(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置にアクセス可能なコンピュータが、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出し、
前記グループごとに算出された面積が基準値以下であるか否かを判断し、
前記基準値以下であると判断されたグループが有するセルを機能ごとにグループ化し、
あらたにグループ化された各グループに含まれるセルの種別を、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別に変換し、
前記複数のレイアウト情報から、前記特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出し、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける、
処理を実行することを特徴とする関連付け方法。
【請求項２】
前記各グループに含まれるセルの種別を、前記特定の駆動能力である種別に変換する処理は、
前記算出された面積が前記基準値以下であると判断されたグループが有するセルの機能が特定の機能である場合、前記判断されたグループが有するセルを、２つの入力を有する否定論理積を表すセルと否定を表すセルの組み合わせに変換し、
前記各グループに含まれるセルと同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出する処理は、
変換された組み合わせが有する前記否定論理積を表すセルの種別と同一種別のセルと、前記否定を表すセルの種別と同一種別のセルと、を有するレイアウト情報を、前記複数のレイアウト情報から抽出し、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける処理は、
前記変換された組み合わせに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付けることを特徴とする請求項１に記載の関連付け方法。
【請求項３】
１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置にアクセス可能なコンピュータが、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出し、
算出された面積が基準値以下であるか否かを前記グループごとに判断し、
前記基準値以下であると判断された第１のグループが有するセルの種別を、前記第１のグループが有するセルの機能と同一機能である種別のうちの特定の駆動能力の種別に変換し、
前記基準値以下でないと判断されたグループから、前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報に関連付けられた第２のグループを検出し、
検出された第２のグループが有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満であるか否かを判断し、
前記第２のグループが有する前記同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記同一種別のセルの数未満であると判断された場合、前記第１のグループが有し、種別が前記特定の駆動能力の種別に変換された前記セルを、前記第１のグループから除外して前記第２のグループに含める、
処理を実行することを特徴とする関連付け方法。
【請求項４】
前記コンピュータが、
前記第２のグループが有する前記同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記同一種別のセルの数未満でないと判断された場合、前記第１のグループが有するセルを機能ごとにグループ化し、
あらたにグループ化された各グループに含まれるセルを、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別のセルに変換し、
前記複数のレイアウト情報から、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出し、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける、
処理を実行することを特徴とする請求項３に記載の関連付け方法。
【請求項５】
前記コンピュータが、
タイミング制約を遵守していないパス上のセルを前記回路情報から特定し、
特定されたセルの種別を、前記特定されたセルと同一機能であって、前記特定されたセルの種別よりも駆動能力の高いセルの種別に変換し、
前記複数のレイアウト情報から、変換されたセルと同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出し、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける、
処理を実行することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の関連付け方法。
【請求項６】
前記コンピュータが、
前記回路情報内の複数のセルが前記複数のグループと前記複数のグループの各々に関連付けられたレイアウト情報に基づいてレイアウトされた場合に、配線ができないと判断されたセルを前記回路情報から特定し、
前記複数のレイアウト情報から、特定されたセルと同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出し、
前記特定されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける、
処理を実行することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の関連付け方法。
【請求項７】
１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置にアクセス可能なコンピュータに、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出し、
前記グループごとに算出された面積が基準値以下であるか否かを判断し、
前記基準値以下であると判断されたグループが有するセルを機能ごとにグループ化し、
あらたにグループ化された各グループに含まれるセルの種別を、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別に変換し、
前記複数のレイアウト情報から、前記特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出し、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける、
処理を実行させることを特徴とする関連付けプログラム。
【請求項８】
１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置にアクセス可能なコンピュータに、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出し、
算出された面積が基準値以下であるか否かを前記グループごとに判断し、
前記基準値以下であると判断された第１のグループが有するセルの種別を、前記第１のグループが有するセルの機能と同一機能である種別のうちの特定の駆動能力の種別に変換し、
前記基準値以下でないと判断されたグループから、前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報に関連付けられた第２のグループを検出し、
検出された第２のグループが有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満であるか否かを判断し、
前記第２のグループが有する前記同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記同一種別のセルの数未満であると判断された場合、前記第１のグループが有し、種別が前記特定の駆動能力の種別に変換された前記セルを、前記第１のグループから除外して前記第２のグループに含める、
処理を実行させることを特徴とする関連付けプログラム。
【請求項９】
１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置と、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出する算出部と、
前記グループごとに算出された面積が基準値以下であるか否かを判断する面積判断部と、
前記基準値以下であると判断されたグループが有するセルを機能ごとにグループ化する分類部と、
あらたにグループ化された各グループに含まれるセルの種別を、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別に変換する変換部と、
前記複数のレイアウト情報から、前記特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出する抽出部と、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける関連付け部と、
を有することを特徴とする関連付け装置。
【請求項１０】
１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置と、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出する算出部と、
算出された面積が基準値以下であるか否かを前記グループごとに判断する面積判断部と、
前記基準値以下であると判断された第１のグループが有するセルの種別を、前記第１のグループが有するセルの機能と同一機能である種別のうちの特定の駆動能力の種別に変換する変換部と、
前記基準値以下でないと判断されたグループから、前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報に関連付けられた第２のグループを検出する検出部と、
検出された第２のグループが有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満であるか否かを判断する空き判断部と、
前記第２のグループが有する前記同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記同一種別のセルの数未満であると判断された場合、前記第１のグループが有し、種別が前記特定の駆動能力の種別に変換された前記セルを、前記第１のグループから除外して前記第２のグループに含める関連付け部と、
を有することを特徴とする関連付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、関連付け方法、関連付けプログラム、および関連付け装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
露光を行う回路パターンが露光の単位となる基本図形に分解され、各基本図形と同じ形状および大きさの電子ビームが、複数の成形アパーチャを用いて成形され、順次、レジスト上に照射される１回の電子線照射をショットと称する。
【０００３】
電子ビーム露光において、電子ビームの成形方法として、部分一括方式（以下、「ＣＰ（Ｃｈａｒａｃｔｅｒ  Ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ）方式」と称する。）がある。ＣＰ方式では複数の基本図形が予め電子線用のステンシルマスクとして用意される。基本図形としては、配置配線後のレイアウトデータの中で、繰り返して利用される回数の多いレイアウトデータのパターンが用いられる。基本図形は、以下「ＣＰスタンプ」と称する。
【０００４】
また、たとえば、配置配線後のレイアウトデータに対して、ＣＰスタンプに沿うようにセルの配置が移動される技術が知られている（たとえば、下記特許文献１，２を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３５７７０号公報
【特許文献２】特開２００７−５６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ＣＰスタンプと関係なく初期の配置配線が行われるため、同一のＣＰスタンプにグループ化できなかったり、同一のＣＰスタンプにグループ化されたとしてもタイミング制約に違反が発生してしまう場合がある。したがって、ショット数が増加する問題点がある。
【０００７】
本発明は、上述した従来技術による問題点を解消するため、ショット数の低減化を図ることができる関連付け方法、関連付けプログラム、および関連付け装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一の側面によれば、１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置にアクセス可能であって、回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出し、前記グループごとに算出された面積が基準値以下であるか否かを判断し、前記基準値以下であると判断されたグループが有するセルを機能ごとにグループ化し、あらたにグループ化された各グループに含まれるセルの種別を、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別に変換し、前記複数のレイアウト情報から、前記特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出し、前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける関連付け方法、関連付けプログラム、および関連付け装置が提案される。
【０００９】
本発明の他の側面によれば、１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置にアクセス可能なコンピュータが、回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出し、算出された面積が基準値以下であるか否かを前記グループごとに判断し、前記基準値以下であると判断された第１のグループが有するセルの種別を、前記第１のグループが有するセルの機能と同一機能である種別のうちの特定の駆動能力の種別に変換し、前記基準値以下でないと判断されたグループから、前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報に関連付けられた第２のグループを検出し、検出された第２のグループが有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満であるか否かを判断し、前記第２のグループが有する前記同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記同一種別のセルの数未満であると判断された場合、変換されたセルを前記第２のグループに含める関連付け方法、関連付けプログラム、および関連付け装置が提案される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様によれば、ショット数の低減化を図ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、関連付け装置によるＣＰ面積の算出処理例を示す説明図である。
【図２】図２は、関連付け装置による関連付け処理例を示す説明図（その１）である。
【図３】図３は、関連付け装置による関連付け処理例を示す説明図（その２）である。
【図４】図４は、関連付け装置による関連付け処理例を示す説明図（その３）である。
【図５】図５は、関連付け装置による関連付け処理例を示す説明図（その４）である。
【図６】図６は、ＣＰ方式による電子ビーム露光例を示す説明図である。
【図７】図７は、本実施の形態における設計フロー例を示す説明図である。
【図８】図８は、関連付け装置１００のハードウェア構成例を示すブロック図である。
【図９】図９は、ＣＰスタンプライブラリ２００の一例を示す説明図である。
【図１０】図１０は、回路情報１０１の一例を示す説明図である。
【図１１】図１１は、関連付け装置１００の機能的構成を示すブロック図である。
【図１２】図１２は、変換後の回路情報１０２の一例を示す説明図である。
【図１３】図１３は、関連付け装置１００による関連付け処理手順の一例を示すフローチャート（その１）である。
【図１４】図１４は、関連付け装置１００による関連付け処理手順の一例を示すフローチャート（その２）である。
【図１５】図１５は、関連付け装置１００による関連付け処理手順の一例を示すフローチャート（その３）である。
【図１６】図１６は、関連付け装置１００による関連付け処理手順の一例を示すフローチャート（その４）である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に添付図面を参照して、本発明にかかる関連付け方法、関連付けプログラム、および関連付け装置の実施の形態を詳細に説明する。
【００１３】
図１は、関連付け装置によるＣＰ面積の算出処理例を示す説明図である。図２〜図５は、関連付け装置による関連付け処理例を示す説明図である。回路情報１０１の中に含まれる複数のセルは、ＣＰスタンプライブラリ内のＣＰスタンプに基づいてグループ化されている。ＣＰスタンプは１または複数のセルを有するレイアウト情報であり、図９を用いて後述するＣＰスタンプライブラリには、複数のＣＰスタンプが登録されている。回路情報１０１内の各グループは、ＣＰスタンプライブラリ内のいずれかのＣＰスタンプと関連付けられている。同一のグループに属するセルは、電子ビーム露光装置による露光時に同一のショットによってウエハ上に転写される。このグループをＣＰセルと称する。回路情報１０１は、具体的には、配置配線後の仮レイアウトデータまたは仮レイアウトデータから得られる回路の接続情報であるネットリストである。
【００１４】
ネットリストには、設計対象回路内のモジュールやその内部のセル（ＦＦやＲＡＭなど）の接続関係が、ＶｅｒｉｌｏｇやＶＨＤＬ（Ｖｅｒｙ  ｈｉｇｈ  ｓｐｅｅｄ  ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｈａｒｄｗａｒｅ  Ｄｅｓｃｒｉｐｔｉｏｎ  Ｌａｎｇｕａｇｅ）などのハードウェア記述言語を用いて記述されている。回路情報１０１は、後述する図１０によって詳細例を示す。たとえば、図１で示すようにＣＰスタンプＩＣＰ＿７がセルＣｅｌｌ１に関連付けられており、「ＣＰ１」はＣＰスタンプＩＣＰ＿７のインスタンス名である。
【００１５】
たとえば、半導体集積回路の設計用のスタンダードセルライブラリには、インバータ素子であっても駆動能力によって複数のインバーターセルが用意される。各セルに付された名称によってセルの機能が表されている。スタンダードセルとしては、否定論理和を示すＮＯＲセル（以下、「ＮＯＲ」と省略する。）、否定論理積を表すＮＡＮＤセル（以下、「ＮＡＮＤ」と省略する。）、否定を表すインバーターセル（ＩＮＶＥＲＴＥＲセル（以下、「ＩＮＶ」と省略する。））、マルチプレクサセル（ＭＵＬＴＩＰＬＥＸＥＲセル（以下、「ＭＵＸ」と省略する。））、フリップフロップセル（Ｆｌｉｐ  Ｆｌｏｐセル（以下、「ＦＦ」と省略する。））、論理和を示すＯＲセル（以下、「ＯＲ」と省略する。）、ＡＮＤセル（以下、「ＡＮＤ」とし省略する。）などが挙げられる。
【００１６】
また、ここでは、同一機能であっても駆動能力が異なる場合、たとえば、機能名と番号によって表し、番号の数が大きいほど同一機能のセルの中で駆動能力が高いことを示す。たとえば、ＩＮＶ１とＩＮＶ２とは同一機能であるが、ＩＮＶ２の駆動能力はＩＮＶ１の駆動能力よりも高い。
【００１７】
面積テーブル１１０には、ＣＰスタンプごとにＣＰスタンプに含まれるセルのレイアウト情報の面積が登録されている。面積テーブル１１０はＣＰスタンプＩＤ、セル種別ＩＤ、およびセル面積のフィールドを有している。各フィールドに情報が設定されることで、面積情報がレコードとして記憶されている。面積テーブル１１０は関連付け装置がアクセス可能な記憶装置に記憶されている。
【００１８】
ＣＰスタンプＩＤのフィールドには、ＣＰスタンプの識別情報が登録される。セル種別ＩＤのフィールドには、ＣＰスタンプが有するセルの種別が登録される。セル面積のフィールドには、ＣＰスタンプが有するセルの種別ごとにセルのレイアウト情報の面積が登録される。
【００１９】
面積テーブル１１０は、関連付け装置１００が有する記憶装置に記憶されている。面積テーブル１１０と、後述するＣＰスタンプライブラリとは、ＣＰスタンプＩＤによって関連付けられている。
【００２０】
（ＣＰ面積の算出処理）
まず、図１では、関連付け装置１００は、基準面積Ｓ０以下であるセル面積となるＣＰセルを検出する。関連付け装置１００は、回路情報１０１のＣＰセルごとにＣＰセルのＣＰ面積を面積テーブル１１０に基づいて算出する。そして、関連付け装置１００は、算出されたＣＰ面積が基準面積Ｓ０以下であるか否かを判断する。
【００２１】
ＣＰセルＣＰ１を例に挙げると、ＣＰセルＣＰ１のＣＰスタンプの種別はＣＰスタンプＩＣＰ＿７である。ＣＰセルＣＰ１はセルの種別がＮＯＲ２であるセルＣｅｌｌ１を有している。具体的には、たとえば、関連付け装置１００は、面積テーブル１１０から、ＣＰスタンプＩＣＰ＿７のＮＯＲ２の面積を取得する。ＣＰスタンプＩＣＰ＿７のＮＯＲ２の面積は面積Ｓ３である。関連付け装置１００は、取得した面積Ｓ３に基づいてＣＰセルＣＰ１の面積を算出する。関連付け装置１００は、算出したＣＰセルＣＰ１の面積Ｓ３が基準面積Ｓ０以下であるか否かを判断する。基準面積Ｓ０は、レイアウトの設計者が最大ＣＰ幅Ｗに基づいて決定してもよい。基準面積Ｓ０は、たとえば、関連付け装置１００がアクセス可能な記憶装置に記憶されていることとする。最大ＣＰ幅Ｗは、ＣＰスタンプが取り得る最大の幅であり、電子ビームサイズによって定まる。最大のビームサイズは、１．５［μｍ］×１．５［μｍ］程度であり、電子ビーム露光装置の性能によって定まる。ここでは、ＣＰセルＣＰ１の面積Ｓ３は基準面積Ｓ０以下であると判断される。
【００２２】
つぎに、ＣＰセルＣＰ２を例に挙げると、ＣＰセルＣＰ２のＣＰスタンプの種別はＣＰスタンプＩＣＰ＿８である。ＣＰセルＣＰ２は、セルの種別がＮＯＲ３であるセルＣｅｌｌ２を有している。具体的には、たとえば、関連付け装置１００は、面積テーブル１１０から、ＣＰスタンプＩＣＰ＿８のＮＯＲ３の面積を取得する。ＣＰスタンプＩＣＰ＿８のＮＯＲ３の面積は面積Ｓ４である。関連付け装置１００は、取得した面積Ｓ４に基づいてＣＰセルＣＰ１の面積を算出する。関連付け装置１００は、算出したＣＰセルＣＰ１の面積Ｓ４が基準面積Ｓ０以下であるか否かを判断する。ここでは、ＣＰセルＣＰ１の面積Ｓ４は基準面積Ｓ０以下であると判断される。
【００２３】
そして、ＣＰセルＣＰ３を例に挙げると、ＣＰセルＣＰ３のＣＰスタンプの種別はＣＰスタンプＩＣＰ＿６である。ＣＰセルＣＰ３は、セルの種別がＮＯＲ１であるセルＣｅｌｌ３〜Ｃｅｌｌ８を有している。具体的には、たとえば、関連付け装置１００は、面積テーブル１１０から、ＣＰスタンプＩＣＰ＿６のＮＯＲ１の面積を取得する。ＣＰスタンプＩＣＰ＿６のＮＯＲ１の面積は面積Ｓ２である。関連付け装置１００は、取得した面積Ｓ２に基づいてＣＰセルＣＰ３の面積を算出する。関連付け装置１００は、算出したＣＰセルＣＰ３の面積Ｓ２×６が基準面積Ｓ０以下であるか否かを判断する。ここでは、ＣＰセルＣＰ３の面積Ｓ２×６は基準面積Ｓ０より大きいと判断される。
【００２４】
最後に、ＣＰセルＣＰ４を例に挙げると、ＣＰセルＣＰ４のＣＰスタンプの種別はＣＰスタンプＩＣＰ＿３である。ＣＰセルＣＰ４は、セルの種別がＩＮＶ２であるセルＣｅｌｌ９を有している。具体的には、たとえば、関連付け装置１００は、面積テーブル１１０から、ＣＰスタンプＩＣＰ＿３のＩＮＶ２の面積を取得する。ＣＰスタンプＩＣＰ＿３のＩＮＶ２の面積は面積Ｓ１である。関連付け装置１００は、取得した面積Ｓ１に基づいてＣＰセルＣＰ４の面積を算出する。関連付け装置１００は、算出したＣＰセルＣＰ４の面積Ｓ１が基準面積Ｓ０以下であるか否かを判断する。ここでは、ＣＰセルＣＰ４の面積Ｓ１は基準面積Ｓ０以下であると判断される。
【００２５】
（関連付け処理例１）
つぎに、図２では、関連付け装置１００は、ＣＰ面積が基準面積Ｓ０以下であると判断されたＣＰセルに含まれるセルを機能ごとにグループ化する。たとえば、ＩＮＶ１，ＩＮＶ２，ＩＮＶ３，ＩＮＶ４，ＩＮＶ５は、すべて同一機能である。たとえば、ＮＯＲ１，ＮＯＲ２，ＮＯＲ３はすべて同一機能である。機能ごとにグループ化されたグループに含まれるセルの種別を、該セルと同一機能であるセルの種別の中で特定の駆動能力である種別に変換する。特定の駆動能力である種別とは、同一機能である種別の中で基準となる種別である。基準となるセルの種別に変換する。同一機能の種別の中で、いずれの種別が基準となる種別であるかについては、予め設計者が定義し、関連付け装置１００がアクセス可能な記憶装置に記憶させておいてもよい。スタンダードセルライブラリの設計者は、該種別のセルの駆動能力に基づいて同一機能であって駆動能力の異なる他の種別を作成する。図２の例では、ＩＮＶの中で、基準となる種別は、ＩＮＶ１であり、関連付け装置１００は、セルＣｅｌｌ７，Ｃｅｌｌ１１，Ｃｅｌｌ１２，Ｃｅｌｌ１３，Ｃｅｌｌ１４，Ｃｅｌｌ１５の種別をＩＮＶ１に変換する。
【００２６】
関連付け装置１００は、変換されたセルの種別と同一の種別を有するＣＰスタンプをＣＰスタンプライブラリ２００から抽出する。そして、関連付け装置１００は、変換されたセルに抽出されたＣＰスタンプを関連付ける。これにより、回路情報１０２には、セルＣｅｌｌ７，Ｃｅｌｌ１１，Ｃｅｌｌ１２，Ｃｅｌｌ１３，Ｃｅｌｌ１４，Ｃｅｌｌ１５によって、ＣＰスタンプＩＣＰ＿１を有するＣＰセルＣＰ１４が作成される。図２の回路情報１０２のＣＰセルＣＰ１４では、理解の容易化のために、各セルがレイアウトされたように示しているが、回路情報１０２はネットリストであるため、各セルの配置位置は定まっていない。回路情報１０２の詳細例については、後述する図１２に示す。図２の例では、関連付け装置１００は、６個のＣＰセルを１個のＣＰセルにグループ化している。したがって、関連付け装置１００は、ショット数の低減化を図ることができる。
【００２７】
これにより、関連付け装置１００は、基準面積Ｓ０以下であるＣＰセルが有するセルを集めてグループ化させることができ、関連付け装置１００は、ショット数の低減化を図ることができる。さらに、基準となる種別は最も駆動能力の低い種別である可能性がある。駆動能力が低ければ、レイアウトされた場合における面積が小さい。そのため、関連付け装置１００は、各セルの面積の縮小化を図ることができるため、ショット数の低減化を図ることができる。関連付け装置１００による関連付け処理が行われた後に、設計者は、再度タイミング解析を行い、タイミング制約が遵守されているか否かを確認してもよい。タイミング制約とは、たとえば、ＦＦのセットアップタイム、ＦＦのホールドタイムが挙げられる。
【００２８】
（関連付け処理例２）
図３では、関連付け装置１００は、ＣＰ面積が基準面積Ｓ０以下であると判断されたＣＰセルの種別を、該セルと同一機能である種別の中で、特定の駆動能力である種別に変換する。図３の例では、ＮＯＲの中で、特定の駆動能力である種別は、ＮＯＲ１であるため、関連付け装置１００は、セルＣｅｌｌ１，Ｃｅｌｌ２の種別をＮＯＲ１に変換する。
【００２９】
そして、関連付け装置１００は、基準面積Ｓ０以下でないと判断されたＣＰセルから、ＣＰ面積が基準面積Ｓ０以下であると判断されたＣＰセルが有するセルの機能と同一機能である種別のうちの特定の駆動能力の種別と同一種別のセルを有するＣＰスタンプに関連付けられたＣＰセルを検出する。関連付け装置１００は、検出されたＣＰセルが有する該特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、検出されたＣＰセルに関連付けられたＣＰスタンプが有する該特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満であるか否かを判断する。
【００３０】
たとえば、回路情報１０１内に予めＣＰセルごとにＣＰスタンプに含まれるセルのうち、いずれの種類のセルを何個ずつ使用しているかが定義される。検出されたＣＰセルが有する該特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、検出されたＣＰセルに関連付けられたＣＰスタンプが有する該特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満である場合、関連付け装置１００は、検出されたＣＰセルには空きがあると判断する。これにより、関連付け装置１００は、各ＣＰセルが有するセルの数に基づいて空きのあるＣＰセルを検出してもよい。または、たとえば、ＣＰスタンプライブラリ２００に登録されたＣＰスタンプと、ＣＰセルと、を比較することにより、関連付け装置１００は、空きのあるＣＰセルを検出してもよい。
【００３１】
関連付け装置１００は、空きのあるＣＰセルが検出された場合、変換されたセルを検出されたＣＰセルに関連付ける。図３の回路情報１０２に示すように、ＣＰセルＣＰ３には、あらたにセルＣｅｌｌ１とセルＣｅｌｌ２が含まれている。図３の回路情報１０２のＣＰセルＣＰ３では、理解の容易化のために、各セルがレイアウトされたように示しているが、回路情報１０２はネットリストであるため、各セルの配置位置は定まっていない。回路情報１０２の詳細例については、後述する図１２に示す。
【００３２】
これにより、関連付け装置１００は、複数のセルを同一のＣＰセルに含めるＣＰ化の効率を向上させることができる。同一のＣＰセルに含まれるセルは同一ショットによってウエハに転写されるため、関連付け装置１００は、ショット数の低減化を図ることができる。また、関連付け装置１００は、特定の駆動能力である種別を基準となる種別にする。基準となる種別は最も使用頻度の高い種別である可能性が高いため、回路情報１０１内に基準となる種別のセルを有するＣＰセルは多数存在する可能性がある。そのため、あらたなセルが追加される空きのあるＣＰセルが存在する可能性が高い。したがって、関連付け装置１００は、ショット数の低減化を図ることができる。
【００３３】
また、関連付け装置１００は、空きのあるＣＰセルが検出されなかった場合、図２に示したようにあらたにＣＰセルを作成してもよい。
【００３４】
（関連付け処理例３）
つぎに、図４では、関連付け装置１００は、基準面積Ｓ０以下であるセルがＡＮＤまたはＯＲの場合、２入力ＮＡＮＤとＩＮＶの組み合わせに変換する。具体的には、たとえば、種別が３入力のＡＮＤであるセルＣｅｌｌ１８は、２つの２入力ＮＡＮＤと２つのＩＮＶによって表すことができる。また、種別が３入力のＯＲであるセルＣｅｌｌ１９は２つの２入力ＮＡＮＤと４つのＩＮＶによって表すことができる。
【００３５】
そして、関連付け装置１００は、ＣＰスタンプライブラリ２００に含まれる２入力ＮＡＤＮとＩＮＶの複合セルを含むＣＰスタンプを抽出する。関連付け装置１００は、変換後のセルに、抽出されたＣＰスタンプを関連付ける。これにより、回路情報１０２には、ＣＰセルＣＰ１５が作成される。回路情報１０２の詳細例については、後述する図１２に示す。
【００３６】
すべての論理回路は２入力のＮＡＮＤとＮＯＴの組み合わせに置き換えることができる。したがって、関連付け装置１００は、ＡＮＤ、ＯＲなどの使用頻度の低いセルを使用頻度の高いＮＡＮＤ、ＩＮＶに置き換えることにより、より多くのセルを同一のＣＰセルに含めることができる。これにより、ショット数の低減化を図ることができる。さらに、あらたに作成されたＣＰセルに空きがあれば、他のセルをあらたに作成されたＣＰセルに含めることができる。したがって、関連付け装置１００は、ショット数の低減化を図ることができる。
【００３７】
また、すべての論理回路は２入力のＮＯＲとＮＯＴの組み合わせに置き換えることができるため、関連付け装置は、ＡＮＤ、ＯＲなどの使用頻度の低いセルを使用頻度の高いＮＯＲ、ＩＮＶに置き換えてもよい。これにより、より多くのセルを同一のＣＰセルに含めることができ、ショット数の低減化を図ることができる。
【００３８】
（タイミング制約の違反）
図５では、たとえば、関連付け装置１００は、タイミング制約を遵守していないパス上のセルを回路情報１０１から特定する。ここで、たとえば、パスとは、入力端子からマクロ（たとえば、ＦＦ）までの一連のセルおよびネットの集合、マクロ（たとえば、ＦＦ）間の一連のセルおよびネットの集合である。または、たとえば、パスとは、マクロから出力端子までの一連のセルおよびネットの集合である。
【００３９】
たとえば、セルＣｅｌｌ２０とセルＣｅｌｌ２１とがタイミング制約を遵守していないパス上のセルである。つぎに、たとえば、関連付け装置１００は、特定されたセルを含むＣＰセルと、特定されたセルとの関連づけを削除する。そして、たとえば、関連付け装置１００は、タイミング制約を遵守していないパス上のセルの種別を、同一機能で駆動能力の高い種別に変換する。
【００４０】
関連付け装置１００は、変換後のセルの種別と同一種別のセルを含むＣＰスタンプをＣＰスタンプライブラリ２００から抽出する。関連付け装置１００は、変換後のセルに抽出されたＣＰスタンプを関連付ける。これにより、あらたなＣＰセルＣＰ１６が作成される。図５の回路情報１０２のＣＰセルＣＰ１６では、理解の容易化のために、各セルがレイアウトされたように示しているが、回路情報１０２はネットリストであるため、各セルの配置位置は定まっていない。回路情報１０２の詳細例については、後述する図１２に示す。
【００４１】
これにより、タイミング違反が発生しても、関連付け装置１００は、タイミング制約を遵守させるようにＣＰセルを作成することができる。
【００４２】
また、関連付け装置１００は、配線不可のセルを回路情報１０１から特定する。配線不可のセルとは、回路情報１０１内の複数のセルがＣＰセルとＣＰセルに関連付けられたＣＰスタンプに基づいてレイアウトされた場合に接続するための配線ができなかったセルである。配線不可のセルについては、たとえば、関連付け装置１００は、回路情報１０１がレイアウトされたレイアウト結果から配線が行われていない箇所を検出してもよい。または、たとえば、レイアウト設計者が、該レイアウト結果から配線不可のセルを検出し、検出結果を関連付け装置１００がアクセス可能な記憶装置に記憶させてもよい。
【００４３】
つぎに、関連付け装置１００は、特定されたセルの種別と同一種別のセルを含むＣＰスタンプをＣＰスタンプライブラリ２００から抽出する。関連付け装置１００は、特定されたセルに抽出されたＣＰスタンプを関連付けてもよい。具体的には、たとえば、関連付け装置１００は、特定されたセルと、特定されたセルを含むＣＰセルとの関連づけを削除し、あらたなＣＰセルを作成してもよい。あらたなＣＰセルが作成された回路情報に基づくレイアウトでは、配置配線ツールが配線不可であったセルの配置位置を移動させることができる。したがって、関連付け装置は、セルの配線を容易化させることができる。
【００４４】
（ＣＰ方式による電子ビーム露光）
つぎに、関連付け装置１００の機能例の説明の前に、図６を用いてＣＰ方式による電子ビーム露光について簡単に説明する。
【００４５】
図６は、ＣＰ方式による電子ビーム露光例を示す説明図である。ＣＰ方式では複数のＣＰスタンプが予め電子ビーム用のステンシルマスク６０２として用意される。ステンシルマスク６０２は、電子ビーム露光装置６００を用いるプロセスの層ごとに用意される。図６の（ａ）では、基本ＣＰ機能を示している。図６の（ａ）では、電子銃から発せられた電子ビームはビーム成型第１開口６０１によって矩形に成形される。成形された電子ビームは、ステンシルマスク６０２の中から選択されたＣＰスタンプを透過することにより、ＣＰスタンプの形状に成形されてウエハ６０３に照射される。図６におけるＣＰスタンプとは、図１で示したＣＰスタンプライブラリ２００内の各ＣＰスタンプに基づいて電子ビームを透過させる穴が空いた図形である。これにより、ＣＰスタンプの形状がウエハ６０３に転写される。
【００４６】
ステンシルマスク６０２に搭載可能なＣＰスタンプの数は、４０００種類程度である。ＣＰスタンプとしては、繰り返し利用されるレイアウトデータに基づいて作成される。ステンシルマスク６０２上にないパターンの場合には、ＣＰスタンプと似通ったパターンであってもパターンの一部が異なればステンシルマスク６０２を共有することができない。
【００４７】
そのため、ＣＰ方式では、図６の（ｂ）に示すように、部分ビーム投影機能を有している。電子ビーム露光装置６００は、ビーム成型第２開口６０４による可変成形機能と、ステンシルマスク６０２と、によってＣＰスタンプの一部に電子ビームを照射することにより、部分ビーム投影機能を実現する。これにより、ステンシルマスク６０２上のＣＰスタンプの一部分だけをウエハ６０３に転写させることができる。そのため、たとえば、電子ビーム露光装置６００は、ＣＰスタンプ内の１つのセルのレイアウトデータをウエハ６０３上に照射することができる。
【００４８】
上述したように、ＣＰスタンプのサイズは、ビームサイズによって定まるため、プロセスの微細化・高密度化に伴い、１つのＣＰスタンプに含めることができるセルの数が増えている。そのため、電子ビーム露光装置６００は、ウエハ６０３上のセルをできる限り同一のショットにより転写させることにより、ショット数の低減化を図ることができる。これにより、電子ビーム露光装置６００は、１ウエハの製造工程における合計の露光時間を製品の量産に対応させることができるように短縮化させることができる。
【００４９】
つぎに、本実施の形態における設計フローについて図７を用いて簡単に説明する。
【００５０】
（設計フロー）
図７は、本実施の形態における設計フロー例を示す説明図である。回路情報７００は、ハードウェア記述言語によってＲＴＬ（Ｒｅｇｉｓｔｅｒ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｌｅｖｅｌ）で設計される。
【００５１】
本実施の形態にかかる設計フローでは、論理合成ツールが、回路情報７００を論理合成する（ステップＳ７０１）。これにより、論理合成後のネットリストである回路情報７２０が得られる。回路情報７２０は、図７中「Ｎｅｔｌｉｓｔ」と表されている。回路情報７２０内の各機能はスタンダードセルライブラリで用意されたスタンダードセルによって表されている。
【００５２】
そして、配置配線ツールまたは設計者が、回路情報７２０について配置配線およびタイミング最適化を行う（ステップＳ７０２）。これにより、レイアウトデータである回路情報７２１が得られる。さらに、設計者は、回路情報７２１からセルの接続情報が抽出されたＮｅｔｌｉｓｔである回路情報７２２を作成してもよい。
【００５３】
つぎに、従来技術で説明したようにコンピュータは、ＣＰ変換レイアウトを行う（ステップＳ７０３）。ＣＰ変換レイアウトでは、レイアウトデータに対してＣＰスタンプに沿うようにセルの配置を移動し、レイアウトデータおよびＮｅｔｌｉｓｔ内のセルに、ＣＰスタンプライブラリ２００内のＣＰスタンプを関連付ける。ＣＰ変換レイアウトについては、設計者が手動で行ってもよい。
【００５４】
そして、配置配線ツール、タイミング解析ツールが、配置配線およびタイミング調整を行う（ステップＳ７０４）。これにより、ＣＰ変換が行われたレイアウトデータである回路情報７２３が得られる。ＣＰ変換とは、コンピュータが、複数のセルのレイアウトデータと、ＣＰスタンプとを関連付ける処理である。
【００５５】
つぎに、関連付け装置１００は、関連付け処理を行う（ステップＳ７０５）。具体的には、たとえば、関連付け装置１００は、図１に示したように回路情報１０１またはレイアウトデータである回路情報７２３内のＣＰセルのＣＰ面積の算出処理を行い（ステップＳ７１１）、終了条件を満たしたか否かを判断する（ステップＳ７１２）。終了条件は、たとえば、ＣＰ面積が基準値以下であるＣＰセルがないこと、タイミング制約を遵守していること、すべての配線が終了していること、が挙げられる。
【００５６】
たとえば、終了条件が満たされた場合（ステップＳ７１２：Ｙｅｓ）、一連の処理を終了する。終了条件が満たされていない場合（ステップＳ７１２：Ｎｏ）、関連付け装置１００は、図２〜図５に示したような変換処理を行い（ステップＳ７１３）、ステップＳ７０３へ戻る。
【００５７】
（関連付け装置１００のハードウェア構成例）
図８は、関連付け装置１００のハードウェア構成例を示すブロック図である。図８において、関連付け装置１００は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）８０１と、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）８０２と、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）８０３と、を有している。さらに、関連付け装置１００は、磁気ディスクドライブ８０４と、磁気ディスク８０５と、光ディスクドライブ８０６と、光ディスク８０７と、ディスプレイ８０８と、Ｉ／Ｆ（Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）８０９と、キーボード８１０と、マウス８１１と、を有している。また、各構成部はバス８００によってそれぞれ接続されている。
【００５８】
ここで、ＣＰＵ８０１は、関連付け装置１００の全体の制御を司る。ＲＯＭ８０２は、ブートプログラムなどのプログラムを記憶している。ＲＡＭ８０３は、ＣＰＵ８０１のワークエリアとして使用される。磁気ディスクドライブ８０４は、ＣＰＵ８０１の制御にしたがって磁気ディスク８０５に対するデータのリード／ライトを制御する。磁気ディスク８０５は、磁気ディスクドライブ８０４の制御で書き込まれたデータを記憶する。
【００５９】
光ディスクドライブ８０６は、ＣＰＵ８０１の制御にしたがって光ディスク８０７に対するデータのリード／ライトを制御する。光ディスク８０７は、光ディスクドライブ８０６の制御で書き込まれたデータを記憶したり、光ディスク８０７に記憶されたデータをコンピュータに読み取らせたりする。
【００６０】
ディスプレイ８０８は、カーソル、アイコンあるいはツールボックスをはじめ、文書、画像、機能情報などのデータを表示する。ディスプレイ８０８は、たとえば、ＣＲＴ、ＴＦＴ液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイなどを採用することができる。
【００６１】
Ｉ／Ｆ８０９は、通信回線を通じてＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  ＮＥＴｗｏｒｋ）、ＷＡＮ（Ｗｉｄｅ  Ａｒｅａ  ＮＥＴｗｏｒｋ）、インターネットなどのネットワーク８１４に接続され、このネットワーク８１４を介して他の装置に接続される。そして、Ｉ／Ｆ８０９は、ネットワーク８１４と内部のインターフェースを司り、外部装置からのデータの入出力を制御する。Ｉ／Ｆ８０９には、たとえばモデムやＬＡＮアダプタなどを採用することができる。
【００６２】
キーボード８１０は、文字、数字、各種指示などの入力のためのキーを備え、データの入力を行う。また、タッチパネル式の入力パッドやテンキーなどであってもよい。マウス８１１は、カーソルの移動や範囲選択、あるいはウィンドウの移動やサイズの変更などを行う。ポインティングデバイスとして同様に機能を有するものであれば、トラックボールやジョイスティックなどであってもよい。
【００６３】
（ＣＰスタンプライブラリ２００）
図９は、ＣＰスタンプライブラリ２００の一例を示す説明図である。上述したように、ＣＰスタンプライブラリ２００は、たとえば、１または複数のセルを１つの図形としてレイアウトされたＣＰスタンプが複数記憶されている。図９では、ＣＰスタンプＩＣＰ＿１〜ＩＣＰ＿１０が表されている。ＣＰスタンプライブラリ２００は、ＲＯＭ８０２、ＲＡＭ８０３、磁気ディスク８０５、光ディスク８０７などの記憶装置に記憶されている。
【００６４】
たとえば、ＣＰスタンプＩＣＰ＿１は、１２個のＩＮＶ１を有するレイアウトデータである。ＣＰスタンプＩＣＰ＿２は、ＦＦＡと２個のＮＡＮＤ１を組み合わせたレイアウトデータである。ＣＰスタンプＩＣＰ＿３は、８個のＩＮＶ２を有するレイアウトデータである。ＣＰスタンプＩＣＰ＿４は、９個のＭＵＸ１を有するレイアウトデータである。
【００６５】
ＣＰスタンプＩＣＰ＿５は、８個のＮＡＮＤ１を有するレイアウトデータである。ＣＰスタンプＩＣＰ＿６は、８個のＮＯＲ１を有するレイアウトデータである。ＣＰスタンプＩＣＰ＿７は、６個のＮＯＲ２を有するレイアウトデータである。ＣＰスタンプＩＣＰ＿８は、６個のＮＯＲ３を有するレイアウトデータである。ＣＰスタンプＩＣＰ＿９は、４個のＮＡＮＤと６個のＩＮＶ１を有する複合セルのレイアウトデータである。ＣＰスタンプＩＣＰ＿１０は、６個のＮＡＮＤと２個のＩＮＶ１を有する複合セルのレイアウトデータである。
【００６６】
（回路情報１０１）
図１０は、回路情報１０１の一例を示す説明図である。上述したように、回路情報１０１は、たとえば、仮配置配線後に各セルとＣＰスタンプが関連付けられたレイアウトデータから作成されたネットリストである。たとえば、回路情報１０１は、モジュール０００１を有している。図１０の例では、モジュール０００１は、セルＣｅｌｌ１〜Ｃｅｌｌ２１を有している。
【００６７】
各セルは、いずれのＣＰセルに含まれているかを示す情報を有している。図１０の例では、「ＣＰスタンプＩＤ」、「ＣＰインスタンス名」、「全セル数」、「セルＩＤ（セル数，セル使用数）」が各セルの入力情報および出力情報の定義の前に記述されている。ＣＰスタンプＩＤは、ＣＰスタンプの識別情報である。ＣＰインスタンス名はＣＰセルごとに付され、ＣＰインスタンス名によって各ＣＰセルが区別される。全セル数とは、ＣＰスタンプＩＤが示すＣＰスタンプが有するセルの数である。セルＩＤ（セル数，セル使用数）のセルＩＤは、ＣＰスタンプＩＤが示すＣＰスタンプが有するセル種別を示す識別情報である。セルＩＤ（セル数，セル使用数）のセル数は、ＣＰスタンプＩＤが示すＣＰスタンプに含まれるセルＩＤが示すセルの数である。セルＩＤ（セル数，セル使用数）のセル使用数は、インスタンス名によって区別されたＣＰセルが使用しているセルＩＤが示すセルの数である。ここでは、「ＣＰスタンプＩＤ」、「ＣＰインスタンス名」、「全セル数」、および「セルＩＤ（セル数，セル使用数）」は、回路情報１０１内の各セルに付与しているが、テーブル化してもよい。
【００６８】
セルＣｅｌｌ１を例に挙げる。セルＣｅｌｌ１は、２入力ＮＯＲである。回路情報１０１には、「Ｃｅｌｌ１（ＩＣＰ＿７  ＣＰ１  ６  ＮＯＲ２（６，１），ＩＮ１−１，ＩＮ１−２，ＯＵＴ１）；」と記述されている。この記述では、「ＩＣＰ＿７」は「ＣＰスタンプＩＤ」であり、「ＣＰ１」は「ＣＰインスタンス名」であり、「６」は全セル数である。さらに、この記述では、「ＮＯＲ２（６，１）」はセルＩＤがＮＯＲ２であり、ＣＰスタンプＩＣＰ＿７に含まれるＮＯＲ２のセル数は６であり、ＣＰセルＣｅｌｌ１においてセル使用数は１である。この記述では、「ＩＮ１−１」、および「ＩＮ１−２」は、セルＣｅｌｌ１への入力であり、「ＯＵＴ１」はセルＣｅｌｌ１からの出力である。
【００６９】
回路情報１０１内のセルＣｅｌｌ１９では入出力情報の記載が「ＯＵＴ１８，ＩＮ１−１９−２，ＩＮ１９−３，ＯＵＴ１９」となっているが、図４で示したように、セルＣｅｌｌ１８の出力がセルＣｅｌｌ１９に入力されるため、「ＯＵＴ１８」はセルＣｅｌｌ１８の出力であり、セルＣｅｌｌ１９の入力である。
【００７０】
回路情報１０１は、ＲＯＭ８０２、ＲＡＭ８０３、磁気ディスク８０５、光ディスク８０７などの記憶装置に記憶されている。これにより、配置配線ツールやレイアウトデータの設計者は、各セルがいずれのＣＰセルに含まれているかを判別することができる。
【００７１】
（関連付け装置１００の機能例）
図１１は、関連付け装置１００の機能的構成を示すブロック図である。関連付け装置１００は、算出部１１０１と、面積判断部１１０２と、分類部１１０３と、変換部１１０４と、検出部１１０５と、空き判断部１１０６と、抽出部１１０７と、特定部１１０８と、関連付け部１１０９と、を有している。
【００７２】
算出部１１０１から関連付け部１１０９の各処理は、具体的には、たとえば、図８に示したＲＯＭ８０２、ＲＡＭ８０３、磁気ディスク８０５、光ディスク８０７などの記憶装置に記憶された関連付けプログラムにコーディングされている。たとえば、ＣＰＵ８０１が、記憶装置に記憶された関連付けプログラムを読み出し、関連付けプログラムにコーディングされている処理を実行する。これにより、算出部１１０１から関連付け部１１０９の機能が実現される。
【００７３】
また、算出部１１０１から関連付け部１１０９のそれぞれの処理結果は、たとえば、ＲＯＭ８０２、ＲＡＭ８０３、磁気ディスク８０５、光ディスク８０７などの記憶装置に記憶される。
【００７４】
まず、算出部１１０１は、回路情報１０１内の複数のＣＰセルのＣＰセルごとに、関連付けられているＣＰスタンプが有する各セルの面積に基づいて、ＣＰセルが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出する。図１で説明したように、算出部１１０１は、ＣＰセルごとにＣＰセルに関連付けられているＣＰスタンプの識別情報に基づいて面積テーブル１１０からＣＰセルが有するセルの面積を取得する。そして、算出部１１０１は、ＣＰセルが有するすべてのセルがレイアウトされた場合におけるＣＰ面積を算出する。「ＣＰセルが有するセルの数≦該ＣＰセルに関連付けられたＣＰスタンプに含まれるセルの数」の関係が成り立っている。図１の例では、ＣＰセルＣＰ１の面積はＳ３であり、ＣＰセルＣＰ２の面積はＳ４であり、ＣＰセルＣＰ３の面積はＳ２×６であり、ＣＰセルＣＰ４の面積はＳ１である。
【００７５】
面積判断部１１０２は、算出部１１０１によって算出されたＣＰ面積が基準値以下であるか否かをＣＰセルごとに判断する。基準値は、上述したように、基準面積Ｓ０である。たとえば、基準面積Ｓ０はＲＯＭ８０２、ＲＡＭ８０３、磁気ディスク８０５、光ディスク８０７などの記憶装置に記憶されている。図１の例では、ＣＰセルＣＰ１の面積Ｓ３は基準面積Ｓ０以下であり、ＣＰセルＣＰ２の面積Ｓ４は基準面積Ｓ０以下であり、ＣＰセルＣＰ３の面積Ｓ２×６は基準面積Ｓ０より大きく、ＣＰセルＣＰ４の面積Ｓ１は基準面積Ｓ０以下である。
【００７６】
分類部１１０３は、面積判断部１１０２によって基準値以下であると判断されたＣＰセルが有するセルを機能ごとにグループ化する。
【００７７】
変換部１１０４は、分類部１１０３によってあらたにグループ化された各グループが有するセルの種別を、該各グループが有するセルの機能と同一機能である種別のうち特定の駆動能力である種別に変換する。図２の例では、セルＣｅｌｌ７，Ｃｅｌｌ１１〜Ｃｅｌｌ１５の種別がＩＮＶ１に変換される。
【００７８】
抽出部１１０７は、ＣＰスタンプライブラリ２００から、分類部１１０３によってあらたにグループ化された各グループが有するセルの機能と同一機能である種別のうち特定の駆動能力である種別のセルを有するＣＰスタンプを抽出する。図２の例では、ＩＮＶ１を有するＣＰスタンプＩＣＰ＿１が抽出される。
【００７９】
関連付け部１１０９は、変換されたセルに、抽出部１１０７によって抽出されたＣＰスタンプを関連付けることにより、あらたなＣＰセルを生成する。図２の例では、ＣＰセルＣＰ１４が作成される。
【００８０】
また、変換部１１０４は、面積が基準値以下であると判断されたＣＰセルが有するセルの機能が特定の機能である場合、分類部１１０３によって分類されたセルを、否定論理積を表すセルと否定を表すセルの組み合わせに変換する。特定の機能とは、たとえば、ＡＮＤ、ＯＲが挙げられる。図４の例では、変換部１１０４は、３入力のＡＮＤであるセルＣｅｌｌ１８を分解し、２入力のＮＡＮＤであるセルＣｅｌｌ２２，Ｃｅｌｌ２４と、ＩＮＶであるセルＣｅｌｌ２３，Ｃｅｌｌ２５と、の組み合わせに変換する。図４の例では、変換部１１０４は、３入力のＯＲであるセルＣｅｌｌ１９が分解されて、２入力のＮＡＮＤであるセルＣｅｌｌ２９，Ｃｅｌｌ３１と、ＩＮＢであるセルＣｅｌｌ２６〜Ｃｅｌｌ２８，Ｃｅｌｌ３０と、の組み合わせに変換する。具体的には、たとえば、関連付け装置１００は、ＡＮＤ、またはＯＲをＴｒｅｅ―Ｃｏｖｅｒｉｎｇ技術を用いることにより、２入力のＮＡＮＤとＩＮＶの組み合わせに変換することができる。ＡＮＤ、ＯＲからＮＡＮＤ、ＩＮＶの組み合わせへの変換については、ＡＮＤ、ＯＲの種別ごとにＲＯＭ８０２、ＲＡＭ８０３、磁気ディスク８０５、光ディスク８０７などの記憶装置に予め変換結果を記憶させておいてもよい。
【００８１】
抽出部１１０７は、変換部１１０４によって変換された組み合わせが有する否定論理積を表すセルの種別と同一種別のセルと、否定を表すセルの種別と同一種別のセルと、を有するＣＰスタンプをＣＰスタンプライブラリ２００から抽出する。図４の例では、たとえば、ＣＰスタンプＩＣＰ＿９が抽出される。
【００８２】
関連付け部１１０９は、変換された組み合わせに、抽出されたＣＰスタンプを関連付ける。図４の例では、たとえば、ＣＰスタンプＩＣＰ＿９に関連付けられたＣＰセルＣＰ１５が作成される。
【００８３】
（空きＣＰセルに関連付ける処理）
変換部１１０４は、面積が基準値以下であると判断されたＣＰセルが有するセルの種別を、該セルの機能と同一機能である種別の中で、基準となる種別に変換する。たとえば、図３の例では、変換部１１０４は、ＣＰセルＣＰ１のセルＣｅｌｌ１の種別とＣＰセルＣＰ２のセルＣｅｌｌ２の種別とをＮＯＲ１に変換する。
【００８４】
検出部１１０５は、基準値以下でないと判断されたＣＰセルから、第１のＣＰセルが有するセルの機能と同一機能である種別のうちの特定の駆動能力の種別と同一種別のセルを有するＣＰスタンプに関連付けられた第２のＣＰセルを検出する。図３の例では、面積判断部１１０２によって基準値以下でないと判断されたＣＰセルＣＰ３が検出される。
【００８５】
空き判断部１１０６は、検出部１１０５によって検出された第２のＣＰセルが有する該特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、第２のＣＰセルに関連付けられたＣＰスタンプが有する該特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満であるか否かを判断する。図１０で示した回路情報１０１には、ＣＰセルＣＰ３に関連付けられたＣＰスタンプＩＣＰ＿６内のセル使用率が付されている。たとえば、ＣＰスタンプＩＣＰ＿６が有するＮＯＲ１の数は８個であるが、ＣＰセルＣＰ３が有するＮＯＲ１の数は６個である。よって、空き判断部１１０６は、ＣＰセルＣＰ３が有するＮＯＲ１の数が、ＣＰセルＣＰ３に関連付けられたＣＰスタンプＩＣＰ＿６が有するＮＯＲ１の数未満であると判断する。
【００８６】
関連付け部１１０９は、空き判断部１１０６によって検出された第２のＣＰセルが有する該特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、第２のＣＰセルに関連付けられたＣＰスタンプが有する該特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満であると判断された場合、変換部１１０４によって変換されたセルを第２のＣＰセルに含める。図３の例では、回路情報１０２内のＣＰセルＣＰ３にセルＣｅｌｌ１１とセルＣｅｌｌ１２が含まれている。
【００８７】
ここで、変換部１１０４による変換処理と、検出部１１０５および空き判断部１１０６による空きＣＰセルの判断処理と、はいずれが先に行われてもよく、特に限定しない。
【００８８】
また、第２のＣＰセルが有する該特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、第２のＣＰセルに関連付けられたＣＰスタンプが有する該特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満でないと判断された場合、分類部１１０３は、第１のＣＰセルが有するセルを機能ごとに分類してもよい。その後、上述したように、関連付け装置１００は変換部１１０４、抽出部１１０７、および関連付け部１１０９による処理を行うことにより、図２に示したような関連付け処理が行われる。
【００８９】
（タイミング違反）
特定部１１０８は、回路情報１０１に対するタイミング解析においてタイミング制約を遵守していないと判断されたパス上のセルを回路情報１０１から特定する。たとえば、タイミング解析の結果は、ＲＯＭ８０２、ＲＡＭ８０３、磁気ディスク８０５、光ディスク８０７などの記憶装置に記憶されている。図５の例では、ＣＰセルＣＰ１３内のセルＣｅｌｌ２０，Ｃｅｌｌ２１が抽出される。
【００９０】
変換部１１０４は、特定部１１０８によって特定されたセルの種別を、特定されたセルと同一機能である種別の中から、特定されたセルの種別よりも駆動能力の高いセルの種別に変換する。上述した図５の例では、変換部１１０４は、セルＣｅｌｌ２０，Ｃｅｌｌ２１の種別をＩＮＶ１からＩＮＶ２に変換する。
【００９１】
抽出部１１０７は、ＣＰスタンプライブラリ２００から、変換部１１０４によって変換されたセルと同一種別のセルを有するＣＰスタンプを抽出する。たとえば、セルＣｅｌｌ２０，Ｃｅｌｌ２１のセル種別であるＩＮＶ２を有するＣＰスタンプＩＣＰ＿３が抽出される。
【００９２】
関連付け部１１０９は、変換されたセルに、抽出されたＣＰスタンプを関連付けることにより、あらたなＣＰセルを作成する。上述した図５の例では、回路情報１０２内にＣＰセルＣＰ１６が作成される。
【００９３】
（配線不可のセル）
また、特定部１１０８は、配線不可のセルを回路情報１０１から特定する。上述したように、配線不可のセルについては、たとえば、関連付け装置１００は、回路情報１０１がレイアウトされた回路情報７２３から配線が行われていないセルを検出してもよい。または、たとえば、レイアウト設計者が、予め回路情報７２３から配線不可のセルを検出し、予めＲＯＭ８０２、ＲＡＭ８０３、磁気ディスク８０５、光ディスク８０７などの記憶装置に記憶させてもよい。
【００９４】
そして、抽出部１１０７は、特定されたセルの種別と同一種別のセルを含むＣＰスタンプをＣＰスタンプライブラリ２００から抽出する。関連付け部１１０９は、特定されたセルに抽出されたＣＰスタンプを関連付ける。これにより、配線不可のセルが該セルを含むＣＰセルから切り離され、あらたなＣＰセルが作成される。あらたなＣＰセルが作成された回路情報に基づくレイアウトでは、配置配線ツールが配線不可であったセルの配置位置を移動させることができる。したがって、関連付け装置は、セルの配線を容易化させることができる。
【００９５】
図１２は、変換後の回路情報１０２の一例を示す説明図である。回路情報１０２では、点線枠１２０１に示すようにセルＣｅｌｌ１，Ｃｅｌｌ２の種別がＮＯＲ１になっている。回路情報１０２では、点線枠１２０２−１，１２０２−２に示すようにセルＣｅｌｌ９，Ｃｅｌｌ１１〜１５の種別がＩＮＶ１になっている。
【００９６】
回路情報１０２では、３入力のＡＮＤであるセルＣｅｌｌ１８がセルＣｅｌｌ２２〜Ｃｅｌｌ２５に変換され、３入力のＯＲであるセルＣｅｌｌ１９がセルＣｅｌｌ２６〜Ｃｅｌｌ３１に変換されている。
【００９７】
点線枠１２０３に示すように回路情報１０２では、セルＣｅｌｌ２０，Ｃｅｌｌ２１のセル種別がＩＮＶ２になっている。
【００９８】
回路情報１０２は、ＲＯＭ８０２、ＲＡＭ８０３、磁気ディスク８０５、光ディスク８０７などの記憶装置に記憶されている。これにより、配置配線ツール、レイアウトデータの設計者は、各セルがいずれのＣＰセルに含まれているかを判別することができる。
【００９９】
これにより、関連付け装置１００は、同一のＣＰスタンプにグループ化させるＣＰ化の効率を向上させることができる。したがって、関連付け装置１００は、ショット数の低減化を図ることができる。
【０１００】
（関連付け処理手順）
図１３〜図１６は、関連付け装置１００による関連付け処理手順の一例を示すフローチャートである。まず、関連付け装置１００は、未選択なＣＰセルがあるか否かを判断する（ステップＳ１３０１）。関連付け装置１００は、たとえば、回路情報１０１の全体を関連付け処理の対象としてもよいし、回路情報１０１内の選択されたモジュールを関連付け装置の対象としてもよい。本フローチャートでは、一例として、関連付け装置１００は、回路情報１０１の全体を関連付け処理の対象としている。
【０１０１】
未選択なＣＰセルがある場合（ステップＳ１３０１：Ｙｅｓ）、関連付け装置１００は、未選択なＣＰセルから１つのＣＰセルを選択する（ステップＳ１３０２）。そして、関連付け装置１００は、選択されたＣＰセルにタイミング制約を遵守していないパス上のセルがあるか否かを判断する（ステップＳ１３０３）。
【０１０２】
つぎに、選択されたＣＰセルにタイミング制約を遵守していないパス上のセルがない場合（ステップＳ１３０３：Ｎｏ）、関連付け装置１００は、選択されたＣＰセルのＣＰ面積を算出する（ステップＳ１３０４）。ステップＳ１３０１〜ステップＳ１３０４までの処理が、図７に示したステップＳ７１１である。
【０１０３】
そして、関連付け装置１００は、選択されたＣＰセルのＣＰ面積≧基準面積Ｓ０であるか否かを判断する（ステップＳ１３０５）。選択されたＣＰセルのＣＰ面積≧基準面積Ｓ０でない場合（ステップＳ１３０５：Ｎｏ）、関連付け装置１００は、選択されたＣＰセルを基準面積Ｓ０以下のＣＰセルとして検出する（ステップＳ１３０６）。図１３に示すフローチャートでは、関連付け装置１００は、ＣＰセルのＣＰ面積の算出およびＣＰ面積が基準値以下であるか否かの判断を組み合わせとして順に行っている。これに限らず、関連付け装置１００は、すべてのＣＰセルの各々のＣＰ面積について算出後に、ＣＰ面積が基準値以下であるか否かを判断してもよい。
【０１０４】
一方、選択されたＣＰセルにタイミング制約を遵守していないパス上のセルがある場合（ステップＳ１３０３：Ｙｅｓ）、ステップＳ１３０１へ戻る。選択されたＣＰセルのＣＰ面積≧基準面積Ｓ０でない場合（ステップＳ１３０５：Ｙｅｓ）、ステップＳ１３０１へ戻る。
【０１０５】
ステップＳ１３０１において、未選択なＣＰセルがない場合（ステップＳ１３０１：Ｎｏ）、関連付け装置１００は、検出されたＣＰセルがあるか否かを判断する（ステップＳ１３０７）。検出されたＣＰセルがない場合（ステップＳ１３０７：Ｎｏ）、ステップＳ１３２５へ移行する。
【０１０６】
検出されたＣＰセルがある場合（ステップＳ１３０７：Ｙｅｓ）、関連付け装置１００は、検出されたＣＰセルに含まれるセルを機能ごとに分類する（ステップＳ１３０８）。つぎに、関連付け装置１００は、機能ごとにグループ化されたグループのうち、未選択のグループがあるか否かを判断する（ステップＳ１３０９）。グループ化されたグループのうち、未選択のグループがない場合（ステップＳ１３０９：Ｎｏ）、ステップＳ１３２５へ移行する。
【０１０７】
一方、グループ化されたグループのうち、未選択のグループがある場合（ステップＳ１３０９：Ｙｅｓ）、関連付け装置１００は、未選択のグループから１つのグループを選択する（ステップＳ１３１０）。つぎに、関連付け装置１００は、選択されたグループのセルの機能と同一機能である種別の中で、基準となる種別のセルを有し、かつ基準ＣＰ面積以下でないＣＰセルを回路情報１０１から検出する（ステップＳ１３１１）。そして、関連付け装置１００は、検出されたＣＰセルのうち、空きのあるＣＰセルを特定し（ステップＳ１３１２）、空きのあるＣＰセルが特定されたか否かを判断する（ステップＳ１３１３）。
【０１０８】
空きのあるＣＰセルが特定されなかった場合（ステップＳ１３１３：Ｎｏ）、ステップ１３１８へ移行する。一方、空きのあるＣＰセルが特定された場合（ステップＳ１３１３：Ｙｅｓ）、関連付け装置１００は、選択されたグループのうち、特定されたＣＰセル内の空きセルの数分のセルの種別を、選択されたグループのセルの機能と同一機能である種別の中で基準となる種別に変換する（ステップＳ１３１４）。そして、関連付け装置１００は、変換後のセルを特定されたＣＰセルに関連付けし（ステップＳ１３１５）、選択されたグループから変換後のセルを除く（ステップＳ１３１６）。つぎに、関連付け装置１００は、選択されたグループが空か否かを判断する（ステップＳ１３１７）。ステップＳ１３１７では、より具体的に、関連付け装置１００は、選択されたグループのすべてのセルが、空きのあるＣＰセルに関連付けられたか否かを判断してもよい。選択されたグループが空である場合（ステップＳ１３１７：Ｙｅｓ）、ステップＳ１３０９へ戻る。選択されたグループが空でない場合（ステップＳ１３１７：Ｎｏ）、ステップＳ１３１８へ移行する。
【０１０９】
つぎに、関連付け装置１００は、選択されたグループがＡＮＤまたはＯＲであるか否かを判断する（ステップＳ１３１８）。選択されたグループがＡＮＤまたはＯＲでない場合（ステップＳ１３１８：Ｎｏ）、関連付け装置１００は、選択されたグループのセルの種別を、選択されたグループのセルの機能と同一機能である種別の中で基準となる種別に変換する（ステップＳ１３１９）。
【０１１０】
そして、関連付け装置１００は、選択されたグループのセルの機能と同一機能である種別の中で基準となる種別のセルを含むＣＰスタンプをＣＰスタンプライブラリ２００から抽出する（ステップＳ１３２０）。つぎに、関連付け装置１００は、変換後のセルに、抽出されたＣＰスタンプを関連付け（ステップＳ１３２１）、ステップＳ１３０９へ戻る。
【０１１１】
ステップＳ１３１８において、選択されたグループのセルがＡＮＤまたはＯＲである場合（ステップＳ１３１８：Ｙｅｓ）、関連付け装置１００は、選択されたグループのＡＮＤまたはＯＲをＮＡＮＤとＩＮＶの組み合わせに変換する（ステップＳ１３２２）。関連付け装置１００は、ＮＡＮＤとＩＮＶの組み合わせであるＣＰスタンプをＣＰスタンプライブラリ２００から抽出し（ステップＳ１３２３）、変換後のセルに抽出されたＣＰスタンプを関連付け（ステップＳ１３２４）、ステップＳ１３０９へ戻る。
【０１１２】
関連付け装置１００は、タイミング制約を遵守していないパスがあるか否かを判断する（ステップＳ１３２５）。タイミング制約を遵守していないパスがある場合（ステップＳ１３２５：Ｙｅｓ）、関連付け装置１００は、当該パス上のセルを回路情報１０１から検出する（ステップＳ１３２６）。関連付け装置１００は、検出されたセルの種別を、検出されたセルと同一機能であり、かつ駆動能力が高い種別に変換する（ステップＳ１３２７）。
【０１１３】
つぎに、関連付け装置１００は、検出されたセルの種別と同一種別のセルを含むＣＰスタンプをＣＰスタンプライブラリ２００から抽出し（ステップＳ１３２８）、検出されたセルに抽出されたＣＰスタンプを関連付けし（ステップＳ１３２９）、ステップＳ１３３０へ移行する。ここでは、関連付け装置１００は、タイミング制約を遵守していないパス上のセルの種別を該種別よりも駆動能力の高い種別に変換し、あらたなＣＰセルを作成する。これに限らず、関連付け装置１００は、変換後のセルの種別と同一の種別のセルを有するＣＰセルに空きがあれば、変換後のセルを空きのあるＣＰセルに含めてもよい。
【０１１４】
ステップＳ１３２５において、タイミング制約を遵守していないパスがない場合（ステップＳ１３２５：Ｎｏ）、関連付け装置１００は、配線不可のセルがあるか否かを判断する（ステップＳ１３３０）。配線不可のセルがある場合（ステップＳ１３３０：Ｙｅｓ）、関連付け装置１００は、配線不可のセルを回路情報１０１から特定する（ステップＳ１３３１）。関連付け装置１００は、特定されたセルの種別と同一種別のセルを含むＣＰスタンプをＣＰスタンプライブラリ２００から抽出する（ステップＳ１３３２）。そして、関連付け装置１００は、特定されたセルに抽出されたＣＰスタンプを関連付けし（ステップＳ１３３３）、図７に示したＣＰ変換レイアウト（ステップＳ７０３）へ移行する。
【０１１５】
一方、ステップＳ１３３０において、配線不可のセルがない場合（ステップＳ１３３０：Ｎｏ）、関連付け装置１００は、セルの変換を行ったか否かを判断する（ステップＳ１３３４）。セルの変換を行っていない場合（ステップＳ１３３４：Ｎｏ）、図７に示したステップＳ７１２において終了条件が満たされると判断されるため、一連の処理を終了する。セルの変換を行っている場合（ステップＳ１３３４：Ｙｅｓ）、図７に示したステップＳ７１２において終了条件が満たされないため、図７に示したＣＰ変換レイアウト（ステップＳ７０３）へ移行する。
【０１１６】
以上説明したように、関連付け装置は、面積が基準値以下であるＣＰセルが有するセルを機能に基づいて分類し、分類ごとにセルの種別を特定の駆動能力である種別に変換し、変換後のセルをグループ化して新たにＣＰセルを生成する。これにより、関連付け装置は、各ＣＰセルに含めるセルの数を増大させ、ＣＰセルの数を減少させることができる。したがって、関連付け装置は、ショット数の低減化を図ることができる。
【０１１７】
すべての論理回路は２入力のＮＡＮＤとＮＯＴの組み合わせに置き換えることができる。そこで、関連付け装置は、ＯＲ、ＡＮＤを、２入力のＮＡＮＤとＩＮＶの組み合わせに変換する。２入力のＮＡＮＤとＮＯＴを有する複合セルのＣＰスタンプがＣＰスタンプライブラリに登録されていれば、関連付け装置は、置き換えられたセルをあらたなＣＰセルとして該ＣＰスタンプに関連付けることができる。したがって、関連付け装置は、ＡＮＤ、ＯＲなどの使用頻度の低いセルを使用頻度の高いＮＡＮＤ、ＩＮＶに置き換えることにより、より多くのセルを同一のＣＰセルに含めることができる。これにより、関連付け装置は、ショット数の低減化を図ることができる。
【０１１８】
また、関連付け装置は、面積が基準値以下であるＣＰセルが有するセルの種別を特定の駆動能力である種別に変換し、該種別のセルを有するＣＰセルに空きがあれば、変換後のセルを該ＣＰセルに含める。これにより、関連付け装置は、回路情報内に含まれるより多くのセルを同一のＣＰセルにグループ化させることができるため、ショット数の低減化を図ることができる。
【０１１９】
また、面積が基準値以下であるＣＰセルが有するセルの種別を特定の駆動能力である種別に変換し、該種別のセルを有するＣＰセルに空きが無い場合に、面積が基準値以下であるＣＰセルが有するセルを機能に基づいてグループ化してあらたなＣＰセルを作成する。これにより、ＣＰセルの数を減少させることができる。したがって、関連付け装置は、ショット数の低減化を図ることができる。
【０１２０】
また、関連付け装置は、タイミング制約を遵守していないパス上のセルの種別を該種別よりも駆動能力の高い種別に変換し、あらたなＣＰセルを作成する。これにより、タイミング違反が発生しても、関連付け装置は、タイミング制約を遵守させるようにＣＰセルを作成することができる。
【０１２１】
また、関連付け装置は、配線不可のセルを、配線不可のセルを含むＣＰセルから切り離してあらたなＣＰセルを作成する。そして、あらたなＣＰセルが作成された回路情報に基づくレイアウトでは、配置配線ツールが配線不可であったセルの配置位置を移動させることができる。したがって、関連付け装置は、セルの配線を容易化させることができる。
【０１２２】
また、電子ビーム露光装置では、品種依存のない共通のステンシルマスクが利用されるため、マスクの費用を低減させることができ、半導体集積回路の製造コストの低減させることができる。
【０１２３】
なお、本実施の形態で説明した関連付け方法は、予め用意された関連付けプログラムをパーソナル・コンピュータやワークステーション等のコンピュータで実行することにより実現することができる。本関連付けプログラムは、ハードディスク、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＤＶＤ等のコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、コンピュータによって記録媒体から読み出されることによって実行される。また本関連付けプログラムは、インターネット等のネットワークを介して配布してもよい。
【０１２４】
上述した実施の形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
【０１２５】
（付記１）１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置にアクセス可能なコンピュータが、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出し、
前記グループごとに算出された面積が基準値以下であるか否かを判断し、
前記基準値以下であると判断されたグループが有するセルを機能ごとにグループ化し、
あらたにグループ化された各グループに含まれるセルの種別を、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別に変換し、
前記複数のレイアウト情報から、前記特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出し、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける、
処理を実行することを特徴とする関連付け方法。
【０１２６】
（付記２）前記各グループに含まれるセルの種別を、前記特定の駆動能力である種別に変換する処理は、
前記算出された面積が前記基準値以下であると判断されたグループが有するセルの機能が特定の機能である場合、前記判断されたグループが有するセルを、２つの入力を有する否定論理積を表すセルと否定を表すセルの組み合わせに変換し、
前記各グループに含まれるセルと同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出する処理は、
変換された組み合わせが有する前記否定論理積を表すセルの種別と同一種別のセルと、前記否定を表すセルの種別と同一種別のセルと、を有するレイアウト情報を、前記複数のレイアウト情報から抽出し、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける処理は、
前記変換された組み合わせに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付けることを特徴とする付記１に記載の関連付け方法。
【０１２７】
（付記３）１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置にアクセス可能なコンピュータが、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出し、
算出された面積が基準値以下であるか否かを前記グループごとに判断し、
前記基準値以下であると判断された第１のグループが有するセルの種別を、前記第１のグループが有するセルの機能と同一機能である種別のうちの特定の駆動能力の種別に変換し、
前記基準値以下でないと判断されたグループから、前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報に関連付けられた第２のグループを検出し、
検出された第２のグループが有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満であるか否かを判断し、
前記第２のグループが有する前記同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記同一種別のセルの数未満であると判断された場合、変換されたセルを前記第２のグループに含める、
処理を実行することを特徴とする関連付け方法。
【０１２８】
（付記４）前記コンピュータが、
前記第２のグループが有する前記同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記同一種別のセルの数未満でないと判断された場合、前記第１のグループが有するセルを機能ごとにグループ化し、
あらたにグループ化された各グループに含まれるセルを、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別のセルに変換し、
前記複数のレイアウト情報から、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出し、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける、
処理を実行することを特徴とする付記３に記載の関連付け方法。
【０１２９】
（付記５）あらたにグループ化された各グループに含まれるセルを、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別のセルに変換する処理は、
前記算出された面積が前記基準値以下であると判断された第１のグループが有するセルの機能が特定の機能である場合、前記第１のグループが有するセルを、否定論理積を表すセルと否定を表すセルの組み合わせに変換し、
前記各グループに含まれるセルと同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出する処理は、
変換された組み合わせが有する前記否定論理積を表すセルの種別と同一種別のセルと、前記否定を表すセルの種別と同一種別のセルと、を有するレイアウト情報を、前記複数のレイアウト情報から抽出し、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける処理は、
前記変換された組み合わせに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付けることを特徴とする付記４に記載の関連付け方法。
【０１３０】
（付記６）前記コンピュータは、
タイミング制約を遵守していないパス上のセルを前記回路情報から特定し、
特定されたセルの種別を、前記特定されたセルと同一機能であって、前記特定されたセルの種別よりも駆動能力の高いセルの種別に変換し、
前記複数のレイアウト情報から、変換されたセルと同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出し、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける、
処理を実行することを特徴とする付記１〜５のいずれか一つに記載の関連付け方法。
【０１３１】
（付記７）前記コンピュータが、
前記回路情報内の複数のセルが前記複数のグループと前記複数のグループの各々に関連付けられたレイアウト情報に基づいてレイアウトされた場合に、配線ができないと判断されたセルを、前記回路情報から特定し、
前記複数のレイアウト情報から、特定されたセルと同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出し、
前記特定されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける、
処理を実行することを特徴とする付記１〜６のいずれか一つに記載の関連付け方法。
【０１３２】
（付記８）１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置にアクセス可能なコンピュータに、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出し、
前記グループごとに算出された面積が基準値以下であるか否かを判断し、
前記基準値以下であると判断されたグループが有するセルを機能ごとにグループ化し、
あらたにグループ化された各グループに含まれるセルの種別を、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別に変換し、
前記複数のレイアウト情報から、前記特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出し、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける、
処理を実行させることを特徴とする関連付けプログラム。
【０１３３】
（付記９）１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置にアクセス可能なコンピュータに、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出し、
算出された面積が基準値以下であるか否かを前記グループごとに判断し、
前記基準値以下であると判断された第１のグループが有するセルの種別を、前記第１のグループが有するセルの機能と同一機能である種別のうちの特定の駆動能力の種別に変換し、
前記基準値以下でないと判断されたグループから、前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報に関連付けられた第２のグループを検出し、
検出された第２のグループが有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満であるか否かを判断し、
前記第２のグループが有する前記同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記同一種別のセルの数未満であると判断された場合、変換されたセルを前記第２のグループに含める、
処理を実行させることを特徴とする関連付けプログラム。
【０１３４】
（付記１０）１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置と、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出する算出部と、
前記グループごとに算出された面積が基準値以下であるか否かを判断する面積判断部と、
前記基準値以下であると判断されたグループが有するセルを機能ごとにグループ化する分類部と、
あらたにグループ化された各グループに含まれるセルの種別を、前記各グループに含まれるセルの機能と同一機能のセルの種別のうちの特定の駆動能力である種別に変換する変換部と、
前記複数のレイアウト情報から、前記特定の駆動能力である種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報を抽出する抽出部と、
前記変換されたセルに、前記抽出されたレイアウト情報を関連付ける関連付け部と、
を有することを特徴とする関連付け装置。
【０１３５】
（付記１１）１または複数のセルを各々が有する複数のレイアウト情報と、前記複数のレイアウト情報の各々が有するセルの面積と、を記憶する記憶装置と、
回路情報内の複数のセルが前記記憶装置に記憶された前記複数のレイアウト情報に基づいてグループ化されて各々が前記複数のレイアウト情報のいずれかに関連付けられている複数のグループのグループごとに、前記記憶装置に記憶されたセルの面積に基づいて、前記グループが有するセルがレイアウトされた場合における面積を算出する算出部と、
算出された面積が基準値以下であるか否かを前記グループごとに判断する面積判断部と、
前記基準値以下であると判断された第１のグループが有するセルの種別を、前記第１のグループが有するセルの機能と同一機能である種別のうちの特定の駆動能力の種別に変換する変換部と、
前記基準値以下でないと判断されたグループから、前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルを有するレイアウト情報に関連付けられた第２のグループを検出する検出部と、
検出された第２のグループが有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記特定の駆動能力の種別と同一種別のセルの数未満であるか否かを判断する空き判断部と、
前記第２のグループが有する前記同一種別のセルの数が、前記第２のグループに関連付けられたレイアウト情報が有する前記同一種別のセルの数未満であると判断された場合、変換されたセルを前記第２のグループに含める関連付け部と、
を有することを特徴とする関連付け装置。
【符号の説明】
【０１３６】
１００  関連付け装置
１０１，１０２  回路情報
１１０  面積テーブル
２００  ＣＰスタンプライブラリ
１１０１  算出部
１１０２  面積判断部
１１０３  分類部
１１０４  変換部
１１０５  検出部
１１０６  空き判断部
１１０７  抽出部
１１０９  関連付け部
０００１  モジュール
ＩＣＰ＿１〜ＩＣＰ＿１０  ＣＰスタンプ
Ｃｅｌｌ１〜Ｃｅｌｌ２１  セル
【図１】
0005891801.tif 000002
【図２】
0005891801.tif 000003
【図３】
0005891801.tif 000004
【図４】
0005891801.tif 000005
【図５】
0005891801.tif 000006
【図６】
0005891801.tif 000007
【図７】
0005891801.tif 000008
【図８】
0005891801.tif 000009
【図９】
0005891801.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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