(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材に流動体を積層する積層装置であって、
前記板状部材に流動体を塗布する塗布手段と、
前記塗布手段で塗布される流動体が前記板状部材の外縁領域に直接塗布されることを防止するマスク手段と、
前記板状部材における前記外縁領域よりも内側に塗布された流動体を当該板状部材の外側に引き伸ばす引伸手段と、
前記板状部材に塗布された流動体のうち前記引伸手段で引き伸ばされた部分を固形化する固形化手段とを備えることを特徴とする積層装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す場合がある）に流動体である液状樹脂を塗布する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１の構成では、スロットの長さがウェハの直径と同等以上のスロットダイを用いて、チャックテーブルに保持されたウェハを移動させるとともに、スロットダイから液状樹脂を排出することで、ウェハの被塗布面上に液状樹脂を塗布する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２５９９３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような構成では、ウェハに設けられたＶノッチ（半導体の結晶方位を表すＶ字状の切欠き）を覆うように、液状樹脂が塗布されてしまう。このため、ダイアタッチフィルムに用いるような透明でない液状樹脂を塗布する場合には、撮像手段による画像のマッチング等によってＶノッチを判別することができず、適切にアライメントできないという不具合が発生する。
【０００５】
本発明の目的は、板状部材における外縁領域上の所定位置を適切に判別できるように、板状部材に流動体を積層可能な積層装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の積層装置は、板状部材に流動体を積層する積層装置であって、前記板状部材に流動体を塗布する塗布手段と、前記塗布手段で塗布される流動体が前記板状部材の外縁領域に直接塗布されることを防止するマスク手段と、前記板状部材における前記外縁領域よりも内側に塗布された流動体を当該板状部材の外側に引き伸ばす引伸手段と、前記板状部材に塗布された流動体のうち前記引伸手段で引き伸ばされた部分を固形化する固形化手段とを備える、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、板状部材の外縁領域に流動体が塗布されることをマスク
手段が防止するため、外縁領域にＶノッチのような判別に用いられる部位が設けられている板状部材に、ダイアタッチフィルムに用いられるような透明でない流動体を積層する場合であっても、当該判別に用いられる部位に流動体が積層されることがなく、外縁領域上の所定位置を適切に判別でき、例えば、撮像手段による画像のマッチング等によってＶノッチを判別することができず、適切にアライメントできないという不具合を解消できる。また、板状部材の外縁領域よりも内側に塗布された流動体を当該板状部材の外側に引き伸ばす引伸手段を備えるため、外縁領域に当該外縁領域の内側よりも薄く流動体を設けることができる。このため、板状部材全体をほぼ覆うように流動体が設けられることとなり、流動体を介してシートを板状部材に押圧して貼付する場合には、流動体を介さずにシートが押圧される部分がなくなり、板状部材におけるほぼ全域の押圧力を一定にすることができ、板状部材が割れることを防止できる。また、外縁領域の流動体の厚さを内側の領域よりも薄くすることができ、判別に用いられる部位に流動体が積層された場合であっても、外縁領域上の所定位置を適切に判別できる。さらに、引伸手段で引き伸ばされた部分を固形化する固形化手段を備えるため、引き伸ばされた流動体が板状部材からはみ出す前に流動体を固形化し、当該流動体のはみ出しを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係る積層装置の側面図。
【図２】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、積層装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。
本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を基準としている。
図１および図２において、積層装置１は、流動体としての再接着層ＡＤ１を板状部材としてのウェハＷＦに積層するものであり、この再接着層ＡＤ１が積層されたウェハＷＦは、図示しない搬送装置でシート貼付装置８に搬送される。再接着層ＡＤ１としては、流動化させること可能なものであれば、特に限定されることはないが、ダイアタッチフィルムに使用されるような、熱可塑性、熱重合性などを有する透明でないものを用いる。なお、本実施形態では、冷却されたときに固形化可能な特性を有する再接着層ＡＤ１を適用した場合について説明する。
また、再接着層とは、当該再接着層を介して板状部材に貼付したシートを再接着層から剥離した後に、当該再接着層を介して板状部材を他のものに接着することができるものを意味する。
そして、積層装置１は、ウェハＷＦを回転可能に保持する回転保持部２と、回転保持部２が保持するウェハＷＦに再接着層ＡＤ１を塗布する塗布手段３と、再接着層ＡＤ１がウェハＷＦの外縁領域ＷＦ１に直接塗布されることを防止するマスク手段４と、再接着層ＡＤ１の流動性を活性化可能な流動活性化手段５と、再接着層ＡＤ１の側方から当該再接着層ＡＤ１を固形化する固形化手段としての外側固形化手段６と、再接着層ＡＤ１に対向する位置から当該再接着層ＡＤ１を固形化する内側固形化手段７とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段１０によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
【００１３】
回転保持部２は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によってウェハＷＦを吸着保持可能であるとともに、駆動機器としての回動モータ２１によって高速回転可能なスピンテーブル２２を備え、図示しない保持部移動手段によって図１中左右方向に移動可能に設けられている。回転保持部２は、流動化した再接着層ＡＤ１が積層されたウェハＷＦを回転させることで、遠心力によって再接着層ＡＤ１を外側に引き伸ばす引伸手段としても機能する。
塗布手段３は、図示しない移動手段によって図１中左右方向に移動可能に設けられて図１中紙面直交方向に延びる保持部３１と、図示しない再接着剤供給手段から供給される再接着剤ＡＤを霧状にしてウェハＷＦに噴き付けることでウェハＷＦ上に再接着層ＡＤ１を塗布する噴霧手段３２とを備える。
噴霧手段３２としては、ウェハＷＦの上面全体に再接着剤ＡＤを噴き付け可能な構成であれば特に限定されることはなく、保持部３１が右方向へ移動するに伴って、再接着剤ＡＤの噴き付け範囲を紙面直交方向に広げたり狭めたりすることができる構成とされ、ウェハＷＦのみに再接着剤ＡＤを噴き付けることができるものとなっている。例えば、ウェハＷＦよりも小さい円形や多角形の噴霧口を有する噴霧手段３２を紙面直交方向に移動可能に設け、当該噴霧手段３２の移動範囲を調整する構成としてもよいし、紙面直交方向に延びる長円状や長方形状の噴霧口を有する噴霧手段３２を固定して、当該噴霧口の開口範囲を調整する構成としてもよい。
【００１４】
マスク手段４は、開口部がウェハＷＦの外形よりも小さい円環状に形成されており、当該開口部の内縁４１がウェハＷＦの外縁領域ＷＦ１よりも内側に位置するように、ウェハＷＦの上方に所定間隔離れて設けられている。ここで、外縁領域ＷＦ１とは、図２（Ａ）に符号ＡＡで示すように、ウェハＷＦの外縁を含む例えば幅寸法ＬＷが３ｍｍの円環状の領域であり、当該外縁領域ＷＦ１には、回路が設けられていない。
流動活性化手段５は、再接着層ＡＤ１を加熱することで流動化するヒータであり、スピンテーブル２２内におけるウェハＷＦの外縁領域ＷＦ１の下方に円環状に設けられている。
外側固形化手段６および内側固形化手段７は、再接着層ＡＤ１を冷却することで固形化するものであり、再接着層ＡＤ１を冷却可能であれば特に限定されるものではないが、ペルティエ効果を利用した冷却装置や、フロンを利用した冷却装置を適用することができる。
外側固形化手段６は、マスク手段４とスピンテーブル２２との間において、ウェハＷＦを囲む円環状に設けられている。内側固形化手段７は、直動モータ７１の出力軸７２の先端で保持されており、ウェハＷＦの上方において昇降可能に設けられている。
【００１５】
シート貼付装置８は、シートＳＴが所定間隔で帯状の剥離シートＲＬ上に擬似接着などにより仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ８３と、剥離シートＲＬを折り返してシートＳＴを剥離シートＲＬから剥離する剥離板８４と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ８５と、繰り出されたシートＳＴをウェハＷＦに押圧して再接着層ＡＤ１を介して貼付する押圧手段８６と、ウェハＷＦを吸着保持可能なテーブル８７と、テーブル８７の下面にスライダ８８が固定された駆動機器としての単軸ロボット８９とを備える。
【００１６】
以上の積層装置１において、ウェハＷＦに再接着層ＡＤ１を積層する手順としては、まず、図２（Ａ）に示すように、ウェハＷＦが載置された回転保持部２が内側固形化手段７の下方に到達して、ウェハＷＦの外縁領域ＷＦ１上にマスク手段４が位置したことが図示しないセンサに検出されると、制御手段１０は、塗布手段３の噴霧手段３２から再接着剤ＡＤを噴霧して外縁領域ＷＦ１よりも内側に塗布する。再接着剤ＡＤを塗布するとき、噴霧手段３２は、外縁領域ＷＦ１よりも内側において円形状に塗布するとともに、当該円形状の外縁領域ＷＦ１側の端部の塗布量が他の領域よりも多くなるように塗布することで、図２（Ａ）において実線および二点鎖線で示すように、外縁領域ＷＦ１側の端部である円環状の再接着層外側部ＡＤ１１が当該再接着層外側部ＡＤ１１の内側の領域である再接着層内側部ＡＤ１０よりも厚い再接着層ＡＤ１を積層する。このように再接着剤ＡＤを塗布することによって、符号ＡＡに示すように、ＶノッチＷＦＶに再接着層ＡＤ１が積層されることがない。また、再接着層外側部ＡＤ１１を再接着層内側部ＡＤ１０よりも厚く形成しておくことで、当該再接着層外側部ＡＤ１１を構成する再接着剤ＡＤによって後述する再接着層引伸部ＡＤ１２を形成することができ、再接着層引伸部ＡＤ１２の形成によって再接着層内側部ＡＤ１０の厚さの均一性が損なわれることを防止できる。
【００１７】
次いで、制御手段１０は、流動活性化手段５によって再接着層ＡＤ１を加熱して流動化することで再接着層ＡＤ１を外側に引き伸ばしやすくした後、流動活性化手段５による加熱を停止するとともに、図２（Ｂ）に示すように、スピンテーブル２２の回転駆動に伴いウェハＷＦを回転させる。このウェハＷＦを回転させたときの遠心力によって、再接着層ＡＤ１の再接着層外側部ＡＤ１１を外側に引き伸ばして、符号ＡＢに示すように、再接着層内側部ＡＤ１０の外側に当該再接着層内側部ＡＤ１０よりも薄く、かつ、外側に向かうに従って徐々に薄くなる再接着層引伸部ＡＤ１２を形成する。ここで、当該符号ＡＢにおいて、再接着層引伸部ＡＤ１２の外縁をウェハＷＦの外縁よりも内側に図示しているが、本発明の内容を理解しやすくするために誇張して図示したものであり、実際は、再接着層引伸部ＡＤ１２の外縁はウェハＷＦの外縁と重なっている場合がある。この再接着層引伸部ＡＤ１２は、遠心力によって外側に引き伸ばされるときに、外側に向かうに従って薄くなることと、その表面張力によってＶノッチＷＦＶの２つの斜辺部ＷＦＶ１，ＷＦＶ２に沿って２つに分かれるようになるので、当該ＶノッチＷＦＶが再接着層ＡＤ１に覆われ、アライメント装置等の撮像手段のマッチングや、光学センサ等のオン、オフ動作においてＶノッチＷＦＶを判別できなくなるという不具合を防止できる。さらに、再接着層ＡＤ１を流動化してから引き伸ばすため、流動化させない場合と比べてスピンテーブル２２の回転数を低くすることができ、再接着層ＡＤ１の厚さを精密に制御できる。
また、制御手段１０は、スピンテーブル２２の回転駆動開始とほぼ同じタイミングで外側固形化手段６の駆動を開始して再接着層引伸部ＡＤ１２を側方から固形化することで、流動化した再接着層ＡＤ１が引き伸ばされすぎて再接着層引伸部ＡＤ１２がウェハＷＦからはみ出てしまうことを防止する。
【００１８】
そして、制御手段１０は、外側固形化手段６を停止した後、図２（Ｃ）に示すように、内側固形化手段７を下降させて駆動することで再接着層内側部ＡＤ１０を固形化することで、再接着層ＡＤ１全体を固形化する。
この後、再接着層ＡＤ１が積層されたウェハＷＦが図示しない搬送装置でテーブル８７上に載置された後、シート貼付装置８は、単軸ロボット８９を駆動してテーブル８７を左方向に搬送し、当該テーブル８７が所定の位置に達したことが図示しないセンサに検出されると、テーブル８７の搬送に同期させてシートＳＴを繰り出し、押圧手段８２がシートＳＴをウェハＷＦに押圧して貼付する。
このとき、外縁領域ＷＦ１をほぼ覆うような再接着層引伸部ＡＤ１２と再接着層内側部ＡＤ１０とを設けているため、ウェハＷＦの全域にわたって再接着層ＡＤ１を介してシートＳＴが押圧されることとなり、当該全域にわたって押圧力がほぼ一定となり、ウェハＷＦが割れることを防止できる。一方で、再接着層引伸部ＡＤ１２を設けずに再接着層内側部ＡＤ１０のみを設ける場合には、ウェハＷＦの外縁領域ＷＦ１とシートＳＴとの間に隙間が形成されることとなり、外縁領域ＷＦ１には再接着層ＡＤ１を介さずにシートＳＴが押圧されることとなり、当該外縁領域ＷＦ１における押圧力が他の部分と比べて大きくなり、ウェハＷＦが割れる可能性が高くなる。
【００１９】
以上のような実施形態によれば、ウェハＷＦの外縁領域ＷＦ１に再接着層ＡＤ１が塗布されることをマスク手段４が防止するため、ＶノッチＷＦＶが設けられているウェハＷＦに透明でない再接着層ＡＤ１を積層する場合であっても、ＶノッチＷＦＶに再接着層ＡＤ１が積層されることがなく、アライメント装置においてＶノッチＷＦＶを適切に判別できる。
【００２０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２１】
例えば、塗布手段３の代わりに、図２（Ａ）に二点鎖線で示すような塗布手段３Ａを用いてもよい。塗布手段３Ａは、保持部３１と、再接着剤ＡＤを滴下する滴下手段３２Ａとを備え、スピンテーブル２２上に載置されたウェハＷＦ上に滴下手段３２Ａで再接着剤ＡＤを滴下し、回動モータ２１でスピンテーブル２２を回転させて再接着剤ＡＤを遠心力で広げることで、再接着層内側部ＡＤ１０および再接着層引伸部ＡＤ１２を有する再接着層ＡＤ１を形成する。
【００２２】
また、本発明の固形化手段としては、再接着層ＡＤ１の固形化特性に応じた固形化エネルギーを発するものを採用することができ、例えば、再接着層ＡＤ１が冷却固形化タイプの場合、ペルティエ効果やフロン等を利用した冷却装置や自然風を送風する送風装置、加熱固形化タイプの場合、コイルヒータや赤外線を利用した熱風送風装置、エネルギー線固形化タイプの場合、紫外線を照射する紫外線照射装置やマイクロ波を照射するマイクロ波照射装置等が例示できる。つまり、再接着層ＡＤ１を固形化可能なものであれば特に限定されることはない。
さらに、本発明の流動活性化手段としては、再接着層ＡＤ１の特性に応じた流動化エネルギーを発するものを採用することができ、例えば、再接着層ＡＤ１が冷却流動化タイプの場合、ペルティエ効果やフロン等を利用した冷却装置や自然風を送風する送風装置、加熱流動化タイプの場合、コイルヒータや赤外線を利用した熱風送風装置、エネルギー線流動化タイプの場合、紫外線を照射する紫外線照射装置やマイクロ波を照射するマイクロ波照射装置等が例示できる。つまり、再接着剤ＡＤを流動化させることが可能なものであれば特に限定されることはない。
また、本発明の引伸手段としては、再接着層外側部ＡＤ１１を引き伸ばすことが可能なものであれば特に限定されることがなく、エアを噴出するエア噴出装置やへらなどのスクイーズ部材を適用してもよい。
【００２３】
また、本発明におけるシートＳＴの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、シートＳＴに接着剤層が設けられた２層構造の所謂接着シートや、シートＳＴ接着剤層との間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付するシートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００２４】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２５】
１…積層装置
３，３Ａ…塗布手段（引伸手段）
４…マスク手段
５…流動活性化手段
６…外側固形化手段（固形化手段）
ＡＤ１…再接着層（流動体）
ＷＦ…ウェハ（板状部材）
【図１】
0005868702.tif 000002
【図２】
0005868702.tif 000003