(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と第２部材とを接着する接着方法であって、
上記第１部材は、金以外の材料からなり、その表面には、金からなる薄膜が形成されており、上記第２部材は、金以外の材料からなり、
当該接着方法は、（１）上記第１部材の表面の一部を特定領域として、該特定領域の全体に対してレーザ光を散発的に照射することにより、該特定領域内に点在するレーザ光の照射点において上記薄膜の下地を露出させる照射工程と、（２）接着剤を用いて上記特定領域に上記第２部材を接着する接着工程と、を含んでおり、
上記特定領域は、上記第１部材の表面において上記第２部材が接着される領域に真に包含された領域であり、かつ、外周が角のない曲線となる領域である、
ことを特徴とする接着方法。
【請求項２】
上記照射工程は、上記特定領域において上記薄膜が残存する領域の面積の総和が上記特定領域の面積の６０％以下になるまで繰り返される、ことを特徴とする請求項１に記載の接着方法。
【請求項３】
上記特定領域は、上記第１部材の表面において上記第２部材が接着される領域の外周に沿う環状領域である、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の接着方法。
【請求項４】
上記第２部材は、透明部材である、ことを特徴とする請求項１〜３までの何れか１項に記載の接着方法。
【請求項５】
第１部材と第２部材とを接着する接着方法であって、
上記第１部材は、金以外の材料からなり、その表面には、金からなる薄膜が形成されており、上記第２部材は、金以外の材料からなり、
当該接着方法は、（１）上記第１部材の表面の一部を特定領域として、該特定領域の全体に対してレーザ光を散発的に照射することにより、該特定領域内に点在するレーザ光の照射点において上記薄膜の下地を露出させる照射工程と、（２）接着剤を用いて上記特定領域に上記第２部材を接着する接着工程と、を含んでおり、
上記特定領域は、上記第１部材の表面において上記第２部材が接着される領域の外周に沿う環状領域である、
ことを特徴とする接着方法。
【請求項６】
第１部材と第２部材とを備えた構造物の製造方法であって、
上記第１部材は、金以外の材料からなり、その表面には、金からなる薄膜が形成されており、上記第２部材は、金以外の材料からなり、
当該製造方法は、（１）上記第１部材の表面の一部を特定領域として、該特定領域の全体に対してレーザ光を散発的に照射することにより、該特定領域内に点在するレーザ光の照射点において上記薄膜の下地を露出させる照射工程と、（２）接着剤を用いて上記特定領域に上記第２部材を接着する接着工程と、を含んでおり、
上記特定領域は、上記第１部材の表面において上記第２部材が接着される領域に真に包含された領域であり、かつ、外周が角のない曲線となる領域である、
ことを特徴とする構造物の製造方法。
【請求項７】
第１部材と第２部材とを備えた構造物の製造方法であって、
上記第１部材は、金以外の材料からなり、その表面には、金からなる薄膜が形成されており、上記第２部材は、金以外の材料からなり、
当該製造方法は、（１）上記第１部材の表面の一部を特定領域として、該特定領域の全体に対してレーザ光を散発的に照射することにより、該特定領域内に点在するレーザ光の照射点において上記薄膜の下地を露出させる照射工程と、（２）接着剤を用いて上記特定領域に上記第２部材を接着する接着工程と、を含んでおり、
上記特定領域は、上記第１部材の表面において上記第２部材が接着される領域の外周に沿う環状領域である、
ことを特徴とする構造物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤を用いて２つの部材を接着する接着方法に関する。また、互いに接着された２つの部材を備えた構造物、及び、その製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
２つの部材を接合する接合方法としては、半田を用いた接合方法や接着剤を用いた接合方法が広く用いられている。例えば、レーザモジュールのサブマウントには、電子部品が半田を用いて接合され、光学部品が接着剤を用いて接合される。
【０００３】
電子部品と光学部品とをサブマウントに接合する場合、以下のような問題が生じる。すなわち、半田を用いて電子部品をサブマウントに接合するためには、十分な接合強度を得るために、サブマウントの表面に金メッキを施す必要がある。しかしながら、サブマウントの表面に金メッキが施されていると、接着材を用いて光学部品をサブマウントに接合することが困難になる。
【０００４】
表面に金メッキが施された部材に他の部材を接着することが困難な理由は、以下のとおりである。すなわち、一般的に、接着剤は、接着剤を構成する分子と、被接着表面を構成する原子又は分子との間に生じる分子間力を利用して接着を強固にする。しかしながら、被接着表面が金からなる場合には、金原子が無極性原子であるため、接着剤は、この分子間力を利用して接着を強固にすることができない。
【０００５】
このような問題を回避するために利用可能な技術としては、特許文献１に記載の接着方法がある。特許文献１に記載の接着方法においては、金属との接着強度が強いＦＩＰＧ（Formed In Place Gasket）を、金属部材と合成樹脂部材との接着に利用している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−１９９８３４号公報（２０１３年１０月３日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、表面に金メッキが施された第１部材（例えば、サブマウント）に第２部材（例えば、光学部品）を接着するためには、接着剤としてＦＩＰＧを用いることに加えて、第２部材の表面にアルミニウム粉末を含有する合成樹脂材料を設ける工程が必要となる。また、この技術を用いるためには、合成樹脂材料にアルミニウム粉末を含有させる工程、及び、その合成樹脂材料を適切に管理する工程も必要となる。
【０００８】
このため、金メッキが施された第１部材と第２部材とを接着する接着方法であって、第２部材に対して特別な処理を施すことなく、強固な接着力を得ることが可能な接着方法の実現が望まれている。
【０００９】
本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、第１部材と第２部材とを接着する接着方法であって、第１部材の表面に金からなる薄膜が形成されている場合であっても、第２部材に対して特別な処理を施すことなく、強固な接着力を得ることが可能な接着方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明は、第１部材と第２部材とを接着する接着方法であって、上記第１部材は、金以外の材料からなり、その表面には、金からなる薄膜が形成されており、第２部材は、金以外の材料からなり、当該接着方法は、（１）上記第１部材の表面の特定領域の少なくとも一部に対してレーザ光を照射することにより、上記特定領域の少なくとも一部において上記薄膜の下地を露出させる照射工程と、（２）接着剤を用いて上記特定領域に上記第２部材を接着する接着工程と、を含んでいることを特徴とする。
【００１１】
上記の構成によれば、第２部材は、金からなる薄膜の上ではなく、金以外の材料からなる下地の上に接着される。このため、第２部材に特別な処理を施すことなく、第２部材を金からなる薄膜の上に接着する場合よりも強固な接着力を得ることができる。
【００１２】
上記照射工程は、上記特定領域の各点に対してレーザ光を散発的に照射する工程である、ことが好ましい。
【００１３】
上記の構成によれば、特定領域に下地が露出した領域を密に点在させることができる。また、照射工程を繰り返し実施することにより、特定領域において、下地が露出した領域の割合を次第に増加させると共に、特定領域において、薄膜が残存する領域の割合を次第に減少させることができる。
【００１４】
上記照射工程は、上記特定領域において上記薄膜が残存する領域の面積の総和が上記特定領域の面積の６０％以下になるまで繰り返される、ことが好ましい。
【００１５】
上記の構成によれば、第１部材と第２部材との接着応力は、実用上十分と考えられる所定の値（１．４ＭＰａ）を上回る。
【００１６】
上記特定領域は、上記第１部材の表面において上記第２部材が接着される領域に包含されている、ことが好ましい。
【００１７】
上記の構成によれば、接着工程を実施した後に、薄膜の下地が外気に晒されることを防止できる。したがって、薄膜の下地の腐食その他の劣化を防止できる。
【００１８】
上記特定領域は、外周が滑らかな曲線となる領域である、ことが好ましい。
【００１９】
上記の構成によれば、特定領域の外周に曲げ応力が集中しやすい角が存在しないため、第１部材が撓んだときに生じる曲げ応力は、特定領域の外周に分散される。したがって、特定領域の外周に角が存在する場合と比較して、第１部材と第２部材とをより強固に接着できる。
【００２０】
上記特定領域は、上記第１部材の表面において上記第２部材が接着される領域の外周に沿う環状領域である、ことが好ましい。
【００２１】
上記の構成によれば、照射領域の面積が狭くてすむため、照射工程に要する時間を短縮できる。
【００２２】
上記第２部材は、透明部材である、ことが好ましい。
【００２３】
上記の構成によれば、第２部材を介して接着剤に光（例えば紫外線）を照射することが可能になるため、接着工程の実施が容易になる。
【００２４】
上記の課題を解決するために、本発明は、第１部材と第２部材とを備えた構造物の製造方法であって、上記第１部材は、金以外の材料からなり、その表面には、金からなる薄膜が形成されており、当該製造方法は、（１）上記第１部材の表面の特定領域に対してレーザ光を照射することにより、上記特定領域において上記薄膜の下地を露出させる照射工程と、（２）接着剤を用いて上記特定領域に上記第２部材を接着する接着工程と、を含んでいることを特徴とする。
【００２５】
本発明の一態様に係る構造物の製造方法は、本発明に係る接着方法と同様の効果を奏する。
【００２６】
上記の課題を解決するために、本発明は、第１部材と第２部材とを備えた構造物であって、上記第１部材は、金以外の材料からなり、その表面には、金からなる薄膜が形成されており、上記第１部材の表面は、レーザ光を照射することにより上記薄膜の下地が露出した特定領域を含み、上記第２部材は、接着剤を用いて上記特定領域に接着されている、ことを特徴とする。
【００２７】
本発明の一態様に係る構造物は、本発明に係る接着方法と同様の効果を奏する。
【発明の効果】
【００２８】
本発明は、第１部材と第２部材とを接着する接着方法であって、第１部材の表面に金からなる薄膜が形成されている場合であっても、第２部材に対して特別な処理を施すことなく、強固な接着力を得ることが可能な接着方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る接着方法の流れを示すフローチャートである。（ｂ）は、照射工程を実施する前の第１部材を示す斜視図であり、（ｃ）は、照射工程を実施した後の第１部材を示す斜視図であり、（ｄ）は、接着工程を実施した後の第１部材及び第２部材を示す斜視図である。
【図２】比較例及び実施例１〜４における第１部材の照射領域の表面状態、Ａｕメッキ領域の割合、表面粗さ、及び最大高低差を示す表である。
【図３】第１部材と第２部材との接着応力とＡｕメッキ領域の割合との相関関係を示すグラフである。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の変形例に係る接着方法が含む照射工程を実施した後の第１部材及び薄膜を示す上面図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の別の変形例に係る接着方法が含む照射工程を実施した後の第１部材及び薄膜を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
本発明の一実施形態に係る接着方法について、図１を参照して説明する。
【００３１】
図１（ａ）は、本実施形態に係る接着方法Ｓ１を示すフローチャートである。
【００３２】
接着方法Ｓ１は、第１部材１１と第２部材１４とを接着する接着方法であって、図１（ａ）に示すように、照射工程Ｓ１１と、接着工程Ｓ１２とを含む。以下、図１（ｂ）〜図１（ｄ）も参照しながら、接着方法Ｓ１に含まれる各工程について説明する。
【００３３】
図１（ｂ）は、照射工程Ｓ１１を実施する前の第１部材１１を示す斜視図である。第１部材１１は、図１（ｂ）に示すように、金以外の材料からなり、その表面には、金からなる薄膜１２が形成（具体的には、メッキ）されている。
【００３４】
本実施形態においては、銅製の基材１１ａの表面に、ニッケルからなる薄膜１１ｂと、パラジウムからなる薄膜１１ｃとをこの順で形成（具体的にはメッキ）したものを、第１部材１１として用いる。この場合、金からなる薄膜１２は、パラジウムからなる薄膜１１ｃ上に形成されることになる。なお、基材１１ａ及び薄膜１１ｂ，１１ｃの材料は、金以外の任意の材料から選択することが可能であり、例えばアルミニウム又はステンレス（ＳＵＳ）であってもよい。また、薄膜１１ｂ，１１ｃは、省略することが可能である。
【００３５】
照射工程Ｓ１１は、薄膜１２上の特定領域（以下、「照射領域」と記載）１２ａの少なくとも一部にレーザ光を照射する工程である。照射工程Ｓ１１を実施することにより、照射領域１２ａの少なくとも一部において、薄膜１２を構成する金が蒸発し、その下地が露出する。図１（ｃ）は、照射工程Ｓ１１を実施した後の第１部材１１を示す斜視図である。
【００３６】
本実施形態では、照射工程Ｓ１１において、照射領域１２ａの各点に対してレーザ光を散発的に照射する。具体的には、レーザマーキングの手法を流用して、照射領域１２ａの各照射点に対してパルスレーザを１パルスずつ照射する。これにより、照射領域１２ａに下地が露出した領域が密に点在させることができる。また、照射工程Ｓ１１を繰り返し実施することにより、照射領域１２ａにおいて、下地が露出した領域の割合を次第に増加させると共に、照射領域１２ａにおいて、薄膜１２が残存する領域の割合を次第に減少させることができる。
【００３７】
接着工程Ｓ１２は、薄膜１２上の特定の領域（以下、「接着領域」と記載）１２ｂに接着剤１３を用いて第２部材１４を接着する工程である。接着工程Ｓ１２を実施することにより、第１部材１１と第２部材１４との接着が完了する。図１（ｄ）は、接着工程Ｓ１２を実施した後の第１部材１１及び第２部材１４を示す斜視図である。
【００３８】
本実施形態においては、接着剤１３の材料として、紫外線硬化樹脂等の光硬化樹脂を用い、第２部材１４の材料として、ガラス等の透明材料を用いる。これにより、第２部材１４を介して接着剤１３に光（例えば紫外線）を照射することが可能になるため、接着工程Ｓ１２の実施が容易になる。ただし、第２部材１４の材料は、金以外の任意の材料から選択することが可能である。また、接着剤１３は、光により硬化する光硬化樹脂に限定されず、熱により硬化する、又は、化学反応により硬化する樹脂であってもよい。
【００３９】
本実施形態では、図１（ｂ）に示すように、接着領域１２ｂが照射領域１２ａを包含するように設定されている。換言すれば、照射領域１２ａが接着領域１２ｂに包含されるように設定されている。これにより、図１（ｃ）に示すように、接着工程Ｓ１２を実施した後に、薄膜１２の下地（本実施形態においては、基材１１ａ、薄膜１１ｂ、又は薄膜１１ｃ）が外気に晒されることを防止できる。したがって、薄膜１２の下地の腐食その他の劣化を防止できる。
【００４０】
以上のように、本実施形態に係る接着方法Ｓ１においては、（１）レーザ光を照射することによって、照射領域１２ａの少なくとも一部において薄膜１２の下地を露出させ、その後、（２）接着剤１３を用いて、照射領域１２ａに第２部材１４を接着する。このため、第２部材１４は、照射領域１２ａの少なくとも一部において、金からなる薄膜１２の上ではなく、金以外の材料からなる下地（銅製の基材１１ａ、ニッケルからなる薄膜１１ｂ、又はパラジウムからなる薄膜１１ｃ）と接着される。このため、第２部材１４を金からなる薄膜１２の上に接着する場合と比べて、より強固な接着力を得ることができる。
【００４１】
なお、本発明の接着方法は、光モジュールの製造方法にも適用することが可能である。光モジュールにおいては、基板の上に、又は、基板の上に積層されたサブマウントの上に、レーザ光を発する、ＬＤ（Laser Diode）などのレーザ光源や、当該ＬＤを駆動するための電子部品、レーザ光を光ファイバに導く、ミラーやレンズなどの光学部材などが搭載されている。ここで、基板又はサブマウントの表面には、しばしば金メッキが施されている。そこで、基板又はサブマウントと光学部材とを接着する際に、本発明の接着方法を適用する。これにより、基板又はサブマウントの表面に金メッキが施されている場合であっても、第１部材１１に対応する基板又はサブマウントの表面に、接着剤を用いて、第２部材１２に対応する光学部材を良好に接着することができる。
【００４２】
〔実施例〕
接着方法Ｓ１の実施例について、図２及び図３を参照して説明する。ここでは、（１）照射工程Ｓ１１を１回実施する実施例１、（２）照射工程Ｓ１１を２回実施する実施例、（３）照射工程Ｓ１１を４回実施する実施例３、及び、（４）照射工程Ｓ１１を８回実施する実施例４について説明する。
【００４３】
なお、本実施例においては、第１部材１１として、銅製の基材１１ａの表面に、ニッケルからなる厚さ１μｍの薄膜１１ｂと、パラジウムからなる厚さ０．１μｍの薄膜１１ｃとを、メッキ法を用いてこの順で形成したものを用いた。また、薄膜１２として、メッキ法を用いて形成した厚さ０．１μｍの金メッキ膜を用いた。また、第２部材１４として、ガラス製のミラーを用いた。薄膜１２において第２部材１４が接合される接合領域１２ａは、このミラーの底面と合同な矩形領域である。本実施例においては、この第２部材１４であるミラーとして、底面の面積が２７ｍｍ２であるミラーを用いた。
【００４４】
照射工程Ｓ１１においては、照射領域１２ａに所定の密度で分布する各照射点に対して波長１０６４ｎｍのパルスレーザを１パルスずつ照射した。実施例１では、この照射工程Ｓ１１を１回実施し、実施例２では、この照射工程Ｓ１１を２回実施し、実施例３では、この照射工程Ｓ１１を４回実施し、実施例４では、この照射工程Ｓ１１を８回実施した。
【００４５】
接着工程Ｓ１２においては、（１）接着領域１２ｂに接着剤１３（紫外線硬化樹脂）を塗布し、（２）接着剤１３を介して第２部材１２を接着領域１２ｂ上に載置し、（３）第２部材１２を介して接着剤１３に紫外線を照射した。
【００４６】
図２は、比較例（照射工程Ｓ１１を実施しない場合）及び実施例１〜４における第１部材１１の照射領域１２ａの表面状態、Ａｕメッキ領域（照射領域１２ａにおいて薄膜１２が残存する領域）の割合、表面粗さＲａ、及び最大高低差Ｒｙを示す表である。ここで、最大高低差Ｒｙとは、照射領域１２ａの表面プロファイルにおける最高点の高さと最低点の高さとの差である。
【００４７】
図２に示すように、照射工程Ｓ１１の実施回数が増加するにしたがって、Ａｕメッキ領域の割合が次第に減少すること、すなわち、薄膜１２の下地が露出した領域の割合が次第に増加することが確かめられた。また、照射工程Ｓ１１の実施回数が増加するにしたがって、表面粗さＲａ及び最大高低差Ｒｙが増加する傾向にあることが確かめられた。
【００４８】
なお、Ａｕメッキ領域の割合は、照射領域１２ａを撮像して得られた写真において、薄膜１２が残存する領域を画像処理により抽出し、抽出した領域の面積の総和の照射領域１２ａの面積に対する割合を算出することによって得たものである。
【００４９】
図３は、第１部材１１と第２部材１４との接着応力と、金メッキ領域の残存する割合との相関関係を示すグラフである。ここで、接着応力は、接着領域１２ａに加える力を次第に大きくしていき、第１部材１１と第２部材１４との接着が剥離し始めた時点で接着領域１２ａに加えていた力を、接着領域１２ａの面積で除算することにより算出される量である。接着応力が大きいことは、すなわち、接着強度が高いことを意味する。
【００５０】
図３に示すように、Ａｕメッキ領域の割合が１００％である場合（比較例）、第１部材１１と第２部材１４との接着応力は、０．６ＭＰａ以上１．０ＭＰａ以下であった。そして、Ａｕメッキ領域の割合が１００％から減少するにしたがって、第１部材１１と第２部材１４との接着応力は、増加する傾向を示した。すなわち、Ａｕメッキ領域の割合が１００％から減少するにしたがって、接着強度が向上することが確かめられた。なお、照射工程Ｓ１１の実施回数が８回である場合（実施例４）、第１部材１１と第２部材１４との接着応力は、１．８ＭＰａ以上２．５ＭＰａ以下であった。
【００５１】
接着方法Ｓ１を用いて光モジュールを製造する場合、第１部材１１と第２部材１４との接着応力は、１．４ＭＰａ以上であることが好ましい。これは、光モジュールにおいて第１部材１１に対応する基板又はサブマウントには、最大で１０μｍの撓みが生じる可能性があるという知見に基づく。発明者らは、基板又はサブマウントを１０μｍ撓ませた場合に、第２部材１４に対応する光学部品の接着領域１２ｂには、最大で１．４ＭＰａ近い曲げ応力が生じるとの知見を得ている。第１部材１１と第２部材１４との接着応力が１．４ＭＰａ以上であることによって、第１部材１１に１０μｍの撓みが生じた場合であっても、第１部材１１と第２部材１４との接着は剥離せずに良好な状態を保つことができる。
【００５２】
図３に示す接着応力の測定結果によれば、Ａｕメッキ領域の割合が６０％以下である場合（実施例２〜４）、第１部材１１と第２部材１４との接着応力は、１．４ＭＰａを上回る。したがって、接着方法Ｓ１において、照射工程Ｓ１１は、Ａｕメッキ領域の割合が６０％以下になるまでを繰り返されることが好ましい。
【００５３】
以上のように、接着方法Ｓ１において、照射工程Ｓ１１の実施回数が増加するにしたがって、第１部材１１と第２部材１４との接着応力は向上する。その主要な原因は、照射領域１２ａにおけるＡｕメッキ領域の割合が減少することである。さらに、照射工程Ｓ１１の実施回数を増加することの副次的な効果として、照射領域１２ａ表面粗さＲａを増大させることが挙げられる。表面粗さＲａが増大することによって、接着剤１３と薄膜１２の下地との接着面積が増大し、その結果、接着応力が向上する。
【００５４】
〔変形例１〕
本実施形態に係る接着方法Ｓ１の変形例について、図４を参照して説明する。図４の（ａ）及び（ｂ）は、本変形例に係る接着方法Ｓ１が含む照射工程Ｓ１１を実施した後の第１部材１１及び薄膜１２を示す上面図である。なお、図４の（ａ）及び（ｂ）において、第１部材は図示していない。図４の（ａ）に示す薄膜１２'及び（ｂ）に示す薄膜１２"のそれぞれは、図１の（ｃ）に示す薄膜１２に対応する。
【００５５】
図４の（ａ）に示すように、本変形例に係る照射工程Ｓ１１において、照射領域１２ａ’は、外周が滑らかな曲線となる領域に設定されていることが好ましい。この構成によれば、照射領域１２ａ’の外周には曲げ応力が集中しやすい角（頂点）が存在しないため、第１基板１１が撓んだときに生じる曲げ応力は、照射領域１２ａ'の外周に分散される。したがって、照射領域の形状が長方形である照射領域１２ａの場合と比較して、本変形例の接着方法により接着された構造物は、より高い接着応力を示す。
【００５６】
また、図４の（ｂ）に示すように、本変形例に係る照射工程Ｓ１１において、照射領域１２ａ"は、第１部材１１の表面において、第２部材１４が接着される接着領域１２ｂ”の外周に沿う環状領域に設定されていてもよい。本変形例において、薄膜１２は、照射領域１２ａ"の内側に存在する薄膜１２１と、照射領域１２ａ"の外側に存在する薄膜１２２とからなる。
【００５７】
この構成によれば、外周が滑らかな曲線によって構成された照射領域１２ａ"に第２部材１４が接着されていることによって、第１部材１１と第２部材１４とは、図４の（ａ）に示した変形例と同程度の高い接着応力を示す。その上で、図４の（ａ）に示した変形例と比較して、照射領域の面積が狭くてすむため、照射工程に要する時間を短縮できる。
【００５８】
〔変形例２〕
本実施形態に係る接着方法Ｓ１の別の変形例について、図５を参照して説明する。図５の（ａ）及び（ｂ）は、本変形例に係る接着方法Ｓ１が含む照射工程Ｓ１１を実施した後の第１部材及び薄膜を示す上面図である。なお、図５の（ａ）及び（ｂ）において、第１部材は図示していない。図５の（ａ）に示す薄膜２２及び（ｂ）に示す薄膜２２'のそれぞれは、図１の（ｃ）に示す薄膜１２に対応する。
【００５９】
図５の（ａ）に示すように、本変形例に係る照射工程Ｓ１１において、薄膜２２における照射領域２２ａは、接着領域２２ｂを包含する領域に設定されていてもよい。この構成によれば、第１部材１１を撓ませた場合に生じる曲げ応力が集中しやすい接着領域２２ｂの外周が照射領域２２ａに包含されている。したがって、図１の（ｃ）に示すように照射領域が接着領域に包含されている場合の接着方法と比較して、本変形例の接着方法により接着された構造物は、より高い接着応力を示す。
【００６０】
ただし、照射領域２２ａのうち薄膜２２の下地が露出した領域が外気に晒された場合に、その下地が露出した領域から腐食その他の劣化が進行する可能性がある。これを防ぐために、本変形例において、接着剤１３は、照射領域２２を包含する領域に塗布されることが好ましい。これによれば、照射領域２２の下地が露出した領域における腐食その他の劣化を抑制することができる。
【００６１】
また、図５の（ｂ）に示すように、本変形例に係る照射工程Ｓ１１において、照射領域２２'は、接着領域２２ｂ’における外周領域を包含し、かつ、接着領域２２ｂ’の外周に沿う環状領域に設定されていてもよい。本変形例において、薄膜２２’は、照射領域２２ａ’の内側に存在する薄膜２２１と、照射領域２２ａ’の外側に存在する薄膜２２２とからなる。
【００６２】
この構成によれば、接着領域２２ｂ’の外周が照射領域２２ａ'に包含されているため、第１部材１１と第２部材１４とは、図５の（ａ）に示した変形例と同程度の高い接着応力を示す。その上で、図５の（ａ）に示した変形例と比較して、照射領域の面積が狭くてすむため、照射工程に要する時間を短縮できる。
【００６３】
なお、本変形例において、照射領域２２ａ'の外周及び内周が滑らかな曲線となるものとして図５の（ｂ）に図示したが、照射領域２２ａ'の外周及び内周は、角（頂点）を含む形状であってもよい。例えば、照射領域２２ａ'の外周及び内周の形状は、長方形であってもよい。
【００６４】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、接着剤を用いて２つの部材を接着する接着方法に利用することができる。また、互いに接着された２つの部材を備えた構造物、及び、その製造方法に利用することができる。
【符号の説明】
【００６６】
Ｓ１              接着方法
Ｓ１１            照射工程          
Ｓ１２            接着工程          
１            構造物（レーザモジュール）
１１            第１部材（サブマウント）
１１ａ          基材
１１ｂ          薄膜
１１ｃ          薄膜
１２            薄膜
１２ａ          照射領域（特定領域）
１２ｂ          接着領域
１３            接着剤
１４            第２部材（ミラー）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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