(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部からの入力信号及び予め用意された校正用信号をディジタル信号に変換し、ディジタル信号に変換された前記入力信号及び前記校正用信号を用いて測定値を求める測定装置において、
ディジタル信号に変換させるべき前記入力信号と前記校正用信号とを一度に指定する制御信号を出力する主制御部と、
前記主制御部からの制御信号に基づいて、前記入力信号を選択してディジタル信号に変換する処理を実施させる第１制御と、前記校正用信号を選択してディジタル信号に変換する処理と前記第１制御でディジタル信号に変換された前記入力信号と前記第１制御よりも前に行われた制御によってディジタル信号に変換された校正用信号とを用いて前記測定値を求める処理とを並列して実施させる第２制御とを順に行う副制御部と
を備えることを特徴とする測定装置。
【請求項２】
前記校正用信号は、予め複数用意されており、
前記主制御部が出力する制御信号は、複数の前記校正用信号のうちの何れか１つを指定するものである
ことを特徴とする請求項１記載の測定装置。
【請求項３】
前記副制御部は、前記入力信号及び前記校正用信号のうちの何れか１つの信号を選択する選択部と、
前記選択部によって選択された信号をディジタル信号に変換する変換部と、
前記変換部によってディジタル信号に変換された前記入力信号及び前記校正用信号を用いて前記測定値を求める演算部と、
前記主制御部からの制御信号に基づいて、前記選択部及び前記変換部を制御して前記第１制御を実施し、前記選択部、前記変換部、及び前記演算部を制御して前記第２制御を実施する管理部と
を備えることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の測定装置。
【請求項４】
前記演算部は、前記第２制御によってディジタル信号に変換された前記校正用信号を一時的に記憶しておき、前記第２制御の後に行われる制御で前記測定値を求める際に用いることを特徴とする請求項３記載の測定装置。
【請求項５】
前記副制御部は、複数設けられており、
前記主制御部は、複数の前記副制御部に対して前記制御信号を一括して出力する
ことを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、測定装置は、物理量（例えば、温度、圧力、流量等）を検出するセンサ部と、センサ部で検出された検出信号を処理する信号処理部とを備えており、信号処理部において、センサ部からの検出信号をディジタル信号に変換して予め規定された演算処理を施すことによって物理量の測定を行う。このような測定装置の中には、経年変化等によって生ずる測定誤差に起因する測定精度の悪化を防止するために、内部校正（内部キャリブレーション）を行いながら物理量の測定を行うものがある。
【０００３】
具体的に、内部校正が可能な測定装置は、センサ部から得られる検出信号と予め用意されている校正用信号とを順次ディジタル信号に変換し、上記検出信号のディジタル信号と上記校正用信号のディジタル信号とを用いて予め規定された演算処理を行うことにより測定誤差を補正して物理量を高い精度で測定している。尚、上記の校正用信号は、ゼロ点（例えば、信号レンジの下限値）やスパン（例えば、信号レンジの上限値と下限値との差）等を校正するための信号、或いは内部端子温度等を示す信号である。このような測定装置は、例えば、計装システムで用いられるフィールド機器、各種レコーダ（例えば、ペーパレスレコーダ、チャートレコーダ）、データロガー等に設けられる。
【０００４】
尚、以下の特許文献１には、上述した内部校正を行いながら複数チャネルのアナログ信号を測定可能な多点切換え型測定装置が開示されている。具体的に、以下の特許文献１に開示された多点切換え型測定装置は、特定チャネル測定の更新周期を早くする一方で、他のチャネル測定の更新周期を遅くすることによって、全てのチャネルの測定を可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−２２０６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述した内部校正が可能な測定装置においては、センサ部からの検出信号をディジタル信号に変換させる制御、及び校正用信号をディジタル信号に変換させる制御が、測定装置の動作を統括して制御するメインコントローラによって逐次行われる。このため、従来の測定装置では、メインコントローラの指示に基づいてセンサ部の検出信号をディジタル信号に変換する第１処理、メインコントローラの指示に基づいて校正用信号をディジタル信号に変換する第２処理、及び第１，第２処理で得られたディジタル信号を用いて測定結果を演算する第３処理が順に繰り返し行われる。つまり、従来の測定装置における測定周期は、上記の第１処理が開始されてから上記の第３処理が完了して第３処理の演算結果がメインコントローラで得られるまでである。
【０００７】
ここで、近年においては、測定装置の高速化が要求されており、これに伴って測定周期を短縮することが要求されている。上述した従来の測定装置は、センサ部からの検出信号及び校正用信号をディジタル信号に変換させる制御がメインコントローラによって逐次行われることによって上記の第１〜第３処理が順次行われるものであるため、測定周期を短縮することが困難であるという問題がある。また、上述した従来の測定装置は、測定周期内において、センサ部からの検出信号をディジタル信号に変換させる制御と、校正用信号をディジタル信号に変換させる制御とを行う必要があることから、測定周期内で制御信号の通信を２回行う必要があり、これも測定周期を長くさせる一因となっていた。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、測定周期を短縮することが可能な測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の測定装置は、外部からの入力信号（Ｓ１）及び予め用意された校正用信号（Ｑ１、Ｑ２）をディジタル信号に変換し、ディジタル信号に変換された前記入力信号及び前記校正用信号を用いて測定値（Ｍ１）を求める測定装置（１、２）において、ディジタル信号に変換させるべき前記入力信号と前記校正用信号とを一度に指定する制御信号（Ｃ）を出力する主制御部（１０）と、前記主制御部からの制御信号に基づいて、前記入力信号を選択してディジタル信号に変換させる第１制御と、前記校正用信号を選択してディジタル信号に変換させるとともに前記第１制御でディジタル信号に変換された前記入力信号と前記第１制御よりも前に行われた制御によってディジタル信号に変換された校正用信号とを用いて前記測定値を求めさせる第２制御とを順に行う副制御部（２０、２０ａ〜２０ｃ）とを備えることを特徴としている。
この発明によると、ディジタル信号に変換させるべき入力信号と校正用信号とを一度に指定する制御信号が主制御部から副制御部に出力され、副制御部において、主制御部からの制御信号に基づいて第１制御と第２制御とが順に行われる。
また、本発明の測定装置は、前記校正用信号が、予め複数用意されており、前記主制御部が出力する制御信号が、複数の前記校正用信号のうちの何れか１つを指定するものであることを特徴としている。
また、本発明の測定装置は、前記副制御部が、前記入力信号及び前記校正用信号のうちの何れか１つの信号を選択する選択部（２１）と、前記選択部によって選択された信号をディジタル信号に変換する変換部（２２）と、前記変換部によってディジタル信号に変換された前記入力信号及び前記校正用信号を用いて前記測定値を求める演算部（２３）と、前記主制御部からの制御信号に基づいて、前記選択部及び前記変換部を制御して前記第１制御を実施し、前記選択部、前記変換部、及び前記演算部を制御して前記第２制御を実施する管理部（２６）とを備えることを特徴としている。
また、本発明の測定装置は、前記演算部が、前記第２制御によってディジタル信号に変換された前記校正用信号を一時的に記憶しておき、前記第２制御の後に行われる制御で前記測定値を求める際に用いることを特徴としている。
また、本発明の測定装置は、前記副制御部が、複数設けられており、前記主制御部が、複数の前記副制御部に対して前記制御信号を一括して出力することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ディジタル信号に変換させるべき入力信号と校正用信号とを一度に指定する制御信号を主制御部から副制御部に出力し、副制御部において、主制御部からの制御信号に基づいて第１制御と第２制御とを順に行うようにしているため、測定周期を短縮することが可能であるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態による測定装置の要部構成を示すブロック図である。
【図２】発明の第１実施形態による測定装置の動作を説明するためのタイミングチャートである。
【図３】本発明の第１実施形態による測定装置で行われる処理を要約した図である。
【図４】本発明の第２実施形態による測定装置の要部構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施形態による測定装置について詳細に説明する。
【００１３】
〔第１実施形態〕
図１は、本発明の第１実施形態による測定装置の要部構成を示すブロック図である。図１に示す通り、本実施形態の測定装置１は、メインコントローラ１０（主制御部）及びサブコントローラ２０(副制御部）を備えており、外部から入力される測定信号Ｓ１（入力信号）及び予め用意された内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２（校正用信号）をディジタル信号に変換し、ディジタル信号に変換されたこれらのデータを用いて測定値Ｍ１を求める。このような測定装置１は、例えば、計装システムで用いられるフィールド機器、各種レコーダ、データロガー等に設けられる。
【００１４】
ここで、上記の測定信号Ｓ１は、物理量（例えば、温度、圧力、流量等）の測定結果を示す信号であり、例えば物理量の測定を行うセンサ部（図示省略）から出力される信号である。上記の内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２は、ゼロ点やスパン等を校正するための信号、或いは内部端子温度等を示す信号である。これら内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２は、例えばサブコントローラ２０に設けられている不図示の記憶部に予め記憶されている。尚、以下では、測定信号Ｓ１を「測定信号ＣＨ１」と表記し、内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２を「内部キャリブレーション信号ＣＡＬ１，ＣＡＬ２」と表記することもある。
【００１５】
メインコントローラ１０は、測定装置１の動作を統括して制御する。具体的に、メインコントローラ１０は、メインコントローラ送信部１１及びメインコントローラ受信部１２を備えており、サブコントローラ２０を制御することによって上述した測定値Ｍ１を得る。尚、このメインコントローラ１０は、例えばＣＰＵ（中央処理装置）によって実現される。
【００１６】
メインコントローラ送信部１１は、サブコントローラ２０を制御するための制御信号Ｃを、サブコントローラ２０に送信する。この制御信号Ｃは、ディジタル信号に変換させるべき測定信号Ｓ１及び内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２を指定する制御信号である。具体的に、制御信号Ｃは、図１に示す通り、サブコントローラ２０に２つの内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２が用意されている場合には、測定信号Ｓ１と内部キャリブレーション信号Ｑ１とを一度に指定する信号、或いは、測定信号Ｓ１と内部キャリブレーション信号Ｑ２とを一度に指定する信号である。
【００１７】
本実施形態では、測定信号Ｓ１と内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２の何れか一方とを一度に指定する制御信号Ｃを用いることで、メインコントローラ１０とサブコントローラ２０との間の通信回数（制御信号Ｃの通信回数）を減らして測定周期を短縮するようにしている。メインコントローラ受信部１２は、サブコントローラ２０から送信されてくる測定値Ｍ１を受信する。
【００１８】
サブコントローラ２０は、メインコントローラ１０の制御の下で、入力される測定信号Ｓ１を用いて測定値Ｍ１を求め、求めた測定値Ｍ１をメインコントローラ１０に送信する。このサブコントローラ２０は、マルチプレクサ２１（選択部）、ＡＤＣ（アナログ／ディジタル変換器）２２（変換部）、演算部２３、サブコントローラ送信部２４、サブコントローラ受信部２５、及び管理部２６を備える。尚、このサブコントローラ２０は、メインコントローラ１０と同様に、例えばＣＰＵ（中央処理装置）によって実現される。
【００１９】
マルチプレクサ２１は、測定信号Ｓ１及び内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２を入力としており、管理部２６の制御の下で、これら測定信号Ｓ１及び内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２の何れか１つを選択して出力する。ＡＤＣ２２は、管理部２６の制御の下で、マルチプレクサ２１によって選択された信号をディジタル信号に変換する。尚、ＡＤＣ２２は、変換処理を完了する度に、管理部２６に対して変換完了信号を出力する。
【００２０】
演算部２３は、管理部２６の制御の下で、ＡＤＣ２２から出力されるディジタル信号を用いて予め規定された演算を行って測定値Ｍ１を求める。具体的に、演算部２３は、ＡＤＣ２２から出力されるディジタル信号（ディジタル信号に変換された内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２）を一時的に記憶するメモリ（図示省略）を備えており、管理部２６の制御の下で、ＡＤＣ２２から出力される最新のディジタル信号（ディジタル信号に変換された測定信号Ｓ１）と、メモリに記憶されているディジタル信号とを用いて測定値Ｍ１を用いる。
【００２１】
サブコントローラ送信部２４は、演算部２３で求められた測定値Ｍ１をメインコントローラ１０（メインコントローラ受信部１２）に送信する。サブコントローラ受信部２５は、メインコントローラ１０（メインコントローラ送信部１１）から送信されてくる制御信号Ｃを受信し、受信した制御信号Ｃを管理部２６に出力する。
【００２２】
管理部２６は、サブコントローラ受信部２５から出力される制御信号Ｃに基づいて、マルチプレクサ２１、ＡＤＣ２２、及び演算部２３を制御することにより測定値Ｍ１を求めさせる。具体的に、管理部２６は、サブコントローラ受信部２５から制御信号Ｃが出力される度に、以下に示す２つの制御（第１制御及び第２制御）を順に行って測定値Ｍ１を求めさせる。
【００２３】
（１）マルチプレクサ２１を制御して測定信号Ｓ１を選択させ、ＡＤＣ２２を制御して選択された測定信号Ｓ１をディジタル信号に変換させる制御（第１制御）
（２）マルチプレクサ２１を制御して内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２の何れか一方を選択させ、ＡＤＣ２２を制御して選択された内部キャリブレーション信号をディジタル信号に変換させるとともに、演算部２３を制御して測定値Ｍ１を求めさせる制御（第２制御）
【００２４】
ここで、演算部２３は、上記（２）に示す制御において、マルチプレクサ２１で選択された内部キャリブレーション信号をディジタル信号に変換する処理と、測定値Ｍ１を演算する処理とが並行して行われるように、ＡＤＣ２２及び演算部２３を制御する。このように、本実施形態では、内部キャリブレーション信号をディジタル信号に変換する処理と、測定値Ｍ１を演算する処理とを並列させることで、測定周期を短縮するようにしている。
【００２５】
次に、上記構成における測定装置１の動作について説明する。図２は、発明の第１実施形態による測定装置の動作を説明するためのタイミングチャートである。尚、図２中の時刻ｔ１は、測定周期Ｔ１の開始時刻を示しており、時刻ｔ２は、測定周期Ｔ１の終了時刻を示している。尚、時刻ｔ２は、測定周期Ｔ２の開始時刻であるということもできる。各測定周期Ｔ１，Ｔ２，…は、メインコントローラ１０からサブコントローラ２０に対して制御信号Ｃが送信されてから、サブコントローラ２０からの測定値Ｍ１をメインコントローラ１０が取得するまでの期間である。
【００２６】
まず、時刻ｔ１において、測定信号Ｓ１と内部キャリブレーション信号Ｑ１とを一度に指定する制御信号Ｃ１がメインコントローラ１０のメインコントローラ送信部１１から送信されたとする（ステップＳ１１）。この制御信号Ｃは、サブコントローラ２０に設けられたサブコントローラ受信部２５で受信される（ステップＳ１２）。尚、サブコントローラ受信部２５で受信された制御信号Ｃは管理部２６に出力される。
【００２７】
すると、管理部２６によってマルチプレクサ２１及びＡＤＣ２２が制御され、制御信号Ｃによって指定された測定信号Ｓ１を選択してディジタル信号に変換する処理が行われる（ステップＳ１３）。つまり、前述した（１）に示す制御（第１制御）が行われ、これより、ＡＤＣ２２では、測定信号Ｓ１（測定信号ＣＨ１）をディジタル信号に変換する処理が実施される（ステップＳ１４）。
【００２８】
測定信号Ｓ１をディジタル信号に変換する処理が完了すると、変換されたディジタル信号がＡＤＣ２２から演算部２３に出力されるとともに、変換完了信号がＡＤＣ２２から管理部２６に出力される。すると、管理部２６によってマルチプレクサ２１、ＡＤＣ２２、及び演算部２３が制御され、制御信号Ｃによって指定された内部キャリブレーション信号Ｑ１を選択してディジタル信号に変換する処理と、測定値Ｍ１を演算する処理とが行われる（ステップＳ１５）。つまり、前述した（２）に示す制御（第２制御）が行われ、これより、内部キャリブレーション信号Ｑ１（内部キャリブレーション信号ＣＡＬ１）をディジタル信号に変換する処理（ステップＳ１６）と、測定値Ｍ１を演算する処理（ステップＳ１７）とが、ＡＤＣ２２及び演算部２３で並列して実施される。
【００２９】
ここで、演算部２３では、ＡＤＣ２２から出力される最新のディジタル信号と、演算部２３に設けられた不図示のメモリに記憶されているディジタル信号とを用いて測定値Ｍ１を演算する処理が行われる。具体的には、ステップＳ１４でディジタル信号に変換された測定信号Ｓ１と、時刻ｔ１よりも前にディジタル信号に変換された内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２のうち、最も新しい内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２とを用いて測定値Ｍ１が演算される。
【００３０】
内部キャリブレーション信号Ｑ１をディジタル信号に変換する処理（ステップＳ１６の処理）が終了すると、変換されたディジタル信号がＡＤＣ２２から演算部２３に出力されて演算部２３に設けられた不図示のメモリに記憶されるとともに、変換完了信号がＡＤＣ２２から管理部２６に出力される。尚、詳細は後述するが、上記のメモリに記憶されたディジタル信号は、図２に示す測定周期Ｔ１よりも後の測定周期で測定値Ｍ１を求める際に用いられる。
【００３１】
また、演算部２３での演算が終了すると、演算部２３で求められた測定値Ｍ１はサブコントローラ送信部２４によってメインコントローラ１０に送信される（ステップＳ１８）。この測定値Ｍ１がメインコントローラ１０のメインコントローラ受信部１２で受信されると測定周期Ｔ１が終了する。
【００３２】
尚、図２に示す測定周期Ｔ１が終了すると同時に、次の測定周期Ｔ２が開始される。すると、例えば測定信号Ｓ１と内部キャリブレーション信号Ｑ２とを一度に指定する制御信号Ｃ１がメインコントローラ１０からサブコントローラ２０に送信され、測定周期Ｔ１で行われた処理と同様の処理が行われる。以後、測定周期毎に、測定信号Ｓ１と内部キャリブレーション信号Ｑ１とを一度に指定する制御信号Ｃ１と、測定信号Ｓ１と内部キャリブレーション信号Ｑ２とを一度に指定する制御信号Ｃ１とが交互に送信されて測定値Ｍ１の測定が行われる。
【００３３】
図３は、本発明の第１実施形態による測定装置で行われる処理を要約した図である。図３に示す通り、測定周期Ｔ１では、測定信号ＣＨ１（測定信号Ｓ１）をディジタル信号に変換する処理Ｐ１１、内部キャリブレーション信号ＣＡＬ１（内部キャリブレーション信号Ｑ１）をディジタル信号に変換する処理Ｐ１２、及び測定値Ｍ１を演算する処理Ｐ１３が行われる。測定周期Ｔ２では、測定信号ＣＨ１（測定信号Ｓ１）をディジタル信号に変換する処理Ｐ２１、内部キャリブレーション信号ＣＡＬ２（内部キャリブレーション信号Ｑ２）をディジタル信号に変換する処理Ｐ２２、及び測定値Ｍ１を演算する処理Ｐ２３が行われる。また、測定周期Ｔ３では測定周期Ｔ１と同様の処理Ｐ３１〜Ｐ３３が行われ、測定周期Ｔ４では測定周期Ｔと同様の処理Ｐ３１〜Ｐ３３が行われる。
【００３４】
ここで、測定周期Ｔ３に着目すると、測定値Ｍ１を演算する処理Ｐ３３が開始された時点では処理Ｐ３２が完了しておらず、内部キャリブレーション信号ＣＡＬ１はディジタル信号に変換されていない。このため、処理Ｐ３３を実施する演算部２３は、測定周期Ｔ３の処理Ｐ３１でディジタル信号に変換された測定信号ＣＨ１、測定周期Ｔ２の処理Ｐ２２でディジタル信号に変換された内部キャリブレーション信号ＣＡＬ２、及び測定周期Ｔ１の処理Ｐ１２でディジタル信号に変換された内部キャリブレーション信号ＣＡＬ１を用いて測定値Ｍ１を演算する。
【００３５】
同様に、測定周期Ｔ４に着目すると、測定値Ｍ１を演算する処理Ｐ４３が開始された時点では処理Ｐ４２が完了しておらず、内部キャリブレーション信号ＣＡＬ２はディジタル信号に変換されていない。このため、処理Ｐ４３を実施する演算部２３は、測定周期Ｔ４の処理Ｐ４１でディジタル信号に変換された測定信号ＣＨ１、測定周期Ｔ３の処理Ｐ３２でディジタル信号に変換された内部キャリブレーション信号ＣＡＬ１、及び測定周期Ｔ２の処理Ｐ２２でディジタル信号に変換された内部キャリブレーション信号ＣＡＬ２を用いて測定値Ｍ１を演算する。
【００３６】
このように、本実施形態では、演算部２３の演算が実施される測定周期（例えば、処理Ｐ３３が実施される測定周期Ｔ３）でディジタル信号に変換された測定信号ＣＨ１と、前の測定周期（例えば、測定周期Ｔ１，Ｔ２）でディジタル信号に変換された内部キャリブレーション信号ＣＡＬ１，ＣＡＬ２とを用いて測定値Ｍを求めるようにしている。このため、内部キャリブレーション信号をディジタル信号に変換する処理と測定値Ｍ１を演算する処理とを並列させても測定値Ｍを求めることができる。
【００３７】
以上の通り、本実施形態では、ディジタル信号に変換させるべき測定信号Ｓ１と内部キャリブレーション信号（内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２の何れか一方）とを一度に指定する制御信号Ｃをメインコントローラ１０からサブコントローラ２０に送信し、サブコントローラ２０において、制御信号Ｃに基づいて前述した（１），（２）に示す制御を順に行って測定値Ｍ１を求めるようにしている。これにより、内部キャリブレーション信号をディジタル信号に変換する処理と、測定値Ｍ１を演算する処理とを並列させることができるとともに、メインコントローラ１０とサブコントローラ２０との間の通信回数を減らすことができるため、測定周期を短縮することが可能である。
【００３８】
〔第２実施形態〕
図４は、本発明の第２実施形態による測定装置の要部構成を示すブロック図である。尚、図４においては、図１中に示すブロックに相当するブロックには同一の符号を付してある。図４に示す通り、本実施形態の測定装置２は、メインコントローラ１０と複数のサブコントローラ２０ａ〜２０ｃとを備えており、外部から入力される複数（複数チャネル）の測定信号Ｓ１〜Ｓ３を用いて複数の測定値Ｍ１〜Ｍ３をそれぞれ求めることが可能なものである。
【００３９】
複数のサブコントローラ２０ａ〜２０ｃは、図１に示すサブコントローラ２０と同様の構成である。これら複数のサブコントローラ２０ａ〜２０ｃに設けられたサブコントローラ受信部２５は、メインコントローラ１０に設けられたメインコントローラ送信部１１に接続されている。このため、メインコントローラ送信部１１が制御信号Ｃを一度送信するだけで、複数のサブコントローラ２０ａ〜２０ｃに対して制御信号Ｃを一括して送信すること（ブロードキャスト送信）が可能である。これにより、複数のサブコントローラ２０ａ〜２０ｃを設けても、制御信号Ｃの通信回数が増加することはない。但し、複数のサブコントローラ２０ａ〜２０ｃから送信されてくる測定値Ｍ１〜Ｍ３は順次受信する必要がある。
【００４０】
上記構成の測定装置２は、複数のサブコントローラ２０ａ〜２０ｃを備えている点を除いて、基本的には第１実施形態と同様である。このため、本実施形態の測定装置２においても、ディジタル信号に変換させるべき測定信号（測定信号Ｓ１〜Ｓ３）と内部キャリブレーション信号（内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２の何れか一方）とを一度に指定する制御信号Ｃがメインコントローラ１０からサブコントローラ２０に送信され、サブコントローラ２０において前述した（１），（２）に示す制御が順に行われて測定値Ｍ１が求められている。これにより、本実施形態においても。測定周期を短縮することが可能である。
【００４１】
以上、本発明の実施形態による測定装置について説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態では、２つの内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２がサブコントローラ２０に用意されている例を挙げて説明したが、内部キャリブレーション信号Ｑ１，Ｑ２の数は１つでもよく、３つ以上であっても良い。
【符号の説明】
【００４２】
１，２            測定装置
１０              メインコントローラ
２０              サブコントローラ
２０ａ〜２０ｃ    サブコントローラ
２１              マルチプレクサ
２２              ＡＤＣ
２３              演算部
２６              管理部
Ｃ                制御信号
Ｍ１              測定値
Ｑ１，Ｑ２        内部キャリブレーション信号
Ｓ１              測定信号
【図１】
0006032232.tif 000002
【図２】
0006032232.tif 000003
【図３】
0006032232.tif 000004
【図４】
0006032232.tif 000005