(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂組成物を担持または樹脂組成物が接合された薄板状の繊維基材を有し、連続的に供給されるシートに圧接し、前記シートの一方の面側に配置された第１のローラおよび第３のローラと、前記シートの他方の面側に配置された第２のローラとを備える圧接装置であって、
前記第１のローラおよび前記第３のローラと前記第２のローラとが離間した第１の位置と、前記第１のローラおよび前記第３のローラと前記第２のローラとが接近した第２の位置とに、前記第１のローラおよび前記第３のローラに対して前記第２のローラを相対的に移動させる移動手段を有し、
前記第２のローラが前記第１の位置に位置しているときは、前記第２のローラの外周面は、前記シートに接触しておらず、前記第２のローラが前記第２の位置に位置しているときは、前記第１のローラ、前記第２のローラおよび前記第３のローラの外周面が、それぞれ、前記シートに面接触して該シートを加圧するよう構成されており、
前記第１のローラの中心軸の方向から見たとき、前記第１のローラの前記シートに接触する範囲に対応する中心角は、３０〜４５°であり、
前記第２のローラの中心軸の方向から見たとき、前記第２のローラの前記シートに接触する範囲に対応する中心角は、６０〜９０°であり、
前記第３のローラの中心軸の方向から見たとき、前記第３のローラの前記シートに接触する範囲に対応する中心角は、３０〜４５°であることを特徴とする圧接装置。
【請求項２】
前記第１のローラの外周面と前記第２のローラの外周面とが前記シートを挟んで該シートに圧接するよう構成されている請求項１に記載の圧接装置。
【請求項３】
前記第１のローラの中心軸の方向から見たとき、前記シートには、前記第１のローラの外周面の該第１のローラと前記第２のローラとが前記シートを挟み込む箇所における接線方向と異なる方向に張力がかかっている請求項２に記載の圧接装置。
【請求項４】
前記第３のローラの外周面と前記第２のローラの外周面とが前記シートを挟んで該シートに圧接するよう構成されている請求項１ないし３のいずれかに記載の圧接装置。
【請求項５】
当該圧接装置は、加熱環境下におかれる請求項１ないし４のいずれかに記載の圧接装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の圧接装置を用いて、樹脂組成物を担持または樹脂組成物が接合された薄板状の繊維基材を有し、連続的に供給されるシートに、前記第１のローラおよび前記第２のローラをそれぞれ圧接することを特徴とする積層シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧接装置および積層シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品・電子機器等を小型化・薄膜化すべく、これに用いられる回路基板等を小型化・薄膜化することが要求されている。この要求に答えるために、多層構造の回路基板を用い、その各層を薄くすることが行なわれている。多層構造の回路基板は、例えば、複数枚のプリプレグを用いて製造される。なお、プリプレグは、連続的に製造された帯状をなす積層シートを所定の寸法に切断して得られる。
【０００３】
ところで、前記積層シートを製造する際は、薄板状の繊維基材と、繊維基材の一方の面側に塗布された樹脂組成物と、繊維基材の他方の面側に塗布された樹脂組成物とを有し、連続的に供給されるシートを挟み、そのシートに圧接する１対のローラを備える圧接装置が用いられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、従来の圧接装置では、１対のローラがシートに線状に接触してそのシートを加圧するので、効率が悪く、また、シートを十分に加圧することができないという欠点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００７／０６３９６０号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、連続的に供給されるシートを効率良く、十分に加圧することができる圧接装置および積層シートの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的は、下記（１）〜（６）の本発明により達成される。
（１）  樹脂組成物を担持または樹脂組成物が接合された薄板状の繊維基材を有し、連続的に供給されるシートに圧接し、前記シートの一方の面側に配置された第１のローラおよび第３のローラと、前記シートの他方の面側に配置された第２のローラとを備える圧接装置であって、
前記第１のローラおよび前記第３のローラと前記第２のローラとが離間した第１の位置と、前記第１のローラおよび前記第３のローラと前記第２のローラとが接近した第２の位置とに、前記第１のローラおよび前記第３のローラに対して前記第２のローラを相対的に移動させる移動手段を有し、
前記第２のローラが前記第１の位置に位置しているときは、前記第２のローラの外周面は、前記シートに接触しておらず、前記第２のローラが前記第２の位置に位置しているときは、前記第１のローラ、前記第２のローラおよび前記第３のローラの外周面が、それぞれ、前記シートに面接触して該シートを加圧するよう構成されており、
前記第１のローラの中心軸の方向から見たとき、前記第１のローラの前記シートに接触する範囲に対応する中心角は、３０〜４５°であり、
前記第２のローラの中心軸の方向から見たとき、前記第２のローラの前記シートに接触する範囲に対応する中心角は、６０〜９０°であり、
前記第３のローラの中心軸の方向から見たとき、前記第３のローラの前記シートに接触する範囲に対応する中心角は、３０〜４５°であることを特徴とする圧接装置。
【０００８】
（２）  前記第１のローラの外周面と前記第２のローラの外周面とが前記シートを挟んで該シートに圧接するよう構成されている上記（１）に記載の圧接装置。
【０００９】
（３）  前記第１のローラの中心軸の方向から見たとき、前記シートには、前記第１のローラの外周面の該第１のローラと前記第２のローラとが前記シートを挟み込む箇所における接線方向と異なる方向に張力がかかっている上記（２）に記載の圧接装置。
【００１３】
（４）  前記第３のローラの外周面と前記第２のローラの外周面とが前記シートを挟んで該シートに圧接するよう構成されている上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の圧接装置。
【００１４】
（５）  当該圧接装置は、加熱環境下におかれる上記（１）ないし（４）のいずれかに記載の圧接装置。
【００１５】
（６）  上記（１）ないし（５）のいずれかに記載の圧接装置を用いて、樹脂組成物を担持または樹脂組成物が接合された薄板状の繊維基材を有し、連続的に供給されるシートに、前記第１のローラおよび前記第２のローラをそれぞれ圧接することを特徴とする積層シートの製造方法。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、第１のローラおよび第２のローラの外周面が、それぞれ、シートに面接触するので、そのシートを効率良く、十分に加圧することができる。これにより、容易に、品質に優れた積層シートを連続的に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の積層シートの実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明の圧接装置の第１実施形態を示す側面図である。
【図３】本発明の圧接装置の第２実施形態を示す側面図である。
【図４】本発明の圧接装置の第３実施形態を示す側面図である。
【図５】本発明の積層シートを用いて製造した基板の実施形態を示す断面図である。
【図６】本発明の積層シートを用いて製造した半導体装置の実施形態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の圧接装置、積層シートの製造方法および積層シートを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２０】
図１は、本発明の積層シートの実施形態を示す断面図、図２は、本発明の圧接装置の第１実施形態を示す側面図である。
【００２１】
＜積層シート＞
まず、本発明の積層シートの実施形態について説明する。なお、積層シートを所定の寸法に切断すると、プリプレグが得られる。
【００２２】
なお、以下の説明では、図１（以下の各図において同様）中の上側を「上」、下側を「下」として説明する。また、図１（以下の各図において同様）は、厚さ方向（図中の上下方向）に大きく誇張して示してある。
【００２３】
図１に示す積層シート１は、その全体形状が帯状をなし、薄板状（平板状）の繊維基材２と、繊維基材２の一方の面（上面）側に位置し、第１の樹脂組成物（樹脂組成物）で構成される第１の樹脂層（樹脂層）３と、繊維基材２の他方の面（下面）側に位置し、第２の樹脂組成物（樹脂組成物）で構成される第２の樹脂層（樹脂層）４とを有する。なお、この積層シート１は、所定の寸法に切断されて使用される。
【００２４】
繊維基材２は、積層シート１の機械的強度を向上する機能を有する。
この繊維基材２としては、例えば、ガラス織布、ガラス不織布等のガラス繊維基材、ポリアミド樹脂繊維、芳香族ポリアミド樹脂繊維、全芳香族ポリアミド樹脂繊維等のポリアミド系樹脂繊維、ポリエステル樹脂繊維、芳香族ポリエステル樹脂繊維、全芳香族ポリエステル樹脂繊維等のポリエステル系樹脂繊維、ポリイミド樹脂繊維、フッ素樹脂繊維等を主成分とする織布または不織布で構成される合成繊維基材、クラフト紙、コットンリンター紙、リンターとクラフトパルプの混抄紙等を主成分とする紙繊維基材等の有機繊維基材等の繊維基材等が挙げられる。
【００２５】
これらの中でも、繊維基材２は、ガラス繊維基材であるのが好ましい。かかるガラス繊維基材を用いることにより、積層シート１の機械的強度をより向上することができる。また、積層シート１の熱膨張係数を小さくすることもできるという効果もある。
【００２６】
このようなガラス繊維基材を構成するガラスとしては、例えば、Ｅガラス、Ｃガラス、Ａガラス、Ｓガラス、Ｄガラス、ＮＥガラス、Ｔガラス、Ｈガラス等が挙げられる。これらの中でも、ガラスは、Ｓガラス、または、Ｔガラスであるのが好ましい。これにより、ガラス繊維基材の熱膨張係数を比較的小さくすることができ、このため、積層シート１をその熱膨張係数ができる限り小さいものとすることができる。
【００２７】
繊維基材２の平均厚さは、特に限定されないが、１００μｍ以下であるのが好ましく、５０μｍ以下であるのがより好ましく、１０〜３０μｍ程度であるのがさらに好ましい。かかる厚さの繊維基材２を用いることにより、積層シート１の機械的強度を確保しつつ、その薄型化を図ることができる。さらには、積層シート１の加工性・寸法安定性を向上することもできる。
【００２８】
この繊維基材２の一方の面側には、第１の樹脂層３が設けられ、また、他方の面側には、第２の樹脂層４が設けられている。また、第１の樹脂層３は、第１の樹脂組成物で構成され、一方、第２の樹脂層４は、本実施形態では、前記第１の樹脂組成物と異なる組成の第２の樹脂組成物で構成されている。
【００２９】
かかる構成により、各樹脂層に要求される特性に応じて、樹脂組成物の組成を適宜設定することができるようになる。
【００３０】
なお、第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とは、互いに組成が同一であってもよいことは、言うまでもない。
【００３１】
本実施形態では、第１の樹脂層３上に配線部（導体パターン）が形成されるために、第１の樹脂組成物は、金属との密着性に優れるような組成に設定されている。また、積層シート１から得られたプリプレグの第２の樹脂層４に積層シート１から得られた他のプリプレグの配線部や他の繊維基材を確実に埋め込むために、第２の樹脂組成物は、第２の樹脂層４が第１の樹脂層３より可撓性（柔軟性）が高くなるような組成に設定されている。このような各樹脂組成物については、後に詳述する。
【００３２】
図１に示すように、本実施形態では、繊維基材２の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物（第１の樹脂層３）が含浸され（以下この部分を「第１の含浸部３１」と言う）、繊維基材２の第１の樹脂組成物が含浸されていない残り部分に、第２の樹脂組成物（第２の樹脂層４）が含浸されている（以下この部分を「第２の含浸部４１」と言う）。これにより、第１の樹脂層３の一部である第１の含浸部３１と第２の樹脂層４の一部である第２の含浸部４１とが繊維基材２内に位置する。そして、繊維基材２内において、第１の含浸部３１（第１の樹脂層３の下面）と第２の含浸部４１（第２の樹脂層４の上面）とが接触している。換言すれば、第１の樹脂組成物が、繊維基材２の上面側から、繊維基材２に含浸され、第２の樹脂組成物が、繊維基材２の下面側から、繊維基材２に含浸され、これらの樹脂組成物で繊維基材２内の空隙が充填されている。
【００３３】
かかる構成により、繊維基材２を第１の樹脂層３および第２の樹脂層４で保護することができる。その結果、積層シート１に外部からの衝撃が加わった場合でも、繊維基材２自体が破壊するのを防止することができ、繊維基材２による積層シート１の機械的強度を向上する効果を確実に発揮させることができる。
【００３４】
また、繊維基材２内部における第１の含浸部３１と第２の含浸部４１との界面２０を微視的に見た場合、この界面２０は、凹凸をなすのが好ましい（図１中の拡大詳細図参照）。また、この界面２０は、第１の含浸部３１（第１の樹脂層３）と第２の樹脂層４とが互いに溶融し混ざりあっていてもよい。これにより、各樹脂層の繊維基材２に対するアンカー効果のみならず、樹脂層同士の密着性が高まり、各樹脂層が繊維基材２から剥離するのをより確実に防止することができる。これにより、プリプレグの耐久性の向上を図ることができる。さらには、プリプレグを基板１０（図５参照）にした際に吸湿耐熱性の向上を図ることができる。
【００３５】
かかる凹凸をなす界面２０は、例えば、まず、第１の樹脂組成物のワニスを、繊維基材２の一方の面側に供給、含浸して、第１の樹脂層３を一旦形成する。その後、第２の樹脂組成物のワニスを、繊維基材２の他方の面側に供給、含浸して、第２の樹脂層４を形成することにより、確実に得ることができる。なお、各樹脂組成物の含浸の程度、すなわち、各含浸部の厚さは、例えば、含浸温度および含浸時間を適宜調整することにより所望の大きさに設定することができる。また、これらの樹脂層を形成する順序は、逆であってもよいことは言うまでもない。また、第１の樹脂層３または第２の樹脂層４のうちの少なくとも一方に、微小の無機フィラーや溶剤を適宜含ませることで、前記界面２０の凹凸の形成、または、前記第１の含浸部３１と第２の樹脂層４とが溶融して混ざり合う状態にすることができる。
【００３６】
また、先に形成する樹脂層のワニスを繊維基材２に供給する際には、ワニスを供給するのと反対側の面から吸引操作を行うようにしてもよい。これにより、当該樹脂層を構成する樹脂組成物が繊維基材２に確実に含浸し、その繊維基材２内に形成される界面２０を荒らす、すなわち、凹凸が形成されたもの（粗面のもの）とすることができる。なお、当該樹脂組成物の含浸の程度は、例えば、吸引時間や吸引力を適宜調整することにより所望の大きさに設定することができる。また、繊維基材２に振動を与えつつ、ワニスを供給するようにしてもよい。
【００３７】
前述したように、第２の樹脂層４の可撓性は、第１の樹脂層３よりも高くなっている。このような大小関係を得る場合、第１の含浸部３１の平均厚さｔａ１［μｍ］が、第２の含浸部４１の平均厚さｔｂ１［μｍ］より大きく（ｔａ１＞ｔｂ１）設定するのが好ましい。これは、次のような理由による。
【００３８】
第２の樹脂層４の可撓性を、第１の樹脂層３より高く設定した場合、第２の樹脂層４の熱膨張率は、第１の樹脂層３より大きくなる傾向がある。このため、「ｔａ１＞ｔｂ１」とは反対の大小関係である「ｔａ１＜ｔｂ１」とすると、積層シート１が加熱されたとき、繊維基材２の内部では、第２の含浸部４１が第１の含浸部３１より大きく変形して、繊維基材２の部分で反りが生じるおそれがある。この繊維基材２の部分での反りは、積層シート１全体に大きく影響を与え、積層シート１自体が反ってしまうおそれがある。
【００３９】
これに対して、「ｔａ１＞ｔｂ１」とすれば、上記の不都合が生じるのを解消して、積層シート１に反りが発生するのを防止または抑制することが可能である。
【００４０】
具体的には、繊維基材２の最大厚さをＴ［μｍ］としたとき、前記平均厚さｔａ１は、０．７Ｔ〜０．９５Ｔであるのが好ましく、０．８Ｔ〜０．９Ｔであるのがより好ましい。平均厚さｔａ１をかかる範囲に設定することにより、各樹脂層が繊維基材２から剥離するのを確実に防止しつつ、積層シート１に反りが発生するのをより確実に防止または抑制することができる。
【００４１】
また、第１の樹脂層３の第１の含浸部３１を除く部分（第１の非含浸部３２）の平均厚さをｔａ２［μｍ］とし、第２の樹脂層４の第２の含浸部４１を除く部分（第２の非含浸部４２）の平均厚さをｔｂ２［μｍ］としたとき、ｔａ２≦ｔｂ２なる関係を満足するのが好ましく、１．５×ｔａ２＜ｔｂ２なる関係を満足するのがより好ましい。かかる関係を満足することにより、積層シート１の上面側の部分に比較的高い剛性を付与することができるため、当該積層シート１の上面（第１の非含浸部３２上）に配線部を高い加工性で形成することができる。一方、第２の樹脂層４は、高い可撓性と十分な厚さを有することができるため、積層シート１から得られたプリプレグの第２の樹脂層４（第２の非含浸部４２）に積層シート１から得られた他のプリプレグの配線部や他の繊維基材を埋め込む際、当該埋め込みを確実に行なうことができる、すなわち、積層シート１から得られた他のプリプレグの配線部や他の繊維基材に対する埋め込み性が向上する。
【００４２】
具体的には、平均厚さｔａ２は、２〜１５μｍであるのが好ましく、３〜１０μｍであるのがより好ましい。一方、平均厚さｔｂ２は、３〜２０μｍであるのが好ましく、５〜１５μｍであるのがより好ましい。
【００４３】
なお、積層シート１は、図１に示す構成では平均厚さｔａ２と平均厚さｔｂ２との大小関係はｔａ２＜ｔｂ２であるが、これに限定されず、例えば、ｔａ２＞ｔｂ２であってもよいし、ｔａ２＝ｔｂ２であってもよい。
【００４４】
さて、上記の特性を有する第１の樹脂層３および第２の樹脂層４をそれぞれ得るために、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物は、次のような組成とするのが好ましい。
【００４５】
第１の樹脂組成物は、例えば、硬化性樹脂を含み、必要に応じて、硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）および無機充填材のうちの少なくとも１種を含んで構成される。
【００４６】
配線部を構成する金属（支持体）との密着性を向上させるには、金属との密着性に優れる硬化性樹脂を使用する方法、金属との密着性を向上させる硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）を使用する方法、酸に可溶な無機成分や有機成分を用いる方法、無機充填材と有機充填材とを併用する方法等が挙げられる。
【００４７】
かかる硬化性樹脂には、例えば、ユリア（尿素）樹脂、メラミン樹脂、マレイミド化合物、ポリウレタン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、ビスアリルナジイミド化合物、ビニルベンジル樹脂、ビニルベンジルエーテル樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、シアネート樹脂、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、嫌気硬化性樹脂などが挙げられる。これらの中でも、硬化性樹脂は、ガラス転移温度が２００℃以上になる組合せが好ましい。例えば、スピロ環含有、複素環式、トリメチロール型、ビフェニル型、ナフタレン型、アントラセン型、ノボラック型の２または３官能以上のエポキシ樹脂、シアネート樹脂（シアネート樹脂のプレポリマーを含む）、マレイミド化合物、ベンゾシクロブテン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂を用いるのが好ましい。
【００４８】
前記硬化性樹脂の中でも、熱硬化性樹脂を用いることにより、さらに、後述する基板１０（図５参照）を作製した後において、硬化後の第１の樹脂層３中において架橋密度が増加するので、硬化後の第１の樹脂層３（得られる基板）の耐熱性の向上を図ることができる。
【００４９】
ここで、耐熱性の向上は、上記熱硬化性樹脂の硬化反応後にガラス転移温度が２００℃以上になること、硬化後の樹脂組成物の熱分解温度が高くなること、２５０℃以上での反応残渣などの低分子量が低減することに起因すると考えられる。更に、また、難燃性の向上は、芳香族系の熱硬化性樹脂のためその構造上ベンゼン環の割合が高いため、このベンゼン環が炭化（グラファイト化）し易く、硬化後の第１の樹脂層３中に炭化部分が生じることに起因すると考えられる。
【００５０】
特に、前記熱硬化性樹脂と充填材を併用することにより、プリプレグの熱膨張係数を小さくすること（以下、「低熱膨張化」と言うこともある）ができる。さらに、プリプレグの電気特性（低誘電率、低誘電正接）等の向上を図ることもできる。
【００５１】
前記エポキシ樹脂としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アリールアルキレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。
【００５２】
これらの中でも、エポキシ樹脂は、ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂であるのが好ましい。ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂を用いることにより、硬化後の第１の樹脂層３（得られる基板）において、吸湿半田耐熱性（吸湿後の半田耐熱性）および難燃性を向上させることができる。ナフタレン型エポキシとしては、ＤＩＣ（株）製のＨＰ−４７００、ＨＰ−４７７０、ＨＰ−４０３２Ｄ、ＨＰ−５０００、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられ、アリールアルキレン型エポキシ樹脂としては、日本化薬（株）製のＮＣ−３０００、ＮＣ−３０００Ｌ、ＮＣ−３０００−ＦＨ、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられる。アリールアルキレン型エポキシ樹脂とは、繰り返し単位中に芳香族基とメチレン等のアルキレン基の組合せが一つ以上含むエポキシ樹脂のことをいい、耐熱性、難燃性、および機械的強度が優れる。また、ハロゲンフリーの配線板に対応する上では、実質的にハロゲンを含まないエポキシ樹脂を用いることが好ましい。
【００５３】
前記シアネート樹脂は、例えば、ハロゲン化シアン化合物とフェノール類やナフトール類とを反応させ、必要に応じて加熱等の方法でプレポリマー化することにより得ることができる。また、このようにして調製された市販品を用いることもできる。
【００５４】
前記シアネート樹脂は、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂、及びナフトールアラルキル型シアネート樹脂等を挙げることができる。
【００５５】
また、前記シアネート樹脂は、分子内に２個以上のシアネート基（−Ｏ−ＣＮ）を有することが好ましい。例えば、２，２’−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、１，１’−ビス（４−シアナトフェニル）エタン、ビス（４−シアナト−３，５−ジメチルフェニル）メタン、１，３−ビス（４−シアナトフェニル−１−（１−メチルエチリデン））ベンゼン、ビス（４−シアナトフェニル）チオエーテル、ビス（４−シアナトフェニル）エーテル、１，１，１−トリス（４−シアナトフェニル）エタン、トリス（４−シアナトフェニル）ホスファイト、ビス（４−シアナトフェニル）スルホン、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）プロパン、１，３−、１，４−、１，６−、１，８−、２，６−又は２，７−ジシアナトナフタレン、１，３，６−トリシアナトナフタレン、４，４−ジシアナトビフェニル、及びフェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、ジシクロペンタジエン型等の多価フェノール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂、ナフトールアラルキル型の多価ナフトール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂等が挙げられる。これらの中で、フェノールノボラック型シアネート樹脂が難燃性、及び低熱膨張性に優れ、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、及びジシクロペンタジエン型シアネート樹脂が架橋密度の制御、及び耐湿信頼性に優れている。特に、フェノールノボラック型シアネート樹脂が低熱膨張性の点から好ましい。また、更に他のシアネート樹脂を１種類あるいは２種類以上併用したりすることもでき、特に限定されない。
【００５６】
前記シアネート樹脂は、単独で用いてもよいし、重量平均分子量の異なるシアネート樹脂を併用したり、前記シアネート樹脂とそのプレポリマーとを併用したりすることもできる。
【００５７】
前記プレポリマーは、通常、前記シアネート樹脂を加熱反応等により、例えば３量化することで得られるものであり、第１の樹脂組成物の成形性、流動性を調整するために好ましく使用されるものである。
【００５８】
前記プレポリマーは、特に限定されないが、例えば、３量化率が２０〜５０重量％のプレポリマーを用いた場合、良好な成形性、流動性を発現できる。
【００５９】
これらシアネート樹脂を用いることにより、効果的に耐熱性、及び難燃性を発現させることができる。
【００６０】
前記マレイミド化合物としては、特に限定されないが、Ｎ，Ｎ’−（４，４’−ジフェニルメタン）ビスマレイミド、ビス（３−エチル−５−メチル−４−マレイミドフェニル）メタン、２，２−ビス［４−（４−マレイミドフェノキシ）フェニル］プロパン等のビスマレイミド化合物が挙げられる。また、更に他のマレイミド化合物を１種類あるいは２種類以上併用したりすることもでき、特に限定されない。
【００６１】
前記マレイミド化合物は、単独で用いてもよいし、重量平均分子量の異なるマレイミド化合物を併用したり、前記マレイミド化合物とそのプレポリマーとを併用したりすることもできる。
これらマレイミド化合物を用いることにより、耐熱性を向上させることができる。
【００６２】
また、前記硬化性樹脂は、２種以上を併用して用いることもできる。例えば、硬化性樹脂として前記エポキシ樹脂を用いる場合、より難燃性を向上させる上で、前記シアネート樹脂を併用することができ、また、より耐熱性を向上させる上で、前記マレイミド化合物を併用することができる。さらに、硬化性樹脂として、前記シアネート樹脂を用いる場合は、より耐熱性や難燃性などを向上させる上で、前記エポキシ樹脂を併用することができる。
【００６３】
硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、第１の樹脂組成物全体の５〜７０質量％であるのが好ましく、１０〜５０質量％であるのがより好ましい。硬化性樹脂の含有量が前記下限値未満であると、硬化性樹脂の種類等によっては、第１の樹脂組成物のワニスの粘度が低くなりすぎ、プリプレグを形成するのが困難となる場合がある。一方、硬化性樹脂の含有量が前記上限値を超えると、他の成分の量が少なくなり過ぎるため、硬化性樹脂の種類等によっては、プリプレグの機械的強度が低下する場合がある。
【００６４】
その他、以下のように設定することもできる。
硬化性樹脂としてシアネート樹脂を用いエポキシ樹脂を併用する場合、エポキシ樹脂の含有量は、特に限定されないが、第１の樹脂組成物全体の２〜５５質量％であるのが好ましく、３〜４５質量％であるのがより好ましい。また、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用いシアネート樹脂を併用する場合、シアネート樹脂の含有量は、樹脂組成物全体の固形分基準で２〜５５質量％であることが好ましく、３〜４５質量％であることがより好ましく、５〜３５質量％であることが特に好ましい。また、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂用いマレイミド化合物を併用する場合、マレイミド化合物の含有量は、樹脂組成物の固形分基準で１〜３０質量％であることが好ましく、５〜２５質量％であることがより好ましく、５〜２０質量％であることがさらに好ましい。
【００６５】
また、後述する金属との密着性をさらに向上させる硬化剤または硬化促進剤を併用する場合には、上述の硬化性樹脂以外に、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、未変性のレゾールフェノール樹脂、桐油、アマニ油、クルミ油等で変性した油変性レゾールフェノール樹脂等のレゾール型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、ビスフェノールＡエポキシ樹脂、ビスフェノールＦエポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂等の他の熱硬化性樹脂を用いることもできる。
【００６６】
上述の硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）としては、アミン類、イミダゾール類、有機ホスフィン化合物類、有機金属塩類、有機酸等が挙げられる。例えば、ジシアンジアミド類、トリエチルアミン、トリブチルアミン、ジアザビシクロ［２，２，２］オクタン等の３級アミン類、２−エチル−４−エチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドルキシメチルイミダゾール、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール、２，４−ジアミノ−６−〔２’−メチルイミダゾリル−（１’）〕−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−（２’−ウンデシルイミダゾリル）−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−〔２’−エチル−４−メチルイミダゾリル−（１’）〕−エチル−ｓ−トリアジン、１−ベンジル−２−フェニルイミダゾール等のイミダゾール化合物が挙げられる。
【００６７】
これらの中でも、硬化助剤は、脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基、ヒドロキシアルキル基およびシアノアルキル基の中から選ばれる官能基を２個以上有しているイミダゾール化合物であるのが好ましく、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾールであるのがより好ましい。
【００６８】
また、第１の樹脂組成物には、例えば、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト（II）、トリスアセチルアセトナートコバルト（III）等の有機金属塩、フェノール、ビスフェノールＡ、ノニルフェノール等のフェノール化合物、酢酸、安息香酸、サリチル酸、パラトルエンスルホン酸等の有機酸等を組み合わせて用いることができる。
【００６９】
硬化助剤を用いる場合、その含有量は、第１の樹脂組成物全体の０．０１〜３重量％であるのが好ましく、０．１〜１重量％であるのがより好ましい。
【００７０】
また、第１の樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。これにより、プリプレグを薄型化（例えば、厚さ３５μｍ以下）にしても、機械的強度に優れる基板１０を得ることができる。さらに、基板１０の低熱膨張化を向上することもできる。
【００７１】
無機充填材としては、例えば、タルク、アルミナ、ガラス、溶融シリカのようなシリカ、マイカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等を挙げることができる。また、無機充填材の使用目的に応じて、破砕状、球状のものが適宜選択される。これらの中でも、低熱膨張性に優れる観点からは、無機充填材は、シリカであるのが好ましく、溶融シリカ（特に球状溶融シリカ）であるのがより好ましい。
【００７２】
無機充填材の平均粒径は、０．０１〜５．０μｍであるのが好ましく、０．２〜２．０μｍであるのがより好ましい。なお、この平均粒径は、例えば、粒度分布計（ＨＯＲＩＢＡ製「ＬＡ−５００」）により測定することができる。
【００７３】
特に、無機充填材としては、平均粒径５．０μｍ以下の球状溶融シリカが好ましく、平均粒子径０．０１〜２．０μｍ（特に、０．１〜０．５μｍ）の球状溶融シリカがより好ましい。これにより、第１の樹脂組成物のワニスを繊維基材２内により確実に含浸させることができ、また、形成された第１の樹脂層３（第１の含浸部３１）の繊維基材２の内部における面に凹凸をより確実に形成することができる。
【００７４】
また、第１の樹脂層３と配線部との密着性を向上するために、酸に可溶な無機成分や有機成分を用いてもよい。これにより、配線部（導体層）を第１の樹脂層３上にメッキ法で形成した場合に、その配線部の第１の樹脂層３に対する密着性（メッキ密着性）を向上することができる。この酸に可溶な無機充填材としては、例えば、炭酸カルシウム、酸化亜鉛、酸化鉄等の金属酸化物等が挙げられる。また、酸に可溶な有機成分としては、例えば、ブタジエン−アクリロニトリル共重合体等の架橋エラストマーや、ポリビニルアセタール等のゴム成分やゴム粒子を用いることができる。
【００７５】
無機充填材を用いる場合、その含有量は、特に限定されないが、第１の樹脂組成物全体の２０〜８０重量％であるのが好ましく、３０〜７０重量％であるのがより好ましい。
【００７６】
また、第１の樹脂層３と配線部との密着性を向上するために、無機充填材と有機充填材とを併用してもよい。この有機充填材としては、例えば、液晶ポリマー、ポリイミド、ゴム粒子、シリコーン粒子、ナイロン粒子、フッ素粒子等の樹脂系充填材が挙げられる。
【００７７】
前記ゴム粒子としては、例えば、コアシェル型ゴム粒子、架橋アクリロニトリルブタジエンゴム粒子、架橋スチレンブタジエンゴム粒子、アクリルゴム粒子、シリコーン粒子等が挙げられる。
【００７８】
前記コアシェル型ゴム粒子は、コア層とシェル層とを有するゴム粒子であり、例えば、外層のシェル層がガラス状ポリマーで構成され、内層のコア層がゴム状ポリマーで構成される２層構造、または外層のシェル層がガラス状ポリマーで構成され、中間層がゴム状ポリマーで構成され、コア層がガラス状ポリマーで構成される３層構造のもの等が挙げられる。前記ガラス状ポリマー層は、例えば、メタクリル酸メチルの重合物等で構成され、ゴム状ポリマー層は、例えば、ブチルアクリレート重合物（ブチルゴム）等で構成される。
前記コアシェル型ゴム粒子の具体例としては、スタフィロイドＡＣ３８３２、ＡＣ３８１６Ｎ（商品名、ガンツ化成（株）製）、メタブレンＫＷ−４４２６（商品名、三菱レイヨン（株）製）が挙げられる。架橋アクリロニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）粒子の具体例としては、ＸＥＲ−９１（平均粒子径０．５μｍ、ＪＳＲ（株）製）等が挙げられる。
架橋スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）粒子の具体例としては、ＸＳＫ−５００（平均粒子径０．５μｍ、ＪＳＲ（株）製）等が挙げられる。アクリルゴム粒子の具体例としては、メタブレンＷ３００Ａ（平均粒子径０．１μｍ）、Ｗ４５０Ａ（平均粒子径０．２μｍ）（三菱レイヨン（株）製）等が挙げられる。
【００７９】
前記シリコーン粒子は、オルガノポリシロキサンで形成されたゴム弾性微粒子であれば特に限定されず、例えば、シリコーンゴム（オルガノポリシロキサン架橋エラストマー）そのものからなる微粒子、及び二次元架橋主体のシリコーンからなるコア部を三次元架橋型主体のシリコーンで被覆したコアシェル構造粒子等が挙げられる。前記シリコーンゴム微粒子としては、ＫＭＰ−６０５、ＫＭＰ−６００、ＫＭＰ−５９７、ＫＭＰ−５９４（信越化学（株）製）、トレフィルＥ−５００、トレフィルＥ−６００（東レ・ダウコーニング（株）製）等の市販品を用いることができる。
【００８０】
さらに、第１の樹脂組成物には、金属との密着性が向上するような成分（樹脂等を含む）を添加してもよい。前記金属との密着性が向上するような成分（樹脂等を含む）としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、カップリング剤等が挙げられる。
【００８１】
前記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノール骨格を有するフェノキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するフェノキシ樹脂、ビフェニル骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。また、これらの骨格を複数種有した構造のフェノキシ樹脂を用いることもできる。
【００８２】
これらの中でも、フェノキシ樹脂には、ビフェニル骨格およびビスフェノールＳ骨格を有するフェノキシ樹脂を用いるのが好ましい。これにより、ビフェニル骨格が有する剛直性により、フェノキシ樹脂のガラス転移温度を高くすることができるとともに、ビスフェノールＳ骨格の存在により、フェノキシ樹脂の金属との密着性を向上させることができる。その結果、第１の樹脂層３の耐熱性の向上を図ることができるとともに、多層基板を製造する際に、第１の樹脂層３に対する配線部（金属）の密着性を向上させることができる。また、フェノキシ樹脂には、ビスフェノールＡ骨格およびビスフェノールＦ骨格を有するフェノキシ樹脂を用いるのも好ましい。これにより、多層基板の製造時に、配線部の第１の樹脂層３への密着性をさらに向上させることができる。
【００８３】
前記フェノキシ樹脂の市販品としては、東都化成（株）製ＦＸ２８０およびＦＸ２９３、ジャパンエポキシレジン（株）製ＹＸ８１００、ＹＸ６９５４、ＹＬ６９７４、ＹＬ７４８２、ＹＬ７５５３、ＹＬ６７９４、ＹＬ７２１３およびＹＬ７２９０等が挙げられる。フェノキシ樹脂の分子量は、特に限定されないが、重量平均分子量が５，０００〜７０，０００であるのが好ましく、１０，０００〜６０，０００であるのがより好ましい。
【００８４】
フェノキシ樹脂を用いる場合、その含有量は、特に限定されないが、第１の樹脂組成物全体の１〜４０重量％であるのが好ましく、５〜３０重量％であるのがより好ましい。
【００８５】
前記ポリビニルアルコール系樹脂の市販品としては、電気化学工業（株）製電化ブチラール４０００−２、５０００−Ａ、６０００−Ｃおよび６０００−ＥＰ、積水化学工業（株）製エスレックＢＨシリーズ、ＢＸシリーズ、ＫＳシリーズ、ＢＬシリーズおよびＢＭシリーズ等が挙げられる。特に、ガラス転移温度が８０℃以上のものが特に好ましい。
【００８６】
前記ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、の市販品としては、東洋紡績（株）社製「バイロマックスＨＲ１１ＮＮ」及び「ＨＲ−１６ＮＮ」「ＨＲ１５ＥＴ」、日立化成工業（株）製ポリアミドイミド「ＫＳ−９３００」などが挙げられる。三菱ガス化学（株）社製「ネオプリムＣ−１２１０」、新日本理化（株）社製の可溶性ポリイミド「リカコートＳＮ２０」及び「リカコートＰＮ２０」、日本ＧＥプラスチックス（株）社製のポリエーテルイミド「ウルテム」、ＤＩＣ（株）製「Ｖ８０００」及び「Ｖ８００２」及び「Ｖ８００５」：日本化薬（株）製「ＢＰＡＭ１５５」
前記ポリエーテルスルホン樹脂の市販品としては、公知のものを用いることができ、例えば、住友化学社製のＰＥＳ４１００Ｐ、ＰＥＳ４８００Ｐ、ＰＥＳ５００３Ｐ、およびＰＥＳ５２００Ｐなどを挙げることができる。
【００８７】
前記ポリフェニレンエーテル樹脂としては、例えば、ポリ（２，６−ジメチル−１，４−フェニレン）オキサイド、ポリ（２，６−ジエチル−１，４−フェニレン）オキサイド、ポリ（２−メチル−６−エチル−１，４−フェニレン）オキサイド、ポリ（２−メチル−６−プロピル−１，４−フェニレン）オキサイド、ポリ（２、６−ジプロピル−１，４−フェニレン）オキサイド、ポリ（２−エチル−６−プロピル−１，４−フェニレン）オキサイド等が挙げられる。市販品としては、例えば、日本Ｇ．Ｅ．プラスチック社製「ノリルＰＸ９７０１」（数平均分子量Ｍｎ＝１４，０００）、ノリル６４０−１１１」（数平均分子量Ｍｎ＝２５，０００）、及び旭化成社製「ＳＡ２０２」（数平均分子量Ｍｎ＝２０，０００）などがあり、これらを公知の方法で低分子量化して用いることができる。
【００８８】
これらの中でも、末端を官能基で変性した反応性オリゴフェニレンオキサイドが好ましい。これにより、熱硬化性樹脂との相溶性が向上し、ポリマー間の３次元架橋構造を形成することできるため機械強度に優れる。例えば、特開２００６−２８１１１号公報に記載されている２，２′，３，３′，５，５′−ヘキサメチルビフェニル‐４，４′−ジオール−２，６−ジメチルフェノール重縮合物とクロロメチルスチレンとの反応生成物が挙げられる。
【００８９】
このような反応性オリゴフェニレンオキサイドは、公知の方法により製造することができる。また、市販品を用いることもできる。例えば、ＯＰＥ−２ｓｔ  ２２００（三菱瓦斯化学社製）を好適に使用することができる。
【００９０】
前記反応性オリゴフェニレンオキサイドの重量平均分子量は、２，０００〜２０，０００であることが好ましく、４，０００〜１５，０００であることがより好ましい。反応性オリゴフェニレンオキサイドの重量平均分子量が２０，０００を超えると、揮発性溶剤に溶解し難くなる。一方、重量平均分子量が２,０００未満であると、架橋密度が高くなりすぎるため、硬化物の弾性率や可撓性に悪影響がでる。
【００９１】
また、第１の樹脂組成物は、以上に説明した成分のほか、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて他の成分を配合することができる。他の成分としては、例えば、オルベン、ベントン等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤又はレベリング剤、カップリング剤等の密着性付与剤、難燃剤、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック、アントラキノン類等の着色剤等を挙げることができる。
【００９２】
前記カップリング剤には、例えば、イミダゾール系カップリング剤、チアゾール系カップリング剤、トリアゾール系カップリング剤、チタネート系カップリング剤、アルミネート系カップリング剤、シラン系カップリング剤などのカップリング剤が挙げられ、エポキシシランカップリング剤、チタネート系カップリング剤、アミノシランカップリング剤およびシリコーンオイル型カップリング剤の中から選ばれる１種以上を用いるのが好ましい。
【００９３】
カップリング剤を用いる場合、その含有量は、特に限定されないが、無機充填材１００重量部に対して０．０５〜３重量部であるのが好ましく、０．１〜２重量部であるのがより好ましい。
【００９４】
前記難燃剤としては、例えば、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等が挙げられる。有機リン系難燃剤としては、三光（株）製のＨＣＡ、ＨＣＡ−ＨＱ、ＨＣＡ−ＮＱ等のホスフィン化合物、昭和高分子（株）製のＨＦＢ−２００６Ｍ等のリン含有ベンゾオキサジン化合物、北興化学工業（株）製のＰＰＱ、クラリアント（株）製のＯＰ９３０、大八化学（株）製のＰＸ２００等のリン酸エステル化合物、東都化成（株）製のＦＸ２８９、ＦＸ３１０等のリン含有エポキシ樹脂、東都化成（株）製のＥＲＦ００１等のリン含有フェノキシ樹脂等が挙げられる。有機系窒素含有リン化合物としては、四国化成工業（株）製のＳＰ６７０、ＳＰ７０３等のリン酸エステルミド化合物、大塚化学（株）社製のＳＰＢ１００、ＳＰＥ１００、（株）伏見製作所製ＦＰ−ｓｅｒｉｅｓ等のホスファゼン化合物等が挙げられる。金属水酸化物としては、宇部マテリアルズ（株）製のＵＤ６５０、ＵＤ６５３等の水酸化マグネシウム、住友化学（株）製ＣＬ３１０、昭和電工（株）ＨＰ−３５０等の水酸化アルミニウム等が挙げられる。これらの中でも、環境の側面から非ハロゲン系難燃剤が好ましい。
【００９５】
第２の樹脂組成物は、第１の樹脂組成物と異なる組成、具体的には、第２の樹脂層４が第１の樹脂層３より可撓性が高くなるような組成に設定されている。
【００９６】
第２の樹脂組成物の構成成分には、第１の樹脂組成物で挙げたものと同様のものを用いることができるが、樹脂や充填材等の種類および含有量、樹脂の分子量（平均繰り返し単位数）等の少なくとも１つを異ならせることにより、第２の樹脂組成物の組成は、第１の樹脂組成物と異なっている。その結果、第２の樹脂層４は、第１の樹脂層３と異なる特性を有している。
【００９７】
この第２の樹脂層４の面方向、すなわち、積層シート１の長手方向（Ｘ方向）および幅方向（Ｙ方向）の熱膨張係数は、特に限定されないが、２０ｐｐｍ以下であるのが好ましく、５〜１６ｐｐｍであるのがより好ましい。第２の樹脂層４の熱膨張係数が前記範囲内であると、積層シート１は、高い接続信頼性を有すことができ、得られる基板は、半導体素子等の実装信頼性に優れたものとなる。
【００９８】
また、積層シート１全体の面方向の熱膨張係数は、特に限定されないが、１６ｐｐｍ以下であるのが好ましく、１２ｐｐｍ以下であるのがより好ましく、５〜１０ｐｐｍであるのがさらに好ましい。積層シート１の熱膨張係数が前記範囲内であると、得られる基板において、繰り返しの熱衝撃に対する耐クラック性が向上する。
【００９９】
面方向の熱膨張係数は、例えば、ＴＭＡ装置（ＴＡインスツルメント社製）を用いて、１０℃／分で昇温して評価することができる。
【０１００】
なお、この積層シート１では、第１の樹脂層３の繊維基材２と反対側の面に、例えば、図示しない薄板状（平板状）の支持体等が設けられていてもよい。支持体は、例えば、金属箔（金属層）または樹脂フィルムで構成されている。
【０１０１】
金属箔は、例えば、後で配線部（回路）等に加工される部分である。この金属箔を構成する金属材料としては、例えば、銅または銅系合金、アルミニウムまたはアルミニウム系合金、鉄または鉄系合金、ステンレス鋼等が挙げられる。そして、金属箔を構成する金属材料としては、これらの中でも、導電性に優れ、エッチングによる回路形成が容易であり、また、安価であることから、銅または銅系合金が好ましい。
【０１０２】
また、樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、例えば、フッ素系樹脂、ポリイミド樹脂、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂等が挙げられる。そして、樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、これらの中でも、耐熱性に優れ、安価であることから、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。また、樹脂フィルムは、その樹脂フィルムの第１の樹脂層３側の面に剥離可能な処理が施されたものであることが好ましい。これにより、後で、支持体と第１の樹脂層３とを容易に分離することができる。
【０１０３】
支持体の平均厚さは、特に限定されないが、８〜７０μｍ程度であるのが好ましく、１２〜４０μｍ程度であるのがより好ましい。
【０１０４】
また、この積層シート１では、第２の樹脂層４の繊維基材２と反対側の面に、例えば、図示しない樹脂フィルム等が設けられていてもよい。この場合、積層シート１は、その樹脂フィルムを剥離して使用される。なお、樹脂フィルムとしては、前記支持体の樹脂フィルムとして説明したものと同様のものを用いることができる。
【０１０５】
＜圧接装置（積層シートの製造方法）の第１実施形態＞
次に、本発明の圧接装置の第１実施形態について説明する。
【０１０６】
図２に示す圧接装置６は、積層シート１等の各種の積層シートを製造する際に用いられ、連続的に供給されるシート９を加圧する装置である。なお、本実施形態では、圧接装置６が加熱環境下におかれる場合、具体的には、乾燥装置（図示せず）内に設置される場合について説明するが、他の環境下におかれてもよいことは、言うまでもない。
【０１０７】
図２（ａ）に示すように、圧接装置６は、加圧するシート９の一方（下側）の面側に配置された第１のローラ（ロール）６１１と、シート９の他方（上側）の面側に配置された第２のローラ６１２と、第１のローラ６１１に対して第２のローラ６１２を相対的に移動させる移動手段として、第２のローラ６１２を図２中の上下方向に移動させるエアシリンダ６２とを備えている。
【０１０８】
第１のローラ６１１の軸を回転可能に支持する図示しない１対の軸受けは、ハウジング（図示せず）に固定されている。
【０１０９】
一方、第２のローラ６１２の軸を回転可能に支持する１対の軸受け（図示せず）は、それぞれ、ガイド（図示せず）により、図２中の上下方向のみに移動し得るように、その移動方向が規制された状態で支持されている。また、エアシリンダ６２のピストンロッド６２１の先端部（下端部）には、第２のローラ６１２の軸の一端側の軸受けに固定されている。
【０１１０】
これにより、エアシリンダ６２の所定部位に圧縮空気が供給され、ピストンロッド６２１が収縮する方向に移動すると、第２のローラ６１２は、図２中の上方（第１のローラ６１１から離間する方向）に移動する。また、エアシリンダ６２の所定部位に圧縮空気が供給され、ピストンロッド６２１が伸長する方向に移動すると、第２のローラ６１２は、図２中の下方（第１のローラ６１１に接近する方向）に移動する。
【０１１１】
また、第１のローラ６１１および第２のローラ６１２は、それぞれ、例えば、多数の歯車が配置された歯車機構（図示せず）を介してモータ（図示せず）と連結されている。そして、このモータが作動すると、その動力が歯車機構を介して伝達され、第１のローラ６１１および第２のローラ６１２がそれぞれ互いに反対方向に回転することとなる。
【０１１２】
なお、本実施形態では、エアシリンダ６２により第２のローラ６１２のみが移動するように構成されているが、これに限らず、第１のローラ６１１のみが移動するように構成されていてもよく、また、第１のローラ６１１および第２のローラ６１２がそれぞれ移動するように構成されていてもよい。
【０１１３】
第１のローラ６１１および第２のローラ６１２は、それぞれ、外形形状が円柱状をなし、その長手方向の中間部に位置する本体部と、本体部の両端側にそれぞれ位置し、その外径が本体部の外径よりも縮径している軸とで構成されている。
【０１１４】
なお、第１のローラ６１１および第２のローラ６１２は、それぞれ、中実体のものであってもよく、また、中空体のものであってもよい。また、第１のローラ６１１の外径と、第２のローラ６１２の外径とは、同一でもよく、また、異なっていてもよいが、本実施形態では、同一の場合について説明する。
【０１１５】
また、第１のローラ６１１および第２のローラ６１２の構成材料としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、鉄、ステンレス鋼、アルミニウム等の各種金属、またはこれらを含む合金が挙げられる。この場合、第１のローラ６１１および第２のローラ６１２の外周面には、それぞれ、外周面が摩耗するのを防止する処理が施されていてもよい。この処理としては、例えば、外周面にＤＬＣ（Diamond Like Carbon）の被膜を形成する方法が挙げられる。
【０１１６】
また、第１のローラ６１１、第２のローラ６１２の構成材料としては、例えば、ニトリルゴム、ブチルゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料も用いることができる。
【０１１７】
第１のローラ６１１と第２のローラ６１２とは、水平方向に互いに平行に配置されている。また、第１のローラ６１１と第２のローラ６１２の外周面同士が互いに接近している。そして、第１のローラ６１１と第２のローラ６１２とが回転すると、これらの間、および、第１のローラ６１１と第２のローラ６１２とがそれぞれ単独で、図２中の左側から連続的に供給されるシート９に圧接し、そのシート９を加圧する。なお、シート９は、圧接装置６で加圧された後、図２中の右側において、ローラ（図示せず）に巻き取られる。
【０１１８】
前記シート９は、積層シート１を製造する際に、圧接装置６の前段で製造された積層シート１の中間体である。このシート９は、液状の樹脂組成物を担持、あるいは、固形または半固形の樹脂組成物（樹脂層）が接合された薄板状の繊維基材を有するもの、本実施形態では、繊維基材２の一方の面に液状の第１の樹脂組成物が塗布され、他方の面に、液状の第２の樹脂組成物が塗布されたものである。なお、第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とのいずれか一方または両方が、固形または半固形のものであってもよい。
【０１１９】
ここで、この圧接装置６では、第１のローラ６１１の中心軸の方向から見たとき（側面視で）、シート９には、第１のローラ６１１の外周面の第１のローラ６１１と第２のローラ６１２とがシート９を挟み込む箇所（挟持点ｂ）における接線方向と異なる方向に張力がかかっている。すなわち、第２のローラ６１２の中心軸の方向から見たとき、シート９には、第２のローラ６１２の外周面の第１のローラ６１１と第２のローラ６１２とがシート９を挟み込む箇所（挟持点ｂ）における接線方向と異なる方向に張力がかかっている。
【０１２０】
これにより、第１のローラ６１１の外周面と第２のローラ６１２の外周面とがシート９を挟んでそのシート９に線接触（線状に圧接）するとともに、第１のローラ６１１および第２のローラ６１２の外周面が、それぞれ、シート９に面接触（面状に圧接）する。これによって、シート９を加圧する期間を比較的長くすることができ、シート９を効率良く、確実に加圧することができる。
【０１２１】
すなわち、第１のローラ６１１の外周面は、地点ａでシート９に接触（圧接）し、その地点ａから挟持点ｂまでシート９に接触する。一方、第２のローラ６１２の外周面は、挟持点ｂでシート９に接触し、その挟持点ｂから地点ｃまでシート９に接触する。したがって、挟持点ｂでは、第１のローラ６１１の外周面と第２のローラ６１２の外周面とが、シート９を挟み込み、そのシート９に圧接する。
【０１２２】
このように、シート９は、第１のローラ６１１の外周面に接触してから、第２のローラ６１２の外周面から離間するまで、第１のローラ６１１の外周面と第２のローラ６１２の外周面との少なくとも一方に接触している（連続的に接触している）。これにより、シート９を効率良く、確実に加圧することができる。
【０１２３】
また、第１のローラ６１１の中心軸の方向から見たとき、第１のローラ６１１の外周面のシート９に接触する範囲に対応する中心角θ１は、３０〜４５°程度であることが好ましく、３０〜３５°程度であることがより好ましい。これにより、シート９をあまり曲げることなく、シート９を比較的長い期間、加圧することができる。
【０１２４】
また、第２のローラ６１２の中心軸の方向から見たとき、第２のローラ６１２の外周面のシート９に接触する範囲に対応する中心角θ２は、３０〜４５°程度であることが好ましく、３０〜３５°程度であることがより好ましい。これにより、シート９をあまり曲げることなく、シート９を比較的長い期間、加圧することができる。
【０１２５】
なお、中心角θ１と中心角θ２とは、本実施形態では同一であるが、異なっていてもよい。
【０１２６】
また、シート９の張力による、第１のローラ６１１および第２のローラ６１２からシート９にかかる面圧は、それぞれ、特に限定されず、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物の組成や諸条件に応じて適宜設定されるが、９．８〜９８０ｈＰａ程度であることが好ましく、１４．７〜９８ｈＰａ程度であることがより好ましい。これにより、シート９を必要かつ十分に加圧することができる。
【０１２７】
次に、圧接装置６により積層シート１が製造される過程について、図２を参照しつつ説明する。
【０１２８】
積層シート１を製造する際は、圧接装置６を図２（ａ）に示す状態にする。この場合、まずは、図２（ｂ）に示すように、エアシリンダ６２により第２のローラ６１２を上側に移動させ、シート９を第１のローラ６１１の外周面上に位置させる。この状態では、シート９に所定の大きさの張力がかかっている。そして、図２（ａ）に示すように、エアシリンダ６２により第２のローラ６１２を下方に移動させる。以上で、圧接装置６の準備が完了する。なお、圧接装置６は、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物をそれぞれ乾燥させる乾燥装置内に設置されている。
【０１２９】
図２中の左側から連続的に供給されるシート９は、前述した圧接装置６により加圧される。そして、その加圧と同時に、乾燥装置により、シート９の第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物をそれぞれ乾燥させる。これにより、積層シート１が得られる。
【０１３０】
乾燥条件としては、特に限定されず、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物の組成や諸条件に応じて適宜設定されるが、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物中の揮発成分が樹脂に対してそれぞれ１．５ｗｔ％以下になるように設定することが好ましく、０．８〜１．０ｗｔ％程度になるように設定することがより好ましい。具体的には、乾燥温度は、６０〜１８０℃程度であることが好ましく、８０〜１５０℃程度であることがより好ましい。また、乾燥時間は、２〜１０分程度であることが好ましく、２〜５分程度であることがより好ましい。
【０１３１】
以上のようにして、容易に、品質に優れた積層シート１を連続的に製造することができる。
【０１３２】
なお、本実施形態では、第１のローラ６１１の外周面と第２のローラ６１２の外周面とがシート９を挟んでそのシート９に圧接するよう構成されているが、本発明では、第１のローラ６１１の外周面と第２のローラ６１２の外周面とでシート９を挟まなくてもよい。
【０１３３】
すなわち、第１のローラ６１１の外周面と第２のローラ６１２の外周面との間に、シート９の厚み分以上の間隙が設けられ、第１のローラ６１１および第２のローラ６１２の外周面が、それぞれ、シート９に面接触してそのシート９を加圧するよう構成されていてもよい。換言すれば、第１のローラ６１１および第２のローラ６１２の外周面から、それぞれ、シート９に片面圧を加えるよう構成されていてもよい。これは、後述する第２実施形態および第３実施形態でも同様である。
【０１３４】
＜圧接装置（積層シートの製造方法）の第２実施形態＞
次に、圧接装置の第２実施形態について説明する。
【０１３５】
図３は、本発明の圧接装置の第２実施形態を示す側面図である。なお、第２実施形態については、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１３６】
図３に示すように、第２実施形態の圧接装置６では、さらに、シート９に圧接し、シート９の一方（下側）の面側に配置された第３のローラ６１３を有している。第１のローラ６１１の外径と、第２のローラ６１２の外径と、第３のローラ６１３の外径とは、同一でもよく、また、異なっていてもよいが、本実施形態では、同一の場合について説明する。なお、第３のローラ６１３の基本的な構成は、第１のローラ６１１と同様であるので、その説明は省略する。
【０１３７】
第１のローラ６１１と第２のローラ６１２と第３のローラ６１３とは、水平方向に互いに平行に配置されている。また、第１のローラ６１１と第２のローラ６１２の外周面同士が互いに接近し、第３のローラ６１３と第２のローラ６１２の外周面同士が互いに接近している。そして、第１のローラ６１１と第２のローラ６１２と第３のローラ６１３とが回転すると、第１のローラ６１１と第２のローラ６１２との間、第３のローラ６１３と第２のローラ６１２との間、および、第１のローラ６１１と第２のローラ６１２と第３のローラ６１３とがそれぞれ単独で、図３中の左側から連続的に供給されるシート９に圧接し、そのシート９を加圧する。
【０１３８】
ここで、この圧接装置６では、第１のローラ６１１の中心軸の方向から見たとき、シート９には、第１のローラ６１１の外周面の第１のローラ６１１と第２のローラ６１２とがシート９を挟み込む箇所（挟持点ｂ）における接線方向と異なる方向に張力がかかっている。すなわち、第２のローラ６１２の中心軸の方向から見たとき、シート９には、第２のローラ６１２の外周面の第１のローラ６１１と第２のローラ６１２とがシート９を挟み込む箇所（挟持点ｂ）における接線方向と異なる方向に張力がかかっている。
【０１３９】
同様に、第３のローラ６１３の中心軸の方向から見たとき、シート９には、第３のローラ６１３の外周面の第３のローラ６１３と第２のローラ６１２とがシート９を挟み込む箇所（挟持点ｄ）における接線方向と異なる方向に張力がかかっている。すなわち、第２のローラ６１２の中心軸の方向から見たとき、シート９には、第２のローラ６１２の外周面の第３のローラ６１３と第２のローラ６１２とがシート９を挟み込む箇所（挟持点ｄ）における接線方向と異なる方向に張力がかかっている。
【０１４０】
これにより、第１のローラ６１１の外周面と第２のローラ６１２の外周面とがシート９を挟んでそのシート９に線接触（線状に圧接）し、第３のローラ６１３の外周面と第２のローラ６１２の外周面とがシート９を挟んでそのシート９に線接触（線状に圧接）するとともに、第１のローラ６１１、第２のローラ６１２および第３のローラ６１３の外周面が、それぞれ、シート９に面接触（面状に圧接）する。これによって、シート９を加圧する期間を比較的長くすることができ、シート９を効率良く、確実に加圧することができる。
【０１４１】
すなわち、第１のローラ６１１の外周面は、地点ａでシート９に接触（圧接）し、その地点ａから挟持点ｂまでシート９に接触する。また、第２のローラ６１２の外周面は、挟持点ｂでシート９に接触し、その挟持点ｂから挟持点ｄまでシート９に接触する。また、第３のローラ６１３の外周面は、挟持点ｄでシート９に接触し、その挟持点ｄから地点ｅまでシート９に接触する。したがって、挟持点ｂでは、第１のローラ６１１の外周面と第２のローラ６１２の外周面とが、シート９を挟み込み、そのシート９に圧接し、挟持点ｄでは、第３のローラ６１３の外周面と第２のローラ６１２の外周面とが、シート９を挟み込み、そのシート９に圧接する。
【０１４２】
このように、シート９は、第１のローラ６１１の外周面に接触してから、第３のローラ６１３の外周面から離間するまで、第１のローラ６１１の外周面と第２のローラ６１２の外周面と第３のローラ６１３外周面とのうちの少なくともいずれか１つに接触している（連続的に接触している）。
【０１４３】
これにより、この圧接装置６では、第１のローラ６１１の外周面と第２のローラ６１２の外周面と第３のローラ６１３の外周面とが、シート９に連続的に面接触するので、シート９を効率良く、確実に加圧することができる。
【０１４４】
また、第１のローラ６１１の中心軸の方向から見たとき、第１のローラ６１１の外周面のシート９に接触する範囲に対応する中心角θ１は、３０〜４５°程度であることが好ましく、３０〜３５°程度であることがより好ましい。これにより、シート９をあまり曲げることなく、シート９を比較的長い期間、加圧することができる。
【０１４５】
また、第２のローラ６１２の中心軸の方向から見たとき、第２のローラ６１２の外周面のシート９に接触する範囲に対応する中心角θ２は、６０〜９０°程度であることが好ましく、６０〜７０°程度であることがより好ましい。これにより、シート９をあまり曲げることなく、シート９を比較的長い期間、加圧することができる。
【０１４６】
また、第３のローラ６１３の中心軸の方向から見たとき、第３のローラ６１３の外周面のシート９に接触する範囲に対応する中心角θ３は、３０〜４５°程度であることが好ましく、３０〜３５°程度であることがより好ましい。これにより、シート９をあまり曲げることなく、シート９を比較的長い期間、加圧することができる。
【０１４７】
また、θ２／θ１、θ２／θ３は、それぞれ、１．００〜２．００程度であることが好ましく、１．００〜１．２７程度であることがより好ましい。これにより、シート９をあまり曲げることなく、シート９を比較的長い期間、加圧することができる。
【０１４８】
なお、中心角θ１と中心角θ３とは、本実施形態では同一であるが、異なっていてもよい。また、中心角θ１と中心角θ２とは、本実施形態では異なっている（中心角θ２の方が大きい）が、同一であってもよい。また、中心角θ２と中心角θ３とは、本実施形態では異なっている（中心角θ２の方が大きい）が、同一であってもよい。
【０１４９】
また、ローラ６１１およびローラ６１３に対してローラ６１２がシート９に加える圧力（線圧）は、それぞれ、特に限定されず、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物の組成や諸条件に応じて適宜設定されるが、０〜１．０ＭＰａ程度であることが好ましく、０〜０．１ＭＰａ程度であることがより好ましい。これにより、シート９を必要かつ十分に加圧することができる。
【０１５０】
＜圧接装置（積層シートの製造方法）の第３実施形態＞
次に、圧接装置の第３実施形態について説明する。
【０１５１】
図４は、本発明の圧接装置の第３実施形態を示す側面図である。なお、第３実施形態については、前述した第２実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１５２】
図４に示すように、第３実施形態の圧接装置６では、さらに、シート９に圧接し、シート９の一方（下側）の面側に配置された第５のローラ６１５と、シート９の他方（上側）の面側に配置された第４のローラ６１４と、第２のローラ６１２および第３のローラ６１３に対して第４のローラ６１４を相対的に移動させる移動手段として、第４のローラ６１４を図４中の上下方向に移動させるエアシリンダ６３とを備えている。
【０１５３】
第１のローラ６１１の外径と、第２のローラ６１２の外径と、第３のローラ６１３の外径と、第４のローラ６１４の外径と、第５のローラ６１５の外径とは、同一でもよく、また、異なっていてもよいが、本実施形態では、同一の場合について説明する。なお、第４のローラ６１４の基本的な構成は、第２のローラ６１２と同様であるので、その説明は省略し、また、第５のローラ６１５の基本的な構成は、第１のローラ６１１や第３のローラ６１３と同様であるので、その説明は省略する。また、第３のローラ６１３と第４のローラ６１４との関係は、第１のローラ６１１と第２のローラ６１２との関係と同様であるので、その説明は省略し、また、第５のローラ６１５と第４のローラ６１４との関係は、第３のローラ６１３と第２のローラ６１２との関係と同様であるので、その説明は省略する。また、エアシリンダ６３の構成は、エアシリンダ６２と同様であるので、その説明は省略する。
【０１５４】
この圧接装置６では、シート９を比較的長い期間加圧する場合は、図４に示すように、第２のローラ６１２および第４のローラ６１４を下方に移動させ、第１のローラ６１１〜第５のローラ６１５の外周面をそれぞれシート９に面接触させる。
【０１５５】
また、シート９を加圧する期間を前記に対して短くする場合は、第２のローラ６１２と第４のローラ６１４とのうちの一方のみ下方に移動させ、第１のローラ６１１、第２のローラ６１１および第３のローラ６１３の外周面のみをそれぞれシート９に面接触させるか、または、第３のローラ６１３、第４のローラ６１４および第５のローラ６１５の外周面のみをそれぞれシート９に面接触させる。
【０１５６】
このようにして、各ローラの回転速度を変更することなく、シート９を加圧する期間を選択（調整）することができる。
【０１５７】
＜基板＞
次に、本発明の積層シートを用いて製造した基板について、図５を参照しつつ説明する。この図５に示す基板１０は、積層体１１と、この積層体１１の両面に設けられた金属層１２とを有している。
【０１５８】
積層体１１は、第２の樹脂層４同士を内側にして配置された２つのプリプレグ１ｇと、第２の樹脂層４同士間で挟持された繊維基材１３とを備える。なお、プリプレグ１ｇは、積層シート１を所定の寸法に切断したものである。
【０１５９】
繊維基材１３には、前述した繊維基材２と同様のものを用いることができる。また、本実施形態では、第２の樹脂層４は、前述したような特性（可撓性）を有するため、繊維基材１３の少なくとも一部は、第２の樹脂層４に確実に埋め込まれる（埋設される）。
【０１６０】
金属層１２は、配線部に加工される部分であり、例えば、銅箔、アルミ箔等の金属箔を積層体１１に接合すること、銅、アルミニウムを積層体１１の表面にメッキすること等により形成される。また、本実施形態では、第１の樹脂層３は、前述したような特性を有するため、高い密着性で金属層１２を保持することができるとともに、高い加工精度で金属層１２を配線部に形成することができるようになっている。
【０１６１】
金属層１２と第１の樹脂層３とのピール強度は、０．５ｋＮ／ｍ以上であるのが好ましく、０．６ｋＮ／ｍ以上であるのがより好ましい。これにより、金属層１２を配線部に加工し、得られる半導体装置１００（図６参照）における接続信頼性をより向上させることができる。
【０１６２】
このような基板１０は、第１の樹脂層３上に金属層１２を形成したプリプレグ１ｇを２つ用意し、これらのプリプレグ１ｇで繊維基材１３を挟持した状態で、例えば、真空プレス、常圧ラミネータおよび真空下で加熱加圧するラミネータを用いて積層する方法が挙げられる。真空プレスは、平板に挟んで通常のホットプレス機等で実施できる。例えば、名機製作所社製の真空プレス、北川精機社製の真空プレス、ミカドテクノス社製の真空プレス等が挙げられる。また、ラミネータ装置としては、ニチゴー・モートン社製のバキュームアップリケーター、名機製作所社製の真空加圧式ラミネータ、日立テクノエンジニアリング社製の真空ロール式ドライコータ等のような市販の真空積層機、またはベルトプレス等を用いて製造することができる。
【０１６３】
なお、基板１０は、繊維基材１３が省略され、２つのプリプレグ１ｇが第２の樹脂層４同士を直接接合してなる積層体を含むものであってもよく、金属層１２が省略されたものであってもよい。
【０１６４】
＜半導体装置＞
次に、本発明の積層シートを用いて製造した半導体装置について、図６を参照しつつ説明する。なお、図６中では、繊維基材２、１３を省略して示し、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４を一体として示してある。
【０１６５】
図６に示す半導体装置１００は、多層基板２００と、多層基板２００の上面に設けられたパッド部３００と、多層基板２００の下面に設けられた配線部４００と、パッド部３００にバンプ５０１を接続することにより、多層基板２００上に搭載された半導体素子５００とを有している。また、その他、多層基板２００の下面には、配線部、パッド部、半田ボール等が設けられていてもよい。
【０１６６】
多層基板２００は、コア基板として設けられた基板１０と、この基板１０の上側に設けられた３つのプリプレグ１ａ、１ｂ、１ｃと、基板１０の下側に設けられた３つのプリプレグ１ｄ、１ｅ、１ｆとを備えている。プリプレグ１ａ〜１ｃをそれぞれ構成する繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の基板１０からの配置順番と、プリプレグ１ｄ〜１ｆをそれぞれ構成する繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の基板１０からの配置順番とは、同じとなっている。すなわち、プリプレグ１ａ〜１ｃとプリプレグ１ｄ〜１ｆとは、互いに上下反転したもの同士となっている。
【０１６７】
また、多層基板２００は、プリプレグ１ａとプリプレグ１ｂとの間に設けられた回路部２０１ａと、プリプレグ１ｂとプリプレグ１ｃとの間に設けられた回路部２０１ｂと、プリプレグ１ｄとプリプレグ１ｅとの間に設けられた回路部２０１ｄと、プリプレグ１ｅとプリプレグ１ｆとの間に設けられた回路部２０１ｅとを有している。
【０１６８】
さらに、多層基板２００は、各プリプレグ１ａ〜１ｆをそれぞれ貫通して設けられ、隣接する回路部同士や、回路部とパッド部とを電気的に接続する導体部２０２とを備えている。
【０１６９】
基板１０の各金属層１２は、それぞれ、所定のパターンに加工され、当該加工された金属層１２同士は、基板１０を貫通して設けられた導体部２０３により電気的に接続されている。
【０１７０】
なお、半導体装置１００（多層基板２００）は、基板１０の片面側に、４つ以上のプリプレグを設けるようにしてもよい。さらに、半導体装置１００は、前述した積層シートから得られたプリプレグ以外のプリプレグを含んでいてもよい。
【０１７１】
以上、本発明の圧接装置、積層シートの製造方法および積層シートを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物や工程が付加されていてもよい。
【０１７２】
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成や工程（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１７３】
また、前記実施形態では、ローラの数が２つ、３つおよび５つの場合について説明したが、本発明では、ローラの数は、それに限定されず、例えば、４つ、または、６つ以上であってもよい。
【０１７４】
また、前記実施形態から判るように、第１のローラおよび第２のローラの中心軸の方向から見たとき、第１のローラおよび第２のローラのシートに接触する範囲に対応する中心角は、それぞれ、３０〜９０°であることが好ましい。
【０１７５】
また、積層シートは、図１に示す構成では繊維基材の両面にそれぞれ樹脂層が接合されたものであるが、これに限定されず、繊維基材の片面にのみ樹脂層が接合されたものであってもよい。このような構成の積層シートも圧接装置で製造することができる。
【０１７６】
また、積層シートは、図１に示す構成では繊維基材に第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物がそれぞれ含浸したものであるが、これに限定されず、例えば次のようなものであってもよい。１つ目の例は、繊維基材の厚さ方向に、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物がいずれも含浸していない積層シート。２つ目の例は、繊維基材の厚さ方向全体にわたって第１の樹脂組成物が含浸し、第２の樹脂組成物は含浸していない積層シート。３つ目の例は、繊維基材の厚さ方向全体にわたって第２の樹脂組成物が含浸し、第１の樹脂組成物は含浸していない積層シート。４つ目の例は、繊維基材の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物が含浸し、第２の樹脂組成物は含浸していない積層シート。５つ目の例は、繊維基材の厚さ方向の一部に第２の樹脂組成物が含浸し、第１の樹脂組成物は含浸していない積層シート。以上５つの例の積層シートでも、第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とは、互いに組成が異なるものでもよく、また、互いに組成が同一のものでもよい。そして、このような構成の積層シートも圧接装置で製造することができる。
【符号の説明】
【０１７７】
１              積層シート
１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ  プリプレグ
２              繊維基材
３              第１の樹脂層
３１            第１の含浸部
３２            第１の非含浸部
４              第２の樹脂層
４１            第２の含浸部
４２            第２の非含浸部
６              圧接装置
６１１〜６１５  ローラ
６２、６３      エアシリンダ
６２１          ピストンロッド
９              シート
１０            基板
１１            積層体
１２            金属層
１３            繊維基材
２０            界面
１００          半導体装置
２００          多層基板
２０１ａ、２０１ｂ、２０１ｄ、２０１ｅ  回路部
２０２、２０３  導体部
３００          パッド部
４００          配線部
５００          半導体素子
５０１          バンプ
ｔａ1、ｔａ２、ｔｂ1、ｔｂ２  平均厚さ
【図１】
0005887704.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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