(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板材と、
板材の表面に形成された円形孔と、前記円形孔と連通して前記円形孔と同軸的に形成され、前記円形孔より大径の流体導入円孔と、前記流体導入円孔の内周壁に形成され、流体を前記流体導入円孔の略接線方向へ導入させる流入口と、を有する噴出口と、
前記板材に形成され、前記流入口へ流体を供給する流体供給路と、
を備える搬送保持具。
【請求項２】
前記流入口の高さは、前記流体導入円孔の内周壁の高さ以下である、
請求項１に記載の搬送保持具。
【請求項３】
前記板材の表面に設けられ、前記円形孔の周囲を取り囲む円盤状の弾性部材、
を有する請求項１又は請求項２に記載の搬送保持具。
【請求項４】
前記板材は、前記弾性部材が設けられた前記噴出口を複数備え、
各弾性部材には、前記弾性部材の中央部の開口部から径方向外側へ流体通路が形成されている、
請求項３に記載の搬送保持具。
【請求項５】
各流体通路は、互いに向き合わないように形成されている、
請求項４に記載の搬送保持具。
【請求項６】
各流体通路は、最も近い前記板材の側端部に向かっている、
請求項５に記載の搬送保持具。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の搬送保持具と、
前記流体供給路へ流体を供給する供給装置と、
前記板材の表面から空気を吸引する吸引手段と、
前記吸引手段の吸引負荷の変化を検出する検出手段と、
を備える搬送保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送保持具及び搬送保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体ウエハやガラス基板等の薄板状のワークを、流体を媒介としベルヌーイ効果を利用して負圧を発生させ非接触で保持する搬送保持具が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、ボデーに形成され全体に渡って同一直径の円筒状空間部内にガス導入口から空気ガス等の流体を導入することによって、正圧と負圧を発生させる搬送保持具が開示されている。
具体的に、この搬送保持具により発生した旋回流は、円筒状空間部の開放側端部に形成された開放側端面（保持面）とワークとの間隙を、正圧状態で通過するようになっている。また、発生した旋回流の中央部には、ベルヌーイ効果により低圧（負圧）領域が形成され、この発生した負圧によって搬送保持具はワークを吸引している。これにより、開放側端面とワークとの間を通過する正圧と中央部の負圧によって、ボデーとワークとの間に所定間隔が維持されるため、搬送保持具はワークを非接触で搬送保持することが可能となっている。
【０００４】
また、特許文献２には、保持面に向かって徐々に縮径した円筒状空間部内にガス導入口から流体を導入してベルヌーイ効果によって負圧を発生させる搬送保持具が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１１９５６２号公報
【特許文献２】特開２０１０−２５３６５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１及び２の構成では、発生した旋回流が全体に渡って同一内径或いは徐々に縮径した円筒状空間部内をワークと面する保持面に向かってスムーズに流れる。このため、旋回流の滞留時間が短く、その加速が不十分となり、ガス導入口へ供給するガスの導入速度を上げないと、負圧を発生させることができない。
【０００７】
本発明は、上記事実を考慮し、負圧を効率的に発生させる搬送保持具及び搬送保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１態様に係る搬送保持具は、板材と、板材の表面に形成された円形孔と、前記円形孔と連通して前記円形孔と同軸的に形成され、前記円形孔より大径の流体導入円孔と、前記流体導入円孔の内周壁に形成され、流体を前記流体導入円孔の略接線方向へ導入させる流入口と、を有する噴出口と、前記板材に形成され、前記流入口へ流体を供給する流体供給路と、を備える。
【０００９】
この構成では、流体供給路を通って供給される空気ガス等の流体を噴出口の流入口から流体導入円孔の略接線方向へ導入すると、流体は流体導入円孔の内周壁に沿って旋回して流れるため、流体導入円孔内で旋回流となる。この旋回流は、流体導入円孔から円形孔に向かって螺旋を描きながら流れ、板材の表面に面して設置された被搬送体と、板材の表面との間隙を、正圧状態で通過する。また、発生した旋回流の中央部（円形孔と流体導入円孔の軸付近）には、ベルヌーイ効果により低圧（負圧）領域が形成され、この発生した負圧が噴出口の円形孔から被搬送体を吸引する。これにより、板材の表面と被搬送体との間を通過する正圧と中央部の負圧によって、板材と被搬送体との間に所定間隔が維持されるため、搬送保持具は、被搬送体を非接触で搬送保持することが可能となる。
【００１０】
ここで、噴出口は、円形孔と連通して円形孔と同軸的に形成され、円形孔より大径の流体導入円孔を有するので、円形孔の内周壁と流体導入円孔の内周壁との間には、これらの壁を繋ぎ板材の表面と平行な段差面が形成されることになる。
この段差面によって、流入口から導入された流体は円形孔に流れずに流体導入円孔内に滞留し、流体導入円孔内で十分加速して高速な旋回流となる。また、円形孔が流体導入円孔よりも小径であるため、流体導入円孔内へ流れた高速な旋回流は、回転速度が増し、より高速な旋回流となって噴出口の円形孔から排出される。
したがって、本発明の第１態様に係る搬送保持具によれば、流入口へ供給する流体の導入速度を上げなくても、高速な旋回流を発生させることができ、その中央部に負圧を効率的に発生させることができる。
【００１１】
本発明の第２態様に係る搬送保持具では、第１態様において、前記流入口の高さは、前記流体導入円孔の内周壁の高さ以下である。
【００１２】
この構成によれば、流入口から導入する流体を全て流体導入円孔内で旋回させることができる。このため、旋回流を効率的に発生させることができる。
【００１３】
本発明の第３態様に係る搬送保持具では、第１態様又は第２態様において、前記板材の表面に設けられ、前記円形孔の周囲を取り囲む円盤状の弾性部材、を有する。
【００１４】
この構成によれば、被搬送体が板材側に移動したときに、板材に接触する前に弾性部材と接触する。この際、弾性部材は、弾性変形して、被搬送体の衝撃力を吸収する。したがって、被搬送体や板材が損傷することを抑制することができる。また、弾性部材の摩擦力によって被搬送体の位置ずれを防止することができる。
【００１５】
本発明の第４態様に係る搬送保持具では、第３態様において、前記板材は、前記弾性部材が設けられた前記噴出口を複数備え、各弾性部材には、前記弾性部材の中央部の開口部から径方向外側へ流体通路が形成されている。
【００１６】
この構成によれば、噴出口の円形孔から排出された旋回流（流体）の多くは、弾性部材の中央部の開口部を旋回した後、流体通路を通りながら、被搬送体と板材の表面との間隙から外側に排出される。このように、各弾性部材に流体通路を形成することで、被搬送体と板材の表面との間隙から外側に排出される旋回流の方向を規定することができるようになる。
【００１７】
本発明の第５態様に係る搬送保持具では、第４態様において、各流体通路は、互いに向き合わないように形成されている、
【００１８】
この構成によれば、各流体通路から排出された旋回流が、互いに干渉する（ぶつかり合う）ことを抑制し、バランスを保った状態のまま被搬送体を非接触で搬送保持することができる。
【００１９】
本発明の第６態様に係る搬送保持具では、第５態様において、各流体通路は、最も近い前記板材の側端部に向かっている。
【００２０】
この構成によれば、各流体通路から排出された旋回流を、板材の側端部から板材の外側に排出することができるため、各流体通路から排出された旋回流が板材の表面に滞留して、被搬送体のバランスが崩れてしまうことを抑制できる。
【００２１】
本発明の第７態様に係る搬送保装置は、第１態様〜第６態様の何れか１つに記載の搬送保持具と、前記流体供給路へ流体を供給する供給装置と、前記板材の表面から空気を吸引する吸引手段と、前記吸引手段の吸引負荷の変化を検出する検出手段と、を備える。
【００２２】
この構成によれば、検出手段による吸引負荷の変化の検出結果に基づいて、被搬送体の有無を検出することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明は、上記構成としたので、負圧を効率的に発生させる搬送保持具及び搬送保持装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１（Ａ）は本発明の実施形態に係る搬送保持具の平面図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）に示す搬送保持具をアーム先端方向に見た図であり、一部がＡ−Ａ矢視断面図となっている。
【図２】図２は、本発明の実施形態に係る搬送保持装置の斜視図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態に係る搬送保持具を下方斜めから見た斜視図である。
【図４】図４（Ａ）は、本体カバーを取ったときの搬送保持具の噴出口を上方斜めから見た斜視図である。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示す噴出口のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図５】図５（Ａ）〜図５（Ｃ）は、図４（Ｂ）に示す搬送保持具の特に噴出口の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る搬送保持具及び搬送保持装置について具体的に説明する。なお、図中、同一又は対応する機能を有する部材（構成要素）には同じ符号を付して適宜説明を省略する。
【００２６】
＜第１実施形態＞
図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、搬送保持具１０は、搬送用ロボット（たとえば、６軸の汎用ロボットを搬送用に用いた搬送用ロボット）のアームの先端にハンドに代わって取り付けられる取り付け部としての基体１２を有している。
【００２７】
基体１２は、長板状の基体上部１４と基体下部１６とで二層構造の本体プレート１８の一端部を基体上部１４の短手方向に挟み込んだ構成とされている。
ここで、本体プレート１８は、後述するように本体ベース３２と本体カバー３４を有するが、本体ベース３２は基体上部１４と基体下部１６の間の上記短手方向の最後まで挟み込まれているものの、本体カバー３４は基体上部１４と基体下部１６の間の上記短手方向の途中まで挟み込まれている。したがって、基体上部１４と基体下部１６（本体ベース３２）の間には上記短手方向の途中から隙間Ｄ１が形成され、この隙間Ｄ１に搬送用ロボット１１のアーム１１Ａにおける先端の板状部１１Ｂが入り込むようになっている（図２参照）。
【００２８】
基体上部１４及び基体下部１６には、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、軸心が同一で板厚方向に貫通するボルト孔１４Ａ及び１６Ａが４つ形成されている。これらボルト孔１４Ａ及び１６Ａは、基体上部１４及び基体下部１６の中心部が重心となる略正方形領域の四隅に配置されている。
同様に、本体プレート１８の本体ベース３２には、４つのボルト孔１４Ａ及び１６Ａと同じ位置に板厚方向に貫通するボルト孔１８Ａがそれぞれ形成されている。一方で、本体プレート１８の本体カバー３４には、２つのボルト孔１４Ａ及び１６Ａと同じ位置に板厚方向に貫通するボルト孔１８Ｂがそれぞれ形成されている。
それぞれ同じ位置にあるボルト孔１４Ａ，１６Ａ及び１８Ａ，１８Ａには、基体上部１４側からボルト２０が挿入されて、基体下部１６側のナット２２に回し締めされている。これにより、基体上部１４と基体下部１６と本体プレート１８とが互いに接続固定されている。また、アーム１１Ａの板状部１１Ｂが隙間Ｄ１に入り込んでいる場合、図２に示すように、搬送保持具１０とアーム１１Ａとが互いに接続固定され、全体として本実施形態の搬送保持装置１３を構成するようになる。
【００２９】
基体上部１４の中心部には、その板厚方向に貫通し、ロボット又は当該ロボットとは別置の正圧ポンプ２３（図２参照）に接続され、後述する正圧通路２４に連通する正圧用接続口２６が形成されている。また、基体上部１４には、その板厚方向に貫通し、正圧用接続口２６と並列な負圧用接続口２８が形成されている。この負圧用接続口２８は、ロボット又は当該ロボットとは別置の負圧ポンプ２９（図２参照）に接続され、後述する負圧通路３０に連通している。なお、図１（Ｂ）中の「ＩＮ」は、空気ガスの供給を示し、「ＯＵＴ」は、空気ガスの排出を示している。
【００３０】
このような基体上部１４と基体下部１６とで挟み込まれた本体プレート１８は、基体上部１４と基体下部１６の間からアーム１１Ａの反対方向（以降、「アーム先端Ｌ方向」と称す）に延伸して露出している。
【００３１】
本体プレート１８は、基体下部１６側に配置された本体ベース３２と基体上部１４側に配置された本体カバー３４とを有した二層構造のプレートである。本体ベース３２と本体カバー３４は、それぞれ平面視がアーム先端Ｌ方向に長い略長方形状とされており、本体ベース３２のサイズは本体カバー３４のサイズよりも幅方向及び長手方向に大きくされている。
【００３２】
本体ベース３２は、本実施形態では上面となる背面３２Ａと、本実施形態では下面となり、半導体ウエハやガラス基板等の薄板状のワークＷを非接触で搬送保持する保持面３２Ｂ（図１（Ｂ）参照）とを有している。
【００３３】
本体ベース３２の背面３２Ａにおける幅方向中央部には、本体ベース３２の長手方向に沿って溝が形成されており、この溝を本体カバー３４で閉じることによって正圧通路２４が形成されている。正圧通路２４のアーム先端Ｌ側には、通路が本体ベース３２の幅方向に分かれる分岐点２４Ａが設けられている。また、左右方向に分かれた後、正圧通路２４には、再び長手方向に分かれる分岐点２４Ｂが設けられている。さらに、長手方向に分かれた後、正圧通路２４はその両端で後述する噴出口５０に連通しており、当該噴出口５０に流体としての空気ガスを供給している。
【００３４】
同様に、本体ベース３２の背面３２Ａにおける幅方向中央部と側端部との間には、本体ベース３２の長手方向に沿って溝が形成されており、この溝を本体カバー３４で閉じることによって負圧通路３０が形成されている。負圧通路３０のアーム先端Ｌ側の端部は、背面３２Ａから空気を吸引する負圧穴３６に連通している。
【００３５】
図３に示すように、負圧穴３６は、後述するゴム体４０の周囲で本体ベース３２の保持面３２Ｂに形成されている。この負圧穴３６には、当該負圧穴３６の吸引負荷の変化を検出する圧力センサ３８が設けられている。ここで、ワークＷが保持面３２Ｂで搬送保持されたとき、負圧穴３６の負圧は大気圧から上昇するため、圧力センサ３８は吸引負荷の変化（上昇変化）を検出することになる。また、ワークＷが保持面３２Ｂで搬送保持されなくなったとき、負圧穴３６の負圧が大気圧に戻るため、圧力センサ３８は吸引負荷の変化（下降変化）を検出することになる。
この圧力センサ３８は、ロボット１１と電気的に接続されており、吸引負荷の変化の種類（上昇変化又は下降変化）を随時ロボット１１に送信する。ロボット１１は、吸引負荷の変化に基づきワークＷの有無を検出する。具体的に、ロボット１１は、受信した吸引負荷の変化が上昇変化であると、保持面３２ＢにワークＷが有ると判断し、受信した吸引負荷の変化が下降変化であると、保持面３２ＢにワークＷの無いと判断する。このようにワークＷの有無を判断した結果は、例えば文字や画像、音、振動等でロボット１１のユーザに通知する。
なお、ワークＷの有無を検出する機能は、ロボット１１ではなく、圧力センサ３８に搭載されてもよい。逆に、ワークＷの有無だけでなく、吸引負荷の変化の検出もロボット１１で行うようにし、圧力センサ３８は負圧穴３６の負圧量を測定し、随時その結果をロボット１１に送信するようにしてもよい。
【００３６】
また、本体ベース３２の保持面３２Ｂにおける幅方向両側端部には、それぞれ長手方向に沿って２つのゴム体４０が設けられている。言い換えれば、ゴム体４０は、分岐点２４Ａが中心となる保持面３２Ｂの正方形領域の四隅に配置されている。
各ゴム体４０は、中央部に円形状の開口部４２を有する円盤状のゴムに、当該開口部４２から径方向外側へ流体通路４４（切欠部）が形成されたもので、下面視がＣ形状となっている。
【００３７】
各流体通路４４は、互いに向き合わないように形成されている。また、各流体通路４４は、最も近い本体ベース３２の側端部に向かっており、各流体通路４４の下流出口は保持面３２Ｂの側縁付近に位置している。一方で、流体通路４４の上流出口は開口部４２に連通している。
【００３８】
各ゴム体４０の開口部４２内に位置する保持面３２Ｂには、開口部４２と同軸で当該開口部４２よりも小径とされた噴出口５０の円形孔５２がそれぞれ１つずつ（合計４つ）形成されており、各円形孔５２の周囲は開口部４２の内周壁によって取り囲まれている。
【００３９】
図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、４つの噴出口５０はそれぞれ、円形孔５２と、流体導入円孔５４と、流入口５６とを有している。
【００４０】
円形孔５２の径は、その軸方向に渡って揃っており、円形孔５２の内周壁５２Ａが保持面３２Ｂと直角になっている。
【００４１】
本体ベース３２における円形孔５２の奥部（本実施形態では頂部）には、流体導入円孔５４が形成されている。この流体導入円孔５４は、円形孔５２と連通して当該円形孔５２と同軸的に形成されている。流体導入円孔５４の径は、円形孔５２の径より大径とされ、その軸方向に渡って揃っており、流体導入円孔５４の内周壁５４Ａが保持面３２Ｂと直角になっている。
【００４２】
流体導入円孔５４の底部で、流体導入円孔５４の内周壁５４Ａと円形孔５２の内周壁５２Ａとの間には、これらの壁を繋ぎ保持面３２Ｂと平行な段差面５８が形成されている。
【００４３】
この段差面５８と直角となるように、流体導入円孔５４の内周壁５４Ａには、流入口５６が形成されている。この流入口５６は、正圧通路２４に連通しており、正圧通路２４から供給される空気ガスを流体導入円孔５４の略接線方向へ導入させるものである。なお、「略接線方向」とは、流体導入円孔５４の軸心を中心とする円の接線方向に対して１０度以下の角度をもつ方向を言うものとする。
【００４４】
流入口５６の高さｈ１は、図４（Ｂ）に示すように、流体導入円孔５４の内周壁５４Ａの高さｈ２と等しくされている。
【００４５】
次に、本実施形態に係る搬送保持具１０及び搬送保持装置１３の作用及び効果について説明する。
【００４６】
搬送保持具１０及び搬送保持装置１３の構成では、正圧ポンプ２３から正圧通路２４へ空気ガスが供給される。正圧通路２４を通過した空気ガスは、図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、噴出口５０の流入口５６から流体導入円孔５４の略接線方向へ導入される。導入された空気ガスは、流体導入円孔５４の内周壁５４Ａに沿って旋回して流れるため、流体導入円孔５４内で旋回流Ｆ１となる。この旋回流Ｆ１は、流体導入円孔５４から連通した円形孔５２に向かって螺旋を描きながら流れ、本体ベース３２の保持面３２Ｂに面して設置されたワークＷと、保持面３２Ｂとの間隙Ｄ２を、正圧状態で通過する。また、発生した旋回流Ｆ１の中央部（円形孔５２と流体導入円孔５４の軸付近）には、ベルヌーイ効果により低圧（負圧）領域が形成され、この発生した負圧の流れＦ２で噴出口５０の円形孔５２からワークＷを吸引する。これにより、保持面３２ＢとワークＷとの間を通過する正圧と中央部の負圧によって、保持面３２ＢとワークＷとの間に所定間隔が維持されるため、搬送保持具１０及び搬送保持装置１３は、ワークＷを非接触で搬送保持することが可能となっている。
【００４７】
ここで、噴出口５０は、円形孔５２と連通して円形孔５２と同軸的に形成され、円形孔５２より大径の流体導入円孔５４を有するので、円形孔５２の内周壁５２Ａと流体導入円孔５４の内周壁５４Ａとの間には、これらの壁を繋ぎ保持面３２Ｂと平行な段差面５８が形成されることになる。
この段差面５８によって、流入口５６から導入された空気ガスは円形孔５２に流れずに流体導入円孔５４内に長時間滞留し、流体導入円孔５４内で十分加速して高速な旋回流Ｆ１となる。また、円形孔５２が流体導入円孔５４よりも小径であるため、流体導入円孔５４内へ流れた高速な旋回流Ｆ１は、回転速度が増し、より高速な旋回流Ｆ１となって噴出口５０の円形孔５２から排出される。
したがって、本実施形態に係る搬送保持具１０及び搬送保持装置１３によれば、流入口５６へ供給する空気ガスの導入速度を上げなくても、高速な旋回流Ｆ１を発生させることができ、その中央部に負圧を効率的に発生させることができる。
【００４８】
また、流入口５６の高さｈ１が、流体導入円孔５４の内周壁５４Ａの高さと等しくなっているため、流体導入円孔５４内に多くの空気ガスを導入できると共に、導入する空気ガスを全て流体導入円孔５４内で旋回させることができる。このため、旋回流Ｆ１を効率的に発生させることができる。
【００４９】
また、搬送保持具１０が円盤状の４つのゴム体４０を有するので、ワークＷが保持面３２Ｂ側に移動したときに、保持面３２Ｂに接触する前にゴム体４０と接触する。この際、ゴム体４０は、弾性変形して、ワークＷの衝撃力を吸収する。したがって、ワークＷや保持面３２Ｂが損傷することを抑制することができる。また、ゴム体４０の摩擦力によってワークＷの位置ずれを防止することができる。
【００５０】
さらに、これら４つあるゴム体４０には、ゴム体４０の中央部の開口部４２から径方向外側へ流体通路４４がそれぞれ形成されているため、噴出口５０の円形孔５２から排出された旋回流Ｆ１の多くは、ゴム体４０の開口部４２を旋回した後、流体通路４４を通りながら、ワークＷと保持面３２Ｂとの間隙Ｄ２から外側に排出される。したがって、図４（Ａ）に示すように、ワークＷと保持面３２Ｂとの間隙Ｄ２から外側に排出される旋回流Ｆ１の方向を規定することができるようになる。
【００５１】
また、これらの流体通路４４は、図３に示すように、互いに向き合わないように形成されているため、各流体通路４４から排出された旋回流Ｆ１が、互いに干渉する（ぶつかり合う）ことを抑制し、バランスを保った状態のままワークＷを非接触で搬送保持することができる。
【００５２】
さらに、各流体通路４４は、最も近い本体ベース３２の側端部に向かっているため、各流体通路４４から排出された旋回流Ｆ１を、本体ベース３２の側端部から本体ベース３２の外側に排出することができるため、各流体通路４４から排出された旋回流Ｆ１が保持面３２Ｂに滞留して、ワークＷのバランスが崩れてしまうことを抑制できる。
【００５３】
なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能であることは当業者にとって明らかであり、例えば上述の複数の実施形態は、適宜、組み合わせて実施可能である。また、以下の変形例同士を、適宜、組み合わせてもよい。
【００５４】
例えば、ゴム体４０の代わりに、ゴム以外のエラストマーやフッ素樹脂等で構成された円盤状の弾性体を用いてもよい。また、ゴム体４０やその他の弾性体の形状は、円盤状以外の中央部に開口部４２が形成された三角柱や四角柱とされてもよい。
【００５５】
また、流入口５６の高さｈ１は、流体導入円孔５４の内周壁５４Ａの高さｈ２と等しくされている場合を説明したが、高さｈ１は高さｈ２よりも大きくしても、小さくしてもよい。ただし、高さｈ２よりも大きくすると、流入口５６からの空気ガスが流体導入円孔５４内だけでなく円形孔５２にも導入され、段差面５８によって滞留する空気ガスが減少し得る。したがって、導入する空気ガスを全て流体導入円孔５４内で旋回させることができるという観点から、高さｈ１は高さｈ２以下であることが好ましい。また、流体導入円孔５４内に多くの空気ガスを導入できるという観点から、上記実施形態のように、高さｈ１は高さｈ２と等しいことがより好ましい。
また、流入口５６から導入するものは空気ガスである場合を説明したが、窒素ガスや酸素ガス等の他の流体であってもよい。
【００５６】
また、円形孔５２の径は、その軸方向に渡って揃っている場合を説明したが、図５（Ａ）〜（Ｃ）に示すように揃っていなくてもよい。
【００５７】
具体的に、図５（Ａ）に示すように、円形孔５２は、保持面３２Ｂに形成された第１円形孔６０と、当該第１円形孔６０よりも大径で当該第１円形孔６０に連通する第２円形孔６２とを有していてもよい。
【００５８】
この場合、第２円形孔６２は、保持面３２Ｂよりも本体ベース３２の奥部（頂部）で流体導入円孔５４にも連通し、当該流体導入円孔５４よりも小径となる。また、流体導入円孔５４の底部で、当該流体導入円孔５４の内周壁５４Ａと第２円形孔６２の内周壁６２Ａとの間には、これらの壁を繋ぎ保持面３２Ｂと平行な段差面５８が形成される。さらに、第２円形孔６２の底部で、当該第２円形孔６２の内周壁６２Ａと第１円形孔６０の内周壁６０Ａとの間には、これらの壁を繋ぎ保持面３２Ｂと平行な段差面６４が形成される。
このように、段差面を複数にすることで、旋回流Ｆ１の滞留時間を長くすることができる。
【００５９】
また、図５（Ｂ）に示すように、円形孔５２の径を保持面３２Ｂに向かって徐々に縮径してもよい。
【００６０】
さらに、図５（Ｃ）に示すように、円形孔５２の径を保持面３２Ｂに向かって徐々に縮径するだけでなく、流体導入円孔５４の径も保持面３２Ｂに向かって徐々に縮径してもよい。      
【００６１】
また、本実施形態では、ワークＷの保持面３２Ｂが下面となる場合を説明したが、上面となるようにしてもよい。この場合でも、噴出口５０によりワークＷを搬送保持することができる。
【００６２】
さらに、本実施形態では、搬送保持具１０とアーム１１Ａとが互いに接続固定される構成は、図２に示すようなものでなくてもよく、アームに設けた爪などで送保持具１０を挟持するなど他の接続固定する構成を用いてもよい。
【００６３】
また、図４(Ｂ）及び図５（Ａ）〜（Ｃ）では、ワークＷとゴム体４０との間に間隙が形成されているが、この間隙は使用時に形成されない方が好ましい。間隙が形成されない場合、ワークＷはゴム体４０と接触した状態で搬送保持されるが、保持面３２Ｂとは非接触な状態が保たれ、ゴム体４０との摩擦によりワークＷが飛んでいくことを防止できるからである。
【符号の説明】
【００６４】
１０   搬送保持具
１３   搬送保持装置
１８   本体プレート（板材）
２３   正圧ポンプ（供給装置）
２４   正圧通路（流体供給路）
２９   負圧ポンプ（吸引手段）
３０   負圧通路（吸引手段）
３２Ｂ 保持面（表面）
３６   負圧穴（吸引手段）
３８   圧力センサ（検出手段）
４０   ゴム体（弾性部材）
４２   開口部
４４   流体通路
５０   噴出口
５２   円形孔
５２Ａ 内周壁
５４   流体導入円孔
５４Ａ 内周壁
５６   流入口
６０   第１円形孔（円形孔）
６２   第２円形孔（円形孔）
Ｗ     ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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