(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面に開口しているノズル、及び、当該ノズルに通じており、前記第１主面の背面である第２主面側に位置している加圧室を有している流路部材と、
前記加圧室を覆うように前記第２主面に重なっている圧電アクチュエータ基板と、
絶縁性のベースフィルム、前記ベースフィルムの一方主面に設けられている配線、及び、前記配線を覆っている絶縁膜を有しており、前記絶縁膜側を前記圧電アクチュエータ基板の前記流路部材とは反対側に対向させて配置されており、前記圧電アクチュエータ基板に電気的に接続されているフレキシブル配線基板と、
を有しており、
前記加圧室上において、前記絶縁膜の前記ベースフィルムからの厚さが、前記第２主面に沿う所定方向の一方側と他方側とで異なっている
インクジェットヘッド。
【請求項２】
複数の前記配線が前記加圧室上において前記一方側に位置しており、
前記絶縁膜の前記ベースフィルムからの厚さは、前記一方側が前記他方側よりも厚くなっている
請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
複数の前記加圧室が配列されており、
前記複数の配線は、前記複数の加圧室に沿って延びており、且つ、前記複数の配線の配置領域の幅が前記複数の加圧室に亘って一定とされている
請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
複数の前記加圧室が配列されて構成された加圧室行が、少なくとも２行以上設けられており、
前記絶縁膜は、互いに隣接する前記加圧室行の間に前記複数の加圧室上の部分よりも厚い部分を有している
請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記絶縁膜の端部は、前記加圧室上に位置している
請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記加圧室上において、前記圧電アクチュエータ基板と前記絶縁膜とが２０μｍ以下の間隔で配置されている部分を有している
請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッドと、メディアと前記インクジェットヘッドとを相対的に移動させる走査部と、前記インクジェットヘッドを制御する制御部とを備えていることを特徴とするプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド及びプリンタに関する。
【背景技術】
【０００２】
ピエゾ式のインクジェットヘッドが知られている（例えば特許文献１）。このようなインクジェットヘッドは、インクの流路が形成された流路部材と、流路部材に重ねられた圧電アクチュエータ基板と、圧電アクチュエータ基板の流路部材とは反対側の面を覆うフレキシブル配線基板とを有している。流路部材は、インクを吐出するためのノズルと、ノズルに通じるとともにノズルの開口方向とは反対側に開口する加圧室とを有している。圧電アクチュエータ基板は、加圧室を塞いでおり、電圧が印加されると逆電圧効果によって加圧室内へ撓み、加圧室内のインクに圧力を付与する。これにより、ノズルからインクが吐出される。フレキシブル配線基板は、圧電アクチュエータ基板と、圧電アクチュエータ基板を駆動制御するドライバとを電気的に仲介する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１０５３１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
フレキシブル配線基板は、圧電アクチュエータ基板を覆っていることから、圧電アクチュエータ基板における逆圧電効果による撓み変形に影響を及ぼすおそれがある。例えば、加圧室上において、フレキシブル基板が圧電アクチュエータ基板に接触していると、フレキシブル基板の荷重が圧電アクチュエータ基板に対して加圧室側へ加えられる。その結果、意図された動作を正確に実現できないおそれがある。【０００５】
従って、フレキシブル基板が圧電アクチュエータ基板の動作に及ぼす影響を低減できるインクジェットヘッドが提供されることが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係るインクジェットヘッドは、第１主面に開口しているノズル、及び、当該ノズルに通じており、前記第１主面の背面である第２主面側に位置している加圧室を有している流路部材と、前記加圧室を覆うように前記第２主面に重なっている圧電アクチュエータ基板と、絶縁性のベースフィルム、前記ベースフィルムの一方主面に設けられている配線、及び、前記配線を覆っている絶縁膜を有し、前記絶縁膜側を前記圧電アクチュエータ基板の前記流路部材とは反対側に対向させて配置されており、前記圧電アクチュエータ基板に電気的に接続されているフレキシブル配線基板と、を有しており、前記加圧室上において、前記絶縁膜の前記ベースフィルムからの厚さが、前記第２主面に沿う所定方向の一方側と他方側とで異なっている。【０００７】
本発明の一態様に係るプリンタは、前記インクジェットヘッドと、メディアと前記インクジェットヘッドとを相対的に移動させる走査部と、前記インクジェットヘッドを制御する制御部とを備えている。
【発明の効果】
【０００８】
上記の構成によれば、フレキシブル基板が圧電アクチュエータ基板の動作に及ぼす影響を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係るプリンタの要部を模式的に示す斜視図。
【図２】図１のプリンタのインクジェットヘッドの一部を模式的に示す分解斜視図。
【図３】図３（ａ）は図２の領域IIIａにおける平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のIIIｂ−IIIｂ線における断面図。
【図４】図２の領域IV付近の拡大図。
【図５】図２のインクジェットヘッドのフレキシブル配線基板の配線を示す平面図。
【図６】図６（ａ）は図５のVIａ−VIａ線における断面図、図６（ｂ）は図６（ａ）の領域VIｂの拡大図。
【図７】フレキシブル基板の変形例を示す図６（ａ）に相当する断面図。
【図８】図８（ａ）及び図８（ｂ）はフレキシブル基板の導体パターンの変形例を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明の実施形態に係るプリンタ１の要部を模式的に示す斜視図である。
【００１１】
プリンタ１は、インクジェットプリンタである。より具体的には、例えば、プリンタ１は、ピエゾヘッド式、シリアルヘッド式、且つ、オフキャリッジ式のカラープリンタとされている。なお、プリンタ１は、適宜な数の色のインクでカラーの画像を実現してよいが、本実施形態では、４色（ブラック、イエロー、マゼンタ及びシアン）のインクによってカラー画像を実現する。
【００１２】
プリンタ１は、例えば、メディア（例えば紙）１０１を矢印ｙ１で示す搬送方向へ搬送する搬送部３と、搬送されているメディア１０１に向けてインク滴を吐出するヘッド５と、ヘッド５をメディア１０１の搬送方向に直交する副走査方向（矢印ｙ２）において往復移動させる走査部７と、ヘッド５にインクを供給するインクカートリッジ９と、ヘッド５からのインクの吐出動作を含むプリンタ１の動作を制御する制御部１１とを有している。
【００１３】
ヘッド５からメディア１０１へのインク滴の吐出が、副走査方向に直交する方向である主走査方向に広がった範囲で繰り返し行われつつ、走査部７によるヘッド５の往復移動が行われることにより、メディア１０１には帯状の２次元画像が形成される。更に、搬送部３によってメディア１０１が間欠的に搬送されることで、メディア１０１には、帯状の２次元画像が繋がって連続的な２次元画像が形成される。
【００１４】
搬送部３は、例えば、不図示の供給スタックに積層された複数のメディア１０１を一ずつ不図示の排出スタックへ搬送する。搬送部３は、公知の適宜な構成とされてよい。図１では、搬送経路がストレートパスとされ、メディア１０１に当接するローラ１３と、ローラ１３を回転させるモータ１５と、モータ１５に駆動電力を付与するドライバ１７とを有する搬送部３が例示されている。
【００１５】
走査部７は、公知の適宜な構成とされてよい。例えば、走査部７は、ヘッド５が搭載される不図示のキャリッジを副走査方向に案内可能に支持する不図示のガイドレールと、キャリッジに固定された不図示のベルトと、当該ベルトが掛け渡された不図示のプーリと、当該プーリを回転させるモータ１９と、モータ１９に駆動電力を付与するドライバ２１とを有している。
【００１６】
インクカートリッジ９は、ヘッド５とは別の場所に（ヘッド５と共に移動しないように）設置されている。インクカートリッジ９は、可撓性のチューブを介してヘッド５と接続されている。インクカートリッジ９は、ヘッド５が吐出するインクの色の数に対応して複数（本実施形態では４つ）設けられている。
【００１７】
制御部１１は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及び外部記憶装置を含んで構成されている。制御部１１は、搬送部３のドライバ１７、走査部７のドライバ２１及びヘッド５のドライバ（後述）に制御信号を出力し、搬送部３、走査部７及びヘッド５の動作を制御する。
【００１８】
図２は、ヘッド５の一部を示す分解斜視図である。なお、図２の紙面下方（ｚ方向の負側）がメディア１０１側である。
【００１９】
ヘッド５は、インクの流路を構成する流路部材２３と、流路部材２３からインクを吐出させるための駆動力を生じる圧電アクチュエータ基板２５と、圧電アクチュエータ基板２５に電気的に接続されたＦＰＣ（フレキシブル配線基板）２７と、ＦＰＣ２７を介して圧電アクチュエータ基板２５を駆動制御するドライバＩＣ２９とを有している。
【００２０】
流路部材２３は、例えば、概略、薄型の直方体状に形成されており、メディア１０１に対向する第１主面２３ａ及びその背面の第２主面２３ｂを有している。第１主面２３ａには、インク滴を吐出するために、後述する複数のノズルが開口している。また、第２主面２３ｂの端部には、インクが供給されるインク供給口３１が色毎に形成されている。
【００２１】
圧電アクチュエータ基板２５は、例えば、概略、薄型の直方体状に形成されており、流路部材２３の第２主面２３ｂに重ねられる。圧電アクチュエータ基板２５は、例えば、第２主面２３ｂの大部分（複数のインク供給口３１の配置領域を除く部分）を覆う大きさに形成されている。
【００２２】
ＦＰＣ２７は、例えば、圧電アクチュエータ基板２５を覆う対向部２７ａと、当該部分から圧電アクチュエータ基板２５の外方へ延び出る延在部２７ｂとを有している。なお、延在部２７ｂは、主走査方向及び副走査方向のいずれの方向に設けられてもよい。
【００２３】
ドライバＩＣ２９は、例えば、延在部２７ｂにおいて、対向部２７ａが圧電アクチュエータ基板２５に対向する側の主面と同一の主面に実装されている。なお、ドライバＩＣ２９は、ＦＰＣ２７が折り曲げられることによって適宜な位置に配置されてよい。また、ＦＰＣ２７に延在部が２つ設けられ、その２つの延在部それぞれにドライバＩＣ２９（合計２つのドライバＩＣ２９）が設けられてもよい。
【００２４】
図３（ａ）は、図２の領域IIIａに相当する領域において流路部材２３及び圧電アクチュエータ基板２５を示す拡大平面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のIIIｂ−IIIｂ線における断面図である。
【００２５】
既に述べたように、流路部材２３は、第１主面２３ａに開口する複数のノズル３３を有している。また、流路部材２３は、複数のノズル３３に通じ、第２主面２３ｂ側に開口する複数の加圧室３５（図２も参照）と、インク供給口３１からのインクを複数の加圧室３５に供給するための共通流路３７（図３（ｂ））とを有している。
【００２６】
なお、これらの具体的形状は適宜に設定されてよい。例えば、本実施形態において示すように、加圧室３５の平面形状は、短辺の中央にノズル３３が接続される概ね矩形であってもよい。また、例えば、加圧室３５の平面形状は、角部にノズル３３が接続される菱形であってもよいし、半円状の端部にノズル３３が接続される長円乃至は楕円であってもよい。
【００２７】
流路部材２３は、例えば、流路となる貫通孔若しくは溝が形成された複数の板状部材３９がｚ方向に積層されることによって構成されている。複数の板状部材３９は、例えば、金属からなる。なお、第１主面２３ａを構成する板状部材３９を樹脂で構成し、他の板状部材３９を金属で構成するなどしてもよい。
【００２８】
圧電アクチュエータ基板２５は、例えば、ユニモルフ型の圧電アクチュエータ基板により構成されており、流路部材２３側から順に、弾性体４１、共通電極４３、圧電体４５及び複数の個別電極４７（図２も参照）が積層されて構成されている。なお、これらはいずれも層状（板状）に形成されている。
【００２９】
弾性体４１は、複数の加圧室３５の上面を構成している。個別電極４７と共通電極４３との間に電圧が印加されると、圧電体４５は逆圧電効果によって平面方向において縮小する。これにより、弾性体４１は加圧室３５側へ撓む。この動作が利用されて、加圧室３５内のインクに圧力が付与され、インク滴がノズル３３から吐出される。
【００３０】
弾性体４１、共通電極４３及び圧電体４５は、複数の加圧室３５全体に亘って設けられている。一方、個別電極４７は、加圧室３５毎に設けられている。共通電極４３には、例えば、基準電位が付与される。複数の個別電極４７には選択的に共通電極４３とは異なる電位（駆動信号）が付与される。これにより、複数のノズル３３から選択的にインク滴が吐出される。
【００３１】
複数の個別電極４７は、加圧室３５の概略全体に重なり、圧電体４５に電圧を印加するための電極本体４７ａと、ＦＰＣ２７との接続のための引出電極４７ｂとを有している。電極本体４７ａは、例えば、加圧室３５の平面形状と概ね同様（相似）の形状とされており、本実施形態では、矩形であり、加圧室３５より小さい。引出電極４７ｂは、電極本体４７ａから適宜な方向に延び出ている。例えば、引出電極４７ｂは、電極本体４７ａに対してノズル３３とは反対側へ、加圧室３５と重ならない位置まで延び出ている。個別電極４７と共通電極４３とに挟まれた圧電体４５が平面方向において縮小することで弾性体４１が加圧室３５側に撓む際には、加圧室３５の周縁部の圧電体４５は平面方向において伸長されることになる。そのため、加圧室３５の周縁部の圧電体４５が逆圧電効果によって平面方向において縮小すると、かえって撓み量が小さくなってしまう。そのため、加圧室３５の周縁部には、駆動信号を伝える引出電極４７ｂ以外の電極を設けていない。
【００３２】
なお、以下では、図３において示した、流路部材２３及び圧電アクチュエータ基板２５のうち、一のノズル３３に対応する部分（概略、平面視において加圧室３５及び個別電極４７の配置領域）を吐出素子４９ということがある。
【００３３】
図４は、概ね図２の領域IVに相当する領域において流路部材２３及び圧電アクチュエータ基板２５を示す平面図である。
【００３４】
図２及び図４に示すように、複数の吐出素子４９は、主走査方向及び副走査方向に配列されている。具体的には、例えば、以下のとおりである。
【００３５】
複数の吐出素子４９それぞれは、加圧室３５に対してノズル３３が配置されたり、電極本体４７ａに対して引出電極４７ｂが延び出たりする方向を副走査方向（ｘ方向）に一致させて配置されている。
【００３６】
複数の吐出素子４９が主走査方向（ｙ方向）に配列されて構成された吐出素子４９の行（吐出素子行５１）においては、複数の吐出素子４９は、互いに同一の向きとされている。互いに隣接する吐出素子行５１同士は、ノズル３３（引出電極４７ｂ）の向きが互いに逆向きとされ、また、吐出素子４９の主走査方向における半分の大きさで、走査方向において互いにずれて配置されている。
【００３７】
ノズル３３側同士を向い合わせた２つの吐出素子行５１は、一のインクに対応しており、本実施形態では、４色に対応して、合計で８つの吐出素子行５１が設けられている。なお、ブラックインクに対しては吐出素子行５１の数を多くするなど、色毎に吐出素子行５１の数が異なっていてもよい。
【００３８】
なお、複数の吐出素子４９が複数の吐出素子行５１を構成していることから明らかなように、複数の加圧室３５は、主走査方向（ｙ方向）に配列されて加圧室行５３（図２）を構成しており、複数の加圧室行５３が副走査方向（ｘ方向）に並んでいる。
【００３９】
図４に示すように、共通流路３７は、インク供給口３１に接続されるとともに、吐出素子行５１の数に対応して分岐して、吐出素子行５１に沿って延びている。
【００４０】
図５は、図４に示した領域と同等の大きさの領域に関して、ＦＰＣ２７の配線パターンを透視して示す平面図である。図６（ａ）は、図５のVIａ−VIａ線における、流路部材２３の最上層の板状部材３９、圧電アクチュエータ基板２５及びＦＰＣ２７の断面図である。
【００４１】
ＦＰＣ２７は、図６（ａ）に示すように、絶縁性のベースフィルム５５と、ベースフィルム５５上に形成された導体パターン５７と、導体パターン５７を覆う絶縁膜５９とを有している。そして、ＦＰＣ２７の対向部２７ａは、絶縁膜５９側を圧電アクチュエータ基板２５側に対向させて配置されている。
【００４２】
ベースフィルム５５は、例えば、可撓性の樹脂フィルムからなる。ベースフィルム５５の厚さは、例えば、２０μｍ〜２００μｍ程度である。導体パターン５７は、例えば、銅などの金属からなる。導体パターン５７の厚さは、例えば、５μｍ〜２０μｍ程度である。絶縁膜５９は、例えば、ソルダーレジストからなる。ソルダーレジストは、例えば、顔料等を含んだ熱硬化性エポキシ樹脂からなる。絶縁膜５９の厚さは、例えば、導体パターン５７の厚さより、５μｍ〜２０μｍ程度厚くされる。
【００４３】
図５及び図６（ａ）に示すように、導体パターン５７は、複数の配線６１と、複数の配線６１の先端に設けられた複数のパッド６３とを含んでいる。
【００４４】
複数の配線６１は、例えば、吐出素子行５１（加圧室行５３）に重なるように吐出素子行５１に沿って互いに並列に（例えば平行に）延びている。ただし、複数の配線６１（その束乃至は配置領域）は、吐出素子行５１に対して引出電極４７ｂ側とは反対側にずれた位置にて延びている。例えば、複数の配線６１は、加圧室３５の引出電極４７ｂ側には重なっていない一方で、加圧室３５の引出電極４７ｂとは反対側には重なっている。別の観点では、複数の配線６１は、引出電極４７ｂ側とは反対側を向き合わせている２つの吐出素子行５１に対して、その間側において重なって延びている。
【００４５】
図５において、複数の配線６１は、例えば、紙面上方側（ｙ方向負側）がドライバＩＣ２９に接続される側である。図５に示すように、複数の配線６１は、ドライバＩＣ２９側から吐出素子行５１に沿って延びる過程で、外側に位置する配線６１から順に曲がって引出電極４７ｂへ向かって延び、その先端にパッド６３が設けられている。
【００４６】
パッド６３と引出電極４７ｂとは対向し、バンプ６５（図６（ａ））によって接合されている。これにより、ドライバＩＣ２９が配線６１を介して個別電極４７と電気的に接続される。また、ＦＰＣ２７は、圧電アクチュエータ基板２５に対して固定される。バンプ６５は、導電性を有する適宜な材料により形成されてよい。例えば、バンプ６５は、金属（例えばＡｇ）からなる粒子を含む樹脂（例えば熱硬化性樹脂）により構成されている。バンプ６５の厚さは、例えば、５μｍ〜２０μｍ程度であり、個別電極４７と導体パターン５７との間の距離は、バンプ６５の厚さとほぼ同じであるため、個別電極４７と絶縁膜５９との間の距離は、バンプ６５の厚さ以下である。
【００４７】
図５及び図６（ａ）に示すように、絶縁膜５９は、パッド６３を露出させて複数の配線６１を覆っている。これにより、複数の配線６１は、導電性材料の付着によって互いに短絡することなどが低減されている。なお、図５において、範囲ＡＲは、絶縁膜５９の幅を示している。絶縁膜５９は、加圧室３５の少なくとも一部に重なる幅を有している。
【００４８】
図６（ａ）に示すように、引出電極４７ｂとパッド６３との間にバンプ６５が介在していることによって、個別電極４７と絶縁膜５９とは、比較的低い圧力で接触している、又は、微小隙間（例えば２０μｍ以下、更には１０μｍ以下）で対向する状態となっている。換言すれば、加圧室３５上において、個別電極４７と絶縁膜５９との間でもっとも距離が狭くなっている場所の距離は、２０μｍ以下、更には１０μｍ以下となっている。これは、個別電極４７が圧電アクチュエータ基板２５の一部であると考えれば、加圧室３５上において、圧電アクチュエータ基板２５と絶縁膜５９との間でもっとも距離が狭くなっている場所の距離は、２０μｍ以下、更には１０μｍ以下となっているということである。
【００４９】
なお、このような状態は、例えば、以下のようにＦＰＣ２７を圧電アクチュエータ基板２５に接合することにより実現される。まず、引出電極４７ｂ上に、バンプ６５となる未硬化状態の材料を塗布する。次に、ＦＰＣ２７を圧電アクチュエータ基板２５上に被せ、ＦＰＣ２７を圧電アクチュエータ基板２５に押し付ける。この際、バンプ６５となる材料が潰れ（変形し）、絶縁膜５９が圧電アクチュエータ基板２５に接する又は近づく。その後、バンプ６５となる材料が加熱硬化される。このような加工をすることにより、バンプ６５の厚さは、概略、絶縁膜５９の厚さからパッド６３の厚さを引いた値になる。
【００５０】
図６（ｂ）は図６（ａ）の領域VIｂの拡大図である。
【００５１】
図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、絶縁膜５９のベースフィルム５５からの厚さＴは、複数の配線６１側よりも端部側において薄くなっている。すなわち、絶縁膜５９は、厚肉部５９ａと、薄肉部５９ｂとを有している。また、この厚みの変化は、加圧室３５上にて生じている。すなわち、加圧室３５上において、厚さＴは、複数の配線６１側よりもその反対側において薄くなっている。
【００５２】
このような絶縁膜５９の厚さの変化は、適宜に生じさせることができる。例えば、絶縁膜５９の形成方法にもよるが、複数の配線６１の配置領域は、非配置領域に比較して厚さＴが厚くなりやすい。例えば、スクリーン印刷によってソルダーレジストを塗布して絶縁膜５９を形成すると、絶縁膜５９は複数の配線６１の配置領域において厚さＴが厚くなり、非配置領域である端部にて薄くなる。なお、当該方法に代えて又は加えて、例えば、絶縁膜５９の形成領域全体にソルダーレジスト等の材料を塗布した後、厚さＴを厚くしたい領域にのみ再度材料を塗布してもよい。
【００５３】
図２に示したドライバＩＣ２９は、既述のように、ＦＰＣ２７を介して複数の個別電極４７に電気的に接続される。また、特に図示しないが、圧電アクチュエータ基板２５には、共通電極４３に接続されたパッドが設けられ、当該パッドにＦＰＣ２７の配線及びパッドが接合されることにより、ドライバＩＣ２９は、共通電極４３に電気的に接続される。
【００５４】
ドライバＩＣ２９には、例えば、所定の駆動周期毎に、全てのノズル３３に関して吐出すべきインク量のデータが制御部１１から入力される。ドライバＩＣ２９は、例えば、共通電極４３に基準電位を付与するとともに、入力されたデータに基づいて複数の個別電極４７に所定の波形の駆動信号を選択的に出力する。また、ドライバＩＣ２９は、例えば、入力されたデータに基づいて駆動周期内において駆動信号を出力する回数を設定する。
【００５５】
以上のとおり、本実施形態では、ヘッド５は、流路部材２３、圧電アクチュエータ基板２５及びＦＰＣ２７を有している。流路部材２３は、第１主面２３ａに開口するノズル３３、及び、ノズル３３に通じ、第１主面２３ａの背面である第２主面２３ｂに開口する加圧室３５を有している。圧電アクチュエータ基板２５は、第２主面２３ｂに重ねられて加圧室３５を覆っている（図示の例では加圧室３５を塞いでいる。）。流路部材２３としては、加圧室３５が開口している側に、加圧室３５を塞ぐように板状部材３９を更に積層したものを用いてもよい。この場合は、その板状部材３９の加圧室３５とは反対側の主面が第２主面２３ｂであり、この第２主面２３ｂに圧電アクチュエータ基板２５が重ねられる。加圧室３５を流路部材２３内で第２主面２３ｂ側に配置することで、加圧室３５を覆うように配置されている圧電アクチュエータ基板２５に生じる圧力は、加圧室３５上に積層された板状部材３９を介して加圧室３５に伝わる。このようにすることで、例えば、インクの溶媒などが圧電アクチュエータ基板２５の信頼性に影響を与える可能性を小さくできる。ＦＰＣ２７は、絶縁性のベースフィルム５５、ベースフィルム５５の一方主面に設けられた配線６１、及び、配線６１を覆う絶縁膜５９を有し、絶縁膜５９側を圧電アクチュエータ基板２５の流路部材２３とは反対側に対向させて配置され、圧電アクチュエータ基板２５に電気的に接続されている。加圧室３５上において、絶縁膜５９のベースフィルム５５からの厚さＴは、第２主面２３ｂに沿う所定方向（ｘ方向）の一方側（配線６１側）と他方側とで異なっている。
【００５６】
従って、加圧室３５上において、絶縁膜５９は、厚い部分がスペーサとなって薄い部分が圧電アクチュエータ基板２５（個別電極４７）に接することが抑制される。その結果、ＦＰＣ２７が圧電アクチュエータ基板２５の動作に及ぼす影響を低減できる。具体的には、例えば、ＦＰＣ２７の荷重が加圧室３５上にて圧電アクチュエータ基板２５に加えられることが抑制される。また、例えば、加圧室３５上の少なくとも一部においてＦＰＣ２７が個別電極４７に密着することが抑制されることから、個別電極４７がＦＰＣ２７から離れるときに両者の間に空気が入り込みやすく、両者の間の負圧による抵抗が低減される。以上のような効果は、加圧室３５上において、個別電極４７と絶縁膜５９との間でもっとも距離が狭くなっている場所の距離が、２０μｍ以下、更には１０μｍ以下となっている場合により効果的に働く。また、ＦＰＣ２７は、自重による、下方への垂れ下がり量が小さい方が好ましく、加圧室３５上にて圧電アクチュエータ基板２５に加えられる荷重が小さい方が好ましい。そのため、ベースフィルム５５の厚さは１００μｍ以下であるのが好ましい。また、導体パターン５７の厚さは、１０μｍ以下であるのが好ましい。絶縁膜５９が、導体パターン５７の厚さより、厚くされる厚さは１５μｍ以下であるのが好ましい。
【００５７】
また、本実施形態では、複数の配線６１が加圧室３５上において一方側に位置し、絶縁膜５９のベースフィルム５５からの厚さＴは、前記一方側（複数の配線６１側）が他方側よりも厚くなっている。
【００５８】
従って、絶縁膜５９の形成方法によっては、複数の配線６１の配置領域において厚さＴが厚くなりやすい現象を利用して、簡便に、加圧室３５上において厚さＴを一方側と他方側とで異ならせることができる。
【００５９】
また、本実施形態では、絶縁膜５９のベースフィルム５５からの厚さＴが薄くなっている側において、引出電極４７ｂが加圧室３５から引き出されている。引出電極４７ｂが存在する部分は、加圧室３５の周縁部の中では、駆動信号が加わることで生じる振動の大きい部分なので、絶縁膜５９が近接することにより影響が大きい部分である。引出電極４７ｂが引き出されている側の絶縁膜５９の厚さＴが薄くなっていることで、この影響を生じ難くすることができる。
【００６０】
図７は、ＦＰＣ２７の変形例を示す図６（ａ）に相当する断面図である。
【００６１】
この変形例では、絶縁膜５９は、加圧室行５３（図２参照）の間に、ベースフィルム５５からの厚さＴ（図６（ｂ）参照）が、加圧室３５上に位置する部分（厚肉部５９ａ及び薄肉部５９ｂ）よりも厚い部分（第２厚肉部５９ｃ）を有している。第２厚肉部５９ｃは、例えば、加圧室行５３に沿って延び、各加圧室行５３の複数の加圧室３５全体に亘る長さを有している。
【００６２】
第２厚肉部５９ｃは、薄肉部５９ｂに対して厚肉部５９ａを形成したのと同様の手法によって形成されてよい。例えば、第２厚肉部５９ｃにおいては、厚肉部５９ａよりも配線６１の密度を高くしたり、加圧室行５３の間において、絶縁膜５９となる材料を、加圧室３５上よりも多い回数で塗布したりすることにより形成されてよい。
【００６３】
このような構成によれば、絶縁膜５９が加圧室３５上にて圧電アクチュエータ基板２５（個別電極４７）に接することが更に抑制され、ＦＰＣ２７が圧電アクチュエータ基板２５の動作に及ぼす影響をより低減できる。
【００６４】
また、この変形例では、絶縁膜５９の端部は、加圧室３５上に位置している。従って、加圧室３５上の領域のうち絶縁膜５９の端部よりも外側においては、絶縁膜５９が圧電アクチュエータ基板２５に接しない。別の観点では、絶縁膜５９がスペーサとなることにより、加圧室３５上の一部の領域においては、ＦＰＣ２７（ベースフィルム５５）が圧電アクチュエータ基板２５に接することが抑制される。その結果、ＦＰＣ２７が圧電アクチュエータ基板２５の動作に及ぼす影響をより低減できる。
【００６５】
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、ＦＰＣ２７の導体パターン５７の変形例を示す平面図である。
【００６６】
実施形態では、図５を参照して説明したように、複数の配線６１は、外側の配線から順に外側へ屈曲して引出電極４７ｂ上へ延びた。その結果、複数の配線６１の配置領域の幅は、徐々に狭くなった。図８（ａ）及び図８（ｂ）の変形例では、複数の配線の配置領域の幅が複数の加圧室３５に亘って一定に保たれるように導体パターン５７が形成されている。
【００６７】
図８（ａ）の例では、複数の配線６１がドライバＩＣ２９側から加圧室行５３に沿って延びるに伴い、複数の配線６１を徐々に外側にずらし、また、複数の配線６１の内側に複数の配線６１と並列に延びるダミー配線６７の数を徐々に増加させている。ダミー配線６７は、電気的に浮遊状態とされていてもよいし、基準電位に接続されていてもよい。
【００６８】
また、複数の配線６１とダミー配線６７との間の距離を、配線６１同士の間の距離及びダミー配線６７同士の間の距離よりも大きくしてもよい。そのようにすれば、複数の配線６１とダミー配線６７との間に位置する絶縁膜５９を、配線６１上の絶縁膜５９及びダミー配線６７上の絶縁膜５９よりも厚さの薄い薄肉部とすることができる。
【００６９】
図８（ｂ）の例では、複数の配線６１は、複数の配線６１がドライバＩＣ２９側から加圧室行５３に沿って延びるに伴い、残った配線６１の幅を徐々に大きくしている。なお、図８（ｂ）では、残った配線６１全体の幅を徐々に大きくしているが、特定の配線６１の幅を大きくしてもよい。
【００７０】
既に述べたように、絶縁膜５９の形成方法によっては、絶縁膜５９のベースフィルム５５からの厚さは、複数の配線６１の配置領域において厚くなる。そこで、図８（ａ）及び図８（ｂ）のように複数の配線６１（及びダミー配線６７）の配置領域の幅を複数の加圧室３５に亘って一定に保つことにより、絶縁膜５９の厚い部分（厚肉部５９ａ）の幅を複数の加圧室３５に対して一定にすることができる。その結果、ＦＰＣ２７が複数の加圧室３５に及ぼす影響を均一化することができる。
【００７１】
なお、ここでいう配線の配置領域の幅が一定とは、図５を参照して説明した実施形態に比較して配線の配置領域の幅の変化が小さければよいものとする。従って、例えば、複数の加圧室３５に亘って複数の配線の配置領域の幅の変化が１本の配線６１の幅よりも小さければ、複数の配線の配置領域の幅は複数の加圧室３５に亘って一定である。図８（ｂ）のように１本の配線６１の幅が変化する場合には、例えば、１本の配線６１の幅の最小値を基準として判断してよい。配線６１が枝分かれする位置における局所的な配置領域の変化は無視されてよい。配線の配置領域の幅は、前述の局所的な変化を除いて、±２０％の範囲内、更に±１０％の範囲内であることが好ましい。
【００７２】
本発明は、以上の実施形態又は変形例に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【００７３】
例えば、プリンタ（インクジェットヘッド）は、シリアルヘッド式、且つ、オフキャリッジ式に限定されない。例えば、プリンタは、ラインヘッド式、及び／又は、オンキャリッジ式であってもよい。プリンタにおけるインクジェットヘッド以外の部分（例えばメディアの搬送部）の構成も例示した構成以外の適宜な構成とされてよい。メディアも紙に限定されず、金属又は樹脂からなるものであってもよい。
【符号の説明】
【００７４】
５…ヘッド、２３…流路部材、２３ａ…第１主面、２３ｂ…第２主面、３３…ノズル、３５…加圧室、２５…圧電アクチュエータ基板、２７…ＦＰＣ（フレキシブル配線基板）、５５…ベースフィルム、５９…絶縁膜、６１…配線。
【要約】
ヘッド５において、流路部材２３は、第１主面２３ａに開口するノズル３３、及び、ノズル３３に通じ、第１主面２３ａの背面である第２主面２３ｂ側に位置する加圧室３５を有している。圧電アクチュエータ基板２５は、第２主面２３ｂに重ねられて加圧室３５を覆っている。ＦＰＣ２７は、絶縁性のベースフィルム５５、ベースフィルム５５の一方主面に設けられた配線６１、及び、配線６１を覆う絶縁膜５９を有し、絶縁膜５９側を圧電アクチュエータ基板２５の流路部材２３とは反対側に対向させている。加圧室３５上において、絶縁膜５９のベースフィルム５５からの厚さＴは、第２主面２３ｂに沿う所定方向の一方側と他方側とで異なっている。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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