(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インサート部材を樹脂材料で圧縮成形するためのモールディングユニットと、
前記モールディングユニットに隣接するユニットとを備え、
前記モールディングユニットは、
第１上型と第１下型とを有する第１成形型と、
前記第１成形型に対して上下方向に積層配置され、第２上型と第２下型とを有する第２成形型と、
前記第１成形型の前記第１上型を固定する上部固定盤と、
前記上部固定盤の下方に設けられた下部固定盤と、
前記第１成形型の前記第１下型と前記第２成形型の前記第２上型との間に当該両者を固定した状態で設けられ、かつ、前記上部固定盤および前記下部固定盤に対して上下方向に移動可能に設けられた中間プレートと、
前記第２成形型の前記第２下型を固定した状態で設けられ、かつ、前記上部固定盤および前記下部固定盤に対して上下方向に移動可能に設けられたスライドプレートと、
前記第１成形型および前記第２成形型に所要の型締力を加える型締機構と、
前記型締機構の型締力を前記スライドプレートおよび前記中間プレートに伝達する伝達機構と、
前記伝達機構と前記中間プレートとを接続する接続部と、
前記接続部上に設けられ、前記第１成形型および前記第２成形型の型面平行度を調整し、またはダイハイトを調整するための調整機構とを備え、
前記調整機構は、上側部材と、下側部材と、上側部材および下側部材を貫通し、前記上側部材内に位置する第１部分および前記下側部材内に位置する第２部分を有するシャフトとを含み、
前記シャフトの第１部分に第１雄ねじ部が形成され、前記シャフトの第２部分に前記第１雄ねじ部に対して方向およびピッチの少なくとも一方が異なる第２雄ねじ部が形成され、
前記シャフトを回転させることにより前記上側部材と前記下側部材との隙間を調整して前記型面平行度を調整可能に、または前記ダイハイトを調整可能に構成される、圧縮成形装置。
【請求項２】
前記シャフトは、前記モールディングユニットと前記隣接するユニットとが並ぶ方向に直交する方向から操作し回転させることが可能であり、前記モールディングユニットと前記隣接するユニットとを分離せずに前記型面平行度を調整可能にし、または前記ダイハイトを調整可能にした、請求項１に記載の圧縮成形装置。
【請求項３】
前記伝達機構はトグルリンク機構から構成され、
前記スライドプレートを移動させる第１リンク部材と、
前記中間プレートを移動させる第２リンク部材と、
前記上部固定盤および前記下部固定盤に対して不動の固定部材に回動可能に接続される第１端と、前記第１リンク部材に回動可能に接続される第２端とを有し、前記第１端と前記第２端との中点の位置において前記第２リンク部材が回動可能に接続される第３リンク部材と、
前記第３リンク部材と前記型締機構とを接続する第４リンク部材とを含む、請求項１または請求項２に記載の圧縮成形装置。
【請求項４】
前記隣接するユニットは、
前記第１成形型および前記第２成形型の各々にインサート部材と樹脂材料とを供給するインロードユニット、
前記第１成形型および前記第２成形型の各々から成形品を取り出す機構と前記成形品を
収容する収容部とを含むアウトロードユニット、および、
他の前記モールディングユニット
のうちの少なくとも１つを含む、請求項１から請求項３のいずれかに記載の圧縮成形装置。
【請求項５】
前記モールディングユニットを複数個備え、
複数個の前記モールディングユニットを互いに着脱可能に設けた、請求項１から請求項３のいずれかに記載の圧縮成形装置。
【請求項６】
モールディングユニットと、前記モールディングユニットに隣接するユニットとを備え、インサート部材を樹脂材料で圧縮成形する圧縮成形装置の型面平行度を調整する方法であって、
第１上型と第１下型とを有する第１成形型、および、前記第１成形型の下方に積層配置され、第２上型と第２下型とを有する第２成形型の各々にインサート部材と樹脂材料とを供給するステップと、
型締機構の型締力を伝達するための伝達機構と、前記第１成形型の前記第１下型と前記第２成形型の前記第２上型との間に設けられた中間プレートとを接続する接続部上に設けられた調整機構を用いて前記第１成形型および前記第２成形型の型面平行度を調整するステップとを備え、
前記型面平行度を調整するステップにおいて、互いに方向およびピッチの少なくとも一方が異なる第１雄ねじ部と第２雄ねじ部とを有するシャフトを、前記モールディングユニットと前記隣接するユニットとが並ぶ方向に直交する方向から操作し回転させて前記型面平行度を調整する、型面平行度の調整方法。
【請求項７】
前記モールディングユニットと前記隣接するユニットとを分離せずに前記型面平行度を調整する、請求項６に記載の型面平行度の調整方法。
【請求項８】
モールディングユニットと、前記モールディングユニットに隣接するユニットとを備え、インサート部材を樹脂材料で圧縮成形する圧縮成形装置のダイハイトを調整する方法であって、
第１上型と第１下型とを有する第１成形型、および、前記第１成形型の下方に積層配置され、第２上型と第２下型とを有する第２成形型の各々にインサート部材と樹脂材料とを供給するステップと、
型締機構の型締力を伝達するための伝達機構と、前記第１成形型の前記第１下型と前記第２成形型の前記第２上型との間に設けられた中間プレートとを接続する接続部上に設けられた調整機構を用いて前記第１成形型および前記第２成形型のダイハイトを調整するステップとを備え、
前記ダイハイトを調整するステップにおいて、互いに方向およびピッチの少なくとも一方が異なる第１雄ねじ部と第２雄ねじ部とを有するシャフトを、前記モールディングユニットと前記隣接するユニットとが並ぶ方向に直交する方向から操作し回転させて前記ダイハイトを調整する、ダイハイトの調整方法。
【請求項９】
前記モールディングユニットと前記隣接するユニットとを分離せずに前記ダイハイトを調整する、請求項８に記載のダイハイトの調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インサート部材を樹脂材料で圧縮成形する圧縮成形装置および圧縮成形装置における型面平行度およびダイハイトを調整する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップなどを樹脂材料で圧縮成形する場合において、成形品の生産性を向上させることが求められている。圧縮成形装置全体の設置スペースを効率よく向上させることも求められている。
【０００３】
このような要請に応えるため、特開２０１０−９４９３１号公報（特許文献１）に記載の圧縮成形装置では、２個の圧縮成形用金型を積層配置し、２個の金型の各々における上型および下型の型面を閉じ合わせる型開閉手段を設けている。この型開閉手段は、ラックおよびピニオンを含む。特許文献１に記載の圧縮成形装置では、さらに、金型の各々に供給される基板の厚さに対応できる厚さ調整機構が設けられている。
【０００４】
前記２個の圧縮成形用金型を積層配置したモールド機構部を有するモールディングユニット（圧縮成形装置）の組み立ては、常温の雰囲気下（冷間状態）で行なわれる。このとき、２個の金型のダイハイト４０（後述する図４，図１４を参照）を合わせる（同じ高さにする）ことが行なわれる。なお、ダイハイト４０とは、図４（図１４）に示すように、個々の圧縮成形用金型の高さ（型締状態の上下両型の高さ）である。
【０００５】
しかしながら、このダイハイト４０を合わせた２個の圧縮成形用金型を用いて圧縮成形を行なう場合、当該各金型を加熱することになる（熱間状態になる）が、前記２個の圧縮成形用金型を積層配置したモールド機構部を有するモールディングユニット（圧縮成形装置）の各機構及び各部が（それぞれ異なる熱膨張係数で）熱膨張するので、上下配置の２個の圧縮成形用金型のダイハイトが異なるようになってくる。特に、所要複数個のモールディングユニットを配置した圧縮成形装置においては、各モールディングユニットの熱が互いに影響し合うため、この傾向が顕著であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−９４９３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の圧縮成形装置では、２個の金型の型面平行度を調整するために、或いは、前述したダイハイトの調整をするために、ラックおよびピニオンからなる型開閉機構を分解する必要があり、そのために、モールディングユニットとそれに隣接するユニットとを分離する必要がある。この結果、圧縮成形装置による成形品の生産性の向上を十分に図ることができない。
【０００８】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の１つの目的は、成形品の生産性の向上が図られた圧縮成形装置および該圧縮成形装置における型面平行度を調整する方法を提供することにある。
【０００９】
また、本発明の他の目的は、成形品の生産性の向上が図られた圧縮成形装置および該圧縮成形装置におけるダイハイトを調整する方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る圧縮成形装置は、インサート部材を樹脂材料で圧縮成形するためのモールディングユニットと、モールディングユニットに隣接するユニットとを備える。
【００１１】
上述のモールディングユニットは、第１上型と第１下型とを有する第１成形型と、第１成形型に対して上下方向に積層配置され、第２上型と第２下型とを有する第２成形型と、第１成形型の第１上型を固定する上部固定盤と、上部固定盤の下方に設けられた下部固定盤と、第１成形型の第１下型と第２成形型の第２上型との間に当該両者を固定した状態で設けられ、かつ、上部固定盤および下部固定盤に対して上下方向に移動可能に設けられた中間プレートと、第２成形型の第２下型を固定した状態で設けられ、かつ、上部固定盤および下部固定盤に対して上下方向に移動可能に設けられたスライドプレートと、第１成形型および第２成形型に所要の型締力を加える型締機構と、型締機構の型締力をスライドプレートおよび中間プレートに伝達する伝達機構と、伝達機構と中間プレートとを接続する接続部と、接続部上に設けられ、第１成形型および第２成形型の型面平行度を調整し、またはダイハイトを調整するための調整機構とを備える。
【００１２】
上記調整機構は、上側部材と、下側部材と、上側部材および下側部材を貫通し、上側部材内に位置する第１部分および下側部材内に位置する第２部分を有するシャフトとを含み、シャフトの第１部分に第１雄ねじ部が形成され、シャフトの第２部分に第１雄ねじ部に対して方向およびピッチの少なくとも一方が異なる第２雄ねじ部が形成され、シャフトを回転させることにより上側部材と下側部材との隙間を調整して型面平行度を調整可能に、またはダイハイトを調整可能に構成される。
【００１３】
１つの実施態様では、上述の圧縮成形装置において、シャフトは、モールディングユニットと隣接するユニットとが並ぶ方向に直交する方向から操作し回転させることが可能であり、モールディングユニットと隣接するユニットとを分離せずに型面平行度を調整可能にし、またはダイハイトを調整可能にした。
【００１４】
１つの実施態様では、上述の圧縮成形装置において、調整機構はトグルリンク機構から構成され、スライドプレートを移動させる第１リンク部材と、中間プレートを移動させる第２リンク部材と、上部固定盤および下部固定盤に対して不動の固定部材に回動可能に接続される第１端と、第１リンク部材に回動可能に接続される第２端とを有し、第１端と第２端との中点の位置において第２リンク部材が回動可能に接続される第３リンク部材と、第３リンク部材と型締機構とを接続する第４リンク部材とを含む。
【００１５】
１つの実施態様では、上述の圧縮成形装置において、隣接するユニットは、第１成形型および第２成形型の各々にインサート部材と樹脂材料とを供給するインローダユニット、第１成形型および第２成形型の各々から成形品を取り出す機構と成形品を収容する収容部とを含むアウトローダユニット、および、他のモールディングユニットのうちの少なくとも１つを含む。
【００１６】
１つの実施態様では、上述の圧縮成形装置において、モールディングユニットを複数個備え、複数個のモールディングユニットを互いに着脱可能に設ける。
【００１７】
本発明に係る型面平行度の調整方法は、モールディングユニットと、モールディングユニットに隣接するユニットとを備え、インサート部材を樹脂材料で圧縮成形する圧縮成形装置の型面平行度を調整する方法である。
【００１８】
上述の方法は、第１上型と第１下型とを有する第１成形型、および、第１成形型の下方に積層配置され、第２上型と第２下型とを有する第２成形型の各々にインサート部材と樹脂材料とを供給するステップと、型締機構の型締力を伝達するための伝達機構と第１成形型の前記第１下型と前記第２成形型の前記第２上型との間に設けられた中間プレートとを接続する接続部上に設けられた調整機構を用いて第１成形型および第２成形型の型面平行度を調整するステップとを備える。
【００１９】
上述の型面平行度を調整するステップにおいて、互いに方向およびピッチの少なくとも一方が異なる第１雄ねじ部と第２雄ねじ部とを有するシャフトを、モールディングユニットと隣接するユニットとが並ぶ方向に直交する方向から操作し回転させて型面平行度を調整する。
【００２０】
１つの実施態様では、上述の型面平行度の調整方法において、上記モールディングユニットと隣接するユニットとを分離せずに型面平行度を調整する。
【００２１】
本発明に係るダイハイトの調整方法は、モールディングユニットと、モールディングユニットに隣接するユニットとを備え、インサート部材を樹脂材料で圧縮成形する圧縮成形装置のダイハイトを調整する方法である。
【００２２】
上述の方法は、第１上型と第１下型とを有する第１成形型、および、第１成形型の下方に積層配置され、第２上型と第２下型とを有する第２成形型の各々にインサート部材と樹脂材料とを供給するステップと、型締機構の型締力を伝達するための伝達機構と、第１成形型の第１下型と第２成形型の第２上型との間に設けられた中間プレートとを接続する接続部上に設けられた調整機構を用いて第１成形型および第２成形型のダイハイトを調整するステップとを備える。
【００２３】
上述のダイハイトを調整するステップにおいて、互いに方向およびピッチの少なくとも一方が異なる第１雄ねじ部と第２雄ねじ部とを有するシャフトを、モールディングユニットと隣接するユニットとが並ぶ方向に直交する方向から操作し回転させてダイハイトを調整する。
【００２４】
１つの実施態様では、上述のダイハイトの調整方法において、モールディングユニットと隣接するユニットとを分離せずにダイハイトを調整する。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る圧縮成形装置および型面平行度の調整方法によれば、モールディングユニットとそれに隣接するユニットとが並ぶ方向に直交する方向から調整機構を操作することができるので、モールディングユニットとそれに隣接するユニットとを分離せずに、型面平行度を調整することができ、さらに、ダイハイトを調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る圧縮成形装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】図１に示す圧縮成形装置におけるモールディングユニットを増設した状態を示す図である。
【図３】図１に示す圧縮成形装置に含まれるモールド機構部（型開状態）の正面図である。
【図４】図１に示す圧縮成形装置に含まれるモールド機構部（型締状態）の正面図である。
【図５】モールド機構部におけるトグルリンク機構の構造（型開状態）を示す拡大図である。
【図６】モールド機構部におけるトグルリンク機構の構造（型締状態）を示す拡大図である。
【図７】トグルリンク機構におけるリンクの動きについて説明するための図である。
【図８】トグルリンク機構の変形例におけるリンクの動きについて説明するための図である。
【図９】トグルリンク機構のさらなる変形例におけるリンクの動きについて説明するための図である。
【図１０】本発明に係る型面平行度の調整方法に用いられる平行度調整機構の構造を示す断面図である。
【図１１】図１０に示す平行度調整機構であって、２つの成形型によって成形される部材の厚みの違いを吸収した状態（その１）を示す断面図である。
【図１２】図１０に示す平行度調整機構であって、２つの成形型によって成形される部材の厚みの違いを吸収した状態（その２）を示す断面図である。
【図１３】積層モールド機構部の変形例を示す正面図である。
【図１４】積層モールド機構部の他の変形例を示す正面図である。
【図１５】積層モールド機構部の他の変形例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下に、本発明の実施の形態について説明する。なお、同一または相当する部分に同一の参照符号を付し、その説明を繰返さない場合がある。
【００２８】
なお、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。
【００２９】
図１は、本実施の形態に係る圧縮成形装置の全体構成を示す平面図である。図１に示すように、本実施の形態に係る圧縮成形装置は、たとえば半導体チップが搭載された基板（インサート部材）を樹脂材料で圧縮成形（樹脂封止成形）するモールド機構部１０００を含むモールディングユニットＡと、モールディングユニットＡの成形型にインサート部材を供給するインローダ２０を含むインローダユニットＢと、モールディングユニットＡの成形型から成形品を取り出すアウトローダ３０と上記成形品を収容する収容部とを含むアウトローダユニットＣとを備える。インローダ２０およびアウトローダ３０は、図１中の上下方向に移動する。なお、各モールディングユニットＡには、成形型の型面平行度を調整するために、後述する調整機構１００が設けられている。
【００３０】
モールディングユニットＡと、インローダユニットＢ、およびアウトローダユニットＣは、ボルトやピンなどの連結機構を介して、互いに着脱可能に連結されている。図１の例では、モールディングユニットＡは２個設けられているが、この個数は生産量に応じて増減調整することが可能である。モールディングユニットＡは１つであってもよいし、図２に示すように、たとえば４つに増設されてもよい。
【００３１】
また、図１，図２の例では、モールディングユニットＡ、インローダユニットＢ、およびアウトローダユニットＣがこの順で配設されているが、たとえば、モールディングユニットＡ、インローダユニットＢ、およびアウトローダユニットＣが一体となった１つの親機と、モールディングユニットＡのみを備えた１つまたは複数の子機とを並べて圧縮成形装置を構成してもよい。
【００３２】
なお、図１，図２に示す例において、モールディングユニットＡに対して手動でインサート部材と樹脂材料とを供給し、成形後の成形品を取り出すようにしてもよい。
【００３３】
次に、図３，図４を用いて、モールド機構部１０００の構造について説明する。図３，図４は、各々、モールド機構部１０００の型開状態および型締状態を示す正面図である。
【００３４】
図３，図４に示すように、モールド機構部１０００は、上下方向に積層配置された２つの成形型１１，１２を含む。成形型１１は上型１１Ａおよび下型１１Ｂを含み、成形型１２は上型１２Ａおよび下型１２Ｂを含む。
【００３５】
モールド機構部１０００は、成形型１１の上型１１Ａを固定する上部固定盤１３と、成形型１１の上型１１Ｂおよび成形型１２の上型１２Ａを固定する中間プレート１４と、成形型１２の下型１２Ｂを固定するスライドプレート１５と、スライドプレート１５の下方に設けられた下部プレート１６と、下部プレート１６の下方に設けられた下部固定盤１７と、中間プレート１４と下部プレート１６とを連結する連結部材１８と、上部固定盤１３と下部固定盤１７とを連結するポスト１９とをさらに含む。
【００３６】
中間プレート１４およびスライドプレート１５は、上部固定盤１３および下部固定盤１７に対して上下方向に移動可能である。中間プレート１４に連結された下部プレート１６、および、スライドプレート１５は、スライドプレート１５の下方に設けられたトグルリンク機構１０により上下方向に駆動される。これにより、成形型１１，１２の型開状態（図３）と型締状態（図４）との切換えが行なわれる。
【００３７】
トグルリンク機構１０は、スライドプレート１５を移動させるリンク部材１０Ａ（第１リンク部材）と、リンク部材１０Ａに対して半分の長さを有し、下部プレート１６を介して中間プレート１４を移動させるリンク部材１０Ｂ（第２リンク部材）と、リンク部材１０Ａ，１０Ｂが連結されるリンク部材１０Ｃ（第３リンク部材）と、リンク部材１０Ｃとクロスバー１０Ｅおよびボールねじ１０Ｆとを連結するリンク部材１０Ｄ（第４リンク部材）とを含む。成形型１１，１２の型締力は、ボールねじ１０Ｆおよびリンク部材１０Ａ〜１０Ｄを介して中間プレート１４およびスライドプレート１５に伝達される。このとき、中間プレート１４が距離Ｌ移動するとすると、スライドプレート１５は距離２Ｌ移動する。これにより、成形型１１，１２を同時に型締することができる。
【００３８】
リンク部材１０Ｃの一方の端部は、下部固定盤１７に対して不動の固定部材１７Ａに回動可能に連結され、リンク部材１０Ｃの他方の端部は、リンク部材１０Ａに回動可能に連結される。上記一方の端部と上記他方の端部との中点の位置において、リンク部材１０Ｃに対してリンク部材１０Ｂが回動可能に連結される。
【００３９】
図１〜図４に示すモールド機構部１０００を用いて、インサート部材を樹脂材料で圧縮成形する際には、まず、成形型１１，１２の各々にインサート部材と樹脂材料とを供給する。次に、成形型１１の上型１１Ａを固定した状態で、前記スライドプレートの下方に設けられたトグルリンク機構１０を用いて、中間プレート１４を距離Ｌだけ移動させるとともに、スライドプレート１５を距離２Ｌだけ移動させ、成形型１１，１２に所要の型締力を加える。
【００４０】
モールド機構部１０００の組み立ては、常温の雰囲気下（冷間状態）で行なわれる。このとき、図４に示すように、成形型１１，１２のダイハイト４０（成形型１１，１２の高さ）を合わせることが行なわれる。
【００４１】
このダイハイト４０を合わせた成形型１１，１２を用いて圧縮成形を行なう場合、成形型１１，１２を加熱することになる（熱間状態になる）。ここで、モールド機構部１０００各機構及び各部が、それぞれ異なる熱膨張係数で熱膨張するので、成形型１１，１２のダイハイトが異なるようになってくる。モールド機構部１０００においては、後述する平行度調整機構１００を用いてダイハイトを調整する。
【００４２】
図５，図６は、各々、成形型１１，１２の型開状態、型締状態におけるトグルリンク機構１０の構造を示す拡大図である。成形型１１，１２に型締力を加えるステップにおいて、図５に示す成形型１１，１２の型開状態からボールねじ１０Ｆを作動させ、図６に示す型締状態となるまで各リンク部材を回動させる。
【００４３】
この時、図７に示すように、スライドプレート１５を移動させるリンク部材１０Ａを含む三角形と、下部プレート１６を介して中間プレート１４を移動させるリンク部材１０Ｂを含む三角形とが、リンク部材１０Ｃを共通辺とする２：１の比の相似形を保持した状態で変形する。これにより、スライドプレート１５を距離２Ｌだけ移動させながら、中間プレート１４を距離Ｌだけ移動させることができる。
【００４４】
上述の圧縮成形装置では、スライドプレート１５の下方の空間を有効に利用してトグルリンク機構１０を設けているため、モールド機構部１０００のフットプリントが小さくなり、圧縮成形装置の小型化を図ることができる。
【００４５】
１つの変形例として、図８に示すように、リンク部材１０Ａの長さおよび移動距離と、リンク部材１０Ｂとの長さおよび移動距離との比を３：１とすることが考えられる。たとえば、成形型１１，１２の大きさが互いに異なる場合や、成形型１１，１２で大きさの異なる成形品を成形する場合に、図８の変形例を用いることができる。
【００４６】
他の変形例として、図９に示すように、２つの下部プレート１６１，１６２およびそれに連結されるリンク部材１０Ｂ１，１０Ｂ２を設け、スライドプレート１５と合わせて３つの成形型を積層することも考えられる。図９の例では、下部プレート１６１が距離Ｌだけ移動する間に、下部プレート１６２が距離３Ｌだけ移動し、スライドプレート１５が距離４Ｌだけ移動する。このように、任意の所要数の圧縮成形用の型を積層配置した装置において、リンク部材１０Ｃを所要数に分割し、その分割点から選択した点にリンク部材をピン結合したリンクを利用して、各型を型締めする構成を採用することができる。
【００４７】
なお、図３〜図９において、図示および説明の便宜上、リンク部材１０Ａ〜１０Ｄは一本線で描かれているが、実際にはリンク部材１０Ａ〜１０Ｄはプレート状の部材である。
【００４８】
ところで、本実施の形態に係るモールド機構部１０００においては、成形型１１，１２の型面の平行度を調整するため、４本の連結部材１８の各々に平行度調整機構１００を設けている。
【００４９】
図１０は、平行度調整機構の構造を示す断面図である。図１０に示すように、平行度調整機構１００は、２つに分割された連結部材１８Ａ，１８Ｂの各々に取付られる調整部材１００Ａ，１００Ｂと、調整部材１００Ａ，１００Ｂに跨って設けられるシャフト１００Ｃとを含む。調整部材１００Ａ，１００Ｂは、各々、箱体１１０Ａ，１１０Ｂと、蓋体１２０Ａ，１２０Ｂと、ロックナット１３０Ａ，１３０Ｂと、上下移動体１４０Ａ，１４０Ｂと、スプリング１５０Ａ，１５０Ｂと、ねじ部１６０Ａ，１６０Ｂとを含む。シャフト１００Ｃには六角穴部１７０が形成されている。
【００５０】
ロックナット１３０Ａ，１３０Ｂおよび上下移動体１４０Ａ，１４０Ｂは、ねじ部１６０Ａ，１６０Ｂにねじ止めされている。ねじ部１６０Ａ，１６０Ｂは互いにピッチの異なる同方向の雄ねじにより構成される。たとえば、ねじ部１６０ＡはＭ１０の雄ねじであり、ねじ部１６０ＢはＭ１６の雄ねじである。このように、ピッチの異なる同方向の雄ねじを形成することで、シャフト１００Ｃを回転させたとき、調整部材１００Ａ，１００Ｂ間の隙間（図１０に示すＧ）を調整することができる。シャフト１００Ｃは、六角穴１７０に六角レンチを差し込むことで回転させることができる。この操作は、たとえば図２中に「微調整」と示した矢印の方向、すなわち、複数のモールディングユニットＡが並ぶ方向に直交する方向から行なうことができるので、モールディングユニットＡと、インローダユニットＢ、およびアウトローダユニットＣを分離せずに行なうことが可能である。
【００５１】
別の構成として、ねじ部１６０Ａ，１６０Ｂを同径（たとえばＭ１０）で逆方向の雄ねじで構成することもできる。しかし、同方向の雄ねじのピッチ差を利用することで、シャフト１００Ｃの１回転あたりの「隙間Ｇの調整量」を微小にすることができるので、隙間Ｇの微小な調整を行なうことが可能となる。
【００５２】
複数の平行度調整機構１００において調整部材１００Ａ，１００Ｂ間の隙間を調整することにより、成形型１１，１２における型面平行度の調整を行なうことが可能である。本実施の形態に係る圧縮成形装置では、モールディングユニットＡと、インローダユニットＢ、およびアウトローダユニットＣを分離せずに型面平行度の調整を行なうことができるので、成形品の生産性の向上を十分に図ることが可能となる。
【００５３】
また、図１〜図４の例に示すモールド機構部１０００においては、調整機構１００が４本のポスト１９に対して各別に設けられ、調整機構１００が４個設けられている。
【００５４】
なお、成形型１１，１２におけるインサート部品の厚みに違いがある場合（たとえば、異なる部品を成形する場合や、同種の部品であっても、基板ごとの厚みのばらつきがある場合）のために、調整部材１００Ａ，１００Ｂにはスプリング１５０Ａ，１５０Ｂが設けられている。図１１，図１２は、成形型１１，１２によって成形される部材の厚みの違いを吸収した状態を示している。スプリング１５０Ａ，１５０Ｂの弾性変形により、成形型１１，１２におけるインサート部品の厚みの違いを吸収して、成形型１１，１２に対して所望の型締力を加えることができる。
【００５５】
より具体的に言えば、成形型１１，１２に供給される部材の厚みに違いがある場合、連結部材１８Ｂはトグルリンク機構１０に固定されているため、連結部材１８Ａに繋がれた中間プレート１４が上下動して厚みの違いを吸収する。型締状態に移行するとき、部材が厚い方が先に固定され、薄い方がその後に固定されることになるため、部材の厚みが薄い方の調整部材１００Ａ，１００Ｂ内において隙間４１が発生することになる。図１１に示す例の場合は、下部調整部材１００Ｂ側の方がインサート部品の厚さが薄いため、下部調整部材１００Ｂ側に隙間４１が発生している。また、図１２に示す例の場合は、上部調整部材１００Ａ側の方がインサート部品の厚さが薄いため、下部調整部材１００Ａ側に隙間４１が発生する。
【００５６】
また、調整機構１００を用いて、型面平行度の調整と同様にダイハイトを調整することもできる。本実施の形態に係る圧縮成形装置によれば、モールディングユニットＡ、インローダユニットＢ、およびアウトローダユニットＣを分離せずにダイハイトの調整を行なうことができるので、成形品の生産性の向上を十分に図ることが可能となる。
【００５７】
図１３は、モールド機構部の変形例を示す図である。図１３に示すモールド機構部２０００のように、トグルリンク機構１０に代えて、加圧機構２００ならびにピニオン１８αおよびラック１８β１，１８β２を含む構造が用いられてもよい。加圧機構２００は中間プレート１４およびそれに連結されたピニオン１８αを距離Ｌだけ移動させ、これに伴ない、ラック１８β２およびスライドプレート１５は距離２Ｌだけ移動する。
【００５８】
本変形例においても、調整機構１００を設けることにより、成形型１１，１２の型面平行度の調整、またはダイハイトの調整を行なうことが可能である。
【００５９】
なお、上述の例では、４本のポスト１９および４つの調整機構１００を備えた圧縮成形装置について説明したが、本発明の範囲はこれに限定されるものではない。たとえば、調整機構１００の個数は任意に変更可能である。また、ポスト１９の構造も上述のものに限られず、たとえば、図１４，図１５に示すモールド機構部３０００のように、成形型１１，１２の両側に２つのサイドフレーム１９Ａを備えた構造であってもよい。この場合も、調整機構１００は、２つに分割された連結部材１８Ａ，１８Ｂの各々に取付られる調整部材１００Ａ，１００Ｂと、調整部材１００Ａ，１００Ｂに跨って設けられるシャフト１００Ｃとを含む。
【００６０】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００６１】
１０  トグルリンク機構、１０Ａ〜１０Ｄ  リンク部材、１０Ｅ  クロスバー、１０Ｆ  ボールねじ、１１，１２  成形型、１１Ａ，１２Ａ  上型、１１Ｂ，１２Ｂ  下型、１３  上部固定盤、１４  中間プレート、１５  スライドプレート、１６，１６１，１６２  下部プレート、１７  下部固定盤、１７Ａ  固定部材、１８  連結部材、１８α  ピニオン、１８β１，１８β２  ラック、１９  ポスト、１９Ａ  サイドフレーム、２０  インローダ、３０  アウトローダ、１００  平行度調整機構、１００Ａ，１００Ｂ  調整部材、１１０Ａ，１１０Ｂ  箱体、１２０Ａ，１２０Ｂ  蓋体、１３０Ａ，１３０Ｂ  ロックナット、１４０Ａ，１４０Ｂ  上下移動体、１５０Ａ，１５０Ｂ  スプリング、１６０Ａ，１６０Ｂ  ねじ部、１７０  六角穴部、２００  加圧機構、１０００，２０００，３０００  モールド機構部、Ａ  モールディングユニット、Ｂ  インローダユニット、Ｃ  アウトローダユニット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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