(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置面に物体を吸着保持するためのアルミナ多孔質体からなる載置部と、前記載置部の気孔に連通する吸気孔を有する緻密質アルミナセラミックスからなる支持部とを備え、
前記アルミナ多孔質体は、骨格粒子となるアルミナ粉末が１Ａ族、２Ａ族及び３Ｂ族の元素のうち少なくとも１種を含むシリカ−アルミナ系複合酸化物によって結合されることにより構成され、前記載置部と前記支持部との接合界面が隙間なく構成され、前記アルミナ多孔質体の骨格粒子径が５０［μｍ］以下であり、気孔径が１〜１０［μｍ］以下であり、気孔率が４０〜５０％であり、かつ、強度が５７［ＭＰａ］以上であることを特徴とする真空吸着装置。
【請求項２】
請求項１記載の真空吸着装置を製造する方法であって、
純度が９５．０％以上であり、平均粒子径が５０［μｍ］以下であるアルミナ粉末と、平均粒子径が０．５［μｍ］以下であり、添加量がアルミナに対して５〜３０［重量％］である二酸化珪素の粉末と、平均粒子径が１．０［μｍ］以下であり、添加量がアルミナに対して酸化物換算で３〜２０［重量％］である１Ａ族、２Ａ族及び３Ｂ族の元素のそれぞれの酸化物、水酸化物、硝酸塩及び炭酸塩から選ばれる少なくとも１つ以上の添加物粉末とを、水又はアルコールを加えて混合することによりスラリーを調整するスラリー調整工程と、
前記支持部の基礎となるセラミックス成形体に形成されている凹部に前記スラリーを充填するスラリー充填工程と、
前記成形体を前記凹部に充填された前記スラリーとともにシリカ−アルミナ系複合酸化物の軟化点以上の温度で熱処理する焼成工程とを含むことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば、ラップ等の湿式加工を行うために半導体ウエハ又はガラス基板などの対象物を真空吸着する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
出願人により、多孔質体からなる載置部と、緻密質体からなる支持部とが、接合界面に隙間が生じないように一体的に焼成されてなる真空吸着装置が提案されている（特許文献１参照）。当該真空吸着装置によれば、その洗浄時に載置部および支持部の隙間を通じた洗浄液の漏れが防止され、載置部の多孔質体内に残留した研削屑等の汚染物質が十分に除去されうる。
【０００３】
この真空吸着装置の載置部における骨格粒子径は３０〜１５０［μｍ］であり、気孔径は１０〜１５０［μｍ］である。この範囲では、図２（ｂ）に示されているように、載置部を構成する骨格粒子径及び気孔径のそれぞれが比較的大きいために、載置面の平滑度が低い載置部が実現されうる。このため、気孔を通じて薄い平板状の対象物Ｗに対して気孔を通じて吸引力を作用させると、この対象物Ｗが変形してしまう可能性がある。
【０００４】
また、載置部の構成原料となるガラス粉末は、平均粒子径が載置部のもう一方の構成原料であるセラミックス粉末の平均粒子径より小さくなるように調節されている。具体的には、ガラス粉末は、セラミックス粉末の平均粒子径の１／２以下、更に好ましくは１／３以下に調節される。これは、図３（ｂ）に模式的に示されているように、ガラス粉末（斜線が付されている。）の粒子径が大きいと、骨格粒子（白抜きで示されている。）の充填が阻害され、ガラス溶融時に骨格粒子の収縮が発生し、載置部と支持部との接合界面に隙間が生じるためである。
【０００５】
この真空吸着装置の製造に際して、セラミックス粉末及びガラス粉末が、水又はアルコールが加えられた上で混合されることによりスラリーが調整され、このスラリーが支持部に形成されている凹部に充填される。この際、スラリー中の粒子の空間充填率の向上を図るため、支持部を介して凹部に充填されるスラリーに対して振動が加えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４３３６５３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、ガラス粉末は骨格粒子よりも粒子径が小さく調節されているため、振動に応じてガラス粉末がスラリーの上層部に移動し、これにより骨格粒子とガラス粉末とが分離してしまう。そこで、スラリーに対して分散剤を添加することが対応措置として挙げられる。
【０００８】
しかるに、分散剤の影響により、スラリー中の粒子の充填が阻害され、得られるセラミックス多孔質体の気孔率が大きくなり、真空吸着装置として使用する観点からその強度が不十分なものとなる可能性がある。さらに、骨格粒子の粒径が小さくなるほど、その充填率の向上を図るために前記のようにガラス粉末の粒径も（例えば２．０［μｍ］以下に）小さくすることが困難となり、これに要するコストの増大及び粉砕によって生じる不純物がスラリーに混入にする可能性がある。
【０００９】
そこで、本発明は、対象物が載置される多孔質体の平滑度の向上を図りながらも当該多孔質体の強度の向上を図ることができる真空吸着装置及びその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するための本発明の真空吸着装置は、載置面に物体を吸着保持するためのアルミナ多孔質体からなる載置部と、前記載置部の気孔に連通する吸気孔を有する緻密質アルミナセラミックスからなる支持部とを備え、前記アルミナ多孔質体は、骨格粒子となるアルミナ粉末が１Ａ族、２Ａ族及び３Ｂ族の元素のうち少なくとも１種を含むシリカ−アルミナ系複合酸化物によって結合されることにより構成され、前記載置部と前記支持部との接合界面が隙間なく構成され、前記アルミナ多孔質体の骨格粒子径が５０［μｍ］以下であり、気孔径が１〜１０［μｍ］以下であり、気孔率が４０〜５０％であり、かつ、強度が５７［ＭＰａ］以上であることを特徴とする。
【００１１】
前記課題を解決するための本発明の真空吸着装置の製造方法は、純度が９５．０％以上であり、平均粒子径が５０［μｍ］以下であるアルミナ粉末と、平均粒子径が０．５［μｍ］以下であり、添加量がアルミナに対して５〜３０［重量％］である二酸化珪素の粉末と、平均粒子径が１．０［μｍ］以下であり、添加量がアルミナに対して酸化物換算で３〜２０［重量％］である１Ａ族、２Ａ族及び３Ｂ族の元素のそれぞれの酸化物、水酸化物、硝酸塩及び炭酸塩から選ばれる少なくとも１つ以上の添加物粉末とを、水又はアルコールを加えて混合することによりスラリーを調整するスラリー調整工程と、前記支持部の基礎となるセラミックス成形体に形成されている凹部に前記スラリーを充填するスラリー充填工程と、前記成形体を前記凹部に充填された前記スラリーとともにシリカ−アルミナ系複合酸化物の軟化点以上の温度で熱処理する焼成工程とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の真空吸着装置及びその製造方法によれば、載置部１を構成する骨格粒子径及び気孔径のそれぞれの低下が図られることにより、図２（ａ）に示されているように載置面１０の平滑度の向上が図られる。このため、薄い平板状の対象物Ｗであってもこれを変形させることなく（図２（ｂ）参照）、気孔を通じて対象物Ｗに対して全体的に吸引力を作用させることができる。また、気孔径の低下が図られているので、載置部１の載置面１０よりも面積が小さい対象物であっても、圧損の効果により負圧を低下させること無く、当該対象物を載置部に対して吸着させる部分吸着が可能となる。
【００１３】
載置部１を構成する骨格粒子間にシリカ−アルミナ系の複合酸化物が、強固な結合力を有する結合材として機能する。このため、載置部１の強度の向上が図られる。この複合酸化物は、骨格粒子となるアルミナ粒子の表面層と、二酸化珪素と、１Ａ族、２Ａ族及び３Ｂ族の元素のうち少なくとも１種とが反応することにより形成されたものである。
【００１４】
さらに、前記のように、水を分散媒として二酸化珪素（無水珪酸）の超微粒子を水中に分散させたコロイド溶液（コロイダルシリカ）が用いられる。二酸化珪素の微粒子が分散媒中に均一に分散しているので、スラリーを充填する工程の際に骨格粒子との分離が回避されうる。また、骨格粒子の粒径が小さい場合であっても、ガラス粉末のように粉砕の必要が無い。
【００１５】
このため、図３（ａ）に示されているように、二酸化珪素粉末（斜線が付されている。）により、骨格粒子（白抜きで示されている。）の充填が阻害されることはない。その結果、アルミナ多孔質体の機械的強度が、真空吸着装置に採用される載置部１として採用される観点から十分なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態としての真空吸着装置の構成説明図。
【図２】多孔質体の骨格粒子の平均粒子径と吸着性能との関係に関する説明図。
【図３】多孔質体における骨格粒子の充填態様に関する説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
（真空吸着装置の構成）
図１（ａ）に示されている本発明の一実施形態としての真空吸着装置は、平板状のセラミックス多孔質体からなる載置部１と、セラミックス緻密質体からなる支持部２とを備えている。支持部２は、凹部２１と、溝部２２と、貫通孔２３とを備えている。
【００１８】
凹部２１は、支持部２において上端面２０よりも下方に窪んでおり、環状の側面によって周囲を囲まれている部分である。凹部２１の底面は支持部２の上端面２０と略平行に形成されている。
【００１９】
溝部２２は、凹部２１の底面よりも下方に窪んでおり、凹部２１の底面に接触するように配置される載置部１の底面の気孔に対して連通するように形成されている。載置部１が存在しない状態で支持部２を上方から臨んだ場合、図１（ｂ）に示されているように、溝部２１は、３つの同心円と、当該同心円の中心を通る２つの直交する線分とが組み合わせられたような形状を有している。載置部１の底面の気孔に対して溝部２２が連通することを条件として、その形状及び配置態様はさまざまに変更されてもよい。
【００２０】
貫通孔２３は、支持部２を上下方向に貫通して溝部２２に対して連通するように形成されている。貫通孔２３は、例えば図１（ｂ）に示されているように、３つの同心円のうち内側から２番目の円と、２つの線分のそれぞれとの交点箇所及び当該２つの線分の交点箇所に設けられている。
【００２１】
図１（ａ）に示されているように、支持部２は、凹部２１の側面と載置部１の側面とが全周にわたり隙間なく接合し、かつ、凹部２１の底面と載置部１の底面とが溝部２２を除いて隙間なく接合している状態で当該載置部１を支持する。
【００２２】
載置部１における平均気孔径は１〜２０［μｍ］の範囲に含まれ、気孔率が１０〜５０［％］の範囲に含まれている。載置部１の載置面１０に半導体ウエハ等の対象物Ｗが載置された状態で、貫通孔２３を通じて溝部２２により画定される空間が真空ポンプ（図示略）によって減圧される。これにより、載置部１に存在する気孔によって形成される経路を通じて作用する真空吸引力によって対象物Ｗが載置部１に吸着される。
【００２３】
（真空吸着装置の製造方法）
まず、アルミナ粉末と、二酸化珪素粉末と、１Ａ族、２Ａ族及び３Ｂ族の元素のそれぞれの酸化物、水酸化物、硝酸塩及び炭酸塩から選ばれる少なくとも１種以上の添加物粉末とが、水又はアルコールが加えられた上で混合されることによりスラリーが調整される（スラリー調製工程）。二酸化珪素粉末の供給源としては、例えば水を分散媒として二酸化珪素の粒子を分散させたコロイド溶液が用いられる。原料の混合法としては、ボールミル又はミキサーを用いた混合法等、公知の方法が採用される。水又はアルコールの添加量は特に限定されず、所望の流動性が得られるように適当に調整されればよい。
【００２４】
前記気孔径及び気孔率の実現のため、載置部１の原料として平均粒子径が５〜５０［μｍ］のアルミナ粉末が採用されることが好ましい。また、アルミナ粉末の表面層と、二酸化珪素及びその他の添加物との反応により、骨格粒子の結合材として機能するシリカ−アルミナ複合酸化物の形成のため、純度が９５％以上、好ましくは９６．５〜９９．６％のアルミナ粉末が用いられることが好ましい。
【００２５】
二酸化珪素の平均粒子径は０．５［μｍ］以下であることが好ましい。当該粒子径が０．５［μｍ］を超えると、二酸化珪素の粒子が凝集して、骨格粒子の収縮が発生するためである。現状では二酸化珪素の平均粒子径が０．０２［μｍ］より小さくすることは困難であるものの、骨格粒子の収縮の発生防止という観点から、０．５［μｍ］以下の任意の平均粒子径の二酸化珪素が採用されればよい。二酸化珪素の添加量は、アルミナ粉末に対し、５〜３０重量％であることが好ましい。
【００２６】
骨格粒子との結合力を高めるために、１Ａ族、２Ａ族及び３Ｂ族の元素のそれぞれの酸化物、水酸化物、硝酸塩及び炭酸塩のうち少なくとも１種の添加物粉末の添加量は、例えばアルミナ粉末に対し、酸化物換算で３〜２０重量％の範囲に含まれるように調節されることが好ましい。当該セラミックス粉末は二酸化珪素との反応により、骨格粒子間の強固な結合材としての役割を果たす。１Ａ族、２Ａ族及び３Ｂ族の元素のそれぞれの酸化物、水酸化物、硝酸塩及び炭酸塩のそれぞれの平均粒子径は１．０［μｍ］以下であることが好ましい。当該粒子径が、１．０［μｍ］を超えると未反応物質として残存するためである。例えば、１Ａ族元素としてＮａ、２Ａ族元素としてＣａ、３Ｂ族元素としてＢが挙げられる。
【００２７】
次に、支持部２の基礎となるセラミックス成形体の溝部２２及び必要に応じて貫通孔２３が蝋又は樹脂等の部材により閉塞される。その上で、凹部２１（本発明の凹部に相当する。）にスラリーが充填される（スラリー充填工程）。この際、必要に応じて、スラリーにおける残留気泡を除去するための真空脱泡のほか、スラリー中の添加物粉末の充填率を高めるための振動が加えられる。
【００２８】
次に、凹部２１にスラリーが充填されたセラミックス成形体が乾燥される。その上で、成形体がスラリーの乾燥物とともにシリカ−アルミナ系複合酸化物の軟化点以上の温度、具体的には１０００〜１５５０［℃］の範囲に含まれる温度で熱処理される（焼成工程）。１０００［℃］より低温ではシリカ−アルミナ系複合酸化物が軟化せず、１５５０［℃］を超えるとアルミナ粉末の焼結が開始してしまうからである。載置面１０は、支持部２の上端面２０とともに研磨加工されることにより仕上げられる。
【００２９】
（実施例）
（実施例１）
平均粒子径５０［μｍ］かつ純度９５．０％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．４８［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径０．８［μｍ］のＣａＣＯ3とが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して３０［重量％］に調節された。ＣａＣＯ3の添加量は、アルミナに対して酸化物換算で２０［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１３５０［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、実施例１の真空吸着装置が製造された。
【００３０】
（実施例２）
平均粒子径４０［μｍ］かつ純度９６．５％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．４８［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径０．８［μｍ］のＣａＣＯ3とが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して３０［重量％］に調節された。ＣａＣＯ3の添加量は、アルミナに対して酸化物換算で１５［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１２５０［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、実施例２の真空吸着装置が製造された。
【００３１】
（実施例３）
平均粒子径１４［μｍ］かつ純度９８．０％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．１０［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径０．６［μｍ］のＢ2Ｏ3とが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して２０［重量％］に調節された。Ｂ2Ｏ3の添加量は、アルミナに対して酸化物換算で１０［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１０００［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、実施例３の真空吸着装置が製造された。
【００３２】
（実施例４）
平均粒子径５．５［μｍ］かつ純度９９．６％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．０２［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径０．２［μｍ］のＮａＯＨとが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して５［重量％］に調節された。ＮａＯＨの添加量は、アルミナに対して酸化物換算で３［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１５５０［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、実施例４の真空吸着装置が製造された。
【００３３】
（実施例５）
平均粒子径４０［μｍ］かつ純度９６．５％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．４８［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径１．０［μｍ］のＢ2Ｏ3及びＣａＣＯ3とが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して２０［重量％］に調節された。Ｂ2Ｏ3及びＣａＣＯ3の合計添加量は、アルミナに対して酸化物換算で１０［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１５００［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、実施例５の真空吸着装置が製造された。
【００３４】
（実施例６）
添加物原料としてＣａＣＯ3及びＮａＯＨが用いられ、成形体及びスラリーの乾燥物が１５５０［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されたほかは、実施例５と同様の条件下で実施例６の真空吸着装置が製造された。
【００３５】
（実施例７）
添加物原料としてＮａＯＨ及びＢ2Ｏ3が用いられ、成形体及びスラリーの乾燥物が１４００［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されたほかは、実施例５と同様の条件下で実施例７の真空吸着装置が製造された。
【００３６】
（実施例８）
添加物原料としてＢ2Ｏ3、ＣａＣＯ3及びＮａＯＨが用いられ、成形体及びスラリーの乾燥物が１４５０［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されたほかは、実施例５と同様の条件下で実施例８の真空吸着装置が製造された。
【００３７】
表１には、実施例１〜８の真空吸着装置の製造条件に加えて、真空吸着装置を構成する載置部１のシリカ−アルミナ複合酸化物の有無のＸＲＤによる確認結果（有‥○、無‥×）、平均気孔径、気孔率及び機械的強度の測定結果がまとめて示されている。載置部１の平均気孔径は、水銀圧入法によって測定された。載置部１の気孔率は、アルキメデス法によって測定された。載置部１の機械的強度は、３点曲げ強度によって測定された。
【００３８】
【表１】
0005973147.tif 000002
【００３９】
表１から、実施例１〜８のそれぞれの真空吸着装置の載置部は、いずれもシリカ−アルミナ複合酸化物の存在が認められ、平均気孔径が１〜１３［μｍ］の範囲にあり、気孔率が３５〜５０％の範囲にあり、かつ、強度が５０〜５８［ＭＰａ］の範囲にあることがわかる。
【００４０】
（比較例）
（比較例１）
平均粒子径６０［μｍ］かつ純度９６．５％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．４８［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径１．０［μｍ］のＣａＣＯ3とが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して２０［重量％］に調節された。ＣａＣＯ3の添加量は、アルミナに対して酸化物換算で１０［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１３５０［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、比較例１の真空吸着装置が製造された。
【００４１】
（比較例２）
平均粒子径４０［μｍ］かつ純度９２．０％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．４８［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径１．０［μｍ］のＣａＣＯ3とが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して２０［重量％］に調節された。ＣａＣＯ3の添加量は、アルミナに対して酸化物換算で１０［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１２５０［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、比較例２の真空吸着装置が製造された。
【００４２】
（比較例３）
平均粒子径４０［μｍ］かつ純度９６．５％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．６０［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径１．０［μｍ］のＢ2Ｏ3とが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して２０［重量％］に調節された。Ｂ2Ｏ3の添加量は、アルミナに対して酸化物換算で１０［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１０００［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、比較例３の真空吸着装置が製造された。
【００４３】
（比較例４）
平均粒子径４０［μｍ］かつ純度９６．５％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．４８［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径１．０［μｍ］のＮａＯＨとが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して４［重量％］に調節された。ＮａＯＨの添加量は、アルミナに対して酸化物換算で１０［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１５５０［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、比較例４の真空吸着装置が製造された。
【００４４】
（比較例５）
平均粒子径４０［μｍ］かつ純度９６．５％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．４８［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径１．０［μｍ］のＢ2Ｏ3及びＣａＣＯ3の混合粒子とが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して３５［重量％］に調節された。Ｂ2Ｏ3及びＣａＣＯ3の合計添加量は、アルミナに対して酸化物換算で１０［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１５００［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、比較例５の真空吸着装置が製造された。
【００４５】
（比較例６）
平均粒子径４０［μｍ］かつ純度９６．５％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．４８［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径１．５［μｍ］のＣａＣＯ3及びＮａＯＨの混合粒子とが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して２０［重量％］に調節された。ＣａＣＯ3及びＮａＯＨの合計添加量は、アルミナに対して酸化物換算で１０［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１５５０［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、比較例６の真空吸着装置が製造された。
【００４６】
（比較例７）
平均粒子径４０［μｍ］かつ純度９６．５％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．４８［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径１．０［μｍ］のＮａＯＨ及びＢ2Ｏ3の混合粒子とが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して２０［重量％］に調節された。ＮａＯＨ及びＢ2Ｏ3の合計添加量は、アルミナに対して酸化物換算で２［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１４００［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、比較例７の真空吸着装置が製造された。
【００４７】
（比較例８）
平均粒子径４０［μｍ］かつ純度９６．５％のアルミナ粉末と、平均粒子径０．４８［μｍ］の二酸化珪素と、平均粒子径１．０［μｍ］のＢ2Ｏ3、ＣａＣＯ3及びＮａＯＨの混合粒子とが混合されることによりスラリーが調製された。二酸化珪素の添加量は、アルミナに対して２０［重量％］に調節された。Ｂ2Ｏ3、ＣａＣＯ3及びＮａＯＨの合計添加量は、アルミナに対して酸化物換算で２５［重量％］に調節された。そして、成形体及びスラリーの乾燥物が１４５０［℃］で３［ｈｒ］にわたって熱処理されることにより、比較例８の真空吸着装置が製造された。
【００４８】
表２には、比較例１〜８の真空吸着装置の製造条件に加えて、真空吸着装置を構成する載置部１のシリカ−アルミナ複合酸化物の有無のＸＲＤによる確認結果（有‥○、無‥×）、平均気孔径、気孔率及び機械的強度の測定結果がまとめて示されている。表２において「*」「**」は本発明により定義される数値範囲から外れていることを意味する。
【００４９】
【表２】
0005973147.tif 000003
【００５０】
表２から、比較例１、３、５、６及び８の真空吸着装置において、載置部の平均気孔径が１〜２０［μｍ］の範囲から外れ、載置部の気孔率が１０〜５０［％］の範囲から外れ、かつ、機械的強度が実施例のそれ（５０［ＭＰａ］以上）と比較して著しく低いことがわかる。
【００５１】
これは、比較例１では原料であるアルミナ粉末の平均粒子径が５０［μｍ］を超えていることに由来し、比較例３では原料である二酸化珪素の平均粒子径が０．５［μｍ］を超えていることに由来し、比較例５では原料である二酸化珪素のアルミナに対する添加量が３０重量％を超えていることに由来し、比較例６では原料である１Ａ族、２Ａ族及び３Ｂ族のうち少なくとも１種の粉末の平均粒子径が１．０［μｍ］を超えていることに由来し、比較例８では原料である１Ａ族、２Ａ族及び３Ｂ族のうち少なくとも１種のアルミナに対する添加量が酸化物換算で２０重量％を超えていることに由来している。
【００５２】
表２から、比較例２、４及び７の真空吸着装置における載置部において、シリカ−アルミナ酸化物の存在が確認されず、かつ、機械的強度が実施例のそれ（５０［ＭＰａ］以上）と比較して著しく低いことがわかる。
【００５３】
これは、比較例２では原料であるアルミナの純度が９５．０％を下回っていることに由来し、比較例４では原料である二酸化珪素のアルミナに対する添加量が５重量％を下回っていることに由来し、比較例７では原料である１Ａ族、２Ａ族及び３Ｂ族のうち少なくとも１種のアルミナに対する添加量が酸化物換算で３重量％を下回っていることに由来している。
【符号の説明】
【００５４】
１‥載置部、２‥支持部。
【図１】
0005973147.tif 000004
【図２】
0005973147.tif 000005
【図３】
0005973147.tif 000006