(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持する保持手段と該保持手段に保持されたウェーハの表面に洗浄或いは溶液塗布の処理を施すウェーハ処理手段とを少なくとも内蔵した筐体の上方に開口した開口部を開閉可能に覆う筐体カバー機構であって、
少なくとも前記開口部を閉塞し得る大きさを有し可撓性を有するシート状カバー部材と、
該シート状カバー部材の自由端部を前記開口部を閉塞する閉塞位置と前記開口部を開放する開放位置との間で移動させる移動機構と、を備え、
該移動機構は、
該シート状カバー部材の固定端部に装着された回転軸の一端に連結された第一のプーリと、
該閉塞位置近傍に配設された第二のプーリと、
該第一のプーリと該第二のプーリに巻回しシート状カバー部材の移動方向に延在する無端ベルトと、
該無端ベルトに固定装着された係合部材と、
該無端ベルトの近傍で該無端ベルトと平行に配設され少なくとも該無端ベルトの延在する長さと同等の長さを有するガイドレールと、
一方を該シート状カバー部材の自由端部に装着され且つ他方を該ガイドレールにガイドされ該シート状カバー部材を引き出しまたは引き戻すためのカバー部材引張部材と、
該ガイドレールに平行して配設され該開放位置と該閉塞位置との間を往復運動をするピストン部材とシリンダとを有する直動アクチュエータと、
該カバー部材引張部材と該係合部材の間に配設され且つ該直動アクチュエータの該ピストン部材に固定される押動部材と、から構成され、
該シート状カバー部材を開放位置から閉塞位置に移動させる際には、該開放位置に位置付けられている該直動アクチュエータの該ピストン部材が該閉塞位置側へ移動し、該ピストン部材に固定された該押動部材が該カバー部材引張部材に当接して押動し該シート状カバー部材の自由端部を該閉塞位置まで移動させ、
該シート状カバー部材を閉塞位置から開放位置に移動させる際には、該閉塞位置に位置付けられている該直動アクチュエータの該ピストン部材が該開放位置側へ移動し、該ピストン部材に固定された該押動部材が該係合部材に当接して押動し、該係合部材を押動するのに追従し該係合部材が固定装着された該無端ベルトが動き、該無端ベルトにより回転する該第一のプーリを介して該回転軸が回転し、該シート状カバー部材が該回転軸に巻き取られる、
ことを特徴とする筐体カバー機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの表面に洗浄或いは溶液塗布の処理を施すウェーハ処理装置の筐体の開口部を開閉自在に覆う筐体カバー機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハを分割する方法として、ウェーハに形成されたストリートに沿ってレーザー光線を照射することによりレーザー加工溝を形成し、このレーザー加工溝に沿ってメカニカルブレーキング装置によって割断する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、ウェーハのストリートに沿ってレーザー光線を照射すると、照射された領域に熱エネルギが集中してデブリと称する粘着性のある飛沫が発生し、飛散したデブリがウェーハのデバイス表面に付着し、デバイスの品質を低下させるという新たな問題が生じる。このようなデブリの問題を解決するために、ウェーハの加工面にポリビニールアルコール等の保護被膜を被覆し、保護被膜を通してウェーハにレーザー光線を照射するようにしたレーザー加工方法が提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。
【０００３】
この種の保護膜被覆装置は、ウェーハを保持する保持手段と該保持手段に保持されたウェーハの表面に保護被膜塗布の処理を施すウェーハ処理手段とを少なくとも内蔵した筐体を備える。そして、保護被膜塗布時に被膜材が筐体外部に飛散しないように、筐体の上方に開口した開口部を開閉自在に覆う筐体カバー機構を備える必要がある。筐体カバー部材は巻き取り癖を予め持たせたフィルムで形成され、開口部を開放させるときには、シート状カバー部材が有している巻取り癖により巻き取ることで開口部が開放され、開口部を閉塞させるときには、移動手段でシート状カバー部材を引き出すことで開口部を閉塞させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３０５４２０号公報
【特許文献２】特開２００４−１８８４７５号公報
【特許文献３】特開２００４−３２２１６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、シート状カバー部材に予め巻き取り癖をつけておく従来方式では、シート状カバー部材の経年劣化により巻き取り癖が少なくなり巻き取ることが出来なくなったり、巻き取り癖に反して閉塞状態を維持するために過度に移動手段に負荷がかかる等の問題がある。
【０００６】
本発明は、上記事実に鑑みてなされたものであって、その目的は、経年劣化によるシート状カバー部材の巻き取り不具合を無くすことができる筐体カバー機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明によれば、ウェーハを保持する保持手段と該保持手段に保持されたウェーハの表面に洗浄或いは溶液塗布の処理を施すウェーハ処理手段とを少なくとも内蔵した筐体の上方に開口した開口部を開閉可能に覆う筐体カバー機構であって、少なくとも前記開口部を閉塞し得る大きさを有し可撓性を有するシート状カバー部材と、該シート状カバー部材の自由端部を前記開口部を閉塞する閉塞位置と前記開口部を開放する開放位置との間で移動させる移動機構と、を備え、該移動機構は、該シート状カバー部材の固定端部に装着された回転軸の一端に連結された第一のプーリと、該閉塞位置近傍に配設された第二のプーリと、該第一のプーリと該第二のプーリに巻回しシート状カバー部材の移動方向に延在する無端ベルトと、該無端ベルトに固定装着された係合部材と、該無端ベルトの近傍で該無端ベルトと平行に配設され少なくとも該無端ベルトの延在する長さと同等の長さを有するガイドレールと、一方を該シート状カバー部材の自由端部に装着され且つ他方を該ガイドレールにガイドされ該シート状カバー部材を引き出しまたは引き戻すためのカバー部材引張部材と、該ガイドレールに平行して配設され該開放位置と該閉塞位置との間を往復運動をするピストン部材とシリンダとを有する直動アクチュエータと、該カバー部材引張部材と該係合部材の間に配設され且つ該直動アクチュエータの該ピストン部材に固定される押動部材と、から構成され、該シート状カバー部材を開放位置から閉塞位置に移動させる際には、該開放位置に位置付けられている該直動アクチュエータの該ピストン部材が該閉塞位置側へ移動し、該ピストン部材に固定された該押動部材が該カバー部材引張部材に当接して押動し該シート状カバー部材の自由端部を該閉塞位置まで移動させ、該シート状カバー部材を閉塞位置から開放位置に移動させる際には、該閉塞位置に位置付けられている該直動アクチュエータの該ピストン部材が該開放位置側へ移動し、該ピストン部材に固定された該押動部材が該係合部材に当接して押動し、該係合部材を押動するのに追従し該係合部材が固定装着された該無端ベルトが動き、該無端ベルトにより回転する該第一のプーリを介して該回転軸が回転し、該シート状カバー部材が該回転軸に巻き取られることを特徴とする筐体カバー機構が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の筐体カバー機構によれは、シート状カバー部材を閉塞位置から開放位置に移動させる際には、直動アクチュエータのピストン部材を開放位置側に移動し、押動部材が係合部材を押動するのに追従して無端ベルトがシート状カバー部材を巻き取る方向に回転軸を回転させる。こうして、シート状カバー部材を閉塞位置から開放位置に移動させる際には、回転軸がシート状カバー部材を巻き取る方向に回転することにより、シート状カバー部材の自由端部が閉塞位置から開放位置に向かって移動する。したがって、シート状カバー部材の経年劣化により巻き取り癖が少なくなっても、閉塞位置では、シート状カバー部材が回転軸に巻き取られることとなる。よって、経年劣化によるシート状カバー部材の巻き取り不具合を無くすことができる。
【０００９】
また、シート状カバー部材を開放位置から閉塞位置に移動させる際には、直動アクチュエータのピストン部材を閉塞位置側に移動し、押動部材がカバー部材引張部材を押動して、シート状カバー部材の自由端部を閉塞位置まで移動する。したがって、シート状カバー部材の自由端部を開放位置から閉塞位置に確実に移動させることができる。
【００１０】
さらに、シート状カバー部材の自由端部に直動アクチュエータのピストン部材などにより押動されるカバー部材引張部材を装着し、シート状カバー部材の固定端部に直動アクチュエータのピストン部材などにより係合部材が押動されることなどにより回転される回転軸を装着している。このような構成により、一つの直動アクチュエータにより、シート状カバー部材の開閉動作とシート状カバー部材の巻取り動作を行うことができる。したがって、シート状カバー部材に巻取り癖を備える必要がなく、経年劣化による巻き取り不具合をなくす事ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施形態に係る筐体カバー機構を備えたウェーハ処理装置の概略の構成例を示す図である。
【図２】図２は、実施形態に係る筐体カバー機構のシート状カバー部材が閉塞位置から開放位置に移動している状態を示す図である。
【図３】図３は、実施形態に係る筐体カバー機構の動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１３】
図１は、実施形態に係る筐体カバー機構を備えたウェーハ処理装置の概略の構成例を示す図である。図２は、実施形態に係る筐体カバー機構のシート状カバー部材が閉塞位置から開放位置に移動している状態を示す図である。図３は、実施形態に係る筐体カバー機構の動作を示す図である。なお、図３に示す（ａ）は、実施形態に係る筐体カバー機構のシート状カバー部材が開放位置に位置している状態を示す図であり、図３に示す（ｂ）は、実施形態に係る筐体カバー機構のシート状カバー部材が開放位置から閉塞位置に移動している状態を示す図であり、図３に示す（ｃ）は、実施形態に係る筐体カバー機構のシート状カバー部材が閉塞位置に位置している状態を示す図であり、図３に示す（ｄ）は、実施形態に係る筐体カバー機構のシート状カバー部材が閉塞位置から開放位置に移動している状態を示す図であり、図３に示す（ｅ）は、実施形態に係る筐体カバー機構のシート状カバー部材が更に閉塞位置から開放位置に移動している状態を示す図である。
【００１４】
本実施形態に係る筐体カバー機構１は、例えば、ウェーハＷに各種の加工を施す図示しない加工装置に備えられるウェーハ処理装置２（図１に示す）を構成する。なお、各種の加工として、ダイシング加工（切削ブレードによるダイシング加工、レーザー光線の照射によるアブレーション加工などを含む）、レーザー光線を用いた孔あけ加工、研削加工、研磨加工、エキスパンド加工などが挙げられる。ウェーハ処理装置２は、例えば、ウェーハＷの表面に洗浄或いは溶液塗布の処理を施す装置である。
【００１５】
なお、本実施形態では、ウェーハ処理装置２は、ウェーハＷにアブレーション加工を施して、該ウェーハＷに図示しないレーザー加工溝を形成する図示しないレーザー加工装置に備えられる。ウェーハ処理装置２は、加工前のウェーハＷの表面にポリビニールアルコール等の合成樹脂を含んだ溶液を塗布して保護被膜を被覆する装置である。
【００１６】
ウェーハ処理装置２は、図１に示すように、レーザー加工装置の装置本体などに設置される筐体３と、筐体３内に設けられる保持手段４と、ウェーハ処理手段５と、洗浄手段６と、筐体カバー機構１を含んで構成されている。筐体３は、図示しない底壁と、複数（本実施形態では、四つ）の外壁７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄとを備えて、上方に開口した開口部３ａが設けられた容器である。こうして、筐体３は、保持手段４とウェーハ処理手段５とを少なくとも内蔵している。
【００１７】
保持手段４は、表面上に加工前のウェーハＷを保持するものである。保持手段４の表面を構成する部分は、ポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。保持手段４は、表面上にウェーハＷを載置し真空吸引源により負圧を作用させることにより、表面上にウェーハＷを吸引保持する。また、保持手段４は、図示しない支持機構により、筐体３内で上下方向に移動自在に設けられている。
【００１８】
ウェーハ処理手段５は、保持手段４に保持されたウェーハＷの表面にポリビニールアルコール等を含んだ溶液塗布の処理を施して、保護被膜を被覆するものである。ウェーハ処理手段５は、複数の図示しない噴射ノズルなどを備えている。噴射ノズルは、例えば、スプレ方式の２流体ノズルが用いられ、前述した溶液に空気を混合させることで、溶液をウェーハＷの表面に向けて上方から霧状に噴霧する。また、複数の噴射ノズルは、保持手段４は、図示しない移動機構により、筐体３内で水平方向に移動自在に設けられている。
【００１９】
洗浄手段６は、筐体３の内壁に向かって洗浄水を噴出させることで、筐体３の内壁を洗浄するものである。
【００２０】
筐体カバー機構１は、筐体３の開口部３ａを開閉可能に覆う機構である。筐体カバー機構１は、図１に示すように、シート状カバー部材１０と、移動機構１１と、制御手段１００と含んで構成されている。
【００２１】
シート状カバー部材１０は、少なくとも筐体３の開口部３ａを閉塞し得る大きさを有している。シート状カバー部材１０は、可撓性を有するフィルム状の可視性部材である。なお、シート状カバー部材１０は、開口部３ａの大きさよりも大きくても良い。シート状カバー部材１０は、耐薬品性を有し静電気対策が施された材料で構成されているのが望ましい。また、シート状カバー部材１０は、保護被膜を構成する合成樹脂を含んだ溶液に対して、撥水性あるいは親水性を持たせるかなどの特性を適宜設定すればよい。シート状カバー部材１０の自由端部１０ａは、移動機構１１により、筐体３の外壁７ｂ，７ｄの表面と平行な方向（図１などに矢印Ｉで示し、移動方向と呼ぶ）に移動される。
【００２２】
移動機構１１は、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａを、シート状カバー部材１０が開口部３ａを閉塞する閉塞位置（図３（ｃ）に示す）と、シート状カバー部材１０が開口部３ａを開放する開放位置（図３（ａ）に示す）との間で移動させる。移動機構１１は、図１及び図２に示すように、回転軸１２と、第一のプーリ１３と、第二のプーリ１４と、無端ベルト１５と、係合部材１６と、ガイドレール１７と、カバー部材引張部材１８と、直動アクチュエータ１９と、押動部材２０とを含んで構成されている。
【００２３】
回転軸１２は、全長が外壁７ａの幅と等しい又は外壁７ａの幅よりも長い円柱状に形成されかつ軸芯周りに回転自在に筐体３に支持されている。回転軸１２は、筐体３の開口部３ａよりも上方でかつ筐体３の図１及び図２中の左奥側の外壁７ａよりも筐体３の外側即ち開放位置側に配設されている。回転軸１２は、シート状カバー部材１０の固定端部１０ｂに装着（固定）されている。
【００２４】
第一のプーリ１３は、回転軸１２の図１及び図２中の手前側の一端に連結されている。第一のプーリ１３は、回転軸１２と同軸に設けられている。第一のプーリ１３は、回転軸１２と一体に回転する。このために、第一のプーリ１３の回転数と回転軸１２の回転数とは、互いに等しくなる。第一のプーリ１３のプーリ径は、回転軸１２の外径よりも若干小さく形成されている。
【００２５】
第二のプーリ１４は、軸芯周りに回転自在に筐体３に支持されている。第二のプーリ１４は、筐体３の開口部３ａよりも上方でかつ筐体３の前述した外壁７ａと相対する外壁７ｂよりも筐体３の外側即ち閉塞位置側に配設されている。第二のプーリ１４は、閉塞位置に位置付けられたシート状カバー部材１０の自由端部１０ａ即ち閉塞位置近傍に配設されている。第二のプーリ１４は、第一のプーリ１３と移動方向Ｉに並ぶ位置に設けられている。
【００２６】
無端ベルト１５は、無端環状に形成されて、第一のプーリ１３と第二のプーリ１４とに巻回されている。第一のプーリ１３と第二のプーリ１４とが移動方向Ｉに並べられているので、無端ベルト１５は、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａの移動方向Ｉに延在する。無端ベルト１５は、第一のプーリ１３と第二のプーリ１４との周りを循環（無端）走行する。
【００２７】
係合部材１６は、無端ベルト１５に固定装着されている。係合部材１６は、金属で構成され、かつ、無端ベルト１５の外面から凸に形成されている。係合部材１６は、本実施形態では、第一のプーリ１３と第二のプーリ１４との間に形成される無端ベルト１５の二つの直線部１５ａ，１５ｂのうちの下方の直線部１５ａに固定装着されている。
【００２８】
ガイドレール１７は、金属で構成され、かつ直線状に形成されているとともに、外壁７ｄに取り付けられている。ガイドレール１７は、開口部３ａ即ち無端ベルト１５の近傍に設けられている。ガイドレール１７は、無端ベルト１５の直線部１５ａ，１５ｂ及び移動方向Ｉと平行に配設されている。ガイドレール１７は、少なくとも無端ベルト１５の延在する長さと同等（略同じ）の長さを有している。本実施形態では、ガイドレール１７の長さは、無端ベルト１５の延在する長さよりも若干短く形成されている。
【００２９】
カバー部材引張部材１８は、シート状カバー部材１０を引き出しまたは引き戻すためのものである。カバー部材引張部材１８は、係合部材１６よりも回転軸１２から離れた位置に設けられている。カバー部材引張部材１８は、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａに装着された一方としての装着部２１と、装着部２１に連結されかつガイドレール１７にガイドされる他方としてのガイド部２２とを備えている。
【００３０】
装着部２１は、金属で構成され、長尺状に形成されている。装着部２１の長さは、自由端部１０ａの長さと略等しく形成されている。装着部２１は、自由端部１０ａと平行に配設されかつ自由端部１０ａに重ねられて、自由端部１０ａに装着されている。ガイド部２２は、金属で構成されている。ガイド部２２は、ガイドレール１７に跨った状態に配設され、このガイドレール１７の長手方向に沿って移動自在である。
【００３１】
直動アクチュエータ１９は、ガイドレール１７と平行して配設されている。直動アクチュエータ１９は、外壁７ｄに取り付けられたシリンダ２３と、シリンダ２３内に設けられた図示しないピストンと、ピストンに取り付けられかつ開放位置と閉塞位置との間を往復運動するピストン部材２４とを有している。
【００３２】
シリンダ２３は、金属で構成され、ガイドレール１７と平行でかつガイドレール１７よりも開口部３ａから離れた位置に設けられている。シリンダ２３は、内側の空間が密閉された圧力容器となっている。シリンダ２３の長手方向の両端それぞれには、図示しない加圧気体供給源からの加圧された気体を内側の空間に供給可能とする図示しないエア供給口が設けられている。シリンダ２３は、両端のうちの一方の端のエア供給口から内側の空間に加圧された気体が供給されると、他方の端のエア供給口から内側の空間内の気体を排出する。例えば、図１中右側のエア供給口からシリンダ２３の内側の空間に加圧された気体が供給されると、図１中左側のエア供給口から気体を排出する。図１中左側のエア供給口からシリンダ２３の内側の空間に加圧された気体が供給されると、図１中右側のエア供給口から気体を排出する。
【００３３】
ピストンは、シリンダ２３内にシリンダ２３の長手方向に移動自在に設けられているとともに、全周に亘ってシリンダ２３の内面との間が気密に保たれている。ピストンは、シリンダ２３の内側の空間を、シリンダ２３の長手方向に二つに区画している。ピストンは、例えば、図１中右側のエア供給口からシリンダ２３の内側の空間に加圧された気体が供給されると、シリンダ２３内を図１中左側の端まで移動する。ピストンは、例えば、図１中左側のエア供給口からシリンダ２３の内側の空間に加圧された気体が供給されると、シリンダ２３内を図１中右側の端まで移動する。
【００３４】
ピストン部材２４は、金属で構成され、シリンダ２３の外面に重ねられている。ピストン部材２４は、ピストンと一体にシリンダ２３の長手方向に移動する。ピストン部材２４は、例えば、図１中右側のエア供給口からシリンダ２３の内側の空間に加圧された気体が供給されると、シリンダ２３内を図１中左側の端、即ち、開放位置に位置付けられたシート状カバー部材１０の自由端部１０ａの下方まで移動する。ピストン部材２４は、例えば、図１中左側のエア供給口からシリンダ２３の内側の空間に加圧された気体が供給されると、シリンダ２３内を図１中右側の端、即ち、閉塞位置に位置付けられたシート状カバー部材１０の自由端部１０ａの下方まで移動する。
【００３５】
押動部材２０は、金属で構成され、カバー部材引張部材１８と係合部材１６との間に配設され、直動アクチュエータ１９のピストン部材２４に固定される。押動部材２０は、直動アクチュエータ１９のピストン部材２４に固定されている固定部２５と、固定部２５から上方に延在した当接部２６とを一体に備えている。固定部２５は、平板状に形成され、かつピストン部材２４の上面に重ねられている。当接部２６は、固定部２５の回転軸１２から離れた側の縁から上方に延在した平板状に形成されている。当接部２６は、カバー部材引張部材１８と係合部材１６との間に配設される。当接部２６は、直動アクチュエータ１９のピストン部材２４が閉塞位置と開放位置との間を往復運動する際に、カバー部材引張部材１８のガイド部２２と、係合部材１６とのうちの一方に当接する。
【００３６】
前述した移動機構１１では、係合部材１６と押動部材２０とカバー部材引張部材１８のガイド部２２は、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが開放位置に位置付けられると、図３（ａ）に示すように、第一のプーリ１３の近傍において、互いに殆ど接する位置に配設されている。前述した移動機構１１では、係合部材１６と、押動部材２０と、カバー部材引張部材１８のガイド部２２は、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが閉塞位置に位置付けられると、図３（ｃ）に示すように、係合部材１６が、カバー部材引張部材１８のガイド部２２を押動する押動部材２０から間隔Ｄをあける位置に配設されている。
【００３７】
前述した移動機構１１では、開放位置から閉塞位置に移動する際に、係合部材１６が押動部材２０に追い付いて動作不良を起こすことを抑制し、閉塞位置で係合部材１６と押動部材２０とが離れすぎてシート状カバー部材１０の巻取りにかかるタクトが遅くなることを防止するために、開放位置では係合部材１６と押動部材２０とカバー部材引張部材１８のガイド部２２とが殆ど接する位置に設けられ、かつ第一のプーリ１３のプーリ径が回転軸１２の外径よりも若干小さく形成されている。なぜなら、第一のプーリ１３の回転数と回転軸１２の回転数とが等しいために、第一のプーリ１３のプーリ径が回転軸１２の外径を超えると、開放位置から閉塞位置に移動する際に、係合部材１６が押動部材２０に追い付いて動作不良を起こすからである。また、第一のプーリ１３の回転数と第一のプーリ１３のプーリ円周長との積が、開放位置から閉塞位置に移動する際の無端ベルト１５の走行距離と等しいので、第一のプーリ１３のプーリ径が回転軸１２の外径よりも遥かに小さくすると、閉塞位置で係合部材１６と押動部材２０とが離れすぎてシート状カバー部材１０の巻取りにかかるタクトが遅くなるからである。
【００３８】
回転軸１２の外径をｒとし、シート状カバー部材１０の厚みをｔとし、シート状カバー部材１０の長さをＬとすると、開放位置での回転軸１２とこの回転軸１２に巻き取られたシート状カバー部材１０とを合わせた軸芯に直交する断面の断面積Ｓ及び断面の直径Ｒは、以下の式１、式２で示される。
Ｓ＝（ｒ／２）2×π＋ｔ×Ｌ・・・式１
Ｒ＝（Ｓ／π）1/2×２・・・・・・式２
【００３９】
そして、開放位置での回転軸１２に巻かれたシート状カバー部材１０の巻き数が、開放位置から開放位置までの回転軸１２の回転数ｒｆに等しいので、この回転数ｒｆは、以下の式３で示される。
ｒｆ＝（Ｒ−ｒ）／（２×ｔ）・・・式３
【００４０】
例えば、回転軸１２の外径ｒを１２ｍｍとし、シート状カバー部材１０の厚みｔを０．１５ｍｍとし、シートの長さＬを３８０ｍｍとし、第一のプーリ１３のプーリ径を１１．４６ｍｍとすると、回転軸１２及び第一のプーリ１３の回転数が９．０５５となり、閉塞位置での押動部材２０と係合部材１６との間隔Ｄ（図３（ｃ）に示す）は、約５４ｍｍとなる。
【００４１】
制御手段１００は、筐体カバー機構１及びウェーハ処理装置２の構成要素をそれぞれ制御するものである。また、制御手段１００は、直動アクチュエータ１９に接続した加圧気体供給源を制御する。制御手段１００は、筐体カバー機構１のシート状カバー部材１０を開放位置と閉塞位置との間で移動させて、筐体３の開口部３ａを開閉するものである。なお、制御手段１００は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されており、レーザー加工装置全体を制御するものであっても良く、この場合、加工動作の状態を表示する表示手段や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる操作手段と接続されている。
【００４２】
次に、本実施形態に係るレーザー加工装置の加工動作について説明する。ここで、レーザー加工装置が加工対象とするウェーハＷは、本実施形態ではシリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハである。ウェーハＷは、デバイスＷ３が複数形成されているデバイスＷ３側の表面と反対側の裏面がダイシングテープＴに貼着され、ウェーハＷに貼着されたダイシングテープＴがフレームＦに貼着されることで、フレームＦに固定される。また、ウェーハＷの表面には、互いに平行な複数の第１のストリートＷ１と、互いに平行な複数の第２のストリートＷ２とが直交して形成されており、第１のストリートＷ１と第２のストリートＷ２とにより区画された領域にデバイスＷ３が形成されている。
【００４３】
まず、オペレータが加工内容情報を登録し、加工動作の開始指示があった場合に、加工動作を開始する。加工動作において、制御手段１００は、ウェーハ処理装置２の筐体カバー機構１のシート状カバー部材１０を開放位置に位置づけ、支持機構を制御して、保持手段４を上昇させておく。そして、制御手段１００は、加工前のウェーハＷを、図示しない搬送手段により保持手段４上に載置し、真空吸引源を制御して保持手段４に吸引保持する。
【００４４】
その後、制御手段１００は、支持機構にウェーハＷを吸引保持した保持手段４を下降させるとともに、筐体カバー機構１のシート状カバー部材１０を開放位置から閉塞位置に移動させる。制御手段１００は、ウェーハＷを吸引保持した保持手段４の下降が終了し、シート状カバー部材１０が閉塞位置に位置付けられると、移動機構を制御してウェーハ処理手段５をウェーハＷの上方を横切るように所定の速度で移動させながら、ウェーハ処理手段５を制御して噴射ノズルから前述した溶液を噴霧させる。そして、噴霧された溶液が硬化して、ウェーハＷの表面に保護被膜が形成される。こうして、制御手段１００は、ウェーハ処理装置２にウェーハＷの表面に溶液塗布の処理を行わせる。
【００４５】
制御手段１００は、移動機構によりウェーハ処理手段５を保持手段４に吸引保持されたウェーハＷの上方から退避させ、筐体カバー機構１のシート状カバー部材１０を閉塞位置から開放位置に移動させる。制御手段１００は、筐体カバー機構１のシート状カバー部材１０が開放位置に位置付けられると、支持機構にウェーハＷを吸引保持した保持手段４を上昇させる。制御手段１００は、保持手段４の上昇が終了すると、保持手段４のウェーハＷの吸引保持を解除し、図示しない搬送手段により保護被膜が形成されたウェーハＷをレーザー加工装置の図示しないレーザー加工ユニットに搬送する。制御手段１００は、全てのストリートＷ１，Ｗ２に順にアブレーション加工を施した後、図示しない搬送手段により、保護被膜の除去などを行なう図示しない洗浄ユニットに搬送して、保護被膜を除去し、加工後のウェーハＷを図示しないカセットエレベータまで搬送する。制御手段１００は、図示しない搬送手段により、加工後のウェーハＷをカセットエレベータに収納した後、加工前のウェーハＷをカセットエレベータから取り出して、前述した工程と同様の加工を施す。こうして、レーザー加工装置は、ウェーハＷにアブレーション加工を施す。
【００４６】
また、制御手段１００は、保護被膜が形成されたウェーハＷが保持手段４上から取り除かれた後、再度、筐体カバー機構１のシート状カバー部材１０を開放位置から閉塞位置に移動させ、シート状カバー部材１０が閉塞位置に位置付けられると、洗浄手段６を制御して筐体３の内壁に向かって洗浄水を噴出させて、筐体３の内壁を洗浄させる。洗浄水により筐体３の内壁に付着した余分な溶液などが洗い流される。そして、洗浄水および余分や溶液などは、筐体３の底に設けられた図示しない排出口を通して、筐体３即ちウェーハ処理装置２外に排出される。
【００４７】
次に、本実施形態に係る筐体カバー機構１のシート状カバー部材１０の開閉動作について説明する。なお、開閉動作は、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが開放位置と閉塞位置との間を往復運動する動作である。
【００４８】
なお、図３（ａ）に示す開放位置では、係合部材１６と押動部材２０とカバー部材引張部材１８のガイド部２２とが互いに殆ど接しているとともに、回転軸１２の下方即ち開放位置に位置付けられている。さらに、直動アクチュエータ１９のピストン部材２４も、回転軸１２の下方即ち開放位置に位置付けられている。また、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが開放位置に位置付けられると、シート状カバー部材１０は、殆どが回転軸１２に巻き取られて、筐体３の開口部３ａを開放する。
【００４９】
まず、図３（ａ）に示す開放位置から閉塞位置にシート状カバー部材１０の自由端部１０ａを移動させる際には、制御手段１００は、直動アクチュエータ１９のシリンダ２３の図３（ａ）中の左側即ち開放位置側のエア供給口に加圧気体供給源からの加圧された気体を供給する。すると、直動アクチュエータ１９のピストンがシリンダ２３内を移動して、ピストン部材２４と押動部材２０とが一体に第二のプーリ１４即ち閉塞位置側に移動する。そして、固定部２５がピストン部材２４に固定された押動部材２０の当接部２６が、カバー部材引張部材１８のガイド部２２に当接する。図１及び図３（ｂ）に示すように、押動部材２０の当接部２６が、カバー部材引張部材１８のガイド部２２を第二のプーリ１４即ち閉塞位置側に押動する。ガイド部２２が第二のプーリ１４即ち閉塞位置側に押動され、ガイド部２２がガイドレール１７に沿って移動自在に設けられていることにより、カバー部材引張部材１８の装着部２１がシート状カバー部材１０の自由端部１０ａを第二のプーリ１４即ち閉塞位置側に引き出す。すると、自由端部１０ａが引き出されることにより、回転軸１２及び第一のプーリ１３がシート状カバー部材１０を引き出す方向Ｋ１（図１及び図３（ｂ）に示す）に回転され、回転軸１２に一端に連結された第一のプーリ１３が無端ベルト１５をプーリ１３，１４間で移動させる。そして、係合部材１６が、カバー部材引張部材１８のガイド部２２及び押動部材２０と同方向に移動することとなる。
【００５０】
このとき、回転軸１２と第一のプーリ１３とが一体に回転するので、回転軸１２と第一のプーリ１３との回転数が等しく、回転軸１２の外径ｒよりも第一のプーリ１３のプーリ径が若干小さく形成されている。このために、カバー部材引張部材１８などの移動速度（移動距離）よりも係合部材１６の移動速度（移動距離）が若干小さくなる。シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが閉塞位置に近づくのにしたがって、係合部材１６が押動部材２０の当接部２６から徐々に離れることとなる。
【００５１】
そして、図３（ｃ）に示すように、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが閉塞位置に位置付けられる。シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが閉塞位置に位置付けられると、制御手段１００は、加圧気体供給源からの加圧された気体のシリンダ２３の左側のエア供給口への供給を停止または維持して、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａを閉塞位置に保つ。また、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが閉塞位置に位置付けられると、押動部材２０の当接部２６と係合部材１６とは、前述した間隔Ｄをあける。また、押動部材２０の当接部２６とカバー部材引張部材１８のガイド部２２は、互いに接触して、第二のプーリ１４及び自由端部１０ａの下方に位置している。さらに、直動アクチュエータ１９のピストン部材２４も、第二のプーリ１４及び自由端部１０ａの下方即ち閉鎖位置に位置付けられている。こうして、シート状カバー部材１０を開放位置から閉塞位置に移動させる際には、開放位置に位置付けられている直動アクチュエータ１９のピストン部材２４が閉塞位置側へ移動し、ピストン部材２４に固定された押動部材２０がカバー部材引張部材１８に当接して押動しシート状カバー部材１０の自由端部１０ａを閉塞位置まで移動させる。また、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが閉塞位置に位置付けられると、シート状カバー部材１０は、殆どが回転軸１２から引き出されて、筐体３の開口部３ａを覆う（塞ぐまたは閉塞する）。
【００５２】
次に、図３（ｃ）に示す閉塞位置から開放位置にシート状カバー部材１０の自由端部１０ａを移動させる際には、制御手段１００は、直動アクチュエータ１９のシリンダ２３の図３（ｃ）中の右側即ち閉塞位置側のエア供給口に加圧気体供給源からの加圧された気体を供給する。すると、直動アクチュエータ１９のピストンがシリンダ２３内を移動して、ピストン部材２４と押動部材２０とが一体に第一のプーリ１３即ち開放位置側に移動する。そして、固定部２５がピストン部材２４に固定された押動部材２０の当接部２６が、カバー部材引張部材１８のガイド部２２から離れて係合部材１６に当接する。図２及び図３（ｄ）に示すように、押動部材２０の当接部２６が、係合部材１６を第二のプーリ１４即ち開放位置側に押動する。係合部材１６が無端ベルト１５に固定装着されているので、係合部材１６が押動されるのと一体に無端ベルト１５が動く。無端ベルト１５がプーリ１３，１４に巻回されているので、係合部材１６の押動と無端ベルト１５の動きにより、第一のプーリ１３は、回転軸１２がシート状カバー部材１０を巻き取る方向Ｋ２（図２、図３（ｄ）及び図３（ｅ）に示す）に回転する。そして、回転軸１２と第一のプーリ１３とが一体に回転するので、回転軸１２は、シート状カバー部材１０を引き出す方向Ｋ１の逆向きの巻き取る方向Ｋ２に回転して、シート状カバー部材１０を徐々に巻き取る。すると、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａ及びカバー部材引張部材１８の装着部２１が、開放位置側に引き戻されるとともに、カバー部材引張部材１８のガイド部２２が、ガイドレール１７に沿って第一のプーリ１３即ち開放位置側に移動する。こうして、カバー部材引張部材１８のガイド部２２が、係合部材１６と同方向に移動することとなる。
【００５３】
このとき、回転軸１２の外周にシート状カバー部材１０が巻き取られていくのにしたがって、回転軸１２の外周に巻かれたシート状カバー部材１０の外径が徐々に太くなる。回転軸１２及び第一のプーリ１３の回転数と無端ベルト１５即ち係合部材１６の移動速度（移動距離）との関係は、回転軸１２の外周にシート状カバー部材１０が巻き取られても変化しない。このために、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが開放位置に近づくのにしたがって、回転軸１２及び第一のプーリ１３の単位回転数当たりのシート状カバー部材１０を巻き取る長さが徐々に長くなり、図３（ｅ）に示すように、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａ即ちカバー部材引張部材１８のガイド部２２が押動部材２０の当接部２６に徐々に近づくこととなる。
【００５４】
そして、図３（ａ）に示すように、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが開放位置に位置付けられる。シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが開放位置に位置付けられると、制御手段１００は、加圧気体供給源からの加圧された気体のシリンダ２３の右側のエア供給口への供給を停止または維持して、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａを開放位置に保つこととなる。こうして、シート状カバー部材１０を閉塞位置から開放位置に移動させる際には、閉塞位置に位置付けられている直動アクチュエータ１９のピストン部材２４が開放位置側へ移動し、ピストン部材２４に固定された押動部材２０が係合部材１６に当接して押動し、係合部材１６を押動するのに追従し係合部材１６が固定装着された無端ベルト１５が動き、無端ベルト１５により回転する第一のプーリ１３を介して回転軸１２が回転し、シート状カバー部材１０が回転軸１２に巻き取られる。このように、筐体カバー機構１は、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａを、開放位置と閉塞位置との間で移動して、筐体３の開口部３ａを開閉する。
【００５５】
以上のように、本実施形態に係る筐体カバー機構１は、シート状カバー部材１０を閉塞位置から開放位置に移動させる際には、直動アクチュエータ１９のピストン部材２４を開放位置側に移動し、押動部材２０が係合部材１６を押動するのに追従して無端ベルト１５がシート状カバー部材１０を巻き取る方向Ｋ２に回転軸１２を回転させる。シート状カバー部材１０が回転軸１２に巻き取られることで、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが開放位置に向かって移動する。こうして、筐体カバー機構１は、シート状カバー部材１０を閉塞位置から開放位置に移動させる際には、回転軸１２がシート状カバー部材１０を巻き取る方向Ｋ２に回転することにより、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａが閉塞位置から開放位置に向かって移動する。したがって、筐体カバー機構１は、シート状カバー部材１０の経年劣化により巻き取り癖が少なくなっても、閉塞位置では、シート状カバー部材１０が回転軸１２に巻き取られることとなる。よって、筐体カバー機構１は、経年劣化によるシート状カバー部材１０の巻き取り不具合を無くすことができる。
【００５６】
また、筐体カバー機構１は、シート状カバー部材１０を開放位置から閉塞位置に移動させる際には、直動アクチュエータ１９のピストン部材２４を閉塞位置側に移動し、押動部材２０がカバー部材引張部材１８を押動して、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａを閉塞位置まで移動する。したがって、筐体カバー機構１は、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａを開放位置から閉塞位置に確実に移動させることができる。
【００５７】
さらに、筐体カバー機構１は、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａに直動アクチュエータ１９のピストン部材２４などにより押動されるカバー部材引張部材１８を装着している。このために、筐体カバー機構１は、直動アクチュエータ１９のピストン部材２４の直線運動により、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａを開放位置から閉塞位置に移動させる。また、筐体カバー機構１は、シート状カバー部材１０の固定端部１０ｂに直動アクチュエータ１９のピストン部材２４などにより係合部材１６が押動されることなどにより回転される回転軸１２を装着している。このために、筐体カバー機構１は、直動アクチュエータ１９のピストン部材２４の直線運動を係合部材１６、無端ベルト１５及びプーリ１３，１４により回転軸１２の回転運動に変換することにより、シート状カバー部材１０の自由端部１０ａを開放位置から閉塞位置に移動させる。このような構成により、一つの直動アクチュエータ１９により、シート状カバー部材１０の開閉動作とシート状カバー部材１０の巻取り動作を行うことができる。したがって、シート状カバー部材１０に巻取り癖を備える必要がなく、経年劣化による巻き取り不具合をなくす事ができる。
【００５８】
なお、上記実施形態では、ウェーハ処理装置２のウェーハ処理手段５として、保持手段４に保持されたウェーハＷの表面に溶液塗布の処理を施すウェーハ処理手段を示している。本発明では、ウェーハ処理手段として、保持手段４に保持されたウェーハＷの表面に洗浄の処理を施すウェーハ処理手段を用いても良い。また、本発明では、回転軸１２の外径ｒよりも第一のプーリ１３のプーリ径を遥かに小さくしても良い。
【符号の説明】
【００５９】
１  筐体カバー機構
３  筐体
３ａ  開口部
４  保持手段
５  ウェーハ処理手段
１０  シート状カバー部材
１０ａ  自由端部
１０ｂ  固定端部
１１  移動機構
１２  回転軸
１３  第一のプーリ
１４  第二のプーリ
１５  無端ベルト
１６  係合部材
１７  ガイドレール
１８  カバー部材引張部材
１９  直動アクチュエータ
２０  押動部材
２１  装着部（一方）
２２  ガイド部（他方）
２３  シリンダ
２４  ピストン部材
Ｉ  移動方向
Ｗ  ウェーハ
【図１】
0005855428.tif 000002
【図２】
0005855428.tif 000003
【図３】
0005855428.tif 000004