(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームに取り付けられて用いられる蒸着マスクであって、
所定の開口部が設けられた第１の樹脂マスクと、
スリットが設けられた金属マスクと、
蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数配置された第２の樹脂マスクと、
がこの順で積層されてなり、
前記金属マスクにおける一のスリットは、前記第２の樹脂マスクにおける複数の開口部と重なっていることを特徴とする蒸着マスク。
【請求項２】
前記第１の樹脂マスクに設けられた開口部の形状が、前記金属マスクに設けられたスリットと同じ形状であることを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
【請求項３】
前記金属マスクが、磁性体であることを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着マスク。
【請求項４】
前記第２の樹脂マスクの開口部の断面形状が、蒸着源方向に向かって広がりをもつことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項５】
第２の樹脂マスクの前記開口部を形成する端面にバリア層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項６】
前記第２の樹脂マスクの厚みが５μｍ〜２５μｍであることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項７】
フレームに蒸着マスクが取り付けられたフレーム付き蒸着マスクであって、
前記蒸着マスクが、
所定の開口部が設けられた第１の樹脂マスクと、
スリットが設けられた金属マスクと、
蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数配置された第２の樹脂マスクと、
がこの順で積層されてなり、
前記金属マスクにおける一のスリットは、前記第２の樹脂マスクにおける複数の開口部と重なっていることを特徴とするフレーム付き蒸着マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着マスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機ＥＬ素子の製造において、有機ＥＬ素子の有機層或いはカソード電極の形成には、例えば、蒸着すべき領域に多数の微細なスリットを微小間隔で平行に配列してなる金属マスク（蒸着マスク）が使用されていた。この金属マスクを用いる場合、蒸着すべき基板表面に単に金属マスクを載置し、裏面から磁石を用いて保持させているが、スリットの剛性は極めて小さいことから、金属マスクを基板表面に保持する際にスリットにゆがみが生じやすく、高精細化或いはスリット長さが大となる製品の大型化の障害となっていた。
【０００３】
スリットのゆがみを防止するための蒸着マスクについては、種々の検討がなされており、例えば、特許文献１には、複数の開口部を備えた第一金属マスクを兼ねるベースプレートと、前記開口部を覆う領域に多数の微細なスリットを備えた第二金属マスクと、第二金属マスクをスリットの長手方向に引っ張った状態でベースプレート上に位置させるマスク引張保持手段を備えた蒸着マスクが提案されている。この蒸着マスクによれば、スリットにゆがみを生じさせることなくスリット精度を確保できるとされている。
【０００４】
ところで近時、有機ＥＬ素子を用いた製品の大型化或いは基板サイズの大型化にともない、蒸着マスクに対しても大型化の要請が高まりつつある。しかしながら、現在の金属加工技術では、大型の金属板に微細パターンを精度よく形成することは困難であり、たとえ上記特許文献１に提案されている方法などによってスリット部のゆがみを防止できたとしても、高精細化への対応はできない。また、開口パターンを備える金属マスクを単独で、或いは開口パターンを備える金属マスクとスリットを備える金属マスクを組み合わせた蒸着マスクとした場合には、大型化に伴いその質量も増大し、フレームを含めた総質量も増大することから取り扱いに支障をきたすこととなる。
【０００５】
またさらに、通常蒸着マスクはフレームに固定された状態で使用されるところ、蒸着マスクを大型化していった場合には、フレームと蒸着マスクの位置合わせを精度よく行うことができないといった問題も生じうる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−３３２０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができ、さらにフレームに精度よく位置合わせすることができる蒸着マスクを提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の蒸着マスクは、フレームに取り付けられて用いられる蒸着マスクであって、所定の開口部が設けられた第１の樹脂マスクと、スリットが設けられた金属マスクと、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数配置された第２の樹脂マスクと、がこの順で積層されてなり、前記金属マスクにおける一のスリットは、前記第２の樹脂マスクにおける複数の開口部と重なっていることを特徴とする。
【０００９】
また、前記の蒸着マスクにあっては、前記第１の樹脂マスクに設けられた開口部の形状が、前記金属マスクに設けられたスリットと同じ形状であってもよい。
【００１１】
また、前記金属マスクが、磁性体であってもよい。また、前記開口部の断面形状が、蒸着源方向に向かって広がりをもっていてもよい。また、前記樹脂マスクの前記開口部を形成する端面にバリア層が設けられていてもよい。また、前記樹脂マスクの厚みが５μｍ〜２５μｍであってもよい。
さらに、上記課題を解決するための本発明のフレーム付き蒸着マスクは、フレームに蒸着マスクが取り付けられたフレーム付き蒸着マスクであって、前記蒸着マスクが、所定の開口部が設けられた第１の樹脂マスクと、スリットが設けられた金属マスクと、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数配置された第２の樹脂マスクと、がこの順で積層されてなり、前記金属マスクにおける一のスリットは、前記第２の樹脂マスクにおける複数の開口部と重なっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の蒸着マスクによれば、大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができるとともに、フレームに対して精度よく位置合わせすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一例である蒸着マスクを構成する第１の樹脂マスク、金属マスク、および第２の樹脂マスクを分解して示す概略斜視図であり、（ａ）は第１の樹脂マスク、（ｂ）は金属マスク、（ｃ）は第２の樹脂マスクである。
【図２】（ａ）は、図１に示す本発明の蒸着マスクの金属マスク側から見た正面図であり、（ｂ）図１に示す蒸着マスクの概略断面図である。
【図３】図１に示す蒸着マスクの拡大断面図である。
【図４】本発明の一例である蒸着マスクを構成する第１の樹脂マスク、金属マスク、および第２の樹脂マスクを分解して示す概略斜視図であり、（ａ）は第１の樹脂マスク、（ｂ）は金属マスク、（ｃ）は第２の樹脂マスクである。
【図５】本発明の蒸着マスクの第１の製造方法を説明するための工程図である。
【図６】本発明の蒸着マスクの第２の製造方法を説明するための工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本発明の蒸着マスク１００について図面を用いて具体的に説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の一例である蒸着マスクを構成する第１の樹脂マスク、金属マスク、および第２の樹脂マスクを分解して示す概略斜視図であり、（ａ）は第１の樹脂マスク、（ｂ）は金属マスク、（ｃ）は第２の樹脂マスクである。図２（ａ）は、図１に示す本発明の蒸着マスクの金属マスク側から見た正面図であり、図２（ｂ）図１に示す蒸着マスクの概略断面図である。図３は、図１に示す蒸着マスクの拡大断面図である。なお、図１〜３ともに、金属マスクの設けられたスリットおよび蒸着マスクに設けられた開口部を強調するため、全体に対する比率を大きく記載してある。
【００１６】
図１、２に示すように、本発明の蒸着マスク１００は、所定の開口部としてのスリット３５が設けられた第１の樹脂マスク３０と、スリット１５が設けられた金属マスク１０と、蒸着作製するパターンに対応した開口部２５が縦横に複数列配置された第２の樹脂マスク２０と、がこの順で積層された構成をとる。以下、それぞれについて具体的に説明する。
【００１７】
（第２の樹脂マスク）
第２の樹脂マスク２０は、樹脂から構成され、図１、２に示すように、蒸着作製するパターンに対応した開口部２５が縦横に複数列配置されている。なお、本願明細書において蒸着作製するパターンとは、当該蒸着マスクを用いて作製しようとするパターンを意味し、例えば、当該蒸着マスクを有機ＥＬ素子の有機層の形成に用いる場合には、当該有機層の形状である。
【００１８】
第２の樹脂マスク２０は、従来公知の樹脂材料を適宜選択して用いることができ、その材料について特に限定されないが、レーザー加工等によって高精細な開口部２５の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン−メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、その熱膨張係数が１６ｐｐｍ／℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が１．０％以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。
【００１９】
第２の樹脂マスク２０の厚みについても特に限定はないが、本発明の蒸着マスク１００を用いて蒸着を行ったときに、蒸着作成するパターンに不充分な蒸着部分、つまり目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる蒸着部分、所謂シャドウが生じることを防止するためには、第２の樹脂マスク２０は可能な限り薄いことが好ましい。しかしながら、第２の樹脂マスク２０の厚みが５μｍ未満である場合には、ピンホール等の欠陥が生じやすく、また変形等のリスクが高まる。一方で、２５μｍを超えるとシャドウの発生が生じ得る。この点を考慮すると第２の樹脂マスク２０の厚みは５μｍ以上２５μｍ以下であることが好ましい。第２の樹脂マスク２０の厚みをこの範囲内とすることで、ピンホール等の欠陥や変形等のリスクを低減でき、かつシャドウの発生を効果的に防止することができる。なお、本発明の蒸着マスクにおいて、金属マスク１０と第２の樹脂マスク２０とは、直接的に接合されていてもよく、粘着剤層を介して接合されていてもよいが、粘着剤層を介して金属マスク１０と第２の樹脂マスク２０とが接合される場合には、上記シャドウの点を考慮して、第２の樹脂マスク２０と粘着剤層との合計の厚みが５μｍ〜２５μｍの範囲内となるように設定することが好ましい。
【００２０】
開口部２５の形状、大きさについて特に限定はなく、蒸着作製するパターンに対応する形状、大きさであればよい。また、図２（ａ）に示すように、隣接する開口部２５の横方向のピッチＰ１や、縦方向のピッチＰ２についても蒸着作製するパターンに応じて適宜設定することができる。
【００２１】
開口部２５の断面形状についても特に限定はなく、開口部２５を形成する樹脂マスクの向かいあう端面同士が略平行であってもよいが、図２（ｂ）や図３に示すように、開口部２５はその断面形状が、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。換言すれば、金属マスク１０側に向かって広がりをもつテーパー面を有していることが好ましい。開口部２５の断面形状を当該構成とすることにより、本発明の蒸着マスクを用いて蒸着を行ったときに、蒸着作成するパターンにシャドウが生じることを防止することができる。テーパー角θについては、第２の樹脂マスク２０の厚み等を考慮して適宜設定することができるが、樹脂マスクの開口部における下底先端と、同じく樹脂マスクの開口部における上底先端を結んだ角度（θ）が２５°〜６５°の範囲内であることが好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。さらに、図３にあっては、開口部２５を形成する端面２５ａは直線形状を呈しているが、これに限定されることはなく、外に凸の湾曲形状となっている、つまり開口部２５の全体の形状がお椀形状となっていてもよい。
【００２２】
第２の樹脂マスク２０は、樹脂材料が用いられることから、従来の金属加工に用いられる加工法、例えば、エッチングや切削等の加工方法によらず、開口部２５の形成が可能である。つまり、開口部２５の形成方法について特に限定されることなく、各種の加工方法、例えば、高精細な開口部２５の形成が可能なレーザー加工法や、精密プレス加工、フォトリソ加工等を用いて開口部２５を形成することができる。レーザー加工法によって開口部２５を形成する方法については後述する。
【００２３】
また、本発明では、蒸着マスク１００の構成として第２の樹脂マスク２０が用いられることから、この蒸着マスク１００を用いて蒸着を行ったときに、第２の樹脂マスク２０の開口部２５には非常に高い熱が加わり、第２の樹脂マスク２０の開口部２５を形成する端面２５ａ（図３参照）から、ガスが発生し、蒸着装置内の真空度を低下させる等のおそれが生じ得る。したがって、この点を考慮すると、図３に示すように、第２の樹脂マスク２０の開口部２５を形成する端面２５ａには、バリア層２６が設けられていることが好ましい。バリア層２６を形成することで、第２の樹脂マスク２０の開口部２５を形成する端面２５ａからガスが発生することを防止できる。
【００２４】
バリア層２６は、無機酸化物や無機窒化物、金属の薄膜層または蒸着層を用いることができる。無機酸化物としては、アルミニウムやケイ素、インジウム、スズ、マグネシウムの酸化物を用いることができ、金属としてはアルミニウム等を用いることができる。バリア層２６の厚みは、０．０５μｍ〜１μｍ程度であることが好ましい。
【００２５】
さらに、バリア層は、第２の樹脂マスク２０の蒸着源側表面を覆っていることが好ましい。第２の樹脂マスク２０の蒸着源側表面をバリア層２６で覆うことによりバリア性が更に向上する。バリア層は、無機酸化物、および無機窒化物の場合は各種ＰＶＤ法、ＣＶＤ法によって形成することが好ましい。金属の場合は、真空蒸着法によって形成することが好ましい。なお、ここでいうところの第２の樹脂マスク２０の蒸着源側表面とは、第２の樹脂マスク２０の蒸着源側の表面の全体であってもよく、第２の樹脂マスク２０の蒸着源側の表面において金属マスクから露出している部分のみであってもよい。
【００２６】
（金属マスク）
金属マスク１０は、金属から構成され、該金属マスク１０の正面からみたときに、第２の樹脂マスク２０に配置された全ての開口部２５がみえる位置に、縦方向或いは横方向に延びるスリット１５が複数列配置されている。なお、図１〜３では、金属マスク１０の縦方向に延びるスリット１５が横方向に連続して配置されている。
【００２７】
スリット１５の幅Ｗについて特に限定はないが、少なくとも隣接する開口部２５間のピッチよりも短くなるように設計することが好ましい。具体的には、図２（ａ）に示すように、スリット１５が縦方向に延びる場合には、スリット１５の横方向の幅Ｗは、横方向に隣接する開口部２５のピッチＰ１よりも短くすることが好ましい。同様に、図示はしないが、スリット１５が横方向に伸びている場合には、スリット１５の縦方向の幅は、縦方向に隣接する開口部２５のピッチＰ２よりも短くすることが好ましい。一方で、スリット１５が縦方向に延びる場合の縦方向の長さＬについては、特に限定されることはなく、金属マスク１０の縦の長さおよび第２の樹脂マスク２０に設けられている開口部２５の位置に応じて適宜設計すればよい。
【００２８】
金属マスク１０に形成されるスリット１５の断面形状についても特に限定されることはないが、上記第２の樹脂マスク２０における開口部２５と同様、図３に示すように、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。
【００２９】
金属マスク１０の材料について特に限定はなく、蒸着マスクの分野で従来公知のものを適宜選択して用いることができ、例えば、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム合金などの金属材料を挙げることができる。中でも、鉄ニッケル合金であるインバー材は熱による変形が少ないので好適に用いることができる。
【００３０】
また、本発明の蒸着マスク１００を用いて、基板上へ蒸着を行うにあたり、基板後方に磁石等を配置して基板前方の蒸着マスク１００を磁力によって引きつけることが必要な場合には、金属マスク１０を磁性体で形成することが好ましい。磁性体の金属マスク１０としては、純鉄、炭素鋼、Ｗ鋼、Ｃｒ鋼、Ｃｏ鋼、ＫＳ鋼、ＭＫ鋼、ＮＫＳ鋼、Ｃｕｎｉｃｏ鋼、Ａｌ−Ｆｅ合金等を挙げることができる。また、金属マスク１０を形成する材料そのものが磁性体でない場合には、当該材料に上記磁性体の粉末を分散させることにより金属マスク１０に磁性を付与してもよい。
【００３１】
金属マスク１０の厚みについても特に限定はないが、５μｍ〜１００μｍ程度であることが好ましい。蒸着時におけるシャドウの防止を考慮した場合、金属マスク１０の厚さは薄い方が好ましいが、５μｍより薄くした場合、破断や変形のリスクが高まるとともにハンドリングが困難となる可能性がある。ただし、本発明では、金属マスク１０は第２の樹脂マスク２０と一体化されていることから、金属マスク１０の厚さが５μｍと非常に薄い場合であっても、破断や変形のリスクを低減させることができ、５μｍ以上であれば使用可能である。なお、１００μｍより厚くした場合には、シャドウの発生が生じ得るため好ましくない。
【００３２】
（第１の樹脂マスク）
第１の樹脂マスク３０は、樹脂から構成されており、図１〜３に示すように、所定の開口部として、前述した金属マスク１０に設けられたスリット２５と同様のスリット３５が形成されている。
【００３３】
ここで、前記第２の樹脂マスクと金属マスクのみから蒸着マスクを形成した場合、外部環境によっては第２の樹脂マスクに膨張などの変形が生じ、蒸着マスク全体が反り返ってしまう虞があるところ、本願の蒸着マスクによれば、金属マスク１０の、前記第２の樹脂マスク１０が形成される面とは反対側に第１の樹脂マスク３０が形成されているので、前記のような蒸着マスクの反り返りを防止することができる。したがって、フレームへの取り付けに際しても位置精度を格段に向上せしめることができる。
【００３４】
このような観点から、第１の樹脂マスクに設けられる所定の開口部３５は、蒸着作製するパターン形状を律するためのものではなく、したがって当該開口部３５は、前記第２の樹脂マスクに設けられた開口部２５を塞がないように設けられていればよく、その形状は図１〜３に示すようなスリットに限定はされない。
【００３５】
また、第１の樹脂マスクを構成する樹脂にあっては、本発明は特に限定することはないが、上記の観点から前記第２の樹脂マスクを構成する樹脂と熱膨張係数が近似する樹脂を用いることが好ましい。第１の樹脂マスクの厚さについても本発明は特に限定することはないが、上記の観点から、第２の樹脂マスクの厚さと同程度とすることが好ましい。
【００３６】
（第２の実施形態）
図４は、本発明の一例である蒸着マスクを構成する第１の樹脂マスク、金属マスク、および第２の樹脂マスクを分解して示す概略斜視図であり、（ａ）は第１の樹脂マスク、（ｂ）は金属マスク、（ｃ）は第２の樹脂マスクである。
【００３７】
図４に示すように、第２の実施形態にかかる蒸着マスク１００における第１の樹脂マスク３０には、所定の開口部として、第２の樹脂マスク２０に設けられた開口部２５と同様の開口部３５が設けられている。前述したように第１の樹脂マスク３０に設けられる開口部は、第２の樹脂マスク２０に設けられた開口部２５を塞がないような開口部であればよく、従って、図４に示すような形態とすることもできる。
【００３８】
（製造方法）
本発明においては、上記で説明した構成の蒸着マスクを製造することができる従来公知のいかなる製造方法も採用可能であるが、例えば以下の第１の製造方法や第２の製造方法により製造することが好ましい。
【００３９】
（第１の製造方法）
図５は、本発明の蒸着マスクの第１の製造方法を説明するための工程図である。なお（ａ）〜（ｅ）はすべて断面図である。この方法によれば、前記第１の実施形態にかかる蒸着マスクを製造することができる。
【００４０】
図５（ａ）に示すように、金属板６１の一方の面に樹脂板６７が設けられている樹脂板付き金属板６０を準備する。ここで、樹脂板付き金属板６０の準備方法については特に限定することはなく、市販の樹脂板付き金属板６０を購入してもよいし、金属板の表面に樹脂層を設けることで樹脂板付き金属板６０としてもよい。なお、樹脂は成形の後ある程度の期間は経時変化を起こすため、形状が落ち着くまでの間、いわゆるエイジング期間を設ける必要があることが知られている。市販の樹脂板付き金属板６０は、いわゆるエイジング期間が経過していると考えられるため、歩留まりの観点からは市販の樹脂板付き金属板を用いるのが好ましい。
【００４１】
次いで、前記樹脂板付き金属板６０における金属板６１に対し、当該金属板のみを貫通するスリットを形成することにより金属マスクを形成する。本方法におけるこの工程は特に限定されることはなく、所望のスリットを金属マスクのみに形成することができればいかなる工程であってもよい。なお、この樹脂板６７が最終的には第２の樹脂マスクとなる。
【００４２】
図５（ｂ）〜（ｄ）は、第１の樹脂マスクおよび金属マスクを形成する工程の一例を示している。図５（ｂ）に示すように、前記樹脂板付き金属板６０の樹脂板６７が設けられていない面にレジスト材６２を塗工し、スリットパターンが形成されたマスク６３を用いて当該レジスト材をマスキングし、露光、現像する。これにより、図５（ｃ）に示すように、金属板６７の表面にレジストパターン６４を形成する。そして、当該レジストパターン６４を耐エッチングマスクとして用いて、金属板６０のみをエッチング加工する。これにより図５（ｄ）に示すように、レジストパターン６４がそのまま第１の樹脂マスク６４となるとともに金属板６７が金属マスク６６となる。なお、レジスト材としては処理性が良く、所望の解像性があるものを用いることが好ましい。また、エッチング加工の際に用いるエッチング材については、特に限定されることはなく、公知のエッチング材を適宜選択すればよい。
【００４３】
次いで、金属マスク６６側からスリット６５を通してレーザーを照射し、前記樹脂板６７に蒸着作製するパターンに対応した開口部６９を縦横に複数列形成し、樹脂マスク７０とする。ここで用いるレーザー装置については特に限定されることはなく、従来公知のレーザー装置を用いればよい。これにより、図５（ｅ）に示すような、蒸着マスク８０を得る。
【００４４】
（第２の製造方法）
図６は、本発明の蒸着マスクの第２の製造方法を説明するための工程図である。なお（ａ）〜（ｅ）はすべて断面図である。この方法によれば、前記第２の実施形態にかかる蒸着マスクを製造することができる。
【００４５】
図６（ａ）に示すように、金属板６１の一方の面に樹脂板６７が設けられている樹脂板付き金属板６０を準備する。これについては、第１の製造方法と同じなのでここでの説明を省略する。
【００４６】
次いで、前記樹脂板付き金属板６０における金属板６１に対し、当該金属板のみを貫通するスリットを形成することにより金属マスクを形成する。具体的には、図６（ｂ）に示すように、前記樹脂板付き金属板６０の樹脂板６７が設けられていない面にレジスト材６２を塗工し、スリットパターンが形成されたマスク６３を用いて当該レジスト材をマスキングし、露光、現像する。これにより、図６（ｃ）に示すように、金属板６７の表面にレジストパターン６４を形成する。そして、当該レジストパターン６４を耐エッチングマスクとして用いて、金属板６０のみをエッチング加工し、エッチング終了後に前記レジストパターンを洗浄除去する。これにより、図６（ｄ）に示すように、金属板６７のみにスリット６５が形成された金属マスク６６を得ることができる。
【００４７】
次いで、図６（ｅ）に示すように、金属マスク６６の表面、つまり図６（ｅ）では上面側に、第１の樹脂マスクとなる樹脂層５０を設ける。樹脂層５０は、各種塗工法によって設けてもよく、また樹脂板を貼付などしてもよい。
【００４８】
次いで、前記樹脂層５０側からスリット６５を通してレーザーを照射し、前記樹脂層５０および前記樹脂板６７に蒸着作製するパターンに対応した開口部５１および６９を縦横に複数列形成し、樹脂マスク７０とする。ここで用いるレーザー装置については特に限定されることはなく、従来公知のレーザー装置を用いればよい。これにより、図５（ｅ）に示すような、蒸着マスク８０を得る。
【符号の説明】
【００４９】
１００…蒸着マスク
１０、６６…金属マスク
１５…スリット
２０、７０…第２の樹脂マスク
３０…第１の樹脂マスク
２５…開口部
６１…金属板
６２…レジスト材
６４…レジストパターン
６７…樹脂板
８０…蒸着マスク
【図１】
0005895540.tif 000002
【図２】
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【図３】
0005895540.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0005895540.tif 000007