(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材粒子と、前記基材粒子の表面上に配置された導電層とを有し、
前記導電層が、結晶構造を有する結晶層を含み、
前記結晶層が前記基材粒子に接しており、
前記導電層における結晶層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層であるか、又は、上記導電層が上記結晶層以外の導電層を含み、かつ前記結晶層以外の導電層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層である、導電性粒子。
【請求項２】
前記導電層における前記結晶層が、前記リン含有導電層である、請求項１に記載の導電性粒子。
【請求項３】
前記リン含有導電層が、第１の領域と、該第１の領域よりもリンの含有量が多い第２の領域とを有する、請求項１又は２に記載の導電性粒子。
【請求項４】
５％圧縮されたときの圧縮弾性率が７０００Ｎ／ｍｍ２以上であり、かつ、圧縮方向における圧縮前の導電性粒子の粒子径の７０％以上導電性粒子が圧縮されたときに、前記結晶層に割れが生じる、請求項１〜３のいずれか１項に記載の導電性粒子。
【請求項５】
前記導電層全体の厚みが０．０５μｍ以上、０．３μｍ以下である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の導電性粒子。
【請求項６】
前記リン含有導電層１００重量％中、タングステン及びモリブデンの合計の含有量が０．１重量％以上、３０重量％以下である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の導電性粒子。
【請求項７】
前記リン含有導電層１００重量％中、ニッケルの含有量が７０重量％以上である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の導電性粒子。
【請求項８】
前記リン含有導電層１００重量％中、リンの含有量が０．１重量％以上、１０重量％以下である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の導電性粒子。
【請求項９】
前記導電層が外表面に突起を有する、請求項１〜８のいずれか１項に記載の導電性粒子。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の導電性粒子と、バインダー樹脂とを含む、導電材料。
【請求項１１】
第１の接続対象部材と、第２の接続対象部材と、該第１，第２の接続対象部材を接続している接続部とを備え、
前記接続部が、請求項１〜９のいずれか１項に記載の導電性粒子により形成されているか、又は該導電性粒子とバインダー樹脂とを含む導電材料により形成されている、接続構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材粒子の表面上に導電層が配置されている導電性粒子に関し、より詳細には、例えば、電極間の電気的な接続に用いることができる導電性粒子、並びに該導電性粒子を用いた導電材料及び接続構造体に関する。
【背景技術】
【０００２】
異方性導電ペースト及び異方性導電フィルム等の異方性導電材料が広く知られている。該異方性導電材料では、バインダー樹脂中に導電性粒子が分散されている。
【０００３】
上記異方性導電材料は、ＩＣチップとフレキシブルプリント回路基板との接続、及びＩＣチップとＩＴＯ電極を有する回路基板との接続等に用いられている。例えば、ＩＣチップの電極と回路基板の電極との間に異方性導電材料を配置した後、加熱及び加圧することにより、これらの電極を電気的に接続できる。
【０００４】
上記導電性粒子の一例として、下記の特許文献１には、平均粒径１〜２０μｍの球状の基材粒子の表面に、無電解めっき法によりニッケル導電層又はニッケル合金導電層が形成された導電性粒子が開示されている。この導電性粒子は、導電層の最表層に０．０５〜４μｍの微小な突起を有する。該導電層と該突起とは実質的に連続的に連なっている。
【０００５】
また、下記の特許文献２には、芯材粒子の表面に無電解Ｎｉめっき法によりＮｉ被膜が形成されたＮｉめっき粒子が開示されている。このＮｉめっき粒子では、Ｎｉ被膜中の厚み方向のＰの含有量は、芯材粒子側よりもＮｉ被膜表面側で少ない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２４３１３２号公報
【特許文献２】特開２００３−０３４８７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１，２に記載の導電性粒子を用いて電極間を接続した場合には、電極間の接続抵抗が高くなることがある。特許文献１，２の実施例では、ニッケルとリンとを含む導電層が形成されている。導電性粒子により接続される電極の表面、及び導電性粒子の導電層の表面には、酸化被膜が形成されていることが多い。ニッケルとリンとを含む導電層を有する導電性粒子を用いて電極間を接続した場合には、ニッケルとリンとを含む導電層が比較的柔らかいので、電極及び導電性粒子の表面の酸化被膜を十分に排除できず、接続抵抗が高くなりやすい傾向がある。
【０００８】
また、接続抵抗を低くするために、ニッケルとリンとを含む導電層の厚みを厚くすると、導電性粒子が十分に圧縮変形せずに、導電性粒子と電極との接触面積が小さくなりやすい。導電性粒子と電極との接触面積が小さいと、接続抵抗が高くなりやすい。また、導電性粒子と電極との接触面積が小さいと、電極間の導通信頼性が低くなる。
【０００９】
本発明の目的は、電極間の接続に用いた場合に、電極間の接続抵抗を低くすることができる導電性粒子、並びに該導電性粒子を用いた導電材料及び接続構造体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の広い局面によれば、基材粒子と、該基材粒子の表面上に配置された導電層とを有し、該導電層が、結晶構造を有する結晶層を含み、上記結晶層が上記基材粒子に接しており、上記導電層における上記結晶層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層であるか、又は、上記導電層が上記結晶層以外の導電層を含み、かつ該結晶層以外の導電層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層である、導電性粒子が提供される。
【００１１】
本発明に係る導電性粒子のある特定の局面では、上記導電層における上記結晶層が、上記リン含有導電層である。
【００１２】
本発明に係る導電性粒子の別の特定の局面では、上記リン含有導電層が、第１の領域と、該第１の領域よりもリンの含有量が多い第２の領域とを有する。
【００１３】
本発明に係る導電性粒子の他の特定の局面では、該導電性粒子が５％圧縮されたときの圧縮弾性率が７０００Ｎ／ｍｍ２以上であり、かつ、圧縮方向における圧縮前の導電性粒子の粒子径の７０％以上導電性粒子が圧縮されたときに、上記結晶層に割れが生じる。
【００１４】
本発明に係る導電性粒子のさらに別の特定の局面では、上記導電層全体の厚みが０．０５μｍ以上、０．３μｍ以下である。
【００１５】
上記リン含有導電層１００重量％中、タングステン及びモリブデンの合計の含有量が０．１重量％以上、３０重量％以下であることが好ましい。上記リン含有導電層１００重量％中、ニッケルの含有量が７０重量％以上であることが好ましい。上記リン含有導電層１００重量％中、リンの含有量が０．１重量％以上、１０重量％以下であることが好ましい。
【００１６】
本発明に係る導電性粒子の他の特定の局面では、上記導電層は外表面に突起を有する。
【００１７】
本発明に係る導電材料は、上述した導電性粒子と、バインダー樹脂とを含む。
【００１８】
本発明に係る接続構造体は、第１の接続対象部材と、第２の接続対象部材と、該第１，第２の接続対象部材を接続している接続部とを備えており、該接続部が、上述した導電性粒子により形成されているか、又は該導電性粒子とバインダー樹脂とを含む導電材料により形成されている。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る導電性粒子では、基材粒子の表面上に導電層が配置されており、上記導電層が、結晶構造を有する結晶層を含み、更に上記結晶層が上記基材粒子に接しており、更に上記導電層における上記結晶層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層であるか、又は、上記導電層が上記結晶層以外の導電層を含み、かつ該結晶層以外の導電層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層であるので、本発明に係る導電性粒子を電極間の接続に用いた場合に、電極間の接続抵抗を低くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。
【図２】図２は、本発明の第２の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の第３の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施形態に係る導電性粒子を用いた接続構造体を模式的に示す正面断面図である。
【図５】図５は、導電性粒子を圧縮するときの状態を説明するための模式的な断面図である。
【図６】図６は、導電性粒子の圧縮時に導電層に割れが生じるときの圧縮荷重と圧縮変位との関係の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の詳細を説明する。
【００２２】
本発明に係る導電性粒子は、基材粒子と、該基材粒子の表面上に配置された導電層とを有する。本発明に係る導電性粒子では、上記導電層は、結晶構造を有する結晶層を含む。上記結晶層は、上記基材粒子の表面上に直接積層されている。本発明に係る導電性粒子では、上記導電層が、上記結晶層として又は上記結晶層以外の導電層として、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層を含む。すなわち、（１）上記導電層における上記結晶層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層であるか、又は、（２）上記導電層が上記結晶層以外の導電層を含み、かつ該結晶層以外の導電層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層である。上記導電層は、上記結晶層として上記リン含有導電層を含んでいてもよく、上記結晶層以外の導電層として上記リン含有導電層を含んでいてもよい。上記導電層における上記結晶層が、上記リン含有導電層であってもよく、上記導電層における上記結晶層以外の導電層が、上記リン含有導電層であってもよい。上記導電層は、上記結晶層のみを有していてもよく、上記結晶層と上記結晶層以外の導電層（第２の導電層など）とを有していてもよい。上記（１）上記導電層における上記結晶層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層である場合には、上記導電層は、上記結晶層以外の導電層を含んでいてもよく、含んでいなくてもよい。
【００２３】
本発明に係る導電性粒子は、上述した構成を備えているので、得られる接続構造体における電極間の接続抵抗を低くすることができ、電極間の導通信頼性を高めることができる。上記結晶層は結晶構造を有するので、比較的硬い。特に、上記結晶層が上記基材粒子に接していると、導電層における導通性が高くなり、電極間の接続抵抗が効果的に低くなる。
【００２４】
電極間の接続抵抗を効果的に低くする観点からは、上記結晶層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含む上記リン含有導電層であることが好ましい。すなわち、上記導電層は、上記結晶層として上記リン含有導電層を含むことが好ましい。上記リン含有導電層はリン含有結晶層であることが好ましい。なお、本発明に係る導電性粒子では、上記結晶層は、上記リン含有導電層以外の導電層であってもよい。
【００２５】
上記導電層が、上記結晶層として又は上記結晶層以外の導電層として、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、ボロンとを含むボロン含有導電層を含むことも好ましい。すなわち、（Ｘ）上記導電層における上記結晶層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、ボロンとを含むボロン含有導電層であるか、又は、（Ｙ）上記導電層が上記結晶層以外の導電層を含み、かつ該結晶層以外の導電層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、ボロンとを含むボロン含有導電層であることも好ましい。上記導電層は、上記結晶層として上記ボロン含有導電層を有していてもよく、上記結晶層以外の導電層として上記ボロン含有導電層を有していてもよい。上記導電層における上記結晶層が、上記ボロン含有導電層であってもよく、上記導電層における上記結晶層以外の導電層が、上記ボロン含有導電層であってもよい。上記（Ｘ）上記導電層における上記結晶層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、ボロンとを含むボロン含有導電層である場合には、上記導電層における上記結晶層以外の導電層が、上記リン含有導電層である。上記（Ｙ）上記導電層が上記結晶層以外の導電層を含み、かつ該結晶層以外の導電層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、ボロンとを含むボロン含有導電層である場合には、上記導電層における上記結晶層が上記リン含有導電層である。上記導電層が上記ボロン含有導電層を含む場合でも、電極間の接続抵抗は低くなる。上記導電層は、上記結晶層以外の導電層として、上記ボロン含有導電層を有することが好ましい。上記導電層は、上記結晶層として上記リン含有導電層を含み、かつ該リン含有導電層の外表面上に上記ボロン含有導電層を含むことが好ましい。すなわち、上記導電層における上記結晶層が上記リン含有導電層であり、かつ上記導電層が該リン含有導電層の外表面上に上記ボロン含有導電層を含むことが好ましい。
【００２６】
電極間の接続抵抗を効果的に低くする観点からは、上記リン含有導電層は、第１の領域と、該第１の領域よりもリンの含有量が多い第２の領域とを有することが好ましい。上記第１の領域と上記第２の領域とは、上記リン含有導電層の厚み方向において内側と外側又は外側と内側とに位置していることが好ましい。なお、上記第１の領域と上記第２の領域とは厚み方向に接するように位置していてもよく、厚み方向に距離を隔てて位置していてもよい。上記リン含有導電層の厚み方向において、リンの含有量が勾配を有することが好ましい。上記リン含有導電層の厚み方向において、リンは偏在していることが好ましい。但し、上記リン含有導電層は、リンの含有量の勾配を必ずしも有していなくてもよい。
【００２７】
上記第２の領域が上記第１の領域よりも、上記リン含有導電層の厚み方向において内側に位置していてもよく、上記第２の領域が上記第１の領域よりも、上記リン含有導電層の厚み方向において外側に位置していてもよい。電極間の接続抵抗をより一層高める観点からは、上記第２の領域が上記第１の領域よりも、上記リン含有導電層の厚み方向において内側に位置することが好ましい。上記リン含有導電層におけるリンの含有量は、厚み方向において、内側のリンの含有量が外側のリンの含有量よりも多くなるように、勾配を有することが好ましい。上記リン含有導電層におけるリンは、厚み方向において、内側のリンの含有量が外側のリンの含有量よりも多くなるように、偏在していることが好ましい。
【００２８】
上記第２の領域は、上記リン含有導電層の内表面から外側に向かって厚み５ｎｍの領域（リン含有導電層部分）であることが好ましい。上記第１の領域は、上記リン含有導電層の外表面から内側に向かって厚み５ｎｍの領域（リン含有導電層部分）であることが好ましい。
【００２９】
上記第２の領域におけるリンの含有量と、上記第１の領域におけるリンの含有量との差の絶対値は、好ましくは１重量％以上、より好ましくは２重量％以上、好ましくは４重量％以下、より好ましくは３重量％以下である。上記第２の領域におけるリンの含有量は、上記第１の領域におけるリンの含有量よりも１重量％以上多いことが好ましく、２重量％以上多いことがより好ましく、３重量％以上多くてもよい。
【００３０】
本発明に係る導電性粒子では、５％圧縮されたときの圧縮弾性率（５％Ｋ値）が７０００Ｎ／ｍｍ２以上であることが好ましい。さらに、本発明に係る導電性粒子を圧縮した場合に、圧縮方向における圧縮前の導電性粒子の粒子径の７０％以上導電性粒子が圧縮されたときに、上記導電層に割れが生じることが好ましい。例えば、導電性粒子を適度に圧縮したときに、導電層が適度に部分的に割れることが好ましい。
【００３１】
本発明に係る導電性粒子において、５％圧縮されたときの圧縮弾性率（５％Ｋ値）が７０００Ｎ／ｍｍ２以上である場合には、圧縮初期段階における導電性粒子は、十分な硬さを有する。このため、電極間の接続時における導電性粒子の圧縮初期段階で、電極及び導電性粒子の表面の酸化被膜を効果的に排除できる。この結果、電極と導電性粒子における導電層とが効果的に接触し、電極間の接続抵抗をより一層低くすることができる。
【００３２】
電極間の接続抵抗をより一層低くする観点からは、上記導電層に割れが生じる圧縮変位は、より好ましくは７５％以上である。電極間の間隔を十分に確保する観点からは、上記導電層に割れが生じる圧縮変位は、好ましくは９５％以下、より好ましくは９０％以下、更に好ましく８５％以下、特に好ましくは８０％以下はである。
【００３３】
上記圧縮弾性率（５％Ｋ値）は、以下のようにして測定できる。
【００３４】
微小圧縮試験機を用いて、円柱（直径５０μｍ、ダイヤモンド製）の平滑圧子端面で、圧縮速度２．６ｍＮ／秒、及び最大試験荷重１０ｇｆの条件下で導電性粒子を圧縮する。このときの荷重値（Ｎ）及び圧縮変位（ｍｍ）を測定する。得られた測定値から、上記圧縮弾性率を下記式により求めることができる。上記微小圧縮試験機として、例えば、フィッシャー社製「フィッシャースコープＨ−１００」等が用いられる。
【００３５】
Ｋ値（Ｎ／ｍｍ２）＝（３／２１／２）・Ｆ・Ｓ−３／２・Ｒ−１／２
Ｆ：導電性粒子が５％圧縮変形したときの荷重値（Ｎ）
Ｓ：導電性粒子が５％圧縮変形したときの圧縮変位（ｍｍ）
Ｒ：導電性粒子の半径（ｍｍ）
【００３６】
上記圧縮弾性率は、導電性粒子の硬さを普遍的かつ定量的に表す。上記圧縮弾性率の使用により、導電性粒子の硬さを定量的かつ一義的に表すことができる。
【００３７】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態及び実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００３８】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。
【００３９】
図１に示すように、導電性粒子１は、基材粒子２と、導電層３と、複数の芯物質４と、複数の絶縁物質５とを有する。導電層３は、結晶構造を有し、かつ基材粒子２に接している。
【００４０】
導電層３は、基材粒子２の表面上に配置されている。導電性粒子１は、基材粒子２の表面が導電層３により被覆された被覆粒子である。
【００４１】
導電性粒子１は表面に、複数の突起１ａを有する。導電層３は外表面に、複数の突起３ａを有する。複数の芯物質４が、基材粒子２の表面上に配置されている。複数の芯物質４は導電層３内に埋め込まれている。芯物質４は、突起１ａ，３ａの内側に配置されている。導電層３は、複数の芯物質４を被覆している。複数の芯物質４により導電層３の外表面が隆起されており、突起１ａ，３ａが形成されている。
【００４２】
導電性粒子１は、導電層３の外表面上に配置された絶縁物質５を有する。導電層３の外表面の少なくとも一部の領域が、絶縁物質５により被覆されている。絶縁物質５は絶縁性を有する材料により形成されており、絶縁性粒子である。このように、本発明に係る導電性粒子は、導電層の外表面上に配置された絶縁物質を有していてもよい。但し、本発明に係る導電性粒子は、絶縁物質を必ずしも有していなくてもよい。
【００４３】
図２は、本発明の第２の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。
【００４４】
図２に示す導電性粒子１１は、基材粒子２と、第１の導電層１２と、第２の導電層１３（他の導電層）と、複数の芯物質４と、複数の絶縁物質５とを有する。第１の導電層１２は、結晶構造を有し、かつ基材粒子２に接している。
【００４５】
導電性粒子１と導電性粒子１１とでは、導電層のみが異なっている。すなわち、導電性粒子１では、１層構造の導電層が形成されているのに対し、導電性粒子１１では、２層構造の第１の導電層１２及び第２の導電層１３が形成されている。
【００４６】
第２の導電層１３は、基材粒子２の表面上に配置されている。基材粒子２と第２の導電層１３（他の導電層）との間に、第１の導電層１２が配置されている。従って、基材粒子２の表面上に第１の導電層１２が配置されており、第１の導電層１２の表面上に第２の導電層１３が配置されている。第２の導電層１３は外表面に、複数の突起１３ａを有する。導電性粒子１１は表面に、複数の突起１１ａを有する。
【００４７】
図３は、本発明の第３の実施形態に係る導電性粒子を示す断面図である。
【００４８】
図３に示す導電性粒子２１は、基材粒子２と、導電層２２とを有する。導電層２２は、基材粒子２の表面上に配置されている。導電層２２は、結晶構造を有し、かつ基材粒子２に接している。
【００４９】
導電性粒子２１は、芯物質を有さない。導電性粒子２１は表面に突起を有さない。導電性粒子２１は球状である。導電層２２は表面に突起を有さない。このように、本発明に係る導電性粒子は突起を有していなくてもよく、球状であってもよい。また、導電性粒子２１は、絶縁物質を有さない。但し、導電性粒子２１は、導電層２２の表面上に配置された絶縁物質を有していてもよい。
【００５０】
導電性粒子１，１１，２１の上記５％Ｋ値は、７０００Ｎ／ｍｍ２以上であることが好ましい。さらに、導電性粒子１，１１，２１を圧縮した場合に、導電性粒子１，１１，２１が、圧縮方向における圧縮前の導電性粒子１，１１，２１の粒子径の７０％以上圧縮変位されたときに、導電層３，１２，１３，２２に割れが生じることが好ましい。すなわち、導電性粒子１，１１，２１では、圧縮方向における圧縮前の導電性粒子１，１１，２１の粒子径をＸとしたときに、圧縮方向における導電性粒子１，１１，２１の粒子径が０．３０Ｘ以下であるときに、導電層３，１２，１３，２２に割れが生じることが好ましい。例えば、圧縮方向における圧縮前の導電性粒子１，１１，２１の粒子径が５μｍである場合には、導電性粒子１，１１，２１を圧縮させて、圧縮方向における導電性粒子１，１１，２１の粒子径が１．５μｍ以下となったときに、導電層３，１２，１３，２２に割れが生じることが好ましい。なお、導電性粒子１１では、導電層全体の一部に割れが生じればよく、第１の導電層１２のみに割れが生じてもよく、第２の導電層１３のみに割れが生じてもよい。
【００５１】
なお、上記「割れ」は、導電層における初め（第１回目）の割れを示す。従って、本実施形態に係る導電性粒子１，１１，２１では、割れがない導電層３，１２，１３，２２を有する導電性粒子１，１１，２１を圧縮したときに、導電性粒子１，１１，２１が圧縮方向における圧縮前の導電性粒子１，１１，２１の粒子径の７０％以上圧縮変位したときに、導電層３，１２，１３，２２に割れが生じることが好ましい。
【００５２】
導電層３，１２，１３，２２に割れが生じる圧縮変位の測定は、具体的には、以下のようにして行われる。なお、図５では、導電性粒子２１を用いている。
【００５３】
図５に示すように、台７１の上に導電性粒子２１を置く。微小圧縮試験機（フィッシャー社製「フィッシャースコープ  Ｈ−１００」）を用いて、圧縮速度０．３３ｍＮ／秒及び最大試験荷重１０ｍＮの条件で、円柱（直径５０μｍ、ダイヤモンド製）を圧縮部材７２として、該圧縮部材７２の平滑端面７２ａを導電性粒子２１に向かって、矢印Ａで示す方向に降下させる。平滑端面７２ａにより導電性粒子２１を圧縮する。導電性粒子２１の導電層２２に部分的に割れ２２ａが生じるまで圧縮は継続される。導電性粒子１，１１の場合にも、同様にして測定される。
【００５４】
なお、図５に示す断面図では、導電性粒子２１の上下部分で導電層２２に割れ２２ａが形成された状態が図示されているが、導電層に割れが生じる位置は特に限定されない。
【００５５】
上記のようにして導電性粒子を圧縮したときに、導電性粒子が、圧縮方向における圧縮前の導電性粒子の粒子径の７０％以上圧縮変位したときに、上記導電層に割れが生じることが好ましい。
【００５６】
導電性粒子を圧縮しながら、圧縮荷重値及び圧縮変位を測定すると、圧縮荷重値と圧縮変位との関係は、例えば、図６に示すようになる。図６では、Ａ０点から圧縮が開始されており、Ａ１点において導電層に割れが生じている。導電層の割れに伴って、圧縮方向における導電性粒子の圧縮変位（粒子径）が変化し、圧縮変位がＡ１点からＡ２点に移動する。圧縮時には導電性粒子に圧縮荷重がかけられおり、導電層の割れが生じると比較的小さな圧縮荷重で導電性粒子が圧縮されるので、導電性粒子に圧縮荷重をかけている圧縮部材が移動し、圧縮方向における導電性粒子の圧縮変位（粒子径）が変化する。
【００５７】
なお、図６において、Ａ０点からＡ１点に至る線の傾きは比較的大きい。これは、導電性粒子２１の上記５％Ｋ値が７０００Ｎ／ｍｍ２以上であり、導電性粒子２１が比較的硬いためである。
【００５８】
［基材粒子］
上記基材粒子としては、樹脂粒子、金属を除く無機粒子、有機無機ハイブリッド粒子及び金属粒子等が挙げられる。上記基材粒子は、金属粒子を除く基材粒子であることが好ましく、樹脂粒子、金属を除く無機粒子又は有機無機ハイブリッド粒子であることがより好ましい。
【００５９】
上記基材粒子は、樹脂により形成された樹脂粒子であることが好ましい。上記導電性粒子を用いて電極間を接続する際には、上記導電性粒子を電極間に配置した後、圧着することにより上記導電性粒子を圧縮させる。基材粒子が樹脂粒子であると、上記圧着の際に上記導電性粒子が変形しやすく、導電性粒子と電極との接触面積が大きくなる。このため、電極間の導通信頼性が高くなる。
【００６０】
上記樹脂粒子を形成するための樹脂として、種々の有機物が好適に用いられる。上記樹脂粒子を形成するための樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブタジエン等のポリオレフィン樹脂；ポリメチルメタクリレート及びポリメチルアクリレート等のアクリル樹脂；ポリアルキレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリアミド、フェノールホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ポリスルホン、ポリフェニレンオキサイド、ポリアセタール、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、及び、エチレン性不飽和基を有する種々の重合性単量体を１種もしくは２種以上重合させて得られる重合体等が挙げられる。導電材料に適した任意の圧縮時の物性を有する樹脂粒子を設計及び合成することができ、かつ基材粒子の硬度を好適な範囲に容易に制御できるので、上記樹脂粒子を形成するための樹脂は、エチレン性不飽和基を複数有する重合性単量体を１種又は２種以上重合させた重合体であることが好ましい。
【００６１】
上記樹脂粒子を、エチレン性不飽和基を有する単量体を重合させて得る場合、上記エチレン性不飽和基を有する単量体としては、非架橋性の単量体と架橋性の単量体とが挙げられる。
【００６２】
上記非架橋性の単量体としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン等のスチレン系単量体；（メタ）アクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基含有単量体；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等のアルキル（メタ）アクリレート類；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、ポリオキシエチレン（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート等の酸素原子含有（メタ）アクリレート類；（メタ）アクリロニトリル等のニトリル含有単量体；メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル等のビニルエーテル類；酢酸ビニル、酪酸ビニル、ラウリン酸ビニル、ステアリン酸ビニル等の酸ビニルエステル類；エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン等の不飽和炭化水素；トリフルオロメチル（メタ）アクリレート、ペンタフルオロエチル（メタ）アクリレート、塩化ビニル、フッ化ビニル、クロルスチレン等のハロゲン含有単量体等が挙げられる。
【００６３】
上記架橋性の単量体としては、例えば、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、グリセロールトリ（メタ）アクリレート、グリセロールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）テトラメチレンジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート等の多官能（メタ）アクリレート類；トリアリル（イソ）シアヌレート、トリアリルトリメリテート、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルアクリルアミド、ジアリルエーテル、γ−（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、トリメトキシシリルスチレン、ビニルトリメトキシシラン等のシラン含有単量体等が挙げられる。
【００６４】
上記エチレン性不飽和基を有する重合性単量体を、公知の方法により重合させることで、上記樹脂粒子を得ることができる。この方法としては、例えば、ラジカル重合開始剤の存在下で懸濁重合する方法、並びに非架橋の種粒子を用いてラジカル重合開始剤とともに単量体を膨潤させて重合する方法等が挙げられる。
【００６５】
上記基材粒子が金属粒子を除く無機粒子又は有機無機ハイブリッド粒子である場合に、上記基材粒子を形成するための無機物としては、シリカ及びカーボンブラック等が挙げられる。上記シリカにより形成された粒子としては特に限定されないが、例えば、加水分解性のアルコキシシル基を２つ以上持つケイ素化合物を加水分解して架橋重合体粒子を形成した後に、必要に応じて焼成を行うことにより得られる粒子が挙げられる。上記有機無機ハイブリッド粒子としては、例えば、架橋したアルコキシシリルポリマーとアクリル樹脂とにより形成された有機無機ハイブリッド粒子等が挙げられる。
【００６６】
上記基材粒子が金属粒子である場合に、該金属粒子を形成するための金属としては、銀、銅、ニッケル、ケイ素、金及びチタン等が挙げられる。但し、上記基材粒子は金属粒子ではないことが好ましい。
【００６７】
上記基材粒子の粒子径は、好ましくは０．１μｍ以上、より好ましくは０．５μｍ以上、より一層好ましくは１μｍ以上、更に好ましくは１．５μｍ以上、特に好ましくは２μｍ以上、好ましくは１０００μｍ以下、より好ましくは５００μｍ以下、より一層好ましくは３００μｍ以下、更に好ましくは５０μｍ以下、更に一層好ましくは３０μｍ以下、特に好ましくは５μｍ以下、最も好ましくは３μｍ以下である。基材粒子の粒子径が上記下限以上であると、導電性粒子と電極との接触面積が大きくなるため、電極間の導通信頼性がより一層高くなり、導電性粒子を介して接続された電極間の接続抵抗がより一層低くなる。さらに基材粒子の表面に導電層を無電解めっきにより形成する際に凝集し難くなり、凝集した導電性粒子が形成されにくくなる。粒子径が上記上限以下であると、導電性粒子が充分に圧縮されやすく、電極間の接続抵抗がより一層低くなり、更に電極間の間隔が小さくなる。上記基材粒子の粒子径は、基材粒子が真球状である場合には、直径を示し、基材粒子が真球状ではない場合には、最大径を示す。
【００６８】
上記基材粒子の粒子径は、０．１μｍ以上、５μｍ以下であることが特に好ましい。上記基材粒子の粒子径が０．１〜５μｍの範囲内であると、電極間の間隔が小さくなり、かつ導電層の厚みを厚くしても、小さい導電性粒子が得られる。電極間の間隔をより一層小さくしたり、導電層の厚みを厚くしても、より一層小さい導電性粒子を得たりする観点からは、上記基材粒子の粒子径は、好ましくは０．５μｍ以上、より好ましくは２μｍ以上、好ましくは３μｍ以下である。
【００６９】
［導電層］
本発明に係る導電性粒子は、基材粒子の表面上に配置されている導電層を有する。上記導電層は、結晶構造を有する結晶層を含む。該結晶層は上記基材粒子の表面に接している。該結晶層は、基材粒子の表面に直接積層されている。上記結晶層の外表面上に、結晶層以外の導電層（他の導電層、第２の導電層）が配置されていてもよい。導電性粒子の外表面が上記結晶層であることが好ましい。
【００７０】
上記導電層は、上記結晶層又は上記結晶層以外の導電層として、上記ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層を含む。すなわち、（１）上記導電層における上記結晶層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層であるか、又は、（２）上記導電層が上記結晶層以外の導電層を含み、かつ該結晶層以外の導電層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、リンとを含むリン含有導電層である。上記導電層が、上記結晶層又は上記結晶層以外の導電層として、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、ボロンとを含むボロン含有導電層を含むことも好ましい。すなわち、（Ｘ）上記導電層における上記結晶層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、ボロンとを含むボロン含有導電層であるか、又は、（Ｙ）上記導電層が上記結晶層以外の導電層を含み、かつ該結晶層以外の導電層が、ニッケルと、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種と、ボロンとを含むボロン含有導電層であることも好ましい。上記結晶層が上記リン含有導電層である場合に、該リン含有導電層の外表面上に上記ボロン含有導電層が配置されていることが好ましい。
【００７１】
上記結晶構造を有する結晶層を形成する方法としては、導電層の形成に用いるめっき液のｐＨを制御する方法、導電層の形成に用いるめっき液の温度を制御する方法、めっき液中のリン濃度を制御する方法、並びにめっき後加熱処理方法等が挙げられる。なかでも、反応制御に優れていることから、めっき反応のｐＨを制御する方法が好適である。具体的には、例えば、触媒付与を行った基材粒子と、クエン酸、リンゴ酸、コハク酸、プロピオン酸、乳酸、及び、酢酸からなる群より選択される少なくとも１種の錯化剤とを含有するニッケルめっき液を用い、かつ、ニッケルめっき反応時のｐＨを６〜９、かつ温度を５０〜８０℃に調整することにより、上記基材粒子の表面に結晶層を形成できる。このニッケルめっき反応時のｐＨは７〜９であることが好ましく、温度は５５〜６５℃であることが好ましい。
【００７２】
上記結晶層、上記リン含有導電層及び上記ボロン含有導電層はそれぞれ、ニッケルを主成分として含むことが好ましい。上記結晶層１００重量％中、上記リン含有導電層１００重量％中及び上記ボロン含有導電層１００重量％中、ニッケルの各含有量は、好ましくは５０重量％以上、より好ましくは６０重量％以上、更に好ましくは７０重量％以上、特に好ましくは９０重量％以上である。上記結晶層１００重量％中、上記リン含有導電層１００重量％中及び上記ボロン含有導電層１００重量％中、ニッケルの各含有量は、９７重量％以上であってもよく、９７．５重量％以上であってもよく、９８重量％以上であってもよい。ニッケルの含有量の上限は、リン又はボロンや、タングステン及びモリブデンなどの各含有量により適宜変更できる。上記結晶層１００重量％中、上記リン含有導電層１００重量％中及び上記ボロン含有導電層１００重量％中、ニッケルの各含有量は、好ましくは９９．８５重量％以下、より好ましくは９９．７重量％以下、更に好ましくは９９．４５重量％未満である。上記ニッケルの含有量が上記下限以上であると、電極間の接続抵抗がより一層低くなる。また、電極や導電層の表面における酸化被膜が少ない場合には、上記ニッケルの含有量が多いほど電極間の接続抵抗が低くなる傾向がある。
【００７３】
上記結晶層、上記リン含有導電層及び上記ボロン含有導電層はそれぞれ、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種を含むことが好ましい。上記結晶層、上記リン含有導電層及び上記ボロン含有導電層では、ニッケルとタングステン及びモリブデンとの内の少なくとも１種とが合金化していてもよい。上記結晶層及び上記リン含有導電層では、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種とリンとが合金化していてもよい。上記結晶層及び上記ボロン含有導電層では、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種とボロンとが合金化していてもよい。また、上記結晶層、上記リン含有導電層及び上記ボロン含有導電層ではそれぞれ、他の成分として、クロム、シーボーギウムを用いてもよい。
【００７４】
また、タングステン及びモリブデンの双方を含まない導電層を有する導電性粒子では、該タングステン及びモリブデンの双方を含まない導電層が圧縮初期段階で硬さが比較的低くなりやすい。このため、電極間の接続時に、電極及び導電性粒子の表面の酸化被膜を排除する効果が小さくなり、接続抵抗を低くする効果が小さくなる傾向がある。
【００７５】
一方で、接続抵抗を低くする効果をより一層得るために、又は大きな電流が流れる用途に適するように、タングステン及びモリブデンの双方を含まない導電層の厚みを厚くすると、導電性粒子と電極との接触面積が小さくなる傾向がある。この結果、接続構造体における電極間の導通信頼性が低くなる傾向がある。
【００７６】
これに対して、導電性粒子がタングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種を含む導電層を有する場合には、上記５％Ｋ値を上記下限以上にすることが容易である。さらに、導電性粒子が、圧縮方向における圧縮前の導電性粒子の粒子径の７０％以上圧縮されたときに、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種を含む導電層に適度に割れが生じるようにすることが容易である。割れの発生を遅くするによって導電性粒子と電極との接触面積がより一層大きくなり、従って電極間の接続抵抗がより一層低くなる。
【００７７】
さらに、導電性粒子がタングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種を含む導電層を有する場合には、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種を含む導電層は適度な硬さを有するので、導電性粒子を圧縮して電極間を接続したとき、電極に適度な圧痕を形成できる。なお、電極に形成される圧痕は、導電性粒子が電極を押してできた電極の凹部である。
【００７８】
上記結晶層１００重量％中、上記リン含有導電層１００重量％中及び上記ボロン含有導電層１００重量％中、タングステン及びモリブデンの合計の含有量はそれぞれ、好ましくは０．０１重量％以上、より好ましくは０．１重量％以上、より一層好ましくは０．２重量％以上、更に好ましくは０．５重量％以上、更に一層好ましくは１重量％以上、特に好ましくは５重量％を超え、最も好ましくは１０重量％以上である。上記タングステン及びモリブデンの合計の含有量が上記下限以上であると、導電層の外表面の硬さがより一層高くなる。このため、電極や導電層の表面に酸化被膜が形成されている場合に、電極及び導電性粒子の表面の酸化被膜を効果的に排除でき、接続抵抗を低くすることができ、かつ得られる接続構造体の耐衝撃性を高めることができる。さらに、タングステン及びモリブデンの合計の含有量が上記下限以上であると、導電層の外表面の磁性が弱くなり、複数の導電性粒子が凝集し難くなる。このため、電極間の短絡を効果的に抑制できる。
【００７９】
上記結晶層１００重量％中、上記リン含有導電層１００重量％中及び上記ボロン含有導電層１００重量％中、上記タングステン及びモリブデンの合計の含有量の上限はそれぞれ、ニッケル、リン及びボロンなどの含有量により適宜変更できる。上記結晶層１００重量％中、上記リン含有導電層１００重量％中及び上記ボロン含有導電層１００重量％中、タングステン及びモリブデンの合計の含有量はそれぞれ、好ましくは４０重量％以下、より好ましくは３０重量％以下、更に好ましくは２５重量％以下、特に好ましくは２０重量％以下である。
【００８０】
接続抵抗を低くする効果をより一層得るために、又は大きな電流が流れる用途に適するように、リンを含まない導電層の厚みを厚くしたり、ニッケルとリンとを含む導電層の厚みを厚くしたりすると、導電性粒子と電極との接触面積が小さくなる傾向がある。この結果、接続構造体における電極間の導通信頼性が低くなる傾向がある。
【００８１】
これに対して、導電性粒子が特定の上記結晶層を有する場合には、上記５％Ｋ値を上記下限以上にすることが容易である。さらに、導電性粒子が、圧縮方向における圧縮前の導電性粒子の粒子径の７０％以上圧縮されたときに、上記導電層に適度に割れが生じるようにすることが容易である。また、導電性粒子がタングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種を含む導電層を有する場合には、上記５％Ｋ値を上記下限以上にすることがさらに一層容易である。さらに、導電性粒子が、圧縮方向における圧縮前の導電性粒子の粒子径の７０％以上圧縮されたときに、タングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種を含む導電層により一層適度に割れが生じるようにすることが容易である。割れの発生を遅くするによって導電性粒子と電極との接触面積がより一層大きくなり、従って電極間の接続抵抗がより一層低くなる。
【００８２】
さらに、上記導電層は適度な硬さを有するので、導電性粒子を圧縮して電極間を接続したとき、電極に適度な圧痕を形成できる。なお、電極に形成される圧痕は、導電性粒子が電極を押してできた電極の凹部である。
【００８３】
上記結晶層１００重量％中及び上記リン含有導電層１００重量％中、リンの含有量は好ましくは０．１重量％以上、より好ましくは０．５重量％以上、更に好ましくは１重量％以上、好ましくは５重量％以下、より好ましくは４重量％以下、更に好ましくは３重量％以下、特に好ましくは２．５重量％以下である。リンの含有量が上記下限以上であると、導電層がより一層硬くなり、電極及び導電性粒子の表面の酸化被膜をより一層効果的に除去でき、電極間の接続抵抗をより一層低くすることができる。リンの含有量が上記上限以下であると、ニッケル、タングステン及びモリブデンなどの含有量が相対的に多くなるので、電極間の接続抵抗が低くなる。なお、リンの含有量が少ないほど、良好な結晶構造を得やすくなる。
【００８４】
上記結晶層１００重量％中及び上記ボロン含有導電層１００重量％中、ボロンの含有量は好ましくは０．０１重量％以上、より好ましくは０．０５重量％以上、更に好ましくは０．１重量％以上、好ましくは５重量％以下、より好ましくは４重量％以下、更に好ましくは３重量％以下、特に好ましくは２．５重量％以下、最も好ましくは２重量％以下である。ボロンの含有量が上記下限以上であると、導電層がより一層硬くなり、電極及び導電性粒子の表面の酸化被膜をより一層効果的に除去でき、電極間の接続抵抗をより一層低くすることができる。リンの含有量が上記上限以下であると、ニッケル、タングステン及びモリブデンなどの含有量が相対的に多くなるので、電極間の接続抵抗が低くなる。
【００８５】
さらに、導電性粒子がタングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種を含む導電層を有することによって、上記導電層がかなり硬くなる結果、導電性粒子により電極間を接続した接続構造体に衝撃が与えられても、導通不良が生じ難くなる。すなわち、接続構造体の耐衝撃性を高めることもできる。特に、導電性粒子が上記ボロン含有導電層を有することによって、上記導電層がかなり硬くなる結果、導電性粒子により電極間を接続した接続構造体に衝撃が与えられても、導通不良が生じ難くなる。すなわち、接続構造体の耐衝撃性を高めることもできる。
【００８６】
上記結晶層、上記リン含有導電層及び上記ボロン含有導電層におけるニッケル、タングステン、モリブデン、リン及びボロンの各含有量の測定方法は、既知の種々の分析法を用いることができ特に限定されない。この測定方法として、吸光分析法又はスペクトル分析法等が挙げられる。上記吸光分析法では、フレーム吸光光度計及び電気加熱炉吸光光度計等を用いることができる。上記スペクトル分析法としては、プラズマ発光分析法及びプラズマイオン源質量分析法等が挙げられる。
【００８７】
上記結晶層におけるニッケル、タングステン、モリブデン、リン及びボロンの各含有量を測定する際には、ＩＣＰ発光分析装置を用いることが好ましい。ＩＣＰ発光分析装置の市販品としては、ＨＯＲＩＢＡ社製のＩＣＰ発光分析装置等が挙げられる。
【００８８】
上記導電層の厚み方向におけるニッケル、タングステン、モリブデン、リン及びボロンの各含有量を測定する際には、ＦＥ−ＴＥＭ装置を用いることが好ましい。ＦＥ−ＴＥＭ装置の市販品としては、日本電子社製のＪＥＭ−２０１０等が挙げられる。
【００８９】
上記導電層（結晶層及び結晶層以外の導電層）を形成するための金属は特に限定されない。該金属としては、例えば、金、銀、銅、パラジウム、白金、パラジウム、亜鉛、鉄、錫、鉛、アルミニウム、コバルト、インジウム、ニッケル、クロム、チタン、アンチモン、ビスマス、タリウム、ゲルマニウム、カドミウム、ケイ素、タングステン及びこれらの合金等が挙げられる。また、上記金属としては、錫ドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）及びはんだ等が挙げられる。なかでも、電極間の接続抵抗がより一層低くなるので、錫を含む合金、ニッケル、パラジウム、銅又は金が好ましく、ニッケル又はパラジウムがより好ましい。上記導電層を構成する金属はニッケルを含むことが好ましい。
【００９０】
上記基材粒子の表面上に導電層（結晶層及び結晶層以外の導電層）を形成する方法は特に限定されない。導電層を形成する方法としては、例えば、無電解めっきによる方法、電気めっきによる方法、物理的蒸着による方法、並びに金属粉末もしくは金属粉末とバインダーとを含むペーストを基材粒子又は他の導電層の表面にコーティングする方法等が挙げられる。なかでも、導電層の形成が簡便であるので、無電解めっきによる方法が好ましい。上記物理的蒸着による方法としては、真空蒸着、イオンプレーティング及びイオンスパッタリング等の方法が挙げられる。
【００９１】
上記導電性粒子の粒子径は、好ましくは０．１１μｍ以上、より好ましくは０．５μｍ以上、更に好ましくは０．５１μｍ以上、特に好ましくは１μｍ以上、好ましくは１００μｍ以下、より好ましくは２０μｍ以下、更に好ましくは５．６μｍ以下、特に好ましくは３．６μｍ以下である。導電性粒子の粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、導電性粒子を用いて電極間を接続した場合に、導電性粒子と電極との接触面積が充分に大きくなり、かつ導電層を形成する際に凝集した導電性粒子が形成されにくくなる。また、導電性粒子を介して接続された電極間の間隔が大きくなりすぎず、かつ導電層が基材粒子の表面から剥離し難くなる。
【００９２】
上記導電性粒子の粒子径は、導電性粒子が真球状である場合には、直径を示し、導電性粒子が真球状ではない場合には、最大径を示す。
【００９３】
上記結晶層の厚みは好ましくは０．００５μｍ以上、より好ましくは０．０１μｍ以上、更に好ましくは０．０５μｍ以上、好ましくは１μｍ以下、より好ましくは０．３μｍ以下である。上記結晶層の厚みが上記下限以上及び上記上限以下であると、充分な導電性が得られ、かつ導電性粒子が硬くなりすぎずに、電極間の接続の際に導電性粒子が充分に変形する。
【００９４】
導電層が２層以上の積層構造である場合に、上記結晶層の厚みは、好ましくは０．００１μｍ以上、より好ましくは０．０１μｍ以上、更に好ましくは０．０５μｍ以上、好ましくは０．５μｍ以下、より好ましくは０．３μｍ以下、更に好ましくは０．１μｍ以下である。上記結晶層の厚みが上記下限以上及び上記上限以下であると、上記結晶層による被覆を均一にでき、かつ電極間の接続抵抗が充分に低くなる。
【００９５】
導電層が２層以上の積層構造である場合に、導電層全体の厚みは、好ましくは０．００１μｍ以上、より好ましくは０．０１μｍ以上、更に好ましくは０．０５μｍ以上、特に好ましくは０．１μｍ以上、好ましくは１μｍ以下、より好ましくは０．５μｍ以下、より一層好ましくは０．３μｍ以下である。上記導電層全体の厚みが上記下限以上及び上記上限以下であると、導電層全体による被覆を均一にでき、かつ電極間の接続抵抗が充分に低くなる。
【００９６】
上記結晶層の厚みは、０．０５μｍ以上、０．３μｍ以下であることが特に好ましい。さらに、基材粒子の粒子径が２μｍ以上、５μｍ以下であり、かつ、上記結晶層の厚みが０．０５μｍ以上、０．３μｍ以下であることが特に好ましい。上記導電層全体の厚みは、０．０５μｍ以上、０．３μｍ以下であることが特に好ましい。さらに、基材粒子の粒子径が２μｍ以上、５μｍ以下であり、かつ、上記導電層全体の厚みが０．０５μｍ以上、０．３μｍ以下であることが特に好ましい。これらの場合には、導電性粒子を大きな電流が流れる用途により好適に用いることができる。さらに、導電性粒子を圧縮して電極間を接続した場合に、電極が損傷するのをより一層抑制できる。
【００９７】
上記結晶層の厚み及び上記導電層全体の厚みは、例えば透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて、導電性粒子の断面を観察することにより測定できる。
【００９８】
上記結晶層、上記リン含有導電層及び上記ボロン含有導電層におけるニッケル、タングステン、モリブデン、リン及びボロンの含有量を制御する方法としては、例えば、無電解ニッケルめっきにより上記結晶層を形成する際に、ニッケルめっき液のｐＨを制御する方法、無電解ニッケルめっきにより上記結晶層を形成する際に、リン含有還元剤又はボロン含有還元剤の濃度を調整する方法、ニッケルめっき液中のタングステン濃度を調整する方法、ニッケルめっき液中のモリブデン濃度を調整する方法並びにニッケルめっき液中のニッケル塩濃度を調整する方法等が挙げられる。
【００９９】
無電解めっきにより形成する方法では、一般的に、触媒化工程と、無電解めっき工程とが行われる。以下、無電解めっきにより、樹脂粒子の表面に、ニッケルとタングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種とリンと含むリン含有導電層（合金めっき層）を形成する方法の一例を説明する。
【０１００】
上記触媒化工程では、無電解めっきによりめっき層を形成するための起点となる触媒を、樹脂粒子の表面に形成させる。
【０１０１】
上記触媒を樹脂粒子の表面に形成させる方法としては、例えば、塩化パラジウムと塩化スズとを含む溶液に、樹脂粒子を添加した後、酸溶液又はアルカリ溶液により樹脂粒子の表面を活性化させて、樹脂粒子の表面にパラジウムを析出させる方法、並びに硫酸パラジウムとアミノピリジンとを含有する溶液に、樹脂粒子を添加した後、還元剤を含む溶液により樹脂粒子の表面を活性化させて、樹脂粒子の表面にパラジウムを析出させる方法等が挙げられる。上記還元剤として、次亜リン酸ナトリウム等のリン含有還元剤が用いられる。なお、ボロン含有導電層を形成する場合には、上記リン含有還元剤にかえて、ボロン含有還元剤を用いればよい。
【０１０２】
上記無電解めっき工程では、ニッケル塩と、タングステン含有化合物及びモリブデン含有化合物の内の少なくとも１種と、上記リン含有還元剤とを含むニッケルめっき浴が用いられる。ニッケルめっき浴中に樹脂粒子を浸漬することにより、触媒が表面に形成された樹脂粒子の表面に、ニッケルを析出させることができ、ニッケルとタングステン及びモリブデンの内の少なくとも１種とリンとを含むリン含有導電層を形成できる。
【０１０３】
上記タングステン含有化合物としては、ホウ化タングステン及びタングステン酸ナトリウム等が挙げられる。
【０１０４】
上記モリブデン含有化合物としては、ホウ化モリブデン及びモリブデン酸ナトリウム等が挙げられる。
【０１０５】
上記リン含有還元剤としては、次亜リン酸ナトリウム、次亜リン酸カリウム及び次亜リン酸アンモニウム等が挙げられる。
【０１０６】
上記ボロン含有還元剤としては、ジメチルアミンボラン、水素化ホウ素ナトリウム及び水素化ホウ素カリウム等が挙げられる。
【０１０７】
本発明に係る導電性粒子は、表面に突起を有することが好ましい。上記導電層は、外表面に突起を有することが好ましい。導電性粒子により接続される電極の表面には、酸化被膜が形成されていることが多い。さらに、導電性粒子の導電層の表面には、酸化被膜が形成されていることが多い。突起を有する導電性粒子の使用により、電極間に導電性粒子を配置した後、圧着させることにより、突起により酸化被膜が効果的に排除される。このため、電極と導電性粒子とをより一層確実に接触させることができ、電極間の接続抵抗を低くすることができる。さらに、導電性粒子が表面に絶縁物質を有する場合、又は導電性粒子がバインダー樹脂中に分散されて導電材料（異方性導電材料など）として用いられる場合に、導電性粒子の突起によって、導電性粒子と電極との間の樹脂を効果的に排除できる。このため、電極間の導通信頼性を高めることができる。
【０１０８】
上記突起は複数であることが好ましい。上記導電性粒子１個当たりの上記導電層の外表面の突起は、好ましくは３個以上、より好ましくは５個以上である。上記突起の数の上限は特に限定されない。突起の数の上限は導電性粒子の粒子径等を考慮して適宜選択できる。
【０１０９】
複数の上記突起の平均高さは、好ましくは０．００１μｍ以上、より好ましくは０．０５μｍ以上、好ましくは０．９μｍ以下、より好ましくは０．２μｍ以下である。上記突起の平均高さが上記下限以上及び上記上限以下であると、電極間の接続抵抗を効果的に低くすることができる。
【０１１０】
［芯物質］
上記芯物質が上記導電層中に埋め込まれていることによって、上記導電層が外表面に複数の突起を有するようにすることが容易である。但し、導電性粒子及び導電層の表面に突起を形成するために、芯物質を必ずしも用いなくてもよい。
【０１１１】
上記突起を形成する方法としては、基材粒子の表面に芯物質を付着させた後、無電解めっきにより導電層を形成する方法、並びに基材粒子の表面に無電解めっきにより導電層を形成した後、芯物質を付着させ、更に無電解めっきにより導電層を形成する方法等が挙げられる。
【０１１２】
上記基材粒子の表面上に芯物質を配置する方法としては、例えば、基材粒子の分散液中に、芯物質を添加し、基材粒子の表面に芯物質を、例えば、ファンデルワールス力により集積させ、付着させる方法、並びに基材粒子を入れた容器に、芯物質を添加し、容器の回転等による機械的な作用により基材粒子の表面に芯物質を付着させる方法等が挙げられる。なかでも、付着させる芯物質の量を制御しやすいため、分散液中の基材粒子の表面に芯物質を集積させ、付着させる方法が好ましい。
【０１１３】
上記芯物質を構成する物質としては、導電性物質及び非導電性物質が挙げられる。上記導電性物質としては、例えば、金属、金属の酸化物、黒鉛等の導電性非金属及び導電性ポリマー等が挙げられる。上記導電性ポリマーとしては、ポリアセチレン等が挙げられる。上記非導電性物質としては、シリカ、アルミナ及びジルコニア等が挙げられる。なかでも、導電性を高めることができ、更に接続抵抗を効果的に低くすることができるので、金属が好ましい。上記芯物質は金属粒子であることが好ましい。
【０１１４】
上記金属としては、例えば、金、銀、銅、白金、亜鉛、鉄、鉛、錫、アルミニウム、コバルト、インジウム、ニッケル、クロム、チタン、アンチモン、ビスマス、ゲルマニウム及びカドミウム等の金属、並びに錫−鉛合金、錫−銅合金、錫−銀合金、錫−鉛−銀合金及び炭化タングステン等の２種類以上の金属で構成される合金等が挙げられる。なかでも、ニッケル、銅、銀又は金が好ましい。上記芯物質を構成する金属は、上記導電層を構成する金属と同じであってもよく、異なっていてもよい。上記芯物質を構成する金属は、上記導電層を構成する金属を含むことが好ましい。上記芯物質を構成する金属は、ニッケルを含むことが好ましい。上記芯物質を構成する金属は、ニッケルを含むことが好ましい。
【０１１５】
上記芯物質の形状は特に限定されない。芯物質の形状は塊状であることが好ましい。芯物質としては、例えば、粒子状の塊、複数の微小粒子が凝集した凝集塊、及び不定形の塊等が挙げられる。
【０１１６】
上記芯物質の平均径（平均粒子径）は、好ましくは０．００１μｍ以上、より好ましくは０．０５μｍ以上、好ましくは０．９μｍ以下、より好ましくは０．２μｍ以下である。上記芯物質の平均径が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極間の接続抵抗を効果的に低くすることができる。
【０１１７】
上記芯物質の「平均径（平均粒子径）」は、数平均径（数平均粒子径）を示す。芯物質の平均径は、任意の芯物質５０個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、平均値を算出することにより求められる。
【０１１８】
上記芯物質の表面上に、無機粒子が配置されていてもよい。芯物質の表面上に配置された無機粒子は複数であることが好ましい。芯物質の表面に、無機粒子が付着していてもよい。このような無機粒子と芯物質とを備える複合粒子を用いてもよい。無機粒子の大きさ（平均径）は、芯物質の大きさ（平均径）よりも小さいことが好ましく、上記無機粒子は、無機微粒子であることが好ましい。
【０１１９】
上記芯物質の表面上に配置される上記無機粒子の材料としては、シリカ（二酸化珪素、モース硬度６〜７）、ジルコニア（モース硬度８〜９）、アルミナ（モース硬度９）、炭化タングステン（モース硬度９）及びダイヤモンド（モース硬度１０）等が挙げられる。上記無機粒子は、シリカ、ジルコニア、アルミナ、炭化タングステン又はダイヤモンドであることが好ましい。上記無機粒子のモース硬度は好ましくは５以上、より好ましくは６以上である。上記無機粒子のモース硬度は上記導電層のモース硬度よりも大きいことが好ましい。上記無機粒子のモース硬度は上記第２の導電層のモース硬度よりも大きいことが好ましい。上記無機粒子のモース硬度と上記導電層のモース硬度との差の絶対値、並びに上記無機粒子のモース硬度と上記第２の導電層のモース硬度との差の絶対値は、好ましくは０．１以上、より好ましくは０．２以上、更に好ましくは０．５以上、特に好ましくは１以上である。また、導電層が複数の層により形成されていている場合には、複数の層を構成する全ての金属よりも無機粒子が硬いほうが、接続抵抗の低減効果がより一層効果的に発揮される。
【０１２０】
上記無機粒子の平均粒子径は、好ましくは０．０００１μｍ以上、より好ましくは０．００５μｍ以上、好ましくは０．５μｍ以下、より好ましくは０．１μｍ以下である。上記無機粒子の平均粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極間の接続抵抗を効果的に低くすることができる。
【０１２１】
上記無機粒子の「平均粒子径」は、数平均粒子径を示す。無機粒子の平均粒子径は、任意の無機粒子５０個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、平均値を算出することにより求められる。
【０１２２】
上記芯物質の表面上に無機粒子が配置されている複合粒子を用いる場合に、上記複合粒子の平均径（平均粒子径）は、好ましくは０．００１２μｍ以上、より好ましくは０．０５０２μｍ以上、好ましくは１．９μｍ以下、より好ましくは１．２μｍ以下である。上記複合粒子の平均径が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極間の接続抵抗を効果的に低くすることができる。
【０１２３】
上記複合粒子の「平均径（平均粒子径）」は、数平均径（数平均粒子径）を示す。上記複合粒子の平均径は、任意の複合粒子５０個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、平均値を算出することにより求められる。
【０１２４】
［絶縁物質］
本発明に係る導電性粒子は、上記導電層の表面上に配置された絶縁物質を備えることが好ましい。この場合には、導電性粒子を電極間の接続に用いると、隣接する電極間の短絡を防止できる。具体的には、複数の導電性粒子が接触したときに、複数の電極間に絶縁物質が存在するので、上下の電極間ではなく横方向に隣り合う電極間の短絡を防止できる。なお、電極間の接続の際に、２つの電極で導電性粒子を加圧することにより、導電性粒子の導電層と電極との間の絶縁物質を容易に排除できる。導電性粒子が導電層の外表面に複数の突起を有するので、導電性粒子の導電層と電極との間の絶縁物質を容易に排除できる。
【０１２５】
電極間の圧着時に上記絶縁物質をより一層容易に排除できることから、上記絶縁物質は、絶縁性粒子であることが好ましい。
【０１２６】
上記絶縁物質の材料である絶縁性樹脂の具体例としては、ポリオレフィン類、（メタ）アクリレート重合体、（メタ）アクリレート共重合体、ブロックポリマー、熱可塑性樹脂、熱可塑性樹脂の架橋物、熱硬化性樹脂及び水溶性樹脂等が挙げられる。
【０１２７】
上記ポリオレフィン類としては、ポリエチレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体及びエチレン−アクリル酸エステル共重合体等が挙げられる。上記（メタ）アクリレート重合体としては、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリエチル（メタ）アクリレート及びポリブチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。上記ブロックポリマーとしては、ポリスチレン、スチレン−アクリル酸エステル共重合体、ＳＢ型スチレン−ブタジエンブロック共重合体、及びＳＢＳ型スチレン−ブタジエンブロック共重合体、並びにこれらの水素添加物等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂としては、ビニル重合体及びビニル共重合体等が挙げられる。上記熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びメラミン樹脂等が挙げられる。上記水溶性樹脂としては、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリアクリルアミド、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンオキシド及びメチルセルロース等が挙げられる。なかでも、水溶性樹脂が好ましく、ポリビニルアルコールがより好ましい。
【０１２８】
上記導電層の表面上に絶縁物質を配置する方法としては、化学的方法、及び物理的もしくは機械的方法等が挙げられる。上記化学的方法としては、例えば、界面重合法、粒子存在下での懸濁重合法及び乳化重合法等が挙げられる。上記物理的もしくは機械的方法としては、スプレードライ、ハイブリタイゼーション、静電付着法、噴霧法、ディッピング及び真空蒸着による方法等が挙げられる。なかでも、絶縁物質が脱離し難いことから、上記導電層の表面に、化学結合を介して上記絶縁物質を配置する方法が好ましい。
【０１２９】
上記絶縁物質の平均径（平均粒子径）は、導電性粒子の粒子径及び導電性粒子の用途等によって適宜選択できる。上記絶縁物質の平均径（平均粒子径）は好ましくは０．００５μｍ以上、より好ましくは０．０１μｍ以上、好ましくは１μｍ以下、より好ましくは０．５μｍ以下である。絶縁物質の平均径が上記下限以上であると、導電性粒子がバインダー樹脂中に分散されたときに、複数の導電性粒子における導電層同士が接触し難くなる。絶縁性粒子の平均径が上記上限以下であると、電極間の接続の際に、電極と導電性粒子との間の絶縁物質を排除するために、圧力を高くしすぎる必要がなくなり、高温に加熱する必要もなくなる。
【０１３０】
上記絶縁物質の「平均径（平均粒子径）」は、数平均径（数平均粒子径）を示す。絶縁物質の平均径は、粒度分布測定装置等を用いて求められる。
【０１３１】
（導電材料）
本発明に係る導電材料は、上述した導電性粒子と、バインダー樹脂とを含む。上記導電性粒子は、バインダー樹脂中に分散され、導電材料として用いられることが好ましい。上記導電材料は、異方性導電材料であることが好ましい。
【０１３２】
上記バインダー樹脂は特に限定されない。上記バインダー樹脂として、公知の絶縁性の樹脂が用いられる。
【０１３３】
上記バインダー樹脂としては、例えば、ビニル樹脂、熱可塑性樹脂、硬化性樹脂、熱可塑性ブロック共重合体及びエラストマー等が挙げられる。上記バインダー樹脂は１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【０１３４】
上記ビニル樹脂としては、例えば、酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂及びスチレン樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレフィン樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体及びポリアミド樹脂等が挙げられる。上記硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂及び不飽和ポリエステル樹脂等が挙げられる。なお、上記硬化性樹脂は、常温硬化型樹脂、熱硬化型樹脂、光硬化型樹脂又は湿気硬化型樹脂であってもよい。上記硬化性樹脂は、硬化剤と併用されてもよい。上記熱可塑性ブロック共重合体としては、例えば、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体の水素添加物、及びスチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体の水素添加物等が挙げられる。上記エラストマーとしては、例えば、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、及びアクリロニトリル−スチレンブロック共重合ゴム等が挙げられる。
【０１３５】
上記導電材料は、上記導電性粒子及び上記バインダー樹脂の他に、例えば、充填剤、増量剤、軟化剤、可塑剤、重合触媒、硬化触媒、着色剤、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤及び難燃剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。
【０１３６】
上記バインダー樹脂中に上記導電性粒子を分散させる方法は、従来公知の分散方法を用いることができ特に限定されない。上記バインダー樹脂中に上記導電性粒子を分散させる方法としては、例えば、上記バインダー樹脂中に上記導電性粒子を添加した後、プラネタリーミキサー等で混練して分散させる方法、上記導電性粒子を水又は有機溶剤中にホモジナイザー等を用いて均一に分散させた後、上記バインダー樹脂中に添加し、プラネタリーミキサー等で混練して分散させる方法、並びに上記バインダー樹脂を水又は有機溶剤等で希釈した後、上記導電性粒子を添加し、プラネタリーミキサー等で混練して分散させる方法等が挙げられる。
【０１３７】
本発明に係る導電材料は、導電ペースト及び導電フィルム等として使用され得る。本発明に係る導電材料が、導電フィルムである場合には、導電性粒子を含む導電フィルムに、導電性粒子を含まないフィルムが積層されていてもよい。上記導電ペーストは、異方性導電ペーストであることが好ましい。上記導電フィルムは、異方性導電フィルムであることが好ましい。
【０１３８】
上記導電材料１００重量％中、上記バインダー樹脂の含有量は好ましくは１０重量％以上、より好ましくは３０重量％以上、更に好ましくは５０重量％以上、特に好ましくは７０重量％以上、好ましくは９９．９９重量％以下、より好ましくは９９．９重量％以下である。上記バインダー樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極間に導電性粒子が効率的に配置され、導電材料により接続された接続対象部材の接続信頼性がより一層高くなる。
【０１３９】
上記導電材料１００重量％中、上記導電性粒子の含有量は好ましくは０．０１重量％以上、より好ましくは０．１重量％以上、好ましくは４０重量％以下、より好ましくは２０重量％以下、更に好ましくは１０重量％以下である。上記導電性粒子の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、電極間の導通信頼性がより一層高くなる。
【０１４０】
（接続構造体）
本発明の導電性粒子を用いて、又は該導電性粒子とバインダー樹脂とを含む導電材料を用いて、接続対象部材を接続することにより、接続構造体を得ることができる。
【０１４１】
上記接続構造体は、第１の接続対象部材と、第２の接続対象部材と、第１，第２の接続対象部材を接続している接続部とを備え、該接続部が本発明の導電性粒子により形成されているか、又は該導電性粒子とバインダー樹脂とを含む導電材料（異方性導電材料など）により形成されている接続構造体であることが好ましい。導電性粒子が用いられた場合には、接続部自体が導電性粒子である。すなわち、第１，第２の接続対象部材が導電性粒子により接続される。
【０１４２】
図４に、本発明の第１の実施形態に係る導電性粒子を用いた接続構造体を模式的に正面断面図で示す。
【０１４３】
図４に示す接続構造体５１は、第１の接続対象部材５２と、第２の接続対象部材５３と、第１，第２の接続対象部材５２，５３を接続している接続部５４とを備える。接続部５４は、導電性粒子１を含む導電材料を硬化させることにより形成されている。なお、図４では、導電性粒子１は、図示の便宜上、略図的に示されている。
【０１４４】
第１の接続対象部材５２は上面５２ａ（表面）に、複数の電極５２ｂを有する。第２の接続対象部材５３は下面５３ａ（表面）に、複数の電極５３ｂを有する。電極５２ｂと電極５３ｂとが、１つ又は複数の導電性粒子１により電気的に接続されている。従って、第１，第２の接続対象部材５２，５３が導電性粒子１により電気的に接続されている。
【０１４５】
上記接続構造体の製造方法は特に限定されない。接続構造体の製造方法の一例としては、第１の接続対象部材と第２の接続対象部材との間に上記導電材料を配置し、積層体を得た後、該積層体を加熱及び加圧する方法等が挙げられる。
【０１４６】
上記加圧の圧力は９．８×１０４〜４．９×１０６Ｐａ程度である。上記加熱の温度は、１２０〜２２０℃程度である。
【０１４７】
上記接続対象部材としては、具体的には、半導体チップ、コンデンサ及びダイオード等の電子部品、並びにプリント基板、フレキシブルプリント基板及びガラス基板等の回路基板等が挙げられる。上記接続対象部材は電子部品であることが好ましい。上記導電性粒子は、電子部品における電極の電気的な接続に用いられることが好ましい。
【０１４８】
上記接続対象部材に設けられている電極としては、金電極、ニッケル電極、錫電極、アルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極及びタングステン電極等の金属電極が挙げられる。上記接続対象部材がフレキシブルプリント基板である場合には、上記電極は金電極、ニッケル電極、錫電極又は銅電極であることが好ましい。上記接続対象部材がガラス基板である場合には、上記電極はアルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極又はタングステン電極であることが好ましい。なお、上記電極がアルミニウム電極である場合には、アルミニウムのみで形成された電極であってもよく、金属酸化物層の表面にアルミニウム層が積層された電極であってもよい。上記金属酸化物層の材料としては、３価の金属元素がドープされた酸化インジウム及び３価の金属元素がドープされた酸化亜鉛等が挙げられる。上記３価の金属元素としては、Ｓｎ、Ａｌ及びＧａ等が挙げられる。
【０１４９】
以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。
【０１５０】
（実施例１）
粒子径が３．０μｍであるジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０３」）を用意した。
【０１５１】
パラジウム触媒液を５重量％含むアルカリ溶液１００重量部に、上記樹脂粒子１０重量部を、超音波分散器を用いて分散させた後、溶液をろ過することにより、樹脂粒子を取り出した。次いで、樹脂粒子をジメチルアミンボラン１重量％溶液１００重量部に添加し、樹脂粒子の表面を活性化させた。表面が活性化された樹脂粒子を十分に水洗した後、蒸留水５００重量部に加え、分散させることにより、懸濁液を得た。
【０１５２】
また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ及びタングステン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含むニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。
【０１５３】
得られた懸濁液を５０℃（めっき液温）にて攪拌しながら、上記ニッケルめっき液を懸濁液に徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行った。その後、懸濁液をろ過することにより、粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、樹脂粒子の表面にニッケル−タングステン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１５４】
（実施例２）
タングステン酸ナトリウム濃度を０．０１ｍｏｌ／Ｌ、めっき液のｐＨを９．０、めっき液温を７０℃に変更したこと以外は実施例１と同様にして、樹脂粒子の表面にニッケル−タングステン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１５５】
（実施例３）
めっき液のｐＨを９．０、めっき液温を７０℃に変更したこと以外は実施例１と同様にして、樹脂粒子の表面にニッケル−タングステン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１５６】
（実施例４）
粒子径が３．０μｍであるジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０３」）を用意した。
【０１５７】
パラジウム触媒液を５重量％含むアルカリ溶液１００重量部に、上記樹脂粒子１０重量部を、超音波分散器を用いて分散させた後、溶液をろ過することにより、樹脂粒子を取り出した。次いで、樹脂粒子をジメチルアミンボラン１重量％溶液１００重量部に添加し、樹脂粒子の表面を活性化させた。表面が活性化された樹脂粒子を十分に水洗した後、蒸留水５００重量部に加え、分散させることにより、懸濁液を得た。
【０１５８】
また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ及びタングステン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含む第１のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ及びタングステン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含む第２のニッケルめっき液（ｐＨ９．０）を用意した。
【０１５９】
得られた懸濁液を５０℃にて攪拌しながら、上記第１のニッケルめっき液を懸濁液に徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、リン含有量の高い導電性粒子１を得た。続いて、懸濁液温を７０℃にし、上記第２のニッケルめっき液を徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、導電性粒子２を得た。その後、懸濁液をろ過することにより、粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、樹脂粒子の表面にニッケル−タングステン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１６０】
（実施例５）
粒子径が３．０μｍであるジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０３」）を用意した。
【０１６１】
パラジウム触媒液を５重量％含むアルカリ溶液１００重量部に、上記樹脂粒子１０重量部を、超音波分散器を用いて分散させた後、溶液をろ過することにより、樹脂粒子を取り出した。次いで、樹脂粒子をジメチルアミンボラン１重量％溶液１００重量部に添加し、樹脂粒子の表面を活性化させた。表面が活性化された樹脂粒子を十分に水洗した後、蒸留水５００重量部に加え、分散させることにより、懸濁液を得た。
【０１６２】
また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、及びクエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌを含む第１のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ及びタングステン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含む第２のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。
【０１６３】
得られた懸濁液を５０℃にて攪拌しながら、上記第１のニッケルめっき液を懸濁液に徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、リン含有量の高い導電性粒子１を得た。続いて、上記第２のニッケルめっき液を徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、導電性粒子２を得た。その後、懸濁液をろ過することにより、粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、樹脂粒子の表面にニッケル−タングステン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１６４】
（実施例６）
粒子径が３．０μｍであるジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０３」）を用意した。
【０１６５】
パラジウム触媒液を５重量％含むアルカリ溶液１００重量部に、上記樹脂粒子１０重量部を、超音波分散器を用いて分散させた後、溶液をろ過することにより、樹脂粒子を取り出した。次いで、樹脂粒子をジメチルアミンボラン１重量％溶液１００重量部に添加し、樹脂粒子の表面を活性化させた。表面が活性化された樹脂粒子を十分に水洗した後、蒸留水５００重量部に加え、分散させることにより、懸濁液を得た。
【０１６６】
また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、及びタングステン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含む第１のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、及びクエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌを含む第２のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。
【０１６７】
得られた懸濁液を５０℃にて攪拌しながら、上記第１のニッケルめっき液を懸濁液に徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、リン含有量の高い導電性粒子１を得た。続いて、上記第２のニッケルめっき液を徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、導電性粒子２を得た。その後、懸濁液をろ過することにより、粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、樹脂粒子の表面にニッケル−タングステン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１６８】
（実施例７）
粒子径が３．０μｍであるジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０３」）を用意した。
【０１６９】
パラジウム触媒液を５重量％含むアルカリ溶液１００重量部に、上記樹脂粒子１０重量部を、超音波分散器を用いて分散させた後、溶液をろ過することにより、樹脂粒子を取り出した。次いで、樹脂粒子をジメチルアミンボラン１重量％溶液１００重量部に添加し、樹脂粒子の表面を活性化させた。表面が活性化された樹脂粒子を十分に水洗した後、蒸留水５００重量部に加え、分散させることにより、懸濁液を得た。
【０１７０】
また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、及びクエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌを含む第１のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ及びタングステン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含む第２のニッケルめっき液（ｐＨ４．５）を用意した。
【０１７１】
得られた懸濁液を５０℃にて攪拌しながら、上記第１のニッケルめっき液を懸濁液に徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、リン含有量の高い導電性粒子１を得た。続いて、上記第２のニッケルめっき液を徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、導電性粒子２を得た。その後、懸濁液をろ過することにより、粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、樹脂粒子の表面にニッケル−タングステン−リン導電層（厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１７２】
（実施例８）
（１）パラジウム付着工程
粒子径が５．０μｍであるジビニルベンゼン樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０５」）を用意した。この樹脂粒子をエッチングし、水洗した。次に、パラジウム触媒を８重量％含むパラジウム触媒化液１００ｍＬ中に樹脂粒子を添加し、攪拌した。その後、ろ過し、洗浄した。ｐＨ６の０．５重量％ジメチルアミンボラン液に樹脂粒子を添加し、パラジウムが付着された樹脂粒子を得た。
【０１７３】
（２）芯物質付着工程
パラジウムが付着された樹脂粒子をイオン交換水３００ｍＬ中で３分間攪拌し、分散させ、分散液を得た。次に、金属ニッケル粒子スラリー（平均粒子径１００ｎｍ）１ｇを３分間かけて上記分散液に添加し、芯物質が付着された樹脂粒子を得た。
【０１７４】
（３）無電解ニッケルめっき工程
実施例１と同様にして、樹脂粒子の表面にニッケル−タングステン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１７５】
（実施例９）
（１）絶縁性粒子の作製
４ツ口セパラブルカバー、攪拌翼、三方コック、冷却管及び温度プローブが取り付けられた１０００ｍＬのセパラブルフラスコに、メタクリル酸メチル１００ｍｍｏｌと、Ｎ，Ｎ，Ｎ−トリメチル−Ｎ−２−メタクリロイルオキシエチルアンモニウムクロライド１ｍｍｏｌと、２，２’−アゾビス（２−アミジノプロパン）二塩酸塩１ｍｍｏｌとを含むモノマー組成物を固形分率が５重量％となるようにイオン交換水に秤取した後、２００ｒｐｍで攪拌し、窒素雰囲気下７０℃で２４時間重合を行った。反応終了後、凍結乾燥して、表面にアンモニウム基を有し、平均粒子径２２０ｎｍ及びＣＶ値１０％の絶縁性粒子を得た。
【０１７６】
絶縁性粒子を超音波照射下でイオン交換水に分散させ、絶縁性粒子の１０重量％水分散液を得た。
【０１７７】
実施例８で得られた導電性粒子１０ｇをイオン交換水５００ｍＬに分散させ、絶縁性粒子の水分散液４ｇを添加し、室温で６時間攪拌した。３μｍのメッシュフィルターでろ過した後、更にメタノールで洗浄し、乾燥し、絶縁性粒子が付着した導電性粒子を得た。
【０１７８】
走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により観察したところ、導電性粒子の表面に絶縁性粒子による被覆層が１層のみ形成されていた。画像解析により導電性粒子の中心より２．５μｍの面積に対する絶縁性粒子の被覆面積（即ち絶縁性粒子の粒子径の投影面積）を算出したところ、被覆率は３０％であった。
【０１７９】
（比較例１）
めっき液のｐＨを４．５に変更したこと以外は実施例１と同様にして、樹脂粒子の表面にニッケル−タングステン−リン導電層（厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１８０】
（比較例２）
めっき液のｐＨを４．５に変更したこと以外は実施例５と同様にして、樹脂粒子の表面にニッケル−タングステン−リン導電層（厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１８１】
（実施例１０）
粒子径が３．０μｍであるジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０３」）を用意した。
【０１８２】
パラジウム触媒液を５重量％含むアルカリ溶液１００重量部に、上記樹脂粒子１０重量部を、超音波分散器を用いて分散させた後、溶液をろ過することにより、樹脂粒子を取り出した。次いで、樹脂粒子をジメチルアミンボラン１重量％溶液１００重量部に添加し、樹脂粒子の表面を活性化させた。表面が活性化された樹脂粒子を十分に水洗した後、蒸留水５００重量部に加え、分散させることにより、懸濁液を得た。
【０１８３】
また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ及びモリブデン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含むニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。
【０１８４】
得られた懸濁液を５０℃にて攪拌しながら、上記ニッケルめっき液を懸濁液に徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行った。その後、懸濁液をろ過することにより、粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、樹脂粒子の表面にニッケル−モリブデン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１８５】
（実施例１１）
モリブデン酸ナトリウム濃度を０．０１ｍｏｌ／Ｌ、めっき液のｐＨを９．０、めっき液温を７０℃に変更したこと以外は実施例１０と同様にして、樹脂粒子の表面にニッケル−モリブデン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１８６】
（実施例１２）
めっき液のｐＨを９．０、めっき液温を７０℃に変更したこと以外は実施例１０と同様にして、樹脂粒子の表面にニッケル−モリブデン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１８７】
（実施例１３）
粒子径が３．０μｍであるジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０３」）を用意した。
【０１８８】
パラジウム触媒液を５重量％含むアルカリ溶液１００重量部に、上記樹脂粒子１０重量部を、超音波分散器を用いて分散させた後、溶液をろ過することにより、樹脂粒子を取り出した。次いで、樹脂粒子をジメチルアミンボラン１重量％溶液１００重量部に添加し、樹脂粒子の表面を活性化させた。表面が活性化された樹脂粒子を十分に水洗した後、蒸留水５００重量部に加え、分散させることにより、懸濁液を得た。
【０１８９】
また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ及びモリブデン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含む第１のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ及びモリブデン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含む第２のニッケルめっき液（ｐＨ９．０）を用意した。
【０１９０】
得られた懸濁液を５０℃にて攪拌しながら、上記第１のニッケルめっき液を懸濁液に徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、リン含有量の高い導電性粒子１を得た。続いて、懸濁液温を７０℃にし、上記第２のニッケルめっき液を徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、導電性粒子２を得た。その後、懸濁液をろ過することにより、粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、樹脂粒子の表面にニッケル−モリブデン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１９１】
（実施例１４）
粒子径が３．０μｍであるジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０３」）を用意した。
【０１９２】
パラジウム触媒液を５重量％含むアルカリ溶液１００重量部に、上記樹脂粒子１０重量部を、超音波分散器を用いて分散させた後、溶液をろ過することにより、樹脂粒子を取り出した。次いで、樹脂粒子をジメチルアミンボラン１重量％溶液１００重量部に添加し、樹脂粒子の表面を活性化させた。表面が活性化された樹脂粒子を十分に水洗した後、蒸留水５００重量部に加え、分散させることにより、懸濁液を得た。
【０１９３】
また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、及びクエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌを含む第１のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ及びモリブデン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含む第２のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。
【０１９４】
得られた懸濁液を５０℃にて攪拌しながら、上記第１のニッケルめっき液を懸濁液に徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、リン含有量の高い導電性粒子１を得た。続いて、上記第２のニッケルめっき液を徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、導電性粒子２を得た。その後、懸濁液をろ過することにより、粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、樹脂粒子の表面にニッケル−モリブデン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０１９５】
（実施例１５）
粒子径が３．０μｍであるジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０３」）を用意した。
【０１９６】
パラジウム触媒液を５重量％含むアルカリ溶液１００重量部に、上記樹脂粒子１０重量部を、超音波分散器を用いて分散させた後、溶液をろ過することにより、樹脂粒子を取り出した。次いで、樹脂粒子をジメチルアミンボラン１重量％溶液１００重量部に添加し、樹脂粒子の表面を活性化させた。表面が活性化された樹脂粒子を十分に水洗した後、蒸留水５００重量部に加え、分散させることにより、懸濁液を得た。
【０１９７】
また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、及びモリブデン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含む第１のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、及びクエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌを含む第２のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。
【０１９８】
得られた懸濁液を５０℃にて攪拌しながら、上記第１のニッケルめっき液を懸濁液に徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、リン含有量の高い導電性粒子１を得た。続いて、上記第２のニッケルめっき液を徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、導電性粒子２を得た。その後、懸濁液をろ過することにより、粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、樹脂粒子の表面にニッケル−モリブデン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
（実施例１６）
粒子径が３．０μｍであるジビニルベンゼン共重合体樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０３」）を用意した。
【０１９９】
パラジウム触媒液を５重量％含むアルカリ溶液１００重量部に、上記樹脂粒子１０重量部を、超音波分散器を用いて分散させた後、溶液をろ過することにより、樹脂粒子を取り出した。次いで、樹脂粒子をジメチルアミンボラン１重量％溶液１００重量部に添加し、樹脂粒子の表面を活性化させた。表面が活性化された樹脂粒子を十分に水洗した後、蒸留水５００重量部に加え、分散させることにより、懸濁液を得た。
【０２００】
また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、及びクエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌを含む第１のニッケルめっき液（ｐＨ８．０）を用意した。また、硫酸ニッケル０．２３ｍｏｌ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ、クエン酸ナトリウム０．５ｍｏｌ／Ｌ及びモリブデン酸ナトリウム０．３５ｍｏｌ／Ｌを含む第２のニッケルめっき液（ｐＨ４．５）を用意した。
【０２０１】
得られた懸濁液を５０℃にて攪拌しながら、上記第１のニッケルめっき液を懸濁液に徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、リン含有量の高い導電性粒子１を得た。続いて、上記第２のニッケルめっき液を徐々に滴下し、無電解ニッケルめっきを行い、導電性粒子２を得た。その後、懸濁液をろ過することにより、粒子を取り出し、水洗し、乾燥することにより、樹脂粒子の表面にニッケル−モリブデン−リン導電層（厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０２０２】
（実施例１７）
（１）パラジウム付着工程
粒子径が５．０μｍであるジビニルベンゼン樹脂粒子（積水化学工業社製「ミクロパールＳＰ−２０５」）を用意した。この樹脂粒子をエッチングし、水洗した。次に、パラジウム触媒を８重量％含むパラジウム触媒化液１００ｍＬ中に樹脂粒子を添加し、攪拌した。その後、ろ過し、洗浄した。ｐＨ６の０．５重量％ジメチルアミンボラン液に樹脂粒子を添加し、パラジウムが付着された樹脂粒子を得た。
【０２０３】
（２）芯物質付着工程
パラジウムが付着された樹脂粒子をイオン交換水３００ｍＬ中で３分間攪拌し、分散させ、分散液を得た。次に、金属ニッケル粒子スラリー（平均粒子径１００ｎｍ）１ｇを３分間かけて上記分散液に添加し、芯物質が付着された樹脂粒子を得た。
【０２０４】
（３）無電解ニッケルめっき工程
実施例１０と同様にして、樹脂粒子の表面にニッケル−モリブデン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層、厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０２０５】
（実施例１８）
（１）絶縁性粒子の作製
４ツ口セパラブルカバー、攪拌翼、三方コック、冷却管及び温度プローブが取り付けられた１０００ｍＬのセパラブルフラスコに、メタクリル酸メチル１００ｍｍｏｌと、Ｎ，Ｎ，Ｎ−トリメチル−Ｎ−２−メタクリロイルオキシエチルアンモニウムクロライド１ｍｍｏｌと、２，２’−アゾビス（２−アミジノプロパン）二塩酸塩１ｍｍｏｌとを含むモノマー組成物を固形分率が５重量％となるようにイオン交換水に秤取した後、２００ｒｐｍで攪拌し、窒素雰囲気下７０℃で２４時間重合を行った。反応終了後、凍結乾燥して、表面にアンモニウム基を有し、平均粒子径２２０ｎｍ及びＣＶ値１０％の絶縁性粒子を得た。
【０２０６】
絶縁性粒子を超音波照射下でイオン交換水に分散させ、絶縁性粒子の１０重量％水分散液を得た。
【０２０７】
実施例１７で得られた導電性粒子１０ｇをイオン交換水５００ｍＬに分散させ、絶縁性粒子の水分散液４ｇを添加し、室温で６時間攪拌した。３μｍのメッシュフィルターでろ過した後、更にメタノールで洗浄し、乾燥し、絶縁性粒子が付着した導電性粒子を得た。
【０２０８】
走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により観察したところ、導電性粒子の表面に絶縁性粒子による被覆層が１層のみ形成されていた。画像解析により導電性粒子の中心より２．５μｍの面積に対する絶縁性粒子の被覆面積（即ち絶縁性粒子の粒子径の投影面積）を算出したところ、被覆率は３０％であった。
【０２０９】
（比較例３）
めっき液のｐＨを４．５に変更したこと以外は実施例１０と同様にして、樹脂粒子の表面にニッケル−モリブデン−リン導電層（厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０２１０】
（比較例４）
めっき液のｐＨを４．５に変更したこと以外は実施例１４と同様にして、樹脂粒子の表面にニッケル−モリブデン−リン導電層（厚み０．１μｍ）が配置された導電性粒子を得た。
【０２１１】
（実施例１９）
樹脂粒子の表面に配置するニッケル−タングステン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層）の厚みを０．１μｍから０．２μｍに変更したこと以外は実施例９と同様にして、導電性粒子を得た。
【０２１２】
（実施例２０）
樹脂粒子の表面に配置するニッケル−タングステン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層）の厚みを０．１μｍから０．３μｍに変更したこと以外は実施例９と同様にして、導電性粒子を得た。
【０２１３】
（実施例２１）
樹脂粒子の表面に配置するニッケル−モリブデン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層）の厚みを０．１μｍから０．２μｍに変更したこと以外は実施例１８と同様にして、導電性粒子を得た。
【０２１４】
（実施例２２）
樹脂粒子の表面に配置するニッケル−モリブデン−リン導電層（結晶構造を有する結晶層）の厚みを０．１μｍから０．３μｍに変更したこと以外は実施例１８と同様にして、導電性粒子を得た。
【０２１５】
（評価）
（１）導電性粒子の圧縮弾性率（５％Ｋ値）
得られた導電性粒子の圧縮弾性率（５％Ｋ値）を、微小圧縮試験機（フィッシャー社製「フィッシャースコープＨ−１００」）を用いて測定した。
【０２１６】
（２）導電層の割れ発生試験
台の上に導電性粒子を置いた。微小圧縮試験機（フィッシャー社製「フィッシャースコープＨ−１００」）を用いて、圧縮速度０．３３ｍＮ／秒及び最大試験荷重１０ｍＮの条件で、円柱（ダイヤモンド製、直径５０μｍ）を圧縮部材として、該圧縮部材の平滑端面を導電性粒子に向かって降下させた。平滑端面により導電性粒子を圧縮した。導電性粒子の導電層に割れが生じるまで圧縮を行った。圧縮方向における圧縮前の導電性粒子の粒子径に対して、導電層に割れが生じた導電性粒子の上記圧縮変位を下記の表１〜３に示した。上記圧縮変位の評価結果については、３つの導電性粒子の測定値の平均値を下記の表１〜３に示した。
【０２１７】
（３）導電層（結晶層）１００重量％中のニッケル、リン、タングステン及びモリブデンの含有量
得られた導電性粒子を切断し、断面をエネルギー分散型Ｘ線分析によりニッケル、タングステン、モリブデン及びリンの含有量を評価した。また、リン含有導電層の内表面から外側に向かって厚み５ｎｍの領域と、リン含有導電層の外表面から内側に向かって厚み５ｎｍの領域とにおけるリンの含有量を評価した。
【０２１８】
導電層の厚み方向における各成分の含有量の分布（導電層の外表面から厚み方向に内側に向かって５ｎｍの厚みの導電層部分における各成分の含有量）については、以下のようにして評価した。
【０２１９】
集束イオンビームを用いて、得られた導電性粒子の薄膜切片を作製した。透過型電子顕微鏡ＦＥ−ＴＥＭ（日本電子社製「ＪＥＭ−２０１０ＦＥＦ」）を用いて、エネルギー分散型Ｘ線分析装置（ＥＤＳ）により、導電層におけるニッケル、リン、タングステン及びモリブデンの各含有量を測定した。
【０２２０】
（４）めっき状態
得られた導電性粒子５０個のめっき状態を、走査型電子顕微鏡により観察した。めっき割れ又はめっき剥がれ等のめっきむらの有無を観察した。めっきむらが確認された導電性粒子が４個以下の場合を「良好」、めっきむらが確認された導電性粒子が５個以上の場合を「不良」と判定した。
【０２２１】
（６）凝集状態
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（三菱化学社製「エピコート１００９」）１０重量部と、アクリルゴム（重量平均分子量約８０万）４０重量部と、メチルエチルケトン２００重量部と、マイクロカプセル型硬化剤（旭化成ケミカルズ社製「ＨＸ３９４１ＨＰ」）５０重量部と、シランカップリング剤（東レダウコーニングシリコーン社製「ＳＨ６０４０」）２重量部とを混合し、導電性粒子を含有量が３重量％となるように添加し、分散させ、異方性導電材料を得た。
【０２２２】
得られた異方性導電材料を２５℃で７２時間保管した。保管後に、異方性導電材料において凝集した導電性粒子が沈降しているか否かを評価した。凝集した導電性粒子が沈降していない場合を「良好」、凝集した導電性粒子が沈降している場合を「不良」と判定した。
【０２２３】
（７）接続抵抗
接続構造体の作製：
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（三菱化学社製「エピコート１００９」）１０重量部と、アクリルゴム（重量平均分子量約８０万）４０重量部と、メチルエチルケトン２００重量部と、マイクロカプセル型硬化剤（旭化成ケミカルズ社製「ＨＸ３９４１ＨＰ」）５０重量部と、シランカップリング剤（東レダウコーニングシリコーン社製「ＳＨ６０４０」）２重量部とを混合し、導電性粒子を含有量が３重量％となるように添加し、分散させ、樹脂組成物を得た。
【０２２４】
得られた樹脂組成物を、片面が離型処理された厚さ５０μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムに塗布し、７０℃の熱風で５分間乾燥し、異方性導電フィルムを作製した。得られた異方性導電フィルムの厚さは１２μｍであった。
【０２２５】
得られた異方性導電フィルムを５ｍｍ×５ｍｍの大きさに切断した。切断された異方性導電フィルムを、一方に抵抗測定用の引き回し線を有するアルミニウム電極（高さ０．２μｍ、Ｌ／Ｓ＝２０μｍ／２０μｍ）を有するガラス基板（幅３ｃｍ、長さ３ｃｍ）のアルミニウム電極側のほぼ中央に貼り付けた。次いで、同じアルミニウム電極を有する２層フレキシブルプリント基板（幅２ｃｍ、長さ１ｃｍ）を、電極同士が重なるように位置合わせをしてから貼り合わせた。このガラス基板と２層フレキシブルプリント基板との積層体を、１０Ｎ、１８０℃、及び２０秒間の圧着条件で熱圧着し、接続構造体を得た。なお、ポリイミドフィルムにアルミニウム電極が直接形成されている２層フレキシブルプリント基板を用いた。
【０２２６】
接続抵抗の測定：
得られた接続構造体の対向する電極間の接続抵抗を４端子法により測定した。また、接続抵抗を下記の評価基準で評価した。
【０２２７】
〔接続抵抗の評価基準〕
○○：接続抵抗が２．０Ω以下
○：接続抵抗が２．０Ωを超え、３．０Ω以下
△：接続抵抗が３．０Ωを超え、５．０Ω以下
×：接続抵抗が５．０Ωを超える
【０２２８】
（８）耐衝撃性
上記（７）接続抵抗の評価で得られた接続構造体を高さ７０ｃｍの位置から落下させ、導通を確認することにより耐衝撃性の評価を行った。初期抵抗値からの抵抗値の上昇率が５０％以下の場合を「良好」、初期抵抗値からの抵抗値の上昇率が５０％を超える場合を「不良」と判定した。
【０２２９】
（９）圧痕の形成の有無
微分干渉顕微鏡を用いて、上記（７）の評価の接続構造体の作製で得られた接続構造体のガラス基板側から、ガラス基板に設けられた電極を観察し、導電性粒子が接触した電極の圧痕の形成の有無を下記の判定基準で評価した。なお、電極の圧痕の形成の有無について、電極面積が０．０２ｍｍ２となるように、微分干渉顕微鏡にて観察し、電極面積０．０２ｍｍ２あたりの圧痕の個数を算出した。任意の１０箇所を微分干渉顕微鏡にて観察し、電極面積０．０２ｍｍ２あたりの圧痕の個数の平均値を算出した。
【０２３０】
〔圧痕の形成の有無の判定基準〕
○○：電極面積０．０２ｍｍ２あたりの圧痕が２５個以上
○：電極面積０．０２ｍｍ２あたりの圧痕が２０個以上、２５個未満
△：電極面積０．０２ｍｍ２あたりの圧痕が５個以上、２０個未満
×：電極面積０．０２ｍｍ２あたりの圧痕が５個未満
【０２３１】
（１０）結晶の大きさ
Ｘ線回折装置（理学電機製「ＲＩＮＴ２５００ＶＨＦ」）を用いて、回折角に依存する装置固有の回折線の自然幅を関数近似によって算出し、得られた回折線の拡がりが「格子歪がまったくない」と仮定できる時は、その拡がりを表す半価幅もしくは積分幅をＳｃｈｅｒｒｅｒの式に代入して、結晶子の大きさを算出した。
結晶子サイズ  （ｎｍ）  ＝  Ｋ・λ／（β・ｃｏｓθ）
Ｋ：Ｓｃｈｅｒｒｅｒ定数
λ：使用Ｘ線管球の波長
β：結晶子の大きさによる回折線の拡がり
θ：回折角  ２θ／θ
結晶の大きさを下記の基準で判定した。
【０２３２】
［結晶の大きさの判定基準］
○○：結晶の大きさが５０ｎｍ以上、１５０ｎｍ未満
○：結晶大きさが１０ｎｍ以上、５０ｎｍ未満
×：非結晶
【０２３３】
（１１）結晶状態
得られた導電性粒子を切断し、導電層の結晶有無を透過型電子顕微鏡にて観察した。基材粒子に接している導電層の基材粒子側から５ｎｍ領域における結晶の状態と、導電性粒子における導電層の外表面から５ｎｍ領域における結晶の状態を観察した。結晶の状態を下記の基準で判定した。
［結晶の状態の判定基準］
Ａ：結晶層
Ｂ：非結晶層
【０２３４】
結果を下記の表１〜３に示す。
【０２３５】
【表１】
0006009933.tif 000002
【０２３６】
【表２】
0006009933.tif 000003
【０２３７】
【表３】
0006009933.tif 000004
【符号の説明】
【０２３８】
１…導電性粒子
１ａ…突起
２…基材粒子
３…導電層
３ａ…突起
４…芯物質
５…絶縁物質
１１…導電性粒子
１１ａ…突起
１２…第１の導電層
１３…第２の導電層
１３ａ…突起
２１…導電性粒子
２２…導電層
２２ａ…割れ
５１…接続構造体
５２…第１の接続対象部材
５２ａ…上面
５２ｂ…電極
５３…第２の接続対象部材
５３ａ…下面
５３ｂ…電極
５４…接続部
７１…台
７２…圧縮部材
７２ａ…平滑端面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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