(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換部と、
前記光電変換部の主面上に設けられた集電極と、を備え、
前記集電極は、
複数のバスバー電極と、
前記複数のバスバー電極の一部と接続されたフィンガー電極と、を含み、
前記フィンガー電極は、
前記複数のバスバー電極の一部と接続され、前記複数のバスバー電極の一部から離れるにしたがって幅が狭くなるように延びる第１フィンガー部と、
前記複数のバスバー電極と離れた位置において前記第１フィンガー部の先端と接続され、前記第１フィンガー部の先端よりも幅が広い第２フィンガー部と、
を含み、
前記複数のバスバー電極は、
第１バスバー電極と、
前記第１バスバー電極と異なる位置において、前記第１バスバー電極と並列に並ぶように配置された第２バスバー電極と、を含み、
前記第２フィンガー部は、前記第１バスバー電極と前記第２バスバー電極との間に配置される、太陽電池。
【請求項２】
請求項１に記載の太陽電池において、
前記第２フィンガー部は、
前記複数のバスバー電極の一部よりも前記光電変換部の主面の端辺に近い位置に配置される、太陽電池。
【請求項３】
光電変換部を用意し、
前記光電変換部の主面上に導電性ペーストを印刷してバスバー電極を形成し、
前記バスバー電極から離れる方向に導電性ペーストを継続して印刷し、前記バスバー電極と接続されるとともに前記バスバー電極から離れるにしたがって幅が狭くなる第１フィンガー部を形成し、
前記バスバー電極及び前記第１フィンガー部の先端から離れる方向に導電性ペーストを継続して印刷し、前記第１フィンガー部の先端と接続されるとともに前記第１フィンガーよりも幅の広い第２フィンガー部を形成し、
第１バスバー電極と第２バスバー電極とを含む、複数の前記バスバー電極を形成し、
前記第１バスバー電極と異なる位置において、前記第１バスバー電極と並列に並ぶように第２バスバー電極を形成し、
前記第１バスバー電極と前記第２バスバー電極との間に前記導電性ペーストを継続して印刷して前記第２フィンガー部を形成する、太陽電池の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の太陽電池の製造方法において、
前記バスバー電極の一部よりも前記光電変換部の主面の端辺に近い位置に前記導電性ペーストを継続して印刷して前記第２フィンガー部を形成する、太陽電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、太陽電池及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  特許文献１には、基板上に設けられたバスバー電極と、バスバー電極に設けられたくし型電極と、を備える太陽電池が開示されている。くし型電極は、第一端と第二端を有している。第一端は、くし型電極のうちバスバー電極と連結している部分である。第二端は、くし型電極のうち、バスバー電極から最も離れた部分である。くし型電極は、第一端から第二端に向けて単調に幅が狭くなるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実用新案登録第３１５４１４５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  特許文献１に記載された太陽電池では、くし型電極の第二端の狭い幅に起因して、太陽電池の出力が低下しうる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る太陽電池は、光電変換部と、光電変換部の主面上に設けられた集電極と、を備え、集電極は、複数のバスバー電極と、複数のバスバー電極の一部と接続されたフィンガー電極と、を含み、フィンガー電極は、複数のバスバー電極の一部と接続され、複数のバスバー電極の一部から離れるにしたがって幅が狭くなるように延びる第１フィンガー部と、複数のバスバー電極と離れた位置において第１フィンガー部の先端と接続され、第１フィンガー部の先端よりも幅が広い第２フィンガー部と、を含み、複数のバスバー電極は、第１バスバー電極と、第１バスバー電極と異なる位置において、第１バスバー電極と並列に並ぶように配置された第２バスバー電極と、を含み、第２フィンガー部は、第１バスバー電極と第２バスバー電極との間に配置される。
【０００６】
本発明に係る太陽電池の製造方法は、光電変換部を用意し、光電変換部の主面上に導電性ペーストを印刷してバスバー電極を形成し、バスバー電極から離れる方向に導電性ペーストを継続して印刷し、バスバー電極と接続されるとともにバスバー電極から離れるにしたがって幅が狭くなる第１フィンガー部を形成し、バスバー電極及び第１フィンガー部の先端から離れる方向に導電性ペーストを継続して印刷し、第１フィンガー部の先端と接続されるとともに第１フィンガーよりも幅の広い第２フィンガー部を形成し、第１バスバー電極と第２バスバー電極とを含む、複数のバスバー電極を形成し、第１バスバー電極と異なる位置において、第１バスバー電極と並列に並ぶように第２バスバー電極を形成し、第１バスバー電極と第２バスバー電極との間に導電性ペーストを継続して印刷して第２フィンガー部を形成する。
【発明の効果】
【０００７】  本発明によれば、太陽電池の出力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態に係る太陽電池の受光面側の平面図である。
【図２】実施形態に係る太陽電池の裏面側の平面図である。
【図３】図１及び図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】実施形態に係る太陽電池の製造方法の手順を示すフローチャートである。
【図５】実施形態に係る太陽電池の製造方法において、バスバー電極及びフィンガー電極の形成方法の手順を示すフローチャートである。
【図６】実施形態に係る太陽電池の製造方法において、導電性ペーストの印刷方向を示す図である。
【図７】実施形態に係る太陽電池の第１変形例の受光面側の平面図である。
【図８】実施形態に係る太陽電池の第２変形例の受光面側の平面図である。
【図９】実施形態に係る太陽電池の第３変形例の受光面側の平面図である。
【図１０】実施形態に係る太陽電池の第４変形例の受光面側の平面図である。
【図１１】実施形態に係る太陽電池の光電変換部の変形例の断面図である。
【図１２】実施形態に係る太陽電池の裏面側にある集電極の変形例の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】  以下に図面を用いて、実施の形態を詳細に説明する。同様の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１０】  図１は、太陽電池１の受光面側の平面図である。図２は、太陽電池１の裏面側の平面図である。図３は、図１及び図２におけるＡ−Ａ線断面図である。「受光面」とは、太陽光の光が主に入射される側の主面を意味する。「裏面」とは、受光面と反対側の主面を意味する。
【００１１】  太陽電池１は、光電変換部２と、光電変換部２の受光面上に設けられた集電極４と、光電変換部２の裏面上に設けられた集電極６とを備える。ここで、層、膜、領域などの部分が他の部分の「上に」という言う時、これは他の部分の「真上に」ある場合だけではなく、その中間に他の部分がある場合も含む。
【００１２】  光電変換部２は、受光面側から、透明導電膜１１と、ｐ型非晶質シリコン膜１２と、ｉ型非晶質シリコン膜１３と、ｎ型単結晶シリコン基板１４と、ｉ型非晶質シリコン膜１５と、ｎ型非晶質シリコン膜１６と、透明導電膜１７とを備える。
【００１３】  ｎ型単結晶シリコン基板１４は、光を受けてキャリアを生成する発電層である。発電層は、ｎ型単結晶シリコン基板１４に限定されない。例えば、発電層は、ｎ型又はｐ型のいずれの導電型でもよく、結晶系半導体基板、多結晶シリコン基板、砒化ガリウム（ＧａＡｓ）基板、インジウム燐（ＩｎＰ）基板を含む。
【００１４】  ｉ型非晶質シリコン膜１３は、ｎ型単結晶シリコン基板１４の受光面上に形成される。ｉ型非晶質シリコン膜１３は、真性なアモルファスシリコン膜である。
【００１５】  ｐ型非晶質シリコン膜１２は、ｉ型非晶質シリコン膜１３上に形成される。ｐ型非晶質シリコン膜１２は、ｐ型不純物がドープされたアモルファスシリコン膜である。
【００１６】  透明導電膜１１は、ｐ型非晶質シリコン膜１２上に形成される。透明導電膜１１は、例えば、酸化インジウム（Ｉｎ2Ｏ3）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化錫（ＳｎＯ2）、及び酸化チタン（ＴｉＯ2）等の金属酸化物のうちの少なくとも１つを含む。
【００１７】  ｉ型非晶質シリコン膜１５は、ｎ型単結晶シリコン基板１４の裏面上に形成される。ｉ型非晶質シリコン膜１５は、真性なアモルファスシリコン膜である。
【００１８】  ｎ型非晶質シリコン膜１６は、ｉ型非晶質シリコン膜１５上に形成される。ｎ型非晶質シリコン膜１６は、ｎ型不純物がドープされたアモルファスシリコン膜である。
【００１９】  透明導電膜１７は、ｎ型非晶質シリコン膜１６上に形成される。透明導電膜１７は、透明導電膜１１と同様の材料を含む。
【００２０】  集電極４は、バスバー電極１９ａ，１９ｂと、フィンガー電極２０ａ〜２０ｄとを含む。集電極６は、バスバー電極２１ａ，２１ｂと、フィンガー電極２２ａ〜２２ｄとを含む。集電極４，６は、導電材料であって、例えば、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）及びクロム（Ｃｒ）等の金属や、これらの金属のうちの一種類以上を含む合金によって構成することができる。
【００２１】  バスバー電極１９ａ，１９ｂは、透明導電膜１１上に形成される。バスバー電極１９ａ，１９ｂは、光電変換部２において生成されたキャリアを取り出すために設けられる。フィンガー電極２０ａ〜２０ｄにおいて集電されたキャリアをできるだけ均等に集電するように、バスバー電極１９ａ，１９ｂは、所定の間隔をあけて平行に配置される。例えば、バスバー電極１９ａは光電変換部２の主面を二分した場合の左半分の中心に配置され、バスバー電極１９ｂは、右半分の中心に配置される。バスバー電極１９ａ，１９ｂの幅は、１ｍｍとされる。
【００２２】  フィンガー電極２０ａ〜２０ｄは、光電変換部２において生成されたキャリアを収集するために設けられる。フィンガー電極２０ａ〜２０ｄは、バスバー電極１９ａ，１９ｂと交差して電気的に接続されるように配置される。フィンガー電極２０ａ〜２０ｄは、光電変換部２の面内からまんべんなく集電が行われるように、フィンガー電極２０ａ〜２０ｄは、それぞれ所定の間隔をあけて平行に配置される。例えば、バスバー電極１９ａ，１９ｂの短手方向に沿って並んだフィンガー電極２０ａ〜２０ｄを１組とすると、ｎ組のフィンガー電極２０ａ〜２０ｄが光電変換部２の主面の領域を（ｎ＋１）等分するように配置される。フィンガー電極２０ａ〜２０ｄの幅は、集電される電流の大きさ、フィンガー電極２０ａ〜２０ｄの断面積等に応じて適宜決定される。
【００２３】  複数のフィンガー電極２０ａは、例えば２ｍｍの間隔で互いに並列に配列される。フィンガー電極２０ａは、第１フィンガー部２０３と第２フィンガー部２０４とを含む。
【００２４】  第１フィンガー部２０３は、バスバー電極１９ａに接続された根元部２０１を含んでいる。根元部２０１は、第１フィンガー部２０３の中で最も幅が広い部分である。
【００２５】  第１フィンガー部２０３は、バスバー電極１９ａからフィンガー電極２０ａの長手方向に延びている。第１フィンガー部２０３は、バスバー電極１９ａから離れるにしたがって幅が細くなる。第１フィンガー部２０３は、バスバー電極１９ａから最も離れた位置に先端部２０２を含む。先端部２０２は、第１フィンガー部２０３の中で最も幅が狭い部分である。これにより、第１フィンガー部２０３による遮光ロスを抑制できる。
【００２６】  第２フィンガー部２０４は、バスバー電極１９ａと離れた位置において第１フィンガー部２０３の先端部２０２と接続される。第２フィンガー部２０４は、第１フィンガー部２０３の先端部２０２よりも幅の広い部分を含んでおり、フィンガー電極２０ａの長手方向に延びている。第２フィンガー部２０４は、先端部２０２から離れるにしたがって幅が太くなるように延びている。第１フィンガー部２０３の先端部２０２の幅をＷ1とし第２フィンガー部２０４の幅をＷ2とした場合に、Ｗ1＜Ｗ2となるように、第２フィンガー部２０４の幅が設定されている。つまり、第２フィンガー部２０４は、幅が変化するような形状であっても、全ての幅が第１フィンガー部２０３の先端部２０２の幅Ｗ1よりも広くなるように設定されている。
【００２７】  フィンガー部２０ｂ，２０ｃは、フィンガー電極２０ａと同様に根元部２０１及び先端部２０２を含んだ第１フィンガー部２０３と、第２フィンガー部２０４を含んでいる。フィンガー部２０ｂ，２０ｃは、フィンガー部２０ｂの第２フィンガー部２０４とフィンガー部２０ｃの第２フィンガー部２０４とが接続された接続部２０５を含んでいる。接続部２０５からバスバー電極１９ａに向かって伸びるフィンガー部２０ｂの長さと、接続部２０５からバスバー電極１９ｂに向かって伸びるフィンガー部２０ｃの長さとは、同じである。
【００２８】  本実施例において、フィンガー部２０ａ〜２０ｄの長さは、同じである。
【００２９】  フィンガー電極２０ｄは、フィンガー電極２０ａと同様に根元部２０１及び先端部２０２を含んだ第１フィンガー部２０３と、第２フィンガー部２０４を含み、フィンガー電極２０ａと反対方向に延びている。
【００３０】  光電変換部２で生成されたキャリアは、光電変換部２の主面上において透明導電膜１１内に存在するキャリアから一番近いフィンガー電極２０ａ〜２０ｄに収集される。
【００３１】  ここで、上記特許文献１では、くし型電極は、バスバー電極から離れるにしたがって、フィンガー電極の幅が単調に狭くなる。したがって、バスバー電極から最も離れた位置（第二端）において、フィンガー電極の幅が最も狭くなる。これにより、第二端に集められるキャリアの移動距離が長くなり、太陽電池の出力が低減する恐れがある。
【００３２】  一方、フィンガー電極２０ａ，２０ｄの第２フィンガー部２０４は、第１フィンガー部２０３の先端部２０２よりも幅が広くなる。このため、バスバー電極１９ａ，１９ｂから最も離れた位置であっても、フィンガー電極２０ａ，２０ｄに集められるキャリアの移動距離を短くでき、太陽電池１の出力の低減を抑制できる。
【００３３】  フィンガー電極２０ａ，２０ｄと同様に、フィンガー電極２０ｂ，２０ｃは、第２フィンガー部２０４を含んでいる。これにより、フィンガー電極２０ｂ，２０ｃの第２フィンガー部２０４において、キャリアの移動距離を短くでき、太陽電池１の出力の低減を更に抑制できる。
【００３４】  フィンガー電極２０ａ〜２０ｄの第２フィンガー部２０４はバスバー電極１９ａ，１９ｂから最も離れているため、フィンガー電極２０ａ〜２０ｄの体積に応じた応力が生じ易い。しかし、フィンガー電極２０ａ〜２０ｄの第２フィンガー部２０４は第１フィンガー部２０３に比べて接触面積が大きい。このため、第２フィンガー部２０４の光電変換部２からの剥がれを抑制できる。
【００３５】  フィンガー電極２０ａ，２０ｄは、それぞれバスバー電極１９ａ，１９ｂから光電変換部２の主面の端辺に近い位置まで延びている。このため、フィンガー電極２０ａ、２０ｂのそれぞれにおける第２フィンガー部２０４は、バスバー電極１９ａ、１９ｂよりも光電変換部２の主面の端辺に近い位置に形成される。例えば、光電変換部２の長さのうちのフィンガー電極２０ａ，２０ｄの延伸方向に沿った長さの２〜３％程度の長さだけ、フィンガー電極２０ａ、２０ｄのそれぞれにおける第２フィンガー部２０４は、光電変換部２の主面の端辺よりも内側に配置される。
【００３６】  光電変換部２の主面の端辺に近い位置では、キャリアの移動距離が最も長くなる。しかし、第２フィンガー部２０４を含むことによって、光電変換部２の主面の端辺に近い部分におけるキャリアの移動距離を短くすることができ、第１フィンガー部２０３の形状に係らず太陽電池１の出力低下を抑制させることができる。
【００３７】  バスバー電極１９ａ，１９ｂ及びフィンガー電極２０ａ〜２０ｄと同様に、光電変換部２の裏面上にバスバー電極２１ａ，２１ｂ及びフィンガー電極２２ａ〜２２ｄが設けられる。
【００３８】  フィンガー電極２２ａ〜２２ｄは、光電変換部２において生成されたキャリアを収集するために設けられる。フィンガー電極２２ａ〜２２ｄの関係は、例えば、１ｍｍ〜２ｍｍの間隔で互いに並列に配列されるのが好適である。
【００３９】  フィンガー電極２２ａ〜２２ｄは、フィンガー電極２０ａ〜２０ｄと同様の構成のため、同様の効果を奏する。
【００４０】  太陽電池１の製造方法について、図４を用いて説明する。図４は、太陽電池１の製造方法の手順を示すフローチャートである。
【００４１】  ｎ型単結晶シリコン基板１４を真空チャンバ内に搬入し、ＣＶＤ法を用いて、ｎ型単結晶シリコン基板１４の受光面上にｉ型非晶質シリコン膜１３を形成し、さらに、ｉ型非晶質シリコン膜１３上にｐ型非晶質シリコン膜１２を形成する（Ｓ２）。
【００４２】  ＣＶＤ法を用いて、ｎ型単結晶シリコン基板１４の裏面上にｉ型非晶質シリコン膜１５を形成し、さらに、ｉ型非晶質シリコン膜１５上にｎ型非晶質シリコン膜１６を形成する（Ｓ４）。
【００４３】  スパッタリング法を用いて、ｐ型非晶質シリコン膜１２およびｎ型非晶質シリコン膜１６上に、それぞれＩＴＯからなる透明導電膜１１及び透明導電膜１７を形成する（Ｓ６）。これにより、光電変換部２が形成される。
【００４４】  スクリーン印刷法を用いて、透明導電膜１１，１７上に、それぞれ集電極４，６を形成する（Ｓ８）。  図５は、バスバー電極１９ａ，１９ｂ及びフィンガー電極２０ａ〜２０ｄの形成方法の手順を示すフローチャートである。なお、集電極６の形成方法は、集電極４と同様の手順であるため詳細な説明は省略する。
【００４５】  図６は、バスバー電極１９ａ，１９ｂ及びフィンガー電極２０ａ〜２０ｄの形状に対応する開口部１９０ａ，１９０ｂ及び開口部２００ａ〜２００ｄを有するスクリーン版２０である。このスクリーン版２０を用いて、開口部１９０ａ，１９０ｂ，２００ａ〜２００ｄにバスバー電極１９ａ，１９ｂ及びフィンガー電極２０ａ〜２０ｄの構成材である導電性ペーストをスキージによって充填し、光電変換部２の受光面上に導電性ペーストを印刷する。
【００４６】  開口部１９０ａ，１９０ｂ，２００ａ〜２００ｄが形成されたスクリーン版２０上に導電性ペーストを載せ、図６に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすことにより開口部１９０ａ，１９０ｂ，２００ａ〜２００ｄに導電性ペーストを充填する。スクリーン版２０のうちスキージが通り過ぎた部分が受光面から離れるときに、開口部１９０ａ，１９０ｂ，２００ａ〜２００ｄから導電性ペーストが吐出して受光面上に印刷される。
【００４７】  図６に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすと、最初にフィンガー電極２０ａに対応する導電性ペーストが継続して印刷される（Ｓ８１）。これにより、フィンガー電極２０ａは、バスバー電極１９ａの一部よりも光電変換部２の主面の端辺に近い位置に形成される。スクリーン版２０の開口部２００ａにおいて、フィンガー電極２０ａの第２フィンガー部２０４に対応する開口幅は、第１フィンガー部２０３の先端部２０２に対応する開口幅より大きい。そのため、フィンガー電極２０ａの第２フィンガー部２０４をスクリーン印刷により形成する際の印刷擦れを抑制することができる。
【００４８】  図６に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすと、バスバー電極２１ａに対応する導電性ペーストが継続して印刷される（Ｓ８２）。
【００４９】  フィンガー電極２０ｂ，２０ｃに対応する導電性ペーストが光電変換部２の主面に印刷される。フィンガー電極２０ｂは、図６に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすことにより、バスバー電極１９ａからバスバー電極１９ｂに向かって継続して印刷される（Ｓ８３）。
【００５０】  フィンガー電極２０ｃは、図６に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすことにより、バスバー電極１９ａからバスバー電極１９ｂに向かって継続して印刷される（Ｓ８４）。フィンガー電極２０ｂ、２０ｃのそれぞれにおける第２フィンガー部２０４は、バスバー電極１９ａとバスバー電極１９ｂとの間に配置され、バスバー電極１９ａとバスバー電極１９ｂとの中軸に対して対称となるように印刷される。したがって、バスバー電極１９ａとバスバー電極１９ｂとの中軸において、フィンガー電極２０ｂ、２０ｃのそれぞれにおける第２フィンガー部２０４が互いに接続されている。
【００５１】  フィンガー電極２０ｂ，２０ｃでは、フィンガー電極２０ｂとフィンガー電極２０ｃとが互いに接続された部分があるため、フィンガー電極２０ｂ，２０ｃを継続して印刷する時にフィンガー電極２０ｂ，２０ｃの体積に応じた応力がフィンガー電極２０ｂとフィンガー電極２０ｃとの接続部分に生じる。
【００５２】  特許文献１のように第一端から第二端に向けて単調に幅が狭くなるように構成されたくし型電極をスクリーン印刷により形成する場合、電極幅が狭くなるにつれてスクリーン版２０の開口幅が小さくなるため、第二端では印刷擦れが生じる恐れがある。特に、フィンガー電極２０ｂ、２０ｃが互いに接続されている第２フィンガー部２０４の接続部分においては、フィンガー電極２０ｂ、２０ｃの体積に応じた応力が生じ易く、そのような応力の大きい部分の幅を狭くすると印刷擦れが生じる恐れがある。
【００５３】  しかし、スクリーン版２０の開口部２００ｂ，２００ｃにおいて、フィンガー電極２０ｂ，２０ｃの第２フィンガー部２０４に対応する開口幅は、フィンガー電極２０ｂ，２０ｃの第１フィンガー部２０３の先端部２０２に対応する開口幅よりも大きい。このため、フィンガー電極２０ｂ，２０ｃの第２フィンガー部２０４をスクリーン印刷により形成する際に第２フィンガー部２０４における印刷擦れを抑制することができる。特に、フィンガー電極２０ｂ、２０ｃが互いに接続されている第２フィンガー部２０４の接続部分にはフィンガー電極２０ｂ、２０ｃの体積に応じた応力が生じ易いが、その部分の幅を大きくしたことによって印刷擦れを抑制する効果を顕著に発揮する。すなわち、フィンガー電極２０ｂ、２０ｃは、応力が生じやすい接続部分と、最も幅が狭くなる部分とがずれるように構成されている。したがって、接続部分における印刷擦れが抑制される。
【００５４】  次に、図６に示される印刷方向に沿ってスキージを動かすと、バスバー電極１９ｂに対応する導電性ペーストが継続して印刷される（Ｓ８５）。これにより、バスバー電極１９ａとバスバー電極１９ｂとが並列に並ぶように形成される。
【００５５】  続いて、フィンガー電極２０ｄに対応する導電性ペーストが光電変換部２の主面に印刷される（Ｓ８６）。これにより、フィンガー電極２０ｄは、バスバー電極１９ａの一部よりも光電変換部２の主面の端面に近い位置に形成される。スクリーン版２０の開口部２００ｄにおいて、フィンガー電極２０ｄの第２フィンガー部２０４に対応する開口幅は、フィンガー電極２０ｂ，２０ｃの第１フィンガー部２０３の先端部２０２に対応する開口幅より大きいため、フィンガー電極２０ｄの第２フィンガー部２０４をスクリーン印刷により形成する際の印刷擦れを抑制することができる。
【００５６】  本実施形態の第２フィンガー部２０４の形状は、第１フィンガー部２０３の先端から離れるにしたがって、第１フィンガー部の先端よりも徐々に幅が太くなるように延びているため、スクリーン印刷による印刷擦れを抑制できる。
【００５７】  印刷された導電性ペーストを加熱等により固化させて受光面上にフィンガー電極２０ａ〜２０ｄを形成する。なお、フィンガー電極２２ａ〜２２ｂについても、フィンガー電極２０ａ〜２０ｄと同様のスクリーン印刷法により形成されるため詳細な説明は省略する。このように、Ｓ２〜Ｓ８の工程を得て、１つの太陽電池１０ができる。なお、図６において、導電性ペーストの印刷方向を矢印で示しているが、反対方向の印刷方向であってもよい。
【００５８】  図７は、太陽電池１の第１変形例である太陽電池１ａの受光面側の平面図である。太陽電池１と異なり、太陽電池１ａは、第２フィンガー部２０４が略楕円形状を含んでいる。
【００５９】  図８は、太陽電池１の第２変形例である太陽電池１ｂの受光面側の平面図である。太陽電池１と異なり、太陽電池１ｃは、第２フィンガー部２０４の形状が四角形の形状を含んでいる。
【００６０】  これらのように、第２フィンガー部２０４は、第１フィンガー部２０３の先端部２０２よりも幅が大きければ、他のいかなる形状であってもよい。
【００６１】  図９は、太陽電池１の第３変形例である太陽電池１ｃの受光面側の平面図である。太陽電池１と異なり、太陽電池１ｃは、フィンガー電極２０ａ、２０ｄのみが第２フィンガー部２０４を含んでいる。一方、フィンガー電極２０ｂ，２０ｃは、第２フィンガー部２０４を含まない。第２フィンガー部２０４は、それぞれのバスバー電極１９ａ、１９ｂから光電変換部２の主面の端辺に近い部分にのみ形成されてもよい。
【００６２】  図１０は、太陽電池１の第４変形例である太陽電池１ｄの受光面側の平面図である。太陽電池１ｄでは、第２フィンガー部２０４は、光電変換部２の主面の四隅に最も近い各々のフィンガー電極２０ａ，２０ｄにのみ形成されている。第２フィンガー部は、フィンガー電極２０ａ〜２０ｄ，２２ａ〜２２ｄの一部にのみ形成されてもよい。
【００６３】  図１１は、光電変換部２の変形例である光電変換部２ａの断面図である。光電変換部２ａは、ｐ型多結晶シリコン基板２４１と、ｐ型多結晶シリコン基板の表面側に形成されたｎ型拡散層２３１と、ｐ型多結晶シリコン基板２４１の裏面上に形成されたアルミニウム金属膜２５１とを備える。このように、光電変換部１８は、太陽光を電気に変換する機能を有すれば、他のいかなる形状であってもよい。
【００６４】  図１２は、光電変換部２の裏面側の集電極の変形例の平面図である。光電変換部２の裏面側においては、フィンガー電極２０ａ〜２０ｄ，２２ａ〜２２ｄの代わりに、透明導電膜１７の形成領域の略全面を覆う金属膜２５１が形成されてもよい。
【符号の説明】
【００６５】  １０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ  太陽電池、１１  透明導電膜、１２  ｐ型非晶質シリコン膜、１３  ｉ型非晶質シリコン膜、１４  ｎ型単結晶シリコン基板、１５  ｉ型非晶質シリコン膜、１６  ｎ型非晶質シリコン膜、１７  透明導電膜、１８  光電変換部、１９  バスバー電極、１９ａ，１９ｂ，２１  バスバー部、２０  フィンガー電極、２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２２  フィンガー電極２０１  根元部、２０２  先端部、２０３  第１フィンガー部、２０４  第２フィンガー部。
【図１】
0005935050.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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