(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出口から吐出するための熱エネルギを発生する電気熱変換素子の複数が第１の方向に沿って配された電気熱変換素子群と、
前記第１の方向に交差する第２の方向に沿って前記電気熱変換素子群を挟んで配され、前記電気熱変換素子群にインクを供給する複数のインク供給口と、
前記電気熱変換素子群のうちの隣接する前記電気熱変換素子の間の配線に接続され、前記電気熱変換素子と前記インク供給口との間を通って前記電気熱変換素子群に対する前記第１の方向における一方の側に延在し、前記電気熱変換素子群に共通して電力を供給する共通配線と
を備え、
前記インク供給口の前記第２の方向の幅は、前記第１の方向において、前記共通配線が延在する側よりも延在しない側の方が大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
インクを吐出口から吐出するための熱エネルギを発生する電気熱変換素子の複数が第１の方向に沿って配された電気熱変換素子群と、
前記第１の方向に交差する第２の方向に沿って前記電気熱変換素子群を挟んで配され、前記電気熱変換素子群にインクを供給する複数のインク供給口と、
前記電気熱変換素子群のうちの隣接する前記電気熱変換素子の間の配線に接続され、前記電気熱変換素子と前記インク供給口との間を通って前記電気熱変換素子群に対する前記第１の方向における一方の側に延在し、前記電気熱変換素子群に共通して電力を供給する共通配線と
を備え、
前記電気熱変換素子の面積は、前記共通配線が延在する側の方が延在しない側よりも小さいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記電気熱変換素子群に含まれる複数の前記電気熱変換素子それぞれにおいて、一方の端子は前記共通配線に接続され、もう一方の端子は、互いに異なるグランド電位の配線に接続されている駆動素子と接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記共通配線は、前記電気熱変換素子群と前記複数のインク供給口との間の両側に配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記共通配線は、前記電気熱変換素子群に対し前記第２の方向に対称な位置に配置されていることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記電気熱変換素子群と前記共通配線とが設けられた面と、前記面と前記面の裏面とを貫通する前記複数のインク供給口と、を備えた基板を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記複数の電気熱変換素子のそれぞれに対応してインクを吐出する前記吐出口を備え、前記吐出口に連通し、前記電気熱変換素子の発生する熱エネルギにより発生するインク中の泡を収容する圧力室を前記基板と共に形成するオリフィスプレートを有することを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記圧力室は、前記共通配線が延在する側の方が延在しない側よりも大きいことを特徴とする請求項７に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記第２の方向に前記電気熱変換素子群と前記インク供給口とが交互に配されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
インクを吐出口から吐出するための熱エネルギを発生する電気熱変換素子の複数が第１の方向に沿って配された電気熱変換素子群と、
前記第１の方向に交差する第２の方向に沿って前記電気熱変換素子群のうちの少なくとも一つの前記電気熱変換素子を挟んで配され、該電気熱変換素子にインクを供給する複数のインク供給口と、
前記電気熱変換素子群のうちの隣接する前記電気熱変換素子の間の配線に接続され、前記電気熱変換素子と前記インク供給口との間を通って前記電気熱変換素子群に対する前記第１の方向における一方の側に延在し、前記電気熱変換素子群に共通して電力を供給する共通配線と
を備え、
前記複数のインク供給口は、前記共通配線が延在する側の前記電気熱変換素子にインクを供給する第１のインク供給口と、前記共通配線が延在しない側の前記電気熱変換素子にインクを供給する第２のインク供給口とを有し、前記第２のインク供給口の前記第２の方向の幅は、前記第１のインク供給口の前記第２の方向の幅よりも大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】
インクを吐出口から吐出するための熱エネルギを発生する電気熱変換素子の複数が第１の方向に沿って配された電気熱変換素子群と、
前記第１の方向に交差する第２の方向に沿って前記電気熱変換素子群のうちの少なくとも一つの前記電気熱変換素子を挟んで配され、該電気熱変換素子にインクを供給する複数のインク供給口と、
前記電気熱変換素子群のうちの隣接する前記電気熱変換素子の間の配線に接続され、前記電気熱変換素子と前記インク供給口との間を通って前記電気熱変換素子群に対する前記第１の方向における一方の側に延在し、前記電気熱変換素子群に共通して電力を供給する共通配線と
を備え、
前記電気熱変換素子の面積は、前記共通配線が延在する側の方が延在しない側よりも小さいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１２】
前記電気熱変換素子群に含まれる複数の前記電気熱変換素子それぞれにおいて、一方の端子は前記共通配線に接続され、もう一方の端子は、互いに異なるグランド電位の配線に接続されている駆動素子と接続されていることを特徴とする請求項１０または１１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１３】
前記共通配線は、前記電気熱変換素子群と前記複数のインク供給口との間の両側に配置されていることを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１４】
前記共通配線は、前記電気熱変換素子群に対し前記第２の方向に対称な位置に配置されていることを特徴とする請求項１３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１５】
前記電気熱変換素子群と前記共通配線とが設けられた面と、前記面と前記面の裏面とを貫通する前記複数のインク供給口と、を備えた基板を有することを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１６】
前記複数の電気熱変換素子のそれぞれに対応してインクを吐出する前記吐出口を備え、前記吐出口に連通し、前記電気熱変換素子の発生する熱エネルギにより発生するインク中の泡を収容する圧力室を前記基板と共に形成するオリフィスプレートを有することを特徴とする請求項１５に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１７】
前記圧力室は、前記共通配線が延在する側の方が延在しない側よりも大きいことを特徴とする請求項１６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１８】
前記第２の方向に前記電気熱変換素子群と前記インク供給口とが交互に配されていることを特徴とする請求項１０乃至１７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気熱変換素子の発熱を利用して、吐出口からインクを吐出することが可能なインクジェット記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドは、記録データに応じてインクを吐出することが可能な記録素子を複数配列して構成されている。昨今では、高解像で高速な画像出力への需要に対応するため、記録素子の多数化、高密度化が推進されている。高解像で高速な画像を出力するためには、記録ヘッドにおける記録素子の配列密度を高めることと同時に、個々の記録素子で吐出に伴って消費されるインクを迅速に再充填（リフィル）することが求められる。リフィルが素早いほど、早く次の吐出動作に移ることが出来、個々の記録素子における吐出周波数を高く設定することが出来るからである。
【０００３】
例えば、特許文献１には、１つの記録素子に対して２つのインク供給口を配備する構成が開示されている。このような構成であれば、吐出に伴ってインクが消費されても、２つのインク供給口を介して素早くインクが充填されるので、記録素子の吐出周波数を高く保つことが出来る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−７１５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、インクジェット記録ヘッドにおいては、個々の記録素子に対し、インクを供給する経路も必要であるが、吐出に必要なエネルギを付与するための配線も必要である。このような状況において、特許文献１のように多数の供給口を用意しながら個々の記録素子への配線も確保すると、記録ヘッドの基板が大型化したり、記録素子の高密度配列が困難になったりする。
【０００６】
本発明は上記課題を解決するためになされたものである。よって、その目的とするところは、記録ヘッドの大型化を招くことなく、高い周波数で吐出可能な記録素子を高密度に配したインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そのために本発明は、インクを吐出口から吐出するための熱エネルギを発生する電気熱変換素子の複数が第１の方向に沿って配された電気熱変換素子群と、前記第１の方向に交差する第２の方向に沿って前記電気熱変換素子群を挟んで配され、前記電気熱変換素子群にインクを供給する複数のインク供給口と、前記電気熱変換素子群のうちの隣接する前記電気熱変換素子の間の配線に接続され、前記電気熱変換素子と前記インク供給口との間を通って前記電気熱変換素子群に対する前記第１の方向における一方の側に延在し、前記電気熱変換素子群に共通して電力を供給する共通配線とを備え、前記インク供給口の前記第２の方向の幅は、前記第１の方向において、前記共通配線が延在する側よりも延在しない側の方が大きいことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、本発明によれば、記録ヘッドの大型化を招くことなく、高い吐出周波数で高解像且つ高品位な画像を高速に出力することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明で使用可能なインクジェット記録ヘッドの平面図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は、図１において破線Ｃａで囲った領域の拡大図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は、本発明で使用可能な記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明で使用可能なインクジェット記録ヘッドの断面斜視図である。
【図５】本発明で使用可能なインクジェット記録ヘッドの拡大平面図である。
【図６】電気熱変換素子への接続関係を説明するための等価回路図である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は、第２の実施形態における記録素子基板を示す図である。
【図８】（ａ）および（ｂ）は、第３の実施形態における記録素子基板を示す図である。
【図９】（ａ）および（ｂ）は、第４の実施形態における記録素子基板を示す図である。
【図１０】（ａ）および（ｂ）は、第５の実施形態における記録素子基板を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１の実施形態）
図１は、本実施形態で使用するインクジェット記録ヘッドの平面図である。本実施形態の記録ヘッド１９には、ノズル列群Ｃ１、Ｍ１、Ｙ１、Ｙ２、Ｍ２、Ｃ２がＸ方向に図のように配列して構成されている。これら６つのノズル列群は同等の構成を有しており、それぞれが、２つの並列するノズル列で構成されている。例えば、ノズル列群Ｃ１およびＣ２はシアンインクを吐出するノズル列群であり、ノズル列Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｋ、Ｌｌは、一定のピッチＰでＹ方向に配列する複数の記録素子で構成されている。
【００１１】
記録ヘッド１９がＸ方向（第１の方向）に移動しながら記録媒体に向けてインクを吐出する場合、ノズル列ＬａとＬｂはＸ方向と交差するＹ方向（第２の方向）の同じラインに同じ大きさのシアンドットを記録することが出来る。すなわち、ノズル列ＬａとＬｂは同じラインを互いに補いながらドットを記録することが出来る。その結果、個々のノズル列における吐出可能周波数の倍の周波数でドットを記録することが出来る。
【００１２】
また、ノズル列群Ｃ１のノズル列Ｌａ、Ｌｂと、ノズル列群Ｃ２のノズル列Ｌｋ、Ｌｌとは、Ｙ方向に互いに半ピッチ（Ｐ／２）ずれるように記録素子（ノズル）が配置されている。よって、記録ヘッド１９を、Ｘ方向に移動しながら個々の記録素子からインクを吐出することにより、記録媒体にはＹ方向にピッチＰの２倍の解像度で画像を記録することができる。以上の構成は、ノズル列群Ｍ１とＭ２、Ｙ１とＹ２の関係についても同様である。
【００１３】
更に、記録ヘッド１９においては、Ｃ１、Ｍ１、Ｙ１、Ｙ２、Ｍ２、Ｃ２の順、すなわち、インク色がＸ方向において左右対称になるように、各ノズル列群が配置している。よって、記録ヘッド１９が往路方向でインクを吐出しても復路方向でインクを吐出しても、記録媒体にはシアン→マゼンタ→イエロー→イエロー→マゼンタ→シアンの順でインクが付与される。このように、往路走査におけるインクの付与順序と復路走査におけるインクの付与順序を統一することにより、双方向記録の際に懸念される色むらの発生が回避されるので、高速出力が可能な双方向記録を問題なく採用することが出来る。以上説明したように、本実施形態の記録ヘッド１９には、高速に画像を記録するための様々な工夫が施されている。
【００１４】
図において、各ノズル列群の裏面側には共通液室４が配備されている。共通液室４は、不図示のインクタンクから供給されたインクを一度貯留し、これを各ノズル列群の記録素子に共通して供給する。
【００１５】
ノズル列群に対しＹ方向の両端の位置には、不図示の記録装置本体から供給されるヒータ駆動電源ＶＨおよびグランド電位ＧＮＤが印加される複数のパッド４１が配備されている。パッド４１と記録素子７を連結する配線については後に詳しく説明する。
【００１６】
図２（ａ）および（ｂ）は、図１において破線Ｃａで囲った領域の拡大図である。図２（ａ）は個々の記録素子のインク路を形成するオリフィスプレートを透視した状態を示し、図２（ｂ）はオリフィスプレートを除去した状態を示している。
【００１７】
本実施形態においては、Ｙ方向（第２の方向）にピッチＰの間隔で配置する全ての記録素子の隙間に、基板を貫通し、Ｘ方向（第１の方向）に並ぶ２つの記録素子７ａおよび７ｂに共通にインクを供給するインク供給口２Ａが設けられている。このような構成により、共通液室４に貯留されたインクは、複数用意されたインク供給口２Ａを介して図のＺ方向に流入し、個々の記録素子に供給される仕組みになっている。すなわち、記録素子７ａおよび７ｂは、主としてＹ方向に隣接する２つのインク供給口２Ａからインクが補給されるようになっている。
【００１８】
図２（ｂ）を参照するに、記録素子７ａおよび７ｂに対応する基板上の位置には、電気熱変換素子６ａおよび６ｂが配置されており、共通配線３１およびビア３２を介して入力された信号に応じて電圧が印加され、これに接するインクを吐出する仕組みになっている。このように、本実施形態の記録ヘッドにおいては、個々の記録素子にインクを供給するためのインク供給口２Ａと電力を供給するための配線が、Ｙ方向に等しいピッチＰで交互に配置されている。
【００１９】
図３（ａ）および（ｂ）は記録ヘッド１９の断面図である。図３（ａ）は図２（ａ）におけるＩＩ−ＩＩを切断面とした、インク供給口２Ａ領域を説明するための断面図である。また、図３（ｂ）は図２（ａ）におけるＩＩＩ−ＩＩＩを切断面とした、記録素子７ａおよび７ｂの構成を説明するための断面図である。更に、図４は、図２（ａ）におけるＩ−Ｉ切断面と、ＩＩ−ＩＩ切断面の状態を説明するための断面斜視図である。
【００２０】
支持部材１、基板２およびオリフィスプレート３は、この順番でＺ方向に積層された部材であり、記録ヘッド１９における全てのノズル列で共通化させることができる。基板２には、ノズル列群内の全記録素子に共通する共通液室４が形成されており、対応するインクタンクからインクが供給される。
【００２１】
図３（ａ）を参照するに、Ｙ方向に所定のピッチで配された複数のインク供給口２Ａは、ノズル列ＬａおよびＬｂそれぞれに用意された液室５に対し、共通液室４内のインクを供給する。なお、液室５は、ノズル列Ｌａおよびノズル列Ｌｂのそれぞれに対して用意されているが、各ノズル列に含まれる複数の記録素子に対しては共通になっている。
【００２２】
図３（ｂ）を参照するに、記録素子７ａ、７ｂは、主に電気熱変換素子６ａ、６ｂ、圧力室Ｒａ、Ｒｂ、および吐出口までのインク路８ａ、８ｂで構成されている。電気熱変換素子６ａおよび６ｂは、基板２上に配置されており、吐出信号に応じた電圧の印加によって熱エネルギを発生する。圧力室ＲａおよびＲｂは、液室５のうち、電気熱変換素子６ａおよび６ｂが配置された位置に対応する領域であり、電気熱変換素子６ａおよび６ｂの発熱により発生した泡を収容する領域である。インク路８ａおよび８ｂは、オリフィスプレート３において電気熱変換素子６ａおよび６ｂと対向する位置に形成されたインク流路であり、圧力室ＲａおよびＲｂから押し出されたインクをこれに連通する吐出口まで導く。
【００２３】
図５は、図３（ｂ）において破線Ｃｂで囲った領域の拡大図であり、記録素子領域における層構成を示した図である。図３（ａ）および（ｂ）で説明した基板２は、シリコン基板１９Ａの上に、１９Ｂ〜１９Ｆの薄膜が形成されることによって構成されている。シリコン基板１９Ａの直上には、複数の層間膜（図４では３層を例示）であるシリコン酸化膜層１９Ｂが形成され、層間膜１９Ｂの上層にはＴａＳｉＮによってヒータ配線層１９Ｃが形成されている。更に、ヒータ配線層１９Ｃに接して電気配線層１９ＤとなるＡｌ層が形成され、当該Ａｌ層の電気熱変換素子６ｂとなる領域（ヒータ部）のみが、エッチングによって除去され、ヒータ配線層１９Ｃが露出している。このような構成により、電気配線層１９Ｄによって供給された電流が、Ａｌ層が除去された領域（ヒータ部）でＴａＳｉＮに流れ、熱を発生する仕組みが画成される。これらの層上には、保護膜１９ＥとしてＳｉＮ層が形成され、更に、インクの発泡の消滅時に加わるキャビテーションに対する保護膜１９ＦとしてＴａ膜が被覆されている。
【００２４】
上述した構成の基板２とオリフィスプレート３との空間は、供給されたインク内に発泡を生じさせその成長エネルギを収容する圧力室Ｒｂとなる。記録信号に従って、ヒータ部６ｂの両側に位置する電源配線層１９Ｄに電圧がかけられると、Ａｌ層が除去された領域が抵抗（ヒータ部）となり、熱を発生する。すると急激な加熱によって圧力室Ｒｂ内のインク中に膜沸騰が生じ、生成された泡の体積膨張によって吐出口からインクが滴として吐出される仕組みになっている。
【００２５】
以上説明した本実施形態において、圧力室Ｒａ、Ｒｂ内のインクは、主に、これに隣接する２つの供給口２Ａを介して共通液室４から供給される。このとき、供給口２Ａから圧力室Ｒａ、Ｒｂへの流路中に、障害となるような壁は存在しない。また、再度図２Ａおよび２Ｂを参照するに、供給口２ＡのＹ方向の開口寸法ＷｙａおよびＷｙｂは、吐出口の内径や、電気熱変換素子６ａおよび６ｂのＹ方向の長さＨｙａおよびＨｙｂよりも十分大きく設計されている。同様に、Ｘ方向の開口寸法Ｗｘについても、２つの電気熱変換素子６ａ、６ｂの外側端面の距離Ｈｘよりも大きく、すなわち電気熱変換素子６ａおよび６ｂのＹ方向の長さＨｘａおよびＨｘｂよりも十分大きく設計されている。更に、本実施形態の記録ヘッド１９では、圧力室Ｒａ、Ｒｂ内において、Ｙ方向へのインクの流抵抗がＸ方向へのインクの流抵抗よりも小さくなるように設計されている。
【００２６】
以上のような構成を有することにより、本実施形態の記録ヘッドでは、供給口２Ａから圧力室Ｒａ、Ｒｂへのインクの供給量を十分確保するとともに、その経路におけるインクの流抵抗を小さく抑えることが出来る。その結果、吐出を行っても圧力室Ｒａ、Ｒｂ内のインクは直ぐに供給され、記録素子の吐出周波数を高めることが出来る。また、ヒータ６ａ、６ｂ上に発生した気泡の圧力は、Ｙ方向に隣接する供給口２Ａに効率的に吸収されるので、Ｘ方向あるいはＹ方向に隣り合う圧力室Ｒａ、Ｒｂ間において、インクの発泡の圧力が相互に作用し合う、いわゆるクロストークを軽減することができる。但し、本実施形態においては、Ｘ方向に隣接するＲａ、Ｒｂの間においてクロストークを抑制しつつ、供給口２Ａに圧力を効率的に吸収させるために、壁９ｄも設けている。
【００２７】
ところで、以上の構成によれば、電気熱変換素子６ａおよび６ｂと供給口２Ａの距離を短くすることで短時間のリフィルを実現しているが、その一方で、電気熱変換素子６ａおよび６ｂに対する配線領域も、加工精度の誤差を含んだ広さで確保することが要される。このような状況を鑑み、本実施形態では、２つの電気熱変換素子６ａおよび６ｂの片方の側（６ｂ側）のみに、これら２つに共通する配線３１を延在させている。その結果、供給口２Ａにおいて、ノズル列Ｌｂ側のＹ方向の幅Ｗｙｂはノズル列Ｌａ側のＹ方向の幅Ｗｙａよりも若干小さくなっている。このように、本実施形態では、必要な配線領域を確保しながらも、その領域を出来るだけ抑えることにより、供給口の面積をなるべく大きく設計している。
【００２８】
図６は、電気熱変換素子６ａおよび６ｂへの接続関係を説明するための等価回路図である。図１で説明した基板上のパッド４１は、２つのＧＮＤと記録装置本体から供給されるヒータ駆動電源ＶＨに接続されている。ＶＨ電源はＹ方向に配線で引き出され、供給口２Ａそれぞれの間に配置されている２つの電気熱変換素子６ａ、６ｂに対し一本ずつの共通配線３１が、接続されている。２つの電気熱変換素子６ａ、６ｂの他方の端子は、それぞれ供給口２Ａの両側に引き出され、供給口２Ａを挟んだ両側に配置された電気熱変換素子の駆動素子である駆動トランジスタ４２のドレイン端子に接続されている。各々の駆動トランジスタ４２のゲート端子には、図中波線で省略したロジック回路から、記録データに従った通電制御信号が入力され、所定のタイミングで駆動トランジスタ４２のオン、オフが制御される。図２では、簡略化のため、駆動トランジスタ４２やパッド４１は省略してあり、駆動トランジスタ４２のドレイン端子と接続するビア３２までの配線パターンが示されている。
【００２９】
以上説明したように、本実施形態によれば、２つの電気熱変換素子の一方の側のみに、これら２つに共通する配線を延在させている。また、個々の記録素子への配線を確保しつつも、圧力室間のクロストークを防止可能な広い開口のインク供給口を、上記配線や記録素子と同じピッチで交互に配置している。これにより、記録ヘッドの大型化を招くことなく、高い吐出周波数で高解像且つ高品位な画像を高速に出力することが可能となる。
【００３０】
（第２の実施形態）
図７（ａ）および（ｂ）は、本実施形態における記録素子基板を図２（ａ）および（ｂ）と同様に説明する図である。図７（ａ）は個々の記録素子のインク路を形成するオリフィスプレートを透視した状態を示し、図７（ｂ）はオリフィスプレートを除去した状態を示している。
【００３１】
本実施形態において、第１の実施形態と異なる点は、２つの電気熱変換素子６ａ、６ｂに対し２本ずつの共通配線３２を接続していることである。これら一対の共通配線３２は、いずれも電気熱変換素子６ａおよび６ｂの片方の側（６ｂ側）に延在されている。これにより、本実施形態の供給口２Ａでは、ノズル列Ｌｂ側のＹ方向の幅Ｗｙｂが、第１の実施形態に比べて更に小さくなっている。
【００３２】
第１の実施形態のようなＹ方向に非対称な構成では、インクの吐出角度がＹ方向に僅かにずれて、着弾位置精度に影響を及ぼす場合がある。特に高精度な着弾位置精度が要求される場合には、本実施形態のようなＹ方向に対称な構成とすることにより、インクの吐出角度を安定させ、紙面上で高精度な着弾位置を確保することが可能となる。
【００３３】
更に、本実施形態のように２つの共通配線３２を配することは、第１の実施形態に比べ配線抵抗すなわち配線での消費電力を抑制し、電気熱変換素子６ａおよび６ｂに対し、より効率的に電力を供給することに繋がる。逆に、配線抵抗の低減を行う必要がない場合であれば、２つの配線を第１の実施形態よりも細くして、その分供給口２ＡのＹ方向の幅Ｗｙｂを大きくすることも出来る。
【００３４】
（第３の実施形態）
図８（ａ）および（ｂ）は、本実施形態における記録素子基板を図２（ａ）および（ｂ）と同様に説明する図である。図８（ａ）は個々の記録素子のインク路を形成するオリフィスプレートを透視した状態を示し、図８（ｂ）はオリフィスプレートを除去した状態を示している。
【００３５】
本実施形態では、２つの電気熱変換素子６ａ、６ｂに対する配線形態は、第２の実施形態と同様である。但し、本実施形態では、壁９ｄの位置をノズル列Ｌａ側に偏らせ、圧力室ＲａおよびＲｂのＸ方向の幅すなわち容積を異ならせている。
【００３６】
第２の実施形態の様にノズル列Ｌｂの側で２本ずつの配線を設けた場合、配線のための領域が増えた分、インク供給口２Ａから電気熱変換素子６ｂまでの距離が長くなり、流路抵抗が増加する。すなわち、ノズル列Ｌｂのリフィルに要する時間がノズル列Ｌａよりも長くなってしまう。しかし、本実施形態のように液室５の幅を大きくすれば、供給口２Ａから電気熱変換素子６ｂまでの流量は多くなり、リフィルに要する時間を短縮することが出来る。すなわち、壁９ｄの位置をノズル列Ｌａとノズル列Ｌｂの間で調整することにより、これらノズル列の間でリフィルに要する時間、すなわち吐出周波数を統一させることが出来る。
【００３７】
（第４の実施形態）
図９（ａ）および（ｂ）は、本実施形態における記録素子基板を図２（ａ）および（ｂ）と同様に説明する図である。図９（ａ）は個々の記録素子のインク路を形成するオリフィスプレートを透視した状態を示し、図９（ｂ）はオリフィスプレートを除去した状態を示している。
【００３８】
本実施形態では、２つの電気熱変換素子６ａ、６ｂの大きさを異ならせている。具体的には、電気変換素子６ｂのＹ方向の幅Ｈｙｂを、電気変換素子６ａのＹ方向の幅Ｈｙａよりも小さくしている。更に、これに伴って、記録素子７ｂの吐出口径を記録素子７ａよりも小さくしている。このような構成を採用することにより、本実施形態では、ノズル列Ｌａが吐出するインクの量よりもノズル列Ｌｂが吐出するインクの量を意図的に小さくしている。このように、同色で異なる量のインクを吐出可能な記録ヘッドを用いた場合、各画素の階調性を増大させることが出来るので、より高画質な画像を出力することが可能となる。
【００３９】
上記構成の記録ヘッドの場合、吐出量の少ない記録素子の側に配線３２を設けることにより、供給口２ＡのＹ方向の開口寸法ＷｙａおよびＷｙｂを、均等且つ広く取ることが出来る。図では、２つの電気熱変換素子６ａ、６ｂに対して、第２の実施形態と同様に２本ずつの共通配線３２を接続しているが、Ｈｙｂが小さい分、供給口２ＡのＹ方向の開口寸法が第２の実施形態よりも大きくなっている。
【００４０】
本構成の場合、電気熱変換素子６ｂの幅Ｈｙｂが小さくなった分、電気熱変換素子６ｂから供給口２Ａまでの距離は大きくなるが、そもそも吐出量が少ない記録素子７ｂに供給すべきインク量は少ない。すなわち、リフィル時間への影響は供給距離の増大と供給量の減少で補い合い、２つの記録素子７ａと７ｂで吐出周波数をある程度揃えることが出来るのである。
【００４１】
なお、図９（ａ）および（ｂ）では、２つの電気熱変換素子６ａ、６ｂに対し２本ずつの共通配線３２を接続する構成で説明したが、本実施形態においては、１本ずつの共通配線の場合であっても無論有効である。
【００４２】
（第５の実施形態）
図１０（ａ）および（ｂ）は、本実施形態における記録素子基板を図２（ａ）および（ｂ）と同様に説明する図である。図１０（ａ）は個々の記録素子のインク路を形成するオリフィスプレートを透視した状態を示し、同図（ｂ）はオリフィスプレートを除去した状態を示している。
【００４３】
本実施形態では、２つの電気熱変換素子６ａ、６ｂに対する配線形態は、第２の実施形態と同様である。本実施形態の特徴は、２つの電気熱変換素子６ａ、６ｂに対応するインク供給口を２Ａ、２Ｂに分離している点である。またＸ方向に隣接する圧力室Ｒａ、Ｒｂの間に壁９ｄを設けている。このため、クロストークを軽減することができる。
【００４４】
クロストークの影響が生じる場合、その対策としてクロストーク影響が収束する一定以上の時間をずらして隣接する電気熱変換素子の駆動を行うこととなり、記録速度が低下することとなる。しかし本実施形態の構成であれば６ａ、６ｂ間の駆動を同時に行うことや、６ａ、６ｂ間の駆動時間間隔を短時間とすることが可能となり、記録速度の低下を防ぐことが可能となる。
【００４５】
また、第１のインク供給口２ＢのＹ方向の幅Ｗｙｂは第２のインク供給口２ＡのＹ方向の幅Ｗｙａよりも若干小さくなっている。このように、本実施形態では、必要な配線領域を確保しながらも、その領域を出来るだけ抑えることにより、供給口の面積をなるべく大きく設計している。
【００４６】
以上説明したように、本発明によれば、熱エネルギを利用してインクを吐出する記録ヘッドの基板において、電気熱変換素子群に共通する配線を、当該電気熱変換素子群の一方の側のみに延在させている。これにより、配線が延在されていない側のインク供給口の幅を小さくすることができるので、記録ヘッドの大型化を招くことなく、高い吐出周波数で高解像且つ高品位な画像を高速に出力することが可能となる。
【００４７】
なお、以上説明した実施形態では、２つの電気熱変換素子に対して共通の供給口２Ａおよび共通配線３１を用意したが、３つ以上の電気熱変換素子群に対して共通する供給口や共通配線が用意される形態であっても本発明は無論有効である。また、これら電気熱変換素子群に対して共通する配線の数についても、上記実施形態のように１本あるいは２本に限定されるものではなく、３本以上であっても構わない。
【符号の説明】
【００４８】
１  支持基板
２  基板
２Ａ  インク供給口
３  オリフィスプレート
４  共通液室
５  液室
６ａ、６ｂ  電気熱変換素子
７ａ、７ｂ  記録素子
８ａ、８ｂ  インク路
Ｒａ、Ｒｂ  圧力室
１９  インクジェット記録ヘッド
３１  共通配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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