(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納体から被搬送物を搬出入するロボットを制御するロボット制御装置であって、
前記ロボットは、一方端がアーム駆動軸を介してベース部材に回動可能に支持されるアーム機構と、
前記アーム機構の他方端に第一ハンド軸を介して支持されるとともに第一の被搬送物を保持することができる第一ハンド部材と、前記アーム機構の他方端に、前記第一ハンド軸と同軸に配置された第二ハンド軸を介して支持されるとともに第二の被搬送物を保持することができる第二ハンド部材とを備え、
前記ロボット制御装置は、前記第一ハンド部材を手動で前進または後退させるように直線移動させる場合において、
前記第一ハンド部材を手動で前進または後退させるように直線移動させると同時に、
前記第二ハンド部材を任意の退避線よりもベース部材側へ移動させるように制御する
ことを特徴とするロボット制御装置。
【請求項２】
前記ロボット制御装置は、前記第一ハンド部材を手動で前進または後退させるように直線移動を開始する時点において、前記第二ハンド部材が任意の退避線よりも収納体側にあるときは、任意の退避線に平行な直線であって、前記第二ハンド部材の位置を通過する直線を新たな退避線として定義するように制御する
ことを特徴とする請求項１に記載のロボット制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はロボット制御装置に関し、特に産業用ロボットを制御するロボット制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハや液晶基板等の被搬送物をカセット等の収納体から搬出入する水平多関節のロボットを制御するロボット制御装置が開示されている（例えば、特許文献1参照）。前記ロボットは、ハンド部材が収納体に向かって直進動作するように制御され、ハンド部材で被搬送物を保持して、収納体から被搬送物を搬出入するものであって、同一のアーム部材の同一の一方端に二つのハンド部材を備えている。
【０００３】
一方のハンド部材（第二ハンド部材）に被搬送物を載置した状態で、他方のハンド部材（第一ハンド部材）で収納体から被搬送物を搬出しようとする場合、従来のロボット制御装置では、第一ハンド部材が被搬送物を搬出するために収納体内に直進動作して移動したときに、第二ハンド部材及び第二ハンド部材に保持された被搬送物が収納体と干渉しない位置まで、第二ハンド部材を回動させる。次に、第二ハンド部材は収納体と干渉しない位置に停止させた状態のまま、第一ハンド部材を収納体に向かって直進動作させる。そして、第一ハンド部材を後退するように直進動作させて、一度停止した後、第二ハンド部材を元の位置まで回動させる。このようにロボットの動作を制御して、一方のハンド部材に被搬送物を保持した状態で、他方のハンド部材により収納体から別の被搬送物が搬出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１３６９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
二つのハンド部材を備えた従来のロボット制御装置では、教示の際に手動操作で第一ハンド部材を直進動作させる場合、第一ハンド部材を直進させる動作と第二ハンド部材を回動させる動作とが同時に制御されない。このために、例えば同一の収納体内から被搬送物を搬出入して交換する動作を教示する際に、第一ハンド部材を直進させる動作と第二ハンド部材を回動させる動作とを各々教示する必要がある。すなわち、教示作業が非効率的になることがあった。また、第一ハンド部材の直進動作中に、収納体との干渉を回避している第二ハンド部材が、収納体よりもロボット本体側に存在する処理装置等他の障害物と干渉してしまう場合には、干渉を回避するために各々を交互に手動操作で動作させる必要があるために、操作が煩雑になっていた。
【０００６】
本発明は係る課題に鑑み、ロボットの手動操作を容易にし、教示時間を短縮することができるロボット制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
即ち、請求項１においては、収納体から被搬送物を搬出入するロボットを制御するロボット制御装置であって、前記ロボットは、一方端がアーム駆動軸を介してベース部材に回動可能に支持されるアーム機構と、前記アーム機構の他方端に第一ハンド軸を介して支持されるとともに第一の被搬送物を保持することができる第一ハンド部材と、前記アーム機構の他方端に、前記第一ハンド軸と同軸に配置された第二ハンド軸を介して支持されるとともに第二の被搬送物を保持することができる第二ハンド部材とを備え、前記ロボット制御装置は、前記第一ハンド部材を手動で前進または後退させるように直線移動させる場合において、前記第一ハンド部材を手動で前進または後退させるように直線移動させると同時に、前記第二ハンド部材を任意の退避線よりもベース部材側へ移動させるように制御するものである。
【０００８】
請求項２記載の発明は、前記ロボット制御装置は、前記第一ハンド部材を手動で前進または後退させるように直線移動を開始する時点において、前記第二ハンド部材が任意の退避線よりも収納体側にあるときは、任意の退避線に平行な直線であって、前記第二ハンド部材の位置を通過する直線を新たな退避線として定義するように制御するものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１０】
請求項１においては、ロボットの手動操作において、第一ハンド部材を直進動作させている場合に、第二ハンド部材を常に待避線よりもベース部材側へ移動させることにより、確実に収納体及び障害物と干渉する位置から回避することができる。これにより、第二ハンド部材に対する教示作業が不要となるので教示時間を短縮することができる。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の効果に加えて、前記第一ハンド部材を手動で前進または後退させるように直線移動を開始する時点において、前記第二ハンド部材が任意の退避線よりも収納体側にあった場合であっても、確実に収納体及び障害物と干渉する位置から回避することができる。これにより、収納体から被搬送物を搬出入する作業の効率を良くし、ロボットの動作の調整作業を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るロボット制御装置が適用されるロボット制御システムの概略構成を示したブロック図。
【図２】ロボットが所定のカセットから半導体ウェハを搬出するときの動作を示す平面図。
【図３】半導体ウェハを保持したロボットを示す平面概略図。
【図４】ロボットと退避線の関係を示す平面概略図。
【図５】第二ハンド部材の動作制御を示すフローチャート図。
【図６】第二ハンド部材が退避線上にある場合の第二ハンド部材の動作を示す平面概略図。
【図７】第二ハンド部材が退避線よりもカセット側にあり、第一ハンド部材がカセット側へ移動している場合の第二ハンド部材の動作を示す平面概略図。
【図８】第二ハンド部材が退避線よりもカセット側にあり、第一ハンド部材がカセット側へ移動していない場合の第二ハンド部材の動作を示す平面概略図。
【図９】第二ハンド部材が退避線よりもベース部材側にある場合の第二ハンド部材の動作を示す平面概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、発明の実施の形態について説明する。
まず、本発明の一実施形態にかかるロボット制御システム１０について図１を用いて説明する。
【００１４】
ロボット制御システム１０は、図１に示すように、水平多関節のロボット１１と、ロボット１１の動作を制御するロボット制御装置１２と、ロボット１１の動作の教示を行うティーチングボックス１３とを備えている。ロボット制御装置１２は、ロボット１１に取り付けられたサーボモータを駆動させるサーボアンプ１５と、サーボアンプ１５に指令を与えてロボット１１の動作及び姿勢を制御する制御部１４とを含んでいる。
【００１５】
ロボット１１は、所定の場所に設置されるベース部材１６と、ベース部材１６に回動可能に支持されるアーム機構１７と、を備えている。アーム機構１７は、一方端がベース部材１６にアーム駆動軸としての第一軸１８を介して回動可能に支持される下部アーム部材１９と、一方端が下部アーム部材１９の他方端に第二軸２０を介して回動可能に支持される上部アーム部材２１と、を含む機構である。
【００１６】
また、ロボット１１は、端部を上部アーム部材２１の他方端に第一ハンド軸２７を介して回動可能に支持される第一ハンド部材２８と、端部を同じく上部アーム部材２１の他方端に第二ハンド軸２９を介して回動可能に支持される第二ハンド部材３０とを備えている。第一ハンド軸２７と第二ハンド軸２９とは、第一ハンド軸２７の上側に第二ハンド軸２９が同軸上に設置され、平面視において各々の軸中心が一致している。即ち、ロボット１１は、上部アーム部材２１に支持される回動中心が一致した二つのハンド部材を備えている。ベース部材１６の上側に下部アーム部材１９が配置され、下部アーム部材１９の上側に上部アーム部材２１が配置され、上部アーム部材２１の上側に第一ハンド部材２８が配置され、第一ハンド部材２８の上側に第二ハンド部材３０が配置されている。下部アーム部材１９、上部アーム部材２１、第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０は各々水平方向に回動可能となっている。
【００１７】
被搬送物を保持することができる第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０は、平面視において同一形状の細長いＵ字状に形成され、屈曲部側が基点となるように（回動中心となるように）第一ハンド軸２７及び第二ハンド軸２９が配置されている。第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０の各々には図示しない真空吸着等の保持手段を備え、その保持手段により第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０の各々の上面に被搬送物が固定される。第一ハンド部材２８を固定させて第二ハンド部材３０を第二ハンド軸２９を中心に回動させていくと、両者は重なり、平面視において第一ハンド部材２８が第二ハンド部材３０の下側に隠れるように構成されている。下部アーム部材１９及び上部アーム部材２１は、細長い平板状に形成され、各々の長さは、下部アーム部材１９を固定させて上部アーム部材２１を第二軸２０を中心に回動させたときに、第一軸１８と第二軸２０とが重なるような長さに設定されている。ベース部材１６は、上下方向を長手方向とした四角柱状に形成され、上下方向を長手方向とした円柱状に形成された第一軸１８を収納することができるように構成されている。
【００１８】
第一軸１８、第二軸２０、第一ハンド軸２７及び第二ハンド軸２９は駆動軸であり、各々の駆動軸に図示しないサーボモータが設置されている。第一軸１８には下部アーム部材１９を回動させるためのサーボモータ、第二軸２０には上部アーム部材２１を回動させるためのサーボモータ、第一ハンド軸２７には第一ハンド部材２８を回動させるためのサーボモータ、第二ハンド軸２９には第二ハンド部材３０を回動させるためのサーボモータが各々設置されている。サーボモータの各々の出力軸と、下部アーム部材１９、上部アーム部材２１、第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０の各々とが連結されて、下部アーム部材１９、上部アーム部材２１、第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０が各々独立して回動可能となっている。その図示しないサーボモータの各々の回転軸等には、サーボモータの各々の回転軸の回転速度や回転量を検出する動作量検出手段である図示しないエンコーダが各々設置されている。この動作量検出手段により、下部アーム部材１９、上部アーム部材２１、第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０の回転角度等が検出される。更に、第一軸１８には、第一軸１８を上下方向に昇降させるための図示しないサーボモータまたはシリンダがベース部材１６の内部に設置されている。第一軸１８の昇降距離は、高さ検出手段である図示しないエンコーダにより検出される。
【００１９】
ベース部材１６は所定の位置に設置されるため第一軸１８は移動せず、第一軸１８を基点として、第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０が水平方向に所定の範囲で移動することとなる。また、第一軸１８が昇降すると、各々連結した下部アーム部材１９、上部アーム部材２１、第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０が一体となって昇降する。このようにしてロボット１１は動作して所定の範囲において被搬送物を搬送する。
【００２０】
サーボアンプ１５は、制御部１４からの指令信号に基づいて第一軸１８、第二軸２０、第一ハンド軸２７及び第二ハンド軸２９の各々に設置されたサーボモータに電力を供給してサーボモータを駆動させる。また、サーボアンプ１５に上記エンコーダからの回転角度等の検出情報がフィードバックされ、制御部１４からの指令信号とエンコーダからのフィードバック信号との差をなくすように、サーボアンプ１５はサーボモータの駆動を制御する。なお、この制御は、ＰＩ制御やＰＩＤ制御等により行われるが、限定されるものではない。
【００２１】
ティーチングボックス１３は、ロボット１１に近接して設置され、ロボット１１を動作させるためのスイッチを備えている。このティーチングボックス１３を用いて、ロボット１１の位置及び姿勢からなる教示点の教示が行われる。
【００２２】
制御部１４は、サーボアンプ１５やティーチングボックス１３に接続して、ロボット制御システム１０の全体を制御している。制御部１４は、ティーチングボックス１３によって入力された内容を記憶する機能、サーボアンプ１５に指令信号を送ることにより各駆動軸に設定されたサーボモータを駆動させてロボット１１の動作や姿勢を制御する機能、各駆動軸に設置されたサーボモータの回転軸の回転角度等のエンコーダによって検出された情報をサーボアンプ１５を介して取得して演算する機能、等を備えている。制御部１４は、ティーチングボックス１３により教示された教示点間をロボット１１が移動するようにロボット１１の動作を制御する。
【００２３】
次に、制御部１４で制御されるロボット１１の動作について説明する。
【００２４】
図２は、図１で示したロボットが所定のカセットから被搬送物の一例である半導体ウェハを搬出するときの動作を示した平面図である。
【００２５】
ロボット１１は、半導体ウェハ２３が収納された収納体であるカセット２４と任意の距離を開けて設置されている。ロボット１１は、カセット２４から半導体ウェハ２３を搬出入して、半導体ウェハ２３を図示せぬ処理装置等へ搬送する。図２の（ａ）から（ｃ）までは、ハンド部材を二つ備えた上記ロボット１１が、第二ハンド部材３０に半導体ウェハ２３を保持した状態で、第一ハンド部材２８で所定のカセット２４へ半導体ウェハ２３を搬入しようとする一連の動作が示されている。
【００２６】
図２（ａ）で示したように、第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０には半導体ウェハ２３が保持されている。第二ハンド部材３０は、第一ハンド部材２８の向いている方向（カセット２４方向）から第二ハンド軸２９を中心に平面視反時計方向回りに回動した状態で停止している。図２（ａ）に示すように、退避線Ｌ１ａが設定されており、第二ハンド部材３０が退避線Ｌ１ａ上にある。本実施形態においては、第二ハンド部材３０に半導体ウェハ２３が保持された場合における半導体ウェハ２３の中心の位置Ｐ２が退避線Ｌ１ａ上に有る。
【００２７】
図２（ｂ）で示したように、第一ハンド部材２８を手動でカセット２４側へ向かって直線運動させた場合、第二ハンド部材３０は、第二ハンド部材３０や第二ハンド部材３０に保持された半導体ウェハ２３がカセット２４と干渉するのを回避するように、第二ハンド軸２９を中心に更に平面視反時計回りに回動する。このとき第二ハンド部材３０が退避線Ｌ１ａ上にあるように第二ハンド部材３０は回動する。なお、本実施形態においては、第二ハンド部材３０が、第一ハンド部材２８を直線運動させた時点で第一ハンド部材２８に対して反時計回りに回動した位置にあるため、平面視反時計回りに回動したが、第二ハンド部材３０が、第一ハンド部材２８を直線運動させた時点で第一ハンド部材２８に対して時計回りに回動した位置にあった場合には、平面視時計回りに回動する。本実施形態においては、第二ハンド部材３０に半導体ウェハ２３が保持された場合における半導体ウェハ２３の中心の位置Ｐ２が退避線Ｌ１ａ上にあるように第二ハンド部材３０は回動する。
そして、カセット２４へ第一ハンド部材２８から半導体ウェハ２３を搬入し終える図２（ｃ）で示した位置まで到達すると、第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０とは同時に停止する。
【００２８】
次に、第二ハンド部材３０に半導体ウェハ２３を保持した状態で、第一ハンド部材２８でカセット２４へ半導体ウェハ２３を搬入する際の、制御部１４で制御される第二ハンド部材３０の動作制御について図５のフローチャートを用いて説明する。
【００２９】
図３には、第一ハンド部材２８でカセット２４へ半導体ウェハ２３を搬入しようとしている状態（図２（ａ）で示した状態）のロボット１１を示している。
本実施形態においては、図３に示すように、第一ハンド部材２８の位置Ｐ１及び第二ハンド部材３０の位置Ｐ２は、第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０に半導体ウェハ２３が保持された場合における半導体ウェハ２３の中心の位置としている。
【００３０】
また、図３に示すように、第一ハンド部材２８と第二ハンド部材３０とのなす角度のうち小さい角度をＡとする。
【００３１】
まず、図５に示すように、制御部１４は、サーボアンプ１５を介して取得する各サーボモータの回転軸の回転角度等の情報等に基づいて、第一ハンド部材２８を手動で直線移動させる時点における第二ハンド部材の位置Ｐ２の情報を取得する（ステップＳ１０）。次に、制御部１４は、制御部１４に記憶されている第一ハンド部材２８の進行方向ｖ１に関するティーチングボックス１３からの入力内容等に基づいて、第一ハンド部材２８の進行方向ｖ１の情報を取得する（ステップＳ２０）。位置Ｐ２の情報はデカルト座標系により定義される情報として取得され及び進行方向ｖ１の情報はベクトル情報として取得される。
【００３２】
次に、制御部１４は、第一ハンド部材２８の進行方向ｖ１から退避線Ｌ１を決定する（ステップＳ３０）。退避線Ｌ１は第二ハンド部材３０や第二ハンド部材３０に保持された半導体ウェハ２３がカセット２４側へ移動する範囲を制限するための線である。退避線Ｌ１は、第一ハンド部材２８の進行方向ｖ１に存在するカセット２４及び他の装置（処理装置等）の位置の情報に基づいて決定される。退避線Ｌ１は、例えば、第一ハンド部材２８の進行方向ｖ１に対して直交する方向に決定されるが、必ずしも直交する方向に限定されるものではなく、第二ハンド部材３０及び第二ハンド部材３０に保持された半導体ウェハ２３がカセット２４やその他の装置との干渉を回避することができるように決定されるものである。退避線Ｌ１は、少なくとも三本以上決定される。これにより、退避線Ｌ１に囲まれた領域が必ず発生し、第二ハンド部材３０はこの領域内を移動することとなる。
【００３３】
例えば図３に示すように四本の退避線Ｌ１ａ・Ｌ１ｂ・Ｌ１ｃ・Ｌ１ｄが決定され、四本の退避線Ｌ１ａ・Ｌ１ｂ・Ｌ１ｃ・Ｌ１ｄに囲まれた領域内を第二ハンド部材３０が移動する。
【００３４】
次に、制御部１４は、第二ハンド部材３０が退避線Ｌ１上にあるか否かに付いて判断する（ステップＳ４０）。ステップＳ４０において、第二ハンド部材３０が退避線Ｌ１上にある場合には、制御部１４は、退避線Ｌ１上に沿って第二ハンド部材３０が移動するように動作量ｄＡを算出する（ステップＳ５０）。
【００３５】
例えば、図６（ａ）に示すように、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２が退避線Ｌ１の一つであるＬ１ａ上にあるときは、図６（ｂ）の実線に示すように、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２が退避線Ｌ１ａ上に沿って移動する。
動作量ｄＡは例えば回動角度で定義されており、ステップＳ１０における第一ハンド部材２８と第二ハンド部材３０との間の角度Ａに対して、第二ハンド部材３０を反時計回り方向にｄＡだけ回動させることにより退避線Ｌ１上に沿って第二ハンド部材３０が移動する。なお、本実施形態においては、第二ハンド部材３０が、第一ハンド部材２８を直線運動させた時点で第一ハンド部材２８に対して反時計回りに回動した位置にあるため、平面視反時計回りに回動させたが、第二ハンド部材３０が、第一ハンド部材２８を直線運動させた時点で第一ハンド部材２８に対して時計回りに回動した位置にあった場合には、平面視時計回りに回動させることにより退避線Ｌ１上に沿って第二ハンド部材３０が移動する。動作量ｄＡは第一ハンド部材２８の直線移動方向及び直線移動量に基づいて算出される。
【００３６】
また、ステップＳ４０において、第二ハンド部材３０が退避線Ｌ１上に無いときは、制御部１４は、第二ハンド部材３０が退避線Ｌ１よりもカセット２４側にあるか否かについて判断する（ステップＳ６０）。
【００３７】
制御部１４は、ステップＳ６０において、第二ハンド部材３０が退避線Ｌ１よりもカセット２４側にないと判断した場合には、第一ハンド部材２８がカセット２４側へ直線移動中であるか否かについて判断する（ステップＳ７０）。ステップＳ７０において、第一ハンド部材２８がカセット２４側へ直線移動中であると判断した場合には、第二ハンド部材３０の姿勢を維持するため動作量ｄＡを０とする（ステップＳ８０）。
【００３８】
例えば、図７（ａ）に示すように、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２が退避線Ｌ１の一つであるＬ１ａよりもカセット２４側になく、ベース部材１６側にあって、第一ハンド部材２８がカセット２４側へ直線移動中であるときは、図７（ｂ）に示すように、第一ハンド部材２８と第二ハンド部材３０との間の角度Ａを保持したまま移動する。
【００３９】
制御部１４は、ステップＳ７０において、第一ハンド部材２８がカセット２４側へ直線移動中ではないと判断した場合には、ベース部材１６側へ向かって直線移動中であると判断し、新たな退避線Ｌ２を決定する（ステップＳ９０）。そして退避線Ｌ２に沿って第二ハンド部材３０が移動するように動作量ｄＡを算出する（ステップＳ１００）。すなわち、後退移動中には第二ハンド部材３０がカセット２４以外の他のカセットや装置等と干渉しないように新たな退避線Ｌ２を定義する。新たな退避線Ｌ２は、退避線Ｌ１に平行な直線であって、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２を通過する直線である。
【００４０】
例えば、図８（ａ）に示すように、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２が退避線Ｌ１の一つであるＬ１ａよりもカセット側になく、ベース部材１６側にあって、第一ハンド部材２８がベース部材１６側へ直線移動中であるときは、新たな退避線Ｌ２ａを決定する。新たな退避線Ｌ２ａは、退避線Ｌ１ａに平行な直線であって、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２を通過する直線である。そして、図８（ｂ）の実線に示すように、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２が退避線Ｌ２ａ上に沿って移動する。
動作量ｄＡは例えば回動角度で定義されており、ステップＳ１０における第一ハンド部材２８と第二ハンド部材３０との間の角度Ａに対して時計回り方向にｄＡだけ回動させることにより退避線Ｌ２上に沿って第二ハンド部材３０が移動する。なお、本実施形態においては、第二ハンド部材３０が、第一ハンド部材２８を直線運動させた時点で第一ハンド部材２８に対して反時計回りに回動した位置にあるため、平面視時計回りに回動させたが、第二ハンド部材３０が、第一ハンド部材２８を直線運動させた時点で第一ハンド部材２８に対して時計回りに回動した位置にあった場合には、平面視反時計回りに回動させることにより退避線Ｌ２上に沿って第二ハンド部材３０が移動する。動作量ｄＡは第一ハンド部材２８の直線移動方向及び直線移動量に基づいて算出される。
【００４１】
制御部１４は、ステップＳ６０において第一ハンド部材２８が退避線Ｌ１よりもカセット２４側にあると判断した場合には、新たな退避線Ｌ２を決定する（ステップＳ１１０）。そして新たな退避線Ｌ２に沿って第二ハンド部材３０が移動するように動作量ｄＡを算出する（ステップＳ１２０）。すなわち、前進移動中に第二ハンド部材３０がカセット２４や他の装置等と干渉しないように新たな退避線Ｌ２を定義する。新たな退避線Ｌ２は、退避線Ｌ１に平行な直線であって、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２を通過する直線である。
【００４２】
例えば、図９（ａ）に示すように、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２が退避線Ｌ１の一つであるＬ１ａよりもカセット２４側にあるときは、新たな退避線Ｌ２ａを決定する。新たな退避線Ｌ２ａは、退避線Ｌ１ａに平行な直線であって、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２を通過する直線である。そして、図９（ｂ）の実線に示すように、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２が退避線Ｌ２ａ上に沿って移動する。
動作量ｄＡは例えば回動角度で定義されており、ステップＳ１０における第一ハンド部材２８と第二ハンド部材３０との間の角度Ａに対して反時計回り方向にｄＡだけ回動させることにより退避線Ｌ２ａ上に沿って第二ハンド部材３０が移動する。なお、本実施形態においては、第二ハンド部材３０が、第一ハンド部材２８を直線運動させた時点で第一ハンド部材２８に対して反時計回りに回動した位置にあるため、平面視反時計回りに回動させたが、第二ハンド部材３０が、第一ハンド部材２８を直線運動させた時点で第一ハンド部材２８に対して時計回りに回動した位置にあった場合には、平面視時計回りに回動させることにより退避線Ｌ２ａ上に沿って第二ハンド部材３０が移動する。動作量ｄＡは第一ハンド部材２８の直線移動方向及び直線移動量に基づいて算出される。
【００４３】
以上のように、ロボット制御装置１２は、カセット２４から半導体ウェハ２３を搬出入するロボット１１を制御するロボット制御装置１２であって、ロボット１１は、一方端がアーム駆動軸１８を介してベース部材１６に回動可能に支持されるアーム機構１７と、アーム機構１７の他方端に第一ハンド軸２７を介して支持されるとともに半導体ウェハ２３を保持することができる第一ハンド部材２８と、アーム機構１７の他方端に、第一ハンド軸２７と同軸に配置された第二ハンド軸２９を介して支持されるとともに半導体ウェハ２３を保持することができる第二ハンド部材３０とを備え、ロボット制御装置１２は、第一ハンド部材２８を手動で前進または後退させるように直線移動させる場合において、第二ハンド部材３０を任意の退避線Ｌ１よりもベース部材１６側へ移動させるように制御するものである。
このように構成することにより、ロボット１１の手動動作において、第一ハンド部材２８が直進動作を行っている場合に、第二ハンド部材３０を常に退避線Ｌ１よりもベース部材１６側へ移動させることにより、確実にカセット２４及び障害物と干渉する位置から回避することができる。これにより、カセット２４から半導体ウェハ２３を搬出入する作業の教示を効率化することができる。
【００４４】
また、ロボット制御装置１１は、第一ハンド部材２８を手動で前進または後退させるように直線移動を開始する時点において、第二ハンド部材３０が任意の退避線Ｌ１よりもカセット２４側にあるときは、任意の退避線Ｌ１に平行な直線であって、第二ハンド部材３０の位置Ｐ２を通過する直線を新たな退避線として定義するように制御するものである。
このように構成することにより、第一ハンド部材２８を手動で前進または後退させるように直線移動を開始する時点において、第二ハンド部材３０が任意の退避線Ｌ１よりもカセット２４側にあった場合であっても、確実にカセット２４及び障害物と干渉する位置から回避することができる。これにより、カセット２４から半導体ウェハ２３を搬出入する作業の教示を効率化することができる。
【００４５】
なお、本発明の実施形態では、第一ハンド部材２８、第二ハンド部材３０及びアーム機構１７を水平方向に回動させているが、必ずしもこのように構成する必要はなく、他の平面方向に回動してもよい。例えば、垂直多関節のロボットに適用されてもよい。
【００４６】
また、本発明の実施形態では、第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０の位置Ｐ１及びＰ２を第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０に半導体ウェハ２３が保持された場合における半導体ウェハ２３の中心の位置としているが、必ずしもこのように構成する必要はなく、他の位置にしてもよい。例えば、第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０のＵ字状の両先端部を結んだ線の中心の位置にしてもよい。
【００４７】
また、本発明の実施形態では、第一ハンド部材２８と第二ハンド部材３０とのなす角度のうち小さい角度をＡとしているが、必ずしもこのように構成する必要はなく、他の角度にしてもよい。例えば、第一ハンド部材２８と第二ハンド部材３０とのなす角度のうち小さい角度の外角をＡとしてもよい。
【００４８】
また、本発明の実施形態では、二つのアーム部材で構成されているが、一つのアーム部材の一方端で二つのハンド部材が同軸に設置された駆動軸の各々を介して支持されていれば、三つ以上で構成されてもよい。
【００４９】
また、本発明の実施形態では、二つのアーム部材は同じ長さに構成されているが、異なる長さに構成してもよい。
【００５０】
また、本発明の実施形態では、アーム機構１７がベース部材１６に支持されているが、他の構成からなる部材により支持されてもよく、また、第一軸１８が上下方向に昇降しなくてもよい。
【００５１】
また、本発明の実施形態では、真空吸着等で被搬送物を保持するように第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０が構成されているが、被搬送物を保持することができれば、被搬送物を狭持する等の方法で保持するように第一ハンド部材２８及び第二ハンド部材３０を構成してもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１１    ロボット
１２    ロボット制御装置
１６    ベース部材
１７    アーム機構
１８    第一軸（アーム駆動軸）
１９    下部アーム部材
２０    第二軸
２１    上部アーム部材
２３    半導体ウェハ（被搬送物）
２４    カセット（収納体）
２７    第一ハンド軸
２８    第一ハンド部材
２９    第二ハンド軸
３０    第二ハンド部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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