(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械部品の非破壊検査のための装置であって、高エネルギー電磁放射を一方向（９２）に放射する供給源（７０、１２０）と、電磁放射を吸収すると共に開口部（９８、１１６）を有する材料からなるマスク（９６、１０８）と、を含んでおり、開口部（９８、１１６）の形状及び寸法は、機械部品（１０２）の所与の検査対象ゾーンのみが電磁放射に露出されるように決定されており、装置が、
マスク（９６、１０８）及び機械部品（１０２）を支持及び位置決めするための手段と、
マスク（９６、１０８）の開口部（９８，１１６）及び機械部品（１０２）の検査対象ゾーンを供給源（７０、１２０）とアライメントさせるための手段と、
を有し、支持及び位置決め手段が、電磁ビームの軸（９２）に沿って重畳された第１及び第２ステージ（７６、７８）を有する構造体（７２）を有し、第２ステージ（７８）は、第１ステージ（７６）と供給源（７０、１２０）の間に配置され、且つ、第１ステージ（７６）の部品支持部（１０４）のための少なくとも１つの場所（８０、８２、８４）とビームの軸（９２）上においてアライメントされた状態においてマスク（９６、１０８）を受け入れるための少なくとも１つの場所（８６、８８、９０）を含み、
開口部（１１６）のエッジ（１１４）と、供給源（１２０）によって放射されるビームの周縁放射線（１１８）とが一直線状の関係になっていることを特徴とする、装置。  
【請求項２】
構造体（７２）が、ビームの軸（９２）に対して垂直の軸（９４）に沿って平行移動可能であり、且つ、第１及び第２ステージ（７６、７８）のそれぞれは、前記垂直の平行移動軸（９４）に沿ってアライメントされた状態にある複数の前述の場所（８０、８２、８４、８６、８８、９０）を含むことを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
第１ステージの場所内に取り付けられたそれぞれの支持部（１０４）が、機械部品（１０２）の所与のゾーンを検査するために少なくとも１つの機械部品（１０２）を位置決めするための突起（１０６）を含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
開口部（９８，１１６）が機械部品（１０２）の検査部分と整列されており、マスク（９６、１０８）の開口部（９８、１１６）の形状が、供給源（７０、１２０）によって放射されるビームの軸に対して垂直のプレーン上への所与の検査対象ゾーンのアウトラインの投影に対応しており、且つ、開口部（９８、１１６）の形状の寸法は、機械部品（１０２）及び供給源（７０、１２０）との関係においてマスク（９６、１０８）のビームの軸方向に沿った位置の関数である倍率を適用することによって決定されることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項５】
マスク（９６、１０８）が、電磁放射の特性によって左右される厚さを有するプレートの形態において製造されることを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
電磁放射の供給源（７０、１２０）が、Ｘ線源又はガンマ線源であることを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
電磁放射を吸収する別のマスクが機械部品（１０２）の周りに配置されることを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高エネルギー電磁放射を機械部品に通過させることによるタービンブレードなどの機械部品の非破壊検査の方法に関し、且つ、本発明は、この方法を実施するための装置にも関する。
【背景技術】
【０００２】
非破壊検査のための様々な既知の技法のなかには、電磁放射と検査対象部品の内部構造の間の相互作用を表す画像を形成するために、Ｘ線などの高エネルギー電磁放射を検査対象部品に向かって誘導し、且つ、検査対象部品から発せられる放射を検出器によって回収することにより、部品内における欠陥の有無を明らかにすることできる技法が存在している。
【０００３】
但し、この技法においては、供給源によって放射された放射が、検査対象部品の全体に入射し、且つ、部品の周辺と、前記部品の内部構造と、によって拡散され、これが、拡散ゾーンと、結果的に得られる画像内におけるコントラストの損失と、をもたらし、その結果、欠陥の存在の検出が妨げられることになる。
【０００４】
この欠点は、タービンエンジンのタービン段のブレードなどの中空のブレードを検査する際に、特に重大である。このようなブレードは、複雑な３次元の内部構造を有すると共に、且つ、ブレードの内部における大量の放射の拡散をもたらす熱保護被覆をも有する。
【０００５】
これらの問題点を低減するために、拡散放射の大きな部分を形成している入射放射の低エネルギー成分を除去するように、電磁放射の供給源と検査対象部品の間にベリリウムのプレートなどのフィルタ手段を配置することが提案されている。
【０００６】
又、部品の周辺によって拡散される放射を制限又は除去するように、吸収マスクを検査対象部品の周りに配置することも知られている。
【０００７】
但し、第１の解決策の場合には、フィルタ手段が、部品の内部構造によって拡散される放射のすべてを除去するのには不十分であるのみならず、入射放射の一部を除去することによるコントラスト及び検出感度の損失をも、もたらし、一方、第２の解決策の場合には、マスクが、部品の内部構造によって拡散された放射に対して効果がないことから、これらの解決策は、そのいずれもが、満足できるものではない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の具体的な目的は、簡単であって、効果的であり、且つ、低廉な、これらの問題に対する解決策を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的のために、本発明は、特にタービンブレードなどの機械部品の非破壊検査の方法を提供しており、この方法は、適切な供給源によって放射された高エネルギー電磁放射を検査対象部品上に誘導するステップと、部品を通過した放射をピックアップするステップと、ピックアップされた放射から部品の画像を形成するステップと、を有し、本方法は、マスクを供給源と機械部品の間に介在させるステップであって、マスクは、電磁放射を吸収するのに好適であると共に開口部を有する材料からなる、ステップと、開口部を供給源及び部品の所与の検査対象ゾーンとアライメントさせるステップであって、開口部の形状及び寸法は、部品の前記検査対象ゾーンのみが電磁放射に露出するように、決定される、ステップと、を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、マスクは、電磁放射源と検査対象部品の間に配置され、且つ、入射放射が部品の特定の検査対象ゾーンに向かってのみ通過できるようにしており、この結果、このゾーンが、放射された放射のエネルギー成分のすべてを受け取るため、最適な検出感度を得ることができる。
【００１１】
マスク内の開口部の形状及び寸法は、部品の検査対象ゾーンの形状及び寸法との関係において決定されており、この結果、部品のその他の部分が入射放射に露出することが回避され、且つ、これらのその他の部分によって拡散放射が部品の内部に形成されることが防止される。
【００１２】
マスクは、供給源及び部品から任意の距離に配置してもよく、必要とされるのは、前述のように、所与の検査対象ゾーンに対する露出を制限するために開口部の形状及び寸法を適切に適合させることのみである。
【００１３】
本発明の別の特徴によれば、マスク内の開口部の形状は、供給源によって放射されたビームの軸に対して垂直のプレーン上への所与の検査対象ゾーンのアウトラインの投影に対応しており、且つ、この場合に、開口部の形状の寸法は、機械部品及び供給源との関係におけるマスクの軸方向の位置の関数である倍率を適用することによって決定される。
【００１４】
有利には、開口部のエッジは、開口部のエッジによる入射放射の拡散を回避するように、供給源によって放射されたビームの周縁放射線と一直線状の関係になっている。
【００１５】
本発明の別の特徴によれば、吸収マスクは、電磁放射の特性によって左右される厚さを有する鉛プレートの形態で製造される。
【００１６】
電磁供給源は、Ｘ線源であってよく、この場合には、鉛プレートの厚さは、約８ミリメートル（ｍｍ）であり、或いは、さもなければ、電磁供給源は、ガンマ線源であってもよく、この場合には、鉛プレートは、材料を貫通するガンマ線の強力なパワーに起因して、８ｍｍを上回る厚さを有する。
【００１７】
又、本発明は、上述の方法を実施するための装置をも提供しており、この装置は、吸収マスクを支持及び位置決めするための手段と、機械部品を支持及び位置決めするための手段と、マスク内の開口部及び機械部品の検査対象ゾーンを放射源とアライメントさせるための手段と、を有する。
【００１８】
本発明の装置の第１実施形態においては、支持及び位置決め手段は、前記機械部品の所与のゾーンを検査位置に配置するために、機械部品を把持するのに好適なヒンジ結合されたロボットアームを有する。
【００１９】
有利には、支持及び位置決め手段は、それぞれのマスクが連続的に供給源及び部品の所与の検査対象ゾーンとアライメントされた状態になるように、固定状態の供給源との関係において可動に取り付けられると共に吸収マスク用の複数のハウジングを有するテーブルを有する。
【００２０】
この実施形態においては、ロボットアームが、部品を把持すると共に機械部品の所与のゾーンを観察するための既定の位置において方向付け、且つ、次いで、テーブルを移動させることにより、所与の観察対象ゾーンに対応するマスクを供給源及び前記所与のゾーンとアライメントされた状態とする。この後に、電磁放射を放射し、且つ、画像を取得する。上述の動作は、部品の複数のゾーンの観察に対して適合された異なる形状及び寸法のマスクを使用してこれらのゾーンの非破壊検査を実行するために、反復される。
【００２１】
本発明の第２実施形態においては、支持及び位置決め手段は、電磁ビームの軸に沿って重畳された第１及び第２ステージを有する構造体を有し、第２ステージは、第１ステージと供給源の間に配置されており、且つ、第１ステージの部品支持部のための少なくとも１つの場所とビームの軸上においてアライメントされた状態で吸収マスクを受け入れるための少なくとも１つの場所を含む。
【００２２】
本発明の別の特徴によれば、構造体は、ビームの軸に対して垂直の軸に沿って平行移動可能であり、且つ、第１及び第２ステージのそれぞれは、前記垂直の平行移動軸に沿ってアライメントされた状態にある複数の前述の場所を含む。
【００２３】
有利には、第１ステージの場所内に取り付けられたそれぞれの支持部は、機械部品の所与のゾーンを検査するために少なくとも１つの機械部品を配置するための突起を含む。
【００２４】
この第２実施形態においては、操作者は、支持部の突起によって部品の所与の検査対象ゾーンを既定の向きにおいて配置することができる状態において、少なくとも１つの部品を支持部上に配置し、次いで、支持部を第１ステージの場所内に取り付ける。所与のゾーンを露出させることに対して適合された開口部を有するマスクをビームの軸とアライメントされた状態にある第２ステージの場所内に取り付ける。次いで、部品を放射に露出させ、且つ、所与のゾーンの画像を取得する。
【００２５】
次いで、第１ステージの場所及び第２ステージの場所が電磁放射のビームの軸上にくるように、構造体をその平行移動軸に沿って移動させ、且つ、機械部品の別の所与のゾーンを観察するのに好適な異なる支持部及び異なるマスクにより、以上の操作を反復する。
【００２６】
非限定的な例として提供される以下の説明を参照すると共に添付の図面を参照することにより、本発明を更に十分に理解されることが可能であり、且つ、本発明のその他の詳細、利点、及び特徴が明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】電磁放射の放射による非破壊検査のための従来技術による装置の概略図である。
【図２】電磁放射の放射による検査のための本発明の非破壊的方法の概略図である。
【図３】タービンエンジンのタービンブレードを示しており、且つ、所与のゾーンは、電磁放射に露出する唯一のゾーンである前縁に対応している。
【図４】こちらもタービンブレードを示しており、電磁放射に露出する所与のゾーンは、ブレードの根元に対応している。
【図５】本発明の方法を実施するための装置の概略図である。
【図６】図５の装置と共に使用されるマスク支持ターンテーブルの斜視図である。
【図７】本発明の方法を実施するための別の装置を示す。
【図８】本発明の方法を実施するための別の装置を示す。
【図９】図７及び図８の装置と共に使用される部品支持部を示す。
【図１０】図７及び図８の装置と共に使用されるマスクの概略斜視図である。
【図１１】本発明の方法において使用される吸収マスク内の開口部のエッジの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
まず、図１を参照すれば、電磁放射１４を機械部品１２に通過させることによって機械部品１２を検査するための装置１０が示されている。装置１０は、高エネルギー電磁放射、即ち、機械部品１２を通過する能力を有する放射の供給源１６を有する。機械部品１２は、供給源が放射するビーム内において供給源１６に対向するように配置されている。検出器１８が、供給源１６及び部品１２とアライメントされた状態にあり、且つ、機械部品１２を通過した放射を受け取るように、供給源１６から離れた部品１２の反対側に配置されている。従って、グレースケール画像が得られ、且つ、この画像は、機械部品１２を通過した際の放射の減衰を表している。このような画像によれば、基本的に、基準画像との関係において、部品１２内における欠陥の有無を検出することができる。
【００２９】
但し、入射放射が検査対象ゾーン２０に限定されておらず、且つ、供給源１６によって放射される入射放射２２の一部が部品１２のその他のゾーン２４と相互作用することにより、部品１２の内部に拡散される放射２６が生成され、この放射が、検査対象ゾーンによって拡散された放射に追加されることにより、取得された画像内に不鮮明なゾーンが形成され、その結果、欠陥の検出感度が低下するため、この装置１０は、満足できるものではない。
【００３０】
部品１２の内部構造による入射放射の拡散に加えて、部品の周辺も、放射を拡散させる可能性があり、これにより、結果的に得られる画像が更に劣化することになる。
【００３１】
これは、前述のように、複雑な３次元の内部形状を有するタービンブレード１２の場合に、特に当て嵌まる。この結果、例えば、ブレードの前縁やブレードの根元などの重要なゾーンの検査を満足のゆく方式によって実行することができない。
【００３２】
本発明は、電磁放射を吸収するマスク２８を検査対象部品１２と放射源の間に介在させることにより、この問題に対する解決策を提供しており、マスクは、吸収を伴うことなしに機械部品１２の所与の検査対象ゾーン２０に向かって入射放射の一部を通過させるための開口部３０を有する。開口部の形状及び寸法は、開口部が放射の供給源及び検査対象ゾーンとアライメントされた状態にある際に前記検査対象ゾーンのみが電磁放射に露出するように、所与の検査対象ゾーンとの関係において決定される（図２）。
【００３３】
このような方法によれば、放射は、部品のその他のゾーン又は部品の周辺によって拡散されず、この結果、放射に対して露出したゾーンの画像内においてコントラストを増大させることが可能であり、且つ、従って、欠陥の検出感度が改善される。
【００３４】
実際的な方式によれば、マスク内の開口部の形状は、供給源によって放射されるビームの軸に対して垂直のプレーン上への所与の検査対象ゾーンのアウトラインの投影に対応しており、且つ、この場合に、開口部の形状の寸法は、機械部品１２及び供給源１６との関係におけるマスク２８の軸方向の位置の関数である倍率を適用することによって決定される。
【００３５】
図３は、タービンエンジンのタービンブレード３１を示しており、このブレードは、根元３５に接続されたエアフォイル３３を有する。エアフォイル３３は、前縁３２と、後縁３４と、を有する。本発明の方法を使用することにより、前縁を含むブレードの上流部分（図３において、影付きラインによって輪郭が描かれている部分３６）上においてのみ、或いは、実際に、ブレードの根元の部分（図４において、影付きラインによって輪郭が描かれている部分３８）上においてのみ、電磁放射に対する露出を生じさせることが可能であり、これは、マスク２８内の開口部３０の寸法が、供給源１６と機械部品１２の間におけるマスク２８の位置の関数である倍率によって低減されるという点を除いて、所与の検査対象ゾーン３６又は３８と同一の形状の開口部を有するマスクを使用することによって実行される。
【００３６】
以下の説明においては、本発明の方法を実施するための２つの装置について説明する。これらの装置は、それぞれ、吸収マスクを支持及び位置決めするための手段と、機械部品を支持及び位置決めするための手段と、マスク内の開口部及び機械部品の検査対象ゾーンを放射源とアライメントさせるための手段と、を含む。
【００３７】
図５及び図６に示されている第１実施形態においては、装置４０は、例えば、近傍に位置するマガジン４８内に保存されている機械部品を把持するのに好適なヒンジ結合されたロボットアーム４６によって担持された機械部品４４に向かって電磁放射を放射する固定状態の供給源４２を有する（図５）。ロボットアーム４６は、機械部品４４の任意のゾーンを放射源４２に対向した状態において配置することができるように、６つの自由度を有する。
【００３８】
円形のターンテーブル５０が、放射源４２と機械部品４４の間に取り付けられており、且つ、円形に構成された複数の凹入したハウジング５２をその外周に有する（図６）。それぞれのハウジング５２は、単一の開口部５６を有する平らな吸収マスク５４を受け入れるためのものである。
【００３９】
それぞれのハウジング５２は、吸収マスク５４を設置する際に使用される固定手段（ｋｅｙｉｎｇ  ｍｅａｎｓ）を含む。これらの固定手段は、ハウジング５２の内部リム６２上に形成されると共に供給源４２に向かって延在する２つのロッド５８及び６０を有しており、これらのロッドのうちの一方（５８）は、正方形の部位を有し、且つ、他方のロッド（６０）は、テーパー化された形状を有する。２つの固定ロッド５８及び６０は、マスク５０がそのハウジング５２内において正しく設置され、且つ、従って、電磁放射を部品の所与の検査対象ゾーンに向かって通過させるように設計された既知の既定の位置においてそれぞれのマスク５０の開口部５６が位置決めされることを保証するように、マスク５０の対応するオリフィス６２及び６４内に受け入れられる。
【００４０】
ターンテーブル５０は、ターンテーブル５０の回転によってそれぞれのマスク５４内の開口部が連続的に供給源４２及び機械部品の所与の検査対象ゾーンとアライメントされた状態となるように、固定状態の供給源４２との関係において軸６６を中心として回転するように取り付けられている。
【００４１】
画像増強装置６８が、支持部７０上に取り付けられており、且つ、部品４４を通過した高エネルギー電磁放射をカメラ７２によってピックアップされる光放射に変換するように機能する。
【００４２】
本発明の方法を実施するために、装置４０は、以下のように使用される。まず、マガジン４８内の機械部品４４を把持し、且つ、例えば、ブレードの根元などの所与の検査対象ゾーンを供給源に対向した既定の向きに配置するように、ロボットアーム４６を制御する。ブレードの根元に対応するマスク５４の開口部が供給源４２及びブレードの根元とアライメントされた状態になるように、ターンテーブル５０をその軸６６を中心として回転させる。次いで、供給源４２から高エネルギー電磁放射を放射させると、その一部が、マスク５４によって吸収され、一方、残りの部分が、マスク５４内の開口部を通過し、且つ、ブレードの根元に当たる。通過した放射は、次いで、画像増強装置６８によって変換され、且つ、次いで、カメラ７２によってピックアップされる。
【００４３】
ブレードの前縁部分を検査するためには、このゾーンが供給源４２と対向するように、部品４４の向きを変更するだけで十分である。前縁部分の観察に対応したマスク５４が供給源４２及び部品４４とアライメントされた状態になるように、ターンテーブル５０を回転させ、且つ、新しい取得を実行する。
【００４４】
この装置においては、マスク５４の開口部は、基本的に、その６つの自由度を利用するヒンジ結合されたロボットアーム４６により、機械部品の所与の検査対象ゾーンとアライメントされており、ターンテーブル５０が、マスクを供給源４２との位置合わせされた状態に位置決めするように機能している。
【００４５】
図７から図１０は、本発明の方法を実施するための第２の装置６８を示している。
【００４６】
この第２装置６８は、ビームの軸に沿って重畳された第１ステージ７６及び第２ステージ７８を支持する直立部７４を有する構造体７２の上方に配置された高エネルギー電磁放射源７０を有する。第２ステージ７８は、第１ステージ７６と放射源７０の間に配置されている。それぞれのステージは、３つの場所８０、８２、及び８４、或いは、８６、８８、及び９０を有する。第１及び第２ステージ内のこれらの場所は、第１ステージの場所がビームの軸９２上において第２ステージの場所とアライメントされた状態になるように、位置決めされている。又、それぞれのステージ内の場所は、ビーム軸９２に対して垂直の軸９４に沿ってアライメントされた状態にもあり、軸９４は、それに沿って構造体７２を移動させることができる軸を規定している。
【００４７】
第２ステージ７８の場所８６、８８、及び９０のそれぞれは、少なくとも１つの開口部９８を有するプレートの形態の吸収マスク９６を受け入れるためのものである（図９）。それぞれの吸収マスク９６は、電磁ビームの軸９２と構造体７２が平行移動する軸９４の両方に対して垂直である軸１００上において第２ステージ７８の場所８６、８８、又は９０内に軸方向において係合する。
【００４８】
検査対象部品１０２は、前記所与のゾーンがマスク９６の開口部９８及び供給源７０とアライメントされた状態にある位置においてそれぞれの部品１０２の所与のゾーンを位置決めするための突起１０６を有する支持部１０４内に取り付けられる（図７及び図９）。
【００４９】
部品のためのそれぞれの支持部１０４は、第１ステージ７６の場所８０、８２、又は８４内に軸１００に沿って平行移動することにより、係合する。
【００５０】
当接手段（図示されてはいない）が第１及び第２ステージ７６及び７８内の場所８０、８２、８４、８６、８８、及び９０の後端部に設けられており、且つ、これらは、部品のための関連する支持部１０４との関係においてそれぞれのマスク９６ごとに軸１００に沿ったインデクシングを提供するように機能し、且つ、従って、関連する支持部１０４内に取り付けられた部品１０２の所与の検査対象ゾーンとの関係においてそれぞれのマスク９６内の開口部９８の軸１００に沿ったインデクシングを実行する。
【００５１】
部品支持部１０４及びマスク９６は、第１ステージ７６の支持部１０４内に取り付けられた部品１０２の所与の検査対象ゾーンとの関係において第２ステージ７８のマスク９６内の開口部９８の軸９４に沿ったインデクシングを提供するように、構造体の移動軸９４に沿った緩みを伴うことなしにその個々の場所内に受け入れられるように、寸法設定されている。
【００５２】
これらのインデクシング手段は、支持部１０４の突起１０６との組合せにおいて使用された際に、第１ステージ７６上の部品の所与の検査対象ゾーンとの間の第２ステージ７８のマスク９６内の開口部９８の正確なアライメントを保証するように、機能する。
【００５３】
又、この第２装置の図には示されていないが、固定手段を提供することにより、マスク９６及び部品支持部１０４のそれぞれの個々の場所における誤った方式による取付けを防止してもよい。
【００５４】
具体的な一実施形態においては、第１マスク１０８は、４つのタービンブレードの前縁部分の観察に対して適合された４つの開口部１１０を有し、且つ、第１部品支持部は、４つの異なるブレードの前縁部分の位置決めに対して適合された突起を有する。従って、マスク１０８が第２ステージ７８の場所８６内において係合し、且つ、支持部が第１ステージ７６の関連する場所８０内において係合した際に、マスク１０８内の開口部１１０のそれぞれは、異なるブレードの前縁部分とアライメントされた状態となる。この後に、高エネルギー電磁ビームを放射し、これにより、４つのブレードの４つの前縁部分を同時に通過する放射を生成し、この通過した放射はレシーバ１１２によってピックアップされる（図７及び図８）。
【００５５】
従って、この第２装置６８は、第１装置との関係において、複数の部品において所与のゾーンを同時に検査することが可能であり、その結果、これらの部品の検査に必要とされる時間が低減されるという利点を有する。
【００５６】
この後に、これらのブレードのその他のゾーンを同時に検査するためには、この目的のために設けられた突起を有する第２支持部内においてブレードを位置決めし、且つ、これらの再位置決めされたブレードを担持する第２支持部を第１ステージ７６の場所８２内において係合させることで十分であり、この場合に、第２ステージ７８の関連する場所８８は、これらのその他のゾーンのみを電磁放射に露出させるのに好適な４つの開口部を有するマスクを含む。次いで、構造体７２を軸９４に沿って平行移動させることにより、電磁放射の供給源７０を第２マスク内の開口部及び第２支持部上のブレードのこれらのその他のゾーンとアライメントされた状態とする（図８）。
【００５７】
操作者がブレードを手動で第２支持部内に移動させることは困難ではなく、且つ、これにより、操作者が非常に重たい吸収マスクを取り扱う必要性が回避され、これらのマスクは、その個々の場所内の位置に留まることになる。
【００５８】
一例として、第２装置内において使用される部品支持部は、樹脂から成形してもよい。
【００５９】
吸収マスク５４、９６、又は１１０は、鉛から製造してもよく、且つ、電磁放射がＸ線である際には、約８ｍｍの厚さを有する。又、その他の放射源、特に、ガンマ線源を使用してもよい。その場合には、マスク５４、９６、又は１１０は、このタイプの放射の高貫通力に鑑み、厚さを更に増し、約１５ｍｍの厚さを有することになる。
【００６０】
鉛マスクは、有利には、マスクを取り扱う操作者が鉛によって汚染されることを回避するように、アルミニウムの微細な層によってカバーされる。但し、開口部のエッジによる拡散放射の形成を回避するために、アルミニウムは、開口部のエッジには提供されない。
【００６１】
マスク開口部のエッジ１１４による放射の拡散を回避するためには、図１１に概略的に示されているように、開口部１１６のエッジ１１４と、供給源１２０によって放射されるビームの周縁放射線１１８とが一直線状の関係になっていることが望ましい。
【００６２】
本発明は、機械部品の周りに取り付けられる従来技術による吸収マスクとの組合せにおいて使用してもよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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