
【００１８】
図５、図６に示すように、コリメータ１３は、放射線、ここではＸ線に対して遮蔽性を有する複数のチャンネル隔壁板３１と複数のスライス隔壁板３３とを有する。チャンネル隔壁板３１は、Ｘ線遮蔽性を有する遮蔽板４２と、ガイドレール４１とから構成される。Ｘ線遮蔽性を有するスライス隔壁板３３は、チャンネル隔壁板３１のガイドレール４１に支持される。チャンネル隔壁板３１は、チャンネル方向に関してＸ線検出器１１の検出素子を光学的に分離する。スライス隔壁板３３は、スライス方向に関してＸ線検出器１１の検出素子を光学的に分離する。チャンネル隔壁板３１とスライス隔壁板３３とは格子状に組まれる。
【００１９】
図７に示すように、複数のチャンネル隔壁板３１は、一定の間隔でＸ線焦点Ｆを中心としてチャンネル方向に関して放射状に配列される。図８に示すように、複数のスライス隔壁板３３は、スライス方向に関して配列される。スライス隔壁板３３の取り付け角度は、Ｘ線焦点Ｆに照準するよう個々に決定されている。スライス隔壁板３３の取り付け角度は隣り合うスライス隔壁板３３とのなす角度（Δθ２）が一定になるように決定されている。
【００２０】
図９はコリメータフレーム１６の斜視図を示す。コリメータフレーム１６は、上部フレーム１７と下部フレーム１９と側部フレーム２１、２３とからなる。上部フレーム１７は、円環の一部形状を有する。下部フレーム１９は、上部フレーム１７と同一形状を有する。上部／下部フレーム１７、１９の円環の半径は、Ｘ線検出器１１に組み付けられ、回転リング１０２に搭載されたコリメータフレーム１６と、コーンビーム形Ｘ線管１０１のＸ線焦点Ｆとの距離に等価に設定される。側部フレーム２１、２３は上部フレーム１７と下部フレーム１９を連結する。連結された上部フレーム１７と下部フレーム１９が平行である。上部フレーム１７と下部フレーム１９との間隔は、後述するチャンネル隔壁板ガイド溝の長さ、より具体的にはＸ線検出器１１のスライス方向に関する感度幅にほぼ等価である。
【００２１】
図１０に示すように、下部フレーム１９には複数のガイド溝（チャンネル隔壁板ガイド溝という）２５が形成されている。複数のガイド溝２５は、一定の間隔でＸ線焦点Ｆを中心として放射状に形成される。複数のガイド溝２５は、Ｘ線焦点Ｆを中心とした円環の半径方向に沿って配列される。チャンネル方向に隣り合うコリメートライン同士のなす角度として定義される拡がり角Δθ１が一定となるように複数のガイド溝２５は整然と配列される。同様に上部フレーム１７にも複数のガイド溝２７が形成されている。
【００２２】
図１１に示すように、複数のガイド溝２５、２７には複数のチャンネル隔壁板３１が嵌め込まれ、エポキシ系接着剤で固定される。チャンネル隔壁板３１は、フレーム１７、１９に対して垂直に設けられる。各チャンネル隔壁板３１は、Ｘ線焦点Ｆを中心とした円環の半径とスライス軸に対する平行線とによる面に沿って配置される。
【００２３】
上述したように、チャンネル隔壁板３１は、四角形の遮蔽板４２と、遮蔽板４２の表面に貼り付けられた複数のガイドレール４１とからなる。チャンネル隔壁板３１の遮蔽板４２は、Ｘ線遮蔽性を有する薄い例えばモリブデン原板から長方形に切り出される。モリブデン原板から切り出された遮蔽板４２の表面に複数のガイドレール４１が形成される。
【００２４】
図１２，図１３、図１４に示すように、一対のガイドレール４１は、１つのガイド溝３５を形成する。一対のガイドレール４１は、スライス隔壁板３３の厚さに応じた所定の間隔を隔てて平行に配置される。複数のガイド溝３５は、全て同一形状、同一サイズを有する。図１５に示すように、複数のガイド溝３５は、Ｘ線焦点Ｆを中心として放射状に形成される。ガイドレール４１は、好ましくはＸ線に対して透過性を有する樹脂製である。ガイドレール４１は、樹脂材料をチャンネル隔壁板３１の表面に直接的に印刷することにより形成される。最端のレールはフレーム１７、１９に対するストッパーレール３９として用いられる（図５参照）。
【００２５】
図１６に示すように、スライス隔壁板３３は、Ｘ線遮蔽性を有する材料から構成された台形短冊形状を有する薄板である。スライス隔壁板３３は、Ｘ線遮蔽性を有する薄い例えばモリブデン原板から切り出される。全てのスライス隔壁板３３は、同一形状、同一サイズを有する。
【００２６】
隣り合うチャンネル隔壁板３１の間隙それぞれには、複数のスライス隔壁板３３が配列される。スライス隔壁板３３は、チャンネル隔壁板３１のガイド溝３５に嵌め込まれ、エポキシ系接着剤又はレーザ溶接により固定される。スライス隔壁板３３は、チャンネル隔壁板３１に対して垂直に設けられる。
【００２７】
図１７に示すように、チャンネル隔壁板３１とスライス隔壁板３３は格子状に組まれる。より具体的には平板形状を有する複数のチャンネル隔壁板３１を配列し、隣り合うチャンネル隔壁板３１の間隙に平板形状を有する複数のスライス隔壁板３３を配列する。この構造は、焦点Ｆへの照準性を向上することを達成できる。チャンネル隔壁板３１とスライス隔壁板３３を湾曲、曲げ、捻り、溶接などの機械的加工を不要にするので、それらに起因する強度低下、応力集中を解消できる。また歪み、曲がり、ねじれを大きく軽減出来る。さらに上記照準性は、コリメータ１３を複数のモジュールの組み合わせにより構成したものではなく、一体構成により獲得できる。モジュール接合部分等に過度の応力がかかって部分的な歪みを生じさせたり、またモジュール接合部分で散乱線除去精度が大きく変化する等の不具合もなく、チャンネル方向及びスライス方向の両方向に関して出力特性の連続性を獲得することができる。
【００２８】
図１８は内側突当板の外観を示している。内側突当板５２の外表面にはチャンネル隔壁板３１とスライス隔壁板３３とを受ける溝部５１が縦横に形成されている。内側突当板５２はＸ線に対して透明な例えば湾曲したアクリル樹脂板で構成される。図１９、図２０に示すように、内側突当板５２は、コリメータフレーム１６にネジ又は接着剤により固定される。内側突当板５２は、格子状に組まれたチャンネル隔壁板３１とスライス隔壁板３３とを内側から支持し、整列させる。外側突当板５３は、内側突当板５２と相似形状を有する。外側突当板５３は、格子状に組まれたチャンネル隔壁板３１とスライス隔壁板３３とを外側から支持し、整列させる。内側突当板５２と外側突当板５３とは、チャンネル隔壁板３１とスライス隔壁板３３との格子構造を維持する。なお、内側突当板５２と外側突当板５３とは、組み立て工程途中で取り外されてもよい。その場合、完成したコリメータ１３は内側突当板５２と外側突当板５３とを装備しない。  製造工程上、まずコリメータフレーム１６の内側に内側突当板５２が接着剤及びねじ締めにより固定される。次にチャンネル隔壁板３１がチャンネル隔壁板ガイド溝２５に挿入され、内側突当板５２の溝５１に嵌め込まれる。チャンネル隔壁板３１は例えば接着剤によりコリメータフレーム１６及び内側突当板５２に固定される。コリメータフレーム１６に固定されたチャンネル隔壁板３１のスライス隔壁板ガイド溝３５にスライス隔壁板３３が挿入される。スライス隔壁板３３は外側突当板５３により外側から押しつけられる。それによりスライス隔壁板３３は整列される。スライス隔壁板３３は例えば接着剤によりチャンネル隔壁板３１、内側突当板５２及び外側突当板５３に固定される。最後に、外側突当板５３がコリメータフレーム１６にねじ締めにより固定される。
【００２９】
上述したチャンネル隔壁板３１は、遮蔽板４２と、複数のガイドレール４１とを備える。ガイド溝３５は、一対のガイドレール４１により形成される。ガイド溝３５はガイドレール以外の構造で形成されてもよい。
【００３０】
図２１には他の構造を有するチャンネル隔壁板３２の平面図を示している。図２２は図２１のＡＡ断面図を示している。図２３はチャンネル隔壁板３２とスライス隔壁板３３との格子構造を示している。チャンネル隔壁板３２は、例えばモリブデン製の遮蔽板４２と、その遮蔽板４２の両面に形成されている樹脂層４３との３層構造を有する。樹脂層４３はＸ線に対して透過性を有する例えばポリイミド又はアラルダイドにより形成される。樹脂層４３は遮蔽板４２の表面にスクリーン印刷又はテープ接着により精密に塗布又は接着される。
【００３１】
樹脂層４３に対してガイド溝パターンでエッチング処理をすることによりガイド溝３５が形成される。エッチング処理は、化学エッチング、ガスエッチング、イオンビームエッチングから任意に選択される。化学エッチングのとき、樹脂層４３の表面に防食剤をガイド溝パターンで塗布し、腐食溶液に浸すことでガイド溝３５が形成される。ポリイミド又はアラルダイドに対して腐食性を有し、モリブデンに対しては腐食性を有さない腐食溶液が選択される。エッチング処理で形成されるガイド溝３５は、樹脂層４３を貫通して遮蔽板４２に達する。遮蔽板４２が露出する。ガイド溝３５の底部は遮蔽板４２により形成される。ガイド溝３５の側壁は、樹脂層４３により形成される。
【００３２】
樹脂層４３に対して切削処理(cutting process)、ブラスト加工処理又はレーザ加工処理によりガイド溝３５を形成するようにしてもよい。なお、ブラスト加工処理は、投射材と呼ばれる粒体を加工物に衝突させ、ワークの加工等を行う手法である。
【００３３】
図２４に切削処理により形成されたガイド溝３５を断面図により示している。樹脂層４３をガイド溝パターンに従って切削することにより、ガイド溝３５が形成される。切削深度は、樹脂層４３の厚み未満に調整される。ガイド溝３５はその側壁及び底部はともに樹脂層４３により形成される。仮に切削が遮蔽板４２まで達すると、樹脂層４３よりも高硬度の遮蔽板４２に対する切削過程で生じる応力により遮蔽板４２が変形し、反り返ることがある。反り返りの発生を抑制するために切削深度が樹脂層４３の厚み未満に調整されている。従ってガイド溝３５を切削処理により形成するとき、樹脂層４３は貫通されず、遮蔽板４２は露出しない。これはブラスト加工処理又はレーザ加工処理によりガイド溝３５を形成する場合であっても同様である。なお、上記エッチング処理でガイド溝３５を形成する場合、機械的な応力は原理的に発生しないので、反り返りを防止することができ、切削に比べて有利である。
【００３４】
図２５には、遮蔽板４２にガイド溝３５を直接的に形成したチャンネル隔壁板３２の断面図を示している。典型的には、切削処理により、遮蔽板４２にガイド溝３５を形成する。上述の通り、機械的応力による遮蔽板４２の反り返りを軽減するために、図２２の例に比べて、ある程度の厚みを遮蔽板４２に与える必要がある。
【００３５】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００３６】
１１…Ｘ線検出器、１３…コリメータ、１５…Ｘ線管、３１…チャンネル隔壁板、３３…スライス隔壁板、２５…チャンネル隔壁板ガイド溝、３５…スライス隔壁板ガイド溝。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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