(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動担体を一方向に駆動する第一のアクチュエータユニットと、
前記第一のアクチュエータユニットに駆動力を与える第一の圧電素子と、
前記第一のアクチュエータユニットを前記一方向に駆動する第二のアクチュエータユニットと、
前記第二のアクチュエータユニットに駆動力を与える第二の圧電素子と、
前記第一の圧電素子に駆動電圧を与える第一のドライバと、
前記第二の圧電素子に駆動電圧を与える第二のドライバと、
前記第一のドライバと前記第二のドライバに、時間差を伴う駆動制御信号を与える制御部と
を具備し、
前記制御部は、前記制御部に接続される複数の圧電素子の何れかを駆動した際に前記第一のアクチュエータユニットと前記第二のアクチュエータユニットに発生するリンギングの波長に相当する時間を前記複数の圧電素子の個数で除した時間差を前記駆動制御信号に与える、
駆動制御システム。
【請求項２】
前記第一のアクチュエータユニットは、
金属よりなるキャリアと、
前記キャリアと同一の材質の金属よりなるコンテナと、
前記キャリアと前記コンテナとの間に介在し、前記キャリアと同一の材質の金属よりなる板バネと
を具備する、請求項１記載の駆動制御システム。
【請求項３】
前記板バネは前記被駆動担体の駆動方向に平行な線において線対称の位置に四個設けられている、請求項２記載の駆動制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小距離を移動するアクチュエータ構造体を駆動する駆動制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、ビデオカメラや電子スチルカメラ等に搭載されている、周知のＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子は、微小な光センサが縦横に多数配列されて構成されている。各々の光センサは微小な点における光の強さに応じた信号を出力する。
当該技術分野における技術革新によって、撮像素子の解像度（分解能）は向上しているものの、隣り合う光センサ同士の距離を短く構成する、つまり光センサの集積度を高めることは限界がある。そこで、光センサ同士の距離を擬似的に縮めることで解像度を高めるために、撮像素子を縦方向及び横方向に微小な距離だけ移動させる、という手法が採られる。これ以降、本明細書ではこのような技術を「画素ずらし」と称する。
特許文献１は、同一出願人及び同一発明者による、画素ずらしに関する技術内容を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３９０７５６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されているように、画素ずらしは、微小距離を移動できるアクチュエータ構造体に撮像素子を固定して、アクチュエータ構造体に組み込まれている圧電素子に電圧を印加して微小距離だけ駆動することで実現する。
解像度を向上させるために撮像素子を微小距離にて駆動することから、撮像素子の微小距離の移動に要する時間は短い方が望ましい。特に、被写体が動く場合、微小距離の駆動に要する時間はシャッタースピードに大きく関係する。
ところが、アクチュエータ構造体を圧電素子で駆動すると、アクチュエータ構造体の固有振動によるリンギングが発生し、静定状態に至るまでに時間が掛かる、という問題が見つかった。
【０００５】
本発明はかかる状況に鑑みてなされたものであり、リンギングを極小に抑え、迅速にアクチュエータ構造体を静定する駆動制御システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の駆動制御システムは、被駆動担体を一方向に駆動する第一のアクチュエータユニットと、第一のアクチュエータユニットに駆動力を与える第一の圧電素子と、第一のアクチュエータユニットを一方向に駆動する第二のアクチュエータユニットと、第二のアクチュエータユニットに駆動力を与える第二の圧電素子と、第一の圧電素子に駆動電圧を与える第一のドライバと、第二の圧電素子に駆動電圧を与える第二のドライバとを備える。
そして制御部は、第一のドライバと第二のドライバに、時間差を伴う駆動制御信号を与えると共に、制御部に接続される複数の圧電素子の何れかを駆動した際に第一のアクチュエータユニットと第二のアクチュエータユニットに発生するリンギングの波長に相当する時間を複数の圧電素子の個数で除した時間差を駆動制御信号に与える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明により、アクチュエータ構造体のリンギングを極小に抑え、迅速に静定する駆動制御システムを提供できる。
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に関わる、アクチュエータ構造体を有するカメラユニットの外観斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に関わる、アクチュエータ構造体を有するカメラユニットの分解斜視図である。
【図３】アクチュエータユニットの上面図である。
【図４】アクチュエータユニットのうち、内側キャリア及び板バネを除く部分を点線にて描画した説明図である。
【図５】カメラユニットの駆動制御システムの概略ブロック図である。
【図６】ドライバの回路図である。
【図７】オンオフ制御信号と、圧電素子に印加される電圧と、アクチュエータユニットの変位を示すタイムチャートである。
【図８】アクチュエータユニットのリンギングが打ち消される様子を説明するためのタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［アクチュエータ構造体の外観及び構成］
図１は、本発明の実施形態に関わる、アクチュエータ構造体を有するカメラユニットの外観斜視図である。
図２は、本発明の実施形態に関わる、アクチュエータ構造体を有するカメラユニットの分解斜視図である。
カメラユニット１０１は、撮像素子基板１０２と、第一アクチュエータ１０３と、第二アクチュエータ１０４と、第三アクチュエータ１０５と、第四アクチュエータ１０６と、基台１０７とよりなる。
撮像素子基板１０２は、中心部分に撮像素子１０８が固定されている。撮像素子基板１０２は、第一アクチュエータ１０３にネジ止めされる。
第一アクチュエータ１０３は、第二アクチュエータ１０４にネジ止めされる。
第二アクチュエータ１０４は、第三アクチュエータ１０５にネジ止めされる。
第三アクチュエータ１０５は、第四アクチュエータ１０６にネジ止めされる。
第四アクチュエータ１０６は、基台１０７にネジ止めされる。
【００１０】
第一アクチュエータ１０３、第二アクチュエータ１０４、第三アクチュエータ１０５及び第四アクチュエータ１０６は、全く同一形状である。これ以降、第一アクチュエータ１０３、第二アクチュエータ１０４、第三アクチュエータ１０５及び第四アクチュエータ１０６を総称する際は、アクチュエータユニット３０１と呼ぶ。そして、第一アクチュエータ１０３、第二アクチュエータ１０４、第三アクチュエータ１０５及び第四アクチュエータ１０６による組立体を、アクチュエータ構造体１０９と呼ぶ。つまり、カメラユニット１０１は、撮像素子基板１０２と、アクチュエータ構造体１０９と、基台１０７とよりなる。
なお、各々のアクチュエータユニット３０１がネジ止めされる際、図示しないワッシャを挟んでネジ止めされる。したがって、アクチュエータユニット３０１同士と、撮像素子基板１０２と第一アクチュエータ１０３との間と、第四アクチュエータ１０６と基台１０７との間には、ワッシャの厚みに相当する隙間が存在する。これら隙間が存在することで、アクチュエータユニット３０１同士と、撮像素子基板１０２と第一アクチュエータ１０３と、第四アクチュエータ１０６と基台１０７とは、図３にて後述する圧電素子によって相対的に変位可能である。
アクチュエータ構造体１０９を縦方向及び横方向に微小距離だけ駆動することで、撮像素子１０８を構成する光センサ同士の距離より高い分解能を実現できる。
【００１１】
図３は、アクチュエータユニット３０１の上面図である。
図４は、アクチュエータユニット３０１のうち、内側キャリア及び板バネを除く部分を点線にて描画した説明図である。
アクチュエータユニット３０１は厚み２．５ｍｍの、正方形のステンレス鋼を切削加工して形成される。なお、アクチュエータユニット３０１の形状は、必ずしも正方形でなくてもよい。
アクチュエータユニット３０１はその切削加工によって、外縁コンテナ３０２と内側キャリア３０３と、板バネ３０４ａ、３０４ｂ、３０４ｃ及び３０４ｄに分けられる。外縁コンテナ３０２と内側キャリア３０３との間には駆動空間Ｓ３０５が設けられており、駆動空間Ｓ３０５には圧電素子Ｐ６１５が圧入されている。
内側キャリア３０３に設けられている二つのネジ穴Ｈ３０６及びＨ３０７は、図示しない皿ネジの頭が嵌るようにテーパ状の加工が施されている。
外縁コンテナ３０２に設けられている二つのネジ穴Ｈ３０８及びＨ３０９は、皿ネジの軸に対応するネジ溝の加工が施されている。
外縁コンテナ３０２に設けられている二つのネジ穴Ｈ３０８及びＨ３０９を結ぶ線Ｌ３１０は、外縁コンテナ３０２の移動方向と平行である。外縁コンテナ３０２及び内側キャリア３０３は、この線Ｌ３１０において線対称に形成される。
【００１２】
図４を見て判るように、アクチュエータユニット３０１は内側キャリア３０３のネジ穴が下側に配置される基台１０７或は他のアクチュエータユニット３０１の外延コンテナのネジ穴に、ネジ止めされる。そして、圧電素子Ｐ６１５に例えば＋８０Ｖ程度の直流電圧を印加すると、線に平行な矢印の方向に膨張する。すると、内側キャリア３０３が他の部材にネジ止めされているので、相対的に外縁コンテナ３０２が矢印の方向に移動する。本実施形態のアクチュエータユニット３０１の場合、最大で１７μｍ程、相対的に移動できる。また、圧電素子Ｐ６１５に印加する電圧を制御することで、変位量を制御できる。
【００１３】
図２を見て判るように、第一アクチュエータ１０３は、第二アクチュエータ１０４の配置に対して直角の向きにて固定される。
同様に、第二アクチュエータ１０４は、第三アクチュエータ１０５の配置に対して直角の向きにて固定される。第三アクチュエータ１０５は、第四アクチュエータ１０６の配置に対して直角の向きにて固定される。
ここで、第一アクチュエータ１０３と第三アクチュエータ１０５は、外縁コンテナ３０２を図２の矢印Ｒ２０５の方向に駆動すること、同様に第二アクチュエータ１０４と第四アクチュエータ１０６は、外縁コンテナ３０２を矢印Ｒ２０５と直交する、図２の矢印Ｒ２０６の方向に駆動することに注目されたい。
【００１４】
アクチュエータユニット３０１は、厳密な直線移動を実現するため、図３の点線において線対称であることが求められる。
線対称の形状及び配置であればよいので、例えば板バネ３０４ａ、３０４ｂ、３０４ｃ及び３０４ｄの配置は図３のような正方形の配置でなくてもよく、例えば台形の各頂点に相当する位置に配置されていてもよい。しかし、線対称でなければならないので、平行四辺形等の線対称でない配置形状は望ましくない。
【００１５】
［駆動制御システム及びドライバの構成］
図５はカメラユニット１０１の駆動制御システム５０１の概略ブロック図である。
パソコン等の指令情報出力装置５０２から指令情報を送信すると、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）或はＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等で構成される第一制御部５０３は、第一ドライバ５０４及び第三ドライバ５０５に圧電素子Ｐ６１５を駆動するための制御信号を出力する。
第一ドライバ５０４と第二ドライバは全く同じ回路で構成され、制御信号に従って圧電素子Ｐ６１５に例えば＋８０Ｖ程度の駆動電圧を印加する。
第一ドライバ５０４は第一アクチュエータ１０３に圧入されている第一圧電素子Ｐ２０１に駆動電圧を印加する。
第三ドライバ５０５は第三アクチュエータ１０５に圧入されている第三圧電素子Ｐ２０３に駆動電圧を印加する。
第一制御部５０３は、第一制御信号生成部５０６と第二制御信号生成部５０７とディレイ５０８よりなる。
ディレイ５０８は、アクチュエータ構造体１０９の固有振動周波数の半周期に相当する時間だけ、指令情報出力装置５０２から入力される指令情報の出力タイミングを遅らせる。
【００１６】
指令情報出力装置５０２には、第一制御部５０３の他に、第二制御部５０９も接続されている。
第二制御部５０９は第一制御部５０３と内部構成が全く同じである。
指令情報出力装置５０２が指令情報を送信すると、第二制御部５０９は、第二ドライバ５１０及び第四ドライバ５１１に圧電素子Ｐ６１５を駆動するための制御信号を出力する。
第二ドライバ５１０と第四ドライバ５１１は前述の第一ドライバ５０４と全く同じ回路で構成されている。
第二ドライバ５１０は第二アクチュエータ１０４に圧入されている第二圧電素子Ｐ２０２に駆動電圧を印加する。
第四ドライバ５１１は第四アクチュエータ１０６に圧入されている第四圧電素子Ｐ２０４に駆動電圧を印加する。
これ以降、第一ドライバ５０４、第三ドライバ５０５、第二ドライバ５１０及び第四ドライバ５１１を総称する際はドライバ６０１と称する。
【００１７】
図６はドライバ６０１の回路図である。
直流の駆動電圧Ｅ６０１（＋８０Ｖ）は、抵抗Ｒ６０２及びＲ６０３に印加される。
トランジスタスイッチＱ６０４がオンになると、抵抗Ｒ６０２とＲ６０５によって分圧された電圧がＦＥＴＱ６０６のゲートに印加される。
トランジスタスイッチＱ６０７がオンになると、抵抗Ｒ６０２とＲ６０８によって分圧された電圧がＦＥＴＱ６０６のゲートに印加される。
トランジスタスイッチＱ６０４とＱ６０７はどちらか一方又は両方がオン・オフされる。
抵抗Ｒ６０５と抵抗Ｒ６０８の抵抗値が異なっているので、ＦＥＴＱ６０６のゲートに印加される電圧は、トランジスタスイッチＱ６０４とＱ６０７の何れをオン制御するかで変化する。
【００１８】
ＦＥＴＱ６０６のドレインには抵抗Ｒ６０３を通じて駆動電圧Ｅ６０１が印加される。
ＦＥＴＱ６０６のソースにはトランジスタスイッチＱ６０９のエミッタが接続される。
トランジスタスイッチＱ６０９のエミッタとベースには抵抗Ｒ６１０が接続される。
トランジスタスイッチＱ６０９のベースには抵抗Ｒ６１１を通じてトランジスタスイッチＱ６１２が接続される。
トランジスタスイッチＱ６０９のコレクタにはコンデンサＣ６１３と、抵抗Ｒ６１４と、圧電素子Ｐ６１５が接続される。
抵抗Ｒ６１４にはトランジスタスイッチＱ６１６のコレクタが接続される。
トランジスタスイッチＱ６０４、Ｑ６０７、Ｑ６１２、Ｑ６１６はそれぞれ、抵抗Ｒ６１７、Ｒ６１８、Ｒ６１９、Ｒ６２０を通じて＋５Ｖが印加される。
【００１９】
［動作］
図６のドライバ６０１の動作について、図７を参照しながら説明する。
図７（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、オンオフ制御信号と、圧電素子Ｐ６１５に印加される電圧と、アクチュエータユニット３０１の変位を示すタイムチャートである。
図７（ａ）は、指令情報出力装置５０２が出力する指令情報のうち、トランジスタスイッチＱ６０９のオンオフ制御信号を抜粋したものである。
図７（ｂ）は、圧電素子Ｐ６１５に印加される電圧の波形である。
コンデンサＣ６１３をチャージする際は、ｔ７０１の時点でＱ６０４又はＱ６０７をオン制御して、Ｑ６１２をオン制御して、Ｑ６１６はオフ制御する。
すると、コンデンサＣ６１３が充電され、電位（Ｑ６０６のソースの電位と略等しい）がｔ７０２の時点まで上昇していく。電位の上昇の傾きは、抵抗Ｒ６０３とコンデンサＣ６１３が形成する時定数によって決まる。
ＦＥＴＱ６０６のソースの電位がＱ６０６のゲートの電位と等しくなると、Ｑ６０６はオフ制御される。したがって、抵抗Ｒ６０２と抵抗Ｒ６０５とで分圧される電圧が、ＦＥＴＱ６０６のソースの電圧となる。
コンデンサＣ６１３をディスチャージする際は、Ｑ６０４及びＱ６０７はオフでもオンでもよい代わりに、Ｑ６１２をオフ制御して、Ｑ６１６はオン制御する。
ｔ７０３の時点でＱ６１２がオフになると、抵抗Ｒ６１０によってＱ６０９のベースの電位はエミッタと同じになり、ベース電流が流れなくなるので、Ｑ６０９はオフ制御される。
そして、ｔ７０３の時点でＱ６１６をオン制御すると、コンデンサＣ６１３と圧電素子Ｐ６１５に残っていた電荷は、ｔ７０４の時点までＲ６１４を通じて放電される。放電によって下降するコンデンサＣ６１３の電位の傾きは、抵抗Ｒ６１４とコンデンサＣ６１３が形成する時定数によって決まる。
【００２０】
図７（ｂ）に示すように、圧電素子Ｐ６１５に対して電圧を印加するオン動作は、抵抗Ｒ６０３とコンデンサＣ６１３が形成する時定数によって所定の傾きを伴って電位が上昇する。そして、圧電素子Ｐ６１５に対して印加していた電圧を解放するオフ動作は、抵抗Ｒ６１４とコンデンサＣ６１３が形成する時定数によって所定の傾きを伴って電位が下降する。この駆動電圧の傾きは、アクチュエータユニット３０１に急激な力を与えると強いリンギングが発生してしまうので、このリンギングを抑制するために設けられている。
ところが、実際に圧電素子Ｐ６１５によって駆動されるアクチュエータユニット３０１の変位は、圧電素子Ｐ６１５の駆動電圧、転じて駆動力に傾きを付けてもなお、図７（ｃ）に示すようにリンギングＲ７０５を伴う。このリンギングＲ７０５は、アクチュエータユニット３０１の共振周波数に一致する。丁度、圧電素子Ｐ６１５がアクチュエータユニット３０１を叩くハンマーのような役割になってしまっている。このリンギングＲ７０５が発生してしまうために、アクチュエータユニット３０１はリンギングＲ７０５が収まるまでその位置を静定できない。
そこで、このリンギングＲ７０５を抑えるために、同一方向に駆動するアクチュエータを二つ設けて、片方のアクチュエータを駆動した時点から、アクチュエータユニット３０１の共振周波数の半波長に相当する時間だけ遅らせて、もう片方のアクチュエータを駆動する。
【００２１】
図８（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、アクチュエータユニット３０１のリンギングが打ち消される様子を説明するためのタイムチャートである。
図８（ａ）は、第一アクチュエータ１０３の変位を示すタイムチャートである。
図８（ｂ）は、第三アクチュエータ１０５の変位を示すタイムチャートである。
図２に示したように、第一アクチュエータ１０３と第三アクチュエータ１０５は同一の方向に外縁コンテナ３０２を駆動する。
今、図８（ａ）の時点ｔ８０１にて、第一アクチュエータ１０３を駆動する。そして、アクチュエータユニット３０１のリンギングの周波数の半波長に相当する時間だけ遅れた時点ｔ８０２にて、第三アクチュエータ１０５を駆動する。すると、リンギングの周波数成分は逆位相であるために打ち消されて、撮像素子基板１０２は図８（ｃ）に示すようにリンギングの成分が消滅すると共に、二つのアクチュエータユニット３０１の変位量が加算される。結果として、被駆動担体である撮像素子基板１０２の静定時間が短縮されると共に、微小な圧電素子Ｐ６１５の変位量を倍増させることができる。
【００２２】
以上の説明より、アクチュエータユニット３０１のリンギングを効果的に打ち消すためには、第一アクチュエータ１０３及び第三アクチュエータ１０５に圧入される圧電素子Ｐ６１５は、同一形状であることが望ましい。同じ電圧を印加して、同じ距離の伸張変形を生じさせることが必要になる。
【００２３】
以上説明した実施形態には、以下に記す応用例が可能である。
（１）アクチュエータユニット３０１の材質は、ステンレスに限られない。切削加工して板バネ３０４ａ、３０４ｂ、３０４ｃ及び３０４ｄを形成する関係上、弾性を有する金属であることが望ましい。一例としては、鉄や黄銅等が考えられる。
【００２４】
（２）本実施形態ではカメラユニット１０１を開示したが、アクチュエータ構造体１０９によって駆動される対象は撮像素子１０８に限られない。一例として、光学機器関係の部材なら、レーザダイオード等の発光素子や偏光フィルタ等の光投影部材を取り付けることが考えられる。
【００２５】
（３）本実施形態のアクチュエータユニット３０１は、内側キャリア３０３が他の部材に固定され、外縁コンテナ３０２が圧電素子Ｐ６１５によって駆動される構成であった。この駆動関係は相対的なものなので、外縁コンテナ３０２が固定された状態で内側キャリア３０３が駆動される構成であってもよい。
【００２６】
（４）本実施形態のアクチュエータ構造体１０９は、アクチュエータユニット３０１を二つ用いてリンギングのキャンセルを行った。リンギングのキャンセル処理は二段に限らず、三段以上の複数段を用いてもよい。一例として、三段の場合はリンギングの波長をλとすると、λ／３（段数分のλ）に相当する時間だけ遅延させる。つまり、二つ目の圧電素子にはλ／３に相当する時間のディレイを設定し、三つ目の圧電素子には２λ／３に相当する時間のディレイを設定する。
【００２７】
本実施形態では、アクチュエータ構造体１０９を駆動する駆動制御システム５０１を開示した。
圧電素子Ｐ６１５によって微小距離を駆動されるアクチュエータ構造体１０９から発生してしまうリンギングを低減させるために、第一アクチュエータ１０３を駆動する第一圧電素子Ｐ２０１と、第三アクチュエータ１０５を駆動する第三圧電素子Ｐ２０３とを駆動するタイミングを、アクチュエータ構造体１０９の固有振動周波数の半波長に相当する時間だけ相対的にずらす。第一アクチュエータ１０３から発生するリンギングは第三アクチュエータ１０５から半波長遅れて発生するリンギングによって打ち消され、結果として被駆動担体の静定時間が短縮される。
【００２８】
以上、本発明の実施形態例について説明したが、本発明は上記実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、他の変形例、応用例を含む。
例えば、上記した実施形態例は本発明をわかりやすく説明するために装置及びシステムの構成を詳細且つ具体的に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることは可能であり、更にはある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることも可能である。
また、上記の各構成、機能、処理部等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路で設計するなどによりハードウェアで実現してもよい。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行するためのソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、ＳＳＤ（Solid State Drive）等の揮発性或は不揮発性のストレージ、または、ＩＣカード、光ディスク等の記録媒体に保持することができる。
また、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしもすべての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には殆ど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。
【符号の説明】
【００２９】
１０１…カメラユニット、１０２…撮像素子基板、１０３…第一アクチュエータ、１０４…第二アクチュエータ、１０５…第三アクチュエータ、１０６…第四アクチュエータ、１０７…基台、１０８…撮像素子、１０９…アクチュエータ構造体、Ｐ２０１…第一圧電素子、Ｐ２０２…第二圧電素子、Ｐ２０３…第三圧電素子、Ｐ２０４…第四圧電素子、３０１…アクチュエータユニット、３０２…外縁コンテナ、３０３…内側キャリア、３０４ａ、３０４ｂ、３０４ｃ、３０４ｄ…板バネ、Ｈ３０６、Ｈ３０７、Ｈ３０８、Ｈ３０９…ネジ穴、５０１…駆動制御システム、５０２…指令情報出力装置、５０３…第一制御部、５０４…第一ドライバ、５０５…第三ドライバ、５０６…第一制御信号生成部、５０７…第二制御信号生成部、５０８…ディレイ、５０９…第二制御部、５１０…第二ドライバ、５１１…第四ドライバ、６０１…ドライバ、Ｑ６０６…ＦＥＴ、Ｑ６０４、Ｑ６０７、Ｑ６０９、Ｑ６１２、Ｑ６１６…トランジスタスイッチ、Ｒ６０２、Ｒ６０３、Ｒ６０５、Ｒ６０８、Ｒ６１０、Ｒ６１１、Ｒ６１４、Ｒ６１７…抵抗、Ｃ６１３…コンデンサ、Ｐ６１５…圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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