(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムを搬送する搬送部と、
前記フィルムに塗布液を塗布する塗布部と、
前記塗布液が塗布された前記フィルムを所定の長さに切断するカッターと、
前記フィルムを基板に貼り付ける貼付部と、
前記塗布液が塗布された前記フィルムを段階的に加熱する加熱部と、を備え、
前記カッターは、前記フィルムの搬送方向と交差する方向において、前記フィルムの一端側から他端側に向かってカッター刃を移動させながら当該フィルムを切断し、
前記搬送部は、前記塗布部と対向する位置で前記フィルムを保持するとともに前記フィルムの搬送方向に交差する方向の幅が当該フィルムの幅よりも大きいフィルム保持ローラーを含み、
前記塗布部は、塗布時に前記フィルム保持ローラーに付着した前記塗布液を洗浄するローラー洗浄部を含むことを特徴とする貼付装置。
【請求項２】
前記フィルムは長尺状のシート部材を巻回したロール体から構成され、
前記搬送部は、前記ロール体から巻き出すことで前記シート部材を搬送することを特徴とする請求項１に記載の貼付装置。
【請求項３】
前記塗布部は、前記塗布液を塗布する塗布ノズルと、前記塗布ノズルから飛散するミストを回収するミスト回収部とを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の貼付装置。
【請求項４】
前記搬送部は、前記フィルムを搬送するタイミングを調整するタイミング調整部を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項５】
前記フィルムは、前記塗布液が塗布される主フィルム材と、保護材とを含み、
前記貼付部は、前記主フィルム材から前記保護材を剥離するとともに前記塗布液を介して前記主フィルム材を前記基板に貼り付けることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項６】
前記塗布部が前記塗布液として接着剤を塗布することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項７】
前記塗布部による前記塗布液の塗布処理に先んじて前記フィルムを洗浄する洗浄部をさらに備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項８】
前記搬送部は、前記塗布部に対して前記フィルムを水平面と交差する方向に沿って搬送することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項９】
前記加熱部で加熱された前記フィルムを冷却する冷却部をさらに備えることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項１０】
前記基板に貼り付けられた前記フィルムを検査する検査部をさらに備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貼付装置に関する。
本願は、２０１２年３月１日に、日本に出願された特願２０１２−０４５７０２号、特願２０１２−０４５７０３号及び特願２０１２−０４５７０４号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フィルムを搬送しつつ、基板に貼り付ける貼り付け装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４５６８３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来技術においては、基板への貼り付けを行う前にフィルム材に接着材を塗布する必要があり、別途接着剤（塗布液）を塗布するための塗布装置が必要となっていた。そこで、フィルムへの接着剤の塗布工程と、接着剤を塗布したフィルムの基板への貼り付け工程とを一貫ラインで行うことで効率よく基板にフィルムを貼り付けることができる新たな技術の提供が望まれている。【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、接着剤の塗布及び基板への貼り付けを一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良く行うことができる貼付装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の第一態様に係る貼付装置は、フィルムを搬送する搬送部と、前記フィルムに塗布液を塗布する塗布部と、前記塗布液が塗布された前記フィルムを所定の長さに切断するカッターと、前記フィルムを基板に貼り付ける貼付部と、を備えることを特徴とする。【０００７】
本態様に係る貼付装置によれば、フィルムに塗布液を塗布する塗布工程、フィルムを切断する工程、及びフィルムを基板に貼り付ける工程を一貫したラインで行うことができるので、効率良くフィルムを基板に貼り付けることができる。【０００８】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記フィルムは長尺状のシート部材を巻回したロール体から構成され、前記搬送部は、前記ロール体から巻き出すことで前記シート部材を搬送するのが好ましい。
この構成によれば、ロール体から巻き出されたフィルムを複数の基板に対して順次貼り付けることができ、貼り付け工程をより効率的に行うことができる。【０００９】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記塗布液が塗布された前記フィルムを加熱する加熱部をさらに備えるのが好ましい。
この構成によれば、フィルムを加熱することで該フィルムに塗布された塗布液を良好に乾燥させることができる。【００１０】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記加熱部は、前記フィルムを段階的に加熱するのが好ましい。
この構成によれば、フィルムが段階的に加熱されるので、フィルムに塗布された塗布液を効率よく加熱して乾燥させることができる。加熱部は、例えば塗布液として２種類の溶剤を含むものを用いた場合、第１段階目の加熱処理で該塗布液中の第１溶剤を蒸発させ、第２段階目の加熱処理で該塗布液中の第２溶剤を蒸発させて塗布液を乾燥させ、良好に硬化させることができる。また、複数の加熱部がフィルムを段階的に加熱する構成を採用すれば、複数のフィルムを順次加熱することができる。よって、先のフィルムの乾燥処理が終了するまで次のフィルムの乾燥処理を開始することができないためにフィルム搬送を停止或いは搬送速度を低くする必要が無くなるので、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。【００１１】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記塗布部は、前記塗布液を塗布する塗布ノズルと、前記塗布ノズルから飛散するミストを回収するミスト回収部とを含むのが好ましい。
この構成によれば、塗布ノズルから飛散したミストを回収することでミストが飛散して装置内が汚れるのを防止することができる。【００１２】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記ミスト回収部は、前記フィルムの前記塗布液が塗布される面と反対の裏面及び側面を覆うように配置されるのが好ましい。
この構成によれば、フィルムの裏面及び側面を覆うようにミスト回収部が配置されるので、塗布ノズルから塗布液が塗布された際に飛散したミストをミスト回収部によって良好に回収することができる。【００１３】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記塗布部は、前記フィルムの幅方向におけるフィルム端に塗布される前記塗布液の厚みを調整する膜厚調整部をさらに含むのが好ましい。
この構成によれば、膜厚調整部によってフィルム端の膜厚が調整されるので、幅方向の全域において塗布液の膜厚を均一化させることができる。【００１４】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記搬送部は、前記フィルムを搬送するタイミングを調整するタイミング調整部を有するのが好ましい。
この構成によれば、タイミング調整部によってフィルムの搬送タイミングを調整することで、フィルムを搬送した状態のままカッターによる切断工程および貼付部によるフィルムの貼付工程を実行することができる。【００１５】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記フィルムは、前記塗布液が塗布される主フィルム材と、保護材とを含み、前記貼付部は、前記主フィルム材から前記保護材を剥離するとともに前記塗布液を介して該主フィルム材を前記基板に貼り付けるのが好ましい。
この構成によれば、基板に貼り付けられる主フィルム材が保護材によって保護されているので、基板に貼り付けられる前の主フィルム材に傷が付くのを防止することができる。【００１６】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、さらに、少なくとも前記基板の搬送方向後端における前記フィルムの貼付を補助する貼付補助部と、を備えるようにしてもよい。
例えば複数の基板に対して連続的にフィルムの貼付を行う際、基板の搬送方向後端においてはフィルムの貼付が不十分となる可能性がある。そこで、本構成によれば、貼付補助部が搬送方向後端におけるフィルムの貼付を補助するので、基板の全面にフィルムを良好に貼り付けることができる。【００１７】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記貼付部は、前記搬送部の一部を構成する前記基板を搬送する第１搬送ローラーと、該第１搬送ローラーに対して昇降可能とされ、当該第１搬送ローラーとの間で前記基板及び前記フィルムを挟むことで該フィルムを該基板に貼り付けるフィルム貼付ローラーとを含み、前記貼付補助部は、前記貼付部を経由した前記基板を搬送する第２搬送ローラーと、該第２搬送ローラーとの間で前記基板及び前記フィルムを挟む貼付補助ローラーとを含み、前記フィルム貼付ローラーは、前記搬送部に搬送される前記基板の搬送方向先端がフィルム貼付位置に到達するタイミングに合わせて下降し、前記基板の搬送方向後端が前記フィルム貼付位置に到達する前のタイミングで上昇し、前記貼付補助ローラーは、少なくとも前記搬送部に搬送される前記基板の搬送方向後端において該基板及び前記フィルムを前記第２搬送ローラーとの間で挟むのが好ましい。
この構成によれば、フィルム貼付ローラーが基板の搬送方向先端がフィルム貼り付け位置に到達するタイミングに合わせて下降するので、基板に対してフィルムを良好に位置合わせして貼り付けることができる。また、基板の搬送方向後端がフィルム貼り付け位置に到達する前のタイミングに合わせて上昇するので、次の基板に貼り付けられるフィルムがフィルム貼付ローラー及び第１搬送ローラー間に巻き込まれるのを防止することができる。また、フィルム貼付ローラーが上昇することでフィルムの貼付が不十分となった基板の搬送方向後端では、貼付補助ローラー及び第２搬送ローラー間でフィルム及び基板が挟まれることでフィルムの後端の切断部分を確実に基板に貼り付けることができる。よって、貼付部によるフィルム貼付を貼付補助部が良好に補う、すなわち補助することができる。【００１８】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記貼付補助ローラーは、前記第２搬送ローラーに対して昇降可能とされるのが好ましい。
この構成によれば、貼付補助ローラーが第２搬送ローラーに対して昇降可能とされるので、該貼付補助ローラーは基板の任意の位置から当接することができる。よって、例えば基板の搬送先端から該基板を第２搬送ローラーとの間で挟持することでフィルムを基板に確実に貼り付けることができる。【００１９】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記フィルムは、前記塗布液が塗布される主フィルム材と、保護材とを含み、前記貼付部は、前記主フィルム材から前記保護材を剥離するとともに前記塗布液を介して該主フィルム材を前記基板に貼り付けるのが好ましい。
この構成によれば、基板に貼り付けられる主フィルム材が保護材によって保護されているので、基板に貼り付けられる前の主フィルム材に傷が付くのを防止することができる。【００２０】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記カッターは、前記基板に貼り付けられる貼付部分と前記基板に貼り付けられない非貼付部分とを含むように前記フィルムを切断するのが好ましい。
この構成によれば、例えば基板の搬送速度、フィルム貼付ローラーの昇降速度等に応じて適宜設定された非貼付部分を備えることで、フィルムの貼付開始位置と基板の搬送方向先端との位置合わせを容易なものにすることができる。【００２１】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記搬送部は、前記貼付部に対し、前記フィルムの搬送経路における下流側に配置され、該フィルムの搬送を中継する中継ローラーを含み、前記中継ローラーは、前記基板の搬送方向において前記貼付補助部よりも前記貼付部に近接して配置され、且つ前記貼付部よりも上方に配置されるのが好ましい。
この構成によれば、フィルム貼付ローラーを経由したフィルムは上方に向かって急峻に折り曲げられることになるので、カッターによってカットされた主フィルム材のみが基板に貼り付けられ、主フィルム材から保護材を分離することができる。【００２２】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記フィルムは長尺状のシート部材を巻回したロール体から構成され、前記搬送部は、前記ロール体から巻き出すことで前記シート部材を搬送するのが好ましい。
この構成によれば、ロール体から巻き出されたフィルムを複数の基板に対して順次貼り付けることができ、貼り付け工程をより効率的に行うことができる。【００２３】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記搬送部は、前記フィルムを搬送するタイミングを調整するタイミング調整部を有するのが好ましい。
この構成によれば、タイミング調整部によってフィルムの搬送タイミングを調整することで、フィルムを搬送した状態のままカッターによる切断工程および貼付部によるフィルムの貼付工程を実行することができる。【００２４】
本発明の第二態様に係る貼付装置は、フィルムを搬送する搬送部と、前記フィルムに塗布液を塗布する塗布部と、前記塗布液が塗布された前記フィルムを基板に貼り付ける貼付部と、を備え、前記塗布部は、前記塗布液を前記フィルムに塗布する塗布ノズルと、前記塗布ノズルを移動可能に保持する本体部と、前記フィルムにおける搬送方向に交差する幅方向に沿って前記塗布ノズルを移動させる移動機構と、前記本体部を回動させる回動部と、を有することを特徴とする。【００２５】
本態様に係る貼付装置によれば、移動機構及び回動部によって塗布ノズルが略８の字状に移動させることができるので、例えばフィルムの搬送速度及び塗布ノズルの移動速度を調整することで塗布ノズルの先端を所定方向に搬送されるフィルムの幅方向に沿って移動させることができる。よって、塗布ノズルの先端をフィルムの幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることで、塗布液をフィルムの全面に亘って均一に塗布することができる。【００２６】
また、上記第二態様に係る貼付装置においては、前記塗布部は、前記塗布ノズルが前記搬送部により搬送される前記フィルムの前記幅方向に沿って相対的に往復動作するように前記移動機構及び前記回動部を駆動させるのが好ましい。
この構成によれば、塗布ノズルがフィルムの幅方向に沿って相対的に往復動作するので、上述したように塗布ノズルの先端をフィルムの幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることで、塗布液をフィルムの全面に亘って均一に塗布することができる。【００２７】
また、上記第二態様に係る貼付装置においては、前記塗布部は、前記塗布ノズルが前記フィルム上を搬送方向に向かって斜めに横切るように該フィルムの幅方向の一端側から他端側に移動し、前記搬送方向と反対側に折り返した後、前記フィルム上を搬送方向に向かって斜めに横切るように該フィルムの幅方向の他端側から一端側に移動するとともに前記搬送方向と反対側に折り返す動作を行うように前記移動機構及び前記回動部を駆動するのが好ましい。
この構成によれば、塗布ノズルを上述したように略８の字状に移動させることができるので、塗布ノズルの先端がフィルムの幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動することで塗布液をフィルムの全面に亘って均一に塗布することができる。【００２８】
また、上記第二態様に係る貼付装置においては、前記塗布部は、前記塗布ノズルから飛散するミストを回収するミスト回収部をさらに含むのが好ましい。
この構成によれば、塗布ノズルから飛散したミストを回収することでミストが飛散して装置内が汚れるのを防止することができる。【００２９】
また、上記第二態様に係る貼付装置においては、前記ミスト回収部は、前記フィルムの前記塗布液が塗布される面と反対の裏面及び側面を覆うように配置されるのが好ましい。
この構成によれば、フィルムの裏面及び側面を覆うようにミスト回収部が配置されるので、塗布ノズルから塗布液が塗布された際に飛散したミストをミスト回収部によって良好に回収することができる。【００３０】
また、上記第二態様に係る貼付装置においては、前記塗布部は、前記フィルムの幅方向におけるフィルム端に塗布される前記塗布液の厚みを調整する膜厚調整部をさらに含むのが好ましい。
この構成によれば、膜厚調整部によってフィルム端の膜厚が調整されるので、幅方向の全域において塗布液の膜厚を均一化させることができる。【００３１】
また、上記第二態様に係る貼付装置においては、前記塗布液が塗布された前記フィルムを所定の長さに切断するカッターをさらに備え、前記フィルムは長尺状のシート部材を巻回したロール体から構成され、前記搬送部は、前記ロール体から巻き出すことで前記シート部材を搬送するのが好ましい。
この構成によれば、ロール体から巻き出されてカッターにより所定の長さに切断されたフィルムを複数の基板に対して順次貼り付けることができ、貼り付け工程をより効率的に行うことができる。【００３２】
また、上記第二態様に係る貼付装置においては、前記塗布ノズルがスプレーノズルから構成されるのが好ましい。
この構成によれば、フィルムに塗布液をスプレー噴射することで効率的に塗布液を塗布することができる。【００３３】
また、上記第一及び第二態様に係る貼付装置においては、前記塗布部が前記塗布液として接着剤を塗布するのが好ましい。
この構成によれば、塗布部が接着剤を塗布するので、該接着剤によりフィルムと基板とを簡便に貼り付けることができる。【００３４】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記塗布部による前記塗布液の塗布処理に先んじて前記フィルムを洗浄する洗浄部をさらに備えるのが好ましい。
この構成によれば、洗浄部の洗浄処理によってゴミ等の異物が除去されたフィルムに対して塗布液を塗布できるので、塗布液とフィルムとの密着性を向上させることができる。【００３５】
また、上記第一及び第二態様に係る貼付装置においては、前記搬送部は、前記塗布部に対して前記フィルムを水平面と交差する方向に沿って搬送するのが好ましい。
この構成によれば、水平面と交差する方向、例えば鉛直方向に沿って搬送されるフィルムに対して塗布液が塗布されるので、塗布時に飛散して下方に落下したミストが付着することが防止され、フィルムに安定した膜厚の塗布液を塗布することができる。よって、塗布液の塗布面にムラが発生するのを抑制できる。【００３６】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記加熱部で加熱された前記フィルムを冷却する冷却部をさらに備えるのが好ましい。
この構成によれば、加熱部で加熱されたフィルムを冷却して短時間で所定温度まで下げることができる。【００３７】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記タイミング調整部は、他端側を基準に回動可能なレバー部材と、前記レバー部材の一端側に設けられるとともに前記フィルムが巻き掛けられるローラー部材と、を備えるのが好ましい。
この構成によれば、レバー部材の回動量に基づいてローラー部材によるフィルムの押し込み量を調整することでフィルムの搬送タイミングを任意に設定することができる。【００３８】
また、上記第一及び第二態様に係る貼付装置においては、前記基板に貼り付けられた前記フィルムを検査する検査部をさらに備えるのが好ましい。
この構成によれば、検査装置により基板に貼り付けられたフィルムを検査することができるので、貼付状態が不良の基板を選別することができる。【００３９】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記搬送部は、前記塗布ノズルと対向する位置で前記フィルムを保持するとともに前記フィルムの搬送方向に交差する方向の幅が当該フィルムの幅よりも大きいフィルム保持ローラーを含み、前記塗布部は、塗布時に前記フィルム保持ローラーに付着した前記塗布液を洗浄するローラー洗浄部を含むのが好ましい。
この構成によれば、搬送部がフィルムよりも広い幅のフィルム保持ローラーを備えるので、フィルムを確実に保持して搬送することができる。また、塗布部がローラー洗浄部を備えるので、フィルム保持ローラーに付着した塗布液を良好に除去することができる。よって、順次搬送されるフィルムがフィルム保持ローラーに当接した際に、フィルム保持ローラーに付着した塗布液によって汚れるといった不具合の発生を防止できる。【００４０】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記カッターは、前記フィルムの搬送方向と交差する方向において、前記フィルムの一端側から他端側に向かってカッター刃を移動させながら当該フィルムを切断するのが好ましい。
この構成によれば、カッター刃がフィルムの一端側から他端側に向かって移動することでフィルムを簡便且つ確実に切断することができる。【００４１】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記フィルムを切断後の前記カッター刃を洗浄するカッター刃洗浄部をさらに備えるのが好ましい。
この構成によれば、カッター刃が洗浄されることでカッター刃による切断性能を維持することができ、結果的にカッター刃の寿命を延ばすことができる。【００４２】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記カッター洗浄部は、前記カッター刃に接触することで洗浄を行うのが好ましい。
この構成によれば、簡便且つ確実にカッター刃を洗浄することができる。【００４３】
また、上記第一態様に係る貼付装置においては、前記カッターは、前記カッター刃を回転式させることで前記フィルムを切断するのが好ましい。
この構成によれば、簡便且つ確実にフィルムを切断することができる。
【発明の効果】
【００４４】
本発明によれば、接着剤の塗布及び基板への貼り付けを一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】第一実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図。
【図２】第１吸着ローラーおよび第２吸着ローラーの概略構成を示す断面図。
【図３】カッター部の概略構成を及びフィルムの積層構造を示す図。
【図４Ａ】塗布部の要部構成を示す概略図。
【図４Ｂ】塗布部の動きを説明するための図。
【図５】フィルムに対するノズル先端の動きを表した図。
【図６】回動部を有しない場合のノズル先端の動きを表した図。
【図７】塗布部の周辺構成を示す概略図。
【図８】ミスト回収機構の構成を示す概略図。
【図９Ａ】膜厚調整機構の周辺構成を示す図。
【図９Ｂ】膜厚調整機構の周辺構成を示す図。
【図１０】貼付装置によるフィルムの貼付工程を説明するフロー図。
【図１１】第二実施形態に係る貼付装置の構成を示す図。
【図１２Ａ】第三実施形態に係る膜厚調整部の構成を示す斜視図。
【図１２Ｂ】第三実施形態に係る膜厚調整部の構成を示す断面図。
【図１３】第四実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す図。
【図１４】第五実施形態に係るフィルム保持ローラーの周辺構成の拡大図。
【図１５】第六実施形態に係るカッター部及びその周辺の概略構成図。
【図１６】第七実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す図。
【図１７】第七実施形態に検査部によるフィルムの検査方法の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００４６】
以下、図面を参照して、本発明の貼付装置に係る一実施形態について説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内におけるフィルムの搬送方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。本実施形態に係る貼付装置は、長尺状の保護材及び主フィルム材が貼り合わされてなるフィルムをロール状に巻回したロール体から巻き解いたフィルムを搬送しながらフィルムから保護材と主フィルム材とを分離し、主フィルム材を基板に貼り付ける装置に関するものである。
【００４７】
（第一実施形態）
図１は本実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図である。
図１に示すように、貼付装置１００は、装置筐体１０１、基板供給部１０２、基板移動部１０３、フィルム搬送部１０４、フィルム貼付部１０５、貼付補助部１３５、塗布部１０６、及び加熱部１０７を備えている。
【００４８】
基板供給部１０２は、装置筐体１０１内に基板１を移動させることで供給するためのものである。基板供給部１０２は、フィルム貼付前の基板１を複数保持するカセット１０２ａと、該カセット１０２ａの内部から基板１を引き出し可能な駆動部１０２ｂと、を有している。カセット１０２ａは、内部に保持する基板１を駆動部１０２ｂに引き渡し可能な位置まで下降可能な構成となっている。これにより、基板供給部１０２は、駆動部１０２ｂによってカセット１０２ａ内から複数の基板１を順次装置筐体１０１側に供給可能となっている。
【００４９】
基板移動部１０３は、基板１を所定位置（フィルム貼り付け位置）まで移動させるとともに、フィルムの貼り付け後に基板１を装置筐体１０１から搬出するための搬出位置まで移動させる。基板移動部１０３は、第１基板搬送ローラー部３０、第２基板搬送ローラー部３１、第３基板搬送ローラー部３２、第４基板搬送ローラー部３３、及び第５基板搬送ローラー部３４を有している。
【００５０】
第３基板搬送ローラー部３２は、不図示の駆動モーターにより駆動される搬送ローラー（第１搬送ローラー）３２ａから構成されるものである。搬送ローラー３２ａはフィルム搬送部１０４におけるフィルムの貼付作業を行うためのフィルム貼付ローラー４０との間で基板１を挟持する構成となっている。これにより、搬送ローラー３２ａ上の基板１にフィルムを貼り付け可能となっている。すなわち、搬送ローラー３２ａ及びフィルム貼付ローラー４０は、本発明の一実施形態に係るフィルム貼付部１０５を構成している。
【００５１】
第１基板搬送ローラー部３０は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３０ａを有している。これにより、第１基板搬送ローラー部３０は、基板供給部１０２から供給された基板１を受け取って装置筐体１０１内へと導くようになっている。
【００５２】
第２基板搬送ローラー部３１は、フィルム貼付部１０５を介して、第４基板搬送ローラー部３３と対向するように配置されている。
第２基板搬送ローラー部３１は、複数（本実施形態では３つ）のローラー対１３１を有している。各ローラー対１３１は、下側ローラー３１ａ及び上側ローラー３１ｂを有している。基板１は、これらローラー３１ａ，３１ｂ間に挟持された状態で搬送されるようになっている。
【００５３】
第４基板搬送ローラー部３３は、フィルム搬送部１０４でフィルムが貼り付けられた基板１を受け取るようになっている。第４基板搬送ローラー部３３は、複数（本実施形態では２つ）のローラー対１３３を有している。各ローラー対１３３は、下側ローラー３３ａ及び上側ローラー３３ｂを有している。基板１は、これらローラー３３ａ，３３ｂ間に挟持された状態で搬送されるようになっている。
【００５４】
第３基板搬送ローラー部３２及び第４基板搬送ローラー部３３との間には、貼付補助部１３５が配置されている。貼付補助部１３５は、搬送ローラー（第２搬送ローラー）１３５ａと、貼付補助ローラー１３５ｂと、を有している。貼付補助ローラー１３５ｂは、搬送ローラー１３５ａに対して進退可能とされている。
【００５５】
貼付補助部１３５は、基板１を搬送する搬送ローラー１３５ａに対して貼付補助ローラー１３５ｂを近づけることで該貼付補助ローラー１３５ｂ及び搬送ローラー１３５ａ間に基板１を挟むことが可能となっている。貼付補助ローラー１３５ｂを昇降させる駆動部は、搬送ローラー１３５ａとの間で基板１に押し付け力を付与する。上記駆動部は、例えばシリンダーやモーター等から構成され、該駆動部を制御することで上記押し付け力が制御される。上記駆動部は、基板１のサイズと搬送時間に基づいて貼付補助ローラー１３５ｂを昇降させるタイミングを規定する。
【００５６】
貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向（＋Ｘ方向）における後端に当接し、後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟む。貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向における後端の時点で当接していればよく、基板１の当接開始位置は特に限定されない。すなわち、貼付補助ローラー１３５ｂは、基板１の半分から当接を開始してもよいし、基板１の搬送方向先端から当接を開始してもよい。
【００５７】
このようにフィルム貼付部１０５がフィルムの搬送方向（＋Ｘ方向）における後端のエッジ部を抑えることでフィルムの後端の切断部分を確実に基板１に接着し、基板１の全面に亘ってフィルムを良好に接着することができる。
【００５８】
第５基板搬送ローラー部３４は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３４ａを有している。これにより、第５基板搬送ローラー部３４は、第４基板搬送ローラー部３３から搬送された基板１を受け取って不図示の基板搬出用カセット内に収容するように移動させる。
【００５９】
フィルム搬送部１０４は、基板１に対する貼り付け位置までフィルムを搬送するためのものである。フィルム搬送部１０４で搬送されたフィルムは、フィルム貼付部１０５によって基板１に貼り付けられる。
【００６０】
フィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１と、搬送経路調整部４２と、フィルム保持ローラー４３と、第１吸着ローラー４４と、カッター部４８と、タイミング調整部４７と、中継ローラー部４５と、第２吸着ローラー４９と、フィルム貼付ローラー４０と、フィルム巻取部５１と、中継ローラー２，３とを有する。
【００６１】
フィルム繰出部４１は、フィルム６０をロール状に巻回したロール体Ｒを保持するとともに回転する回転駆動部４１ａを有する。フィルム６０は、主フィルム材６１と、保護材６２と、これら主フィルム材６１および保護材６２を貼り合せる粘着層６３とを有している（図３参照）。これにより、フィルム搬送部１０４はロール体Ｒからフィルム６０を巻き解くことで搬送するようになっている。
【００６２】
搬送経路調整部４２は、回転駆動部４１ａに回動可能に取り付けられるレバー部１４１と、レバー部１４１の先端に回動可能に取り付けられてフィルム６０に当接する当接ローラー１４２と、を有する。レバー部１４１は、回転駆動部４１ａにロール体Ｒと同軸上で回転するようになっている。
【００６３】
ロール体Ｒから巻き解かれたフィルム６０は、ロール体Ｒの残量に応じて搬送経路（搬送距離）が変化する。このようにフィルム６０の搬送経路（搬送距離）が変化すると、フィルム６０の搬送速度を一定に保つために回転駆動部４１ａの駆動条件を変更する必要がある。
【００６４】
これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、搬送経路調整部４２がレバー部１４１を所定位置に回動させることでフィルム６０の搬送距離（搬送経路）を変化させるようにしている。例えば、フィルム搬送部１０４は、ロール体Ｒの残量が少なくなると当接ローラー１４２を下降させるようにレバー部１４１を回動させることでロール体Ｒの外形が小さくなることで短くなった搬送距離を延ばすことができる。このように搬送経路調整部４２によれば回転駆動部４１ａの駆動条件（回転速度）を変更することなく、フィルム６０の搬送速度を一定に保つことができる。
【００６５】
フィルム保持ローラー４３は、後述する第１吸着ローラー４４との間でフィルム６０が略鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って搬送されるように保持するためのものである。これにより、フィルム６０は鉛直方向に沿って搬送されるようになっている。
【００６６】
第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９はフィルム６０を吸着した状態で回転することで該フィルム６０を定速で搬送を可能とするものである。図２は第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９の概略構成を示す断面図である。第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９は同一の構成から構成されていることから、以下の説明では第１吸着ローラー４４の構成について説明する。
【００６７】
図２に示されるように、第１吸着ローラー４４は、表面に複数の貫通孔１４４ａが形成されたローラー本体１４４と、ローラー本体１４４の内部に設けられる吸引部１４５と、を有する。吸引部１４５は回転するローラー本体１４４の内面に摺接可能な箱状からなる箱体１４５ａを有し、該箱体１４５ａは真空チャンバ（不図示）に接続されている。
【００６８】
箱体１４５ａはローラー本体１４４の内面に当接することで貫通孔１４４ａを介してローラー表面側の空気を吸引可能となっている。第１吸着ローラー４４では、箱体１４５ａの開口部に対向する領域Ａの貫通孔１４４ａのみから空気を吸引可能となる。箱体１４５ａは固定されており、ローラー本体１４４のみが回転駆動する。
【００６９】
この構成により、第１吸着ローラー４４では、ローラー本体１４４が所定の回転位置において貫通孔１４４ａから空気が吸引される構成とされている。よって、第１吸着ローラー４４は貫通孔１４４ａを介して吸着したフィルム６０をローラー本体１４４の回転方向に沿って良好に搬送することができる。吸引部１４５はローラー本体１４４の内面に必ずしも当接している必要はなく、貫通孔１４４ａを介して吸引可能な構成であれば隙間が空いていてもよい。
【００７０】
また、第１吸着ローラー４４は吸着によりフィルム６０を保持するため、ローラー本体１４４とフィルム６０との間での摩擦が生じることが防止され、静電気の発生を抑制することができる。以上、第１吸着ローラー４４の構成について説明したが、第２吸着ローラー４９についても同様である。
【００７１】
図３はカッター部４８の概略構成を及びフィルム６０の積層構造を示す図である。
カッター部４８は、図３に示すようにフィルム６０を切断（カット）するための刃４８ａと、刃４８ａに対向配置される台座部４８ｂとを有する。カッター部４８は、台座部４８ｂ上のフィルム６０に対して刃４８ａを押し付けることでフィルム６０を切断可能となっている。具体的にカッター部４８は、図３に示すようにフィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断可能な位置まで刃４８ａを押し付ける。これにより、フィルム６０は主フィルム材６１が所定の長さにカットした状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態とされている。図３においてはフィルム６０の主フィルム材６１上に塗布された接着剤Ｎを図示している。
【００７２】
具体的にカッター部４８は、主フィルム材６１を切断する際、基板１に貼り付けられる貼付部分と、基板に貼り付けられない非貼付部分とを形成する。したがって、保護材６２には、粘着層６３により上記貼付部分を構成する主フィルム材６１と、上記非貼付部分を構成する主フィルム材６１とが貼り付けられた状態とされている。ここで、貼付部分の長さとは基板１の長さに対応するものである。また、非貼付部分の長さとは、ある基板１に対するフィルムの貼付終了後、次の基板１に対するフィルムの貼付を開始するまでに基板１が搬送される距離に対応する。すなわち、非貼付部分の長さは、基板１の搬送速度、フィルム貼付ローラー４０の昇降速度等に応じて適宜設定される。このように貼付部分及び非貼付部分を含むフィルムを用いることでフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム（貼付部分）の先端と、基板移動部１０３によって搬送される基板１の搬送方向先端との位置合わせを容易にできるようにしている。
【００７３】
ここで、カッター部４８はフィルム搬送部１０４によって搬送された状態のフィルム６０をカットする。カッター部４８がフィルム６０を切断する際、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。このとき、フィルム６０の搬送は切断部分以外において継続されているため、カッター部４８による切断部分とそれ以外とでフィルム６０の搬送速度に差が生じてしまう。すると搬送速度にバラツキが生じ、搬送されるフィルム６０にダブつきが生じ、フィルム６０の搬送不良が生じてしまう。
【００７４】
これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、カッター部４８により切断される際にフィルム６０に生じる搬送速度のバラツキを調整するための手段として上記タイミング調整部４７を備えている。タイミング調整部４７は、フィルム６０の裏面側に当接する当接ローラー部１４７と、該当接ローラー部１４７を保持する保持部１４８と、該保持部１４８をフィルム６０の搬送方向（Ｘ方向）に沿って移動可能な駆動部１４９と、を有している。
【００７５】
タイミング調整部４７は、フィルム６０がカッター部４８により切断される際、フィルム６０が一度停止する部分と他の搬送途中の部分とで搬送速度を合わせるべく、当接ローラー部１４７を搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させる。これにより、カッター部４８とタイミング調整部４７（当接ローラー部１４７）との距離が長くなるので、見掛け上のフィルム６０のカッター部４８までの搬送速度を低くすることができ、フィルム６０の搬送速度を合わせることで搬送速度のバラツキに起因するフィルム６０のダブつきを防止できる。
【００７６】
このようにフィルム搬送部１０４は搬送不良を生じさせることなく、フィルム６０を搬送した状態のままでカッター部４８による切断を行うことができる。よって、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮することができる。
【００７７】
フィルム貼付ローラー４０は、上下方向（Ｚ方向）に沿って移動可能とされている。フィルム貼付ローラー４０は、基板移動部１０３の搬送ローラー３２ａ（第３基板搬送ローラー部３２）上に位置する基板１に対してフィルム６０を押し付け可能な位置まで下降する。
【００７８】
フィルム貼付ローラー４０及び搬送ローラー３２ａは、フィルム６０及び基板１を挟持することでフィルム６０の貼付を行う。このようにフィルム貼付ローラー４０は、フィルム搬送部１０４の一部をなすとともにフィルム貼付部１０５を構成している。
【００７９】
フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付を行う場合、該フィルム６０における貼付部分の主フィルム材６１を基板１に貼り付ける。フィルム６０は搬送された状態で基板１に貼り付けられるため、例えばフィルム貼付ローラー４０が基板１の搬送方向における後端まで基板１に当接していると、貼付部分に続いて搬送されてくる非貼付部分を搬送ローラー３２ａとの間で抑えつけてしまう。すると、本来、貼り付けられずに廃棄されるはずである非貼付部分の主フィルム材６１が基板１或いは搬送ローラー３２ａに貼り付けられてしまうおそれがある。
【００８０】
本実施形態では、このような不具合を防止すべく、フィルム貼付ローラー４０が基板１を搬送方向における後端まで当接しない構成を採用している。すなわち、フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミング（すなわち、主フィルム材６１の搬送方向先端がフィルム貼り付け位置に到達するタイミング）で下降し、当接部分が貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向後端部（基板１の搬送方向後端）に到達する前のタイミング（すなわち、主フィルム材６１の搬送方向後端がフィルム貼り付け位置に到達する前のタイミング）で上昇を開始するようになっている。これによれば、上述したようにフィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の非貼付部分における搬送ローラー３２ａとの間で挟み込みを防止することができる。従って、フィルム貼付ローラー４０は、基板１に対するフィルム６０の貼付作業毎に昇降動作を繰り返すようになっている。
【００８１】
ところで、フィルム貼付ローラー４０は、上述のように基板１の搬送方向後端に当接するよりも先に上昇するため、搬送方向後端側においてフィルム６０を基板１に十分に押し付けることができず、フィルム６０の貼付が不十分となるおそれがある。
【００８２】
これに対し、本実施形態では、上述した貼付補助部１３５（貼付補助ローラー１３５ｂ）を備えた構成となっている。貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向における後端に当接し、後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟むことでフィルム貼付ローラー４０のみでは不十分となるフィルム６０の後端の切断部分を確実に基板１に接着することができる。従って、本実施形態によれば、基板１の全面に亘ってフィルム６０を良好に接着することが可能となっている。
【００８３】
フィルム巻取部５１は、フィルム貼付部１０５による貼付作業後にフィルム６０から分離された保護材６２を巻き取るための巻取軸５１ａ及び該巻取軸５１ａを駆動する駆動部５１ｂを有している。
【００８４】
中継ローラー５２，５３は、フィルム貼付ローラー４０とフィルム巻取部５１との間でフィルム６０の搬送を中継するものである。中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼り付け位置よりも上方（Ｚ方向）に位置している。また、中継ローラー５２は、基板１の搬送方向において貼付補助部１３５よりもフィルム貼付部１０５よりも上方に配置される。これにより、フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は上方に向かって急峻に折り曲げられることで後述するようにカットされた主フィルム材６１のみが基板１に貼り付けられ、主フィルム材６１から保護材６２が分離されるようになっている。
【００８５】
塗布部１０６は、フィルム６０を基板１に接着可能とするための塗布液として接着剤Ｎを該基板１に対して塗布する。塗布部１０６は、フィルム保持ローラー４３によって鉛直方向に搬送されるフィルム６０に対して接着剤を塗布する。塗布部１０６が塗布する塗布液としては、少なくとも加熱部１０７による乾燥後にフィルム６０を基板１に接着可能な程度の粘着性を有する液体が用いられる。
【００８６】
塗布部１０６は、接着剤を基板１に対して塗布機構７０と、ミスト回収機構７１と、フィルム６０に塗布される接着剤の厚みを調整する膜厚調整機構７２と、を含む（図７参照）。
【００８７】
図４Ａは塗布機構７０の要部構成を示す概略図であり、図４Ｂはノズル７３の先端７３ａの動きを概念的に示した図である。
図４Ａに示されるように塗布機構７０は、接着剤を噴射するノズル７３と、本体部７４と、本体部７４をＸ軸回りで回動させる回動部７５とを含む。ノズル７３としては、接着剤をスプレー噴射するスプレーノズルが用いられる。本体部７４は、ノズル７３をフィルム６０の幅方向に沿って移動可能とする移動機構７９を有している。移動機構７９は、ノズル７３の移動をガイドするガイド部７９ａと、該ガイド部７９ａに対してノズル７３を移動させる駆動力を伝達する駆動部７９ｂとを含む。ノズル７３は、取付アーム７８を介してガイド部７９ａに接続されている。
【００８８】
駆動部７９ｂは、例えばラックアンドピニオン機構によりガイド部７９ａ側に駆動力を伝達するようになっている。これにより、ノズル７３は同図矢印Ｂで示されるようにフィルム６０の幅方向に沿って移動可能となっている。よって、ノズル７３はフィルム６０の幅方向の全域に亘って接着剤を噴射可能となっている。
【００８９】
回動部７５はモーター等から構成されている。本体部７４は、その中央部において回動部７５に取り付けられている。これにより、本体部７４は、回動部７５により中央部を基準に揺動可能とされている。ノズル７３は本体部７４の揺動動作とは独立して本体部７４の移動機構７９によって移動可能とされている。以下では、説明の便宜上、ノズル７３の先端７３ａの中心と回動部７５の回転中心とが一致しているものとする。
【００９０】
このような構成に基づき、ノズル７３の先端７３ａは、図４Ｂに示すように回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動する。具体的に、ノズル７３の先端は、回動部７５の回転中心Ｃを基準としてＹＺ軸を設定すると、第４象限から第２象限へと至り、円弧を描いて第３象限を経て第１象限へと至り、円弧を描いて第４象限へと至った後、繰り返し同じ軌跡を描くように移動する。本説明ではノズル７３の先端７３ａが第２象限から第３象限に至る際および第１象限から第４象限に至る際、円弧を描いて戻る場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されない。例えば、Ｚ軸方向に沿ってＹ軸を跨ぐように折り返すことで第２象限から第３象限および第１象限から第４象限へと移動する構成であっても構わない。この場合、塗布機構７０は、回動部７５の代わりに本体部７４をＹＺ方向に移動させる移動部を有する。
【００９１】
図５は本実施形態に係る塗布部１０６が接着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。また、図６は比較として回動部７５を有しない塗布部１０６が接着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。本実施形態に係る塗布部１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心Ｃを基準として略８の字状に移動することから、フィルム６０の搬送速度及びノズル７３の移動速度を調整して図５に示すようにノズル７３の先端を所定方向に搬送されるフィルム６０の表面の幅方向に沿って移動させることができる。一方、回動部７５を有しない場合、ノズル７３がフィルム６０の幅方向に移動する間に該フィルム６０自体も搬送されてしまうため、図６に示すようにノズル７３の先端７３ａはフィルム６０の表面に対してジグザグに移動する。
【００９２】
以上述べたように、本実施形態に係る塗布部１０６は、回動部７５を備えることでノズル７３の先端７３ａをフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができるので、接着剤をフィルム６０の全面に亘って均一に塗布することができる。
【００９３】
図１に戻って加熱部１０７は、塗布部１０６で接着剤が塗布されたフィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤を硬化させるためのものである。加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を有している。第１加熱部７６及び第２加熱部７７の加熱温度は、それぞれ異なる値に設定されている。
【００９４】
第１加熱部７６は、フィルム６０に対して第１ベーク処理を行うことで接着剤を仮硬化させるためのものである。第２加熱部７７は、フィルム６０に対して第２ベーク処理を行うことで接着剤を本硬化させるためのものである。
【００９５】
このような構成に基づき、加熱部１０７はフィルム６０を段階的（２段階）に加熱することで接着剤を良好に硬化させることができるようになっている。接着剤が複数（例えば、２種類）の溶剤を含む場合、第１加熱部７６による第１ベーク処理（第１段階目の加熱処理）で接着剤中の第１溶剤を蒸発させ、第２加熱部７７による第２ベーク処理（第２段階目の加熱処理）で接着剤中の第２溶剤を蒸発させて接着剤を乾燥させ、良好に硬化させることができる。
【００９６】
また、加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、１つの加熱部のみでフィルム６０の加熱処理を行う構成のように先のフィルム６０の乾燥処理が終了するまで次のフィルム６０の乾燥処理を開始することができないといった問題が生じることが無い。よって、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができるので、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。
【００９７】
図７は塗布部１０６の周辺構成を示す概略図である。図８はミスト回収機構７１の構成を示す概略図である。ミスト回収機構７１は塗布機構７０のノズル７３から接着剤を塗布する際に生じるミストを回収するためのものである。
【００９８】
ミスト回収機構７１は、図７に示すように本体部８０と、ミスト洗浄部８１と、洗浄液循環部８２と、を有している。本体部８０は、塗布部１０６による接着剤塗布処理が行われる処理チャンバーを構成している。本体部８０は、フィルム搬送部１０４により搬送されるフィルム６０を内部に搬入或いは内部から搬出させるための開口部８０ａが設けられている。
【００９９】
図８に示されるように、ミスト洗浄部８１はフィルム６０における接着剤が塗布される面と反対の裏面６０ａ、及び側面６０ｂを覆うように本体部８０内に設置される。ミスト洗浄部８１は、図７に示したように洗浄液Ｗを貯留する洗浄液貯留部８３と、該洗浄液貯留部８３から溢れ出した洗浄液Ｗが流れる洗浄部８４と、洗浄液受け部８５と、を有している。図７においては、図を見やすくするため、フィルム６０の裏面６０ａ側に配置されたミスト洗浄部８１のみを図示しているものの、フィルム６０の側面６０ｂ側にも図８に示したようにミスト洗浄部８１は配置されている。フィルム６０の側面６０ｂ側に配置されるミスト洗浄部８１についても、裏面６０ａ側のミスト洗浄部８１と同一の構成を有している。
【０１００】
洗浄部８４はフィルム６０の搬送方向（Ｚ方向）に沿って延びるブラシ部材から構成され、該ブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっている。洗浄液受け部８５は、洗浄部８４を伝って流れた下方へと流れた洗浄液を受ける容器として機能するものである。
【０１０１】
洗浄液受け部８５の下方には、洗浄液Ｗを本体部８０内に連通させる連通部８５ａが設けられ、該連通部８５ａを介して洗浄液受け部８５内の洗浄液が本体部８０の底部８９へと流れ込むようになっている。洗浄液循環部８２は、本体部８０の底部８９に溜まった洗浄液を連通部８９ａを介し、ポンプＰの駆動力によって洗浄部８４の洗浄液貯留部８３に循環させるものである。洗浄液循環部８２はフィルターＦを有しており、該フィルターＦを介して洗浄液を循環させる。これにより、洗浄後に洗浄液に含まれる異物を除去することで洗浄液を再利用することができる。
【０１０２】
本実施形態に係る塗布部１０６によれば、ノズル７３からフィルム６０に対して接着剤を塗布する際に生じたミストをミスト回収機構７１により回収できるので、ミストが付着することで貼付装置１００内が汚れるといった不具合の発生を防止できる。
【０１０３】
膜厚調整機構７２は、フィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤の厚みが均一になるように調整するものである。図９Ａ及びＢは膜厚調整機構７２の周辺構成を示す図であり、同図９Ａは斜視図であり、同図９Ｂは断面図である。
【０１０４】
図９Ａ、Ｂに示すように膜厚調整機構７２は、フィルム６０のフィルム端の近傍に設置されるダミーローラー９０と、駆動ローラー９１と、従動ローラー９２と、該ダミーローラー９０、駆動ローラー９１、及び従動ローラー９２に架け渡されるベルト９３と、を備えている。ベルト９３は、フィルム６０と同じ材質であるポリイミドから構成されている。
【０１０５】
ダミーローラー９０は、鉛直方向に向けてフィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３と同軸で回転する。ダミーローラー９０の外径は、該ダミーローラー９０に掛け渡されたベルト９３の表面がフィルム保持ローラー４３に掛け渡されるフィルム６０の表面と略同じ高さとなる大きさに設定されている。また、塗布部１０６は、ベルト９３の表面とフィルム６０の表面が略同じ高さとなる領域において、ノズル７３の先端がフィルム６０の表面に対して接着剤を塗布するように位置合わせされている。
【０１０６】
ここで、フィルム６０のフィルム端に膜厚調整機構７２のベルト９３が設けられていない場合、接着剤の飛散条件が変化するフィルム端において接着剤の膜厚が薄くなってしまう。これにより、フィルム６０の幅方向において接着剤の膜厚にバラつきが生じてしまうおそれがある。
【０１０７】
これに対し、本実施形態によれば、ノズル７３が対向するフィルム６０のフィルム端の表面と略同じ高さに膜厚調整機構７２のベルト９３の表面が位置するので、接着剤の飛散条件をフィルム端とフィルム中央部とで合わせることができる。よって、フィルム６０の幅方向における接着剤の成膜条件を揃えることで接着剤を均一な膜厚で塗布することが可能となっている。
【０１０８】
ところで、本実施形態に係るノズル７３のようなスプレーノズルを用いた場合の塗布面にはムラが生じることがある。
これに対し、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤を塗布する構成を採用している。
【０１０９】
先端７３ａの開口端がフィルム６０の表面に対向した状態となるようにノズル７３とフィルム６０とが配置されていれば、フィルム６０が必ずしも鉛直方向に沿って搬送されていなくても上述したムラ抑制効果を得ることができる。すなわち、フィルム６０は水平面と交差する方向に沿って搬送されていればよい。このようにフィルム６０が水平面と交差する方向、すなわち水平面に対して傾いた状態に搬送されていれば、ノズル７３の先端７３ａとフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ常に離間した状態となるので、上述した接着剤の塗布面におけるムラの発生を抑制できる。
【０１１０】
これによれば、ノズル７３の先端とフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ離間した状態とされるので、ノズル７３から塗布された接着剤の粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）はフィルム６０の表面に到達する前に落下し、フィルム６０に塗布されることがない。一方、ノズル７３から塗布された接着剤の粒子のうち、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）はノズル７３の先端から所定距離離間した位置に配置されるフィルム６０の表面に到達し、フィルム６０に塗布されることとなる。よって、フィルム６０に均一な粒子を含んだ接着剤を塗布することができるので、接着剤の塗布面に上述したようなムラが発生するのを抑制できる。
【０１１１】
ベルト９３の表面に付着した接着剤を洗浄する洗浄装置を設けてもよい。洗浄装置の構成としては、ベルト９３に洗浄液を噴射する構成、或いはベルト９３を洗浄液貯留部にディップさせる構成のいずれであってもよい。これによれば、ベルト９３の表面を常に綺麗な状態に保持することができるので、フィルム６０のフィルム端における接着剤の成膜条件の調整を長期に亘って精度良く行うことができる。
【０１１２】
続いて、本実施形態に係る貼付装置１００の動作として、フィルム６０を基板１に貼り付ける動作について説明する。
【０１１３】
図１０は貼付装置１００によるフィルム６０の貼付工程を説明するフロー図である。
初めに貼付装置１００ではフィルム繰出部４１にロール体Ｒが取り付けられる（ステップＳ１）。
ロール体Ｒが取り付けられた後、貼付装置１００はフィルム搬送部１０４が駆動し、フィルム６０の巻出しを行う（ステップＳ２）。具体的にフィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１及びフィルム巻取部５１を回転駆動させ、フィルム６０を所定方向に沿って搬送する。
【０１１４】
貼付装置１００は、フィルム搬送部１０４によるフィルム６０の搬送に合わせて、塗布部１０６を駆動し、接着剤の塗布を行う（ステップＳ３）。具体的に塗布部１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動しながらフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム６０に対して接着剤を塗布する。塗布部１０６は、ノズル７３を移動機構７９によって移動させつつ、回動部７５によってノズル７３を保持する本体部７４をＸ軸回りに回動させることでノズル７３の先端をフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができる（図５参照）。よって、接着剤をフィルム６０の幅方向に亘る全面に均一に塗布することができる。
【０１１５】
ところで、フィルム６０に対して接着剤を塗布する際、フィルム６０の幅方向のフィルム端では接着剤の飛散条件が変化するため、フィルム端における接着剤の厚みが中央部に比べて薄くなってしまう。これに対して、本実施形態に係る塗布部１０６はノズル７３からフィルム６０に対して接着剤を塗布する際、膜厚調整機構７２を機能させてフィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤の厚みが均一になるように調整する。
【０１１６】
具体的に膜厚調整機構７２は、フィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３の回転と同期させてダミーローラー９０を回転させる。このとき、ダミーローラー９０の表面に掛け渡されたベルト９３の表面とフィルム保持ローラー４３に掛け渡されたフィルム６０の表面とが同じ高さとなっている。
【０１１７】
これによれば、フィルム端近傍においてフィルム６０の表面と同じ高さにベルト９３の表面が位置するので、実質的にフィルム端における接着剤の飛散条件を中央部に合わせることができる。
【０１１８】
よって、ノズル７３から塗布された接着剤はフィルム６０のフィルム端においても接着剤の飛散条件が変化することがなく、接着剤の成膜条件がフィルム６０の幅方向で安定することで接着剤を均一な条件で塗布することができる。
【０１１９】
ノズル７３からフィルム６０に接着剤を塗布する際、ノズル７３からミストが周囲に飛散してしまう。これに対して本実施形態に係る塗布部１０６では、ミスト回収機構７１によりミストを回収することができる。具体的にノズル７３から飛散したミストは、フィルム６０の裏面６０ａ及び側面６０ｂを覆うように設けられたミスト洗浄部８１（ミスト回収機構７１）の洗浄部８４によって捕捉される。
【０１２０】
洗浄部８４は上述したようにブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっているため、捕捉されたミストは洗浄液とともに下方に排出される。これによれば、捕捉したミストが洗浄部８４に蓄積してしまうといったことがなく、安定的にミストを回収することができる。
【０１２１】
ミストを回収した洗浄液は洗浄液受け部８５から本体部８０の底部へと流れ込み、洗浄液循環部８２のフィルターＦで異物が除去された後、洗浄部８４に再度循環される。
【０１２２】
また、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤を塗布するので、ノズル７３から塗布された接着剤の粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）がフィルム６０に塗布されるのを防止し、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）のみをフィルム６０に塗布することができる。このようにして塗布された接着剤は均一な粒子を含むので、ムラの発生が抑制された状態で塗布されたものとなる。この接着剤は表面のムラが少ないため、後工程で行われる基板１に貼り付けられた場合であっても主フィルム材６１の平面度を低下させるといった不具合の発生を防止できる。
【０１２３】
フィルム搬送部１０４は、塗布部１０６によって接着剤が塗布されたフィルム６０を加熱部１０７へと搬送し、フィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤を硬化させる（ステップＳ４，Ｓ５）。具体的に加熱部１０７は、まず第１加熱部７６によってフィルム６０に対して第１（１ｓｔ）ベーク処理を行う（ステップＳ４）。続いて、加熱部１０７は、第２加熱部７７によってフィルム６０に対して第２（２ｎｄ）ベーク処理を行う（ステップＳ５）。第１加熱部７６及び第２加熱部７７における加熱温度は、接着剤の種類、膜厚等の条件により適宜変更される。
【０１２４】
このように本実施形態では、加熱部１０７が第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができ、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。
【０１２５】
フィルム搬送部１０４は、加熱部１０７による加熱処理後のフィルム６０をカッター部４８へと搬送し、フィルム６０をカットする（ステップＳ６）。カッター部４８は、図３に示したように台座部４８ｂ上のフィルム６０に対して刃４８ａを押し付け、フィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断する。カッター部４８によるカット後のフィルム６０は、主フィルム材６１が所定の長さに切断された状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となる。
【０１２６】
具体的にカッター部４８は、上述のように貼付部分及び非貼付部分を含むように主フィルム材６１のみを切断する。
ここで、フィルム６０の切断時、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。一方、フィルム６０は、切断部分以外においてフィルム搬送部１０４による搬送が継続されている。そのため、カッター部４８を介してフィルム６０の搬送速度に差が生じ、搬送速度のバラツキに起因してフィルム６０がダブつくことで結果的に搬送不良が生じてしまう。
【０１２７】
これに対し、本実施形態では、タイミング調整部４７がフィルム６０の切断時に生じる搬送速度のバラツキを調整する。タイミング調整部４７は、フィルム６０が切断されるタイミングに合わせて当接ローラー部１４７を搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させる。すると、カッター部４８とタイミング調整部４７（当接ローラー部１４７）との距離が長くなって、カッター部４８に向かうフィルム６０の見掛け上の搬送速度が低くなる。よって、フィルム６０の搬送速度を合わせることでフィルム６０にダブつきが生じるのを防止できる。
【０１２８】
よって、フィルム搬送部１０４はフィルム６０の搬送不良を生じさせることなく、搬送状態のままでフィルム６０をカッター部４８によって良好に切断することができる。また、フィルム搬送部１０４は、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮できる。
【０１２９】
続いて、カットしたフィルム６０の貼付工程を行う。貼付装置１００は、フィルム６０の貼付を行うに先立ち、基板供給部１０２のカセット１０２ａ内から引き出し、基板移動部１０３によって基板１の搬送を開始する（ステップＳ７，Ｓ８）。
【０１３０】
基板移動部１０３は、基板１をフィルム貼付部１０５まで移動させる。フィルム貼付部１０５は、基板移動部１０３によって搬送される基板１に対してフィルム６０の貼付を行う（ステップＳ９）。基板移動部１０３は、基板１の搬送方向先端がフィルム貼付部１０５に到達するタイミングを、フィルム搬送部１０４に搬送されるフィルム６０の貼付部分がフィルム貼付部１０５に到達する同期させるように基板１の搬送速度を制御する。
【０１３１】
具体的に基板１は、第１基板搬送ローラー部３０及び第２基板搬送ローラー部３１を経て、第３基板搬送ローラー部３２（搬送ローラー３２ａ）へと搬送される。フィルム搬送部１０４は、第３基板搬送ローラー部３２に基板１が到達するタイミングに合わせてフィルム貼付ローラー４０を下降させる。これにより、フィルム貼付ローラー４０は、基板移動部１０３の搬送ローラー３２ａ（第３基板搬送ローラー部３２）上に位置する基板１に対してフィルム６０（貼付部分）の押し付けを開始する。
【０１３２】
フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０における貼付部分の主フィルム材６１を基板１に貼り付ける。フィルム６０はカッター部４８による切断工程によって、主フィルム材６１が所定の長さ（貼付部分又は非貼付部分）に切断された状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となっている。
【０１３３】
具体的にフィルム貼付ローラー４０は、上述のようにフィルム６０の貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミングで下降する。貼付部分の主フィルム材６１は、フィルム貼付ローラー４０と搬送ローラー３２ａとの間で基板１とともに挟持され、主フィルム材６１が接着剤Ｎを介して基板１に接着される。
【０１３４】
フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は中継ローラー５２、５３を経由してフィルム巻取部５１によって巻き取られる。ここで、中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼り付け位置よりも上方（Ｚ方向）に位置しているため、フィルム６０はフィルム貼付ローラー４０を経て上方に向かって急峻に折り曲げられる。
【０１３５】
よって、中継ローラー５２により上方に折り曲げられたフィルム６０は、主フィルム材６１のみが接着剤Ｎを介して基板１に残り、保護材６２のみが中継ローラー５２側に搬送されることで主フィルム材６１と保護材６２とが分離される（ステップＳ１０）。フィルム６０から分離された保護材６２は、中継ローラー５２，５３を介してフィルム巻取部５１に巻き取られる（ステップＳ１１）。
【０１３６】
フィルム貼付部１０５によって主フィルム材６１の貼付部分が貼り付けられた基板１は、第４基板搬送ローラー部３３へと搬送される。ここで、フィルム貼付ローラー４０は、非貼付部分における搬送ローラー３２ａとの間で挟み込みを防止すべく、上述のように基板１の搬送方向後端に当接する前に上昇していることから、搬送方向後端側におけるフィルム６０の基板１に対する押し付けが足りず、フィルム６０の貼付が不十分となっている。
【０１３７】
本実施形態では、第４基板搬送ローラー部３３において、貼付補助部１３５（貼付補助ローラー１３５ｂ）が基板１の搬送方向における後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟むことで貼り付けが不十分となっているフィルム６０の後端の切断部分を確実に基板１に接着する。従って、基板１の全面に亘ってフィルム６０を良好に接着することができる。
【０１３８】
主フィルム材６１が貼り付けられた基板１はローラー対１３３及び第５基板搬送ローラー部３４を経て不図示の基板搬出用カセット内へと収容される（ステップＳ１２）。
【０１３９】
貼付装置１００は基板供給部１０２内の所定枚数の基板１に対して主フィルム材６１（フィルム６０）の貼付が終了するまで、上述したステップＳ１乃至ステップＳ１２に係るフィルム貼付処理工程ＳＳ１を繰り返す（ステップＳ１３）。以上により、貼付装置１００は所定枚数の基板１に対してフィルム６０を良好に貼り付けることができる。
【０１４０】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜変更が可能である。例えば、上記実施形態では、フィルム繰出部４１及びフィルム巻取部５１のいずれにも駆動部を設ける場合を例に挙げたが、フィルム巻取部５１のみに駆動部を設け、フィルム巻取部５１を主動して回転させることで従動回転するフィルム繰出部４１から巻き解いたフィルム６０を巻き取る構成としてもよい。
【０１４１】
また、上記実施形態では、加熱部１０７がフィルム６０を２段階で加熱する場合を例に挙げたが、フィルム６０を１段階或いは３段階以上で加熱するようにしてもよい。
【０１４２】
（第二実施形態）
次に、第二実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図１１は第二実施形態に係る貼付装置の構成を示す図である。貼付装置１００においては、図１１に示すように装置筐体１０１内に複数のイオナイザー１１０を配置するようにしてもよい。これによれば、フィルム６０の搬送によって生じる静電気を除電することで静電気によるフィルム６０の貼り付き等といった不具合の発生が防止され、フィルム６０が良好に搬送されて基板１への貼付を行うことができる。
【０１４３】
また、図１１に示すように加熱部１０７のフィルム６０の搬送方向下流側に冷却部１０８を設けるようにしても構わない。これによれば、加熱部１０７で加熱されたフィルム６０を冷却して短時間で所定温度まで下げることができる。よって、フィルム６０の搬送経路を短くすることができ、フィルム搬送部１０４が小型化されて貼付装置１００自体の小型化を実現できる。
【０１４４】
（第三実施形態）
次に、第三実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１４５】
上記実施形態においては、膜厚調整機構７２として、ベルト９３の表面をフィルム６０の表面と略同じ高さに設定したものを例示したが、本実施形態では、ベルト９３を用いずにダミーローラー９０の表面とフィルム６０の表面との高さを一致させる構成を採用している。この場合、ダミーローラー９０の材質としては、表面粗さの低い、例えばＳＵＳ、樹脂、アルミニウム等を用いるのが好ましく、これによれば接着剤をフィルム６０のフィルム端における接着剤の成膜条件を良好に調整して整えることができる。
【０１４６】
図１２Ａ及びＢは第三実施形態に係る膜厚調整部の構成を示す図であり、同図Ａは斜視図であり、同図Ｂは断面図である。本実施形態においては、図１２Ａ、Ｂに示すようにダミーローラー９５の回転軸をフィルム保持ローラー４３に一体形成し、ダミーローラー９５とフィルム保持ローラー４３とが一体に回転する構成を採用する。
【０１４７】
本実施形態においては、図１２Ａ、Ｂに示すようにフィルム保持ローラー４３と一体に形成されたダミーローラー９５が膜厚調整部を構成する。ダミーローラー９５は、フィルム保持ローラー４３と同軸で回転する。ダミーローラー９５は、表面９５ａがフィルム６０の表面と同じ高さに設定されている。すなわち、ダミーローラー９５は、フィルム６０を保持するフィルム保持ローラー４３よりもフィルム６０の厚み分だけ外径が大きく構成されている。
【０１４８】
ところで、ノズル７３からフィルム６０に対して接着剤を塗布する際、ノズル７３から飛散したミストがダミーローラー９５に付着してしまう。本変形例では、ダミーローラー９５の表面に当接するスキージ部材９６を配置している。スキージ部材９６は、ダミーローラー９５におけるフィルム６０との当接部分よりも回転方向における下流側の表面に当接する。スキージ部材９６の材料としては、ゴム、樹脂等を用いるのが好ましく、これによればダミーローラー９５に傷をつけることなく、該ダミーローラー９５に付着したミストを良好に掻き取ることができる。これにより、スキージ部材９６は、ノズル７３から飛散してダミーローラー９５の表面に付着したミストを掻き取ることができる。スキージ部材９６が掻き取ったミストは図７に示したミスト回収機構７１における本体部８０の底部８９に貯留されている洗浄液Ｗに回収させてもよいし、別途回収機構を設けるようにしてもよい。
【０１４９】
これによれば、ダミーローラー９５のみで本発明の膜厚調整部が構成されて部品点数を少なくすることができ、コスト低減を図ることができる。また、ダミーローラー９５とフィルム保持ローラー４３とが一体に回転するため、これらダミーローラー９０およびフィルム保持ローラー４３における駆動部を共通化することができ、コスト低減を図ることができる。
【０１５０】
（第四実施形態）
次に、第四実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１５１】
上記第一実施形態では、タイミング調整部４７として、当接ローラー部１４７をフィルム６０の搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させることでフィルム６０に当接させることでフィルム６０の搬送速度を調整する構成を例示したが、本発明はこれに限定されることはない。
【０１５２】
図１３は、本実施形態に係る貼付装置１００Ａの概略構成を示す図である。
図１３に示すように、本実施形態に係る貼付装置１００Ａは、搬送経路調整部４２と同様の構成を採用したタイミング調整部２４７を備えている。
【０１５３】
タイミング調整部２４７は、フィルム６０の一面側（裏面側）に当接するとともに所定方向に搬送する搬送ローラー（ローラー部材）２４１と、他端側に搬送ローラー２４１を保持するレバー部材２４２と、一端側を基準としてレバー部材２４２を回動動作させる回動部２４０と、を有する。搬送ローラー２４１は、レバー部材２４２に対して回転可能に保持されている。
【０１５４】
本実施形態において、タイミング調整部２４７は、フィルム６０がカッター部４８により切断される際、フィルム６０が一度停止する部分と他の搬送途中の部分とで搬送速度を合わせるべく、回動部２４０によりレバー部材２４２を時計回りに回動させることでレバー部材２４２の他端側に設けられた搬送ローラー２４１を円弧状に移動させる。このとき、搬送ローラー２４１がフィルム６０の一面側を押し込むことでフィルム６０に所定の張力を付与することができる。また、搬送ローラー２４１は、レバー部材２４２に対して回動可能とされるので、搬送ローラー２４１フィルム６０の搬送に伴って回転する。よって、搬送ローラー２４１は、フィルム６０の搬送を妨げることが防止される。
【０１５５】
本実施形態によれば、タイミング調整部２４７は、搬送ローラー２４１によりフィルム６０に付与する張力を自在に調整するとともに該フィルム６０の搬送経路を変更し、フィルム６０におけるカッター部４８とタイミング調整部２４７（搬送ローラー２４１）との距離を延ばすことができる。よって、フィルム６０におけるカッター部４８までの見掛け上の搬送速度を低くすることができ、フィルム６０の搬送速度を全体で調整することで搬送速度のバラツキに起因してフィルム６０にダブつきが生じるのを防止することができる。
また、本実施形態では、タイミング調整部２４７がレバー部材２４２を回動させるという簡便な方式を採用するので、装置全体の小型化及び低コスト化を図ることも可能となる。
【０１５６】
（第五実施形態）
次に、第五実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１５７】
上記第一実施形態においては膜厚調整機構７２を備えることで、フィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤の厚みを均一にする場合を説明したが、本発明はこれに限定されず、膜厚調整機構７２を有していなくてもよい。
【０１５８】
図１４は、本実施形態に係る貼付装置の要部構成としてフィルム保持ローラー４３の周辺構成の拡大図である。
図１４に示すように、本実施形態においては、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤を洗浄するローラー洗浄部１５０を備えている。
【０１５９】
本実施形態において、フィルム保持ローラー４３は、フィルム６０の搬送方向に交差する方向における幅がフィルム６０の幅よりも大きくなっている。そのため、フィルム保持ローラー４３は、接着剤がノズル７３から塗布される際、フィルム６０の全面を保持することで接着剤の塗布面にしわや弛みが生じることを防止する。よって、フィルム６０には、接着剤がムラなく塗布されるようになる。
【０１６０】
一方、フィルム保持ローラー４３は、フィルム６０よりも幅が大きいため、フィルム６０を保持した際に両端部が露出した状態となる。そのため、ノズル７３から塗布された接着剤の一部がフィルム保持ローラー４３にも付着してしまう。これに対し、本実施形態においては、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤を洗浄する上記ローラー洗浄部１５０を備えた構造を採用している。
【０１６１】
ローラー洗浄部１５０は、フィルム保持ローラー４３における接着剤が付着した部分に少なくとも洗浄液を塗布する洗浄液塗布部１５０ａと、洗浄液が塗布されたフィルム保持ローラー４３の表面４３ａに摺接するスキージ部材１５０ｂとを含む。
【０１６２】
洗浄液塗布部１５０ａは、例えば、スプレーノズル等から構成され、フィルム６０における接着剤の塗布面に対向しない方向から洗浄液を塗布するように配置される。本実施形態において、洗浄液塗布部１５０ａは、フィルム６０の搬送方向と平行に配置され、フィルム保持ローラー４３に対して上方から洗浄液を塗布する。これにより、フィルム６０における接着剤の塗布領域に洗浄液が付着するといった不具合の発生を防止している。
【０１６３】
スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３の表面４３ａのうち、少なくとも洗浄液が付着した部分を摺接する。本実施形態において、スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３と同じ幅を有しており、フィルム保持ローラー４３の表面４３ａの全面を一括的に払拭することが可能とされている。スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３の表面４３ａのうち洗浄液が付着する端部のみを払拭する構成を採用してもよく、この場合、２つのスキージ部材１５０ｂを用意し、フィルム保持ローラー４３の両端部の表面４３ａに摺接させるようにすればよい。
【０１６４】
スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３におけるフィルム６０との当接部分よりも回転方向における下流側の表面４３ａに当接する。スキージ部材１５０ｂの材料としては、ゴム、樹脂等を用いるのが好ましく、これによればフィルム保持ローラー４３に傷をつけることなく、該フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤および洗浄液を良好に掻き取ることができる。
【０１６５】
以上のように、本実施形態によれば、膜厚調整機構７２を有さない構成を採用した貼付装置であっても、ローラー洗浄部１５０を備えるので、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤を良好に除去することができる。よって、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤により、装置内部が汚染されるといった不具合の発生を防止することができる。
【０１６６】
（第六実施形態）
次に、第六実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１６７】
上記第一実施形態においては、カッター部４８が刃４８ａをフィルム６０に押し付けることで主フィルム材６１を一括的に切断する場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されず、カッター部として別の構成を採用してもよい。
【０１６８】
図１５は、本実施形態に係る貼付装置の要部構成であるカッター部およびその周辺の概略構成を示す図である。
図１５に示すように、本実施形態に係るカッター部１６０は、フィルム６０を切断（カット）するための回転刃（カッター刃）１６１と、回転刃１６１に対向配置されるフィルム支持部１６２と、回転刃１６１を洗浄する刃洗浄部（カッター刃洗浄部）１６３と、を有する。
【０１６９】
回転刃１６１は、円盤状のカッター刃から構成されており、不図示のガイド部材によりフィルム６０の幅方向（図１５に示される右方向から左方向）に沿って移動しながら、前記フィルム６０を切断する。回転刃１６１は、フィルム６０の切断を行う場合、例えば、図１５に示す−方向（時計回り方向）に回転している。フィルム支持部１６２は、回転刃１６１との間でフィルム６０を保持するためのものである。カッター部１６０は、フィルム６０（主フィルム材６１）の厚さに応じて、回転刃１６１をフィルム６０の厚さ方向（Ｘ方向）に移動させることでフィルム支持部１６２と回転刃１６１との間の間隔を調整する。これにより、カッター部１６０は、フィルム６０のうち主フィルム材６１のみを切断することが可能となる。カッター部１６０は、フィルム６０（主フィルム材６１）の厚さや材質等の条件に応じて、回転刃１６１の回転速度や移動速度を任意に設定可能である。
【０１７０】
刃洗浄部１６３は、フィルム支持部１６２とは対向しない位置であり、且つ、カッター部１６０の待機位置に配置されている。ここで、カッター部１６０の待機位置とは、フィルム６０の切断を行う前の回転刃１６１が待機する位置であり、フィルム６０の一端側（図１５に示される右側の端部）から他端側（図１５に示される左側の端部）へ移動した回転刃１６１が折り返して一端側に戻ってきた後に最終的に帰還する位置をいう。回転刃１６１は、フィルム６０を切断して他端側に戻る場合、例えば、図１５に示す＋方向（反時計回り方向）に回転している。本説明では、回転刃１６１がフィルム６０の切断時に−方向（時計回り方向）に回転し、他端側に戻る場合に＋方向（反時計回り方向）に回転する場合を例に挙げたが、これに限定されず、反対に、回転刃１６１が切断時に＋方向に回転し、他端側に戻る場合に−方向に回転するようにしてもよい。あるいは、回転刃１６１の回転方向が−方向或いは＋方向のいずれか一方に固定されていてもよい。
【０１７１】
このようにカッター部１６０は、待機位置に配置された刃洗浄部１６３を備えることで、フィルム６０を切断することで回転刃１６１に付着した粘着層６３を洗浄することが可能とされている。
【０１７２】
刃洗浄部１６３は、回転刃１６１の先端に摺接するスポンジ部材１６３ａと、該スポンジ部材１６３ａに対して洗浄液を供給する洗浄液供給部１６３ｂとを含む。スポンジ部材１６３ａは、回転刃１６１の先端を収容可能なスリット１６３ｓが形成されている。洗浄液供給部１６３ｂは、スポンジ部材１６３ａに対して洗浄液を含浸させるためのものであり、スポンジ部材１６３ａにおける回転刃１６１の洗浄性を維持するためのものである。
【０１７３】
以上述べたように、本実施形態によれば、回転刃１６１がフィルム６０の一端側から他端側に向かって移動することでフィルム６０を簡便且つ確実に切断することができる。また、回転刃１６１を採用することで簡便且つ確実にフィルム６０を切断することができる。また、刃洗浄部１６３を備えるので、回転刃１６１が洗浄されることで回転刃１６１による切断性能を維持することができ、結果的に回転刃１６１の寿命を延ばすことができる。
また、本実施形態に係るカッター部１６０は、スポンジ部材１６３ａに接触した状態で回転刃１６１を回転駆動させるので、該回転刃１６１の先端に付着した粘着層６３を確実に洗浄して除去することができる。
【０１７４】
本実施形態では、カッター部１６０が回転刃１６１を備える場合を例に挙げたが、カッター刃は必ずしも回転方式を採用する必要は無く、回転しない刃をフィルム６０の幅方向に移動させることでフィルム６０（主フィルム材６１）を切断する構成を採用してもよい。
【０１７５】
（第七実施形態）
次に、第七実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１７６】
図１６は、本実施形態に係る貼付装置１００Ｂの概略構成を示す図である。
図１６に示すように、本実施形態に係る貼付装置１００Ｂは、基板１に貼り付けられたフィルムを検査する検査部１７０を備えている。検査部１７０は、第４基板搬送ローラー部３３と、第５基板搬送ローラー部３４との間に配置される。
【０１７７】
検査部１７０は、基板搬送ローラー部１７１と、基板１に貼り付けられたフィルム（主フィルム材６１）を撮像する撮像部１７２と、撮像部１７２による撮像結果に基づいて検査結果を判定する判定部１７３と、を含む。
【０１７８】
基板搬送ローラー部１７１は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー１７１ａを有している。これにより、基板搬送ローラー部１７１は、第４基板搬送ローラー部３３から搬送された基板１を受け取って、第５基板搬送ローラー部３４に受け渡すように移動させる。
【０１７９】
撮像部１７２は、例えば、ＣＣＤセンサ等によって構成される。このＣＣＤセンサは、マトリクス状に配列された複数の画素を含んでいる。ＣＣＤセンサの各画素は、例えばフォトダイオード等の受光素子と、薄膜トランジスター等のスイッチング素子とを含む。
【０１８０】
判定部１７３は、撮像部１７２が撮像した画像に基づいて、基板１に貼り付けられたフィルムの状態を判定するためのものである。判定部１７３は、演算回路等のハードウエアーにより構成されていてもよいし、プログラム等のソフトウエアーによって実現されていてもよい。
【０１８１】
図１７は、検査部１７０によるフィルム（主フィルム材６１）の検査方法の一例を説明するための図である。
図１７に示すように、検査部１７０は、主フィルム材６１が貼り付けられた基板１の四隅を撮像部１７２により撮像し、撮像した画像Ｇを判定部１７３に送信する。判定部１７３は、撮像部１７２から送信された画像Ｇについて、基板１および主フィルム材６１の角部を構成するそれぞれの縁辺部間の距離Ｄ１、Ｄ２を算出する。
【０１８２】
判定部１７３は、算出した距離Ｄ１、Ｄ２とあらかじめ記憶しておいた閾値とを比較し、閾値と距離Ｄ１、Ｄ２との差がそれぞれ所定値以上となる場合に主フィルム材６１が基板１に対して曲がった状態に貼り付けられたものと判断し、基板１を不良品として判定する。一方、判定部１７３は、算出した距離Ｄ１、Ｄ２と上記閾値とを比較し、閾値と距離Ｄ１、Ｄ２との差がそれぞれ所定値未満となる場合に主フィルム材６１が基板１に対して良好に貼り付けられたものと判断し、基板１を良品として判定する。
【０１８３】
このように本実施形態によれば、検査部１７０を備えるので、基板１に対するフィルム（主フィルム材６１）の貼付状態を判定することができるので、基板１の良品或いは不良品の判定を容易に行う事ができる。よって、フィルムの貼付状態が良好でない不良品の基板１を選別して、予め排除することが可能な貼付装置１００Ｂを提供することができる。本説明では、基板１の四隅を撮像部１７２により撮像する場合を例に挙げたが、これに限定されず、基板１の四隅のいずれか２個のみを撮像するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１８４】
本発明によれば、接着剤の塗布及び基板への貼り付けを一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良く行うことができるため、産業上極めて有用である。
【符号の説明】
【０１８５】
１…基板、Ｎ…接着剤、Ｒ…ロール体、４７…タイミング調整部、６０…フィルム、６０ａ…裏面、６０ｂ…側面、６１…主フィルム材、６２…保護材、７２…膜厚調整機構（膜厚調整部）、７３…ノズル、８４…洗浄部、１００…貼付装置、１０６…塗布部、１０７…加熱部、１０８…冷却部、１６０…カッター部、１６１…回転刃、１６３…刃洗浄部、１７０…検査部、２４０…回動部、２４１…搬送ローラー（ローラー部材）、２４２…レバー部材、２４７…タイミング調整部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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