(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源（４）から電圧が印加されることによって流路（３）中の作動流体を流動させる複数個の電極対（１０ａ〜１０ｆ）と、
前記電源から前記複数個の電極対へ電圧を印加するための配線（６〜９）と、を備え、
前記配線上には、過電流が流れると電流を遮断する複数個の電流遮断手段（６２ａ〜６２ｃ、７２ａ〜７２ｃ、６６、８６）が設けられ、
前記複数個の電流遮断手段の各々は、当該電流遮断手段が電流を遮断したとき、前記複数個の電極対のうち一部に電圧が印加されなくなると共に、前記複数個の電極対のうち他の一部に電圧が印加され続けるような位置に配置されていることを特徴とする流体圧送装置。
【請求項２】
前記複数個の電極対の各々について、前記電源から当該電極対への配線には、前記複数個の電流遮断手段のうちいずれかが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の流体圧送装置。
【請求項３】
前記複数個の電流遮断手段の一部または全部は、前記電源から前記複数個の電極対のうち１個のみへの配線上に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の流体圧送装置。
【請求項４】
前記複数個の電流遮断手段の一部または全部は、前記電源から前記複数個の電極対のうち一部の複数個のみへの配線上に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の流体圧送装置。
【請求項５】
前記複数個の電極対のいずれかが短絡故障した場合に、短絡故障が発生した電極対に流れる電流の立ち上がりを抑制する１個以上の突入電流抑制手段（２５、６９ａ〜６９ｃ）を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の流体圧送装置。
【請求項６】
前記１個以上の突入電流抑制手段は、前記複数個の電極対と同じ数だけあって前記複数個の電極対と１対１に対応し、
前記前記１個以上の突入電流抑制手段は、前記複数の電極対のうち対応する電極対のみに電圧を印加するための配線上に設けられていることを特徴とする請求項５に記載の流体圧送装置。
【請求項７】
前記複数個の電流遮断手段の一部または全部は、過電流による発熱により電流を遮断することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の流体圧送装置。
【請求項８】
前記複数個の電流遮断手段の一部または全部は、前記流路（３）の外に取り付けられていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の流体圧送装置。
【請求項９】
電源（４）から電圧が印加されることによって流路（３）中の作動流体を流動させる第１の電極対（１０ａ〜１０ｆ）と、
前記電源から電圧が印加されることによって前記流路中の作動流体を流動させる第２の電極対（１０ａ〜１０ｆ）と、
前記電源から前記第１の電極対までの配線（３１、３２、４１、４２、６、８）上に配置され、過電流が流れると電流を遮断する第１の電流遮断手段（６２ａ〜６２ｃ、７２ａ〜７２ｃ、６６、８６）と、
前記電源から前記第１の電極対までの配線上で前記電源と前記第１の電流遮断手段の間にある分岐点から分岐して前記第２の電極対に至る配線（３１、３２、４１、４２、６、８）上に配置され、過電流が流れると電流を遮断する第２の電流遮断手段（６２ａ〜６２ｃ、７２ａ〜７２ｃ、６６、８６）と、を備えた流体圧送装置。
【請求項１０】
電源（４）から電圧が印加されることによって流路（３）中の作動流体を流動させる複数個の電極対（１０ａ〜１０ｆ）と、
過電流が流れると電流を遮断する複数個の電流遮断手段（６２ａ〜６２ｃ、７２ａ〜７２ｃ、６６、８６）と、を備え、
前記複数個の電流遮断手段の各々は、前記電源から前記複数個の電極対のうち一部の電極対のみへの配線上に配置されることを特徴とすることを特徴とする流体圧送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体圧送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気的に並列に接続された複数の電極対に電圧を印加し、各電極対の近傍に電界を発生させことで、電極対周囲の作動流体をＥＨＤ効果により流動させる流体圧送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３５３８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように、電気的に並列に接続された複数の電極対を用いて作動流体を流動させる場合、いずれか１個の電極対において短絡故障が発生した際に、閉回路ができてしまい、その結果、他の電極対に電圧を印加することができなくなる。電極対に電圧が印加されなくなると、作動流体を流動させることができなくなり、流体圧送装置が全く作動しなくなる。
【０００５】
本発明は上記点に鑑み、複数の電極対に電圧を印加してＥＨＤ効果により作動流体を流動させる技術において、１個の電極対に短絡が発生したとしても流体圧送装置を作動させ続けることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための請求項１に記載の発明は、電源（４）から電圧が印加されることによって流路（３）中の作動流体を流動させる複数個の電極対（１０ａ〜１０ｆ）と、前記電源から前記複数個の電極対へ電圧を印加するための配線（６〜９）と、を備え、前記配線上には、過電流が流れると電流を遮断する複数個の電流遮断手段（６２ａ〜６２ｃ、７２ａ〜７２ｃ、６６、８６）が設けられ、前記複数個の電流遮断手段の各々は、当該電流遮断手段が電流を遮断したとき、前記複数個の電極対のうち一部に電圧が印加されなくなると共に、前記複数個の電極対のうち他の一部に電圧が印加され続けるような位置に配置されていることを特徴とする流体圧送装置である。
【０００７】
このようになっていることで、ある電極対において短絡故障が発生して閉回路が発生した場合、当該閉回路上の電流遮断手段に過電流が流れ、その結果、電流を遮断する。短絡故障が発生した電極対を含む一部の電極対には電位差が発生しなくなるので、作動流体を流動させる機能がなくなる。しかし、当該電流遮断手段が電流を遮断したとしても、複数個の電極対のうち他の一部の電極ついには電圧が印加され続けるので、当該他の一部の電極対が作動流体を流動させる機能は損なわれることがない。したがって、流量の低下があったとしても、流体圧送装置を作動させ続けることができる。
【０００８】
また、請求項１０に記載の発明は、電源（４）から電圧が印加されることによって流路（３）中の作動流体を流動させる第１の電極対（１０ａ〜１０ｆ）と、前記電源から電圧が印加されることによって前記流路中の作動流体を流動させる第２の電極対（１０ａ〜１０ｆ）と、前記電源から前記第１の電極対までの配線（３１、３２、４１、４２、６、８）上に配置され、過電流が流れると電流を遮断する第１の電流遮断手段（６２ａ〜６２ｃ、７２ａ〜７２ｃ、６６、８６）と、前記電源から前記第１の電極対までの配線上で前記電源と前記第１の電流遮断手段の間にある分岐点から分岐して前記第２の電極対に至る配線（３１、３２、４１、４２、６、８）上に配置され、過電流が流れると電流を遮断する第２の電流遮断手段（６２ａ〜６２ｃ、７２ａ〜７２ｃ、６６、８６）と、を備えた流体圧送装置である。
【０００９】
このようになっていることで、第１の電極対において短絡故障が発生して閉回路が発生した場合、電源から第１の電極対までの配線上に配置された第１の電流遮断手段に、過電流が流れ、その結果、第１の電流遮断手段が電流を遮断する。すると、第１の電極対には電位差が発生しなくなるので、作動流体を流動させる機能がなくなる。しかし、第２の電極対は、電源と第１の電流遮断手段の間から分岐する配線に接続されているので、第２の電極対には依然として電圧が印加される。したがって、第２の電極対の機能は損なわれることがない。したがって、流量の低下があったとしても、流体圧送装置を作動させ続けることができる。
【００１０】
また、第２の電極対において短絡故障が発生して閉回路が発生した場合、電源から第２の電極対までの配線上に配置された第２の電流遮断手段に、過電流が流れ、その結果、第２の電流遮断手段が電流を遮断する。すると、第２の電極対には電位差が発生しなくなるので、作動流体を流動させる機能がなくなる。しかし、第２の電流遮断手段は、電源と第１の電流遮断手段の間から分岐した配線に接続されるので、第１の電極対には依然として電圧が印加される。したがって、第１の電極対の機能は損なわれることがない。したがって、流量の低下があったとしても、流体圧送装置を作動させ続けることができる。
【００１１】
また、請求項１０に記載の発明は、電源（４）から電圧が印加されることによって流路（３）中の作動流体を流動させる複数個の電極対（１０ａ〜１０ｆ）と、過電流が流れると電流を遮断する複数個の電流遮断手段（６２ａ〜６２ｃ、７２ａ〜７２ｃ、６６、８６）と、を備え、前記複数個の電流遮断手段の各々は、前記電源から前記複数個の電極対のうち一部の電極対のみへの配線上に配置されることを特徴とすることを特徴とする流体圧送装置である。
【００１２】
このようになっていることで、ある電極対において短絡故障が発生して閉回路が発生した場合、電源から当該電極対への配線上に配置された電流遮断手段に過電流が流れ、その結果、電流を遮断する。
【００１３】
すると、電源から当該電流遮断手段を経て電圧が印加される電極対には電位差が発生しなくなるので、作動流体を流動させる機能がなくなる。しかし、当該電流遮断手段は、短絡故障した電極対を含む「電極対のうち一部のみ」への配線上に配置されているだけなので、当該「電極対のうち一部のみ」以外の他の電極対には依然として電圧が印加されるので、当該他の電極対が作動流体を流動させる機能は損なわれることがない。したがって、流量の低下があったとしても、流体圧送装置を作動させ続けることができる。
【００１４】
なお、上記および特許請求の範囲における括弧内の符号は、特許請求の範囲に記載された用語と後述の実施形態に記載される当該用語を例示する具体物等との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】管１の一部を表す斜視図である。
【図２】管１の一部の平面図である。
【図３】管１の一部の側面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ断面図であり、第１実施形態における電極対の配置および電気的接続を表す図である。
【図５】電極対にゴミ物体２１が付着した状態を示す図である。
【図６】電極対にゴミ物体２１が付着した結果ヒューズ部６２ｂが切れた状態を示す図である。
【図７】第２実施形態における電極対の配置および電気的接続を表す図である。
【図８】電極対にゴミ物体２１が付着した結果ヒューズ部８６が切れた状態を示す図である。
【図９】第３実施形態における電極対の配置および電気的接続を表す図である。
【図１０】電極対にゴミ物体が付着した場合に流れる電流の変化を例示するグラフである。
【図１１】第４実施形態における電極対の配置および電気的接続を表す図である。
【図１２】第５実施形態における電極対の配置および電気的接続を表す図である。
【図１３】変形例４における電極対の配置および電気的接続を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について、図１〜図６を参照して説明する。本実施形態に係る流体圧送装置は、図１〜図３に示す１つの管１と、当該管１内に配置される作動流体と、当該管１内に配置される電気回路と、外部配線３１、３２と、直流電源４とを含む。なお、図１〜図３では、管１の一部のみを切り出して表しており、実際には、管１は、管１内を流れる作動流体の流れ方向に、図示した部分よりも長く続いている。
【００１７】
図１〜図３に示すように、管１の内部には、管１を構成する壁２（樹脂等の電気的絶縁体から成る）に囲まれた流路３が形成されており、ＥＨＤ流体がこの流路３内に上記作動流体として充填されて流動するようになっている。ＥＨＤ流体とは、電気流体力学（Electrohydrodynamic、略してＥＨＤ）現象を示す流体であり、周知のＥＨＤ効果により、電圧の印加を受けて流動する。
【００１８】
本実施形態では、作動流体として、ＥＨＤ流体ならどのようなものを用いてもよい。例えば、ＥＨＤ流体のうちでも、電界共役流体（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ Ｆｌｕｉｄ、略してＥＣＦ）を用いてもよい。
【００１９】
ＥＣＦとしては、例えば、特開２０００−２２２０７２号公報、特開平１１−１２５１７３号公報に記載のように、横軸が導電率σであり縦軸が粘度ηであって作動温度における流体の導電率σと粘度ηとの関係を示すグラフにおいて、導電率σ＝４×１０−１０Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１００Ｐａ・ｓで表される点Ｐ、導電率σ＝４×１０−１０Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１０−４Ｐａ・ｓで表される点Ｑ、導電率σ＝５×１０−６Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１０−４Ｐａ・ｓで表される点Ｒを頂点とする直角三角形の内部に位置する導電率σおよび粘度ηを有する化合物、または、当該三角形の内部に位置する導電率σおよび粘度η を有するように調製された二種類以上の化合物の混合物を用いることができる。例えば、デカン２酸ジブチル（ｄｉｂｕｔｙｌｄｅｃａｎｅ−ｄｉｏａｔｅ）を、ＥＣＦとして用いることができる。また、難燃性・不燃性の含ハロゲン（フッ素、塩素、臭素など）化液体をＥＣＦとして用いることができる。
【００２０】
図３、図４に示すように、この管１内には作動流体に電圧を印加して流動させるための電極対（図３、図４中では１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）が複数個（例えば数百個）取り付けられている。これら複数個の電極対の１つ１つが、１個の流体ポンプに相当し、流路３内に露出することで、作動流体と接触するようになっている。これら複数の電極対は、流路３内で、作動流体の流れ方向９に沿って、上流から下流まで、一列に配置されている。
【００２１】
なお、図４は、図３のＩＶ−ＩＶ断面図であるが、壁２内の電気回路を透過的に記載している。また、直流電源４および外部配線３１、３２は、簡単のため、模式的に記載している。
【００２２】
各電極対は、スリット電極と尖状電極を有している。図３、図４の例では、電極対１０ａが尖状電極１１ａとスリット電極１２ａを有し、電極対１０ｂが尖状電極１１ｂとスリット電極１２ｂを有し、電極対１０ｃが尖状電極１１ｃとスリット電極１２ｃを有している。
【００２３】
各尖状電極は、対となる相手のスリット電極側に先細って楔のように尖った形状の電極である。図３の上下方向の尖状電極の厚さは、どのようになっていてもよいが、本実施形態では、流路３の図３の下端から上端までと同じ厚さであってもよいし、流路３の図３の下端から上端までの半分の厚さであってもよい。
【００２４】
各スリット電極は、流路３内で作動流体が流れる領域を狭めるように間隔を置いて配置される２個のサブ電極部と、それら２個の電極間を電気的に繋ぐ連結部と、を有する。２個のサブ電極部の図３の上下方向の厚さは、例えば、流路３の図３の下端から上端までと同じ厚さであってもよいし、流路３の図３の下端から上端までの半分の厚さであってもよい。連結部は、サブ電極部に比べて非常に薄く（例えばサブ電極の１／１０に）形成されている。
【００２５】
各電極対のスリット電極には、同じ管内配線６が電気的に接続されて、各電極対の尖状電極には、同じ管内配線７が電気的に接続されている。そして、管内配線６には、直流電源４の正極が外部配線３１を介して電気的に接続されている。また、管内配線７には、当該直流電源４の負極が外部配線３２を介して電気的に接続されている。
【００２６】
ここで、管内配線６、７の構成について詳しく説明する。まず、管内配線６は、本線部６０を１つ有する。また管内配線６は、一列に接続された分岐部、ヒューズ部（電流遮断手段の一例に相当する）、電極接続部の組を、接続先のスリット電極毎に１組有している。
【００２７】
本線部６０は、管内配線６中で外部配線３１と接続する部分を含む基幹的な配線である。各分岐部（図４の例では分岐部６１ａ、６１ｂ、６１ｃ）は、当該本線部６０から直接分岐する部分である。各ヒューズ部（図４の例ではヒューズ部６２ａ、６２ｂ、６２ｃ）は、同じ組に属する分岐部の本線部６０側端とは反対側の端に直接接続される部分である。各電極接続部（図４の例では電極接続部６３ａ、６３ｂ、６３ｃ）は、同じ組に属するヒューズ部の分岐部側端とは反対側の端に直接接続される部分である。
【００２８】
スリット電極（図４の例ではスリット電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ）の各々は、これら電極接続部のうちいずれか１つと直接接続されることで、当該電極接続部と同じ組に属するヒューズ部と分岐部、および、本線部６０を介して、直流電源４の正極と電気的に接続される。なお、本実施形態では、配線部６の全体が、壁２内に埋め込まれている。
【００２９】
また、管内配線７は、本線部７０を１つ有する。また管内配線７は、一列に接続された分岐部、ヒューズ部（電流遮断手段の一例に相当する）、電極接続部の組を、接続先の尖状電極毎に１組有している。
【００３０】
本線部７０は、管内配線７中で外部配線３２と接続する部分を含む基幹的な配線である。各分岐部（図４の例では分岐部７１ａ、７１ｂ、７１ｃ）は、当該本線部７０から直接分岐する部分である。各ヒューズ部（図４の例ではヒューズ部７２ａ、７２ｂ、７２ｃ）は、同じ組に属する分岐部の本線部７０側端とは反対側の端に直接接続される部分である。各電極接続部（図４の例では電極接続部７３ａ、７３ｂ、７３ｃ）は、同じ組に属するヒューズ部の分岐部側端とは反対側の端に直接接続される部分である。
【００３１】
尖状電極（図４の例では尖状電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）の各々は、これら電極接続部のうちいずれか１つと直接接続されることで、当該電極接続部と同じ組に属するヒューズ部と分岐部、および、本線部７０を介して、直流電源４の負極と電気的に接続される。
【００３２】
なお、本実施形態では、配線部７のうち、本体７０、各分岐部、および各ヒューズ部は、すべての部分が壁２内に埋め込まれており、各電極接続部は、一部（ヒューズ部側の部分）が壁２内に埋め込まれ、他の一部（尖状電極側の部分）が流路３内に露出している。
【００３３】
このように、本実施形態では、ヒューズ部は、１個の電極対毎に、その電極対のためだけの電流経路上（換言すれば、その電極対のみに電圧を印加する配線上）に、２個取り付けられている。
【００３４】
ここで、配線部６の各ヒューズ部および配線部７の各ヒューズ部について更に説明する。配線部６、７のヒューズ部の各々は、短絡故障の発生時に熱によって溶断するような構成となっている。
【００３５】
具体的には、管内配線７、８中の各ヒューズ部は、その両端で直接接続している分岐部および電極接続部と同じ材質ながら、それら分岐部および電極接続部よりも細く（例えば、幅が半分以下となるよう）形成されている。また、管内配線６中の各ヒューズ部は、本線部６０と同じ材質ながら、本線部６０よりも細く（例えば、幅が半分以下となるよう）形成されている。また、管内配線７中の各ヒューズ部は、本線部７０と同じ材質ながら、本線部７０よりも細く（例えば、幅が半分以下となるよう）形成されている。
【００３６】
なお、同じ電極対に対して電圧を印加する配線中に存在する２つのヒューズ部間で比較すれば、両者のヒューズ部の太さは同じであってもよいし、異なっていてもよい。例えば、ヒューズ部６２ｂとヒューズ部７２ｂの太さは同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００３７】
このようになっているため、ある組の分岐部、ヒューズ部、電極接続部に過大な電流が流れると、その組内のヒューズ部が熱によって溶断して電流が遮断される。
【００３８】
なお、図４において、直流電源４の正極から本線部６０に至る外部配線３１、および、直流電源４の正極から本線部７０に至る外部配線３２は、管１の外部に配置された配線であり、例えば、ヒューズ部よりも十分太い電線であってもよい。
【００３９】
以下、上記のように構成された流体圧送装置の作動について説明する。直流電源４から電圧が印加されると、各電極対（図４では電極対１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）内において、尖状電極（図４では尖状電極１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）とスリット電極（図４ではスリット電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ）の間に、電位差が発生する。すると、流路３内に不均一電界が発生し、ＥＨＤ効果により、流路３内の作動流体が、各電極対の尖状電極からスリット電極の方向に付勢され、矢印９１の方向に流動し続ける。
【００４０】
ここで、作動流体とは別に流路３内に混入しているゴミ物体が、電極対のうちいずれか１組の尖状電極とスリット電極に引っかかってしまった場合の作動について、図５、図６を用いて説明する。図５、図６の例では、電極対１０ａの尖状電極１１ａとスリット電極１２ａにゴミ物体２１が引っ掛かった場合を表しているが、以下説明する作動は、他の電極対の尖状電極とスリット電極にゴミ物体が引っ掛かった場合も同様である。
【００４１】
図５に示すように、流路内で作動流体が流動している状態で、ゴミ物体２１が、電極対１０ａの尖状電極１１ａとスリット電極１２ａに引っかかって付着し、尖状電極１１ａとスリット電極１２ａの両方に接触した状態で止まってしまったとする。
【００４２】
すると、ゴミ物体２１が導電性の場合にはゴミ物体２１を介した導通により、ゴミ物体２１が導電性でない場合にはゴミ物体２１を介した放電により、尖状電極１１ａとスリット電極１２ａとが電気的に短絡故障する。
【００４３】
すると、この短絡した電極対１０ａ、電極対１０ａを直流電源４に繋げる回路（外部配線３１、本線部６０、分岐部６１ａ、ヒューズ部６２ａ、電極接続部６３ａ、電極接続部７３ａ、ヒューズ部７２ａ、分岐部７１ａ、本線部７０、外部配線３１）が、閉回路となる。そして、この閉回路に過電流（突入電流）が流れる。
【００４４】
このまま当該閉回路に過電流が流れ続けてしまうと、並列接続されている電極対１０ａ以外の複数の電極対（電極対１０ｂ、１０ｃも含む）の各々には、電圧が印加されなくなってしまい、その結果、作動流体の流動が停止してしまう。つまり、流体ポンプが作動しなくなる。
【００４５】
しかし、本実施形態では、上記のような閉回路に過電流が発生すると、その過電流により、当該閉回路中のヒューズ部６２ａ、７２ａのうちいずれか一方または両方が、すぐに熱によって溶断する。図６は、ヒューズ部６２ａが熱によって溶断する例を表している。ヒューズ部６２ａ、７２ａのうちいずれか一方または両方が溶断すると、閉回路が切断されるので、電極対１０ａ以外の複数の電極対（電極対１０ｂ、１０ｃも含む）の各々に、再度電圧が印加されるようになる。その結果、作動流体の流動が継続される。なお、外部配線３１、３２は、上述のような電極対の短絡によって溶断することがない。
【００４６】
この際、尖状電極１１ａとスリット電極１２ａの間には電位差が発生しなくなるので、電極対１０ａ自体は作動流体を流動させる機能がなくなる。しかし、上記のように、他の複数の電極対（例えば電極対１０ｂ、１０ｃ）の機能は損なわれることがないので、若干の流量の低下があったとしても、流体圧送装置全体としては、良好に作動する。
【００４７】
このように、電極対（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ等）に電圧を印加する管内配線６、７の一部を細線化してヒューズ部とすることで、短絡発生時に、短絡が発生した電極対（図５、図６の例では電極対１０ａ）のみを機能的に切り離すことで、作動流体の流量の低下を最低限に抑えることができる。
【００４８】
また、本実施形態では、各ヒューズ部が壁２内に埋め込まれている。このように、各ヒューズ部が流路３の外に取り付けられていれば、電極対での短絡発生時に当該ヒューズが溶断したとしても、溶断した結果生じた配線の細片が、流路３内にゴミ物体として流出することがない。
【００４９】
以上説明した通り、本実施形態の流体圧送装置では、流体圧送装置を構成するすべてのヒューズ部（ヒューズ部６２ａ〜６２ｃ、７２ａ〜７２ｃを含む）の各々は、電源４からすべての複数個の電極対（電極対１０ａ〜１０ｃを含む）のうち一部の電極対のみへの配線上に配置される。具体的には、各ヒューズ部は、対応する１個の電極対のみへの配線上に配置される。例えば、ヒューズ部６２ｂは、対応する１個の電極対１０ｂのみへの配線上に配置される。電極対１０ｂのみへの配線とは、本線６０、７０から電極対１０ｂ側に分岐した配線であり、具体的には、分岐部６１ｂ、ヒューズ部６２ｂ、電極接続部６３ｂ、分岐部７１ｂ、ヒューズ部７２ｂ、電極接続部７３ｂから成る配線である。
【００５０】
このようになっていることで、ある電極対において短絡故障が発生して閉回路が発生した場合、電源４から当該電極対への配線上に配置されたヒューズ部に過電流が流れ、その結果、当該ヒューズ部で電流が遮断される。
【００５１】
すると、電源４から当該ヒューズ部を経て電圧が印加される電極対（すなわち短絡故障が発生した電極対）には電位差が発生しなくなるので、作動流体を流動させる機能がなくなる。
【００５２】
しかし、当該ヒューズ部は、短絡故障した電極対のみへの配線上に配置されているだけなので、当該電極対以外の他の電極対には依然として電圧が印加される。したがって、当該他の電極対が作動流体を流動させる機能は損なわれることがない。したがって、流量の低下があったとしても、流体圧送装置を作動させ続けることができる。
【００５３】
また、流体圧送装置を構成するすべての電極対の各々について、電源４から当該電極対への配線には、いずれかのヒューズ部が必ず配置されている。つまり、どの電極対が短絡故障しても、その際にできる閉回路上にヒューズ部が１個も無いという事態にはならない。
【００５４】
また、すべてのヒューズ部の各々は、電源４から１個のみへの配線上に配置されるようになっている、したがって、電極対の短絡故障によってどのヒューズ部が溶断しても、それを原因として、短絡故障した電極対以外の電極対が流体ポンプとして機能しなくなるような事態は発生しない。つまり、短絡故障した電極対のみを機能的に切り離すことができる。
【００５５】
また、電源４と第１のヒューズ部の間にある分岐点から、配線が分岐し、第２の電極対に至る。そして、この分岐後の第２の電極対への配線上に、第２のヒューズ部が配置される。以上のことは、管内配線７に設けられた電極対のうちどの２つを取って第１の電極対および第２の電極対とみなしても、同様である。
【００５６】
このようになっていることで、第１の電極対において短絡故障が発生して閉回路が発生した場合、電源から第１の電極対までの配線上に配置された第１のヒューズ部に、過電流が流れ、その結果、第１のヒューズ部が電流を遮断する。すると、第１の電極対には電位差が発生しなくなるので、作動流体を流動させる機能がなくなる。しかし、第２の電極対は、電源と第１のヒューズ部の間から分岐する配線に接続されるので、第２の電極対には依然として電圧が印加される。したがって、第２の電極対の機能は損なわれることがない。したがって、流量の低下があったとしても、流体圧送装置を作動させ続けることができる。
【００５７】
また、第２の電極対において短絡故障が発生して閉回路が発生した場合、電源から第２の電極対までの配線上に配置された第２のヒューズ部に、過電流が流れ、その結果、第２のヒューズ部が電流を遮断する。すると、第２の電極対には電位差が発生しなくなるので、作動流体を流動させる機能がなくなる。しかし、第２のヒューズ部は、電源と第１のヒューズ部の間から分岐した配線に接続されるので、第１の電極対には依然として電圧が印加される。したがって、第１の電極対の機能は損なわれることがない。したがって、流量の低下があったとしても、流体圧送装置を作動させ続けることができる。
【００５８】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について、図７、図８を用いて説明する。本実施形態に係る流体圧送装置は、図７に示す１つの管１と、当該管１内に配置される作動流体と、当該管１内に配置される電気回路と、外部配線４１、４２と、直流電源４とを含む。
【００５９】
図７に示すように、本実施形態の流体圧送装置では、第１実施形態と同じ管１内の流路３内に、第１実施形態と同じ構成の複数の電極対（図７では１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）が、第１実施形態と同じ配置で取り付けられている。図７は、図４と同じ形式で管１の一部等を表した図である。
【００６０】
本実施形態が第１実施形態と異なるのは、各電極対に対する電気的接続関係である。本実施形態の直流電源４の正極および負極には、管１の外部に配置された外部配線４１、４２が接続されている。
【００６１】
外部配線４１は、直流電源４の正極に直接接続する第１配線４１１を有し、更に、第１配線の正極側端とは反対側の端部から２つに分岐する第２配線４１２および第３配線４１３を有している。第２配線４１２は管内配線６に接続され、第３配線４１３は管内配線８に接続される。
【００６２】
また、外部配線４２は、直流電源４の負極に直接接続する第１配線４２１を有し、更に、第１配線の正極側端とは反対側の端部から２つに分岐する第２配線４２２および第３配線４２３を有している。第２配線４２２は管内配線７に接続され、第３配線４２３は管内配線９に接続される。
【００６３】
本実施形態の管内配線６は、上記第２配線４１２に直接接続される外部接続部６５と、当該外部接続部６５に直接接続されるヒューズ部６６と、ヒューズ部６６に直接接続される本線部６７を、それぞれ１つずつ有している。外部接続部６５、ヒューズ部６６および本線部６７は、一列に接続される。
【００６４】
また管内配線６は、上記本線部６７から直接分岐する分岐部を複数個有し、それぞれの分岐部が、１個のスリット電極に接続されている。図７では、本線部６７から直接分岐する分岐部として、２個の分岐部６８ａ、６８ｂが表され、それぞれがスリット電極１２ａ、１２ｂに接続されている。しかし実際には、もっと多数（例えば数百個）の分岐部が本線部６７から直接分岐し、それぞれが異なるスリット電極に接続されている。
【００６５】
本実施形態の管内配線７は、上記第２配線４２２に直接接続される本線部７７を１つ有している。また管内配線７は、上記本線部７７から直接分岐する分岐部を複数個有し、それぞれの分岐部が、１個の尖状電極に接続されている。図７では、本線部７７から直接分岐する分岐部として、２個の分岐部７８ａ、７８ｂが表され、それぞれが尖状電極１１ａ、１１ｂに接続されている。しかし実際には、もっと多数（例えば数百個）の分岐部が本線部６７から直接分岐し、それぞれが異なる尖状電極に接続されている。
【００６６】
管内配線８は、上記第３配線４１３に直接接続される外部接続部８５と、当該外部接続部８５に直接接続されるヒューズ部８６と、ヒューズ部８６に直接接続される本線部８７を、それぞれ１つずつ有している。外部接続部８５、ヒューズ部８６および本線部８７は、一列に接続される。
【００６７】
また管内配線８は、上記本線部８７から直接分岐する分岐部を複数個有し、それぞれの分岐部が、１個のスリット電極に接続されている。図７では、本線部８７から直接分岐する分岐部として、２個の分岐部８８ｃ、８８ｄが表され、それぞれがスリット電極１２ｃ、１２ｄに接続されている。しかし実際には、もっと多数（例えば数百個）の分岐部が本線部８７から直接分岐し、それぞれが異なるスリット電極に接続されている。
【００６８】
管内配線９は、上記第３配線４２３に直接接続される本線部９７を１つ有している。また管内配線９は、上記本線部９７から直接分岐する分岐部を複数個有し、それぞれの分岐部が、１個の尖状電極に接続されている。図７では、本線部９７から直接分岐する分岐部として、２個の分岐部９８ｃ、９８ｄが表され、それぞれが尖状電極１１ｃ、１１ｄに接続されている。しかし実際には、もっと多数（例えば数百個）の分岐部が本線部６７から直接分岐し、それぞれが異なる尖状電極に接続されている。
【００６９】
このようになっていることで、本実施形態において直流電源４から電圧が印加される電極対は、すべて電気的に並列接続されている。この点は第１実施形態と同じである。しかし、電流経路におけるヒューズ部の配置が、第１実施形態と異なる。具体的には、ヒューズ部６６、８６は、１個の電極対毎に取り付けられているのではなく、直流電源４の正極に接続された管内配線６、８毎に１個ずつ取り付けられているのみである。更に、各ヒューズ部６６、８６は、取り付け先の管内配線から直接分岐するすべての分岐部への電流経路となる位置に、配置されている。
【００７０】
ここで、各ヒューズ部６６、８６について更に説明する。ヒューズ部６６、８６の各々は、第１実施形態のヒューズ部と同様、電極対の短絡故障の発生時に熱によって溶断するような構成となっている。
【００７１】
具体的には、各ヒューズ部６６、８６は、それぞれ、両端で直接接続している外部接続部６５、８５および本線部６７、８７と同じ材質ながら、それら外部接続部および本線部よりも細く形成されている。また、各ヒューズ部６６、８６は、それぞれ、同じ本線部６７、８７に接続されるすべての分岐部と同じ材質ながら、それら分岐部よりも細く形成されている。
【００７２】
このようになっているため、管内配線６、７のいずれかに過大な電流が流れると、当該管内配線に形成されたヒューズ部が溶断して電流が遮断される。なお、外部配線４１、４２は、ヒューズ部６６、８６よりも十分太い電線でとなっているので、ヒューズ部６６、８６よりも先に溶断することはない。
【００７３】
以下、上記のように構成された流体圧送装置の作動について説明する。直流電源４から電圧が印加されると、各電極対（図７では電極対１０ａ〜１０ｄ）内において、尖状電極（図４では尖状電極１１ａ、１１ｂ）とスリット電極（図４ではスリット電極１２ａ、１２ｂ）の間に、電位差が発生する。すると、流路３内に不均一電界が発生し、ＥＨＤ効果により、流路３内の作動流体が矢印１９の方向に流動し続ける。
【００７４】
ここで、作動流体とは別に流路３内に混入しているゴミ物体が、電極対のうちいずれか１組の尖状電極とスリット電極に引っかかってしまった場合について、図８を参照して説明する。図８の例では、電極対１０ｃの尖状電極１１ｃとスリット電極１２ｃにゴミ物体２１が引っ掛かった場合を表しているが、以下説明する作動は、他の電極対の尖状電極とスリット電極にゴミ物体が引っ掛かった場合も同様である。
【００７５】
図８に示すように、流路内で作動流体が流動している状態で、ゴミ物体２１が、電極対１０ｃの尖状電極１１ｃとスリット電極１２ｃに引っかかって付着し、尖状電極１１ｃとスリット電極１２ｃの両方に接触した状態で止まってしまったとする。
【００７６】
すると、ゴミ物体２１が導電性の場合にはゴミ物体２１を介した導通により、ゴミ物体２１が導電性でない場合にはゴミ物体２１を介した放電により、尖状電極１１ｃとスリット電極１２ｃとが電気的に短絡する。
【００７７】
すると、この短絡した電極対１０ｃ、電極対１０ｃを直流電源４に繋げる回路（外部配線４１、電極接続部８５、ヒューズ部８６、本線部８７、分岐部８８ｃ、分岐部９８ｃ、本線部９７、外部配線４２）が閉回路となる。そして、この閉回路に過電流（突入電流）が流れる。
【００７８】
このまま当該閉回路に過電流が流れ続けてしまうと、電極対１０ｃ以外の複数の電極対（電極対１０ａ、１０ｂ、１０ｄも含む）の各々には、電圧が印加されなくなってしまい、その結果、作動流体の流動が停止してしまう。つまり、流体ポンプが作動しなくなってしまう。
【００７９】
しかし、本実施形態では、上記のような閉回路に過電流が発生すると、その過電流により、当該閉回路中のヒューズ部８６が、図８に示すように、すぐに溶断する。すると、閉回路が切断されるので、管内配線８から直接分岐する分岐部に接続された電極対以外の複数の電極対（電極対１０ａ、１０ｂも含む）の各々に、再度電圧が印加されるようになる。その結果、作動流体の流動が継続される。なお、外部配線４１、４２は、上述のような電極対の短絡によって溶断することがない。
【００８０】
この際、管内配線８から直接分岐する分岐部に接続された電極対（電極対１０ｃ、１０ｄを含む）内の尖状電極とスリット電極の間には、電位差が発生しなくなるので、当該電極対自体は作動流体を流動させる機能がなくなる。しかし、上記のように、他の複数の電極対（例えば電極対１０ａ、１０ｂ）の機能は損なわれることがないので、流量の低下があったとしても、流体圧送装置全体としては、適切に作動する。
【００８１】
このように、電極対（１０ａ〜１０ｄ等）に電圧を印加する管内配線６、８の一部を細線化してヒューズ部とすることで、短絡発生時に、短絡が発生した電極対を含む一部の電極対群（図８の例では電極対１０ｃ、１０ｄを含む）のみを機能的に切り離すことで、作動流体全体が作動不能になることを防止できる。
【００８２】
また、本実施形態では、ヒューズ部６６は電源４から第１群の電極対（電極対１０ａ、１０ｂを含む）のみへの配線６上に配置されており、ヒューズ部８６は電源４から第２群の電極対（電極対１０ｃ、１０ｃを含む）のみへの配線８上に配置されている。このようになっていることで、第１実施形態と比較すると、短絡発生時に、作動流体の流量低下は最小にはならないものの、電極対１個当たりのヒューズ部の数を第１実施形態よりも少なくすることができるので、その分、流体圧送装置の製造コストを低減することができる。
【００８３】
また、本実施形態では、各ヒューズ部６６、８６が壁２内に埋め込まれているので、電極対での短絡発生時に当該ヒューズが溶断したとしても、溶断した結果生じた配線の細片が、流路３内にゴミ物体として流出することがない。
【００８４】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について、第１実施形態との違いを中心に説明する。本実施形態の流体圧送装置の第１実施形態に対する差異は、２点のみである。図９は、図４と同じ形式で本実施形態の管１の一部等を表した図である。
【００８５】
１点目の差異は、第１実施形態における分岐部がなくなって、ヒューズ部が直接本線部６０または本線部７０に接続されるようになっている点である。
【００８６】
より具体的には、管内配線６は、一列に接続されたヒューズ部、電極接続部の組を、接続先のスリット電極毎に１組有している。そして、各ヒューズ部（図９の例ではヒューズ部６２ａ、６２ｂ、６２ｃ）は、本線部６０から直接分岐して同じ組に属する電極接続部に接続し、当該本線部６０および電極接続部と同じ材質ながら、それら本線部６０および電極接続部よりも細く形成されている。
【００８７】
また、管内配線７は、一列に接続されたヒューズ部、電極接続部の組を、接続先のスリット電極毎に１組有している。そして、各ヒューズ部（図９の例ではヒューズ部７２ａ、７２ｂ、７２ｃ）は、本線部７０から直接分岐して同じ組に属する電極接続部に接続し、当該本線部７０および電極接続部と同じ材質ながら、それら本線部７０および電極接続部よりも細く形成されている。
【００８８】
このようになっているため、ある組のヒューズ部、電極接続部に過大な電流が流れると、その組内のヒューズ部が溶断して電流が遮断される。
【００８９】
２点目の差異は、外部配線３１の途中にコイル２５が設けられている点である。後述するように、このコイル２５は、突入電流抑制手段として機能する。
【００９０】
以下、上記のように構成された流体圧送装置の作動について説明する。短絡が発生していない通常時の作動は、第１実施形態と同じである。
【００９１】
ここで、作動流体とは別に流路３内に混入しているゴミ物体が、電極対のうちいずれか１組の尖状電極とスリット電極に引っかかって付着し、当該尖状電極と当該スリット電極の両方に接触した状態で止まってしまったとする。すると、第１実施形態と同様、当該尖状電極と当該スリット電極とが電気的に短絡する。
【００９２】
すると、この短絡した電極対、電極対を直流電源４に繋げる回路（外部配線３１、本線部６０、ヒューズ部、電極接続部、電極接続部、ヒューズ部、本線部７０、外部配線３２）および直流電源４が、閉回路となる。この閉回路には、当然にコイル２５も含まれる。そして、この閉回路に過電流（突入電流）が流れる。
【００９３】
このとき、コイル２５のような突入電流抑制手段が設けられていると、コイル２５が有するインダクタンスの効果によって、閉回路に流れる突入電流の立ち上がりが抑制される。このような電流の経時変化の一例を、図１０のグラフを参照して説明する。
【００９４】
第１実施形態のように、コイル２５が設けられていない場合、時点ｔ０に電極対の尖状電極とスリット電極に１個のゴミ物体（例えば気泡）が付着すると、当該電極対を通る電流値が、一点鎖線５１に示すように、比較的急激に上昇し、その後、時点ｔ１に限界電流値Ｉ０に到達した時点で、当該閉回路中のヒューズ部が溶断し、電流値がゼロになる。しかしその後、このゴミ物体が移動し始め、時点ｔ２で当該電極対から離れたとしても、この電極対は流体ポンプとしては機能しないままである。
【００９５】
一方、本実施形態のように、コイル２５が設けられている場合、時点ｔ０に電極対の尖状電極とスリット電極に１個のゴミ物体が付着すると、当該電極対を通る電流値が、一点鎖線５２に示すように、比較的に緩やかに上昇する。その後、このゴミ物体が移動し始め、電流値５２が限界電流値Ｉ０に到達していない時点ｔ２において、当該電極対から離れたとする。すると、閉回路が解消され、当該電極対を流れる電流は、通常の状態（限界電流値Ｉ０に比べれば非常に小さい値）に戻る。しかも、電流値５２が限界電流値Ｉ０に到達しなかったので、上記閉回路中にあったヒューズは溶断していない。したがって、時点ｔ２以降も当該電極対は流体ポンプとしては機能し続ける。
【００９６】
このように、コイル２５のような突入電流抑制手段を設けて、ゴミ物体の存在によって発生した閉回路を流れる突入電流の立ち上がりを抑制することができる。このようにすることで、ごく一時的に電極対に付着しただけのゴミ物体によって、当該電極対がその後流体ポンプとして機能しなくなる可能性を低減することができる。
【００９７】
なお、本実施形態においても、ゴミ物体が長時間電極対に付着したままの場合は、当該電極対を流れる電流は、時点ｔ２以降も破線５３のように上昇し続け、時点ｔ３において、限界電流値Ｉ０に到達する。そしてその時点ｔ３で、閉回路中のヒューズ部が溶断するので、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００９８】
ここで、コイル２５は、ヒューズ部が溶断する前に溶断してしまうことがないような材質および太さとする。
【００９９】
なお、本実施形態は、１点目の差異については、第１実施形態と同様の構成（分岐部を有する構成）に戻してもよい。
【０１００】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態について、第３実施形態との違いを中心に説明する。図１１は、図４と同じ形式で本実施形態の管１の一部等を表した図である。本実施形態が第３実施形態と異なるのは、外部配線３１にコイル２５が設けられていない点と、管内配線６の本線部６０と各ヒューズ部（例えばヒューズ部６２ａ、６２ｂ、６２ｃ）との間に、コイル（例えばコイル６９ａ、６９ｂ、６９ｃ）が設けられている点である。
【０１０１】
このようになっていることで、管内配線６の各ヒューズ部は、コイルを介して本線部６０に接続されることになる。なお、各コイルは、図１１においては透過的かつ模式的に表されている。壁２内にコイルを配置する方法としては、種々の周知の方法のいずれを用いてもよい。
【０１０２】
以下、上記のように構成された流体圧送装置の作動について説明する。短絡が発生していない通常時の作動は、第３実施形態と同じである。
【０１０３】
ここで、作動流体とは別に流路３内に混入しているゴミ物体が、電極対１０ａの尖状電極１１ａとスリット電極１２ａに引っかかって付着し、当該尖状電極１１ａと当該スリット電極１１ｂの両方に接触した状態で止まってしまったとする。すると、第１実施形態と同様、当該尖状電極１１ａと当該スリット電極１２ａとが電気的に短絡する。
【０１０４】
このとき、この短絡した電極対１０ａ、電極対１０ａを直流電源４に繋げる回路（コイル６９ａ、本線部６０、ヒューズ部６２ａ、電極接続部６３ａ、電極接続部７３ａ、ヒューズ部７２ａ、本線部７０）および直流電源４が、閉回路となる。そして、この閉回路に過電流（突入電流）が流れる。
【０１０５】
このときにコイル６９ａ（突入電流抑制手段）が発揮する機能は、第３実施形態のコイル２５と同じである。つまり、コイル６９ａが有するインダクタンスの効果によって、閉回路に流れる突入電流の立ち上がりが抑制される。したがって、第３実施形態において図１０を用いて説明したものと同等の効果を得ることができる。つまり、ごく一時的に電極対に付着しただけのゴミ物体によって、当該電極対がその後流体ポンプとして機能しなくなる可能性を低減することができる。なお、ゴミ物体が電極対１０ａ以外の尖状電極およびスリット電極に付着した場合も、突入電流抑制手段として機能するコイルが異なるだけで、コイルの作用形態自体は同様である。
【０１０６】
ここで、コイル２５は、ヒューズ部が溶断する前に溶断してしまうことがないような材質および太さとする。
【０１０７】
本実施形態のコイルは、電極対と同じ数だけあってそれら電極対と１対１に対応する。そして、各コイルは、複数の電極対のうち対応する電極対のみに電圧を印加するための配線上に設けられている。このような本実施形態の構成は、第３実施形態と比べて、部品点数を低減できるため、製造コスト低減効果が見込まれる。
【０１０８】
（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態について、第１実施形態との違いを中心に説明する。図１３は、図４と同じ形式で本実施形態の管１の一部等を表した図である。本実施形態の第１実施形態に対する差異は、次の２点である。
【０１０９】
まず第１の差異点は、以下の通りである。本線部６０から一列に接続された分岐部、ヒューズ部、電極接続部の各組において、電極接続部に、スリット電極が１つ接続され、更に当該スリット電極に追加配線が接続され、更に当該追加配線に別のスリット電極が１つ接続されるようになっている。
【０１１０】
例えば、分岐部６１ａ、ヒューズ部６２ａ、電極接続部６３ａの組において、電極接続部６３ａに、スリット電極１２ｄが接続され、更にスリット電極１２ｄに追加配線１４ａが接続され、更に追加配線１４ａにスリット電極１２ａが接続されるようになっている。分岐部６１ｂ、ヒューズ部６２ｂ、電極接続部６３ｂ、スリット電極１２ｅ、追加配線１４ｂ、スリット電極１２ｂについても、同様の接続形態となっている。また、分岐部６１ｃ、ヒューズ部６２ｃ、電極接続部６３ｃ、スリット電極１２ｆ、追加配線１４ｃ、スリット電極１２ｃについても、同様の接続形態となっている。
【０１１１】
第２の差異点は、以下の通りである。本線部７０から一列に接続された分岐部、ヒューズ部、電極接続部の各組において、電極接続部に、尖状電極が１つ接続され、更に当該尖状電極に追加配線が接続され、更に当該追加配線に別の尖状電極が１つ接続されるようになっている。
【０１１２】
例えば、分岐部７１ａ、ヒューズ部７２ａ、電極接続部７３ａの組において、電極接続部７３ａに、尖状電極１１ａが接続され、更に尖状電極１１ａに追加配線１３ａが接続され、更に追加配線１３ａに尖状電極１１ｄが接続されるようになっている。分岐部７１ｂ、ヒューズ部７２ｂ、電極接続部７３ｂ、尖状電極１１ｂ、追加配線１３ｂ、尖状電極１１ｅについても、同様の接続形態となっている。また、分岐部７１ｃ、ヒューズ部７２ｃ、電極接続部７３ｃ、尖状電極１１ｃ、追加配線１３ｃ、尖状電極１１ｆについても、同様の接続形態となっている。
【０１１３】
これら複数の尖状電極（尖状電極１１ａ〜１１ｆを含む）およびスリット電極（尖状電極１２ａ〜１２ｆを含む）は、共に流路３内に露出して作動流体と接触するようになっている。そして、これら複数の尖状電極およびスリット電極は、複数個の電極対（電極対１０ａ〜１０ｆ）を構成する。より具体的には、本線部から見て、より先端側の尖状電極（例えば尖状電極１１ｄ）が、より根本側のスリット電極（例えばスリット電極１２ｄ）と対になって、電極対を構成する。また、より根本側の尖状電極（例えば尖状電極１１ｂ）が、より先端側のスリット電極（例えばスリット電極１２ｂ）と対になって、電極対を構成する。
【０１１４】
このようにして接続された電極対は、電気的にはすべて並列に接続されている。また、配置に関しては、これら複数の電極対は、流路３内で、作動流体の流れ方向９に沿って、上流から下流まで、二列に配置されている。
【０１１５】
このような構成の場合、いずれか１つの電極対に短絡故障が発生して閉回路が発生した場合、第１実施形態と同様に、当該閉回路内のヒューズ部が熱によって溶断する。すると、短絡故障が発生した電極対のみならず、その電極対に上記追加配線を介して接続されている電極対にも、電圧が印加されなくなる。
【０１１６】
例えば、電極対１０ｅに短絡故障が発生した場合、ヒューズ部６２ｂまたはヒューズ部７２ｂが溶断して電流を遮断するので、電極対１０ｅのみならず電極対１０ｂにも、電圧が印加されなくなり、その結果、電極対１０ｅ、１０ｂ共に、流体ポンプとして機能しなくなる。しかしながら、他の電極対（電極対１０ａ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｆを含む）には、ヒューズ部６２ｂまたはヒューズ部７２ｂの溶断によって電圧が印加されるようになるので、流体ポンプとして機能する。したがって、全体として流体圧送装置を作動させ続けることができる。
【０１１７】
なお、上記第１〜第５実施形態では、ヒューズ部があると説明した場所以外の場所には、電流遮断手段は配置されていない。
【０１１８】
（他の実施形態）
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。例えば、以下のような変形例も許容される。なお、以下の変形例は、それぞれ独立に、上記実施形態に適用および不適用を選択できる。
【０１１９】
（変形例１）
上記各実施形態では、ヒューズ部は、流路３の外に設けられている。しかし、必ずしもこのようになっておらずともよい。例えば、各ヒューズ部は、その全体が流路３内に露出していてもよいし、一部のみが流路３内に露出していてもよい。あるいは、すべてのヒューズ部のうち、一部は、完全に壁２内に埋め込まれ、他の一部が、流路３内に露出していてもよい。
【０１２０】
（変形例２）
また、上記実施形態では、ヒューズ部は、その両端で直接接続している分岐部および電極接続部よりも、同じ材質ながら細く形成されているが、必ずしもこのようになっておらずともよい。例えば、例えば、各ヒューズ部は、分岐部および電極接続部と同じ太さで、かつ、過電流による発熱に対して分岐部および電極接続部よりも溶断し易い材質で構成されていてもよい。
【０１２１】
（変形例３）
上記各実施形態では、電流遮断手段の一例として、過電流による発熱により溶断して電流を遮断するヒューズ部が例示されている。しかし、電流遮断手段として他のものを用いてもよい。例えば、過電流によって電流を遮断した後も繰り返し使用可能な可逆電流遮断手段を用いてもよい。可逆電流遮断手段としては、例えば、電磁力を利用した電磁式電流遮断手段を採用してもよいし、また例えば、自己発熱によって電気抵抗が増大する素子(例えばＰＴＣ素子）を用いてもよいし、誘電泳動力などの電気流体力学を利用した素子(例えばＳＲＳ素子）を用いてもよい。
【０１２２】
この場合、上規各実施形態におけるヒューズ部のすべてを、過電流による発熱により溶断して電流を遮断する部材以外のものに換えてもよいし、一部のヒューズ部のみを、過電流による発熱により溶断して電流を遮断する部材以外のものに換えてもよい。
【０１２３】
（変形例４）
第１実施形態では、ヒューズ部は電源４から各尖状電極へ至る配線と、電源４から各スリット電極へ至る配線の両方に設けられているが、必ずしもこのようになっておらずともよい。例えば、図１３に示すように、ヒューズ部は電源４から各尖状電極へ至る配線にのみ設けられ、電源４から各スリット電極へ至る配線には設けられていなくてもよい。また逆に、ヒューズ部は電源４から各尖状電極へ至る配線には設けられず、電源４から各スリット電極へ至る配線のみに設けられるようになっていてもよい。
【０１２４】
（変形例５）
上記各実施形態における流路３の形状は、図１〜図３のようなものに限らず、どのようなものでもよい。例えば、円筒形状の管内に形成されていてもよい。
【０１２５】
（変形例６）
上記各実施形態では、  尖状電極とスリット電極が電極対を構成しているが、本発明の電極対を構成するのは、対になって接近していれば、尖状電極とスリット電極に限らず、どのような形状の電極でもよい。例えば、２個の対向する平板電極で電極対が構成されていてもよいし、尖状電極と平板電極の対で電極対が構成されていてもよい。平板電極とスリット電極でもよい。
【０１２６】
（変形例７）
上記各実施形態では、電源４の正極側にスリット電極が接続され、負極側に尖状電極が接続されるようになっているが、逆に、電源４の負極側にスリット電極が接続され、正極側に尖状電極が接続されるようになっていてもよい。
【０１２７】
（変形例８）
上記第２実施形態では、ヒューズ部８６の切断によって共に電圧が印加されなくなる電極対群（１０ｃ、１０ｄを含む）は、まとめて、ヒューズ部６６の切断によって共に電圧が印加されなくなる電極対群（１０ａ、１０ｂを含む）よりも、流れ１９の上流にある。
【０１２８】
しかし、電極対の配置は、必ずしもこのようになっておらずともよい。例えば、ヒューズ部８６の切断によって電圧が印加されなくなる電極対と、ヒューズ部６６の切断によって電圧が印加されなくなる電極対とが、流れ１９に沿って１個ずつ（または２個ずつ）交互に配置されていてもよい。このようになっていれば、仮にどちらかのヒューズ部が溶断された場合、良好に作動する流体ポンプの配置がか偏ってしまう可能性が低減される。
【０１２９】
（変形例９）
ここで、上記各実施形態における、各電極対、管内配線等の寸法および電気的特性について、一例を示すが、もちろん本発明の流体圧送装置がこれに限定されるわけではない。例えば、各電極対における、尖状電極からスリット電極までの最短距離は、１ｍｍあるいはそれ以下である。また、管内配線のヒューズ部以外は、幅１ｍｍ〜数ｍｍ、厚さ０．１ｍｍの帯状導体であり、ヒューズ部は、幅が他の管内配線の１／２以下であり、厚さ０．１ｍｍの帯状導体である。また、直流電流４の電圧は数百〜数千ボルトであり、直流電流４の電流印加によって各電極対の尖状電極とスリット電極の間に流れる電流は１μＡの程度であり、各電極対の抵抗値は１ギガオーム程度である。
【符号の説明】
【０１３０】
３                                          流路
４                                          電源
６〜９                                      管内配線
３１、３２、４１、４２                      外部配線
１０ａ〜１０ｆ                              電極対
１１ａ〜１１ｆ                              尖状電極
１２ａ〜１２ｆ                              スリット電極
６２ａ〜６２ｃ、７２ａ〜７２ｃ、６６、８６  ヒューズ部（電流遮断手段）
２５、６９ａ〜６９ｃ                        コイル（突入電流抑制手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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