(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電チップを備え、該放電チップを供試機器に接触させて生じる静電気放電に対する前記供試機器の耐性を試験するための静電気放電試験装置であって、
前記放電チップは、
導電性を有し、前記供試機器と接触する先端電極部と、
静電気放電を発生させる際に電圧が印加される電圧印加部と、
導電性を有し、前記電圧印加部の被接合部分に接合している接合部と、
絶縁性を有し、前記先端電極部及び前記接合部の双方の間にギャップを設けた状態で前記双方を保持する保持部と、を有し、
前記ギャップは、大気と連通していることを特徴とする静電気放電試験装置。
【請求項２】
前記保持部の先端部に前記先端電極部が取り付けられ、
前記保持部に設けられた挿入穴に前記接合部が挿入され、
前記保持部の先端部に取り付けられた前記先端電極部の後端と、前記挿入穴に挿入された前記接合部の先端と、の間に前記ギャップが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の静電気放電試験装置。
【請求項３】
前記保持部には、前記ギャップを通過する貫通穴が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の静電気放電試験装置。
【請求項４】
前記保持部の先端部は、先端に近付くほど縮径しているテーパ形状をなしており、
前記先端電極部のうち、前記供試機器との当接部は、円錐形状をなし、
前記供試機器との当接部中、先端部分の角度が鋭角であることを特徴とする請求項２又は３に記載の静電気放電試験装置。
【請求項５】
前記接合部は、変位可能な状態で前記保持部に保持されており、
前記ギャップの大きさは、前記接合部を変位させることで調整されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の静電気放電試験装置。
【請求項６】
前記保持部には前記接合部が挿入される挿入穴が形成され、
前記接合部は、回転することにより、回転量に応じた距離だけ前記先端電極部に対して近接又は離間するように前記挿入穴内を移動することを特徴とする請求項５に記載の静電気放電試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電気放電試験装置に係り、特に、放電チップを供試機器に接触させて生じる静電気放電に対する供試機器の耐性を試験するための静電気放電試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電気放電（Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ：以下、ＥＳＤという）に対する電子機器の耐性試験、すなわち、ＥＳＤ試験は既に知られている。また、ＥＳＤ試験用の装置（静電気放電試験装置）の構成も既に知られている。なお、ＥＳＤ試験装置の構成としては、特許文献１に示すように、先端部に放電チップが組み付けられた放電ガンを備えているものが一般的である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１８５８３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ＥＳＤ試験には２種類の方法があり、一つは、供試機器（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ：以下、ＥＵＴという）と放電チップとを直接接触させてＥＳＤを起こす接触放電方式である。もう一つは、帯電した放電チップをＥＵＴに近付けて当該放電チップとＥＵＴとの距離が所定距離（具体的には、放電チップの印加電圧に依存する距離であって、空気中で絶縁破壊が起きる距離）に達することにより放電させる気中放電方式である。これら２つの試験方式は、国際電気標準会議（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｃｏｍｍｉｓｉｏｎ）の規格ＩＥＣ６１０００−４−２で規定されている。ただし、試験再現性の見地から接触放電方式が主に適用される。
【０００５】
また、接触放電方式によるＥＳＤ試験において、塗装や酸化被膜によってＥＵＴ（厳密には、ＥＵＴが有する筐体中の金属部分）に放電チップが確実に接してなく放電チップとＥＵＴとの間に微小ギャップが形成された状態のまま、意図せずＥＳＤが起こる場合がある。このように微小ギャップを伴う接触放電方式（以下、微小ギャップ放電方式）では、正規の接触放電方式及び気中放電方式のいずれとも異なるＥＳＤ現象が起こることになる。
【０００６】
ところで、試験条件の観点から言うと、接触放電方式よりも微小ギャップ放電方式の方がより厳しくなる。具体的に説明すると、図４に示すように、静電気放電によって生じる放電電流の大きさ（厳密には、ピーク時の電流の大きさ）を比べると、接触放電による放電電流よりも微小ギャップ放電による放電電流の方がより大きくなる。図４は、静電気放電によって生じる放電電流の波形を示す図であり、図中、接触放電による放電電流の波形を破線にて示し、微小ギャップ放電による放電電流の波形を実線にて示す。なお、微小ギャップ放電による放電電流の波形のうち、空隙のサイズが３０μｍであるときの波形を細実線にて、空隙のサイズが５０μであるときの波形を太実線にて示している。
【０００７】
また、図４を見て分かるように、微小ギャップ放電では、放電電流の波形においてピークが発現するタイミング（各波形の立ち上がり時間）が、接触放電よりも早くなる。換言すると、微小ギャップ放電による放電電流は、接触放電による放電電流に比して、より高周波な成分を有することになる。
【０００８】
以上のように気中放電方式では接触放電方式に比較して試験条件がより厳しくなる。また、自然界で確認されるＥＳＤは気中放電であるが、接触放電させる際にネジなどの金属部分に印加された電圧が筐体内の微小なギャップにおいて上記の微小ギャップ放電を二次的に発生される場合がある。これらの事情を考慮すると、ＥＳＤ試験において多様な状態での耐性を試験する観点では、微小ギャップ放電方式を含めることが望ましいと言える。
【０００９】
しかしながら、ＥＵＴと放電チップとの間の空隙を所定の大きさとなるように調整することは一般的に困難である。このため、微小ギャップ放電方式を採用してＥＳＤ試験を行う場合には、上記の空隙の大きさを正確に調整し、試験再現性を向上させることが必要となる。
【００１０】
そこで、本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、気中放電方式を採用したときの試験再現性を向上させることが可能な静電気放電試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題は、本発明の静電気放電試験装置によれば、放電チップを備え、該放電チップを供試機器に接触させて生じる静電気放電に対する前記供試機器の耐性を試験するための静電気放電試験装置であって、前記放電チップは、（Ａ）導電性を有し、前記供試機器と接触する先端電極部と、（Ｂ）静電気放電を発生させる際に電圧が印加される電圧印加部と、（Ｃ）導電性を有し、前記電圧印加部の被接合部分に接合している接合部と、（Ｄ）絶縁性を有し、前記先端電極部及び前記接合部の双方の間にギャップを設けた状態で前記双方を保持する保持部と、を有し、前記ギャップは、大気と連通していることにより解決される。
【００１２】
上記のように構成された本発明の静電気放電試験装置では、保持部によって保持された先端電極部及び接合部の双方の間にギャップが設けている。したがって、放電チップを供試機器に接触させているものの、上記のギャップが設けられているので、静電気放電として微小ギャップ放電が生じることになる。また、先端電極部及び接合部は、その間に所定の大きさとなったギャップが形成された状態で保持部に保持されている。このように先端電極部及び接合部の間に所定の大きさのギャップが予め形成されているので、試験時には、放電チップを供試機器に接触させればよく、放電チップと供試機器との間にギャップ（空隙）を設ける手間を要しない。また、ギャップが大気と連通しているため、静電気放電によってギャップ内にイオンが発生したとしても直ちに換気されるようになり、当該イオンが試験結果に及ぼす影響を回避することが可能となる。
以上までに説明してきた作用により、本発明の静電気放電試験装置によれば、微小ギャップ放電方式による静電気放電試験を高い再現性にて実施することが可能となる。
【００１３】
また、上記の静電気放電試験装置において、前記保持部の先端部に前記先端電極部が取り付けられ、前記保持部に設けられた挿入穴に前記接合部が挿入され、前記保持部の先端部に取り付けられた前記先端電極部の後端と、前記挿入穴に挿入された前記接合部の先端と、の間に前記ギャップが設けられているとよい。
上記の構成によれば、保持部の先端部に取り付けられた先端電極部の後端と、保持部の挿入穴に挿入された接合部の先端との間のスペースを利用してギャップを効率よく設けることが可能となる。
【００１４】
また、上記の静電気放電試験装置において、前記保持部には、前記ギャップを通過する貫通穴が形成されていると更によい。
上記の構成によれば、上記の貫通穴が通気口として機能するので、ギャップ内の空気が貫通穴を通じて良好に換気されるようになる。
【００１５】
また、上記の静電気放電試験装置において、前記保持部の先端部は、先端に近付くほど縮径しているテーパ形状をなしており、前記先端電極部のうち、前記供試機器との当接部は、円錐形状をなし、前記供試機器との当接部中、先端部分の角度が鋭角であると尚よい。
上記の構成では、先端電極部のうち、供試機器との当接部が円錐形状をなし、その先端部分の角度が鋭角となっている。このような形状の先端電極部であれば、そのサイズを極力小さくすることが可能となる。
【００１６】
また、上記の静電気放電試験装置において、前記接合部は、変位可能な状態で前記保持部に保持されており、前記ギャップの大きさは、前記接合部を変位させることで調整されると尚一層よい。
上記の構成では、ギャップの大きさが可変となるので、様々なサイズのギャップにて静電気放電試験を行うことが可能となり、静電気放電試験装置としての汎用性が向上することとなる。
【００１７】
また、上記の静電気放電試験装置において、前記保持部には前記接合部が挿入される挿入穴が形成され、前記接合部は、回転することにより、回転量に応じた距離だけ前記先端電極部に対して近接又は離間するように前記挿入穴内を移動すると益々よい。
上記の構成では、接合部が回転させることで回転量に応じた距離だけ先端電極部に対して近接又は離間するように挿入穴内を移動する。これにより、ギャップの大きさをより容易に調整（変更）することが可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の静電気放電試験装置では、保持部によって保持された先端電極部及び接合部の双方の間にギャップを設けている。これにより、微小ギャップ放電方式による静電気放電試験を行う際に放電チップを供試機器に接触させればよく、放電チップと供試機器との間でギャップ（空隙）の確保及び調整を行う必要がない。また、ギャップが大気と連通しているため、静電気放電によってギャップ内にイオンが発生したとしても直ちに換気され、当該イオンが試験結果に及ぼす影響を受け難くなる。以上の結果、微小ギャップ放電方式による静電気放電試験を高い再現性にて実施することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る静電気放電試験装置の外観を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る静電気放電試験装置の電気回路の簡略図である。
【図３】本実施形態の一実施形態に係る放電チップの構成を示す模式図である。
【図４】静電気放電によって生じる放電電流の波形を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施形態に係る静電気放電試験装置（以下、ＥＳＤ試験装置１）について図１乃至３を参照しながら説明する。図１は、ＥＳＤ試験装置１の外観を示す図であり、図２は、ＥＳＤ試験装置１の電気回路の簡略図であり、ＥＳＤ試験装置１が備える放電チップ１０の構成を示す模式図である。図３は、ＥＳＤ試験装置１が有する放電チップ１０の構成を示す模式図である。図３について言及しておくと、図示の都合上、放電チップ１０の所定部位（例えば、後述のギャップ１６）の大きさについては、実際の大きさよりも幾分大きく図示している。
【００２１】
なお、以下に説明する実施形態は、本発明の理解を容易にするための一例に過ぎず、本発明を限定するものではない。すなわち、本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。
【００２２】
ＥＳＤ試験装置１は、放電チップ１０を備え、微小ギャップ放電による静電気放電に対する供試機器（以下、ＥＵＴ９）の耐性を試験するためのものである。ＥＳＤ試験装置１の構成については、放電チップ１０を除き、公知のＥＳＤ試験装置と同様である。ＥＳＤ試験装置１の構成について概説すると、ＥＳＤ試験装置１は、図１に図示したように、静電気発生器としての放電ガン２と、高電圧電源３と、放電ガン２及び高電源電圧３の間を繋ぐ高圧ケーブル４と、を備えている。
【００２３】
放電ガン２は、放電チップ１０を備えており、また、グランドケーブル２ａを介してグランドに接地されている。そして、試験者は、ＥＳＤ試験の際に放電ガン２を握って放電チップ１０の先端がＥＵＴ９と接触する位置まで移動させる。また、放電ガン２は、その内部にＥＳＤ発生用の電気回路を備えている。かかる電気回路について図２を参照しながら説明すると、コンデンサ５と、充電抵抗６と、放電抵抗７と、リレースイッチ８とが組み込まれている。リレースイッチ８は、コンデンサ５の充電／放電を切り替えるためのものであり、充電時には図２中の接点ｃがオンとなり、放電時には図２中の接点ｄがオンとなる。
【００２４】
コンデンサ５の充電時には、コンデンサ５の＋側端子と高電圧電源３の陽極とが通電状態となり、その間に配置された充電抵抗６を経由して電荷がコンデンサ５に蓄えられ、充電完了時点でコンデンサ５の端子間には所定の大きさの電圧が印加されるようになる。一方、コンデンサ５の放電時には、コンデンサ５の＋側端子と放電ガン２の放電チップ１０（より具体的には、後述の電圧印加部１２）とが通電状態となり、その間に配置された放電抵抗７を経由して電荷が放電チップ１０に移動するようになる。これにより、コンデンサ５に印加された電圧に相当する大きさの電圧が放電チップ１０に印加されるようになる。
【００２５】
以上に説明したコンデンサ５の充電／放電の切り替え、すなわち、リレースイッチ８における接点の切り替えは、放電ガン２に設けられたトリガー２ｂを操作することで行われる。そして、コンデンサ５の充電完了後、放電チップ１０の先端をＥＵＴ９に接触させた状態でトリガー２ｂをオンすると、ＥＳＤが発生するようになる。つまり、本実施形態に係るＥＳＤ試験は、接触放電の如く放電チップ１０をＥＵＴ９に接触させた状態で行われることになる。なお、本実施形態に係るＥＳＤ試験では、放電チップ１０をＥＵＴ９に接触させた状態でトリガー２ｂのオンオフ（換言すると、リレースイッチ８の接点ｃ、ｄの切換）を繰り返す。
【００２６】
ところで、本実施形態においてＥＳＤを発生させると、放電チップ１０の先端をＥＵＴ９に接触させているものの、接触放電ではなく微小ギャップ放電が発生する。すなわち、ＥＳＤ試験装置１を上述した手順にて操作すると、絶縁破壊によりスパークが発生し、ＥＵＴ９に放電電流が流れるようになる。そして、本実施形態に係る放電チップ１０は、その内部で上記の絶縁破壊が起こるように構成されている。かかる点が本実施形態の特徴であり、以下、図３を参照しながら詳しく説明する。
【００２７】
本実施形態に係る放電チップ１０は、図３に図示するように、先端部が尖った外形形状をなしている。ただし、これに限定されるものではなく、先端部が丸みを有していることとしてもよく、あるいは、先端が平坦面であってもよい。また、放電チップ１０は、放電ガン２の本体部分（放電ガン２のうち、放電チップ１０を除いた部分）に対して着脱自在に取り付けられる。
【００２８】
具体的に説明すると、放電ガン２の本体部分のうち、放電チップ１０が取り付けられる部分には不図示の突起部が設けられている。一方、放電チップ１０の基端部（放電ガン２の本体部分に取り付けられる側の端部）には、図３に示すように、上記突起を嵌め込むための嵌め込み穴１２ｃが形成されている。そして、放電ガン２の本体部分の突起部を上記の嵌め込み穴１２ｃに嵌め込むことにより、放電チップ１０が放電ガン２の本体部分に装着される。
【００２９】
本実施形態に係る放電チップ１０は、複数の部品、具体的には先端電極部１１、電圧印加部１２、接合部１３及び保持部１４を組み合わせることで構成されている。先端電極部１１は、放電チップ１０の先端部をなしており、導電性を有する部材、具体的には金属からなる。この先端電極部１１は、図３に示すように、ＥＳＤ試験の実施に際してＥＵＴ９と当接する当接部１１ａと、当接部１１ａの後端面から突出した舌状の突出部１１ｂと、を有する。
【００３０】
当接部１１ａは、円錐形状をなしており、その先端部分の角度（先端部分を側方から見たときの角度）が鋭角となっている。本実施形態では、このような形状を適用することで当接部１１ａのサイズを極力小さくすることとしている。これは、当接部１１ａのサイズが大きくなると、ＥＳＤに対する浮遊容量の影響を受け易くなってしまうためである。かかる意味で、先端部分の角度が鋭角となるように当接部１１ａの形状を設計することは、ＥＳＤ試験装置の性能上、好適であると言える。ちなみに、当接部１１ａの形状は、先端部分の角度が鋭角となっていればよく、円錐形状以外の形状（例えば、角錐形状）であってもよい。ただし、当接部１１ａの先端形状については、錐状に限定されるものではなく、例えば丸みを有する形状（具体的には半球形状）であってもよい。
【００３１】
突出部１１ｂは、後述する保持部１４の先端に形成された差し込み穴（不図示）に差し込まれて圧入されている。このように突出部１１ｂが保持部１４の差し込み穴に圧入されることで、先端電極部１１が保持部１４に取り付けられるようになる。
【００３２】
電圧印加部１２は、放電チップ１０の基端部をなしており、導電性を有する部材、具体的には金属からなる。この電圧印加部１２は、同軸上に並んでいる互いに径が異なる２つの部分、すなわち大径部１２ａ及び小径部１２ｂからなる。大径部１２ａは、電圧印加部１２においてより後方に位置し、その径方向中央部分には前述の嵌め込み穴１２ｃが形成されている。すなわち、放電チップ１０のうち、電圧印加部１２の大径部１２ａが放電ガン２の本体部分に取り付けられることになる。そして、放電ガン２の本体部分に電圧印加部１２が取り付けられた状態でコンデンサ５が放電すると、電圧印加部１２に所定電圧（すなわち、ＥＳＤ発生用の電圧）が印加されるようになる。
【００３３】
小径部１２ｂは、電圧印加部１２においてより前方に位置している。また、電圧印加部１２には、嵌め込み穴１２ｃと連続するように延出した挿入穴１２ｄが形成されている。この挿入穴１２ｄは、電圧印加部１２の中心軸方向に沿って延出して小径部１２ｂの先端位置まで達しており、その内部には接合部１３が挿入されている。また、大径部１２ａには挿入穴１２ｄと交差するように形成された止めネジ用穴１２ｅが設けられている。この止めネジ用穴１２ｅには、挿入穴１２ｄに挿入された接合部１３の位置を固定して接合部１３の回転を抑制するための止めネジ１５が挿入されている。なお、止めネジ１５に代えて不図示のボールプランジャを用い、当該ボールプランジャ（厳密にはバネ部）が付与する予圧によって接合部１３の位置を固定し接合部１３の回転を抑制してもよい。
【００３４】
接合部１３は、導電性を有する部材、具体的には金属からなり、電圧印加部１２の所定部分に接合している。この接合部１３は、先端部が尖った棒状の部材であり、その外表面には略全域に亘ってネジ山１３ａが一定ピッチで形成されている。
【００３５】
保持部１４は、先端電極部１１と電圧印加部１２との間に挟まれた位置にあり、絶縁性を有する部材、具体的には絶縁樹脂からなる。ただし、材質については樹脂に限定されるものではなく、セラミックによって構成されていることとしてもよい。保持部１４の形状に説明すると、保持部１４の先端部１４ａは、先端に近付くほど縮径しているテーパ形状をなしている。一方、保持部１４の後端部１４ｂは、円柱形状となっている。
【００３６】
そして、保持部１４は、先端電極部１１、電圧印加部１２及び接合部１３を保持する。具体的に説明すると、保持部１４の先端部１４ａには先端電極部１１が取り付けられており、厳密には先端部１４ａに設けられた差し込み穴に先端電極部１１の突出部１１ｂが圧入されている。一方、保持部１４の後端部１４ｂのうちの径方向中央部分には、電圧印加部１２の小径部１２ｂと同じ形状の嵌合穴１４ｄが形成されている。この嵌合穴１４ｄに電圧印加部１２の小径部１２ｂが嵌合（圧入）されることで、電圧印加部１２が保持部１４に取り付けられている。
【００３７】
また、保持部１４には、嵌合穴１４ｄと連続するように延出した挿入穴１４ｃが形成されている。この挿入穴１４ｃは、電圧印加部１２の小径部１２ｂが嵌合穴１４ｄに嵌合された状態では、電圧印加部１２に形成された挿入穴１２ｄと連通している。そして、連通している２つの挿入穴１４ｃ、１２ｄに接合部１３が挿入されることにより、保持部１４が接合部１３を保持するようになる。
【００３８】
なお、電圧印加部１２に形成された挿入穴１２ｄのうち、小径部１２ｂ内に位置する部分の内周面にはネジ山１２ｆが形成されている。そして、挿入穴１２ｄに接合部１３が挿入されている状態では、挿入穴１２ｄの内周面に形成されたネジ山１２ｆと、接合部１３の外周面に形成されたネジ山１３ａとが噛み合っている。これにより、接合部１３は、電圧印加部１２と接合するようになる。換言すると、電圧印加部１２において挿入穴１２ｄの内周面に形成されたネジ山１２ｆは、被接合部分に相当する。
【００３９】
そして、電圧印加部１２にＥＳＤ発生用の電圧が印加されると、電圧印加部１２に接合した接合部１３にも同一の電圧が印加されるようになる。
【００４０】
一方、保持部１４が先端電極部１１、電圧印加部１２及び接合部１３を保持した状態において、接合部１３の先端は、図３に示すように、先端電極部１１の後端（具体的には突出部１１ｂの端）よりも僅かに後方に位置している。すなわち、本実施形態において、保持部１４は、先端電極部１１の後端と接合部１３の先端との間にギャップ１６を設けた状態で、先端電極部１１及び接合部１３の双方を保持している。一方、上記のギャップ１６は大気と連通している。具体的に説明すると、保持部１４の先端部１４ａには、ギャップ１６を通過する貫通穴１４ｅが形成されている。
【００４１】
以上のように本実施形態では先端電極部１１と接合部１３との間にギャップ１６が形成されている。そして、放電チップ１０をＥＵＴ９に接触させた状態でコンデンサ５の蓄電電荷を放電すると、接触放電ではなく、微小ギャップ放電によるＥＳＤが発生することになる。
【００４２】
さらに、本実施形態では、微小ギャップ放電方式によるＥＳＤ試験についての再現性を向上させることが可能である。具体的に説明すると、放電チップ１０において保持部１４によって先端電極部１１及び接合部１３の双方が保持されることで、当該双方の間には所定の大きさのギャップ１６が形成されるようになる。このように先端電極部１１及び接合部１３の間に所定の大きさのギャップ１６が予め形成されていれば、ＥＳＤ試験時には放電チップ１０の先端をＥＵＴ９に接触させればよく、放電チップ１０とＥＵＴ９との間に空隙を設けて更に当該空隙の大きさを調整する手間を要さない。つまり、本実施形態に係るＥＳＤ試験装置１であれば、同じ試験条件にてＥＳＤ試験を複数回繰り返す場合、ギャップ１６を保持しておけば再現よくＥＳＤ試験を行うことが可能である。
【００４３】
また、ギャップ１６が大気と連通しているため、ＥＳＤによってギャップ１６内にイオンが発生したとしても直ちに換気されるので、当該イオンが試験結果に及ぼす影響を回避することが可能となる。なお、ギャップ１６を大気と連通させるために形成された貫通穴１４ｅは、ギャップ１６内を視認するための穴としても機能する。
【００４４】
以上までに説明してきた作用により、ＥＳＤ試験装置１によれば、微小ギャップ放電方式によるＥＳＤ試験を高い再現性にて実施することが可能となる。
【００４５】
また、本実施形態において、接合部１３は、変位可能な状態で保持部１４に保持されている。そして、ギャップ１６の大きさは、接合部１３を変位させることで調整される。具体的に説明すると、接合部１３は、保持部１４に形成された挿入穴１４ｃ、及び、電圧印加部１２に形成された挿入穴１２ｄに挿入されている。また、接合部１３の外表面に形成されているネジ山１３ａは、挿入穴１２ｄのうち、電圧印加部１２の小径部１２ｂ内に位置する範囲において、挿入穴１２ｄの内周面に形成されたネジ山１２ｆと噛み合っている。かかる状態で接合部１３をその中心軸周りに回転させると、その回転量に応じた距離だけ先端電極部１１に対して近接又は離間するように接合部１３が挿入穴１２ｄ、１４ｃ内を移動するようになる。
【００４６】
以上のようにギャップ１６の大きさが可変となっていることで、様々なサイズのギャップ１６にてＥＳＤ試験を行うことが可能となる。この結果、ＥＳＤ試験装置１の汎用性が向上することとなる。また、本実施形態では、接合部１３を回転させるだけでギャップ１６の大きさが変えられるので、ギャップ１６の大きさをより容易に調整することが可能である。なお、接合部１３を回転させてギャップ１６の大きさを変えられる構成としては、接合部１３の回転量と変位量（中心軸方向における移動量）との対応関係が分かる構成、例えば、マイクロメータ等のように回転に伴う変位量を精度よく特定することが可能な構成を採用するのが望ましい。
【００４７】
なお、本実施形態では、ギャップ１６の調整範囲が５０μｍ〜５００μｍとなっている。ただし、調整範囲については上記の範囲に限定されるものではない。また、ギャップ１６の大きさを調整する機構については、上記の構成に限定されるものではなく、適宜ギャップ１６の大きさを変更することが可能なものである限り、他の構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１  ＥＳＤ試験装置（静電気放電試験装置）
２  放電ガン
２ａ  グランドケーブル
２ｂ  トリガー
３  高電圧電源
４  高圧ケーブル
５  コンデンサ
６  充電抵抗
７  放電抵抗
８  リレースイッチ
９  ＥＵＴ（供試機器）
１０  放電チップ
１１  先端電極部
１１ａ  当接部
１１ｂ  突出部
１２  電圧印加部
１２ａ  大径部
１２ｂ  小径部
１２ｃ  嵌め込み穴
１２ｄ  挿入穴
１２ｅ  止めネジ用穴
１２ｆ  ネジ山
１３  接合部
１３ａ  ネジ山
１４  保持部
１４ａ  先端部
１４ｂ  後端部
１４ｃ  挿入穴
１４ｄ  嵌合穴
１４ｅ  貫通穴
１５  止めネジ
１６  ギャップ
【図１】
0005918828.tif 000002
【図２】
0005918828.tif 000003
【図３】
0005918828.tif 000004
【図４】
0005918828.tif 000005