(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体と、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げピンを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を前記突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、
前記ダイシングシート上のダイの吸着順序を決定する吸着順序決定手段と、
前記ダイシングシート上のダイを撮像するカメラと、
前記カメラで撮像したダイの画像を処理して該ダイの位置を認識する画像処理手段と、
前記画像処理手段で認識したダイの認識位置を基準にして次に吸着するダイ（以下「次吸着ダイ」という）の位置を推定する次吸着ダイ位置推定手段と、
吸着動作毎に前記次吸着ダイ位置推定手段で推定した次吸着ダイの位置を目標撮像ダイ位置として該次吸着ダイを前記カメラで撮像して該次吸着ダイの位置を前記画像処理手段により認識してダイの突き上げ動作及び吸着動作を実行する制御手段と、
前記ダイシングシート上のダイの配列中に所定の配置で設けられた画像認識可能な複数の基準ダイとを備え、
前記制御手段は、今回吸着動作を行ったダイの位置から前記次吸着ダイ位置推定手段で推定した次吸着ダイの位置までの間隔が所定値以上である場合に、前記次吸着ダイの位置の認識に加え、前記複数の基準ダイの中から該次吸着ダイに近い前記基準ダイを選択して該基準ダイを前記カメラで撮像して該基準ダイの位置を認識し、該基準ダイの認識位置と該次吸着ダイの認識位置との位置関係に基づいて該次吸着ダイの認識位置が正しい次吸着ダイの位置であるか否かを判定し、該次吸着ダイの認識位置が正しい次吸着ダイの位置であると判定した場合は、該次吸着ダイの認識位置に基づいて突き上げ動作及び吸着動作を実行し、該次吸着ダイの認識位置が正しい次吸着ダイの位置ではないと判定した場合は、前記基準ダイの認識位置を基準にして次に吸着するダイの位置を推定し直して該ダイを前記カメラで撮像して該ダイの位置を認識して突き上げ動作及び吸着動作を実行することを特徴とするダイ供給装置。
【請求項２】
前記ダイシングシート上の各位置のダイの良否及び前記基準ダイの位置を示すウエハマップデータを記憶する記憶手段を備え、
前記次吸着ダイ位置推定手段は、前記ウエハマップデータを参照して前記画像処理手段で認識したダイの認識位置を基準にして次に吸着する良品ダイの位置を補正して次吸着ダイの位置を求め、
前記制御手段は、今回吸着動作を行ったダイの位置から前記次吸着ダイ位置推定手段で推定した次吸着ダイの位置までの間隔が所定値以上である場合に、前記ウエハマップデータを参照して前記複数の基準ダイの中から前記次吸着ダイに近い前記基準ダイを選択することを特徴とする請求項１に記載のダイ供給装置。
【請求項３】
前記制御手段は、今回吸着動作を行ったダイの位置から前記次吸着ダイ位置推定手段で推定した次吸着ダイの位置までの間隔を、ダイ配列ピッチの数で判断することを特徴とする請求項１又は２に記載のダイ供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体からダイを供給するダイ供給装置に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
近年、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、ダイを供給するダイ供給装置を部品実装機にセットして、部品実装機でダイを回路基板に実装するようにしたものがある。このダイ供給装置は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートをダイシングフレームに張設したウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げピンとを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするようにしている。【０００３】
この場合、ダイシングシートは、ダイをピックアップしやすいように、ＸＹ方向に均一に拡張（エキスパンド）されて各ダイ間に隙間があけられているため、ダイシングシート上の各ダイの位置は、ダイシングシートの拡張量によって変化する。このため、ダイ供給装置には、ダイの位置を画像認識するためのカメラが搭載され、ダイシングシート上のダイを吸着する前に、吸着対象のダイを上方からカメラで撮像して該ダイの位置を認識してから、該ダイの突き上げ動作及び吸着動作を実行する。そして、今回吸着動作を行ったダイの認識位置を基準にして次に吸着するダイ（以下「次吸着ダイ」という）の位置を推定し、推定した次吸着ダイの位置を目標撮像ダイ位置として該次吸着ダイをカメラで撮像して該次吸着ダイの位置を認識して上述した突き上げ動作及び吸着動作を実行するという処理を繰り返すことで、ダイシングシート上のダイを所定の順序で吸着していく。【０００４】
一般に、１枚のウエハの中には、不良ダイが含まれるため、ダイ検査工程でダイ毎に良否を検査して不良ダイにインクでバッドマークを付し、ダイ実装工程で、ダイ毎にカメラで撮像してバッドマークの有無を画像認識し、ウエハから良品ダイ（良品チップ）のみを順番にピックアップして基板に実装するようにしている。【０００５】
しかし、この方法では、ダイ毎にカメラで撮像してバッドマークの有無を画像認識しなければならず、生産効率が悪いという欠点がある。【０００６】
そこで、近年では、特許文献２（特開２００１−２５０８３４号公報）に記載されているように、ダイ検査工程で、ダイシング後のウエハの各位置のダイの良否を示すウエハマップデータを作成し、ダイ実装工程で、ウエハマップデータを使用して、ウエハから良品ダイ（良品チップ）のみを順番にピックアップして基板に実装する方法が主流となってきている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−１２９９４９号公報
【特許文献２】特開２００１−２５０８３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、ダイシングされたウエハが貼着されたダイシングシートをエキスパンドしてダイシングフレームに装着するため、ダイシングシートの不均一なエキスパンドによってダイの配列がずれた状態になる場合がある。例えば、図６、図７に示すように、ダイ３１の配列の中に不良ダイＡやダイ３１の無いエリアが連続して存在すると、今回吸着動作を行ったダイ３１(a) の位置から次に吸着する良品ダイ３１(b) の位置までの間隔が長くなってダイ３１の配列のずれの影響が大きくなる。このため、図７に示すように、ダイ３１の配列がずれている場合は、今回吸着動作を行ったダイ３１(a) の認識位置を基準にして推定した次吸着ダイ３１(b) の位置までの間隔が長くなると、推定した次吸着ダイ３１(b) が正しい次吸着ダイ３１(c) の位置からずれた位置のダイになってしまうことがあり、実際のウエハの各位置のダイ３１の良否とウエハマップデータとの対応関係がずれてしまうことがある。その結果、良品ダイ３１を正しい吸着順序で吸着できなくなったり、不良ダイＡやダイの無いエリアを次の吸着ダイと間違って推定して撮像してしまうことがあり、問題となっていた。【０００９】
そこで、本発明の目的は、ダイシングシートの不均一なエキスパンドによってダイの配列がずれた状態になっていても、良品ダイを正しい吸着順序で吸着でき、不良ダイやダイの無いエリアを次の吸着ダイと間違って推定して撮像する不具合を解消できるダイ供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体と、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げピンを上下動させる突き上げ機構とを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を前記突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、前記ダイシングシート上のダイの吸着順序を決定する吸着順序決定手段と、前記ダイシングシート上のダイを撮像するカメラと、前記カメラで撮像したダイの画像を処理して該ダイの位置を認識する画像処理手段と、前記画像処理手段で認識したダイの認識位置を基準にして次に吸着するダイ（以下「次吸着ダイ」という）の位置を推定する次吸着ダイ位置推定手段と、吸着動作毎に前記次吸着ダイ位置推定手段で推定した次吸着ダイの位置を目標撮像ダイ位置として該次吸着ダイを前記カメラで撮像して該次吸着ダイの位置を前記画像処理手段により認識してダイの突き上げ動作及び吸着動作を実行する制御手段と、前記ダイシングシート上のダイの配列中に所定の配置で設けられた画像認識可能な複数の基準ダイとを備え、前記制御手段は、今回吸着動作を行ったダイの位置から前記次吸着ダイ位置推定手段で推定した次吸着ダイの位置までの間隔が所定値以上である場合に、前記次吸着ダイの位置の認識に加え、前記複数の基準ダイの中から該次吸着ダイに近い前記基準ダイを選択して該基準ダイを前記カメラで撮像して該基準ダイの位置を認識し、該基準ダイの認識位置と該次吸着ダイの認識位置との位置関係（前者に対する後者の相対的位置関係）に基づいて該次吸着ダイの認識位置が正しい次吸着ダイの位置であるか否かを判定し、該次吸着ダイの認識位置が正しい次吸着ダイの位置であると判定した場合は、該次吸着ダイの認識位置に基づいて突き上げ動作及び吸着動作を実行し、該次吸着ダイの認識位置が正しい次吸着ダイの位置ではないと判定した場合は、前記基準ダイの認識位置を基準にして次に吸着するダイの位置を推定し直して該ダイを前記カメラで撮像して該ダイの位置を認識して突き上げ動作及び吸着動作を実行するようにしたものである。【００１１】
この構成では、今回吸着動作を行ったダイの位置から次吸着ダイの位置までの間隔が所定値以上である場合には、該次吸着ダイに近い基準ダイをカメラで撮像して該基準ダイの位置を認識し、該基準ダイの認識位置と該次吸着ダイの認識位置との位置関係（前者に対する後者の相対的位置関係）に基づいて該次吸着ダイの認識位置が正しい次吸着ダイの位置であるか否かを判定するようにしたので、今回吸着動作を行ったダイの位置を基準にして推定した次吸着ダイが正しい次吸着ダイの位置からずれた位置のダイである場合には、該次吸着ダイに近い基準ダイの位置を基準にして次に吸着するダイの位置を推定し直すことができる。これにより、ダイシングシートの不均一なエキスパンドによってダイの配列がずれた状態になっていても、良品ダイを正しい吸着順序で吸着でき、不良ダイやダイの無いエリアを次の吸着ダイと間違って推定して撮像する不具合を解消できる。【００１２】
この場合、ダイシングシート上の各位置のダイの良否及び基準ダイの位置を示すウエハマップデータを記憶する記憶手段を備え、前記ウエハマップデータを参照して、画像処理手段で認識したダイの認識位置を基準にして次に吸着する良品ダイの位置を補正して次吸着ダイの位置を推定し、今回吸着動作を行ったダイの位置から推定した次吸着ダイの位置までの間隔が所定値以上である場合に、前記ウエハマップデータを参照して複数の基準ダイの中から次吸着ダイに近い基準ダイを選択するようにすれば良い。このようにすれば、ウエハマップデータを利用して本発明を容易に実施できる。【００１３】
本発明は、今回吸着動作を行ったダイの位置から次吸着ダイ位置推定手段で推定した次吸着ダイの位置までの間隔を、ダイ配列ピッチの数（間隔内に存在する不良ダイやダイの無い部分の個数）で判断するようにしても良いし、距離（ｍｍ）で判断するようにしても良い。この間隔をダイ配列ピッチの数で判断すれば、距離（ｍｍ）に換算する必要がなく、その分、演算処理を簡略化できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は本発明の一実施例におけるダイ供給装置の外観斜視図である。
【図２】図２は突き上げユニットとその周辺部分の外観斜視図である。
【図３】図３はウエハパレットの外観斜視図である。
【図４】図４は突き上げ動作時に突き上げポットを吸着位置まで上昇させた状態を示す一部破断拡大図である。
【図５】図５は突き上げ動作時に突き上げポットから突き上げピンを突出させた状態を示す一部破断拡大図である。
【図６】図６はダイの配列がずれていない場合の今回吸着ダイと次吸着ダイとの位置関係を説明するダイ配列図である。
【図７】図７はダイの配列がずれている場合の今回吸着ダイと次吸着ダイとの位置関係を説明するダイ配列図である。
【図８】図８はダイ供給装置制御プログラムの処理の処理の流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を説明する。
まず、図１を用いてダイ供給装置１１の構成を概略的に説明する。
【００１６】
ダイ供給装置１１は、マガジン保持部２２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル２３、ＸＹ移動機構２５、突き上げユニット２８（図２参照）等を備え、パレット引き出しテーブル２３を部品実装機（図示せず）に差し込んだ状態にセットされる。
【００１７】
ダイ供給装置１１のマガジン保持部２２内に上下動可能に収納されたマガジン（図示せず）には、ウエハ張設体３０を装着したウエハパレット３２が多段に積載され、生産中にマガジンからウエハパレット３２がパレット引き出しテーブル２３上に引き出されるようになっている。図３に示すように、ウエハ張設体３０は、ウエハを碁盤目状にダイシングして形成したダイ３１を貼着した伸縮可能なダイシングシート３４を、円形の開口部を有するダイシングフレーム３３にエキスパンドした状態で装着したものであり、該ダイシングフレーム３３がパレット本体３５にねじ止め等により取り付けられている。
【００１８】
突き上げユニット２８（図２参照）は、ウエハパレット３２のダイシングシート３４下方の空間領域をＸＹ方向に移動可能に構成されている。そして、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピン３９（図４、図５参照）で局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。
【００１９】
この突き上げユニット２８は、サーボモータ（図示せず）を駆動源として突き上げユニット２８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット２８が上昇して突き上げポット３７の上面がウエハパレット３２のダイシングシート３４にほぼ接触する所定のシート吸着位置まで上昇すると、ストッパ機構（図示せず）によって突き上げユニット２８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット３７の上面から突き上げピン３９（図４、図５参照）が上方に突出して、ダイシングシート３４のうちのピックアップしようとするダイ３１の貼着部分を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータの回転量を調整することで、突き上げピン３９の突き上げ高さ位置（突き上げ量）を調整できるようになっている。
【００２０】
図１に示すように、ＸＹ移動機構２５には、吸着ヘッド４１とカメラ４２とが組み付けられ、該ＸＹ移動機構２５によって吸着ヘッド４１とカメラ４２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成されている。吸着ヘッド４１には、ダイシングシート３４上のダイ３１を吸着する吸着ノズル４３（図４、図５参照）が上下動するように設けられている。カメラ４２は、ダイシングシート３４上のダイ３１を上方から撮像してその撮像画像を画像処理することで、吸着ノズル４３に吸着しようとするダイ３１の位置を認識できるようになっている。
【００２１】
ダイ供給装置１１の制御装置（制御手段）は、画像処理手段としても機能し、ダイシングシート３４上のダイ３１のうち、吸着しようとするダイ３１をカメラ４２で撮像して得られた画像を処理して該ダイ３１の位置を認識して、該ダイ３１の突き上げ位置及び吸着位置を決定し、図５に示すように、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピン３９で局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせながら、該ダイ３１を吸着ノズル４３に吸着してピックアップする。そして、今回吸着動作を行ったダイ３１の認識位置を基準にして次に吸着するダイ（以下「次吸着ダイ」という）３１の位置を推定し、推定した次吸着ダイ３１の位置を目標撮像ダイ位置として該次吸着ダイ３１をカメラ４２で撮像して該次吸着ダイ３１の位置を認識して上述した突き上げ動作及び吸着動作を実行するという処理を繰り返すことで、ダイシングシート３４上のダイ３１を所定の順序で吸着していく。
【００２２】
一般に、１枚のウエハの中には、不良ダイが含まれるため、ウエハ製造会社では、ダイ検査結果に基づいて、ダイシング後のウエハの各位置のダイ３１の良否を示すウエハマップデータを作成して、このウエハマップデータをウエハと一緒にダイ実装基板製造会社に提供する。ダイ実装基板製造会社では、ダイ供給装置１１を使用して、ウエハマップデータに従って、ウエハから良品ダイ（良品チップ）のみを順番にピックアップして基板に実装する。
【００２３】
このように、ウエハマップデータを使用する場合は、実際のウエハの各位置のダイ３１の良否をウエハマップデータと正確に対応させる必要がある。
【００２４】
しかし、ダイシングされたウエハが貼着されたダイシングシート３４をエキスパンドしてダイシングフレーム３３に装着するため、ダイシングシート３４の不均一なエキスパンドによってダイ３１の配列がずれた状態になる場合がある。この場合、図６、図７に示すように、ダイ３１の配列の中に不良ダイＡやダイの無いエリアが連続して存在すると、今回吸着動作を行ったダイ３１(a) の位置から次に吸着する良品ダイ３１(b) の位置までの間隔が長くなってダイ３１の配列のずれの影響が大きくなる。このため、図７に示すように、ダイ３１の配列がずれている場合は、今回吸着動作を行ったダイ３１(a) の認識位置を基準にして推定した次吸着ダイ３１(b) の位置までの間隔が長くなると、推定した次吸着ダイ３１(b) が正しい次吸着ダイ３１(c) の位置からずれた位置のダイになってしまうことがあり、実際のウエハの各位置のダイ３１の良否とウエハマップデータとの対応関係がずれてしまうことがある。その結果、良品ダイ３１を正しい吸着順序で吸着できなくなったり、不良ダイＡやダイ３１の無いエリアを次の吸着ダイと間違って推定して撮像してしまうことがある。
【００２５】
この対策として、本実施例では、図６、図７に示すように、ダイシングシート３４上のダイ３１の配列中に所定間隔で画像認識可能な複数の基準ダイ４５を配置し、今回吸着動作を行ったダイ３１(a) の位置から推定した次吸着ダイ３１(b) の位置までの間隔が所定値以上である場合には、次吸着ダイ３１(b) の位置の認識に加え、複数の基準ダイ４５の中から該次吸着ダイ３１(b) に近い基準ダイ４５を選択して該基準ダイ４５をカメラ４２で撮像して該基準ダイ４５の位置を認識し、該基準ダイ４５の認識位置と該次吸着ダイ３１(b) の認識位置との位置関係（前者に対する後者の相対的位置関係）に基づいて該次吸着ダイ３１(b) の認識位置が正しい次吸着ダイ３１(c) の位置であるか否かを判定し、該次吸着ダイ３１(b) の認識位置が正しい次吸着ダイ３１(c) の位置であると判定した場合は、該次吸着ダイ３１(b) の認識位置に基づいて突き上げ動作及び吸着動作を実行し、該次吸着ダイ３１(b) の認識位置が正しい次吸着ダイ３１(c) の位置ではないと判定した場合は、前記基準ダイ４５の認識位置を基準にして次に吸着するダイ３１(c) の位置を推定し直して該ダイ３１(c) をカメラ４２で撮像して該ダイ３１(c) の位置を認識して突き上げ動作及び吸着動作を実行する。
【００２６】
以上説明した本実施例のダイ供給装置１１の制御は、ダイ供給装置１１の制御装置（制御手段）によって、図８のダイ供給装置制御プログラムに従って実行される。ダイ供給装置１１の制御装置には、ダイシングシート３４上の各位置のダイ３１の良否、ダイ３１が無い位置及び基準ダイ４５の位置を示すウエハマップデータが記憶された記憶装置（記憶手段）が設けられている。図８のダイ供給装置制御プログラムは、ダイ供給装置１１の稼働中に実行され、請求の範囲でいう吸着順序決定手段、画像処理手段及び次吸着ダイ位置推定手段としても機能する。
【００２７】
図８のダイ供給装置制御プログラムが起動されると、まずステップ１０１で、最初に吸着するダイ３１をカメラ４２で撮像して得られた画像を処理して該ダイ３１の位置を認識する。この後、ステップ１０２に進み、該ダイ３１の認識位置に基づいて該ダイ３１の突き上げ位置及び吸着位置を決定して、該ダイ３１の突き上げ動作及び吸着動作を実行する。
【００２８】
この後、ステップ１０３に進み、ウエハマップデータを参照して、今回吸着動作を行ったダイ３１の認識位置を基準にして次に吸着するダイ（次吸着ダイ）３１の位置を推定する。この際、ウエハマップデータを参照して、今回の吸着ダイ３１(a) から不良ダイＡやダイ３１の無いエリアを飛ばして次の良品ダイの位置を次吸着ダイ３１(b) とする。この後、ステップ１０４に進み、推定した次吸着ダイ３１(b) の位置を目標撮像ダイ位置として該次吸着ダイ３１(b) をカメラ４２で撮像して該次吸着ダイ３１(b) の位置を認識する。
【００２９】
この後、ステップ１０５に進み、今回の吸着ダイ３１(a) と次吸着ダイ３１(b) との間隔が所定値以上であるか否かを判定する。ここで、「所定値」は、ダイ３１の配列のずれによって次吸着ダイ３１(b) の位置を間違って推定する可能性のある最小の間隔に設定すれば良い。また、間隔（所定値）は、ダイ配列ピッチの数（間隔内に存在する不良ダイＡやダイ３１の無い部分の個数）で判断するようにしても良いし、距離（ｍｍ）で判断するようにしても良い。この間隔をダイ配列ピッチの数で判断すれば、距離（ｍｍ）に換算する必要がなく、その分、演算処理を簡略化できる。
【００３０】
上述したステップ１０５で、今回の吸着ダイ３１(a) と次吸着ダイ３１(b) との間隔が所定値未満と判定されれば、推定した次吸着ダイ３１(b) が正しい次吸着ダイ３１(c) であると判断して、上記ステップ１０２に戻り、該ダイ３１(b) の認識位置に基づいて該ダイ３１(b) の突き上げ位置及び吸着位置を決定して、該ダイ３１(b) の突き上げ動作及び吸着動作を実行した後、上述したステップ１０３〜１０５の処理を繰り返す。
【００３１】
これに対し、上記ステップ１０５で、今回の吸着ダイ３１(a) と次吸着ダイ３１(b) との間隔が所定値以上と判定されれば、推定した次吸着ダイ３１(b) が正しい次吸着ダイ３１(c) でない可能性があると判断して、上記ステップ１０６に進み、ウエハマップデータを参照して、複数の基準ダイ４５の中から、推定した次吸着ダイ３１(b) の認識位置に最も近い基準ダイ４５を選択した後、ステップ１０７に進み、選択した基準ダイ４５をカメラ４２で撮像して該基準ダイ４５の位置を認識する。
【００３２】
この後、ステップ１０８に進み、該基準ダイ４５の認識位置と該次吸着ダイ３１(b) の認識位置との位置関係（前者に対する後者の相対的位置関係）を判定し、次のステップ１０９で、該基準ダイ４５の認識位置と該次吸着ダイ３１(b) の認識位置との位置関係に基づいて該次吸着ダイ３１(b) の認識位置が正しい次吸着ダイ３１(c) の位置であるか否かを判定する。その結果、次吸着ダイ３１(b) の認識位置が正しい次吸着ダイ３１(c) の位置ではないと判定されれば、ステップ１１０に進み、該基準ダイ４５の認識位置を基準にして次に吸着するダイ３１(c) の位置を推定し直して、ステップ１１１に進み、該ダイ３１(c) をカメラ４２で撮像して該ダイ３１(c) の位置を認識して、前記ステップ１０２に戻り、突き上げ動作及び吸着動作を実行する。
【００３３】
一方、上記ステップ１０９で、該基準ダイ４５の認識位置と該次吸着ダイ３１(b) の認識位置との位置関係に基づいて該次吸着ダイ３１(b) の認識位置が正しい次吸着ダイ３１(c) の位置であると判定されれば、ステップ１１１に進み、該ダイ３１(c) をカメラ４２で撮像して該ダイ３１(c) の位置を認識して、前記ステップ１０２に戻り、突き上げ動作及び吸着動作を実行する。以後、上述した処理を繰り返すことで、ダイシングシート３４上のダイ３１を所定の順序で吸着していく。その後、前記ステップ１０３で、次吸着ダイ３１が無くなったと判定されれば、本プログラムを終了する。
【００３４】
尚、前記ステップ１０６では、複数の基準ダイ４５の中から、推定した次吸着ダイ３１(b) の認識位置に最も近い基準ダイ４５を選択するようにしたが、複数の基準ダイ４５の中から正しい次吸着ダイ３１(c) の位置に最も近い基準ダイ４５を選択するようにしても良い。
【００３５】
以上説明した本実施例では、今回吸着動作を行ったダイ３１(a) の位置から次吸着ダイ３１(b) の位置までの間隔が所定値以上である場合には、該次吸着ダイ３１(b) に近い基準ダイ４５をカメラ４２で撮像して該基準ダイ４５の位置を認識し、該基準ダイ４５の認識位置と該次吸着ダイ３１(b) の認識位置との位置関係に基づいて該次吸着ダイ３１(b) の認識位置が正しい次吸着ダイ３１(c) の位置であるか否かを判定するようにしたので、今回吸着動作を行ったダイ３１(a) の位置を基準にして推定した次吸着ダイ３１(b) が正しい次吸着ダイ３１(c) の位置からずれた位置のダイである場合には、該次吸着ダイ３１(b) に近い基準ダイ４５の位置を基準にして次に吸着するダイ３１(c) の位置を推定し直すことができる。これにより、ダイシングシート３４の不均一なエキスパンドによってダイ３１の配列がずれた状態になっていても、良品ダイを正しい吸着順序で吸着でき、不良ダイＡやダイの無いエリアを次の吸着ダイと間違って推定して撮像する不具合を解消できる。
【００３６】
尚、本実施例のダイ供給装置１１は、ＸＹ移動機構２５によって吸着ヘッド４１とカメラ４２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成したが、吸着ヘッド４１とカメラ４２がＸ方向のみに移動し、且つ、ウエハパレット３２がパレット引き出しテーブル２３上をＹ方向に移動することで、撮像対象・吸着対象となるダイ３１の位置がＸＹ方向に移動するように構成しても良い。
【００３７】
その他、本発明は、ダイ供給装置１１の構成やウエハパレット３２の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００３８】
１１…ダイ供給装置、２２…マガジン保持部、２３…パレット引き出しテーブル、２５…ＸＹ移動機構、２８…突き上げユニット、３０…ウエハ張設体、３１…ダイ、３１(a) …今回の吸着ダイ、３１(b) …推定した次吸着ダイ、３１(c) …正しい次吸着ダイ、３２…ウエハパレット、３３…ダイシングフレーム、３４…ダイシングシート、３７…突き上げポット、３９…突き上げピン、４１…吸着ヘッド、４２…カメラ、４３…吸着ノズル、４５…基準ダイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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