(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示素子の基板が置かれるテーブル上に位置するガントリーと;
前記ガントリの内部に位置して、光配向のための光を生成するランプと；
前記ガントリの外部に結合され、前記ランプから発された光の特性を変更する光配向ケースと、を含み、
前記ガントリは、ラビングローラー又は前記光配向ケースと選択的に結合することができるラビング及び光配向装置。
【請求項２】
前記ガントリーは、水平フレームを備え、前記ランプは、前記水平フレームの内部に位置し、
前記水平フレームは、支持体を備え、前記支持体には、前記ラビングローラー及び光配向ケースが結合されていることを特徴とする請求項１に記載のラビング及び光配向装置。
【請求項３】
前記ラビングローラー及び光配向ケースは、前記支持体に対して同じ結合構造を備えていることを特徴とする請求項２に記載のラビング及び光配向装置。
【請求項４】
前記光配向ケースは、偏光素子及びコールドミラーを含むことを特徴とする請求項１に記載のラビング及び光配向装置。
【請求項５】
液晶表示素子の基板が置かれるテーブル上に位置するガントリーと;
前記ガントリの外部に結合される光配向モジュールと、を含み、
前記光配向モジュールは、その内部に光配向のための光を生成するランプを備え、
前記ガントリーは、前記光配向モジュール又はラビングローラーと選択的に結合することができるラビング及び光配向装置。
【請求項６】
前記ガントリーは、前記ラビングローラー及び光配向モジュールと結合する支持体を備え、
前記ラビングローラー及び光配向モジュールは、前記支持体に対して同じ結合構造を備えることを特徴とする請求項５に記載のラビング及び光配向装置。
【請求項７】
前記光配向モジュールは、偏光素子及びコールドミラーを備えることを特徴とする請求項５に記載のラビング及び光配向装置。
【請求項８】
液晶表示素子の基板が置かれるテーブル上に位置するガントリーを含み、
前記ガントリ内部には、光配向のためのランプ及び偏光素子が備えられており、
前記ガントリは、ラビングローラーと結合・分離することができるラビング及び光配向装置。
【請求項９】
前記ガントリーは、前記ランプ及び偏光素子が位置する水平フレームを備え、
前記水平フレームには、ラビングローラが結合される支持体が備えられていることを特徴とする請求項８に記載のラビング及び光配向装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラビング及び光配向装置に関し、具体的には、機械的なラビングと光配向を同時に行える装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、一般的に２枚のガラス（glass）基板との間に液晶層が設けられ、２枚のガラス基板の内面に、前記液晶層に電界をかけるための透明電極、前記電界をオン・オフするためのスイッチング素子、カラーを表示するためのカラーフィルター及び液晶分子を配向するための配向膜などが形成された構造を有する。２枚のガラス基板間に液晶材料が封入されて液晶表示素子が作製される。配向膜は、基板上に塗布されたポリイミド樹脂（ＰＩ）などの樹脂層からなり、配向膜が硬化した後、ラビング装置によるラビング処理によって液晶が一定方向に配向される。
【０００３】
通常のラビング装置は、ラビングローラーが、ガラス基板が固定されたテーブルの上部に回転可能にその両端が支持され、ラビング布（起毛布）が両面テープ等によりラビングローラーの表面に取り付けられる。該ラビングローラーの回転により、ガラス基板の配向層の表面に当接するラビング布が配向層を一定の方向に擦ることで、その方向に液晶材料が配向される。
【０００４】
このような機械的なラビングは、配向処理が容易で大量生産に適しており、安定する配向をすることができるというメリットを有する。
【０００５】
しかし、前記機械的なラビングは、配向膜へのラビング布の直接的な接触によって配向が行われるため、塵（particle）の発生による液晶セル（cell）の汚染、静電気の発生により、基板に設けられているＴＦＴ素子の破壊、ラビング後の追加の洗浄工程の必要、大面積適用時の配向の不均一性等という様々な問題点を誘発して、液晶表示装置の製造時の歩留まりを低下させる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、上述した問題点を解決するために導き出されたものであって、その目的とするところは、ラビングローラーを用いた配向処理のメリットを生かしながらも、その欠点を補うため、光配向を行うことができるラビング及び光配向装置を提供することにある。
【０００７】
本発明の他の目的は、以下に述べられる実施形態に基づいてより明確になるだろう。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面によるラビング及び光配向装置は、液晶表示素子の基板が置かれるテーブル上に位置するガントリと、ガントリの内部に位置して、光配向のための光を生成するランプと、ガントリの外部に結合されてランプから発された光の特性を変更する光配向ケースと、を含み、ガントリは、ラビングローラーまたは光配向ケースと選択的に結合することができる。
【０００９】
本側面によるラビング及び光配向装置は、次のような実施形態を１つ又はそれ以上備えることができる。例えば、ガントリーは、水平フレームを備え、ランプは、水平フレームの内部に位置し、水平フレームは、支持体とを備え、支持体には、ラビングローラー及び光配向ケースが結合されることができる。
【００１０】
ラビングローラー及び光配向ケースは、支持体に対して同じ結合構造を備えることができる。そして、光配向ケースは、偏光素子及びコールドミラーを含むことができる。
【００１１】
本発明の他の側面によるラビング及び光配向装置は、液晶表示素子の基板が置かれるテーブル上に位置するガントリと、ガントリの外部に結合される光配向モジュールとを含み、光配向モジュールは、その内部に光配向のための光を生成するランプを備え、ガントリーは、光配向モジュール又はラビングローラーと選択的に結合することができる。
【００１２】
本側面によるラビング及び光配向装置は、次のような実施形態を一つ又はそれ以上備えることができる。例えば、ガントリーは、ラビングローラー及び光配向モジュールと結合する支持体を備え、ラビングローラー及び光配向モジュールは、支持体に対して同じ結合構造を備えることができる。そして、光配向モジュールは、偏光素子及びコールドミラーを備えることができる。
【００１３】
本発明の更に他の側面によるラビング及び光配向装置は、液晶表示素子の基板が置かれるテーブル上に位置するガントリーを含み、ガントリ内部には、光配向のためのランプと、偏光素子とが備えられており、ガントリは、ラビングローラーと結合・分離することができる。
【００１４】
本側面によるラビング及び光配向装置は、次のような実施形態を備えることができる。例えば、ガントリーは、ランプ及び偏光素子が位置する水平フレームを備え、水平フレームには、ラビングローラーが結合される支持体が備えられることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、ラビングによる配向及び光配向を選択的又は同時に使用することができるので、液晶表示装置の製造歩留まりを向上させることができ、高精細の液晶表示装置の製造を可能にするラビング及び光配向装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るラビング及び光配向装置を例示する斜視図である。
【図２】図１に例示されたラビング及び光配向装置のガントリの図である。
【図３】図２に例示されたガントリに結合されるラビングローラーの斜視図である。
【図４】図２に例示されたガントリに結合される光配向ケースの斜視図である。
【図５】図２に例示されたガントリに図４に例示された光配向ケースが結合された状態の図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るラビング及び光配向装置の光配向モジュールを例示する斜視図である。
【図７】本発明の第３の実施形態に係るラビング及び光配向装置のガントリを例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明は、様々な変換を加えることができ、複数の実施例を有することができるので、特定の実施例を図面に例示し、詳細な説明において詳細に説明しようとする。しかしながら、これは、本発明を特定の実施形態について限定しようとするものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変換、均等物ないし代替物を含むものと理解されるべきである。本発明を説明するに当たり、関連する公知技術に対する具体的な説明が本発明の要旨を曖昧にすると判断される場合、その詳細な説明を省略する。
【００１８】
本出願で使用した用語は、単に特定の実施例を説明するために使用されたものであり、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は、文脈上明白に異なる意味でない限り、複数の表現を含む。本出願において、“含む”又は“持つ”などの用語は、明細書上に記載されている特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品、又はこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとするだけであり、１つ又はそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品、又はこれらを組み合わせたものの存在又は付加可能性を予め排除するわけではないと理解されるべきである。
【００１９】
水平および垂直と、メイン及び補助などの用語は、様々な構成要素を説明するために使用することができるが、前記構成要素は、前記用語によって限定されてはならない。前記用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみで使用される。
【００２０】
以下、添付の図面を参照して、本発明に係る実施形態を詳細に説明することとし、添付の図面を参照して説明するにあたり、図面符号に関係なく、同一又は対応する構成要素は、同じ参照番号を付し、これに対する重複する説明は、省略する。
【００２１】
以下では、本発明の第１の実施形態に係るラビング及び光配向装置１００に対して、図１〜図５を参照しながら説明する。
【００２２】
図１は、本発明の第１の実施形態に係るラビング及び光配向装置１００の斜視図であり、図２は、図１に例示されたラビング及び光配向装置１００のガントリー（gantry）１２０の図である。そして、図３は、ラビングローラ１９０の斜視図であり、図４は、光配向ケース２２０の斜視図である。
【００２３】
図１〜図２を参照すると、本発明の第１の実施形態に係るラビング及び光配向装置１００は、ガントリー１２０にランプ２１０が備えられており、光配向を行うことができ、光配向時にガントリー１２０の外部に光配向ケース２２０（図４を参照）を結合して、所望の偏光方向などの光の特性を得ることができる。また、第１の実施形態に係るラビング及び光配向装置１００は、ガントリー１２０の外部にラビング（rubbing）のためのラビングローラ１９０（図３を参照）を結合してラビングを行うことができる。したがって、本実施形態に係るラビング及び光配向装置１００は、機械的なラビング及び光配向を選択的又は同時に行うことができるので、ラビング及び光配向の利点を生かして配向を行うことができるというメリットを有する。
【００２４】
第１の実施形態に係るラビング及び光配向装置１００は、ガントリー１２０と、メインベース１５０と、補助ベース１５２と、ステージ駆動装置１６０と、ステージ１７０と、テーブル１７４と、を有する。そして、ラビングによる配向を行うために、ガントリー１２０の外部には、ラビングローラ１９０が選択的に結合され得る。また、光配向を行うために、ガントリー１２０の内部には、ランプ２１０及び反射鏡２１２が備えられており、ガントリー１２０の外部には、光配向ケース２２０が、ラビングローラ１９０に代わって、選択的に結合されることができる。
【００２５】
テーブル１７４に位置する液晶表示素子（図示せず）は、、ステージ駆動装置１６０による直線往復運動によってガントリー１２０の下部を通過する。この過程で、液晶表示素子に形成された配向膜（図示せず）は、ガントリー１２０に結合されたラビングローラ１９０によってラビング処理されるか、ガントリー１２０に備えられたランプ２１０及びガントリー１２０に結合された光配向ケース２２０によって、所望の方向の光配向が行われる。
【００２６】
テーブル１７４上には、作業対象となる液晶表示素子が置かれる。テーブル１７４は、一定の高さを持つサポート１７２によって、ステージ１７０に対して上部に位置する。テーブル１７４上には、光配向時に照射される光の偏光の程度を測定するための偏光センサ（Polarized  Angle  Sensor；図示せず）が備えられることができる。
【００２７】
ステージ１７０は、ステージ駆動装置１６０の駆動力を受けて、ガイドレール１６４に沿ってガントリー１２０の下部を直線往復運動をする。ステージ１７０の下部には、ステージ駆動装置１６０の可動子に該当する駆動コイル（図示せず）が結合されることができる。
【００２８】
ステージ駆動装置１６０は、ステージ１７０を直線運動させるリニアモータ（linear  motor）に該当する。ステージ駆動装置１６０は、マグネット（magnet）に該当する固定子１６２と、ステージ１７０の下部に結合された駆動コイル（図示せず）と、ステージ１７０の移動経路に該当するガイドレール１６４と、を含む。駆動コイルに電流が印加されると、固定子１６２に該当するマグネットとの電磁気的な相互作用によってステージ１７０を移動させる力が生成される。
【００２９】
ステージ駆動装置１６０にリニアモータの他、モータを用いたボールねじなどの様々な駆動源が使用され得ることは言うまでもない。
【００３０】
ステージ駆動装置１６０は、メインベース１５０上に位置する。そして、メインベース１５０の左右両側には、補助ベース１５２が各々備えられている。補助ベース１５２には、ガントリー１２０を駆動するためのガントリー回転手段１４２及びアップダウン手段１４０が備えられている。
【００３１】
ガントリー回転手段１４２は、、ガントリー１２０を時計回り又は反時計回りに一定の角度（例えば、０〜４５度）に回転させる。つまり、ガントリー回転手段１４２は、ステージ１７０とラビングローラ１９０とがなす角度を変更できるようにするが、このために、ＴＮモード（Twisted  Nematic  mode）又はＩＰＳモード（In-Plane  Switching  mode）のラビング処理が可能なようにする。
【００３２】
アップダウン手段１４０は、テーブル１７４に対するガントリー１２０の水平フレーム１２２の高さを調整する役割をする。したがって、アップダウン手段１４０を調整することにより、テーブル１７４に置かれた液晶表示素子に対するラビングローラ１９０又は光配向ケース２２０の高さを調整することができるようになる。
【００３３】
ガントリー１２０の左右の垂直フレーム１３４には、チルト調整手段１３４が備えられている。チルト調整手段１３４は、ガントリー１２０の水平フレーム１２２のチルト角（tilt  angle）を調整する役割をする。
【００３４】
ガントリー１２０には、ラビングのためのラビングローラ１９０又は光配向のための光配向ケース２２０が選択的に結合される。ガントリー１２０は、テーブル１７４上に一定の高さをもって位置する水平フレーム１２２と、水平フレーム１２２の左右端部から垂直に延びる垂直フレーム１３４とを含む。
【００３５】
直方体形状の水平フレーム１２２は、内部空間１２8を備え、その内部空間１２8には、光配向のためのランプ２１０と反射鏡２１２が備えられている。また、水平フレーム１２２の下部の左右両側には、ラビングローラ１９０又は光配向ケース２２０との結合のための支持体１２６が備えられている。そして、水平フレーム１２２の下面の一部は、ランプ２１０から発された光が透過できる光透過部１２４に該当する。
【００３６】
ランプ２１０は、光配向のための光を生成するもので、マイクロ波（microwave）によって紫外線（ＵＶ）を生成するランプに該当することができ、この場合、水平フレーム１２２の内部空間１２８は、マイクロ波に対する共振器に該当することができる。ランプ２１０から発された光は、光透過部１２４を通過した後、水平フレーム１２２の下部に結合される光配向ケース２２０の偏光素子２２４及びコールドミラー２２６を通過した後、テーブル１７４に置かれた液晶表示素子の基板の配向層（図示せず）に到達することになる。
【００３７】
光配向のためのランプ２１０は、マイクロＵＶランプの他にも、様々な種類のランプが使用され得るのは言うまでもない。
【００３８】
ランプ２１０は、液晶表示素子の基板の幅を全てカバーすることができる長さを持つ１つが形成されるか、又はその長さに比べて短い長さを有する多数個に形成されることができる。また、ランプ２１０は、水平フレーム１２２の内部に１列に配置されるか、又は相互平行に２列以上に配置されることができる。
【００３９】
ランプ２１０から発された光は、反射鏡２１２で反射された後、光透過部１２４に向かうことになる。反射鏡２１２は、ランプ２１０の集光効率を高めるためのもので、ランプ２１０の長さに比べてやや大きい長さを有する。また、反射鏡２１２は、その断面が放物線形状を有することができる。
【００４０】
水平フレーム１２２の下部に配置されている一対の支持体１２６は、ラビングローラ１９０又は光配向ケース２２０の両端部と結合して支持する役割をする。ラビングローラ１９０の両端部に形成された結合構造と光配向ケース２２０の両端部に形成された結合構造とは等しいため、支持体１２６は、ラビングローラ１９０又は光配向ケース２２０と容易に結合できるようになる。
【００４１】
水平フレーム１２２の内部には、ランプ２１０を冷却するための冷却装置（図示せず）が備えられることができる。
【００４２】
支持体１２６は、水平方向（矢印表示）に一定の距離だけ左右に移動が可能なため、テーブル１７４に置かれた液晶表示素子の基板に対するラビングローラ１９０又は光配向ケース２２０の位置を調整することができる。また、左右の支持体１２６のいずれかには、ラビングローラー１９０に回転力を提供するためのモータ（図示せず）が備えられることができる。
【００４３】
本実施形態に係るラビング及び光配向装置１００は、ランプ２１０の発光のためのマイクロ波発生器１８０を含む。マイクロ波発生器１８０で生成されたマイクロ波は、導波管１８２を介してガントリー１２０の水平フレーム１２２の内部に転送された後、共振によってランプ２１０の発光を誘導する。マイクロ波発生器１８０は、ラビング及び光配向装置１００から一定の距離だけ離れたところに位置することができる。
【００４４】
液晶表示素子の基板に対するラビング工程を行うために、図３に例示されたラビングローラ１９０がガントリー１２０の支持体１２６に結合する。ラビングローラ１９０は、円筒状の円筒部１９２と、円筒部１９２の両端部に結合されたロールフランジ１９４と、ロールフランジ１９４に結合されたスピンドル１９６と、を含む。
【００４５】
円筒部１９２の周囲には、配向膜を擦るためのラビング布（図示せず）が結合される。円筒部１９２の左右端部には、支持体１２６との結合のためのロールフランジ１９４が結合されており、ロールフランジ１９４の中央には、支持体１２６との結合のためのスピンドル１９６が結合される。ラビングローラ１９０の両端部の結合構造に該当するロールフランジ１９４及びスピンドル１９６は、光配向ケース２２０の両端部の結合構造と同一であってもよい。
【００４６】
ラビングローラ１９０を結合するために、左右支持体１２６との間の幅を拡大するように支持体１２６を水平移動した後、ラビングローラ１９０のロールフランジ１９４及びスピンドル１９６を支持体１２６に結合する。このように、ラビングローラ１９０をガントリー１２０に対して結合した後、アップダウン手段１４０によってラビングローラー１９０と液晶表示素子の基板との接触圧を調整し、ガントリー回転手段１４２によって液晶表示素子の基板とラビングローラ１９０とがなす角度を調整し、チルト調整手段１４４によってラビングローラー１９０のチルト角を調整する。
【００４７】
ラビングローラ１９０の液晶表示素子の基板に対する接触圧、角度およびチルト角を調整した後、ステージ駆動装置１６０が作動して、テーブル１７４が移動すると、ラビングローラー１９０は、液晶表示素子の基板の配向膜と接触しながら回転によってラビング工程を行うことになる。また、ラビング工程中にもラビングローラ１９０の液晶表示素子の基板に対する接触圧、角度およびチルト角は各々調節されることができる。
【００４８】
ラビング工程を行った後、光配向前に配向膜に対する前処理（pre-treatment）を実行して、配向処理効率を向上することができる。前処理は、ラビングローラ１９０によって１次配向処理された配向膜を熱風等により一定温度に加熱する工程に該当することができる。このような前処理工程は、その後、光照射による光配向の工程時に、配向膜の照射光の反応性を向上させることができ、小さな有効エネルギー（effective  energy）でも効果的な配向処理を行えるようにする。
【００４９】
本実施形態に係るラビング及び光配向装置１００は、１次のラビング工程及び前処理後、２次の光配向を行うことができるが、ラビングローラ１９０によるラビング工程又は光配向のいずれか一つのみを行ってもよいことは言うまでもない。
【００５０】
液晶表示素子の基板に対して光配向を行うために、ガントリー１２０にラビングローラ１９０を除去した後、光配向ケース２２０を結合する。光配向ケース２２０の左右両側には、スピンドル２２２及びロールフランジ２２３が備えられているが、これは、ラビングローラー１９０の左右側面に備えられたスピンドル１９６及びロールフランジ１９４と同じ構造を有する。したがって、ラビングローラー１９０を分離した後、何の困難もなく光配向ケース２２０を支持体１２６に結合することができるようになる。
【００５１】
光配向ケース２２０の内部には、偏光素子２２４及びコールドミラー２２６が備えられている。
【００５２】
偏光素子２２４は、ランプ２１０から発された光を一定の方向に偏光するものであり、ワイヤグリッド（wire  grid）に該当する。偏光素子２２４によって生成された偏光光は、光配向膜に到達して、光配向膜を偏光方向と垂直方向を持つように配置する。そして、偏光素子２２４は、その偏光方向を変更することができる。
【００５３】
コールドミラー２２６は、ランプ２１０から発された光の中で温度上昇を誘発する赤外線などをフィルタリングして、光配向ケース２２０及びテーブル１７４などの温度上昇を抑える役割をする。
【００５４】
光配向ケース２２０は、ラビングローラ１９０によるラビング工程の後に発生する異物（particle）を除去するクリーニング（cleaning）機能を備えることができる。また、光配向ケース２２０は、ラビング工程の後に発生する静電気を除去することができる装置を更に備えることもできる。
【００５５】
図５は、ガントリー１２０に光配向ケース２２０が結合された状態を例示する図である。図５を参照すると、光配向を行うためにラビングローラー１９０をガントリー１２０から除去した後、光配向ケース２２０を支持体１２６に結合する。光配向ケース２２０は、ガントリー１２０の下部に密着するように結合され得るが、これにより、ランプ２１０で発生したＵＶ光が外部に流出されず、光配向ケース２２０にすべて入射できることになる。
【００５６】
そして、マイクロ波発生器１８０の作動により、マイクロ波を生成させてランプ２１０からＵＶが発光されるようにする。ランプ２１０から発されたＵＶ光は、ガントリー１２０の光透過部１２４を透過して、光配向ケース２２０の偏光素子２２４及びコールドミラー２２６を各々透過した後、配向膜に到達して光配向を行う。
【００５７】
本実施形態に係るラビング及び光配向装置１００は、一つのガントリー１２０を備えており、ラビングローラ１９０又は光配向ケース２２０を選択的に結合するものとして例示したが、他の実施形態に係るラビング及び光配向装置は、２つのガントリーを備えており、ラビングローラ１９０及び光配向ケース２２０を選択的に結合することができる。この場合、２つのガントリーの両方には、ラビングローラー１９０のみが結合されるか、又は光配向ケース２２０のみが結合されることができる。
【００５８】
以下では、図６を参照しながら、本発明の第２の実施形態に係るラビング及び光配向装置の光配向モジュール３００に対して説明する。
【００５９】
図６は、本発明の第２の実施形態に係るラビング及び光配向装置の光配向モジュール３００を例示する斜視図である。
【００６０】
図６を参照すると、本実施形態に係るラビング及び光配向装置は、光配向モジュール３００を含むことを特徴とする。光配向モジュール３００は、反射鏡３２４と、ランプ３２６と、偏光素子３２８と、コールドミラー３３２と、が備えられている。また、光配向モジュール３００は、光配向のためにガントリーの外部に選択的に結合することができるが、この場合、ガントリーの内部には、ランプが備えられていない。したがって、本実施形態に係るラビング及び光配向装置は、第１の実施形態に係るラビング及び光配向装置１００の構成と同じであり、但し、反射鏡３２４及びランプ３２６がガントリーの内部に位置しておらず、光配向モジュール３００の内部に備えられているという点が異なっている。
【００６１】
光配向モジュール３００は、ケース３２０と、反射鏡３２４と、ランプ３２６と、偏光素子３２８と、コールドミラー３３２と、を含む。光配向モジュール３００は、光配向のためにガントリーに結合されることができる。
【００６２】
ケース３２０は、光配向モジュール３００の外体を形成するものであり、その内部には、反射鏡３２４と、ランプ３２６と、偏光素子３２８と、コールドミラー３３２と、が位置する。ケース３２０は、マイクロ波に対する共振器構造を有し、マイクロ波発生器１８０で生成されたマイクロ波が伝達され、その内部で共振される。ケース３２０の内部で共振されるマイクロ波によって、ランプ３２６からＵＶ光が誘導される。
【００６３】
ケース３２０の左右側面には、スピンドル３２２及びロールフランジ３３３が備えられている。スピンドル３２２及びロールフランジ３３３は、ラビングローラ１９０のスピンドル１９６及びロールフランジ１９４と同じ構造を有する。これにより、光配向モジュール３００は、ラビングローラ１９０が結合する支持体１２６に容易に結合することができる。
【００６４】
ケース３２０の内部に備えられている反射鏡３２４、ランプ３２６、偏光素子３２８、及びコールドミラー３３２は、第１の実施形態に係るラビング及び光配向装置１００の反射鏡２１２、ランプ２１０、偏光素子２２４、及びコールドミラー２２６と同じであるため、具体的な説明は、省略する。
【００６５】
本実施形態に係るラビング及び光配向装置は、ガントリに結合する光配向モジュール３００がランプ３２６を備えているので、ガントリーの水平フレーム１２２の内部空間にマイクロ波発生器１８０及び冷却装置（図示せず）などを収納することができる。そして、光配向モジュール３００のケース３２０は、マイクロ波の外部への流出を防止することができる構造（例えば、メッシュ（mesh）構造）を有することができる。また、光配向モジュール３００は、ラビング工程を行った後に発生した異物（particle）を除去できる機能と、静電気を除去できる機能とを更に含むことができる。
【００６６】
以下では、図７を参照しながら、本発明の第３の実施形態に係るラビング及び光配向装置について説明する。
【００６７】
図７は、本発明の第３の実施形態に係るラビング及び光配向装置のガントリー４００を例示する図である。図７を参照すると、本実施形態に係るラビング及び光配向装置のガントリー４００は、その水平フレーム４２０の内部にランプ４３０と、偏光素子４３６と、コールドミラー４３８とが備えられているという点に特徴がある。したがって、本実施形態に係るラビング及び光配向装置は、光配向のために、図４に例示された光配向ケース２２０を結合することなく、ガントリー４００の外部に結合されたラビングローラ１９０のみを削除すればよい。
【００６８】
水平フレーム４２０は、内部空間４２４を有するが、内部空間４２４には、反射鏡４３２と、ランプ４３０と、偏光素子４３６と、コールドミラー４３８と、が位置する。そして、水平フレーム４２０は、ランプ４３０から発された光が透過できる光透過部４２２を備える。また、水平フレーム４２０の下面には、ラビングローラー１９０の結合のための一対の支持体４２６が備えられている。
【００６９】
支持体４２６には、ラビングのためのラビングローラ１９０のみが結合される。
【００７０】
本実施形態に係るラビング及び光配向装置のガントリー４００の内部に備えられているランプ４３０と、反射鏡４３２と、偏光素子４３６と、コールドミラー４３８とは、第１の実施形態に係るラビング及び光配向装置のランプ２１０、反射鏡２１２、偏光素子２２４、及びコールドミラー２２６と同じであるため、具体的な説明は、省略する。
【００７１】
以上では、本発明の一実施形態を参照して説明したが、該当技術分野における通常の知識を有する者であれば、下記の特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で、本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解できるだろう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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