(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板上にカラーフィルタ層を設けたカラーフィルタ基板の製造方法であって、
搬送基板上に接着剤を介して複数の前記ガラス基板を並べて配置する工程と、
複数の前記ガラス基板上に、一体的に前記カラーフィルタ層を設けて前記カラーフィルタ基板を形成することにより、前記搬送基板上に複数の前記カラーフィルタ基板が配置されたカラーフィルタ基板積層体を形成する工程と、
前記カラーフィルタ基板積層体を、前記接着剤を溶解する溶解用液体に接触させて、前記カラーフィルタ基板を前記搬送基板から分離する工程と、を有し、
前記搬送基板は、前記ガラス基板が配置される領域を含む前記搬送基板の面に、前記溶解用液体の流路となる溝を有することを特徴とする
カラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２】
前記カラーフィルタ基板の製造方法において、前記搬送基板の前記溝は、前記搬送基板上に配置される前記ガラス基板が位置する外周４辺に囲まれた領域から該領域の少なくとも１辺を超えて外に延びてなることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項３】
前記カラ―フィルタ基板の製造方法において、前記接着剤は水溶性であり、前記溶解用液体は水であることを特徴とする請求項１〜２いずれかに記載のカラ―フィルタ基板の製造方法。
【請求項４】
搬送基板上に接着剤を介してカラーフィルタ層を有する複数のガラス基板が配置されてなるカラーフィルタ基板積層体であって、
前記搬送基板は、前記ガラス基板が配置される領域を含む前記搬送基板上に前記接着剤を溶解する溶解用液体の流路となる溝を有することを特徴とするカラーフィルタ基板積層体。
【請求項５】
前記カラーフィルタ基板積層体において、前記搬送基板の前記溝は、前記搬送基板上に配置される前記ガラス基板が位置する外周４辺に囲まれた領域から該領域の少なくとも１辺を超えて外に延びてなることを特徴とする請求項４に記載のカラーフィルタ基板積層体。
【請求項６】
前記接着剤は水溶性であることを特徴とする請求項４〜５いずれかに記載のカラーフィルタ基板積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置などの表示装置に用いられるカラーフィルタ基板を製造する際に使用されるカラーフィルタ基板の製造方法並びに搬送基板及びカラーフィルタ基板積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、背面側基板と対向するカラーフィルタ基板との間に液晶層を介在させた液晶表示パネルの製造方法としては、各々の基板上に微細パターンを多面付けして背面側基板とカラーフィルタ基板とを形成した後に、両基板の微細パターン同士を高精度に位置合わせし、貼り合わせた状態で所定のサイズに切断する方法がとられている。一方、多面付け基板のサイズとしては、近年、生産効率を上げるため大型化されており、第6世代（基板サイズ：１５００ｍｍ×１８５０ｍｍ）〜第８世代（基板サイズ：２２００ｍｍ×２５００ｍｍ）に至っている。
しかしながら、ガラス基板は一般的にガラス原料を溶融した後に板状に引き伸ばして冷却することにより製造される為に、ガラス基板自体に内部歪みを有している。従って、微細パターンを形成した大型ガラス基板を小サイズに切断すると、ガラス基板が変形し微細パターンの形状が形成時に比べて変化する問題が生じる。
【０００３】
このような場合、ガラス基板を予め表示装置のサイズに切断しておき、裁断されたガラス基板上にカラーフィルタ層を一枚ずつ形成する従来法はあるが、生産性が著しく低下する問題がある。
特許文献１においては、このような予め表示装置のサイズに切断されたガラス基板を用いた場合の生産性の低下の問題に対して、一枚ずつではなく複数枚を同時に、各ガラス基板上に入力位置検出用電極を形成する方法として、搬送基板上に複数枚の強化ガラス基板を配置する基板配置工程と、前記搬送基板上に配置された状態の前記複数枚の強化ガラス基板に前記入力位置検出用電極を同時形成する電極形成工程と、前記搬送基板から前記強化ガラス基板を取り外す基板取り外し工程と、を有する方法が提案されている。
このような方法を用いる場合には、特許文献１では、搬送基板上に複数枚の強化ガラス基板を配置する工程の一つとして、搬送基板上に強化ガラス基板を配置する際に、搬送基板の基板搭載面の全面に接着剤として粘着剤からなる接着材料や、水等により溶解可能なポリビニルアルコール系の接着材料等を設ける方法などが提案されている。
しかしながら、特許文献１では、搬送基板から強化ガラス基板を取り外す基板取り外し工程において、搬送基板と強化ガラス基板の間に密着して介在する接着材料を取り除くことは容易ではなく、例えば、接着された強化ガラス基板の外周部の端面から水等を接触させて、強化ガラス基板の中央部まで溶解するために長い処理時間を要することになり生産性が低下する問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１９７７０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、接着剤を介して複数のガラス基板を搬送基板上に配置し一体的にカラーフィルタ基板を形成する場合に、形成されたカラーフィルタ基板を搬送基板から容易に分離することができるカラーフィルタ基板の製造方法並びに搬送基板及びカラーフィルタ基板積層体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の問題を解決する本発明の要旨の第1は、ガラス基板上にカラーフィルタ層を設けたカラーフィルタ基板の製造方法であって、搬送基板上に接着剤を介して複数の前記ガラス基板を並べて配置する工程と、複数の前記ガラス基板上に、一体的に前記カラーフィルタ層を設けて前記カラーフィルタ基板を形成することにより、前記搬送基板上に複数の前記カラーフィルタ基板が配置されたカラーフィルタ基板積層体を形成する工程と、前記カラーフィルタ基板積層体を、前記接着剤を溶解する溶解用液体に接触させて、前記カラーフィルタ基板を前記搬送基板から分離する工程と、を有し、前記搬送基板は、前記ガラス基板が配置される領域を含む前記搬送基板の面に、前記溶解用液体の流路となる溝を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法、にある。
【０００７】
上記の問題を解決する本発明の要旨の第２は、複数のガラス基板が配置される搬送基板であって、前記ガラス基板が配置される領域を含む前記搬送基板の面に溝を有することを特徴とする搬送基板、にある。
【０００８】
上記の問題を解決する本発明の要旨の第３は、搬送基板上に接着剤を介してカラーフィルタ層を有する複数のガラス基板が配置されてなるカラーフィルタ基板積層体であって、
前記搬送基板は、前記ガラス基板が配置される領域を含む前記搬送基板上に前記接着剤を溶解する溶解用液体の流路となる溝を有することを特徴とするカラーフィルタ基板積層体、にある。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のカラーフィルタ基板の製造方法によれば、ガラス基板上にカラーフィルタ層を設けたカラーフィルタ基板の製造方法であって、搬送基板上に接着剤を介して複数の前記ガラス基板を並べて配置する工程と、複数の前記ガラス基板上に、一体的に前記カラーフィルタ層を設けて前記カラーフィルタ基板を形成することにより、前記搬送基板上に複数の前記カラーフィルタ基板が配置されたカラーフィルタ基板積層体を形成する工程と、前記カラーフィルタ基板積層体を、前記接着剤を溶解する溶解用液体に接触させて、前記カラーフィルタ基板を前記搬送基板から分離する工程と、を有し、前記搬送基板は、前記ガラス基板が配置される領域を含む前記搬送基板の面に、前記溶解用液体の流路となる溝を有するカラーフィルタ基板の製造方法において、前記搬送基板が、前記ガラス基板が配置される領域を含む前記搬送基板の面に、前記溶解用液体の流路となる前記溝を有しているため、前記搬送基板から前記カラーフィルタ基板を分離する際に、前記接着剤を溶解する前記溶解用液体が、前記搬送基板上の前記溝を通して前記カラーフィルタ基板積層体の外周部から中央部に侵入することによって、前記接着剤を溶解して前記カラーフィルタ基板を前記搬送基板から分離することを容易にすることができる。
【００１０】
本発明の搬送基板によれば、複数のガラス基板が配置される搬送基板であって、前記ガラス基板が配置される領域を含む前記搬送基板の面に溝を有することにより、前記搬送基板上に接着剤を介してカラーフィルタ層を有する複数のガラス基板が配置されてなるカラーフィルタ基板積層体において、前記接着剤を溶解する溶解用液体が、前記搬送基板の溝を通して前記カラーフィルタ基板積層体の外周部から中央部に侵入し前記接着剤を溶解して前記カラーフィルタ基板を前記搬送基板から分離することを容易にすることができる。
【００１１】
本発明のカラーフィルタ基板積層体によれば、搬送基板とカラーフィルタ基板とが溶解用液体に溶解する接着剤を介して積層されており、前記搬送基板は、前記搬送基板の前記ガラス基板が配置される側であって、前記ガラス基板が配置される領域を含む前記搬送基板の面に溶解用液体の流路となる溝を有するため、前記搬送基板の前記溝を通して前記カラーフィルタ基板積層体の外周部から中央部に侵入し前記接着剤を溶解して前記カラーフィルタ基板を前記搬送基板から分離することを容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る液晶表示パネルを示す部分断面図である。
【図２】本発明に係るカラーフィルタ基板を示す部分平面図である。
【図３】本発明に係るカラーフィルタ基板を示す部分断面図である
【図４】本発明のカラーフィルタ基板の製造方法を示す工程断面図である。
【図５】本発明のカラーフィルタ基板積層体を示す斜視図である。
【図６】本発明のカラーフィルタ基板積層体を示す平面図と断面図である。
【図７】本発明の搬送基板を、溝を有する面側から見た平面図である。
【図８】本発明の搬送基板の溝の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係るカラーフィルタ基板を備えた液晶表示パネルを示す断面図である。
図１に示すように、液晶表示パネル１００は、背面側に配置された背面側基板２０と、背面側基板２０に対向して配置されたカラーフィルタ基板１０と、背面側基板２０及びカラーフィルタ基板１０の間に封入された液晶層３０を有している。
また、液晶表示パネル１００は、液晶表示パネルの駆動を制御する制御装置と、液晶表示パネルを背面側（非観察者側）から照明する面光源装置（バックライト）備えて液晶表示装置を構成するものである（図示せず）。
【００１５】
図１の液晶表示パネル１００において、カラーフィルタ基板１０は、ガラス基板１の上にカラーフィルタ層２を有している。カラーフィルタ層２は、遮光部１１と着色部１２とを有している。  一方、背面側基板２０は、画素電極１３を有している。
図１に示すように、カラーフィルタ基板１０の着色部１２（サブ画素）と、該カラーフィルタ基板１０と対面する背面側基板２０の各々の画素電極１３とは、同じサイズで対峙して構成されている。
さらに、カラーフィルタ基板１０の液晶層３０と接する側の面とは反対側に前面板を有していてもよい。
【００１６】
図２は、本発明に係るカラーフィルタ基板１０を示す部分平面図である。
図3は、図２のカラーフィルタ基板１０のＡ−Ａ断面図である。
図２及び図３に示すように、カラーフィルタ基板１０は、遮光部１１と着色部１２とを有している。
遮光部１１は、各々がサブ画素を構成するようになる貫通開口部が形成されている。この遮光部１１は、いわゆるブラックマトリクス（ＢＭ）として機能し、画像コントラストの向上に寄与する
そして、サブ画素部を構成する開口部には、サブ画素部の表示色に着色された着色部１２が形成されている。例えば、赤色（１２（Ｒ））、緑色（１２（Ｇ））、青色（１２（Ｂ））の三つの着色部を透過した光によってカラー映像を表示することができる。
【００１７】
さらに、カラーフィルタ基板１０には、その他の構成要素が適宜設けられている。例えばカラーフィルタ層２の上には、保護膜、透明電極層および配向膜（以上、図示せず）が液晶層の側に向けてこの順に形成されている。  また、カラーフィルタ基板の基材の液晶層とは反対側、つまりカラーフィルタ基板の基材の観察者側には偏光板（図示せず）が形成されている。
【００１８】
図４は、本発明のカラーフィルタ基板の製造方法を示す工程断面図である。
【００１９】
（ガラス基板を搬送基板に貼り合わせる工程）
図４（ａ）は、溝５を有する搬送基板４の上に接着剤３を形成する過程を模式的に示す断面図である。
図４（ａ）に一例として示されるように、ロールコート法の塗布方式により接着剤３の層を搬送基板４の上に形成する。
図４では、接着剤３は、搬送基板４の上に形成されているが、ガラス基板１の搬送基板４と対面する側に形成することもできる。
また、接着剤３の層の形成については、ガラス基板１との接着強度を確保できるように形成すればよいが、好ましくは、図４（ｂ）のように、溝５を埋めないように各溝間の搬送基板４の面の平坦部の上に接着剤３の層を形成するとよい。この場合には、後工程において、カラーフィルタ層２が形成されたガラス基板１を搬送基板４から分離する際に、溶解用液体が、搬送基板4上のガラス基板１の外周部から空洞の溝５を通過して中央部に向かって速やかに侵入し接着剤３を溶解することにより、搬送基板４からガラス基板１を分離することを容易にすることができる。
【００２０】
接着剤３は、溝５を有する搬送基板４の上に、複数のガラス基板１を配置して貼り合わせし固定するために使用されるものであり、カラーフィルタ層２を形成した後に、カラーフィルタ基板を搬送基板４から分離する際には、溶解用液体により溶解され除去されるものである。
接着剤３は、搬送基板４の上、又は、ガラス基板のカラーフィルタ層を形成する側の反対側に塗布して乾燥した際に、固化して接着性を有し、液体に対して溶解するものであれば使用できる。
また、接着剤３の材料としては、例えば、水溶性接着剤、中でも、紫外線硬化又は熱硬化型であってその硬化物が水又は温水に溶解するものが使える。例えば、水溶性ビニルモノマー、水溶性アクリルモノマーなどを樹脂成分とした組成物などが用いられる。紫外線硬化型で温水に溶解する組成物として、具体的には、電気化学工業株式会社製「仮止剤テンプロック（ＴＥＭＰＬＯＣ）ＮＷ−１０２」、「同  ＮＷ１１２Ｂ」、「同  ＮＷ−１１５ＮＨ−１００Ｓ」、「同  ＮＷ−１２６−１００Ｓ」、「同  ＮＷ−１２８」）などが使える。
【００２１】
接着剤３の層を形成するための塗布方法としては、一般的な塗布方法が用いられる。例えば、図４（ａ）に示されるロールコート法以外に、ダイコート、グラビアコート法などの塗布方式、凸版方式、凹版方式、平版方式、オフセット印刷法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの印刷方式、転写法、インクジェット法、ディスペンサ法などを用いることができる。
接着剤３が紫外線硬化型の場合には、接着剤３を介してガラス基板１が貼り合わせられた後に、紫外線照射装置により紫外線を照射することにより硬化し固定することができる。
また接着剤３が熱硬化型の場合には、接着剤３を介してガラス基板１が貼り合わせられた後に、オーブンなどにより加熱して硬化し固定することができる。
【００２２】
次に、図４（ｂ）のように、搬送基板４の上に形成された接着剤３の層の上に、ガラス基板１を重ならないように並べて貼り付ける。
【００２３】
ガラス基板１を搬送基板４の上に位置決めして配置する方法としては、搬送基板４を基準の位置に置き、その基準位置に対して上下左右に高精度で稼動し、先端部に把持部を有するロボットアームを使用して、１枚のガラス基板１を搬送基板４の上の所定の位置に載置する方法が取れる。また、位置決めして配置する他の方法としては、搬送基板４およびガラス基板１を各々にマークを記しておき、両者のマークが一致するように搬送基板４とがガラス基板１の位置を調整する。ここで搬送基板４とガラス基板１のどちらか一方が固定、一方が可動、又は、双方が可動するようにした載置台を使用してもよい。
そして、搬送基板４上に配置された複数のガラス基板１の接着剤３とは反対側の面が全て同一平面を形成するように、複数のガラス基板１上にそれらの全面を覆う平面調整板等を載置して均一に圧力をかけて調整してもよい。
【００２４】
（カラーフィルタ基板積層体を形成する工程）
図４（ｃ）〜（ｈ）では、カラーフィルタ層を複数のガラス基板の上に形成する方法として、フォトリソグラフィ法を用いた場合の工程を示す。
【００２５】
図４（ｃ）のように、搬送基板４の上に配置された複数のガラス基板１の上の各ガラス板１の上に、遮光部１１を形成するためのブラックマトリクス用感光性組成物を塗布し、乾燥する。
次に、図４（ｄ）のように、ブラックマトリクス用のパターンを有するフォトマスク３００を、複数のガラス基板１の接着剤３とは反対側の面と密着させて重ねる。  紫外線露光機により、前記フォトマスク３００のガラス基板１との密着側とは反対側の方から紫外線を照射する。
フォトマスク３００を取り外して、複数のガラス基板１が貼り付けられた搬送基板４の全体に現像液を接触又は浸漬させて、図４（ｅ）及び（ｅ’）のように、遮光部１１であるブラックマトリクス１２（ＢＭ）のパターンを形成する。（ｅ’）は、（ｅ）の部分拡大図である。
【００２６】
次に、着色部１２の赤色１２（Ｒ）を形成するため赤色用感光性組成物を、前記ブラックマトリクスパターンが形成された複数のガラス基板１上と搬送基板４の余白部を含む全面に塗布し、乾燥する。
赤色用のパターンを有するフォトマスクを、複数のガラス基板１の接着剤３の側とは反対側の面と密着させて重ねる。  紫外線露光機により、赤色用のフォトマスクのガラス基板との密着側とは反対側の方から紫外線を照射する。
フォトマスクを取り外して、複数のガラス基板１が貼り付けられた搬送基板４の全体に現像液を接触又は浸漬させて、図４（ｆ）及び（ｆ’）のように、赤色パターンを形成する。（ｆ’）は、（ｆ）の部分拡大図である。
【００２７】
次に、着色部１２の緑色１２（Ｇ）を形成するため緑色用感光性組成物を、前記ブラックマトリクスパターンと赤色パターンとが形成された複数のガラス基板１上と搬送基板４の余白部を含む全面に塗布し、乾燥する。
緑色用のパターンを有するフォトマスクを、複数のガラス基板の仮止め用粘着層側とは反対側の面と密着させて重ねる。  紫外線露光機により、緑色用のフォトマスクのガラス基板との密着側とは反対側の方から紫外線を照射する。
フォトマスクを取り外して、複数のガラス基板が貼り付けられた搬送基板の全体に現像液を接触又は浸漬させて、図４（ｇ）及び（ｇ’）のように緑色パターンを形成する。（ｇ’）は、（ｇ）の部分拡大図である。
【００２８】
次に、着色部１２の青色１２（Ｂ）を形成するため青色用感光性組成物を、前記ブラックマトリクスパターンと赤色パターンと緑色パターンとが形成された複数のガラス基板１上と搬送基板４の余白部を含む全面に塗布し、乾燥する。
青色用のパターンを有するフォトマスクを、複数のガラス基板の仮止め用粘着層側とは反対側の面と密着させて重ねる。  紫外線露光機により、青色用のフォトマスクのガラス基板との密着側とは反対側の方から紫外線を照射する。
フォトマスクを取り外して、複数のガラス基板が貼り付けられた搬送基板の全体に現像液を接触させて、図４（ｈ）及び（ｈ’）のように青色パターンを形成する。（ｈ’）は、（ｈ）の部分拡大図である。
【００２９】
カラーフィルタ層２を形成する方法としては、以上のようなフォトリソグラフィ法以外に、凸版方式、凹版方式、平版方式、オフセット印刷法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの印刷方式、転写法、インクジェット法などを用いることができる。
【００３０】
カラーフィルタ層２の遮光部１１としては、液晶表示装置のバックライトの光漏れや着色部の混色防止のために設けられるものであり、遮光性を有するものを用いることができる。クロムなどの金属薄膜などをスパッタリング法や真空蒸着法により薄膜を形成し、この薄膜をパターニングして形成したものや、カーボン微粒子や金属酸化物の遮光性粒子を含有させたアクリル樹脂、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂などの樹脂層を形成し、この樹脂層をパターニングして形成したもの、および、カーボン微粒子や金属酸化物の遮光性粒子を含有させた感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層をパターニングして形成したもの等、遮光性を有するものを用いることができる。
【００３１】
カラーフィルタ層２の着色部１２としては、カラーフィルタ画素として、通過したバックライトの色を調整するものであり、通常、赤色、緑色、青色の3種の着色剤を用いることができる。
赤色の着色部１２（Ｒ）に用いられる着色剤としては、例えば、ペリレン系顔料、レーキ顔料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノン系顔料、アントラセン系顔料、イソインドリン系顔料が挙げられる。これらの顔料もしくは染料は単独で用いてもよく2種以上を混合して用いても良い。
緑色の着色部１２（Ｇ）に用いられる着色剤としては、例えば、ハロゲン多置換フタロシアニン系顔料もしくはハロゲン多置換銅フタロシアニン系顔料などのフタロシアニン系顔料、トリフェニルメタン系塩基性染料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料などが挙げられる。これらの顔料もしくは染料は単独で用いてもよく2種以上を混合して用いても良い。
青色の着色部１２(Ｂ)に用いられる着色剤としては、例えば、銅フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、インダンスレン系顔料、インドフェノール系顔料、シアニン系顔料、ジオキサジン系顔料が挙げられる。これらの顔料もしくは染料は単独で用いてもよく2種以上を混合して用いても良い。
【００３２】
（カラーフィルタ基板を搬送基板から分離する工程）
次に、図４（ｉ）は、溶解用液体により接着剤３を溶解させて、搬送基板４から分離させて得たカラーフィルタ基板１０である。
カラーフィルタ基板１０を分離する方法としては、溶解用液体を接着剤３の層に接触させて溶解を容易にする方法としては、浸漬法の他に、スプレー法、スピンナー法などが挙げられる。
【００３３】
図５は、本発明のカラーフィルタ基板積層体５０を示す斜視図である。
図６（ａ）は、図５に示されるカラーフィルタ基板積層体５０の平面図である。
また、図６（ｂ）は、図６（ａ）のカラーフィルタ基板積層体５０のＢ−Ｂ線における断面図である。
図５及び図６に示されるように、カラーフィルタ基板積層体５０は、搬送基板４の上に接着剤３（図示せず）を介して、複数のカラーフィルタ基板１０が並べて配置されており、カラーフィルタ基板１０は、ガラス基板１の上にカラーフィルタ層２が形成されてなるものである。
【００３４】
搬送基板４は、ガラス基板１を配置する側の面に溝５を有する矩形状の板状体である。    図５及び図６に一例として示される搬送基板４は、碁盤目状のパターンの溝５を有するものである。
搬送基板４の材料としては、ガラス、金属、プラスチックなど板状部材が用いられる。薬品や熱の処理による白色化等の変性や寸法変化等の変形などが極めて少ないものが好ましい。
【００３５】
溝５は、ガラス基板１が配置される領域を含む搬送基板４の面に有している。
溝５は、搬送基板４の上に配置されるガラス基板が位置する外周４辺に囲まれた領域から該領域の少なくとも１辺を超えて外に延びてなるものである。
溝は、液体が流通する程度の幅と深さを有していればよい。
また、溝は複数設けることができ、溝と溝とは互いに連通していてもよい。
溝の幅や数を増大する場合には、その数や幅が大きいほど溶解用液体の侵入が容易になる効果が増大する。一方、溝の数や幅が大きくなれば、接着剤が溝を埋めて形成されない場合には、溝が搬送基板の面に占める面積が大きくなりガラス基板との接着面積が小さくなることによって接着強度が低下する。従って、溝の数や幅は、接着強度に影響しない程度に決定することが好ましい。
【００３６】
以上のように、カラーフィルタ基板積層体５０において、ガラス基板１が配置される領域を含む搬送基板４の面に溝５を有することにより、カラーフィルタ基板積層体５０からカラーフィルタ基板１０を分離する際には、剥離するための外力を要することなく、接着剤３を溶解用液体によって溶解することによって容易に短時間で分離することができる。
また、カラーフィルタ基板積層体５０によれば、カラーフィルタ基板１０を分離しないでカラーフィルタ基板積層体５０を一体として搬送することや、そのまま保存することが可能となり、カラーフィルタ基板１０の集積梱包を省略でき、破損や汚染を防ぐ効果を有する。
【００３７】
図７は、搬送基板の様々な態様を、溝を有する面側から見た平面図である。
図７のように、溝５を有する領域や溝５のパターンが異なる搬送基板４について、例を挙げて説明する。
例えば、図７（ａ）、（ｂ）のように、溝５が搬送基板４の全面に形成されている場合がある。これは、溝５が、搬送基板４の面にあって、搬送基板４の上に配置されるガラス基板が位置する外周４辺に囲まれた領域（図示せず）から該領域の少なくとも１辺を超えて外に延び搬送基板４の外周端まで設けられている場合である。
また、図７（ｃ）〜（ｆ）のように、溝５が搬送基板４の面にあって、搬送基板４の上に配置されるガラス基板が位置する外周４辺に囲まれた領域（点線で示される矩形状に囲まれた領域）から該領域の少なくとも１辺を超えて外に延び、ガラス基板が位置する外周４辺に囲まれた領域より大きい領域（溝のパターンが示された領域）まで設けられている場合がある。
搬送基板４の面に対して垂直方向から見た溝５のパターンとしては、図７（ａ）、（ｃ）、（ｅ）に示すような碁盤目状、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）に示すような放射状、その外に、ストライプ状、斜線状、渦巻状などを適時用いることができる。
ここで、図７（ｅ）、（ｆ）は、搬送基板４の面に部分的に溝５を設けたものであって、溝５のある領域の周囲の溝のない領域（図７（ｅ）、（ｆ）に示す黒ベタ部分）を溝５の底部と同程度に低く設けた構造としたものである。この場合には、溶解用液体が溝５のある領域の外周端面から侵入し易く、また溶解用液体により接着剤が溶解されて生じる溶解液を排出し易い効果がある。
【００３８】
図８は、本発明の搬送基板の溝の断面図である。
溝の断面形状は特に限定されない。図８（ａ）に示す半矩形、（ｂ）に示す半円形、（ｃ）に示すＶ字形、（ｄ）に示すＵ字形、その他に台形や多角形などが用いられる。
上記の溝の形状やパターンは、ガラス基板のサイズ、形状、配置によって、接着剤の溶解液の流通がし易く、搬送基板の溝加工がし易いものを選択して適時組み合せて用いることができる。
【００３９】
以上のように溝を有する搬送基板を用いることによって、搬送基板上に接着剤を介して複数のカラーフィルタ基板が配置されたカラーフィルタ基板積層体からカラーフィルタ基板を分離する工程において、カラーフィルタ基板積層体に溶解用液体を接触させると、搬送基板の溝を通してカラーフィルタ基板積層体の外周部から中央部に溶解用液体を侵入させ接着剤を容易に溶解することができ、また溶解用液体により接着剤が溶解されて生じる溶解液を容易に排出することができ、搬送基板とカラーフィルタ基板との分離を容易にすることができる。
【符号の説明】
【００４０】
１  ガラス基板
２  カラーフィルタ層
３  接着剤
４  搬送基板
５  溝
１０  カラーフィルタ基板
１１  遮光部
１２  着色部
１３  画素電極
２０  背面側基板
５０  カラーフィルタ基板積層体
１００  液晶表示パネル
３００  フォトマスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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