(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を有し、この流路の内部と外部とを連通する流路開口を封止用フィルムによって封止した検査チップに対し送液を行う送液装置であって、
先端に開口を有し、この開口から前記流路に液体を吐出可能又は吸引可能なノズルと、
前記検査チップを着脱できるように保持可能な保持部と、
前記保持部に前記検査チップが保持された状態で、前記ノズルの先端が前記流路開口を向いた姿勢で当該ノズルを前記検査チップに接近又は離間させる往復移動部と、
前記往復移動部を制御する制御部と、を備え、
前記ノズルは、その外径が前記先端に向って縮径するような形状を先端側に有し、
前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記ノズルを前記流路開口から流路内へ差し込む毎に当該ノズルの先端を前記流路開口から前回より深い位置まで差し込むことを特徴とする送液装置。
【請求項２】
前記ノズルに加わる当該ノズルの移動方向の負荷を検出する負荷検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記ノズルを前記流路開口から流路内に差し込むときに、前記負荷検出部により検出される負荷に基づいて所定の位置まで前記ノズルを差し込み、その後、前記ノズルを前記流路開口から流路内に差し込む毎に当該ノズルの先端を前記流路開口から前回より深い位置まで差し込むことを特徴とする請求項１に記載の送液装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記ノズルを貫通させることにより開口した前記封止用フィルムの開口周縁部から当該ノズルの先端までの距離が所定の距離より大きくなるように当該ノズルを前記流路開口から差し込み、
前記所定の距離は、前記ノズルの先端の内周面と外周面との間の距離であることを特徴とする請求項１又は２に記載の送液装置。
【請求項４】
前記ノズルを前記検査チップに接近又は離間させる方向と直交する方向に移動させる直交方向移動部をさらに備え、
前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記直交方向移動部により前記ノズルを前記流路開口と対応する位置に移動させ、前記往復移動部により前記流路開口と対応する位置のノズルを前記検査チップに接近又は離間させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の送液装置。
【請求項５】
前記ノズルの先端の外径は、前記検査チップの流路における流路開口からの当該ノズルの差し込み方向の深さよりも小さいことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の送液装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料溶液等の液体に含まれる検体の検査・分析等に用いられ、前記液体を流すことができる流路を備えた検査チップの流路において送液を行う送液装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、検査チップに設けられた流路において試料溶液等の液体の送液を行う装置として、特許文献１に記載のものが知られている。【０００３】
具体的に、送液装置は、検査チップ２００内において液送を行うためのポンプユニットである。この送液装置は、図１２及び図１３に示すように、ポンプ１０２と、ノズル１０４と、駆動液タンク１０６と、駆動液供給部１０８とを備える。ポンプ１０２は、検査チップ２００の流路２０２内にノズル１０４を通じて駆動液等の液体を吐出し又は吸引することにより、検査チップ２００内において送液を行う。ノズル１０４は、ポンプ１０２と検査チップ２００の連通口２０８とを接続する部材である。駆動液供給部１０８は、駆動液タンク１０６に貯留された駆動液をポンプ１０２に供給する。【０００４】
検査チップ２００は、内部に流路２０２を有する。この流路２０２は、複数の収容部２０４と、検査チップ２００の上面２０６に開口する連通口２０８とを有する。収容部２０４は、試薬や検体等の試料溶液を収容する。【０００５】
各収容部２０４内に試料溶液等がそれぞれ収容された状態の検査チップ２００が前記の送液装置１００に設置される。送液装置１００のノズル１０４と検査チップ２００の連通口２０８とが接続される。そして、ポンプ１０２が駆動し、駆動液が当該ポンプ１０２からノズル１０４を通じて検査チップ２００の流路２０２に吐出され又は吸引される。これにより、複数の収容部２０４内に収容されている試料溶液が駆動液と共に検査チップ内において送液される。【０００６】
前記の検査チップ２００では、流路２０２内に配置又は収容された試料溶液や検体等の性状により、流路２０２内への外気の流入を防ぐために流路２０２が密封される場合がある。このような場合、流路２０２の内部と外部とを連通する開口（連通口）２０８が図略の封止用フィルムによって封止される。【０００７】
開口が封止用フィルムにより封止された検査チップ２００では、送液装置１００と流路２０２とが接続されるときに、例えば、流路開口２０８の内径よりも外径の小さなノズルが用いられる。このノズルが封止用フィルムに突き刺されることによってポンプ１０２と流路２０２とが連通する。このとき、封止用フィルムが所定の延性及び弾性を有することにより、ノズルが突き刺されたときにノズルの外周面と封止用フィルムの開口周縁部とが密着する。これにより、ノズルと封止用フィルムとの境目の密閉性が確保される。この状態でポンプ１０２が駆動し、ノズルを通じて液体が吐出され又は吸引される。ノズルと封止用フィルムとの境目からの液体や空気等の出入りがないため、液体の吐出又は吸引が効率よく行われる。【０００８】
しかし、一旦、ノズルが封止用フィルムから引き抜かれ、再度、封止用フィルムに開いている穴（開口）にノズルが挿入される場合、ノズルとフィルムとの境目に隙間が生じ易い。ノズルとフィルムとの境目に隙間が生じると、ノズルを通じて液体が吐出又は吸引されるときにノズルとフィルムとの境目から液体や空気等が出入りする。このため、ノズルとフィルムとの境目において液漏れが生じる。または、ノズルによる液体の吐出又は吸引の効率が低下する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】日本国特開２０１０−２５８５４号公報
【発明の概要】
【００１０】
本発明の目的は、検査チップの流路にノズルの挿抜を複数回の行う場合でも、ノズルと封止用フィルムとの境目の密閉性を確保することが可能な送液装置を提供することである。
【００１１】
本発明に係る送液装置は、送液装置のノズルを検査チップの流路の開口から流路内へ差し込む毎にノズルの先端を流路の開口から前回より深い位置まで差し込む。また、本発明に係る検査チップは、検体等が流れる流路の開口を封止する封止フィルムを備え、この封止フィルムが高延性及び低弾性を有する。このため、本発明によれば、検査チップの流路にノズルの挿抜を複数回の行う場合でも、ノズルと封止用フィルムとの境目の密閉性を確保することが可能な送液装置を提供することができる。
【００１２】
上記並びにその他の本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な記載と添付図面から明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本実施形態に係る検査チップの縦断面図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る送液装置であって、前記検査チップが設置された状態の概略構成図である。
【図３】図３は、前記送液装置における制御手段の機能ブロック図である。
【図４】図４は、前記送液装置のノズルが前記検査チップの封止用フィルムを貫通するときの動作を説明するための図であって、図４（Ａ）はノズルが封止用フィルムに当接する前の状態を示し、図４（Ｂ）はノズルが封止用フィルムに当接した状態を示し、図４（Ｃ）は、ノズルが封止用フィルムを貫通した後の状態を示す図である。
【図５】図５は、前記ノズルが前記封止用フィルムを貫通するときの当該封止用フィルムの状態を説明するための図であって、図５（Ａ）は封止用フィルムの各層に破断が生じていない状態を示し、図５（Ｂ）は封止用フィルムの第２の層が破断した状態を示し、図５（Ｃ）は封止用フィルムの第２の層が破断した状態で第１の層及び第３の層のみが伸びた状態を示し、図５（Ｄ）は、ノズルが封止用フィルムを貫通したときの状態を示し、図５（Ｅ）ノズルが封止用フィルムを貫通した位置よりもさらに深く差し込まれた状態を示す。
【図６】図６は、前記送液装置の負荷検出手段により検出されたノズルに加わる負荷の変化を示す図である。
【図７】図７は、前記送液装置において、封止された状態の流路開口にノズルを最初に差し込むときの動作を説明するためのフローチャートである。
【図８】図８は、前記送液装置において、再度、流路開口にノズルを差し込むときの動作を説明するためのフローチャートである。
【図９】図９は、他実施形態に係る送液装置であって、前記検査チップが設置された状態の概略構成図である。
【図１０】図１０は、他実施形態に係る検査チップを設置した場合に送液装置の負荷検出手段により検出されたノズルに加わる負荷の変化を示す図である。
【図１１】図１１は、他実施形態に係る検査チップを設置した場合に送液装置の負荷検出手段により検出されたノズルに加わる負荷の変化を示す図である。
【図１２】図１２は、従来の送液装置の概略構成図である。
【図１３】図１３は、前記送液装置に設置される検査チップの概略縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施形態について、添付図面を参照しつつ説明するが、先ず、図１に基づいて検査チップ１０を説明し、次に、図２〜図６に基づいて、送液装置２０について説明する。
【００１５】
本実施形態に係る検査チップ１０は、抗原抗体反応等による生体物質の検査・分析等に用いられる。この検査チップ１０は、流路１１を有する。送液装置２０により注入される液体等がこの流路１１内を流れる。
【００１６】
具体的に、検査チップ１０は、検査チップ本体１２と封止用フィルム１７とを備える。検査チップ本体１２は、前記の流路１１を有し、透明な樹脂やガラスにより形成される。本実施形態の検査チップ本体１２は、屈折率の高い樹脂やガラスにより形成される。具体的には、検査チップ本体１２は、ＰＣ（ポリカーボネイト）やＰＭＭＡ（アクリル）により形成される。流路１１は、反応部１３と、複数の連通部１４とを有する。反応部１３は、検査チップ本体１２の内部において所定の方向（図１においては検査チップ本体１２の上面１２ａに沿った方向）に延びる。各連通部１４は、反応部１３の両端において当該反応部１３と検査チップ本体１２の外部とを連通する。
【００１７】
具体的に、反応部１３は、その内部に反応物質１５を有する。この反応物質１５は、反応部１３（流路１１）を画定する周壁面に付着している。そのため、この流路１１に液体が流れると、この液体が反応物質１５と接しつつ流れる。本実施形態の検査チップ１０では、薬液群が送液装置２０のノズル２２から反応部１３内に吐出され、反応物質１５の反応促進・反応停止・洗浄等がこの薬品群によって行われる。その後、反応物質１５が光学的に検査される。この反応物質１５は、例えば、抗体である。各連通部１４は、反応部１３の両端から検査チップ本体１２の上面１２ａに向ってそれぞれ延び、検査チップ本体１２の上面（表面）１２ａに開口する流路開口１６を介して検査チップ本体１２の外部と連通する。この連通部１４の長さＬ（図１における上下方向の長さ）は、送液装置２０におけるノズル２２の先端の外径Ｄ１（図５（Ａ）参照）よりも大きい。本実施形態の連通部１４の長さＬは、２〜３ｍｍである。
【００１８】
封止用フィルム１７は、流路開口１６を封止する。この封止用フィルム１７は、気密性を有する。本実施形態の封止用フィルム１７は、検査チップ本体１２の上面１２ａにおいてその全域を覆うように設けられているが、これに限定されない。封止用フィルム１７は、少なくとも、流路開口１６を封止できる領域に設けられていればよい。このような領域に封止用フィルム１７が設けられることにより、流路１１が密封される。また、封止用フィルム１７は、所定の延性及び弾性を有する。本実施形態の封止用フィルム１７は、多層フィルムである。詳しくは、封止用フィルム１７は、表面側から順に第１〜第３の層１７ａ，１７ｂ，１７ｃが積層された三層構造を有する。各層の厚さは、第１の層１７ａが２０〜１００μｍであり、第２の層１７ｂが２〜１０μｍであり、第３の層１７ｃが１０〜１００μｍである。尚、送液装置２０のノズル２２が貫通できるように、封止用フィルム１７全体の厚さは、５０〜２００μｍが好ましく、５０〜１００μｍがより好ましい。
【００１９】
第１の層１７ａは、封止用フィルム１７をノズル２２が貫通したときに、封止用フィルム１７とノズル２２との境目における密閉性を確保するための層である。具体的に、第１の層１７ａは、封止用フィルム１７に空けられた穴を囲う部位（開口周縁部）とノズル２２の外周面２２ａとが密着することにより、封止用フィルム１７とノズル２２との境目における密閉性を確保する。詳しくは、第１の層１７ａは、低弾性で且つ高延性を有する膜（例えば、延性が１００％以上で且つ弾性率が０．０２ＧＰＡ〜１．５ＧＰＡの膜）である。この第１の層１７ａは、ＰＥ（ポリエチレン）、ＬＤＰＥ（低密度ポリエチレン）、ＬＬＤＰＥ（直鎖状低密度ポリエチレン）、ＥＶＡ（エチレン・酢酸ビニル共重合体）等により形成されている。
【００２０】
第２の層１７ｂは、遮光性を有する層である。本実施形態の第２の層１７ｂは、アルミ薄膜により形成されている。
【００２１】
第３の層１７ｃは、第１の層１７ａと同様に、低弾性で且つ高延性を有する膜である。本実施形態の第３の層１７ｃは、第１の層１７ａと同一の素材により形成されている。尚、第３の層１７ｃは、第１の層１７ａと異なる素材により形成されてもよい。
【００２２】
送液装置２０は、ノズル２２と、ポンプ２４と、昇降部（往復移動部）３０と、負荷検出部２６と、水平方向移動部（直交方向移動部）４０と、保持部２８と、制御部５０とを備える（図２参照）。また、送液装置２０は、各種薬液（液体）が貯留された複数の薬液容器（図示省略）と、薬液等（液体）を廃棄するための廃液容器（図示省略）とを備える。
【００２３】
ノズル２２は、先端に開口２３を有し、ポンプ２４が駆動することにより開口２３から検査チップ１０の流路１１に液体が吐出され又は吸引される。このノズル２２は、その外径が先端に向って縮径するような形状を先端側に有する。具体的に、ノズル２２は、封止用フィルム１７との密着性を高めるためにポリプロピレン等の弾性部材により形成さる。ノズル２２の先端側は、テーパ形状に形成されている。このテーパ形状の部位は、先端に向って一定の割合で縮径し、即ち、傾斜角が一定である。具体的に、ノズル２２の先端側は、傾斜角が軸方向に対して１°〜１５°、好ましくは、２°〜５°となるように形成されている。
【００２４】
ノズル２２先端の外径Ｄ１（図５（Ａ）参照）は、検査チップ１０の流路１１における連通部１４の長さＬよりも小さい。本実施形態のノズル２２先端の外径Ｄ１は、φ１ｍｍ程度である。また、このノズル２２先端の内径（開口径）Ｄ２（図５（Ａ）参照）はφ０．５ｍｍである。
【００２５】
ポンプ２４は、その吐出部２４ａにノズル２２が接続され、このノズル２２を通じて液体を吐出し又は吸引する。このポンプ２４は、制御手段５０と接続され、この制御手段５０によって制御される。
【００２６】
昇降部３０は、ノズル２２の先端が下方（即ち、保持部２８に保持された状態の検査チップ１０の上面）を向いた姿勢で当該ノズル２２を昇降（Ｚ軸方向に往復移動）させる。本実施形態の昇降部３０は、ノズル２２をポンプ２４と共にＺ軸方向に移動させる。具体的に、昇降部３０は、リニアステージ３１とＺ軸モータ（駆動モータ）３５とを備える。リニアステージ３１は、送りネジ３２と、上下方向に延びるガイド部材３３と、これら送りネジ３２及びガイド部材３３にそれぞれ係合し、ポンプ２４を所定の範囲内で上下動可能に保持する移動台３４とを備える。Ｚ軸モータ３５は、リニアステージ３１の送りネジ３２を回転させることにより、移動台３４をガイド部材３３に沿ってＺ軸方向に移動させる（即ち、昇降させる）。本実施形態のＺ軸モータ３５は、パルスモータである。このＺ軸モータ３５は、制御部５０に接続され、この制御部５０によって制御される。
【００２７】
負荷検出部２６は、ノズル２２に加わるＺ軸方向の負荷を検出する。本実施形態の負荷検出部２６は、ロードセルであり、Ｚ軸方向においてポンプ２４と移動台３４とに挟まれた状態となるように設置される。ポンプ２４が移動台３４に所定の範囲内で上下動可能に保持されているため、ノズル２２の先端にＺ軸方向上向きの負荷が加わると、ポンプ２４によって負荷検出部２６が移動台３４に押し付けられる。この押付けられる力に基づいて、負荷検出部２６がノズル２２に加わる負荷を検出する。負荷検出部２６は、制御部５０（詳しくは、Ｚ軸方向制御部５３）と接続され、検出した負荷を負荷信号として出力する。尚、負荷検出部２６は、ノズル２２に加わるＺ軸方向の負荷を検出できればよく、圧電素子等でもよい。また、負荷検出部２６は、Ｚ軸モータ３５の電流値から負荷を求める構成でもよい。
【００２８】
水平方向移動部４０は、ノズル２２を水平方向（本実施形態ではＸ軸方向：図２における左右方向）、即ち、Ｚ軸方向と直交する方向に移動させる。本実施形態の水平方向移動部４０は、ノズル２２、ポンプ２４及び昇降部３０を一緒にＸ軸方向に移動させる。具体的に、水平方向移動部４０は、リニアステージ４１とＸ軸モータ（駆動モータ）４５とを備える。リニアステージ４１は、送りネジ４２と、Ｘ軸方向に延びるガイド部材４３と、これら送りネジ４２及びガイド部材４３にそれぞれ係合し、昇降部３０及びガイド部材３３を保持する移動台４４とを備える。Ｘ軸モータ４５は、リニアステージ４１の送りネジ４２を回転させることにより、移動台４４をガイド部材４３に沿ってＸ軸方向に移動させる。本実施形態のＸ軸モータ４５は、パルスモータである。このＸ軸モータ４５は、制御部５０に接続され、この制御部５０によって制御される。
【００２９】
保持部２８は、検査チップ１０を着脱できるように保持可能な部位である。本実施形態の保持部２８は、流路開口１６が上方を向き且つ検査チップ本体１２の上面１２ａに開口する２つの流路開口１６がノズル２２のＸ軸方向の軌道下にそれぞれ位置するように、検査チップ１０を保持する。
【００３０】
薬液容器及び廃液容器は、ノズル２２を上方から差し込めるようにそれぞれ上端部が開口する容器であり、ノズル２２のＸ軸方向の軌道下にそれぞれ配置されている。
【００３１】
制御部５０は、送液装置２０の各構成の制御を行い、ノズル位置制御部５１と、ポンプ制御部５４と、記憶部５５とを備える（図３参照）。
【００３２】
ノズル位置制御部５１は、ノズル２２の位置を制御する。詳しくは、ノズル位置制御部５１は、保持部２８に保持された状態の検査チップ１０に対するノズル２２の相対位置を制御する。ノズル位置制御部５１は、Ｘ軸方向制御部５２と、Ｚ軸方向制御部５３とを有する。Ｘ軸方向制御部５２は、水平方向移動部４０を制御してノズル２２のＸ軸方向の位置を制御する。Ｚ軸方向制御部５３は、昇降部３０を制御してノズル２２のＺ軸方向の位置を制御する。
【００３３】
具体的に、Ｘ軸方向制御部５２は、水平方向移動部４０のＸ軸モータ４５を駆動パルス数によって制御し、移動台４４をガイド部材４３に沿ってＸ軸方向に移動させる。詳しくは、Ｘ軸方向制御部５２は、各薬液容器（図示省略）及び廃液容器（図示省略）の各開口の上方位置と、各流路開口１６の上方位置と、にノズル２２が移動するようにＸ軸モータ４５を制御する。
【００３４】
より詳しくは、Ｘ軸方向制御部５２は、ポンプ２４が薬液容器からノズル２２を通じて薬液を吸引するときは、当該ノズル２２を当該薬液容器の開口の上方位置に移動させる。また、Ｘ軸方向制御部５２は、一方の流路開口１６を封止する封止用フィルム１７に空気穴を空けるときは、当該ノズル２２を一方の流路開口１６の上方位置に移動させる。また、Ｘ軸方向制御部５２は、ポンプ２４が他方の流路開口１６からノズル２２を通じて流路１１内に薬液を吐出し又は吸引するときは、当該ノズル２２を他方の流路開口１６の上方位置に移動させる。また、Ｘ軸方向制御部５２は、ポンプ２４が廃液容器にノズル２２を通じて薬液を廃棄するときは、当該ノズル２２を廃液容器の開口の上方位置に移動させる。
【００３５】
Ｚ軸方向制御部５３は、Ｘ軸方向制御部５２によりノズル２２がＸ軸方向の所定の位置に移動した後、昇降手段３０のＺ軸モータ３５を駆動パルス数によって制御し、移動台３４をガイド部材３３に沿ってＺ軸方向に移動させる。詳しくは、Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２がＸ軸方向に移動するときには当該ノズル２２が検査チップ１０、薬液容器、及び廃液容器と干渉しない高さ位置（退避位置）までノズル２２を上昇させる。また、Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２がＸ軸方向に沿って薬液容器の開口や廃液容器の開口の上方位置、又は流路開口１６の上方位置に移動したときに当該ノズル２２を降下させる。
【００３６】
より詳しくは、Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２がＸ軸方向に沿って薬液容器の開口の上方位置に移動したときは、ノズル２２を所定の高さ位置まで降下させる。これにより、ノズル２２の先端が薬液容器内に貯留されている薬液内に差し込まれる。そして、Ｚ軸方向制御部５３は、ポンプ２４がノズル２２を通じて薬液を吸引した後、ノズル２２を退避位置まで上昇させる。
【００３７】
また、Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２がＸ軸方向に沿って廃液容器の開口の上方位置に移動したときは、ノズル２２を降下させる。そして、Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２の先端側が開口から廃液容器内に差し込まれた状態となったときにノズル２２の降下を停止させる。Ｚ軸方向制御部５３は、ポンプ２４がノズル２２を通じて廃棄する薬液を吐出した後、ノズル２２を退避位置まで上昇させる。
【００３８】
また、Ｚ軸方向制御部５３は、検査チップ１０の流路１１内に薬液を吐出し又は吸引するためにノズル２２がＸ軸方向に沿って他方の流路開口１６の上方位置に移動したときは、負荷検出手段２６により検出される負荷に基づいて所定の位置までノズル２２を降下させる。これにより、ノズル２２の先端部が流路開口１６から流路１１内へ差し込まれる。Ｚ軸方向制御部５３は、ポンプ２４がノズル２２を通じて薬液の吐出及び吸引を行った後、退避位置までノズル２２を上昇させる。その後、Ｚ軸方向制御部５３は、再度、ノズル２２を流路開口１６から差し込む場合には、差し込む毎に当該ノズル２２の先端を流路開口１６からより深い位置まで差し込む。
【００３９】
より詳細には、Ｚ軸方向制御部５３は、Ｚ軸モータ３５を制御することにより、封止用フィルム１７に封止された流路開口１６に向けてノズル２２を降下させる（図４（Ａ）参照）。ノズル２２が降下すると、先ず、ノズル２２の先端が封止用フィルム１７に当接する。さらにノズル２２が降下し続けると、封止用フィルム１７がノズル２２の先端によって押されて徐々に伸びる（図４（Ｂ）参照）。やがて、ノズル２２が封止用フィルム１７を貫通する（図４（Ｃ）参照）。Ｚ軸方向制御部５３は、この貫通したときのＺ軸方向のノズル２２の位置（貫通位置）を負荷検出手段２６において検出した負荷の変化から特定する。
【００４０】
ここで、負荷検出部２６によって検出される負荷の変化について図５（Ａ）乃至図６を参照しつつ説明する。この検出される負荷は、ノズル２２の先端が封止用フィルム１７に当接してからノズル２２が停止するまでのものである。
【００４１】
ノズル２２の先端が封止用フィルム１７に当接した後、さらにノズル２２が降下を続けることにより封止用フィルム１７が徐々に伸び始める（図５（Ａ）参照）。これと同時に、ノズル２２に加わる負荷が大きくなる。さらにノズル２２が降下を続けると、多層フィルム（封止用フィルム）１７の各層１７ａ，１７ｂ，１７ｃの中で最も伸び率の小さな第２の層（本実施形態ではアルミ薄膜）１７ｂが破断する。このとき、第２の層１７ｂは、ノズル２２のエッジｅと当接する部位から破断する（図５（Ｂ）参照）。これにより、負荷検出部２６によって検出される負荷が急激に落ち込む。さらにノズル２２が降下を続けると、高延性の第１及び第３の層１７ａ，１７ｃが伸び続ける（図５（Ｃ）参照）。この伸びに伴って負荷検出部２６によって検出される負荷が僅かに増加する。やがて、第１及び第３の層１７ａ，１７ｃも伸び限界に達し、ノズル２２のエッジｅと当接した部位から破断する（図５（Ｄ）参照）。これにより、負荷検出部２６によって検出される負荷が急激に落ち込む。ノズル２２の先端側がテーパ形状であるため、さらにノズル２２が降下を続けると、封止用フィルム１７に空いた穴の開口周縁部がノズル２２により押し広げられる（図５（Ｅ）参照）。これにより、負荷検出部２６によって検出される負荷が僅かに増加する。
【００４２】
Ｚ軸方向制御部５３は、前記のような負荷の変化に基づいてき、２回目の急激な負荷の落ち込みの後のノズル２２の位置を貫通位置として特定する。Ｚ軸方向制御部５３は、この貫通位置から所定の距離だけノズル２２を降下させた後、ノズル２２の降下を停止させる。
【００４３】
この所定の距離は、ノズル２２の先端から薬液等を吸引したときに、弁状の破片１７ｄ（図５（Ｄ）参照）によってノズル２２の先端の開口２３が塞がれることを防ぐことができるような距離である。この弁状の破片１７ｄは、ノズル２２を封止用フィルムに貫通させたときに生じるものである。
【００４４】
具体的に、図５（Ｄ）に示す状態でノズル２２が停止すると、ノズル２２が薬液等を吸引したときに、弁状の破片１７ｄが薬液の流れと共にノズル２２の開口２３に吸い寄せられる。これにより、開口２３全体が弁状の破片１７ｄにより塞がれる。これに対し、図５（Ｅ）に示すように、ノズル２２が貫通位置からさらに差し込まれる（降下する）と、ノズル２２が薬液等を吸引するときに弁状の破片１７ｄが開口２３に吸い寄せられても、ノズル２２の先端によって弁状の破片１７ｄが途中で折り曲げられ、開口２３が完全に塞がれることが防がれる。本実施形態の所定の距離は、ノズル２２の先端の内周面と外周面との間の距離Ｄ３（図５（Ａ）参照）よりも大きな距離である。尚、弁状の破片１７ｄとは、開口周縁部にその一部が繋がった開口形状の破片である。この弁状の破片１７ｄは、封止用フィルム１７がノズル２２のエッジｅに沿って破断するときに一部を残して破断することによって形成される。
【００４５】
Ｚ軸方向制御部５３は、この停止したＺ軸方向の位置を初回停止位置として記憶部５５に格納する。そして、Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２からの薬液の吐出又は吸引が終わると、ノズル２２を退避位置まで上昇させる。
【００４６】
Ｚ軸方向制御部５３は、同じ流路開口（即ち、前記のノズル２２の降下により封止用フィルム１７に穴が空いた状態の流路開口）１６にノズル２２を差し込むためにノズル２２を退避位置から降下させるときは、記憶部５５に格納された初回停止位置よりも下方位置までノズル２２を降下させる（図６参照）。Ｚ軸方向制御部５３は、この位置を２回目の停止位置として記憶部５５に格納する。Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２からの薬液の吐出又は吸引が終わると、ノズル２２を退避位置まで上昇させる。Ｚ軸方向制御部５３は、さらに、同じ流路開口１６にノズル２２を差し込むためにノズル２２を退避位置から降下させるときは、記憶部５５に格納された２回目の停止位置よりも下方位置までノズル２２を降下させる（図６参照）。Ｚ軸方向制御部５３は、この位置を３回目の停止位置として記憶部５５に格納する。このように、Ｚ軸方向制御部５３は、同一の流路開口１６にノズル２２を複数回挿抜する場合、ノズル２２を流路開口１６から差し込む毎に当該ノズル２２の先端を流路開口１６からより深い位置まで差し込むように制御する。
【００４７】
また、Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２が空気穴を空けるためにＸ軸方向に沿って移動して一方の流路開口１６の上方位置に到達したときは、空気穴形成位置までノズル２２を降下させる。この空気穴形成位置は、ノズル２２が降下しているときに負荷検出手段２６が検出するノズル２２の負荷に基づいてＺ軸方向制御部５３によって決定される。この空気穴形成位置は、前記の初回停止位置よりも下方側の位置である。ノズル２２の先端側がテーパ形状であるため、前記の初回停止位置よりも深くノズル２２が流路開口１６に差し込まれると、より大きな穴が封止用フィルム１７に形成される。これにより、ノズル２２が引き抜かれた状態のときに、封止用フィルム１７に形成された穴が弁状の破片１７ｄによって塞がれることを防いて空気穴としての機能を確保することができる。
【００４８】
ポンプ制御部５４は、ノズル位置制御部５１によってノズル２２が所定の位置まで移動したときに、ポンプ２４を駆動することによってノズル２２から薬液を吐出させ又は吸引させる。
【００４９】
記憶部５５は、ノズル位置制御部５１（詳しくは、Ｚ軸方向制御部５３）から送られてくるノズル２２の停止位置の情報を格納する部位である。
【００５０】
以上のように構成される送液装置２０は、図７及び図８も参照しつつ以下に説明されるように、検査チップ１０において送液を行う。
【００５１】
検査チップ１０が送液装置２０に設置される。このとき、ノズル２２は、送液装置２０の起動時に検査チップ１０と干渉しない位置において待機している。送液装置２０は、起動時に保持確認手段（図示省略）により、保持部２８に検査チップ１０が保持されていることを確認する。この確認後、制御部５０のノズル位置制御部５１（詳しくは、Ｘ軸方向制御部５２）は、水平方向移動部４０のＸ軸モータ４５を駆動制御して、ノズル２２を検査チップ１０の一方の流路開口１６の上方位置に移動させる。
【００５２】
一方の流路開口１６の上方位置にノズル２２が到達すると、ノズル位置制御部５１のＺ軸方向制御部５３は、昇降部３０のＺ軸モータ３５を駆動制御して、ノズル２２を流路開口１６に向けて降下させる。この時点では、検査チップ１０の複数の流路開口１６全てが封止用フィルム１７により封止されている。即ち、検査チップ１０の流路１１は密閉状態である。
【００５３】
ノズル２２が降下してノズル２２の先端が封止用フィルム１７に当接すると、負荷検出部２６が負荷を検出し始める。Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２を降下させ続け、負荷検出部２６によって検出される負荷に基づいてノズル２２が封止用フィルム１７を貫通する位置（貫通位置）を特定する（図６参照）。そして、Ｚ軸方向制御部５３は、この貫通位置から所定の距離だけ降下した位置である空気穴形成位置を決定する。Ｚ軸方向制御部５３は、この空気穴形成位置までノズル２２を降下させる。そうすると、ノズル２２の先端側がテーパ形状であるため、封止用フィルム１７に空いた空気穴がノズル２２によって押し広げられる。ノズル２２が空気穴形成位置まで降下すると、封止用フィルム１７の開口周縁部が弾性変形量以上に押し広げられる。これにより、ノズル２２が引き抜かれても弁状の破片１７ｄ（図５（Ｄ）参照）によって塞がれることのない十分な大きさの空気穴が封止用フィルム１７に形成される。尚、空気穴形成位置は、ノズル２２のテーパの角度や封止用フィルム１７の延性及び弾性に基づいて決定される。即ち、空気穴形成位置は、ノズル２２が封止用フィルム１７から引き抜かれたときに弁状の破片１７ｄにより塞がれることのない大きさになるまでノズル２２によって穴が押し広げられるような位置である。
【００５４】
このように空気穴が形成されると、Ｚ軸方向制御部５３はノズル２２を上昇させ、封止用フィルム１７からノズル２２を引き抜く。
【００５５】
ノズル２２が退避位置まで上昇すると、Ｘ軸方向制御部５２は、ノズル２２を他方の流路開口（封止用フィルム１７に穴が空いていない流路開口）１６の上方位置に移動させる。ノズル２２が他方の流路開口１６の上方位置に到達すると、Ｚ軸方向制御部５３は、昇降部３０のＺ軸モータ３５を駆動制御して、ノズル２２を流路開口１６に向けて降下させる（ステップＳ１）。ノズル２２の先端が封止用フィルム１７に当接すると、負荷検出部２６がノズル２２に加わる負荷の変化を検出し始める（ステップＳ２）。Ｚ軸方向制御部５３は、２回目の急激な負荷変動（急激な負荷の落ち込み）が生じるまで、ノズル２２を降下させ続ける（ステップＳ３）。Ｚ軸方向制御部５３は、２回目の急激な負荷変動の後のノズル２２の位置をノズル２２が封止用フィルム１７を貫通した位置（貫通位置）と特定する。Ｚ軸方向制御部５３は、貫通位置を特定すると、この貫通位置からノズル２２の降下距離の測定を開始する（ステップＳ４）。Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２を貫通位置から所定の距離（本実施形態では、ノズル２２の先端の内周面と外周面との間の距離Ｄ３（図５（Ａ）参照））だけ降下させた後（ステップＳ５）、Ｚ軸モータ３５を停止させる（ステップＳ６）。Ｚ軸方向制御部５３は、Ｚ軸モータ３５を停止させた位置を初回停止位置として記憶部５５に格納する（ステップＳ７）。
【００５６】
このように、ノズル２２が貫通位置よりも下方の初回停止位置まで封止用フィルム１７に差し込まれることにより、ノズル２２を貫通させたときに生じた弁状の破片１７ｄがノズル２２の先端の開口２３を塞ぐことを防ぐことができる。また、このようにノズル２２が押し込まれることにより、封止用フィルム１７の開口周縁部がノズル２２の外周面２２ａにより押し広げられる。その結果、ノズル２２と封止用フィルム１７との境目におけるノズル２２の外周面２２ａと封止用フィルム１７の開口周縁部とが好適に密着する。これは、封止用フィルム１７が高延性且つ低弾性であるためである。
【００５７】
ノズル２２の先端の外径Ｄ１が検査チップ１０の連通部１４の長さＬよりも小さいことから、ノズル２２を貫通させたときに生じる弁状の破片１７ｄが、ノズル２２の差し込み方向（即ち、封止用フィルムの拡がる方向と直交する方向）まで十分に開くことができる（図４（Ｃ）に示す状態）。このため、弁状の破片１７ｄが、ノズル２２の開口２３からの薬液等の吐出又は吸引の邪魔にならない。即ち、ノズル２２の先端の外径Ｄ１が連通部１４の長さＬよりも大きい場合、弁状の破片１７ｄがノズル２２の差し込み方向まで開く前に連通部１４の底にぶつかって開口２３の前方に位置することになる。この場合、弁状の破片１７ｄが邪魔をして、開口２３からの薬液等の吐出及び吸引の効率が低下する場合がある。
【００５８】
次に、制御部５０のポンプ制御部５４は、ノズル２２内に仕込んでおいた薬液を流路１１内に吐出させる。薬液は、流路１１を流れて反応物質１５と接触し、反応を開始する。反応を促進させるために、ポンプ制御部５４は、ポンプ２４によりノズル２２を通じて流路１１内の薬液の吸引と吐出とを繰り返す。このとき、ノズル２２と封止用フィルム１７との境目では、ノズル２２の外周面２２ａと封止用フィルム１７の開口周縁部とが密着しているため、密閉性が確保されている。このため、ノズル２２からの薬液の吐出及び吸引が繰り返されることによって流路１１内に圧力変化が生じても、液漏れが生じない。また、流路１１のノズル２２が挿入されている流路開口１６と反対側の流路開口１６には、前記の空気穴が形成されている。このため、ノズル２２からの薬液の吐出及び吸引の際のポンプ２４への負荷が抑えられる。
【００５９】
このようにして送液装置２０による検査チップ１０における薬液（液体）の送液が行われる。
【００６０】
ポンプ制御部５４は、所定の時間が経過すると、ポンプ２４を制御して流路１１内の薬液を全て吸引する。前記所定の時間は、反応物質１５と薬液との反応が終了すると予想される時間である。
【００６１】
薬液を吸引し終わると、Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２を上昇させて、封止用フィルム１７からノズル２２を引き抜く。ノズル２２が封止用フィルム１７から引き抜かれると、Ｘ軸方向制御部５２は、ノズル２２を廃液容器の開口の上方位置まで移動させる。Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２が廃液容器の開口の上方位置に到達すると、ノズル２２を降下させてその先端側を廃液容器内に差し込ませる。ポンプ制御部５４は、ノズル２２が廃液容器に差し込まれると、ポンプ２４を制御し、ノズル２２内の薬液を廃液容器内に吐出させる。この廃液容器内に吐出された薬液は、前記の反応物質と反応した後の薬液である。
【００６２】
薬液の廃棄が終わると、Ｚ軸方向制御部５３がノズル２２を退避位置まで上昇させる。その後、Ｘ軸方向制御部５２がノズル２２を所定の薬液容器の開口の上方位置に移動させる。そして、Ｚ軸方向制御部５３が、薬液容器内に貯留されている薬液内にノズル２２の先端部が漬かるまでノズル２２を降下させる。ノズル２２が降下すると、ポンプ制御部５４が、ポンプ２４によってノズル２２内に薬液容器内の薬液を吸引する。薬液が吸引されると、Ｚ軸方向制御部５３がノズル２２を退避位置まで上昇させる。その後、Ｘ軸方向制御部５２が、ノズル２２を、再び、他方の流路開口１６の上方位置まで移動させる。
【００６３】
このとき、封止用フィルム１７には穴が既に空いているので、Ｚ軸方向制御部５３は、前記のようにノズル２２に加わる負荷に基づいて停止位置を求めるのではなく、記憶部５５に格納されている前回の停止位置に基づいて今回の停止位置を求める。具体的には、Ｚ軸方向制御部５３は、昇降部３０のＺ軸モータ３５を駆動制御してノズル２２を流路開口１６に向けて降下させる（ステップＳ１１）。Ｚ軸方向制御部５３は、ノズル２２の降下距離の測定を開始する（ステップＳ１２）。Ｚ軸方向制御部５３は、初回停止位置から所定の距離だけ降下した位置までノズル２２を降下させた後（ステップＳ１３）、Ｚ軸モータ３５を停止させる（ステップＳ１４）。Ｚ軸方向制御部５３は、このＺ軸モータ３５を停止させた位置を２回目の停止位置として記憶部５５に格納する（ステップＳ１５）。
【００６４】
このように、Ｚ軸方向制御部５３がノズル２２を前回よりも深く差し込むことにより、ノズル２２と封止用フィルム１７との境目の密閉性が確実に確保される。具体的に、水平方向移動部４０は、どのような構成であっても停止位置精度を有している。このため、水平方向移動部４０は、一旦、ノズル２２を水平方向（Ｘ軸方向）に動かすと、同じ流路開口１６の上方位置にノズル２２を移動させても、ノズル２２の位置が停止位置精度分だけずれることがある。このずれた状態でノズル２２が降下し、封止用フィルム１７に形成されている穴にノズル２２が差し込まれても、この穴に対するノズル２２のＸ軸方向の位置が僅かにずれている。このため、前回と同じ深さまでしかノズル２２が穴に差し込まれない場合には、ノズル２２と封止用フィルム１７との境目に隙間が生じて密閉性が確保されない。  そこで、Ｚ軸方向制御部５３がノズル２２を封止用フィルム１７の穴に前回よりも深く差し込む。これにより、ノズル２２の傾斜角によって稼げるノズル外径の太り分が前記のズレ量（停止位置精度程度のズレ）を超えるため、ノズル２２と封止用フィルム１７との境目においてノズル２２の外周面２２ａと封止用フィルム１７の開口周縁部とが密着する。その結果、ノズル２２と封止用フィルム１７との境目において密閉性が確保される。尚、ノズル２２の前回の停止位置からの降下量は、ノズル２２のテーパ形状部の傾斜角によって規定される。
【００６５】
２回目の停止位置においてノズル２２が停止すると、ポンプ制御部５４がノズル２２を通じて流路１１内への薬液の吐出及び吸引を行い（送液を行い）、反応物質の反応停止を行う。ポンプ制御部５４は、反応物質１５と薬液との反応停止が終了すると、流路１１内の薬液を全て吸引する。そして、Ｚ軸方向制御部５３がノズル２２を上昇させて封止用フィルム１７から引き抜く。次に、Ｘ軸方向制御部５２が廃液容器の開口の上方位置までノズル２２を移動させる。ノズル２２が廃液容器の開口の上方位置に到達すると、Ｚ軸方向制御部５３がノズル２２を降下させてその先端側を廃液容器内に差し込ませる。次に、ポンプ制御部５４がノズル２２内の薬液を廃液容器内に吐出させて廃棄する。
【００６６】
薬液の廃棄が終わると、Ｚ軸方向制御部５３がノズル２２を退避位置まで上昇させる。次に、Ｘ軸方向制御部５２が前回とは別の薬液容器の開口の上方位置にノズル２２を移動させる。Ｚ軸方向制御部５３がノズル２２の先端部が薬液容器内に貯留されている薬液（今回は洗浄液）内に漬かるまでノズル２２を降下させる。次に、ポンプ制御部５４が薬液容器内の薬液（洗浄液）をノズル２２内に吸引する。
【００６７】
薬液（洗浄液）が吸引されると、Ｚ軸方向制御部５３が退避位置までノズル２２を上昇させる。その後、Ｘ軸方向制御部５２が、再び、他方の流路開口１６の上方位置までノズル２２を移動させる。
【００６８】
この薬液のノズル２２内への吸引、ノズル２２の流路開口１６の上方位置までの移動、封止用フィルム１７の穴に前回よりも深くまで差し込まれるノズル２２の降下、薬液の流路１１への吐出及び吸引（薬液（液体）の検査チップ１０での送液）、及び薬液の廃棄、のサイクルが所定の回数繰り返される。
【００６９】
以上のような送液装置２０によれば、検査チップ１０が保持部２８に保持された状態のときに検査チップ１０の流路開口１６へのノズル２２の挿抜が複数回行われても、ノズル２２が差し込まれる毎にその先端がより深い位置まで差し込まれることにより、ノズル２２が差し込まれる毎にノズル２２によって封止用フィルム１７に形成された穴が押し広げられる。これにより、ノズル２２と封止用フィルム１７との境目における密閉性が確保される。即ち、外径が先端に向って縮径するような形状をノズル２２が有しているため、ノズル２２が差し込まれる毎にその先端がより深い位置まで差し込まれることによって封止用フィルム１７の開口周縁部がノズル２２により押し広げられる。これにより、ノズル２２が封止用フィルム１７に差し込まれる毎に封止用フィルム１７の開口周縁部がノズル２２の外周面２２ａに密着する。
【００７０】
また、負荷検部２６がノズル２２に加わる当該ノズル２２の移動方向の負荷を検出することによって、封止用フィルム１７を貫通したときのノズル２２の位置を検知することが可能となる。その結果、確実にノズル２２の先端が流路１１内に差し込まれる。
【００７１】
尚、本発明の送液装置、及び検査チップは、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００７２】
例えば、上記実施形態の送液装置２０では、水平方向移動部４０は、ノズル２２をＸ軸方向にしか移動できないが、ノズル２２をＹ軸方向にも移動できるように構成されてもよい。ここで、Ｙ軸方向は、Ｘ軸方向とＺ軸方向とに直交する方向であり、図２において紙面と直交する方向である。
【００７３】
このようにノズル２２がＸ−Ｙ方向に移動可能に構成されれば、検査チップ１０の流路開口１６の位置や数、薬液容器及び廃液容器の配置の自由度が向上する。
【００７４】
また、流路開口１６へのノズル２２の挿抜方向は、限定されない。上記実施形態の送液装置２０では、流路開口１６が設けられた面が上を向くように検査チップ１０が設置される。そして、ノズル２２の先端が下を向いた状態でノズル２２が上下に移動し、流路開口１６へのノズル２２の挿抜が行われる。しかし、これに限定されず、例えば、流路開口１６が設けられた面が垂直となる（例えば、図２において右向を向く）ように検査チップ１０が設置される。そして、ノズル２２の先端が水平且つ流路開口１６側を向いた状態（例えば、図２において先端を左に向けた状態）で、ノズル２２が水平方向（例えば、図２において左右）に往復動してもよい。
【００７５】
また、上記実施形態の送液装置２０では、ポンプ２４が昇降部３０の移動台３４に保持され、ノズル２２と共に移動する。しかし、これに限定されず、例えば、図９に示すように、ポンプ３２４が昇降部３０や水平方向移動部４０と離れた位置に配置されてもよい。この場合、ポンプ３２４とノズル２２とがフレキシブル３２５な配管により接続され、ノズル２２が移動台３４に保持されたホルダー３２６によって保持される。
【００７６】
また、上記実施形態では、制御部５０に記憶部５５が含まれているが、制御部５０と別に記憶部６０が設けられてもよい（図９参照）。また、送液装置２０が組み込まれた装置の記憶部等が利用されてもよい。
【００７７】
上記実施形態の検査チップ１０では、封止用フィルム１７は多層フィルムであるが、これに限定されない。例えば、封止用フィルムは、単層の高延性フィルムでもよい。封止用フィルムが高延性を有することにより、封止用フィルムにノズル２２を貫通させたときに、ノズル２２と封止用フィルムとの境目において密閉性が確保される。この場合、ノズル２２が封止用フィルムを貫通するときに負荷検出部２６が検出する負荷の変動は、図１０に示すようになる。制御部５０（上記実施形態ではＺ軸方向制御部５３）は、１回目の急激な負荷の落ち込み後のノズル２２の位置を貫通位置と特定する。
【００７８】
また、封止用フィルムの構成によって、負荷検出部２６によって検知される負荷の変動曲線が図１１ようになる場合がある。この場合、変位（差し込み深さ）の増大に伴う負荷の変化の変曲点位置（図１１における第２の層破断位置）において最も延び率の小さな第２の層（例えば、アルミ層）が破断する。そして、変曲点位置の後のピーク位置（高延性膜破断位置）においてノズル２２が樹脂層を貫通し負荷が急激に減少する。制御部５０はこのピーク位置を貫通位置として特定する。
【００７９】
［実施の形態の概要］
以上の実施形態をまとめると、以下の通りである。
【００８０】
本実施形態に係る送液装置は、流路を有し、この流路の内部と外部とを連通する流路開口を封止用フィルムによって封止した検査チップに対し送液を行う送液装置であって、先端に開口を有し、この開口から前記流路に液体を吐出可能又は吸引可能なノズルと、前記検査チップを着脱できるように保持可能な保持部と、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で、前記ノズルの先端が前記流路開口を向いた姿勢で当該ノズルを前記検査チップに接近又は離間させる往復移動部と、前記往復移動部を制御する制御部と、を備える。そして、前記ノズルは、その外径が前記先端に向って縮径するような形状を先端側に有し、前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記ノズルを前記流路開口から流路内へ差し込む毎に当該ノズルの先端を前記流路開口から前回より深い位置まで差し込む。
【００８１】
かかる構成によれば、検査チップが保持部に保持された状態のときに検査チップの流路開口へのノズルの挿抜が複数回行われても、ノズルが差し込まれる毎にその先端がより深い位置まで差し込まれることにより、ノズル２２が差し込まれる毎にノズル２２によって封止用フィルム１７に形成された穴が押し広げられる。これにより、ノズル２２が封止用フィルム１７に形成された穴に差し込まれる毎に、封止用フィルムの開口周縁部がノズルの外周面に密着した状態となる。
【００８２】
上記の送液装置は、前記ノズルに加わる当該ノズルの移動方向の負荷を検出する負荷検出部をさらに備える。そして、前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記ノズルを前記流路開口から流路内に差し込むときに、前記負荷検出部により検出される負荷に基づいて所定の位置まで前記ノズルを差し込み、その後、前記ノズルを前記流路開口から流路内に差し込む毎に当該ノズルの先端を前記流路開口から前回より深い位置まで差し込むことが好ましい。
【００８３】
このようにノズルに加わる当該ノズルの移動方向の負荷が検出されることによって封止用フィルムを貫通したときのノズルの位置が検知可能となる。その結果、ノズルが封止用フィルムを貫通してノズルの先端が流路内に確実に差し込まれる。
【００８４】
前記制御部は、前記ノズルを貫通させることにより開口した前記封止用フィルムの開口周縁部から当該ノズルの先端までの距離が所定の距離より大きくなるように当該ノズルを前記流路開口から差し込み、前記所定の距離は、前記ノズルの先端の内周面と外周面との間の距離であることか好ましい。
【００８５】
かかる構成によれば、ノズルが封止用フィルムを貫通したときに生じる開口形状の破片（弁状の破片）が、ノズル先端の開口を塞ぐのを防ぐことができる。具体的に、ノズルが封止用フィルムを貫通して生じた弁状の破片は、ノズルが流路内から液体を吸引したときに液体の流れによってノズル先端の開口に引き寄せられる。しかし、ノズルの先端が封止用フィルムの開口周縁部から前記ノズルの先端の内周面と外周面との間の距離よりも大きく差し込まれることによって、弁状の破片がノズルの開口全体を塞ぐことができなくなる。
【００８６】
上記の送液装置は、前記ノズルを前記検査チップに接近又は離間させる方向と直交する方向に移動させる直交方向移動部をさらに備える。そして、前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記直交方向移動部により前記ノズルを前記流路開口と対応する位置に移動させ、前記往復移動部により前記流路開口と対応する位置のノズルを前記検査チップに接近又は離間させることが好ましい。
【００８７】
かかる構成によれば、検査チップの表面（前記直交する方向に沿った面）に複数の流路開口が設けられていても、各流路開口へのノズルの挿抜が可能になる。
【００８８】
前記ノズルの先端の外径は、前記検査チップの流路における流路開口からの当該ノズルの差し込み方向の深さよりも小さいことが好ましい。
【００８９】
かかる構成によれば、ノズルを貫通させたときに生じ且つ当該フィルムの開口周縁部にその一部が繋がった開口形状の破片（弁状の破片）が、ノズルの差し込み方向まで前記繋がっている部位を支点にして十分に開くことができる。これにより、弁状の破片がノズルの開口からの液体の吐出又は吸引の邪魔にならない。
【００９０】
本実施形態に係る検査チップは、外径が先端に向って縮径するような形状を有するノズルにより液体が注入され又は吸引される検査チップであって、流路を有し、当該流路の内部と外部とを連通する流路開口がその表面に設けられる検査チップ本体と、前記流路開口を封止する封止用フィルムと、を備える。そして、前記封止用フィルムは、前記ノズルをその先端から所定の位置まで貫通させたときに、当該封止用フィルムにおける前記ノズルを囲む部位が当該ノズルの外周面と密着可能な高延性及び低弾性を有する。
【００９１】
このような封止用フィルムが用いられれば、封止用フィルムへのノズルの挿抜を繰り返しても、ノズルが差し込まれる毎により深くまで差し込まれることにより、ノズルが封止用フィルムに差し込まれた状態における当該ノズルと封止用フィルムとの境目の密閉性が確保される。即ち、外径が先端に向って縮径するような形状のノズルが封止用フィルムに突き刺される場合、ノズルが差し込まれる毎にその先端がより深い位置まで差し込まれることによって封止用フィルムの開口周縁部がノズルにより押し広げられる。これにより、ノズルの挿抜が繰り返されても封止用フィルムの開口周縁部がノズルの外周面に密着した状態となる。
【００９２】
具体的に、前記封止用フィルムの前記延性が１００％以上で且つ前記弾性率が０．０２ＧＰＡ〜１．５ＧＰＡであれば、ノズルを封止用フィルムに貫通させた状態において当該ノズルと封止用フィルムとの境目の密閉性が十分に確保される。
【００９３】
尚、前記封止用フィルムは、前記高延性を有する第１の層と、遮光性を有し且つ前記第１の層よりも延性の低い第２の層とを含む多層膜であること、が好ましい。このようなフィルムであれば、ノズルが突き刺さされたときの当該ノズルと封止用フィルムとの境目の密閉性が確保されつつ、遮光性が備わった封止用フィルムとすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
以上のように、本発明に係る送液装置及びこの装置に用いられる検査チップは、検査チップの流路に流される液体に含まれる検体等の検査・分析等を行うのに有用であり、検査チップの流路にノズルの挿抜が複数回の行われる場合でも、ノズルと封止用フィルムとの境目の密閉性を確保するのに適している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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