(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の回転体と、
前記複数の回転体によって無端状に張架され、内周側から外周側に貫通する複数の貫通孔を有し、ワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、
前記搬送部の内周側に配された中空部材であって、内部空間が前記貫通孔と連通し、弾性変形によって該内部空間の容積が可変する複数の可変部と、
前記可変部の搬送方向への移動に伴い、該可変部に作用する荷重を増減させて前記内部空間の容積を変化させる荷重付加機構と、
を備え、
前記荷重付加機構は、
前記可変部に固定され、磁性を有する複数の磁性部と、
前記搬送部の内周側に、該搬送部から離隔して配され、前記磁性部に対し、磁力によって引力または斥力を生じさせる磁力部と、
を含んで構成されることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記可変部の内部空間には、該可変部に対し、前記荷重付加機構による荷重の方向またはそれに反する方向に弾性力を作用させる弾性体が配されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記可変部は、ベローズ構造であることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項４】
複数の回転体と、該複数の回転体によって無端状に張架され、内周側から外周側に貫通する複数の貫通孔を有し、ワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、該搬送部の内周側に配された中空部材であって、内部空間が該貫通孔と連通し、弾性変形によって該内部空間の容積が可変する複数の可変部と、該可変部に固定され、磁性を有する複数の磁性部と、該搬送部の内周側に、該搬送部から離隔して配され、該磁性部に対し、磁力によって引力または斥力を生じさせる磁力部と、を含んで構成される搬送装置を用いた搬送方法であって、
前記複数の搬送部に、前記ワークを、前記貫通孔を閉塞するように載置し、
前記可変部の搬送方向への移動に伴い、該可変部に作用する荷重を、前記磁性部および前記磁力部の間の前記磁力によって増減し、
前記内部空間の容積を膨張させることで該内部空間を減圧して、前記ワークを前記貫通孔に吸着することを特徴とする搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置および搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、板ガラス等の薄板状のワークの搬送には、例えば、ベルトコンベアが用いられている。近年、ワークの薄型化や軽量化が進んでおり、ワークとベルトの間の摩擦抵抗が小さくなって滑りやすくなり、搬送速度によっては安定した搬送が困難となっている。
【０００３】
そこで、ベルトに内周側から外周側に貫通する複数の貫通孔を設け、ベルトの内周側に減圧される吸入溝を有するフレームを配し、貫通孔がフレームの上面に位置するときに吸入溝と連通することで、ワークをベルトに吸着しながら搬送する搬送装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許３６４４２６９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ワークとベルトの摩擦力を大きくするために、例えば、上述した特許文献１では、吸入溝を減圧するポンプなどを用いているので、ベルトコンベアの他にポンプなどを作動させるための動力を準備しなくてはならず、また、消費電力も大きくなってしまう。
【０００６】
本発明の目的は、消費電力の増加を抑えつつ、ワークを安定して搬送することが可能な搬送装置および搬送方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の搬送装置は、複数の回転体と、複数の回転体によって無端状に張架され、内周側から外周側に貫通する複数の貫通孔を有し、ワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、搬送部の内周側に配された中空部材であって、内部空間が貫通孔と連通し、弾性変形によって内部空間の容積が可変する複数の可変部と、可変部の搬送方向への移動に伴い、可変部に作用する荷重を増減させて内部空間の容積を変化させる荷重付加機構と、を備え、荷重付加機構は、可変部に固定され、磁性を有する複数の磁性部と、搬送部の内周側に、搬送部から離隔して配され、磁性部に対し、磁力によって引力または斥力を生じさせる磁力部と、を含んで構成されることを特徴とする。
【００１０】
可変部の内部空間には、可変部に対し、荷重付加機構による荷重の方向またはそれに反する方向に弾性力を作用させる弾性体が配されてもよい。
【００１１】
可変部は、ベローズ構造であってもよい。
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明の搬送方法は、複数の回転体と、複数の回転体によって無端状に張架され、内周側から外周側に貫通する複数の貫通孔を有し、ワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、搬送部の内周側に配された中空部材であって、内部空間が貫通孔と連通し、弾性変形によって内部空間の容積が可変する複数の可変部と、可変部に固定され、磁性を有する複数の磁性部と、搬送部の内周側に、搬送部から離隔して配され、磁性部に対し、磁力によって引力または斥力を生じさせる磁力部と、を含んで構成される搬送装置を用いた搬送方法であって、複数の搬送部に、ワークを、貫通孔を閉塞するように載置し、可変部の搬送方向への移動に伴い、可変部に作用する荷重を、磁性部および磁力部の間の磁力によって増減し、内部空間の容積を膨張させることで内部空間を減圧して、ワークを貫通孔に吸着することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、消費電力の増加を抑えつつ、ワークを安定して搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１の実施形態における搬送装置の構造を説明するための説明図である。
【図２】第１の実施形態における搬送部近傍の斜視図である。
【図３】第１の実施形態おける可変部の変化を説明するための説明図である。
【図４】第１変形例における荷重付加機構を説明するための説明図である。
【図５】第２変形例を説明するための説明図である。
【図６】第１の実施形態おける搬送方法を説明するためのフローチャートである。
【図７】第２の実施形態における可変部の変化を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。
【００１６】
本実施形態の搬送装置は、薄板状のワークを搬送するものであり、ここでは、板厚１ｍｍ以下程度のガラス板をワークとして搬送する搬送装置について説明する。
【００１７】
（第１の実施形態：搬送装置１００）
図１は、第１の実施形態における搬送装置１００の構造を説明するための説明図である。図１（ａ）は、搬送装置１００の上面図を示し、図１（ｂ）は、搬送装置１００の正面図を示し、図１（ｃ）は、搬送装置１００の側面図を示す。ただし、図１においては、説明の便宜上、搬送装置１００の搬送方向の長さを短く示している。
【００１８】
搬送装置１００は、回転体１１０と、搬送部１１２と、浮上部１１４と、可変部１１６と、荷重付加機構１１８とを含んで構成される。
【００１９】
回転体１１０は、中央に貫通孔を有する環状部材であって、搬送方向に複数（本実施形態では２つ）配置される。また、回転体１１０は、水平かつ搬送方向に垂直な方向に対向して複数（本実施形態では２つ）配置され、それぞれシャフト１１０ａの一端と固定されシャフト１１０ａと一体となって回転する。したがって、回転体１１０の回転軸は、水平かつ搬送方向に垂直となる。
【００２０】
ベース１０２は、搬送装置１００の土台である。支持脚１０４は、このベース１０２に直立して固定されている。そして、支持脚１０４の上部には貫通孔１０４ａが設けられている。シャフト１１０ａは、この貫通孔１０４ａの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。
【００２１】
搬送方向の上流側に配された２本のシャフト１１０ａの他端には、プーリ１１０ｂが取り付けられている。プーリ１１０ｂは、シャフト１１０ａと一体となって回転する。支持脚１０４の下部にも貫通孔１０４ｂが設けられており、シャフト１１０ｃは、対向する貫通孔１０４ｂの両方に挿通され、貫通孔１０４ｂの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。
【００２２】
また、シャフト１１０ｃにも、プーリ１１０ｄが取り付けられており、プーリ１１０ｄは、シャフト１１０ｃと一体となって回転する。ベルト１１０ｅは、鉛直上方に位置するプーリ１１０ｂと鉛直下方に位置するプーリ１１０ｄによって無端状に張架され、プーリ１１０ｄの回転力をプーリ１１０ｂに伝達する。
【００２３】
シャフト１１０ｃの一端には、軸継手１１０ｆが設けられる。軸継手１１０ｆのうち、シャフト１１０ｃの逆側には、モータ等の駆動装置１１０ｇのシャフトの一端が嵌入される。シャフト１１０ｃには、軸継手１１０ｆによって駆動装置１１０ｇの回転力が伝達される。
【００２４】
回転体１１０は、このような機構によって駆動装置１１０ｇの回転力が伝達されて回転する。ここでは、１つの駆動装置１１０ｇが回転体１１０を回転させる構成を例に挙げたが、例えば、複数の駆動装置１１０ｇが同期して回転体１１０を回転させるとしてもよい。また、ここでは、プーリ１１０ｂ、１１０ｄが、回転体１１０の対向方向の内側に配される構成を例に挙げたが、回転体１１０の対向方向の外側に配されてもよい。
【００２５】
搬送部１１２は、例えばベルトで構成され、複数の回転体１１０によって無端状に張架されて、回転体１１０の回転に伴い、図１（ｃ）に示す白抜き矢印Ｙの方向に回転する。図１（ａ）に示すように、搬送部１１２は、搬送方向に平行に、複数（本実施形態では２つ）対向配置される。また、搬送部１１２は、複数の突起部１１２ａを有する。
【００２６】
突起部１１２ａは、例えば樹脂等で構成され、搬送部１１２の表面に搬送方向に沿って複数配されてワークを接触支持する。搬送部１１２は、図１（ｃ）に示す白抜き矢印Ｙの方向へ回転することで、突起部１１２ａに接触支持されたワークを図１（ａ）に示す白抜き矢印Ｘの方向に搬送する。
【００２７】
また、突起部１１２ａには、それぞれ、搬送部１１２の内周側から突起部１１２ａの先端（搬送部１１２の外周側）に貫通する貫通孔１１２ｂが設けられている。
【００２８】
浮上部１１４は、例えば、圧縮空気を噴出する噴出装置等で構成され、搬送方向に平行に配置された複数の搬送部１１２間のベース１０２上に載置されている。浮上部１１４は、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークの一部を浮上させる。
【００２９】
具体的には、ワークを突起部１１２ａで接触支持した状態で、浮上部１１４が気体（圧縮空気）を噴出して鉛直上方への気体の流れを生じさせると、浮上部１１４とワークの間の空気の圧力が高まる。ワークは、搬送中、この空気の圧力による鉛直上方への力と、ワークの自重に対する突起部１１２ａからの反力で支持されることとなる。
【００３０】
このとき、浮上部１１４は、ワークを支持する空気の圧力として、圧縮空気の噴出方向の動圧ではなく、ワークの下方の空間が狭く四方に分散しようとする空気の動きが抑制された結果生じる静圧を利用するため、少ない動力でワークを支持可能となる。
【００３１】
図２は、第１の実施形態における搬送部１１２近傍の斜視図である。図２では、一方の搬送部１１２の上流側の端部近傍を抽出して示す。
【００３２】
可変部１１６は、中空部材であって、図２に示すように、搬送部１１２の内周側に複数配される。また、可変部１１６は、内部空間が貫通孔１１２ｂと連通し、弾性変形によって内部空間の容積が可変となっている。本実施形態においては、可変部１１６は、ベローズ構造である。可変部１１６をベローズ構造とすることで、伸縮による内部空間の容積の変化を大きくできる。
【００３３】
荷重付加機構１１８は、可変部１１６の搬送方向への移動に伴い、可変部１１６に作用する荷重を増減させて、可変部１１６の内部空間の容積を変化させる。具体的に、荷重付加機構１１８は、複数の磁性部１１８ａと、磁力部１１８ｂと、を含んで構成される。磁性部１１８ａは、例えば、金属などの磁性を有する部材で構成される。そして、磁性部１１８ａは、可変部１１６のうち、搬送部１１２の内周側の先端に固定される。
【００３４】
磁力部１１８ｂは、例えば、永久磁石や電磁石などの磁石で構成され、図１に示す支持棒１１８ｃに固定支持され、搬送部１１２の内周側において、搬送部１１２から離隔して搬送方向に延在する。そして、磁力部１１８ｂは、磁性部１１８ａに対し、磁力によって引力を生じさせる。
【００３５】
荷重付加機構１１８は、可変部１１６の搬送方向への移動に伴い、吸引領域Ａ（図１（ｃ）参照）において可変部１１６に引張荷重を付加（増加）し、内部空間の容積を変化（膨張）させる。ここで、吸引領域Ａは、後述する可変部１１６の内部空間の容積が膨張して、ワークＷが貫通孔１１２ｂに吸着した状態で搬送される領域である。
【００３６】
図３は、第１の実施形態おける可変部１１６の変化を説明するための説明図である。ここでは、理解を容易とするため、ワークＷが突起部１１２ａの２つの間隔程度の長さであって、磁力部１１８ｂの搬送方向の長さも同程度とするが、ワークＷや磁力部１１８ｂの搬送方向の長さはより長くてもよい。
【００３７】
また、ここでは、搬送部１１２のうち、搬送方向に移動する鉛直上側の部分を抽出して示し、特に、ワークＷの鉛直下方に位置する突起部１１２ａおよび可変部１１６については断面を示す。また、かかるワークＷの鉛直下方に位置する可変部１１６を、図中、左側から順に可変部１１６ａ、１１６ｂとする。
【００３８】
始めに、ワークＷが搬送部１１２に乗り継ぎ、搬送部１１２に設けられた複数の貫通孔１１２ｂのうちの２つが、ワークＷが載置されることによって閉塞されたとする。
【００３９】
図３（ａ）に示すように、可変部１１６ａ、１１６ｂが磁力部１１８ｂよりも搬送方向の上流側に位置するときは、荷重付加機構１１８は可変部１１６ａ、１１６ｂに荷重を作用させない。この状態では、可変部１１６ａ、１１６ｂの自重と、可変部１１６の伸縮方向の弾性力とが釣り合っている。このときの可変部１１６ａ、１１６ｂの内部空間の容積を容積Ｖ０とする。
【００４０】
そして、搬送部１１２の回転に伴って、図３（ｂ）に示すように、可変部１１６ｂが搬送方向に移動して、磁力部１１８ｂの鉛直上方に位置する。すなわち、可変部１１６ｂの搬送方向の位置が、磁力部１１８ｂと同じ位置となる。
【００４１】
すると、磁力部１１８ｂは、可変部１１６ｂに固定された磁性部１１８ａに対し、磁力による引力を作用させる。そして、磁性部１１８ａを介し、可変部１１６ｂも磁力部１１８ｂに向かって引っ張られる。
【００４２】
そして、可変部１１６ｂは鉛直方向に伸張する。ここで、可変部１１６ｂの弾性変形は上限を設けており、可変部１１６ｂが伸張しても、磁性部１１８ａが磁力部１１８ｂと当接しない程度、双方は離隔している。
【００４３】
こうして、可変部１１６ｂの内部空間の容積が膨張して容積Ｖ０よりも大きい容積Ｖ１となる。このとき、貫通孔１１２ｂはワークＷによって閉塞されているため、空気の吸引がわずかながらある場合もあるが、基本的に内部空間の圧力は減圧される。
【００４４】
上記のように、荷重付加機構１１８は、ワークＷが貫通孔１１２ｂを閉塞しているとき、可変部１１６の内部空間の容積を膨張させることで、内部空間を減圧してワークＷを貫通孔１１２ｂに吸着させる。
【００４５】
さらに、搬送部１１２の回転に伴って、図３（ｃ）に示すように、可変部１１６ａが搬送方向に移動して、磁力部１１８ｂの鉛直上方に位置し、可変部１１６ａの搬送方向の位置が、磁力部１１８ｂと同じ位置となる。こうして、可変部１１６ｂと同様、可変部１１６ａの内部空間も圧力が減圧される。
【００４６】
そして、図３（ｄ）に示すように、ワークＷが磁力部１１８ｂの鉛直上方を通過するまで搬送されると、磁性部１１８ａは、磁力部１１８ｂから離隔し、磁力による引力が作用しなくなる。すると、可変部１１６が弾性力によって収縮し、内部空間の容積が容積Ｖ０に戻る。
【００４７】
そのため、内部空間の圧力は大気圧まで戻り、ワークＷに作用していた貫通孔１１２ｂへの吸着力はなくなる。その後、ワークＷは、例えば、隣に配された他の搬送装置や加工装置などに乗せ替えられる。
【００４８】
上述したように、本実施形態の搬送装置１００は、ワークＷの搬送に伴い、磁性部１１８ａが移動し、荷重付加機構１１８が、可変部１１６の内部空間の容積を膨張させることによって、ワークＷを貫通孔１１２ｂに吸着させる。そのため、搬送装置１００は、ワークＷを搬送部１１２に吸着させるために、搬送部１１２を駆動させる以外の動力を要さず、ワークＷを吸着して搬送でき、消費電力の増加を抑えることが可能となる。特に、搬送装置１００に設けられた荷重付加機構１１８は、可変部１１６に対して、離隔した状態で荷重を付加するため、摩擦による磨耗などが少なく、部品交換などのメンテナンスの頻度を抑制できる。
【００４９】
また、ワークＷに対する吸着力を作用させるタイミングは、磁力部１１８ｂを配する位置によって自動的に決定される。そのため、搬送装置１００は、吸着力のＯＮ、ＯＦＦについて特別な制御装置を要さず、製造コストを削減できる。
【００５０】
また、上述した実施形態では、磁性部１１８ａが金属部材であって、磁力部１１８ｂが磁石であって、磁力部１１８ｂの磁力によって磁性部１１８ａが引っ張られる場合について説明した。しかし、磁性部１１８ａが磁石で構成され、磁力部１１８ｂが金属などの磁性を有する部材で構成されてもよい。
【００５１】
また、磁性部１１８ａおよび磁力部１１８ｂの両方が磁石で構成されてもよい。この場合、磁性部１１８ａおよび磁力部１１８ｂの対向面のうち、いずれか一方がＮ極、他方がＳ極となるように配置される。ここでも、上述した実施形態と同様、可変部１１６の弾性変形は上限を設けており、可変部１１６が伸張しても、磁性部１１８ａが磁力部１１８ｂと当接しない程度、双方は離隔している。
【００５２】
かかる構成により、磁性部１１８ａおよび磁力部１１８ｂの双方が、互いに引力を作用させ合うため引力が大きくなる。そのため、搬送装置１００は、可変部１１６の変形による減圧効果を大きくし、ワークＷを搬送部１１２の貫通孔１１２ｂに確実に吸着することが可能となる。
【００５３】
（第１変形例）
図４は、第１変形例における荷重付加機構２１８を説明するための説明図である。荷重付加機構２１８は、磁性部２１８ａおよび磁力部２１８ｂの対向面の両方がＮ極となるように配置する。そして、磁力部２１８ｂは、磁性部２１８ａに対し、磁力によって斥力を生じさせる。
【００５４】
図４（ａ）に示すように、始めに、搬送部１１２にワークＷが乗り継ぎ、搬送部１１２に設けられた複数の貫通孔１１２ｂのうちの２つが、ワークＷによって閉塞されたとする。
【００５５】
このとき、ワークＷの鉛直下方に位置する可変部１１６は、予め、磁性部２１８ａと磁力部２１８ｂの間に生じる斥力によって、鉛直方向に圧縮荷重が作用している。このときの可変部１１６の内部空間の容積を容積Ｖ２とする。
【００５６】
そして、搬送部１１２の回転に伴い、可変部１１６が搬送方向に移動して、図４（ｂ）に示すように、可変部１１６ｂの搬送方向の位置が、磁力部２１８ｂが配された位置と重なる領域から外れ、吸引領域Ａに入ると、荷重付加機構２１８が可変部１１６に作用させる圧縮荷重がなくなる（減少する）。可変部１１６ｂは可変部１１６ｂの自重や磁性部２１８ａの自重によって鉛直方向に伸張される。ここで、可変部１１６ｂは、可変部１１６ｂの自重や磁性部２１８ａの自重によって十分な変形が生じる程度に、弾性係数が低く設計されている。
【００５７】
可変部１１６ｂの伸張に伴い、内部空間の容積が膨張して、容積Ｖ２より大きい容積Ｖ０となる。このとき、貫通孔１１２ｂはワークＷによって閉塞されているため、わずかな空気の吸引があるものの、内部空間の圧力は減圧される。
【００５８】
こうして、荷重付加機構２１８は、ワークＷが貫通孔１１２ｂを閉塞しているとき、内部空間の容積を膨張させることで、内部空間を減圧してワークＷを貫通孔１１２ｂに吸着させる。
【００５９】
さらに、搬送部１１２の回転に伴って、図４（ｃ）に示すように、可変部１１６ａが搬送方向に移動して、可変部１１６ａの搬送方向の位置が、磁力部２１８ｂが配された位置と重なる領域から外れ、吸引領域Ａに入る。こうして、可変部１１６ｂと同様、可変部１１６ａの内部空間も圧力が減圧される。
【００６０】
そして、可変部１１６が搬送方向に移動して、図４（ｄ）に示すように、可変部１１６が、磁力部２１８ｂが配された位置と重なる領域に到達すると、ワークＷの鉛直下方に位置する可変部１１６は、磁性部２１８ａと磁力部２１８ｂの間に生じる斥力によって圧縮され、可変部１１６の内部空間の容積が容積Ｖ２となる。そのため、内部空間の圧力は大気圧まで戻り、ワークＷに作用していた貫通孔１１２ｂへの吸着力はなくなる。
【００６１】
かかる構成によっても、搬送装置１００は、ワークＷを搬送部１１２に吸着させるために、搬送部１１２を駆動させる以外の動力を要さず、ワークＷを吸着して搬送でき、消費電力の増加を抑えることが可能となる。また、可変部１１６に荷重を作用させる領域は、搬送方向の上流と下流の一部でよいため、搬送部１１２の搬送方向の長さが長くなっても、磁力部２１８ｂの点数の増加を抑制することが可能となる。
【００６２】
第１変形例では、磁性部２１８ａおよび磁力部２１８ｂの対向面の両方がＮ極となるように配置する場合について説明したが、磁性部２１８ａおよび磁力部２１８ｂの対向面の両方をＳ極となるように配置してもよい。
【００６３】
（第２変形例）
図５は、第２変形例を説明するための説明図であり、図３に対応する位置を示す。例えば、図５（ａ）に示すように、可変部１１６の内部空間に弾性体１１６ｃが配される。弾性体１１６ｃは、例えば、圧縮バネで構成される。そして、弾性体１１６ｃは、一端が磁性部１１８ａに、他端が可変部１１６の内側に固定され、荷重付加機構１１８による荷重が作用していない状態では、圧縮状態となっている。
【００６４】
図５（ａ）では、弾性体１１６ｃが伸張しようとする弾性力と、可変部１１６が収縮しようとする（初期長さを維持しようとする）弾性力とがつりあっている。
【００６５】
そして、弾性体１１６ｃは、荷重付加機構１１８による荷重が付加され、可変部１１６が伸張し始めると、可変部１１６に対して、荷重付加機構１１８による引張荷重の方向（図５（ａ）中、白抜き矢印で示す）に弾性力を作用させる。このときの弾性体１１６ｃの弾性力は、可変部１１６が収縮しようとする弾性力よりも大きくなる。
【００６６】
かかる構成により、荷重付加機構１１８は、可変部１１６をより大きく膨張させることができ、搬送装置１００は、ワークＷへの吸着力を高めて安定した搬送を実現することが可能となる。
【００６７】
また、図５（ｂ）に示すように、弾性体１１６ｃは、荷重付加機構１１８による荷重が作用していない状態で、引張状態としてもよい。図５（ｂ）では、弾性体１１６ｃが収縮しようとする（初期長さを維持しようとする）弾性力と、可変部１１６が伸張しようとする弾性力とがつりあっている。この場合、弾性体１１６ｃは、可変部１１６に対して、荷重付加機構１１８による引張荷重の方向に反する方向、すなわち、圧縮方向に弾性力を作用させる。このときの弾性体１１６ｃの弾性力は、可変部１１６が伸長しようとする弾性力よりも大きくなる。
【００６８】
かかる構成により、荷重付加機構１１８による引張荷重がなくなったとき、可変部１１６をより迅速に圧縮させることができ、搬送装置１００は、ワークＷへの吸着力をすみやかに解除して、例えば、他の搬送装置への乗せ替えを安定化することが可能となる。
【００６９】
（搬送方法）
図６は、第１の実施形態おける搬送方法を説明するためのフローチャートである。図６に示すように、まず、搬送部１１２に、ワークＷが載置され、貫通孔１１２ｂを閉塞する（Ｓ３００）。そして、搬送部１１２が回転する（Ｓ３０２）。
【００７０】
搬送部１１２の回転に伴いワークＷと、ワークＷの鉛直下方の可変部１１６が搬送方向に移動して、磁力部１１８ｂの鉛直上方に位置する（Ｓ３０４）。そして、磁力部１１８ｂは、可変部１１６に固定された磁性部１１８ａに対し、磁力による引力を作用させる（Ｓ３０６）。荷重付加機構１１８は、可変部１１６を鉛直方向に伸張させ、内部空間の容積を膨張させて内部空間を減圧し、ワークＷを貫通孔１１２ｂに吸着させる（Ｓ３０８）。
【００７１】
ワークＷが磁力部１１８ｂの鉛直上方を通過するまで搬送されると、磁性部１１８ａは、磁力部１１８ｂから離隔し（Ｓ３１０）、可変部１１６が弾性力によって収縮することで、荷重付加機構１１８は、ワークＷに作用させていた貫通孔１１２ｂへの吸着力を解除する（Ｓ３１２）。
【００７２】
かかる搬送方法によれば、ワークＷを搬送部１１２に吸着させるために、搬送部１１２を駆動させる以外の動力を要さず、ワークＷを吸着して搬送でき、消費電力の増加を抑えることが可能となる。
【００７３】
（第２の実施形態：搬送装置４００）
次に、第２の実施形態の搬送装置４００における荷重付加機構４１８について説明する。第２の実施形態では、上記第１の実施形態と、荷重付加機構４１８のみが異なる。したがって、ここでは上記第１の実施形態と同じ構成については説明を省略し、構成が異なる荷重付加機構４１８についてのみ説明する。
【００７４】
図７は、第２の実施形態における可変部１１６の変化を説明するための説明図である。図７に示すように、荷重付加機構４１８は、当接部４２０と、ケーシング４２２と、を含んで構成される。
【００７５】
当接部４２０は、搬送方向の摩擦力が小さい部材、本実施形態においては複数のローラで構成され、搬送部１１２の内周側に、搬送部１１２から離隔して配され、搬送方向に延在し可変部１１６に当接する。当接部４２０は、各ローラの軸方向が水平かつ搬送方向に垂直に、搬送方向に複数配される。
【００７６】
また、当接部４２０は、搬送方向の位置によって、その接触部分の鉛直方向の高さが低い低位部４２０ａと、鉛直方向の高さが高い高位部４２０ｂとを有す。ここでは、当接部４２０は、ケーシング４２２によって、鉛直方向の高さが調整され回転方向以外の動きが規制されつつ、回転自在に保持されている。
【００７７】
図７に示すように、始めに、搬送部１１２にワークＷが乗り継ぎ、搬送部１１２に設けられた複数の貫通孔１１２ｂのうちの幾つかが、ワークＷによって閉塞されて、ワークＷの搬送が開始されたとする。
【００７８】
搬送の開始時には、可変部１１６が高位部４２０ｂに当接しており、高位部４２０ｂは、可変部１１６に、鉛直下方から鉛直上向きに荷重を付加し、可変部１１６を圧縮している。
【００７９】
そして、搬送部１１２が回転し、それに伴い可変部１１６が搬送方向に移動して、当接部４２０のうち、可変部１１６に当接する部位が、高位部４２０ｂから低位部４２０ａへと移動する。
【００８０】
すると、可変部１１６と当接する当接部４２０の鉛直方向の高さが低くなり、可変部１１６に作用する圧縮力が低下し、可変部１１６が鉛直方向に伸張して、内部空間の容積が膨張する。
【００８１】
このとき、貫通孔１１２ｂはワークＷによって閉塞されているため、わずかな空気の吸引があるものの、内部空間の圧力は減圧される。こうして、荷重付加機構４１８は、ワークＷが貫通孔１１２ｂを閉塞しているとき、内部空間の容積を膨張させることで、内部空間を減圧してワークＷを貫通孔１１２ｂに吸着させる。
【００８２】
そして、ワークＷが搬送方向の下流側に搬送されると、ワークＷの鉛直下方に位置する可変部１１６が、搬送方向の下流側に配された高位部４２０ｂに当接する。
【００８３】
すると、可変部１１６が当接部４２０によって圧縮されるため、内部空間の圧力は大気圧まで戻り、ワークＷに作用していた貫通孔１１２ｂへの吸着力はなくなる。その後、ワークＷは、例えば、隣に配された他の搬送装置や加工装置などに乗せ替えられる。
【００８４】
このように、可変部１１６は、当接部４２０と当接することで、搬送方向の位置によって、鉛直方向の高さが変化する。
【００８５】
上述したように、本実施形態の搬送装置４００は、ワークＷの搬送に伴い、荷重付加機構４１８が、可変部１１６の内部空間の容積を膨張させることによって、ワークＷを貫通孔１１２ｂに吸着させる。そのため、搬送装置４００は、ワークＷを搬送部１１２に吸着させるために、搬送部１１２を駆動させる以外の動力を要さず、ワークＷを吸着して搬送でき、消費電力の増加を抑えることが可能となる。特に、搬送装置４００に設けられた荷重付加機構４１８は、可変部１１６に直接当接して、可変部１１６に荷重を付加するため、構造が単純で可変部１１６の内部空間の容積変化量の調整が容易である。
【００８６】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００８７】
例えば、上述した実施形態および変形例では、ワークＷが他の搬送装置から搬送装置１００、４００に乗り継ぐ場合について説明したが、ワークＷを搬送装置１００、４００に載置してから、搬送部１１２を回転させて搬送を開始してもよい。
【００８８】
この場合、例えば、搬送装置１００に、磁力部１１８ｂの鉛直方向の位置を移動する機構を設け、ワークＷが載置されると、その鉛直下方に位置する磁力部１１８ｂの鉛直方向の位置を移動させることで、磁性部１１８ａ、２１８ａとの間に磁力を作用させ、可変部１１６に荷重を作用させるとよい。
【００８９】
また、搬送装置１００は、磁力部１１８ｂの鉛直方向の位置を移動する機構の代わりに、磁力部１１８ｂを電磁石として、その磁力（電磁石に流す電流）のＯＮ、ＯＦＦを切り替える機構を備えてもよい。
【００９０】
また、上述した第２の実施形態では、当接部４２０は、可変部１１６の鉛直下方に当接する場合について説明したが、当接部は、鉛直下方に限らず、可変部１１６に、例えば、水平方向に突出する突出部を設け、この突出部を鉛直方向の上下から挟持するレールを、搬送方向に延在させる構成であってもよい。この場合、当接部は、レールの鉛直方向の高さを調整することで、突出部を介して可変部１１６に荷重を付加する。可変部１１６は、レールの鉛直方向の高さによっては、自重による変形よりも大きく変形させられるため、ワークＷへの吸着力を高めて安定した搬送を実現することが可能となる。
【００９１】
また、上述した第２の実施形態では、当接部４２０は、高位部４２０ｂ、および、低位部４２０ａを有する場合について説明したが、低位部４２０ａを有さず、高位部４２０ｂのみを有する構成であってもよい。
【００９２】
また、第２変形例で示した弾性体１１６ｃを、第２の実施形態の搬送装置４００の可変部１１６の内部に設けてもよい。
【００９３】
なお、本明細書の搬送方法における各工程は、必ずしもフローチャートとして記載された順序に沿って時系列に処理する必要はない。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置および搬送方法に利用することができる。
【符号の説明】
【００９５】
１００、４００  …搬送装置
１１０  …回転体
１１２  …搬送部
１１２ｂ  …貫通孔
１１４  …浮上部
１１６  …可変部
１１６ｃ  …弾性体
１１８、２１８、４１８  …荷重付加機構
１１８ａ、２１８ａ  …磁性部
１１８ｂ、２１８ｂ  …磁力部
４２０  …当接部
４２０ａ  …低位部
４２０ｂ  …高位部
４２０ｃ  …傾斜部
ワーク  …Ｗ
領域  …Ａ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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