(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
を有し、前記振動体に伸縮振動と屈曲振動とを発生させることによって前記対象物を移動させる圧電モーターであって、
前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
前記押さえ蓋と前記緩衝部との間に設けられ、前記押さえ蓋によって圧縮される弾性部と、
を備え、
前記緩衝部と前記弾性部との間には、前記振動体の伸縮方向および屈曲方向への移動が制限された押さえ板が設けられている
ことを特徴とする圧電モーター。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電モーターであって、
前記押さえ板が前記押さえ蓋に嵌合することを特徴とする圧電モーター。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の圧電モーターであって、
前記押さえ板は、前記緩衝部との接触面に凹凸が形成されている
ことを特徴とする圧電モーター。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の圧電モーターであって、
前記緩衝部は、前記押さえ板との接触面に凹凸が形成されている
ことを特徴とする圧電モーター。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを備える駆動装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを備える印刷装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを備えるロボットハンド。
【請求項８】
請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーター、または請求項７に記載のロボットハンドを備えるロボット。
【請求項９】
把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１０】
把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
前記押さえ蓋と前記緩衝部との間に設けられ、前記押さえ蓋によって圧縮される弾性部と、
を備え、
前記緩衝部と前記弾性部との間には、前記振動体の伸縮方向および屈曲方向への移動が制限された押さえ板が設けられている
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１１】
電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、
前記電子部品を把持する把持装置と、
前記把装置を互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、
前記検査ソケットから見て前記第１軸上または前記第２軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第１軸および前記第２軸の方向への位置および前記第３軸まわりの角度を、前記電子部品の姿勢として検出する撮像装置と、
前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第１軸または前記第２軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、
前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、
前記移動装置の動作を制御する制御装置と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記制御装置は、
前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第１制御部と、
前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第２制御部と、
前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第３制御部と、
を備えており、
前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１２】
把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターを用いて、前記電子部品の位置合わせを行う
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１３】
把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
前記押さえ蓋と前記緩衝部との間に設けられ、前記押さえ蓋によって圧縮される弾性部と、
を備え、
前記緩衝部と前記弾性部との間には、前記振動体の伸縮方向および屈曲方向への移動が制限された押さえ板が設けられている
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１４】
電子部品を把持する把持装置と、
互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、
前記移動装置の動作を制御する制御装置と
を備える電子部品搬送装置であって、
前記把持装置は、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電材料で形成された部材（振動体）を振動させて、対象物を駆動する圧電モーターが知られている。この圧電モーターは、電磁力を利用してローターを回転させる方式の電磁モーターに比べて小型でありながら、大きな駆動力を得ることができ、更に、対象物を高分解能で位置決めすることができるという特徴を有している。このため、たとえばカメラの駆動機構など、種々の装置のアクチュエーターとして用いられている。
【０００３】
圧電モーターは、次のような原理で動作する。先ず、振動体を略直方体形状に形成して、長手方向の端面に凸部を設けておく。そして、振動体に所定周波数の電圧を印加することによって、振動体が伸縮する態様の振動と、振動体が屈曲する態様の振動とを同時に生じさせる。すると、振動体の端面は一方向に回転する楕円運動を開始する。そこで、端面に設けた凸部を対象物に押しつけることで、凸部と対象物との間に働く摩擦力によって対象物を一定方向に移動させることができる。
【０００４】
このような動作原理から、圧電モーターは振動体の端面に設けられた凸部を対象物に押しつけた状態で用いる必要がある。また、対象物を駆動する時に凸部が対象物から受ける反力で振動体が逃げないように振動体を保持しておく必要がある。それでいながら、凸部が楕円運動するように振動体の振動は許容しなければならない。そこで、凸部を突出させた状態で振動体を保持ケースに収め、その保持ケース内で、振動体の両側を屈曲方向から弾性部材を介して保持するとともに、振動体ごと保持ケースを対象物に向けて付勢する技術が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−３４６４８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、提案されている技術では、振動体が発生するエネルギーを、対象物の駆動のために効率よく利用することが困難であるという問題があった。これは、振動体の両側を屈曲方向から支持しているため、振動体の振動が保持ケースを介して外部に伝わり易く、外部に伝わった振動は、対象物を駆動するために利用することができないためである。
【０００７】
この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、対象物を効率よく駆動することが可能な圧電モーターの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の圧電モーターは次の構成を採用した。すなわち、
圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設された振動体と、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
を有し、前記振動体に伸縮振動と屈曲振動とを発生させることによって前記対象物を移動させる圧電モーターであって、
前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
前記押さえ蓋と前記緩衝部との間に設けられ、前記押さえ蓋によって圧縮される弾性部と、
を備え、
前記緩衝部と前記弾性部との間には、前記振動体の伸縮方向および屈曲方向への移動が制限された押さえ板が設けられている
ことを特徴とする。
【０００９】
このような構成を有する本発明の圧電モーターにおいては、振動体ケースに収容された振動体は、振動体の屈曲方向と交差する方向から、緩衝部によって両側を挟持されているので、振動体の振動が振動体ケースに伝わり難く、従って、対象物を効率よく駆動することができる。また、緩衝部は、動的粘弾性を有する材料を含んで形成されているので、振動体の振動は、緩衝部が変形する際に減衰され、この意味からも振動体ケースに伝わり難い。尚、動的粘弾性（ｔａｎδ）とは、次のような指標である。材料を引っ張りモードにおいて正弦波ひずみεを与えると、材料にも正弦波の応力σが生じるが、応力σの位相は、入力されたひずみに対して位相δだけ遅れが生じる。この位相δを用いて材料の動的な粘性を定量化した指標が、動的粘弾性（ｔａｎδ）である。すなわち動的粘弾性が大きい、すなわち位相δが大きい、ということは与えられたひずみを材料の内部での伝達遅れを生じる。言い換えると、振動の伝達をより遅くさせ、振動体ケースへ振動が伝わることを抑制することができる。また、緩衝部は、押さえ蓋で圧縮された弾性部によって振動体に押し付けられている。このため、振動体や緩衝部の寸法が、振動体の挟持方向（振動体の屈曲方向と交差する方向）にばらついても、弾性部の弾性変形によってばらつきを吸収することができる。更に、緩衝部と弾性部との間には押さえ板が設けられており、この押さえ板は、振動体の振動方向（振動体の伸縮方向および屈曲方向）への移動が制限されている。尚、「移動が制限されている」とは、ある移動量を超えては移動できない状態になっていることをいう。このため、振動体の凸部が対象物から反力を受けた場合でも、押さえ板の移動が制限されているので弾性部が剪断方向に大きく変形することはない。このように、本発明によれば、振動体や緩衝部の挟持方向への寸法ばらつきは、弾性部が弾性変形することによって吸収し、それでいながら、振動体の振動方向や対象物から反力を受ける方向に対しては、弾性部がほとんど変形しないようにすることができる。その結果、振動体や緩衝部の厚さを実測して、振動体に対する緩衝部を選別して組み付けるなどの面倒な作業が不要となり、圧電モーターを容易に製造することが可能となる。
【００１０】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、押さえ板が押さえ蓋に嵌合することによって、押さえ板の移動が制限されるようにしてもよい。たとえば、押さえ蓋の一部に凹部を形成しておき、この凹部に押さえ板の一部（押さえ板の端面、あるいは押さえ板から突設させた凸部など）が、押さえ蓋の凹部に嵌合し、その結果、振動体の振動方向（伸縮方向および屈曲方向）には押さえ板が移動しないようにすることができる。もちろん、押さえ板の全体が、押さえ蓋の凹部に嵌合してもよい。更には、押さえ板に凹部を形成しておき、押さえ蓋から突設させた凸部が押さえ板の凹部に嵌合するようにしてもよい。
【００１１】
こうすれば、緩衝部が弾性部によって振動体に押し付けられ、且つ、押さえ板の移動が制限される構造を、簡単に実現することが可能となる。
【００１２】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、緩衝部と接触する部分の押さえ板の表面（接触面）に凹凸を形成しておいてもよい。あるいは逆に、押さえ板と接触する部分の緩衝部の表面（接触面）に凹凸を形成しておいても良い。
【００１３】
こうすれば、弾性部が押さえ板を押し付ける力で、押さえ板に形成された凹凸が緩衝部に食い込み、あるいは緩衝部に形成された凹凸が押さえ板に食い込むので、押さえ板との接触面で緩衝部が滑り難くなる。このため、対象物の駆動中に凸部が受ける反力で、緩衝部ごと振動体が動いてしまう事態が生じ難くなる。尚、押さえ板あるいは緩衝部に形成する凹凸は、種々の態様の凹凸とすることができる。たとえば、凸部の先端が尖ったノコギリ歯状の凹凸としてもよいし、表面をザラザラさせる程度の細かな凹凸としてもよい。あるいは、押さえ板および緩衝部の両方に凹凸を形成し、一方に形成された凹凸と、他方に形成された凹凸とが嵌合するようにしてもよい。
【００１４】
また、上述した本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成しても良い。
【００１５】
本発明の圧電モーターは、小型で且つ高い駆動精度を実現することが可能であり、しかも容易に製造することができる。従って、本発明の圧電モーターを用いて駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを構成してやれば、小型で高性能な駆動装置や、印刷装置、ロボットハンド、ロボットなどを容易に製造することができる。
【００１６】
また、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品検査装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、検査ソケットに対する電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。
【００１７】
上述したように、本発明の圧電モーターは小型で且つ高い駆動精度を実現することが可能であり、しかも容易に製造することができる。このため、電子部品を精度良く位置合わせを行うことができ、且つ小型な電子部品検査装置を容易に製造することが可能となる。
【００１８】
また、上述した本発明の電子部品検査装置は次のような態様で把握することもできる。すなわち、本発明の電子部品検査装置は、
把持した電子部品を検査ソケットに装着して、前記電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置であって、
前記検査ソケットに対する前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
前記押さえ蓋と前記緩衝部との間に設けられ、前記押さえ蓋によって圧縮される弾性部と、
を備え、
前記緩衝部と前記弾性部との間には、前記振動体の伸縮方向および屈曲方向への移動が制限された押さえ板が設けられている
ことを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。
【００１９】
更に、上述した本発明の電子部品検査装置は、次のような態様、すなわち、
電子部品が装着されて、前記電子部品の電気的特性が検査される検査ソケットと、
前記電子部品を把持する把持装置と、
前記把装置を互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に移動させる移動装置と、
前記検査ソケットから見て前記第１軸上または前記第２軸上に設けられて、前記検査ソケットに装着される前記電子部品について、前記第１軸および前記第２軸の方向への位置および前記第３軸まわりの角度を検出する撮像装置と、
前記検査ソケットから前記撮像装置を結ぶ前記第１軸または前記第２軸上の所定位置まで、前記電子部品を搬送する上流側ステージと、
前記検査ソケットから見て前記撮像装置が設けられている側と反対側の所定位置から、前記電子部品を搬送する下流側ステージと、
前記移動装置の動作を制御する制御装置と
を備える電子部品検査装置であって、
前記制御装置は、
前記上流側ステージが搬送してきた前記電子部品を把持した前記把持装置を、前記撮像装置の上まで移動させる第１制御部と、
前記把持装置を移動させることによって、前記撮像装置で姿勢が確認された前記電子部品を前記検査ソケットに装着する第２制御部と、
前記把持装置を移動させることによって、前記検査ソケットで前記電気的特性が検査された前記電子部品を前記検査ソケットから前記下流側ステージに載置する第３制御部と、
を備えており、
前記把持装置は、前記撮像装置で検出された前記電子部品の姿勢に基づいて、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
ことを特徴とする電子部品検査装置という態様で把握することもできる。
【００２０】
このような構成の電子部品検査装置は、把持装置に設けられた第１ないし第３の圧電モーターを用いて電子部品の姿勢を調整した後、検査ソケットに装着することができる。ここで、本発明の圧電モーターは小型であり、対象物を効率良く、尚且つ精度良く駆動することができ、しかも容易に製造することができるので、把持装置に設ける第１ないし第３の圧電モーターとして特に優れている。
【００２１】
更には、本発明の圧電モーターを用いて、以下のような電子部品搬送装置を構成しても良い。すなわち、把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、上述した本発明の何れかの圧電モーターを用いて、電子部品の位置合わせを行うようにしてもよい。
【００２２】
上述したように、本発明の圧電モーターは小型であり、対象物を効率良く、尚且つ精度良く駆動することができ、しかも容易に製造することができるから、電子部品搬送装置に組み込む圧電モーターとして特に優れている。
【００２３】
あるいは、本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、
把持した電子部品を搬送する電子部品搬送装置であって、
前記電子部品の位置合わせを行う圧電モーターを備え、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含んで形成され、端面に凸部が突設されて、伸縮振動および屈曲振動を行う振動体と、
前記振動体を収容する振動体ケースと、
前記振動体の前記凸部を対象物に接触させる方向に前記振動体ケースを付勢する付勢手段と、
前記振動体ケース内で前記振動体の屈曲方向と交差する方向から前記振動体の両側を挟持し、動的粘弾性を有する材料を含んで形成された緩衝部と、
前記振動体ケースに取り付けられる押さえ蓋と、
前記押さえ蓋と前記緩衝部との間に設けられ、前記押さえ蓋によって圧縮される弾性部と、
を備え、
前記緩衝部と前記弾性部との間には、前記振動体の伸縮方向および屈曲方向への移動が制限された押さえ板が設けられている
ことを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。
【００２４】
更には、上述した本発明の電子部品搬送装置は、以下のような態様、すなわち、
電子部品を把持する把持装置と、
互いに直交する第１軸および第２軸と、前記第１軸および第２軸に直交する第３軸との合計三軸方向に前記把装置を移動させる移動装置と、
前記移動装置の動作を制御する制御装置と
を備える電子部品搬送装置であって、
前記把持装置は、前記電子部品を前記第１軸方向に移動させる第１の圧電モーターと、前記第２軸方向に移動させる第２の圧電モーターと、前記第３軸まわりに回転させる第３の圧電モーターとを有しており、
前記第１ないし第３の圧電モーターは、請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターである
ことを特徴とする電子部品搬送装置という態様で把握することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本実施例の圧電モーターの大まかな構成を示した説明図である。
【図２】本実施例の本体部の構造を示す分解組立図である。
【図３】圧電モーターの動作原理を示す説明図である。
【図４】振動体の挟持方法を示した断面図である。
【図５】振動体の挟持方法を示した説明図である。
【図６】第１変形例の挟持方法を示した断面図である。
【図７】第２変形例の挟持方法を示した断面図である。
【図８】本実施例の圧電モーターを組み込んで構成された電子部品検査装置を例示した斜視図である。
【図９】把持装置に内蔵された微調整機構についての説明図である。
【図１０】本実施例の圧電モーターを組み込んだ印刷装置を例示した斜視図である。
【図１１】本実施例の圧電モーターを組み込んだロボットハンドを例示した説明図である。
【図１２】ロボットハンドを備えたロボットを例示した説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。
Ａ．装置構成：
Ｂ．圧電モーターの動作原理：
Ｃ．振動体の挟持構造：
Ｄ．変形例：
Ｅ．適用例：
【００２７】
Ａ．装置構成  ：
図１は、本実施例の圧電モーター１０の大まかな構成を示した説明図である。図１（ａ）には、本実施例の圧電モーター１０の全体図が示されており、図１（ｂ）には分解組立図が示されている。図１（ａ）に示されるように、本実施例の圧電モーター１０は、大まかには、本体部１００と、基台部２００とから構成されている。本体部１００は基台部２００内に取り付けられており、その状態で一方向に移動可能となっている。尚、本明細書中では、本体部１００の移動方向をＸ方向と称する。また、図中に示すように、Ｘ方向と直交する方向を、それぞれＹ方向、Ｚ方向と称するものとする。
【００２８】
本体部１００および基台部２００は、それぞれ複数の部品が組み合わされて構成されている。たとえば基台部２００は、略矩形形状をした基板２３０の上面の両側に、第１側壁ブロック２１０および第２側壁ブロック２２０が止めネジ２４０で締結されることによって構成されている（図１（ｂ）を参照のこと）。圧電モーター１０を組み立てる際には、本体部１００の上方から、第１側壁ブロック２１０および第２側壁ブロック２２０を、止めネジ２４０を用いて基板２３０に取り付ける。
【００２９】
また、第１側壁ブロック２１０には、前方ハウジング２１２、中央ハウジング２１４、後方ハウジング２１６の３つの凹部が形成されている。そして、第１側壁ブロック２１０を基板２３０に取り付ける際には、前方ハウジング２１２に前方側圧バネ２１２ｓを収納し、後方ハウジング２１６に後方側圧バネ２１６ｓを収納した状態で取り付ける。その結果、本体部１００は、前方側圧バネ２１２ｓおよび後方側圧バネ２１６ｓによって第２側壁ブロック２２０に押しつけられた状態となる。また、本体部１００の側面の、第２側壁ブロック２２０に面する側には、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが取り付けられている。更に、本体部１００の側面には加圧バネ２２２ｓが設けられている。この加圧バネ２２２ｓは、前側コロ１０２ｒの後ろ側の箇所で本体部１００をＸ方向に押圧している。尚、本実施例では、本体部１００をＸ方向に押圧する加圧バネ２２２ｓが、本発明の「付勢手段」に対応する。
【００３０】
また、前側コロ１０２ｒおよび後側コロ１０６ｒが設けられた側と反対側の本体部１００の側面には、Ｚ方向（図面上では上方）に向けて押さえコロ１０４ｒが設けられている。第１側壁ブロック２１０を取り付けた状態では、この押さえコロ１０４ｒは第１側壁ブロック２１０の中央ハウジング２１４に収納される。また、本体部１００の押さえコロ１０４ｒが設けられた部分の裏面側と、基板２３０との間には、押さえバネ２３２ｓが設けられている。このため、押さえコロ１０４ｒは中央ハウジング２１４の内面に対してＺ方向（図面上では上方）に押しつけられた状態となっている。
【００３１】
図２は、本実施例の本体部１００の構造を示す分解組立図である。本体部１００は、大まかには、振動体ケース１２０内に振動部１１０が収納された構造となっている。振動部１１０は、圧電材料によって直方体形状に形成された振動体１１２と、振動体１１２の長手方向（Ｘ方向）の端面に取り付けられたセラミック製の駆動凸部１１４と、振動体１１２の一方の側面を４分割して設けられた４枚の表電極１１６などから構成されている。尚、図２では示されていないが、４枚の表電極１１６が設けられた側と反対側の側面には、側面のほぼ全面を覆う裏電極が設けられており、この裏電極はグランドに接地されている。尚、本実施例では、駆動凸部１１４が本発明の「凸部」に対応する。
【００３２】
振動部１１０は、表電極１１６および裏電極が設けられた両側面（図２では、Ｚ方向の両側面）から、動的粘弾性を有する材料（ポリイミド樹脂や、ゴム、エラストマーなど）で形成された緩衝部１３０で挟まれた状態で、振動体ケース１２０に収納される。更に、表電極１１６側の緩衝部１３０の上から、金属材料で形成された板状の押さえ板１４０、弾性部１４２、および押さえ蓋１４４が載せられて、押さえ蓋１４４が止めネジ１４６で振動体ケース１２０に締結される。このため振動部１１０は、弾性部１４２の弾性力によって押さえ付けられながらも、樹脂製の緩衝部１３０が剪断変形することによって振動体ケース１２０内で振動体１１２が振動し得る状態で収納されている。尚、本実施例では、弾性部１４２として皿バネが用いられている。また、緩衝部１３０が振動体１１２を両側から挟持する方向（Ｚ方向）は、後述するように、振動体１１２が屈曲振動する方向と交差する方向となっている。
【００３３】
Ｂ．圧電モーターの動作原理  ：
図３は、圧電モーター１０の動作原理を示す説明図である。圧電モーター１０は、振動部１１０の表電極１１６に一定周期で電圧を印加したときに、振動部１１０の駆動凸部１１４が楕円運動することによって動作する。振動部１１０の駆動凸部１１４が楕円運動するのは次の理由による。
【００３４】
先ず、周知のように圧電材料は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図３（ａ）に示すように、４つの表電極１１６の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと、圧電材料で形成された振動体１１２は長手方向（Ｘ方向）に伸縮する動作を繰り返す。このように、振動体１１２が長手方向（Ｘ方向）に伸縮を繰り返す動作を「伸縮振動」と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数（共振周波数）は、振動体１１２の物性と、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決定される。
【００３５】
また、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すように、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６を組（表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組、あるいは表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組）として、一定周期で正電圧を印加する。すると振動体１１２は、長手方向（Ｘ方向）の先端部（駆動凸部１１４が取り付けられた部分）が、図面上で右方向あるいは左方向に首を振るような動作を繰り返す。たとえば図３（ｂ）に示したように、表電極１１６ａおよび表電極１１６ｄの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体１１２は、先端部を図面上で右方向に振るような動作を繰り返す。また、図３（ｃ）に示したように、表電極１１６ｂおよび表電極１１６ｃの組に一定周期で正電圧を印加すると、先端部を図面上で左方向に振るような動作を繰り返す。このような振動体１１２の動作を「屈曲振動」と呼ぶ。このような屈曲振動についても、振動体１１２の物性と、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１６に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体１１２は右方向あるいは左方向（Ｙ方向）に大きく首を振って振動する。
【００３６】
ここで、図３（ａ）に示した伸縮振動の共振周波数も、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示した屈曲振動の共振周波数も、振動体１１２の物性や、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）によって決定される。従って、振動体１１２の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）を適切に選んでやれば共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体１１２に対して、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図３（ａ）の伸縮振動も誘起される。その結果、図３（ｂ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１１２の先端部分（駆動凸部１１４が取り付けられた部分）が、図面上で時計回りに楕円運動を開始する。また、図３（ｃ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１１２の先端部分が図面上で反時計回りに楕円運動を開始する。
【００３７】
圧電モーター１０は、このような楕円運動を利用して対象物を駆動する。すなわち、振動体１１２の駆動凸部１１４を対象物に押しつけた状態で楕円運動を発生させる。すると駆動凸部１１４は、振動体１１２が伸張する際には対象物に押しつけられた状態で左から右に向かって（あるいは右から左に向かって）移動した後、振動体１１２が収縮する際には対象物から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、対象物は、駆動凸部１１４から受ける摩擦力によって一方向に駆動されることになる。また、対象物が受ける駆動力は、駆動凸部１１４との間で生じる摩擦力に等しいから、駆動力の大きさは、駆動凸部１１４と対象物との間の摩擦係数と、駆動凸部１１４が対象物に押しつけられる力とによって決定される。
【００３８】
以上に説明した圧電モーター１０の動作原理から明らかなように、圧電モーター１０は、駆動凸部１１４を対象物に押しつけた状態で、振動体１１２を伸縮方向（Ｘ方向）および屈曲方向（Ｙ方向）に振動させて使用する。このため振動体１１２は、伸縮方向および屈曲方向の振動を許容した状態で、振動体ケース１２０内に収納しておく必要がある。また、振動体１１２を振動させて対象物を移動させる際には、対象物からの反力が駆動凸部１１４にかかる。この反力によって振動体１１２が振動体ケース１２０内で動くと、対象物に対して十分な駆動力を伝達することができなくなり、駆動凸部１１４の移動量が減少するので対象物の駆動量も小さくなる。更に、本体部１００の逃げ量は常に安定しているとは限らないから、対象物の駆動量が不安定となってしまう。そこで本実施例の圧電モーター１０では、図２に示すように、振動体ケース１２０内で、振動体１１２の屈曲方向に交差する方向（Ｚ方向）から、振動体１１２の両側面を緩衝部１３０で挟持することによって振動体１１２を保持する構造を採用している。この保持構造では、緩衝部１３０が剪断方向に変形することによって振動体１１２の振動を許容し、且つ、緩衝部１３０が剪断方向に変形する時の剛性によって、対象物からの反力で動かないように振動体１１２を保持しておくことができる。
【００３９】
もっとも、この保持構造は、圧電材料で形成されているため製造ばらつきの生じ易い振動体１１２を、ポリイミド樹脂で形成されているため製造ばらつきの生じ易い緩衝部１３０で両側から挟持した構造となっている。このため、振動体１１２および緩衝部１３０での製造ばらつきが累積するので厚さ方向（Ｚ方向）の寸法に大きなばらつきが生じ易い。そして緩衝部１３０は、対象物からの反力を受けても振動体１１２が動かない程度の剛性が必要なので、この寸法のばらつきを緩衝部１３０で吸収することは困難である。そこで、本実施例の圧電モーター１０では、振動体１１２を単に緩衝部１３０で挟持するのではなく、押さえ板１４０や、弾性部１４２、押さえ蓋１４４によって緩衝部１３０を振動体１１２に押し付けて振動体１１２を挟持する構造を採用している。
【００４０】
Ｃ．振動体の挟持構造  ：
図４（ａ）は、本実施例の振動部１１０の断面を取ることによって、振動体１１２を挟持する構造を示した説明図である。また、図４（ｂ）は、振動体１１２を挟持する構造を概念的に示した説明図である。図４（ａ）に示されるように、振動体１１２は、Ｚ方向の両側を緩衝部１３０に挟まれた状態で振動体ケース１２０内に収納されている。尚、緩衝部１３０は接着剤によって振動体１１２に貼り付けられている。そして、振動体ケース１２０に収容された振動体１１２および緩衝部１３０の上からは、押さえ板１４０と弾性部１４２（本実施例では皿バネ）と押さえ蓋１４４とが載せられて、止めネジ１４６で押さえ蓋１４４が振動体ケース１２０に取り付けられている。
【００４１】
また、押さえ蓋１４４の内面側（振動体１１２に向いた側）には凹部１４４ｃが形成されており、止めネジ１４６で押さえ蓋１４４を振動体ケース１２０に取り付けると、弾性部１４２が圧縮されて、押さえ板１４０の上面側が凹部１４４ｃに嵌り込むようになっている。ここで、止めネジ１４６で押さえ蓋１４４を振動体ケース１２０に取り付けると、弾性部１４２がＺ方向に圧縮されると同時に、緩衝部１３０もＺ方向に圧縮される。しかし、弾性部１４２のＺ方向への剛性は、緩衝部１３０のＺ方向への剛性よりも十分に小さい値に設定されている。
【００４２】
図４（ｂ）には、振動体ケース１２０内で振動体１１２が挟持されている様子が概念的に示されている。図４（ｂ）では、大きな剛性を有する緩衝部１３０を大きなバネで表し、小さな剛性を有する弾性部１４２を小さなバネで表している。また、止めネジ１４６は図示が省略されている。図示されているように、本実施例の圧電モーター１０では、振動体１１２の両側を大きな剛性を有する緩衝部１３０で挟んでおき、それら全体（振動体１１２および両側の緩衝部１３０）を、緩衝部１３０よりも小さな剛性を有する弾性部１４２で、押さえ板１４０を介して振動体ケース１２０に押し付けて保持する構造となっている。また、少なくとも振動部１１０が組み立てられた状態では、押さえ板１４０の上面側が凹部１４４ｃ内に嵌り込むので、押さえ板１４０が、振動体１１２の振動方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動することが制限された状態となっている。このようにすることで、たとえ、振動体１１２や緩衝部１３０の厚さ方向（Ｚ方向）の寸法に大きなばらつきが生じた場合でも、振動体１１２を緩衝部１３０によって適切に保持した状態で、振動体ケース１２０内に収納することが可能となる。以下、この点について詳しく説明する。
【００４３】
図５は、振動体ケース１２０内に振動体１１２および緩衝部１３０を収納する様子を示した説明図である。図５（ａ）には、押さえ蓋１４４が振動体ケース１２０に取り付けられる前の状態が示されており、図５（ｂ）には、押さえ蓋１４４が、図示しない止めネジ１４６で振動体ケース１２０に取り付けられた状態が示されている。押さえ蓋１４４を振動体ケース１２０に取り付ける前の状態では、弾性部１４２および緩衝部１３０の何れにも圧縮力はかかっていない。この状態から、図示しない止めネジ１４６を用いて押さえ蓋１４４を振動体ケース１２０に押し付けると、弾性部１４２および緩衝部１３０に圧縮力が作用する。
【００４４】
もっとも、前述したように、弾性部１４２の剛性は緩衝部１３０の剛性に比べて小さく設定されている。このため、弾性部１４２および緩衝部１３０に同じ大きさの力が作用しても、緩衝部１３０はほとんど変形することなく、もっぱら弾性部１４２が変形する。その結果、押さえ蓋１４４が振動体ケース１２０に取り付けられた状態では、図５（ｂ）に示されるように、緩衝部１３０はほとんど縮まずに、もっぱら弾性部１４２が縮んだ状態となる。このとき、緩衝部１３０が振動体１１２に押し付けられる力は、弾性部１４２にかかる圧縮力（弾性部１４２を縮ませる力）と等しくなる。
【００４５】
ここで、振動体１１２および緩衝部１３０の寸法がばらつくと、弾性部１４２の圧縮量が変化するので、弾性部１４２の圧縮力、すなわち緩衝部１３０が振動体１１２に押し付けられる力も変化する。しかし、図５に示されるように、弾性部１４２は大きく圧縮して使用されるので、振動体１１２および緩衝部１３０の寸法ばらつきによって弾性部１４２の圧縮量が変化したとしても、全体の圧縮量に対する変化は僅かな比率に過ぎない。このため、振動体１１２および緩衝部１３０に寸法ばらつきが発生しても、緩衝部１３０が振動体１１２に押し付けられる力がばらつくことを回避することが可能となる。
【００４６】
また、このことは次のように考えることができる。すなわち、振動体１１２および緩衝部１３０で、ある大きさの寸法ばらつきが発生したとして、その寸法ばらつきを緩衝部１３０または弾性部１４２の変形で吸収する場合を考える。緩衝部１３０は、大きな剛性を有しているため、寸法ばらつきを緩衝部１３０の変形で吸収しようとすると圧縮力が大きく変化する。これに対して、緩衝部１３０よりも剛性の小さな弾性部１４２であれば、同じ大きさの寸法ばらつきを吸収しても圧縮力は僅かしか変化しない。このため、緩衝部１３０よりも小さな剛性を有する弾性部１４２を設けることで、振動体１１２や緩衝部１３０の寸法ばらつきの影響を受けることなく、常に適切な力で緩衝部１３０が振動体１１２に押し付けられるようにすることが可能となる。
【００４７】
もっとも、緩衝部１３０よりも剛性の小さな箇所（本実施例では弾性部１４２）を設けただけでは、対象物を駆動した時の反力で緩衝部１３０に剪断方向の力がかかると剛性の小さな箇所が変形して、対象物の駆動時に振動体１１２が反力で動いてしまう。しかし、本実施例では、図４を用いて前述したように、押さえ板１４０が凹部１４４ｃに嵌り込むようになっている。このため、図５（ｂ）に示したように、対象物からの反力で弾性部１４２が剪断方向に変形しようとしても、押さえ板１４０が押さえ蓋１４４に干渉する。その結果、弾性部１４２が剪断変形することがなく、緩衝部１３０の剪断方向への剛性によって振動体１１２をしっかりと保持することが可能となる。
【００４８】
以上に詳しく説明したように、本実施例の圧電モーター１０では、たとえ振動体１１２と緩衝部１３０とで大きな寸法ばらつきが発生した場合でも、押さえ板１４０と押さえ蓋１４４との間に設けた弾性部１４２の変形によって吸収することができる。このため、振動体１１２や緩衝部１３０の厚さ方向（Ｚ方向）の寸法を実測して、振動体１１２に対する緩衝部１３０を選別して組み付けるなどの面倒な作業を行わなくても、緩衝部１３０が振動体１１２に適切な力で押し付けられた状態で、振動体ケース１２０に収容することができる。その結果、圧電モーター１０を容易に製造することが可能となる。また、小さな剛性の弾性部１４２を用いて緩衝部１３０を振動体１１２に押し付けているにも拘わらず、対象物を駆動した時の反力に対しては、緩衝部１３０の剛性でしっかりと振動体１１２を保持することが可能となる。
【００４９】
Ｄ．変形例  ：
上述した本実施例の圧電モーター１０には、種々の変形例が存在する。以下では、これらの変形例について簡単に説明する。尚、以下の変形例では、上述した本実施例の圧電モーター１０と異なる部分に焦点を当てて説明し、本実施例の圧電モーター１０と同様な構成については、同じ番号を付すこととして説明を省略する。
【００５０】
上述した実施例では、押さえ板１４０が押さえ蓋１４４の凹部１４４ｃに嵌り込むことによって、押さえ板１４０のＸ方向あるいはＹ方向への移動が制限されるものとして説明した。しかし、押さえ板１４０のＸ方向あるいはＹ方向への移動が制限されるのであれば、必ずしも押さえ板１４０が凹部１４４ｃに嵌り込まない形態であっても構わない。たとえば、図６に示されるように、押さえ板１４０が振動体ケース１２０の内壁面に干渉して、押さえ板１４０のＸ方向あるいはＹ方向への移動が制限されるようにしてもよい。あるいは、押さえ蓋１４４から突設させた凸部が、押さえ板１４０に設けた凹部に嵌合するようにしてもよい。
【００５１】
また、上述した実施例では、押さえ板１４０は緩衝部１３０に対して単に押し付けられているだけであるものとして説明した。しかし、図７に示すように、押さえ板１４０と緩衝部１３０とが接触する部分の、押さえ板１４０側（あるいは緩衝部１３０の側）の表面に凹凸を設けてもよい。たとえば、弾性部１４２から押し付けられることによって、押さえ板１４０の表面に設けた凹凸が、ポリイミド樹脂製の緩衝部１３０の表面に食い込むようにしたり、あるいは押さえ板１４０および緩衝部１３０の表面に凹凸を設けてお互いの凹凸が噛み合うようにしたりしてもよい。
【００５２】
こうすれば、圧電モーター１０を長い期間に亘って使用している間に、押さえ板１４０と緩衝部１３０（あるいは緩衝部１３０と振動体ケース１２０）との間で緩衝部１３０が滑ってしまうことを確実に回避することが可能となる。もちろん、押さえ板１４０と緩衝部１３０との接触面だけでなく、緩衝部１３０と振動体ケース１２０との接触面にも、振動体ケース１２０の側に凹凸を設けてもよい。こうすれば、緩衝部１３０と振動体ケース１２０との接触面で、緩衝部１３０が滑ってしまうことを防止することが可能となる。
【００５３】
Ｅ．適用例  ：
上述した本実施例の圧電モーター１０は、小型で対象物を精度良く駆動することができ、しかも容易に製造することができるので、以下のような装置の駆動装置として好適に組み込むことができる。
【００５４】
図８は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んで構成された電子部品検査装置６００を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置６００は、大まかには基台６１０と、基台６１０の側面に立設された支持台６３０とを備えている。基台６１０の上面には、検査対象の電子部品１が載置されて搬送される上流側ステージ６１２ｕと、検査済みの電子部品１が載置されて搬送される下流側ステージ６１２ｄとが設けられている。また、上流側ステージ６１２ｕと下流側ステージ６１２ｄとの間には、電子部品１の姿勢を確認するための撮像装置６１４と、電気的な特性を検査するために電子部品１がセットされる検査台６１６とが設けられている。尚、電子部品１の代表的なものとしては、「半導体」や、「ＣＬＤやＯＬＥＤなどの表示デバイス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種ＭＥＭＳデバイス」などが挙げられる。また、本実施例の検査台６１６は、本発明の「検査ソケット」に対応する。
【００５５】
また、支持台６３０には、基台６１０の上流側ステージ６１２ｕおよび下流側ステージ６１２ｄと平行な方向（Ｙ方向）に移動可能にＹステージ６３２が設けられており、Ｙステージ６３２からは、基台６１０に向かう方向（Ｘ方向）に腕部６３４が延設されている。更に、腕部６３４の側面には、Ｘ方向に移動可能にＸステージ６３６が設けられている。そして、Ｘステージ６３６には、撮像カメラ６３８と、上下方向（Ｚ方向）に移動可能なＺステージを内蔵した把持装置６５０が設けられている。また、把持装置６５０の先端には、電子部品１を把持する把持部６５２が設けられている。更に、基台６１０の前面側には、電子部品検査装置６００の全体の動作を制御する制御装置６１８も設けられている。尚、本実施例では、支持台６３０に設けられたＹステージ６３２や、腕部６３４や、Ｘステージ６３６や、把持装置６５０が、本発明の「電子部品搬送装置」に対応する。また、本実施例では、Ｘステージ６３６、Ｙステージ６３２、および把持装置６５０に内蔵されたＺステージが、本発明の「移動装置」に対応する。
【００５６】
以上のような構成を有する電子部品検査装置６００は、次のようにして電子部品１の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品１は、上流側ステージ６１２ｕに載せられて、検査台６１６の近くまで移動する。次に、Ｙステージ６３２およびＸステージ６３６を動かして、上流側ステージ６１２ｕに載置された電子部品１の真上の位置まで把持装置６５０を移動させる。このとき、撮像カメラ６３８を用いて電子部品１の位置を確認することができる。そして、把持装置６５０内に内蔵されたＺステージを用いて把持装置６５０を降下させて、把持部６５２で電子部品１を把持すると、そのまま把持装置６５０を撮像装置６１４の上に移動させて、撮像装置６１４を用いて電子部品１の姿勢を確認する。続いて、把持装置６５０に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品１の姿勢を調整する。そして、把持装置６５０を検査台６１６の上まで移動させた後、把持装置６５０に内蔵されたＺステージを動かして電子部品１を検査台６１６の上にセットする。把持装置６５０内の微調整機構を用いて電子部品１の姿勢が調整されているので、検査台６１６の正しい位置に電子部品１をセットすることができる。そして、検査台６１６を用いて電子部品１の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査台６１６から電子部品１を取り上げた後、Ｙステージ６３２およびＸステージ６３６を動かして、下流側ステージ６１２ｄの上まで把持装置６５０を移動させ、下流側ステージ６１２ｄに電子部品１を置く。その後、下流側ステージ６１２ｄを動かして、検査が終了した電子部品１を所定位置まで搬送する。
【００５７】
図９は、把持装置６５０に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置６５０内には、把持部６５２に接続された回転軸６５４や、回転軸６５４が回転可能に取り付けられた微調整プレート６５６などが設けられている。また、微調整プレート６５６は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能となっている。
【００５８】
ここで、図９に斜線を付して示されるように、回転軸６５４の端面に向けて回転方向用の圧電モーター１０θが搭載されており、圧電モーター１０θの駆動凸部（図示は省略）が回転軸６５４の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター１０θを動作させることによって、回転軸６５４（および把持部６５２）をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能となっている。また、微調整プレート６５６に向けてＸ方向用の圧電モーター１０ｘと、Ｙ方向用の圧電モーター１０ｙとが設けられており、それぞれの駆動凸部（図示は省略）が微調整プレート６５６の表面に押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｘを動作させることによって、微調整プレート６５６（および把持部６５２）をＸ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モーター１０ｙを動作させることによって、微調整プレート６５６（および把持部６５２）をＹ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能となっている。従って、図８の電子部品検査装置６００は、圧電モーター１０θ、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙを動作させることにより、把持部６５２で把持した電子部品１の姿勢を微調整することが可能である。尚、本実施例では、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙがそれぞれ本発明の「第１の圧電モーター」、「第２の圧電モーター」に対応し、圧電モーター１０θが本発明の「第３の圧電モーター」に対応する。また、回転軸６５４や、微調整プレート６５６、圧電モーター１０θ、圧電モーター１０ｘ、圧電モーター１０ｙによって構成される微調整機構が、本発明の「駆動装置」に対応する。
【００５９】
図１０は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだ印刷装置７００を例示した斜視図である。図示した印刷装置７００は、印刷媒体２の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。印刷装置７００は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ７０１や、排出口７０２や、複数の操作ボタン７０５が設けられている。また、背面側には供給トレイ７０３が設けられている。供給トレイ７０３に印刷媒体２をセットして操作ボタン７０５を操作すると、供給トレイ７０３から印刷媒体２が吸い込まれて、印刷装置７００の内部で印刷媒体２の表面に画像が印刷された後、排出口７０２から排出される。
【００６０】
印刷装置７００の内部には、印刷媒体２上で主走査方向に往復動するキャリッジ７２０と、キャリッジ７２０の主走査方向への動きをガイドするガイドレール７１０が設けられている。また、図示したキャリッジ７２０は、印刷媒体２上にインクを噴射する噴射ヘッド７２２や、キャリッジ７２０を主走査方向に駆動するための駆動部７２４などから構成されている。噴射ヘッド７２２の底面側（印刷媒体２に向いた側）には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体２に向かってインクを噴射することができる。また、駆動部７２４には、圧電モーター１０ｍ，１０ｓが搭載されている。圧電モーター１０ｍの駆動凸部（図示は省略）はガイドレール７１０に押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｍを動作させることで、キャリッジ７２０を主走査方向に移動させることができる。また、圧電モーター１０ｓの駆動凸部１１４は、噴射ヘッド７２２に対して押しつけられている。このため、圧電モーター１０ｓを動作させることで、噴射ヘッド７２２の底面側を印刷媒体２に近付けたり、印刷媒体２から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷媒体２として、いわゆるロール紙を用いる印刷装置７００では、画像を印刷したロール紙を切断する機構が必要となる。このような場合には、キャリッジ７２０にカッターを取り付けて主走査方向に移動させれば、ロール紙を切断することも可能である。
【００６１】
図１１は、本実施例の圧電モーター１０を組み込んだロボットハンド８００を例示した説明図である。図示したロボットハンド８００は、基台８０２から複数本の指部８０３が立設されており、手首８０４を介してアーム８１０に接続されている。ここで、指部８０３の根元の部分は基台８０２内で移動可能となっており、この指部８０３の根元の部分に駆動凸部１１４を押しつけた状態で圧電モーター１０ｆが搭載されている。このため、圧電モーター１０ｆを動作させることで、指部８０３を移動させて対象物を把持することができる。また、手首８０４の部分にも、手首８０４の端面に駆動凸部１１４を押しつけた状態で圧電モーター１０ｒが搭載されている。このため、圧電モーター１０ｒを動作させることで、基台８０２全体を回転させることが可能である。
【００６２】
図１２は、ロボットハンド８００を備えたロボット８５０を例示した説明図である。図示されるようにロボット８５０は、複数本のアーム８１０と、それらアーム８１０の間を屈曲可能な状態で接続する関節部８２０とを備えている。また、ロボットハンド８００はアーム８１０の先端に接続されている。そして、関節部８２０には、関節部８２０を屈曲させるためのアクチュエーターとして圧電モーター１０ｊが内蔵されている。このため、圧電モーター１０ｊを動作させることにより、それぞれの関節部８２０を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。
【００６３】
以上、本発明の圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や、変形例、適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１０…圧電モーター、      １００…本体部、        １０２ｒ…前側コロ、
１０４ｒ…押さえコロ、    １０６ｒ…後側コロ、    １１０…振動部、
１１２…振動体、          １１４…駆動凸部、      １１６…表電極、
１２０…振動体ケース、    １３０…緩衝部、        １４０…押さえ板、
１４２…弾性部、          １４４…押さえ蓋、      １４４ｃ…凹部、
１４６…止めネジ、        ２００…基台部、        ２１０…第１側壁ブロック、
２１２…前方ハウジング、  ２１２ｓ…前方側圧バネ、
２１４…中央ハウジング、  ２１６…後方ハウジング、
２１６ｓ…後方側圧バネ、  ２２０…第２側壁ブロック、
２２２ｓ…加圧バネ、      ２３０…基板、          ２３２ｓ…押さえバネ、
２４０…止めネジ、        ６００…電子部品検査装置、  ６１０…基台、
６１２ｄ…下流側ステージ、    ６１２ｕ…上流側ステージ、
６１４…撮像装置、        ６１６…検査台、        ６１８…制御装置、
６３０…支持台、          ６３４…腕部、          ６３８…撮像カメラ、
６５０…把持装置、        ６５２…把持部、        ６５４…回転軸、
６５６…微調整プレート、  ７００…印刷装置、      ７０１…排紙トレイ、
７０２…排出口、          ７０３…供給トレイ、    ７０５…操作ボタン、
７１０…ガイドレール、    ７２０…キャリッジ、    ７２２…噴射ヘッド、
７２４…駆動部、        ８００…ロボットハンド、  ８０２…基台、
８０３…指部、            ８０４…手首、          ８１０…アーム、
８２０…関節部、          ８５０…ロボット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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