(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の収容体から電子部品を取り出して他方の収容体に搭載する移載装置であって、
前記収容体の双方は、電子部品が貼付されるウェハシートであり、
前記ウェハシートを保持するウェハリングを装着したリングホルダを、ウェハシートの平面に平行なＸＹθ方向に位置決め可能なリング移動機構を有し、双方の前記ウェハシートが設置面に対して垂直で、互いの前記ウェハシートが直交する方向となるように隣り合う位置に配置された一対の支持装置と、
前記リング移動機構が前記電子部品の位置補正をする際の位置ズレ量を求めるために、前記一対の支持装置のそれぞれのウェハシートに貼付された電子部品を撮像する撮影光学系と、
前記電子部品を先端で保持及び離脱させる保持部と、
前記保持部を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる複数機のロータリーピックアップと、
を備え、
１機のロータリーピックアップが、前記一方の収容体から前記他方の収容体への前記電子部品のメイン搬送経路を形成するメイン搬送体であり、
前記メイン搬送体は横置きされて、前記保持部の回転軌跡が水平であり、
前記メイン搬送体に隣り合うロータリーピックアップが、互いに垂直方向に重ならないように、前記回転軸が互いに直交する方向に配置されたサブ搬送体であり、
前記サブ搬送体は、縦置きされて、前記保持部の回転軌跡が設置面に対して垂直であり、
前記サブ搬送体は、前記メイン搬送体よりも回転平面の径が小さく、
前記メイン搬送体と前記サブ搬送体の双方が有する前記保持部の先端が、互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置のみを受け渡し地点として、前記電子部品の受け渡しを双方向で行うこと、
を特徴とする移載装置。
【請求項２】
前記サブ搬送体における保持部の少なくとも１つの停止位置には、前記電子部品に所定の加工を行う処理ユニットが配置され、
前記処理ユニットは、
前記電子部品の姿勢を補正する補正ユニットと、
前記電子部品の特性を検査する検査装置と、
を含むことを特徴とする請求項１記載の移載装置。
【請求項３】
前記検査装置は、積分球を有する光学特性測定ユニット、電気特性測定ユニット及び外観検査ユニットの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項２記載の移載装置。
【請求項４】
回転軸が直交する方向で隣り合う前記ロータリーピックアップの何れか一方には、
前記受け渡し地点に該当する前記停止位置に、当該停止位置で停止した前記保持部を前記回転軸から離れる半径方向外方へ進出させる進退駆動部が更に配置され、
前記受け渡し地点で向かい合わせになった前記保持部の何れか一方が、受け渡し対象の電子部品を送り又は迎えにいくこと、
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の移載装置。
【請求項５】
前記進退駆動部は、
前記保持部を進出させる推力を発生させるモータを備え、
前記モータは、
前記進出させる保持部の移動速度を、向かい合わせになった他方の保持部に近づくにしたがって減速させること、
を特徴とする請求項４記載の移載装置。
【請求項６】
前記進退駆動部は、
受け渡し対象の前記電子部品に対して前記進出させる保持部が与える荷重を制御するボイスコイルモータを備えること、
を特徴とする請求項４又は５記載の移載装置。
【請求項７】
前記ボイスコイルモータは、
前記受け渡し対象の電子部品へ未達の状態で前記保持部から受ける抗力との拮抗推力を当該保持部に与え、
前記受け渡し対象の電子部品と前記保持部との衝撃を吸収すること、
を特徴とする請求項６記載の移載装置。
【請求項８】
前記進退駆動部は、
前記受け渡し対象の電子部品へ未達の状態で前記保持部から受ける抗力との拮抗推力を当該保持部に与えるボイスコイルモータを備え、
前記受け渡し対象の電子部品と前記保持部との接触によって生じる前記ボイスコイルモータの挙動変化に基づき、前記保持部を進出させるための前記モータの回転量を決定すること、
を特徴とする請求項６又は７記載の移載装置。
【請求項９】
前記収容体の一方又は双方は、電子部品が貼付されるウェハシートを支持する支持装置であり、
一方の前記支持装置における前記ウェハシートには、品質の程度を示すランクが異なる電子部品が混在したウェハが貼付され、ダイシングにより前記電子部品が個片に分かれており、
前記メイン搬送体における前記保持部は、一方の支持装置に支持されたウェハシートが伸張されることにより分離された電子部品を、ランクに基づいて選択的にピックアップすること、
を特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の移載装置。
【請求項１０】
前記サブ搬送体は、複数設けられていることを特徴とする請求項１乃至９の何れかに記載の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一方の収容体から電子部品を取り出して他方の収容体に搭載する移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、収容体から電子部品を取り出して搬送経路に載せつつ、搬送経路上に設定された各加工点で電子部品に加工を施し、最後に他の収容体に搭載する移載装置が提案され、電子部品の製造工程で実際に使用されている。
【０００３】
電子部品は、電気製品に使用される部品であり、半導体素子が含まれ、半導体素子としてはトランジスタやＬＥＤや集積回路、その他には抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。収容体は、例えば、ウェハシート、リードフレーム、有機系基板、無機系基板、粘着性のトレイ、基板、パーツフィーダ、或いはポケットが形成されたテープ、トレイ、分類ビン等の梱包容器である。各加工点における電子部品の加工としては、外観検査、接着剤塗布、姿勢確認、分類、不良品の強制排出、基板への実装、電気特性検査、加熱又は冷却といった温度調整、電子部品から延びる端子の形状加工、姿勢の矯正、マーキング等、様々である。
【０００４】
特に、ウェハシート、トレイ、テープ、又はパーツフィーダから半導体素子を取り出して、表裏を反転させ、リードフレーム又は実装基板に接着剤を介して接着する移載装置は、ダイボンダー装置と呼ばれている。
【０００５】
このような移載装置としては、複数のロータリーテーブルやロータリーピックアップを有し、ロータリーピックアップで電子部品を供給して、ロータリーテーブルに設けられた保持部が一直線上に並ぶ位置で電子部品を受け渡すことで、１つの搬送経路を形成するタイプが知られている（例えば、特許文献１乃至３参照。）。
【０００６】
ここで、ロータリーテーブルとロータリーピックアップの違いを明確にしておく。ロータリーテーブルは、第１に、例えばタレットテーブルでありメイン搬送経路として用いられ、第２に、電子部品の加工点を多く配置すべくロータリーピックアップと比べて大型で大重量であり、第３に、加工点には電子部品を加工する処理ユニットが下方に配置されるため、電子部品を保持する保持手段をテーブル平面と直交するように垂れ下げて備える。一方、ロータリーピックアップは、第１に、メイン搬送経路に対して電子部品を供給する供給用であり、従来はメイン搬送経路を形成することはなく、第２に、ロータリーテーブルと比べて小型で軽量であり、第３に、電子部品を保持する保持手段を回転平面と平行に配置し、保持手段の先端を常に外方を向ける。つまり、ロータリーピックアップは、電子部品をロータリーテーブルへ供給する供給用であり、ロータリーテーブルは、電子部品のメイン搬送経路を形成し、これらは用途、種類、大きさが異なる。
【０００７】
特許文献１の移載装置は、ピックアップユニットとロータリーテーブルを有する。ピックアップユニットとロータリーテーブルは、それぞれ円周に沿って複数本のノズルを円周平面と直交する方向に延ばして配置している。これらピックアップユニットとロータリーテーブルは、外周の一部を重ねるように上下に配置し、重なり部分で電子部品を受け渡す。ピックアップユニットは、水平回転とともに、ノズルを１８０度反転させることができ、下方で電子部品を受け取って、上方のロータリーテーブルに電子部品を受け渡すことで反転処理が成立する。
【０００８】
また、特許文献２の移載装置においては、大きさの異なる３以上のロータリーテーブルが水平に設置され、保持部が円周平面と直交する方向に延びている。この移載装置もロータリーテーブルが上下に配置され、外周の一部に重なり部分を有する。
【０００９】
特許文献３の移載装置においては、大型のロータリーテーブルである保持装置が水平に配置される一方で、小型のロータリーピックアップである吸着装置が垂直に配置されている。この移載装置においても、吸着装置は、電子部品を保持装置へ供給する供給用であり、保持装置は、供給装置から電子部品を受け取って、電子部品のメイン搬送経路を形成し、これらは用途、種類、大きさが異なる。但し、この移載装置も保持装置と吸着装置とを上下に配置し、外周の一部に重なり部分を有する。
【００１０】
このように、ロータリーテーブルを用いた従来の移載装置においては、複数のロータリーテーブルを有し、ロータリーテーブルに設けられた保持部が一直線上に並ぶ位置で電子部品を受け渡す。このため、１つの搬送経路を形成するタイプは、互いのロータリーテーブルに重なりが発生してしまう。
【００１１】
移載装置においては、多種の加工を施す必要があり、多くの加工点を搬送経路上に設置することを望む場合がある。しかしながら、ロータリーテーブルの重なり合った部分には、他のロータリーテーブルやモータ等が物理的な障害となり、加工点の設置は困難である。そこで、多くの加工点の設置を試みれば、ロータリーテーブルの大型化が避けられなかった。そうすると、移載装置を設置するために広いスペースが必要となる。
【００１２】
ロータリーテーブルが大型化してしまうと、ロータリーテーブルの一定以上の回転速度を達成するには、大きなモータが必要となる。そのため、移載装置を設置するために必要なスペースは益々広がっていく。また、大きなモータを用いなければ、ロータリーテーブルの回転速度の低下は避けられない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０００−３１５８５６公報
【特許文献２】特許第２６６７７１２号公報
【特許文献３】特開２０１１−６６２７７公報
【特許文献４】国際公開公報ＷＯ２０１４／０８７６８２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
以上のように、複数のロータリーテーブルを上下に重ねるように配置する移載装置では、小型化と加工点の増加とはトレードオフの関係にあった。
【００１５】
これに対処するため、図１３に示すように、電子部品Ｗの供給側の収容体Ｓ１と、収集側の収容体Ｓ２との間で、回転面を垂直方向とした小型のロータリーピックアップＬを、水平方向に重なりなく複数並べた移載装置が記載されている。この移載装置は、ロータリーピックアップＬに設けられた保持部Ｈが、隣接するロータリーピックアップＬの間で電子部品Ｗを受け渡すことで、供給側から収集側への移載を行う。電子部品Ｗの搬送経路は、各ロータリーピックアップＬの上側又は下側の円弧部分となる。
【００１６】
このように、ロータリーピックアップＬの数を増やすことにより、加工点を増設することが可能となる。また、ロータリーピックアップＬの回転面が垂直であるため、軸に平行な方向のスペースを小型化できる。
【００１７】
但し、この移載機構では、各ロータリーピックアップＬが、隣接するロータリーピックアップＬに電子部品を順次受け渡すために、受け渡し点が２つ必要となる。また、電子部品Ｗの搬送経路は、各ロータリーピックアップにおける上側の半円部分のみか、下側の半円部分のみとなる。このため、例えば、上側の半円部分を搬送経路とした場合には、下側の半円部分Ｘの周囲は、加工を行う各種の装置を設置することはできない。
【００１８】
このため、加工点として使用できるスペースは、各ロータリーピックアップＬの上方のみである。すると、隣接するロータリーピックアップＬとの干渉を避けるためには、一つのロータリーピックアップＬ当たり、せいぜい一つの加工点の増加しか見込めない。
【００１９】
一方、ロータリーピックアップを増設する毎に、回転軸に直交する水平方向の設置スペースは増大していく。従って、設置スペースの増大に対する加工点の増加割合が低くなってしまう。
【００２０】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたもので、ロータリーピックアップの増設数に対する加工点の増加割合を、飛躍的に増大させることができる移載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記のような課題を解決するための本発明の移載装置は、一方の収容体から電子部品を取り出して他方の収容体に搭載する移載装置であって、前記収容体の双方は、電子部品が貼付されるウェハシートであり、前記ウェハシートを保持するウェハリングを装着したリングホルダを、ウェハシートの平面に平行なＸＹθ方向に位置決め可能なリング移動機構を有し、双方の前記ウェハシートが設置面に対して垂直で、互いの前記ウェハシートが直交する方向となるように隣り合う位置に配置された一対の支持装置と、前記リング移動機構が前記電子部品の位置補正をする際の位置ズレ量を求めるために、前記一対の支持装置のそれぞれのウェハシートに貼付された電子部品を撮像する撮影光学系と、前記電子部品を先端で保持及び離脱させる保持部と、前記保持部を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる複数機のロータリーピックアップと、を備える。
【００２２】
そして、本発明は、１機のロータリーピックアップが、前記一方の収容体から前記他方の収容体への前記電子部品のメイン搬送経路を形成するメイン搬送体であり、前記メイン搬送体は横置きされて、前記保持部の回転軌跡が水平であり、前記メイン搬送体に隣り合うロータリーピックアップが、互いに垂直方向に重ならないように、前記回転軸が互いに直交する方向に配置されたサブ搬送体であり、前記サブ搬送体は、縦置きされて、前記保持部の回転軌跡が設置面に対して垂直であり、前記サブ搬送体は、前記メイン搬送体よりも回転平面の径が小さく、前記メイン搬送体と前記サブ搬送体の双方が有する前記保持部の先端が、互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置のみを受け渡し地点として、前記電子部品の受け渡しを双方向で行うこと、を特徴とする。
【００２５】
前記サブ搬送体における保持部の少なくとも１つの停止位置には、前記電子部品に所定の加工を行う処理ユニットが配置され、前記処理ユニットは、前記電子部品の姿勢を補正する補正ユニットと、前記電子部品の特性を検査する検査装置と、を含んでいてもよい。
【００２６】
前記検査装置は、積分球を有する光学特性測定ユニット、電気特性検査ユニット及び外観検査ユニットの少なくとも１つを含んでいてもよい。
【００２８】
回転軸が直交する方向で隣り合う前記ロータリーピックアップの何れか一方には、前記受け渡し地点に該当する前記停止位置に、当該停止位置で停止した前記保持部を前記回転軸から離れる半径方向外方へ進出させる進退駆動部が更に配置され、前記受け渡し地点で向かい合わせになった前記保持部の何れか一方が、受け渡し対象の電子部品を送り又は迎えにいくようにしてもよい。
【００２９】
前記進退駆動部は、前記保持部を進出させる推力を発生させるモータを備え、前記モータは、前記進出させる保持部の移動速度を、向かい合わせになった他方の保持部に近づくにしたがって減速させるようにしてもよい。
【００３０】
前記進退駆動部は、受け渡し対象の前記電子部品に対して前記進出させる保持部が与える荷重を制御するボイスコイルモータを備えるようにしてもよい。
【００３１】
前記ボイスコイルモータは、前記受け渡し対象の電子部品へ未達の状態で前記保持部から受ける抗力との拮抗推力を当該保持部に与え、前記受け渡し対象の電子部品と前記保持部との衝撃を吸収するようにしてもよい。
【００３２】
前記進退駆動部は、前記受け渡し対象の電子部品へ未達の状態で前記保持部から受ける抗力との拮抗推力を当該保持部に与えるボイスコイルモータを備え、前記受け渡し対象の電子部品と前記保持部との接触によって生じる前記ボイスコイルモータの挙動変化に基づき、前記保持部を進出させるための前記モータの回転量を決定するようにしてもよい。
【００３３】
前記収容体の少なくとも一方又は双方は、電子部品が貼付されるウェハシートを支持する支持装置であり、一方の前記支持装置における前記ウェハシートには、品質の程度を示すランクが異なる電子部品が混在したウェハが貼付され、ダイシングにより前記電子部品が個片に分かれており、前記メイン搬送体における前記保持部は、一方の支持装置に支持されたウェハシートが伸張されることにより分離された電子部品を、ランクに基づいて選択的にピックアップするようにしてもよい。
【００３５】
前記サブ搬送体は、複数設けられていてもよい。
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、メイン搬送体のロータリーピックアップに、サブ搬送体のロータリーピックアップが、互いに重ならずに回転軸が直交する方向で、双方が有する保持部の先端が互いに向かい合うように増設することにより、サブ搬送体の受け渡し地点以外の周囲のスペースが空く。このため、ロータリーピックアップの増設数に対する加工点の増加割合を、飛躍的に増大させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本実施形態に係る移載装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係る移載装置の配置構成を示す側面図である。
【図３】進退駆動装置を示す斜視図である。
【図４】ウェハシートの支持装置を示す簡略側面図である。
【図５】ウェハリングを示す平面図である。
【図６】補正ユニットを示す側面図（ａ）、平面図（ｂ）である。
【図７】光学特性測定ユニットを示す側面図である。
【図８】進退駆動装置の動作を示す模式図である。
【図９】サブ搬送体の周囲のスペースを示す模式図である。
【図１０】移載装置の他の例を示す模式図である。
【図１１】移載装置の他の例を示す模式図である。
【図１２】移載装置の他の例を示す模式図である。
【図１３】従来の移載装置を示す模式図である。
【００３８】
［１．全体構成］
以下、本発明に係る移載装置の本実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本発明及び実施形態は、電子部品を種類、ランクに応じて分類する分類装置、電子部品の各種特性を検査又は測定する検査装置、測定装置、分類、検査又は測定の機能を有する分類検査装置、分類測定装置として捉えることもできる。図１は、本実施形態に係る移載装置１の全体構成を示す斜視図、図２は、移載装置１の正面図である。移載装置１は、一方の収容体５ａから電子部品Ｗを取り出し、各種の加工点を経て他方の収容体５ｂに搭載する。
【００３９】
電子部品Ｗは、電気製品に使用される部品であり、半導体素子、及び半導体素子以外の抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。半導体素子としては、トランジスタ、ダイオード、ＬＥＤ、コンデンサ、及びサイリスタ等のディスクリート半導体、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路等を挙げることができる。収容体５ａ、５ｂは、例えば、ウェハシート、リードフレーム、有機系基板、無機系基板、粘着性のトレイ、基板、パーツフィーダ、或いはポケットが形成されたテープ、トレイ、分類ビン等の梱包容器である。本実施形態では、一方の収容体５ａのウェハシートＤから電子部品Ｗを取り出して、他方の収容体５ｂのウェハシートＤに貼り替える。
【００４０】
この移載装置１は、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂを備えている。ロータリーピックアップ２ａは、一方の収容体５ａから他方の収容体５ｂへの電子部品Ｗのメイン搬送経路を形成するメイン搬送体である。ロータリーピックアップ２ｂは、メイン搬送体に隣り合い、互いに重ならないように、回転軸が互いに直交する方向に配置されたサブ搬送体である。ロータリーピックアップ２ｂによる電子部品Ｗの搬送経路は、サブ搬送経路を形成する。ロータリーピックアップ２ａ、２ｂは、間欠回転により電子部品Ｗを外周に沿って搬送する。
【００４１】
各ロータリーピックアップ２ａ、２ｂは、電子部品Ｗを先端で保持及び離脱させる複数の保持部２１を備えている。複数の保持部２１は、回転軸周りに同一円周の円周等配位置に配置され、その円周中心からの半径方向に沿って延び、その円周平面と平行に先端を外方に向けて配置されている。ロータリーピックアップ２ａ、２ｂは、電子部品Ｗを保持した保持部２１を、その円周中心を通って該半径方向と直交する軸を回転中心として所定角度ずつ間欠回転させる。
【００４２】
両ロータリーピックアップ２ａ、２ｂは、保持部２１の配置平面が直交する方向となるように、隣接配置されている。そして、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの双方が有する保持部２１の先端が、互いに向かい合う共通の停止位置を有し、この停止位置のみを受け渡し地点Ａとして、電子部品Ｗの受け渡しを双方向で行う。ここで、停止位置のみを受け渡し地点Ａとするとは、一対のロータリーピックアップ２ａ、２ｂの関係では、当該停止位置のみで受け渡すことをいう。このため、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの周囲の停止位置に、他の装置と間で電子部品Ｗを受け渡す関係が存在してもよい。また、後述するように、ロータリーピックアップ２ｂが複数ある場合には、それぞれのロータリーピックアップ２ｂとロータリーピックアップ２ａとの間で、受け渡し地点Ａが存在することになる。また、双方向の受け渡しとは、ロータリーピックアップ２ａから、ロータリーピックアップ２ｂへ受け渡された電子部品Ｗが、ロータリーピックアップ２ｂを周回して、ロータリーピックアップ２ａに受け渡されることをいう。受け渡し地点Ａは、メイン搬送経路前半とメイン搬送経路後半とを分ける。
【００４３】
受け渡し地点Ａにおいて、ロータリーピックアップ２ａの保持部２１（２１ａ）は、その先端で電子部品Ｗの一面を保持している。つまり、電子部品Ｗの反対面Ｒを、受け渡し地点Ａで対向するロータリーピックアップ２ｂの保持部２１（２１ｂ）に向けている。保持部２１（２１ｂ）は、電子部品Ｗの反対面Ｒを先端で保持し、ロータリーピックアップ２ｂの回転に連れて、電子部品Ｗを一周させて、受け渡し地点Ａで対向するロータリーピックアップ２ａの保持部２１（２１ａ）まで保持する。
【００４４】
また、保持部２１の受け渡し地点Ａ以外の全ての停止位置は、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの重なりに起因する物理的障害がない。このため、これらの停止位置は、それぞれ電子部品Ｗの加工点として設定可能となっている。
【００４５】
例えば、ロータリーピックアップ２ａの２つの加工点には、それぞれ一機ずつステージ装置４ａ、４ｂが配置されている。一方のステージ装置４ａは、電子部品Ｗが取り出される収容体５ａを載せながらＸＹ方向に平行移動することで、収容体５ａ内の各電子部品Ｗを一つずつピックアップ地点Ｂに位置させる。他方のステージ装置４ｂは、電子部品Ｗを搭載予定の収容体５ｂを載せながらＸＹ方向に移動することで、電子部品Ｗの各搭載箇所を一カ所ずつ電子部品Ｗの離脱地点Ｃに位置させる。
【００４６】
ピックアップ地点Ｂは、メイン搬送経路前半の保持部２１の収容体５ａからの最寄り停止位置である。離脱地点Ｃは、メイン搬送経路後半の保持部２１の収容体５ｂからの最寄り停止位置である。本実施形態では、ロータリーピックアップ２ａは横置きされて、保持部２１の回転軌跡が設置面に対して水平となり、メイン搬送経路前半の１つの停止位置がピックアップ地点Ｂ、メイン搬送経路後半の停止位置が離脱地点Ｃとなっている。
【００４７】
また、収容体５ａ、５ｂはウェハシートＤであり、ステージ装置４ａ、４ｂは、ウェハシートＤの支持装置である。ステージ装置４ａ、４ｂは、それぞれのウェハシートＤがロータリーピックアップ２ａの回転半径に直交する方向で、保持部２１の先端に向かい合う位置に配置されている。つまり、ウェハシートＤは設置面に対して垂直であり、保持部２１の回転軌跡の接線方向に平行に配置されている。また、ステージ装置４ａ、４ｂは、互いのウェハシートＤが直交する方向となるように隣り合っている。
【００４８】
他方のロータリーピックアップ２ｂは縦置きされて、サブ搬送経路を形成する保持部２１ｂの回転軌跡が設置面に対して垂直となっている。ロータリーピックアップ２ｂにおける保持部２１ａの先端に向かい合う各停止位置には、電子部品Ｗに所定の加工を行う処理ユニットが配置されている。処理ユニットには、姿勢測定ユニット５０、補正ユニット６０、電気特性測定ユニット７０、光学特性測定ユニット８０が含まれる。なお、上記のロータリーピックアップ２ａ、２ｂ、ステージ装置４ａ、４ｂ、姿勢測定ユニット５０、補正ユニット６０、電気特性測定ユニット７０、光学特性測定ユニット８０は、装置全体を支持する支持台及びこれに固定された架台等に取り付けられている。
【００４９】
［２．詳細構成］
（ロータリーピックアップ）
図１、図２に示すように、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂは、基本的には、同じ構造を有する。但し、サブ搬送体であるロータリーピックアップ２ｂは、メイン搬送体であるロータリーピックアップ２ａよりも回転平面の径が小さい。つまり、ロータリーピックアップ２ｂは、ロータリーピックアップ２ａよりも小型であるために、他部材との干渉が少ない状態で縦置き可能となっている。
【００５０】
このロータリーピックアップ２ａ、２ｂには、保持部２１が、その先端が常に外方へ向くように軸フレーム２２の軸周りに円周等配位置で配置されている。ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの駆動源であるモータ２３は、軸フレーム２２を間欠的に軸回転させることで、保持部２１を一斉に各回転角度で停止させる。保持部２１は、可動機構２４を介して軸フレーム２２に設置されており、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの半径方向に沿って外方、換言すると、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの中心から離れる遠心方向に進出及び中心に向かう求心方向に退入可能となっている。また、保持部２１の幾つかの停止箇所には、保持部２１に対して進出及び退入の推進力を与える進退駆動装置２５が配置されている。幾つかの停止箇所とは、ピックアップ地点Ｂ、受け渡し地点Ａ、離脱地点Ｃ、補正地点Ｐ２、電気特性測定地点Ｐ３、光学特性測定地点Ｐ４である。
【００５１】
保持部２１は、例えば、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの半径方向に沿った軸を有する吸着ノズルである。吸着ノズルは、ノズル先端が開口した中空状の筒であり、ノズル先端をピックアップの半径方向外方に向けており、またノズル内部は真空発生装置の空気圧回路とチューブを介して連通している。この吸着ノズルは、真空発生装置による負圧の発生によって電子部品Ｗを吸着し、真空破壊又は正圧の発生によって電子部品Ｗを離脱させる。
【００５２】
軸フレーム２２は、一端に略円盤状に拡がった円筒であり、保持部２１の支持体であるとともに、モータ２３と接続されて回転軸となる。軸フレーム２２の円筒部分がモータ２３の回転軸に同軸固定される。具体的には、モータ２３の回転軸が軸フレーム２２の円筒部分に嵌め込まれてボルト等で締結される。
【００５３】
モータ２３は、回転軸を有する例えばサーボモータであり、一定角度の回転と一定時間の停止を交互に繰り返す。このモータ２３は、何れかの保持部２１を真横のピックアップ地点Ｂ、離脱地点Ｃ及び受け渡し地点Ａに位置させる。
【００５４】
モータ２３の回転角度は、保持部２１の設置角度と等しい。保持部２１は例えば８本が円周等配位置に配置されており、保持部２１の設置角度には整数倍に９０度が含まれるように配設される。これにより、保持部２１は、真横のピックアップ地点Ｂ、離脱地点Ｃ、及び受け渡し地点Ａに停止する。
【００５５】
また、モータ２３の回転が停止する時間は、ステージの移動を含む電子部品Ｗのピックアップ時間、受け渡し時間、外観を撮影する時間、位置補正時間、電気特性測定時間、光学特性測定時間、ステージの移動を含む搭載時間のうちの最長時間に対応する。
【００５６】
可動機構２４は、軸フレーム２２の円盤部分の周囲に延設されたステイに固定されたスリーブ２４ａに、ピックアップの半径方向に摺動可能となるようにスライドシャフト２４ｂを貫通させ、そのスライドシャフト２４ｂのピックアップの半径方向外方端にアーム２４ｃが固定されて成る。保持部２１は、このアーム２４ｃに固定されている。アーム２４ｃは、スライドシャフト２４ｂと直交して固定され、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの回転軸と平行に延びており、一端は軸フレーム２２の円盤表面から突出して延び、他端は軸フレーム２２の円盤裏側に及んで延びている。保持部２１は、軸フレーム２２の円盤表面から突出したアーム２４ｃの一端に、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの半径方向に沿って延設される。
【００５７】
（進退駆動装置）
進退駆動装置２５は、ピックアップ地点Ｂ、離脱地点Ｃ及び受け渡し地点Ａにおいて、アーム２４ｃの円盤裏面に及ぶ箇所に推進力を与えるべく、軸フレーム２２の円盤裏側に配置されている。また、補正ユニット６０、電気特性測定ユニット７０、積分球８０に対応する停止位置である補正地点Ｐ２、電気特性測定地点Ｐ３及び光学特性測定地点Ｐ４にも、進退駆動装置２５が配置されている。受け渡し地点Ａにおいては、進退駆動装置２５は、双方のロータリーピックアップ２ａ、２ｂに設置しても、一方のみに設置してもよい。但し、受け渡し地点Ａにおいて一方の保持部２１が他方の保持部２１へ向かって電子部品Ｗの受け渡しのために一方的に迎えに行く構成となる。また、少なくとも受け渡し地点Ａにおいては、一方の保持部２１の進出速度を電子部品Ｗに近づくにしたがって減速させ、更に電子部品Ｗに対する荷重をゼロに近づけるように低減する制御を行う。
【００５８】
この進退駆動装置２５は、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの半径方向外方へ保持部２１を進出させる推力、半径方向中心に向けて保持部２１を後退させるための推力を与える。より詳細には、保持部２１が固定されているアーム２４ｃを半径方向外方へ押し出すことで、そのアーム２４ｃに固定されている保持部２１を進出させる。また、アーム２４ｃに対する推力の付与を解除し、可動機構２４のスライドシャフト２４ｂを半径方向中心に戻す付勢力を発揮させることで、スライドシャフト２４ｂに固定されているアーム２４ｃ及び保持部２１を後退させる。
【００５９】
具体的には、図３に示すように、進退駆動装置２５は、ピックアップの半径方向に移動可能なスライド部材２５０を備えている。このスライド部材２５０はＬ字状の板部材である。Ｌ字を形成する一方の平板は、その板面がピックアップの半径方向に拡がる側面板２５１であり、他方の平板は、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの回転軸方向に拡がる天井板２５２である。天井板２５２が側面板２５１よりもピックアップの半径方向中心側に位置している。
【００６０】
このスライド部材２５０は、ピックアップの半径方向に移動可能となっている。また、スライド部材２５０の天井板２５２には、バネ２５ｂを介して一枚の突起支持板２５３が互いの面を対向させるように接続されている。突起支持板２５３は天井板２５２よりもピックアップの半径方向外方に位置し、ピックアップの半径方向外方の面には、突起部２５ｃが設けられている。この突起部２５ｃは、アーム２４ｃの軸フレーム２２の裏面まで延びた部分の直上に位置している。
【００６１】
このような進退駆動装置２５において、スライド部材２５０がピックアップの半径方向外方に移動することで、突起部２５ｃがアーム２４ｃに当接し、アーム２４ｃを介して保持部２１をピックアップの半径方向外方に進出させることができる。また、突起支持板２５３をピックアップの半径方向外方へ移動可能とすることで、保持部２１の先端が及ぼす電子部品Ｗへの荷重を調整することができる。
【００６２】
スライド部材２５０を移動させるための推進発生源としてとしては、回転モータ２５ｄと円筒カム２５ｅとカムフォロア２５ｆを備えている。また、突起支持板２５３に荷重をかけるための推力発生源としては、ボイスコイルモータ２５ｇを備えている。
【００６３】
カムフォロア２５ｆは、円筒部材であり、スライド部材２５０の側面板２５１に立設されることで、ピックアップの回転軸方向に延びている。円筒カム２５ｅは、ピックアップの回転軸方向に延びる軸を有し、この軸が位置固定の回転モータ２５ｄに軸支され、周面をカム面とし、ピックアップの半径方向中心側からカムフォロア２５ｆの周面にカム面を当接させている。カム面には、円筒カム２５ｅの径を拡大する膨出部分が一部に形成されている。
【００６４】
従って、回転モータ２５ｄを駆動させると円筒カム２５ｅが回転し、カムフォロア２５ｆが円筒カム２５ｅの膨出部分を通過するころには、円筒カム２５ｅの回転中心とカムフォロア２５ｆとの距離が拡がる。円筒カム２５ｅはカムフォロア２５ｆに対してピックアップの半径方向中心側から当接しているため、円筒カム２５ｅの回転中心とカムフォロア２５ｆとは、ピックアップの半径方向外方へ距離を拡げる。よって、カムフォロア２５ｆは、円筒カム２５ｅによってピックアップの半径方向外方へ押し下げられる。カムフォロア２５ｆは、スライド部材２５０と固定関係にあるため、スライド部材２５０もピックアップの半径方向外方に押し下げられる。やがて、突起部２５ｃは、アーム２４ｃと当接して保持部２１を進出させる。
【００６５】
ボイスコイルモータ２５ｇは、電流と推力とが比例関係にあるリニアモータであり、磁石、環状コイル、及び環状コイルに接続されたロッド２５ｉを有する。通電された環状コイルと磁石の電磁相互作用により環状コイルにローレンツ力を生じさせ、ロッド２５ｉをモータ筐体から進出させる。このボイスコイルモータ２５ｇは、天井板２５２に固定されており、天井板２５２と突起支持板２５３との間に配置される。ロッド２５ｉは、ピックアップの半径方向外方側に延び、先端がピックアップの半径方向中心側から突起支持板２５３に接続されている。
【００６６】
ボイスコイルモータ２５ｇを駆動させ、バネ２５ｂの縮小力とアーム２４ｃから受ける反力との合計に抗する推力をロッド２５ｉにかけると、その推力が突起支持板２５３、突起部２５ｃ、アーム２４ｃ、保持部２１の先端を経て電子部品Ｗに加わる。また、保持部２１が電子部品Ｗへ未到達の状態でロッド２５ｉが受ける抗力と拮抗する推力をロッド２５ｉにかけると、保持部２１の電子部品Ｗへの到達の際に発生する衝撃がロッド２５ｉの埋没により吸収されるため、電子部品Ｗへゼロに近い荷重を加えることができる。
【００６７】
次に、進退駆動装置２５は、保持部２１が後退するための推力発生源として、アーム２４ｃを介して保持部２１を固定しているスライドシャフト２４ｂを、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの半径方向中心に向けて付勢するバネ部２５ｈを備える。このバネ部２５ｈは、図３に示すように、可動機構２４が備えるスリーブ２４ａの縁を座面として一端が固定されている。バネ部２５ｈが固定されるスリーブ２４ａの縁は、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの半径方向中心側の一端である。また、スライドシャフト２４ｂは、スリーブ２４ａから半径方向中心側にも突出しており、突出部分にフランジ２４ｄが形成されている。バネ部２５ｈの他端は、このフランジ２４ｄに固定されている。
【００６８】
そのため、スライドシャフト２４ｂがロータリーピックアップ２ａ、２ｂの半径方向外方へ移動すると、バネ部２５ｈは、スリーブ２４ａの縁とスライドシャフト２４ｂのフランジ２４ｄとのギャップ縮小によって圧縮される。進出方向への推力が解除されると、バネ部２５ｈは、この圧縮により蓄積した付勢力を解放して、アーム２４ｃ及びスライドシャフト２４ｂを介してロータリーピックアップ２ａ、２ｂのピックアップの半径方向中心へ保持部２１を後退させる。
【００６９】
回転モータ２５ｄによる保持部２１の進出量は、エンコーダで管理されるが、電子部品Ｗに保持部２１の先端が当接するポイント、すなわち保持部２１の停止ポイントは、ボイスコイルモータ２５ｇによるロッド２５ｉが受ける抗力を検出することで予め設定される。この保持部２１の進出量調整により、保持部２１を高速で移動させることができるとともに、電子部品Ｗに過剰な荷重をかけずに済む。
【００７０】
すなわち、両ロータリーピックアップ２ａ、２ｂを設置した後に、受け渡し地点Ａにおいて保持部２１ｂをピックアップの半径方向外方へ進出させる。保持部２１ｂの進出時には、ロッド２５ｉにバネ２５ｂの圧縮力とアーム２４ｃから受ける抗力の合計に拮抗する推力をロッド２５ｉに与えておく。保持部２１ａと２１ｂで電子部品Ｗを挟み込むと、ロッド２５ｉは電子部品Ｗから新たな抗力を受けて埋没方向に移動しようとする。新たな抗力とは、ロッド２５ｉの重量及び埋没の摩擦力に対応する。この埋没方向の移動の瞬間を検出し、検出時の回転モータ２５ｄの回転量を、向き合う保持部２１ａと２１ｂの組み合わせ情報、又は受け渡し地点Ａ等の停止ポイント情報に紐付けて記憶しておく。尚、進出量調整においては、実際の電子部品Ｗを用いる必要はなく、その模擬体を用いて行ってもよい。
【００７１】
（ステージ装置）
ステージ装置４ａは、品質の程度を示すランクが異なる電子部品Ｗが混在したウェハが貼付され、ダイシングにより電子部品Ｗが個片に分かれたウェハシートＤを支持する装置である。ステージ装置４ｂは、共通のランクの電子部品Ｗが選択的に貼り付けられるウェハシートＤを支持する装置である。
【００７２】
ステージ装置４ａ、４ｂは、基本的に同じ構成であり、図４に示すように、リング移動機構４２、エキスパンド機構４３、分離機構４４を有する。
【００７３】
リング移動機構４２は、リングホルダ４２ａに装着されたウェハリング４２ｂを、所定の方向に移動させる装置である。
【００７４】
ウェハリング４２ｂは、図５に示すように、内部に形成された円形の穴が覆われるように、ウェハシートＤを張り付け保持するプレート状の部材である。ステージ装置４ａにおけるウェハシートＤには、ウェハが貼り付けられている。そして、ウェハは、ダイシングにより、複数の電子部品Ｗに切断されている。
【００７５】
リング移動機構４２は、リングホルダ４２ａを、図示しないガイドレール等に沿って、ウェハシートＤの平面に平行なＸ方向及びＹ方向に位置決め可能に設けられている。また、リング移動機構４２は、図示しないモータの駆動力を伝達するベルト及びプーリ等によって、リングホルダ４２ａを、ウェハシートＤの平面に平行なθ方向に位置決め可能に設けられている。
【００７６】
エキスパンド機構４３は、ウェハシートＤを伸張することにより、電子部品Ｗ間に隙間を空ける機構である。このエキスパンド機構４３は、円筒状の引張部４３ａを有する。引張部４３ａは、以下のように、ウェハシートＤを伸張するように構成されている。まず、引張部４３ａの円筒の一端を、ウェハリング４２ｂの背後からウェハシートＤにおける電子部品Ｗの貼付面の反対側に押し当てる。
【００７７】
そして、引張部４３ａが、その外周とウェハリング４２ｂの円形の穴の内周との間にウェハシートＤを挟んで、ウェハリング４２ｂの正面側に突出するように移動する。これにより、ウェハシートＤが、電子部品Ｗを囲む円の内側から外側へ向かう方向の力によって伸張する。引張部４３ａは、このような動作を実現するために、図示しないシリンダ等により進退可能に設けられている。
【００７８】
分離機構４４は、ウェハシートＤから、個別に電子部品Ｗを分離する装置である。この分離機構４４は、ウェハシートＤを挟んで電子部品Ｗに対向するピン４４ａを有する。このピン４４ａは、リング移動機構４２の移動に従って、対向する位置に来た電子部品Ｗを、先端によりウェハシートＤを介して押圧する方向に移動可能に設けられている。なお、図示及び説明は省略するが、ステージ装置４ａ、４ｂは、ウェハシートＤを交換する交換装置であるオードローダを有している。
【００７９】
また、ステージ装置４ａ、４ｂの近傍には、電子部品Ｗを撮像する撮影光学系４５が設けられている。撮影光学系４５は、ウェハシートＤ及び電子部品Ｗの画像を撮像する機構である。撮影光学系４５は、撮像部４５ａと光学部材４５ｂを有する。撮像部４５ａは、ウェハシートＤ上の電子部品Ｗを撮像し、画像データを出力するカメラである。光学部材４５ｂは、ウェハシートＤ上の電子部品Ｗの１面の像を撮像部４５ａに導くように、光軸の方向を変換するプリズムである。
【００８０】
メイン搬送体のロータリーピックアップ２ａによるピックアップの際には、目標とする電子部品Ｗを撮影光学系４５により撮像して、所定の撮像領域との位置ズレ量を算出する。そして、その位置ズレ量を解消するように、リング移動機構４２が、リングホルダ４２ａを、ＸＹθ方向に移動させることにより、位置補正を行ってピックアップを行う。
【００８１】
（姿勢測定ユニット）
姿勢測定ユニット５０は、サブ搬送経路における受け渡し地点Ａの下流において、電子部品Ｗの姿勢ズレを計測する装置である。姿勢測定ユニット５０は、受け渡し地点Ａの次の停止位置において、電子部品Ｗを撮像する撮影光学系を含む。姿勢測定ユニット５０は、保持部２１に保持された電子部品Ｗを撮影光学系により撮影し、画像処理により電子部品Ｗの姿勢ズレ、即ちＸＹ方向で表す位置ズレ及びθ方向で表す方向ズレを検出する。つまり、姿勢測定ユニット５０は、電子部品Ｗを撮像する撮像装置と、画像処理により電子部品Ｗの姿勢ズレを検出する演算装置とを有している。姿勢とは位置及び方向を含む。
【００８２】
姿勢ズレとは、保持部２１における保持の基準点からの位置ズレ及び方向ズレである。基準点としては、例えば、吸着ノズルの吸着領域の中心点である。ＸＹ方向は、電子部品Ｗの吸着面が拡がる方向をいう。姿勢測定ユニット５０の測定結果は、電子部品ＷのＸ方向の位置ズレの量、Ｙ方向の位置ズレの量、及びθ方向の方向ズレの量を示す情報として出力される。なお、電子部品Ｗの吸着面と直交する方向をＺ方向という。上記のように回転体の半径方向に進退する保持部２１は、Ｚ方向に電子部品Ｗを進退させる。
【００８３】
（補正ユニット）
補正ユニット６０は、サブ搬送経路における姿勢測定ユニット５０の下流において、姿勢測定ユニット５０により計測された姿勢ズレに基づいて、電子部品Ｗの姿勢を補正する装置である。補正ユニット６０は、姿勢測定ユニット５０の次の停止位置に配置される。これは、図２に示すように、ロータリーピックアップ２ｂの直下である。補正ユニット６０は、位置ズレの量及び方向ズレの量に基づいて、電子部品Ｗの姿勢ズレを解消するようにＸＹ方向に移動させ、またθ回りに回転させる。これにより、補正ユニット６０は、電子部品Ｗの姿勢を正す。
【００８４】
図６は、この補正ユニット６０の詳細構成を示す。図６（ａ）は側面図、図６（ｂ）は平面図である。補正装置６０は、基台Ｂに設けられたコレット６１及び架台６２を有する。基台Ｂは移載装置１に垂直方向に立ち上げて設置されている。架台６２には、コレット６１をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動機構６３が搭載されている。コレット６１はＺ軸移動機構６３を介して架台６２に搭載されている。
【００８５】
また、架台６２は、レール上をスライド移動するスライダにより構成されたＸ軸移動機構６４及びＹ軸移動機構６５を備えており、Ｘ軸及びＹ軸方向に移動可能となっている。さらに、架台６２には、ベルトドライブにより、コレット６１をθ軸周りに回転させるθ軸回転機構６６が搭載されている。
【００８６】
コレット６１は、ゴムや金属により形成される略円錐体である。コレット６１の頂点は平坦面となっている。電子部品Ｗはコレット６１の平坦面に載置される。コレット６１には平坦面に通じる内部通路が形成されており、その内部通路は真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通している。空気圧回路に負圧を発生させることにより、コレット６１は平坦面で電子部品Ｗを保持し、真空破壊や大気解放によって電子部品Ｗを離脱させる。
【００８７】
Ｚ軸移動機構６３は、カム機構６７、ボイスコイルモータ６８、圧縮バネ６９ａ、６９ｂにより構成されている。カム機構６７は、Ｚ軸方向に移動可能な支持フレーム６７ａを、これに固定されたカムフォロア６７ｂを円筒カム６７ｃの回転に従って付勢することにより、Ｚ軸方向に移動させる。この支持フレーム６７ａにボイルコイルモータ６８、圧縮バネ６９ａが固定され、支持フレーム６７ａのＺ軸移動に従って、コレット６１を保持部２１へ向けてＺ軸移動させる。圧縮バネ６９ｂは、コレット５１を保持部２１から離れる方向にＺ軸移動させる。ボイスコイルモータ６８は、コレット６１と吸着ノズルとで挟み込んだ電子部品Ｗへの過大な荷重を吸収し、所定の荷重を電子部品Ｗにかける。
【００８８】
ボイスコイルモータ６８は、カム機構６７により、コレット６１をＺ軸方向に沿って上昇させるための駆動と同時に、コイルボビン６８ａにかかる荷重と拮抗する対抗推力を発生させている。対抗推力は、コレット６１が電子部品Ｗへ未達の状況下における、コイルボビン６８ａにかかる荷重と拮抗する。このコイルボビン６８ａにかかる荷重とは圧縮バネ６９ａと圧縮バネ６９ｂの付勢力の差である。
【００８９】
そのため、コイルボビン６８ａは、電子部品Ｗへ未達の際は、ボイスコイルモータ６８との相対的な位置関係を維持しつつ、電子部品Ｗへ到達した際は、それ以上進もうとするときの当該電子部品Ｗから受ける荷重に押し負けて、ボイスコイルモータ６８に埋没するように、Ｚ軸方向に沿って後退する。すなわち、ボイスコイルモータ６８は、電子部品Ｗとコレット６１とが当接し、更に進もうとする際に電子部品Ｗに発生する過大な荷重を吸収する。 
【００９０】
保持部２１と補正ユニット６０との間の電子部品Ｗの受け渡しは、以下のように行う。補正ユニット６０への電子部品Ｗの受け渡しでは、保持部２１を突出させない。代わりに、補正ユニット６０のコレット６１をＺ軸方向に突出させて保持部２１に近づき、自ら電子部品Ｗを迎えに行き、保持部２１の吸着解除とともに、負圧による吸着を行う。
【００９１】
そして、補正ユニット６０は、コレット６１を保持部２１から離れる方向にＺ軸移動させることで、電子部品Ｗを保持部２１から後退させながら、その後退及び再突出とオーバーラップさせて、コレット６１を左右（ＸＹ軸方向）に移動させ、更には、コレット６１をθ回転させることで、電子部品Ｗの姿勢を補正する。さらに、コレット６１のＺ軸方向への再突出により保持部２１に近づき、保持部２１の吸着開始とともに、吸着を解除する。
【００９２】
(電気特性測定ユニット)
電気特性測定ユニット７０は、電子部品Ｗの電気特性を測定する装置である。電気特性測定ユニット７０は、補正ユニット６０の２つ先の停止位置に配置される。これは、図２に示すように、ロータリーピックアップ２ｂにおける受け渡し地点Ａの反対側である。電気特性測定ユニット７０は、電子部品Ｗの電極に電気的に接触し、電子部品Ｗに電圧印加又は電流注入を行い、電気特性を検査する。電気特性は、電子部品Ｗへの電流注入又は電圧印加に対する電子部品Ｗの電圧、電流、抵抗、又は周波数、ロジック信号に対する出力信号等である。
【００９３】
電気特性測定ユニット７０は、保持部２１に対向するコンタクト７１を有する。コンタクト７１は、電子部品Ｗが載置されるステージであり、また通電接触子として電子部品Ｗの電極に電気的に接触する。
【００９４】
この電気特性測定ユニット７０は、ロータリーピックアップ２ｂから進出した保持部２１が保持する電子部品Ｗが、進退駆動装置２５によってコンタクト７１に押し付けると、コンタクト７１が電極に接触し、電流注入、電圧印加、又はロジック信号の入力を行い、出力信号を解析する。その後、保持部２１が後退することにより、電子部品Ｗをコンタクト７１から離す。
【００９５】
(光学特性測定ユニット)
光学特性測定ユニット８０は、ＬＥＤ等の発光する電子部品Ｗの光学特性を測定するユニットである。光学特性測定ユニット８０は、電気特性測定ユニット７０の２つ先の停止位置に配置される。これは、図２に示すように、サブ搬送体のロータリーピックアップ２ｂにおける最高点である。この最高点は、高さ方向において、メイン搬送体のロータリーピックアップ２ａから最も離れた位置にある。
【００９６】
図７に示すように、光学測定ユニット８０は、積分球８０ａにより構成されている。積分球８０ａは、アルミニウム等の金属製の中空球殻の内壁面に拡散反射材料を塗布したものである。拡散反射材料は、例えば硫酸バリウムにバインダを混合したものを用いることができる。積分球８０ａの下部の、保持部２１に対向する位置には、開口８１が設けられている。開口８１の大きさは、電子部品Ｗよりも大きくなるようにする。開口８１は、透光板８２によって閉止されている。透光板８２はガラスやプラスチック等の透明で光を透過させる材料で構成することができる。
【００９７】
積分球８０ａの下部には、反射部材であるリフレクタ８３が、開口８１と透光板８２の周囲を覆うように取り付けられている。リフレクタ８３は漏斗状の部材であり、積分球８０ａ側から保持部２１側に向けて、すなわち下方に向かって縮径している。リフレクタ８３は、直線状に縮径しても良く、あるいは曲線を描いて縮径しても良い。リフレクタ８３の縮径した下端は、少なくとも電子部品Ｗを保持した保持部２１の先端が入る大きさを有する。リフレクタ８３は反射部材として、リフレクタ８３内部に入った電子部品Ｗの光を屈折させて積分球８０ａ内部へ導く。同時に、リフレクタ８３は遮蔽部材として積分球８０ａの開口８１を囲み、外乱光が積分球８０ａ内部に入ることを防止する。
【００９８】
点灯試験の際に、保持部２１は、進退駆動装置２５によって上方に押し上げる。これにより保持部２１に保持された電子部品Ｗが、リフレクタ８３の中に入り、透光板８２に接触する位置まで押し上げられる。
【００９９】
さらに、図示はしないが、積分球８０ａの下部には、保持部２１に保持された電子部品Ｗがリフレクタ８２の中に入り、押し上げられた場合に、電子部品Ｗの電極面に接する端子が設けられている。この端子は、図示しない解析機器と信号線で接続されている。解析機器は、電源、ドライバ及びコンピュータであり、電子部品Ｗに電力を供給し、積分球８０ａから受光結果を示す信号を受信し、該信号を解析して光学特性を得る。なお、この端子を、積分球８０ａの下方に配置されたプローブにより構成することもできる。プローブは、一対の導電性の長細棒である。プローブは、図示しない駆動機構によって下方から軸線方向に移動し、保持部２１における吸着ノズルの吸気経路とは別に形成された挿通穴を経由して、電子部品Ｗの電極面に接離できるようになっている。端子を積分球８０ａ側の構成とするか、プローブのように保持部２１側の構成とするかは、保持部２１に保持された電子部品Ｗの電極面の方向による。
【０１００】
光学測定ユニット８０に対応する停止位置に来た電子部品Ｗは、進退駆動装置２５によって積分球８０ａの開口８１に向かって上昇し、電子部品Ｗの上面が積分球８０ａの開口８１に設けられた透光板８２に接触する位置で停止する。電子部品Ｗは投光板８２と保持部２１によって上下を挟持され、位置を固定される。このとき、積分球８０ａ側の端子に、電子部品Ｗの電極面が接触する。そして、端子から電力を供給された電子部品Ｗが発光する。
【０１０１】
電子部品Ｗの上面から上方に放射される光は、透光板８２を透過して積分球８０ａ内部に入射する。電子部品Ｗの側面から側方又は下方に放射される光は、リフレクタ８３によって屈折されて上方に向かい、透光板８２を透過して積分球８０ａ内部に入射する。開口８１を介して積分球８０ａの内部に入射した光は、球形の積分球８０ａ内部で繰り返し反射するため、積分球８０ａの内面は均一な照度となる。
【０１０２】
積分球８０ａは捕集した光量を示す信号を解析機器に出力する。解析機器は、信号解析により電子部品Ｗの光学特性を得る。光学特性の測定が済んだ電子部品Ｗは、保持部２１に保持されて進退駆動装置２５により下降するので、光学特性測定ユニット８０から離脱する。なお、プローブを端子とする場合には、電子部品Ｗが透光板８２と保持部２１によって上下を挟持されたとき、プローブが上昇して電子部品Ｗの電極面に接触して発光させる。そして、光学特性の測定終了の後、プローブは、下方に移動して電子部品Ｗから離脱する。
【０１０３】
［３．動作］
この移送装置１の動作は次の通りである。まず、この動作例で示す移送装置１は、図１、図２に示すように、各ロータリーピックアップ２ａ、２ｂは８本の保持部２１を円周等配位置に配置し、メイン搬送経路前半のロータリーピックアップ２ａの横に、電子部品Ｗを収容した収容体５ａを載せたステージ装置４ａが配置され、搬送経路後半のロータリーピックアップ２ｂの横に、電子部品Ｗを搭載予定の収容した収容体５ｂを載せたステージ装置４ｂが配置される。
【０１０４】
ロータリーピックアップ２ａは、平面方向から見て、時計回りに回転する。すなわち、メイン搬送経路は、ピックアップ地点Ｂから時計回りに受け渡し地点Ａまで延び、受け渡し地点Ａから更に時計回りに離脱地点Ｃまで延びる。ロータリーピックアップ２ｂは、離脱地点Ｃを奥にする側面方向から見て、時計周りに回転する。つまり、サブ搬送経路は、受け渡し地点Ａから時計周りに一周して、受け渡し地点Ａに戻る。
【０１０５】
メイン搬送経路は、ピックアップ地点Ｂを第１番目として、搬送経路順に各停止位置を数えて５番目が受け渡し地点Ａとなり、７番目が離脱地点Ｃとなる。一方、サブ搬送経路は、受け渡し地点Ａを第１番目として、第２番目が姿勢測定ユニット５０が配置された姿勢測定地点Ｐ１、第３番目が補正ユニット６０が配置された補正地点Ｐ２である。補正ユニット６０は、ロータリーピックアップ２ｂの最下点に配置される。さらに、サブ搬送経路は、第５番目が電気特性測定ユニット７０が配置された電気特性測定地点Ｐ３、第７番目が光学特性測定ユニット８０が配置される光学特性測定地点Ｐ４である。
【０１０６】
第１番目のピックアップ地点Ｂでは、ステージ装置４ａが電子部品Ｗをピックアップ地点Ｂに運び、ロータリーピックアップ２ａの第１番目に位置した保持部２１が其の電子部品Ｗを保持する。ステージ装置４ａは、ステージをＸＹ方向に移動させる。電子部品Ｗをピックアップ地点Ｂに移動させる順番は、制御装置（不図示）に従う。
【０１０７】
例えば、制御装置は、マップデータ及び座標データに基づいて、ロータリーピックアップ２ａが、ピックアップ地点Ｂにおいて、電子部品Ｗを選択的にピックアップする。マップデータは、電子部品Ｗの区別情報及び位置情報を含む。電子部品Ｗの区別情報は、電子部品Ｗを所定の基準で区別した情報である。この区別情報には、前工程において、あらかじめ行われた品質検査による電子部品Ｗの良不良の程度に応じて、電子部品Ｗを分類したランクの情報が含まれる。このランクは、複数の等級に分かれている。品質検査には、プローブ検査及び外観検査の少なくとも一方を含む。また、電子部品Ｗの位置情報は、ウェハにおける基準点から見た各電子部品Ｗの行方向、列方向の相対的な位置情報である。
【０１０８】
具体的には、マップデータは、各電子部品Ｗが、何行何列目に当たるかという情報と、それが製品となる電子部品ＷであればＡ〜Ｄ等のどのランクかを示す情報からなるラスタデータとして表現できる。
【０１０９】
座標データは、ステージ装置４ａにウェハシートＤがセットされた場合の各電子部品Ｗの位置情報である。この座標データに基づいて、保持部２１に対する電子部品Ｗの位置決めがなされる。本実施形態では、後述するように、ウェハシートＤを張り付けたウェハリング４２ｂをセットしたリング移動機構４２が移動することにより、保持部２１に対する相対移動を実現している。座標データは、リング移動機構４２のエンコーダ情報の座標値（ｘ，ｙ，θ）として取得できる。
【０１１０】
例えば、収容体５ａであるウェハシートＤに電子部品Ｗが貼り付けられている場合、２次元状に電子部品Ｗが収容されている。このような場合、Ｘ列に電子部品Ｗが残っていれば、リング移動機構４２は、リングホルダ４２ａをＸ方向の一方方向に１ピッチ移動させ、Ｙ方向にはステージを移動させない。Ｘ列の電子部品Ｗのうち、所望のランクの電子部品Ｗを全て取り切った場合には、次のＹ行について電子部品Ｗを順次移動させるべく、リング移動機構４２は、リングホルダ４２ａをＸ方向の逆方向に全列分移動させ、Ｙ方向の一方向に１ピッチ移動させる。
【０１１１】
また、進退駆動装置２５は、保持部２１をロータリーピックアップ２ａの半径方向に沿ってピックアップ地点Ｂに存在する電子部品Ｗに向けて遠心方向に突出させる。保持部２１は、可動機構２４によってピックアップの半径方向に案内される。保持部２１が電子部品Ｗの一面に当接すると、真空発生装置によりノズル内に負圧が発生し、これにより保持部２１は電子部品Ｗの一面を保持する。保持部２１が電子部品Ｗを保持すると、進退駆動装置２５は、保持部２１を進出させる推進力を解除する。そして、バネ部２５ｈによって、電子部品Ｗを保持した保持部２１を求心方向に後退させる。
【０１１２】
第５番目の受け渡し地点Ａでは、サブ搬送経路を担うロータリーピックアップ２ｂの保持部２１ｂが電子部品Ｗを迎えに行く。電子部品Ｗを保持している保持部２１ａは、真空破壊又はブローにより電子部品Ｗを離脱させ、迎えに行った保持部２１ｂは、真空発生装置によりノズル内に負圧が発生し、電子部品Ｗのピックアップの半径方向外方に向いている反対面Ｒを保持する。
【０１１３】
このとき、保持部２１ｂを進出させている進退駆動装置２５は、保持部２１ｂの進出速度と、保持部２１ｂが電子部品Ｗにかける荷重を制御する。すなわち、進退駆動装置２５の回転モータ２５ｄは、進出させている保持部２１ｂが、電子部品Ｗを保持している保持部２１ａに近づくにつれて回転数を落とし、保持部２１ｂの進出速度を減速し、電子部品Ｗに保持部２１ｂの先端が当接する際には進出速度をゼロにする。減速は直線的であっても、段階的であってもよい。また、進退駆動装置２５の回転モータ２５ｄは、保持部２１ｂが電子部品Ｗに当接すると、ボイスコイルモータ２５ｇの推力を調節して、電子部品Ｗにかける荷重をゼロに近づける。
【０１１４】
具体的には、図８に示すように、進退駆動装置２５は、回転モータ２５ｄの駆動により、円筒カム２５ｅを回転させる。カムフォロア２５ｆにカム面の膨出部分を通らせ、カムフォロア２５ｆが取り付けられたスライド部材２５０を半径方向外方へ押し出す。スライド部材２５０に接続されている突起支持板２５３の突起部２５ｃは、ある時点で、アーム２４ｃと当接し、保持部２１ｂをアーム２４ｃごと押し出す。保持部２１ｂは、可動機構２４によって案内されて、待ち受けている保持部２１ａが保持している電子部品Ｗに向けて進出する。
【０１１５】
このとき、進退駆動装置２５の回転モータ２５ｄは、保持部２１ｂの先端が電子部品Ｗの直前に到達するまでは、保持部２１ｂを高速移動させるように高回転数で回転し、直前に到達すると、保持部２１ｂを低速移動させるように低回転数で回転し、電子部品Ｗとの当接位置に達するころには速度をゼロにする。また、電子部品Ｗへの到達前後でトルク制限に違いを設ける。保持部２１ｂの先端が電子部品Ｗの直前に到達してからは、最大トルクを引き下げるように制限を厳しくする。この速度やトルク制御では、向き合う保持部２１ａと２１ｂの組み合わせ情報又は受け渡し地点Ａ等の停止ポイント情報に紐付けされた回転モータ２５ｄの回転量を参照する。これにより、電子部品Ｗに対して大きな荷重をかけてしまうことを未然に防止する。
【０１１６】
また、ボイスコイルモータ２５ｇは、電子部品Ｗへ未達の保持部２１ｂを進出させる際にロッド２５ｉが受ける抗力Ｆ１と突起支持板２５３を支持するバネ２５ｂの圧縮力Ｆ２との合計に拮抗させた推力Ｆをロッド２５ｉにかけておく。これにより、ロッド２５ｉは進出もしないし、ボイスコイルモータ２５ｇの筐体に埋没もしない。
【０１１７】
但し、保持部２１ｂの先端が電子部品Ｗに当接し、電子部品Ｗから新たな抗力Ｆ３を受けるとロッド２５ｉは、ボイスコイルモータ２５ｇに埋没する。すなわち、ボイスコイルモータ２５ｇは、ロッド２５ｉの筐体への没入によって保持部２１ｂと電子部品Ｗとの接触に伴う衝撃を吸収する。従って、保持部２１ｂが電子部品Ｗに対して与える荷重はかなり低減される。
【０１１８】
そのため、位置決め誤差によっては保持部２１ａ、２１ｂの位置が受け渡し地点Ａでズレてしまい、一点が支点、他点が力点となって、電子部品Ｗに回転モーメントを生じさせてしまうことがある。しかし、この進退駆動装置２５では、電子部品Ｗにかかる荷重がゼロに近づいているため、電子部品Ｗの姿勢がズレてしまったり、最悪の場合、電子部品Ｗが横転してしまったりすることは避けることができる。
【０１１９】
サブ搬送経路における第２番目の姿勢測定地点Ｆでは、電子部品Ｗの姿勢を測定し、電子部品のＸＹθ方向のズレを検出する。この姿勢測定地点Ｆにおける姿勢測定ユニット５０は、撮影光学系が撮像した電子部品Ｗの画像からズレを算出する。ズレは、画像の一点を基準にした電子部品Ｗの各点までの距離を測定することで算出される。ＸＹθ方向のズレ量の情報は、電子部品Ｗと紐付けて記憶しておく。
【０１２０】
サブ搬送経路における第３番目の補正地点Ｐ２では、姿勢ズレが計測された電子部品Ｗに対して、補正ユニット６０に対向する位置で停止した時に、保持部２１ｂから補正装ユニット６０に受け渡されて、姿勢ズレが補正された後、保持部２１ｂに戻される。つまり、補正ユニット６０は、当該姿勢ズレに基づいて演算したＸＹ方向の移動の量、θ方向の回動の量により、電子部品Ｗを移動、回動させる。
【０１２１】
サブ搬送経路における第５番目の電気特性測定地点Ｐ３では、姿勢ズレが補正された電子部品Ｗが、保持部２１ｂにより電気特性測定ユニット７０のコンタクト７１に押し付けられる。コンタクト７１が電子部品Ｗの電極に接触することにより、電気特性が測定される。そして、保持部２１ｂが求心方向に後退することにより、電子部品Ｗがコンタクトから離れる。
【０１２２】
サブ搬送経路における第７番目の光学特性測定地点Ｐ４では、電子部品Ｗが、保持部２１ｂにより光学特性測定ユニット８０の投光板８２に押し付けられる。そして、プローブ３８が電子部品Ｗの電極面に接触し、発光により光学特性が測定される。そして、保持部２１ｂが求心方向に後退することにより、電子部品Ｗが光学特性測定ユニット８０から離れる。
【０１２３】
受け渡し地点Ａでは、メイン搬送経路を担うロータリーピックアップ２ａの保持部２１ａが電子部品Ｗを迎えに行く。電子部品Ｗを保持している保持部２１ｂは、真空破壊又はブローにより電子部品Ｗを離脱させ、迎えに行った保持部２１ａは、真空発生装置によりノズル内に負圧が発生し、電子部品Ｗのピックアップの半径方向外方に向いている反対面Ｒと反対側の面を保持する。
【０１２４】
このとき、保持部２１ａを進出させている進退駆動装置２５は、保持部２１ａの進出速度と、保持部２１ａが電子部品Ｗにかける荷重を、上記のロータリーピックアップ２ａからロータリーピックアップ２ｂへの受け渡しの場合と同様に制御する。
【０１２５】
メイン搬送経路の第８番目の離脱地点Ｃでは、ステージ装置４ｂが搭載箇所を離脱地点Ｃに運び、ロータリーピックアップ２ａの第８番目に位置した保持部２１ａが電子部品Ｗを離脱させる。ステージ装置４ｂは、ステージをＸＹ方向に移動させ、またθ方向に回転させる。Ｘ方向への移動は、Ｘ列に空の搭載箇所が残存する場合には、一方向への１ピッチ分である。Ｙ方向への移動は、Ｘ列に空の搭載箇所がなくなっている場合には、一方向への１ピッチ分である。
【０１２６】
予め、ステージをＸＹ方向及びθ方向に移動させておき、その移動が終了すると、第８番目の離脱地点Ｃに位置した保持部２１ａを進退駆動装置２５が進出させ、搭載箇所へ電子部品Ｗを離脱させる。ステージ装置４ｂに載せられているウェハシートＤの場合には、電子部品ＷがウェハシートＤに貼り付けられる。
【０１２７】
例えば、ウェハシートＤに対向する位置に停止した特定ランクの電子部品Ｗは、保持部２１ａが進退することにより、ウェハシートＤに貼り付けられる。このとき、伸張されたウェハシートＤの貼付領域の開始端から順次貼り付いていくように、リング移動機構４２が動作する。例えば、貼付領域の開始端からその反対端までに設定された複数の平行な走査線上を走査させて、往復時ともに貼り付けを行う。これにより、１枚のウェハシートＤに、特定ランクの電子部品Ｗが集められる。
【０１２８】
［４．作用効果］
以上のように、本実施形態は、一方の収容体５ａから電子部品Ｗを取り出して他方の収容体５ｂに搭載する移載装置１であって、電子部品Ｗを先端で保持及び離脱させる保持部２１と、保持部２１を回転軸周りに複数配置し、先端が常に外方を向くように回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる２機のロータリーピックアップ２ａ、２ｂを備える。１機のロータリーピックアップ２ａは、一方の収容体５ａから他方の収容体５ｂへの電子部品Ｗのメイン搬送経路を形成するメイン搬送体である。このメイン搬送体に隣り合うロータリーピックアップ２ｂが、互いに重ならないように、回転軸が互いに直交する方向に配置されたサブ搬送体である。そして、メイン搬送体とサブ搬送体の双方が有する保持部２１ａ、２１ｂの先端が、互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置のみを受け渡し地点Ａとして、電子部品Ｗの受け渡しを双方向で行う。
【０１２９】
このように、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂが、互いに重ならないように、回転軸を直交する方向にして、直交する平面上に隣接配置することで、ロータリーピックアップ２ｂの増設数に対する加工点の増加割合を、飛躍的に増大させることができる。
【０１３０】
つまり、上述の図１３に示したように、複数のロータリーピックアップを、回転軸を平行に同一平面上に隣接配置する場合、一つのロータリーピックアップあたり、一つの加工点の増加しか見込めない。しかも、ロータリーピックアップを増設する毎に、水平方向の設置スペースが増大していく。
【０１３１】
一方、本実施形態では、メイン搬送体であるロータリーピックアップ２ａとサブ搬送体であるロータリーピックアップ２ｂを、回転軸が直交する方向に配置して、受け渡し点Ａを一つとした。このため、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの保持部２１ａ、２１ｂが、重なりのない異なる方向の２平面上を回転することになる。従って、図９に示すように、サブ搬送体のロータリーピックアップ２ｂは、その周囲の利用可能なスペースが広範囲に亘る。このため、先端の延長線上のスペースが空いている保持部２１の数が増大する。上記の態様では、サブ搬送体のロータリーピックアップ２ｂあたり、４つの加工点が増加している。また、メイン搬送体においても、収容体５ａ、５ｂ、受け渡し点Ａ以外の停止位置が空くため、少なくとも一つの加工点が増える。このため、ロータリーピックアップ２ｂの増設数に対する加工点の増加割合が飛躍的に増大する。
【０１３２】
また、サブ搬送体は、メイン搬送体よりも回転平面の径が小さい。このため、サブ搬送体の周囲の利用可能なスペースを増やすことができる。例えば、図９に示すように、サブ搬送体のロータリーピックアップ２ｂの先端から、メイン搬送体のロータリーピックアップ２ａの駆動源となるモータ２３及びその設置面までの距離が長くなる。このため、ロータリーピックアップ２ｂの増設数に対する、処理ユニットの設置スペースの増加割合も増大させることができる。これにより、設置できる処理ユニットの大きさに制約が少なくなる。
【０１３３】
さらに、メイン搬送体は、横置きされて、保持部２１ａの回転軌跡が水平であり、サブ搬送体は、縦置きされて、保持部２１ｂの回転軌跡が垂直である。このため、サブ搬送体の下方のスペースを大きくすることができる。
【０１３４】
サブ搬送体における保持部２１ａの先端に向かい合う少なくとも１つの停止位置には、電子部品Ｗに所定の加工を行う処理ユニットが配置されている。この処理ユニットは、電子部品Ｗの姿勢ズレを計測する姿勢測定ユニット５０と、姿勢測定ユニット５０により測定された姿勢ズレに基づいて、電子部品Ｗの姿勢を補正する補正ユニット６０と、電子部品Ｗの特性を検査する検査装置を含んでいる。この検査装置は、積分球８０ａを有する光学特性測定ユニット８０、電気特性測定ユニット７０を含んでいる。さらに、外観検査ユニット等を設置可能である。
【０１３５】
このため、一つのロータリーピックアップ２ｂをサブ搬送体として増設するだけで、少なくとも３種の処理ユニットを配置することができる。特に、比較的大きなスペースを必要とする積分球８０ａを有する光学測定ユニット８０であっても、他の処理ユニットが配置されたロータリーピックアップ２ｂに配置することができる。しかも、保持部２１の搬送方向が直交する方向になっていることによって、受け渡し地点Ａで保持部２１の並びにズレが生じたとしても、補正ユニット６０で補正することができる。
【０１３６】
収容体５ａ、５ｂの少なくとも一方又は双方は、電子部品Ｗが貼付されるウェハシートＤであり、ウェハシートＤがメイン搬送体の回転半径に直交する方向で、保持部２１の先端が向かい合う位置に、ウェハシートＤの支持装置であるステージ装置４ａ、４ｂが配置されている。
【０１３７】
ウェハシートＤの支持装置は、メイン搬送体の回転半径に直交する平面方向の面積をとるため、メイン搬送体の回転面と平行な方向の装置との干渉が生じ易い。しかし、サブ搬送体は、メイン搬送体に直交する方向であるため、ウェハシートＤの支持装置との干渉を避けることができる。
【０１３８】
更に、この移載装置１では、受け渡し地点Ａで向かい合わせになった保持部２１の何れか一方が、受け渡し対象の電子部品Ｗを送り又は迎えにいくようにし、進退駆動装置２５は、進出させる保持部２１の移動速度を、向かい合わせになった他方の保持部２１に近づくにしたがって減速させ、更に、進出させる保持部２１における、受け渡し対象の電子部品Ｗにかける荷重を制御するようにした。
【０１３９】
これにより、送り側と迎え側とで保持部２１の搬送方向が直交する方向になっていることによって、受け渡し地点Ａで保持部２１の並びにズレが生じたとしても、電子部品Ｗの表裏において荷重のかかっているポイントがズレることにより発生する電子部品Ｗに対する回転モーメントは極めて小さくなり、受け渡しによって電子部品Ｗの姿勢が変わってしまったり、電子部品Ｗが横転して受け取りミスが発生してしまうことはない。従って、この点においても電子部品Ｗの歩留まりは良好となり、装置として実効性に富む。
【０１４０】
［５．変形例］
例えば、この移載装置１は、メイン搬送体のロータリーピックアップ２ａを縦置きの垂直方向とし、サブ搬送体のロータリーピックアップ２ｂを横置きの水平方向としてもよい。
【０１４１】
加工点に配置する処理ユニットとしては、本実施形態で挙げたものの他、外観検査、接着剤塗布、不良品の強制排出、基板への実装、加熱又は冷却といった温度調整、電子部品Ｗから延びる端子の形状加工、マーキング等、その他各種の処理ユニットを設けることができる。
【０１４２】
保持部２１に関しては、真空の発生及び破壊又は正圧の発生により電子部品Ｗを吸着及び離脱させる吸着ノズルの他、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｗを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。
【０１４３】
また、ロータリーピックアップ２ａ、２ｂに設置する保持部２１の数は、上記の態様には限定されない。複数の保持部２１により、移載及び加工が可能な数であればよい。また、保持部２１は、１種類に限らず、２種類を配置することもできる。例えば、１つおきに同種の保持部２１が並ぶように、奇数番目と偶数番目で別種類の保持部２１を設置し、第１品種の電子部品Ｗが供給された場合には奇数番目の保持部２１で保持し、第２品種の電子部品Ｗが供給された場合には偶数番目の保持部２１で保持する。同一品種が連続して供給される場合にはロータリーピックアップ２ａ、２ｂを２ピッチずつ回転させるようにし、異なる品種が供給された場合にはロータリーピックアップ２ａ、２ｂを１ピッチ回転させて、その異なる品種を保持する。多品種少量生産において、品種交換が頻繁に発生する場合には、品種によって保持部２１を交換する手間が省けるため、また生産効率が向上する。
【０１４４】
更に、本実施形態では、受け渡し地点Ａにおいては、メイン搬送経路からサブ搬送経路へ受け渡す際には、ロータリーピックアップ２ｂの保持部２１ｂが電子部品Ｗを迎えに行く方式を採用し、サブ搬送経路からメイン搬送経路へ受け渡す際には、ロータリーピックアップ２ａの保持部２１ａが電子部品Ｗを迎えにいく方式を採用した。但し、迎えと送りの関係は、逆とすることもできる。これらの場合には、両ロータリーピックアップ２ａ、２ｂに進退駆動装置２５を配置する。また、常に一方が迎え、他方が送りとすることもできる。この場合、メイン搬送経路とサブ搬送経路の一方のみに進退駆動装置２５を配置すればよい。
【０１４５】
また、本実施形態では、収容体５ａを電子部品Ｗの供給側のウェハシートＤとし、収容体５ｂを電子部品Ｗの収集側のウェハシートＤとした。但し、収容体５ａを複数としてもよいし、収容体５ｂを複数としてもよい。例えば、図１０に示すように、メイン搬送経路前半における保持部２１の二つの停止位置に、供給側の収容体５ａを２台配置する。すると、供給側の一方の収容体５ａから電子部品Ｗが無くなった場合に、この収容体５ａを交換している間、他方の収容体５ａから電子部品Ｗの供給を継続して行うことができる。
【０１４６】
また、図１１に示すように、メイン搬送経路後半における保持部２１の２つの停止位置に、収集側の収容体５ｂを２台配置する。すると、２台の収容体５ｂに、異なる品種、異なるランクの電子部品Ｗを振り分けて収集することができる。
【０１４７】
サブ搬送体のロータリーピックアップ２ｂの配置も、上記の位置には限定されず、ロータリーピックアップ２ａの保持部２１ａの停止位置のいずれかに配置すればよい。ロータリーピックアップ２ａ、２ｂの数については、Ｎ機（Ｎ≧２）であればよい。例えば、サブ搬送体であるロータリーピックアップ２ｂを、ロータリーピックアップ２ａに対して複数設けることもできる。例えば、図１２に示すように、サブ搬送体のロータリーピックアップ２ｂを、ロータリーピックアップ２ａの保持部２１の複数の停止位置に設けることにより、設置スペースの拡大を抑えつつ、加工点をさらに劇的に増大させることができる。
【０１４８】
収容体５ａ、５ｂは、ウェハシートＤには限定されない。粘着性シート、熱剥離型シート、リードフレーム、有機系基板、無機系基板、粘着性のトレイ、基板、パーツフィーダ、或いはポケットが形成されたテープ、トレイ、分類ビンの何れか又は二種類の組み合わせであってもよい。
【０１４９】
［６．その他の実施形態］
以上のように本発明の各実施形態及び変形例を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更、組み合わせを行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【０１５０】
１  移載装置
２ａ、２ｂ、Ｌ  ロータリーピックアップ
２１、２１ａ、２１ｂ  保持部
２２  軸フレーム
２３  モータ
２４  可動機構
２４ａ  スリーブ
２４ｂ  スライドシャフト
２４ｃ  アーム
２４ｄ  フランジ
２５  進退駆動装置
２５０  スライド部材
２５１  側面板
２５２  天井板
２５３  突起支持板
２５ｂ  バネ
２５ｃ  突起部
２５ｄ  回転モータ
２５ｅ  円筒カム
２５ｆ  カムフォロア
２５ｇ  ボイスコイルモータ
２５ｈ  バネ部
２５ｉ  ロッド
４ａ、４ｂ  ステージ装置
４２  リング移動機構
４２ａ  リングホルダ
４２ｂ  ウェハリング
４３  エキスパンド機構
４３ａ  引張部
４４  分離機構
４４ａ  ピン
４５  撮影光学系
４５ａ  撮像部
４５ｂ  光学部材
５ａ、５ｂ、Ｓ１、Ｓ２  収容体
５０  姿勢測定ユニット
６０  補正ユニット
６１  コレット
６２  架台
６３  Ｚ軸移動機構
６４  Ｘ軸移動機構
６５  Ｙ軸移動機構
６６  θ軸回転機構
６７  カム機構
６７ａ  支持フレーム
６７ｂ  カムフォロア
６８  ボイスコイルモータ
６８ａ  コイルボビン
６９ａ、６９ｂ  圧縮バネ
７０  電気特性測定ユニット
７１  コンタクト
８０  光学特性測定ユニット
８０ａ  積分球
８１  開口
８２  透光板
８３  リフレクタ
Ｄ  ウェハシート
Ａ  受け渡し地点
Ｂ  ピックアップ地点
Ｃ  離脱地点
Ｐ１  姿勢測定地点
Ｐ２  補正地点
Ｐ３  電気特性測定地点
Ｐ４  光学特性測定地点
Ｈ  保持部
Ｗ  電子部品
Ｆ  ボイスコイルモータの推力
Ｆ１  ロッドが受ける抗力
Ｆ２  圧縮力
Ｆ３  新たな抗力
【要約】
【課題】ロータリーピックアップの増設数に対する加工点の増加割合を、飛躍的に増大させることができる移載装置を提供する。
【解決手段】電子部品Ｗを先端で保持及び離脱させる保持部２１と、保持部２１を回転軸周りに複数配置し、先端が常に外方を向くように回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる２機のロータリーピックアップ２ａ、２ｂを備える。１機のロータリーピックアップ２ａは、一方の収容体５ａから他方の収容体５ｂへの電子部品Ｗのメイン搬送経路を形成するメイン搬送体である。メイン搬送体に隣り合うロータリーピックアップ２ｂが、互いに重ならないように、回転軸が互いに直交する方向に配置されたサブ搬送体である。メイン搬送体とサブ搬送体の双方が有する保持部２１ａ、２１ｂの先端が、互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置のみを受け渡し地点Ａとして、電子部品Ｗの受け渡しを双方向で行う。
【選択図】図２【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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