(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する一方の主面及び他方の主面と、前記一方の主面及び前記他方の主面に開口する複数の貫通孔と、を有し、ハニカム構造体の複数のセルのうち所定のセルを封口するために用いられる封口用マスクの洗浄方法であって、
前記一方の主面及び前記他方の主面と交差する軸線回りに前記封口用マスクを回転させながら、前記一方の主面及び前記他方の主面のそれぞれに対して洗浄用の液体を噴射し、
前記一方の主面において前記液体が噴射される領域と、前記他方の主面において前記液体が噴射される領域とが、前記軸線に平行な方向から見た場合に互いにずれるように、前記一方の主面及び前記他方の主面のそれぞれに対して前記液体を噴射する、封口用マスクの洗浄方法。
【請求項２】
回転する前記封口用マスクに抗力が作用するように、少なくとも前記一方の主面に対して前記液体を噴射する、請求項１記載の封口用マスクの洗浄方法。
【請求項３】
少なくとも前記一方の主面に対して前記液体を噴射した後に、前記軸線回りに前記封口用マスクを回転させながら、少なくとも前記一方の主面に対して前記液体の除去用の気体を噴射する、請求項１又は２記載の封口用マスクの洗浄方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項記載の封口用マスクの洗浄方法の使用によって洗浄された前記封口用マスクを用いて、前記ハニカム構造体の前記所定のセルを封口する、ハニカム構造体の製造方法。
【請求項５】
互いに対向する一方の主面及び他方の主面と、前記一方の主面及び前記他方の主面に開口する複数の貫通孔と、を有し、ハニカム構造体の複数のセルのうち所定のセルを封口するために用いられる封口用マスクの洗浄装置であって、
前記封口用マスクを支持し、前記一方の主面及び前記他方の主面と交差する軸線回りに前記封口用マスクを回転させる回転装置と、
前記一方の主面に対して洗浄用の液体を噴射する第１ノズルを有する噴射装置と、を備え、
前記噴射装置は、前記他方の主面に対して前記液体を噴射する第２ノズルを更に有し、
前記第１ノズル及び前記第２ノズルは、前記一方の主面において前記液体が噴射される領域と、前記他方の主面において前記液体が噴射される領域とが、前記軸線に平行な方向から見た場合に互いにずれるように、前記一方の主面及び前記他方の主面のそれぞれに対して前記液体を噴射する、封口用マスクの洗浄装置。
【請求項６】
前記第１ノズル及び前記第２ノズルは、前記軸線に平行な方向から見た場合に互いに異なる位置に配置されている、請求項５記載の封口用マスクの洗浄装置。
【請求項７】
少なくとも前記第１ノズルは、回転する前記封口用マスクに抗力が作用するように、前記一方の主面に対して前記液体を噴射する、請求項５又は６記載の封口用マスクの洗浄装置。
【請求項８】
前記噴射装置は、少なくとも前記一方の主面に対して、前記液体の除去用の気体を噴射する第３ノズルを更に有する、請求項５〜７のいずれか一項記載の封口用マスクの洗浄装置。
【請求項９】
前記噴射装置は、少なくとも前記第１ノズルから前記液体を噴射する液体噴射状態と、少なくとも前記第１ノズルから前記液体の除去用の気体を噴射する気体噴射状態と、を切り替える切替装置を更に有する、請求項５〜７のいずれか一項記載の封口用マスクの洗浄装置。
【請求項１０】
前記噴射装置は、少なくとも前記第１ノズルの向きを変更可能とする可動機構を更に有する、請求項５〜９のいずれか一項記載の封口用マスクの洗浄装置。
【請求項１１】
前記可動機構は、少なくとも前記第１ノズルを揺動させる動力源を有する、請求項１０記載の封口用マスクの洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハニカム構造体の複数のセルのうち所定のセルを封口するために用いられる封口用マスクの洗浄方法及び洗浄装置、並びにハニカム構造体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＰＦ（Dieselparticulate filter）等、内燃機関から排出されるガスを浄化するフィルタ用として、ハニカム構造体が広く知られている。ハニカム構造体は、一端部が封口材で封じられたセルに対し、他端部が封口材で封じられたセルが少なくとも一つ隣接するように、各セルが配列された構造を有している。
【０００３】
ハニカム構造体の端部で、所定のセルのみを封口材で封じるに際しては、ハニカム構造体の封口すべきセルに対応する箇所に貫通孔が設けられた封口用マスクが用いられる。下記特許文献１，２には、封口用マスクを用いてハニカム構造体を封口する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２９０７６６号公報
【特許文献２】特開２００８−１３２７４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ハニカム構造体の封口に使用された封口用マスクは、付着した異物（残存した封口材や空気中のダスト等）を除去するために洗浄され、再利用される。ハニカム構造体の封口状態を安定させるために、封口用マスクの洗浄に際しては異物を十分に除去することが求められる。一方、ハニカム構造体の製造効率を高めるために、封口用マスクの洗浄時間を短くすることが求められる。
【０００６】
そこで、本発明は、異物を短時間で十分に除去することができる封口用マスクの洗浄方法及び洗浄装置、並びにハニカム構造体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の封口用マスクの洗浄方法は、互いに対向する一方の主面及び他方の主面と、一方の主面及び他方の主面に開口する複数の貫通孔と、を有し、ハニカム構造体の複数のセルのうち所定のセルを封口するために用いられる封口用マスクの洗浄方法であって、一方の主面及び他方の主面と交差する軸線回りに封口用マスクを回転させながら、少なくとも一方の主面に対して洗浄用の液体を噴射する。
【０００８】
この洗浄方法では、一方の主面及び他方の主面と交差する軸線回りに封口用マスクが回転することで、封口用マスクの少なくとも一方の主面の全体に対して満遍なく液体が噴射される。また、液体の移動速度に封口用マスクの回転速度が加算されるため、液体の衝突によって異物に加わる力が強まる。更に、遠心力によって、液体と異物とが封口用マスクの外側に飛ばされる。従って、異物を短時間で十分に除去することができる。
【０００９】
一方の主面及び他方の主面のそれぞれに対して液体を噴射すると、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００１０】
また、一方の主面において液体が噴射される領域と、他方の主面において液体が噴射される領域とが、軸線に平行な方向から見た場合に互いにずれるように、一方の主面及び他方の主面のそれぞれに対して液体を噴射してもよい。この洗浄方法によれば、軸線に平行な方向から見た場合のより広い領域に対して、同時に液体を噴射することができ、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００１１】
また、回転する封口用マスクに抗力が作用するように、少なくとも一方の主面に対して液体を噴射してもよい。この洗浄方法によれば、封口用マスクに付着した異物の移動方向と、液体の移動方向とが互いに逆向きとなるため、液体の衝突によって異物に加わる力が更に強まる。従って、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００１２】
また、少なくとも一方の主面に対して液体を噴射した後に、軸線回りに封口用マスクを回転させながら、少なくとも一方の主面に対して液体の除去用の気体を噴射してもよい。この洗浄方法によれば、一方の主面及び他方の主面と交差する軸線回りに封口用マスクが回転することで、封口用マスクの少なくとも一方の主面の全体に対して満遍なく気体が噴射される。また、気体の移動速度に封口用マスクの回転速度が加算されるため、気体の吹き付けによって液体に加わる力が強まる。更に、遠心力によって、液体が封口用マスクの外側に飛ばされる。従って、封口用マスクに残存した液体を短時間で除去することができる。
【００１３】
本発明に係るハニカム構造体の製造方法は、上記封口用マスクの洗浄方法の使用によって洗浄された封口用マスクを用いて、ハニカム構造体の所定のセルを封口する。この製造方法では、上記洗浄方法によって異物が十分に除去された封口用マスクを用いるため、ハニカム構造体の封口状態を安定させることができる。また、上記洗浄方法では異物が短時間で除去されるため、封口用マスクの洗浄完了を待つ時間が短くなり、ハニカム構造体の製造効率を高めることができる。
【００１４】
本発明に係る封口用マスクの洗浄装置は、互いに対向する一方の主面及び他方の主面と、一方の主面及び他方の主面に開口する複数の貫通孔と、を有し、ハニカム構造体の複数のセルのうち所定のセルを封口するために用いられる封口用マスクの洗浄装置であって、封口用マスクを支持し、一方の主面及び他方の主面と交差する軸線回りに封口用マスクを回転させる回転装置と、一方の主面に対して洗浄用の液体を噴射する第１ノズルを有する噴射装置と、を備える。
【００１５】
この洗浄装置では、回転装置によって、一方の主面及び他方の主面と交差する軸線回りに封口用マスクを回転させながら、噴射装置の第１ノズルから液体を噴射することができる。これにより、一方の主面の全体に対して満遍なく液体が噴射される。また、液体の移動速度に封口用マスクの回転速度が加算されるため、液体の衝突によって異物に加わる力が強まる。更に、遠心力によって、液体と異物とが封口用マスクの外側に飛ばされる。従って、異物を短時間で十分に除去することができる。
【００１６】
噴射装置は、他方の主面に対して液体を噴射する第２ノズルを更に有すると、一方の主面及び他方の主面のそれぞれに対して液体を噴射することができ、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００１７】
また、第１ノズル及び第２ノズルは、一方の主面において液体が噴射される領域と、他方の主面において液体が噴射される領域とが、軸線に平行な方向から見た場合にずれるように、一方の主面及び他方の主面のそれぞれに対して液体を噴射してもよい。この洗浄装置によれば、軸線に平行な方向から見た場合のより広い範囲に、同時に液体を到達させることができ、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００１８】
また、第１ノズル及び第２ノズルは、軸線に平行な方向から見た場合に互いに異なる位置に配置されていていてもよい。この製造装置によれば、簡素な構成で、一方の主面において液体が噴射される領域と、他方の主面において液体が噴射される領域とが、軸線に平行な方向から見た場合にずれた状態とすることができる。
【００１９】
また、少なくとも第１ノズルは、回転する封口用マスクに抗力が作用するように、一方の主面に対して液体を噴射してもよい。この洗浄装置によれば、封口用マスクに付着した異物の移動方向と、液体の移動方向とが互いに逆向きとなるため、液体の衝突によって異物に加わる力が更に強まる。従って、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００２０】
また、噴射装置は、少なくとも一方の主面に対して、液体の除去用の気体を噴射する第３ノズルを更に有してもよい。この洗浄装置によれば、液体を噴射した後に、回転装置によって封口用マスクを回転させながら、第３ノズルによって一方の主面に対して気体を噴射することができる。これにより、封口用マスクの少なくとも一方の主面の全体に対して満遍なく気体が噴射される。また、気体の移動速度に封口用マスクの回転速度が加算されるため、気体の吹き付けによって液体に加わる力が強まる。更に、遠心力によって、液体が封口用マスクの外側に飛ばされる。従って、封口用マスクに残存した液体を短時間で除去することができる。
【００２１】
また、噴射装置は、少なくとも第１ノズルから液体を噴射する液体噴射状態と、少なくとも第１ノズルから液体の除去用の気体を噴射する気体噴射状態と、を切り替える切替装置を更に有してもよい。この洗浄装置によれば、切替装置によって液体噴霧状態と気体噴霧状態とを切り替えることで、同じノズルを液体噴射状態と気体噴射状態とで用いることができる。このため、ノズルの数を削減し、洗浄装置の簡素化を図ることができる。
【００２２】
また、噴射装置は、少なくとも第１ノズルの向きを変更可能とする可動機構を更に有してもよい。この洗浄装置によれば、封口用マスクに合わせてノズルの向きを最適化することで、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００２３】
また、可動機構は、少なくとも第１ノズルを揺動させる動力源を有してもよい。この洗浄装置によれば、第１ノズルを揺動させ、異物に対して液体が衝突する角度を変動させることで、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、異物を短時間で十分に除去することができる封口用マスクの洗浄方法及び洗浄装置、並びにハニカム構造体の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】ハニカム構造体の斜視図である。
【図２】図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。
【図３】封口用マスクの平面図である。
【図４】図３中のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】本発明に係る洗浄装置の第１実施形態の概略構成を示す側面図である。
【図６】図５の洗浄装置の平面図である。
【図７】支持柱の端部を示す断面図である。
【図８】送液ポンプ及び送気ポンプとノズルとを接続する管路を示す図である。
【図９】封口用マスクに対する液体又は気体の噴射領域を示す図である。
【図１０】本発明に係る洗浄装置の第２実施形態の概略構成を示す側面図である。
【図１１】本発明に係る洗浄装置の第３実施形態の概略構成を示す側面図である。
【図１２】ノズルを増やした場合の噴射領域を示す図である。
【図１３】液体噴射状態で用いるノズルと気体噴射状態で用いるノズルとを別々にした場合に、送液ポンプ及び送気ポンプとノズルとを接続する管路を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２７】
まず、ハニカム構造体及び封口用マスクについて説明する。図１は、ハニカム構造体の斜視図である。図２は、図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。図１及び２に示されるハニカム構造体１００は、多孔質（例えば、平均細孔直径２０μｍ以下）のセラミクス材料等からなる円柱状部材であり、複数のセル１１０を有している。セル１１０のそれぞれは、ハニカム構造体１００の端面１００ａから端面１００ｂにかけて、ハニカム構造体１００の軸線方向に沿って形成された孔である。セル１１０同士の間には、多孔質の隔壁１１２が形成されている。図２に示されるように、端面１００ａ側では、複数のセル１１０のうち所定のセル１１０ａが封口材１１４によって封口されている。端面１００ｂ側では、セル１１０のうちセル１１０ａ以外のセル１１０ｂが封口材１１４によって封口されている。
【００２８】
ハニカム構造体１００は、内燃機関から排出されるガスＧを浄化するフィルタとして用いられる。具体的には、端面１００ａから端面１００ｂにガスＧが通される。ガスＧは、端面１００ａでセル１１０ｂ内に導入され、隔壁１１２を透過してセル１１０ａに進入し、端面１００ｂでセル１１０ａから排出される。この過程で、ガスＧに含まれていた粒子（すす等）が隔壁１１２によって補足されるため、ガスＧが浄化される。
【００２９】
図３は、封口用マスクの平面図である。図４は、図３中のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。図３及び４に示される封口用マスク２００は、ハニカム構造体１００の製造工程においてセル１１０を封口するときに、ハニカム構造体１００の端面１００ａ側又は端面１００ｂ側に配置され、封口すべきセル１１０のみを開放するものである。封口用マスク２００は、互いに対向する主面２００ａ，２００ｂと、主面２００ａ，２００ｂに開口する複数の貫通孔２１０，２２０と、を有する円板状部材である。主面２００ａは、セル１１０を封口するときに、ハニカム構造体１００の端面１００ａ又は端面１００ｂに当接する。貫通孔２１０は、封口すべきセル１１０に対応する位置に形成されており、封口すべきセル１１０を開放する。これにより、封口すべきセル１１０のみに、封口材１１４が注入される。貫通孔２２０は、封口用マスク２００の外周側の周方向に沿って４箇所に形成されており、後述するように洗浄時の位置決めに用いられる。
[第１実施形態]
【００３０】
続いて、封口用マスク２００の洗浄装置について説明する。図５は、本発明に係る洗浄装置の第１実施形態の概略構成を示す側面図である。図６は、図５の洗浄装置の平面図である。図５及び６に示されるように、洗浄装置１は、封口用マスク２００を回転させる回転装置２と、封口用マスク２００に洗浄用の液体を噴射する噴射装置３と、を備えている。
【００３１】
回転装置２は、封口用マスク２００を支持する支持部４と、支持部４を回転させる駆動部５と、を有している。駆動部５は、床面Ｍ１に設置されている。駆動部５は、略鉛直な回転軸５ａと、回転軸５ａを回転させるモータ等の動力源５ｂと、を有している。支持部４は、駆動部５の上に水平に設置された回転板６と、回転板６から上方に突出した４本の支持柱７と、を有している。回転板６は、回転軸５ａの上端部に連結され、回転軸５ａの中心軸線Ｌ１を中心とする円形を呈している。支持柱７は、回転板６の外周側の周方向に沿って配置されている。回転板６が回転軸５ａに連結されていることから、支持部４は、回転軸５ａと共に中心軸線Ｌ１回りに回転する。
【００３２】
封口用マスク２００は、支持柱７上に略水平に設置される。封口用マスク２００は、主面２００ａ，２００ｂのいずれが上方に向くように設置されてもよいが、ここでは主面２００ａが上方に向くように設置されているものとする。図６に示されるように、封口用マスク２００の貫通孔２２０は、それぞれ支持柱７に対応する。なお、支持柱７及び貫通孔２２０の数や配置は、封口用マスク２００の大きさや形状に応じて適宜変更される。
【００３３】
図７は、支持柱の端部を示す断面図である。図７に示されるように、支持柱７の端面７ａには、上方に突出した位置決凸部７ｂが設けられている。位置決凸部７ｂは、それぞれ貫通孔２２０に挿入される。これにより、支持部４に対する封口用マスク２００の位置が決まり、封口用マスク２００は支持部４と共に回転する。すなわち、封口用マスク２００は、主面２００ａ，２００ｂと交差する中心軸線Ｌ１回りに回転する。
【００３４】
図５に示されるように、噴射装置３は、回転装置２と並んで床面Ｍ１に設置された本体部８と、封口用マスク２００の上方に位置するノズル９（第１ノズル）と、封口用マスク２００の下方に位置するノズル１０（第２ノズル）と、ノズル９を本体部８に連結するアーム１１と、ノズル１０を本体部８に連結するアーム１２と、ノズル９の向きを変更可能とする可動機構１３と、ノズル１０の向きを変更可能とする可動機構１４と、を有している。
【００３５】
本体部８は、液体を圧送する送液ポンプ８ａと、気体を圧送する送気ポンプ８ｂと、アーム１１を駆動するアーム駆動部８ｃと、を有している。アーム駆動部８ｃによってアーム１１を駆動し、ノズル９を移動させることで、支持部４への封口用マスク２００の着脱を容易に行うことが可能となっている。
【００３６】
ノズル９，１０は、それぞれ送液ポンプ８ａ及び送気ポンプ８ｂから圧送された液体及び気体を噴射する。図８は、送液ポンプ及び送気ポンプとノズルとの関係を示す模式図である。図８に示されるように、送液ポンプ８ａとノズル９，１０との間には送液管路１７が設けられ、送気ポンプ８ｂとノズル９，１０との間には送気管路１８が設けられている。送液管路１７と送気管路１８とは、ノズル９，１０の近傍で接続され、その接続部Ｊとノズル９，１０との間には共通管路１９が設けられている。送液ポンプ８ａから圧送された液体及び送気ポンプ８ｂから圧送された気体は、それぞれ送液管路１７及び送気管路１８を通り、接続部Ｊで合流し、共通管路１９を通ってノズル９，１０から噴射される。送液管路１７、送気管路１８、及び共通管路１９は、アーム１１，１２の内部に通されている。
【００３７】
送液管路１７の途中には電磁弁１５が設けられ、送気管路１８の途中には電磁弁１６が設けられている。電磁弁１５，１６が開かれると、液体と気体とが共通管路１９を通り、ノズル９，１０から噴射される。すなわち、ノズル９，１０から洗浄用の液体を噴射する液体噴射状態となる。また、電磁弁１５が閉じられ、電磁弁１６のみが開かれると、気体のみが共通管路１９を通り、ノズル９，１０から噴射される。すなわち、ノズル９，１０から液体除去用の気体を噴射する気体噴射状態となる。このように、電磁弁１５，１６は、液体噴射状態と気体噴射状態とを切り替える切替装置Ｓを構成している。これにより、同じノズル９，１０を液体噴射状態と気体噴射状態とで用いることができるため、ノズル９，１０の数が削減され、洗浄装置１の簡素化が図られている。なお、液体噴射状態では、電磁弁１５のみが開かれ、液体のみが噴射されてもよい。
【００３８】
図５に示されるように、ノズル９は、中心軸線Ｌ１に対して本体部８と逆側に位置し、封口用マスク２００の主面２００ａに向かうように下方に開口している。ノズル９の中心軸線Ｌ２は主面２００ａと交差しており、中心軸線Ｌ２と主面２００ａとの交点Ｐ１は、中心軸線Ｌ１に対して本体部８と逆側に位置している。これにより、ノズル９から噴射された液体は、主面２００ａにおいて交点Ｐ１を中心とする領域に到達する。
【００３９】
ノズル１０は、本体部８と回転装置２との間に位置し、封口用マスク２００の主面２００ｂに向かうように斜め上方に開口している。すなわち、ノズル１０は、中心軸線Ｌ１に対して本体部８と同じ側に位置している。ノズル１０の中心軸線Ｌ３は主面２００ｂと交差しており、中心軸線Ｌ３と主面２００ｂとの交点Ｐ２は、中心軸線Ｌ１に対して本体部８と同じ側に位置している。これにより、ノズル１０から噴射された液体は、支持部４の支持柱７同士の間を通り、主面２００ｂにおいて交点Ｐ２を中心とする領域に到達する。
【００４０】
図９は、封口用マスクに対する液体又は気体の噴射領域を示す図である。図９に示されるように、ノズル９は、主面２００ａにおいて交点Ｐ１を中心とする領域Ａ１に対して、液体又は気体を噴射する。ノズル１０は、主面２００ｂにおいて交点Ｐ２を中心とする領域Ａ２に対して、液体又は気体を噴射する。上述したように、交点Ｐ１と交点Ｐ２とは、中心軸線Ｌ１に対して互いに逆側に位置している。すなわち、交点Ｐ１の位置と交点Ｐ２の位置とは、中心軸線Ｌ１に平行な方向から見た場合に互いに異なっている。このため、領域Ａ１と領域Ａ２とは、中心軸線Ｌ１に平行な方向から見た場合に互いにずれている。このように、ノズル９，１０が、中心軸線Ｌ１に平行な方向から見た場合に互いに異なる位置に配置された簡素な構成によって、領域Ａ１と領域Ａ２とがずれるようになっている。
【００４１】
可動機構１３は、アーム１１の端部とノズル９との間に介在している。可動機構１３は、ノズル９を揺動させるモータ等の動力源１３ａを有している。可動機構１４は、アーム１２の端部とノズル１０との間に介在している。可動機構１４は、ノズル１０を揺動させるモータ等の動力源１４ａを有している。
【００４２】
続いて、洗浄装置１を用いた封口用マスク２００の洗浄方法について説明する。まず、封口に使用され、異物が付着した封口用マスク２００を、支持部４上に設置する。この際、本体部８のアーム駆動部８ｃによってアーム１１を駆動し、ノズル９を支持部４の上方から移動させることで、封口用マスク２００を容易に設置することができる。
【００４３】
次に、駆動部５によって、支持部４及び封口用マスク２００を中心軸線Ｌ１回りに回転させる。そして、封口用マスク２００を回転させながら電磁弁１５，１６を開き、ノズル９，１０から主面２００ａ，２００ｂのそれぞれに対して洗浄用の液体を噴射する。すると、主面２００ａ，２００ｂと交差する中心軸線Ｌ１回りに封口用マスク２００が回転することで、主面２００ａ，２００ｂの全体に対して満遍なく液体が噴射される。また、液体の移動速度に封口用マスク２００の回転速度が加算されるため、液体の衝突によって異物に加わる力が強まる。更に、遠心力によって、液体と異物とが封口用マスク２００の外側に飛ばされる。従って、異物を短時間で十分に除去することができる。
【００４４】
また、主面２００ａ，２００ｂのそれぞれに対して液体が噴射されるため、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００４５】
また、主面２００ａにおいて液体が噴射される領域Ａ１と、主面２００ｂにおいて液体が噴射される領域Ａ２とが、中心軸線Ｌ１に平行な方向から見た場合に互いにずれるように、主面２００ａ，２００ｂのそれぞれに対して液体が噴射される。このため、中心軸線Ｌ１に平行な方向から見た場合のより広い領域に対して、同時に液体を噴射することができ、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００４６】
なお、可動機構１３及び可動機構１４によってノズル９，１０の向きを変更し、封口用マスク２００に合わせてノズル９，１０の向きを最適化してもよい。これにより、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００４７】
例えば、可動機構１３，１４によってノズル９，１０の向きを調整し、回転する封口用マスク２００に抗力が作用するように液体を噴射してもよい。すなわち、封口用マスク２００に対して、回転方向とは逆側の力が作用するように液体を噴射してもよい。具体的には、封口用マスク２００の回転による主面２００ａ，２００ｂの移動方向と、ノズル９，１０からの液体の噴射方向とが、互いに逆向きとなるように、ノズル９，１０の向きを調整する。これにより、液体の衝突によって異物に加わる力が更に強まる。従って、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００４８】
また、可動機構１３，１４の動力源１３ａ，１４ａによって、ノズル９，１０を揺動させてもよい。これにより、異物に対して液体が衝突する角度を変動させることで、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００４９】
次に、電磁弁１５を閉じ、ノズル９，１０から主面２００ａ，２００ｂのそれぞれに対して液体除去用の気体を噴射する。主面２００ａ，２００ｂと交差する中心軸線Ｌ１回りに封口用マスク２００が回転することで、主面２００ａ，２００ｂの全体に対して満遍なく気体が噴射される。また、気体の移動速度に封口用マスク２００の回転速度が加算されるため、気体の吹き付けによって液体に加わる力が強まる。更に、遠心力によって、液体が封口用マスク２００の外側に飛ばされる。従って、封口用マスク２００に残存した液体を短時間で除去することができる。
【００５０】
次に、電磁弁１６を閉じて気体の噴射を停止し、駆動部５による支持部４の回転を停止し、封口用マスク２００を外す。この際も、本体部８のアーム駆動部８ｃによってアーム１１を駆動し、ノズル９を封口用マスク２００の上方から移動させることで、封口用マスク２００を容易に外すことができる。
【００５１】
このように洗浄された封口用マスク２００は、ハニカム構造体１００の封口に再利用される。再利用に際して、封口用マスク２００の異物は十分に除去されているため、ハニカム構造体１００の封口状態を安定させることができる。また、封口用マスク２００の異物が短時間で除去されるため、封口用マスク２００の洗浄完了を待つ時間が短くなり、ハニカム構造体１００の製造効率を高めることができる。
[第２実施形態]
【００５２】
続いて、本発明に係る洗浄装置の第２実施形態について説明する。図１０は、本発明に係る洗浄装置の第２実施形態の概略構成を示す側面図である。図１０に示される洗浄装置１Ａは、ノズル１０から噴射された液体又は気体を反射させて封口用マスク２００の主面２００ｂに到達させるものである。
【００５３】
洗浄装置１Ａの回転装置２Ａは、支持部４の代わりに支持部４Ａを有している。支持部４Ａは、支持部４における回転板６の上面中央部に、円錐状の隆起部２０を設けたものである。ノズル１０は、隆起部２０の円錐面２０ａに向かうように側方に開口している。円錐面２０ａの角度とノズル１０の配置とは、ノズル１０の中心軸線Ｌ３に沿って噴射された液体又は気体が円錐面２０ａによって反射され、中心軸線Ｌ１に対して本体部８と同じ側で封口用マスク２００の主面２００ｂに到達するように調整されている。
【００５４】
洗浄装置１Ａによれば、ノズル１０を封口用マスク２００の主面２００ｂに向けなくても、主面２００ｂに液体を噴射することができるため、ノズル１０の配置の自由度が高くなる。また、主面２００ｂに対して略垂直に液体を噴射することができるため、異物をより短時間で十分に除去することができる。
[第３実施形態]
【００５５】
続いて、本発明に係る洗浄装置の第３実施形態について説明する。図１１は、本発明に係る洗浄装置の第３実施形態の概略構成を示す側面図である。図１１に示される洗浄装置１Ｂは、ノズル１０を支持部４の内側に配置したものである。
【００５６】
洗浄装置１Ｂは、回転装置２及び噴射装置３の代わりに回転装置２Ｂ及び噴射装置３Ｂを備えている。噴射装置３Ｂは、アーム１２の代わりにアーム１２Ｂを有している。回転装置２Ｂは、支持部４の代わりに支持部４Ｂを有している。支持部４Ｂは、中心軸線Ｌ１に沿って回転軸５ａに設けられた貫通孔２１と、回転板６の中心部に設けられ貫通孔２１の上端部を露出させる開口２２と、を有している。アーム１２Ｂは、本体部８から延在し、貫通孔２１の下方から上方に通されている。アーム１２Ｂは、回転軸５ａに固定されてはおらず、支持部４Ｂが回転してもアーム１２Ｂは回転しない。
【００５７】
ノズル１０は、可動機構１４を介してアーム１２Ｂの上端部に連結されて中心軸線Ｌ１上に位置し、支持柱７に囲まれている。ノズル１０は斜め上方に開口しており、ノズル１０の中心軸線Ｌ３と主面２００ｂとの交点Ｐ２は、中心軸線Ｌ１に対して本体部８と同じ側に位置している。
【００５８】
洗浄装置１Ｂによれば、ノズル１０から噴射された液体は、支持部４の支持柱７同士の間を通らずに主面２００ｂに到達する。このため、主面２００ｂに向かって噴射された液体の全てが、支持柱７と衝突することなく主面２００ｂに到達する。従って、異物をより短時間で十分に除去することができる。
【００５９】
以上、本発明の好適な実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。例えば、ノズル９，１０の数が適宜増減されてもよく、第１ノズル、第２ノズル、第３ノズル、第４ノズル、第５ノズル、第６ノズル、第７ノズル、第８ノズル、第９ノズル、第１０ノズル等を設けることができる。ノズルの数を増加させることにより、マスク一枚あたりの洗浄時間を短縮可能となる。図１２は、ノズル９，１０を２個ずつに増やした場合の噴射領域を示す図である。図１２では、主面２００ａに対してノズル９，９から液体が噴射される領域Ａ１，Ａ１と、主面２００ｂに対してノズル１０，１０から液体が噴射される領域Ａ２，Ａ２とが互いにずれている。これにより、更に広い範囲に同時に液体を噴射することができる。また、図１３に示されるように、液体噴射状態に用いられるノズル９Ａ，１０Ａと、気体噴射状態に用いられるノズル９Ｂ，１０Ｂ（第３ノズル）とを別々に設けてもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１，１Ａ，１Ｂ…洗浄装置、２，２Ａ，２Ｂ…回転装置、３，３Ｂ…噴射装置、９，９Ａ…ノズル（第１ノズル）、１０，１０Ａ…ノズル（第２ノズル）、９Ｂ，１０Ｂ…ノズル１０（第３ノズル）、１３，１４…可動機構、１３ａ，１４ａ…動力源、１００…ハニカム構造体、２００…封口用マスク、２００ａ…主面、２００ｂ…主面、２１０…貫通孔、Ａ１，Ａ２…領域、Ｌ１…中心軸線、Ｓ…切替装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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