(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板保持体と、
複数の前記基板保持体を第１の方向に並ぶように支持し、且つ複数の前記基板保持体の前記第１の方向におけるピッチを変更する支持機構と、
それぞれの前記基板保持体に設けられ、前記基板保持体に対し移動可能な１以上の可動保持部材を含み、前記可動保持部材によって、複数の前記基板保持体に対応する複数の基板が前記第１の方向に並ぶように当該基板を把持するよう構成された保持部と、
前記第１の方向に交差する第２の方向及びその反対方向の第３の方向に移動可能であり、当該移動に伴って１以上の前記可動保持部材を移動させるように、それぞれの前記基板保持体に設けられた可動体と、
前記第２の方向に前記可動体を付勢し、前記可動保持部材が前記基板に接触して当該基板を押圧把持するようそれぞれの前記基板保持体に設けられた付勢機構と、
押し戻し部を含み、当該押し戻し部が、複数の前記基板保持体にそれぞれ設けられた前記可動体を、前記第３の方向に前記付勢機構が前記第２の方向に前記可動体を付勢する力に抗して移動させて、前記可動保持部材による前記基板の押圧保持を解除する押し戻し機構と、を備え、
前記押し戻し機構は、前記押し戻し部を前記可動体と非接触となる待機位置に位置させることができるよう構成されている、基板保持装置。
【請求項２】
前記待機位置は、前記可動保持部材が前記基板に接触して当該基板を押圧把持する把持位置よりも前記第２の方向側である、請求項１に記載の基板保持装置。
【請求項３】
前記保持部は、前記基板保持体に固定された１以上の固定保持部材を含み、当該固定保持部材と前記可動保持部材とによって、複数の前記基板保持体に対応する複数の基板を把持するよう構成されている、請求項１又は２に記載の基板保持装置。
【請求項４】
前記可動保持部材は、それぞれの前記基板保持体に２以上設けられている、請求項１乃至３の何れかに記載の基板保持装置。
【請求項５】
前記付勢機構は、前記可動保持部材が前記基板に接触して当該基板を押圧把持する把持位置よりも前記第２の方向側であって、前記可動体に対する前記第２の方向への付勢力が解かれる付勢可能限度位置を含み、
前記待機位置は、前記付勢可能限度位置より前記第２の方向側に位置するよう構成されている、請求項１乃至４の何れかに記載の、基板保持装置。
【請求項６】
前記可動体の前記第２の方向側への移動を規制するストッパを備え、当該ストッパによって前記付勢可能限度位置が規定される、請求項５に記載の基板保持装置。
【請求項７】
前記支持機構は、前記押し戻し機構の前記押し戻し部が前記待機位置に位置しているときに複数の前記基板保持体の前記第１の方向におけるピッチを変更するよう構成されている、請求項１乃至６の何れかに記載の基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウェハ等の基板を保持する基板保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体等の処理工程においてシリコンウェハ等の基板がこの基板の厚み方向に所定のピッチで並ぶように収納されているカセットケースからこの基板を他のカセットケースに複数枚一度に移送することができる基板保持装置が知られており、特に、前後の処理工程における必要性から基板を移送する際にピッチを変更して移送することができる基板保持装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
この基板保持装置は、基板の端縁を把持する３以上の爪部を有する複数の基板保持部と、基板保持部のピッチを変換するピッチ変換機構部と、中間部が屈折され、一端が爪部に接続されたスチールテープと、スチールテープの他端が接続され、基板の端縁から中心部に向かう方向に往復移動する駆動手段と、を備える。そして、ピッチ変換機構部により基板保持部の間隔が変更されてスチールテープの両端の間の直線距離が変わり、その結果、スチールテープが撓むような場合であっても、スチールテープの屈曲した部分から生じる弾性力によってスチールテープの撓みを吸収し、把持力を一定に保つ。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３１３８６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、基板保持部のピッチを大きく変更するような基板保持装置であったり、基板保持部の数を増やしたりした基板保持装置においては、ピッチの変更に伴い、一部の基板保持部において変更の前後のスチールテープの両端の間の直線距離が大きく変わり、その結果スチールテープが大きく撓むような場合がある。このような場合においても、スチールテープの屈曲部分の弾性力によってスチールテープの撓みを吸収し、基板の把持力を一定に保つことは容易ではない。
【０００６】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、基板保持部のピッチを大きく変更したり、基板保持部の数を増やしたりした場合においても、把持力を一定に保ち、基板を確実に保持することができる基板保持装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る組合せ秤の基板保持装置は、複数の基板保持体と、複数の前記基板保持体を第１の方向に並ぶように支持し、且つ複数の前記基板保持体の前記第１の方向におけるピッチを変更する支持機構と、それぞれの前記基板保持体に設けられ、前記基板保持体に対し移動可能な１以上の可動保持部材を含み、前記可動保持部材によって、複数の前記基板保持体に対応する複数の基板が前記第１の方向に並ぶように当該基板を把持するよう構成された保持部と、前記第１の方向に交差する第２の方向及びその反対方向の第３の方向に移動可能であり、当該移動に伴って１以上の前記可動保持部材を移動させるように、それぞれの前記基板保持体に設けられた可動体と、前記第２の方向に前記可動体を付勢し、前記可動保持部材が前記基板に接触して当該基板を押圧把持するようそれぞれの前記基板保持体に設けられた付勢機構と、押し戻し部を含み、当該押し戻し部が、複数の前記基板保持体にそれぞれ設けられた前記可動体を、前記第３の方向に前記付勢機構が前記第２の方向に前記可動体を付勢する力に抗して移動させて、前記可動保持部材による前記基板の押圧保持を解除する押し戻し機構と、を備え、前記押し戻し機構は、前記押し戻し部を前記可動体と非接触となる待機位置に位置させることができるよう構成されている。
【０００８】
この構成によれば、付勢機構は、複数の基板保持体にそれぞれ設けられ、ピッチ変更時において、対応する基板との位置関係が変わらないようにすることができる。これによって、ピッチ変更時において、把持力を一定に保つことができ、基板を確実に保持することができる。
【０００９】
また、押し戻し部が可動体と非接触となる待機位置に位置する時にピッチ変更を行なうことができ、それにより、ピッチ変更時に押し戻し部と可動体とが擦れ合わないようにすることができる。これによって、ピッチ変更時におけるパーティクルの発生を防止することができ、ひいては基板を用いて製造される被製造物の歩留まりを向上させることができる。
【００１０】
上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記待機位置は、前記可動保持部材が前記基板に接触して当該基板を押圧把持する把持位置よりも前記第２の方向側であってもよい。
【００１１】
この構成によれば、押し戻し部を把持位置より第２の方向側に動かすことによって、押し戻し部と可動体とを非接触とすることができる。
【００１２】
上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記保持部は、前記基板保持体に固定された１以上の固定保持部材を含み、当該固定保持部材と前記可動保持部材とによって、複数の前記基板保持体に対応する複数の基板を把持するよう構成されていてもよい。
【００１３】
この構成によれば、１以上の固定保持部材と１以上の可動保持部材とによって対応する基板を把持することができる。
【００１４】
上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記可動保持部材は、それぞれの前記基板保持体に２以上設けられていてもよい。
【００１５】
この構成によれば、２以上の可動保持部材によって対応する基板を把持することができる。
【００１６】
上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記付勢機構は、前記可動保持部材が前記基板に接触して当該基板を押圧把持する把持位置よりも前記第２の方向側であって、前記可動体に対する前記第２の方向への付勢力が解かれる付勢可能限度位置を含み、前記待機位置は、前記付勢可能限度位置より前記第２の方向側に位置するよう構成されていてもよい。
【００１７】
この構成によれば、押し戻し機構を付勢可能限度位置より第２の方向側に動かすことによって、保持部が基板を保持しているか否かにかかわらず、押し戻し部と可動体とを非接触とすることができる。
【００１８】
上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記可動体の前記第２の方向側への移動を規制するストッパを備え、当該ストッパによって前記付勢可能限度位置が規定されていてもよい。
【００１９】
この構成によれば、押し戻し機構をストッパより第２の方向側に動かすことによって、保持部が基板を保持しているか否かにかかわらず、押し戻し部と可動体とを非接触とすることができる。
【００２０】
上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記支持機構は、前記押し戻し機構の前記押し戻し部が前記待機位置に位置しているときに複数の前記基板保持体の前記第１の方向におけるピッチを変更するよう構成されていてもよい。
【００２１】
この構成によれば、押し戻し部と可動体とが擦れ合わないようにすることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は以上に説明したように構成され、把持力を一定に保つことができ、基板を確実に保持することができるという効果を奏する。また、本発明は、基板を用いて製造される被製造物の歩留まりを向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板保持装置を含む基板搬送システムの構成例を示す図である。
【図２】図１の基板保持装置の構成例を示す外観図である。
【図３】図１の基板保持装置の構成例を示す要部拡大斜視図である。
【図４】図１の基板保持装置の構成例を示す側面図である。
【図５Ａ】図１の基板保持装置の支持機構の構成例を示す図である。
【図５Ｂ】図１の基板保持装置の支持機構の構成例を示す図である。
【図６】図１の基板保持装置の動作例を示すフローチャートである。
【図７】図１の基板保持装置の動作例を示す図である。
【図８】図１の基板保持装置の動作例を示す図である。
【図９】図１の基板保持装置の動作例を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る基板保持装置の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。なお、以下では全ての図を通じて同一又は相当する要素には同じ参照符号を付して、その重複する説明を省略する。
【００２５】
［全体構成］
図１は、基板保持装置１００を含む基板搬送システム１の構成例を示す図である。
【００２６】
基板として、半導体ウエハ、半導体プロセスによって処理される薄型ディスプレイ（液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等）用のガラス基板が例示される。半導体ウエハとして、シリコンウェハ、シリコンカーバイドウェハ、サファイアウェハ等が例示される。
【００２７】
基板搬送システム１は、基板を搬送するものであれば特に限定されない。基板搬送システム１は、例えば、半導体製造ラインにおいてシリコンウェハ基板を一のカセットから他のカセットに搬送するシステムである。本実施の形態に係る基板搬送システム１は、第１カセット２に収納されている円形の基板を搬出し、この基板を第２カセット３に搬入する。第１カセット２及び第２カセット３は、それぞれ箱状に形成され、その側面に各カセットに収納される基板の搬入搬出を行うための開口部２ａ，３ａが形成されている。第１カセット２及び第２カセット３は、これら開口部２ａ，３ａが互いに対向するように配置されている。そして、第１カセット２は、基板がピッチＰ１で例えば鉛直方向に並ぶように、図示しない支持部が基板を支持している。また、第２カセット３は、基板が第１ピッチＰ１よりも小さいピッチＰ２で鉛直方向に並ぶように、図示しない支持部が基板を支持している。
【００２８】
基板搬送システム１は、基板保持装置１００がその先端に取り付けられ、基板保持装置１００を用いて第１カセット２に収納されている基板を第２カセット３に搬送するロボット４と、ロボット４を昇降させる昇降台５と、基板保持装置１００を含むロボット４及び昇降台５を制御する図示しない制御部を備えている。
【００２９】
ロボット４は、例えば、産業用ロボットであり、このアームの先端部に基板保持装置１００が装着されている。本実施の形態において、ロボット４は、いわゆる水平多関節式ロボットであり、水平面内においてそのアームが動作する。ロボット４は、周知の水平多関節式ロボットで構成することができるので、これ以上の説明を省略する。
【００３０】
昇降台５は、ロボット４の基台と連結され、ロボット４のアームが動作する水平面と交差する方向に昇降する。本実施の形態に係る昇降台５は、第１カセット２及び第２カセット３の間に配置され、これらのカセットに収納されている基板が並ぶ鉛直方向に昇降する。昇降台５の構成は周知であるので、これ以上の説明を省略する。
【００３１】
［基板保持装置の構成］
図２は、基板保持装置１００の構成例を示す外観図である。図３は、基板保持装置１００の構成例を示す要部拡大斜視図であり、後述する基板保持体１０の基端部付近を示したものである。
【００３２】
図２及び図３に示すように、基板保持装置１００は、複数の基板保持体１０と、複数の基板保持体１０の基端部を支持する支持機構１２と、基板を把持する保持部１４と、可動体１６と、付勢機構１８と、押し戻し機構２０とを備えている。本実施の形態において、基板保持体１０は、基板保持体１０ａ〜１０ｅの５つが設けられている。
【００３３】
図４は、基板保持装置１００の構成例を示す側面図である。なお、図４では、押し戻し部６０を後述する待機位置よりも基板保持体１０の先端方向に位置させた状態を表している。
【００３４】
図２に示すように、各基板保持体１０ａ〜１０ｅは、本実施の形態において、基端部から先端部に向かって延びる板状に形成され、その中間部から先端部にかけて円形のシリコンウェハを保持する基板保持位置Ａが設定されている。図２及び図３に示すように、各基板保持体１０ａ〜１０ｅの基端部の中間部は、基端部から先端部に向かって切り欠かれ切欠部１１を形成している。なお、以下では、便宜上、基板保持体１０ａ〜１０ｅの基端部側から先端側に向かう方向を前といい、その反対方向を後という。
【００３５】
図３及び図４に示すように、支持機構１２は、各基板保持体１０ａ〜１０ｅがその厚み方向に並ぶように、各基板保持体１０ａ〜１０ｅを支持し、各基板保持体１０ａ〜１０ｅが並ぶ方向のピッチを変更する。本実施の形態において、各基板保持体１０ａ〜１０ｅは、鉛直方向（第１の方向）に沿って並ぶように構成されている。なお、以下では、便宜上、基板保持体１０ａから１０ｅに向かう方向を上といい、その反対方向を下という。
【００３６】
図５Ａ及び図５Ｂは、基板保持装置１００の支持機構１２の構成例を示す図である。
【００３７】
図３、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、本実施の形態において、支持機構１２は、基板保持体１０と同数、即ち５つの支持台（第１〜第５の支持台５０ａ〜５０ｅ）と、一対のガイドレール５２と、回動部材５４と、図示しないピッチ変更駆動部とを有する。
【００３８】
第１〜第５の支持台５０ａ〜５０ｅは、それぞれ厚板状に形成され、表面（表側主面）と、表面の周囲から下方向に延びる前面、後面及び両側面を含む周囲面とを有している。そして、基板保持体１０ａ〜１０ｅの後端が、第１〜第５の支持台５０ａ〜５０ｅの前面に、第１〜第５の支持台５０ａ〜５０ｅの表面が延びる方向と平行にそれぞれ基板保持体１０ａ〜１０ｅが延びるように、取り付けられている。
【００３９】
そして、第１〜第５の支持台５０ａ〜５０ｅは、図３に示すように、表面に後述する可動体１６の本体部１６ａを案内するガイド溝５７が形成されている。ガイド溝５７は、各支持台の表面の内側から前方に向かって基板保持体１０が延びる方向と平行に延び、その先端は第１〜第５の支持台５０ａ〜５０ｅの前面に開口している。
【００４０】
そして、図５Ａ及び図５Ｂに示すように第２〜第５の支持台５０ｂ〜５０ｅは、それぞれその後面に、表面が延びる方向と平行に延び、後述する係合ピン５５ｂ〜５５ｅと係合する長孔５１ｂ〜５１ｅを有している。
【００４１】
また、本実施の形態において、第１〜第５の支持台５０ａ〜５０ｅは、図３及び図４に示すように、後述する可動体１６のレバー部１６ｂの移動を規制するストッパ６を備えている。ストッパ６は、第１〜第５の支持台５０ａ〜５０ｅの前面から前方に突出するように側面視Ｌ字状に形成され、後述する待機可能限度位置に位置する可動体１６のレバー部１６ｂと当接するように配設される。
【００４２】
一対のガイドレール５２は、上下方向に延び、その下端が第１支持台５０ａの両側面にそれぞれ固定されている。また、ガイドレール５２は、第２〜第５の支持台５０ｂ〜５０ｅの両側面とそれぞれ摺動可能に係合している。そして、この一対のガイドレール５２は、第２〜第５の支持台５０ｂ〜５０ｅの姿勢を保ちながらガイドレール５２の延びる方向、即ち上下方向に第２〜第５の支持台５０ｂ〜５０ｅを案内する。
【００４３】
回動部材５４は、例えば細長い板状体である。回動部材５４は、その基端部から先端部にかけて基板保持体１０と同数の係合ピン５５が等間隔に設けられ、本実施の形態においては、５つの係合ピン５５ａ〜５５ｅが設けられている。このうち、係合ピン５５ａは、第１支持台５０ａと回動可能に係合している。また、他の係合ピン５５ｂ〜５５ｅは、それぞれ長孔５１ｂ〜５１ｅと係合し、長孔５１の延びる方向に摺動可能に構成されている。
【００４４】
ピッチ変更駆動部は、係合ピン５５ａと連結され、係合ピン５５ａ及びこれと共に回動部材５４を回動させる。
【００４５】
上記の通り構成された支持機構１２は、ピッチ変更駆動部が回動部材５４を揺動させると、回動部材５４は各長孔５１ｂ〜５１ｅの延びる方向と交差して位置しているため、第２〜第５の支持台５０ｂ〜５０ｅが一対のガイドレール５２の延びる上下方向に案内される。また、５つの係合ピン５５ａ〜５５ｅは等間隔に設けられているため、これによって、第１〜第５の支持台５０ａ〜５０ｅはいずれのピッチにおいても等間隔に並ぶ。
【００４６】
図２〜図４に示すように、保持部１４は、基板保持体１０ａ〜１０ｅのそれぞれに設けられ、基板保持体１０ａ〜１０ｅに対しそれぞれ移動可能な可動保持部材２４を備えている。そして、本実施の形態においては、更に２つの固定保持部材２２を備えている。
【００４７】
可動保持部材２４は、基板保持体１０上の基板保持位置Ａの後側の周縁に位置するように設けられている。２つの固定保持部材２２は、基板保持体１０ａ〜１０ｅ上の基板保持位置Ａの前側の周縁に位置するように設けられている。これら可動保持部材２４及び固定保持部材２２が基板保持体１０に対応する基板を把持する。これによって、各基板は、上下方向に並ぶ。
【００４８】
可動体１６は、各基板保持体１０ａ〜１０ｅに設けられ、上下方向に交差する方向に移動可能であり、その移動に伴って可動保持部材２４を移動させる。
【００４９】
本実施の形態において、可動体１６は、基板保持体１０が延びる方向と平行に延びる棒状の本体部１６ａと、本体部１６ａが延びる方向と交差する方向にレバー部１６ｂを有している。
【００５０】
本体部１６ａは、第１〜第５の支持台５０ａ〜５０ｅのガイド溝５７内に配置され、このガイド溝５７に案内されて基板保持位置Ａに向かう方向、即ち前方（第２の方向）、及び基板保持位置Ａから離れる方向、即ち後方（第３の方向）に摺動する。そして、本体部１６ａの前端は可動保持部材２４の後端に一体的に取り付けられている。これによって、可動保持部材２４は、可動体１６と共に、前後方向に移動する。
【００５１】
レバー部１６ｂは、後述する押し戻し部６０と接触する部分であり、基板保持体１０が延びる方向と平行な面内において、本体部１６ａが延びる方向と直交する方向に延びている。
【００５２】
付勢機構１８は、可動体１６を付勢し、可動保持部材２４が基板保持位置Ａに位置する基板に接触してこの基板を押圧把持する。付勢機構１８として、各種のばね、モータ、空圧作動のアクチュエータ等が例示される。
【００５３】
本実施の形態において、付勢機構１８は、圧縮コイルばねであり、後方から前方に向かって可動体１６の本体部１６ａの後端部を付勢している。これによって、基板保持位置Ａに基板が位置している場合、可動保持部材２４は、可動体１６を介して付勢機構１８に付勢され、前方に移動し、基板に接触し、基板を押圧把持する。
【００５４】
一方、基板保持位置Ａに基板が位置していない場合、可動体１６は、前方に更に移動し、レバー部１６ｂがストッパ６に当接して前方への可動体１６の移動を規制する。これによって、可動保持部材２４に対する前方への付勢力が解かれる。この状態における可動体１６の位置が付勢可能限度位置（図９参照）を構成する。即ち、ストッパ６によって付勢可能限度位置が規定されている。
【００５５】
押し戻し機構２０は、押し戻し部６０を有し、押し戻し部６０が可動体１６を後方に付勢機構１８の付勢力に抗して移動させて、可動保持部材２４による基板の押圧保持を解除する。
【００５６】
本実施の形態において、押し戻し機構２０は、押し戻し駆動部６１及びロッド６２を備え、ロッド６２の基端部が押し戻し駆動部６１に連結されている。ロッド６２は、棒状体をＬ字状に屈曲させて形成され、この屈曲部分の先端側の部分が押し戻し部６０を構成している。押し戻し部６０は、上下方向に延びて形成され、切り欠き１１の内側に位置している。また、押し戻し部６０は、レバー部１６ｂよりも前方に位置している。押し戻し駆動部６１は、第１支持台５０ａの底面に取り付けられている。押し戻し駆動部６１は、アクチュエータであり、切り欠き１１内において、押し戻し部６０を前方の待機位置（図８参照）と後方の解放位置（図７参照）との間でガイド溝５７が延びる方向に進退動させる。待機位置と解放位置との間には、可動保持部材２４が基板保持位置Ａに接触した状態におけるレバー部１６ｂに押し戻し部６０が接触する把持位置が含まれている。
【００５７】
待機位置は、把持位置よりも前方（第２の方向側）に設定される。したがって、押し戻し部６０を把持位置から待機位置に移動させると、可動保持部材２４及び可動体１６は、付勢機構１８によって前方に付勢されるものの、基板によって前方への移動が規制される。これによって、押し戻し部６０の動きに伴って、可動保持部材２４及び可動体１６が追従しない。よって、押し戻し部６０とレバー部１６ｂとは切り離され、非接触となる。
【００５８】
また、本実施の形態において、待機位置は、付勢可能限度位置に位置する可動体１６のレバー部１６ｂに押し戻し部６０が当接する位置よりも前方に設定される（図９参照）。したがって、基板保持位置Ａに基板が位置しないときであっても、可動保持部材２４及び可動体１６はストッパ６によって前方への移動が規制される。これによって、押し戻し部６０の動きに伴って、可動保持部材２４及び可動体１６が追従しない。よって、押し戻し部６０とレバー部１６ｂとは切り離され、非接触となる。
【００５９】
このように、基板保持位置Ａの基板の有無に関わらず、押し戻し部６０は、待機位置において、レバー部１６ｂと非接触となるように構成されている。
【００６０】
また、解放位置は、把持位置よりも後方（第３の方向）に設定される。したがって、押し戻し部６０を把持位置から解放位置に移動させると、可動保持部材２４及び可動体１６は、押し戻し部６０の動きに追従する。これによって、可動保持部材２４及び可動体１６は、付勢機構１８の付勢力に抗して後方に押し戻される。よって、基板の押圧保持が解除される。
［動作例］
次に、基板保持装置１００を含む基板搬送システム１の動作例を説明する。
【００６１】
図６は、基板保持装置１００の動作例を示すフローチャートである。図７〜図９は、基板保持装置１００の動作例を示す図である。
【００６２】
まず、基板保持装置１００の制御部は、５つの基板保持体１０のピッチが第１カセット２に収納されている基板のピッチと同じ第１ピッチＰ１になるように基板保持体１０を位置決めし、図７に示すように、押し戻し部６０を解放位置に位置させる（ステップＳ１）。
【００６３】
次に、基板搬送システム１の制御部は、昇降台５を駆動し、基板保持装置１００の各基板保持体１０を第１カセット２に収納されている基板の隙間に差し込める高さ位置に位置させる。そして、基板搬送システム１の制御部は、ロボット４を駆動し、第１カセット２の開口部２ａを介して、基板保持装置１００の各基板保持体１０を第１カセット２に収納されている基板の隙間に差し込み、基板保持体１０の各基板保持位置Ａに基板を位置させる。
【００６４】
次に、基板搬送システム１の制御部は、図８に示すように、押し戻し部６０を待機位置に位置させる（ステップＳ２）。この過程において、可動保持部材２４は、付勢機構１８の付勢力に付勢されて基板保持位置Ａに位置している基板に当接して基板を押圧把持する。
【００６５】
なお、第１カセット２に基板が収納されていない場合、図９に示すように、可動体１６は、付勢可能限度位置に位置する。
【００６６】
次に、基板搬送システム１の制御部は、昇降台５及びロボット４を駆動し、基板保持装置１００を第１カセット２の外に引き出し、基板を第１カセット２から搬出する。そして、本実施の形態のように、第１カセット２の第１ピッチＰ１と第２カセット３の第２ピッチＰ２とが異なる場合、基板搬送システム１の制御部は、ピッチ変更を行うと判定する（ステップＳ３においてＹＥＳ）。そして、基板搬送システム１の制御部は、ピッチ変更駆動部を駆動し、５つの基板保持体１０のピッチが第２カセット３の基板のピッチと同じ第２ピッチＰ２になるように基板保持体１０を位置決めするピッチ変更を行う（ステップＳ４）。
【００６７】
このピッチ変更に伴って、レバー部１６ｂは、押し戻し部６０が延びる方向と平行に移動するが、押し戻し部６０はレバー部１６ｂと非接触の状態にあるので、押し戻し部６０とレバー部１６ｂとが擦れ合わない。よって、パーティクルの発生を防ぐことができる。
【００６８】
一方、第１カセット２の第１ピッチＰ１と第２カセット３の第２ピッチＰ２とが同じ場合はピッチ変更を行わないと判定し（ステップＳ３においてＮＯ）、ピッチ変更を行わない。
【００６９】
次に、基板搬送システム１の制御部は、昇降台５を駆動し、基板保持装置１００の各基板保持体１０を第２カセット３に収納されている基板の隙間に差し込める高さ位置に位置させる。そして、基板搬送システム１の制御部は、ロボット４を駆動し、第２カセット３の開口部３ａを介して、基板保持装置１００の各基板保持体１０を第１カセット２に差し込み、基板を第２カセット３に搬入する。そして、押し戻し部６０を解放位置に位置させ、基板の押圧把持を解除し、第２カセット３の支持部に支持させ、第２カセット３に対する基板の搬入を完了する。
【００７０】
以上のように、本実施の形態の基板保持装置１００は、各基板保持体１０に設けられている付勢機構１８が対応する基板保持体１０の基板保持位置Ａに位置する基板を個々に押圧する。これによって、ピッチ変更を行っても基板の把持力を一定に保つことができる。
【００７１】
また、押し戻し部６０をレバー部１６ｂと非接触となる待機位置に位置させることができるので、ピッチを変更する際に押し戻し部６０とレバー部１６ｂとが擦れ合うことによるパーティクルの発生を防ぐことができる。これによって、当該基板を用いて作成される被製造物の歩留まりを向上させることができる。
【００７２】
また、基板保持装置１００は、押し戻し部６０の位置の切り替えにより、複数の基板の押圧把持及びその解除を一括して行う。これによって、基板保持装置１００の構成を簡素化でき、製造に有利、且つ、製造コストも安価となる。
＜変形例＞
上記実施の形態においては、基板保持装置１００は、円形の基板を可動保持部材２４及び二つの固定保持部材２２によって把持する構成を示したがこれに限られるものではない。これに代えて、例えば、図１０に示すように、矩形の基板を把持する構成としてもよい。更に、この矩形の基板を対向する可動保持部材１２４及び固定保持部材１２２によって把持してもよい。
【００７３】
また、上記実施の形態においては、保持部１４は、可動保持部材２４及び固定保持部材２２を有するように構成されているがこれに限られるものではない。これに代えて、例えば、複数の可動保持部材２４のみからなる構成としてもよい。
【００７４】
更に、上記実施の形態においては、ストッパ６が可動体１６の付勢可能限度位置を規定しているがこれに限られるものではない。これに代えて、ストッパ６を設けず、付勢機構１８のコイルばねが自由長に達した際の可動体１６位置を付勢可能限度位置としてもよい。
【００７５】
上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。従って、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び／又は機能の詳細を実質的に変更できる。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明の基板保持装置は、基板上に微細回路を形成する半導体、ディスプレイパネル等の製造ラインへの適用に有用である。
【符号の説明】
【００７７】
１  基板搬送システム
２  第１カセット
２ａ  開口部
３  第２カセット
３ａ  開口部
４  ロボット
５  昇降台
６  ストッパ
１０  基板保持体
１１  切り欠き
１２  支持機構
１４  保持部
１６  可動体
１６ａ  本体部
１６ｂ  レバー部
１８  付勢機構
２０  押し戻し機構
２２  固定保持部材
２４  可動保持部材
５０  支持台
５１  長孔
５２  ガイドレール
５４  回動部材
５５  係合ピン
５７  ガイド溝
６０  押し戻し部
６１  押し戻し駆動部
６２  ロッド
１００  基板保持装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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