(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワイヤガイド間に螺旋状に巻回された軸方向に往復走行するワイヤでワイヤ列を形成し、前記ワイヤはベースワイヤの表面に樹脂を被覆した樹脂被覆ワイヤを用い、ワークと前記ワイヤとの接触部に加工液を供給しながら、前記ワイヤ列に前記ワークを押し当てて前記ワークを切断するワークの切断方法であって、
渦電流式変位センサーを前記ワイヤ列に近接するように設置し、前記ワークと接触した後の前記ワイヤを測定対象として検出される前記渦電流式変位センサーの電圧値を定期的に測定する測定工程と、前記電圧値から前記樹脂層の摩耗又は剥離が発生しているかを判定する判定工程を有し、前記判定工程は前記測定工程で測定した前記電圧値と前記電圧値の移動平均値を用いた下記式（１）によって差異パーセントを算出し、算出した前記差異パーセントが予め求めておいた前記樹脂層の摩耗が無い時の前記差異パーセントの標準偏差から定めた閾値の範囲の範囲外となったとき、前記樹脂層の摩耗又は剥離が発生していると判定することを特徴とするワークの切断方法。
【数１】
0005962614.tif 000006
【請求項２】
複数のワイヤガイド間に螺旋状に巻回された軸方向に走行するワイヤによって形成されるワイヤ列と、ワークと前記ワイヤとの接触部に加工液を供給する加工液供給機構と、前記ワークを保持しながら前記ワークを押圧することで、前記ワークを前記ワイヤ列に押し当てるワーク送り手段を具備し、前記ワイヤはベースワイヤの表面に樹脂を被覆した樹脂被覆ワイヤであり、前記加工液供給機構から前記ワークと前記ワイヤとの接触部に前記加工液を供給しつつ、前記ワーク送り手段により保持された前記ワークを前記ワイヤ列に押し当てることで前記ワークをウェーハ状に切断するワイヤソーであって、
前記ワークと接触した後の前記ワイヤを測定対象として定期的に電圧値を検出する渦電流式変位センサーと、前記電圧値から前記樹脂層の摩耗又は剥離が発生しているかを判定する判定手段を有し、前記渦電流式変位センサーは前記ワイヤ列に近接するように設置され、前記判定手段は前記電圧値と前記電圧値の移動平均値を用いた下記式（１）によって差異パーセントを算出し、算出した前記差異パーセントが予め求めておいた前記樹脂層の摩耗が無い時の前記差異パーセントの標準偏差から定めた閾値の範囲の範囲外となったとき、前記樹脂層の摩耗又は剥離が発生していると判定するものであることを特徴とするワイヤソー。
【数２】
0005962614.tif 000007
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体インゴット等のワークのワイヤソーによる切断に使用される樹脂被覆ワイヤの樹脂層の摩耗又は剥離を検出する切断方法及びワイヤソーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体インゴット等の硬脆材を薄板状のウェーハに切断する切断装置の一つにワイヤソーがある。ワイヤソーは所定のピッチで巻回されたワイヤでワイヤ列を形成し、ワイヤを高速往復走行させる。そして、ワークとワイヤの各接触部に加工液を供給しながら、ワイヤ列にワークを押し当てることにより、ワークを多数枚のウェーハ状に切断する。
【０００３】
特許文献１には、ワークの切断に使用されるワイヤとして、ベースワイヤの外周面を砥粒キャリア樹脂皮膜で被覆した樹脂被覆ワイヤが記載されている。特許文献１には、この樹脂被覆ワイヤを使用すれば、加工液中の砥粒（遊離砥粒）が砥粒キャリア樹脂皮膜に食い込むため、安定して砥粒をワイヤとワークが接触している部分に引き込むことができると記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１７９６７７号公報
【特許文献２】特開２００３−００４６４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
樹脂被覆ワイヤを使用するワイヤソーでは、ワークの切断中に樹脂被覆ワイヤの表面の樹脂層が摩耗や剥離することがある。この樹脂層の摩耗又は剥離を放置すると、ワークの切断中に樹脂被覆ワイヤが断線してしまう。樹脂被覆ワイヤの断線が発生すると復旧までに長い時間を要し、切断したウェーハの形状品質にも悪影響を与えてしまう。
【０００６】
特許文献２では、ベースワイヤの外周面に砥粒を樹脂で固着するレジンボンドワイヤの製造検査において、固定砥粒ワイヤの表面状態をＣＣＤカメラによって確認する検査装置が記載されている。この検査装置は、特にレジンボンドワイヤのレジンボンド層の剥離を検出できると記載されている。さらに、この検査装置をワイヤソー内に設置することでレジンボンドワイヤの切れ味低下や断線を察知することができることが記載されている。
【０００７】
特許文献２に記載の検査装置では、ワイヤガイド間（ワイヤ列）と巻取ボビンの間に検査装置を設置することでレジンボンドワイヤのレジンボンド層の摩耗や剥離といった異常を検出することができる。しかし、レジンボンドワイヤの走行方向の正反転サイクル時間が短い場合に、レジンボンド層の摩耗箇所や剥離箇所がワイヤガイド間のみを往復し、摩耗箇所が検査装置に到達する前にレジンボンドワイヤの断線が発生する。また、この検査装置の異常検出手段であるＣＣＤカメラは汚れに弱いので、ワーク切断中のスラリミストが多く発生する環境には適していない。
【０００８】
本発明は前述のような問題に鑑みてなされたもので、樹脂被覆ワイヤの樹脂層の摩耗や剥離を敏感に検出することで、樹脂被覆ワイヤの断線を事前に察知することができるワークの切断方法及びワイヤソーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明によれば、複数のワイヤガイド間に螺旋状に巻回された軸方向に往復走行するワイヤでワイヤ列を形成し、前記ワイヤはベースワイヤの表面に樹脂を被覆した樹脂被覆ワイヤを用い、ワークと前記ワイヤとの接触部に加工液を供給しながら、前記ワイヤ列に前記ワークを押し当てて前記ワークを切断するワークの切断方法であって、渦電流式変位センサーを前記ワイヤ列に近接するように設置し、前記ワークと接触した後の前記ワイヤを測定対象として検出される前記渦電流式変位センサーの電圧値を定期的に測定する測定工程と、前記電圧値から前記樹脂層の摩耗又は剥離が発生しているかを判定する判定工程を有し、前記判定工程は前記測定工程で測定した前記電圧値と前記電圧値の移動平均値を用いた下記式（１）によって差異パーセントを算出し、算出した前記差異パーセントが予め求めておいた前記樹脂層の摩耗が無い時の前記差異パーセントの標準偏差から定めた閾値の範囲の範囲外となったとき、前記樹脂層の摩耗又は剥離が発生していると判定することを特徴とするワークの切断方法を提供する。
【００１０】
【数１】
0005962614.tif 000002
【００１１】
このような切断方法であれば、樹脂被覆ワイヤの樹脂層の摩耗及び剥離を敏感に検出することができるため、樹脂被覆ワイヤの断線が起こる前にワークの切断を中断するなどの適切な対応をとることができる。
【００１２】
また、本発明によれば、複数のワイヤガイド間に螺旋状に巻回された軸方向に走行するワイヤによって形成されるワイヤ列と、ワークと前記ワイヤとの接触部に加工液を供給する加工液供給機構と、前記ワークを保持しながら前記ワークを押圧することで、前記ワークを前記ワイヤ列に押し当てるワーク送り手段を具備し、前記ワイヤはベースワイヤの表面に樹脂を被覆した樹脂被覆ワイヤであり、前記加工液供給機構から前記ワークと前記ワイヤとの接触部に前記加工液を供給しつつ、前記ワーク送り手段により保持された前記ワークを前記ワイヤ列に押し当てることで前記ワークをウェーハ状に切断するワイヤソーであって、前記ワークと接触した後の前記ワイヤを測定対象として定期的に電圧値を検出する渦電流式変位センサーと、前記電圧値から前記樹脂層の摩耗又は剥離が発生しているかを判定する判定手段を有し、前記渦電流式変位センサーは前記ワイヤ列に近接するように設置され、前記判定手段は前記電圧値と前記電圧値の移動平均値を用いた下記式（１）によって差異パーセントを算出し、算出した前記差異パーセントが予め求めておいた前記樹脂層の摩耗が無い時の前記差異パーセントの標準偏差から定めた閾値の範囲の範囲外となったとき、前記樹脂層の摩耗又は剥離が発生していると判定するものであることを特徴とするワイヤソーが提供される。
【００１３】
【数２】
0005962614.tif 000003
【００１４】
このようなワイヤソーであれば、樹脂被覆ワイヤの樹脂層の摩耗及び剥離を敏感に検出することができるため、樹脂被覆ワイヤの断線が起こる前にワークの切断を中断するなどの適切な対応をとることができるものとなる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のワークの切断方法及びワイヤソーであれば、樹脂被覆ワイヤの樹脂層の摩耗及び剥離を敏感に検出し、樹脂被覆ワイヤの断線が起こる前にワークの切断を中断するなどの適切な対応をとることができる。また、ワーク切断中の樹脂被覆ワイヤの断線を未然に防止することで、ウェーハの形状の悪化を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のワイヤソーの一例を示した概略図である。
【図２】本発明のワイヤソーが有する樹脂被覆ワイヤの一例を示した斜視図である。
【図３】表面に砥粒が予め固着している樹脂被覆ワイヤの一例を示すＳＥＭ写真である。
【図４】樹脂被覆ワイヤの断線が起きた場合の差異パーセントの変化の一例を示す図である。
【図５】渦電流式変位センサーが検出する電圧値の変化の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
ワイヤソーによるワークの切断の際には、切断に用いる樹脂被覆ワイヤの樹脂層の摩耗や剥離が発生してしまう。摩耗や剥離が起きている樹脂被覆ワイヤの使用を続けると樹脂被覆ワイヤが断線してしまう。ワークの切断途中で樹脂被覆ワイヤの断線が起きると切断後のウェーハの形状が著しく悪化してしまうという問題があった。
【００１８】
そこで、本発明者はこのような問題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、上記したように渦電流式変位センサーで測定される電圧値の差異パーセントの変化量を利用することで、樹脂層の摩耗及び剥離を検出できることに想到し、本発明を完成させた。
【００１９】
すなわち、本発明者は、樹脂被覆ワイヤの樹脂層の摩耗や剥離の検出に、渦電流式変位センサーを用いることに想到し、以下のような考察を行った。渦電流式変位センサーでは、測定対象である金属との距離や、金属の大きさなどに応じて検出される電圧値が変化する。また、渦電流式変位センサーと測定対象物との間に樹脂等の非金属があれば、検出される電圧値は樹脂等の非金属が間に無い場合と異なった値を示す。
【００２０】
従って、渦電流式変位センサーは、金属であるベースワイヤ単体と、ベースワイヤを樹脂で被覆した樹脂被覆ワイヤでは異なった電圧値を検出し、さらに、検出される電圧値は樹脂被覆ワイヤの樹脂層の状態によっても変化する。発明者は、この電圧値の変化を利用することで、ワーク切断中の樹脂被覆ワイヤの樹脂層の摩耗及び剥離の検出を行うことに想到した。
【００２１】
そこで、本発明者は、樹脂被覆ワイヤの樹脂層の摩耗及び剥離が発生していない切断において渦電流式変位センサーが検出する電圧値と、樹脂層の摩耗が発生し樹脂被覆ワイヤが断線してしまう切断において渦電流式変位センサーが検出する電圧値を比較し以下のように検討を行った。図５に、上記２通りの切断を行った場合に検出された電圧値の一例を示す。
図５に示すように、樹脂層の摩耗及び剥離が発生していない切断では電圧値の振れ幅が小さく安定した波形となる。一方、樹脂層の摩耗が発生し樹脂被覆ワイヤが断線してしまう切断では振れ幅が徐々に大きくなる不安定な波形を描くことが分かる。以上のことから、この振れ幅が、一定以上大きくなった時に樹脂被覆ワイヤの断線回避に向けての対応を取れば良いことを知見した。
【００２２】
以下、本発明のワークの切断方法及びワイヤソーについて図を参照して詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２３】
まず、本発明のワイヤソーについて図１〜図３を用いて説明する。切断に使用する樹脂被覆ワイヤとして、表面に砥粒が予め固着していない樹脂被覆ワイヤ３、表面に砥粒が予め固着している樹脂被覆ワイヤ３’のいずれも使用することができる。ここではまず、表面に砥粒が予め固着していない樹脂被覆ワイヤ３を用いる場合について説明する。
【００２４】
図１に示すように、本発明のワイヤソー１は、複数のワイヤガイド２間に螺旋状に巻回された軸方向に走行する樹脂被覆ワイヤ３によって形成されるワイヤ列４、切断時にワークＷと樹脂被覆ワイヤ３との接触部に加工液を供給する加工液供給機構５、ワークＷを保持しつつ押圧することでワークＷをワイヤ列に押し当てるワーク送り手段６、樹脂被覆ワイヤ３に張力を付与するための張力付与機構７、７’等で構成されている。
【００２５】
図２に示すように、樹脂被覆ワイヤ３はベースワイヤ１３の表面に砥粒を含んでいない樹脂を被覆したものである。樹脂被覆ワイヤ３を構成するベースワイヤ１３として、例えば、直径４０〜２００μｍのピアノ線が使用され、ピアノ線の外周面に樹脂層１４が全面にわたって被覆形成される。ベースワイヤ１３の表面に樹脂層１４を形成する樹脂として、例えば、フェノール系、ポリアミド系、エポキシ系、ウレタン系などの樹脂を用いることができる。また、樹脂層１４の厚みは０．５〜１５μｍの範囲が好ましい。この樹脂層１４は樹脂被覆ワイヤ３に吹き付けられた加工液中の砥粒を、樹脂層１４表面に食い込ませることにより、砥粒をワークＷと樹脂被覆ワイヤ３との間に引き込むことができる。
【００２６】
樹脂被覆ワイヤ３は、一方のワイヤリールボビン８から繰り出され、トラバーサを介して定トルクモーターやダンサローラ（デッドウェイト）等からなる張力付与機構７を経て、ワイヤガイド２に入っている。樹脂被覆ワイヤ３はもう一方の張力付与機構７’を経てワイヤリールボビン８’に巻き取られている。また、張力付与機構７、７’によって樹脂被覆ワイヤ３に付与される張力は、ベースワイヤ１３の引張強度以下に限定され、好ましくはベースワイヤ１３の引張強度の４０〜７０％の範囲である。
【００２７】
また、ワイヤガイド２は鉄鋼製円筒の周囲にポリウレタン樹脂を圧入し、その表面に所定のピッチで溝を切ったローラーであり、駆動モータ１２によって、巻回された樹脂被覆ワイヤ３が軸方向に往復走行できるようになっている。ここで、樹脂被覆ワイヤ３を往復走行させる際、樹脂被覆ワイヤ３の両方向への走行距離を同じにするのではなく、ワイヤ新線が供給されるように、片方向への走行距離の方が長くなるようにする。このようにして、樹脂被覆ワイヤ３の往復走行を行いながら長い走行距離の方向に新線が供給される。
【００２８】
加工液供給機構５はスラリチラー９、スラリタンク１０、ノズル１１等から構成される。ノズル１１はワイヤガイド２に巻回された樹脂被覆ワイヤ３の上方に配置されている。このノズル１１はスラリタンク１０に接続されており、加工液はスラリタンク１０で攪拌されスラリチラー９により温度調節された後、ノズル１１から樹脂被覆ワイヤ３に供給できるようになっている。そして、加工液はワイヤ列４に乗りワークＷとワイヤ列４との接触部に送られる。また、供給された加工液はスラリタンク１０に戻り循環利用される。
【００２９】
加工液は、砥粒とクーラントから構成されているが、砥粒として、例えば、炭化珪素砥粒やダイヤモンド砥粒を用いることができる。特に、ワークＷの切断面を平滑にするには、ダイヤモンド砥粒を用いることが望ましい。また、平均粒径が２〜１５μｍの砥粒を用いることができる。クーラントとして、水溶性又は油性のクーラントを用いることができ、特に水溶性のクーラントで代表的なグリコール系クーラントを用いることが好ましい。そして、砥粒濃度が０．５〜３０質量％、温度が５〜３０℃の加工液を用いることができる。
【００３０】
ここで、本発明のワイヤソー１は、ワイヤ列４に近接した位置に渦電流式変位センサー１５と判定手段１６を具備している。この渦電流式変位センサー１５は、ワークＷと接触した後の樹脂被覆ワイヤ３を測定対象として定期的に電圧値を検出する。そして、検出された電圧値は、判定手段１６に送られ、判定手段１６はこの電圧値に基づいて、樹脂層１４の摩耗や剥離の発生の有無を判定する。
【００３１】
摩耗や剥離の発生の有無の判定は、具体的には、まず判定手段１６が検出された電圧値と電圧値の移動平均値を用いた下記式（１）によって差異パーセントを算出する。次に、算出した差異パーセントが、予め求めておいた樹脂層１４の摩耗及び剥離が無い時の差異パーセントの標準偏差から定めた閾値の範囲と比較する。算出した差異パーセントが、閾値の範囲外となったとき、判定手段１６は樹脂層１４の摩耗又は剥離が発生していると判定する。この閾値の範囲としては、例えば、摩耗及び剥離が無い時の差異パーセントの標準偏差の３倍以内とすることができる。
【００３２】
【数３】
0005962614.tif 000004
【００３３】
このようなワイヤソーであれば、樹脂被覆ワイヤ３の樹脂層１４の摩耗及び剥離を敏感に検出し、樹脂被覆ワイヤ３の断線が起こる前にワークの切断を中断するなどの適切な対応をとることができるものとなる。例えば、樹脂層１４の摩耗又は剥離を検出した時に、ワイヤソーの運転を自動停止し、オペレーターコール等で作業者を呼び出す。そして、作業者が手動運転により樹脂被覆ワイヤ３を一定距離送ることで新線を繰り出し、樹脂層１４の摩耗部分や剥離部分をワークＷの加工に使用しない等の対応を取ることができる。
【００３４】
次に、表面に砥粒が予め固着している樹脂被覆ワイヤ３’を具備するワイヤソー１について説明する。
図３に示すように、樹脂被覆ワイヤ３’はベースワイヤの外周面に樹脂層１４’で砥粒１７を固着したものである。
樹脂被覆ワイヤ３’を構成するベースワイヤとしては、線径４０〜２００μｍのピアノ線を使用できる。樹脂層１４’の材質は、弾性率、軟化温度、成形性、物理的特性の観点から、アルキド樹脂、フェノール樹脂、ホルマリン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリエステルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステルウレタン樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂、シアナトエステル樹脂、ポリエーテルイミド、ポリパラバン酸、芳香族ポリアミドなどを使用することが好ましい。砥粒１７は、炭化珪素砥粒、立方晶窒化ホウ素砥粒、ダイヤモンド砥粒などを用いることができ、特に耐摩耗性を考慮すると、ダイヤモンド砥粒を用いることが好ましい。また砥粒１７は平均粒径２〜３０μｍのものを用いることができ、樹脂層１４は使用する砥粒１７の平均粒径の１／４〜３／４の厚さとすることが好ましい。
【００３５】
加工液のクーラントとしては、水道水又は水溶性のクーラントを用いることができる。ウェーハの品質や作業性の面などで水溶性のグリコール系クーラントを用いることが好ましい。加工液の温度は５〜３０℃の範囲とすることができる。また、樹脂被覆ワイヤ３’にかける張力はベースワイヤの引張強度以下に限定され、好ましくは引張強度の４０〜７０％の範囲が好ましい。これら以外の装置構成は、表面に砥粒が予め固着されていない樹脂被覆ワイヤを用いる場合と同様にすることができる。
【００３６】
このようなものであれば、上記表面に砥粒が予め固着していない樹脂被覆ワイヤ３を具備するワイヤソー１と同様に、樹脂被覆ワイヤ３’の樹脂層１４’の摩耗及び剥離を敏感に検出し、樹脂被覆ワイヤ３’の断線が起こる前にワークの切断を中断するなどの適切な対応をとることができるものとなる。
【００３７】
次に本発明のワークの切断方法について説明する。ここでは、図１に示すような本発明の表面に砥粒が予め固着していない樹脂被覆ワイヤ３を具備するワイヤソー１を用いた場合について述べる。
まず、ワーク送り手段６によりワークＷを保持する。そして、樹脂被覆ワイヤ３を張力付与機構７、７’によって張力を付与しながら軸方向へ往復走行させる。このとき、樹脂被覆ワイヤ３の走行速度は３００ｍ／ｍｉｎ以上とすることができる。次に、ワーク送り手段６によりワークＷを、相対的に押し下げて、ワークＷをワイヤ列４に押し当ててワークＷをウェーハ状に切断していく。このとき、ワーク切断速度を０．０２〜０．３５ｍｍ／ｍｉｎとすることができる。
【００３８】
ここで、本発明のワークの切断方法は、ワークＷと接触した後の樹脂被覆ワイヤ３を測定対象として検出される渦電流式変位センサー１５の電圧値を定期的に測定する測定工程と、電圧値から樹脂層の摩耗又は剥離が発生しているかを判定する判定工程を有している。この判定工程は、測定工程で測定した電圧値と電圧値の移動平均値を用いた上記式（１）によって差異パーセントを算出し、算出した差異パーセントが予め求めておいた樹脂層１４の摩耗が無い時の差異パーセントの標準偏差から定めた閾値の範囲の範囲外となったとき、樹脂層の摩耗又は剥離が発生していると判定する。
【００３９】
このような、切断方法であれば、樹脂被覆ワイヤ３の樹脂層１４の摩耗及び剥離を敏感に検出し、樹脂被覆ワイヤ３の断線が起こる前にワークの切断を中断するなどの適切な対応をとることができる。例えば、樹脂層１４の摩耗又は剥離を検出した時に、ワイヤソーの運転を自動停止し、オペレーターコール等で作業者を呼び出す。そして、作業者が手動運転により樹脂被覆ワイヤ３を一定距離送ることで新線を繰り出し、樹脂層１４の摩耗部分や剥離部分をワークＷの加工に使用しないなどの対応を取ることができる。
【００４０】
また、表面に砥粒が予め固着している樹脂被覆ワイヤ３’を用いて、ワークＷの切断を行っても、上記した本発明の切断方法と同様の効果を得られる。
【実施例】
【００４１】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００４２】
（実施例）
図１に示すような本発明のワイヤソーを用い、本発明のワークの切断方法に従ってワークの切断を行った。切断対象のワークとして、表１に示すように、ワイヤ走行方向Ｗ：８０ｍｍ、ワイヤ列方向Ｄ：１００ｍｍ、ワーク送り方向Ｈ：２５ｍｍの寸法の棒状の単結晶シリコンを使用した。樹脂被覆ワイヤとして、表面に砥粒が予め固着していないものを用いた。この樹脂被覆ワイヤは、直径０．１３ｍｍのベースワイヤの外周の全面に樹脂層を６μｍの厚さで被覆して使用した。
【００４３】
ワイヤソーの樹脂被覆ワイヤの張力は３０Ｎ、新線供給量は３ｍ／ｍｉｎ、往復走行における走行方向の正反転サイクルは６０ｓｅｃ、平均線速は６５０ｍ／ｍｉｎとした。そして、ワーク送り速度は、０．１０ｍｍ／ｍｉｎとした。加工液として、グリコール系水溶性クーラントに、平均砥粒径５．５μｍのダイヤモンド砥粒を砥粒濃度５質量％となるように作製して使用した。また、加工液の流量を樹脂被覆ワイヤ１本当たり８０ｍＬ／ｍｉｎとした。この加工液の流量は、樹脂層の摩耗や剥離が起きやすい条件で実施例を行うために、通常より多い流量とした。
【００４４】
【表１】
0005962614.tif 000005
【００４５】
また、ワークと接触後の樹脂被覆ワイヤを測定対象とした渦電流式変位センサーの電圧値の測定間隔は１０秒とした。電圧値の移動平均値は、検出した電圧値から過去１９点分（過去３分間）の電圧値を用いて算出した。
樹脂層の摩耗や剥離の無い切断の差異パーセントの標準偏差σを得るために、予め多数回にわたって樹脂層の摩耗及び剥離の無い切断の電圧値の差異パーセントを算出したところ、この差異パーセントの標準偏差σは平均で約０．２３％となった。この値から差異パーセントの閾値の範囲を３σ以内、つまり±０．７％以内と定めた。検出された電圧値と移動平均値から算出される差異パーセントがこの閾値の範囲外となった場合に、判定手段が樹脂層に摩耗又は剥離が発生したと判定しワイヤソーを自動停止させ、切断を中止するよう設定した。なお、判定手段は演算装置であり、ワイヤソー内に具備されている。
【００４６】
ワークの切断を繰り返し行い、ワイヤソーの自動停止後、切断に寄与した樹脂被覆ワイヤを３ヶ所サンプリングし、マイクロメータで直径を測定した。マイクロメータで測定した直径と、使用前のワイヤ直径との差分でワイヤ樹脂層の摩耗量を算出した。
上記の切断を１０回繰り返し樹脂被覆ワイヤの樹脂層の平均摩耗量を算出した。その結果、樹脂層の平均摩耗量は５．４μｍとなり、使用前の樹脂層の厚さが６μｍであることから、樹脂層がほぼ摩耗して無くなっている状態を検出しワイヤソーを自動停止できたことになる。実施例では樹脂被覆ワイヤの断線は一度も発生しておらず、ワイヤ断線が発生する前に摩耗又は剥離の有無を判定し、適切な対応を取ることで樹脂被覆ワイヤの断線を未然に防止できることが確認された。
【００４７】
（参考例）
図４に樹脂被覆ワイヤの断線が起きた場合の差異パーセントの測定値の一例を示す。図４に示すように、差異パーセントは切断開始から約２３分で閾値の０．７％を超える値を示す。そして、そのままワークの切断を続けると３０分を超えたあたりで樹脂被覆ワイヤが断線してしまう。例えば、図４の場合において実施例の切断方法を適用すると、切断開始から約２３分の時点で樹脂層の摩耗又は剥離が発生したと判定し、ワイヤソーが自動停止することになる。
【００４８】
（比較例）
渦電流式変位センサー及び判定手段を具備しないワイヤソーを用いたこと以外、実施例と同様な条件でワークの切断を行った。
その結果、樹脂層の摩耗又は剥離の発生を検出することができず、樹脂層の摩耗又は剥離が発生している状態で切断を続けたため、樹脂被覆ワイヤの断線が発生してしまった。
【００４９】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５０】
１…ワイヤソー、  ２…ワイヤガイド、  ３、３’…樹脂被覆ワイヤ、
４…ワイヤ列、  ５…加工液供給機構、  ６…ワーク送り手段、
７、７’…張力付与機構、  ８、８’…ワイヤリールボビン、
９…スラリチラー、  １０…スラリタンク、  １１…ノズル、
１２…駆動モータ、  １３…ベースワイヤ、  １４、１４’…樹脂層、
１５…渦電流式変位センサー、  １６…判定手段、  １７…砥粒、
Ｗ…ワーク。
【図１】
0005962614.tif 000008
【図２】
0005962614.tif 000009
【図３】
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【図４】
0005962614.tif 000011
【図５】
0005962614.tif 000012