(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワイヤガイドに螺旋状に巻き付けられた切断用ワイヤを走行させながら、前記切断用ワイヤに被加工物を押し当てて該被加工物に対して切断加工を行うワイヤソー装置であって、
前記切断用ワイヤの送り出し及び巻き取りを行う一対のワインダと、
前記複数のワイヤガイドを回転させるモータの位置偏差と、前記一対のワインダのそれぞれを回転させる各モータの位置偏差との差分に基づき、前記複数のワイヤガイド及び前記一対のワインダの同期制御を行う制御手段とを備え、
前記複数のワイヤガイドは、第１の主モータによって回転する第１の主ワイヤガイドと、前記第１の主モータに追従する第１の従モータによって回転する第１の従ワイヤガイドとを含み、
前記制御手段は、前記第１の主モータの位置偏差と、前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差とが、前記第１の主モータの位置偏差と、前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差との平均値と等しくなるように、前記第１の主モータと、前記一対のワインダの前記各モータとの位置制御を行うことを特徴とするワイヤソー装置。
【請求項２】
前記複数のワイヤガイドは、第２の主モータによって回転する第２の主ワイヤガイドと、前記第２の主モータに追従する第２の従モータによって回転する第２の従ワイヤガイドとを含み、
前記制御手段は、前記第１の主モータの位置偏差と、前記第２の主モータの位置偏差と、前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差とが、前記第１の主モータの位置偏差と、前記第２の主モータの位置偏差と、前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差との平均値と等しくなるように、前記第１の主モータと、前記第２の主モータと、前記一対のワインダの前記各モータとの位置制御を行う、請求項１に記載のワイヤソー装置。
【請求項３】
複数のワイヤガイドに螺旋状に巻き付けられた切断用ワイヤを走行させながら、前記切断用ワイヤに被加工物を押し当てて該被加工物に対して切断加工を行うワイヤソー装置におけるワイヤ走行制御方法であって、
前記ワイヤソー装置は、前記切断用ワイヤの送り出し及び巻き取りを行う一対のワインダを備え、
前記複数のワイヤガイドを回転させるモータの位置偏差と、前記一対のワインダのそれぞれを回転させる各モータの位置偏差との差分に基づき、前記複数のワイヤガイド及び前記一対のワインダの同期制御を行い、
前記複数のワイヤガイドは、第１の主モータによって回転する第１の主ワイヤガイドと、前記第１の主モータに追従する第１の従モータによって回転する第１の従ワイヤガイドとを含み、
前記第１の主モータの位置偏差と、前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差とが、前記第１の主モータの位置偏差と、前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差との平均値と等しくなるように、前記第１の主モータと、前記一対のワインダの前記各モータとの位置制御を行う、ワイヤ走行制御方法。
【請求項４】
前記複数のワイヤガイドは、第２の主モータによって回転する第２の主ワイヤガイドと、前記第２の主モータに追従する第２の従モータによって回転する第２の従ワイヤガイドとを含み、
前記第１の主モータの位置偏差と、前記第２の主モータの位置偏差と、前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差とが、前記第１の主モータの位置偏差と、前記第２の主モータの位置偏差と、前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差との平均値と等しくなるように、前記第１の主モータと、前記第２の主モータと、前記一対のワインダの前記各モータとの位置制御を行う、請求項３に記載のワイヤ走行制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばシリコンインゴット等の被加工物を切断するワイヤソー装置及びワイヤ走行制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、一般的に、シリコンインゴット等の被加工物（以下、ワークと称する）から薄板状のウェーハを切り出す手段としてワイヤソー装置が用いられている。ワイヤソー装置においては、複数のワイヤガイドに螺旋状に巻き付けられた切断用ワイヤを走行させながら、切断用ワイヤにワークを押し当てることによって、複数箇所でワークを同時に切断している。また、切断用ワイヤの送り出し及び巻き取りを行うために一対のワインダが用いられている。
【０００３】
ワイヤソー装置においては、切断用ワイヤの張力を一定に保ちながら、切断用ワイヤを一定の速度で走行させる必要がある。このため、各ワイヤガイド及び各ワインダの間で同期制御を行う必要がある。
【０００４】
そこで、従来、ワイヤガイドやワインダの回転速度（周速）を予め設定しておき、テンションアーム等の張力制御機構により同期ズレを検出し、該検出結果に基づき、周速を補正していた。
【０００５】
図５は、前述のような同期制御を行う従来のワイヤソー装置の斜視図である（特許文献１参照）。図５に示すように、供給ワインダ１から繰り出され、ガイドプーリ１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７によって誘導されて巻き取りワインダ２に巻き取られる一本のワイヤＡが途中で駆動ワイヤガイド３及び従動ワイヤガイド４、５に多数回巻き付けられている。これにより、ワイヤＡが複数並列して走行する切断加工部６が構成される。尚、切断加工部６と供給ワインダ１及び巻き取りワインダ２のそれぞれとの間には、ワイヤＡに発生した緊張や弛緩を吸収する張力制御機構７、８がそれぞれ設けられている。
【０００６】
図５に示すワイヤソー装置においては、駆動ワイヤガイド３に直結されたサーボモータＭ1 、供給ワインダ１に直結されたサーボモータＭ2 、及び巻き取りワインダ２に直結されたサーボモータＭ3 の３つのモータによって、ワイヤＡの駆動（走行）が行われる。また、切断加工部６における従動ワイヤガイド４、５間のワイヤＡにワーク昇降台９上のワークＢを押し当てることによって、複数箇所でワークＢの同時切断が行われる。ここで、３つのモータＭ1 、Ｍ2 、Ｍ3 の回転運動を同期制御することによって、ワイヤＡの緊張又は弛緩を吸収している。具体的には、供給ワインダ１及び巻き取りワインダ２のそれぞれの外径変化を検出装置２１、２２によって検出し、予め設定された駆動ワイヤガイド３の周速と比較し、該比較結果に基づき、供給ワインダ１及び巻き取りワインダ２を駆動するモータＭ2 、Ｍ3 の回転を補正することによって、供給ワインダ１及び巻き取りワインダ２の周速を駆動ワイヤガイド３の周速と一致させている。また、張力制御機構７、８を用いてワイヤＡに発生した緊張量又は弛緩量を検出し、検出した値に基づき、供給ワインダ１及び巻き取りワインダ２を駆動するモータＭ2 、Ｍ3 の回転をさらに補正している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−１０８０１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に開示されているワイヤソー装置においては、ワイヤガイド及びワインダそれぞれの慣性（イナーシャ）の違いをサーボパラメータによって十分に吸収できないため、ワイヤを往復走行させるための加減速時に同期ズレが生じてしまい、ワイヤの張力が変動してしまう。その結果、切断加工の効率及び精度が低下してしまう。また、各ワインダにおいては巻き付けられているワイヤ量が時々刻々変化し、それに伴い、各ワインダのイナーシャも時間変化するので、ワークの切断加工プロセスの全般に亘って正確な同期制御を行うことも困難である。さらに、ワイヤの張力変動に起因するストレスによって、ワイヤ断線が生じる結果、装置の稼働率が低下すると共に品質不良品も発生するので、生産性が低下してしまう。ここで、ワイヤ断線を防止するために、ワイヤを太線化すると、カーフロスつまりコストが増大するという別の問題が生じる。
【０００９】
前記に鑑み、本発明は、ワイヤソー装置においてワイヤガイド及びワインダの同期制御を正確に行えるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するために、本願発明者らは種々の検討を重ねた結果、張力制御機構により検出した同期ズレを用いて間接的に同期制御を行う従来技術に代わる新たなワイヤ走行制御技術として、ワイヤガイドを回転させるためのモータの位置偏差と、ワインダを回転させるモータの位置偏差との差分に基づき、直接的に同期制御を行うという発明を想到した。
【００１１】
具体的には、本発明に係るワイヤソー装置は、複数のワイヤガイドに螺旋状に巻き付けられた切断用ワイヤを走行させながら、前記切断用ワイヤに被加工物を押し当てて該被加工物に対して切断加工を行うワイヤソー装置であって、前記切断用ワイヤの送り出し及び巻き取りを行う一対のワインダと、前記複数のワイヤガイドを回転させるモータの位置偏差と、前記一対のワインダのそれぞれを回転させる各モータの位置偏差との差分に基づき、前記複数のワイヤガイド及び前記一対のワインダの同期制御を行う制御手段とを備えている。
【００１２】
本発明に係るワイヤソー装置によると、ワイヤガイドを回転させるモータの位置偏差と、ワインダを回転させるモータの位置偏差との差分に基づき、直接的に同期制御を行う。このため、ワイヤガイド及びワインダそれぞれのイナーシャが違っていたとしても、或いは、切断加工プロセスにおいてワインダのイナーシャが時間変化したとしても、張力制御機構が作動する前に（例えばテンションアームが傾動する前に）モータの回転を補正することができる。その結果、張力制御機構により同期ズレを検出してから同期制御を行う従来のワイヤ走行制御技術と比較して、より正確な同期制御が可能となる。従って、ワイヤの張力変動をより低減させながら、ワイヤを往復走行させることができるので、切断加工の効率及び精度が向上する。また、ワイヤの張力変動に起因するストレスを小さくできるため、ワイヤ断線を防止して生産性を向上させることができると共に、ワイヤの張力変動の低減によりワイヤの細線化が可能となるため、カーフロスを削減し、ひいてはコストを削減できる。また、張力制御機構が作動する前にモータの回転を補正することができるので、張力制御機構のないワイヤソー装置を構成することも可能である。
【００１３】
本発明に係るワイヤソー装置において、前記複数のワイヤガイドは、主モータによって回転する主ワイヤガイドと、前記主モータに追従する従モータによって回転する従ワイヤガイドとを含み、前記制御手段は、前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差が、前記主モータの位置偏差と等しくなるように、前記一対のワインダの前記各モータの位置制御を行ってもよい。このようにすると、主モータによって回転する主ワイヤガイドと、主モータに追従する従モータによって回転する従ワイヤガイドとを備えたワイヤソー装置において、ワイヤガイド及びワインダの同期制御を簡単に行うことができる。
【００１４】
本発明に係るワイヤソー装置において、前記複数のワイヤガイドは、第１の主モータによって回転する第１の主ワイヤガイドと、第２の主モータによって回転する第２の主ワイヤガイドとを含み、前記制御手段は、前記第２の主モータの位置偏差及び前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差が、前記第１の主モータの位置偏差と等しくなるように、前記第２の主モータ及び前記一対のワインダの前記各モータの位置制御を行ってもよい。このようにすると、複数の主モータによって複数の主ワイヤガイドを回転させるワイヤソー装置において、ワイヤガイド及びワインダの同期制御を確実に行うことができる。
【００１５】
本発明に係るワイヤ走行制御方法は、複数のワイヤガイドに螺旋状に巻き付けられた切断用ワイヤを走行させながら、前記切断用ワイヤに被加工物を押し当てて該被加工物に対して切断加工を行うワイヤソー装置におけるワイヤ走行制御方法であって、前記ワイヤソー装置は、前記切断用ワイヤの送り出し及び巻き取りを行う一対のワインダを備え、前記複数のワイヤガイドを回転させるモータの位置偏差と、前記一対のワインダのそれぞれを回転させる各モータの位置偏差との差分に基づき、前記複数のワイヤガイド及び前記一対のワインダの同期制御を行う。
【００１６】
本発明に係るワイヤ走行制御方法によると、ワイヤガイドを回転させるモータの位置偏差と、ワインダを回転させるモータの位置偏差との差分に基づき、直接的に同期制御を行う。このため、ワイヤガイド及びワインダそれぞれのイナーシャが違っていたとしても、或いは、切断加工プロセスにおいてワインダのイナーシャが時間変化したとしても、張力制御機構が作動する前に（例えばテンションアームが傾動する前に）モータの回転を補正することができる。その結果、張力制御機構により同期ズレを検出してから同期制御を行う従来のワイヤ走行制御技術と比較して、より正確な同期制御が可能となる。従って、ワイヤの張力変動をより低減させながら、ワイヤを往復走行させることができるので、切断加工の効率及び精度が向上する。また、ワイヤの張力変動に起因するストレスを小さくできるため、ワイヤ断線を防止して生産性を向上させることができると共に、ワイヤの張力変動の低減によりワイヤの細線化が可能となるため、カーフロスを削減し、ひいてはコストを削減できる。また、張力制御機構が作動する前にモータの回転を補正できるので、張力制御機構のないワイヤソー装置を構成することも可能である。
【００１７】
本発明に係るワイヤ走行制御方法において、前記複数のワイヤガイドは、主モータによって回転する主ワイヤガイドと、前記主モータに追従する従モータによって回転する従ワイヤガイドとを含み、前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差が、前記主モータの位置偏差と等しくなるように、前記一対のワインダの前記各モータの位置制御を行ってもよい。このようにすると、主モータによって回転する主ワイヤガイドと、主モータに追従する従モータによって回転する従ワイヤガイドとを備えたワイヤソー装置において、ワイヤガイド及びワインダの同期制御を簡単に行うことができる。
【００１８】
本発明に係るワイヤ走行制御方法において、前記複数のワイヤガイドは、第１の主モータによって回転する第１の主ワイヤガイドと、第２の主モータによって回転する第２の主ワイヤガイドとを含み、前記第２の主モータの位置偏差及び前記一対のワインダの前記各モータの位置偏差が、前記第１の主モータの位置偏差と等しくなるように、前記第２の主モータ及び前記一対のワインダの前記各モータの位置制御を行ってもよい。このようにすると、複数の主モータによって複数の主ワイヤガイドを回転させるワイヤソー装置において、ワイヤガイド及びワインダの同期制御を確実に行うことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によると、ワイヤソー装置においてワイヤガイド及びワインダの同期制御を正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、第１の実施形態に係るワイヤソー装置の全体構成を示す図である。
【図２】図２は、第１の実施形態に係るワイヤソー装置の制御装置によるワイヤ走行制御シーケンスを示す図である。
【図３】図３は、第２の実施形態に係るワイヤソー装置の全体構成を示す図である。
【図４】図４は、第２の実施形態に係るワイヤソー装置の制御装置によるワイヤ走行制御シーケンスを示す図である。
【図５】図５は、従来のワイヤソー装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態に係るワイヤソー装置及びワイヤ走行制御方法について、図面を参照ながら説明する。
【００２２】
図１は、第１の実施形態に係るワイヤソー装置の全体構成を示す図である。図１に示すワイヤソー装置１００は、例えば半導体装置や太陽電池等の製造に用いられるシリコンインゴット等の被加工物（以下、ワークＷと称する）を複数箇所で同時に薄板状ウェーハに切断するために使用される。
【００２３】
図１に示すように、ワイヤソー装置１００は、貫通孔１１２が形成された側壁プレート１１０を備えており、該側壁プレート１１０の貫通孔１１２には、回転軸心が水平方向に延びる揺動円板１９１が回動自在に取り付けられている。揺動円板１９１における側壁プレート１１０の正面側には、上方が開放され且つ側面視で略コ字状の形状を持つワイヤガイド支持部１０４が取り付けられている。揺動円板１９１における側壁プレート１１０の背面側には、サーボモータ制御され且つ回転軸心が水平方向に延びる主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａと、該主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａにトルク追従するようにサーボモータ制御され且つ回転軸心が水平方向に延びる従ワイヤガイド駆動モータ１２０Ｂとが取り付けられている。側壁プレート１１０の背面における主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａの側方には、揺動円板１９１を揺動駆動させる揺動駆動モータ１９２が取り付けられている。揺動駆動モータ１９２は、図示していないタイミングベルト等を通じて、回転力を揺動円板１９１に伝達し、揺動円板１９１をその軸心周りに所定の角度範囲で揺動させる。
【００２４】
ワイヤガイド支持部材１０４には、並列配置された主ワイヤガイド１０２Ａ及び従ワイヤガイド１０２Ｂが回転自在に取り付けられている。主ワイヤガイド１０２Ａの回転軸は、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａの出力軸に連結されており、従ワイヤガイド１０２Ｂの回転軸は、従ワイヤガイド駆動モータ１２０Ｂの出力軸に連結されている。主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａの回転駆動により、主ワイヤガイド１０２Ａはその水平軸心周りに回転すると共に、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａにトルク追従する従ワイヤガイド駆動モータ１２０Ｂの回転駆動により、従ワイヤガイド１０２Ｂがその水平軸心周りに回転する。すなわち、主ワイヤガイド１０２Ａと従ワイヤガイド１０２Ｂとは、マスター・スレーブ制御される。
【００２５】
尚、揺動円板１９１の軸心（以下、揺動中心と称することもある）は、主ワイヤガイド１０２Ａの中心（回転軸）と従ワイヤガイド１０２Ｂの中心（回転軸）とを結ぶ線上の中点に位置している。
【００２６】
各ワイヤガイド１０２Ａ及び１０２Ｂには、ワークＷを切断するための１本のワイヤ（以下、切断用ワイヤ１０３と称する）が各ワイヤガイド１０２Ａ及び１０２Ｂの水平軸心方向に所定のピッチで螺旋状に巻き付けられている。切断用ワイヤ１０３の一端側は、主ワイヤガイド１０２Ａの外側に位置しており、複数の円盤状プーリＰに案内されながらワイヤ供給装置１０６まで延びている。ワイヤ供給装置１０６は、切断用ワイヤ１０３の新線部分が巻装された供給側ボビン（第１ワインダ）１６１と、該供給側ボビン１６１を回転駆動させ且つサーボモータ制御されるアシストモータ１６２とを備えており、これにより、切断用ワイヤ１０３を主ワイヤガイド１０２Ａへ送り出している。切断用ワイヤ１０３の他端側は、従ワイヤガイド１０２Ｂの外側に位置しており、複数の円盤状プーリＰに案内されながらワイヤ巻取装置１０７まで延びている。ワイヤ巻取装置１０７は、従ワイヤガイド１０２Ｂから送り出される切断用ワイヤ１０３を巻き取る巻取側ボビン（第２ワインダ）１７１と、該巻取側ボビン１７１を回転駆動させ且つサーボモータ制御されるアシストモータ１７２とを備えている。尚、切断用ワイヤ１０３の張力を制御するために、各ワイヤガイド１０２Ａ及び１０２Ｂの外側に配置されている円盤状プーリＰの１つにテンションアーム１１１が取り付けられている。
【００２７】
本実施形態のワイヤソー装置１００においては、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａ及び従ワイヤガイド駆動モータ１２０Ｂ並びにアシストモータ１６２及び１７２の回転駆動により、切断用ワイヤ１０３に対して、前述の送り出しと、該送り出し長さよりも所定長さだけ小さい巻き取りとを交互に繰り返し行う。これにより、切断用ワイヤ１０３の新線部分がワイヤ供給装置１０６側から順次繰り出され、ワイヤ巻取装置１０７側へ送り出される。
【００２８】
各ワイヤガイド１０２Ａ及び１０２Ｂの中心（回転軸）を結ぶ線上の中点（つまり揺動中心）の上方には、各ワイヤガイド１０２Ａ及び１０２Ｂに巻き付けられた切断用ワイヤ１０３と対向するように略直方体状のワーク保持部材１５１が配設されている。ワーク保持部材１５１の下端にはワークＷが保持される一方、ワーク保持部材１５１の上端には、サーボモータ制御されるワーク昇降モータ１５２が取り付けられている。
【００２９】
本実施形態においては、切断用ワイヤ１０３を走行させている状態でワーク昇降モータ１５２を回転駆動すると、図示していないボールネジ機構によってワーク保持部材１５１が下降してワークＷが切断用ワイヤ１０３に押し付けられ、それにより、複数箇所でウェーハが同時に切り出される。ここで、切断用ワイヤ１０３に砥粒を含むスラリーを供給しながら切断加工を行ってもよい。
【００３０】
また、図１に示すように、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａ、従ワイヤガイド駆動モータ１２０Ｂ、ワーク昇降モータ１５２、アシストモータ１６２及び１７２並びに揺動駆動モータ１９２には、これらのモータを制御する制御装置１０８が接続されている。制御装置１０８は、図示していないが、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及び制御プログラムが格納されたメモリ等を備えている。制御装置１０８は、切断用ワイヤ１０３の送り出し及び巻き取りを交互に繰り返しながら切断用ワイヤ１０３の新線部分が順次繰り出されるように、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａ及び並び従ワイヤガイド駆動モータ１２０Ｂ並びにアシストモータ１６２及び１７２を制御している。また、制御装置１０８は、ワーク保持部材１５１が昇降するようにワーク昇降モータ１５２を制御していると共に、各ワイヤガイド１０２Ａ及び１０２Ｂと共に切断用ワイヤ１０３が揺動するように揺動駆動モータ１９２を制御している。
【００３１】
また、制御装置１０８は、ワークＷの加工形状が円弧状になるように、ワーク保持部材１５１の位置を切断用ワイヤ１０３の揺動角度に応じて制御している。言い換えると、制御装置１０８は、揺動する切断用ワイヤ１０３の延びる方向が常にワークＷの加工形状である円弧の接線方向となるように、ワーク保持部材１５１の位置を制御している。これにより、切断用ワイヤ１０３とワークＷとを点接触させながら、つまり、切断用ワイヤ１０３とワークＷとの接触距離を最小化しながら、切断加工を行うことができるので、研削力を増大させて切断速度を増大させることができると共に切り粉の排出性を向上させて加工精度を向上させることができる。また、切断用ワイヤ１０３とワークＷとを点接触させながら切断加工を行うことができるため、切断用ワイヤ１０３の揺動角度によらず切断用ワイヤ１０３のたわみを小さく抑制することができるので、切断用ワイヤ１０３の断線率を低下させることができる。従って、揺動型のワイヤソー装置を用いた切断加工において、加工コストを低減しつつ、加工時間を短縮して生産性を向上させることができる。
【００３２】
さらに、本実施形態の特徴として、制御装置１０８は、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａの位置偏差と、各ワインダ１６１及び１７１を回転させる各アシストモータ１６２及び１７２のそれぞれの位置偏差との差分に基づいて、各ワイヤガイド１０２Ａ及び１０２Ｂ並びに各ワインダ１６１及び１７１の同期制御を行う。具体的には、各ワインダ１６１及び１７１の各アシストモータ１６２及び１７２の位置偏差が、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａの位置偏差と等しくなるように、各ワインダ１６１及び１７１の各アシストモータ１６２及び１７２の位置制御を行う。
【００３３】
図２は、本実施形態の制御装置１０８によるワイヤ走行制御シーケンスを示す図である。図２に示すように、まず、予め指定されたワイヤ速度と各ワイヤガイド及び各ワインダの外径とに基づいて設定される位置指令によって各モータを回転させる。ここで、各モータにおいては、位置フィードバックによって位置制御及び速度制御を行う。また、「ワインダ１」（第１ワインダ１６１）及び「ワインダ２」（第２ワインダ１７１）のモータにおいては、「ワイヤガイド」（主ワイヤガイド１０２Ａ）のモータ（主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａ）の位置偏差（位置指令と位置フィードバックとの差）を加味して位置制御を行う。例えば、ワイヤ速度が２０ｍ／秒（２０ｍｍ／ｍｓ）であり、（ワイヤ遅れ）＝（位置偏差）／（モータ１回転による位置変化）×（モータ１回転によるワイヤ走行長さ）であるとして、「ワイヤガイド」のワイヤ遅れが１ｍｍ、「ワインダ１」、「ワインダ２」のワイヤ遅れがそれぞれ０．９８ｍｍ、１．０２ｍｍであった場合、「ワインダ１」、「ワインダ２」のワイヤ遅れが「ワイヤガイド」のワイヤ遅れである１ｍｍに等しくなるように、「ワインダ１」、「ワインダ２」のモータの位置制御を行う。すなわち、ワイヤ遅れが０．９８ｍｍである「ワインダ１」のモータの回転速度を小さくし、ワイヤ遅れが１．０２ｍｍである「ワインダ２」のモータの回転速度を大きくする。尚、「ワイヤガイド」のモータ自体は、ワイヤ遅れが０ｍｍになるように位置制御及び速度制御される。また、従ワイヤガイド１０２Ｂの従ワイヤガイド駆動モータ１２０Ｂについては、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａにトルク追従しているので、前述の位置制御及び速度制御は行わない。また、「位置偏差」及び「モータ１回転による位置変化」をそれぞれモータ回転角の絶対値で表してもよいし、又は、モータ回転角と対応するパルス数で表してもよい。
【００３４】
以上に説明した第１の実施形態によると、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａの位置偏差と、各ワインダ１６１及び１７１を回転させる各アシストモータ１６２及び１７２のそれぞれの位置偏差との差分に基づき、直接的に同期制御を行う。このため、ワイヤガイド１０２Ａ及び１０２Ｂ並びにワインダ１６１及び１７１それぞれのイナーシャが違っていたとしても、或いは、切断加工プロセスにおいてワインダ１６１及び１７１のイナーシャが時間変化したとしても、張力制御機構が作動する前に（本実施形態ではテンションアーム１１１が傾動する前に）、各モータの回転を補正することができる。その結果、張力制御機構により同期ズレを検出してから同期制御を行う従来のワイヤ走行制御技術と比較して、より正確な同期制御が可能となる。従って、切断用ワイヤ１０３の張力変動をより低減させながら、切断用ワイヤ１０３を往復走行させることができるので、切断加工の効率及び精度が向上する。また、切断用ワイヤ１０３の張力変動に起因するストレスを小さくできるため、ワイヤ断線を防止して生産性を向上させることができると共に、切断用ワイヤ１０３の張力変動の低減によりワイヤ細線化が可能となるため、カーフロスを削減し、ひいてはコストを削減できる。また、張力制御機構が作動する前に各モータの回転を補正することができるので、張力制御機構のないワイヤソー装置を構成することも可能である。
【００３５】
尚、第１の実施形態において、各ワインダ１６１及び１７１の各アシストモータ１６２及び１７２の位置偏差が、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａの位置偏差と等しくなるように、各ワインダ１６１及び１７１の各アシストモータ１６２及び１７２の位置制御を行ったが、これに代えて、以下のように同期制御を行ってもよい。すなわち、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａ並びにワインダ１６１及び１７１の一方のアシストモータのそれぞれの位置偏差が、ワインダ１６１及び１７１の他方のアシストモータの位置偏差と等しくなるように、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａの位置制御とワインダ１６１及び１７１の一方のアシストモータの位置制御とを行ってもよい。或いは、全モータの位置偏差の平均値に各モータの位置偏差が等しくなるように、各モータの位置制御を行ってもよい。但し、ワインダ１６１及び１７１のイナーシャは切断加工プロセス中にワイヤ巻き量に応じて時間変化するので、本実施形態のように、主ワイヤガイド駆動モータ１２０Ａの位置偏差を基準として、各ワインダ１６１及び１７１の各アシストモータ１６２及び１７２の位置制御を行う方が、同期制御を簡単に行うことができる。
【００３６】
また、第１の実施形態において、制御装置１０８は、各ワインダ１６１及び１７１のワイヤ巻き量やトラバーサ位置の変化等に伴うワイヤ経路長の変動を加味して、各ワインダ１６１及び１７１の各アシストモータ１６２及び１７２の位置制御を行ってもよい。このようにすると、切断用ワイヤ１０３の張力変動をより低減させながら、切断用ワイヤ１０３を往復走行させることができるので、切断加工の効率及び精度がより一層向上する。
【００３７】
（第２の実施形態）
以下、本発明の第２の実施形態に係るワイヤソー装置及びワイヤ走行制御方法について、図面を参照ながら説明する。
【００３８】
図３は、第２の実施形態に係るワイヤソー装置の全体構成を示す図である。図３に示すワイヤソー装置２００は、例えば半導体装置や太陽電池等の製造に用いられるシリコンインゴット等の複数の被加工物（以下、ワークＷ１及びＷ２と称する）を複数箇所で同時に薄板状ウェーハに切断するために使用される。
【００３９】
図３に示すように、ワイヤソー装置２００は、側壁プレート２１０を備え、側壁プレート２１０の正面側には、ワイヤガイド支持部２０４が取り付けられている。側壁プレート２１０の背面側上部には、サーボモータ制御され且つ回転軸心が水平方向に延びる主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａと、該主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａにトルク追従するようにサーボモータ制御され且つ回転軸心が水平方向に延びる従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｂとが取り付けられている。側壁プレート２１０の背面側下部には、サーボモータ制御され且つ回転軸心が水平方向に延びる主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃと、該主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃにトルク追従するようにサーボモータ制御され且つ回転軸心が水平方向に延びる従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｄとが取り付けられている。
【００４０】
ワイヤガイド支持部材２０４の上部には、並列配置された主ワイヤガイド２０２Ａ及び従ワイヤガイド２０２Ｂが回転自在に取り付けられている。主ワイヤガイド２０２Ａの回転軸は、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａの出力軸に連結されており、従ワイヤガイド２０２Ｂの回転軸は、従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｂの出力軸に連結されている。主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａの回転駆動により、主ワイヤガイド２０２Ａはその水平軸心周りに回転すると共に、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａにトルク追従する従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｂの回転駆動により、従ワイヤガイド２０２Ｂがその水平軸心周りに回転する。すなわち、主ワイヤガイド２０２Ａと従ワイヤガイド２０２Ｂとは、マスター・スレーブ制御される。
【００４１】
ワイヤガイド支持部材２０４の下部には、並列配置された主ワイヤガイド２０２Ｃ及び従ワイヤガイド２０２Ｄが回転自在に取り付けられている。主ワイヤガイド２０２Ｃの回転軸は、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃの出力軸に連結されており、従ワイヤガイド２０２Ｄの回転軸は、従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｄの出力軸に連結されている。主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃの回転駆動により、主ワイヤガイド２０２Ｃはその水平軸心周りに回転すると共に、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃにトルク追従する従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｄの回転駆動により、従ワイヤガイド２０２Ｄがその水平軸心周りに回転する。すなわち、主ワイヤガイド２０２Ｃと従ワイヤガイド２０２Ｄとは、マスター・スレーブ制御される。
【００４２】
一対のワイヤガイド２０２Ａ及び２０２Ｂには、ワークＷ１を切断するための１本のワイヤ（以下、切断用ワイヤ２０３と称する）が各ワイヤガイド２０２Ａ及び２０２Ｂの水平軸心方向に所定のピッチで螺旋状に巻き付けられている。また、この切断用ワイヤ２０３は、ワークＷ２を切断するためのワイヤとして、一対のワイヤガイド２０２Ｃ及び２０２Ｄにも、各ワイヤガイド２０２Ｃ及び２０２Ｄの水平軸心方向に所定のピッチで螺旋状に巻き付けられている。
【００４３】
切断用ワイヤ２０３の一端側は、主ワイヤガイド２０２Ａの外側に位置しており、複数の円盤状プーリＰに案内されながらワイヤ供給装置２０６まで延びている。ワイヤ供給装置２０６は、切断用ワイヤ２０３の新線部分が巻装された供給側ボビン（第１ワインダ）２６１と、該供給側ボビン２６１を回転駆動させ且つサーボモータ制御されるアシストモータ２６２とを備えており、これにより、切断用ワイヤ２０３を主ワイヤガイド２０２Ａへ送り出している。切断用ワイヤ２０３の他端側は、従ワイヤガイド２０２Ｄの外側に位置しており、複数の円盤状プーリＰに案内されながらワイヤ巻取装置２０７まで延びている。ワイヤ巻取装置２０７は、従ワイヤガイド２０２Ｄから送り出される切断用ワイヤ２０３を巻き取る巻取側ボビン（第２ワインダ）２７１と、該巻取側ボビン２７１を回転駆動させ且つサーボモータ制御されるアシストモータ２７２とを備えている。尚、切断用ワイヤ２０３の張力を制御するために、ワイヤガイド２０２Ａ及び２０２Ｄのそれぞれの外側に配置されている円盤状プーリＰの１つにテンションアーム２１１が取り付けられている。
【００４４】
本実施形態のワイヤソー装置２００においては、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａ及び従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｂ、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃ及び従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｄ並びにアシストモータ２６２及び２７２の回転駆動により、切断用ワイヤ２０３に対して、前述の送り出しと、該送り出し長さよりも所定長さだけ小さい巻き取りとを交互に繰り返し行う。これにより、切断用ワイヤ２０３の新線部分がワイヤ供給装置２０６側から順次繰り出され、ワイヤ巻取装置２０７側へ送り出される。
【００４５】
一対のワイヤガイド２０２Ａ及び２０２Ｂの中心（回転軸）を結ぶ線上の中点の上方には、各ワイヤガイド２０２Ａ及び２０２Ｂに巻き付けられた切断用ワイヤ２０３と対向するように略直方体状のワーク保持部材２５１Ａが配設されている。ワーク保持部材２５１Ａの下端にはワークＷ１が保持される一方、ワーク保持部材２５１Ａの上端には、サーボモータ制御されるワーク昇降モータ２５２Ａが取り付けられている。また、一対のワイヤガイド２０２Ｃ及び２０２Ｄの中心（回転軸）を結ぶ線上の中点の上方には、各ワイヤガイド２０２Ｃ及び２０２Ｄに巻き付けられた切断用ワイヤ２０３と対向するように略直方体状のワーク保持部材２５１Ｂが配設されている。ワーク保持部材２５１Ｂの下端にはワークＷ２が保持される一方、ワーク保持部材２５１Ｂの上端には、サーボモータ制御されるワーク昇降モータ２５２Ｂが取り付けられている。
【００４６】
本実施形態においては、切断用ワイヤ２０３を走行させている状態でワーク昇降モータ２５２Ａ及び２５２Ｂを回転駆動すると、図示していないボールネジ機構によってワーク保持部材２５１Ａ及び２５１Ｂが下降してワークＷ１及びＷ２がそれぞれ切断用ワイヤ２０３に押し付けられ、それにより、各ワークＷ１及びＷ２において複数箇所でウェーハが同時に切り出される。ここで、切断用ワイヤ２０３に砥粒を含むスラリーを供給しながら切断加工を行ってもよい。
【００４７】
また、図３に示すように、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａ及び従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｂ、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃ及び従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｄ、ワーク昇降モータ２５２Ａ及び２５２Ｂ、並びにアシストモータ２６２及び２７２には、これらのモータを制御する制御装置２０８が接続されている。制御装置２０８は、図示していないが、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及び制御プログラムが格納されたメモリ等を備えている。制御装置２０８は、切断用ワイヤ２０３の送り出し及び巻き取りを交互に繰り返しながら切断用ワイヤ２０３の新線部分が順次繰り出されるように、ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃ及び２２０Ｄ並びにアシストモータ２６２及び２７２を制御している。また、制御装置２０８は、ワーク保持部材２５１Ａ及び２５１Ｂが昇降するようにワーク昇降モータ２５２Ａ及び２５２Ｂを制御している。
【００４８】
さらに、本実施形態の特徴として、制御装置２０８は、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａの位置偏差と、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃ並びに各ワインダ２６１及び２７１を回転させる各アシストモータ２６２及び２７２のそれぞれの位置偏差との差分に基づき、各ワイヤガイド２０２Ａ、２０２Ｂ、２０２Ｃ及び２０２Ｄ並びに各ワインダ２６１及び２７１の同期制御を行う。具体的には、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃ並びに各ワインダ２６１及び２７１の各アシストモータ２６２及び２７２のそれぞれの位置偏差が、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａの位置偏差と等しくなるように、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃ並びに各ワインダ２６１及び２７１の各アシストモータ２６２及び２７２の位置制御を行う。
【００４９】
図４は、本実施形態の制御装置２０８によるワイヤ走行制御シーケンスを示す図である。図４に示すように、まず、予め指定されたワイヤ速度と各ワイヤガイド及び各ワインダの外径とに基づいて設定される位置指令によって各モータを回転させる。ここで、各モータでは、位置フィードバックによって位置制御及び速度制御を行う。また、「ワイヤガイド２」（主ワイヤガイド２０２Ｃ）のモータ（主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃ）並びに「ワインダ１」（第１ワインダ２６１）及び「ワインダ２」（第２ワインダ２７１）のモータにおいては、「ワイヤガイド１」（主ワイヤガイド２０２Ａ）のモータ（主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａ）の位置偏差（位置指令と位置フィードバックとの差）を加味して位置制御を行う。例えば、ワイヤ速度が２０ｍ／秒（２０ｍｍ／ｍｓ）であり、（ワイヤ遅れ）＝（位置偏差）／（モータ１回転による位置変化）×（モータ１回転によるワイヤ走行長さ）であるとして、「ワイヤガイド１」のワイヤ遅れが１ｍｍ、「ワイヤガイド２」のワイヤ遅れが１．１ｍｍ、「ワインダ１」のワイヤ遅れが０．９８ｍｍ、「ワインダ２」のワイヤ遅れが１．０２ｍｍであった場合、「ワイヤガイド２」のワイヤ遅れ並びに「ワインダ１」及び「ワインダ２」のワイヤ遅れが「ワイヤガイド１」のワイヤ遅れである１ｍｍに等しくなるように、「ワイヤガイド２」のモータ並びに「ワインダ１」及び「ワインダ２」のモータの位置制御を行う。すなわち、ワイヤ遅れが１．０１ｍｍである「ワイヤガイド２」のモータの回転速度を大きくし、ワイヤ遅れが０．９８ｍｍである「ワインダ１」のモータの回転速度を小さくし、ワイヤ遅れが１．０２ｍｍである「ワインダ２」のモータの回転速度を大きくする。尚、「ワイヤガイド１」のモータ自体は、ワイヤ遅れが０ｍｍになるように位置制御及び速度制御される。また、従ワイヤガイド２０２Ｂの従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｂ及び従ワイヤガイド２０２Ｄの従ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｄについては、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａ及び２２０Ｃにそれぞれトルク追従しているので、前述の位置制御及び速度制御は行わない。また、「位置偏差」及び「モータ１回転による位置変化」をそれぞれモータ回転角の絶対値で表してもよいし、又は、モータ回転角と対応するパルス数で表してもよい。
【００５０】
以上に説明した第２の実施形態によると、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａの位置偏差と、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃ並びに各ワインダ２６１及び２７１を回転させる各アシストモータ２６２及び２７２のそれぞれの位置偏差との差分に基づき、直接的に同期制御を行う。このため、ワイヤガイド２０２Ａ、２０２Ｂ、２０２Ｃ及び２０２Ｄ並びにワインダ２６１及び２７１それぞれのイナーシャが違っていたとしても、或いは、切断加工プロセスにおいてワインダ２６１及び２７１のイナーシャが時間変化したとしても、張力制御機構が作動する前に（本実施形態ではテンションアーム２１１が傾動する前に）、各モータの回転を補正することができる。その結果、張力制御機構により同期ズレを検出してから同期制御を行う従来のワイヤ走行制御技術と比較して、より正確な同期制御が可能となる。従って、切断用ワイヤ２０３の張力変動をより低減させながら、切断用ワイヤ２０３を往復走行させることができるので、切断加工の効率及び精度が向上する。また、切断用ワイヤ２０３の張力変動に起因するストレスを小さくできるため、ワイヤ断線を防止して生産性を向上させることができると共に、切断用ワイヤ２０３の張力変動の低減によりワイヤ細線化が可能となるため、カーフロスを削減し、ひいてはコストを削減できる。また、張力制御機構が作動する前に各モータの回転を補正することができるので、張力制御機構のないワイヤソー装置を構成することも可能である。
【００５１】
尚、第２の実施形態において、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃ並びに各ワインダ２６１及び２７１の各アシストモータ２６２及び２７２のそれぞれの位置偏差が、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａの位置偏差と等しくなるように、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃ並びに各ワインダ２６１及び２７１の各アシストモータ２６２及び２７２の位置制御を行ったが、これに代えて、以下のように同期制御を行ってもよい。すなわち、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａ並びに各ワインダ２６１及び２７１の各アシストモータ２６２及び２７２のそれぞれの位置偏差が、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ｃの位置偏差と等しくなるように、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａ並びに各ワインダ２６１及び２７１の各アシストモータ２６２及び２７２の位置制御を行ってもよい。或いは、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａ及び２２０Ｃ並びにワインダ２６１及び２７１の一方のアシストモータのそれぞれの位置偏差が、ワインダ２６１及び２７１の他方のアシストモータの位置偏差と等しくなるように、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａ及び２２０Ｃの位置制御とワインダ２６１及び２７１の一方のアシストモータの位置制御とを行ってもよい。或いは、全モータの位置偏差の平均値に各モータの位置偏差が等しくなるように、各モータの位置制御を行ってもよい。但し、ワインダ２６１及び２７１のイナーシャは切断加工プロセス中にワイヤ巻き量に応じて時間変化するので、本実施形態のように主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａ及び２２０Ｃの一方の位置偏差を基準として、主ワイヤガイド駆動モータ２２０Ａ及び２２０Ｃの他方の位置制御並びに各ワインダ２６１及び２７１の各アシストモータ２６２及び２７２の位置制御を行う方が、同期制御を簡単に行うことができる。
【００５２】
また、第２の実施形態において、制御装置２０８は、各ワインダ２６１及び２７１のワイヤ巻き量やトラバーサ位置の変化等に伴うワイヤ経路長の変動を加味して、各ワインダ２６１及び２７１の各アシストモータ２６２及び２７２の位置制御を行ってもよい。このようにすると、切断用ワイヤ２０３の張力変動をより低減させながら、切断用ワイヤ２０３を往復走行させることができるので、切断加工の効率及び精度がより一層向上する。
【００５３】
尚、本発明が適用可能なワイヤソー装置は、図１に示すワイヤソー装置１００又は図３に示すワイヤソー装置２００に限られるものではなく、複数のワイヤガイドに螺旋状に巻き付けられた切断用ワイヤを走行させながら、切断用ワイヤに被加工物を押し当てて切断加工を行うタイプのワイヤソー装置に本発明は広く適用可能である。例えば、図１に示すワイヤソー装置１００には２つのワイヤガイドが、図３に示すワイヤソー装置２００には４つのワイヤガイドが取り付けられていたが、３つ又は５つ以上のワイヤガイドを備えたワイヤソー装置にも本発明は適用可能である。また、図１に示すワイヤソー装置１００のようにワイヤガイドつまり切断用ワイヤを揺動させるタイプのワイヤソー装置や、図３に示すワイヤソー装置２００のように切断用ワイヤを揺動させないタイプのワイヤソー装置の他、被加工物を揺動させるタイプのワイヤソー装置、或いは、放電式のワイヤソー装置等にも本発明は適用可能である。
【００５４】
また、図１に示すワイヤソー装置１００においては、揺動円板１９１の軸心（揺動中心）を、各ワイヤガイドの中心（回転軸）を結ぶ線上の中点に位置させたが、揺動中心の配置位置は特に限定されるものではなく、例えば、ワーク移動軸上の任意の点に揺動中心を位置させてもよい。
【００５５】
また、本発明が適用可能なワークＷの形状（加工前の形状）も特に限定されるものではなく、例えば円柱状や直方体状等の様々な形状を持つワークＷに本発明は広く適用可能である。ここで、揺動型のワイヤソー装置では、切断加工の開始直後におけるワークＷの切断長（実施形態ではワーク移動軸の法線方向におけるワークＷの寸法）が小さい被加工物、例えば円柱状の被加工物を効率よく切断するために、ワークＷに対する切断加工が進むに従って、加工円弧半径を小さくしていってもよい。或いは、ワークＷに対する切断加工の開始直後は、切断用ワイヤを揺動させなくてもよい。また、ワークＷの材質もシリコン等に特に限定されるものではないが、ワークＷが例えばサファイアや炭化ケイ素（ＳｉＣ）等の難削材からなる場合には、切断用ワイヤとして固定砥粒ワイヤを用いることが好ましい。切断用ワイヤとして固定砥粒ワイヤを用いる場合、砥粒を含むスラリーに代えて、冷却用の水等を供給しながら切断加工を行ってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、例えばシリコンインゴット等の被加工物を切断するワイヤソー装置及びワイヤ走行制御方法に好適である。
【符号の説明】
【００５７】
１００    ワイヤソー装置
１０２Ａ、１０２Ｂ    ワイヤガイド
１０３    切断用ワイヤ
１０４    ワイヤガイド支持部
１０６    ワイヤ供給装置
１０７    ワイヤ巻取装置
１０８    制御装置
１１０    側壁プレート
１１１    テンションアーム
１１２    貫通孔
１２０Ａ、１２０Ｂ    ワイヤガイド駆動モータ
１５１    ワーク保持部
１５２    ワーク昇降モータ
１６１    供給側ボビン（第１ワインダ）
１６２    アシストモータ
１７１    巻取側ボビン（第２ワインダ）
１７２    アシストモータ
１９１    揺動円板
１９２    揺動駆動モータ
２００    ワイヤソー装置
２０２Ａ、２０２Ｂ、２０２Ｃ、２０２Ｄ    ワイヤガイド
２０３    切断用ワイヤ
２０４    ワイヤガイド支持部
２０６    ワイヤ供給装置
２０７    ワイヤ巻取装置
２０８    制御装置
２１０    側壁プレート
２１１    テンションアーム
２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃ、２２０Ｄ    ワイヤガイド駆動モータ
２５１Ａ、２５１Ｂ    ワーク保持部
２５２Ａ、２５２Ｂ    ワーク昇降モータ
２６１    供給側ボビン（第１ワインダ）
２６２    アシストモータ
２７１    巻取側ボビン（第２ワインダ）
２７２    アシストモータ
Ｐ    プーリ
Ｗ、Ｗ１、Ｗ２    ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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