(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を形成するための開口端面と、前記開口端面から突出した位置決め突起とを有するハウジングと、
当接突起部及び歯部を含む複数の固定子歯部と、それら歯部にそれぞれ装着された複数のコイルと、前記複数の固定子歯部を連結するヨークとを有し、前記ハウジングに支持された固定子と、
前記固定子のそれら歯部に対向して前記ハウジング内に配置された可動子コアを有し、それら歯部の配列方向に沿って移動可能な可動子とを具備し、
前記複数の固定子歯部は、前記ヨークが当接する板部をそれぞれ有し、前記板部の両端部が前記当接突起部として設けられ、
前記各固定子歯部の前記当接突起部が、前記ハウジングの前記開口端面及び前記位置決め突起に当接してそれら歯部が前記開口を介して前記ハウジング内に挿入されることにより、前記複数のコイルが前記ハウジング内で配列されるように、前記固定子が前記ハウジングに支持される
リニア駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載のリニア駆動装置であって、
長手方向が前記可動子の移動方向に沿うように設けられ、それら当接突起部が前記開口端面及び前記位置決め突起に当接した状態で、前記固定子歯部及び前記位置決め突起を締結するボルトをさらに具備するリニア駆動装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のリニア駆動装置であって、
前記可動子は、前記可動子コアに取り付けられたシャフトを有し、
前記ハウジングは、前記可動子の移動方向で対向する一対の壁を有し、
前記一対の壁のうち少なくとも一方の壁は、前記可動子の前記シャフトを通す穴を有する
リニア駆動装置。
【請求項４】
ハウジングと、前記ハウジングに支持された固定子と、可動子コアを有する可動子とを備えるリニア駆動装置の製造方法であって、
前記ハウジングは、開口を形成するための開口端面と、前記開口端面から突起した位置決め突起とを有し、
前記固定子は、当接突起部及び歯部を含む複数の固定子歯部と、それら歯部にそれぞれ装着された複数のコイルと、前記複数の固定子歯部を連結するヨークとを有し、前記ハウジングに支持されるとともに、前記複数の固定子歯部は、前記ヨークが当接する板部をそれぞれ有し前記板部の両端部が前記当接突起部として設けられるものであり、
前記ハウジング内に、前記可動子コアを配置させるように、前記可動子を前記ハウジングに支持させる工程と、
前記複数のコイルが前記ハウジング内で配列されるように、それら固定子歯部の当接突起部を、前記ハウジングの前記開口端面及び前記位置決め突起に当接させてそれら歯部を前記開口を介して前記ハウジング内に挿入する工程と、
前記複数の固定子歯部を連結するように、それら固定子歯部に前記ヨークを取り付ける工程と
を具備するリニア駆動装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁気的な作用によりリニア駆動を行うリニア駆動装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のリニアモータは、例えばその図１２及び１５に示されるように、固定側である１次側コアとして、櫛形鉄板が積層されて構成された鉄心を備えている。この鉄心の歯群にコイルがそれぞれ取り付けられる。鉄心には結合孔が形成され、この結合孔にボルトが装着される。そして、さらに鉄心に設けられた溝に、押え板を介してキーが嵌合されることによって、１次側コアが形成される（例えば、特許文献１の明細書段落[０００３]参照。）。
【０００３】
また、特許文献１の図６及び７に示された鉄心は、積層された櫛形鉄板が、上記のボルトの代わりとして特殊な形状のクランパでクランプされるようにして構成されている。
【０００４】
特許文献２に記載のリニアモータでは、正８角形の有底の固定子収納ケース内に、１次側となる固定子が収納されている。固定子の外周ヨークと内周ヨークとの間に固定子コイルが配置され、この固定子コイルと内周ヨークとの間に、永久磁石及び可動軸を保持する可動保持体が配置されている（例えば、特許文献２の明細書段落[００１４]、図１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表平１０−１４２１１号公報
【特許文献２】特開２０００−２３６６５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の図１２に示された鉄心の構成によれば、リニアモータの駆動時に、その鉄心において隣接する歯同士に発生する磁束によって、その磁束を横切るように装着されたボルトには、渦電流等の誘導電流が発生する。このような余分な電流の発生により熱損などのエネルギーロスが発生する。
【０００７】
また、特許文献１の図７、１２及び特許文献２に示されたような１次側部材である固定子を図示しないハウジングに収納する場合に、固定子及びそのハウジングの構造によっては、上記した誘導電流が発生しやすくなる場合がある。また、そのように固定子をハウジングに収納する場合に、適切にハウジングに位置決めされていない場合、固定子及び可動子の相対位置の精度が低下し、所期の推力特性が得られなくなる。
【０００８】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、固定子及びハウジングの構造上から発生する誘導電流の発生を抑制することができるとともに、簡易な構成で固定子をハウジングに位置決めすることができるリニア駆動装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明に係るリニア駆動装置は、
開口を形成するための開口端面と、前記開口端面から突出した位置決め突起とを有するハウジングと、
当接突起部及び歯部を含む複数の固定子歯部と、それら歯部にそれぞれ装着された複数のコイルと、前記複数の固定子歯部を連結するヨークとを有し、前記ハウジングに支持された固定子と、
前記固定子のそれら歯部に対向して前記ハウジング内に配置された可動子コアを有し、それら歯部の配列方向に沿って移動可能な可動子とを具備し、
前記各固定子歯部の前記当接突起部が、前記ハウジングの前記開口端面及び前記位置決め突起に当接してそれら歯部が前記開口を介して前記ハウジング内に挿入されることにより、前記複数のコイルが前記ハウジング内で配列されるように、前記固定子が前記ハウジングに支持される。
【００１０】
本発明では、ハウジングの開口端面及び位置決め突起に、コイルが装着された固定子歯部の当接突起部が当接するようにして固定子がハウジングに支持される。すなわち、ハウジングが固定子を支持するために当接突起部が開口端面及び位置決め突起に接触しても、開口端面、位置決め突起及び隣接する固定子歯部により形成される経路に、隣接する固定子歯部及びヨークに形成される磁束が鎖交しないので、その経路における電路の形成が抑制される。したがって、開口端面、位置決め突起及び隣接する固定子歯部により形成される経路での誘導電流の発生を抑制することができる。
【００１１】
また、本発明では、ハウジングに予め位置決め突起が固定子歯部の位置決めのために形成されているので、簡易な構成で固定子をハウジングに位置決めすることができる。
【００１２】
前記リニア駆動装置は、長手方向が前記可動子の移動方向に沿うように設けられ、それら当接突起部が前記開口端面及び前記位置決め突起に当接した状態で、前記固定子歯部及び前記位置決め突起を締結するボルトをさらに具備してもよい。
【００１３】
固定子歯部及び位置決め突起を締結するボルトが、その長手方向が可動子の移動方向に沿うように設けられているので、特に、可動子の移動方向におけるハウジング及び固定子の剛性を高めることができる。したがって、所期の可動子の動きを確保でき、推力特性を向上させることができる。
【００１４】
前記可動子は、前記可動子コアに取り付けられたシャフトを有し、前記ハウジングは、前記可動子の移動方向で対向する一対の壁を有し、前記一対の壁のうち少なくとも一方の壁は、前記可動子の前記シャフトを通す穴を有してもよい。
【００１５】
一般的には、このようなリニアモータのハウジングやフレームは可動子の移動方向に向けて大きな開口が設けられ、装置の組み立て時において、その開口を介して可動子が収納され、その開口にカバーが装着される。これに対して本発明に係るリニア駆動装置では、ハウジングにはカバーが装着されず、その代わり、ハウジングの一対の壁のうち少なくとも一方に、可動子の動力の出力のためにシャフトを通す穴が設けられる。すなわち、本発明に係るハウジングは、一般のハウジングのようなカバーが不要となるので、部品点数を減らすことができ、装置の組み立て精度が向上し、各部品の位置決め精度が向上する。したがって、所期の可動子の動きを確保でき、推力特性を向上させることができる。
【００１６】
また、カバーが不要となるので、本発明に係るハウジングは、従来のハウジングとカバーとが一体的となったモノコック型として用いられ、ハウジングの強度を高めることができる。
【００１７】
本発明に係るリニア駆動装置の製造方法は、
ハウジングと、前記ハウジングに支持された固定子と、可動子コアを有する可動子とを備えるリニア駆動装置の製造方法であって、
開口を形成するための開口端面と、前記開口端面から突起した位置決め突起とを有する前記ハウジング内に、前記可動子コアを配置させるように、前記可動子を前記ハウジングに支持させる工程と、
前記固定子に設けられた前記固定子歯部の歯部にそれぞれ装着されたコイルが前記ハウジング内で配列されるように、それら固定子歯部に設けられた当接突起部を、前記ハウジングの前記開口端面及び前記位置決め突起に当接させてそれら歯部を前記開口を介して前記ハウジング内に挿入する工程と、
前記複数の固定子歯部を連結するように、それら固定子歯部に前記ヨークを取り付ける工程と
を具備する。
【００１８】
本発明では、ハウジングの開口端面及び位置決め突起に、コイルが装着された固定子歯部の当接突起部が当接して歯部が前記開口を介して前記ハウジング内に挿入される。すなわち、ハウジングが固定子を支持するために開口端面及び位置決め突起に固定子歯部の当接突起部が当接しても、開口端面、位置決め突起及び隣接する固定子歯部により形成される経路は、隣接する固定子歯部及びヨークに形成される磁束に鎖交しないので、その経路における電路の形成が抑制される。したがって、開口端面、位置決め突起及び隣接する固定子歯部により形成される経路での誘導電流の発生を抑制することができる。
【００１９】
また、本発明では、ハウジングに予め位置決め突起が固定子歯部の位置決めのために形成されているので、簡易な構成で固定子をハウジングに位置決めすることができる。
【００２０】
なお、可動子をハウジングに支持させる工程、歯部をハウジング内に挿入する工程、及び、歯部にヨークを取り付ける工程の３つの工程の順序は問わないことは言うまでもない。
【発明の効果】
【００２１】
以上、本発明によれば、固定子及びハウジングの構造上から発生する誘導電流の発生を抑制することができるとともに、簡易な構成で固定子をハウジングに位置決めすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るリニア駆動装置を示す正面図である。
【図２】図２は、図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図３は、このリニア駆動装置の平面図（図２においてＹ軸方向で見た図）である。
【図４】図４は、リニア駆動装置の一部の分解斜視図である。
【図５】図５Ａ及びＢは、リニア駆動装置の動作を順に示す図である。
【図６】図６Ａ、は図５Ａで示した固定子コアを示し、図６Ｂはその固定子コアを上方から見た図である。
【図７】図７は、磁束による誘導電流を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【００２４】
[リニア駆動装置の構成]
図１は、本発明の一実施形態に係るリニア駆動装置を示す正面図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ線断面図である。図３は、このリニア駆動装置の平面図（図２においてＹ軸方向で見た図）である。
【００２５】
リニア駆動装置１００は、固定子１及び概略円柱状の可動子３を備える。固定子１及び可動子３は、互いに位置決めされてハウジング２に支持されている。図１は、可動子３の移動方向（Ｚ軸方向）で見た図である。固定子１は、固定子コア１１及び１２を有する。
【００２６】
図４は、リニア駆動装置１００の一部の分解斜視図である。ここでは、固定子コア１１及び１２のうち、固定子コア１１を示し、これと実質的に同様の構成を備えた固定子コア１２の図示を省略している。固定子コア１１は、複数の固定子歯部１１４と、これら固定子歯部１１４を連結するヨーク１１３とを有する。
【００２７】
図１及び２に示すように、固定子歯部１１４は、例えばＺ軸方向に沿って２つ配列され、また、Ｙ軸方向に沿って２つ配列されており、合計４つ設けられている。
【００２８】
図４に示すように、固定子歯部１１４は、一部が湾曲した形状の歯部１１１と、この歯部１１１に接続された板部１１２とを含む。板部１１２の歯部１１１には、図示しない電気絶縁体を介してコイル１３（１４〜１６）が取り付けられている。歯部１１１、板部１１２及びヨーク１１３は、それぞれ強磁性体でなり、それらは磁気的に接続されている。これら歯部１１１、板部１１２及びヨーク１１３は、例えばＺ方向で鋼板が積層された積層鋼板で構成される。ヨーク１１３は、板部１１２に接着剤等により固定される。
【００２９】
ハウジング２は、例えばステンレス、アルミニウム等の非磁性体でなる。図４に示すように、ハウジング２は、Ｙ軸方向で対向する開口２３を有し、筒状であって直方体形状のモノコック型の形状を備えている。ハウジング２は、開口２３を形成するために開口２３の周囲に設けられた開口端面２５と、この開口端面２５からＹ軸方向へ突出した位置決め突起２６とを有する。位置決め突起２６は、固定子コア１１及び１２を位置決めするための突起であり、壁部２６２とこの壁部２６２のほぼ中央位置に設けられた突出部２６１とを有する。位置決め突起２６は、Ｘ軸方向で対向するように２つ設けられている。上記のように、開口２３はＹ軸方向で２つ対向して設けられているので、これらの開口２３ごとに、位置決め突起２６が設けられている。
【００３０】
図３及び図４に示すように、固定子歯部１１４の板部１１２の端部として形成された、Ｘ軸方向に突出した当接突起部１１２ａが、ハウジング２の開口端面２５に当接している。それら当接突起部１１２ａが開口端面２５に当接した状態で、図１及び２に示すように、歯部１１１が開口２３を介してハウジング２内に挿入されることにより、歯部１１１及びコイル１３（１４〜１６）がハウジング２内で配列される。また、図３及び４に示すように、それら当接突起部１１２ａが開口端面２５に当接した状態で、ハウジング２の位置決め突起２６に位置決めされる。より詳細には、位置決め突起２６の壁部２６２及び突出部２６１により形成された直角の部分に、当接突起部１１２ａの直角の部分が当接して位置決めされる。
【００３１】
図１及び４に示すように、板部１１２の当接突起部１１２ａには、Ｚ軸方向に形成されたスクリュー穴１１５が形成され、また、位置決め突起２６の突出部２６１にもスクリュー穴２６１ａが形成されている。固定子歯部１１４が上述のように位置決めされた状態で、ボルトＢ（図３参照）がそのスクリュー穴１１５及び２６１ａに螺着されて固定子歯部１１４及び位置決め突起２６を締結することで、固定子コア１１がハウジング２に支持されて固定される。このように固定子コア１１及び１２がハウジング２に支持されることにより、隣接する固定子歯部１１４同士がＺ軸方向で所定の間隔を保って配置され、Ｙ軸方向では、固定子コア１１及び１２が可動子３を挟んで対向するように配置される。
【００３２】
ハウジング２の、Ｚ軸方向である可動子３の移動方向で対向する一対の側壁２１には、後述する可動子３のシャフト３３が出没する円形の穴２１ａがそれぞれ形成されている。また、この穴２１ａは、このリニア駆動装置１００の組み立て時に、可動子３の可動子コア３１が挿入される穴である。
【００３３】
図１〜３に示すように、可動子３は、可動子コア３１と、図２に示すように可動子コア３１に埋め込まれた永久磁石３２１、３２２、３２３、３４１、３４２及び３４３とを有する。上記のように、可動子コア３１は、固定子歯部１１４の歯部１１１に対向して配置される。可動子コア３１は、渦電流の抑制のため、可動子３の移動方向（Ｚ軸方向）に積層された複数の磁性材板（例えば積層鋼板）で構成されていてもよい。
【００３４】
図１に示すように、固定子歯部１１４の歯部１１１は、可動子３の可動子コア外周面に沿った曲面１１１ａを有している。図２に示すように、可動子３の中央には、Ｚ軸方向に沿って貫通した、シャフト３３の挿通穴３１ｃが形成されている。シャフト３３は、図示しない軸受やバネ等の支持部材によってシャフト３３がＺ軸方向に沿って移動可能となるように支持される。
【００３５】
なお、リニア駆動装置１００がリニアクチュエータとして用いられる場合、シャフト３３を支持する支持部材としてバネ部材が用いられる。典型的にはバネ部材としては、スパイラル状の板バネが用いられる。このような板バネは、シャフト３３とハウジング２とを弾性的に連結する。支持部材の他の例として、８の字形状の板バネ、リニアブッシュ、ボールスプライン、エアベアリング、リニアガイド等が挙げられる。
可動子３は図示しない治具によりハウジング２に対して位置決めされた後、支持部材によりシャフト３３が支持される。可動子３がハウジング２に対して位置決めされ、支持された後、その治具がハウジング２から取り外される。その後、固定子コア１１及び１２が上述のように位置決めされ、ハウジング２に固定される。
あるいは、固定子コア１１及び１２がハウジング２に固定された後、可動子３がハウジング２の穴２１ａから挿入されて位置決めされ支持されてもよい。
【００３６】
可動子コア３１は、図１に示すように、永久磁石３２１等を埋め込むためのＺ軸方向に長く形成された埋設穴３１ａが、シャフト３３の周りで円周状に複数設けられている。埋設穴３１ａは、固定子コア１１に近い側で４つ設けられ、固定子コア１２に近い側で同じく４つ設けられている。図２に示すように、１つの埋設穴３１ａ内に上記３つの永久磁石３２１、３２２及び３２３（以下、永久磁石セット３２という。）が配設されている。
【００３７】
図２に示すように、永久磁石セット３２は、それらの永久磁石の表面側（固定子コア１１あるいは１２側）に現れる磁極がＺ軸方向で交互に異なるように着磁されている。すなわち、各永久磁石３２１等は、図１で見てＺ軸方向を中心として可動子コア３１の径方向に着磁されている。
【００３８】
なお、図２において、固定子コア１１側の永久磁石セット３２の磁極（Ｎ、Ｓ、Ｎ）は、固定子コア１１側に現れる磁極を示している。また同様に、固定子コア１２側の永久磁石セット３２の磁極（Ｓ、Ｎ、Ｓ）は、固定子コア１２側に現れる磁極を示している。各永久磁石３２１等のＺ軸方向の長さ（及びＺ軸方向に沿って並ぶ永久磁石の個数等）や配置は、固定子コア１１及び１２の各歯部１１１等のＺ軸方向の長さ、個数、配置、あるいは、可動子３のストローク長等によって適宜設定される。
【００３９】
可動子コア３１の外周面の一部には平面部３１９が設けられている。平面部３４は、歯部１１１と対面しない位置に配置されている。このような平面部３４が可動子コア３１に形成されることにより、可動子コア３１の外形がＺ軸方向で見て円形の場合に比べ、平面部３４においてその円形が切り欠かれた状態となっているので、可動子３の軽量化を実現することができる。また、この平面部３４が設けられることにより、後述するように、リニア駆動装置１００の組み立て時において、可動子３の位置決めを高精度に行うことができるようになる。
【００４０】
[リニア駆動装置の動作]
次に、以上のように構成されたリニア駆動装置１００の動作を説明する。図５Ａ及びＢは、その動作を説明するための図である。なお、図５Ａ及びＢで表された、可動子３の永久磁石セット３２の極性は、固定子コア１１及び１２側に向く磁極を示している。
【００４１】
図５Ａに示すように、固定子コア１１側の２つのコイル１３及び１４に互いに逆向きの電流が同じタイミングで加えられ、かつ、固定子コア１２側の２つのコイル１５及び１６に互いに逆向きの電流が同じタイミングで加えられる。Ｙ軸方向で同じ位置に配置されたコイル１３（１４）及び１５（１６）にも互いに逆向きの電流が加えられる。そうすると、歯部１１１に磁束が発生し、歯部１１１に図示するように磁極が生成される。各歯部１１１に発生した磁束と、可動子３に設けられた永久磁石３２１等により生成される磁束との相互作用により、可動子３は図５Ａ中、右へ移動する。
【００４２】
図５Ｂに示すように、図５Ａで示した各電流の向きとは逆向きの電流がコイル１３〜１６にそれぞれ同じタイミングで加えられる。そうすると、図５Ａで示した磁極とは反対の磁極が、歯部１１１にそれぞれ生成される。これにより、可動子３は図５Ｂ中、左へ移動する。
【００４３】
図６Ａは図５Ａで示した固定子コア１１を示し、図６Ｂはその固定子コア１１を上方から見た図である。ここで、リニア駆動装置１００の駆動時に、固定子コア１１に発生する磁束と、その磁束によっては誘導電流が発生しないことを説明する。
【００４４】
図６Ａに示すように、左側の歯部１１１からヨーク１１３を介して右側の歯部１１１へ流れる磁束Φが形成される。この磁束Φの内側には、ボルト、あるいはハウジングを構成する部材等が存在しないため、誘導電流は発生しない。すなわち、図６Ｂに示すように、ハウジング２が固定子コア１１を支持するために、当接突起部１１２ａがハウジング２に接触していても、そのハウジング２及び固定子コア１１により形成される経路（破線で示す部分）に、磁束Φが鎖交しないので、その経路の電路の形成が抑制される。つまり、図７に示すように破線で示す磁束Φ’のように、その経路に鎖交するする場合、電路Ｅが形成されるが、本実施形態では磁束Φの場合、電路Ｅはほとんど形成されない。ボルトＢも磁束ΦがそのボルトＢに鎖交しないように配置されている。
【００４５】
従来のリニアモータでは、ハウジングを構成する部材（例えばフレームや梁等）、あるいはボルト等に、固定子コアで発生する磁束が鎖交する場合が多く、渦電流等を含む誘導電流が発生する。しかし、本実施形態によれば、特にハウジング２の開口端面２５、位置決め突起２６及び固定子コア１１により形成される経路での誘導電流の発生を抑制できる。
【００４６】
本実施形態では、ハウジング２に予め位置決め突起２６が固定子歯部１１４の位置決めのために形成されているので、簡易な構成で固定子コア１１（及び１２）をハウジング２に位置決めすることができる。
【００４７】
本実施形態では、固定子歯部１１４と位置決め突起２６の突出部２６１とを締結するボルトＢが、その長手方向が可動子３の移動方向に沿うように設けられているので、特に、可動子３の移動方向におけるハウジング２及び固定子１の剛性を高めることができる。したがって、所期の可動子３の動きを確保でき、推力特性を向上させることができる。
【００４８】
本実施形態に係るリニア駆動装置１００は、モノコック型のハウジング２を備えている。従来におけるリニアモータのハウジングやフレームは可動子の移動方向に向けて大きな開口が設けられ、装置の組み立て時において、その開口を介して可動子が収納され、その開口にカバーが装着される。これに対して本実施形態ではハウジング２にはカバーが装着されず、その代わり、ハウジング２の一対の側壁２１が設けられ、可動子３の動力の出力のためにシャフト３３を通す穴２１ａが設けられる。すなわち、このハウジング２は、一般のハウジングのようなカバーが不要となるので、部品点数を減らすことができ、装置の組み立て精度が向上し、各部品の位置決め精度が向上する。特に、このようなハウジング２の構成によれば、可動子３の移動方向においても装置の組み立て精度が向上し、各部品の位置決め精度が向上するので、所期の可動子３の動きを確保でき、推力特性を向上させることができる。
【００４９】
このようにカバーが不要となるモノコック型の構成によれば、そのハウジング２の強度を高めることができる。
【００５０】
[その他の実施形態]
本発明に係る実施形態は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態が実現される。
【００５１】
上記実施形態では、ボルトＢが例えばＺ軸方向で互いに近づく方向に締まるように設けられたが、互いに離れる方向に締まるように設けられてもよい。この場合、例えば位置決め突起２６の突出部２６１のような突出部がＺ軸方向で離れて複数箇所（例えば２箇所）設けられ、それら突出部の間に各固定子歯部１１４が配置された状態で、それらが突出部にそれぞれ当接した状態で、ボルトが締められてもよい。
【００５２】
上記実施形態では、固定子歯部１１４をハウジング２に固定する手段として、ボルトＢが用いられたが、これに限られず、接着剤、溶接、またはモールド樹脂等の手段が用いられてもよい。
【００５３】
ヨーク１１３を固定子歯部１１４に装着する工程は、典型的には、固定子歯部１１４をハウジング２に固定する工程の後である。しかし、固定子歯部１１４をハウジング２に固定する工程の前に、ヨーク１１３が固定子歯部１１４に固定されてもよい。
【００５４】
上記実施形態では、ヨーク１１３は、固定子歯部１１４の板部１１２に取り付けられていた。ヨークと固定子歯部とが元々一体的になっており、つまり一体加工または一体成形により、固定子歯部が形成されてもよい。
【００５５】
上記実施形態では、ハウジング２は直方体筒形状を有していた。しかし、ハウジングは、固定子コアを位置決めして支持するための、開口、開口端面及び位置決め突起を有していれば、円筒形状、楕円筒形状、または四角形以外の角筒形状であってもよい。
【００５６】
固定子歯部１１４、永久磁石３２１等、永久磁石セット３２の数は適宜変更可能である。永久磁石、固定子コア、可動子コアの各形状等も適宜変更可能である。可動子３の移動方向における磁極数あるいは永久磁石の数は、上記実施形態では３つであったが、１つであってもよいし、４つ以上であってもよい。
【００５７】
上記実施形態に係るリニア駆動装置１００は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換したが、機械エネルギーを電気エネルギーに変換する装置として用いられてもよい。
【００５８】
固定子コア（ヨーク１１３及び固定子歯部１１４）が積層鋼板で形成されている場合、それらヨーク及び固定子歯部の積層鋼板を通して導通経路が形成される。ヨーク１１３と固定子歯部１１４とには接触抵抗があるため、比較的その誘導電流は小さいが、その接触部分を絶縁することで電路の形成を防止できる。絶縁手段として、その接触部分に、絶縁紙や絶縁フィルムを挟み込む、といった手段がある。あるいは、ヨーク１１３または固定子歯部１１の、それらの接触部分に絶縁コーティングを施す、といった手段がある。あるいは、ヨーク１１３の全部または固定子歯部１１の全部に絶縁コーティングを施すようにしてもよい。この絶縁コーティング層の形成方法として、例えば粉体、電着、液体、焼付等の塗装がある。
【００５９】
固定子歯部１１４が積層鋼板で形成されている場合であって、かつ、ハウジング２が導体で構成されている場合、その固定子歯部１１４の積層鋼板と、ハウジング２の突出部２６１との接触部分で導通経路が形成される。これら固定子歯部１１４と突出部２６１とには接触抵抗があるため比較的誘導電流は小さいが、その接触部分を絶縁することで電路をなくせる。
その絶縁手段としては、ハウジング２がアルミニウムの場合、アルマイト処理をする、絶縁体（フィルムまたは紙）をその接触部分に設ける、あるいは、固定子歯部１１４を絶縁コーティングする、などがある。
【００６０】
以上説明したいずれの絶縁手段についても、その厚さの影響が小さいため、組み立て精度に大きな影響は与えない。
【符号の説明】
【００６１】
Ｂ…ボルト
１…固定子
２…ハウジング
３…可動子 
１１…固定子コア
１２…固定子コア
１３〜１６…コイル
２１…側壁
２１ａ…穴
２３…開口
２５…開口端面
２６…位置決め突起
３１…可動子コア
３３…シャフト
１００…リニア駆動装置
１１１…歯部
１１２…板部
１１２ａ…当接突起部
１１３…ヨーク
１１４…固定子歯部
２６１…突出部
２６２…壁部
【図１】
0005849415.tif 000002
【図２】
0005849415.tif 000003
【図３】
0005849415.tif 000004
【図４】
0005849415.tif 000005
【図５】
0005849415.tif 000006
【図６】
0005849415.tif 000007
【図７】
0005849415.tif 000008