(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
分散型ジェット冷却を備えたシャーシ（１０）であって、
容積内に配置されている１つまたは複数の発熱部品を実質的に取り囲むように構成されている、前記容積を画定している第１および第２の側壁と、
前記第１および第２の側壁のそれぞれに熱的に結合されているアレイ状のフィン（１４）と、
前記アレイ状のフィンのそれぞれの側部（１５、１６）に配設されているマルチオリフィスシンセティックジェット（３０）または複数の単一オリフィスシンセティックジェット（２）を含むシンセティックジェット組立体（３０）と、
前記シンセティックジェット組立体のそれぞれを前記第１および第２の側壁のそれぞれに取り付けるための取付け手段（４、６、９、１１、２０、４４）と、
を備え、
前記第１の側壁に配設されているシンセティックジェット組立体（３０）は、前記第２の側壁の方向に向けて前記第１の側壁と平行にジェットを方向付ける、
シャーシ（１０）。
【請求項２】
前記シンセティックジェット組立体（３０）のうちの少なくとも１つが、複数の単一オリフィスシンセティックジェット（２）を含み、
前記側壁（１２）の少なくとも１つが、前記アレイ状のフィン（１４）の前記側部（１５、１６）の少なくとも１つに配設されている複数のスロット（８）を含み、
前記取付け手段が、前記スロットのうちのそれぞれの１つ内に挿入するように、かつそれぞれの前記単一オリフィスシンセティックジェットを前記スロットに固定するように構成されている、
請求項１に記載のシャーシ（１０）。
【請求項３】
前記シンセティックジェット組立体（３０）のうちの少なくとも１つが、複数の単一オリフィスシンセティックジェット（２）を含み、
前記取付け手段が、複数のクリップ（４）を含み、各前記クリップが屈曲部（５）を有し、
各前記単一オリフィスシンセティックジェットが、前記クリップのうちのそれぞれの１つに取り付けられており、
各前記クリップの前記屈曲部が、前記側壁（１２）のそれぞれに固定されている、
請求項１または２に記載のシャーシ（１０）。
【請求項４】
前記シンセティックジェット組立体（３０）のうちの少なくとも１つが、複数の単一オリフィスシンセティックジェット（２）を含み、
前記少なくとも１つの取付け手段が、複数の可撓性部分（６）を含み、
各前記単一オリフィスシンセティックジェットに少なくとも１つの可撓性部分が取り付けられており、
各前記可撓性部分が、前記側壁（１２）のそれぞれに固定されており、
前記単一オリフィスシンセティックジェット（２）の少なくとも１つが、前記フィン（１４）に対してある角度で配置されている、
請求項１から３のいずれかに記載のシャーシ（１０）。
【請求項５】
前記シンセティックジェット組立体（３０）のうちの少なくとも１つが、複数の単一オリフィスシンセティックジェット（２）を含み、
前記取付け手段が、フレーム（９）と、前記フレームに取り付けられておりかつそれから延在している複数のロッド（１１）とを含み、
各前記単一オリフィスシンセティックジェットが、前記ロッドの２つの隣接するロッドに取り付けられており、
前記取付け手段が、複数の可撓性部分（６）をさらに含み、
各前記単一オリフィスシンセティックジェットに少なくとも２つの可撓性部分が取り付けられており、
前記単一オリフィスシンセティックジェットが、前記可撓性部分により前記ロッド（１１）に取り付けられている、
請求項１から４のいずれかに記載のシャーシ（１０）。
【請求項６】
前記シンセティックジェット組立体（３０のうちの少なくとも１つ）が、複数の単一オリフィスシンセティックジェット（２）を含み、
前記取付け手段が、部分的密閉パッケージ（２０）を含み、
各前記単一オリフィスシンセティックジェットが、前記部分的密閉パッケージの内部に配設されており、
前記部分的密閉パッケージ（２０）が、第１の部分（２２）と第２の部分（２４）とを含み、
前記第１の部分が、前記単一オリフィスシンセティックジェット（２）のうちのそれぞれの１つを受容するように構成されている複数の開口部（２６）を画定しており、
前記第２の部分が、前記第１の部分に取り付けられて前記開口部を覆い、
前記部分的密閉パッケージ（２０）が、複数のガスケット（２８）をさらに含み、
各前記ガスケットが、前記開口部のうちのそれぞれの１つに配設されておりかつ前記単一オリフィスシンセティックジェット（２）のうちのそれぞれの１つを収容し、
前記部分的密閉パッケージが、前記側壁（１２）のうちのそれぞれの１つに取り付けられている、
請求項１から５のいずれかに記載のシャーシ（１０）。
【請求項７】
前記側壁（１２）の下側壁（４２）が、アレイ状のフィンを有しておらず、
前記取付け手段が、前記下側壁に取り付けられている少なくとも１つのプレート（４４）を含み、
前記単一オリフィスシンセティックジェット（２）の少なくとも１つが、前記プレートに取り付けられておりかつジェットを外側へ方向付けるように配置されており、
前記プレートが、前記側壁の隣接する１つ上の前記アレイ状のフィンに当たるように前記シャーシの隅部を曲がる前記ジェットを誘導するための少なくとも１つの屈曲部を有し、
前記取付け手段が、前記下側壁に取り付けられている少なくとも１つのプレート（４４）を含み、
前記単一オリフィスシンセティックジェット（２）の少なくとも２つが、前記プレートに取り付けられておりかつそれぞれの前記ジェットを反対方向に外側へ方向付けるように配置されており、
前記プレートが、前記側壁のうちのそれぞれの隣接する側壁上の前記アレイ状のフィンに当たるように前記シャーシのそれぞれの前記隅部を曲がる前記ジェットのうちのそれぞれの１つを誘導するための２つの屈曲部を有する、
請求項１から６のいずれかに記載のシャーシ（１０）。
【請求項８】
前記側壁（１２）の下側壁（４２）が、アレイ状のフィンを有しておらず、
前記取付け手段が、前記下側壁に取り付けられている少なくとも１つのプレート（４４）を含み、
前記単一オリフィスシンセティックジェット（２）の少なくとも１つが、前記プレートに取り付けられておりかつジェットを外側へ方向付けるように配置されており、
前記プレートが、前記側壁の隣接する１つ上の前記アレイ状のフィンに当たるように前記シャーシの隅部を曲がる前記ジェットを誘導するための少なくとも１つの屈曲部を有し、
前記取付け手段が、前記下側壁に取り付けられている第１のプレート（４４ａ）と第２のプレート（４４ｂ）とを含み、
前記単一オリフィスシンセティックジェット（２）の少なくとも１つが、前記第１のプレートに取り付けられておりかつ前記ジェットを第１の方向に外側へ方向付けるように配置されており、
前記単一オリフィスシンセティックジェット（２）の少なくとも１つが、前記第２のプレートに取り付けられておりかつ前記ジェットを第２の方向に外側へ方向付けるように配置されており、
各前記第１のプレートおよび前記第２のプレートが、前記側壁のうちのそれぞれの隣接する側壁上の前記アレイ状のフィンに当たるように前記シャーシのそれぞれの前記隅部を曲がるそれぞれの前記ジェットを誘導するための屈曲部を有する、
請求項１から７のいずれに記載のシャーシ（１０）。
【請求項９】
各前記マルチオリフィスシンセティックジェットが、
第１の可撓性構造（３２）と、
第２の可撓性構造（３４）と、
前記第１の可撓性構造および前記第２の可撓性構造のうちの少なくとも１つに結合されている少なくとも１つの能動材料（３６）と、
前記第１の可撓性構造と前記第２の可撓性構造との間に配置されておりかつチャンバを画定しているコンプライアント壁（３８）であって、前記チャンバと前記フィンの周囲空気との間の流体連通を容易にするための複数のオリフィス（３９）を画定しているコンプライアント壁（３８）と
を含む、
請求項１に記載のシャーシ（１０）。
【請求項１０】
分散型ジェット冷却を備えたシャーシ（１０）であって、
容積内に配置されている１つまたは複数の発熱部品を実質的に取り囲むように構成されている、前記容積を画定している第１および第２の側壁と、
前記第１および第２の側壁のうちのそれぞれの１つに熱的に結合されているアレイ状のフィン（１４）と、
前記アレイ状のフィンのうちのそれぞれの１つの側部（１５、１６）に配設されている複数の単一オリフィスシンセティックジェット（２）を含む少なくとも１つのシンセティックジェット組立体（３０）であり、各前記単一オリフィスシンセティックジェットが、前記フィンのうちのそれぞれの１つの端部でジェットを方向付けるように構成されている、少なくとも１つのシンセティックジェット組立体（３０）と、
を含み、
各前記単一オリフィスジェットが、１つのオリフィスを含み、
前記オリフィスの少なくとも一部が、約３ミリメートル（ｍｍ）から約１７ｍｍの範囲の開口長さＬを有し、
前記オリフィスのうちのそれぞれの１つと前記フィンの前記それぞれの端部との間の距離ｄが、約１ミリメートル（ｍｍ）から約７ｍｍの範囲であり、
前記第１の側壁に配設されているシンセティックジェット組立体は、前記第２の側壁の方向に向けて前記第１の側壁と平行にジェットを方向付ける、
シャーシ（１０）。
【請求項１１】
前記オリフィスの少なくとも一部が、約８ｍｍから約１７ｍｍのまでの範囲の開口長さＬを有し、前記距離ｄが、約１ミリメートル（ｍｍ）から約３ｍｍの範囲である、請求項１０に記載のシャーシ（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、全般的に熱管理システムに関し、さらに詳細には、対流熱伝達を増大させる分散型ジェット冷却を備えた熱管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス技術における最近の進歩により、ナノメートルサイズの電子回路が生み出されている。得られる先進のエレクトロニクスはより小さいが、より高い熱流束を有している。伝熱表面積（ｔｈｅｒｍａｌ  ｒｅａｌ  ｅｓｔａｔｅ）が縮小してきているので、先進の冷却技術が必要である。コスト、サイズ、信頼性、および利用可能性が大きな制約になっている。
【０００３】
コスト、利用可能性、および信頼性の理由から、自然対流空冷が、多くの低パワーエレクトロニクス用途に最適な方法である。しかし、その性能は、浮力依存性の流動（ｂｕｏｙａｎｃｙ  ｄｅｐｅｎｄｅｎｔ  ｆｌｏｗ）により制限される。したがって、最新のパワーエレクトロニクスを冷却するために、自然対流のさらなる増強が必要である。自然対流の増強により、より高い熱放散が可能になり、受動的冷却の単純さは依然として大いに維持される。
【０００４】
シンセティックジェットは、周囲流体の周期的な吸引と噴出で形成される小規模な乱流ジェットである。ジェットが熱伝導面上に衝突し、対流冷却を増強することができる。同様に、ジェットが熱伝導面に平行に流動し、やはり対流冷却を増強することができる。高い気流速度を伴うこれらのデバイスの小さいサイズにより、パワーエレクトロニクスのための熱管理ハードウェアのサイズの大幅な縮小が可能になり得ると考えられる。シンセティックジェットは、従来、境界層制御用途に使用されている。しかし、それらがまた、自然および強制対流熱伝導を増強することも示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
研究によると、シンセティックジェットを使用して熱伝導の増強が可能であることが示されているが、大きなヒートシンク面に対するシンセティックジェット用途に利用可能なデータが限られている。さらに、シンセティックジェットをシャーシに確実に取り付けるための新しい取付け手段が必要である。したがって、主流動とシンセティックジェット流動との間の相互作用を理解すること、およびこの相互作用を利用して、シャーシ冷却用途などの大きなヒートシンク面の熱伝導の増強を達成することが、望ましいと考えられる。シャーシにシンセティックジェットを取り付けるための信頼性のある取付け手段を提供することが、さらに望ましいと考えられる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様が、分散型ジェット冷却を備えたシャーシにある。シャーシは、容積内に配置されている１つまたは複数の発熱部品を実質的に取り囲むように構成されている、容積を画定している１つまたは複数の側壁を含む。シャーシは、１つまたは複数の側壁のうちのそれぞれの１つに熱的に結合されている少なくとも１つのアレイ状のフィンと、アレイ状のフィンのうちのそれぞれの１つの側部に配設されているマルチオリフィスシンセティックジェットまたは複数の単一オリフィスシンセティックジェットを含む少なくとも１つのシンセティックジェット組立体とをさらに含む。シャーシは、少なくとも１つのシンセティックジェット組立体のうちのそれぞれの１つを１つまたは複数の側壁のうちのそれぞれの１つに取り付けるための少なくとも１つの取付け手段をさらに含む。本発明の別の態様が、分散型ジェット冷却を備えたシャーシにあり、シャーシは、容積内に配置されている１つまたは複数の発熱部品を実質的に取り囲むように構成されている、容積を画定している１つまたは複数の側壁と、１つまたは複数の側壁のうちのそれぞれの１つに熱的に結合されている少なくとも１つのアレイ状のフィンとを含む。シャーシは、アレイ状のフィンのうちのそれぞれの１つの側部に配設されている複数の単一オリフィスシンセティックジェットを含む少なくとも１つのシンセティックジェット組立体をさらに含む。各単一オリフィスシンセティックジェットは、フィンのうちのそれぞれの１つの端部でジェットを方向付けかつ１つのオリフィスを含むように構成されている。オリフィスの少なくとも一部は、約３ミリメートル（ｍｍ）から約１７ｍｍまでの範囲の開口長さＬを有する。オリフィスのうちのそれぞれの１つとフィンのそれぞれの端部との間の距離ｄは、約１ミリメートル（ｍｍ）から約７ｍｍまでの範囲である。
【０００７】
諸図面を通じて同様の符号が同様の部分を示す添付図面を参照して以下の詳細な説明を読むと、本発明のこれらおよび他の特徴、態様、ならびに利点が、より良く理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】シンセティックジェット組立体を備えていないシャーシの図である。
【図２】それぞれのシンセティックジェット組立体が備え付けられているシャーシの２つの側壁を示す図である。
【図３】シンセティックジェットをシャーシ側壁に取り付けるためのスナップ式構成の図である。
【図４】ｃクリップホルダの斜視図である。
【図５】図３に示されている装置の横断面図であり、シンセティックジェットのためのｅクリップホルダまたはｃクリップホルダを受容するための側壁内に形成されている一列のスロットを示す図である。
【図６】シンセティックジェットをシャーシに取り付けるための屈曲したｅクリップ装置の図である。
【図７】シンセティックジェットをシャーシに取り付けるための別の例示的装置の図である。
【図８】シンセティックジェットをシャーシに取り付けるためのロッドフレーム（ｒｏｄ−ａｎｄ−ｆｒａｍｅ）装置の図である。
【図９Ａ−Ｃ】シンセティックジェットをシャーシに取り付けるための部分的密閉パッケージング装置の第１の部分の上面図、正面図および背面図である。
【図１０Ａ−Ｂ】部分的密閉パッケージング装置の第２の部分の上面図および正面／背面図である。
【図１１】組立て済みの部分的密閉パッケージング装置の正面図である。
【図１２】左右対称のプレートを組み込んでいる、方向転換された空気流を有するシンセティックジェットパッケージの図である。
【図１３】図１２に示されているシンセティックジェットパッケージの２プレート構成の図である。
【図１４】図１のシャーシで使用するための、マルチオリフィスシンセティックジェットの例示的構成の図である。
【図１５】単一オリフィスシンセティックジェットの動作の図である。
【図１６】単一オリフィスシンセティックジェットの動作のさらなる図である。
【図１７】ｖ溝プレートフィン構成の図である。
【図１８】シンセティックジェットとフィンとの間の間隔ｄの図である。
【図１９】シンセティックジェットとフィンとの３つの異なる「フィンに基づく」配置の図である。
【図２０】開口長さＬを有するジェットのオリフィスの図である。
【図２１】ＡＡに沿った、図２０の横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
分散型ジェット冷却を備えたシャーシ１０が、図１〜１７を参照して記載されている。図１に例として示されている通り、シャーシ１０は、容積内に配置されている１つまたは複数の発熱部品（図示せず）を実質的に取り囲むように構成されている、容積（図示せず）を画定している１つまたは複数の側壁１２を含む。発熱部品は、その非限定的な例にハイパワープロセッサおよびパワーエレクトロニクスが含まれる、冷却を必要とする任意の部品であってもよい。シャーシは、１つまたは複数の側壁１２のうちのそれぞれの１つに熱的に結合されている少なくとも１つのアレイ状のフィン１４をさらに含む。図１に示されている装置では、フィン１４は、縦方向のプレートフィンである。しかし、ピンフィンを含むがこれに限定されない他のタイプのフィンが使用されてもよい。簡潔に言えば、発熱部品からの熱は側壁内に伝達され、側壁は熱をフィン１４内に伝達する。フィン１４は、発熱部品を冷却するために熱伝達のための表面積を増大させる。
【００１０】
図２に示されている通り、例えば、シャーシ１０は、少なくとも１つのアレイ状のフィンのうちのそれぞれの１つの側部１５、１６に配設されているマルチオリフィスシンセティックジェット（図２に示されていない）または複数の単一オリフィスシンセティックジェット２を含む少なくとも１つのシンセティックジェット組立体３０をさらに含む。図２に示されている例示的装置では、シンセティックジェット組立体３０は、それぞれのアレイ状のプレートフィン１４の下側部１５に配設されている。この例は例示的であり、本発明はこの例示的構成に限定されない。さらに、図２に示されている通り、シャーシは、少なくとも１つのシンセティックジェット組立体３０（それぞれの個々のシンセティックジェット２を含む）のうちのそれぞれの１つを１つまたは複数の側壁１２のうちのそれぞれの１つに取り付けるための少なくとも１つの取付け手段４をさらに含む。図２に示されている例示的取付け手段４は、例示的に過ぎず、複数の付加的な取付け装置が、図３〜図１３を参照して以下に記載されている。本発明は特定の取付け手段に限定されないことに留意すべきである。
【００１１】
シンセティックジェット２の動作は、図１５および図１６を参照して理解することができる。例として示されている通り、図１５および図１６では、各シンセティックジェット２は、第１の可撓性構造３２と、第２の可撓性構造３４と、第１の可撓性構造および第２の可撓性構造のうちの少なくとも１つに結合されている少なくとも１つの能動材料３６と、第１の可撓性構造と第２の可撓性構造との間に配置されておりかつチャンバを画定しているコンプライアント壁３８とを含む。図１５および図１６に示されている通り、コンプライアント壁３８は、チャンバとフィン１４の周囲環境との間の流体連通を促進するためにオリフィス３９を画定している。
【００１２】
図１５および図１６の図示の装置では、能動材料３６は、第１の可撓性構造３２上にかつ第２の可撓性構造３４の下側部に配置されている。図面に示されている可撓性構造３２、３４上の能動材料３６の位置は純粋に例示的なものであり、本発明は能動材料の任意の特定の位置に限定されないことに留意すべきである。図１５および図１６に示されている装置では、能動材料はそれぞれの可撓性構造と同一の広がりを持つが、他の実施形態では、能動材料は可撓性構造の一部のみに亙って広がっている。例えば、同一の広がりを持つ活性層３６の代わりに、より小さい直径の圧電セラミック板（図示せず）が、可撓性構造３２、３４上に配設されていてもよい。能動材料は、単一の連続的部分の形をとることができる。あるいは、能動材料の複数の不連続部分を使用して、可撓性構造のうちのそれぞれの１つを作動させることができる。適切な能動材料は、電気的刺激による応力を生み出すことができるものである。可撓性構造３２、３４は、同一の材料または異なる材料を含んでいてもよい。
【００１３】
適切な能動材料の例には、圧電性材料、（コイルからの磁場が互いに引き付け合う／反発し合う）磁気歪み材料、形状記憶合金、および（質量不均衡のモータが振動運動を生じる）モータ不均衡（ｍｏｔｏｒ  ｉｍｂａｌａｎｃｅ）が含まれる。圧電性材料のサブセットの範囲内で、適切な能動材料には、２つの圧電層が異相で活性化されて曲げを作り出すバイモルフ圧電構成、１つの圧電層が高強度ステンレス鋼（ｐｒｅ−ｓｔｒｅｓｓｅｄ  ｓｔａｉｎｌｅｓｓ  ｓｔｅｅｌ）シム上に配設されているサンダー構成（ｔｈｕｎｄｅｒ  ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ）、１つの圧電層が黄銅シム上に配設されているブザー要素構成、およびフレキシブル回路上の圧電繊維複合材料がシムに結合されているＭＦＣ構成が含まれる。能動材料は、セラミック材料を含んでいてもよい。
【００１４】
図２に概略的に示されている通り、シンセティックジェット駆動部４０が設けられて、少なくとも１つの能動材料３６に電流を流し、周囲空気流を形成する。シンセティックジェット駆動部４０は、例えば電線またはフレキシブル相互接続（ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔ）を使用して、能動材料３６に電気的に接続することができる。簡潔に言えば、シンセティックジェット駆動部４０からの電流は、能動材料により受け取られ、機械エネルギーに変換される。図示の通り、例えば図１５では、能動材料３６は、可撓性壁３２、３４上に応力を生み出してそれらを内側に撓ませ、チャンバ７０からオリフィス３９経由で周囲空気を噴出させる。同様に、図１６に示されている通り、能動材料３６が可撓性チャンバ壁３２、３４上に応力を生み出してそれらを膨張させると、もう１つのチャンバ容積の変化がもたらされ、周囲空気はオリフィス３９経由でチャンバ７０に引き込まれる。このようにして、駆動部４０はジェット３０を作動させる。
【００１５】
シンセティックジェット駆動部４０は、シャーシ１０の内側に配置されていてもよく、または遠隔に配置されていてもよい。さらに、シンセティックジェット駆動部４０はまた、小型化され、シンセティックジェットと一体化されていてもよい。電流が正弦波、方形波、三角波、または任意の他の適切な波形で供給されてもよく、当然のことながら、電流は、任意の特定の波形に限定されない。しかし、例えば正弦波などのより低い高調波を有する電流を使用し、より静かなシンセティックジェット３０を実現することができることが分かっている。電流の電圧レベルは、１ボルトと１５０ボルトの間としてもよいが、それに限定されない。電流の周波数は、ノイズの低減を必要とする実施形態では２ヘルツと３００ヘルツの間としてもよく、ノイズレベルの低減を必要としない実施形態では３００ヘルツと１５キロヘルツの間としてもよい。
【００１６】
図示の構成の多くでは、各シンセティックジェット組立体３０は、複数の単一オリフィスシンセティックジェット２を含む。図３および図５に示されている特定の取付け構成では、側壁１２の少なくとも１つが、アレイ状のフィン１４の側部１５、１６の少なくとも一方に配設されている複数のスロット８を含み、取付け手段４は、スロット８のうちのそれぞれの１つ内へ挿入するために、かつそれぞれの各単一オリフィスシンセティックジェット２をそれぞれのスロット８に固定するために、構成されている。図５に示されている例示的装置では、例示目的でスロット８の１つが空になっている。図３および図５の装置は、ｃクリップ取付け手段を使用して実施されてもよい。図４は、例示的ｃクリップ４を斜視図で示している。図示の通り、例えば図２では、シンセティックジェット２は、フレキシブルコネクタ６により、ｃクリップホルダ４に取り付けられてもよい。１つの非限定的な例では、フレキシブルコネクタ６は、シリコーン「耳部」を含む。図５に例として示されている通り、ｃクリップ４の基部は、スロット８内にスナップ式に嵌め込まれ、シンセティックジェット２をシャーシ側壁１２にしっかりと取り付ける。シンセティックジェットをシャーシにさらに固定するために、例えば図５に示されている通り、ｃクリップホルダ４は、側壁にボルトで留められてもよい。
【００１７】
図６は、シンセティックジェットをシャーシに取り付けるための別の例示的装置を示す。図６の例示的装置では、各シンセティックジェット組立体が、複数の単一オリフィスシンセティックジェット２を含む。しかし、図示を簡略化にするために、図２にはジェット２が１つだけ示されている。図３〜図５を参照して前段で検討されたｃクリップ構成に加えて、ｅクリップもまた使用されて、単一オリフィスシンセティックジェット２のうちのそれぞれの１つを側壁１２に固定してもよい。図６に示されている構成では、取付け手段は、複数のｅクリップ（やはり、参照番号４で示されている）を含む。図６に示されている通り、各ｅクリップ４は、屈曲部５を有する。図示の通り、各単一オリフィスシンセティックジェット２は、ｅクリップ４のうちのそれぞれの１つに取り付けられており、各ｅクリップ４の屈曲部５は、側壁１２のうちのそれぞれの１つに固定されている。図６に示されている例示的装置では、各ｅクリップの屈曲部５は、ボルト７を使用して側壁１２に固定されている。図６の装置の横断面図は、図６の装置にスロットが必要ないことを除いて、図５に示されているものと類似している。
【００１８】
図７は、シンセティックジェットをシャーシに取り付けるためのさらに別の例示的装置を示す。図７に示されている装置では、各シンセティックジェット組立体は、複数の単一オリフィスシンセティックジェット２を含み、取付け手段は、複数の可撓性部分６を含む。図７に示されている通り、各単一オリフィスシンセティックジェット２には、少なくとも１つの可撓性部分６が取り付けられており、各可撓性部分６は、側壁１２のうちのそれぞれの１つに固定されている。図７に示されている例示的装置では、各シンセティックジェットは、３つの可撓性部分６により側壁に取り付けられている。しかし、他の装置では、他の数の可撓性部分６が用いられていてもよい。１つの非限定的な例では、可撓性部分６はシリコーン耳部を含む。耳部は、例えばロッドまたはボルト７を用いて、それぞれの側壁に取り付けられてもよい。図７に示されている通り、「耳部」の隣接する対間に間隙があってもまたは間隙がなくてもよい。より特定の例によれば、単一オリフィスシンセティックジェット２の少なくとも１つは、フィン１４に対してある角度で配置されていてもよい。例えば可撓性部分を側壁に取り付けるのに使用されるボルトの高さを調節することにより、このことが達成されてもよい。
【００１９】
図８は、シンセティックジェットをシャーシに取り付けるためのロッドフレーム装置を示す。図８に示されている装置では、各シンセティックジェット組立体は、複数の単一オリフィスシンセティックジェット２を含み、取付け手段は、フレーム９と、フレーム９に取り付けられておりかつそのフレームから延在している複数のロッド１１とを含む。図示の装置では、各単一オリフィスシンセティックジェット２は、ロッド１１の２つの隣接するロッドに取り付けられている。より特定の装置によれば、取付け手段は、複数の可撓性部分６をさらに含み、各単一オリフィスシンセティックジェット２には、少なくとも２つの可撓性部分６が取り付けられており、単一オリフィスシンセティックジェット２は、可撓性部分６によりロッド１１に取り付けられている。上記の通り、可撓性部分６の１つの非限定的な例が、シリコーン「耳部」である。図８に示されている特定の装置では、各単一オリフィスシンセティックジェット２には、少なくとも３つの可撓性部分６が取り付けられている。図示の通り、各単一オリフィスシンセティックジェット２は、可撓性部分６のうちのそれぞれの１つによりフレーム９に直接取り付けられている。さらに、フレーム９は、図８の上面図に示されているロッド／ボルト１３によりそれぞれの側壁に取り付けられていてもよい。
【００２０】
図９（ａ）〜図９（ｃ）、図１０（ａ）および図１０（ｂ）ならびに図１１は、シンセティックジェットをシャーシに取り付けるための部分的密閉パッケージング装置を示す。図１１に示されている装置では、各シンセティックジェット組立体は、複数の単一オリフィスシンセティックジェット２を含み、取付け手段は、部分的密閉パッケージ２０を含む。所与のシンセティックジェット組立体の内部の各単一オリフィスシンセティックジェット２は、部分的密閉パッケージ２０の内部に配設されている。
【００２１】
図９〜図１１に示されている例示的パッケージ構成では、部分的密閉パッケージ２０は、第１の部分２２と第２の部分２４とを含む。図９（ａ）は、パッケージの第１の部分２２の上面図である。第１の部分２２の正面図および背面図が、図９（ｂ）および図９（ｃ）それぞれに示されている。図１０（ａ）は、パッケージ２０の第２の部分２４の上面図であり、第２の部分２４の正面／背面図が、図１０（ｂ）に示されている。図９（ａ）に例として示されている通り、第１の部分２２は、単一オリフィスシンセティックジェット（図示せず）のうちのそれぞれの１つを受容するように構成されている複数の開口部２６を画定している。図１１に例として示されている通り、組立て後、第２の部分２４は、第１の部分２２に取り付けられて、開口部２６を覆う。図９〜図１１に示されている例示的構成では、第２の部分２４は、ボルト７により第１の部分２２に取り付けられている。
【００２２】
図９（ａ）に示されている通り、例えば、図示の部分的密閉パッケージ２０は、複数のガスケット２８をさらに含む。図示の通り、各ガスケット２８は、開口部２６のうちのそれぞれの１つに配設されており、単一オリフィスシンセティックジェット２のうちのそれぞれの１つを収容している。１つの非限定的な例では、ガスケット２８は、シリコーンゴムで形成されている。有利なことに、ガスケットは、単一オリフィスシンセティックジェット２を振動から保護する。
【００２３】
より詳細には、図９（ｂ）に示されている通り、第１の部分２２は陥凹していて、ジェットおよびガスケットのうちのそれぞれの１つを受容するための陥凹領域２１を提供している。さらに、やはり図９（ｂ）に示されている通り、ジェット空気のために、開口部２３が設けられており、ジェット送風（ｊｅｔ  ｂｅｌｌｏｗｉｎｇ）のために、穴部２５が第１の部分２２内に設けられている。ガスケット２８は、穴部２５および第２の部分２４に対してジェットを配置して、ジェット送風に必要な容積を得る。図９（ａ）〜図９（ｃ）に示されている例示的構成では、図９（ｃ）に示されている通り、第１の部分２２と第２の部分２４とを一緒にボルトで留めてパッケージ２０を形成するために、穴部２７が第１の部分２２に設けられている。さらに、例えば図９（ｃ）に示されている例示的装置では、パッケージをそれぞれのシャーシ側壁１２にボルトで留めるために、穴部２９が第１の部分の端部に形成されている。同様に、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示されている通り、ボルト７を受容するために、穴部３１が第２の部分２４に形成されている。図１１に例として示されている通り、部分的密閉パッケージ２０は、例えばボルト７を用いて、側壁１２のうちのそれぞれの１つに取り付けられていてもよい。さらに、パッケージ２０とそれぞれのシャーシ側壁１２との間に、振動ダンパ（または緩衝スペーサ、図示せず）が配設されていてもよい。
【００２４】
本発明は、部分的密閉パッケージに対する複数の修正を包含する。例えば、図１１の例示的構成の「Ｌ」形フットブラケットは、緩衝のために、柔らかいゴム（またはＳｉ）で作製されているスペーサまたはブシュと交換されてもよい。別の選択肢は、「Ｌ」形ブラケットを完全に除去し、第１の部分と第２の部分とを取り付けるのに使用されるボルトをシャーシ側壁まで延ばしてパッケージをシャーシ側壁に取り付けることである。
【００２５】
さらに、減量のために、パッケージ２０の開いたバージョンが使用されてもよい。この装置では、パッケージの第１の部分２２および第２の部分２４を形成して構造的に一緒に保持するのに十分な材料だけが使用される。この開いたバージョンは、ジェットのための６つの「リング」ホルダを備えた三角格子形状で構造化することができる。
【００２６】
さらに、シンセティックジェットに電力を供給するために種々の電気的接続（図示せず）が使用されてもよい。本発明は、任意の特定の電気的接続構成に限定されない。１つの例示的装置では、溝部（図示せず）が第２の部分２４に成型されており、ジェットからの電線を受容し、それらをシャーシの外側の接続に通す。別の例示的装置では、電線を一緒に通すために、溝が第２の部分２４に成型されている。依然としてパッケージ内にあるが、電線は、例えばシャーシおよびパッケージの底部の整列穴部を通して、シャーシの方へ通される。この場合、ドライブエレクトロニクス（図示せず）がシャーシの内側にあると考えられる。
【００２７】
シンセティックジェットの電気的接続のためのさらに別の例示的装置では、ジェットには、強固な端子パッド（図示せず）で終了する比較的小さく固定されたリード線のセットが備え付けられている。この装置では、パッケージ２０の第１の部分２２は、端子パッドのための切取り部（陥凹部）を有するジェット切欠き領域に隣接する領域を含む。パッケージ２０の第２の部分２４は、整合パッドと、ドライブエレクトロニクスに対する端子パッドまでの埋込み電線（および特定の実施形態では、プリント基板タイプの接続）とを含む。この構成では、ドライブエレクトロニクス（図示せず）は、シャーシの外側にある。しかし、この装置は、シャーシの内側にあるドライブエレクトロニクスと共に使用するために修正されてもよい。この場合、配線は、パッケージ２０の第１の部分２２上にあり、電線をシャーシ内に通すことを容易にする。
【００２８】
図１２および１３は、シャーシ側壁にシンセティックジェット２を取り付けるための別の構成を示し、そこでは、空気流が方向転換させられる。図１２に示されている装置では、側壁１２の下側壁４２が、アレイ状のフィンを有しておらず、取付け手段は、下側壁４２に取り付けられている少なくとも１つのプレート４４を含む。図１２に示されている通り、単一オリフィスシンセティックジェット２の少なくとも１つが、プレート４４に取り付けられており、ジェットを外側に方向付けるように配置されており、プレート４４は、側壁１２の隣接する１つ上のアレイ状のフィン１４に当たるようにジェットがシャーシの隅部を曲がるように誘導するための少なくとも１つの屈曲部４６を有する。
【００２９】
図１２に示されている特定の装置では、取付け手段は、下側壁４２に取り付けられている１つのプレート４４を含む。図１２に示されている装置では、プレート４４は、ボルト７で下側壁４２に取り付けられている。図１２に示されている通り、単一オリフィスシンセティックジェット２の少なくとも２つが、プレート４４に取り付けられており、それぞれのジェットを反対方向に外側へ方向付けるように配置されている。図１２に示されている特定の装置では、プレート４４は、側壁１２の隣接する１つ上のアレイ状のフィン１４に当たるようにシャーシのそれぞれの隅部を曲がるジェットのうちのそれぞれの１つを誘導するための２つの屈曲部４６を有する。特定の装置によれば、複数の単一オリフィスシンセティックジェット２が、プレート４４に取り付けられておりかつそれぞれのジェットを第１の方向に外側へ方向付けるように配置されていてもよく、複数の単一オリフィスシンセティックジェット２が、プレート４４に取り付けられておりかつそれぞれのジェットを第２の方向に外側へ方向付けるように配置されていてもよい。図１２に明示的に示されていないが、これは、図１３に示されている装置に類似しているが、左右対称のプレート４４の両端部にジェット２の列を有するものである。
【００３０】
図１２は単一の左右対称のプレート４４を示しているが、本概念はまた、図１３に示されている通り、２つのプレート４４ａ，ｂを用いて実施されてもよい。その２プレート構成では、取付け手段は、下側壁４２に取り付けられている第１のプレート４４ａと第２のプレート４４ｂとを含む。図１２に示されている装置と同様に、プレート４４ａ，ｂは、下側壁にボルトで留められてもよい。図１３に示されている通り、単一オリフィスシンセティックジェット２の少なくとも１つは、第１のプレート４４ａに取り付けられている。図１２に示されている装置と同様に、１つまたは複数のジェットは、ジェットを第１の方向に外側へ方向付けるように配置されている。同様に、単一オリフィスシンセティックジェット２の少なくとも１つは、第２のプレート４４ｂに取り付けられており、ジェットを第２の方向に外側へ方向付けるように配置されている。ジェットの相対配置は、図１２に示されているものと同一である。各第１のプレート４４ａおよび第２のプレート４４ｂは、側壁１２のうちのそれぞれの隣接する側壁上のアレイ状のフィン１４に当たるようにシャーシのそれぞれの隅部を曲がるそれぞれのジェットを誘導するための屈曲部４６を有する。
【００３１】
図１３に示されている特定の装置では、複数の単一オリフィスシンセティックジェット２が第１のプレート４４ａに取り付けられておりかつそれぞれのジェットを第１の方向に外側へ方向付けるように配置されており、複数の単一オリフィスシンセティックジェット２が第２のプレート４４ｂに取り付けられておりかつそれぞれのジェットを第２の方向に外側へ方向付けるように配置されている。ジェットの相対配置は、図１２に示されているものと同一である。有利なことに、ジェット２は下側壁４２上に取り付けられているため、図１２および図１３で示されている装置では、フィン１４の部分を除去することは必要ない。さらに、屈曲部が屈曲している角度は、ジェットからの空気流とフィン１４の端面との間の角度を調節するように選択されてもよい。さらに、プレート（単数または複数）と下側壁との間の間隔は、フィンの端面と垂直空気流との間の関連する距離を調節するように調節されてもよい。
【００３２】
上記の通り、単一オリフィスシンセティックジェット２に加えて、シンセティックジェット組立体は、図１４に示されているマルチオリフィスシンセティックジェット３０を含んでいてもよい。さらに、各シンセティックジェット組立体は、その全体が参照として本明細書に援用されている、M. Arikらの、「Heat Sinks with Distributed and Integrated Jet Cooling」という名称の、同一出願人による米国特許出願第１２／４２１，０６８号に記載されている、積層（図示せず）状の単一オリフィスまたはマルチオリフィスシンセティックジェット３０を含んでいてもよい。図１４に例として示されている通り、あるマルチオリフィスシンセティックジェット３０が、第１の可撓性構造３２と、第２の可撓性構造３４と、第１の可撓性構造および第２の可撓性構造のうちの少なくとも１つに結合されている少なくとも１つの能動材料３６と、第１の可撓性構造と第２の可撓性構造との間に配置されておりかつチャンバを画定しているコンプライアント壁３８とを含む。図１４に示されている通り、コンプライアント壁は、チャンバとフィン１４の周囲環境との間の流体連通を促進するために、複数のオリフィス３９を画定している。図１４に示されている複数のオリフィスは、例示的に過ぎず、非限定的であることに留意すべきである。１つの非限定的な例では、コンプライアント壁３８はエラストマーを含む。コンプライアント壁３８の他の例示的材料には、ポリマー、糊、接着剤、金属、および複合物が含まれるが、それらに限定されない。
【００３３】
図１４の図示の装置では、能動材料３６は、第１の可撓性構造３２および第２の可撓性構造３４の両方の上に配置されている。図に示されている可撓性構造３２、３４上の能動材料３６の位置は純粋に例示的であり、本発明は、能動材料の任意の特定の位置に限定されないことに留意すべきである。特定の実施形態では、能動材料は、それぞれの可撓性構造と同一の広がりを持つ。他の実施形態では、能動材料は、可撓性構造の一部のみに亙って広がっている。能動材料は、単一の連続部分の形をとることができる。あるいは、能動材料の複数の不連続部分を使用して、可撓性構造のうちのそれぞれの１つを作動させることができる。適切な能動材料は、電気的刺激に起因する応力を生み出すことができるものである。適切な能動材料の例が、図１５および図１６を参照して前段で提供されている。
【００３４】
図２を参照して前段で検討された通り、シンセティックジェット駆動部４０を設け、少なくとも１つの能動材料３６に電流を流して、周囲空気流を形成することができる。シンセティックジェット駆動部４０は、シャーシの内側に配置されていてもよく、または遠隔に配置されていてもよい。
【００３５】
前述のシャーシでは、複数の異なるフィン構成を使用することができる。図１および図２に示されている装置では、フィンは、規則的な一次元アレイに配置されているプレートフィンである。図１７は、ｖ溝プレートフィン構成を示す。特定の状況では、ｖ溝構成が、図１および図２に例として示されている従来型プレートフィン配置に対して冷却の増強を示す可能性がある。図１７は左右対称のｖ溝を有するｖ溝構成を示しているが、本発明は、これらの配置に限定されず、非対称のｖ溝構成を使用することもできることに留意すべきである。同様に、図１７はジェットのそれぞれの中心線と整合している中心線を有するｖ溝構成を示しているが、ｖ溝の中心線がジェットの中心線とずれているずれた配置もまた用いられてもよい。同様に、これらの配置の組合せもまた用いられてもよい（それぞれのジェットに対してずれている非対称のｖ溝）。
【００３６】
分散型ジェット冷却を備えたシャーシ１０の特定の特徴が、図１５、図１６、図１８および図１９を参照して記載されている。図１および図２を参照して前段で検討された通り、シャーシ１０は、容積内に配置されている１つまたは複数の発熱部品（図示せず）を実質的に取り囲むように構成されている、容積（図示せず）を画定している１つまたは複数の側壁１２を含む。シャーシ１０は、１つまたは複数の側壁のうちのそれぞれの１つに熱的に結合されている少なくとも１つのアレイ状のフィン１４と、少なくとも１つのアレイ状のフィンのうちのそれぞれの１つの側部１５、１６に配設されている複数の単一オリフィスシンセティックジェット２を含む少なくとも１つのシンセティックジェット組立体３０とをさらに含む。図示の通り、例えば図１５では、各単一オリフィスシンセティックジェット２は、フィン１４のうちのそれぞれの１つの端部でジェットを方向付けるように構成されている（「フィンに基づく」構成）。有利なことに、実験的試験の結果によると、フィンに基づく構成（ジェット出口中心線がそれぞれのフィンと整合している）は、ジェットが隣接するフィン間に方向付けられた配置に対して冷却性能の増強を示した。
【００３７】
図示の通り、図１５および図１６の例として、各単一オリフィスシンセティックジェット２は、１つのオリフィスを含む。特定の実施形態では、オリフィスの少なくとも一部が、約３ミリメートル（ｍｍ）から約１７ｍｍまでの範囲の開口長さＬを有し、オリフィスのうちのそれぞれの１つとフィンのそれぞれの端部との間の距離ｄ（例えば図１８参照）が、約１ミリメートル（ｍｍ）から約７ｍｍまでの範囲である。例えば図２０および図２１に示されている通り、オリフィス３９の開口長さＬは、オリフィスを画定している壁（例えば、ケイ素壁）の端部により形成されている弦の長さである。このように、ジェットを「正面から」見ると（オリフィスに向かって）、開口長さＬは、開口部の二次元の長さである。より一般的には、オリフィスのサイズは、フィン間隔に比例しているように選択されて、最適な冷却を達成し、適切な冷却／渦生成を実現し、ジェットはフィンと共に最適に配置されている。より特定の実施形態によれば、オリフィスの少なくとも一部が、約８ｍｍから約１７ｍｍまでの範囲の、さらにより詳細には約１３ｍｍから約１７ｍｍまでの範囲の開口長さＬを有する。実験的試験の結果によると、１５ｍｍオリフィスのジェットが８ｍｍオリフィスのジェットに対して冷却性能の増強を示した。
【００３８】
より特定の実施形態によれば、距離ｄは、約１ミリメートル（ｍｍ）から約３ｍｍの範囲である。１つの非限定的な例では、オリフィスとフィンの端部との間の距離ｄは、約２ミリメートルである。本明細書で使用されている用語「約」は、述べられた値のプラス／マイナス１０パーセント内を意味すると見なされるべきである。実験的試験の結果によると、１０ｍｍ間隔でかつそれぞれのフィンから２ｍｍに配置されているジェットでは同様の冷却が示された。したがって、ジェットの取付けで必要とされる間隔を減少させるには、２ｍｍ間隔が好適である。
【００３９】
図１９は、シンセティックジェットおよびフィン１４の３つの異なる「フィンに基づく」配置を示す。図１９に示されている第１の構成（「３つのジェット」と表示されている）では、各シンセティックジェット組立体が、３つの単一オリフィスシンセティックジェット２を含み、隣接する単一オリフィスシンセティックジェット間の間隔は、フィン４つ毎である。より一般的には、整数Ｎ個の単一オリフィスシンセティックジェット２が使用されてもよく、隣接する単一オリフィスシンセティックジェット間の間隔はフィン４つ毎である。図１９に示されている第１の構成では、Ｎ＝３である。試験されたヒートシンクの２倍の幅のシャーシでは、例えばＮ＝６である。図１９に例として示されている通り、語句「フィン４つ毎」は、一次元アレイのプレートフィンの場合にはフィン４つ毎を意味すると理解されるべきである。同様に、これは、二次元アレイのピンフィンの場合にはフィン４列毎を指す。
【００４０】
図１９に示されている第２の構成（「４つのジェット」と表示されている）では、各シンセティックジェット組立体が、４つの単一オリフィスシンセティックジェット２を含み、隣接する単一オリフィスシンセティックジェット２間の間隔は、フィン３つ毎である。より一般的には、整数Ｎ個の単一オリフィスシンセティックジェット２が使用されてもよく、隣接する単一オリフィスシンセティックジェット間の間隔はフィン３つ毎である。図１９に示されている第２の構成では、Ｎ＝４である。試験されたヒートシンクの１５０％の幅のシャーシでは、例えばＮ＝６である。図１９に例として示されている通り、語句「フィン３つ毎」は、一次元アレイのプレートフィンの場合にはフィン３つ毎を、二次元アレイのピンフィンの場合にはフィン３列毎を意味すると理解されるべきである。
【００４１】
図１９に示されている第３の構成（「５つのジェット」と表示されている）では、各シンセティックジェット組立体が、５つの単一オリフィスシンセティックジェット２を含み、隣接する単一オリフィスシンセティックジェット２間の間隔は、フィン１つ置きである。より一般的には、整数Ｎ個の単一オリフィスシンセティックジェット２が使用されてもよく、隣接する単一オリフィスシンセティックジェット間の間隔は、フィン１つ置きである。図１９に示されている第２の構成では、Ｎ＝５である。しかし、Ｎの特定値は変動し得る。図１９に例として示されている通り、語句「フィン１つ置き」は、プレートフィンの場合にはフィン１つ置きを、二次元アレイのピンフィンの場合にはフィン１列置きを意味すると理解されるべきである。
【００４２】
ジェットの数で冷却の増強が増大するが、この傾向は、ジェットの数の増加で低減する。３つのジェットから４つのジェットに交換すると、増強全体は、０．７上昇して２．５から３．２に変化するのに対して、４つのジェットから５つのジェットに交換した場合には０．３増大する。このことは、ジェットの数が増加するにつれて、ＣＯＰ（性能係数：ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ  ｏｆ  ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ）が減少することを示す。現在の仕事のＣＯＰは、シンセティックジェットの電力消費に対する熱放散の比率と定義される。フィン付きプレートの２ｍｍ下に配置されている１５ｍｍオリフィスを備えたシンセティックジェットを使用するフィンに基づく配置に対する一連の複数のジェット試験に関して、これらの結果が得られた。これらの配置では、３つのジェットから４つのジェットに交換することにより、ＣＯＰは４９から４７へ若干減少した。しかし、４つのジェットから５つのジェットに交換することにより、ＣＯＰは４７から４２へ減少した。有利なことに、４つのジェットを使用することにより、性能係数４７で自然対流全体に亙って３００％の増強が達成された。
【００４３】
本明細書において本発明のある特徴のみを例証し記載したが、多数の修正および変更が当業者に思い付くであろう。したがって、添付の特許請求の範囲は、本発明の真の精神の範囲に入るそのような修正および変更の全てを包含するものとされることを理解すべきである。
【符号の説明】
【００４４】
２  単一オリフィスシンセティックジェット
４  取付け手段、ｃクリップホルダ、ｅクリップホルダ
５  （ｅクリップホルダの）屈曲部
６  フレキシブルコネクタ、可撓性部分
７  ボルト
８  スロット
９  フレーム
１０  シャーシ
１１  ロッド
１２  （シャーシ）側壁
１３  ロッド／ボルト
１４  フィン、プレートフィン
１５、１６  （アレイ状のフィンの）側部
２０  部分的密閉パッケージ
２１  陥凹領域
２２  （部分的密閉パッケージの）第１の部分
２３、２６  開口部
２４  （部分的密閉パッケージの）第２の部分
２５、２７、２９、３１  穴部
２８  ガスケット
３０  シンセティックジェット組立体、マルチオリフィスシンセティックジェット
３２  第１の可撓性構造
３４  第２の可撓性構造
３６  能動材料
３８  コンプライアント壁
３９  オリフィス
４０  シンセティックジェット駆動部
４２  下側壁
４４  プレート
４４ａ  第１のプレート
４４ｂ  第２のプレート
４６  （プレートの）屈曲部
７０  チャンバ
Ｌ  開口長さ
ｄ  距離、間隔
【図１】
0005868015.tif 000002
【図２】
0005868015.tif 000003
【図３】
0005868015.tif 000004
【図４】
0005868015.tif 000005
【図５】
0005868015.tif 000006
【図６】
0005868015.tif 000007
【図７】
0005868015.tif 000008
【図８】
0005868015.tif 000009
【図９Ａ−Ｃ】
0005868015.tif 000010
【図１０Ａ−Ｂ】
0005868015.tif 000011
【図１１】
0005868015.tif 000012
【図１２】
0005868015.tif 000013
【図１３】
0005868015.tif 000014
【図１４】
0005868015.tif 000015
【図１５】
0005868015.tif 000016
【図１６】
0005868015.tif 000017
【図１７】
0005868015.tif 000018
【図１８】
0005868015.tif 000019
【図１９】
0005868015.tif 000020
【図２０】
0005868015.tif 000021
【図２１】
0005868015.tif 000022