(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の回転体と、
前記複数の回転体によって無端状に張架され、内周側から外周側に貫通するとともに、内周側の端部が閉塞された複数の貫通孔を有し、ワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、
前記搬送部の搬送方向に移動する部位の内周面を壁面とし、該壁面に接して減圧される減圧空間を囲繞する囲繞部と、
前記貫通孔の内部に開口するとともに、前記減圧空間に連通する横孔と、
前記貫通孔内に収容された蓋部と、
前記貫通孔内に収容され、前記蓋部に対し前記貫通孔の貫通方向に弾性力を作用させ、該蓋部で前記横孔を閉塞させる弾性部と、
前記貫通孔の内部に挿通され、前記ワークの自重により前記弾性部の弾性力に抗して前記蓋部を押圧し、前記横孔を開口させる昇降部と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記囲繞部は、前記減圧空間を搬送方向に複数に区分けし、それぞれの該減圧空間が独立して減圧され、
前記それぞれの減圧空間ごとに、前記複数の貫通孔が連通可能であることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
複数の回転体と、該複数の回転体によって無端状に張架され、内周側から外周側に貫通するとともに、内周側の端部が閉塞された複数の貫通孔を有し、ワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、該搬送部の搬送方向に移動する部位の内周面を壁面とし、該壁面に接して減圧される減圧空間を囲繞する囲繞部と、該貫通孔の内部に開口するとともに、該減圧空間に連通する横孔と、該貫通孔内に収容された蓋部と、該貫通孔内に収容され、該蓋部に対し該貫通孔の貫通方向に弾性力を作用させ、該蓋部で該横孔を閉塞させる弾性部と、該貫通孔の内部に挿通された昇降部と、を備える搬送装置を用いた搬送方法であって、
前記複数の搬送部の外周側の前記貫通孔の開口を、該搬送部にワークを載置して閉塞し、
前記ワークの自重により、前記昇降部に、前記弾性部の弾性力に抗して前記蓋部を押圧させ、前記横孔を開口させ、
前記減圧空間と、前記貫通孔が連通し、
前記ワークを前記貫通孔に吸着することを特徴とする搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置および搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、板ガラス等の薄板状のワークの搬送には、例えば、ベルトコンベアが用いられている。近年、ワークの薄型化や軽量化が進んでおり、ワークとベルトの間の摩擦抵抗が小さくなって滑りやすくなり、搬送速度によっては安定した搬送が困難となっている。
【０００３】
そこで、ベルトの下部に負圧配管を接続した負圧チャンバを設け、さらにベルトには所定のピッチ間隔をもって吸着孔を設け、吸着孔を通じてワークを吸着する搬送装置が提案されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−０７７４４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した特許文献１の搬送装置では、ベルトに載置されたワークによって吸着孔が閉塞されることで、負圧チャンバによる負圧配管の減圧が適切に遂行されている。しかし、複数の吸着孔のいずれかの上面にワークが載置されず、すなわち吸着孔の開口が閉塞されずに開放されていると、吸着孔から空気が浸入し、負圧配管の減圧効果が減退してしまう。
【０００６】
そのため、ワークに作用する吸着力が低下し安定した搬送が困難となる。また、十分な減圧効果を得るためには、負圧チャンバの動力を大きくしなくてはならず消費電力が増加してしまう。
【０００７】
本発明の目的は、電力消費の増加を抑えつつ、ワークに対する吸着力を維持し、ワークを安定して搬送することが可能な搬送装置および搬送方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の搬送装置は、複数の回転体と、複数の回転体によって無端状に張架され、内周側から外周側に貫通するとともに、内周側の端部が閉塞された複数の貫通孔を有し、ワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、搬送部の搬送方向に移動する部位の内周面を壁面とし、壁面に接して減圧される減圧空間を囲繞する囲繞部と、貫通孔の内部に開口するとともに、減圧空間に連通する横孔と、貫通孔内に収容された蓋部と、貫通孔内に収容され、蓋部に対し貫通孔の貫通方向に弾性力を作用させ、蓋部で横孔を閉塞させる弾性部と、貫通孔の内部に挿通され、ワークの自重により弾性部の弾性力に抗して蓋部を押圧し、横孔を開口させる昇降部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
囲繞部は、減圧空間を搬送方向に複数に区分けし、それぞれの減圧空間が独立して減圧され、それぞれの減圧空間ごとに、複数の貫通孔が連通可能であってもよい。
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の、複数の回転体と、複数の回転体によって無端状に張架され、内周側から外周側に貫通するとともに、内周側の端部が閉塞された複数の貫通孔を有し、ワークを搬送する、搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、搬送部の搬送方向に移動する部位の内周面を壁面とし、壁面に接して減圧される減圧空間を囲繞する囲繞部と、貫通孔の内部に開口するとともに、減圧空間に連通する横孔と、貫通孔内に収容された蓋部と、貫通孔内に収容され、蓋部に対し貫通孔の貫通方向に弾性力を作用させ、蓋部で横孔を閉塞させる弾性部と、貫通孔の内部に挿通された昇降部と、を備える搬送装置を用いた搬送方法は、複数の搬送部の外周側の貫通孔の開口を、搬送部にワークを載置して閉塞し、ワークの自重により、昇降部に、弾性部の弾性力に抗して蓋部を押圧させ、横孔を開口させ、減圧空間と、貫通孔が連通し、ワークを貫通孔に吸着することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、電力消費の増加を抑えつつ、ワークに対する吸着力を維持し、ワークを安定して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】搬送装置の構造を説明するための説明図である。
【図２】囲繞部近傍部分の搬送方向に平行な鉛直断面図である。
【図３】第１変形例における開閉部を説明するための説明図である。
【図４】第２変形例における突起部および開閉部を説明するための説明図である。
【図５】搬送方法を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。
【００１５】
本実施形態の搬送装置は、薄板状のワークを搬送するものであり、ここでは、板厚１ｍｍ以下程度のガラス板をワークとして搬送する搬送装置について説明する。
【００１６】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態における搬送装置１００の構造を説明するための説明図である。図１（ａ）は、搬送装置１００の上面図を示し、図１（ｂ）は、搬送装置１００の正面図を示し、図１（ｃ）は、搬送装置１００の側面図を示す。ただし、図１においては、説明の便宜上、搬送装置１００の搬送方向の長さを短く示している。
【００１７】
また、図２は、後述する囲繞部１１６近傍部分の搬送方向に平行な鉛直断面図である。ただし、図２では、図中、右側の２つの突起部１１２ａを断面で示し、図中、左側の２つの突起部１１２ａは側面図を示す。
【００１８】
搬送装置１００は、回転体１１０と、搬送部１１２と、浮上部１１４と、囲繞部１１６と、開閉部１１８（図２（ａ）参照）とを含んで構成される。
【００１９】
回転体１１０は、中央に貫通孔を有する環状部材であって、搬送方向に複数（本実施形態では２つ）配置される。また、回転体１１０は、水平かつ搬送方向に垂直な方向に対向して複数（本実施形態では２つ）配置され、それぞれシャフト１１０ａの一端と固定されシャフト１１０ａと一体となって回転する。したがって、回転体１１０の回転軸は、水平かつ搬送方向に垂直となる。
【００２０】
ベース１０２は、搬送装置１００の土台である。支持脚１０４は、このベース１０２に直立して固定されている。そして、支持脚１０４の上部には貫通孔１０４ａが設けられている。シャフト１１０ａは、この貫通孔１０４ａの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。
【００２１】
搬送方向の上流側に配された２本のシャフト１１０ａの他端には、プーリ１１０ｂが取り付けられている。プーリ１１０ｂは、シャフト１１０ａと一体となって回転する。支持脚１０４の下部にも貫通孔１０４ｂが設けられており、シャフト１１０ｃは、対向する貫通孔１０４ｂの両方に挿通され、貫通孔１０４ｂの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。
【００２２】
また、シャフト１１０ｃにも、プーリ１１０ｄが取り付けられており、プーリ１１０ｄは、シャフト１１０ｃと一体となって回転する。ベルト１１０ｅは、鉛直上方に位置するプーリ１１０ｂと鉛直下方に位置するプーリ１１０ｄによって無端状に張架され、プーリ１１０ｄの回転力をプーリ１１０ｂに伝達する。
【００２３】
シャフト１１０ｃの一端には、軸継手１１０ｆが設けられる。軸継手１１０ｆのうち、シャフト１１０ｃの逆側には、モータ等の駆動装置１１０ｇのシャフトの一端が嵌入される。シャフト１１０ｃには、軸継手１１０ｆによって駆動装置１１０ｇの回転力が伝達される。
【００２４】
回転体１１０は、このような機構によって駆動装置１１０ｇの回転力が伝達されて回転する。ここでは、１つの駆動装置１１０ｇが回転体１１０を回転させる構成を例に挙げたが、例えば、複数の駆動装置１１０ｇが同期して回転体１１０を回転させるとしてもよい。また、ここでは、プーリ１１０ｂ、１１０ｄが、回転体１１０の対向方向の内側に配される構成を例に挙げたが、回転体１１０の対向方向の外側に配されてもよい。
【００２５】
搬送部１１２は、例えばベルトで構成され、複数の回転体１１０によって無端状に張架されて、回転体１１０の回転に伴い、図１（ｃ）に示す白抜き矢印Ｙの方向に回転する。図１（ａ）に示すように、搬送部１１２は、搬送方向に平行に、複数（本実施形態では２つ）対向配置される。また、搬送部１１２は、複数の突起部１１２ａを有する。
【００２６】
突起部１１２ａは、例えば樹脂等で構成され、搬送部１１２の表面に搬送方向に沿って複数配されてワークＷを接触支持する。搬送部１１２は、図１（ｃ）に示す白抜き矢印Ｙの方向へ回転することで、突起部１１２ａに接触支持されたワークＷを図１（ａ）に示す白抜き矢印Ｘの方向に搬送する。
【００２７】
また、突起部１１２ａには、それぞれ、搬送部１１２の内周側から突起部１１２ａの先端（搬送部１１２の外周側）に貫通する貫通孔１１２ｂが設けられている。
【００２８】
浮上部１１４は、例えば、圧縮空気を噴出する噴出装置等で構成され、搬送方向に平行に配置された複数の搬送部１１２間のベース１０２上に載置されている。浮上部１１４は、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークＷの一部を浮上させる。
【００２９】
具体的には、ワークＷを突起部１１２ａで接触支持した状態で、浮上部１１４が気体（圧縮空気）を噴出して鉛直上方への気体の流れを生じさせると、浮上部１１４とワークＷの間の空気の圧力が高まる。ワークＷは、搬送中、この空気の圧力による鉛直上方への力と、ワークＷの自重に対する突起部１１２ａからの反力で支持されることとなる。
【００３０】
このとき、浮上部１１４は、ワークＷを支持する空気の圧力として、圧縮空気の噴出方向の動圧ではなく、ワークＷの下方の空間が狭く四方に分散しようとする空気の動きが抑制された結果生じる静圧を利用するため、少ない動力でワークＷを支持可能となる。
【００３１】
囲繞部１１６は、中空構造であって、図１に示す支持棒１１６ａに固定支持された状態で搬送部１１２の内周側に配される。
【００３２】
詳細には、囲繞部１１６は、図２（ａ）に示すように、搬送部１１２の搬送方向に移動する鉛直上部側の部位の内周面を壁面とし、この壁面に接する減圧空間Ｓを囲繞する。囲繞部１１６は、空気が排気される排気口１１６ｂを有し、排気口１１６ｂには、ポンプＰと連通する配管Ｌが固定される。そして、減圧空間Ｓは、ポンプＰによって減圧される。
【００３３】
また、囲繞部１１６は、減圧空間Ｓを搬送方向に複数に区分けし、それぞれの減圧空間Ｓが独立して、ポンプＰによって減圧されている。このように、減圧空間Ｓを区分けする構成により、いずれかの減圧空間Ｓの密閉性が低下して圧力を低く維持できなくなっても、それに伴って他の減圧空間Ｓの圧力が変動するのを回避することが可能となる。
【００３４】
上述した突起部１１２ａは、搬送部１１２の外周側に突出するのみならず、搬送部１１２の内周側にも突出しており、搬送部１１２の回転に伴って、減圧空間Ｓの内部を通過する。
【００３５】
囲繞部１１６には、突起部１１２ａの搬送方向の移動を妨げないように、突起部１１２ａの軌跡に重なる、搬送方向の上流と下流の端部に、搬送方向に貫通する通過孔１１６ｃが設けられている。
【００３６】
通過孔１１６ｃには、例えば、可撓性を有するシート状の帳（不図示）などが配され、突起部１１２ａを通過可能としつつ、隣接する減圧空間Ｓの間の空気の流れを制限する。そのため、帳を設ける構成により、隣接する減圧空間Ｓのうち、一方の圧力が上昇しても、他方の圧力に与える影響を低減することができる。
【００３７】
そして、突起部１１２ａのうち、搬送部１１２の内周側の端部が減圧空間Ｓの内部に位置するとき、突起部１１２ａに設けられた貫通孔１１２ｂが減圧空間Ｓと連通可能となる。それぞれの減圧空間Ｓごとに、複数、本実施形態においては２つの貫通孔１１２ｂが同時に連通可能である。
【００３８】
こうして、貫通孔１１２ｂから減圧空間Ｓに空気が吸引され、ワークＷが突起部１１２ａに吸着されることで、搬送装置１００は、ワークＷと突起部１１２ａとの摩擦力を高め、安定した搬送を実現している。
【００３９】
このとき、ワークＷが載置されている突起部１１２ａの貫通孔１１２ｂは、ワークＷによって閉塞された状態となっている。一方、図２（ｂ）に示す従来例のように、ワークＷが載置されていない突起部１１２ａの貫通孔１１２ｂが、閉塞されずに開放されていると、開放された貫通孔１１２ｂから空気が浸入し、減圧空間Ｓの圧力が上昇して、ワークＷに作用する吸着力が低下してしまう。そこで、本実施形態の搬送装置１００は、図２（ａ）のような開閉部１１８を備える。
【００４０】
開閉部１１８は、図２（ａ）に示すように、弾性部１１８ａと、蓋部１１８ｂと、昇降部１１８ｃとを含んで構成される。
【００４１】
弾性部１１８ａは、例えば、引張バネなどの弾性部材で構成され、一端が突起部１１２ａの内側に固定され、他端が蓋部１１８ｂに固定される。
【００４２】
蓋部１１８ｂは、突起部１１２ａのうち、搬送部１１２の内周側の端部における、貫通孔１１２ｂの径以上の直径を有する円盤部材であって、貫通孔１１２ｂの下端開口を閉塞することができる。弾性部１１８ａは、蓋部１１８ｂに、貫通孔１１２ｂを閉塞する方向に弾性力を作用させる。
【００４３】
昇降部１１８ｃは、例えば、円柱部材であって、貫通孔１１２ｂの内部に貫通孔１１２ｂに沿って挿通し、ワークＷの自重によって蓋部１１８ｂを開口することができる。
【００４４】
図２（ａ）中、右端の突起部１１２ａのようにワークＷが載置されていない場合、弾性部１１８ａの弾性力によって、蓋部１１８ｂが突起部１１２ａに押し付けられ、突起部１１２ａに固定された昇降部１１８ｃの一端は、貫通孔１１２ｂの開口面から突出している。このとき、貫通孔１１２ｂは、減圧空間Ｓに対し、蓋部１１８ｂによって閉塞された状態となっている。すなわち、貫通孔１１２ｂから減圧空間Ｓに空気が流入しないか、あるいは流入し難い。
【００４５】
また、図２（ａ）中、右から２番目の突起部１１２ａのようにワークＷが載置されている場合、昇降部１１８ｃは、ワークＷの自重によって貫通孔１１２ｂの鉛直下方に移動する。そして、昇降部１１８ｃに固定された蓋部１１８ｂも、弾性部１１８ａの弾性力に抗して、搬送部１１２の内周側の端部から離隔する。こうして、貫通孔１１２ｂは、減圧空間Ｓに対し、開口することとなる。
【００４６】
このように、開閉部１１８は、減圧空間Ｓに対し、貫通孔１１２ｂを閉塞したり、ワークＷの自重によって貫通孔１１２ｂを開口したりする。すなわち、開閉部１１８は、ワークＷが載置されずに、ワークＷによって閉塞されていない貫通孔１１２ｂについては閉塞し、ワークＷが載置された貫通孔１１２ｂについては開口する。
【００４７】
こうして、突起部１１２ａにワークＷが載置されていると、ワークＷ自体によって貫通孔１１２ｂを閉塞して減圧空間Ｓの圧力を維持し、突起部１１２ａにワークＷが載置されていないと、開閉部１１８が貫通孔１１２ｂを閉塞して減圧空間Ｓの圧力を維持する。
【００４８】
上述したように、本実施形態の搬送装置１００は、ワークＷが載置されていない貫通孔１１２ｂから減圧空間Ｓに流入する空気を抑制し、減圧空間Ｓの圧力が上昇する事態を回避することができる。こうして、搬送装置１００は、ポンプＰの動力を大きくして電力消費を増加させずとも、ワークＷに対する吸着力を維持し、ワークＷを安定して搬送することが可能となる。
【００４９】
（第１変形例）
図３は、第１変形例における開閉部２１８を説明するための説明図であり、図２に対応する断面図のうち、開閉部２１８近傍を抽出して示し、図３（ａ）は、ワークＷが載置されていない状態、図３（ｂ）は、ワークＷが載置された状態をそれぞれ図示する。
【００５０】
図３（ａ）に示すように、開閉部２１８は、弾性部２１８ａ、蓋部２１８ｂ、昇降部２１８ｃを含んで構成される。
【００５１】
弾性部２１８ａは、例えばテンションバネで構成され、一端が突起部１１２ａの外側に固定され、他端は、弾性部２１８ａの中心側から一端への延在方向に対して、直角方向に延在する。また、弾性部２１８ａの他端は、蓋部２１８ｂに固定される。
【００５２】
蓋部２１８ｂは、蓋部１１８ｂと同様、突起部１１２ａのうち、搬送部１１２の内周側の端部の貫通孔１１２ｂの径以上の直径を有する円盤部材である。また、蓋部２１８ｂの中央には、厚さ方向に窪んだ溝２２０が設けられている。弾性部２１８ａは、蓋部２１８ｂに、貫通孔１１２ｂを閉塞する方向に弾性力を作用させる。
【００５３】
昇降部２１８ｃは、昇降部１１８ｃと同様、例えば、円柱部材であって、貫通孔１１２ｂの内部に貫通孔１１２ｂに沿って挿通し、ワークＷの自重によって蓋部１１８ｂを開口することができる。
【００５４】
昇降部２１８ｃの他端には、昇降部２１８ｃの長手方向に直交する方向に貫通する孔２２２が設けられている。この孔２２２には、蓋部２１８ｂの溝２２０に固定された回転軸２２４が挿通している。そのため、昇降部２１８ｃは、回転軸２２４を中心として、蓋部２１８ｂに対して回転自在に取り付けられている。
【００５５】
図３（ａ）に示すように、突起部１１２ａにワークＷが載置されていない場合、弾性部２１８ａの弾性力によって、蓋部２１８ｂが突起部１１２ａに押し付けられ、突起部１１２ａに固定された昇降部２１８ｃの一端は、貫通孔１１２ｂから突出している。このとき、貫通孔１１２ｂは、減圧空間Ｓに対し、蓋部２１８ｂによって閉塞された状態となっている。
【００５６】
図３（ｂ）に示すように、突起部１１２ａにワークＷが載置されている場合、昇降部２１８ｃの一端は、ワークＷの自重によって貫通孔１１２ｂの内側に移動する。そして、昇降部２１８ｃが回転自在に固定された蓋部２１８ｂも、弾性部２１８ａの弾性力に抗して回転し、図３（ｂ）中、左側が搬送部１１２の内周側の端部から離隔する。このとき、貫通孔１１２ｂは、減圧空間Ｓに対し、開口した状態となる。
【００５７】
こうして、突起部１１２ａにワークＷが載置されていると、ワークＷ自体によって貫通孔１１２ｂを閉塞して減圧空間Ｓの圧力を維持し、突起部１１２ａにワークＷが載置されていないと、開閉部２１８が貫通孔１１２ｂを閉塞して減圧空間Ｓの圧力を維持する。
【００５８】
かかる第１変形例の開閉部２１８も、上述した開閉部１１８と同様、減圧空間Ｓに対し、貫通孔１１２ｂを閉塞し、ワークＷの自重によって貫通孔１１２ｂを開口する。そのため、搬送装置１００は、ワークＷが載置されていない貫通孔１１２ｂから減圧空間Ｓに流入する空気を抑制し、ワークＷに対する吸着力を維持し、ワークＷを安定して搬送することが可能となる。
【００５９】
（第２変形例）
図４は、第２変形例における突起部３１２ａおよび開閉部３１８を説明するための説明図であり、図２に対応する断面図のうち、開閉部３１８近傍を抽出して示し、図４（ａ）は、ワークＷが載置されていない状態、図４（ｂ）は、ワークＷが載置された状態をそれぞれ図示する。
【００６０】
第２変形例における突起部３１２ａは、突起部１１２ａと同様、例えば樹脂等で構成され、搬送部１１２の表面に搬送方向に沿って複数配されてワークＷを接触支持する。また、突起部３１２ａには、それぞれ、搬送部１１２の内周側から突起部３１２ａの先端（搬送部１１２の外周側）に貫通する貫通孔３１２ｂが設けられている。
【００６１】
ただし、図４（ａ）に示すように、突起部３１２ａは、突起部１１２ａと異なり、搬送部１１２の内周側の端部は常に閉塞している。さらに、貫通孔３１２ｂは、貫通孔１１２ｂと異なり、突起部３１２ａの突出方向と垂直な方向に貫通する横孔３１２ｃを含んで構成される。
【００６２】
また、開閉部３１８は、弾性部３１８ａ、蓋部３１８ｂ、昇降部３１８ｃを含んで構成される。
【００６３】
弾性部３１８ａは、例えば、圧縮バネなどで構成され、一端が突起部３１２ａのうち、搬送部１１２の内周側の端部の内側に固定され、他端が蓋部３１８ｂに固定される。
【００６４】
蓋部３１８ｂは、突起部３１２ａの内径より小さい径の円盤部材であって、その厚さは、横孔３１２ｃの、突起部３１２ａの突出方向の幅よりも大きい。また、蓋部３１８ｂには、弾性部３１８ａが固定された側と逆側の面に、昇降部３１８ｃが固定される。弾性部３１８ａは、蓋部３１８ｂに、貫通孔３１２ｂ（横孔３１２ｃ）を閉塞する方向に弾性力を作用させる。
【００６５】
昇降部３１８ｃは、昇降部１１８ｃと同様、例えば、円柱部材であって、貫通孔３１２ｂの内部に挿通し、ワークＷの自重によって蓋部３１８ｂを開口することができる。
【００６６】
図４（ａ）に示すように、突起部３１２ａにワークＷが載置されていない場合、弾性部３１８ａの弾性力と、蓋部３１８ｂおよび昇降部３１８ｃの自重とが図４（ａ）に示す位置でつり合う。このつり合いの状態において、蓋部３１８ｂが突起部３１２ａの横孔３１２ｃを閉塞するように、弾性部３１８ａの弾性係数や初期長さが調整されている。
【００６７】
図４（ｂ）に示すように、突起部３１２ａにワークＷが載置されている場合、昇降部３１８ｃの一端は、ワークＷの自重によって貫通孔３１２ｂの内側に移動する。そして、昇降部３１８ｃに固定された蓋部３１８ｂも、弾性部３１８ａの弾性力に抗して、鉛直下方に下降する。こうして、蓋部３１８ｂが横孔３１２ｃより低い位置に移動し、貫通孔３１２ｂは、減圧空間Ｓに対し、開口することとなる。
【００６８】
こうして、突起部３１２ａにワークＷが載置されていると、ワークＷ自体によって貫通孔３１２ｂを閉塞して減圧空間Ｓの圧力を維持し、突起部３１２ａにワークＷが載置されていないと、開閉部３１８が貫通孔３１２ｂを閉塞して減圧空間Ｓの圧力を維持する。
【００６９】
かかる第２変形例の開閉部３１８も、上述した開閉部１１８と同様、減圧空間Ｓに対し、貫通孔３１２ｂを閉塞し、ワークＷの自重によって貫通孔３１２ｂを開口するため、搬送装置１００は、貫通孔３１２ｂから減圧空間Ｓに流入する空気を抑制し、ワークＷに対する吸着力を維持し、ワークＷを安定して搬送することが可能となる。
【００７０】
（搬送方法）
図５は、搬送方法を説明するためのフローチャートである。図５に示すように、まず、搬送部１１２に、ワークＷが載置され、貫通孔１１２ｂを閉塞する（Ｓ４００）。このとき、ワークＷが載置されていない突起部１１２ａの貫通孔１１２ｂについては、開閉部１１８によって閉塞されている。
【００７１】
そして、昇降部１１８ｃの一端が、ワークＷの自重によって貫通孔１１２ｂの内側に収まり、昇降部１１８ｃに固定された蓋部１１８ｂも、突起部１１２ａのうち、搬送部１１２の内周側の端部から離隔する（Ｓ４０２）。こうして、貫通孔１１２ｂは開口し（Ｓ４０４）、減圧空間Ｓと貫通孔１１２ｂが連通する（Ｓ４０６）。
【００７２】
そして、貫通孔１１２ｂから減圧空間Ｓに空気が吸引され、ワークＷが貫通孔１１２ｂに吸着した後（Ｓ４０８）、搬送部１１２が回転し、ワークＷが搬送される（Ｓ４１０）。
【００７３】
かかる搬送方法によれば、ワークＷが載置されていない貫通孔１１２ｂから減圧空間Ｓに流入する空気を抑制し、ワークＷに対する吸着力を維持し、ワークＷを安定して搬送することが可能となる。
【００７４】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００７５】
例えば、上述した実施形態では、減圧空間Ｓは、ポンプＰによって減圧される場合について説明したが、エゼクタなど、他の減圧装置で減圧されてもよい。
【００７６】
また、上述した実施形態では、囲繞部１１６が、減圧空間Ｓを、搬送方向に複数に区分けする場合について説明したが、囲繞部１１６は、減圧空間Ｓを区分けせず、１つの減圧空間Ｓを囲繞してもよい。
【００７７】
なお、本明細書の搬送方法における各工程は、必ずしもフローチャートとして記載された順序に沿って時系列に処理する必要はない。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置および搬送方法に利用することができる。
【符号の説明】
【００７９】
１００  …搬送装置
１１０  …回転体
１１２  …搬送部
１１２ｂ、３１２ｂ  …貫通孔
１１４  …浮上部
１１６  …囲繞部
１１８、２１８、３１８  …開閉部
１１８ａ、２１８ａ、３１８ａ  …弾性部
１１８ｂ、２１８ｂ、３１８ｂ  …蓋部
１１８ｃ、２１８ｃ、３１８ｃ  …昇降部
Ｓ     …減圧空間
Ｗ     …ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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