(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗液を支持体に対して連続的に塗布することにより塗膜を形成する塗膜形成工程、
赤外照明から発せられる赤外光を前記支持体に塗布された前記塗液に対して照射する照射工程、
前記塗布された塗液に対する前記赤外光の照射によって散乱した赤外散乱光をカメラによって撮像して、赤外散乱光に基づく画像データを取得する撮像工程、および
前記撮像工程により取得した画像データのコントラストに基づいて前記塗布された塗液の塗布状態を把握する塗布状態把握工程を備え、
前記塗膜形成工程は、前記支持体を連続的に搬送する搬送工程を含み、
前記照射工程および前記撮像工程は、前記搬送工程によって前記支持体が連続的に搬送される状態で行う、塗液観察方法。
【請求項２】
塗膜の厚み方向に貫通していない欠陥形状を検出する、請求項１記載の塗液観察方法。
【請求項３】
前記照射工程では、前記支持体の搬送方向に直交する方向から前記赤外光を照射する、請求項１または２記載の塗液観察方法。
【請求項４】
前記支持体は、前記赤外光に対して透光性を有し、
前記塗膜形成工程では、前記支持体の一方主面に前記塗液を塗布し、
前記撮像工程では、前記塗布された塗液を前記支持体の他方主面から撮像する、請求項１ないし３のいずれかに記載の塗液観察方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載された塗液観察方法を含む塗布方法であって、
前記塗布状態把握工程によって把握された塗布状態に応じて、前記塗膜形成工程における塗布設定を変更する塗布設定変更工程をさらに備える、塗布方法。
【請求項６】
前記塗膜形成工程では、前記塗液を塗布する塗布ヘッドの吐出口から前記支持体に向けて前記塗液が吐出され、
前記塗布状態把握工程は、前記塗布ヘッドの吐出口の下流から塗布欠陥を検知する塗布欠陥検知工程を含む、請求項５記載の塗布方法。
【請求項７】
前記塗布欠陥検知工程で検知された塗布欠陥の位置を示す欠陥位置情報を記憶装置に保存する保存工程をさらに備える、請求項６記載の塗布方法。
【請求項８】
塗液を支持体に対して連続的に塗布することにより塗膜を形成する塗膜形成装置と、
赤外照明から発せられる赤外光を前記支持体に塗布された前記塗液に対して照射する照射装置と、
前記塗布された塗液に対する前記赤外光の照射によって散乱した赤外散乱光をカメラによって撮像して、赤外散乱光に基づく画像データを取得する撮像装置と、
前記撮像装置により取得した画像データのコントラストに基づいて、前記塗布された塗液の塗布状態を把握する塗布画像処理装置とを備え、
前記塗膜形成装置は、前記支持体を連続的に搬送する搬送装置を含み、
前記照射装置による赤外光照射および前記撮像装置による撮像は、前記搬送装置によって前記支持体が連続的に搬送される状態で行われる塗液観察装置。
【請求項９】
塗膜の厚み方向に貫通していない欠陥形状を検出する、請求項８記載の塗液観察装置。
【請求項１０】
前記照射装置は、前記支持体の搬送方向に直交する方向から前記赤外光を照射する、請求項８または９記載の塗液観察装置。
【請求項１１】
前記支持体は、前記赤外光に対して透光性を有し、
前記塗膜形成装置は、前記支持体の一方主面に前記塗液を塗布し、
前記撮像装置は、前記塗布された塗液を前記支持体の他方主面から撮像する、請求項８ないし１０のいずれかに記載の塗液観察装置。
【請求項１２】
請求項８ないし１１のいずれかに記載された塗液観察装置を含む塗布装置であって、
前記撮像装置により取得した画像データのコントラストに基づいて前記塗布された塗液の塗布状態を把握し、前記塗膜形成装置における最適な塗布設定を演算して制御する制御装置をさらに備える、塗布装置。
【請求項１３】
前記制御装置は、
前記撮像装置により取得した画像データのコントラストに基づいて前記塗液の塗布状態を把握する塗布画像処理装置と、
前記塗布画像処理装置によって把握された塗布状態に応じて、前記塗膜形成装置における最適な塗布設定を演算する塗布設定演算装置と、
を含む、請求項１２記載の塗布装置。
【請求項１４】
前記塗膜形成装置は、前記支持体に前記塗液を塗布する塗布ヘッドを含み、
前記塗布ヘッドは、前記支持体に向けて前記塗液を吐出する吐出口を有し、
前記塗布画像処理装置は、前記塗布ヘッドの吐出口の下流から塗布欠陥を把握する欠陥画像処理装置を含む、請求項１３記載の塗布装置。
【請求項１５】
前記欠陥画像処理装置により把握された塗布欠陥の位置を示す欠陥位置情報を保存する記憶装置をさらに備える、請求項１４記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、塗液観察方法、塗布方法、塗液観察装置および塗布装置に関する。特に、塗布ヘッドによって支持体に塗布された塗液を観察する塗液観察方法、この塗液観察方法を含む塗布方法、塗布ヘッドによって支持体に塗布された塗液を観察する塗液観察装置、および、この塗液観察装置を含む塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の塗液観察方法、塗布方法の一例が特許文献１に開示されている。この背景技術によれば、連続して走行されるウェブ（支持体）として、熱可塑性樹脂フィルム，紙，皮革，不織布，織物等が挙げられる。塗液は、ファウンテンによってウェブに塗布され、かつメタリングバーによって掻き取られる。これによって、所定厚みの塗膜がウェブに形成される。メタリングバーの直下流側には、メニスカスと呼ばれる塗液溜りが定常的に形成される。ただし、ウェブの幅方向に延びる塗液溜りの形状線は、ウェブの上方から観測できる。そこで、塗液溜りの形状線を撮像するカメラがウェブの上方に設けられる。カメラはガイドに沿ってウェブの幅方向に走査され、１台のカメラで全幅にわたって塗液溜りの形状線を検出する。
【０００３】
塗液溜りの形状線を撮像するためには、通常は、塗液溜りに可視光を照射し、直接返ってきた反射光をカメラで取得することにより撮像が行なわれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１１７４６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、塗液に可視光を照射し、返ってきた反射光を取得する方法では、塗液溜りの形状線を的確に撮像できないおそれがある。また、ウェブに形成された塗膜の塗布欠陥（スジや気泡など）を的確に撮像できないおそれもある。
【０００６】
それゆえに、この発明の主たる目的は、支持体に塗布された塗液の塗布状態を容易に検知することができる、塗液観察方法および塗液観察装置を提供することである。また、この塗液観察方法を含む塗布方法、および、塗液観察装置を含む塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に従う塗液観察方法は、塗液を支持体(F：実施例で相当する参照符号。以下同じ)に対して連続的に塗布することにより塗膜を形成する塗膜形成工程(S3~S5)、赤外照明(34, 36)から発せられる赤外光を支持体に塗布された塗液に対して照射する照射工程(S1)、および塗液に対する赤外光の照射によって散乱した赤外散乱光をカメラ(32)によって撮像して、赤外散乱光に基づく画像データを取得する撮像工程(S7)を備え、撮像工程により取得した画像データのコントラストに基づいて前記塗布された塗液の塗布状態を把握する塗布状態把握工程(S9~S11, S15~S17)をさらに備え、塗膜形成工程は、支持体を連続的に搬送する搬送工程(S3)を含み、照射工程および撮像工程は、搬送工程によって支持体が連続的に搬送される状態で行う。
【０００８】
好ましくは、塗液観察方法は、塗膜の厚み方向に貫通していない欠陥形状を検出する。
【０００９】
より好ましくは、照射工程では、支持体の搬送方向に直交する方向から赤外光を照射する。
【００１０】
好ましくは、支持体は、赤外光に対して透光性を有し、塗膜形成工程では、支持体の一方主面に塗液を塗布し、撮像工程では、塗布された塗液を支持体の他方主面から撮像する。
【００１１】
この発明に従う塗布方法は、前記本発明に従う塗液観察方法を含み、塗布状態把握工程によって把握された塗布状態に応じて、塗膜形成工程における塗布設定を変更する塗布設定変更工程(S13, S21)をさらに備える。
【００１２】
好ましくは、塗膜形成工程では、塗液を塗布する塗布ヘッド(12)の吐出口(14)から支持体に向けて塗液が吐出され、塗布状態把握工程は、塗布ヘッドの吐出口の下流から塗布欠陥を検知する塗布欠陥検知工程(S15~S17)を含む。
【００１３】
より好ましくは、塗布欠陥検知工程で検知された塗布欠陥の位置を示す欠陥位置情報を記憶装置(70)に保存する保存工程(S19)がさらに備えられる。
【００１４】
この発明に従う塗液観察装置(110)は、塗液を支持体に対して連続的に塗布することにより塗膜を形成する塗膜形成装置(10)と、赤外照明から発せられる赤外光を支持体に塗布された塗液に対して照射する照射装置(34, 36)と、塗布された塗液に対する赤外光の照射によって散乱した赤外散乱光をカメラ(32)によって撮像して、赤外散乱光に基づく画像データを取得する撮像装置(30)と、撮像装置(30)により取得した画像データのコントラストに基づいて、塗布された塗液の塗布状態を把握する塗布画像処理装置(50)とを備え、塗膜形成装置は、支持体を連続的に搬送する搬送装置(16)を含み、照射装置による赤外光照射および撮像装置による撮像は、搬送装置によって支持体が連続的に搬送される状態で行われる。
【００１５】
好ましくは、塗液観察装置(110)は、塗膜の厚み方向に貫通していない欠陥形状を検出する。
【００１６】
より好ましくは、照射装置は、支持体の搬送方向に直交する方向から前記赤外光を照射する。
【００１７】
好ましくは、支持体は、赤外光に対して透光性を有し、塗膜形成装置は、支持体の一方主面に塗液を塗布し、撮像装置は、塗布された塗液を支持体の他方主面から撮像する。
【００１８】
この発明に従う塗布装置(100)は、前記本発明に従う塗液観察装置(110)を含み、撮像装置(30)により取得した画像データのコントラストに基づいて、塗布された塗液の塗布状態を把握し、塗膜形成装置(10)における最適な塗布設定を演算して制御する制御装置(120)をさらに備える。
【００１９】
好ましくは、制御装置は、撮像装置により取得した画像データのコントラストに基づいて塗液の塗布状態を把握する塗布画像処理装置(50)と、塗布画像処理装置によって把握された塗布状態に応じて、塗膜形成装置における最適な塗布設定を演算する塗布設定演算装置(60)と、を含む。
【００２０】
より好ましくは、塗膜形成装置は、支持体に塗液を塗布する塗布ヘッドを含み、塗布ヘッドは、支持体に向けて塗液を吐出する吐出口を有し、塗布画像処理装置は、塗布ヘッドの吐出口の下流から塗布欠陥を把握する欠陥画像処理装置(54)を含む。
【００２１】
さらに好ましくは、欠陥画像処理装置により把握された塗布欠陥の位置を示す欠陥位置情報を保存する記憶装置(70)がさらに備えられる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、支持体に対して塗液が連続的に塗布され、塗布された塗液に対して赤外光が照射され、塗液への照射により散乱した赤外散乱光がカメラによって撮像される。赤外散乱光に基づく電子画像には塗液表面のコントラストが現れ易いため、塗液の塗布状態を容易に検知することができる。
【００２３】
この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】この実施例の塗布装置の一例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す塗布装置が備えている制御装置について、そのハードウエア構成の一例を示すハードウエア構成図である。
【図３】塗布装置に設けられた撮像装置，照射装置および塗布ヘッドの位置関係の一例を示す図解図である。
【図４】図１に示す塗布装置の動作の一部を示すフロー図である。
【図５】（Ａ）はスラリー塗布前における塗布ヘッドの吐出口を示す図解図であり、（Ｂ）はスラリー塗布中における正常な塗布状態を示す図解図であり、（Ｃ）〜（Ｅ）はスラリー塗布中における異状な塗布状態の一例をそれぞれ示す図解図である。
【図６】他の実施例の塗布装置に設けられた撮像装置、照射装置および塗布ヘッドの位置関係の一例を示す図解図である。
【図７】その他の実施例の塗布装置に設けられた撮像装置、照射装置および塗布ヘッドの位置関係の一例を示す図解図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１は、本発明の塗布装置に係る実施例の一例を示す斜視図、図２は図１に示す塗布装置が備えている制御装置について、そのハードウエア構成の一例を示すハードウエア構成図である。図１を参照して、この実施例の塗布装置１００は、スラリーＳ（塗液）を帯状のキャリアフィルムＦ（支持体）に塗布することにより塗膜を形成する塗膜形成装置１０を含む。塗膜形成装置１０は、スラリーＳを吐出する塗布ヘッド１２と、スラリーＳを塗布ヘッド１２へ送り出す給送ポンプ（図示省略）と、により構成される。塗布ヘッド１２は、スラリーＳを吐出する吐出口１４を有する。この塗布ヘッド１２の吐出口１４をキャリアフィルムＦに近接させながら、スラリーＳを押し出すことにより塗布が行なわれる。スラリーＳとしては、例えば、セラミック粒子、バインダー樹脂、可塑剤および有機溶媒を含むセラミックスラリーが用いられる。
【００２６】
以下、キャリアフィルムＦを「フィルムＦ」と呼ぶ。また、図１において、スラリーＳが塗布される際の塗布幅方向をＸ軸方向とし、塗布ヘッド１２の吐出口１４に近接するフィルムＦが搬送される方向をＹ軸方向とし、フィルムＦに対してスラリーＳが吐出される方向をＺ軸方向とする。
【００２７】
塗膜形成装置１０は、フィルムＦを搬送するための搬送装置１６をさらに有する。搬送装置１６は、フィルムＦを供給する巻出部（図示省略）、フィルムＦを巻き取る巻取部（図示省略）、および、フィルムＦを所定のパスラインで搬送するための複数の搬送ロール１８，２０により構成される。搬送ロール１８は吐出口１４よりも上流側（Ｙ軸方向の負側）に設けられ、搬送ロール２０は吐出口１４よりも下流側（Ｙ軸方向の正側）に設けられる。フィルムＦは、搬送ロール１８，２０に案内されて、矢印Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３の向きに方向転換させられながら搬送される。それにともない、搬送ロール１８，２０は、それぞれ矢印Ｒ方向に回転させられる。
【００２８】
図３に示すように、搬送ロール１８，２０は、塗布ヘッド１２の上方（Ｚ軸方向の正側）に配置されるが、厳密には、ロール面の下端が塗布ヘッド１２の吐出口１４の先端１４ａよりも下側（Ｚ軸方向の負側）になるように配置される。フィルムＦは、吐出口１４から吐出されたスラリーＳの押し出し力により、吐出口１４の上方を浮上しながら搬送させられる。これにより、フィルムＦの一方主面（Ｚ軸方向の負側）にスラリーＳが塗布される。なお、吐出口１４の先端１４ａの形状としては、たとえば平面状、曲面状、突状などの形状が挙げられる。
【００２９】
塗布ヘッド１２およびフィルムＦの上方には、撮像装置３０および照射装置（赤外照明）３４，３６が設けられる。
【００３０】
撮像装置３０は、少なくともＣＣＤ型のカメラ３２を有する。撮像装置３０は、カメラ３２の光軸が塗布ヘッド１２の吐出口１４と重なるように配置される。これにより、フィルムＦの他方主面側（Ｚ軸方向の正側）から塗布ヘッド１２の吐出口１４およびスラリーＳを撮像し、フィルムＦに塗布されたスラリーＳ（塗液）の状態を観察する。
【００３１】
照射装置３４，３６は、塗布ヘッド１２の吐出口１４を含む領域に、赤外光（波長：０．７μｍ〜１ｍｍ）を照射する。照射装置３４，３６は、図１に示すようにＸ軸方向に並んで配置されていてもよいし、図３に示すようにＹ軸方向に並んで配置されていてもよい。照射装置３４、３６は、撮像装置３０に対して、赤外光の直接光（透過光を含む）および反射光を入射させないように配置するのが好ましい。ただし、撮像装置３０にて撮像した画像データから、赤外散乱光による画像を分離して取得できるのであれば、その限りでない。
【００３２】
フィルムＦは、赤外光に対して透光性を有するものが用いられる。そのため、照射された赤外光はフィルムＦを透過し、スラリーＳに照射される。照射された赤外光はスラリーＳによって散乱し、赤外散乱光となる。この赤外散乱光が、撮像装置３０によって撮像される。撮像装置３０からは、赤外散乱光に基づく画像データが出力される。赤外散乱光に基づく画像データには、フィルムＦに塗布されたスラリーＳのコントラストが現れ易い。これによって、塗布異状の検知が容易になる。
【００３３】
なお、撮像装置３０および照射装置３４，３６は、図１に示す一軸ロボット３８によりＸ軸方向に移動可能である。Ｘ軸方向に移動可能であることにより、スラリーＳの塗布幅全域を撮像できる。また、撮像装置３０は、一軸ロボット４０によりＺ軸方向に移動可能である。Ｚ軸方向に移動可能であることにより、スラリーＳを撮像するための焦点合わせが容易となる。
【００３４】
カメラ３２によって捉えられたシーンを表す画像データは、制御装置１２０（図２参照）に与えられる。図２に示すように、本例における制御装置１２０は、塗布画像処理装置５０、塗布設定演算装置６０、および記憶装置（メモリ）７０から構成されている。塗布画像処理装置５０は、液溜り画像処理装置５２および欠陥画像処理装置５４を含んでいる。制御装置１２０は、塗布装置１００の制御のために図４に示すフローチャートに従う処理を実行する。
【００３５】
まずステップＳ１で照射装置３４，３６の赤外照明をオンし、ステップＳ３で搬送装置１６によりフィルムＦの搬送を開始し、ステップＳ５で塗膜形成装置１０により塗布を開始する。
【００３６】
図５（Ａ）〜図５（Ｅ）に、塗布ヘッド１２の吐出口１４およびスラリーＳの塗布状態を撮像した際の図解図を示す。フィルムＦは赤外光に対して透光性を有するため、スラリー塗布前は、吐出口１４をフィルムＦ越しに視認できる。スラリー塗布中は、吐出口１４近傍のスラリーＳの塗布状態をフィルムＦ越しに視認できる。なお、図５（Ａ）はスラリー塗布前における塗布ヘッド１２の吐出口１４を示す図解図であり、図５（Ｂ）はスラリー塗布中における正常な塗布状態を示す図解図であり、図５（Ｃ）〜図５（Ｅ）はスラリー塗布中における異状な塗布状態の一例をそれぞれ示す図解図である。
【００３７】
ステップＳ７では、撮像装置３０のカメラ３２からの画像データを取得する。カメラ３２からの画像データは塗布画像処理装置５０により処理される。塗布画像処理装置５０は、液溜り画像処理装置５２および欠陥画像処理装置５４を含み、画像データに異状な塗布状態（たとえば液溜りの形状線が適正な位置を超えている状態や塗布欠陥がある状態）がないかを把握する。具体的には以下に示すステップにより処理が実行される。
【００３８】
ステップＳ９では、液溜り画像処理装置５２により、吐出口１４近傍における液溜り（メニスカス）に関する画像を把握する。そして、ステップＳ１１では、液溜りの形状線が適正な位置にあるか否かをステップＳ９の把握結果に基づいて判別する。スラリーＳの供給量が多すぎるとき、液溜りの形状は、図５（Ｃ）の“ＰＬ”で示すような状態となり、吐出口１４からスラリーＳの液漏れが発生しやすくなる。液溜りの形状線に関する判別結果がＹＥＳ（適正）であればそのままステップＳ１５に進み、判別結果がＮＯであればステップＳ１３に進む。
【００３９】
ステップＳ１３では、塗布設定演算装置により、塗膜形成装置１０による適切なスラリーＳの供給量を演算して変更する。液溜りの形状線が適正な位置を超えているときには、スラリーＳの供給量を少なく設定変更すればよい。また、スラリーＳの供給量の変更に加えて、フィルムＦのテンションや、吐出口１４に対する搬送ロール１８，２０の距離を変更してもよい。これらの塗布設定の変更を経た上で、ステップＳ１５に進む。
【００４０】
ステップＳ１５では、欠陥画像処理装置５４により、吐出口１４の下流における塗布欠陥（スジまたは気泡）に関する画像を把握する。ステップＳ１７では、塗布欠陥が発生しているか否かをステップＳ１５の把握結果に基づいて判別する。スジは、スラリーＳの一部が凝固したり、吐出口１４の内部や表面に異物が混入または付着したときに、図５（Ｄ）に“ＬＮ”で示す状態で発生する。また、気泡は、供給途中のスラリーＳに空気が混入したときに、図５（Ｅ）に“ＢＢＬ”で示す状態で発生する。塗布欠陥の判別結果がＮＯであればステップＳ７に戻る一方、判別結果がＹＥＳであればステップＳ１９に進む。
【００４１】
ステップＳ１９では、塗布欠陥の発生した位置を検出し、検出された位置を示す欠陥位置情報を記憶装置（メモリ）７０に保存する。欠陥位置情報は、例えばフィルムＦの基準位置から塗布欠陥の発生した位置までの相対距離として記憶される。
【００４２】
ステップＳ２１では、塗布設定演算装置により、塗膜形成装置１０（搬送装置１６を含む）における適切な塗布設定を演算する。塗布欠陥を解消するには、フィルムＦのテンションを繰り返し変更したり、吐出口１４に対する搬送ロール１８，２０の距離を繰り返し変更すればよい。ステップＳ２１の処理が完了すると、ステップＳ７に戻る。
【００４３】
以上の説明から分かるように、塗布ヘッド１２の吐出口１４から吐出されるスラリーＳは、搬送ロール１８、２０によって搬送されるフィルムＦの一方主面に連続的に塗布される(S3~S5、塗膜形成工程)。一方、照射装置３４、３６から発せられる赤外光は、フィルムＦに塗布されたスラリーＳに向けて、フィルムＦの他方主面側から照射される(S1、照射工程)。照射された赤外光はスラリーＳによって散乱されて赤外散乱光となり、この赤外散乱光がカメラ３２によって撮像される(S7、撮像工程)。
【００４４】
スラリーＳの塗布状態は、カメラ３２から出力された画像データに基づいて観察される(S9~S11, S15~S17、塗布状態把握工程)。スラリーＳの供給量やフィルムＦのテンションなどの塗布設定は、観察された塗布状態に応じて変更される(S13, S21、塗布設定変更工程)。
【００４５】
なお、塗布状態把握工程では、詳しくは、塗布ヘッド１２の吐出口１４近傍から液溜りが検知され(S9~S11、液溜り検知工程)、塗布ヘッド１２の吐出口１４下流から塗布欠陥が検知される(S15~S17、塗布欠陥検知工程)。また、塗布欠陥検知工程で検知された塗布欠陥の位置を示す欠陥位置情報は、メモリ７０に保存される(S19、保存工程)。
【００４６】
ステップＳ１〜Ｓ２１で示したように、スラリーＳはフィルムＦの一方主面に連続的に塗布され、赤外光がスラリーＳに向けて照射され、照射された赤外光がスラリーＳによって散乱されて、赤外散乱光がカメラ３２によって撮像される。赤外散乱光に基づく画像データには塗液表面のコントラストが現れ易いため、塗液の塗布状態を容易に検知することができる。特に、赤外散乱光は、スジや気泡などのように、塗膜の厚み方向に貫通していないような欠陥形状を検出するのに適している。また、観察対象である塗液としては、スラリーＳのように粒子を含んでいる液体のほうが赤外光が散乱しやすく、塗布状態をより鮮明に把握できる。
【００４７】
また、把握された塗布状態に応じて塗布設定を変更することで、液溜りの形状線を適正な位置に戻し、また、塗布欠陥を速やかに解消することができる。さらに、塗布欠陥の位置を示す欠陥位置情報をメモリ７０に保存することで、スラリーＳが塗布されたフィルムＦを次の作業工程に移すときに、塗布欠陥の位置を容易に特定することができる。これにより、次の作業工程で、欠陥位置に相当する部分を確実に除去することができる。
【００４８】
なお、この実施例では、フィルムＦの下面（一方主面）にスラリーＳを塗布することを想定している。しかし、観察対象を塗布ヘッド１２の吐出口１４下流に発生する塗布欠陥（スジまたは気泡）に限定するのであれば、スラリーＳをフィルムＦの上面（他方主面）に塗布するようにしてもよい。
【００４９】
ここで、塗布ヘッド１２の下流から上流に向けて赤外光を照射する場合、照射装置３６は図６に示すように配置される。
【００５０】
また、フィルムＦの幅方向における一方端から他方端に向けて（フィルムＦの搬送方向と直交する方向に）赤外光を照射する場合、照射装置３６は図７に示すように配置される。なお、図７に示す要領で照射装置３６を配置すると、スジなどの搬送方向に連続的に発生する塗布欠陥に対して陰影がつきやすく、このような塗布欠陥を容易に把握することができる。
【００５１】
なお、上述の実施例では、スラリーＳを塗布ヘッド（ダイヘッド）１２によって塗布するようにしているが、これに代えてブレード，エア，ナイフ，グラビアまたはオフセットグラビアによってスラリーＳを塗布するようにしてもよい。
【００５２】
また、上述の実施例では、樹脂製のフィルムＦにスラリーＳを塗布するようにしているが、赤外光に対して透光性を有するものであれば、塗布対象の材質は問わず、形状もまた板状やロール状であってもよい。さらに、上述の実施例では、塗液としてスラリーＳを用いているが、赤外光を散乱させるものであれば、塗液の種類は限られない。
【００５３】
さらにまた、この実施例では、塗膜形成工程と撮像工程とを並列的に実行することを前提として、カメラ３２と照射装置３４，３６と塗布ヘッド１２とを固定しつつ、フィルムＦを移動させる。しかし、フィルムＦを固定しつつカメラ３２と照射装置３４，３６と塗布ヘッド１２とを移動させるようにしてもよい。
【００５４】
また、撮像工程は塗膜形成工程とは別の時期に実行するようにしてもよい。この場合、塗膜形成工程では塗布ヘッド１２とフィルムＦとが相対移動し、撮像工程ではカメラ３２および照射装置３４，３６とフィルムＦとが相対移動する。
【符号の説明】
【００５５】
１００  …塗布装置
１１０  …塗液観察装置
１０  …塗膜形成装置
１２  …塗布ヘッド
１４  …吐出口
１４ａ  …吐出口の先端
１６  …搬送装置
１８，２０  …搬送ロール
３０  …撮像装置
３２  …カメラ
３４，３６  …照射装置（赤外照明）
３８，４０  …一軸ロボット
１２０  …  制御装置
５０  …  塗布画像処理装置
５２  …  液溜り画像処理装置
５４  …  欠陥画像処理装置
６０  …  塗布設定演算装置
７０  …記憶装置（メモリ）
Ｓ  …スラリー（塗液）
Ｆ  …キャリアフィルム（支持体）
【図１】
0006020829.tif 000002
【図２】
0006020829.tif 000003
【図３】
0006020829.tif 000004
【図４】
0006020829.tif 000005
【図５】
0006020829.tif 000006
【図６】
0006020829.tif 000007
【図７】
0006020829.tif 000008