(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
巻回した巻回物の固定用接着シートであって、
基材シートと、
当該基材シートの一方の面に積層された接着剤層と、
前記接着剤層上または前記接着剤層と前記基材シートとの間に支持されるとともに、所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられたデータキャリア本体と、
前記データキャリア本体を保護する保護部とを備え、
前記保護部は、前記データキャリア本体を覆うように前記基材シートを折り返し、当該折り返した基材シートを前記接着剤層によって接着させることで構成されていることを特徴とする巻回物の固定用接着シート。
【請求項２】
請求項１に記載の巻回物の固定用接着シートを用い、
当該固定用接着シートの前記データキャリア本体に記憶された前記所定のデータを読み書き手段に送信すること、および、前記読み書き手段から送信された別のデータを受信することの少なくとも一方を行うことを特徴とする巻回物の固定用接着シートの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、巻回物の固定用接着シートおよび巻回物の固定用接着シートの使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、芯部材に巻回物を巻回する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１に記載の構成では、ボビン（芯部材）に線材（巻回物）を巻き取るときに、ボビンに至る線材と線材の満巻面との間に包装シート材を介装して巻き付け、包装シート材の先端縁部と後端縁部とが重合した状態において、接着シール材を線材の終端末部分を含んで貼付することで、線材を固定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２５５４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の構成では、接着シール材は巻回物の固定のみに使用されるだけであり、固定が不要となった後には廃棄されるだけであり、資源を有効利用しているとは言えない。また、このような巻回物をオートメーション装置で利用する場合には、巻回物を処理するための諸条件をオペレータが当該オートメーション装置に入力する必要がある。
【０００５】
本発明の目的は、資源を有効利用可能であるとともに、オートメーション装置を用いた巻回物の処理時に当該オートメーション装置の操作を容易にする巻回物の固定用接着シートおよび巻回物の固定用接着シートの使用方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の巻回物の固定用接着シートは、巻回した巻回物の固定用接着シートであって、基材シートと、当該基材シートの一方の面に積層された接着剤層と、前記接着剤層上または前記接着剤層と前記基材シートとの間に支持されるとともに、所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられたデータキャリア本体と、前記データキャリア本体を保護する保護部とを備え、前記保護部は、前記データキャリア本体を覆うように前記基材シートを折り返し、当該折り返した基材シートを前記接着剤層によって接着させることで構成されている、という構成を採用している。
【０００８】
一方、本発明の巻回物の固定用接着シートの使用方法は、上述の巻回物の固定用接着シートを用い、当該固定用接着シートの前記データキャリア本体に記憶された前記所定のデータを読み書き手段に送信すること、および、前記読み書き手段から送信された別のデータを受信することの少なくとも一方を行う、という構成を採用している。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、固定用接着シートにデータキャリア本体を設けているため、固定用接着シートを巻回物の固定に利用することができるとともに、例えば、巻回物に関する所定のデータをデータキャリア本体から読み取ったり（データキャリア本体が記憶している所定のデータを受信したり）、巻回物に関する所定のデータをデータキャリア本体に書き込んだり（データキャリア本体に所定のデータを送信して記憶させたり）すること（以下「読み書き」という場合がある）に利用することができ、資源の有効利用を図ることができる。また、固定用接着シートに巻回物に関するデータの読み書きが可能となるため、巻回物をオートメーション装置で利用する場合に、オペレータが当該オートメーション装置に諸条件を入力する入力作業を省略し、オートメーション装置の操作の容易化を図ることができる。
【００１１】
この際、固定用接着シートにデータキャリア本体を保護する保護部を設けておけば、異物がデータキャリア本体に接触することを防止でき、データキャリア本体の破損を防止できる。
さらに、データキャリア本体を覆うように基材シートを折り返すことで保護部を構成すれば、簡単な方法でデータキャリア本体の破損を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（Ａ）は、本発明の実施形態に係る固定用接着シートが取り付けられた原反の斜視図、（Ｂ）は、前記実施形態の固定用接着シートの断面図、（Ｃ）および（Ｄ）は、変形例に係る固定用接着シートの断面図。
【図２】前記実施形態の貼付装置の側面図。
【図３】（Ａ）および（Ｂ）は、変形例に係る固定用接着シートの斜視図、（Ｃ）〜（Ｇ）は、変形例に係る固定用接着シートの変形例の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。
まず、固定用接着シートＦＳについて説明する。図１（Ａ），（Ｂ）において、固定用接着シートＦＳは、中空円筒状の芯部材２５の外周に巻回された巻回物としての原反ＲＳの先端を当該原反ＲＳに仮固定したり、原反ＲＳの後端を芯部材２５に仮固定したり、原反ＲＳの先端を所定の部位に仮固定したりするものである。ここで、原反ＲＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが積層された接着シートＡＳが、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着された構成を有している。
なお、仮固定とは、一旦固定したものであっても、後に取り外すことができるように固定することを意味し、例えば、固定用接着シートＦＳを用い、原反ＲＳを芯部材２５などの所定の部位に一時的に固定して、必要に応じて原反ＲＳを当該所定の部位から取り外すことができるように固定することである。
固定用接着シートＦＳは、長方形状の基材シートＦＢと、当該基材シートＦＢの一方の面に積層され再接着可能な材料により形成された接着剤層ＦＤと、基材シートＦＢの他方の面に支持されるとともに、所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能なデータキャリア本体ＤＢとを備えている。
なお、図１（Ｃ）に示すように、データキャリア本体ＤＢは、接着剤層ＦＤに支持されるように設けてもよいし、図１（Ｄ）に示すように、データキャリア本体ＤＢを基材シートＦＢと接着剤層ＦＤとの間に設けてもよい。
【００１４】
データキャリア本体ＤＢは、チップＣＰおよび当該チップＣＰに接続されたチップ用アンテナＡＴから構成されており、電磁波を通信媒体として、データを送信したり、データを記憶したりすることができるものである。このようなデータキャリア本体ＤＢとしては、例えば、ＩＣチップ（チップＣＰ）と、このＩＣチップに接続された送受信用の導電性コイル（チップ用アンテナＡＴ）とから構成される、いわゆるＲＦメモリやＲＦＩＤタグ等を例示することができる。
【００１５】
次に、接着シートＡＳの貼付装置１について説明する。図２において、貼付装置１は、被着体としての半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す場合がある）ＷＦに接着シートＡＳを貼付するものである。そして、貼付装置１は、接着シートＡＳを繰出可能に支持する支持装置２と、接着シートＡＳを繰り出す繰出手段３と、繰り出された接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段５と、ウェハＷＦと押圧手段５とを相対移動させる移動手段６とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段７によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
【００１６】
支持装置２は、フレーム２１と、このフレーム２１の一面に設けられた支持部２２とを備え、芯部材２５における中空部の一端側から挿入されることで芯部材２５を支持する。
【００１７】
繰出手段３は、その全体がフレーム２１に支持され、原反ＲＳを案内するガイドローラ３２，３３と、原反ＲＳの剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離板３４と、駆動機器としての回動モータ３５によって駆動する駆動ローラ３６と、駆動ローラ３６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３７と、駆動機器としての回動モータ３９によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３８とを備えている。
押圧手段５は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成され、図示しない支持部材により回転自在に支持され、駆動機器としての図示しない直動モータにより昇降可能に設けられている。
移動手段６は、ウェハＷＦが載置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によって当該ウェハＷＦを吸着保持可能なテーブル６１と、テーブル６１の下面にスライダ６２が固定された駆動機器としての単軸ロボット６３とを備え、スライダ６２をスライド駆動することで、テーブル６１を左右方向に移動可能に構成されている。
【００１８】
また、支持装置２には、図２の符号ＡＡにも示すように、フレーム２１に対して回動可能に設けられ、図示しないばね等の付勢手段によって支持部２２方向に付勢されるとともに、内部に繰出側アンテナ２２１を備えた原反押えアーム２２２が設けられている。また、回収ローラ３８には、図２の符号ＡＢにも示すように、その周面の一部に平面部３８Ａが形成され、当該回収ローラ３８の内部であって、平面部３８Ａの下方に回収側アンテナ３８１が設けられている。繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１は、導電体をループ状に巻回することにより構成されている。
繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１には、制御手段７による制御に基づき、固定用接着シートＦＳのデータキャリア本体ＤＢに対してデータの読み書きをすることのできる読み書き手段としてのリーダライタ８がそれぞれ接続されている。制御手段７は、リーダライタ８を制御し、各アンテナ２２１，３８１に電流を流すことで、磁束、静電気、マイクロ波等の伝送手段を発生させ、チップ用アンテナＡＴを介して起電力を発生させてデータキャリア本体ＤＢのチップＣＰに書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置１全体を制御したり、データキャリア本体ＤＢのチップＣＰに所定のデータを記憶させたりすることができる。
また、リーダライタ８には、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１と同様の機能を有する図示しないアンテナが内蔵された固定用接着シート発行手段９が接続されている。この固定用接着シート発行手段９は、チップ用アンテナＡＴを介してチップＣＰに所定のデータを書き込んだ固定用接着シートＦＳを発行可能となっている。
なお、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１と、データキャリア本体ＤＢとで通信するデータとしては、接着シートＡＳの種類、材質、品名、コード、厚さ、長さ、幅、直径などの規格寸法、さらには、原反ＲＳのロットナンバー、原反ＲＳを使用した長さ、原反ＲＳの残りの長さ、接着シートＡＳの品質保証期限、繰出開始前後の接着シートＡＳの残数、繰り出された接着シートＡＳの枚数、接着シートＡＳを最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートＡＳを最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力などの接着シートＡＳの貼付条件、接着シートＡＳや原反ＲＳについての相談窓口の連絡先などが例示できる。
そして、貼付装置１に設けられた図示しないモニタにデータキャリア本体ＤＢから読み取ったデータを表示させたり、読み取ったデータを基に当該貼付装置１の貼付条件を設定したりすることができる。
【００１９】
以上の貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する際には、まず、原反ＲＳの長手方向の後端を固定用接着シートＦＳ（以下、後端側固定用接着シートＦＳｂと称す）（図２参照）によって芯部材２５に仮固定して当該芯部材２５に巻回した後、先端を固定用接着シートＦＳ（以下、先端側固定用接着シートＦＳｆと称す）（図１（Ａ）参照）によって原反ＲＳの周面に仮固定したものを準備する。そして、原反ＲＳが巻回された芯部材２５を支持部２２で支持させる。
【００２０】
次に、作業者は、先端側固定用接着シートＦＳｆを原反ＲＳの周面から剥し、原反ＲＳの先端に先端側固定用接着シートＦＳｆを貼付した状態で当該原反ＲＳを引き出し、図２の符号ＡＢに示すように、先端側固定用接着シートＦＳｆを回収ローラ３８の平面部３８Ａに仮固定して繰出手段３にセットする。このとき、先端側固定用接着シートＦＳｆの接着剤層ＦＤが再接着可能な材料によって形成されているので、原反ＲＳを容易に回収ローラ３８に仮固定することができる。これにより、先端側固定用接着シートＦＳｆの面が回収側アンテナ３８１の面と対向するので、回収側アンテナ３８１で発生する伝送手段の通過位置にチップ用アンテナＡＴを常時存在させることができるため、リーダライタ８は、回収側アンテナ３８１を介してチップ用アンテナＡＴに効率よく起電力を発生させ、先端側固定用接着シートＦＳｆのチップＣＰのデータを確実に読み取ったり、先端側固定用接着シートＦＳｆにデータを確実に書き込んだりすることができる。
【００２１】
そして、電源投入により貼付装置１の自動運転が開始されると、制御手段７は、リーダライタ８を制御して、回収側アンテナ３８１に電流を流すことで伝送手段を発生させ、先端側固定用接着シートＦＳｆに書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置１全体を制御する。この制御は、例えば、先端側固定用接着シートＦＳｆに書き込まれたデータのうち、接着シートＡＳの推奨繰出速度を基にして、回動モータ３５，３９の回転速度や、単軸ロボット６３でテーブル６１を移動させる移動速度を決定したり、推奨押圧力を基にして、押圧手段５を昇降させる図示しない直動モータの昇降量やその出力軸に加えるトルクなどを決定し、押圧力を設定したりすることができる。なお、データキャリア本体ＤＢから受信したすべての情報または、一部の情報を図示しないモニタや表示パネル等に表示させておくことができる。
【００２２】
その後、図示しない搬送手段によってウェハＷＦがテーブル６１上に載置されると、移動手段６がウェハＷＦの吸着を開始し、単軸ロボット６３を駆動してテーブル６１を図２中左方向に搬送させる。次いで、ウェハＷＦが所定の位置に達したことを図示しない光センサ等の検知手段が検知した時点で、繰出手段３が回動モータ３５，３９を駆動して接着シートＡＳを繰り出し、押圧手段４が当該接着シートＡＳを搬送されるウェハＷＦに押圧して貼付する。接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送装置で外部に搬送され、テーブル６１が元の位置に戻り、以降同様の動作が繰り返される。
【００２３】
ここで、制御手段７は、貼付装置１の自動運転中に種々の制御を行う。例えば、回収側アンテナ３８１を介して初めに読み取った接着シートＡＳの残数から、ウェハＷＦに貼付した接着シートＡＳの数を差し引き、あと何枚のウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付することができるかを計算して図示しないモニタや表示パネル等に表示させたり、残りの接着シートＡＳの枚数が少なくなると、図示しないブザーや回転灯等の警告手段を作動させて作業者に注意を促したりすることができる。また、初めに読み取った原反ＲＳの残りの長さから、使用した原反ＲＳの長さを差し引き、残りの長さを図示しないモニタや表示パネル等に表示させたり、残りの原反ＲＳの長さが短くなくなると、警告手段を作動させて作業者に注意を促したりすることもできる。なお、ウェハＷＦに貼付した接着シートＡＳの数は、回動モータ３５の起動回数や、ウェハＷＦが所定の位置に達したことを検知する図示しない検知手段が検知した回数等によって算出することができ、原反ＲＳを使用した長さは、回動モータ３５の回転数やパルス等によって算出することができる。
また、芯部材２５に巻回された原反ＲＳの量が少なくなると、繰出側アンテナ２２１が後端側固定用接着シートＦＳｂと交信するようになるので、この交信を切っ掛けとして原反ＲＳの残りの長さが少なくなったと判断させ、上記のように警告手段を作動させることもできる。
【００２４】
なお、一の原反ＲＳにおける接着シートＡＳを全て使用してしまう前に、他の原反ＲＳに型換えをする場合、作業者は、剥離板３４で折り返された剥離シートＲＬにおける原反繰出方向下流側で当該剥離シートＲＬを切断し、回収ローラ３８で巻き取られた剥離シートＲＬを当該回収ローラ３８から抜き取って破棄する。この時、制御手段７は、リーダライタ８および固定用接着シート発行手段９を駆動して、例えば、上述のようにして算出した接着シートＡＳの残数や原反ＲＳの残りの長さ等のデータを、上述のその他のデータと共に記憶させた別の先端側固定用接着シートＦＳｆ１を発行する。その後、作業者は、切断された原反ＲＳの先端（剥離シートＲＬの先端）を当該別の先端側固定用接着シートＦＳｆ１によって原反ＲＳの周面に仮固定して保存することができる。これにより、接着シートＡＳを全て使用してしまう前に貼付装置１から取り外された原反ＲＳでも、次回の使用時に、上述と同様にして別の先端側固定用接着シートＦＳｆ１に書き込まれたデータを読み取ることで、即対応することができる。また、後端側固定用接着シートＦＳｂや先端側固定用接着シートＦＳｆ（ＦＳｆ１）に記憶させた接着シートＡＳの残数を、図示しない外部コンピュータに送信することで、原反ＲＳの在庫を管理することもできる。
【００２５】
以上のような実施形態によれば、固定用接着シートＦＳにデータキャリア本体ＤＢを設けているため、固定用接着シートＦＳを原反ＲＳの固定に利用することができるとともに、原反ＲＳに関するデータの読み書きに利用することができ、資源の有効利用を図ることができるとともに、貼付装置１の操作を容易にすることができる。
【００２６】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２７】
例えば、図３（Ａ）〜（Ｇ）に示すように、保護部ＰＲ１〜ＰＲ７を設けた固定用接着シートＦＳ１〜ＦＳ７としてもよい。
図３（Ａ）の固定用接着シートＦＳ１は、長方形状の基材シートＦＢ１と、当該基材シートＦＢ１の一方の面に積層された接着剤層ＦＤと、データキャリア本体ＤＢとを備えている。基材シートＦＢ１は、その厚さ寸法がデータキャリア本体ＤＢの厚さ寸法よりも大きい材料により形成されており、データキャリア本体ＤＢの平面形状よりも大きい形状の穴部ＡＰ１を有している。データキャリア本体ＤＢは、穴部ＡＰ１の底面ＡＰ２上に支持されており、当該穴部ＡＰ１によって保護部ＰＲ１が構成されている。穴部ＡＰ１の平面形状は、方形状に限らず、円形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
また、図３（Ｂ）の固定用接着シートＦＳ２は、固定用接着シートＦＳと同様の基材シートＦＢ、ＦＤ、および、データキャリア本体ＤＢと、基材シートＦＢの他方の面においてデータキャリア本体ＤＢを囲むリング状に形成された保護部ＰＲ２とを備えている。保護部ＰＲ２は、基材シートＦＢと同じ材料あるいは基材シートＦＢと異なる材料で形成され、その厚さ寸法がデータキャリア本体ＤＢの厚さ寸法よりも大きく構成されている。保護部ＰＲ２の平面形状は、円環形状に限らず、角環形、楕円環形、多角環形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
【００２８】
また、図３（Ｃ）〜（Ｅ）の固定用接着シートＦＳ３〜ＦＳ５は、長方形状の基材シートＦＢと、当該基材シートＦＢの一方の面に積層された接着剤層ＦＤと、当該接着剤層ＦＤ上または、当該接着剤層ＦＤと基材シートＦＢとの間に支持されたデータキャリア本体ＤＢとを備えている。つまり、図１（Ｃ）または図１（Ｄ）の状態から、基材シートＦＢの一端側がデータキャリア本体ＤＢを覆うように折り返され、当該折り返した基材シートＦＢを接着剤層ＦＤによって接着することで、保護部ＰＲ３〜ＰＲ５が形成されている。なお、図３（Ｆ）、（Ｇ）の固定用接着シートＦＳ６、ＦＳ７のように、折り返される基材シートＦＢ部分の一方の面に接着剤層ＦＤを設けることなく、折り返した基材シートＦＢを接着剤層ＦＤによって接着することで、保護部ＰＲ６、ＰＲ７を形成してもよい。このように基材シートＦＢが折り返されて形成された保護部ＰＲ３〜ＰＲ７は、固定用接着シートＦＳ３〜ＦＳ７を貼付または剥すときの摘み部としても機能し、これら固定用接着シートＦＳ３〜ＦＳ７の着脱を容易に行えるようにすることができる。以上のような保護部ＰＲ１〜ＰＲ７によって、データキャリア本体ＤＢに直接異物が接触して当該データキャリア本体ＤＢが破損するリスクを低減することができる。
【００２９】
また、接着剤層ＦＤは、再接着不可能な材料により構成されていてもよい。
さらに、接着剤層ＦＤは、基材シートＦＢの一方の面全面に設けてもよいし、筋状に設けたり、外縁領域だけに設けたりして基材シートＦＢの一方の面の一部に設けてもよい。
また、固定用接着シートＦＳ，ＦＳ１〜ＦＳ５の平面形状は、方形、円形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
さらに、接着シートＡＳの平面形状は、方形、円形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
また、繰出側アンテナ２２１や回収側アンテナ３８１と同等の機能を有するアンテナを支持部２２内に設けてもよいし、回収側アンテナ３８１を回収ローラ３８に対向する位置に設けてもよいし、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１のうち一方を設けなくてもよい。すなわち、繰出側アンテナ２２１や回収側アンテナ３８１は、固定用接着シートＦＳに対して所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられていればよい。
さらに、原反ＲＳから剥がした先端側固定用接着シートＦＳｆの取り付け位置は、回収ローラ３８以外の部位でもよく、例えば、回収側アンテナ３８１と同様の機能を果たすアンテナを支持する特設のステージを設け、当該ステージに先端側固定用接着シートＦＳｆを接着したり、載置したりするようにしてもよい。この場合、接着剤層ＦＤは、再接着不可能な材料により構成されていてもよい。
また、本発明におけるデータキャリア本体としては、ＩＣタグ、ＩＣカード、電子タグ、バーコード、いわゆるＱＲコード（登録商標）、磁気シートを適用してもよい。データキャリア本体がバーコードやＱＲコードの場合、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１の代わりにバーコードやＱＲコードを読み取り可能なリーダを使用し、磁気シートの場合、磁界を発生させて磁性体を磁化してデータを書き込んだり、磁界の変化を検知してデータを読み出したりするいわゆる磁気ヘッドを使用すればよい。なお、バーコードやＱＲコードのように記憶する情報量が少ないものの場合は、これらコードに上位のコンピュータ等の上位の制御手段にアクセスできるコードを記憶させておき、当該上位の制御手段から上記同様のデータを受信するようにしてもよい。
さらに、芯部材２５は、中空円筒状以外に中空角筒状や、中実円柱状、中実角柱状であってもよい。
また、固定用接着シートＦＳは、芯部材２５に巻回されることのない原反ＲＳを対象とした巻回物の固定用接着シートとしてもよい。
【００３０】
また、本発明における接着シートＡＳ、固定用接着シートＦＳ，ＦＳ１〜ＦＳ７の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳ，基材シートＦＢ，ＦＢ１と接着剤層ＦＤとの間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、接着シートＡＳは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
さらに、巻回物は、帯状の接着シート、紙、布、鋼板、ベルト、樹脂、木板や、長尺の糸、紐、針金、コード、チューブ、ホース、チェーン等が例示でき、何らかの部材で巻き取ることのできる長さを有するものであればよい。
【００３１】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３２】
８…リーダライタ（読み書き手段）
ＤＢ…データキャリア本体
ＦＢ，ＦＢ１…基材シート
ＦＤ…接着剤層
ＦＳ，ＦＳ１，ＦＳ２，ＦＳ３，ＦＳ４，ＦＳ５…固定用接着シート
ＰＲ１，ＰＲ２，ＰＲ３，ＰＲ４，ＰＲ５…保護部
ＲＳ…原反（巻回物）
【図１】
0005913936.tif 000002
【図２】
0005913936.tif 000003
【図３】
0005913936.tif 000004