(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック振動板と少なくとも１層の圧電セラミック層とが積層されて構成されており、前記圧電セラミック層側の第１主面と、前記セラミック振動板側の第２主面とを有する積層体と、
前記第１主面に配置されている第１表面電極と、
前記積層体の内部に配置されている内部電極と、
前記圧電セラミック層に設けられた貫通孔の内部に配置されて、前記第１表面電極と前記内部電極とを接続する貫通導体と、
を備えており、
前記第１主面における前記貫通孔の縁部に、前記セラミック振動板と反対側に向かって突出している突部を有しており、
前記突部は、前記貫通孔の縁部の１／３周〜２／３周に渡って存在することを特徴とする圧電アクチュエータ基板。
【請求項２】
セラミック振動板と少なくとも１層の圧電セラミック層とが積層されて構成されており、前記圧電セラミック層側の第１主面と、前記セラミック振動板側の第２主面とを有する積層体と、
前記第１主面に配置されている第１表面電極と、
前記積層体の内部に配置されている内部電極と、
前記圧電セラミック層に設けられた貫通孔の内部に配置されて、前記第１表面電極と前記内部電極とを接続する貫通導体と、
を備えており、
前記第１主面における前記貫通孔の縁部に、前記セラミック振動板と反対側に向かって突出している突部を有しており、
前記貫通孔を含むように前記圧電セラミック層を厚さ方向に切断した断面において、前記突部は、前記第１主面における前記貫通孔の一方の縁部に存在し、前記第１主面における前記貫通孔の他方の縁部に存在しないことを特徴とする圧電アクチュエータ基板。
【請求項３】
前記セラミック振動板の前記圧電セラミック層側の表面に、前記貫通孔の内部へ向かって突出する凸部を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電アクチュエータ基板。
【請求項４】
前記第２主面の前記貫通孔と重なる領域に凹部を有していることを特徴とする請求項１
〜３のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板。
【請求項５】
前記第１主面上にマトリクス状に配置された複数の第２表面電極を有していることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板。
【請求項６】
前記圧電アクチュエータ基板と対向するように配置されたフレキシブル配線基板を有しており、前記圧電セラミック層は、前記フレキシブル配線基板側に露出しており、前記貫通孔は前記フレキシブル配線基板に向かって開口しており、前記突部は前記フレキシブル配線基板側へ突出していることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板。
【請求項７】
前記第１主面上にマトリクス状に配置された複数の第２表面電極を有しており、該第２表面電極と、前記フレキシブル配線基板に設けられた電極とが、導電性バンプを介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項６に記載の圧電アクチュエータ基板。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の圧電アクチュエータ基板と、該圧電アクチュエータ基板に積層されており、液体を吐出する吐出孔を有する流路部材とを含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項８に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記圧電アクチュエータ基板を制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なうインクジェットヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、マニホールド（共通流路）およびマニホールドから複数の加圧室をそれぞれ介して繋がる吐出孔を有した平板状の流路部材と、加圧室をそれぞれ覆うように設けられた複数の変位素子を有する圧電アクチュエータ基板とを積層して構成される（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００３】
この圧電アクチュエータ基板は、圧電セラミック層とセラミック振動板とを積層したものであり、変位素子は、圧電アクチュエータ基板の内部にある共通電極と、圧電アクチュエータ基板の表面にある複数の個別電極と、その間の圧電セラミック層とで構成されている。そして、共通電極は、圧電セラミック層に設けられている貫通孔中の導体を介して外部と導通するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３０５８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されているような圧電アクチュエータ基板は、製造工程において、貫通孔中の導体と共通電極とが接続されない不良の発生率が高く、製造コストが高くなっていた。また、電気的に接続された状態であっても、接続が充分でないことがあるため、長期的な使用において断線するおそれがあった。
【０００６】
したがって、本発明の目的は、貫通孔部分の接続信頼性の高い圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電アクチュエータ基板は、セラミック振動板と少なくとも１層の圧電セラミック層とが積層されている積層体と、該積層体の前記圧電セラミック層側の主面に配置されている第１表面電極と、前記積層体の内部に配置されている内部電極と、該内部電極と繋がるように前記圧電セラミック層を貫通している貫通孔と、前記圧電セラミック層側の主面に、前記貫通孔を覆うように配置されている第２表面電極とを備えている圧電アクチュエータ基板であって、前記貫通孔の縁部の前記圧電セラミック層が、前記圧電セラミック層側の主面から外側に向かって突出している突部を有していることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の液体吐出ヘッドは、圧電アクチュエータ基板と、該圧電アクチュエータ基板に積層されており、液体を吐出する吐出孔を有する流路部材とを含むことを特徴とする。
【０００９】
さらに、本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記圧電アクチュエータ基板を制御する制御部とを備えてい
ることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の圧電アクチュエータ基板によれば、貫通孔の縁部に突部があることから、貫通孔内に第２表面電極が入り込み易くでき、第２表面電極と内部電極とが接続され易くできる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は平面図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図である。
【図３】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図４】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る圧電アクチュエータ基板の平面図である。
【図６】（ａ）は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図であり、（ｂ）は、図３の貫通孔周囲の拡大平面図であり、（ｃ）は、（ｂ）のＸ−Ｘの部分の平面図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、圧電アクチュエータ基板の製造工程における、貫通孔周囲の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置である（カラーインクジェット）プリンタ１の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐを搬送ローラ８０ａから搬送ローラ８０ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。
【００１３】
本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
【００１４】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行するように平板状の（ヘッド搭載）フレーム７０が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。
【００１５】
液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置
されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
【００１６】
４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体（インク）が供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。
【００１７】
プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度（搬送速度）を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。
【００１８】
さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。
【００１９】
プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０ｂは、搬送ローラ８２ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、５０ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。
【００２０】
記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、印刷用紙Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどであってもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
【００２１】
また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
【００２２】
次に、本発明の一実施形態の液体吐出ヘッド２について説明する。図２は、図１に示された液体吐出ヘッド２の要部であるヘッド本体１３を示す平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体１３の一部である。図３では、説明のため、一部の流路を省略して描いている。図４は、図３と同じ位置の拡大平面図であり、図３とは別の一部の流路を省略して描いている。図５は、圧電アクチュエータ基板
２１の平面図である。図６（ａ）は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図であり、（ｂ）は、圧電アクチュエータ基板２１の貫通孔３８周囲の拡大平面図であり、（ｃ）は、（ｂ）のＸ−Ｘ線における部分の縦断面図である。なお、図３および図４において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべき加圧室１０（加圧室群９）、しぼり１２および吐出孔８などを実線で描いている。図５、図６（ｂ）でも同様に、貫通孔３８などを実線で描いている。
【００２３】
ヘッド本体１３は、平板状の流路部材４と、流路部材４上に、接着積層された圧電アクチュエータ基板２１とを有している。圧電アクチュエータ基板２１は台形形状を有しており、その台形の１対の平行対向辺が流路部材４の長手方向に平行になるように流路部材４の上面に配置されている。また、流路部材４の長手方向に平行な２本の仮想直線のそれぞれに沿って２つずつ、つまり合計４つの圧電アクチュエータ基板２１が、全体として千鳥状に流路部材４上に配列されている。流路部材４上で隣接し合う圧電アクチュエータ基板２１の斜辺同士は、流路部材４の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータ基板２１を駆動することにより印刷される領域では、２つの圧電アクチュエータ基板２１により吐出された液滴が混在して着弾することになる。
【００２４】
流路部材４の内部には液体流路の一部であるマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材４の上面にはマニホールド５の開口５ｂが形成されている。開口５ｂは、流路部材４の長手方向に平行な２本の直線（仮想線）のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。開口５ｂは、４つの圧電アクチュエータ基板２１が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド５には開口５ｂを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。
【００２５】
流路部材４内に形成されたマニホールド５は、複数本に分岐している（分岐した部分のマニホールド５を副マニホールド５ａということがある）。開口５ｂに繋がるマニホールド５は、圧電アクチュエータ基板２１の斜辺に沿うように延在しており、流路部材４の長手方向と交差して配置されている。２つの圧電アクチュエータ基板２１に挟まれた領域では、１つのマニホールド５が、隣接する圧電アクチュエータ基板２１に共有されており、副マニホールド５ａがマニホールド５の両側から分岐している。これらの副マニホールド５ａは、流路部材４の内部の各圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に互いに隣接してヘッド本体１３の長手方向に延在している。
【００２６】
流路部材４は、複数の加圧室１０がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されている４つの加圧室群９を有している。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。加圧室１０は流路部材４の上面に開口するように形成されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域のほぼ全面に渡って配列されている。したがって、これらの加圧室１０によって形成された各加圧室群９は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接着されることで閉塞されている。
【００２７】
本実施形態では、図３に示されているように、マニホールド５は、流路部材４の短手方向に互いに平行に並んだ４列のＥ１〜Ｅ４の副マニホールド５ａに分岐し、各副マニホールド５ａに繋がった加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に４列配列されている。副マニホールド５ａに繋がった加圧室１０の並ぶ列は副マニホールド５ａの両側に２列ずつ配列されている。
【００２８】
全体では、マニホールド５から繋がる加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各加圧室列に含まれる加圧室１０の数は、アクチュエータである変位素子５０の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。吐出孔８もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で画像形成が可能となっている。
【００２９】
つまり、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図３に示した仮想直線のＲの範囲に、各副マニホールド５ａに繋がっている４つの吐出孔８、つまり全部で１６個の吐出孔８が６００ｄｐｉの等間隔になっている。また、各副マニホールド５ａには平均すれば１５０ｄｐｉに相当する間隔で個別流路３２が接続されている。これは、６００ｄｐｉ分の吐出孔８を４つの列の副マニホールド５ａに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド５ａに繋がる個別流路３２が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド５ａの延在方向、すなわち主走査方向に平均１７０μｍ（１５０ｄｐｉならば２５．４ｍｍ／１５０＝１６９μｍ間隔である）以下の間隔で個別流路３２が形成されているということである。
【００３０】
圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０および後述のダミー加圧室に対向する位置には後述する個別電極３５がそれぞれ形成されている。すなわち、個別電極３５は、圧電アクチュエータ基板２１の上面に、第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている。個別電極３５は加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する領域内に収まるように配置されている。
【００３１】
流路部材４の下面の液体吐出面には多数の吐出孔８が形成されている。これらの吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置された副マニホールド５ａと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔群は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子５０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。吐出孔８の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の吐出孔８は、流路部材４の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。
【００３２】
以上の流路は、液滴の吐出に直接関係する流路であるが、流路部材４には、図では省略してあるダミー加圧室が設けられている。ダミー加圧室は、加圧室１０が設けられている台形状の領域の周囲に一列形成されている。ダミー加圧室により、加圧室１０のうちの最も外側にある加圧室１０の周囲の流路部材４の剛性などが、他の加圧室１０の状態と近くなるので、液体吐出特性のばらつきを少なくできる。ダミー加圧室の形状は加圧室と同じであるが、他の流路に繋がってはいない。ダミー加圧室の配置は、加圧室１０のマトリクス状の配置を延長するように配置される。 
【００３３】
ヘッド本体１３に含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャ（しぼり）プレート２４、サプライプレート２５、２６、マニホールドプレート２７、２８、２９、カバープレート３０およびノズルプレート３１である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路３２および副マニホールド５ａを構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体１３は、図６に示されているように、加圧室１０は流路部材４の上面に、副マニホールド５ａは内部の下面側に、吐出孔８は下面にと、個別流路３２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室１０を介して副マニ
ホールド５ａと吐出孔８とが繋がる構成を有している。
【００３４】
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート２２に形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端から副マニホールド５ａへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート２３（詳細には加圧室１０の入り口）からサプライプレート２５（詳細には副マニホールド５ａの出口）までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート２４に形成されたしぼり１２と、サプライプレート２５、２６に形成された個別供給流路６とが含まれている。
【００３５】
第３に、加圧室１０の他端から吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔である。この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称される。ディセンダは、ベースプレート２３（詳細には加圧室１０の出口）からノズルプレート３１（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート２７〜２９に形成されている。
【００３６】
このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド５ａからの液体の流入口（副マニホールド５ａの出口）から吐出孔８に至る個別流路３２を構成している。副マニホールド５ａに供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、副マニホールド５ａから上方向に向かって、個別供給流路６を通り、しぼり１２の一端部に至る。次に、しぼり１２の延在方向に沿って水平に進み、しぼり１２の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔８へと進む。
【００３７】
圧電アクチュエータ基板２１は、図６に示されるように、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂの厚さは、それぞれ１５〜２５μｍ程度である。圧電アクチュエータ基板２１は、流路部材４の加圧室１０の開口している平面状の面に積層されており、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している（図３参照）。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。圧電セラミック層２１ａは、セラミック振動板として働いており、圧電性を有する必要性は特になく、ジルコニアなどの他のセラミックス材料を用いてもよい。
【００３８】
圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる、内部電極である共通電極３４、Ａｕ系などの金属材料からなる第１表面電極である個別電極３５、個別電極３５の上に形成されているＡｇ系などの金属材料からなる接続ランド３６を有している。個別電極３５だけをＡｇ系の金属材料で形成してもよい。個別電極３５は上述のように圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０およびダミー加圧室と対向する位置に配置されている個別電極本体３５ａと、個別電極本体３５ａから加圧室１０のない位置まで引き出されている接続電極３５ｂとを含んでいる。Ａｕ系導体の形成する場合の個別電極３５の厚さは、０．３〜１μｍであり、Ａｇ系導体の形成する場合の個別電極３５の厚さは、１〜３μｍである。接続電極３５ｂには接続ランド３６が形成されている。接続ランド３６は例えばガラスフリットを含む銀からなり、厚さが５〜１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続ランド３６には、必要に応じてさらに導電性樹脂などからなる接続バンプを形成した上、図示されていないＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極３５には、制御部８８からＦＰＣを通じて駆動信号（駆動電圧）が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
【００３９】
なお、以上は、圧電アクチュエータ基板２１が２層の圧電セラミック層の場合の構造であるが、３層以上の圧電セラミック層を積層して、個別電極３５と共通電極３４が交互になるように配置してもよい。
【００４０】
個別電極３５は、圧電アクチュエータ基板２１の一方の主面の略全面に渡ってマトリクス状に形成されている。すなわち、第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている。
【００４１】
なお、個別電極３５のうち列Ａ、Ｂ、Ｃの個別電極は、その直下がダミー加圧室となるダミー個別電極４５である。このダミー個別電極４５から引き出される接続電極の一部には、ダミー接続ランド４６が形成されている。また、ダミー接続ランド４６は、個別電極３５（ダミー個別電極３５を含む）が形成されていない部分に単独にも形成されていて、圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４を接合するときに加わる圧力を均等化することができる。
【００４２】
共通電極３４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面に渡って形成されている。すなわち、共通電極３４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内の全ての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極３４の厚さは０．７μｍ程度である。共通電極３４は複数の貫通孔３８中に入り込んでいる第２表面電極である共通電極用表面電極３７と電気的に繋がっており、さらに外部と電気的に繋がっている。図５（ｂ）では、共通電極用表面電極３７を構成する材料が貫通孔３８の上部に入り込んでいる。共通電極用表面電極３７は、この貫通孔３８の上部に入り込んだ部分を含んで定義されてもよいし、圧電セラミック層２１ｂのＦＰＣ側の表面を基準として定義されてもよい（貫通孔３８の上部に入り込んだ部分は貫通導体３９の一部と捉えてもよい）。以下では、説明の便宜上、前者の定義にしたがって説明する。貫通孔３８の直径は５０〜２００μｍ程度である。貫通孔３８は、共通電極用表面電極３７が入り込みやすいように、貫通孔３８の縁部３８ａが、圧電セラミック層２１ｂの表面から外に向かうように突出している突部３８ａａとなっている。特にスクリーン印刷などで、共通電極用表面電極３７となる導体ペーストを印刷する場合に、突部３８ａａが、縁部３８ａの周囲全体に対して１／３周〜２／３周に渡って存在していれば、スキージで、導体ペーストを突部３８ａａがない側から印刷することで、導体ペーストが貫通孔３８に入り込みやすく、電気的接続の信頼性を高くできる。
【００４３】
共通電極用表面電極３７は、例えば、接続ランド３６と同一の導電材料により構成されるとともに、接続ランド３６と同一の厚さを有している。なお、これらは複数の導電層が積層されて構成されていてもよい。また、共通電極用表面電極３７および接続ランド３６は、互いに異なる材料から構成されていてもよいし、互いに異なる厚さとされていてもよい。共通電極用表面電極３７の平面形状は、貫通導体３９に接続される部分、およびＦＰＣに電気的に接続される接続バンプが配置される部分がパッド状に面積が広くされるなど、適宜なものとされてよい。
【００４４】
貫通導体３９は、共通電極用表面電極３７および共通電極３４等と同一の導電材料により形成されていてもよいし、異なる導電材料により構成されていてもよい。貫通導体３９（貫通孔３８）の平面形状は、適宜な形状とされてよく、例えば、円形である。
【００４５】
個別電極３５の引出電極４７ｂとＦＰＣが有するパッドとが接続バンプによって接合される。これにより、圧電アクチュエータ基板２１とＦＰＣとは互いに対向して配置される。ＦＰＣが圧電アクチュエータ基板２１の表面の変位素子５０と接触すると、変位素子５０の変位が抑制されて、液体の吐出特性が変わるおそれがある。突部３８ａａが存在する
ことでＦＰＣは、圧電アクチュエータ基板２１の平坦な面から離されることになるため、上述の接触が起こる可能性を少なくすることができる。このような構造は、圧電アクチュエータ基板２１とＦＰＣとの平均的な間隔が、例えば、２０μｍ以下と小さい場合に特に有効である。
【００４６】
図６（ａ）に示されるように、共通電極３４と個別電極３５とは、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層２１ｂにおける個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには厚み方向に分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータ基板２１においては、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック２１ａは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータ基板２１はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。
【００４７】
なお、後述のように、個別電極３５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極３５に対応する加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路３２を通じて、対応する吐出孔８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ基板２１における各加圧室１０に対向する部分は、各加圧室１０および吐出孔８に対応する個別の変位素子５０（アクチュエータ）に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図６に示されているような構造を単位構造とする変位素子５０が加圧室１０毎に、加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極３４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極３５により作り込まれており、圧電アクチュエータ基板２１には変位素子５０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって吐出孔８から吐出される液体の量は５〜７ｐＬ（ピコリットル）程度である。
【００４８】
多数の個別電極３５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがＦＰＣ上のコンタクトおよび配線を介して、個別に制御部８８に電気的に接続されている。
【００４９】
本実施形態における圧電アクチュエータ基板２１の液体吐出時の駆動方法の一例を、個別電極３５に供給される駆動電圧（駆動信号）に関して説明する。個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。電界が加わったとき、圧電セラミック層２１ｂは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向に収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層２１ａは、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータ基板２１は、上側（つまり、加圧室１０とは離れた側）の圧電セラミック層２１ｂを、活性部を含む層とし、かつ下側（つまり、加圧室１０に近い側）の圧電セラミック層２１ａを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。
【００５０】
この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極３５を共通電極３４に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００５１】
本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極３５を共通電極３４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位と
する。これにより、個別電極３５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが元の形状に戻り、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが加圧室１０側へ凸となるように変形し、加圧室１０の容積減少により加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極３５に供給することになる。このパルス幅は、加圧室１０内において圧力波がマニホールド５から吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。
これによると、加圧室１０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
【００５２】
ここで、貫通孔３８およびその縁部３８ａに存在する突部３８ａａについて詳述する。図６（ｂ）および図６（ｃ）に示すように、圧電セラミック層２１ｂは、貫通孔３８の縁部３８ａに、ＦＰＣ側に突出する突部３８ａａを有している。突部３８ａａの圧電セラミック層２１ｂの平坦面からの高さＨ１（図６（ｂ））は、例えば、個別電極３５の厚さおよび共通電極用表面電極３７の圧電セラミック層２１ｂ上（貫通導体３９上を除く部分）の厚さよりも大きい。したがって、突部３８ａａの頂面（面積が極めて小さい頂点乃至は稜線も頂面の一種とする。）は、個別電極３５のＦＰＣ側の表面よりもＦＰＣ側に位置している。また、突部３８ａａは、共通電極用表面電極３７を突き抜けて、その頂面がＦＰＣ側へ露出している。そして、突部３８ａａの頂面は、ＦＰＣに接するか、微小間隔で対向している。突部３８ａａの高さは、適宜に設定されてよいが、一例として、５μｍ以上１０μｍ以下である。なお、頂面は、必ずしも露出している必要はなく、共通電極用表面電極３７に覆われていていてもよい。ただし、頂点が露出していれば、ＦＰＰの表面に接触した場合に、表面の絶縁層を貫通して頂点がＦＰＣの配線に接触するようなことがあったとしても、電気的にショートし難いため、好ましい。
【００５３】
図６（ｂ）に示すように、突部３８ａａは、貫通孔３８の縁部３８ａに沿って延びるように形成されており、その長さは、例えば、貫通孔３８の縁部の１／３周以上２／３周以下である。図６（ｂ）では、突部３８ａａの長さが貫通孔３８の縁部の半周程度である場合を例示している。共通電極用表面電極３７は、平面視において、貫通導体３９に重なる位置から、貫通孔３８の縁部のうち突部３８ａａが形成されていない部分を経由して、貫通導体３９の外側へ延びている。突部３８ａａの断面形状および幅等は適宜に設定されてよい。図６（ｃ）では、断面形状は三角とされているが、ドーム状等であってもよい。
【００５４】
共通電極３４および圧電セラミック層２１ａは、貫通孔３８と重なる領域において、貫通孔３８側へ、凹んでいる。したがって、圧電アクチュエータ基板２１（圧電セラミック層２１ａ）の流路部材４側の表面には、貫通孔３８と重なる領域において、凹部２１ａａが形成されている。凹部２１ａａの深さ等は適宜に設定されてよい。
【００５５】
図７（ａ）〜（ｃ）は、圧電アクチュエータ基板２１の製造工程における、図６（ｃ）と同じ部分の部分縦断面図である。なお、製造工程の進行に伴って各部を構成する材料の状態や各部の形状が変化するが、説明の便宜上、その変化の前後で同一の符号を付すことがある。
【００５６】
ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。この際、グリーンシートは、成形フィル９０上に形成される。
【００５７】
圧電セラミック層２１ｂとなるグリーンシートは、図７（ａ）に示すように、パンチ９１を用いた打ち抜き加工（パンチング）によって貫通孔３８となる孔が形成される。このとき、圧電セラミック層２１ｂとなるグリーンシートおよび成形フィルム９０は、貫通孔３８となる孔の縁部が打ち抜き方向へ捲れる（バリおよびだれが生じる。）。なお、打ち抜きは、例えば、圧電セラミック層２１ｂとなるグリーンシート側から成形フィルム９０側への方向へ行われる。ただし、その逆方向も可能である。
【００５８】
圧電セラミック層２１ａとなるグリーンシートの、成形フィルム９０と反対側の面には、共通電極３４となる導電ペーストがスクリーン印刷等によって塗布される。
【００５９】
それぞれの加工が行なわれた後、圧電セラミック層２１ｂとなるグリーンシートと圧電セラミック層２１ａとなるグリーンシートとを貼り合わせて積層体を作成する。このとき、圧電セラミック層２１ｂとなるグリーンシートは、貫通孔３８となる孔の縁部が捲れ上がる方向とは反対側が共通電極３４側とされる（図７（ｂ）参照）。
【００６０】
続いて、図７（ｂ）に示すように、貫通導体３９となる導電ペースト９３を貫通孔３８となる孔にスクリーン印刷によって充填する。すなわち、版９２を圧電セラミック層２１ｂ上に配置し、スキージ９４を版９２に対して押し付けながらスキージ９４を矢印で示す方向へ移動させ、版９２上の導電ペースト９３を貫通孔３８の上において圧電セラミック層２１ｂ側へ押し出す。なお、このとき、圧電セラミック層２１ｂとなるグリーンシートの貫通孔３８以外の部分は、成形フィルム９０に覆われているため、導電ペースト９３を貫通孔３８部分に選択的に印刷するのに、スクリーン製版やメタルマスクなどを用いずに行なうこともできる。
【００６１】
図７（ｃ）は、貫通孔３８に導電ペースト９３を充填した後の状態を示している。貫通孔３８の縁部３８ａのうち、スキージ９４の移動方向とは反対側へ捲れていた部分（紙面右側）は、スキージ９４によって捲れが矯正される。一方、スキージ９４の移動方向へ捲れていた部分は、スキージ９４によって捲れが矯正されないか、一部矯正されても捲れが残る。そして、その捲れが矯正されずに残った部分（バリ）が突部３８ａａを構成する。貫通孔３８となる孔が円形である場合においては、孔の縁部のおよそ半周に渡る捲れが矯正されずに突部３８ａａとなる。
【００６２】
また、貫通孔３８に導電ペースト９３を充填する際に、導電ペースト９３は、打ち抜き方向へ捲れた圧電セラミック層２１ｂとなるグリーンシートの下側にまで充填される。その部分に充填された導電ペースト９３により、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａの間にある電極の厚さが厚くなる。電極の厚さの違いは、焼成後も維持され、図６（ｃ）に示すように、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間にある電極の厚さは、貫通孔３８の周縁から外れた部分ではＴ１であるのに対して、貫通孔３８の縁部３８ａではＴ２と厚くなっている。貫通孔３８の縁部３８ａに位置する導体は、次の加圧工程において、周囲より強く圧力が加わるため断線が生じ易いが、上述のようにすることで、その部分を厚くしておけば、断線を生じ難くさせることができる。なお、図６（ｃ）、図７（ｃ）では、各電極がどのように作製されたのかが分かるように、内部電極３８と貫通導体３９を分けて示しているが、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂの間に存在する電極を、圧電アクチュエータ基板２１の内部にある電極として内部電極と考えることができ、そのような意味で縁部３８ａ付近の内部電極は、図示した内部電極３８と貫通導体３９とを合わせた厚みがあることになる。
【００６３】
続いて、積層体は、積層方向に加圧されて、圧電セラミック層２１ａとなるグリーンシート、共通電極３４となる導電ペースト、並びに、圧電セラミック層２１ｂとなるグリーンシートが圧着される。積層体は、成形フィルム９０を取り除かれた後、脱脂および焼成
が行われる。なお、脱脂は省略することも可能である。
【００６４】
焼成後の積層体には、個別電極３５、共通電極用表面電極３７、および、その他の圧電アクチュエータ基板２１のＦＰＣ側の導体パターンを形成する。導体パターンの形成は、例えば、導電ペーストを印刷して、焼成することによりなされる。導体パターンの形成は、他にマスクを介して蒸着法により所定のパターンに金属膜を形成することにより、または、蒸着法により全面に金属膜を形成した後、エッチングが行われることによりなされてもよい。なお、導体パターンの形成の際には、突部３８ａａ上に導体パターン（共通電極用表面電極３７）が形成されないようにパターニングが行われる。導体パターンを印刷により形成する場合、印刷厚みを突部３８ａａの高さより薄くすることで、突部３８ａａの上部が印刷されないようにしてもよい。また、突部３８ａａの概略形状が先細り形状であり、金属膜が突部３８ａａ上に付着しにくいことを利用してもよい。
【００６５】
以上のとおり、圧電アクチュエータ基板２１は、貫通孔３８の縁部３８ａが外側に向かって突出している突部３８ａａを有している。突部３８ａａが存在するため、貫通導体３９が充填されやすなり、その部分の電気的接続の信頼性を高くできる。また、縁部３８ａにおける電極（内部電極３８と貫通導体とを合わせた厚さ）Ｔ２がその周囲の電極の厚さＴ１よりも厚いことにより、電気的接続の信頼性をより高くできる。
【００６６】
また圧電アクチュエータ基板２１は、ＦＰＣ側に露出する圧電セラミック層２１ｂを有している。圧電セラミック層２１ｂは、ＦＰＣに向かって開口する貫通孔３８を有するとともに、貫通孔３８の縁部にＦＰＣ側へ突出する突部３８ａａを有している。
【００６７】
したがって、突部３８ａａがスペーサとなり、ＦＰＣが圧電アクチュエータ基板２１に接触することが抑制される。その結果、例えば、ＦＰＣの荷重が圧電アクチュエータ基板２１の動作に及ぼす影響が低減される。また、例えば、圧電アクチュエータ基板２１とＦＰＣとの間に空気が入りやすくなるから、圧電アクチュエータ基板２１が加圧室３５側へ撓むときにＦＰＣと圧電アクチュエータ基板２１との間に負圧が生じにくく、当該負圧が圧電アクチュエータ基板２１の動作に及ぼす影響が低減される。また、例えば、圧電アクチュエータ基板２１の動作によってＦＰＣが振動し、ヘッド本体２ａが異音を生じることが抑制される。このように、突部３８ａａによって、ＦＰＣと圧電アクチュエータ基板２１との力学的な干渉が低減される。また、例えば、突部３８ａａは、ＦＰＣと圧電アクチュエータ基板２１とを接合する際に接続バンプが潰れ過ぎることを抑制することにも寄与する。
【００６８】
しかも、圧電セラミック層２１ｂの貫通孔３８の縁部に突部３８ａａを形成するだけであるので、部材点数の増加等は生じず、構成が簡素である。また、貫通孔３８を形成する際の捲れ（バリ）を利用して突部３８ａａを形成することが可能であり、製造工程の簡素化が図られる。通常、このようなバリは、好ましくないものとされるところ、本実施形態では、ＦＰＣと圧電アクチュエータ基板２１との干渉低減等に利用されており、本実施形態は画期的である。
【００６９】
また、本実施形態では、圧電アクチュエータ基板２１は、圧電セラミック層２１ｂと、圧電セラミック層２１ｂのＦＰＣ側に突部３８ａａを避けて重なる個別電極３５と、をさらに有している。突部３８ａａの頂面は、個別電極３５のＦＰＣに対向する表面よりもＦＰＣ側に位置している。
【００７０】
すなわち、突部３８ａａは、十分な高さを有しており、上述したＦＰＣと圧電アクチュエータ基板２１との干渉をより確実に低減することができる。また、個別電極３５は、加圧室３５上に位置して振動する部分であるから、ＦＰＣと圧電アクチュエータ基板２１と
の干渉をより効果的に低減できる。
【００７１】
また、本実施形態では、圧電アクチュエータ基板２１は、貫通孔３８に配され、圧電セラミック層２１ｂの表裏に配された導体層（共通電極３４および共通電極用表面電極３７）同士を接続する貫通導体３９をさらに有している。
【００７２】
すなわち、貫通孔３８は、圧電セラミック層２１ｂの表裏の導通をとるために形成されており、ＦＰＣと圧電アクチュエータ基板２１との干渉を低減するための突部３８ａａを形成するためにのみ設けられたもの（これも本願発明に含まれる）ではない。したがって、圧電アクチュエータ基板２１の構成が簡素であり、また、製造方法も簡素化される。
【００７３】
また、本実施形態では、突部３８ａａは、貫通孔３８の縁部の１／３周以上２／３周以下に渡って形成されている。
【００７４】
したがって、例えば、ピン状に突部が形成されている場合（この場合も本願発明に含まれる）に比較して、突部３８ａａが高い圧力でＦＰＣに接することが抑制される。その結果、ＦＰＣが破損することが抑制される。その一方で、共通電極用表面電極３７は、突部３８ａａの非配置位置を介して貫通孔３８上から貫通孔３８の外側へ延びることができるから、貫通孔３８の全周に渡って突部を形成した場合（この場合も本願発明に含まれる）に比較して、確実に導通をとることができる。
【００７５】
また、本実施形態では、圧電アクチュエータ基板２１の流路部材４に接着される表面は、貫通孔３８と重なる領域が凹状に形成されている（凹部２１ａａが形成されている。）。
【００７６】
したがって、例えば、圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とを貼り合わせるときに、余剰な接着剤を凹部２１ａａに退避させることができる。その結果、高精度な貼り合わせが実現され、ヘッド本体２ａの性能の製造ばらつきが低減される。
【符号の説明】
【００７７】
１・・・（カラーインクジェット）プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
４・・・流路部材
５・・・マニホールド
５ａ・・・副マニホールド
５ｂ・・・マニホールドの開口
６・・・個別供給流路
８・・・吐出孔
９・・・加圧室群
１０・・・加圧室
１１ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・加圧室列
１２・・・しぼり
１３・・・ヘッド本体
１５ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・吐出孔列
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（セラミック振動板）
２１ａａ・・・凹部
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２２〜３１・・・プレート
３２・・・個別流路
３４・・・共通電極（内部電極）
３５・・・個別電極（第１表面電極）
３５ａ・・・個別電極本体
３５ｂ・・・接続電極
３６・・・接続ランド
３７・・・共通電極用表面電極（第２表面電極）
３８・・・貫通孔
３８ａ・・（貫通孔の）縁部、
３８ａａ・・・突部
３８ｂ・・貫通孔の外周の下端
３９・・・貫通導体
４５・・・ダミー個別電極
４６・・・ダミー接続ランド
５０・・・加圧部（変位素子）
７０・・・（ヘッド搭載）フレーム
７２・・・ヘッド群
８０ａ・・・給紙ローラ
８０ｂ・・・回収ローラ
８２ａ・・・ガイドローラ
８２ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
９０・・・成形フィルム
９１・・・パンチ
９２・・・版
９３・・・導電ペースト
９４・・・スキージ
Ｐ・・・印刷用紙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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