(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）振動する素子を有するアクチュエーターと、
（Ｂ）円筒形の回転体であって、
前記素子が振動する際に、前記アクチュエーターの先端部分に設けられた突起が前記回転体の周面と当接することによって、円筒の中心軸を中心とした回転方向に回転する回転体と、
（Ｃ）前記回転体の周面と対向する位置に前記回転体と接触しないように設けられた電極と、アースとを有し、前記回転体の周面に付着した異物を除去する除去部と、
を備え、
前記電極は、前記異物に帯電する電荷と反対の極性を有するイオンを発生させ、
前記イオンによって前記異物に帯電する電荷が除去される圧電モーター。
【請求項２】
（Ａ）振動する素子を有するアクチュエーターと、
（Ｂ）円筒形の回転体であって、
前記素子が振動する際に、前記アクチュエーターの先端部分に設けられた突起が前記回転体の周面と当接することによって、円筒の中心軸を中心とした回転方向に回転する回転体と、
（Ｃ）前記回転体の周面と対向する位置に前記回転体と接触しないように設けられた電極と、アースとを有し、前記回転体の周面に付着した異物を除去する除去部と、
を備え、
前記電極は、前記回転体の周面を取り囲むような曲面を有する、ことを特徴とする圧電モーター。
【請求項３】
請求項１または２に記載の圧電モーターであって、
前記異物が前記回転体の周面を離脱した後、前記電極に付着する、ことを特徴とする圧電モーター。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の圧電モーターであって、
前記電極で前記回転体の周面と対向する面は粘着性を有する、ことを特徴とする圧電モーター。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の圧電モーターを備え、
さらに、前記アクチュエーターと前記回転体とが固定される基盤と、
を備える圧電モーター装置。
【請求項６】
アクチュエーターが有する素子を振動させ、前記アクチュエーターの先端部分を、前記素子が振動する際に円筒形の回転体に当接させ、円筒の中心軸を中心とした回転方向に前記回転体を回転させることと、
前記回転体の周面と対向する位置に前記回転体と接触しないように設けられた電極から、前記回転体の周面に付着した異物に帯電する電荷と反対の極性を有するイオンを発生させることと、
前記イオンによって前記異物に帯電する電荷を除去することと、
を有する異物除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電モーター及び異物除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動する素子（例えば圧電素子）を備えるアクチュエーターによって回転体（被駆動体）を回転させる駆動装置として、圧電モーターが知られている。一般に、圧電モーターに用いられる圧電アクチュエーターは、振動部材と、振動部材の一方面に保持された圧電素子とを備える。また、圧電素子は振動部材側に設けられた第１電極とは反対側に設けられた第２電極とで構成されており、振動部材と第１電極とが接着剤を介して接着されている。  
このような圧電アクチュエーターでは、圧電素子の第１電極と第２電極との間に電圧を印加し、圧電素子を振動部材の面内方向において縦振動及び屈曲振動させることで、振動部材を振動させる。ここで、振動部材の一辺には突起部を面方向前方に突出させて設けてあり、前記圧電素子の縦振動及び屈曲振動に伴う前記振動部材の振動によりその先端が楕円運動するようになっている。回転体はその側面に前記突起部の先端が当接することにより突起部の楕円運動に伴う摩擦力により回転駆動される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２３３３３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の圧電アクチュエーターでは、突起部を介して摩擦力によって回転体を回転させているため、摩擦によって発生した摩耗粉が回転体の表面に付着し、回転体の回転特性（駆動特性）が悪化したり圧電アクチュエーターの耐久性が弱くなったりするおそれがある。したがって、回転体の表面に付着した磨耗粉を効率的に除去することが重要であるが、その際、除去された磨耗粉が飛散して他の駆動部に不具合を生じさせないようにする必要がある。
【０００５】
本発明は、回転体の表面に付着した磨耗粉を飛散させずに除去することが可能な圧電モーターを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための主たる発明は、（Ａ）振動する素子を有するアクチュエーターと、（Ｂ）円筒形の回転体であって、前記素子が振動する際に、前記アクチュエーターの先端部分に設けられた突起が前記回転体の周面と当接することによって、円筒の中心軸を中心とした回転方向に回転する回転体と、（Ｃ）前記回転体の周面と対向する位置に前記回転体と接触しないように設けられた電極と、アースとを有し、前記回転体の周面に付着した異物を除去する除去部と、を備える圧電モーターである。
【０００７】
本発明の他の特徴については、本明細書及び添付図面の記載により明らかにする。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】圧電モーター１の分解斜視図である。
【図２】圧電モーター１の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面を表す断面図である。
【図４】図４Ａ〜図４Ｃは、第１実施形態に係るアクチュエーター１０の動作を表す平面図である。
【図５】回転体の動作について説明する図である。
【図６】図６Ａ〜図６Ｃは、第１実施形態における異物除去の方法について説明する図である。
【図７】圧電モーター２の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本明細書及び添付図面の記載により、少なくとも、以下の事項が明らかとなる。
【００１０】
（Ａ）振動する素子を有するアクチュエーターと、（Ｂ）円筒形の回転体であって、前記素子が振動する際に、前記アクチュエーターの先端部分に設けられた突起が前記回転体の周面と当接することによって、円筒の中心軸を中心とした回転方向に回転する回転体と、（Ｃ）前記回転体の周面と対向する位置に前記回転体と接触しないように設けられた電極と、アースとを有し、前記回転体の周面に付着した異物を除去する除去部と、を備える圧電モーター。  
このような圧電モーターによれば、回転体の表面に付着した磨耗粉を飛散させずに除去することが可能となり、安定した駆動を行なうことができる。
【００１１】
かかる圧電モーターであって、前記電極は、前記異物に帯電する電荷と反対の極性を有するイオンを発生させ、前記イオンによって前記異物に帯電する電荷が除去されることが望ましい。  
このような圧電モーターによれば、電極によってコロナ放電を生じさせることで回転体に付着した異物（磨耗粉）の電荷を中和させ、回転体と接触することなく回転体から異物を離脱させることができる。また、新たな異物が回転体に付着することが抑制されるため、安定した駆動を実現しやすくなる。
【００１２】
かかる圧電モーターであって、前記異物が前記回転体の周面を離脱した後、前記電極に付着することが望ましい。  
このような圧電モーターによれば、回転体から離脱した後の異物（磨耗粉）が電極によって回収されるため、異物が周囲に飛散することを抑制しやすくなる。
【００１３】
かかる圧電モーターであって、前記電極は、前記回転体の周面を取り囲むような曲面を有することが望ましい。  
このような圧電モーターによれば、海回転体から離脱した後の異物（磨耗粉）が電極に回収されやすくなり、周囲に飛散しにくくなる。
【００１４】
かかる圧電モーターであって、前記電極で前記回転体の周面と対向する面は粘着性を有することが望ましい。  
このような圧電モーターによれば、海回転体から離脱した後の異物（磨耗粉）が電極に吸着されやすくなり、周囲に飛散しにくくなる。
【００１５】
また、振動する素子を有するアクチュエーターであって、前記素子が振動する際に、前記アクチュエーターの先端部分に設けられた突起が、円筒形の回転体と当接することによって、円筒の中心軸を中心とした回転方向に前記回転体を回転させることと、前記回転体の周面と対向する位置に前記回転体と接触しないように設けられた電極によって、前記回転体の周面に付着した異物に帯電する電荷と反対の極性を有するイオンを発生させることと、前記イオンによって前記異物に帯電する電荷を除去することと、を有する異物除去方法が明らかとなる。
【００１６】
＝＝＝第１実施形態＝＝＝
第１実施形態では、圧電アクチュエーターを用いて回転体（被駆動部）の駆動を行なう圧電モーター１について説明する。
【００１７】
＜圧電モーター１の基本的構成＞
図１は、圧電モーター１の分解斜視図である。図２は、圧電モーター１の平面図である。図３は、図２のＡ−Ａ断面を表す断面図である。また、説明のため、図に示されるようなＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸からなる座標軸を設定する。Ｚ軸は鉛直方向（図１において上向きの方向）であり、Ｘ軸はＺ軸に対して垂直な方向であり、Ｙ軸はＺ軸及びＸ軸に垂直な方向であるものとする。
【００１８】
本実施形態の圧電モーター１は、アクチュエーター１０と、被駆動部４０と、付勢手段５０と、装置本体６０と、異物除去部７０とを有する。
【００１９】
（アクチュエーター１０）
アクチュエーター１０は、振動部材（導体平板）２０と、振動部材２０の両面にそれぞれ接着された圧電素子３０とを備える。
【００２０】
振動部材２０は略長方形の板状部材２１と、該板状部材の長手方向（図１でＹ軸方向）の一端側に突出するように延設された突起部２２と、Ｘ軸方向の両端側に延設された一対の腕部２３を有する。
【００２１】
板状部材２１は金属や樹脂材料によって形成される。本実施形態では、導電性を有するステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成され、後述する２つの圧電素子３０の第１電極３２同士を導通させる共通電極としても機能させている。腕部２３には、Ｚ軸方向に貫通する貫通孔２３Ａが設けられており（図１参照）、貫通孔２３Ａを挿通させたねじ状の部材を介して詳しくは後述する固定部５２に固定される。すなわち、アクチュエーター１０は、振動部材２０の腕部２３によって固定部５２に固定される。そして、圧電素子３０の振動に応じて、振動部材２０は固定部５２に対して腕部２３を基点としてＸＹ平面上で縦振動及び屈曲振動が可能となるように保持される。縦振動及び屈曲振動の具体的動作については後で説明する。
【００２２】
圧電素子３０は振動部材２０の両面にそれぞれ設けられ、所定の電圧信号を印加されることによって振動する。圧電素子３０は、圧電体層３１と、圧電体層３１の振動部材２０側に設けられた第１電極３２と、圧電体層３１の第１電極３２とは反対側に設けられた第２電極３３とを備える。詳しくは後述するが、圧電素子３０は、長手方向（図１でＹ軸方向）の中央部が縦振動及び屈曲振動における基点となっており、長手方向の中央部は比較的変位量が少ない。
【００２３】
圧電体層３１は、電気機械変換作用を示す圧電材料、特に圧電材料の中でも一般式ＡＢＯ３で示されるベロブスカイト構造を有する金属酸化物からなる。圧電体層３１としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電体材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル、又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等が好適である。具体的には、チタン酸鉛、チタン酸鉛ランタン、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン、又はマグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛等を用いることができる。もちろん、本実施形態の圧電体層３１は、上記した材料に限定されるものではないが、優れた電気機械変換作用を有する圧電体層３１として、鉛を含有するものが挙げられる。
【００２４】
第１電極３２は、圧電体層３１の振動部材２０側の面に亘って連続して設けられた共通電極である。
【００２５】
第２電極３３は、複数の電極３３１〜３３３によって構成され、各電極は溝部３４によって互いに電気的に隔離されている。第２電極３３を分割する溝部３４は、第２電極３３を幅方向（図１でＸ軸方向）にほぼ三等分するように形成された長手方向溝部３４Ａと、長手方向溝部３４Ａによって分割された３つの電極のうち幅方向両側の電極を長手方向でほぼ二等分するように形成された幅方向溝部３４Ｂとからなる。第２電極３３は、これら長手方向溝部３４Ａ及び幅方向溝部３４Ｂからなる溝部３４によって、幅方向中央部に長手方向に亘って設けられた縦振動用電極部３３１と、この縦振動用電極部３３１の幅方向両側に、縦振動用電極部３３１を挟んで対角となるように配置されて対をなす２組の屈曲振動用電極部３３２及び３３３との合計５つに分割されている。ここで、圧電素子３０は、第２電極３３の縦振動用電極部３３１が設けられた領域が、圧電素子３０の長手方向の縦振動（Ｙ軸方向）を励起する縦振動励起領域となっている。これに対して、該縦振動励起領域の幅方向両側の屈曲振動用電極部３３２，３３３が設けられた領域が、それぞれ圧電素子３０の幅方向（Ｘ軸方向）に屈曲振動を励起する屈曲振動励起領域となっている。
【００２６】
（被駆動部４０）
被駆動部４０は、回転体４１と回転軸４２とを有し、アクチュエーター１０によって駆動されることにより、回転動力を発生させる。  
回転体４１は円筒（円柱）形の部材であり、回転軸４２によって圧電モーター１の装置本体６０に接続され（図３参照）、回転軸４２を中心としてＸＹ平面上で図２に示される回転方向に回転する。詳細については後述するが、本実施形態で回転体４１はアクチュエーター１０の突起部２２と当接する際の摩擦力によって回転する。したがって、十分な強度を得られるように金属等の硬い材料で形成されることが望ましい。なお、被駆動部４０の回転方向はアクチュエーター１０の動作方向によって自在に変更することが可能である。
【００２７】
（付勢手段５０）
付勢手段５０は、アクチュエーター１０を回転体４１（回転軸４２）の方向に向かって所定の圧力で付勢する。付勢手段５０は、固定部５２と、保持部材５３と、スライドピン５４と、ばね部材５５と、偏心ピン５８とを有する。
【００２８】
固定部５２は、アクチュエーター１０を固定するためのフランジ状の部材であり、図１のようにアクチュエーター１０の腕部２３に対応する位置に一対設けられる。固定部５２のフランジ面には腕部２３に設けられた貫通孔２３Ａと同軸の固定用孔５２Ａが空いており、図１に示されるようなネジ状部材を当該２つの孔に通すことによってアクチュエーター１０が固定される。
【００２９】
保持部材５３は、アクチュエーター１０の幅方向（Ｘ軸方向）両端の固定部５２の間に一体的に設けられる板状の部材であり、装置本体６０に対して付勢手段５０をスライド可能に取り付ける。保持部材５３の幅方向（Ｘ軸方向）中央部には、長手方向（Ｙ軸方向）に沿って縦長のスライド孔５３Ａが２つ設けられる（図２参照）。そして、各スライド孔５３Ａにスライドピン５４を挿通することによって、保持部材５３が装置本体６０に対してＹ軸方向にスライド移動可能に支持される。
【００３０】
ばね部材５５は、コイルばね等の弾性部材であり、固定部５２に一端が固定されると共に、装置本体６０に偏心回転可能に固定された偏心ピン５８の側面に他端が当接するように配置されている。また、ばね部材５５は、スライド部６２のスライド方向（すなわち、図のＹ軸方向）に沿って配置されている。そして、Ｙ軸方向に作用する弾性力によって、アクチュエーター１０を装置本体６０に対して回転体４１に向かって付勢する。ちなみに、偏心ピン５８は、装置本体６０に対して偏心回転可能に設けられており、偏心ピン５８を偏心回転させることによって、偏心ピン５８の側面と保持部材５３との間隔を変化させて、ばね部材５５による付勢力を調整することができる。なお、本実施形態では、ばね部材５５としてコイルばねを用いたが、ばね部材５５は特にこれに限定されず、例えば、板ばね等の弾性部材を用いるようにしてもよい。
【００３１】
このような付勢手段５０によって、アクチュエーター１０は、圧電素子３０の長手方向（Ｙ軸方向）が回転体４１（回転軸４２）の中心となるように、所定の圧力で回転体４１に付勢される。すなわち、本実施形態のアクチュエーター１０は、圧電素子３０の長手方向が回転体４１の径方向になるように配置され、回転体４１の径方向に向かってスライド移動可能に設けられている。したがって、アクチュエーター１０は、圧電素子３０の長手方向が回転体４１の径方向となるように付勢される。そして、付勢手段５０によってアクチュエーター１０の突起部２２を回転体４１に付勢しながら、圧電素子３０に縦振動及び屈曲振動を交互に行わせて突起部２２が楕円軌道を描くように駆動することで回転体４１を回転させることができる。
【００３２】
（装置本体６０）
装置本体は、図１〜図３に示されるようにアクチュエーター１０や被駆動部４０、付勢手段５０等を固定する基盤である。
【００３３】
（異物除去部７０）
異物除去部は圧電モーター１０を駆動させる際に回転体４１に付着した磨耗粉等の異物を除去するために設けられる。異物除去部７０は、電極７１と、導電部７２と、アース７３とを有する。
【００３４】
電極７１は、複数の導電性繊維７１１が長方形の金属フレーム７１２に備えられたブラシ状の電極である（図１〜図３参照）。図３に示されるように、電極７１はＺ軸方向に沿って回転体４１の周面と平行に設けられ、導電性繊維７１１による電極面が回転体４１の周面に対向する位置に設置される。このとき、導電性繊維７１１の先端部分と回転体４１とが接触しないように電極７１の設置位置が調整される。なお、図では電極７１が、回転体４１の中心位置（回転軸４２）に対してアクチュエーター１０とＸ軸方向の同じ位置（すなわち、被駆動部４０を挟んでアクチュエーター１０と反対側の位置）に配置されているが、電極面が回転体４１の周面に対向する位置であれば、電極７１の配置は図の例には限られない。また、異物除去部７０が複数設けられる構成としてもよい。
【００３５】
導電部７２は導電性を有するケーブルであり、一端側が電極７１の金属フレーム７１２に接続され、他端側はアース７３へと接続（接地）される。
【００３６】
＜アクチュエーター１０の動作の説明＞
図４Ａ〜図４Ｃは、本実施形態に係るアクチュエーター１０の動作を表す平面図であり、図５は、回転体の動作について説明する図である。
【００３７】
図４Ａは、アクチュエーター１０の長手方向（Ｙ軸方向）の振動を表す図である。圧電素子３０の縦振動用電極部３３１に所定の電圧信号が印加されると、縦振動用電極部３３１は長手方向（Ｙ軸方向）に伸張・収縮する。すなわち、ＸＹ平面において縦振動励起領域が長手方向（Ｙ軸方向）に伸張・収縮することによって、圧電素子３０に長手方向の縦振動を生じさせる。
【００３８】
また、図４Ｂ及び図４Ｃは、アクチュエーター１０の幅方向（Ｘ軸方向）の振動を表す図である。圧電素子３０の対となる屈曲振動用電極部３３２にそれぞれ所定の電圧信号が印加されると、屈曲振動用電極部３３２はそれぞれ長手方向（Ｙ軸方向）に伸張・収縮する。同様に、屈曲振動用電極部３３３にそれぞれ所定の電圧信号が印加されると、屈曲振動用電極部３３３はそれぞれ長手方向（Ｙ軸方向）に伸張・収縮する。
【００３９】
図４Ｂでは、圧電素子３０の幅方向で対角となる屈曲振動用電極部３３２（一方の組の屈曲振動励起領域）を収縮させると同時に、幅方向で対角となる屈曲振動用電極部３３３（他方の組の屈曲振動励起領域）を伸張させる。これにより、圧電素子３０が図４Ｂの破線で示されるようなＳ字状に変形する。逆に、図４Ｃでは、屈曲振動用電極部３３２を伸張させると同時に、屈曲振動用電極部３３３収縮をさせる。これにより、圧電素子３０が図４Ｃの破線で示されるような逆Ｓ字状に変形する。この図４Ｂ及び図４Ｃに示す屈曲変形を交互に繰り返させることで、圧電素子３０にＳ字状及び逆Ｓ字状の屈曲振動を生じさせる。
【００４０】
圧電素子３０において、縦振動励起領域による縦振動と屈曲振動励起領域による屈曲振動とを交互に繰り返させることにより、図５に示すように、圧電素子３０の長手方向の端部、すなわち、振動部材２０の突起部２２を、楕円軌道を描くように回転駆動することができる。具体的には、圧電素子３０に、縦方向（長手方向）の伸張、Ｓ字状の屈曲、縦方向の収縮、逆Ｓ字状の屈曲の変形を順次繰り返し行わせることで、突起部２２をＸＹ平面において時計まわり方向に楕円軌道を描くように回転駆動することができる。また、圧電素子３０に変形を行わせる際に、屈曲の順番を入れ替えることで、突起部２２を振動部材２０の面内において反時計まわり方向に楕円軌道を描くように回転駆動することもできる。
【００４１】
なお、本実施形態では、振動部材２０の両面にそれぞれ圧電素子３０が設けられているが、２つの圧電素子３０は、振動部材２０の面内において同じ縦振動及び屈曲振動を行う。すなわち、２つの圧電素子３０の各縦振動励起領域及び屈曲振動励起領域は、アクチュエーター１０を一方の圧電素子３０の第２電極３３側から平面視した際に重なるように配置されており、平面視した際に重なる領域において同じ伸張・収縮を行わせることで、振動部材２０は面内方向に変形する。もちろん、振動部材２０の両面の圧電素子３０に異なる変形を行わせることで、振動部材２０と圧電素子３０との積層方向に変形させて駆動することも可能である。
【００４２】
楕円軌道を描くように回転駆動される突起部２２が付勢手段５０によって回転体４１に押し付けられて当接することにより、図５のように回転体４１が回転される。なお、アクチュエーター１０によって回転される回転体４１の回転数は、縦振動及び屈曲振動を行う振動周期による影響が大きく、また、回転体４１のトルクは、付勢手段５０によるアクチュエーター１０の回転体４１への付勢力による影響が大きい。
【００４３】
＜異物の除去について＞
上述のように、圧電モーター１では回転体４１の周面（側面）に振動部材２０の突起部２２を当接させることによって回転体４１を回転させているため、当接部において摩擦による磨耗が発生する場合がある。本実施形態では、振動部材２０、回転体４１ともに金属材料で形成されているが、アクチュエーター１０の駆動条件や駆動時間によっては磨耗が発生する場合がある。磨耗が発生すると、磨耗によって生じた磨耗粉（異物）が回転体４１に付着して、圧電モーター１の回転特性（駆動特性）が悪化したり耐久性が弱くなったりするおそれがある。また、回転体４１に付着した磨耗粉が回転体４１の回転によって周囲に飛散してアクチュエーター１０等の駆動部に不具合を生じさせるおそれがある。
【００４４】
したがって、安定した駆動を実現するために、回転駆動時において回転体４１に付着した磨耗粉を除去する必要がある。本実施形態では、異物除去部７０によって、圧電モーター１０の回転駆動を妨げることなく、かつ、周囲に飛散させることなく磨耗粉（異物）を効率よく除去することができる。
【００４５】
図６Ａ〜図６Ｃに、本実施形態における異物除去の方法について説明する図を示す。  
上述のように圧電モーター１０の駆動によって発生した磨耗粉等の異物は、回転体４１の周面に付着する。このとき、回転体４１には電荷が帯電するため、回転体４１に付着した磨耗粉にも同じ極性の電荷が帯電し、磨耗粉は回転体４１から分離しにくくなる。図６Ａでは、マイナスの極性を有する電荷が磨耗粉（異物）に帯電する例を表している。一方、回転体４１と近接して設けられた異物除去部７０の電極７１には、静電誘導によって、回転体４１に帯電した電荷とは反対の極性を有する電荷が引き寄せられる。その結果、図６Ａのように電極７１（導電性繊維７１１）の先端部には、アース７３及び導電部７２を介してプラスの極性を有する電荷が集まる。
【００４６】
図６Ｂ及び図６Ｃは、図６Ａの破線で囲まれた領域Ａを拡大して表す図である。電極７１に集まる電荷が一定量を超えるとコロナ放電が起こり、導電性繊維７１１の先端部からプラスのイオンが放出される（自己放電）。放出されたプラスイオンはマイナスの極性を有する電荷が帯電した磨耗粉に引き寄せられてそのまま結びつき、図６Ｂに示されるように電気的に中和された状態となる。すなわち、磨耗粉（異物）及び回転体４１に帯電した電荷（図６の例ではマイナスの電荷）が除去される。したがって、本実施形態において、異物除去部７０は電荷除去部であるとも言える。なお、異物除去部７０にたまった電荷（プラス／マイナス）は導電部７２を介してアース７３から除去される。
【００４７】
磨耗粉（異物）に帯電した電荷が中和されるため、磨耗粉は回転体４１の周面から離脱しやすくなる。回転体４１から離脱した磨耗粉は、図６Ｃに示されるように回転体４１の回転によって生じる遠心力によって遠心方向へ飛散し、導電性繊維７１１に付着する。つまり、電極７１は異物を除去すると同時に除去された異物を回収する機能も有する。
【００４８】
なお、回転体４１の周面で電極７１と対向する部分に付着している磨耗粉は、コロナ放電によって電荷が中和されることにより、回転体４１の周面から離脱して電極７１の方向に飛散する。一方、電極７１と対向する部分以外に付着している磨耗粉は、電荷が十分に中和されないため、回転体４１から離脱しにくい。したがって、電極７１と対向する部分以外では磨耗粉が飛散しにくく、圧電モーター１０の他の機構（例えば、アクチュエーター１０等）に付着する可能性が小さい。
【００４９】
また、磨耗粉に帯電した電荷が中和されて回転体４１から除去されることにより、回転体４１にたまっていた電荷も中和される。これにより、回転体４１に新たな異物が付着することが抑制されるので、安定した回転駆動を実現しやすくなる。  
さらに、本実施形態では、異物除去部７０の電極７１と回転体４１とが非接触の状態であるため、回転体４１の回転動作を妨げることなく磨耗粉（異物）を除去することが可能である。
【００５０】
このように本実施形態では、圧電モーターの回転体４１に近接して異物除去部７０が設けられる。異物除去部７０の一端側はブラシ状の導電性繊維を組み合わせた電極７１であり、回転体４１の周面と対向し、かつ接触しない位置に設けられる。また、異物除去部７０の他端側はアース７３に接続される。
【００５１】
回転体４１の回転駆動時には、異物除去部７０によるコロナ放電によって、回転体４１の周面に付着した磨耗粉に帯電した電荷が中和され、該磨耗粉が回転体４１から離脱する。磨耗粉を周囲に飛散させることなく回転体４１から分離して除去することが可能なため、被駆動部４０の回転特性（駆動特性）が悪化したりアクチュエーター１０の耐久性が弱くなったりすることを抑制することができる。
【００５２】
＝＝＝第２実施形態＝＝＝
第２実施形態では、異物除去部７０の構成が異なる圧電モーター２について説明する。  
図７は、第２実施形態の圧電モーター２の平面図である。圧電モーター２において、異物除去部７０以外の各構成は第１実施形態の圧電モーター１と同様であるため、説明を省略する。
【００５３】
（異物除去部７０）
圧電モーター２の異物除去部７０は、電極７５と、導電部７２と、アース７３とを有する。  
電極７５は、除電布７５１と、金属フレーム７５２とを備える。金属フレーム７５２は回転体４１の周面を取り囲むような円形の溝部を有する金属製のフレームであり、当該溝部の内面側に除電布７５１を保持する。徐電布７５１は、布面に微小な導電性繊維が密集した平面状の電極であり、本実施形態においては、図７に示されるように金属フレーム７５２の溝部に沿って曲面状に設置される。すなわち、圧電モーター２では電極７５が回転体４１の周面を取り囲むような曲面を有する。また、除電布７５１の表面（すなわち、電極７５で回転体４１の周面と対向する面）は粘着性を有するように構成される。
【００５４】
＜異物の除去について＞
第２実施形態における異物除去方法は、基本的に第１実施形態と同様である。すなわち、圧電モーター２の駆動時に、ある極性の電荷（例えばマイナスの電荷）が帯電した磨耗粉が回転体４１の周面に付着する。電荷が帯電した磨耗粉に対して、電極７５の除電布７５１表面でコロナ放電が発生し、磨耗粉に帯電した電荷を中和する。これにより、磨耗粉は回転体４１から離脱しやすくなり、遠心力によって電極７５の方向へ移動し、回転体から磨耗粉が除去される。
【００５５】
そして、本実施形態では、電極７５が回転体４１の周面を広く取り囲むように配置されている。また、電極７５の除電布７５１が粘着性を有するように構成されているため、回転体４１から離脱した後の磨耗粉は電極７５に吸着されやすく、周囲に飛散しにくい。
【００５６】
したがって、アクチュエーター１０や他の部位に磨耗粉が付着することによって圧電モーター２の正常な駆動動作が妨げられるといった問題をより抑制しやすくなる。
【００５７】
＝＝＝その他の実施形態＝＝＝
一実施形態としての圧電モーターについて説明したが、上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることは言うまでもない。特に、以下に述べる実施形態であっても、本発明に含まれるものである。
【００５８】
＜異物除去部について＞
前述の各実施形態では、異物除去部の構成として複数の導電性繊維がブラシ状に集合した電極や除電布を用いた例について説明されていたが、電極の構成はこの例には限られない。例えば、導電性を有する材料で形成された針等、先端が尖った突起状の電極や、ナイフエッジ状の電極等、回転体との間でコロナ放電を発生させることができるものであれば電極として用いることができる。
【符号の説明】
【００５９】
１・２  圧電モーター、
１０  アクチュエーター、
２０  振動部材（導体平板）、２１  板状部材、２２  突起部、２３  腕部、
３０  圧電素子、３１  圧電体層、３２  第１電極、３３  第２電極、
３３１  縦振動用電極部、３３２・３３３  屈曲振動用電極部、
３４Ａ  長手方向溝部、３４Ｂ  幅方向溝部、
４０  被駆動部、４１  回転体、４２  回転軸、
５０  付勢手段、５２  固定部、５３  保持部材、５４  スライドピン、
５５  ばね部材、
６０  装置本体、
７０  異物除去部、７１  電極、７１１  導電性繊維、７１２  金属フレーム、
７２  導電部、７３  アース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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