(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力媒体の作用によって出力軸が回転方向において揺動して駆動トルクを出力する、ロータリーアクチュエータであって、
ケースと、
前記ケースの内部に設置されて、内側に中空領域が設けられた筒状のシリンダと、
前記ケースに対して回転可能に支持され、軸方向が前記シリンダの軸方向と平行に延びるとともに前記中空領域に設置された前記出力軸と、
前記出力軸に一体に設けられ又は固定されて前記シリンダの径方向に延びるアームと、
円弧状に延びる部分を有し、前記シリンダの内側に設置されるとともに当該シリンダの周方向に沿って当該シリンダに対して摺動して変位可能に支持されるピストンと、
を備え、
前記シリンダは、分割された状態で形成された複数のシリンダブロックを有するとともに、複数の前記シリンダブロックは当該シリンダの軸方向に沿って積層され、
前記シリンダの内側には、前記出力軸及び前記アームが収納される第１圧力室と、当該シリンダと前記ピストンとで区画されるとともに当該ピストンにおける一方の端部に設けられたピストンヘッド部が対向して設置される第２圧力室とが、設けられ、
前記シリンダには、当該シリンダの軸方向において隣り合う前記シリンダブロック同士の間において、当該シリンダに対して摺動して変位可能に支持される前記ピストンを収納するとともに前記第２圧力室を区画するピストンチャンバが設けられ、
前記ピストンは、前記一方の端部と反対側の端部において、前記アームに対して回転可能に連結される連結部が設けられ、
前記ケースの内側には、前記シリンダに対してその軸方向における両側の少なくとも一方に設けられ、前記第２圧力室に連通する第３圧力室が設けられ、
前記第１圧力室及び前記第２圧力室の一方に圧力媒体が供給され、前記第１圧力室及び前記第２圧力室の他方から圧力媒体が排出されることで、前記アームが前記シリンダの周方向に変位し、前記出力軸が回転方向において揺動し、
前記第２圧力室に圧力媒体が供給される際に、前記第３圧力室にも圧力媒体が供給されて当該圧力媒体の作用によって前記シリンダが付勢されることを特徴とする、ロータリーアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のロータリーアクチュエータであって、
前記第３圧力室における前記シリンダの軸方向に垂直な断面の面積が、前記第２圧力室における前記シリンダの軸方向に垂直な断面であって隣り合う前記シリンダブロックの合わせ面の位置の断面における面積に対して、同じ又は大きいことを特徴とする、ロータリーアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のロータリーアクチュエータであって、
前記ケースの内側において前記シリンダに対してその軸方向における両側のうちの少なくとも一方に設置され、前記シリンダとの間で前記第３圧力室を区画するとともに、前記ケースの内周に対して密着した状態で当該ケースに対して固定される圧力室区画部材が更に備えられていることを特徴とする、ロータリーアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のロータリーアクチュエータであって、
前記ピストンは、複数設けられ、
複数の前記ピストンは、前記出力軸の軸方向に沿って並んで設置されていることを特徴とする、ロータリーアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のロータリーアクチュエータであって、
前記アームは、前記出力軸における複数個所から前記シリンダの径方向に延びるように、複数設けられていることを特徴とする、ロータリーアクチュエータ。
【請求項６】
請求項５に記載のロータリーアクチュエータであって、
複数の前記アームとして、前記出力軸の軸方向に垂直な同一の面に沿って前記シリンダの径方向に延びる複数の前記アームが設けられ、
前記同一の面に沿って前記シリンダの周方向に延びるように設置された複数の前記ピストンとして構成されるピストンユニットが設けられ、
前記ピストンユニットにおけるそれぞれの前記ピストンは、複数の前記アームのそれぞれに対して回転可能に連結されていることを特徴とする、ロータリーアクチュエータ。
【請求項７】
請求項６に記載のロータリーアクチュエータであって、
前記ピストンユニットは、複数設けられ、
複数の前記ピストンユニットは、前記出力軸の軸方向に沿って並んで設置されていることを特徴とする、ロータリーアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力媒体の作用によって出力軸が回転方向において揺動して駆動トルクを出力する、ロータリーアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力媒体としての圧力流体の作用によって出力軸が回転方向において揺動して駆動トルクを出力するロータリーアクチュエータとして、特許文献１に開示されたような構造のロータリーアクチュエータが知られている。
【０００３】
特許文献１に開示されたロータリーアクチュエータは、円筒状のシリンダの内側にリブが一体に設けられ、シリンダの内側において回転自在に設置された出力軸にベーンが設けられている。シリンダの両端には、エンドキャップが取り付けられている。そして、リブ及びシリンダの内壁面と、ベーン及び出力軸の外壁面とが、圧力室を形成している。隣り合う圧力室に圧力流体が交互に供給されることで、圧力流体の作用によって出力軸が回転方向において揺動して駆動トルクが出力される。
【０００４】
また、上記のロータリーアクチュエータにおいては、リブ及びベーンにそれぞれ設けられた溝に、板状或いはブロック状に形成されたシールが嵌め込まれている。リブに嵌め込まれたシールが出力軸の外壁面に押し付けられ、ベーンに嵌め込まれたシールがシリンダの内壁面に押し付けられている。これにより、隣り合う圧力室の間が封止されるように構成されている。また、圧力室は、エンドキャップと出力軸及びベーンとの間においても、ガスケットを介して封止されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第５６０１１６５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示されたような従来の一般的なロータリーアクチュエータは、回転する出力軸とシリンダに設けられたリブとの間における回転摺動部が、リブに嵌め込まれたシールによって封止される。そして、回転する出力軸に設けられたベーンとシリンダとの間における回転摺動部も、ベーンに嵌め込まれたシールによって封止される。更に、回転する出力軸及びベーンとエンドキャップとの間における回転摺動部も、ガスケットによって封止される。
【０００７】
しかし、回転摺動部におけるシールによる圧力流体の漏洩抑止は難しく、特許文献１に開示されたような従来のロータリーアクチュエータの場合、シール或いはガスケットからの漏洩が多く生じてしまうのが現状である。このため、ロータリーアクチュエータ内での圧力流体の内部漏洩が多く生じることになる。また、従来のロータリーアクチュエータの場合、リブ或いはベーンの溝に板状或いはブロック状に設けられたシールが嵌め込まれる構造であるため、溝とシールとの間における漏洩も問題となる。また、溝に嵌め込まれたシールには角部が設けられるため、とくに、この角部及びその近傍の部分において、摺動する相手側の面に対する密着性の確保が難しく、漏洩の抑制が困難となる。このため、更に、ロータリーアクチュエータ内での圧力流体の内部漏洩が多く生じてしまうことになる。
【０００８】
また、従来のロータリーアクチュエータの場合、摺動する相手側の面に対して高圧で押し付けられるとともに回転摺動部に用いられる高圧用の回転シールが多く必要となる。このため、静的に用いられるシール、或いは、相手側の面に対して接触する接触部分が相手側の面に対して所定の直線方向又は曲線方向に沿って相対変位して一様に摺動する線形摺動形態のシールとは異なり、設計上意図されるシール性能を維持可能なシール寿命が大幅に短くなってしまうという問題もある。よって、高圧用の回転シールが不要な或いは高圧用の回転シールを大幅に削減可能な構造のロータリーアクチュエータの実現が望まれる。
【０００９】
本発明は、上記実情に鑑みることにより、圧力媒体の内部漏洩を低減できるとともに、高圧用の回転シールが不要な或いは高圧用の回転シールを大幅に削減可能な構造を実現できる、ロータリーアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するための第１発明に係るロータリーアクチュエータは、圧力媒体の作用によって出力軸が回転方向において揺動して駆動トルクを出力する、ロータリーアクチュエータに関する。そして、第１発明に係るロータリーアクチュエータは、ケースと、前記ケースの内部に設置されて、内側に中空領域が設けられた筒状のシリンダと、前記ケースに対して回転可能に支持され、軸方向が前記シリンダの軸方向と平行に延びるとともに前記中空領域に設置された前記出力軸と、前記出力軸に一体に設けられ又は固定されて前記シリンダの径方向に延びるアームと、円弧状に延びる部分を有し、前記シリンダの内側に設置されるとともに当該シリンダの周方向に沿って当該シリンダに対して摺動して変位可能に支持されるピストンと、を備えていることを特徴とする。更に、第１発明に係るロータリーアクチュエータにおいては、前記シリンダは、分割された状態で形成された複数のシリンダブロックを有するとともに、複数の前記シリンダブロックが当該シリンダの軸方向に沿って積層されることで、当該シリンダが一体に組み立てられ、前記シリンダの内側には、前記出力軸及び前記アームが収納される第１圧力室と、当該シリンダと前記ピストンとで区画されるとともに当該ピストンにおける一方の端部に設けられたピストンヘッド部が対向して設置される第２圧力室とが、設けられ、前記シリンダには、当該シリンダの軸方向において隣り合う前記シリンダブロック同士の間において、当該シリンダに対して摺動して変位可能に支持される前記ピストンを収納するとともに前記第２圧力室を区画するピストンチャンバが設けられ、前記ピストンは、前記一方の端部と反対側の端部において、前記アームに対して回転可能に連結される連結部が設けられ、前記ケースの内側には、前記シリンダに対してその軸方向における両側の少なくとも一方に設けられ、前記第２圧力室に連通する第３圧力室が設けられ、前記第１圧力室及び前記第２圧力室の一方に圧力媒体が供給され、前記第１圧力室及び前記第２圧力室の他方から圧力媒体が排出されることで、前記アームが前記シリンダの周方向に変位し、前記出力軸が回転方向において揺動し、前記第２圧力室に圧力媒体が供給される際に、前記第３圧力室にも圧力媒体が供給されて当該圧力媒体の作用によって前記シリンダが付勢されることを特徴とする。
【００１１】
この構成によると、ケースの内部に設置されたシリンダの内側において、第１及び第２圧力室の一方に圧力媒体が供給され他方から圧力媒体が排出されることで、ピストンがシリンダの周方向に摺動して変位する。そして、ピストンが回転可能に連結されたアームがピストンによって駆動されることで、アームとともに出力軸が回転方向に揺動する。これにより、ロータリーアクチュエータの駆動トルクが出力される。このように、上記の構成のロータリーアクチュエータによると、シリンダの内側において、シリンダに対して摺動するピストンにおける連結部側の第１圧力室とピストンヘッド部側の第２圧力室とが、区画されることになる。これにより、従来のロータリーアクチュエータに設けられていたような、出力軸、ベーン、シリンダ、リブ、エンドキャップで区画される圧力室を備えた構造が不要となる。即ち、上記の構成のロータリーアクチュエータによると、出力軸とシリンダに設けられたリブとの間における回転摺動部、回転する出力軸に設けられたベーンとシリンダとの間における回転摺動部、回転する出力軸及びベーンとエンドキャップとの間における回転摺動部が、不要となる。よって、上記の構成によると、ロータリーアクチュエータ内での圧力媒体の内部漏洩を低減することができる。また、上記の構成のロータリーアクチュエータの場合、摺動する相手側の面に対して高圧で押し付けられるとともに回転摺動部に用いられる高圧用の回転シールが不要或いはこれを大幅に削減可能となる。
【００１２】
従って、上記の構成によると、圧力媒体の内部漏洩を低減できるとともに、高圧用の回転シールが不要な或いは高圧用の回転シールを大幅に削減可能な構造を実現できる、ロータリーアクチュエータを提供することができる。
【００１３】
更に、上記の構成によると、アームを介して出力軸を回転駆動するピストンが、アームに対して回転可能に連結されている。このため、出力軸に対して外部負荷が作用した場合であっても、アームがピストンから離間した状態が発生してしまうことが防止される。これにより、第１及び第２圧力室に対する圧力媒体の給排によって変位するピストンにより駆動される出力軸の回転位置制御に関するサーボ制御機構が構築される場合に、このサーボ機構の応答性の低下を抑制できる。即ち、上記のサーボ機構の高応答化が図られた場合であっても、前述の回転位置制御が瞬間的に不能になる状態が発生してしまうことが防止される。
【００１４】
更に、上記の構成によると、複数のシリンダブロックがシリンダの軸方向に積層されることでシリンダが組み立てられ、隣り合うシリンダブロック同士の間にピストンチャンバが区画される。このため、ピストンチャンバが形成される際、シリンダブロックに対して半割状態の溝が形成された後、それらが組み合わされることで、ピストンチャンバが構成されることになる。これにより、シリンダの周方向に摺動して変位するピストンを収納するピストンチャンバを容易に形成でき、シリンダを容易に製造することができる。
【００１５】
更に、上記の構成によると、第２圧力室に圧力媒体が供給される際に、シリンダの軸方向両側の少なくとも一方に設けられた第３圧力室にも圧力媒体が供給され、シリンダが付勢される。このため、シリンダの軸方向において、第３圧力室に供給された圧力媒体の作用による付勢力が、第２圧力室に供給された圧力媒体の作用に抗して、隣り合うシリンダブロックを付勢するように作用する。即ち、第３圧力室に供給された圧力媒体の作用による付勢力によって、複数のシリンダブロックが、シリンダの軸方向において、互いに押し付け合わされる方向に付勢されることになる。これにより、供給された圧力媒体の作用によってケースが軸方向に弾性変形するような場合であっても、ピストンチャンバを区画する隣り合うシリンダブロックの密着性を容易に維持することができる。
【００１６】
第２発明に係るロータリーアクチュエータは、第１発明のロータリーアクチュエータにおいて、前記第３圧力室における前記シリンダの軸方向に垂直な断面の面積が、前記第２圧力室における前記シリンダの軸方向に垂直な断面であって隣り合う前記シリンダブロックの合わせ面の位置の断面における面積に対して、同じ又は大きいことを特徴とする。
【００１７】
この構成によると、シリンダの軸方向の断面積に関して、第３圧力室の断面積が、第２圧力室の断面積以上に設定される。このため、シリンダの軸方向において、第３圧力室に供給された圧力媒体の作用による付勢力の大きさを、第２圧力室に供給された圧力媒体の作用による付勢力の大きさ以上に設定できる。これにより、ピストンチャンバを区画する隣り合うシリンダブロックの密着性を確実に維持することができる。
【００１８】
第３発明に係るロータリーアクチュエータは、第１発明又は第２発明のロータリーアクチュエータにおいて、前記ケースの内側において前記シリンダに対してその軸方向における両側のうちの少なくとも一方に設置され、前記シリンダとの間で前記第３圧力室を区画するとともに、前記ケースの内周に対して密着した状態で当該ケースに対して固定される圧力室区画部材が更に備えられていることを特徴とする。
【００１９】
この構成によると、ケースの内側において、シリンダの軸方向両側の少なくとも一方に圧力室区画部材を設置することで、第３圧力室を簡素な構造で容易に構築することができる。
【００２０】
第４発明に係るロータリーアクチュエータは、第１発明乃至第３発明のロータリーアクチュエータにおいて、前記ピストンは、複数設けられ、複数の前記ピストンは、前記出力軸の軸方向に沿って並んで設置されていることを特徴とする。
【００２１】
この構成によると、出力軸の軸方向に沿って並んで複数設置されたピストンによって、アームを介して出力軸が駆動される。このため、シリンダの径方向の寸法を増大させることなく、コンパクトな構造で、駆動トルクの高出力化を図ることができる。
【００２２】
第５発明に係るロータリーアクチュエータは、第１発明乃至第４発明のいずれかのロータリーアクチュエータにおいて、前記アームは、前記出力軸における複数個所から前記シリンダの径方向に延びるように、複数設けられていることを特徴とする。
【００２３】
この構成によると、アームが出力軸の複数個所から径方向に延びるように設けられる。このため、アームを介して出力軸を回転駆動するピストンが複数設置される場合に、それらの設置位置に関する設計の自由度を向上させることができる。尚、例えば、アームは、出力軸の軸方向における複数個所からシリンダの径方向に延びるように設けられていてもよい。また、アームは、シリンダの周方向における角度が異なる方向に向かって出力軸における複数個所からシリンダの径方向に延びるように設けられていてもよい。
【００２４】
第６発明に係るロータリーアクチュエータは、第５発明のロータリーアクチュエータにおいて、複数の前記アームとして、前記出力軸の軸方向に垂直な同一の面に沿って前記シリンダの径方向に延びる複数の前記アームが設けられ、前記同一の面に沿って前記シリンダの周方向に延びるように設置された複数の前記ピストンとして構成されるピストンユニットが設けられ、前記ピストンユニットにおけるそれぞれの前記ピストンは、複数の前記アームのそれぞれに対して回転可能に連結されていることを特徴とする。
【００２５】
この構成によると、出力軸の軸方向に垂直な同一の面に沿って設置されたピストンユニットにおける複数のピストンによって出力軸を回転駆動できる。このため、ロータリーアクチュエータがシリンダの軸方向に長大化してしまうことを抑制するとともにシリンダの径方向に大型化してしまうことも抑制しつつ、駆動トルクの高出力化を図ることができる。例えば、ピストンユニットが２つのピストンで構成される場合であれば、軸方向の長大化及び径方向の大型化を招くことなく、ロータリーアクチュエータの出力を倍増させることができる。
【００２６】
第７発明に係るロータリーアクチュエータは、第６発明のロータリーアクチュエータにおいて、前記ピストンユニットは、複数設けられ、複数の前記ピストンユニットは、前記出力軸の軸方向に沿って並んで設置されていることを特徴とする。
【００２７】
この構成によると、出力軸の軸方向に沿って並んで複数設置されたピストンユニットによって、アームを介して出力軸が駆動される。このため、シリンダの径方向の寸法を増大させることなく、コンパクトな構造で、更に駆動トルクの高出力化を図ることができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によると、圧力媒体の内部漏洩を低減できるとともに、高圧用の回転シールが不要な或いは高圧用の回転シールを大幅に削減可能な構造を実現できる、ロータリーアクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施の形態に係るロータリーアクチュエータについて軸方向に対して垂直な方向から見た図であって一部断面を含む図である。
【図２】図１に示すロータリーアクチュエータについてＡ−Ａ線矢視方向から見た断面を示す断面図である。
【図３】図２に示すロータリーアクチュエータについてＣ−Ｃ線矢視方向から見た断面を示す断面図である。
【図４】図２に示すロータリーアクチュエータにおけるシリンダの断面図である。
【図５】図２に示すロータリーアクチュエータにおけるピストンユニットを示す図である。
【図６】図３に示すロータリーアクチュエータの断面の一部を拡大して示す拡大断面図である。
【図７】図２に示すロータリーアクチュエータの動作を制御する油圧回路を模式的に示す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。尚、本発明は、圧力媒体の作用によって出力軸が回転方向において揺動して駆動トルクを出力する、ロータリーアクチュエータに関して広く適用することができるものである。
【００３１】
［ロータリーアクチュエータの構成］
図１は、本発明の一実施の形態に係るロータリーアクチュエータ１について軸方向に対して垂直な方向から見た図であって一部断面を含む図である。また、図２は、ロータリーアクチュエータ１について図１のＡ−Ａ線矢視方向から見た断面を示す断面図である。尚、図１は、図２において一点鎖線で示すＢ−Ｂ線矢視方向から見た断面を含んで図示されている。また、図３は、ロータリーアクチュエータ１について、図２において二点鎖線で示すＣ−Ｃ線矢視方向から見た断面を含む図である。
【００３２】
図１乃至図３に示すロータリーアクチュエータ１は、圧力媒体の作用によって出力軸１３がその軸心を回転中心とする回転方向において揺動して駆動トルクを出力するアクチュエータとして設けられている。圧力媒体としては、圧縮空気、圧油、等、種々の圧力流体が挙げられる。また、圧力媒体として、金属材料、樹脂材料、セラミックス材料、或いはこれらの複合材料、等を素材とした粉末粒子状の紛体が用いられてもよい。尚、本実施形態では、圧力媒体として圧油が用いられる形態を例にとって説明する。
【００３３】
図１乃至図３に示すように、ロータリーアクチュエータ１は、ケース１１、シリンダ１２、出力軸１３、複数のピストンユニット１４、複数のアームユニット１５、複数の圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）、複数のリングナット（１７ａ、１７ｂ）、等を備えて構成されている。尚、ケース１１、シリンダ１２、出力軸１３、複数のピストンユニット１４、複数のアームユニット１５、複数の圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）、複数のリングナット（１７ａ、１７ｂ）は、例えば、ステンレス鋼、チタン合金、アルミニウム合金、銅合金、等の金属材料を主要な素材として形成されている。
【００３４】
ケース１１は、例えば、円筒状の部材として設けられ、内側が中空で両端部が開口した部材として構成されている。そして、開口した両端部のそれぞれには、後述する圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）及びリングナット（１７ａ、１７ｂ）が嵌め込まれて固定されている。ケース１１の両端部は、圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）によって、閉鎖されている。尚、後述する圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）は、所定の厚みを持った環状の部分を有する部材として設けられ、その中央部分において、後述する出力軸１３の端部がそれぞれ貫通して突出する貫通孔が形成されている。
【００３５】
図４は、図２に対応する断面におけるシリンダ１２の断面図である。尚、図４では、ピストンユニット１４についても二点鎖線で図示されている。図１乃至図４に示すように、シリンダ１２は、ケース１１の内側に設置されて、内側に中空領域２３が設けられた筒状の構造体として構成されている。中空領域２３は、シリンダ１２の軸方向に沿って延びる中空の領域として設けられ、後述の出力軸１３が設置されている。尚、シリンダ１２の軸方向と、アクチュエータ１における長手方向であるアクチュエータ１の軸方向と、ケース１１の円筒軸方向と、出力軸１３の軸方向とは、平行な方向として構成されており、同一の方向として構成されていてもよい。
【００３６】
シリンダ１２の内側には、それぞれシリンダ１２の周方向に沿って円弧状に且つ長孔状に延びる複数のピストンチャンバ２４が設けられている。また、ピストンチャンバ２４は、シリンダ１２の軸方向に垂直な同一の面に沿ってシリンダ１２の周方向に延びるように複数設けられている。尚、本実施形態では、シリンダ１２の軸方向に垂直な同一の面に沿った２つのピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）が、それぞれシリンダ１２の周方向に延びるように設けられている。
【００３７】
更に、シリンダ１２においては、シリンダ１２の周方向に沿って設けられた一対のピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）が、シリンダ１２の軸方向に沿って並んで設けられている。即ち、シリンダ１２の軸方向に垂直な複数の面のそれぞれに沿って、シリンダ１２の周方向に沿って延びるように一対のピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）が設けられている。
【００３８】
また、各ピストンチャンバ２４は、シリンダ１２の内側において、中空領域２３にそれぞれ連通する孔として設けられている。そして、各ピストンチャンバ２４は、後述するピストンユニット１４のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）によって、中空領域２３との間での圧油の移動が規制されるように区画されている。尚、ピストンチャンバ２４ａは、アークピストン１４ａによって、中空領域２３との間での圧油の移動が規制されるように区画されている。一方、ピストンチャンバ２４ｂは、アークピストン１４ｂによって、中空領域２３との間での圧油の移動が規制されるように区画されている。尚、ピストンチャンバ２４ａは、アークピストン１４ａとの間において、後述の第２圧力室２６ａを区画している。そして、ピストンチャンバ２４ｂは、アークピストン１４ｂとの間において、後述の第２圧力室２６ｂを区画している。
【００３９】
また、シリンダ１２は、分割された状態で形成された複数のシリンダブロック２７を備えて構成されている。各シリンダブロック２７は、軸方向長さの短い円筒状の部材として設けられている。そして、複数のシリンダブロック２７が、ケース１１の内側において、シリンダ１２の軸方向に沿って積層されていることで、シリンダ１２が一体に組み立てられている。
【００４０】
また、各シリンダブロック２７には、中空領域２３の一部を構成する貫通孔として設けられた領域と、半円形状の断面でシリンダ１２の周方向に沿って円弧状に延びる溝とが設けられている。上記の溝は、シリンダ１２の軸方向における両端以外の位置に設置されるシリンダブロック２７では、軸方向における両方の端面に設けられている。また、上記の溝は、シリンダ１２の軸方向における両端の位置に設置されるシリンダブロック２７では、軸方向における一方の端面に設けられている。そして、シリンダ１２の軸方向において隣り合うシリンダブロック２７同士の間において、上記の溝同士が対向して円形断面を構成するように重ねられることで、各ピストンチャンバ２４が区画されている。
【００４１】
また、シリンダ１２の軸方向において隣り合うシリンダブロック２７において、半円形断面の上記の溝が形成されるとともに互いに重ねあわされる合わせ面２７ａは、互いに密着するように平坦な面として形成されている（図１を参照）。これにより、隣り合うシリンダブロック２７間における圧油の漏洩が十分に防止されることになる。尚、隣り合うシリンダブロック２７のうちの一方には、上記の合わせ面２７ａの外周の縁部において、リング状のシール部材２８が嵌め込まれている。このシール部材２８は、静的に用いられる低圧用のシール部材となる。
【００４２】
また、本実施形態では、複数のシリンダブロック２７のうち、シリンダ１２の軸方向における両端以外の位置に設置されるシリンダブロック２７と、両端の位置に設置されるシリンダブロック２７とでは、端面の構成が異なっている。シリンダ１２の軸方向における両端以外の位置に設置されるシリンダブロック２７は、シリンダ１２の軸方向における両方の端面が、重ねられる相手側のシリンダブロック２７に対して密着するとともにピストンチャンバ２４が形成された合わせ面２７ａとして設けられている。これに対し、シリンダ１２の軸方向における両端の位置に設置されるシリンダブロック２７は、一方の端面が、重ねられる相手側のシリンダブロック２７に対して密着するとともにピストンチャンバ２４が形成された合わせ面２７ａとして設けられている。そして、このシリンダブロック２７における他方の端面が、後述する第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）を区画する端面として設けられている。
【００４３】
尚、シリンダブロック２７同士が重ね合わされることで円形断面の孔を構成してピストンチャンバ２４を形成する、上記の半円形状の断面の溝の形成に際しては、例えば、まず、シリンダブロック２７の素材に対してシリンダ１２の周方向に円弧状に延びる溝の切削加工が行われる。そして、その切削加工の後、切削加工された半円形状断面を構成する壁面に対して研磨加工が施されることで、滑らかな円弧形状の断面でシリンダ１２の周方向に円弧状に延びる溝が形成される。
【００４４】
出力軸１３は、ケース１１に対して、後述する圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）を介して、回転自在に支持されて、軸方向がシリンダ１２の軸方向と平行に延びるとともに中空領域２３に設置されている。そして、出力軸１３には、軸部１３ａ、端部（１３ｂ、１３ｃ）が設けられている。
【００４５】
軸部１３ａは、軸方向がシリンダ１２の軸方向と一致する方向に延びる円柱状の部分として設けられている。端部１３ｂ及び端部１３ｃは、軸部１３ａの両端にそれぞれ一体に設けられている。端部１３ｂは、圧力室区画部材１６ａに対して摺動して回転自在に支持されている。端部１３ｃは、圧力室区画部材１６ｂに対して摺動して回転自在に支持されている。
【００４６】
端部１３ｂの外周と圧力室区画部材１６ａの貫通孔の内周との間には、リング状のシール部材２９が設置されている。本実施形態では、圧力室区画部材１６ａの内周に形成されたシール溝に対してシール部材２９が嵌め込まれ、このシール部材２９の内側に端部１３ｂが挿入されている。尚、本実施形態では、シール部材２９は、複数設置されている。また、端部１３ｃの外周と圧力室区画部材１６ｂの貫通孔の内周との間にも、リング状のシール部材３０が設置されている。本実施形態では、圧力室区画部材１６ｂの内周に形成されたシール溝に対してシール部材３０が嵌め込まれ、このシール部材３０の内側に端部１３ｃが挿入されている。尚、本実施形態では、シール部材３０は、複数設置されている。
【００４７】
上記のシール部材（２９、３０）によって、出力軸１３と圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）との間が封止されている。また、各シール部材（２９、３０）は、リング状に設けられ、その内周に沿って周方向に出力軸１３の外周が摺動する。このため、これらのシール部材（２９、３０）は、相手側の面である出力軸１３の端部（１３ｂ、１３ｃ）の外周面に対して接触する接触部分が出力軸１３の周方向に沿って相対変位して一様に摺動する線形摺動形態のシールとして構成されることになる。尚、これらのシール部材（２９、３０）が設けられていなくてもよく、この場合であっても、出力軸１３の外周と圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）の内周との間は、十分に封止される。
【００４８】
また、シール部材（２９、３０）が嵌め込まれるシール溝は、圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）に設けられていなくてもよい。シール部材（２９、３０）が嵌め込まれるシール溝は、端部（１３ｂ、１３ｃ）のみに設けられていてもよく、また、圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）及び端部（１３ｂ、１３ｃ）の両方に設けられていてもよい。
【００４９】
アームユニット１５は、複数のアーム（１５ａ、１５ｂ）を備えて構成されており、本実施形態では、一対の（２つの）アーム（１５ａ、１５ｂ）を備えて構成されている。一対のアーム（１５ａ、１５ｂ）のそれぞれは、出力軸１３に一体に設けられるとともに、シリンダ１２の径方向に延びるように設けられている。更に、本実施形態では、アームユニット１５は、複数設けられており、出力軸１３の軸方向に沿って並んで設けられている。このため、アーム（１５ａ、１５ｂ）は、出力軸１３における複数個所からシリンダ１２の径方向に延びるように、複数設けられている。そして、本実施形態では、アーム（１５ａ、１５ｂ）は、出力軸１３の軸方向における複数個所及び出力軸１３の周方向における複数個所からシリンダ１２の径方向に延びるように設けられている。また、アーム（１５ａ、１５ｂ）は、出力軸１３とともに中空領域２３に設置されている。尚、アーム（１５ａ、１５ｂ）は、出力軸１３とは別部材として設けられて出力軸１３に固定されてもよい。
【００５０】
また、本実施形態では、各アーム（１５ａ、１５ｂ）は、角部が円弧状に形成された略台形状の外形の板状の部分を２枚備えて構成されている。そして、各アーム（１５ａ、１５ｂ）は、一端側が出力軸１３に対して片持ち状に一体に設けられている。また、各アーム（１５ａ、１５ｂ）における２枚の板状の部分は、出力軸１３の軸方向に垂直な方向に沿って且つ互いに平行に延びるように設けられている。
【００５１】
また、アームユニット１５におけるアーム１５ａとアーム１５ｂとは、出力軸１３の軸方向における位置が同じ箇所からシリンダ１３の径方向に延びるように設けられている。更に、アームユニット１５におけるアーム１５ａとアーム１５ｂとは、シリンダ１２の周方向における角度が互いに１８０度異なる方向に向かって、即ち、シリンダ１２の直径方向に沿って、出力軸１３からシリンダ１２の径方向に延びるように設けられている。これにより、本実施形態では、複数のアーム（１５ａ、１５ｂ）として、出力軸１３の軸方向に垂直な同一の面に沿ってシリンダ１２の径方向に延びる複数のアーム（１５ａ、１５ｂ）が設けられた構成が実施されている。
【００５２】
図５は、ピストンユニット１４を示す図である。図１乃至図５に示すピストンユニット１４は、ロータリーアクチュエータ１においては、複数設けられており、それぞれ一対のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）として構成されている。複数のピストンユニット１４は、出力軸１３の軸方向に沿って並んで設置されている。各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）は、本実施形態におけるピストンを構成している。そして、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）は、アーク型に形成され、円形断面で円弧状に延びる部分を備えて構成されている。尚、上記の構成により、本実施形態では、アークピストン（１４ａ、１４ｂ）が複数設けられ、複数のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）が、出力軸１３の軸方向に沿って並んで設置された構成が実施されている。
【００５３】
アークピストン（１４ａ、１４ｂ）は、シリンダ１２の内側のピストンチャンバ２４に設置されるとともに、シリンダ１２の周方向に沿ってシリンダ１２に対して摺動して変位可能に支持されている。また、一対のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）は、隣り合うシリンダブロック２７間で区画されるピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）に設置されている。尚、アークピストン１４ａは、ピストンチャンバ２４ａに設置され、アークピストン１４ｂは、ピストンチャンバ２４ｂに設置されている。
【００５４】
そして、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）は、各ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）の壁面に対して、ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）が円弧状に延びる方向に沿って摺動自在に、設置されている。即ち、アークピストン１４ａがピストンチャンバ２４ａにおいて摺動自在に設置され、アークピストン１４ｂがピストンチャンバ２４ｂにおいて摺動自在に設置されている。尚、シリンダ１２において、ピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）は、シリンダ１２に対して摺動して変位可能に支持されるアークピストン（１４ａ、１４ｂ）を収納する領域として設けられている。
【００５５】
上記により、ピストンユニット１４は、出力軸１３の軸方向に垂直な同一の面に沿ってシリンダ１２の周方向に延びるように設置された複数のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）として構成されている。尚、ピストンユニット１４における複数のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）と、アームユニット１５における複数のアーム（１５ａ、１５ｂ）とは、出力軸１３の軸方向に垂直な同一の面に沿って延びるように設置されている。
【００５６】
また、各ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）における壁面には、シール溝が形成され、このシール溝には、リング状のシール部材３９が嵌め込まれている。シール部材３９は、例えば、各ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）において、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）に対応して１つ設置されている。各シール部材３９には、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）が摺動自在に挿入されている。これにより、ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）の壁面とアークピストン（１４ａ、１４ｂ）の外周との間の液密性或いは気密性が更に高められている。また、このシール部材３９は、相手側の面であるアークピストン（１４ａ、１４ｂ）の外周に対して接触する内周側の接触部分がその相手側の面に対してシリンダ１２の周方向に沿って相対変位して一様に摺動する線形摺動形態のシールとして構成されることになる。尚、このシール部材３９が設けられていなくてもよく、この場合であっても、ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）の壁面とアークピストン（１４ａ、１４ｂ）の外周との間は、十分に封止される。また、シール部材３９が、ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）ではなくアークピストン（１４ａ、１４ｂ）に嵌め込まれている構成が実施されてもよい。
【００５７】
尚、アークピストン（１４ａ、１４ｂ）の製造に際しては、例えば、まず、円形のリング部材の周方向における２か所の部分が切削加工によって切除される。このように切除される２か所の部分は、例えば、円形のリング部材の径方向中心を介して対向する２か所の部分として、即ち、円形のリング部材の直径方向と交差する２か所の部分として設定される。これにより、円形のリング部材から、一対のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）の素材が切り出されることになる。次いで、一対のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）の素材の外周に対して研磨処理が施されることで、円形断面を形成してピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）に対して摺動する各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）の外周側面が形成されることになる。
【００５８】
また、各ピストンユニット１４における各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）には、ピストンヘッド部３２及び連結部３４が設けられている。ピストンヘッド部３２は、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）において、その円弧状に延びる方向である周方向（即ち、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）の長手方向）における一方の端部に設けられている。
【００５９】
連結部３４は、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）において、その円弧状に延びる方向である周方向（即ち、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）の長手方向）における一方の端部と反対側の他方の端部に設けられている。この連結部３４は、アーム（１５ａ、１５ｂ）に対して回転可能に連結される。即ち、各ピストンユニット１４におけるそれぞれのアークピストン（１４ａ、１４ｂ）は、各連結部３４において、各アームユニット１５における複数のアーム（１５ａ、１５ｂ）のそれぞれに対して、回転軸３３を介して、回転可能に連結されている。尚、アークピストン１４ａにおける連結部３４が、アーム１５ａに対して、回転軸３３を介して、回転可能に連結されている。そして、アークピストン１４ｂにおける連結部３４が、アーム１５ｂに対して、回転軸３３を介して、回転可能に連結されている。
【００６０】
各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）における連結部３４は、本実施形態においては、円形断面で円弧状に延びる部分から板状に薄く延びる部分として設けられている。そして、この連結部３４には、回転軸３３が軸中心を中心として相対回転自在な状態で貫通する貫通孔３４ａが形成されている。また、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）における連結部３４は、各ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）における中空領域２３に対する開口から突出するように配置されている。
【００６１】
また、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）の連結部３４は、各アーム（１５ａ、１５ｂ）における一対の板状の部分の間において僅かに隙間を介して挟まれた状態で設置される。各アーム（１５ａ、１５ｂ）における一対の板状の部分のそれぞれには、貫通孔が形成されている。そして、一対の板状の部分の両貫通孔と連結部３４の貫通孔３４ａとが連通する位置関係となるように、各アーム（１５ａ、１５ｂ）に対して各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）の連結部３４が設置される。尚、アークピストン１４ａの連結部３４が、アーム１５ａにおける一対の板状の部分の間に設置され、アークピストン１４ｂの連結部３４が、アーム１５ｂにおける一対の板状の部分の間に設置される。
【００６２】
また、回転軸３３は、本実施形態では、先端部にオネジ部分が設けられた円柱形状のピン状の軸部分を有するボルト部材として構成されている。各回転軸３３は、各アーム（１５ａ、１５ｂ）における一対の板状の部分とその間に設置された各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）の連結部３４とを貫通した状態で設置される。このとき、各回転軸３３は、各アーム（１５ａ、１５ｂ）における一対の板状の部分の一方に対して外側からボルト頭部で係合し、一対の板状の部分の他方から先端側のオネジ部分が突出した状態となる。そして、各回転軸３３の先端部におけるオネジ部分に対して、内周にメネジ部分が設けられたナット部材が螺合するように取り付けられる。尚、ナット部材と各回転軸３３の先端部とは、回り止めが施され、ナット部材の回転軸３３からの脱落防止が図られている。
【００６３】
上記により、各アーム（１５ａ、１５ｂ）における一対の板状の部分の間で、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）の連結部３４が、回転軸３３を介して、各アーム（１５ａ、１５ｂ）に対して回転自在に設置されている。そして、各ピストンユニット１４における一対のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）は、各アームユニット１５における一対のアーム（１５ａ、１５ｂ）をシリンダ１２の周方向に沿って同じ回転方向に付勢可能に設けられている。
【００６４】
ここで、アークピストン（１４ａ、１４ｂ）を圧油の給排によって作動させるための第１圧力室２５及び第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）の構成について説明する。第１圧力室２５及び第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）は、シリンダ１２の内側に設けられている。
【００６５】
第１圧力室２５は、圧力媒体としての圧油が導入される領域として設けられている。そして、第１圧力室２５は、中空領域２３によって構成され、出力軸１３と複数のアームユニット１５とが収納されている。また、第１圧力室２５には、圧油が供給されるとともに圧油が排出される複数の給排孔３１が開口している。給排孔３１は、例えば、圧力室区画部材１６ｂにおいて、第１圧力室２５に連通する孔として設けられている。第１圧力室２５に対して圧油の供給が行われる場合には、複数の給排孔３１から略同時タイミングで圧油の供給が行われる。また、第１圧力室２５から圧油の排出が行われる場合には、複数の給排孔３１から略同時タイミングで圧油の排出が行われる。
【００６６】
各第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）は、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）が摺動自在に支持される各ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）において区画された領域として構成されている。そして、各第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）は、各ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）における各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）とシリンダ１２との間において、圧力媒体としての圧油が導入される領域として区画されている。また、各第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）には、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）におけるピストンヘッド部３２が対向して設置されている。尚、第２圧力室２６ａは、ピストンチャンバ２４ａの壁面と、アークピストン１４ａにおけるピストンヘッド部３２と、によって区画されている。第２圧力室２６ｂは、ピストンチャンバ２４ｂの壁面と、アークピストン１４ｂにおけるピストンヘッド部３２と、によって区画されている。
【００６７】
第２圧力室２６ａには、圧油が供給されるとともに圧油が排出される給排孔３０ａが開口している。また、第２圧力室２６ｂにも、圧油が供給されるとともに圧油が排出される給排孔３０ｂが開口している。給排孔３０ａは、複数のシリンダブロック２７において、それぞれシリンダ１２の軸方向に貫通するように設けられている。そして、各シリンダブロック２７の給排孔３０ａは、複数のシリンダブロック２７に亘って直列に並ぶとともに連通した状態に配置されている。また、給排孔３０ｂも、複数のシリンダブロック２７において、それぞれシリンダ１２の軸方向に貫通するように設けられている。そして、各シリンダブロック２７の給排孔３０ｂは、複数のシリンダブロック２７に亘って直列に並ぶとともに連通した状態に配置されている。尚、各給排孔３０ａは、共通の給排油路から各第２圧力室２６ａに対して分岐して連通するように構成されていてもよい。また、各給排孔３０ｂは、共通の給排油路から各第２圧力室２６ｂに対して分岐して連通するように構成されていてもよい。
【００６８】
第２圧力室２６ａ及び第２圧力室２６ｂは、略同時タイミングで圧油の給排が行われる。第２圧力室２６ａ及び第２圧力室２６ｂに対して圧油の供給が行われる場合には、給排孔３０ａ及び給排孔３０ｂから略同時タイミングで圧油の供給が行われる。第２圧力室２６ａ及び第２圧力室２６ｂから圧油の排出が行われる場合には、給排孔３０ａ及び給排孔３０ｂから略同時タイミングで圧油の排出が行われる。
【００６９】
ロータリーアクチュエータ１では、第１圧力室２５及び第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）のうちの一方に圧油が供給され、第１圧力室２５及び第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）の他方から圧油が排出されることで、一対のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）が変位することになる。これにより、一対のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）によって付勢された一対のアーム（１５ａ、１５ｂ）がシリンダ１２の周方向に変位する。そして、アーム（１５、１５ｂ）とともに出力軸１３が、その軸心を回転中心とする回転方向において揺動することになる。
【００７０】
また、ロータリーアクチュエータ１においては、複数のシリンダブロック２７の給排孔３０ａが連通しているため、複数の第２圧力室２６ａは、略同時タイミングで圧油が供給され、また、略同時タイミングで圧油が排出されることになる。そして、複数のシリンダブロック２７の給排孔３０ｂが連通しているため、複数の第２圧力室２６ｂは、略同時タイミングで圧油が供給され、また、略同時タイミングで圧油が排出されることになる。また、前述の通り、給排孔３０ａ及び給排孔３０ｂからは、略同時タイミングで圧油が供給され、また、略同時タイミングで圧油が排出される。
【００７１】
そして、例えば、給排孔（３０ａ、３０ｂ）から圧油が供給され、給排孔３１から圧油が排出される状態では、アークピストン１４ａ及びアークピストン１４ｂが、図２にて示される図面上においてシリンダ１２の周方向に沿って時計周り方向に変位することになる。これにより、アーム（１５ａ、１５ｂ）及び出力軸１３が、図２の図面上においてシリンダ１２の周方向に沿って時計周り方向に揺動する。一方、給排孔３１から圧油が供給され、給排孔（３０ａ、３０ｂ）から圧油が排出される状態では、アークピストン１４ａ及びアークピストン１４ｂが、図２にて示される図面上においてシリンダ１２の周方向に沿って反時計周り方向に変位することになる。これにより、アーム（１５ａ、１５ｂ）及び出力軸１３が、図２の図面上においてシリンダ１２の周方向に沿って反時計周り方向に揺動する。
【００７２】
次に、圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）及びリングナット（１７ａ、１７ｂ）について説明する。図６は、図３に示すロータリーアクチュエータ１の断面の一部を拡大して示す拡大断面図であって、圧力室区画部材１６ａ及びその近傍の断面図である。図１、図３及び図６に示すように、圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）は、ケース１１の内側において、シリンダ１２に対してその軸方向における両側に設置されている。そして、圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）は、シリンダ１２との間で第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）を区画する部材として設けられている。これにより、ケース１１の内側には、シリンダ１２に対してその軸方向における両側に第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）が設けられている。
【００７３】
圧力室区画部材１６ａ及び圧力室区画部材１６ｂは、同様に構成され、前述のように、所定の厚みを持った環状の部分を有する部材として設けられ、それぞれの中央部分に出力軸１３が貫通する貫通孔が形成されている。更に、各圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）には、一方の端面側において、シリンダ１２の周方向に沿って延びるとともに第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）を区画する凹み部分として設けられた凹部３７が形成されている（図６を参照）。
【００７４】
また、圧力室区画部材１６ａは、シリンダ１２の軸方向における一方の端部側に設置され、シリンダ１２の軸方向における一方の端部のシリンダブロック２７との間において、第３圧力室３５ａを区画している。尚、本実施形態では、第３圧力室３５ａは、シリンダ１２の軸方向における一方の端部側に２つ設けられている。２つの第３圧力室３５ａのうちの一方は、シリンダ１２の軸方向と平行な方向においてピストンチャンバ２４ａに対応する位置に設けられている。そして、２つの第３圧力室３５ａのうちの他方は、シリンダ１２の軸方向と平行な方向においてピストンチャンバ２４ｂに対応する位置に設けられている。
【００７５】
また、圧力室区画部材１６ｂは、シリンダ１２の軸方向における他方の端部側に設置され、シリンダ１２の軸方向における他方の端部のシリンダブロック２７との間において、第３圧力室３５ｂを区画している。尚、本実施形態では、第３圧力室３５ｂは、シリンダ１２の軸方向における他方の端部側に２つ設けられている。２つの第３圧力室３５ｂのうちの一方は、シリンダ１２の軸方向と平行な方向においてピストンチャンバ２４ａに対応する位置に設けられている。そして、２つの第３圧力室３５ｂのうちの他方は、シリンダ１２の軸方向と平行な方向においてピストンチャンバ２４ｂに対応する位置に設けられている。
【００７６】
また、シリンダ１２の軸方向における両端部の各シリンダブロック２７には、各圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）に向かって突出するとともにシリンダ１２の周方向に沿って延びる凸状の部分として設けられた凸部２７ｂが形成されている（図６を参照）。各凸部２７ｂは、各圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）の凹部３７に対して、シリンダ１２の軸方向と平行な方向においてスライドして相対移動することが可能な状態で嵌まり込んでいる。そして、各凸部２７ｂと各凹部３７との間において、各第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）が区画されている。
【００７７】
また、シリンダ１２の軸方向における一方の端部のシリンダブロック２７には、シリンダ１２の軸方向と平行に延びる貫通孔として設けられた連通路３６ａが設けられている。本実施形態では、連通路３６ａは、２つ設けられている。２つの連通路３６ａのうちの一方は、シリンダ１２の軸方向における一方の端部側のピストンチャンバ２４ａから２つの第３圧力室３５ａの一方までシリンダブロック２７を貫通するように設けられている。２つの連通路３６ａのうちの他方は、シリンダ１２の軸方向における一方の端部側のピストンチャンバ２４ｂから２つの第３圧力室３５ａの他方までシリンダブロック２７を貫通するように設けられている。
【００７８】
上記により、各第３圧力室３５ａは、シリンダ１２の軸方向における一方の端部側の各第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）に連通するように構成されている。また、シリンダ１２においては、各ピストンチャンバ２４ａにおける各第２圧力室２６ａは各給排孔３０ａを介して全て連通しており、各ピストンチャンバ２４ｂにおける各第２圧力室２６ｂも各給排孔３０ｂを介して全て連通している。このため、本実施形態では、一方の第３圧力室３５ａが、全ての第２圧力室２６ａに連通し、他方の第３圧力室３５ａが、全ての第２圧力室２６ｂに連通している。
【００７９】
また、シリンダ１２の軸方向における他方の端部のシリンダブロック２７には、シリンダ１２の軸方向と平行に延びる貫通孔として設けられた連通路３６ｂが設けられている。連通路３６ｂは、２つ設けられている。２つの連通路３６ｂのうちの一方は、シリンダ１２の軸方向における他方の端部側のピストンチャンバ２４ａから２つの第３圧力室３５ｂの一方までシリンダブロック２７を貫通するように設けられている。２つの連通路３６ｂのうちの他方は、シリンダ１２の軸方向における一方の端部側のピストンチャンバ２４ｂから２つの第３圧力室３５ｂの他方までシリンダブロック２７を貫通するように設けられている。
【００８０】
上記により、各第３圧力室３５ｂは、シリンダ１２の軸方向における他方の端部側の各第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）に連通するように構成されている。また、シリンダ１２においては、各ピストンチャンバ２４ａにおける各第２圧力室２６ａは各給排孔３０ａを介して全て連通しており、各ピストンチャンバ２４ｂにおける各第２圧力室２６ｂも各給排孔３０ｂを介して全て連通している。このため、本実施形態では、一方の第３圧力室３５ｂが、全ての第２圧力室２６ａに連通し、他方の第３圧力室３５ｂが、全ての第２圧力室２６ｂに連通している。
【００８１】
また、ロータリーアクチュエータ１では、第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）におけるシリンダ１２の軸方向に垂直な断面の面積は、第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）におけるシリンダ１２の軸方向に垂直な断面であって隣り合うシリンダブロック２７の合わせ面２７ａの位置の断面における面積に対して、大きくなるように設定されている。
【００８２】
尚、図６に示すように、第３圧力室３５ａにおけるシリンダ１２の軸方向に垂直な断面は、シリンダ１２の径方向における寸法が寸法Ｄ（両端矢印Ｄで示す寸法）に設定され、同一寸法Ｄの幅寸法でシリンダ１２の周方向に沿って延びるように広がる断面として構成される。一方、第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）における合わせ面２７ａの位置での断面は、シリンダ１２の径方向における寸法が寸法Ｅ（両端矢印Ｅで示す寸法）に設定され、同一寸法Ｅの幅寸法でシリンダ１２の周方向に沿って延びるように広がる断面として構成される。そして、寸法Ｄは寸法Ｅよりも大きい寸法として設定されている。また、第３圧力室３５ａにおけるシリンダ１２の軸方向に垂直な断面は、第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）における合わせ面２７ａの位置での断面に対して、シリンダ１２の周方向に沿った長さ寸法が、同じ長さ寸法又は大きな長さ寸法となるように設定されている。
【００８３】
上記の構成により、第３圧力室３５ａにおけるシリンダ１２の軸方向に垂直な断面は、第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）における合わせ面２７ａの位置での断面よりも、面積が大きくなるように設定されている。また、同様の構成により、第３圧力室３５ｂにおけるシリンダ１２の軸方向に垂直な断面は、第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）における合わせ面２７ａの位置での断面よりも、面積が大きくなるように設定されている。尚、第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）におけるシリンダ１２の軸方向に垂直な断面の面積と、第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）における合わせ面２７ａの位置での断面の面積とが、同じ面積となるように設定されていてもよい。
【００８４】
また、圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）は、ケース１１の内周に対して密着した状態で、リングナット（１７ａ、１７ｂ）によって、ケース１１に対して固定されている。尚、圧力室区画部材１６ａの外周には、複数のシール溝が形成されている。そして、圧力室区画部材１６ａの外周の各シール溝には、リング状のシール部材３８ａが嵌め込まれている。これにより、圧力室区画部材１６ａの外周とケース１１の内周との間の液密性或いは気密性が更に高められている。また、圧力室区画部材１６ｂの各シール溝には、リング状のシール部材３８ｂが嵌め込まれている。これにより、圧力室区画部材１６ｂの外周とケース１１の内周との間の液密性或いは気密性が更に高められている。尚、シール部材（３８ａ、３８ｂ）は、静的に用いられる低圧用のシール部材となる。
【００８５】
リングナット（１７ａ、１７ｂ）は、ケース１１の両端部の内周にそれぞれ設けられたメネジ部に対して螺合するオネジ部が外周に設けられた環状の部材として設けられている。そして、シリンダ１２の一方の端部のシリンダブロック２７との間で圧力室区画部材１６ａが第３圧力室３５ａを区画した状態で、リングナット１７ａがケース１２の一方の端部に螺合して固定される。これにより、圧力室区画部材１６ａが、リングナット１７ａによって、シリンダブロック２７に向かって締め付けられるように強固に押し付けられた状態で、ケース１１に固定されることになる。また、シリンダ１２の他方の端部のシリンダブロック２７との間で圧力室区画部材１６ｂが第３圧力室３５ｂを区画した状態で、リングナット１７ｂがケース１２の他方の端部に螺合して固定される。これにより、圧力室区画部材１６ｂが、リングナット１７ｂによって、シリンダブロック２７に向かって締め付けられるように強固に押し付けられた状態で、ケース１１に固定されることになる。
【００８６】
尚、上述したロータリーアクチュエータ１の組立作業については、種々の順番で実施することができる。次に、一例としてのロータリーアクチュエータ１の組立手順を例示する。例えば、まず、圧力室区画部材１６ｂがジグに保持された状態で、出力軸１３及び複数のアームユニット１５の一体成形品が、圧力室区画部材１６ｂに対して取り付けられる。そして、中空領域２３の内側に出力軸１３及び複数のアームユニット１５が挿入される状態で、シリンダブロック２７が順番に直列にシリンダ１２の軸方向に積層される。
【００８７】
シリンダブロック２７が順番に積層される際には、各シリンダブロック２７間において、シール部材３９が取り付けられた各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）が、各ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）に設置される。また、このとき、各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）が、各アーム（１５ａ、１５ｂ）に対して回転軸３３を介して回転自在に連結される。そして、シリンダブロック２７の積層による組立が完了した段階で、圧力室区画部材１６ａがシリンダ１２に対してとりつけられる。そして、ケース１１にシリンダ１２が挿入された状態となるように、ケース１１がシリンダ１２の外周に装着される。ケース１１の装着が完了すると、圧力室区画部材１６ｂがジグから取り外され、ケース１１の一方の端部にリングナット１７ａが取り付けられるとともに、ケース１１の他方の端部にリングナット１７ｂが取り付けられる。これにより、ロータリーアクチュエータ１の組立作業の概略が完了することになる。
【００８８】
［ロータリーアクチュエータの作動、ロータリーアクチュエータ制御用油圧回路構成］
次に、上述したロータリーアクチュエータ１の動作を制御する油圧回路の構成と、ロータリーアクチュエータ１の作動とについて説明する。図７は、図２に示すロータリーアクチュエータ１の断面図とともにロータリーアクチュエータ１の動作を制御する油圧回路を模式的に示す回路図である。図７に示すように、ロータリーアクチュエータ１に対しては、本実施形態における圧力媒体供給源である油圧源４０から圧力媒体としての圧油が供給される。油圧源４０は、油圧ポンプを備えて構成されている。そして、ロータリーアクチュエータ１から排出された圧油（油）は、リザーバ回路４１に流入して戻ることになる。リザーバ回路４１に戻った油は、油圧源４０で昇圧され、再び、ロータリーアクチュエータ１に圧油として供給される。
【００８９】
油圧源４０及びリザーバ回路４１と、ロータリーアクチュエータ１との間には、ロータリーアクチュエータ１への圧油の供給経路及びロータリーアクチュエータ１からの圧油の排出経路を切り替える制御弁４２が設けられている。即ち、ロータリーアクチュエータ１は、制御弁４２を介して油圧源４０及びリザーバ回路４１に接続されている。
【００９０】
制御弁４２は、油圧源４０に連通する供給通路４０ａ及びリザーバ回路４１に連通する排出通路４１ａと、ロータリーアクチュエー１に連通する一対の給排通路（４４、４５）との接続状態を切り替えるバルブ機構として設けられている。給排通路４４は、ケース１１における給排孔３１に連通しており、給排通路４５は、複数のシリンダブロック２７における給排孔（３０ａ、３０ｂ）に連通している。
【００９１】
また、制御弁４２は、例えば、電気油圧式サーボ弁（ＥＨＳＶ）として設けられている。そして、制御弁４２は、ロータリーアクチュエータ１の動作を制御するアクチュエータコントローラ４３からの指令信号に基づいて、供給通路４０ａ及び排出通路４１ａと給排通路（４４、４５）との接続状態を切り替えるように作動する。尚、より具体的には、制御弁４２は、アクチュエータコントローラ４３からの電気指令信号に基づいて、パイロットステージにおけるノズルフラッパ式の油圧増幅機構が駆動され、メインステージにおけるスプールの両端に導入されるパイロット圧油の圧力が制御される。そして、パイロットステージで生成されるパイロット圧油によって、メインステージのスプールの位置が比例的に制御されるとともに、上記の各通路（４０ａ、４１ａ、４４、４５）の接続状態の切替も行われる。
【００９２】
上記の構成により、制御弁４２は、中立位置４２ａと、第１切替位置４２ｂと、第２切替位置４２ｃとの間で、比例的に位置を切替可能に設けられている。中立位置４２ａに切り替えられている状態では、制御弁４２は、供給通路４０ａ及び排出通路４１ａと、給排通路（４４、４５）とを遮断している。これにより、第１圧力室２５及び第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）に対する圧油の供給及び排出が停止される。そして、各ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）に設置された各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）が停止した状態が維持される。
【００９３】
制御弁４２が中立位置４２ａから第１切替位置４２ｂに切り替えられると、供給通路４０ａと給排通路４４とが接続されて第１圧力室２５に圧油が供給され、排出通路４１ａと給排通路４５とが接続されて第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）から圧油が排出される。これにより、アークピストン（１４ａ、１４ｂ）が、図７にて示される図面上においてシリンダ１２の周方向に沿って反時計周り方向に変位することになる。
【００９４】
一方、制御弁４２が中立位置４２ａから第２切替位置４２ｃに切り替えられると、供給通路４０ａと給排通路４５とが接続されて第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）に圧油が供給され、排出通路４１ａと給排通路４４とが接続されて第１圧力室２５から圧油が排出される。これにより、アークピストン（１４ａ、１４ｂ）が、図７にて示される図面上においてシリンダ１２の周方向に沿って時計周り方向に変位することになる。上記のように、制御弁４２が第１切替位置４２ｂに切り替えられた状態と第２切替位置４２ｃに切り替えられた状態とでは、各ピストンチャンバ（２４ａ、２４ｂ）に設置された各アークピストン（１４ａ、１４ｂ）はシリンダ１２の周方向において逆方向に移動し、複数のアーム１５及び出力軸１３も逆方向に揺動するように駆動されることになる。
【００９５】
また、制御弁４２が中立位置４２ａから第２切替位置４２ｃに切り替えられ、第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）に圧油が供給される際には、第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）にも連通路（３６ａ、３６ｂ）を介して圧油が供給される。そして、上記のように第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）に圧油が供給されることで、その供給された圧油の作用によって、シリンダ１２が、隣り合うシリンダブロック２７同士が互いに押し付け合わされる方向に向かって付勢されることになる。
【００９６】
また、前述のように、複数のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）によって複数のアーム１５が駆動され、出力軸１３が揺動することで、この出力軸１３から駆動トルクが出力されることになる。駆動トルクは、出力軸１３の端部１３ｂ及び端部１３ｃのうちの一方から出力されてもよく、また、出力軸１３の両方の端部（１３ｂ、１３ｃ）から出力されてもよい。
【００９７】
尚、出力軸１３から出力される駆動トルクは、端部（１３ｂ、１３ｃ）のうちの少なくともいずれかに連結された駆動対象に対して出力される。駆動対象としては、種々の機器が挙げられる。例えば、航空機の翼において揺動自在に設けられた舵面等の動翼が、ロータリーアクチュエータ１によって駆動されてもよい。また、自動車等のステアリング装置に対してロータリーアクチュエータ１が適用されてもよい。
【００９８】
尚、上述の実施形態では、制御弁４２及びアクチュエータコントローラ４３については、ロータリーアクチュエータ１の構成要素として説明していないが、これらが、ロータリーアクチュエータ１の構成要素として含まれていてもよい。例えば、制御弁４２が構成要素として含まれた構成としてロータリーアクチュエータ１が定義されてもよい。また、制御弁４２及びアクチュエータコントローラ４３が構成要素として含まれた構成としてロータリーアクチュエータ１が定義されてもよい。
【００９９】
［本実施形態の効果］
以上説明したように、ロータリーアクチュエータ１によると、ケース１１の内部に設置されたシリンダ１２の内側において、第１圧力室２５及び第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）の一方に圧油（圧力媒体）が供給され他方から圧油が排出されることで、アークピストン（１４ａ、１４ｂ）がシリンダ１２の周方向に摺動して変位する。そして、アークピストン（１４ａ、１４ｂ）が回転可能に連結されたアーム（１５ａ、１５ｂ）がアークピストン（１４ａ、１４ｂ）によって駆動されることで、アーム（１５ａ、１５ｂ）とともに出力軸１３が回転方向に揺動する。これにより、ロータリーアクチュエータ１の駆動トルクが出力される。
【０１００】
上述のように、ロータリーアクチュエータ１によると、シリンダ１２の内側において、シリンダ１２に対して摺動するアークピストン（１４ａ、１４ｂ）における連結部３４側の第１圧力室２５とピストンヘッド部３２側の第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）とが、区画されることになる。これにより、従来のロータリーアクチュエータに設けられていたような、出力軸、ベーン、シリンダ、リブ、エンドキャップで区画される圧力室を備えた構造が不要となる。即ち、ロータリーアクチュエータ１によると、出力軸とシリンダに設けられたリブとの間における回転摺動部、回転する出力軸に設けられたベーンとシリンダとの間における回転摺動部、回転する出力軸及びベーンとエンドキャップとの間における回転摺動部が、不要となる。よって、ロータリーアクチュエータ１によると、ロータリーアクチュエータ１内での圧油（圧力媒体）の内部漏洩を低減することができる。また、ロータリーアクチュエータ１によると、摺動する相手側の面に対して高圧で押し付けられるとともに回転摺動部に用いられる高圧用の回転シールが不要或いはこれを大幅に削減可能となる。
【０１０１】
従って、本実施形態によると、圧力媒体の内部漏洩を低減できるとともに、高圧用の回転シールが不要な或いは高圧用の回転シールを大幅に削減可能な構造を実現できる、ロータリーアクチュエータ１を提供することができる。
【０１０２】
また、ロータリーアクチュエータ１によると、アーム（１５ａ、１５ｂ）を介して出力軸１３を回転駆動するアークピストン（１４ａ、１４ｂ）が、アーム（１５ａ、１５ｂ）に対して回転可能に連結されている。このため、出力軸１３に対して外部負荷が作用した場合であっても、アーム（１５ａ、１５ｂ）がアークピストン（１４ａ、１４ｂ）から離間した状態が発生してしまうことが防止される。これにより、第１圧力室２５及び第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）に対する圧油の給排によって変位するアークピストン（１４ａ、１４ｂ）により駆動される出力軸１３の回転位置制御に関するサーボ制御機構が構築される場合に、このサーボ機構の応答性の低下を抑制できる。即ち、上記のサーボ機構の高応答化が図られた場合であっても、前述の回転位置制御が瞬間的に不能になる状態が発生してしまうことが防止される。
【０１０３】
また、ロータリーアクチュエータ１によると、複数のシリンダブロック２７がシリンダ１２の軸方向に積層されることでシリンダ１２が組み立てられ、隣り合うシリンダブロック２７同士の間にピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）が区画される。このため、ピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）が形成される際、シリンダブロック２７に対して半割状態の溝が形成された後、それらが組み合わされることで、ピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）が構成されることになる。これにより、シリンダ１２の周方向に摺動して変位するアークピストン（１４ａ、１４ｂ）を収納するピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）を容易に形成でき、シリンダ１２を容易に製造することができる。
【０１０４】
また、ロータリーアクチュエータ１によると、第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）に圧油が供給される際に、シリンダ１２の軸方向両側に設けられた第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）にも圧油が供給され、シリンダ１２が付勢される。このため、シリンダ１２の軸方向において、第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）に供給された圧油の作用による付勢力が、第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）に供給された圧油の作用に抗して、隣り合うシリンダブロック２７を付勢するように作用する。即ち、第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）に供給された圧油の作用による付勢力によって、複数のシリンダブロック２７が、シリンダ１２の軸方向において、互いに押し付け合わされる方向に付勢されることになる。これにより、供給された圧油の作用によってケース１１がシリンダ１２の軸方向に弾性変形するような場合であっても、ピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）を区画する隣り合うシリンダブロック２７の密着性を容易に維持することができる。
【０１０５】
また、ロータリーアクチュエータ１によると、シリンダ１２の軸方向の断面積に関して、第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）の断面積が、第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）の断面積よりも大きな面積に設定される。このため、シリンダ１２の軸方向において、第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）に供給された圧油の作用による付勢力の大きさを、第２圧力室（２６ａ、２６ｂ）に供給された圧油の作用による付勢力よりも大きく設定できる。これにより、ピストンチャンバ２４（２４ａ、２４ｂ）を区画する隣り合うシリンダブロック２７の密着性を確実に維持することができる。
【０１０６】
また、ロータリーアクチュエータ１によると、ケース１１の内側において、シリンダ１２の軸方向の両側に圧力室区画部材（１６ａ、１６ｂ）を設置することで、第３圧力室（３５ａ、３５ｂ）を簡素な構造で容易に構築することができる。
【０１０７】
また、ロータリーアクチュエータ１によると、出力軸１３の軸方向に沿って並んで複数設置されたピストンユニット１４によって、アーム（１５ａ、１５ｂ）を介して出力軸１３が駆動される。このため、シリンダ１２の径方向の寸法を増大させることなく、コンパクトな構造で、更に駆動トルクの高出力化を図ることができる。
【０１０８】
また、ロータリーアクチュエータ１によると、出力軸１３の軸方向に垂直な同一の面に沿って設置されたピストンユニット１４における複数のアークピストン（１４ａ、１４ｂ）によって出力軸１３を回転駆動できる。このため、ロータリーアクチュエータ１がシリンダ１２の軸方向に長大化してしまうことを抑制するとともにシリンダ１２の径方向に大型化してしまうことも抑制しつつ、駆動トルクの高出力化を図ることができる。そして、本実施形態のように、ピストンユニット１４が２つのアークピストン（１４ａ、１４ｂ）で構成される場合であれば、軸方向の長大化及び径方向の大型化を招くことなく、ロータリーアクチュエータ１の出力を倍増させることができる。
【０１０９】
［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々に変更して実施することができる。例えば、次のように変更して実施してもよい。
【０１１０】
（１）前述の実施形態では、シリンダの軸方向における両側に第３圧力室が設けられた形態を例にとって説明したが、この通りでなくてもよい。シリンダの軸方向における両側のうちの一方のみに第３圧力室が設けられた形態が実施されてもよい。
【０１１１】
（２）前述の実施形態では、ピストンユニットが出力軸の軸方向に沿って並んで複数設置されたロータリーアクチュエータの形態を例にとって説明したが、この通りでなくてもよい。出力軸の軸方向に垂直な同一の面に沿ってシリンダの周方向に延びるように設置された複数のピストンとして構成されるピストンユニットが１つのみ設けられた形態のロータリーアクチュエータが実施されてもよい。
【０１１２】
（３）前述の実施形態では、リングナットによって圧力室区画部材がシリンダの端部に押し付けられてケースに固定される形態を例にとって説明したが、この通りでなくてもよい。例えば、圧力室区画部材が直接にケースに対して固定される形態が実施されてもよい。また、リングナット以外の固定機構によって圧力室区画部材がケースに対して固定される形態が実施されてもよい。また、圧力室区画部材が設けられず、ケースに一体に設けられたケース底部とシリンダとの間で第３圧力室が区画される形態が実施されてもよい。
【０１１３】
（４）アームの形状、設置数、設置位置については、前述の実施形態で例示した形態に限らず、種々変更されて実施されてもよい。例えば、前述の実施形態では、出力軸の軸方向に垂直な同一の面に沿ってシリンダの径方向に延びる２つのアームが設けられる形態を例にとって説明したが、この通りでなくもよい。例えば、出力軸の軸方向に垂直な同一の面に沿ってシリンダの径方向に延びるアームの数が１つ或いは３つ以上の形態が実施されてもよい。
【０１１４】
また、前述の実施形態では、出力軸の軸方向に沿って複数のアームが並んで互いに平行に延びる形態を例にとって説明したが、この通りでなくてもよい。例えば、出力軸の軸方向に沿って延びる一体の板状のアームが設けられ、この板状のアームに対して複数のピストンが回転自在に連結されている構成が実施されてもよい。また、この場合、板状のアームにスリット状の空間部分が複数形成され、この空間部分に各ピストンの端部が回転自在に連結されてもよい。更に、この場合、複数のピストンが、出力軸の軸方向と平行に延びる同一の円柱状のピン部材によって、アームに対して回転自在に連結されていてもよい。
【０１１５】
尚、アームが出力軸における複数個所からシリンダの径方向に延びる形態については、前述の実施形態で例示した形態に限らず、種々変更されて実施されてもよい。アームが出力軸の複数個所から径方向に延びるように設けられることで、アームを介して出力軸を回転駆動するピストンが複数設置される場合に、それらの設置位置に関する設計の自由度を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１１６】
本発明は、圧力媒体の作用によって出力軸が回転方向において揺動して駆動トルクを出力する、ロータリーアクチュエータに関して広く適用することができるものである。
【符号の説明】
【０１１７】
１                        ロータリーアクチュエータ
１１                      ケース
１２                      シリンダ
１３                      出力軸
１４ａ、１４ｂ            アークピストン（ピストン）
１５ａ、１５ｂ            アーム
２３                      中空領域
２４、２４ａ、２４ｂ      ピストンチャンバ
２５                      第１圧力室
２６ａ、２６ｂ            第２圧力室
２７                      シリンダブロック
３２                      ピストンヘッド部
３４                      連結部
３５ａ、３５ｂ            第３圧力室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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