(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フェノール樹脂とモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物とを必須成分として配合したフェノール樹脂成形材料を成形してなるインゴットの切断用固定支持台であって、
前記フェノール樹脂成形材料が、フェノール樹脂を２０〜７０質量％、およびモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を３〜７５質量％の割合で配合されていることを特徴とするインゴットの切断用固定支持台。
【請求項２】
前記フェノール樹脂成形材料には、ガラス繊維がさらに５〜５０質量％の割合で配合されていることを特徴とする請求項１に記載のインゴットの切断用固定支持台。
【請求項３】
前記モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物がタルク、グラファイト、クレーであることを特徴とする請求項１又は２に記載のインゴットの切断用固定支持台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インゴットを切断加工する際にインゴットを固定する切断用固定支持台に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造分野や太陽電池製造分野において、半導体ウエハやフォトマスク用基板は、シリコンや石英などのインゴットから所定の厚みの切片を切り出すスライス工程で、図２のような装置を用いて形成される。図２のワイヤーソー装置１１はスライス工程で一般的に使用される装置であり、複数のガイドローラー１３に一定ピッチ間隔で捲き付けられたワイヤー１４を有している。被切断ワークとなるインゴット１２は、切断用固定支持台１５に接着されている。切断用固定支持台１５は略平面矩形形状を有しており、切断用固定支持台１５のインゴット１２との接着面はインゴット１２の形状に倣って形成され、切断用固定支持台１５の長さはインゴット１２の長さよりも若干長く形成されている。インゴット１２は切断用固定支持台１５に接着されており、切断用固定支持台１５は、インゴット１２から切片を切り出すときに切片同士の接触によって切片が損傷することなどを防止するとともに、インゴット１２から切り出した後の切片を保持する。インゴット１２を切り出すときには、インゴット１２にワイヤー１４を押しつけインゴット１２を切断する。このとき、インゴット１２を完全に切断するために、切断用固定支持台１５には、図３のように、インゴット１２との密着部分に切り込み１６が入れられる。
【０００３】
これまでのインゴット１２の切断用固定支持台１５としては、グラファイト材やエポキシ樹脂成形材料から成形したものがある。これらの成形材料から成形された切断用固定支持台１５は切削しやすいという特性を有しているが、その反面、強度、剛性が低く脆いため、取り扱いの際に割れや欠けなどの破損が生じやすい。また、インゴット１２をワイヤー１４で切り出す際に、切断用固定支持台１５の切り込み１６が付けられた部分が破損や揺動することによって、スライスされたインゴットの切片が並立する他の切片に接触して切片の表面を損傷するおそれがある。
【０００４】
切断用固定支持台１５の強度や剛性を向上させたものとして、強度、剛性を有する汎用的な熱硬化性樹脂であるフェノール樹脂成形材料から成形した切断用固定支持台１５がある（例えば、特許文献１参照）。この切断用固定支持台１５は、フェノール樹脂にガラス繊維や充填材を配合した成形材料を成形したものであり、強度、剛性に優れるというフェノール樹脂の特性を利用してインゴット１２から切片を切り出す際に、切断用固定支持台１５の切り込み１６が付けられた部分が破損しないように強度、剛性を向上させたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１１９０３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
フェノール樹脂にガラス繊維や充填材を配合した成形材料で成形された切断用固定支持台１５は、フェノール樹脂が強度、剛性に優れているということもあり、十分な強度、剛性を有している。しかし、その反面、切削しづらく、切断用固定支持台１５を切り込む際に大きな力が必要であるとともに、切削時間が長くなるおそれがある。また、切断用固定支持台１５が切削しづらいことから、切断工具の摩耗や断線、撓みなどの破損が生じやすく、切削油の使用量の増加や切断工具の交換頻度の増加がおきやすくなるだけでなく、破損した切断工具を使用し続けることによってインゴット１２を切断する際に切片が破損しやすくなるおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、フェノール樹脂成形材料の切削性すなわちカッティング性を向上させ、カッティング性に優れたインゴットの切断用固定支持台を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明によれば、フェノール樹脂とモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物とを必須成分として配合したフェノール樹脂成形材料を成形してなるインゴットの切断用固定支持台であって、前記フェノール樹脂成形材料が、フェノール樹脂を２０〜７０質量％、およびモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を３〜７５質量％の割合で配合されていることを特徴とするインゴットの切断用固定支持台が提供される。
【０００９】
すなわち、請求項１の発明では、インゴットの切断用固定支持台がフェノール樹脂とモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を所定の範囲の配合比で配合したフェノール樹脂成形材料から成形されているため、よりカッティング性や成形性に優れたインゴットの切断用固定支持台が提供される。
【００１０】
本発明において、インゴットとは、半導体分野、太陽電池分野で利用されるインゴットのことであり、インゴットの材質は、シリコン、炭化珪素、サファイア、砒化ガリウム、窒化ガリウム、石英などが挙げられ、特に限定されない。
【００１１】
本発明において、カッティング性とは、切断用固定支持台自体の切削されやすさのことを示している。カッティング性が良好な切断用固定支持台は、小さな力でも短時間で切断用固定支持台を切削することができるので、インゴットのスライス工程を効率的に行うことができる。また、カッティング性が良好な切断用固定支持台は、切断工具の摩耗や断線、撓みなどの破損を抑えることができ、メンテナンスの頻度を減らすことや生産性の向上に繋がる。
【００１２】
本発明において、モース硬度とは材料の機械的性質の一つで古くから鉱物関係で広く用いられている硬さの尺度であり、あるもので引っかいたときの引っかき傷のつきにくさを示すものである。モース硬度は最も傷つきにくい硬度が硬度１０と規定されており、すなわち、モース硬度の数値が低い鉱物とは傷がつき易い鉱物である。
【００１３】
本発明において、鉱物とは、天然に産する物質で、ほぼ一定の化学組成と原子配列をもつ均質物質のことをいう。
【００１６】
請求項２の発明によれば、前記フェノール樹脂成形材料には、ガラス繊維がさらに５〜５０質量％の割合で配合されていることを特徴とする請求項１に記載のインゴットの切断用固定支持台が提供される。
【００１７】
すなわち、請求項２の発明では、インゴットの切断用固定支持台がフェノール樹脂とモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物とガラス繊維を所定の範囲の配合比で配合したフェノール樹脂成形材料から成形されているため、強度、剛性に優れるとともにカッティング性に優れ、切断工具の摩耗などの破損を抑えたインゴットの切断用固定支持台が提供される。
【００１８】
請求項３の発明によれば、前記モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物がタルク、グラファイト、クレーであることを特徴とする請求項１又は２に記載のインゴットの切断用固定支持台が提供される。
【００１９】
すなわち、請求項３の発明では、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物にタルク、グラファイト、クレーを用いることによって、よりカッティング性に優れたインゴットの切断用固定支持台が提供される。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１〜３に記載の発明によれば、フェノール樹脂成形材料の切削性すなわちカッティング性を向上させ、カッティング性や成形性に優れたインゴットの切断用固定支持台を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のカッティング性評価試験に使用するマイクロカッティングマシンを説明するための模式図である。
【図２】従来のインゴットのスライス工程で使用されるワイヤーソー装置を説明するための模式図である。
【図３】従来のインゴットのスライス工程で使用された後、インゴットから分離されたインゴットの切断用固定支持台の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明において、フェノール樹脂は、ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、その他の公知のフェノール樹脂のいずれでもよく、特に限定されない。フェノール樹脂の配合比はフェノール樹脂成形材料に対して２０〜７０質量％であることが好ましく、２５〜５０質量％であることが更に好ましい。成形品としての形状や物性、成形性のバラツキを抑えるためには、フェノール樹脂の配合比は２０質量％以上７０質量％以下が好ましい。また、汎用的な設備でフェノール樹脂成形材料を製造し成形品を成形するためには、フェノール樹脂の配合比は２５質量％以上が更に好ましく、カッティング性と強度、剛性のバランスがとれたものにするためには、フェノール樹脂の配合比は５０質量％以下が更に好ましい。
【００２３】
本発明において、鉱物は切断用固定支持台のカッティング性を向上させるために配合されており、そのためには、フェノール樹脂成形材料に配合される鉱物のモース硬度は２．５以下であることが望ましい。モース硬度が２．５以下の鉱物としては、例えば、グラファイト、タルク、クレー、アスファルト、硫酸カルシウム、琥珀、含水珪酸アルミニウムなどがあげられ、特に限定されないが、切断用固定支持台のカッティング性を効果的に向上させるには、タルク、グラファイト、クレーが好ましい。また、タルク、グラファイト、クレーは汎用性が高く成形条件などに適した大きさや形状のものが入手しやすい点でも好ましい。鉱物の大きさや形状は特に限定されず、目的や成形条件などによって適宜選択することができる。また、これらの鉱物は単独もしくは２種類以上を組み合せて使用してもよい。
【００２４】
また、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物の配合比はフェノール樹脂成形材料に対して３〜７５質量％であることが好ましく、５〜５０質量％であることが更に好ましい。モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物の配合比は、カッティング性を効果的に向上させ、スライス工程の切断時間を短くするためには３質量％以上が好ましく、インゴットの切断用固定支持台として使用が可能な強度、剛性を確保するとともに、成形性を確保するためには７５質量％以下が好ましい。また、よりカッティング性を向上させ、スライス工程の切断時間を短くするとともに、それによって切断工具の摩耗を少なくするためには、５質量％以上が更に好ましく、コストを抑えるとともに、フェノール樹脂成形材料中の、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物以外の成分の配合比率に柔軟性をもたせ、目的や成形条件などに対応しやすくするためには５０質量％以下が更に好ましい。
【００２５】
本発明において、ガラス繊維は切断用固定支持台の強度、剛性を向上させるために配合されており、ガラス繊維の配合量は、フェノール樹脂成形材料に対して５〜５０質量％が好ましい。効果的に強度や剛性を向上させるためには５質量％以上が好ましく、成形性を確保するとともに切断工具の摩耗を少なくするためには５０質量％以下であることが好ましい。また、ガラス繊維の太さや長さ、形状は特に限定されず、目的や成形条件などによって適宜選択することができる。
【００２６】
本発明では、切断用固定支持台の強度、剛性を向上させるためにガラス繊維を用いているが、ガラス繊維の他にも、金属繊維、炭素繊維、鉱物繊維、有機繊維などの公知の補強繊維を使用することができる。
【００２７】
また、無機補強繊維であるガラス繊維においては、ガラス繊維と樹脂との接着性を向上させるために、使用する前のガラス繊維に予めカップリング剤を均一に混合するカップリング処理を行ってもよい。カップリング剤としては、シラン系、チタネート系などが挙げられ、特に限定されない。切断用固定支持台のカッティング性を重点的に向上させたり、コストを下げたいときはカップリング処理を行わなくてもよいが、切断用固定支持台の強度や剛性を向上させたいときはカップリング処理を行ってもよい。
【００２８】
本発明のフェノール樹脂成形材料には、コストを下げたり嵩増しなどの所望に応じて、増量剤として従来のフェノール樹脂成形材料に使用されている充填材を配合しても良い。充填材としては、炭酸カルシウム、シリカ、硫酸バリウム、炭酸バリウム、酸化マグネシウムなどの公知の無機充填材や、木粉、綿布チップ、綿粉などの公知の有機充填材が使用可能であり、特に限定されないが、比較的コストが安く、好ましい大きさや形状のものが入手しやすいという点で炭酸カルシウムが好適である。無機充填材の大きさや形状は特に限定されず、目的や成形条件などによって適宜選択することができる。
【００２９】
本発明のフェノール樹脂成形材料には、所望により従来のフェノール樹脂成形材料に使用されている各種添加剤、例えば硬化剤、硬化触媒のほか、ステアリン酸亜鉛やステアリン酸カルシウムなどの離型剤、カップリング剤、顔料、溶剤等を配合することができる。
【００３０】
本発明のフェノール樹脂成形材料の製造方法は特に限定されないが、加圧ニーダー、ミキシングロール、二軸押出機等で加熱溶融混練した混練物をシート状にし、ペレタイザー、パワーミル等を用いて粉砕して製造される。また、こうして得られた成形材料は、射出成形、移送成形および圧縮成形等のいずれにも適用することが可能である。
【実施例】
【００３１】
実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。また、本明細書において質量％を用いて配合比を説明する場合、フェノール樹脂成形材料に対する質量％として記載する。
【００３２】
＜実施例１＞
表１に示すように、フェノール樹脂を３５質量％、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を１０質量％、ガラス繊維を１５質量％、充填材として炭酸カルシウムを４０質量％の割合で配合し均一に混合した。その後、熱ロールにて均一に加熱混練してシート状にし、冷却後パワーミルで粉砕しグラニュール状の成形材料を得た。本実施例では、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物としてモース硬度１のタルクを使用している。
【００３３】
得られた成形材料を射出成形機にて成形し各種試験で使用する試験片を得た。射出成形条件は下記の条件で行った。
【００３４】
（射出成形条件）
シリンダー温度：前部８５℃、後部６０℃
金型温度：１６０℃
硬化時間：６０秒
【００３５】
得られた試験片を用いて曲げ強度、曲げ弾性率を測定し評価を行った。各種特性評価試験は下記のような試験方法で評価を行った。その結果を表１に示す。
【００３６】
（１）曲げ強度
曲げ強度はＪＩＳ  Ｋ  ６９１１規格に準じて測定した。
（２）曲げ弾性率
曲げ弾性率はＪＩＳ  Ｋ  ６９１１規格に準じて測定した。
【００３７】
また、得られた試験片を用いてカッティング性の評価を行った。カッティング性は下記のような試験方法で評価を行った。その結果を表１に示す。
【００３８】
（カッティング性）
カッティング性評価試験は図１に示されるマイクロカッティングマシンを用いて下記の条件で被切削物４である試験片を切断し、その切断時間を測定することによって行った。ここで、マイクロカッティングマシンは被切削物４を切削するバンド１と被切削物４を固定する平行移動テーブル２と平行移動テーブル２を動かす錘３から構成されており、平行移動テーブル２に固定された被切削物４をバンド１に当接させ、錘３の荷重により平行移動テーブル２を動かすことによって、被切削物４を切削することができる。また、バンド１の形状はループ状になっており、エッジにダイヤモンド・チップがコーティングされている。また、被切削物４を切削するときの荷重は錘３によって調整することができる。カッティング性の評価は、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を配合した試験片を切断するのに要した時間と、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を配合していない基準となる試験片を切断するのに要した時間とを比較することによって行った。基準となる試験片はフェノール樹脂の配合比ごとに作成し、フェノール樹脂の配合比が同じ試験片同士でカッティング性を比較した。基準となる試験片の切断時間と比較して切断時間が短くカッティング性が向上しているものを△、切断時間が更に短くカッティング性が更に向上しているものを○、切断時間がとても短くカッティング性が優れているものを◎、切断時間が長くカッティング性が良くないものを×で表す。
【００３９】
（カッティング性試験条件）
試験装置：マイクロカッティングマシンＢＳ−３００ＣＬ（メイワフォーシス株式会社製）
バンドの種類：ＭＤ９０（メイワフォーシス株式会社製）
バンド速度：４００ｍ／ｍｉｎ
バンドの厚さ：２００μｍ
荷重：５００ｇ
冷却方法：水循環方式
被切削物：幅１００ｍｍ、長さ１００ｍｍ、厚み１５ｍｍの板状の試験片
【００４０】
＜実施例１〜１４、比較例１、７＞
実施例１〜１４および比較例１、比較例７の各種成分の配合割合を表１に示す。配合割合を表１のように変えた以外は実施例１と同様であり、実施例１と同様の方法で成形材料を製造し、実施例１と同様の方法で各種評価試験を行った。
【００４１】
【表１】
0005975683.tif 000002
【００４２】
表１より、実施例１、実施例１０、実施例１１、実施例１２、実施例１３、実施例１４と比較例１、比較例７を比較すると、モース硬度２．５より大きな硬度を有する鉱物を含む比較例７は鉱物を含まない比較例１と比較してカッティング性が悪くなっている。一方、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を含む実施例１、実施例１０、実施例１１、実施例１２、実施例１３、実施例１４は比較例１と比較してカッティング性が向上している。また、実施例１、実施例１０、実施例１１、実施例１２、実施例１３、実施例１４は比較例１と比較して曲げ強度、曲げ弾性率は比較例１と同等程度であった。このことから、フェノール樹脂成形材料にモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を配合することによって、優れた強度、剛性を維持したままカッティング性が向上することが示された。
【００４３】
また、実施例１、実施例１０、実施例１１、実施例１２、実施例１３、実施例１４はそれぞれ配合された鉱物の種類が異なっていることから、鉱物の種類に係らず、フェノール樹脂成形材料にモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を配合することによってカッティング性が向上することが示された。また、実施例１、実施例１０、実施例１１、実施例１２、実施例１３、実施例１４はそれぞれ配合された鉱物のモース硬度が異なっていることから、モース硬度の大小に係らず、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を配合することによってカッティング性が向上することが示された。
【００４４】
ここで、フェノール樹脂成形材料にモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を配合することによって、優れた強度、剛性を維持したままカッティング性を向上させることができる理由としては、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物が傷つきやすいためと思われる。すなわち、鉱物のモース硬度が低ければ低いほど、その鉱物には傷が付き易く、フェノール樹脂成形材料中に傷が付きやすい鉱物が分散されていると、切断工具で成形品を切断するときに、傷が付きやすい鉱物に切断工具が接触するため、小さな力でも短時間で成形品を切断することができる。そのため、フェノール樹脂成形材料が有する優れた強度、剛性を維持したままカッティング性を向上させることができると思われる。
【００４５】
表１より、実施例１、実施例２、実施例３、実施例４、実施例５、実施例６、実施例７、実施例８、実施例９を比較すると、モース硬度２．５以下の鉱物の配合比が増加するとカッティング性が向上する傾向にあり、モース硬度２．５以下の鉱物の配合比が３質量％以上になるとカッティング性が効果的に向上している。従って、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物の配合比は、カッティング性を効果的に向上させ、スライス工程の切断時間を短くするためには、３質量％以上が好ましい。また、インゴットの切断用固定支持台として使用可能な強度、剛性を確保するためにはモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物の配合比は７５質量％以下が好ましい。また、モース硬度２．５以下の鉱物の配合比が５質量％以上になるとカッティング性が更に向上している。従って、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物の配合比は、カッティング性を更に効果的に向上させることによって、インゴットのスライス工程を効率的に行うとともに、切断工具の摩耗などを抑えるためには、５質量％以上が更に好ましい。フェノール樹脂成形材料におけるモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物の配合比を増加させるとカッティング性は向上するが、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物の配合比を高い比率に設定すると他の成分を配合するときに配合の組合せが限定される。従って、強度、剛性やコスト、成形性など多種多様な目的や仕様に合わせて配合しやすくするためには、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物の配合比は５０質量％以下が更に好ましい。
【００４６】
＜実施例１、１５〜１９、比較例１〜６＞
実施例１、１５〜１９および比較例１〜６の各種成分の配合割合を表２に示す。これらは、配合割合を表２のように変えた以外は実施例１と同様であり、実施例１と同様の方法で成形材料を製造し、実施例１と同様の方法で各種評価試験を行った。
【００４７】
【表２】
0005975683.tif 000003
【００４８】
表２より、実施例１、実施例１５、実施例１６、実施例１７、実施例１８、実施例１９と、比較例１、比較例２、比較例３、比較例４、比較例５、比較例６とをそれぞれ比較すると、モース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を配合することによって、いずれのフェノール樹脂の配合比でも、優れた強度、剛性を維持したままカッティング性が向上している。フェノール樹脂成形材料は、フェノール樹脂の配合比が低いとその他の成分が均一に分散せず、成分同士の結びつきが低下し、脆く物性のバラツキが増加する傾向にある。また、フェノール樹脂の配合比が高いと成形時のガス量や成形後の寸法変化が大きくなる傾向にある。従って、成形品としての形状や物性、成形性のバラツキを成形が可能な範囲に抑えるためには、フェノール樹脂の配合比は２０質量％以上７０質量％以下が好ましい。また、汎用的な生産設備でフェノール樹脂成形材料を製造し成形品を成形するためには、フェノール樹脂の配合比は２５質量％以上が更に好ましく、カッティング性と強度、剛性のバランスがとれたものにするためには、フェノール樹脂の配合比は５０質量％以下が更に好ましい。
【００４９】
＜実施例１、２０〜２４、比較例１＞
実施例１、２０〜２４および比較例１の各種成分の配合割合を表３に示す。これらは、配合割合を表３のように変えた以外は実施例１と同様であり、実施例１と同様の方法で成形材料を製造し、実施例１と同様の方法で各種評価試験を行った。また、実施例１、２０〜２４について、切断後の切断工具のダイヤモンド・チップなどを目視することによって切断工具への摩耗の影響を確認した。ダイヤモンド・チップなどの摩耗や剥れが少なく切断用固定支持台を切断するときに切断工具を極めて摩耗させにくいと思われるものを◎、ダイヤモンド・チップなどの摩耗や剥れが標準的で切断用固定支持台を切断するときに切断工具を摩耗させにくいと思われるものを○、ダイヤモンド・チップなどの摩耗や剥れが見られ切断用固定支持台を切断するときに切断工具への影響が懸念されると思われるものを△で表す。
【００５０】
【表３】
0005975683.tif 000004
【００５１】
表３より、実施例１、実施例２０、実施例２１、実施例２２、実施例２３、実施例２４と、比較例１とを比較すると、フェノール樹脂成形材料にモース硬度２．５以下の硬度を有する鉱物を配合することによって、ガラス繊維の配合比に係らず、優れたカッティング性が得られた。ガラス繊維の配合比が増加するとともに強度、剛性が増加する傾向にあり、ガラス繊維の配合比が５質量％以上になるとカッティング性が効果的に向上している。一方、ガラス繊維の配合比が増加すると切断工具にガラス繊維が接触しやすくなるので切断工具の摩耗が増加する傾向にあり、ガラス繊維の配合比が５５質量％以上になると切断工具への影響が懸念される。従って、効果的に強度、剛性を補強するためには、ガラス繊維の配合比は５質量％以上が好ましく、切断工具とガラス繊維の接触を抑え切断工具の摩耗などを抑えるためにはガラス繊維の配合比は５０質量％以下が好ましい。
【００５２】
本発明のインゴットの切断用固定支持台は、インゴットを加工しやすい大きさのブロックに切り出す工程や、インゴットから薄い切片を切り出す工程や、薄い切片を更に小片に切り出す工程などで使用することができるが、特にインゴットから薄い切片を切り出す工程で好適に用いられる。
【００５３】
本発明において、インゴットを切断する切断工具は特に限定されておらず、ワイヤーソー、ダイシングソー、内周刃ブレード、ブレードソーなど公知の切断工具を用途や工程に応じて適宜選択することができる。
【００５４】
本発明のインゴットの切断用固定支持台の形状は、インゴットを安定して戴置でき強固に接着固定できる形状であれば特に限定されるものではないが、平面矩形形状の板の上面すなわちインゴットとの接着面を曲面とした形状が好適である。また、切断用固定支持台の上面に接着強度を高めるために細かい凹凸などを形成してもよい。また、切断用固定支持台を複数使用してもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１    バンド
２    平行移動テーブル
３    錘
４    被切削物
１１    ワイヤーソー装置
１２    インゴット
１３    ガイドローラー
１４    ワイヤー
１５    切断用固定支持台
１６    切り込み
【図１】
0005975683.tif 000005
【図２】
0005975683.tif 000006
【図３】
0005975683.tif 000007