(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線基板と、
前記配線基板上に実装された半導体素子と、
前記半導体素子の上方に配置され、前記半導体素子と熱的に接続され、前記配線基板上に接合された第１放熱手段と、
前記第１放熱手段の上方に配置され、前記第１放熱手段と熱的に接続された第２放熱手段と、を有し、
前記第１放熱手段及び前記第２放熱手段の一方の放熱手段には、前記第１放熱手段及び前記第２放熱手段の他方の放熱手段に向かって突出する突起部が、前記一方の放熱手段を平面視した状態で、前記一方の放熱手段の中心点に対して同心円となる円周上に複数形成され、
前記他方の放熱手段には、内部を前記突起部が移動可能なように形成された溝部が、前記他方の放熱手段を平面視した状態で、前記他方の放熱手段の中心点に対して同心円となる円周上に複数形成され、
前記突起部は、前記一方の放熱手段の一面から突出する第１突起部と、前記第１突起部の一面から突出し、前記第１突起部よりも幅の狭い第２突起部とを有し、
前記溝部の終端部を構成する前記溝部の側壁には、前記第１突起部が嵌合する凹部が形成され、
前記凹部以外の前記溝部の幅は、前記第１突起部の幅よりも狭く設定され、
前記第２放熱手段は、該第２放熱手段の中心点が前記第１放熱手段の中心点に一致した状態で、且つ、前記第１突起部が前記凹部に嵌合された状態で前記第１放熱手段に取り付けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記第１放熱手段には、ベース部と側壁部とによって凹部が形成され、
前記凹部と前記配線基板とによって形成された収容部に前記半導体素子が収容されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記一方の放熱手段は、前記突起部を有する取付部を有し、
前記他方の放熱手段は、前記溝部を有する取付部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記一方の放熱手段は第１ベース部を有し、前記突起部を有する取付部は前記第１ベース部から側方に突出して形成され、
前記他方の放熱手段は第２ベース部を有し、前記溝部を有する取付部は前記第２ベース部から側方に突出して形成されていることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記複数の突起部は、前記一方の放熱手段を平面視した状態で、前記一方の放熱手段の中心点に対して点対称となる位置に形成され、
前記複数の溝部は、前記他方の放熱手段を平面視した状態で、前記他方の放熱手段の中心点に対して点対称となる位置に形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項６】
前記第２放熱手段は、前記半導体素子から離間する方向に延びるように形成された複数の放熱フィンを有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＧＰＵ（Graphics Processing Unit）等に使用される半導体素子の高性能化・高速度化に伴って、その半導体素子から発熱する発熱量が年々増大している。この発熱量の増大に伴って半導体素子の温度が上昇すると、動作速度の低下や故障などの問題が生じる。
【０００３】
そこで、このような問題の発生を回避するために、半導体素子を放熱・冷却する技術が様々提案されている（例えば、特許文献１参照）。例えば図１１に示すように、配線基板７０に実装された半導体素子７１に高熱伝導性の金属からなる放熱板７２を熱的に接続し、その放熱板７２に放熱フィン７３を有するヒートシンク７４を熱的に接続する手段が提案されている。この場合、冷却すべき半導体素子７１の発する熱は、放熱板７２に一旦拡散してからヒートシンク７４を経て大気中に放熱される。これにより、半導体素子７１の発する熱が効率良く放熱され、半導体素子７１の温度上昇が抑制される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−０４３９７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、ヒートシンク７４がマザーボード等の実装基板７５に固定されているため、実装基板７５にヒートシンク７４を固定するための領域を確保する必要がある。このため、装置全体の小型化が阻害されるという問題がある。また、ヒートシンク７４を実装基板７５に固定する際に、ねじなどの固定具や接着剤等を使用する必要があったため、製造工程が複雑になり、製造コストが増大するという問題がある。さらに、熱収縮などに伴って実装基板７５に反りが生じると、放熱板７２とヒートシンク７４とが点接触又は線接触の状態となり、放熱板７２からヒートシンク７４に十分な熱伝導を行うことができないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一観点によれば、配線基板と、前記配線基板上に実装された半導体素子と、前記半導体素子の上方に配置され、前記半導体素子と熱的に接続され、前記配線基板上に接合された第１放熱手段と、前記第１放熱手段の上方に配置され、前記第１放熱手段と熱的に接続された第２放熱手段と、を有し、前記第１放熱手段及び前記第２放熱手段の一方の放熱手段には、前記第１放熱手段及び前記第２放熱手段の他方の放熱手段に向かって突出する突起部が、前記一方の放熱手段を平面視した状態で、前記一方の放熱手段の中心点に対して同心円となる円周上に複数形成され、前記他方の放熱手段には、内部を前記突起部が移動可能なように形成された溝部が、前記他方の放熱手段を平面視した状態で、前記他方の放熱手段の中心点に対して同心円となる円周上に複数形成され、前記突起部は、前記一方の放熱手段の一面から突出する第１突起部と、前記第１突起部の一面から突出し、前記第１突起部よりも幅の狭い第２突起部とを有し、前記溝部の終端部を構成する前記溝部の側壁には、前記第１突起部が嵌合する凹部が形成され、前記凹部以外の前記溝部の幅は、前記第１突起部の幅よりも狭く設定され、前記第２放熱手段は、該第２放熱手段の中心点が前記第１放熱手段の中心点に一致した状態で、且つ、前記第１突起部が前記凹部に嵌合された状態で前記第１放熱手段に取り付けられている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一観点によれば、装置全体の小型化及び製造工程の簡素化を図りつつも、優れた放熱効果を得ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（ａ）は、一実施形態の半導体装置を示す概略断面図、（ｂ）は、放熱板を示す概略平面図、（ｃ）は、ヒートシンクを示す概略平面図。なお、（ａ）は、（ｂ）のＡ−Ａ線位置における半導体装置の断面構造を示している。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、ヒートシンクの取付方法を示す説明図。
【図３】（ａ）は、変形例の半導体装置を示す概略断面図、（ｂ）は、放熱板を示す概略平面図、（ｃ）は、（ｂ）に示す放熱板のＢ−Ｂ概略断面図。
【図４】変形例の半導体装置を示す概略断面図。
【図５】変形例の放熱板の取付部を示す概略断面図。
【図６】変形例の半導体装置を示す概略断面図。
【図７】変形例の半導体装置を示す概略断面図。
【図８】（ａ）は、変形例の放熱板を示す概略平面図、（ｂ）は、変形例のヒートシンクを示す概略平面図。
【図９】（ａ）は、変形例の放熱板を示す概略平面図、（ｂ）は、変形例のヒートシンクを示す概略平面図。
【図１０】（ａ）は、変形例の放熱板を示す概略平面図、（ｂ）は、変形例のヒートシンクを示す概略平面図。
【図１１】従来の半導体装置を示す概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して各実施形態を説明する。なお、添付図面は、特徴を分かりやすくするために便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１０】
以下、一実施形態を図１及び図２に従って説明する。
図１（ａ）に示すように、半導体装置１は、ＰＧＡ（Pin Grid Array）型の配線基板１０と、その配線基板１０上に実装された半導体素子２０と、半導体素子２０の上方に配置された放熱板３０と、放熱板３０の上方に配置されたヒートシンク４０とを有している。
【００１１】
配線基板１０は、基板本体１１と、接続用パッド１２と、ピン１３とを有している。基板本体１１としては、接続用パッド１２及びピン１３が基板内部を通じて相互に電気的に接続された構造を有していれば十分である。このため、基板本体１１の内部には配線層が形成されていてもよく、配線層が形成されていなくてもよい。なお、基板本体１１の内部に配線層が形成される場合には、複数の配線層が層間絶縁層を介して積層され、各配線層と各絶縁層に形成されたビアとによって上記接続用パッド１２及びピン１３が電気的に接続されている。基板本体１１としては、例えばコア基板を有するコア付きビルドアップ基板やコア基板を有さないコアレス基板等を用いることができる。
【００１２】
接続用パッド１２は、基板本体１１の上面に形成されている。接続用パッド１２の材料としては、例えば銅又は銅合金を用いることができる。また、ピン１３は、例えばマザーボード等の実装基板と接続される外部接続端子として機能する。
【００１３】
半導体素子２０は、シリコン（Ｓｉ）等からなる薄板化された半導体基板上に半導体集積回路（図示略）が形成された素子形成面（図１において下面）を有している。この素子形成面はパッシベーション膜で覆われ、その素子形成面に接続端子２１が配設されている。半導体素子２０としては、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）チップやＧＰＵ（Graphics Processing Unit）チップなどのロジックチップを用いることができる。また、半導体素子２０としては、例えばＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）チップ、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）チップやフラッシュメモリチップなどのメモリチップを用いることができる。半導体素子２０の厚さは、例えば１０〜５０μｍとすることができる。
【００１４】
半導体素子２０は、配線基板１０にフリップチップ接合されている。すなわち、半導体素子２０は、上記接続端子２１を介して、配線基板１０の接続用パッド１２と電気的に接続されている。接続端子２１としては、例えば金（Ａｕ）バンプやはんだバンプを用いることができる。はんだバンプの材料としては、例えば鉛（Ｐｂ）を含む合金、錫（Ｓｎ）と銅（Ｃｕ）の合金、Ｓｎと銀（Ａｇ）の合金、ＳｎとＡｇとＣｕの合金などを用いることができる。
【００１５】
半導体素子２０の下面と配線基板１０の上面との間にはアンダーフィル樹脂２２が充填されている。アンダーフィル樹脂２２の材料としては、例えばエポキシ系樹脂などの絶縁性樹脂を用いることができる。
【００１６】
半導体素子２０の上方には、放熱板３０が配置されている。放熱板３０はヒートスプレッダとも呼ばれる。放熱板３０の材料としては、例えば銅、アルミニウム（Ａｌ）又はそれらの合金等を用いることができる。
【００１７】
放熱板３０は、配線基板１０上に接合されている。具体的には、放熱板３０は、半導体素子２０を取り囲むように配線基板１０の周縁部に接合部材５０によって接合されている。接合部材５０の材料としては、例えばシリコンポリマー系の樹脂を用いることができる。
【００１８】
放熱板３０は、板状に形成されたベース部３１と、このベース部３１の周囲に一体的に形成され、底面が接合部材５０を介して配線基板１０に接合された枠状の側壁部３２と、ベース部３１から側方に突出された取付部３３とを有している。このような放熱板３０の製造は、例えば鍛造加工や機械切削などにより行うことができる。
【００１９】
また、放熱板３０には、ベース部３１と側壁部３２とによって凹部３５が形成されている。この凹部３５と上記配線基板１０とによって形成された収容部に半導体素子２０が収容されている。そして、半導体素子２０の回路形成面と反対側の面（図１（ａ）において上面）が、熱伝導部材（Thermal Interface Material：ＴＩＭ）５１を介して放熱板３０の凹部３５の内底面に熱的に接続されている。なお、放熱板３０のベース部３１の平面形状は、例えば正方形状に形成されている（図１（ｂ）参照）。また、ベース部３１の大きさは、例えば平面視で２０ｍｍ×２０ｍｍ〜４０ｍｍ×４０ｍｍ程度とすることができ、ベース部３１の厚さは、例えば０．５〜４ｍｍ程度とすることができる。
【００２０】
なお、図１（ａ）に示した上記熱伝導部材５１としては、例えばインジウム（Ｉｎ）、シリコーン（又は炭化水素）グリース、金属フィラー、グラファイトなどの高熱伝導性物質を樹脂バインダでシート状に成型したものを用いることができる。この熱伝導部材５１の厚さは、例えば２０〜３０μｍ程度とすることができる。
【００２１】
取付部３３は、上記ヒートシンク４０を固定するための部材であり、ベース部３１と一体的に形成されている。取付部３３は、その上面がベース部３１の上面と面一になるように形成されている。また、取付部３３の厚さは、ベース部３１と同じ厚さ、もしくはベース部３１よりも薄く形成され、例えば０．５〜４ｍｍ程度とすることができる。この取付部３３には、ヒートシンク４０を固定するための溝部３４が形成されている。この溝部３４は、取付部３３の厚さ方向を貫通するように形成されている。
【００２２】
ヒートシンク４０は、放熱板３０に直接固定されている。ヒートシンク４０の材料としては、例えば銅、アルミニウム又はそれらの合金等を用いることができる。
ヒートシンク４０は、板状に形成されたベース部４１と、ベース部４１の上面から上方に突出する複数の放熱フィン４２と、ベース部４１から側方に突出された取付部４３とを有している。このようなヒートシンク４０の製造は、例えば鍛造加工や機械切削などにより行うことができる。
【００２３】
ベース部４１は、その下面が放熱板３０のベース部３１の上面と面接触されている。これにより、ヒートシンク４０は放熱板３０と熱的に接続されている。ベース部４１の平面形状は、例えばベース部３１と同じく正方形状に形成されている。このベース部４１の大きさは、例えばベース部３１と同じ大きさに設定されている。このため、ベース部４１の大きさは、例えば平面視で２０ｍｍ×２０ｍｍ〜４０ｍｍ×４０ｍｍ程度とすることができる。また、ベース部４１の厚さは、例えば０．３〜３ｍｍ程度とすることができる。
【００２４】
放熱フィン４２は、ベース部４１の上面の全範囲に渡って、所定間隔をあけて多数個並列に形成されている。各放熱フィン４２は、熱を拡散しやすいように表面積が広くなるような形状に形成されている。すなわち、各放熱フィン４２は、半導体素子２０から離間する方向（図１（ａ）では、上方）に延びるように形成されている。なお、各放熱フィン４２は、ベース部４１と一体的に形成されている。
【００２５】
取付部４３は、当該ヒートシンク４０を上記放熱板３０に固定するための部材であり、ベース部４１と一体的に形成されている。取付部４３は、その下面がベース部４１の下面と面一になるように形成されている。また、取付部４３の厚さは、ベース部４１と同じ厚さ、もしくはベース部４１よりも薄く形成され、例えば０．２〜３ｍｍ程度とすることができる。この取付部４３には、その下面から下方に突出する円柱状の突起部４４が形成されている。この突起部４４は、放熱板３０の取付部３３に形成された溝部３４に嵌挿されている。具体的には、突起部４４は、その側面が溝部３４の側壁に当接した状態で溝部３４に挿通され、取付部３３よりも下方に突出されている。このように突起部４４が溝部３４に嵌挿されることで、ヒートシンク４０が放熱板３０に固定されている。なお、突起部４４は、取付部４３と一体的に形成されてもよいし、取付部４３とは別に製造した部材を取付部４３に接合させたものであってもよい。取付部４３とは別に製造される場合の突起部４４の材料としては、例えば銅、アルミニウム、鉄（Ｆｅ）、ステンレス又はそれらの合金等を用いることができる。
【００２６】
このような構造の半導体装置１では、半導体素子２０から発生した熱は、熱伝導部材５１を介して放熱板３０に一旦拡散されてから表面積の広いヒートシンク４０に伝導され、そのヒートシンク４０から大気中に放熱される。これにより、半導体素子２０から発生する熱が効率良く放熱されるため、半導体素子２０の温度上昇が抑制される。
【００２７】
次に、放熱板３０とヒートシンク４０の取付構造について詳述する。
図１（ｂ）に示すように、放熱板３０のベース部３１には、そのベース部３１の各辺の中心付近に取付部３３が形成されている。すなわち、ベース部３１には、４つの取付部３３が形成されている。各取付部３３の平面形状は、矩形状に形成されている。また、各取付部３３には、一側面から取付部３３の内側中途まで延びる上記溝部３４が形成されている。この溝部３４の幅は、上記突起部４４の直径と略同じ長さに設定されている。具体的には、溝部３４の幅は、突起部４４の側面が溝部３４の側壁に当接しながら突起部４４が溝部３４内を移動可能な幅に設定されている。これら複数の取付部３３及び溝部３４は、放熱板３０を平面視した状態で、放熱板３０の中心点（ベース部３１の中心点）Ｃ１を中心にして同心円となる円周上に設けられている。具体的には、複数の取付部３３及び溝部３４は、放熱板３０を平面視した状態で、放熱板３０の中心点Ｃ１を中心にして点対称となるように設けられている。
【００２８】
一方、図１（ｃ）に示すように、ヒートシンク４０のベース部４１には、そのベース部４１の各辺の中心付近に取付部４３が形成されている。すなわち、ベース部４１には、４つの取付部４３が形成されている。各取付部４３の平面形状は、矩形状に形成されている。この各取付部４３の平面形状は、上記取付部３３よりも小さく形成されている。また、各取付部４３には、円柱状の上記突起部４４が形成されている。これら複数の取付部４３及び突起部４４は、ヒートシンク４０を平面視した状態で、ヒートシンク４０の中心点（ベース部４１の中心点）Ｃ２を中心にして同心円となる円周上に設けられている。具体的には、複数の取付部４３及び突起部４４は、ヒートシンク４０を平面視した状態で、ヒートシンク４０の中心点Ｃ２を中心にして点対称となるように設けられている。なお、図１（ｃ）及び図２では、溝部３４と突起部４４の位置関係を明確にするために、突起部４４を実線で示している。
【００２９】
次に、放熱板３０とヒートシンク４０の取付方法と併せて半導体装置１の作用について説明する。
まず、図２（ａ）に示すように、放熱板３０の中心点Ｃ１とヒートシンク４０の中心点Ｃ２を一致させ、且つ突起部４４が取付部３３に干渉しない位置に配置されるように、ヒートシンク４０を放熱板３０の上面に載置する。このとき、ヒートシンク４０の下面が放熱板３０の上面に接触されている。続いて、各突起部４４を各溝部３４の開口端に向かって移動させるように、中心点Ｃ２を回転中心にしてヒートシンク４０を図中の矢印方向に回転させる。すると、各突起部４４が、各取付部３３の一側面に形成された開口端から溝部３４に侵入し、その溝部３４に沿って該溝部３４の側壁に当接しながら移動（回転）する。換言すると、上記溝部３４は、中心点Ｃ１，Ｃ２を一致させて矢印方向にヒートシンク４０を回転させた場合における突起部４４の軌道上に沿って形成されている。そして、図２（ｂ）に示すように、各突起部４４が各溝部３４の終端部に当接すると、各突起部４４が各溝部３４の終端部に嵌入（嵌挿）されることになる。このとき、突起部４４の侵入方向（図２（ａ）の実線矢印参照）への移動は、上記終端部を構成する溝部３４の側壁によって規制される。また、突起部４４の側面と溝部３４の側壁とが当接されているため、これら側面及び側壁の間の摩擦力により、各突起部４４の上下方向及び侵入方向とは反対方向（破線矢印参照）への移動も抑制される。このように、ヒートシンク４０を所定方向に回転させるという簡便な操作によって、ヒートシンク４０が放熱板３０に取り付けられる（固定される）。このため、ヒートシンク４０と放熱板３０との取り付けに際して、取り付けのための特別な部品・道具が不要となる。
【００３０】
以上説明した本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）ヒートシンク４０を放熱板３０に直接固定するようにした。このため、マザーボード等の実装基板にヒートシンク４０を固定するための領域を確保する必要がなくなる。これにより、半導体装置１の小型化を図ることができる。また、ヒートシンク４０と放熱板３０との接触状態がマザーボードの反りの影響を受けない。このため、仮にマザーボード等の実装基板に反りが生じた場合であっても、放熱板３０とヒートシンク４０とを面接触させることができる。これにより、放熱板３０とヒートシンク４０との接触面積を広く確保することができるため、放熱板３０からヒートシンク４０に効率良く熱を伝導させることができる。この結果、半導体素子２０から発生する熱を効率良く放熱することができるため、半導体素子２０の温度上昇を好適に抑制することができる。
【００３１】
（２）さらに、ヒートシンク４０を所定方向に回転させるという簡便な操作によって、ヒートシンク４０を放熱板３０に取り付けることができる。このため、ヒートシンク４０と放熱板３０との取り付けに際して、取り付けのための特別な部品・道具が不要となる。したがって、製造工程を簡素化することができる。
【００３２】
（他の実施形態）
なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の態様にて実施することもできる。
・図３（ａ）に示されるように、突起部４４の形状を断面Ｔ字状に変更するようにしてもよい。すなわち、例えば取付部４３の下面に第１突起部４４Ａが形成され、その第１突起部４４Ａの下面に該第１突起部４４Ａよりも幅の狭い（小径の）第２突起部４４Ｂが形成されている。このとき、図３（ｂ），（ｃ）に示されるように、溝部３４の終端部を構成する溝部３４の側壁３４Ｓに、上記第１突起部４４Ａが嵌合される凹部３４Ａを形成するようにしてもよい。すなわち、凹部３４Ａの開口径は第１突起部４４Ａの直径と略同じ長さであり、凹部３４Ａの深さは第１突起部４４Ａの厚さと略同じ長さである。ここで、図３（ａ）は、溝部３４の終端部における断面構造を示しており、凹部３４Ａに第１突起部４４Ａが嵌合された状態を示している。この図３（ａ）を参照して上記終端部周辺の構造について詳述すると、溝部３４の終端部には、上記凹部３４Ａと、その凹部３４Ａの下側に上記第２突起部４４Ｂが嵌挿される溝部３４Ｂとが形成されている。この場合には、上記終端部以外の溝部３４の幅は、第１突起部４４Ａの直径よりも短い長さに設定され、第２突起部４４Ｂの直径と略同じ長さに設定される。このため、図３（ｃ）に示すように、第１突起部４４Ａが凹部３４Ａに嵌合されると、その第１突起部４４Ａの側面が上記終端部以外の溝部３４を構成する側壁３４Ｓに当接される。これにより、第１突起部４４Ａを凹部３４Ａに嵌合させた後、つまりヒートシンク４０を放熱板３０に取り付けた後には、ヒートシンク４０を回転させようとする外力が加わっても、突起部４４（第１突起部４４Ａ）の移動が規制される。この結果、ヒートシンク４０が放熱板３０から抜けることを好適に抑制することができる。
【００３３】
・図４に示されるように、突起部４４の側面に溝部３４の側壁３４Ｓが嵌合される凹部４４Ｘを形成するようにしてもよい。これにより、突起部４４の上下方向への移動が規制されるため、ヒートシンク４０が放熱板３０から抜けることを好適に抑制することができる。
【００３４】
さらに、このとき、図５に示されるように、溝部３４の側壁３４Ｓを開口端から終端部に向かうに連れて厚くなるように形成するようにしてもよい。この場合には、溝部３４内に侵入した突起部４４が終端部に向かって移動するに連れて、突起部４４の凹部４４Ｘに溝部３４の側壁３４Ｓが強固に嵌まる。これにより、突起部４４が溝部３４の終端部に向かって移動するに連れて、ヒートシンク４０と放熱板３０との密着力を向上させることができる。この結果、放熱板３０からヒートシンク４０に効率良く熱を伝導させることができる。なお、この場合には、上記終端部を構成する溝部３４の側壁３４Ｓを、その側壁３４Ｓが突起部４４の凹部４４Ｘに嵌合される厚さに設定することが好ましい。
【００３５】
・図６に示されるように、放熱板３０とヒートシンク４０との間に熱伝導部材５２を介在させるようにしてもよい。すなわち、放熱板３０とヒートシンク４０とを熱伝導部材５２を介して熱的に接続するようにしてもよい。ここで、熱伝導部材５２の材料としては、例えばインジウム、シリコーン（又は炭化水素）グリース、金属フィラー、グラファイトなどの高熱伝導性物質を樹脂バインダでシート状に成型したものを用いることができる。この熱伝導部材５２の厚さは、例えば２０〜３０μｍ程度とすることができる。
【００３６】
・図７に示されるように、ヒートシンク４０の上部にファン６０を設けるようにしてもよい。この場合には、ファン６０によって強制的に空気の移動量を増やすことができるため、冷却能力を高めることができる。
【００３７】
・上記実施形態では、放熱板３０のベース部３１及びヒートシンク４０のベース部４１の平面形状を正方形状とした。これに限らず、例えばベース部３１，４１の平面形状を、矩形状、八角形などの多角形状や円形状としてもよい。図８（ａ）、（ｂ）には、ベース部３１，４１の平面形状を八角形状に形成した例を示している。このような場合であっても、溝部３４を有する取付部３３を、放熱板３０を平面視した状態で、放熱板３０の中心点Ｃ１を中心にして点対称となる位置関係で複数形成する。また、突起部４４を有する取付部４３を、ヒートシンク４０を平面視した状態で、ヒートシンク４０の中心点Ｃ２を中心にして点対称となる位置関係で複数形成する。これにより、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００３８】
・上記実施形態では、放熱板３０に溝部３４を有する取付部３３を設け、ヒートシンク４０に突起部４４を有する取付部４３を設けるようにした。これに限らず、例えば放熱板３０に突起部４４を有する取付部４３を設け、ヒートシンク４０に溝部３４を有する取付部３３を設けるようにしてもよい。
【００３９】
・上記実施形態では、放熱板３０に溝部３４を有する取付部３３を設け、ヒートシンク４０に突起部４４を有する取付部４３を設けるようにしたが、取付部３３，４３を省略するようにしてもよい。この場合には、例えば図９（ａ）、（ｂ）に示されるように、放熱板３０のベース部３１に溝部３４を形成し、ヒートシンク４０のベース部４１に突起部４４を形成する。このときの溝部３４では、突起部４４が挿入される位置３４Ｃにおける溝の幅が広くなっていることが好ましい。このような場合であっても、溝部３４を、放熱板３０を平面視した状態で、放熱板３０の中心点Ｃ１を中心にして点対称となる位置関係で複数形成する。また、突起部４４を、ヒートシンク４０を平面視した状態で、ヒートシンク４０の中心点Ｃ２を中心にして点対称となる位置関係で複数形成する。これにより、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４０】
・上記実施形態及び上記各変形例では、溝部３４及び突起部４４を、中心点Ｃ１，Ｃ２を中心にして点対称となる位置関係で複数形成するようにした。これに限らず、例えば図１０（ａ）に示されるように、複数の溝部３４（及び取付部３３）は、放熱板３０の中心点Ｃ１を中心にして同心円となる円周上に形成されるのであれば、中心点Ｃ１を中心にして点対称となる位置関係に形成されていなくてもよい。また、例えば図１０（ｂ）に示されるように、複数の突起部４４（及び取付部４３）は、ヒートシンク４０の中心点Ｃ２を中心にして同心円となる円周上に形成されるのであれば、中心点Ｃ２を中心にして点対称となる位置関係に形成されていなくてもよい。このような場合であっても、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４１】
・上記実施形態では、ヒートシンク４０を放熱板３０に取り付ける際に、ヒートシンク４０を回転させるようにしたが、放熱板３０を回転させるようにしてもよいし、ヒートシンク４０と放熱板３０の双方を回転させるようにしてもよい。また、ヒートシンク４０を放熱板３０に取り付けた後に、それら放熱板３０及びヒートシンク４０を配線基板１０に接合するようにしてもよい。
【００４２】
・上記実施形態における放熱フィン４２を省略するようにしてもよい。すなわち、ヒートシンク４０の代わりに、放熱フィンを有していないヒートシンクを放熱板３０に取り付けるようにしてもよい。
【００４３】
・上記実施形態では、突起部４４を円柱状に形成したが、これに限らず、例えば突起部４４を四角柱状に形成するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１  半導体装置
１０  配線基板
２０  半導体素子
３０  放熱板（第１放熱手段）
３３  取付部
３４  溝部
３４Ａ  凹部
３４Ｂ  溝部
３４Ｓ  側壁
４０  ヒートシンク（第２放熱手段）
４２  放熱フィン
４３  取付部
４４  突起部
４４Ａ  第１突起部
４４Ｂ  第２突起部
４４Ｘ  凹部
Ｃ１，Ｃ２  中心点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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