(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛇腹の伸縮方向に一定間隔をもって互いに平行に複数形成される第１面蛇腹部形成用の第１山折り線と、
前記第１山折り線に屈折点を介して一直線状に連なる第２面蛇腹部形成用の第２山折り線と、
蛇腹の伸縮方向に隣接する前記屈折点同士を繋ぐ第３山折り線と、
隣接する前記第１山折り線の間にあって前記第１山折り線と平行に形成されて前記第３山折り線の中点に接続される第１谷折り線と、
隣接する前記第２山折り線の間にあって前記第２山折り線と平行に形成される第２谷折り線と、
前記第２谷折り線の内方端と前記第３山折り線の中点とに亘って形成される第４山折り線と、
前記屈折点と前記第２谷折り線の内方端とに亘って形成される第３谷折り線と、
を備え、
前記第３山折り線、前記第４山折り線、及び前記第３谷折り線によって囲まれた三角形状の折込み部が、蛇腹圧縮に伴って第２面蛇腹部の内部に畳み込まれるよう構成し、
前記第４山折り線の長さを前記第３山折り線の長さより大きく設定してある、
ことを特徴とする蛇腹機構。
【請求項２】
前記第４山折り線と前記第３谷折り線とでなされる内角を４５度未満に設定してある、
ことを特徴とする請求項１に記載の蛇腹機構。
【請求項３】
前記第３山折り線と前記第３谷折り線とでなされる内角を４５度に設定してある、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の蛇腹機構。
【請求項４】
前記屈折点それぞれを、前記第１山折り線の長手方向同一位置に設け、
前記第３山折り線の中点を、隣接する前記屈折点を結ぶ線上より前記第２谷折り線側に配置し、
隣接する前記屈折点を結ぶ線と前記第３山折り線とでなされる内角を３〜２７度に設定してある、
ことを特徴とする請求項３に記載の蛇腹機構。
【請求項５】
前記屈折点それぞれを、前記第１山折り線の長手方向同一位置に設け、
前記第３山折り線の中点を、隣接する前記屈折点を結ぶ線上より前記第２谷折り線側に配置し、
隣接する前記屈折点を結ぶ線と前記第３山折り線とでなされる内角を５〜２５度に設定してある、
ことを特徴とする請求項３に記載の蛇腹機構。
【請求項６】
前記屈折点それぞれを、前記第１山折り線の長手方向同一位置に設け、
前記第３山折り線の中点を、隣接する前記屈折点を結ぶ線上より前記第２谷折り線側に配置し、
隣接する前記屈折点を結ぶ線と前記第３山折り線とでなされる内角を１５度に設定してある、
ことを特徴とする請求項３に記載の蛇腹機構。
【請求項７】
屈折形成状態では、前記第３山折り線の中点が前記第２山折り線よりも外方に位置する、
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の蛇腹機構。
【請求項８】
基板が吸着保持されるチャックテーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠と、基板切断用の回転ブレードとを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に、前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成し、
前記蛇腹機構を、請求項１ないし７のいずれかに記載の構造としてある、
ことを特徴とする基板切断装置。
【請求項９】
テーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠とを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成し、
前記蛇腹機構を、請求項１ないし７のいずれかに記載の構造としてある、
ことを特徴とする装置。
【請求項１０】
テーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠とを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成し、
前記蛇腹機構を、請求項１ないし７のいずれかに記載の構造としてある装置であって、
前記装置は、エレクトロニクスの分野において使用される研磨装置、塗布装置、露光装置又は現像装置のうちいずれか１つである、
ことを特徴とする装置。
【請求項１１】
テーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠とを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成し、
前記蛇腹機構を、請求項１ないし７のいずれかに記載の構造としてある装置であって、前記装置は、機械加工装置又は医療装置である、
ことを特徴とする装置。
【請求項１２】
テーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠とを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成し、
前記蛇腹機構を、請求項１ないし７のいずれかに記載の構造としてある装置であって、前記装置は、洗浄装置、搬送装置、試験装置又は乾燥装置のうちいずれか１つである、
ことを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の機械加工装置における可動部位と固定部位とに亘って装備される防水用あるいは防塵用の蛇腹機構並びにそれを備えた基板切断装置及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
機械加工装置の一例である基板切断装置（ダイシング装置）は、切削加工箇所に切削水を供給しながら切断処理を行うため、飛散した切削水や切削粉が装置内部に入り込むことを防止するための防水防塵構造が備えられる。例えば、特許文献１に示されている基板切断装置においては、基板（半導体ウエハ）が保持されるチャックテーブルを備えた可動台をボールねじを用いて水平に往復移動させるよう構成するとともに、可動台と固定台枠とに亘って蛇腹機構を装着して、ねじ送り駆動機構などを蛇腹機構で囲繞するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１５６０３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の蛇腹機構を構成するシート材１１の展開平面図が図１１に示されている。このシート材１１には、第１山折り線Ｒ１が、蛇腹の伸縮方向に一定間隔をもって形成されるとともに、第２山折り線Ｒ２が第１山折り線Ｒ１に屈折点ａを介して一連に形成され、かつ、蛇腹の伸縮方向に隣接する屈折点ａ同士が、一直線状の第３山折り線Ｒ３で繋がれている。蛇腹の伸縮方向に隣接する第１山折り線Ｒ１の間の中央位置に、第１谷折り線Ｖ１が形成されるとともに、蛇腹の伸縮方向に隣接する第２山折り線Ｒ２の間の中央位置に、第２谷折り線Ｖ２がシート端から所定長さに亘って形成されている。また、第２谷折り線Ｖ２の内方端ｂと第３山折り線Ｒ３の中点ｃに亘って第４山折り線Ｒ４が形成されるとともに、第２谷折り線Ｖ２の内方端ｂと屈折点ａとに亘って第３谷折り線Ｖ３が第３山折り線Ｒ３に対して４５度の傾斜をもって形成されている。
【０００５】
図１２、図１３に示すように、シート材１１を各折り線Ｒ１〜Ｒ３、Ｖ１〜Ｖ３に沿って折り曲げて第１面蛇腹部１０Ｕと第２面蛇腹部１０Ｓを形成すると、第２面蛇腹部１０Ｓの上端部に、第４山折り線Ｒ４を稜線として折り込まれた直角三角形状の折込み部１２が蛇腹の伸縮方向に一対形成されて、この折込み部１２が第１面蛇腹部１０Ｕの外端部に前後及び下方から被さった状態で蛇腹機構の伸縮に応じて変形することになる。
【０００６】
上記仕様の折り線を備えた蛇腹機構の伸縮作動が図１４に示されている。この図は、屈折点ａ、内方端ｂ、中点ｃを単純に前後方向に平行移動させて作図したものである。なお図中、ａ'、ｂ'、ｃ'は、移動途中の屈折点ａ、内方端ｂ、中点ｃを示している。
【０００７】
蛇腹を最も圧縮した状態では、第２面蛇腹部１０Ｓの上端部に形成される直角三角形状の折込み部１２の稜線、つまり、第４山折り線Ｒ４は第１面蛇腹部１０Ｕにおける谷底線（第１谷折り線Ｖ１）の下方に平行に重複されるが、蛇腹の伸展に伴って折込み部１２の稜線（第４山折り線Ｒ４）は外上がりに傾斜してゆく。そして、図１４（ｂ）で示される正面図上では、作図上（理論上）、内方端ｂと中点ｃとの距離、つまり、折込み部１４の稜線（第４山折り線Ｒ４）は蛇腹が伸展されるほど短くなる。実際には、蛇腹が伸展されるほど折込み部１４の稜線（第４山折り線Ｒ４）は圧縮応力を受けることになり、稜線（第４山折り線Ｒ４）の周辺のシート材が撓まされることで長さ変化が吸収されることになる。即ち、作図上、図１４（ｂ）において、第４山折り線Ｒ４の両端となる内方端ｂと中点ｃとに関して言えば、内方端ｂは水平方向に左右に移動し、中点ｃは垂直方向に上下に移動することを前提に描かれている。このため、作図上、第４山折り線Ｒ４の距離は蛇腹が伸展されるほど短くなる。実際には、第４山折り線Ｒ４の距離は短くなったり長くなったりせず、一定の距離を有するものである。第４山折り線Ｒ４が実際は距離が変わらないにもかかわらず、作図上では短くなり、その差の分だけ、第４山折り線Ｒ４の中点ｃには内方端ｂの方向に圧縮する力が発生してその力が内方端ｂに集中することになる。このとき、第４山折り線Ｒ４の周辺のシート材が撓まされることで距離変化が吸収されることになるが、蛇腹の伸縮回数が増加すると、内方端ｂが疲労して破損することになる。
【０００８】
従って、折込み部１２における稜線（第４山折り線Ｒ４）の端部、例えば、内方端ｂ、中点ｃなどにおいて、数万回程度の伸縮作動でピンホール状の疲労破損が発生しやすく、耐久性の点で改良の余地があった。
【０００９】
本発明は、このような実情に着目してなされたものであって、繰り返しの伸縮に対する耐久性に優れた蛇腹機構並びにそれを備えた基板切断装置及び装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明では次のように構成している。
【００１１】
（１）本発明に係る蛇腹機構は、
蛇腹の伸縮方向に一定間隔をもって互いに平行に複数形成される第１面蛇腹部形成用の第１山折り線と、
前記第１山折り線に屈折点を介して一直線状に連なる第２面蛇腹部形成用の第２山折り線と、
蛇腹の伸縮方向に隣接する前記屈折点同士を繋ぐ第３山折り線と、
隣接する前記第１山折り線の間にあって前記第１山折り線と平行に形成されて前記第３山折り線の中点に接続される第１谷折り線と、
隣接する前記第２山折り線の間にあって前記第２山折り線と平行に形成される第２谷折り線と、
前記第２谷折り線の内方端と前記第３山折り線の中点とに亘って形成される第４山折り線と、
前記屈折点と前記第２谷折り線の内方端とに亘って形成される第３谷折り線と、
を備え、
前記第３山折り線、前記第４山折り線、及び前記第３谷折り線によって囲まれた三角形状の折込み部が、蛇腹圧縮に伴って第２面蛇腹部の内部に畳み込まれるよう構成し、
前記第４山折り線の長さを前記第３山折り線の長さより大きく設定してある、
ことを特徴とする。
【００１２】
この構成によると、蛇腹機構が圧縮状態から伸展する際に、第３山折り線の中点と第２谷折り線の内端点との距離の変化が可及的に少ないものとなって、折込み部の稜線に作用する応力が小さくなり、蛇腹機構が繰返し伸縮されてもピンホールなどの損傷が発生することが長期間に亘って抑制される。
【００１３】
（２）本発明の好ましい実施態様では、前記第４山折り線と前記第３谷折り線とでなされる内角を４５度未満に設定してある。この構成によると、第４山折り線の長さを第３山折り線の長さより大きく設定することができ、所期の機能を発揮する折込み部を形成することができる。
【００１４】
（３）本発明の他の実施態様においては、前記第３山折り線と前記第３谷折り線とでなされる内角を４５度に設定してある。この構成によると、第２面蛇腹部を第１面蛇腹部に対して直交させた蛇腹機構を構成することができる。
【００１５】
（４）本発明の他の実施態様においては、
前記屈折点それぞれを、前記第１山折り線の長手方向同一位置に設け、
前記第３山折り線の中点を、隣接する前記屈折点を結ぶ線上より前記第２谷折り線側に配置し、
隣接する前記屈折点を結ぶ線と前記第３山折り線とでなされる内角を３〜２７度に設定してある。
【００１６】
この構成によると、第２面蛇腹部を第１面蛇腹部に対して直交させた蛇腹機構の構成において、隣接する前記屈折点を結ぶ線と第３山折り線とでなされる内角を３〜２７度に設定することで、蛇腹機構が伸縮された際の応力発生を抑制することができ、耐久性を効果的に向上させることができる。
【００１７】
（４）本発明の他の実施態様においては、
前記屈折点それぞれを、前記第１山折り線の長手方向同一位置に設け、
前記第３山折り線の中点を、隣接する前記屈折点を結ぶ線上より前記第２谷折り線側に配置し、
隣接する前記屈折点を結ぶ線と前記第３山折り線とでなされる内角を５〜２５度に設定してある。
【００１８】
この構成によると、第２面蛇腹部を第１面蛇腹部に対して直交させた蛇腹機構の構成において、隣接する前記屈折点を結ぶ線と第３山折り線とでなされる内角を５〜２５度に設定することで、蛇腹機構が伸縮された際の応力発生をより確実に抑制することができ、耐久性を効果的に向上させることができる。
【００１９】
（４）本発明の他の実施態様においては、
前記屈折点それぞれを、前記第１山折り線の長手方向同一位置に設け、
前記第３山折り線の中点を、隣接する前記屈折点を結ぶ線上より前記第２谷折り線側に配置し、
隣接する前記屈折点を結ぶ線と前記第３山折り線とでなされる内角を１５度に設定してある。
【００２０】
この構成によると、第２面蛇腹部を第１面蛇腹部に対して直交させた蛇腹機構の構成において、蛇腹機構が伸縮された際の応力発生を最小限にすることができ、耐久性を効果的に向上させることができる。
【００２１】
（５）本発明の他の実施態様においては、屈折形成状態では、前記第３山折り線の中点が前記第２山折り線よりも外方に位置する。この構成によると次のような作用効果がある。すなわち、第４山折り線の長さを第３山折り線の長さより大きく設定してなる本発明の蛇腹機構を屈曲成形すると、この実施形態の構成となる。その結果、前述した所期の機能を発揮する折込み部を形成することができる。
【００２２】
（６）本発明に係る基板切断装置または装置は、
基板を吸着保持するチャックテーブルを備えて往復移動する可動台と、可動台を往復移動させる駆動機構と、駆動機構を収容した固定台枠と、基板切断用の回転ブレードとを備え、前記可動台と固定台枠との間に、可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を蛇腹機構で覆うよう構成した基板切断装置、またはテーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠とを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成した装置において、
前記蛇腹機構を、上記構成（１）ないし（５）のいずれかに記載の構造としてある、
ことを特徴とする。
【００２３】
この構成によると、蛇腹機構を頻繁に点検する必要がなくなってメンテナンス性が向上するとともに、亀裂発生に伴う蛇腹機構の取替えのために運転休止の頻度が著しく少なくなり、装置の稼働効率を高める上で有効となる。
【発明の効果】
【００２４】
このように、本発明によれば、シート材に形成する折り線の改良によって、繰り返しの伸縮に対する耐久性に優れた蛇腹機構を提供することができ、またこの蛇腹機構を備えることで、メンテナンス性に優れた稼働効率の高い基板切断装置及び装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１の実施形態の基板切断装置の概略構成を示す第２面図である。
【図２】第１の実施形態の蛇腹機構の斜視図である。
【図３Ａ】第１の実施形態の蛇腹機構を構成するシート材の展開平面図である。
【図３Ｂ】第１の変形例の蛇腹機構を構成するシート材の展開平面図である。
【図３Ｃ】第２の変形例の蛇腹機構を構成するシート材の展開平面図である。
【図３Ｄ】第３の変形例の蛇腹機構を構成するシート材の展開平面図である。
【図４】第１の実施形態における伸展された蛇腹機構の要部を示す斜視図である。
【図５】第１の実施形態における圧縮された蛇腹機構の要部を示す斜視図である。
【図６】第１の実施形態における圧縮された蛇腹機構の要部を示す正面図である。
【図７Ａ】第１の実施形態における蛇腹機構の伸縮作動を示す説明図であり、（ａ）は側面、（ｂ）は正面、（ｃ）は底面をそれぞれ示している。
【図７Ｂ】第１の変形例における蛇腹機構の伸縮作動を示す説明図であり、（ａ）は側面、（ｂ）は正面、（ｃ）は底面をそれぞれ示している。
【図７Ｃ】第２の変形例における蛇腹機構の伸縮作動を示す説明図であり、（ａ）は側面、（ｂ）は正面、（ｃ）は底面をそれぞれ示している。
【図７Ｄ】第３の変形例における蛇腹機構の伸縮作動を示す説明図であり、（ａ）は側面、（ｂ）は正面、（ｃ）は底面をそれぞれ示している。
【図８】第２の実施形態の蛇腹機構を構成するシート材の展開平面図である。
【図９】第２の実施形態における圧縮された蛇腹機構の要部を示す正面図である。
【図１０】第２の実施状態における蛇腹機構の要部を示す正面図である。
【図１１】従来の蛇腹機構におけるシート材の展開平面図である。
【図１２】従来の蛇腹機構の要部を示す斜視図である。
【図１３】従来の圧縮された蛇腹機構の要部を示す正面図である。
【図１４】従来の蛇腹機構の伸縮作動を示す説明図であり、（ａ）は側面、（ｂ）は正面、（ｃ）は底面をそれぞれ示している。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００２７】
図１に、本発明の第１の実施形態である蛇腹機構１０を備えた基板切断装置の要部が示されている。この基板切断装置は、半導体ウエハ、樹脂封止済み基板などの基板ｗを載置して吸着保持するチャックテーブル１、チャックテーブル１を支持して前後方向に水平移動する可動台２、モータ３で正逆転駆動されるボールねじ４によって可動台２を所定ストロークで前後に往復移動させるよう構成した駆動機構５、駆動機構５を収容支持した固定台枠６、テーブル移動径路の上方において昇降可能、かつ、その回転軸心方向である左右水平方向に位置変更可能に配備された回転ブレード７などを備えており、所定切断高さまで下降されて回転駆動される回転ブレード７に対して、チャックテーブル１に保持された基板ｗを所定ストロークで前後に往復移動させ、かつ、基板ｗの往動および復動のつど、回転ブレード７をその回転軸心方向に所定ピッチずつ位置変更することで、所定ピッチでの平行切断を行い、その後、基板ｗを９０度姿勢変更して同様な平行切断を行うことで、基板ｗを格子状に切削切断するようになっている。
【００２８】
基板切断処理に際しては、図示されていないノズルなどによって切削箇所に切削水を供給して、切削粉の排除と切削箇所の冷却を行うものであり、回転ブレード７によって飛散された切削水や切削粉が駆動機構５に降りかかるのを防止するために、防水防塵用の蛇腹機構１０が装備される。
【００２９】
蛇腹機構１０は、駆動機構５を収容した固定台枠６の前端部と可動台２の前端部との間、及び、固定台枠６の後端部と可動台２の後端部との間にそれぞれ前後方向に伸縮自在に装備され、可動台２の前後移動に拘わらず常に駆動機構５が防水囲繞されるようになっている。
【００３０】
図２に示すように、蛇腹機構１０は、防水性のシート材を所定の折り線に沿って折り曲げることで、第１面蛇腹部１０Ｕの左右から一対の第２面蛇腹部１０Ｓ、１０Ｓが下向きに延出された門形に形成されており、図３Ａに、展開したシート材１１の一部が示されている。なお、図３Ａにおいて、山折り線Ｒは一点鎖線で、また、谷折り線Ｖは破線でそれぞれ表されている。
【００３１】
シート材１１には、第１面蛇腹部１０Ｕの峰部を形成する複数の第１山折り線Ｒ１が、伸縮方向である前後方向に一定間隔をもって互いに平行に形成されるとともに、第２面蛇腹部１０Ｓの峰部を形成する第２山折り線Ｒ２が第１山折り線Ｒ１に屈折点ａを介して一連に形成されている。蛇腹の伸縮方向に隣接する第１山折り線Ｒ１、Ｒ１の間の中央位置には、第１面蛇腹部１０Ｕの谷底部を形成する第１谷折り線Ｖ１がそれぞれ平行に形成されるとともに、蛇腹の伸縮方向に隣接する第２山折り線Ｒ２、Ｒ２の間の中央位置には、第２面蛇腹部１０Ｓの谷底部を形成する第２谷折り線Ｖ２がシート端から所定長さに亘ってそれぞれ平行に形成されている。蛇腹の伸縮方向に隣接する屈折点ａ同士は第３山折り線Ｒ３で繋がれている。第２谷折り線Ｖ２の内方端ｂと第３山折り線Ｒ３の中点ｃに亘って第４山折り線Ｒ４が形成されるとともに、第２谷折り線Ｖ２の内方端ｂと屈折点ａとに亘って第３谷折り線Ｖ３が形成されている。屈折点ａそれぞれは、第１山折り線Ｒ１の長手方向同一位置に配置されている。第３山折り線Ｒ３は、所定の屈折角度αをもって横外方向に屈折配置されている。第３山折り線Ｒ３と屈曲角度αとについてさらに詳細に説明する。
【００３２】
隣接する第３山折り線Ｒ３どうしは一直線上に配列されることなく、中点ｃで屈折した状態で連結されている。すなわち、中点ｃは隣接する屈折点ａを結ぶ線上より第２谷折り線Ｖ２側に変位した位置にあり、隣接する第３山折り線Ｒ３どうしは横外方向に屈折された状態で連結されている。これにより、第３山折り線Ｒ３それぞれは、隣接する屈折点ａを結ぶ線に対して傾斜する向きに配置されている。屈折角度αは隣接する屈折点ａ，ａを結ぶ線と第３山折り線Ｒ３とでなされる内角となる。
【００３３】
本実施の形態では、屈折角度αは１５度に設定されている。第３谷折り線Ｖ３は、第３山折り線Ｒ３に対して４５度の内角βをもって形成されている。さらには第４山折り線Ｒ４と第３山折り線Ｒ３との間に形成される内角γは３０度（４５度未満）となっている。これにより第４山折り線Ｒ４の長さは第３山折り線Ｒ３の長さより大きいものとなっている。
【００３４】
以上の形状設定により本実施形態では、図４〜６に示すように、シート材１１を各山折り線Ｒ１〜Ｒ４，谷折り線Ｖ１〜３に沿って折り曲げて形成した蛇腹機構１０は第１面蛇腹部１０Ｕの稜線（第１の山折り線Ｒ１）と第２面蛇腹部１０Ｓの稜線（第２の山折り線Ｒ２）とが直交し、かつ、第１面蛇腹部１０Ｕの谷底部のおける外端となる第３山折り線Ｒ３の中点ｃが、第２山折り線Ｒ２より外側、すなわち第２面蛇腹部１０Ｓより横外方に突出した状態となっている（図６を参照）。
【００３５】
このように構成された本実施形態では、第１面蛇腹部１０Ｕの稜線と第２面蛇腹部１０Ｓの稜線とが直交する構成において屈折角度αを最適値（１５度）に設定した構成となっている。以下、本実施形態の蛇腹機構１０が伸縮される際の要部の作動状態について図７Ａを参照して説明する。図７Ａは屈折点ａ、中点ｃを単純に前後方向に平行移動させて作図したものである。なお図中、ａ'、ｂ'、ｃ'は、移動途中の屈折点ａ、内方端ｂ、中点ｃを示している。
【００３６】
蛇腹を最も圧縮した状態では、第２面蛇腹部１０Ｓの上端部に形成される三角形状の折込み部１２の稜線、つまり、第４山折り線Ｒ４は第１面蛇腹部１０Ｕにおける谷底線（第１谷折り線Ｖ１）に対して内下がりに傾斜した姿勢にあり、蛇腹の伸展に伴って折込み部１２の稜線（第４山折り線Ｒ４）は更に外上がりに傾斜してゆくとともに、稜線（第４山折り線Ｒ４）の内方端、つまり、第２面蛇腹部１０Ｓの谷底部が横外方に移動してゆく。
【００３７】
この場合、折込み部１２における内方端ｂと中点ｃとの距離Ｌの変化は極めて少ないものとなっている。換言すれば、蛇腹機構１０が伸縮される際に折込み部１２の稜線（第４山折り線Ｒ４）に作用する応力は少ないものとなり、その分、伸縮に対する耐久性が高いものとなる。
【００３８】
図３Ｂには、屈折角度α＝２０度、内角β＝４５度となった本実施形態の第１の変形例である蛇腹機構１０を構成するシート材の展開平面図が、図３Ｃには、屈折角度α＝２５度、内角β＝４５度となった本実施形態の第２の変形例である蛇腹機構１０を構成するシート材の展開平面図が、図３Ｄには、屈折角度α＝５度、内角β＝４５度となった本実施形態の第３の変形例である蛇腹機構１０を構成するシート材の展開平面図がそれぞれ示されている。また、図７Ｂには、屈折角度α＝２０度、内角β＝４５度となった本実施形態の第１の変形例である蛇腹機構１０が伸縮される際の要部の作動状態が、図７Ｃには、屈折角度α＝２５度、内角β＝４５度となった本実施形態の第２の変形例である蛇腹機構１０が伸縮される際の要部の作動状態が、図７Ｄには、屈折角度α＝５度、内角β＝４５度となった本実施形態の第３の変形例である蛇腹機構１０が伸縮される際の要部の作動状態がそれぞれ示されている。
【００３９】
これらのデータから明らかなように、本発明の第１の実施形態、ならびにその第１〜第３の変形例では、同様の効果（蛇腹伸縮に伴う変形応力の抑制）が得られるものの、折込み部１２における内方端ｂと中点ｃとの距離Ｌの蛇腹伸縮に伴う作図上の長さ変化は、第３山折り線Ｒ３の屈折角度αによって変動し、図３Ａに示す構成、すなわち、屈折角度α（＝１５度）の構成において上記長さ変化が最も少なく、屈折角度αが１５度より大きくても小さくても上記長さ変化が大きくなって、蛇腹伸縮に伴う変形応力の発生が若干ながら大きくなる。このことから明らかなように、第１面蛇腹部１０Ｕの稜線（第１山折り線Ｒ１）と第２面蛇腹部１０Ｓの稜線（第２山折り線Ｒ２）とが屈折点ａを中心にして直交する（９０度で交わる）構成においては、５〜２５度の屈折角度αにおいて、蛇腹伸縮に伴う変形応力発生を抑制する効果が得られ、１５度の屈折角度αが最適値となる。なお、防水性のシート材を屈折成形する蛇腹機構１０では、ある程度の成形誤差が生じるは避けられない。そのため、成形誤差を考慮すると、上述した屈折角度αの範囲（５〜２５度）は、３〜２７度とすることができ、このような屈折角度αの範囲（３〜２７度）においても上述した効果が得られる。また、第１の実施形態やその第１〜第３の変形例では、第１面蛇腹部１０Ｕの稜線と第２面蛇腹部１０Ｓの稜線とが直交する構成となっており、３〜２７度の屈折角度αの範囲や、５〜２５度の屈折角度αの範囲や、１５度の屈折角度αは、このような直交構成における最適値である。
【００４０】
第１の実施形態では、第１面蛇腹部１０Ｕの左右から第２面蛇腹部１０Ｓが直角下方に延出されて、第１面蛇腹部１０Ｕにおける谷部の左右端が第２面蛇腹部１０Ｓよりも横外方に突出された仕様となっているが、基板切断装置に実際に装備するに際しては、既存の付属装置などの寸法仕様に対応する必要があり、それに対応した第２の実施形態が図８〜図１０に示されている。
【００４１】
第２の実施形態では、第３山折り線Ｒ３の屈折角度α、内角β、及び折込み部１２の内角γは、α≒１３度＜１５度、β＜４５度、γ＜４５度である。また、図９に示すように、蛇腹機構１０を屈曲成形した際に、折込み部１２における稜線である第４山折り線Ｒ４及び第３山折り線Ｒ３の外端位置（中点ｃ）と、第２面蛇腹部１０Ｓにおける稜線である第２山折り線Ｒ２の下端位置ｄとを比較すると、前者が後者より第１面蛇腹部１０Ｕの幅方向の内側（第１山折り線線Ｒ１の長手方向の内側）に位置するよう仕様設定されている。従って、後述するガイドレール１５に対して、第４山折り線Ｒ４の外端位置（中点ｃ）が接触しないように構成されている。また、折り曲げ成形した状態において、屈折点ａを中心として、第２面蛇腹部１０Ｓの稜線（第２の山折り線Ｒ２）が第１面蛇腹部１０Ｕの稜線（第１の山折り線Ｒ１）に対して９０度より大きい角度で屈折するようになっている（図９を参照）。
【００４２】
このように仕様設定された蛇腹機構１０では、折込み部１２の稜線長さ、つまり、図示はしていないが、内方端ｂと中点ｃとの距離の作図上の長さ変化は、第３山折り線Ｒ３の屈折角度αがα＝１５度の場合に比べて若干ながら大きくなる（図７Ａ（ｂ）を参照）。このため、蛇腹伸縮に伴う折込み部１２での応力は若干ながら大きくなるが、実用上での耐久性は十分であり、２００万回を越える伸縮に対してもピンホールの発生が見られないことが確認されている。
【００４３】
図１０に示すように、この実施形態では、蛇腹機構１０の上下及び前後方向での撓み変形を防止するために、伸縮ピッチごとに、金属板あるいは硬質樹脂材板からなる門形の中間板１３がシート材の裏面にカシメ付け装備され、かつ、これら中間板１３を介して耐摩耗性の樹脂材からなるスライド部材１４が装着されている。そして、金属板材を屈折してなる前後に長いガードレール１５が、第２面蛇腹部１０Ｓの横側方及び下側方を覆うように前後水平に固定配備されており、このガードレール１５でスライド部材１４を摺接案内することで、蛇腹機構１０の伸縮作動に伴って左右に振れ動くことが防止されている。なお、第２面蛇腹部１０Ｓが第１面蛇腹部１０Ｕに対して９０度より大きい角度で屈折して、蛇腹機構１０全体が下拡がりの門形となるこの実施形態では、蛇腹機構１０の伸展作動に伴って第２面蛇腹部１０Ｓの稜線が左右内方に変形されることになるので、中間板１３の横外端１３ｅを第２面蛇腹部１０Ｓの稜線から内方に逃がした形状とし、第２面蛇腹部１０Ｓの稜線が内方に変形することを許容するようにしている。
〔他の実施例〕
【００４４】
本発明は、以下のような形態で実施することもできる。
【００４５】
（１）必要に応じて、蛇腹機構１０の伸縮ピッチごとに、ステンレス板などの鎧板（スラッツ）を装備して順次積層し、蛇腹機構１０に切削液や切削粉が直接に降り掛かることを抑制する形態で実施することもできる。
【００４６】
（２）上述した実施形態の蛇腹機構１０では、第１面蛇腹部１０Ｕの左右から一対の第２面蛇腹部１０Ｓ、１０Ｓが下向きに延出された門形に形成されていた。しかしながら、図示はしないが、第２面蛇腹部１０Ｓの左右から一対の第１面蛇腹部１０Ｕ、１０Ｕが下向きに延出された門形に形成されていてもよい。
【００４７】
（３）上述した実施形態の蛇腹機構１０では、第１面蛇腹部１０Ｕを蛇腹機構１０の上方に配置し、第２面蛇腹部１０Ｓ、１０Ｓを側方に配置していた。しかしながら、図示はしないが、蛇腹機構１０の向きを９０度回転させて、第１面蛇腹部１０Ｕを蛇腹機構１０の側方に配置し、一方の第２面蛇腹部１０Ｓを蛇腹機構１０の上方に、他方の第２面蛇腹部１０Ｓを蛇腹機構１０の下方に配置してもよい。
【００４８】
（４）本発明に係る蛇腹機構１０は、基板切断装置のみならず、その他の防水や防塵が要求される以下に例示する装置に対しても同様に適用することができる。すなわち、エレクトロニクスの分野では、基板を研磨する研磨装置、塗布装置、露光装置、現像装置、基板に装着された電子部品が樹脂封止された樹脂封止済み基板を切断する切断装置などにおいて本発明に係る蛇腹機構１０を適用することができる。機械加工の分野では、マシニングセンタ、研削盤、旋盤、研磨装置などにおいて本発明に係る蛇腹機構１０を適用することができる。医療の分野では、ＣＴスキャナ（Computed Tomography Scanner）、ＭＲＩ(magnetic resonance imaging)装置などにおいて本発明に係る蛇腹機構１０を適用することができる。その他、特定の分野に限定されない装置として、洗浄装置、搬送装置、試験装置、乾燥装置などにおいても本発明に係る蛇腹機構１０を適用することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１              チャックテーブル
２              可動台
５              駆動機構
６              固定台枠
７              回転ブレード
１０            蛇腹機構
１０Ｕ          第１面蛇腹部
１０Ｓ          第２面蛇腹部
１２            折込み部
ａ              屈折点
ｂ              内端点
ｃ              中点
α              屈折角度
β              内角
γ              内角
Ｒ１            第１山折り線
Ｒ２            第２山折り線
Ｒ３            第３山折り線
Ｒ４            第４山折り線
Ｖ１            第１谷折り線
Ｖ２            第２谷折り線
Ｖ３            第３谷折り線
【図１】
0005918197.tif 000002
【図２】
0005918197.tif 000003
【図３Ａ】
0005918197.tif 000004
【図３Ｂ】
0005918197.tif 000005
【図３Ｃ】
0005918197.tif 000006
【図３Ｄ】
0005918197.tif 000007
【図４】
0005918197.tif 000008
【図５】
0005918197.tif 000009
【図６】
0005918197.tif 000010
【図７Ａ】
0005918197.tif 000011
【図７Ｂ】
0005918197.tif 000012
【図７Ｃ】
0005918197.tif 000013
【図７Ｄ】
0005918197.tif 000014
【図８】
0005918197.tif 000015
【図９】
0005918197.tif 000016
【図１０】
0005918197.tif 000017
【図１１】
0005918197.tif 000018
【図１２】
0005918197.tif 000019
【図１３】
0005918197.tif 000020
【図１４】
0005918197.tif 000021