(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非可撓性部材の基板上に少なくとも１枚の可撓性部材が載置された積層体にアライメントを行うアライメント装置であって、
前記積層体が所定箇所に載置される台と、
前記所定箇所の周囲に複数配置され、少なくとも前記所定箇所に接近するように移動が可能なアライメント部材と、
前記所定箇所に載置された前記積層体にアライメントを行う際に、前記アライメント部材を前記積層体へ接近させ挟持するように、前記アライメント部材を駆動するアライメント部材駆動機構と、
前記所定箇所に載置された前記積層体に前記アライメント部材が接近する際に、前記可撓性部材の端面が前記アライメント部材の表面に接触する直前あるいは接触した時点で、前記基板の周囲に垂れた前記可撓性部材の外縁部を持ち上げるように気体を噴射する気体噴射機構と、
前記アライメント部材駆動機構及び前記気体噴射機構のそれぞれの動作を制御する制御部と、
を備え、
前記可撓性部材が前記基板と前記アライメント部材の間に挟持されることを防止することを特徴とするアライメント装置。
【請求項２】
前記気体噴射機構は、
前記アライメント部材の内部に設けられ、供給された気体を通過させる経路と、前記アライメント部材の表面部分に形成され、前記経路を通過した気体を噴射する噴射孔とを有することを特徴とする請求項１記載のアライメント装置。
【請求項３】
前記アライメント部材を支持する支持部材をさらに備え、
前記気体噴射機構は、
前記支持部材の内部に設けられ、供給された気体を通過させる経路と、前記支持部材の表面部分に形成され、前記経路を通過した気体を噴射する噴射孔とを有することを特徴とする請求項１記載のアライメント装置。
【請求項４】
前記基板が四角形であり、前記アライメント部材は前記基板の四辺のうち三辺には少なくとも１つずつ設けられ、少なくとも一辺には複数配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のアライメント装置。
【請求項５】
前記積層体を用いて太陽電池モジュールの製造を行う装置であって、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の前記アライメント装置を備えることを特徴とする太陽電池モジュールの製造装置。
【請求項６】
前記積層体に、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の前記アライメント装置を用いてアライメントを行う方法であって、
前記アライメント部材駆動機構により、前記所定箇所に載置された前記積層体に前記アライメント部材が接近する際に、前記可撓性部材の端面が前記アライメント部材の表面に接触する直前あるいは接触した時点で、前記気体噴射機構により、前記基板の周囲に垂れた前記可撓性部材の外縁部を持ち上げるように気体を噴射することにより、前記可撓性部材が前記基板と前記アライメント部材の間に挟持されることを防止することを特徴とするアライメント方法。
【請求項７】
前記積層体を用いて太陽電池モジュールの製造を行う方法であって、請求項６に記載のアライメント方法を備えることを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を所定の位置へアライメントする装置及び方法、並びに太陽電池モジュールの製造装置及び製造方法に関し、特に太陽電池モジュール製造工程において、太陽電池モジュールを構成する積層体を所定の位置へアライメントする際に好適なものに関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池モジュールには、様々な種類が存在する。このなかで、例えば結晶シリコン系太陽電池モジュール（以下、モジュールと称する）は、複数の太陽電池セル（以下、セルと称する）がマトリクス状に配置された太陽電池マトリクス（以下、マトリクスと称する）が、ガラス基板、封止材、バックシートと共に積層された構造を有する。一般に、このような積層体がラミネート加工されたものがモジュールと称され、このモジュール内の１列のセルが導電部材で配線されたものが太陽電池ストリング（以下、ストリングと称する）と称される。
【０００３】
モジュール製造において、ラミネート加工する前にガラスの上に封止材を置き、その上にストリングを置くことでマトリクスを形成し、その上に封止材とバックシートを配設して積層体を形成する。
【０００４】
この後、コンベアを使用して積層体を所定の位置へ配置する工程が存在する。そのような工程では、一旦載置した積層体を所定の位置へ正確に配置するために、アライメントが行われる。
【０００５】
先ず、搬送されてきた積層体が、コンベア上のおおよその位置に載置される。コンベアの周囲に設けられた垂直方向並びに水平方向に移動可能なアライメント部材としてのアライメントピン（以下、ピンと称する）により、積層体の４辺を挟持することにより、積層体が所定の位置に正確に配置される。また、４辺のうち１辺において複数のピンが設けられていることで、搬送物が所定の角度、通常はコンベアの進行方向と平行な角度になるように配置される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし従来は、積層体の４辺がピンで挟み込まれる工程において、可撓性を有する封止材やバックシートが、非可撓性を有するガラス基板を含む積層体とピンとの間に挟まり、封止材やバックシートが折り曲げられるという問題が発生していた。
【０００７】
また、封止材やバックシートが、積層体とピンとの間に挟まることにより、モジュールの美観が損なわれたり、モジュールを構成するストリングがずれたりする等の問題も生じていた。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑み、太陽電池モジュールの製造工程において、封止材やバックシート等がピンと積層体との間に挟まることを防止することが可能なアライメント装置及び方法、並びに太陽電池モジュールの製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のアライメント装置は、
非可撓性部材の基板上に少なくとも１枚の可撓性部材が載置された積層体にアライメントを行うアライメント装置であって、
前記積層体が所定箇所に載置される台と、
前記所定箇所の周囲に複数配置され、少なくとも前記所定箇所に接近するように移動が可能なアライメント部材と、
前記所定箇所に載置された前記積層体にアライメントを行う際に、前記アライメント部材を前記積層体へ接近させ挟持するように、前記アライメント部材を駆動するアライメント部材駆動機構と、
前記所定箇所に載置された前記積層体に前記アライメント部材が接近する際に、前記可撓性部材の端面が前記アライメント部材の表面に接触する直前あるいは接触した時点で、前記基板の周囲に垂れた前記可撓性部材の外縁部を持ち上げるように気体を噴射する気体噴射機構と、
前記アライメント部材駆動機構及び前記気体噴射機構のそれぞれの動作を制御する制御部と、
を備え、
前記可撓性部材が前記基板と前記アライメント部材の間に挟持されることを防止することを特徴とする。
【００１０】
本発明の太陽電池モジュールの製造装置は、前記積層体を用いて太陽電池モジュールの製造を行う装置であって、前記アライメント装置を備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明のアライメント方法は、前記積層体に、前記アライメント装置を用いてアライメントを行う方法であって、
前記アライメント部材駆動機構により、前記所定箇所に載置された前記積層体に前記アライメント部材が接近する際に、前記可撓性部材の端面が前記アライメント部材の表面に接触する直前あるいは接触した時点で、前記気体噴射機構により、前記基板の周囲に垂れた前記可撓性部材の外縁部を持ち上げるように気体を噴射することにより、前記可撓性部材が前記基板と前記アライメント部材の間に挟持されることを防止することを特徴とする。
【００１２】
本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、前記積層体を用いて太陽電池モジュールの製造を行う方法であって、前記アライメント方法を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のアライメント装置及び方法、並びに太陽電池モジュールの製造装置及び製造方法によれば、太陽電池モジュール製造工程において、コンベアを使用して積層体を所定の位置へ搬送する際に、封止材やバックシート等がピンと積層体との間に挟まることを防止することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の第１、第２の実施の形態においてアライメントの対象となるモジュールの構成を示す平面図である。
【図２】図２（ａ）は、同モジュールにおいてガラス基板上に封止材を積層した状態を示す正面図、図２（ｂ）は、ガラス基板上に封止材、マトリクス、封止材、バックシートを順に積層した積層体を示す正面図である。
【図３】図３は、同第１の実施の形態において、積層体がベルトコンベアに載置された状態を示す平面図である。
【図４】図４は、図３を矢印Ｘで示されたベルトコンベアの長手方向から見た状態を示す正面図である。
【図５】図５は、図３を矢印Ｙで示されたベルトコンベアの長手方向に直交する方向から見た状態を示す正面図である。
【図６】図６（ａ）は、同第１の実施の形態において、アライメント前の積層体とピンとの位置関係を示す平面図、図６（ｂ）は、アライメント前の積層体とピンとの位置関係を示す正面図である。
【図７】図７（ａ）は、アライメント動作開始後の積層体とピンとの位置関係を示す平面図、図７（ｂ）は、アライメント動作開始後の積層体とピンとの位置関係を示す正面図である。
【図８】図８（ａ）は、ピンが積層体に接触する直前又は接触した状態を示す平面図、図８（ｂ）は、ピンが積層体に接触する直前又は接触した状態を示す正面図である。
【図９】図９（ａ）は、アライメント完了時の積層体とピンとの位置関係を示す平面図、図９（ｂ）は、アライメント完了時の積層体とピンとの位置関係を示す正面図である。
【図１０】図１０（ａ）は、アライメント終了後に積層体からピンが離れる動作を示す平面図、図１０（ｂ）は、アライメント終了後に積層体からピンが離れる動作を示す正面図である。
【図１１】図１１は、ピンの形状を示す斜視図である。
【図１２】図１２は、ピンから積層体へ気体が噴射された状態を示す拡大図である。
【図１３】図１３は、同第１、第２の実施の形態におけるアライメント装置全体のシステム構成を示すブロック図である。
【図１４】図１４は、同第２の実施の形態におけるピンが積層体に接触する直前又は接触した状態を示す正面図である。
【図１５】図１５は、同第２の実施の形態におけるピンの形状を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態によるアライメント装置、及びこのアライメント装置を用いて積層体にアライメントを行う方法、並びにこのようなアライメント装置を備える太陽電池モジュールの製造装置、アライメント方法を備える製造方法について、図面を参照して説明する。
【００１６】
（１）第１の実施の形態
図１に、本発明の実施の形態１によるアライメント装置によりアライメントを行う際の対象となるモジュール１の平面構成を示す。モジュール１には、例えば縦６枚、横１０枚から成る計６０枚のセル２がマトリクス状に配置されている。横１０枚のセル２により一つのストリング４が構成され、このストリング４が縦に６個配列されて全体で一つのマトリクス３が構成されている。尚、セル２は図示されていない導電部材により相互間が配線され接続されている。
【００１７】
モジュール１の構造について、図２を用いて説明する。先ず図２（ａ）に示されるように、ガラス基板５の表面上に１層目の封止材６ａが載置される。本実施の形態において後述するアライメントは、この１層目の封止材６ａが載置されたガラス基板５から成る積層体８に対して行われるものとする。
【００１８】
そしてモジュール１は、図２（ｂ）に示されたように、ガラス基板５の表面上に、封止材６ａ、図１を用いて説明したマトリクス３、封止材６ｂ、バックシート７が順に積層された構造を有する。このうち、通常は、ガラス基板５とマトリクス３は非可撓性物であり、封止材６ａ及び６ｂとバックシート７は可撓性物である。
【００１９】
尚、本発明においてアライメントの対象となるものは、ガラス基板５上に１枚の可撓性のあるシートが載置されたものには限定されない。例えば、図２（ｂ）に示された構成を例にとると、ガラス基板５上に１枚の封止材６ａのみが載置されている場合、ガラス基板５上に封止材６ａ、マトリクス３が載置されている場合、ガラス基板５上に封止材６ａ、マトリクス３、封止材６ｂが載置されている場合、ガラス基板５上に封止材６ａ、マトリクス３、封止材６ｂ、バックシート７が載置されている場合も全てアライメントの対象となり得る。このように、非可撓性を有する基板上に、少なくとも１枚の可撓性を有するシートが載置されたものがアライメントの対象物であり、このようなもの全てを積層体８と称する。
【００２０】
図３に、図２（ａ）に示された封止材６ａがガラス基板５の表面上に載置された積層体８が、コンベア２１上のおおよその位置に一旦載置された状態を平面図として示す。尚、アライメントが行われる工程では、コンベアは停止状態にある。
【００２１】
図中、矢印Ｘで示された方向に進行するコンベア２１の表面上に、進行方向に沿って複数のローラ２３が設けられている。コンベア２１には、積層体検知センサ３２が設けられており、積層体８の存在の有無が検知される。コンベア２１上に載置された積層体８の周囲には、アライメント用の複数のピン９ａ〜９ｆが設けられている。尚、矢印Ｘで示された進行方向に直交する方向をＹとする。
【００２２】
この第１の実施の形態では、ガラス基板５及び封止材６ａから成る積層体８における、図中上辺に沿う方向に沿って２本のピン９ｃ及び９ｄ、下辺に沿う方向に沿って２本のピン９ｅ及び９ｆ、左辺に沿う方向に沿って１本のピン９ａ、右辺に沿う方向に沿って９ｂがそれぞれ配置されている。しかし、ピンの配置はこの例に限定されず、積層体８における４辺のうち少なくともいずれか１辺に沿う方向に複数のピンが配置され、他の３辺に沿う方向にはそれぞれ少なくとも１本のピンが配置されていればアライメントを行うことができる。
【００２３】
図３に示された構成を、矢印Ｘで示された進行方向から見た正面図を図４に示す。ピン９ａ及び９ｂは、ピン台２４上に設けられたピン移動台９ａ１、９ｂ１上を、それぞれ矢印Ｙで示された方向に平行な矢印Ａで示された方向に沿って積層体８に接近する方向に移動し、あるいは矢印Ｂで示された方向に沿って積層体８から遠ざかる方向に移動する。
【００２４】
図３に示された構成を、矢印Ｙで示された方向から見た側面図を図５に示す。ピン９ｃ及び９ｄ、９ｅ及び９ｆは、ピン台２４上に設けられたピン移動台９ｃ１及び９ｄ１、９ｅ１及び９ｆ１上を、それぞれ矢印Ｘで示された方向に平行な矢印Ｃで示された方向に沿って積層体８に接近するように移動し、あるいは矢印Ｄで示された方向に沿って積層体８から遠ざかるように移動する。さらにピン９ｃ及び９ｄ、９ｅ及び９ｆは、ピン移動台９ｃ２及び９ｄ２、９ｅ２及び９ｆ２に対して相対的に、矢印Ｅで示された方向に沿って上昇するように移動し、あるいは矢印Ｆで示された方向に沿って降下するように移動する。
【００２５】
尚、コンベア２１を支持している機構とピンを支持している台とは共用されていてもよく、別に設けられていてもよい。
【００２６】
アライメントを行う前の段階におけるガラス基板５及び封止材６ａから成る積層体８とピン９ａ〜９ｆとの位置関係を、平面図として図６（ａ）に示し、正面図として図６（ｂ）に示す。アライメントを行う前の段階では、ピン９ａ〜９ｆは、積層体８から離れた位置にある。尚、図６（ｂ）に示されたように、封止材６ａは可撓性を有するため、封止材６ａの外縁部６ａ１が下に垂れた状態となる。
【００２７】
積層体８は、先ずコンベア２１上のおおよその位置に載置される。この載置が行われるまでの間は、積層体８を載置する処理の障害とならないように、図示されていない機構により、ピン９ｅ及び９ｆの先端部は積層体８の底より低い位置にある。積層体８がコンベア２１上のおおよその位置に載置された後、ピン９ｅ及び９ｆが上昇し、アライメント動作が開始される。尚、積層体８の載置が行われるまでの間、ピン９ａ〜９ｆのうち、少なくともピン９ｅ及び９ｆの先端部が積層体８の底より低い位置にあればよい。他のピン９ａ〜９ｄの先端部は、積層体８の底と同程度の高さにあっても積層体８の載置の障害とはならない。
【００２８】
アライメント動作が開始された直後における積層体８とピン９ａ〜９ｆとの位置関係を、平面図として図７（ａ）に、正面図として図７（ｂ）にそれぞれ示す。この時点では、ピン９ａ〜９ｆは積層体８から離間した位置にある。この状態から、それぞれのピン９ａ〜９ｆが積層体８に接近するように移動する。即ち、ピン９ａ及び９ｂが矢印Ａで示された方向に移動し、ピン９ｃ及び９ｄ、９ｅ及び９ｆが矢印Ｃで示された方向に移動する。
【００２９】
ピン９ａ〜９ｆが積層体８に接近するように移動し、積層体８におけるガラス基板５上の封止材６ａに接触する直前又は接触した状態を、平面図として図８（ａ）に、正面図として図８（ｂ）にそれぞれ示す。この状態でピン９ａ〜９ｆの移動を停止、あるいは移動速度を低下させる。そして、それぞれのピン９ａ〜９ｆの側面から、斜め上方の矢印Ｇで示された方向に沿って、封止材６ａにおける垂れた外縁部６ａ１の下側から気体を噴射する。これにより、封止材６ａの外縁部６ａ１が、ガラス基板５とピン９ａ〜９ｆにおける最も高さが高い部分よりも高い位置まで持ち上げられる。この状態から、ピン９ａ、９ｂが矢印Ａで示された方向にさらに移動し、ピン９ｃ及び９ｄ、９ｅ及び９ｆが矢印Ｃで示された方向に移動し、それぞれのピン９ａ〜９ｆがガラス基板５に接触した状態となる。
【００３０】
ピン９ａ〜９ｆがガラス基板５を挟持し、アライメントが完了した状態における積層体８とピン９ａ〜９ｆとの位置関係を、平面図として図９（ａ）に、正面図として図９（ｂ）にそれぞれ示す。封止材６ａの外縁部６ａ１を持ち上げたことにより、ピン９ａ〜９ｆとガラス基板５との間に封止材６ａが挟まることが防止される。
【００３１】
これにより、コンベア２１上のおおよその位置に載置された積層体８の４辺が、ピン９ａ〜９ｆにより挟み込まれることによってアライメントが行われて、所定の位置に正確に配置される。ここでは、４辺のうちコンベア２１の進行方向Ｘに直交するＹ方向に沿って２本ずつのピン９ｃ及び９ｄ、９ｅ及び９ｆが設けられていることで、２辺が積層体コンベア２１の進行方向Ｘと平行に、残りの２辺が直交するように正確に配置される。
【００３２】
アライメント終了後は、平面図としての図１０（ａ）、正面図としての図１０（ｂ）に示されるように、ピン９ａ〜９ｆが積層体８から離れるように移動する。即ち、ピン９ａ〜９ｂが矢印Ｂで示された方向、ピン９ｃ〜９ｆが矢印Ｄで示された方向にそれぞれ移動する。その後、積層体８の搬送の障害とならないように、ピン９ｃ及び９ｄが積層体８の底より低い位置まで降下する。尚、ピン９ａ〜９ｆのうち、少なくともピン９ｃ及び９ｄの先端部が積層体８の底より低い位置まで降下すればよい。これにより、積層体８が図３において矢印Ｘで示された方向に搬送される際に障害とならない。他のピン９ａ及び９ｂ、９ｅ及び９ｆの先端部は、積層体８の底と同程度の高さにあっても積層体８の搬送の障害とはならない。
【００３３】
ここで、ピン９ａ〜９ｆが有する形状を斜視図としての図１１に示し、さらにピン９ａ〜９ｆから封止材６ａの外縁部６ａ１に向けて気体が噴射される状態を図１２に拡大して示す。
【００３４】
ピン９ａ〜９ｆの内部には、後述する気体噴射機構に含まれる圧縮器等から与えられた気体が下方から上方へ向かって通過する経路１０ａが設けられている。経路１０ａからは、ピン９ａ〜９ｆの斜め上方の矢印Ｇで示された方向へ向けて設けられた少なくとも１つの経路１０ｂが連結されている。経路１０ｂの先端は、ピン９ａ〜９ｆの側面において噴射孔１０ｃとなっている。
【００３５】
矢印Ｇで示された方向へ向けて噴射孔１０ｃから気体が噴射されることで、図８を用いて説明したように、封止材６ａの外縁部６ａ１がガラス基板５とピン９ａ〜９ｆとにおける最も高さが高い部分よりも高い位置まで持ち上げられ、ピン９ａ〜９ｆとガラス基板５との間に挟まることが防止される。
【００３６】
以上のような手順でアライメントを行った後、積層体８がコンベア２１により搬送される。
【００３７】
図１３に、第１の実施の形態におけるアライメント装置全体のシステム構成を示す。このアライメント装置は、制御部３１、積層体検知センサ３２、コンベア駆動機構３３、ピン駆動機構３４、気体噴射機構３５を備えている。
【００３８】
積層体検知センサ３２は、図３を用いて説明したように、ガラス基板５及び封止材６ａから成る積層体８の存在の有無を検知する。
【００３９】
コンベア駆動機構３３は、コンベア２１に設けられたローラ２３の回転駆動を行うことで、コンベア２１に搭載された積層体８を搬送する。但し、コンベアの搬送機構はローラによる回転駆動には限定されず、ピンの配置や駆動に支障を与えない範囲でベルト等、他の駆動機構を用いてもよい。
【００４０】
ピン駆動機構３４は、ピン９ｃ及び９ｄ、９ｅ及び９ｆの上下方向、即ち矢印Ｅで示された方向又は矢印Ｆで示された方向への昇降動作、ピン９ｃ〜９ｆの水平方向、即ち矢印Ｃで示された方向又は矢印Ｄで示された方向への移動動作、並びにピン９ａ〜９ｂの水平方向、即ち矢印Ａで示された方向又は矢印Ｂで示された方向への移動動作に関する駆動を行う。尚、ここではピン９ｃ及び９ｄと、ピン９ｅ及び９ｆがいずれも水平方向に移動する機構を備えている。しかし、少なくともピン９ｅ及び９ｆが水平方向に移動することができればよい。ピン９ｅ及び９ｆが積層体８を矢印Ａで示された方向に移動することにより、積層体８がピン９ｃ及び９ｄに接近する方向に移動して接触することができる。よって、必ずしもピン９ｃ及び９ｄが水平方向へ移動が可能である必要はない。
【００４１】
制御部３１は、上述したアライメントを行うため、これらの積層体検知センサ３２、コンベア駆動機構３３、ピン駆動機構３４、気体噴射機構３５のそれぞれの動作の制御を行う。
【００４２】
本発明の第１の実施の形態によれば、コンベア上の所定位置に積層体８を載置する際に、封止材がピンと積層体８との間に挟まることを防止することができる。
【００４３】
（２）第２の実施の形態
次に、本発明の第２の実施の形態によるアライメント装置及びアライメント方法について説明する。尚、上記第１の実施の形態と同一の構成要素には同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
【００４４】
第２の実施の形態によるアライメント装置は、ピンの形状及び気体の噴射機構において上記第１の実施の形態によるものと相違する。
【００４５】
図１４に、第２の実施の形態によるアライメント装置がアライメントを行う際に、６個のピン４９ａ〜４９ｆにおけるピン４９ａ及び４９ｂと、ガラス基板５及び封止材６ａから成る積層体８との位置関係を示す。この状態は、上記第１の実施の形態において図８に示された封止材６ａの外縁部６ａ１がピン９ａ〜９ｆの側面に接触する直前又は接触した状態に相当する。
【００４６】
ところで、気体を噴射するピンを下部から支持する支持部材については様々な形態が考えられ、制限されるものではない。よって、上記第１の実施の形態では、ピン９ａ〜９ｆを支持する支持部材については説明を省略した。
【００４７】
第２の実施の形態では、ピン４９ａ〜４９ｆを支持する支持部材５０に気体を噴射する噴射孔５０ｃが設けられており、以下に説明する。
【００４８】
図１４に、ガラス基板５及び封止材６ａから成る積層体８とピン４９ａ〜４９ｂとの間のコンベアの進行方向から見た位置関係を示す。第２の実施の形態においても上記第１の実施の形態のピン９ａ〜９ｆと同様に、矢印Ｘで示されたコンベアの進行方向に沿って両端に１本ずつピン４９ａ、４９ｂが配置され、進行方向と直交する矢印Ｙで示された方向に沿って両端に２本ずつピン４９ｃ及び４９ｄ、４９ｅ及び４９ｆが配置されている。
【００４９】
上記第１の実施の形態において説明したように、図８（ｂ）には、ピン９ａ、９ｂが積層体８に接近し封止材６ａの外縁部６ａ１がピン９ａ、９ｂの側面に接触する直前又は接触した状態が示されている。この状態で、ピン９ａ〜９ｆの側面に設けられた噴射孔５０ｃから気体が斜め上方の矢印Ｇで示された方向に噴射される。
【００５０】
図１４は、第２の実施の形態において、ピン４９ａ、４９ｂが積層体８に接近し封止材６ａの外縁部６ａ１がピン４９ａ、４９ｂの側面に接触する直前又は接触した状態を示す。この状態で、ピン４９ａ〜４９ｆをそれぞれ支持する支持部材５０の上面に設けられた噴射孔５０ｃから気体が上方の矢印Ｈで示された方向に噴射される。
【００５１】
図１５の斜視図に、ピン４９ａ〜４９ｆを支持する支持部材５０を拡大して示す。
【００５２】
ピン４９ａ〜４９ｆの下方の端部に、支持部材５０がそれぞれＬ字型に接続されている。支持部材５０の内部において、図示されていない圧縮器等から与えられた気体が、支持部材５０の長手方向に沿って通過する経路５０ａが設けられている。経路５０ａからは、上方へ向かって通過する少なくとも１本の経路５０ｂが設けられており、経路１０ｂの先端は、支持部材５０の上面において噴射孔５０ｃとなっている。
【００５３】
矢印Ｈで示された方向へ向けて噴射孔５０ｃから気体が噴射されることで、上記実施の形態１と同様に、封止材６ａの外縁部６ａ１がガラス基板５とピン４９ａ〜４９ｆにおける最も高さが高い部分よりも高い位置まで持ち上げられ、ピン４９ａ〜４９ｆとガラス基板５との間に挟まることが防止される。以降のアライメント工程は、上記第１の実施の形態と同様に行われる。
【００５４】
尚、支持部材５０から矢印Ｈで示された方向へ向けて気体が噴射されるように経路５０ａ、５０ｂ、噴出孔５０ｃが形成されている。しかし、気体を噴射する構造はこれに限定されず様々に変形することが可能である。また気体の噴出方向も矢印Ｈで示された真上方向には限定されず、斜め上方向等、封止材６ａの外縁部６ａ１を上方へ持ち上げることが可能な向きであればよい。
【００５５】
また、第２の実施の形態におけるアライメント装置全体の構成は、図１３を用いて説明した上記第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
【００５６】
本発明の幾つかの実施の形態について説明したが、これらの実施の形態は、例として提示したものであり、発明の技術的範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の技術的範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【００５７】
例えば、上記第１、第２の実施の形態では、図２（ａ）に示されたようなガラス基板の表面上に１枚の封止材が積層された積層体８をアライメントの対象物として説明した。しかし、アライメントの対象となるものはこの構成に限定されず、非可撓性部材の基板上に、少なくとも１つの可撓性部材が載置されたものであれば全て含まれる。例えば、ガラス基板上に１枚の封止材に加えて、マトリクスや封止材、バックシートが順に積層された積層体８も同様に含まれる。但し、マトリクスが含まれる場合には、アライメント時にマトリクスの位置がずれる可能性がある。このため、マトリクスの位置がずれない程度に気体を噴射するように、気体の噴射量や噴射方向を考慮することが望ましい。
【００５８】
また、上記第１の実施の形態では気体がピン９ａ〜９ｆの内部を通過して噴射孔１０ｃから噴射され、上記第２の実施の形態ではピン４９ａ〜４９ｆの支持部材５０の内部を通過して噴射孔５０ｃから噴射される機構が用いられている。しかし、気体を噴射する機構はこれらには限定されず、ガラス基板上の封止材を気体で持ち上げることができるものであればよく、例えば気体チューブをピンの側面に配設して気体を封止材の外縁部へ向けて噴射する機構等、様々に変形することができる。
【符号の説明】
【００５９】
１  モジュール
２  セル
３  マトリクス
４  ストリング
５  ガラス基板
６ａ、６ｂ  封止材
７  バックシート
８  積層体
９ａ〜９ｆ、４９ａ〜４９ｆ  ピン
１０ａ、１０ｂ、５０ａ、５０ｂ  経路
１０ｃ、５０ｃ  噴射孔
３１  制御部
３２  積層体検知センサ
３３  コンベア駆動機構
３４  ピン駆動機構
３５  気体噴射機構
５０  支持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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