(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着源を使う蒸着工程に用いられる蒸着マスクであって、
複数の第１貫通孔が形成されている第１重なり領域を有する第１本体と、
複数の第２貫通孔が形成されている第２重なり領域を有し、前記第１本体と異なる方向に延びる第２本体と、を含み、
前記第１重なり領域と前記第２重なり領域とを重ね合わせたとき、
前記第２重なり領域における前記第１貫通孔の投影範囲は、前記第２貫通孔の範囲外にあり、
前記第１重なり領域と前記第２重なり領域との間には、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とをそれぞれ連通する隙間が形成されることを特徴とする蒸着マスク。
【請求項２】
前記第２重なり領域における前記第１貫通孔の投影範囲は、隣り合う前記第２貫通孔同士間に挟まれることを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
【請求項３】
前記第１貫通孔及び前記第２貫通孔の少なくとも一方は円形状であることを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
【請求項４】
前記第１本体は、前記第２本体よりも前記蒸着源に接近し、
前記第１貫通孔は、前記第２貫通孔よりも開口面積が小さいことを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
【請求項５】
複数の前記第１貫通孔の総開口面積と複数の前記第２貫通孔の総開口面積との合計は、前記第１重なり領域の面積の９０％よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置に関し、具体的に、表示装置の製造工程に用いられる蒸着マスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
有機発光ダイオード（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ，以下ＯＬＥＤと称す）は、有機ＥＬ表示装置とも呼ばれ、超薄型、高輝度、高発光効率、高反応速度、広視野角等の優れた特性を有し、しかも自発光のため、バックライトを必要としない。ＯＬＥＤは、陰極と陽極の間に設置される有機層を有する。ＯＬＥＤは、有機材料の特性を利用して、エネルギーを光として放出することができる。簡単にいうと、ＯＬＥＤは有機発光層を有する。また、ＯＬＥＤは、有機材料の種類及びその組み合わせによって様々な光を発することができる。
【０００３】
ＯＬＥＤの製造工程中には、例えば、気相堆積法や液相堆積法、塗布法、電気めっき法などの方法を利用して成膜することができる。有機膜層は、真空蒸着法と、マスクで成膜領域を規定する方法との組み合わせで形成される。図１Ａ乃至図１Ｃに示すように、従来のマスク９０は、上部シート体８２０を下部シート体８１０に掛けることで形成されている。さらに、上部シート体８２０及び下部シート体８１０には、枠体９００が架設されている。基材Ｓにおいて、上部シート体８２０及び下部シート体８１０に囲まれて成膜領域Ｍが構成される。蒸着工程が終了するたびに、マスク９０を洗浄（例えば、薬液浸漬、薬液スプレー、及び／又は洗浄装置による洗浄）して、マスク９０に付着した蒸着材料を除去し、洗浄したマスク９０を乾燥させて次回の蒸着に備える。
【０００４】
しかしながら、互いをかけて形成する上部シート体８２０及び下部シート体８１０では、それぞれが独立した部材であるため、両者が粘着または溶接されていない場合、両者の重なり部分Ａに微小な隙間ｇが形成される。マスク９０の洗浄中に薬液が隙間ｇに流入することがありながらも、重なり部分Ａにおいて、重なり部分の面積が大きく、また隙間ｇが狭いため十分な洗浄の確保が困難となる。さらに、隙間ｇ内に流入した薬液及びその薬液に付着した物質が隙間ｇを通過するのを確保するのも困難であるため、洗浄後にマスク９０から除去されにくくなる（すなわち、隙間ｇ、マスク９０に残留することになる）。このため、上部シート体８２０と下部シート体８１０との重なり部分Ａ及び隙間ｇには、洗浄後でも成膜材料が過剰に残留する虞がある。また、薬液の成分もマスク９０に残留する可能性がある。これらの残留物は、汚染物になり得てマスク９０の耐久性を低下させるほか、蒸着工程中に放出されて、製造工程の品質に悪影響を与えることもあるため、製品の歩留まりに影響を及ぼす。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明の１つの目的は、容易に洗浄可能な蒸着マスクを提供することである。
【０００６】
本発明のもう１つの目的は、使用率が高く、且つ蒸着製品の歩留まりの向上に貢献する蒸着マスクを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、本発明の蒸着マスクは、蒸着源を使う蒸着工程に用いられ、第１本体及び第２本体を含む。第１本体は、複数の第１貫通孔が形成されている第１重なり領域を有する。第２本体は、複数の第２貫通孔が形成されている第２重なり領域を有し、第１本体と異なる方向に延びる。第１重なり領域と第２重なり領域とを重ね合わせた場合、第２重なり領域における第１貫通孔の投影範囲は、第２貫通孔の範囲外にあり、前記第１重なり領域と前記第２重なり領域との間には、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とをそれぞれ連通する隙間が形成される。
【０００８】
本発明に係る蒸着マスクでは、第１本体と第２本体とが互いに重ねて設けられる。第１本体と第２本体とが互いに重ねて設けられる場合、その重なり部分には、これら本体の間に隙間が形成され、第１貫通孔及び第２貫通孔によって孔が形成されている。 
【０００９】
本発明に係る蒸着マスクでは、第１本体及び第２本体には、それぞれ第１貫通孔及び第２貫通孔が形成され、第１本体と第２本体とは、互いに重ねて設けられる。第１本体と第２本体とは、互いに重ねて設けられた場合、これら本体の間に隙間が形成され、第１貫通孔及び第２貫通孔が形成される部分が重なるように設けられる。第２本体における第１貫通孔の投影範囲は、第２貫通孔の範囲外にある。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の蒸着マスクによれば、優れた洗浄効果を得ることができ、蒸着工程を迅速に再開して完成品の歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１Ａ】従来の蒸着マスクの分解図である。
【図１Ｂ】従来の蒸着マスクの上面図である。
【図１Ｃ】従来の蒸着マスクの側面図である。
【図２Ａ】本発明の第１実施形態に係る蒸着マスクの分解図である。
【図２Ｂ】本発明の第１実施形態に係る蒸着マスクの分解図である。
【図３Ａ】本発明の第１実施形態に係る蒸着マスクの斜視図である。
【図３Ｂ】本発明の第１実施形態に係る蒸着マスクの上面図である。
【図３Ｃ】図３ＢのＡ−Ａ線の断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る蒸着マスクにおける液体の流れを示す概略図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る蒸着マスクを示す図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る蒸着マスクを示す図である。
【図７】図５のＢ−Ｂ線及び図６のＣ−Ｃ線の断面図である。
【図８Ａ】本発明の第４実施形態に係る蒸着マスクを示す図である。
【図８Ｂ】図８ＡのＤ−Ｄ線の断面図である。
【図９Ａ】本発明の第１〜４実施形態に係る蒸着マスクの使用例を説明する図である。
【図９Ｂ】本発明の第１〜４実施形態に係る蒸着マスクの使用例を説明する図である。
【図１０】本発明の第５実施形態に係る蒸着マスクの分解図である。
【図１１】図１０に示された蒸着マスクの使用例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明に係る蒸着マスクは、蒸着源を使う蒸着工程に用いられる。蒸着工程によって、例えば、基材の表面に膜層を形成することができる。好ましくは、本発明に係る蒸着マスクは、有機ＥＬ表示装置（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｓｐｌａｙ,ＯＬＥＤ,または有機発光ダイオード(Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）の成膜工程または蒸着工程において、基材の特定領域に有機発光層を形成するために用いられる。この特定領域は、例えば、表示パネルにおける表示領域であってもよいし、画素が形成される領域であってもよい。蒸着源から基板に向かって放出される、気化された有機分子などの蒸着材料は、蒸着マスクを通過して、基材にパターン化された有機発光層、または限定領域の有機発光層を形成する。
【００１３】
蒸着工程が終了する度に、蒸着マスクを洗浄して（例えば、洗浄設備で洗浄を行う）蒸着マスクに付着した蒸着材料を除去し、さらに洗浄した蒸着マスクを乾燥させて次回の蒸着工程に備える。本発明に係る蒸着マスクは、それ自体の有する構造によって洗浄効果に優れている。
【００１４】
図２Ａに示す第１実施形態に係る蒸着マスク１０は、第１本体１００及び第２本体２００を含んでいる。第１本体１００は、第１重なり領域１５０を有している。第２本体２００は、第２重なり領域２５０を有している。第１重なり領域１５０には、複数の第１貫通孔１８０が形成されている。第２重なり領域２５０には、複数の第２貫通孔２８０が形成されている。本実施形態において、第１本体１００と第２本体２００は、異なる方向に延びて配置され、いずれも長尺状の金属シートであることが好ましい。これらの金属シート上には、複数の第１貫通孔１８０または複数の第２貫通孔２８０が形成されている。そのため、第１重なり領域１５０は、金属シートである第１本体１００の、複数の第１貫通孔１８０が形成される領域とされてもよいし、第２重なり領域２５０は、金属シートである第２本体２００の、複数の第２貫通孔２８０が形成される領域とされてもよい。複数の第１貫通孔１８０または複数の第２貫通孔２８０は、第１本体１００または第２本体２００に集中して形成されることが好ましい。さらに、複数の第１貫通孔１８０または複数の第２貫通孔２８０は、第１本体１００または第２本体２００の１つ以上の領域に集中して形成されて、１つ以上の第１重なり領域１５０または第２重なり領域２５０を形成することが好ましい。第１本体１００は、第２本体２００と重ね合わせられると、第２本体２００の少なくとも１つの第２重なり領域２５０と重なる第１重なり領域１５０を少なくとも１つ有する。
【００１５】
一方、第１貫通孔１８０または第２貫通孔２８０の貫通孔サイズは、開口面積ともいえる。複数の第１貫通孔１８０または複数の第２貫通孔２８０の開口面積の合計は、総開口面積ともいえる。総開口面積は、貫通孔サイズや貫通孔の個数、形状によって決定される。
【００１６】
図３Ａに示すように、蒸着マスク１０内に重ね合わせられた第１本体１００及び第２本体２００は、異なる方向に延びて幾何学的範囲を構成することが好ましい。例えば、互いに間隔を空けて同じ方向に延びる２つの第１本体１００と、互いに間隔を空けて同じ方向に延び且つ第１本体１００と垂直になる２つの第２本体２００とを矩形状の枠体とすることで、矩形の領域が囲まれて形成される。または、図３Ａに示すように、互いに間隔を空けて同じ方向に延びる２つの第１本体１００と、互いに間隔を空け且つ第１本体１００と垂直になる３つの第２本体２００とにより、２つの矩形状の領域が囲まれて形成される。蒸着時に、基材の露出部分は、枠体によって囲まれる領域に相当する。言い換えれば、この枠体によって基材の成膜領域が規定され、その成膜領域に蒸着材料を蒸着する。図３Ａに示すように、第１本体１００と第２本体２００とを重ね合わせると、第１重なり領域１５０は第２重なり領域と互いに重なり合うことが好ましい。この場合、第１本体１００と第２本体２００とを重ね合わせて第１重なり領域１５０と第２重なり領域とが重なり合ったとき、第２重なり領域２５０における第１貫通孔１８０の投影は、第２貫通孔２８０の範囲外に位置し、第１重なり領域１５０における第２貫通孔２８０の投影は、第１貫通孔１８０の範囲外に位置するようになる。言い換えれば、第１本体１００と第２本体２００との重なり部分（即ち、重ね合わせ領域１５０／２５０）において、第１貫通孔１８０及び第２貫通孔２８０が位置を互いにずれるように形成されることで、第１重なり領域１５０が第２重なり領域と重なり合う場合でも、第１貫通孔１８０と第２貫通孔２８０とが直接に連通することはない。つまり、第１貫通孔１８０が第２本体２００によって遮蔽され、且つ第２貫通孔２８０が第１本体１００によって遮蔽されるため、重ね合わせ領域１５０／２５０の両反対側の表面を貫通する貫通孔が上記の重なり部分に存在することはない。
【００１７】
図２Ｂ及び図３Ａ〜３Ｃに示すように、第１本体１００の第１重なり領域１５０には、複数の第１貫通孔１８０が互いに間隔を空けて形成され、第２本体２００の第２重なり領域２５０には、複数の第２貫通孔２８０が互いに間隔を空けて形成されている。しかも、複数の第２貫通孔２８０と複数の第１貫通孔１８０とは位置ずれしている。第１貫通孔１８０と第２貫通孔２８０との位置ずれ量（位置ずれ距離）は、第１貫通孔１８０の孔径または第２貫通孔２８０の孔径よりも大きいことが好ましい。図３Ｃに示すように、隣り合う貫通孔、例えば、隣り合う第１貫通孔１８０と第２貫通孔２８０との位置ずれ距離Ｄは、第１貫通孔１８０または第２貫通孔２８０の孔径ｄよりも大きい。ここで、距離Ｄは、第１貫通孔１８０（または第２貫通孔２８０）と、この第１貫通孔１８０（またはこの第２貫通孔２８０）に最も接近する第２貫通孔２８０（または第１貫通孔１８０）との距離に相当する。具体的に、距離Ｄは、例えば、第１貫通孔１８０の中心から、この第１貫通孔１８０に隣り合う第２貫通孔２８０の中心までの距離、あるいは、第１貫通孔１８０の左側縁部から、この第１貫通孔１８０に隣り合う第２貫通孔２８０の左側縁部までの距離にも相当する。さらにいうと、第１重なり領域１５０と第２重なり領域２５０との重ね合わせ領域１５０／２５０において、第１貫通孔１８０と第２貫通孔２８０とが位置ずれし、しかも、第２重なり領域２５０における第１貫通孔１８０の投影範囲が、隣り合う第２貫通孔２８０同士間にあり、第１重なり領域１５０における第２貫通孔２８０の投影範囲が、隣り合う第１貫通孔１８０同士間にある。なお、位置ずれ距離Ｄを孔径ｄよりも大きくすることで、第２重なり領域２５０における第１貫通孔１８０の投影範囲は、第２貫通孔２８０の範囲と重ならなくなることが好ましい。図３Ｂ及び図３ＢのＡ−Ａ線の断面図である図３Ｃに示すように、蒸着マスク１０を上から見たとき、例えば、第２本体２００が第１本体１００の上方に位置する蒸着マスク１０を上から見たときは、第２重なり領域２５０における第２貫通孔２８０が見え、さらに、第２貫通孔２８０からその下方にある第１本体１００も見える。第２貫通孔２８０によって露出された第１本体１００部分の両側には、第１貫通孔１８０がある。第１貫通孔１８０（図３Ｂにおける拡大図では点線で示されている）は、第２本体２００によって遮蔽されている。逆に、蒸着マスク１０を下から見たときは、第１重なり領域１５０における第１貫通孔１８０が見え、さらに、第１貫通孔１８０からその上方にある第２本体２００も見える。
【００１８】
図２Ｂ及び図３Ａ〜３Ｃに示すように、蒸着マスク１０を設計する段階において、第１重なり領域１５０、第２重なり領域２５０、及び、第１重なり領域と第２重なり領域との重ね合わせ領域１５０／２５０は略方形に設計される。設計時に、図２Ｂに示すように、重ね合わせ領域１５０／２５０は２５個の方形領域に仕切られている。これらの方形領域は、第１重なり領域１５０及び第２重なり領域２５０において第１貫通孔１８０及び第２貫通孔２８０が交互に形成される。例えば、奇数の方形領域（例えば、第１重なり領域１５０の第１列または第１行の第１個、第３個、第５個）に第１貫通孔１８０が形成されるとともに、偶数の方形領域（例えば、第２重なり領域２５０の第１列または第１行の第２個、第４個）に第２貫通孔２８０が形成されることにより、第１貫通孔１８０と第２貫通孔２８０とは、第１重なり領域と第２重なり領域との重ね合わせ領域１５０／２５０に交互に形成されるようになる。ここでは、第１重なり領域１５０における第１列または第１行は、第２重なり領域２５０における第１列または第１行に対応している。第１本体１００と第２本体２００とを重ね合わせ、且つ第１重なり領域１５０と第２重なり領域２５０とを互いに重ね合わせた場合、第１重なり領域１５０における第１列（または第１行）は、第２重なり領域２５０における第１列（または第１行）の上方または下方に位置する。言い換えれば、縁部に設置される第１貫通孔１８０以外の第１貫通孔１８０（あるいは、第２重なり領域における第１貫通孔１８０の投影範囲）は、複数の第２貫通孔２８０によって囲まれる。逆の場合、縁部に設置される第２貫通孔２８０以外の第２貫通孔２８０（あるいは、第１重なり領域における第２貫通孔２８０の投影範囲）は、複数の第１貫通孔１８０によって囲まれる。
【００１９】
さらに、重ね合わせられた第１本体及び第２本体では、第１重なり領域１５０と第２重なり領域２５０との間に隙間Ｇが形成されている。図２Ｂ及び図３Ａ〜３Ｂに示すように、隙間Ｇは、第１本体１００と第２本体２００とを積み重ねる場合、例えば、粘着または溶接せずに自然に形成されるものであってもよいが、微小な隙間であることが好ましい。第１貫通孔１８０及び第２貫通孔２８０は、隙間Ｇによって連通されている。このように、第１本体１００または第２本体２００の一方の表面に液体があると、その液体は、第１貫通孔１８０または第２貫通孔２８０を滲入して、毛細管現象で隙間Ｇを通じ第１本体１００または第２本体２００の他方の表面に到達し、すなわち、第１本体１００から第２本体２００及び第２貫通孔２８０まで流れるか、または第２本体２００から第１本体１００及び第１貫通孔１８０まで流れる。言い換えれば、本実施形態に係る蒸着マスクは、それ自体が有する構造、例えば、第１本体１００及び第２本体２００によって、第１本体１００と第２本体２００との重ね合わせ部分に液体の流通及びその分配を促進する。図４に示すように、液体が洗剤の場合、本実施形態に係る蒸着マスクの構造によれば、第１本体１００と第２本体２００との重ね合わせ部分まで洗剤が流れることで、優れた洗浄効果を得ることができ、さらに、第１貫通孔１８０及び第２貫通孔２８０の配置によって洗剤が第１貫通孔１８０または第２貫通孔２８０から排出することで、隙間Ｇにおける洗剤の残留を防止することもできる。また、本実施形態に係る蒸着マスクは、洗浄後でも重ね合わせ領域の液体及び蒸着材料の通過性によって乾燥時間が短くなって、使用率を向上させることができる。
【００２０】
他の実施形態において、第１貫通孔１８０または第２貫通孔２８０は、例えば、矩形、円形などの他の形状であってもよい。貫通孔の形状は、その成形の効率によって決定されてもよい。例えば、貫通孔を円形に成形しやすい場合には、第１貫通孔１８０及び／又は第２貫通孔２８０の形状として円形を選択する。また、第１貫通孔１８０または第２貫通孔２８０の（総）開口面積を変更してもよい。図５に示す第２実施形態において、第１本体１００ａ及び第２本体２００ａには、矩形の第１貫通孔１８０ａ及び矩形の第２貫通孔２８０ａが位置ずれして形成されている。この場合、第１貫通孔１８０ａまたは第２貫通孔２８０ａの開口面積は、貫通孔の形状及びその分布形態によって上記の実施形態と異なっている。図６に示す第３実施形態において、第１本体１００ｂ及び第２本体２００ｂには、円形の第１貫通孔１８０ｂ及び円形の第２貫通孔２８０ｂが交互に形成されている。この場合、第１貫通孔１８０ｂまたは第２貫通孔２８０ｂの開口面積は、貫通孔の形状及びその分布形態によって上記の実施形態と異なっている。図５乃至図７に示す実施形態に比べて、図３Ｂ乃至図３Ｃに示す第１実施形態では、第１貫通孔１８０及び第２貫通孔２８０の開口面積が大きく、且つ、重ね合わせ領域１５０／２５０の孔（第１貫通孔及び第２貫通孔からなるものである）の総開口面積も大きい。図３Ｂ乃至図３Ｃに示す第１実施形態では、例えば、第１貫通孔１８０及び第２貫通孔２８０の開口の長さ及びその幅をそれぞれ５単位としてもよい。逆に、図３Ｂ乃至図３Ｃに示す第１実施形態に比べて、図５乃至図７に示す実施形態（図５及び図６の断面図である図７を同時に参照する）では、第１重なり領域１５０における第１貫通孔１８０ａまたは第１貫通孔１８０ｂ、及び第２重なり領域２５０における第２貫通孔２８０ａまたは第２貫通孔２８０ｂは、図３Ｂ乃至図３Ｃに示された第１貫通孔１８０及び第２貫通孔２８０よりも、開口面積が小さく、且つ、重ね合わせ領域１５０／２５０の孔（第１貫通孔及び第２貫通孔からなるものである）の総開口面積が小さい。図５乃至図７に示す実施形態では、例えば、第１貫通孔１８０及び第２貫通孔２８０の開口の長さを６単位とし、開口の幅を４単位としてもよい。一般に、重ね合わせ領域１５０／２５０の総開口面積が大きければ大きいほど、重ね合わせ領域１５０／２５０における、第１本体と第２本体との重なり部分の面積が小さくなる。なお、原則的には、大きい総開口面積且つ小さい重なり面積が優れた液体の通過性（例えば、重ね合わせ領域１５０／２５０における液体の通過性に優れる）を有する。第１貫通孔１８０の総開口面積と第２貫通孔２８０の総開口面積との合計は、第１重なり領域１５０の面積または第２重なり領域２５０の面積の９０％よりも小さいことが好ましい。
【００２１】
別の実施形態において、第１貫通孔の開口面積または総開口面積は、第２貫通孔の開口面積または総開口面積とは異なってもよい。図８Ａ及び図８Ｂに示す第４実施形態において、第１貫通孔１８０ｃの開口面積は、第２貫通孔２８０ｃの開口面積よりも小さい。ここで、第１貫通孔及び／又は第２貫通孔の貫通孔サイズまたは（総）開口面積は、蒸着マスク１０と蒸着源との位置関係、例えば、第１本体及び第２本体から蒸着源までの距離に応じて設計されてもよいし、蒸着マスクの洗浄形態及び／又は洗浄設備の洗浄モードによって設計されてもよいし、上記の要因をすべて考慮して設計されてもよい。例えば、蒸着源Ｃに面する第１本体１００の第１貫通孔１８０の貫通孔サイズまたは（総）開口面積を小さくし、好ましくは、第１貫通孔１８０ｃの貫通孔サイズまたは（総）開口面積を、第２貫通孔２８０ｃの貫通孔サイズまたは（総）開口面積よりも小さくする。こうすることで、蒸着中に第２本体に、さらに蒸着しようとする基板に付着する蒸着材料を減らすことができる。図８Ａ及び図８Ｂには、第１本体１００が下方に位置する構成が示されたが、これに限定されない。
【００２２】
本発明の第１本体及び第２本体は、支持部材に連結されることが好ましい。図９Ａ及び図９Ｂに示すように、第１本体１００及び第２本体２００は支持部材に設置されてもよい。こうすることで、第１本体１００及び第２本体２００の延び方向及びこれらによって囲まれた幾何学的範囲を固定することができる。また、支持部材は枠体５００であることが好ましい。枠体５００には、蒸着しようとする基材、例えば、ガラス基板Ｓが設置されてもよい。
【００２３】
図９Ａ及び図９Ｂに示す実施形態では、２つの第１本体１００がＹ軸方向に平行に延び、３つの第２本体２００がＸ軸方向に平行に延びている。２つの第１本体１００と３つの第２本体２００とのＺ軸上の位置は異なっている。例えば、第２本体２００は、第１本体１００の上方に位置するとともに、下方にある２つの第１本体１００に重ねて設けられる。各第１本体１００は、各第２本体２００の第２重なり領域２５０とそれぞれ重なり合う３つの第１重なり領域１５０を有している。そのため、これらの第１本体１００及び第２本体２００によって、略Ｔ字状の枠が構成され、しかも、２つの矩形の領域が囲まれて形成される。
【００２４】
また、第１本体１００、第２本体２００及び枠体５００は、Ｚ軸方向に順次に設置されているが、これに限定されない。例えば、第１本体１００と第２本体２００の設置位置を入れ替えてもよい。図９Ａ及び図９Ｂに示す第１本体１００、第２本体２００及び枠体５００の上下位置関係は、実際操作中に三者の相対的な位置を限定しない。本実施形態において、枠体５００は、第１本体１００及び第２本体２００の端縁を跨ぐように配置され、且つ、第１本体１００または第２本体２００の対向する両端は、枠体５００の対向する両側に連結されている。また、第１本体１００及び第２本体２００は、溶接、例えば、レーザスポット溶接で枠体５００に固設されてもよい。さらに、枠体５００は、支持台（図示せず）を含んでもよい。基板Ｓは、支持台上に設置されている。好ましくは、基板Ｓの蒸着される一面が支持台と背向するように配置され、第１本体１００及び第２本体２００が、基板Ｓの蒸着される一面に面するように枠体５００に設置されるとともに基板Ｓを遮蔽する。言い換えれば、基板Ｓは、第１本体１００及び第２本体２００（蒸着マスクともいえる）と、枠体５００との間に介在されている。この場合、第１本体及び第２本体のうちの、枠体５００から離れる一方は、蒸着源に接近する本体であり、例えば、第１本体１００は蒸着源に接近する本体である。蒸着中に、第１本体１００の蒸着源に面する一面、及び蒸着源に面して第１本体１００と重ならない第２本体２００の部分、すなわち、遮蔽されない部分は、蒸着材料を直接に受ける。
【００２５】
例えば、基板Ｓは、ガラス基板であってもよい。ガラス基板は、枠体５００と、第１本体１００及び第２本体２００（蒸着マスクともいえる）との間に設置され、且つ、略Ｔ字状の枠体で囲まれた２つの矩形の領域によって成膜領域が規定される。各矩形の領域、すなわち、成膜領域のサイズは、例えば、６５インチパネルの１８５０ｍｍ×１５００ｍｍのサイズ（すなわち、Ｇ６サイズ）であってもよい。蒸着終了後、Ｇ６サイズの完成品には、２つの矩形状の膜層、例えば、有機膜層が形成される。
【００２６】
他の実施形態において、蒸着室中において、基板Ｓは、例えば、吸盤装置によってその非蒸着面を吸着して、蒸着マスクの上方に固定することができる。通常、蒸着源は、蒸着マスクの下方に位置して、蒸着マスク及び基板Ｓの方向に向かって蒸着が行われる。蒸着マスクは、必ずしも基板Ｓに密着されなくてもよい。言い換えれば、蒸着マスクは、基板Ｓと間隔を空けて配置されてもよい。本発明に係る蒸着マスクは、それ自体が有する構造によって短時間で優れた洗浄効果を得ることができるため、蒸着工程を迅速に再開して完成品の歩留りを向上させることができる。
【００２７】
図１０は、本発明の第５実施形態に係る蒸着マスクを示す図である。蒸着マスク１０ｎは、第１本体１１０及び第２本体２２０を含んでいる。第１本体１１０は、複数の第１貫通孔１８０が形成されている第１重なり領域１５０を有している。第２本体２２０は、複数の第２貫通孔２８０が形成されている第２重なり領域２５０を有している。また、第１本体１１０の第１重なり領域１５０以外の部分には、成膜領域を規定するための開口１２０がさらに形成されている。図１０に示す実施形態において、第１本体１１０に形成されている複数の開口１２０は、例えば、一定のルールで配列されて第１本体１１０の一部の領域を占める。さらに、これらの開口１２０は、そのサイズが画素のサイズに相当し、マトリックス状に配列されている。図１０に示すように、第１本体１１０の、開口１２０が複数形成される領域は、格子状の構造を形成する。そのため、第１本体１１０の、成膜領域が規定される構成によって、画素に対応する有機層が基材上に形成されるという蒸着方式を提供することができる。
【００２８】
一方、第２本体２２０は、複数の第２重なり領域２５０を有してもよい。図１０に示すように、これらの第２重なり領域２５０は、第２本体２２０の延び方向に沿って配列されている。または、第２本体２２０は、その延び方向に沿って延びる重なり領域２５０’を有するともいえる。
【００２９】
第１本体１１０及び第２本体２２０の使用について、図１０及び図１１に示すように、複数の第１本体１１０は、ｙ軸方向に平行に延びるとともに、ｘ軸方向に沿って並列している。そのため、第１本体１１０の両端及び中央に接近する第１重なり領域１５０は略揃え、且つ、この並列方向、すなわち、ｘ軸方向に延びる重なり領域１５０’を構成する。一方、第２本体２２０は、ｘ軸方向に延びる重なり領域２５０’を有している。並列する複数の第１本体１１０を第２本体２２０と重ねるとともに、重なり領域１５０’と重なり領域２５０’とを互いに重ね合わせることにより、重ね合わせ領域１５０’／２５０’に孔が形成される。このように、上記の構造によれば、第１本体１１０と第２本体２２０との重なり部分に液体の流通及びその分配を促進する。液体が洗剤の場合、本発明に係る蒸着マスクは、それ自体が有する構造によって優れた洗浄効果を得ることができ、さらに、洗浄後、重ね合わせ領域の液体の通過性によって短時間で乾燥できて、使用性を向上させることができる。
【００３０】
以上、本発明の好適な実施例を挙げて説明したが、これは本発明を限定するものではなく、当業者であれば本発明の精神及び範囲を逸脱しない限り、各種の変動や潤色を加えることができる。従って、本発明の保護を求める範囲は、特許請求の範囲を基準とする。
【符号の説明】
【００３１】
＜本発明＞
１０、１０ｎ 蒸着マスク
１００、１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１１０ 第１本体
１２０ 開口
１５０ 第１重なり領域
１８０、１８０ａ 第１貫通孔
２００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃ、２２０ 第２本体
２５０ 第２重なり領域
２８０、２８０ａ 第２貫通孔
５００ 枠体
Ｇ 隙間
Ｄ 孔径
ｄ 距離
Ｓ 基板
Ｃ 蒸着源
＜従来技術＞
８２０ 上部シート体
８１０ 下部シート体
９００ 枠体
９０ マスク
Ｍ 成膜領域
Ａ 重なり部分
ｇ 隙間
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
0005917731.tif 000003
【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
0005917731.tif 000008
【図３Ｃ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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