(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリであって、
前記記録媒体の上を浮上するスライダと、
前記スライダの前記記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、前記スライダへ光を供給する光学素子と、
前記スライダに備えられており、前記光学素子からの光を前記光学素子が備えられる側から前記スライダの前記記録媒体に対向する側まで導波し、前記記録媒体への情報記録に用いる光導波路と、
前記スライダに備えられており、前記スライダの前記光学素子が備えられる面から、前記スライダの前記記録媒体に対向する面に亘って形成されたスライダ導光機能部と、を備え、
前記スライダ導光機能部は、コアとクラッドから構成され、
前記コアの形状は、前記光学素子の出射端における光のスポットと同等であるかもしくはそれ以上の大きさであり、
前記スライダ導光機能部の出射端の開口は、前記光導波路の出射端の開口よりも大きく形成されていることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項２】
前記スライダ導光機能部は、前記スライダ導光機能部が有する導光機能を利用して前記光導波路が良品であるか否かを判断するために用いられるものであることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項３】
前記スライダ導光機能部は、前記記録媒体のトラック幅方向において前記光導波路と同一直線上に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項４】
前記スライダ導光機能部は、２つ以上備えられていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項５】
前記スライダ導光機能部のそれぞれは、前記光導波路を挟んで両側に備えられていることを特徴とする請求項４に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項６】
前記スライダ導光機能部は、前記光導波路と同一の材料により構成されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項７】
前記スライダ導光機能部は、前記スライダの前記光学素子が備えられる面から、前記スライダの前記記録媒体に対向する面に亘って、前記スライダ導光機能部の断面積がほぼ同じであるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項８】
前記スライダ導光機能部は、前記スライダ導光機能部が有する導光機能を利用して前記光学素子と前記光導波路との位置合わせを行うために用いられるものであることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項９】
前記光導波路は、近接場光を発生させる近接場光発生部を備えていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１０】
記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリを検査するヘッドジンバルアセンブリ検査方法であって、
前記ヘッドジンバルアセンブリは、
前記記録媒体の上を浮上するスライダと、
前記スライダの前記記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、前記スライダへ光を供給する光学素子と、
前記スライダに備えられており、前記光学素子からの光を前記光学素子が備えられる側から前記スライダの前記記録媒体に対向する側まで導波する機能を有し、前記記録媒体への情報記録に用いる光導波路コアと光導波路クラッドとから成る光導波路と、
前記スライダに備えられており、前記スライダの前記光学素子が備えられる面から、前記スライダの前記記録媒体に対向する面に亘って形成されるスライダ導光機能部と
を備え、
前記スライダ導光機能部は、スライダ導光機能部コアとスライダ導光機能部クラッドとから構成され、該スライダ導光機能部コアと該スライダ導光機能部クラッドとの屈折率差が前記光導波路コアと前記光導波路クラッドとの屈折率差と略同一に形成されているものであり、
前記スライダと前記光学素子とを固着する前に、前記スライダの前記記録媒体と対向する面とは反対側の面と前記光学素子の光を出射する面とを対向させた状態で、前記光学素子から出射した光を前記スライダ導光機能部に入射し、前記スライダ導光機能部から出射した光を利用して、前記光導波路が良品であるか否かを判断する工程を含むことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ検査方法。
【請求項１１】
前記スライダ導光機能部から出射した光の強度を測定し、該強度が基準値を満たしていれば前記光導波路が良品であると判断する工程を含むことを特徴とする請求項１０に記載のヘッドジンバルアセンブリ検査方法。
【請求項１２】
記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリを製造するヘッドジンバルアセンブリ製造方法であって、
前記ヘッドジンバルアセンブリは、
前記記録媒体の上を浮上するスライダと、
前記スライダの前記記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、前記スライダへ光を供給する光学素子と、
前記スライダに備えられており、前記光学素子からの光を前記光学素子が備えられる側から前記スライダの前記記録媒体に対向する側まで導波し、前記記録媒体への情報記録に用いる光導波路と、
前記スライダに備えられており、前記スライダの前記光学素子が備えられる面から、前記スライダの前記記録媒体に対向する面に亘って形成されたスライダ導光機能部と
を備えており、
前記スライダと前記光学素子とを固着する前に、前記スライダの前記記録媒体と対向する面とは反対側の面と前記光学素子の光を出射する面とを対向させた状態で、前記光学素子から出射した光を前記スライダ導光機能部に入射し、前記スライダ導光機能部から出射した光を利用して、近接場光が発生するように前記光学素子と前記スライダとの位置合わせを行う工程を含むことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ製造方法。
【請求項１３】
前記スライダ導光機能部から出射した光の強度を測定しながら、
前記光学素子と前記スライダとの相対的な位置を調整したうえで、
前記強度が最大となる前記光学素子と前記スライダとの相対的な位置座標を特定し、
該位置座標を用いて前記光学素子と前記スライダとの位置合わせを行うことを特徴とする請求項１２に記載のヘッドジンバルアセンブリ製造方法。
【請求項１４】
前記スライダ導光機能部は前記光導波路を挟んで両側に備えられており、
前記光学素子と前記スライダとを離した状態で、
前記光学素子から出射した光を一度に全ての前記スライダ導光機能部へ入射させ、
前記スライダ導光機能部それぞれから出射した光の全ての前記強度が、基準値を満たしているときに前記光学素子と前記スライダとの位置決めを決定することを特徴とする請求項１２に記載のヘッドジンバルアセンブリ製造方法。
【請求項１５】
前記光学素子と前記スライダとを対向させる前に、前記スライダと前記光学素子とを固着するための接着剤を塗布することを特徴とする請求項１２に記載のヘッドジンバルアセンブリ製造方法。
【請求項１６】
前記光学素子と前記スライダとを接面しながら、前記光学素子と前記スライダとの位置合わせを行うことを特徴とする請求項１２に記載のヘッドジンバルアセンブリ製造方法。
【請求項１７】
前記スライダ導光機能部及び前記光導波路を同工程で形成することを特徴とする請求項１２に記載のヘッドジンバルアセンブリ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光を集光したスポット光を利用して記録媒体に各種の情報を記録再生するヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドジンバルアセンブリ検査方法及びヘッドジンバルアセンブリ製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の記録媒体（以下、ディスクという）は、より大容量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、更なる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保持力の強いものがディスクとして採用され始めている。そのため、ディスクに情報を記録することが困難になっていた。【０００３】
そこで、上述した不具合を解消するために、近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保持力を低下させ、その間にディスクへの書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式の情報記録再生装置が提案されている。特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域を加熱することが可能となる。よって、従来の磁気記録再生装置を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。【０００４】
上述したハイブリッド磁気記録方式による情報記録再生装置としては、各種のものが提案されているが、その１つとして、特許文献１に示すようなレーザからの光をスライダ上に設けられた近接場光ヘッドに供給し、微小開口から十分エネルギーの大きな近接場光を生成し、超高分解能の再生記録、高速記録再生、高ＳＮ比化を図ることができる情報記録再生装置が知られている。【０００５】
この情報記録再生装置は、近接場光ヘッドを備えたスライダをディスク上でスキャンさせ、スライダをディスク上の所望する位置に配置する。その後、近接場光ヘッドから放射された近接場光とスライダから発生する記録磁界とを協働させることで、ディスクに情報を記録することができる。またその中でも、ディスク面と近接場光ヘッドとの間の距離をより近接させるために、近接場光ヘッドをスライダの先端面（流出端）側に配置するような構成が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−３０１５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、ハイブリッド磁気記録再生装置は、近接場光のスポットをディスク上の微小な磁区に十分な光強度で当てることが望ましい。そこで、近接場光が十分な光強度をもって放射されるようにヘッドジンバルアセンブリが構成されているか否かを確かめることが必要になる。【０００８】
近接場光が適切に発生しているかどうかを測定する方法としては、走査型近接場光顕微鏡や走査型熱顕微鏡を用いる方法が知られている。走査型近接場光顕微鏡は、測定対象となる近接場光を光ファイバでできたプローブ先端で走査し、近接場光の光強度やその空間分布を測定することができる。また、走査型熱顕微鏡は、測定対象となる近接場光を熱測定用に加工されたプローブを用いて走査し、熱起電力を測定することで、近接場光のもつ熱エネルギーやその空間分布を測定することができる。しかし、これらの方法は、測定に用いる装置が高額である上、測定に時間がかかることが欠点である。そのため、近接場光ヘッドの製造工程でこれらの方法を採用する場合、製造コストを著しく増加させると考えられる。【０００９】
一方で、ヘッドジンバルアセンブリとして組み上げるには、それなりの手間や時間を要するが、ヘッドジンバルアセンブリとして組み上げる前にヘッドジンバルアセンブリを構成する各部材が適切に構成されているか否かを確認しない場合には、下流工程の段階において、記録再生検査などの方法で、良、不良の判断がなされる。ゆえに、不良となったものについては、ヘッドジンバルアセンブリが組み上げられた下流工程において廃棄されることになる。このようなヘッドジンバルアセンブリについては、それを組み上げるために割かれた手間や時間が無駄となってしまう。【００１０】
そこで、本発明はこのような事情に考慮してなされたもので、その目的は、効率的に製造することができるヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドジンバルアセンブリ検査方法及びヘッドジンバルアセンブリ製造方法を提供することを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記目的を達成するために、以下の手段を提供する。
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリであって、記録媒体の上を浮上して相対移動するスライダと、スライダの記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、スライダへ光を供給する光学素子と、スライダに備えられており、光学素子からの光を光学素子が備えられる側からスライダの記録媒体に対向する側まで導波し、前記記録媒体への情報記録に用いる光導波路と、スライダに備えられており、スライダの光学素子が備えられる面から、スライダの記録媒体に対向する面に亘って形成されたスライダ導光機能部と、を備えることを特徴とするものである。【００１２】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、記録媒体への情報記録に用いられる光導波路とは別に、導光機能をもつスライダ導光機能部を備えることにより、そのスライダ導光機能部に光を入れ、近接場光が十分な強度をもって発生するか否かを容易に確かめることができる。【００１３】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、スライダ導光機能部が有する導光機能を利用して光導波路が良品であるか否かを判断するために用いられるものであることを特徴とするものである。【００１４】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、光導波路が良品であるか否かを間接的に判断するためのスライダ導光機能部が設けられていることで、困難であった光導波路の良品検査を容易に行うことができる。またさらに、ヘッドジンバルアセンブリを組み上げる前に光導波路の不良を見つけることができるため、不良である光導波路の備えられたスライダを使用してヘッドジンバルアセンブリを組み立てる無駄な工程や、それらに組み付けられる良品な他部品の無駄を省くことができ、製造コストを低減させることができる。【００１５】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、記録媒体のトラック幅方向において光導波路と同一直線上に設けられていることを特徴とするものである。【００１６】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部が光導波路と同一直線上に設けられていることにより、スライダ導光機能部の位置が特定できれば、光導波路の位置を容易に特定することができる。【００１７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、２つ以上備えられていることを特徴とするものである。【００１８】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部が２つ以上備えられていることにより、２つ以上のスライダ導光機能部の位置を特定することができれば、光導波路の位置を一点に決定することができる。そのため、光導波路の位置を容易に特定することができる。【００１９】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部のそれぞれは、光導波路を挟んで両側に備えられていることを特徴とするものである。【００２０】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部の間に光導波路を備えることにより、スライダ導光機能部の位置が特定できれば、光導波路の位置を容易に特定することができる。【００２１】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、光導波路と同一の材料により構成されていることを特徴とするものである。【００２２】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部と光導波路が同一材料でできていることにより、スライダ導光機能部と光導波路内のそれぞれを通る光が同様の振る舞いをする。そのため、スライダ導光機能部に光を通すことにより、間接的に光導波路内を通る光の振る舞いを知ることができる。【００２３】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、コアとクラッドから構成されていることを特徴とするものである。【００２４】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部がコアとクラッドから構成されていることにより、光を高効率で導光することができる。
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部の光学素子が備えられる側のコア形状は、光学素子の出射端における光のスポットと同等であるかもしくはそれ以上の大きさであることを特徴とするものである。【００２５】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部の光学素子が備えられる側のコア形状が光学素子の出射端における光のスポット以上の大きさをもつことにより、光学素子からの光がスライダ導光機能部へ入射し易くなるため、スライダ導光機能部から出射した光を容易に見つけることができる。【００２６】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、スライダの光学素子が備えられる面から、スライダの記録媒体に対向する面に亘って、スライダ導光機能部の断面積がほぼ同じであるように構成されていることを特徴とするものである。【００２７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部が集光機能を持たないことにより、光学素子から入射した光のスポットは入射時とほぼ同じ大きさのままスライダ導光機能部から出射してくる。そのため、スライダ導光機能部から出射した光を容易に見つけることができる。【００２８】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、スライダ導光機能部が有する導光機能を利用して光学素子と光導波路との位置合わせを行うために用いられるものであることを特徴とするものである。【００２９】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、光学素子と光導波路との位置合わせを行うためのスライダ導光機能部を設けることにより、光学素子と光導波路との位置合わせを高精度にかつ容易に行うことができる。【００３０】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリには、光導波路は該先端部分に、記録媒体への情報記録に用いる近接場光を発生させる近接場光発生部を備えていることを特徴とするものである。【００３１】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、光導波路が近接場光発生部を備えていたとしても、光導波路の良品検査や位置合わせを容易に行うことができる。【００３２】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ検査方法は、記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリを検査する方法であって、ヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体の上を浮上するスライダと、スライダの記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、前記スライダへ光を供給する光学素子と、スライダに備えられており、光学素子からの光を光学素子が備えられる側からスライダの記録媒体に対向する側まで導波する機能を有し、記録媒体への情報記録に用いる光導波路コアと光導波路クラッドとから成る光導波路と、スライダに備えられており、スライダの光学素子が備えられる面から、スライダの記録媒体に対向する面に亘って形成されるスライダ導光機能部とを備え、スライダ導光機能部は、スライダ導光機能部コアとスライダ導光機能部クラッドとから構成され、スライダ導光機能部コアとスライダ導光機能部クラッドとの屈折率差が光導波路コアと光導波路クラッドとの屈折率差と略同一に形成されているものであり、スライダと光学素子とを固着する前に、スライダの記録媒体と対向する面とは反対側の面と光学素子の光を出射する面とを対向させた状態で、光学素子から出射した光をスライダ導光機能部に入射し、スライダ導光機能部から出射した光を利用して、光導波路が良品であるか否かを判断する工程を含むことを特徴とするものである。【００３３】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ検査方法においては、スライダ導光機能部から出射する光を利用して、間接的に、光導波路の良品検査を行うことにより、困難であった光導波路の検査を容易に行うことができる。またさらに、スライダと光学素子を固着する前に光導波路が良品であるか否かを判断する検査を行うことで、ヘッドジンバルアセンブリを組み立てた後に光導波路のみの不良により発生する不良なヘッドジンバルアセンブリや、不良である光導波路を使用してヘッドジンバルアセンブリを組み立てる無駄な工程を省くことができ、製造コストを低減させることができる。【００３４】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ検査方法は、スライダ導光機能部から出射した光の強度を測定し、該強度が基準値を満たしていれば光導波路が良品であると判断する、光導波路の検査工程を含むことを特徴とするものである。【００３５】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ検査方法においては、スライダ導光機能部から出射した光の強度を利用して光導波路の良品検査を行うことにより、困難であった光導波路の良品検査を容易に実施することができる。【００３６】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの製造方法は、記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリを製造するものであり、ヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体の上を浮上するスライダと、スライダの記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、スライダへ光を供給する光学素子と、スライダに備えられており、光学素子からの光を光学素子が備えられる側からスライダの記録媒体に対向する側まで導波し、記録媒体への情報記録に用いる光導波路と、スライダに備えられており、スライダの光学素子が備えられる面から、スライダの記録媒体に対向する面に亘って形成されたスライダ導光機能部と、を備えており、スライダと光学素子とを固着する前に、スライダの記録媒体と対向する面とは反対側の面と光学素子の光を出射する面とを対向させた状態で、光学素子から出射した光をスライダ導光機能部に入射し、スライダ導光機能部から出射した光を利用して、近接場光が発生するように光学素子とスライダとの位置合わせを行う工程を含むことを特徴とする。【００３７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、スライダ導光機能部から出射する光を利用して、光学素子とスライダの位置合わせを行うことにより、光学素子とスライダの高精度な位置合わせを容易に行うことができる。【００３８】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法は、スライダ導光機能部から出射した光の強度を測定しながら、光学素子とスライダとの相対的な位置を調整したうえで、光の強度が最大となる光学素子とスライダとの相対的な位置座標を特定し、該位置座標を用いて光学素子とスライダとの位置合わせを行うことを特徴とするものである。【００３９】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、スライダ導光機能部から出射した光の最大強度となる光学素子とスライダとの座標を特定して位置合わせを行うことにより、光学素子からの出射光が理想的な円形スポットになっていなかった場合や、光学素子とスライダとの位置関係の公差が、導光部からスライダ導光機能部に光が効率よく入射されないことから位置合わせの精度を満たさない場合においても、高精度な位置合わせを容易に行うことができる。【００４０】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法は、スライダ導光機能部が、光導波路を挟んで両側に備えられており、光学素子とスライダを離した状態でスライダ導光機能部のそれぞれから出射した光の量が基準量を満たしているときに、光学素子とスライダとの位置決めを決定することを特徴とするものである。【００４１】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、光学素子からの出射光をスライダ導光機能部に一度に入射させて位置を決定することができることにより、位置合わせの段階を少なく、高精度の位置合わせを容易に行うことができる。【００４２】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法は、光学素子とスライダとを対向させる前に、スライダと光学素子とを固着するための接着剤を塗布することを特徴とするものである。【００４３】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、光学素子とスライダを対向させる前に、スライダと光学素子を固着するための接着剤を塗布することにより、対向させた後に位置合わせをした場合でも、位置合わせの後に接着剤を塗布する際に起こりうる位置ずれを防ぐことができる。【００４４】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法は、光学素子とスライダとを接面しながら、光学素子とスライダとの位置合わせを行うことを特徴とするものである。【００４５】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、光学素子とスライダとを接面しながら光学素子とスライダの位置合わせを行うことにより、光学素子から出射される光の光軸が、光学素子とスライダとの位置を相対的に調整する調整軸に対して曲がっていた場合でも、光学素子からの出射光を高効率で入射させることができる。【００４６】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法は、スライダ導光機能部及び光導波路を同工程で形成することを特徴とするものである。【００４７】
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、スライダ導光機能部及び光導波路を同工程で形成することにより、スライダ導光機能部と光導波路の相対位置をより正確に形成することができるため、光学素子から出射する光をスライダ導光機能部へ入射させ、次いでスライダ導光機能部から出射した光を利用して光学素子とスライダの位置合わせを行う場合に、光学素子からの光をより効率よく光導波路へ入射することができる。
【発明の効果】
【００４８】
本発明によるヘッドジンバルアセンブリによれば、記録媒体への情報記録に用いられる光導波路とは別に、導光機能をもつスライダ導光機能部を備えることにより、そのスライダ導光機能部に光を入れ、近接場光が十分な強度をもって発生するか否かを容易に確かめることができる。【００４９】
また本発明によるヘッドジンバルアセンブリの検査方法によれば、スライダ導光機能部から出射する光を利用して、間接的に、光導波路の良品検査を行うことにより、困難であった光導波路の検査を容易に行うことができる。また、スライダと光学素子を固着する前に光導波路が良品であるか否かを判断することができるので、ヘッドジンバルアセンブリを組み立てた後の光導波路の不良によるヘッドジンバルアセンブリの損失や、不良である光導波路を使用してのヘッドジンバルアセンブリ組み立てという無駄な工程を省くことができ、製造コストを低減させることができる。【００５０】
ここで、本発明は、近接場光を用いたヘッドジンバルアセンブリに用いることがより望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】図１は、情報記録再生装置の一実施形態を示す構成図である。
【図２】図２は、スライダが上側に備えられる方向から、ヘッドジンバルアセンブリを拡大して示した斜視図である。
【図３】図３は、ヘッドジンバルアセンブリの先端部分を拡大して示した断面図である。
【図４】図４(ａ）はスライダと導光部を分解して示した斜視図であり、図４（ｂ）は導光部とスライダを組み立てる際の良品検査工程において、スライダに光を入れた時の状況を拡大して示した図である。
【図５】図５は、スライダの形成方法を示すフローチャートである。
【図６】図６は、スライダ基板に光導波路層を形成する工程を段階的に示した工程図である。
【図７】図７は、スライダと導光部を組み立てる方法を示したフローチャートである。
【図８】図８は、光導波路の検査を実施する際の導光部とスライダを有する装置の構成図である。
【図９】図９は、光導波路の検査方法を段階的に示した図である。
【図１０】図１０は、第２実施形態におけるスライダと導光部を分解して示した斜視図である。
【図１１】図１１は、第３実施形態におけるスライダを拡大して示した斜視図である。
【図１２】図１２は、第４実施形態におけるスライダを拡大して示した斜視図である。
【図１３】図１３は、スライダ基板に光導波路層を形成する工程を段階的に示した工程図である。
【図１４】図１４は、スライダと導光部を組み立てる方法を示したフローチャートである。
【図１５】図１５は、位置調整を実施する際の導光部とスライダを有する装置の構成図である。
【図１６】図１６は、スライダと導光部の位置調整の方法を段階的に示した図である。
【図１７】図１７は、第５実施形態におけるスライダと導光部を組み立てる方法を示したフローチャートである。
【図１８】図１８は、第６実施形態におけるスライダと導光部の位置調整の方法を段階的に示した図である。
【図１９】図１９は、第７実施形態におけるスライダを拡大して示した斜視図である。
【図２０】図２０は、第７実施形態におけるスライダと導光部の位置調整の方法を段階的に示した図である。
【図２１】図２１は、横軸にＸ座標、縦軸に光強度をとり、光導波路の中心をＸ座標の原点として図２０（ｂ）の時の状態示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００５２】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る第１実施形態の構造と製造方法を、図１から図９を参照して説明する。
【００５３】
図１は、本発明に係る情報記録再生装置１の一実施形態を示す構成図である。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、垂直記録層を有するディスク（記録媒体）Ｄに対して、垂直記録方式で書き込みを行う装置である。情報記録再生装置１は、キャリッジ１１と、キャリッジ１１の基端側から光束を供給するレーザ光源２０と、キャリッジ１１の先端側に支持され、サスペンション３とサスペンション３の先端に形成されたスライダ２から構成されるヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２と、ヘッドジンバルアセンブリ１２をディスクＤの表面に平行なＸＹ方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータ６と、ディスクＤを所定の方向に向けて回転させるスピンドルモータ７と、配線４を介してレーザ光源２０に接続されており、情報に応じて変調した電流をスライダ２に対して供給する制御部５と、これら各構成品を内部に収容するハウジング（不図示）とを備えている。
【００５４】
ハウジングは、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部９と、底部９の周縁において底部９に対して鉛直方向に立設する周壁とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品等を収容する凹部が形成される。なお、図１においては、説明を分かりやすくするため、ハウジングの周囲を取り囲む周壁を省略する。また、このハウジングには、ハウジングの開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部９の略中心には、上述したスピンドルモータ７が取り付けられており、該スピンドルモータ７に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定される。
【００５５】
ディスクＤの外側、つまり底部９の隅角部には、上述したアクチュエータ６が取り付けられている。このアクチュエータ６には、ピボット軸１０を中心にＸＹ方向に対して回動可能なキャリッジ１１が取り付けられている。このキャリッジ１１は、基端部から先端部に向けてディスクＤの表面に沿って延設されたアーム部１４と、基端部を介してアーム部１４を片持ち状に支持する基部１５とが、削り出し加工等により一体形成されたものである。基部１５は、ピボット軸１０まわりを回動可能に支持されている。つまり、基部１５はピボット軸１０を介してアクチュエータ６に連結されており、このピボット軸１０がキャリッジ１１の回転中心となっている。
【００５６】
アーム部１４は、基端部から先端部に向かうにつれ先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部１４間に、ディスクＤが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部１４とディスクＤとが、互い違いになるように配されており、アクチュエータ６の駆動によってアーム部１４がディスクＤの表面に平行な方向（ＸＹ方向）に移動可能とされている。なお、キャリッジ１１及びヘッドジンバルアセンブリ１２は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータ６の駆動によって、ディスクＤ上から退避するようになっている。
【００５７】
図２は、スライダ２が上側に備えられる方向から、ヘッドジンバルアセンブリ１２を拡大して示した斜視図である。ヘッドジンバルアセンブリ１２は、上述したレーザ光源２０からスライダ２まで光束を導くための導光部３２と、スライダ２に備えられる後述する記録素子４２や再生素子４１などを動作させるための電流を供給する電気配線３１が、スライダ２に隣接して接続されている。さらにこれらの導光部３２、電気配線３１及びスライダ２を固定させるサスペンション３が備えられている。
【００５８】
サスペンション３は、上面視略四角状に形成されたベースプレート２２と、ベースプレート２２の先端側にヒンジ板２３を介して連結された平面視略三角状のロードビーム２４とフレクシャ２５で構成されている。
【００５９】
ベースプレート２２は、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、基端側には厚さ方向に貫通する開口２２ａが形成されている。そして、この開口２２ａを介してベースプレート２２がアーム部１４（図１参照）の先端に固定されるようになっている。ベースプレート２２の上面には、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のヒンジ板２３が配置されている。
【００６０】
このヒンジ板２３は、ベースプレート２２の上面の全面に亘って形成された平板状のものである。ヒンジ板２３の先端部分にロードビーム２４が連結されている。ロードビーム２４は、ベースプレート２２と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、その基端がベースプレート２２の先端との間に間隙を有した状態でヒンジ板２３に連結されている。これにより、サスペンション３はベースプレート２２とロードビーム２４との間を中心に屈曲して、ディスクＤの表面に垂直なＺ方向に向けて撓み易くなっている。
【００６１】
フレクシャ２５は、ステンレス等の金属材料により支持体１８とジンバル１７が一体に構成されたシート状のものであり、シート状に形成されることで厚さ方向に撓み変形可能に構成されている。また、フレクシャ２５は、ロードビーム２４の先端側に固定されており、サスペンション３が変形した際にサスペンション３の変形に追従するように構成されている。
【００６２】
また、ロードビーム２４の先端には、フレクシャ２５及びスライダ２の略中心に向かって突出する、突起部１９（図３参照）が形成されている。この突起部１９の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部１９は、スライダ２がディスクＤから受ける風圧によりロードビーム２４側に浮上したときに、フレクシャ２５の先端表面（上面）に点接触するようになっている。つまり、突起部１９は、フレクシャ２５と導光部３２を介して、スライダ２を支持するとともに、ディスクＤの表面に向けて（Ｚ方向に向けて）スライダ２に荷重を付与するようになっている。
【００６３】
図３は、ヘッドジンバルアセンブリ１２の先端部分を拡大して示した断面図である。スライダ２は下側に備えられる方向に示してある。スライダ２は、導光部３２を挟んで、ジンバル１７に支持されている。ロードビーム２４は、突起部１９を接点としてジンバル１７の上側に備えられている。
【００６４】
スライダ２は、アルチックなどでできた基板６１と基板６１よりもヘッドジンバルアセンブリ１２の先端側に順に備えられる再生素子４１、記録素子４２、光導波路層３３から構成されている。スライダ２の底面は、ディスクＤの表面に対向する浮上面２ａとなっている。この浮上面２ａは、回転するディスクＤによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（Ａｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。
【００６５】
ここで、スライダ２はディスクＤ（図１参照）に対向するように設けられていればよく、スライダ２の支持方法は上記に示す限りではない。例えば、ロードビーム２４に直接スライダ２が支持されていてもよい。ただし、突起部１９とジンバル１７を介してスライダ２が支持されていると、スライダ２はＺ方向に適切な圧力を受け、撓み易くなるため、ディスクＤの面ブレに対応することができ、近接場光や磁界をディスクＤにより確実に照射することができる。
【００６６】
導光部３２は、先端が４５°に形成され、ミラー機能を有している。導光部３２を伝播してきた光は、このミラー機能を有した先端部３２ａで回折され、光導波路層３３へ入射される。光導波路層３３に入射した光は、スライダ２の下側に向かって伝播し、光導波路層３３の先端に設けられた近接場光発生素子３４により、近接場光として出射される。
【００６７】
図４（ａ）は、スライダ２と導光部３２を分解して示した斜視図である。図４（ｂ）は、導光部３２とスライダ２を組み立てる際の良品検査工程において、スライダ２に光を入れた時の状況を拡大して示した図である。再生素子４１や記録素子４２は省略しており、図示していない。スライダ２の先端に設けられている光導波路層３３には、光を伝播する機能を有する素子が、スライダ２の素子積層面に平行に、少なくとも２つ備えられている。一つは、集光機能を有する光導波路４０が備えられており、光導波路４０の先端は近接場光発生素子３４となっている。光導波路４０は、ＳｉＯ2でできており、このＳｉＯ2内に屈折率差の異なる領域を設けることにより、光を伝播する機能が備えられている。その他は、光導波路４０よりも開口の大きい導光機能部４３が備えられている。導光機能部４３の開口は入射端および出射端共に、光導波路４０の開口よりも大きく形成されている。
なお、本実施形態では導光機能部４３のそれぞれは、光導波路４０の長手方向に対して直交する線分であり光導波路４０を通る線分の上に備えられている。
【００６８】
これにより図４（ｂ）に示すように、導光機能部４３に光Ｌ1-1を入射した場合、導光機能部４３から出射されてくる光Ｌ1-2のスポットは、光導波路４０の先端の近接場光発生素子３４から出射される近接場光Ｌ2-2と比べて十分大きく、容易に見つけることができる。また、この導光機能部４３は、光導波路４０と同じ材料で形成されており、光導波路４０と同様の屈折率差を形成することで、光導波路４０と同等の光効率で光を伝播する機能を有する。この導光機能部４３が、光導波路４０と同じように形成されていることにより、導光部３２を固着する前に、導光機能部４３に入射させた光の出射光を測定することで、間接的に、光導波路４０の光を伝播する機能が有効に形成されているかを予め確かめることができる。これにより、不良なスライダを用いてヘッドジンバルアセンブリ１２を組み上げる無駄な工程や、不良なスライダに組み付けたヘッドジンバルアセンブリ１２を構成する部品の無駄を減らすことができ、製造コストを削減することができる。
【００６９】
次に、図１から図４に示したように組み立てられたヘッドジンバルアセンブリ１２により、ディスクＤに各種の情報を記録再生する手順について以下に説明する。
【００７０】
まず、図１に示すように、スピンドルモータ７を駆動させてディスクＤを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ６を作動させて、ピボット軸１０を回転中心としてキャリッジ１１を回動させ、キャリッジ１１を介してヘッドジンバルアセンブリ１２をＸＹ方向にスキャンさせる。これにより、ディスクＤ上の所望する位置にスライダ２を配置させることができる。この際、スライダ２は、サスペンション３によって支持されていると共に所定の力でディスクＤ側に押さえ付けられている。また、これと同時にスライダ２は、浮上面２ａ（図３参照）がディスクＤに対向しているので、回転するディスクＤによって生じる風圧の影響を受けて浮上する力を受けている。この両者の力のバランスによって、スライダ２はディスクＤ上から離間した位置に浮上している状態となっている。また、ディスクＤの凹凸やうねり等により、スライダ２にＸＹ方向に向かう風圧が加わったときに、フレクシャ２５に備えられたスライダ２は、突起部１９を中心としてＸ軸及びＹ軸の２軸回りに捩じれるようになっている。これにより、ディスクＤのうねりによるＺ方向の変位（ディスクＤの表面に略直交する方向への変位）を吸収することができ、スライダ２の姿勢が安定するようになっている。
【００７１】
ここで、情報の記録を行う場合、制御部５はレーザ光源２０を作動させるとともに、情報に応じて変調した電流をスライダ２に供給し、記録素子４２を作動させる。
【００７２】
レーザ光源２０から出射された光束は、導光部３２内を先端（流出端）側に向かって進み、導光部３２の先端でディスクＤに向かって垂直方向に曲げられる。曲げられた光束は、スライダ２の導光部３２が備えられる側から近接場光発生素子３４に入射され、近接場光発生素子３４を介することにより、近接場光として発生される。すると、ディスクＤは、この近接場光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。一方、制御部５（図１参照）によってスライダ２に電流が供給されると、スライダ２内部の記録素子４２により、ディスクＤに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。その結果、近接場光と記録素子４２で発生した記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。さらに、垂直記録方式で記録を行うので、熱揺らぎ現象等の影響を受け難く、安定した記録を行うことができる。よって、書き込みの信頼性を高めることができる。
【００７３】
次に、ディスクＤに記録された情報を再生する場合には、再生素子４１が、ディスクＤから漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子４１の電圧が変化する。これにより制御部５（図１参照）は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部５は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、情報の再生を行うことができる。
【００７４】
このように、スライダ２を利用してディスクＤに対して各種の情報を記録再生することができる。  
【００７５】
次に、本実施形態のスライダ２の製造方法を説明する。
図５は、本発明のスライダ２の形成方法を示すフローチャートである。最初に、再生素子４１と記録素子４２の形成されたスライダ基板６０の上に(Ｓ−０)近接場光発生素子３４を含め、光導波路層３３を形成する(Ｓ−２)。このように形成された基板を切り出す(Ｓ−３)。切り出した基板の光導波路層３３を積層した面とは垂直面の光導波路４０の光入射端および光出射端となる面をポリッシングする(Ｓ−４)。このポリッシングの際には以下の二点に注意してポリッシングを行う。一点は、光導波路４０の光入出射端に光が入射および出射する際に、光散乱などが発生し光効率が低下しないように行う。もう一点は、再生素子４１や記録素子４２が適切な高さに形成されるように行う。また、以上の二点が同時に満たされるように光導波路４０と記録素子４２は形成されている。次に、スライダ２の浮上面２ａ側の端面に保護膜を形成する(Ｓ−５)。その後に、同面に浮上制御の役割を担うレールを形成する(Ｓ−６)。
【００７６】
ここで、特にスライダ基板６０に光導波路層３３を形成する工程を詳しく説明する。
図６は、スライダ基板６０に光導波路層３３を形成する工程を段階的に示した工程図である。最初に、アルチック（ＡＬ2Ｏ3−ＴｉＣ）などでできた基板６１上に、再生素子４１と記録素子４２が順に積層されたスライダ基板６０を用意する（ａ）。次に、その上にクラッド層３６を形成する（ｂ）。クラッド層３６は、厚さが２μｍ程度のＳｉＯ2膜などで形成される。次に、光導波路コア４０ｃと導光機能部コア４３ｃを形成する（ｃ）。コアは、ＳｉＯ2にＧｅなどのガスをドープしたもので形成される。光導波路コア４０ｃと導光機能部コア４３ｃは同条件でガスがドープされる。また、導光機能部コア４３ｃは、光導波路コア４０ｃが形成されると同時、または直前直後に形成する。最後に、光導波路コア４０ｃと導光機能部コア４３ｃが形成された上に、さらにクラッド層３７を積層し、スライダ基板６０に光導波路層３３を形成する工程を完了する（ｄ）。最後に積層するクラッド層３７は、光導波路コア４０ｃもしくは導光機能部コア４３ｃのいずれか高い位置にある積層面から積層方向に２μｍ程度覆うことができるように積層する。
【００７７】
次に、本実施形態のスライダ２と導光部３２の組み立て方法を説明する。
図７は、スライダ２と導光部３２を組み立てる方法を示したフローチャートである。最初に、スライダ２と導光部３２を対向して配置する（Ａ−１）。次に、光導波路４０が適切に形成されているかを検査し、この検査により適切に形成されている光導波路４０を備えたスライダ２のみを使用する（Ａ−２）。良品のスライダ２と導光部３２を位置調整する（Ａ−３）。導光部３２から出射される光がスライダ２の光導波路４０に効率よく入射されるように調整したら、スライダ２と導光部３２を固着し(Ａ−４)、スライダ２と導光部３２の組み立てを完了する。
【００７８】
ここで、スライダ２の光導波路４０が適切に形成されているかを検査する手段と方法を詳しく説明する。
【００７９】
図８は、検査を実施する際の導光部３２とスライダ２を有する装置の構成である。導光部３２はスライダ２の浮上面２ａとは反対側の面に対向しており、スライダ２の浮上面２ａ側には、光スポットを検出する光検出器５０を配置する。光検出器５０で検出した光は、光プロファイラ５１により解析する。光プロファイラ５１は、光スポットの光強度を出力するとともに、光基準値を満たすか否かを判別する。ＸＹ調整器５２は、導光部３２をＸＹ方向に調整する機能を有する。
【００８０】
図９は、検査方法を段階的に示した図である。最初に、導光部３２をスライダ２に接面させる（ａ）。導光部３２は、基準を満たした光を出力する良品である。接面させた導光部３２から光を出射し、スライダ２の導光機能部４３のいずれかに入るように導光部３２を調整し、導光機能部４３から出射され、光検出器によって検出される光の強度が最大になる位置で導光部３２の調整を停止する（ｂ）。検出された光強度が基準値ｐを満たしていれば、導光機能部４３のコアとクラッドの屈折率差やポリッシングによる入射端面および出射端面は適切に加工できていると判断され、同工程により形成された光導波路４０もまた適切に加工できていると間接的に判断される（ｃ）。これにより、先端からは微小な近接場光しか発生されないために困難であった光導波路４０の検査を容易に行うことができる。
【００８１】
（第２実施形態）
次に、図１０に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ２の先端部分について、第１実施形態と相異しており、それ以外は第１実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００８２】
図１０は、本実施形態におけるスライダ２と導光部３２を分解して示した斜視図である。本実施形態における導光機能部４４の開口は、導光部３２から出射される光の、導光部３２の出射面におけるスポットサイズＳ1よりも大きい開口Ｓ2となっている。これにより、導光部３２から出射される光を利用して光導波路４０の良品検査を行う際に、導光部３２からの光をほぼ全て導光機能部４４へ入射することができるため、導光機能部４４から出射される光をより強くすることができ、導光機能部４４の出射光を容易に見つけることができると共に、導光機能部４４から出射される光のプロファイルを行う際に、より正確なプロファイルを行うことができる。
【００８３】
（第３実施形態）
次に、図１１に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ２の先端部分について、第１実施形態と相異しており、それ以外は第１実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００８４】
図１１は、本実施形態におけるスライダ２を拡大して示した斜視図である。本実施形態における導光機能部４５は、導光部３２が備えられる面から浮上面２ａ側に亘って、断面積が同じＳである柱状に形成されている。これにより、導光部３２から入射された光のスポットサイズは、ほぼ同サイズで出射されるため、導光機能部４４からの出射光を容易に見つけることができる。
【００８５】
（第４実施形態）
次に、図１２から図１６に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ２の先端部分と製造方法について、第１実施形態と相異しており、それ以外は第１実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００８６】
まず、本実施形態におけるスライダ２の先端部分の構造を説明する。
図１２は、本実施形態におけるスライダ２を拡大して示した斜視図である。本実施形態における導光機能部４６と４７は、光導波路４０の両側に１つずつ、光導波路４０から等距離ｄを保って合計２つ配置されている。光導波路４０および導光機能部４６と４７の３つは、光導波路層３３が積層される面と平行に並んで配置されている。また、導光機能部４６と４７の材料は、光導波路４０と同材料でなくてもよく、光を導光する機能をもつ材料であれば、例えば空気層となっていてもよい。
【００８７】
次に、本実施形態におけるスライダ２の製造方法を説明する。
図１３は、スライダ基板６０に光導波路層３３を形成する工程を段階的に示した工程図である。最初に、アルチック（ＡＬ2Ｏ3−ＴｉＣ）などでできた基板上に、再生素子４１と記録素子４２が順に積層されたスライダ基板６０を用意する（ａ）。次に、その上にクラッド層３６を形成する（ｂ）。次に、光導波路コア４０ｃと導光機能部コア４６ｃと４７ｃを形成する（ｃ）。光導波路コア４０ｃは、ＳｉＯ2にＧｅなどのガスをドープしたもので形成される。光導波路コア４０ｃと導光機能部コア４６ｃおよび４７ｃは同じ材料でなくてもよいので、例えばＧｅガスのドープ率を変えてもよい。もしくは、Ｇｅガスでないガスをドープしてもよい。導光機能部コア４６ｃと４７ｃは、光導波路コア４０ｃが形成されると同時、または直前直後に形成し、光導波路コア４０ｃと導光機能部コア４６ｃと４７ｃの各々の距離ｄを１μｍ以下の高精度で形成する。また、積層面と平行に配置するように形成する。最後に、光導波路コア４０ｃと導光機能部コア４６ｃおよび４７ｃが形成される上に、さらにクラッド層３７を積層し、スライダ基板６０に光導波路層３３を形成する工程を完了する（ｄ）。
【００８８】
次に、本実施形態におけるスライダ２と導光部３２の組み立て方法を説明する。
図１４は、スライダ２と導光部３２を組み立てる方法を示したフローチャートである。最初に、スライダ２と導光部３２を対向して配置する（Ａ−１）。次に、スライダ２と導光部３２を位置調整する（Ａ−２）。導光部３２から出射される光がスライダ２の光導波路４０に効率よく入射されるように調整したら、スライダ２と導光部３２を固着し(Ａ−３)、スライダ２と導光部３２の組み立てを完了する。
【００８９】
ここで、スライダ２と導光部３２の位置調整の方法を詳しく説明する。
図１５は、位置調整を実施する際の導光部３２とスライダ２を有する装置の構成である。導光部３２はスライダ２の浮上面２ａとは反対側の面に対向しており、スライダ２の浮上面２ａ側には、光スポットを検出する光検出器５３を配置する。光検出器５３で検出した光は、光プロファイラ５４により解析する。光プロファイラ５４は、光検出器５３で検出した光スポットの光強度とそのＸＹ座標を出力することができる。ＸＹ調整器５５は、導光部３２を出射する光の光軸に対して垂直な平面に動かすことができる。光検出器５３と光プロファイラ５４とＸＹ調整器５５の認識するＸＹ座標の座標軸は同じになっている。
【００９０】
図１６は、スライダ２と導光部３２の位置調整の方法を段階的に示した図である。左列に示したプライムなしの図（（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ））は、スライダ２と導光部３２を断面から見た図である。また、右列に示したプライムつきの図（（ａ‘），（ｂ’），（ｃ'−１），(ｃ'−２), （ｄ））は、ＸＹ調整器５５の認識するＸＹ座標とＸＹ調整器５５の指し示す座標を模式的に示した図である。最初に、スライダ２と導光部３２を対向して配置する（ａ，ａ'）。次に、導光部３２から出射する光を導光機能部４６に入射させる。入射した光の強度が最大になる座標（Ｘ1，Ｙ1）を記録する（ｂ，ｂ'）。次に、導光部３２から出射する光を他方の導光機能部４７に入射させる（ｃ）。  その際、ＸＹ調整器５５を導光機能部４６から距離２ｄだけ導光機能部４７側に移動させ、さらに導光機能部４６を軸に微小角だけ動かして探す(ｃ'−１)。次いで、導光機能部４７に入射した光の強度が最大になる座標（Ｘ2，Ｙ2）を記録する（ｃ'−２）。最後に、導光機能部４６の座標（Ｘ1，Ｙ1）と導光機能部４７の座標（Ｘ2，Ｙ2）線分上にＸＹ調整器５５をｄ（もしくは、数１）だけ導光機能部４６方向にずらすと、光導波路４０に光が効率よく入射されるように導光部３２が配置することができる（ｄ，ｄ'）。以上で、スライダ２と導光部３２の位置調整を完了する。これにより、導光部３２とスライダ２の超高精度な位置調整を容易に行うことができる。
（｜Ｘ1−Ｘ2｜2＋｜Ｙ1−Ｙ2｜2）1/2／２  （数１）
【００９１】
（第５実施形態）
次に、図１７に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ２と導光部３２の製造方法について、第１実施形態と相異しており、それ以外は第１実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００９２】
図１７は、本実施形態におけるスライダ２と導光部３２を組み立てる方法を示したフローチャートである。最初にスライダ２もしくは導光部３２のどちらかもしくは両方の、スライダ２と導光部３２が対向する面に、ＵＶ硬化接着剤を予め塗布しておく（Ａ−１）。ただし、必ずしもＵＶ硬化接着剤でなくてもよく、長時間空気中に放置すると硬化するようなものでもよい。次に、スライダ２と導光部３２を対向させる（Ａ−２）。次に、スライダ２と導光部３２の位置調整を行う（Ａ−３）。スライダ２と導光部３２の位置が完全に定まったら、ＵＶを照射し、接着剤を硬化させ、スライダ２と導光部３２を固着させる（Ａ−４）。以上のように、スライダ２と導光部３２を組み立てることにより、スライダ２と導光部３２が位置調整してから接着剤を塗布する際に発生する位置ずれを防ぐことができ、精度よくスライダ２と導光部３２を固定することができる。
【００９３】
（第６実施形態）
次に、図１８に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ２と導光部３２の製造方法について、第４実施形態と相異しており、それ以外は第４実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第４実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００９４】
図１８は、図１６と同様、本実施形態におけるスライダ２と導光部３２の位置調整の方法を段階的に示した図である。調整方法は図１６に沿って第４実施形態で示した方法とほぼ同様である。ただし、導光部３２をスライダ２に接面した状態で、導光部３２とスライダ２の調整を行う点が異なる。このように、導光部３２とスライダ２の調整を行う段階で、導光部３２をスライダ２に接面した状態にしておくことにより、導光部３２から出射される光の広がり角が大きい場合や光軸が光導波路４０に対して多少曲がっている場合であっても、スライダ２と導光部３２の位置調整を正確に行うことができる。
【００９５】
（第７実施形態）
次に、図１９から図２１に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ２の先端部分の構造とスライダ２と導光部３２の製造方法について、第４実施形態と相異しており、それ以外は第４実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第４実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
【００９６】
まず、本実施形態におけるスライダ２の先端部分の構造を説明する。
図１９は、本実施形態におけるスライダ２を拡大して示した斜視図である。導光機能部４８と４９は、光導波路４０から微小距離Δｄを保って配置されている。これにより、光導波路４０へ、光導波路４０の入射面から少し離して光を入射した場合に、その漏れ光を受光することができる。
【００９７】
次に、本実施形態におけるスライダ２と導光部３２の組み立て方法を説明する。
図２０は、本実施形態におけるスライダ２と導光部３２の位置調整の方法を段階的に示した図である。
【００９８】
最初に、導光部３２とスライダ２を距離ｈ離して対向させ、導光機能部４８と４９から出射してきた光の強度を見ながら導光部３２の位置を調整する（ａ）。次に、導光機能部４８と４９から出射してきたそれぞれの光強度のピーク値ｐ48とｐ49が、共に基準値ｐ1を満たした位置で、導光部３２の位置を固定する（ｂ）。最後に、導光部３２とスライダ２を、導光部３２のＸＹ座標を動かさずに接面させ、固着する（ｃ）。
【００９９】
図２１は、横軸にＸ座標、縦軸に光強度をとり、光導波路４０の中心をＸ座標の原点として図２０の（ｂ）の時の状態をグラフ化したものである。Δｄ、ｈおよびｐ1を最適化した上で、ｐ48，ｐ49≧ｐ1となるとき導光部３２とスライダ２を固定した場合、導光部３２の出射光のピーク強度はほぼ確実に光導波路４０内に入射されるため、高精度の位置調整が可能であり、高効率のヘッドジンバルアセンブリ１２を実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１００】
本発明によれば、効率的に製造することができる。具体的には、本発明によるヘッドジンバルアセンブリによれば、導光機能をもつスライダ導光機能部を備えることにより、そのスライダ導光機能部に光を入れることで、光導波路の良品検査や光学素子と光導波路の位置合わせを容易に行うことができる。【０１０１】
また本発明によるヘッドジンバルアセンブリの製造方法によれば、スライダ導光機能部から出射する光を利用して間接的に光導波路の良品検査を行うことにより、困難であった光導波路の検査を容易に行うことができる。またさらに、スライダと光学素子を固着する前に光導波路が良品であるか否かを判断する検査を行うことで、ヘッドジンバルアセンブリを組み立てた後に光導波路のみの不良により発生する不良なヘッドジンバルアセンブリや、不良である光導波路を使用してヘッドジンバルアセンブリを組み立てる無駄な工程を省くことができ、製造コストを低減させることができる。
【符号の説明】
【０１０２】
Ｄ  ディスク（記録媒体）
１  情報記録再生装置
２  スライダ
２a  浮上面
３  サスペンション
４  配線
５  制御部
６  アクチュエータ
７  スピンドルモータ
９  ハウジング底部
１０  ピボット軸
１１  キャリッジ
１２  ヘッドジンバルアセンブリ
１４  アーム部
１５  基部
１７  ジンバル
１８  支持体
１９  突起部
２０  レーザ光源
２２  ベースプレート
２２a  開口
２３  ヒンジ板
２４  ロードビーム
２５  フレクシャ
３１  電気配線
３２  導光部
３３  光導波路層
３６，３７  クラッド層
３４  近接場光発生素子
４０  光導波路
４０ｃ  光導波路コア
４１  再生素子
４２  記録素子
４３，４４，４５，４６，４７，４８，４８  導光機能部
４３ｃ，４６ｃ，４７ｃ  導光機能部コア
５０，５３  光検出器
５１，５４  光プロファイラ
５２，５５  ＸＹ調整器
６０  スライダ基板
６１  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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