(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤーの表層面に砥粒を固着するのに用いるメッキ槽であって、槽本体が上層面よりも下層面部の面積を狭小にして所定長さに形成され、長手方向の前後に液切り構造を介して補助槽が付設されており、前記槽本体の内下部に配置される噴流管に外部設置の貯槽からメッキ液をポンプで送液して槽本体内に噴流させるようにし、オーバーフローされたメッキ液を前記貯槽に還流させる液循環機能を備え、前記槽本体の前後に配した補助槽内にそれぞれ水平回転するドラムを配して、槽本体内で処理されるワイヤーが液中で滞留時間を長められるように前記両回転ドラム間で複数回巻掛けられ移動できるようにし、前記ドラムが支持軸で昇降可能に吊下げ設置されていることを特徴とするメッキ槽。
【請求項２】
槽本体および補助槽のワイヤー移動方向の前後側板には、被処理ワイヤーの通過部としてそれぞれ上下方向に縦長の切込みが形成されている構成である請求項１に記載のメッキ槽。
【請求項３】
前記槽本体内のワイヤー移動方向における前後両端部には、ワイヤー通過部を備える仕切板で仕切った空間部を液切り構造として設け、この液切り構造に隣接して補助槽を付設する請求項１に記載のメッキ槽。
【請求項４】
メッキ処理されるワイヤーを巻掛け案内する一対の回転ドラムは、その周面に被処理ワイヤーを案内するガイド溝が所定のピッチでらせん状に設けてある請求項１に記載のメッキ槽。
【請求項５】
前記回転ドラムは、槽本体の外側方位置に起立設置した支持フレームの前側面に沿って昇降可能に取付く昇降フレームのアーム部で、鉛直に支持される支持軸の下部に取り付けられ、巻き掛けた被処理ワイヤーを移動に応じて回転し、一方の回転ドラムで繰り込むとともに他方の回転ドラムから繰り出すように構成されている請求項１または４に記載のメッキ槽。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、固定砥粒ワイヤーソーの製造工程において、ワイヤーに砥粒を固着させるためのメッキ槽に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  固定砥粒ワイヤーソーは、シリコンや硬質脆性材料を切断加工するための手段として供されている。この固定砥粒ワイヤーソーを製作するには、一般に高張力鋼などによるワイヤーを芯線として、その外周面に超硬粒（主に、ダイヤモンド粒、サファイヤ、ＳＩＣ砥粒など）を多数個、Ｎｉメッキ被膜にて固着させることにより行われている。そして、前記固定砥粒ワイヤーソーの製作工程で採用されているメッキ槽としては、一般的なメッキ槽と同様な箱形の槽内を移動させてメッキ処理が行われている。【０００３】  前記固定砥粒ワイヤーソーの製造過程で採用されるメッキ装置としては、例えば特許文献１あるいは特許文献２などで開示されているように、箱形のメッキ槽を複数直列に並べて、これらメッキ槽を順次通過する間にワイヤーの外周面にニッケルメッキを施すとともに、砥粒をニッケルメッキ槽によって固着するようにされている。【０００４】  しかしながら、従来のメッキ処理方式では多数の前処理槽やメッキ槽を多数配列してこれらの各槽を一直線状に移動させて処理されている。そのために、メッキ処理を有効に施すにはどうしても長い寸法のメッキ槽を必要とする。また、メッキ処理においてもワイヤーの周面に対する砥粒の固着密度を高めて均一化を図ることが不十分であった。そのために、製品（ワイヤーソー）として使用される場合の加工精度を向上させる必要上、砥粒の固着密度を均一化することが要望されている。しかも、各処理槽やメッキ槽を直線状に多数配列する必要があることから、ワイヤーソーの固着メッキ処理の設備が大型になり、設置面積が多く必要となることから、工場建屋も大きくなり、結果的に非常に高価な設備費を要するという問題点がある。【０００５】  また、前述のメッキ処理で用いられている各メッキ処理のための槽のなかでメッキ槽（複合槽）では、特に砥粒をメッキ液中に浮遊させて、移動するワイヤー（芯線）の周面に被膜形成するニッケルを介して付着させる過程でのメッキ液中における砥粒の浮遊密度を適正に保たれることが困難である。言い換えると、メッキ液の攪拌が不十分になり、そのためにメッキ液よりも質量が大きく微粒であるため浮力が小さい砥粒は、移動するワイヤーの周辺に集まりにくく、また、ばらつきが生じることから、メッキ槽の内底部隅などに砥粒が滞留して効率を低下させるなど、結果的にワイヤー表面に対する砥粒の固着密度の精度を高くして均一化できないという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】  特開２０１２−１９２４６５号公報
【特許文献２】  特開平９−１５０３１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  本発明は、前述のような問題点を解決して、ワイヤーの表層面に対する砥粒の付着状況を合理的に高め、固着密度の均一化を容易にし、かつメッキ設備を無理なく小型化して設備費の低減並びに作業の効率化を向上させるメッキ槽の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】前記問題点を解決するために、本発明によるメッキ槽は、
ワイヤーの表層面に砥粒を固着するのに用いるメッキ槽であって、
槽本体が上層面よりも下層面部の面積を狭小にして所定長さに形成され、長手方向の前後に液切り構造を介して補助槽が付設されており、前記槽本体の内下部に配置される噴流管に外部設置の貯槽からメッキ液をポンプで送液して槽本体内に噴流させるようにし、オーバーフローされたメッキ液を前記貯槽に還流させる液循環機能を備え、前記槽本体の前後に配した補助槽内にそれぞれ水平回転するドラムを配して、槽本体内で処理されるワイヤーが液中で滞留時間を長められるように前記両ドラム間で複数回巻掛けられ移動できるようにし、前記ドラムが支持軸で昇降可能に吊下げ設置されていることを特徴とするものである。【０００９】  前記発明において、槽本体および補助槽のワイヤー移動方向の前後側板には、被処理ワイヤーの通過部としてそれぞれ上下方向に縦長の切込みが形成されている構成であるのがよい。
また、前記発明において、前記槽本体内のワイヤー移動方向における前後両端部には、ワイヤー通過部を備える仕切板で仕切った空間部を液切り構造として設け、この液切り構造に隣接して補助槽を付設するのが好ましい。【００１０】  また、前記発明において、メッキ処理されるワイヤーを巻掛け案内する一対の回転ドラムは、その周面に被処理ワイヤーを案内するガイド溝が所定のピッチでらせん状に設けてあるのがよい。また、前記回転ドラムは、槽本体の外側方位置に起立設置した支持フレームの前側面に沿って昇降可能に取付く昇降フレームのアーム部で、鉛直に支持される支持軸の下部に取り付けられ、巻き掛けた被処理ワイヤーの移動に応じて回転し、一方の回転ドラムで繰り込むとともに他方の回転ドラムから繰り出すように構成されているのがよい。
【発明の効果】
【００１１】  本発明によれば、メッキ処理されるワイヤーの移動する槽本体内が上層面から下層面部に向かって狭小化する断面構造にされて、槽内下部に配した噴流管によりメッキ液が噴流するようにされているので、常にメッキ液が攪拌されて砥粒が沈降することなくメッキされるワイヤーの近傍に浮遊滞在することになり、均一な密度で砥粒が固着され、効率よく砥粒を活用できて固着密度の均一な固定砥粒ワイヤーソーを得ることができる。しかも、オーバーフローするメッキ液を循環させ、その循環する過程で噴流させて槽内のメッキ液を攪拌することになるので合理的に処理できるという利点がある。【００１２】そして、本発明は、メッキ液槽本体の前後（被処理ワイヤーの移動方向）に一対の水平回転するドラムを配し、この両ドラム間に被処理ワイヤーを複数回巻き掛けて、被処理ワイヤーが実質的にその巻き掛け回数メッキ液槽内でメッキ液と接するようにすることで、ワイヤー表面部に対する砥粒の付着条件を高めることができ、メッキ液槽内でのメッキ液の攪拌効果と合わせて砥粒の固着密度の均一化を図ることができる。しかも、１つのメッキ液槽においてのワイヤーの実質的な滞留時間を長めて砥粒の固着密度を高めることで、メッキ液槽を小型化でき、しかも、ワイヤーとメッキ液との接触状態を長くすることが出来るので、高速での加工が可能になり、設備費並びに生産コストを低減できる経済効果は著しいものと言える。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】固定砥粒ワイヤーソーの加工工程の概略を表す工程図である。
【図２】本発明メッキ槽（複合メッキ槽）の横断面と回転ドラムの支持装置を示す図である。
【図３】図２のＸ−Ｘ視拡大断面図である。
【図４】回転ドラムの一部を断面で表す正面図である。
【図５】複合メッキ槽におけるワイヤーのメッキ処理態様を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】  次に、本発明に係るメッキ槽について、その一実施形態に基づく図面を参照しつつ説明する。
【００１５】  固定砥粒ワイヤーソーは、極細い高張力鋼などでなる芯線（ワイヤー１）の外周面に錫メッキ槽で錫メッキ（ベース層）が、図示省略した前処理工程として形成される。前処理工程において錫メッキ層を形成された被処理ワイヤー１（以下、単に「ワイヤー１」という）は、以後、図１に例示すような手順で砥粒の付着加工が施される。まず、洗浄処理部４で脱脂・洗浄などを行い、次に前処理メッキ槽５でニッケルメッキを施してニッケル下地層が形成される。その後に複合メッキ槽１０においてニッケル下地層の上に、ニッケルメッキによってニッケル層を形成すると同時に、このニッケル層を介してニッケル被膜が施された砥粒（主としてダイヤモンド砥粒、以下同様）がワイヤー周面に分布付着される。しかる後、仕上げメッキ槽７にてワイヤー１に砥粒が付着した状態で外周に薄いニッケルメッキ層を形成することによって、先にニッケルメッキ層にて付着された砥粒の固定を確実にする過程を経て、最後の処理過程８で水洗並びに乾燥処理がなされて製品として巻き取りドラム９に巻取られ、製品とされる。なお、別工程で、前記砥粒の尖端部に付着する被膜を研磨除去することで完成品となる。
【００１６】  前記固定砥粒ワイヤーソーの加工工程は、砥粒の研磨処理工程を除いて一連のいわゆるメッキ工程で加工される。したがって、ワイヤー１は一条のものが連続して加工される。なお、前記ワイヤー１は移動する途中で図示省略するが緊張手段（テンションプーリなど）で一定の張力を維持して巻取りドラム９に巻き込まれる。
【００１７】  砥粒をワイヤー１（芯線）の外周面に付着させるには、前述のように錫メッキによるベース層の上にニッケル下地層が施される。このニッケル下地層を施されたワイヤー１が、その表面にさらにニッケルメッキを施されると同時に砥粒がそのニッケルメッキによって固着されるのであり、この操作が複合メッキ槽１０によって行われる。
【００１８】  前記複合メッキ槽１０は、図２〜図５に示されるように、上層面よりも下層面の面積が狭小で所定長さに槽本体１１が形成され、その長さ方向の前後に所定容積の補助槽１６，１６が、それぞれ連結された一体的構造になっている。なお、前記両補助槽１６は槽本体１１よりも深い寸法になっている。
【００１９】  前記槽本体１１の前後（ワイヤーの移動方向（矢印ａで示す））には、前記補助槽１６との連結板１２より少しの間隔を取って仕切板１３がそれぞれ設けてあり、その仕切板１３および前記連結板１２には所定の間隔でそれぞれ二条のワイヤー通過用の切込み１４，１４が所定寸法で縦長に設けてある。前記切込み１４，１４の間隔としては、後述する回転ドラム２０の外径（具体的には案内溝底の直径）に相応して設けてあり、切込み１４の深さ寸法については所定寸法（前記回転ドラム２０が降下して槽本体１１内でワイヤー１を案内する状態でのほぼ最下位までに対応する）としてある。
【００２０】  このようにされる槽本体１１の内底部には、そのほぼ全長にわたり噴流管１７が配置され、外部の給液配管４５と接続されている。この噴流管１７は両端を閉鎖して多数の噴流孔１７′が所定のピッチで全長にわたり二列で斜め下向きに設けてある。なお、噴流管１７に対する液入口１７ａは管の中央部に設けてある。また、槽本体１１の側部には液面を維持するためのオーバーフロー１９が設けてあり、前記槽本体１１内に設けた仕切板１３と連結板１２との間に形成された空間部１５からとオーバーフロー１９とは外部の貯槽４０に配管４３で接続してある。前記空間部１５は、液切り構造として仕切板１３に設けられたワイヤー通過用の切込み１４から移動するワイヤー１とともに漏れ出すメッキ液を回収して貯槽へ戻す働きをする。したがって、前記切込み１４は堰の役目を果たし、空間部１５内をメッキ液で満たさないようにすることで、槽本体１１内から外部にメッキ液の移動を防止するようになっている。
【００２１】  また、前記補助槽１６は、所定長さ（ワイヤー移動方向への寸法）で内部に前記水平回転ドラム２０が収まり得るようにされ、かつ前記したように槽本体１１よりも深い寸法になっている。そして、槽本体１１と反対面側の端板１６′には、それぞれワイヤー１の通過のための切込み１４′が上下方向に前記槽本体１１側で設けられた切込み１４と同要領で一列だけ設けてある。また、この補助槽１６には収容される回転ドラム２０が運転時巻き掛けられたワイヤー１との接触・離反により発生するスパーク防止のために注水する水配管（図示せず）が付設され、その排水が外部に排出する排水管が接続されている。
【００２２】  前記回転ドラム２０は、所定の外形寸法でその周面に、処理されるワイヤーが相互に接触しない間隔で複数回巻掛けられるように、らせん状の案内溝２１を形成されている。この回転ドラム２０は支持軸２２を介してドラム支持装置３０で支持され、槽内の定位置から準備作業時にワイヤー１を仕込む作業に適した槽上方位置に上昇し作業時に下降するようにされている。
【００２３】  前記ドラム支持装置３０は、前記メッキ槽本体１１の軸線に並行して一方の外側部（メッキ作業時における作業者の行動域と反対の側）に所定の高さで立設される支持フレーム３１、この支持フレーム３１の前面（メッキ槽本体側）に沿って昇降する昇降フレーム３２および昇降フレーム３２からメッキ槽上側に突き出して回転ドラム２０を支持するアーム３３とで構成されている。なお、前記支持フレーム３１はメッキ槽（１０）を所定高さに載せて定置できるように枠組みされた受台３８の上面に、起立するように設けてある。
【００２４】  前記昇降フレーム３２は、その前面側に回転ドラム２０を支持するためのアーム３３が一対並行して水平に突き出しており、この両アーム３３から垂下支持された支持軸２２によって前記回転ドラム２０が取り付けられている。なお、前記支持軸２２はアーム３３に付設した軸受３４により回転自在に支持されて、下部に取付く回転ドラム２０が水平回転するようにされている。また、昇降フレーム３２は、支持フレーム３１の背面側において自動で駆動させるとガイドレール３６に沿って昇降できるようにした昇降駆動機構（詳細は省略）に繋がれている。
【００２５】  前記槽本体１１に設けた噴流管１７には、外部に設けたメッキ液の貯槽４０からポンプ４１を介して加圧給液されるように配管され、槽本体１１のオーバーフロー１９からの戻り配管４３と槽内端の空間部１５，１５からの戻り配管４３′とが前記貯槽４０に繋がれて、メッキ液の循環が可能なようにされている。なお、この液貯槽４０には必要に応じて液温を定常に維持できるように熱交換器（例えばヒーター）を備えておくのが好ましい。
【００２６】  前記複合メッキ槽１０の前後に配置されるワイヤー１のニッケルメッキ下地層を造成する前処理メッキ槽５と、複合メッキ槽１０から送り出される砥粒が固着されたワイヤーの仕上げメッキ処理槽７とでは、それぞれメッキ槽のワイヤー進入側及び出口側の両方に補助槽５ａ，５ａおよび７ａ，７ａが付設されている。そして、槽内仕切板、連結板及び端板に前述のようなワイヤー移動用の切込みが縦長に形成されており、各補助槽内に昇降可能に水平回転するドラム（図２参照）がそれぞれ一対設けられている。もちろん、各水平回転するドラムは周面にワイヤーの巻掛け案内溝が複数条所定のピッチで設けてある。そして、前記ドラムを支持軸で吊下げて昇降可能に支持する昇降フレーム、この昇降フレームを案内支持する支持フレームも前述の複合メッキ槽に付属するものと同様に構成されている。
【００２７】  このように構成される本実施形態のメッキ装置では、周面に錫メッキによるベース層を施された芯線（ワイヤー１）を、まずメッキの処理工程の各保持手段（主に、各回転ドラム及び中間位置に配置されたテンションローラやガイドローラなど）に所定の順序で巻き掛けてワイヤーの繰り出し部から巻き取り部（巻取りリール９）まで誘導する部分を掛け渡し、緊張状態に保って作業準備を整える。この準備過程においては、各処理槽に配設されている回転ドラムを、すべて槽内から上方位置に引き上げた状態で前記準備が行われる。したがって、各所の回転ドラムを支持する昇降フレームは、一斉に昇降操作できるようにしておくことが好ましい。必要ならば、手動での昇降を行うことも可能である。
【００２８】  前記準備工程でメッキ処理ラインに沿って緊張されたワイヤー１を作業可能な状態となるように各所の回転ドラムを所定位置まで下降させて加工開始状態とする。準備が整いメッキ処理開始となると、ベース層を施されたワイヤー１が前処理工程を経て前処理メッキ槽５に送られる。すると、当該前処理メッキ槽５の前後に付設されている補助槽５ａ，５ａ位置で配置されている一対の水平回転するドラム間で巻き掛けられたワイヤー１は、回転ドラム巻き掛け部以外の中間部が前処理メッキ槽５内でメッキ液中に浸たされた状態で所定回数巡回移動することになる。
【００２９】  前処理メッキ槽５内に位置するワイヤー１は、巻取り側リール９の巻取り回転によって強制的に移動するので、進行方向に前後一対配された回転ドラム間をらせん状に設けられた案内溝２１に沿って順次移動する。したがって、回転ドラム２０周面に形成されている案内溝２１の数相当で循環して前処理メッキ槽５から次の工程に移行する。この前処理メッキ槽５内を両回転ドラム間に巻掛けられて移動する間メッキ液に接触することで、その間に電解メッキされてワイヤー表面にニッケル被膜層（下地層）が形成される。なお、ワイヤー１の走行に要する動力は、巻取り側リール９以外にメッキラインの中間位置で補助的に同調して駆動するようにしてもよい。
【００３０】  ニッケル下地層が形成されたワイヤー１は、次の工程で複合メッキ槽１０に移行して砥粒の付着操作がなされる。この複合メッキ槽１０では、前工程から送られたワイヤー１が槽本体１１の前後に付設される補助槽１６，１６内に配される一対の回転ドラム２０，２０の周面案内溝２１に沿って複数回巻掛けられているので、例えば回転ドラム２０の最上段の案内溝２１から一回転するごとに下側の案内溝２１に移動し、両回転ドラム２０，２０間を巻掛けられて巡回する程に次第に下方に移動する。この両回転ドラム２０，２０間の巻掛けにより巻掛け数だけ槽本体１１内の液中を移動する。したがって、最終段に到達すると下流側（移動方向）の回転ドラム２０を離れて次の仕上げメッキ槽７へ移行する。
【００３１】  このように、複合メッキ槽１０においては、ワイヤー１が槽本体１１を挟んで前後位置にある両回転ドラム２０，２０に巻き掛けられて、その回転ドラム２０，２０を離れた区間がメッキ液中に浸漬された状態で繰り返し移動する間実質的にニッケルメッキがなされる。したがって、複合メッキ槽１０自体の処理区間は短いが、ワイヤー１はその処理区間を巻き掛け数に応じた回数繰り返しメッキ液と接して処理されることになる。その結果、複合メッキ槽１０でワイヤー１へのメッキ処理時間が長くなり、有効に処理できるのである。
【００３２】  しかも、この複合メッキ槽１０でのワイヤー１に対する砥粒の付着については、槽本体１１が下層面よりも上層面が広い形状（舟形断面形状）にされて、しかもその槽内底部に噴流管１７が配置され、その噴流管１７の斜め下向き位置には複数の噴出孔１７′が並列して設けてあるから、ポンプ４１によって貯槽４０から圧送されるメッキ液が噴流管１７の両脇から上方に噴出される。そのためメッキ液中に混在する砥粒は、前記噴流管１７によって噴出される液の攪拌作用によって積極的に浮遊し、メッキ液中を移動するワイヤー１の近辺で局所に集中せず全般的に浮遊密度が高められることから、ワイヤー１周面に形成されつつあるニッケル層に吸着し、砥粒が分布密度を高めてほぼ均等にワイヤー周面に付着することになる。
【００３３】  このワイヤー１に対する砥粒の付着操作に際し、メッキ槽本体１１内の液中を移動するワイヤー１は、回転ドラム２０に巻かれるために一旦メッキ液槽外に移行するとき、仕切板１３から補助槽１６の連結板１２までの間に設けられた液切り構造の空間部１５においてメッキ液中から脱出して補助槽１６内に位置する回転ドラム２０に巻かれるようにされているので、メッキ液がメッキ液槽から持ち出されることはごく少なく、仕切板１３に設けた切欠き１４を通じて僅かに漏れ出した液はその空間部１５で受け止められて戻り配管４３′により貯槽４０に戻される。したがって、回転ドラム２０にも直接的にメッキ液が付着せず、またスパーク防止の水が回転ドラム２０に掛けられて安全性が保たれる。またスパーク防止の水はそのまま補助槽１６から外部へ排除され、支障をきたすこともない。
【００３４】  こうして複合メッキ槽１０にて砥粒を固着されたワイヤー１は、隣接する下流側の仕上げメッキ槽７において砥粒を含むワイヤー周面に薄いニッケル被膜層を形成され、以後、付着しているメッキ液を水洗する工程と乾燥工程からなる最後の処理過程８を得て巻取りリール９に巻取られ製品とされる。なお、前記仕上げメッキ槽７は、前記複合メッキ槽１０とほぼ同様の構造にされ、メッキ液が外部に漏れ出すのを防止し、また、ワイヤー１を巡らせる回転ドラムもメッキ液と直接接することなく作動するように構成される。
【００３５】  以上の説明において、各処理用のメッキ槽と補助槽および配管部分、回転ドラムなどは耐食性の材料によって構成されていることは言うまでもない。また、メッキ槽はワイヤーの移動方向に長さを短くして効果的にメッキ処理ができ、メッキ槽本体を小型化することによってメッキ液の容量も少なくなり、より経済的である。
【００３６】  また、前記実施形態の説明においては、メッキラインで１条のワイヤーを加工するものについて記載したが、ワイヤーを２条並列して処理するようにすれば、装置が小さくまとめられ、効率よく実施できる。この場合、メッキ槽本体の構造を二列並べるようにし、各列に水平回転する一対の回転ドラムを、前記ドラム支持装置における昇降フレームに突設のアームにて並列で支持できるようにして配置すればよい。
【符号の説明】
【００３７】１          ワイヤー
５          前処理メッキ槽
７          仕上げメッキ槽
９          巻取りリール
１０        複合メッキ槽
１１        槽本体
１２        連結板
１３        仕切板
１４，１４′    ワイヤー通過用の切込み
１５        空間部
１６        補助槽
１７        噴流管
２０        回転ドラム
２１        案内溝
３０        ドラム支持装置
３１        支持フレーム
３２        昇降フレーム
３３        アーム
４０        貯槽
【要約】      （修正有）【課題】ワイヤーの表層面に対する砥粒の固着密度の均一化を容易にし、かつメッキ設備を無理なく小型化して設備費の低減並びに作業の効率化を向上させるメッキ槽の提供。【解決手段】槽本体１１は上層面よりも下層面部の面積が狭小で所定長さに形成し、長手方向の前後には液切り構造を介して補助槽１６が付設されており、槽本体１１の内下部に沿って噴流管１７が配置され、外部設置の貯槽からメッキ液をポンプにより送液配管を通じて噴流管１７から槽本体１１内に噴流させるようにし、オーバーフローされたメッキ液は前記貯槽に還流させる構成とした。槽本体１１の前後に配した補助槽１６内にそれぞれ水平回転するドラム２０を配して、槽本体１１内で処理されるワイヤー１が液中で滞留時間を長められるように両ドラム２０間で複数回巻掛けられ移動できるようにし、ドラム２０が支持軸２２で昇降可能に吊下げ設置されているメッキ槽。【選択図】図２【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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