(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルに連通する圧力発生室と、
第１電極と、該第１電極上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた第２電極と、を有する圧電素子と、
前記第２電極上に設けられた第３電極と、
前記圧電素子を収容する保護基板と、
を備え、
前記第３電極は、前記圧電素子の長手方向端部に対向する領域を覆い、かつ、前記圧力発生室に対向する部分において前記圧力発生室の短手方向に沿って延設され、
前記第３電極の前記圧力発生室に対向する部分の少なくとも一部と前記第２電極との間に空間を有し、かつ前記圧力発生室に対向する部分の少なくとも一部と前記保護基板との間に空間を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第３電極は、前記圧力発生室に対向する部分を、前記圧力発生室の長手方向に沿って所定間隔で複数備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１〜２の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第３電極は、密着層を介して前記第２電極上に固定されており、前記第３電極の前記圧力発生室に対向する部分の少なくとも一部と前記第２電極との間に空間には、前記密着層がないことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第３電極がＡｕからなり、前記密着層がＮｉＣｒからなることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項６】
圧力発生室と、
第１電極と、該第１電極上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた第２電極と、を有する圧電素子と、
前前記第２電極上に設けられた第３電極と、
前記圧電素子を収容する保護基板と、
を備え、
前記第３電極は、前記圧電素子の長手方向端部に対向する領域を覆い、かつ、前記圧力発生室に対向する部分において前記圧力発生室の短手方向に沿って延設され、
前記第３電極の前記圧力発生室に対向する部分の少なくとも一部と前記第２電極との間に、空間を有し、かつ前記延設された部分の少なくとも一部と前記保護基板との間に空間を有することを特徴とするアクチュエーター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を変形させることによってノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、圧電素子を備えるアクチュエーターの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電素子（アクチュエーター）を変形させて圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせることで、圧力発生室に連通するノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドが知られている。その代表例としては、液滴としてインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドがある。
【０００３】
インクジェット式記録ヘッドは、例えば、ノズルに連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板の一方面側に圧電素子を備え、この圧電素子の駆動によって振動板を変形させて圧力発生室に圧力変化を生じさせることで、ノズルからインク滴を噴射させる。
【０００４】
ここで、圧電素子は、振動板上に設けられる第１電極、圧電体層及び第２電極で構成され、圧電体層は、例えば、湿気等の外部環境に起因して破壊され易いという問題がある。この問題を解決するために、圧電体層の外周面を第２電極で覆うように構成したものがある。例えば、第１電極を圧力発生室毎に設けて個別電極、第２電極を複数の圧力発生室に亘って連続して設けて共通電極とし、この第２電極で圧電体層の外周面を覆うようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１７２８７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１のように共通電極である第２電極で圧電体層の表面を覆うようにすることで、圧電体層の破壊を抑制することはできる。
【０００７】
ところで、このような構成の圧電素子は、第１電極と第２電極との間に電圧を印加した際に、圧電体層に圧電歪みが生じる部分（能動部）と、圧電歪みが生じない部分（非能動部）との境界部分に応力集中が発生する。
【０００８】
また、圧電素子を構成する第１電極、圧電体層及び第２電極が圧力発生室の外側まで延設されている構成では、圧電体層に圧電歪みが生じる部分（能動部）において、圧力発生室に対向する部分（可撓部）と、圧力発生室の外側の部分（非可撓部）との境界である圧力発生室の端部で、さらに大きな応力集中が発生し、圧電体層に焼損やクラック等が生じてしまう虞がある。
【０００９】
また第２電極は比較的薄く形成されているため抵抗が大きく、電圧降下に起因する液体噴射特性の低下やばらつき（いわゆるエレキクロストーク）が生じ易いという問題もある。
【００１０】
なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、圧電素子を構成する圧電体層の破壊を抑制しつつ液体噴射特性の均一化を図ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーターを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決する本発明は、ノズルに連通する圧力発生室と、第１電極と、該第１電極上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた第２電極と、を有する圧電素子と、前記圧電素子の長手方向端部に対向する領域を覆って設けられる第３電極と、を備え、前記第３電極の前記圧電素子上に延設された部分と前記圧電素子との間に空間を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる本発明では、第３電極を接続することで共通電極となる第１又は第２電極の抵抗値が実質的に低下する。これにより、複数の圧電素子を同時に駆動した際の電圧降下の発生を抑制することができる。したがって、複数のノズル間における噴射特性の均一化を図ることができる。また第３電極が所定幅で延設された部分と圧電素子との間に空間が形成されていることで、第３電極による圧電素子の変位量の低下も防止できる。さらに第３電極によって圧電素子の駆動に伴う応力集中を抑制し、この応力集中に起因する圧電体層の破壊を効果的に抑制することもできる。
【００１３】
ここで、前記第３電極は、前記所定幅で延設された部分を所定間隔で複数備えることが好ましい。また前記第３電極の所定幅で延設された部分が、前記圧力発生室の幅方向に沿って設けられていることが好ましい。これにより、圧電素子の変位量を低下させることなく、共通電極の抵抗値をより確実に低下させることができる。
【００１４】
また前記第３電極は、前記圧力発生室の外側で前記流路形成基板上に固定されていることが好ましい。これにより第３電極の圧電素子との接触をより確実に抑制できる。
【００１５】
また前記第３電極は、密着層を介して前記流路形成基板上に固定されており、前記密着層を除去することで前記第３電極と前記圧電素子との間に空間が形成されているが好ましい。さらにこのような構成の場合、前記第３電極がＡｕからなり、前記密着層がＮｉＣｒからなることが好ましい。これにより、第３電極と圧電素子との間の空間を比較的簡単に形成することができ、且つ第３電極と共通電極である第１又は第２電極とを良好に導通させることができる。
【００１６】
また本発明は、このような液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、耐久性及び噴射特性の向上を図った液体噴射装置を実現することができる。
【００１７】
さらに本発明は、第１電極と、該第１電極上に設けられた圧電体層と、該圧電体層上に設けられた第２電極と、を有する圧電素子と、前記圧電素子の長手方向端部に対向する領域を覆って設けられる第３電極と、を備え、前記第３電極の前記圧電素子上に延設された部分と前記圧電素子との間に、空間を有することを特徴とするアクチュエーターにある。
かかる本発明では、第３電極を接続することで共通電極となる第１又は第２電極の抵抗値が実質的に低下する。これにより、複数の圧電素子を同時に駆動した際の電圧降下の発生を抑制することができる。したがって、複数のノズル間における噴射特性の均一化を図ることができる。また第３電極が所定幅で延設された部分と圧電素子との間に空間が形成されていることで、第３電極による圧電素子の変位量の低下も防止できる。さらに第３電極によって圧電素子の駆動に伴う応力集中を抑制し、この応力集中に起因する圧電体層の破壊を効果的に抑制することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッドを示す分解斜視図。
【図２】本発明の一実施形態に係る液体噴射ヘッドを示す平面図及び断面図。
【図３】本発明の一実施形態に係る圧電素子を示す断面図。
【図４】本発明の一実施形態に係る圧電素子の変形例を示す平面図及び断面図。
【図５】本発明の一実施形態に係る圧電素子の変形例を示す平面図。
【図６】本発明の一実施形態に係る圧電素子の変形例を示す断面図。
【図７】本発明の一実施形態に係る液体噴射装置を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１及び図２に示すように、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドＩが備える流路形成基板１０には、複数の隔壁１１によって区画された圧力発生室１２がその幅方向（短手方向）に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向の一端部側には、インク供給路１３と連通路１４とが隔壁１１によって区画されている。連通路１４の外側には、各圧力発生室１２の共通のインク室（液体室）となるマニホールド１００の一部を構成する連通部１５が形成されている。すなわち、流路形成基板１０には、圧力発生室１２、インク供給路１３、連通路１４及び連通部１５からなる液体流路が設けられている。
【００２０】
流路形成基板１０の一方面側、すなわち圧力発生室１２等の液体流路が開口する面には、各圧力発生室１２に連通するノズル２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって接合されている。
【００２１】
流路形成基板１０の他方面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態に係る振動板５０は、流路形成基板１０上に形成された弾性膜５１と、弾性膜５１上に形成された絶縁体膜５２とで構成されている。なお圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を他方の面から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の一方面は、振動板５０（弾性膜５１）で構成されている。
【００２２】
絶縁体膜５２上には、厚さが例えば、約０．２μｍの第１電極６０と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの第２電極８０とで構成される圧電素子３００が形成されている。これら振動板５０と圧電素子３００とでアクチュエーターが構成されている。
【００２３】
以下、アクチュエーターを構成する圧電素子３００について、さらに詳細に説明する。図３に示すように、圧電素子３００を構成する第１電極６０は圧力発生室１２毎に切り分けられ、圧電素子３００毎に独立する個別電極を構成する。そして第１電極６０は、圧力発生室１２の幅方向（短手方向）においては、圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち圧力発生室１２の幅方向において、第１電極６０の端部は、圧力発生室１２に対向する領域の内側に位置している。圧力発生室１２の長手方向では、第１電極６０の両端部は、それぞれ圧力発生室１２の外側まで延設されている。なお第１電極６０の材料は、金属材料であれば特に限定されないが、例えば、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）等が好適に用いられる。
【００２４】
圧電体層７０は、並設された複数の圧力発生室１２に対向する領域に亘って、所定幅で連続的に設けられている。この圧電体層７０の幅は、圧力発生室１２の長手方向の長さよりも広い。結果として、圧力発生室１２の長手方向では、圧電体層７０は圧力発生室１２の外側まで設けられている。圧力発生室１２の長手方向一端側（本実施形態では、インク供給路側）における圧電体層７０の端部は、第１電極６０の端部よりも外側に位置している。すなわち第１電極６０の端部は圧電体層７０によって覆われている。圧力発生室１２の長手方向他端側における圧電体層７０の端部は、第１電極６０の端部よりも内側（圧力発生室１２側）に位置している。
【００２５】
圧電体層７０は、並設された複数の圧力発生室１２に対向する領域に亘って所定幅で連続的に設けられている。その結果、圧力発生室１２の長手方向では、圧電体層７０は圧力発生室１２の外側まで設けられている。圧力発生室１２の長手方向一端側（本実施形態では、インク供給路側）における圧電体層７０の端部は、第１電極６０の端部よりも外側に位置している。すなわち第１電極６０の端部は圧電体層７０によって覆われている。圧力発生室１２の長手方向他端側における圧電体層７０の端部は、第１電極６０の端部よりも内側（圧力発生室１２側）に位置している。
【００２６】
なお圧電体層７０の外側まで延設された第１電極６０には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極６５が接続されている。図示は省略するが、このリード電極６５は、駆動回路等に繋がる接続配線が接続される端子部を構成する。
【００２７】
また圧電体層７０には、各隔壁１１に対向する凹部７１が形成されている。この凹部７１は、各隔壁１１と略同一、若しくはそれよりも広い幅で形成されている。これにより、振動板５０の圧力発生室１２の幅方向端部に対向する部分（いわゆる振動板５０の腕部）の剛性が抑えられるため、圧電素子３００を良好に変位させることができる。
【００２８】
圧電体層７０の材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電性圧電性材料や、これにニオブ、ニッケル、マグネシウム、ビスマス又はイットリウム等の金属を添加したリラクサ強誘電体等が用いられる。
【００２９】
第２電極８０は、圧力発生室１２の並設方向において、凹部７１を含む圧電体層７０上に連続して設けられ、本実施形態では、複数の圧電素子３００に共通する共通電極を構成する。圧力発生室１２の長手方向一端側における第２電極８０の端部は、圧電体層７０の端部よりも外側に位置している。つまり圧電体層７０の端部は第２電極８０によって覆われている。圧力発生室１２の長手方向他端側における第２電極８０の端部は、圧電体層７０の端部よりも内側（圧力発生室１２側）に位置している。第２電極８０の材料は、金属材料であれば特に限定されないが、例えば、イリジウム（Ｉｒ）等が好適に用いられる。
【００３０】
このような構成の圧電素子３００は、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加することで変位が生じる。すなわち両電極の間に電圧を印加することで、第１電極６０と第２電極８０と挟まれている圧電体層７０に圧電歪みが生じる。そして、両電極に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を能動部と称する。また圧電体層７０に圧電歪みが生じない部分を非能動部と称する。また圧電体層７０に圧電歪みが生じる能動部において、圧力発生室１２に対向する部分を可撓部３２０と称し、圧力発生室１２の外側の部分を非可撓部３３０と称する。
【００３１】
本実施形態では、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０の全てが圧力発生室１２の長手方向において圧力発生室１２の外側まで連続的に設けられている。すなわち能動部が圧力発生室１２の外側まで連続的に設けられている。このため、能動部のうち圧電素子３００の圧力発生室１２に対向する部分が可撓部３２０となり、圧力発生室１２の外側の部分が非可撓部３３０となっている。
【００３２】
圧電素子３００を構成する第２電極８０上には、第３電極９０が密着層９１を介してさらに設けられており、第２電極８０と第３電極９０とが電気的に接続されている。また第３電極９０は、圧電素子３００の長手方向端部を覆って設けられている。なお、ここでいう圧電素子３００の長手方向端部には、圧力発生室１２の長手方向端部に対向する部分を含むこととする。
【００３３】
また第３電極９０の圧力発生室１２に対向する部分には、圧力発生室１２の長手方向に沿って複数の開口部９２が設けられている。すなわち第３電極９０は所定幅で圧力発生室１２の幅方向に延設される複数の延設部９３を備え、この延設部９３によって複数の開口部９２が画成されている。
【００３４】
そして、各延設部９３と圧電素子３００を構成する第２電極８０との間には、空間部９４が形成されている。本実施形態では、延設部９３の下側の密着層９１を除去することによって空間部９４が形成され、延設部９３と圧電素子３００との間の全てが空間部９４となっている。つまり各延設部９３は、本実施形態では、圧電素子３００の上部を跨いで圧電素子３００とは非接触に延設されている。
【００３５】
なお空間部９４の形成方法は特に限定されないが、例えば、次のように形成することができる。まず第２電極８０の略全面に亘って密着層９１を介して第３電極９０を形成し、その後、所定形状のマスク（図示なし）を介して第３電極９０をウェットエッチングすることによって開口部９２を形成する。その後、この開口部９２からエッチング液を供給し、延設部９３の下側の密着層９１を両サイドからエッチング（サイドエッチング）することによって除去する。これにより、延設部９３と第２電極８０の間に比較的容易に空間部９４を形成することができる。
【００３６】
このような第３電極９０が第２電極８０上に設けられていることで、圧電素子３００の共通電極である第２電極８０の抵抗値が実質的に低下する。このため、複数の圧電素子３００に電圧を印加する際、第２電極８０の抵抗に起因する電圧降下の発生を抑制することができる。また第３電極９０の延設部９３が、圧電素子３００とは非接触に設けられているため、第３電極９０によって圧電素子３００の変位が阻害されることもない。したがって、各ノズル２１からインク滴を良好に噴射させることができ、また噴射特性の均一化を図ることができる。
【００３７】
さらに第３電極９０が設けられていることで、圧電素子３００の可撓部３２０と非可撓部３３０との境界における応力集中等に起因する圧電体層７０の破壊を抑制することもできる。本実施形態では、可撓部３２０と非可撓部３３０との境界は、圧力発生室１２の端部に相当する。したがって、第３電極９０が、圧力発生室１２の長手方向端部に対向する圧電素子３００を覆って設けられていることで、可撓部３２０と非可撓部３３０との境界部分における応力集中が抑えられる。よって、この応力集中に起因する圧電体層７０の破壊を効果的に抑制することができる。
【００３８】
なお本実施形態では、延設部９３と圧電素子３００との間の全てが空間部９４となっているが、例えば、図４に示すように、延設部９３の一部に、密着層９１によって支持される支持部９５を設けるようにしてもよい。すなわち、延設部９３と圧電素子３００との間に、空間部９４を間欠的に設けるようにしてもよい。これにより、延設部９３の強度を向上することができ、圧電素子３００の繰り返し駆動による延設部９３の破壊を抑制することができる。
【００３９】
この支持部９５の形状は、特に限定されないが、支持部９５は延設部９３の幅よりも広い幅で形成されていることが好ましく、特に、２倍以上の幅で形成されていることが好ましい。これにより、上述したようなエッチングにより空間部９４を形成する際に、支持部９５を同時に形成することができる。
【００４０】
また上述した例では、開口部９２を、圧力発生室１２毎に独立して設けるようにしたが、例えば、図５に示すように、複数の圧力発生室１２に対向する領域に亘って連続して設けるようにしてもよい。換言すれば、上述の実施形態では、第３電極９０が各凹部７１内で連続的に設けられ、隔壁１１上で各延設部９３が接続されていたが、各凹部７１内で各延設部９３は独立していてもよい。このような構成とする場合、各凹部７１内には、各延設部９３に対応する複数の支持部９５Ａが形成されることになる。
【００４１】
また第３電極９０は、一層で構成されていてもよいし、複数層で構成されていてもよい。何れにしても、第３電極９０は、抵抗率（比抵抗）が比較的小さい材料で形成されていることが好ましい。さらに第３電極９０は、第２電極８０よりもヤング率が小さい材料で形成されていることが好ましい。具体的には、第３電極９０は、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ及びＡｌからなる群から選択される少なくとも一つの材料で形成されていることが好ましい。また上述のように第３電極９０は、密着層９１を介して設けられている。この密着層９１の材料としては、例えば、ニッケルクロム（ＮｉＣｒ）等が好適に用いられる。
【００４２】
例えば、図６に示すように、第３電極９０は、金（Ａｕ）等からなる下層９６と、アルミニウム（Ａｌ）等からなる上層９７との二層で構成されていてもよい。このような構成では、延設部９３と圧電素子３００との間の下層９６を除去することにより空間部９４を形成するようにしてもよい。このような構成としても、圧電素子３００の変位を阻害することなく第２電極８０の電圧降下を抑制することができる。
【００４３】
圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、さらに、圧電素子３００を保護する保護基板３０が接着剤３５によって接合されている。保護基板３０には、圧電素子３００を収容する空間を画成する凹部である圧電素子保持部３１が設けられている。また保護基板３０には、マニホールド１００の一部を構成するマニホールド部３２が設けられている。マニホールド部３２は、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１５と連通している。また保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。各圧電素子３００の第１電極６０に接続されたリード電極６５は、この貫通孔３３内に露出している。また第３電極９０も貫通孔３３内まで引き出されている。図示は省略するが、駆動回路に接続される接続配線の一端が、この貫通孔３３内でリード電極６５及び第３電極９０に接続されている。
【００４４】
保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜４１によってマニホールド部３２の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料で形成される。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００４５】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加する。これにより圧電素子３００と共に振動板５０がたわみ変形して各圧力発生室１２内の圧力が高まり、各ノズル２１からインク滴が噴射される。
【００４６】
またインクジェット式記録ヘッドＩは、例えば、図７に示すように、インクジェット式記録装置ＩＩに搭載される。インクジェット式記録ヘッドＩを有する記録ヘッドユニット１は、インク供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。この記録ヘッドユニット１は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を噴射する。
【００４７】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００４８】
そして本発明では、上述のようにインクジェット式記録ヘッドＩを構成する圧電素子３００の破壊を抑制しつつ噴射特性の均一化を図ることができる。結果として、印刷品質を向上し耐久性を高めたインクジェット式記録装置ＩＩを実現することができる。
【００４９】
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。
【００５０】
例えば、上述の実施形態では、振動板５０上に設けられた第１電極６０が圧電素子３００の個別電極であり、圧電体層７０上に形成された第２電極８０が共通電極である構成を例示したが、本発明は、第１電極６０が共通電極であり、第２電極８０が共通電極である構成にも適用することができる。
【００５１】
また例えば、上述の実施形態では、各圧電素子３００の圧電体層７０が連続的に設けられた構成を例示したが、勿論、圧電体層７０は、圧電素子３００毎に独立して設けられていてもよい。さらに圧電体層７０の断面形状が略矩形である構成を例示しているが、圧電体層７０の断面形状は、特に限定されず、例えば、台形等であってもよい。
【００５２】
また上述の実施形態では、圧力発生室１２の開口形状が略矩形である構成を例示したが、圧力発生室１２の開口形状は、特に限定されるものではなく、例えば、平行四辺形等であってもよい。
【００５３】
また例えば、上述の実施形態では、インクジェット式記録装置ＩＩとして、インクジェット式記録ヘッドＩがキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、その構成は特に限定されるものではない。インクジェット式記録装置ＩＩは、例えば、インクジェット式記録ヘッドＩを固定し、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させることで印刷を行う、いわゆるライン式の記録装置であってもよい。
【００５４】
また上述の実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて本発明を説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッドの他、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【００５５】
さらに本発明は、このような液体噴射ヘッド（インクジェット式記録ヘッド）だけでなく、あらゆる装置に搭載されるアクチュエーターに適用することができる。本発明のアクチュエーターは、例えば、各種センサー類等にも適用することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１０  流路形成基板、  １１  隔壁、  １２  圧力発生室、  １３  インク供給路、  １４  連通路、  １５  連通部、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル、  ３０  保護基板、  ３１  圧電素子保持部、  ３２  マニホールド部、  ３３  貫通孔、  ３５接着剤、  ４０  コンプライアンス基板、  ４１  封止膜、  ４２  固定板、  ５０  振動板、  ５１  弾性膜、  ５２  絶縁体膜、  ６０  第１電極、  ６５  リード電極、  ７０  圧電体層、  ７１  凹部、  ８０  第２電極、  ９０  第３電極、  ９１  密着層、  ９２  開口部、  ９３  延設部、  ９４  空間部、  ９５  支持部、  ９６  下層、  ９７  上層、  １００  マニホールド、  ３００  圧電素子、  ３２０  可撓部、  ３３０  非可撓部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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