(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｆｅ基の金属粒子の表面に炭素皮膜を形成した金属粉末であって、
前記金属粉末は平均粒径が５μｍ以上５０μｍ以下であり、
前記金属粉末の表面をXPS法により分析した分析値が、Cの割合が原子比で８７ａｔ％以上、Ｆｅの割合が２．０ａｔ％以下、Ｍｎの割合が１．０ａｔ％以下であることを特徴とする金属粉末。
【請求項２】
請求項１に記載の金属粉末であって、
前記金属粉末の表面をXPS法により分析した分析値が、Cの割合が原子比で８８ａｔ％以上、Ｆｅの割合が２．０ａｔ％以下、Ｍｎの割合が０．１ａｔ％以下であることを特徴とする金属粉末。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の金属粉末を用いたことを特徴とする圧粉磁心。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載の金属粉末の製造方法であって、
Mnが１．０ｍａｓｓ％以下の酸化鉄粉末と、炭素粉末を混合し、混合した粉末を非酸化性雰囲気中において熱処理することで酸化鉄粉末を還元して金属粒子とするとともに、前記金属粒子に炭素皮膜を形成させた金属粉末とすることを特徴とする金属粉末の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の金属粉末の製造方法であって、
前記酸化鉄粉末と炭素粉末はモル比率ｍ[炭素粉末/酸化鉄粉末]が３．５以上４．５以下の範囲で混合されることを特徴とする金属粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータコアやリアクトル、インダクタ用途で高効率の圧粉磁心とすることが可能な金属粉末、その製造方法、及び圧粉磁心に関する。
【背景技術】
【０００２】
モータコアやリアクトル、インダクタ等の各用途では高効率な圧粉磁心が要求される。圧粉磁心は軟磁性の金属粉末をバインダと共に所定形状に圧縮成形したものであり、金属粉末として一般的に水アトマイズ法等で製造された純鉄または鉄基の金属粉末が用いられている。圧粉磁心の磁心損失を小さくすることで各用途での高効率化が可能であり、省エネルギー化に貢献できる。磁心損失はヒステリシス損失と渦電流損失に大別できる。
【０００３】
圧縮成形すると圧粉磁心内に歪みが残留して保磁力が増大してしまうので、ヒステリシス損失が大きくなってしまう。そのため、圧縮成形後に歪取り熱処理（以下、焼鈍処理）を施す工程が設けられる。
【０００４】
ヒステリシス損失が使用周波数に比例して大きくなるのに対し、渦電流損失は使用周波数の２乗に比例して大きくなる。金属粉末の周囲に絶縁膜を被覆して金属粉末同士を導通させないようにすることで渦電流損失を小さくすることができる。この絶縁膜は焼鈍処理の温度でも破壊されない高耐熱性とする必要がある。
【０００５】
絶縁膜として例えばリン酸塩ガラスが用いられる。しかしリン酸塩ガラスによる絶縁膜は焼鈍処理の際に結晶化が進行し、それに伴い被覆が破壊されて金属粉末同士が通電し、その結果として絶縁性が低下することが知られている。よってリン酸塩ガラスを用いる場合には焼鈍処理を400℃程度に留めているのが実情である。
【０００６】
特許文献１や特許文献２には、酸化鉄粉末を炭素で固相還元して得られたＦｅ基の金属粒子に炭素皮膜を形成した金属粉末が開示されている。炭素皮膜はリン酸塩ガラスの絶縁膜よりも耐熱性が高く、高温での焼鈍処理が可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−２７３０１１号公報
【特許文献２】特開２００９−２７２６１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１や特許文献２に記載されるようにＦｅ基の金属粒子と絶縁膜との間に炭素皮膜を設けた金属粉末とすることで金属粒子同士が焼結することを抑制して渦電流損失の低下を防止することができるが、酸化鉄粉末の組成により炭素皮膜の形成が十分にできない場合があることがわかった。
【０００９】
よって本発明は、焼鈍処理を施しても渦電流損失の増大を抑制できる圧粉磁心に好適な金属粉末、その金属粉末を用いた圧粉磁心を提供することを目的とする。またこの金属粉末を得ることが容易な製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の本発明は、Ｆｅ基の金属粒子の表面に炭素皮膜を形成した金属粉末であって、前記金属粉末は平均粒径が５μｍ以上５０μｍ以下であり、焼鈍前の前記金属粉末の表面をXPS法により分析した分析値が、Cの割合が原子比で８７ａｔ％以上、Ｆｅの割合が２．０ａｔ％以下、Ｍｎの割合が１．０ａｔ％以下であることを特徴とする。
【００１１】
第２の本発明は、第１の本発明に記載の金属粉末であって、焼鈍前の前記金属粉末の表面をXPS法により分析した分析値が、Cの割合が原子比で８８ａｔ％以上、Ｆｅの割合が２．０ａｔ％以下、Ｍｎの割合が０．１ａｔ％以下であることを特徴とする。
【００１２】
第３の本発明は、第１又は第２の本発明に記載の金属粉末を用いた圧粉磁心である。
【００１３】
第４の本発明は、第１又は第２の本発明に記載の金属粉末の製造方法であって、Mnが１．０ｍａｓｓ％以下の酸化鉄粉末と、炭素粉末を混合し、混合した粉末を非酸化性雰囲気中において熱処理することで酸化鉄粉末を還元して金属粒子とするとともに、前記金属粒子に炭素皮膜を形成させた金属粉末とすることを特徴とする。
【００１４】
第５の本発明は、第４の本発明に記載の金属粉末の製造方法であって、前記酸化鉄粉末と炭素粉末はモル比率ｍ[炭素粉末/酸化鉄粉末]が３．５以上４．５以下の範囲で混合されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明により、高温の焼鈍にも耐えられる炭素皮膜を形成した金属粉末を提供することが容易になり、焼鈍しても金属粒子同士が焼結して電気的に導通することを抑制できるので、高温の焼鈍での渦電流損失の増大を抑制した圧粉磁心を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の金属粉末のＳＥＭ観察写真である。
【図２】図１の部分拡大写真である。
【図３】金属粉末の表面のＭｎと炭素の濃度の関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に本発明を具体的に説明する。
Ｍｎは熱処理によってＦｅ基の金属粒子の表面に析出する性質があり、Ｆｅ基の金属粒子に炭素皮膜を形成する際、金属粉末の表面におけるＭｎ濃度が高いと焼鈍時に炭素皮膜を破壊する原因となることを知見した。
【００１９】
本発明の金属粉末は、Ｆｅ基の金属粒子の表面に炭素皮膜を形成した金属粉末であって、平均粒径が５μｍ以上５０μｍ以下であり、焼鈍前の前記金属粉末の表面をXPS（X-ray
Photoelectron Spectroscopy：X線光電子分光）法により分析した分析値が、Cの割合が原子比で８７ａｔ％以上、Ｆｅの割合が２．０ａｔ％以下、Ｍｎの割合が１．０ａｔ％以下であることを特徴とする。
【００２０】
金属粉末の表面におけるＭｎ濃度が１．０ａｔ％以下であるため、圧粉磁心にして焼鈍する際に炭素皮膜が破壊され難く、粒子同士の焼結を抑制して圧粉磁心の渦電流損失の増大を小さくすることができる。
また、Ｃの割合が８７ａｔ％未満、もしくはＦｅの割合が２．０ａｔ％を超えてしまうと金属粒子の露出部が多くなり、圧粉磁心にして焼鈍する際に金属粒子同士が焼結しやすくなり、渦電流損失が増大する。なお、XPS法ではC、Fe、Mn以外にも不可避不純物としてO、N、S等が検出され、本願発明のC、Fe、Mn量はこれらの総和を１００％とした時の値である。なお、金属粉末の表面におけるＭｎ濃度が０．１ａｔ％以下であれば、さらに圧粉磁心での焼鈍時における渦電流損失の増大を小さくできるので好ましい。
【００２１】
本発明の金属粉末の平均粒径は５μｍ以上５０μｍ以下である。平均粒径が５μｍ未満であると圧粉磁心とした際に成形体の密度が低下してしまう。平均粒径が５０μｍを超えると炭素皮膜が不完全となり、Ｃ、Ｆｅ、Ｍｎの表面濃度が好適範囲を維持できなくなる。特にＭｎ濃度が１．０ａｔ％を超えてしまうため好ましくない。好ましい平均粒径の範囲は１０μｍ以上３０μｍ以下とする。
【００２２】
本発明の金属粉末を得るのに好適な製造方法について説明する。
例えば製造方法として、Mnが１．０ｍａｓｓ％以下の酸化鉄粉末と、炭素粉末を混合し、混合した粉末を非酸化性雰囲気中において還元処理することで酸化鉄粉末を還元して金属粒子とし、かつ、前記金属粒子に炭素皮膜を形成させた金属粉末とすることができる。酸化鉄粉末中のＭｎ含有量が１．０ｍａｓｓ％以下であれば、還元処理後（焼鈍前）の金属粉末の表面のＭｎ濃度を１．０ａｔ％以下とすることができる。酸化鉄粉末のＭｎ量は好ましくは０．５ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは０．１ｍａｓｓ％以下とする。
【００２３】
酸化鉄粉末はFe2O3、Fe3O4、FeOなどの酸化鉄を用いることができる。特にFe2O3は安価に入手が可能であり好ましい。磁性粒子の平均粒径は0.01μｍ以上、3.0μm以下が好ましい。平均粒径が0.01μm未満であると最終的に得られる金属粉末の平均粒径が５μｍ未満となってしまい好ましくない。一方、3.0μmを超える酸化鉄粉末の製造は困難であり、工業材料としての入手や製造が難しく実用的ではない。
【００２４】
本発明において炭素皮膜とは金属粒子の表面が炭素で被覆された膜を指す。X線光電子分光（X-ray
Photoelectron Spectroscopy：XPS）分析によって得られる粉末表面の炭素濃度は８７ａｔ％以上、さらには８８ａｔ％以上が好ましい。金属粒子中のＸ元素量が１質量％以上の金属粉末であれば炭素濃度を９０ａｔ％以上とすることもできる。
【００２５】
炭素粉末はグラファイトやカーボンブラック、天然黒鉛の炭素粉末が適している。炭素を含む化合物であってもよい。すなわち石炭や活性炭、コークスや脂肪酸、ポリビニルアルコールなどの高分子であってもよい。上記炭素粉末の平均粒径は0.01〜100μmが好ましく、より好ましくは0.01〜50μmである。0.01μm未満の炭素粉末は高価で実用的ではない。また100μmを超えると酸化鉄との混合に偏りが生じ、酸化鉄粉末に対する炭素粉末の固相還元が不十分となって好ましくない。炭素はグラファイト状の炭素を用いているが、アモルファス状であっても構わない。Fe基の金属粒子が上記炭素で被覆されていることにより、成形体において焼鈍時にFe基金属粒子同士の焼結を抑制することができる。
【００２６】
平均粒径とはレーザー散乱式粒度分布計から得られるd50の値とする。
【００２７】
酸化鉄粉末と炭素粉末の混合粉を非酸化性雰囲気で熱処理すると、酸化鉄粉末は炭素粉末側に酸素を奪われ還元される事で鉄基の金属粒子となり、その後、金属粒子の表面に炭素皮膜が形成される。熱処理時の雰囲気は非酸化性雰囲気であることが好ましく、Ar、Heなどの不活性ガスや水素、窒素、炭酸ガスなどが選択される。特に安全かつ安価な点では窒素雰囲気がより好ましい。
【００２８】
還元処理後は、本発明の金属粉末と余剰炭素粉末が混在した状態であるため、磁石等で金属粉末を磁気捕集して余剰炭素粉末を除去する。
【００２９】
酸化鉄粉末と炭素粉末はモル比率ｍ[炭素粉末/酸化鉄粉末]で３．５以上４．５以下の範囲で混合することが好ましい。
モル比率ｍが３．５未満であると、固相還元時にＦｅ粒子同士の焼結粒成長が促進され、粒径が粗大化して炭素の被覆が不完全となるため好ましくない。またモル比率ｍが４．５を超えると金属粉末の収率が低下する上、磁気捕集における余剰炭素粉末の除去が困難となり生産効率が低下するので好ましくない。
【００３０】
上記のモル比率にした場合、還元処理の温度Ｔ（℃）は、前記モル比率ｍ、酸化鉄粉末のMn量ｎに対して、Ｔ≧−１００ｍ＋１６１０＋１００ｎで表される式を満たす温度であることが好ましい。温度Ｔがこの式を満たす数値ではない場合、炭素皮膜が十分に厚くならず炭素濃度が８７ａｔ％未満になり、焼鈍の際にFe 基の金属粒子同士が焼結してしまう。
但し還元処理の温度Tの上限は１６００℃以下の範囲が好ましい。温度Ｔが１６００℃を超えると熱処理炉に高い耐熱性が要求され製造コストが嵩んでしまう。さらに１５００℃以下であれば炭素皮膜の厚さを過剰にすることなく耐熱性を維持できる。
還元処理の温度Ｔの下限は、少なくとも１１５０℃以上であることが好ましい。１１５０℃以上とすることで還元後の金属粉末の形状を球形とすることができ、圧粉成形で金型内に給粉する時の粉末流動性を高めることができる。
【００３１】
還元処理の好ましい熱処理時間は０．１時間（ｈ）以上１０ｈ以下である。０．１ｈ未満であると粒成長の効果が十分に得られず、１０ｈを超えると第１熱処理での工程時間が長くなり工業的に好ましくない。さらに好ましい熱処理時間は０．２ｈ以上５ｈ以下である。
【００３２】
金属粒子は鉄を主成分とする。Al、Co、Ni、Siから選ばれる少なくとも1種の元素Xを添加してFe-X合金粒子とすることもできる特にSiは前記熱処理における金属粒子の表面での炭素析出効果が大きいので好適である。Ｘ元素は０．５質量％以上７．０質量％以下で含む組成となることが好ましい。金属粒子中のＸ元素量が０．５％未満であると、炭素皮膜による耐熱性の効果が十分に得にくい。また、鉄中に存在する炭化鉄が残留しやすく、その結果として金属粉末の硬度が高くなり圧縮性が低下して圧縮成形が難しくなる。Ｘ元素量が７．０質量％を超えると金属粉末の透磁率が下がり、圧粉磁心として用いる際に磁気飽和して軟磁気特性が低下しやすくなる。上記範囲のＸ元素を含む本発明の金属粉末は、X線光電子分光法で分析した表面炭素濃度が90at％以上である。
【００３３】
金属粒子の組成に元素Xを含めるには、元素Xは元素X単体、酸化物、炭化物、窒化物の化合物粉末、具体的な例としてAl4C3、AlN、CoO、Co2O3、Co3O4、Ni2O3、NiO、Si3N4、SiC等を用い、酸化鉄粉末、炭素粉末と共に混合して還元熱処理する。元素Xとしてアルミナやシリカといった酸化物を用いると熱力学的に安定であるので熱還元された鉄と反応することが困難となり相応しくない。固相反応性を考慮すると、元素Xの化合物粉末の粒径は0.001〜5μmの範囲内であるのが好ましい。粒径が０．００１μm未満では比表面積が大きすぎて容易に酸化し、取り扱いが困難である。また5μm超では比表面積が小さすぎるため、鉄との反応性が低く添加効果が期待できない。より好ましくは０．００１〜1μmが好ましい。
【００３４】
本発明の金属粉末を圧縮成形すると、１０ｋＨｚ~１０MHｚの周波数帯域で優れた磁気特性を示す圧粉磁心を得ることができる。この圧粉磁心は、窒素中で700℃以上で焼鈍しても炭素皮膜の剥離や破壊を極力抑えられるので渦電流損失の増大を抑制できる。
【００３５】
以下、さらに詳細に実施例を述べる。
【００３６】
（実施例１〜４）
酸化鉄粉末中のＭｎ量ｎを0.095〜0.47 mass%に変え、炭素皮膜が形成された金属粉末の表面の組成に与える影響を調べた。
Mn含有量が0.095mass%の酸化鉄粉とカーボンブラック粉を、モル比率でC/Fe2O3＝4.4となるように配合し、更に還元後の組成がFe-1mass%SiとなるようにSiC粉末を上記配合粉に対して0.8mass%添加した後、イソプロピルアルコール（IPA）中で17時間ボールミル混合した。
また、Ｍｎ含有量が0.26〜0.47mass%の酸化鉄粉とカーボンブラック粉を、モル比率でC/Fe2O3＝3.9となるように配合し、更に還元後の組成がFe-1mass%SiとなるようにSiC粉末を上記配合粉に対して0.8mass%添加した後、イソプロピルアルコール（IPA）中で17時間ボールミル混合した。混合後のスラリーをドラフト内で乾燥し、得られた原料混合粉を窒素雰囲気中において1400℃で2時間保持して還元処理することで酸化鉄粉末を還元して金属粒子とし、かつ、前記金属粒子に炭素皮膜を形成させた。熱処理後の生成物をIPA中で超音波洗浄した後、磁石で金属粉末のみを磁気捕集した。
得られた金属粉末の平均粒径、および金属粉末のC、Mn、Feの表面組成を表１に示す。平均粒径は粒度分布測定装置（日機装（株）、マイクロトラックMT3300）で測定し、表面組成はXPS分光分析装置（アルバック・ファイ（株）、PHI Quantera II）により分析した。
本実施形態の金属粉末は、その表面のＸＰＳ法によって測定されたＭｎ量を1.0at％以下である。この金属粉末は700℃以上で焼鈍しても炭素皮膜の剥離や破壊が少なく、この金属粉末を用いた圧粉磁心の渦電流損失の増大を抑制できる。
【００３７】
（比較例１）
Ｍｎ含有量が1.20mass%の酸化鉄粉とカーボンブラック粉を、モル比率でC/Fe2O3＝3.9となるように配合し、更に還元後の組成がFe-1mass%SiとなるようにSiC粉末を上記配合粉に対して0.8mass%添加した後、イソプロピルアルコール（IPA）中で17時間ボールミル混合した。以降は実施例１と同様にして金属粉末を作製した。金属粉末の表面のＭｎ量は1.0at％を超えている。この金属粉末を用いた圧粉磁心の渦電流損失は焼鈍前後で大きく増大していた。
【００３８】
【表１】
0005892421.tif 000002
【００３９】
（実施例５〜１０）
酸化鉄粉末のMn量ｎおよびモル比率[C/Fe2O3]ｍに対して、好ましい還元温度の範囲を調べた。
Mn含有量が0.47mass%の酸化鉄粉とカーボンブラック粉を、モル比率でC/Fe2O3＝3.5、3.7、3.9、4.4となるように配合し、更に還元後の組成がFe-1mass%SiとなるようにSiC粉末を上記配合粉に対して0.8mass%添加した後、イソプロピルアルコール（IPA）中で17時間ボールミル混合した。混合後のスラリーをドラフト内で乾燥し、得られた原料混合粉を窒素雰囲気中において1200〜1400℃で2時間保持することで、酸化鉄から金属鉄へと固相還元反応を行なった。熱処理後の生成物をIPA中で超音波洗浄した後、磁石で金属粉末のみを磁気捕集した。
得られた金属粉末の平均粒径、および金属粉末のC、Mn、Feの表面組成を表２に示す。平均粒径は粒度分布測定装置（日機装（株）、マイクロトラックMT3300）で測定し、表面組成はXPS分光分析装置（アルバック・ファイ（株）、PHI Quantera II）により分析した。
【００４０】
【表２】
0005892421.tif 000003
【００４１】
（比較例２〜６）
モル比率C/Fe2O3を3.5、3.7、3.9、4.4とし、それぞれの原料混合粉を表２に示す所定の温度で熱処理した以外は実施例１と同様にして金属粉末を得た。得られた金属粉末の平均粒径、およびC、Mn、Feの表面組成を表２に示す。比較例は表面の炭素濃度が70at％未満と低く、Ｍｎ濃度が１．０ａｔ％を超えている。
【００４２】
（実施例１１〜１３）
Mn含有量が0.095mass%の酸化鉄粉を用い、モル比率でC/Fe2O3＝4.4とした以外は実施例１と同様に金属粉末を得た。
得られた金属粉末の平均粒径、および表面におけるC、Mn、Feの組成を表２に示す。
【００４３】
酸化鉄のMn含有量ｎが0.47mass%の場合、モル比率ｍが３．５および３．７の場合は還元処理の温度Ｔ（℃）を１４００℃とした実施例５，６の試料、モル比率が３．９および４．４の場合は還元処理の温度Ｔ（℃）を１３００℃と１４００℃とした実施例７〜１０の試料で、金属粉末の表面の組成においてCの割合が８７ａｔ％以上、Ｆｅの割合が２．０ａｔ％以下、Ｍｎの割合が１．０ａｔ％以下である。
Mn含有量が0.095mass%、モル比率ｍが４．４の場合、1200℃〜1400℃のいずれの実施例でも、金属粉末の表面の組成においてCの割合が８７ａｔ％以上、Ｆｅの割合が２．０ａｔ％以下、Ｍｎの割合が１．０ａｔ％以下である。
実施例における還元温度Ｔと、モル比率ｍ、酸化鉄粉末のMn量ｎは、Ｔ≧−１００ｍ＋１６１０＋１００ｎで表される式を満たしている。対して、この式の関係を満たさない比較例２〜６の試料では、還元温度が低いためにCの割合が８７ａｔ％に満たず、またＭｎの割合が１．０ａｔ％超である。比較例の金属粉末は炭素皮膜が十分な厚さにならずに磁性粒子が露出していると予想され、後述するように焼鈍による磁心損失の増加が大きい。
【００４４】
表３に実施例５と実施例１３の金属粉末のICP分析によるＭｎ量を示す。酸化鉄粉末のMn含有量よりも若干減少した値であり、いずれも１．０mass%以下である。
【００４５】
【表３】
0005892421.tif 000004
【００４６】
図１は比較例６の金属粉末の粒子断面のＳＥＭ観察写真、図２は図１の金属粉末の表面の析出物（図中a）を拡大したＳＥＭ観察写真である。図２中ｂは鉄基の金属粒子である。表４は析出物と金属粒子の組成をオージェ分光分析で分析した結果である。析出物の主組成はMnSと同定された。この析出物ａは金属粒子と隣接しており炭素皮膜の形成を妨害している要因と推察される。
【００４７】
【表４】
0005892421.tif 000005
【００４８】
比較例５と実施例７，８の金属粉末を窒素雰囲気下800℃で2時間焼鈍した後に表面の組成をXPS法で分析した。表５は焼鈍前後のC、Mn、Feの表面組成を示す。いずれの試料においても焼鈍によってMn量が増加しており、比較例５については焼鈍後にMnが６．６at%も検出されている。前記のようにMnが金属粉末の表面に多量に存在すると炭素による被覆が不十分となる。この傾向は、XPS法で得た金属粉末の表面のMn濃度とC濃度の関係にも現れている（図３）。金属粉末の表面のC濃度が低いとMn濃度が高くなっている。焼鈍後は更にMn濃度が増加するが、焼鈍前の金属粉末の表面のＭｎ濃度が１at%以下であれば、焼鈍後においても表面のＭｎの増加を極力抑えることができ、炭素皮膜が破壊されることを防ぐことができる。
【００４９】
【表５】
0005892421.tif 000006
【００５０】
（実施例１４）
実施例１１の金属粉末に対してゾルゲル法を用いてシリカ被覆を施し、外径１３．４ｍｍ、内径７．７ｍｍの金型を用いてリング形状の圧粉体を作製した。成形圧力は１５００ＭＰa（15ton/cm2）とした。得られたリング状圧粉体の磁心損失をB-Hアナライザ（IWATSU、SY8232）を用いて測定した。更に圧縮時の歪みを除去するために上記リング状圧粉体を窒素雰囲気下で８００℃で２時間焼鈍し、焼鈍前と同様に磁心損失を測定した。測定周波数５０ｋHz、励磁磁束密度５０ｍTとした時のそれぞれの磁心損失値を表６に示す。
【００５１】
（実施例１５）
還元処理時間を０．２時間とした以外は実施例１１と同様にして金属粉末を作製し、その表面組成をＸＰＳ分析したところ、Cは８８at%、Feは２．０at%、Mnは１．０at%であった。当該金属粉末を用いて実施例１４と同様にしてリング形状圧粉体を作製し、磁心損失を測定した。結果を表６に示す。
【００５２】
（比較例７）
比較例６の金属粉末を用いた以外は実施例１４と同様にして圧粉体の磁心損失を測定した。測定周波数５０ｋHz、励磁磁束密度５０ｍTとした時のそれぞれの磁心損失値を表６に示す。
【００５３】
（比較例８）
還元処理温度を１２００℃とした以外は実施例２と同様にして金属粉末を作製し、その表面組成をＸＰＳ分析したところ、Cは８３at%、Feは２．４at%、Mnは１．２at%であった。当該金属粉末を用いて実施例１４と同様にしてリング形状圧粉体を作製し、磁心損失を測定した。結果を表６に示す。
【００５４】
（比較例９）
炭素皮膜の無い鉄粉で圧粉体を作製した。
ガスアトマイズ鉄粉（平均粒径２４μｍ）を用いた以外は実施例１４と同様にしてリング形状圧粉体を作製し、磁心損失を測定した。歪み除去のための焼鈍は実施例１４と同様の８００℃に加え、５００℃と６００℃を行った。焼鈍前後の磁心損失を表６に示す。
【００５５】
【表６】
0005892421.tif 000007
【００５６】
比較例７においては焼鈍後に渦電流損失が顕著に増大しており、全損失が焼鈍前よりも大きくなっている。これに対して実施例１４の磁心損失は、焼鈍による渦電流損失の増大が極めて少なく、結果として全損失を低減できている。また比較例９の磁心損失は５００℃で焼鈍した場合は渦電流損失の増大は殆ど見られないものの、ヒステリシス損失の値が大きく歪み除去が不十分である。十分歪み除去すべく焼鈍温度を６００℃に上げると渦電流損失が増大して全損失も焼鈍前より大きくなってしまう。８００℃で焼鈍した場合は磁心損失の増大が一層顕著となる。
【００５７】
したがって、本発明の磁性金属粉末は金属粒子が炭素で被覆されているため焼鈍に伴う粒子同士の焼結が抑制されており、渦電流損失の増大を抑制できる。このため歪みを十分に除去できる７００〜８００℃での焼鈍が可能となり、渦電流損失を低減することができる。
【図１】
0005892421.tif 000008
【図２】
0005892421.tif 000009
【図３】
0005892421.tif 000010