(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着マスクであって、
前記蒸着マスクは、スリットが設けられた金属マスクと、粘着剤層と、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクとが、この順で積層された構成をとり、
前記蒸着マスクは、フレーム上に固定して用いられるものであり、
１つの前記スリットは、複数の前記開口部と重なっており、
前記粘着剤層が、前記金属マスク又は前記樹脂マスクから剥離可能な粘着剤層であることを特徴とする蒸着マスク。
【請求項２】
前記粘着剤層と前記樹脂マスクとの粘着性が、前記粘着剤層と前記金属マスクとの粘着性よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
【請求項３】
前記金属マスクが、磁性体であることを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸着マスク。
【請求項４】
前記開口部の断面形状が、蒸着源方向に向かって広がりをもつことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項５】
前記樹脂マスクの前記開口部を形成する端面にバリア層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項６】
前記樹脂マスクの厚みが５μｍ〜２５μｍであることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項７】
フレーム上に蒸着マスクが固定されてなる蒸着マスク装置であって、
前記蒸着マスクが、
スリットが設けられた金属マスクと、粘着剤層と、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクとが、この順で積層された構成をとり、
１つの前記スリットは、複数の前記開口部と重なっており、
前記粘着剤層が、前記金属マスク又は前記樹脂マスクから剥離可能な粘着剤層であることを特徴とする蒸着マスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着マスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機ＥＬ素子の製造において、有機ＥＬ素子の有機層或いはカソード電極の形成には、例えば、蒸着すべき領域に多数の微細なスリットを微小間隔で平行に配列してなる金属マスク（蒸着マスク）が使用されていた。この金属マスクを用いる場合、蒸着すべき基板表面に単に金属マスクを載置し、裏面から磁石を用いて保持させているが、スリットの剛性は極めて小さいことから、金属マスクを基板表面に保持する際にスリットにゆがみが生じやすく、高精細化或いはスリット長さが大となる製品の大型化の障害となっていた。
【０００３】
スリットのゆがみを防止するための蒸着マスクについては、種々の検討がなされており、例えば、特許文献１には、複数の開口部を備えた第一金属マスクを兼ねるベースプレートと、前記開口部を覆う領域に多数の微細なスリットを備えた第二金属マスクと、第二金属マスクをスリットの長手方向に引っ張った状態でベースプレート上に位置させるマスク引張保持手段を備えた蒸着マスクが提案されている。この蒸着マスクによれば、スリットにゆがみを生じさせることなくスリット精度を確保できるとされている。
【０００４】
ところで近時、有機ＥＬ素子を用いた製品の大型化或いは基板サイズの大型化にともない、蒸着マスクに対しても大型化の要請が高まりつつある。しかしながら、現在の金属加工技術では、大型の金属板に微細パターンを精度よく形成することは困難であり、たとえ上記特許文献１に提案されている方法などによってスリット部のゆがみを防止できたとしても、高精細化への対応はできない。また、開口パターンを備える金属マスクを単独で、或いは開口パターンを備える金属マスクとスリットを備える金属マスクを組み合わせた蒸着マスクとした場合には、大型化に伴いその質量も増大し、フレームを含めた総質量も増大することから取り扱いに支障をきたすこととなる。
【０００５】
またさらに、通常蒸着マスクはフレームに固定された状態で使用されるところ、蒸着マスクを大型化していった場合には、フレームと蒸着マスクの位置合わせを精度よく行うことができないといった問題も生じうる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−３３２０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができる蒸着マスクを提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明は、蒸着マスクであって、前記蒸着マスクは、スリットが設けられた金属マスクと、粘着剤層と、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクとが、この順で積層された構成をとり、前記蒸着マスクは、フレーム上に固定して用いられるものであり、１つの前記スリットは、複数の前記開口部と重なっており、前記粘着剤層が、前記金属マスク又は前記樹脂マスクから剥離可能な粘着剤層であることを特徴とする。
また、一実施形態の蒸着マスクは、スリットが設けられた金属マスクと、粘着剤層と、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクとが、この順で積層された構成をとり、前記粘着剤層が、前記金属マスク又は前記樹脂マスクから剥離可能な粘着剤層であることを特徴とする。
【０００９】
また、前記粘着剤層と前記樹脂マスクとの粘着性が、前記粘着剤層と前記金属マスクとの粘着性よりも高くてもよい。
【００１０】
また、前記金属マスクが、磁性体であってもよい。また、前記開口部の断面形状が、蒸着源方向に向かって広がりをもっていてもよい。また、前記樹脂マスクの前記開口部を形成する端面にバリア層が設けられていてもよい。また、前記樹脂マスクの厚みが５μｍ〜２５μｍであってもよい。
また、上記課題を解決するための本発明は、フレーム上に蒸着マスクが固定されてなる蒸着マスク装置であって、前記蒸着マスクが、スリットが設けられた金属マスクと、粘着剤層と、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクとが、この順で積層された構成をとり、１つの前記スリットは、複数の前記開口部と重なっており、前記粘着剤層が、前記金属マスク又は前記樹脂マスクから剥離可能な粘着剤層であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の蒸着マスクによれば、大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができる。さらに本発明の蒸着マスクによれば、樹脂マスクから金属マスクを剥離することで金属マスクを再使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一例を示す蒸着マスクの金属マスクと樹脂マスクを分解して示す概略斜視図であり、（ａ）は金属マスクの概略斜視図であり、（ｂ）は樹脂マスクの概略斜視図である。
【図２】（ａ）は本発明の一例を示す蒸着マスクの金属マスク側から見た正面図であり、（ｂ）は本発明の一例を示す蒸着マスクを示す概略断面図である。
【図３】本発明の蒸着マスク１００の拡大断面図である。
【図４】（ａ）は樹脂マスクの別の態様の斜視図であり、（ｂ）はその断面図である。
【図５】本発明の蒸着マスク１００の別の態様を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明の蒸着マスク１００について図面を用いて具体的に説明する。
【００１４】
図１（ａ）は、本発明の一例を示す蒸着マスクを構成する金属マスクの概略斜視図であり、図１（ｂ）は、本発明の一例を示す蒸着マスクを構成する樹脂マスクの概略斜視図である。図２（ａ）は、本発明の一例を示す蒸着マスクの金属マスク側から見た正面図であり、図２（ｂ）本発明の一例を示す蒸着マスクを示す概略断面図である。図３は、本発明の蒸着マスク１００の拡大断面図である。なお、図１〜３ともに、金属マスクの設けられたスリットおよび蒸着マスクに設けられた開口部を強調するため、全体に対する比率を大きく記載してある。
【００１５】
図１、２に示すように、本発明の蒸着マスク１００は、スリット１５が設けられた金属マスク１０と、粘着剤層３０と、蒸着作製するパターンに対応した開口部２５が縦横に複数列配置された樹脂マスク２０が積層された構成をとる。以下、それぞれについて具体的に説明する。
【００１６】
（樹脂マスク）
樹脂マスク２０は、樹脂から構成され、図１、２に示すように、蒸着作製するパターンに対応した開口部２５が縦横に複数列配置されている。なお、本願明細書において蒸着作製するパターンとは、当該蒸着マスクを用いて作製しようとするパターンを意味し、例えば、当該蒸着マスクを有機ＥＬ素子の有機層の形成に用いる場合には、当該有機層の形状である。
【００１７】
樹脂マスク２０は、従来公知の樹脂材料を適宜選択して用いることができ、その材料について特に限定されないが、レーザー加工等によって高精細な開口部２５の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン−メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、その熱膨張係数が１６ｐｐｍ／℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が１．０％以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。
【００１８】
樹脂マスク２０の厚みについても特に限定はないが、本発明の蒸着マスク１００を用いて蒸着を行ったときに、蒸着作成するパターンに不充分な蒸着部分、つまり目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる蒸着部分、所謂シャドウが生じることを防止するためには、樹脂マスク２０は可能な限り薄いことが好ましい。しかしながら、樹脂マスク２０の厚みが５μｍ未満である場合には、ピンホール等の欠陥が生じやすく、また変形等のリスクが高まる。一方で、２５μｍを超えるとシャドウの発生が生じ得る。この点を考慮すると樹脂マスク２０の厚みは５μｍ以上２５μｍ以下であることが好ましい。樹脂マスク２０の厚みをこの範囲内とすることで、ピンホール等の欠陥や変形等のリスクを低減でき、かつシャドウの発生を効果的に防止することができる。
【００１９】
開口部２５の形状、大きさについて特に限定はなく、蒸着作製するパターンに対応する形状、大きさであればよい。また、図２（ａ）に示すように、隣接する開口部２５の横方向のピッチＰ１や、縦方向のピッチＰ２についても蒸着作製するパターンに応じて適宜設定することができる。
【００２０】
開口部２５の断面形状についても特に限定はなく、開口部２５を形成する樹脂マスクの向かいあう端面同士が略平行であってもよいが、図２（ｂ）や図３に示すように、開口部２５はその断面形状が、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。換言すれば、金属マスク１０側に向かって広がりをもつテーパー面を有していることが好ましい。開口部２５の断面形状を当該構成とすることにより、本発明の蒸着マスクを用いて蒸着を行ったときに、蒸着作成するパターンにシャドウが生じることを防止することができる。テーパー角θについては、樹脂マスク２０の厚み等を考慮して適宜設定することができるが、樹脂マスクの開口部における下底先端と、同じく樹脂マスクの開口部における上底先端を結んだ角度（θ）が２５°〜６５°の範囲内であることが好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。さらに、図２（ｂ）や図３にあっては、開口部２５を形成する端面２５ａは直線形状を呈しているが、これに限定されることはなく、外に凸の湾曲形状となっている、つまり開口部２５の全体の形状がお椀形状となっていてもよい。
【００２１】
樹脂マスク２０は、樹脂材料が用いられることから、従来の金属加工に用いられる加工法、例えば、エッチングや切削等の加工方法によらず、開口部２５の形成が可能である。つまり、開口部２５の形成方法について特に限定されることなく、各種の加工方法、例えば、高精細な開口部２５の形成が可能なレーザー加工法や、精密プレス加工、フォトリソ加工等を用いて開口部２５を形成することができる。
【００２２】
また、本発明では、蒸着マスク１００の構成として樹脂マスク２０が用いられることから、この蒸着マスク１００を用いて蒸着を行ったときに、樹脂マスク２０の開口部２５には非常に高い熱が加わり、樹脂マスク２０の開口部２５を形成する端面２５ａ（図３参照）から、ガスが発生し、蒸着装置内の真空度を低下させる等のおそれが生じ得る。したがって、この点を考慮すると、図３に示すように、樹脂マスク２０の開口部２５を形成する端面２５ａには、バリア層２６が設けられていることが好ましい。バリア層２６を形成することで、樹脂マスク２０の開口部２５を形成する端面２５ａからガスが発生することを防止できる。
【００２３】
バリア層２６は、無機酸化物や無機窒化物、金属の薄膜層または蒸着層を用いることができる。無機酸化物としては、アルミニウムやケイ素、インジウム、スズ、マグネシウムの酸化物を用いることができ、金属としてはアルミニウム等を用いることができる。バリア層２６の厚みは、０．０５μｍ〜１μｍ程度であることが好ましい。
【００２４】
さらに、バリア層は、樹脂マスク２０の蒸着源側表面を覆っていることが好ましい。樹脂マスク２０の蒸着源側表面をバリア層２６で覆うことによりバリア性が更に向上する。バリア層は、無機酸化物、および無機窒化物の場合は各種ＰＶＤ法、ＣＶＤ法によって形成することが好ましい。金属の場合は、真空蒸着法によって形成することが好ましい。なお、ここでいうところの樹脂マスク２０の蒸着源側表面とは、樹脂マスク２０の蒸着源側の表面の全体であってもよく、樹脂マスク２０の蒸着源側の表面において金属マスクから露出している部分のみであってもよい。
【００２５】
図４（ａ）は樹脂マスクの別の態様の斜視図であり、（ｂ）はその断面図である。
【００２６】
図４に示すように、樹脂マスク２０上には、樹脂マスク２０の縦方向、或いは横方向（図４の場合は縦方向）にのびる溝２８が形成されていることが好ましい。蒸着時に熱が加わった場合、樹脂マスク２０が熱膨張し、これにより開口部２５の寸法や位置に変化が生じる可能性があるが、当該溝２８を形成することで樹脂マスクの膨張を吸収することができ、樹脂マスクの各所で生じる熱膨張が累積することにより樹脂マスク２０が全体として所定の方向に膨張して開口部２５の寸法や位置が変化することを防止することができる。
【００２７】
なお、図４では、開口部２５の間に縦方向に延びる溝２８が形成されているが、これに限定されることはなく、開口部２５の間に横方向に延びる溝を形成してもよい。さらには、開口部２５の間に限定されることはなく、開口部２５と重なる位置に溝を形成してもよい。さらには、これらを組み合わせた態様で溝を形成することも可能である。
【００２８】
溝２８の深さやその幅については特に限定はないが、溝２８の深さが深すぎる場合や、幅が広すぎる場合には、樹脂マスク２０の剛性が低下する傾向にあることから、この点を考慮して設定することが必要である。また、溝の断面形状についても特に限定されることはなくＵ字形状やＶ字形状など、加工方法などを考慮して任意に選択すればよい。また溝２８は、貫通を選択してもよい。
【００２９】
（粘着剤層）
本発明の蒸着マスク１００は、金属マスク１０と樹脂マスク２０とを組み合わせて用いられるが、金属マスク１０と比較して樹脂マスク２０はその寿命が短い。換言すれば劣化の速度が速い。このとき、樹脂マスク２０から金属マスク１０を剥離できない場合には、樹脂マスク２０とともに金属マスク１０も併せて交換する必要がある。
【００３０】
この点を考慮した本発明の蒸着マスク１００は、図１（ｂ）、図２（ｂ）に示すように、金属マスク１０と樹脂マスク２０との間には、金属マスク１０又は樹脂マスク２０から剥離可能な粘着剤層３０（図１（ｂ）の場合は斜線部）が設けられている。このような粘着剤層３０を介して、金属マスク１０と樹脂マスク２０とを粘着、換言すれば密着させることによって、樹脂マスク２０が劣化等により使用できなくなった場合であっても、金属マスク１０を樹脂マスク２０から剥離させ、金属マスク１０のみを再利用することができる。
【００３１】
なお、本願明細書中において、金属マスク１０又は樹脂マスク２０から剥離可能な粘着剤層３０とは、所定の条件によって粘着剤層３０と金属マスク１０、又は粘着剤層３０と樹脂マスク２０との粘着力を弱めた後に、手作業で剥離できる粘着剤層３０を意味する。
【００３２】
粘着剤層３０は、金属マスク１０と樹脂マスク２０とを粘着させる機能を有するとともに、所定の条件によって粘着剤層３０と金属マスク１０、又は粘着剤層３０と樹脂マスク２０との粘着力が弱まり、樹脂マスク２０から金属マスク１０を剥離できる機能を有するものであればよく、この条件を具備するものであれば粘着剤層３０はいかなるものであってもよい。
【００３３】
粘着剤層３０の材料としては、紫外線を照射することで粘着力が弱まる材料、所定以上の温度負荷によって粘着力が弱まる材料、所定の温度以下まで冷却することで粘着力が弱まる材料、特定の溶剤に浸漬させることにより粘着力が弱まる材料等を使用することができる。紫外線を照射することで粘着力が弱まる材料としては、例えば、ＵＶ剥離シート等を挙げることができる。また、所定以上の温度負荷によって粘着力が弱まる材料としては、例えば、ワックス、感温性粘着シート等を挙げることができる。なお、粘着剤層３０の材料としていずれの材料を用いるにせよ、その材料は、蒸着時の温度で粘着力が変化しない、或いは殆ど変化しないものを使用する必要がある。特に、所定以上の温度負荷によって粘着力が弱まる材料を用いる場合には、蒸着時の温度で粘着力が弱まらないものを使用する必要がある。例えば、ワックスを用いる場合には、該ワックスは蒸着時の温度以上の融点を有していることが必要である。
【００３４】
また、これ以外にも、天然ゴム系の粘着剤等も使用可能である。これらの天然ゴム系の粘着剤は、加圧処理を行うことで粘着性を発現させることができ、粘着後には粘着部分を手で剥離することができる。
【００３５】
樹脂マスク２０から金属マスク１０を剥離するときに、粘着剤層３０は、樹脂マスク２０側、金属マスク１０側のどちらに移行してもよいが、粘着剤層３０は樹脂マスク２０側に移行することが好ましい。この点を考慮すると、粘着剤層３０と樹脂マスク２０との粘着力は、粘着剤層３０と金属マスク１０との粘着力よりも高いことが好ましい。換言すれば、樹脂マスク２０から金属マスク１０を剥離するときに、粘着剤層３０は樹脂マスク２０側に移行することが好ましい。粘着力をこの関係となるように調整することで、樹脂マスク２０から剥離後の金属マスク１０に粘着剤層３０が付着することを防止でき、粘着剤３０を除去する工程を経ることなく、金属マスクを再利用することができる。粘着力の調整は、選択される粘着剤層の材料に対する、金属マスクの材料、及び樹脂マスクの材料によって決定され、上記の関係となるように金属マスクの材料、及び樹脂マスクの材料を選定することでたりる。
【００３６】
粘着剤層３０の形成方法としては、上記の機能を有する材料を適当な溶媒に分散或いは溶解した塗工液を調製し、これを金属マスク１０或いは樹脂マスク２０上に塗工することで形成することができる。
【００３７】
また、シート状の粘着剤を用いて粘着剤層３０を形成することもできる。この場合には、樹脂板にシート状の粘着剤を貼りあわせた後に、スリット１５が設けられた金属マスク１０と重ね合わせ、樹脂板と金属マスク１０とを粘着させた後に、金属マスク１０側からスリット１５を通してレーザー等を照射し、樹脂板とともにシート状の粘着剤に、樹脂板に蒸着作製するパターンに対応した開口部２５を縦横に複数列形成することで粘着剤層３０を形成することができる。
【００３８】
粘着剤層３０の形成位置について特に限定はなく、金属マスク１０のスリット１５が設けられていない領域、或いは樹脂マスク２０の開口部２５が設けられていない領域の一部に設けられていてもよく、全部に設けられていてもよい。例えば、金属マスク１０と樹脂マスク２０の外周部に粘着剤層３０が設けられていてもよく、図１（ｂ）に示すように、樹脂マスク２０の開口部２５を除く全領域に粘着剤層３０が設けられていてもよい。また、金属マスク１０の樹脂マスク２０と対向する面のうち、スリット１５を除く全領域に粘着剤層３０が設けられていてもよい。
【００３９】
粘着剤層３０の厚みについて特に限定はないが、粘着剤層３０の厚みが２０μｍよりも厚い場合には、金属マスク１０や樹脂マスク２０の厚みによっては、シャドウの発生が生じ得るため好ましくない。したがって、この点を考慮すると、粘着剤層３０の厚みは２０μｍ以下であることが好ましい。粘着剤層３０の厚みの下限値については、所望の密着性を得ることができる厚みであればよい。
【００４０】
（金属マスク）
金属マスク１０は、金属から構成され、該金属マスク１０の正面からみたときに、樹脂マスク２０に配置された全ての開口部２５がみえる位置に、縦方向或いは横方向に延びるスリット１５が複数列配置されている。なお、図１、２では、金属マスク１０の縦方向に延びるスリット１５が横方向に連続して配置されている。
【００４１】
スリット１５の幅Ｗについて特に限定はないが、少なくとも隣接する開口部２５間のピッチよりも短くなるように設計することが好ましい。具体的には、図２（ａ）に示すように、スリット１５が縦方向に延びる場合には、スリット１５の横方向の幅Ｗは、横方向に隣接する開口部２５のピッチＰ１よりも短くすることが好ましい。同様に、図示はしないが、スリット１５が横方向に伸びている場合には、スリット１５の縦方向の幅は、縦方向に隣接する開口部２５のピッチＰ２よりも短くすることが好ましい。一方で、スリット１５が縦方向に延びる場合の縦方向の長さＬについては、特に限定されることはなく、金属マスク１０の縦の長さおよび樹脂マスク２０に設けられている開口部２５の位置に応じて適宜設計すればよい。
【００４２】
金属マスク１０に形成されるスリット１５の断面形状についても特に限定されることはないが、上記樹脂マスク２０における開口部２５と同様、図３に示すように、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。
【００４３】
金属マスク１０の材料について特に限定はなく、蒸着マスクの分野で従来公知のものを適宜選択して用いることができ、例えば、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム合金などの金属材料を挙げることができる。中でも、鉄ニッケル合金であるインバー材は熱による変形が少ないので好適に用いることができる。
【００４４】
また、本発明の蒸着マスク１００を用いて、基板上へ蒸着を行うにあたり、基板後方に磁石等を配置して基板前方の蒸着マスク１００を磁力によって引きつけることが必要な場合には、金属マスク１０を磁性体で形成することが好ましい。磁性体の金属マスク１０としては、純鉄、炭素鋼、Ｗ鋼、Ｃｒ鋼、Ｃｏ鋼、ＫＳ鋼、ＭＫ鋼、ＮＫＳ鋼、Ｃｕｎｉｃｏ鋼、Ａｌ−Ｆｅ合金等を挙げることができる。また、金属マスク１０を形成する材料そのものが磁性体でない場合には、当該材料に上記磁性体の粉末を分散させることにより金属マスク１０に磁性を付与してもよい。
【００４５】
金属マスク１０の厚みについても特に限定はないが、５μｍ〜１００μｍ程度であることが好ましい。蒸着時におけるシャドウの防止を考慮した場合、金属マスク１０の厚さは薄い方が好ましいが、５μｍより薄くした場合、破断や変形のリスクが高まるとともにハンドリングが困難となる可能性がある。ただし、本発明では、金属マスク１０は樹脂マスク２０と一体化されていることから、金属マスク１０の厚さが５μｍと非常に薄い場合であっても、破断や変形のリスクを低減させることができ、５μｍ以上であれば使用可能である。なお、１００μｍより厚くした場合には、シャドウの発生が生じ得るため好ましくない。
【００４６】
図５は、本発明の蒸着マスク１００の別の態様を示す正面図である。
【００４７】
図５に示すように、蒸着マスク１００の金属マスク１０側から見た正面図において、金属マスクのスリット１５から見える樹脂マスク２０に形成された開口部２５を横方向に互い違いに配置してもよい。つまり、横方向に隣り合う開口部２５を縦方向にずらして配置してもよい。このように配置することにより、樹脂マスク２０が熱膨張した場合にあっても、各所において生じる膨張を開口部２５によって吸収することができ、膨張が累積して大きな変形が生じることを防止することができる。
【００４８】
また、図５に示すように、樹脂マスク２０に形成する開口部２５は、１画素に対応させる必要はなく、例えば２画素〜１０画素をまとめて一つの開口部２５としてもよい。
【００４９】
金属マスク１０の形成方法としては、例えば、上記金属マスク１０で例示した材料を含む金属板を用意し、その両面にレジスト材を塗工する。用いるレジスト材としては処理性が良く、所望の解像性があるものを用いる。その後、スリットパターンが形成されたマスクでレジスト材をマスキングし、密着露光により露光し、現像して、金属板の両面にレジストパターンを形成する。次いで、このレジストパターンを耐エッチングマスクとして用いて２段エッチング法によりエッチング加工する。なお、２段エッチング法とは、金属板の両面にレジストパターンを形成し、片面側からのエッチングを行った後、形成された貫通していない凹部に耐エッチング性の樹脂、いわゆるバッキング材を充填し、その後に他面側からエッチングを行うことで貫通孔を形成する加工方法である。本方法においては、当該２段エッチング法ではなく、両面から同時にエッチングを行う方法を採用しても良いが、加工精度の観点からは２段エッチング法を用いることが好ましい。エッチングが終了したら、レジストパターンを洗浄除去する。これにより、金属板に所望のスリットが形成された金属マスク１０を得ることができる。
【００５０】
（蒸着マスクの形成方法）
次に、本発明の蒸着マスク１００の形成方法の一例について説明する。なお、本発明の蒸着マスクはこの例に何ら限定されるものではない。
【００５１】
まず、樹脂板上に、粘着剤層の材料を適当な溶媒に分散或いは溶解した塗工液を調製し、これを従来公知の塗工方法を用いて塗工する。或いは、樹脂板上に、シート状の粘着剤を貼り合わせる。なお、粘着剤の材料及びシート状の粘着剤は、上記で説明した、金属マスク１０と樹脂マスク２０とを粘着させる機能を有するとともに、所定の条件によって粘着剤層と金属マスク１０、又は粘着剤層３０と樹脂マスク２０との粘着力が弱まる機能を有するものである。
【００５２】
次いで、塗工液が塗工された樹脂板、或いはシート状の粘着剤が貼り合わされた樹脂板上に、スリット１５が設けられた金属マスク１０を貼り合わせる。スリット１５が設けられた金属マスク１０は、上記で説明したものをそのまま使用することができ、ここでの説明は省略する。
【００５３】
次いで、金属マスク１０側からスリット１５を通してレーザーを照射し、樹脂板に蒸着作製するパターンに対応した開口部２５を縦横に複数列形成し、樹脂マスク２０とする。ここで用いるレーザー装置については特に限定されることはなく、従来公知のレーザー装置を用いればよい。これにより、金属マスク１０と樹脂マスク２０が、粘着剤層３０を介して積層された蒸着マスク１００が形成される。
【００５４】
（蒸着マスク装置の製造方法）
次に、本発明の蒸着マスク１００が、フレームに固定されてなる蒸着マスク装置の製造方法について説明する。
【００５５】
第１の方法としては、金属を含むフレーム上に、上記粘着剤の塗工液が塗工され、或いはシート状の粘着剤が設けられた樹脂板が張り合わされた金属マスクを固定した後に、金属マスク１０側からスリット１５を通してレーザーを照射し、樹脂板に蒸着作製するパターンに対応した開口部２５を縦横に複数列形成する方法を挙げることができる。固定方法としては、例えばスポット溶接など従来公知の工程方法を適宜採用すればよい。
【００５６】
第２の方法としては、金属を含むフレーム上に、スリット１５が設けられた金属マスク１０を固定し、フレーム上に固定された金属マスク１０と、上記粘着剤が塗工され、或いはシート状の粘着剤が設けられた樹脂板とを貼りあわせた後に、金属マスク１０側からスリット１５を通してレーザーを照射し、樹脂板に蒸着作製するパターンに対応した開口部２５を縦横に複数列形成する方法を挙げることができる。
【００５７】
いずれの方法も、蒸着マスク１００を形成した後にフレームに固定するのではなく、フレームに固定された状態の樹脂板に対し、後から開口部２５を設けて、フレームと蒸着マスクを一体形成しているので、フレームと蒸着マスクとの位置精度を格段に向上せしめることができる。
【符号の説明】
【００５８】
１００…蒸着マスク
１０…金属マスク
１５…スリット
２０…樹脂マスク
２５…開口部
３０…粘着剤層
【図１】
0005895539.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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