(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極と、
前記電極に対向し、かつ、前記電極に間隔を開けて配置される振動膜であって、バイアス電圧が印加されて当該バイアス電圧によって前記電極との間に働く静電引力により振動する振動部を有する振動膜と、
前記振動部の表面のうち前記電極と対向する側の表面の一部の領域に接触して設けられ、当該表面よりも表面抵抗率が小さい導電部材と、
前記振動膜に対して前記バイアス電圧を直接印加するとともに、前記導電部材を経由して前記振動膜に前記バイアス電圧を印加するバイアス電源と
を備えることを特徴とする静電型の電気音響変換器。
【請求項２】
前記導電部材は、いずれも線状に形成され且つ延伸する方向が同じ平行部分が等間隔に並ぶように配置された複数の部材を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の電気音響変換器。
【請求項３】
前記導電部材の前記電極側に設けられた絶縁性を有する絶縁部材であって、前記導電部材の前記電極側の面及び側面に覆い被さって前記表面に接着する絶縁部材を備える
ことを特徴とする請求項２に記載の電気音響変換器。
【請求項４】
絶縁体かつ弾性体である材料で形成され、通気性を有し、前記電極と前記導電部材との間に設けられるクッション材を備え、
前記導電部材は、前記絶縁部材に接着されており、かつ、前記振動部の表面に固定され、
前記絶縁部材は、前記クッション材に固定されている
ことを特徴とする請求項３に記載の静電型の電気音響変換器。
【請求項５】
前記振動膜の表面と前記導電部材の両方に接触し、前記バイアス電源からの電圧を当該両方に印加するように設けられた端子と、
前記振動部の表面がバイアス電位となった後に前記導電部材と前記端子との電気的な接続を切り離すスイッチとを備える
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の電気音響変換器。
【請求項６】
前記導電部材は、前記振動部の表面において当該導電部材から最も離れた位置と当該導電部材との距離が、所定の充電時定数で前記振動部の表面がバイアス電位となる場合の当該距離以下となるように設けられている
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の静電型の電気音響変換器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電型の電気音響変換器に関する。
【背景技術】
【０００２】
間隔をあけて互いに対向するように配置された振動膜と電極の間に印加する電圧を変化させ、これらの間に働く静電引力を変化させることで、振動膜を振動させて音を出力又は入力する静電型の電気音響変換器が知られている。特許文献１には、静電型の電気音響変換器（静電型スピーカ）の振動板に、高分子フィルムを導電性高分子モノマー、化学酸化剤、及びドーパントを含む水性溶媒溶液中で処理し、これにより高分子フィルム上に形成される導電性高分子重合体層を用いる技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−４６６９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
静電型スピーカ又は静電型マイクロフォンといった静電型の電気音響変換器では、振動膜と電極とが接近して配置され、かつ、これらの間に印加する電圧が高いため、振動膜と電極との間に放電が生じることがある。放電が生じると、振動膜と電極の間が短絡して異音が発生することがある。この異音が発生する頻度は、振動膜の表面抵抗を大きくする程、抑えられる。一方、静電型の電気音響変換器は、振動膜に十分な電荷を蓄積させてから動作させるものである。上記のとおり、振動膜の表面抵抗を大きくすると、この振動膜への電荷の蓄積に要する時間が長くなる。つまり、静電型の電気音響変換器の利用者が利用を開始するまでに待たされる時間が長くなる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的の１つは、電極と振動膜との間の放電による異音の発生を低減しつつ、静電型の電気音響変換器が利用可能になるまでに要する時間を短くすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明は、電極と、前記電極に対向し、かつ、前記電極に間隔を開けて配置される振動膜であって、バイアス電圧が印加されて当該バイアス電圧によって前記電極との間に働く静電引力により振動する振動部を有する振動膜と、前記振動部の表面のうち前記電極と対向する側の表面の一部の領域に接触して設けられ、当該表面よりも表面抵抗率が小さい導電部材と、前記振動膜に対して前記バイアス電圧を直接印加するとともに、前記導電部材を経由して前記振動膜に前記バイアス電圧を印加するバイアス電源とを備えることを特徴とする静電型の電気音響変換器を提供する。
【０００６】
好ましい態様において、前記導電部材は、いずれも線状に形成され且つ延伸する方向が同じ平行部分が等間隔に並ぶように配置された複数の部材を有する。
他の好ましい態様において、前記導電部材の前記電極側に設けられた絶縁性を有する絶縁部材であって、前記導電部材の前記電極側の面及び側面に覆い被さって前記表面に接着する絶縁部材を備える。
他の好ましい態様において、絶縁体かつ弾性体である材料で形成され、通気性を有し、前記電極と前記導電部材との間に設けられるクッション材を備え、前記導電部材は、前記絶縁部材に接着されており、かつ、前記振動部の表面に固定され、前記絶縁部材は、前記クッション材に固定されている。
他の好ましい態様において、前記振動膜の表面と前記導電部材の両方に接触し、前記バイアス電源からの電圧を当該両方に印加するように設けられた端子と、前記振動部の表面がバイアス電位となった後に前記導電部材と前記端子との電気的な接続を切り離すスイッチとを備える。
他の好ましい態様において、前記導電部材は、前記振動部の表面において当該導電部材から最も離れた位置と当該導電部材との距離が、所定の充電時定数で前記振動部の表面がバイアス電位となる場合の当該距離以下となるように設けられている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、上記の振動膜及び導電部材を有しない構成に比べ、電極と振動膜との間の放電による異音の発生を低減しつつ、静電型の電気音響変換器が利用可能になるまでに要する時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態に係る静電型スピーカの外観図である。
【図２】静電型スピーカをＸ軸方向に見た図である。
【図３】接着部材の周辺を拡大して示す図である。
【図４】静電型スピーカの断面を示す図である。
【図５】静電型スピーカの電気的構成を示す図である。
【図６】図４における振動膜の表面を拡大して示す図である。
【図７】接着部材が設けられていない振動膜の表面を示す図である。
【図８】変形例に係る静電型スピーカの断面を示す図である。
【図９】変形例に係る静電型スピーカの断面を示す図である。
【図１０】変形例に係る静電型スピーカの断面を示す図である。
【図１１】変形例に係る静電型スピーカの断面を示す図である。
【図１２】変形例に係る静電型スピーカの電気的構成を示す図である。
【図１３】変形例に係る静電型スピーカの外観図である。
【図１４】変形例に係る接着部材の周辺を拡大して示す図である。
【図１５】変形例に係る静電型マイクロフォンの電気的構成を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［実施形態］
本実施形態においては、静電型の電気音響変換器を、音響信号（電気信号）を音波に変換する静電型スピーカとして適用した例を説明する。
図１は、実施形態に係る静電型スピーカ１の外観図である。図１では、３軸の直交座標系の座標軸であるＸ、Ｙ、Ｚを示している。静電型スピーカ１は、振動膜１０と、接着部材２０Ｕ、２０Ｌと、クッション材３０Ｕ、３０Ｌと、スペーサ３５Ｕ、３５Ｌと、電極４０Ｕ、４０Ｌとを、部材として備えている。以下では、符号の末尾に「Ｕ」、「Ｌ」が付いた部材については、それぞれを区別しない場合に「Ｕ」、「Ｌ」の記載を省略して示す。静電型スピーカ１では、電極４０Ｌ、クッション材３０Ｌ、接着部材２０Ｌ、振動膜１０、接着部材２０Ｕ、クッション材３０Ｕ及び電極４０Ｕが、この順番でＺ軸方向に重ねられている。また、静電型スピーカ１のＹ軸方向の両端部側では、クッション材３０及び接着部材２０の代わりに、スペーサ３５Ｌ、３５Ｕがそれぞれ重ねられている。スペーサ３５Ｌ、３５Ｕは、Ｚ軸方向に隣り合う部材と接触する面をそれぞれ有しており、それらの面の法線がいずれもＺ軸方向に沿うようになっている。また、図１では、静電型スピーカ１の厚み、すなわちＺ軸方向の長さを、各部の形状を理解しやすくするため、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の長さに比べて大きくして示している。つまり、静電型スピーカ１は、実際には、図１に示したものよりも薄く、全体としてシート状の形状である。
【００１０】
（静電型スピーカ１の各部の構成および構造）
電極４０は、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate、ポリエチレンテレフタレート）又はＰＰ（polypropylene、ポリプロピレン）などの絶縁性及び柔軟性を有する合成樹脂で形成された膜状の部材の一方の面に、電気を通す金属を蒸着して導電膜を形成した部材である。電極４０は、Ｚ軸上の点から見て矩形となっており、クッション材３０側の面からその裏側にある面に貫通する孔を複数有している。電極４０では、これらの孔により、音波が、クッション材３０側からその裏側に通過するようになっている。なお、図面においては、この孔の図示を省略している。
クッション材３０は、絶縁体を材料として形成されたスポンジ状の部材であり、Ｚ軸方向からみて矩形となっている。クッション材３０は、振動膜１０と電極４０とを離間させている。また、クッション材３０は、弾性体でもあり、外部から力を加えられると変形し、外部から加えられた力が取り除かれると元の形状に戻る。また、クッション材３０は、内部が多孔質で通気性を有しており、その内部に存在する空気によって音が伝達される部材である。クッション材３０は、Ｘ軸方向の長さ及びＹ軸方向の長さが、電極４０と同じとなっている。また、クッション材３０Ｕ及び３０Ｌは、Ｚ軸方向の長さがいずれも同じとなっている。なお、クッション材３０は、振動膜１０と電極４０とを離間させ、かつ、音を伝達するものであれば、シート状又は不織布等様々な形態であってもよい。
【００１１】
スペーサ３５は、絶縁体のプラスチックで形成された部材である。スペーサ３５は、Ｘ軸方向の長さが電極４０と同じとなっており、Ｚ軸方向の長さがクッション材３０と接着部材２０のＺ軸方向の長さの合計と同じとなっている。また、スペーサ３５Ｕ及び３５Ｌは、Ｚ軸方向の長さがいずれも同じとなっている。
振動膜１０は、例えば、ＰＥＴ又はＰＰ等の絶縁性及び柔軟性を有する合成樹脂で形成された膜状の部材である。また、振動膜１０には、界面活性剤が塗布又は添加されている。振動膜１０の表面には、この界面活性剤の作用により、帯電防止剤が形成されている。振動膜１０は、この帯電防止剤により、ＪＩＳ法により測定される表面抵抗率が１×１０11Ω／□以上となっている。振動膜１０は、数μｍ程度の厚さで薄い膜状となっているため、外力を受けると自在に変形する。また、振動膜１０は、Ｚ軸方向からみて矩形の形状となっており、Ｘ軸方向の長さ及びＹ軸方向の長さが、電極４０及びクッション材３０と同じとなっている。
【００１２】
接着部材２０は、振動膜１０とクッション材３０の間に設けられ、これらのそれぞれと接着している部材である。以下、図２から図４を参照して、接着部材２０の詳細を説明する。
図２は、静電型スピーカをＸ軸方向に見た図である。接着部材２０Ｕは、振動膜１０のクッション材３０Ｕ側（言い換えれば、電極４０と対向する側）の表面１０１Ｕと接着している。また、接着部材２０Ｕは、クッション材３０Ｕの振動膜１０側の表面３０１Ｕと接着している。接着部材２０Ｌは、振動膜１０のクッション材３０Ｌ側の表面１０１Ｌと接着している。また、接着部材２０Ｌは、クッション材３０Ｌの振動膜１０側の表面３０１Ｌと接着している。図２では、接着部材２０のＸ軸方向の端部が９箇所示されている。接着部材２０は、これらの端部の間隔がそれぞれＴ１となるように設けられている。本実施形態においては、Ｔ１は、５０ｍｍである。接着部材２０及びクッション材３０のＹ軸方向の両側には、スペーサ３５が設けられている。スペーサ３５は、Ｚ軸方向の両側を、電極４０及び振動膜１０と接着されている。振動膜１０は、スペーサ３５によってＹ軸方向の両側が電極４０に対して固定されている。Ｙ軸方向側のスペーサ３５と接着部材２０との間には、振動膜１０に電圧を印加するための端子５３１（５３１Ｕ、５３１Ｌ）が、表面１０１と接触させて設けられている。
【００１３】
図３は、図２のＩＩＩ部を拡大して示す図である。このＩＩＩ部は、接着部材２０のうち、端子５３１が設けられている部分の周辺を示している。接着部材２０Ｕは、導電層２１０Ｕ（導電部材）と、絶縁層２２０Ｕ（絶縁部材）とを有する。絶縁層２２０Ｕは、絶縁性の高い材料で形成されている。この材料は、例えば、ＰＥＴ又はポリエチレン等の合成樹脂や、ゴム等の天然樹脂であり、ＪＩＳ法により測定される体積抵抗率が１×１０8Ωｃｍ以上の材料である。絶縁層２２０Ｕは、クッション材３０Ｕの表面３０１Ｕと接着されており、これにより、接着部材２０Ｕがクッション材３０Ｕに固定されている。導電層２１０Ｕは、電気を通す金属を絶縁層２２０Ｕに蒸着させて形成された層である。この金属は、例えば、銅又はアルミニウム等であり、ＪＩＳ法により測定される体積抵抗率が１×１０-4Ωｃｍ以下の金属である。導電層２１０Ｕは、絶縁層２２０Ｕと同じ幅で形成されている。導電層２１０Ｕは、振動膜１０の表面１０１Ｕと接着されており、これにより、接着部材２０Ｕが振動膜１０に固定されている。導電層２１０Ｕは、振動膜１０の表面１０１Ｕと電気的に接続している。また、導電層２１０Ｕには、端子５３１Ｕが接触しており、これと電気的に接続している。端子５３１Ｕは、振動膜１０の表面１０１Ｕとも接触しており、これと電気的に接続している。つまり、端子５３１Ｕは、振動膜１０の表面１０１Ｕ及び導電層２１０Ｕの両方に電圧を印加するように設けられている。
接着部材２０Ｌが有する導電層２１０Ｌ、絶縁層２２０Ｌ及び端子５３１Ｌは、それぞれ導電層２１０Ｕ、絶縁層２２０Ｕ及び端子５３１Ｕとそれぞれ同じ構成を有しているので、説明を省略する。
【００１４】
図４は、図２のＩＶ−ＩＶ切断線における接着部材２０Ｕの断面を示す図である。なお、この断面は、導電層２１０Ｕの断面となっているため、図４では、導電層２１０Ｕとして示している。振動膜１０は、Ｙ軸方向の両端部側の固定部１２１、１２２及びこれらに挟まれている振動部１１０を有する。振動部１１０は、固定部１２１、１２２がスペーサ３５により電極４０に対して固定された状態で、電極４０との間に働く静電引力により振動する。導電層２１０Ｕは、振動膜１０の表面１０１Ｕのうち、振動部１１０の表面１１１Ｕの全体に渡って設けられている。導電層２１０Ｕは、全体が表面１１１Ｕと接着している。また、導電層２１０Ｕは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ９本ずつの線状となっており、９行×９列の格子状の形状となっている。Ｙ軸方向に並ぶ線状の部分は、図２に示したようにそれぞれ長さＴ１の間隔をあけて設けられており、Ｘ軸方向に並ぶ線状の部分も、これと同様に長さＴ１の間隔をあけて設けられている。このように、導電層２１０は、線状の部分を有する格子状の層である。このような形状で設けられている導電層２１０Ｕによって、表面１１１Ｕには、複数の正方形の矩形領域１１２ｔが形成されている。端子５３１Ｕは、固定部１２１に設けられており、Ｘ軸方向に直線状に延伸している。
【００１５】
（静電型スピーカ１に係る電気的構成）
図５は、静電型スピーカ１の電気的構成を示す図である。静電型スピーカ１には、駆動部５００が接続される。駆動部５００は、変圧器５１０と、増幅部５２０と、バイアス電源５３０とを備えている。増幅部５２０は、入力側の一方の端子に入力された音響信号（つまり、図５に示す矢印Ａ１の方向に入力された電気信号）を増幅して出力する。また、増幅部５２０は、入力側のもう一方の端子が接地されている。変圧器５１０の入力側の一方の端子Ｑ１は、抵抗器Ｒ１を介して増幅部５２０の出力側の一方の端子に接続されている。変圧器５１０の入力側のもう一方の端子Ｑ２は、抵抗器Ｒ２を介して増幅部５２０の出力側のもう一方の端子に接続されている。変圧器５１０の出力側の一方の端子Ｑ４は、電極４０Ｕの導電膜に接続されている。変圧器５１０の出力側のもう一方の端子Ｑ５は、電極４０Ｌの導電膜に接続されている。変圧器５１０の中点の端子Ｑ３は、抵抗器Ｒ３を介して駆動部５００の基準電位となるグランドＧＮＤに接続されている。このような構成により、増幅部５２０に入力された音響信号に応じた電圧が、変圧器５１０を介して電極４０Ｕの導電膜に印加され、この電圧とは極性が反対となる電圧が、変圧器５１０を介して電極４０Ｌの導電膜に印加される。
【００１６】
バイアス電源５３０は、直流電源であり、マイナス極が駆動部５００の基準電位となるグランドＧＮＤに接続されている。また、バイアス電源５３０のプラス極は、抵抗器Ｒ４及び端子５３１Ｕを介して振動膜１０及び接着部材２０Ｕに接続され、抵抗器Ｒ４及び端子５３１Ｌを介して振動膜１０及び接着部材２０Ｌに接続されている。バイアス電源５３０は、振動膜１０に対してプラスの電圧を印加する。振動膜１０は、離間して配置されている電極４０と共にコンデンサを形成しているため、バイアス電源５３０から印加された電圧により、表面１０１がバイアス電位となるまでプラスの電荷が蓄えられる（すなわち、コンデンサが充電される）。この際、バイアス電源５３０は、振動膜１０に直接電圧を印加するとともに、接着部材２０を経由して振動膜１０に電圧を印加する。
この構成においては、増幅部５２０に入力された音響信号に応じた電圧が電極４０（４０Ｕ及び４０Ｌ）に印加されることで、静電型スピーカ１は、プッシュプル型の静電型スピーカとして動作する。
【００１７】
（静電型スピーカ１の動作）
次に、静電型スピーカ１の動作について説明する。まず、静電型スピーカ１は、音響信号を入力させる前に、振動膜１０の表面１０１が定められた電位（以下「バイアス電位」という。）となるまで、振動膜１０に対してバイアス電源５３０により直流バイアスを与える。これにより、振動膜１０の表面１０１は、例えば、＋５００Ｖの電位となる。続いて、増幅部５２０に音響信号が入力されると、入力された音響信号に応じた電圧が変圧器５１０から電極４０Ｕと電極４０Ｌに印加される。そして、印加された電圧によって電極４０Ｕと電極４０Ｌとの間に電位差が生じると、電極４０Ｕと電極４０Ｌの間にある振動膜１０には、電極４０Ｕと電極４０Ｌのいずれかの側へ引き寄せられる方向に静電力が働く。
【００１８】
例えば、音響信号に応じて、電極４０Ｕにマイナスの電圧が印加されてその表面の電位が−１００Ｖになり、電極４０Ｌにプラスの電圧が印加されてその表面の電位が＋１００Ｖになったものとする。この場合、振動膜１０と電極４０Ｕとの電位差が６００Ｖ（５００Ｖ＋１００Ｖ）となるのに比べて、振動膜１０と電極４０Ｌとの電位差が４００Ｖ（５００Ｖ−１００Ｖ）となる。これにより、電極４０Ｌとの間で働く静電引力よりも電極４０Ｕとの間で働く静電引力の方が大きくなり、振動膜１０は、電極４０Ｕ側に変位する。
また、電極４０Ｕ及び４０Ｌに印加される電圧が変化して、これらの表面の電位が上記と逆（電極４０Ｕが−１００Ｖ、電極４０Ｌが＋１００Ｖ）になった場合、今度は、電極４０Ｕとの間で働く静電引力よりも電極４０Ｌとの間で働く静電引力の方が大きくなり、振動膜１０は、電極４０Ｌ側に変位する。このように、振動膜１０の振動部１１０は、音響信号に応じて、電極４０Ｕ側または電極４０Ｌ側に変位し、その変位する方向が逐次変わることによって振動する。そして、この振動の状態、具体的には周波数や振幅に応じた音波が振動膜１０の振動部１１０から発生する。発生した音波は、クッション材３０及び電極４０を通り抜けて静電型スピーカ１の外部に放射される。
【００１９】
静電型スピーカでは、振動膜１０と電極４０との距離が数ｍｍ（又は１ｍｍ以下）の長さであり、かつ、振動膜１０が振動すると、この距離がさらに短くなる。これに対し、振動膜１０と電極４０との間の電位差は、数百Ｖから数千Ｖという単位となるため、これらの間に存在する空気が絶縁破壊を起こし、放電が発生することがある。ここで放電が発生すると、静電型スピーカから放音される音に、「パチッ」という異音が混ざることがある。この放電は、振動膜の表面の表面抵抗率が低いほど発生しやすくなる。例えば、振動膜が電極側に撓んで変位している状態で電極に印加される電圧が変化すると、電極との距離が近い部分（例えば振動膜の中央部分であり、以下「近接部分」という。）ほど静電引力が強くなり、その近接部分に電荷が集まろうとする。ここで、振動膜の表面の表面抵抗率が低いと、表面抵抗率が高い場合に比べて、同じ量の電荷であればより速く近接部分に集まることになるため、同じ時間が経過したときにおける近接部分での電位差も大きくなり、放電が発生しやすくなる。
静電型スピーカ１では、振動部１１０の表面１１１を含む表面１０１の表面抵抗率が、上記のとおり、１×１０11Ω／□以上である。このため、静電型スピーカ１においては、振動膜の表面の表面抵抗率がこれよりも低い場合に比べて、同じ量の電荷が上記の近接部分に移動してくるまでに要する時間が長くなり、その結果同じ時間が経過したときにおける近接部分での電位差が小さくなるため、放電が発生しにくくなる。
【００２０】
一方、振動膜の表面の表面抵抗率が大きいと、これが小さい場合に比べて、バイアス電圧が印加されたときに、その表面が上記バイアス電位になるまでに要する時間が長くなる。言い換えれば、振動膜及び電極が形成する上述のコンデンサと、そのコンデンサに接続する抵抗器Ｒ３、Ｒ４とによって定まる充電の時定数が大きくなる。以下、この時定数を「充電時定数」という。
図６は、接着部材２０が設けられていない振動膜における電荷の移動について説明するための図である。図６（ａ）では、バイアス電源５３０からの端子５３１ｘが固定部１２１側にのみ設けられている振動膜１０ｘを示している。振動膜１０ｘでは、振動部１１０において端子５３１ｘから最も離れた位置が固定部１２２側の端部にある点Ｐ１ｘとなる。振動膜１０ｘでは、バイアス電源５３０から印加された電圧により端子５３１ｘから供給された電荷（本実施形態の場合、プラスの電荷）が点Ｐ１ｘに到達するためには、その電荷が表面１１１を振動部１１０のＹ軸方向の長さであるＴ２だけ移動しなければならない。図６（ｂ）では、固定部１２１に端子５３１ｙが設けられ、固定部１２２に端子５３２ｙが設けられている振動膜１０ｙを示している。振動膜１０ｙでは、振動部１１０において端子５３１ｙ、１３２ｙのいずれからも最も離れた位置が、振動部１１０のＹ軸方向における中央の点Ｐ１ｘとなる。振動膜１０ｙでは、バイアス電源５３０から印加された電圧により端子５３１ｙ、１３２ｙから供給された電荷が点Ｐ１ｙに到達するためには、その電荷が表面１１１を長さＴ２の半分であるＴ３だけ移動しなければならない。
【００２１】
これに対し、振動膜１０では、バイアス電源５３０に接続される端子５３１が、接着部材２０の導電層２１０を介して、振動部１１０の表面１１１にも接続されているため、導電層２１０を移動する電荷が、振動部１１０の表面１１１を移動する電荷よりも速く振動部１１０の各位置に到達する。
図７は、振動膜１０における電荷の移動について説明するための図である。図７（ａ）では、図４と同様の導電層２１０Ｕの断面を示している。導電層２１０Ｕの体積抵抗率（１×１０-4Ωｃｍ以下）は、上述のとおり、振動部１１０の表面１１１を含む表面１０１Ｕの表面抵抗率（１×１０11Ω／□）とは桁が１５桁以上異なるため、寸法の違いを考慮しても、導電層２１０Ｕの内部を所定の量の電荷（以下「所定量電荷」という。）が移動するのに要する時間は、振動部１１０の表面１１１Ｕをその所定量電荷が移動する時間よりも、はるかに短い時間である。このため、表面１１１Ｕでは、端子５３１から移動してきた所定量電荷が到達するまでの時間は、導電層２１０Ｕを電荷が移動する距離によって概ね決まる。振動部１１０では、導電層２１０Ｕからの距離が最も大きくなる位置は、各矩形領域１１２ｔの中心となる点Ｐ１である。図７（ａ）では、複数ある点Ｐ１のうちのひとつを例として示している。
【００２２】
図７（ｂ）では、図７（ａ）のＷ部（点Ｐ１を含むひとつの矩形領域１１２ｔ及びその周辺領域）を拡大して示している。点Ｐ１に到達する電荷は、この矩形領域１１２ｔのいずれかの辺の中央において導電層２１０Ｕから表面１１１Ｕに移る。そして、この電荷は、表面１１１Ｕを矩形領域１１２ｔの１辺の長さであるＴ１の半分の長さＴ４だけ移動して、点Ｐ１に到達する。つまり、振動膜１０においては、図６に示した振動膜１０ｘと比べると、表面１１１Ｕを電荷が移動する距離が、振動部１１０のＹ軸方向の寸法（Ｔ１）と矩形領域１１２ｔの一辺の半分の寸法（Ｔ４）との差分だけ短い。また、振動膜１０においては、図６に示した振動膜１０ｙと比べると、表面１１１Ｕを電荷が移動する距離が、振動部１１０のＹ軸方向の寸法の半分（Ｔ２）と矩形領域１１２ｔの一辺の半分の寸法（Ｔ４）との差分だけ短い。従って、静電型スピーカ１において所定量電荷が端子５３１から点Ｐ１まで移動するときに要する時間は、振動膜１０ｘ、１０ｙを備える静電型スピーカにおいて同じ量の電荷が端子５３１ｘ、５３１ｙから上記の点Ｐ１ｘ、Ｐ１ｙまで移動するときに要する時間と比べて、概ねこの量の電荷が前述した各差分を移動するときに要する時間の分だけ短くなる。これらの点Ｐ１、Ｐ１ｘ、Ｐ１ｙは、それぞれの静電型スピーカにおいて、各端子から移動してくる所定量電荷が到達するまでに要する時間が最も大きくなる位置を示している。つまり、静電型スピーカ１では、振動膜１０ｘ、１０ｙを備える静電型スピーカに比べて、振動部１１０に所定量電荷が行き渡るまでに要する時間が短いことになり、振動部１１０がバイアス電位となるまでの時間が短くなる（すなわち、振動部１１０の充電時定数も短くなる）。
【００２３】
以上のとおり、静電型スピーカ１においては、振動膜１０の表面１０１の表面抵抗率を１×１０11Ω／□としたことで、これよりも表面抵抗率が小さい振動膜を用いるよりも、表面１１１を電荷が移動しにくくなって電極４０と振動膜１０との間での放電の発生を低減することができる。また、静電型スピーカ１では、導電層２１０を有する接着部材２０を表面１１１に設けない静電型スピーカに比べて、バイアス電圧によって振動膜１０がバイアス電位になるまでに要する時間を短くすること（すなわち、充電時定数を小さくすること）ができる。この時間は、言い換えると、静電型スピーカ１を利用することが可能になるまでに要する時間である。
【００２４】
また、静電型スピーカ１においては、導電層２１０に対して、表面１１１に接触している側とは反対側（電極４０側）に絶縁層２２０が設けられており、導電層２１０は、絶縁層２２０を介してクッション材３０に固定されている。これにより、振動膜１０の振動によってクッション材３０が変形し、クッション材３０の多孔質の内部を通して振動膜１０と電極４０とが接触することがあっても、短絡しないようにすることができる。
また、静電型スピーカ１においては、その導電体全体と表面１１１とが接着されている。振動膜と接着部材２０とが接着されていない部分があると、振動膜１０が振動する際に、その部分において、振動膜１０と接着部材２０とが一旦離れて再び接触するときに衝突音が発生することがあるが、静電型スピーカ１では、導電体全体と表面１１１とが接着されているため、そのような衝突音が発生しないようになっている。
【００２５】
［変形例］
上述した実施形態は、本発明の実施の一例に過ぎず、次のように種々の応用・変形が可能であり、また、必要に応じて組み合わせることも可能である。
【００２６】
（変形例１）
振動膜１０は、上述した実施形態では、振動膜１０の表面抵抗率が１×１０11Ω／□以上となっているものであったが、表面抵抗率がこれよりも小さいものであってもよい。静電型スピーカにおいて、電極と振動膜との間に放電が発生する可能性は、これらの間に印加される電圧の大きさ、これらの距離又は空気の状態等によって変化する。振動膜１０の表面抵抗率が１×１０11Ω／□であっても、他の条件によって、上述した異音が発生しない場合もある。要するに、振動膜は、その表面抵抗率が導電層２１０の体積抵抗率（又は表面抵抗率）よりも大きいものであればよい。言い換えれば、振動膜には、自身の表面よりも上述した所定量電荷が速く移動する導電層がその表面に接触するようにして備えられていればよい。これにより、表面１０１よりも導電層２１０の方が所定量電荷を速く移動させ、導電層２１０経由で供給される電荷によって表面１０１が充電されるまでの時間を短くすることができる。
なお、静電型スピーカにおいては、その他の条件が変わらなければ、振動膜の表面抵抗率が大きいほど上記放電の発生が低減されるため、望ましくは、その表面抵抗率が１×１０11Ω／□以上となっているとよい。
【００２７】
（変形例２）
接着部材２０は、上述した実施形態では、図４に示す形状に部材として形成されて、その後に振動膜１０及びクッション材３０にそれぞれ接着されていたが、これ以外の方法で接着されていてもよい。例えば、接着部材２０のように導電層及び絶縁層を有する両面テープであってもよいし、導電層として機能する接着剤を振動膜１０に塗布し、絶縁層として機能する接着剤をその上に塗布してクッション材３０と接着させてもよい。
また、導電層２１０及び絶縁層２２０は、別々の部材（例えば導電部材と絶縁部材）として形成されていてもよい。この場合、導電部材は、振動膜１０側が振動部１１０の表面１１１に接着され、電極４０側が絶縁部材と接着される。また絶縁部材は、電極４０側がクッション材３０と接着されるといった具合である。
【００２８】
（変形例３）
接着部材２０は、上述した実施形態では、振動部１１０に全体を接着させていたが、一部だけ接着させてもよいし、全く接着させなくともよい。要するに、接着部材２０は、振動部１１０が振動していない状態となっているときに、振動部１１０の表面１１１と接触するよう設けられていればよい。これにより、導電層２１０から表面１１１に電荷が供給され、接着部材２０が設けられていない場合に比べて、振動部１１０の充電時定数が小さくなる。
【００２９】
（変形例４）
接着部材２０は、上述した実施形態では、絶縁層２２０を有していたが、これを有していない接着部材であってもよい。この場合、接着部材は、導電層２１０（導電部材）のみからなる部材である。この接着部材、すなわち導電層２１０は、直接クッション材３０と接着することで、クッション材３０に固定される。この場合であっても、接着部材は、導電層２１０が電荷を振動部１１０の表面１１１に供給することで、充電時定数を小さくする部材として機能する。要するに、静電型スピーカにおいては、表面１１１に接触して、表面１１１よりも上述した所定量電荷が速く移動する導電部材が備えられていればよい。
【００３０】
（変形例５）
導電層２１０は、上述した実施形態では、体積抵抗率が１×１０-4Ωｃｍ以下の金属であったが、これに限らない。例えば、接着部材が有する導電層２１０は、金属以外の材料で形成されていてもよいし、その体積抵抗率が１×１０-4Ωｃｍより大きいものであってもよい。要するに、導電層２１０は、振動部１１０の表面１１１に比べて、同じ電圧が印加された場合に、所定量電荷がより速く移動する程度の導電性を有しているものであればよい。これにより、接着部材を備えていない場合に比べて、振動部１１０の充電時定数を小さくすることができる。
【００３１】
（変形例６）
振動部１１０の表面１１１には、上述した実施形態では、矩形領域１１２ｔが形成されていたが、これが形成されていなくともよい。例えば、表面１１１には、線状の接着部材を互いに重ならないように並べて備えられてもよい。
図８は、本変形例に係る静電型スピーカ１ａの断面を示す図である。図７では、図４に示す断面と同様に、静電型スピーカ１ａが備える導電層２１０Ｕａの断面が示されている。導電層２１０Ｕａは、Ｙ軸方向に沿って直線状に形成されている。また、表面１１１Ｕには、Ｘ軸方向に長さＴ１だけ間隔を空けて並んだ複数（９つ）の導電層２１０Ｕａが設けられている。この場合、導電層２１０Ｕａからの距離が最も大きくなる表面１１１上の位置は、各導電層２１０Ｕａから等しい距離（すなわちＴ１の半分であるＴ４）にある線状の領域Ｌ１である。図８では、複数ある領域Ｌ１のうちのひとつを例として示している。領域Ｌ１は、いずれの位置においても、導電層２１０Ｕａからの距離がＴ４であり、図７で説明したのと同様に、振動部１１０の充電時定数を小さくすることができる。
【００３２】
（変形例７）
変形例６に係る導電層２１０Ｕａを有する接着部材２０Ｕａとは別に、導電層を有しない接着部材を重ねて設けてもよい。
図９は、本変形例に係る静電型スピーカ１ｂの断面を示す図である。静電型スピーカ１ｂは、導電層を有しない接着部材２３０Ｕｂを備えていることを除けば、図８に示した静電型スピーカ１ａと同じ構成である。なお、図９では、図８と異なり、接着部材２３０Ｕｂの断面を示している。接着部材２３０Ｕｂは、線状に形成された複数の部材であり、接着部材２３０Ｕａと交差して、接着部材２３０Ｕａよりもクッション材３０側に配置されている。このように、表面１１１Ｕに設けられる接着部材には、導電層を有しないものが含まれていてもよい。この場合であっても、導電層を有する接着部材（この例では接着部材２０Ｕａ）から供給される電荷によって、接着部材が設けられていない場合に比べて充電時定数を小さくすることができる。
【００３３】
（変形例８）
接着部材は、上述した実施形態では格子状、変形例７ではＹ軸方向に沿った複数の線状となるように表面１１１Ｕに設けられていたが、これらとは異なる形状で設けられていてもよい。
図１０は、本変形例に係る静電型スピーカ１ｃの断面を示す図である。静電型スピーカ１ｃでは、導電層２１０Ｕｃを含む接続部材の形状のみが実施形態に係る静電型スピーカ１と異なる。導電層２１０Ｕｃは、一端を端子５３１Ｕと接触させて、もう一端を振動部１１０の中心に向けて渦巻きを描くように配置して表面１１１Ｕに設けられている。この場合、振動部１１０において導電層２１０Ｕｃからの距離が最も大きくなる位置は、導電層２１０Ｕｃに挟まれた領域において両側の導電層２１０Ｕｃから等しい距離（図１０に示すＴ５）にある線状の領域Ｌ２である。図１０では、複数ある領域Ｌ２のうちのひとつを例として示している。領域Ｌ２は、いずれの位置においても、導電層２１０Ｕｃからの距離がＴ５であり、図６に示した長さＴ２、Ｔ３よりも短いため、静電型スピーカ１ｃでは、図７で説明したのと同様に、振動部１１０の充電時定数を小さくすることができる。
【００３４】
図１１は、本変形例に係る静電型スピーカ１ｄの断面を示す図である。静電型スピーカ１ｄでは、振動部１１０の表面１１１に、Ｙ軸方向及びＸ軸方向に対して斜めの方向に沿って複数の直線状に形成されている導電層２１０Ｕｄを含む接着部材が設けられている。また、表面１１１には、端子５３１Ｕに加え、固定部１２２に端子５３２Ｕが設けられている。各導電層２１０Ｕｄは、端子５３１Ｕ又は１３２Ｕのいずれかと電気的に接続するように設けられている。この図においては、図１０における領域Ｌ２に相当する領域Ｌ３と、距離Ｔ５に相当する距離Ｔ６が示されている。距離Ｔ６が図６に示した長さＴ２、Ｔ３よりも短いため、静電型スピーカ１ｄにおいても、図７で説明したのと同様に、振動部１１０の充電時定数を小さくすることができる。
【００３５】
要するに、静電スピーカにおいては、振動部１１０の表面１１１に線状に形成された接着部材が設けられており、その接着部材が、表面１１１において自部材から最も離れた位置と自部材との距離が定められた範囲に収まるように配置されていればよい。ここでいう距離の範囲は、少なくとも、振動膜１０に設けられた端子（上述した端子５３１など）と、振動部１１０の表面１１１においてその端子から最も離れた位置との距離よりも短くなっていればよい。また、接着部材は、１本であっても、複数本であってもよい。いずれの場合も、望ましくは、接着部材が延伸する方向が同じ部分（つまり互いに平行になっている部分であり、以下「平行部分」という。）については、それらの平行部分が互いに等間隔に並ぶようにして配置されているとよい。上述した振動部１１０の充電時定数は、接着部材から最も離れた位置まで所定量電荷が到達するまでに要する時間に依存する。このため、それらの平行部分同士の間隔が一定でない場合、平行部分の間隔が狭いところは、充電時定数を短くすることに寄与していない。言い換えれば、平行部分の間隔を、より間隔が広いところと等しくなるようにしても、充電時定数は変わらない。そして、平行部分同士の間隔を広くするほど、振動部１１０の表面１１１を接着部材が覆う面積を小さくすることができる。ここで、表面１１１において、接着部材で覆われた部分の面積を大きくするほど、電極４０側に露出する表面１１１が少なくなり、電極４０と振動膜１０との間に働く静電引力の大きさが接着部材の電気的な特性に依存した状態となる。この状態は、振動膜１０の振動の仕方、つまり、音を出力する際の特性にも影響を与える場合がある。上記のとおり接着部材を構成することにより、このような影響を少なくすることができる。
【００３６】
また、上述した実施形態及び変形例において、導電層は、いずれも線状となっていたが、線状でない部分が含まれていてもよい。例えば、導電層は、端子と接続する部分が板状になっていてもよいし、振動部と接触している部分のうちの一部が板状となっていてもよい。また、導電層は、線状の部分が含まれていなくともよい。例えば、導電層は、図４に示す矩形状の矩形領域１１２ｔが円形状の領域となるような形状で設けられていてもよい。この場合、望ましくは、接着部材は、自部材が振動部１１０の表面１１１を覆うことにより影響を受けた上記の特性が静電型スピーカとして許容される範囲に収まる程度の面積で、かつ、自身（特に導電層）が設けられない場合に比べて振動部１１０の充電時定数が小さくなるように設けられるとよい。このため、接着部材は、表面１１１を電極４０側に露出しやすいように、例えば、線状の導電層又は線状の部分を含む導電層を有するものであるとよい。また、いずれの場合も、接着部材が有する導電層は、振動部１１０の表面１１１においてその導電層から最も離れた位置からその導電層までの距離が、所定の充電時定数で振動部１１０の表面１１１がバイアス電位となる場合に比べて同じかそれ以下となるように設けられているとよい。静電型スピーカにおいては、このような導電層を設けることで、振動部１１０の充電時定数が所定の充電時定数よりも短くなるようにすることができる。例えば、発明者による実験では、この距離を５０ｍｍ以下とした場合、充電時定数が数十秒となり、意図した充電時定数に収めることができた。
【００３７】
より具体的には、上述した実施形態及び変形例において示した点Ｐ１、領域Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３は、各々の導電層からの距離Ｔ４、Ｔ４、Ｔ５、Ｔ６が図６に示したＴ２、Ｔ３よりも短いものであったが、この寸法が５０ｍｍ以下であれば、振動膜及び電極により形成されるコンデンサが数十秒で充電されることが、発明者らの実験によって確かめられている。よって、接着部材は、これらの距離、すなわち、表面１１１において導電層から最も離れた位置までの導電層からの距離が、５０ｍｍ以下となるように設けられることが望ましい。
【００３８】
（変形例９）
静電型スピーカ１においては、振動部１１０の表面１１１がバイアス電位となった後に、導電層２１０と端子５３１との電気的な接続を切り離すようにしてもよい。
図１２は、本変形例に係る静電型スピーカ１ｅの電気的構成を示す図である。図１２に示す電気的構成は、図５に示すものと、振動膜１０と接着部材２０とに接続する端子の構成のみが異なる。静電型スピーカ１ｅは、振動膜１０及びバイアス電源５３０を接続するための端子５３３Ｕ、５３３Ｌと、接着部材２０及びバイアス電源５３０を接続するための端子５３４Ｕ、５３４Ｌとを備える。端子５３４Ｕ、５３４Ｌは、電気的な接続の有無（オン・オフ）を切り替えるスイッチ５３５Ｕ、５３５Ｌをそれぞれ有している。また、振動部１１０には、表面１１１の電位を測定する図示せぬ測定装置のセンサが設けられている。スイッチ５３５は、静電型スピーカ１ｅに電源が投入されたときに電気的に接続し（オンとなり）、この測定装置による測定結果が上述したバイアス電位になったときに電気的な接続を切る（オフとなる）ように動作する。このような静電型スピーカ１ｅにおいては、表面１１１がバイアス電位となった後は、導電層２１０から端子５３４を介して振動部１１０へ電荷が移動しなくなるため、スイッチ５３５を設けない場合に比べ、表面１１１の電荷の移動が遅くなる。これにより、静電型スピーカ１ｅは、スイッチ５３５を設けない場合に比べ、放音時に表面１１１の電位が変動する場合における放電の発生を抑制することができる。
【００３９】
（変形例１０）
上述した実施形態では、静電型スピーカ１は、振動膜１０を一対の電極４０で挟むプッシュプルの構成となっているが、静電型スピーカ１の構成は、この構成に限定されるものではない。例えば、１つのクッション材３０を振動膜１０と１つの電極４０とで挟みんだシングル型の構成であってもよい。
図１３は、本変形例に係る静電型スピーカ１ｆの外観図である。静電型スピーカ１ｆは、接着部材２０ｆ、クッション材３０ｆ及び電極４０ｆを１つずつ備えている点が、静電型スピーカ１と異なる。静電型スピーカ１ｆは、振動膜１０が電極４０ｆとの間に働く静電引力の変化によって振動することにより、放音する。この場合であっても、静電型スピーカ１ｆの表面には接着部材２０ｆが有する導電層を介してバイアス電圧が印加されるため、接着部材２０ｆが設けられていない場合に比べて充電時定数を小さくすることができる。
【００４０】
（変形例１１）
接着部材は、上述した実施形態では、導電層２１０と同じ幅の線状の絶縁層２２０を有していたが、これに限らず、導電層２１０よりも幅の広い板状の絶縁層を有していてもよい。
図１４は、本変形例に係る接着部材２０ｇの周辺を拡大して示す図である。接着部材２０ｇは、導電層２１０（図中の２１０Ｕ、２１０Ｌ）と絶縁層２２０ｇ（図中の２２０Ｕｇ、２２０Ｌｇ）とを有する。絶縁層２２０ｇは、導電層２１０よりもＹ軸方向の幅が広く、振動膜１０側の面のうち導電層２１０が蒸着されていない部分が振動膜１０側に飛び出して表面１０１と接着している。従って、導電層２１０は、側面（Ｙ軸方向を法線とする面）を含めた全体が、絶縁層２２０ｇによって覆い被されることになる。これにより、振動部１１０が振動して導電層２１０と電極４０とが接近することがあっても、導電層２１０の側面と電極４０との間には必ず絶縁層２２０ｇが挟まることになるため、この側面と電極４０との間で短絡又は放電が生じないようにすることができる。
【００４１】
（変形例１２）
端子５３１は、上述した実施形態では、表面１０１及び導電層２１０と接触する直線状のものであったが、これに限らず、板状のものであってもよいし、１点でこれらと接触するものであってもよい。要するに、この端子は、表面１０１及び導電層２１０に電圧を印加することができるものであればよく、これらと接触する面積が大きいほど、単位時間当たりに供給できる電荷の量が増えるため、充電時定数を小さくすることができる。
【００４２】
（変形例１３）
静電型スピーカ１は、上述した実施形態では、Ｚ軸方向から見たときに矩形の一辺が概ね５００ｍｍとなる寸法であったが、これよりも小さなものでも、大きなものであってもよい。例えば、Ｙ軸方向の長さを数ｍ程度とし、Ｘ軸方向の長さを数十ｃｍ程度とするといった具合である。
また、電極４０、クッション材３０及び振動膜１０は、上述した実施形態では、Ｚ軸方向から見て矩形の形状となっていたが、これに限らず、多角形、円形、楕円形など、他の形状であってもよい。
【００４３】
（変形例１４）
振動膜１０は、上述した実施形態では、スペーサ３５によりＹ軸方向の両端部側が電極４０に対して固定されていたが、一方の端部側だけを固定してもよいし、スペーサ３５を設けずに電極４０に対して固定されていなくともよい。後者の場合、振動膜１０全体が振動するため、望ましくは、端子５３１を表面１０１のより端部側に設けるとよい。また、端子５３１を表面１０１に直接接触させずに、例えばクッション材３０に端子５３１を固定する。そして、導電層２１０の一部を表面１０１に接着せずに表面１０１から離して、その一部を端子５３１に接続させるようにしてもよい。これにより、端子５３１が振動に与える影響を小さくすることができる。また、この場合、導電層２１０は、振動膜１０の振動する部分の表面（この場合、振動膜１０の表面１０１全体）に設けられることが望ましい。これにより、振動膜１０の振動する部分全体で充電時定数を小さくすることができる。言い換えれば、導電層２１０は、振動膜１０のうち、振動する部分の表面に少なくとも設けられていることが望ましい。
【００４４】
（変形例１５）
上述した実施形態及び変形例では、静電型の電気音響変換器を、音響信号（電気信号）を音（音響）に変換する静電型スピーカに適用した例を説明したが、静電型の電気音響変換器を、音（音響）を音響信号（電気信号）に変換する静電型マイクロフォンに適用してもよい。図１５は、この変形例に係る静電型マイクロフォン１Ｍの電気的構成を示した図である。図１５に示す構成では、静電型マイクロフォン１Ｍは、上述した図５の静電型スピーカ１と同じ構成を有している。静電型マイクロフォン１Ｍには、駆動部５００Ｍが接続される。駆動部５００Ｍは、上述した図５の駆動部５００と同じ構成を有するが、変圧器５１０の変圧比及び抵抗器Ｒ１〜Ｒ４の抵抗値は適宜調整されてもよい。また、駆動部５００Ｍは、増幅部５２０に入出力される音響信号の方向が図５と反対になり、この音響信号が矢印Ａ２の方向に出力されるものとする。
【００４５】
静電型マイクロフォン１Ｍの外部で音波が発生した場合には、その音波によって振動膜１０が振動することになり、その振動に応じて振動膜１０と電極４０との間の距離が変わるため、振動膜１０と電極４０との間の静電容量に変化が発生することになる。なお、振動膜１０は抵抗器Ｒ４を介してバイアス電源５３０に接続されているから、静電容量が変化しても電荷は一定に留まるものとする。振動膜１０が振動した場合、振動膜１０と電極４０との間の距離が短く（又は長く）なることで、振動膜１０と電極４０との間の静電容量が大きく（又は小さく）なる。この場合、振動膜１０と電極４０との間の電位差が小さく（又は大きく）なるように、電極４０の電位が変化することになる。この電極４０の電位の変化が、振動の変位に比例した電圧出力、つまり、音響信号として端子Ｑ４及び端子Ｑ５を介して変圧器５１０に供給されることになる。そして、変圧器５１０は、この音響信号を変圧して増幅部５２０に入力し、増幅部５２０は、この音響信号を増幅して図示せぬスピーカやコンピュータなどに出力することになる。
【００４６】
本変形例によれば、上述した実施形態と同様に、表面抵抗率が振動膜１０よりも小さい振動膜を用いるよりも、電極４０と振動膜１０との間での放電の発生を低減することができる。また、導電層２１０を有する接着部材２０を表面１１１に設けない静電型マイクロフォンに比べて、静電型の電気音響変換器である静電型マイクロフォンが利用可能になるまでに要する時間を短くすることができる。
【００４７】
ところで、本変形例において、静電型マイクロフォン１Ｍは、駆動部５００Ｍの変圧器５１０に音響信号を供給したが、変圧器５１０以外に音響信号を供給してもよい。例えば、変圧器５１０のインピーダンスが低いような場合には、静電型マイクロフォン１Ｍの負荷容量の影響により、低い周波数における周波数特性が低下する場合がある。このような場合には、静電型マイクロフォン１Ｍは、変圧器５１０よりもインピーダンスの高い増幅部５２０に音響信号を供給することで、低い周波数における周波数特性の低下を抑制してもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１…静電型スピーカ（静電型の電気音響変換器）、１０…振動膜、２０…接着部材、３０…クッション材、４０…電極、１０１、１１１…表面、１１０…振動部、１２１、１２２…固定部、２１０…導電層、２２０…絶縁層、３０１…表面、５００…駆動部、５１０…変圧器、５２０…増幅部、５３０…バイアス電源、５３１、５３２、５３３、５３４…端子、５３５…スイッチ、１Ｍ…静電型マイクロフォン（静電型の電気音響変換器）、５００Ｍ…駆動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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