(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アンテナ共用器であって、
圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられかつ通過帯域周波数を有する第１のフィルタと、
前記圧電基板上に設けられかつ前記第１のフィルタとは異なる通過帯域周波数を有する第２のフィルタと
を含み、
前記第１のフィルタは連続して積層した４層以上の電極を含み、
前記第２のフィルタは連続して積層した２層の電極を含み、
前記第１のフィルタの最上層の電極及び隣接する層の電極が、前記第２のフィルタの最上層の電極及び隣接する層の電極それぞれに対応するアンテナ共用器。
【請求項２】
前記第１のフィルタは送信フィルタである請求項１のアンテナ共用器。
【請求項３】
前記第２のフィルタは受信フィルタである請求項２のアンテナ共用器。
【請求項４】
前記第１の電極及び前記第３の電極が共にチタンから構成される請求項１乃至３いずれか一項のアンテナ共用器。
【請求項５】
前記第２の電極及び前記第４の電極が共にアルミニウムを主成分とした金属から構成される請求項４のアンテナ共用器。
【請求項６】
前記第２のフィルタは少なくとも１つ以上の縦結合型弾性波共振器を含む請求項１乃至５のいずれか一項のアンテナ共用器。
【請求項７】
前記第１のフィルタを形成した第１の領域における前記圧電基板の厚みと、前記第２のフィルタを形成した第２の領域における前記圧電基板の厚みが異なる請求項１乃至６のいずれか一項のアンテナ共用器。
【請求項８】
前記第１のフィルタと第２のフィルタとの間の圧電基板表面に段差が設けられる請求項７のアンテナ共用器。
【請求項９】
前記アルミニウムを主成分とした金属は、前記アルミニウム中への拡散係数が前記アルミニウムの自己拡散係数よりも小さな金属元素を含む請求項５のアンテナ共用器。
【請求項１０】
前記金属元素は、銅、マグネシウム、スカンジウム、チタン及びジルコニウムの少なくとも一つを含む請求項９のアンテナ共用器。
【請求項１１】
前記金属元素は、前記アルミニウムを主成分とした金属において０．５〜２重量％の範囲にある請求項９又は１０のアンテナ共用器。
【請求項１２】
前記第４の電極は、前記第１のフィルタと前記第２のフィルタとにおいて前記アルミニウムの配向度が異なる請求項５のアンテナ共用器。
【請求項１３】
前記受信フィルタに含まれる前記第４の電極は、前記送信フィルタに含まれる前記第４の電極よりも電気抵抗が小さい請求項３のアンテナ共用器。
【請求項１４】
前記送信フィルタの中心周波数は１．７ＧＨｚを上回る請求項２のアンテナ共用器。
【請求項１５】
前記第１の電極の膜厚、前記第２の電極の膜厚及び前記第３の電極の膜厚がそれぞれ、前記第４の電極の膜厚の１０％以下である請求項１乃至１４のいずれか一項のアンテナ共用器。
【請求項１６】
前記第１の電極の膜厚、前記第２の電極の膜厚及び前記第３の電極の膜厚が等しい請求項１５のアンテナ共用器。
【請求項１７】
圧電基板に第１の電極と第２の電極とを昇順に積層する工程と、
前記第１の電極及び前記第２の電極が存在する第１の領域と、前記第１の電極及び前記第２の電極が存在しない第２の領域とを前記圧電基板上に形成する工程と、
前記圧電基板の前記第１の領域及び前記第２の領域に第３の電極及び第４の電極を昇順に積層する工程と、
前記第１の領域の前記第１の電極、前記第２の電極、前記第３の電極及び前記第４の電極と、前記第２の領域の前記第３の電極及び前記第４の電極とを１度のエッチングプロセスでエッチングする工程と
を備えるアンテナ共用器の製造方法。
【請求項１８】
前記エッチングプロセスはドライエッチングプロセスを含む請求項１７の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として移動体通信機器等において使用される弾性波共振器を用いたアンテナ共用器とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話等の通信装置に用いられるアンテナ共用器の携帯電話１台あたりに使用される員数は通信システムのバンド数の増加に伴い増える傾向にある。このような背景からアンテナ共用器に対する小型化の要求は尽きることがない。携帯電話に用いられるアンテナ共用器は弾性波共振器を用いられたものが主流であり、弾性波共振器の中でも特に弾性表面波を利用したアンテナ共用器が多く使用されている。
【０００３】
アンテナ共用器は基本的に送信フィルタと受信フィルタが組み合わされて構成されるが、アンテナ共用器に求められる性能として、送信フィルタには送信端子から入力される大電力の高周波信号に耐え得る耐電力性が必要となる。弾性表面波を利用したアンテナ共用器の場合、弾性波共振器を構成するＩＤＴ電極を構成する電極材料をチタン（以下Ｔｉ）とアルミニウム（以下Ａｌ）を主体とした金属の積層とすることで耐電力性が向上することが知られている。とくにＴｉとＡｌを主体とした金属を交互に配置し、４層構造とした場合には良好な耐電力性が得られ、このような電極材料を有する１端子対弾性波共振器を直列腕と並列腕となるよう梯子型に配置したラダー型フィルタ構成にすることでアンテナ共用器として十分な耐電力性が得られることが知られている。
【０００４】
他方、受信フィルタには送信フィルタほどの耐電力性は必要とされない。したがって受信フィルタの性能を最大限良くするためにはＩＤＴ電極を構成する電極材料をできるだけ抵抗の小さい材料で構成することが望まれる。
【０００５】
図７に従来のアンテナ共用器を示す。図７において、従来のアンテナ共用器は、圧電基板１の上に、送信フィルタ６と受信フィルタ７とを備え、送信フィルタ６のＩＤＴ電極および受信フィルタ７のＩＤＴ電極は、以下Ｔｉを主成分とする第１の電極２と、Ａｌを主成分とする第２の電極３と、Ｔｉを主成分とする第３の電極４と、Ａｌを主成分とする第４の電極５とを、圧電基板１の側から順に積層して構成された積層電極からなる。
【０００６】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１、特許文献２が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−０８８７７８号公報
【特許文献２】国際公開第２００３／００５５７７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年、平衡動作を実現するために受信フィルタとして縦結合型弾性波共振器が用いられることが多いが、縦結合型弾性波共振器の場合、ＩＤＴ電極を構成する櫛電極の抵抗の影響が挿入損失の悪化に現れ易くＴｉとＡｌの４層電極を用いると挿入損失が大きくなってしまう問題がある。図７に示す従来の１チップ構成のアンテナ共用器では挿入損失の良好な平衡動作する受信フィルタ７は得られない。
【０００９】
このような問題を解決するため、上記従来のアンテナ共用器に換えて、送信フィルタと受信フィルタを別々の２チップ構成とすることで、電極の構成を異ならせたアンテナ共用器もある。しかしながら、この２チップ構成の場合、２つのチップの間にスペースが必要となるため小型化に課題があった。
【００１０】
本発明は受信フィルタの挿入損失が良好で、極めて小型のアンテナ共用器を得るためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、圧電基板上に通過帯域周波数の異なる第１のフィルタと第２のフィルタとを備え、前記第１のフィルタは圧電基板側から第１の電極、第２の電極、第３の電極、第４の電極の順に積層された４層以上の積層電極で構成され、前記第２のフィルタは圧電基板側から第３の電極、第４の電極の順に積層された２層電極で構成されたアンテナ共用器としたものである。
【００１２】
このような構成にした際、第１のフィルタを送信フィルタとして使用することで耐電力性に優れた送信フィルタを得ることができ、第２のフィルタを受信フィルタとして使用することで挿入損失の良好な受信フィルタが得られる。結果として受信フィルタの挿入損失に優れ、かつ極めて小型のアンテナ共用器を得られるという優れた作用効果を有するものである。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように本発明のアンテナ共用器は、受信フィルタの挿入損失に優れ、かつ極めて小型のアンテナ共用器を得られるという優れた作用効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態１におけるアンテナ共用器の断面図
【図２】同アンテナ共用器の平面図
【図３】（Ａ）〜（Ｊ）本発明の実施の形態１におけるアンテナ共用器の断面図
【図４】本発明の実施の形態２におけるアンテナ共用器の断面図
【図５】本発明の実施の形態３におけるアンテナ共用器の断面図
【図６】（Ａ）〜（Ｊ）本発明の実施の形態３におけるアンテナ共用器の製造方法を示す図
【図７】従来のアンテナ共用器の断面図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態における弾性波装置について図面を参照して説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１のアンテナ共用器の構成を示す断面図である。圧電基板１１はタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）単結晶であり、その表面の第１の領域１１１に送信フィルタ１０１を備え、第２の領域１１２に受信フィルタ１０２を備える。送信フィルタ１０１の通過帯域周波数は８２４ＭＨｚ〜８４９ＭＨｚであり、受信フィルタ１０２の通過帯域周波数は８６９ＭＨｚ〜８９４ＭＨｚである。
【００１７】
送信フィルタ１０１を構成するＩＤＴ電極は、圧電基板１１の側から順に第１の電極１２と第２の電極１３と第３の電極１４と第４の電極１５を順に積層した４層の積層電極で構成したものである。送信フィルタ１０１において、第１の電極１２は材料がＴｉで厚みを２０ｎｍで形成され、第２の電極１３は材料がＡｌを主体にする金属で厚みを２０ｎｍで形成され、第３の電極１４は材料がＴｉで厚みを２０ｎｍで形成され、第４の電極１５は材料がＡｌを主体とした金属で厚みを３４２ｎｍとして形成されている。第２の電極１３および第４の電極１５はアルミニウム中への拡散係数がアルミニウムの自己拡散係数より小さい銅（Ｃｕ）、マグネシウム（Ｍｇ）、スカンジウム（Ｓｃ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）などの金属を０．５重量％から２重量％含むＡｌとすることでより耐電力性を向上させることができる。
【００１８】
受信フィルタ１０２を構成するＩＤＴ電極は、圧電基板１１の側から順に第３の電極１４と第４の電極１５を順に積層した２層の積層電極で構成したものである。受信フィルタ１０２において、第３の電極１４は材料がＴｉで厚みを２０ｎｍで形成され、第４の電極１５は材料がＡｌを主体とした金属で厚みを３４２ｎｍとして形成されている。第１の電極１２の膜厚、第２の電極１３の膜厚、および第３の電極１４の膜厚は第４の電極１５の膜厚の１０％以下が望ましい。例えば中心周波数が１．７ＧＨｚを上回るような送信フィルタ１０１を有するアンテナ共用器の場合、第１の電極１２および第３の電極１４の膜厚が第４の電極１５の膜厚の１０％以上とすると電極の抵抗が大きくなりすぎ送信フィルタ１０１の挿入損失が大きくなってしまうからである。また、第２の電極１３が第４の電極１５の１０％を超えるように設定すると耐電力性が低下してしまう場合がある。
【００１９】
受信フィルタ１０２を構成する第３の電極１４と第４の電極１５は送信フィルタ１０１を構成する第３の電極１４および第４の電極１５と同じ材料、同じ膜厚で構成されているが、受信フィルタ１０２を構成する第４の電極１５は、送信フィルタ１０１を構成する第４の電極１５よりＡｌの配向度の高い膜が形成され、電気抵抗の小さい膜である。これは、受信フィルタ１０２における第４の電極１５が、ＬｉＴａＯ3の直上のＴｉの上に成膜されているためと考えられる。
【００２０】
故に本発明の実施の形態１は、送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２を同一圧電基板１１の上に形成した小型のアンテナ共用器において、受信フィルタ１０２の挿入損失を向上することができる。
【００２１】
図２は実施の形態１におけるアンテナ共用器の平面図を示したものである。圧電基板１１の上に送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２が形成されており、アンテナ端子２３を共有するように送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２は接続されている。送信フィルタ１０１は送信端子２１とアンテナ端子２３を結ぶ信号ラインに直列腕共振器としてＩＤＴ電極を２つの反射器で挟むように配置された１端子対弾性波共振器３１、３２、３３、３４を直列に接続され、信号ラインとグランド間に並列腕共振器としてＩＤＴ電極を２つの反射器で挟むように配置された１端子対弾性波共振器３５、３６が接続されている。このように送信フィルタ１０１をラダー型フィルタとし、かつ図１の送信フィルタ１０１の構成として示した４層構成にすることにより耐電力性を十分に確保できる。また、１端子対弾性波共振器３２と１端子対弾性波共振器３３は等価回路的には１つの共振器にまとめることも可能であるが、故意に分割して多段化することで耐電力性をより向上することができる。受信フィルタ１０２はアンテナ端子２３と受信端子２２ａ、２２ｂを結ぶように１端子対弾性波共振器４１と縦結合型弾性波共振器４２および縦結合型弾性波共振器４３が直列に接続されている。縦結合型弾性波共振器４２と縦結合型弾性波共振器４３は位相が逆相の出力信号となるようにＩＤＴ電極を構成することで受信端子２２ａと受信端子２２ｂ間で平衡動作する。このように受信フィルタ１０２に縦結合型弾性波共振器を用いた構成とした場合、図１の受信フィルタ１０２の構成として示した２層構成にすることによる挿入損失の向上の効果は著しいものとなる。更に本発明の受信フィルタの挿入損失の向上の効果を高めるためには縦結合型弾性波共振器４２、４３のＩＤＴ電極のデューティファクターＤＦ＝（線幅／（線幅＋線間距離））を大きくすることで得られ、望ましくはＤＦ＝０．５５以上とすれば良い。図２では縦結合型弾性波共振器４２および縦結合型弾性波共振器４３は共に３つのＩＤＴ電極を２つの反射器で挟んで構成した図となっているが、ＩＤＴ電極は４つ以上でも良い。１端子対弾性波共振器４１はＩＤＴ電極を反射器で挟む構成として図示しているが、反射器がない構成でも良い。
【００２２】
次に、図３（Ａ）〜図３（Ｊ）を参照しながら本発明のアンテナ共用器の製造方法を説明する。
【００２３】
まず、図３（Ａ）に示すように、ＬｉＴａＯ3単結晶などからなる圧電基板１１上に、スパッタリング法などの方法で第１の電極１２としてＴｉを例えば膜厚が２０ｎｍで形成した後、第２の電極１３としてＣｕおよびＭｇを含んだＡｌを例えば膜厚が２０ｎｍで形成する。この際、第１の電極１２と第２の電極１３は大気に暴被しないよう連続的に成膜し形成することが望ましい。
【００２４】
次に、図３（Ｂ）に示すように、第２の電極１３上にレジスト５０を塗布する。
【００２５】
次に、図３（Ｃ）に示すように、フォトリソグラフィー法により所望のパターンでレジスト５０を露光、現像する。
【００２６】
次に、図３（Ｄ）に示すように、ドライエッチング法により第２の領域１１２に対応する部分の第１の電極１２と第２の電極１３を除去する。
【００２７】
次に、図３（Ｅ）に示すように、第１の領域１１１の第２の電極１３上のレジスト５０を除去する。
【００２８】
次に、図３（Ｆ）に示すように、Ｔｉなどの金属を例えば膜厚２０ｎｍの第３の電極１４を形成し、その上にＡｌなどの金属からなる第４の電極１５をスパッタリング法などにより形成する。
【００２９】
次に、図３（Ｇ）に示すように、第４の電極１５上にレジスト５１を塗布する。
【００３０】
次に、図３（Ｈ）に示すように、所望のパターンでレジスト５１を露光・現像する。
【００３１】
次に、図３（Ｉ）に示すように、ドライエッチング法にて第１の領域１１１の４層の電極（すなわち第１の電極、第２の電極、第３の電極および第４の電極）と第２の領域の２層の電極（すなわち第３の電極と第４の電極）を同時にエッチングする。
【００３２】
次に、レジスト５１を除去することにより、図３（Ｊ）に示すように、送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２が形成される。
【００３３】
このような製造方法で受信フィルタ１０２の挿入損失が小さく、極めて小型のアンテナ共用器が得られる。
【００３４】
また本発明の製造方法によれば、膜厚の異なる送信フィルタと受信フィルタを別々にエッチングする場合に比べ、ドライエッチング回数が１回であるため、ドライエッチングのエッチング速度の変動により送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２の目標周波数に対するズレが生じた場合においても、前記ズレは送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２においてほぼ均一になり、トリミング等の方法で容易に送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２とを同時に周波数補正を行えるため、結果としてアンテナ共用器の特性を精度よく製造できる。
【００３５】
また、送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２とを同時にエッチングすることができるため、送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２とを別々にエッチングする方法と比べて工程数が少なく、コストの低減が可能である。
【００３６】
（実施の形態２）
以下に、実施の形態２のアンテナ共用器について説明する。実施の形態２において、本発明の実施の形態１と共通する構成部品については同一番号を付す。
【００３７】
図４は本発明の実施の形態２のアンテナ共用器の構成を示す断面図である。実施の形態２のアンテナ共用器の平面図は、実施の形態１における平面図の図２と同様である。図４において、圧電基板１１はＬｉＴａＯ3単結晶であり、その表面の第１の領域１１１に送信フィルタ１０１を備え、第２の領域１１２に受信フィルタ１０２を備える。
【００３８】
送信フィルタ１０１を構成するＩＤＴ電極は、圧電基板１１の側から順に第１の電極１２と第２の電極１３と第３の電極１４と第４の電極１５を順に積層した４層の積層電極で構成したものである。送信フィルタ１０１において、第１の電極１２は材料がＴｉで厚みを２０ｎｍで形成され、第２の電極１３は材料がＡｌを主体にする金属で厚みを２０ｎｍで形成され、第３の電極１４は材料がＴｉで厚みを２０ｎｍで形成され、第４の電極１５は材料がＡｌを主体とした金属で厚みを３４２ｎｍとして形成されている。第２の電極１３および第４の電極１５はＡｌ中への拡散係数がＡｌの自己拡散係数より小さいＣｕ、Ｍｇ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｚｒなどの金属を０．５重量％から２重量％含むアルミニウムとすることでより耐電力性を向上させることができる。
【００３９】
受信フィルタ１０２を構成するＩＤＴ電極は、圧電基板１１の側から順に第３の電極１４と第４の電極１５を順に積層した２層の積層電極で構成したものである。受信フィルタ１０２において、第３の電極１４は材料がＴｉで厚みを２０ｎｍで形成され、第４の電極１５は材料がＡｌを主体とした金属で厚みを３４２ｎｍとして形成されている。受信フィルタ１０２を構成する第３の電極１４と第４の電極１５は送信フィルタ１０１における第３の電極１４と第４の電極１５と同じ材料、同じ膜厚で構成されているが、受信フィルタ１０２を構成する第４の電極１５は、送信フィルタ１０１を構成する第４の電極１５よりＡｌの配向度の高い膜が形成され、電気抵抗の小さい膜となる。これはＬｉＴａＯ3の直上のＴｉの上に成膜されているためと考えられる。故に本発明の実施の形態２の構成にすることで受信フィルタ１０２の挿入損失が良好で小型のアンテナ共用器が得られる。
【００４０】
更に本発明の実施の形態２においては送信フィルタ１０１が形成された第１の領域１１１と受信フィルタ１０２が形成された第２の領域１１２の境界において圧電基板１１の表面に段差６０を設け、第２の領域１１２の圧電基板１１の方が第１の領域１１１の圧電基板１１よりも薄くなるようにしている。このような構成にすることでアンテナ共用器のアイソレーション特性が向上する。これは空気に比べ比誘電率の高い圧電基板１１内に電界が集中しているため、圧電基板１１内に電界による送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２の結合が軽減されるためである。
【００４１】
また、圧電基板１１の電極が形成されている表面側に段差６０を設けることにより、弾性表面波の伝播による結合も軽減されアイソレーションが良化する。
【００４２】
本発明の実施の形態２のアンテナ共用器は基本的に実施の形態１のアンテナ共用器と同じ図３（Ａ）〜図３（Ｊ）に示す製造方法で製造でき、図４に示す段差６０は図３（Ｄ）のドライエッチング工程で、第２の領域１１２における第１の電極１２と第２の電極１３と圧電基板１１の上面をエッチングすることで作成することができる。
【００４３】
（実施の形態３）
以下に、実施の形態３のアンテナ共用器について説明する。実施の形態３において、本発明の実施の形態１と共通する構成部品については同一番号を付す。
【００４４】
図５は本発明の実施の形態３のアンテナ共用器の構成を示す断面図である。実施の形態３のアンテナ共用器の平面図は、実施の形態１における平面図の図２と同様である。圧電基板１１はＬｉＴａＯ3単結晶であり、その表面の第１の領域１１１に送信フィルタ１０１を備え、第２の領域１１２に受信フィルタ１０２を備える。
【００４５】
送信フィルタ１０１を構成するＩＤＴ電極は、圧電基板１１の側から順に第１の電極１２と第２の電極１３と第３の電極１４と第４の電極１５を順に積層した４層の積層電極で構成したものである。送信フィルタ１０１において、第１の電極１２は材料がＴｉで厚みを２０ｎｍで形成され、第２の電極１３は材料がＡｌを主体にする金属で厚みを２０ｎｍで形成され、第３の電極１４は材料がＴｉで厚みを２０ｎｍで形成され、第４の電極１５は材料がＡｌを主体とした金属で厚みを３４２ｎｍとして形成されている。第２の電極および第４の電極はＡｌ中への拡散係数がＡｌの自己拡散係数より小さいＣｕ、Ｍｇ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｚｒなどの金属を０．５重量％から２重量％含むＡｌとすることでより耐電力性を向上させることができる。
【００４６】
受信フィルタ１０２を構成するＩＤＴ電極は、圧電基板１１の上に単層の第４の電極１５を形成したものである。受信フィルタ１０２において、第４の電極１５は材料がＡｌを主体とした金属で厚みを３４２ｎｍとして形成されている。受信フィルタ１０２を構成する第４の電極１５は送信フィルタ１０１における第４の電極１５と同じ材料、同じ膜厚で構成されている。受信フィルタ１０２を構成する第４の電極１５は、送信フィルタ１０１を構成する第４の電極１５より特に電気抵抗が小さいわけではないが、電界が集中する圧電基板１１に接する部分が比較的電気抵抗の小さいＡｌを主体とした電極となるため、実効的に電気抵抗による損失が小さくなる。故に本発明の実施の形態３の構成にすることで受信フィルタの挿入損失が良好で小型のアンテナ共用器が得られる。
【００４７】
次に、図６（Ａ）〜図６（Ｊ）を参照しながら本発明の実施の形態３のアンテナ共用器の製造方法を説明する。
【００４８】
まず、図６（Ａ）に示すように、ＬｉＴａＯ3単結晶などからなる圧電基板１１上に、スパッタリング法などの方法で第１の電極１２としてＴｉを例えば膜厚が２０ｎｍで形成した後、第２の電極１３としてＣｕおよびＭｇを含んだＡｌを例えば膜厚が２０ｎｍで形成する。さらにその後、第２の電極１３の上に第３の電極１４としてＴｉを例えば膜厚が２０ｎｍで形成する。この際、第１の電極１２、第２の電極１３および第３の電極１４は大気に暴被しないよう連続的に成膜し形成することが望ましい。
【００４９】
次に、図６（Ｂ）に示すように、第３の電極１４上にレジスト５０を塗布する。
【００５０】
次に、図６（Ｃ）に示すように、フォトリソグラフィー法により所望のパターンでレジスト５０を露光、現像する。
【００５１】
次に、図６（Ｄ）に示すように、ドライエッチング法により第２の領域１１２に対応する部分の第１の電極１２と第２の電極１３および第３の電極１４を除去する。
【００５２】
次に、図６（Ｅ）に示すように、第１の領域１１１の第３の電極１４上のレジスト５０を除去する。
【００５３】
次に、図６（Ｆ）に示すように、Ａｌなどの金属からなる第４の電極１５をスパッタリング法などにより形成する。
【００５４】
次に、図６（Ｇ）に示すように、第４の電極１５上にレジスト５１を塗布する。
【００５５】
次に、図６（Ｈ）に示すように、所望のパターンでレジスト５１を露光、現像する。
【００５６】
次に、図６（Ｉ）に示すように、ドライエッチング法にて第１の領域１１１の４層の電極（すなわち第１の電極１２、第２の電極１３、第３の電極１４および第４の電極１５）と第２の領域１１２の単層の電極（すなわち第４の電極１５）を同時にエッチングする。
【００５７】
次に、レジスト５１を除去することにより、図６（Ｊ）に示すように、送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２が形成される。
【００５８】
このような製造方法で受信フィルタの挿入損失が小さく、極めて小型のアンテナ共用器が得られる。
【００５９】
また本発明の製造方法によれば膜厚の異なる送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２を別々にエッチングする場合に比べ、ドライエッチング回数が１回であるため、ドライエッチングのエッチング速度の変動により送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２の目標周波数に対するズレが生じた場合においても、前記ズレは送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２においてほぼ均一になり、トリミング等の方法で容易に送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２とを同時に周波数補正を行えるため、結果としてアンテナ共用器の特性を精度よく製造できる。
【００６０】
また、送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２とを同時にエッチングすることができるため、送信フィルタ１０１と受信フィルタ１０２とを別々にエッチングする方法と比べて工程数が少なく、コストの低減が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明に係る弾性波装置は、小型でありながら低損失で平衡度の優れた弾性波装置を容易に得られるという優れた効果を奏するものであり、主として移動体通信機器に用いられる弾性波フィルタ等において有用となるものである。
【符号の説明】
【００６２】
１１  圧電基板
１２  第１の電極
１３  第２の電極
１４  第３の電極
１５  第４の電極
２１  送信端子
２２ａ，２２ｂ  受信端子
２３  アンテナ端子
３１、３２、３３、３４、３５、３６、４１  １端子対弾性波共振器
４２、４３  縦結合型弾性波共振器
５０、５１  レジスト
６０  段差
１０１  送信フィルタ
１０２  受信フィルタ
１１１  第１の領域
１１２  第２の領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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