(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
個片化物を真空吸着するための吸着孔を有する弾性体から成るシートであって、
該シートと一体に形成された、前記吸着孔を完全に囲繞し、前記個片化物が載置された状態で前記吸着孔から空気が吸引されると弾性変形して該個片化物との接触面積が大きくなり、前記吸着孔からの空気の吸引が解除されると弾性復元力により該個片化物を押し上げて該個片化物との接触面積が小さくなる突出部
を有することを特徴とする個片化装置用真空吸着シート。
【請求項２】
前記個片化物が平坦な下面を有することを特徴とする請求項１に記載の個片化装置用真空吸着シート。
【請求項３】
前記突出部の前記シート垂直方向の断面が半円形であることを特徴とする請求項１又は２に記載の個片化装置用真空吸着シート。
【請求項４】
個片化物を真空吸着するための吸着孔を有する弾性体から成るシートであって、
前記吸着孔の周囲のシート面上に該シートと一体に設けられた突出部であって、前記吸着孔から空気が吸引されると前記周囲のシート面に埋没して前記個片化物と前記周囲のシート面との接触面積が大きくなるように弾性変形し、前記吸着孔からの空気の吸引が解除されると弾性復元力により該個片化物を押し上げて該個片化物との接触面積が小さくなる突出部
を有することを特徴とする個片化装置用真空吸着シート。
【請求項５】
前記個片化物が平坦な下面を有することを特徴とする請求項４に記載の個片化装置用真空吸着シート。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の個片化装置用真空吸着シートを用いた、個片化物を吸着固定するための固定治具を製造する方法であって、
a) 前記突出部を反転した形状の凹部が底面に設けられた、前記真空吸着シートに対応したキャビティを有する型の前記キャビティに常温硬化性液状樹脂を供給する成型工程と、
b) 前記キャビティに前記常温硬化性液状樹脂が供給された前記型の型面に、吸気用貫通路を有するベースを位置決めしつつ当接させる当接工程と、
c) 前記常温硬化性液状樹脂を常温で硬化させる硬化工程と、
d) 離型により前記ベースの上に前記シートを形成する離型工程と、
e) 前記吸気用貫通路を通じて前記シートを穿孔することにより前記シートに前記吸着孔を作製する吸着孔作製工程と、
を有することを特徴とする固定治具製造方法。
【請求項７】
前記キャビティの前記底面に井桁状の溝を設けることにより前記凹部が形成されることを特徴とする請求項６に記載の固定治具製造方法。
【請求項８】
前記キャビティの前記底面に梨地加工が施されていることを特徴とする請求項６に記載の固定治具製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、個片化装置において個片化物を吸着固定するための固定治具に用いられる真空吸着シート、及びそれを用いた固定治具の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を格子状の複数の領域に区画して、各々の領域にチップ状の電子素子を装着した後、該基板全体を樹脂封止したものを樹脂封止体という。この樹脂封止体を回転刃等を用いて切断し、各領域単位に個片化したものが電子部品となる。
【０００３】
多数の電子素子を一体封止した樹脂封止体を個片化し、各電子素子を含む個々の電子部品を製造するための装置は、樹脂封止体の切断工程、前記切断工程により得られた電子部品の洗浄工程、乾燥工程、検査工程等の各工程に対応した複数の製造ユニットが工程順に連結されて成る。これらの複数の製造ユニットの間で個片化された電子部品を受け渡しするために、個片化された電子部品を吸着固定するための固定治具がそれぞれ設けられている。固定治具は、移動及び回動自在なベースと、該ベースに固定されたゴム等の弾性体から成る真空吸着シートで構成され、真空吸着シートには電子部品を各別に真空吸着するための吸着孔が形成されている。各々の吸着孔は、ベースの内部に設けられた吸気用貫通路、及びベースの外部に設けられた排気路を経由して排気ポンプに連通している。該排気路の途中には排気弁が設けられており、また、排気路において該排気弁よりも吸着孔に近い位置には排気路内を外部に開放するための開放弁が設けられている。これらの排気弁及び開放弁を開閉することによって、電子部品を固定治具の真空吸着シートに吸着固定したり、或いは真空吸着シートから取り除くことができるようになっている（特許文献１及び２）。
【０００４】
上述した固定治具の真空吸着シートに電子部品を吸着固定するためには、まず、個片化された電子部品を、各吸着孔を覆うように真空吸着シートに載置する。次に、上述した開放弁を閉じると共に排気弁を開き、吸着孔を排気ポンプに連通させる。すると、吸着孔に連通する排気路を排気ポンプが真空吸引し、吸着孔の内部が減圧状態となるため、電子部品が真空吸着により真空吸着シートに吸着固定される。一方、電子部品の吸着を解除するためには、排気弁を閉じるとともに開放弁を開くことによって吸着孔の内部を大気開放する。これにより、電子部品を真空吸着シートから取り除くことができるようになる。
樹脂封止体を各領域単位に切断し、電子部品を製造する際にもこの真空吸着シートによる吸着が用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2003-203830号公報
【特許文献２】特開2007-201275号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したような従来の真空吸着シートでは、電子部品を洗浄するための洗浄液等によって真空吸着シートが濡れてしまうと、電子部品を真空吸着シートに吸着固定した際に電子部品と真空吸着シートとの接触面に液膜が形成され、表面張力による吸着力が発生する。一方、真空吸着シートが乾燥していると、電子部品の吸着固定及び吸着解除を繰り返すうちに真空吸着シートが静電気を帯びることがあり、その場合、電子部品と真空吸着シートとの接触面に静電気による吸着力が発生する。いずれにせよ、こうした意図しない吸着力が発生することにより、真空吸着を解除したにも拘わらず電子部品が真空吸着シートに吸着されたままとなってしまい、その電子部品が次の工程に移送されないという問題があった。
【０００７】
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、真空吸着を解除した際には個片化物の吸着が確実に解除され、個片化物を次の工程に確実に移送することが可能な個片化装置用真空吸着シートを提供することにある。また、該シートを用いた固定治具の製造方法も提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために成された本発明に係る個片化装置用真空吸着シートの第一の態様のものは、個片化物を真空吸着するための吸着孔を有する弾性体から成るシートであって、
該シートと一体に形成された、前記吸着孔を完全に囲繞し、前記個片化物が載置された状態で前記吸着孔から空気が吸引されると弾性変形して該個片化物との接触面積が大きくなり、前記吸着孔からの空気の吸引が解除されると弾性復元力により該個片化物を押し上げて該個片化物との接触面積が小さくなる突出部
を有することを特徴とする。
【０００９】
上述した「個片化物」には、例えば各種の基板、該基板に電子素子等を装着したもの、それを樹脂封止したもの等を個片化したものを含む。
【００１０】
本発明に係る個片化装置用真空吸着シート（以下、単に「真空吸着シート」という）の第一の態様のものに個片化物を載置し、吸着孔から空気を排出し始めると、突出部は吸着孔を完全に囲繞しているため、吸着孔の上の空間は個片化物と突出部により閉じられ、真空吸引が行われるようになる。真空吸引を継続してゆくと、個片化物は突出部に押し付けられ、突出部は弾性変形して両者の接触面積が広がる。これにより吸着孔と個片化物の間の密着はより完全なものとなり、確実な個片物の真空吸着が行われる。
吸着孔に空気を導入することにより真空吸着を解除すると、突出部がその弾性により元の形に戻り、個片化物を押し上げる。また、個片化物と突出部の接触面積が小さくなるため、たとえ両者間に液膜が存在していたり、両者間に静電気力が働いていたとしても、それらの力は小さく、個片化物は容易に真空吸着シートから取り外すことができるようになる。
【００１１】
また、本発明に係る個片化装置用真空吸着シートの第二の態様のものは、個片化物を真空吸着するための吸着孔を有する弾性体から成るシートであって、
前記吸着孔の周囲のシート面上に該シートと一体に設けられた突出部であって、前記吸着孔から空気が吸引されると前記周囲のシート面に埋没して前記個片化物と前記周囲のシート面との接触面積が大きくなるように弾性変形し、前記吸着孔からの空気の吸引が解除されると弾性復元力により該個片化物を押し上げて該個片化物との接触面積が小さくなる突出部
を有することを特徴とする。
【００１２】
本態様に係る真空吸着シートに設けられる突出部は、前記態様のものとは異なり、吸着孔を完全に囲繞する必要はない。点状のものでもよいし、線状や或る程度の広さを有する面状のものでもよい。個数は一個でも良いし、複数個であってもよい。なお、上記のような特性を有するものであれば、吸着孔を完全に囲繞するものであってもよい。
【００１３】
本態様に係る真空吸着シートでは、個片化物を吸着孔の上部に載置し、吸着孔から空気を排出して真空吸引を行うと、個片化物が押し付けられることにより突出部が変形し、吸着孔の周囲のシート面に埋没する。これにより、個片化物が吸着孔の周囲のシート面と接触し、真空吸着が完全に行われるようになる。
吸着孔に空気を導入することにより真空吸着を解除すると、突出部がその弾性により元の形に戻り、個片化物を押し上げる。また、突出部が吸着孔を完全に囲繞するものではない場合、個片化物と吸着孔の周囲のシート面の間に隙間ができ、真空吸着がより確実に解除される。突出部が吸着孔を完全に囲繞するものである場合も、前記第一の態様と同様の作用により、真空吸引が解除された際、突出部の弾性復元力により個片化物が周囲のシート面から引き離され、個片化物は容易に取り外すことができるようになる。
【００１４】
本態様の真空吸着シートでは、最初に吸着孔から空気を排出する際に個片化物が早期に吸着孔の周辺のシート面に接触し、吸着されるようにするために、突出物はできるだけ低いものとしておくか、或いは、吸着孔を完全に囲繞した状態から少し空気逃げ部を設けたようなものとしておくことが望ましい。
【００１５】
上述した各態様に係る真空吸着シートを用いた、個片化物を吸着固定するための固定治具は、
a) 前記突出部を反転した形状の凹部が底面に設けられた、前記真空吸着シートに対応したキャビティを有する型の前記キャビティに常温硬化性液状樹脂を供給する成型工程と、
b) 前記キャビティに前記常温硬化性液状樹脂が供給された前記型の型面に、吸気用貫通路を有するベースを位置決めしつつ当接させる当接工程と、
c) 前記常温硬化性液状樹脂を常温で硬化させる硬化工程と、
d) 離型により前記ベースの上に前記シートを形成する離型工程と、
e) 前記吸気用貫通路を通じて前記シートを穿孔することにより前記シートに前記吸着孔を作製する吸着孔作製工程と、
を有する方法により製造することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る個片化装置用真空吸着シートでは、上述した第一及び第二のいずれの態様においても、個片化物の真空吸着を解除した際に、突出部がその弾性復元力により個片化物を押し上げ、個片化物と突出部の接触面積が小さくなり、或いは、個片化物と突出部の周囲のシート面の間の接触が解除されるため、たとえ両者間に液膜が存在していたり、両者間に静電気力が働いていたとしても、それらの力は小さく、個片化物は容易に真空吸着シートから取り外すことができる。即ち、真空吸着を解除したにも拘わらず個片化物がシートに吸着されたままとなるといったことがなく、個片化物を次の工程に確実に移送することが可能となる。
【００１７】
また、本発明に係る固定治具の製造方法では、真空吸着シートの突出部に対応する凹部が底面に設けられたキャビティ内で液状の樹脂を硬化させて該シートを作製するようにしたことにより、上述した各態様の真空吸着シートを用いた固定治具を容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施例１に係る真空吸着シートを備えた固定治具の斜視全体図。
【図２】図１におけるＡ−Ａ'線断面図。
【図３】（ａ）は実施例１に係る真空吸着シートに電子部品を載置した状態を示す縦断面拡大図、（ｂ）は電子部品を真空吸着した状態を示す縦断面拡大図である。
【図４】（ａ）は実施例１に係る真空吸着シートに電子部品を載置した状態を示す平面拡大図、（ｂ）は電子部品を真空吸着した状態を示す平面拡大図である。
【図５】実施例１の変形例に係る真空吸着シートに電子部品を載置した状態を示す平面拡大図。
【図６】本発明の実施例２に係る真空吸着シートを備えた固定治具の斜視拡大図。
【図７】図６におけるＢ−Ｂ’線断面図を示したものであり、（ａ）は真空吸着シートに電子部品を載置した状態を示す縦断面拡大図、（ｂ）は電子部品を真空吸着した状態を示す縦断面拡大図である。
【図８】実施例２に係る真空吸着シートの変形例を示す平面拡大図。
【図９】実施例２に係る真空吸着シートの他の変形例を示す平面拡大図。
【図１０】実施例１に係る真空吸着シートを製造するための型の斜視全体図。
【図１１】図１０におけるＣ−Ｃ'線断面図。
【図１２】実施例１に係る真空吸着シートを備えた固定治具を製造する工程を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面に基づき、本発明に係る真空吸着シートの各実施例について説明する。
【実施例１】
【００２０】
図１及び図２を参照して、本発明の第１の実施例（実施例１）に係る真空吸着シート２の構成について説明する。本実施例の真空吸着シート２は、多数の個片化された電子部品を一度に洗浄、検査等するために用いられる固定治具１において、金属製のベース３上に載置固定されて使用されるものである。真空吸着シート２は、ベース３の上面から突出した突出面３１を覆うように設けられる。
【００２１】
真空吸着シート２は、シリコーン系樹脂又はフッ素系樹脂をシート状に成型したものであり、そのシート面には対象とする電子部品に対応した形状の空間である収容部２３が格子状に形成されている。本実施例では各収容部２３は格子状の境界２６によって互いに分離して設けられているが、個片化する前の樹脂封止体を切断して各電子部品を個片化する際に用いられる真空吸着シートではこの境界２６は設けられていない。なお、収容部２３の配置及び数が図１のものに限定されるものではないことは明らかである。各収容部２３の底面には吸着孔２４が設けられており、各吸着孔２４がベース３の後述する吸気用貫通路３２とそれぞれ一致するように、真空吸着シート２がベース３の突出面３１に接着固定されている。本実施例の真空吸着シート２では、各収容部２３の底面に、吸着孔２４を取り囲むように井桁状の、断面が半円状の突出部２５が形成されている。
【００２２】
図２に示すように、ベース３の各吸気用貫通路３２は、それぞれに設けられた個別排気管及びそれらをまとめた排気管５１を通じて排気ポンプ５０に接続されている。排気管５１には排気弁５２が設けられており、排気弁５２よりも上流（吸着孔２４）側には開放弁５３が設けられている。
【００２３】
真空吸着シート２の使用形態について、図３を参照して説明する。真空吸着シート２の各収容部２３に、平坦な下面４１を有する電子部品４０を収容すると、電子部品４０が吸着孔２４の上部に載置された状態となる。このとき、突出部２５が吸着孔２４を完全に囲繞していることにより、吸着孔２４の上の空間３０は電子部品４０の下面４１と井桁状の突出部２５により閉じられる（図３（ａ））。この状態で排気弁５２を開くとともに開放弁５３を閉じて排気ポンプ５０を作動させると、吸着孔２４上部の空間から空気が排出され、電子部品４０の真空吸着が行われるようになる。空気の排出（真空吸引）を継続してゆくと、電子部品４０の下面４１は突出部２５に押し付けられ、突出部２５は弾性変形して両者の接触面積が広がる（図３（ｂ））。これにより吸着孔２４と電子部品４０の間の密着はより完全なものとなり、確実な電子部品４０の真空吸着が行われる。
【００２４】
電子部品４０の真空吸着を解除する場合には、排気弁５２を閉じるとともに、開放弁５３を開く。これにより、吸着孔２４上部の空間に空気が導入され、電子部品４０の真空吸着が解除される。すると、突出部２５がその弾性復元力により元の形に戻り（即ち、図３（ｂ）の状態から図３（ａ）の状態に戻り）、電子部品４０を押し上げる。従って、電子部品４０の下面４１と突出部２５の間の接触面積が小さくなるため、たとえ両者間に液膜が存在していたり、両者間に静電気力が働いていたとしても、それらの力は小さく、電子部品４０は容易に真空吸着シート２から取り外すことができるようになる。すなわち、これらの電子部品４０を別の固定治具を用いて吸着した際、一つの電子部品４０も残すことなく吸着することができるようになる。
【００２５】
図４（ａ）は、真空吸着シート２の収容部２３に電子部品４０を収容した状態を示す平面拡大図である。図中の点線は電子部品４０の輪郭を示す。上述したように真空吸着シート２の突出部２５の断面は半円状であるため、電子部品４０を収容部２３に収容した状態では、電子部品４０の下面４１は突出部２５の頂部と接触し、両者の接触部分７０は線状となる。一方、電子部品４０を真空吸着すると、電子部品４０の下面４１が突出部２５に押し付けられることにより、線状であった両者の接触部分７０は面状となる（図４（ｂ））。
【００２６】
なお、突出部２５の形状は井桁状に限定されるものではなく、例えば図５に示されるように、環状（突出部２５Ａ）としてもよい。また、突出部２５、２５Ａの断面は半円の他に、三角形や台形等であってもよい。
【実施例２】
【００２７】
本発明の第２の実施例（実施例２）に係る真空吸着シート２Ａを備えた固定治具１Ａの斜視拡大図を図６に示す。本実施例に係る真空吸着シート２Ａでは、収容部２３Ａの底面に半球状の突出部２８が一個形成されている。突出部２８は、真空吸着シート２Ａの弾性及び真空吸引の強さを考慮して、吸着孔２４Ａから真空吸引を開始した後、短時間のうちに該突出部２８がシート面の方に押し付けられ、埋没するように、できるだけ低くしておく。なお、突出部２８は多角錘状、多角柱状、円柱状等であってもよい。
【００２８】
この真空吸着シート２Ａの使用形態について、図６を参照して説明する。真空吸着シート２Ａの収容部２３Ａに下面４１が平坦である電子部品４０を収容すると、その下面４１が突出部２８の頂部と接触することになるため、電子部品４０が傾いた状態で吸着孔２４Ａの上部に載置される（図７（ａ））。なお、上述したように突出部２８は低く設けられているため、電子部品４０の下面４１と真空吸着シート２Ａのシート面の間に形成される隙間は小さい。従って、前述した実施例１と同じく吸着孔２４Ａから空気を排出して真空吸引を行うと、電子部品４０の下面４１が真空吸着シート２Ａのシート面に早期に吸着される。そして、電子部品４０が押し付けられることにより突出部２８が変形し、吸着孔２４Ａの周囲のシート面に埋没する（図７（ｂ））。これにより、電子部品４０の下面４１が吸着孔２４Ａの周囲のシート面と接触し、真空吸着が完全に行われるようになる。
【００２９】
吸着孔２４Ａの上部の空間に空気を導入することにより真空吸着を解除すると、突出部２８がその弾性復元力により元の形に戻り（即ち、図７（ｂ）の状態から図７（ａ）の状態に戻り）、電子部品４０を押し上げる。これにより、真空吸着がより確実に解除され、電子部品４０は容易に取り外すことができるようになる。
【００３０】
図８は、実施例２の真空吸着シートの他の態様を示したものである。本態様では、Ｃ字型の突出部２８Ｂが吸着孔２４Ｂを囲むように設けられている。即ち、突出部２８Ｂは、吸着孔２４Ｂを囲繞する環の一部を切除した形状とすることにより空気逃げ部２９を設けた形状とする。また、上述した真空吸着シート２Ａの突出部２８と同様に、突出部２８Ｂはできるだけ低く設ける。これらのことにより、真空吸着シートにおいても、最初に吸着孔２４Ｂから空気を排出する際に電子部品４０の下面４１が早期に吸着孔２４Ｂの周辺のシート面に接触し、吸着される。
【００３１】
図９は、実施例２の真空吸着シートの更に他の態様を示したものである。本態様では、突出部２８Ｃを非常に小さなものとし、シート面全面に多数形成したものである。すなわち、このような突出部２８Ｃは、収容部２３Ｃの底面を梨地とすることによって実現することができる。
【００３２】
なお、上述した実施例１及び２において、電子部品４０の下面４１は平坦であるとしたが、電子部品４０の下面は必ずしも平坦である必要はない。電子部品４０を真空吸着シート２のシート面に吸着可能であるとともに、該シート面に設けられた突出部により弾性的に押し上げ可能であれば、電子部品４０の下面は例えば曲面状であったり、小さな突出物を有していてもよい。
【００３３】
次に、上述した実施例１の真空吸着シート２を備えた固定治具を製造する方法について図１０〜１２を参照して以下に説明する。図１０は真空吸着シート２を作製するための型１０の斜視全体図であり、図１１は該型１０のＣ−Ｃ’線縦断面図であり、図１２は真空吸着シート２を備えた固定治具１の製造工程を示す図である。なお、実施例２の真空吸着シートを備えた固定治具を製造する方法も、以下に説明する製造方法と基本的には同じである。
【００３４】
型１０は、１枚の真空吸着シート２に対応したキャビティ１４を有している。キャビティ１４の底面には、収容部２３に対応する形状を有する凸部１１が設けられており、凸部１１の表面には、突出部２５に対応する井桁状の溝である断面半円状の凹部１２が形成されている。凸部１１と凸部１１の間の境界溝１５は、真空吸着シート２における格子状の境界２６に対応している。キャビティ１４の開口はベース３の突出面３１と略同一の矩形状である。
【００３５】
まず、シリコーン系又はフッ素系の常温硬化性液状樹脂２０（以下、単に「樹脂２０」という）を型１０のキャビティ１４に流し込む（図１２のステップＳ１）。このとき、樹脂２０の液面が型１０の型面１３を上回るようにする。次に、真空デシケータ６１の中に前記型１０を入れ、常温、約100kPaの条件下で20分間静置することにより、樹脂２０の内部の気泡５４を除去する（ステップＳ２）。更に、ベース３の突出面３１に予めプライマーを塗布しておき、突出面３１をキャビティ１４の開口に挿入しつつ、型１０の型面１３にベース３を当接する（ステップＳ３）。突出面３１をキャビティ１４に挿入することによって型面１３に対するベース３の位置が決まる。
【００３６】
このように型１０の型面１３にベース３を当接すると、突出面３１によりキャビティ１４内部の樹脂２０に圧が加わることにより、樹脂２０がベース３の吸気用貫通路３２に入り込み、ベース３の裏側にまで溢れ出る。この状態で型１０及びベース３を24時間常温放置し、樹脂２０を硬化させる（図１２のステップＳ４）。樹脂２０が完全に硬化したら、型１０及びベース３をオーブン６２に入れ、100℃で1時間加熱する（ステップＳ５）。これにより、ベース３の突出面３１に塗布したプライマーが硬化し、樹脂２０が突出面３１に強固に接着する。なお、樹脂２０のベース３への接着は、充分な接着強度が得られるのであれば樹脂２０の硬化により生ずる自然接着でも構わず、この場合、プライマーの塗布及び接着工程は不要となる。
【００３７】
その後、ベース３の裏側に達していた樹脂２０を除去するとともに、型１０を外す（図１２のステップＳ６）。これにより、真空吸着シート２がベース３の突出面３１上に現れる。最後に、吸気用貫通路３２を通じてドリルで穿孔し、該吸気用貫通路３２の内部で硬化した樹脂２０を除去するとともに真空吸着シート２に吸着孔２４を作製する（ステップＳ７）。こうして実施例１に係る真空吸着シート２を備えた固定治具１が得られる。
【００３８】
実施例２の真空吸着シートを備えた固定治具を作製する場合においても、各突出部に対応する形状の凹部を底面に有するキャビティ１４を型１０に設け、上記同様の方法で製造すればよい。図９に示した真空吸着シートのように多数の低く小さな突出部２８Ｃを設けたい場合は、型１０のキャビティ１４の凸部１１の表面を梨地とする。
【００３９】
樹脂２０を型１０に供給する前に、該樹脂２０に炭素粉末を添加しておくことにより、得られる真空吸着シートに導電性を持たせるようにしてもよい。このような真空吸着シートでは、電子部品の吸着固定及び吸着解除を繰り返すことにより発生する静電気を逃がすことができるため、静電気が電子部品４０内部の電子素子にダメージを与えることが防止される。また、キャビティ１４の底面に境界溝１５を設けない代わりに、該溝１５に対応する真空吸着シートの位置に機械加工で切り溝を設けることにより、樹脂封止体を回転刃等で切断して電子部品を製造する際に用いられる真空吸着シートを製造することもできる。
【符号の説明】
【００４０】
１…固定治具
１０…型
１１…凸部
１２…凹部
１３…型面
１４…キャビティ
１５…境界溝
２…真空吸着シート
２０…樹脂
２３…収容部
２４…吸着孔
２５、２８…突出部
２６…境界
２９…空気逃げ部
３…ベース
３１…突出面
３２…吸気用貫通路
４０…電子部品
５０…排気ポンプ
５１…排気管
５２…排気弁
５３…開放弁
７０…接触部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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