(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の信号を生成する第１の信号生成部と、
前記第１の信号を電力増幅し高周波電力信号を生成する電力増幅部と、
前記高周波電力信号に含まれる進行波電力と反射波電力とを検出する検出部と、
前記第１の信号生成部に対して前記第１の信号の周波数を変化させ、前記電力増幅部に対して電力増幅度を変化させる制御部とを備え、
外部に設けられプラズマを生成するプラズマ生成部へ前記電力増幅部で生成された高周波電力信号を供給するプラズマ生成用電源装置であって、
前記制御部は、
前記プラズマ生成部へ前記高周波電力信号が供給されるときに、所定の第１の時間において、前記第１の信号の周波数を、前記高周波電力信号が供給開始されるときの周波数である開始周波数に固定して、前記反射波電力が所定の第１の電力値以下となるよう制御し、前記第１の時間経過後の所定の第２の時間において、前記反射波電力が所定の第２の電力値以下になるように、前記第１の信号の周波数を前記開始周波数から所定の目標周波数に向けて掃引するプラズマ生成動作を行うよう構成されるとともに、前記プラズマ生成動作におけるパラメータである前記開始周波数、前記第１の時間、前記第２の時間に関してプラズマ生成パラメータ設定動作を行うよう構成され、
前記プラズマ生成パラメータ設定動作は、
前記開始周波数を予め設定されたデフォルト値から前記目標周波数に近づけた値に設定し、前記第１の時間及び前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記開始周波数の更新値を見出して新たな開始周波数として設定する開始周波数設定動作を行い、次に、前記第１の信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定し、前記第１の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第１の時間の更新値を見出して新たな第１の時間として設定する開始周波数送信時間設定動作を行い、次に、前記第１の信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第１の時間を前記第１の時間の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第２の時間の更新値を見出して新たな第２の時間として設定する周波数掃引時間設定動作を行うよう構成されることを特徴とするプラズマ生成用電源装置。
【請求項２】
請求項１に記載されたプラズマ生成用電源装置であって、
前記プラズマ生成パラメータ設定動作において、前記プラズマ生成動作実行中に前記進行波電力が前記反射波電力よりも所定値以上大きくなるとプラズマ着火したと判断し、前記実行中のプラズマ生成動作を終了することを特徴とするプラズマ生成用電源装置。
【請求項３】
第１の信号を生成する第１の信号生成部と、
前記第１の信号を電力増幅し高周波電力信号を生成する電力増幅部と、
前記高周波電力信号に含まれる進行波電力と反射波電力とを検出する検出部と、
前記第１の信号生成部に対して前記第１の信号の周波数を変化させ、前記電力増幅部に対して電力増幅度を変化させる制御部とを備え、
外部に設けられプラズマを生成するプラズマ生成部へ前記電力増幅部で生成された高周波電力信号を供給するプラズマ生成用電源装置であって、
前記制御部は、
前記プラズマ生成部へ前記高周波電力信号が供給されるときに、所定の第１の時間において、前記第１の信号の周波数を、前記高周波電力信号が供給開始されるときの周波数である開始周波数に固定して、前記反射波電力が所定の第１の電力値以下となるよう制御し、前記第１の時間経過後の所定の第２の時間において、前記反射波電力が所定の第２の電力値以下になるように、前記第１の信号の周波数を前記開始周波数から所定の目標周波数に向けて掃引するプラズマ生成動作を行うよう構成されるとともに、前記プラズマ生成動作におけるパラメータである前記第１の時間、前記第２の時間に関してプラズマ生成パラメータ設定動作を行うよう構成され、
前記プラズマ生成パラメータ設定動作は、
前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定し、前記第１の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第１の時間の更新値を見出して新たな第１の時間として設定する開始周波数送信時間設定動作を行い、次に、前記第１の時間を前記第１の時間の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第２の時間の更新値を見出して新たな第２の時間として設定する周波数掃引時間設定動作を行うよう構成されることを特徴とするプラズマ生成用電源装置。
【請求項４】
プラズマを生成するプラズマ生成部へ高周波電力信号が供給されるときに、所定の第１の時間において、前記高周波電力信号の周波数を、前記高周波電力信号が供給開始されるときの周波数である開始周波数に固定して、前記高周波電力信号に含まれる反射波電力が所定の第１の電力値以下となるようにし、前記第１の時間経過後の所定の第２の時間において、前記反射波電力が所定の第２の電力値以下になるように、前記高周波電力信号の周波数を前記開始周波数から所定の目標周波数に向けて掃引するプラズマ生成動作を行うプラズマ生成方法に用いられるパラメータである前記開始周波数、前記第１の時間、前記第２の時間の設定方法であって、
前記開始周波数を予め設定されたデフォルト値から前記目標周波数に近づけた値に設定し、前記第１の時間及び前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記開始周波数の更新値を見出して新たな開始周波数として設定する開始周波数設定ステップと、
前記高周波電力信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定し、前記第１の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第１の時間の更新値を見出して新たな第１の時間として設定する開始周波数送信時間設定ステップと、
前記高周波電力信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第１の時間を前記第１の時間の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第２の時間の更新値を見出して新たな第２の時間として設定する周波数掃引時間設定ステップと、を備えることを特徴とするプラズマ生成パラメータ設定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマを生成するために用いられる高周波電源装置であるプラズマ生成用電源装置やプラズマ生成パラメータ設定方法に関し、例えば、半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）を製造するための基板に対しプラズマアッシング等のプラズマ処理を行うプラズマ処理装置において、プラズマを生成するために用いられるプラズマ生成用電源装置やプラズマ生成パラメータ設定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体装置の製造工程においては、エッチング工程後に、不要となった有機物から構成されているレジストを分解除去するために、酸素ガスを含有する雰囲気中で放電させることによって発生する酸素プラズマを用いるプラズマアッシング装置（灰化装置）が用いられている。
このようなプラズマアッシング装置においては、例えば、基板を収容した反応管内に酸素ガスを導入し、該反応管周囲を巻き回すように設けたコイルに高周波電源から電流を供給して、反応管内部のガス中に放電を起こしプラズマを発生させる。放電によって生成したラジカルやイオン化分子を含んだガスにより、基板上のレジストはアッシングされ、二酸化炭素や水等となり除去される。
【０００３】
このとき、プラズマを生成するために、高周波電源からの出力周波数を負荷インピーダンスに整合させるが、ガスの種類や圧力、あるいは印加電力によっても共振周波数が変動するため、高周波電源からの出力周波数を少しずつ変化させてインピーダンス整合を行う。インピーダンス整合までの時間が長引くと、高周波電源の出力回路素子が負荷からの反射波に長時間晒されることにより、ストレス（熱ダメージ）を受け素子の寿命が短くなる。また、インピーダンス整合までの時間が長引くと、アッシング装置における処理効率（スループット）が低下する。
下記の特許文献１には、反射波電力が最小となるように高周波電源の発振周波数を変化させてインピーダンス整合を行う技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−０４９０００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、上述した課題を解決するため、インピーダンス整合までの時間を短縮し、高周波電源の出力回路素子が負荷からの反射波により受けるストレスを低減する、あるいは、プラズマ処理装置における処理効率を向上するプラズマ生成用電源装置やプラズマ生成パラメータ設定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するための、本発明に係るプラズマ生成用電源装置の代表的な構成は、次のとおりである。すなわち、
所定の周波数の基準信号を生成する基準信号生成部と、
前記基準信号を電力増幅し高周波電力信号を生成する電力増幅部と、
前記高周波電力信号に含まれる進行波電力と反射波電力とを検出する検出部と、
前記基準信号生成部に対して基準信号の周波数を変化させ、前記電力増幅部に対して電力増幅度を変化させる制御部とを備え、
外部に設けられプラズマを生成するプラズマ生成部へ前記電力増幅部で生成された高周波電力信号を供給するプラズマ生成用電源装置であって、
前記制御部は、
前記プラズマ生成部へ前記高周波電力信号が供給されるときに、所定の第１の時間において、前記基準信号の周波数を所定の開始周波数に固定して、前記反射波電力が所定の第１の電力値以下となるよう制御し、前記第１の時間経過後の所定の第２の時間において、前記反射波電力が所定の第２の電力値以下になるように、前記基準信号の周波数を前記開始周波数から所定の目標周波数に向けて掃引するプラズマ生成動作を行うよう構成されるとともに、前記プラズマ生成動作におけるパラメータである前記開始周波数、前記第１の時間、前記第２の時間に関してプラズマ生成パラメータ設定動作を行うよう構成され、
前記プラズマ生成パラメータ設定動作は、
前記開始周波数を予め設定されたデフォルト値から前記目標周波数に近づけた値に設定し、前記第１の時間及び前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記開始周波数の更新値を見出して新たな開始周波数として設定する開始周波数設定動作を行い、次に、前記基準信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定し、前記第１の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第１の時間の更新値を見出して新たな第１の時間として設定する開始周波数送信時間設定動作を行い、次に、前記基準信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第１の時間を前記第１の時間の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第２の時間の更新値を見出して新たな第２の時間として設定する周波数掃引時間設定動作を行うよう構成されることを特徴とするプラズマ生成用電源装置。
【０００７】
また、本発明に係るプラズマ生成パラメータ設定方法の代表的な構成は、次のとおりである。すなわち、
プラズマを生成するプラズマ生成部へ高周波電力信号が供給されるときに、所定の第１の時間において、前記高周波電力信号の周波数を所定の開始周波数に固定して、前記高周波電力信号に含まれる反射波電力が所定の第１の電力値以下となるようにし、前記第１の時間経過後の所定の第２の時間において、前記反射波電力が所定の第２の電力値以下になるように、前記高周波電力信号の周波数を前記開始周波数から所定の目標周波数に向けて掃引するプラズマ生成動作を行うプラズマ生成方法に用いられるパラメータである前記開始周波数、前記第１の時間、前記第２の時間の設定方法であって、
前記開始周波数を予め設定されたデフォルト値から前記目標周波数に近づけた値に設定し、前記第１の時間及び前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記開始周波数の更新値を見出して新たな開始周波数として設定する開始周波数設定ステップと、
前記基準信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定し、前記第１の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第１の時間の更新値を見出して新たな第１の時間として設定する開始周波数送信時間設定ステップと、
前記基準信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第１の時間を前記第１の時間の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第２の時間の更新値を見出して新たな第２の時間として設定する周波数掃引時間設定ステップと、を備えることを特徴とするプラズマ生成パラメータ設定方法。
【発明の効果】
【０００８】
上記の構成によれば、インピーダンス整合までの時間を短縮し、高周波電源の出力回路素子が負荷からの反射波により受けるストレスを低減する、あるいは、プラズマ処理装置における処理効率を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係るプラズマアッシング装置に用いられるプラズマ処理ユニットを示す垂直断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るプラズマ生成用電源装置の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施形態に係るプラズマ生成シーケンスにおける進行波と反射波の時間的変化を示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係るプラズマ生成シーケンス最適化処理を構成する、デフォルト値での動作確認処理のフローチャートである。
【図５】本発明の実施形態に係るプラズマ生成シーケンス最適化処理を構成する、開始周波数設定処理のフローチャートである。
【図６】本発明の実施形態に係るプラズマ生成シーケンス最適化処理を構成する、開始周波数送信時間設定処理のフローチャートである。
【図７】本発明の実施形態に係るプラズマ生成シーケンス最適化処理を構成する、周波数掃引時間設定処理のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。本発明の実施形態においては、例として、半導体製造装置として用いられるプラズマアッシング装置におけるプラズマ生成用電源装置を示す。図１は、本発明の実施形態に係るプラズマアッシング装置に用いられるプラズマ処理ユニット１０を示す垂直断面図である。
プラズマ処理ユニット１０は、半導体基板や半導体素子に対し、乾式処理でアッシングを施す高周波無電極放電型のプラズマ処理ユニットである。プラズマ処理ユニット１０は、図１に示すように、プラズマを生成する空間であるプラズマ生成空間３０、半導体基板などのウエハ２０を収容する処理空間４５、処理空間４５の下方の第１排気室７４、第２排気室７６、共振コイル３２等のプラズマ生成部、該プラズマ生成部に高周波電力を供給するプラズマ生成用電源装置４０等を備えている。プラズマ生成空間３０と処理空間４５は繋がっており、プラズマ生成空間３０と処理空間４５から処理室が構成される。プラズマ処理ユニット１０は、例えば、水平な架台であるベースプレート４８の上側に前記のプラズマ生成部が配置され、ベースプレート４８の下側に処理空間４５が配置されて構成される。
【００１１】
プラズマ生成部は、減圧可能に構成され且つプラズマ用の反応ガスが供給される反応容器３１と、反応容器３１の外周に巻回された共振コイル３２と、共振コイル３２の外周に配置され且つ電気的に接地された外側シールド５２とから構成される。共振コイル３２は、反応容器３１内部のガス中に放電を起こさせ、プラズマを発生させるためのコイルである。
【００１２】
反応容器３１は、本例では、高純度の石英硝子やセラミックスにて円筒状に形成され、プラズマ生成空間３０を形成する。処理室側壁６８は、本例では、アルミニウムで形成され、処理空間４５を形成する。プラズマ生成空間３０、処理空間４５、第１排気室７４、第２排気室７６は、それらの間が連通しており、ガスが通過可能となっている。プラズマ生成空間３０、処理空間４５、第１排気室７４、第２排気室７６は、トッププレート５４及び底板６９によって、上下端が気密に封止される。
【００１３】
処理空間４５の下部には、複数（例えば４本）の支柱６１によって支持されるサセプタ（基板載置部）１１が設けられる。サセプタ１１上には、被処理基板であるウエハ２０が載置される。
【００１４】
サセプタ１１の下方に、排気板６５が配設される。排気板６５は、ガイドシャフト６７を介して底板６９に固定される。昇降基板７１が、ガイドシャフト６７をガイドとして昇降自在に動くように、設けられる。昇降基板７１は、少なくとも３本のリフターピン１３を支持している。
【００１５】
リフターピン１３はサセプタ１１を貫通し、リフターピン１３の頂部には、ウエハ２０を支持するウエハ支持部１４が設けられている。リフターピン１３の昇降によって、ウエハ２０をサセプタ１１に載置し、あるいはサセプタ１１から持ち上げることができる。
底板６９を経由して、昇降駆動部（図示略）の昇降シャフト７３が昇降基板７１に連結されている。昇降駆動部が昇降シャフト７３を昇降させることで、昇降基板７１とリフターピン１３を介して、ウエハ支持部１４が昇降する。
【００１６】
サセプタ１１下方の排気板６５に、排気連通孔７５が設けられる。排気連通孔７５によって、第１排気室７４と、第１排気室７４の下方に設けられた第２排気室７６が連通される。第２排気室７６は、排気板６５と底板６９で形成される。第２排気室７６には、底板６９を貫通する排気管８０が連通されている。
排気管８０には、ガス流れの上流から順に、圧力調整バルブとしてのＡＰＣ（Auto Pressure Controller）バルブ８１、真空排気装置としての真空ポンプ８２が設けられている。真空ポンプ８２は、処理室内の圧力が所定の圧力（真空度）となるよう、処理室内を真空排気するように構成されている。ＡＰＣバルブ８１は、後述の制御部９０に電気的に接続されている。制御部９０は、処理室内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように、ＡＰＣバルブ８１の開度や、後述のガス供給ユニットの流量制御装置を制御するように構成されている。排気管８０、ＡＰＣバルブ８１、真空ポンプ８２からガス排気部が構成される。
【００１７】
反応容器３１の上部のトッププレート５４には、ガス供給ユニットから伸長され且つ所要のプラズマ発生用の反応ガスを供給するためのガス供給管５５が、ガス導入口３３に付設されている。
ガス供給管５５には、酸素ガス供給管２１が接続されている。酸素ガス供給管２１には、ガス流れの上流から順に、酸素ガスを供給する酸素ガス源２４、流量制御装置としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２３、及び開閉バルブ２２がそれぞれ設けられている。酸素ガス供給管２１、酸素ガス源２４、ＭＦＣ２３、開閉バルブ２２から、ガス供給部が構成される。
【００１８】
ＭＦＣ２３及び開閉バルブ２２は、後述の制御部９０に電気的に接続されている。制御部９０は、供給するガスの種類が所望のタイミングにて所望のガス種となるよう、また、供給するガスの流量が所望のタイミングにて所望の流量となるよう、ＭＦＣ２３及び開閉バルブ２２を制御する。
また、反応容器３１内には、ガス導入口３３から導入された反応ガスを反応容器３１の内壁に沿って流れるようにするための略円板形で、石英からなるバッフル板６０が設けられている。
【００１９】
共振コイル３２は、所定の波長の定在波を形成するため、一定波長モードで共振するように巻径、巻回ピッチ、巻数が設定される。すなわち、共振コイル３２の電気的長さは、プラズマ生成用電源装置４０から供給される電力の所定周波数における１波長の整数倍（１倍、２倍、…）、又は半波長、もしくは１／４波長に相当する長さに設定される。例えば、１波長の長さは、２７．１２ＭＨｚの場合約１１メートルになる。
【００２０】
共振コイル３２の両端は電気的に接地されるが、共振コイル３２の少なくとも一端は、本装置の最初の設置の際、又は処理条件の変更の際に、当該共振コイルの電気的長さを微調整するため、可動タップ６２を介して接地される。図１中の符号６４は、他方の固定グランドを示す。更に、本装置の最初の設置の際、又は処理条件の変更の際に、共振コイル３２のインピーダンスを微調整するため、共振コイル３２の接地された両端の間には、可動タップ６３によって給電部が構成される。
【００２１】
すなわち、共振コイル３２は、電気的に接地されたグランド部を両端に備え、且つプラズマ生成用電源装置４０から電力供給される給電部を各グランド部の間に備え、しかも、少なくとも一方のグランド部は、位置調整可能な可変式グランド部とされ、そして、給電部は、位置調整可能な可変式給電部とされる。
【００２２】
外側シールド５２は、共振コイル３２の外側への電磁波の漏れを遮蔽するとともに、共振回路を構成するのに必要な容量成分を、共振コイル３２との間に形成するために設けられる。外側シールド５２は、一般的には、アルミニウム合金、銅又は銅合金などの導電性材料を使用して円筒状に形成される。外側シールド５２は、共振コイル３２の外周から、例えば５〜１５０ｍｍ程度隔てて配置される。
【００２３】
制御部９０は、後述するようにプラズマ生成用電源装置４０を制御するほか、プラズマアッシング装置の各構成部の制御を行っている。制御部９０は、レシピ（アッシングプロセスの制御シーケンス）に基づき、処理室内の温度制御や圧力制御、処理ガス等の流量制御、および処理室内へのウエハ搬入等の機械駆動制御等を行う。制御部９０には、表示部９２や、操作者からの指示を受け付ける操作部９１、各種データやレシピ等を記憶する記憶部９３が接続されている。
制御部９０は、ハードウェア構成として、ＣＰＵ（中央演算ユニット）と、ＣＰＵの動作プログラムを格納するメモリとを備えるものである。
【００２４】
次に、プラズマ生成用電源装置４０の構成について、図２を用いて説明する。図２は、本発明の実施形態に係るプラズマ生成用電源装置の構成を示す図である。
図２において、４１は、所定の周波数の基準信号を生成する基準信号生成部であり、本例では周波数シンセサイザ回路である。周波数シンセサイザ回路４１には、例えば参照するための参照周波数信号を発生する水晶発振器（不図示）が接続され、この水晶発振器からの参照周波数信号に基づき、該参照周波数信号の整数倍又は整数で割った周波数の基準周波数信号（例えば２７．１２ＭＨｚ）が、周波数シンセサイザ回路４１から出力される。なお、参照周波数信号として、水晶発振器を用いず、外部の参照クロック信号を用いることも可能である。
また、周波数シンセサイザ回路４１は、制御部９０からの指示に基づき、上記基準周波数信号を中心として所定の範囲で、その出力周波数を変更することができるようになっている。
【００２５】
４２は、周波数シンセサイザ回路４１で生成された所定周波数の基準信号の電力を増幅して高周波電力信号を生成する電力増幅部である。電力増幅部４２で生成された高周波電力信号は、後述する検出部４３を介して、負荷である共振コイル３２へ出力される。検出部４３は、例えばＣＭ型方向性結合器で構成され、電力増幅部４２から出力された高周波電力信号から、該高周波電力信号に含まれる進行波電力と反射波電力を検出し、制御部９０へ出力する。
制御部９０は、検出部４３で検出された反射波電力に基づき、該反射波電力を小さくするように、周波数シンセサイザ回路４１を制御し、また、検出部４３で検出された進行波電力と反射波電力に基づき、所定の電力増幅度となるよう電力増幅部４２を制御する。
なお、プラズマ生成用電源装置４０を制御する制御部を、処理室の圧力等を制御する制御部とは別に設けるようにしてもよい。
【００２６】
次に、プラズマ生成用電源装置４０のプラズマ生成動作の概略について、図３を用いて説明する。図３は、本発明の実施形態に係るプラズマ生成シーケンスを示す図である。
図３において、横軸は時間を示す。縦軸（左）は、プラズマ生成用電源装置４０から負荷である共振コイル３２へ供給され印加される電力を示す。縦軸（右）は、プラズマ生成用電源装置４０から負荷である共振コイル３２へ供給され印加される電力の周波数を示す。
【００２７】
周波数シンセサイザ回路４１の出力周波数が所定の開始周波数Ｆ１（例えば約３０ＭＨｚ）に設定され、図３の時刻ｔ１において、電力印加、つまり電力増幅部４２において電力増幅が開始（ＲＦ-ＯＮ）される。開始周波数Ｆ１は、プラズマ生成用ガスをプラズマ生成空間３０に供給したときの共振コイル３２の共振周波数よりも高くなるように設定される。本実施形態では、後述するように、周波数シンセサイザ回路４１の出力周波数を開始周波数Ｆ１から徐々に下げていくことにより、反共振周波数を経て共振周波数に達するようにしている。反共振周波数における電力印加により、プラズマ生成用ガスに効率よくエネルギーを与えることができ、プラズマ生成が容易に行える。
【００２８】
時刻ｔ１において電力増幅が開始（ＲＦ-ＯＮ）されると、印加電力の増加に伴い、進行波電力ＰＦと反射波電力ＰＲが増加する。図３では、時刻ｔ１からｔ３までは、進行波電力ＰＦと反射波電力ＰＲは同程度の値である。時刻ｔ２において反射波電力ＰＲの値が許容可能な最大反射波電力ＰＲｍａｘ（例えば約１ｋＷ）に達すると、印加電力の増加を停止し、反射波電力ＰＲを最大反射波電力ＰＲｍａｘ以下に抑えた状態で、印加電力を時刻ｔ２からｔ３まで所定時間ほぼ一定レベルに維持する。
このようにして、開始時刻ｔ１からｔ３までのＴ１時間（例えば約５００ｍｓ間）、開始周波数Ｆ１に維持した状態で、プラズマ生成空間３０内のプラズマ生成用ガスに、電離してプラズマ化するためのエネルギーを供給する。
なお、反射波電力ＰＲの値を最大反射波電力ＰＲｍａｘ以下に抑える理由は、電力増幅部４２の出力デバイスが破壊されるのを防止するためである。
【００２９】
Ｔ１時間が経過し時刻ｔ３になると、時刻ｔ３から時刻ｔ６までのＴ２時間（例えば約８００ｍｓ間）において、周波数シンセサイザ回路４１の出力周波数を、開始周波数Ｆ１（例えば約３０ＭＨｚ）から目標周波数Ｆ２（例えば約２５ＭＨｚ）に向けて、徐々に変化させる周波数掃引動作を行う。図３の例では、開始周波数Ｆ１から徐々に周波数を下げており、それに伴い、徐々にインピーダンスマッチングが改善されていく。周波数を下げている途中において、時刻ｔ５において周波数ＦＭ１となりマッチング周波数（共振周波数）ＦＭ２に近づくと、急激にインピーダンスマッチングが進み、時刻ｔ７において、インピーダンスマッチングが最良となり反射波電力が最小の状態になる。このように、実際の周波数掃引時間は、設定された周波数掃引時間であるＴ２時間よりも短くなる。
【００３０】
この間、周波数掃引開始（時刻ｔ３）から徐々にインピーダンスがマッチングしていくに従って反射波電力ＰＲが低下するので、反射波電力ＰＲを最大反射波電力ＰＲｍａｘ以下に抑えた状態を保ちつつ、印加電力を増加させていく。これにより、反射波電力ＰＲの増加が抑えられつつ進行波電力ＰＦを増加させることができる。図３では、時刻ｔ３から時刻ｔ５にかけて、反射波電力ＰＲを少しずつ減少させながら進行波電力ＰＦを増加させていく様子が示されている。
【００３１】
また、周波数掃引開始（時刻ｔ３）から時間が経過し時刻ｔ４になると、進行波電力ＰＦと反射波電力ＰＲとの差が増大し、その差が所定の値、例えば１００Ｗ以上になる。この状態を、プラズマ着火された状態と判定する。プラズマ着火された状態になると、その後、安定的にプラズマが生成される。
時刻ｔ５から急激にインピーダンスマッチングが進むにつれて、反射波電力ＰＲが急激に低下し、時刻ｔ７になると反射波電力ＰＲが最小値になる。一方、進行波電力ＰＦは、所定の設定出力（例えば約３ｋＷ）となるよう、電力増幅部４２で調整される。時刻ｔ５から時刻ｔ７の間においては、周波数シンセサイザ回路４１の出力周波数は、反射波電力ＰＲが最小となるように調整される、つまり、反射波電力ＰＲが最小となるよう、周波数シンセサイザ回路４１の出力周波数を追従させる。
【００３２】
このように、制御部９０は、プラズマを生成するプラズマ生成部へ電力増幅部４２で生成された高周波電力信号が供給されるときに、所定の第１の時間Ｔ１において、基準信号である周波数シンセサイザ回路４１の出力周波数を所定の開始周波数Ｆ１に固定して、反射波電力ＰＲが所定の第１の電力値（例えば最大反射波電力）以下となるよう制御し、第１の時間Ｔ１経過後の所定の第２の時間Ｔ２において、反射波電力ＰＲが所定の第２の電力値（例えば最小値）以下になるように、基準信号の周波数を開始周波数Ｆ１から所定の目標周波数Ｆ２に向けて掃引する周波数掃引動作を行い、ほぼ共振周波数に達すると、つまり、反射波電力が急激に減少し始める周波数ＦＭ１（時刻ｔ５）に達すると、反射波電力ＰＲが所定の第２の電力値（例えば最小値）以下となるよう周波数シンセサイザ回路４１の出力周波数を追従させる周波数追従動作を行うことにより、プラズマ生成動作を行うよう構成される。
【００３３】
次に、最適なプラズマ生成シーケンス、すなわち、インピーダンス整合までの時間を短縮し、高周波電源の出力回路素子が負荷からの反射波により受けるストレスを低減することのできるプラズマ生成シーケンスを見出すための制御部９０の処理について説明する。図４〜図７は、本発明の実施形態に係るプラズマ生成シーケンスを最適化するプラズマ生成パラメータ設定動作のフローチャートであって、図４はデフォルト値での動作確認処理であり、図５は最適な開始周波数を見出すための開始周波数設定処理であり、図６は最適な開始周波数送信時間を見出すための開始周波数送信時間設定処理であり、図７は最適な周波数掃引時間を見出すための周波数掃引時間設定処理である。
【００３４】
本実施形態では、このプラズマ生成シーケンスを最適化する処理は、制御部９０のＣＰＵの動作プログラムとして実行され、図３で説明した開始周波数Ｆ１、開始周波数Ｆ１の送信時間Ｔ１、周波数掃引時間Ｔ２を最適化するものである。
なお、図３で説明したように、このプラズマ生成シーケンスにおいては、開始周波数Ｆ１は、プラズマ生成用ガスをプラズマ生成空間３０に入れたときの共振コイル３２の共振周波数よりも高くなるように設定され、周波数シンセサイザ回路４１の出力周波数を開始周波数Ｆ１から徐々に下げていくことにより、反共振周波数を経て共振周波数に達するようになっている。
【００３５】
図４において、制御部９０は、プラズマ生成シーケンスを最適化する動作プログラムに、開始周波数Ｆ１としてそのデフォルト値（例えば３０ＭＨｚ）を設定し（ステップＳ４１）、開始周波数送信時間Ｔ１としてそのデフォルト値（例えば１ｓ）を設定し（ステップＳ４２）、周波数掃引時間Ｔ２としてそのデフォルト値（例えば２ｓ）を設定する（ステップＳ４３）。これらのデフォルト値は、実験等に基づき求められたもので、プラズマ発生を確実に行えるよう、十分な余裕をもった値に設定され、予め記憶部９３に記憶されている。
次に、制御部９０は、プラズマ生成空間３０内に所定のプラズマ生成用ガス（例えば酸素ガス）を供給し、プラズマ生成空間３０内を所定の圧力（例えば２トール）にした後、プラズマ生成用電源装置４０から共振コイル３２へ電力印加する（ステップＳ４４）。すなわち、図３で説明したように、制御部９０は、開始周波数Ｆ１をデフォルト値（３０ＭＨｚ）に固定した状態で、開始周波数送信時間Ｔ１（デフォルト値：１ｓ）の間、プラズマ生成用電源装置４０から共振コイル３２へ電力印加した後、周波数掃引時間Ｔ２（デフォルト値：２ｓ）において、目標周波数Ｆ２（例えば２５ＭＨｚ）に向けて周波数掃引動作を行うように制御する。
【００３６】
ステップＳ４４の電力印加中において周波数掃引時間Ｔ２の間に、制御部９０は、プラズマ着火されたか否かを判定する（ステップＳ４５）、すなわち、進行波電力ＰＦと反射波電力ＰＲとの差が増大して、その差が所定の値、例えば１００Ｗ以上になったか否かを判定する。
周波数掃引時間Ｔ２の間にプラズマ着火されなかった場合は（ステップＳ４５でＮｏ）、制御部９０は、プラズマ着火無を表示部９２に表示し、電力印加を停止する（ステップＳ４７）。この場合は、上述の各デフォルト値の少なくとも１つが不適切であるので、操作者は、各デフォルト値を見直して記憶部９３に再設定し（ステップＳ４８）、再度、ステップＳ４１から開始するよう、操作部９１から指示を行う。
プラズマ着火された場合は（ステップＳ４５でＹｅｓ）、制御部９０は、周波数掃引動作を中止して電力印加を停止し（ステップＳ４６）、図５の開始周波数設定処理（ステップＳ５１）へ移行する。
【００３７】
図５において、制御部９０は、開始周波数Ｆ１として、前回の設定値つまりデフォルト値から所定の周波数幅を差し引いた値を設定、この例では前回の設定値（３０ＭＨｚ）から０．１ＭＨｚ差し引いた値である２９．９ＭＨｚを設定し（ステップＳ５１）、開始周波数送信時間Ｔ１としてそのデフォルト値（１ｓ）を設定し（ステップＳ５２）、周波数掃引時間Ｔ２としてそのデフォルト値（２ｓ）を設定する（ステップＳ５３）。
次に、制御部９０は、図４のデフォルト値での動作確認処理と同様に、プラズマ生成空間３０内に所定のプラズマ生成用ガスを供給し、プラズマ生成空間３０内を所定の圧力にした後、プラズマ生成用電源装置４０から共振コイル３２へ電力印加する（ステップＳ５４）。すなわち、制御部９０は、開始周波数Ｆ１を２９．９ＭＨｚに固定した状態で、開始周波数送信時間Ｔ１（デフォルト値：１ｓ）の間、プラズマ生成用電源装置４０から共振コイル３２へ電力印加した後、周波数掃引時間Ｔ２（デフォルト値：２ｓ）において、目標周波数Ｆ２（２５ＭＨｚ）に向けて周波数掃引動作を行うように制御する。
【００３８】
ステップＳ５４の電力印加中において周波数掃引時間Ｔ２の間に、制御部９０は、プラズマ着火されたか否かを判定する（ステップＳ５５）。
プラズマ着火された場合は（ステップＳ５５でＹｅｓ）、制御部９０は、周波数掃引動作を中止して電力印加を停止（ステップＳ５６）した後、ステップＳ５１へ戻り、開始周波数Ｆ１として、前回の設定値（２９．９ＭＨｚ）から所定の周波数幅（０．１ＭＨｚ）を差し引いた値である２９．８ＭＨｚを設定する。このようにして、プラズマ着火無が検出されるまで、ステップＳ５１〜Ｓ５６を繰り返す。
【００３９】
周波数掃引時間Ｔ２の間にプラズマ着火されなかった場合は（ステップＳ５５でＮｏ）、制御部９０は、電力印加を停止し（ステップＳ５７）、開始周波数Ｆ１の最適値として、プラズマ着火有が検出された直近の周波数を設定、つまり、プラズマ着火無が検出された時点の開始周波数Ｆ１設定値（例えば２８．０ＭＨｚ）に所定の周波数幅（０．１ＭＨｚ）を加算した値である２８．１ＭＨｚを設定して（ステップＳ５８）、図６の開始周波数送信時間設定処理（ステップＳ６１）へ移行する。
【００４０】
図６において、制御部９０は、開始周波数Ｆ１として、図５の開始周波数設定処理で求めた最適値（２８．１ＭＨｚ）を設定し（ステップＳ６１）、開始周波数送信時間Ｔ１として、前回の設定値つまりデフォルト値（１ｓ）から所定の時間を差し引いた値を設定、この例では前回の設定値から１０ｍｓ差し引いた値である９９０ｍｓを設定し（ステップＳ６２）、周波数掃引時間Ｔ２としてそのデフォルト値（２ｓ）を設定する（ステップＳ６３）。
次に、制御部９０は、図４のデフォルト値での動作確認処理と同様に、プラズマ生成空間３０内に所定のプラズマ生成用ガスを供給し、プラズマ生成空間３０内を所定の圧力にした後、プラズマ生成用電源装置４０から共振コイル３２へ電力印加する（ステップＳ６４）。すなわち、制御部９０は、開始周波数Ｆ１を最適値（２８．１ＭＨｚ）に固定した状態で、上記設定した開始周波数送信時間Ｔ１（９９０ｍｓ）の間、プラズマ生成用電源装置４０から共振コイル３２へ電力印加した後、周波数掃引時間Ｔ２（デフォルト値：２ｓ）において、目標周波数Ｆ２（２５ＭＨｚ）に向けて周波数掃引動作を行うように制御する。
【００４１】
ステップＳ６４の電力印加中において周波数掃引時間Ｔ２の間に、制御部９０は、プラズマ着火されたか否かを判定する（ステップＳ６５）。
プラズマ着火された場合は（ステップＳ６５でＹｅｓ）、制御部９０は、周波数掃引動作を中止して電力印加を停止（ステップＳ６６）した後、前述したステップＳ６１へ戻り、ステップＳ６２において、開始周波数送信時間Ｔ１として、前回の設定値（９９０ｍｓ）から所定の時間（１０ｍｓ）を差し引いた値である９８０ｍｓを設定する。このようにして、プラズマ着火無が検出されるまで、ステップＳ６１〜Ｓ６６を繰り返す。
【００４２】
周波数掃引時間Ｔ２の間にプラズマ着火されなかった場合は（ステップＳ６５でＮｏ）、制御部９０は、電力印加を停止し（ステップＳ６７）、開始周波数送信時間Ｔ１の最適値として、プラズマ着火有が検出された直近の開始周波数送信時間Ｔ１を設定、つまり、プラズマ着火無が検出された時点の開始周波数送信時間Ｔ１（例えば４９０ｍｓ）に所定の時間（１０ｍｓ）を加算した値である５００ｍｓを設定して（ステップＳ６８）、図７の周波数掃引時間設定処理（ステップＳ７１）へ移行する。
【００４３】
図７において、制御部９０は、開始周波数Ｆ１として、図５の開始周波数設定処理で求めた最適値（２８．１ＭＨｚ）を設定し（ステップＳ７１）、開始周波数送信時間Ｔ１として、図６の開始周波数送信時間設定処理で求めた最適値（５００ｍｓ）を設定し（ステップＳ７２）、周波数掃引時間Ｔ２として、前回の設定値つまりデフォルト値から所定の時間を差し引いた値を設定、この例では前回の設定値（２ｓ）から１０ｍｓ差し引いた値である１９９０ｍｓを設定する（ステップＳ７３）。
次に、制御部９０は、図４のデフォルト値での動作確認処理と同様に、プラズマ生成空間３０内に所定のプラズマ生成用ガスを供給し、プラズマ生成空間３０内を所定の圧力にした後、プラズマ生成用電源装置４０から共振コイル３２へ電力印加する（ステップＳ７４）。すなわち、制御部９０は、開始周波数Ｆ１を最適値（２８．１ＭＨｚ）に固定した状態で、最適値に設定した開始周波数送信時間Ｔ１（５００ｍｓ）の間、プラズマ生成用電源装置４０から共振コイル３２へ電力印加した後、上記設定した周波数掃引時間Ｔ２（１９９０ｍｓ）において、目標周波数Ｆ２（２５ＭＨｚ）に向けて周波数掃引動作を行うように制御する。
【００４４】
ステップＳ７４の電力印加中において周波数掃引時間Ｔ２の間に、制御部９０は、プラズマ着火されたか否かを判定する（ステップＳ７５）。
プラズマ着火された場合は（ステップＳ７５でＹｅｓ）、制御部９０は、周波数掃引動作を中止して電力印加を停止（ステップＳ７６）した後、前述したステップＳ７１へ戻り、ステップＳ７３において、周波数掃引時間Ｔ２として、前回の設定値（１９９０ｍｓ）から所定の時間（１０ｍｓ）を差し引いた値である１９８０ｍｓを設定する。このようにして、プラズマ着火無が検出されるまで、ステップＳ７１〜Ｓ７６を繰り返す。
【００４５】
周波数掃引時間Ｔ２の間にプラズマ着火されなかった場合は（ステップＳ７５でＮｏ）、制御部９０は、電力印加を停止し（ステップＳ７７）、周波数掃引時間Ｔ２の最適値として、プラズマ着火有が検出された直近の周波数掃引時間Ｔ２を設定、つまり、プラズマ着火無が検出された時点の周波数掃引時間Ｔ２（例えば７９０ｍｓ）に所定の時間（１０ｍｓ）を加算した値である８００ｍｓを設定して（ステップＳ７８）、処理を終了する。
【００４６】
以上説明したプラズマ生成シーケンス最適化処理により、例えば、開始周波数Ｆ１の最適値としてデフォルト値の３０ＭＨｚよりも低い２８．１ＭＨｚを得ることができ、開始周波数送信時間Ｔ１の最適値としてデフォルト値の１ｓよりも小さい５００ｍｓを得ることができ、周波数掃引時間Ｔ２の最適値としてデフォルト値の２ｓよりも小さい８００ｍｓを得ることができる。このようにして、プラズマ生成シーケンスに要する時間を、例えば従来の５秒程度から１〜２秒程度に短縮することができる。
【００４７】
前記実施形態に依れば、少なくとも次の（１）〜（４）の効果を得ることができる。
（１）インピーダンス整合までの時間を短縮し、高周波電源の出力回路素子が負荷からの反射波により受けるストレスを低減する、あるいは、プラズマ処理装置における処理効率を向上することができる。
（２）開始周波数設定処理、開始周波数送信時間設定処理、周波数掃引時間設定処理の順に処理を行うので、最適なプラズマ生成パラメータを効率よく設定できる。
（３）プラズマ生成パラメータ設定動作において、電力印加中に進行波電力値と反射波電力値の差分が所定値以上大きくなるとプラズマ着火したと判定し、プラズマ着火有と判定すると、その時点で電力印加を停止してプラズマ生成動作を終了するので、インピーダンスマッチングするまでプラズマ生成動作を行う場合と比べて、効率よく最適なプラズマ生成パラメータを見出すことができる。
（４）開始周波数設定処理において、反射波電力が許容可能な最大反射波電力値に達すると、その電力値を維持するので、高周波電源の出力回路素子が反射波により破壊されることを抑制し、また、最大の電力をコイル等の負荷に供給できるので、開始周波数設定処理時間を短縮することができる。
【００４８】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
前記実施形態のデフォルト値での動作確認処理（図４）では、電力印加中にプラズマ着火有と判定すると、その時点で電力印加を停止するようにしたが、プラズマ着火有と判定した後も電力印加を継続し、インピーダンス整合ができることを確認するように構成することも可能である。すなわち、プラズマ着火有と判定した後も電力印加を継続し、ほぼ共振周波数に達すると、つまり、反射波電力が急激に減少し始める周波数ＦＭ１に達すると、その後、周波数追従動作を行い、共振周波数ＦＭ２でインピーダンス整合ができることを確認するように構成することも可能である。この方が、確実にプラズマ生成するうえで好ましい。
また、前記実施形態の開始周波数設定処理（図５）や、開始周波数送信時間設定処理（図６）や、周波数掃引時間設定処理（図７）では、電力印加中にプラズマ着火有と判定すると、その時点で電力印加を停止するようにしたが、プラズマ着火有と判定した後も電力印加を継続し、インピーダンス整合ができることを確認するように構成することもできる。すなわち、プラズマ着火有と判定した後も電力印加を継続し、ほぼ共振周波数に達すると、つまり、反射波電力が急激に減少し始める周波数ＦＭ１に達すると、その後、周波数追従動作を行い、共振周波数ＦＭ２でインピーダンス整合ができることを確認するように構成することも可能である。
【００４９】
また、前記実施形態では、反共振点の周波数が共振点の周波数よりも高い場合において、反共振点の周波数よりも高い開始周波数Ｆ１から、共振点の周波数よりも低い目標周波数Ｆ２に向けて、高周波数から低周波数へ周波数掃引を行ったが、共振点の周波数よりも低い開始周波数Ｆ１から、反共振点の周波数よりも高い目標周波数Ｆ２に向けて、低周波数から高周波数へ周波数掃引を行うように構成することもできる。この場合は、少なくとも反共振点の周波数まで低周波数から高周波数へ周波数掃引を行った後、共振点の周波数方向に高周波数から低周波数へ周波数掃引を行うのが、プラズマ生成効率を向上するうえで好ましい。
また、反共振点の周波数が共振点の周波数よりも低い場合においては、反共振点の周波数よりも低い開始周波数Ｆ１から、共振点の周波数よりも高い目標周波数Ｆ２に向けて、低周波数から高周波数へ周波数掃引を行うように構成することもできる。
【００５０】
また、前記実施形態では、開始周波数設定処理（図５）、開始周波数送信時間設定処理（図６）、周波数掃引時間設定処理（図７）を行ったが、開始周波数の適正値が分かっているような場合は、開始周波数設定処理を省略することができ、また、開始周波数送信時間の適正値が分かっているような場合は、開始周波数送信時間設定処理を省略することができ、また、周波数掃引時間の適正値が分かっているような場合は、周波数掃引時間設定処理を省略することができる。
【００５１】
また、前記実施形態の開始周波数設定処理（図５）では、１回目の電力印加処理において、開始周波数設定値を所定値（０．１ＭＨｚ）分差し引くようにしたが、１回目の電力印加処理においては、デフォルト値での動作確認処理（図４）を行って、再度、プラズマ着火できることを確認した後に、２回目の電力印加処理以降において、開始周波数設定値を所定値（０．１ＭＨｚ）分差し引くように構成することもできる。
同様に、開始周波数送信時間設定処理（図６）の１回目の電力印加処理において、プラズマ着火した最終回の開始周波数設定処理（図５）を行って、再度、プラズマ着火できることを確認した後に、２回目の電力印加処理以降において、開始周波数送信時間設定値を所定値（１０ｍｓ）分差し引くように構成することもできる。この場合、１回目の電力印加処理においてプラズマ着火できなかったときは、開始周波数設定値を所定値（０．１ＭＨｚ）分加算して、再度、開始周波数送信時間設定処理（図６）を行うように構成する。
同様に、周波数掃引時間設定処理（図７）の１回目の電力印加処理において、プラズマ着火した最終回の開始周波数送信時間設定処理（図６）を行って、再度、プラズマ着火できることを確認した後に、２回目の電力印加処理以降において、周波数掃引時間設定値を所定値（１０ｍｓ）分差し引くように構成することもできる。この場合、１回目の電力印加処理においてプラズマ着火できなかったときは、開始周波数送信時間設定値を所定値（１０ｍｓ）分加算して、再度、周波数掃引時間設定処理（図７）を行うように構成する。
【００５２】
本明細書の記載事項には、少なくとも次の発明が含まれる。すなわち、
第１の発明は、
所定の周波数の基準信号を生成する基準信号生成部と、
前記基準信号を電力増幅し高周波電力信号を生成する電力増幅部と、
前記高周波電力信号に含まれる進行波電力と反射波電力とを検出する検出部と、
前記基準信号生成部に対して基準信号の周波数を変化させ、前記電力増幅部に対して電力増幅度を変化させる制御部とを備え、
外部に設けられプラズマを生成するプラズマ生成部へ前記電力増幅部で生成された高周波電力信号を供給するプラズマ生成用電源装置であって、
前記制御部は、
前記プラズマ生成部へ前記高周波電力信号が供給されるときに、所定の第１の時間において、前記基準信号の周波数を所定の開始周波数に固定して、前記反射波電力が所定の第１の電力値以下となるよう制御し、前記第１の時間経過後の所定の第２の時間において、前記反射波電力が所定の第２の電力値以下になるように、前記基準信号の周波数を前記開始周波数から所定の目標周波数に向けて掃引するプラズマ生成動作を行うよう構成されるとともに、前記プラズマ生成動作におけるパラメータである前記開始周波数、前記第１の時間、前記第２の時間に関してプラズマ生成パラメータ設定動作を行うよう構成され、
前記プラズマ生成パラメータ設定動作は、
前記開始周波数を予め設定されたデフォルト値から前記目標周波数に近づけた値に設定し、前記第１の時間及び前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記開始周波数の更新値を見出して新たな開始周波数として設定する開始周波数設定動作を行い、次に、前記基準信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定し、前記第１の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第１の時間の更新値を見出して新たな第１の時間として設定する開始周波数送信時間設定動作を行い、次に、前記基準信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第１の時間を前記第１の時間の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第２の時間の更新値を見出して新たな第２の時間として設定する周波数掃引時間設定動作を行うよう構成されることを特徴とするプラズマ生成用電源装置。
【００５３】
第２の発明は、前記第１の発明のプラズマ生成用電源装置であって、
前記プラズマ生成パラメータ設定動作において、前記プラズマ生成動作実行中に前記進行波電力が前記反射波電力よりも所定値以上大きくなるとプラズマ着火したと判断し、前記実行中のプラズマ生成動作を終了することを特徴とするプラズマ生成用電源装置。
【００５４】
第３の発明は、前記第１の発明又は第２の発明のプラズマ生成用電源装置であって、
前記プラズマ生成動作の前記第１の時間において、前記反射波電力が前記第１の電力値に達すると、前記電力増幅部での電力増幅度をそのまま維持することを特徴とするプラズマ生成用電源装置。
【００５５】
第４の発明は、前記第１の発明ないし第３の発明のプラズマ生成用電源装置であって、
前記反射波電力の所定の第１の電力値は、許容可能な最大反射波電力であり、前記反射波電力の所定の第２の電力値は、最小反射波電力であることを特徴とするプラズマ生成用電源装置。
【００５６】
第５の発明は、
所定の周波数の基準信号を生成する基準信号生成部と、
前記基準信号を電力増幅し高周波電力信号を生成する電力増幅部と、
前記高周波電力信号に含まれる進行波電力と反射波電力とを検出する検出部と、
前記基準信号生成部に対して基準信号の周波数を変化させ、前記電力増幅部に対して電力増幅度を変化させる制御部とを備え、
外部に設けられプラズマを生成するプラズマ生成部へ前記電力増幅部で生成された高周波電力信号を供給するプラズマ生成用電源装置であって、
前記制御部は、
前記プラズマ生成部へ前記高周波電力信号が供給されるときに、所定の第１の時間において、前記基準信号の周波数を所定の開始周波数に固定して、前記反射波電力が所定の第１の電力値以下となるよう制御し、前記第１の時間経過後の所定の第２の時間において、前記反射波電力が所定の第２の電力値以下になるように、前記基準信号の周波数を前記開始周波数から所定の目標周波数に向けて掃引するプラズマ生成動作を行うよう構成されるとともに、前記プラズマ生成動作におけるパラメータである前記第１の時間、前記第２の時間に関してプラズマ生成パラメータ設定動作を行うよう構成され、
前記プラズマ生成パラメータ設定動作は、
前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定し、前記第１の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第１の時間の更新値を見出して新たな第１の時間として設定する開始周波数送信時間設定動作を行い、次に、前記第１の時間を前記第１の時間の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第２の時間の更新値を見出して新たな第２の時間として設定する周波数掃引時間設定動作を行うよう構成されることを特徴とするプラズマ生成用電源装置。
【００５７】
第６の発明は、
所定の周波数の基準信号を生成する基準信号生成部と、
前記基準信号を電力増幅し高周波電力信号を生成する電力増幅部と、
前記高周波電力信号に含まれる進行波電力と反射波電力とを検出する検出部と、
前記基準信号生成部に対して基準信号の周波数を変化させ、前記電力増幅部に対して電力増幅度を変化させる制御部とを備え、
外部に設けられプラズマを生成するプラズマ生成部へ前記電力増幅部で生成された高周波電力信号を供給するプラズマ生成用電源装置であって、
前記制御部は、
前記プラズマ生成部へ前記高周波電力信号が供給されるときに、所定の第１の時間において、前記基準信号の周波数を所定の開始周波数に固定して、前記反射波電力が所定の第１の電力値以下となるよう制御し、前記第１の時間経過後の所定の第２の時間において、前記反射波電力が所定の第２の電力値以下になるように、前記基準信号の周波数を前記開始周波数から所定の目標周波数に向けて掃引するプラズマ生成動作を行うよう構成されるとともに、前記プラズマ生成動作におけるパラメータである前記開始周波数、又は前記第１の時間、あるいは前記第２の時間に関してプラズマ生成パラメータ設定動作を行うよう構成され、
前記プラズマ生成パラメータ設定動作は、
前記開始周波数を予め設定されたデフォルト値から前記目標周波数に近づけた値に設定し、前記第１の時間及び前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記開始周波数の更新値を見出して新たな開始周波数として設定する開始周波数設定動作を行うか、又は、前記開始周波数及び前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定し、前記第１の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第１の時間の更新値を見出して新たな第１の時間として設定する開始周波数送信時間設定動作を行うか、あるいは、前記開始周波数及び前記第１の時間を予め設定されたデフォルト値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第２の時間の更新値を見出して新たな第２の時間として設定する周波数掃引時間設定動作を行うか、いずれかのプラズマ生成パラメータ設定動作を行うよう構成されることを特徴とするプラズマ生成用電源装置。
【００５８】
第７の発明は、
所定の周波数の基準信号を生成する基準信号生成部と、
前記基準信号を電力増幅し高周波電力信号を生成する電力増幅部と、
前記高周波電力信号に含まれる進行波電力と反射波電力とを検出する検出部と、
前記基準信号生成部に対して基準信号の周波数を変化させ、前記電力増幅部に対して電力増幅度を変化させる制御部と、
前記電力増幅部で生成された高周波電力信号によりプラズマを生成するプラズマ生成部と、を備えるプラズマ生成用装置であって、
前記制御部は、
前記プラズマ生成部へ前記高周波電力信号が供給されるときに、所定の第１の時間において、前記基準信号の周波数を所定の開始周波数に固定して、前記反射波電力が所定の第１の電力値以下となるよう制御し、前記第１の時間経過後の所定の第２の時間において、前記反射波電力が所定の第２の電力値以下になるように、前記基準信号の周波数を前記開始周波数から所定の目標周波数に向けて掃引するプラズマ生成動作を行うよう構成されるとともに、前記プラズマ生成動作におけるパラメータである前記開始周波数、前記第１の時間、前記第２の時間に関してプラズマ生成パラメータ設定動作を行うよう構成され、
前記プラズマ生成パラメータ設定動作は、
前記開始周波数を予め設定されたデフォルト値から前記目標周波数に近づけた値に設定し、前記第１の時間及び前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記開始周波数の更新値を見出して新たな開始周波数として設定する開始周波数設定動作を行い、次に、前記基準信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定し、前記第１の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第１の時間の更新値を見出して新たな第１の時間として設定する開始周波数送信時間設定動作を行い、次に、前記基準信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第１の時間を前記第１の時間の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第２の時間の更新値を見出して新たな第２の時間として設定する周波数掃引時間設定動作を行うよう構成されることを特徴とするプラズマ生成用装置。
【００５９】
第８の発明は、
プラズマを生成するプラズマ生成部へ高周波電力信号が供給されるときに、所定の第１の時間において、前記高周波電力信号の周波数を所定の開始周波数に固定して、前記高周波電力信号に含まれる反射波電力が所定の第１の電力値以下となるようにし、前記第１の時間経過後の所定の第２の時間において、前記反射波電力が所定の第２の電力値以下になるように、前記高周波電力信号の周波数を前記開始周波数から所定の目標周波数に向けて掃引するプラズマ生成動作を行うプラズマ生成方法に用いられるパラメータである前記開始周波数、前記第１の時間、前記第２の時間の設定方法であって、
前記開始周波数を予め設定されたデフォルト値から前記目標周波数に近づけた値に設定し、前記第１の時間及び前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記開始周波数の更新値を見出して新たな開始周波数として設定する開始周波数設定ステップと、
前記基準信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値に設定し、前記第１の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第１の時間の更新値を見出して新たな第１の時間として設定する開始周波数送信時間設定ステップと、
前記基準信号の周波数を前記開始周波数の更新値に設定し、前記第１の時間を前記第１の時間の更新値に設定し、前記第２の時間を予め設定されたデフォルト値から短縮した値に設定した状態で前記プラズマ生成動作を行って、プラズマ生成が可能である前記第２の時間の更新値を見出して新たな第２の時間として設定する周波数掃引時間設定ステップと、を備えることを特徴とするプラズマ生成パラメータ設定方法。
【符号の説明】
【００６０】
１０…プラズマ処理ユニット、１１…サセプタ、１３…リフターピン、１４…ウエハ支持部、２０…ウエハ、２１…供給管、２２…バルブ、２３…ＭＦＣ、２４…ガス供給源、３０…プラズマ生成空間、３１…反応容器、３２…共振コイル、３３…ガス導入口、４０…プラズマ生成用電源装置、４１…周波数シンセサイザ回路（基準信号生成部）、４２…電力増幅部、４３…検出部、４５…処理空間、４８…ベースプレート、５２…外側シールド、５４…トッププレート、５５…ガス供給管、６０…バッフル板、６１…支柱、６２…可動タップ、６３…可動タップ、６４…固定グランド、６５…排気板、６７…ガイドシャフト、６８…処理室側壁、６９…底板、７１…昇降基板、７３…昇降シャフト、７４…第１排気室、７５…排気連通孔、７６…第２排気室、８０…排気管、８１…ＡＰＣ、８２…真空ポンプ、９０…制御部、９１…操作部、９２…表示部、９３…記憶部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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