(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井走行車が走行する走行レールに対して着脱可能であり、前記走行レールに取り付けられた状態において、前記天井走行車に設けられた検出部に検出させることで前記天井走行車を停止させる天井走行車用ストッパであって、
前記走行レールに対して着脱可能であり、前記走行レールに取り付けられた状態において、前記検出部によって検出される被検出部を有するストッパ本体と、
前記走行レールに対して着脱可能であり、前記走行レールに取り付けられた状態において、前記ストッパ本体と連結されるストッパ補強体と、
前記ストッパ本体及び前記ストッパ補強体が前記走行レールに取り付けられた状態において、前記ストッパ本体と前記ストッパ補強体との連結の解除を規制する連結錠と、を備える、天井走行車用ストッパ。
【請求項２】
前記ストッパ本体及び前記ストッパ補強体は、前記走行レールのうち前記天井走行車が走行する走行部分以外の部分に設けられたブラケットに対して着脱可能となっている、請求項１記載の天井走行車用ストッパ。
【請求項３】
前記ストッパ本体は、
前記走行レールに対して着脱可能である第１棒状部材と、
一端部が前記第１棒状部材に固定され、前記被検出部が取り付けられた第１梁状部材と、を更に有し、
前記ストッパ補強体は、
前記走行レールに対して着脱可能である第２棒状部材と、
一端部が前記第２棒状部材に固定され、前記走行レールに取り付けられた状態において、他端部が前記第１梁状部材の他端部に連結される第２梁状部材と、を有する、請求項１又は２記載の天井走行車用ストッパ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井走行車用ストッパに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の天井走行車用ストッパとして、天井走行車が走行する走行レールに対して着脱可能であり、走行レールに取り付けられた状態において、天井走行車に設けられた検出部に検出させることで天井走行車を停止させるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４４６５４１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような天井走行車用ストッパは、検出部に検出させることで天井走行車を停止させることができなかった場合に備えて、衝突した天井走行車を停止させるのに十分な強度を確保する必要がある。しかしながら、十分な強度を確保することで天井走行車用ストッパの重量が増加してしまうと、作業者が走行レールに対して天井走行車用ストッパを着脱し難くなるおそれがある。
【０００５】
そこで、本発明は、走行レールに対する着脱作業の効率を維持しつつ、十分な強度を確保することができる天井走行車用ストッパを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の天井走行車用ストッパは、天井走行車が走行する走行レールに対して着脱可能であり、走行レールに取り付けられた状態において、天井走行車に設けられた検出部に検出させることで天井走行車を停止させる天井走行車用ストッパであって、走行レールに対して着脱可能であり、走行レールに取り付けられた状態において、検出部によって検出される被検出部を有するストッパ本体と、走行レールに対して着脱可能であり、走行レールに取り付けられた状態において、ストッパ本体と連結されるストッパ補強体と、を備える。
【０００７】
この天井走行車用ストッパでは、ストッパ補強体が、走行レールに取り付けられた状態において、ストッパ本体と連結される。これにより、作業者は、ストッパ本体とストッパ補強体とを別々に取り扱うことができるため、走行レールに対してストッパ本体及びストッパ補強体を容易に着脱することができる。一方で、走行レールに取り付けられた状態においては、ストッパ本体とストッパ補強体とが連結されているので、天井走行車用ストッパの全体の強度を十分に確保することができる。従って、この天井走行車用ストッパによれば、走行レールに対する着脱作業の効率を維持しつつ、十分な強度を確保することができる。
【０００８】
本発明の天井走行車用ストッパでは、ストッパ本体及びストッパ補強体は、走行レールのうち天井走行車が走行する走行部分以外の部分に設けられたブラケットに対して着脱可能となっていてもよい。この構成によれば、天井走行車が天井走行車用ストッパに衝突したとしても、走行レールの走行部分が損傷するのを抑制することができる。
【０００９】
本発明の天井走行車用ストッパは、ストッパ本体及びストッパ補強体が走行レールに取り付けられた状態において、ストッパ本体とストッパ補強体との連結の解除を規制する連結錠を更に備えていてもよい。この構成によれば、例えば、走行レールに天井走行車用ストッパを取り付けた作業者以外の作業者が誤って走行レールから天井走行車用ストッパを取り外すのを防止することができる。
【００１０】
本発明の天井走行車用ストッパでは、ストッパ本体は、走行レールに対して着脱可能である第１棒状部材と、一端部が第１棒状部材に固定され、被検出部が取り付けられた第１梁状部材と、を更に有し、ストッパ補強体は、走行レールに対して着脱可能である第２棒状部材と、一端部が第２棒状部材に固定され、走行レールに取り付けられた状態において、他端部が第１梁状部材の他端部に連結される第２梁状部材と、を有していてもよい。この構成によれば、棒状部材及び梁状部材という汎用的な部材によってストッパ本体及びストッパ補強体を構成することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、走行レールに対する着脱作業の効率を維持しつつ、十分な強度を確保することができる天井走行車用ストッパを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態の天井走行車用ストッパが適用された搬送システムの斜視図である。
【図２】図１の走行レールに設けられたブラケットの斜視図である。
【図３】図１の天井走行車用ストッパのストッパ本体の斜視図である。
【図４】図１の天井走行車用ストッパのストッパ補強体の斜視図である。
【図５】図１の天井走行車用ストッパの連結錠の斜視図である。
【図６】図１のストッパ本体とストッパ補強体とが連結した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１４】
図１に示されるように、搬送システム１００は、走行レール６０と、天井走行車５０と、を備えている。走行レール６０は、例えば、半導体デバイスが製造されるクリーンルーム内の天井付近に敷設されている。天井走行車５０は、走行レール６０に沿って走行し、例えば、複数枚の半導体ウェハが収容されたカセット（いわゆるＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod））を被搬送物として搬送すると共に、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられたロードポート等において被搬送物の移載を行う。
【００１５】
天井走行車用ストッパ１は、天井走行車５０が走行する走行レール６０に対して着脱可能であり、走行レール６０に取り付けられた状態において、天井走行車５０に設けられた検出部に検出させることで天井走行車５０を停止させるものである。天井走行車用ストッパ１は、走行レール６０等の保守又は点検を行うために、天井走行車５０の走行を一時的に停止させるものである。
【００１６】
天井走行車５０の走行方向（Ｙ方向）の前面には、光センサ装置（検出部）５１が取り付けられている。光センサ装置５１は、光射出部５１ａと、受光部５１ｂと、を有している。光射出部５１ａは、走行方向の前方に向けて検出光Ｌを射出する。受光部５１ｂは、走行方向の前方で反射された検出光Ｌを受光する。天井走行車５０は、光センサ装置５１の光射出部５１ａから検出光Ｌを射出しながら走行する。この天井走行車５０の走行方向の前方に障害物が存在する場合、検出光Ｌが障害物によって反射され、その反射光が受光部５１ｂに受光される。これにより、天井走行車５０の前方に障害物が存在するか否かを判断することができると共に、天井走行車５０と障害物との距離を算出することができる。天井走行車５０は、障害物との距離が所定値以下になった場合に、減速又は停止するようになっている。
【００１７】
天井走行車５０には、全周に亘って接触式スイッチ（検出部）５２が取り付けられている。接触式スイッチ５２は、隙間を空けて二重に巻き付けられたテープ状の外側スイッチ５２ａと、外部から外側スイッチ５２ａが内側に押し付けられ際に、外側スイッチ５２ａと接触されることで作動する内側スイッチ（不図示）と、を有している。接触式スイッチ５２の外側スイッチ５２ａは、天井走行車５０の側面より突出している。この接触式スイッチ５２が作動すると、天井走行車５０は停止する。
【００１８】
走行レール６０は、断面矩形状の部材であって、走行方向に延びている。天井走行車５０は、走行レール６０の内側に沿って走行する。走行レール６０には、図２に示されるように、天井走行車５０の走行方向に沿ってブラケット６１，６２がそれぞれ設けられている。ブラケット６１，６２は、走行レール６０のうち天井走行車５０が走行する走行部分以外の部分６０ａ，６０ｂに設けられている。部分６０ａは、走行レール６０の外側の側面である。部分６０ｂは、部分６０ａの端部から直交方向に延びる外側の上面である。ストッパ本体１０は、ブラケット６１に対して着脱可能となっており、ストッパ補強体２０は、ブラケット６２に対して着脱可能となっている。ブラケット６１及びブラケット６２は同一の構成となっているため、以下では、ブラケット６１の構成のみを説明し、ブラケット６２の構成の説明は省略する。
【００１９】
ブラケット６１は、走行レール６０に対して固定された固定板６１ａと、ストッパ本体１０を保持する上ガイド板６１ｂ及び下ガイド板６１ｃと、ストッパ本体１０が所定以上に天井Ｗ側へ移動しないように規制する規制板６１ｄと、を有している。
【００２０】
固定板６１ａは、走行レール６０の走行部分以外の部分６０ａ，６０ｂに沿うような形状で走行レール６０に対して当接すると共に固定されている。固定板６１ａは、走行レール６０に固定された面と反対側の面に、上ガイド板６１ｂ及び下ガイド板６１ｃを保持する保持部６１ｉ，６１ｊを有している。保持部６１ｉ，６１ｊは、後述する上ガイド板６１ｂ及び下ガイド板６１ｃの孔部６１ｅ，６１ｆを遮らないように位置している。
【００２１】
上ガイド板６１ｂ及び下ガイド板６１ｃは、その面が略水平となるように固定板６１ａの保持部６１ｉ，６１ｊに保持され、固定板６１ａに固定されている。上ガイド板６１ｂ及び下ガイド板６１ｃは、天井Ｗに向かう方向（Ｚ方向）に沿って並べられており、略水平の面が互いに対向している。上ガイド板６１ｂは、下ガイド板６１ｃよりも天井Ｗ側に位置している。上ガイド板６１ｂの略水平の面には、上ガイド板６１ｂを貫通する孔部６１ｅが設けられている。孔部６１ｅの孔形状は、丸孔の両側にそれぞれ切り欠きが加えられた形状となっている。更に、上ガイド板６１ｂの略水平の面のうち天井Ｗ側の上面６１ｈには、後述するストッパ本体１０の落下防止ピン１２ｂと係合するように窪み形状の係合部６１ｇが設けられている。下ガイド板６１ｃの略水平の面には、下ガイド板６１ｃを貫通する孔部６１ｆが設けられている。孔部６１ｆの孔形状は、孔部６１ｅと同様、丸孔の両側にそれぞれ切り欠きが加えられた形状となっている。上ガイド板６１ｂ及び下ガイド板６１ｃの各孔部６１ｅ，６１ｆに形成された切欠き部分は、天井Ｗ側からみたときに、互いの位相が異なるように、例えば約４５度ずれて形成されている。
【００２２】
規制板６１ｄは、一面が上ガイド板６１ｂの上面６１ｈと対向するように配置され、固定板６１ａに対して固定されている。規制板６１ｄの当該一面は、ストッパ本体１０が所定の位置よりも天井Ｗ側に移動しないようにストッパ本体１０の丸棒１２ａの先端部と当接する。
【００２３】
次に、天井走行車用ストッパ１の構成を説明する。図１に示されるように、天井走行車用ストッパ１は、走行レール６０に対して着脱可能なストッパ本体１０と、走行レール６０に対して着脱可能であり、走行レール６０に取り付けられた状態において、ストッパ本体１０と連結されるストッパ補強体２０と、ストッパ本体１０及びストッパ補強体２０が走行レール６０に取り付けられた状態において、ストッパ本体１０とストッパ補強体２０との連結の解除を規制する連結錠３０と、を備えている。
【００２４】
図３に示されるように、ストッパ本体１０は、走行レール６０に取り付けられた状態において光センサ装置５１によって検出される被検出部１１と、ブラケット６１を介して走行レール６０に対して着脱可能である第１棒状部材１２と、一端部が第１棒状部材１２に固定され、被検出部１１が取り付けられた第１梁状部材１３と、を有している。
【００２５】
被検出部１１は、平面視で矩形状を呈する板部材で形成されており、例えばプラスチック等の軽量な材料を用いて形成されている。被検出部１１の被検出面１１ａの寸法は、光センサ装置５１から射出される検出光Ｌの広がり幅に対応している。被検出部１１の少なくとも一部は、ストッパ本体１０が走行レール６０に取り付けられた状態において、天井走行車５０の走行領域内に位置している。また、被検出面１１ａは、ストッパ本体１０が走行レール６０に取り付けられた状態において、天井走行車５０の走行方向に対して直交している。
【００２６】
第１棒状部材１２は、丸棒１２ａと、丸棒１２ａの一端部に配置される共に丸棒１２ａの外周面から突出するように丸棒１２ａの孔部１２ｃに挿入された落下防止ピン１２ｂと、を有している。丸棒１２ａは、例えばアルミニウム等の材料を用いて形成されている。落下防止ピン１２ｂは、ストッパ本体１０を保持する強度を有すると共に、丸棒１２ａの外径よりも長くなっている。丸棒１２ａの他端部は、作業者が持ちやすいような形状であればよい。
【００２７】
第１梁状部材１３は、被検出部１１が取り付けられる細長い底板１３ｂと、底板１３ｂの両側端から立設され且つ互いに対向する側板１３ｃ，１３ｄと、を有している。第１梁状部材１３の一端部は、側板１３ｃ，１３ｄによって丸棒１２ａに固定されており、第１梁状部材１３の他端部は、丸棒１２ａと直交する方向に延びている。他端部のうち側板１３ｄの部分には、ストッパ補強体２０と連結できるようにピン部１３ａが形成されている。ピン部１３ａは、天板と直交する方向に突出しており、先端の外径がわずかに大きくなっている。なお、ピン部１３ａは、側板１３ｄの内側に突出するように形成してもよい。被検出部１１は、その上部が底板１３ｂに取り付けられる。第１梁状部材１３は、例えば、板金に曲げ加工を施すことによって形成してもよい。
【００２８】
図４に示されるように、ストッパ補強体２０は、ブラケット６２を介して走行レール６０に対して着脱可能である第２棒状部材２１と、一端部が第２棒状部材２１に固定され、走行レール６０に取り付けられた状態において、他端部が第１梁状部材１３の他端部に連結される第２梁状部材２２と、を有している。
【００２９】
第２棒状部材２１は、丸棒２１ａと、丸棒２１ａの一端部に配置される共に丸棒２１ａの外周面から突出するように丸棒２１ａの孔部２１ｃに挿入された落下防止ピン２１ｂと、を有している。第２棒状部材２１は、第１棒状部材１２と同様の構成となっている。丸棒２１ａは、例えばアルミニウム等の材料を用いて形成されている。落下防止ピン２１ｂは、ストッパ補強体２０を保持する強度を有すると共に、丸棒２１ａの外径よりも長くなっている。丸棒２１ａの他端部は、作業者が持ちやすいような形状であればよい。
【００３０】
第２梁状部材２２は、細長い天板２２ｂと、天板２２ｂと共に平面視でＬ字状を呈するように天板２２ｂの一側端から立設された側板２２ｃと、を有している。第２梁状部材２２の一端部は、天板２２ｂによって丸棒２１ａに固定されており、第２梁状部材２２の他端部は、丸棒２１ａと直交する方向に延びている。第２梁状部材２２の他端部のうち天板２２ｂの部分には、ストッパ補強体２０と連結するように孔部２２ａが形成されている。
第２梁状部材２２は、例えば、板金に曲げ加工を施すことによって形成してもよい。
【００３１】
図５に示されるように、連結錠３０は、ストッパ本体１０の第１棒状部材１２に固定される第１継手部３１と、ストッパ補強体２０の第２棒状部材２１に固定される第２継手部３２と、第１継手部３１と第２継手部３２とを連結する錠部３３とを、有している。
【００３２】
第１継手部３１は、第１棒状部材１２の丸棒１２ａの外周面と内側で当接する円筒部３１ａと、円筒部３１ａの外周面から突出する突出部３１ｂと、を有している。第１継手部３１の円筒部３１ａは、第１棒状部材１２の丸棒１２ａの長手方向において、作業者の手の届く位置に配置されると共に、丸棒１２ａに対して固定されている。突出部３１ｂの先端部には、孔部３１ｃが形成されている。
【００３３】
第２継手部３２は、第２棒状部材２１の丸棒２１ａの外周面と内側で当接する円筒部３２ａと、円筒部３２ａの外周面から突出する突出部３２ｂと、を有している。第２継手部３２の円筒部３２ａは、第２棒状部材２１の丸棒２１ａの長手方向において、作業者の手の届く位置に配置されると共に、丸棒２１ａに対して固定されている。第２継手部３２は、第１継手部３１に対して対向するように位置している。突出部３２ｂの先端部には、孔部３２ｃが形成されている。また、突出部３２ｂの突出長さは、ストッパ本体１０及びストッパ補強体２０が走行レール６０に取り付けられた状態において、第１継手部３１の孔部３１ｃに対して第２継手部３２の孔部３２ｃが重なり合う程度の長さを必要とする。
【００３４】
錠部３３は、第１継手部３１の孔部３１ｃと第２継手部の孔部３２ｃとが所定の間隔以上離れないようにロックする。例えば、錠部３３は、工場内で作業者を守る目的で装置をロックアウト／タグアウトする際に用いられる掛け金等であってもよい。
【００３５】
上述したような天井走行車用ストッパ１を走行レール６０に取り付ける場合の操作の一例を図２〜図６を用いて説明する。なお、ブラケット６１，６２は、走行レール６０の走行方向に対して、所定の間隔ごとにあらかじめ設けられている。
【００３６】
図２に示されるように、作業者は、ストッパ補強体２０の第２棒状部材２１をブラケット６２の下ガイド板６２ｃの孔部６２ｄに挿入する。このとき、孔部６２ｄの切欠き部分と第２棒状部材２１の落下防止ピン２１ｂとの位置が、重なり合うように挿入する。これにより、第２棒状部材２１の先端部は、下ガイド板６２ｃを通過して上ガイド板６２ｂに突き当たる。このとき、下ガイド板６２ｃの孔部６２ｄの切欠き部分と、上ガイド板６２ｂの孔部６２ｅの切欠き部分との位相がずれているため、作業者は、第２棒状部材２１を回しながら、上ガイド板６２ｂに突き当てる必要がある。第２棒状部材２１を回転させることで、落下防止ピン２１ｂと孔部６２ｅの切欠き部分とが重なり合うと、第２棒状部材２１の先端は、上ガイド板６２ｂを通過する。上ガイド板６２ｂを通過した後に、第２棒状部材２１を更に回転させ、上ガイド板６２ｂの上面６２ｆに形成された窪み形状の係合部６２ｇに対して第２棒状部材２１の落下防止ピン２１ｂを係合させる。以上の手順によって、ストッパ補強体２０は、ブラケット６２を介して走行レール６０に取り付けられる。なお、孔部６２ｄ，６２ｅの切欠き部分の位相がずれているため、仮に、上ガイド板６２ｂから第２棒状部材２１が抜けたとしても、下ガイド板６２ｃによりストッパ補強体２０の落下を防止することができる。ストッパ本体１０においても、上記のストッパ補強体２０と同様の手順で、走行レール６０に取り付けられる。
【００３７】
ストッパ本体１０が走行レール６０に取り付けられたのちに、図３，図４，図６に示されるように、第２梁状部材２２の他端部に形成された孔部２２ａに対して、第１梁状部材１３の他端部に形成されたピン部１３ａを挿入する。これにより、ストッパ本体１０とストッパ補強体２０とが連結される。ピン部１３ａの先端部は、外径がわずかに大きくなっており、孔部２２ａがピン部１３ａから抜けることを抑制している。
【００３８】
その後、図５に示されるように、連結錠３０の第１継手部３１及び第２継手部３２に設けられた各孔部３１ｃ，３２ｃを重なり合わせ、錠部３３によって各孔部３１ｃ，３２ｃを連結する。
【００３９】
ストッパ本体１０及びストッパ補強体２０を走行レール６０から取り外す場合は、上記の取り付け作業とは逆の手順を行う。
【００４０】
以上、説明したように、天井走行車用ストッパ１では、ストッパ補強体２０が、走行レール６０に取り付けられた状態において、ストッパ本体１０と連結される。これにより、作業者は、ストッパ本体１０とストッパ補強体２０とを別々に取り扱うことができるため、走行レール６０に対してストッパ本体１０及びストッパ補強体２０を容易に着脱することができる。一方で、走行レール６０に取り付けられた状態においては、ストッパ本体１０とストッパ補強体２０とが連結されるので、天井走行車用ストッパ１の全体の強度が十分に確保できる。従って、天井走行車用ストッパ１によれば、走行レール６０に対する着脱作業の効率を維持しつつ、十分な強度を確保することができる。
【００４１】
また、天井走行車用ストッパ１では、ストッパ本体１０及びストッパ補強体２０は、走行レール６０のうち天井走行車５０が走行する走行部分以外の部分に設けられたブラケット６１，６２に対して着脱可能となっている。これにより、天井走行車５０が天井走行車用ストッパ１に衝突したとしても、走行レール６０の走行部分が損傷するのを抑制することができる。また、ストッパ本体１０及びストッパ補強体２０が着脱されるブラケット６１，６２が、天井走行車５０の走行を遮ることを抑制することができる。
【００４２】
また、天井走行車用ストッパ１は、ストッパ本体１０及びストッパ補強体２０が走行レール６０に取り付けられた状態において、ストッパ本体１０とストッパ補強体２０との連結の解除を規制する連結錠３０を備えている。これにより、例えば、走行レール６０に天井走行車用ストッパ１を取り付けた作業者以外の作業者が誤って走行レール６０から天井走行車用ストッパ１を取り外すのを防止することができる。
【００４３】
また、天井走行車用ストッパ１では、ストッパ本体１０は、走行レール６０に対して着脱可能である第１棒状部材１２と、一端部が第１棒状部材１２に固定され、被検出部１１が取り付けられた第１梁状部材１３と、を有し、ストッパ補強体２０は、走行レール６０に対して着脱可能である第２棒状部材２１と、一端部が第２棒状部材２１に固定され、走行レール６０に取り付けられた状態において、他端部が第１梁状部材１３の他端部に連結される第２梁状部材２２と、を有している。この構成によれば、棒状部材及び梁状部材という汎用的な部材によってストッパ本体１０及びストッパ補強体２０を構成することができる。また、天井走行車用ストッパ１は、棒状部材及び梁状部材という入手容易な部材を用いるため、低コストで構成することができる。
【００４４】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形形態に限定されない。例えば、走行レール６０に対するストッパ本体１０及びストッパ補強体２０の着脱位置は、本実施形態で説明した着脱位置と走行レール６０を挟んで対向する側にあってもよい。また、ストッパ補強体２０の着脱位置のみを、対向する側に設けてもよい。また、複数のブラケットを走行レール６０に設ける必要はなく、例えば単一のブラケットに対してストッパ本体１０及びストッパ補強体２０が着脱可能となっていてもよい。また、本実施形態では、検出部として、光センサ装置５１及び接触式スイッチ５２の両方を用いているが、いずれか一方でもよい。
【００４５】
また、天井走行車用ストッパ１は、半導体デバイスを製造するためのクリーンルームに設置された走行レール６０に着脱される場合に限定されない。そして、天井走行車用ストッパ１の構成部材の材料及び形状は、上述されるような材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を適用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１…天井走行車用ストッパ、１０…ストッパ本体、１１…被検出部、１２…第１棒状部材、１３…第１梁状部材、２０…ストッパ補強体、２１…第２棒状部材、２２…第２梁状部材、３０…連結錠、５０…天井走行車、５１…光センサ装置（検出部）、５２…接触式スイッチ（検出部）、６０…走行レール、６１，６２…ブラケット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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