(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視光の自発光を発する温度を有する長尺体である被測定物の長さを非接触に測定する方法において、
前記被測定物の全体を、その軸方向と概直交する方向から撮像し、得られた画像に基づいて、その長さを非接触に測定する際に、
前記全体の撮像に先立って被測定物の少なくとも一部をカメラで撮像し、その代表輝度Ｉが撮像素子のとり得る最大値Ｍ以下で予め設定した許容値Ｔ以上である輝度適正範囲内となるように、撮像のカメラゲイン、露光時間、受光レンズの絞りの少なくとも一つの撮像条件を変更した後に、同じカメラで被測定物の全体を撮像する、長尺体の長さ測定方法であって、
前記被測定物の代表輝度Ｉとして、画像中の画素値毎の画素数のヒストグラムのピークを２番目まで算出し、算出した頻度のピークのうち、画素値が大きい方を代表輝度Ｉとすると共に、
前記画像の代表輝度Ｉが撮像素子のとり得る最大値Ｍを超えている場合は０．５以上且つ１より小さい一定値だけ撮像感度を低下させ、前記代表輝度Ｉが予め設定した許容値Ｔより小さい場合は、（Ｍ＋Ｔ）／２とＩの比だけ撮像感度を乗じて再撮像し、Ｉが輝度適正範囲に入るまでこの修正手順を繰り返すことを特徴とする、長尺体の長さ測定方法。
【請求項２】
可視光の自発光を発する温度を有する長尺体である被測定物の長さを非接触に測定する装置において、
被測定物の全体を、その軸方向と概直交する方向から撮像するカメラと、
前記全体の撮像に先立って被測定物の少なくとも一部を前記カメラで撮像し、その代表輝度Ｉが撮像素子のとり得る最大値Ｍ以下で予め設定した許容値Ｔ以上である輝度適正範囲内となるように、撮像のカメラゲイン、露光時間、受光レンズの絞りの少なくとも一つの撮像条件を変更した後に、同じカメラで被測定物の全体を撮像するように制御する手段と、
前記被測定物の代表輝度Ｉとして、画像中の画素値毎の画素数のヒストグラムのピークを２番目まで算出し、算出した頻度のピークのうち、画素値が大きい方を代表輝度Ｉとする手段と、
前記画像の代表輝度Ｉが撮像素子のとり得る最大値Ｍを超えている場合は０．５以上且つ１より小さい一定値だけ撮像感度を低下させ、前記代表輝度Ｉが予め設定した許容値Ｔより小さい場合は、（Ｍ＋Ｔ）／２とＩの比だけ撮像感度を乗じて再撮像し、Ｉが輝度適正範囲に入るまでこの修正手順を繰り返す手段と、
得られた被測定物全体の画像に基づいて、その長さを非接触に測定する手段と、
を備えたことを特徴とする、長尺体の長さ測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鋼管や棒鋼等の高温状態での長尺体の長さ測定方法及び装置に係り、特にシームレス鋼管に用いるに好適な、温度計を設けて被測定物の温度を別途測定しなくても、測定毎に適切な感度で自発光画像を採取し、それに基づいて精度よく先端及び尾端位置を検出することができ、結果として被測定物の長さを精度良く測定することが可能な長尺体の長さ測定方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
円筒状や棒状の長尺物である鋼管や棒鋼等の長さは、製品の最終段階における規格保証の面から重要なだけでなくその製造中の各段階においても、次工程の製造条件を決定する上で重要なパラメータである。
【０００３】
この観点から、従来より種々の測定装置や方法が提案されているが、それらは次の二つに大別される。
【０００４】
一つは、広く搬送材料の通過検知に用いられる光電センサー等を被測定物を搬送するライン上に沿って多数配置し、その検知タイミングと搬送ロールやプッシャーのストローク、あるいはメジャーリングロール等から知られる被測定物の移動距離とから被測定物の長さを検出するものである。
【０００５】
このような構成において、例えばセンサーは搬送ライン上のセンサー位置に被測定物が在る時にＯＮ信号を発するものとすると、まず被測定物を搬送ライン上で移動させ、被測定物の先端の位置基準となるセンサーの信号がＯＮとなった時点において被測定物に沿って何個のセンサーがＯＮとなっているかを検知することでセンサーの配置間隔単位での長さを知ることはできるし、より高精度な検出をするには、例えば先端の基準位置のセンサーがＯＮとなる前後で信号が切り替わった尾端側センサーの切り替わりタイミングにおける被測定物の移動距離から補間することにより被測定物の長さを検出することができる。
【０００６】
また、別の方法としては、特許文献１のように、被測定物の両端部を一次元イメージセンサーを有するカメラで撮像し、各端部における画像に基づいて被測定物の長さを検出する方法がある。
【０００７】
これらの方法において、まず多数の通過センサーを配置する第１の方法は、被測定物の長さが大幅に変化する場合、測定分解能を小さくしたい場合にセンサーの個数が増大してコスト高になり、また通過時間から補間する場合もメジャーリングロール等の測長装置が別途必要になり、また搬送速度が一定でない場合に補間演算に誤差が生じる、などの問題点がある。
【０００８】
これらの問題を解消する別な方法として、被測定物の一端を複数の端部検出装置で検出し、反対端の端部形状をカメラで撮像して画像解析により詳細に端部の位置を求めて長さの測定精度を向上させる方法が提案されている（例えば、特許文献２)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平４−１８４２０５号公報
【特許文献２】特開平１０−８２６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、これらの方法によっても、片端の位置検知のために多数の先端通過センサーを設ける必要があるため、設置コストがかかるという問題点があった。
【００１１】
更に、これらの先端通過センサーとして用いられる光電スイッチや反射型近接スイッチは、鋼管や棒鋼の中間製造過程のような高温の物体に対しては自発光が外乱となって使用できず、また高温の板材の通過検知に通例用いられるＨＭＤ（Hot Metal Detector）を使用した際も、鋼管の場合には端部から火炎や高温のガス噴出がある際に測定誤差が発生する、などの問題点があった。
【００１２】
また、後者の特許文献２に記載の方法は、測定精度の向上は期待できるが、二台以上のカメラが必要でありコスト的には不利である。
【００１３】
そこで、長尺の被測定物の全体を一台のカメラで撮像し、その画像を処理して得られる画像中の先尾端位置と撮像距離および光学系から定まる撮像倍率に基づいて被測定物の長さを検知する方法が考えられる。すなわち、カメラ等の撮像手段で被測定物の全体を一つの画像として採取し、適切な画像処理によりその画像中での先端および尾端部を検出し、撮像光学系およびその配置によって定まる光学倍率を乗じて被測定物の長さを算出することができる。
【００１４】
これらの方法では被測定物の自発光画像を常に適切な撮像条件により採取することが必要となるが、鋼管やビレットなど高温の中間製品は、製造品種ごとに中間工程位置での製造法上の最適温度がさまざまであり、例えば中間圧延の位置での温度が８００℃〜１２５０℃の範囲でさまざまに設定されており、また実際の温度は搬送タイミングの差などで同一品種でも３０〜５０℃程度ばらつく場合がある。すると、この温度ばらつきによって自発光の強度が１０倍〜１００倍程度変化することになるが、自発光画像の撮像感度が温度に比べて低すぎると、被測定物の自発光画像と周囲の反射光や背景光とを適切に識別することが困難になり、逆に撮像感度が高すぎると、自発光画像がハレーションを起こし、先端および尾端の火炎等を誤検出したり、カメラの種類によってはブルーミング、スミアなどで知られるように、過大入力となった画素の電荷が他の位置の画素に影響を与え、自発光画像にノイズが発生して先尾端が適切に検出できない、という可能性がある。
【００１５】
なお、被測定物の温度を測定に適した温度に制御することも考えられるが、現実的ではない。
【００１６】
こういった課題に対し当業者が通例実施する対策としては、被測定物と同等の材質のサンプルを測定条件となる温度範囲内のそれぞれの温度に加熱し、実際に撮像に用いる撮像手段で撮像して画像の画素値が適切な範囲に収まるようにカメラゲイン、受光レンズ絞り、露光時間などの感度パラメータ調整を行い、その結果を温度毎のテーブルとして記録し、実際の被測定物の温度毎に、そのテーブル値を検索して感度調整を行って撮像する方法がある。この場合、レンズ絞りを変化させるにはレンズの羽絞りを機械的に駆動させる仕組みが別途必要となり煩雑なので、通常はカメラゲインか露光時間のいずれか一方を、カメラの通信機能を用いてコンピュータから指令を伝送したり、電圧信号やパルス幅といったアナログ的手段で変更するのが一般的である。ところがこの方法だと、温度計を別途製造ラインに設けなくてはならないために、設置コスト、保守コストがかかるばかりか、様々な鋼種、対象物の温度毎にテーブルを作成する必要があり、また温度の条件数も多数に及ぶため準備工数が膨大になるばかりか、実際の製造プロセスでと実験室でのサンプル加熱過程に差があると表面のスケール（酸化膜）の付着度合いが異なって放射率に差があり、結果として露光時間テーブル値の補正を温度毎に行わねばならないといった問題点があった。
【００１７】
本発明は、前記のような問題点を解決し、一台の撮像手段で低コストな自発光を発する温度を有する長尺の被測定物の長さを測定するにあたって、温度計を設けて被測定物の温度を別途測定しなくても、測定毎に適切な感度で自発光画像を採取し、それに基づいて精度よく先端および尾端位置を検出することで被測定物の長さを精度よく測定できるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、可視光の自発光を発する温度を有する長尺体である被測定物の長さを非接触に測定する方法において、前記被測定物の全体を、その軸方向と概直交する方向から撮像し、得られた画像に基づいて、その長さを非接触に測定する際に、前記全体の撮像に先立って被測定物の少なくとも一部をカメラで撮像し、その代表輝度Ｉが撮像素子のとり得る最大値Ｍ以下で予め設定した許容値Ｔ以上である輝度適正範囲内となるように、撮像のカメラゲイン、露光時間、受光レンズの絞りの少なくとも一つの撮像条件を変更した後に、同じカメラで被測定物の全体を撮像する、長尺体の長さ測定方法であって、前記被測定物の代表輝度Ｉとして、画像中の画素値毎の画素数のヒストグラムのピークを２番目まで算出し、算出した頻度のピークのうち、画素値が大きい方を代表輝度Ｉとすると共に、前記画像の代表輝度Ｉが撮像素子のとり得る最大値Ｍを超えている場合は０．５以上且つ１より小さい一定値だけ撮像感度を低下させ、前記代表輝度Ｉが予め設定した許容値Ｔより小さい場合は、（Ｍ＋Ｔ）／２とＩの比だけ撮像感度を乗じて再撮像し、Ｉが輝度適正範囲に入るまでこの修正手順を繰り返すことにより、前記課題を解決したものである。
【００２１】
本発明は、又、可視光の自発光を発する温度を有する長尺体である被測定物の長さを非接触に測定する装置において、被測定物の全体を、その軸方向と概直交する方向から撮像するカメラと、前記全体の撮像に先立って被測定物の少なくとも一部を前記カメラで撮像し、その代表輝度Ｉが撮像素子のとり得る最大値Ｍ以下で予め設定した許容値Ｔ以上である輝度適正範囲内となるように、撮像のカメラゲイン、露光時間、受光レンズの絞りの少なくとも一つの撮像条件を変更した後に、同じカメラで被測定物の全体を撮像するように制御する手段と、前記被測定物の代表輝度Ｉとして、画像中の画素値毎の画素数のヒストグラムのピークを２番目まで算出し、算出した頻度のピークのうち、画素値が大きい方を代表輝度Ｉとする手段と、前記画像の代表輝度Ｉが撮像素子のとり得る最大値Ｍを超えている場合は０．５以上且つ１より小さい一定値だけ撮像感度を低下させ、前記代表輝度Ｉが予め設定した許容値Ｔより小さい場合は、（Ｍ＋Ｔ）／２とＩの比だけ撮像感度を乗じて再撮像し、Ｉが輝度適正範囲に入るまでこの修正手順を繰り返す手段と、得られた被測定物全体の画像に基づいて、その長さを非接触に測定する手段と、を備えたことを特徴とする、長尺体の長さ測定装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明にかかる自発光を発する温度を有する長尺体の長さ測定技術により、一台の撮像手段による低コストな装置構成によって、温度計を設けて被測定物の温度を別途測定しなくても、測定毎に適切な感度で自発光画像を採取し、それに基づいて精度よく先端及び尾端位置を検出することができ、結果として被測定物の長さを精度良く測定することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の原理を説明するための、自発光を発する温度を有する長尺体を撮像した画像の一例を示す図
【図２】同じく、図１より温度が２００℃高い長尺体を撮像した画像の一例を示す図
【図３】同じく、図１より温度が１００℃低い長尺体を撮像した画像の一例を示す図
【図４】同じく、搬送により被測定物の一部が視野内に入り、次いで視野内に入る部分の割合が増して最終的に被測定物の全体が視野内に入る様子を撮像した例を示す図
【図５】同じく、被測定物の自発光画像の画素値のヒストグラムの正常な例を示す図
【図６】同じくハレーションが発生している例を示す図
【図７】黒体炉内の画像の画素値と露光時間の関係の例を示す図
【図８】本発明による撮像感度の調整方法の実施形態を示すフロー図
【図９】本発明の実施例を示す構成図
【図１０】前記実施例の装置による測定結果を、作業者の読み取り確認と比較した精度検証結果を示す図
【図１１】撮像感度調整機能を無効として測定を行い、作業者の読み取り確認と比較した、精度比較実験結果を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図を参照しながら、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、以降では被測定物である自発光を発する温度を有する長尺体を単に被測定物と表記することとする。
【００２７】
図１は、本発明の測定対象となる自発光を発する温度を有する長尺体を、その全長が視野に入るようにして撮像した画像の一例である。
【００２８】
図２は、図１と同一撮像条件により、図１より温度が２００℃高い被測定物を撮像した画像の一例であるが、図２のように被測定物の自発光強度に対してカメラゲインが高い、露光時間が長い、受光レンズの絞り数値が小さいなどにより撮像感度が高いと、画像のハレーションが著しくなり、先尾端のエッジ部の周辺の反射光が顕著になって、先尾端部の誤検出につながるおそれがある。
【００２９】
図３は、図１と同一撮像条件により、図１より温度が１００℃低い被測定物を撮像した画像であるが、逆に撮像感度が低いことで、被測定物の画像のエッジが不明瞭となることで、先尾端部の測定誤差が生じるおそれがある。
【００３０】
ところで、自発光を発する温度を有する、所謂熱間の中間製品は、加熱炉で高温に昇温された後に穿孔や圧延、せん断など所定の加工を行い、次の工程に送られるが、通例は、加熱炉から加工機へ、また加工機から次の工程へは搬送ローラ上を平行移動し、それは被測定物の長手方向であることがほとんどである。つまり、図１乃至図３のような被測定物の全体がカメラ視野に入る前に、その一部のみがまず視野に入る状態が存在する。本発明の要旨は、本来は撮像画像としては不適切な、この被測定物の一部のみが視野内にある状態の被測定物の自発光画像（例えば図４の（ａ）あるいは（ｂ）の状態。以下、「一部画像」と略称する）を最大限に活用しようというものである。すなわち、一部画像では被測定物の形状や長さの測定は不可能であるが、自発光の輝度は全長ほぼ同一であることを利用し、一部画像が得られた時点で撮像する画像の画素値を適切な範囲に設定する。具体的には、自発光画像の画素値が大きくハレーションしていれば撮像の感度を下げ、画素値が小さければ撮像の感度を上げるという操作を繰り返し、画素値が適切な範囲になるよう調整すればよい。
【００３１】
この適切な範囲としては、上限は画素値の上限Ｍ（８ビット画像値であれば２５５）未満、下限Ｔは例えばそれの８０％（８ビット画像値であれば２０４）とすればよく、また一部画像の輝度の代表値Ｉとしては、画像中の画素値毎の頻度（ヒストグラム）で頻度がピークとなる画素値を２番目まで算出し、そのうち画素値が大きい方（明るい方）の最頻値とするとよい。なぜなら、例えば図１のような自発光画像の画素値のヒストグラムは、図５のように背景部（ほぼ画素値が０かバックグラウンドノイズと等しい）と明るい部分（自発光部）の２つのピークをもち、明るい部分の画素値の分布は一定値ではなく、ある最頻度の周りに分布を持つが、図２のようにハレーションしている場合は、図６に例示するようにＭ（画素値の最大値）に張り付いた状態になるからである。
【００３２】
そして、ＩがＭと等しい、すなわちハレーション状態であれば撮像感度を下げ、Ｉが適正範囲の下限Ｔを下回っていれば撮像感度を上げる調整を行えば良いが、これの具体的方法として、
１．Ｉ＞＝Ｍの場合、実際には画像中の被測定物の部分はほとんどハレーションしていて輝度がどの程度超えているか不明であるので、撮像感度をｒ倍（但し、ｒは例えば０．５以上１以下の係数とする）する。
２．Ｉが範囲下限Ｔより小の場合は、感度不足の分だけ感度を大きくする。例えば、好適な修正画素値として（Ｍ＋Ｔ）／２（適正範囲の中間値）として、現在の輝度との比（Ｍ＋Ｔ）／（２Ｉ）だけ撮像感度を増加させるとよい。
【００３３】
ところで、設定する撮像感度と撮像した画素値が線形関係にないと、上記のような補正手順は成立しないが、通例工業的に使用されるカメラの場合、ゲインは画素値と比例するように調整されており、また露光時間に関しても露光時間は画素値とほぼ比例する。この一例として、図７は黒体炉を１２００℃に保ったまま、ＣＣＤカメラの露光時間をいろいろな値に設定して黒体炉内を撮像し、黒体炉内の画像の画素値と露光時間の関係をプロットしたものであるが、この図７からも、このことが確認できる。
【００３４】
そして、上記のような感度補正を、Ｉが補正範囲内に入るまで繰り返し撮像すればよく、具体的な流れとしては図８のようになる。
【００３５】
即ち、先ずステップＳ１で、初回測定時は、例えばオフラインで設定した初期撮像感度を採用する。
【００３６】
次いで、ステップＳ２で撮像する。
【００３７】
次いで、ステップＳ３で、被測定物１が図４（ａ）又は（ｂ）に示したような視野内に一部（例えば、図４（ａ）に示す如く、直径の倍以上）入ったか否かを判定する。判定結果が否である場合には、ステップＳ２に戻り、撮像を繰り返す。
【００３８】
一方、被測定物１が視野内に一部入った場合には、ステップＳ４に進み、代表輝度Ｉを算出する。
【００３９】
次いで、ステップＳ５で、Ｉが適正範囲の下限Ｔ以上、上限Ｍ未満であるか否かを判定する。判定結果が否である場合には、ステップＳ６に進み、ＩがＭ以上であるか否かを判定する。判定結果が正である場合には、ハレーションしていると判断されるので、感度をｒ（０．５≦ｒ≦１）倍に修正してステップＳ２に戻る。
【００４０】
一方、ステップＳ６の判定結果が否であり、Ｉが下限Ｔ未満であると判定されるときには、例えば感度が上限Ｍと下限Ｔの中央になるよう、（Ｍ＋Ｔ）／（２Ｉ）に修正してステップＳ２に戻る。
【００４１】
一方、ステップＳ５でＩが適正範囲内に入ったと判定されるときには、ステップＳ１０に進み、被測定物１全体が視野内に入っているか否を判定する。判定結果が否である場合には、被測定物１全体が視野内に入るまで待つ。
【００４２】
ステップＳ１０の判定結果が正である場合には、ステップＳ１１に進み撮像する。
【００４３】
次いで、ステップＳ１２に進み、被測定物１の長さを算出する。具体的には、被測定物１を撮像した画像から先端と尾端の位置が画素単位で算出されるので、あとは各種知られている画素分解能の設定方法にあり画素単位を実数に置き換えて被測定物１の長さを算出すればよい。
【００４４】
次いで、ステップＳ１３に進み、次の測定があるか否かを判定する。判定結果が正である場合には、ステップＳ１４に進んで次回測定に備えて撮像感度を半分程度に修正する。
【００４５】
ここで問題となるのは、撮像感度設定までに要する繰り返し回数であるが、繰り返しが多数回になる懸念があるのは、Ｉがハレーションしている場合であるので、各測定における撮像感度の好適な初期値設定方法としては、
１．最初の測定時のみ、オフラインで設定した値を初期値として採用する（ステップＳ１）。
２．繰り返し測定時は、前回測定に用いた撮像感度の半分程度の値を用いる（ステップＳ１４）。
というようにしておけば、繰り返し撮像による感度修正の回数もさほど多数回にならず、被測定物１の全体が視野に入る前に確実に撮像感度を設定することができる。
【実施例】
【００４６】
図９は、本発明にかかる自発光を発する温度を有する長尺体の長さ測定装置の一例である実施例を示す構成図である。
【００４７】
図９において、１は被測定物、２は搬送装置、３はエリアセンサカメラ（単にカメラとも称する）、４はレンズ、５はカメラ駆動回路、６は例えば電気／光変換器を用いた画像延長送信回路、７は光ファイバケーブル、８は例えば光／電気変換器を用いた画像延長受信回路、９は画像入力回路、１０は演算装置、１１は表示装置、１２は耐熱保護カバーである。
【００４８】
ここにおいて、搬送装置２は被測定物１をある製造工程から次の製造工程に移動させるものであり、被測定物１がカメラ３の露光時間の範囲内で安定して撮影できるように支えるものであればよい。
【００４９】
カメラ３は被測定物１が搬送装置２上にある時に、その全長の自発光画像を撮影するものであり、その配置は被測定物１の全体が見通せて、かつその撮影方向が搬送装置２上の被測定物１の中心線が直交し、かつ撮影方向と前記中心線の交点が撮像視野の凡そ中心に位置するように配置するのが望ましく、その撮影タイミングは、全長が視野内に入るのを検知するか、先端ないし尾端の位置を検知する図示しないリミットスイッチにより決定するような構造であってもよい。
【００５０】
また、撮像視野は、被測定物１の最大長さがカバーできるように、レンズ４の倍率や撮像距離を決定すればよく、カメラ３の画素数としては、被測定物１の長さを９ｍ、検出すべき長さの精度を５ｍｍとして、その半分の分解能を有するように、被測定物方向の画素数を４０００画素程度以上とするのがよい。
【００５１】
更に、カメラ３、レンズ４は熱間での鋼材圧延工程の工場内に設置されるので、耐熱保護カバー１２や図示しない冷却機構を設けるのが好適であり、またカメラ３と画像入力回路９の距離が１０ｍを超える長距離になる場合が多いので、公知の電気／光変換器などを用いた画像延長送信回路６、光ファイバケーブル７、画像延長受信回路８を使用して画像のノイズを抑えるのが好適である。
【００５２】
画像入力回路９は、前記のようにして伝送された画像信号を、演算装置１０内で演算可能な数値データに変換するものであり、通例はパーソナルコンピュータや工業用コンピュータで構成される演算装置１０やカメラ３に合わせて、それらの規格に適合する画像入力ボードとして市販されているものを用いればよい。
【００５３】
図において、１５は、演算装置１０の出力により、カメラ３のゲインを調整するためのカメラゲイン調整回路である。
【００５４】
演算装置１０は実施形態の図８で説明したような手順に従って、一部画像から最適な撮像感度を調整し、また被測定物１の全体を撮影した画像から被測定物１の長さ（画素単位）を算出し、且つ長さ単位に変換して表示装置１１に表示するが、エッジ探索に用いる解析範囲やエッジ検出しきい値は、操業現場での撮像テストなどで定まるパラメータとして、図示しない入力装置で設定するかプログラムに内蔵させるとよく、また演算結果はこれも図示しないデータ伝送装置を用いて次工程に情報を送るようにしてもよい。
【００５５】
次に、本実施例の動作について説明する。
【００５６】
図１０は、本実施例の長尺体の長さ測定装置の測定結果を、較正値として作業者が搬送装置２上の被測定物１に沿って設置したスケール（直尺）を用いて実測した結果との差と、対象の表面温度の実績値とを、測定順に系列グラフとしてプロットしたものである。比較実験として、演算装置１０の撮像感度調整機能を停止し、露光時間を固定値として同程度の本数の測定を行った結果を図１１に示す。これらのグラフから判る通り、ハレーションの割合が多い測定例では測定誤差が増大し、結果として図１１の比較実験では図１０の実施例に比べ測定精度が悪化しているのが判る。これに対し本発明の動作である図１０では目視チェックとの偏差が９５ｍｍ以内に収束しており、本発明の有効性が確認された。
【００５７】
なお、前記実施例では、撮像感度の調整をカメラゲインによって行っていたが、撮像感度の調整を行う手段はこれに限定されず、露光時間やレンズ絞りの変更や、これらの任意の組合せによって行っても良い。カメラゲインや露光時間により行う場合は、機械的なアクチュエータが不要である。
【符号の説明】
【００５８】
１…被測定物
２…搬送装置
３…（エリアセンサ）カメラ
４…レンズ
５…カメラ駆動回路
６…画像延長送信回路
７…光ファイバケーブル
８…画像延長受信回路
９…画像入力回路
１０、２０、３０…演算装置
１１…表示装置
１２…耐熱保護カバー
１５…カメラゲイン調整回路
【図８】
0006015084.tif 000002
【図９】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0006015084.tif 000008
【図６】
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【図７】
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【図１０】
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【図１１】
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