(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持基板上に、金属からなる反射層と、活性層及びコンタクト層を順に含む化合物半導体層とを順に備え、光射出孔から光を外部に射出する発光ダイオードであって、
その上部に平坦部と、傾斜側面及び頂面を有するメサ型構造部とを備え、
前記平坦部及び前記メサ型構造部はそれぞれ、少なくとも一部は保護膜、電極膜によって順に覆われてなり、
前記メサ型構造部は少なくとも前記活性層の一部を含むものであって、前記傾斜側面は前記頂面に向かって水平方向の断面積が連続的に小さく形成されてなり、
前記保護膜は、前記平坦部の少なくとも一部と、前記メサ型構造部の前記傾斜側面と、前記メサ型構造部の前記頂面の周縁領域とを覆うとともに、平面視して前記周縁領域の内側であってかつ前記光射出孔の周囲に配置して、前記化合物半導体層の表面の一部を露出する通電窓を有し、
前記電極膜は、前記通電窓から露出された化合物半導体層の表面に接触すると共に、前記平坦部上に形成された保護膜の一部を少なくとも覆い、前記メサ型構造部の頂面上に前記光射出孔を有するように形成された連続膜であり、
前記反射層と前記化合物半導体層との間であって、平面視して前記通電窓及びそれに囲まれる範囲内に透明導電膜を備えた、ことを特徴とする発光ダイオード。
【請求項２】
前記透明導電膜がＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯのいずれかであることを特徴とする請求項１に記載の発光ダイオード。
【請求項３】
前記透明導電膜と前記化合物半導体層との間の、前記透明導電膜の周縁部であってかつ平面視して前記光射出孔に重ならない範囲に、ＡｕＢｅ、ＡｕＺｎのいずれかからなるオーミック金属部を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載の発光ダイオード。
【請求項４】
前記コンタクト層は前記電極膜に接触することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
【請求項５】
前記メサ型構造部は平面視して矩形であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
【請求項６】
前記メサ型構造部の高さが３〜７μｍであって、平面視した前記傾斜側面の幅が０．５〜７μｍであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
【請求項７】
前記光出射孔は平面視して円形又は楕円であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
【請求項８】
前記光出射孔の径が５０〜１５０μｍであることを特徴とする請求項７に記載の発光ダイオード。
【請求項９】
前記電極膜の前記平坦部上の部分にボンディングワイヤを有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
【請求項１０】
前記活性層に含まれる発光層が多重量子井戸からなることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
【請求項１１】
前記活性層に含まれる発光層が（（ＡｌＸ１Ｇａ１−Ｘ１）Ｙ１Ｉｎ１−Ｙ１Ｐ（０≦Ｘ１≦１，０＜Ｙ１≦１）、（ＡｌＸ２Ｇａ１−Ｘ２）Ａｓ（０≦Ｘ２≦１）、（ＩｎＸ３Ｇａ１−Ｘ３）Ａｓ（０≦Ｘ３≦１））のいずれかからなることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
【請求項１２】
支持基板上に、金属からなる反射層と、活性層及びコンタクト層を順に含む化合物半導体層とを順に備え、光射出孔から光を外部に取り出す発光ダイオードの製造方法であって、
成長用基板上に、活性層及びコンタクト層を順に含む化合物半導体層を形成する工程と、
前記化合物半導体層上に、平面視して形成予定の通電窓及びそれに囲まれる範囲内に透明導電膜を形成する工程と、
前記化合物半導体層上に、前記透明導電膜を覆うように金属からなる反射層を形成する工程と、
前記反射層上に支持基板を接合する工程と、
前記成長用基板を除去する工程と、
前記化合物半導体層をウェットエッチングして、頂面に向かって水平方向の断面積が連続的に小さく形成されてなるメサ型構造部と該メサ型構造部の周囲に配置する平坦部とを形成する工程と、
前記平坦部の少なくとも一部と、前記メサ型構造部の前記傾斜側面と、前記メサ型構造部の前記頂面の周縁領域とを少なくとも覆うとともに、平面視して前記周縁領域の内側であってかつ前記光射出孔の周囲に配置して、前記化合物半導体層の表面の一部を露出する通電窓を有するように、保護膜を形成する工程と、
前記通電窓から露出された化合物半導体層の表面に直接接触すると共に、前記平坦部上に形成された保護膜の一部を少なくとも覆い、前記メサ型構造部の頂面上に前記光射出孔を有するように形成された連続膜である電極膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする発光ダイオードの製造方法。
【請求項１３】
前記化合物半導体層を形成する工程と前記透明導電膜を形成する工程との間に、前記化合物半導体層上の、形成予定の前記透明導電膜の周縁部であって、かつ、平面視して前記光射出孔に重ならない範囲に、ＡｕＢｅ、ＡｕＺｎのいずれかからなるオーミック金属部を形成する工程を有する、ことを特徴とする請求項１２に記載の発光ダイオードの製造方法。
【請求項１４】
前記ウェットエッチングを、リン酸／過酸化水素水混合液、アンモニア／過酸化水素水混合液、ブロムメタノール混合液、ヨウ化カリウム／アンモニアの群から選択される少なくとも１種以上を用いて行うことを特徴とする請求項１２又は請求項１３のいずれかに記載の発光ダイオードの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光ダイオード及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
発光層で発生した光を素子上面の一部から取り出す点光源型の発光ダイオードが知られている。この型の発光ダイオードにおいて、発光層における通電領域をその面内の一部に制限するための電流狭窄構造を有するものが知られている（例えば、特許文献１）。電流狭窄構造を有する発光ダイオードでは、発光領域が限定され、その領域の真上に設けられた光射出孔から光を射出させるため、高い光出力が得られると共に射出させた光を光学部品等に効率良く取り込むことが可能である。
【０００３】
点光源型の発光ダイオードにおいて、基板に平行な方向において発光領域を狭くするために活性層等をピラー構造とし、そのピラー構造の頂面の光取り出し面に光射出用の開口（光射出孔）を有する層を備えた構成が知られている（例えば、特許文献２）。
図１６は、基板１３１上に、下部ミラー層１３２と、活性層１３３と、上部ミラー層１３４と、コンタクト層１３５とを順に備えた発光ダイオードであって、活性層１３３と、上部ミラー層１３４と、コンタクト層１３５とをピラー構造１３７とし、ピラー構造１３７及びその周囲を保護膜１３８で被覆し、その保護膜１３８上に電極膜１３９を形成し、ピラー構造１３７の頂面１３７ａ（光取り出し面）において電極膜１３９に光出射用の開口１３９ａを形成した共振器型発光ダイオードを示す。符号１４０は裏面電極である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３１８４２号公報
【特許文献２】特開平９−２８３８６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記ピラー構造を形成する際、活性層等を成膜した後の、ピラー構造以外の部分の除去を異方性のドライエッチングによって実施するため、図１６に示すように、ピラー構造１３７の側面１３７ｂは基板１３１に対して垂直あるいは急傾斜に形成されてしまう。このピラー構造の側面には通常、蒸着法やスパッタ法によって保護膜が形成された後、蒸着法によって電極用金属（例えば、Ａｕ）膜を形成するが、この垂直あるいは急傾斜の側面に、保護膜や電極用金属膜を一様な膜厚で形成するのは容易ではなく、不連続な膜になりやすいという問題がある。保護膜が不連続な膜になった場合（図１６中の符号Ａ）には、その不連続部分に電極用金属膜が入り込んで活性層等に接触し、リークの原因になる。また、電極用金属膜が不連続な膜になった場合（図１６中の符号Ｂ）には、通電不良の原因になる。
【０００６】
また、ピラー構造以外の部分の除去をドライエッチングで行うと、高価な装置が必要となり、エッチング時間も長くかかるという問題もある。
【０００７】
さらに、図１６に示したようなピラー構造の頂面に光射出孔を有する点光源型の発光ダイオードでは、ピラー構造内の発光層全体に電流が流れるために、発光層のうち光射出孔の直下以外の部分で発光する光の量が多く、光射出孔の直下以外の部分で発光した光は光射出孔の直下で発光した光に比べて発光ダイオードの外部に射出する確率が低いことから、光取り出し効率の向上が阻まれていた。
【０００８】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、保護膜及びその上に形成された電極膜が均一な膜厚で形成されていると共に光取り出し効率が高い発光ダイオード、及び、リークや通電不良が低減して歩留まりが向上すると共に従来より低コストで製造可能な発光ダイオードの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下の手段を提供する。
（１）支持基板上に、金属からなる反射層と、活性層及びコンタクト層を順に含む化合物半導体層とを順に備え、光射出孔から光を外部に射出する発光ダイオードであって、その上部に平坦部と、傾斜側面及び頂面を有するメサ型構造部とを備え、前記平坦部及び前記メサ型構造部はそれぞれ、少なくとも一部は保護膜、電極膜によって順に覆われてなり、前記メサ型構造部は少なくとも前記活性層の一部を含むものであって、前記傾斜側面はウェットエッチングによって形成されてなると共に前記頂面に向かって水平方向の断面積が連続的に小さく形成されてなり、前記保護膜は、前記平坦部の少なくとも一部と、前記メサ型構造部の前記傾斜側面と、前記メサ型構造部の前記頂面の周縁領域とを覆うとともに、平面視して前記周縁領域の内側であってかつ前記光射出孔の周囲に配置して、前記化合物半導体層の表面の一部を露出する通電窓を有し、前記電極膜は、前記通電窓から露出された化合物半導体層の表面に接触すると共に、前記平坦部上に形成された保護膜の一部を少なくとも覆い、前記メサ型構造部の頂面上に前記光射出孔を有するように形成された連続膜であり、前記反射層と前記化合物半導体層との間であって、平面視して前記通電窓及びそれに囲まれる範囲内に透明導電膜を備えた、ことを特徴とする発光ダイオード。
（２）前記透明導電膜がＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯのいずれかであることを特徴とする（１）に記載の発光ダイオード。
（３）前記透明導電膜と前記化合物半導体層との間の、前記透明導電膜の周縁部であってかつ平面視して前記光射出孔に重ならない範囲に、ＡｕＢｅ、ＡｕＺｎのいずれかからなるオーミック金属部を備えたことを特徴とする（１）又は（２）のいずれかに記載の発光ダイオード。
（４）前記コンタクト層は前記電極膜に接触することを特徴とする（１）〜（３）のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
（５）前記メサ型構造部は平面視して矩形であることを特徴とする（１）〜（４）のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
（６）前記メサ型構造部の高さが３〜７μｍであって、平面視した前記傾斜側面の幅が０．５〜７μｍであることを特徴とする（１）〜（５）のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
（７）前記光出射孔は平面視して円形又は楕円であることを特徴とする（１）〜（６）のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
（８）前記光出射孔の径が５０〜１５０μｍであることを特徴とする（７）に記載の発光ダイオード。
（９）前記電極膜の前記平坦部上の部分にボンディングワイヤを有することを特徴とする（１）〜（８）のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
（１０）前記活性層に含まれる発光層が多重量子井戸からなることを特徴とする（１）〜（９）のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
（１１）前記活性層に含まれる発光層が（（ＡｌＸ１Ｇａ１−Ｘ１）Ｙ１Ｉｎ１−Ｙ１Ｐ（０≦Ｘ１≦１，０＜Ｙ１≦１）、（ＡｌＸ２Ｇａ１−Ｘ２）Ａｓ（０≦Ｘ２≦１）、（ＩｎＸ３Ｇａ１−Ｘ３）Ａｓ（０≦Ｘ３≦１））のいずれかからなることを特徴とする（１）〜（１０）のいずれか一項に記載の発光ダイオード。
（１２）支持基板上に、金属からなる反射層と、活性層及びコンタクト層を順に含む化合物半導体層とを順に備え、光射出孔から光を外部に取り出す発光ダイオードの製造方法であって、成長用基板上に、活性層及びコンタクト層を順に含む化合物半導体層を形成する工程と、前記化合物半導体層上に、平面視して形成予定の通電窓及びそれに囲まれる範囲内に透明導電膜を形成する工程と、前記化合物半導体層上に、前記透明導電膜を覆うように金属からなる反射層を形成する工程と、前記反射層上に支持基板を接合する工程と、前記成長用基板を除去する工程と、前記化合物半導体層をウェットエッチングして、頂面に向かって水平方向の断面積が連続的に小さく形成されてなるメサ型構造部と該メサ型構造部の周囲に配置する平坦部とを形成する工程と、前記平坦部の少なくとも一部と、前記メサ型構造部の前記傾斜側面と、前記メサ型構造部の前記頂面の周縁領域とを少なくとも覆うとともに、平面視して前記周縁領域の内側であってかつ前記光射出孔の周囲に配置して、前記化合物半導体層の表面の一部を露出する通電窓を有するように、保護膜を形成する工程と、前記通電窓から露出された化合物半導体層の表面に直接接触すると共に、前記平坦部上に形成された保護膜の一部を少なくとも覆い、前記メサ型構造部の頂面上に前記光射出孔を有するように形成された連続膜である電極膜を形成する工程と、を有することを特徴とする発光ダイオードの製造方法。  
（１３）前記化合物半導体層を形成する工程と前記透明導電膜を形成する工程との間に、前記化合物半導体層上の、形成予定の前記透明導電膜の周縁部であって、かつ、平面視して前記光射出孔に重ならない範囲に、ＡｕＢｅ、ＡｕＺｎのいずれかからなるオーミック金属部を形成する工程を有する、ことを特徴とする（１２）に記載の発光ダイオードの製造方法。
（１４）前記ウェットエッチングを、リン酸／過酸化水素水混合液、アンモニア／過酸化水素水混合液、ブロムメタノール混合液、ヨウ化カリウム／アンモニアの群から選択される少なくとも1種以上を用いて行うことを特徴とする（１２）又は（１３）のいずれかに記載の発光ダイオードの製造方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の発光ダイオードによれば、支持基板上に、金属からなる反射層と、コンタクト層及び活性層を順に含む化合物半導体層とを順に備え、光射出孔から光を外部に射出すると共に、反射層と化合物半導体層との間であって、平面視して前記通電窓及びそれに囲まれる範囲内に透明導電膜を備えた構成を採用したので、活性層のうち通電窓及びそれに囲まれる範囲の直下の部分で発光する光の量がその直下以外の部分で発光する光の量に比べて多く、かつ、発光層から支持基板方向に向かう光を反射層により高効率で反射することにより、光射出孔に向かう光の割合が高くなり、光取り出し効率の向上が図られている。
本発明の発光ダイオードによれば、その上部に平坦部と、傾斜側面及び頂面を有するメサ型構造部とを有する構成を採用したので、高い光出力が得られると共に射出させた光を光学部品等に効率良く取り込むことが可能である。
本発明の発光ダイオードによれば、メサ型構造部の傾斜側面はウェットエッチングによって形成されてなると共に頂面に向かって水平方向の断面積が連続的に小さく形成されてなる構成を採用したので、垂直側面の場合に比べて側面に保護膜及びその上の電極膜を形成しやすいために均一な膜厚で連続な膜が形成されるため、不連続な膜に起因したリークや通電不良がなく、安定で高輝度の発光が担保されている。かかる効果は、ウェットエッチングによって形成されてなる傾斜側面を有するメサ型構造部を備えていれば奏する効果であり、発光ダイオードの内部の積層構造や基板の構成によらずに得られる効果である。
【００１１】
本発明の発光ダイオードによれば、透明導電膜がＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯのいずれかである構成を採用することにより、高い導電性によって動作電圧の低減を図りつつ、反射層から反射させる光の高い透過性を確保して高出力が図られている。
【００１２】
本発明の発光ダイオードによれば、透明導電膜と化合物半導体層との間の、透明導電膜の周縁部であってかつ平面視して光射出孔に重ならない範囲に、ＡｕＢｅ、ＡｕＺｎのいずれかからなるオーミック金属部を備えた構成を採用することにより、コンタクト層に対する十分なオーミックコンタクトが確保されていると共に、透明導電膜のうち、光射出孔の直下ではオーミック金属部に被覆されていな透過部が形成されるので、反射層で反射してその透過部を透過した光は大部分が光射出孔から射出される。
【００１３】
本発明の発光ダイオードによれば、コンタクト層が電極膜に接触する構成を採用することにより、オーミック電極の接触抵抗を下げて低電圧駆動が可能となる。
【００１４】
本発明の発光ダイオードによれば、メサ型構造部を平面視して矩形である構成を採用することにより、製造時のウェットエッチングにおける異方性の影響によりエッチング深さによりメサ形状が変化することが抑制され、メサ部面積の制御が容易なので、高精度の寸法形状が得られている。
【００１５】
本発明の発光ダイオードによれば、メサ型構造部の各傾斜側面が基板のオリエンテーションフラットに対してオフセットして形成されている構成を採用することにより、矩形メサ型構造部を構成する4辺に対し基板方位による異方性の影響が緩和されているため、均等なメサ形状・勾配が得られている。
【００１６】
本発明の発光ダイオードによれば、メサ型構造部の高さが３〜７μｍであって、平面視した傾斜側面の幅が０．５〜７μｍである構成を採用することにより、垂直側面の場合に比べて側面に保護膜及びその上の電極膜を形成しやすいために均一な膜厚で連続な膜が形成されるため、不連続な膜に起因したリークや通電不良がなく、安定で高輝度の発光が担保されている。
【００１７】
本発明の発光ダイオードによれば、光射出孔が平面視して円形又は楕円である構成を採用することにより、矩形等の角を持つ構造に比べ均一なコンタクト領域を形成しやすく、角部での電流集中等の発生を抑制できる。また、受光側でのファイバー等への結合に適している。
【００１８】
本発明の発光ダイオードによれば、光射出孔の径が５０〜１５０μｍである構成を採用することにより、５０μm未満ではメサ型構造部での電流密度が高くなり、低電流で出力が飽和してしまう一方、１５０μmを超えるとメサ型構造部全体への電流拡散が困難であるため、やはり出力は飽和するという問題が回避されている。
【００１９】
本発明の発光ダイオードによれば、電極膜の平坦部上の部分にボンディングワイヤを有する構成を採用することにより、十分な荷重（及び超音波）をかけられる平坦部にワイヤボンディングがなされているので、接合強度の強いワイヤボンディングが実現されている。
【００２０】
本発明の発光ダイオードによれば、活性層に含まれる発光層が多重量子井戸からなる構成を採用することにより、井戸層内に十分な注入キャリアが閉じ込められることにより、井戸層内のキャリア密度が高くなり、その結果、発光再結合確率が増大して、応答速度が高い。
【００２１】
本発明の発光ダイオードの製造方法によれば、支持基板上に、金属からなる反射層と、コンタクト層及び活性層を順に含む化合物半導体層とを順に備え、光射出孔から光を外部に取り出す発光ダイオードの製造方法であって、成長用基板上に、活性層及びコンタクト層を順に含む化合物半導体層を形成する工程と、化合物半導体層上に、平面視して形成予定の通電窓及びそれに囲まれる範囲内に透明導電膜を形成する工程とを有する構成を採用したので、活性層のうち通電窓及びそれに囲まれる範囲の直下の部分で発光する光の量がその直下以外の部分で発光する光の量に比べて多く、かつ、発光層から支持基板方向に向かう光を反射層により高効率で反射することにより、光射出孔に向かう光の割合が高くなり、光取り出し効率が向上した発光ダイオードを製造することができる。
本発明の発光ダイオードの製造方法によれば、反射層上に支持基板を接合する工程と、成長用基板を除去する工程とを有する構成を採用したので、化合物半導体層の成長基板として通常用いられるＧａＡｓ基板等の成長用基板による光の吸収を回避して、発光出力が向上した発光ダイオードを製造することができる。
本発明の発光ダイオードの製造方法によれば、化合物半導体層をウェットエッチングして、頂面に向かって水平方向の断面積が連続的に小さく形成されてなるメサ型構造部と該メサ型構造部の周囲に配置する平坦部とを形成する工程と、メサ型構造部の頂面に、化合物半導体層の表面の一部を露出する通電窓を有するように、メサ型構造部及び平坦部上に保護膜を形成する工程と、通電窓から露出された化合物半導体層の表面に直接接触すると共に、前記平坦部上に形成された保護膜の一部を少なくとも覆い、メサ型構造部の頂面上に光射出孔を有するように、連続膜である電極膜を形成する工程と、を有する構成を採用したので、高い光出力を有すると共に射出させた光を光学部品等に効率良く取り込むことが可能であると共に、垂直側面の場合に比べて傾斜斜面に保護膜及びその上の電極膜を形成しやすいために均一な膜厚で連続な膜が形成されるため、不連続な膜に起因したリークや通電不良がなく、安定で高輝度の発光が担保された発光ダイオードを製造することができる。従来の異方性のドライエッチングによりピラー構造を形成すると側面が垂直に形成されるが、ウェットエッチングによりメサ型構造部を形成することにより、側面を緩やかな傾斜の側面を形成することができる。また、ウェットエッチングによりメサ型構造部を形成することにより、従来のドライエッチングによってピラー構造を形成する場合に比べて形成時間が短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施形態である発光ダイオードの断面摸式図である。
【図２】本発明の第１の実施形態である発光ダイオードの斜視図である。
【図３】本発明の発光ダイオードのメサ型構造部の傾斜斜面の断面を示す電子顕微鏡写真である。
【図４】本発明の第１の実施形態である発光ダイオードの透明導電膜及び通電窓近傍の拡大断面図である。
【図５】本発明の第１の実施形態である発光ダイオードの活性層の断面摸式図である。
【図６】本発明の第２の実施形態である発光ダイオードの断面摸式図である。
【図７】本発明の支持基板に用いる金属基板の製造工程の一例を示す工程断面図である。
【図８】本発明の第１の実施形態の発光ダイオードの製造方法を説明するための断面摸式図である。
【図９】本発明の第１の実施形態の発光ダイオードの製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態の発光ダイオードの製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図１１Ａ】本発明の第１の実施形態の発光ダイオードの製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図１１Ｂ】本発明の第１の実施形態の変形例の発光ダイオードの製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態の発光ダイオードの製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図１３】本発明の第１の実施形態の発光ダイオードの製造方法の一例を示す工程断面図である。
【図１４】ウェットエッチングのエッチング時間に対する深さ及び幅の関係を示すグラフである。
【図１５】本発明の第１の実施形態の発光ダイオードの保護膜の通電窓を説明するための平面図である。
【図１６】従来の発光ダイオードの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明を適用した発光ダイオード及びその製造方法について、図を用いてその構成を説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などは実際と同じであるとは限らない。また、以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
なお、本発明の効果を損ねない範囲で以下に記載していない層を備えてもよい。
【００２４】
〔発光ダイオード（第１の実施形態）〕
図１に、本発明を適用した発光ダイオードの一例の断面模式図である。図２は、図１で示した発光ダイオードを含むウェハ上に形成された発光ダイオードの斜視図である。
以下に、図１及び図２を参照して、本発明を適用した一実施形態の発光ダイオードについて詳細に説明する。
【００２５】
図１に示す発光ダイオード１００は、支持基板１上に、金属からなる反射層２と、活性層４及びコンタクト層５を順に含む化合物半導体層２０（図４参照）とを順に備え、光射出孔９ｂから光を外部に射出する発光ダイオードであって、その上部に平坦部６と、傾斜側面７ａ及び頂面７ｂを有するメサ型構造部７とを備え、平坦部６及びメサ型構造部７はそれぞれ、少なくとも一部は保護膜８、電極膜９によって順に覆われてなり、メサ型構造部７は少なくとも活性層４の一部を含むものであって、傾斜側面７ａはウェットエッチングによって形成されてなると共に頂面７ｂに向かって水平方向の断面積が連続的に小さく形成されてなり、保護膜８は、平坦部６の少なくとも一部と、メサ型構造部７の傾斜側面７ａと、メサ型構造部７の頂面７ｂの周縁領域７ｂａとを覆うとともに、平面視して周縁領域の内側であってかつ光射出孔９ｂの周囲に配置して、化合物半導体層２０（コンタクト層５）の表面の一部を露出する通電窓８ｂを有し、電極膜９は、通電窓８ｂから露出された化合物半導体層２０（コンタクト層５）の表面に接触すると共に、平坦部６上に形成された保護膜８の一部を少なくとも覆い、メサ型構造部７の頂面７ｂ上に光射出孔９ｂを有するように形成された連続膜であり、反射層２と化合物半導体層２０（接合（コンタクト）層３）との間であって、平面視して通電窓８ｂ及びそれに囲まれる範囲１２内に透明導電膜３０を備えている。また、透明導電膜３０と化合物半導体層２０との間の、透明導電膜３０の周縁部３０ａ（図４参照）であって、かつ、平面視して光射出孔９ｂに重らない範囲に、オーミック金属部３１を備えている。また、反射層２と活性層４との間に接合（コンタクト）層３を備えている。
本実施形態の発光ダイオードのメサ型構造部７は、平面視して矩形であり、電極膜９の光射出孔９ｂは平面視して円形である。メサ型構造部７の平面視は矩形に限定されず、また、光射出孔９ｂの平面視も円形に限定されない。
メサ型構造部７の電極膜上に、側面からの光の漏れを防止するための光漏れ防止膜１６を備えている。
また、基板１の下面側には裏面電極４０を備えている。
なお、図面上、透明導電膜３０の外径がオーミック金属部３１の外径より小さく描いているが、これは製造プロセス上、大小関係になる場合が多いことを反映したものであって、本発明に必須の構成を示すものではない。
【００２６】
本発明の発光ダイオードは、図２に示すように、ウェハ状の基板上に多数の発光ダイオード１００を作製した後、各発光ダイオードごとにストリート（切断予定ライン）２１（点線２２はストリート２１の長手方向の中心線）に沿って切断することにより製造することができる。すなわち、点線２２に沿ってストリート２１の部分にレーザーやブレード等を当てることにより、各発光ダイオードごとに切断して個片化できる。
【００２７】
メサ型構造部７は、平坦部６に対して上方に突出した構造であり、傾斜側面７ａと頂面７ｂとを外面として有する。図１で示した例の場合、傾斜側面７ａは、活性層４の全層、及びコンタクト層５の傾斜断面上に保護膜を介して形成された電極膜(おもて面電極膜)９の表面からなり、頂面７ｂは、保護膜８の中央部分を覆う部分８ｄの表面と、電極膜９（符号９ｂａ、９ｂｂ及び９ｄの部分）の表面とからなる。
【００２８】
また、本発明のメサ型構造部７の内部には、コンタクト層５と、活性層４の少なくとも一部とが含まれる。
図１で示した例の場合、メサ型構造部７の内部には、コンタクト層５と、活性層４の全層とが含まれる。メサ型構造部７の内部には、活性層４の一部だけが含まれてもよいが、活性層４の全層がメサ型構造部７の内部に含まれるのが好ましい。活性層４で発光した光を全てメサ型構造部内で生ずることになり、光取り出し効率が向上するからである。
【００２９】
また、メサ型構造部７は、その傾斜側面７ａがウェットエッチングによって形成されてなると共に、支持基板１側から頂面７ｂに向かって水平方向の断面積が連続的に小さく形成されてなる。傾斜側面７ａはウェットエッチングによって形成されたものなので、頂面側から支持基板１側へ傾斜が緩くなるように形成されてなる。メサ型構造部７の高さｈは３〜７μｍであって、平面視した傾斜側面７ａの幅ｗが０．５〜７μｍであることが好ましい。この場合、メサ型構造部７の側面が垂直若しくは急傾斜でなく、緩やかな傾斜であるために、保護膜や電極用金属膜を一様な膜厚で形成するのが容易となり、不連続な膜になるおそれがなく、そのため、不連続な膜に起因したリークや通電不良がなく、安定で高輝度の発光が担保されるからである。
また、高さが７μｍを超えるまでウェットエッチングを行うと、傾斜側面がオーバーハング形状（逆テーパ状）になりやすくなるので好ましくない。オーバーハング形状（逆テーパ状）では保護膜や電極膜を均一な膜厚で不連続箇所なく形成することが垂直側面の場合よりもさらに困難になる。
なお、本明細書において、高さｈとは、平坦部６上の保護膜を介して形成された電極膜９（符号９ｃの部分）の表面から、保護膜８の符号８ｂａの部分を覆う電極膜９（符号９ｂａの部分）の表面までの垂直方向の距離（図１参照）をいう。また、幅ｗとは、保護膜８の符号８ｂａの部分を覆う電極膜９（符号９ｂａの部分）のエッジからそのエッジにつながった傾斜側面の電極膜９（符号９ａの部分）の最下のエッジの水平方向の距離（図１参照）をいう。
【００３０】
図３は、メサ型構造部７近傍の断面の電子顕微鏡写真である。
図３で示した例の層構成は、コンタクト層がＡｌ０．３Ｇａ０．７Ａｓからなり、層厚が３μｍである点以外は、後述する実施例と同様な構成である。
【００３１】
本発明のメサ型構造部はウェットエッチングによって形成されてなるので、その頂面側から基板側へ行くほど（図で下方に行くほど）、メサ型構造部の水平断面積（又は、幅もしくは径）の増大率が大きくなるように形成されている。この形状によってメサ型構造部がドライエッチングではなく、ウェットエッチングによって形成されたものであることを判別することができる。
図３で示した例では、高さｈは７μｍであり、幅ｗは３．５〜４．５μｍであった。
【００３２】
メサ型構造部７は、平面視して矩形であるのが好ましい。製造時のウェットエッチングにおける異方性の影響でエッチング深さによりメサ形状が変化することが抑制され、メサ型構造部の各面の面積の制御が容易なので、高精度の寸法形状が得られるからである。
【００３３】
発光ダイオードにおけるメサ型構造部７の位置は、図１及び図２に示すように、素子の小型化のためには発光ダイオードの長軸方向の一方に片寄っているのが好ましい。平坦部６はボンディングワイヤ（図示せず）を取り付けるのに要する広さが必要であるため、狭くするのには限界があり、メサ型構造部７をもう一方に寄せることにより、平坦部６の範囲を最小化でき、素子の小型化を図ることができるからである。
【００３４】
平坦部６は、メサ型構造部７の周囲に配置する部分である。本発明では、十分な荷重（及び超音波）をかけることが可能な電極膜の平坦部に位置する部分にワイヤボンディングがなされるので、接合強度の強いワイヤボンディングが実現できる。
【００３５】
平坦部６には、保護膜８、電極膜(おもて面電極膜)９が順に形成されており、電極膜９の上にはボンディングワイヤ（図示せず）が取り付けられる。平坦部６の保護膜８の直下に配置する材料は、メサ型構造部７の内部の構成により決まる。
【００３６】
保護膜８は、メサ型構造部７の傾斜側面７ａを覆う部分８ａと、平坦部６の少なくとも一部を覆う部分８ｃ（メサ型構造部７を挟んで反対側の平坦部を覆う部分８ｃｃも含む）と、メサ型構造部７の頂面７ｂの周縁領域７ｂａを覆う部分８ｂａと、前記頂面７ｂの中央部分を覆う部分８ｄとからなり、平面視して周縁領域７ｂａの内側にコンタクト層５の表面の一部を露出する通電窓８ｂを有する。
本実施形態の通電窓８ｂは、メサ型構造部７の頂面７ｂにおいてコンタクト層５の表面のうち、周縁領域７ｂａの下に位置する部分８ｂａと中央部分を覆う部分８ｄの下に位置する部分との間の径の異なる２つの同心円間の領域（環状領域）を露出する。
通電窓８ｂの形状に制限はない。環状でなくてもよく、連続するものでなく離散する複数の領域からなってもよい。
【００３７】
保護膜８の第１の機能は発光が生じる領域及び光を取り出す範囲を狭くするために、おもて面電極膜９の下層に配置して、おもて面電極膜９のうち、化合物半導体層２０に接触して化合物半導体層２０との間の電流の流入もしくは流出を頂面の通電窓８ｂの部分に制限することである。すなわち、保護膜８を形成した後、保護膜８を含む全面におもて面電極膜を形成し、その後、おもて面電極膜をパターニングするが、保護膜８を形成した部分についてはおもて面電極膜を除去しなくても電流が流れることはない。電流を流したいところに保護膜８の通電窓８ｂを形成する。
従って、第１の機能を持たせるように、メサ型構造部７の頂面７ｂの一部に通電窓８ｂを形成する構成であれば、通電窓８ｂの形状や位置は図１のような形状や位置に限定されない。
【００３８】
保護膜８の第２の機能は、第１の機能は必須の機能であるのに対して、必須の機能ではないが、図１に示す保護膜８の場合、第２の機能として、平面視しておもて面電極膜９の光射出孔９ａ内のコンタクト層５の表面に配置して、保護膜８越しに光を取り出すことができ、かつ、光を取り出すコンタクト層５の表面を保護することである。
なお、後述する第２の実施形態では、光射出孔の下に保護膜を有さず、保護膜を介さずに光射出孔９ｂから直接、光を取り出す構成であり、第２の機能を有さない。
【００３９】
保護膜８の材料としては絶縁層として公知のものを用いることができるが、安定した絶縁膜の形成が容易であることから、シリコン酸化膜が好ましい。
なお、本実施形態では、この保護膜８（８ｄ）越しに光を取り出すので、保護膜８は透光性を有する必要がある。
【００４０】
また、保護膜８の膜厚は、０．３〜１μｍが好ましい。０．３μｍ未満では絶縁が十分ではないからであり、１μｍを超えると形成するのに時間がかかり過ぎるからである。
【００４１】
電極膜(おもて面電極膜)９は、保護膜８のうち傾斜側面７ａを覆う部分８ａを覆う部分９ａと、保護膜８のうち平坦部６の少なくとも一部を覆う部分８ｃを覆う部分９ｃと、保護膜８のうちメサ型構造部７の頂面７ｂの周縁領域７ｂａを覆う部分８ｂａの部分を覆う部分９ｂａと、保護膜８の通電窓８ｂを埋め込む部分９ｂｂ（以下適宜、「コンタクト部分」という）と、メサ型構造部７の頂面７ｂにおいて保護膜８のうち頂面７ｂの中央部分を覆う部分８ｄの外周縁部を覆う部分９ｄとからなる。
【００４２】
電極膜(おもて面電極膜)９の第1の機能は電流を流すための電極としての機能であり、第２の機能は発光した光が射出される範囲を制限することである。図１で示した例の場合、第１の機能はコンタクト部分９ｂｂが担い、第２の機能は中央部分を覆う部分８ｄの外周縁部を覆う部分９ｄが担っている。
第２の機能については非透光性の保護膜を用いることにより、その保護膜に担わせる構成でもよい。
【００４３】
電極膜９は平坦部６の保護膜８全体を覆っていてもよいし、その一部を覆っても構わないが、ボンディングワイヤを適切に取り付けるためにはできるだけ広範囲を覆っているのが好ましい。コスト低減の観点から、図２に示すように、各発光ダイオードごとに切断する際のストリート２１には電極膜を覆わないのが好ましい。
【００４４】
この電極膜９はメサ型構造部７の頂面７ｂにおいてコンタクト部分９ｂｂでしかコンタクト層５に接触していないので、発光ダイオードの内部を流れてきた電流はコンタクト部９ｂｂを介してのみ流れる。
【００４５】
電極膜９の材料としては、コンタクト層に対して良好なオーミックコンタクトが得られる公知の電極材料を用いることができる。例えば、ｎ型電極とする場合には、ＡｕＧｅ層とＮｉ層とＡｕ層を順に形成した構造（ＡｕＧｅ／Ｎｉ／Ａｕ）を用いることができる。
また、電極膜９の膜厚は、０．５〜２．０μｍが好ましい。０．５μｍ未満では均一かつ良好なオーミックコンタクトを得ることが困難な上、ボンディング時の強度、厚みが不十分だからであり、２．０μｍを超えるとコストがかかり過ぎるからである。
【００４６】
図４に、透明導電膜３０及び通電窓８ｂ近傍の拡大断面図を示す。
図４において、Ｒ１は、通電窓８ｂ及び通電窓８ｂに囲まれる範囲１２（図１参照）を示す。Ｒ２は、光射出孔９ｂの範囲（広がり）を示す。Ｒ３は、透明導電膜３０の範囲（広がり）を示す。Ｒ４は、オーミック金属部の内側（透明導電膜３０のうち、オーミック金属部で被覆されていない範囲）を示す。Ｒ５及びＲ６は、オーミック金属部が形成されている範囲を示す。
【００４７】
透明導電膜３０は、反射層２と化合物半導体層２０との間であって、かつ、平面視して通電窓８ｂ及び通電窓８ｂに囲まれる範囲１２（図１参照）内に形成されている。
図４を用いて、図４に示した断面における、平面上の配置関係を説明すると、まず、平面視して、Ｒ３（透明導電膜３０の範囲）はＲ１（通電窓８ｂ及び通電窓８ｂに囲まれる範囲１２）の範囲内にある。
また、平面視して、Ｒ５及びＲ６（オーミック金属部が形成された範囲）はＲ２（光射出孔９ｂの範囲）の範囲外にある。言い換えると、平面視して、Ｒ２（光射出孔９ｂの範囲）は、Ｒ４（透明導電膜３０のうち、オーミック金属部で被覆されていない範囲）は範囲内にある。
【００４８】
反射層２は、Ａｕ等の反射率が高い金属で形成される。これらの金属は接合（コンタクト）層３にショットキー接触を形成するので、反射層２と接合（コンタクト）層３との間にはほとんど電流は流れない。
透明導電膜３０を範囲１２（図１参照）内に形成したため、電流の流れは、電極膜９のコンタクト部分９ｂｂと透明導電膜３０との間に集中し、他の部分に流れる電流は少ない。また、後述するように、オーミック金属部３１を備えた場合、電流の流れは、電極膜９のコンタクト部分９ｂｂと透明導電膜３０及びオーミック金属部３１との間に集中する。この結果、活性層３で発光する光のうち、通電窓８ｂ及び通電窓８ｂに囲まれる範囲１２（図１参照）の直下において発光する光の量がその直下以外で発光する光の量よりも格段に多くなる。その結果、光射出孔９ｂから射出する光の割合が多くなり、光取り出し効率が向上する。
【００４９】
透明導電膜３０を構成する材料としては高導電性でかつ透光性を有する材料であれば、制限はないが、例えば、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯを用いることができる。
また、透明導電膜３０の膜厚としては、１００ｎｍ〜１５０ｎｍとすることが好ましい。１００ｎｍ未満では十分な電流拡散効果が得られず、１５０nmを超えると透過率が低下し、金属反射膜による反射取り出し光量が低下するためである。
【００５０】
図４に示すように、透明導電膜と化合物半導体層との間の、透明導電膜３０の周縁部３０ａであってかつ平面視して光射出孔９ｂに重ならない範囲にオーミック金属部３１を備えてもよい。
【００５１】
オーミック金属部３１を構成する金属材料としては接合（コンタクト）層３にオーミックコンタクトできる材料であれば、制限はないが、例えば、ＡｕＢｅ、ＡｕＺｎのいずれかを用いることができる。
また、オーミック金属部の膜厚としては、０．８〜１．２μｍとすることが好ましい。０．８μｍ未満では良好なコンタクトを取ることが困難であり、１．２μｍを超えると原料効率が悪いためである。
【００５２】
図１に示すように、活性層で発光した光がメサ型構造部７の側面から素子外に漏れることを防止する光漏れ防止膜１６を備えてもよい。
【００５３】
光漏れ防止膜１６の材料としては公知の反射材料を用いることができる。例えば、電極膜９の材料としてＡｕＧｅ／Ｎｉ／Ａｕを用いた場合は、同じＡｕＧｅ／Ｎｉ／Ａｕを用いることができる。
【００５４】
本実施形態においては、光射出孔９ｂの下に保護膜８ｄ（８）が形成されており、メサ型構造部７の頂面において保護膜８ｄ（８）を介して光射出孔９ｂから光を取り出す構成である。
【００５５】
光射出孔９ｂの形状は、平面視して円形又は楕円であるのが好ましい。矩形等の角を持つ構造に比べ均一なコンタクト領域を形成しやすく、角部での電流集中等の発生を抑制できる。また、受光側でのファイバー等への結合に適しているからである。
【００５６】
光射出孔９ｂの径は、５０〜１５０μｍであるのが好ましい。５０μm未満では射出部での電流密度が高くなり、低電流で出力が飽和してしまう一方、１５０μmを超えると射出部全体への電流拡散が困難であるため、注入電流に対する発光効率が低下するからである。
【００５７】
支持基板１の材料としては、金属、Ｇｅ、Ｓｉ、ＧａＰ、ＧａＩｎＰ、ＳｉＣ等を用いることができる。Ｇｅ基板、Ｓｉ基板は安価で耐湿性に優れているという利点がある。ＧａＰ、ＧａＩｎＰ、ＳｉＣ基板は、発光部と熱膨張係数が近く、耐湿性に優れ、熱伝導性が良いという利点がある。金属基板はコスト面、機械強度、放熱性の観点から優れており、また、後述するように、複数の金属層（金属板）を積層した構造とすることにより、金属基板全体として熱膨張係数を調整できるという利点がある。
【００５８】
支持基板１として金属基板を用いる場合、複数の金属層（金属板）を積層した構造とすることができる。  
複数の金属層（金属板）を積層した構造とする場合、２種類の金属層が交互に積層されてなるのが好ましく、特に、この２種類の金属層（例えば、これらを第1の金属層、第２の金属層という）の層数は合わせて奇数とするのが好ましい。
【００５９】
例えば、第２の金属層を第1の金属層で挟んだ金属基板とした場合、金属基板の反りや割れの観点から、第２の金属層として化合物半導体層より熱膨張係数が小さい材料を用いるときは、第１の金属層を化合物半導体層より熱膨張係数が大きい材料からなるものを用いるのが好ましい。金属基板全体としての熱膨張係数が化合物半導体層の熱膨張係数に近いものとなるため、化合物半導体層と金属基板とを接合する際の金属基板の反りや割れを抑制することができ、発光ダイオードの製造歩留まりを向上させることができるからである。同様に、第２の金属層として化合物半導体層より熱膨張係数が大きい材料を用いるときは、第１の金属層を化合物半導体層より熱膨張係数が小さい材料からなるものを用いるのが好ましい。金属基板全体としての熱膨張係数が化合物半導体層の熱膨張係数に近いものとなるため、化合物半導体層と金属基板とを接合する際の金属基板の反りや割れを抑制でき、発光ダイオードの製造歩留まりを向上できるからである。
以上の観点からは、２種類の金属層はいずれが第１の金属層でも第２の金属層でも構わない。
２種類の金属層としては、例えば、銀（熱膨張係数＝１８．９ｐｐｍ／Ｋ）、銅（熱膨張係数＝１６．５ｐｐｍ／Ｋ）、金（熱膨張係数＝１４．２ｐｐｍ／Ｋ）、アルミニウム（熱膨張係数＝２３．１ｐｐｍ／Ｋ）、ニッケル（熱膨張係数＝１３．４ｐｐｍ／Ｋ）およびこれらの合金のいずれかからなる金属層と、モリブデン（熱膨張係数＝５．１ｐｐｍ／Ｋ）、タングステン（熱膨張係数＝４．３ｐｐｍ／Ｋ）、クロム（熱膨張係数＝４．９ｐｐｍ／Ｋ）およびこれらの合金のいずれかからなる金属層との組み合わせを用いることができる。
好適な例としては、Ｃｕ／Ｍｏ／Ｃｕの３層からなる金属基板があげられる。上記の観点ではＭｏ／Ｃｕ／Ｍｏの３層からなる金属基板でも同様な効果が得られるが、Ｃｕ／Ｍｏ／Ｃｕの３層からなる金属基板は、機械的強度が高いＭｏを加工しやすいＣｕで挟んだ構成なので、Ｍｏ／Ｃｕ／Ｍｏの３層からなる金属基板よりも切断等の加工が容易であるという利点がある。
【００６０】
金属基板全体としての熱膨張係数は例えば、Ｃｕ（３０μｍ）／Ｍｏ（２５μｍ）／Ｃｕ（３０μｍ）の３層からなる金属基板では６．１ｐｐｍ／Ｋであり、Ｍｏ（２５μｍ）／Ｃｕ（７０μｍ）／Ｍｏ（２５μｍ）の３層からなる金属基板では５．７ｐｐｍ／Ｋとなる。
【００６１】
また、放熱の観点からは、金属基板を構成する金属層は熱伝導率が高い材料からなるのが好ましい。これにより、金属基板の放熱性を高くして、発光ダイオードを高輝度で発光させることができるとともに、発光ダイオードの寿命を長寿命とすることができるからである。
例えば、銀（熱伝導率＝４２０Ｗ／ｍ・Ｋ）、銅（熱伝導率＝３９８Ｗ／ｍ・Ｋ）、金（熱伝導率＝３２０Ｗ／ｍ・Ｋ）、アルミニウム（熱伝導率＝２３６Ｗ／ｍ・Ｋ）、モリブデン（熱伝導率＝１３８Ｗ／ｍ・Ｋ）、タングステン（熱伝導率＝１７４Ｗ／ｍ・Ｋ）およびこれらの合金などを用いることが好ましい。
それらの金属層の熱膨張係数が化合物半導体層の熱膨張係数と略等しい材料からなるのがさらに好ましい。特に、金属層の材料が、化合物半導体層の熱膨張係数の±１．５ｐｐｍ／Ｋ以内である熱膨張係数を有する材料であるのが好ましい。これにより、金属基板と化合物半導体層との接合時の発光部への熱によるストレスを小さくすることができ、金属基板を化合物半導体層と接続させたときの熱による金属基板の割れを抑制することができ、発光ダイオードの製造歩留まりを向上させることができる。
金属基板全体としての熱伝導率は例えば、Ｃｕ（３０μｍ）／Ｍｏ（２５μｍ）／Ｃｕ（３０μｍ）の３層からなる金属基板では２５０Ｗ／ｍ・Ｋとなり、Ｍｏ（２５μｍ）／Ｃｕ（７０μｍ）／Ｍｏ（２５μｍ）の３層からなる金属基板では２２０Ｗ／ｍ・Ｋとなる。
【００６２】
また、成長用基板に化合物半導体層等を成長後に、金属基板を接合してその成長用基板をエッチング液を用いて除去する際に、そのエッチング液による劣化を回避するために、金属基板の上面及び下面を金属保護膜で覆うことが好ましい。さらにその側面も金属保護膜で覆うことが好ましい。
金属保護膜の材料としては、密着性に優れるクロム、ニッケル、化学的に安定な白金、又は金の少なくともいずれか一つを含む金属からなるものであることが好ましい。
金属保護膜は密着性がよいニッケルと耐薬品に優れる金を組み合わせた層からなるのが最適である。
金属保護膜の厚さは特に制限はないが、エッチング液に対する耐性とコストのバランスから、０．２〜５μｍ、好ましくは、０．５〜３μｍが適正な範囲である。高価な金の場合は、厚さは２μｍ以下が望ましい。
【００６３】
反射層２及び化合物半導体層２０（接合層３、活性層４、コンタクト層５）の構造には、公知の機能層を適時加えることができる。例えば、素子駆動電流を発光部の全般に平面的に拡散させるための電流拡散層、逆に素子駆動電流の通流する領域を制限するための電流阻止層や電流狭窄層など公知の層構造を設けることができる。
【００６４】
図５に示すように、活性層４は、下部クラッド層１１、下部ガイド層１２、発光層１３、上部ガイド層１４、上部クラッド層１５が順次積層されて構成されている。すなわち、活性層４は、放射再結合をもたらすキャリア（担体；ｃａｒｒｉｅｒ）及び発光を発光層１３に「閉じ込める」ために、発光層１３の下側及び上側に対峙して配置した下部クラッド層１１、下部ガイド層１２、及び上部ガイド層１４、上部クラッド層１５を含む、所謂、ダブルヘテロ（英略称：ＤＨ）構造とすることが高強度の発光を得る上で好ましい。
【００６５】
図５に示すように、発光層１３は、発光ダイオード（ＬＥＤ）の発光波長を制御するため、量子井戸構造を構成することができる。すなわち、発光層１３は、バリア層（障壁層ともいう）１８を両端に有する、井戸層１７とバリア層１８との多層構造（積層構造）とすることができる。
【００６６】
発光層１３の層厚は、０．０２〜２μｍの範囲であることが好ましい。発光層１３の伝導型は特に限定されるものではなく、アンドープ、ｐ型及びｎ型のいずれも選択することができる。発光効率を高めるには、結晶性が良好なアンドープ又は３×１０１７ｃｍ−３未満のキャリア濃度とすることが望ましい。
【００６７】
井戸層１７の材料としては公知の井戸層材料を用いることができる。例えば、ＡｌＧａＡｓ、ＩｎＧａＡｓ、ＡｌＧａＩｎＰを用いることができる。
【００６８】
井戸層１７の層厚は、３〜３０ｎｍの範囲が好適である。より好ましくは、３〜１０ｎｍの範囲である。
【００６９】
バリア層１８の材料としては、井戸層１７の材料に対して適した材料を選択するのが好ましい。バリア層１８での吸収を防止して発光効率を高めるため、井戸層１７よりもバンドギャップが大きくなる組成とするのが好ましい。
【００７０】
例えば、井戸層１７の材料としてＡｌＧａＡｓ又はＩｎＧａＡｓを用いた場合にはバリア層１８の材料としてＡｌＧａＡｓやＡｌＧａＩｎＰが好ましい。バリア層１８の材料としてＡｌＧａＩｎＰを用いた場合、欠陥を作りやすいＡｓを含まないので結晶性が高く、高出力に寄与する。
井戸層１７の材料として（ＡｌＸ１Ｇａ１−Ｘ１）Ｙ１Ｉｎ１−Ｙ１Ｐ（０≦Ｘ１≦１，０＜Ｙ１≦１）を用いた場合、バリア層１８の材料としてよりＡｌ組成の高い（ＡｌＸ４Ｇａ１−Ｘ４）Ｙ１Ｉｎ１−Ｙ１Ｐ（０≦Ｘ４≦１，０＜Ｙ１≦１，Ｘ１＜Ｘ４）または井戸層（ＡｌＸ１Ｇａ１−Ｘ１）Ｙ１Ｉｎ１−Ｙ１Ｐ（０≦Ｘ１≦１，０＜Ｙ１≦１）よりバンドギャップエネルギーが大きくなるＡｌＧａＡｓを用いることができる。
【００７１】
バリア層１８の層厚は、井戸層１７の層厚と等しいか又は井戸層１７の層厚より厚いのが好ましい。トンネル効果が生じる層厚範囲で十分に厚くすることにより、トンネル効果による井戸層間への広がりが抑制されてキャリアの閉じ込め効果が増大し、電子と正孔の発光再結合確率が大きくなり、発光出力の向上を図ることができる。
【００７２】
井戸層１７とバリア層１８との多層構造において、井戸層１７とバリア層１８とを交互に積層する対の数は特に限定されるものではないが、２対以上４０対以下であることが好ましい。すなわち、活性層１１には、井戸層１７が２〜４０層含まれていることが好ましい。ここで、活性層１１の発光効率が好適な範囲としては、井戸層１７が５層以上であることが好ましい。一方、井戸層１７及びバリア層１８は、キャリア濃度が低いため、多くの対にすると順方向電圧（ＶＦ）が増大してしまう。このため、４０対以下であることが好ましく、２０対以下であることがより好ましい。
【００７３】
下部ガイド層１２及び上部ガイド層１４は、図５に示すように、発光層１３の下面及び上面にそれぞれ設けられている。具体的には、発光層１３の下面に下部ガイド層１２が設けられ、発光層１３の上面に上部ガイド層１４が設けられている。
【００７４】
下部ガイド層１２および上部ガイド層１４の材料としては、公知の化合物半導体材料を用いることができ、発光層１３の材料に対して適した材料を選択するのが好ましい。例えば、ＡｌＧａＡｓ、ＡｌＧａＩｎＰを用いることができる。
【００７５】
例えば、井戸層１７の材料としてＡｌＧａＡｓ又はＩｎＧａＡｓを用い、バリア層１８の材料としてＡｌＧａＡｓ又はＡｌＧａＩｎＰを用いた場合、下部ガイド層１２および上部ガイド層１４の材料としてはＡｌＧａＡｓ又はＡｌＧａＩｎＰが好ましい。下部ガイド層１２および上部ガイド層１４の材料としてＡｌＧａＩｎＰを用いた場合、欠陥を作りやすいＡｓを含まないので結晶性が高く、高出力に寄与する。
井戸層１７の材料として（ＡｌＸ１Ｇａ１−Ｘ１）Ｙ１Ｉｎ１−Ｙ１Ｐ（０≦Ｘ１≦１，０＜Ｙ１≦１）を用いた場合、ガイド層１４の材料としてよりＡｌ組成の高い（ＡｌＸ４Ｇａ１−Ｘ４）Ｙ１Ｉｎ１−Ｙ１Ｐ（０≦Ｘ４≦１，０＜Ｙ１≦１，Ｘ１＜Ｘ４）または井戸層（ＡｌＸ１Ｇａ１−Ｘ１）Ｙ１Ｉｎ１−Ｙ１Ｐ（０≦Ｘ１≦１，０＜Ｙ１≦１）よりバンドギャップエネルギーが大きくなるＡｌＧａＡｓを用いることができる。
【００７６】
下部ガイド層１２及び上部ガイド層１４は、夫々、下部クラッド層１１及び上部クラッド層１５と活性層１１との欠陥の伝搬を低減するために設けられている。このため、下部ガイド層１２および上部ガイド層１４の層厚は１０ｎｍ以上が好ましく、２０ｎｍ〜１００ｎｍがより好ましい。
【００７７】
下部ガイド層１２及び上部ガイド層１４の伝導型は特に限定されるものではなく、アンドープ、ｐ型及びｎ型のいずれも選択することができる。発光効率を高めるには、結晶性が良好なアンドープ又は３×１０１７ｃｍ−３未満のキャリア濃度とすることが望ましい。
【００７８】
下部クラッド層１１及び上部クラッド層１５は、図５に示すように、下部ガイド層１２の下面及び上部ガイド層１４上面にそれぞれ設けられている。
【００７９】
下部クラッド層１１及び上部クラッド層１５の材料としては、公知の化合物半導体材料を用いることができ、発光層１３の材料に対して適した材料を選択するのが好ましい。例えば、ＡｌＧａＡｓ、ＡｌＧａＩｎＰを用いることができる。
【００８０】
例えば、井戸層１７の材料としてＡｌＧａＡｓ又はＩｎＧａＡｓを用い、バリア層１８の材料としてＡｌＧａＡｓ又はＡｌＧａＩｎＰを用いた場合、下部クラッド層１１及び上部クラッド層１５の材料としてはＡｌＧａＡｓ又はＡｌＧａＩｎＰが好ましい。下部クラッド層１１及び上部クラッド層１５の材料としてＡｌＧａＩｎＰを用いた場合、欠陥を作りやすいＡｓを含まないので結晶性が高く、高出力に寄与する。
井戸層１７の材料として（ＡｌＸ１Ｇａ１−Ｘ１）Ｙ１Ｉｎ１−Ｙ１Ｐ（０≦Ｘ１≦１，０＜Ｙ１≦１）を用いた場合、クラッド層１５の材料としてよりＡｌ組成の高い（ＡｌＸ４Ｇａ１−Ｘ４）Ｙ１Ｉｎ１−Ｙ１Ｐ（０≦Ｘ４≦１，０＜Ｙ１≦１，Ｘ１＜Ｘ４）または井戸層（ＡｌＸ１Ｇａ１−Ｘ１）Ｙ１Ｉｎ１−Ｙ１Ｐ（０≦Ｘ１≦１，０＜Ｙ１≦１）よりバンドギャップエネルギーが大きくなるＡｌＧａＡｓを用いることができる。
【００８１】
下部クラッド層１１と上部クラッド層１５とは、極性が異なるように構成されている。
また、下部クラッド層１１及び上部クラッド層１５のキャリア濃度及び厚さは、公知の好適な範囲を用いることができ、活性層１１の発光効率が高まるように条件を最適化することが好ましい。なお、下部および上部クラッド層は設けなくてもよい。
また、下部クラッド層１１及び上部クラッド層１５の組成を制御することによって、化合物半導体層２０の反りを低減させることができる。
【００８２】
コンタクト層５は、電極との接触抵抗を低下させるために設けられている。コンタクト層５の材料は、発光層１３よりバンドギャップの大きい材料であることが好ましい。また、コンタクト層５のキャリア濃度の下限値は、電極との接触抵抗を低下させるために５×１０１７ｃｍ−３以上であることが好ましく、１×１０１８ｃｍ−３以上がより好ましい。キャリア濃度の上限値は、結晶性の低下が起こりやすくなる２×１０１９ｃｍ−３以下が望ましい。コンタクト層５の厚さは、０．０５μｍ以上が好ましい。コンタクト層５の厚さの上限値は特に限定されないが、エピタキシャル成長に係るコストを適正範囲にするため、１０μｍ以下とすることが望ましい。
【００８３】
本発明の発光ダイオードは、ランプ、バックライト、携帯電話、ディスプレイ、各種パネル類、コンピュータ、ゲーム機、照明などの電子機器や、それらの電子機器を組み込んだ自動車などの機械装置等に組み込むことができる。
【００８４】
〔発光ダイオード（第２の実施形態）〕
図６に、本発明を適用した発光ダイオードの一例である発光ダイオードの他の例を示した断面模式図を示す。
第１の実施形態においては、光射出孔の下に保護膜が形成されており、メサ型構造部の頂面において保護膜を介して光射出孔から光を取り出す構成であったが、第２の実施形態は、光射出孔の下に保護膜を有さず、保護膜を介さずに直接、光射出孔９ｂから光を取り出す構成である。
すなわち、第２の実施形態に係る発光ダイオード２００では、保護膜２８は、平坦部６の少なくとも一部２８ｃと、メサ型構造部７の傾斜側面７ａと、メサ型構造部７の頂面７ｂの周縁領域７ｂａとを覆うとともに、平面視して周縁領域７ｂａの内側にコンタクト層５の表面を露出する通電窓２８ｂを有し、電極膜２９は、保護膜２８を介して平坦部６の少なくとも一部と、保護膜２８を介してメサ型構造部７の傾斜側面７ａと、保護膜２８を介してメサ型構造部７の頂面７ｂの周縁領域７ｂａとを覆い、さらに、メサ型構造部７の頂面において通電窓２８ｂから露出するコンタクト層５の表面の一部だけを覆ってコンタクト層５の表面の他の部分５ａを露出する光射出孔２９ｂを有する、ことを特徴とする。
【００８５】
図６に示すように、第２の実施形態の保護膜２８は、メサ型構造部７の傾斜側面７ａを覆う部分２８ａと、平坦部６の少なくとも一部を覆う部分２８ｃ（メサ型構造部７を挟んで反対側の平坦部を覆う部分２８ｃｃも含む）と、メサ型構造部７の頂面７ｂの周縁領域７ｂａを覆う部分２８ｂａとからなり、平面視して周縁領域７ｂａの内側にコンタクト層５の表面を露出する通電窓２８ｂを有する。すなわち、通電窓２８ｂはメサ型構造部７の頂面７ｂにおいてコンタクト層５の表面のうち、周縁領域７ｂａの下に位置する部分以外を露出する。保護膜８の上に電極膜(おもて面電極膜)９を形成するが、電流を流さない部分に保護膜８を形成している。
【００８６】
また、図６に示すように、第２の実施形態の電極膜(おもて面電極膜)２９は、保護膜２８のうち傾斜側面７ａを覆う部分２８ａを覆う部分２９ａと、保護膜２８のうち平坦部６の少なくとも一部を覆う部分２８ｃを覆う部分２９ｃと、保護膜２８のうちメサ型構造部７の頂面７ｂの周縁領域７ｂａを覆う部分２８ｂａの部分を覆う部分２９ｂａと、メサ型構造部７の頂面７ｂにおいて保護膜２８のうち符号２８ｂａの部分を越えて光射出孔２９ｂを開口するようにコンタクト層５を覆う部分２９ｂｂとからなる。
第２の実施形態の電極膜(おもて面電極膜)２９では、部分２９ｂｂが上記の第１の機能及び第２の機能の両方を担っている。
【００８７】
〔発光ダイオードの製造方法〕
次に、本発明の発光ダイオードの製造方法を説明する。
＜支持基板の製造工程＞
〔１〕支持基板１としてＧｅ基板を用いた場合（符号は図１１Ａ参照）
ゲルマニウム基板４１のおもて面４１Ａに例えば、Ｔｉ／Ａｕ／Ｉｎでなる層４２を形成し、ゲルマニウム基板４１の裏面に例えば、Ｔｉ／Ａｕでなる層４３を形成して、支持基板１を作製する。
【００８８】
〔２〕支持基板１として金属基板を用いた場合（変形例）
図７（ａ）〜図７（ｃ）は、金属基板の製造工程を説明するための金属基板の一部の断面模式図である。
金属基板１として、熱膨張係数が活性層の材料より大きい第１の金属層（第１の金属板）５１ｂと、熱膨張係数が活性層の材料より小さい第２の金属層（第２の金属板）５１ａとを採用して、ホットプレスして形成する。
【００８９】
具体的にはまず、２枚の略平板状の第１の金属層５１ｂと、１枚の略平板状の第２の金属層５１ａを用意する。例えば、第１の金属層５１ｂとしては厚さ１０μｍのＣｕ、第２の金属層５１ａとしては厚さ７５μｍのＭｏを用いる。
次に、図７（ａ）に示すように、２枚の第１の金属層５１ｂの間に第２の金属層５１ａを挿入してこれらを重ねて配置する。
【００９０】
次に、重ね合わせたそれらの金属層を所定の加圧装置に配置して、高温下で第１の金属層５１ｂと第２の金属層５１ａに矢印の方向に荷重をかける。これにより、図７（ｂ）に示すように、第１の金属層５１ｂがＣｕであり、第２の金属層５１ａがＭｏであり、Ｃｕ（１０μｍ）／Ｍｏ（７５μｍ）／Ｃｕ（１０μｍ）の３層からなる金属基板１を形成する。
金属基板１は、例えば、熱膨張係数が５．７ｐｐｍ／Ｋとなり、熱伝導率は２２０Ｗ／ｍ・Ｋとなる。
【００９１】
次に、図７（ｃ）に示すように、金属基板１の全面すなわち、上面、下面及び側面を覆う金属保護膜５１ｃを形成する。このとき、金属基板は各発光ダイオードに個片化のために切断される前なので、金属保護膜が覆う側面とは金属基板（プレート）の外周側面である。従って、個片化後の各発光ダイオードの金属基板１の側面を金属保護膜５１ｃで覆う場合には別途、金属保護膜で側面を覆う工程を実施する。
図７（ｃ）は、金属基板（プレート）の外周端側でない箇所の一部を示しているものであるため、外周側面の金属保護膜は図に表れていない。
【００９２】
金属保護膜は公知の膜形成方法を用いることができるが、側面を含めた全面に膜形成ができるめっき法が最も好ましい。
例えば、無電解めっき法では、ニッケルその後、金をめっきし、金属基板の上面、側面、
下面を順にニッケル膜及び金膜（金属保護膜）で覆われた金属基板１を作製できる。
めっき材質は、特に制限はなく、銅、銀、ニッケル、クロム、白金、金など公知の材質が適用できるが、密着性がよいニッケルと耐薬品に優れる金を組み合わせた層が最適である。
めっき法は、公知の技術、薬品が使用できる。電極が不要な無電解めっき法が、簡便で望ましい。  
【００９３】
＜化合物半導体層の形成工程＞
まず、図８に示すように、半導体基板（成長用基板）６１の一面６１ａ上に、複数のエピタキシャル層を成長させて活性層４を含むエピタキシャル積層体８０を形成する。
半導体基板６１は、エピタキシャル積層体８０形成用基板であり、例えば、一面６１ａが（１００）面から１５°傾けた面とされた、Ｓｉドープしたｎ型のＧａＡｓ単結晶基板である。エピタキシャル積層体８０としてＡｌＧａＩｎＰ層またはＡｌＧａＡｓ層を用いる場合、エピタキシャル積層体８０を形成する基板として砒化ガリウム（ＧａＡｓ）単結晶基板を用いることができる。
【００９４】
活性層４の形成方法としては、有機金属化学気相成長（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ
Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＭＯＣＶＤ）法、分子線エピタキシャル（Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  Ｂｅａｍ  Ｅｐｉｔａｘｉｃｙ：ＭＢＥ）法や液相エピタキシャル（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｐｈａｓｅ  Ｅｐｉｔａｘｉｃｙ：ＬＰＥ）法などを用いることができる。
【００９５】
本実施形態では、トリメチルアルミニウム（（ＣＨ３）３Ａｌ）、トリメチルガリウム（（ＣＨ３）３Ｇａ）及びトリメチルインジウム（（ＣＨ３）３Ｉｎ）をＩＩＩ族構成元素の原料に用いた減圧ＭＯＣＶＤ法を用いて、各層をエピタキシャル成長させる。
なお、Ｍｇのドーピング原料にはビスシクロペンタジエニルマグネシウム（（Ｃ５Ｈ５）２Ｍｇ）を用いる。また、Ｓｉのドーピング原料にはジシラン（Ｓｉ２Ｈ６）を用いる。また、Ｖ族構成元素の原料としては、ホスフィン（ＰＨ３）又はアルシン（ＡｓＨ３）を用いる。
なお、ｐ型のＧａＰ層３は例えば、７５０°Ｃで成長させ、その他のエピタキシャル成長層は例えば、７３０°Ｃで成長させる。
【００９６】
具体的には、まず、成長用基板６１の一面６１ａ上に、Ｓｉをドープしたｎ型のＧａＡｓからなる緩衝層６２ａを成膜する。緩衝層６２ａとしては、例えば、Ｓｉをドープしたｎ型のＧａＡｓを用い、キャリア濃度を２×１０１８ｃｍ−３とし、層厚を０．２μｍとする。
【００９７】
次に、本実施形態では、緩衝層６２ａ上にエッチングストップ層６２ｂを成膜する。
エッチングストップ層６２ｂは、半導体基板をエッチング除去する際、クラッド層および発光層までがエッチングされてしまうことを防ぐための層であり、例えば、Ｓｉドープの（Ａｌ０．５Ｇａ０．５）０．５Ｉｎ０．５Ｐからなり、層厚を０．５μｍとする。
【００９８】
次に、エッチングストップ層６２ｂ上に例えば、Ｓｉドープしたｎ型のＡｌＸＧａ１−ＸＡｓ（０．１≦Ｘ≦０．３）からなるコンタクト層５を成膜する。
【００９９】
次に、コンタクト層５上に例えば、Ｓｉをドープしたｎ型の（Ａｌ０．７Ｇａ０．３）０．５Ｉｎ０．５Ｐからなるクラッド層６３ａを成膜する。  
【０１００】
次に、クラッド層６３ａ上に例えば、Ａｌ０．１７Ｇａ０．８３Ａｓ／Ａｌ０．３Ｇａ０．７Ａｓの対からなる井戸層／バリア層の３対の積層構造からなる発光層６４を成膜する。
【０１０１】
次に、発光層６４上に例えば、Ｍｇをドープしたｐ型の（Ａｌ０．７Ｇａ０．３）０．５Ｉｎ０．５Ｐからなるクラッド層６３ｂを成膜する。
【０１０２】
次に、クラッド層６３ｂ上に例えば、Ｍｇドープしたｐ型のＧａＰ層の接合（コンタクト）層３を成膜する。
後述する金属基板等の基板に貼り付けする前に、貼り付け面を整える（すなわち、鏡面加工する。例えば、表面粗さを０．２ｎｍ以下とする）ため、例えば、１μｍ程度研磨することが好ましい。
【０１０３】
なお、クラッド層と発光層との間にガイド層を設けてもよい。
【０１０４】
＜透明導電膜及びオーミック金属部の形成工程＞
（オーミック金属部の形成）
次に、図８に示すように、接合（コンタクト）層３上にまず、形成予定の透明導電膜３０（図１参照）の周縁部３０ａであってかつ平面視して形成予定の光射出孔に重ならない範囲に、オーミック金属部３１を形成する。透明導電膜３０（図１参照）は、形成予定の通電窓及びそれに囲まれる範囲１２（図１参照）内に形成されるので、オーミック金属部３１もその範囲内に形成する。
具体的には例えば、接合（コンタクト）層３全面に、例えば蒸着法によって、オーミック金属部を構成する金属材料からなる膜を成膜する。次に、フォトリソグラフィの手法を用いて、その金属材料からなる膜をパターニングして、所定の位置に上記形状のオーミック金属部３１を形成する。
【０１０５】
オーミック金属部３１はリフトオフによって形成してもよい。すなわち、接合（コンタクト）層３上に、オーミック金属部の形成位置にその形状に対応する開口部を有するマスクを形成して、その上に蒸着法等によってオーミック金属部を構成する金属材料からなる膜を成膜し、その後、マスクを除去することによってオーミック金属部３１を形成してもよい。
【０１０６】
（透明導電膜の形成）
次に、図９に示すように、接合（コンタクト）層３上に、平面視して形成予定の通電窓及びそれに囲まれる範囲１２（図１参照）内に透明導電膜３０を形成する。
具体的には例えば、接合（コンタクト）層３全面に、例えばＣＶＤ法によって、オーミック金属部３１を覆うように透明導電膜を構成する材料からなる膜を成膜する。次に、フォトリソグラフィの手法を用いて、透明導電膜をパターニングして、形成予定の通電窓及びそれに囲まれる範囲内に上記形状の透明導電膜３０を形成する。
【０１０７】
透明導電膜３０はリフトオフによって形成してもよい。すなわち、接合（コンタクト）層３上に、透明導電膜３０の形成位置にその形状に対応する開口部を有するマスクを形成して、その上にＣＶＤ法等によって透明導電膜を構成する材料からなる膜を成膜し、その後、マスクを除去することによって透明導電膜３０を形成してもよい。
【０１０８】
＜反射層の形成工程＞
次に、図１０に示すように、接合（コンタクト）層３上に透明導電膜３０を覆うように、例えば、Ａｕからなる反射層２を形成する。
【０１０９】
＜支持基板の接合工程＞
〔１〕支持基板１としてＧｅ基板を用いた場合（符号は図１１Ａ参照）
ゲルマニウム基板４１のおもて面にＴｉ／Ａｕ／Ｉｎでなる層４２を形成し、裏面にＴｉ／Ａｕでなる層４３を形成して作製した上述の支持基板１のおもて面側のＩｎ層と、図１０に示した構造体のＡｕからなる反射層２とを重ね合わせて、例えば、３２０℃で加熱・５００ｇ／ｃｍ２で加圧し、図１１Ａに示すように、支持基板１をエピタキシャル積層体を含む構造体に接合する。
【０１１０】
〔２〕支持基板１として金属基板を用いた場合
金属基板を反射層２に接合する前に、反射層２上に順に、バリア層（図示せず）、接合層（図示せず）又はそのいずれかの層を形成してもよい。
【０１１１】
バリア層は、金属基板に含まれる金属が拡散して反射層２と反応するのを抑制することができる。
バリア層の材料としては、ニッケル、チタン、白金、クロム、タンタル、タングステン、モリブデン等を用いることができる。バリア層は、２種類以上の金属の組み合わせ、たとえば、反射層側から順に白金層とチタン層の組み合わせなどにより、バリアの性能を向上させることができる。
なお、バリア層を設けなくても、接合層にそれらの材料を添加することにより接合層にバリア層と同様な機能を持たせることもできる。
【０１１２】
接合層は、活性層４を含む化合物半導体層２０等を密着性よく金属基板に接合するための層である。
接合層の材料としては、化学的に安定で、融点の低いＡｕ系の共晶金属などを用いられる。Ａｕ系の共晶金属としては、例えば、ＡｕＧｅ、ＡｕＳｎ、ＡｕＳｉ、ＡｕＩｎなどの合金の共晶組成を挙げることができる。
【０１１３】
次に、図１１Ｂに示すように、エピタキシャル積層体８０や反射層２等を形成した半導体基板６１と、金属基板の製造工程で形成した金属基板とを減圧装置内に搬入して、反射層の接合面（接合層等を有する場合はその接合面（図１１Ｂでは接合層等は図示していない）と金属基板の接合面１Ａとが対向して重ね合わされるように配置する。
次に、減圧装置内を３×１０−５Ｐａまで排気した後、重ね合わせた半導体基板６１と金属基板１とを４００℃に加熱した状態で、５００ｋｇの荷重を印加して反射層の接合面（接合層等を有する場合はその接合面）と金属基板１の接合面１Ａとを接合して、接合構造体９０を形成する。
【０１１４】
以下では、支持基板１としてＧｅ基板を用いた場合で説明する。
【０１１５】
＜半導体基板および緩衝層除去工程＞
次に、図１２に示すように、接合構造体９０から、半導体基板６１及び緩衝層６２ａをアンモニア系エッチング液により選択的に除去する。
このとき、本実施形態の金属基板は金属保護膜に覆われており、エッチング液に対する耐性が高いため、金属基板が品質劣化することを回避できる。
【０１１６】
＜エッチングストップ層除去工程＞
さらに、図１２に示すように、エッチングストップ層６２ｂを塩酸系エッチング液により選択的に除去する。
本実施形態の金属基板は金属保護膜に覆われており、エッチング液に対する耐性が高いため、金属基板が品質劣化することが防止される。
【０１１７】
（裏面電極の形成工程）
次に、図１２に示すように、支持基板１の裏面に裏面電極４０を形成する。
なお、支持基板１として金属基板を用いる場合は、裏面電極４０を形成しなくてもよい。
【０１１８】
（メサ型構造部の形成工程）
次に、メサ型構造部（保護膜及び電極膜を除く）を形成するために、メサ型構造部以外の部分の化合物半導体層すなわち、コンタクト層５と活性層４の少なくとも一部と、又は、コンタクト層５と活性層４と接合（コンタクト）層３の少なくとも一部とをウェットエッチングする。
具体的には、まず、図１３に示すように、化合物半導体層の最上層であるコンタクト層上にフォトレジストを堆積し、フォトリソグラフィによりメサ型構造部以外に開口６５ａを有するレジストパターン６５を形成する。
メサ型構造部の平面視形状はレジストパターン６５の開口６５ａの形状によって決まる。レジストパターン６５に所望の平面視形状に対応する形状の開口６５ａを形成する。
レジストパターンにおいてメサ型構造部形成予定箇所の大きさを、「メサ型構造部」の頂面より各辺上下左右１０μｍ程度大きめに形成するのが好ましい。
また、エッチングの深さすなわち、化合物半導体層のうち、どの層までエッチング除去するかは、エッチャントの種類及びエッチング時間によって決まる。
ウェットエッチングを行った後に、レジストを除去する。
【０１１９】
次に、メサ型構造部以外の部分の化合物半導体層についてウェットエッチングを行う。
ウェットエッチングに用いるエッチャントとしては限定的ではないが、ＡｌＧａＡｓ等のＡｓ系の化合物半導体材料に対してはアンモニア系エッチャント（例えば、アンモニア／過酸化水素水混合液）が適しており、ＡｌＧａＩｎＰ等のＰ系の化合物半導体材料に対してはヨウ素系エッチャント（例えば、ヨウ化カリウム／アンモニア）が適しており、リン酸／過酸化水素水混合液はＡｌＧａＡｓ系に、ブロムメタノール混合液はＰ系に適している。
また、Ａｓ系のみで形成されている構造では燐酸混合液、Ａｓ／P系が混在している構造ではＡｓ系構造部にアンモニア混合液、P系構造部にヨウ素混合液を使用してもよい。
【０１２０】
上記に示したような化合物半導体層の場合すなわち、最上層のＡｌＧａＡｓからなるコンタクト層５、ＡｌＧａＩｎＰからなるクラッド層６３ａ、ＡｌＧａＡｓからなる発光層６４、ＡｌＧａＩｎＰからなるクラッド層６３ｂ、ＧａＰ層３の場合、Ａｓ系のコンタクト層５及び発光層６４と、他のＰ系の層とでそれぞれにエッチング速度が高い、異なるエッチャントを用いることが好ましい。
例えば、Ｐ系の層のエッチングにはヨウ素系エッチャントを用い、Ａｓ系のコンタクト層５及び発光層６４のエッチングにはアンモニア系エッチャントを用いることが好ましい。
ヨウ素系エッチャントとしては例えば、ヨウ素（Ｉ）、ヨウ化カリウム（ＫＩ）、純水（Ｈ２Ｏ）、アンモニア水（ＮＨ４ＯＨ）を混合したエッチャントを用いることができる。
また、アンモニア系エッチャントとしては例えば、アンモニア／過酸化水素水混合液（ＮＨ４ＯＨ：Ｈ２Ｏ２：Ｈ２Ｏ）を用いることができる。
【０１２１】
この好ましいエッチャントを用いてメサ型構造部以外の部分を除去する場合を説明すると、まず、メサ型構造部以外の部分のＡｌＧａＡｓからなるコンタクト層５をアンモニア系エッチャントを用いてエッチング除去する。
このエッチングの際、次の層であるＡｌＧａＩｎＰからなるクラッド層６３ａがエッチングストップ層として機能するので、エッチング時間を厳密に管理することは要しないが、例えば、コンタクト層５の厚さを０．０５μｍ程度とすると、１０秒程度エッチングを行えばよい。
【０１２２】
次に、メサ型構造部以外の部分のＡｌＧａＩｎＰからなるクラッド層６３ａをヨウ素系エッチャントを用いてエッチング除去する。
エッチング速度は、ヨウ素（Ｉ）５００ｃｃ、ヨウ化カリウム（ＫＩ）１００ｇ、純水（Ｈ２Ｏ）２０００ｃｃ、水酸化アンモニア水（ＮＨ４ＯＨ）９０ｃｃの比率で混合されたエッチャントを用いた場合、０．７２μｍ／ｍｉｎだった。
このエッチングの際も、次の層であるＡｌＧａＡｓからなる発光層６４がエッチングストップ層として機能するので、エッチング時間を厳密に管理することは要しないが、このエッチャントの場合、クラッド層６３ａの厚さが４μｍ程度とすると、６分間程度エッチングを行えばよい。
【０１２３】
次に、メサ型構造部以外の分のＡｌＧａＡｓからなる発光層６４をアンモニア系エッチャントを用いてエッチング除去する。
このエッチングの際も、次の層であるＡｌＧａＩｎＰからなるクラッド層６３ｂがエッチングストップ層として機能するので、エッチング時間を厳密に管理することは要しないが、発光層６４の厚さを０．２５μｍ程度とすると、４０秒程度エッチングを行えばよい。
【０１２４】
次に、メサ型構造部以外の部分のＡｌＧａＩｎＰからなるクラッド層６３ｂをヨウ素系エッチャントを用いてエッチング除去する。
このクラッド層６３ｂの下にはＧａＰ層３があるが、ＧａＰ層３の下の金属からなる反射層２が露出すると電気特性上好ましくないので、ＧａＰ層３まででエッチングを止める必要がある。
例えば、ＧａＰ層を３．５μｍ形成し、その後１μｍ研磨したとするとＧａＰ層の厚さは２．５μｍとなり、クラッド層６３ｂの厚さを０．５μｍとすると、上記のヨウ素系エッチャントを用いた場合には、エッチング時間は４分間以下にする必要がある。
【０１２５】
また、リン酸／過酸化水素水混合液（例えば、Ｈ２ＰＯ４：Ｈ２Ｏ２：Ｈ２Ｏ＝１〜３：４〜６：８〜１０）を用いて、ウェットエッチング時間を３０〜１２０秒間として、上記エッチング除去を行うことができる。
【０１２６】
図１４に、Ｈ２ＰＯ４：Ｈ２Ｏ２：Ｈ２Ｏ＝２：５：９（１００：２５０：４５０）、５６％（Ｈ２Ｏ）、液温３０℃〜３４℃のエッチャントを用いて、後述する実施例１で示した化合物半導体層についてウェットエッチングを行った場合のエッチング時間に対する深さ及び幅の関係を示す。表１にその条件及び結果を数値で示す。
【０１２７】
【表１】
0005913955.tif 000002
【０１２８】
図１４及び表１から、エッチング深さ（図１の「ｈ」に相当）はエッチング時間（sec）にほぼ比例するが、エッチング幅はエッチング時間が長くなるほど増大率が大きくなることがわかる。すなわち、図３に示すように、深くなるほど（図で下方に行くほど）、メサ型構造部の水平断面積（又は、幅もしくは径）の増大率が大きくなるように形成される。このエッチング形状はドライエッチングによるエッチング形状とは異なる。従って、メサ型構造部の傾斜斜面の形状から、メサ型構造部がドライエッチングで形成されたのか、又は、ウェットエッチングで形成されたのかを判別することができる。
【０１２９】
（保護膜の形成工程）
次に、全面に保護膜８の材料を成膜する。具体的には、例えば、ＳｉＯ２を全面にスパッタリング法により成膜する。
【０１３０】
（ストリートおよびコンタクト層の部分の保護膜の除去工程）
次に、全面にフォトレジストを堆積し、フォトリソグラフィによりコンタクト層上の通電窓８ｂに対応する部分とストリートに対応する部分と、を開口とするレジストパターンを形成する。
次いで、例えば、バッファードフッ酸を用いてウェットエッチングにより、メサ型構造部の頂面の通電窓８ｂに対応する部分とストリートに対応する部分の保護膜８の材料を除去して保護膜８を形成する。
図１５に、保護膜８の通電窓８ｂ近傍の平面図を示す。
その後、レジストを除去する。
【０１３１】
（おもて面電極膜の形成工程）
次に、おもて面電極膜９を形成する。すなわち、保護膜８上、及び、保護膜８の通電窓８ｂから露出しているコンタクト層５上に、光射出孔９ｂを有するおもて面電極膜９を形成する。
具体的には、全面にフォトレジストを堆積し、フォトリソグラフィにより光射出孔９ｂに対応する部分と、ウェハ基板上の多数の発光ダイオード間の切断部分（ストリート）とを含む、電極膜が不要な部分以外を開口とするレジストパターンを形成する。次いで、電極膜材料を蒸着する。この蒸着だけではメサ型構造部の傾斜側面には電極膜材料が十分には蒸着されない場合は、さらに、メサ型構造部の傾斜側面に電極膜材料を蒸着するために蒸着金属が回りこみやすいプラネタリタイプの蒸着装置を用いて蒸着を行う。
その後、レジストを除去する。
【０１３２】
光射出孔９ｂの形状はレジストパターン（図示せず）の開口の形状によって決まる。この開口形状を所望の光射出孔９ｂの形状に対応するものとしたレジストパターンを形成する。
【０１３３】
（個片化工程）
次に、ウェハ基板上の発光ダイオードを個片化する。
具体的には、例えば、ダイシングソーもしくはレーザーにより、ストリート部分を切断してウェハ基板上の発光ダイオード毎に切断して個片化する。
【０１３４】
（金属基板側面の金属保護膜形成工程）
個片化された発光ダイオードの切断された金属基板の側面にについて、上面及び下面の金属保護膜の形成条件と同様な条件で金属保護膜を形成してもよい。
【実施例】
【０１３５】
（実施例）
以下に、本発明の発光ダイオードを実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこの実施例にのみ限定されるものではない。本実施例では、特性評価のために発光ダイオードチップを基板上に実装した発光ダイオードランプを作製した。
本実施例では、図１及び図４を参照して、通電窓８ｂの外径Ｒ１を１６６μｍ、その内径を１５４μｍ、光射出孔の径Ｒ２を１５０μｍ、透明導電膜３０の外径Ｒ３を１６０μｍ、オーミック金属部の幅Ｒ５（Ｒ６）を６μｍ、Ｒ４を１５２μｍとした。
【０１３６】
まず、ゲルマニウム基板４１の表面にＴｉ／Ａｕ／Ｉｎでなる層４２を０．１μｍ／０．５μｍ／０．３μｍの厚さで形成した。ゲルマニウム基板４１の裏面に、Ｔｉ／Ａｕでなる層４３を０．１μｍ／０．５μｍの厚さで形成した。
【０１３７】
次に、Ｓｉをドープしたｎ型のＧａＡｓ単結晶からなるＧａＡｓ基板上に、化合物半導体層を順次積層して発光波長７３０ｎｍのエピタキシャルウェハを作製した。
ＧａＡｓ基板は、（１００）面から（０−１−１）方向に１５°傾けた面を成長面とし、キャリア濃度を２×１０１８ｃｍ−３とした。また、ＧａＡｓ基板の層厚は、約０．５μｍとした。化合物半導体層としては、ＳｉをドープしたＧａＡｓからなるｎ型の緩衝層６２ａ、Ｓｉドープの（Ａｌ０．５Ｇａ０．５）０．５Ｉｎ０．５Ｐからなるエッチングストップ層６２ｂ、Ｓｉドープしたｎ型のＡｌ０．３ＧａＡｓからなるコンタクト層５、Ｓｉをドープした（Ａｌ０．７Ｇａ０．３）０．５Ｉｎ０．５Ｐからなるｎ型の上部クラッド層６３ａ、Ａｌ０．４Ｇａ０．６Ａｓからなる上部ガイド層、Ａｌ０．１７Ｇａ０．８３Ａｓ／Ａｌ０．３Ｇａ０．７Ａｓの対からなる井戸層／バリア層６４、Ａｌ０．４Ｇａ０．６Ａｓからなる下部ガイド層、Ｍｇをドープした（Ａｌ０．７Ｇａ０．３）０．５Ｉｎ０．５Ｐからなるｐ型の下部クラッド層６３ｂ、（Ａｌ０．５Ｇａ０．５）０．５Ｉｎ０．５Ｐからなる薄膜の中間層、Ｍｇドープしたｐ型ＧａＰ層３である。
【０１３８】
本実施例では、減圧有機金属化学気相堆積装置法（ＭＯＣＶＤ装置）を用い、直径５０ｍｍ、厚さ２５０μｍのＧａＡｓ基板に化合物半導体層をエピタキシャル成長させて、エピタキシャルウェハを形成した。エピタキシャル成長層を成長させる際、ＩＩＩ族構成元素の原料としては、トリメチルアルミニウム（（ＣＨ３）３Ａｌ）、トリメチルガリウム（（ＣＨ３）３Ｇａ）及びトリメチルインジウム（（ＣＨ３）３Ｉｎ）を使用した。また、Ｍｇのドーピング原料としては、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム（ｂｉｓ−（Ｃ５Ｈ５）２Ｍｇ）を使用した。また、Ｓｉのドーピング原料としては、ジシラン（Ｓｉ２Ｈ６）を使用した。また、Ｖ族構成元素の原料としては、ホスフィン（ＰＨ３）、アルシン（ＡｓＨ３）を使用した。
また、各層の成長温度としては、ｐ型ＧａＰ層は７５０℃で成長させた。その他の各層では７００℃で成長させた。
【０１３９】
ＧａＡｓからなる緩衝層は、キャリア濃度を約２×１０１８ｃｍ−３、層厚を約０．５μｍとした。エッチングストップ層は、キャリア濃度を２×１０１８ｃｍ−３、層厚を約０．５μｍとした。コンタクト層は、キャリア濃度を約２×１０１８ｃｍ−３、層厚を約０．０５μｍとした。上部クラッド層は、キャリア濃度を約１×１０１８ｃｍ−３、層厚を約３．０μｍとした。井戸層は、アンドープで層厚が約７ｎｍのＡｌ０．１７Ｇａ０．８３Ａｓとし、バリア層はアンドープで層厚が約１９ｎｍのＡｌ０．３Ｇａ０．７Ａｓとした。また、井戸層とバリア層とを交互に３対積層した。下部ガイド層は、アンドープで層厚を約５０nｍとした。下部クラッド層は、キャリア濃度を約８×１０１７ｃｍ−３、層厚を約０．５μｍとした。中間層は、キャリア濃度を約８×１０１７ｃｍ−３、層厚を約０．０５μｍとした。ＧａＰ層は、キャリア濃度を約３×１０１８ｃｍ−３、層厚を約３．５μｍとした。
【０１４０】
次に、ＧａＰ層３を表面から約１μｍの深さに至る領域まで研磨して、鏡面加工した。この鏡面加工によって、ＧａＰ層の表面の粗さを０．１８ｎｍとした。
【０１４１】
次に、ＧａＰ層３上に、膜厚１．０μｍでかつ幅Ｒ５（Ｒ６）（図４参照）が６μｍのＡｕＢｅからなるオーミック金属部３１を形成した。次に、オーミック金属部を覆うように、膜厚１５０ｎｍでかつ外径Ｒ３）（図４参照）が１６０μｍのＩＴＯからなる透明導電膜３０を形成した。
【０１４２】
次に、ＧａＰ層３上に、透明導電膜３０を覆うように、Ａｕからなる反射層２を厚さ０．７μｍ形成した。さらに、反射層上にバリア層としてＴｉ層を厚さ０．５μｍ形成し、バリア層上に接合層としてＡｕＧｅ層を厚さ１．０μｍ形成した。
【０１４３】
次に、ＧａＡｓ基板上に化合物半導体層及び反射層等を形成した構造体と、金属基板とを対向して重ね合わせるように配置して減圧装置内に搬入し、４００℃で加熱した状態で、５００ｋｇ重の荷重でそれらを接合して接合構造体を形成した。
【０１４４】
次に、接合構造体から、化合物半導体層の成長基板であるＧａＡｓ基板と緩衝層とをアンモニア系エッチャントにより選択的に除去し、さらに、エッチングストップ層を塩酸系エッチャントにより選択的に除去した。
【０１４５】
（裏面電極の形成工程）
次に、金属基板１の裏面に、Ａｕを１．２μｍ、ＡｕＢｅを０．１５μｍを順に真空蒸着法によって成膜し、裏面電極４０を形成した。
【０１４６】
次に、メサ型構造部を形成するため、レジストパターンを形成後、アンモニア／過酸化水素水混合液（ＮＨ４ＯＨ：Ｈ２Ｏ２：Ｈ２Ｏ）を用いて、１０秒間ウェットエッチングを行って、メサ型構造部以外の部分の電流拡散層５５を除去した。
次に、ヨウ素（Ｉ）５００ｃｃ、ヨウ化カリウム（ＫＩ）１００ｇ、純水（Ｈ２Ｏ）２０００ｃｃ、水酸化アンモニア水（ＮＨ４ＯＨ）９０ｃｃの比率で混合されたヨウ素系エッチャントを用いて、４５秒間ウェットエッチングを行って、メサ型構造部以外の部分の上部クラッド層５５を除去した。
次に、上記アンモニア／過酸化水素水混合液（ＮＨ４ＯＨ：Ｈ２Ｏ２：Ｈ２Ｏ）を用いて、４０秒間ウェットエッチングを行って、メサ型構造部以外の部分の上部ガイド層、発光層６４及び下部ガイド層を除去した。
次に、上記ヨウ素系エッチャントを用いて、５０秒間ウェットエッチングを行って、メサ型構造部以外の部分の下部クラッド層６３ｂを除去した。
こうしてメサ型構造部を形成した。
【０１４７】
次に、保護膜を形成するため、ＳｉＯ２からなる保護膜を０．５μｍ程度形成した。
その後、レジストパターンを形成後、バッファードフッ酸を用いて、平面視同心円形（外径ｄout：１６６μｍ、内径ｄin：１５４μｍ）の開口（図１１参照）、および、ストリート部の開口を形成した。
【０１４８】
次に、おもて面電極（膜）を形成するため、レジストパターンを形成後、ＡｕＧｅ、Ｎｉ合金を厚さが０．５μｍ、Ｐｔを０．２μｍ、Ａｕを１μｍとなるように真空蒸着法によって成膜し、リフトオフにより平面視円形（径：１５０μｍ）の光射出孔９ｂを有する、長辺３５０μｍ、短辺２５０μｍに形成してなるおもて面電極（ｎ型オーミック電極）を形成した。
その後、４５０℃で１０分間熱処理を行って合金化し、低抵抗のｎ型オーミック電極を形成した。
【０１４９】
次に、メサ型構造部の側面に光漏れ防止膜１６を形成するため、レジストパターンを形成後、Ｔｉを０．５μｍ、Ａｕを０．１７μｍを順に蒸着し、リフトオフにより光漏れ防止膜１６を形成した。
【０１５０】
次に、ウェットエッチングとレーザー切断を順に行って個片化して、実施例の発光ダイオードを作製した。
【０１５１】
上記のようにして作製した実施例の発光ダイオードチップを、マウント基板上に実装した発光ダイオードランプを１００個組み立てた。この発光ダイオードランプは、マウントは、ダイボンダーで支持（マウント）し、ｐ型オーミック電極とｐ電極端子とを金線でワイヤボンディングした後、一般的なエポキシ樹脂で封止して作製した。
【０１５２】
この発光ダイオード（発光ダイオードランプ）について、ｎ型及びｐ型電極間に電流を流したところ、ピーク波長７３０ｎｍとする赤外光が出射された。順方向に２０ミリアンペア（ｍＡ）の電流を通流した際の順方向電圧（ＶＦ）は１．７Ｖであった。順方向電流を２０ｍＡとした際の発光出力は３．８ｍＷであった。また、応答速度（立ち上がり時間：Ｔｒ）は１２．５ｎｓｅｃだった。
【０１５３】
作製した１００個の発光ダイオードランプのいずれについても、同程度の特性が得られ、保護膜が不連続な膜になった場合のリーク（短絡）や電極用金属膜が不連続な膜になった場合の通電不良が原因と思われる不良はなかった。
【０１５４】
（比較例）
比較例の発光ダイオードは、従来技術である液相エピタキシャル法で形成した。ＧａＡｓ基板にＡｌ０．２Ｇａ０．８Ａｓ発光層とするダブルヘテロ構造の発光部を有する発光ダイオードに変更したものである。
【０１５５】
比較例の発光ダイオードの作製は、具体的には、ｎ型の（１００）面のＧａＡｓ単結晶基板に、Ａｌ０．７Ｇａ０．３Ａｓからなるｎ型の上部クラッド層を２０μｍ、Ａｌ０．２Ｇａ０．８Ａｓからなるアンドープの発光層を２μｍ、Ａｌ０．７Ｇａ０．３Ａｓからなるｐ型の下部クラッド層を２０μｍ、発光波長に対して透明なＡｌ０．６Ｇａ０．４Ａｓからなるｐ型の厚膜層を１２０μｍとなるように液相エピタキシャル方法によって作製した。このエピタキシャル成長後にＧａＡｓ基板を除去した。次に、ｎ型ＡｌＧａＡｓの表面に直径１００μｍのｎ型オーミック電極を形成した。次に、ｐ型ＡｌＧａＡｓの裏面に直径２０μｍのｐ型オーミック電極を８０μｍ間隔に形成した。次に、ダイシングソーにより３５０μｍ間隔で切断した後、破砕層をエッチング除去して比較例の発光ダイオードチップを作製した。
【０１５６】
ｎ型及びｐ型オーミック電極間に電流を流したところ、ピーク波長を７３０ｎｍとする赤外光が出射された。また、順方向に２０ミリアンペア（ｍＡ）の電流を通流した際の順方向電圧（ＶＦ）は、約１．９ボルト（Ｖ）となった。また、順方向電流を２０ｍＡとした際の発光出力は、５ｍＷであった。また、応答速度（Ｔｒ）は１５．６ｎｓｅｃであり、本発明の実施例に比べて遅かった。
【符号の説明】
【０１５７】
１  支持基板
２  反射層
３  接合（コンタクト）層
４  活性層
５  コンタクト層
６  平坦部
７  メサ型構造部
７ａ  傾斜側面
７ｂ  頂面
７ｂａ  周縁領域
８、２８  保護膜
８ｂ、２８ｂ  通電窓
９、２９  電極膜
９ｂ、２９ｂ  光射出孔
１１  下部クラッド層
１２  下部ガイド層
１３  発光層
１４  上部ガイド層
１５  上部クラッド層
１６  光漏れ防止膜
２０  化合物半導体層
３０  透明導電膜
３０ａ  周縁部
３１  オーミック金属部
４０  裏面電極
５１ｃ  金属保護膜
５２  反射層
５６  裏面電極
６１  半導体基板（成長用基板）
６３ａ  上部クラッド層
６３ｂ  下部クラッド層
６４  発光層
６５  レジストパターン
１００、２００、  発光ダイオード
【図１】
0005913955.tif 000003
【図２】
0005913955.tif 000004
【図４】
0005913955.tif 000005
【図５】
0005913955.tif 000006
【図６】
0005913955.tif 000007
【図７】
0005913955.tif 000008
【図８】
0005913955.tif 000009
【図９】
0005913955.tif 000010
【図１０】
0005913955.tif 000011
【図１１Ａ】
0005913955.tif 000012
【図１１Ｂ】
0005913955.tif 000013
【図１２】
0005913955.tif 000014
【図１３】
0005913955.tif 000015
【図１４】
0005913955.tif 000016
【図１５】
0005913955.tif 000017
【図１６】
0005913955.tif 000018
【図３】
0005913955.tif 000019