(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を収容するサブタンクと、サブタンクから送液される塗布液を被塗布物に塗布するダイヘッドとを備え、サブタンクとダイヘッドとの間のダイヘッド送液用配管に設置された塗布ポンプによりサブタンク内の塗布液をダイヘッドに送液する塗布装置において、
前記サブタンクが、前記ダイヘッド送液用配管が接続されたサブタンク本体と、サブタンク本体からオーバーフローした塗布液を受け止めるオーバーフロー受け部と、オーバーフロー受け部内の塗布液をサブタンク本体に循環供給する循環用配管とを備え、
前記ダイヘッド送液用配管に開閉に応じて塗布液の送液方向を変える切り替えバルブが設置され、かつ、この切り替えバルブと前記オーバーフロー受け部とを接続してリターン用配管が設けられることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記ダイヘッド送液用配管が、前記サブタンク本体の側面に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記循環用配管が前記オーバーフロー受け部の底面に接続され、かつ、この循環用配管に異物をろ過するフィルタが設置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記サブタンク本体及び前記オーバーフロー受け部の少なくともいずれか一方に、沈殿した塗布液の異物を除去するドレインが底面に接続して設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記サブタンクに供給するための塗布液を貯留する１次タンクと、前記オーバーフロー受け部内の塗布液の量を検知して前記１次タンクから前記サブタンクへの塗布液の送液量を制御するセンサと、を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記１次タンクと前記サブタンクとを接続するサブタンク送液用配管に、異物をろ過するフィルタが設置されていることを特徴とする請求項５に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布ポンプを使用してサブタンクからダイヘッドへ塗布液を送液する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の生産工程やそのほかの任意の塗布工程において、シート材の上に材料を塗布する塗布装置としては、図５に示すものが知られている。この塗布装置は、別工程で製作した塗布液を収容する１次タンク１と、この１次容器１から塗布液を供給するサブタンク２とを備えており、両者の間には、送液ポンプＰ１を設置したサブタンク送液用配管Ｒ１が設けられている。そして、サブタンク２とダイヘッド３との間にはダイヘッド送液用配管Ｒ２が設けられており、このダイヘッド送液用配管Ｒ２には塗布ポンプＰ２が設置されている。そして、この塗布ポンプＰ２を作動させてサブタンク２からダイヘッド３に送液し、このダイヘッド３に設けられたスリットから塗布液をわずかに押し出す。一方、シート材は図示しないロール上に巻き取られており、このロールから巻き出されて、バックローラ４に巻きつくように走行する。ダイヘッド３とバックローラ４との間隙は１２０〜１５０μｍ程度であり、この間隙に押し出された塗布液に走行するシート材を接触させることにより、このシート材に塗布液を塗布している。塗布膜の厚みは１００〜１５０μｍ程度であり、要求される膜厚精度は１μｍ以内である。膜厚や塗布質量の変動が大きいと、製造された２次電池の性能や品質に影響するのである。なお、図中、Ｖ１はリターンバルブを示しており、非塗布時にはこのリターンバルブＶ１を閉じ、リターン用配管Ｒ４を通じて塗布液をサブタンク２にリターンさせる。また、塗布時にはリターンバルブＶ１と塗布バルブＶ２の両者を開く。
【０００３】
この装置にあっっては、長時間の塗布に伴ってサブタンク２内の塗布液が減少するため、サブタンク２には下限センサＬＬと中間センサＭＬとが設けられており、下限センサＬＬによって塗布液の減少を検知すると、１次タンク１から塗布液の送液を開始する。また、中間センサＭＬが塗布液の増加を検知すると、送液を停止する。
【０００４】
また、特許文献１には、モータとボールネジを使用してサブタンクを上下動可能に構成した塗布装置が提案されている。この装置には、サブタンク内の塗布液の液面を検出するレベルセンサが設けられており、このレベルセンサが液面変動を検出すると、モータとボールネジを使用してサブタンク自体を上昇させて、その液面高さを維持する。
【０００５】
また、特許文献２にも、サブタンクを上下動可能に構成した塗布装置が提案されている。サブタンクはオーバーフロータンクの構造を有しており、塗布開始前に、サブタンク全体を上下方向に移動させて、その液面が塗布ノズルの先端高さに一致するように設定する。そして、次に、サブタンクと塗布ノズルとの間の配管に設置された圧送装置を作動させ塗布液を塗布ノズルに送液して、塗布を開始する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２６４７８２号公報
【特許文献２】特開２００１−３２１７０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、図５に示す塗布装置では、下限センサＬＬと中間センサＭＬとでサブタンク２内の塗布液の液面を制御していても、その液面の変動を防ぐことは困難であった。そして、この液面変動に伴って塗布ポンプＰ２に対する１次圧力が変化するため、塗布ポンプＰ２を一定回転数で回転させていても、塗布ポンプＰ２を流れる流量が変化し、ダイヘッド３から吐出する塗布液の量が変動していた。
【０００８】
すなわち、図５に示すように、この装置では、サブタンク２内の液面が低下して、時刻Ｔ１に下限センサＬＬが液面を検知すると、１次タンクからの塗布液の供給を開始する。このとき、サブタンク２内の液面は低く、塗布ポンプＰ２に対する１次圧力が小さいため、この塗布ポンプＰ２を流れる流量も少ない。そして、１次タンクからの供給に伴い、サブタンク２内の液面が上昇し、また、塗布ポンプＰ２に対する１次圧力も増大して、塗布ポンプＰ２を流れる流量も増加する。そして、時刻Ｔ２にサブタンク２内の液面を中間センサＭＬが検知すると、１次タンクからの塗布液の供給を停止する。この停止に伴い、サブタンク２内の液面は徐々に低下し、この低下に伴って、塗布ポンプＰ２に対する１次圧力も低下し、塗布ポンプＰ２を流れる流量も減少する。そして、このような塗布液の量の変動に伴って、シート材に形成された塗布膜の厚みや塗布質量が不均一なものとなり、安定した品質の塗布ができないのである。
【０００９】
これに対して、前記下限センサＬＬと中間センサＭＬとの間を狭くして、１次タンク１からの送液を頻繁に制御する方法があるが、この方法によっても、サブタンク２内の塗布液の液面変動が小さくなるだけで、液面変動を完全になくすことはできない。しかも、サブタンク送液用配管Ｒ１の送液ポンプＰ１を頻繁に制御する必要があるため、その寿命が低下する。なお、サブタンク２の容量を大きくして液面変動を小さくすることもできるが、この方法では、塗布液がサブタンク２内に長期間保存されることになり、塗布液の状態が変化する可能性が高くなる。
【００１０】
また、特許文献１に記載の塗布装置では、液面変動を検知してからモータを制御しているため、この間の制御遅れを避けることができない。そして、この制御遅れにより、送液される塗布液の量が変動するという問題がある。
【００１１】
また、特許文献２に記載の塗布装置では、塗布開始前にサブタンクの液面を所定の高さに一致させることができるが、塗布工程中の液面変動を防ぐことはできないという問題がある。
【００１２】
そこで、本発明は、塗布ポンプを使用して塗布液をダイヘッドに送液する塗布装置において、この塗布ポンプに対する１次圧力を一定に維持してダイヘッドに対する送液を安定させることにより、長時間運転しても均一な塗布膜を形成することのできる塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するため、本発明に係る塗布装置は、塗布液を収容するサブタンクと、サブタンクから送液される塗布液を被塗布物に塗布するダイヘッドとを備え、サブタンクとダイヘッドとの間のダイヘッド送液用配管に設置された塗布ポンプによりサブタンク内の塗布液をダイヘッドに送液する塗布装置において、前記サブタンクが、前記ダイヘッド送液用配管が接続されたサブタンク本体と、サブタンク本体からオーバーフローした塗布液を受け止めるオーバーフロー受け部と、オーバーフロー受け部内の塗布液をサブタンク本体に循環供給する循環用配管とを備え、前記ダイヘッド送液用配管に開閉に応じて塗布液の送液方向を変える切り替えバルブが設置され、かつ、この切り替えバルブと前記オーバーフロー受け部とを接続してリターン用配管が設けられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、サブタンクをサブタンク本体とオーバーフロー受け部とで構成し、サブタンク本体からオーバーフローした塗布液をオーバーフロー受け部に受け止めた後、このオーバーフロー受け部内の塗布液をサブタンク本体に循環させる。
【００１５】
このため、塗布工程の開始から終了までの全過程にわたってこの循環を行なうことによりサブタンク本体をオーバーフロー状態に維持することができ、その液面高さを一定に保つことができる。そして、このサブタンク本体にダイヘッド送液用配管が接続されているから、ダイヘッド送液用配管に設置された塗布ポンプに対する１次圧力を一定に維持して、ダイヘッドに対する送液を安定させることができ、長時間運転しても、均一な塗布膜を安定して形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施形態の説明図
【図２】本発明の第２の実施形態の説明図
【図３】本発明の第３の実施形態の説明図
【図４】本発明の第４の実施形態の説明図
【図５】従来の塗布装置の説明図
【図６】従来の塗布装置におけるサブタンク液面と塗布ポンプ流量との関係を示す説明図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。図面の図１は本発明の第１の実施形態の説明図である。
第１の実施形態の塗布装置１０は、塗布液を収容するサブタンク２と、サブタンク２から送液される塗布液を塗布するダイヘッド３とを必須の構成要素とするものである。このほか、別工程で製作した塗布液を収容する１次タンク１を備えることが望ましい。この実施形態の塗布装置は１次タンク１を備えており、１次タンク１内部の塗布液をサブタンク２に送液し、塗布に必要な塗布液は、サブタンク２からダイヘッド３に供給する構成としている。このため、１次タンク１とサブタンク２との間には、１次タンク１に貯められた塗布液をサブタンク２に送液するサブタンク送液用配管Ｒ１が設けられている。また、サブタンク２とダイヘッド３との間には、サブタンク２に収容された塗布液をダイヘッド３に送液するダイヘッド送液用配管Ｒ２が設けられており、このダイヘッド送液用配管Ｒ２の途中には塗布ポンプＰ２が設置されている。
【００１８】
次に、サブタンク２は、前記ダイヘッド送液用配管Ｒ２が側面に接続されたサブタンク本体２１と、サブタンク本体２１からオーバーフローした塗布液を受け止めるオーバーフロー受け部２２とを備えている。この実施形態では、オーバーフロー受け部２２の中央にサブタンク本体２１を配置して、サブタンク本体２１の上部の開口部の周囲からオーバーフローした塗布液をオーバーフロー受け部２２で受け止める構造としている。また、サブタンク２は、これらサブタンク本体２１とオーバーフロー受け部２２に加えて、オーバーフロー受け部２２内の塗布液をサブタンク本体に循環供給する循環用配管Ｒ３を備えて構成されている。そして、このようにサブタンク本体２１、オーバーフロー受け部２２および循環用配管Ｒ３の三者は、塗布液を循環する循環経路を構成している。このため、塗布工程の開始から終了までの全過程にわたってサブタンク本体２１をオーバーフロー状態に維持し、オーバーフローした塗布液をオーバーフロー受け部２２で受け止め、そして、このオーバーフロー受け部２２内の塗布液をサブタンク本体２１に循環させることができる。そして、この間、すなわち、塗布工程の開始から終了までの全過程にわたってサブタンク本体２１をオーバーフロー状態に維持するため、その液面高さを一定に保つことができる。そして、このサブタンク本体２１にはダイヘッド送液用配管Ｒ２が接続されているから、このダイヘッド送液用配管Ｒ２に設置された塗布ポンプＰ２に対する１次圧力を一定に維持して、ダイヘッド３に対する送液を安定させることができる。
【００１９】
次に、サブタンク本体２１について説明する。
前述のように、サブタンク本体２１は、ダイヘッド３につながるダイヘッド送液用配管Ｒ２を接続したもので、塗布工程の開始から終了までの全過程にわたって、その液面の高さを一定に保ち、こうして塗布ポンプＰ２に対する１次圧力を一定に保つ役割を果たすものである。サブタンク本体２１の役割はこのようなものであるから、その容積は小さいものでよい。容積の小さいサブタンク本体２１を使用することにより、サブタンク本体２１内の塗布液の再凝集を防ぐことができるという利点がある。
【００２０】
ダイヘッド送液用配管Ｒ２はサブタンク本体２１の側面に接続されている。サブタンク本体２１内の塗布液に含まれる気泡は塗布液中を上昇するから、オーバーフローする塗布液とともに除去される。このため、サブタンク本体２１の側面に接続されたダイヘッド送液用配管Ｒ２に気泡が混入することを防止することができる。また、塗布液に含まれる異物はサブタンク本体２１の底部に沈殿するから、サブタンク本体２１の側面に接続されたダイヘッド送液用配管Ｒ２を通って異物がダイヘッド３に供給されることも防止することもできる。
【００２１】
次に、サブタンク本体２１の開口部近傍には液面センサＬ１が設置されており、サブタンク本体２１の液面を常時監視している。仮にサブタンク本体２１の液面が低下した場合には、サブタンク本体２１のオーバーフロー状態を維持できておらず、異常な状態と判断して塗布を中止することができる。このような異常な状態としては、たとえば、後述する循環用配管Ｒ３に設置された循環ポンプＰ３の故障やフィルタＦ３の目詰まりなどが想定できる。
【００２２】
なお、沈殿した異物を除去するため、サブタンク本体２１には、その底面のもっとも低い位置にドレインＤ１を設置している。この実施例では、サブタンク本体２１の底面を円錐状の傾斜面とし、もっとも低い中央部位にドレインＤ１を設置している。そして、適時ドレインＤ１を開放することにより、長期間運転によって沈殿した異物を除去することができる。
【００２３】
次に、オーバーフロー受け部２２について説明する。
オーバーフロー受け部２２は、サブタンク本体２１からオーバーフローした塗布液を受け止め、循環用配管Ｒ３を通じてサブタンク本体２１にこの塗布液を循環供給する役割を有するものである。循環用配管Ｒ３はオーバーフロー受け部２２の底面に接続されており、また、循環ポンプＰ３が設けられていて、この循環ポンプＰ３を作動させることより、オーバーフロー受け部２２内の塗布液をサブタンク本体２１に循環供給することができる。なお、循環用配管Ｒ３にはフィルタＦ３が配置されており、このフィルタＦ３を通すことにより、オーバーフロー受け部２２の内部で生成した異物をろ過することができる。
【００２４】
また、オーバーフロー受け部２２は、サブタンク２に存在する塗布液の量を監視し、塗布液が多い場合には１次タンク１からサブタンク本体２１に供給される塗布液の量を減少させ、多い場合には１次タンク１からサブタンク本体２１に供給される塗布液の量を増加させる役割を併せ持つ。この役割を果たすため、オーバーフロー受け部２２には、液面センサＬ２とＬ３とが設置されており、オーバーフロー受け部２２内の塗布液の液面を常時監視している。
【００２５】
ダイヘッド送液用配管Ｒ２を通じてサブタンク２から排出される塗布液の量に比較して、１次タンク１からサブタンク２に供給される塗布液の量が多い場合、長時間の塗布を続けると、サブタンク２に存在する塗布液の量が増加する。サブタンク本体２１はオーバーフロー状態を維持しているため、このサブタンク本体２１に収容されている塗布液の量は変化しないから、サブタンク２内の塗布液の増加分はオーバーフロー受け部２２に収容された塗布液の増加分と等しい。すなわち、サブタンク２から排出される塗布液の量に比較して、サブタンク２に供給される塗布液の量が多い場合、オーバーフロー受け部２２に収容される塗布液の量が増加する。そこで、２つの液面センサのうち高い位置に配置したセンサＬ２によって液面を検知した場合には、サブタンク２から排出される塗布液の量に比較して、１次タンク１からサブタンク２に供給される塗布液の量が多いと判断して、１次タンク１からの供給量を減らし、あるいは供給を停止する。なお、１次タンク１からの供給を停止した場合でも、サブタンク本体２１にはオーバーフロー受け部２２内の塗布液が供給されているから、サブタンク本体２１のオーバーフロー状態を維持することができる。
【００２６】
他方、ダイヘッド送液用配管Ｒ２を通じてサブタンク２から排出される塗布液の量に比較して、１次タンク１からサブタンク２に供給される塗布液の量が少ない場合に、その塗布を長時間続けると、サブタンク本体２１のオーバーフローが維持できなくなる。この場合にはオーバーフロー受け部２２内の塗布液の液面が低下するから、２つの液面センサのうち低い位置に配置したセンサＬ３によって液面を検知した場合には、サブタンク２から排出される塗布液の量に比較して、１次タンク１からサブタンク２に供給される塗布液の量が少ないと判断して、１次タンク１からの供給量を増加させ、あるいは供給を再開する。
【００２７】
なお、沈殿した異物を除去するため、オーバーフロー受け部２２の底面のもっとも低い位置にドレインＤ２を設置している。すなわち、オーバーフロー受け部２２は、その底面を一方向に単純に傾斜した傾斜面とし、もっとも低い端部にドレインＤ２を設置している。そして、適時ドレインＤ２を開放することにより、沈殿した異物を除去することができる。
【００２８】
次に、サブタンク送液用配管Ｒ１について説明する。塗布液はサブタンク本体２１とオーバーフロー受け部２２との間の循環経路を循環しているため、１次タンク１内の塗布液はこの循環経路のどの位置に供給してもよい。この第１の実施形態では、サブタンク送液用配管Ｒ１の排出口をサブタンク本体２１に配置して、１次タンク１内の塗布液をサブタンク本体２１に供給している。そして、このため、サブタンク本体２１には、サブタンク送液用配管Ｒ１を通って１次タンク１から供給される塗布液と、オーバーフロー受け部２２に収容され循環用配管Ｒ３を通って供給される塗布液の両者が供給されることになる。なお、サブタンク送液用配管Ｒ１には送液ポンプＰ１とフィルタＦ１とが設置されており、送液ポンプＰ１を作動させて１次タンク１内の塗布液をサブタンク本体２１に供給している。また、このフィルタＦ１を通すことにより、ごみや塗布液の異物などを除去して、清浄な塗布液としている。
【００２９】
次に、ダイヘッド送液用配管Ｒ２と、このダイヘッド送液用配管Ｒ２から枝分かれしたリターン用配管Ｒ４について説明する。
ダイヘッド送液用配管Ｒ２はサブタンク本体２１内の塗布液をダイヘッド３に送液するもので、このため、ダイヘッド送液用配管Ｒ２の途中に塗布ポンプＰ２が設置されている。そして、この塗布ポンプＰ２を作動させることにより、サブタンク本体２１内の塗布液をダイヘッド３に供給することができる。この際、この塗布ポンプＰ２にかかる１次圧力は一定に維持されているから、送液する塗布液の流量を一定に維持することができ、ダイヘッド３から吐出する塗布液の量も安定する。なお、塗布ポンプＰ２とダイヘッド３との間にはフィルタＦ２が設置されており、このフィルタＦ２を通ってダイヘッド３に送液される。このため、ダイヘッド送液用配管Ｒ２の途中で生成した異物を除去することができ、したがって、清浄な塗布液をダイヘッド３に供給することができる。
【００３０】
そして、このダイヘッド送液用配管Ｒ２には、リターンバルブＶ１と塗布バルブＶ２とが順次設けられている。
リターンバルブＶ１は、その開閉に応じて、塗布液の送液方向を変えるものである。未塗布時には、このリターンバルブＶ１を閉じることによって、ダイヘッド３に対する送液を停止し、塗布液をダイヘッド送液用配管Ｒ２から枝分かれしたリターン用配管Ｒ４に送液する。また、リターンバルブＶ１を開くことによってリターン用配管Ｒ４への送液を停止し、続いて塗布バルブＶ２を開くことによって、塗布液をダイヘッド３に送液することができる。なお、リターンバルブＶ１は、ダイヘッド送液用配管Ｒ２に背圧を掛けることにより、塗布バルブＶ２を開いた時における塗布液の立ち上がり特性を向上させる機能も有している。
【００３１】
ところで、リターンバルブＶ１の開閉を繰り返すことにより、バルブシール面に塗布液の固まりが挟まることがある。そして、リターン用配管Ｒ４に供給された塗布液には、こうして生じた塗布液の固まりが混入していることがある。
【００３２】
このような塗布液の固まりがダイヘッド３に供給されると、被塗布物に形成された塗布膜が不均一なものとなり、安定した品質の塗布ができないという問題が生じる。例えば、ダイヘッド３が微小なスリット状間隙から塗布液をわずかに押し出し、このわずかな塗布液に被塗布物を接触させて塗布するものである場合には、ダイヘッドの先端と被塗布物との間の間隙はわずかに１２０〜１５０μｍしかない。このような微小な間隙に前述の異物が挟まると、スジ状の塗布むらが発生する。また、このような塗布液の異物や固まりがダイヘッド送液用配管Ｒ２を通ることによりフィルタＦ２が目詰まりを起こし、フィルタＦ２や塗布ポンプＰ２の寿命を縮めることがある。
【００３３】
そこで、この第１の実施形態では、リターン用配管Ｒ４をオーバーフロー受け部２２につなぎ、リターン用配管Ｒ４内の塗布液をオーバーフロー受け部２２に送液している。オーバーフロー受け部２２においては、塗布液の異物は沈殿し、こうして沈殿した塗布液の異物はドレインＤ２によって除去され、また、ドレインＤ２で除去されない塗布液の異物もフィルタＦ３を通すことで除去している。したがって、これら塗布液の異物がサブタンク本体２１を通ってダイヘッド送液用配管Ｒ２やダイヘッド３に供給されることがない。そして、このため、リターンバルブＶ１で生じた塗布液の異物に起因する塗布むらを防止することができる。また、フィルタＦ２の目詰まりを削減して、塗布ポンプＰ２の出力変化を小さくし安定した流量の塗布液をダイヘッド３に送液することができる。また、塗布ポンプＰ２の出力変化を小さくできるから、塗布ポンプＰ２の寿命を長くすることが可能である。
【００３４】
次に、この塗布装置に適用されるダイヘッド３としては、例えば、ダイヘッド３先端に微小なスリット状間隙を有するダイヘッド３が使用できる。このようなダイヘッド３においては、そのダイヘッド３先端に塗布液がわずかに突出するようにスリットから押し出し、こうしてわずかに突出した塗布液に、被塗布物を接触させて塗布することができる。被塗布物としては、巻き取り状のシート材を採用することができる。例えば、巻き取り状の箔である。そして、ダイヘッド３先端から１２０〜１５０μｍの間隙を介してバックローラ４を配置し、このバックローラ４上を巻き取り状のシート材を走行させながら、このシート材に塗布液を塗布することができる。
【００３５】
次に、この塗布装置の使用方法について説明する。
この塗布装置は、塗布工程の開始から終了までの全過程にわたって、サブタンク本体２１をオーバーフロー状態に維持して使用する。このとき、サブタンク本体２１に供給される塗布液は、サブタンク送液用配管Ｒ１を通って１次タンク１から送液される塗布液と、循環用配管Ｒ３を通ってオーバーフロー受け部２２から送液される塗布液の両者である。他方、サブタンク本体２１から排出される塗布液は、ダイヘッド送液用配管Ｒ２を通じて送液される塗布液と、サブタンク本体２１からオーバーフローする塗布液の両者である。
【００３６】
なお、オーバーフロー受け部２２から送液される塗布液には、サブタンク本体２１からオーバーフローした塗布液に加えて、リターン用配管Ｒ４を通ってオーバーフロー受け部２２に送液される塗布液が含まれている。
そこで、１次タンク１からサブタンク２に供給される塗布液の量が多いことをセンサＬ２によって検知した場合には、１次タンク１からの供給量を減らし、あるいは供給を停止する。また、１次タンク１からサブタンク２に供給される塗布液の量が少ないことをセンサＬ３によって検知した場合には、１次タンク１からの供給量を増加させ、あるいは供給を再開する。また、サブタンク本体２１の液面の低下をセンサＬ１が検知した場合には、塗布装置を停止する。
【００３７】
また、未塗布時には、リターンバルブＶ１を閉じて、リターン用配管Ｒ４を通してオーバーフロー受け部２２に塗布液を送液する。また、適時ドレインＤ１およびＤ２を開放して、沈殿した異物を除去する。
【００３８】
次に、図２を参照して、本発明の第２の実施形態を説明する。
第２の実施形態の塗布装置２０は、サブタンク２の構成が第１の実施形態の塗布装置１０と異なっている。すなわち、第１の実施形態では、オーバーフロー受け部２２の中央にサブタンク本体２１を配置することによってサブタンク２を構成していたが、第２の実施形態では、段差のついた２つの槽によってサブタンク２を構成している。すなわち、２つの槽のうち、上面開口部が高い位置にある槽をサブタンク本体２１とし、他方の槽をオーバーフロー受け部２２として、サブタンク本体２１からオーバーフローした塗布液をオーバーフロー受け部２２で受け止めている。
なお、サブタンク本体２１の底面は一方向に単純に傾斜した傾斜面とされており、もっとも低い端部にドレインＤ１が設置されている。
【００３９】
次に、図３を参照して、本発明の第３の実施形態を説明する。
第３の実施形態の塗布装置３０は、１次タンク１に貯められた塗布液をサブタンク２に送液するサブタンク送液用配管Ｒ１を、オーバーフロー受け部２２に接続した点で第１の実施形態の塗布装置１０と異なっている。したがって、１次タンク１からサブタンク送液用配管Ｒ１を通ってオーバーフロー受け部２２に送液された塗布液は、サブタンク本体２１からオーバーフローした塗布液やリターン用配管Ｒ４からオーバーフロー受け部２２に送液された塗布液と混合した後、循環用配管Ｒ３を通ってサブタンク本体２１に送液され、このサブタンク本体２１からダイヘッド３に送液される。
【００４０】
ところで、１次タンク１に貯められた塗布液は一般に粘度が低く、一方、リターン用配管Ｒ４から送液された塗布液は一般に粘度が高いから、この両者をオーバーフロー受け部２２で混合することによって、ダイヘッド３に送液される塗布液の粘度変化を小さくすることができる。
【００４１】
また、１次タンク１に貯められた塗布液をサブタンク本体２１に直接送液することがないから、サブタンク本体２１に供給される塗布液の量が少なくなる。このため、サブタンク本体２１の容量を小さくすることができる。これにより、サブタンク本体２１に供給される塗布液は速やかにダイヘッド３に送液され、サブタンク本体２１の内部に滞留する時間が短くなるため、サブタンク本体２１の内部における塗布液の状態変化や異物生成を低減することができる。しかも、こうして塗布液の状態変化や異物生成の少ない塗布液をさらにフィルタＦ２を通してダイヘッド３に送液するから、清浄な塗布液を送液できる、という利点もある。
【００４２】
次に、図４を参照して、本発明の第４の実施形態を説明する。
第４の実施形態の塗布装置４０は、リターンバルブＶ１とリターン用配管Ｒ４とを備えていない点で、第１の実施形態の塗布装置１０と異なっている。このような装置は、ストライプ塗布などの連続塗布に適しており、塗布バルブＶ２の開閉と塗布ポンプＰ２の回転制御によって塗布液を塗布することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明に係る塗布装置は、半導体の生産工程やそのほかの任意の塗布工程に利用することができる。特に、長時間の塗布を行っても塗布膜厚や塗布質量を精度よく制御できるから、要求精度の厳しい塗布工程に適している。
【符号の説明】
【００４４】
１    １次タンク
２    サブタンク
１０  塗布装置
２０  塗付装置
２１  サブタンク本体
２２  オーバーフロー受け部
３    ダイヘッド
３０  塗付装置
４    バックローラ
４０  塗付装置
Ｒ１  サブタンク送液用配管
Ｒ２  ダイヘッド送液用配管
Ｒ３  循環用配管
Ｒ４  リターン用配管
Ｐ１  送液ポンプ
Ｐ２  塗布ポンプ
Ｐ３  循環ポンプ
ＬＬ  下限センサ
ＭＬ  中間センサ
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３  液面センサ
Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３  フィルタ
Ｄ１，Ｄ２  ドレイン
Ｖ１  リターンバルブ
Ｖ２  塗布バルブ
【図１】
0005949038.tif 000002
【図２】
0005949038.tif 000003
【図３】
0005949038.tif 000004
【図４】
0005949038.tif 000005
【図５】
0005949038.tif 000006
【図６】
0005949038.tif 000007