(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定フランジが先端に装着されたスピンドルと、前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、前記固定フランジの切削ブレード装着面に装着されて被加工物を切削する切削ブレードと、前記切削ブレードを挟んで前記切削ブレードの表裏面側に配設された前記切削ブレードに冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、を少なくとも有する切削装置において使用され、前記切削ブレードが取り外された状態で前記冷却水ノズルのノズル位置を調整するノズル調整治具であって、
前記固定フランジの前記切削ブレード装着面に磁力により着脱自在に装着される装着部と、前記一対の冷却水ノズルのうち前記固定フランジに装着された前記切削ブレードの表面側に位置付けされる前記冷却水ノズルを前記切削ブレードの表面から所定位置に離反させ位置決めする冷却水ノズル位置決め部と、から構成され、
前記固定フランジの前記切削ブレード装着面に前記装着部を磁力により装着し、前記一対の冷却水ノズルのうち前記切削ブレード表面側の前記冷却水ノズルを前記冷却水ノズル位置決め部の表面に当接させて前記冷却水ノズルの前記切削ブレードに対する前後位置を調整することを特徴とするノズル調整治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードへ冷却水を供給する冷却水ノズルの位置調整用のノズル調整治具に関し、特に薄型のホイールカバーに組み付けられた冷却水ノズル用のノズル調整治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウェーハ等の被加工物の表面に格子状に分割予定ラインが形成され、分割予定ラインにより区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路が形成される。そして、被加工物は、切削装置によりストリートに沿って切削され、個々の半導体チップに分割される。このようにして分割された半導体チップは、パッケージングされて携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用される。
【０００３】
従来、被加工物を分割する切削装置として、冷却水によって切削ブレードを冷却すると同時に切削時に生じた切削屑を洗い流すものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この切削装置は、ダイヤモンド砥粒からなる円板状の切削ブレードを高速回転させ、複数の冷却水ノズルから冷却水を半導体ウェーハの加工部分や切削ブレードに噴射する。そして、ダイシング装置は、切削ブレードを半導体ウェーハに一定量切り込ませた状態で、ストリートに沿って切削送りすることにより半導体ウェーハを切削する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１８７８４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した切削装置においては、切削ブレードの表面及び裏面に向けられた一対の冷却水ノズルが作業者の目視によって調整されるため、作業者によってバラツキが生じるという不具合があった。冷却水ノズル調整の精度が低く、切削ブレードに対して適切な位置に冷却水が供給されないと、加工熱を十分に取り除くことができない。このため、切削ブレードの異常摩耗や焼けが発生して、加工品質が著しく悪化する他、切削ブレードや被加工物が破損する可能性があった。
【０００６】
ところで、切削装置として、一対の切削ブレードを割出方向で対向させて、被加工物上の２本の分割予定ラインを同時に加工する対向式ダイサーが知られている。対向式ダイサーにおいては、例えば、厚みの異なる２種類の切削ブレードを用いて２段階で切り込み深さを増加させるステップカット加工が行われる。ステップカット加工では、１段目の切り込みを入れる先行のブレードと、先行の切削ブレードに対して数ライン遅れて、１段目の切り込みに対して２段目の切り込みを入れる後続の切削ブレードとを並走させることで加工時間の短縮を図っている。このため、先行の切削ブレードと後続の切削ブレードとの並走間隔を狭めることが望まれている。
【０００７】
一対の切削ブレードの並走間隔を狭めるためには、切削ブレードや冷却水ノズルが組み込まれたブレードユニットの幅寸法を小さくする必要がある。この場合、切削ブレードと一対の冷却水ノズルとの間隔が狭くなり、上記したような作業者の目視では冷却水ノズルを微調整することが特に困難となっていた。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、切削ブレードに対して一対の冷却水ノズルを最適な位置に容易に調整可能なノズル調整治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のノズル調整治具は、固定フランジが先端に装着されたスピンドルと、前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、前記固定フランジの切削ブレード装着面に装着されて被加工物を切削する切削ブレードと、前記切削ブレードを挟んで前記切削ブレードの表裏面側に配設された前記切削ブレードに冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、を少なくとも有する切削装置において使用され、前記切削ブレードが取り外された状態で前記冷却水ノズルのノズル位置を調整するノズル調整治具であって、前記固定フランジの前記切削ブレード装着面に磁力により着脱自在に装着される装着部と、前記一対の冷却水ノズルのうち前記固定フランジに装着された前記切削ブレードの表面側に位置付けされる前記冷却水ノズルを前記切削ブレードの表面から所定位置に離反させ位置決めする冷却水ノズル位置決め部と、から構成され、前記固定フランジの前記切削ブレード装着面に前記装着部を磁力により装着し、前記一対の冷却水ノズルのうち前記切削ブレード表面側の前記冷却水ノズルを前記冷却水ノズル位置決め部の表面に当接させて前記冷却水ノズルの前記切削ブレードに対する前後位置を調整することを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、磁力によって固定フランジの切削ブレード装着面に装着部が装着され、一対の冷却水ノズルのうち切削ブレード側の冷却水ノズルがノズル位置決め部に当接されることで、切削ブレードに対して冷却水ノズルを適切な前後位置に容易に調整できる。このとき、ノズル調整治具が切削ブレード側の冷却水ノズルを切削ブレードの表面から所定位置に離反させて位置決めするため、作業者によってノズル調整のバラツキが生じることがない。よって、切削ブレードに対して適切な位置に冷却水が供給され、切削時の加工熱が十分に取り除かれるため、加工品質の悪化や切削ブレードや被加工物の破損を防止できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、切削ブレードに対して一対の冷却水ノズルを最適な位置に容易に調整して、加工品質の悪化や切削ブレードや被加工物の破損を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。
【図２】本実施の形態に係るブレードユニットの正面図である。
【図３】本実施の形態に係るブレードユニットの斜視図である。
【図４】本実施の形態に係るノズル調整治具の斜視図である。
【図５】本実施の形態に示すノズル調整治具と切削ブレードとの位置関係を示す図である。
【図６】本実施の形態に係るノズル調整治具を用いたノズル調整作業の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。なお、以下においては、切削ブレードとしてハブブレードを備えた切削装置ついて説明するが、この構成に限定されない。本発明は、切削ブレードとして、ワッシャブレード（ハブレスブレード）を備えた切削装置にも適用可能である。
【００１４】
図１に示すように、切削装置１は、切削ブレード３４を有する一対のブレードユニット３と被加工物Ｗを保持したチャックテーブル４とを相対移動させて、被加工物Ｗを切削するように構成されている。被加工物Ｗは、略円板状に形成されており、表面に格子状に配列された分割予定ラインによって複数の領域に区画されている。この区画された領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。また、被加工物Ｗは、貼着テープ９５を介して環状フレーム９６に支持された状態で切削装置１に搬入される。
【００１５】
なお、本実施の形態においては、被加工物Ｗとしてシリコンウェーハ、ガリウムヒソ等の半導体ウェーハを例に挙げて説明するが、この構成に限定されるものではない。半導体ウェーハの裏面に設けられるＤＡＦ（Die  Attach  Film）等の粘着部材、半導体製品のパッケージ、セラミック、ガラス、サファイア（Al2O3）系の無機材料基板、各種電気部品やミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料を被加工物としてもよい。
【００１６】
切削装置１は、基台２を有しており、基台２上にはチャックテーブル４をＸ軸方向に加工送りするチャックテーブル移動機構５が設けられている。また、基台２上には、チャックテーブル移動機構５を跨ぐように立設した門型の柱部２１が設けられ、柱部２１には、チャックテーブル４の上方において一対のブレードユニット３をＹ軸方向に割出送りするブレードユニット移動機構６が設けられている。
【００１７】
チャックテーブル移動機構５は、基台２の上面に配置されたＸ軸方向に平行な一対のガイドレール５１と、一対のガイドレール５１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＸ軸テーブル５２とを有している。Ｘ軸テーブル５２の上部には、チャックテーブル４が設けられている。また、Ｘ軸テーブル５２の背面側には、図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ５３が螺合されている。そして、ボールネジ５３の一端部には、駆動モータ５４が連結されている。駆動モータ５４によりボールネジ５３が回転駆動され、チャックテーブル４がガイドレール５１に沿ってＸ軸方向に移動される。
【００１８】
チャックテーブル４は、Ｘ軸テーブル５２の上面に固定されたＺ軸回りに回転可能なθテーブル５５と、θテーブル５５の上部に設けられ、被加工物Ｗを吸着保持する保持部４１とを有している。保持部４１は、所定の厚みを有する円盤状であり、上面中央部分にはポーラスセラミック材により吸着面が形成されている。保持部４１の周囲には、θテーブル５５の四方から径方向外側に延びる一対の支持アームを介して４つのクランプ部４２が設けられている。４つのクランプ部４２は、エアーアクチュエータにより駆動し、被加工物Ｗの周囲の環状フレーム９６を挟持固定する。
【００１９】
ブレードユニット移動機構６は、柱部２１の前面に対してＹ軸方向に平行な一対のガイドレール６１と、一対のガイドレール６１にスライド可能に設置されたモータ駆動の一対のＹ軸テーブル６２を有している。また、ブレードユニット移動機構６は、各Ｙ軸テーブル６２の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６３と、各ガイドレール６３にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル６４とを有している。各Ｚ軸テーブル６４には、ブレードユニット３が設けられている。
【００２０】
また、各Ｙ軸テーブル６２、各Ｚ軸テーブル６４の背面側には、それぞれ図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ６５、６６が螺合されている。そして、Ｙ軸テーブル６２用のボールネジ６５、Ｚ軸テーブル６４用のボールネジ６６の一端部には、それぞれ駆動モータ６７、６８が連結されている。これら駆動モータ６７、６８によりボールネジが回転駆動され、一対のブレードユニット３がガイドレール６１、６３に沿ってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動される。各ブレードユニット３は、切削ブレード３４を高速回転させ、切削ブレード３４や切削位置に冷却水を噴射しつつ被加工物Ｗを切削する。なお、ブレードユニット３の詳細については後述する。
【００２１】
この切削装置１においては、Ｙ軸テーブル６２の移動によって切削ブレード３４が被加工物Ｗの分割予定ラインに位置合わせされる。次に、Ｚ軸テーブル６４の移動によって回転された切削ブレード３４の被加工物Ｗに対する切り込み深さが調整される。そして、切削ブレード３４に対してＸ軸テーブル５２が相対移動されることにより、チャックテーブル４に保持された被加工物Ｗが分割予定ラインに沿って切削される。以上の動作を繰り返すことで被加工物Ｗが格子状の分割予定ラインに沿って分割される。
【００２２】
次に、図２及び図３を参照してブレードユニットについて詳細に説明する。図２は、本実施の形態に係るブレードユニットの正面図である。図３は、本発明の実施の形態に係るブレードユニットの斜視図である。なお、図３Ａは、ブレードユニットの分解斜視図であり、図３Ｂは、切削ブレードを組み付けた後のブレードユニットの斜視図である。
【００２３】
図２及び図３に示すように、ブレードユニット３は、切削ブレード３４を装着したスピンドル３１と、下面を除いて切削ブレード３４の外周を覆うホイールカバー３２とを有している。スピンドル３１は、例えばエアスピンドルであり、圧縮エアのエア層によってスピンドルハウジング３１１に対してスピンドルシャフト３１２を浮動状態で支持している。スピンドルシャフト３１２の先端部は、スピンドルハウジング３１１から突出しており、切削ブレード３４固定用のマウントフランジ３３が装着されている。
【００２４】
マウントフランジ３３は、鉄等の磁性体により形成されており、円筒状のボス部３３１と、ボス部３３１の外周面から外方に延出する固定フランジ３３２とを有している。ボス部３３１には、スピンドルシャフト３１２の先端部が嵌め込まれる不図示の嵌合孔が設けられている。スピンドルシャフト３１２の先端部は、嵌合孔に嵌め込まれた状態でボス部３３１から突出しており、この突出部分に不図示のネジ部が形成されている。マウントフランジ３３は、ボス部３３１から突出したネジ部に装着ナット３７が締め付けられることで、スピンドルシャフト３１２に装着される。
【００２５】
固定フランジ３３２には、切削ブレード３４の裏面を支持する支持面３３３（切削ブレード装着面）が形成されている。支持面３３３には、切削ブレード３４が取り外された状態で、後述するノズル調整治具８（図４参照）が磁力によって装着される。そして、支持面３３３を基準として、ノズル調整治具８により冷却水ノズル７１の前後位置が調整される。このように、固定フランジ３３２の支持面３３３は、切削ブレード３４を裏面から支持するだけでなく、冷却水ノズル７１の位置調整時には基準面として機能する。
【００２６】
切削ブレード３４は、ハブブレードであり、被加工物Ｗを切削する砥石部３４１と、砥石部３４１を保持するハブ基台３４２とを有している。砥石部３４１は、例えば、ダイヤモンド等の砥粒をボンド材で結合してリング状に形成されている。ハブ基台３４２の中央には、ボス部３３１が差し込まれる貫通孔３４３が形成されている。ハブ基台３４２がボス部３３１に差し込まれると、ハブ基台３４２の前面側からボス部３３１の略半部が突出される。このボス部３３１の略半部には外周面にネジ部３３４が形成されている。切削ブレード３４は、ハブ基台３４２から突出したネジ部３３４にリング状の固定ナット３５が締め付けられることで、マウントフランジ３３に固定される。
【００２７】
ホイールカバー３２は、複数個所から冷却水を噴射するように構成されており、切削ブレード３４の下部を挟み込むように対向配置された一対の冷却水ノズル７１と、切削ブレード３４の切削方向前方に位置したシャワーノズル７５とを有している。一対の冷却水ノズル７１は、切削ブレード３４の切削方向後方に配置された冷却水ノズルブロック７２に固定されている。冷却水ノズルブロック７２では、継手７３を介して一対の冷却水ノズル７１と冷却水の供給ホース７４とが連結される。
【００２８】
一対の冷却水ノズル７１は、冷却水ノズルブロック７２から下方に延びた後、切削ブレード３４の下部を挟み込むように切削方向前方に向かって延びている。一対の冷却水ノズル７１の先端側には、切削ブレードを挟んで対向する対向面に、冷却水を噴射する複数のスリット７１１が形成されている。一対の冷却水ノズル７１は、供給ホース７４から供給された冷却水を複数のスリット７１１から被加工物Ｗの切削位置に向けて噴射（供給）し、切削位置の冷却及び洗浄を行う。
【００２９】
シャワーノズル７５は、切削ブレード３４の切削方向前方に配置されたシャワーノズルブロック７６に形成されている。シャワーノズルブロック７６には、継手７７を介して冷却水の供給ホース７８が連結されている。シャワーノズル７５には、シャワーノズルブロック７６の内部流路を介して、供給ホース７８から冷却水が供給される。シャワーノズル７５は、切削ブレード３４に向けて冷却水を噴射し、切削ブレード３４に冷却水を巻き込ませて切削部分の冷却および洗浄を行う。
【００３０】
また、冷却水ノズルブロック７２には、冷却水を後方に導く一対の飛沫カバー３６が設けられている。一対の飛沫カバー３６は、切削ブレード３４の切削によって飛散した冷却水及び切削屑を後方に案内し、ホイールカバー３２の外側に排出している。
【００３１】
冷却水ノズルブロック７２及びシャワーノズルブロック７６は、それぞれホイールカバー３２の不図示の固定ブロックにネジ留めされている。冷却水ノズルブロック７２の側面７２１には、上下方向に延在する長孔７２２が形成されている。長孔７２２には一対の調整ネジ７２３が挿通されており、調整ネジ７２３を緩めて冷却水ノズルブロック７２を長孔７２２に沿って動かすことで、切削ブレード３４に対する冷却水ノズル７１の上下位置が調整される。
【００３２】
冷却水ノズルブロック７２の側面７２４には、前後方向に延在する一対の長孔７２５が形成されている。各長孔７２５には調整ネジ７２６が挿通されており、調整ネジを緩めて冷却水ノズルブロック７２を長孔７２５に沿って動かすことで、切削ブレード３４に対する冷却水ノズル７１の前後位置が調整される（図６参照）。また、シャワーノズルブロック７６の側面７６１には、前後方向に延在する一対の長孔７６２が形成されている。各長孔７６２には調整ネジ７６３が挿通されており、調整ネジ７６３を緩めてシャワーノズルブロック７６を長孔７６２に沿って動かすことで、切削ブレード３４に対するシャワーノズル７５の前後位置が調整される。
【００３３】
ホイールカバー３２の上部には、ブレード破損検出器７９が設けられている。ブレード破損検出器７９は、切削ブレード３４の上部を挟み込むように対向配置された発光素子及び受光素子を有している。発光素子から出射された光束は、切削ブレード３４の先端によって部分的に遮光されて受光素子に受光される。よって、ブレード破損検出器７９は、受光素子における受光量（透過率）の増加に応じて、切削ブレード３４の全損や欠け等の破損状態を検出する。ブレード破損検出器７９は、調整ネジ７９１によって切削ブレード３４に対する上下位置が調整され、固定ネジ７９２によって調整された位置で固定される。
【００３４】
図４及び図５を参照して、切削ブレードに対する冷却水ノズルの前後位置を調整するためのノズル調整治具について説明する。図４は、本実施の形態に係るノズル調整治具の斜視図である。図５は、本実施の形態に示すノズル調整治具と切削ブレードとの位置関係を示す図である。なお、図５Ａは、ノズル調整治具とハブブレードとの位置関係を示し、図５Ｂは、ノズル調整治具とワッシャブレードとの位置関係を示す。また、図５においては、説明の便宜上、切削ブレードを仮想線で示している。
【００３５】
図４に示すように、ノズル調整治具８は、所定の厚みを有する矩形板状であり、一辺部に円弧状の切り欠き部８１が形成されている。ノズル調整治具８には、切り欠き部８１に沿うように複数の磁石８２が円弧状に配置されている。円弧状の切り欠き部８１がマウントフランジ３３のボス部３３１の外周面に対応しているため、ノズル調整治具８の複数の磁石８２がボス部３３１の周囲に設けられた固定フランジ３３２の支持面３３３に位置付けられる。このように、ノズル調整治具８において、切り欠き部８１の周辺部分は、固定フランジ３３２の支持面３３３に磁力によって着脱可能に装着される装着部８３となっている。
【００３６】
図５Ａに示すように、ノズル調整治具８は、一対の冷却水ノズル７１のうち切削ブレード３４の表面３４４側の冷却水ノズル７１を、切削ブレード３４から所定位置に離反させて位置決め可能に形成されている。具体的には、ノズル調整治具８は、固定フランジ３３２の支持面３３３に装着された状態で、切削ブレード３４の表面３４４側の冷却水ノズル７１とハブ基台３４２のテーパ面３４５との間に所定間隔Ｌが確保される厚みで設計されている。このため、切削ブレード３４の表面３４４側の冷却水ノズル７１をノズル調整治具８の表面８４１に当接させることで、切削ブレード３４に対する一対の冷却水ノズル７１の前後位置が調整される。このように、ノズル調整治具８において、冷却水ノズル７１との当接部分は、一対の冷却水ノズル７１を位置決めする冷却ノズル位置決め部８４となっている。
【００３７】
また、冷却ノズル位置決め部８４は、固定フランジ３３２の支持面３３３から外れており、裏側において支持面３３３よって支持されていない。したがって、冷却ノズル位置決め部８４に過度な押圧力が作用すると、磁石８２の磁力に反して装着部８３に対して固定フランジ３３２の支持面３３３から離間方向に力が作用する。固定フランジ３３２から装着部８３が外れると、ノズル調整治具８が脱落するので、作業者に対してノズル調整治具８の押し込み過ぎを認識させることができる（図６Ｃ参照）。
【００３８】
なお、本実施の形態に係るノズル調整治具８は、ハブブレードに対する冷却水ノズル７１の前後位置を調整する以外に、図５Ｂに示すように、ワッシャブレード９に対する冷却水ノズル７１の前後位置を調整する場合にも適用可能である。ワッシャブレード９は、リング状の砥石部からなり、一対のフランジ９１、９２に挟み込まれて使用される。このため、ワッシャブレード９の厚みに応じて、フランジ９２と冷却水ノズル７１との間隔Ｌが変化する。このように、ブレードの厚みに応じて調整間隔が異なる場合には、各ブレードの厚みに合わせた厚みのノズル調整治具８を予め用意することで対応可能である。
【００３９】
図６を参照して、ノズル調整治具を用いたノズル調整について詳細に説明する。図６は、本実施の形態に係るノズル調整治具を用いたノズル調整作業の説明図である。
【００４０】
図６Ａに示すように、ホイールカバー３２から切削ブレード３４が取り外された状態で、一対の冷却水ノズル７１の内側において、ノズル調整治具８が固定フランジ３３２の支持面３３３に装着される。ノズル調整治具８は、切り欠き部８１に沿って設けられた複数の磁石８２の磁力によって、磁性体で形成された固定フランジ３３２に吸着固定されている。このとき、図示正面側（切削ブレード３４の表面３４４側）の冷却水ノズル７１が、ノズル調整治具８の表面８４１から僅かな隙間を空けて離間されている。
【００４１】
次に、図６Ｂに示すように、一対の長孔７２５に挿通された調整ネジ７２６を緩めて、図示右側の冷却水ノズル７１がノズル調整治具８に当接するまで、冷却水ノズルブロック７２をスライドさせる。この場合、一対の長孔７２５と調整ネジ７２６とによって、冷却水ノズルブロック７２のスライド方向が前後方向に規制される。よって、ノズル調整時の冷却水ノズルブロック７２の回転方向及び上下方向の位置ズレが防止される。
【００４２】
また、図６Ｃに示すように、ノズル調整治具８に対して冷却水ノズル７１を押し込み過ぎると、ノズル調整治具８の磁石８２が固定フランジ３３２から外れて、ノズル調整治具８が落下する。このため、作業者が図６Ａに示す正面方向から冷却水ノズル７１を位置合わせする場合であっても、目視によって確認し難い奥方へのズレを防ぐことができる。このように、作業者は、ノズル調整治具８に対する冷却水ノズル７１の当り具合によって冷却水ノズル７１を位置合わせする。
【００４３】
ノズル調整治具８によって冷却水ノズル７１が位置合わせされると、調整ネジ７２６の締め付けによって冷却水ノズル７１が所定位置で固定される。次に、図６Ｄに示すように、固定フランジ３３２からノズル調整治具８が取り外され、代わりに切削ブレード３４が取り付けられる。ノズル調整治具８が図示右側の冷却水ノズル７１とハブ基台３４２のテーパ面３４５との間に所定間隔Ｌを確保する厚みに設計されているので、ノズル調整治具８から着け替えられた切削ブレード３４に対して一対の冷却水ノズル７１が適切な前後位置に位置決めされる。
【００４４】
以上のように、本実施の形態に係るノズル調整治具８によれば、磁力によって固定フランジ３３２に装着され、切削ブレード３４側の冷却水ノズルが当接されることで、切削ブレード３４に対して冷却水ノズル７１が適切な前後位置に容易に調整される。このとき、ノズル調整治具８が、切削ブレード３４側の冷却水ノズル７１を切削ブレード３４から所定位置に離反させて位置決めするため、作業者によってノズル調整のバラツキが生じることがない。よって、切削ブレード３４に対して適切な位置に冷却水が供給され、切削時の加工熱が十分に取り除かれるため、加工品質の悪化や切削ブレード３４や被加工物Ｗの破損を防止できる。
【００４５】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００４６】
例えば、本実施の形態において、ノズル調整治具８は、一対の冷却水ノズルのうち切削ブレードの表面側に位置付けされる冷却水ノズルを、切削ブレードの表面から所定位置に離反させて位置決め可能であれば、どのような形状、厚み、大きさに形成されてもよい。
【００４７】
例えば、本実施の形態において、ノズル調整治具８は、切り欠き部８１に沿って複数の磁石８２を配置する構成としたが、この構成に限定されない。ノズル調整治具８は、磁力によって固定フランジ３３２に装着可能であればよく、切り欠き部８１に沿った円弧状の磁石を有してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上説明したように、本発明は、切削ブレードに対して一対の冷却水ノズルを最適な位置に容易に調整できるという効果を有し、特に、薄型のホイールカバーに組み付けられた冷却水ノズル用のノズル調整治具に有用である。
【符号の説明】
【００４９】
１  切削装置
８  ノズル調整治具
３１  スピンドル
３２  ホイールカバー
３３  マウントフランジ
３１１  スピンドルハウジング
３１２  スピンドルシャフト
３３２  固定フランジ
３３３  支持面(切削ブレード装着面)
３４  切削ブレード
７１  冷却水ノズル
７２  冷却水ノズルブロック
７５  シャワーノズル
７６  シャワーノズルブロック
７９  ブレード破損検出器
８１  切り欠き部
８２  磁石
８３  装着部
８４  位置決め部
Ｗ  被加工物
【図１】
0005947605.tif 000002
【図２】
0005947605.tif 000003
【図３】
0005947605.tif 000004
【図４】
0005947605.tif 000005
【図５】
0005947605.tif 000006
【図６】
0005947605.tif 000007