(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の電極層と、該第一の電極層のＡ面に第一の電解質層を有し、該第一の電解質層に接して第二の電極層を有する第一の屈曲部と、
該第一の電極層と、該第一の電極層の該Ａ面と対向するＢ面に第二の電解質層を有し、該第二の電解質層に接して第三の電極層を有する第二の屈曲部と
を具備するアクチュエータであり、
該第一の電極層の該Ａ面は、該第一の電解質層を有していない領域を有し、
該第一の電極層の該Ｂ面は、該第二の電解質層を有していない領域を有し、
該第一の屈曲部と該第二の屈曲部とは隣り合っており、該第一の屈曲部の屈曲する方向に対して該第二の屈曲部の屈曲する方向が逆方向であり、
該第一の電解質層が該第二の電極層よりも該第二の屈曲部側に伸長しており、該第二の電解質層が該第三の電極層よりも該第一の屈曲部側に伸長しており、該互いに隣り合う屈曲部の電解質層同士が、該第一の電極層を介して重なっている重なり領域を有している、
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記第一の電極層と前記第二の電極層との間に電圧を印加すると前記第一の屈曲部は屈曲し、前記第一の電極層と前記第三の電極層との間に電圧を印加すると前記第二の屈曲部が屈曲する請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記第一の電極層が、平板状の部材である請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記第一および前記第二の屈曲部をそれぞれ複数有しており、前記第一の屈曲部および前記第二の屈曲部が長手方向に交互に、且つ連続して配置されている請求項１から３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記第一の電極層が、補強材を備えていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記第一の電解質層と前記第二の電極層は円盤状であり、
前記第二の電解質層と前記第三の電極層は、ドーナツ状であり、
前記第一の電極層は、前記第一の電解質層および前記第二の電極層とはサイズが異なる円盤状である、円柱状のアクチュエータである
ことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項７】
請求項４に記載のアクチュエータが複数積み重なっており、
隣り合うアクチュエータ同士のそれぞれの屈曲部が接触し、かつ互いに逆方向に屈曲するように配置され、前記積み重なる方向に変位するアクチュエータ構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、屈曲型の高分子アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、アクチュエータの開発が行われている。その中でも高分子材料を利用したアクチュエータが開発されている。例えば、平板形状の電解質層の表面と裏面に電極層を設けた三層構造のアクチュエータが知られている。このアクチュエータは、電極層間に電圧が印加されることで屈曲するので、屈曲型のアクチュエータと呼ばれる。
【０００３】
特許文献１には、互いに隣り合う屈曲部が互いに反対方向に屈曲するアクチュエータ素子が開示されている。特許文献１には、アクチュエータ素子を複数枚連結させることでアクチュエータの屈曲運動を直動運動に容易に変換することができることが記載されている。
【０００４】
図４に特許文献１に記載のアクチュエータ素子５を示す。図４（ａ）はアクチュエータ素子の斜視図であり、図４（ｂ）は、アクチュエータ素子の説明図である。図４（ｂ）において（Ａ）は、アクチュエータ素子を正面からみた場合の構成を示し、（Ｂ）は、アクチュエータ素子を側方からみた場合の構成を示し、（Ｃ）は、アクチュエータ素子の裏面からみた場合の構成を示している。
【０００５】
電極層４１ａと電極層４２ａ’とが電解質層４０の同一面側に配置され、電極層４１ａ’と電極層４２ａは電極層４１ａと電極層４２ａ’が配置される面の反対側の面（即ち、裏面側）に配置されている。電極層４１ａと電極層４２ａ’は、絶縁部４３によって絶縁されている。電極層４１ａ’と電極層４２ａも絶縁部４３において絶縁されている。
【０００６】
電極層４１ａ’は電極層４１ａの真裏には配置されておらず、裏面側でずれて配置されている。そして、電極層４１ａ’及び電極層４１ａは、電解質層４０の側部において細い電極部分（接続部）４４によって接続されている。電極層４２ａ’も電極層４１ａ４２ａに対して裏面側でずれて配置されており、細い電極部分４５によって接続されている。
【０００７】
電極層４１ａと４１ａ’は、細い電極部分４４によって同電位であり、電極層４２ａと電極層４２ａ’は、細い電極４５によって同電位である。
【０００８】
このアクチュエータ素子５は、対向する電極の間の電圧差によって半分側は、凸に屈曲変形し、別の半分側が、凹に屈曲変形する。
【０００９】
このアクチュエータ素子は、構成上以下の課題を有する。
（１）アクチュエータ素子の側部において細い電極部分によって表裏側の電極層を繋いでいるため、該電極部分において電界が乱れ、屈曲変形が不均一になったり、あるいは捩れが生じる。その結果、細い電極部分の近傍で局所的なストレスが発生し、時には細い電極部分の剥離を生ぜしめる。
（２）細い電極部分を用いるため、外からの力に該部分が切れてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００７−０２８７４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、一方の側が凸で屈曲変形し、他方の側が凹で屈曲変形するところの、所謂、波型に屈曲変形するアクチュエータであって、駆動耐久性がより向上しているアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、第一の電極層と、該第一の電極層のＡ面に第一の電解質層を有し、該第一の電解質層に接して第二の電極層を有する第一の屈曲部と、
該第一の電極層と、該第一の電極層の該Ａ面と対向するＢ面に第二の電解質層を有し、該第二の電解質層に接して第三の電極層を有する第二の屈曲部と
を具備するアクチュエータであり、
該第一の電極層の該Ａ面は、該第一の電解質層を有していない領域を有し、
該第一の電極層の該Ｂ面は、該第二の電解質層を有していない領域を有し、
該第一の屈曲部と該第二の屈曲部とは隣り合っており、該第一の屈曲部の屈曲する方向に対して該第二の屈曲部の屈曲する方向が逆方向であり、
該第一の電解質層が該第一の電極層よりも該第二の屈曲部側に伸長しており、
該第二の電解質層が該第二の電極層よりも該第一の屈曲部側に伸長しており、
該互いに隣り合う屈曲部の電解質層同士が、該第一の電極層を介して重なっている重なり領域を有している、ことを特徴とするアクチュエータに関する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、第一の屈曲部と第二の屈曲部がともに共通化された第一の電極層をその一部として有しており、この電極層が支持基板としても機能するので耐久性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るアクチュエータを示す模式図である。
【図２】複数の屈曲部を並列させたアクチュエータを示す模式図である。
【図３】図１に示すアクチュエータの、屈曲変形をする前の状態と屈曲変形した状態とを示す模式図である。
【図４】従来のアクチュエータを示す模式図である。
【図５】本発明の第５の実施の形態に係るアクチュエータを示す模式図である。
【図６】円柱状のアクチュエータを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１６】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータは、第一の電極層の一方の側（Ａ面）に第一の屈曲部が、他方の側（Ｂ面）に第二の屈曲部が配置され、第一の電極層はそれぞれの屈曲部における一方の電極を兼ねている。ここでＡ面を便宜上、「表面」、Ｂ面を便宜上、「裏面」と呼称することがあるが、特に本発明を限定的に解釈するものではない。
【００１７】
図１は、第１の実施形態に係るアクチュエータを示す模式図である。図１（ａ）は、アクチュエータの斜視図であり、図１（ｂ）は、第一の電極層が多層構成であるアクチュエータの斜視図であり、図１（ｃ）は、電解質層がはみ出ているアクチュエータの斜視図である。符号の説明をする。符号１はアクチュエータであり、２は第一の電極層であり、５は第一の電解質層である。第一の電極層２のＡ面に第一の電解質層５を有し、さらに第一の電解質層５に接して第二の電極層３を有しており、第一の電極層２と、電解質層５と、第二の電極層３とで、第一の屈曲部を構成している。
【００１８】
また、第一の電極層２と、第一の電極層２のＡ面と対向するＢ面に第二の電解質層６を有し、第二の電解質層６に接して第三の電極層４を有することで、第二の屈曲部を構成している。本発明は、このような第一の屈曲部と第二の屈曲部が隣り合って配置されたアクチュエータに関する。
【００１９】
そして、第一の電極層２のＡ面は、第一の電解質層５を有していない領域を有し、第一の電極層２のＢ面は、第二の電解質層６を有していない領域を有している。
【００２０】
第一の電極層２と第二の電極層３との間に電圧を印加すると第一の屈曲部は屈曲し、第一の電極層２と第三の電極層４との間に電圧を印加すると第二の屈曲部が屈曲し、第一の屈曲部の屈曲する方向に対して第二の屈曲部の屈曲する方向が逆方向である。屈曲する方向は、図１（ａ）の屈曲方向１および屈曲方向２に示されるように、第一の電極層のＡ面およびＢ面と交差する方向となる。そして屈曲方向１と屈曲方向２の関係は、逆方向の関係になる。ここで逆方向とは、屈曲前のＡ面およびＢ面に対して互いが反対同士に屈曲部が配置されるときの、屈曲部の変位の方向のことをいう。互いに正反対の方向に屈曲する構成が好ましいが、逆方向であるが交差する方向同士の場合も含まれる。
【００２１】
図１に示すように、第一の電極層２は長尺状であるのがよい。第一の電極層２の一方の表面（Ａ面）に対向電極である第二の電極層３が配置され、第一の電解質層５が第一の電極層２と第二の電極層３との間に配置されて第一の屈曲部を構成している。屈曲部とは、両電極の間に電圧差が生じることで屈曲して変形することができる部位のことを指す。第一の電極層２の裏面（Ｂ面）には対向電極である第三の電極４と、第一の電極層と第三の電極の間に配置される第二の電解質層６が配置されて第二の屈曲部を構成している。
【００２２】
第一の屈曲部と第二の屈曲部は第一の電極層という共通化された電極、つまり共通電極を有しているため、アクチュエータの側部に第一の電極層同士を接続する細い電極部分（接続部）を形成する必要がなくなる。
【００２３】
（アクチュエータの構成）
本実施形態に係るアクチュエータについて図１を用いて説明する。図１（ａ）は、アクチュエータの模式的斜視図である。アクチュエータ１は、長尺状の電極層（第一の電極層）２と、第一の電極層２のＡ面の一部に対向する第二の電極層３と、第一の電極層２のＢ面の一部に対向する第三の電極層４とを有している。
【００２４】
第二の電極層３及び第三の電極層４が、それぞれ第一の電解質層５及び第二の電解質層６と接して配置されている。それぞれの電極層および電解質層は、第一の電極層２を介して内端部が揃って配置されている。第一の電極層２と、第二の電極層３と、第一の電解質層５とによって第一の屈曲部が構成され、第一の電極層２と、第二の電極層４と、第一の電解質層６とによって第二の屈曲部が構成されている。互いに隣り合う第一および第二の屈曲部は、共通する第一の電極層２によって連結している。図は、電極層間に電圧を印加するための端子と、リード線と、駆動電源とが、省略して描かれている。
【００２５】
駆動電源から第二の電極層３と第一の電極層２との間に電圧が印加され、第一の電極層２と第三の電極層４との間に電圧が印加されると、各電極層に挟持された各々の電解質層中のイオンが、挟持している各電極層の少なくとも一方に移動し、アクチュエータの長尺の両端（変位端）がそれぞれ互いに反対の積層方向（積層方向１および２方向）に、平行に移動するように屈曲変形する。図１（ａ）では、積層方向１と屈曲方向１が逆方向であり、積層方向２と屈曲方向２も逆方向である。
【００２６】
中央部から変位端までの長さは変わらないため、変位端の移動方向は、図１（ａ）に示すように、屈曲方向１および屈曲方向２の方向となる。
【００２７】
つまり、本構成では、第一の電極層２は、複数の屈曲部に共通する一層の電極層であり、特許文献１に記載のアクチュエータ素子の様に、交差状態で同一電位の電極層を形成させる必要がない。すなわち、交差させて電圧を印加するための接続部を形成することなく、第一の屈曲部（第二の電極層３／第一の電解質層５／第一の電極層２）ならびに第二の屈曲部（第三の電極層４／第二の電解質層６／第一の電極層２）により、アクチュエータを形成することが可能である。
【００２８】
そのため、アクチュエータ素子のそれぞれの屈曲部に生じる電界分布は、従来の三層構造のアクチュエータと同様であり、アクチュエータ内部に想定屈曲方向以外の屈曲力（ストレス）の発生を抑制することができる。また、共通電極となる第一の電極層は、細い電極で電極同士交差させて形成するのではなく、第二の電極層および第三の電極層に平行な平板状の一層の電極層で構成できる。結果、駆動時の電極剥離や電気接続の切断の発生を抑制することができ、安定した駆動を有するアクチュエータの作製が可能となる。
【００２９】
さらに、図１（ｂ）に示すように、第一の電極層２に補強材を有するような構成することができる。補強材を配置することで、必然的に第一の電極層の強度が向上し、結果としてアクチュエータ素子全体の強度が向上する。このため、より大きな負荷に対しても耐久性が向上する。加えて、アクチュエータの想定屈曲方向（電極積層方向、すなわち積層方向１または２）以外からの外部負荷（ねじれ）に対しても耐久性が増す。結果、より駆動耐久性に優れたアクチュエータが得られる。
【００３０】
補強材としては、これが配置されることで剛性が高まり、アクチュエータの駆動を妨げないものであれば特に限定されない。特に、補強材が板バネ（金属板バネ）である場合には、板バネにアクチュエータの屈曲駆動に基づく弾性エネルギーが蓄えられるので、小さな力で大きな駆動トルクが得られることも期待できる。なお言うまでもないことであるが、補強材の形状は長尺状以外にも所望するアクチュエータの特性に合わせて任意のものを用いることが可能である。
【００３１】
加えて、補強材は、所望するアクチュエータの特性が得られるように、単独ならびに複数組み合わせて用いることもできる。複数組み合わせて用いると、各補強材に異なる特性を持たせることが可能となり、アクチュエータ素子全体の特性を調整することも可能である。これにより、駆動耐久性をさらに向上させることが可能である。各補強材部分に異なる特性を持たせる手法としては、１）弾性率が異なる複数の補強材を用いる、２）形状または位置が異なる補強材を用いる、３）バネ定数が異なる複数の板バネを用いる方法が挙げられる。
【００３２】
また、互いに隣り合う屈曲部の電解質層同士が、第一の電極層を介して、重なり領域を有している場合は（図１（ｃ）、Ｘ部分）、この重なり領域により駆動耐久性を向上させ得る。
【００３３】
ここで、「第一の電極層を介して、重なり領域を有している」とは、各電解質層または各電極層を、積層方向（積層方向１または２）に対して第一の電極層が有する平面（Ａ面あるいはＢ面）に投影させた場合に、重なる領域を有していることを言う。
【００３４】
つまり、屈曲方向が反対方向であるアクチュエータ駆動部の内端部の領域の強度を補強して強くすることが可能である。このため、アクチュエータ駆動時に想定外の方向から想定外の負荷がかかった場合にも、アクチュエータ素子が座屈や捩れたりすることなく安定的に駆動させ得る。加えて、各々の電解質層と第一の電極層との接合界面の面積が必然的に増えるため、界面剥離がより起こりにくくなる。
【００３５】
なお、一つのアクチュエータ素子における第二の電極層および第三の電極層の数は、特に限定されず、隣り合う屈曲部が反対方向に屈曲する構造となっていれば、任意の個数を用いることが可能である。つまり、図２に示すように、第一の屈曲部および第二の屈曲部をそれぞれ複数有しており、第一の屈曲部および第二の屈曲部が長手方向に交互に、連続して配置されている構成とすることができる。すなわち、図１（ａ）のアクチュエータ１が第一の電極層を基にして複数連なったような構成である。
【００３６】
この場合、駆動耐久性が高く実用に供するための信頼性に優れ、容易により大きな駆動力を発生させ得ることが可能となる。
【００３７】
以上、本発明の実施形態に係るアクチュエータについて、電極層および電解質層が、積層方向に対して垂直な断面が長方形の場合を例に説明したが、矩形平板状の構成の他、様々な形状のものを任意に選択可能である。また、図１においては、電極層３と電極層４とが同じ形状・サイズであり、電解質層５と電解質層６とが同じ形状・サイズであるが、各電極層は異なる形状でもよいし、異なるサイズでもよい。また、それぞれの電極層の表面や電解質層の露出面はシリコーン樹脂の如き絶縁層で覆われていてもよい。絶縁層で被覆することで、安全性が高まり、また移動対象物として導電性物質を取り扱うことも可能になる。
【００３８】
矩形平板状の構成の場合以外の例としては、図６の（ａ）に示すような、円柱状のアクチュエータであってもよい。図６の（ｂ）は、図６の（ａ）のアクチュエータのＯＰＱＲ平面での断面図を示している。ここで、第一の電解質層５と第二の電極層３は盤状で、そのサイズは揃っている。また第二の電解質層６と第三の電極層４は、ドーナツ状で、そのサイズは揃っている。更に、第一の電極層２は、第一の電解質層５と第二の電極層３とはサイズは異なるが、盤状である。このような構成のアクチュエータは固定しやすい。
【００３９】
また本発明のアクチュエータは、図２に示すように、第一の屈曲部および第二の屈曲部が長手方向に交互に、連続して配置されている構成とすることができるだけでなく、複数積み重ねて構成することもできる。
【００４０】
つまり、図５に示すように、隣り合うアクチュエータ同士のそれぞれの屈曲部が接触し、互いにそれぞれ逆方向に屈曲するように配置することで、それぞれの屈曲部が押し合い、結果、前記積み重なる方向にも大きく変位するアクチュエータ構造体とすることができる。ここでは、それぞれの屈曲部のサイズや厚みは揃っている必要はなく、該屈曲部がそれぞれ逆方向に屈曲し、互いに押し合うことができれば、所望するアクチュエータによって適宜最適なものを選定することが出来る。
【００４１】
なお、このような積層アクチュエータにおいては、電極配線が必然的に複雑になる。しかし、隣り合うアクチュエータ同士（例えば、上段のアクチュエータ１００と下段のアクチュエータ２００）の、押し合うように配置されたそれぞれの屈曲部の第二の電極層３（例えば、上段のアクチュエータ１００の第三の電極層３００）と第三の電極層４（下段のアクチュエータ２００の第二の電極層４００）の間に、共通に電圧を印加することができる電極部材（共通電極部材）６００を備えることで、電極配線を省略することができる。つまり、隣り合うアクチュエータ同士のそれぞれの屈曲部を、共通電極部材を介して接触させ、かつ該それぞれの屈曲部が逆方向に屈曲して互いに押し合うように配置させることで、電極配線を省略することができる。
【００４２】
共通電極部材としては、良好な導電性を有し、かつ本アクチュエータを損傷させず、また駆動を妨げないものであれば、特に限定されず、従来公知の導電布や導電バンドさらにはワイヤーメッシュやなどをもちいても良い。ワイヤーメッシュとしては、良好な導電性と十分な弾性を備え、加工が容易な材質であれば特に限定されず、ステンレス線を使用しても良いし、スズメッキ銅線、カッパーウェルド線（スズメッキ、銅、スチール）、モネル線（銅、ニッケルの合金）、アルミニウム線等を使用してもよい。また、該共通電極部材は第一の電極層２に接触しないように、一部シリコーンゴムなどの絶縁層で覆われていてもよい。
【００４３】
また、共通電極部材のサイズや形状は、特に限定されず、例えば形状に関しては、板状や円状や線状など適宜最適なものを用いればよい。
【００４４】
なお，該共通電極部材は、該隣り合うアクチュエータ同士の該互いに押し合う屈曲部一対毎に複数個用いるよりは、該互いに押し合う屈曲部の複数対に共通する、共通電極部材を一つ用いる方が、より電極配線を単純化することができる。
【００４５】
加えて、上記押し合うように配置されたそれぞれの屈曲部の第二の電極層３（例えば、上段のアクチュエータ１００の第三の電極層３００）と第三の電極層４（下段のアクチュエータ２００の第二の電極層４００）の間に、共通に電圧を印加することができる共通電極部材６００を備える場合に、接着剤を用いて、接続点５００でこれらを固定することもできる。このようにして固定することで、アクチュエータを長期にわたって駆動させた場合においても共通電極部材のズレを防止することができる。もちろん、いうまでもないことであるが、該接着剤は、該共通電極部材と該第二の電極層および該第三の電極層との導通を妨げないように用いなければならない。
【００４６】
なお、該接着剤としては、アクチュエータの性能劣化を引き起こさないのであれば、従来公知のものを用いることが可能であり、特に、該接着剤として粘着剤、例えば、天然ゴムや合成ゴム、あるいはこれらの混合物、アクリルポリマーやブロックポリマーなどを用いることが可能である。
【００４７】
なお、特許文献１では、電解質層表面に、電極層をメッキにより形成した後に、各々の電極をパターニングにより対応するアクチュエータ５を作製している。本発明のアクチュエータは、電極のパターニングは必要なく、所定の伸縮性の電極層と電解質層を圧着で積層させるだけで簡便に作製することができる。この場合、パターニングの段階で電解質層への損傷・変質も発生することがなく、素子作製の観点からも駆動性能向上に関して有利となる。
【００４８】
また、特開２００９−５５７１７号公報には、中心電極層の両側に電解質膜層を設け、さらに該電解質膜層の外側にそれぞれ外側電極層を設けたアクチュエータデバイスであって、該デバイスは互いに隣りあうように連なって配置された複数の屈曲部に区分され、この複数の屈曲部は前記中心電極層及び外側電極層に電圧を印加したときに互いに隣り合う屈曲部どうし反対方向に屈曲するアクチュエータデバイスが記載されている。
【００４９】
しかし、該文献記載のアクチュエータは、常に電極層／電解質層／電極層／電解質層／電極層の５層構成となっているため、屈曲に寄与しない余分な層の部分が機械抵抗となり、曲がりにくくなる。
【００５０】
本発明においては、電解質層を有していない領域が存在するため、このような機械抵抗が存在しない。加えて、この領域が屈曲のためのスペースとなって曲がりやすくなる。
【００５１】
（アクチュエータの駆動原理）
本発明のアクチュエータの変形時の駆動原理は明確にはなっていないが、一対の電極に電圧を印加することにより、電解質中のイオンが移動して変形すると推測される。よって、アクチュエータの駆動原理を、図１（ａ）の構成を例に、図３を用いて説明する。
【００５２】
図３（ａ）のように、共通電極である第一の電極層２と第二の電極層３及び第一の電極層２と第三の電極層４は、それぞれ第一の電解質層５及び第二の電解質層６の表面に相互に絶縁状態で形成されている。この第一の電極層２と第二の電極層３との間及び第一の電極層２と電極層４との間に電位差がかかると、図３（ｂ）に示すように、電解質１６のカチオン１５とアニオン１４は、それぞれ対向する電極側に移動する。すなわち、カソードの電極層３およびカソードの電極層４にカチオン１５が移動し、浸透し、アノードの電極層２にはアニオン１４が移動し、浸透する。
【００５３】
大気中でのアクチュエータの駆動の観点から、蒸気圧のないイオン液体が本発明の実施形態に係るアクチュエータの電解質として用いることが好ましい。イオン液体は、カチオン１５のイオン半径がアニオン１４より大きい。その結果、電極層内に存在するイオンの立体効果などにより、第一の電極層２に比べて第二の電極層３および第三の電極層４がより膨張する。すなわち、カソードがアノードに比べより膨張した結果、カソード側が伸びる方向へアクチュエータが屈曲すると考えられる。
【００５４】
つまり、結果として互いに隣り合う屈曲部が互いに反対方向に屈曲するアクチュエータ（図中のブロック矢印方向）が得られる。通常、電位の極性を反転させると膜は反対方向に屈曲変形する。また、変位の方向は電極層や電解質層の構成により変化する。
【００５５】
そして、第一の屈曲部及び第二の屈曲部をそれぞれ複数有し、第一の屈曲部及び第二の屈曲部が長手方向に交互に、連続して配置されている図２（ａ）のような構成のアクチュエータであっても同様の現象は発生する。隣り合っている屈曲部から最も遠い各屈曲部の中心部が最も変位が大きくなるので、電圧印加時には図２（ｂ）の矢印のような方向への屈曲部の変位が生じる。
【００５６】
各電極への電圧印加のための構成は適宜設計できるが、図３に示すようにアクチュエータの両末端に接続した導電線（８、９、１０、１１）を設け、それぞれを電源（１２、１３）に接続するものであってよい。
【００５７】
他に、アクチュエータ１の中心部を両面から挟持する部材を構成し、該部材が各電極にそれぞれ電圧を印加するための複数の導電線を備える構成であってもよい。
【００５８】
本発明のアクチュエータにおける印加電圧は、電解質の耐電圧内で設定でき、例えば、イオン液体を電解質として利用した場合には、４Ｖ以下であることが好ましい。
【００５９】
（各電極層の構成）
本発明における電極層には、少なくとも、互いに隣り合う屈曲部に共通する電極層（第一の電極層）が伸縮性の電極層であればよい。伸縮性の電極層としては、従来、アクチュエータの電極として公知の電極層を適宜用いることが可能である。例えば、後述する、炭素繊維としてのカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の如き導電材料とポリマーとから少なくとも構成される電極層や、ＣＮＴとイオン液体とからなるＣＮＴゲルで形成電極層や、導電性高分子で形成されている電極層が挙げられる。また、電極層はＣＮＴを押し固めたものや金属であってもよい。金属の場合には、金箔の如き金属フィルムや、金属網アクチュエータへの屈曲追随性が良いため、好ましい。また、電極層は、これらを単独あるいは適宜複合させて使用することも可能である。
【００６０】
電極層の形状は、任意のものを用いることが可能であるが、長尺状であれば、アクチュエータの駆動変形時に大きな変位量が得られるために好ましい。また、第二および第三の電極層のサイズが同じである必要はなく、所望するアクチュエータの特性に基づいて、任意のものを用いることが可能である。なお、第二の電極層ならびに第三の電極層の内端部は、揃っていても良いが、一部重なり領域を有していてもよい。重なり領域を持たせることで、アクチュエータ素子の補強ができ、電解質層同士が第一の電極層を介して重なり領域を持たせた場合と同様に、屈曲方向が反対方向であるアクチュエータ駆動部の内端部領域の剛性を補強して強くすることが可能である。
【００６１】
結果、アクチュエータの駆動時に想定外の方向から想定外の負荷がかかった場合にも、アクチュエータが座屈や捩れたりすることを抑制でき、安定的に駆動させることが可能である。
【００６２】
ここで、第二の電極層および第三の電極層の重なり領域値は、以下で定義できる。
〔第二の電極層および第三の電極層の重なり領域値（％）〕＝〔（第二の電極層および第三の電極層を積層方向において第一の電極層の平面に投影させたときの、重なり領域の面積）÷（第一の電極層の面積）〕×１００      （式Ａ）
この値が１００％の場合には、屈曲部を複数持たせることが必然的に出来なくなる。すなわち、第二の電極層および第三の電極層のサイズが第一の電極層のサイズと同じ場合である。
【００６３】
本発明においては、第一の電極層２のＡ面は、第一の電解質層５を有していない領域を有し、第一の電極層２のＢ面は、第二の電解質層６を有していない領域を有していることが必須である。すなわち、上記の重なり領域値が１００％未満であることが本発明の要件である。
【００６４】
しかし、この値が１００％未満であるが８０％以上ある場合には、アクチュエータ素子の剛性が高まりすぎ、屈曲部の変位が低下する場合がある。
【００６５】
すなわち、第二および第三の電極層の重なり領域値は８０％以下であることが好ましい。
【００６６】
また、該アクチュエータ駆動部の内端部の領域の剛性を補強するためには、第二の電極層および第三の電極層の重なり領域値は０．１％以上あることが好ましい。第二の電極層および第三の電極層の重なり領域値が、０．１％未満である場合には十分な効果が得られない場合がある。
【００６７】
（導電材料とポリマーとから少なくとも構成される伸縮性の電極層）
電極層の導電材料としては、カーボン系導電性物質を１種またはそれらの混合物として含ませることができる。具体的には、黒鉛、カーボンブラック、アセチレンブラック、ケッチェンブラックの他、ナノカーボン材料である、カーボンウイスカー、炭素ナノ粒子、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）とよばれるナノ炭素繊維を用いることができる。或いは、後述するポリピロールのような導電性高分子も用いることができる。
【００６８】
これらの中で、導電性及び比表面積の観点より、ナノカーボン材料が好ましく、特に好ましくは、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）である。
【００６９】
本発明のアクチュエータで用いられるナノ炭素繊維とは、ＣＮＴ、グラファイトナノファイバー、カーボンナノファイバーなどと呼ばれる炭素繊維である。ここでいう、ＣＮＴとは、グラファイトのシートが円筒状に丸まって構成されたものであり、その円筒径が約１〜１０ｎｍのものである。ＣＮＴは、単層ナノチューブ（ＳＷＮＴ）と多層ナノチューブ（ＭＷＮＴ）とに大別され、様々のものが知られている。本実施形態に係るアクチュエータにおいては、いずれのタイプのＣＮＴも用いることができる。
【００７０】
また、ここでいう、カーボンナノファイバとは、グラファイトのシートが円筒状に丸まって構成されたものであり、その円筒径が１０〜１０００ｎｍのものである。特に、繊維の太さが７５ｎｍ以上で中空構造を有し、分岐構造の多い炭素系繊維が、カーボンナノファイバーとして好適に用いられる。市販品では、昭和電工（株）のＶＧＣＦ、ＶＧＮＦが挙げられる。
【００７１】
本発明のアクチュエータで用いられる炭素ナノ粒子とは、カーボンナノチューブ以外の、カーボンナノホーン、アモルファス状炭素、フラーレンの如き炭素を主成分とするナノスケール（１０−６〜１０−９ｍ）の粒子である。また、カーボンナノホーンとは、グラファイトシートを円錐状に丸めた形状を持ち、先端が円錐状に閉じている炭素ナノ粒子である。
【００７２】
本発明のアクチュエータで用いられるグラフェンとは、黒鉛構造の一部であって、平面構造を有する炭素六員環が二次元的に配列した炭素原子の集合体であり、１枚の炭素の層で形成されてもののことである。
【００７３】
本発明のアクチュエータの電極層における導電材料の添加量は、電極層の質量に対して１質量％以上が好ましい。電極層の質量に対して１質量％であることにより、アクチュエータの電極として機能しうる電気伝導性を付与することができるため好ましい。含有量が１質量％未満だと、電極の導電性が十分に得られない場合があり、好ましくない。
【００７４】
電極層を構成する上記ポリマーは、上記アクチュエータの伸張変形に伴って変形可能な柔軟性を有するものであれば特に限定されるものではないが、加水分解性が少なく、大気中で安定であることが好ましい。
【００７５】
このような電極層を形成するためのポリマーとしては、ポリエチレン、ポリプロピレンの如くポリオレフィン系ポリマー、ポリスチレン、ポリイミド、ポリパラフェニレンオキサイド、ポリ（２、６−ジメチルフェニレンオキサイド）、ポリパラフェニレンスルフィドの如くポリアリーレン類（芳香族系ポリマー）が挙げられる。また、ポリオレフィン系ポリマー、ポリスチレン、ポリイミド、ポリアリーレン類（芳香族系ポリマー）の如くに、スルホン酸基（−ＳＯ３Ｈ）、カルボキシル基（−ＣＯＯＨ）、リン酸基、スルホニウム基、アンモニウム基、ピリジニウム基の如き官能基を導入したものでも良い。また、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデンの如く含フッ素系のポリマー、含フッ素系のポリマーの骨格にスルホン酸基、カルボキシル基、リン酸基、スルホニウム基、アンモニウム基、ピリジニウム基等を導入したパーフルオロスルホン酸ポリマー、パーフルオロカルボン酸ポリマー、パーフルオロリン酸ポリマーが挙げられる。また、ポリブダジエン系化合物、ウレタンエラストマーやウレタンゲルの如きポリウレタン系化合物、シリコーン系化合物、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ナイロン、ポリアリレートが、挙げられる。これらは単独あるいは複数を組み合わせて用いてもよい。また、さらに官能基を付加してもよいし、他のポリマーとの共重合体でもよい。
【００７６】
また、特に好ましいポリマーとしては、イオン性液体との親和性の観点から、ポリフッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＰＶＤＦ−ＨＦＰ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）や、ナフィオン（ＤｕＰｏｎｔ社製）およびフレミオン（旭硝子社製）の如きイオン伝導度が高い固体電解質膜が挙げられる。また、上記ポリマーは、電解質層と相溶性の高いポリマーであることが好ましい。これにより、電解質層との、相溶性および接合性がより高いため、より強固な電極を構成することが可能となる。このためには、上記ポリマーは、電解質層を構成する高分子化合物と、同種、類似または同一のポリマー構造を有するポリマー、または、同種、類似または同一の官能基を有するポリマーであることがより好ましい。
【００７７】
伸縮性の電極層として用いられる導電性高分子としては、下記のものを、単独若しくは、上述したポリマー材料や導電材料と混合して適宜用いることが可能である。ここで、導電性高分子を構成する材料としては、とくに制限はないが、薄膜形成性に優れたものが好ましい。導電性高分子としては、ポリピロール類、ポリチオフェン類、ポリアニリン類、ポリフェニレン類の如く、各種公知の導電性高分子が使用できる。
【００７８】
特に、分子鎖にピロール及び／またはピロール誘導体を含む導電性高分子である場合には、製造が容易であり、導電性高分子として安定であるだけではなく、伸縮性能に優れているために好ましい。電解重合法により得られた導電性高分子膜または電解重合法により得られた導電性高分子膜の積層体であることが膜物性強度の観点からは好ましい。また、金属板を有する第一の電極層を作製する場合も、電解重合法を用いると簡便に作製することが可能である。
【００７９】
電極層の厚みは、アクチュエータの伸張変形を阻害しない限り特に限定されるものではないが、それぞれの電極層は、１μｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましく、５μｍ以上２ｍｍ以下であることがより好ましく、１０μｍ以上５００μｍ以下であることがさらに好ましい。各電極の厚みが、１μｍ未満であると、アクチュエータの電極層としての電気伝導性の点で劣るので好ましくない。また、電極の厚みが、５ｍｍより大きくなると、電極層が導電材料を含むことにより固くなりもろく割れやすくなる場合があるため好ましくない。なお、アノード電極層とカソード電極層の厚みや材料は同じである必要はなく、所望するアクチュエータ特性に合わせて適宜選択することが可能である。
【００８０】
また、電極は、アクチュエータの機能に好ましくない影響を与えるものでない限り、ポリマーおよび導電材料の他に、他の成分を含有していてもよい。また、含有させるポリマーの質量は、１０質量％以上６０質量％以下であることが特に好ましい。ポリマー量に対して導電材料の割合が高ければ高いほうが導電性の観点から好ましいが、ポリマー量が５質量％未満である場合には、電極層の自立性に劣り機械的に脆い場合があり、また８０質量％を超える場合には含有させる導電性物質が相対的に少なくなってしまうためにアクチュエータの応答速度、発生力という面から実用的な使用が困難となってしまう場合がある。
【００８１】
（電解質層）
本発明における電解質層は、電解質を含む柔軟材料で形成されている層であり、好ましくは電解質を含むポリマーで形成されている層である。例えば、ナフィオン（登録商標、ＤｕＰｏｎｔ社製）およびフレミオン（登録商標、旭硝子社製）の如き含フッ素ポリマーを主成分とする固体電解質膜、電解質物質や電解質溶液を含有した擬似固体電解質・ゲル電解質層が挙げられる。
【００８２】
また、形状は任意のものを用いることが可能であるが、長尺状であれば、アクチュエータの駆動変形時に大きな変位量が得られるために好ましい。
【００８３】
また、第二の電極層および第三の電極層に接するそれぞれの電解質層のサイズが同じである必要はなく、電気的絶縁が保たれていれば、所望するアクチュエータの特性に基づいて、任意のものを用いることが可能である。なお、上述した図１（ｃ）のように、互いに隣り合う屈曲部の電解質層同士が、該第一の電極層を介して、重なり領域を有している場合には、より駆動耐久性を向上させ得る。
【００８４】
ここで、第一および第二の電解質層の重なり領域値は、以下で定義できる。
〔第一および第二の電解質層の重なり領域値（％）〕＝〔（各電解質層を積層方向において第一の電極層の平面に投影させたときの、重なり領域の面積）÷（第一の電極層の面積）〕×１００      （式Ｂ）
この領域値は、アクチュエータの駆動性能を低下させなければ、０％以上１００％以下の範囲内で、所望するアクチュエータの使用特性に基づき適宜調整することが可能である。
【００８５】
なお、該電解質層の重なり領域値（式Ｂ）が８０％以上ある場合には、アクチュエータ素子の剛性が高まりすぎ、屈曲部の変位が低下する場合がある。また０．１％未満の場合には、該アクチュエータ駆動部の内端部領域の剛性を十分に補強して強くすることが出来ない場合がある。
【００８６】
上記ポリマーとしては、テトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデンの如く含フッ素系ポリマー、ポリエチレン、ポリプロピレンの如くポリオレフィン系ポリマー、ポリブダジエン系化合物、ポリウレタン系化合物、シリコーン系化合物、熱可塑性のポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレートを挙げることができる。なおこれらは単独あるいは複数を組み合わせて用いてもよく、また官能基を付加してもよいし、他のポリマーとの共重合体としてもよい。
【００８７】
上記ポリマーに電解質を含ませることで、電圧を印加することによりイオンが移動するアクチュエータを構成することが可能となる。
【００８８】
ここで用いる電解質としては、例えば、フッ化リチウム、臭化リチウム、臭化ナトリウム、塩化マグネシウム、硫酸銅、酢酸ナトリウム、オレイン酸ナトリウム、酢酸ナトリウムを挙げることができる。
【００８９】
また、電解質としては、イオン液体であってもよく、この場合には上記ポリマーとして、ポリフッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＰＶＤＦ−ＨＦＰ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、パーフルオロスルホン酸（Ｎａｆｉｏｎ、ナフィオン）、２−ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンオキシド（ＰＥＯ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）が特に好適に使用できる。
【００９０】
本発明のアクチュエータにおいて用いられるイオン液体とは、常温溶融塩または単に溶融塩とも称されるものであり、常温（室温）を含む幅広い温度域で溶融状態を呈する塩であり、例えば０℃、好ましくは−２０℃、さらに好ましくは−４０℃で溶融状態を呈する塩である。また、イオン液体はイオン伝導性が高いものが好ましい。
【００９１】
本発明のアクチュエータにおいては、各種公知のイオン液体を使用することができ、特に限定されるものではないが、常温（室温）または常温に近い温度において液体状態を呈する安定なものが好ましい。本発明のアクチュエータにおいて用いられる好適なイオン液体としては、イミダゾリウム塩、ピリジニウム塩、アンモニウム塩、ホスホニウム塩が挙げられる。なお、上記イオン液体は、２以上のイオン液体を組み合わせて用いてもよい。
【００９２】
上記イオン液体としては、より具体的には、下記の一般式（１）から（４）で表わされるカチオン（好ましくは、イミダゾリウムイオン）と、アニオンより成るものを例示することができる。
【００９３】
【化１】
0005959807.tif 000002
【００９４】
上記の式（１）から（４）において、Ｒは炭素数１から１２のアルキル基またはエーテル結合を含み炭素と酸素の合計数が３から１２のアルキル基を示す。式（１）においてＲ１は炭素数１から４のアルキル基または水素原子を示す。式（１）において、ＲとＲ１は同一ではないことが好ましい。式（３）および（４）において、ｘはそれぞれ１から４の整数である。
【００９５】
アニオンとしては、テトラフルオロホウ酸アニオン、ヘキサフルオロリン酸アニオン、ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド酸アニオン、過塩素酸アニオン、トリス（トリフルオロメタンスルホニル）炭素酸アニオン、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン、ジシアンアミドアニオン、トリフルオロ酢酸アニオン、有機カルボン酸アニオンおよびハロゲンイオンより選ばれる少なくとも１種が好ましい。
【００９６】
上記電解質層の厚みは、１０μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましく、更には１０μｍ以上４００μｍ以下であることが好ましい。膜厚が５００μｍより大きいと膜の弾性率が大きくなりアクチュエータの変形運動を抑制する場合がある。また１０μｍ未満だと保持できるイオン性物質量が少なく電極層への供給量が少なくなるため、屈曲運動が十分に得られない場合がある。
【００９７】
（補強材について）
補強材としては、例えば高分子フィルムや、ポリマーファイバーや、ポリマーファイバーからなる不織布や、金属細線（金属製のウィスカーなどを含む）や、金属棒や、板バネの如く金属板が適宜用いられる。
【００９８】
なお、補強材が高分子フィルムである場合には、剛性向上の観点から、延伸配向処理されているものが好ましい。また、ポリマーファイバーとしては、ファイバー作製過程で延伸処理されて形成できるエレクトロスピニング法（例えば、繊維社発行の「エレクトロスピニング最前線」に詳しく記載されている）で作製されたものを好ましく使用することが可能である。
【００９９】
加えて、補強材が金属の場合には、電解質イオンで腐食されないものが、駆動耐久性の観点から好ましい。例えば、金や白金、耐食性ステンレス鋼や、防食性被覆層を有する表面処理金属材料の如き従来公知のものを適宜使用することが可能である。
【０１００】
なお、これら金属は膜状ならびに網状であるとアクチュエータへの屈曲追随性の観点から好適である。
【０１０１】
金属板が板バネである場合には、板バネの腐食を抑制することが必要である。板バネは腐食雰囲気に非常に敏感であり、腐食によりバネ性能のヘタリ（劣化）が生じやすい。これを抑制する観点から、ステンレス材やインコネル（Ｉｎｃｏｎｅｌ（登録商標））のような腐食環境に高耐性を有する材料を用いることが好ましい。なお、補強材の数や形状やサイズは特に限定されず、特性の異なるものを複数組み合わせて用いることもできる。
【０１０２】
上記補強材の厚みは、アクチュエータの屈曲変形を阻害しない限り特に限定されるものではないが、補強材を含む電極層全体の厚みの１／１００以上１／２以下であることが好ましい。電極層全体の厚みの１／２より大きくなれば、電極層全体としては固くなり、もろく割れやすくなる傾向がある。一方、電極層全体の厚みの１／１００よりも小さくなれば、電極層全体の強度を高める効果が低く、アクチュエータ全体としての駆動耐久性の向上に繋がらない場合がある。
【０１０３】
（アクチュエータの作製）
以下に本実施形態のアクチュエータの作成方法について、詳細に説明する。
【０１０４】
（１）伸縮性の電極層の作製
本実施形態に係る電極層の作製方法は、特に限定されるものではないが、例えば以下のようにして作製することが可能である。
【０１０５】
ＣＮＴとポリマーからなる伸縮性電極層の製造方法の具体例を以下に示す。
【０１０６】
まず、導電材料としてのＳＷＣＮＴ（５０ｍｇ、平均直径約１ｎｍ、平均長さ約１μｍ、Ｕｎｉｄｙｍ社製、商品名「ＨｉＰｃｏ」）と１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート（ＢＭＩＢＦ４、イオン液体、８０ｍｇ）と、ジメチルフォルムアミド（ｄｉｍｅｔｈｙｆｏｌｍａｍｉｄｅ、以下ＤＭＦ）１ｍＬとを混合し、ボールミル処理を３０分間おこなう。これに、ＤＭＦ２ｍＬに溶解させたポリフッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＰＶＤＦ−ＨＦＰ、８０ｍｇ）を添加後、さらに３０分間ボールミル処理することで、ＣＮＴが分散した黒色のペーストを得る。この黒色ペーストをフッ素樹脂の型の上にキャスト続いて乾燥し、所定のサイズ（例えば、幅１ｍｍ×長さ５０ｍｍならびに幅１ｍｍ×長さ２５ｍｍ）に切り出すことで伸縮性電極層が作製できる。なお、膜の電気伝導度は概ね１３Ｓ／ｃｍ程度の値である。
【０１０７】
（２）電解質層の作製
本実施形態に係る電解質層の作製方法は、上記電解質層を作製することができる方法であればどのような方法であってもよいが、例えば、下記のようにして作製することが可能である。イオン液体とポリマーからなる電解質層の製造方法の具体例を以下に示す。
ＰＶＤＦ−ＨＦＰ（１００ｍｇ）を、テトラヒドロフラン（ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏｆｕｒａｎ、以下ＴＨＦ）／アセトニトリル（５／１）およびＢＭＩＢＦ４（１００ｍｇ）と温度８０℃で加熱混合した後キャストし、続いて乾燥する。その後、所定のサイズ（例えば、幅１ｍｍ×長さ２５ｍｍ）に切り出すことで電解質層が作製可能である。
【０１０８】
（３）第一の電極層の作製
第一の電極層の作製方法は、どのような方法であっても構わないが、以下に補強材として金属板を含む第一の電極層の作製方法について、具体的に説明する。
まず、上記（１）と同様に、ＣＮＴが分散した黒色のペーストを得る。この黒色ペーストの半分量をフッ素樹脂の型の上にキャスト続いて軽く乾燥し、得られたフィルムの上に、所定のサイズ（例えば、幅１ｍｍ×長さ５０ｍｍ）のＳＵＳ３０４金属板を積層する。この後、残りの黒色ペーストをキャスト、乾燥する。これを所定のサイズに切り出すことで金属板含有の電極層が作製可能である。
【０１０９】
（４）アクチュエータの作製
本実施形態に係るアクチュエータの作製方法は、上記で作製した電極層および電解質層を所定の構成に積層して加熱プレス（ホットプレス、熱圧着）する方法を好適に用いることができる。
【０１１０】
なお、ここで、「加熱プレスする」とは、加熱しながらプレスすること、及び、プレスした状態で昇温することの両方法を含む。
【０１１１】
加熱プレスの温度やプレス圧、時間は、上記ポリマーの分解温度以下であれば特に限定されるものではなく、用いるポリマー、アクチュエータを構成する高分子化合物、移動するイオン種に応じて適宜選択すればよい。例えば、加熱プレスの温度は、温度３０℃乃至１５０℃であることが好ましい。また、プレス圧は１ｋｇ／ｃｍ２乃至１００ｋｇ／ｃｍ２であることが好ましく、１０ｋｇ／ｃｍ２乃至５０ｋｇ／ｃｍ２であることがより好ましい。
【０１１２】
加熱プレス等によって積層させた構造体に、水、上記イオン導電物質、上記イオン液体、またはこれらの混合物を後から含ませることも可能である。この場合には、これらの溶液中に構造体を浸漬して含浸させるとよい。ここで、含浸させる際の溶液の濃度、含浸させる時間は、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を用いればよい。
【０１１３】
なお、本発明の実施形態に係るアクチュエータの形状は、上記に限らず、任意の形状の素子が容易に製造可能である。
【０１１４】
［第１の実施形態の具体構成］
以下に、本形態のより詳細な具体例について説明する。
【０１１５】
図１（ａ）は、本実施形態におけるアクチュエータの斜視図を示す。
【０１１６】
本形態のアクチュエータは、対向するＡ面およびＢ面を有する平板状の部材で構成された第一の電極層２を有する。第一の電極層２は、互いに隣り合う屈曲部に共通する電極層であり、長尺状であり、伸縮性を有している。第一の電極層２のＡ面の一部に、第一の電解質層５が接して配置されている。第一の電極層２のＢ面の一部には、第二の電解質層６が接して配置されている。これら電解質層５および６に接して、且つ第一の電極層２とは反対側に、第二の電極層３および第三の電極層４がそれぞれ配置され、第一の電極層２に対する対向電極となるように構成されている。
【０１１７】
ここで、第一の電解質層５と第二の電極層３のサイズならびに第二の電解質層６と第三の電極層４のサイズは揃っている。更に、電解質層５、６および電極層３、４の幅（短尺方向のサイズ）は第一の電極層の幅と揃っている。一方、電解質層５、６および電極層３、４の長さ（長尺方向のサイズ）は第一の電極層の長さの半分である。
【０１１８】
すなわち、第一の電極層のＡ面は、第一の電解質層５を有していない領域を有しており、第一の電極層のＢ面は、第二の電解質層６を有していない領域を有して構成されている。
【０１１９】
これにより、第一の電極層のＡ面およびＢ面のそれぞれにおいて、第二および第三の電極層が配置されていない領域が存在し、互いに隣り合い且つ電圧印加により逆方向に屈曲する２つの屈曲部を構成している。
【０１２０】
第二の電極層３と第一の電解質層５を第一の電極層２の長尺方向端部に合わせ、また同様に、第三の電極層４と第二の電解質層６を第一の電極層２のもう一方の長尺方向端部に合わせて配置している。
【０１２１】
すなわち、第一の電極層のＡ面の一部に対向する第二の電極層および第一の電極層のＢ面の一部に対向する第三の電極層が、それぞれ電解質層および第一の電極層を介し、内端部を揃えて配置されている。
【０１２２】
全ての電極層は上述したＣＮＴとポリマーからなる伸縮性電極層で構成されている。また電解質層は、上述したイオン液体とポリマーから形成されている電解質層である。これらの電極層および電解質層が上述のホットプレス法により圧着されて、アクチュエータ１が構成されている。
【０１２３】
このように構成した、アクチュエータ１に駆動電源から、４乃至５Ｖの駆動電圧を電極層３と２ならびに電極層２と４の間に印加することで、アクチュエータ１の互いに隣り合う屈曲部は、互いに反対方向に屈曲する。第一の電極層２を一方の電極、第二の電極層３と第三の電極層４を同極の他方の電極（第一の電極層に対する対向電極）として、それぞれの電解質層５、６を挟み、これら電極層３と２ならびに第三の電極層４と２の間に電圧を印加する。
【０１２４】
この電圧印加のための構成は、図３（ｂ）に示したように各電極にリード線を接続して、駆動電源を接続する構成でよい。
【０１２５】
第二の電極層３と第三の電極層４は同電位で接続すると良い。アクチュエータ１に駆動電源から、４乃至５Ｖの駆動電圧を、第二の電極層３と第一の電極層２ならびに第三の電極層４と第一の電極層２の間に印加することで、アクチュエータ１の互いに隣り合う第一および第二の屈曲部は、互いに反対方向に、同じ変位量で屈曲する。
【０１２６】
第一の電極層２のＡ面の一部に対向する第二の電極層および該第一の電極層のＢ面の一部に対向する第三の電極層が、それぞれ電解質層および第一の電極層を介し、内端部を揃えて構成されている。
【０１２７】
第一の電極層２は２つの屈曲部に共通した電極として、且つアクチュエータの芯として配置されているため、駆動耐久性が高まっている。加えて、互いの外側の電極層、および電解質層が内端部を揃えて配置されているので、互いの屈曲動作を妨げることがない。
【０１２８】
つまり、本実施形態のアクチュエータは、屈曲対向方向に負荷をかけて繰り返し駆動させても、駆動性能の低下なく駆動することができる。よって、実用に供するための信頼性に優れている。
【０１２９】
（第２の実施形態）
第１実施形態の変形例として、互いに隣り合う屈曲部が２つ以上であるアクチュエータについて図２を用いて説明する。本形態のアクチュエータは、第一および第二の屈曲部をそれぞれ複数有しており、第一の屈曲部および第二の屈曲部が長手方向（第一の電極層の長尺方向）に交互に、且つ連続して配置されている。すなわち、図１（ａ）で示すアクチュエータが複数連なったようなアクチュエータである。第１実施形態と同様に、複数の電極層、および電解質層を、第一の電極層のＡ面およびＢ面に、交互にずれた位置に配置されるように積層する。その後、その構造体を熱圧着することで容易に作製することができる。
【０１３０】
第二の電極、および第三の電極への電気的な接続は、使用する形態により適宜設定可能であり、第二の電極に対してはそれぞれ上側、および第三の電極に対しては下側からリード線をそれぞれに接続してもよいし、側面（短尺の方向）からリード線を接続してもよい。
【０１３１】
本形態は、実施形態１より大きな力を発生させ得ることが可能である。そして、駆動耐久性が高く、実用に供するための信頼性に優れたアクチュエータが得られる。
【０１３２】
図２には、第一の電極層２に対して、複数の第二の電極層３および複数の第三の電極層４を、それぞれ電解質（５、６）を介して配置させた構成のアクチュエータ１が記載されている。本形態のアクチュエータは、第一の電極層を基に、図１（ａ）のアクチュエータが３つ連なったような構成であり、こうすることで図１（ａ）のアクチュエータの数倍の発生力を有するアクチュエータが容易に得られる。
【０１３３】
（第３の実施形態）
本形態は、実施形態１におけるアクチュエータ１の変形であり、互いに隣り合う、第一および第二の屈曲部に共通する第一の電極層を有するアクチュエータにおいて、共通する第一の電極層の内部に補強材として金属板を有するアクチュエータである。
【０１３４】
図１（ｂ）は本発明の第二実施形態におけるアクチュエータの斜視図を示す。図１（ｂ）において、第二実施形態のアクチュエータ１は、第一の電極層が金属板７を含有していること以外は、実施形態１と同様の手法で作製できる。
【０１３５】
ここでは金属板含有の第一の電極層として、上述したＣＮＴとポリマーとＳＵＳ３０４金属板から形成されている電極層を用いる。図１（ｂ）では、第一の電極層２ａ、２ｂ間にＳＵＳ３０４金属板７が配置されている。
【０１３６】
アクチュエータ１の第一の電極層（共通の電極層）は、金属板７を含んでいるために、駆動耐久性がさらに高まっている。つまり、本形態のアクチュエータは、横揺れを加えながら、屈曲対向方向に負荷をかけて繰り返し駆動させても、駆動性能の低下なく駆動することができる。よって、より実用に供するための信頼性に優れる。
【０１３７】
（第４の実施形態）
本形態は、実施形態１におけるアクチュエータ１の変形であり、互いに隣り合う、第一および第二の屈曲部の電解質層同士が、第一の電極層を介して、重なり領域を有しているアクチュエータ１である。
【０１３８】
図１（ｃ）は本形態におけるアクチュエータの斜視図を示す。図１（ｃ）のアクチュエータ１は、第１の実施形態において用いた電解質層よりも１．２倍長尺方向に長い電解質層５、６を用いること以外は、実施形態１と同様の手法で作製できる。この場合、重なり領域値は、２０％となる。
【０１３９】
アクチュエータ１は、２つの屈曲部の間に電解質層の重なり領域を有しているために、実施形態１よりもさらに駆動耐久性が高まっている。つまり、本アクチュエータは、横揺れを加えながら、屈曲対向方向に負荷をかけて繰り返し駆動させても、駆動性能の低下なく駆動することができる。よって、より実用に供するための信頼性に優れる。
【０１４０】
（第５の実施形態）
図５は、第２の実施形態のアクチュエータを複数積み重ねて構成したアクチュエータ構造体を模式的に示したものである。図２のアクチュエータを複数用意し、各屈曲部の屈曲部が互いに対向するように積み重ねて配置されている。すなわち、隣り合うアクチュエータ同士のそれぞれの屈曲部が互いに逆方向に屈曲して押し合うように接触して配置されている。第２の実施形態と同様にそれぞれの電極層に電圧を印加すると、それぞれの屈曲部が屈曲し、結果として積み重ねた方向（図５の矢印の方向）に変位が生じ、力が発生する。なお、図面の上下で隣接するアクチュエータにおいて、それぞれ逆方向に屈曲する屈曲部の上段底部と下段頂部のみが共通電極部材である銅線６００を介して接着材５００により接着する。このようなアクチュエータ構造体を構成することで、所定方向に大きな変位と発生力を生じるデバイスを提供することができる。
【０１４１】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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