(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向配置された第１スピンドル及び第２スピンドルの各々の先端に取り付けられた第１ブレード及び第２ブレードを回転させることによりワークを切削するダイシング装置において、
前記第１ブレードの前記第２ブレードに対向する対向面側と反対の非対向面側に配置され、前記第１ブレード及び前記ワークに対して冷却水を噴射する第１ブレード用非対向面側冷却水ノズルと、
前記第２ブレードの前記第１ブレードに対向する対向面側と反対の非対向面側に配置され、前記第２ブレード及び前記ワークに対して冷却水を噴射する第２ブレード用非対向面側冷却水ノズルと、
前記第１ブレードの対向面側に配置され、前記第１ブレード及び前記ワークに対して冷却水を噴射する第１ブレード用対向面側冷却水ノズルと、
前記第２ブレードの対向面側に配置され、前記第２ブレード及び前記ワークに対して冷却水を噴射する第２ブレード用対向面側冷却水ノズルと、
前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間から前記第２ブレード用対向面側冷却水ノズルを退避させる退避手段と、
前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間隔が所定距離以下となったとき、前記退避手段により前記第２ブレード用対向面側冷却水ノズルを退避させる制御手段と、
を備えたダイシング装置。
【請求項２】
前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルを、前記第１ブレード及び前記第２ブレードに対して冷却水を噴射する流路に切り替える流路切替手段を有し、
前記制御手段は、前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間隔が前記所定距離以下となったとき、前記流路切替手段により前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルの流路を切り替える、請求項１のダイシング装置。
【請求項３】
前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルは、前記第１ブレード及び前記第２ブレードに対して冷却水を噴射する噴射口を備え、
前記流路切替手段は、前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルの前記第２ブレードに対して冷却水を噴射する噴射口を開閉させる手段である請求項２のダイシング装置。
【請求項４】
前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間の前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルの位置を、前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間の距離に応じて変更する変更手段を備えた請求項１〜３のうちのいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項５】
対向配置された第１スピンドル及び第２スピンドルの各々の先端に取り付けられた第１ブレード及び第２ブレードを回転させることによりワークを切削するダイシング装置において、
前記第１ブレードの前記第２ブレードに対向する対向面側と反対の非対向面側に配置され、前記第１ブレード及び前記ワークに対して冷却水を噴射する第１ブレード用非対向面側冷却水ノズルと、
前記第２ブレードの前記第１ブレードに対向する対向面側と反対の非対向面側に配置され、前記第２ブレード及び前記ワークに対して冷却水を噴射する第２ブレード用非対向面側冷却水ノズルと、
前記第１ブレードの対向面側に配置され、前記第１ブレードに対して冷却水を噴射する第１ブレード用対向面側冷却水ノズルと、
前記第２ブレードの対向面側に配置され、前記第２ブレードに対して冷却水を噴射する第２ブレード用対向面側冷却水ノズルと、
前記第１スピンドルに設けられた共有冷却水ノズルであって、前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間隔が所定距離以下となったとき、前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルと前記第２ブレード用対向面側冷却水ノズルとの間に配置されて、前記ワークに対して冷却水を噴射する共有冷却水ノズルと、
を備えたダイシング装置。
【請求項６】
前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間の前記共有冷却水ノズルの位置を、前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間の距離に応じて変更する変更手段を備えた請求項５に記載のダイシング装置。
【請求項７】
対向配置された第１スピンドル及び第２スピンドルの各々の先端に取り付けられた第１ブレード及び第２ブレードを回転させることによりワークを切削するダイシング装置において、
前記第１ブレードの前記第２ブレードに対向する対向面側と反対の非対向面側に配置され、前記第１ブレード及び前記ワークに対して冷却水を噴射する第１ブレード用非対向面側冷却水ノズルと、
前記第２ブレードの前記第１ブレードに対向する対向面側と反対の非対向面側に配置され、前記第２ブレード及び前記ワークに対して冷却水を噴射する第２ブレード用非対向面側冷却水ノズルと、
前記第１ブレードの対向面側に配置され、前記第１ブレード及び前記ワークに対して冷却水を噴射する第１ブレード用対向面側冷却水ノズルと、
前記第２ブレードの対向面側に配置され、前記第２ブレード及び前記ワークに対して冷却水を噴射する第２ブレード用対向面側冷却水ノズルと、
を備え、
前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズル及び前記第２ブレード用対向面側冷却水ノズルは、前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間の略中央位置に上下方向に並べて配置される、ダイシング装置。
【請求項８】
前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間の前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズル及び前記第２ブレード用対向面側冷却水ノズルうち一方又は両方の位置を、前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間の距離に応じて変更する変更手段を備えた請求項７に記載のダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はダイシング装置に係り、特に半導体ウェハ等のワークをチップに切断分割するツインスピンドルタイプのダイシング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品が形成されたウェハ等のワークに対して切断や溝入れ加工を施すダイシング装置は、少なくともスピンドルによって高速に回転されるブレード（回転歯）と称する薄型砥石による加工手段と、ワークを保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸とが設けられている。
【０００３】
スピンドルには、ブレードを覆うフランジカバーが取り付けられており、そのフランジカバーには、切削水をブレードに噴射する切削水ノズルや、冷却水をブレード及びワークとの加工点に噴射する１対の冷却水ノズルが取り付けられている。それら１対の冷却水ノズルはブレードの両側（両面側）にブレードを挟むようにして配置されており、ブレードに対して前側と後側の両側から冷却水が供給されるようになっている。
【０００４】
また、ダイシング装置として、ブレードを保持して回転する２本のスピンドルを対向して配置し、２枚のブレードでワークを効率良く切削するようにしたツインスピンドルタイプのダイシング装置も知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３３４７５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、従来のツインスピンドルタイプのダイシング装置では、各々のスピンドルに装着されたブレードの両側に１対の冷却水ノズルが取り付けられているため、各ブレードの一方の冷却水ノズル（他方のブレードに対向する面側の冷却水ノズル）が２枚のブレードの間に配置されている。
【０００７】
一方、ツインスピンドルタイプのダイシング装置では、生産効率上、２枚のブレードを近接させて切削を行う場合が多い。そのため、２枚のブレードの間に配置されている冷却水ノズルも近接配置された状態で切削が行われている。
【０００８】
このような切削状況下では、２枚のブレードの間に配置された冷却水ノズルの間に冷却水が入り込まないドライエリアができ、研削屑等の汚染物(コンタミ又はコンタミネーションと呼ばれる)が残留し易いという問題があった。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、対向配置した２本のスピンドルのブレードにより切削を行うツインスピンドルタイプのダイシング装置において、それらのブレードを近接させて切削を行う際に、それらの間のワーク上のコンタミの残留を抑止することができるダイシング装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するため、本発明に係るダイシング装置は、対向配置された第１スピンドル及び第２スピンドルの各々の先端に取り付けられた第１ブレード及び第２ブレードを回転させることによりワークを切削するダイシング装置において、前記第１ブレードの前記第２ブレードに対向する対向面側と反対の非対向面側に配置され、前記第１ブレードに対して冷却水を噴射する第１ブレード用非対向面側冷却水ノズルと、前記第２ブレードの前記第１ブレードに対向する対向面側と反対の非対向面側に配置され、前記第２ブレードに対して冷却水を噴射する第２ブレード用非対向面側冷却水ノズルと、前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間の略中間位置に配置され、前記第１ブレード及び前記第２ブレードに対して、又は、前記ワークに対して冷却水を噴射する共有冷却水ノズルを備えている。
【００１１】
本発明によれば、対向配置される第１ブレードと第２ブレードとの間の略中央位置に共有冷却水ノズルを配置するようにしたため、第１ブレードと第２ブレードとの間のドライエリアの発生が抑止され、ドライエリアによるコンタミの残留が抑止される。
【００１２】
また、本発明の形態として、前記第１ブレードの対向面側に配置され、前記第１ブレードに対して冷却水を噴射する第１ブレード用対向面側冷却水ノズルと、前記第２ブレードの対向面側に配置され、前記第２ブレードに対して冷却水を噴射する第２ブレード用対向面側冷却水ノズルと、前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間から前記第２ブレード用対向面側冷却水ノズルを退避させる退避手段と、前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルを、前記第１ブレード及び前記第２ブレードに対して冷却水を噴射する流路に切り替える流路切替手段と、前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間隔が所定距離以下となったとき、前記退避手段により前記第２ブレード用対向面側冷却水ノズルを退避させ、かつ、前記流路切替手段により前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルの流路を切り替えて、前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルを前記共有冷却水ノズルとする制御手段と、を備えた形態とすることが可能である。
【００１３】
この形態によれば、第１ブレードと第２ブレードとの間に共有冷却水ノズル（第１ブレード用対向面側冷却水ノズル）のみが配置されるため、従来のように第１ブレードと第２ブレードとの間に第１ブレード用対向面側冷却水ノズルと第２ブレード用対向面側冷却水ノズルの２つのノズルを配置する場合と比較して、第１ブレードと第２ブレードを最も接近させた場合の最接近距離を短縮することもできる。また、共有冷却水ノズルのノズル径も大きくすることができ、必要な流量の冷却水を供給することができる。
【００１４】
ここで、前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルは、前記第１ブレード及び前記第２ブレードに対して冷却水を噴射する噴射口を備え、前記流路切替手段は、前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルの前記第２ブレードに対して冷却水を噴射する噴射口を開閉させる手段とすることができる。
【００１５】
また、本発明の形態として、前記第１ブレードの対向面側に配置され、前記第１ブレードに対して冷却水を噴射する第１ブレード用対向面側冷却水ノズルと、前記第２ブレードの対向面側に配置され、前記第２ブレードに対して冷却水を噴射する第２ブレード用対向面側冷却水ノズルと、を備え、前記共有冷却水ノズルは、前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズルと前記第２ブレード用対向面側冷却水ノズルとの間に配置され、前記ワークに対して冷却水を噴射するノズルである形態とすることができる。
【００１６】
この形態によれば、第１ブレード用対向面側冷却水ノズルと第２ブレード用対向面側冷却水ノズルとの間に配置される共有冷却水ノズルからワークに冷却水を噴射することによって、ドライエリアの発生を抑止することができる。また、ワークをワークテーブルに押さえ付けるという効果も有する。
【００１７】
また、本発明の形態として、前記第１ブレードの対向面側に配置され、前記第１ブレードに対して冷却水を噴射する第１ブレード用対向面側冷却水ノズルと、前記第２ブレードの対向面側に配置され、前記第２ブレードに対して冷却水を噴射する第２ブレード用対向面側冷却水ノズルと、を備え、前記共有冷却水ノズルは、前記前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間の略中央位置に上下方向に並べて配置される前記第１ブレード用対向面側冷却水ノズル及び前記第２ブレード用対向面側冷却水ノズルである態様とすることができる。
【００１８】
この形態によれば、従来のように第１ブレードと第２ブレードとの間に第１ブレード用対向面側冷却水ノズルと第２ブレード用対向面側冷却水ノズルの２つのノズルを水平方向に並べて配置する場合と比較して、第１ブレードと第２ブレードを最も接近させた場合の最接近距離を短縮することができる。
【００１９】
また、本発明は、前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間の前記共有冷却水ノズルの位置を、前記第１ブレードと前記第２ブレードとの間の距離に応じて変更する変更手段を備えた形態とすることができる。
【００２０】
これによれば、第１ブレードと第２ブレードの位置に応じて共有冷却水ノズルの位置を調整することによって、第１ブレードと第２ブレードとの任意の間隔距離において共有冷却水ノズルをそれらの間の中央位置に設置することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、対向配置した２本のスピンドルのブレードにより切削を行うツインスピンドルタイプのダイシング装置において、それらのブレードを近接させて切削を行う際に、それらの間のワーク上のコンタミの残留を抑止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明が適用されるダイシング装置の外観斜視図
【図２】本発明が適用されるダイシング装置の加工部の構造を説明する斜視図
【図３】加工部の第１スピンドル及び第２スピンドルの中心軸を通る鉛直面で切断した第１ブレード周辺部及び第２ブレード周辺部の構造を示した断面図
【図４】加工部の正面側からみて左側の第１ブレード周辺部を正面側の斜め右方向から示した斜視図
【図５】加工部の正面側からみて右側の第２ブレード周辺部を正面側の斜め左方向から示した斜視図
【図６】図５における第２冷却水ノズルを退避させた状態を示した斜視図
【図７】第１ブレード周辺部の第１冷却水ノズル及び第２冷却水ノズルを上側から示した平面図
【図８】第１ブレード周辺部における（Ａ）は第１冷却水ノズル、（Ｂ）は第２冷却水ノズルを噴射口の部分で切断した断面図
【図９】第１ブレード周辺部においける第２冷却水ノズルの噴射口の開閉機構の説明に使用した斜視図
【図１０】第２ブレード周辺部の第１冷却水ノズル及び第２冷却水ノズルを上側から示した平面図
【図１１】第１ブレードと第２ブレードを近接配置したときの第１ブレード周辺部及び第２ブレード周辺部の状態を示した断面図
【図１２】加工部の第１スピンドル及び第２スピンドルの中心軸を通る鉛直面で切断した第２の実施の形態における第１ブレード周辺部及び第２ブレード周辺部の構造を示した断面図
【図１３】第２の実施の形態における第１ブレード周辺部を正面側の斜め右方向から示した斜視図
【図１４】加工部の第１スピンドル及び第２スピンドルの中心軸を通る鉛直面で切断した第３の実施の形態における第１ブレード周辺部及び第２ブレード周辺部の構造を示した断面図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２４】
図１はダイシング装置の外観を示す斜視図である。
【００２５】
ダイシング装置１は、先端にブレード（回転刃）１０、１２が取り付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル１４、１６と、ワークＷを吸着保持するワークテーブル１８とを有する加工部２と、加工済みのワークＷをスピン洗浄する洗浄部４と、多数枚のワークＷを収納したカセットを載置するロードポート６と、ワークＷを搬送する搬送手段８等とから構成されている。なお、以下においてブレード１０とブレード１２、スピンドル１４とスピンドル１６の各々を区別する場合には、ブレード１０を第１ブレード１０、ブレード１２を第２ブレード１２、スピンドル１４を第１スピンドル１４、スピンドル１６を第２スピンドル１６というものとする。 
【００２６】
加工部２の構造は、図２に示すように、Ｘベース３６に設けられたＸガイド３４、３４でガイドされ、リニアモータ３５によって図のＸ−Ｘで示すＸ方向に駆動されるＸテーブル３３があり、Ｘテーブル３３にはθ方向に回転する回転テーブル３２を介してワークテーブル１８が設けられている。
【００２７】
一方、Ｙベース４４の側面には、Ｙガイド４２、４２でガイドされ、図示しないステッピングモータとボールスクリューによって図のＹ−Ｙで示すＹ方向に駆動されるＹテーブル４１、４１があり、Ｙテーブル４１、４１には夫々図示しない駆動手段によってＺ方向に駆動されるＺテーブル４３、４３が設けられている。Ｚテーブル４３、４３の各々には高周波モータ内蔵型のスピンドル１４、１６が対向した状態で固定され、スピンドル１４、１６の各々の先端（回転軸）にブレード１０、１２が取り付けられ、それらのブレード１０、１２が対向配置されている。
【００２８】
加工部２の構造は以上のようになっているので、ブレード１０、１２はＹ方向にインデックス送りされると共にＺ方向に切込み送りされ、ワークテーブル１８はＸ方向に切削送りされる。
【００２９】
次に、図２に示した加工部２における第１ブレード１０の周辺部（第１ブレード周辺部５０）及び第２ブレード１２の周辺部（第２ブレード周辺部５２）の構造について説明する。図３は、加工部２の第１スピンドル１４及び第２スピンドル１６の中心軸を通る鉛直面で切断した第１ブレード周辺部５０及び第２ブレード周辺部５２の構造を示した断面図であり、図４は、加工部２の正面側からみて左側の第１ブレード周辺部５０を正面側の斜め右方向から示した斜視図であり、図５は、加工部２の正面側からみて右側の第２ブレード周辺部５２を正面側の斜め左方向から示した斜視図である。
【００３０】
これらの図に示すように、第１ブレード周辺部５０は、第１ブレード１０を回転させるための第１スピンドル１４と、第１スピンドル１４に第１ブレード１０を取り付けるためのブレード装着部６０と、第１ブレード１０を覆うフランジカバー６４等から構成されている。第２ブレード周辺部５２も同様に、第２ブレード１２を回転させるための第２スピンドル１６と、第２スピンドル１６に第２ブレード１２を取り付けるためのブレード装着部６２と、第２ブレード１２を覆うフランジカバー６６等から構成されている。これらの第１ブレード周辺部５０と第２ブレード周辺部５２の構造は類似しているため、第１ブレード周辺部５０の構造についてのみ詳説し、第２ブレード周辺部５２の構造については第１ブレード周辺部５０と相違する部分についてのみ詳説する。
【００３１】
なお、以下の第１ブレード周辺部５０及び第２ブレード周辺部５２の説明において、第１スピンドル１４及び第２スピンドル１６の中心軸（後述の回転軸１４Ｂ、１６Ｂの軸方向）の方向、即ち、Ｙ方向を前後方向とし、第１ブレード周辺部５０の各構成部の位置において第１スピンドル１４が配置される側を後側、その反対側（第２スピンドル１６が配置される側）を前側とし、第２ブレード周辺部５２の各構成部の位置において第２スピンドル１６が配置される側を後側、その反対側（第１スピンドル１４が配置される側）を前側とする。
【００３２】
図３及び図４に示されている第１ブレード周辺部５０において、第１スピンドル１４は、不図示のモータ（高周波モータ）を内蔵したスピンドル本体１４Ａと、回動可能に軸支されてスピンドル本体１４Ａの先端から突出配備された回転軸１４Ｂとを備えており、その回転軸１４Ｂがスピンドル本体１４Ａ内のモータによって回転するようになっている。回転軸１４Ｂの外周面は先細のテーパ状に形成されている。
【００３３】
図３に示すようにブレード装着部６０は、第１スピンドル１４の回転軸１４Ｂに取り付けられるフランジ７０と、フランジ７０を回転軸１４Ｂに固定するフランジ固定用ネジ７２と、ブレード１０が固着されたハブ７４と、ハブ７４を固定するハブ固定用ナット７６から構成されている。
【００３４】
フランジ７０は、中央の円筒部にテーパ状の内周面を有する嵌合孔７０Ａを有しており、その嵌合孔７０Ａを第１スピンドル１４の回転軸１４Ｂに嵌合させ、フランジ固定用ネジ７２を回転軸１４Ｂの先端のネジ孔１４Ｃに螺合することによって、フランジ７０が第１スピンドル１４の回転軸１４Ｂに取り付けられている。
【００３５】
フランジ７０の円筒部の外周側には、環状に形成されたハブ７４が嵌挿されており、フランジ７０の外周部にハブ７４が対向配置されている。  
【００３６】
ハブ７４の後面側の外周端部には第１ブレード１０が固着されており、第１ブレード１０がフランジ７０の外周部の支持面に当接されている。
【００３７】
一方、ハブ７４の前面側には、フランジ７０に螺合された環状のハブ固定用ナット７６が当接配置されている。
【００３８】
従って、ハブ固定用ナット７６を締め込むことによって、ハブ７４がフランジ７０に固定されると共に、第１ブレード１０がハブ７４とフランジ７０の外周部との間に狭持されて固定されるようになっている。これにより、第１スピンドル１４の回転軸１４Ｂが回転すると、第１ブレード１０が回転軸１４Ｂと共にその中心軸周りに回転する。
【００３９】
フランジカバー６４は、第１スピンドル１４のスピンドル本体１４Ａに固定されており、第１ブレード１０がワークＷと接触する加工点（第１ブレード１０の下側）及ブレード装着部６０の前面側を除く部分を覆うようにして配置されている。本実施の形態のフランジカバー６４は、図４の如くスピンドル本体１４Ａに固定されて第１ブレード１０に対して後側に配置される後部カバー６４Ａと、第１ブレード１０に対して前側に配置される第１前部カバー６４Ｂ及び第２前部カバー６４Ｃとの３つの分離可能な部材を一体的に組み合わせて構成されている。ただし、それらは一体形成されているものであっても良いし、複数の部材のどのような組み合わせで構成されているものであっても良い。以下、後部カバー６４Ａ、第１前部カバー６４Ｂ、及び第２前部カバー６４Ｃのいずれもフランジカバー６４の一部分として図３の断面図の如くそれらを区別せずに説明する。
【００４０】
このフランジカバー６４には、図３及び図４の如く第１ブレード１０（及び加工点）に冷却水を噴射する１対のＬ字状の第１冷却水ノズル１００及び第２冷却水ノズル１０２が取り付けられている。なお、図７は、第１冷却水ノズル１００と第２冷却水ノズル１０２を上側から示した平面図である。
【００４１】
第１冷却水ノズル１００は、第１ブレード１０の後側（第２ブレード１２との対向面と反対の非対向面側）に配置されており、基端側がフランジカバー６４に固定され、先端側が第１ブレード１０の切削方向（Ｘ方向）に沿って第１ブレード１０の後側に配置されている。その第１冷却水ノズル１００の先端側には、図７の如く複数の噴射口（スリット）１００Ａ〜１００Ｃが形成されている。なお、本実施の形態では、３つの噴射口１００Ａ〜１００Ｃが形成されるものとしたが、３つ以外であってもよい。以下で説明する他の冷却水ノズルの噴射口に関しても同様である。
【００４２】
また、第１冷却水ノズル１００の管路は、フランジカバー６４の内部で図４に一部のみを示した供給チューブ１１０に連通しており、供給チューブ１１０から供給された冷却水が、第１冷却水ノズル１００の先端側の噴射口１００Ａ〜１００Ｃから第１ブレード１０（及び加工点）に向けて噴射されるようになっている。
【００４３】
第２冷却水ノズル１０２は、第１ブレード１０の前側（第２ブレード１２との対向面側）に配置されており、基端側がフランジカバー６４に固設された取付ブロック１２０に固定され、先端側が第１ブレード１０の切削方向（Ｘ方向）に沿って第１ブレード１０の前側に配置されている。その第２冷却水ノズル１０２の先端側には、図７の如く複数の噴射口（スリット）１０２Ａ〜１０２Ｃが形成されている。なお、噴射口（スリット）１０２Ｄ〜１０２Ｆについては後述する。
【００４４】
また、第２冷却水ノズル１０２の管路は、取付ブロック１２０の内部で図４に一部のみを示した供給チューブ１１２に連通しており、供給チューブ１１２から供給された冷却水が、第２冷却水ノズル１０２の先端側の噴射口１０２Ａ〜１０２Ｃから第１ブレード１０（及び加工点）に向けて噴射されるようになっている。
【００４５】
ここで、第１冷却水ノズル１００及び第２冷却水ノズル１０２に形成された各噴射口１００Ａ〜１００Ｃ、１０２Ａ〜１０２Ｆは、それらの周壁部にスリット（切込み）を設けることで形成されており、第１冷却水ノズル１００の各噴射口１００Ａ〜１００Ｃは、図８（Ａ）の断面図の如く周壁部１００Ｋの半周分の範囲に渡るスリットにより形成されている。
【００４６】
一方、第２冷却水ノズル１０２の各噴射口１０２Ａ〜１０２Ｆは、詳細は後述するが、図８（Ｂ）の断面図の如く周壁部１０２Ｋの半周分より狭い範囲に渡るスリットにより形成されると共に、後側の噴射口１０２Ａ〜１０２Ｃの各々に対して反対側に前側の噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆの各々が形成されている。従って、第２冷却水ノズル１０２からは、第１ブレード１０に向けて冷却水が噴射されるだけでなく、その反対側に対しても冷却水が噴射されるようになっている。
【００４７】
また、図８（Ａ）、（Ｂ）のように第２冷却水ノズル１０２の外径及び内径の各々は、第１冷却水ノズル１００の外径及び内径の各々よりも大きな寸法により形成されている。これにより、第１冷却水ノズル１００よりも噴射口の数が多い分、第２冷却水ノズル１０２に流す冷却水の流量（ノズル流量）を多くして各噴射口１０２Ａ〜１０２Ｆの各々から噴射する冷却水の噴射量を第１冷却水ノズル１００の各噴射口１００Ａ〜１００Ｃの各々から噴射する冷却水の噴射量と略同等にすることができ、必要流量分の冷却水を第２冷却水ノズル１０２に供給することができるようになっている。なお、第１冷却水ノズル１００の各噴射口１００Ａ〜１００Ｃと第２冷却水ノズル１０２の各噴射口１０２Ａ〜１０２Ｆとは上下方向及び水平方向の開口の大きさが略一致するように形成されている。
【００４８】
続いて第２冷却水ノズル１０２の噴射口１０２Ａ〜１０２Ｆの開閉機構について説明する。第２冷却水ノズル１０２には、図９（Ａ）〜（Ｄ）に示すように前側の噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆを開閉するためのスリットカバー１２２が第２冷却水ノズル１０２の長手軸に沿った方向に進退移動可能に外嵌されている。なお、図９（Ａ）、（Ｂ）は、第２冷却水ノズル１０２の噴射口１０２Ａ〜１０２Ｃが形成された後側（第１スピンドル１４側）を示した斜視図であり、図９（Ｃ）、（Ｄ）は各々、図９（Ａ）、（Ｂ）に対して第２冷却水ノズル１０２の長手軸周りに１８０度回転させて噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆが形成された第２冷却水ノズル１０２の前側を示した斜視図である。
【００４９】
スリットカバー１２２は、第２冷却水ノズル１０２の外径と略等しい内径を有する円筒状に形成されており、図９（Ａ）、（Ｂ）の如くその先端側の一部に開口（切欠）１２２Ａが形成されている。その開口１２２Ａは、第２冷却水ノズル１０２の後側の全ての噴射口１０２Ａ〜１０２Ｃの範囲を含む大きさに形成されている。
【００５０】
これにより、スリットカバー１２２を第２冷却水ノズル１０２の先端側にスライドさせて、図９（Ｂ）、（Ｄ）の如くその開口１２２Ａの範囲に第２冷却水ノズル１０２の後側の全ての噴射口１０２Ａ〜１０２Ｃが含まれる位置にスライドカバー１２２を設置すると、第２冷却水ノズル１０２の前側の全ての噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆがスライドカバー１２２の開口１２２Ａ以外の部分により被覆（遮蔽）される。従って、この図９（Ｂ）、（Ｄ）の状態で第２冷却水ノズル１０２に冷却水を供給すると、第２冷却水ノズル１０２の前側の噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆからの冷却水の噴射が行われずに、後側の噴射口１０２Ａ〜１０２Ｃのみから第１ブレード１０に向けて冷却水の噴射が行われる。
【００５１】
一方、図９（Ｂ）、（Ｄ）の状態からスリットカバー１２２を基端側にスライドさせて、図９（Ａ）、（Ｃ）の如く第２冷却水ノズル１０２の後側の全ての噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆがスライドカバー１２２に被覆されない位置（噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆが露呈する位置）に設置すると、第２冷却水ノズル１０２の後側の噴射口１０２Ａ〜１０２Ｃから第１ブレード１０に向けて冷却水が噴射されると共に、前側の噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆから第１ブレード１０とは反対側に向けて冷却水が噴射されるようになっている。
【００５２】
このスリットカバー１２２は不図示のシリンダ等の駆動手段で移動させることができるようになっており、電気的な制御によってスリットカバー１２２を移動させて、噴射口１０２Ａ〜１０２Ｃを開放し、噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆを閉鎖する図９（Ｂ）、（Ｄ）の片側開放状態と、噴射口１０２Ａ〜１０２Ｆを開放する図９（Ａ）、（Ｃ）の両側開放状態とで切り替えることができるようになっている。この噴射口の開閉機構の用途に付いては後述する。
【００５３】
以上の如く構成された第１ブレード周辺部５０の構造に対して、第１ブレード周辺部５０に対向配置された図３及び図５に示す第２ブレード周辺部５２の構造は略一致している。
【００５４】
第２ブレード周辺部５２において、第２スピンドル１６のスピンドル本体１６Ａ及び回転軸１６Ｂが第１ブレード周辺部５０のスピンドル本体１４Ａ及び回転軸１４Ｂに対応し、ブレード装着部６２のフランジ８０、フランジ固定用ネジ８２、ハブ８４、及びハブ固定用ナット８６が第１ブレード周辺部５０のフランジ７０、フランジ固定用ネジ７２、ハブ７４、及びハブ固定用ナット７６に対応し、フランジカバー６６の後部カバー６６Ａ、第１前部カバー６６Ｂ、及び第２前部カバー６６Ｃが第１ブレード周辺部５０のフランジカバー６４の後部カバー６４Ａ、第１前部カバー６４Ｂ、及び第２前部カバー６４Ｃに対応し、第１冷却水ノズル１０４、第２冷却水ノズル１０６、取付ブロック１４０、及び供給ノズル１１４、１１６が第１ブレード周辺部５０の第１冷却水ノズル１００、第２冷却水ノズル１０２、取付ブロック１２０、及び供給ノズル１１０、１１２が対応し、それらの対応する構成部は、下記で説明する事項以外においては構造が一致しているため説明を省略する。
【００５５】
第２ブレード周辺部５２の第２ブレード１２の後側（第１ブレード１０との対向面側と反対の非対向面側）と前側（第１ブレード１０との対向面側）の各々には、第１ブレード周辺部５０の第１冷却水ノズル１００と第２冷却水ノズル１０２の各々に対応する第１冷却水ノズル１０４と第２冷却水ノズル１０６が配置されている。
【００５６】
図１０は、その第１冷却水ノズル１０４と第２冷却水ノズル１０６を上側から示した平面図である。
【００５７】
同図の如く第１冷却水ノズル１０４には、第１ブレード周辺部５０の第１冷却水ノズル１００と同様に第２ブレード１２側となる前側に噴射口１０４Ａ〜１０４Ｃが形成されている。
【００５８】
一方、第２冷却水ノズル１０６には、これに対応する第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２のように前側と後側の両側には噴射口が設けられてはおらず、第１冷却水ノズル１００、１０４のように方側のみに噴射口１０６Ａ〜１０６Ｃが形成されており、第２ブレード１２側となる後側にそれらの噴射口１０６Ａ〜１０６Ｃが形成されている。
【００５９】
また、その第２冷却水ノズル１０６の外径及び内径も第１冷却水ノズル１００、１０４と一致している。更に、第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２が備えたスリットカバー１２２に相当する噴射口の開閉機構も備えていない。
【００６０】
また、第２冷却水ノズル１０６には、第２ブレード１２の前部から退避させる退避機構が設けられている。図５に示すように、第２冷却水ノズル１０６の基端側が固定される取付ブロック１４０は、フランジカバー６６には固定されておらず、Ｌ字状の連結アーム１５０の先端に固定されている。連結アーム１５０の基端側は、軸部材１５２に固定されており、その軸部材１５２はフランジカバー６６に設置された支持部材１５４に回動可能に軸支されている。これにより、連結アーム１５０が軸部材１５２を回動軸として揺動可能に支持されている。この連結アーム１５０の揺動と共に、第２冷却水ノズル１０６が揺動し、図５の如く第２ブレード１２の前部に配置されている状態（使用可能状態）と、図６の如く第２ブレード１２の前部から退避した状態（不使用状態）との間で移動するようになっている。
【００６１】
また、軸部材１５２には、駆動ユニット１５６から延設されている回転軸１５８が連結されている。駆動ユニット１５６はスピンドル本体１６Ａに固設されており、その内部には不図示のモータが内蔵され、回転軸１５８がそのモータによって回動するようになっている。従って、第２冷却水ノズル１０６の図５に示した使用可能状態と図６に示した不使用状態との間の切替えが、モータの駆動による電気的な制御により行えるようになっている。
【００６２】
次に、上記の如く構成された第１ブレード周辺部５０及び第２ブレード周辺部５２による各冷却水ノズル１００〜１０６の配置について説明する。
【００６３】
ワークＷの切削を行う加工モード時において、第１スピンドル１４及び第２スピンドル１６がＹ方向に駆動されると第１ブレード１０と第２ブレード１２との間隔（距離）が変更される。これによって、第１ブレード１０と第２ブレード１２との間隔が所定距離Ｌ０より大きくなる場合、即ち、図３のように少なくとも第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２と第２ブレード周辺部５２の第２冷却水ノズル１０６とが接触する間隔（このときの距離をＬＳとするとＬＳ＜Ｌ０）よりも大きくなる場合をツインスピンドル非近接状態とし、第１ブレード１０と第２ブレード１２との間隔が所定距離Ｌ０以下となる場合、即ち、少なくとも第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２と第２ブレード周辺部５２の第２冷却水ノズル１０６とが接触する間隔（距離ＬＳ）よりも小さくなる場合をツインスピンドル近接状態とする。
【００６４】
このとき、下記で説明するように、ツインスピンドル非近接状態の場合とツインスピンドル近接状態の場合とで、第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２のスリットカバー１２２の状態（噴射口の開閉機構の状態）が、図９に示したように方側開放状態と両側開放状態とで切り替えられ、第２ブレード周辺部５２の第２冷却水ノズル１０６の状態が、図５及び図６で示したように使用可能状態と不使用状態とで切り替えられるようになっている。これらの切替えは、ダイシング装置１の制御部により、第１スピンドル１４（第１ブレード１０）と第２スピンドル１６（第２ブレード１２）との間隔（距離）に基づいて自動で行われるようにしてもよいし、ユーザが操作部からの入力操作によって手動で行われるようにしてもよい。
【００６５】
ツインスピンドル非近接状態では、第２ブレード周辺部５２の第２冷却水ノズル１０６が、図５に示したように第２ブレード１２の前部に配置された使用可能状態に設定される。これによって、図３に示したように第１ブレード１０の前後に第１冷却水ノズル１００及び第２冷却水ノズル１０２が配置され、第２ブレード１２の前後に第１冷却水ノズル１０４及び第２冷却水ノズル１０６が配置された状態となる。
【００６６】
また、第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２のスリットカバー１２２が図９（Ｂ）、（Ｄ）に示したように噴射口１０２Ａ〜１０２Ｃを開放し、噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆを閉鎖する片側開放状態に設定される。
【００６７】
従って、このツインスピンドル非近接状態のときには、第１ブレード１０（及びその加工点）に対して、第１ブレード周辺部５０の第１冷却水ノズル１００と第２冷却水ノズル１０２とにより両側（前側及び後側）から冷却水が吹き付けられる。一方、第２ブレード１２（及びその加工点）に対しては、第２ブレード周辺部５２の第１冷却水ノズル１０４と第２冷却水ノズル１０６とにより両側（前側及び後側）から冷却水が吹き付けられる。なお、このとき、第２冷却水ノズル１０２の前側の噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆからの不要な冷却水の噴射は行われない。
【００６８】
これに対して、ツインスピンドル近接状態では、第２ブレード周辺部５２の第２冷却水ノズル１０６が、図６に示したように第２ブレード１２の前部から退避した不使用状態に設定される。これによって、図１１に示すように第１ブレード１０の後側には第１冷却水ノズル１００が配置され、第２ブレード１２の後側には第１冷却水ノズル１０４が配置される。一方、第１ブレード１０と第２ブレード１２との間（第１ブレード１０の前側、且つ、第２ブレード１２の前側）の略中央の位置には、第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２のみが配置される。
【００６９】
また、第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２のスリットカバー１２２が図９（Ａ）、（Ｃ）に示したように噴射口１０２Ａ〜１０２Ｆの全てを開放した両側開放状態に設定される。
【００７０】
従って、このツインスピンドル近接状態のときには、第１ブレード１０（及びその加工点）に対して、第１ブレード周辺部５０の第１冷却水ノズル１００と第２冷却水ノズル１０２とにより両側（前側及び後側）から冷却水が吹き付けられる。一方、第２ブレード１２（及びその加工点）に対しては、第２ブレード周辺部５２の第１冷却水ノズル１０４により後側から冷却水が吹き付けられ、前側からは、前側から退避した第２冷却水ノズル１０６の代りに第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２から冷却水が吹き付けられる。即ち、第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２が第１ブレード１０と第２ブレード１２との両方に対して冷却水を噴射する共有ノズルとして使用される。
【００７１】
このツインスピンドル近接状態のときの冷却水ノズルの配置によれば、近接配置された第１ブレード１０と第２ブレード１２との間の略中央となる位置に第２冷却水ノズル１０２が共有ノズルとして配置されるため、第１ブレード１０と第２ブレード１２との間の中央付近におけるドライエリアの発生が抑止され、ドライエリアの発生によってワークＷにコンタミが残留するという不具合を防止することができる。
【００７２】
また、第１ブレード１０と第２ブレード１２との間の冷却水ノズルが第２冷却水ノズル１０２のみであるため、それらの間に２つの冷却水ノズルを配置した場合と比較して第１ブレード１０と第２ブレード１２とを最も接近させた場合の間隔（最接近距離）を短縮することができる。また、上述のように第２冷却水ノズル１０２のノズル径を大きくすることも可能であり、必要な流量の冷却水を供給することができる。
【００７３】
ここで、ツインスピンドル近接状態のときの共有ノズルである第２冷却水ノズル１０２の位置、寸法等について説明する。第２冷却水ノズル１０２は、例えば、第１ブレード１０と第２ブレード１２とが最も接近した最近接距離となる位置に配置された状態のときに、第１ブレード１０と第２ブレード１２の間の中央位置に配置されるようになっている。
【００７４】
具体的な数値例を示すと、第１ブレード１０と第２ブレード１２との最接近距離（Ｙ方向の距離）が１５．０ｍｍであるとすると、このとき、第２冷却水ノズル１０２の中心が、第１ブレード１０と第２ブレード１２の各々から７．５ｍｍ離れた位置に配置される。第１ブレード１０から第１冷却水ノズル１００の中心まで距離、及び、第２ブレード１２から第１冷却水ノズル１０４の中心までの距離は６．５ｍｍである。この第２冷却水ノズル１０２の中心位置は、第１ブレード周辺部５０の最前端面となるハブ固定用ナット７６の前面よりも前方となる位置で、かつ、第２ブレード周辺部５２の最前端面となるハブ固定用ナット８６の前面よりも前方となる位置であり、近接配置されたハブ固定用ナット７６の前面とハブ固定用ナット８６の前面との間の隙間の位置に配置されている。このとき、ミストの発生が好適に抑止されるという効果がある。
【００７５】
また、第１冷却水ノズル１００、１０４、及び第２冷却水ノズル１０６の外径が４．０ｍｍ、内径が３．０ｍｍであるのに対して、第２冷却水ノズル１０２の外径は５．２ｍｍ、内径は４．２ｍｍとなっており、他の冷却水ノズル１００〜１０４と比較してノズル径が大きいものとなっている。
【００７６】
更に、ワーク切削時におけるワークＷの表面からの第１ブレード１０及び第２ブレード１２の中心（第１スピンドル１４の回転軸１４Ｂ及び第２スピンドル１６の回転軸１６Ｂの中心）の高さが２８．０ｍｍであるのに対して第２冷却水ノズル１０２の中心の高さが３．０〜８．０ｍｍの範囲内の値となっている。第１冷却水ノズル１００、１０４、及び第２冷却水ノズル１０６の中心の高さは２．０ｍｍである。
【００７７】
以上の第２冷却水ノズル１０２の位置や寸法は一例であってこれに限らない。第２冷却水ノズル１０２は、第１ブレード１０と第２ブレード１２とが最近接距離となる位置に配置された状態のときではなく、その近傍（それよりも離間した位置）に配置された状態のときに、第１ブレード１０と第２ブレード１２の間の中央位置に配置されるようにしてもよい。
【００７８】
また、第２冷却水ノズル１０２のＹ方向の位置を変更可能にして、ツインスピンドル近接状態のときの第１ブレード１０と第２ブレード１２との任意の位置に対して、それらの中央位置に第２冷却水ノズル１０２を配置できるようにすると好適である。第２冷却水ノズル１０２のＹ方向の位置を変更可能にする手段として、例えば、図４に示した第１ブレード周辺部５０において、第２冷却水ノズル１０２の基端側が固定される取付ブロック１２０に、例えばモータにより第２冷却水ノズル１０２をＹ方向に変位させる駆動手段を備えるようにすればよい。これによって、第１ブレード１０と第２ブレード１２と位置に応じて第２冷却水ノズル１０２をＹ方向に移動させることで、第２冷却水ノズル１０２を第１ブレード１０と第２ブレード１２との間の中央位置に配置することができる。
【００７９】
以上、上記実施の形態（第１の実施の形態とする）において、各冷却水ノズル１００〜１０６の噴射口は図７、図８、図１０に示したようにＹＺ平面に平行に形成され、第１ブレード１０や第２ブレード１２の歯面に対して直交する方向に冷却水を噴射するようにしているが、それらの回転が行われている際の下流側に向けて斜めに噴射するようにするとミストの発生を抑止することができるため好適である。例えば、図４、図５に示すように切削時において第１ブレード１０や第２ブレード１２は図中矢印Ａ方向に回転するが、その場合の下流側は、図中矢印Ｂ方向となるため、各冷却水ノズル１００〜１０６をノズル中心から先端側に向けて斜めに切込みしたスリットとすればよい。下記で説明する他の実施の形態における冷却水ノズルの噴射口についても同様である。
【００８０】
また、上記第１の実施の形態では、第２冷却水ノズル１０２により第１ブレード１０と第２ブレード１２に冷却水を噴射するようにしたが、下側にも噴射口を形成してワークＷに向けて冷却水を噴射するようにしてもよい。これによれば、ワークＷをワークテーブル１８に押さえ付けるという効果が増加する。
【００８１】
また、上記第１の実施の形態では、ツインスピンドル近接状態とツインスピンドル非近接状態とで、冷却水ノズルの状態を変化させて、いずれの状態の切削時において有効に冷却水を供給できるようにしたが、ツインスピンドル近接状態でのみ切削を行う場合があるため、必ずしもツインスピンドル非近接状態のときの冷却水ノズルの状態への切替えを可能にする必要はない。即ち、図１１に示したツインスピンドル近接状態となるように第１冷却水ノズル１００、１０４、及び第２冷却水ノズル１０２を配置するものであれば、どのような構成によってそれらを配置するものでも良く、必ずしも第２冷却水ノズル１０６や第２冷却水ノズル１０２の噴射口の開閉機構を設ける必要もない。
【００８２】
次に、加工部２における第１ブレード周辺部５０及び第２ブレード周辺部５２の第２の実施の形態について説明する。
【００８３】
上記第１の実施の形態の冷却水ノズルの配置においては、ツインスピンドル非近接状態のときに第１ブレード１０への冷却水の噴射に使用される第２冷却水ノズル１０２と、第２ブレード１２への冷却水の噴射に使用される第２冷却水ノズル１０６のうち、ツインスピンドル近接状態のときに１つの第２冷却水ノズル１０６を退避させて第１ブレード１０と第２ブレード１２との間に第２冷却水ノズル１０２のみを配置し、それらの間の略中央位置に第２冷却水ノズル１０２を配置するようにしている。これに対して、第２の実施の形態では、ツインスピンドル非近接状態のときに第１ブレード１０への冷却水の噴射に使用される第２冷却水ノズル１０２と、第２ブレード１２への冷却水の噴射に使用される第２冷却水ノズル１０６の他に、ツインスピンドル近接状態のときに、第１ブレード１０と第２ブレード１２との間の略中央位置に配置される第３冷却水ノズルを備えるようにする。
【００８４】
図１２は、第２の実施の形態の冷却水ノズルの配置を示した第１ブレード周辺部５０及び第２ブレード周辺部の断面図である。なお、第１の実施の形態の各構成要素と同一又は類似作用の構成要素には同一符号を付し、以下の事項以外の説明を省略する。
【００８５】
同図は、ツインスピンドル近接状態を示しており、第１ブレード周辺部５０は、第１ブレード１０の後部に配置される第１冷却水ノズル１００と第１ブレード１０の前部に配置される第２冷却水ノズル１０２の他に、第１ブレード１０の前部で且つ第２冷却水ノズル１０２の前部に配置される第３冷却水ノズル１６０を備えている。
【００８６】
第３冷却水ノズル１６０は、図１３の第１ブレード周辺部５０の斜視図に示すように、Ｌ字状に形成されており、その基端側が第２冷却水ノズル１０２と共に取付ブロック１２０に固定されている。第３冷却水ノズル１６０の先端側には、複数の噴射口（スリット）１６０Ａ〜１６０Ｃが形成されている。これらの噴射口１６０Ａ〜１６０Ｃは、下側（ワークＷ側）に向けて冷却水を噴射するように第３冷却水ノズル１６０の下側に形成されている。なお、噴射口の数は３つの場合に限らない。
【００８７】
また、第３冷却水ノズル１６０の管路は取付ブロック１２０の内部で供給チューブ１６２に連通しており、供給チューブ１６２から供給された冷却水が、第３冷却水ノズル１６０の噴射口１６０Ａ〜１６０ＣからワークＷに向けて噴射されるようになっている。
【００８８】
なお、本実施の形態の第２冷却水ノズル１０２は、第１の実施の形態の場合と異なり、第１ブレード１０に対してのみ冷却水を噴射する後側の噴射口１０２Ａ〜１０２Ｃのみを有し、前側の噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆを有しておらず、第１の実施の形態で有していたスリットカバー１２２のような噴射口の開閉機構を備えていない。また、そのノズル径（外径及び内径）も第１冷却水ノズル１００と同じであり、第１ブレード１０の位置を挟んで第１冷却水ノズル１００と対称位置に配置されている。
【００８９】
また、本実施の形態では、第１の実施の形態のように第２ブレード周辺部５２の第２冷却水ノズル１０６を使用可能状態と不使用状態とで切り替える退避機構も設けられていない。
【００９０】
この第２の実施の形態における冷却水ノズルの配置によれば、ツインスピンドル近接状態において、第１ブレード１０（及び加工点）には第１冷却水ノズル１００と第２冷却水ノズル１０２により両側から冷却水が吹き付けられ、第２ブレード１２（及び加工点）には第１冷却水ノズル１０４と第２冷却水ノズル１０６により両側から冷却水が吹き付けられる。そして、第１ブレード１０と第２ブレード１２との間の中央付近にはそれらの間の略中央位置に配置された第３冷却水ノズル１６０から噴射された冷却水がワークＷに向けて吹き付けられる。従って、第１ブレード１０と第２ブレード１２との間の中央付近におけるドライエリアの発生が抑止され、ドライエリアの発生によってワークＷにコンタミが残留するという不具合を防止することができる。また、第３冷却水ノズル１６０からの冷却水の圧力によってワークＷをワークテーブル１８を押さえ付けるという効果も有する。
【００９１】
ここで、第３冷却水ノズル１６０は、第１ブレード１０と第２ブレード１２とが最接近距離となる位置に配置された状態のとき、又は、その近傍位置に配置されたときに、第１ブレード１０と第２ブレード１２の間の中央位置に配置されるようにしてもよい。また、第１の実施の形態の第２冷却水ノズル１０２と同様に第３冷却水ノズル１６０のＹ方向の位置を変更可能にして、ツインスピンドル近接状態のときの第１ブレード１０と第２ブレード１２の位置に応じて第３冷却水ノズル１６０の位置を変更して、それらの間の中央位置に第３冷却水ノズル１６０を配置するようにしてもよい。
【００９２】
なお、ツインスピンドル非近接状態のときには、第３冷却水ノズル１６０への冷却水の供給を停止させれば、第３冷却水ノズル１６０からの不要な冷却水の噴射を停止させることができる。
【００９３】
また、本第２の実施の形態においても必ずしもツインスピンドル非近接状態のときの冷却水ノズルの状態への切替えを可能にする必要はない。即ち、図１２に示したツインスピンドル近接状態となるように第１冷却水ノズル１００、１０４、及、第２冷却水ノズル１０２、１０６、及び第３冷却水ノズル１６０を配置するものであれば、どのような構成によってそれらを配置するものでもよい。
【００９４】
続いて、加工部２における第１ブレード周辺部５０及び第２ブレード周辺部５２の第３の実施の形態について説明する。上記第１の実施の形態では、ツインスピンドル近接状態のときに第２ブレード周辺部５２の第２冷却水ノズル１０６を退避させて第１ブレード１０と第２ブレード１２との間に第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２のみを配置するようにしている。これに対して、第３の実施の形態では、ツインスピンドル非近接状態のときに第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２と、第２ブレード周辺部５２の第２冷却水ノズル１０６の両方が第１ブレード１０と第２ブレード１２との間の略中央位置に上下方向（Ｚ方向）に並べて配置されるようにする。
【００９５】
図１４は、第３の実施の形態の冷却水ノズルの配置を示した第１ブレード周辺部５０及び第２ブレード周辺部の断面図である。なお、第１の実施の形態の各構成要素と同一又は類似作用の構成要素には同一符号を付し、以下の事項以外の説明を省略する。
【００９６】
図１４は、ツインスピンドル近接状態を示しており、第１ブレード周辺部５０は、第１の実施の形態と同様に第１ブレード１０の後部に配置される第１冷却水ノズル１００と第１ブレード１０の前部に配置される第２冷却水ノズル１０２とを備えている。また、第２ブレード周辺部５２も、第１の実施の形態と同様に第１ブレード１０の後部に配置される第１冷却水ノズル１０４と第１ブレード１０の前部に配置される第２冷却水ノズル１０６とを備えている。
【００９７】
一方、本実施の形態の第２冷却水ノズル１０２と第２冷却水ノズル１０６とは、第１の実施の形態の場合と異なり、上下方向（Ｚ方向）にずれた位置に並べて配置されており、Ｙ方向の同一位置に配置することができるようになっている。また、それらのノズル径（外径及び内径）は、第１冷却水ノズル１００、１０４よりも小さい。ただし、スペース的に余裕がある場合には、第２冷却水ノズル１０２、１０６のノズル径を第１冷却水ノズル１００、１０４と同一とすることもできる。
【００９８】
なお、第２冷却水ノズル１０２は、第１の実施の形態とは異なり、第１ブレード１０に対してのみ冷却水を噴射する後側の噴射口１０２Ａ〜１０２Ｃのみを有し、前側の噴射口１０２Ｄ〜１０２Ｆを有しておらず、第１の実施の形態で有していたスリットカバー１２２のような噴射口の開閉機構を備えていない。また、第１の実施の形態のように第２ブレード周辺部５２の第２冷却水ノズル１０６を使用可能状態と不使用状態とで切り替える退避機構も設けられていない。
【００９９】
この第３の実施の形態における冷却水ノズルの配置によれば、ツインスピンドル近接状態において、第１ブレード周辺部５０の第２冷却水ノズル１０２と、第２ブレード周辺部５２の第２冷却水ノズル１０６とが第１ブレード１０と第２ブレード１２との間の略中央位置に上下方向に並べて配置される。そして、第１ブレード１０（及び加工点）には第１冷却水ノズル１００と第２冷却水ノズル１０２により両側から冷却水が吹き付けられ、第２ブレード１２（及び加工点）には第１冷却水ノズル１０４と第２冷却水ノズル１０６により両側から冷却水が吹き付けられる。従って、第１ブレード１０と第２ブレード１２との間の中央付近におけるドライエリアの発生が抑止され、ドライエリアの発生によってワークＷにコンタミが残留するという不具合を防止することができる。
【０１００】
ここで、第２冷却水ノズル１０２と第２冷却水ノズル１０６は、第１ブレード１０と第２ブレード１２とが最接近距離となる位置に配置された状態のとき、又は、その近傍位置に配置されたときに、第１ブレード１０と第２ブレード１２の間の中央位置に配置されるようにしてもよい。また、第１の実施の形態の第２冷却水ノズル１０２と同様に第２冷却水ノズル１０２と第２冷却水ノズル１０６のＹ方向の位置を変更可能にして、ツインスピンドル近接状態のときの第１ブレード１０と第２ブレード１２の位置に応じて第２冷却水ノズル１０２と第２冷却水ノズル１０６、それらの間の中央位置に第２冷却水ノズル１０２と第２冷却水ノズル１０６を配置するようにしてもよい。
【０１０１】
なお、第２冷却水ノズル１０２と第２冷却水ノズル１０６のうちの一方又は両方のＺ方向の位置を変更可能にし、ツインスピンドル近接状態のときのみ、それらが干渉しないようにＺ方向に変位させて上下方向に並べて配置するようにしてもよい。
【０１０２】
また、第２冷却水ノズル１０２の下側にも噴射口を形成してワークＷに向けて冷却水を噴射するようにしてもよい。これによれば、ワークＷをワークテーブル１８に押さえ付けるという効果が増加する。
【０１０３】
また、本第３の実施の形態においても必ずしもツインスピンドル非近接状態のときの冷却水ノズルの状態への切替えを可能にする必要はない。即ち、図１４に示したツインスピンドル近接状態となるように第１冷却水ノズル１００、１０４、及、第２冷却水ノズル１０２、１０６を配置するものであれば、どのような構成によってそれらを配置するものでもよい。
【符号の説明】
【０１０４】
１…ダイシング装置、２…加工部、４…洗浄部、６…ロードポート、８…搬送手段、１０…第１ブレード、１２…第２ブレード、１４…第１スピンドル、１４Ａ、１６Ａ…スピンドル本体、１４Ｂ、１６Ｂ…回転軸、１６…第２スピンドル、１８…ワークテーブル、５０…第１ブレード周辺部、５２…第２ブレード周辺部、６０、６２…ブレード装着部、６４、６６…フランジカバー、７０、８０…フランジ、７２、８２…フランジ固定用ネジ、７４、８４…ハブ、７６、８６…ハブ固定用ナット、１００、１０４…第１冷却水ノズル、１００Ａ〜１００Ｃ、１０２Ａ〜１０２Ｆ、１０４Ａ〜１０４Ｃ、１０６Ａ〜１０６Ｃ…噴射口（スリット）、１０２、１０６…第２冷却水ノズル、１１０、１１２、１１４、１１６…供給チューブ、１２０、１４０…取付ブロック、１２２…スリットカバー、１５０…連結アーム、１６０…第３冷却水ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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