(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
封着しようとする複数のガラス板を真空室に送り込み、前記各ガラス板周囲の真空度をいずれも前記真空室内の真空度と全く同じにさせ、
前記真空室を必要な真空度に抽出した後、前記複数枚のガラス板を真空ガラス構造に応じて封着しようとする状態に組み立て、
前記組み立てた後の封着しようとするガラス板の表面に圧力を加え、且つこの状態下で、前記封着しようとするガラス板周縁への気密封着を完成させる真空ガラス封着方法であって、
（１）仕切り板を共通の側壁とし、前記仕切り板の両側にそれぞれ閉鎖空間を設置し、
（２）複数枚のガラス板を真空ガラスを構成する時の対応関係に応じて組み立て、隣接する２枚ガラス板のうちの少なくとも一方のガラス板に、前記隣接する２枚のガラス板の間に真空空間を形成するための中間支持物が設置され、且つ、前記ガラス板を組み立てる時、前記隣接する２枚のガラス板の間に分離装置を挿入することによって、前記隣接する２枚のガラス板の間に十分に大きな間隔を有させて、前記隣接する２枚のガラス板の間が十分に大きなコンダクタンスを有することを保証し、ガス分子を真空排気する時にスムーズに脱出させ、
（３）前記組み立てた後のガラス板を前記閉鎖空間のうちの一方に入れ、前記仕切り板と前記ガラス板とが分離状態を保持する状態下で、又は前記仕切り板が前記ガラス板に何ら圧力を加えない状態下で、前記ガラス板が存在する前記閉鎖空間が必要な真空度に達するまで、前記２つの閉鎖空間を同時に真空排気し、
（４）前記分離装置を除去し、前記隣接する２枚のガラス板をいずれもその間に設置された前記中間支持物に当接させ、そして封着しようとする状態に組み立て、
（５）前記ガラス板が存在する前記閉鎖空間が真空排気されたままの状態で、前記もう一方の閉鎖空間の気圧を上昇させ、前記仕切り板をその両側の圧力差の作用下で変形させて前記封着しようとするガラス板の表面に当接させ、且つこれによって前記封着しようとするガラス板に圧力を加え、
（６）ヒーターを利用して前記封着しようとするガラス板が存在する前記閉鎖空間の外部から前記封着しようとするガラス板における封着しようとする部位を加熱し、金属ろう付けプロセスによって、真空ガラス周縁への気密封着を完成させ、前記使用するヒーターは誘導ヒーター又はマイクロ波ヒーターである真空ガラス封着方法。
【請求項２】
前記ステップ（５）において、前記封着しようとするガラス板に加える圧力は大気圧に等しいことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
封着しようとする複数のガラス板を真空室に送り込み、前記各ガラス板周囲の真空度をいずれも前記真空室内の真空度と全く同じにさせ、
前記真空室を必要な真空度に抽出した後、前記複数枚のガラス板を真空ガラス構造に応じて封着しようとする状態に組み立て、
前記組み立てた後の封着しようとするガラス板の表面に圧力を加え、且つこの状態下で、前記封着しようとするガラス板周縁への気密封着を完成させるための真空ガラス封着装置であって、
底板、環形側壁、カバー板、仕切り板及びヒーターを含み、前記環形側壁の下端が前記底板に位置し、且つ前記底板に気密接続され、前記カバー板が前記環形側壁の上端に気密封着され、前記仕切り板が前記底板と前記カバー板との間の前記環形側壁内に設置され、前記仕切り板が、前記環形側壁の内表面に周縁を気密接続された状態にあり、かつ、前記底板、前記環形側壁及び前記カバー板によって囲まれる空間を第１閉鎖空間と第２閉鎖空間とに分離し、前記２つの閉鎖空間にはそれぞれ真空排気のための吸気口が設けられており、
前記仕切り板と前記底板との間に位置する前記第１閉鎖空間は封着しようとするガラス板を置くために使用され、
前記仕切り板と前記カバー板との間に位置する前記第２閉鎖空間は前記仕切り板の稼動状態を制御するために使用され、ａ）前記第２閉鎖空間と前記第１閉鎖空間とを同期的に真空排気することによって、前記仕切り板は前記第１閉鎖空間中の前記封着しようとするガラス板と互いに分離され、又は前記封着しようとするガラス板に圧力が加えられないようにし、ｂ）前記第１閉鎖空間が真空排気されたままの状態で、前記第２閉鎖空間の気圧を上昇させ、前記仕切り板をその両側の圧力差の作用下で前記封着しようとするガラス板に当接させ、且つ前記第２閉鎖空間の気圧をさらに上昇させることによって、前記封着しようとするガラス板に圧力を加え、
前記ヒーターは前記第１閉鎖空間の外部から前記封着しようとするガラス板における封着しようとする部位を加熱することに用いられ、金属ろう付けプロセスによって、前記封着しようとする部位への気密封着を完成させる真空ガラス封着装置。
【請求項４】
前記第２閉鎖空間を大気と連通させることによって、その気圧を上昇させることを特徴とする請求項３に記載の封着装置。
【請求項５】
前記封着しようとするガラス板に加える圧力は大気圧に等しいことを特徴とする請求項４に記載の封着装置。
【請求項６】
前記第１閉鎖空間の吸気口は前記底板及び／又は前記環形側壁に設置され、前記第２閉鎖空間の吸気口は前記カバー板及び／又は前記環形側壁に設置されることを特徴とする請求項３に記載の封着装置。
【請求項７】
前記底板はシールリングによって前記環形側壁の下端と気密接続され、前記シールリングは前記環形側壁及び／又は前記底板に形成されるシールリング取付溝に取り付けられ、
前記カバー板はシールリングによって前記環形側壁の上端と気密接続され、前記シールリングは前記環形側壁及び／又は前記カバー板に形成されるシールリング取付溝に取り付けられることを特徴とする請求項３に記載の封着装置。
【請求項８】
前記ヒーターは誘導ヒーター又はマイクロ波ヒーターであり、それに対応して、前記ヒーターと前記封着しようとするガラス板との間に位置する前記仕切り板、又は前記底板は非金属材料からなることを特徴とする請求項３に記載の封着装置。
【請求項９】
前記仕切り板の周縁は前記環形側壁に気密固定され、前記ｂ）状態において、前記仕切り板はその両側の圧力差の作用下で自己変形することによって前記封着しようとするガラス板に当接されることを特徴とする請求項３に記載の封着装置。
【請求項１０】
前記仕切り板はフッ素ゴムからなることを特徴とする請求項９に記載の封着装置。
【請求項１１】
前記仕切り板の周縁は伸縮継手によって周囲の前記環形側壁に気密固定され、前記伸縮継手は弾性薄肉材料を曲げることによって形成されたエラストマーであり、前記伸縮継手の断面形状はジグザグ形、円弧部分を含む曲線形、又はジグザグ構造と曲線部分とを同時に含む複合形であり、前記伸縮継手はその断面形状を伸ばされたり又は圧縮されたりすることによって変形し、前記伸縮継手の片側が前記仕切り板の側部に気密接続され、前記伸縮継手のもう一方の側が前記環形側壁に気密固定され、前記ｂ）状態において、前記仕切り板はその両側の圧力差の作用下で、前記仕切り板の周縁が圧迫されることによる前記伸縮継手の変形と、前記仕切り板の自己変形とが同時に重ね合わされることによって前記封着しようとするガラス板に当接されることを特徴とする請求項３に記載の封着装置。
【請求項１２】
前記仕切り板はＰＰ（ポリプロピレン）板又はＰＣ（ポリカーボネート）板からなることを特徴とする請求項１１に記載の封着装置。
【請求項１３】
前記ヒーターはレーザヒーターであり、前記ヒーターと前記封着しようとするガラス板との間に位置する前記仕切り板又は前記底板は透明材料からなることを特徴とする請求項１１に記載の封着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空ガラス封着方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
以前、本出願人は中国特許庁に発明の名称が「真空ガラス封着装置」である発明特許出願を提出し、出願番号は２０１０１０５５５３７０．３であり、当該真空ガラス封着装置の構造は図１に示すように、ポンプ台１、上押さえ板２、ヒーター４を含み、ポンプ台１に封着しようとするガラス板を置くための収容タンク７及び収容タンク７と連通するポンプ口６が設置され、上押さえ板２とポンプ台１との接続を確実にさせるために、上押さえ板２に環状押さえ板３がさらに設置され、押さえ板３とポンプ台１との間が若干のカラン５によって固定される。稼動の際、上押さえ板２は収容タンク７における封着しようとするガラス板８に直接カバーされ、且つ収容タンク７の外周のポンプ台１と気密接続することによって封着しようとするガラス板８をある閉鎖空間に封止し、その後ポンプ口６によって上記の閉鎖空間を真空排気し、且つ必要な真空度に達した後、ヒーター４を利用して閉鎖空間の外部から封着しようとするガラス板における封着しようとする部位を加熱し、金属ろう付けプロセスによって封着部位の気密封着を完成する。
【０００３】
上記封着装置を利用して真空ガラスを加工する時、封着する前に、真空ガラスを構成する複数枚のガラス板がすでに真空ガラス構造に応じて互いに組み立てられるが、真空ガラスにおける真空空間を形成する箇所の隙間が約０．２ｍｍだけであり、小さなスリットはコンダクタンスが非常に小さく、真空排気する時にガス分子の脱出をひどく妨げ、このため、上記封着装置は真空抽出時間が長く、作製した真空ガラスが比較的高い真空度に達しにくい欠陥が存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】中国特許出願２０１０１０５５５３７０．３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記真空ガラス封着装置が存在する欠点に対して、本発明は真空ガラス封着方法を提供することを主要目的とし、同時に、本発明は真空ガラス封着装置をさらに提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を実現するために、本発明の真空ガラス封着方法は具体的に以下のとおりである：
（１）封着しようとする複数のガラス板を真空室に送り込み、前記各ガラス板周囲の真空度をいずれも前記真空室内の真空度と全く同じにさせ、
（２）前記真空室を必要な真空度に抽出した後、前記複数枚のガラス板を真空ガラス構造に応じて封着しようとする状態に組み立て、
（３）前記真空室内の真空度が不変となるよう維持し、前記組み立てた後の封着しようとするガラス板の表面に圧力を加え、且つこの状態下で、前記封着しようとするガラス板周縁への気密封着を完成させる。
【０００７】
さらには、前記ステップ（３）において、前記組み立てた後の封着しようとするガラス板の表面に加える圧力は大気圧に等しいか、又はできる限り大気圧に近い。
【０００８】
本発明の上記目的を実現する他の真空ガラス封着方法の技術案は以下のとおりである：
（１）仕切り板を共通の側壁とし、前記仕切り板の両側にそれぞれ閉鎖空間を設置し、
（２）複数枚のガラス板を真空ガラスを構成する時の対応関係に応じて組み立て、隣接する２枚ガラス板のうちの少なくとも一方のガラス板に、前記隣接する２枚のガラス板の間に真空空間を形成するための中間支持物が設置され、且つ、前記ガラス板を組み立てる時、前記隣接する２枚のガラス板の間に分離装置を挿入することによって、前記隣接する２枚のガラス板の間に十分に大きな間隔を有させて、前記隣接する２枚のガラス板の間が十分に大きなコンダクタンスを有することを保証し、ガス分子を真空排気する時にスムーズに脱出させ、
（３）前記組み立てた後のガラス板を前記閉鎖空間のうちの一方に入れ、前記仕切り板と前記ガラス板とが分離状態を保持する状態下で、又は前記仕切り板が前記ガラス板に何ら圧力を加えない状態下で、前記ガラス板が存在する前記閉鎖空間が必要な真空度に達するまで、前記２つの閉鎖空間を同時に真空排気し、
（４）前記分離装置を除去し、前記隣接する２枚のガラス板をいずれもその間に設置された前記中間支持物に当接させ、そして封着しようとする状態に組み立て、
（５）前記ガラス板が存在する前記閉鎖空間が真空排気されたままの状態で、前記もう一方の閉鎖空間の気圧を上昇させ、前記仕切り板をその両側の圧力差の作用下で変形させて前記封着しようとするガラス板の表面に当接させ、且つこれによって前記封着しようとするガラス板に圧力を加え、
（６）ヒーターを利用して前記封着しようとするガラス板が存在する前記閉鎖空間の外部から前記封着しようとするガラス板における封着しようとする部位を加熱し、金属ろう付けプロセスによって、真空ガラス周縁への気密封着を完成させ、前記使用するヒーターは誘導ヒーター又はマイクロ波ヒーターである。
【０００９】
真空ガラス封着装置であって、底板、環形側壁、カバー板、仕切り板及びヒーターを含み、前記環形側壁の下端が前記底板に位置し、且つ前記底板に気密接続され、前記カバー板が前記環形側壁の上端に気密封着され、前記仕切り板が前記底板と前記カバー板との間の前記環形側壁内に設置され、前記仕切り板の周縁が前記環形側壁の内表面に気密接続された後、前記仕切り板は、前記底板、前記環形側壁及び前記カバー板によって囲まれる空間を第１閉鎖空間と第２閉鎖空間とに分離し、前記２つの閉鎖空間にはそれぞれ真空排気のための吸気口が設けられており、
前記仕切り板と前記底板との間に位置する前記第１閉鎖空間は封着しようとするガラス板を置くために使用され、
前記仕切り板と前記カバー板との間に位置する前記第２閉鎖空間は前記仕切り板の稼動状態を制御するために使用され、ａ）前記第２閉鎖空間と前記第１閉鎖空間とを同期的に真空排気することによって、前記仕切り板は前記第１閉鎖空間中の前記封着しようとするガラス板と互いに分離され、又は前記封着しようとするガラス板に圧力が加えられないようにし、ｂ）前記第１閉鎖空間が真空排気されたままの状態で、前記第２閉鎖空間の気圧を上昇させ、前記仕切り板をその両側の圧力差の作用下で前記封着しようとするガラス板に当接させ、且つ前記第２閉鎖空間の気圧をさらに上昇させることによって、前記封着しようとするガラス板に圧力を加え、
前記ヒーターは前記第１閉鎖空間の外部から前記封着しようとするガラス板における封着しようとする部位を加熱することに用いられ、金属ろう付けプロセスによって、前記封着しようとする部位への気密封着を完成させる。
【００１０】
さらには、前記第２閉鎖空間を大気と連通させることによって、その気圧を上昇させる。
【００１１】
さらには、前記第１閉鎖空間の吸気口は前記底板及び／又は前記環形側壁に設置され、前記第２閉鎖空間の吸気口は前記カバー板及び／又は前記環形側壁に設置される。
【００１２】
さらには、前記底板はシールリングによって前記環形側壁の下端と気密接続され、前記シールリングは前記環形側壁及び／又は前記底板に形成されるシールリング取付溝に取り付けられ、前記カバー板はシールリングによって前記環形側壁の上端と気密接続され、前記シールリングは前記環形側壁及び／又は前記カバー板に形成されるシールリング取付溝に取り付けられる。
【００１３】
さらには、前記ヒーターは誘導ヒーター又はマイクロ波ヒーターであり、それに対応して、前記ヒーターと前記封着しようとするガラス板との間に位置する前記仕切り板、又は前記底板は非金属材料からなる。
【００１４】
さらには、前記仕切り板の周縁は前記環形側壁に気密固定され、前記ｂ）状態において、前記仕切り板はその両側の圧力差の作用下で自己変形することによって前記封着しようとするガラス板に当接される。
【００１５】
さらには、前記仕切り板はフッ素ゴムからなる。
【００１６】
さらには、前記仕切り板の周縁は伸縮継手によって周囲の前記環形側壁に気密固定され、前記伸縮継手は弾性薄肉材料を曲げることによって形成されたエラストマーであり、前記伸縮継手の断面形状はジグザグ形、円弧部分を含む曲線形、又はジグザグ構造と曲線部分とを同時に含む複合形であり、前記伸縮継手はその断面形状を伸ばされたり又は圧縮されたりすることによって変形し、前記伸縮継手の片側が前記仕切り板の側部に気密接続され、前記伸縮継手のもう一方の側が前記環形側壁に気密固定され、前記ｂ）状態において、前記仕切り板はその両側の圧力差の作用下で、前記仕切り板の周縁が圧迫されることによる前記伸縮継手の変形と、前記仕切り板の自己変形とが同時に重ね合わされることによって前記封着しようとするガラス板に当接される。
【００１７】
さらには、前記仕切り板はＰＰ（ポリプロピレン）板又はＰＣ（ポリカーボネート）板からなる。
【００１８】
さらには、前記ヒーターはレーザヒーターであり、前記ヒーターと前記封着しようとするガラス板との間に位置する前記仕切り板又は前記底板は透明材料からなる
【発明の効果】
【００１９】
本発明は２つの閉鎖空間を設置することによって、仕切り板は封着しようとするガラス板に対して２つの稼動状態を有するようにするため、真空ガラスの真空排気から最後の封着までに２つの外部環境を提供する。そのうち、仕切り板が封着しようとするガラス板と互いに分離し又はそれに何ら圧力を加えない状態下で、真空ガラスを構成する複数枚のガラス板の間は比較的大きい距離を離間することができ、各ガラス板の周囲にいずれも真空環境（即ち、第１閉鎖空間）と同じである真空度を有させ、且つこれによって封着する時に真空ガラス中の真空空間に真空環境と同じである真空度を有させ、このように、真空排気の時間を短縮させるだけでなく、作製する真空ガラスに十分に高い真空度を有させ、封着しようとするガラス板と反対側にある仕切り板の片側の気圧を上昇させて仕切り板をその両側の圧力差の作用下で封着しようとするガラス板に当接させた後、ガラス板における封着しようとする部位が必ず圧縮状態でろう付け封着を行う要求を満たし、特に大気圧の圧力を仕切り板を経てガラス板及び中間支持物に直接作用させた後、真空ガラスを構成するガラス板及び中間支持物の圧縮変形を封着する前にすでに発生させ、真空ガラスはポンプ台から離れた後に大気圧の作用によりほとんど圧縮変形せず、これによって真空ガラスの真空度の安定を保証する。
【００２０】
本発明の封着装置における閉鎖空間は真空環境を提供することのみに用いられ、ろう付け溶接を行う時のヒーターは外部に単独に設置され、本発明の封着装置は設備操作にとって便利であり、設備の構造を簡素化させ、真空ガラスの大規模加工のために必要な条件を創造する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】既存の真空ガラス封着装置の構造模式図である。
【図２】本発明実施例１の封着しようとするガラス板を真空排気する時の状態模式図である。
【図３】本発明実施例１の封着しようとするガラス板を封着する時の状態模式図である。
【図４】本発明実施例２の封着しようとするガラス板を真空排気する時の状態模式図である。
【図５】本発明実施例２の封着しようとするガラス板を封着する時の状態模式図である。
【図６】本発明実施例３の封着しようとするガラス板を真空排気する時の状態模式図である。
【図７】本発明実施例３の封着しようとするガラス板を封着する時の状態模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面及び示例を参照して本発明をさらに詳細に説明する。
【００２３】
［実施例１］
図２及び図３には本発明実施例１を示している。図に示すように、当該封着装置は底板１３、環形側壁１４、カバー板１１、仕切り板１２及びヒーター２３を備えている。環形側壁１４の下端は底板１３上に位置し、且つ封着リング１６によって底板１３と気密接続され、封着リング１６が環形側壁１４に形成されている取付溝に取り付けられている。カバー板１１が環形側壁１４の上端にカバーされ、カバー板１１の周縁が封着リング１６によって環形側壁１４の上端と気密接続されている。仕切り板１２の周縁が環形側壁１４の内壁に設置されるリング溝に気密固定され、これによりカバー板１１、環形側壁１４及び底板１３によって囲まれる空間を、第１閉鎖空間及び第２閉鎖空間という２つの閉鎖空間に気密分離し、そのうち、第１閉鎖空間１５は底板１３、環形側壁１４及び仕切り板１２により囲まれており、第２閉鎖空間は仕切り板１２、環形側壁１４及びカバー板１１により囲まれている。第１及び第２閉鎖空間にはそれぞれ真空排気のための吸気口１７が設けられ、第１閉鎖空間１５の吸気口１７は底板１３に設置され、第２閉鎖空間の吸気口１７はカバー板１１に設置される。
【００２４】
カバー板１１、底板１３及び環形側壁１４は金属材料からなり、仕切り板１２はフッ素ゴムからなり、ヒーター２３は誘導ヒーターである。
【００２５】
二層構造の真空ガラスを例とし、本発明の真空ガラス封着装置が稼動する時、まず上層ガラス板１９と下層ガラス板２０とを真空ガラスを構成する時の対応関係に応じて組み立て、そのうち、下層ガラス板２０に真空空間を形成する中間支持物２１が設置される。２枚のガラス板の間に分離装置１８を挿入することによって、２枚のガラス板の間に十分に大きな間隔を有させて、その間が十分に大きなコンダクタンス（空気の流れやすさ）を有することを保証し、ガス分子を真空排気する時にスムーズに脱出させることができ、当該間隔は５ｍｍ以上が好ましい。その後、図２に示すように、組み立てた後のガラス板を第１閉鎖空間に入れ、仕切り板１２と上層ガラス板１９とが分離状態を保持し又は仕切り板１２がガラス板１９に何ら圧力を加えない状態下で、第１閉鎖空間が所望する真空度に達するまで、２つの閉鎖空間を同時に真空排気し、その後、分離装置１８を除去し、上層ガラス板１９を中間支持物２１に当接させ、封着しようとする状態に組み立てる。その後、第１閉鎖空間が真空排気されたままの状態で（即ち、第１閉鎖空間の真空度を保持する）、第２閉鎖空間の真空排気を停止させ、且つ第２閉鎖空間を大気と連通させ、カバー板１１を除去し、この際、図３に示すように、仕切り板１２は大気の圧力下で変形して上層ガラス板１９の全表面に当接され、且つこれによって大気圧が封着しようとするガラス板に加えられる。最後に、ヒーター２３を利用して仕切り板１２の外部から封着しようとするガラス板における封着しようとする部位を加熱し、金属ろう付けプロセスによって、封着しようとするガラス板の周縁の気密封着を完成する。
【００２６】
ヒーター２３はマイクロ波ヒーターであってもよい。
【００２７】
上記封着装置を利用して水平状態で真空ガラスを加工する時、カバー板１１が十分な重量を有するならば、カバー板１１と底板１３との間に追加の固定装置をさらに設置しなくても、カバー板と床板との間の気密接続、及び底板と環形側壁との間の気密接続を保証することができ、そうでなければ、カバー板１１と底板１３との間にクランプフランジのような固定装置を設置して固定する必要がある。
【００２８】
また、上記実施例１におけるヒーター２３を既知の多自由度運動機構（図に示せず）に取り付けることができ、多自由度運動機構によりヒーター２３をガラス板における封着しようとする部位に沿って移動させ、封着しようとする部位へのろう付け溶接を次第に完成し、このようにすることで、ろう付け溶接の品質を保証することができるだけでなく、操作者の作業負荷を軽減することができる。
【００２９】
上記実施例１における封着しようとするガラス板は底板１３に直接置かれる。上層ガラス板１９の上表面と仕切り板１２との間の間隔が大きいとき、できる限り仕切り板１２の変形量を減少させるために、底板１３に適切な厚さのクッション層又はクッションブロックを設置することによって、その間隔を調整することができ、そして、仕切り板１２の稼動状況を改善する。
【００３０】
上記実施例１における真空ガラスは平面真空ガラスである。しかし、曲面構造の底板１３、それに対応する環形側壁１４、仕切り板１２、及びカバー板１１が採用された場合、本発明の真空ガラス封着装置は曲面真空ガラス製品を加工することもできる。
【００３１】
［実施例２］
図４及び図５には本発明実施例２を示している。上記実施例１と比べ、当該実施例２において、仕切り板１２は底板１３とカバー板１１との間の環形側壁１４内に設置され、仕切り板１２の周縁が伸縮継手２２によって周囲の環形側壁１４の内壁に気密固定され、これによってカバー板１１、環形側壁１４及び底板１３によって囲まれる空間を第１閉鎖空間及び第２閉鎖空間という２つの閉鎖空間に気密分離する。第１閉鎖空間１５は、底板１３、環形側壁１４及び仕切り板１２によって囲まれており、第２閉鎖空間は、仕切り板１２、環形側壁１４及びカバー板１１によって囲まれている。且つ、第１及び第２閉鎖空間にはそれぞれ真空排気のための吸気口１７が設けられ、第１閉鎖空間１５の吸気口１７は底板１３に設置され、第２閉鎖空間の吸気口１７はカバー板１１に設置される。
【００３２】
伸縮継手２２は弾性薄肉鋼板を曲げることによって形成されたエラストマー（弾性体）であり、図に示すように、その断面形状は円弧セグメント（円弧部分）を含む曲線形であり、伸縮継手２２の片側が仕切り板１２の側部に気密接続され、伸縮継手２２のもう一方の側が環形側壁１４に設置される挿入溝に気密固定される。
【００３３】
カバー板１１、底板１３及び環形側壁１４は金属材料から作製されている。仕切り板１２はＰＰ（ポリプロピレン）板、ＰＣ（ポリカーボネート）板又はその他の適切な硬度を有する非金属材料により作製されている。ヒーター２３は誘導ヒーターである。
【００３４】
同様に二層構造の真空ガラスを例とし、本発明実施例２が稼動する時、図４に示すように、まず上層ガラス板１９と下層ガラス板２０とを組み立てた後に第１閉鎖空間１５に入れ、第１及び第２閉鎖空間を同時に真空排気し、そして、第１閉鎖空間が所望の真空度に達した後に、分離装置１８を除去し、上層ガラス板を中間支持物２１に当接させて封着しようとする状態に組み立てる。その後、第１閉鎖空間が真空排気されたままの状態で（即ち、第１閉鎖空間の真空度を保持する）、大気と連通させて、第２閉鎖空間の気圧を上昇させ、カバー板１１を除去し、この際、図５に示すように、仕切り板１２はその両側の圧力差の作用下で伸縮継手２２が圧迫されて変形することによって上層ガラス板１９の表面に当接され、そして、これによって大気圧が封着しようとするガラス板に加えられる。最後に、ヒーター２３を利用して仕切り板１２の外部から封着しようとするガラス板における封着しようとする部位を加熱し、金属ろう付けプロセスによって、封着しようとするガラス板の周縁への気密封着を完成する。
【００３５】
変形抵抗ができる限り小さい伸縮継手２２を選定することによって、封着しようとするガラス板１９に加える圧力をできるだけ大気圧に近くする。
【００３６】
ヒーター２３はマイクロ波ヒーターを採用してもよく、そして、底板１３が非金属材料によって作製されている場合、ヒーター２３は底板１３の片側から封着しようとするガラス板を加熱するようにしてもよい。
【００３７】
ヒーター２３はレーザヒーターを採用してもよく、この際に透明非金属材料を採用することによって仕切り板１２は製造されていてもよく、例えば、透明ＰＰ板を採用して仕切り板１２を製造する。
【００３８】
仕切り板１２をその両側の圧力差の作用下で上層ガラス板１９に当接させるために、伸縮継手２２を圧迫して変形することによって実現する以外、伸縮継手２２を圧迫して変形すると同時に、仕切り板１２にも一定の変形を発生させ、且つ伸縮継手２２の変形と仕切り板１２の変形とが互いに重ね合わされる状況下で、仕切り板を上層ガラス板１９の表面に当接させる。
【００３９】
［実施例３］
図６及び図７は本発明の別の実施形態を示す。図に示すように、当該実施例３において波形断面構造の伸縮継手２２’が採用される。実施例２における伸縮継手２２と比べ、波形断面構造の伸縮継手２２’はより大きい伸縮変形量を有することができるため仕切り板１２はより大きい上下変位量を有し、その結果、封着装置が封着することができる真空ガラスの全体の厚さの範囲はより大きくなる。
【００４０】
なお、実施例２と実施例３は２つの具体的な形式の伸縮継手を挙げるに過ぎず、この他に、断面形状がジグザグ形の伸縮継手、及びその他の適切な断面構造を有する伸縮継手を採用してもよい。
【００４１】
上記示例は本発明を説明することに用いられるに過ぎず、本発明の実施形態はこれらの示例に限定されるものではなく、この分野の当業者が作る本発明の思想を符合する様々な特定の実施形態はいずれも本発明の保護範囲内にあるべきである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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