(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハを収納する総重量が８ｋｇｆ以上の基板収納容器を包装する包装体用の収納箱と、一個の包装体を搭載する機械搬送用で専用の個別パレットと、包装体に作用する衝撃を緩和する複数の緩衝材とを含んでなる基板収納容器の梱包体であって、
収納箱、個別パレット、及び複数の緩衝材に剛性がそれぞれ付与され、
収納箱が底部パレットに箱本体を搭載することにより複数の包装体を収納可能な大型に構成され、底部パレットに複数の搬送挿入口が設けられ、この底部パレットの表面周縁部の少なくとも一部に、箱本体の下部周縁に嵌合する嵌合壁が形成され、箱本体の上部と周壁の一部とがそれぞれ開口されるとともに、箱本体の周壁には、周壁の開口を開閉する横開きタイプの扉が周壁方向に揺動可能に支持され、
個別パレットが板形に形成されてその搭載面の少なくとも一部に基板収納容器用の位置決め手段が設けられ、個別パレットの搭載面に基板収納容器用の弾性緩衝体が取り付けられてそのショア００硬度が２０°〜１２０°の範囲とされ、
複数の緩衝材が、少なくとも箱本体の底面に搭載される下段用の緩衝材と、この下段用の緩衝材よりも上方に位置する上段用の緩衝材とされ、これら下段用の緩衝材と上段用の緩衝材とに、包装体を搭載した個別パレットが挟まれることを特徴とする基板収納容器の梱包体。
【請求項２】
個別パレットの周壁に複数の搬送挿入口が並べ設けられ、位置決め手段が個別パレットの搭載面周縁部に形成される基板収納容器用の位置決め壁とされ、弾性緩衝体が個別パレットの搭載面に間隔をおいて複数配設された請求項１記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項３】
個別パレットの周壁に複数の搬送挿入口が並べ設けられ、位置決め手段が個別パレットの搭載面周縁部に支持されて基板収納容器を包囲する中空の位置決め部材とされ、弾性緩衝体が個別パレットの搭載面に間隔をおいて複数配設された請求項１記載の基板収納容器の梱包体。
【請求項４】
複数の緩衝材が、箱本体の上部を被覆する上蓋の直下に位置する上段用の緩衝材と、複数の包装体を上下方向から挟持する中段用の緩衝材と、箱本体の内底面に搭載される下段用の緩衝材とから構成され、中段用の緩衝材の包装体と相対する面に、複数の包装体の上部に嵌合可能な嵌合穴が穿孔された請求項１、２、又は３記載の基板収納容器の梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハを収納する基板収納容器の梱包体に関し、より詳しくは、人のハンドリングが困難な総重量８ｋｇｆ以上の基板収納容器の搬送、梱包、輸送等に使用される基板収納容器の梱包体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、φ３００ｍｍの半導体ウェーハを収納する基板収納容器は、半導体を製造する工場内を機械と手作業とにより搬送され、半導体ウェーハが製品化された後、梱包して出荷され、輸送される。基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプ容器本体と、この容器本体の開口した正面に嵌合される蓋体とを備え、容器本体の天井に、搬送装置に上方から把持される搬送用のフランジが装着されており、容器本体の両側壁には、搬送用のコンベヤレールがそれぞれ着脱自在に装着されている。
【０００３】
このような基板収納容器は、工場内を搬送される場合には、原則として工場の搬送装置やコンベヤにより自動的に機械搬送されるが、機械搬送が難しい工程等では、例外的に手動のハンドリング操作で搬送される。
【０００４】
基板収納容器が梱包して輸送される場合には、段ボール等からなる包装箱内に補強材、緩衝材、弾性材がそれぞれ手作業で敷設して積層され、弾性材上に包装した基板収納容器が手作業で上向きに搭載され、この基板収納容器の上向きの正面に緩衝材と補強材とが手作業で重ねて積層された後、包装箱の開口した上部のフラップが閉じて輸送される（特許文献１、２参照）。基板収納容器は、梱包して出荷される際、不透明のアルミラミネート袋で包装して密閉される。
【０００５】
ところで、半導体ウェーハは次世代タイプとしてφ４５０ｍｍタイプが検討されているが、このφ４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納する基板収納容器は、３００ｍｍタイプの基板収納容器よりも大型化され、重量も増大（約２５ｋｇ）するので、手動によるハンドリングや梱包に少なからず支障を来し、しかも、取扱質量に関する業界の規約にも反することとなる。
【０００６】
そこで、４５０ｍｍタイプの基板収納容器については、作業の安全性や効率化等を図り、業界の規約を満たすため、例外なく機械的にハンドリングしたり、機械搬送する技術が研究されている。具体的には、容器本体のフランジやコンベヤレールの剛性を高めたり、パレットに基板収納容器を搭載して機械的に搬送する技術が研究されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第４８２７５００号公報
【特許文献２】特開２０１１‐１６５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、基板収納容器が不透明のアルミラミネート袋で包装されると、基板収納容器のフランジやコンベヤレールを外部から視覚的に把握することが困難になるので、フランジやコンベヤレールを利用した機械搬送に支障を来すという問題が生じる。この問題を解消する手段としては、硬質のパレットに基板収納容器を包装した包装体を直接搭載して機械的に搬送するという方法があげられる。
【０００９】
しかし、係る方法を採用する場合、加速時や減速時にパレットから包装体が位置ずれして衝突や落下を招き、その結果、半導体ウェーハが破損するという問題が新たに生じることとなる。
また、単なるパレットに基板収納容器やその包装体を搭載した場合、搬送時や輸送時の振動がパレットから基板収納容器、あるいは包装体に伝わり、半導体ウェーハが損傷するおそれがある。
【００１０】
本発明は上記に鑑みなされたもので、例え基板収納容器を外部から把握できなくても、機械搬送に支障を来すことがなく、移動中に個別パレットから基板収納容器がずれて半導体ウェーハが破損したり、個別パレットから基板収納容器に伝わる振動で半導体ウェーハが損傷するおそれを排除することのできる基板収納容器の梱包体を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明においては上記課題を解決するため、半導体ウェーハを収納する総重量が８ｋｇｆ以上の基板収納容器を包装する包装体用の収納箱と、一個の包装体を搭載する機械搬送用で専用の個別パレットと、包装体に作用する衝撃を緩和する複数の緩衝材とを含んでなるものであって、
収納箱、個別パレット、及び複数の緩衝材に剛性がそれぞれ付与され、
収納箱が底部パレットに箱本体を搭載することにより複数の包装体を収納可能な大型に構成され、底部パレットに複数の搬送挿入口が設けられ、この底部パレットの表面周縁部の少なくとも一部に、箱本体の下部周縁に嵌合する嵌合壁が形成され、箱本体の上部と周壁の一部とがそれぞれ開口されるとともに、箱本体の周壁には、周壁の開口を開閉する横開きタイプの扉が周壁方向に揺動可能に支持され、
個別パレットが板形に形成されてその搭載面の少なくとも一部に基板収納容器用の位置決め手段が設けられ、個別パレットの搭載面に基板収納容器用の弾性緩衝体が取り付けられてそのショア００硬度が２０°〜１２０°の範囲とされ、
複数の緩衝材が、少なくとも箱本体の底面に搭載される下段用の緩衝材と、この下段用の緩衝材よりも上方に位置する上段用の緩衝材とされ、これら下段用の緩衝材と上段用の緩衝材とに、包装体を搭載した個別パレットが挟まれることを特徴としている。
【００１２】
また、個別パレットの周壁に複数の搬送挿入口が並べ設けられ、位置決め手段が個別パレットの搭載面周縁部に形成される基板収納容器用の位置決め壁とされ、弾性緩衝体が個別パレットの搭載面に間隔をおいて複数配設されることとすることができる。
また、個別パレットの周壁に複数の搬送挿入口が並べ設けられ、位置決め手段が個別パレットの搭載面周縁部に支持されて基板収納容器を包囲する中空の位置決め部材とされ、弾性緩衝体が個別パレットの搭載面に間隔をおいて複数配設されることとすることができる。
【００１３】
また、複数の緩衝材が、箱本体の上部を被覆する上蓋の直下に位置する上段用の緩衝材と、複数の包装体を上下方向から挟持する中段用の緩衝材と、箱本体の内底面に搭載される下段用の緩衝材とから構成され、中段用の緩衝材の包装体と相対する面に、複数の包装体の上部に嵌合可能な嵌合穴が穿孔されることとすることができる。
【００１４】
なお、緩衝材を複数の個別パレットに対向可能な大きさに形成し、この緩衝材表面の少なくとも周縁部に、複数の個別パレットの周縁に干渉可能な位置決め壁を形成し、この位置決め壁の正面側を切り欠いて個別パレットの複数の搬送挿入口を露出可能とし、緩衝材の表面に、複数の個別パレットの間に介在する位置決め部を形成するとともに、この位置決め部を個別パレットの複数の搬送挿入口の間に位置させることができる。
【００１５】
ここで、特許請求の範囲における基板収納容器は、総重量が８ｋｇｆ以上であれば、口径３００ｍｍ以上の半導体ウェーハを収納するタイプでも良いし、口径４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納するタイプでも良い。また、通常よりも半導体ウェーハの収納枚数の多い基板収納容器や半導体ウェーハと共にウェーハフレームを収納する基板収納容器でも良い。基板収納容器は、包装されている状態が主ではあるが、包装されていない状態でも良い。
【００１６】
パレットは、二方差しパレット、四方差しパレット、又はけたくくり抜きパレット等のいずれのタイプでも良い。パレットの表面は、強度や剛性を確保できるのであれば、平坦な構造に構成することもできるし、網目構造等にすることもできる。また、収納箱は、基板収納容器を包装する包装体を単数複数収納することができる。さらに、複数の緩衝材は、例えば２枚〜４枚使用することができ、選択した緩衝材の裏面に、複数の包装体の上部に嵌合可能な嵌合穴を並べ設けることができる。
【００１７】
本発明によれば、総重量が８ｋｇｆ以上の重い基板収納容器を搬送する場合には、用意したパレットの搭載面に基板収納容器をロボットアーム等により搭載し、基板収納容器の姿勢を位置決め手段により安定させた後、パレットをロボットアーム等により持ち上げれば、基板収納容器を機械的に搬送することができる。
【００１８】
また、基板収納容器を包装した重い包装体を梱包する場合には、収納箱を構成する箱本体に緩衝材を配置するとともに、個別パレットに包装体を搭載し、箱本体の緩衝材に包装体を搭載した個別パレットをロボット等により配置する。こうして緩衝材に個別パレットを配置したら、包装体の上部に別の緩衝材を重ねてその姿勢を安定させ、箱本体の開口を扉で閉めれば、包装体を梱包することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、基板収納容器を外部から把握できる場合の他、例え基板収納容器が包装により外部から把握できなくても、機械搬送に支障を来すことが少ないという効果がある。また、移動中に個別パレットから基板収納容器がずれて半導体ウェーハが破損したり、個別パレットから基板収納容器に伝わる振動で半導体ウェーハが損傷するおそれを有効に排除することができるという効果がある。また、弾性緩衝体のショア００硬度が２０°〜１２０°なので、優れた粘弾性や衝撃吸収能力により、基板収納容器の位置ずれや基板収納容器に作用する振動を抑制することができる。
また、収納箱の底部パレットの嵌合壁により、箱本体の位置ずれ、がたつき、脱落等を抑制することが可能となる。また、箱本体の周壁の一部を開口し、箱本体の周壁に、周壁の開口を開閉する横開きの扉を支持させるので、ロボット等の接近を妨げることが少ない。また、個別パレットに包装体を搭載して取り扱うので、包装体の破断や裂開等を防ぐことが可能となる。また、収納箱、個別パレット、緩衝材にそれぞれ剛性を付与するので、４５０ｍｍタイプ等、総重量が８ｋｇｆ以上の重く大きい基板収納容器の梱包に使用しても、強度不足で変形し、基板収納容器や半導体ウェーハが損傷するのを有効に防止することができる。
さらに、包装体をそのまま取り扱うのではなく、運搬性に優れる個別パレットを用いて個別に取り扱うので、基板収納容器のフランジ等が包装体のアルミラミネート袋で外部から視覚的に把握できなくても、ロボットアームによるハンドリングが可能となる。したがって、ハンドリングに伴い、個別パレット上の包装体が破断したり、裂開するおそれがない。
【００２０】
また、請求項２記載の発明によれば、個別パレットの複数の搬送挿入口にロボット等のフォークを挿入して持ち上げれば、個別パレット上の基板収納容器を簡易に機械搬送することができる。また、位置決め壁や複数の弾性緩衝体が基板収納容器の位置ずれを抑制するので、搬送中の加速時や減速時に個別パレットから基板収納容器が位置ずれして衝突したり、落下するのを防ぐことが可能となる。また、個別パレット表面に複数の弾性緩衝体を間隔をおいて配設するので、弾性緩衝体の材料を節約し、製造コストを削減することが可能となる。
【００２１】
また、請求項３記載の発明によれば、個別パレットの複数の搬送挿入口にロボット等のフォークを挿入して持ち上げれば、個別パレット上の基板収納容器を簡単に機械搬送することができる。また、位置決め部材や複数の弾性緩衝体が基板収納容器の位置ずれを規制するので、加速時や減速時に個別パレットから基板収納容器が位置ずれして衝突したり、落下するのを防ぐことが可能となる。また、個別パレット表面に複数の弾性緩衝体を間隔をおいて配設するので、弾性緩衝体の材料節約や製造コストの削減が期待できる。
【００２２】
また、請求項４記載の発明によれば、嵌合穴の嵌合作用により、中段用の緩衝材は、傾くことなく水平な姿勢を保ち、表面の搭載領域に個別パレットが安定した姿勢で搭載される。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る基板収納容器のパレットの実施形態における包装体を搭載した状態を模式的に示す斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器のパレットの実施形態を模式的に示す斜視説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器のパレットの第２の実施形態における包装体を搭載する状態を模式的に示す斜視説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器のパレットの第２の実施形態を模式的に示す断面説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器のパレットの第２の実施形態におけるパレットと位置決め枠とを模式的に示す分解斜視図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における収納箱を模式的に示す分解斜視図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における複数の包装体、個別パレット、及び緩衝材を模式的に示す分解斜視図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態における中段用の緩衝材の裏面を模式的に示す斜視説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器のパレットは、図１や図２に示すように、大型の重い基板収納容器を包装する不透明の包装体１と、この包装体１を搭載するパレット２とを備え、パレット２の搭載面である表面の周縁部の少なくとも一部分に基板収納容器用の位置決め手段４を配設し、パレット２の表面に基板収納容器用の弾性緩衝体６を複数配設するようにしている。
【００２５】
基板収納容器は、図示しないが、φ４５０ｍｍの薄い半導体ウェーハを上下方向に並べて整列収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体と、容器本体の正面に嵌合した蓋体を施錠する施錠機構とを備えて構成され、８ｋｇｆ以上の総重量を有する。容器本体は、その内部両側に半導体ウェーハを水平に支持する支持片が複数対設され、天井の中央部等に、搬送装置に上方から把持されるフランジが装着されており、両側壁の下部には、搬送用のコンベヤレールがそれぞれ選択的に装着される。
【００２６】
蓋体は、施錠機構を内蔵し、包装体１の梱包時に上方に向けられる。このような基板収納容器は、総重量が８ｋｇｆ以上の場合、工場施設によっては、作業員によるハンドリングが禁止される。
【００２７】
包装体１は、図１に示すように、例えば基板収納容器を包装する周知のビニール袋と、このビニール袋を外側から密閉して包装する不透明のアルミラミネート袋とを備えた二層構造に形成される。アルミラミネート袋は、意匠性やバリヤー性等を向上させるため、銀色等に着色される。このような包装体１は、パレット２の搭載面である表面に搭載される。
【００２８】
パレット２は、図１や図２に示すように、所定の材料により、包装体１を搭載可能な面積を有する板に形成される。このパレット２の材料としては、強度を確保しながら量産するため、耐久性に欠ける段ボール等ではなく、安価な所定の樹脂（例えば、ポリエチレンやポリスチレン等の熱可塑性樹脂やこれらを発泡させた材料等）を含有する成形材料が使用される。この成形材料には、補強用のフィラー等が必要に応じて配合される。
【００２９】
パレット２は、その表面が平坦な平面矩形に形成され、周壁の前後部に、ロボットアームのフォークに挿通される左右一対の搬送挿入口３が間隔をおき貫通して並設される。各搬送挿入口３は、横長の正面矩形に形成されてパレット２の前後方向に指向する。
【００３０】
位置決め手段４は、平面枠形の位置決め壁５からなり、パレット２の表面における前後左右の周縁部に一体形成される。位置決め壁５は、基板収納容器の下部、換言すれば、包装体１の下部を包囲して嵌合し、包装体１の位置ずれ、がたつき、脱落を有効に防止するよう機能する。
【００３１】
複数の弾性緩衝体６は、優れた柔軟性と弱粘着性とが付与され、パレット２の表面の四隅部付近にそれぞれ接着されており、包装体１の下部に密着して包装体１の位置ずれ、がたつき、振動の伝播を有効に防止する。この複数の弾性緩衝体６の材料としては、衝撃吸収能力や圧力分散性、粘弾性、耐久性等に優れるエラストマー（例えば、エーテル系ポリウレタン等）やゴム等が使用される。具体的には、ソルボ（三進興産株式会社製：商品名）やアキレスソルボ（アキレス株式会社製：商品名）等が使用される。
【００３２】
各弾性緩衝体６は、平面矩形に形成され、ショア００硬度が２０°〜１２０°、好ましくは３０°〜１００°、より好ましくは７０°〜８０°、さらに好ましくは７０°前後に調整される。これは、ショア００硬度が２０°未満の場合には、柔らか過ぎて衝撃緩衝能力や圧力分散性が低下し、基板収納容器に作用する衝撃や振動を減衰することができないからである。逆に、ショア００硬度が１２０°を超える場合には、硬過ぎて十分な衝撃緩衝能力や圧力分散性を得ることができないからである。
【００３３】
上記において、４５０ｍｍタイプの基板収納容器を包装した重い包装体１を搬送する場合には、パレット２を用意し、このパレット２の表面に包装体１をロボットアームにより搭載し、パレット２の表面に基板収納容器の背面壁を包装体１を介して接触させるとともに、基板収納容器の蓋体を上方に向け、基板収納容器の姿勢を安定させる。こうしてパレット２上に包装体１を搭載したら、パレット２の一対の搬送挿入口３にロボットアームのフォークを挿入して持ち上げれば、基板収納容器を包装した包装体１を機械的に搬送することができる。
【００３４】
上記構成によれば、包装体１をそのまま取り扱うのではなく、運搬性に優れるパレット２を用いて取り扱うので、例え基板収納容器が包装体１の不透明のアルミラミネート袋で包装され、基板収納容器のフランジやコンベヤレールを外部から視覚的に把握することが困難でも、機械的な自動搬送に何ら支障を来すことがない。
【００３５】
また、位置決め手段４である位置決め壁５や弱粘着性の弾性緩衝体６が包装体１の位置ずれを抑制するので、搬送中の加速時や減速時にパレット２から包装体１が位置ずれして衝突したり、落下するのを有効に防止することができる。したがって、薄い半導体ウェーハの破損防止が大いに期待できる。また、搬送時や輸送時の振動がパレット２から包装体１に伝わるのを弾性緩衝体６が抑制・減衰するので、脆い半導体ウェーハが損傷するおそれを排除することができる。
【００３６】
また、パレット２表面の全面ではなく、表面の四隅部付近に弾性緩衝体６をそれぞれ接着するので、包装体１の姿勢を安定させることが可能となる。さらに、弾性緩衝体６の材料を節約し、製造コストの削減が期待できる。
【００３７】
次に、図３〜図５は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、パレット２の周壁の前後左右部に、ロボットアームのフォークに挿通される左右一対の搬送挿入口３をそれぞれ配設し、パレット２の表面周縁部に、位置決め手段４である中空の位置決め枠７を着脱自在に水平に支持させ、この位置決め枠７により、包装体１を嵌合包囲して位置決めするようにしている。
【００３８】
位置決め枠７は、所定の材料により、包装体１やパレット２よりも大きい平面枠形の板に形成され、パレット２に上方から重ねて配置される。この位置決め枠７の材料としては、例えばポリスチレン、ポリプロピレン、ポリエチレン等の熱可塑性樹脂、これらの発泡材料、各種の熱可塑性エラストマー等があげられる。位置決め枠７の裏面外周縁部には、パレット２の周壁上端部に嵌合接触する複数の干渉ブロック８が間隔をおいて一体形成され、この複数の干渉ブロック８がパレット２に位置決め枠７を適切に位置決めする。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３９】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、パレット２の周壁の前後左右に一対の搬送挿入口３をそれぞれ配設するので、いずれの方向からもロボットアームのフォークで持ち上げることができ、機械的な搬送作業の便宜を図ることができるのは明らかである。また、包装体１の大きさに応じて位置決め枠７のサイズを選択することができるので、包装体１と位置決め枠７との間に大きな隙間が生じ、包装体１が位置ずれしたり、がたつくのを簡易な構成で防止することができる。
【００４０】
次に、図面を参照して本発明に係る基板収納容器の梱包体の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器の梱包体は、図６〜図９に示すように、総重量が８ｋｇｆ以上の重い基板収納容器を包装する重い包装体１と、この包装体１を複数収納可能な大型の収納箱１０と、各包装体１を搭載する機械搬送用の個別パレット２０と、複数の包装体１と個別パレット２０とを上下方向から挟持する複数の緩衝材３０とを備え、収納箱１０の上部と周壁の正面１７とをそれぞれ開口し、収納箱１０の側壁に、周壁の正面１７を開閉する横開きの扉１８を揺動可能に支持させるようにしている。
【００４１】
基板収納容器や包装体１については、上記実施形態と同様である。また、収納箱１０は、図６や図７に示すように、機械搬送用の底部パレット１１に背の高い中空の箱本体１４が着脱自在に搭載されることで構成され、箱本体１４の上部と周壁の一部である正面１７とがそれぞれ開口しており、箱本体１４の上部が上蓋１６に被覆されるとともに、箱本体１４の一側壁に、周壁の正面１７を開閉する扉１８が周壁方向に揺動可能に一体形成される。収納箱１０の底部パレット１１や箱本体１４は、パレット２と同様の成形材料により成形される。
【００４２】
底部パレット１１は、表面が平坦な平面矩形の板に形成され、周壁にフォークリフト等のフォークに挿通される左右一対の搬送挿入口１２が間隔をおき貫通して並設されており、各搬送挿入口１２が横長の正面矩形に形成されて前後方向に指向する。この底部パレット１１の表面周縁部の少なくとも一部、例えば表面の後部と一側部とには、箱本体１４の下部周縁に外側から嵌合する嵌合壁１３が突出形成され、この嵌合壁１３が箱本体１４の位置ずれ、がたつき、脱落を防止するよう機能する。
【００４３】
箱本体１４は、縦長に形成されてその下部に底部パレット１１に搭載される補強材１５が一体形成され、上部が平面矩形に開口しており、この開口した上部に平面矩形の上蓋１６が着脱自在に嵌合されて補強機能を発揮する。補強材１５は、平面矩形に形成され、箱本体１４の側壁や背面壁が撓んで変形するのを防止するよう機能する。
【００４４】
箱本体１４の正面１７は、縦長に開口形成され、同じ縦長の扉１８に開閉される。この扉１８の側部中央付近には封止用の面ファスナーであるマジックテープ（登録商標）１９が縦長に設けられ、このマジックテープ１９が箱本体１４の他側壁に着脱自在に係着して扉１８の開放を規制する。
【００４５】
個別パレット２０は、上記パレット２からなり、包装体１の梱包時に箱本体１４の前後方向に向けられる。この個別パレット２０は、包装体１を搭載し、緩衝材３０に複数搭載されることにより、２×２のマトリクスに配列され、収納箱２に上下２段に段積みして合計８個の包装体１と共に収納される。
【００４６】
複数の緩衝材３０は、図８に示すように、上段用の緩衝材３０が上蓋１６の直下に位置し、中段用の緩衝材３０が複数の包装体１に上下方向から挟持されるとともに、下段用の緩衝材３０が箱本体１４の内底面に搭載される。この複数の緩衝材３０は、基板収納容器に加わる衝撃を和らげる二次緩衝材として機能する。
【００４７】
各緩衝材３０は、所定の材料により２×２のマトリクスに配列された複数の個別パレット２０に対向可能な大きさの平面矩形の板に形成され、複数の個別パレット２０を並べて搭載したり、配列された複数の包装体１の上部に嵌合した状態で収納箱１０内に収納される。緩衝材３０の所定の材料としては、十分な強度を得るため、発泡倍率の大きい各種発泡材が使用されるが、収納箱１０と同様の成形材料でも良い。
【００４８】
緩衝材３０の表面周縁部である前部、後部、左右両側部には、配列された複数の個別パレット２０の周縁に接触可能な位置決め壁３１・３２・３３がそれぞれ突出形成され、この位置決め壁３１・３２・３３が複数の個別パレット２０の前後左右方向への位置ずれ、がたつき、脱落を防止する。
【００４９】
緩衝材３０表面の前部（正面側）に位置する位置決め壁３１には、複数の切り欠き３４が間隔をおいて切り欠かれ、この複数の切り欠き３４が前列に並んだ個別パレット２０の一対の搬送挿入口３に対向し、各搬送挿入口３を箱本体１４の正面１７から外部に露出させる。このような複数の切り欠き３４の形成により、緩衝材３０表面の前部に位置する位置決め壁３１は複数個に分割され、各位置決め壁３１が板片に形成される。
【００５０】
緩衝材３０表面の後部に位置する位置決め壁３２の中央部には、前方に伸びて位置決め機能を発揮する位置決め壁３５が一体形成され、この位置決め壁３５が緩衝材３０の表面を左右に二分して一対の搭載領域３６を区画する。各搭載領域３６は、緩衝材３０の前後方向に伸びる平面矩形に形成され、一対の個別パレット２０を前後に並べて搭載する。
【００５１】
各搭載領域３６の中央部付近には、左右方向に伸びる位置決め片３７が突出形成され、この位置決め片３７が前後一対の個別パレット２０の間に介在し、これらの個別パレット２０を位置決めする。各位置決め片３７は、緩衝材３０表面の前部に位置する位置決め壁３１に対向し、位置決め壁３３・３５との間にフォーク挿通用の隙間を形成する。このような位置決め片３７は、個別パレット２０の一対の搬送挿入口３の間に位置して各搬送挿入口３を隠蔽することなく露出させ、各搬送挿入口３に対するロボットアームのフォークの挿脱を許容する。
【００５２】
上段用と下段用の緩衝材３０の裏面、すなわち、包装体１と相対さない面は、複数の包装体１に上下方向から挟まれることがないので、平坦に形成される。これに対し、中段用の緩衝材３０は、複数の包装体１に上下方向から挟持されるので、図９に示すように、裏面、すなわち、包装体１と相対する面に複数の包装体１の上部に嵌合可能な嵌合穴３８が２×２に並べて穿孔され、各嵌合穴３８が平面矩形に形成される。この嵌合穴３８の嵌合作用により、中段用の緩衝材３０は、傾くことなく水平な姿勢を保ち、表面の各搭載領域３６に個別パレット２０が安定した姿勢で搭載されることとなる。
【００５３】
なお、上段用と下段用の緩衝材３０については、中段用の緩衝材３０と同様のタイプをそのまま使用することができる。
【００５４】
上記において、４５０ｍｍタイプの基板収納容器を包装した包装体１を梱包輸送する場合には、先ず、組み立てた収納箱１０の箱本体１４の内底面に下段用の緩衝材３０を手作業により配置し、この緩衝材３０の正面を箱本体１４の開口した正面１７側に向ける。また、複数の個別パレット２０を用意し、この複数の個別パレット２０上に包装体１をロボットアームにより順次搭載し、各個別パレット２０の表面に基板収納容器の背面壁を包装体１を介して接触させるとともに、基板収納容器の蓋体を上方に向け、基板収納容器の姿勢を安定させる。
【００５５】
次いで、緩衝材３０の表面に包装体１を搭載した複数の個別パレット２０をロボットアームにより順次パレタイザする。この際、ロボットアームは、個別パレット２０、換言すれば、パレット２の一対の搬送挿入口３にフォークを前方から挿入して持ち上げ、各搭載領域３６の後部に個別パレット２０を搬送して配置し、個別パレット２０の搬送挿入口３からフォークを後退させて引き抜くこととなる。ロボットアームのフォークは、個別パレット２０の搬送挿入口３と位置決め片３７及び位置決め壁３１とが対向せず、位置決め片３７や位置決め壁３１が動作の障害にならないので、搬送挿入口３から円滑に引き抜かれる。
【００５６】
各搭載領域３６の後部に個別パレット２０を配置したら、ロボットアームは、包装体１を搭載した別の個別パレット２０の一対の搬送挿入口３にフォークを前方から挿入して持ち上げ、各搭載領域３６の前部に個別パレット２０を搬送して配置し、個別パレット２０の搬送挿入口３からフォークを後退させる。個別パレット２０の搬送挿入口３は、切り欠き３４に対向し、前部側の位置決め壁３１と対向関係にないので、ロボットアームのフォークが搬送挿入口３から支障なく引き抜かれる。
【００５７】
次いで、複数の包装体１の上部に中段用の緩衝材３０の嵌合穴３８をそれぞれ手作業で嵌合し、この中段用の緩衝材３０の姿勢を水平に調整した後、この緩衝材３０の表面に包装体１を搭載した複数の個別パレット２０をロボットアームにより上記と同様にパレタイザする。中段用の緩衝材３０に複数の個別パレット２０をパレタイザしたら、複数の包装体１の上部に上段用の緩衝材３０の表面を手作業により重ねて嵌合し、収納箱１０の扉１８を閉めてマジックテープ１９で封止した後、収納箱１０の開口した上部に上蓋１６を被せて嵌合すれば、包装体１を梱包することができる。
【００５８】
上段用の緩衝材３０には、必要に応じてがたつき防止用のスペーサを積層したり、他の緩衝材を充填したりすることができる。また、収納箱１０は、底部パレット１１の一対の搬送挿入口１２にフォークリフトのフォークが挿入されることにより、持ち上げられ、航空機等に搬入して輸送される。
【００５９】
次に、輸送された収納箱１０を開梱して包装体１を取り出す場合には、収納箱１０の上部から上蓋１６を取り外し、扉１８のマジックテープ１９を剥離して扉１８を開け、複数の包装体１の上部から上段用の緩衝材３０を取り外せば、包装体１を搭載した複数の個別パレット２０をロボットアームにより順次取り出すことができる。
【００６０】
この際、ロボットアームは、個別パレット２０、換言すれば、パレット２の一対の搬送挿入口３にフォークを前方から挿入して持ち上げ、緩衝材３０の各搭載領域３６から個別パレット２０を収納箱１０の外部に搬送し、個別パレット２０の搬送挿入口３からフォークを引き抜くこととなる。ロボットアームのフォークは、個別パレット２０の搬送挿入口３と位置決め壁３１とが対向せず、位置決め壁３１が障害物にならないので、搬送挿入口３に対して円滑に挿入される。
【００６１】
上記構成によれば、収納箱１０が縦開きではなく、横開きタイプなので、収納箱１０の開口した正面１７や扉１８がロボットアームの接近を妨げることがない。また、収納箱１０、個別パレット２０、緩衝材３０にそれぞれ剛性を付与するので、４５０ｍｍタイプ等、総重量が８ｋｇｆ以上の重く大きい基板収納容器の梱包に使用しても、強度不足で変形し、基板収納容器や半導体ウェーハが損傷するのを有効に防止することができる。
【００６２】
さらに、包装体１をそのまま取り扱うのではなく、運搬性に優れる個別パレット２０を用いて個別に取り扱うので、基板収納容器のフランジ等が包装体１のアルミラミネート袋で外部から視覚的に把握できなくても、ロボットアームによるハンドリングが可能となる。したがって、ハンドリングに伴い、個別パレット２０上の包装体１が破断したり、裂開するおそれがない。
【００６３】
なお、上記実施形態ではパレット２の表面に包装体１をロボットアームにより搭載したが、包装の必要がないのであれば、パレット２の表面に包装されていない基板収納容器をロボットアームによりそのまま搭載しても良い。また、上記実施形態ではパレット２表面の四隅部付近に弾性緩衝体６をそれぞれ接着したが、パレット２表面の大部分に弾性緩衝体６を接着しても良いし、パレット２表面の全面に弾性緩衝体６を接着しても良い。
【００６４】
また、パレット２の位置決め壁５に複数の切り欠きを間隔をおいて形成しても良いし、包装体１の位置ずれや脱落を防止できるのであれば、パレット２の表面における前部、後部、又は両側部に、位置決め壁５を部分的に形成しても良い。また、位置決め枠７の裏面外周縁部に複数の干渉ブロック８を一体形成するのではなく、平面略枠形の干渉ブロックを形成することもできる。また、上記実施形態では収納箱１０の正面１７を開口したが、収納箱１０の側面や背面を開口することもできる。
【００６５】
また、上記実施形態では収納箱１０に複数の包装体１を上下２段に段積みしたが、収納箱１０に複数の包装体１を１段に積んで合計４個収納することもできる。また、底部パレット１１の表面周縁部の一部に嵌合壁１３を形成したが、底部パレット１１表面の全周縁部に嵌合壁１３を形成することが可能である。また、扉１８の側部にマジックテープ１９を粘着したが、扉１８の一側部に封止用の凸片を伸長形成し、箱本体１４の他側壁に、凸片と嵌合する嵌合溝孔を穿孔することも可能である。
【００６６】
また、上記実施形態では個別パレット２０と緩衝材３０の位置決め壁３１を略同じ高さに形成し、複数の切り欠き３４により、個別パレット２０の一対の搬送挿入口３を外部に露出させたが、何らこれに限定されるものではない。例えば、個別パレット２０を位置決め壁３１よりも高い肉厚に形成し、個別パレット２０の周面の上部寄りに一対の搬送挿入口３を穿孔することにより、一対の搬送挿入口３を外部に露出させ、切り欠き３４を省略することも可能である。
【００６７】
また、位置決め壁３２・３３・３５には、複数の切り欠きを間隔をおいて形成しても良い。さらに、中段用の緩衝材３０の裏面に複数の嵌合穴３８を並べて穿孔しても良いが、各緩衝材３０の裏面に複数の嵌合穴３８を並べて穿孔することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明に係る基板収納容器の梱包体は、半導体の製造分野等で使用することができる。
【符号の説明】
【００６９】
１        包装体
２        パレット
３        搬送挿入口
４        位置決め手段
５        位置決め壁
６        弾性緩衝体
７        位置決め枠（位置決め部材）
８        干渉ブロック
１０      収納箱
１１      底部パレット
１２      搬送挿入口
１３      嵌合壁
１４      箱本体
１６      上蓋
１７      正面（開口）
１８      扉
２０      個別パレット
３０      緩衝材
３１      位置決め壁
３２      位置決め壁
３３      位置決め壁
３４      切り欠き
３５      位置決め壁
３７      位置決め片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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