(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気部品装着機による部品装着の精度の検査に用いられるダミーチップであって、
吸着ノズルによって吸着される被吸着面と、基板に装着された状態においてその基板の表面に接して前記被吸着面と平行な装着面とを有し、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、外周を巡る稜線であってそれら被吸着面と装着面との少なくとも一方より大きな１つの外周線が輪郭として視認される形状を有するダミーチップ。
【請求項２】
前記被吸着面と前記装着面とを繋ぐ外周面が、それら吸着面および装着面の外形より突出する山形の面とされ、その面の頂が前記輪郭として視認される形状を有する請求項１に記載のダミーチップ。
【請求項３】
前記被吸着面と前記装着面との一方の外形が他方の外形よりも大きく、その一方の外形線が前記輪郭として視認される形状を有する請求項１に記載のダミーチップ。
【請求項４】
前記視認される輪郭が、長方形となるような形状を有する請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載のダミーチップ。
【請求項５】
当該ダミーチップの表面が梨地状となっている請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載のダミーチップ。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載のダミーチップを用いて、電気部品装着機による部品装着の精度を検査する方法であって、
吸着ノズルによって前記被吸着面が吸着されて保持された前記ダミーチップを、前記装着面側から撮像する第１撮像ステップと、
その第１撮像ステップにおいて撮像された前記ダミーチップの撮像データに基づいて、前記吸着ノズルに対する前記ダミーチップの位置ズレ量を取得する第１位置ズレ量取得ステップと、
前記吸着されて保持されたダミーチップを、前記取得された位置ズレ量に基づく補正を行って、基板上の設定位置に装着する装着ステップと、
前記装着されたダミーチップを、前記被吸着面側から撮像する第２撮像ステップと、
その第２撮像ステップにおいて撮像された前記ダミーチップの撮像データに基づいて、そのダミーチップの装着位置の前記設定位置からの位置ズレ量を取得する第２位置ズレ量取得ステップと
を含む部品装着精度検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気部品の回路基板への装着の精度を検査するために用いられるダミーチップ、および、それを用いて装着の精度を検査する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
回路基板（以下、「基板」と略す場合がある）への電気部品（以下、「部品」と略す場合がある）の装着は、電気部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）によって行われ、この装着機による部品装着は、吸着ノズルによって吸着保持された部品を、固定された基板の表面に載置することによって行われる。その際、吸着保持された部品が下方から撮像され、その撮像によって得られた撮像データに基づいて吸着ノズルに対する部品の保持位置のズレ量（保持位置ズレ量）が検出され、その検出されたズレをなくするように位置補正が行われて、部品が基板表面に載置される。
【０００３】
上記のように行われる部品装着の精度を検査する際には、部品の代わりに、ダミーチップ（検査用ダミー部品）を用い、そのダミーチップを基板表面に装着した後に、その装着されたダミーチップを上方から撮像し、その撮像によって得られた撮像データに基づいてダミーチップの基板に対する装着位置のズレ量（装着位置ズレ量）が取得され、その取得されたズレ量を基に、部品装着の精度が評価される。そのダミーチップは、例えば、下記特許文献に記載されているようなものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−８２９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献に記載のダミーチップは、部品を模倣した直方体形状のものであり、１つの面が、吸着ノズルによって吸着される被吸着面となり、その１つの面と背向（対向）する面が、基板に装着された状態においてその基板の表面に接する装着面となる。そのダミーチップを用いた検査では、上述のように、装着面側から撮像されたダミーチップの撮像データに基づいて装着位置に関する位置補正が行われ、また、被吸着面側から撮像されたダミーチップの撮像データに基づいて、基板に対するダミーチップの装着位置に関する精度が評価される。したがって、被吸着面側若しくは装着面側から見た場合において、被吸着面と装着面とにズレ等が生じているときには、被吸着面側から撮像した撮像データと、装着面側から撮像した撮像データが、当該ダミーチップの形状に関して異なるものとなってしまい、部品装着の精度の検査（以下、「装着精度検査」という場合がある）を高精度で行うことができないことになる。つまり、高精度な装着精度検査を行い得ないことになるのである。一方で、隣り合う面どうしの直角精度が相当にまで高いダミーチップを作製することは、相当に困難であり、また、そのようなダミーチップを作製したとしても、そのダミーチップの作製コストは、相当に高いものとなってしまい、ひいては、そのダミーチップを用いた装着精度検査の検査コストは、相当に高いものとなってしまう。
【０００６】
上記実情に鑑み、本願発明は、比較的安価であり、かつ、高精度な装着精度検査を行い得るダミーチップを提供することを課題とし、また、低コストで、かつ、高精度な装着精度検査を行い得る方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本願発明に係るダミーチップは、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、外周を巡る稜線であってそれら被吸着面と装着面との少なくとも一方より大きな１つの外周線が輪郭として視認される形状を有することを特徴とする。また、本願発明に係る部品装着精度検査方法は、本願発明に係るダミーチップを用い、吸着ノズルによって吸着保持されたそのダミーチップを装着面側から撮像した撮像データに基づいて、そのダミーチップの吸着ノズルに対する位置ズレ量を取得し、その取得した位置ズレ量に基づく補正を行って、基板上の設定位置にそのダミーチップを装着し、その装着されたダミーチップを被吸着面側から撮像した撮像データに基づいて、設定位置からのそのダミーチップの位置ズレ量を取得することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本願発明に係るダミーチップは、当該ダミーチップの作製精度を極端に高くせずとも、被吸着面側から撮像して得られたそのダミーチップの撮像データと、装着面側から撮像して得られたそのダミーチップの撮像データとが、当該ダミーチップの形状に関して一致するため、比較的安価であり、かつ、高精度な装着精度検査を行い得るダミーチップとなり、本願発明に係る部品装着精度検査方法は、そのダミーチップを用いていることから、低コストで、かつ、高精度な装着精度検査を行い得る方法となる。
【発明の態様】
【０００９】
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、それらの発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から何某かの構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
【００１０】
なお、以下の各項において、（１）項が請求項１に相当し、（２）項が請求項２に、（４）項が請求項３に、（６）項が請求項４に、（７）項が請求項５に、それぞれ相当する。また、（１１）項が請求項６に相当する。
【００１１】
（１）電気部品装着機による部品装着の精度の検査に用いられるダミーチップであって、
吸着ノズルによって吸着される被吸着面と、基板に装着された状態においてその基板の表面に接して前記被吸着面と平行な装着面とを有し、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、それら被吸着面と装着面との少なくとも一方より大きな１つの外周線が輪郭として視認される形状を有するダミーチップ。
【００１２】
本項の態様のダミーチップは、被吸着面側から撮像して得られたそのダミーチップの撮像データと、装着面側から撮像して得られたそのダミーチップの撮像データとが、当該ダミーチップの形状に関して一致する。言い換えれば、被吸着面側からの撮像データも、装着面側からの撮像データも、同じ形状に関するデータとなる。それらのデータに基づいて、保持位置ズレ量に関する補正を行い、装着位置ズレ量を取得することで、部品装着精度の適切な評価を行うことができ、ひいては、装着機の装着精度を正確に検査することが可能となるのである。また、本態様のダミーチップは、作製精度、例えば、隣り会う面どうしの直角精度を極端には高くしなくても、当該ダミーチップの形状に関して上記２つの撮像データを一致させることができるため、当該ダミーチップの作製コストを抑えることができる。つまり、本項の態様のダミーチップは、比較的安価であり、かつ、高精度な装着精度検査が可能なダミーチップとなるのである。
【００１３】
（２）前記被吸着面と前記装着面とを繋ぐ外周面が、それら吸着面および装着面の外形より突出する山形の面とされ、その面の頂が前記輪郭として視認される形状を有する(1)項に記載のダミーチップ。
【００１４】
（３）前記被吸着面および前記装着面に直角な断面が、同じ長さの下底を有する２つの台形がそれら下底どうしを合わせるようにして重ね合わされた形となるような形状を有する(1)項または(2)項に記載の検査用ダミーチップ。
【００１５】
上記２つの項の態様は、同じ概念を別の文言で表現した態様である。それらの態様のダミーチップによれば、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、被吸着面と装着面との両方より大きな１つの外周線が輪郭として視認されることになる。極端には、断面が算盤珠の断面のような形状をなすダミーチップが、上記２つの態様に含まれる。
【００１６】
（４）前記被吸着面と前記装着面との一方の外形が他方の外形よりも大きく、その一方の外形線が前記輪郭として視認される形状を有する(1)項に記載のダミーチップ。
【００１７】
（５）前記被吸着面および前記装着面に直角な断面が、台形となるような形状を有する(1)項または(4)項に記載のダミーチップ。
【００１８】
上記２つの項の態様は、同じ概念を別の文言で表現した態様である。それらの態様のダミーチップによれば、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、被吸着面と装着面とのうちの外形が大きい方の外形線が、小さい方より大きな１つの外周線となり、当該ダミーチップの輪郭として視認されることになる。
【００１９】
（６）前記視認される輪郭が、長方形となるような形状を有する(1)項ないし(5)項のいずれか１つに記載のダミーチップ。
【００２０】
本項の態様のダミーチップは、言い換えれば、平面視において外形が長方形となるような形状を有している。一般に、基板に装着される部品は、直方体、つまり、平面視において長方形をなしているため、本項の態様のダミーチップを使用すれば、部品の撮像データから位置ズレ量を取得する手法（例えば、画像処理プログラム等）が、当該ダミーチップの撮像データからの位置ズレ量の取得に対して適用できる。つまり、本項の態様のダミーチップによれば、簡便に、装着精度検査を行い得ることになる。
【００２１】
（７）当該ダミーチップの表面が梨地状となっている(1)項ないし(6)項のいずれか１つに記載のダミーチップ。
【００２２】
一般に、部品の撮像は、当該部品に光を照射して行われ、そのことは、ダミーチップの撮像に対しても、同様である。本項の態様のダミーチップによれば、表面の光の反射を抑制することができるため、当該ダミーチップの輪郭に関する撮像データを精度よく取得することが可能となる。
【００２３】
（１１）(1)項ないし(6)項のいずれか１つに記載のダミーチップを用いて、電気部品装着機による部品装着の精度を検査する方法であって、
吸着ノズルによって前記被吸着面が吸着されて保持された前記ダミーチップを、前記装着面側から撮像する第１撮像ステップと、
その第１撮像ステップにおいて撮像された前記ダミーチップの撮像データに基づいて、前記吸着ノズルに対する前記ダミーチップの位置ズレ量を取得する第１位置ズレ量取得ステップと、
前記吸着保持されたダミーチップを、前記取得された位置ズレ量に基づく補正を行って、基板上の設定位置に装着する装着ステップと、
前記装着されたダミーチップを、前記被吸着面側から撮像する第２撮像ステップと、
その第２撮像ステップにおいて撮像された前記ダミーチップの撮像データに基づいて、
そのダミーチップの装着位置の前記設定位置からの位置ズレ量を取得する第２位置ズレ量取得ステップと
を含む部品装着精度検査方法。
【００２４】
本項の態様は、簡単に言えば、請求可能発明に係る上記各種態様のダミーチップを用いた部品装着精度検査方法に関し、本項の態様の部品装着精度検査方法によれば、それらダミーチップの利点が活かされることで、低コストで、かつ、高精度な装着精度検査を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】請求可能発明の実施例であるダミーチップおよび部品装着精度検査方法が適用可能な電気部品装着機を示す斜視図である。
【図２】図１の電気部品装着機の２つの装着モジュールの各々に取り付けられている装着ヘッドおよびその装着ヘッドを移動させるヘッド移動装置を示す斜視図である。
【図３】図２の装着モジュールに取り付け可能な装着ヘッドを示す斜視図である。
【図４】部品装着精度検査において用いられている従来のダミーチップを説明するための図である。
【図５】請求可能発明の第１実施例のダミーチップを示す図である。
【図６】請求可能発明の第２実施例のダミーチップを示す図である。
【図７】図５および図６に示すダミーチップの変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、請求可能発明を実施するための形態として、請求可能発明の実施例であるダミーチップおよび部品装着精度検査方法を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、前記〔発明の態様〕の項に記載された形態を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の形態で実施することができる。
【実施例】
【００２７】
≪電気部品装着機≫
まず、実施例のダミーチップおよび部品装着精度検査方法が適用可能な電気部品装着機の一例について説明する。本例の装着機は、図１に示すように、ベースモジュール１０と、ベースモジュール１０上に並んで配置された２つの装着モジュール１２とを含んで構成されている。ちなみに２つの装着モジュール１２の各々を、電気部品装着機と観念し、本装着機は、２つの装着機によって構成されたと考えることもできる。図では、２つの装着モジュール１２の一方は、外装パネルが外された状態で示されている。
【００２８】
２つの装着モジュール１２の各々は、ベース１４と、ベース１４に上架されたビーム１６と、ベース１４に配設された基板コンベア装置１８と、装着モジュール１２の正面側においてベース１４に交換可能に取り付けられてそれぞれが部品供給装置として機能する複数の部品フィーダ２０と、基板コンベア装置１８と複数の部品フィーダ２０との間においてベース１４に固定された部品撮像装置としての部品カメラ２２と、複数の部品フィーダ２０のいずれかから供給される部品を保持してその部品を基板Ｓに装着する装着ヘッド２４ａ（作業ヘッドの一種である）と、ビーム１６に配設されて装着ヘッド２４ａを移動させるヘッド移動装置２６とを含んで構成されている。
【００２９】
基板コンベア装置１８は、基板を搬送するトラック（レーン）を２つ有しており、各トラックに基板を上流側から搬入し、各トラックから下流側に搬出する。基板コンベア装置１８は、各トラックの下部に昇降可能な支持テーブルを有しており、所定の位置にまで搬入された基板Ｓは、上昇した支持テーブルによって支持され、その位置において固定される。つまり、基板コンベア装置１８は、部品装着作業において基板Ｓを所定の作業位置に固定する基板固定装置として機能する。基板コンベア装置１８は、各装着モジュール１２に配設されているため、本装着機は、２レーンで部品装着を実施可能とされている。ちなみに、基板コンベア装置１８による基板の搬送方向である基板搬送方向は、図に示すＸ方向（Ｙ方向，Ｚ方向とともに矢印で図示）である。
【００３０】
複数の部品フィーダ２０の各々は、部品供給装置として機能する。その各々には、部品保持テープ（複数の部品がテープに保持されたものであり、「部品テーピング」とも呼ばれる）が捲回されたリールが、セットされ、各々は、その部品保持テープを間欠的に送り出すことによって、所定の部品供給部位において、順次、部品を１つずつ供給する。なお、装着モジュール１２は、複数の部品フィーダ２０に代えて、いわゆるトレイ型の部品供給装置をも取付可能とされている。
【００３１】
ヘッド移動装置２６は、図２に示すように、いわゆるＸＹ型移動装置であり、Ｙ方向移動装置２８とＸ方向移動装置３０とによって構成されている（Ｘ方向，Ｙ方向，Ｚ方向は、それぞれ図に矢印で示す）。詳しく説明すれば、Ｙ方向移動装置２８は、ビーム１６に固定された１対のＹガイド３２と、１対のＹガイド３２に案内されるＹスライド３４と、Ｙスライド３４を移動させるＹスライド移動機構３６とを含んで構成されている。そして、Ｘ方向移動装置３０は、Ｙスライド３４に固定された基体３８と、基体３８に固定された１対のＸガイド４０と、１対のＸガイド４０に案内されるＸスライド４２と、Ｘスライド４２を移動させるＸスライド移動機構４４とを含んで構成されている。装着ヘッド２４ａは、ヘッド取付体として機能するＸスライド４２に、脱着可能に取り付けられている。このような構成により、ヘッド移動装置２６は、装着ヘッド２４ａを、部品フィーダ２０の部品供給部位と基板コンベア装置１８に固定された基板Ｓとにまたがって、それらの上方において、その基板Ｓの表面に沿って（厳密には、基板Ｓの表面に平行な一平面内において）移動させる（図１を参照のこと）。
【００３２】
装着ヘッド２４ａは、いわゆるインデックス型の装着ヘッドであり。図３（ａ）に示すように、それぞれが、部品保持具として機能して負圧の供給（「圧力が大気圧よりも低下させられること」を意味する）によって部品を下端部において吸着保持する８つの吸着ノズル４８ａを有しており、それらは、リボルバ５０に保持されている。リボルバ５０は、間欠回転し、特定位置（最も正面側の位置）に位置する１の吸着ノズル４８ａが、ノズル昇降装置によって、昇降可能、つまり、上下方向（Ｚ方向）に移動可能とされている。特定位置に位置する吸着ノズル４８ａは、下降した際に、負圧が供給されることによって、部品を保持し、また、負圧の供給が断たれることで、吸着保持している部品を離脱させる。つまり、装着ヘッド２４ａは、部品フィーダ２０にて、順次８つの部品を保持し、基板Ｓにて、順次８つの部品を装着可能とされているのである。ちなみに、８つの吸着ノズル４８ａの各々は、ノズル回転装置によって、自身の軸線（以下、「ノズル軸線」という場合がある）回りに、つまり、ノズル軸線を中心に回転させられるようになっており、当該装着ヘッド２４ａは、各吸着ノズル４８ａによって保持されている部品の回転位置（「回転姿勢」，「方位」と言うこともできる）を、変更・調整することが可能とされている。
【００３３】
本装着モジュール１２は、作業ヘッドを交換可能であり、装着ヘッド２４ａ以外の別の種類の作業ヘッドをも取り付けることができる。図３（ｂ）に示す装着ヘッド２４ｂは、取付可能な装着ヘッド２４の一例であり、いわゆるシングルノズル型の装着ヘッドである。この装着ヘッド２４ｂは、部品保持具としての吸着ノズル４８ｂが１つだけ設けられている。一度に１つの部品しか吸着保持することができないが、比較的大きな部品をも吸着保持可能とされている。この装着ヘッド２４ｂも、ノズル昇降装置，ノズル回転装置を備えており、吸着ノズル４８ｂは、部品の保持・離脱の際に昇降させられ、かつ、部品の回転位置の変更・調整のためにノズル軸線回りに回転させられる。ちなみに、作業ヘッドの交換は、レバー５４の操作によって、ワンタッチで行えるようにされている（図２参照）。なお、以下の説明では、装着ヘッド２４ａ，装着ヘッド２４ｂを総称して装着ヘッド２４と言う場合があり、吸着ノズル４８ａ，吸着ノズル４８ｂを総称して吸着ノズル４８と言う場合がある。
【００３４】
本装着モジュール１２では、Ｘスライド４２の下部に、基板コンベア装置１８によって固定された基板Ｓの表面を撮像する基板撮像装置としての基板カメラ５６が固定されている（図１，図２参照）。基板カメラ５６は、装着ヘッド２４とともに、ヘッド移動装置２６によって基板Ｓの表面に沿って移動させられる。基板カメラ５６は、基板Ｓに付された基板基準マーク（フィデューシャルマーク），基板Ｓに装着された部品等を撮像可能とされている。
【００３５】
以下に、装着ヘッド２４ｂが取り付けられていると仮定して、本装着モジュール１２による部品装着作業を説明する。まず、基板Ｓが、基板コンベア装置１８によって上流側から搬入され、所定の位置において固定される。次いで、基板カメラ５６が、ヘッド移動装置２６によって、基板Ｓに付された複数の基板基準マーク各々の上方にまで順次移動させられ、それら複数の基板基準マークの各々が、順次撮像される。それら複数の基板基準マークの各々の撮像データを基に、部品が装着される位置の基準となる基板座標系が、その基板Ｓについて設定される。
【００３６】
基板座標系の設定の後、装着ヘッド２４ｂが、ヘッド移動装置２６によって、吸着ノズル４８ｂが部品フィーダ２０の部品供給部位の上方に位置する位置に、移動させられる。その位置において、吸着ノズル４８ｂが下降させられて、部品が吸着ノズル４８ｂによって吸着保持される。なお、吸着ノズル４８ｂは、部品を、その部品の上面において吸着するため、以下の説明では、その面を被吸着面と言う場合がある。
【００３７】
次に、吸着保持された部品が部品カメラ２２の上方に位置する位置に、装着ヘッド２４ｂが移動させられ、その位置において、吸着保持された部品が、下方から、つまり、装着面側から撮像される。その撮像によって得られた撮像データを基に、吸着ノズル４８ｂに対する部品の位置ズレ量、つまり、保持された部品のノズル軸線からのズレ量（保持位置ズレ量）が取得される。このズレ量は、Ｘ方向のズレ量，Ｙ方向のズレ量，回転方向のズレ量（方位におけるズレ量であり、以下、「θ方向のズレ量」と言う場合がある）が取得される。この撮像データに基づく保持位置ズレ量の取得手法は、よく知られた手法であるので、ここで説明は省略する。なお、装着面とは、部品が基板Ｓに装着された状態においてその基板Ｓの表面に接する面であり、上記被吸着面とは反対側の面、つまり、上記装着面と背向する面である。
【００３８】
次いで、吸着保持された部品が基板Ｓの表面において装着されるべき位置として設定された設定位置（装着予定位置）の上方に位置する位置まで、装着ヘッド２４ｂがヘッド移動装置２６によって移動させられる。この際、上記取得された保持位置ズレ量に基づく補正が行われる。ちなみに、この補正の手法もよく知られた手法であるため、ここでの説明は省略する。そして、その位置において、吸着ノズル４８ｂが下降させられ、部品が基板Ｓの表面に装着される。部品の吸着保持から装着までの一連の動作が繰り返され、予定されているすべての部品が基板Ｓに装着される。すべての部品が装着された後、基板Ｓの固定が解除され、基板コンベア装置１８によって、その基板Ｓが下流側に搬出される。
【００３９】
なお、装着ヘッド２４ａが取付られている場合には、上記一連の動作は、８つの部品が順次８つの吸着ノズル４８ａによって保持され、それら８つの部品が部品カメラ２２によって一度に撮像されてそれらの各々についての保持位置ズレ量が一度に取得され、それら８つの部品の各々が、順次、保持位置ズレ量に基づく補正が行われつつ基板Ｓの表面に装着されるように行われる。
【００４０】
≪部品装着精度検査方法≫
装着モジュール１２による部品の装着精度の検査は、部品を模したダミーチップを利用して行われる。ダミーチップは、部品と同様に、テープに保持されており、そのテープが捲回されたリールがセットされることによって、部品と同様に、部品フィーダ２０から供給される。また、装着精度の検査においては、基板Ｓの代わりに、検査用基板であるダミー基板が使用される。
【００４１】
部品の装着精度の検査では、上述した部品装着作業と同様に、ダミー基板が固定され、そのダミー基板の基板座標系が設定された後、上記一連の動作が行われて、部品フィーダ２０から供給されるダミーチップがダミー基板に装着される。その動作の最中において、被吸着面において吸着ノズル４８によって吸着保持されたダミーチップが、部品カメラ２２によって、装着面側から撮像され（第１撮像ステップ）、その撮像データに基づいて保持位置ズレ量が取得され（第１ズレ量取得ステップ）、その取得された保持位置ズレ量に基づく補正を行って、そのダミーチップが、ダミー基板上の装着予定位置に装着される（装着ステップ）。
【００４２】
部品の装着精度の検査では、装着されたダミーチップが、基板カメラ５６によって、被吸着面側から撮像される（第２撮像ステップ）。詳しく言えば、装着ヘッド２４が、ヘッド移動装置２６によって、基板カメラ５６が上記設定位置の上方に位置する位置に移動させられ、その位置において、ダミーチップが上方から撮像される。そして、その撮像によって得られた撮像データに基づいて、そのダミーチップが実際に装着された位置である装着位置の上記設定位置からの位置ズレ量、つまり、装着位置ズレ量が取得される（第２位置ズレ量取得ステップ）。撮像データに基づく装着位置ズレ量の取得手法も、よく知られた手法であるため、ここでの説明は省略する。なお、装着位置ズレ量は、保持位置ズレ量と同様、Ｘ方向ズレ量，Ｙ方向ズレ量，θ方向ズレ量が含まれる。取得された装着位置ズレ量に基づいて、部品装着精度が評価される。
【００４３】
≪ダミーチップ≫
部品装着精度の検査に用いられる従来のダミーチップは、一般的な部品と同様、概して直方体をなしている。しかしながら、隣り合う面どうしが必ずしも直角であることは保障し得えず、極端には、例えば、図４（ａ）のような形状となる場合が多い。このダミーチップ１００は、傾斜した若しくはあたかも拉げた形状となっている。このダミーチップ１００は、被吸着面１０２の側から見た場合は、図４（ｂ）のように、また、装着面１０４の側から見た場合には、図４（ｃ）のように視認される。つまり、被吸着面１０２と装着面１０４とがズレており、そのダミーチップ１００の輪郭が、被吸着面側から見た場合と、装着面側から見た場合とで、相違して視認されることになる。ちなみに、被装着面１０２と装着面１０４とが寸法においても差が生じている場合では、輪郭の相違は、さらに大きくなる。そのように視認されるダミーチップを用いて、装着面側からの撮像による撮像データを基に保持位置ズレ量に関する補正を行い、被吸着面側からの撮像による撮像データに基に装着位置ズレ量を取得した場合、部品装着精度の適切な評価が行い得ないこととなる。つまり、装着機の装着精度を正確には検査し得ないことになるのである。
【００４４】
そこで、第１実施例のダミーチップは、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、それら被吸着面と装着面との少なくとも一方より大きな１つの外周線が輪郭として視認されるような形状とされている。詳しく言えば、いずれから見た場合にも、被吸着面と装着面との両方より大きな１つの外周線が輪郭として視認される形状をなしている。具体的には、例えば、図５（ａ）に斜視図を、図５（ｂ）に平面図を、図５（ｃ）に正面図を、図５（ｄ）に側面図を示すような形状をなしている。このダミーチップ１１０では、被吸着面１１２と装着面１１４とが互いに平行であり、それら被吸着面１１２と装着面１１４とを繋ぐ外周面が１１６が、被吸着面１１２と装着面１１４の外形から突出する山形の面とされている。言い換えれば、被吸着面１１２および装着面１１４に直角な断面が、同じ長さの下底を有する２つの台形がそれら下底どうしを合わせるようにして重ね合わされた形となるような形状をなしている。極端に言えば、断面が算盤珠の断面のような形状をなしている。
【００４５】
このダミーチップ１１０は、被吸着面側から見た場合であっても、装着面側から見た場合であっても、山形の面とされた外周面１１６の頂１１８が、当該ダミーチップ１１０の長方形の輪郭として視認される。詳しく言えば、頂を結ぶ線が長方形の外周線として視認される。つまり、被吸着面側からの撮像データも、装着面側からの撮像データも、同じ形状に関するデータとなり、それらのデータに基づいて、保持位置ズレ量に関する補正を行い、装着位置ズレ量を取得することで、部品装着精度の適切な評価を行うことができ、ひいては、装着機の装着精度を正確に検査することが可能となるのである。
【００４６】
また、第２実施例のダミーチップとして、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、それら被吸着面と装着面との一方より大きな１つの外周線が輪郭として視認されるような形状、詳しく言えば、被吸着面と装着面との一方の外形が他方の外形よりも大きく、その一方の外形線が輪郭として視認される形状を有するダミーチップを採用することができる。具体的には、例えば、図６（ａ）に斜視図を、図６（ｂ）に平面図を、図６（ｃ）に正面図を、図６（ｄ）に側面図を示すような形状のダミーチップ１２０を採用することが可能である。このダミーチップ１２０は、被吸着面１２２と装着面１２４とが互いに平行であり、装着面１２４の外形が被吸着面１２２の外形より大きく、それら被吸着面１２２と装着面１２４とを繋ぐ外周面が１２６が、被装着面１２２から装着面１２４に向かって拡がるような傾斜面とされている。簡単に言えば、被吸着面１２２および装着面１２４に直角な断面が、台形となるような形状を有している。
【００４７】
このダミーチップ１２０は、被吸着面１２２の外形よりも装着面１２４の外形の方が大きく、被吸着面側から見た場合においても装着面側から見た場合においても、装着面１２４の外形線１２８が、外周線として、つまり、当該ダミーチップ１２０の長方形の輪郭として視認される。このダミーチップ１２０も、先のダミーチップ１１０と同様、被吸着面側からの撮像データも、装着面側からの撮像データも、同じ形状に関するデータとなり、それらのデータに基づいて、保持位置ズレ量に関する補正を行い、装着位置ズレ量を取得することで、部品装着精度の適切な評価を行うことができ、ひいては、装着機の装着精度を正確に検査することが可能となるのである。
【００４８】
なお、上記ダミーチップ１１０，１２０は、いずれも、隣り合う面どうしの角、つまり、稜が、明確な線として形成されている。簡単に言えば、いわゆるピン角を有するように形成されているが、図７（ａ），図７（ｂ）に示すように、一部の角が丸められていてもよく、すべての角が丸めらていてもよい。また、ダミーチップ１２０は、上下を逆にして用いてもよい。言い換えれば、被吸着面１２２が装着面となり、装着面１２４が被吸着面となるようにして用いてもよい。さらに、ダミーチップは、表面が梨地状とすることができる。部品カメラ２２，基板カメラ５６は、一般的には、光源を有し、その光源から部品若しくは基板に光を照射して、撮像を行う。表面を梨地状に形成することにより、ダミーチップ表面の光の反射が抑えられ、輪郭に関する撮像データを精度よく取得することが可能となる。
【符号の説明】
【００４９】
１２：装着モジュール〔電気部品装着機〕    ２４：装着ヘッド    ２６：ヘッド移動装置    ４８：吸着ノズル〔部品保持具〕    ５６：基板カメラ〔基板撮像装置〕    １００：ダミーチップ（従来品）    １０２：被吸着面    １０４：装着面    １１０：ダミーチップ（第１実施例）    １１２：被吸着面    １１４：装着面    １１６：外周面
１１８：頂〔外周線〕    １２０：ダミーチップ（第２実施例）    １２２：被吸着面    １２４：装着面    １２６：外周面    １２８：外形線〔外周線〕
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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