(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列接続された複数のスイッチング素子により構成された複数対のスイッチングアームと、オンオフ指令に従って前記複数のスイッチング素子の各々にゲート信号を出力する複数のドライバと、を有し、前記複数対のスイッチングアームがブリッジ接続された回路から交流を出力する電源装置の駆動制御装置であって、
入力された加工条件に従って動作条件を設定する設定部と、
前記動作条件に従って前記オンオフ指令を出力する発振器とを備え、
前記スイッチングアームの各々は、駆動されるスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子を同時にオンオフする第１のモードと、駆動されるスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子を同時にオンオフしない第２のモードとにより駆動され、
前記第１及び第２のモードの各々において、前記複数対のスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子のオン回数を等しくし、
前記第１のモードと前記第２のモードの一方による駆動を行った際には他方のモードによる駆動も行うことを特徴とする電源装置の駆動制御装置。
【請求項２】
並列接続された複数のスイッチング素子により構成された複数対のスイッチングアームと、オンオフ指令に従って前記複数のスイッチング素子の各々にゲート信号を出力する複数のドライバと、を有し、前記複数対のスイッチングアームがブリッジ接続された回路から交流を出力する電源装置の駆動制御装置であって、
入力された加工条件に従って動作条件を設定する設定部と、
前記動作条件に従って前記オンオフ指令を出力する発振器とを備え、
前記スイッチングアームの各々は、駆動されるスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子を同時にオンオフする第１のモードと、駆動されるスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子を同時にオンオフしない第２のモードとにより駆動され、
前記複数対のスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子では、前記第１のモードにおけるオン時の電流の時間積分値とオン回数の積と、前記第２のモードにおけるオン時の電流の時間積分値とオン回数の積とを等しくすることを特徴とする電源装置の駆動制御装置。
【請求項３】
前記第１のモードにおいて、オン時間のパルス幅とオフ時間のパルス幅とが等しいことを特徴とする請求項１に記載の電源装置の駆動制御装置。
【請求項４】
前記第２のモードにおいて、通電されるスイッチング素子のオン時間のパルス幅が一定であることを特徴とする請求項１に記載の電源装置の駆動制御装置。
【請求項５】
前記スイッチング素子がワイドバンドギャップ半導体のＭＯＳＦＥＴであることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の電源装置の駆動制御装置。
【請求項６】
前記ワイドバンドギャップ半導体がシリコンカーバイド又は窒化ガリウムであることを特徴とする請求項５に記載の電源装置の駆動制御装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の電源装置の駆動制御装置を含むことを特徴とする電源装置。
【請求項８】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の電源装置の駆動制御装置によって駆動される電源装置から電力が供給されることを特徴とする放電加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直流を高周波数の交流に変換して出力する電源装置の駆動制御装置、該駆動制御装置を含む電源装置及び該電源装置から電力が供給される放電加工機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、直流を交流に変換する電源装置が知られている。このような電源装置には複数の半導体素子が設けられており、該複数の半導体素子を並列駆動することで直流を交流に変換する。しかしながら、複数の半導体素子を並列駆動する回路又は装置では、運転条件又は実装条件によっては一部の半導体素子に電流が集中し、熱破壊が起こることがある。なお、実装条件には、配線のインピーダンスを例示することができる。このような熱破壊を防止するために様々な開発が進められている。【０００３】
一例である特許文献１では、予め定めた周期で、多相インバータのスイッチング動作を制御する制御部の指令に従って選択されたいずれか１つ又は複数の電圧駆動型素子を駆動することによってスイッチング損失を分散させているが、並列接続された電圧駆動型素子を全て同時にオンオフする場合よりも、１つ又は複数の電圧駆動型素子の導通損失であるが増加するので、スイッチング損失と定常損失の大きさを比較してスイッチング損失が定常損失よりも大きい場合には電圧駆動型素子を交互に駆動し、スイッチング損失が定常損失よりも大きくない場合には電圧駆動型素子を同時に駆動するように切り替えている。当該動作は、特許文献１の図３，４に示すフローチャートに示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−７４７７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の技術によれば、スイッチング損失と定常損失の大小判定を行い、該大小判定の結果に従って電圧駆動型素子であるＩＧＢＴ（Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ  Ｇａｔｅ  Ｂｉｐｏｌａｒ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を交互駆動とするか、同時駆動とするかを決定している。そのため、大小判定の結果によっては、各ＩＧＢＴの駆動回数にばらつきを生じ、発熱にむらを生じる、という問題があった。また、上記従来の技術は電動機を駆動するＩＧＢＴを含む多相インバータであり、放電加工機の電源装置と比較するとキャリア周波数が低く、放電加工機のように高周波数のキャリア周波数で駆動される装置の電源装置に適用することは困難である。【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、判定動作を行うことなく、高周波数の電源装置の発熱を均一にしつつ電流を安定供給することが可能な電源装置の駆動制御装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、並列接続された複数のスイッチング素子により構成された複数対のスイッチングアームと、オンオフ指令に従って前記複数のスイッチング素子の各々にゲート信号を出力する複数のドライバと、を有し、前記複数対のスイッチングアームがブリッジ接続された回路から交流を出力する電源装置の駆動制御装置であって、入力された加工条件に従って動作条件を設定する設定部と、前記動作条件に従って前記オンオフ指令を出力する発振器とを備え、前記スイッチングアームの各々は、駆動されるスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子を同時にオンオフする第１のモードと、駆動されるスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子を同時にオンオフしない第２のモードとにより駆動され、前記第１及び第２のモードの各々において前記複数対のスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子のオン回数を等しくし、前記第１のモードと前記第２のモードの一方による駆動を行った際には他方のモードによる駆動も行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明にかかる電源装置の駆動制御装置は、判定動作を行うことなく、高周波数の電源装置の発熱を均一にしつつ電流を安定供給することが可能であるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施の形態にかかる電源装置、該電源装置の駆動制御装置及び放電加工機の構成の一例を示す図
【図２】実施の形態における駆動制御装置内の発振器から出力されるオンオフ指令のタイミングチャートの一例
【図３】実施の形態におけるスイッチング素子及び該スイッチング素子を駆動するドライバのタイミングチャートの一例
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施の形態にかかる電源装置の駆動制御装置、電源装置及び放電加工機を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１１】
実施の形態．
図１は、本発明の実施の形態にかかる電源装置、該電源装置の駆動制御装置及び放電加工機の構成の一例を示す図である。図１には、電源装置１、電源装置１の駆動制御装置２及び電源装置１が接続される機器の一例である放電加工機５が示されている。
【００１２】
電源装置１は、直流電源１０と、直流電源１０の正極側に接続されたスイッチングアーム１１，１３と、直流電源１０の負極側に接続されたスイッチングアーム１２，１４とを備え、スイッチングアーム１１とスイッチングアーム１２は直列接続され、スイッチングアーム１３とスイッチングアーム１４は直列接続されている。スイッチングアーム１１は、ドライバ２１，２２と、ドライバ２１からゲート信号が入力されるスイッチング素子３１と、スイッチング素子３１に並列接続されておりドライバ２２からゲート信号が入力されるスイッチング素子３２とによって構成される。スイッチングアーム１２は、ドライバ２３，２４と、ドライバ２３からゲート信号が入力されるスイッチング素子３３と、スイッチング素子３３に並列接続されておりドライバ２４からゲート信号が入力されるスイッチング素子３４とによって構成される。スイッチングアーム１３は、ドライバ２５，２６と、ドライバ２５からゲート信号が入力されるスイッチング素子３５と、スイッチング素子３５に並列接続されておりドライバ２６からゲート信号が入力されるスイッチング素子３６とによって構成される。スイッチングアーム１４は、ドライバ２７，２８と、ドライバ２７からゲート信号が入力されるスイッチング素子３７と、スイッチング素子３７に並列接続されておりドライバ２８からゲート信号が入力されるスイッチング素子３８とによって構成される。なお、スイッチング素子３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７，３８には、ドライバ２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８から各々独立したゲート信号が出力される。
【００１３】
電源装置１の駆動制御装置２は、入力された加工条件に従って動作条件を設定する設定部４と、該動作条件に従って、ドライバ２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８の各々にスイッチング素子３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７，３８のオンオフ指令を各々独立して出力する発振器３とを備える。ここで、加工条件の一例は、外部から入力装置によって入力される被加工物の形状データである。
【００１４】
放電加工機５には、加工される被加工物６及び放電加工用の電極である電極７が示されている。電極７は電源装置１のスイッチングアーム１１とスイッチングアーム１２との間に電気的に接続され、被加工物６は電源装置１のスイッチングアーム１３とスイッチングアーム１４との間に電気的に接続され、電源装置１から出力される交流によって被加工物６と電極７との間で放電を生じさせ、被加工物６は加工条件に従った形状へと加工される。
【００１５】
図２は、発振器３から出力されるオンオフ指令のタイミングチャートの一例である。図２に示すように、加工時間ｔ４にはオンオフを繰り返すパルス出力時間ｔ２及び駆動するスイッチングアームを切り替えるオフ時間ｔ３が含まれ、パルス出力時間ｔ２にはパルス幅ｔ１で示されるスイッチング素子をオンする時間が複数含まれる。なお、図２に示すように、次のパルス出力時間においては逆極性のパルスを出力する。すなわち、正のパルス出力時間の次のパルス出力時間は負のパルス出力時間とし、負のパルス出力時間の次のパルス出力時間は正のパルス出力時間とする。
【００１６】
図３は、本発明の実施の形態におけるスイッチング素子及び該スイッチング素子を駆動するドライバのタイミングチャートの一例である。図３には、パルス出力時間Ｔ１からＴ４において、ドライバ２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８が出力するゲート信号Ｖ２１，Ｖ２２，Ｖ２３，Ｖ２４，Ｖ２５，Ｖ２６，Ｖ２７，Ｖ２８、このときに放電加工機用電源装置１から出力される出力電流Ｉｏｕｔ及びスイッチング素子３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７，３８のオン時にスイッチング素子に流れる電流Ｉ３１，Ｉ３２，Ｉ３３，Ｉ３４，Ｉ３５，Ｉ３６，Ｉ３７，Ｉ３８が示されている。なお、図３に示されている電流は絶対値である。
【００１７】
図３に示すパルス出力時間Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４は、図２に示すパルス出力時間ｔ２とオフ時間ｔ３を合わせた時間に相当し、加工条件に従って決定され、加工時間ｔ４においてＴ１＝Ｔ２＝Ｔ３＝Ｔ４である。パルス出力時間Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４は一組であっていずれかのみを行うことはない。すなわち、パルス出力時間Ｔ１の加工を行う際にはパルス出力時間Ｔ２の加工も行い、パルス出力時間Ｔ２の加工を行う際にはパルス出力時間Ｔ３による加工も行い、パルス出力時間Ｔ３の加工を行う際にはパルス出力時間Ｔ４による加工も行う。パルス出力時間Ｔ１，Ｔ２における駆動モードを第１のモードとし、パルス出力時間Ｔ３，Ｔ４における駆動モードを第２のモードとして換言すると、第１のモードによる駆動には第２のモードによる駆動が伴い、第２のモードによる駆動には第１のモードによる駆動が伴う。また、第１のモードによる駆動において駆動されている全てのスイッチング素子のオン回数は等しく、第２のモードによる駆動において駆動されている全てのスイッチング素子のオン回数は等しい。
【００１８】
パルス出力時間Ｔ１，Ｔ３においてはスイッチングアーム１１，１４が駆動される。具体的には、パルス出力時間Ｔ１においてはスイッチングアーム１１，１４の全てのスイッチング素子であるスイッチング素子３１，３２，３７，３８を同時にオンオフさせる。ここでは、スイッチング素子３１とスイッチング素子３７とを同時にオンオフさせ、スイッチング素子３２とスイッチング素子３８とを同時にオンオフさせ、これを交互に繰り返しているがこれに限定されるものではない。パルス出力時間Ｔ３においては、スイッチングアーム１１，１４からの出力時すなわちスイッチングアーム１１，１４の駆動時にスイッチングアーム１１，１４の各々のスイッチング素子のうち１つ以上をオンし、且つ１つ以上のスイッチング素子をオフすればよい。すなわち、パルス出力時間Ｔ３においては、各スイッチングアーム内において同時にオンするスイッチング素子は１つ以上且つスイッチングアーム内のスイッチング素子の総数未満である。
【００１９】
パルス出力時間Ｔ２，Ｔ４においてはスイッチングアーム１２，１３が駆動される。具体的には、パルス出力時間Ｔ２においてはスイッチングアーム１２，１３の全てのスイッチング素子であるスイッチング素子３３，３４，３５，３６を同時にオンオフさせる。ここでは、スイッチング素子３３とスイッチング素子３５とを同時にオンオフさせ、スイッチング素子３４とスイッチング素子３６とを同時にオンオフさせ、これを交互に繰り返しているがこれに限定されるものではない。パルス出力時間Ｔ４においては、スイッチングアーム１２，１３からの出力時すなわちスイッチングアーム１２，１３の駆動時にスイッチングアーム１２，１３の各々のスイッチング素子のうち１つ以上をオンし、且つ１つ以上のスイッチング素子をオフすればよい。すなわち、パルス出力時間Ｔ４においては、各スイッチングアーム内において同時にオンするスイッチング素子は１つ以上且つスイッチングアーム内のスイッチング素子の総数未満である。
【００２０】
なお、パルス出力時間Ｔ１におけるオンオフ回数とパルス出力時間Ｔ２におけるオンオフ回数は等しくし、パルス出力時間Ｔ１，Ｔ２において、オン時間のパルス幅とオフ時間のパルス幅も等しくする。
【００２１】
また、パルス出力時間Ｔ３におけるオンオフ回数とパルス出力時間Ｔ４におけるオンオフ回数は等しくし、パルス出力時間Ｔ３，Ｔ４において、通電されるスイッチング素子のオン時間のパルス幅も一定とする。さらには、パルス出力時間Ｔ３，Ｔ４の各々においても、各スイッチング素子のオンオフ回数は等しくする。
【００２２】
また、パルス出力時間Ｔ１，Ｔ２におけるスイッチング素子のオン時の電流は、パルス出力時間Ｔ３，Ｔ４におけるスイッチング素子のオン時の電流よりも小さくすることで、パルス出力時間Ｔ１，Ｔ２においてはスイッチング素子の発熱を抑制する。具体的には、図３に示すように、Ｔ１からＴ４の全期間において出力時における出力電流Ｉｏｕｔのピークを等しくし、出力時における出力電流Ｉｏｕｔを時間で積分した時間積分値も等しくする。なお、図３においては、パルス出力時間Ｔ１，Ｔ２におけるスイッチング素子のオン時の電流は、パルス出力時間Ｔ３，Ｔ４におけるスイッチング素子のオン時の電流の１／２である。これは、一例としてスイッチングアーム１１に着目すると、出力電流Ｉｏｕｔのピークは全期間で等しくし、パルス出力時間Ｔ１においてはスイッチング素子３１とスイッチング素子３２が同時にオンすることで出力電流を分担する一方、パルス出力時間Ｔ３においては出力電流を分担することなくスイッチング素子３１とスイッチング素子３２が交互にオンするため、パルス出力時間Ｔ１においてスイッチング素子３１，３２に流れる電流は、パルス出力時間Ｔ３においてスイッチング素子３１，３２に流れる電流の１／２となるからである。
【００２３】
このようにして、パルス出力時間Ｔ１，Ｔ２における各スイッチング素子の発熱を抑制することが可能であるが、各スイッチング素子にゲート信号を出力する各ドライバの発熱は大きい。そして、パルス出力時間Ｔ３，Ｔ４においては各スイッチング素子の発熱は大きくなるものの各スイッチング素子にゲート信号を出力する各ドライバの発熱は抑制される。
【００２４】
また、パルス出力時間Ｔ１はパルス出力時間Ｔ２と対にし、パルス出力時間Ｔ３はパルス出力時間Ｔ４と対にする。すなわち、パルス出力時間Ｔ１を経た後にはパルス出力時間Ｔ２を経るし、パルス出力時間Ｔ３を経た後にはパルス出力時間Ｔ４を経る。
【００２５】
上記のように駆動することで、パルス出力時間Ｔ１，Ｔ２では電源装置１の出力電流が駆動されているスイッチングアーム内の並列接続されたスイッチング素子の全てにより出力されるため、スイッチング素子の１つあたりの発熱を抑制することができる。パルス出力時間Ｔ３，Ｔ４では、駆動されているスイッチングアーム内の並列接続されたスイッチング素子の一部のみが電源装置１の出力電流を出力するため、ドライバの発熱を抑制することができる。
【００２６】
なお、加工条件、電源装置の冷却能力、スイッチング素子の耐圧又はドライバの耐圧によっては、パルス出力時間Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の各々の期間を同じ回数だけ繰り返して駆動してもよい。すなわち、Ｔ１を２回行った後にＴ２を２回行い、その後Ｔ３を２回行った後にＴ４を２回行ってもよい。
【００２７】
上記のようにスイッチングの制御を行うことで、Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の各々の期間における出力電流Ｉｏｕｔを等しくすることができ、発熱を抑制しつつ均一にすることができる。
【００２８】
以上説明した本実施の形態の電源装置１の駆動制御装置２は、並列接続された複数のスイッチング素子により構成された複数対のスイッチングアームと、オンオフ指令に従って複数のスイッチング素子の各々にゲート信号を出力する複数のドライバと、を有し、複数対のスイッチングアームがブリッジ接続された回路から交流を出力する電源装置１の駆動制御装置２であって、入力された加工条件に従って動作条件を設定する設定部４と、動作条件に従ってオンオフ指令を出力する発振器３とを備え、スイッチングアーム１１，１２，１３，１４は、駆動されるスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子を同時にオンオフする第１のモードと、駆動されるスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子を同時にオンオフしない第２のモードとにより駆動され、第１及び第２のモードの各々において複数対のスイッチングアーム１１，１２，１３，１４内の全てのスイッチング素子のオン回数を等しくし、第１のモードと第２のモードの一方による駆動を行った際には他方のモードによる駆動も行う。また、スイッチングアーム１１，１２，１３，１４内の全てのスイッチング素子では、第１のモードにおけるオン時の電流の時間積分値とオン回数の積と、第２のモードにおけるオン時の電流の時間積分値とオン回数の積とを等しくし、第１のモードと第２のモードの一方による駆動を行った際には他方のモードによる駆動も行う。ここで、第１のモードは、パルス出力時間Ｔ１，Ｔ２に相当し、第２のモードは、パルス出力時間Ｔ３，Ｔ４に相当する。
【００２９】
以上説明した本実施の形態により、図３に示すように放電加工機用電源装置１から出力される出力電流Ｉｏｕｔのピーク値は一定であり、パルス幅ｔ１を一定とすると出力電流Ｉｏｕｔの時間積分値も一定となるので、電流を安定供給しつつ、スイッチング素子及びドライバの発熱を均一に抑制することで、熱破壊を防止することができる。また、発熱が抑制されることで電源装置の冷却機構の簡素化が可能となり、小型化及び低コスト化が可能となる。さらには、スイッチング素子及びドライバの発熱が抑制されるため、キャリア周波数を高くすることが可能となり、短時間での放電現象を可能とするのみならず、放電加工機の加工精度及び面粗度の向上も可能である。
【００３０】
以上説明した本実施の形態により、判定動作を行うことなく、発熱を均一に抑制することができる。また、放電加工機の電源装置のように５００ｋＨｚ以上の高周波数の電源装置にも適用可能である。なお、本実施の形態においては、放電加工機に接続される電源装置を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３１】
なお、ＳｉＣのＭＯＳＦＥＴのゲートしきい値電圧はＳｉのＭＯＳＦＥＴのゲートしきい値電圧よりも低いため、本実施の形態の電源装置のようにスイッチングにより電流を制御する回路のスイッチング素子にＳｉＣのＭＯＳＦＥＴを使用すると、ゲート信号のオフ期間中にノイズの影響によりスイッチング素子が誤点弧してしまう。そのため、これを防止するためにスイッチング素子のゲートに逆バイアスを印加することを要する。このため、スイッチングにより電流を制御する回路のスイッチング素子にＳｉＣのＭＯＳＦＥＴを使用すると、ＳｉのＭＯＳＦＥＴを使用する場合よりも、スイッチング素子及び該スイッチング素子を駆動するドライバの発熱が増加する。本実施の形態によればスイッチング素子及び該スイッチング素子を駆動するドライバの発熱を抑制することができるため、電源装置に設けられるスイッチング素子をＳｉＣのＭＯＳＦＥＴとした場合には本発明の効果が特に顕著である。
【００３２】
なお、図１においては、１つのスイッチングアームあたりに２つのスイッチング素子が接続されているが、本発明はこれに限定されず、１つのスイッチングアームあたりのスイッチング素子は２つ以上であってもよい。
【００３３】
なお、図１においては、電源装置１と駆動制御装置２が別個に設けられているが、本発明において、駆動制御装置２は電源装置１に含まれていてもよい。
【００３４】
なお、図１においては、スイッチングアーム１１，１２，１３，１４に直流電源１０が接続されているが、直流電源１０は特定の形態に限定されるものではない。直流電源１０には、ダイオードコンバータを介して交流を直流に変換した後に電界コンデンサで平滑する構成を例示することができる。
【００３５】
なお、図１においては、ドライバ２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８は、各々スイッチングアーム１１，１２，１３，１４に含まれているが本発明はこれに限定されるものではない。ドライバ２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８は、発振器３とスイッチング素子３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７，３８との間に配されていればよい。
【００３６】
なお、本実施の形態においては、スイッチング素子は高速動作が可能であり、放電加工機に出力する高周波数の交流を生成することが可能であればよく、特定の形態に限定されるものではない。スイッチング素子には、シリコンカーバイドにより形成されたＳｉＣのＭＯＳＦＥＴ（Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ−Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｆｉｅｌｄ−Ｅｆｆｅｃｔ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）又は窒化ガリウムにより形成されたＧａＮのＭＯＳＦＥＴをはじめとするワイドバンドギャップ半導体のＭＯＳＦＥＴを用いてもよい。又は、シリコンにより形成されたＳｉのＭＯＳＦＥＴを用いてもよい。
【００３７】
なお、図３では、パルス出力時間Ｔ１の後にパルス出力時間Ｔ２を配し、パルス出力時間Ｔ２の後にパルス出力時間Ｔ３を配し、パルス出力時間Ｔ３の後にパルス出力時間Ｔ４を配した場合を説明したが、本発明はこれに限定されず、パルス出力時間Ｔ４の後にパルス出力時間Ｔ３を配してもよいし、パルス出力時間Ｔ３の後にパルス出力時間Ｔ２を配してもよいし、パルス出力時間Ｔ２の後にパルス出力時間Ｔ１を配してもよい。
【００３８】
なお、本実施の形態においてはすべてのパルス幅を一定として説明したが本発明はこれに限定されない。
【００３９】
以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１  電源装置、２  駆動制御装置、３  発振器、４  設定部、５  放電加工機、６  被加工物、７  電極、１０  直流電源、１１，１２，１３，１４  スイッチングアーム、２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８  ドライバ、３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７，３８  スイッチング素子。
【要約】
判定動作を行うことなく、高周波数の電源装置の発熱を均一にしつつ電流を安定供給することを目的とし、スイッチングアーム１１，１２，１３，１４がブリッジ接続された回路で交流を出力する電源装置１の駆動制御装置２が、加工条件に従って動作条件を設定する設定部４と、オンオフ指令を出力する発振器３とを備え、スイッチングアーム１１，１２，１３，１４は、駆動されるスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子を同時にオンオフする第１のモードと、駆動されるスイッチングアーム内の全てのスイッチング素子を同時にオンオフしない第２のモードとにより駆動され、第１及び第２のモードの各々では全てのスイッチング素子のオン回数を等しくし、第１のモードと第２のモードの一方による駆動を行った際には他方のモードによる駆動も行う。【図１】
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【図２】
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【図３】
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