(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空筒状の軸芯部材に巻回された帯状シートを繰出可能に支持する帯状シートの支持装置において、
前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、
前記支持軸を支えるフレームとを備え、
前記軸芯部材には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能なデータキャリアが設けられ、
前記フレームには、前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面を有するアンテナ配置部材と、前記軸芯部材に対する前記アンテナ配置部材の位置を前記支持軸の軸線に沿って調整可能とする調整手段とが設けられ、
前記アンテナ面には、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループアンテナが設けられていることを特徴とする帯状シートの支持装置。
【請求項２】
中空筒状の軸芯部材に巻回された帯状シートを繰出可能に支持する帯状シートの支持装置において、
前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、
前記支持軸を支えるフレームとを備え、
前記軸芯部材には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能なデータキャリアが設けられ、
前記フレームには、前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面が設けられ、
前記アンテナ面には、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループアンテナと、当該ループアンテナを覆う保護部材とが設けられ、
前記保護部材は、前記軸芯部材が当接することで前記帯状シートにおける前記支持軸の軸線方向の位置決めを行うことを特徴とする帯状シートの支持装置。
【請求項３】
中空筒状の軸芯部材に巻回された帯状シートを繰出可能に支持する帯状シートの支持方法において、
前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、
前記支持軸を支えるフレームとを用い、
前記軸芯部材に、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能なデータキャリアを設け、
前記フレームに、前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面を有するアンテナ配置部材を設け、
前記アンテナ面に、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループアンテナを設け、
前記支持軸を前記軸芯部材の中空部に挿入して当該軸芯部材を支持し、当該支持した軸芯部材に対する前記アンテナ配置部材の位置を前記支持軸の軸線に沿って調整することを特徴とする帯状シートの支持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状シートの支持装置および支持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯状の接着シートを繰り出してウェハに貼付する貼付装置において、接着シートが巻回された軸芯部材にデータキャリアを設け、当該データキャリアに書き込まれたデータを読み取って、貼付条件を適切に設定する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１に記載の構成では、軸芯部材の内面にデータキャリアを設けるとともに、軸芯部材が装着される巻き出し軸にテープデータ読み書き装置を設けている。そして、軸芯部材を巻き出し軸に装着する際には、軸芯部材の位置合わせ部によって、データキャリアとテープデータ読み書き装置との位置合わせを正確に行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の構成では、データキャリアがテープデータ読み書き装置から離れてしまうと、データの読み取りや書き取り（データの通信）を行うことができなくなるため、データキャリアとテープデータ読み書き装置との位置合わせを正確に行う必要があり、軸芯部材の装着作業が煩わしいという問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、帯状シートが巻回されかつデータキャリアが設けられた軸芯部材を支持軸で支持する際に、データキャリアに対するデータの通信を適切に行うための正確な位置合わせが不要な帯状シートの支持装置および支持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の帯状シートの支持装置は、中空筒状の軸芯部材に巻回された帯状シートを繰出可能に支持する帯状シートの支持装置において、前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、前記支持軸を支えるフレームとを備え、前記軸芯部材には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能なデータキャリアが設けられ、前記フレームには、前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面を有するアンテナ配置部材と、前記軸芯部材に対する前記アンテナ配置部材の位置を前記支持軸の軸線に沿って調整可能とする調整手段とが設けられ、前記アンテナ面には、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループアンテナが設けられている、という構成を採用している。
本発明の他の帯状シートの支持装置は、中空筒状の軸芯部材に巻回された帯状シートを繰出可能に支持する帯状シートの支持装置において、前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、前記支持軸を支えるフレームとを備え、前記軸芯部材には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能なデータキャリアが設けられ、前記フレームには、前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面が設けられ、前記アンテナ面には、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループアンテナと、当該ループアンテナを覆う保護部材とが設けられ、前記保護部材は、前記軸芯部材が当接することで前記帯状シートにおける前記支持軸の軸線方向の位置決めを行う、という構成を採用している。
【０００８】
一方、本発明の帯状シートの支持方法は、中空筒状の軸芯部材に巻回された帯状シートを繰出可能に支持する帯状シートの支持方法において、前記軸芯部材の中空部に挿入可能な支持軸と、前記支持軸を支えるフレームとを用い、前記軸芯部材に、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能なデータキャリアを設け、前記フレームに、前記支持軸の軸線と直交するアンテナ面を有するアンテナ配置部材を設け、前記アンテナ面に、前記軸線を囲むループ状に巻かれたループアンテナを設け、前記支持軸を前記軸芯部材の中空部に挿入して当該軸芯部材を支持し、当該支持した軸芯部材に対する前記アンテナ配置部材の位置を前記支持軸の軸線に沿って調整する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、支持軸の軸線と直交するアンテナ面に当該軸線を囲むループアンテナを設け、データキャリアが設けられた軸芯部材を支持軸で支持している。このため、支持軸に対してどのような角度で軸芯部材を取り付けても、支持軸の軸線とほぼ平行に発生する磁束の通過位置にデータキャリアを位置させることができ、データキャリアに対するデータの通信を適切に行うための正確な位置合わせが不要となる。また、アンテナ面を有するアンテナ配置部材の位置を、支持軸の軸線に沿って調整可能にすれば、必要に応じて、データキャリアとループアンテナとの距離を、データの通信を適切に行える長さに設定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る貼付装置の側面図。
【図２】前記貼付装置の支持装置の部分断面図。
【図３】図２の要部の斜視図。
【図４】本発明の変形例に係る支持装置の部分断面図。
【図５】本発明の他の変形例に係る支持装置の部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。また、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を基準としている。
図１において、貼付装置１は、半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す）Ｗに接着シートＳを貼付するものである。ここで、接着シートＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが積層されるとともに、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着された帯状シートとしての原反Ｒとし、中空円筒状の軸芯部材２４の外周に巻回されて予め準備されている。
そして、貼付装置１は、接着シートＳを繰出可能に支持する支持装置２と、接着シートＳを繰り出す繰出手段３と、繰り出された接着シートＳをウェハＷに押圧して貼付する押圧手段４と、ウェハＷと押圧手段４とを相対移動させる移動手段５とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段６によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
【００１３】
支持装置２は、フレーム２１と、このフレーム２１の一面に設けられた支持部２２とを備えている。支持部２２は、軸芯部材２４における中空部の一端側から挿入されることで、軸芯部材２４を支持する支持軸２２１を備えている。
繰出手段３は、その全体がフレーム２１に支持され、原反Ｒを案内する複数のガイドローラ３２，３３と、原反Ｒの剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離する剥離板３４と、駆動機器としての回動モータ３５によって駆動する駆動ローラ３６と、駆動ローラ３６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３７と、駆動機器としての回動モータ３９によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３８とを備えている。
押圧手段４は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成され、図示しない支持部材により回転自在に支持され、駆動機器としての図示しない直動モータにより昇降可能に設けられている。
移動手段５は、ウェハＷが載置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によって当該ウェハＷを吸着保持可能なテーブル５１と、テーブル５１の下面にスライダ５２が固定された駆動機器としての単軸ロボット５３とを備え、スライダ５２をスライド駆動することで、テーブル５１を左右方向に移動可能に構成されている。
【００１４】
次に、支持装置２について詳細に説明する。
図２および図３に示すように、フレーム２１の一方の面（図２中右面）側に位置する支持部２２は、円柱状の支持軸２２１と、支持軸２２１の一端（図２中左端）から延びる基端軸２２２とを備え、当該基端軸２２２がフレーム２１の他方の面（図２中左面）に設けられた回転軸受２３により、回転可能に支持されている。なお、フレーム２１には、基端軸２２２が貫通する図示しない貫通孔が形成されている。
【００１５】
支持軸２２１のフレーム２１側には、当該支持軸２２１に挿入された軸芯部材２４の図２中左方向への移動を規制する固定当て板２５１と、支持軸２２１に沿って移動可能に設けられ、クランパ２５３の締め付けによってその移動を規制する可動当て板２５２とを備えた位置決め手段２５が設けられ、軸芯部材２４の軸方向の位置決めが可能になっている。
【００１６】
なお、軸芯部材２４には、チップ状のデータキャリア２６が設けられている。データキャリア２６は、軸芯部材２４の材料の影響を受けない電磁波を通信媒体とし、非接触でデータを読み取って記憶したり、非接触でデータを送信したりすることができる非接触型のものである。このような非接触型のデータキャリア２６としては、例えば、ＩＣチップと、このＩＣチップに接続された送受信用の導電性コイルとから構成されるいわゆるＲＦメモリやＲＦＩＤタグ等を用いることができる。
なお、導電性コイルの配置位置としては、後述するループアンテナ２７４から発生する磁束Ｍが通過する位置であればよく、支持軸２２１の外周面と対向する対向面２６１であってもよいし、支持軸２２１の外周面と直交する直交面２６２であってもよい。
【００１７】
また、フレーム２１の一方の面には、アンテナ部２７が調整手段２８を介して取り付けられている。アンテナ部２７は、支持軸２２１よりも大きい内径の基板開口部２７２を有する円環状のアンテナ配置部材としての基板２７１を備えている。この基板２７１の一面は、図示しない回路が形成されたアンテナ面２７３とされており、当該アンテナ面２７３には、導電体をループ状に巻回形成したループアンテナ２７４が設けられている。なお、ループアンテナ２７４を保護する保護部材を設けてもよい。
【００１８】
調整手段２８は、基板２７１のアンテナ面２７３の反対側の面に固定されるとともにフレーム２１に挿通される２本のボルト２８１と、それぞれのボルト２８１に２個ずつ螺合される４個のナット２８２とを備えており、支持軸２２１の軸線Ｃに沿ったアンテナ部２７の位置を調整可能に構成されている。
本実施形態において、基板２７１は、基板開口部２７２に基端軸２２２が挿通され、支持軸２２１の軸線Ｃとアンテナ面２７３とが直交し、かつ、軸線Ｃとループアンテナ２７４の中心とが一致するように位置が調整されている。
【００１９】
また、アンテナ部２７には、制御手段６による制御に基づき、データキャリア２６に記憶されたデータを読み取ったり、データキャリア２６にデータを書き込んだりすることのできるリーダライタ７が接続されている。なお、データキャリア２７とループアンテナ２４とで通信するデータとしては、接着シートＳの種類、材質、品名、コード、厚さ、長さ、幅、直径などの規格寸法、さらには、原反Ｒのロットナンバー、原反Ｒを使用した長さ、原反Ｒの残りの長さ、接着シートＳの品質保証期限、繰出開始前後の接着シートＳの残数、繰り出された接着シートＳの枚数、接着シートＳを最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートＳを最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力などの接着シートＳの貼付条件、接着シートＳや原反Ｒについての相談窓口の連絡先などが例示できる。そして、貼付装置１に設けられた図示しないモニタにデータキャリア２６から読み取ったデータを表示させたり、読み取ったデータを基に当該貼付装置１の貼付条件を設定したりすることができる。
【００２０】
以上の貼付装置１において、ウェハＷに接着シートＳを貼付する際には、まず、軸芯部材２４を支持軸２２１で支持させるとともに位置決め手段２５で軸芯部材２４の位置決めを行った後、必要に応じて調整手段２８を調整することで、アンテナ部２７とデータキャリア２６との距離をデータの読み書きを適切に行える長さに設定する。
そして、回動モータ３５および回動モータ３９の駆動により、軸芯部材２４を支持軸２２１とともに回転させることで接着シートＳを繰り出し、当該接着シートＳを移動手段５により搬送されるウェハＷに貼付する。
【００２１】
ここで、制御手段６は、貼付開始前にリーダライタ７を制御し、ループアンテナ２７４に電流を流すことで磁束Ｍを発生させ、データキャリア２６に書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置１全体を制御する。この制御は、例えば、データキャリア２６に書き込まれたデータのうち、接着シートＳの推奨繰出速度を基にして、回動モータ３５及び回動モータ３９の回転速度や、単軸ロボット５３でテーブル５１を移動させる移動速度を決定したり、推奨押圧力を基にして、押圧手段４を昇降させる図示しない直動モータの昇降量を決定し、押圧力を設定したりすることができる。このとき、支持軸２２１の軸線Ｃとアンテナ面２７３とが直交するようにアンテナ部２７の位置が調整されているため、軸芯部材２４を支持軸２２１で支持させる際の軸線Ｃ回りの角度によらず、データキャリア２６が磁束Ｍの通過位置に存在することとなり、リーダライタ７は、軸芯部材２４の取り付け角度によらず、データキャリア２６のデータを適切に読み取ることができる。
【００２２】
また、制御手段６は、貼付開始後の軸芯部材２４の回転中に、リーダライタ７を制御して磁束Ｍを発生させ、データキャリア２６にデータを書き込むこともできる。このように軸芯部材２４が回転している場合であっても、データキャリア２６が磁束Ｍの通過位置に常時存在することとなり、リーダライタ７は、データキャリア２６にデータを適切に書き込むことができる。このときに書き込むデータとしては、例えば、接着シートＳを使用した枚数や、原反Ｒを使用した長さ等が例示できる。なお、原反Ｒを使用した長さは、回動モータ３５の回転数やパルスによって算出することができる。
そして、所定枚数のウェハＷに接着シートＳが貼付し終わると、リーダライタ７を制御してデータキャリア２６にデータを書き込むこともできる。このときに書き込むデータとしては、例えば、繰出開始前の接着シートＳの残数から接着シートＳを使用した枚数を差し引いた繰出開始後の接着シートＳの残数や、原反Ｒの残りの長さ等が例示できる。
【００２３】
以上のような本実施形態によれば、支持軸２２１の軸線Ｃと直交するアンテナ面２７３に当該軸線Ｃを囲むループアンテナ２７４を設けているため、支持軸２２１に対してどのような角度で軸芯部材２４が取り付けられても、磁束Ｍの通過位置にデータキャリア２６を位置させることができ、データキャリア２６に対するデータの通信を適切に行うための正確な位置合わせが不要となる。
【００２４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２５】
例えば、図２に二点鎖線で示すように、ブラケット２９３Ａで保持された駆動機器としての回動モータ２９１Ａの出力軸２９２Ａを、カップリング２９４Ａを介して基端軸２２２に接続し、回動モータ２９１Ａによって支持軸２２１を回転させるようにしてもよい。
また、フレーム２１における支持軸２２１側の面の所定領域をアンテナ面として、当該アンテナ面にループアンテナ２７４を設けてもよい。
【００２６】
また、図４に示すような支持装置２Ａとしてもよい。この支持装置２Ａにおいて、アンテナ部２７Ａを構成する基板２７１のアンテナ面２７３にはループアンテナ２７４を覆うように保護部材２７５Ａが設けられており、基板２７１は、基板開口部２７２に支持軸２２１が挿通されるように調整手段２８で位置決めされている。また、軸芯部材２４と原反Ｒは、保護部材２７５Ａと可動当て板２５２Ａとによって位置決めがなされている。
このような構成では、回動モータ３５および回動モータ３９の駆動によって、軸芯部材２４および原反Ｒが支持軸２２１とともに回転する一方で、基板２７１が回転しないため、基板２７１は原反Ｒで擦られることとなるが、保護部材２７５Ａでループアンテナ２７４を覆っているため、ループアンテナ２７４が破損することを防止でき、データキャリア２６へのデータの書き込みやデータキャリア２６からのデータの読み出しに悪影響を与えることがない。
さらに、図５に示すような支持装置２Ｂとしてもよい。この支持装置２Ｂにおいて、軸芯部材２４Ｂには、図５中左端側部分を除く部分に接着シートＳが巻回されており、当該接着シートＳが巻回されていない部分に、データキャリア２６が設けられている。
また、アンテナ部２７Ｂを構成する基板２７１Ｂは、アンテナ面２７３を有する円環部分と、当該円環部分の外縁から円筒状に立設する円筒部分とを備えている。この基板２７１Ｂの円筒部分は、軸芯部材２４Ｂのデータキャリア２６が設けられた部分（接着シートＳが設けられていない部分）を囲むように設けられ、当該円筒部分の内面は、ループアンテナ２７７Ｂが設けられる外周面２７６Ｂを構成している。さらに、基板２７１Ｂの円環部分は、軸芯部材２４の位置決め機能を有している。
【００２７】
なお、図２、図４および図５において、支持軸２２１をフレーム２１に対して回転不可能に設けた場合には、軸芯部材２４，２４Ｂを支持軸２２１に対して回転可能にしてもよい。また、図２、図４および図５において、アンテナ部２７，２７Ａ，２７Ｂを可動当て板２５２，２５２Ａ側に設けてもよい。
【００２８】
さらに、ループアンテナ２７４の中心と、支持軸２２１の軸線Ｃと一致させなくてもよい。
また、データキャリア２６は、軸芯部材２４，２４Ｂの外面から露出するように、あるいは、内面および外面のいずれからも露出しないように配置されていてもよいし、さらには、軸芯部材２４の軸方向に沿ったいずれの位置に配置されていてもよい。
さらに、また、アンテナは、ループアンテナに限定されることはなく、データキャリアと電波で通信ができればよい。
また、データキャリア２６は、データの記憶のみができるものであってもよいし、データの送信のみができるものであってもよい。
【００２９】
また、本発明における接着シートＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、接着シートＳは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
また、押圧手段４は、前記実施形態で示したもの以外のもので構成してもよく、押圧手段４は板状部材に接着シートが貼付できる限りにおいて何ら限定されるものではなく、例えば、ブレード材、エア噴き付け、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができる。
【００３０】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３１】
２，２Ａ，２Ｂ…支持装置
２１…フレーム
２４，２４Ｂ…軸芯部材
２６…データキャリア
２８…調整手段
２２１…支持軸
２７３…アンテナ面
２７４，２７７Ｂ…ループアンテナ
２７６Ｂ…外周面
Ｓ…接着シート（帯状シート）
【図１】
0005856396.tif 000002
【図２】
0005856396.tif 000003
【図３】
0005856396.tif 000004
【図４】
0005856396.tif 000005
【図５】
0005856396.tif 000006