(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の導電線を被覆し漏水進入口を有する絶縁部材が線状に形成され加工装置を囲繞して床面に配設される漏水検知帯と、該一対の導電線の間に流れる電流に基づいて漏水を検出する漏水検出手段とから構成される漏水検知システムにおいて、該漏水検知帯を該床面に固定するための漏水検知帯カバーであって、
該床面に載置した該漏水検知帯の上面から覆い該床面に固定する粘着テープ部材からなり、中央部に該漏水検知帯の線幅よりも幅広に、かつ漏水が浸入可能な網目状に形成された網目状保持領域と、
該網目状保持領域の両端に粘着層を有する粘着領域と、から構成され、
該床面に載置した該漏水検知帯に沿ってその上面に該網目状保持領域を位置付け、該粘着領域の粘着層を該漏水検知帯の両サイドで床面に貼着して該漏水検知帯を該床面に固定する漏水検知帯カバー。
【請求項２】
一対の導電線を被覆し側部漏水進入口を有する絶縁部材が線状に形成され加工装置を囲繞して床面に配設される漏水検知帯と、該一対の導電線の間に流れる電流に基づいて漏水を検出する漏水検出手段とから構成される漏水検知システムにおいて、該漏水検知帯を該床面に固定するための漏水検知帯カバーであって、
該漏水検知帯の幅よりも幅広に形成され露呈する該漏水検知帯の上面に当接して該漏水検知帯を該床面と挟みこむ上面プレートと、
該上面プレートの該床面に対向する面の該漏水検知帯が当接する位置の外側に複数個が離間して配設され且つ該漏水検知帯と同等の厚みで形成され該床面との間に漏水が浸入する隙間を形成する間隔片と、から形成され、
該床面に載置した該漏水検知帯に沿ってその上面に該上面プレートを当接させて該間隔片の底面を該床面に貼着して該漏水検知帯を床面に固定する漏水検知帯カバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、漏水検知帯を配設する際の漏水検知帯カバーに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体及び電子部品の製造するための製造工場には、半導体を加工する加工装置及び電子部品を製造する製造装置等の周囲に漏水検知帯を含む漏水検知システムが設置されている。漏水検知システムは、加工装置等から万一水漏れが発生した場合、漏水検知帯によって加工装置等からの漏水を検知し、作業者に報知する。このような漏水検知システムには、例えば、特許文献１に記載されているような漏水検知帯が用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−０９８１７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、加工装置等の外周の床面に、加工装置等を囲繞して漏水検知帯の大部分を露呈した状態で固定ジグ等を用いて固定すると、作業者が作業する際に漏水検知帯を足先で引っ掛ける可能性がある。すると、漏水検知帯を床面から浮き上がらせてしまい、加工装置等からの漏水を速やかに検知できなくなったり、作業者の作業性が低下したりする可能性がある。
【０００５】
本発明は、漏水検知帯の漏水検知機能を確保しつつ、作業者の作業の妨げにならないように、加工装置等の外周床面に漏水検知帯を固定することができる漏水検知帯カバーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様に従えば、一対の導電線を被覆し漏水進入口を有する絶縁部材が線状に形成され加工装置を囲繞して床面に配設される漏水検知帯と、該一対の導電線の間に流れる電流に基づいて漏水を検出する漏水検出手段とから構成される漏水検知システムにおいて、該漏水検知帯を該床面に固定するための漏水検知帯カバーであって、該床面に載置した該漏水検知帯の上面から覆い該床面に固定する粘着テープ部材からなり、中央部に該漏水検知帯の線幅よりも幅広に、かつ漏水が浸入可能な網目状に形成された網目状保持領域と、該網目状保持領域の両端に粘着層を有する粘着領域と、から構成され、該床面に載置した該漏水検知帯に沿ってその上面に該網目状保持領域を位置付け、該粘着領域の粘着層を該漏水検知帯の両サイドで床面に貼着して該漏水検知帯を該床面に固定する漏水検知帯カバーが提供される。
【０００７】
本発明の第２の態様に従えば、一対の導電線を被覆し側部漏水進入口を有する絶縁部材が線状に形成され加工装置を囲繞して床面に配設される漏水検知帯と、該一対の導電線の間に流れる電流に基づいて漏水を検出する漏水検出手段とから構成される漏水検知システムにおいて、該漏水検知帯を該床面に固定するための漏水検知帯カバーであって、該漏水検知帯の幅よりも幅広に形成され露呈する該漏水検知帯の上面に当接して該漏水検知帯を該床面と挟みこむ上面プレートと、該上面プレートの該床面に対向する面の該漏水検知帯が当接する位置の外側に複数個が離間して配設されかつ該漏水検知帯と同等の厚みで形成され該床面との間に漏水が浸入する隙間を形成する間隔片と、から形成され、該床面に載置した該漏水検知帯に沿ってその上面に該上面プレートを当接させて該間隔片の底面を該床面に貼着して該漏水検知帯を床面に固定する漏水検知帯カバーが提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、漏水検知帯の漏水検知機能を確保しつつ、作業者の作業の妨げにならないように、加工装置等の外周床面に漏水検知帯を固定することができる漏水検知帯カバーを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、加工装置の周囲に配置した漏水検知帯を実施形態１に係る漏水検知帯カバーで覆った例を示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態１に係る漏水検知帯カバーの平面図である。
【図３】図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】図４は、実施形態１に係る漏水検知帯カバーの断面図である。
【図５】図５は、実施形態２に係る漏水検知帯カバーを示す斜視図である。
【図６】図６は、図５のＢ−Ｂ矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、この発明を実施するための形態（以下、実施形態という）につき図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１１】
（実施形態１）
図１は、加工装置の周囲に配置した漏水検知帯を実施形態１に係る漏水検知帯カバーで覆った例を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係る漏水検知帯カバーの平面図である。図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。図４は、実施形態１に係る漏水検知帯カバーの断面図である。図１に示すように、加工装置１００の周囲の床面Ｆには、漏水検知帯カバー１０に覆われた漏水検知帯１が配置されて、加工装置１００を取り囲んでいる。加工装置１００は、例えば、半導体ウエーハを研削したり切削したりする装置であるが、これに限定されるものではない。また、漏水検知帯１が周囲に設けられる装置は加工装置１００に限定されるものではなく、装置内部から水等の液体が漏れ出す可能性のあるものであればよい。
【００１２】
図２に示すように、漏水検知帯１は、一対の導電線１Ｃａ、１Ｃｂを被覆し、漏水進入口１Ｈを有する絶縁部材１Ｉが線状に形成された帯状の部材である。絶縁部材１Ｉは、所々に漏水進入口１Ｈを有している。本実施形態において、絶縁部材１Ｉは、複数の漏水進入口１Ｈを有しているが、漏水進入口１Ｈは少なくとも１個あればよい。図１に示すように、漏水検知帯１は、加工装置１００を囲繞して床面Ｆに配設される。
【００１３】
漏水検知帯１の導電線１Ｃａ、１Ｃｂは、図１に示す、漏水検出手段としての漏水検出装置２に接続されている。加工装置１００から水漏れが発生し、加工装置１００からの漏水が、加工装置１００を囲繞して配設された漏水検知帯１に到達すると、漏水検知帯１の漏水進入口１Ｈから漏水が進入する。この漏水は、漏水検知帯１が有する一対の導電線１Ｃａ、１Ｃｂ間を導通させる。一対の導電線１Ｃａ、１Ｃｂ間が導通すると、両者の間に電流が流れる。漏水検出装置２は、一対の導電線１Ｃａ、１Ｃｂの間に流れる電流を検出した場合、加工装置１００から漏水が発生したとして、その旨を音声又は光等で報知する。このように、漏水検出装置２は、一対の導電線１Ｃａ、１Ｃｂの間に流れる電流に基づいて、漏水を検出する。漏水検知帯１と漏水検出装置２とにより、漏水検知システム３が構成される。
【００１４】
加工装置１００を囲繞して床面Ｆに配設される漏水検知帯１は、漏水検知帯カバー１０によって床面Ｆに固定される。図２に示すように、漏水検知帯カバー１０は、網目状保持領域１１と、粘着領域１２とから構成されている。網目状保持領域１１は、床面Ｆに載置した漏水検知帯１を、その上面から覆い、床面Ｆに固定する粘着テープ部材からなる。網目状保持領域１１は、中央部に漏水検知帯１の線幅よりも幅広に、かつ漏水が浸入可能な網目状に形成されている。漏水検知帯１の上面は、床面Ｆとの対向面とは反対面である。漏水検知帯１の線幅とは、漏水検知帯１の長手方向と直交する方向、かつ一対の導電線１Ｃａ、１Ｃｂが配列される方向である。
【００１５】
図２に示すように、漏水検知帯カバー１０の網目状保持領域１１は、複数の帯状部材１１Ｂが互いに交差した領域である。複数の帯状部材１１Ｂ、１１Ｂの間に形成される開口１１Ｈから、加工装置１００からの漏水が浸入できる。帯状部材１１Ｂは、可撓性及び柔軟性を有する材料、例えば、樹脂又はゴム等の材料で作られている。帯状部材１１Ｂは、図３に示すように、漏水検知帯１と接する側に粘着層１３が設けられた粘着テープ部材である。このように、網目状保持領域１１は、粘着テープ部材としての帯状部材１１Ｂからなる。
【００１６】
網目状保持領域１１の両端には、一対の粘着領域１２が設けられている。それぞれの粘着領域１２、１２は、網目状保持領域１１を形成している複数の帯状部材１１Ｂの両端部に連結されている。このように、複数の帯状部材１１Ｂは、一対の粘着領域１２、１２を接続している。漏水検知帯カバー１０は、例えば、開口部を有さない粘着テープ部材を打ち抜いて網目状保持領域１１がされる。この場合、漏水検知帯カバー１０は、一対の粘着領域１２、１２と複数の帯状部材１１Ｂとが一体で形成される。一対の粘着領域１２、１２は、帯状部材１１Ｂと同様に、可撓性及び柔軟性を有する材料、例えば、樹脂又はゴム等の材料で作られている。一対の粘着領域１２、１２は、図３に示すように、床面Ｆと接する側に粘着層１４が設けられている。このように、一対の粘着領域１２、１２は、帯状部材１１Ｂと同様に、粘着テープ部材である。
【００１７】
漏水検知帯カバー１０は、床面Ｆに載置した漏水検知帯１に沿って、その上面に網目状保持領域１１を位置付け、粘着領域１２の粘着層１３を漏水検知帯１の両サイド（両方の側部側）で床面Ｆに貼着する。このようにして、漏水検知帯カバー１０は、漏水検知帯１を床面Ｆに固定する。
【００１８】
本実施形態において、漏水検知帯カバー１０は、一対の粘着領域１２、１２及びこれらを接続する帯状部材１１Ｂが可撓性を有する柔軟な材料で作られた粘着テープ部材である。このため、粘着層１３、１４の全面が露出した状態であると、粘着層１３、１４同士が貼り付いたりして漏水検知帯カバー１０の取り扱いが困難になる可能性がある。このため、図４に示すように、粘着層１３、１４の表面に離型紙１５を設けることが好ましい。このようにすれば、漏水検知帯カバー１０で漏水検知帯１を覆う前に粘着層１３、１４同士が貼り付く可能性を低減できるので、漏水検知帯カバー１０の取り扱いが容易になる。また、漏水検知帯カバー１０で漏水検知帯１を覆う際には、離型紙１５を粘着層１３、１４から剥がしながら漏水検知帯カバー１０を漏水検知帯１及び床面Ｆに貼り付けることができるので、作業性が向上する。
【００１９】
漏水検知帯カバー１０は、粘着領域１２の粘着層１３が床面Ｆに粘着領域１２を貼着して固定する。漏水検知帯１の両サイドに配置された一対の粘着領域１２、１２は、これらを接続する網目状保持領域１１を介して漏水検知帯１を床面Ｆに固定する。このため、加工装置１００の作業者が漏水検知帯１を足等に引っ掛けて浮き上がらせる可能性を低減することができる。その結果、漏水検知帯１を確実に床面Ｆに設置することができるので、漏水検知帯１は、加工装置１００の内部から床面Ｆに流れ出た漏水を確実に検知することができる。また、安全性も向上する。さらに、加工装置１００等から漏水した場合、導水は速やかに網目状領域の帯状部材１１Ｂを伝わり、開口１１Ｈから漏水検知帯１に到達するため、漏水検知帯１は、加工装置１００からの漏水を検知することができる。このように、漏水検知帯カバー１０は、漏水検知帯１の漏水検知機能を確保しつつ、作業者の作業の妨げにならないように、シンプルな構成で加工装置１００の外周における床面Ｆに漏水検知帯１を固定することができる。
【００２０】
漏水検知帯カバー１０の網目状保持領域１１は、複数の帯状部材１１Ｂが交差し、複数の帯状部材１１Ｂで囲まれる部分の開口１１Ｈが形成されているが、このようなものに限定されない。例えば、漏水検知帯カバー１０は、長方形形状の粘着シートの幅方向（短辺と平行な方向）における中央部分に複数の孔を開口させて網目状保持領域１１としてもよい。また、上記説明において、網目状保持領域１１の帯状部材１１Ｂは、漏水検知帯１側に粘着層１３を有しているが、粘着層１３は必ずしも有している必要はない。
【００２１】
（実施形態２）
図５は、実施形態２に係る漏水検知帯カバーを示す斜視図である。図６は、図５のＢ−Ｂ矢視図である。図５に示すように、本実施形態の漏水検知帯カバー１０ａは、上面プレート１６と、間隔片１７とを含む。本実施形態において、上面プレート１６と、間隔片１７とは、例えば、樹脂で作られている。上面プレート１６及び間隔片１７に樹脂を用いる場合、例えば、少なくとも上面プレート１６にアクリル樹脂を用いることができる。アクリル樹脂は透明度が高いため、図１に示す加工装置１００からの漏水を、上面プレート１６を介して目視で確認できるという利点がある。
【００２２】
図２に示すように、上面プレート１６は、漏水検知帯１の幅よりも幅広に形成され、露呈する漏水検知帯１の上面１Ｐに当接して漏水検知帯１を床面Ｆと挟みこむ。間隔片１７は、図５、図６に示すように、上面プレート１６の床面Ｆに対向する面１６Ｕに取り付けられている。そして、間隔片１７は、上面プレート１６の床面Ｆに対向する面１６Ｕの漏水検知帯１が当接する位置の外側に、複数個が離間して配設されている。間隔片１７は、漏水検知帯１と同等の厚みで形成され、床面Ｆとの間に漏水が浸入する隙間Ｓを形成する。図６に示すように、間隔片１７の底面１７Ｂ、すなわち、間隔片１７の上面プレート１６に取り付けられる面とは反対側の面には、粘着層１８が設けられる。
【００２３】
漏水検知帯カバー１０ａは、床面Ｆに載置した漏水検知帯１に沿ってその上面１Ｐに上面プレート１６を当接させ、間隔片１７の底面１７Ｂを床面Ｆに貼着して、漏水検知帯１を床面Ｆに固定する。上述したように、底面１７Ｂには粘着層１８が設けられているので、間隔片１７の底面１７Ｂを床面Ｆに押し当てると、粘着層１８が間隔片１７と床面Ｆとを貼着する。
【００２４】
このような構造により、漏水検知帯カバー１０ａは、上面プレート１６は床面Ｆに間隔片１７及び粘着層１８を介して貼着されるので、図１に示す加工装置１００の作業者が漏水検知帯１を足等に引っ掛けて浮き上がらせる可能性を低減することができる。その結果、漏水検知帯１を確実に床面Ｆに設置することができるので、漏水検知帯１は、加工装置１００の内部から床面Ｆに流れ出た漏水を確実に検知することができる。また、安全性も向上する。さらに、加工装置１００等から漏水した場合、漏水は上面プレート１６と床面Ｆとの間において、毛細管現象によりが速やかに浸入するので、漏水検知帯１は、漏水を検知することができる。このように、漏水検知帯カバー１０ａは、漏水検知帯１の漏水検知機能を確保しつつ、作業者の作業の妨げにならないように、シンプルな構成で加工装置１００の外周における床面Ｆに漏水検知帯１を固定することができる。
【００２５】
上記説明において、漏水検知帯カバー１０は、一対の粘着領域１２、１２と複数の帯状部材１１Ｂとが一体で形成されるとしたが、漏水検知帯カバー１０はこのようなものに限定されない。例えば、一対の粘着領域１２、１２と複数の帯状部材１１Ｂとを別部材としてもよいし、複数の帯状部材１１Ｂをそれぞれ別個の部材としてもよい。
【００２６】
以上、実施形態１、２について説明したが、上述した内容により本実施形態が限定されるものではない。上述した本実施形態の構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、上述した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。また、本実施形態の要旨を逸脱しない範囲で構成要素の種々の省略、置換及び変更を行うことができる。
【符号の説明】
【００２７】
１  漏水検知帯
１Ｃａ、１Ｃｂ  導電線
１Ｈ  漏水進入口
１Ｉ  絶縁部材
１Ｐ  上面
２  漏水検出装置
３  漏水検知システム
１０、１０ａ  漏水検知帯カバー
１１Ｈ  開口
１１Ｂ  帯状部材
１１  網目状保持領域
１２  粘着領域
１３、１４、１８  粘着層
１５  離型紙
１６  上面プレート
１７  間隔片
１００  加工装置
Ｆ  床面
Ｓ  隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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