(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状のダイシングブレードが被加工部材に当接する箇所を含む所定範囲を冷却水供給範囲として、当該冷却水供給範囲に冷却水を供給しながらダイシングを行うダイシング装置であって、
前記冷却水を噴射する複数のノズルを備え、
前記複数のノズルは、当該複数のノズルの各ノズルが噴射する冷却水を前記冷却水供給範囲に分散して供給可能とするように、前記冷却水の噴射方向が前記各ノズルごとに設定されており、
前記各ノズルは、当該各ノズルの噴射口が前記ダイシングブレードの周縁に対向する線上に並ぶように配置され、前記ダイシングブレードの周縁に対向する線は、前記ダイシングブレードの厚み方向の中心を通る仮想的な平面上に存在する線であり、かつ、前記各ノズルが噴射する冷却水の噴射方向は、前記ダイシングブレードの周縁の接線方向であり、
前記各ノズルは、前記冷却水を流通させるための１本のパイプの先端を複数に分岐することによって形成された複数の枝パイプの先端にそれぞれ取り付けられており、
前記各ノズルは、前記各ノズルの各噴射口と前記各ノズルが噴射する冷却水の前記ダイシングブレードにおける各到達点との距離が同じとなるように配置されていることを特徴とするダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングブレードに冷却水を供給しながら被加工部材のダイシングを行うダイシング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハーなどの被加工部材をダイシングブレードによってダイシングする際に、ダイシングブレードが被加工部材に当接する箇所を含む所定範囲（冷却水供給範囲という。）に冷却水を供給しながらダイシングすることが一般的に行われている。このとき、冷却水供給範囲に効率的に冷却水を供給することが重要であり、このような工夫がなされたダイシング装置は、従来より種々提案されている（例えば、特開２００５−５７１６０号公報参照。）。
【０００３】
図４は、従来のダイシング装置９００を説明するために示す図である。図４（ａ）は正面図であり、図４（ｂ）及び図４（ｃ）はノズルの斜視図である。従来のダイシング装置９００は、図４に示すように、冷却水供給範囲Ａに冷却水を供給しながらダイシングを行うダイシング装置である。なお、図４（ｂ）に示すノズル９２０は、ダイシングブレード９１０の周縁(刃に相当する部分）に沿った縦長の噴射口９２１を有し、当該噴射口９２１の縦方向の中心軸がダイシングブレード９１０の周縁に対向する線上に一致するように配置して、噴射口９２１から冷却水を冷却水供給範囲Ａに向かって噴射する。
【０００４】
また、従来のダイシング装置９００の変形例として、縦長の噴射口９２１の代わりに、図４（ｃ）に示すように、断面が円形の噴射口（円形噴射口という。）９２２をダイシングブレード９１０の周縁に対向する線上に複数個並べて配置した例も示されている。
【０００５】
従来のダイシング装置９００によれば、ノズル９２０は、縦長の噴射口９２１又は複数個の円形噴射口９２２がダイシングブレードの周縁に対向する線上に沿うように配置されているため、縦長の噴射口９２１又は複数個の円形噴射口９２２から噴射される冷却水がダイシングブレード９１０の幅方向（厚み方向）に広がることなく、冷却水を効率的に冷却水供給範囲Ａに噴射することができ、それによって、ダイシングブレード９１０を効率的に冷却することができるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−５７１６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のダイシング装置９００は、縦長の噴射口９２１又は複数個の円形噴射口９２２のいずれの場合であっても、噴射口が１つのノズル９２０内に固定的に設けられている。このため、冷却水の噴射方向の設定やノズルの先端（噴射口）とダイシングブレードとの距離の設定など、ノズルとダイシングブレードとの位置関係を適切に設定できないという課題がある。また、噴射口が１つのノズル９２０内に固定的に設けられていると、各噴射口から噴射される冷却水の噴射方向はほぼ同じ方向で、かつ、冷却水はダイシングブレード９１０上においては、一本のまとまりとなってしまう場合が多い。このため、冷却水はダイシングブレード９１０の一箇所に集中して供給されることとなり、ダイシングブレード９１０はブレや振動が生じ易くなるといった課題もある。
【０００８】
ダイシングブレードにブレや振動が生じた状態でダイシングを行うと、高精度なダイシングは困難なものとなる。特に、炭化珪素（ＳｉＣ）や窒化ガリウム（ＧａＮ）などの硬度の高い半導体ウエハーをダイシングする際は、ダイシングブレードがこれらの半導体ウエハーに当接したときに、ダイシングブレードが半導体ウエハーに容易には食い込んで行かないため、ダイシングブレードにブレや振動が生じ易くなる。このとき、冷却水の供給によるブレや振動がさらに加わると、ダイシングブレードのブレや振動はより大きくなるため、高精度なダイシングはますます困難なものとなる。
【０００９】
そこで、本発明は、ダイシングブレードを効率よく冷却可能とするとともに、ダイシングブレードに冷却水を供給することによるダイシングブレードのブレや振動を抑制することができるダイシング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
［１］本発明のダイシング装置は、円盤状のダイシングブレードが被加工部材に当接する箇所を含む所定範囲を冷却水供給範囲として、当該冷却水供給範囲に冷却水を供給しながらダイシングを行うダイシング装置であって、前記冷却水を噴射する複数のノズルを備え、前記複数のノズルは、当該複数のノズルの各ノズルが噴射する冷却水を前記冷却水供給範囲に分散して供給可能とするように、前記冷却水の噴射方向が前記各ノズルごとに設定されていることを特徴とする。
【００１１】
［２］本発明のダイシング装置においては、前記各ノズルは、当該各ノズルの噴射口が前記ダイシングブレードの周縁に対向する線上に並ぶように配置されていることが好ましい。
【００１２】
［３］本発明のダイシング装置においては、前記ダイシングブレードの周縁に対向する線は、前記ダイシングブレードの中心を通る仮想的な平面上に存在する線であることが好ましい。
【００１３】
［４］本発明のダイシング装置は、前記冷却水の噴射方向は、前記ダイシングブレードの周縁の接線方向であることが好ましい。
【００１４】
［５］本発明のダイシング装置においては、前記冷却水の噴射方向は、前記各ノズルが噴射する冷却水の噴射方向がそれぞれ平行又はほぼ平行となる方向であることも好ましい。
【００１５】
［６］本発明のダイシング装置においては、前記複数のノズルのうちの少なくとも２つのノズルは、当該２つのノズルの各ノズルが噴射する冷却水の噴射方向が前記ダイシングブレードの側面に対して鋭角をなす方向となるように配置されていることも好ましい。
【００１６】
［７］本発明のダイシング装置においては、前記各ノズルは、前記各ノズルの各噴射口と前記各ノズルが噴射する冷却水の前記ダイシングブレードにおける各到達点との距離が同じ又はほぼ同じとなるように配置されていることが好ましい。
【００１７】
［８］本発明のダイシング装置においては、前記各ノズルは、前記冷却水を流通させるための１本のパイプの先端を複数に分岐することによって形成された複数の枝パイプの先端にそれぞれ取り付けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のダイシング装置によれば、複数のノズルの各ノズルは、ダイシングブレードの冷却水供給範囲に冷却水を分散して供給可能とするように、冷却水の噴射方向が各ノズルごとに設定されている。複数のノズルがこのような構成となっているため、各ノズルが噴射する冷却水によってダイシングブレードを効率よく冷却可能とし、かつ、冷却水がダイシングブレードにおいて一箇所に集中しないため、ダイシングブレードのブレや振動を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態１に係るダイシング装置１００Ａを説明するために示す図である。
【図２】実施形態２に係るダイシング装置１００Ｂを説明するために示す図である。
【図３】実施形態３に係るダイシング装置１００Ｃを説明するために示す図である。
【図４】従来のダイシング装置９００を説明するために示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００２１】
［実施形態１］
図１は、実施形態１に係るダイシング装置１００Ａを説明するために示す図である。なお、図１は、ダイシング装置１００Ａのダイシングブレード１１０と、冷却水を噴射する複数（３個とする。）のノズル１２１，１２２，１２３と、被加工部材としての半導体ウエハー２００との位置関係を模式的に示す図である。また、図１（ａ）は正面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）を矢印ａ方向から見た場合におけるダイシングブレード１１０と各ノズル１２１，１２２，１２３の噴射口と１２１ａ，１２２ａ，１２３ａとの位置関係を模式的に示す図である。
【００２２】
実施形態１に係るダイシング装置１００Ａは、図１に示すように、半導体ウエハー２００にダイシングブレード１１０が当接する箇所を含む所定範囲（実施形態においても冷却水供給範囲Ａという。）に冷却水を供給しながらダイシングを行うダイシング装置１００Ａである。また、実施形態１に係るダイシング装置１００Ａは、それぞれが個別に設けられている例えば３個のノズル１２１，１２２，１２３を備えている。
【００２３】
これらノズル１２１，１２２，１２３は、冷却水が流通する１本のパイプ１４０の先端を３つに分岐することによって形成された３本の枝パイプ１４１，１４２，１４３の先端部に取り付けられている。すなわち、枝パイプ１４１の先端部には、ノズル１２１が取り付けられ、枝パイプ１４２の先端部には、ノズル１２２が取り付けられ、枝パイプ１４３の先端部には、ノズル１２３が取り付けられている。また、各ノズル１２１，１２２，１２３は、ダイシングブレード１１０と一体となっており、ダイシングブレード１１０との位置関係を保持した状態でダイシングブレード１１０と共にｘ軸方向に沿って移動する。また、ダイシングブレード１１０は矢印Ｒ方向に回転するものとする。
【００２４】
また、各ノズル１２１，１２２，１２３は、図１（ｂ）に示すように、各噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａが、ダイシングブレード１１０の周縁（刃に相当する部分）１１０ａに対向する線上に一列に並ぶように配置されている。なお、ダイシングブレード１１０の周縁１１０ａに対向する線というのは、ダイシングブレード１１０の厚み方向の中心を通る仮想的な平面（図示せず。）上に存在する線Ｌ（図１（ｂ）参照。）であるとする。
【００２５】
また、各ノズル１２１，１２２，１２３は、図１（ａ）に示すように、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水の噴射方向がダイシングブレード１１０の周縁１１０ａの接線方向となるように配置され、かつ、それぞれの噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａと、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水のダイシングブレード１１０上での到達点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３との距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３が同じかほぼ同じとなるように配置されている。なお距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は図示を省略している。
【００２６】
なお、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水は、図１において、それぞれ１本の破線矢印で示されているが、実際には多少の広がりを持って噴射される。これは、後述する実施形態２及び実施形態３において説明する図２及び図３においても同様である。
【００２７】
各ノズル１２１，１２２，１２３を図１に示すように配置することにより、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水は、冷却水供給範囲Ａに分散して供給される。これにより、冷却水を冷却水供給範囲Ａの広い範囲に効率よく供給することができ、かつ、冷却水がダイシングブレード１１０の一箇所に集中しないため、ダイシングブレード１１０のブレや振動を抑制することができる。
【００２８】
また、各ノズル１２１，１２２，１２３の各噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａが、ダイシングブレード１１０の周縁１１０ａに対向する線上（ダイシングブレード１１０の厚み方向の中心を通る仮想的な平面上に存在する線Ｌ上）に一列に並ぶように配置されている。このため、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水の水量及び水圧をダイシングブレードの各側面において均等又はほぼ均等にすることができ、これによっても、ダイシングブレード１１０のブレや振動を抑制することができる。
【００２９】
また、各ノズル１２１，１２２，１２３の各噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａが、ダイシングブレード１１０の周縁１１０ａに対向する線上（ダイシングブレード１１０の厚み方向の中心を通る仮想的な平面（図示せず。）上に存在する線Ｌ上）に一列に並ぶように配置されているため、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水は、ダイシングブレード１１０の幅方向（厚み方向）に必要以上に広がることがなく、ダイシングブレード１１０を効率よく冷却することができる。
【００３０】
また、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水の噴射方向がダイシングブレード１１０の周縁１１０ａの接線方向とすることにより、ダイシングブレード１１０の周縁１１０ａすなわち刃に相当する部分に冷却水を直接供給することができ、ダイシングブレード１１０の最も発熱量の多い部分を効率的に冷却することができる。
【００３１】
また、各ノズル１２１，１２２，１２３の噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａと、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水のダイシングブレード１１０上での到達点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３との距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３が同じかほぼ同じとなるようしている。このため、ダイシングブレード１１０の各到達点部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３における冷却水の水量及び水圧を均等又はほぼ均等にすることができ、これによっても、ダイシングブレード１１０のブレや振動を抑制することができる。
【００３２】
［実施形態２］
図２は、実施形態２に係るダイシング装置１００Ｂを説明するために示す図である。なお、図２は、ダイシング装置１００Ｂのダイシングブレード１１０と、冷却水を噴射する３個のノズル１２１，１２２，１２３と、被加工部材としての半導体ウエハー２００との位置関係を模式的に示す図である。また、図２（ａ）は正面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）を矢印ａ方向から見た場合におけるダイシングブレード１１０と各ノズル１２１，１２２，１２３の噴射口と１２１ａ，１２２ａ，１２３ａとの位置関係を模式的に示す図である。
【００３３】
実施形態２に係るダイシング装置１００Ｂが実施形態１に係るダイシング装置１００Ａと異なるのは、ノズル１２１，１２２，１２３をそれぞれ平行に配置した点であり、その他の構成は実施形態１に係るダイシング装置１００Ａと同様である。したがって、実施形態１に係るダイシング装置１００Ａと同一部分には同一符号を付している。
【００３４】
実施形態２に係るダイシング装置１００Ｂにおいても、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水は、冷却水供給範囲Ａに供給されるように配置される。なお、各ノズル１２１，１２２，１２３は、実施形態１に係るダイシング装置１００Ａの場合と同様に、各噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａがダイシングブレード１１０の周縁１１０ａに対向する線上（ダイシングブレード１１０の厚み方向の中心を通る仮想的な平面上に存在する線Ｌ上）に一列に並ぶように配置されている（図２（ｂ）参照。）。
【００３５】
また、各ノズル１２１，１２２，１２３は、それぞれの噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａと各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水のダイシングブレード１１０上での到達点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３との距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３が同じかほぼ同じとなるように配置されている。なお、実施形態２においても、距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は図示を省略している。
【００３６】
各ノズル１２１，１２２，１２３を図２に示すように配置することによって、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水は、冷却水供給範囲Ａに分散して供給される。これにより、冷却水を冷却水供給範囲Ａの広い範囲に効率よく供給することができ、かつ、冷却水がダイシングブレード１１０の一箇所に集中しないため、ダイシングブレード１１０のブレや振動を抑制することができる。
【００３７】
また、各ノズル１２１，１２２，１２３の各噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａが、ダイシングブレード１１０の周縁１１０ａに対向する線上（ダイシングブレード１１０の厚み方向の中心を通る仮想的な平面上に存在する線Ｌ上）に一列に並ぶように配置されている。このため、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水の水量及び水圧をダイシングブレードの各側面において均等又はほぼ均等にすることができ、これによっても、ダイシングブレード１１０のブレや振動を抑制することができる。
【００３８】
また、各ノズル１２１，１２２，１２３の各噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａが、ダイシングブレード１１０の周縁１１０ａに対向する線上（ダイシングブレード１１０の厚み方向の中心を通る仮想的な平面上に存在する線Ｌ上）に一列に並ぶように配置されているため、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水は、ダイシングブレード１１０の幅方向（厚み方向）に必要以上に広がることがなく、ダイシングブレード１１０を効率よく冷却することができる。
【００３９】
また、各ノズル１２１，１２２，１２３の噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａと各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水のダイシングブレード１１０上での到達点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３との距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３が同じかほぼ同じとなるようしている。このため、ダイシングブレード１１０の各到達点部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３における冷却水の水量及び水圧を均等又はほぼ均等にすることができ、これによっても、ダイシングブレード１１０のブレや振動を抑制することができる。
【００４０】
[実施形態３]
図３は、実施形態３に係るダイシング装置１００Ｃを説明するために示す図である。なお、図３は、ダイシング装置１００Ｃにおけるダイシングブレード１１０と、冷却水を噴射する３個のノズル１２１，１２２，１２３と、被加工部材としての半導体ウエハー２００との位置関係を模式的に示す図である。また、図３（ａ）は正面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）を矢印ｂ方向から見た場合の平面図である。
【００４１】
実施形態３に係るダイシング装置１００Ｃが実施形態１に係るダイシング装置１００Ａと異なるのは、図３に示すように、３個のノズルのうちの２個のノズル（ノズル１２１及びノズル１２２とする。）から噴射される冷却水が、ダイシングブレード１１０の各側面に対して所定角度θ（例えば、θ＝５度〜１５度とする。）で供給されるように、これら２個のノズル１２１，１２２を配置した点であり、その他の構成は実施形態１に係るダイシング装置１００Ａと同様である。したがって、実施形態１に係るダイシング装置１００Ａと同一部分には同一符号を付している。
【００４２】
なお、ノズル１２３は、実施形態１に係るダイシング装置１００Ａのノズル１２３と同様に、当該ノズル１２３が噴射する冷却水の噴射方向がダイシングブレード１１０の周縁１１０ａの接線方向となるように配置されているものとする。
【００４３】
また、各ノズル１２１，１２２，１２３は、それぞれの噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａと各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水のダイシングブレード１１０上での到達点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３との距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３が同じかほぼ同じとなるように配置されている。なお、実施形態３においても、距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は図示を省略している。
【００４４】
実施形態３に係るダイシング装置１００Ｃによれば、３個のノズルのうちの２個のノズル（ノズル１２１及びノズル１２２とする。）から噴射される冷却水がダイシングブレード１１０の各側面に対して所定角度θ（例えば、θ＝５度〜１５度とする。）で供給されるように、ノズル１２１，１２２を配置するようにしている。このため、ダイシングブレード１１０の各側面に対しても冷却水を効率よく供給することができる。また、ノズル１２３は、当該ノズル１２３が噴射する冷却水の噴射方向が実施形態１と同様に、ダイシングブレード１１０の周縁１１０ａの接線方向となるように配置している。このため、ダイシングブレード１１０の周縁１１０ａすなわち刃に相当する部分に冷却水を直接供給することができ、ダイシングブレード１１０の最も発熱量の多い部分を効率的に冷却することができる。
【００４５】
また、実施形態３に係るダイシング装置１００Ｃにおいても、各ノズル１２１，１２２，１２３が噴射する冷却水はダイシングブレード１１０の一箇所に集中しないため、ダイシングブレード１１０のブレや振動を抑制することができる。
【００４６】
なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、下記に示すような変形実施も可能である。
【００４７】
（１）上記各実施形態においては、各ノズル１２１，１２２，１２３から噴射される冷却水がダイシングブレード１１０に到達するまでの距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は同じ又はほぼ同じとなるように各ノズルを配置した場合を例示したが、これらの距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３は必ずしも同じとする必要はなく、それぞれを適切な距離に設定することも可能である。例えば、実施形態２を例にした場合、実施形態２においては、平行に配置されたノズル１２１，１２２，１２３のうちの下段に位置するノズルほど、その噴射口がダイシングブレード１１０側に突き出るような配置としたが、各ノズル１２１，１２２，１２３の噴射口が縦方向（ｙ軸方向）において揃うように配置してもよい。
【００４８】
（２）上記各実施形態においては、ノズル１２１，１２２，１２３の数は３個とした場合を例示したが、３個に限られるものではない。また、各ノズル１２１，１２２，１２３の配置の仕方も種々変形実施可能である。この場合、各ノズルが噴射する冷却水が、冷却水供給範囲Ａの一箇所に集中することなく冷却水供給範囲Ａに分散して供給可能となるように各ノズルを配置すればよい。
【００４９】
（３）上記各実施形態においては、各ノズルは一本のパイプを分岐することによって形成された枝パイプの先端に取り付けるような構成としたが、一本のパイプを分岐するのではなく、それぞれ独立したパイプによって各ノズルに冷却水を流通させるようにしてもよい。
【００５０】
（４）上記実施形態１及び実施形態２においては、各ノズル１２１，１２２，１２３の噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａが、ダイシングブレード１１０の厚み方向の中心を通る仮想的な平面上に存在する線Ｌ上に一列に並ぶように、各ノズル１２１，１２２，１２３を配置した場合を例示したが、噴射口１２１ａ，１２２ａ，１２３ａは、必ずしも、ダイシングブレード１１０の厚み方向の中心を通る仮想的な平面上に存在する線Ｌ上に一列に並べる必要はなく、例えば、ダイシングブレード１１０の厚み方向の中心を通る仮想的な平面上に存在する線Ｌを境にして互い違いに配置するようにしてもよい。
【００５１】
（５）上記各実施形態においては、ダイシング装置として、半導体ウエハーをダイシングするダイシング装置を例示したが、これに限られるものではなく、ダイシングブレードに冷却水を供給しながら被加工部材をダイシングする装置であれば適用可能となる。
【符号の説明】
【００５２】
１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ・・・ダイシング装置、１１０・・・ダイシングブレード、１１０ａ・・・周縁、１２１、１２２，１２３・・・ノズル、１２１ａ，１２２ａ，１２３ａ・・・ノズルの噴射口、１４０・・・パイプ、１４１，１４２，１４３・・・枝パイプ、２００・・・半導体ウエハー、Ａ・・・冷却水供給範囲、Ｌ・・・ダイシングブレード１１０の厚み方向の中心を通る仮想的な平面上に存在する線、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３・・・冷却水の到達点、Ｒ・・・ダイシングブレードの回転方向
【図４】
0005855379.tif 000002
【図１】
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【図２】
0005855379.tif 000004
【図３】
0005855379.tif 000005