(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定波長の光を出射する発光素子上に、前記発光素子からの出射光により励起されて前記所定波長と異なる波長の蛍光を発生する蛍光体を含む波長変換部を形成する工程を含む発光装置の製造方法であって、
前記波長変換部を形成する工程は、
蛍光体及び沈降防止剤を含む蛍光体分散液を用いて、前記発光素子上に蛍光体層を形成する工程と、
前記蛍光体及び前記沈降防止剤を封止する有機金属化合物を含む前駆体溶液を、前記蛍光体層上に塗布する工程と、を含み、
前記蛍光体分散液は、前記蛍光体及び前記沈降防止剤を封止する前記有機金属化合物を有しておらず、
前記蛍光体分散液を用いて前記発光素子上に前記蛍光体層を形成する工程は、第一のノズルを傾けて前記蛍光体分散液を前記発光素子に対し斜め方向から噴射する工程であり、
前記前駆体溶液を前記蛍光体層上に塗布する工程は、前記第一のノズルと異なる第二のノズルを用いて前記前駆体溶液を噴射する工程である、発光装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の発光装置の製造方法において、
前記蛍光体分散液を前記発光素子上に噴射する工程は、前記第一のノズルと前記発光素子の間にマスクを配置し、前記マスクを介して前記蛍光体分散液を噴射する工程である、発光装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の発光装置の製造方法において、
前記有機金属化合物が金属アルコキシドである、発光装置の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の発光装置の製造方法において、
前記金属アルコキシドがポリシロキサンである、発光装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法において、
前記沈降防止剤が層状ケイ酸塩鉱物である、発光装置の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の発光装置の製造方法において、
前記蛍光体分散液が無機微粒子を更に含む、発光装置の製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の発光装置の製造方法において、
前記無機微粒子の平均粒径が、０．００１μｍ以上２０μｍ以下である、発光装置の製造方法。
【請求項８】
請求項６または７に記載の発光装置の製造方法において、
前記蛍光体分散液中に含まれる前記層状ケイ酸塩鉱物の組成範囲が０．１〜５重量％であり、前記蛍光体分散液中に含まれる前記無機微粒子の組成範囲が１〜４０重量％である、発光装置の製造方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の発光装置の製造方法において、
前記蛍光体分散液の粘度が２５〜８００ｃＰである、発光装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は発光装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、窒化ガリウム（ＧａＮ）系の青色ＬＥＤ（Light Emitting Diode： 発光ダイオード）チップの近傍にＹＡＧ蛍光体等の蛍光体を配置し、青色ＬＥＤチップから出射される青色光と、蛍光体が青色光を受けて二次発光することにより出射される黄色光との混色により白色ＬＥＤを得る技術が広く用いられている。
【０００３】
このような白色ＬＥＤでは、蛍光体を分散させた透明樹脂を用いてＬＥＤチップや実装部を封止する方法が一般的である。しかし、蛍光体の比重は透明樹脂よりも大きいため、樹脂が硬化する前に蛍光体が沈降してしまい、発光時の色むら等の原因となっていた。
【０００４】
そこで、蛍光体の沈降を抑制して色むらの発生を防止する方法が種々提案されており、例えば特許文献１には、樹脂硬化時の粘度が１００ｃＰ〜１００００ｃＰのシリコーン樹脂を封止体として用いることにより、蛍光体の沈降や偏析を抑制することが記載されている。また、特許文献２には、筒状容器の上端開口と下端開口の間にＬＥＤ素子を配置し、上端開口から下端開口までを透光性樹脂で充填するとともに、ＬＥＤ素子からの出射光が上端開口側へ反射するように容器の内壁面を形成したチップ部品型ＬＥＤが開示されている。
【０００５】
さらに、特許文献３には、液状の透光性封止材料に、蛍光体の沈降防止剤として粘土鉱物を主とする層状化合物に有機カチオンを添加してなる親油性化合物を加えた発光装置及びその製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３１４１４２号公報
【特許文献２】特開２００２−１８５０４６号公報
【特許文献３】特開２００４−１５３１０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１では、ＬＥＤチップをシリコーン樹脂で封止しているため、ＬＥＤチップからの発光やＬＥＤチップ及び蛍光体の発熱などにより封止材料の着色等の劣化が進行し易く、長期間の使用に耐えうるだけの耐久性を得ることが困難であった。また、特許文献２の構成ではＬＥＤの構成が複雑となり、コストアップに繋がるという問題点もあった。さらに、特許文献２、３においても、透光性封止材料の具体例としてエポキシ樹脂やシリコーン樹脂、ポリイミド樹脂等の樹脂材料が挙げられており、特許文献１と同様に封止材料の耐久性の面で十分ではなかった。
【０００８】
そこで、加熱後にセラミックとなる封止材料を用いてＬＥＤチップを封止することにより、ＬＥＤチップの耐熱性や耐光性を向上させることが考えられる。この場合、蛍光体の沈降抑制剤として、特許文献２に記載されている層状化合物を添加すると、蛍光体の分散状態が安定し、色むらの発生を低減することができる。しかし、封止材料と沈降抑制剤との混合液の粘度が小さいため、封止材料が硬化する前に蛍光体が沈降してしまい、沈降抑制効果が十分ではなかった。
【０００９】
したがって、本発明の主な目的は、耐熱性の高い透光性部材中に蛍光体を均一に分散させた波長変換部を備える発光装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため本発明によれば、
所定波長の光を出射する発光素子上に、前記発光素子からの出射光により励起されて前記所定波長と異なる波長の蛍光を発生する蛍光体を含む波長変換部を形成する工程を含む発光装置の製造方法であって、
前記波長変換部を形成する工程は、
蛍光体及び沈降防止剤を含む蛍光体分散液を用いて、前記発光素子上に蛍光体層を形成する工程と、
前記蛍光体及び前記沈降防止剤を封止する有機金属化合物を含む前駆体溶液を、前記蛍光体層上に塗布する工程と、を含み、
前記蛍光体分散液は、前記蛍光体及び前記沈降防止剤を封止する前記有機金属化合物を有しておらず、
前記蛍光体分散液を用いて前記発光素子上に前記蛍光体層を形成する工程は、第一のノズルを傾けて前記蛍光体分散液を前記発光素子に対し斜め方向から噴射する工程であり、
前記前駆体溶液を前記蛍光体層上に塗布する工程は、前記第一のノズルと異なる第二のノズルを用いて前記前駆体溶液を噴射する工程である、発光装置の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、蛍光体分散液と前駆体溶液とを別個に発光素子に塗布するから、蛍光体を分散させた状態で発光素子に塗布することができ、耐熱性の高い透光性部材中に蛍光体を均一に分散させた波長変換部を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】発光装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】第１の実施形態にかかる発光装置の製造装置および製造方法を概略的に説明するための模式図である。
【図３】第２の実施形態にかかる発光装置の製造装置および製造方法を概略的に説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながら本発明の好ましい実施形態について説明する。
【００１４】
［第１の実施形態］
図１に示すとおり、発光装置１００は、断面凹状のＬＥＤ基板１を有している。
ＬＥＤ基板１の凹部（底部）にはメタル部２が設けられ、メタル部２上に直方体状のＬＥＤ素子３が配置されている。ＬＥＤ素子３は所定波長の光を出射する発光素子の一例である。
ＬＥＤ素子３のメタル部２に対向する面には突起電極４が設けられており、メタル部２とＬＥＤ素子３とが突起電極４を介して接続されている(フリップチップ型)。
尚、ここでは、一つのＬＥＤ基板１に対して、一つのＬＥＤ素子３が設けられる構成を図示しているが、一つのＬＥＤ基板１の凹部に複数のＬＥＤ素子３が設けられてもよい。
【００１５】
本実施形態では、ＬＥＤ素子３として青色ＬＥＤ素子を用いている。
青色ＬＥＤ素子は、例えばサファイア基板上にｎ−ＧａＮ系クラッド層、ＩｎＧａＮ発光層、ｐ−ＧａＮ系クラッド層、及び透明電極を積層してなる。
【００１６】
ＬＥＤ基板１の凹部にはＬＥＤ素子３の周囲を封止するように波長変換部６が形成されている。
波長変換部６は、ＬＥＤ素子３から出射される所定波長の光を、異なる波長の光に変換する部分であり、透光性を有するセラミック層中にＬＥＤ素子３からの波長により励起されて、励起波長と異なる波長の蛍光を出す蛍光体が添加されている。ここでは、ＬＥＤ素子３の周囲を封止するように波長変換部６が形成されているが、波長変換部６は、ＬＥＤ素子３の周囲（上面及び側面）のみに設けられればよく、ＬＥＤ基板１の凹部には波長変換部６が設けられない構成とされてもよい。
ＬＥＤ素子３の周囲のみに波長変換部６を設ける方法としては、波長変換部６を形成する際に、マスクを設置する方法等が用いられる。
【００１７】
次に、波長変換部６の構成などについて詳述する。
波長変換部６は、有機金属化合物を有機溶媒に混合したゾル状の前駆体溶液を加熱によりゲル状態とし、さらに焼成する、いわゆるゾル・ゲル法により形成された透明セラミック層（ガラス体）であって、その透明セラミック層中に蛍光体、層状ケイ酸塩鉱物、無機微粒子を含有するものである。
【００１８】
（有機金属化合物）
有機金属化合物は、蛍光体、層状ケイ酸塩鉱物、無機微粒子を封止するバインダとしての役割を果たすものである。
本発明に用いられる有機金属化合物としては、金属アルコキシド、金属アセチルアセトネート、金属カルボキシレート等が挙げられるが、加水分解と重合反応によりゲル化し易い金属アルコキシドが好ましい。
【００１９】
金属アルコキシドは、テトラエトキシシランのような単分子のものでも良いし、有機シロキサン化合物が鎖状または環状に連なったポリシロキサンでも良いが、前駆体溶液の粘性が増加するポリシロキサンが好ましい。
なお、透光性のガラス体を形成可能であれば金属の種類に制限はないが、形成されるガラス体の安定性や製造の容易性の観点から、ケイ素を含有していることが好ましい。また、複数種の金属を含有していても良い。
【００２０】
セラミック層中の有機金属化合物の含有量が２重量％未満では、バインダとしての有機金属化合物が少なすぎて加熱、焼成後のセラミック層の強度が低下する。
一方、有機金属化合物の含有量が５０重量％を超えると、層状ケイ酸塩鉱物の含有量および無機微粒子の含有量が相対的に低下するため、セラミック層の強度も低下する。
そのため、セラミック層中の有機金属化合物の含有量は２重量％以上５０以下が好ましく、２．５重量％以上３０重量％以下がより好ましい。
【００２１】
有機金属化合物としてポリシラザンを使用することもできる。
本発明で用いられるポリシラザンとは下記一般式（１）で表される。
（Ｒ１Ｒ２ＳｉＮＲ３）ｎ  …  （１）
式（１）中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３はそれぞれ独立して水素原子またはアルキル基、アリール基、ビニル基、シクロアルキル基を表し、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３のうち少なくとも１つは水素原子であり、好ましくはすべてが水素原子であり、ｎは１〜６０の整数を表す。
【００２２】
ポリシラザンの分子形状はいかなる形状であってもよく、例えば、直鎖状または環状であってもよい。
上記式（１）に示すポリシラザンと必要に応じた反応促進剤を、適切な溶媒に溶かして塗布し、加熱やエキシマ光処理、ＵＶ光処理を行うことで硬化し、耐熱性、耐光性の優れたセラミック膜を作成することができる。特に、１７０〜２３０ｎｍの範囲の波長成分を含むＵＶＵ放射線（例えばエキシマ光）を照射して硬化させた後に、加熱硬化を行うとさらに水分の浸透防止効果を向上させることができる。
反応促進剤としては酸、塩基などを用いることが好ましいが用いなくても良い。
反応促進剤としては例えばトリエチルアミン、ジエチルアミン、Ｎ，Ｎ− ジエチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、トリエチルアミン、塩酸、シュウ酸、フマル酸、スルホン酸、酢酸やニッケル、鉄、パラジウム、イリジウム、白金、チタン、アルミニウムを含む金属カルボン酸塩などが挙げられるがこれに限られない。
反応促進剤を用いる場合に特に好ましいのは金属カルボン酸塩であり、添加量はポリシラザンを基準にして０．０１〜５ｍｏｌ％が好ましい添加量である。
溶媒としては脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、ハロゲン炭化水素、エーテル類、エステル類を使用することができる。好ましくはメチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、ベンゼン、トルエン、キシレン、ジメチルフルオライド、クロロホルム、四塩化炭素、エチルエーテル、イソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、エチルブチルエーテルである。
また、ポリシラザン濃度は高い方が好ましいが、濃度の上昇はポリシラザンの保存期間の短縮につながるため、ポリシラザンは、溶媒中に５〜５０ｗｔ％（重量％）以下で溶解していることが好ましい。
また、ポリシラザン溶液をセラミック前駆体溶液として用いる場合、焼成する際の加熱温度は、基板として用いられるガラス材料等の劣化を抑制する観点からは１５０℃〜５００℃が好ましく、１５０℃〜３５０℃とすることがより好ましい。
【００２３】
（蛍光体）
蛍光体は、ＬＥＤ素子３からの出射光の波長（励起波長）により励起されて、励起波長と異なる波長の蛍光を出射するものである。
本実施形態では、青色ＬＥＤ素子から出射される青色光（波長４２０ｎｍ 〜４８５ｎｍ）を黄色光（波長５５０ｎｍ〜６５０ｎｍ）に変換するＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）蛍光体を使用している。
【００２４】
このような蛍光体は、Ｙ、Ｇｄ、Ｃｅ、Ｓｍ、Ａｌ、Ｌａ、Ｇａの酸化物、または高温で容易に酸化物となる化合物を使用し、それらを化学量論比で十分に混合して混合原料を得る。或いは、Ｙ、Ｇｄ、Ｃｅ、Ｓｍの希土類元素を化学量論比で酸に溶解した溶液をシュウ酸で共沈したものを焼成して得られる共沈酸化物と、酸化アルミニウム、酸化ガリウムとを混合して混合原料を得る。
そして、得られた混合原料にフラックスとしてフッ化アンモニウム等のフッ化物を適量混合して加圧し、成形体を得る。
得られた成形体を坩堝に詰め、空気中１３５０〜１４５０℃の温度範囲で２〜５時間焼成し、蛍光体の発光特性を持つ焼結体を得る。
【００２５】
なお、本実施形態ではＹＡＧ蛍光体を使用しているが、蛍光体の種類はこれに限定されるものではなく、例えばＣｅを含まない非ガーネット系蛍光体等の他の蛍光体を使用することもできる。また、蛍光体の粒径が大きいほど発光効率（波長変換効率）は高くなる反面、有機金属化合物との界面に生じる隙間が大きくなって形成されたセラミック層の膜強度が低下する。
従って、発光効率と有機金属化合物との界面に生じる隙間の大きさを考慮し、平均粒径が１μｍ以上５０μｍ以下のものを用いることが好ましい。蛍光体の平均粒径は、例えばコールターカウンター法によって測定することができる。
【００２６】
（層状ケイ酸塩鉱物）
層状ケイ酸塩鉱物は、雲母構造、カオリナイト構造、スメクタイト構造等の構造を有する膨潤性粘土鉱物が好ましく、膨潤性に富むスメクタイト構造が特に好ましい。これは、後述するように蛍光体分散液中に水を添加することで、スメクタイト構造の層間に水が進入して膨潤したカードハウス構造をとるため、少量で蛍光体分散液の粘性を大幅に増加させる効果があるためである。
また、層状ケイ酸塩鉱物はセラミック層中では平板状を呈するため、セラミック層の膜強度を向上させることができる。
【００２７】
セラミック層中における層状ケイ酸塩鉱物の含有量が０．５重量％未満になると、蛍光体分散液の粘性を増加させる効果が十分に得られない。
一方、層状ケイ酸塩鉱物の含有量が２０重量％を超えると、セラミック層の強度が低下する。
従って、層状ケイ酸塩鉱物の含有量は０．５重量％以上２０重量％以下とすることが好ましく、０．５重量％以上１０重量％以下がより好ましい。
【００２８】
なお、有機溶媒との相溶性を考慮して、層状ケイ酸塩鉱物の表面をアンモニウム塩等で修飾（表面処理）したものを適宜用いることもできる。
【００２９】
（無機微粒子）
無機微粒子は、有機金属化合物と、蛍光体及び層状ケイ酸塩鉱物との界面に生じる隙間を埋める充填効果、蛍光体分散液の粘性を増加させる増粘効果、及びセラミック層の膜強度を向上させる膜強化効果を有する。
本発明に用いられる無機微粒子としては、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化亜鉛等の酸化物微粒子、フッ化マグネシウム等のフッ化物微粒子等が挙げられる。特に、有機金属化合物としてポリシロキサン等の含ケイ素有機化合物を用いる場合、形成されるセラミック層に対する安定性の観点から酸化ケイ素の微粒子を用いることが好ましい。
【００３０】
セラミック層中における無機微粒子の含有量が０．５重量％未満になると、上述したそれぞれの効果が十分に得られない。
一方、無機微粒子の含有量が５０重量％を超えると、セラミック層の強度が低下する。
従って、セラミック層中における無機微粒子の含有量は０．５重量％以上５０重量％以下とする。
なお、セラミック層中における無機微粒子の含有量は、好ましくは０．５ 重量％以上４０重量％以下である。
また、無機微粒子の平均粒径は、上述したそれぞれの効果を考慮して０．００１μｍ以上５０μｍ以下のものを用いることが好ましく、０．００５μｍ以上２０μｍ以下のものを用いることがより好ましい。
無機微粒子の平均粒径は、例えばコールターカウンター法によって測定することができる。
【００３１】
なお、有機金属化合物や有機溶媒との相溶性を考慮して、無機微粒子の表面をシランカップリング剤やチタンカップリング剤で処理したものを適宜用いることもできる。
【００３２】
（前駆体溶液）
前駆体溶液は、有機金属化合物を有機溶媒に混合したものであり、前駆体溶液を加熱することにより透光性のセラミック層を得ることができる。この前駆体溶液を、蛍光体、層状ケイ酸塩鉱物および無機微粒子を混合した蛍光体分散液が塗布された発光素子上に塗布し、これを加熱することにより、波長変換部６が形成される。
【００３３】
有機溶媒としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類が好ましい。
また、有機溶媒に対する有機金属化合物の混合量が５重量％未満になると前駆体溶液の粘性を増加させることが困難となり、有機金属化合物の混合量が５０重量％を超えると重合反応が必要以上に速く進んでしまう。
そのため、有機溶媒に対する有機金属化合物の混合量は５重量％以上５０重量％以下が好ましく、８重量％以上４０重量％以下がより好ましい。
【００３４】
（蛍光体分散液）
蛍光体分散液は、蛍光体、層状ケイ酸塩鉱物を含有する液体で、好ましくはさらに無機微粒子を含有する液体である。
蛍光体分散液の調製手順としては、例えば、表面処理された親油性の層状ケイ酸塩鉱物を用いる場合は、まず有機溶媒に層状ケイ酸塩鉱物を予備混合し、その後に蛍光体、無機微粒子および水を混合する。
蛍光体分散液に水を添加すると、層状ケイ酸塩鉱物の層間に水が入り込んで蛍光体分散液の粘性が増加するため、蛍光体の沈降を抑制することができる。
有機溶媒としては、添加される水との相溶性に優れたメタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類が好ましい。
他方、表面処理されていない親水性の層状ケイ酸塩鉱物を用いる場合は、まず層状ケイ酸塩鉱物と水とを予備混合し、その後に蛍光体および無機微粒子を混合する。
これにより、層状ケイ酸塩鉱物を均一に混合して増粘効果をより高めることができる。
蛍光体分散液の好ましい粘度は２５〜８００ｃＰであり、最も好ましい粘度は３０〜５００ｃＰである。
なお、水に不純物が含まれていると前駆体溶液の重合反応を阻害する可能性があるため、添加する水は不純物を含まない純水を用いる必要がある。
【００３５】
また、有機溶媒に水を加える場合は、総溶媒量に対する水の割合を５％以上とする。水の割合が５重量％未満になると上記の増粘効果を十分に得ることができず、水の割合が６０重量％を超えると増粘効果よりも水の混合過多による粘度低下効果の方が大きくなる。
そのため、水の割合は総溶媒量に対し５重量％以上６０重量％以下が好ましく、７重量％以上５５重量％以下がより好ましい。
【００３６】
蛍光体分散液液中に含まれる上記各成分の最も好ましい組成範囲は、層状ケイ酸塩鉱物が０．１〜５重量％、無機微粒子が１〜４０重量％である。
なお、層状ケイ酸塩鉱物としては、スメクタイト構造を有するものを用いるのが好ましい。
【００３７】
続いて、発光装置１００（波長変換部６）の製造方法について説明する。
【００３８】
発光装置１００の波長変換部６を製造する場合、たとえば図２の製造装置１０が使用される。
製造装置１０は、主に、上下，左右，前後に移動可能な移動台２０と、上記で説明した蛍光体分散液または前駆体溶液を塗布液４０として噴射可能なスプレー装置３０と、波長変換部６の色度や輝度などを検査可能な検査装置５０と、を有している。
【００３９】
スプレー装置３０は移動台２０の上方に配置されている。
スプレー装置３０はエアーが送り込まれるノズル３２を有している。
また、スプレー装置３０が移動台２０の下方に設置され、上方に向かって塗布液４０を噴射する構成であってもよい。
ノズル３２の先端部の孔径は２０μｍ〜２ｍｍであり、好ましくは０．１ 〜０．３ｍｍである。ノズル３２は移動台２０と同様に、上下，左右，前後に移動可能となっている。特にノズル３２は角度調整も可能であり、移動台２０（またはこれに設置されるＬＥＤ基板１）に対し傾斜させることができるようになっている。
ノズル３２には温度調整機構が内蔵されており、噴射物の温度を調整することができる。
ノズル３２には連結管３４を介してタンク３６が接続されている。
タンク３６には塗布液４０が貯留されている。タンク３６には撹拌子が入っており、塗布液４０が常に撹拌されている。塗布液４０が蛍光体分散液の場合、比重が重い蛍光体が沈降して蛍光体分散液中で蛍光体の濃度分布が不均一となる可能性があるが、タンク３６内の撹拌子で蛍光体分散液を常に撹拌すれば、比重の大きい蛍光体の沈降を抑止することができ、蛍光体が蛍光体分散液中で分散した状態を保持することができる。
なお、スプレー装置３０では、ノズル３２にエアーを送り込むのに代えて、モーターなどを駆動源として利用しタンク３６の塗布液４０自体に圧力を加えてノズル３２から塗布液４０を噴射するか、または押し出すような機構としてもよい。塗布液４０を押し出すような機構とする場合、塗布液４０に対する圧力のバラツキを１０％以内とする。
【００４０】
検査装置５０は、ＬＥＤ素子５２と色彩輝度計５４とを有している。
ＬＥＤ素子５２はＬＥＤ素子３と同様の光を発光する素子である。
色彩輝度計５４は受光した光の色度や輝度を計測する計測器である。
【００４１】
実際に発光装置１００の波長変換部６を製造する場合には、まず、塗布液４０として蛍光体分散液を用い、色度・輝度調整用（試験用）のガラスプレート６０に蛍光体分散液を事前に噴射・塗布し、白色光の色度や輝度をあらかじめ計測する（予備噴射・塗布工程）。
詳しくは、ガラスプレート６０を移動台２０に設置し、移動台２０とスプレー装置３０のノズル３２とを制御してガラスプレート６０とノズル３２の先端部とを対向配置する。この状態で、ノズル３２からガラスプレート６０に蛍光体分散液を噴射・塗布し、蛍光体分散液中の溶媒を揮発させ、ガラスプレート６０上に蛍光体層を形成する。
その後、蛍光体層が形成されたガラスプレート６０を検査装置５０の近傍に移送し、発光素子５２を発光させる。そして白色光の色度や輝度を色彩輝度計５４で計測し、白色光の色度や輝度が所望の値（範囲）になっているかどうかを確認する。
予備噴射・塗布工程の処理は、白色光の色度や輝度が安定するまで繰り返す。
予備噴射・塗布工程において、白色光の色度や輝度が所望の値からずれている場合には、スプレーの噴射圧や蛍光体分散液における蛍光体の濃度等を調整して所望の値とすることができる。この際の調整は、計測値に応じて自動で行われることが好ましいが、計測値に応じて手動により調整してもよい。
【００４２】
その後、ガラスプレート６０に代えて、（ＬＥＤ素子３をあらかじめ実装した）複数のＬＥＤ基板１を移動台２０に設置し、ＬＥＤ基板１とスプレー装置３０のノズル３２との位置関係を調整する（位置調整工程）。
詳しくは、ガラスプレート６０を設置したときと同様に、ＬＥＤ基板１を移動台２０に設置し、ＬＥＤ基板１とノズル３２の先端部とを対向配置する。ＬＥＤ基板１とノズル３２の先端部との距離は５〜３０ｃｍとする。ＬＥＤ素子３に対し蛍光体分散液を均一に塗布するには、ＬＥＤ基板１とノズル３２の先端部との間に一定の間隔をあけて、ＬＥＤ基板１からノズル３２の先端部を離間させたほうがよい。
【００４３】
その後、ＬＥＤ基板１とノズル３２とを互いに相対移動させながら、ノズル３２から蛍光体分散液を噴射してＬＥＤ基板１に蛍光体分散液を塗布する（噴射・塗布工程）。
詳しくは、一方では、移動台２０とノズル３２とを移動させてＬＥＤ基板１とノズル３２とを前後左右に移動させる。移動台２０とノズル３２とのうちいずれか一方の位置を固定し、他方を前後左右に移動させてもよい。また、移動台２０の移動方向と直交する方向にＬＥＤ素子３を複数配置し、ノズル３２を移動台２０の移動方向と直交する方向に移動させながら塗布する方法も好ましく用いられる。他方では、ノズル３２にエアーを送り込み、蛍光体分散液をノズル３２の先端部からＬＥＤ基板１に向けて噴射する。
ＬＥＤ基板１への蛍光体分散液の塗布が終了したら、塗布液４０として前駆体溶液を用い、蛍光体分散液の噴射・塗布と同様、ＬＥＤ基板１とノズル３２の先端部との間に一定の間隔をあけて、ＬＥＤ基板１とノズル３２とを互いに相対移動させながら、ノズル３２から前駆体溶液を噴射し、前駆体溶液を、蛍光体分散液が塗布されたＬＥＤ基板１に塗布する。
【００４４】
噴射・塗布工程では、塗布液４０として蛍光体分散液を用いる場合および前駆体溶液を用いる場合の双方において、下記（１）〜（９）の操作や条件設定などをおこなう。
（１）基本的には、ノズル３２の先端部をＬＥＤ基板１の直上に配置して塗布液４０をＬＥＤ素子３の真上から噴射する。
ただ、ＬＥＤ素子３が直方体状を呈しているため、塗布液４０をＬＥＤ素子３の真上から噴射するのに加えてまたは代えて、たとえばノズル３２を傾けてＬＥＤ素子３の４つの角部に向けて斜め方向から塗布液４０を噴射してもよい。
このようにノズル３２の噴射角度を小さくして塗布液４０を４方向から噴射すれば、ＬＥＤ素子３の側面に対しても塗布液４０を均一に塗布することができる。
ノズル３２の噴射角度は適宜設定可能であり、好ましくは４５°とする。
（２）塗布液４０の噴射量は一定とし、単位面積当たりの蛍光体量を一定とする。
塗布液４０の噴射量の経時的なバラツキは１０％以内とし、好ましくは１％以内とする。
【００４５】
（３）ノズル３２を温度調整し、塗布液４０の噴射時の粘度を調整する。
好ましくは塗布液４０の温度を４０℃以下に調整するか、または塗布液４０の粘度にあわせて調整する。
この場合、ＬＥＤ基板１を室温環境下においてもよいし、温度調整機構を移動台２０に設けてＬＥＤ基板１の温度をコントロールしてもよい。
ＬＥＤ基板１の温度を３０〜１００℃で高く設定すれば、ＬＥＤ基板１に噴射された塗布液４０中の有機溶媒を早く揮発させることができ、塗布液４０がＬＥＤ基板１から液だれするのを防止することができる。逆に、ＬＥＤ基板１の温度を５〜２０℃と低く設定すれば、溶媒をゆっくり揮発させることができ、塗布液４０をＬＥＤ素子３の外壁に沿って均一に塗布することができ、ひいては波長変換部６の膜密度や膜強度などを増大させることができ、緻密な膜を形成することができる。
【００４６】
（４）製造装置１０の環境雰囲気（温度・湿度）を一定とし、塗布液４０の噴射を安定させる。
特に、前駆体溶液の有機金属化合物としてポリシラザンを使用する場合、ポリシラザンが吸湿性を有しており前駆体溶液自体が固化する可能性があるため、前駆体溶液を噴射するときは好ましくは湿度を低くする。
（５）スプレー装置３０とＬＥＤ基板１との間にＬＥＤ素子３の形状に応じたマスクを配置し、当該マスクを介して塗布液４０を噴射する。
マスクとしては、塗布液４０を構成する有機溶媒に溶解しない材質のものを使用する必要があるが、マスクに付着した蛍光体等の材料の回収の観点から好ましくは可燃性のものを使用する。
【００４７】
（６）１つのＬＥＤ基板１への蛍光体分散液および前駆体溶液の噴射・塗布が終了したら、その次のＬＥＤ基板１に対し上記と同様の操作を繰り返し、複数のＬＥＤ基板１のＬＥＤ素子３上に蛍光体分散液および前駆体溶液を順次噴射・塗布する。
なお、1枚のＬＥＤ基板１ごとに蛍光体分散液および前駆体溶液を噴射・塗布するではなく、複数のＬＥＤ基板１に連続的に蛍光体分散液を噴射・塗布し、続けて蛍光体分散液が塗布された複数のＬＥＤ基板１に連続的に前駆体溶液を噴射・塗布してもよい。
複数のＬＥＤ基板１に蛍光体分散液または前駆体溶液を続けて噴射・塗布する場合において、ＬＥＤ基板１を切り替えるごとに塗布液４０の噴射を一時的に休止して塗布液４０を断続的に噴射してもよい。塗布液４０を連続的に噴射し続ければ、各ＬＥＤ基板１に対する塗布液４０の噴射量を安定させることができる。塗布液４０を断続的に噴射すれば、塗布液４０の使用量を節約することができる。
【００４８】
（７）噴射・塗布工程中は、一定数のＬＥＤ基板１への蛍光体分散液の噴射・塗布が終了するごとに、白色光の色度や輝度を実際に検査し、その検査結果を蛍光体分散液の噴射量や噴射圧、噴射温度（ノズル３２の温度）などにフィードバックしてもよい（検査工程）。
すなわち、検査工程では、蛍光体分散液の噴射・塗布が終了したＬＥＤ基板１のうちの１枚を検査装置５０の近傍に移送し、ＬＥＤ素子３を発光させる。そして蛍光体分散液による白色光の色度や輝度を色彩輝度計５４で計測し、その計測結果に基づき、蛍光体分散液の噴射量や噴射圧、噴射温度（ノズル３２の温度）などを変更してもよい。
蛍光体分散液の噴射・塗布が終了したＬＥＤ基板１を使用するのに代えて、ガラスプレート６０に蛍光体分散液を噴射・塗布し、これを白色光の色度や輝度の検査対象としてもよい。ガラスプレート６０を使用する場合は、ＬＥＤ素子５２を発光させ、白色光の色度や輝度を計測すればよい。
【００４９】
（８）噴射・塗布工程中は、ノズル３２をクリーニングしてもよい。
この場合、スプレー装置３０の近傍に、洗浄液を貯留したクリーニングタンクを設置し、塗布液４０の噴射の休止中や白色光の色度・輝度の検査中などにおいて、ノズル３２の先端部をクリーニングタンク中に浸漬させ、ノズル３２の先端部の乾燥を防ぐようにする。
洗浄液としては、塗布液４０を溶解可能な液体が使用可能である。
また、噴射・塗布工程の休止中には、塗布液４０が硬化してノズル３２の噴射孔が詰まる可能性があるため、ノズル３２をクリーニングタンク中に浸漬させるか、噴射・塗布工程の開始時にノズル３２のクリーニングを行うことが好ましい。
なお、ノズル３２の上記クリーニングは、噴射・塗布工程の処理自体を実行する前に行ってもよい。
【００５０】
（９）噴射・塗布工程では、塗布液４０をミスト状に噴射する関係上、蛍光体分散液中の有機溶媒が揮発すると、蛍光体，無機微粒子などの粉体が飛散することもあるため、好ましくは製造装置１０の全体をハウジングなどで被覆してフィルタ越しに集塵・排気しながら、噴射・塗布工程や検査工程の処理を実行する。
蛍光体をフィルタで捕集すれば、高価な蛍光体を再利用することができる。
【００５１】
その後、蛍光体分散液および前駆体溶液が塗布されたＬＥＤ基板１を、焼結炉に移送して焼成する（焼成工程）。
焼成工程では、処理温度（焼成温度）を、ＬＥＤ素子３が破損しない程度に設定し、１００〜３００℃、好ましくは１３０〜１７０℃とし、より好ましくは１４０〜１６０℃とし、もっとも好ましくは１５０℃前後とする。
その結果、前駆体溶液が焼結して透明セラミック層中に蛍光体、層状ケイ酸塩鉱物、無機微粒子を含有する波長変換部６が製造（形成）される。
なお、前駆体溶液を焼結させた後に、ディスペンサーを用いて波長変換部６上をシリコーン樹脂で封止してもよい。この場合、波長変換部６の経時的な劣化を抑制することができ、波長変換部６のＬＥＤ基板１やＬＥＤ素子３への接着性を向上させることができる。
【００５２】
以上の第１の実施形態によれば、蛍光体を含む蛍光体分散液をＬＥＤ素子３に噴射して塗布し、その後前駆体溶液を蛍光体分散液が塗布されたＬＥＤ素子３に塗布するから、蛍光体を均一に分散させた状態でＬＥＤ素子３に塗布することができ、耐熱性の高いセラミック層中に蛍光体を均一に分散させた波長変換部６を形成することができる。
【００５３】
［第２の実施形態］
第２の実施形態は主に下記の点で第１の実施形態と異なっており、それ以外は第１の実施形態と同様となっている。
第２の実施形態では、図２の製造装置１０に代えて、図３の製造装置７０が使用される。
製造装置７０はスプレー装置３０に加えて、第２のスプレー装置８０を有している。
スプレー装置８０はスプレー装置３０と同様の構成を有しており、ノズル８２に対し連結管８４を介してタンク８６が接続されている。
【００５４】
スプレー装置３０のタンク３６には、上記で説明した前駆体溶液（４２，有機金属化合物を有機溶媒に混合した溶液）が貯留されている。
他方、スプレー装置８０のタンク８６には、上記で説明した蛍光体，層状ケイ酸塩鉱物，無機微粒子を溶媒に分散させた溶液（以下「蛍光体分散液４ ４」という。）が貯留されている。
第２の実施形態では、波長変換部６を構成する成分をスプレー装置３０，８０からそれぞれ別々に噴射するようになっている。
なお、蛍光体分散液４４中の層状ケイ酸塩鉱物や無機微粒子は前駆体溶液４２にも含有されてもよい。
【００５５】
実際に波長変換部６を製造する場合、予備噴射・塗布工程では、蛍光体分散液４４を色度・輝度調整用（試験用）のガラスプレート６０に事前に噴射・塗布し、白色光の色度や輝度をあらかじめ計測すればよい。
【００５６】
噴射・塗布工程では、ノズル３２，８２を同時に使用（移動および前駆体溶液４２，蛍光体分散液４４の噴射）してもよいし、別個に使用してもよい。
ノズル３２，８２を同時に使用する場合、２本のノズル３２，８２を、互いの位置関係を固定した状態で移動させれば、波長変換部６の色度を安定させることができる。
ノズル３２，８２を別個に使用する場合、好ましくは各ＬＥＤ基板１に対し先にノズル８２から蛍光体分散液４４を噴射し、その後ノズル３２から前駆体溶液４２を噴射する。
前駆体溶液４２は、蛍光体分散液４４の噴射直後に噴射してもよいし、蛍光体分散液４４の噴射後に一定の時間をあけて噴射してもよい。
一定の時間をあければ、蛍光体分散液４４の溶媒を揮発させることができ、波長変換部６の膜強度を向上させることができる。
【００５７】
噴射・塗布工程では、基本的に、ノズル３２，８２の先端部をＬＥＤ基板１の直上に配置して、蛍光体分散液４４および前駆体溶液４２をそれぞれＬＥＤ素子３の真上から噴射する。
かかる場合、好ましくは、蛍光体分散液４４は、ノズル８２を傾けてＬＥＤ素子３の４つの角部に向けて斜め方向から噴射するのがよい。
このようにノズル８２の噴射角度を小さくして蛍光体分散液４４を４方向から噴射すれば、ＬＥＤ素子３の側面に対しても蛍光体分散液４４を均一に塗布することができる。
ノズル８２の噴射角度は適宜設定可能であり、好ましくは４５°とする。
もちろん、前駆体溶液４２も、蛍光体分散液４４の噴射態様と同様に、ノズル３２を傾けてＬＥＤ素子３の４つの角部に向けて斜め方向から噴射してもよい。
【００５８】
噴射・塗布工程では、ノズル３２とノズル８２とを別個に温度調整し、前駆体溶液４２と蛍光体分散液４４とを別個に最適な粘度に調整する。
噴射・塗布工程では、前駆体溶液４２と蛍光体分散液４４とで専用のマスクをそれぞれ使用し、噴射物の種類に応じて使い分けてもよい。
マスクを使い分ければ、蛍光体分散液４４中の高価な蛍光体を回収し再利用することができる。
【００５９】
噴射・塗布工程中は、ノズル８２をクリーニングしてもよい。
この場合、スプレー装置８０の近傍に、洗浄液を貯留したクリーニングタンクを設置し、蛍光体分散液４４の噴射の休止中や白色光の色度・輝度の検査中などにおいて、ノズル８２の先端部をクリーニングタンク中に浸漬させ、ノズル８２の先端部の乾燥を防ぐようにする。
洗浄液としては、蛍光体分散液４４を溶解可能な液体が使用可能である。
また、噴射・塗布工程の休止中には、蛍光体分散液４４が硬化してノズル８２の噴射孔が詰まる可能性があるため、ノズル８２をクリーニングタンク中に浸漬させるか、噴射・塗布工程の開始時にノズル８２のクリーニングを行うことが好ましい。
なお、ノズル８２の上記クリーニングは、噴射・塗布工程の処理自体を実行する前に行ってもよい。
もちろん、噴射・塗布工程の前にまたは噴射・塗布工程中においては、ノズル３２も、ノズル８２のクリーニング態様と同様に、クリーニングしてもよい。
【００６０】
焼成工程では、蛍光体分散液４４と前駆体溶液４２との双方をＬＥＤ基板１に続けて塗布して加熱・焼成してもよいし、先に蛍光体分散液４４をＬＥＤ基板１に塗布した後加熱することで溶媒を揮発させて蛍光体層を形成し、その後に前駆体溶液４２をＬＥＤ基板１に塗布して加熱・焼成してもよい。
蛍光体分散液４４と前駆体溶液４２とを同時に加熱・焼成する場合、処理温度（焼成温度）を、ＬＥＤ素子３が破損しない程度に設定し、１００〜３００℃、好ましくは１３０〜１７０℃とし、より好ましくは１４０〜１６０℃とし、もっとも好ましくは１５０℃前後とする。
蛍光体分散液４４と前駆体溶液４２とを別個に加熱・焼成する場合も、各処理温度（焼成温度）を、ＬＥＤ素子３が破損しない程度に設定し、１００〜３００℃、好ましくは１３０〜１７０℃とし、より好ましくは１４０〜１６０℃とし、もっとも好ましくは１５０℃前後とする。
【００６１】
以上の第２の実施形態によれば、前駆体溶液４２と蛍光体分散液４４とを別個に噴射してＬＥＤ素子３に塗布するから、各液体の噴出量や噴出圧、粘度などをより最適化でき、ＬＥＤ素子３に対し蛍光体をより分散させた状態で均一に塗布することができる。
【００６２】
なお、第１，第２の実施形態では、１本のノズル３２と２本のノズル３２，８２とを使用する例を示したが、噴射物の種類に応じてノズルの数を３本以上に増やしてもよい（変更してもよい）。
たとえば、赤色（Ｒ），青色（Ｂ），緑色（Ｇ）の光を出射する蛍光体を用いて、これら３色の光を混色させることで白色光を出射させようとする場合には、スプレー装置３０と同様のスプレー装置を３台用いて、各蛍光体を含む分散液を３本のノズルから別個に噴射するような構成としてもよい。
【実施例】
【００６３】
（１）サンプルの作製
（１．１）蛍光体の調製
蛍光体原料として、Ｙ２Ｏ３（７．４１ｇ）、Ｇｄ２Ｏ３（４．０１ｇ）、ＣｅＯ２（０．６３ｇ）、Ａｌ２Ｏ３（７．７７ｇ）を十分に混合し、これにフラックスとしてフッ化アンモニウムを適量混合したものをアルミ製の坩堝に充填し、水素含有窒素ガスを流通させた還元雰囲気中において、１３５０〜１４５０℃の温度範囲で２〜５時間焼成して焼成品（（Ｙ０．７２Ｇｄ０．２４）３Ａｌ５Ｏ１２：Ｃｅ０．０４）を得た。
【００６４】
得られた焼成品を粉砕、洗浄、分離、乾燥して、体積平均粒径が１μｍ程度の黄色蛍光体粒子を得た。当該蛍光体粒子の波長４６５ｎｍの励起光における発光波長を測定したところ、おおよそ波長５７０ｎｍにピーク波長を有していた。（ガラス基板）
【００６５】
（１．２）発光装置の製造
（１．２．１）実施例１
表面処理されていない親水性スメクタイト（ルーセンタイトＳＷＮ、コープケミカル社製）０．１１ｇと純水２．２ｇを混合して分散させた。これに上記で調製した蛍光体１ｇとＩＰＡ（イソプロパノール）３．８５ｇとを混合して蛍光体分散液を調製した。この蛍光体分散液を、加熱後の蛍光体層の膜厚が３５μｍとなるように、ＬＥＤ基板（２０個の青色ＬＥＤチップがあらかじめ実装された基板）の凹部およびＬＥＤチップの表面にスプレーコート法により噴霧し、５０℃で１０分間加熱して蛍光体層を形成した。
次に、前駆体溶液（ポリシロキサン１４重量％、イソプロピルアルコール８６重量％）を、蛍光体層上にスプレーコート法により噴霧し、蛍光体層に前駆体溶液を含侵させて蛍光体層を形成する蛍光体、親水性スメクタイトの界面に生じている隙間を前駆体溶液で満たし、１５０℃で１時間加熱して波長変換部を形成した。
これらの処理により製造された発光装置を「サンプル（実施例１）」とした。
【００６６】
（１．２．２）実施例２
表面処理されていない親水性スメクタイト（ルーセンタイトＳＷＮ、コープケミカル社製）０．１１ｇと純水２．２ｇを混合して分散させた。これに上記で調製した蛍光体１ｇとＩＰＡ４．４ｇとを混合して蛍光体分散液を調製した。この蛍光体分散液を、加熱後の蛍光体層の膜厚が３５μｍとなるように、ＬＥＤ基板（２０個の青色ＬＥＤチップがあらかじめ実装された基板）の凹部およびＬＥＤチップの表面にスプレーコート法により噴霧し、５０℃で１０分間加熱して蛍光体層を形成した。
次に、前駆体溶液（ＮＬ１２０−２０；ポリシラザン２０重量％、ジブチルエーテル８０重量％；ＡＺエレクトロニックマテリアルズ社製）を、蛍光体層上にスプレーコート法により噴霧し、蛍光体層に前駆体溶液を含侵させて蛍光体層を形成する蛍光体、親水性スメクタイトの界面に生じている隙間を前駆体溶液で満たし、１５０℃で１時間加熱して波長変換部を形成した。
これらの処理により製造された発光装置を「サンプル（実施例２）」とした。
【００６７】
（１．２．３）実施例３
表面処理されていない親水性スメクタイト（ルーセンタイトＳＷＮ、コープケミカル社製）０．０５ｇと無機粒子（日本アエロジル株式会社製ＲＸ３００，粒径７ｎｍ）０．０５ｇと作製した蛍光体０．７５ｇとを、水０．５ｇ中に混合し、さらにイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）１ｇを混合して、蛍光体分散液を作製した。この蛍光体分散液を、加熱後の蛍光体層の膜厚が５５μｍとなるように、ＬＥＤ基板（２０個の青色ＬＥＤチップがあらかじめ実装された基板）の凹部およびＬＥＤチップの表面にスプレーコート法により噴霧し、５０℃で１時間加熱して蛍光体層を形成した。
次に、前駆体溶液（ポリシロキサン１４重量％、イソプロピルアルコール８６重量％）を、蛍光体層上にスプレーコート法により噴霧し、蛍光体層に前駆体溶液を含侵させて蛍光体層を形成する蛍光体、親水性スメクタイト、無機粒子の界面に生じている隙間を前駆体溶液で満たし、１５０℃で１時間加熱して波長変換部を形成した。
これらの処理により製造された発光装置を「サンプル（実施例３）」とした。
【００６８】
（１．２．４）実施例４
合成雲母（ミクロマイカMK-100、コープケミカル社製）０．０４ｇおよび上記蛍光体０．８１ｇをプロピレングリコール１ｇ中に混合して蛍光体分散液を作製した。この蛍光体分散液を、加熱後の蛍光体層の膜厚が５０μｍとなるように、ＬＥＤ基板（２０個の青色ＬＥＤチップがあらかじめ実装された基板）の凹部およびＬＥＤチップの表面にスプレーコート法により噴霧し、５０℃で１時間乾燥させ蛍光体層を形成した。
その後、前駆体溶液（ポリシロキサン１４質量％、ＩＰＡ８６質量％）を、蛍光体層上にスプレーコート法により噴霧し、蛍光体層に前駆体溶液を含侵させて蛍光体層を形成する蛍光体、合成雲母の界面に生じている隙間を前駆体溶液で満たし、１５０℃で１時間加熱して波長変換部を形成した。
これらの処理により製造された発光装置を「サンプル（実施例４）」とした。
【００６９】
（１．２．５）実施例５
無機粒子（日本アエロジル株式会社製ＲＸ３００，粒径７ｎｍ）０．０６５ｇ、親水性スメクタイト（ルーセンタイトＳＷＮ、コープケミカル社製）０．０２５ｇおよび蛍光体１ｇを、１，３−ブタンジオール１ｇとイソプロピルアルコール０．７５ｇ中に混合して蛍光体分散液を作製した。この蛍光体分散液を、加熱後の蛍光体層の膜厚が４５μｍとなるように、ＬＥＤ基板（２０個の青色ＬＥＤチップがあらかじめ実装された基板）の凹部およびＬＥＤチップの表面にスプレーコート法により噴霧し、５０℃で１時間乾燥させ蛍光体層を形成した。
その後、前駆体溶液（ポリシロキサン１４質量％、ＩＰＡ８６質量％）を、蛍光体層上にスプレーコート法により噴霧し、蛍光体層に前駆体溶液を含侵させて蛍光体層を形成する蛍光体、親水性スメクタイト、無機粒子の界面に生じている隙間を前駆体溶液で満たし、１５０℃で１時間加熱して波長変換部を形成した。
これらの処理により製造された発光装置を「サンプル（実施例５）」とした。
【００７０】
（１．２．６）比較例１
ポリシロキサン分散液（ポリシロキサン１４重量％、イソプロピルアルコール８６重量％）１ｇに、上記で調製した蛍光体０．３ｇを混合して波長変換部形成用の塗布液を調製した。
この波長変換部形成用の塗布液を、加熱後の膜厚が４５μｍとなるように、ＬＥＤ基板（２０個の青色ＬＥＤチップがあらかじめ実装された基板）の凹部およびＬＥＤチップの表面にスプレー塗布し、１５０℃で１時間加熱して波長変換部を形成した。
これらの処理により製造された発光装置を「サンプル（比較例１）」とした。
【００７１】
なお、発光装置の上記サンプルは、実施例１〜５，比較例１ごとに、５台（５枚）ずつ作製した。
【００７２】
（２）サンプルの評価
（２．１）波長変換部の膜厚の評価
各サンプルの波長変換部の膜厚を、ミツトヨ社製レーザホロゲージを用いて測定し、膜厚のばらつきを評価した。
評価結果を表１に示す。
表１中、膜厚の評価に関し、各サンプル５台のうち、最初に塗布した１台のサンプルの各ＬＥＤチップの膜厚の平均値を基準値（１００％）として、残りの４台の各ＬＥＤチップの膜厚の平均値の膜厚が基準値に対してばらつきが±１０％の範囲内であるときは「◎」と、±２０％の範囲内であるときは「○」と、±３０％の範囲内であるときは「△」と、膜厚のばらつきが±４０％を超えるときは「×」とした。
【００７３】
なお、表１には、蛍光体分散液（比較例１のサンプルでは波長変換部形成用の塗布液）の粘度も記載している。
蛍光体分散液および波長変換部形成用の塗布液の粘度は、振動式粘度計（ＶＭ−１０Ａ−Ｌ、ＣＢＣ社製）を用いて測定した。
【００７４】
（２．２）色度の測定
各サンプルのＬＥＤチップを発光させ、発光の色度を、分光放射輝度計（ＣＳ−１０００Ａ、コニカミノルタセンシング社製）を用いて測定した。
測定結果を表１に示す。
【００７５】
色度は、色空間をＸＹＺ座標系で表したＣＩＥ−ＸＹＺ表色系で、ある点と原点を結ぶ直線が平面ｘ＋ｙ＋ｚ＝１と交わる点で定義される。ここでは、色度は（ｘ、ｙ）座標で表し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１の関係から得られるｚ座標は省略する。
白色光の色度は（０．３３，０．３３）であり、色度がこの値に近いほど白色光に近くなる。ｘ座標の値が小さくなると青色がかった白色になり、ｘ座標の値が大きくなると黄色がかった白色になる。
表１中の５つの色度は５台のサンプルそれぞれの色度であり、各サンプルの値はＬＥＤ基板中にある複数のＬＥＤチップのうち任意の３つＬＥＤチップを発光させて測定した色度の平均値である。
【００７６】
【表１】
0005900425.tif 000002
【００７７】
（３）まとめ
表１に示すとおり、比較例１のサンプルでは、塗布液が蛍光体分散液と前駆体溶液とで分離されずに混合した状態で塗布され、その塗布液中に層状ケイ酸塩鉱物も含有されていないため、塗布液自体の粘度が低く、波長変換部の膜厚が安定せず、色度のばらつきも大きかった。
これに対し、実施例１〜５のサンプルでは、波長変換部の膜厚が安定し、色度のばらつきの発生も抑制されていた。
以上から、実施例１〜５のサンプルでは、蛍光体粒子が波長変換部に均一に分散されていることがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明は、発光装置の製造方法において、耐熱性の高い透光性部材中に蛍光体を均一に分散させるのに好適に利用することができる。
【符号の説明】
【００７９】
１  ＬＥＤ基板
２  メタル部
３  ＬＥＤ素子
４  突起電極（バンプ）
６  波長変換部
１０  製造装置
２０  移動台
３０  スプレー装置
３２  ノズル
３４  連結管
３６  タンク
４０  塗布液
４２  前駆体溶液
４４  蛍光体分散液
５０  検査装置
５２  ＬＥＤ素子
５４  色彩輝度計
６０  ガラスプレート
７０  （第２の）製造装置
８０  スプレー装置
８２  ノズル
８４  連結管
８６  タンク
１００  発光装置
【図１】
0005900425.tif 000003
【図２】
0005900425.tif 000004
【図３】
0005900425.tif 000005