(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光検知器において単一光子によって生じる電流パルスの形状を修正し、持続時間を減少させるための装置であって、該装置は、光電子増倍管（１１）、前記光電子増倍管（１１）に結合されている高圧電力供給ユニット（１２）、前記光電子増倍管（１１）に結合されているパルス修正回路（１３）、前記パルス修正回路（１３）に結合されている同軸ライン（１４）を備え、前記パルス修正回路（１３）は、第一抵抗Ｒ３（２２）を備え、その第一端子は前記光電子増倍管（１１）のプレート（２１）に接続され、その第二端子は並列タイプのＬＣフィルタ（２５、２６）の第一端子に接続され；
第二抵抗Ｒ２（２７）を備え、その第一端子は、前記並列タイプのＬＣフィルタ（２５、２６）の第一端子に接続され、その第二端子は、前記同軸ライン（１４）に接続され、
第一の直列タイプのＬＣフィルタ（２３、２４）を備え、その第一端子は前記第一抵抗Ｒ３（２２）の第二端子に、その第二端子は前記第二抵抗Ｒ２（２７）の第二端子に接続され、
前記並列タイプのＬＣフィルタ（２５、２６）の第二端子が当該回路のアース基準に接続されることを特徴とする装置。
【請求項２】
“Ｔ”型ＬＣフィルタを更に備え、該ＬＣフィルタは、第一コンデンサＣ３（２８）を備え、その第一端子は、前記第一抵抗Ｒ３（２２）の第二端子に接続され、その第二端子は、第二の直列タイプのＬＣフィルタ（３０、３１）の第一端子に接続され；該ＬＣフィルタは、更に、第二コンデンサＣ５（２９）を備え、第一端子は、前記第二の直列タイプのＬＣフィルタ（３０、３１）の前記第一端子に接続され、第二端子は、前記第二抵抗Ｒ２（２７）の前記第二端子に接続され、前記第二の直列タイプのＬＣフィルタ（３０、３１）の第二端子が当該回路のアースに接続されることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第二の直列タイプのＬＣフィルタが、固定又は可変の容量値を有する種のコンデンサＣ４（３１）を備えることを特徴とする、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記第一抵抗Ｒ３（２２）が１００オームの値を有し、前記第二抵抗Ｒ２（２７）が５０オームの値を有し、前記第一の直列タイプのＬＣフィルタが、１００ｎＨを有するインダクタＬ１（２３）と１０ｐＦを有するコンデンサＣ１（２４）を備え、前記並列タイプのＬＣフィルタが、１００ｎＨを有するインダクタＬ２（２５）と４０ｐＦを有するコンデンサＣ２（２６）を備えることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記パルス修正回路（１３）が、更に、外部コマンドに基づいて前記パルス修正回路（１３）の部品を有効または無効にするよう、又は、処理される複数の信号に依存する非線形性を導くように適合された複数の能動部品を備えることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記光電子増倍管（１１）の基板上に直接搭載されるよう適合された専用のプリント回線を備えていることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
前記光電子増倍管（１１）が、特定の支持部（５３）によって、光電子信号を計測するための装置に機械的に連結され、前記支持部（５３）は、前記光電子増倍管（１１）の温度調節機能を提供する冷却液を循環させるよう適合された導管（５４）を備えることを特徴とする、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記並列タイプのＬＣフィルタが、固定又は可変の容量値を有する種のコンデンサＣ２（２６）を備えることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項９】
前記第一の直列タイプのＬＣフィルタが、固定又は可変の容量値を有する種のコンデンサＣ１（２４）を備えることを特徴とする、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の単一光子の検知に関し、とりわけ、光電子増倍管（photomultiplier）の使用による検知に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気的計数回路のための高速な電流パルスを生成させる単一光子を検知する光電子増倍管の使用に関連する問題は、周知である。
【０００３】
前記問題は、非特許文献１の技術報告に正確に述べられており、より詳しくは、米国Ｂｕｒｌｅ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｔｕｂｅｓ社によるアプリケーション・ノートＴＰ−１３３に述べられている。これらの出版物が詳細に説明しているのは、配線の最適化と、電気増幅器と計数回路に向かう信号のインタフェース・ライン（interface line）のインピーダンスを整合（matching）することの双方により、以下ではＰＭＴと省略するが、光電子増倍管の高い反応速度を用いるにはどうするのが最良であるか、ということである。
【０００４】
しかし、実際には、これらの回路による解決法は、ＰＭＴアノードによって生成されるパルスの質が劣化しないことを保証するのみであり、パルスの形状を修正する可能性については考慮していない。
【０００５】
異なるパルスの形状の効果は、例えば、非特許文献２の６頁、図１１ａ及び図１１ｂで述べられており、それらの図はそれぞれ、通常のＰＭＴ（ＰＭＴモデル９３１及び１Ｐ２８が典型である）のパルスと、改良特性を有し、そのためかなり高価なＰＭＴ（ＰＭＴモデルＲ５６００及びＨ５７８３が典型である）のパルスとについて説明している。
【０００６】
非特許文献３が提案しているのは、パルスの形状の修正を有効にする単一光子の検知のための光電子増倍管の使用の最適化の問題に対する解決法であるが、ＰＭＴによって生成される主要なパルスの下流にのみ作用する。この種の解決法は、アプリケーション・ノートＡＮ５１で述べられるように、ＯＲＴＥＣ８０１社（米国、テネシー州、オークリッジ、サウス・イリノイ通り）、又は、アプリケーション・ノートＲ／Ｐ０９６で述べられるように、ＥＬＥＣＴＲＯＮＴＵＢＥＳ  Ｌｔｄ．社（イギリス国、ブリー通り７ｔａ、ルイスリップ）の機器で用いられている。
【０００７】
先端技術で利用できる解決法の全ては、とても高価な高品質のＰＭＴの使用を伴う。本願で述べられる解決法は、これまでに述べられた技術的問題を、技術的に簡易でコストがかなり低い方法で解決するが、更に、現在用いられている解決法に対して付加的な利点を提供する。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】“Photon Counting using PMT”, chapter 3, paragraph 3.4 (Ed. April 2001) by Hamamatsu Photonics K.K.
【非特許文献２】Becker & Hickl GmnH , (Berlin, Germany) entitled “Detectors for high speed Photon Counting”
【非特許文献３】The journal “Nuclear Instruments and Methods”, N°55−Ed. North Holland Publishing Co., 1967, in the article on p.357-380 by D.A. Gedcke and W. J. McDonald entitled “A Constant Fraction of Pulse Height Trigger for Optimum Time Resolution”
【非特許文献４】Hamamatsu PMT Manual - paragraph 7.3.4, p.186 and 187
【非特許文献５】Application Note R/P096 by the company Electron Tubes Ltd. Ruislip, Bury Street 7TA
【非特許文献６】Application Note AN51, by the company Oak Ridge Inc., 801 South Illinois Ave., Oak Ridge, TN 37831-0895 U.S.A.
【非特許文献７】“PMT Fast-Timing Discriminator” by the company Oak Ridge Inc., South Illinois Ave., Oak Ridge, TN-USA
【非特許文献８】Publication 062-1244-00 Time-Domain Reflectometry Measurements by Tektronix, Inc-Beaverton, Oregon (USA)
【非特許文献９】“Photon Counting using PMT”, −Chapter 6 p.170−Fast-Timing Discriminators, Ed. April 2001 by Hamamatsu Photonics K.K.
【非特許文献１０】PMT manual by Hamamatsu - paragraph 3.3.8, p.73
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本願の主題となる発明は、かなり高価なＰＭＴに典型的な結果を得ることのできる普通の低コストのＰＭＴの使用を可能とし、パルスの上昇と下降の時間が互いにとても近接した信号の生成によって特徴づけられる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
光検知器において複数の単一光子によって生成される電流パルスの形状を修正し、持続時間を低減させるための装置について述べられるが、該装置は、光電子増倍管又はＰＭＴ１１、高圧電力供給ユニット１２、パルス整形回路１３、前記パルス修正回路１３とデジタル計数回路１６を駆動させることが可能なアナログ−デジタル変換回路１５との間の同軸連結ライン１４を備え、前記パルス整形回路１３は、前記ＰＭＴ１１からの出力信号の持続要素（continuous component）を除外し、前記ＰＭＴ１１の電気回路内に存在する、及び／又は、背景ノイズによるいかなる障害（disturbance）もフィルタリングするのに適した電気信号フィルタリング・モジュールとインピーダンス整合モジュール（impedance matching module）とを備えることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明による装置の機能的なブロック図である。
【図２】図２は、パルス修正回路１３の前記回路の好適実施例の配線図である。
【図３】図３は、周知技術による、ＰＭＴプレートとアース（ground）との間に５０オームの抵抗を有する装置（arrangement）における、同軸インタフェース・ライン１６に向かう二つの出力パルスの振幅時間波形（amplitude-time waveforms）である。
【図４】図４は、ＰＭＴプレート抵抗とアースとの間に、本願の主題であるパルス修正回路の挿入を伴う新たな装置における、同軸インタフェース・ライン１６に向かう二つの出力パルスの振幅時間波形である。
【図５】図５は、本発明の主題である機械的な実装（mechanical mounting）の例であって、様々な構成部分が示されている。
【図６ａ】図６ａは、本発明による装置の更なる好適実施例である。
【図６ｂ】図６ｂは、本発明による装置の更なる好適実施例である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下で述べる本発明の好適実施例においては、ＨａｍａｍａｔｓｕＰＭＴ装置モデル１Ｐ２８が用いられたが、該モデルは、市場で利用できる最も安価なＰＭＴの一つである。；しかし、以下で述べられる当該システムにおいては、いかなる他のＰＭＴモデルを用いることも可能であるが、ＨａｍａｍａｔｓｕＰＭＴモデル１Ｐ２８に代えて用いるＰＭＴのモデルの異なる技術的特性によって必要とされるいかなる明白な変更も除く。
【００１３】
周知技術に対する以下の参照文献を記す。：
ａ）非特許文献４であり、該文献は、光子計数器（photon counter）として用いられる高速出力回路について述べている。；
ｂ）非特許文献５であり、該文献は、特定の電力供給電圧によって特徴づけられる、光子計数器として用いられる高速出力回路について述べている。；
ｃ）非特許文献６であり、該文献は、光子計数器のためのＰＭＴ信号の制御機器（control electronics）に必要とされるパフォーマンスと、増幅機器（amplification electronics）に向かう同軸出力ラインのインピーダンス整合回路について述べている。
ｄ）非特許文献７であり、該文献は、光子の計数に関連する複数の問題について詳細に述べ、ブロック図において、ＰＭＴによって生成する複数の信号の形状を修正するための可能な機器について説明している。
【００１４】
本発明の主題となる装置の機能的なブロック図は、付随する図１で説明されており、該図においては、以下の詳細が強調されている。：光線１０を備える入力信号、光子−電子変換を実行するのに適した光電子増倍管又はＰＭＴ１１、高圧電力供給ユニット１２、パルス修正回路１３、前記パルス修正回路１３とデジタル計数器１６を駆動させることが可能なアナログ−デジタル変換回路１５との間にある、同軸連結ライン１４。
【００１５】
前記パルス修正回路１３の好適実施例の配線図を説明する図２を参照すると、以下の構成部分を特定することができる。：
第一端子によって、前記ＰＭＴ１１のプレート２１に、第二端子によって、第一の直列タイプのＬＣフィルタの第一端子と並列タイプのＬＣフィルタの第一端子の双方に接続する第一抵抗Ｒ３・２２。前記第一の直列タイプのＬＣフィルタは、インダクタＬ１・２３と、固定の又は可変の容量値を有する種類のコンデンサＣ１・２４とを備え、前記並列タイプのＬＣフィルタは、インダクタＬ２・２５と、これも固定の又は可変の容量値を持つ種類のコンデンサＣ２・２６とを備える。
【００１６】
前記第一の直列タイプのＬＣフィルタの第二端子は、同軸ライン１４と、第二抵抗Ｒ２・２７の第一端子に接続され、該第二抵抗Ｒ２・２７の第二端子は、前記並列タイプの第一ＬＣフィルタの第一端子に接続され、前記並列タイプの第一ＬＣフィルタの第二端子は、当該回路のアース基準（ground reference）に接続される。
【００１７】
パルス整形回路１３の入力抵抗は、ＰＭＴ１１のプレート２１の下流に見られる抵抗である。；前記第一抵抗Ｒ３・２２は、前記パルス修正回路１３の負荷抵抗を構成し、一方で、前記第二抵抗Ｒ２・２７は、前記同軸ライン１４に向かう前記パルス修正回路１３の出力抵抗を構成する。前記第一及び第二抵抗Ｒ３・２２、Ｒ２・２７は、本発明による装置のインピーダンス整合モジュールを構成する。
【００１８】
付随する図６ａ及び図６ｂを参照すると、前記パルス修正回路１３の２つの更なる好適実施例が説明されており、該実施例は、図２で説明される好適実施例に対して、異なる修正効果を生じるものであり、より多くの構成要素を備える図６ａの実施例においては、より多くの記号が付され、より少ない構成要素を備える図６ｂの実施例においては、より少ない記号が付されている。
【００１９】
図６ｂで示される好適実施例においては、前記第一の直列タイプのＬＣフィルタは存在せず、前記パルス修正回路１３は、前記抵抗Ｒ３・２２とＲ２・２７を備える前記インピーダンス整合モジュールに加えて、前記並列タイプのＬＣフィルタのみを備える。
【００２０】
図６ａで示される好適実施例においては、前記第一の直列タイプのＬＣフィルタに、“Ｔ”型を有するＬＣフィルタが置き換わり、以下を備える。：前記第一抵抗Ｒ３・２２の第二端子に接続される第一端子と、第二の直列タイプのＬＣフィルタの第一端子に接続される第二端子とを有する第一コンデンサＣ３・２８であって、前記第二の直列タイプのＬＣフィルタは、インダクタＬ３・３０と固定又は可変の容量値を有する種類のコンデンサＣ５・３１とを備える。；前記第一コンデンサＣ３・２８の第二端子と、前記第二の直列タイプのＬＣフィルタの第一端子とに接続される第一端子を有する第二コンデンサＣ５・２９であって、前記第二の直列タイプのＬＣフィルタの第二端子は、回路のアースに接続される。
【００２１】
これらの本発明の２つの更なる好適実施例においても、パルス整形回路１３への入力抵抗は、ＰＭＴ１１のプレート２１の下流に見られる抵抗である。；前記第一抵抗Ｒ３・２２は、前記パルス修正回路１３の入力抵抗を構成する一方で、前記第二抵抗Ｒ２・２７は、前記同軸ライン１４に向かう前記パルス修正回路１３の出力抵抗を構成する。
【００２２】
従って、本発明の主題となる装置は、ＰＭＴと、前記ＰＭＴのカソード、アノード、及び中間ダイノード（intermediate dynodes）に電力を供給するのに必要な出力部を備える、調節可能な高圧電力供給ユニットと、パルス修正回路１３とを備える。
【００２３】
前記パルス修正回路１３は、能動部品と受動部品の双方を用いて有利に生産することが可能である。本願では、コストと寿命の点で複数の利点を提供する受動部品に排他的に基づいた好適実施例について述べる。：上記の好適実施例は、非限定例によって引用され、本発明は、能動部品を用いる解決法についても言及するものとして考慮されなくてはならない。例えば、能動部品であれば、外部コマンドに基づいて、本発明による装置の回路部品を有効または無効にするために、用いることが可能であり、又は、処理される複数の信号によって、非線形性を導くために用いることも可能である。
【００２４】
好ましくは、前記抵抗Ｒ２・２７は、その値が、デジタル部１５に入るアナログ−デジタル変換回路に接続するライン１４の特性インピーダンスに対応するが、５０オームの値を有するであろう。
【００２５】
前記直列又は並列タイプのＬＣフィルタは、概して、本発明による装置のフィルタリング・モジュールを構成するが、異なる時間遅延効果によって特徴づけられ、該効果は、構成要素Ｌ１・２３とＣ１・２４とから成る直列共振回路を備える前記第一の直列タイプのＬＣフィルタにとってはより小さく、構成要素Ｌ２・２５とＣ２・２６とから成る並列共振回路を備える前記並列タイプの第一ＬＣフィルタにとってはより大きい。
【００２６】
非特許文献８で述べられているように、前記構成要素の使用によって、パルスの時間応答の大きな修正が可能となり、今回の例において、選択される特定の回路は、並列のＬＣ回路により、上昇値に近い値を呈する傾向にあるパルスの下降時間の大きな減少を可能とし、直列のＬＣ回路によって、パルスの最終部の修正を可能とする。
【００２７】
固定の又は可変の容量値を有する種の、前記コンデンサＣ１・２４及びＣ２・２６の使用によって、本発明の主題となる装置を、用いられる特定のＰＭＴの電気的特性に適合することが可能となり、それによって、出力パルスの特性を最適化する。
【００２８】
本発明は更に、任意の背景光と出力パルスの周波数の増加の双方が、必然的に、入力部において、パルスの周波数に比例して増加する、持続的な電圧要素に導くという事実に関する、先端技術におけるＰＭＴ回路の技術的問題を解決する。前記持続的な電圧が表すのは、望ましくない可変の振幅方向のオフセットであって、該オフセットは、デジタル計数回路１６の駆動に適したアナログ−デジタル変換回路１５において、付加的な補償回路を必要とする。
【００２９】
本発明の主題となる装置は、前記インダクタＬ２・２５の電気的抵抗−数ミリオームの単位である−によって、前記電力供給ユニットのアースに接続され、それによって、任意の背景光と出力パルスの周波数と結び付く持続的要素、及び、ＰＭＴ回路に存在する任意の障害の双方による、全ての信号電圧のドリフトの解除が可能となるが、先端技術の装置に通常適用される容量結合の使用を当てにする必要はない。：前記インダクタＬ２・２５の電気的抵抗は、更に、背景光の効果的なフィルタリングを可能とし、同時に、アナログ−デジタル変換回路１５の限界作用点（threshold work point）、より具体的には、前記アナログ−デジタル変換器１５のパルス整形回路又はパルス整形手段の切替限界値（trigger threshold）を一定に保つ。
【００３０】
付随する図２を参照すると、アノード抵抗Ｒ３・２２が、ＰＭＴ２０のアノードとアースとの間に挿入されているため（インダクタＬ２・２５の、数ミリオームの単位の抵抗は無視する）、アノード電流によってもたらされる電圧信号は、負号を有し、同様に、アノード電流パルスの前縁を有する。：この配置は、例えば、Ｈａｍａｍａｔｓｕ  Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ  Ｋ．Ｋ．による非特許文献９のマニュアルで推奨されている。
【００３１】
本発明による装置のフィルタ・アクションの結果は、直列共振回路及び並列共振回路において、異なる時間にエネルギーを適用することにより、コンデンサＣ１・２４とＣ２・２６の容量に起因して、上昇値に近い値を呈する傾向にあるパルス下降時間における大きな減衰を可能とし、下流のコンパレータ・ステージ（comparator stage）の動作を大きく改善し、製造者によって公表された上昇時間の約５倍に等しい時間において完了する、パルスの符号の反転を達成する。
【００３２】
そのように修正されたパルスからの符号の反転は、デジタル計数回路１６を駆動させることが可能な、アナログ−デジタル変換回路ステージ１５の動作を単純化し、該変換回路ステージ１５は、プリセットの負の限界値に交わる際、前縁の間、動作され、極性が負から正の値に変化する際にリセットされる。
【００３３】
更に、本発明による装置は、非特許文献１０の中でアフターパルスとして定義される、二重パルスの生成を最小化することを助け、最終的には、当該システムの応答動力学（response dynamics）における増加によって、かなり高い最大カウント周波数を可能とする二つの連続するパルスの間のカウント・ブロック時間の最小化を可能とする。
【００３４】
例として、引用したＰＭＴモデルＩＰ２８を用いると、従来の構成においては、前記ブロック時間の持続時間は、約２０ナノ秒に固定されるが、一方で、本発明による装置が用いられると、前記値は、約５ナノ秒まで減少する。
【００３５】
付随する図３及び図４が示すのは、本発明による装置を、ＰＭＴに適用した効果の例である。図３が説明するのは、単色光の、それゆえ等しいエネルギーによって特徴づけられる二つの光子による、従来の構成におけるプレート抵抗上で生産される二つのパルスであるが、当該光子は、異なる軌道で光電陰極上の衝突位置に放出され、従って、異なる皮相電力量（apparent energy）を持つ複数の光電子の放出に対応する。数字３０によって示されるパルスは、より少ない皮相電力量によって生じるパルスである一方で、数字３１によって示されるパルスは、より大きな皮相電力量によって生じるパルスである。図４に示される二つのパルスは、本発明による装置の下流で検知される。それらは、異なる軌道と光電陰極上の衝突位置による、等しいエネルギーの二つの光子によって生じ、数字４０は、より少ない皮相電力量によって生じるパルスを示す一方で、数字４１は、より大きな皮相電力量によって生じるパルスを示す。
【００３６】
付随する図５を参照すると、本発明による装置の好適実施例は、ＰＭＴの完全な実装をもたらし、該実装は、本発明による装置５２と連結し、支持部５３によって光電子信号計測装置に機械的に連結した前記ＰＭＴ１１の本体を備え、該支持部５３は導管５４を備え、該導管を通って冷却液が流れ、前記ＰＭＴの温度を調節する機能を有する。
【００３７】
このようにして、ＰＭＴの作動温度を制御することが可能となり、それによって、当該温度に大きく依存する背景ノイズの変化の望まれない効果を排除する。
【００３８】
記載の構造は、本発明による装置の、サンプルと試薬の双方が約８℃に保たれなければならない、弱い化学発光を測定するための機械への適用において、単純に実装することが可能である。これらの器具においては、流体回路によって冷却水が通常循環し、前記流体回路に導管５４を挿入することは簡易であり、それによって、ＰＭＴ背景ノイズの最小化を保証し、従って、とても弱い複数の信号の測定のための検出感度を得る。
【００３９】
本発明による装置は、好ましくは、専用のプリント回線−配線の物理的長さを最小化するために、ＰＭＴの基板上に直接搭載される−と結合され、本願の主題となる発明の核を構成する革新的な出力回路によって、単一光子の検知の効果としてＰＭＴによって生じるパルスの形状の修正、ゲインの増加、可使時間の増加、広帯域妨害のフィルタリング、インピーダンスのミスマッチによって生じ得る歪みとエコーを避けるための、出力インピーダンスとアナログ−デジタル変換器下流に接続される同軸ライン１４のインピーダンス（通常は５０オーム）との整合を可能とする。
【００４０】
上記のインピーダンス整合と高帯域フィルタリング特性は、更に、ＰＭＴにおけるパルス電流の減少を可能とする。
【００４１】
非限定例によって、仮に、（引用される最新技術の文献で繰り返し述べられるように）用いられるアノード抵抗２２が、５０オームに代えて１００オームに固定されるなら、５０％減少された電流を用いて等しい大きさの電圧パルスを得て、ＰＭＴを保護するために最大電流を限定する結果となり、その可使時間を増加させる、又は、等しい電流で２倍の電圧パルスを得て、次のデジタル計数部への入力部におけるアナログ−デジタル変換回路のより高い精度を得る。
【符号の説明】
【００４２】
１０  光線
１１  ＰＭＴ
１２  高圧電力供給ユニット
１３  パルス修正回路
１４  同軸連結ライン
１５  アナログ−デジタル変換回路
１６  デジタル計数回路
２１  プレート
２２  抵抗
２３  インダクタ
２４  コンデンサ
２５  インダクタ
２６  コンデンサ
２７  抵抗
２８  コンデンサ
２９  コンデンサ
３０  インダクタ
３１  コンデンサ
４０  パルス
４１  パルス
５２  本発明による装置
５３  支持部
５４  導管
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図３】
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