(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する吐出ユニットを用いて描画する描画方法であって、
前記吐出ユニットから前記液状体を吐出して、検査用媒体上に検査用液塊体を形成する検査吐出を行う工程と、
前記吐出ユニットから前記液状体を吐出して、前記検査用媒体上における前記検査用液塊体を囲む位置にダミー液塊体を形成するダミー吐出を行う工程と、
前記検査用液塊体の測定を行う工程と、
描画吐出を行う工程と、を有し、
前記検査吐出を行う工程と前記ダミー吐出を行う工程とを、前記吐出ヘッドと前記検査用媒体とを相対移動させる少なくとも一回の吐出走査の間に実施し、
前記吐出走査において、前記検査吐出を行う時点と前記ダミー吐出を行う時点とが互いに異なることを特徴とする描画方法。
【請求項２】
前記検査用液塊体の測定を行う工程における測定結果に基づいて、前記描画吐出の吐出量を調整することを特徴とする、請求項１に記載の描画方法。
【請求項３】
前記検査吐出工程においては、描画を実施する際に用いる前記吐出ユニットを用いて、
前記描画を実施する際に機能液を配置するパターンと同じパターンで、前記検査用液塊体
を配置することを特徴とする、請求項１又は２に記載の描画方法。
【請求項４】
前記検査用液塊体と前記ダミー液塊体とは大きさが異なることを特徴とする、請求項１
乃至３のいずれか一項に記載の描画方法。
【請求項５】
前記ダミー液塊体は、前記検査用液塊体より大きいことを特徴とする、請求項１乃至４
のいずれか一項に記載の描画方法。
【請求項６】
前記検査吐出工程においては、前記検査用液塊体が所定のパターンで配列された検査用
パターンを複数形成し、
前記ダミー吐出工程では、検査用パターンの間にも、前記ダミー液塊体を配置する、
ことを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の描画方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、描画方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備え、吐出した液滴を被吐出媒体上の任意の位置に着弾させることによって被吐出媒体上の任意の位置に液状体を配置する液滴吐出装置が知られている。液滴吐出ヘッドは液滴を吐出する吐出ノズルを備えており、被吐出媒体と液滴吐出ヘッドとを吐出走査方向に相対移動させるとともに、吐出ノズルから選択的に液滴を吐出させることによって、被吐出媒体上の任意の位置に液滴を着弾させることができる。
【０００３】
インクジェット方式などの液滴吐出ヘッドは、吐出ノズルから吐出する吐出量、すなわち液滴の重量（大きさ）を精密に一定の量にすることができる。しかし、近年では、吐出量精度のさらなる向上が求められている。さらに精密な吐出量を実現するために、液滴吐出ヘッドが備える吐出ノズルのそれぞれの吐出量を精密に測定することが行われている。
特許文献１には、吐出量を検査する検査工程と、検査結果に基づいて、駆動信号を調整する調整工程とを有し、精密な吐出量を実現する薄膜形成方法が開示されている。検査工程は、検査用基板の検査領域に液状体を配置するとともに、検査領域を囲むダミー検査領域にダミー液状体を配置する配置処理を含んでいる。ダミー液状体を配置することで、液状体あるいはダミー液状体の溶媒が揮発した成分の検査領域における濃度が均一になり易い。これにより、検査領域における液状体の乾燥の程度が均一になり、正確な検査が実施できるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１８３８３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された方法では、検査領域を囲むダミー検査領域にダミー液状体を配置してから、検査領域に液状体を配置している。このため、ダミー液状体が配置される時点と、検査用の液状体が配置される時点とで、時間差が生じている。当該時間差に起因して、ダミー液状体と検査用の液状体との間で、乾燥の進行状態が異なるという課題があった。例えば、ダミー液状体の乾燥が進行してしまうことにより、検査用の液状体の乾燥が進行する際に、ダミー液状体を配置することで、液状体あるいはダミー液状体の溶媒が揮発した成分の検査領域における濃度が均一になり易いという効果が得られないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる描画方法は、液状体を吐出する吐出ユニットをを用いて描画する描画方法であって、前記吐出ユニットから前記液状体を吐出して、検査用媒体上に検査用液塊体を形成する検査吐出工程と、前記吐出ユニットから前記液状体を吐出して、前記検査用媒体上における前記検査用液塊体を囲む位置に、ダミー液塊体を形成するダミー吐出工程と、前記検査用液塊体を計測する計測工程と、を有し、前記検査吐出工程と前記ダミー吐出工程とは、前記吐出ヘッドと前記検査用媒体とを相対移動させる一連の吐出走査の間に実施することを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる描画方法によれば、ダミー吐出工程において、検査用液塊体を囲む位置に、ダミー液塊体が形成される。液塊体は、機能液の液滴が検査用媒体上に着弾したものである。液塊体は、１滴の液滴が着弾したものや、複数の液滴が着弾して一体になったものである。検査用液塊体を囲む位置にダミー液塊体を配置することで、検査用液塊体の周辺の雰囲気における、検査用液塊体及びダミー液塊体を構成する機能液の溶媒が揮発した成分の濃度が均一になり易い。これにより、検査用液塊体の乾燥の程度の個体間のばらつきを抑制することができるため、計測工程において正確な計測が実施できる。
一連の吐出走査の間に検査吐出工程及びダミー吐出工程を実施するため、検査用液塊体の乾燥の進行状態と、ダミー液塊体の乾燥の進行状態とを、略同じにすることができる。これにより、検査用液塊体の乾燥が進行している際に、検査用液塊体の周辺の雰囲気における、機能液の溶媒が揮発した成分の濃度が均一になり易くすることができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる描画方法において、前記検査吐出工程と前記ダミー吐出工程とは、前記検査吐出工程において前記吐出ユニットから液滴を吐出する時点と前記ダミー吐出工程において前記吐出ユニットから液滴を吐出する時点とが互いに異なることが好ましい。
【００１０】
この描画方法によれば、検査吐出の時点とダミー吐出の時点とが互いに異なっている。複数の吐出ユニットを有する吐出ヘッドにおいて、吐出ユニットからの吐出量は、周囲の吐出ユニットの稼働状態によって影響を受ける可能性がある。すなわち、ダミー吐出を実施することによって、検査吐出の吐出量の、描画時の吐出量に対する再現性の精度が、微少ではあるが損なわれる可能性がある。吐出時点を異ならせることで、ダミー吐出を実施することが検査吐出の再現性の精度に影響を与えることを抑制することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる描画方法において、前記検査吐出工程においては、描画を実施する際に用いる前記吐出ユニットを用いて、前記描画を実施する際に機能液を配置するパターンと同じパターンで、前記検査用液塊体を配置することが好ましい。
【００１２】
この描画方法によれば、描画を実施する際に用いる吐出ユニットを用いて、描画を実施する際のパターンで、検査用液塊体を配置する。したがって、検査吐出の際の、吐出ヘッドにおける吐出ユニットの稼働状態は、描画を実施する際と実質的に同じになる。これにより、稼働状態の差異に起因する吐出量の変動を抑制して、検査吐出の吐出量の、描画時の吐出量に対する再現性の低下を抑制することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる描画方法において、前記検査用液塊体と前記ダミー液塊体とは大きさが異なることが好ましい。
【００１４】
この描画方法によれば、検査用液塊体とダミー液塊体とは大きさ（重量）が異なる。このため、ダミー液塊体の大きさは、検査用液塊体の大きさに関わらず、検査用液塊体の周辺の雰囲気における検査用液塊体及びダミー液塊体を構成する機能液の溶媒が揮発した成分の濃度を均一にするために適切な大きさに設定することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる描画方法において、前記ダミー液塊体は、前記検査用液塊体より大きいことが好ましい。
【００１６】
この描画方法によれば、ダミー液塊体が検査用液塊体より大きいため、ダミー液塊体が検査用液塊体より先に乾燥することを抑制することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる描画方法において、前記検査吐出工程においては、前記検査用液塊体が所定のパターンで配列された検査用パターンを複数形成し、前記ダミー吐出工程では、検査用パターンの間にも、前記ダミー液塊体を配置することが好ましい。
【００１８】
この描画方法によれば、検査用パターンの間にも、ダミー液塊体を配置する。これにより、検査用パターンの周囲にのみダミー液塊体を配置する場合にくらべて、検査用液塊体の近くにより多くのダミー液塊体を配置することができる。これにより、より確実に、検査用液塊体の周辺の雰囲気における検査用液塊体及びダミー液塊体を構成する機能液の溶媒が揮発した成分の濃度を均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図。
【図３】液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。
【図４】（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。
【図５】（ａ）は、表示装置の外観斜視図。（ｂ）は、（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面図。
【図６】（ａ）は、表示装置が備える複数の画素の一部分を示す平面図。（ｂ）は、（ａ）にＣ−Ｃで示した断面における断面図。
【図７】液滴吐出装置を用いて、素子基板における機能膜を形成する描画工程を示すフローチャート。
【図８】（ａ）は、液滴吐出ヘッドにおけるノズル列の配列を示す模式図。（ｂ）は、検査用液塊体及びダミー液塊体の配置を示す説明図。
【図９】基板上の液滴の配置例を示す説明図。
【図１０】（ａ）は、液滴吐出ヘッドが備える吐出ノズルの配列を示す模式図。（ｂ）は、検査用液塊体及びダミー液塊体の配置を示す説明図。
【図１１】（ａ）は、液滴吐出ヘッドが備える吐出ノズルの配列を示す模式図。（ｂ）は、検査用液塊体及びダミー液塊体の配置を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る描画方法の一実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態は、液滴吐出装置を用いて、有機ＥＬ表示装置の発光層などを形成する工程を例にして説明する。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと被描画媒体とを相対移動させると共に、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液の液滴を吐出して、被描画媒体上の所定の位置に着弾させることによって、所定の画像などを形成する装置である。本実施形態の液滴吐出装置は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドを備えている。機能液は、画像などを構成する膜などの材料を含み、液滴吐出ヘッドを用いて液滴として吐出可能に調整された液状体である。
なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００２１】
＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を備える液滴吐出装置１の構成の全般について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００２２】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、媒体機構部３と、機能液供給部４と、保守装置部５とを備えている。ヘッド機構部２は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０を有している。媒体機構部３は、液滴吐出ヘッド２０から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置する媒体載置台３０を有している。機能液供給部４は、貯留タンクと、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド２０に接続されている。給液チューブを介して、機能液供給部４から液滴吐出ヘッド２０に、機能液が供給される。保守装置部５は、液滴吐出ヘッド２０の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部７を備えている。
【００２３】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、媒体機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在する状態で配設されている。媒体機構部３の上方には、定盤９に立設された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、媒体機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在する状態で配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド２０に連通する給液チューブを有する機能液供給部４の貯留タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、保守装置部５が媒体機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部７が収容されている。
【００２４】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジと、ヘッドキャリッジが吊設された移動枠２２と、移動枠２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸走査機構とを、備えている。
移動枠２２を、Ｙ軸走査機構によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
媒体機構部３は、媒体載置台３０と、Ｘ軸走査機構とを備えている。媒体機構部３は、媒体載置台３０を、Ｘ軸走査機構によって、Ｘ軸方向に移動させることで、媒体載置台３０に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００２５】
液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワークＷと、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド２０とを相対的に制御することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
【００２６】
保守装置部５は、各種検査装置、各種保守装置、及び保守装置走査機構を備えている。検査装置は、液滴吐出ヘッド２０の吐出状態の検査を実施する吐出検査ユニット６などの、液滴吐出ヘッド２０の検査を実施する装置である。保守装置は、液滴吐出ヘッド２０の各種の保守を実施する装置である。
【００２７】
吐出検査ユニット６は、白色干渉計６１と、撮像カメラ６４と、検査装置移動機構６６と、を備えている。
検査装置移動機構６６は、Ｙ軸走査機構と同様の構成を有し、Ｘ軸走査機構の上方で略Ｙ軸方向に延在している。白色干渉計６１及び撮像カメラ６４は、ヘッドキャリッジと同様に、Ｙ軸方向に移動可能に、検査装置移動機構６６に保持されている。検査装置移動機構６６は、Ｙ軸走査機構がヘッドキャリッジを移動させる構成と同様の構成によって、白色干渉計６１及び撮像カメラ６４を、Ｙ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した任意の位置に保持することができる。
撮像カメラ６４は、下方を撮像可能に検査装置移動機構６６に保持されている。媒体載置台３０に保持された検査用媒体を、Ｘ軸方向の撮像カメラ６４に臨む位置まで移動して停止し、上方にある撮像カメラ６４によって撮影することで、検査用媒体上に着弾した液滴の画像を取得することが可能である。当該画像から、着弾位置精度などを検査することができる。
白色干渉計６１は、下方を測定可能に検査装置移動機構６６に保持されている。媒体載置台３０に保持された検査用媒体を、Ｘ軸方向の白色干渉計６１に臨む位置まで移動して停止し、上方にある白色干渉計６１によって、検査用媒体上の立体の体積を測定することが可能である。検査用媒体上に着弾した液滴の体積を測定することで、吐出ノズル２４（図２参照）ごとの吐出量の精度などを検査することができる。
【００２８】
保守装置部５が備える他の検査装置、保守装置、及び保守装置走査機構は、Ｙ軸走査機構の下方で、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）に臨むことが可能な位置に配設されている。
保守装置走査機構は、これらの検査装置や保守装置をＸ軸方向に移動可能であって、任意の位置に保持可能に支持する装置である。
液滴吐出ヘッド２０の検査や保守を実施する際には、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）が、Ｙ軸走査機構を用いて保守装置部５に臨む位置に移動させられる。また、実施する検査又は保守に対応する検査装置又は保守装置が、保守装置走査機構によって、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）に臨む位置に移動させられる。
【００２９】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、液滴吐出ヘッド２０について、図２を参照して説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図である。図２に示したＹ軸方向、及びＺ軸方向は、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態において、図１に示したＹ軸方向、又はＺ軸方向と一致している。
【００３０】
図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５を備えている。ノズル基板２５には、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａが２列形成されている。吐出ノズル２４から機能液を液滴として吐出し、対向する位置にある描画対象物などに着弾させることで、当該位置に機能液を配置する。ノズル列２４Ａは、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態で、図１に示したＹ軸方向に延在している。ノズル列２４Ａにおいて吐出ノズル２４は等間隔のノズルピッチで並んでおり、２列のノズル列２４Ａ間で、吐出ノズル２４の位置がＹ軸方向に半ノズルピッチずれている。したがって、液滴吐出ヘッド２０としては、Ｙ軸方向に半ノズルピッチ間隔で機能液の液滴を配置することができる。
ノズルピッチは、例えば１４０μｍであり、半ノズルピッチは、７０μｍである。ノズル列２４Ａが備える吐出ノズル２４は、例えば１８０個であり、液滴吐出ヘッド２０が備える吐出ノズル２４は、３６０個である。
【００３１】
図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５に圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液滴吐出ヘッド２０に供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズル基板２５と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。機能液は、機能液供給部４から液滴吐出ヘッド２０に供給され、振動板５２の液供給孔５３を経由して液たまり５５に供給される。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズル基板２５と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。
【００３２】
圧力室５８は吐出ノズル２４のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル２４の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を経由して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル２４と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル２４がノズル列２４Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル２４を含むノズル列２４Ａに対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル２４がもう１列のノズル列２４Ａを形成している。当該ノズル列２４Ａに対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。
【００３３】
振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド２０全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は、電極層と圧電材料とを積層した活性部を有している。圧電素子５９は、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）における振動板５２の厚さ方向）に縮む。電極層に印加されていた駆動電圧が解除されることで、活性部が元の長さに戻る。
【００３４】
電極層に駆動電圧が印加されて、圧電素子５９の活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る。すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル２４から機能液が液滴となって吐出される。
吐出ノズル２４と、圧電素子５９と、ヘッド隔壁５７と、圧力室５８と、供給口５６との組が、吐出ユニットに相当する。
【００３５】
＜液滴の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における液滴吐出ヘッド２０からの液滴の吐出制御方法について、図３を参照して説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
【００３６】
上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する吐出装置制御部７を備えている。吐出装置制御部７は、制御信号を出力するＣＰＵ８４と、液滴吐出ヘッド２０の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバー２０ｄとを備えている。
図３に示すように、ヘッドドライバー２０ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド２０と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド２０は、吐出ノズル２４（図２参照）ごとに設けられた圧電素子５９に対応して、シフトレジスター（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフター（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。
【００３７】
液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ８４がワークＷなどの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバー２０ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバー２０ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル２４ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスター８５に伝送される。
【００３８】
シフトレジスター８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフター８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されない。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル２４からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワークＷなどの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。
【００３９】
＜着弾位置＞
次に、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４と、それぞれの吐出ノズル２４から吐出された液滴の着弾位置と、の関係について、図４を参照して説明する。図４は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図４（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図４（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図４（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図４（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図４に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。Ｘ軸方向が主走査方向であって、図４に示した矢印ａの方向に吐出ノズル２４（液滴吐出ヘッド２０）を相対移動させながら、任意の位置において機能液の液滴を吐出することによって、Ｘ軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。
【００４０】
図４（ａ）に示すように、ノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配列されている。上述したように、２列のノズル列２４Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル２４同士は、Ｙ軸方向において、相互に、ノズルピッチＰの１／２ずつ位置がずれている。
【００４１】
図４（ｂ）に示すように、着弾位置を示す着弾点９１と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円９１Ａとで、着弾した１滴の液滴の状態を示している。２列のノズル列２４Ａの全部の吐出ノズル２４から、図４（ｂ）に二点鎖線で示した仮想線Ｌ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。
【００４２】
図４（ｃ）に示すように、一つの吐出ノズル２４から連続して液滴を吐出させることによって、Ｘ軸方向に着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。Ｘ軸方向における着弾点９１間の中心間距離の最小値を、最小着弾距離ｄと表記する。最小着弾距離ｄは、主走査方向の相対移動速度と、吐出ノズル２４の最小吐出間隔との積である。
【００４３】
図４（ｄ）に示すように、二点鎖線で示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が、Ｘ軸方向に並列した着弾面が形成される。図４（ｄ）に示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３間の距離が最小着弾距離ｄの場合のそれぞれの着弾点９１が、液滴吐出装置１によって機能液の液滴を配置可能な位置である。
【００４４】
画像の描画に際しては、画像の情報に従って、図４（ｄ）に示したそれぞれの着弾点９１の位置について、液滴を配置する位置を定める。例えば、当該配置位置、及び当該配置位置に液滴を吐出する吐出ノズル２４を指定した配置表を形成し、配置表に従って機能液を着弾させることによって、画像の情報によって規定される画像を描画する。なお、図４（ｄ）に示した例では、着弾円９１Ａの間に隙間が存在するが、ノズルピッチＰや最小着弾距離ｄに対して、吐出する液滴の１滴あたりの吐出重量を適切に定めることによって、隙間なく機能液を配置することが可能である。もちろん、他の液滴と重ねることなく、１滴を独立させて配置することも可能である。
【００４５】
＜表示装置＞
次に、電気光学装置としての表示装置２００について、図５及び図６を参照して説明する。表示装置２００は、有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬ表示装置である。図５は、表示装置の全体構成の概略を示す図である。図５（ａ）は、表示装置の外観斜視図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面図である。図６は、表示装置における画素の構成を示す説明図である。図６（ａ）は、表示装置が備える複数の画素の一部分を示す平面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）にＣ−Ｃで示した断面における断面図である。
【００４６】
図５に示すように、表示装置２００は、素子基板２０３と、封止基板２０５と、を有している。素子基板２０３と封止基板２０５とは、互いに対向している。表示装置２００では、封止基板２０５の素子基板２０３側とは反対側の面である表示面２０７に、画像などを表示することができる。
表示装置２００には、複数の画素２０９が設定されている。複数の画素２０９は、表示領域２１１内で、図中のＶ軸方向及びＷ軸方向に配列しており、Ｖ軸方向を行方向とし、Ｗ軸方向を列方向とするマトリクスＭを構成している。Ｖ軸方向及びＷ軸方向は、平面視で互いに交差する方向である。本実施形態では、Ｖ軸方向は、走査線が延在する方向でもある。また、Ｗ軸方向は、信号線が延在する方向でもある。また、本実施形態では、Ｖ軸方向及びＷ軸方向は、平面視で互いに略直交している。
表示装置２００は、複数の画素２０９から選択的に表示面２０７を介して表示装置２００の外に光を射出することで、表示面２０７に画像などを表示する。なお、表示領域２１１とは、画像が表示され得る領域である。図５（ａ）では、構成をわかりやすく示すため、画素２０９が誇張され、且つ画素２０９の個数が減じられている。
【００４７】
表示装置２００において、素子基板２０３は、図５（ｂ）に示すように、封止基板２０５側とは反対側の面である底面２１４を有している。
素子基板２０３には、表示面２０７側すなわち封止基板２０５側に、後述する有機ＥＬ素子２３７（図６参照）などが設けられている。表示装置２００において、表示面２０７と底面２１４とは、互いに表裏の関係にある。
【００４８】
封止基板２０５は、素子基板２０３よりも表示面２０７側で素子基板２０３に対向した状態で設けられている。素子基板２０３と封止基板２０５とは、接着剤２１６を介して接合されている。表示装置２００では、有機ＥＬ素子２３７は、接着剤２１６によって表示面２０７側から覆われている。
また、素子基板２０３と封止基板２０５との間は、表示装置２００の周縁よりも内側で表示領域２１１を囲むシール材２１７によって封止されている。つまり、表示装置２００では、有機ＥＬ素子２３７と接着剤２１６とが、素子基板２０３及び封止基板２０５並びにシール材２１７によって封止されている。
【００４９】
図６（ａ）に示すように、表示装置２００における複数の画素２０９は、それぞれ、表示面２０７から射出する光の色が、赤系（Ｒ）、緑系（Ｇ）及び青系（Ｂ）のうちの１つに設定されている。マトリクスＭを構成する複数の画素２０９は、Ｒの光を射出する画素２０９Ｒと、Ｇの光を射出する画素２０９Ｇと、Ｂの光を射出する画素２０９Ｂとを含んでいる。
なお、以下においては、画素２０９という表記と、画素２０９Ｒ、画素２０９Ｇ及び画素２０９Ｂという表記とが、適宜、使いわけられる。
【００５０】
マトリクスＭでは、Ｗ軸方向に沿って一列に並ぶ複数の画素２０９が、１つの画素列２２１を構成している。また、Ｖ軸方向に沿って一列に並ぶ複数の画素２０９が、１つの画素行２２３を構成している。
隣り合う画素列２２１の間には、Ｗ軸方向に延在する絶縁膜（第２隔壁）２５９が設けられており、Ｖ軸方向において隣り合う画素２０９を隔てている。隣り合う画素行２２３の間には、Ｖ軸方向に延在する絶縁膜２５９が設けられており、Ｗ軸方向において隣り合う画素２０９を隔てている。すなわち、絶縁膜２５９に囲まれる領域に、画素２０９が形成されている。画素２０９は、絶縁膜２５９によって互いに隔てられている。絶縁膜２５９に囲まれる領域を、画素形成区画２９１（図９参照）と表記する。
なお、詳細には後述するが、画素２０９、及び絶縁膜２５９は、共通電極２４３（図６（ｂ）参照）によって覆われているが、構成をわかりやすく示すために、図６（ａ）では共通電極２４３を省略した状態を示してある。
【００５１】
１つの画素列２２１内の各画素２０９は、光の色がＲ、Ｇ及びＢのうちの１つに設定されている。つまり、マトリクスＭは、複数の画素２０９ＲがＷ軸方向に配列した画素列２２１Ｒと、複数の画素２０９ＧがＷ軸方向に配列した画素列２２１Ｇと、複数の画素２０９ＢがＷ軸方向に配列した画素列２２１Ｂとを有している。そして、表示装置２００では、画素列２２１Ｒ、画素列２２１Ｇ及び画素列２２１Ｂが、この順でＶ軸方向に沿って反復して並んでいる。
【００５２】
ここで、素子基板２０３及び封止基板２０５のそれぞれの構成について、詳細に説明する。
図６（ａ）にＣ−Ｃ線で示した断面における断面図である図６（ｂ）に示すように、素子基板２０３は、基板２５１と、素子層２５３と、を有している。素子層２５３は、駆動素子層２５５を含んでいる。
なお、図６（ｂ）では、構成をわかりやすく示すため、有機ＥＬ素子２３７の有機層２４１を駆動するための、選択トランジスター、駆動トランジスター、容量素子、走査線、信号線、及び電源線が省略されている。選択トランジスター、駆動トランジスター、容量素子、走査線、信号線、及び電源線は、駆動素子層２５５に含まれている。
【００５３】
基板２５１は、表示面２０７側に向けられた第１面２５２ａと、底面２１４側に向けられた第２面２５２ｂとを有している。基板２５１の材料としては、例えば、ガラスや石英などの光透過性を有する無機材料が採用され得る。本実施形態では、基板２５１の材料として、ガラスが採用されている。
駆動素子層２５５は、基板２５１の第１面２５２ａに設けられている。
駆動素子層２５５の表示面２０７側には、画素電極２３９が設けられている。画素電極２３９の材料としては、例えば、銀、白金、アルミニウム、銅などの光反射性を有する金属や、これらを含む合金などが採用され得る。
【００５４】
画素電極２３９を陽極として機能させる場合には、画素電極２３９の材料として、銀、白金などの仕事関数が比較的高い材料を用いることが好ましい。また、画素電極２３９の材料としてＩＴＯ（Indium Tin Oxide）やインジウム亜鉛酸化物（Indium Zinc Oxide）などを用い、光反射性を有する部材を画素電極２３９と駆動素子層２５５との間に設けた構成も採用され得る。本実施形態では、画素電極２３９の材料としてＩＴＯが採用されている。
【００５５】
隣り合う画素電極２３９同士の間には、各画素２０９を区画する絶縁膜（第１隔壁）２５７が領域２５８にわたって設けられている。絶縁膜２５７は、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、アクリル系の樹脂などの光透過性を有する材料で構成されている。絶縁膜２５７は、平面視で、表示領域２１１にわたって格子状に設けられている。このため、表示領域２１１は、絶縁膜２５７によって複数の画素２０９の領域に区画されている。１つの画素２０９に着目すると、絶縁膜２５７は、平面視で環状に設けられている。なお、各画素電極２３９は、絶縁膜２５７によって囲まれた各画素２０９の領域に平面視で重なっている。本実施形態では、絶縁膜２５７の材料として酸化シリコンが採用されている。
【００５６】
絶縁膜２５７の表示面２０７側には、各画素２０９の領域を囲む絶縁膜（第２隔壁）２５９が設けられている。絶縁膜２５９は、例えば、カーボンブラックやクロムなどの光吸収性が高い材料を含有するアクリル系の樹脂やポリイミド樹脂などの有機材料で構成されている。図６（ａ）を参照して説明したように、絶縁膜２５９は、平面視で格子状に設けられている。平面視で格子状に設けられている絶縁膜２５９は、絶縁膜２５７に沿って設けられている。１つの画素２０９に着目すると、絶縁膜２５９は、平面視で各画素２０９の領域を囲んでいる。このため、絶縁膜２５９は、画素２０９ごとに環状に設けられているとみなされ得る。
本実施形態では、絶縁膜２５９の材料としてアクリル系の樹脂が採用されている。
画素電極２３９の表示面２０７側には、絶縁膜２５９で囲まれた画素形成区画２９１内に、有機層２４１が設けられている。
表示装置２００は、有機層２４１に含まれる発光層２６５が発光し、発光層２６５からの光が封止基板２０５を介して表示面２０７から射出されるトップエミッション型の有機ＥＬ表示装置である。なお、表示装置２００では、表示面２０７側という表現が上側とも表現され、底面２１４側という表現が下側とも表現される。
【００５７】
有機層２４１は、各画素２０９に対応して設けられており、正孔注入層２６１と、正孔輸送層２６３と、発光層２６５と、を有している。
正孔注入層２６１は、有機材料で構成されており、平面視で絶縁膜２５９によって囲まれた領域内で、画素電極２３９の表示面２０７側に設けられている。
正孔輸送層２６３は、有機材料で構成されており、平面視で絶縁膜２５９によって囲まれた領域内で、正孔注入層２６１の表示面２０７側に設けられている。
発光層２６５は、有機材料で構成されており、平面視で絶縁膜２５９によって囲まれた領域内で、正孔輸送層２６３の表示面２０７側に設けられている。
【００５８】
有機層２４１の表示面２０７側には、図６（ｂ）に示すように、絶縁膜２５９によって囲まれた領域内に、電子注入層２６７が設けられている。電子注入層２６７の材料としては、例えば、マグネシウムと銀とを含む合金や、カルシウムなどが採用され得る。本実施形態では、電子注入層２６７の材料として、マグネシウムと銀とを含み、光透過性を有する合金が採用されている。
電子注入層２６７の表示面２０７側には、共通電極２４３が設けられている。共通電極２４３は、例えば、アルミニウム等の金属を薄膜化して光透過性を付与したものなどが採用され得る。また、共通電極２４３は、例えば、マグネシウムと銀とを含む合金等を薄膜化して光透過性を付与したものなどによっても構成され得る。本実施形態では、共通電極２４３として、アルミニウムの薄膜が採用されている。共通電極２４３は、電子注入層２６７、及び絶縁膜２５９を表示面２０７側から複数の画素２０９間にわたって覆っている。
【００５９】
なお、表示装置２００では、各画素２０９において発光する領域（以下、発光領域と呼ぶ）は、平面視で画素電極２３９と有機層２４１と電子注入層２６７と共通電極２４３とが重なる領域であると定義され得る。また、画素２０９ごとに発光領域を構成する要素の一群が１つの有機ＥＬ素子２３７であると定義され得る。表示装置２００では、１つの有機ＥＬ素子２３７は、１つの画素電極２３９と、１つの有機層２４１と、１つの電子注入層２６７と、１つの画素２０９に対応する共通電極２４３とを含んだ構成を有している。
【００６０】
封止基板２０５は、例えばガラスや石英などの光透過性を有する材料で構成されており、表示面２０７側に向けられた外向面２０５ａと、底面２１４側に向けられた対向面２０５ｂとを有している。
上記の構成を有する素子基板２０３及び封止基板２０５は、素子基板２０３の共通電極２４３と封止基板２０５の対向面２０５ｂとの間が、接着剤２１６を介して接合されている。
【００６１】
表示装置２００では、図５（ｂ）に示したシール材２１７は、図６（ｂ）に示した基板２５１の第１面２５２ａと、封止基板２０５の対向面２０５ｂとによって挟持されている。つまり、表示装置２００では、有機ＥＬ素子２３７及び接着剤２１６が、基板２５１及び封止基板２０５並びにシール材２１７によって封止されている。なお、シール材２１７は、対向面２０５ｂ及び共通電極２４３の間に設けられていてもよい。この場合、有機ＥＬ素子２３７及び接着剤２１６は、素子基板２０３及び封止基板２０５並びにシール材２１７によって封止されているとみなされ得る。
【００６２】
＜表示装置の製造工程＞
次に、表示装置２００の製造工程における描画工程について、図７、図８、及び図９を参照して説明する。表示装置２００の製造方法は、素子基板２０３を製造する工程と、表示装置２００を組み立てる工程とに大別される。本実施形態で説明する描画工程は、液滴吐出装置１を用いて、素子基板２０３が備える有機層２４１を構成する機能膜を形成する工程である。図７は、液滴吐出装置を用いて、素子基板における機能膜を形成する描画工程を示すフローチャートである。図８は、検査用液塊体及びダミー液塊体の配置を示す説明図である。図８（ａ）は、液滴吐出ヘッドにおけるノズル列の配列を示す模式図であり、図８（ｂ）は、検査用液塊体及びダミー液塊体の配置を示す説明図である。図９は、基板上の液滴の配置例を示す説明図である。
【００６３】
素子基板２０３を製造する工程では、まず、基板２５１の第１面２５２ａに駆動素子層２５５を形成する。
次いで、駆動素子層２５５の表面に、各画素２０９に対応した画素電極２３９を形成する。画素電極２３９を形成する駆動素子層２５５の表面は、素子基板２０３が表示装置２００として組み立てられた状態において、表示面２０７側の面である。
次に、隣り合う画素電極２３９間に、絶縁膜２５７を、各画素電極２３９の周縁に重ねて形成する。
次に、絶縁膜２５７の表示面２０７側に絶縁膜２５９を形成する。絶縁膜２５９を形成することで、上述したように、画素形成区画２９１が形成される。
【００６４】
次に、液滴吐出装置１を用いて、画素形成区画２９１に機能液を配置する描画工程を実施して、有機層２４１を構成する正孔注入層２６１と、正孔輸送層２６３と、発光層２６５とを、形成する。機能液は、正孔注入層２６１、正孔輸送層２６３、又は発光層２６５の材料を含み、液滴吐出ヘッド２０を用いて液滴として吐出可能に調整された液状体である。
【００６５】
最初に、図７のステップＳ１では、検査用吐出を実施して、図８（ｂ）に示したように、吐出検査基板１０１上に、検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１を配置する。
最初に、吐出検査基板１０１を、液滴吐出装置１の媒体載置台３０に載置し、液滴吐出ヘッド２０に対して位置調整を実施する。
ここで、ノズル列２４Ａにおける吐出ノズル２４の個体差について説明する。より正確には、吐出ノズル２４と、圧電素子５９と、ヘッド隔壁５７と、圧力室５８と、供給口５６との組の個体差であるが、便宜的に吐出ノズル２４の個体差と表記して説明する。上述したように、１個の吐出ノズル２４に対応する構成は同じ構造に設計されているが、隣の吐出ノズル２４に対応する構成など、周囲の構成は少しずつ異なっている。例えば、両端の吐出ノズル２４には、片側にのみ隣の吐出ノズルが存在し、他の吐出ノズル２４には、両側に隣の吐出ノズルが存在する。
吐出ノズル２４と、圧電素子５９と、ヘッド隔壁５７と、圧力室５８と、供給口５６との組が、吐出ユニットに相当する。
ノズル列２４Ａにおける吐出ノズル２４の個体差の影響を小さくするために、特定の吐出ノズル２４を使用しない場合がある。本実施形態では、ノズル列２４Ａにおける両端の数個の吐出ノズル２４を、描画に際して吐出を実施する吐出ノズル２４として使用しない場合を例にする。描画に際して吐出を実施させる吐出ノズル２４を、実吐出ノズル２４ａと表記し、描画に際して吐出を実施させない吐出ノズル２４を、休吐出ノズル２４ｂと表記する。
【００６６】
図８（ａ）に示したように、ノズル列２４Ａの両端において、端から数個の吐出ノズル２４が、休吐出ノズル２４ｂに設定されている。
図８（ｂ）に示したように、吐出検査基板１０１には、中央に検査体領域１０２が設定されている。中央に検査体領域１０２の周囲を、ダミー体領域１０４と表記する。
液滴吐出装置１の媒体載置台３０に載置した吐出検査基板１０１を液滴吐出ヘッド２０に対して位置調整する際には、実吐出ノズル２４ａが、吐出検査基板１０１の検査体領域１０２に対向可能な位置に、吐出検査基板１０１の位置を調整する。
ダミー体領域１０４における、検査用吐出に際して検査体領域１０２より先にノズル列２４Ａが対向する部分を、ダミー体領域１０４ａと表記し、検査体領域１０２と並行してノズル列２４Ａが対向する部分を、ダミー体領域１０４ｂ又はダミー体領域１０４ｃと表記し、検査体領域１０２より後にノズル列２４Ａが対向する部分を、ダミー体領域１０４ｄと表記する。
吐出検査基板１０１が、検査用媒体に相当する。
【００６７】
媒体載置台３０に載置及び位置決めされた吐出検査基板１０１をＸ軸方向に走査させるとともに、ノズル列２４Ａの各吐出ノズル２４から液滴を吐出させて、吐出検査基板１０１上に、検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１を配置する。吐出検査基板１０１の表面は、機能液に対して撥液性に処理してあり、検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１は、濡れ広がることが抑制されて、盛上った形状が維持される。
検査用液塊体１２１を形成するために吐出される液滴の大きさは、描画吐出の際に吐出される液滴と同じ大きさである。ダミー液塊体１４１は、検査用液塊体１２１より大きい液塊である。
【００６８】
検査用液塊体１２１は、検査体領域１０２に配置され、ダミー液塊体１４１は、ダミー体領域１０４に配置される。
ダミー体領域１０４ａのダミー液塊体１４１は、実吐出ノズル２４ａ及び休吐出ノズル２４ｂを用いて配置される。
検査用液塊体１２１は、実吐出ノズル２４ａを用いて配置される。ダミー体領域１０４ｂ及びダミー体領域１０４ｃのダミー液塊体１４１は、休吐出ノズル２４ｂを用いて配置される。検査用液塊体１２１の配置と、ダミー体領域１０４ｂ及びダミー体領域１０４ｃへのダミー液塊体１４１の配置とは、並行して実施される。しかし、検査用液塊体１２１を配置するために実吐出ノズル２４ａから液滴を吐出する時点には、休吐出ノズル２４ｂに対応する圧電素子５９は、停止状態を維持する。ダミー液塊体１４１を配置するための休吐出ノズル２４ｂからの吐出は、実吐出ノズル２４ａからの吐出の合間に実施する。
ダミー体領域１０４ｄのダミー液塊体１４１は、実吐出ノズル２４ａ及び休吐出ノズル２４ｂを用いて配置される。
検査体領域１０２への検査用液塊体１２１の配置と、ダミー体領域１０４へのダミー液塊体１４１の配置とは、吐出検査基板１０１をＸ軸方向に１回走査させる間に実施される。吐出検査基板１０１をＸ軸方向に走査させることが、吐出走査に相当する。
検査用液塊体１２１を配置する工程が、検査吐出工程に相当する。ダミー液塊体１４１を配置する工程が、ダミー吐出工程に相当する。
【００６９】
次に、図７のステップＳ２では、検査用液塊体１２１の体積を測定する。最初に、検査用液塊体１２１が配置された吐出検査基板１０１をＸ軸方向（図１参照）に移動させて、検査装置移動機構６６の下方で、白色干渉計６１を臨ませることが可能な位置に位置させる。次に、検査装置移動機構６６によって白色干渉計６１をＹ軸方向に移動させて、白色干渉計６１を吐出検査基板１０１に臨む位置に位置させる。当該位置において、白色干渉計６１によって、吐出検査基板１０１に配置された検査用液塊体１２１の体積を測定する。
尚、体積の測定は、吐出検査基板１０１に着弾した検査用液塊体の着弾面積を計測し、体積換算しても良い。その際、吐出検査基板１０１は、液体受容層等を有していても良く、着弾範囲が視認できて着弾面積が計測できれば良い。着弾範囲が視認できれば、撮像カメラ６４によって着弾面積を計測することができ、白色干渉計６１を用いなくても吐出量の測定が可能となる。
【００７０】
次に、図７のステップＳ３では、検査用液塊体１２１の体積の測定結果に基づいて、圧電素子５９に印加する駆動信号の駆動電圧を調整する。圧電素子５９は、検査用液塊体１２１の体積の測定結果に対応する検査用液塊体１２１を吐出した実吐出ノズル２４ａに対応する圧電素子５９である。駆動電圧を調整することによって、対応する圧電素子５９によって機能液が吐出される吐出ノズル２４の吐出量（液滴の体積）を調整することができる。
【００７１】
次に、図７のステップＳ４では、描画吐出を実施する。上述したように、媒体載置台３０に被描画媒体（この場合は、画素形成区画２９１が形成された基板２５１）を載置して、位置調整を実施する。液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向の吐出位置（基板２５１に対向可能な位置）まで移動させて、当該位置に保持する。基板２５１をＸ軸方向に移動させ、基板２５１のＸ軸方向の移動に同調させて、機能液を液滴として吐出させることで、図９に示したように、画素形成区画２９１に機能液を配置する。図９に示した液滴２６２は、正孔注入層２６１の材料を含む機能液の液滴である。図９に示した液滴２６２は、画素形成区画２９１における液滴の着弾位置及び画素形成区画２９１が当該機能液に対して撥液性に処理されている場合の大きさを示している。描画吐出を実施する対象の画素形成区画２９１は、機能液に対して親液性に処理することで、着弾した機能液は、画素形成区画２９１の全面に濡れ広がる。
【００７２】
次に、ステップＳ４の描画吐出を実施して、機能膜を形成する描画工程を終了する。
描画工程において配置された機能液を硬化させることで、有機層２４１を構成する正孔注入層２６１と、正孔輸送層２６３と、発光層２６５とを、形成する。さらに電子注入層２６７や共通電極２４３などを形成して、素子基板２０３を形成する。形成された素子基板２０３と、別途形成された封止基板２０５とを組み合わせて、表示装置２００を形成する。
【００７３】
＜検査用液塊体及びダミー液塊体の他の配置例１＞
次に、図８を参照して説明した検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１の配置とは異なる検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１の配置例について、図１０を参照して説明する。図１０は、検査用液塊体及びダミー液塊体の配置を示す説明図である。図１０（ａ）は、液滴吐出ヘッドが備える吐出ノズルの配列を示す模式図であり、図１０（ｂ）は、検査用液塊体及びダミー液塊体の配置を示す説明図である。
【００７４】
図１０（ａ）に示すように、ノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配列されている。上述したように、２列のノズル列２４Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル２４同士は、Ｙ軸方向において、相互に、ノズルピッチＰの１／２ずつ位置がずれている。
【００７５】
図１０（ｂ）に示したように、吐出検査基板２０１には、中央に検査体領域２０２が設定されている。検査体領域２０２の周囲は、ダミー体領域２０４である。検査体領域２０２には、検査体副領域２２２が設定されている。検査体副領域２２２の平面視形状は、画素形成区画２９１の平面視形状と同一に設定されている。検査体副領域２２２相互の間隔も、画素形成区画２９１相互の間隔と同一に設定されている。
吐出検査基板２０１が、検査用媒体に相当する。
【００７６】
媒体載置台３０に載置され、位置決めされた吐出検査基板２０１をＸ軸方向に走査させるとともに、ノズル列２４Ａの各吐出ノズル２４から液滴を吐出させて、吐出検査基板２０１上に、検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１を配置する。吐出検査基板２０１の表面は、機能液に対して撥液性に処理してあり、検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１は、濡れ広がることが抑制されて、盛上った形状が維持される。
ダミー体領域２０４における、検査用吐出に際して検査体領域２０２より先にノズル列２４Ａが対向する部分を、ダミー体領域２０４ａと表記し、検査体領域２０２と並行してノズル列２４Ａが対向する部分を、ダミー体領域２０４ｂ又はダミー体領域２０４ｃと表記し、検査体領域２０２より後にノズル列２４Ａが対向する部分を、ダミー体領域２０４ｄと表記する。
【００７７】
検査用液塊体１２１は、検査体領域２０２の検査体副領域２２２に配置され、ダミー液塊体１４１は、ダミー体領域２０４に配置されている。
ダミー体領域２０４ａのダミー液塊体１４１は、実吐出ノズル２４ａ及び休吐出ノズル２４ｂを用いて配置される。当該実吐出ノズル２４ａには、図１０に示した検査用吐出を実施する際に検査体副領域３２２に対向する実吐出ノズル２４ａと検査体副領域３２２に対向しない実吐出ノズル２４ａとが含まれる。
【００７８】
検査用液塊体１２１は、実吐出ノズル２４ａを用いて配置される。ダミー体領域２０４ｂ及びダミー体領域２０４ｃのダミー液塊体１４１は、休吐出ノズル２４ｂを用いて配置される。
検査体副領域２２２に配置されている検査用液塊体１２１の配列は、図９を参照して説明した画素形成区画２９１における機能液の液滴の着弾位置の配列と同様である。
検査用液塊体１２１を形成するために吐出される液滴の大きさは、描画吐出の際に吐出される液滴と同じ大きさである。ダミー液塊体１４１は、検査用液塊体１２１より大きい液塊である。
検査用吐出を実施する際には、描画吐出を実施する際と同じ速度で吐出検査基板２０１（媒体載置台３０）をＸ軸方向に移動させる。それとともに、描画吐出を実施する際と同じ吐出パターンで、それぞれの実吐出ノズル２４ａから液滴を吐出させることによって、検査体副領域２２２に、検査用液塊体１２１が配置される。
検査用液塊体１２１の配置と、ダミー体領域２０４ｂ及びダミー体領域２０４ｃへのダミー液塊体１４１の配置とは、並行して実施される。しかし、検査用液塊体１２１を配置するために実吐出ノズル２４ａから液滴を吐出する時点には、休吐出ノズル２４ｂに対応する圧電素子５９は、停止状態を維持する。ダミー液塊体１４１を配置するための休吐出ノズル２４ｂからの吐出は、実吐出ノズル２４ａからの吐出の合間に実施する。
【００７９】
ダミー体領域２０４ｄのダミー液塊体１４１は、実吐出ノズル２４ａ及び休吐出ノズル２４ｂを用いて配置される。当該実吐出ノズル２４ａには、図１０に示した検査用吐出を実施する際に検査体副領域３２２に対向する実吐出ノズル２４ａと検査体副領域３２２に対向しない実吐出ノズル２４ａとが含まれる。
【００８０】
検査体領域２０２への検査用液塊体１２１の配置と、ダミー体領域２０４へのダミー液塊体１４１の配置とは、吐出検査基板２０１をＸ軸方向に１回走査させる間に実施される。吐出検査基板２０１をＸ軸方向に走査させることが、吐出走査に相当する。
検査用液塊体１２１を配置する工程が、検査吐出工程に相当する。ダミー液塊体１４１を配置する工程が、ダミー吐出工程に相当する。
【００８１】
＜検査用液塊体及びダミー液塊体の他の配置例２＞
次に、図８や図１０を参照して説明した検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１の配置とは異なる検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１の配置例について、図１１を参照して説明する。図１１は、検査用液塊体及びダミー液塊体の配置を示す説明図である。図１１（ａ）は、液滴吐出ヘッドが備える吐出ノズルの配列を示す模式図であり、図１１（ｂ）は、検査用液塊体及びダミー液塊体の配置を示す説明図である。
【００８２】
図１１（ａ）に示すように、ノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配列されている。上述したように、２列のノズル列２４Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル２４同士は、Ｙ軸方向において、相互に、ノズルピッチＰの１／２ずつ位置がずれている。
【００８３】
図１１（ｂ）に示したように、吐出検査基板３０１には、中央に、複数の検査体副領域３２２で構成された検査体領域３０２が設定されている。
検査体副領域３２２の周囲は、ダミー体領域３０４である。ダミー体領域３０４における検査体副領域３２２の間に位置する部分を、ダミー体副領域３４４と表記する。
検査体副領域３２２の平面視形状は、画素形成区画２９１の平面視形状と同一に設定されている。ダミー体副領域３４４の平面視形状は、画素形成区画２９１の間の平面視形状、すなわち絶縁膜２５９の平面視形状と同一に設定されている。
吐出検査基板３０１が、検査用媒体に相当する。
【００８４】
媒体載置台３０に載置され、位置決めされた吐出検査基板３０１をＸ軸方向に走査させるとともに、ノズル列２４Ａの各吐出ノズル２４から液滴を吐出させて、吐出検査基板３０１上に、検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１を配置する。吐出検査基板３０１の表面は、機能液に対して撥液性に処理してあり、検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１は、濡れ広がることが抑制されて、盛上った形状が維持される。
ダミー体領域３０４における、検査用吐出に際して検査体領域３０２より先にノズル列２４Ａが対向する部分を、ダミー体領域３０４ａと表記し、検査体領域３０２と並行してノズル列２４Ａが対向する部分を、ダミー体領域３０４ｂ又はダミー体領域３０４ｃと表記し、検査体領域３０２より後にノズル列２４Ａが対向する部分を、ダミー体領域３０４ｄと表記する。
【００８５】
検査用液塊体１２１は、検査体領域３０２の検査体副領域３２２に配置され、ダミー液塊体１４１は、ダミー体領域３０４に配置されている。
ダミー体領域３０４ａのダミー液塊体１４１は、実吐出ノズル２４ａ及び休吐出ノズル２４ｂを用いて配置される。当該実吐出ノズル２４ａには、図１１に示した検査用吐出を実施する際に検査体副領域３２２に対向する実吐出ノズル２４ａと検査体副領域３２２に対向しない実吐出ノズル２４ａとが含まれる。
【００８６】
検査用液塊体１２１は、実吐出ノズル２４ａを用いて配置される。ダミー体領域３０４ｂ及びダミー体領域２０４ｃのダミー液塊体１４１は、休吐出ノズル２４ｂを用いて配置される。Ｘ軸方向に延在するダミー体副領域３４４のダミー液塊体１４１は、実吐出ノズル２４ａの間に位置し、図１１に示した検査用吐出を実施する際には検査体副領域３２２に対向しない実吐出ノズル２４ａを用いて配置される。Ｙ軸方向に延在するダミー体副領域３４４のダミー液塊体１４１は、実吐出ノズル２４ａを用いて配置される。当該実吐出ノズル２４ａは、図１１に示した検査用吐出を実施する際に検査体副領域３２２に対向する実吐出ノズル２４ａと検査体副領域３２２に対向しない実吐出ノズル２４ａとが含まれる。
【００８７】
検査体副領域３２２に配置されている検査用液塊体１２１の配列は、図９を参照して説明した画素形成区画２９１における機能液の液滴の着弾位置の配列と同様である。
検査用液塊体１２１を形成するために吐出される液滴の大きさは、描画吐出の際に吐出される液滴と同じ大きさである。ダミー液塊体１４１は、検査用液塊体１２１より大きい液塊である。
検査用吐出を実施する際には、描画吐出を実施する際と同じ速度で吐出検査基板２０１（媒体載置台３０）をＸ軸方向に移動させる。それとともに、描画吐出を実施する際と同じ吐出パターンで、それぞれの実吐出ノズル２４ａから液滴を吐出させることによって、検査体副領域３２２に、検査用液塊体１２１が配置される。
検査体副領域３２２に、描画吐出を実施する際と同じパターンで配列された検査用液塊体１２１が、検査用パターンに相当する。
【００８８】
検査用液塊体１２１の配置と、Ｘ軸方向に延在するダミー体副領域３４４、ダミー体領域３０４ｂ、及びダミー体領域３０４ｃへのダミー液塊体１４１の配置とは、並行して実施される。しかし、検査用液塊体１２１を配置するために実吐出ノズル２４ａから液滴を吐出する時点には、ダミー液塊体１４１を配置するために液滴を吐出する吐出ノズル２４に対応する圧電素子５９は、停止状態を維持する。ダミー液塊体１４１を配置するための休吐出ノズル２４ｂからの吐出は、実吐出ノズル２４ａからの吐出の合間に実施する。
【００８９】
ダミー体領域３０４ｄのダミー液塊体１４１は、実吐出ノズル２４ａ及び休吐出ノズル２４ｂを用いて配置される。当該実吐出ノズル２４ａは、図１１に示した検査用吐出を実施する際に検査体副領域３２２に対向する実吐出ノズル２４ａと検査体副領域３２２に対向しない実吐出ノズル２４ａとが含まれる。
【００９０】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）吐出検査基板１０１、吐出検査基板２０１、及び吐出検査基板３０１では、中央の検査体領域１０２、検査体領域２０２、又は検査体領域３０２に検査用液塊体１２１が配置され、周囲のダミー体領域１０４、ダミー体領域２０４、又はダミー体領域３０４にダミー液塊体１４１が配置される。検査用液塊体１２１を囲む位置にダミー液塊体１４１を配置することで、検査用液塊体１２１の周辺の雰囲気における、検査用液塊体１２１及びダミー液塊体１４１を構成する機能液の溶媒が揮発した成分の濃度が均一になり易い。これにより、検査用液塊体１２１の乾燥の程度の個体間のばらつきを抑制することができる。これにより、検査用液塊体１２１の体積の測定工程において正確な計測を実施することができる。
【００９１】
（２）吐出検査基板２０１、及び吐出検査基板３０１は、画素形成区画２９１と平面視略同じ形状を有する検査体副領域２２２、又は検査体副領域３２２が設定されている。検査体副領域２２２、又は検査体副領域３２２に配置される検査用液塊体１２１の配列は、画素形成区画２９１における機能液の液滴の着弾位置の配列と同様である。このため、液滴吐出ヘッド２０は、検査用吐出を実施する際にも、描画吐出を実施する際と同様のパターンで、それぞれの吐出ノズル２４から液滴を吐出する。吐出ノズル２４からの吐出量は、周囲の吐出ノズル２４からの吐出状態（圧電素子５９の稼働状態）によって、僅かではあるが影響をうける。検査用吐出を実施する際にも、描画吐出を実施する際と同様のパターンで、それぞれの吐出ノズル２４から液滴を吐出することで、検査用吐出における吐出量の、描画吐出における吐出量との誤差をより少なくすることができる。
【００９２】
（３）吐出検査基板３０１では、検査体副領域３２２の間に設定されたダミー体副領域３４４にもダミー液塊体１４１が配設される。ダミー体副領域３４４にダミー液塊体１４１がない場合にくらべて、検査体副領域３２２の周囲のダミー液塊体１４１が多くなるため、検査体副領域３２２に配設された検査用液塊体１２１の周辺の雰囲気における、機能液の溶媒が揮発した成分の濃度をより均一になり易くすることができる。
【００９３】
（４）ダミー体領域１０４ｃ、ダミー体領域１０４ｄ、ダミー体領域２０４ｃ、ダミー体領域２０４ｄ、ダミー体領域３０４ｃ、及びダミー体領域３０４ｄには、休吐出ノズル２４ｂから液滴を吐出してダミー液塊体１４１を形成する。これにより、吐出量測定の対象の吐出ノズル２４を用いることなく、ダミー液塊体１４１を形成することができる。検査吐出の１回の吐出走査において、検査対象の全ての吐出ノズル２４について、検査用液塊体１２１を形成する際にも、並行してダミー液塊体１４１を形成することができる。
【００９４】
（５）検査用液塊体１２１とダミー液塊体１４１とは、同じ吐出走査の間に並行して吐出された液滴によって形成される。これにより、検査用液塊体１２１とダミー液塊体１４１との乾燥の進行度合いがずれることを抑制して、検査用液塊体１２１の乾燥が進行している間の、検査用液塊体１２１の周辺の雰囲気における、機能液の溶媒が揮発した成分の濃度を確実に均一にし易くすることができる。
【００９５】
（６）ダミー液塊体１４１は、検査用液塊体１２１より大きい液塊である。これにより、検査用液塊体１２１の乾燥が終了する前にダミー液塊体１４１の乾燥が終了する可能性を小さくすることができる。すなわち、検査用液塊体１２１の乾燥が進行している間の、検査用液塊体１２１の周辺の雰囲気における、機能液の溶媒が揮発した成分の濃度を確実に均一にし易くすることができる。
【００９６】
（７）ダミー体領域１０４ｃ、ダミー体領域１０４ｄ、ダミー体領域２０４ｃ、ダミー体領域２０４ｄ、ダミー体領域３０４ｃ、及びダミー体領域３０４ｄには、検査用液塊体１２１を形成するための吐出とは異なる時点で吐出を実施して、ダミー液塊体１４１を形成する。これにより、ダミー液塊体１４１を形成するための吐出動作が、検査用液塊体１２１を形成するための吐出に影響を与えることを抑制することができる。
【００９７】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【００９８】
（変形例１）前記実施形態においては、上記実施形態において説明した描画方法を用いて、液滴吐出装置１によって機能液を配置することで製造する対象物の一例として、表示装置２００を例に挙げて説明した。表示装置２００は、有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬ表示装置であって、電気光学装置の一例である。しかし、上記実施形態において説明した描画方法を用いて好適に液状体を配置できる対象物は電気光学装置に限らない。上述した描画方法は、製造に際して様々な液状体を配置して加工を実施する様々な加工対象物を加工するための製造方法として利用できる。例えば、液晶表示装置のカラーフィルター用の機能液の印刷や、ラベル印刷の画像の印刷や、捺染の画像の印刷を好適に実施するための方法として利用できる。
【００９９】
（変形例２）前記実施形態においては、液滴吐出装置１を用いて、画素形成区画２９１に機能液を配置し、有機層２４１を構成する正孔注入層２６１と、正孔輸送層２６３と、発光層２６５とを、形成していた。電子注入層２６７も、液滴吐出装置１を用いて、機能液を配置して形成してもよい。マグネシウムと銀とを含む合金の微粒子を含有する機能液を、画素形成区画２９１に配置し、当該機能液を乾燥させることで、電子注入層２６７を形成することができる。
【０１００】
（変形例３）前記実施形態においては、吐出量を測定する対象の吐出ノズルの選択方法については特に規定していなかったが、図８を参照して説明したように、全ての実吐出ノズル２４ａ（吐出ユニット）について測定してもよいし、図１０や図１１を参照して説明したように、描画吐出を実施する実吐出ノズル２４ａ（吐出ユニット）について測定してもよい。また、いわゆる抜き取りで、一部の吐出ノズル（吐出ユニット）について測定してもよい。さらに、休吐出ノズル２４ｂのように描画には使用しない吐出ノズル（吐出ユニット）についても測定してもよい。
【０１０１】
（変形例４）前記実施形態においては、１個の検査用液塊体１２１を形成するために吐出する液滴の数については特に規定していなかったが、検査用液塊体を形成するための液滴の数は、検査用液塊体を、測定可能な大きさにすることができれば、どのような数であってもよい。１滴の液滴の大きさが測定可能な体積を有する場合には、１滴の液滴で１個の検査用液塊体を形成してもよい。１滴の液滴からなる検査用液塊体が体積を測定するためには小さい場合には、複数の液滴で１個の検査用液塊体を形成してもよい。
【０１０２】
（変形例５）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４の中に、描画に際して吐出を実施させない休吐出ノズル２４ｂを設定していたが、そのような吐出ノズル（吐出ユニット）を設定することは必須ではない。吐出ヘッドが備える全ての吐出ノズル（吐出ユニット）を描画に用いる描画方法であってもよい。
【０１０３】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１をＹ軸方向に移動させるＹ軸走査機構を備えていた。しかし、液滴吐出ヘッドを改行方向（上記実施形態でのＹ軸方向）に移動させることは必須ではない。液滴吐出装置は、被描画媒体の全幅に向けて吐出可能なノズル列を備える構成であってもよい。
【０１０４】
（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出装置１において、１回の吐出走査におけるＹ軸方向の描画範囲は、液滴吐出ヘッド２０における、ノズル列２４Ａの長さである。Ｙ軸方向の描画範囲を広げるためには、複数の液滴吐出ヘッドをノズル列の延在方向に連ねてもよい。複数の液滴吐出ヘッドをノズル列の延在方向に連ねることで、１回の吐出走査において機能液を配置することができる幅を、複数の液滴吐出ヘッドが備える複数のノズル列を連ねた長さに相当する幅にすることができる。
【０１０５】
（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出装置１が備える液滴吐出ヘッドの数は特に規定していない。液滴吐出装置は、何個の吐出ヘッドを備える構成であってもよい。
【０１０６】
（変形例９）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は１組のヘッドユニット２１を備えていたが、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは１組に限らない。液滴吐出装置は、何組のヘッドユニットを備える構成であってもよい。
【０１０７】
（変形例１０）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、基板２５１などを載置した媒体載置台３０をＸ軸方向に移動させると共に、液滴吐出ヘッド２０から機能液を吐出させることによって機能液を配置していた。また、ヘッドユニット２１をＹ軸方向に移動することによって、基板２５１などに対する液滴吐出ヘッド２０（吐出ノズル２４）の位置を合わせこんでいた。しかし、液滴吐出ヘッドと被描画媒体との、吐出走査方向（上記実施形態でのＸ軸方向）の相対移動を被描画媒体を移動させることで実施することも、改行方向（上記実施形態でのＹ軸方向）の相対移動を吐出ヘッドを移動させることで実施することも、必須ではない。
吐出ヘッドと被描画媒体との吐出走査方向の相対移動を、吐出ヘッドを吐出走査方向に移動させることで実施してもよい。吐出ヘッドと被描画媒体との改行方向の相対移動を、被描画媒体を改行方向に移動させることで実施してもよい。あるいは、吐出ヘッドと被描画媒体との、吐出走査方向及び改行方向の相対移動を、吐出ヘッド、又は被描画媒体のどちらか一方を、吐出走査方向及び改行方向に移動させることで実施してもよいし、吐出ヘッド、及び被描画媒体の両方を、吐出走査方向及び改行方向に移動させることで実施してもよい。
【符号の説明】
【０１０８】
１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、３…媒体機構部、６…吐出検査ユニット、２０…液滴吐出ヘッド、２４…吐出ノズル、２４Ａ…ノズル列、２４ａ…実吐出ノズル、２４ｂ…休吐出ノズル、３０…媒体載置台、５１…圧力室プレート、５２…振動板、５３…液供給孔、５７…ヘッド隔壁、５８…圧力室、５９…圧電素子、１０１…吐出検査基板、１０２…検査体領域、１０４…ダミー体領域、１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃ，１０４ｄ…ダミー体領域、１２１…検査用液塊体、１４１…ダミー液塊体、２００…表示装置、２０１…吐出検査基板、２０２…検査体領域、２０４…ダミー体領域、２０４ａ，２０４ｂ，２０４ｃ，２０４ｄ…ダミー体領域、２２２…検査体副領域、２３７…有機ＥＬ素子、２４１…有機層、２５９…絶縁膜、２９１…画素形成区画、３０１…吐出検査基板、３０２…検査体領域、３０４…ダミー体領域、３０４ａ，３０４ｂ，３０４ｃ，３０４ｄ…ダミー体領域、３２２…検査体副領域、３４４…ダミー体副領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0005927997.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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