(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｆ濃度が５００ｍｇ／Ｌより高いフッ素含有排水にＣａ源とＣｕ源を添加して、フッ素含有排水中のＦ濃度（ｍｇ／Ｌ）に対するＣｕ濃度（ｍｇ／Ｌ）の比（Ｃｕ／Ｆ）を０．０８以上にし、フッ素含有排水のｐＨを５〜１１に調整して、攪拌しながら保持した後に生成した汚泥を沈降分離することを特徴とする、フッ素含有排水の処理方法。
【請求項２】
前記Ｃｕ源が銅イオン、銅の水酸化物または銅の酸化物であることを特徴とする、請求項１に記載のフッ素含有排水の処理方法。
【請求項３】
前記フッ素含有排水に前記Ｃａ源を添加した後の前記フッ素含有排水中のＦ濃度（ｍｇ／Ｌ）に対するＣａ濃度（ｍｇ／Ｌ）の比（Ｃａ／Ｆ）が１以上であることを特徴とする、請求項１または２に記載のフッ素含有排水の処理方法。
【請求項４】
前記フッ素含有排水に前記Ｃａ源を添加した後の前記フッ素含有排水中のＦ濃度（ｍｇ／Ｌ）に対するＣａ濃度（ｍｇ／Ｌ）の比（Ｃａ／Ｆ）が１．３以上であることを特徴とする、請求項１または２に記載のフッ素含有排水の処理方法。
【請求項５】
Ｃｕを含みＦ濃度が５００ｍｇ／Ｌより高く且つＦ濃度（ｍｇ／Ｌ）に対するＣｕ濃度（ｍｇ／Ｌ）の比（Ｃｕ／Ｆ）が０．０８以上であるフッ素含有排水にＣａ源を添加して、フッ素含有排水中のＦ濃度（ｍｇ／Ｌ）に対するＣａ濃度（ｍｇ／Ｌ）の比（Ｃａ／Ｆ）を１．３以上にし、攪拌しながら保持した後に生成した汚泥を沈降分離することを特徴とする、フッ素含有排水の処理方法。
【請求項６】
前記Ｃａ源がカルシウムイオン、カルシウムの水酸化物またはカルシウムの酸化物であることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれかに記載のフッ素含有排水の処理方法。
【請求項７】
前記Ｆ濃度（ｍｇ／Ｌ）に対するＣｕ濃度（ｍｇ／Ｌ）の比（Ｃｕ／Ｆ）が０．１以上であることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれかに記載のフッ素含有排水の処理方法。
【請求項８】
前記フッ素含有排水のｐＨを９．５〜１１に調整することを特徴とする、請求項１乃至７のいずれかに記載のフッ素含有排水の処理方法。
【請求項９】
前記フッ素含有排水にｐＨ調整剤を添加して前記フッ素含有排水のｐＨを調整することを特徴とする、請求項１乃至８のいずれかに記載のフッ素含有排水の処理方法。
【請求項１０】
前記ｐＨ調整剤が酸およびアルカリの少なくとも一方であることを特徴とする、請求項９に記載のフッ素含有排水の処理方法。
【請求項１１】
前記フッ素含有排水中のＦ濃度が１０００ｍｇ／Ｌ以上であることを特徴とする、請求項１乃至１０のいずれかに記載のフッ素含有排水の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ素含有排水の処理方法に関し、特に、フッ素含有排水中のフッ素濃度を低減する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フッ素は、化学工業の他、半導体製造や金属表面処理などにおいて大量に使用され、近年その使用量が著しく増大している。このような化学工業の工場などから排出されるフッ素含有排水をそのまま海域などに排出すると海域を汚染するので、フッ素含有排水を海域などに排出する前にフッ素濃度をできるだけ低減する必要がある。特に、水質汚濁防止法施行令では、排水中のフッ素濃度の排水基準は、海域に排出する場合には１５ｍｇ／Ｌ以下、海域以外に排出する場合には８ｍｇ／Ｌ以下であることが規定されているため、フッ素含有排水中のフッ素濃度を８ｍｇ／Ｌ以下に低減する必要がある。
【０００３】
従来、フッ素含有排水中のフッ素濃度を低減する方法として、フッ素含有排水にカルシウム化合物を添加して沈殿物を生成させる（Ｃａ＋２Ｆ→ＣａＦ２）ことによりフッ素濃度を低減させる所謂フッ化カルシウム法が知られている。また、このフッ化カルシウム法を利用してフッ素含有排水中のフッ素濃度をさらに低減する方法として、フッ素含有排水にカルシウム化合物とアルミニウム系凝集剤や鉄系凝集剤などの無機凝集剤とを添加し、生成した沈殿物の少なくとも一部をフッ素含有排水に添加して、フッ素含有排水の処理に再利用する方法が提案されている（例えば、特許文献１〜５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６０−２４１９８８号公報（第１〜２頁）
【特許文献２】特開平８−１９７０７０号公報（段落番号０００８）
【特許文献３】特開２００７−１９６１７７号公報（段落番号００１４）
【特許文献４】特開平６−１５４７６７号公報（段落番号０００５）
【特許文献５】特開２０００−３３３８６号公報（段落番号００１１−００２７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１〜３の方法では、フッ酸を含有する薬液で銅または銅合金材を処理した廃水などのフッ素含有排水中のフッ素濃度を排水基準の８ｍｇ／Ｌ以下に低減するのは困難である。
【０００６】
また、特許文献１〜５の方法によりフッ素含有排水を処理すると、大量の汚泥が生成され、その処理費用や薬品代などの操業コストが増大する。
【０００７】
したがって、本発明は、このような従来の問題点に鑑み、フッ素含有排水中のフッ素濃度を十分に且つ安価に低減することができる、フッ素含有排水の処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究した結果、フッ素含有排水にＣａ源とＣｕ源を添加（あるいは、Ｃｕを含むフッ素含有排水にＣａ源を添加）して、フッ素含有排水中のＦ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）を０．０８以上にし、攪拌しながら保持した後に生成した汚泥を沈降分離することにより、フッ素含有排水中のフッ素濃度を十分に且つ安価に低減することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち、本発明によるフッ素含有排水の処理方法は、フッ素含有排水にＣａ源とＣｕ源を添加（あるいは、Ｃｕを含むフッ素含有排水にＣａ源を添加）して、フッ素含有排水中のＦ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）を０．０８以上にし、攪拌しながら保持した後に生成した汚泥を沈降分離することを特徴とする。
【００１０】
このフッ素含有排水の処理方法において、フッ素含有排水にＣａ源を添加した後のフッ素含有排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）が１以上であるのが好ましい。また、フッ素含有排水のｐＨを５〜１１に調整するのが好ましい。この場合、フッ素含有排水にｐＨ調整剤を添加してｐＨを調整してもよく、ｐＨ調整剤として酸およびアルカリの少なくとも一方を使用するのが好ましい。また、Ｃａ源がカルシウムイオン、カルシウムの水酸化物またはカルシウムの酸化物であるのが好ましく、Ｃｕ源が銅イオン、銅の水酸化物または銅の酸化物であるのが好ましい。また、フッ素含有排水中のＦ濃度が５００ｍｇ／Ｌより高いのが好ましい。
【００１１】
なお、本明細書中において、「Ｆ濃度」、「Ｃｕ濃度」、「Ｃａ濃度」とは、それぞれ、フッ素含有排水などの液中にイオンや化合物として存在する全ての状態のＦ、Ｃｕ、Ｃａの合計のＦの濃度、Ｃｕの濃度、Ｃａの濃度をいう。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、フッ素含有排水中のフッ素濃度を十分に且つ安価に低減することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明によるフッ素含有排水の処理方法の実施の形態では、フッ素含有排水にＣａ源とＣｕ源を添加し、あるいは、Ｃｕを含むフッ素含有排水にＣａ源を添加し、攪拌しながら保持した後に生成した汚泥を沈降分離する。生成した汚泥は、有価物（Ｃｕ）として再利用可能である。
【００１４】
このフッ素含有排水の処理方法では、フッ素含有排水中のＦ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）を０．０８以上、好ましくは０．１以上にする。また、フッ素含有排水にＣａ源を添加することにより、フッ素含有排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）を１以上にするのが好ましく、１．３以上にするのがさらに好ましい。なお、Ｆ濃度や共存イオンの存在などにより必要なＣｕ量やＣａ量が変わるので、過剰のＣｕ源やＣａ源を添加してもよい。例えば、共存イオンとして、硫酸イオンやリン酸イオンなどが存在すると、Ｃａと反応して（硫酸カルシウムやリン酸カルシウムなどの）不溶性の塩を生成するため、過剰のＣａ源を添加するのが好ましい。また、共存イオンとして、アンモニウムイオンなどが存在すると、Ｃｕと（銅アンミン錯体などの）錯体を形成するため、過剰のＣｕ源を添加するのが好ましい。さらに、キレート化剤が存在すると、Ｃｕと（ＥＤＴＡなどの）キレート化合物を形成するため、過剰のＣｕ源を添加するのが好ましい。その他、銅の水酸化物や銅の酸化物の生成を阻害する分散剤などが存在する場合には、過剰のＣｕ源を添加するのが好ましい。但し、コスト面を考慮すると、フッ素含有排水中のＦ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は、３０以下にするのが好ましく２５以下にするのがさらに好ましく、１０以下にするのが最も好ましい。また、フッ素含有排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は、３０以下にするのが好ましく、２０以下にするのがさらに好ましい。
【００１５】
また、フッ素含有排水にｐＨ調整剤を添加してｐＨを５〜１１に調整するのが好ましく、９〜１１に調整するのがさらに好ましい。このｐＨ調整剤として、酸およびアルカリの少なくとも一方を使用するのが好ましい。酸としては、硫酸、塩酸、硝酸などを使用するのが好ましく、アルカリとしては、水酸化カルシウム、水酸化ナトリウムなどを使用するのが好ましい。なお、フッ素含有排水にＣａ源とＣｕ源を添加した後にｐＨが５〜１１の範囲内であれば、ｐＨ調整剤を添加しなくてもよい。また、汚泥を生成するために、液状化ポリマーなどの高分子凝集剤を添加してもよい。
【００１６】
また、Ｃａ源がカルシウムイオン、カルシウムの水酸化物またはカルシウムの酸化物であるのが好ましく、消石灰または生石灰であるのがさらに好ましい。また、Ｃｕ源が銅イオン、銅の水酸化物または銅の酸化物であるのが好ましく、銅イオンまたは銅水酸化物であるのがさらに好ましい。
【００１７】
本発明によるフッ素含有排水の処理方法の実施の形態では、好ましくは５００ｍｇ／Ｌより高い濃度のＦ、さらに好ましくは１０００ｍｇ／Ｌ以上のＦを含むフッ素含有排水にＣａ源とＣｕ源を添加（あるいは、Ｃｕを含み、好ましくは５００ｍｇ／Ｌより高い濃度のＦ、さらに好ましくは１０００ｍｇ／Ｌ以上のＦを含むフッ素含有排水にＣａ源を添加）して、フッ素含有排水中のＦ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）を０．０８以上にし、攪拌しながら保持した後に生成した汚泥を沈降分離することによって、フッ素含有排水中のフッ素濃度を排水基準の８ｍｇ／Ｌ以下に低減することができるとともに、生成した汚泥を有価物（Ｃｕ）として再利用することができる。
【００１８】
本発明によるフッ素含有排水の処理方法の実施の形態において、例えば、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を使用し、Ｃｕ源として銅イオンを使用する場合に、フッ素含有排水中の基本的な化学反応は、（１）Ｃａ２＋＋２Ｆ−→ＣａＦ２、（２）Ｃｕ２＋＋２ＯＨ−→Ｃｕ（ＯＨ）２、（３）ｘＣａＦ２＋ｙＣｕ（ＯＨ）２→ｘＣａＦ２・ｙＣｕ（ＯＨ）２の反応式で示されると考えられる。これらの反応式のうち、式（３）で示される共沈反応と考えられる化学反応において、吸着反応などによってＦが取り込まれて、フッ素含有排水中のＦ濃度が８ｍｇ／Ｌ以下に減少すると考えられる。しかし、Ｃａ源としての消石灰や、Ｃｕ源としての銅イオンは、フッ素含有排水中の成分によって上記の化学反応以外に消費される場合があると考えられるので、上述したように、過剰のＣａ源やＣｕ源を添加するのが好ましい。例えば、フッ素含有排水中に硫酸イオンが存在すると、Ｃａ２＋＋ＳＯ４２−→ＣａＳＯ４（石膏）の反応式で示されるように、Ｃａが硫酸と反応する分だけＣａ源を過剰に添加する必要があり、フッ素含有排水中にアンモニウムイオンが存在すると、Ｃｕ（ＯＨ）２＋４ＮＨ４＋＋４ＯＨ−→Ｃｕ（ＮＨ３）４（ＯＨ）２＋４Ｈ２Ｏの反応式で示されるように、Ｃｕがアンモニア錯体として取り込まれる分だけＣｕ源を過剰に添加する必要があると考えられる。
【００１９】
また、本発明によるフッ素含有排水の処理方法の実施の形態において、フッ素含有排水にｐＨ調整剤を添加する場合には、フッ素含有排水にＣａ源とＣｕ源とｐＨ調整剤を添加して攪拌しながら保持した後に汚泥を沈降分離することができれば、Ｃａ源とＣｕ源とｐＨ調整剤の添加順序は特に限定されない。また、上述したように、ｐＨ調整剤として酸を使用する場合に、硫酸、塩酸、硝酸などを使用するのが好ましいが、これらの酸を使用すると、凝集剤として硫酸アルミニウム（硫酸バンド）を使用した場合と比べて、汚泥（沈殿物）の量が少なくなり、汚泥の処理費用を削減することができる。
【００２０】
なお、ＢｅやＴｉを含有する銅合金材の表面を酸洗処理する場合には、フッ化物系の酸の洗浄液を使用する場合があり、このような洗浄液からフッ素を除去するために、本発明によるフッ素含有排水の処理方法の実施の形態を適用することができる。また、Ｓｉを含有する銅合金材の生産ラインやめっきラインの前処理などにおいて、フッ素を含有する処理液を使用する場合があり、このような処理液からフッ素を除去するために、本発明によるフッ素含有排水の処理方法の実施の形態を適用することができる。さらに、フッ素と（Ｃｕなどの）重金属を同時に処理する必要がある場合にも、本発明によるフッ素含有排水の処理方法の実施の形態を適用することができる。
【実施例】
【００２１】
以下、本発明によるフッ素含有排水の処理方法の実施例について詳細に説明する。
【００２２】
［実施例１］
フッ素含有排水として５０，０００ｍｇ／ＬのＦを含むフッ化水素酸（ｐＨ＜１）を用意した。このフッ素含有排水を攪拌しながら、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を添加し、Ｃｕ源として硫酸銅（ＩＩ）五和物（ＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏ）を添加して、ｐＨを１０〜１１の範囲に調整しながら１０分間保持した後、２０分間沈降分離処理を行った。なお、Ｃａ源およびＣｕ源を添加した後の排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は１．３６であり、Ｆ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は０．１であった。この処理により得られる汚泥の沈降分離性は良好であり、汚泥の含水率は５９％であった。また、この処理後の排水の上澄み液中のＦ濃度は７ｍｇ／Ｌ、Ｃｕ濃度は１ｍｇ／Ｌ未満であった。
【００２３】
なお、本実施例および以下の実施例と比較例において、Ｆ濃度はＪＩＳ  Ｋ０１０２の３４．２（イオン電極法）、Ｃｕ濃度はＪＩＳ  Ｋ０１０２の５２．４（ＩＣＰ発光分析法）、Ｃａ濃度はＪＩＳ  Ｋ０１０２の５０．３（ＩＣＰ発光分析法）により測定した。
【００２４】
［実施例２］
フッ素含有排水として５０，０００ｍｇ／ＬのＦを含むフッ化水素酸（ｐＨ＜１）を用意した。このフッ素含有排水を攪拌しながら、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を添加し、Ｃｕ源として硫酸銅（ＩＩ）五和物（ＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏ）を添加して、ｐＨを１０〜１１の範囲に調整しながら１０分間保持した後、２０分間沈降分離処理を行った。なお、Ｃａ源およびＣｕ源を添加した後の排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は１．４１であり、Ｆ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は０．２１であった。この処理により得られる汚泥の沈降分離性は良好であり、汚泥の含水率は６３％であった。また、この処理後の排水の上澄み液中のＦ濃度は７ｍｇ／Ｌ、Ｃｕ濃度は１ｍｇ／Ｌ未満であった。
【００２５】
［実施例３］
フッ素含有排水として５０，０００ｍｇ／ＬのＦを含むフッ化水素酸（ｐＨ＜１）を用意した。このフッ素含有排水を攪拌しながら、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を添加し、Ｃｕ源として硫酸銅（ＩＩ）五和物（ＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏ）を添加して、ｐＨを１０〜１１の範囲に調整しながら１０分間保持した後、２０分間沈降分離処理を行った。なお、Ｃａ源およびＣｕ源を添加した後の排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は１．５であり、Ｆ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は０．３１であった。この処理により得られる汚泥の沈降分離性は良好であり、汚泥の含水率は６３％であった。また、この処理後の排水の上澄み液中のＦ濃度は７ｍｇ／Ｌ、Ｃｕ濃度は１ｍｇ／Ｌであった。
【００２６】
［実施例４］
フッ素含有排水として５０，０００ｍｇ／ＬのＦを含むフッ化水素酸（ｐＨ＜１）を用意した。このフッ素含有排水を攪拌しながら、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を添加し、Ｃｕ源として硫酸銅（ＩＩ）五和物（ＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏ）を添加して、ｐＨを１０〜１１の範囲に調整しながら１０分間保持した後、２０分間沈降分離処理を行った。なお、Ｃａ源およびＣｕ源を添加した後の排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は１．５８であり、Ｆ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は０．４１であった。この処理により得られる汚泥の沈降分離性は良好であり、汚泥の含水率は６４％であった。また、この処理後の排水の上澄み液中のＦ濃度は６ｍｇ／Ｌ、Ｃｕ濃度は２ｍｇ／Ｌであった。
【００２７】
［実施例５］
フッ素含有排水として５０，０００ｍｇ／ＬのＦを含むフッ化水素酸（ｐＨ＜１）を用意した。このフッ素含有排水を攪拌しながら、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を添加し、Ｃｕ源として硫酸銅（ＩＩ）五和物（ＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏ）を添加して、ｐＨを１０〜１１の範囲に調整しながら１０分間保持した後、２０分間沈降分離処理を行った。なお、Ｃａ源およびＣｕ源を添加した後の排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は１．６１であり、Ｆ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は０．５２であった。この処理により得られる汚泥の沈降分離性は良好であり、汚泥の含水率は６９％であった。また、この処理後の排水の上澄み液中のＦ濃度は５ｍｇ／Ｌ、Ｃｕ濃度は１ｍｇ／Ｌであった。
【００２８】
［実施例６］
フッ素含有排水として５０，０００ｍｇ／ＬのＦを含むフッ化水素酸（ｐＨ＜１）を用意した。このフッ素含有排水を攪拌しながら、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を添加し、Ｃｕ源として硫酸銅（ＩＩ）五和物（ＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏ）を添加して、ｐＨを１０〜１１の範囲に調整しながら１０分間保持した後、２０分間沈降分離処理を行った。なお、Ｃａ源およびＣｕ源を添加した後の排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は１．８１であり、Ｆ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は１．０５であった。この処理により得られる汚泥の沈降分離性は良好であり、汚泥の含水率は６８％であった。また、この処理後の排水の上澄み液中のＦ濃度は５ｍｇ／Ｌ、Ｃｕ濃度は１５ｍｇ／Ｌであった。
【００２９】
［実施例７］
フッ化水素アンモニウムと硝酸と硫酸を含有する薬液でＣｕ板を処理して得られた１３，５００ｍｇ／ＬのＦと１６，０００ｍｇ／ＬのＣｕを含むフッ素含有排水（ｐＨ＜１）を用意した。このＦとＣｕを含むフッ素含有排水を攪拌しながら、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を添加するとともに、ｐＨ調整剤として硫酸を添加して、ｐＨを９．５〜１０．５の範囲に調整しながら６０分間保持した後、１２０分間沈降分離処理を行った。なお、Ｃａ源およびＣｕ源を添加した後の排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は１２．４３であり、Ｆ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は１．１９であった。この処理により得られる汚泥の沈降分離性は良好であり、汚泥の含水率は６５％であった。また、この処理後の排水の上澄み液中のＦ濃度は５ｍｇ／Ｌ、Ｃｕ濃度は５ｍｇ／Ｌであった。
【００３０】
［実施例８］
フッ化水素アンモニウムと硝酸と硫酸を含有する薬液でＣｕ板を処理して得られた１，５９０ｍｇ／ＬのＦと１５，０００ｍｇ／ＬのＣｕを含むフッ素含有排水（ｐＨ＜１）を用意した。このＦとＣｕを含むフッ素含有排水を攪拌しながら、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を添加するとともに、ｐＨ調整剤として硝酸を添加して、ｐＨを９．５〜１０．５の範囲に調整しながら６０分間保持した後、１２０分間沈降分離処理を行った。なお、Ｃａ源およびＣｕ源を添加した後の排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は１０３．５１であり、Ｆ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は９．４３であった。この処理により得られる汚泥の沈降分離性は良好であり、汚泥の含水率は６９％であった。また、この処理後の排水の上澄み液中のＦ濃度は２ｍｇ／Ｌ、Ｃｕ濃度は３ｍｇ／Ｌであった。
【００３１】
［比較例１］
フッ素含有排水として５０，０００ｍｇ／ＬのＦを含むフッ化水素酸（ｐＨ＜１）を用意した。このフッ素含有排水を攪拌しながら、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を添加して、ｐＨを１０〜１１の範囲に調整しながら１０分間保持した後、２０分間沈降分離処理を行った。なお、Ｃａ源を添加した後の排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は１．０７、Ｆ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は０であった。この処理により得られる汚泥の沈降分離性は悪く、汚泥の含水率は３９％であった。また、この処理後の排水の上澄み液中のＦ濃度は５０ｍｇ／Ｌ、Ｃｕ濃度は１ｍｇ／Ｌ未満であった。
【００３２】
［比較例２］
フッ素含有排水として５０，０００ｍｇ／ＬのＦを含むフッ化水素酸（ｐＨ＜１）を用意した。このフッ素含有排水を攪拌しながら、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を添加するとともに、ｐＨ調整剤として硫酸を添加して、ｐＨを１０〜１１の範囲に調整しながら１０分間保持した後、２０分間沈降分離処理を行った。なお、Ｃａ源を添加した後の排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は１．５５、Ｆ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は０であった。この処理により得られる汚泥の沈降分離性は悪く、汚泥の含水率は４７％であった。また、この処理後の排水の上澄み液中のＦ濃度は３８ｍｇ／Ｌ、Ｃｕ濃度は１ｍｇ／Ｌ未満であった。
【００３３】
［比較例３］
フッ素含有排水として５０，０００ｍｇ／ＬのＦを含むフッ化水素酸（ｐＨ＜１）を用意した。このフッ素含有排水を攪拌しながら、Ｃａ源として消石灰（水酸化カルシウムＣａ（ＯＨ）２）を添加し、Ｃｕ源として硫酸銅（ＩＩ）五和物（ＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏ）を添加して、ｐＨを１０〜１１の範囲に調整しながら１０分間保持した後、２０分間沈降分離処理を行った。なお、Ｃａ源およびＣｕ源を添加した後の排水中のＦ濃度に対するＣａ濃度の比（Ｃａ／Ｆ）は１．３６であり、Ｆ濃度に対するＣｕ濃度の比（Ｃｕ／Ｆ）は０．０５であった。この処理により得られる汚泥の沈降分離性は良好であり、汚泥の含水率は５５％であった。また、この処理後の排水の上澄み液中のＦ濃度は１２ｍｇ／Ｌ、Ｃｕ濃度は１ｍｇ／Ｌ未満であった。
【００３４】
上述したように、実施例１〜５では、フッ素含有排水の沈降分離処理後に得られた汚泥溶液の上澄み液は、フッ素濃度の排水基準の８ｍｇ／Ｌ以下を満たしている。また、生成した汚泥は、有価物（Ｃｕ）として再利用することができる。また、３０分〜数時間程度と短時間でフッ素含有排水を処理することができる。