(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレート上で板状のスキージ部材をスキージ移動手段によって摺動させることにより、前記パターン孔を介して前記基板に前記ペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記スキージ部材が装着されたスキージホルダと、
前記マスクプレートに対して前記スキージホルダを昇降させる昇降手段と、
前記昇降手段が配設され前記スキージ移動手段によって移動するフレームと、
前記フレームに配設され前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を前記スキージ部材の上昇動作における所定のタイミングで検出する検出手段と、
前記スキージ部材の両端部に設けられ前記ペーストの漏れを防止するためのペースト漏れ防止部材とを備え、
前記検出手段は、前記スキージ部材の外側に配設され、前記スキージ部材の摺動方向側に設定された所定検出位置において前記ペーストを前記スキージ部材の摺動方向と水平面内において直交する方向から光学的に検出する光学センサを有することを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記検出手段は、前記スキージ部材の摺動方向と水平面内において直交する方向に前記光学センサにより投光される検査光の受光の有無によって前記ペーストの有無を光学的に検出するものであり、
前記スキージ部材が上昇動作を開始して前記ペースト漏れ防止部材による前記検査光の遮光状態が解除された直後のタイミングで前記ペーストの残留状態を検出することを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
スキージ部材が装着されたスキージホルダと、パターン孔が設けられたマスクプレートに対して前記スキージホルダを昇降させる昇降手段と、前記マスクプレート上で前記スキージ部材を摺動させるスキージ移動手段と、前記昇降手段が配設され前記スキージ移動手段によって移動するフレームと、前記フレームとともに移動して前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する検出手段と、前記スキージ部材の両端部に設けられ前記ペーストの漏れを防止するためのペースト漏れ防止部材とを備えたスクリーン印刷装置を用いて、前記マスクプレート上で前記スキージ部材を摺動させるスキージング動作を行うことにより、前記パターン孔を介して前記マスクプレートに当接した基板に前記ペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、
前記スキージング動作を終えた前記スキージ部材の前記昇降手段による上昇動作における所定のタイミングにて、前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出し、
前記検出手段は前記スキージ部材の外側に配設された光学センサを有し、前記スキージ部材の摺動方向側に設定された所定検出位置において前記ペーストを前記スキージ部材の摺動方向と水平面内において直交する方向から光学的に検出することを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項４】
前記検出手段は、前記スキージ部材の摺動方向と水平面内において直交する方向に前記光学センサにより投光される検査光の受光の有無によって前記ペーストの有無を光学的に検出するものであり、
前記スキージ部材が上昇動作を開始して前記ペースト漏れ防止部材による前記検査光の遮光状態が解除された直後のタイミングで前記ペーストの残留状態を検出することを特徴とする請求項３記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田等のペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させるスキージング動作を行うことによって、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するものである。
【０００３】
印刷作業を繰り返すことによってマスクプレート上のペーストの量は次第に減少するが、このペーストの量を確認するため、スキージに取りつけられたセンサーによりペーストの残留状態を検出する機能を備えたスクリーン印刷装置が知られている（例えば特許文献１を参照）。これにより、当該センサーによってペーストの残留状態を検出してスキージの押し込みストローク等の印刷条件を適正に設定し、またペーストの量が少ないと判断したならば新たにペーストを補充する等の措置をとることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３４４４６２５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の特許文献を含めセンサーをスキージに設ける構成の従来技術では、検出対象のペーストとセンサーとの距離が近くなるため、スキージング動作においてペーストがセンサーに付着し易く、その結果、ペーストの残留状態の検出の信頼性が低下するという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、マスクプレート上におけるペーストの残留状態を精度良く検出することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の本発明は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレート上で板状のスキージ部材をスキージ移動手段によって摺動させることにより、前記パターン孔を介して前記基板に前記ペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記スキージ部材が装着されたスキージホルダと、前記マスクプレートに対して前記スキージホルダを昇降させる昇降手段と、前記昇降手段が配設され前記スキージ移動手段によって移動するフレームと、前記フレームに配設され前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する検出手段を備えた。
【０００８】
請求項３記載の本発明は、スキージ部材が装着されたスキージホルダと、パターン孔が設けられたマスクプレートに対して前記スキージホルダを昇降させる昇降手段と、前記マスクプレート上で前記スキージ部材を摺動させるスキージ移動手段と、前記昇降手段が配設され前記スキージ移動手段によって移動するフレームと、前記フレームとともに移動して前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する検出手段を備えたスクリーン印刷装置を用いて、前記マスクプレート上で前記スキージ部材を摺動させるスキージング動作を行うことにより、前記パターン孔を介して前記マスクプレートに当接した基板に前記ペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記スキージング動作を終えた前記スキージ部材の前記昇降手段による上昇動作における所定のタイミングにて、前記マスクプレート上の前記スキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、マスクプレート上のスキージ部材によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する検出手段を、スキージ部材が装着されたスキージホルダではなく、昇降手段が配設されスキージ移動手段によって移動するフレームに配設しているので、検出手段へのペーストの付着を抑制してペーストの残留状態の検出の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図
【図４】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置を構成するスキージヘッドの構成図
【図５】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系のブロック図
【図６】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷の動作説明図
【図７】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷の動作説明図
【図８】本発明の一実施の形態のペーストの残留状態の検出を示す図
【図９】本発明の一実装の形態のペーストの残留状態の検出を示す図
【図１０】従来技術におけるスキージヘッドの構成を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
まず図１〜図３を参照して、スクリーン印刷装置の構造を説明する。図１において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部１の上方にスクリーン印刷機構を配設して構成されている。基板位置決め部１は、Ｙ軸テーブル２、Ｘ軸テーブル３およびθ軸テーブル４を段積みし、更にその上に第１のＺ軸テーブル５、第２のＺ軸テーブル６を組み合わせて構成されている。
【００１２】
第１のＺ軸テーブル５の構成を説明する。θ軸テーブル４の上面に設けられた水平なベースプレート４ａの上面側には、同様に水平なベースプレート５ａが昇降ガイド機構（図示省略）によって昇降自在に保持されている。ベースプレート５ａは、複数の送りねじ５ｃをモータ５ｂによってベルト５ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。
【００１３】
ベースプレート５ａには垂直フレーム５ｅが立設されており、垂直フレーム５ｅの上端部には基板搬送機構８が保持されている。基板搬送機構８は基板搬送方向であるＸ方向に平行に配設された２条の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって印刷対象の基板１０の両端部を支持して搬送する。なお、Ｘ方向と直交する方向であるＹ方向は、後述するマスクプレート１２上でスキージ部材１７を摺動させるスキージング動作方向（スキージ部材１７の摺動方向）となっている。第１のＺ軸テーブル５を駆動することにより、基板搬送機構８によって保持された状態の基板１０を、基板搬送機構８とともに後述するスクリーン印刷機構に対して昇降させることができる。図２、図３に示すように、基板搬送機構８は上流側（図２、図３において左側）および下流側に延出し、上流側から搬入された基板１０は基板搬送機構８によって搬送され、さらに基板位置決め部１によって位置決めされる。そして後述するスクリーン印刷機構によって印刷が行われた後の基板１０は、基板搬送機構８によって下流側に搬出される。
【００１４】
第２のＺ軸テーブル６の構成を説明する。基板搬送機構８とベースプレート５ａの中間には、水平なベースプレート６ａが昇降ガイド機構（図示省略）に沿って昇降自在に配設されている。ベースプレート６ａは、複数の送りねじ６ｃをモータ６ｂによってベルト６ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート６ａの上面には、上面に基板１０を保持する下受け面が設けられた基板下受部７が配設されている。
【００１５】
第２のＺ軸テーブル６を駆動することにより、基板下受部７は基板搬送機構８に保持された状態の基板１０に対して昇降する。そして基板下受部７の下受け面が基板１０の下面に当接することにより、基板下受部７は基板１０を下面側から支持する。基板搬送機構８の上面にはクランプ機構９が配設されている。クランプ機構９は、左右対向して配置された２つのクランプ部材９ａを備えており、一方側のクランプ部材９ａをクランプ駆動機構９ｂによって進退させることにより、基板１０を両側からクランプして固定する。
【００１６】
次に、基板位置決め部１の上方に配設されたスクリーン印刷機構について説明する。図１、図２において、マスク枠１１にはマスクプレート１２が展張されており、マスクプレート１２には基板１０において印刷対象となる電極１０ａの形状・位置（図３参照）に対応してパターン孔１２ａが設けられている。マスクプレート１２上には、クリーム半田供給機構（不図示）によってペーストとしてのクリーム半田Ｐが供給される。
【００１７】
図１、図２、図４において、マスクプレート１２上にはスキージヘッド１３が配設されている。スキージヘッド１３は同一構成の１対のスキージホルダ１６をそれぞれ独立して昇降させる１対のスキージ昇降機構１５を水平なフレーム１４に配設した構成となっている。図４に示すように、フレーム１４の上面に配設された１対のスキージ昇降機構１５は下部から下方に延出する昇降軸１５ａをそれぞれ有しており、各昇降軸１５ａの下端部には板状のスキージ部材１７が装着されたスキージホルダ１６が固着されている。
【００１８】
スキージ昇降機構１５を駆動することによりスキージホルダ１６は昇降し（矢印ａ）、これによりスキージ部材１７の下端部がマスクプレート１２の上面に当接する。すなわちスキージ昇降機構１５は、マスクプレート１２に対してスキージホルダ１６を昇降させる昇降手段となっている。また図４において、スキージング動作方向であるＹ方向からみてスキージ部材１７の両側部には、Ｙ方向と直交するＸ方向へのクリーム半田Ｐの漏れを防止するための板状のペースト漏れ防止部材１８がそれぞれ設けられている（図９（ａ）も併せて参照）。クリーム半田Ｐはスキージング動作方向からみてその両側がペースト漏れ防止部材１８によって囲まれた位置に供給される（図９（ａ）を参照）。図１、図６、図７においては便宜上、ペースト漏れ防止部材１８を省略している。
【００１９】
図４において、フレーム１４にはブラケット１９がマスクプレート１２の配設方向である下方に延出して設けられている。図２に示すように、ブラケット１９はスキージング動作方向からみてスキージ部材１７の両側の外側に位置するようにそれぞれフレーム１４に配設されており、一方のブラケット１９の下端部には光学センサとしての投光器２０Ａが、他方のブラケット１９の下端部には同じく光学センサとしての受光器２０Ｂが保持されている。図２、図４に示すように、投光器２０Ａ、受光器２０Ｂの中心ＴはＸ方向において同一直線上に位置している。
【００２０】
投光器２０Ａの中心ＴからＸ方向に水平に投光された線状の検査光は受光器２０Ｂへと向かい（図２に示す矢印ｂ）、受光器２０Ｂによる当該検査光の受光の有無によって検査光路上における検査対象物（ここではクリーム半田Ｐ）の有無を光学的に検出する。ブラケット１９は、スキージ昇降機構１５により昇降自在なスキージホルダ１６と独立してフレーム１４に設けられているため、投光器２０Ａ、受光器２０Ｂの中心Ｔからマスクプレート１２上面までの鉛直方向への距離Ｌ１、及びスキージ部材１７が下降してその下端部がマスクプレート１２の下面に当接した状態において投光器２０Ａ、受光器２０Ｂの中心Ｔからスキージ部材１７までの水平方向への距離Ｌ２は常に一定である（図４参照）。上記構成において、投光器２０Ａ、受光器２０Ｂの中心Ｔの位置は、スキージ部材１７の摺動方向側に設定された検査対象物の検出位置となっている。
【００２１】
次に、スキージヘッド１３を移動させる移動機構について説明する。図２に示すように、縦フレーム２１上にはガイドレール２２がＹ方向に配設されており、ガイドレール２２にスライド自在に嵌合したスライダ２３は、ブロック２４を介してフレーム１４の両端に結合されている。これにより、フレーム１４を含むスキージヘッド１３はナット２５、送りねじ２６および送りねじ２６を回転駆動するスキージ移動用モータ（図示省略）より成るスキージ移動手段によってＹ方向に水平移動する。上記構成において、フレーム１４は昇降手段が配設され且つ移動手段によって移動するようになっている。
【００２２】
次に図５を参照して、スクリーン印刷装置の制御系の構成について説明する。図５において、制御部３０はスクリーン印刷装置に備えられた演算処理装置であり、記憶部３１、機構駆動部３２、光学センサ制御部３３、報知処理部３４を有している。操作・入力部３５はキーボードやマウス等の入力手段であり、操作コマンドやデータの入力を行う。表示部３６は液晶パネル等の表示装置であり、操作・入力部３５による入力時の案内画面や、報知処理部３４からの指令によりマスクプレート１２上のクリーム半田Ｐの量が少ない旨の報知画像を表示する。
【００２３】
次に、制御部３０について説明する。記憶部３１はスクリーン印刷装置の各機構を駆動制御するための処理プログラム及び投光器２０Ａ、受光器２０Ｂから成る光学センサを制御するための処理プログラムを記憶する。機構駆動部３２は記憶部３１に記憶された処理プログラムに従って基板位置決め部１、基板搬送機構８、クリーム半田供給機構３７、クランプ駆動機構９ｂ、スキージ昇降機構１５、スキージ移動手段３８の各機構を駆動制御する。光学センサ制御部３３は記憶部３１に記憶された処理プログラムに従って投光器２０Ａ、受光器２０Ｂから成る光学センサを制御する。報知処理部３４は受光器２０Ｂが検査光を受光した際に光学センサ制御部３３から送信される信号を受けて、表示部３６に対してクリーム半田Ｐの量が少ない旨の報知画像を表示すべき旨の信号を送信する処理を行う。すなわち、報知処理部３４、表示部３６は作業員に対してクリーム半田Ｐの量が少ない旨の報知を行うための報知手段となっている。
【００２４】
次に、スクリーン印刷機構による印刷動作について、図６、図７を参照して説明する。まず基板搬送機構８によって基板１０が印刷位置に搬入されると、図６（ａ）に示すように、第２のＺ軸テーブル６を駆動して基板下受部７を上昇させ、基板１０の下面を下受けする。そしてこの状態で基板１０をクランプ部材９ａによって挟み込んで固定し、基板位置決め部１を駆動して基板１０をマスクプレート１２に対して位置合わせする。この後、図６（ｂ）に示すように、第１のＺ軸テーブル５を駆動して基板１０を基板下受部７とともに上昇させてマスクプレート１２の下面に当接させる。
【００２５】
そしてこの状態で、クリーム半田Ｐが供給されたマスクプレート１２上でスキージ部材１７をＹ方向に摺動させるスキージング動作を行うことにより、クリーム半田Ｐはスキージ部材１７によって掻き寄せられる。これにより、パターン孔１２ａを介して基板１０の所定箇所にクリーム半田Ｐが印刷される。なお、スキージング動作はその進行方向に応じて１対のスキージホルダ１６のうち何れかのスキージホルダ１６を下降させることによって行う。
【００２６】
スキージング動作について、図７を参照して詳しく説明する。便宜上、図７において左側のスキージホルダを１６Ａ、右側のスキージホルダを１６Ｂとする。図７（ａ）に示すように、矢印ｃ方向にスキージング動作を行う場合には、図７（ａ）において左側に位置するクランプ部材９ａ上へスキージヘッド１３を移動させた状態で、左側のスキージホルダ１６Ａをスキージ昇降機構１５によって下降（矢印ｄ）させてスキージ部材１７の下端部をマスクプレート１２の上面に当接させ、この状態でスキージ移動手段によってスキージヘッド１３を矢印ｃ方向に移動させる（図７（ｂ）も併せて参照）。このとき、掻き寄せられたクリーム半田Ｐがスキージング動作方向側（図７（ｂ）において右側）のクランプ部材９ａ上に位置するところまでスキージヘッド１３を移動させる。スキージング動作を終えたならば、図７（ｃ）に示すようにスキージホルダ１６Ａをスキージ昇降機構１５によって上昇（矢印ｅ）させる。
【００２７】
そして矢印ｃ方向と正逆方向へスキージング動作を行う場合は、右側のスキージホルダ１６Ｂを下降させて当該スキージホルダ１６Ｂに装着されたスキージ部材１７の下端部をマスクプレート１２に当接させ、この状態でスキージ移動手段によってスキージヘッド１３を矢印ｃ方向と正逆方向に移動させる。スキージング動作を終えたならば、スキージホルダ１６Ｂを上昇させる。
【００２８】
次に、マスクプレート１２上に供給されたクリーム半田Ｐの残留状態の検出について説明する。上述したスキージング動作を繰り返し行うにつれ、マスクプレート１２上のクリーム半田Ｐは次第に減少する。そのため、クリーム半田Ｐの残留状態を所定のタイミングで検出し、検出した残留に応じて新たにクリーム半田Ｐを補充する必要がある。
【００２９】
図８（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図７（ｂ）、（ｃ）の一部を拡大したものである。図８（ａ）において、クリーム半田Ｐは矢印ｃ方向（図７（ａ）参照）へのスキージング動作によって下方に右側のクランプ部材９ａが位置するマスクプレート１２上で掻き寄せられた状態となっている。このとき、投光器２０Ａの中心Ｔからは検査光が受光器２０Ｂに向けて投光されているが、当該検査光はペースト漏れ防止部材１８によって受光器２０Ｂへの投光が遮断された状態となっている（図９（ａ）も併せて参照）。
【００３０】
この後、図８（ｂ）に示すように、スキージ昇降機構１５によるスキージホルダ１６Ａの上昇（矢印ｅ）に伴い、スキージ部材１７及びペースト漏れ防止部材１８も上昇する。また、クリーム半田Ｐは粘性を有するので、スキージ部材１７とペースト漏れ防止部材１８に付着したクリーム半田Ｐの一部は上昇するこれらの部材に追従して上方に延びる。そして、ペースト漏れ防止部材１８が上昇することによって当該ペースト漏れ防止部材１８による遮光は解除される。クリーム半田Ｐの残留状態の検出は、ペースト漏れ防止部材１８による遮光が解除されてからのスキージ部材１７の上昇動作における所定のタイミングで、受光器２０Ｂが検査光を受光したか否かを光学センサ制御部３３が検知することによって行われる。
【００３１】
図８（ｂ）のケース１のように、スキージ部材１７の上昇動作における所定のタイミングで検査光路上（換言すれば投光器２０Ａの中心Ｔの水平方向）にクリーム半田Ｐが存在する場合、検査光は当該クリーム半田Ｐによって受光器２０Ｂへの投光が遮断される（図９（ｂ）も併せて参照）。かかる場合、受光器２０Ｂは検査光を受光しないので光学センサ制御部３３は報知処理部３４に対して信号を送信せず、その結果、報知手段による報知は行われずに引き続きスキージング動作が実行される。
【００３２】
これに対し図８（ｂ）のケース２のように、スキージ部材１７の上昇動作における所定のタイミングで検査光路上にクリーム半田Ｐが存在しない場合、検査光は受光器２０Ｂに到達する（図９（ｃ）も併せて参照）。光学センサ制御部３３は受光器２０Ｂによる検査光の受光を検知すると報知処理部３４に対して信号を送信し、報知処理部３４は当該信号をうけて表示部３６に対してクリーム半田Ｐの量が少ない旨の報知画像を表示すべき旨の信号を送信する。
【００３３】
このように本実施の形態においては、スキージング動作を終えたスキージ部材１７のスキージ昇降機構１５による上昇動作における所定のタイミングにて、マスクプレート１２上のスキージ部材１７によって掻き寄せられたクリーム半田Ｐの残留状態を検出するようにしている。そしてクリーム半田Ｐの残留状態の検出は、スキージ部材１７の上昇動作における所定のタイミングにて、投光器２０Ａから投光された検査光を受光器２０Ｂが受光をしたか否かを光学センサ制御部３３が検知することによって行われる。
【００３４】
つまり、スキージ部材１７の上昇動作における所定のタイミングにて受光器２０Ｂが検査光を受光しなかった場合、マスクプレート１２上におけるクリーム半田Ｐの量は十分であると判断して報知処理部３４による上述の報知は行わない一方、所定のタイミングで受光器２０Ｂが検査光を受光した場合、クリーム半田Ｐの量は不十分であるとして報知処理部３４による上述の報知が行われる。すなわち本実施の形態においては、スキージ部材１７の摺動方向と直交する方向からみたクリーム半田Ｐの断面幅Ｗ１，Ｗ２を、投光器２０Ａ、受光器２０Ｂを用いて検出することによって、クリーム半田Ｐの残留状態を検出するようになっている（図８（ｂ）を参照）。
【００３５】
なお、クリーム半田Ｐの残留状態の検出のための所定のタイミングは作業員によって任意に設定することができるが、クリーム半田Ｐを含むペーストは品種によって粘性が異なるので、スキージ部材１７が上昇動作を開始してペースト漏れ防止部材１８による遮光状態が解除された直後のタイミングでペーストの残留状態を検出するのが望ましい。これにより、粘性が異なる何れのペーストに対しても信頼性の高い検出精度を実現することができる。
【００３６】
上記構成において、ブラケット１９、投光器２０Ａ、受光器２０Ｂは、フレーム１４に配設されマスクプレート１２上のスキージ部材１７によって掻き寄せられたペーストの残留状態を検出する検出手段となっており、フレーム１４とともに移動する。そして投光器２０Ａ、受光器２０Ｂは、スキージ部材１７の外側に配設され、スキージ部材１７の摺動方向側に設定された所定検出位置においてペーストをスキージ部材１７の摺動方向と水平面内において直交する方向から光学的に検出する光学センサとなっている。さらにブラケット１９は、光学センサを保持する保持手段となっている。
【００３７】
このように、投光器２０Ａ、受光器２０Ｂをスキージ部材１７が装着されたスキージホルダ１６Ａではなくフレーム１４に設け、且つスキージング動作方向からみてスキージ部材１７の外側に配設することにより、クリーム半田Ｐの投光器２０Ａ、受光器２０Ｂへの付着を抑制してクリーム半田Ｐの残留状態の検出の信頼性を高めることができる。
【００３８】
また、クリーム半田Ｐの残留状態を検出する従来技術の一つとして、図１０に示すように、ペースト漏れ防止部材１８ＡにスリットＳを設け、当該スリットＳからスキージング動作時におけるクリーム半田Ｐのローリング状態を目視する方法が広く知られている。しかしながらこの従来技術では、スキージング動作を継続するにつれスリットＳにクリーム半田Ｐが付着しクリーム半田Ｐのローリング状態を確認することができなくなるという問題が生じていた。また、スリットＳに付着したクリーム半田Ｐの除去作業は作業員に対して多大な手間と労力をかけるとともに、生産性を低下させる要因にもなっていた。
【００３９】
これに対し本発明によれば、スキージング動作を終えた後のスキージ部材１７の上昇動作における所定のタイミングにて、スキージ部材１７の両側の外側に配設された光学センサ（投光器２０Ａ、受光器２０Ｂ）によってクリーム半田Ｐの残留状態の検出を行うので、ペースト漏れ防止部材１８にスリットを設ける必要がない。したがって、上述した残留状態の検出の不具合が発生することはなく、クリーム半田Ｐの除去作業の必要もない。また、スリットからクリーム半田Ｐが漏れ出してマスクプレート１２を汚し、さらに漏れ出したクリーム半田Ｐが光学センサに付着してしまうといった事態も発生しない。
【００４０】
なお、光学センサとしては上述の投光器２０Ａ、２０Ｂに限られず種々のものを用いることができる。例えば、一方のブラケット１９の下端部に検査光を投光する投光器を、他方のブラケット１９の下端部に投光された検査光を正逆方向に反射させる反射板を設け、この反射板に反射した検査光を投光器が受光したか否かによってクリーム半田Ｐの残留状態を検出するようにしてもよい。
【００４１】
また、クリーム半田Ｐの量が少なくなった旨の報知は上述の表示部３６を用いた構成に限定されず、例えばスクリーン印刷装置に設けられた警告灯を点灯させ、または警告音を発して作業員に報知する等、種々の構成を用いることができる。さらに、投光器２０Ａ、受光器２０Ｂ（光学センサ）の中心Ｔの位置は、ペーストの特性や各種の実験等に基づいて作業員が任意に設定してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明によれば、信頼性の高いペーストの残留状態の検出を行うことができ、基板にペーストを印刷して電子部品を実装する電子部品実装の分野において特に有用である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  基板
１２  マスクプレート
１４  フレーム
１５  スキージ昇降機構
１６  スキージホルダ
１７  スキージ部材
１９  ブラケット
２０Ａ  投光器
２０Ｂ  受光器
Ｐ  クリーム半田
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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