(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
モニタデータが記憶されたデータ保持部と、
基板処理装置がエネルギー消費を抑制しながら稼働しているかをチェックする条件を示すエコチェック条件を識別する項目、基板処理装置がエネルギー消費を抑制しながら運転するエコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別を示す項目、前記エコ運転であるかを判定する判定条件を示す項目、前記データ種別に対応する前記モニタデータのデータ値が前記判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値を示す項目、及び前記モニタデータのデータ値と前記条件値を比較する指標を示す項目の設定入力を受け付ける設定手段と、前記データ保持部に記憶されたモニタデータのうち、前記データ種別に対応する前記モニタデータのデータ値と前記条件値とを比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定を行う判定手段と、を少なくとも有する制御部と、
前記データ値が前記エコ運転であるかを判定する前記判定条件を満たすか否かの判定結果を示すアイコンを表示するデータ表示部と、
を有し、
前記制御部は、
前記エコチェック条件の各項目を受け付ける工程と、
前記エコチェック条件の各項目に対応する前記モニタデータを前記データ保持部から読出し、前記判定条件に従って、前記モニタデータのデータ値を監視する工程と、
前記指標に従って前記エコチェック条件を識別する項目毎に前記モニタデータのデータ値と前記条件値とを比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすかを判定した判定結果に基づき、前記基板処理装置において前記エコ運転がどの程度進行しているかを数値化した指数を算出する工程と、
算出された前記指数に応じて決められるエコレベルを示すアイコンを画面切り替えに関係なく常に表示されるエリアに表示させる工程と、
を実行することを特徴とする基板処理装置の稼動状態を監視する監視装置。
【請求項２】
基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置を管理する群管理装置とを含む基板処理システムであって、
前記群管理装置は、
モニタデータが記憶されたデータ保持部と、
基板処理装置がエネルギー消費を抑制しながら稼働しているかをチェックする条件を示すエコチェック条件を識別する項目、基板処理装置がエネルギー消費を抑制しながら運転するエコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別を示す項目、前記エコ運転であるかを判定する判定条件を示す項目、前記データ種別に対応する前記モニタデータのデータ値が前記判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値を示す項目、及び前記モニタデータのデータ値と前記条件値を比較する指標を示す項目の設定入力を受け付ける設定手段と、前記データ保持部に記憶されたモニタデータのうち、前記データ種別に対応する前記モニタデータのデータ値と前記条件値とを比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定を行う判定手段と、を少なくとも有する制御部と、
前記データ値が前記エコ運転であるかを判定する前記判定条件を満たすか否かの判定結果を示すアイコンを表示するデータ表示部と、
を有し、
前記制御部は、
前記エコチェック条件の各項目を受け付ける工程と、
前記エコチェック条件の各項目に対応する前記モニタデータを前記データ保持部から読出し、前記判定条件に従って、前記モニタデータのデータ値を監視する工程と、
前記指標に従って前記エコチェック条件を識別する項目毎に前記モニタデータのデータ値と前記条件値とを比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすかを判定した判定結果に基づき、前記基板処理装置において前記エコ運転がどの程度進行しているかを数値化した指数を算出する工程と、
算出された前記指数に応じて決められるエコレベルを示すアイコンを画面切り替えに関係なく常に表示されるエリアに表示させる工程と、
を実行することを特徴とする基板処理システム。
【請求項３】
モニタデータが記憶されたデータ保持部と、
基板処理装置がエネルギー消費を抑制しながら稼働しているかをチェックする条件を示すエコチェック条件を識別する項目、基板処理装置がエネルギー消費を抑制しながら運転するエコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別を示す項目、前記エコ運転であるかを判定する判定条件を示す項目、前記データ種別に対応する前記モニタデータのデータ値が前記判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値を示す項目、及び前記モニタデータのデータ値と前記条件値を比較する指標を示す項目の設定入力を受け付ける設定手段と、前記データ保持部に記憶されたモニタデータのうち、前記データ種別に対応する前記モニタデータのデータ値と前記条件値とを比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定を行う判定手段と、を少なくとも有する制御部と、
前記データ値が前記エコ運転であるかを判定する前記判定条件を満たすか否かの判定結果を示すアイコンを表示するデータ表示部と、
を有し、
前記制御部は、
前記エコチェック条件の各項目を受け付ける工程と、
前記エコチェック条件の各項目に対応する前記モニタデータを前記データ保持部から読出し、前記判定条件に従って、前記モニタデータのデータ値を監視する工程と、
前記指標に従って前記エコチェック条件を識別する項目毎に前記モニタデータのデータ値と前記条件値とを比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすかを判定した判定結果に基づき、前記基板処理装置において前記エコ運転がどの程度進行しているかを数値化した指数を算出する工程と、
算出された前記指数に応じて決められるエコレベルを示すアイコンを画面切り替えに関係なく常に表示されるエリアに表示させる工程と、
を実行することを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
モニタデータが記憶されたデータ保持部と、
基板処理装置がエネルギー消費を抑制しながら稼働しているかをチェックする条件を示すエコチェック条件を識別する項目、基板処理装置がエネルギー消費を抑制しながら運転するエコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別を示す項目、前記エコ運転であるかを判定する判定条件を示す項目、前記データ種別に対応する前記モニタデータのデータ値が前記判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値を示す項目、及び前記モニタデータのデータ値と前記条件値を比較する指標を示す項目の設定入力を受け付ける設定手段と、前記データ保持部に記憶されたモニタデータのうち、前記データ種別に対応する前記モニタデータのデータ値と前記条件値とを比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定を行う判定手段と、を少なくとも有する制御部と、
前記データ値が前記エコ運転であるかを判定する前記判定条件を満たすか否かの判定結果を示すアイコンを表示するデータ表示部と、
を有する基板処理装置の稼動状態を表示する表示方法であって、
前記エコチェック条件の各項目を受け付ける工程と、
前記エコチェック条件の各項目に対応する前記モニタデータを前記データ保持部から読出し、前記判定条件に従って、前記モニタデータのデータ値を監視する工程と、
前記指標に従って前記エコチェック条件を識別する項目毎に前記モニタデータのデータ値と前記条件値とを比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすかを判定した判定結果に基づき、前記基板処理装置において前記エコ運転がどの程度進行しているかを数値化した指数を算出する工程と、
算出された前記指数に応じて決められるエコレベルを示すアイコンを画面切り替えに関係なく常に表示されるエリアに表示させる工程と、
を有することを特徴とする基板処理装置の表示方法。
【請求項５】
モニタデータが記憶されたデータ保持部と、
基板処理装置がエネルギー消費を抑制しながら稼働しているかをチェックする条件を示すエコチェック条件を識別する項目、基板処理装置がエネルギー消費を抑制しながら運転するエコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別を示す項目、前記エコ運転であるかを判定する判定条件を示す項目、前記データ種別に対応する前記モニタデータのデータ値が前記判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値を示す項目、及び前記モニタデータのデータ値と前記条件値を比較する指標を示す項目の設定入力を受け付ける設定手段と、前記データ保持部に記憶されたモニタデータのうち、前記データ種別に対応する前記モニタデータのデータ値と前記条件値とを比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定を行う判定手段と、を少なくとも有する制御部と、
前記データ値が前記エコ運転であるかを判定する前記判定条件を満たすか否かの判定結果を示すアイコンを表示するデータ表示部と、
を有する基板処理装置で実行されるプログラムであって、
前記制御部に、
前記エコチェック条件の各項目を受け付ける手順と、
前記エコチェック条件の各項目に対応する前記モニタデータを前記データ保持部から読出し、前記判定条件に従って、前記モニタデータのデータ値を監視する手順と、
前記指標に従って前記エコチェック条件を識別する項目毎に前記モニタデータのデータ値と前記条件値とを比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすかを判定した判定結果に基づき、前記基板処理装置において前記エコ運転がどの程度進行しているかを数値化した指数を算出する手順と、
算出された前記指数に応じて決められるエコレベルを示すアイコンを画面切り替えに関係なく常に表示されるエリアに表示させる手順と、
を実行させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置の稼動状態を監視する方法、基板処理装置の稼動状態を監視するための装置及びこの装置と基板処理装置とを含む基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置では、プロセスレシピに基づいて基板処理工程のステップ毎にヒータ温度、処理室内の圧力、ガスの流量等の処理条件を変更させながら基板処理が実行される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
基板処理装置では、基板処理を行う際に電力やガスなどの資源消費量が大きくなる。そこで、直前の基板処理が完了してから次の基板処理を開始するまでのアイドル期間（非生産時）になると、基板処理装置は、例えば、排気ポンプやヒータ等の電力消費の大きい機器について電力供給量を低減させた運転状態に切り替えられていた。このように、アイドル期間中にエネルギー消費を節約して運転を行うことにより、省エネルギー化が図られている。
【０００４】
従来の基板処理装置は、アイドル期間になるとエコ運転に切り替えられた。ここで、エコ運転とは、資源消費量を低減させて基板処理装置が稼働している状態をいう。例えば、消費電力やガス消費量等を抑えながら基板処理装置が稼働している状態のことをいう。しかしながら、非生産時のエネルギー消費を削減したとしても、基板処理時に多大なエネルギーや資源が必要となるのでは、総合的に省エネルギーが実現されているとは限らない。例えば、近年の基板処理温度の低温化や薄膜化に伴い、電力やガスなどの無駄な消費を抑えたいという要望がある。一方、通常運転からエコ運転への切り替え方法は、手動で行われてきた。そのため、作業員(使用者)は、設定忘れや入力ミス等で基板処理装置をエコ運転に切り替え損ねる場合があった。
【０００５】
本発明は、エコ運転への切り替え損ねを防ぐことが可能なエコ運転監視方法、基板処理装置がエコ運転であるか否かを監視するエコ運転監視装置および基板処理装置とエコ運転監視装置を含む基板処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、エコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別に対応するデータ値(データの値)と、前記データ種別に対応するデータがとりうる境界を示す境界値と、を予め設定された所定の判定条件に基づいて比較し、前記データ値と前記境界値とを前記判定条件に基づいて比較した結果に応じて、所定の動作を実行するエコ運転監視方法が提供される。
【０００７】
また、本発明の他の態様によれば、エコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別、予め設定された所定の判定条件、前記データ種別に対応するデータ値が前記判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値、及び前記データ値と前記条件値を前記判定条件に基づいて比較した結果に応じて行う所定の動作の設定の入力を受け付ける設定手段と、前記データ値と前記境界値とを前記判定条件に基づいて比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定を行う判定手段と、を有するエコ運転監視装置が提供される。  
更に、本発明の他の態様によれば、基板処理装置とエコ運転監視装置とを含む基板処理システムが提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、エコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別について設定が操作画面上で可能とすることにより、エコ運転への切り替え損ねを防ぐことができ、さらに、エコ運転の稼動状態を操作画面上に表示することができるので、基板処理装置がエコ運転であるか否かを監視することができる。また、エコ運転に切り替えることにより、省エネルギー化を図ると共に、前記基板処理装置のランニングコストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る基板処理システムの概要構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る基板処理システムのブロック構成図である。
【図３】エコチェック条件の設定内容の一覧を例示する図である。
【図４】群管理装置に表示される画面構成を例示する図である。
【図５】エコ運転に係る判定結果の詳細画面を例示する図である。
【図６】ヒータ温度とエコレベルとが重ねて表示されたトレースグラフを例示する図である。
【図７】本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。
【図８】本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置の側面透視図である。
【図９】本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置の処理炉の縦断面図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係るエコチェック条件の設定内容の一覧を例示する図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態に係る基板処理装置と基板処理装置に接続される補助発電システムとの概略構成図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態に係る切り替え制御部による電力供給ラインの切り替えフローの第一図示例である。
【図１３】本発明の第２の実施形態に係る切り替え制御部による電力供給ラインの切り替えフローの第二図示例である。
【図１４】本発明の第２の実施形態に係る切り替え制御部による電力供給ラインの切り替えフローの第三図示例である。
【図１５】本発明の第２の実施形態に係る切り替え制御部による電力供給ラインの切り替えフローの第四図示例である。
【図１６】本発明の第２の実施形態に係る切り替え制御部による電力供給ラインの切り替えフローの第五図示例である。
【図１７】本発明の第３の実施形態に係るエコチェック条件の設定内容の一覧を例示する図である。
【図１８】本発明の第３の実施形態に係る基板処理システムのブロック構成図である。
【図１９】本発明の第３の実施形態に係る基板処理装置に対する電力供給元の切替えを説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜本発明の第１の実施形態＞
以下に、本発明の第１の実施形態について説明する。
【００１１】
（１）基板処理システムの構成
まず、図１を用いて、本発明の第１の実施形態にかかる基板処理システムの構成について説明する。図１は、本発明の第１の実施形態にかかる基板処理システムの概要構成図である。
【００１２】
図１に示すとおり、本実施形態にかかる基板処理システムは、処理手順及び処理条件が定義された複数のメインステップを有するプロセスレシピに基づいて基板処理プロセスを繰り返し実行する少なくとも一台の基板処理装置１００と、基板処理装置１００とデータ交換可能なように接続されるエコ運転監視装置、すなわち上位管理装置としての群管理装置５００と、を備えている。基板処理装置１００と群管理装置５００との間は、例えば構内回線（ＬＡＮ）や広域回線（ＷＡＮ）等のネットワーク４００により接続されている。
【００１３】
（２）基板処理装置の構成
続いて、本実施形態にかかる基板処理装置１００の構成について、図７，図８を参照しながら説明する。図７は、本発明の第１の実施形態にかかる基板処理装置の斜透視図である。図８は、本発明の第１の実施形態にかかる基板処理装置の側面透視図である。なお、本実施形態にかかる基板処理装置１００は、例えばウエハ等の基板に酸化、拡散処理、ＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置として構成されている。
【００１４】
図７、図８に示すように、本実施形態にかかる基板処理装置１００は、耐圧容器として構成された筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設されている。正面メンテナンス口１０３には、正面メンテナンス口１０３を開閉する一対の正面メンテナンス扉１０４が設けられている。シリコン等のウエハ（基板）２００を収納したポッド（基板収容器）１１０が、筐体１１１内外へウエハ２００を搬送するキャリアとして使用される。
【００１５】
筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が、筐体１１１内外を連通するように開設されている。ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側には、ロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されている。ロードポート１１４上には、ポッド１１０を載置されると共に位置合わせされるように構成されている。ポッド１１０は、工程内搬送装置（図示せず）によってロードポート１１４上に搬送されるように構成されている。
【００１６】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されている。回転式ポッド棚１０５上には複数個のポッド１１０が保管されるように構成されている。回転式ポッド棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７と、を備えている。複数枚の棚板１１７は、ポッド１１０を複数個それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００１７】
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと、搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を相互に搬送するように構成されている。
【００１８】
筐体１１１内の下部には、サブ筐体１１９が、筐体１１１内の前後方向の略中央部から後端にわたって設けられている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内外に搬送する一対のウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が、垂直方向に上下二段に並べられて設けられている。上下段のウエハ搬入搬出口１２０には、ポッドオープナ１２１がそれぞれ設置されている。
【００１９】
各ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する一対の載置台１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２上に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００２０】
サブ筐体１１９内には、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５等が設置された空間から流体的に隔絶された移載室１２４が構成されている。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されている。ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａと、ウエハ移載装置１２５ａを昇降させるウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図７に示すように、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは、サブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部と筐体１１１右側端部との間に設置されている。ウエハ移載装置１２５ａは、ウエハ２００の載置部としてのツイーザ（基板保持体）１２５ｃを備えている。これらウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ２００をボート（基板保持具）２１７に対して装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）することが可能なように構成されている。
【００２１】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、基板処理系としての処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
【００２２】
図７に示すように、サブ筐体１１９の待機部１２６右端部と筐体１１１右側端部との間には、ボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台には、連結具としてのアーム１２８が連結されている。アーム１２８には、蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられている。シールキャップ２１９は、ボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
【００２３】
ボート２１７は複数本の保持部材を備えている。ボート２１７は、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００を、その中心を揃えて垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持するように構成されている。
【００２４】
図７に示すように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されている。ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。
【００２５】
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、図示しないノッチ合わせ装置、ウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７の周囲を流通した後、図示しないダクトにより吸い込まれて筐体１１１の外部に排気されるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環されてクリーンユニット１３４によって移載室１２４内に再び吹き出されるように構成されている。
【００２６】
（３）基板処理装置の動作
次に、本実施形態にかかる基板処理装置１００の動作について、図７，図８を参照しながら説明する。
【００２７】
図７、図８に示すように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放される。そして、ロードポート１１４の上のポッド１１０が、ポッド搬送装置１１８によってポッド搬入搬出口１１２から筐体１１１内部へと搬入される。
【００２８】
筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって回転式ポッド棚１０５の棚板１１７上へ自動的に搬送されて一時的に保管された後、棚板１１７上から一方のポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載される。なお、筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって直接ポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載されてもよい。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４内にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４内にクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、移載室１２４内の酸素濃度が例えば２０ｐｐｍ以下となり、大気雰囲気である筐体１１１内の酸素濃度よりも遥かに低くなるように設定されている。
【００２９】
載置台１２２上に載置されたポッド１１０は、その開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口が開放される。その後、ウエハ２００は、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてポッド１１０内からピックアップされ、ノッチ合わせ装置にて方位が整合された後、移載室１２４の後方にある待機部１２６内へ搬入され、ボート２１７内に装填（チャージング）される。ボート２１７内にウエハ２００を装填したウエハ移載装置１２５ａは、ポッド１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７内に装填する。
【００３０】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１の載置台１２２上には、別のポッド１１０が回転式ポッド棚１０５上からポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００３１】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７内に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７は、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。
【００３２】
ローディング後は、処理炉２０２内にてウエハ２００に任意の処理が実施される。処理後は、ノッチ合わせ装置でのウエハの整合工程を除き、上述の手順とほぼ逆の手順で、処理後のウエハ２００を格納したボート２１７が処理炉２０２より搬出され、処理後のウエハ２００を格納したポッド１１０が筐体１１１外へと搬出される。
【００３３】
（４）処理炉の構成
続いて、本実施形態にかかる処理炉２０２の構成について、図９を用いて説明する。図９は、本発明の第１の実施形態にかかる基板処理装置１００の処理炉２０２の縦断面図である。
【００３４】
図９に示すように、処理炉２０２は、反応管としてのプロセスチューブ２０３を備えている。プロセスチューブ２０３は、内部反応管としてのインナーチューブ２０４と、その外側に設けられた外部反応管としてのアウターチューブ２０５と、を備えている。インナーチューブ２０４は、例えば石英（ＳｉＯ２）または炭化シリコン（ＳｉＣ）等の耐熱性材料からなり、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。インナーチューブ２０４内の筒中空部には、基板としてのウエハ２００を処理する処理室２０１が形成されている。処理室２０１内は後述するボート２１７を収容可能なように構成されている。アウターチューブ２０５は、インナーチューブ２０４と同心円状に設けられている。アウターチューブ２０５は、内径がインナーチューブ２０４の外径よりも大きく、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されている。アウターチューブ２０５は、例えば石英または炭化シリコン等の耐熱性材料からなる。
【００３５】
プロセスチューブ２０３の外側には、プロセスチューブ２０３の側壁面を囲うように、加熱機構としてのヒータ２０６が設けられている。ヒータ２０６は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース２５１に支持されることにより垂直に据え付けられている。
【００３６】
アウターチューブ２０５の下方には、アウターチューブ２０５と同心円状になるように、マニホールド２０９が配設されている。マニホールド２０９は、例えばステンレス等からなり、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド２０９は、インナーチューブ２０４の下端部とアウターチューブ２０５の下端部とにそれぞれ係合しており、これらを支持するように設けられている。なお、マニホールド２０９とアウターチューブ２０５との間には、シール部材としてのＯリング２２０ａが設けられている。マニホールド２０９がヒータベース２５１に支持されることにより、プロセスチューブ２０３は垂直に据え付けられた状態となっている。プロセスチューブ２０３とマニホールド２０９により反応容器が形成される。
【００３７】
後述するシールキャップ２１９には、ガス導入部としてのノズル２３０が処理室２０１内に連通するように接続されている。ノズル２３０の上流端には、ガス供給管２３２の下流端が接続されている。ガス供給管２３２の上流側（ノズル２３０との接続側と反対側）には、ガス流量制御器としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１を介して、図示しない処理ガス供給源や不活性ガス供給源等が接続されている。ＭＦＣ２４１には、ガス流量制御部２３５が電気的に接続されている。ガス流量制御部２３５は、処理室２０１内に供給するガスの流量が所望のタイミングにて所望の流量となるように、ＭＦＣ２４１を制御するように構成されている。
【００３８】
マニホールド２０９には、処理室２０１内の雰囲気を排気する排気管２３１が設けられている。排気管２３１は、インナーチューブ２０４とアウターチューブ２０５との隙間によって形成される筒状空間２５０の下端部に配置されており、筒状空間２５０に連通している。排気管２３１の下流側（マニホールド２０９との接続側と反対側）には、圧力検出器としての圧力センサ２４５、例えばＡＰＣ（Ａｕｔｏ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）として構成された圧力調整装置２４２、真空ポンプ等の真空排気装置２４６が上流側から順に接続されている。圧力調整装置２４２及び圧力センサ２４５には、圧力制御部２３６が電気的に接続されている。圧力制御部２３６は、圧力センサ２４５により検出された圧力値に基づいて、処理室２０１内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように、圧力調整装置２４２を制御するように構成されている。
【００３９】
マニホールド２０９の下方には、マニホールド２０９の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ２１９が設けられている。シールキャップ２１９は、マニホールド２０９の下端に垂直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ２１９は、例えばステンレス等の金属からなり、円盤状に形成されている。シールキャップ２１９の上面には、マニホールド２０９の下端と当接するシール部材としてのＯリング２２０ｂが設けられている。シールキャップ２１９の中心部付近であって処理室２０１と反対側には、ボートを回転させる回転機構２５４が設置されている。回転機構２５４の回転軸２５５は、シールキャップ２１９を貫通してボート２１７を下方から支持している。回転機構２５４は、ボート２１７を回転させることでウエハ２００を回転させることが可能なように構成されている。シールキャップ２１９は、プロセスチューブ２０３の外部に垂直に設備された昇降機構としてのボートエレベータ１１５によって、垂直方向に昇降されるように構成されている。シールキャップ２１９を昇降させることにより、ボート２１７を処理室２０１内外へ搬送することが可能なように構成されている。回転機構２５４及びボートエレベータ１１５には、メカ制御部２３８が電気的に接続されている。メカ制御部２３８は、回転機構２５４及びボートエレベータ１１５が所望のタイミングにて所望の動作をするように、これらを制御するように構成されている。
【００４０】
上述したように、基板保持具としてのボート２１７は、複数枚のウエハ２００を水平姿勢でかつ互いに中心を揃えた状態で整列させて多段に保持するように構成されている。ボート２１７は、例えば石英や炭化シリコン等の耐熱性材料からなる。ボート２１７の下部には、例えば石英や炭化シリコン等の耐熱性材料からなる円板形状をした断熱部材としての断熱板２１６が水平姿勢で多段に複数枚配置されており、ヒータ２０６からの熱がマニホールド２０９側に伝わりにくくなるように構成されている。
【００４１】
プロセスチューブ２０３内には、温度検出器としての温度センサ２６３が設置されている。ヒータ２０６と温度センサ２６３とには、電気的に温度制御部２３７が接続されている。温度制御部２３７は、温度センサ２６３により検出された温度情報に基づいて、処理室２０１内の温度が所望のタイミングにて所望の温度分布となるように、ヒータ２０６への通電具合を調整するように構成されている。
【００４２】
ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、メカ制御部２３８、温度制御部２３７は、基板処理装置全体を制御する主制御部としての表示装置制御部２３９に電気的に接続されている（以下、ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、温度制御部２３７をＩ／Ｏ制御部とも呼ぶ）。これら、ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、メカ制御部２３８、温度制御部２３７、及び主制御部としての表示装置制御部２３９は、基板処理装置用コントローラ２４０として構成されている。基板処理装置用コントローラ２４０の構成や動作については、後述する。
【００４３】
（５）処理炉の動作
続いて、半導体デバイスの製造工程の一工程として、上記構成に係る処理炉２０２を用いてＣＶＤ法によりウエハ２００上に薄膜を形成する方法について、図９を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置１００を構成する各部の動作は基板処理装置用コントローラ２４０により制御される。
【００４４】
複数枚のウエハ２００がボート２１７に装填（ウエハチャージ）されると、図９に示すように、複数枚のウエハ２００を保持したボート２１７は、ボートエレベータ１１５によって持ち上げられて処理室２０１内に搬入（ボートローディング）される。この状態で、シールキャップ２１９はＯリング２２０ｂを介してマニホールド２０９の下端をシールした状態となる。
【００４５】
処理室２０１内が所望の圧力（真空度）となるように、真空排気装置２４６によって真空排気される。この際、圧力センサ２４５が測定した圧力値に基づき、圧力調整装置２４２（の弁の開度）がフィードバック制御される。また、処理室２０１内が所望の温度となるように、ヒータ２０６によって加熱される。この際、温度センサ２６３が検出した温度値に基づき、ヒータ２０６への通電量がフィードバック制御される。続いて、回転機構２５４により、ボート２１７及びウエハ２００が回転させられる。
【００４６】
次いで、処理ガス供給源から供給されてＭＦＣ２４１にて所望の流量となるように制御されたガスは、ガス供給管２３２内を流通してノズル２３０から処理室２０１内に導入される。導入されたガスは処理室２０１内を上昇し、インナーチューブ２０４の上端開口から筒状空間２５０内に流出して排気管２３１から排気される。ガスは、処理室２０１内を通過する際にウエハ２００の表面と接触し、この際に熱ＣＶＤ反応によってウエハ２００の表面上に薄膜が堆積（デポジション）される。
【００４７】
予め設定された処理時間が経過すると、不活性ガス供給源から不活性ガスが供給され、処理室２０１内が不活性ガスに置換されるとともに、処理室２０１内の圧力が常圧に復帰される。
【００４８】
その後、ボートエレベータ１１５によりシールキャップ２１９が下降されてマニホールド２０９の下端が開口されるとともに、処理済のウエハ２００を保持するボート２１７がマニホールド２０９の下端からプロセスチューブ２０３の外部へと搬出（ボートアンローディング）される。その後、処理済のウエハ２００はボート２１７より取り出され、ポッド１１０内へ格納される（ウエハディスチャージ）。
【００４９】
（６）基板処理装置用コントローラの構成
続いて、本実施形態に係る基板処理装置用コントローラ２４０の構成について、図２を用いて説明する。図２は、本発明の第１の実施形態に係る基板処理システムのブロック構成図である。
【００５０】
基板処理装置用コントローラ２４０は、処理炉２０２を制御する上述のＩ／Ｏ制御部（ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、温度制御部２３７）と、上記Ｉ／Ｏ制御部とデータ交換可能なように接続された処理制御部２３９ａと、を備えている。処理制御部２３９ａは、Ｉ／Ｏ制御部を介して処理炉２０２の動作を制御するとともに、処理炉２０２の状態（温度、ガス流量、圧力等）を示すモニタデータを取得する（読み出す）ように構成されている。
【００５１】
基板処理装置用コントローラ２４０は、処理制御部２３９ａにデータ交換可能なように接続された主制御部としての表示装置制御部２３９を備えている。表示装置制御部２３９には、ディスプレイ等のデータ表示部２４０ａとキーボード等の入力手段２４０ｂとがそれぞれ接続される。表示装置制御部２３９は、操作員による入力手段２４０ｂからの入力（操作コマンドの入力等）を受け付けると共に、基板処理装置１００の状態表示画面や操作入力受付画面等をデータ表示部２４０ａに表示するように構成されている。
【００５２】
また、基板処理装置用コントローラ２４０は、主制御部としての表示装置制御部２３９にデータ交換可能なように接続されたメカ制御部２３８と、メカ制御部２３８にデータ交換可能なように接続されたメカ機構Ｉ／Ｏ２３８ａと、を備えている。メカ機構Ｉ／Ｏ２３８ａには、基板処理装置１００を構成する各部（例えばポッドエレベータ１１８ａ、ポッド搬送機構１１８ｂ、ポッドオープナ１２１、ウエハ移載機構１２５、ボートエレベータ１１５等）が接続されている。メカ制御部２３８は、メカ機構Ｉ／Ｏ２３８ａを介して基板処理装置１００を構成する各部の動作を制御するとともに、基板処理装置１００を構成する各部の状態（例えば位置、開閉状態、動作中であるかウエイト状態であるか等）を示すモニタデータを取得する（読み出す）ように構成されている。さらに、基板処理装置用コントローラ２４０は、装置ＩＤ、モニタデータ生成時刻、レシピＩＤ、経過時間等を付加させたモニタデータを生成するように構成されている。
【００５３】
モニタデータは、ウエハ２００を基板処理装置１００のボート２１７に装填後、ボート２１７から脱装するまでの任意の期間、ウエハ２００の処理に係るプロセスレシピの開始から終了までの任意の期間、又はプロセスレシピ内の所定の期間において収集される。またモニタデータは、直前の基板処理が完了した後、次の基板処理が開始されるまでのアイドル期間中にも収集される。
【００５４】
また、基板処理装置用コントローラ２４０は、主制御部としての表示装置制御部２３９に接続されたデータ保持部２３９ｅを備えている。データ保持部２３９ｅには、基板処理装置用コントローラ２４０に種々の機能を実現するプログラムや、処理炉２０２にて実施される基板処理プロセスの処理手順や処理条件が定義されたプロセスレシピや、モニタデータ等が格納（保持）される。また、本願発明において、データ保持部２３９ｅには、少なくともプロセスレシピを実行する制御プログラムや上記モニタデータの収集を行う収集プログラムの他、少なくとも後述するエコ運転監視プログラムや後述する蓄電監視プログラムが格納される場合がある。
【００５５】
また、基板処理装置用コントローラ２４０は、主制御部としての表示装置制御部２３９に接続された通信制御部２３９ｂを備えている。通信制御部２３９ｂは、ネットワーク４００を介して後述の群管理装置５００とデータ交換可能なように接続されている。通信制御部２３９ｂは、基板処理装置用コントローラ２４０で生成されたモニタデータを受信し、群管理装置５００に送信可能なように構成されている。
【００５６】
また、基板処理装置用コントローラ２４０は、生成したモニタデータを、通信制御部２３９ｂを介さずに群管理装置５００に直接送信可能なようにも構成されている。
【００５７】
（７）群管理装置の構成
続いて、上述の基板処理装置１００とデータ交換可能なように構成された本実施形態に係るエコ運転監視装置、すなわち上位管理装置としての群管理装置５００の構成について、図２〜図６を参照しながら説明する。図３は、エコチェック条件の設定内容の一覧を例示する図である。図４は、群管理装置に表示される画面構成を例示する図である。図５は、エコ運転に係る判定結果の詳細画面を例示する図である。図６は、ヒータ温度とエコレベルとが重ねて表示されたトレースグラフを例示する図である。
【００５８】
群管理装置５００は、中央処理装置（ＣＰＵ）として構成された制御部５０１と、内部に共有メモリ５０２領域を有するメモリ（図示は省略）と、ＨＤＤなどの記憶装置として構成された格納手段としてのデータ保持部（格納部）５０３と、ディスプレイ装置などの表示手段として構成されるデータ表示部５０５と、キーボード等の入力手段５０６と、通信手段としての通信制御部（通信部）５０４と、を有するコンピュータとして構成されている。上述のメモリ、データ保持部５０３、データ表示部５０５、入力手段５０６、通信制御部５０４は、内部バス等を介して制御部５０１とデータ交換可能なように構成されている。また、制御部５０１は、図示しない時計機能を有している。
【００５９】
データ保持部（格納部）５０３には、エコ運転監視プログラムを含む複数の図示しない群管理プログラム(群管理装置５００で実行されるプログラム)が記憶されている。そして、エコ運転監視プログラムがデータ保持部５０３から読み出され、制御部５０１で実行されることにより後述する設定手段５１０、判定手段５２０、実行手段５３０等の各種機能が実現される。また、必要に応じて後述する蓄電監視プログラムをデータ保持部５０３に格納しても良い。
【００６０】
通信手段としての通信制御部５０４は、基板処理装置用コントローラ２４０の通信制御部２３９ｂに接続されている。通信制御部５０４は、基板処理装置１００からモニタデータを受信し、共有メモリ５０２に渡すように構成されている。
【００６１】
制御部５０１は、共有メモリ５０２から読み出したモニタデータを、モニタデータの発生源である基板処理装置１００を特定する装置ＩＤ、モニタデータ生成時刻、レシピＩＤ、経過時間等と関連付けてデータベース化し、読み出し可能にデータ保持部５０３に渡し、記憶させるように構成されている。
【００６２】
また、制御部５０１は、データ保持部５０３に記憶させるモニタデータを装置ＩＤ、レシピＩＤ、及び経過時間等と併せてデータ表示部５０５に渡し、データ表示部５０５に表示させるように構成されている。
【００６３】
また、本実施の形態においては、制御部５０１は、入力手段５０６から入力される装置ＩＤ、モニタデータ生成時刻、レシピＩＤ、経過時間等の検索条件に基づいてデータ保持部５０３を検索し、検索条件に該当するモニタデータをデータ保持部５０３から読み出して、データ表示部５０５に表示させるように構成されている。
【００６４】
（設定手段）
また、制御部５０１が備える設定手段５１０は、エコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別、エコ運転であるか否かの判定に係る判定条件、データ種別に対応しモニタデータから指定されるデータ値が判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値、及び前記データ値が前記判定条件に基づいて比較した結果に応じて行う所定の動作（アクション）の設定の入力を受け付けるように構成されている。本実施の形態においては、設定手段５１０は、図３に示すようにデータ表示部５０５に表示されるよう構成されている。設定手段５１０は、図３に示すような、それぞれのエコチェック条件を識別する「ＩＤ」、エコチェック条件の名称を表示する「条件名」、「データ種別」、「判定条件」、「条件値」、「所定の動作」の各項目の設定情報が、入力手段５０６を用いて入力される。入力されたエコチェック条件の各項目は、エコチェック条件毎に互いに関連付けられてデータ保持部５０３に記憶される。
【００６５】
上述の「所定の動作」としては、以下のものを例示することができる。第１の例としては、エコ運転ではない（非エコ運転である）旨の警告がデータ表示部５０５に表示される。第２の例としては、図２に示すメールサーバ５５０を介して基板処理システムの管理者ＰＣ５６０にメールが送信される。第３の例としては、プロセスレシピに規定された各種のパラメータ設定値が変更される。あるいは、これら第１〜第３の例を複数組み合わせた動作が実行される。
【００６６】
また、設定手段５１０は、エコチェック条件毎の判定を実行するか否かのチェック指標を設定するように構成されている。具体的には、図３に示す、ＩＤが「００１」、「００３」で示されたエコチェック条件のように、チェック指標が「有効」に設定された場合には、該当するエコチェックは実行される。これに対して、ＩＤが「００２」で示されたエコチェック条件のように、チェック指標が「無効」に設定された場合には、該当するエコチェックは実行されないように構成される。本実施の形態によれば、エコチェック条件が、全て「―」が設定されるように構成されているが、その形態は特に限定されない。
【００６７】
ここで、図３で示すエコチェック条件の具体例について、以下で説明する。まず、ＩＤが「００１」で示された「アイドル時ヒータ出力チェック」について説明する。「アイドル時ヒータ出力チェック」では、基板処理装置１００が直前の基板処理の完了後からその次の基板処理を開始するまでのアイドル期間（非生産時）において、ヒータ２０６の出力が所定の判定条件を満たすか否かがチェックされる。「アイドル時ヒータ出力チェック」では、エコ運転の判定対象として、「データ種別」に規定された「ヒータ出力」に相当するモニタデータが判定対象のデータ値として指定される。「判定条件」として規定された「アイドル期間中、条件値未満」は、アイドル期間中におけるヒータ２０６の出力（データ値）が条件値未満であることがエコ運転の条件として規定されている。「条件値」として規定された「９０％」は、エコ運転であるか否かを実際にチェックする際にデータ値と比較される値である。すなわち、アイドル時ヒータ出力チェックでは、アイドル期間中におけるヒータ出力が９０％未満であるか否かが判定される。
【００６８】
引き続き、ＩＤが「００３」で示された「常時ガス流量チェック」について説明する。「常時ガス流量チェック」では、基板処理装置１００が稼働している場合に、処理室２０１へのガス流量が所定の判定条件を満たすか否かがチェックされる。「常時ガス流量チェック」では、エコ運転の判定対象として、「データ種別」に規定された「ガス流量」に相当するモニタデータが判定対象のデータ値として指定される。「判定条件」として規定された「常時、条件値未満」は、基板処理装置が稼働している時には、処理室２０１へのガス流量が条件値未満であることがエコ運転の条件として規定されている。「条件値」は「２０Ｌ」と規定されているので、「常時ガス流量チェック」では、処理室２０１内へのガス流量が所定期間あたり２０Ｌ未満であるか否かを常時判定する。
【００６９】
また、ＩＤが「００２」で示されたエコチェック条件では、チェック指標が「無効」に設定されている。そのため、ここではエコチェック条件の詳細な内容は表示されないように構成されている。このように、設定入力されないように構成することにより、作業員の誤設定等を抑止することができる。
【００７０】
（判定手段）
制御部５０１が備える判定手段５２０は、データ保持部５０３に記憶されたモニタデータのうち、エコチェック条件毎のデータ種別に対応したデータ値を指定するように構成されている。そして、判定手段５２０は、指定したデータ値と条件値とを比較し、データ値が判定条件を満たすか否かの判定を行うように構成されている。
【００７１】
また、判定手段５２０は、モニタデータを取得した時間におけるエコ運転状態だけでなく、同一のエコチェック条件に関し、所定の期間内の複数の判定結果に基づき、基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かを経時的に判定することができるように構成されている。
【００７２】
また、判定手段５２０は、同一のエコチェック条件に関する判定結果について、少なくとも直近の２回分の判定結果をデータ保持部５０３に記憶させるように構成されている。また、制御部５０１は、複数のエコチェック条件の判定結果に基づき、基板処理装置１００においてエコ運転がどの程度進んでいるのかを０％〜１００％の範囲で数値化したエコ運転指数を算出するように構成されている。エコ運転指数は、例えば、数値が上がるにつれて（１００％に近づくにつれて）エコ運転が進んでいることを示す。
【００７３】
（実行手段）
実行手段５３０は、データ値を所定の判定条件に基づいて判定した判定結果に応じて、上述の所定の動作を実行するように構成されている。例えば、データ値が判定条件を満たさない場合に、実行手段５３０は、図３に示す所定の動作を実行するように構成されている。
【００７４】
（表示手段）
表示手段としてのデータ表示部５０５は、データ値が判定条件を満たすか否かの判定結果を示すアイコンを表示するように構成されている。アイコンにより、データ表示部５０５には、基板処理装置１００がエコ運転であるか、あるいは非エコ運転であるかが識別される。
【００７５】
ここで、データ表示部５０５の画面構成について、一例を挙げて簡単に説明する。データ表示部５０５は、図４に示すように、装置状態表示エリア５０５Ｘ、装置状態詳細表示エリア５０５Ｙ、操作ボタンエリア５０５Ｚを備えている。装置状態表示エリア５０５Ｘは、基板処理装置１００のエコレベルを示すレベルメータ(アイコン)５０５ａ、判定結果を示す(エコレベル)アイコン５０５ｂ等が表示されるように構成されている。装置状態詳細表示エリア５０５Ｙは、例えば、基板処理装置１００から送信されたモニタデータや、それぞれのモニタデータに関連付けられたモニタデータ生成時刻、装置ＩＤ、レシピＩＤ、経過時間等が表示されるように構成されている。操作ボタンエリア５０５Ｚは、基板処理装置１００の操作に係る各種ボタンが表示されるように構成されている。尚、装置状態表示エリア５０５Ｘは、画面切替に関係なく常に表示されるエリアであるため、基板処理装置１００のエコレベルの監視が可能である。又、操作パネルの近傍にエコ運転パネルを設けてもよい。また、装置状態表示エリア５０５Xに、後述する代替エネルギーを利用した省エネ運転を示すアイコン(例えば、エコマークアイコン)を別途表示するようにしても良い。
【００７６】
また、データ表示部５０５は、判定手段５２０で算出されたエコ運転指数に基づいたエコレベルを、例えば、「０」〜「５」の範囲で設定し、レベルメータ(アイコン)５０５ａに表示させるように構成されている。エコレベルは、例えば、エコ運転の数値が上がるごとに（「５」に近づくにつれて）、エコ運転が進んでいることを示し、数値が下がるごとに（「０」に近づくにつれて）、エコ運転が進んでいないことを示すように設定される。例えば、エコ運転指数が２０％未満であればエコレベルは「１」に設定され、エコ運転指数が２０％以上４０％未満であればエコレベルは「２」に設定され、エコ運転指数が４０％以上６０％未満であればエコレベルは「３」に設定され、エコ運転指数が６０％以上８０％未満であればエコレベルは「４」に設定され、エコ運転指数が８０％以上であればエコレベルは「５」に設定される。また、必要以上に資源が消費されている場合には、エコレベルは「０」に設定される。
【００７７】
また、データ表示部５０５は、設定されたエコレベルをモニタデータと関連付けてデータ保持部５０３に記憶させるように構成されている。具体的には、データ表示部５０５は、所定周期内に収集されたモニタデータ（データ値）、及びこれらのモニタデータに基づいて設定されたエコレベルをデータ保持部５０３に記憶させるように構成されている。データ保持部５０３に記憶されたモニタデータ及びエコレベルは、後述のトレースグラフを作成する際のデータ（以下では、「トレースグラフデータ」とも称する）として用いられる。
【００７８】
また、データ表示部５０５は、データ値が判定条件を満たす場合と、データ値が判定条件を満たさない場合とでそれぞれ異なるアイコンを表示するように構成されている。例えば、データ表示部５０５は、レベルメータ５０５ａに表示されたエコレベルに基づいたアイコン５０５ｂを表示するように構成されている。図４に示す例では、レベルメータ５０５ａに表示されるエコレベル（図４では、エコレベル「４」）に対応させたアイコン「Ｅｃｏ４」が表示されている。また、データ表示部５０５は、判定結果を示す(エコレベル)アイコン５０５ｂを、エコチェック条件毎に表示可能なようにも構成されている。
【００７９】
また、データ表示部５０５は、アイコン５０５ｂが選択されると、図５に示すような判定結果の詳細画面６１０（以下では、「判定結果詳細画面６１０」とも称する）を表示するように構成されている。例えば、判定結果詳細画面６１０には、エコチェック条件毎の判定結果やエコレベル等が表示されている。まず、エコチェック条件毎の判定結果について説明する。判定結果詳細画面６１０には、例えば、それぞれのエコチェック条件を示すＩＤ、判定結果を示すチェック状態、条件名、それぞれのエコチェック条件毎のデータ値が表示されている。「チェック状態」には、例えば、エコチェック条件毎に記号「■」、「□」が付され、これによりそれぞれのエコチェック条件がエコ運転であるか否かの判定結果が表示されるようになっている。記号「■」は、該当するエコチェック条件においては、データ値が判定条件を満たしていないことを示している。すなわち、記号「■」が付されたエコチェック条件に関しては、基板処理装置１００はエコ運転状態ではないと判定されたことを示している。これに対して、記号「□」は、該当するエコチェック条件においては、データ値が判定条件を満たしていることを示している。すなわち、記号「□」が付されたエコチェック条件に関しては、基板処理装置１００はエコ運転状態であると判定されたことを示している。
【００８０】
具体的には、ＩＤが「００１」のエコチェック条件「アイドル時ヒータ出力チェック」では、図３に示すヒータ出力の条件値が「９０％」であるのに対して、ヒータ出力の測定値が「９５％」である。判定条件を適用してこれらの値を比較すると、ヒータ出力の測定値が判定条件を満たしていないことがわかる。したがって、「アイドル時ヒータ出力チェック」に関しては、基板処理装置１００はエコ運転状態ではないと判定され、判定結果詳細画面６１０の「アイドル時ヒータ出力チェック」の「チェック状態」欄に記号「■」が付される。ＩＤ「００３」のエコチェック条件「常時ガス流量チェック」に関しても同様に、ガス流量の条件値が「２０Ｌ」であるのに対して、ガス流量の測定値が「２０Ｌ」である。判定条件を適用してこれらの値を比較すると、ガス流量が判定条件を満たしていないことがわかる。したがって、「常時ガス流量チェック」に関しても、基板処理装置１００は、エコ運転状態ではないと判定され、判定結果詳細画面６１０の「常時ガス流量チェック」の「チェック状態」欄に記号「■」が付される。これに対して、データ値が判定条件を満たす場合には、それぞれのエコチェック条件の「チェック状態」欄に記号「□」が付される。また、例えば、ＩＤ「００２」のように判定を行うか否かのチェック指標が「無効」に設定されたエコチェック条件に関しても、「チェック条件」欄に記号「□」が付されるようになっている。
【００８１】
次に、エコレベルの判定結果について説明する。判定結果詳細画面６１０には、複数のエコチェック条件の判定結果に基づいて数値化されたエコ運転指数６１０ａと、エコ運転指数６１０ａに基づいて設定されたエコレベルが表示されている。図５では、例えば、ＩＤ「００１」〜「９９９」のエコチェック条件に関する判定結果に基づいて算出されたエコ運転指数が「７８％」と表示されている。また、判定結果詳細画面５１０には、エコ運転指数「７８％」に対応するエコレベル「４」が表示されている。
【００８２】
また、データ表示部５０５は、所定周期内に収集されたモニタデータと、これらのモニタデータから算出されたエコレベルとを、時間軸を揃えて重ね合わせた一つのグラフを表示するように構成されている。トレースグラフの一例として、図６では、ヒータ出力のグラフ６２０ａとエコレベルのグラフ６２０ｂとを重ね合わせたトレースグラフ６２０が示されている。以下、図６のトレースグラフ６２０について簡単に説明する。トレースグラフ６２０では、横軸が時間、縦軸がヒータ２０６出力、及びエコレベルを示している。横軸の時間は、例えば、モニタデータ生成時刻やプロセスレシピを開始してから経過した所定の時間（経過時間）等で表示される。縦軸のヒータ２０６出力は、最大出力に対する比率（０％〜１００％）で表示される。また、縦軸のエコレベルは、「０」、「１」、・・・、「５」のように多段階に表示される。トレースグラフ６２０には、所定の期間内におけるヒータ２０６の出力に関するグラフ６２０ａ、及び複数のエコチェック条件に係る判定結果から算出されたエコレベルに関するグラフ６２０ｂが表示されている。グラフ６２０ａと、６２０ｂとを重ね合わせたトレースグラフ６２０を表示させることにより、基板処理装置１００の動作とエコレベルとが比較されやすくなっている。
【００８３】
（８）エコ運転監視方法
次に、本実施形態に係るエコ運転監視プログラムを実行することによるエコ運転監視方法について以下で説明する。
【００８４】
（エコチェック条件入力工程）
まず、本実施形態のエコ運転監視方法を実施するためのエコチェック条件の入力を行う。基板処理システムの作業員は、エコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別、エコ運転であるか否かの判定に係る判定条件、データ種別に対応しモニタデータから指定されるデータ値が判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値、及び前記データ値が前記判定条件に基づいて比較した結果に応じて行う所定の動作を、入力手段５０６を用いて入力する。具体的には、作業員は、図３に示すような、エコチェック条件毎の「ＩＤ」、「条件名」、「データ種別」、「判定条件」、「条件値」、「所定の動作」を、入力手段５０６を用いて入力する。群管理装置５００が備える設定手段５１０は、入力されたエコチェック条件の各項目（ＩＤ、条件名、データ種別、判定条件、条件値、所定の動作）の設定を受け付け、エコチェック条件毎にデータ保持部５０３に記憶させる。また、それぞれのエコチェック条件に係る判定を実行するか否かを設定する「チェック指標」に関しては、作業員が入力手段５０６を用いて直接入力してもよいし、あるいは、プロセスレシピ等の内容に基づいてエコ運転監視プログラムにより設定手段５１０に適宜設定されるようにしてもよい。
【００８５】
（エコ運転監視工程）
制御部５０１は、設定手段５１０において、指標が有効と指定されたＩＤ（「００１」と「００３」）について、エコチェック条件の各項目をデータ保持部５０３から読み出して共有メモリ５０２に保持し、「判定条件」に従ってエコ運転を監視する。判定条件で常時監視する設定であれば、メモリ５０２に保持したらすぐにエコ運転の監視を行い、非運転時（アイドル時等）に監視する設定であれば、非運転時に切り替わるデータ（イベントデータ）を共有メモリ５０２に受信したら監視が開始される。尚、判定条件でレシピ実行時に監視する設定があれば、この任意のＩＤ「＊＊＊」は、レシピ及び指定ステップが開始した時点でエコ運転の監視が行われるように構成される。例えば、レシピ開始又は指定ステップ開始を示すデータ（イベントデータ）を共有メモリ５０２に受信したらエコ運転が開始される。
【００８６】
（エコ運転判定工程）
群管理装置５００が備える判定手段５２０は、図３に示す「チェック指標」が「有効」に設定されたエコチェック条件について、基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かを監視する。具体的には、制御部５０１は、データ保持部５０３に記憶されたエコチェック条件を読み出し、エコチェック条件毎の監視を開始する。
【００８７】
判定手段５２０は、エコチェック条件毎にデータ値と条件値とを比較し、データ値が判定条件を満たすか否かの判定を行う。本実施の形態では、制御部５０１は、データ保持部５０３に記憶されたモニタデータから、それぞれのエコチェック条件のデータ種別に対応するデータ値を指定する。そして、制御部５０１は、指定されたデータ値と条件値とを比較し、データ値が判定条件を満たすか否かの判定を行う。
【００８８】
また、判定手段５２０は、同一のエコチェック条件に関し、少なくとも直近の２回分の判定結果をデータ保持部５０３に記憶させる。また、判定手段５２０は、複数のエコチェック条件の判定結果に基づき、基板処理装置１００においてエコ運転がどの程度進行しているのかを０％〜１００％の範囲で数値化したエコ運転指数を算出する。また、判定手段５２０は、エコ運転指数に基づいたエコレベルを、例えば、「０」〜「５」の範囲で多段階に表示させる。
【００８９】
また、データ保持部５０３は、モニタデータ、及びこのモニタデータに基づいて設定されたエコレベルを記憶する。具体的には、データ保持部５０３は、所定周期内に収集されたモニタデータ（データ値）、及びこれらのモニタデータから算出されたエコレベルを、同一のグラフで重ね合わせて表示させるためのトレースグラフデータとしてデータ保持部５０３に記憶する。
【００９０】
また、判定手段５２０は、モニタデータを取得した時間におけるエコ運転状態だけでなく、同一のエコチェック条件に関する複数の判定結果に基づき、基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かを経時的に判定する。すなわち、判定手段５２０は、同一のエコチェック条件に関し、所定の期間内の複数の判定結果に基づいて基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かを判定する。
【００９１】
（所定の動作実行工程）
また、群管理装置５００が備える実行手段５３０は、エコチェック条件毎に設定された所定の動作を実行する。例えば、実行手段５３０は、エコ運転ではない旨の警告をデータ表示部５０５に表示させる。あるいは、実行手段５３０は、メールサーバ５５０を介して基板処理システムの管理者ＰＣ５６０にエコ運転ではない旨の内容のメールを送信する。あるいは、実行手段５３０は、判定結果に基づいてプロセスレシピに規定されたパラメータ設定値を変更する。あるいは、制御部５０１は、これらの動作を複数組み合わせて実行する。
【００９２】
（判定結果表示工程）
データ表示部５０５は、エコ運転判定工程における判定結果を示すアイコンを表示する。これにより、データ表示部５０５は、基板処理装置１００がエコ運転であるか、あるいは非エコ運転であるかを表示する。具体的に説明すると、データ表示部５０５は、例えば、図４に示すように、算出されたエコレベルを多段階に示すレベルメータ(アイコン)５０５ａを表示する。そして、データ表示部５０５は、レベルメータ(アイコン)５０５ａに表示されたエコレベルに基づいてそれぞれ異なる(エコレベル)アイコン５０５ｂを表示する。データ表示部５０５は、レベルメータ５０５ａに示されるエコレベル「４」に対応させたアイコン「Ｅｃｏ４」を表示する。
【００９３】
また、データ表示部５０５は、アイコン５０５ｂが選択されると、図５に示すような判定結果詳細画面６１０を表示する。データ表示部５０５は、判定結果詳細画面６１０に、エコチェック条件毎の判定結果、エコチェック条件毎のモニタデータ（データ値）、エコ運転指数、エコレベル等を表示する。
【００９４】
（トレースグラフ表示工程）
また、データ表示部５０５は、データ保持部５０３に記憶されたトレースデータに基づいたトレースグラフを表示する。データ表示部５０５は、所定の期間内におけるヒータ２０６の出力に関するグラフ５２０ａ、及び複数のエコチェック条件に係る判定結果から算出されたエコレベルに関するグラフ６２０ｂを表示する。
【００９５】
（９）本実施形態に係る効果
本実施形態によれば、以下に示す１又は複数の効果を奏する。
【００９６】
（ａ）本実施形態の群管理装置５００では、それぞれのエコチェック条件を識別する「ＩＤ」、エコチェック条件の名称を表示する「条件名」、エコ運転であるか否かの判定対象を規定する「データ種別」、エコ運転であるか否かの判定を規定する「判定条件」、データ種別に対応しモニタデータから指定されるデータ値が判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる「条件値」、データ値が判定条件を満たさない場合に行う「所定の動作」の各項目の設定内容が、入力手段５０６を用いて入力され、設定手段５１０が、これらの設定内容を受け付けるように構成されている。そして、判定手段５２０は、基板処理装置１００から受信したモニタデータに基づいて、基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かを、エコチェック条件毎に判定するように構成されている。この構成によれば、判定条件に基づいて、それぞれのエコチェック条件毎のデータ種別に対応するデータ値と条件値とが比較されるので、群管理装置５００は、基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かを監視することが可能となる。また、基板処理システムの作業員は、判定結果に基づいた適切な措置を講ずることが可能となり、基板処理装置１００がエコ運転状態ではないと判定された場合であっても、エコ運転状態への切り替え損ねを防ぎ、基板処理装置１００を速やかにエコ運転状態に移行させることができる。
【００９７】
また、判定手段５２０は、複数のエコチェック条件の判定結果に基づいて基板処理装置１００のエコ運転指数を算出するように構成されている。この構成によれば、群管理装置５００は、基板処理装置１００のエコ運転状態がどの程度進行しているかを総合的に判定することができる。したがって、判定手段５２０は、特定のエコチェック条件に係る判定結果に影響された判定がなされる可能性を低減することができる。したがって、群管理装置５００は、基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かをより正確に監視することが可能となる。
【００９８】
また、判定手段５２０は、基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かを経時的に判定することができるように構成されている。この構成によれば、判定手段５２０は、特定の時刻における判定結果に影響された判定がなされる可能性を低減することができる。したがって、群管理装置５００は、基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かをより正確に監視することが可能となる。
【００９９】
例えば、基板処理装置１００の使用頻度（生産頻度）が高く、アイドル期間が短い場合には、ヒータ温度を一旦低下させた後再度上昇させるよりも、ヒータ温度を保持させておいた方が消費電力の総量が抑えられる場合がある。しかしながら、特定の時刻における判定結果のみで基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かを判定すると、上述の場合のように、ヒータ２０６への電力供給量を保持させた場合でも、結果的には消費電力が抑えられるような場合を見落としてしまう可能性がある。そこで、本実施形態のように、基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かを経時的に判定することができるようになっていれば、上述のような見落としの発生頻度を低減させることが可能となる。
【０１００】
（ｂ）本実施形態の群管理装置５００では、データ値が判定条件を満たさない場合には、制御部５０１は、警告表示、メール送信、プロセスレシピ内のパラメータ設定値の変更等の所定の動作を実行するように構成されている。この構成によれば、基板処理装置１００がエコ運転状態ではないと判断された場合に、制御部５０１は、その旨を基板処理システムの作業員に即座に知らせることが可能である。したがって、基板処理システムの作業員は、判定結果に基づいた適切な措置を講ずることが可能となり、基板処理装置１００がエコ運転状態ではないと判定されても、エコ運転状態への切り替え損ねを防ぎ、基板処理装置１００を速やかにエコ運転状態に移行させ、環境負荷を低減させることができる。
【０１０１】
（ｃ）本実施形態の群管理装置５００では、データ表示部５０５は、図４に示すような、エコレベルを多段階に示すレベルメータ(アイコン)５０５ａ、（エコレベル）アイコン５０５ｂを画面に表示するように構成されている。この構成によれば、群管理装置５００は、エコ運転状態の進行具合を基板処理システムの作業員に認識させることが可能となる。したがって、基板処理システムの作業員は、表示されたエコレベルに基づいた適切な措置を講ずることが可能となる。また、基板処理装置１００がエコ運転状態ではないと判定された場合であっても、基板処理システムの作業員は、レベルメータ(アイコン)５０５ａ、あるいは（エコレベル）アイコン５０５ｂの表示内容により、エコ運転状態への切り替え損ねを防ぎ、基板処理装置１００を速やかにエコ運転状態に移行させ、環境負荷を低減させることができる。また、エコ運転指数を簡略化したエコレベルがデータ表示部５０５に表示されることにより、基板処理システムの作業員は、基板処理装置１００の状態を認識しやすくなる。
【０１０２】
また、データ表示部５０５は、画面に表示されたアイコン５０５ｂが選択されると、判定結果の詳細画面６１０を表示するように構成されている。判定結果詳細画面６１０には、エコチェック条件毎の判定結果、モニタデータから指定された比較対象としてのデータ値、エコ運転指数の具体的数値、エコレベル等が表示される。この構成によれば、基板処理システムの作業員は、判定結果詳細画面６１０から判定結果の詳細を知ることができるので、基板処理装置１００のエコ運転指数、エコレベルを向上させ、環境負荷を低減させるためのより適切な措置を講ずることが可能となる。
【０１０３】
また、データ表示部５０５は、データ保持部５０３に記憶されたトレースデータに基づいて、モニタデータとエコレベルとを重ね合わせたトレースグラフを表示するように構成されている。例えば、データ表示部５０５は、図６に示すような、ヒータ出力のグラフ６２０ａとエコレベルのグラフ６２０ｂとを、時間軸を揃えて重ね合わせたトレースグラフ６２０を表示するように構成されている。この構成によれば、基板処理システムの作業員は、取得したモニタデータとエコレベルとを比較しながら認識することができるので、エコ運転状態ではない箇所を容易に特定し、環境負荷改善箇所を明確にすることができる。これにより、基板処理装置１００がエコ運転状態ではないと判定された場合であっても、環境負荷改善箇所に基づいた適切な措置を講じて基板処理装置１００を速やかにエコ運転状態に移行させることができる。また、基板処理装置１００エコ運転状態であると判定された場合であっても、さらに環境負荷を改善する適切な措置を講ずることにより、基板処理装置１００のエコ運転指数、エコレベルをより一層向上させ、環境負荷をより低減させることができる。
【０１０４】
＜本発明の第１の実施形態の変形例＞
以下に、本発明の第１の実施形態の変形例について説明する。本変形例は、エコ運転状態であるか否かの判定を基板処理装置１００内で行うことができるように構成されている点が、第１の実施形態とは異なる。具体的には、主制御部２３９が、上述したエコ運転監視プログラムをデータ保持部２３９ａから読み出し、上述の第１の実施形態における設定手段、判定手段、実行手段を実現することにより、基板処理装置用コントローラ２４０が、上述の第１の実施形態における設定手段、判定手段、実行手段として機能するように構成されている。エコチェック条件は、入力手段２４０ｂを用いて入力されるように構成されている。また、データ表示部２４０ａは、上述の第１の実施形態における表示手段として機能するように構成されている。
【０１０５】
本変形例の基板処理装置１００では、基板処理装置用コントローラ２４０が、基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かを判定するように構成されている。この構成によれば、群管理装置５００を備える必要がないので、基板処理システムの設置面積を低減させることが可能となる。また、工程内における装置数が低減されるので、基板処理システムの消費電力を低減させることが可能となる。
【０１０６】
＜本発明の第２の実施形態＞
以下に、本発明の第２の実施形態について説明する。第２の実施形態は、エコ運転であるか否かの判定を基板処理装置１００内で行うことができるように構成されている点と基板処理装置用コントローラ２４０内に切り替え制御部を設け、電力供給ラインの切り替えにより代替エネルギーによる省エネ運転を行うように構成されている点が、第１の実施形態とは異なる。具体的には、先ず主制御部２３９が、上述したエコ運転監視プログラムをデータ保持部２３９ａから読み出し、設定手段、判定手段、実行手段を少なくとも実現することにより、基板処理装置用コントローラ２４０が、上述の第１の実施形態における設定手段、判定手段、実行手段として機能するように構成されている。エコチェック条件は、入力手段２４０ｂを用いて入力されるように構成されている。データ表示部２４０ａは、上述の第１の実施形態における表示手段として機能するように構成されている。尚、主制御部２３９が、蓄電監視プログラムをデータ保持部２３９ａから読み出し、前記基板処理装置用コントローラ２４０内に後述する切り替え制御部を実現するように構成されている。
【０１０７】
第２の実施形態にて実行される(基板処理装置用コントローラ２４０で実行される)エコ運転監視プログラム自体は、第１の実施形態と同様である。但し、蓄電監視プログラムを実行して切り替え制御部を実現する構成が、第１の実施形態と異なる。ここでは、第１の実施形態と異なる点を中心に簡潔に説明する。
【０１０８】
図１１は、本発明の第２の実施形態に係る基板処理装置１００と基板処理装置１００に接続される発電ユニットとしての補助発電システム３００との概略構成図である。第２の実施形態における基板処理装置内コントローラ２４０は、第１の実施形態における基板処理装置内コントローラ２４０と基本的には同じ構成である。本実施の形態によれば、エコ運転監視プログラムが基板処理装置内コントローラ２４０で実行される他、蓄電監視プログラムが基板処理装置用コントローラ２４０で実行されることにより、上記補助発電システム３００から電力を供給するライン(第２電力供給ライン)１２と商用電力を供給するライン(第１電力供給ライン)１１とを切り替える切り替え制御部３３６が、基板処理装置内コントローラ２４０に実現されている。
【０１０９】
まず、第２の実施形態におけるエコ運転監視プログラムに関して説明する。ここで、図１０は、本発明の第２の実施形態における、エコチェック条件の設定内容の一覧を例示する図である。
【０１１０】
（設定手段）
第２の実施形態において、主制御部２３９により実現される設定手段は、図３に示される設定手段と同じ構成である。第２の実施形態における設定手段は、図１０に示すようにデータ表示部２４０ａに表示されるよう構成されている。図１０に示す設定手段は、図３に示す設定手段と同様に、それぞれのエコチェック条件を識別する「ＩＤ」、エコチェック条件の名称を表示する「条件名」、エコ運転であるか否かの判定対象を規定する「データ種別」、エコ運転であるか否かの判定を規定する「判定条件」、データ種別に対応しモニタデータから指定されるデータ値が判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる「条件値」、データ値が前記判定条件に基づいて比較した結果に応じて行われる「所定の動作」の各項目の設定情報が、入力手段２４０ｂを用いて入力されるように構成される。入力されたエコチェック条件の各項目は、エコチェック条件毎に互いに関連付けられてデータ保持部２３９ａに記憶される。尚、図３と同じエコチェック条件については説明を省略する。
【０１１１】
ここで、図１０で示すエコチェック条件の具体例について、以下で説明する。まず、ＩＤが「１０１」で示された「バッテリ蓄電量チェック」について説明する。「バッテリ蓄電量チェック」では、基板処理装置１００が電源を供給されている間(シャットダウンして装置停止している間以外の間)において、バッテリの蓄電量が所定の判定条件を満たすか否かがチェックされる。「バッテリ蓄電量チェック」では、エコ運転の判定対象として、「データ種別」に規定された「蓄電量」に相当するモニタデータが判定対象のデータ値として指定される。「判定条件」として規定された「条件値未満」は、バッテリの蓄電量が条件値未満であることがエコ運転の条件として規定されている。「条件値」として規定された「１００％」は、エコ運転であるか否かを実際にチェックする際にバッテリに蓄電できる最大電力量に対して比較される値である。この場合、蓄電量が最大電力量「１００％」に達しているか判定される。また、ＩＤが「１０４」で示された「ＩＤＬＥモード時、バッテリ蓄電量チェック」やＩＤが「１０５」で示された「ＲＵＮモード時、バッテリ蓄電量チェック」についても同様に、バッテリ内の蓄電量が蓄電できる最大電力量か否か判定される。「ＩＤＬＥモード時、バッテリ蓄電量チェック」では、ＩＤＬＥ(アイドル)期間中にのみ判定(チェック)され、「ＲＵＮモード時、バッテリ蓄電量チェック」では、ＲＵＮ(レシピ実行)中に、成膜ステップ以外で判定(チェック)される。次に、ＩＤが「１０２」で示された「ＩＤＬＥモード時、省エネ運転」について説明する。「データ種別」に規定された「イベント」に相当するイベントデータが判定対象のデータとして指定される。よって、「ＩＤＬＥモード時、省エネ運転」では、ＩＤＬＥ(アイドル)期間中に、所定の判定条件を満たす所定のイベントが発生したか否かがチェックされる。「判定条件」として規定された「ＯＮ」は、省エネ運転を示す所定のイベントの発生を示すデータ、即ち電力供給ラインの切り替えを示すイベントデータが省エネ運転の条件として規定されていることを示す。「条件値」は規定されないので「―」が表示されている。また、ＩＤが「１０３」で示された「ＲＵＮモード時、省エネ運転」についても同様に、ＲＵＮ(レシピ実行)中に、成膜ステップ以外で、所定の判定条件を満たす省エネ運転を示す所定のデータが発生したか否かがチェックされる。
【０１１２】
（判定手段）
主制御部２３９により実現される判定手段は、データ保持部２３９ａに記憶されたデータのうち、エコチェック条件毎のデータ種別に対応したデータ値と条件値とを比較し、データ値が判定条件を満たすか否かの判定を行うように構成されている。また、判定手段は、モニタデータ等のデータを取得した時間におけるエコ運転状態だけでなく、同一のエコチェック条件に関し、所定の期間内の複数の判定結果に基づき、基板処理装置１００がエコ運転状態であるか否かを経時的に判定することができるように少なくとも構成されている。更に、判定手段は、エコチェック条件に応じて所定のイベントデータの発生有無により判定を行うように構成されている。
【０１１３】
（実行手段）
実行手段は、データ値が判定条件に基づいて比較した結果に応じて、図１０に示す設定手段に設定されている所定の動作を実行するように構成されている。具体的には、例えば、「条件値」で規定されるデータ値が判定条件を満たさない場合に、所定の動作を実行するように構成されている。
【０１１４】
上述の「所定の動作」としては、第１の実施の形態と以下のように同じものを例示することができる。第１の例としては、図１０にも示されるように、エコ運転ではない（非エコ運転である）旨の警告がデータ表示部２４０ａに表示される。第２の例としては、図示しないメールサーバを介して、例えば、基板処理システムの管理者ＰＣにメールが送信される。第３の例としては、プロセスレシピに規定された各種のパラメータ設定値が変更される。あるいは、これら第１〜第３の例を複数組み合わせた動作が実行される。
【０１１５】
また、本実施形態(第２の実施形態)のように、第1の実施形態と異なり、後述するような基板処理装置用コントローラ２４０内に切り替え制御部を設け、電力供給ラインの切り替えにより省エネ運転を行う場合、「条件値」で規定されるデータ(イベントデータ)が判定条件を満たしたら(発生したら)「所定の動作」を実行するように構成しても良い。例えば、電力供給ラインの切り替えが行われていれば(電力供給ラインの切り替えを示すイベントデータが発生していれば)、省エネ運転である旨のエコマーク(アイコン等)をデータ表示部２４０ａに表示されるように構成しても良い。
【０１１６】
尚、上記設定手段、判定手段、実行手段等を含むエコ運転監視プログラムにより実現される各種工程(エコ運転判定工程等)については、第1の実施形態と同様であるので、説明は省略する。
【０１１７】
次に、図１１を用いて、第１電力供給ライン１１、第２電力供給ライン１２が接続される切り替え制御部３３６の周辺構成を含め、本実施形態に係る基板処理装置１００及び補助発電システム３００の構成について説明する。
【０１１８】
図１１に示すとおり、電力供給を受けて動作する基板処理装置１００の備える切り替え制御部３３６には、例えば半導体装置製造工場の設備側から電力を供給する第１電力供給ライン１１と、燃料電池３１１によって発電された電力を供給する第２電力供給ライン１２とが接続されている。半導体装置製造工場の設備側から供給される電力としては、例えば発電所から供給される商用交流電力等がある。第２電力供給ライン１２には、例えば燃料電池３１１を備える補助発電システム３００が接続されている。
【０１１９】
補助発電システム３００は、燃料発電部としての燃料電池ユニット３１０と、水蒸気発生部としての水蒸気発生装置３２０ｓと、水蒸気発電部としての蒸気発電ユニット３２０と、を備えている。
【０１２０】
燃料電池ユニット３１０は、燃料電池３１１のほか、例えば燃料電池３１１に供給する水素含有ガスを天然ガス等から得る改質装置や、燃料電池３１１に酸素含有ガスを含む空気を供給する空気供給装置、排熱・排水回収装置等（いずれも図示せず）を備えている。燃料電池３１１は、水素ガス（Ｈ２）等の水素含有ガスと、酸素（Ｏ２）ガスや一酸化炭素（ＣＯ）ガス等の酸素含有ガスを燃焼させて、例えば直流電力を発電するように構成される。また、燃料電池ユニット３１０は、得られた電力を第２電力供給ライン１２へと送電するように構成される。発電時に発生した排熱や水（Ｈ２Ｏ）は、排熱・排水回収装置により回収され、水蒸気発生装置３３０へと供給するように構成される。
【０１２１】
水蒸気発生装置３３０は、例えば水循環装置や熱交換装置等（いずれも図示せず）を備え、燃料電池ユニット３１０で発生した水と排熱とを利用して水蒸気を発生させるように構成される。また、水蒸気発生装置３３０は、発生させた水蒸気を蒸気発電ユニット３２０へと供給するように構成される。
【０１２２】
蒸気発電ユニット３２０は、例えば図示しない蒸気タービン等を備え、水蒸気発生装置３３０で発生させた水蒸気を利用して、例えば直流電力を発電するように構成される。また、蒸気発電ユニット３２０は、得られた電力を、燃料電池ユニット３１０で得られた電力とともに、第２電力供給ライン１２へと送電するように構成される。
【０１２３】
このように、本実施形態に係る補助発電システム３００では、水蒸気発生装置３３０及び蒸気発電ユニット３２０によって、燃料電池ユニット３１０で生じた水及び排熱をさらに有効活用している。また、補助発電システム３００は、基板処理装置１００の近傍への設置が可能であるから、送電による電力損失を抑制できる。これにより、例えば発電時に発生する排熱の利用があまり進んでおらず、送電による電力損失も大きい商用電源等に比べ、補助発電システム３００のエネルギー効率を高めることができる。また、燃料電池ユニット３１０も蒸気発電ユニット３２０もともに、商用電源等と異なり、発電時にＣＯ２やＮＯｘ等の大気汚染物質を大量に発生させることもない。
【０１２４】
第１電力供給ライン１１及び第２電力供給ライン１２からそれぞれ電力供給を受ける基板処理装置１００は、処理炉２０２及び上述の各部構成（図示せず）と、蓄電部としてのバッテリ３４７と、制御装置としての基板処理装置用コントローラ２４０に含まれる切り替え制御部３３６とを備えている。切り替え制御部３３６には、第１電力供給ライン１１及び第２電力供給ライン１２がそれぞれ接続されている。バッテリ３４７は、第２電力供給ライン１２上に設けられ、第２電力供給ライン１２は、バッテリ３４７を介して切り替え制御部３３６に接続される。
【０１２５】
バッテリ３４７は、補助発電システム３００が備える燃料電池ユニット３１０により発電された電力と、蒸気発電ユニット３２０により発電された電力とを蓄電するように構成される。切り替え制御部３３６は、第１電力供給ライン１１と、バッテリ３４７を介する第２電力供給ライン１２との切り替えを行うように構成される。切り替え制御部３３６の切り替えにより第１電力供給ライン１１又は第２電力供給ライン１２から供給された電力は、装置内電力供給ライン１３によって処理炉２０２をはじめとする基板処理装置１００の各部へと供給される。
【０１２６】
なお、第１電力供給ライン１１から基板処理装置１００へと供給される電力は、例えば商用電源等からの交流電力であり、第２電力供給ライン１２から基板処理装置１００へと供給される電力は、例えばバッテリ３４７を介する直流電力である。基板処理装置１００は、第１電力供給ライン１１からの交流電力の一部又は全部を、図示しないインバータを介して直流電力に変換したうえで、装置内電力供給ライン１３から基板処理装置１００の各部へと供給するように構成されていてもよい。また、第２電力供給ライン１２からの直流電力の一部又は全部を、図示しないインバータを介して交流電力に変換したうえで、装置内電力供給ライン１３から基板処理装置１００の各部へと供給するように構成されていてもよい。
【０１２７】
このように、本実施形態に係る基板処理装置１００は、第１電力供給ライン１１によって商用電力の供給を受けると共に、第２電力供給ライン１２によって燃料電池３１１で発電された電力の供給を受けるように構成されている。これにより、技術的な信頼性や安定性を有する商用電力を利用して基板処理装置１００の安定的な稼働を確保しつつ、燃料電池３１１で発電された電力を利用して基板処理装置１００における商用電力の消費を抑えることができる。
【０１２８】
また、本実施形態に係る基板処理装置１００は、補助発電システム３００により発電された電力を蓄電するバッテリ３４７を備えている。これにより、補助発電システム３００により発電された余剰電力を蓄電することができ、電力の無駄を低減することができる。また、補助発電システム３００の始動から安定稼働までに時間を要する場合や、基板処理装置１００で必要とされる電力が一時的に補助発電システム３００の発電量を超えてしまう場合であっても、バッテリ３４７から電力を得ることができ、基板処理装置１００への電力供給をいっそう安定化することができる。
【０１２９】
本実施形態(第２の実施形態)によれば、以下に示す１つ又は複数の効果を奏する。
【０１３０】
（ａ）本実施形態によれば、基板処理装置１００は、商用電力を供給する第１電力供給ライン１１と、燃料電池３１１によって発電された電力を供給する第２電力供給ライン１２と、の切り替えを行う切り替え制御部３３６を備える。これにより、技術的な信頼性や安定性を有する商用電力を利用して基板処理装置１００の安定的な稼働を確保しつつ、燃料電池３１１で発電された電力を利用して基板処理装置１００における商用電力の消費を抑えることができる。
【０１３１】
（ｂ）また、第２電力供給ライン１２に接続される補助発電システム３００は、燃料電池３１１により水素含有ガスと酸素含有ガスとを燃焼させて発電する燃料電池ユニット３１０を備える。これにより、商用電源等と異なり、発電時にＣＯ２やＮＯｘ等の大気汚染物質を大量に発生させることがなく、多大な電力が消費される基板処理装置１００において、地球温暖化防止に貢献することが可能である。
【０１３２】
（ｃ）また、補助発電システム３００は、燃料電池ユニット３１０で発生した水と排熱とを利用して水蒸気を発生させる水蒸気発生装置３３０と、水蒸気発生装置３３０で発生させた水蒸気を利用して発電する蒸気発電ユニット３２０と、をさらに備える。これにより、燃料電池ユニット３１０で生じた水及び排熱を利用して、補助発電システム３００全体の発電量をさらに増すことができ、補助発電システム３００のエネルギー効率をいっそう高めることができる。燃料電池ユニット３１０で生じた水と廃熱とを利用しているので、発電時にＣＯ２やＮＯｘ等の大気汚染物質を大量に発生させることもない。
【０１３３】
（ｄ）また、本実施形態によれば、基板処理装置１００は、燃料電池ユニット３１０により発電された電力と、蒸気発電ユニット３２０により発電された電力と、を蓄電するバッテリ３４７を備える。これにより、補助発電システム３００により発電された余剰電力を蓄電することができ、電力の無駄を低減することができる。また、補助発電システム３００が安定稼働するまでの間や、基板処理装置１００において大容量の電力が必要な場合であっても、基板処理装置１００への電力供給を安定的に行うことができる。
【０１３４】
（ｅ）また、本実施形態によれば、第１の実施形態とほぼ同等の設定手段、判定手段、実行手段等を含むエコ運転監視プログラムが実行されているので、第１の実施形態における効果を奏することができるのはいうまでもない。
【０１３５】
（ｆ）また、切り替え制御部が動作(第１電力供給ライン１１から第２電力供給ライン１２への切り替えを示すデータが発生)した場合、省エネ運転に切り替わったことを示すエコマークアイコンが、操作画面に表示されるので、更に、補助発電システム３００で発生された電力(第２電力供給ライン１２の電力)に関するエコ運転の度合いが把握できる。
【０１３６】
図１２は、本発明の第２の実施形態における第１の具体例を示す。本実施形態に係る制御装置２４０、特に、切り替え制御部３３６に実現される監視部(図示しない)の動作について、図１２を参照しながら説明する。図１２は、本実施形態に係る切り替え制御部３３６による電力供給ラインの切り替えのフロー図である。なお、基板処理装置内コントローラとしての制御装置２４０の動作は、半導体装置の製造工程の一工程として行われる。
【０１３７】
制御装置２４０の備えるデータ保持部としての記憶部２３９ｅから、蓄電監視プログラムやデータベースプログラムが読み出されて、主制御部２３９に実行されることにより、図示しない監視部やデータベース部が起動する。
【０１３８】
図１２に示すように、蓄電監視プログラムを実行することにより起動された監視部は、バッテリ３４７の監視を開始し、蓄電量が所定値以上かどうかを判断する（Ｓ２１０）。所定値以上のときには（ＹＥＳへ）、第１電力供給ライン１１から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ２２１）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、切り替え制御部３３６に第２電力供給ライン１２への切り替えを行わせる（Ｓ２３１）。供給中でなければ（ＮＯ）、第２電力供給ライン１２からの供給を継続させる。
【０１３９】
また、バッテリ３４７の蓄電量が所定値未満のときには（Ｓ２１０→ＮＯへ）、第２電力供給ライン１２から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ２２２）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、切り替え制御部３３６に第１電力供給ライン１１への切り替えを行わせる（Ｓ２３２）。供給中でなければ（ＮＯ）、第１電力供給ライン１１からの供給を継続させる。以上により、制御装置２４０による電力供給切り替えの動作を終了する。尚、本実施の形態において、図１０に示す設定手段により条件値「１００％」と規定されているので、上記所定値は、バッテリ３３６ｂに蓄電できる最大電力量である。従い、所定値は、設定手段の「条件値」の設定値により、変更することができる。
【０１４０】
また、監視部は、第２電力供給ライン１２からの電力供給中、電力消費量を監視し、データベース部に格納する。また、監視部は、所定のタイミングで係る電力消費量を読み出し、データ表示部２４０ａにそれぞれ表示させるように構成しても良い。
【０１４１】
本実施形態(第１の具体例)においても、上述の第２の実施形態と同様の効果を奏するのはいうまでもない。
【０１４２】
（ａ）また、本実施形態によれば、切り替え制御部３３６は、バッテリ３４７に蓄電された蓄電量を監視し、蓄電量が基板処理装置１００を動作させるのに充分な電力量以上の場合、第２電力供給ライン１２から電力供給を行わせ、蓄電量が基板処理装置１００を動作させるのに充分な電力量未満の場合、第１電力供給ライン１１から電力供給を行わせるように構成される。これにより、バッテリ３４７の蓄電量が不充分であるときは、商用電力を基板処理装置１００に供給することで、基板処理装置１００の安定的な稼働をより確実に確保することができる。また、バッテリ３４７の蓄電量が充分であるときは、燃料電池３１１からの電力を使用することで、基板処理装置１００における商用電力の消費を抑えることができる。
【０１４３】
（ｂ）また、本実施形態によれば、切り替え制御部３３６は、燃料電池３１１からの電力の消費量を監視し、データベース部に読み出し可能に格納し、また、この電力消費量をデータ表示部２４０ａ等に表示させる。これにより、商用電力の消費をどれだけ低減できたかがわかる。
【０１４４】
（ｃ）また、本実施形態によれば、蓄電監視プログラムより、切り替え制御部３３６が第１電力供給ラインから第２の電力供給ラインに切り替えたときに、この切り替えイベントを、図示しない共有メモリを介して主制御部２３９の設定手段に送信し、判定手段がこのイベントデータにより省エネ運転をしていると判断して、実行手段がデータ表示部２４０ａ等に省エネ運転を示すアイコン(エコマークアイコン)を表示させるように構成してもよい。これにより、基板処理装置１００がエコ運転（商用電力の消費を低減していること）を行っているかの監視が可能である。
【０１４５】
（ｄ）また、本実施形態によれば、第１の実施形態とほぼ同等の設定手段、判定手段、実行手段等を含むエコ運転監視プログラムが実行されているので、第１の実施形態における各効果も奏することができるのはいうまでもない。
【０１４６】
（ｅ）更に、第１電力供給ライン１１から第２電力供給ライン１２への切り替えを示すデータが発生した場合、省エネ運転に切り替わったことを示すエコマークアイコンが、操作画面に表示されるので、補助発電システム３００で発生された電力(第２電力供給ライン１２の電力)に関するエコ運転の度合い(レベル)が把握できる。
【０１４７】
図１３は、本発明の第２の実施形態における第２の具体例を示す。ここで、基板処理装置１００は、例えばＩＤＬＥモードやＲＵＮモードなどの複数の装置状態を有している。このような個々の装置状態において、基板処理装置１００が消費する電力量は一定ではない。一方で、上述のように、補助発電システム３００においては発電量の上限に制約が生じる場合がある。
【０１４８】
そこで、本実施形態(第２の具体例)においては、制御装置２４０が備える切り替え制御部３３６が、基板処理装置１００の装置状態に応じて電力供給ライン１１，１２の切り替えを行う。本実施形態に係る制御装置２４０は、それ以外の点については上述の実施形態(第１の具体例)と同様の構成を備える。以下、本実施形態に係る制御装置２４０の動作について説明する。図１３は、本実施形態に係る切り替え制御部による電力供給ラインの切り替えのフロー図である。なお、制御装置の動作は、半導体装置の製造工程の一工程として行われる。
【０１４９】
本実施形態に係る切り替え制御部３３６は、主制御部２３９に実現される図示しない遷移指示部が、基板処理装置１００を所定の装置状態に遷移させるごとに、前記遷移指示部から、装置状態の情報を受け取るように構成されている。係る情報のやり取りは、例えば制御装置２４０が備える図示しない共有メモリを介してなされる。
【０１５０】
図１３に示すように、切り替え制御部３３６は、基板処理装置１００の装置状態がＩＤＬＥモードかどうかを判断する（Ｓ３１０）。ＩＤＬＥモードのときには（ＹＥＳへ）、第１電力供給ライン１１から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ３２１）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、第２電力供給ライン１２への切り替えを行う（Ｓ３３１）。供給中でなければ（ＮＯ）、第２電力供給ライン１２からの供給を継続する。
【０１５１】
また、ＩＤＬＥモードではないときには（Ｓ３１０→ＮＯへ）、第２電力供給ライン１２から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ３２２）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、第１電力供給ライン１１への切り替えを行う（Ｓ３３２）。供給中でなければ（ＮＯ）、第１電力供給ライン１１からの供給を継続する。以上により、本実施形態に係る制御装置２４０による電力供給切り替えの動作を終了する。
【０１５２】
上述のように、基板処理装置１００においては、基板処理装置１００の安定稼働の必要性から、基板処理を行っていない時間帯は基板処理装置１００をＩＤＬＥモードとし、電力供給を継続している。よって、上記のように少なくともＩＤＬＥモードとなっている間、第２電力供給ライン１２からの電力供給を行わせることで、基板処理装置１００における商用電力の消費を抑制することができる。
【０１５３】
また、基板処理装置１００がＩＤＬＥモードのときには、上述のように、例えばヒータ２０６への電力供給が停止されており、ＲＵＮモードのときなどと比較して、基板処理装置１００における電力消費量は低く抑えられている。また、ウエハ移載機構等の搬送機構などが原点位置で駆動停止しているなど各部の動作も少ないため、電力消費量が略一定で、単位時間当たりに必要な電力量の予測も立てやすい。
【０１５４】
したがって、上記のように、ＩＤＬＥモードのときには第２電力供給ライン１２から電力供給を行わせ、電力消費量が多く必要量の予測も立て難いそれ以外のモードのときには第１電力供給ライン１１から電力供給を行わせることで、基板処理装置１００の安定的な稼働をより確実に確保しつつ、基板処理装置１００における商用電力の消費を抑えることができる。
【０１５５】
なお、上述の切り替え制御部３３６のように、本実施形態に係る切り替え制御部にバッテリ３４７の監視機能を付与した場合、基板処理装置１００の一層の安定稼働を図ることができ、また、基板処理装置１００における商用電力の消費の抑制がいっそう容易となる。
【０１５６】
また、本実施形態によれば、エコ運手監視プログラムが実行されているので、第１の実施形態における各効果も奏することができるのはいうまでもない。
よって、本実施形態によれば、ＩＤＬＥモードへの移行を検知して、切り替え制御部３３６が第１電力供給ラインから第２の電力供給ラインに切り替えたときに、この切り替えイベントを、図示しない共有メモリを介して主制御部２３９の設定手段に送信し、判定手段がこのイベントデータにより省エネ運転をしていると判断して、実行手段がデータ表示部２４０ａ等に省エネ運転を示すアイコン(エコマークアイコン)を表示させるように構成されている。これにより、基板処理装置１００がエコ運転（商用電力の消費を低減していること）を行っているかの監視が可能である。
更に、切り替え制御部が動作(第１電力供給ライン１１から第２電力供給ライン１２への切り替えを示すデータが発生)した場合、省エネ運転に切り替わったことを示すエコマークアイコンが、操作画面に表示されるので、補助発電システム３００で発生された電力(第２電力供給ライン１２の電力)に関するエコ運転の度合い(レベル)が把握できる。
【０１５７】
図１４は、本発明の第２の実施形態における第３の具体例を示す。
【０１５８】
基板処理装置１００では、例えばＲＵＮモード中に、成膜ステップ等を含む基板処理工程が実施される。このとき、基板処理の内容によっては、所定のステップ、例えば成膜ステップの継続時間が長時間に及ぶ場合がある。一方で、上述のように、発電量の上限に制約があるなどの理由から、補助発電システム３００においては電力供給の継続時間に制限が生じる場合がある。
【０１５９】
そこで、本実施形態においては、制御装置２４０が備える切り替え制御部２３９が、実施中のステップに応じて電力供給ライン１１，１２の切り替えを行う。本実施形態に係る制御装置２４０は、それ以外の点については上述の実施形態(第２の具体例)と同様の構成を備える。以下、本実施形態に係る制御装置２４０の動作について説明する。図１４は、本実施形態に係る切り替え制御部３３６による電力供給ラインの切り替えのフロー図である。なお、制御装置の動作は、半導体装置の製造工程の一工程として行われる。
【０１６０】
本実施形態に係る切り替え制御部３３６は、例えばスイッチングハブを介して各種制御部から、実施中のステップの情報を受け取る。係る情報のやり取りは、例えば制御装置２４０が備える図示しない共有メモリを介してなされる。
【０１６１】
図１４に示すように、切り替え制御部は、例えば成膜ステップ以外のステップを実施中かどうか判断する（Ｓ４１０）。成膜ステップ以外のステップを実施中のときには（ＹＥＳへ）、第１電力供給ライン１１から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ４２１）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、第２電力供給ライン１２への切り替えを行う（Ｓ４３１）。供給中でなければ（ＮＯ）、第２電力供給ライン１２からの供給を継続する。
【０１６２】
また、成膜ステップを実施中のときには（Ｓ４１０→ＮＯへ）、第２電力供給ライン１２から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ４２２）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、第１電力供給ライン１１への切り替えを行う（Ｓ４３２）。供給中でなければ（ＮＯ）、第１電力供給ライン１１からの供給を継続する。以上により、本実施形態に係る制御装置による電力供給切り替えの動作を終了する。
【０１６３】
上述のように、基板処理工程においては、酸素（Ｏ２）ガスや窒素（Ｎ２）ガス等を拡散させてウエハ１００に酸化膜や窒化膜等の成膜をするなど、基板処理の内容によっては、例えば成膜ステップの継続時間が長時間に及ぶ場合がある。また、成膜ステップは、他のステップに比べて基板処理特性や歩留まりに与える影響が大きく重要度が高い。
【０１６４】
したがって、上記のように、処理室２０１内を所定条件に維持して例えばウエハ２００に成膜を行う成膜ステップでは、長時間の電力供給に適した第１電力供給ライン１１から電力供給を行わせることで、基板処理装置１００の安定的な稼働をより確実に確保することができる。また、それ以外の各ステップでは、第２電力供給ライン１２から電力供給を行わせることで、商用電力の消費を抑えることができる。
【０１６５】
なお、切り替え制御部３３６のように、本実施形態に係る切り替え制御部にバッテリ３４７の監視機能を付与した場合、基板処理装置１００の一層の安定稼働を図ることができ、また、基板処理装置１００における商用電力の消費の抑制がいっそう容易となる。
【０１６６】
また、本実施形態によれば、エコ運手監視プログラムが実行されているので、第１の実施形態における効果を奏することができるのはいうまでもない。よって、本実施形態によれば、ＲＵＮモード中に、成膜ステップ以外のステップに移行したことを検知した切り替え制御部３３６が、第１電力供給ラインから第２の電力供給ラインに切り替えたときに、この切り替えイベントを、図示しない共有メモリを介して主制御部２３９の設定手段に送信し、判定手段がこのイベントデータにより省エネ運転をしていると判断して、実行手段がデータ表示部２４０ａ等に省エネ運転を示すアイコンを表示させるように構成されている。これにより、基板処理装置１００がエコ運転（商用電力の消費を低減していること）を行っているかの監視が可能である。更に、切り替え制御部が動作(第１電力供給ライン１１から第２電力供給ライン１２への切り替えを示すデータが発生)した場合、省エネ運転に切り替わったことを示すエコマークアイコンが、操作画面に表示されるので、補助発電システム３００で発生された電力(第２電力供給ライン１２の電力)に関するエコ運転の度合い(レベル)が把握できる。
【０１６７】
図１５は、本発明の第２の実施形態における第４の具体例を示す。図１５に示すように、本実施の形態(第４の具体例)は、第１の具体例と第２の具体例を組み合わせた内容となっている。以下、本実施形態に係る制御装置の動作について説明する。図１５は、本実施形態に係る切り替え制御部３３６による電力供給ラインの切り替えのフロー図である。なお、制御装置の動作は、半導体装置の製造工程の一工程として行われる。
【０１６８】
図１５に示すように、切り替え制御部３３６は、基板処理装置１００の装置状態がＩＤＬＥモードかどうかを判断する（Ｓ５１０）。ＩＤＬＥモードのとき（ＹＥＳへ）、蓄電監視プログラムを実行することにより起動された監視部は、バッテリ３４７の監視を実行し、蓄電量が所定値以上かどうかを判断する（Ｓ５２０）。所定値以上のときには（ＹＥＳへ）、第１電力供給ライン１１から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ５３１）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、切り替え制御部３３６に第２電力供給ライン１２への切り替えを行わせる（Ｓ５４１）。供給中でなければ（ＮＯ）、第２電力供給ライン１２からの供給を継続させる。
【０１６９】
また、バッテリ３４７の蓄電量が所定値未満のときには（Ｓ５２０→ＮＯへ）、第２電力供給ライン１２から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ５３２）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、切り替え制御部２３６に第１電力供給ライン１１への切り替えを行わせる（Ｓ５４２）。供給中でなければ（ＮＯ）、第１電力供給ライン１１からの供給を継続させる。
【０１７０】
また、ＩＤＬＥモードではないときには（Ｓ５１０→ＮＯへ）、第２電力供給ライン１２から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ５３２）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、第１電力供給ライン１１への切り替えを行う（Ｓ５４２）。供給中でなければ（ＮＯ）、第１電力供給ライン１１からの供給を継続する。以上により、本実施形態に係る制御装置による電力供給切り替えの動作を終了する。
【０１７１】
また、監視部は、第２電力供給ライン１２からの電力供給中、電力消費量を監視し、データベース部に格納する。監視部は、所定のタイミングで係る電力消費量を読み出し、データ表示部２４０ａにそれぞれ表示させる。
【０１７２】
本実施形態(第４の具体例)においては、上述したそれぞれの実施形態(第１の具体例と第２の具体例)と同様の効果を奏する。
【０１７３】
（ａ）また、本実施形態によれば、切り替え制御部３３６は、バッテリ３４７に蓄電された蓄電量を監視し、蓄電量が基板処理装置１００を動作させるのに充分な電力量以上の場合、第２電力供給ライン１２から電力供給を行わせ、蓄電量が基板処理装置１００を動作させるのに充分な電力量未満の場合、第１電力供給ライン１１から電力供給を行わせるように構成される。これにより、バッテリ３４７の蓄電量が不充分であるときは、商用電力を基板処理装置１００に供給することで、基板処理装置１００の安定的な稼働をより確実に確保することができる。また、バッテリ３４７の蓄電量が充分であるときは、燃料電池３１１からの電力を使用することで、基板処理装置１００における商用電力の消費を抑えることができる。
【０１７４】
（ｂ）また、本実施形態によれば、切り替え制御部３３６は、燃料電池３１１からの電力の消費量を監視し、データベース部に読み出し可能に格納し、また、この電力消費量をデータ表示部２４０ａ等に表示させる。これにより、商用電力の消費をどれだけ低減できたかがわかる。
【０１７５】
（ｃ）また、本実施形態によれば、蓄電監視プログラムより、切り替え制御部３３６が第１電力供給ラインから第２の電力供給ラインに切り替えたときに、この切り替えイベントを、図示しない共有メモリを介して主制御部２３９の設定手段に送信し、判定手段がこのイベントデータによりエコ運転をしていると判断して、実行手段がデータ表示部２４０ａ等にエコ運転を示すアイコンを表示させるように構成してもよい。これにより、基板処理装置１００がエコ運転（商用電力の消費を低減していること）を行っているかの監視が可能である。
【０１７６】
（ｄ）また、本実施形態によれば、第１の実施形態とほぼ同等の設定手段、判定手段、実行手段等を含むエコ運転監視プログラムが実行されているので、第１の実施形態における各効果も奏することができるのはいうまでもない。更に、エコ運転監視プログラムにより、切り替え制御部３３６が動作(第１電力供給ライン１１から第２電力供給ライン１２への切り替えを示すデータが発生)した場合、省エネ運転に切り替わったことを示すエコマークアイコンが、操作画面に表示されるので、補助発電システム３００で発生された電力(第２電力供給ライン１２の電力)に関するエコ運転の度合い(レベル)が把握できる。
【０１７７】
（ｅ）上述のように、基板処理装置１００においては、基板処理装置１００の安定稼働の必要性から、基板処理を行っていない時間帯は基板処理装置１００をＩＤＬＥモードとし、電力供給を継続している。よって、上記のように少なくともＩＤＬＥモードとなっている間、蓄電監視プログラムを実行して蓄電量を監視して、所定の条件(例えば、設定手段における『条件値』)を満たしていたら、第２電力供給ライン１２からの電力供給(省エネ運転)を行わせることで、基板処理装置１００における商用電力の消費を抑制することができる。
【０１７８】
（ｆ）また、基板処理装置１００がＩＤＬＥモードのときには、上述のように、例えばヒータ２０６への電力供給が停止されており、ＲＵＮモードのときなどと比較して、基板処理装置１００における電力消費量は低く抑えられている。また、ウェハ移載機構などの搬送機構などが原点位置で駆動停止しているなど各部の動作も少ないため、電力消費量が略一定で、単位時間当たりに必要な電力量の予測も立てやすい。したがって、上記のように、ＩＤＬＥモードのときに、蓄電監視プログラムを実行して所定の条件を満たせば、第２電力供給ライン１２から電力供給を行わせることで、基板処理装置１００の安定的な稼働をより確実に確保しつつ、基板処理装置１００における商用電力の消費を抑えることができる。
【０１７９】
図１６は、本発明の第２の実施形態における第５の具体例を示す。図１６に示すように、本実施の形態(第５の具体例)は、第１の具体例と第３の具体例を組み合わせた内容となっている。以下、本実施形態に係る制御装置の動作について説明する。図１６は、本実施形態に係る切り替え制御部による電力供給ラインの切り替えのフロー図である。なお、制御装置の動作は、半導体装置の製造工程の一工程として行われる。
【０１８０】
本実施形態に係る切り替え制御部３３６は、例えばスイッチングハブを介して各種制御部から、実施中のステップの情報を受け取る。係る情報のやり取りは、例えば制御装置が備える図示しない共有メモリを介してなされる。
【０１８１】
図１６に示すように、切り替え制御部３３６は、例えば成膜ステップ以外のステップを実施中かどうか判断する（Ｓ６１０）。成膜ステップ以外のステップを実施中のときには（ＹＥＳへ）、蓄電監視プログラムを実行することにより起動された図示しない監視部は、バッテリ３４７の監視を開始し、蓄電量が所定値以上かどうかを判断する（Ｓ６２０）。所定値以上のときには（ＹＥＳへ）、第１電力供給ライン１１から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ６３１）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、切り替え制御部３３６に第２電力供給ライン１２への切り替えを行わせる（Ｓ６４１）。供給中でなければ（ＮＯ）、第２電力供給ライン１２からの供給を継続させる。
【０１８２】
また、バッテリ３４７の蓄電量が所定値未満のときには（Ｓ６２０→ＮＯへ）、第２電力供給ライン１２から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ６３２）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、切り替え制御部３３６に第１電力供給ライン１１への切り替えを行わせる（Ｓ６４２）。供給中でなければ（ＮＯ）、第１電力供給ライン１１からの供給を継続させる。
【０１８３】
また、成膜ステップを実施中のときには（Ｓ６１０→ＮＯへ）、第２電力供給ライン１２から電力を供給中かどうか判断する（Ｓ６３２）。供給中であれば（ＹＥＳへ）、第１電力供給ライン１１への切り替えを行う（Ｓ６４２）。供給中でなければ（ＮＯ）、第１電力供給ライン１１からの供給を継続する。以上により、本実施形態に係る制御装置による電力供給切り替えの動作を終了する。
【０１８４】
また、監視部は、第２電力供給ライン１２からの電力供給中、電力消費量を監視し、データベース部に格納する。また、監視部は、所定のタイミングで係る電力消費量を読み出し、データ表示部２４０ａにそれぞれ表示させるように構成しても良い。
【０１８５】
本実施形態(第５の具体例)において、上述したそれぞれの実施形態(第１の具体例と第３の具体例)と同様の効果を奏する。
【０１８６】
（ａ）また、本実施形態によれば、切り替え制御部３３６は、バッテリ３４７に蓄電された蓄電量を監視し、蓄電量が基板処理装置１００を動作させるのに充分な電力量以上の場合、第２電力供給ライン１２から電力供給を行わせ、蓄電量が基板処理装置１００を動作させるのに充分な電力量未満の場合、第１電力供給ライン１１から電力供給を行わせるように構成される。これにより、バッテリ３４７の蓄電量が不充分であるときは、商用電力を基板処理装置１００に供給することで、基板処理装置１００の安定的な稼働をより確実に確保することができる。また、バッテリ３４７の蓄電量が充分であるときは、燃料電池３１１からの電力を使用することで、基板処理装置１００における商用電力の消費を抑えることができる。
【０１８７】
（ｂ）また、本実施形態によれば、切り替え制御部３３６は、燃料電池３１１からの電力の消費量を監視し、データベース部に読み出し可能に格納し、また、この電力消費量をデータ表示部２４０ａ等に表示させる。これにより、商用電力の消費をどれだけ低減できたかがわかる。
【０１８８】
（ｃ）上述のように、基板処理工程においては、酸素（Ｏ２）ガスや窒素（Ｎ２）ガス等を拡散させてウエハ１００に酸化膜や窒化膜等の成膜をするなど、基板処理の内容によっては、例えば成膜ステップの継続時間が長時間に及ぶ場合がある。また、成膜ステップは、他のステップに比べて基板処理特性や歩留まりに与える影響が大きく重要度が高い。したがって、上記のように、処理室２０１内を所定条件に維持して例えばウエハ２００に成膜を行う成膜ステップでは、長時間の電力供給に適した第１電力供給ライン１１から電力供給を行わせることで、基板処理装置１００の安定的な稼働をより確実に確保することができる。また、それ以外の各ステップでは、蓄電監視プログラムを実行して蓄電量を監視して、所定の条件(例えば、設定手段における『条件値』)を満たしていたら、第２電力供給ライン１２から電力供給を行わせることで、商用電力の消費を抑えることができる。
【０１８９】
（ｄ）また、本実施形態によれば、第１の実施形態とほぼ同等の設定手段、判定手段、実行手段等を含むエコ運転監視プログラムが実行されているので、第１の実施形態における各効果も奏することができるのはいうまでもない。更に、このエコ運転監視プログラムにより、切り替え制御部３３６が動作(第１電力供給ライン１１から第２電力供給ライン１２への切り替えを示すデータが発生)した場合、省エネ運転に切り替わったことを示すエコマークアイコンが、操作画面に表示されるので、補助発電システム３００で発生された電力(第２電力供給ライン１２の電力)に関するエコ運転の度合い(レベル)が把握できる。
【０１９０】
本発明の第２の実施形態における第６の具体例は、第１の具体例と第２の具体例と第３の具体例を組み合わせた内容である。以下、本実施形態に係る制御装置の動作について説明する。
【０１９１】
切り替え制御部３３６は、基板処理装置１００の装置状態がＩＤＬＥモードかどうかを判断する。ＩＤＬＥモードのとき、蓄電監視プログラムを実行することによりバッテリ３４７の監視を開始し、蓄電量が所定値以上かどうかを判断する。所定値以上のときには、第１電力供給ライン１１から電力を供給中かどうか判断する。供給中であれば、切り替え制御部３３６に第２電力供給ライン１２への切り替えを行わせる。供給中でなければ、第２電力供給ライン１２からの供給を継続させる。
【０１９２】
また、バッテリ３４７の蓄電量が所定値未満のときには、第２電力供給ライン１２から電力を供給中かどうか判断する。供給中であれば、切り替え制御部３３６に第１電力供給ライン１１への切り替えを行わせる。供給中でなければ、第１電力供給ライン１１からの供給を継続させる。
【０１９３】
また、ＩＤＬＥモードではないとき、切り替え制御部３３６は、成膜ステップ以外のステップを実施中かどうか判断する。成膜ステップ以外のステップを実施中のときには、蓄電監視プログラムを実行することによりバッテリ３４７の監視を開始し、蓄電量が所定値以上かどうかを判断する。所定値以上のときには、第１電力供給ライン１１から電力を供給中かどうか判断する。供給中であれば、切り替え制御部３３６に第２電力供給ライン１２への切り替えを行わせる。供給中でなければ、第２電力供給ライン１２からの供給を継続させる。
【０１９４】
また、バッテリ３４７の蓄電量が所定値未満のときには、第２電力供給ライン１２から電力を供給中かどうか判断する。供給中であれば、切り替え制御部３３６に第１電力供給ライン１１への切り替えを行わせる。供給中でなければ、第１電力供給ライン１１からの供給を継続させる。
【０１９５】
また、成膜ステップを実施中のときには、第２電力供給ライン１２から電力を供給中かどうか判断する。供給中であれば、第１電力供給ライン１１への切り替えを行う。供給中でなければ、第１電力供給ライン１１からの供給を継続する。以上により、本実施形態に係る制御装置による電力供給切り替えの動作を終了する。
【０１９６】
本実施の形態(第６の具体例)によれば、第１の具体例と第２の具体例と第３の具体例のそれぞれで上述した効果を奏する。
【０１９７】
上述の本発明の第２の実施形態(第１から第６までのそれぞれの具体例)では、燃料電池ユニット３１０は、天然ガスの改質装置や空気供給装置を備え、天然ガスや空気から、水素含有ガスと酸素含有ガスとをそれぞれ得ることにしたが、基板処理装置でＨ２ガスやＯ２ガスを使用するような場合には、これらのＨ２ガス源やＯ２ガス源を燃料電池ユニット３１０においても用いるようにしてもよい。特に、例えばキャリアガスとしてほとんど未反応の状態で、常時、Ｈ２ガスやＯ２ガスを処理室内へと供給・排気して基板処理装置を運用しているような場合には、基板処理装置の排気側から燃料電池ユニットへとＨ２ガスやＯ２ガスを取り込むことで、さらなる資源の有効活用が可能となる。また、燃料電池ユニットにて改質装置等の構成を省くことができ、燃料電池ユニットをさらに小型化することが可能となる。
【０１９８】
上述の本発明の第２の実施形態(第１から第６までのそれぞれの具体例)では、エコ運転監視プログラムと蓄電監視プログラムのそれぞれを実行させることにより、省エネ運転への移行(基板処理装置１００への電力供給を商用電力から補助発電システム３００で発生された電力への切り替え)を表示させるだけでなく、その省エネ運転におけるエコ運転状態(エコレベル)の把握が可能である。例えば、省エネ運転への切り替えを示すイベントデータとエコ運転状態を示すデータとして設定された複数のモニタデータによりエコ運転指数を算出することにより、エコ運転（商用電力の消費を低減していること）の状態を把握することができる。
【０１９９】
＜本発明の第２の実施形態の変形例＞
以下に、本発明の第２の実施形態の変形例について説明する。本変形例は、データ保持部５０３にエコ運転監視プログラムと蓄電監視プログラムを少なくとも保持しておき、制御部５０１によりそれぞれのプログラムが実行されることにより実現される。具体的には、制御部５０１が、起動されると、上述したエコ運転監視プログラムや蓄電監視プログラムをデータ保持部５０３から読み出し、上述の第２の実施形態における設定手段、判定手段、実行手段を実現することにより、群管理装置５００が、上述の第１の実施形態における設定手段、判定手段、実行手段として機能するように構成されている。また、群管理装置５００が、蓄電監視プログラムが実行されると、切り替え制御部３３６により電力供給ラインの切り替え制御ができるように構成されている。尚、エコチェック条件は、入力手段５０６を用いて入力されるように構成されている。
【０２００】
また、発電ユニット３００として本実施の形態における構成に限定されず、例えば、後述するように、駆動手段の動力を利用して発電する発電ユニットを設けてもよい。
【０２０１】
＜本発明のその他の実施形態＞
本発明は、基板処理装置１００と群管理装置５００とが同じフロア（同じクリーンルーム内）に配置される場合に限定されない。例えば、基板処理装置１００をクリーンルーム内に配置すると共に、群管理装置５００を事務所内（クリーンルームとは異なるフロア）に配置し、レシピの進行状況や基板処理装置１００の状態を遠隔から監視するようにしてもよい。同様に本発明の第１の実施形態や第２の実施形態によれば、補助発電システム(発電ユニット)３００が基板処理装置１００または群管理装置５００と一体となった構成であったが、特に、このような構成には限定されない。次に、本発明の第３の実施形態において、補助発電システム(発電ユニット)３００が基板処理装置１００及び群管理装置５００と別体とした構成について説明する。
【０２０２】
＜本発明の第３の実施形態＞
【０２０３】
図１８は、本発明の第３の実施形態における基板処理システム３６を示す図である。尚、該基板処理システム３６では、前記基板処理装置１と、ＰＣ等の管理装置５４とが同一のフロア（クリーンルーム）内に設置されているものとする。尚、本実施の形態において、エコ運転監視プログラムが実行されることにより実現される上記設定手段、判定手段、実行手段は、上述の第２の実施形態における設定手段、判定手段、実行手段と同じ機能であるのはいうまでもない。また、蓄電監視プログラムの内容についても、第２の実施形態と略同様であるが、第２の実施形態においては基板処理装置コントローラ２４０内に切り替え制御部３３６を設けたのに対して、蓄電監視プログラムを実行する供給電力切り替えコントローラ４９を基板処理装置コントローラ２４０と個別に設けた点が異なる。よって、この構成の違いについて簡潔に以下説明していく。
【０２０４】
図１７は、本発明の第３の実施形態における、エコチェック条件の設定内容の一覧を例示する図である。図１７は、図１０に示す第２の実施形態における、エコチェック条件の設定内容の一覧を例示する図とほぼ同じである。従い、以下簡単な説明に留める。
【０２０５】
（設定手段）
また、ＰＣ等の管理装置５４が備える設定手段は、エコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別、エコ運転であるか否かの判定に係る判定条件、データ種別に対応しモニタデータから指定されるデータ値が判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値、及びデータ値が判定条件を満たさない場合に行う所定の動作（アクション）の設定の入力を受け付けるように構成されている。図１７に示す設定手段には、図３や図１０と同様に、それぞれのエコチェック条件を識別する「ＩＤ」、エコチェック条件の名称を表示する「条件名」、「データ種別」、「判定条件」、「条件値」、「所定の動作」の各項目の設定情報が、入力手段２４０ｂを用いて入力される。入力されたエコチェック条件の各項目は、エコチェック条件毎に互いに関連付けられて図示しないデータ保持部に記憶される。ここで、図１７で示すエコチェック条件の具体例については、図１０と同じであるので、エコチェック条件については説明を省略する。また、判定手段や実行手段については、第1の実施形態や第２の実施形態と同じであるため説明を省略する。更に、エコ運転監視プログラムが実現する各種工程(エコ運転判定工程等)についても、第1の実施形態や第２の実施形態とほぼ同様に適用されるので、説明は省略する。
【０２０６】
次に、図１８に於いて、本実施例の前記基板処理装置１が利用される基板処理システム３６について説明する。
【０２０７】
処理室３７には、ガス排気管３８を介して排気手段である真空ポンプ３９の吸入口４１と接続されている。前記真空ポンプ３９はロータ４２を有し、該ロータ４２が駆動手段であるロータ駆動モータ４３により回転されることで、前記吸入口４１より前記真空ポンプ３９内に吸入された前記処理室３７内のガスが、排出口４４より排出される様になっている。尚、前記ロータ駆動モータ４３は後述する外部電力供給ケーブル５２を介して外部電源（図示せず）が接続されており、該外部電源から電力を供給されることで前記ロータ４２を回転させる様になっている。
【０２０８】
又、前記ロータ４２又は前記ロータ駆動モータ４３には、発電手段である発電ユニット４５が機械的に連結され、前記真空ポンプ３９を駆動する動力の内、余剰の動力によって前記発電ユニット４５の発電モータ（図示せず）を回転し、電力を発生させる。
【０２０９】
該発電ユニット４５は発電電力供給ケーブル４６を介して蓄電電力供給手段であるバッテリ４７と接続され、前記発電ユニット４５によって発生された電力が前記バッテリ４７に蓄電される様になっており、該バッテリ４７はバッテリ電力供給ケーブル４８を介して切替え手段である供給電力切替えコントローラ４９に接続されている。
【０２１０】
又、該供給電力切替えコントローラ４９は電力ケーブル５１を介して前記基板処理装置１に接続され、前記外部電力供給ケーブル５２を介してクリーンルーム外の外部電力供給手段である外部電源（図示せず）に接続されると共に、ＬＡＮ５３等の通信手段を介してＰＣ等の管理装置５４に接続されている。更に、該管理装置５４は、ＬＡＮ５５等の通信手段を介して前記制御装置２７に接続されており、前記管理装置５４より前記制御装置２７及び前記供給電力切替えコントローラ４９に対して指示や設定の入力ができる様になっている。
【０２１１】
前記供給電力切替えコントローラ４９は、供給電力切替え部５６、バッテリ蓄電量監視部５７、電力使用量計測部５８を有している。
【０２１２】
前記供給電力切替え部５６は、前記バッテリ４７と外部電源（図示せず）のどちらから前記基板処理装置１に電力が供給されているかを判断すると共に、電力供給元が前記バッテリ４７であれば外部電源（図示せず）へ、電力供給元が外部電源（図示せず）であれば前記バッテリ４７へと電力供給元を切替える機能を有している。
【０２１３】
前記バッテリ蓄電量監視部５７は、前記バッテリ４７に蓄電された電力の蓄電量を常時監視し、検出した蓄電量を前記管理装置５４に対して出力すると共に、検出した蓄電量が該管理装置５４より予め設定された規定値を上回っているかを判断する機能を有している。
【０２１４】
前記電力使用量計測部５８は、前記バッテリ４７から前記基板処理装置１に供給される電力量を計測し、計測結果を前記管理装置５４に出力する機能を有している。
【０２１５】
前記制御装置２７、或は前記管理装置５４から基板処理の開始が入力されると、記憶部に格納された、各機構部を制御し搬送処理を行う為のシーケンスプログラムが実行される。
【０２１６】
該シーケンスプログラムにより、搬送制御部がポッド搬送装置１１８を駆動させ、ポッド１１０を前記基板処理装置１内に搬入し、該基板処理装置１内に搬入したポッド１１０をポッド格納部及びポッドオープナ１２１に搬送する。
【０２１７】
次に、シーケンスプログラムに従って基板移載機１２５が駆動され、前記載置台１２２に載置されたポッド１１０内のウエハ２００が前記ボート２１７に移載され、最後に前記ボートエレベータ１１５が駆動され、前記ボート２１７が処理炉２０２内に装入される。
【０２１８】
前記ボート２１７の装入後は、圧力、ガス流量、温度を制御しプロセス処理を行う為の制御プログラムが実行される。該制御プログラムが実行されると、前記記憶部に格納されたレシピに従って、前記圧力制御部２３６により前記真空ポンプ３９が制御されることで前記処理室３７内の圧力が制御され、同様に前記流量制御部３３により図示しないガス供給手段が制御されることで前記処理室３７内に供給される処理ガス、パージガスの流量が制御され、前記加熱制御部３４により図示しない加熱手段が制御されることで前記処理室３７内のウエハ２００が加熱され、ウエハ２００に所定の膜が生成される。
【０２１９】
この時のウエハ３の処理条件、処理の進行状態等は表示部に表示されると共に、前記ＬＡＮ５５を介して前記管理装置５４に出力されており、該管理装置５４からもウエハ２００の処理条件、処理の進行状態等の確認が可能となっている。
【０２２０】
ウエハ２００に所定の膜が生成された後、再び各機構部を制御する為のシーケンスプログラムが実行され、上記した搬送処理とは逆の工程を行うことで、処理済みのウエハ２００を収納したポッド１１０が前記基板処理装置１外へと搬出され、基板処理が終了する。
【０２２１】
上記処理では、通常、外部電源（図示せず）より前記供給電力切替えコントローラ４９を介して外部電力が供給されることで前記基板処理装置１が運用されており、プロセス処理に於いては、前記ロータ駆動モータ４３の回転により前記ロータ４２が回転され、該ロータ４２が回転することで前記ガス排気管３８を介して前記処理室３７内のガスが排気され、該処理室３７内の圧力が調整されている。
【０２２２】
前記ロータ駆動モータ４３又は該ロータ駆動モータ４３による前記ロータ４２の回転に伴い、該ロータ４２又は前記ロータ駆動モータ４３と機械的に連結された前記発電ユニット４５の発電モータ（図示せず）が回転し、電力が発生する。即ち、前記真空ポンプ３９を駆動する前記ロータ駆動モータ４３の余剰の動力によって前記発電ユニット４５が駆動され、余剰のエネルギーが電力として回収される。前記発電ユニット４５にて発生した電力は、前記発電電力供給ケーブル４６を介して前記バッテリ４７に蓄電される。
【０２２３】
該バッテリ４７に蓄電された電力の蓄電量は、前記管理装置５４より予め設定された規定値を上回るかどうかが、前記供給電力切替えコントローラ４９の前記バッテリ蓄電量監視部５７により常時監視されており、前記バッテリ４７の蓄電量が規定値を上回ると、前記供給電力切替え部５６により、前記基板処理装置１に供給される電力の供給元が、外部電源（図示せず）から前記バッテリ４７へと切替えられ、該バッテリ４７から前記供給電力切替えコントローラ４９を介して前記基板処理装置１へと電力が供給される。
【０２２４】
該バッテリ４７から前記基板処理装置１へ電力が供給されている状態で、前記バッテリ４７の蓄電量が規定値を下回った場合には、前記供給電力切替え部５６により、前記基板処理装置１に供給される電力の供給元が、前記バッテリ４７から外部電源（図示せず）へと切替えられる。
【０２２５】
又、前記バッテリ４７から前記基板処理装置１へと電力が供給されている状態では、前記電力使用量計測部５８により前記バッテリ４７から供給される電力の使用量が計測されており、計測結果は前記ＬＡＮ５３を介して前記管理装置５４へと出力されている。
【０２２６】
次に、図１９のフローチャートを用い、前記基板処理装置１に対する電力供給元の切替え処理について説明する。尚、図１２と同じ流れであるので説明は簡潔にする。
【０２２７】
ＳＴＥＰ：０１  基板処理の開始後、前記バッテリ蓄電量監視部５７によって前記バッテリ４７の蓄電量が監視され、該バッテリ４７の蓄電量が前記管理装置５４より予め設定された規定値以上であるかが判断される。
【０２２８】
ＳＴＥＰ：０２  ＳＴＥＰ：０１にて前記バッテリ４７の蓄電量が規定値以上であると判断されると、前記供給電力切替え部５６により、前記基板処理装置１に供給される電力の供給元が外部電源（図示せず）であるかが判断され、電力供給元が外部電源（図示せず）ではないと判断されると、前記供給電力切替え部５６により電力供給元が切替えられることなく、再び前記バッテリ蓄電量監視部５７により前記バッテリ４７の蓄電量が監視される。
【０２２９】
ＳＴＥＰ：０３  ＳＴＥＰ：０２にて前記基板処理装置１に供給される電力の供給元が外部電源（図示せず）であると判断されると、前記供給電力切替え部５６により電力の供給元が外部電源（図示せず）から前記バッテリ４７へと切替えられ、再び前記バッテリ蓄電量監視部５７により前記バッテリ４７の蓄電量が監視される。
【０２３０】
ＳＴＥＰ：０４  ＳＴＥＰ：０１にて該バッテリ４７の蓄電量が規定値未満であると判断されると、前記供給電力切替え部５６により、前記基板処理装置１に供給される電力の供給元が前記バッテリ４７であるかが判断され、電力供給元が該バッテリ４７ではないと判断されると、前記供給電力切替え部５６により電力供給元が切替えられることなく、再び前記バッテリ蓄電量監視部５７により前記バッテリ４７の蓄電量が監視される。
【０２３１】
ＳＴＥＰ：０５  ＳＴＥＰ：０４にて前記基板処理装置１に供給される電力の供給元が前記バッテリ４７であると判断されると、前記供給電力切替え部５６により電力の供給元が前記バッテリ４７から外部電源（図示せず）へと切替えられ、再び前記バッテリ蓄電量監視部５７により前記バッテリ４７の蓄電量が監視される。
【０２３２】
上記ＳＴＥＰ：０１〜ＳＴＥＰ：０５の処理は、本実施例によらず、基板処理が終了し、前記基板処理装置１に処理対象となる基板が存在しない状態で繰返される様にしてもよい。尚、基板処理にかかる蓄電量を予め計測しておき、その蓄電量をはるかに越えたときに、基板処理で前記バッテリ４７から電力を供給する様にしてもよい。
【０２３３】
上述の様に、本実施例では、前記真空ポンプ３９を駆動する前記ロータ駆動モータ４３の余剰動力により発電する前記発電ユニット４５を設け、該発電ユニット４５により発生される電力を前記バッテリ４７に蓄電すると共に、該バッテリ４７に蓄電された電力を用いて前記基板処理装置１を運用する様にした、即ち前記ロータ駆動モータ４３の余剰動力を電力に変換し、再利用する様にしたので、基板処理に於ける省エネルギー化及びＣＯ2 の削減を図ることができ、前記基板処理装置１のランニングコストを低減することができる。
【０２３４】
又、前記電力使用量計測部５８により、前記バッテリ４７から供給された電力の使用量を計測する様にしたので、基板処理の際に外部電源（図示せず）からの電力をどれだけ低減できたのかを実測値で得ることができる。
【０２３５】
尚、本実施例では、前記バッテリ蓄電量監視部５７が前記バッテリ４７の蓄電量を常時監視し、リアルタイムにて該バッテリ４７の蓄電量を検出していたが、前記管理装置５４より設定される規定値を調整し、前記バッテリ４７の蓄電量を一定時間毎に検出する様にしてもよい。
【０２３６】
又、本実施例では、前記バッテリ蓄電量監視部５７により、前記供給電力切替えコントローラ４９内で前記バッテリ４７の蓄電量が規定値を上回るかどうかの判断を行っているが、該供給電力切替えコントローラ４９内で前記バッテリ４７の蓄電量の検出のみを行い、前記管理装置５４にて前記バッテリ４７の蓄電量が規定値を上回るかどうかの判断、供給元切替えの判断を行う様にしてもよい。
【０２３７】
又、本実施例では、前記管理装置５４より蓄電量の規定値が設定され、前記バッテリ蓄電量監視部５７、前記電力使用量計測部５８の検出結果及び計測結果が前記管理装置５４に出力される様になっているが、前記供給電力切替えコントローラ４９に操作部及び表示部を設け、該供給電力切替えコントローラ４９より直接蓄電量の規定値を設定し、蓄電量の検出結果及び使用電力の計測値を前記供給電力切替えコントローラ４９に表示させる様にしてもよい。
【０２３８】
又、本実施例では、前記バッテリ蓄電量監視部５７により、前記供給電力切替えコントローラ４９内で前記バッテリ４７の蓄電量が規定値を上回るかどうかの判断を行っているが、この規定値を２段階にして(第１規定値と第２規定値を保持して)、前記供給電力切替え部５６により電力供給元が切替えられるように構成しても良い。例えば、前記バッテリ蓄電量監視部５７によりに蓄電された蓄電量が予め設定された第１規定値以上であれば、前記バッテリ４７より前記基板処理装置１に電力を供給し、前記電力量が予め設定された第１規定値未満であって、第２規定値以上であれば、前記基板処理装置１内に処理対象の基板が投入されていない状態で、前記バッテリ４７より前記基板処理装置１に電力を供給し、前記電力量が予め設定された第２規定値未満であれば、前記発電手段により発生された電力を前記バッテリ４７に蓄電するように構成される。尚、電力量が予め設定された第２規定値未満であれば、前記基板処理装置１に供給される電力の供給元が商用電力を供給する電力供給手段(外部電源)となる。
【０２３９】
このような構成によると、前記ロータ駆動モータ４３の余剰動力を電力に変換し、バッテリ４７に蓄電された電力を更に効率よく再利用することができるので、基板処理に於ける省エネルギー化及びＣＯ2 の削減をますます図ることができ、前記基板処理装置１のランニングコストを更に低減することができる。
【０２４０】
上述のような第３の実施形態においても、第２の実施形態と同様に、少なくとも設定手段、判定手段、実行手段等を含むエコ運転監視プログラムと、バッテリに蓄電した蓄電量を監視する蓄電監視プログラムのそれぞれが実行されているので、第２の実施形態における効果と同様な効果を奏する。一例を上げれば、省エネ運転への移行(基板処理装置１への電力供給を商用電力から発電ユニット４５で発生された電力への切り替え)を表示させるだけでなく、その省エネ運転におけるエコ運転状態(エコレベル)の把握が可能である。
【０２４１】
本発明は、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法による成膜処理の他、拡散処理、アニール処理、酸化処理、窒化処理、リソグラフィ処理等の他の基板処理にも好適に適用できる。さらに、本発明は、薄膜形成装置の他、アニール処理装置、酸化処理装置、窒化処理装置、露光装置、塗布装置、乾燥装置、加熱装置等の他の基板処理装置にも好適に適用できる。
【０２４２】
本発明は、本実施形態にかかる半導体製造装置等のような基板を処理する基板処理装置に限らず、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）製造装置等のガラス基板を処理する基板処理装置にも好適に適用できる。
【０２４３】
以上、本発明の実施の形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【０２４４】
＜本発明の好ましい態様＞
以下に本発明の望ましい態様について付記する。
【０２４５】
［付記１］
本発明の第１の態様は、
エコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別に対応するデータ値と、前記データ値の比較対象となる条件値と、前記エコ運転であるか否かの判定に係る判定条件に基づいて比較し、前記データ値と前記条件値とを比較した結果に応じて、所定の動作を実行するエコ運転監視方法である。
【０２４６】
［付記２］
本発明の第２の態様は、
エコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別、前記エコ運転であるか否かの判定に係る判定条件、前記データ種別に対応するデータ値が前記判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値、及び前記データ値が前記判定条件を満たさない場合に行う所定の動作の設定の入力を受け付ける設定手段と、
前記データ値と前記条件値とを前記判定条件に基づいて比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定を行う判定手段と、
を有するエコ運転監視装置である。
【０２４７】
［付記３］
前記データが前記判定条件に基づいて比較した結果に応じて前記所定の動作を実行する実行手段をさらに有することが好ましい。
【０２４８】
［付記４］
また、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定結果を表示する表示手段をさらに有することが好ましい。
【０２４９】
［付記５］
本発明の第３の態様は、
基板を処理する基板処理装置に接続される上位管理装置であって、
前記基板処理装置で生成される、基板処理プロセスの進行状況や前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを前記基板処理装置から受信する通信部と、
前記基板処理装置から受信した前記モニタデータを格納する格納部と、
エコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別、前記エコ運転であるか否かの判定に係る判定条件、前記データ種別に対応し前記モニタデータから指定されるデータ値が前記判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値、及び前記データ値が前記判定条件を満たさない場合に行う所定の動作の設定の入力を受け付ける設定手段と、
前記データ値と前記条件値とを前記判定条件に基づいて比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定を行う判定手段と、
を有する上位管理装置である。
【０２５０】
［付記６］
前記モニタデータは、前記基板を前記基板処理装置の基板保持具に装填してから前記基板収容器から脱装するまでの任意の期間、前記基板の処理に係るプロセスレシピの開始から終了までの任意の期間、又は前記プロセスレシピ内の所定の期間において収集されることが好ましい。
【０２５１】
［付記７］
また、前記データ値が前記判定条件に基づいて比較した結果に応じて前記所定の動作を実行する実行手段をさらに有することが好ましい。
【０２５２】
［付記８］
また、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定結果を表示する表示手段をさらに有することが好ましい。
【０２５３】
［付記９］
また、前記表示手段は、前記判定結果を示すアイコンを表示するように構成されていることが好ましい。
【０２５４】
［付記１０］
また、前記表示手段は、前記データ値が前記判定条件を満たす場合と、前記データ値が前記判定条件を満たさない場合とでそれぞれ異なる前記アイコンを表示するように構成されていることが好ましい。
【０２５５】
［付記１１］
また、前記表示手段は、前記判定結果を示す前記アイコンを前記データ種別毎に表示するとともに、前記データ値が前記判定条件を満たす場合と、前記データ値が前記判定条件を満たさない場合とでそれぞれ異なる前記アイコンを表示するように構成されていることが好ましい。
【０２５６】
［付記１２］
前記表示手段は、前記アイコンが押下されると前記判定結果の詳細を示す画面を表示するように構成されていることが好ましい。
【０２５７】
［付記１３］
また、前記格納部に格納された前記判定結果に基づいて前記基板処理装置のエコレベルを算出し、
前記表示手段は、算出された前記エコレベルを多段階に示すレベルメータを表示するように構成されていることが好ましい。
【０２５８】
［付記１４］
本発明の第４の態様は、
基板を処理する基板処理装置であって、
基板処理プロセスの進行状況や前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを格納する格納部と、
エコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別、前記エコ運転であるか否かの判定に係る判定条件、前記データ種別に対応し前記モニタデータから指定されるデータ値が前記判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値、及び前記データ値が前記判定条件を満たさない場合に行う所定の動作の設定の入力を受け付ける設定手段と、
前記データ値と前記条件値とを前記判定条件に基づいて比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定を行う判定手段と、
を有する基板処理装置である。
【０２５９】
［付記１５］
本発明の第５の態様は、
基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に接続される上位管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記基板処理装置は、
基板処理プロセスの進行状況や前記基板処理装置の状態を示すモニタデータを生成し、
生成した前記モニタデータを前記上位管理装置に送信するように構成され、
前記上位管理装置は、
通信部が、前記モニタデータを前記基板処理装置から受信し、
受信した前記モニタデータを格納部に格納し、
設定手段が、エコ運転であるか否かの判定対象となるデータ種別、前記エコ運転であるか否かの判定に係る判定条件、前記データ種別に対応し前記モニタデータから指定されるデータ値が前記判定条件を満たすか否かを判定する際の比較対象となる条件値、及び前記データ値が前記判定条件を満たさない場合に行う所定の動作の設定の入力を受け付け、
判定手段が、前記データ値と前記条件値とを前記判定条件に基づいて比較し、前記データ値が前記判定条件を満たすか否かの判定を行うように構成されている基板処理システムである。
【０２６０】
［付記１６］
商用電力を供給する第１電力供給ラインと、
燃料電池によって発電された電力を供給する第２電力供給ラインと、
の切り替えを行う切り替え制御部を備える基板処理装置である。
【０２６１】
［付記１７］
前記燃料電池によって発電された電力を蓄電する蓄電部をさらに有するのが好ましい
【０２６２】
［付記１８］
前記第２電力供給ラインには、
前記燃料電池により水素含有ガスと酸素含有ガスとを燃焼させて発電する燃料発電部と、
前記燃料発電部で発生した水と排熱とを利用して水蒸気を発生させる水蒸気発生部と、
前記水蒸気発生部で発生させた前記水蒸気を利用して発電する水蒸気発電部と、
を備える補助発電システムが接続される。
【０２６３】
［付記１９］
前記蓄電部は、
前記燃料発電部により発電された電力と、前記水蒸気発電部により発電された電力と、
を蓄電するように構成されるのが好ましい。
【０２６４】
［付記２０］
前記燃料電池に用いる前記水素含有ガス又は前記酸素含有ガスの少なくともいずれかは、
前記基板処理装置で用いられる水素含有ガス又は酸素含有ガスとガス供給源から供給されるように構成されるのが好ましい。
【０２６５】
［付記２１］
前記切り替え制御部は、
前記蓄電部に蓄電された蓄電量を監視し、
前記蓄電量が前記基板処理装置を動作させるのに十分な電力量以上の場合、前記第２電力供給ラインから電力供給を行わせ、
前記蓄電量が前記基板処理装置を動作させるのに十分な電力量未満の場合、前記第１電力供給ラインから電力供給を行わせるように構成されるのが好ましい。
【０２６６】
［付記２２］
前記基板処理装置は、
保守作業が可能な待機状態と、基板処理を実行する実行中状態と、を少なくとも含む複数の装置状態を有し、
前記切り替え制御部は、
前記装置状態が前記実行中状態のときは、前記第１電力供給ラインから電力供給を行わせ、
前記装置状態が前記待機状態のときは、前記第２電力供給ラインから電力供給を行わせるように構成される。
【０２６７】
［付記２３］
本発明の更に他の様態は、
基板処理装置が備える切り替え制御部により、
商用電力を供給する第１電力供給ラインと、燃料電池によって発電された電力を供給する第２電力供給ラインと、の切り替えを行う基板処理装置の制御方法である。
【０２６８】
［付記２４］
本発明の第６の態様は、
基板を処理する処理室と、該処理室内のガスを排気する排気手段と、該排気手段を駆動する駆動手段とを少なくとも備えた基板処理装置と、
前記駆動手段の動力を利用して発電する発電手段と、該発電手段と商用電力を供給する電力供給手段とのいずれか一方から、前記基板処理装置へ電力を供給する切り替え手段を備えた電力切り替え制御装置と、
を含む基板処理システムである。
【０２６９】
［付記２５］
前記電力切り替え制御装置は、
更に、前記発電手段により発生された電力を蓄電可能な蓄電電力供給手段を備え、
前記蓄電電力供給手段に蓄電された、電力量が予め設定された規定値以上であれば、前記蓄電電力供給手段より前記基板処理装置に電力を供給し、
前記電力量が予め設定された規定値未満であれば、前記発電手段により発生された電力を前記蓄電電力供給手段に蓄電するのが好ましい。
【０２７０】
［付記２６］
前記電力切り替え制御装置は、
更に、前記発電手段により発生された電力を蓄電可能な蓄電電力供給手段を備え、
前記蓄電電力供給手段に蓄電された電力量が予め設定された第１規定値以上であれば、前記蓄電電力供給手段より前記基板処理装置に電力を供給し、
前記電力量が予め設定された第１規定値未満であって、第２規定値以上であれば、前記基板処理装置内に処理対象の基板が投入されていない状態で、前記蓄電電力供給手段より前記基板処理装置に電力を供給し、
前記電力量が予め設定された第２規定値未満であれば、前記発電手段により発生された電力を前記蓄電電力供給手段に蓄電するのが好ましい。
【符号の説明】
【０２７１】
１          
基板処理装置
３６      
基板処理システム
４５      
発電ユニット
４７      
バッテリ
４９      
供給電力切り替えコントローラ(切り替え制御手段)
５４      
管理装置
１００               
基板処理装置
２４０    基板処理装置内コントローラ(制御装置)
３００    発電補助システム
３３６    切り替え制御部
３４７    バッテリ
５００               
群管理装置
５０１               
制御部
【図１】
0005921152.tif 000002
【図２】
0005921152.tif 000003
【図３】
0005921152.tif 000004
【図４】
0005921152.tif 000005
【図５】
0005921152.tif 000006
【図６】
0005921152.tif 000007
【図７】
0005921152.tif 000008
【図８】
0005921152.tif 000009
【図９】
0005921152.tif 000010
【図１０】
0005921152.tif 000011
【図１１】
0005921152.tif 000012
【図１２】
0005921152.tif 000013
【図１３】
0005921152.tif 000014
【図１４】
0005921152.tif 000015
【図１５】
0005921152.tif 000016
【図１６】
0005921152.tif 000017
【図１７】
0005921152.tif 000018
【図１８】
0005921152.tif 000019
【図１９】
0005921152.tif 000020