(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光配向膜を備える液晶表示装置の製造方法であって、
前記液晶表示装置の製造方法は、
光二量化、光異性化、及び、光フリース転移からなる群より選択される少なくとも１つの化学反応が可能な光官能基を有する高分子と、ポリアミック酸骨格を有し、前記光官能基を有さない高分子と、溶媒とを含有する光配向膜材料による膜を基板上に形成する工程（１）、
前記膜に対して前記溶媒を蒸発させる予備加熱を行う工程（２）、
予備加熱された前記膜に対して偏光照射を行う工程（３）、及び、
偏光照射された前記膜に対して本加熱を行う工程（４）
を順に含み、
前記工程（４）の本加熱は、低温から高温へ異なる温度の定温期間を複数有するように行う操作を含み、
前記液晶表示装置は、プレチルト角が実質的に０°であるイン・プレーン・スイッチングモード又はフリンジ・フィールド・スイッチングモードであることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記工程（４）の本加熱は、９０℃以上の温度で行われることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記工程（４）の本加熱の温度は、１４０℃以上であることを特徴とする請求項２に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記工程（４）の本加熱の温度は、１４０℃以上、２５０℃以下であることを特徴とする請求項３に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記工程（２）の予備加熱は、９０℃以下の温度で行われることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記工程（２）の予備加熱は、７０℃以下の温度で行われることを特徴とする請求項５に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記工程（２）の予備加熱の温度は、４０℃以上、７０℃以下であることを特徴とする請求項６に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記工程（２）の予備加熱の温度は、５０℃以上、７０℃以下であることを特徴とする請求項７に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記液晶表示装置は、前記光配向膜により負の誘電率異方性を有する液晶分子を配向させることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記工程（４）の本加熱は、異なる温度での２回の本加熱を行い、１回目の本加熱は９０℃以上、１４０℃以下の温度で行われ、２回目の本加熱は１８０℃以上の温度で行われることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記１回目の本加熱の温度は、１１０℃以上、１２０℃未満であることを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記２回目の本加熱の温度は、１８０℃以上、２５０℃以下であることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記２回目の本加熱の温度は、２００℃以上、２５０℃以下であることを特徴とする請求項１２に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記工程（４）の本加熱は、異なる温度に設定された複数の加熱装置を用いて行われることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記工程（４）の本加熱は、１台の加熱装置を用いて異なる温度に順次変化させながら行われることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記工程（４）の本加熱は、温度勾配のある領域を有する加熱装置を用いて前記加熱装置内で前記基板を移動させながら行われることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記光官能基は、シンナメート基、カルコン基、クマリン基、スチルベン基、フェニルエステル基、及び、アゾベンゼン基からなる群より選択される少なくとも１つの官能基であることを特徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１８】
前記光官能基を有する高分子の骨格は、ポリアミック酸、ポリイミド、アクリル、メタクリル、マレイミド、及び、ポリシロキサンからなる群より選択される少なくとも１つの構造を有することを特徴とする請求項１〜１７のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１９】
前記光官能基は、少なくとも光二量化が可能であり、
前記工程（４）は、異なる温度での２回の本加熱を行い、１回目の本加熱と２回目の本加熱との間に、更に、１回目の本加熱が行われた前記膜に対して光照射を行う工程（４ａ）を含むことを特徴とする請求項１〜１８のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項２０】
前記光配向膜材料に含有される高分子材料は、主鎖又は側鎖に下記化学式（Ａ）〜（Ｃ）で表される構造を含むことを特徴とする請求項１〜１９のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【化１】
0005997385.tif 000010
上記化学式（Ａ）〜（Ｃ）中、Ｘは、存在しない、Ｏ、ＣＯＯ、ＯＣＯ、ＣＯ、又は、Ｃ≡Ｃを表す。
【請求項２１】
前記光配向膜材料に含有される高分子材料は、主鎖又は側鎖にカルボキシル基及び／又はアミド基を有することを特徴とする請求項１〜２０のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項２２】
前記溶媒は、Ｎ−メチル−ピロリドン、Ｎ−エチル−ピロリドン、及び、γブチルラクトンからなる群より選択される少なくとも１つの化合物と、ブチルセロソルブ、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジイソブチルケトン及びその構造異性体、プロピレングリコールモノブチルエーテル、並びに、ジアセトンアルコールからなる群より選択される少なくとも１つの化合物との混合物であることを特徴とする請求項１〜２１のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項２３】
前記基板は、薄膜トランジスタ素子を備える薄膜トランジスタアレイ基板を含み、
前記薄膜トランジスタ素子は、酸化物半導体を含む半導体層を有することを特徴とする請求項１〜２２のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造方法に関する。より詳しくは、配向膜の形成条件に関わる液晶表示装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置等の薄型表示装置が急速に普及しており、テレビ用途のみならず、電子ブック、フォトフレーム、ＩＡ（Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ  Ａｐｐｌｉａｎｃｅ：産業機器）、ＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ：パーソナルコンピュータ）、タブレットＰＣ、スマートフォン用途等に幅広く採用されている。これらの用途において、種々の性能が要求され、様々な液晶表示モードが開発されている。【０００３】
近年よく用いられている液晶表示モードとしては、基板の主面に対して水平な方向に、正又は負の誘電率異方性を有する液晶分子を配向させる、イン・プレーン・スイッチング（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ：ＩＰＳ）モード、及び、フリンジ・フィールド・スイッチング（Ｆｒｉｎｇｅ  Ｆｉｅｌｄ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ：ＦＦＳ）モード等が挙げられる。【０００４】
液晶表示装置においては、液晶分子を一様に配向させることが求められており、液晶分子を配向させるための配向膜の配向処理方法としては、例えば、ラビング法や光配向法が挙げられ、従来は、配向膜の表面を布で擦るラビング法が広く採用されていた。しかしながら、ラビング法を用いる場合、布の発塵による異物不良及び表示むら、並びに、布で擦る際の静電気による薄膜トランジスタ素子の破壊等が問題になっていた。また、タブレットＰＣ、スマートフォン等の高精細化が進むにつれて、布の毛の密度で配向処理精度が制約されるラビング法では、液晶分子を一様に配向させることが困難になりつつあった。そこで、これらの問題を解決するために、ラビング法の代わりに、紫外線等の光を照射することによって配向膜に異方性を付与し、配向規制力を生じさせる光配向法が近年検討されている。【０００５】
ここで、上述したような配向処理によって液晶分子を一様に配向させ、表示不良を防止する配向処理方法を開示した文献が知られている（例えば、特許文献１及び２参照）。また、材料選択の自由度を高める光反応性化合物を含む光配向膜用組成物を開示した文献が知られている（例えば、特許文献３参照）。また、配向膜を形成する過程で本加熱を行うことによって、高分子（ポリマー）の配向秩序を高めることを開示した文献が知られている。（例えば、非特許文献１及び５参照）。また、予備加熱、偏光紫外線照射、及び、本加熱を順に行うことによって、高分子の配向秩序を高めることを開示した文献が知られている（例えば、非特許文献２〜４参照）。ここで、上記非特許文献４は、光配向膜の形成に関するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−１７９３２８号公報
【特許文献２】特許第４４５９４１７号明細書
【特許文献３】国際公開第２０１２／０９３６８２号
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】サカモト等（Ｋ．Ｓａｋａｍｏｔｏ，ｅｔ  ａｌ）、「光配向したポリアミック酸フィルムの面内分子秩序：熱イミド化時の向上（Ｉｎ−ｐｌａｎｅ  Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  Ｏｒｄｅｒ  ｏｆ  ａ  Ｐｈｏｔｏ−ｏｒｉｅｎｔｅｄ  Ｐｏｌｙａｍｉｃ  Ａｃｉｄ  Ｆｉｌｍ：Ｅｎｈａｎｃｅｍｅｎｔ  ｕｐｏｎ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｉｍｉｄｉｚａｔｉｏｎ）」、Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  Ｃｒｙｓｔａｌｓ  ａｎｄ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌｓ、２００４、Ｖｏｌ．４１２、ｐ．２９３−２９９
【非特許文献２】カワツキ等（Ｎ．Ｋａｗａｔｓｕｋｉ，ｅｔ  ａｌ）、「光架橋性高分子液晶及び非液晶棒状モノマーとアモルファス複合フィルムの熱誘起再配向の光制御（Ｐｈｏｔｏｃｏｎｔｒｏｌ  ｏｆ  Ｔｈｅｒｍａｌｌｙ  Ｉｎｄｕｃｅｄ  Ｒｅｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ  ｏｆ  Ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  Ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ  Ｆｉｌｍ  ｗｉｔｈ  Ｐｈｏｔｏ−Ｃｒｏｓｓｌｉｎｋａｂｌｅ  Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  ａｎｄ  Ｎｏｎ−Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  Ｒｏｄｌｉｋｅ  Ｍｏｎｏｍｅｒ）」、Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｖｏｌ．４１（２００２）ｐｐ．Ｌ１９８−Ｌ２００
【非特許文献３】カワツキ等（Ｎ．Ｋａｗａｔｓｕｋｉ，ｅｔ  ａｌ）、「光架橋共重合液晶の熱的に向上された光誘起再配向方向の制御、及び、直線偏光紫外線を用いた偏光回折格子への応用（Ｃｏｎｔｒｏｌ  ｏｆ  Ｔｈｅｒｍａｌｌｙ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｐｈｏｔｏｉｎｄｕｃｅｄ  Ｒｅｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ  Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｃｒｏｓｓｌｉｎｋａｂｌｅ  Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌｓ  ａｎｄ  Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  ｔｏ  Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｇｒａｔｉｎｇｓ  Ｕｓｉｎｇ  Ｌｉｎｅａｒｌｙ  Ｐｏｌａｒｉｚｅｄ  Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ  Ｌｉｇｈｔ）」、Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｖｏｌ．４３、Ｎｏ．８Ａ、２００４、ｐｐ．５４４７−５４５０
【非特許文献４】カワツキ等（Ｎ．Ｋａｗａｔｓｕｋｉ，ｅｔ  ａｌ）、「液晶用の分子配向した光配向膜（Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ−Ｏｒｉｅｎｔｅｄ  Ｐｈｏｔｏａｌｉｇｎｍｅｎｔ  Ｌａｙｅｒ  ｆｏｒ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌｓ）」、Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｖｏｌ．４６、Ｎｏ．１、２００７、ｐｐ．３３９−３４１
【非特許文献５】ドウゾノ等（Ｙ．Ｄｏｚｏｎｏ，ｅｔ  ａｌ）、「アミド基を有する水素結合型光反応性高分子液晶の高分子反応を用いた合成及び光反応（Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ  ａｎｄ  ｐｈｏｔｏｒｅｓｐｏｎｓｉｖｅ  ｂｅｈａｖｉｏｒ  ｏｆ  ｈｙｄｒｏｇｅｎ−ｂｏｎｄｅｄ  ｐｈｏｔｏｒｅａｃｔｉｖｅ  ｌｉｑｕｉｄ−ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  ｐｏｌｙｍｅｒｓ  ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ  ａｍｉｄｅ  ｇｒｏｕｐｓ  ｂａｓｅｄ  ｏｎ  ｐｏｓｔ  ｐｏｌｙｍｅｒ  ｒｅａｃｔｉｏｎ）」、Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｐｒｅｐｒｉｎｔｓ、Ｊａｐａｎ、Ｖｏｌ．６０、Ｎｏ．２、２０１１、ｐｐ．３８７８（１Ｐｆ０６６）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した通り、光配向法による配向膜（以下、光配向膜とも言う。）の配向処理が検討されている。しかしながら、光配向法には、（１）長期間の使用において、液晶表示装置の電圧保持率が低下し、表示品位が低下すること、（２）充分な配向規制力が得られず、充分に高いコントラストが得られなかったり、焼き付き特性が悪化したりすること、及び、（３）光配向膜の露光感度が悪く、光照射（例えば、紫外線照射）において大きなエネルギー（照射量）を要するため、光配向膜の分解物が生じ、表示品位が低下すること等の不具合が発生することがあった。これらの不具合をすべて解決する手段が見出されていないため、ＩＰＳモード及びＦＦＳモードの液晶表示装置に対する量産性の高い光配向法を未だ開発することができていない。【０００９】
本発明者らは、これらの原因について検討した結果、上記不具合（１）は、特に、高温で通電した状態で長期間使用すると顕著に発生することを見出した。【００１０】
また、本発明者らは、上記不具合（２）は、光配向処理を行っても、光配向膜に含まれる高分子の配向秩序が充分に高まらず、液晶分子の配向乱れを引き起こすためであることを見出した。ここで、配向秩序とは、例えば、所定の方向に配向するように光配向処理された高分子の異方性の程度を示すものである。異方性の程度は、例えば、屈折率異方性や吸収率異方性等で測定することができる。【００１１】
また、本発明者らは、上記不具合（３）は、特に、光分解型の光配向膜において顕著に発生することを見出した。【００１２】
上記特許文献１は、配向膜を用いてカイラルスメクチック液晶を配向させる際に、均一にむらなくハイプレチルトによるユニフォーム配向を達成し、液晶の表示不良を防止できる液晶配向膜の製造方法、及び、液晶素子の製造方法を提供する、としている。しかしながら、上記特許文献１に記載の発明は、ラビング法によって、カイラルスメクチック液晶を配向させるものであり、上記課題を解決するための工夫の余地があった。また、上記特許文献１に記載の発明は、ハイプレチルト角を達成することを目的としているが、本発明の対象であるＩＰＳモード又はＦＦＳモードの液晶表示装置においては、ハイプレチルト角によって視野角特性等が悪化し、表示品位が低下してしまう。【００１３】
上記特許文献２は、斜め照射を行わずに、液晶配向素子に必要な液晶プレチルト角を発現させることができる液晶配向処理方法、及び、液晶表示素子を提供する、としている。しかしながら、上記特許文献２に記載の発明は、本発明の対象であるＩＰＳモード又はＦＦＳモードの液晶表示装置については何ら開示しておらず、上記課題を解決するための工夫の余地があった。また、上記特許文献２に記載の発明は、垂直照射によりプレチルト角を発現させることを目的としているが、本発明の対象であるＩＰＳモード又はＦＦＳモードの液晶表示装置においては、プレチルト角によって視野角特性等が悪化し、表示品位が低下してしまう。【００１４】
上記特許文献３は、材料選択の自由度が高い光反応性化合物を含む光配向膜用組成物を提供する、としている。しかしながら、上記特許文献３に記載の発明は、配向膜の焼成プロセスについて詳細に開示しておらず、本加熱の条件を最適化し、高分子の配向秩序、及び、電気特性を更に高めるという点で、上記課題を解決するための工夫の余地があった。【００１５】
上記非特許文献１は、アゾベンゼンを主鎖に含むポリイミド配向膜の配向秩序を測定したところ、本加熱前の配向秩序よりも、本加熱後の配向秩序の方が高くなる、としている。しかしながら、上記非特許文献１は、本加熱の条件については２５０℃、１時間を開示しているのみであり、本加熱の条件を最適化するという点で、上記課題を解決するための工夫の余地があった。また、上記非特許文献１は、予備加熱についても何ら開示していない。予備加熱を行わない場合は、光配向膜の膜厚むらが発生し、表示品位が低下してしまう。また、上記非特許文献１は、光配向膜材料が２種類以上の高分子を含有する場合について何ら開示していないため、電気特性が悪く、配向しみや配向むら等の配向不良が発生する可能性がある。よって、これらの点で上記課題を解決するための工夫の余地があった。【００１６】
上記非特許文献２〜４は、予備加熱、偏光紫外線照射、及び、本加熱を順に行うことが、高分子の配向秩序を高めるのに有効である、としている。しかしながら、上記非特許文献２〜４は、光配向膜材料が２種類以上の高分子を含有する場合について何ら開示していないため、電気特性が悪く、配向しみや配向むら等の配向不良が発生する可能性があり、この点で上記課題を解決するための工夫の余地があった。また、上記非特許文献２及び３は、配向膜の形成に関して開示したものではない。【００１７】
上記非特許文献５は、液晶構造を有するアクリルポリマーにおいて、液晶性（自己組織化）及びアミド基に起因する水素結合により、高度な配向性が生まれることを開示しており、更に、液晶温度領域において熱処理することが効果的である事を示している。しかしながら、上記非特許文献５は、本加熱の条件について、特定温度での１回処理のみを開示しているのみであり、予備加熱について何ら開示していない。予備加熱を行わない場合は、光配向膜の膜厚むらが発生し、表示品位が低下してしまう。また、上記非特許文献５は、光配向膜材料が２種類以上の高分子を含有する場合について何ら開示していないため、電気特性が悪く、配向しみや配向むら等の配向不良が発生する可能性がある。よって、これらの点で上記課題を解決するための工夫の余地があった。【００１８】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、光配向膜を備え、表示品位を充分に向上することができる液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明者らは、上記不具合（１）に対して、高温で通電した状態で長期間使用すると顕著に発生する原因について種々検討したところ、高温で通電した状態で長期間使用すると、光配向膜やシール材等に含まれる不純物が液晶中へ溶出し、可動イオンとして振る舞うため、電圧保持率の低下を引き起こすことを見出した。【００２０】
そこで、本発明者らは、上記不具合（１）を解決し、光配向膜を備え、表示品位を充分に向上することができる液晶表示装置の製造方法について種々検討したところ、ポリアミック酸骨格を有する高分子を含有する光配向膜材料を用いることに着目した。そして、ポリアミック酸骨格を有する高分子を含有する光配向膜材料を用いて光配向膜を形成することによって、光配向膜の表面に−ＮＨ基、及び、−ＣＯＯＨ基が存在し、上述したような不純物（可動イオン）を吸着させることができると考えられたため、電圧保持率の低下を充分に防止することができ、その結果、表示品位を充分に向上することができることを見出した。【００２１】
また、本発明者らは、上記不具合（２）に対して、高分子の配向秩序が充分に高まらない原因について種々検討したところ、本加熱によって高分子の熱化学反応が進行した後に光照射を行っても、高分子の配向秩序が充分に高まらないことを見出した。これは、光照射のみによって高分子を完全に配向させることはできないためであると考えられる。また、本発明者らは、光照射を本加熱の前に行う場合であっても、本加熱の温度が低過ぎると、高分子の配向秩序が充分に高まらないことを見出した。ここで、光照射によって高分子を完全に配向させることはできないため、光照射直後の高分子は、所定の配向方向からずれたものも含んでおり、高分子の配向秩序が充分に高まっていない状態である。よって、本加熱の温度が低過ぎると、配向秩序が充分に高まっていない光照射直後の高分子の分子運動が活発にならず、上述したような所定の配向方向からずれた高分子が、所定の配向方向に配向し直すことが難しくなるためであると考えられる。【００２２】
そこで、本発明者らは、上記不具合（２）を解決し、光配向膜を備え、表示品位を充分に向上することができる液晶表示装置の製造方法について種々検討したところ、光照射を本加熱の前に行い、加熱による高分子の分子運動が活発になる程度の温度で本加熱を行うことに着目した。そして、光照射を本加熱の前に行い、加熱による高分子の分子運動が活発になる程度の温度で本加熱を行うことによって、光照射によって形成された異方性をきっかけとして、加熱による高分子の分子運動が容易になり、高分子が所定の配向方向に配向し直す（以下、自己組織化とも言う。）ため、高分子の配向秩序を充分に向上することができることを見出した。また、自己組織化を進行させるためには、本加熱を行う前の状態で溶媒がある程度残存していた方が有利であり、光配向膜の膜質や表示品位に影響を与えない程度で予備加熱の温度を低くすることで、自己組織化による高分子の配向秩序を充分に向上することができることを見出した。以上より、表示品位を充分に向上することができることを見出した。【００２３】
また、本発明者らは、上記不具合（３）に対して、光分解型の光配向膜において顕著に発生する原因について種々検討したところ、光照射によって低分子量の分解物が生成され、液晶表示装置を長期間使用する過程において、その分解物が液晶中に溶出した後に凝集することで表示品位の低下（例えば、輝点不良）を引き起こすことを見出した。【００２４】
そこで、本発明者らは、上記不具合（３）を解決し、光配向膜を備え、表示品位を充分に向上することができる液晶表示装置の製造方法について種々検討したところ、光二量化、光異性化、及び、光フリース転移からなる群より選択される少なくとも１つの化学反応を配向異方性形成のための主たるメカニズムとする光配向膜を用いることに着目した。そして、光二量化、光異性化、及び、光フリース転移からなる群より選択される少なくとも１つの化学反応が可能な光官能基を有する高分子を含有する光配向膜材料を用いれば、光照射によって低分子量の分解物は生成されないため、表示品位を充分に向上することができることを見出した。【００２５】
以上より、上記課題をみごとに解決することができることに想到し、本発明に到達したものである。【００２６】
すなわち、本発明の一態様によれば、光配向膜を備える液晶表示装置の製造方法であって、上記液晶表示装置の製造方法は、光二量化、光異性化、及び、光フリース転移からなる群より選択される少なくとも１つの化学反応が可能な光官能基を有する高分子と、ポリアミック酸骨格を有し、上記光官能基を有さない高分子と、溶媒とを含有する光配向膜材料による膜を基板上に形成する工程（１）、上記膜に対して上記溶媒を蒸発させる予備加熱を行う工程（２）、予備加熱された上記膜に対して偏光照射を行う工程（３）、及び、偏光照射された上記膜に対して本加熱を行う工程（４）を順に含み、上記液晶表示装置は、プレチルト角が実質的に０°であるイン・プレーン・スイッチングモード又はフリンジ・フィールド・スイッチングモードである液晶表示装置の製造方法であってもよい。【００２７】
本発明の一態様に係る液晶表示装置の製造方法としては、その他の工程により特に限定されるものではない。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の一態様によれば、光配向膜を備え、表示品位を充分に向上することができる液晶表示装置の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
上記光配向膜材料は、光二量化、光異性化、及び、光フリース転移からなる群より選択される少なくとも１つの化学反応が可能な光官能基を有する高分子と、ポリアミック酸骨格を有し、上記光官能基を有さない高分子と、溶媒とを含有するものであり、上記工程（１）〜（４）を経た後に、光配向膜を構成するものである。すなわち、上記光配向膜は、光が照射されることによって上記光官能基が光二量化、光異性化、及び、光フリース転移からなる群より選択される少なくとも１つの化学反応を生じ、液晶分子に対する配向規制力を発現した膜である。上記光配向膜材料は、上記２種類の高分子とは異なる種類の高分子を含んでいてもよい。
【００３０】
上記２種類の高分子は、光二量化、光異性化、及び、光フリース転移からなる群より選択される少なくとも１つの化学反応が可能な光官能基を有するもの、及び、ポリアミック酸骨格を有し、上記光官能基を有さないものであれば特に限定されないが、本加熱が適切に行われたときに、配向膜に求められる充分な特性を有するものであることが好ましい。また、上記光配向膜材料がポリアミック酸を含有することで、上記溶媒への溶解性、及び、基板との親和性の観点から、上記膜を基板上に形成する際の塗布性を向上させることができる。電気特性の観点からは、液晶層の誘電率や比抵抗等との兼ね合いにより、残留ＤＣ（Ｄｉｒｅｃｔ  Ｃｕｒｒｅｎｔ：直流）による焼き付きを軽減することができる。この観点から、ポリアミック酸の一部を予め熱化学反応（熱イミド化）させることも効果的である。
【００３１】
上記溶媒は、上記２種類の高分子を溶解又は分散させることができる液体（室温時）であれば特に限定されず、上記工程（２）及び（４）によって光配向膜材料中から除去される。なお、上記溶媒は、上記２種類の高分子を溶解させるのに適した成分（良溶媒）だけでなく、上記光配向膜材料を基板上に均一な厚みで拡げるのに適した成分（貧溶媒）等を含んでいてもよく、それらの混合物であることが好ましい。
【００３２】
上記工程（１）（以下、光配向膜材料による膜を形成する工程とも言う。）については、例えば、インクジェット方式、又は、スピンコート法により塗布する方法や、フレキソ方式により印刷（転写）する方法等が用いられる。そして、これらの方法により、以降の工程によって光配向膜として機能し得るように、上記光配向膜材料を用いて基板上に上記膜が形成されるようにすればよい。上記膜の形成条件は、上記膜の形成方法等に応じて適宜設定すればよい。また、上記膜の膜厚等も、通常設定される光配向膜の膜厚等と同様になるようにすればよい。また、上記膜が形成される基板についても、光配向膜形成のための処理が施される基板であればよく、種々の処理がなされた基板であってもよい。
【００３３】
上記工程（２）（以下、予備加熱工程とも言う。）については、例えば、上記膜を加熱／乾燥し、上記溶媒を蒸発させるものである。ここで、予備加熱工程によって、上記溶媒は部分的に除去されてもよいし、実質的に完全に除去されてもよい。また、予備加熱工程は、例えば、所定の温度に設定された、ホットプレートやベーク炉等の加熱装置により行われる。
【００３４】
上記工程（３）（以下、光照射工程とも言う。）については、予備加熱された上記膜に対して、例えば、紫外線、可視光線、又は、これらの両方によって光配向処理するものであり、偏光紫外線が好適に用いられる。また、光照射工程における光照射条件は、通常の光配向膜を形成するときに設定される条件とすることができる。
【００３５】
上記工程（４）（以下、本加熱工程とも言う。）によれば、例えば、自己組織化を進行させたり、高分子の熱化学反応を進行させたり、残存した溶媒を揮発させたりする。また、本加熱工程は、例えば、所定の温度に設定された、ホットプレートやベーク炉等の加熱装置により行われる。
【００３６】
上記液晶表示装置は、プレチルト角が実質的に０°であるイン・プレーン・スイッチング（ＩＰＳ）モード又はフリンジ・フィールド・スイッチング（ＦＦＳ）モードである。このような液晶表示装置を構成する上記光配向膜は、基板の主面に対して水平な方向に液晶分子を配向させるもの（以下、水平光配向膜とも言う。）であってもよい。水平光配向膜は、少なくとも近接する液晶分子を、水平光配向膜の膜面に対して実質的に水平に配向させるものであればよい。プレチルト角が実質的に０°であるとは、例えば、液晶分子のプレチルト角が、水平光配向膜の膜面に対して１°以下であることを言う。
【００３７】
以下に実施例を掲げ、本発明について更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。また、以下の実施例は、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜組み合わされてもよいし、変更されてもよい。
【００３８】
［実施例１］
実施例１は、２種類の高分子を含有する光配向膜材料を用いた場合である。実施例１に係る液晶表示装置の製造方法について、以下に順次説明する。
【００３９】
（液晶表示装置の構成）
ＦＦＳモード用の電極構造を有する液晶表示装置であり、プレチルト角は０°である。
【００４０】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。ここで、シンナメート基は、光二量化及び光異性化が可能な光官能基である。
【００４１】
（光配向膜材料による膜を形成する工程）
２枚の基板上に、光配向膜材料による膜をスピンコート法により形成した。
【００４２】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を７０℃で１５０秒間行った。予備加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。また、予備加熱工程後の光配向膜材料による膜の膜厚は、１００ｎｍ程度であった。
【００４３】
（光照射工程）
２枚の基板上の予備加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線を照射した。偏光紫外線の照射量は、２８０〜３３０ｎｍの波長範囲で５ｍＪ／ｃｍ２とした。
【００４４】
（本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１４０℃で１０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【００４５】
その後、本加熱工程後の２枚の基板を、シール材を介して、照射された偏光紫外線の偏光方向が互いに平行になるように貼り合わせた。そして、２枚の基板を貼り合わせた後にシール熱硬化工程等を経ることによって、ＦＦＳモードの液晶表示装置が得られた。ここで、液晶層を形成する液晶材は、２枚の基板のうちの一方に予め滴下しておいたが、各々の基板を貼り合わせた後に封入してもよい。液晶材としては、正の誘電率異方性を有する液晶分子を含むものを用いて、液晶層の厚みは３．５μｍとした。また、シール材、及び、液晶層等は、例えば、通常の液晶表示装置を製造する工程と同様に形成されるものであってもよい。
【００４６】
上記の各工程は、イエロー蛍光灯の下で行われ、蛍光灯からの紫外線に曝されないようにした。その後、液晶表示パネルに、偏光板、バックライト等の部材を適宜配置させることによって、実施例１に係る液晶表示装置が得られた。
【００４７】
［比較例１］
比較例１は、実施例１において光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸を含有しない光配向膜材料を用いた場合である。比較例１に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００４８】
（光配向膜材料）
固形分として、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子を用いた。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【００４９】
［評価結果：実施例１、及び、比較例１］
実施例１、及び、比較例１に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、電圧保持率を評価した。
【００５０】
（電圧保持率の測定方法）
電圧保持率の測定には、東陽テクニカ社製の液晶物性評価システム（商品名：６２５４型）を用いた。印加電圧は５Ｖ、保持時間は１６．６７ｍｓ、測定温度は６０℃とした。
【００５１】
（電圧保持率の測定結果）
６０℃の環境下で５Ｖの電圧を印加し続け、５００時間後を確認したところ、実施例１の電圧保持率は９７％以上であり、比較例１の９５％未満と比べて高かった。ここで、電圧保持率とは、１フレーム期間中に充電された電荷が保持される割合である。通常、本加熱による熱化学反応が不足すると、電圧保持率が低下してしまうことがある。また、電圧保持率の低下は、液晶表示装置における表示むらを引き起こすことがある。よって、実施例１に係る液晶表示装置の製造方法によれば、電圧保持率を充分に向上することができ、その結果、表示品位を充分に向上することができる。
【００５２】
実施例１の電圧保持率が、比較例１のそれと比べて高くなった理由について説明する。高温で通電した状態で長期間使用すると、光配向膜やシール材等に含まれる不純物が液晶中へ溶出し、可動イオンとして振る舞うため、電圧保持率の低下を引き起こすと考えられる。ここで、実施例１で用いた光配向膜材料のように、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸が含有されている場合は、光配向膜の表面に−ＮＨ基、及び、−ＣＯＯＨ基が存在すると考えられる。−ＮＨ基、及び、−ＣＯＯＨ基は、上述したような不純物（可動イオン）の吸着サイトとなり得るため、その可動イオンは固定され、その結果、電圧保持率の低下を充分に防止することができると考えられる。よって、実施例１に係る液晶表示装置の製造方法によれば、電圧保持率を充分に向上することができる。
【００５３】
［実施例２−１］
実施例２−１は、実施例１において予備加熱の温度を６０℃とした場合である。実施例２−１に係る液晶表示装置の製造方法は、予備加熱工程以外、実施例１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００５４】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を６０℃で１５０秒間行った。
【００５５】
［実施例２−２］
実施例２−２は、実施例２−１において予備加熱の温度を７０℃とした場合であり、実施例１と同様である。実施例２−２に係る液晶表示装置の製造方法は、実施例１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００５６】
［実施例２−３］
実施例２−３は、実施例２−１において予備加熱の温度を８０℃とした場合である。実施例２−３に係る液晶表示装置の製造方法は、予備加熱工程以外、実施例２−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００５７】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を８０℃で１５０秒間行った。
【００５８】
［実施例２−４］
実施例２−４は、実施例２−１において予備加熱の温度を９０℃とした場合である。実施例２−４に係る液晶表示装置の製造方法は、予備加熱工程以外、実施例２−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００５９】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を９０℃で１５０秒間行った。
【００６０】
［実施例２−５］
実施例２−５は、実施例２−１において予備加熱の温度を１００℃とした場合である。実施例２−５に係る液晶表示装置の製造方法は、予備加熱工程以外、実施例２−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００６１】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を１００℃で１５０秒間行った。
【００６２】
［実施例２−６］
実施例２−６は、実施例２−１において予備加熱の温度を１１０℃とした場合である。実施例２−６に係る液晶表示装置の製造方法は、予備加熱工程以外、実施例２−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００６３】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を１１０℃で１５０秒間行った。
【００６４】
［評価結果：実施例２−１〜２−６］
実施例２−１〜２−６に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、予備加熱の温度、及び、表示品位の評価結果を表１にまとめた。
【００６５】
（表示品位の評価方法）
表示品位を評価し、レベル１：コントラストが１２００以上、レベル２：コントラストが１０００以上、１２００未満、レベル３：コントラストが５００以上、１０００未満、レベル４：コントラストが５００未満又は配向不良が視認される、の４段階で評価した。ここで、評価結果がレベル１〜３である場合を製品に適したレベルであると判断し、評価結果がレベル４である場合を製品に適したレベルに達していないと判断した。
【００６６】
（コントラストの測定方法）
コントラストは、（コントラスト）＝（白表示時の輝度）／（黒表示時の輝度）で測定された。白表示時は最大輝度となる電圧印加状態、黒表示時は電圧無印加状態とした。輝度（白表示時及び黒表示時の輝度）の測定には、トプコン社製の分光放射計（商品名：ＳＲ−ＵＬ２）を用いた。
【００６７】
【表１】
0005997385.tif 000002
【００６８】
（表示品位の評価結果）
各例の表示品位の評価結果について、以下に説明する。
【００６９】
（実施例２−１）
表示品位の評価結果はレベル１であり、実施例２−３〜２−６のそれと比べて非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例２−１に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【００７０】
（実施例２−２）
表示品位の評価結果はレベル１であり、実施例２−３〜２−６のそれと比べて非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例２−２に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【００７１】
（実施例２−３）
表示品位の評価結果はレベル２であり、実施例２−５、及び、実施例２−６のそれと比べて良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例２−３に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【００７２】
（実施例２−４）
表示品位の評価結果はレベル２であり、実施例２−５、及び、実施例２−６のそれと比べて良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例２−４に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【００７３】
（実施例２−５）
表示品位の評価結果はレベル３であり、良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例２−５に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【００７４】
（実施例２−６）
表示品位の評価結果はレベル３であり、良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例２−６に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【００７５】
実施例２−１〜２−６においては、偏光紫外線の照射の後に本加熱を行うことによって、偏光紫外線の照射によって形成された異方性をきっかけとして、加熱による高分子の分子運動が容易になり、自己組織化による高分子の配向秩序を充分に向上させることができると考えられる。また、自己組織化による高分子の配向秩序の向上は、光官能基を有する高分子のみならず、ポリアミック酸との相互作用のもとに生じるものであり、この配向秩序の向上を実現する上で、高分子の分子運動の容易さが重要となる。
【００７６】
実施例２−１、及び、実施例２−２の表示品位が、実施例２−３〜２−６のそれと比べて非常に良好であった理由について説明する。これは、実施例２−１、及び、実施例２−２における予備加熱の温度が、実施例２−３〜２−６におけるそれと比べて低く、その結果、溶媒の残存量が相対的に多くなったことによって、本加熱に伴う高分子の分子運動が相対的に活発になり、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、自己組織化を進行させるためには、本加熱を行う前の状態で溶媒がある程度残存していた方が有利であり、予備加熱の温度が高過ぎると自己組織化を阻害することがあると考えられる。予備加熱は、光配向膜材料による膜の液体流動性が無くなるように行われればよく、本発明の一態様による効果を奏するように、予備加熱の温度を低くすることが好ましい。また、実施例２−３、及び、実施例２−４の表示品位が、実施例２−５、及び、実施例２−６のそれと比べて良好であった理由についても、上述した理由と同様である。以上より、予備加熱の温度は９０℃以下であることが好ましく、７０℃以下であることがより好ましいことが分かった。ここで、予備加熱の温度が４０℃未満である場合は、溶媒の揮発に時間を要するため、溶液の対流に伴う膜厚むらが顕著に発生し、その結果、液晶表示装置の点灯時に配向むらが視認される可能性がある。よって、予備加熱の温度は、４０℃以上、７０℃以下であることが更に好ましい。
【００７７】
［実施例３−１］
実施例３−１は、実施例２−２において本加熱の温度を８０℃とした場合である。実施例３−１に係る液晶表示装置の製造方法は、本加熱工程以外、実施例２−２のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００７８】
（本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を８０℃で１０分間行った。
【００７９】
［実施例３−２］
実施例３−２は、実施例３−１において本加熱の温度を９０℃とした場合である。実施例３−２に係る液晶表示装置の製造方法は、本加熱工程以外、実施例３−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００８０】
（本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を９０℃で１０分間行った。
【００８１】
［実施例３−３］
実施例３−３は、実施例３−１において本加熱の温度を１００℃とした場合である。実施例３−３に係る液晶表示装置の製造方法は、本加熱工程以外、実施例３−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００８２】
（本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１００℃で１０分間行った。
【００８３】
［実施例３−４］
実施例３−４は、実施例３−１において本加熱の温度を１１０℃とした場合である。実施例３−４に係る液晶表示装置の製造方法は、本加熱工程以外、実施例３−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００８４】
（本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１１０℃で１０分間行った。
【００８５】
［実施例３−５］
実施例３−５は、実施例３−１において本加熱の温度を１２０℃とした場合である。実施例３−５に係る液晶表示装置の製造方法は、本加熱工程以外、実施例３−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００８６】
（本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１２０℃で１０分間行った。
【００８７】
［実施例３−６］
実施例３−６は、実施例３−１において本加熱の温度を１３０℃とした場合である。実施例３−６に係る液晶表示装置の製造方法は、本加熱工程以外、実施例３−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００８８】
（本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１３０℃で１０分間行った。
【００８９】
［実施例３−７］
実施例３−７は、実施例３−１において本加熱の温度を１４０℃とした場合であり、実施例２−２と同様である。実施例３−７に係る液晶表示装置の製造方法は、実施例２−２のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００９０】
［実施例３−８］
実施例３−８は、実施例３−１において本加熱の温度を１５０℃とした場合である。実施例３−８に係る液晶表示装置の製造方法は、本加熱工程以外、実施例３−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【００９１】
（本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１５０℃で１０分間行った。
【００９２】
［評価結果：実施例３−１〜３−８］
実施例３−１〜３−８に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、本加熱の温度、及び、表示品位の評価結果を表２にまとめた。
【００９３】
（表示品位の評価方法）
実施例２−１〜２−６と同様な方法で表示品位を評価し、レベル１：コントラストが１２００以上、レベル２：コントラストが１０００以上、１２００未満、レベル３：コントラストが５００以上、１０００未満、レベル４：コントラストが５００未満又は配向不良が視認される、の４段階で評価した。ここで、評価結果がレベル１〜３である場合を製品に適したレベルであると判断し、評価結果がレベル４である場合を製品に適したレベルに達していないと判断した。
【００９４】
【表２】
0005997385.tif 000003
【００９５】
（表示品位の評価結果）
各例の表示品位の評価結果について、以下に説明する。
【００９６】
（実施例３−１）
表示品位の評価結果はレベル３であり、良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例３−１に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【００９７】
（実施例３−２）
表示品位の評価結果はレベル２であり、実施例３−１のそれと比べて良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例３−２に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【００９８】
（実施例３−３）
表示品位の評価結果はレベル２であり、実施例３−１のそれと比べて良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例３−３に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【００９９】
（実施例３−４）
表示品位の評価結果はレベル２であり、実施例３−１のそれと比べて良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例３−４に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０１００】
（実施例３−５）
表示品位の評価結果はレベル２であり、実施例３−１のそれと比べて良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例３−５に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０１０１】
（実施例３−６）
表示品位の評価結果はレベル２であり、実施例３−１のそれと比べて良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例３−６に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０１０２】
（実施例３−７）
表示品位の評価結果はレベル１であり、実施例３−１〜３−６のそれと比べて非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例３−７に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０１０３】
（実施例３−８）
表示品位の評価結果はレベル１であり、実施例３−１〜３−６のそれと比べて非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例３−８に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０１０４】
実施例３−１〜３−８においては、偏光紫外線の照射の後に本加熱を行うことによって、偏光紫外線の照射によって形成された異方性をきっかけとして、加熱による高分子の分子運動が容易になり、自己組織化による高分子の配向秩序を充分に向上させることができると考えられる。また、自己組織化による高分子の配向秩序の向上は、光官能基を有する高分子のみならず、ポリアミック酸との相互作用のもとに生じるものであり、この配向秩序の向上を実現する上で、高分子の分子運動の容易さが重要となる。
【０１０５】
実施例３−７、及び、実施例３−８の表示品位が、実施例３−１〜３−６のそれと比べて非常に良好であった理由について説明する。上述したように、自己組織化による高分子の配向秩序を向上させるためには、高分子の分子運動が容易（活発）であることが重要である。よって、実施例３−７、及び、実施例３−８における本加熱の温度が、実施例３−１〜３−６におけるそれと比べて高いため、高分子の分子運動が相対的に活発であると考えられる。ここで、自己組織化の際の温度が低過ぎると、高分子の分子運動は相対的に活発にならないと考えられる。また、実施例３−２〜３−６の表示品位が、実施例３−１のそれと比べて良好であった理由についても、上述した理由と同様である。以上より、本加熱の温度は９０℃以上であることが好ましく、１４０℃以上であることがより好ましいことが分かった。ここで、本加熱の温度が２５０℃を超える場合は、カラーフィルタ層の退色等が発生し、液晶表示装置の表示品位が低下する可能性がある。よって、本加熱の温度は、１４０℃以上、２５０℃以下であることが更に好ましい。
【０１０６】
［実施例４］
実施例４は、実施例１において負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合である。実施例４に係る液晶表示装置の製造方法は、液晶分子の誘電率異方性が異なること以外、実施例１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１０７】
［比較例２］
比較例２は、分解型の光配向膜を用いて、光照射工程を本加熱工程の後に行った場合である。比較例２に係る液晶表示装置の製造方法について、以下に順次説明する。
【０１０８】
（光配向膜材料）
固形分として、シクロブタン骨格を有するポリアミド酸高分子を用いた。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。ここで、比較例２で用いられた光配向膜は、中心波長２５４ｎｍ付近で高分子鎖の光分解を生じるものである。
【０１０９】
（光配向膜材料による膜を形成する工程）
２枚の基板上に、光配向膜材料による膜をスピンコート法により形成した。
【０１１０】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を９０℃で１５０秒間行った。予備加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。また、予備加熱工程後の光配向膜材料による膜の膜厚は、１００ｎｍ程度であった。
【０１１１】
（本加熱工程）
２枚の基板上の予備加熱工程後の膜に対して、本加熱を２３０℃で３０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０１１２】
（光照射工程）
２枚の基板上の本加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線を照射した。偏光紫外線の照射量は、中心波長２５４ｎｍ付近で１Ｊ／ｃｍ２とした。
【０１１３】
その後、光照射工程後の２枚の基板を実施例１に係る液晶表示装置の製造方法と同様に貼り合わせて得られたＦＦＳモードの液晶表示パネルに、偏光板、バックライト等の部材を適宜配置させることによって、比較例２に係る液晶表示装置が得られた。液晶材としては、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含むものを用いて、液晶層の厚みは３．５μｍとした。
【０１１４】
［評価結果：実施例４、及び、比較例２］
実施例４、及び、比較例２に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、コントラスト、焼き付き特性、及び、電圧保持率を評価した。ここで、コントラストが５００以上、焼き付き特性（焼き付き率）が５％以内、電圧保持率が９７％以上である場合を製品に適したレベルであると判断した。なお、コントラストは実施例２−１〜２−６と同様な方法で測定し、電圧保持率は実施例１と同様な方法で測定した。
【０１１５】
（コントラストの測定結果）
実施例４、及び、比較例２におけるコントラストは、ともに１２００程度で同等であり、製品に適したレベルであった。
【０１１６】
（焼き付き特性の評価方法）
焼き付き特性は、焼き付き率で評価した。最大輝度を示す際の電圧をＶｍａｘ、最大輝度の１％を示す際の電圧を観察電圧Ｖ１とし（Ｖ１＜Ｖｍａｘ）、まず、観察電圧Ｖ１印加時の輝度（Ｌ１）を測定した。次に、Ｖｍａｘを６時間印加し続けた後に、観察電圧Ｖ１印加時の輝度（Ｌ１’）を測定した。そして、Ｌ１に対するＬ１’の変化率を焼き付き率とした。輝度の測定には、キヤノン社製のデジタルカメラ（商品名：ＥＯＳ  Ｋｉｓｓ  Ｄｉｇｉｔａｌ  ＮＥＦ−Ｓ１８−５５ＩＩＵ）を用いた。
【０１１７】
（焼き付き特性の評価結果）
実施例４、及び、比較例２における焼き付き率は、ともに３％程度で同等であり、製品に適したレベルであった。
【０１１８】
（電圧保持率の測定結果）
６０℃の環境下で５Ｖの電圧を印加し続け、５００時間後を確認したところ、実施例４、及び、比較例２における電圧保持率は、ともに９８％以上で同等であり、製品に適したレベルであった。
【０１１９】
しかしながら、６０℃の環境下で５Ｖの電圧を印加し続け、５００時間後を確認したところ、比較例２では微小な輝点が画素内に発生し、その結果、表示不良が発生した。
【０１２０】
これは、比較例２において、高分子鎖の光分解を配向異方性形成のための主たるメカニズムとしているためである。比較例２においては、偏光紫外線の照射によって低分子量の分解物が生成され、初期は光配向膜の表面に付着しているが、長期試験においてその分解物が液晶中に溶出した後に凝集することで輝点になったと考えられる。よって、実施例４に係る液晶表示装置の製造方法のように、光分解ではなく、光二量化、光異性化、及び、光フリース転移からなる群より選択される少なくとも１つの化学反応を配向異方性形成のための主たるメカニズムとする光配向膜を用いることで、表示品位を充分に向上することができる。
【０１２１】
また、比較例２において発生したような輝点は、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合の方が、正の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合と比べて、顕著に発生する傾向があった。負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合は、透過率及び視野角特性をより向上することができる。よって、上記本発明の一態様に係る液晶表示装置の製造方法において、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合は、本発明の一態様による効果を奏するとともに、透過率及び視野角特性をより向上することができる。
【０１２２】
［実施例５］
実施例５は、２種類の高分子を含有する光配向膜材料を用いた場合である。実施例５に係る液晶表示装置の製造方法について、以下に順次説明する。
【０１２３】
（液晶表示装置の構成）
ＦＦＳモード用の電極構造を有する液晶表示装置であり、プレチルト角は０°である。
【０１２４】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、光反応性を有するアゾベンゼン構造を含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。ここで、アゾベンゼン基は、光異性化が可能な光官能基である。
【０１２５】
（光配向膜材料による膜を形成する工程）
２枚の基板上に、光配向膜材料による膜をスピンコート法により形成した。
【０１２６】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を７０℃で１５０秒間行った。予備加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。また、予備加熱工程後の光配向膜材料による膜の膜厚は、１００ｎｍ程度であった。
【０１２７】
（光照射工程）
２枚の基板上の予備加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線を照射した。偏光紫外線の照射量は、中心波長３６５ｎｍ付近で３Ｊ／ｃｍ２とした。
【０１２８】
（本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１４０℃で１０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０１２９】
その後、本加熱工程後の２枚の基板を実施例１に係る液晶表示装置の製造方法と同様に貼り合わせて得られたＦＦＳモードの液晶表示パネルに、偏光板、バックライト等の部材を適宜配置させることによって、実施例５に係る液晶表示装置が得られた。液晶材としては、正の誘電率異方性を有する液晶分子を含むものを用いて、液晶層の厚みは３．５μｍとした。
【０１３０】
［比較例３］
比較例３は、実施例５において光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸を含有しない光配向膜材料を用いた場合である。比較例３に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例５のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１３１】
（光配向膜材料）
固形分として、光反応性を有するアゾベンゼン構造を含む高分子を用いた。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０１３２】
［評価結果：実施例５、及び、比較例３］
実施例５、及び、比較例３に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置に対して６０℃の環境下で５Ｖの電圧を印加し続け、５００時間後を確認したところ、実施例５の電圧保持率は９５〜９７％程度であり、比較例３の９０％未満と比べて高かった。電圧保持率の低下は、液晶表示装置における表示むらを引き起こすことがあるため、実施例５に係る液晶表示装置の製造方法によれば、電圧保持率を充分に向上することができ、その結果、表示品位を充分に向上することができる。
【０１３３】
実施例５の電圧保持率が、比較例３のそれと比べて高くなった理由について説明する。高温で通電した状態で長期間使用すると、光配向膜やシール材等に含まれる不純物が液晶中へ溶出し、可動イオンとして振る舞うため、電圧保持率の低下を引き起こすと考えられる。ここで、実施例５で用いた光配向膜材料のように、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸が含有されている場合は、光配向膜の表面に−ＮＨ基、及び、−ＣＯＯＨ基が存在すると考えられる。−ＮＨ基、及び、−ＣＯＯＨ基は、上述したような不純物（可動イオン）の吸着サイトとなり得るため、その可動イオンは固定され、その結果、電圧保持率の低下を充分に防止することができると考えられる。よって、実施例５に係る液晶表示装置の製造方法によれば、電圧保持率を充分に向上することができる。
【０１３４】
［実施例６］
実施例６は、実施例５において負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合である。実施例６に係る液晶表示装置の製造方法は、液晶分子の誘電率異方性が異なること以外、実施例５のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１３５】
［比較例４］
比較例４は、分解型の光配向膜を用いて、光照射工程を本加熱工程の後に行った場合である。比較例４に係る液晶表示装置の製造方法について、以下に順次説明する。
【０１３６】
（光配向膜材料）
固形分として、シクロブタン骨格を有するポリアミド酸高分子を用いた。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。ここで、比較例４で用いられた光配向膜は、中心波長２５４ｎｍ付近で高分子鎖の光分解を生じるものである。
【０１３７】
（光配向膜材料による膜を形成する工程）
２枚の基板上に、光配向膜材料による膜をスピンコート法により形成した。
【０１３８】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を９０℃で１５０秒間行った。予備加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。また、予備加熱工程後の光配向膜材料による膜の膜厚は、１００ｎｍ程度であった。
【０１３９】
（本加熱工程）
２枚の基板上の予備加熱工程後の膜に対して、本加熱を２３０℃で３０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０１４０】
（光照射工程）
２枚の基板上の本加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線を照射した。偏光紫外線の照射量は、中心波長２５４ｎｍ付近で１Ｊ／ｃｍ２とした。
【０１４１】
その後、光照射工程後の２枚の基板を実施例１に係る液晶表示装置の製造方法と同様に貼り合わせて得られたＦＦＳモードの液晶表示パネルに、偏光板、バックライト等の部材を適宜配置させることによって、比較例４に係る液晶表示装置が得られた。液晶材としては、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含むものを用いて、液晶層の厚みは３．５μｍとした。
【０１４２】
［評価結果：実施例６、及び、比較例４］
実施例６、及び、比較例４に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、コントラスト、焼き付き特性、及び、電圧保持率を評価した。ここで、コントラストが５００以上、焼き付き特性（焼き付き率）が５％以内、電圧保持率が９７％以上である場合を製品に適したレベルであると判断した。なお、コントラストは実施例２−１〜２−６と同様な方法で測定し、焼き付き特性は実施例４と同様な方法で評価し、電圧保持率は実施例１と同様な方法で測定した。
【０１４３】
（コントラストの測定結果）
実施例６、及び、比較例４におけるコントラストは、ともに１２００程度で同等であり、製品に適したレベルであった。
【０１４４】
（焼き付き特性の評価結果）
実施例６、及び、比較例４における焼き付き率は、ともに３％程度で同等であり、製品に適したレベルであった。
【０１４５】
（電圧保持率の測定結果）
６０℃の環境下で５Ｖの電圧を印加し続け、５００時間後を確認したところ、実施例６、及び、比較例４における電圧保持率は、ともに９８％以上で同等であり、製品に適したレベルであった。
【０１４６】
しかしながら、６０℃の環境下で５Ｖの電圧を印加し続け、５００時間後を確認したところ、比較例４では微小な輝点が画素内に発生し、その結果、表示不良が発生した。
【０１４７】
これは、比較例４において、高分子鎖の光分解を配向異方性形成のための主たるメカニズムとしているためである。比較例４においては、偏光紫外線の照射によって低分子量の分解物が生成され、初期は光配向膜の表面に付着しているが、長期試験においてその分解物が液晶中に溶出した後に凝集することで輝点になったと考えられる。よって、実施例６に係る液晶表示装置の製造方法のように、光分解ではなく、光二量化、光異性化、及び、光フリース転移からなる群より選択される少なくとも１つの化学反応を配向異方性形成のための主たるメカニズムとする光配向膜を用いることで、表示品位を充分に向上することができる。
【０１４８】
また、比較例４において発生したような輝点は、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合の方が、正の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合と比べて、顕著に発生する傾向があった。負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合は、透過率及び視野角特性をより向上することができる。よって、上記本発明の一態様に係る液晶表示装置の製造方法において、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合は、本発明の一態様による効果を奏するとともに、透過率及び視野角特性をより向上することができる。
【０１４９】
［実施例７−１］
実施例７−１は、上記工程（４）で異なる温度での２回の本加熱を行った場合である。実施例７−１に係る液晶表示装置の製造方法について、以下に順次説明する。
【０１５０】
（液晶表示装置の構成）
ＦＦＳモード用の電極構造を有する液晶表示装置であり、プレチルト角は０°である。
【０１５１】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、光反応性を有するアゾベンゼン構造を含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０１５２】
（光配向膜材料による膜を形成する工程）
２枚の基板上に、光配向膜材料による膜をスピンコート法により形成した。
【０１５３】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を６０℃で１５０秒間行った。予備加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。また、予備加熱工程後の光配向膜材料による膜の膜厚は、１００ｎｍ程度であった。
【０１５４】
（光照射工程）
２枚の基板上の予備加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線を照射した。偏光紫外線の照射量は、中心波長３６５ｎｍ付近で１Ｊ／ｃｍ２とした。
【０１５５】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１１０℃で１０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０１５６】
（第２の本加熱工程）
２枚の基板上の第１の本加熱工程後の膜に対して、本加熱を２００℃で３０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０１５７】
その後、第２の本加熱工程後の２枚の基板を実施例１に係る液晶表示装置の製造方法と同様に貼り合わせて得られたＦＦＳモードの液晶表示パネルに、偏光板、バックライト等の部材を適宜配置させることによって、実施例７−１に係る液晶表示装置が得られた。液晶材としては、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含むものを用いて、液晶層の厚みは３．５μｍとした。
【０１５８】
［実施例７−２］
実施例７−２は、実施例７−１において予備加熱の温度を７０℃とした場合である。実施例７−２に係る液晶表示装置の製造方法は、予備加熱工程以外、実施例７−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１５９】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を７０℃で１５０秒間行った。
【０１６０】
［実施例７−３］
実施例７−３は、実施例７−１において予備加熱の温度を８０℃とした場合である。実施例７−３に係る液晶表示装置の製造方法は、予備加熱工程以外、実施例７−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１６１】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を８０℃で１５０秒間行った。
【０１６２】
［実施例７−４］
実施例７−４は、実施例７−１において予備加熱の温度を９０℃とした場合である。実施例７−４に係る液晶表示装置の製造方法は、予備加熱工程以外、実施例７−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１６３】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を９０℃で１５０秒間行った。
【０１６４】
［実施例７−５］
実施例７−５は、実施例７−１において予備加熱の温度を１００℃とした場合である。実施例７−５に係る液晶表示装置の製造方法は、予備加熱工程以外、実施例７−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１６５】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を１００℃で１５０秒間行った。
【０１６６】
［実施例７−６］
実施例７−６は、実施例７−１において予備加熱の温度を１１０℃とした場合である。実施例７−６に係る液晶表示装置の製造方法は、予備加熱工程以外、実施例７−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１６７】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を１１０℃で１５０秒間行った。
【０１６８】
［評価結果：実施例７−１〜７−６］
実施例７−１〜７−６に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、予備加熱の温度、及び、表示品位の評価結果を表３にまとめた。
【０１６９】
（表示品位の評価方法）
実施例２−１〜２−６と同様な方法で表示品位を評価し、レベル１：コントラストが１２００以上、レベル２：コントラストが１０００以上、１２００未満、レベル３：コントラストが５００以上、１０００未満、レベル４：コントラストが５００未満又は配向不良が視認される、の４段階で評価した。ここで、評価結果がレベル１〜３である場合を製品に適したレベルであると判断し、評価結果がレベル４である場合を製品に適したレベルに達していないと判断した。
【０１７０】
【表３】
0005997385.tif 000004
【０１７１】
（表示品位の評価結果）
各例の表示品位の評価結果について、以下に説明する。
【０１７２】
（実施例７−１）
表示品位の評価結果はレベル１であり、実施例７−３〜７−６のそれと比べて非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例７−１に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０１７３】
（実施例７−２）
表示品位の評価結果はレベル１であり、実施例７−３〜７−６のそれと比べて非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例７−２に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０１７４】
（実施例７−３）
表示品位の評価結果はレベル２であり、実施例７−５、及び、実施例７−６のそれと比べて良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例７−３に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０１７５】
（実施例７−４）
表示品位の評価結果はレベル２であり、実施例７−５、及び、実施例７−６のそれと比べて良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例７−４に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０１７６】
（実施例７−５）
表示品位の評価結果はレベル３であり、良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例７−５に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０１７７】
（実施例７−６）
表示品位の評価結果はレベル３であり、良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例７−６に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０１７８】
実施例７−１、及び、実施例７−２の表示品位が、実施例７−３〜７−６のそれと比べて非常に良好であった理由について説明する。これは、実施例７−１、及び、実施例７−２における予備加熱の温度が、実施例７−３〜７−６におけるそれと比べて低く、その結果、溶媒の残存量が相対的に多くなったことによって、本加熱に伴う高分子の分子運動が相対的に活発になり、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、自己組織化を進行させるためには、本加熱を行う前の状態で溶媒がある程度残存していた方が有利であり、予備加熱の温度が高過ぎると自己組織化を阻害することがあると考えられる。予備加熱は、光配向膜材料による膜の液体流動性が無くなるように行われればよく、本発明の一態様による効果を奏するように、予備加熱の温度を低くすることが好ましい。また、実施例７−３、及び、実施例７−４の表示品位が、実施例７−５、及び、実施例７−６のそれと比べて良好であった理由についても、上述した理由と同様である。以上より、予備加熱の温度は９０℃以下であることが好ましく、７０℃以下であることがより好ましいことが分かった。ここで、予備加熱の温度が４０℃未満である場合は、溶媒の揮発に時間を要するため、溶液の対流に伴う膜厚むらが顕著に発生し、その結果、液晶表示装置の点灯時に配向むらが視認される可能性がある。よって、予備加熱の温度は、４０℃以上、７０℃以下であることが更に好ましい。
【０１７９】
［実施例８−１］
実施例８−１は、実施例７−１において１回目の本加熱の温度を７０℃とした場合である。実施例８−１に係る液晶表示装置の製造方法は、第１の本加熱工程以外、実施例７−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１８０】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を７０℃で１０分間行った。
【０１８１】
［実施例８−２］
実施例８−２は、実施例８−１において１回目の本加熱の温度を８０℃とした場合である。実施例８−２に係る液晶表示装置の製造方法は、第１の本加熱工程以外、実施例８−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１８２】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を８０℃で１０分間行った。
【０１８３】
［実施例８−３］
実施例８−３は、実施例８−１において１回目の本加熱の温度を９０℃とした場合である。実施例８−３に係る液晶表示装置の製造方法は、第１の本加熱工程以外、実施例８−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１８４】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を９０℃で１０分間行った。
【０１８５】
［実施例８−４］
実施例８−４は、実施例８−１において１回目の本加熱の温度を１００℃とした場合である。実施例８−４に係る液晶表示装置の製造方法は、第１の本加熱工程以外、実施例８−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１８６】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１００℃で１０分間行った。
【０１８７】
［実施例８−５］
実施例８−５は、実施例８−１において１回目の本加熱の温度を１１０℃とした場合であり、実施例７−１と同様である。実施例８−５に係る液晶表示装置の製造方法は、実施例７−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１８８】
［実施例８−６］
実施例８−６は、実施例８−１において１回目の本加熱の温度を１２０℃とした場合である。実施例８−６に係る液晶表示装置の製造方法は、第１の本加熱工程以外、実施例８−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１８９】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１２０℃で１０分間行った。
【０１９０】
［実施例８−７］
実施例８−７は、実施例８−１において１回目の本加熱の温度を１３０℃とした場合である。実施例８−７に係る液晶表示装置の製造方法は、第１の本加熱工程以外、実施例８−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１９１】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１３０℃で１０分間行った。
【０１９２】
［実施例８−８］
実施例８−８は、実施例８−１において１回目の本加熱の温度を１４０℃とした場合である。実施例８−８に係る液晶表示装置の製造方法は、第１の本加熱工程以外、実施例８−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１９３】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１４０℃で１０分間行った。
【０１９４】
［実施例８−９］
実施例８−９は、実施例８−１において１回目の本加熱の温度を１５０℃とした場合である。実施例８−９に係る液晶表示装置の製造方法は、第１の本加熱工程以外、実施例８−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１９５】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１５０℃で１０分間行った。
【０１９６】
［実施例８−１０］
実施例８−１０は、実施例８−１において１回目の本加熱の温度を１６０℃とした場合である。実施例８−１０に係る液晶表示装置の製造方法は、第１の本加熱工程以外、実施例８−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０１９７】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１６０℃で１０分間行った。
【０１９８】
［評価結果：実施例８−１〜８−１０］
実施例８−１〜８−１０に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、１回目の本加熱の温度、及び、表示品位の評価結果を表４にまとめた。
【０１９９】
（表示品位の評価方法）
実施例２−１〜２−６と同様な方法で表示品位を評価し、レベル１：コントラストが１２００以上、レベル２：コントラストが５００以上、１２００未満、レベル３：コントラストが５００未満又は配向不良が視認される、の３段階で評価した。ここで、評価結果がレベル１又は２である場合を製品に適したレベルであると判断し、評価結果がレベル３である場合を製品に適したレベルに達していないと判断した。
【０２００】
【表４】
0005997385.tif 000005
【０２０１】
（表示品位の評価結果）
各例の表示品位の評価結果について、以下に説明する。
【０２０２】
（実施例８−１）
表示品位の評価結果はレベル２であり、良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例８−１に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２０３】
（実施例８−２）
表示品位の評価結果はレベル２であり、良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例８−２に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２０４】
（実施例８−３）
表示品位の評価結果はレベル１であり、非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例８−３に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２０５】
（実施例８−４）
表示品位の評価結果はレベル１であり、非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例８−４に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２０６】
（実施例８−５）
表示品位の評価結果はレベル１であり、非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例８−５に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２０７】
（実施例８−６）
表示品位の評価結果はレベル１であり、非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例８−６に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２０８】
（実施例８−７）
表示品位の評価結果はレベル１であり、非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例８−７に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２０９】
（実施例８−８）
表示品位の評価結果はレベル１であり、非常に良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例８−８に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２１０】
（実施例８−９）
表示品位の評価結果はレベル２であり、良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例８−９に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２１１】
（実施例８−１０）
表示品位の評価結果はレベル２であり、良好であった。これは、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上したためであると考えられる。よって、実施例８−１０に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２１２】
実施例８−３〜８−８の表示品位が、他の実施例のそれと比べて非常に良好であった理由について説明する。上述したように、自己組織化による高分子の配向秩序を向上させるためには、高分子の分子運動が容易（活発）であることが重要である。ここで、自己組織化の際の温度（例えば、１回目の本加熱の温度）が低過ぎると、高分子の分子運動は相対的に活発にならないと考えられる。また、自己組織化の際の温度が高過ぎると、自己組織化による異方性の形成が生じるとともに、高分子の熱化学反応、及び、残存した溶媒の揮発も同時に生じることになり、自己組織化が充分に進行しない。よって、実施例８−３〜８−８の１回目の本加熱の温度（９０〜１４０℃程度）は、自己組織化が支配的に生じる温度であると考えられ、これにより、実施例８−３〜８−８の表示品位が、他の実施例のそれと比べて非常に良好であった。
【０２１３】
以上より、１回目の本加熱の温度は、９０℃以上、１４０℃以下であることが好ましいことが分かった。ここで、１回目の本加熱の温度が９０℃未満である場合は、高分子の分子運動が活発にならない可能性がある。１回目の本加熱の温度が１４０℃を超える場合は、高分子の熱化学反応、及び、残存した溶媒の揮発が顕著に開始する可能性があり、自己組織化を阻害する可能性がある。また、１回目の本加熱は１０分間行うものとしたが、この本加熱は自己組織化を進行させる工程であることから、これ以上の時間で行っても同様の効果が得られるのは明らかである。１回目の本加熱の時間は、１分以上であることが好ましく、１０分以上であることが更に好ましい。１回目の本加熱の時間が１分未満である場合は、自己組織化が充分に進行しない可能性がある。
【０２１４】
［評価結果：実施例７−１〜７−６、実施例８−１〜８−１０、及び、実施例５］
実施例７−１〜７−６、実施例８−１〜８−１０、及び、実施例５に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置に対して６０℃の環境下で５Ｖの電圧を印加し続け、５００時間後を確認したところ、実施例７−１〜７−６、及び、実施例８−１〜８−１０の電圧保持率は９８％以上であり、実施例５の９５〜９７％程度と比べて高かった。電圧保持率の低下は、液晶表示装置における表示むらを引き起こすことがあるため、実施例７−１〜７−６、及び、実施例８−１〜８−１０に係る液晶表示装置の製造方法によれば、実施例５に係る液晶表示装置の製造方法と比べて、電圧保持率をより向上することができ、その結果、表示品位をより向上することができる。
【０２１５】
これは、第２の本加熱工程のような追加の本加熱を行うことによって、残存した溶媒を揮発させることで、溶媒の残存量を充分に低減することができたためであると考えられる。実施例５においては、追加の本加熱を行っていないため、溶媒が多く残存していると考えられ、液晶表示装置を長期間使用する過程において、これが液晶中へ溶出し、不純物として振る舞うため、電圧保持率の低下を引き起こすと考えられる。よって、実施例７−１〜７−６、及び、実施例８−１〜８−１０に係る液晶表示装置の製造方法によれば、実施例５に係る液晶表示装置の製造方法と比べて、電圧保持率をより向上することができる。
【０２１６】
ここで、実施例７−１〜７−６、及び、実施例８−１〜８−１０において、光照射工程後に第２の本加熱工程を行う、つまり、予備加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線の照射後直ちに２００℃で本加熱した場合は、自己組織化による異方性の形成が生じるとともに、ポリアミック酸の熱化学反応（熱イミド化）、及び、残存した溶媒の揮発も同時に生じることになる。しかしながら、熱化学反応が充分に進行した高分子鎖は、ポリアミック酸と比べて剛直性を有するために熱運動性が低く、自己組織化を阻害する可能性がある。また、上述したように、本加熱を行う前の状態で溶媒がある程度残存していた方が高分子の分子運動をより容易にさせ、自己組織化は進行しやすくなる。以上より、自己組織化による高分子の配向秩序を充分に向上させ、表示品位を充分に向上させるためには、まず、自己組織化が支配的に生じる温度で本加熱を行い、自己組織化が充分に進行した後に、残存した溶媒の揮発を生じさせることが好ましい。
【０２１７】
また、実施例７−１〜７−６、及び、実施例８−１〜８−１０においては、異なる温度に設定された２台のホットプレートを用いて本加熱を行ったが、１台のホットプレートを用いて、第１の本加熱工程後に第２の本加熱工程の温度まで変化させて第２の本加熱工程を行うこともできる。この場合、第１の本加熱工程の温度と第２の本加熱工程の温度との間の温度でも実質的に本加熱が行われることになるが、表示品位を充分に向上することができる。これは、ホットプレートの昇温過程において、自己組織化、及び、残存した溶媒の揮発が同時に進行したためであると考えられる。また、２台のホットプレートを用いた場合は、加熱装置の設置面積は増えてしまうが、１台のホットプレートを用いた場合のように、第２の本加熱工程後にホットプレートの温度を第１の本加熱工程の温度まで下げる時間を要しないため、製造効率をより向上することができる。なお、２台のホットプレートを用いた場合は、ホットプレート間で基板を搬送する際に基板温度が一瞬低下することがあるが、これは本発明の課題の解決に対して問題を与えるものではない。１台のホットプレートを用いた場合は、加熱装置の設置面積をより縮小することができ、装置レイアウトの自由度を向上することができる。
【０２１８】
［実施例９−１］
実施例９−１は、上記工程（４）で異なる温度での２回の本加熱を行い、１回目の本加熱（第１の本加熱工程）と２回目の本加熱（第２の本加熱工程）との間で、更に、１回目の本加熱が行われた上記膜に対して光照射（第２の光照射工程）を行った場合である。実施例９−１に係る液晶表示装置の製造方法について、以下に順次説明する。
【０２１９】
（液晶表示装置の構成）
ＦＦＳモード用の電極構造を有する液晶表示装置であり、プレチルト角は０°である。
【０２２０】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２２１】
（光配向膜材料による膜を形成する工程）
２枚の基板上に、光配向膜材料による膜をスピンコート法により形成した。
【０２２２】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を７０℃で１５０秒間行った。予備加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。また、予備加熱工程後の光配向膜材料による膜の膜厚は、１００ｎｍ程度であった。
【０２２３】
（第１の光照射工程）
２枚の基板上の予備加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線を照射した。偏光紫外線の照射量は、中心波長３１３ｎｍ付近で５ｍＪ／ｃｍ２とした。
【０２２４】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の第１の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１４０℃で１０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０２２５】
（第２の光照射工程）
２枚の基板上の第１の本加熱工程後の膜に対して、紫外線を照射した。紫外線の照射量は、中心波長３１３ｎｍ付近で１Ｊ／ｃｍ２とした。
【０２２６】
（第２の本加熱工程）
２枚の基板上の第２の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１８０℃で５分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０２２７】
その後、第２の本加熱工程後の２枚の基板を実施例１に係る液晶表示装置の製造方法と同様に貼り合わせて得られたＦＦＳモードの液晶表示パネルに、偏光板、バックライト等の部材を適宜配置させることによって、実施例９−１に係る液晶表示装置が得られた。液晶材としては、正の誘電率異方性を有する液晶分子を含むものを用いて、液晶層の厚みは３．５μｍとした。
【０２２８】
［実施例９−２］
実施例９−２は、実施例９−１において第２の光照射工程を行わなかった場合である。実施例９−２に係る液晶表示装置の製造方法は、第２の光照射工程が存在しないこと以外、実施例９−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２２９】
［評価結果：実施例９−１、及び、実施例９−２］
実施例９−１、及び、実施例９−２に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置に対して６０℃の環境下で５Ｖの電圧を印加し続け、５００時間後を確認したところ、両者とも、電圧保持率は９７％以上であった。また、実施例９−１、及び、実施例９−２に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、表示品位の評価結果を表５にまとめた。
【０２３０】
（表示品位の評価方法）
実施例２−１〜２−６と同様な方法で表示品位を評価し、レベル１：コントラストが１２００以上、レベル２：コントラストが１０００以上、１２００未満、レベル３：コントラストが５００以上、１０００未満、レベル４：コントラストが５００未満又は配向不良が視認される、の４段階で評価した。ここで、評価結果がレベル１〜３である場合を製品に適したレベルであると判断し、評価結果がレベル４である場合を製品に適したレベルに達していないと判断した。
【０２３１】
【表５】
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【０２３２】
（表示品位の評価結果）
各例の表示品位の評価結果について、以下に説明する。
【０２３３】
（実施例９−１）
表示品位の評価結果はレベル１であり、非常に良好であった。これは、自己組織化が充分に進行した後に、残存した溶媒の揮発が充分に進行し、自己組織化により向上した高分子の配向秩序が充分に固定化されたためであると考えられる。よって、実施例９−１に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２３４】
（実施例９−２）
表示品位の評価結果はレベル３であり、良好であった。これは、自己組織化が充分に進行した後に、残存した溶媒の揮発が充分に進行し、自己組織化により向上した高分子の配向秩序が充分に固定化されたためであると考えられる。よって、実施例９−２に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２３５】
実施例９−１の表示品位が、実施例９−２のそれと比べて良好であった理由について説明する。実施例９−１においては、第２の光照射工程を行うことでシンナメート基の二量化が更に進み、その後、第２の本加熱工程を行うことで高分子の配向秩序が充分に固定化されると考えられる。一方、実施例９−２においては、第２の光照射工程が存在しないため、実施例９−１と比べて、高分子の配向秩序が相対的に向上していないと考えられる。よって、実施例９−１の表示品位が、実施例９−２のそれと比べて良好であった。
【０２３６】
［実施例１０−１］
実施例１０−１は、実施例１において、２枚の基板のうちの一方を、薄膜トランジスタ素子を備える薄膜トランジスタアレイ基板とし、他方をカラーフィルタ基板とした場合である。ここで、薄膜トランジスタ素子が有する半導体層としては、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛（Ｚｎ）、及び、酸素（Ｏ）から構成される酸化物半導体（Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ）を用いた。実施例１０−１に係る液晶表示装置の製造方法は、液晶表示装置の構成以外、実施例１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２３７】
（液晶表示装置の構成）
ＦＦＳモード用の電極構造を有する液晶表示装置であり、プレチルト角は０°である。薄膜トランジスタ素子が有する半導体層としては、酸化物半導体（Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ）を用いた。画面サイズは１０インチ（２０４８×１５６０画素）である。
【０２３８】
［実施例１０−２］
実施例１０−２は、実施例１において、２枚の基板のうちの一方を、薄膜トランジスタ素子を備える薄膜トランジスタアレイ基板とし、他方をカラーフィルタ基板とした場合である。ここで、薄膜トランジスタ素子が有する半導体層としては、アモルファスシリコンを用いた。実施例１０−２に係る液晶表示装置の製造方法は、液晶表示装置の構成以外、実施例１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２３９】
（液晶表示装置の構成）
ＦＦＳモード用の電極構造を有する液晶表示装置であり、プレチルト角は０°である。薄膜トランジスタ素子が有する半導体層としては、アモルファスシリコンを用いた。画面サイズは１０インチ（２０４８×１５６０画素）である。
【０２４０】
［評価結果：実施例１０−１、及び、実施例１０−２］
実施例１０−１、及び、実施例１０−２に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、焼き付き特性、及び、電圧保持率特性を、表示品位で評価した。焼き付き特性については、白（２５５階調）及び黒（０階調）のチェッカーパターンを表示させ、１時間後に３２階調で全面点灯させた状態で焼き付きレベルを評価した。電圧保持率特性については、白及び黒のチェッカーパターンを表示させ、５００時間後に３２階調で全面点灯させた状態で、しみやむらのレベルを評価した。
【０２４１】
（表示品位の評価方法）
暗室にて液晶表示装置を点灯させて、裸眼及びニュートラルデンシティ（ＮＤ）フィルター越しにて表示品位を視認評価し、レベルＡ：配向むらが裸眼で視認されない、レベルＢ：配向むらがＮＤフィルター５０％越しで視認されない、レベルＣ：配向むらがＮＤフィルター２０％越しで視認されない、レベルＤ：配向むらがＮＤフィルター２０％越しで視認される、の４段階で評価した。ここで、評価結果がレベルＡ、Ｂ又はＣである場合を製品に適したレベルであると判断し、評価結果がレベルＤである場合を製品に適したレベルに達していないと判断した。
【０２４２】
（焼き付き特性の評価結果）
実施例１０−１、及び、実施例１０−２における焼き付き特性は、ともにレベルＢであった。
【０２４３】
（電圧保持率特性の評価結果）
実施例１０−１、及び、実施例１０−２における電圧保持率特性は、ともにレベルＢであった。
【０２４４】
しかしながら、実施例１０−１における液晶表示パネルの開口率は５０％であり、実施例１０−２の４０％と比べて高かった。その結果、実施例１０−１のコントラスト及び透過率は、実施例１０−２のそれらと比べて、ともに２０％向上した。よって、実施例１０−１に係る液晶表示装置の製造方法によれば、実施例１０−２に係る液晶表示装置の製造方法と比べて、表示品位をより向上することができる。
【０２４５】
実施例１０−１の開口率が、実施例１０−２のそれと比べて高くなった理由について説明する。酸化物半導体は、アモルファスシリコンよりも移動度が高いという特徴を有している。このため、酸化物半導体を含む薄膜トランジスタ素子は、アモルファスシリコンを含む薄膜トランジスタ素子と比べて、１画素に占める割合を小さくすることができる。よって、実施例１０−１に係る液晶表示装置の製造方法によれば、実施例１０−２に係る液晶表示装置の製造方法と比べて、開口率をより向上することができ、その結果、表示品位をより向上することができる。
【０２４６】
［実施例１１−１］
実施例１１−１は、光配向膜材料が含有する溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン（良溶媒）、及び、ブチルセロソルブ（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合であり、実施例１と同様である。実施例１１−１に係る液晶表示装置の製造方法は、実施例１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２４７】
［実施例１１−２］
実施例１１−２は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、Ｎ−エチル−ピロリドン（良溶媒）、及び、ブチルセロソルブ（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−２に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２４８】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−エチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２４９】
［実施例１１−３］
実施例１１−３は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、γブチルラクトン（良溶媒）、及び、ブチルセロソルブ（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−３に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２５０】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、γブチルラクトン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２５１】
［実施例１１−４］
実施例１１−４は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、アセトン（良溶媒）、及び、ブチルセロソルブ（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−４に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２５２】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、アセトン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２５３】
［実施例１１−５］
実施例１１−５は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、クロロホルム（良溶媒）、及び、ブチルセロソルブ（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−５に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２５４】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、クロロホルム、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２５５】
［実施例１１−６］
実施例１１−６は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、シクロペンタノン（良溶媒）、及び、ブチルセロソルブ（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−６に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２５６】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、シクロペンタノン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２５７】
［実施例１１−７］
実施例１１−７は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン（良溶媒）、及び、ジエチレングリコールジエチルエーテル（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−７に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２５８】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ジエチレングリコールジエチルエーテルを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２５９】
［実施例１１−８］
実施例１１−８は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン（良溶媒）、及び、ジイソブチルケトン（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−８に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２６０】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ジイソブチルケトンを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２６１】
［実施例１１−９］
実施例１１−９は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン（良溶媒）、及び、プロピレングリコールモノブチルエーテル（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−９に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２６２】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、プロピレングリコールモノブチルエーテルを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２６３】
［実施例１１−１０］
実施例１１−１０は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン（良溶媒）、及び、ジアセトンアルコール（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−１０に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２６４】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ジアセトンアルコールを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２６５】
［実施例１１−１１］
実施例１１−１１は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン（良溶媒）、及び、ヘキサン（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−１１に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２６６】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ヘキサンを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２６７】
［実施例１１−１２］
実施例１１−１２は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン（良溶媒）、及び、メタノール（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−１２に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２６８】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、メタノールを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２６９】
［実施例１１−１３］
実施例１１−１３は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン（良溶媒）、及び、イソプロピルアルコール（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−１３に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２７０】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、イソプロピルアルコールを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２７１】
［実施例１１−１４］
実施例１１−１４は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、アセトン（良溶媒）、及び、ヘキサン（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−１４に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２７２】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、アセトン、及び、ヘキサンを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２７３】
［実施例１１−１５］
実施例１１−１５は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、クロロホルム（良溶媒）、及び、メタノール（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−１５に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２７４】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、クロロホルム、及び、メタノールを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２７５】
［実施例１１−１６］
実施例１１−１６は、実施例１１−１において、光配向膜材料が含有する溶媒として、シクロペンタノン（良溶媒）、及び、イソプロピルアルコール（貧溶媒）を重量比５０：５０で混合したものを用いた場合である。実施例１１−１６に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１１−１のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０２７６】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、シクロペンタノン、及び、イソプロピルアルコールを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０２７７】
［評価結果：実施例１１−１〜１１−１６］
実施例１１−１〜１１−１６に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、溶媒成分（良溶媒及び貧溶媒）、及び、表示品位の評価結果を表６にまとめた。
【０２７８】
（表示品位の評価方法）
暗室にて液晶表示装置を点灯させて、裸眼及びニュートラルデンシティ（ＮＤ）フィルター越しにて表示品位を視認評価し、レベルＡ：配向むらが裸眼で視認されない、レベルＢ：配向むらがＮＤフィルター５０％越しで視認されない、レベルＣ：配向むらがＮＤフィルター２０％越しで視認されない、レベルＤ：配向むらがＮＤフィルター２０％越しで視認される、の４段階で評価した。ここで、評価結果がレベルＡ、Ｂ又はＣである場合を製品に適したレベルであると判断し、評価結果がレベルＤである場合を製品に適したレベルに達していないと判断した。
【０２７９】
【表６】
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【０２８０】
（表示品位の評価結果）
各例の表示品位の評価結果について、以下に説明する。
【０２８１】
（実施例１１−１）
表示品位の評価結果はレベルＡであり、非常に良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−１に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２８２】
（実施例１１−２）
表示品位の評価結果はレベルＡであり、非常に良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−２に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２８３】
（実施例１１−３）
表示品位の評価結果はレベルＡであり、非常に良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−３に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２８４】
（実施例１１−４）
表示品位の評価結果はレベルＢであり、良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−４に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２８５】
（実施例１１−５）
表示品位の評価結果はレベルＢであり、良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−５に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２８６】
（実施例１１−６）
表示品位の評価結果はレベルＢであり、良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−６に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２８７】
（実施例１１−７）
表示品位の評価結果はレベルＡであり、非常に良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−７に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２８８】
（実施例１１−８）
表示品位の評価結果はレベルＡであり、非常に良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−８に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２８９】
（実施例１１−９）
表示品位の評価結果はレベルＡであり、非常に良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−９に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２９０】
（実施例１１−１０）
表示品位の評価結果はレベルＡであり、非常に良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−１０に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２９１】
（実施例１１−１１）
表示品位の評価結果はレベルＢであり、良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−１１に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２９２】
（実施例１１−１２）
表示品位の評価結果はレベルＢであり、良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−１２に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２９３】
（実施例１１−１３）
表示品位の評価結果はレベルＢであり、良好であった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−１３に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２９４】
（実施例１１−１４）
表示品位の評価結果はレベルＣであった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−１４に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２９５】
（実施例１１−１５）
表示品位の評価結果はレベルＣであった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−１５に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２９６】
（実施例１１−１６）
表示品位の評価結果はレベルＣであった。これは、予備加熱工程後の状態で膜厚むらの発生を充分に防止できたためであると考えられる。よって、実施例１１−１６に係る液晶表示装置の製造方法によれば、表示品位を充分に向上することができる。
【０２９７】
実施例１１−１〜１１−３、及び、実施例１１−７〜１１−１０の表示品位が、他の実施例のそれと比べて非常に良好であった理由について説明する。光配向膜材料が含有する溶媒としては、表示品位をより向上する観点から、溶解性の高い良溶媒と、表面張力が低く、かつ、塗布性の高い貧溶媒との混合物であることが好ましい。ただし、良溶媒としてアセトン、クロロホルム、及び、シクロペンタノンからなる群より選択される少なくとも１つの化合物を用いて、貧溶媒としてヘキサン、メタノール、及び、イソプロピルアルコールからなる群より選択される少なくとも１つの化合物を用いた場合は、光配向膜材料による膜を基板上に形成する際の広がり具合が相対的に悪化し、その結果、予備加熱工程後の状態で膜厚むらがより顕著に発生し、配向むらが視認されると考えられる。よって、実施例１１−１〜１１−３、及び、実施例１１−７〜１１−１０の表示品位が、他の実施例のそれと比べて非常に良好であった。
【０２９８】
以上より、光配向膜材料が含有する溶媒としては、良溶媒と貧溶媒との混合物であることが好ましく、良溶媒は、Ｎ−メチル−ピロリドン、Ｎ−エチル−ピロリドン、及び、γブチルラクトンからなる群より選択される少なくとも１つの化合物であり、貧溶媒は、ブチルセロソルブ、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジイソブチルケトン及びその構造異性体、プロピレングリコールモノブチルエーテル、並びに、ジアセトンアルコールからなる群より選択される少なくとも１つの化合物であることが好ましいことが分かった。
【０２９９】
［比較例５］
比較例５は、分解型の光配向膜、及び、正の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いて、光照射工程を本加熱工程の後に行った場合である。比較例５に係る液晶表示装置の製造方法について、以下に順次説明する。
【０３００】
（液晶表示装置の構成）
ＦＦＳモード用の電極構造を有する液晶表示装置であり、プレチルト角は０°である。
【０３０１】
（光配向膜材料）
固形分として、シクロブタン骨格を有するポリアミド酸高分子を用いた。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０３０２】
（光配向膜材料による膜を形成する工程）
２枚の基板上に、光配向膜材料による膜をスピンコート法により形成した。
【０３０３】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を７０℃で１５０秒間行った。予備加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。また、予備加熱工程後の光配向膜材料による膜の膜厚は、１００ｎｍ程度であった。
【０３０４】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の予備加熱工程後の膜に対して、本加熱を２３０℃で６０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０３０５】
（光照射工程）
２枚の基板上の第１の本加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線を照射した。偏光紫外線の照射量は、２２０〜２６０ｎｍの波長範囲で１Ｊ／ｃｍ２とした。
【０３０６】
（第２の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を２３０℃で３０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０３０７】
その後、第２の本加熱工程後の２枚の基板を実施例１に係る液晶表示装置の製造方法と同様に貼り合わせて得られたＦＦＳモードの液晶表示パネルに、偏光板、バックライト等の部材を適宜配置させることによって、比較例５に係る液晶表示装置が得られた。液晶材としては、正の誘電率異方性を有する液晶分子を含むものを用いて、液晶層の厚みは３．５μｍとした。
【０３０８】
［比較例６］
比較例６は、比較例５において負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合である。比較例６に係る液晶表示装置の製造方法は、液晶分子の誘電率異方性が異なること以外、比較例５のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０３０９】
［評価結果：比較例５、及び、比較例６］
比較例５、及び、比較例６に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、コントラスト、焼き付き特性、及び、電圧保持率を評価した。ここで、コントラストが５００以上、焼き付き特性（焼き付き率）が５％以内、電圧保持率が９７％以上である場合を製品に適したレベルであると判断した。なお、コントラストは実施例２−１〜２−６と同様な方法で測定し、焼き付き特性は実施例４と同様な方法で評価し、電圧保持率は実施例１と同様な方法で測定した。
【０３１０】
（コントラストの測定結果）
比較例５、及び、比較例６におけるコントラストは、ともに１２００程度で同等であり、製品に適したレベルであった。
【０３１１】
（焼き付き特性の評価結果）
比較例５、及び、比較例６における焼き付き率は、ともに３％程度で同等であり、製品に適したレベルであった。
【０３１２】
（電圧保持率の測定結果）
６０℃の環境下で５Ｖの電圧を印加し続け、５００時間後を確認したところ、比較例５、及び、比較例６における電圧保持率は、ともに９８％以上で同等であり、製品に適したレベルであった。
【０３１３】
しかしながら、冷熱サイクル試験において１週間後を確認したところ、比較例６の方が、比較例５と比べて、微小な輝点が画面内により顕著に発生した。ここで、冷熱サイクル試験の条件は、−１０℃以上、７０℃以下の温度範囲で、１サイクルに要する時間を１時間とした。また、室温で放置して１ヶ月後を確認したところ、比較例６では、比較例５と比べて、微小な輝点が画面内により顕著に発生した。
【０３１４】
比較例５、及び、比較例６において、偏光紫外線の照射によって低分子量の分解物が生成され、その分解物が液晶中に溶出した後に凝集することで輝点になったと考えられる。ここで、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合の方が、正の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いた場合と比べて、その分解物の液晶中への溶出具合が大きいため、輝点がより顕著に発生したと考えられる。よって、表示品位を向上する観点からは、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いる場合の方がより困難であることが分かったが、上述したように（例えば、実施例４等）、上記本発明の一態様に係る液晶表示装置の製造方法によれば、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含む液晶材を用いる場合であっても、表示品位を充分に向上することができる。
【０３１５】
［比較例７］
比較例７は、実施例１と同じ光配向膜材料を用いて、光照射工程を本加熱工程の後に行った場合である。比較例７に係る液晶表示装置の製造方法について、以下に順次説明する。
【０３１６】
（液晶表示装置の構成）
ＦＦＳモード用の電極構造を有する液晶表示装置であり、プレチルト角は０°である。
【０３１７】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、メタクリル骨格を有し、光反応性を有するシンナメート基を側鎖に含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０３１８】
（光配向膜材料による膜を形成する工程）
２枚の基板上に、光配向膜材料による膜をスピンコート法により形成した。
【０３１９】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を７０℃で１５０秒間行った。予備加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。また、予備加熱工程後の光配向膜材料による膜の膜厚は、１００ｎｍ程度であった。
【０３２０】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の予備加熱工程後の膜に対して、本加熱を１１０℃で２０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０３２１】
（第１の光照射工程）
２枚の基板上の第１の本加熱工程後の膜に対して、紫外線を照射した。紫外線の照射量は、中心波長３１３ｎｍ付近で２００ｍＪ／ｃｍ２とした。
【０３２２】
（第２の本加熱工程）
２枚の基板上の第１の光照射工程後の膜に対して、本加熱を２００℃で３０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０３２３】
（第２の光照射工程）
２枚の基板上の第２の本加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線を照射した。偏光紫外線の照射量は、２８０〜３３０ｎｍの波長範囲で５ｍＪ／ｃｍ２とした。
【０３２４】
その後、第２の光照射工程後の２枚の基板を実施例１に係る液晶表示装置の製造方法と同様に貼り合わせて得られたＦＦＳモードの液晶表示パネルに、偏光板、バックライト等の部材を適宜配置させることによって、比較例７に係る液晶表示装置が得られた。液晶材としては、正の誘電率異方性を有する液晶分子を含むものを用いて、液晶層の厚みは３．５μｍとした。
【０３２５】
［比較例８］
比較例８は、実施例５と同じ光配向膜材料を用いて、光照射工程を本加熱工程の後に行った場合である。比較例８に係る液晶表示装置の製造方法について、以下に順次説明する。
【０３２６】
（液晶表示装置の構成）
ＦＦＳモード用の電極構造を有する液晶表示装置であり、プレチルト角は０°である。
【０３２７】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、光反応性を有するアゾベンゼン構造を含む高分子であり、他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０３２８】
（光配向膜材料による膜を形成する工程）
２枚の基板上に、光配向膜材料による膜をスピンコート法により形成した。
【０３２９】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を６０℃で１５０秒間行った。予備加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。また、予備加熱工程後の光配向膜材料による膜の膜厚は、１００ｎｍ程度であった。
【０３３０】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の予備加熱工程後の膜に対して、本加熱を１１０℃で２０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０３３１】
（第２の本加熱工程）
２枚の基板上の第１の本加熱工程後の膜に対して、本加熱を２００℃で３０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０３３２】
（光照射工程）
２枚の基板上の第２の本加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線を照射した。偏光紫外線の照射量は、中心波長３６５ｎｍ付近で３Ｊ／ｃｍ２とした。
【０３３３】
その後、光照射工程後の２枚の基板を実施例１に係る液晶表示装置の製造方法と同様に貼り合わせて得られたＦＦＳモードの液晶表示パネルに、偏光板、バックライト等の部材を適宜配置させることによって、比較例８に係る液晶表示装置が得られた。液晶材としては、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含むものを用いて、液晶層の厚みは３．５μｍとした。
【０３３４】
［評価結果：比較例７、及び、比較例８］
比較例７、及び、比較例８に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について評価した結果、両者ともコントラストが５０以下であり、非常に低かった。これは、本加熱工程にて高分子の熱化学反応が進行した後に光照射工程を行ったことで、高分子の配向秩序が高まらなかったためであると考えられる。よって、上述したように、高分子の配向秩序を充分に向上するためには自己組織化を進行させることが重要であり、光照射工程によって形成される異方性を、本加熱工程前にきっかけとして付与することが重要であることが分かった。
【０３３５】
［実施例１２］
実施例１２は、上記工程（４）で異なる温度での２回の本加熱を行った場合である。実施例１２に係る液晶表示装置の製造方法について、以下に順次説明する。
【０３３６】
（液晶表示装置の構成）
ＦＦＳモード用の電極構造を有する液晶表示装置であり、プレチルト角は０°である。
【０３３７】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、下記化学式（１）で表される酸無水物（ＴＣＡ）、及び、光反応性を有するフェニルエステル基を含むジアミンを反応させて得られるポリアミック酸である。２種類の高分子のうちの他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。ここで、フェニルエステル基は、光フリース転移が可能な光官能基である。
【０３３８】
【化１】
0005997385.tif 000008
【０３３９】
（光配向膜材料による膜を形成する工程）
２枚の基板上に、光配向膜材料による膜をスピンコート法により形成した。
【０３４０】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を６０℃で１５０秒間行った。予備加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。また、予備加熱工程後の光配向膜材料による膜の膜厚は、１００ｎｍ程度であった。
【０３４１】
（光照射工程）
２枚の基板上の予備加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線を照射した。偏光紫外線の照射量は、中心波長２５４ｎｍ付近で１Ｊ／ｃｍ２とした。
【０３４２】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１２０℃で２０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０３４３】
（第２の本加熱工程）
２枚の基板上の第１の本加熱工程後の膜に対して、本加熱を２２０℃で３０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０３４４】
その後、第２の本加熱工程後の２枚の基板を実施例１に係る液晶表示装置の製造方法と同様に貼り合わせて得られたＦＦＳモードの液晶表示パネルに、偏光板、バックライト等の部材を適宜配置させることによって、実施例１２に係る液晶表示装置が得られた。液晶材としては、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含むものを用いて、液晶層の厚みは３．５μｍとした。
【０３４５】
［比較例９］
比較例９は、実施例１２において光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸を含有しない光配向膜材料を用いた場合である。比較例９に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１２のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０３４６】
（光配向膜材料）
固形分として、上記化学式（１）で表される酸無水物（ＴＣＡ）、及び、光反応性を有するフェニルエステル基を含むジアミンを反応させて得られるポリアミック酸を用いた。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０３４７】
［評価結果：実施例１２、及び、比較例９］
実施例１２に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、コントラスト、及び、焼き付き特性を評価した。ここで、コントラストが５００以上、焼き付き特性（焼き付き率）が５％以内である場合を製品に適したレベルであると判断した。なお、コントラストは実施例２−１〜２−６と同様な方法で測定し、焼き付き特性は実施例４と同様な方法で評価した。
【０３４８】
（コントラストの測定結果）
実施例１２におけるコントラストは１２００であり、製品に適したレベルであった。
【０３４９】
（焼き付き特性の評価結果）
実施例１２における焼き付き率は３％であり、製品に適したレベルであった。
【０３５０】
次に、実施例１２、及び、比較例９に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、電圧保持率を実施例１と同様な方法で測定した。
【０３５１】
（電圧保持率の測定結果）
６０℃の環境下で５Ｖの電圧を印加し続け、５００時間後を確認したところ、実施例１２の電圧保持率は９７％以上であり、比較例９の９５％未満と比べて高かった。電圧保持率の低下は、液晶表示装置における表示むらを引き起こすことがあるため、実施例１２に係る液晶表示装置の製造方法によれば、電圧保持率を充分に向上することができ、その結果、表示品位を充分に向上することができる。
【０３５２】
［実施例１３］
実施例１３は、上記工程（４）で異なる温度での２回の本加熱を行った場合である。実施例１３に係る液晶表示装置の製造方法について、以下に順次説明する。
【０３５３】
（液晶表示装置の構成）
ＦＦＳモード用の電極構造を有する液晶表示装置であり、プレチルト角は０°である。
【０３５４】
（光配向膜材料）
固形分として、２種類の高分子を重量比５０：５０で混合したものを用いた。２種類の高分子のうちの一方は、上記化学式（１）で表される酸無水物（ＴＣＡ）、及び、光反応性を有するフェニルエステル基及びシンナメート基を含むジアミンを反応させて得られるポリアミック酸である。２種類の高分子のうちの他方は、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物（ＣＢＤＡ）、及び、ビフェニル構造を含むジアミンを反応させて得られる、光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸である。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。この光配向膜材料は、光二量化、光異性化、及び、光フリース転移が可能な光官能基を含むものである。
【０３５５】
（光配向膜材料による膜を形成する工程）
２枚の基板上に、光配向膜材料による膜をスピンコート法により形成した。
【０３５６】
（予備加熱工程）
２枚の基板上の光配向膜材料による膜を形成する工程後の膜に対して、予備加熱を６０℃で１５０秒間行った。予備加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。また、予備加熱工程後の光配向膜材料による膜の膜厚は、１００ｎｍ程度であった。
【０３５７】
（光照射工程）
２枚の基板上の予備加熱工程後の膜に対して、偏光紫外線を照射した。偏光紫外線の照射量は、中心波長３１３ｎｍ付近で５００ｍＪ／ｃｍ２とし、更に、中心波長２５４ｎｍ付近で１００ｍＪ／ｃｍ２とした。
【０３５８】
（第１の本加熱工程）
２枚の基板上の光照射工程後の膜に対して、本加熱を１２０℃で２０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０３５９】
（第２の本加熱工程）
２枚の基板上の第１の本加熱工程後の膜に対して、本加熱を２２０℃で３０分間行った。本加熱は、アズワン社製のホットプレート（商品名：ＥＣ−１２００Ｎ）を用いて行った。
【０３６０】
その後、第２の本加熱工程後の２枚の基板を実施例１に係る液晶表示装置の製造方法と同様に貼り合わせて得られたＦＦＳモードの液晶表示パネルに、偏光板、バックライト等の部材を適宜配置させることによって、実施例１３に係る液晶表示装置が得られた。液晶材としては、負の誘電率異方性を有する液晶分子を含むものを用いて、液晶層の厚みは３．５μｍとした。
【０３６１】
［比較例１０］
比較例１０は、実施例１３において光官能基及び側鎖を有さないポリアミック酸を含有しない光配向膜材料を用いた場合である。比較例１０に係る液晶表示装置の製造方法は、光配向膜材料以外、実施例１３のそれと同様であるため、重複する点については説明を省略する。
【０３６２】
（光配向膜材料）
固形分として、上記化学式（１）で表される酸無水物（ＴＣＡ）、及び、光反応性を有するフェニルエステル基及びシンナメート基を含むジアミンを反応させて得られるポリアミック酸を用いた。溶媒として、Ｎ−メチル−ピロリドン、及び、ブチルセロソルブを重量比５０：５０で混合したものを用いた。また、固形分濃度は４重量％とした。
【０３６３】
［評価結果：実施例１３、及び、比較例１０］
実施例１３に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、コントラスト、及び、焼き付き特性を評価した。ここで、コントラストが５００以上、焼き付き特性（焼き付き率）が５％以内である場合を製品に適したレベルであると判断した。なお、コントラストは実施例２−１〜２−６と同様な方法で測定し、焼き付き特性は実施例４と同様な方法で評価した。
【０３６４】
（コントラストの測定結果）
実施例１３におけるコントラストは１２００であり、製品に適したレベルであった。
【０３６５】
（焼き付き特性の評価結果）
実施例１３における焼き付き率は３％であり、製品に適したレベルであった。
【０３６６】
次に、実施例１３、及び、比較例１０に係る液晶表示装置の製造方法により製造された液晶表示装置について、電圧保持率を実施例１と同様な方法で測定した。
【０３６７】
（電圧保持率の測定結果）
６０℃の環境下で５Ｖの電圧を印加し続け、５００時間後を確認したところ、実施例１３の電圧保持率は９７％以上であり、比較例１０の９５％未満と比べて高かった。電圧保持率の低下は、液晶表示装置における表示むらを引き起こすことがあるため、実施例１３に係る液晶表示装置の製造方法によれば、電圧保持率を充分に向上することができ、その結果、表示品位を充分に向上することができる。
【０３６８】
上述した各実施例は、ＦＦＳモードの液晶表示装置の製造方法についての場合であるが、ＩＰＳモードの液晶表示装置の製造方法についての場合であっても、本発明の一態様による効果を奏することは明らかである。
【０３６９】
（その他の好適な実施例）
比較例２、４等の分解型の光配向膜を用いる場合であっても、上述した他の実施例と同様に、光照射工程を本加熱工程の前に行って自己組織化を進行させる場合は、偏光紫外線の照射量を大幅に下げられる可能性があり、上述した微小な輝点の発生や、電気特性の低下を防止できる可能性がある。
【０３７０】
［付記］
以下に、上記本発明の一態様に係る液晶表示装置の製造方法における好ましい態様の例を挙げる。各例は、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜組み合わされてもよい。
【０３７１】
上記工程（４）の本加熱は、９０℃以上の温度で行われるものであってもよい。これにより、本加熱に伴う高分子の分子運動がより容易になり、自己組織化による高分子の配向秩序をより向上することができる。本加熱の温度が９０℃未満である場合は、本加熱に伴う高分子の分子運動が活発にならない可能性がある。また、「９０℃以上の温度で本加熱を行う」とは、例えば、温度が９０℃以上の定温期間を有するように本加熱を行うことである。９０℃以上の定温期間は、例えば、±５℃の温度範囲内で１分以上保たれた加熱状態の期間を意味するものであってもよい。
【０３７２】
また、コントラストをより向上する観点から、上記工程（４）の本加熱の温度は、１４０℃以上であることがより好ましい。これにより、本加熱に伴う高分子の分子運動がより活発になり、自己組織化による高分子の配向秩序をより向上することができる。本加熱の温度が１４０℃未満である場合は、本加熱に伴う高分子の分子運動が活発にならず、自己組織化による高分子の配向秩序が充分に向上しない可能性がある。また、本加熱の温度が２５０℃を超える場合は、カラーフィルタ層の退色等が発生し、液晶表示装置の表示品位が低下する可能性がある。以上より、上記工程（４）の本加熱の温度は、１４０℃以上、２５０℃以下であることが更に好ましい。
【０３７３】
上記工程（２）の予備加熱は、９０℃以下の温度で行われるものであってもよく、７０℃以下の温度で行われるものであることがより好ましい。これにより、以降の本加熱に伴う高分子の分子運動がより活発になり、自己組織化による高分子の配向秩序をより向上することができる。予備加熱の温度が９０℃を超える場合は、上記溶媒の残存量が少なくなってしまうことによって、本加熱に伴う高分子の分子運動が活発にならず、自己組織化による高分子の配向秩序を充分に向上することができない可能性がある。「９０℃以下の温度で予備加熱を行う」とは、例えば、温度が９０℃以下の定温期間を有するように予備加熱を行うことである。９０℃以下の定温期間は、例えば、±５℃の温度範囲内で３０秒以上保たれた加熱状態の期間を意味するものであってもよい。
【０３７４】
上記工程（２）の予備加熱の温度は、４０℃以上、７０℃以下であることが更に好ましい。これにより、以降の本加熱に伴う高分子の分子運動がより活発になり、自己組織化による高分子の配向秩序をより向上することができる。予備加熱の温度が４０℃未満である場合は、上記溶媒の揮発に時間を要するため、溶液の対流に伴う膜厚むらが顕著に発生し、その結果、液晶表示装置の点灯時に配向むらが視認される可能性がある。予備加熱の温度が７０℃を超える場合は、上記溶媒の残存量が少なくなってしまうことによって、本加熱に伴う高分子の分子運動が活発にならず、自己組織化による高分子の配向秩序を充分に向上することができない可能性がある。
【０３７５】
また、上記溶媒の揮発を効率的に行う観点から、上記工程（２）の予備加熱の温度は、５０℃以上、７０℃以下であることが特に好ましい。
【０３７６】
上記液晶表示装置は、上記光配向膜により負の誘電率異方性を有する液晶分子を配向させるものであってもよい。これにより、透過率及び視野角特性をより向上することができる。
【０３７７】
上記工程（４）の本加熱は、低温から高温へ異なる温度の定温期間を複数有するように行う操作を含むものであってもよい。これにより、本加熱を異なる複数の温度で段階的に行うことができ、表示品位を充分に向上することができる。ここで、定温期間は、例えば、±５℃の温度範囲内で１分以上保たれた加熱状態の期間を意味するものであってもよい。
【０３７８】
上記工程（４）の本加熱は、異なる温度での２回の本加熱を行い、１回目の本加熱は９０℃以上、１４０℃以下の温度で行われ、２回目の本加熱は１８０℃以上の温度で行われるものであってもよい。これにより、高分子の分子運動がより活発になり、自己組織化による高分子の配向秩序を充分に向上することができる。１回目の本加熱の温度が１４０℃を超える場合は、高分子の熱化学反応、及び、残存した溶媒の揮発が顕著に開始する可能性があり、自己組織化を阻害する可能性がある。また、自己組織化を顕著に進行させる観点から、１回目の本加熱の温度は１１０℃以上、１２０℃未満であることが更に好ましい。
【０３７９】
２回目の本加熱の温度が１８０℃未満である場合は、溶媒の残存量を充分に低減することができず、表示品位が悪化する可能性がある。また、表示品位をより向上する観点から、２回目の本加熱の温度は１８０℃以上、２５０℃以下であることがより好ましい。２回目の本加熱の温度が２５０℃を超える場合は、カラーフィルタ層の退色等が発生し、液晶表示装置の表示品位が低下する可能性がある。また、高分子の熱化学反応を充分に進行させる観点から、２回目の本加熱の温度は２００℃以上、２５０℃以下であることが更に好ましい。
【０３８０】
上記工程（４）の本加熱は、異なる温度に設定された複数の加熱装置を用いて行われるものであってもよい。これにより、偏光照射された上記膜を、低温から高温へ異なる温度の定温期間を複数有するように本加熱する操作を好適に行うことができる。また、１台の加熱装置を用いる場合と比べて、製造効率をより向上することができる。
【０３８１】
上記工程（４）の本加熱は、１台の加熱装置を用いて異なる温度に順次変化させながら行うものであってもよい。これにより、偏光照射された上記膜を、低温から高温へ異なる温度の定温期間を複数有するように本加熱する操作を好適に行うことができる。また、複数の加熱装置を用いる場合と比べて、加熱装置の設置面積をより縮小することができ、装置レイアウトの自由度を向上することができる。
【０３８２】
上記工程（４）の本加熱は、温度勾配のある領域を有する加熱装置を用いて上記加熱装置内で上記基板を移動させながら行うものであってもよい。これにより、偏光照射された上記膜を、低温から高温へ異なる温度の定温期間を複数有するように本加熱する操作を好適に行うことができる。
【０３８３】
上記光官能基は、シンナメート基、カルコン基、クマリン基、スチルベン基、フェニルエステル基、及び、アゾベンゼン基からなる群より選択される少なくとも１つの官能基であってもよい。
【０３８４】
上記光官能基を有する高分子の骨格は、ポリアミック酸、ポリイミド、アクリル、メタクリル、マレイミド、及び、ポリシロキサンからなる群より選択される少なくとも１つの構造を有するものであってもよい。
【０３８５】
ここで、ポリアミック酸の一部を熱化学反応（熱イミド化）させてもよく、これにより、光配向膜の比抵抗や誘電率等の電気特性の調整を行うことができる。また、アクリル、又は、メタクリルとマレイミドとを組み合わせる骨格、つまり、コポリマー構造を採用することにより、光反応性を有さない別の構造を光配向膜材料に導入することができる。また、ポリアミック酸、又は、ポリイミドを形成するジアミンに光官能基を導入することが考えられるが、光反応性を有さない別のジアミンをコポリマー構造とすることによって、適宜導入することもできる。上述したようなコポリマー構造を採用することは、光反応性の感度、電気特性、及び、配向特性をバランスよく調整するために有効な手法である。
【０３８６】
エポキシ、カルボン酸、アミン、アクリレート、又は、メタクリレート等の官能基を複数有するモノマーを上記光配向膜材料に予め添加しておいてもよい。これにより、長期信頼性を向上することができる。このモノマーは、上記光配向膜材料が含有する高分子に対して架橋剤として機能し、光配向膜中に網目構造を形成する。これにより、光配向膜中や基板（例えば、カラーフィルタ基板）等に含まれていた不純物が液晶中に溶出することを抑制し、液晶表示装置を長期間使用する過程において、電圧保持率の低下を充分に抑制することができる。
【０３８７】
上記光官能基は、少なくとも光二量化が可能であり、上記工程（４）は、異なる温度での２回の本加熱を行い、１回目の本加熱と２回目の本加熱との間に、更に、１回目の本加熱が行われた上記膜に対して光照射を行う工程（４ａ）を含むものであってもよい。これにより、光二量化が可能な光官能基を有する高分子を含有する光配向膜材料を用いた場合に、表示品位を好適に向上することができる。
【０３８８】
自己組織化能力を向上させるためには、上記光配向膜材料に含有される高分子材料が、主鎖又は側鎖に下記化学式（２）〜（４）で表される構造を含んでいることが好ましい。
【０３８９】
【化２】
0005997385.tif 000009
【０３９０】
上記化学式（２）〜（４）において、Ｘは存在しない、Ｏ、ＣＯＯ、ＯＣＯ、ＣＯ、又は、Ｃ≡Ｃである。各化学式中のベンゼン環、及び、シクロヘキサンの任意の水素原子は独立して、フッ素原子（Ｆ）又は塩素原子（Ｃｌ）に置換されてもよい。また、各化学式中のベンゼン環、及び、シクロヘキサンは、それらの任意の炭素原子（Ｃ）が酸素原子（Ｏ）、窒素原子（Ｎ）、又は、硫黄原子（Ｓ）に置換されている複素環であってもよい。
【０３９１】
上記化学式（２）〜（４）で表される構造は、液晶性分子のコア構造に類似しているため、液晶性に類似する分子間相互作用が働き、自己組織化を活発化させることができる。特に、フェニルエステル構造が含まれる場合は、光フリース転移が生じる部位と重ね合わせることができる。一方、シンナメート基、カルコン基、クマリン基、スチルベン基のような光感応部位と、これらの構造を一部重ね合わせて分子設計することもできる。
【０３９２】
自己組織化能力を向上させるためには、上記光配向膜材料に含有される高分子材料が、主鎖又は側鎖にカルボキシル基及び／又はアミド基を有していることが好ましい。この場合、Ｃ＝ＯとＯ−Ｈとの間や、Ｎ−ＨとＣ＝Ｏとの間に働く水素結合により、自己組織化を活発化させることができる。特に、ポリアミック酸やポリイミドを形成する部分とは別に、更にカルボキシル基及び／又はアミド基を、主鎖又は側鎖に導入することで自己組織化能力を向上させることができる。
【０３９３】
また、上記ポリアミック酸骨格を有し、上記光官能基を有さない高分子にも、上述したような自己組織化を活発化させる構造を含んでいることが好ましい。
【０３９４】
上記溶媒は、Ｎ−メチル−ピロリドン、Ｎ−エチル−ピロリドン、及び、γブチルラクトンからなる群より選択される少なくとも１つの化合物と、ブチルセロソルブ、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジイソブチルケトン及びその構造異性体、プロピレングリコールモノブチルエーテル、並びに、ジアセトンアルコールからなる群より選択される少なくとも１つの化合物との混合物であるものであってもよい。
【０３９５】
上記基板は、薄膜トランジスタ素子を備える薄膜トランジスタアレイ基板を含み、上記薄膜トランジスタ素子は、酸化物半導体を含む半導体層を有するものであってもよい。
【０３９６】
酸化物半導体は、アモルファスシリコンよりも移動度が高く、特性ばらつきも小さいという特徴を有している。このため、酸化物半導体を含む薄膜トランジスタ素子は、アモルファスシリコンを含む薄膜トランジスタ素子よりも高速で駆動することができ、駆動周波数が高く、１画素に占める割合を小さくすることができるため、より高精細である次世代表示装置の駆動に好適である。また、酸化物半導体膜は、多結晶シリコン膜よりも簡便なプロセスで形成されるため、大面積が必要とされる装置にも適用できるという利点を有している。よって、上記基板が薄膜トランジスタ素子を備える薄膜トランジスタアレイ基板を含み、薄膜トランジスタ素子が酸化物半導体を含む半導体層を有する場合、本発明の一態様による効果を奏するとともに、高速駆動化を実現することができる液晶表示装置を製造することができる。
【０３９７】
また、酸化物半導体の構成としては、例えば、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛（Ｚｎ）、及び、酸素（Ｏ）から構成される化合物（Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ）、インジウム（Ｉｎ）、スズ（Ｔｉｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、及び、酸素（Ｏ）から構成される化合物（Ｉｎ−Ｔｉｎ−Ｚｎ−Ｏ）、又は、インジウム（Ｉｎ）、アルミニウム（Ａｌ）、亜鉛（Ｚｎ）、及び、酸素（Ｏ）から構成される化合物（Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ）等であってもよい。
【０３９８】
また、酸化物半導体が水分を含んでしまった場合は、その酸素比率が低下し、特性が変化してしまうという問題が生じることがある。よって、上記光配向膜材料の吸湿性は低いことが好ましい。相対的に吸湿性が高い高分子としては、ポリイミド骨格を有する高分子が好適に用いられる。また、光反応性を有する高分子としては、アクリル、メタクリル、マレイミド、及び、ポリシロキサン骨格を有する高分子が好適に用いられる。