(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を高温にして電気特性を測定する電気特性テスト装置であって、
電子部品の環状の搬送経路を形成する回転型の搬送手段と、
前記搬送経路の直下に設置され、電子部品の電気特性を測定する測定手段と、
前記搬送経路の直下に配置され、電子部品に対する処理を施す処理手段と、
を備え、
前記搬送手段は、
円周方向に回転する回転テーブルと、
前記回転テーブルの外周に沿って設けられ、電子部品を保持する複数の保持手段と、
前記保持手段と前記回転テーブルとの間に介在して、前記保持手段を移動自在にするガイドと、
前記回転テーブルによって直下に移動してきた前記保持手段を押圧し、前記保持手段を前記測定手段及び前記処理手段へ向けて前記ガイドに沿って移動させる進退駆動手段と、
前記進退駆動手段に設けられ、前記進退駆動手段に接触した前記保持手段を加熱する保持手段用ヒータと、
を有すること、
を特徴とする電気特性テスト装置。
【請求項２】
前記搬送手段は、
前記回転テーブルと前記保持手段とを繋ぎ、一部が相対的に小断面積となった連結手段を更に備えること、
を特徴とする請求項１記載の電気特性テスト装置。
【請求項３】
前記連結手段は、
前記回転テーブルと前記保持手段との間に、少なくとも１本以上のバーを有し、
前記バーを含み、前記回転テーブルと前記保持手段を繋ぐこと、
を特徴とする請求項２記載の電気特性テスト装置。
【請求項４】
前記連結手段は、
前記保持手段と前記ガイドとの間に配置され、
前記保持手段と共に移動すること、
を特徴とする請求項２又は３記載の電気特性テスト装置。
【請求項５】
前記保持手段と前記ガイドとの間に前記保持手段と一対一で設けられ、対応の前記保持手段と前記回転テーブル側とを遮断する内側隔壁板を更に備え、
前記内側隔壁板は、前記保持手段と共に移動すること、
を特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の電気特性テスト装置。
【請求項６】
前記搬送手段を外側から覆う円状の外側隔壁板を更に備え、
前記保持手段は、前記回転テーブルの外周囲に複数設けられ、
前記複数の保持手段の前記内側隔壁板と前記外側隔壁板とにより前記保持手段に対するドーナツ状のチャンバが形成されること、
を特徴とする請求項５記載の電気特性テスト装置。
【請求項７】
前記保持手段と前記回転テーブルとの間に断熱材を更に備えること、
を特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の電気特性テスト装置。
【請求項８】
前記断熱材は、
前記保持手段と前記ガイドとの間に配置され、
前記保持手段と共に移動すること、
を特徴とする請求項７記載の電気特性テスト装置。
【請求項９】
前記搬送手段による電子部品の搬送前に電子部品を予め加熱する電子部品用ヒータを備えること、
を特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の電気特性テスト装置。
【請求項１０】
前記搬送手段に電子部品を供給する供給手段を備え、
前記電子部品用ヒータは、前記供給手段が有すること、
を特徴とする請求項９記載の電気特性テスト装置。
【請求項１１】
前記測定手段又は前記処理手段の少なくとも一方に電子部品を加熱する第２の電子部品用ヒータを備えること、
を特徴とする請求項９又は１０記載の電気特性テスト装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の高温環境下での電気特性を測定する電気特性テスト装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品は、その製造工程の後工程で電気特性が測定され、その良否が判断される。その判断結果は、例えば電子部品の出荷適否に利用される。電気特性の測定では、電子部品に対して端子を介して電流注入、電圧印加又はロジック信号を入力し、電子部品の電圧、電流、抵抗、周波数、又は出力信号の内容等が測定される。
【０００３】
電気特性の測定は常温環境下に限らない。百数十度といった高温環境下においても、電気特性を測定する場合がある。電子部品の電気特性は、環境温度によって大きく変わり得るためである。高温環境下での電子部品の電気特性は、チャンバ内等の実際に高温空間に電子部品を置いて測定される場合もあるし、電子部品を高温に加熱し、高温環境下に置かれた電子部品を模擬した温度を電子部品に与えて測定される場合もある。
【０００４】
この高温環境下を模擬した温度を電子部品に与えた上でなされる電気特性の測定は、一般的に、電子部品のテストユニットへの搬送と当該搬送中の加熱を含む工程を有する。例えば、水平搬送型ハンドラや自重落下型ハンドラと呼ばれる電気特性テスト装置によって高温環境下に対応する温度を電子部品に与えて電気特性が測定されてきた。
【０００５】
水平搬送型ハンドラは、２点間を往復する供給ロボット、回収ロボット、第１シャトル、第２シャトル、コンベア等の多数の搬送機を備え、これら搬送機を乗り換えながら、装置内の各所を巡り、各所で処理を行う装置である（例えば特許文献1参照）。電子部品が連続的に整列して搬送されるわけではなく、また搬送機の乗り換えが必要なため、パワーデバイスの待機時間が存在し、搬送速度には限界がある。但し、搬送速度が遅い分十分な加熱時間を確保できるため、電子部品を精度よく所望温度に加熱することが可能となり、高温環境下での電気特性の測定に優れている。
【０００６】
自重落下型のハンドラは、上流側シュートや下流側シュート等の傾斜を有する直線経路をシャトル等を介しながら連接させ、その直線経路の入口と出口に高低差を設けることで、電子部品を直線経路内で自重落下させて下方に存在するテスターに移動させる（例えば特許文献２参照）。自重落下型のハンドラは、電子部品の搬送速度が傾斜角に拘束されてしまうが、直線経路を長く採れるので、その経路内での長い加熱時間の確保が可能であり、高温環境下での電気特性の測定に優れている。
【０００７】
一方、電子部品一般にまで分野を拡げると、電気特性テスト装置としては、回転型の搬送ユニットを備えた電気特性テスト装置も多用されている（例えば、特許文献３参照）。回転型の搬送ユニットは、ターレット型ハンドラとも呼ばれ、円盤状又は星型の水平盤の外周に電子部品を保持する吸着ノズル等の保持手段を円周等配位置に取り付け、この水平盤を円周方向に回転させることで、水平盤の外周に電子部品の搬送経路を形成する。
【０００８】
この回転型の搬送ユニットを用いた電気特性テスト装置は、搬送経路でのハンドラの動作のほとんどが一方向への間欠回転であるため、駆動機構が比較的単純である。従って、その単純さから、水平搬送型や自重落下型のハンドラ等と比べて、この電気特性テスト装置は、モータの出力次第で、搬送の信頼性を担保したまま、大量の電子部品を同時に高速で搬送できるという大量部品高速搬送のメリットが存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００９−１０３５５０号公報
【特許文献２】特開２００７−１７８４１９号公報
【特許文献３】特開２０１０−１３３７１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、回転型の搬送ユニットを有する電気特性テスト装置では、高速搬送能力は、電子部品を所望温度に到達させる加熱時間の確保を困難にする。一方、当該加熱時間を確保しようとすれば、回転型の搬送ユニットを有する電気特性テスト装置の大量高速搬送能力を低下させてしまい、この電気特性テスト装置をあえて利用する意義を失ってしまう。
【００１１】
そこで、回転型の搬送ユニットに電子部品を供給する前に、電子部品を所望温度に加熱することが考えられる。例えば、搬送ユニットの前段である供給ユニットにヒータを組み込んだり、搬送ユニットと供給ユニットとの間にヒータを備える装置を介在させることが考えられる。
【００１２】
この場合、搬送ユニットが形成する搬送経路上に配置される電気特性のテストユニットと電子部品を加熱する箇所との間に距離が生じてしまい、その距離を電子部品が移動する間に、電子部品から各種要因で熱が放出され、テストユニットに電子部品が到達したときには、電子部品の温度が所望温度からズレてしまう虞があった。特に、電子部品は、搬送ユニットにおいて吸着チャック等の保持手段に保持されている。この保持手段と電子部品との間に温度差があれば、電子品から保持手段へ熱流出が発生してしまい、電子部品の温度低下の要因となる。
【００１３】
本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、回転型の搬送手段を利用した電気特性テスト装置において、高速搬送能力を維持したまま、電子部品を所望の温度にまで加熱した状態で電気特性を測定することのできる電気特性テスト装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る電気特性テスト装置は、電子部品を高温にして電気特性を測定する電気特性テスト装置であって、電子部品を高温にして電気特性を測定する電気特性テスト装置であって、電子部品の環状の搬送経路を形成する回転型の搬送手段と、前記搬送経路の直下に設置され、電子部品の電気特性を測定する測定手段と、前記搬送経路の直下に配置され、電子部品に対する処理を施す処理手段と、を備え、前記搬送手段は、円周方向に回転する回転テーブルと、前記回転テーブルの外周に沿って設けられ、電子部品を保持する複数の保持手段と、前記保持手段と前記回転テーブルとの間に介在して、前記保持手段を移動自在とするガイドと、前記回転テーブルによって直下に移動してきた前記保持手段を押圧し、前記保持手段を前記測定手段及び前記処理手段へ向けて前記ガイドに沿って移動させる進退駆動手段と、前記進退駆動手段に設けられ、前記進退駆動手段に接触した前記保持手段を加熱する保持手段用ヒータと、を有すること、を特徴とする。
【００１５】
前記搬送手段は、前記回転テーブルと前記保持手段とを繋ぎ、一部が相対的に小断面積となった連結手段を更に備えるようにしてもよい。
【００１６】
前記連結手段は、前記回転テーブルと前記保持手段との間に、少なくとも１本以上のバーを有し、前記バーを含み、前記回転テーブルと前記保持手段を繋ぐようにしてもよい。
【００１７】
前記連結手段は、前記保持手段と前記ガイドとの間に配置され、前記保持手段と共に移動するようにしてもよい。
【００１８】
前記保持手段と前記ガイドとの間に前記保持手段と一対一で設けられ、対応の前記保持手段と前記回転テーブル側とを遮断する内側隔壁板を更に備え、前記内側隔壁板は、前記保持手段と共に移動するようにしてもよい。
【００１９】
前記搬送手段を外側から覆う円状の外側隔壁板を更に備え、前記保持手段は、前記回転テーブルの外周囲に複数設けられ、前記複数の保持手段の前記内側隔壁板と前記外側隔壁板とにより前記保持手段に対するドーナツ状のチャンバが形成されるようにしてもよい。
【００２０】
前記保持手段と前記回転テーブルとの間に断熱材を更に備えるようにしてもよい。
【００２１】
前記断熱材は、前記保持手段と前記ガイドとの間に配置され、前記保持手段と共に移動するようにしてもよい。
【００２２】
前記搬送手段による電子部品の搬送前に電子部品を予め加熱する電子部品用ヒータを備えるようにしてもよい。
【００２３】
前記搬送手段に電子部品を供給する供給手段を備え、前記電子部品用ヒータは、前記供給手段が有するようにしてもよい。
【００２４】
前記測定手段又は前記処理手段の少なくとも一方に電子部品を加熱する第２の電子部品用ヒータを備えるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、電子部品と接触する保持手段を高温環境下の温度に合わせて加熱することができ、電子部品から保持手段への熱流出が抑制される。そのため、高温環境下での電気特性の測定の精度が高まる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】電気特性テスト装置の全体構成を示す上面図である。
【図２】電子部品を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図３】チューブを示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図４】供給ユニットの構成を示す側面図である。
【図５】加熱シフトトレイを示す構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図６】搬送ユニットの全体構成を示す斜視図である。
【図７】（ａ）は進退駆動装置の上端側の正面図、（ｂ）は吸着チャック、アーム及び進退駆動装置の構成を示す側面図である。
【図８】吸着チャック及びアームの概略構成を示す上面図である。
【図９】９０度回転ユニットの構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はカバーを外した状態の側面図である。
【図１０】テストユニットの要部構成を示す側面図である。
【図１１】収容ユニットの構成を示す側面図である。
【図１２】分類ユニットの構成を示す上面図である。
【図１３】加熱ユニットのプレートのシフトを示す遷移図である。
【図１４】９０度回転ユニットによる電子部品の回転を示す模式図である。
【図１５】進退駆動装置による吸着チャックの加熱を示す図であり、（ａ）は進退駆動装置の上端側の正面図、（ｂ）は吸着チャック、アーム及び進退駆動装置の構成を示す側面図である。
【図１６】吸着チャックを起点とした熱の流出及び流入を示す概念図である。
【図１７】吸着チャックと共に連れ動く内側隔壁板の状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
（本実施形態）
（全体構成）
以下、本実施形態に係る電気特性テスト装置１について、図面を参照しつつ詳細に説明する。図１に示す電気特性テスト装置１は、高温環境下で電子部品Ｄ（図２参照）の電気特性を検査する。この電気特性テスト装置１は電子部品Ｄを搬送する搬送ユニット３を備える。搬送ユニット３は、其の外周囲に環状の搬送経路１ａを形成している。電子部品Ｄを搬送経路１ａに供給する供給ユニット４と、良品の電気部品Ｄを収容する収容ユニット８が、搬送ユニット３の外周囲に沿って離間して備えられ、搬送経路１ａ上に位置する。
【００２８】
電気特性を測定するテストユニット２、電子部品Ｄの向きを変更する９０度回転ユニット５、及び良品以外の電子部品Ｄを分別収納する分類ユニット６が、搬送ユニット３の外周囲に沿って、供給ユニット４と収容ユニット８とを結ぶ搬送経路１ａ内に備えられる。本実施形態では、４台のテストユニット２が連続配置される。９０度回転ユニット５は、テストユニット２の群を搬送方向上流及び下流から挟むように分配され、分類ユニット６は、搬送方向下流側の９０度回転ユニット５と収容ユニット８との間に配置される。
【００２９】
この電気特性テスト装置１は、供給ユニット４により電子部品Ｄを搬送経路１ａに供給し、搬送ユニット３により電子部品Ｄを搬送経路１ａに沿って移動させ、搬送経路１ａ上のテストユニット２で電気特性を測定する。搬送経路１ａ上では、９０度回転ユニット５により電子部品Ｄを処理に適した向きに変更する。電気特性の測定終了後、収容ユニット８により、電気特性等の結果として良品となった電子部品Ｄを搬送経路１ａから離脱させてチューブ１０（図３参照）等に収納し、又は分類ユニット６により、良品以外となった電子部品を搬送経路１ａから離脱させて良品の程度に応じて分類及び収納する。
【００３０】
この電気特性テスト装置１は、高温環境下での電子部品Ｄを模擬すべく、テストユニット２への到達前の供給の過程、搬送経路１ａ内での向き変更等の電気特性テスト以外の他処理の過程、及びテストユニット２による電気特性テストの過程で電子部品Ｄを随時加熱し、電子部品Ｄを１５０℃等の所望の温度に調整する。供給ユニット４、テストユニット２及び９０度回転ユニット５は加熱手段を兼ねている。供給ユニット４、テストユニット２及び９０度回転ユニット５は、電子部品Ｄに対する予備加熱、本加熱、保温、又は所望温度への最終調整等の何れかの役割を分担する。尚、役割が重複していても良いし、予備加熱、本加熱、保温及び所望温度への最終調整の全てが必須ではない。
【００３１】
搬送ユニット３は、電子部品Ｄの搬送手段であり、電子部品Ｄを保持して搬送経路１ａを移動する吸着チャック３１を備える。吸着チャック３１は、搬送中に電子部品Ｄと接触する。電気特性テスト装置１は、吸着チャック３１と電子部品Ｄとの温度勾配を小さくして、電子部品Ｄから吸着チャック３１への熱流出を抑制すべく、吸着チャック３１を随時加熱し、また吸着チャック３１から冷却を抑制して、電気特性の測定温度に吸着チャック３１を維持している。
【００３２】
すなわち、電気特性テスト装置１は、吸着チャック３１の保温手段としてドーナツ状のチャンバ７を備えている。吸着チャック３１はドーナツ状のチャンバ７で囲まれている。ドーナツ状のチャンバ７は、搬送ユニット３を外側から全周囲包囲する外側隔壁板７１と、吸着チャック３１よりも搬送ユニット３の内周側に位置する内側隔壁板７２とが対向して構成される。
【００３３】
図７に示すように、各ユニット２、４、５、６及び８と電子部品Ｄを授受するために、吸着チャック３１を押し込んで各ユニット２、４、５、６及び８へ送る進退駆動装置３４を備えている。進退駆動装置３４はヒータ３４５を備え、押し込み時に吸着チャック３１を加熱する。更に、搬送ユニット３は吸着チャック３１から熱流出し難いように、吸着チャック３１との連接箇所に低熱伝導率の断熱部３３４と伝熱面積の小さい連結部３３５を備える。
【００３４】
この電気特性テスト装置１は、例えば図２に示す電子部品Ｄの電気特性を検査する。この電子部品Ｄは、所謂ＳＩＰ（Ｓｉｎｇｌｅ  Ｉｎ−ｌｉｎｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）であり、概略直方体で、種類によっては一側面に偏ってリード端子Ｄ１が引出されている。この電子部品Ｄは、例えばパワーデバイスである。パワーデバイスは、パワートランジスタ、パワーＭＯＳＦＥＴ、整流ダイオード等の大電力を取り扱う半導体素子である。電子部品Ｄは、図３に示すチューブ１０に梱包されている。チューブ１０は、細長い筒形状を有し、少なくとも一端が開口１０ａを有し、長手方向に電子部品Ｄを一列に整列させて収容する。各電子部品Ｄは、リード端子Ｄ１がチューブ１０の長手方向と直交して収容される。
【００３５】
（供給ユニット）
このような電気特性テスト装置１の各構成を詳述する。まず、図４に示す供給ユニット４は、チューブ１０から電子部品Ｄを取り出して搬送ユニット３に供給する。この供給ユニット４は、チューブエレベータ４１、取出機構４２、加熱シフトトレイ４３、バッファシュート４４及びターナー機構４５を一列に連設している。チューブエレベータ４１は、チューブ１０のコンテナであり、コンテナ内のチューブ１０を上昇させ、上部から取出機構４２へ１本ずつチューブ１０を排出する。
【００３６】
取出機構４２は、チューブ１０を一本ずつ振り上げて開口１０ａが下端となるように傾斜させることで、電子部品Ｄをチューブ１０の外へ滑落させる。加熱シフトトレイ４３は、滑落した電子部品Ｄを受け止め、１本のチューブ１０につき１列ずつ複数列に整列させ、整列中に加熱しつつ、加熱終了の電子部品Ｄを１列ずつバッファシュート４４に滑落させる。バッファシュート４４は、加熱シフトトレイ４３から滑落した１列の電子部品Ｄを受け止めて一時的に貯留し、１個ずつターナー機構４５へ渡す。ターナー機構４５は、バッファシュート４４から電子部品Ｄを１個ずつ拾い上げて搬送ユニット３に渡す。
【００３７】
加熱シフトトレイ４３の一例を図５に示す。加熱シフトトレイ４３は、複数列のレーン４３１が平行に並設されたプレート４３２を有する。プレート４３２はヒータ４３３で加熱される。プレート４３２はヒータ４３３の熱をレーン４３１に並ぶ電子部品Ｄに伝熱する。ヒータ４３３は、プレート４３２の底面に設置される。プレート４３２は、レーン４３１に並ぶ電子部品Ｄに伝熱容易なアルミニウム、銅、真鍮等の金属等の熱伝導部材で構成される。
【００３８】
各レーン４３１は、振り上げられたチューブ１０と平行である。レーン４３１は、電子部品Ｄの大きさに合わせて幅調整される。レーン４３１の並列数は、供給ユニット４により所望される加熱時間によって調整される。この加熱シフトトレイ４３は、レーン４３１との直交方向にプレート４３２をシフトするシフト機構４３４を備える。各レーン４３１は、シフト機構４３４により取出機構４２に順次合致し、電子部品Ｄをチューブ１０から受け取る。また、各レーン４３１は、搬送ユニット３の入口に繋がるバッファシュート４４に順次合致し、ヒータ４３３により加熱済みの電子部品Ｄをバッファシュート４４に放出する。
【００３９】
（搬送ユニット）
図６乃至８は、搬送ユニット３を示す図である。図６乃至８に示すように、搬送ユニット３は、回転テーブル３２をベースとしてアーム３３を介して吸着チャック３１を円周等配位置に固定する。また搬送ユニット３は、回転テーブル３２の中心から吸着チャック３１までの半径を有する円と同心円上の複数角度位置に、ヒータ３４５が組み込まれ、位置不動の進退駆動装置３４を備える。アーム３３にはドーナツ状のチャンバ７の片側である内側隔壁板７２が嵌め込まれている。アーム３３は、回転テーブル３２の外縁から吸着チャック３１に至るまでにかけて、固定アーム３３１と昇降ガイド３３２と昇降アーム３３３を連接して成る。昇降アーム３３３は、断熱部３３４と連結部３３５を備えている。
【００４０】
図６に示すように、回転テーブル３２は、円盤形状を有する。回転テーブル３２は、円中心でダイレクトドライブモータ（不図示）に軸支され、円周方向に間欠回転する。吸着チャック３１は、回転テーブル３２の外周囲に円周等配位置で昇降可能に固定される。吸着チャック３１は、回転テーブル３２が拡がる平面と垂直に延び、回転テーブル３２から下方へ垂れ下がっている。
【００４１】
吸着チャック３１は、内部が中空で下端が開口している。この下端の開口が電子部品Ｄを吸引する吸着面３１ａである。中空内部は、コンプレッサから続く空気圧回路（不図示）の入口３２ａとチューブ（不図示）で連通している。負圧が発生している空気圧回路と入口３２ａとが連通すると、吸着チャック３１にも負圧が発生する。吸着チャック３１は、吸着面３１ａで電子部品Ｄを吸着し、空気圧回路と入口３２ａとが断絶すると、吸着チャック３１には真空破壊、大気解放又は正圧発生が生じ、電子部品Ｄを吸着面３１ａから離脱させる。
【００４２】
アーム３３は、回転テーブル３２の円周縁より外側で吸着チャック３１を支持する延長フレームである。吸着チャック３１は回転テーブル３２にアーム３３を介して取り付けられている。アーム３３は、回転テーブル３２の円中心から半径方向に沿って放射状に延び、回転テーブル３２の外周縁から突出している。各アーム３３は、同一長分だけ回転テーブル３２から突出する。隣接するアーム３３の成す角度は、回転テーブル３２の１ピッチ当たりの回転角度と同一である。従って、各吸着チャック３１は、同一軌跡を辿り、同一ポジションに停止する。供給ユニット４、テストユニット２、９０度回転ユニット５、分類ユニット６及び収容ユニット８は、この停止位置の何れかのポジションに配置される。
【００４３】
図６及び図８に示すように、内側隔壁板７２はアーム３３に嵌め込まれている。内側隔壁板７２は、吸着チャック３１と一対一で対応し、対応の吸着チャック３１への放射熱を搬送ユニット３の内周側から遮断する。この内側隔壁板７２は、ステンレス製等の板である。内側隔壁板７２は、吸着チャック３１の下端近傍から上端近傍まで延びた高さを有する。望ましくは、内側隔壁板７２は、吸着チャック３１の下端以下を最下端とし、吸着チャック３１の上端以上を最上端とする。少なくとも吸着チャック３１を概略覆うことができればよい。
【００４４】
対応の吸着チャック３１を中心に拡がる内側隔壁板７２の両翼は、隣接アーム間の半分以上の長さを有し、隣り合う内側隔壁板７２は互いに端が重複する。内側隔壁板７２の両翼端部は、搬送ユニット３の中心側へ湾曲又は折れ曲がっている。内側隔壁板７２全体が搬送ユニット３の曲面に合わせて湾曲していてもよい。
【００４５】
図７に示すように、アーム３３は、回転テーブル３２側から吸着チャック３１にかけて、固定アーム３３１と昇降ガイド３３２と昇降アーム３３３とが一列に連接して構成される。固定アーム３３１は、回転テーブル３２に対する固定具であり、回転テーブル３２と相対的な高さは不変である。昇降ガイド３３２は、昇降アーム３３３を上下にスライドさせることで、昇降アーム３３３に取り付けられた内側隔壁板７２と吸着チャック３１を上下にスライドさせる。昇降アーム３３３は、吸着チャック３１にかけて断熱部３３４と連結部３３５とを連接して構成され、先端の連結部３３５で吸着チャック３１を支持している。
【００４６】
昇降ガイド３３２は、回転テーブル３２の拡がり平面と直交するレールと、レールを摺動可能に把持するスライダを備えている。昇降アーム３３３は、Ｌ字状に屈曲しており、回転テーブル３２の拡がり平面と直交する片腕の背面がスライダに固定されている。そして、Ｌ字状の他の腕が更に回転テーブル３２の半径方向外方へ延びている。吸着チャック３１は、昇降アーム３３３の他の腕の先端に固定されている。内側隔壁板７２は昇降アーム３３３に嵌め込まれている。そのため、吸着チャック３１は、昇降ガイド３３２によって下方のユニット２、４、５及び８に向けて昇降可能となっている。内側隔壁板７２は、昇降ガイド３３３によって吸着チャック３１と共に昇降し、吸着チャック３１と相対的な高さ不変となる。
【００４７】
断熱部３３４は、アーム３３の他所と比べて熱伝導率の低い素材により構成され、吸着チャック３１から回転テーブル３２側へのアーム３３を通じた伝熱経路を遮断する。断熱部３３４は、例えばウレタン等の樹脂である。尚、昇降アーム３３３の全てが断熱部であっても、Ｌ字状の他の腕の先端側一部分が断熱部３３４であってもよい。連結部３３５は、吸着チャック３１を支持する。この連結部３３５は、吸着チャック３１から回転テーブル３２側への伝熱面積を絞っている。すなわち、この連結部３３５の断面積は、アーム３３の他所よりも小さい。例えば、連結部３３５はバーである。昇降アーム３３３の先端面から当該先端面の面積よりも合計断面積が小さい複数本のバーが連結部３３５として突出し、このバーの先端に吸着チャック３１が固定される。実施形態では、連結部３３５は２行×２列の４本の平行なバーである。
【００４８】
進退駆動装置３４は、ユニット２、４、５、６及び８が配置されたポジションに配置され、図７に示すように、これらポジションに位置した吸着チャック３１の直上に位置する。進退駆動装置３４は、昇降ガイド３３２により昇降自在な吸着チャック３１をユニット２、４、５、６及び８側に押し込む。この進退駆動装置３４は、回転モータ３４１の軸に円筒のカム３４２を嵌め込み、カム３４２の円周面にロッド３４３の上端を当接させて成る。
【００４９】
円筒のカム３４２は、円周面の一部が滑らかな山状に膨出し、円周面に小径範囲３４２ａと大径範囲３４２ｂを連続的に繋げて成る。大径範囲３４２ｂは、小径範囲３４２ａから最大径まで滑らかに拡径している。ロッド３４３の下端は、ユニット２、４、５、６及び８が配置されたポジションに停止した吸着チャック３１の頭部３１ａと対面する。小径範囲３４２ａと大径範囲３４２ｂの最大径箇所との標高差は、ロッド３４３が小径範囲３４２ａを従動しているときのロッド３４３の下端と吸着チャック３１の頭部３１ａとの距離よりも長い。
【００５０】
このロッド３４３は例えばコイル等のヒータ３４５と接触している。このヒータ３４５は、ロッド３４３を加熱している。ヒータ３４５は、ロッド３４３の下端に多くの熱を供給するために、ロッド３４３の下端付近に位置することが望ましい。進退駆動装置３４は、ロッド３４３を下降させ、ロッド３４３を吸着チャック３２の頭部３１ａに接触させたときに、ロッド３４３から吸着チャック３１へ伝熱し、吸着チャック３１を１５０℃等の高温環境下の温度に調温している。
【００５１】
（９０度回転ユニット）
図９に示すように、９０度回転ユニット５は、吸着チャック３１の下方に位置するステージ５１と、ステージ５１を９０度回転させるモータ５２を備えている。ステージ５１は、上面が平坦で電子部品Ｄの載置平面となっている。この９０度回転ユニット５は、ステージ５１の周囲をヒーターブロック５３で囲んで成る。ヒーターブロック５３は、金属等の熱伝導素材で形成され、ヒータ５４と接続されており、加熱されると、ステージ５１上の電子部品Ｄに向けて輻射熱を放出する。
【００５２】
（テストユニット）
テストユニット２には、１サイクル毎に電子部品Ｄが搬送されてくる。但し、テストユニット２は、未測定の電子部品Ｄが全てのテストユニット２に揃ってから１度に測定処理を行う。すなわち、テストユニット２は、テストユニット２の配置数と同数のサイクル毎に１度の電気特性の測定を行う。図１０に示すように、テストユニット２は、電子部品Ｄを載置する載置台２３と、載置台２３の電子部品Ｄから引出されるリード端子Ｄ１に対する通電接触子である上側クランプ測子２１と下側クランプ測子２２を有する。また、載置台２３の近傍には、ヒータ２４が配置され、測定中の電子部品Ｄを載置台２３を介して保温している。
【００５３】
上側クランプ測子２１と下側クランプ測子２２はリード端子Ｄ１を挟み込む。テストユニット２は、上側クランプ測子２１及び下側クランプ測子２２を介して電子部品Ｄに電流注入、電圧印加又はロジック信号の入力を行い、電子部品Ｄの出力を解析し、各種の許容範囲を示す数値データと比較して、電子部品Ｄの良品と其れ以外とを判定する。電気特性の測定方式としては、電圧印加と測定を共通の接触子で行うシングルコンタクト方式と、印加と測定を別々の接触子で行うケルビンコンタクト方式とが知られている。
【００５４】
（収容ユニット）
収容ユニット８は、図１１に示すように、吸着チャック３１の停止位置の直下に滑り台状のスライダ８１を備え、スライダ８１の終端にチューブ１０を保持する。保持手段３１が電子部品Ｄを離脱させると、電子部品Ｄはスライダ８１を滑り降り、下に待ち構えたチューブ１０に収容される。
【００５５】
（分類ユニット）
分類ユニット６は、図１２に示すように、吸着チャック３１の停止位置の直下にシャトルレール６１を延ばしている。シャトルレール６１の片脇には、シャトルレール６１と直交させ、複数本のチューブ１０が並列している。チューブ１０はシャトルレール６１に開口１０ａを向ける。シャトルレール６１には、シャトル６２が自走可能に配置されている。シャトル６２は上面が平坦な載置面となっている。シャトル６２は、吸着チャック３１から離脱した電子部品Ｄを乗せ、電子部品Ｄの良品の程度に対応したチューブ１０の面前まで運搬し、チューブ１０に滑落させる。
【００５６】
（動作）
この電気特性テスト装置１の動作は次のとおりである。まず、供給ユニット４において、チューブエレベータ４１は内部のチューブ１０を上昇させ、上部から排出する。取出機構４２は、チューブエレベータ４１から排出されたチューブ１０を傾斜させて開口１０ａを下方に向け、電子部品Ｄを加熱シフトトレイ４３に向けて次々と滑落させていく。加熱シフトトレイ４３は、滑落先に１列の空きレーン４３１を待機させ、チューブ１０から滑落した電子部品Ｄを空きレーン４３１に収容していく。
【００５７】
図１３に示すように、プレート４３２はヒータ４３３により加熱されて電子部品Ｄに伝熱する。プレート４３２は、シフト機構４３４によって間欠的にシフトし、電子部品Ｄを最先に収容したレーン４３１をバッファシュート４４に合致させ、電子部品Ｄをバッファシュート４４に放出する。空き状態となったレーン４３１は、再び取出機構４２から新たなチューブ１０の電子部品Ｄを受領する。すなわち、電子部品Ｄはレーン４３１の数に比例した時間だけ継続的に加熱される。これにより、電子部品Ｄは、電気特性の測定に適した高温環境下又は其の近傍まで本加熱される。
【００５８】
バッファシュート４４は、加熱シフトトレイ４３から放出された１列分の電子部品Ｄを貯留し、回転テーブル３２の間欠回転と同期して１個ずつターナー機構４５に渡す。ターナー機構４５は、受け取った電子部品Ｄを回転テーブル３２の間欠回転と同期して電子部品Ｄを回転テーブル３２の直下に向ける。回転テーブル３２は、１機の吸着チャック３１をターナー機構４５の直下に移動させ、吸着チャック３の吸着面３１ｂをターナー機構４５の電子部品Ｄと向き合わせる。
【００５９】
吸着チャック３１には負圧を発生し、吸着チャック３１はターナー機構４５の電子部品Ｄを吸着面３１ｂで吸引する。これにより、供給ユニット４で加熱された電子部品Ｄの搬送ユニット３への供給が完了する。ＳＩＰである電子部品Ｄは、供給ユニット４内で滑落方向に対してリード端子Ｄ１を直交方向に向けている。供給ユニット４の設置ポジションでは、リード端子Ｄ１が回転テーブル３２の接線方向に向いた状態で吸着チャック３１に保持される。搬送ユニット３は、回転テーブル３２を１ピッチずつ間欠回転させる。吸着チャック３１は、電子部品Ｄを保持しながら、この間欠回転に伴い所定角度ずつ移動しては停止を繰り返しつつ、搬送経路１ａを巡る。
【００６０】
電子部品Ｄが最初の９０度回転ユニット５に到達すると、吸着チャック３１はステージ５１に向けて下降し、ステージ５１へ電子部品Ｄを離脱させる。図１４に示すように、９０度回転ユニット５は、電子部品Ｄが載置されたステージ５１をモータ５２によって９０度回転させる。ステージ５１の９０度回転により、電子部品Ｄはリード端子Ｄ１が回転テーブル３２の半径方向外方に向いた姿勢に変化する。
【００６１】
電子部品Ｄの受領から９０度回転を経て電子部品Ｄがステージ５１から離れる間、９０度回転ユニット５は、ステージ５１周りのヒーターブロック５３から熱を輻射し、ステージ５１上の電子部品Ｄを加熱する。この加熱は、供給ユニット４の加熱シフトトレイ４３によって本加熱に対する保温であり、搬送経路１ａ中、本加熱した電子部品Ｄが冷めないようにする。
【００６２】
電子部品Ｄは９０度回転ユニット５から再び吸着チャック３１に保持されて搬送経路１ａに戻る。そして、電子部品Ｄは、回転テーブル３１の所定数の間欠回転の後、テストユニット２の直上に移る。テストユニット２は、全てのテストユニット２の直上に未測定の電子部品Ｄが並ぶと、一斉に測定処理を開始する。すなわち、４機のテストユニット２を連続させた電気特性テスト装置１の場合、回転テーブル３２の４ピッチ分の間欠回転につき１回の測定処理が介在する。
【００６３】
測定処理において、上側クランプ測子２１と下側クランプ測子２２は、回転テーブル３２の半径方向内側に向けて延設されている。９０度回転ユニット５によって電子部品Ｄのリード端子Ｄ１の向きが上側クランプ測子２１と下側クランプ測子２２に向けられており、上側クランプ測子２１と下側クランプ測子２２はリード端子Ｄ１を挟み込み可能となっている。
【００６４】
図１０に示すように、上側クランプ測子２１と下側クランプ測子２２は、供給ユニット４の加熱シフトトレイ４３及び９０度回転ユニット５によって加熱された電子部品Ｄのリード端子Ｄ１を挟持して電流注入、電圧印加又はロジック信号を入力する。そして、テストユニット２は、電子部品Ｄの出力を解析し、電子部品Ｄの良品又は其れ以外を判定する。判定結果は、分類に備えて電子部品Ｄ又は吸着チャック３１に関連付けて記憶される。
【００６５】
電気特性の測定終了となった電子部品Ｄは、収納ユニット８に収納される際には、後段の９０度回転ユニット５によって回転テーブル３２の接線方向にリード端子Ｄ１が向くように戻される。そして、電子部品Ｄは、吸着チャック３１に保持されつつ回転テーブル３２によって分類ユニット６又は収容ユニット８に搬送される。
【００６６】
テストユニット２による判定の結果が良品の場合、搬送ユニット３は、分類ユニット６を通り越し、電子部品Ｄを収容ユニット８の直上に移動させる。収容ユニット８では、吸着チャック３１がスライダ８１に電子部品Ｄを離脱させる。スライダ８１は、電子部品Ｄをチューブ１０に向けて滑落させる。これにより、高温環境下での電気特性が測定されて良品となった電子部品Ｄは、チューブ１０に梱包される。
【００６７】
テストユニット２による判定の結果が良品以外の場合には、搬送ユニット３は、分類ユニット６の直上に移動させる。分類ユニット６では、吸着チャック３１が直下に待機しているシャトル６２に電子部品Ｄを離脱させる。シャトル６２は、シャトルレーン６１を移動して、電子部品Ｄに関連付けられた判定結果に対応するチューブ１０の面前まで移動し、チューブ１０に向けて電子部品Ｄを滑落させる。これにより、良品以外となった電子部品Ｄは、良品の程度に対応するチューブ１０に梱包される。
【００６８】
搬送ユニット３への電子部品Ｄの供給から収納ユニット８又は分類ユニット６への離脱まで、電子部品Ｄは吸着チャック３１に保持され続けている。吸着チャック３１は、供給ユニット４、９０度回転ユニット５、テストユニット２、収容ユニット８及び分類ユニット６の設置ポジションで、進退駆動装置３４の直下に位置している。図１５に示すように、進退駆動装置３４は、回転モータ３４１を回転させて、ロッド３４３をカム３４２の小径範囲３４２ａから大径範囲３４２ｂに向けて従動させ、ロッド３４３を吸着チャック３１の頭部３１ａに当接させる。
【００６９】
進退駆動装置３４は、ロッド３４３を更に押し下げ、吸着チャック３１を下方に押し込む。吸着チャック３１は、ロッド３４３の押圧により、昇降ガイド３３２に案内されながら供給ユニット４、９０度回転ユニット５、テストユニット２、収容ユニット８及び分類ユニット６に向けて降下する。供給ユニット４、９０度回転ユニット５、テストユニット２、収容ユニット８及び分類ユニット６の処理が終了すると、進退駆動装置３４は、回転モータ３４１を回転させて、ロッド３４３をカム３４２の大径範囲３４２ｂから小径範囲３４２ａに向けて従動させ、ロッド３４３を上昇させる。吸着チャック３１は、ロッド３４３の後退と共に上昇し、やがてロッド３４３と吸着チャック３１の当接が解除される。
【００７０】
ロッド３４３にはヒータ３４５が埋設されているため、ロッド３４３は高温になっている。このロッド３４３が吸着チャック３１の頭部３１ａに接触すると、吸着チャック３１にはロッド３４３から高熱Ｈｉｎが流入してくる。吸着チャック３１の頭部３１ａにロッド３４３が接触してから、吸着チャック３１を下降させ、ロッド３４３が後退して吸着チャック３１を元の高さに戻し、ロッド３４３が吸着チャック３１の頭部３１ａから離れるまで、吸着チャック３１にはロッド３４３からの高熱Ｈｉｎの流入が続く。そのため、吸着チャック３１は１５０℃等の高熱環境下の温度を維持するように加熱される。
【００７１】
更に、図１６に示すように、ロッド３４３から流入した熱は、吸着チャック３１と接触する熱伝導体を通じて回転テーブル３２側へ逃げようとする。しかしながら、吸着チャック３１は連結部３３５により支持されている。連結部３３５は、小断面積であり、吸着チャック３１との熱勾配が生じていても熱伝導する面積が小さい。そのため、吸着チャック３１からアーム３３側へ移動する熱Ｈｏｕｔは抑制される。この連結部３３５は、吸着チャック３１と昇降ガイド３３２を熱的に隔離している。すなわち、吸着チャック３１の熱が昇降ガイド３３２に届き難い。そのため、昇降ガイド３３２に用いるグリスは耐熱性である必要はない。
【００７２】
また、吸着チャック３１を保持するアーム３３には断熱部３３４が挟まれている。断熱部３３４は、連結部３３５を通じて流出した熱Ｈｏｕｔを堰き止める。そのため、吸着チャック３１からの熱流出に継続性はない。この断熱部３３４も吸着チャック３１と昇降ガイド３３２を熱的に隔離している。
【００７３】
また、図１７に示すように、内側隔壁板７２は昇降アーム３３３に設けられており、吸着チャック３１と共に間欠回転し、吸着チャック３１と共に昇降する。内側隔壁板７２は、図１７の（ａ）及び（ｂ）に示すように、吸着チャック３１と相対的な高さが絶えず不変となっており、昇降する吸着チャック３１の周囲の空気を絶えず外部から隔壁している。すなわち、吸着チャック３１は昇降してもドーナツ状のチャンバ７から露出することはなく、ドーナツ状のチャンバ７内に絶えず埋没している。そのため、吸着チャック３１と其の周囲の空気の温度差が少なく、吸着チャック３１からの熱放射が抑制され、ドーナツ状のチャンバ７内で保温された状態を維持する。
【００７４】
このように、電子部品Ｄを保持する吸着チャック３１は、昇降の度に進退駆動装置３４によって温度調整を受け、更に連結部３３５と断熱部３３４とによって他の熱伝導体への熱流出が抑制され、また吸着チャック３１と共に昇降する内側隔壁板７２によって常にドーナツ状のチャンバ７内で保温された状態となっている。そのため、電子部品Ｄと吸着チャック３１との間に温度差が生じにくく、電子部品Ｄから吸着チャック３１側へ熱が流出し、電子部品Ｄの温度が低下してしまうことが抑制されている。
【００７５】
（効果）
以上のように、この電子特性テスト装置１は、搬送ユニット３とテストユニット２と９０度回転ユニット５とを備える。搬送ユニット３は回転型であり、電子部品Ｄの環状の搬送経路１ａを形成する搬送手段である。テストユニット２は、搬送経路１ａの直下に設置され、電子部品Ｄの電気特性を測定する測定手段である。９０度回転ユニット５は、搬送経路１ａの直下に配置され、電子部品Ｄに対する他の処理を施す処理手段である。
【００７６】
そして、搬送ユニット３は、円周方向に回転する回転テーブル３２と、回転テーブルの外周に沿って設けられ、電子部品Ｄを保持する複数の吸着チャック３１と、吸着チャック３１と回転テーブル３２との間に介在して、吸着チャック３１を移動自在とする昇降ガイド３３２と、設置位置に到達した吸着チャック３１を押圧し、吸着チャック３１をテストユニット２及び９０度回転ユニット５へ向けて昇降ガイド３３２に沿って移動させる進退駆動装置３４と、進退駆動装置３４に設けられ、進退駆動装置３４に接触した吸着チャック３１を加熱するヒータ３４５とを有するようにした。
【００７７】
これにより、電子部品Ｄと接触する吸着チャック３１を高温環境下の温度に合わせて加熱することができ、電子部品Ｄから吸着チャック３１への熱流出が抑制される。そのため、電子部品Ｄを加熱する手段を供給ユニット４に組み込み、電子部品Ｄの加熱箇所と電気特性を測定するテストユニット２との距離が離れていても、電子部品Ｄの温度低下を抑制することができ、高温環境下での電気特性の測定の精度が高まる。
【００７８】
尚、吸着チャック３１は、電子部品Ｄを保持する保持手段の一例であり、保持手段としては、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｄを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。このような保持手段であっても、電子部品Ｄと温度差があれば、電子部品Ｄから吸熱し、電子部品Ｄの温度低下の原因となる。また、電気特性以外の他処理を施す処理手段としては、９０度回転ユニット５に限られない。搬送経路１ａ上には、外観検査ユニット及び位置補正ユニット等の電子部品Ｄに対する他の処理ユニットを設置するようにしてもよい。ＳＩＰ以外の電子部品Ｄに対しては９０度回転ユニット５を省略することもできる。
【００７９】
また、搬送ユニット３は、回転テーブル３２と吸着チャック３１とを繋ぎ、一部が相対的に小断面積となった連結部３３５を備えるようにした。この連結部３３５は、例えば回転テーブル３２と吸着チャック３１との間に少なくとも１本以上のバーを有し、バーにより回転テーブル３２と吸着チャック３１とを繋ぐ。この伝熱する面積が小さい連結部３３５が回転テーブル３２と吸着チャック３１との間に介在することにより、吸着チャック３１から回転テーブル３２側への熱流出が抑制され、吸着チャック３１の温度低下を抑制できる。そのため、電子部品Ｄと吸着チャック３１との温度差が生じ難くなり、電子部品Ｄが吸着チャック３１によって冷め難くなるため、高温環境下での電気特性の測定の精度が高まる。
【００８０】
この連結部３３５は、吸着チャック３１と昇降ガイド３３２との間に配置され、吸着チャック３１と共に移動するようにした。これにより、吸着チャック３１の熱が昇降ガイド３３２に到達するのを抑制でき、昇降ガイド３３２に用いるグリスが耐熱性である必要がなくなる。そのため、グリスのコストを低減でき、電気特性テスト装置１のコストを削減できる。
【００８１】
また、吸着チャック３１と昇降ガイド３３２との間に、吸着チャック３１と一対一で設けられ、対応の吸着チャック３１と回転テーブル３２側とを遮断する内側隔壁板７２を更に備えるようにした。この内側隔壁板７２は、吸着チャック３１と共に移動することになる。これにより、内側隔壁板７２は、搬送経路１ａを移動し、搬送経路１ａと昇降する吸着チャック３１を内側隔壁板７２よりも外部の空気から遮断することができ、吸着チャック３１を保温することができる。そのため、吸着チャック３１から周囲の空気への熱放射が抑制され、電子部品Ｄと吸着チャック３１との温度差が生じ難くなり、電子部品Ｄが吸着チャック３１によって冷め難くなるため、高温環境下での電気特性の測定の精度が高まる。
【００８２】
搬送ユニット３自体を外側から覆う円状の外側隔壁板７１を更に備え、内側隔壁板７２と外側隔壁板７１とにより吸着チャック３１に対するドーナツ状のチャンバ７が形成されるようにすることで、更に吸着チャック３１を保温することができ、高温環境下での電気特性の測定の精度が高まる。
【００８３】
また、吸着チャック３１と回転テーブル３２との間に断熱部３３４を更に備えるようにしてもよい。この断熱部３３４は、吸着チャック３１から回転テーブル３２側への熱流出が抑え、吸着チャック３１の温度低下を抑制できる。尚、連結部３３５と断熱部３３４を両方具備していてもよいし、片方のみでもよい。また連結部３３５を断熱材で形成するようにしてもよい。吸着チャック３１の温度を維持するために必要な精度にあわせて選択すればよい。
【００８４】
この断熱部３３４は、吸着チャック３１と昇降ガイド３３３との間に配置され、吸着チャック３１と共に移動するようにした。これにより、吸着チャック３１の熱が昇降ガイド３３３に到達するのを抑制でき、昇降ガイド３３３に用いるグリスが耐熱性である必要がなくなる。そのため、グリスのコストを低減でき、電気特性テスト装置１のコストを削減できる。
【００８５】
尚、本実施形態ではＳＩＰである電子部品Ｄを例に採り説明したが、リード端子Ｄ１が対向両側面から延出するＤＩＰ（Ｄｕａｌ  Ｉｎ−ｌｉｎｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）の電子部品を搬送可能であることはもちろんである。ＤＩＰの場合もチューブ１０に梱包されたリード端子は上側クランプ測子２１及び下側クランプ測子２２と延び方向が相違して搬送経路１ａを搬送されるから、９０度回転ユニット５等の向き変更の変更手段が有効である。すなわち、環状の搬送経路１ａの半径方向外方と異なる方向にリード端子Ｄ１を向ける電子部品Ｄには、ＤＩＰも含まれる。また、下面、上面又は両面に電極が配置されている電子部品を搬送可能であることももちろんである。
【００８６】
更に、チューブ１０に電子部品Ｄを梱包する例を採り説明したが、供給ユニット４及び収容ユニット８とも他種の収容体に対して電子部品Ｄを取り出し又は収容させるようにしてもよい。他種の収容体としては、キャリアテープ、トレイ又はウェハ等を挙げることができる。キャリアテープ、トレイ及びウェハでは、電子部品Ｄの滑り落としによる加熱シフトトレイ４３への一括供給ができないので、個々に電子部品Ｄをレーン４３１に渡す保持手段を設けるようにしてもよい。
【００８７】
（他の実施形態）
以上のように本発明の各実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８８】
１  電気特性テスト装置
１ａ  搬送経路
２  テストユニット
２１  上側クランプ測子
２２  下側クランプ測子
２３  載置台
２４  ヒータ
３  搬送ユニット
３１  吸着チャック
３１ａ  頭部
３１ｂ  吸着面
３２  回転テーブル
３２ａ  空気圧回路の入口
３３  アーム
３３１  固定アーム
３３２  昇降ガイド
３３３  昇降アーム
３３４  断熱部
３３５  連結部
３４  進退駆動装置
３４１  回転モータ
３４２  カム
３４２ａ  小径範囲
３４２ｂ  大径範囲
３４３  ロッド
３４５  ヒータ
４  供給ユニット
４１  チューブエレベータ
４２  取出機構
４３  加熱シフトトレイ
４３１  レーン
４３２  プレート
４３３  ヒータ
４３４  シフト機構
４４  バッファシュート
４５  ターナー機構
５  ９０度回転ユニット
５１  ステージ
５２  モータ
５３  ヒーターブロック
５４  ヒータ
６  分類ユニット
６１  シャトルレール
６２  シャトル
７  チャンバ
７１  外側隔壁板
７２  内側隔壁板
８  収容ユニット
８１  スライダ
１０  チューブ
１０ａ  開口
Ｄ  電子部品
Ｄ１  リード端子
【要約】      （修正有）【課題】回転型の搬送手段の高速搬送能力を維持したまま、電子部品を所望の温度にまで加熱した状態で電気特性を測定することのできる電気特性テスト装置を提供する。【解決手段】電子特性テスト装置は搬送ユニットとテストユニットを備える。搬送ユニットは回転テーブルと吸着チャック３１と昇降ガイド３３３と進退駆動装置３４とヒータ３４５を備える。回転テーブルは円周方向に回転し、吸着チャック３１は回転テーブルの外周に沿って設けられ、電子部品を保持する。昇降ガイド３３３は吸着チャック３１と回転テーブルとの間に介在して、吸着チャック３１を移動自在とする。進退駆動装置３４は吸着チャック３１を押圧し、吸着チャック３１をテストユニット等に昇降ガイド３３３に沿って移動させる。ヒータ３４５は進退駆動装置３４に設けられ、進退駆動装置３４に接触した吸着チャック３１を加熱する。【選択図】図７【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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