(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン孔が形成されたマスクと、前記マスクの下方において一対のクランプ部材により基板を側方からクランプして保持する基板保持手段と、前記基板を保持した前記基板保持手段を昇降させて前記基板を前記マスクの下面に接触させる基板保持手段昇降機構と、前記基板保持手段昇降機構により前記基板が接触された前記マスクの前記パターン孔にペーストを充填するペースト充填手段を備え、前記マスクのパターン孔に前記ペーストが充填された後、前記基板保持手段昇降機構が前記基板を前記マスクから離間する方向に移動させて版離れを行うスクリーン印刷機であって、
前記一対のクランプ部材のそれぞれに上下貫通孔が設けられており、前記一対のクランプ部材のそれぞれが、前記上下貫通孔を通じて上下動するマスク当接部材及びこのマスク当接部材を上方に付勢する付勢手段から成る付勢部を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記マスク当接部材はブロック状の部材から成り、
前記上下貫通孔は前記マスク当接部材の外形よりも大きい寸法に設けられており、
前記付勢部は、前記マスク当接部材を前記上下貫通孔に嵌入させた状態で前記クランプ部材に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
前記付勢手段は、シリンダ又は弾性体から成ることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のスクリーン印刷機と、前記スクリーン印刷機によりペーストが印刷された前記基板に部品を装着する部品実装機とを備えて成ることを特徴とする部品実装ライン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクのパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機及びこのスクリーン印刷機を備えて構成される部品実装ラインに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装ラインは基板に半田等のペーストを印刷するスクリーン印刷機と、スクリーン印刷機によりペーストが印刷された基板に部品を装着する部品実装機を備えて成る。このような部品実装ラインにおけるスクリーン印刷機では、パターン孔が形成されたマスクの下面に一対のクランプ部材により側方をクランプした基板を接触させ、基板と接触したマスク上でスキージを摺動させるなどしてマスクのパターン孔にペーストを充填した後、基板をマスクから離間する方向に移動させて版離れを行う。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機では、近年の基板のファインピッチ化に伴う印刷パターンの微細化により、マスクが薄肉化しつつある。このようにマスクが薄肉化すると、スキージによるペーストの充填時に基板に密着したマスクが、その後の版離れのときに基板に引っ張られて中央部が下方に撓んでしまうことから、基板の端部における版抜け方向が基板に対して垂直にならず、印刷後のペーストの形状が崩れて印刷精度が低下するおそれが生じる。このため従来、基板を下方から支持する下受け部に基板を真空吸着する吸着機構を備え、版離れ時にはクランプ機構は下降させずに基板を吸着した下受け部のみを下降させるようにして版離れ時にマスクが基板に引っ張られて下方に撓まないようにしたものが知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２１４７４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の構成では、基板を吸着するための装置として真空ポンプや配管のための部材等が必要となり、構成が複雑となるうえコスト高になるという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、版抜けをスムーズにして良好な印刷精度を確保することができ、コスト的にも有利なスクリーン印刷機及び部品実装ラインを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のスクリーン印刷機は、パターン孔が形成されたマスクと、前記マスクの下方において一対のクランプ部材により基板を側方からクランプして保持する基板保持手段と、前記基板を保持した前記基板保持手段を昇降させて前記基板を前記マスクの下面に接触させる基板保持手段昇降機構と、前記基板保持手段昇降機構により前記基板が接触された前記マスクの前記パターン孔にペーストを充填するペースト充填手段を備え、前記マスクのパターン孔に前記ペーストが充填された後、前記基板保持手段昇降機構が前記基板を前記マスクから離間する方向に移動させて版離れを行うスクリーン印刷機であって、前記一対のクランプ部材のそれぞれに上下貫通孔が設けられており、前記一対のクランプ部材のそれぞれが、前記上下貫通孔を通じて上下動するマスク当接部材及びこのマスク当接部材を上方に付勢する付勢手段から成る付勢部を備えた。
【０００８】
本発明の部品実装ラインは、本発明のスクリーン印刷機と、前記スクリーン印刷機によりペーストが印刷された前記基板に部品を装着する部品実装機とを備えて成る。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、版抜けがスムーズに行われて良好な印刷精度を確保することができ、コスト的にも有利である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態における部品実装ラインの概略構成図
【図２】本発明の第１実施形態における部品実装ラインを構成するスクリーン印刷機の平面図
【図３】本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷機の正面図
【図４】本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図６】本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持ユニットの斜視図
【図７】本発明の第１実施形態における基板保持ユニットの一部分解斜視図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態における基板保持ユニットが備える付勢部の側面図
【図９】本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１２】本発明の第２実施形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持ユニットの一部分解斜視図
【図１３】（ａ）（ｂ）本発明の第２実施形態における基板保持ユニットが備える付勢部の側面図
【図１４】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の第２実施形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態における部品実装ライン１を示している。部品実装ライン１は、基板２に部品３を装着して部品実装基板を製造するものであり、基板供給部４より供給される基板２の電極２ａ上に半田等のペーストＰｓｔをスクリーン印刷するスクリーン印刷機５と、スクリーン印刷機５によりペーストＰｓｔが印刷された基板２に部品３を装着する部品実装機６を含んだ構成を有している。本実施形態では部品実装ライン１における基板２の流れ方向は図１の左方から右方に向かう水平面内方向（オペレータＯＰから見た左右方向）であり、これをＸ軸方向とする。また、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向（オペレータＯＰから見た前後方向）をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。なお、本実施形態では、図１の紙面左方が基板２の流れの上流側（上流工程側）に相当し、図１の紙面右方が基板２の流れの下流側（下流工程側）に相当する。
【００１２】
図２、図３及び図４において、スクリーン印刷機５は、基台１１上に基板保持移動機構１２を備えており、基板保持移動機構１２の上方にはマスク１３が設置されている。基台１１上における基板保持移動機構１２の基板２の流れの上流側（図２及び図３の紙面左側）には上流工程側の他の装置（ここでは基板供給部４）から搬入した基板２を基板保持移動機構１２に受け渡す基板搬入部としての搬入コンベア１４を備えており、基台１１上における基板保持移動機構１２の基板２の流れの下流側（図２及び図３の紙面右側）には、基板保持移動機構１２から送り出された基板２を受け取って下流工程側の他の装置（ここでは部品実装機６）に搬出する基板搬出部としての搬出コンベア１５を備えている。スクリーン印刷機５は、マスク１３の上方に、印刷ヘッド移動機構１６Ｍによって移動される印刷ヘッド１６と、印刷ヘッド１６と一体に設けられたペースト供給シリンジ１７を備えており、マスク１３の下方に、カメラユニット移動機構１８Ｍによって水平面内で移動される撮像手段としてのカメラユニット１８を備えている。
【００１３】
図３及び図４において、基板保持移動機構１２は、基板２を保持する基板保持ユニット２１と、この基板保持ユニット２１を水平面内（ＸＹ面内）方向及び上下（Ｚ軸）方向に移動させる基板保持ユニット移動機構２２から成る。基板保持ユニット２１はベースとなる昇降プレート３１と、昇降プレート３１から上方に延びた前後一対のコンベア支持部材３２と、これらコンベア支持部材３２に取り付けられた前後一対のコンベア３３（図２も参照）と、昇降プレート３１に取り付けられた昇降アクチュエータ３４によって昇降プレート３１の上方を昇降される下受け部３５と、コンベア３３の上方に設けられてクランプ部材駆動モータ３６によってＹ軸方向に開閉される前後一対のクランプ部材３７（図２も参照）を備える。
【００１４】
図３及び図４において、下受け部３５は、昇降アクチュエータ３４によって昇降されるベーステーブル３５ａと、ベーステーブル３５ａの上面に上方に延びて設けられた複数の下受けピン３５ｂから成る。下受け部３５のベーステーブル３５ａは、基板保持ユニット移動機構２２が基板保持ユニット２１を押し上げておらず、昇降アクチュエータ３４も下受け部３５を押し上げていない第１の位置では高さがＨ１であり（図５（ａ））、基板保持ユニット移動機構２２が基板保持ユニット２１を押し上げておらず、昇降アクチュエータ３４が下受け部３５を押し上げた第２の位置では高さがＨ２であり（図５（ｂ））、昇降アクチュエータ３４が下受け部３５を押し上げた状態の基板保持ユニット２１を基板保持ユニット移動機構２２が押し上げた第３の位置では高さがＨ３である（図５（ｃ））。なお、図３及び図４は、ベーステーブル３５ａが第１の位置に位置した状態を示している。
【００１５】
図２において、マスク１３はＸＹ平面に広がって延びた矩形平板形状を有しており、その外周は枠部材１３Ｗによって支持されている。マスク１３には、基板２の電極２ａの配置に対応した配置でパターン孔１３Ｐが形成されている。基板２の対角位置には２つ一組の基板側マーク２ｍが設けられており、マスク１３上には、基板側マーク２ｍに対応して配置された２つ一組のマスク側マーク１３ｍが設けられている。
【００１６】
図６において、各クランプ部材３７には付勢部４０が設けられている。付勢部４０は、図７及び図８（ａ），（ｂ）に示すように、各クランプ部材３７の下面に取り付けられて下方に延びた垂直部４１ａ及びその下端から水平に延びた水平部４１ｂを有したＬ字型のブラケット４１と、ブラケット４１の水平部４１ｂ上にピストンロッド４２ａを上方に向けて設けられた２つのシリンダ（空圧シリンダ）４２と、これら２つのシリンダ４２のピストンロッド４２ａにＸ軸方向の両端部が支持されたブロック状のマスク当接部材４３から成る。クランプ部材３７には、マスク当接部材４３の矩形状の外形よりもひと回り大きい寸法の矩形状の上下貫通孔３７ａが設けられており、付勢部４０は、マスク当接部材４３をクランプ部材３７の上下貫通孔３７ａに下方から嵌入させた状態でクランプ部材３７に取り付けられている。マスク当接部材４３の下部にはクランプ部材３７の上下貫通孔３７ａの内形よりも大きい外形を有するストッパ４３ａが設けられており、マスク当接部材４３が上下貫通孔３７ａから上方に抜け出てしまうことが防止されるようになっている。
【００１７】
図８（ａ），（ｂ）において、各付勢部４０が備えるシリンダ４２は、そのシリンダ４２に繋がる圧空供給管路４２ｂに圧空が供給されると作動（ピストンロッド４２ａを上下）し、マスク当接部材４３を上下動させるときは、２つのシリンダ４２を同期して作動させる。マスク当接部材４３は、２つのシリンダ４２に圧空が供給されていない状態では、上面の高さがクランプ部材３７の上面の高さとほぼ一致する初期位置に位置しており（図８（ａ））、２つのシリンダ４２に圧空が供給されるとマスク当接部材４３は初期位置から上動し（図８（ｂ）中に示す矢印Ｋ）、供給されある圧空の圧力の大きさに応じた量でクランプ部材３７の上方に突出する（図８（ｂ））。
【００１８】
図５（ａ）において、ベーステーブル３５ａが前述の第１の位置（高さＨ１）に位置した状態では、下受け部３５の下受けピン３５ｂの上端はコンベア３３による基板２の搬送面Ｓよりも下方に位置している。このような状態においてコンベア３３は搬入コンベア１４から基板２を受け取り、その受け取った基板２をＸ軸方向に搬送して所定のクランプ位置に位置決めする（図５（ａ））。そして、コンベア３３が基板２をクランプ位置に位置決めしたら、昇降アクチュエータ３４は下受け部３５を押し上げ（図５（ｂ）中に示す矢印Ａ）、下受け部３５は基板２を支持（下受け）した状態で持ち上げてコンベア３３から離間させる。そして、昇降アクチュエータ３４によってベーステーブル３５ａが第２の位置（高さＨ２）まで押し上げられたら（図５（ｂ））、クランプ部材３７は基板２を側方（Ｙ軸方向）からクランプする（図５（ｂ）中に示す矢印Ｂ）。なお、クランプ部材３７による基板２のクランプが完了した状態では、基板２の上面とクランプ部材３７の上面とは同じ高さとなっており、各付勢部４０のマスク当接部材４３の上面も、基板２の上面（クランプ部材３７の上面）と同じ高さとなっている。
【００１９】
このように本実施の形態において、基板保持ユニット２１は、マスク１３の下方において一対のクランプ部材３７により基板２を側方からクランプして保持する基板保持手段となっている。
【００２０】
クランプ部材３７が基板２をクランプしたら、基板保持ユニット移動機構２２は基板保持ユニット２１を押し上げる（図５（ｃ）中に示す矢印Ｃ１）。そして、ベーステーブル３５ａが第３の位置（高さＨ３）に位置し、基板２がマスク１３に当接したところで基板保持ユニット２１の押し上げを停止させる（図５（ｃ））。なお、基板保持ユニット移動機構２２は、基板２がマスク１３に当接した後、更に基板保持ユニット２１を上昇させてマスク１３を上方にやや押し上げ、その後下降させて、ベーステーブル３５ａを高さＨ３の位置に位置させる。これにより基板２が確実にマスク１３に密着する。
【００２１】
図３及び図４において、印刷ヘッド１６は、Ｘ軸方向に延びて設けられた移動ベース５１の下方に、Ｙ軸方向に対向配置された２つのスキージ５２を備えて成る。印刷ヘッド移動機構１６Ｍは、Ｙ軸方向に延びて移動ベース５１の左右端部を貫通螺入した２つの印刷ヘッド移動ボール螺子１６ａと、これら２つの印刷ヘッド移動ボール螺子１６ａを回転駆動する２つの印刷ヘッド移動モータ１６ｂを有して成り、２つの印刷ヘッド移動モータ１６ｂによって２つの印刷ヘッド移動ボール螺子１６ａが同期して回転されると、移動ベース５１がＹ軸方向に移動する。２つのスキージ５２はそれぞれ移動ベース５１に設けられたスキージ昇降シリンダ５３によって、移動ベース５１の下方を個別に昇降される。
【００２２】
図３及び図４において、カメラユニット１８は撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１８ａと撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１８ｂを有して成る。カメラユニット移動機構１８ＭはＸＹテーブル機構から成り、カメラユニット１８が取り付けられた移動プレート１８ｐを水平面内で移動させる。
【００２３】
ペースト供給シリンジ１７は内部にペーストＰｓｔを蓄えており、下方にペーストを吐出供給する。図２及び図４において、ペースト供給シリンジ１７は移動ベース５１に沿ってＸ軸方向に移動自在なシリンジベース５１ａに取り付けられており、移動ベース５１のＹ軸方向移動によってスキージ５２とともにＹ軸方向に移動し、シリンジベース５１ａのＸ軸方向への移動によってＸ軸方向に移動する。このためペースト供給シリンジ１７をＸＹ平面内で自在に移動させることによって、マスク１３上の任意の領域にペーストＰｓｔを供給させることができる。
【００２４】
図９において、搬入コンベア１４による基板２の搬入動作、コンベア３３による基板２のクランプ位置への移動動作、昇降アクチュエータ３４による下受け部３５の昇降動作、クランプ部材駆動モータ３６によるクランプ部材３７のクランプ動作、基板保持ユニット移動機構２２による基板保持ユニット２１の水平面内での移動動作と昇降動作、搬出コンベア１５による基板２の搬出動作の各制御は、スクリーン印刷機５が備える制御装置６０によってなされる。また、印刷ヘッド移動機構１６Ｍによる印刷ヘッド１６のＹ軸方向への移動動作、スキージ昇降シリンダ５３による各スキージ５２の昇降動作、ペースト供給シリンジ１７によるペーストＰｓｔの吐出動作、カメラユニット移動機構１８Ｍによるカメラユニット１８の水平面内での移動動作及びシリンダ４２によるマスク当接部材４３の昇降動作の各制御も制御装置６０によってなされる。
【００２５】
図９において、上方撮像カメラ１８ａは、制御装置６０に制御されて、マスク１３に設けられたマスク側マーク１３ｍの撮像の撮像を行う。下方撮像カメラ１８ｂは、制御装置６０に制御されて、基板保持ユニット２１に保持された基板２の基板側マーク２ｍの撮像を行う。上方撮像カメラ１８ａの撮像によって得られた画像データと下方撮像カメラ１８ｂの撮像によって得られた画像データはともに制御装置６０に入力され、制御装置６０の画像処理部６０ａにおいて画像処理される。そして、制御装置６０は、得られたマスク側マーク１３ｍの画像に基づいて各マスク側マーク１３ｍの位置の算出を行い、得られた基板側マーク２ｍの画像に基づいて各基板側マーク２ｍの位置の算出を行う。
【００２６】
次に、図５、図１０及び図１１を用いて、スクリーン印刷機５によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する。制御装置６０は、基板供給部４から基板２が送り出されたことを検知したら、その基板２を搬入コンベア１４によって受け取ってクランプ位置に位置決めし（図５（ａ））、昇降アクチュエータ３４を作動させて下受け部３５を上昇させ、下受け部３５により基板２を下方から支持してベーステーブル３５ａを第１の位置に位置させる。そして、クランプ部材駆動モータ３６を作動させ、クランプ部材３７により基板２を側方からクランプして保持する（図５（ｂ）。図中に示す矢印Ｂ。基板保持工程）。制御装置６０は、クランプ部材３７により基板２をクランプしたら、カメラユニット移動機構１８Ｍによりカメラユニット１８を移動させ、上方撮像カメラ１８ａに基板２のマスク側マーク１３ｍを撮像させてマスク１３の位置を認識するとともに、下方撮像カメラ１８ｂに基板側マーク２ｍを撮像させて、基板２の位置を認識する。
【００２７】
制御装置６０は、マスク側マーク１３ｍの位置と基板側マーク２ｍの位置を認識したら、その認識結果に基づいて、マスク側マーク１３ｍと基板側マーク２ｍが平面視において一致するようにしたうえで、基板保持ユニット移動機構２２によって基板保持ユニット２１を上昇させ（図５（ｃ）中に示す矢印Ｃ１）、基板保持ユニット２１により保持した基板２をマスク１３の下面に接触させる（図５（ｃ）。接触工程）。これにより、基板２の電極２ａとマスク１３に形成されたパターン孔１３Ｐとが合致した状態となる。
【００２８】
このように本実施の形態において、基板保持ユニット移動機構２２は、基板２を保持した基板保持手段である基板保持ユニット２１を昇降させて基板２をマスク１３の下面に接触させる基板保持手段昇降機構となっている。
【００２９】
制御装置６０は基板２をマスク１３に接触させたら、図示しないペースト量確認装置によって、マスク１３上に残存したペーストＰｓｔの量が十分であるかどうかの確認検査を行う。そして、マスク１３上に残存したペーストＰｓｔの量が十分でないと判断した場合には、ペースト供給シリンジ１７によってマスク１３上にペーストＰｓｔを供給する。
【００３０】
制御装置６０は、上記ペースト量の確認（ペースト供給シリンジ１７によるペーストＰｓｔの供給を行った場合にはその後に行ったペースト量の確認）の結果、マスク１３上に残存したペーストＰｓｔの量が十分であると判断したら、基板２を接触させたマスク１３のパターン孔１３ＰにペーストＰｓｔを充填する（ペースト充填工程）。具体的には、制御装置６０は、スキージ昇降シリンダ５３によって一方のスキージ５２を下降させ（図１０（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、そのスキージ５２をマスク１３に当接させた後、移動ベース５１を（すなわち印刷ヘッド１６を）Ｙ軸方向へ移動させることによって（図１０（ａ）中に示す矢印Ｅ）、スキージ５２をマスク１３上で移動（摺動）させる。このスキージングによってペーストＰｓｔはマスク１３上で掻き寄せられ、マスク１３のパターン孔１３Ｐ内に充填される。
【００３１】
このように本実施の形態において、スキージ５２は、基板昇降機構である基板保持ユニット移動機構２２により基板２が移動接触されたマスク１３上で摺動してマスク１３上のペーストＰｓｔをパターン孔１３Ｐに充填するペースト充填手段となっている。
【００３２】
制御装置６０は、印刷ヘッド１６を移動させてマスク１３のパターン孔１３Ｐ内にペーストＰｓｔを充填させたら、スキージ昇降シリンダ５３を作動させてスキージ５２を上昇させる（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）。そして、制御装置６０は、基板保持ユニット移動機構２２を作動させて昇降プレート３１を下降させ（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｃ２）、基板２をマスク１３から離間する方向（ここでは下方）に移動させることによって、版離れを行う（図１１（ａ）→図１１（ｂ）→図１１（ｃ）。版離れ工程）。
【００３３】
上記版離れのときには、制御装置６０は、各シリンダ４２を作動させて、一対のマスク当接部材４３をクランプ部材３７の上方に突出させる。これにより、版離れにおいて、マスク１３はクランプ部材３７に対して（従って基板２に対して）相対的に押し上げられ（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｆ）、粘着質のペーストＰｓｔを介して基板２に密着していたマスク１３が基板２に引っ張られて下方に撓もうとするのが阻止される。これにより版離れに際してマスク１３は当初の水平姿勢が維持され（図１１（ｂ）及び図１１（ｃ））、版抜けがスムーズに行われる。
【００３４】
制御装置６０は、基板２の１枚当たりのスクリーン印刷が終了したら、クランプ部材３７を開いて基板２のクランプを解除したうえで、昇降アクチュエータ３４を作動させて下受け部３５を下降させ、基板２をコンベア３３上に載置する。このとき下受け部３５はベーステーブル３５ａが高さＨ１の第１の位置に位置するまで下降させる。
【００３５】
制御装置６０は、上記のようにして基板２をコンベア３３上に載置したら、コンベア３３と搬出コンベア１５を連動作動させて、スクリーン印刷機５から下流工程側の他の装置（部品実装機６）に基板２を搬出する。制御装置６０は基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があったときには搬入コンベア１４による基板２の搬入を行い、スクリーン印刷を施す基板２がなかったときには一連の作業を終了する。
【００３６】
図１において、部品実装機６は、基台７１上に基板搬送レーン７２と、部品供給部としての複数のパーツフィーダ７３と、ＸＹロボットから成るヘッド移動機構７４によって移動される２つの装着ヘッド７５を備えている。基板搬送レーン７２は、スクリーン印刷機５でペーストＰｓｔが印刷された基板２をスクリーン印刷機５の搬出コンベア１５から受け取って搬入し、所定の位置に位置決めする。２つの装着ヘッド７５はそれぞれ各パーツフィーダ７３が供給する部品３をピックアップし、その部品３を基板搬送レーン７２によって位置決めされた基板２上に装着する。そして、基板２に対する部品３の装着が終わったら、基板搬送レーン７２を作動させて、基板２を外部（下流工程側）に搬出する。
【００３７】
このように、第１実施形態では、スクリーン印刷機５が、基板保持ユニット２１を構成するクランプ部材３７に、基板２とマスク１３が接触した状態でマスク１３に当接するマスク当接部材４３とこのマスク当接部材４３を上方に付勢する付勢手段（シリンダ４２）から成る付勢部４０を備えており、版離れのときにはこの付勢部４０がマスク１３を上方に付勢する（基板２に対して押し上げる）ので、版離れ時にマスク１３が基板２に引っ張られて下方に撓むことがなく、版抜けがスムーズに行われて良好な印刷精度を確保することができる。また、付勢部４０は安価で簡便な構成とすることができるので、コスト的にも有利である。
【００３８】
（第２実施形態）
次に、図１２〜図１４を用いて本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態における部品実装ライン１の全体工程は第１実施形態の場合と同様であり、第２実施形態におけるスクリーン印刷機５は付勢部（符号を１４０とする）の構成のみが異なる。
【００３９】
図１２において、第２実施形態における付勢部１４０は、第１実施形態における付勢部４０と異なり、マスク当接部材４３をクランプ部材３７の上方に突出させる方向に付勢する手段が弾性体（ここではばね部材であるが、ゴム部材等であってもよい）１４２となっている。すなわち第２実施形態では、クランプ部材３７に、基板２とマスク１３が接触した状態でマスク１３に当接するマスク当接部材４３及びこのマスク当接部材４３を上方に付勢する付勢手段としての弾性体１４２から成っている。
【００４０】
マスク当接部材４３は、弾性体１４２により上方に付勢されてストッパ４３ａをクランプ部材３７の下面に当接させた位置では、その上端部をクランプ部材３７の上方に突出させている（図１３（ａ））。そして、この状態からマスク当接部材４３に下方への押圧力Ｐが作用すると、マスク当接部材４３は、クランプ部材３７の上下貫通孔３７ａ内を下動し（図１３（ｂ）中に示す矢印Ｇ）、弾性体１４２を押し縮める（図１３（ｂ））。
【００４１】
第２実施形態におけるスクリーン印刷機５では、基板保持ユニット２１に保持された基板２をマスク１３に接触させた状態では（図１４（ａ））、各付勢部１４０のマスク当接部材４３はマスク１３から受ける押圧力（前述の押圧力Ｐに相当）によって下方に押圧されてクランプ部材３７の上下貫通孔３７ａ内に位置しており、弾性体１４２を押し縮めている。この状態ではマスク１３は粘着質のペーストＰｓｔを介して基板２に密着しているため、基板保持ユニット移動機構２２によって基板保持ユニット２１が下降されて版離れが始まると、マスク１３は基板に引っ張られて下方に撓もうとする。しかし、各付勢部４０の弾性体１４２を押し縮めていた押圧力は徐々に小さくなるので、弾性体１４２は元の形状に復帰するように動作し、マスク１３はクランプ部材３７の上面から突出したマスク当接部材４３によってクランプ部材３７に対して（すなわち基板２に対して）相対的に上方に押し上げられる（図１４（ｂ）中に示す矢印Ｆ）。このため、マスク１３が基板２に引っ張られて下方に撓もうとするのが阻止され、これにより版離れに際してマスク１３は当初の水平姿勢が維持され（図１４（ｂ）及び図１４（ｃ））、版抜けがスムーズに行われる。
【００４２】
このように、第２実施形態におけるスクリーン印刷機５においても、基板保持ユニット２１を構成するクランプ部材３７に、基板２とマスク１３が接触した状態でマスク１３に当接するマスク当接部材４３とこのマスク当接部材４３を上方に付勢する付勢手段（弾性体１４２）から成る付勢部１４０を備えており、版離れのときにはこの付勢部１４０がマスク１３を上方に付勢する（基板２に対して押し上げる）ので、版離れ時にマスク１３が基板２に引っ張られて下方に撓むことがなく、版抜けがスムーズに行われるので、第１実施形態の場合と同様の効果を得ることができる。
【００４３】
なお、上述の実施の形態では、マスク１３のパターン孔１３ＰにペーストＰｓｔを充填するペースト充填手段としてペーストＰｓｔをマスク１３上で掻き寄せるタイプのもの（スキージ５２）を示したが、ペースト充填手段はこのようなペーストＰｓｔをマスク１３上で掻き寄せるタイプのものに限られず、内部に収容したペーストＰｓｔをマスク１３のパターン孔１３Ｐに直接吐出供給するタイプのもの等であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
版抜けをスムーズにして良好な印刷精度を確保することができ、コスト的にも有利なスクリーン印刷機及び部品実装ラインを提供する。
【符号の説明】
【００４５】
１  部品実装ライン
２  基板
３  部品
５  スクリーン印刷機
６  部品実装機
１３  マスク
１３Ｐ  パターン孔
２１  基板保持ユニット（基板保持手段）
２２  基板保持ユニット移動機構（基板保持手段昇降機構）
３７  クランプ部材
４０，１４０  付勢部
４２  シリンダ（付勢手段）
４３  マスク当接部材
５２  スキージ（ペースト充填手段）
１４２  弾性体（付勢手段）
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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