(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが形成されたノズル基板と、各ノズルに連通した複数の液室と各液室の一部を構成する振動板と各液室に対応して該振動板と一体的に形成された複数の電気機械変換素子とを有する液室基板と、各液室に液体を供給する複数の液体供給路が形成された液体供給基板と、各液体供給路に連通した共通液室が形成されたフレーム基板とが、順次積層され、
前記電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とが配線部材を介して接続されている液滴吐出ヘッドであって、
前記ノズル基板は、複数のノズルからなるノズル列が、そのノズル列の長手方向と交差する方向に少なくとも３列以上並べるように形成され、
前記駆動回路部材は、前記ノズル列の長手方向と交差する方向に並んでいる前記複数のノズル列のうち、その並び方向における第４Ｎ＋２番目及び第４Ｎ＋３番目（Ｎは、０又は自然数）に位置する互いに隣り合う２列のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、前記フレーム基板の外面に対向させて設けられ、
前記駆動回路部材は、前記２列のノズル列について用いられる前記電気機械変換素子の駆動と、前記２列のノズル列の一つに隣り合う他の１列のノズル列について又は前記２列のノズル列のそれぞれに隣り合う１列づつ計２列のノズル列について用いられる前記電気機械変換素子の駆動とに、共通に用いられ、
前記少なくとも３列以上のノズル列それぞれについて用いられる電気機械変換素子の電極は接続部を有し、
前記接続部は、前記ノズル列の並び方向に引き出されて、前記配線部材が接続され、
前記複数のノズル列の並び方向における第４Ｎ＋１番目（Ｎは、０又は自然数）に位置するノズル列について用いられる電気機械変換素子の電極と、前記複数のノズル列の並び方向における第４Ｎ＋２番目（Ｎは、０又は自然数）に位置するノズル列について用いられる電気機械変換素子の電極は、前記接続部が互いに近づく向きに引き出されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液室基板、前記液体供給基板及び前記フレーム基板それぞれに対して前記駆動回路部材を投影した投影領域に、前記２列のノズル列にそれぞれ対応する前記液室基板の液室、前記液体供給基板の液体供給路及び前記フレーム基板の共通液室がそれぞれ重なるように構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項２の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記２列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数の液体供給路及び複数の共通液室はそれぞれ一つの隔壁を介して隣り合うように構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とを接続する前記配線部材は、前記液体供給基板を貫通するように形成された開口部を通るように配設されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記駆動回路部材は、プリント回路基板を介して前記フレーム基板の外面に対向するように設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記フレーム基板の前記液体供給基板を配置した側とは反対側に緩衝薄板及び薄板フレーム基板が更に積層され、
前記駆動回路部材は前記薄板フレーム基板に接合され、
前記駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とを接続する前記配線部材は、前記液体供給基板、前記フレーム基板、前記緩衝薄板、及び前記薄板フレーム基板それぞれを貫通するように形成された開口部を通るように配設されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記ノズル基板は、前記ノズル列を４列又は８列並べるように形成したものであることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項７の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記ノズル基板のノズル列は８列であり、
前記ノズル列の並び方向における第４番目及び第５番目に位置する互いに隣り合う２列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数の液体供給路及び複数の共通液室はそれぞれ、一つの隔壁を介して隣り合うように構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項７又は８の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記第４Ｎ＋２番目（Ｎは、０又は自然数）に位置するノズル列について用いられる電気機械変換素子の電極と、前記第４Ｎ＋３番目（Ｎは、０又は自然数）に位置するノズル列について用いられる電気機械変換素子の電極は、前記接続部が互いに遠ざかる向きに引き出されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液滴が、画像形成に用いられるインク滴であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかの液滴吐出ヘッドを搭載したことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項１１の液滴吐出ヘッドが搭載された液滴吐出装置を備えたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出するインクジェットヘッド等の液滴吐出ヘッド、及び、その液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置及び画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）を搭載したインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）は、近年、高画質、低価格、高速対応性（ノズルの数を増減することにより、速いプリンタから遅いが安いプリンタまで対応ができる）が評価されて普及が進むなか、より一層の画質向上、コストダウン、小型化が要求されてきている。
インクジェットヘッドの工法としては、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術が取り入れられている。これは半導体プロセスを利用した微細加工技術である。
たとえば、シリコン基板上にインクジェットヘッドに必要な液室、振動板、圧電素子、電極などの部品をエッチング、スパッタなどの加工方法により形成することができるが、これらの部品を小さく形成したり、それぞれの部品の配置に工夫を凝らしたりすることにより、ヘッドとして小型に作りこむことができる。その結果、１枚のシリコン基板（半導体基板）から多くのインクジェットヘッドを作る（取り数を多くする）ことができ、小型化するほどにコストを下げることができる。
インクジェットヘッドの小型化に際しては、上記液室、振動板、圧電素子、電極などの各部品に加えて、インクジェットヘッドに設ける圧電素子を駆動する駆動ＩＣを如何にコンパクトに実装するかということも大きな問題である。
【０００３】
図１１は、従来のインクジェットヘッドの構成を示す図である。
図１１に示すように、従来のインクジェットヘッドには、液滴としてのインク敵を吐出するノズル孔を備えたノズル基板２０１と、圧電素子と振動板の撓み動作によって圧力を加えられてノズル孔から吐出されるインクが供給される液室が設けられた液室基板２０２と、液室に対してインクを供給する液体供給基板２０３と、フレーム基板２０４からなるヘッド本体２００とを有し、そのヘッド本体２００に対し、液室基板２０２の圧電素子を駆動するための駆動ＩＣ２０５が接合されたＦＰＣ（フレキシブルプリント回路基板：Flexible Printed Circuit）２０６がハンダ接合、あるいはＡＣＦ（異方性導電フィルム：Anisotropic Conductive Film）接合などにより、電気的に接合されているものがある。この構成のインクジェットヘッドでは、ヘッドの動作に伴ってＦＰＣ２０６がひらひらと揺動したり、ＦＰＣ２０６とヘッド本体との接合部の強度に難があったりするなどのため、ハンドリングのしにくさがあり、また、全体的にかさばって小型化に向かないという問題があった。
【０００４】
このような問題を解消するため、駆動ＩＣをヘッド本体に搭載する構成が提案されている。
例えば、特許文献１では、インクプール室（共通液室）と同じ層においてインクプール室の外側に隔壁で区画され、かつ、幅方向（基板厚さ方向）における天板と振動板との間に設けられた空間に、駆動ＩＣを配置した構成が開示されている。この駆動ＩＣは、複数のノズル列それぞれに対応させて設けられ、圧電素子が設けられている圧電素子基板の金属配線に所定高さのバンプを介して接合されている。
また、特許文献２では、ノズルが設けられた流路形成基板の上方に圧力発生室等を介して封止基板が積層され、その封止基板のリザーバ部（共通液室）と区画されている空間に、圧電素子が配置された構成が開示されている。駆動ＩＣは、複数のノズル列それぞれに対応させて設けられ、圧電素子の上方に位置する封止基板の表面に接合されている。
また、特許文献３では、リザーバ部（共通液室）と同じ層においてリザーバ部と区画された圧電素子保持部に設けられた接合部材の上面に、駆動ＩＣを接合した構成が開示されている。駆動ＩＣと圧電素子とは、駆動ＩＣから外側に引き出され上記リザーバ部と圧電素子保持部との間を通したボンディングワイヤで配線されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１〜３に開示されている構成は、駆動ＩＣ又は圧電素子が、共通液室としてのインクプール室やリザーバ部と同じ層に設けられているため、共通液室の容量を十分に確保できないおそれがある。共通液室は、クロストークなどを緩和させるため、より大きな容積があるほうが有利であり、また各液室へのインクの供給量（たとえば全チャンネル同時吐出したときに最大流量となる）を確保するための容積が必要となる。各液室へのインクの供給量が少ないと必然的に駆動周波数を低くせざるを得なくなり、ヘッド特性に大きな影響を与える。このようなことを考慮すると、共通液室はより大きなサイズが必要とされ、その結果、インクジェットヘッドの小型化が難しく、コストが高くなってしまう問題がある。
【０００７】
本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、共通液室の容量を確保しつつ小型化及び低コスト化を図ることができる液滴吐出ヘッド、並びに、その液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置及び画像形成装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、複数のノズルが形成されたノズル基板と、各ノズルに連通した複数の液室と各液室の一部を構成する振動板と各液室に対応して該振動板と一体的に形成された複数の電気機械変換素子とを有する液室基板と、各液室に液体を供給する複数の液体供給路が形成された液体供給基板と、各液体供給路に連通した共通液室が形成されたフレーム基板とが、順次積層され、前記電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とが配線部材を介して接続されている液滴吐出ヘッドであって、前記ノズル基板は、複数のノズルからなるノズル列が、そのノズル列の長手方向と交差する方向に少なくとも３列以上並べるように形成され、前記駆動回路部材は、前記ノズル列の長手方向と交差する方向に並んでいる前記複数のノズル列のうち、その並び方向における第４Ｎ＋２番目及び第４Ｎ＋３番目（Ｎは、０又は自然数）に位置する互いに隣り合う２列のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、前記フレーム基板の外面に対向させて設けられ、
前記駆動回路部材は、前記２列のノズル列について用いられる前記電気機械変換素子の駆動と、前記２列のノズル列の一つに隣り合う他の１列のノズル列について又は前記２列のノズル列のそれぞれに隣り合う１列づつ計２列のノズル列について用いられる前記電気機械変換素子の駆動とに、共通に用いられ、前記少なくとも３列以上のノズル列それぞれについて用いられる電気機械変換素子の電極は接続部を有し、前記接続部は、前記ノズル列の並び方向に引き出されて、前記配線部材が接続され、前記複数のノズル列の並び方向における第４Ｎ＋１番目（Ｎは、０又は自然数）に位置するノズル列について用いられる電気機械変換素子の電極と、前記複数のノズル列の並び方向における第４Ｎ＋２番目（Ｎは、０又は自然数）に位置するノズル列について用いられる電気機械変換素子の電極は、前記接続部が互いに近づく向きに引き出されていることを特徴とするものである。
また、請求項２の発明は、請求項１の液滴吐出ヘッドにおいて、前記液室基板、前記液体供給基板及び前記フレーム基板それぞれに対して前記駆動回路部材を投影した投影領域に、前記２列のノズル列にそれぞれ対応する前記液室基板の液室、前記液体供給基板の液体供給路及び前記フレーム基板の共通液室がそれぞれ重なるように構成されていることを特徴とするものである。
また、請求項３の発明は、請求項２の液滴吐出ヘッドにおいて、前記２列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数の液体供給路及び複数の共通液室はそれぞれ一つの隔壁を介して隣り合うように構成されていることを特徴とするものである。
また、請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とを接続する前記配線部材は、前記液体供給基板を貫通するように形成された開口部を通るように配設されていることを特徴とするものである。
また、請求項５の発明は、請求項１乃至４のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記駆動回路部材は、プリント回路基板を介して前記フレーム基板の外面に対向するように設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項６の発明は、請求項１乃至４のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記フレーム基板の前記液体供給基板を配置した側とは反対側に緩衝薄板及び薄板フレーム基板が更に積層され、前記駆動回路部材は前記薄板フレーム基板に接合され、前記駆動回路部材の電極と前記複数の電気機械変換素子それぞれの電極とを接続する前記配線部材は、前記液体供給基板、前記フレーム基板、前記緩衝薄板、及び前記薄板フレーム基板それぞれを貫通するように形成された開口部を通るように配設されていることを特徴とするものである。
また、請求項７の発明は、請求項１乃至７のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル基板は、前記ノズル列を４列又は８列並べるように形成したものであることを特徴とするものである。
また、請求項８の発明は、請求項７の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル基板のノズル列は８列であり、前記ノズル列の並び方向における第４番目及び第５番目に位置する互いに隣り合う２列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数の液体供給路及び複数の共通液室はそれぞれ、一つの隔壁を介して隣り合うように構成されていることを特徴とするものである。
また、請求項９の発明は、請求項７又は８の液滴吐出ヘッドにおいて、前記第４Ｎ＋２番目（Ｎは、０又は自然数）に位置するノズル列について用いられる電気機械変換素子の電極と、前記第４Ｎ＋３番目（Ｎは、０又は自然数）に位置するノズル列について用いられる電気機械変換素子の電極は、前記接続部が互いに遠ざかる向きに引き出されていることを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項１０の発明は、請求項１乃至９のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記液滴が、画像形成に用いられるインク滴であることを特徴とするものである。
また、請求項１１の発明は、請求項１乃至１０のいずれかの液滴吐出ヘッドを搭載したことを特徴とするものである。
また、請求項１２の発明は、請求項１１の液滴吐出ヘッドが搭載された液滴吐出装置を備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ノズル列の長手方向と交差する並び方向における第４Ｎ＋２番目及び第４Ｎ＋３番目（Ｎは、０又は自然数）に位置する互いに隣り合う２列のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、駆動回路部材が設けられている。これにより、駆動回路部材は、その駆動回路部材で駆動される上記２列のノズル列に対応する複数の電気機械変換素子に対して比較的近い位置から駆動することができる。しかも、その駆動回路部材は、上記２列のノズル列について用いられる電気機械変換素子の駆動だけでなく、その２列のノズル列の一つに隣り合う他の１列のノズル列について又は前記２列のノズル列のそれぞれに隣り合う１列づつ計２列のノズル列について用いられる電気機械変換素子の駆動にも、共通に用いられる。従って、一つの駆動回路部材で３列又は４列のノズル列について用いられる複数の電気機械変換素子を駆動することができ、ノズル列ごとに駆動回路部材を設ける場合に比較して小型化及び低コスト化を図ることができる。更に、各液体供給路に連通した共通液室は、電気機械変換素子を有する液室基板とは異なるフレーム基板に形成されているとともに、上記駆動回路部材は、その共通液室が形成されたフレーム基板の外面に対向するように設けられている。これにより、共通液室は、電気機械変換素子や駆動回路部材との干渉を考慮することなく、フレーム基板に形成することができるため、共通液室の容量が、電気機械変換素子や駆動回路部材によって制約を受けにくくなる。よって、共通液室の容量を確保しつつ小型化及び低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの概略構成図。
【図２】図１のインクジェットヘッドの長手方向端部の透過平面図。
【図３】図２のＡ−Ａ線における断面図。
【図４】本発明の他の実施形態に係るインクジェットヘッドの概略構成図。
【図５】本発明の更に他の実施形態に係るインクジェットヘッドの概略構成図。
【図６】本発明の更に他の実施形態に係るインクジェットヘッドの概略構成図。
【図７】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ実施形態に係るインクジェットヘッドのプリンタへの搭載例を示す説明図。
【図８】実施形態に係るインクジェットヘッドを適用したインクカートリッジを示す概略斜視図。
【図９】インクジェット記録装置を示す斜視図。
【図１０】インクジェット記録装置の機構部の側面図。
【図１１】従来のインクジェットヘッドの構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドの概略構成図である。図２は、図１のインクジェットヘッドの長手方向端部の透過概略図である。図３は、図２のＡ−Ａ線における断面図であり、主に圧電素子と液室の周辺の構成を詳細に説明する図である。
図１に示すように、本実施形態に係るインクジェットヘッドは、複数のノズル２が形成されたノズル基板１に、各ノズル２に連通した複数の液室３を設けた液室基板１２と、液室３にインク導入路を介して液滴のもとになる液体であるインクを供給するための液滴供給経路としてのインク供給溝６が形成された液体供給基板７と、各インク供給溝６に連通した共通液室８が形成されたフレーム基板９とが順次積層された構成となっている。
【００１４】
液室基板１２は、液体供給基板７のインク供給溝６と連通したインク導入路５と、そのインク導入路５と液室３との間の設けられた流体抵抗部４とを有している。また、液室基板１２は、図３に示すように、液室３の一部を構成する振動板１６と、その振動板１６と一体的に形成された電気機械変換素子としての圧電素子１８とを有している。圧電素子１８の上面には上電極１４が接合され、圧電素子１８の下面には共通の下電極１３が接合されている。上電極１４と下電極１３との間には絶縁層１７が形成されている。また、圧電素子１８及び上電極１４は、液体供給基板７側に突出するように液室基板１２上に設けられているため、液体供給基板７の対応箇所には、圧電素子１８及び上電極１４と空間的に干渉しないように凹部２６が形成されている。また、図３に示すように、液室基板１２の複数の液室３は、その液室基板１２に一体形成されている側壁１２ａにより個別に区切られている。
【００１５】
フレーム基板９は、液体供給基板７と接合する液室基板１２の配置側と反対側に設けられている。圧電素子１８を駆動する駆動回路部材としての駆動ＩＣ２６は、ヘッド本体のフレーム基板９の液体供給基板７側とは反対側の外面に対向させて設置している。より詳しくは、フレーム基板９の液体供給基板７を配置した側とは反対側に緩衝薄板２９及び薄板フレーム基板３０が更に積層されており、駆動ＩＣ２６は、プリント回路基板としてのＦＰＣ３２を介して薄板フレーム基板３０上に接合されている。緩衝薄板２９は、インク滴の吐出時に、共通液室８に発生する圧力変動を減少するための部材である。また、薄板フレーム基板３０は、ダンパフレーム基板としても機能し、その上部に適宜配線され、駆動ＩＣ２６が接合されたＦＰＣ３１が接合されている。
【００１６】
駆動ＩＣ２６の電極パッドと、複数の圧電素子１８それぞれの上電極１４の端部に設けられたパッド１５とは、配線部材としてのワイヤー２２，２３を介して接続されている。各ワイヤー２２，２３は、液体供給基板７、フレーム基板９、緩衝薄板２９及び薄板フレーム基板３０それぞれを貫通するように形成された開口部２４，２５を通るように配設されている。また、駆動ＩＣ２６の電極パッドとＦＰＣ３２の電極パッドとの間も配線部材としてのワイヤー２０を介して接続されている。
【００１７】
駆動ＩＣ１１からワイヤー２２，２３を介して圧電素子１８に所定の電圧が印加されると、液室３に圧力を発生させることができる。例えば、駆動ＩＣ２６に画像信号が入力されると、駆動ＩＣ２６は、画像信号に基づいて各圧電素子１８に電圧を印加し、圧電素子１８に接するように液室基板１２に一体形成されている振動板１６を変形させる。変形した振動板１６は液室３内に充填されているインクに圧力を発生させる。この液室３内に発生した圧力により、ノズル２からインクが吐出し、記録紙に対して画像を記録することができる。
【００１８】
また、本実施形態のインクジェットヘッドにおいて、ノズル基板１は、複数のノズルからなるノズル列が、そのノズル列の長手方向（インクジェットヘッドの長手方向）と交差する方向に４列並べるように形成されている。すなわち、図１の紙面に垂直な方向（インクジェットヘッドの長手方向）に複数のノズルが所定間隔で形成されたノズル列が、図１の左右方向（インクジェットヘッドの長手方向と交差する方向）に４列形成されている。このように４列のノズル列を構成するすべてのノズルがノズル基板１に一体的に形成されているため、位置精度があがり、画質が向上する。
【００１９】
また、本実施形態では、駆動ＩＣ２６は、図１の左右方向（インクジェットヘッドの長手方向と交差する方向）に並んでいる４列のノズル列のうち、その並び方向における第４Ｎ＋２番目及び第４Ｎ＋３番目（Ｎは０又は自然数）に位置する互いに隣り合う２列のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、フレーム基板９の外面に対向させて設けられている。より具体的には、４列のノズル列の並び方向における２番目及び３番目に位置する互いに隣り合う２列のノズル列（図中の中央側の２つのノズル列）の間のノズル列間領域に対応するように、フレーム基板９の外面に対向させて設けられている。更に、駆動ＩＣ２６は、上記中央側の２列のノズル列について用いられる各圧電素子１８の駆動と、その２列のノズル列に外側から隣り合う他の２列のノズル列について用いられる各圧電素子１８の駆動とに、共通に用いられる。すなわち、本実施形態の場合は、４列のノズル列のすべてについて用いられる各圧電素子１８の駆動に、単一の駆動ＩＣ２６が用いられるように構成されている。従って、従来の４個の駆動ＩＣを一つの駆動ＩＣ２６にまとめることができ、駆動ＩＣ２６を設置するスペースも小さくすることができるため、小型化及び低コスト化に大きく寄与することができる。
【００２０】
また、本実施形態では、液室基板１２、液体供給基板７及びフレーム基板９それぞれに対して駆動ＩＣ２６を投影した投影領域に、上記中央側の２列のノズル列にそれぞれ対応する液室基板１２の液室３、液体供給基板７のインク供給溝６及びフレーム基板９の共通液室８がそれぞれ重なるように構成されている。更に、上記中央側の２列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数のインク供給溝６は一つの隔壁３３を介して隣り合うように構成されている。また、上記中央側の２列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数の共通液室８についても、一つの中央壁３４を介して隣り合うように構成されている。これらの構成により、上記４列のノズル列の並び方向（図１の左右方向）におけるサイズを小さくすることができる。特に、従来のようにノズル列ごとに共通液室８及びその周辺の構造を個別に独立構成した場合に比して、中央の２つの共通液室８を区切る中央壁３４の厚さをほぼ半減することができるため、インクジェットノズルの一層の小型化が可能となる。
【００２１】
また、本実施形態のインクジェットヘッドは、駆動ＩＣが設けられている上面側及びその角部を保護するように天板（保護フレーム）３５が設けられている。また、ノズル基板１が設けられている下面側の外周角部には、印刷時の紙の接触に対する保護、シール性確保などのため、ノズルカバー２７が設けられている。
【００２２】
次に、図１乃至図３を参照して、本実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程の例及び各部の材料例について説明する。
液室基板１２はシリコン基板で構成され、片面に下電極１３がスパッタなどで成膜され、その上に圧電素子１８が形成される。圧電素子１８は所定の長さ、幅にパターニングされる。その上に絶縁層１７が必要部に成膜され、さらに圧電素子１８上に上電極１４が成膜される。さらに上電極１４の電極取り出し用部には金などで形成されたパッド１５（図２参照）が形成されている。
【００２３】
次に、液室基板１２には、ガラスまたはシリコン基板で構成された液体供給基板７が接合される。液体供給基板７はインク供給溝６及び液室基板１２上のパッド１５を露出するための開口部（切り欠き部）２４があらかじめエッチングなどで形成されている。
【００２４】
液室基板１２は、液体供給基板７を土台として、所定の厚さまで薄く加工、研磨される。例えば、液室基板１２の厚さは１００μｍ以下が好ましい。
【００２５】
その後、液室基板１２について、液室３と、流体抵抗部４と、インク供給溝６を介して共通液室８と連通する開口部となるインク導入路５とが、エッチングなどで形成される。図２に示すように、流体抵抗部４の幅を液室３の幅より小さくすることにより、流体抵抗として機能するようになっている。
【００２６】
次に、液室基板１２にノズル基板１を接合し、液体供給基板７の、液室基板１２の接合面とは逆側の面にフレーム基板９を接合する。フレーム基板９には少なくともノズル列（液室３が並ぶ方向）あたり１個のインク導入路が設けられている。
【００２７】
次に、緩衝薄板２９及び薄板フレーム基板３０をフレーム基板９に接合し、駆動ＩＣ２６をＦＰＣ３２を介して薄板フレーム基板３０に接合し、その後、配線部材としての導電性のワイヤー２２，２３によって駆動ＩＣ２６とパッド１５とをワイヤーボンディング接合する。
【００２８】
なお、ノズル基板１、フレーム基板９、駆動ＩＣ１１の接合、あるいはワイヤーボンディングの順序は適宜変更が可能である。
【００２９】
駆動ＩＣ１１のＦＰＣ３２への接続は、より接続長さ（幅）を短くするため、ワイヤーボンディングが好適である。また、接合温度が比較的低い接合方法としてもワイヤーボンディング接合は好ましい方法である。また、図１に示すように接合対象同士（配線箇所）に段差があるような場合の接合方法としてもワイヤーボンディングが最適である。
【００３０】
また、液体供給基板７はシリコン基板で構成することができるが、よりコストダウンするにはガラスで構成し、たとえばサンドブラスト工法で加工することでよりコストダウンが可能となる。また、フレーム基板９はガラス基板で構成することができるが、よりコストダウンをするために、樹脂で構成することが好ましい。ただし、駆動ＩＣ２６の接合時にかなりの高温がかかるため、特に液晶ポリマーやＰＰＳ、エポキシ樹脂などの耐熱樹脂がより好ましい。
【００３１】
図４は、本発明の他の実施形態に係る液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドの概略構成図である。図１乃至３に示す実施形態と同様に機能する構成については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。図４のインクジェットヘッドでは、ノズル基板１は、複数のノズルからなるノズル列が８列並べるように形成されている。すなわち、図４の紙面に垂直な方向（インクジェットヘッドの長手方向）に複数のノズルが所定間隔で形成されたノズル列が、図１の左右方向（インクジェットヘッドの長手方向と交差する方向）に８列形成されている。このように８列のノズル列を構成するすべてのノズルがノズル基板１に一体的に形成されているため、位置精度があがり、画質が向上する。
【００３２】
また、図４の実施形態では、２つの駆動ＩＣ２６を用いている。２つの駆動ＩＣ２６の一方は、図４の左右方向（インクジェットヘッドの長手方向と交差する方向）に並んでいる８列のノズル列の並び方向における２番目及び３番目に位置する互いに隣り合う２列のノズル列（図中の左から２番目及び３番目のノズル列）の間のノズル列間領域に対応するように、フレーム基板９の外面に対向させて設けられている。更に、もう一方の駆動ＩＣ２６は、８列のノズル列の並び方向における６番目及び７番目に位置する互いに隣り合う２列のノズル列（図中の左から６番目及び７番目のノズル列）の間のノズル列間領域に対応するように、フレーム基板９の外面に対向させて設けられている。
【００３３】
上記２つの駆動ＩＣ２６はそれぞれ、４列のノズル列のすべてについて用いられる各圧電素子１８の駆動に共通に用いられるように構成されている。すなわち、図中の左側の駆動ＩＣ２６は、図中の左から第１番目から第４番目の４列のノズル列のすべてについて用いられる各圧電素子１８の駆動に共通に用いられ、図中の右側の駆動ＩＣ２６は、図中の左から第５番目から第８番目の４列のノズル列のすべてについて用いられる各圧電素子１８の駆動に共通に用いられる。従って、従来の８個の駆動ＩＣを二つの駆動ＩＣ２６にまとめることができ、駆動ＩＣ２６を設置するスペースも小さくすることができるため、小型化及び低コスト化に大きく寄与することができる。また、図４のインクジェットヘッドにおける他の構成は、図１〜図３で示した実施形態の構成と同様であり、図１〜図３の実施形態のインクジェットヘッドと同様な効果を奏することができる。
【００３４】
図５は、本発明の更に他の実施形態に係る液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドの概略構成図である。なお、図１乃至４に示す実施形態と同様に機能する構成については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態に係るインクジェットヘッドは、ノズル基板１に２列のノズル列が形成されている。また、液室基板１２に形成されている圧電素子１８と駆動ＩＣ２６とを接合するため、フレーム基板９、液体供給基板７それぞれの中央部に開口部２５、２４が設けられ、液室基板１２の中央部からワイヤーボンディングにより、パッド１５と駆動ＩＣ２６とを接合するように構成されている。また、フレーム基板９の開口部２５を挟んで、各液室に対応する圧電素子毎に複数の駆動ＩＣ２６が設けられ、パッド１５は、それぞれの駆動ＩＣ２６と結合される構成となっている。フレーム基板９には、液体供給基板７との接合面に臨むように共通液室８が設けられ、その共通液室８とインク供給溝６とが連通するように構成されている。
【００３５】
また、フレーム基板９の液体供給基板７を配置した側とは反対側に緩衝薄板２９及び薄板フレーム基板３０が更に積層されており、駆動ＩＣ２６は、ＦＰＣ３２を介して薄板フレーム基板３０上に接合されている。なお、ＦＰＣ３２にもフレーム基板９の開口２５に対応した開口を設けているため、液室基板１２中央部のパッド１５と駆動ＩＣ２６とのワイヤーボンディングを妨げることがない。
【００３６】
また、ノズル基板１、液室基板１２、液体供給基板７の端部外周には、印刷時の紙の接触、シール性確保などでノズルカバー２７が接合されている。また、駆動ＩＣが設けられている上面側及びその角部を保護するように天板（保護フレーム）３５が設けられている。
【００３７】
また、図５のインクジェットヘッドにおいて、各層の材料として、例えば次のような材料で構成される。ノズル基板１はステンレス板（例えば、厚さ５０μｍ）で構成され、液室基板１２及び液体供給基板７は半導体基板としてのシリコンウェハで構成される。また、フレーム基板９はステンレス板（例えば、厚さ０．４ｍｍ）を３枚積層接着したもので構成され、緩衝薄板２９はポリイミドフィルム（例えば、厚さ２５μｍ）で構成される。また、薄板フレーム基板３０はステンレス板（例えば、厚さ０．１ｍｍ）で構成され、天板３５はＰＰＳ樹脂の成型品で構成される。このような構成の場合、もっとも短く接合代を設定できるのは、シリコンウェハどうしの液室基板１２と液体供給基板７との接合代であるが、シール性確保に必要な接合代Ｌ１の長さを決定するのはノズル基板１（ステンレス板）と液室基板１２（シリコンウェハ）との接合代である。
【００３８】
そこで、本実施形態では、ノズル基板１から上部に行くほど基板の長さを長くし、接合代が順次長くなる設定になっている。すなわち、シリコンウェハで構成される液体供給基板７から下の接合代をＬ１とし、上部のフレーム基板９から天板３５までの接合代をＬ４としたとき、Ｌ１＜Ｌ４を満たすように構成している。この構成により、フレーム基板９から天板３５までの接合代を長くすることによりシール性を確保し、コストが高くなる液室基板１２、液体供給基板７の長さを他の基板（フレーム基板９から天板３５）と比較して短く設定できるので、シール性確保と同時に大幅なコストアップを抑えることができる。
なお、図５のインクジェットヘッドの構成例では、液体供給基板７が半導体基板（シリコンウェハ）で構成されているが、液体供給基板７は半導体基板以外の基板で構成されていてもよい。例えば、液体供給基板７はガラス基板（ガラスウェハ）で構成されていてもよい。
【００３９】
図６は、本発明の更に他の実施形態に係る液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドの端部の概略構成図である。なお、図１乃至４及び図５に示す実施形態と同様に機能する構成については、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態のインクジェットヘッドにおいても、図５の構成と同様に、ノズル基板１から上部に行くほど基板の長さを長くし、接合代が順次長くなる設定になっている。
特に、本実施形態では、半導体基板で構成される基板同士の接合代の長さをＬ１とし、半導体基板で構成される基板と半導体基板以外で構成される基板との接合代の長さをＬ２とし、半導体基板以外で構成される基板同士の接合代の長さをＬ３としたとき、Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ３、かつ、Ｌ１＜Ｌ３を満たすように構成している。より具体的には、図６に示すように、半導体基板としてのシリコンウェハどうしで構成される液室基板１２と液体供給基板７との接合代の長さをＬ１とし、シリコンウェハで構成される液体供給基板７とステンレス板で構成されるフレーム基板９との接合代Ｌ２とし、そのフレーム基板９とポリイミドフィルムで構成される緩衝薄板２９との接合代をＬ３としたとき、Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ３、かつ、Ｌ１＜Ｌ３を満たすように構成している。このように上部に行くほど基板の長さを長くして接合代が順次長くなるように設定することにより、フレーム基板９と緩衝薄板２９との間のシール性を確保し、特にコストが高くなる液室基板１２、液体供給基板７の長さを他の基板と比較し短く設定できるので、シール性確保と同時に大幅なコストアップを抑えることが出来る。
【００４０】
また、図６のインクジェットヘッドでは、前述のように各基板の構成材料の接着性と小型化、コストダウンとを考慮することにより、図中の上にいくほど（最下面側のフレーム基板９から最上面側の天板３５にいくほど）接合代が長くなるため、図示のように積層された基板の端部に段々の傾斜が形成される。この基板端部の傾斜を利用して、ノズルカバー２７は傾斜に沿って大きな面取りをつけることができる。ノズルカバー２７の役割のひとつに、画像を記録する用紙の搬送時に起きるヘッド本体への衝突による破壊を防ぐものがある。そのため、実質ヘッド本体を大きくすることなく、用紙がヘッド本体の端部に向かって搬送される構成の場合でも、図６の実施形態のようにノズルカバー２７に形成した大きな面取りにより、用紙の搬送時に起きるヘッド本体への衝突を回避し、用紙を所定の記録位置に搬送することができる。
なお、図６のインクジェットヘッドの構成例では、液体供給基板７が半導体基板（シリコンウェハ）で構成されているが、液体供給基板７は半導体基板以外の基板で構成されていてもよい。例えば、液体供給基板７はガラス基板（ガラスウェハ）で構成されていてもよい。
【００４１】
図７は、上記各実施形態に係るインクジェットヘッドのプリンタへの搭載例を示す図である。
シリアルプリンタに搭載する場合、たとえば、Ｃ、Ｍ、Ｙ、Ｂｋインクをそれぞれ供給した４個のインクジェットヘッド６０を、図７（ａ）に示すようにインクジェットヘッドの横幅方向に並べて主走査方向に走査するキャリッジに搭載し、副走査である紙送りと各インクジェットヘッド６０を搭載した図示しないキャリッジの主走査をすると同時に、送られてくる画像信号により各インクジェットヘッド６０からインクを吐出し画像を紙などに記録することができる。
よく知られているようにシリアルプリンタの横寸法は少なくとも、紙幅とヘッドユニット（この場合４個のインクジェットヘッド）の幅の２倍が必要になる。したがって、インクジェットヘッドの横幅寸法がシリアルプリンタの小型化の重要な要因となっている。本発明の実施形態に係るインクジェットヘッド６０を使用することにより、より小型のシリアルプリンタを作ることができ、同時にコストダウンも可能となる。
また、シリアルプリンタだけではなく、図７（ｂ）に示すように、本発明の実施形態に係る複数（図示の例では４個）のインクジェットヘッド６０を紙幅方向に一列に並べて、紙送りのみで記録するいわゆるライン型ヘッドユニットを構成できる。このライン型ヘッドユニットでは、紙幅方向に対して垂直方向に非常に幅が狭いヘッドユニットを構成できる。そのため、４色のライン型ヘッドユニットを構成した場合、紙送り方向のヘッド幅は非常に小さくなり、ラインプリンタそのものも小型化ができ、同時にコストダウンが可能となる。
【００４２】
図８は、上記各実施形態に係るインクジェットヘッドを適用可能なインクカートリッジを示す概略斜視図である。このインクカートリッジ５０は、ノズル孔２等を有する上述した実施形態の何れかのインクジェットヘッド６１と、このインクジェットヘッド６１に対してインクを供給するインクタンク６２とを一体化したものである。
特に、図７（ａ）に示したような、シリアルプリンタに搭載可能なインクカートリッジである。
このように、インクタンク一体型のヘッドの場合、ヘッドの低コスト化、信頼性向上は、直ちにインクカートリッジ全体の低コスト化、信頼性向上に繋がるので、上述したように低コスト化、高信頼性化、製造不良低減することで、インクカートリッジの歩留まり、信頼性が向上し、ヘッド一体型インクカートリッジの低コスト化を図れる。
【００４３】
図９は、上記各実施形態に係るインクジェットヘッドを適用可能な画像形成装置としてのインクジェット記録装置を示す斜視図である。図１０は図９のインクジェット記録装置の機構部の側面図である。このインクジェット記録装置は、記録装置本体８１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ９３、このキャリッジ９３に搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部８２等を収納している。
【００４４】
装置本体８１の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい）８４を抜き差し自在に装着することができる。また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４或いは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
【００４５】
印字機構部８２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向に摺動自在に保持している。
このキャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッド９４の複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ９３にはヘッド９４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９５を交換可能に装着している。
インクカートリッジ９５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有している。この多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクを僅かな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド９４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００４６】
ここで、キャリッジ９３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。
そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト１００を張装し、このタイミングベルト１００をキャリッジ９３に固定しており、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。
【００４７】
一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３を記録ヘッド９４の下方側に搬送するために、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２と、用紙８３を案内するガイド部材１０３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４と、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６とを設けている。搬送ローラ１０４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を記録ヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９を設けている。
この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２を設け、さらに用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５、１１６とを配設している。
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
【００４８】
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。この回復装置１１７は図示しないキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。
キャリッジ９３は、印字待機中には、回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド９４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で記録ヘッド９４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去されて吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（図示せず）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００４９】
このように、このインクジェット記録装置においては上記実施形態に係るインクジェットヘッドを搭載しているので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができ、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。
【００５０】
なお、上記各実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド（スポッタ）などの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。
【００５１】
以上、上記図１乃至４及び図７乃至１０で示した実施形態によれば、ノズル列の長手方向と交差する並び方向における第４Ｎ＋２番目及び第４Ｎ＋３番目（Ｎは０又は自然数）に位置する互いに隣り合う２列のノズル列の間のノズル列間領域に対応するように、駆動ＩＣ２６が設けられている。これにより、駆動ＩＣ２６は、その駆動ＩＣ２６で駆動される２列のノズル列に対応する複数の圧電素子１８に対して比較的近い位置から駆動することができる。しかも、その駆動ＩＣ２６は、上記２列のノズル列について用いられる圧電素子１８の駆動だけでなく、その２列のノズル列の少なくとも一つに隣り合う他の１列又は２列のノズル列について用いられる圧電素子１８の駆動にも共通に用いられる。従って、一つの駆動ＩＣ２６で３列又は４列のノズル列について用いられる複数の圧電素子１８を駆動することができ、ノズル列ごとに駆動ＩＣ２６を設ける場合に比較して小型化及び低コスト化を図ることができる。更に、液体供給基板７の各インク供給溝６に連通した共通液室８は、圧電素子１８を有する液室基板１２とは異なるフレーム基板９に形成されているとともに、上記駆動ＩＣ２６は、その共通液室８が形成されたフレーム基板９の外面に対向するように設けられている。これにより、共通液室８は、圧電素子１８や駆動ＩＣ２６との干渉を考慮することなく、フレーム基板９に形成することができるため、共通液室８の容量が、圧電素子１８や駆動ＩＣ２６によって制約を受けにくくなる。よって、共通液室８の容量を確保しつつ小型化及び低コスト化を図ることができる。
また、本実施形態によれば、液室基板１２、液体供給基板７及びフレーム基板９それぞれに対して駆動ＩＣ２６を投影した投影領域に、前記２列のノズル列にそれぞれ対応する液室基板１２の液室３、液体供給基板７のインク供給溝６及びフレーム基板９の共通液室８がそれぞれ重なるように構成されている。この構成により、ノズル列の並び方向（図１の左右方向）におけるサイズを小さくすることができる。
また、本実施形態によれば、前記２列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数のインク供給溝６及び複数の共通液室８はそれぞれ一つの隔壁（側壁３３、中央壁３４）を介して隣り合うように構成されている。この構成により、ノズル列の並び方向（図１の左右方向）におけるサイズを小さくすることができる。特に、従来のようにノズル列ごとに共通液室８及びその周辺の構造を個別に独立構成した場合に比して、中央の２つの共通液室８を区切る中央壁３４の厚さをほぼ半減することができるため、インクジェットノズルの一層の小型化が可能となる。
また、本実施形態によれば、駆動ＩＣ２６の電極と複数の圧電素子１８それぞれの電極とを接続する配線部材としてワイヤー２２，２３は、液体供給基板７、フレーム基板９、緩衝薄板２９及び薄板フレーム基板３０それぞれを貫通するように形成された開口部２４，２５を通るように配設されている。これにより、駆動ＩＣ２６の電極と複数の圧電素子１８それぞれの電極とを短い配線経路で且つワイヤーボンディングと比較的簡易な方法で接続できる。
また、本実施形態によれば、駆動ＩＣ２６は、ＦＰＣ３２を介してフレーム基板９の外面に対向するように、薄板フレーム基板３０に接合されている。これにより、薄板フレーム基板３０の上部に適宜配線を行い、その配線された薄板フレーム基板３０とＦＰＣ３１とを接合できる。
また、本実施形態によれば、フレーム基板９の液体供給基板７を配置した側とは反対側に緩衝薄板２９及び薄板フレーム基板３０が更に積層されている。緩衝薄板２９により、インク滴の吐出時に、共通液室８に発生する圧力変動を減少させることができる。また、薄板フレーム基板３０は、前述のようにＦＰＣ３１が接合される面に適宜配線を施すことができる。
また、本実施形態によれば、ノズル列を４列並べるように形成されたノズル基板１を用いた構成において、一つの駆動ＩＣ２６を、４列のノズル列について用いられる複数の圧電素子１８のすべての駆動に共通に用いることができる。
また、本実施形態によれば、ノズル列を８列並べるように形成されたノズル基板１を用いた構成において、二つの駆動ＩＣ２６をそれぞれ、４列のノズル列について用いられる複数の圧電素子１８のすべての駆動に共通に用いることができる。また、８列のノズル列の並び方向における第４番目及び第５番目に位置する互いに隣り合う２列のノズル列に対応するように互いに隣り合わせて設けられる複数のインク供給溝６及び複数の共通液室８はそれぞれ、一つの隔壁を介して隣り合うように構成されている。このように、二つの駆動ＩＣ２６それぞれが上方に位置する複数のインク供給溝６や複数の共通液室８だけでなく、駆動ＩＣ２６が上方に位置しない上記第４番目及び第５番目のノズル列に対応する複数のインク供給溝６及び複数の共通液室８についても、それぞれ一つの隔壁（側壁３３、中央壁３４）を介して隣り合うように構成されているので、ノズル列の並び方向（図１の左右方向）におけるサイズを更に小さくすることができる。
【００５２】
また、上記図５、６及び図７乃至１０で示した実施形態によれば、順次積層される複数の基板同士の接合代のうち、少なくとも一方の基板が半導体基板（シリコンウェハ）で構成される基板同士の接合代の長さを、半導体基板以外で構成される基板同士の接合代の長さよりも短くすることにより、接着性に優れている半導体基板同士の接合代の長さを相対的に短くして小型化及び低コスト化を図りつつ、半導体基板以外で構成される接着性に劣る基板同士の接合代の長さを相対的に長くして基板間のシール性を確保することができる。よって、全体として互いに積層される基板間のシール性を確保しつつ小型化及び低コスト化を図ることができる。
また、本実施形態によれば、接着性に優れている半導体基板（シリコンウェハ）で構成される液室基板１２と、半導体基板又は半導体基板以外で構成される液体供給基板７との接合代の長さをＬ１とし、液体供給基板７と、半導体基板以外で構成される接着性に劣るフレーム基板９との接合代の長さをＬ２としたとき、Ｌ１≦Ｌ２を満たすように構成している。この構成では、接着性に優れている半導体基板からなる液室基板１２と液体供給基板７との接合、及び液体供給基板７と接着性に劣るフレーム基板９との接合の順番で、接合代の長さを相対的に長くすることにより、小型化及び低コスト化を図りつつ基板間のシール性を確保することができる。
また、本実施形態によれば、半導体基板以外でそれぞれ構成されるフレーム基板９と緩衝薄板２９との接合代の長さをＬ３としたとき、Ｌ１≦Ｌ２≦Ｌ３、かつ、Ｌ１＜Ｌ３を満たすように構成している。この構成では、接着性に優れている半導体基板からなる液室基板１２と液体供給基板７との接合、液体供給基板７と接着性に劣るフレーム基板９との接合、及び接着性に劣る基板同士であるフレーム基板９と緩衝薄板２９との接合の順番で、接合代の長さを相対的に長くすることにより、小型化及び低コスト化を図りつつ基板間のシール性を確保することができる。
また、本実施形態によれば、少なくともノズル基板１、液室基板１２、液体供給基板７及びフレーム基板９のそれぞれの端部を覆うように設けられたノズルカバー２７を備え、そのノズルカバー２７は、少なくともノズル基板１、液室基板１２及び液体供給基板７の端縁によって形成される階段状の傾斜に対応するように設けられた傾斜面を有する。これにより、実質ヘッド本体を大きくすることなく、用紙がヘッド本体の端部に向かって搬送される構成の場合でも、ノズルカバー２７に形成した大きな面取りにより、用紙の搬送時に起きるヘッド本体への衝突を回避し、用紙を所定の記録位置に搬送することができる。
【００５３】
また、上記図７乃至図１０で示した実施形態によれば、液吐出装置及び画像形成装置（インクジェットプリンタ）に上記構成のインクジェットヘッドを用いることにより、それらの装置の小型化及び低コスト化を図ることができる。
【符号の説明】
【００５４】
１  ノズル基板
２  ノズル
３  液室
４  流体抵抗部
５  インク導入路
６  インク供給溝
７  液体供給基板
８  共通液室
９  フレーム基板
１０  配線部材
１１  駆動ＩＣ
１２  液室基板
１３  下電極
１４  上電極
１５  パッド
１６  振動板
１７  絶縁層
１８  圧電素子
２０  ワイヤー
２１  開口部
２２  ワイヤー
２３  ワイヤー
２４  開口部
２５  開口部
２６  駆動ＩＣ
２７  ノズルカバー
２９  緩衝薄板
３０  薄板フレーム基板
３２  ＦＰＣ
３３  側壁
３４  中央壁
３５  天板（保護フレーム）
６０、６１  インクジェットヘッド
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５５】
【特許文献１】特開２００５−３４９７１２号公報
【特許文献２】特許第３９８８０４２号公報
【特許文献３】特許第３５８０３６３号公報
【図１】
0005936094.tif 000002
【図２】
0005936094.tif 000003
【図３】
0005936094.tif 000004
【図４】
0005936094.tif 000005
【図５】
0005936094.tif 000006
【図６】
0005936094.tif 000007
【図７】
0005936094.tif 000008
【図８】
0005936094.tif 000009
【図９】
0005936094.tif 000010
【図１０】
0005936094.tif 000011
【図１１】
0005936094.tif 000012