(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属層の両面に絶縁層が積層された積層フィルムの欠陥を検査する検査方法であって、
前記絶縁層に浸透する導電性の液体を前記積層フィルムの表面に供給しつつ、当該液体が供給される前記積層フィルムの表面に接触する第１の電極と前記積層フィルムの端部から露出する前記金属層の端部に接触する第２の電極との間に電圧を印加する電圧印加工程と、
前記電圧が印加される第１および第２の電極間の通電状態を検知する検知工程と、を有し、
前記液体が前記絶縁層に浸透して前記金属層に到達するとき、前記第１および第２の電極間には、チャタリングが発生し、
前記検査方法は、
前記積層フィルムの表面に前記液体の供給を開始してから前記チャタリングが発生するまでの時間を検出する検出工程と、
欠陥の深さと検出時間との関係を示す関係テーブルを参照して、前記検出された時間から、前記絶縁層に存在する当該絶縁層を未貫通の欠陥の深さを算出する算出工程と、をさらに有することを特徴とする検査方法。
【請求項２】
前記検知工程において前記第１および第２の電極間の通電状態が検知される場合、前記絶縁層を貫通して前記金属層に達している欠陥が前記積層フィルムに存在すると判断されることを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
金属層の両面に絶縁層が積層された積層フィルムの欠陥を検査する検査方法であって、
前記絶縁層に浸透する導電性の液体を前記積層フィルムの表面に供給しつつ、当該液体が供給される前記積層フィルムの表面に接触する第１の電極と前記積層フィルムの端部から露出する前記金属層の端部に接触する第２の電極との間に電圧を印加する電圧印加工程と、
前記電圧が印加される第１および第２の電極間の通電状態を検知する検知工程と、を有し、
前記第１および第２の電極間には、チャタリングの発生を防止するように前記電圧が印加され、
前記検知工程において、前記積層フィルムへの前記液体の供給開始直後に前記第１および第２の電極間の通電状態が検知される場合、前記絶縁層を貫通して前記金属層に達している欠陥が前記絶縁層に存在すると判断される一方で、前記積層フィルムへの前記液体の供給開始直後に前記第１および第２の電極間の通電状態が検知されない場合、前記絶縁層を未貫通の欠陥が前記絶縁層に存在すると判断されることを特徴とする検査方法。
【請求項４】
前記第１の電極は、前記液体を保持する多孔質部材を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項５】
前記第２の電極は、前記積層フィルムの端部を挟持するＶ字状の溝部を有する導電性の弾性部材であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項６】
金属層の両面に絶縁層が積層された積層フィルムの欠陥を検査する検査システムであって、
前記絶縁層に浸透する導電性の液体を前記積層フィルムの表面に供給する液体供給部と、
前記液体が供給される前記積層フィルムの表面に接触する第１の電極と、
前記積層フィルムの端部から露出する前記金属層の端部に接触する第２の電極と、
前記第１および第２の電極間に電圧を印加する電圧印加部と、
前記電圧が印加される第１および第２の電極間の通電状態を検知する検知部と、を有し、
前記液体が前記絶縁層に浸透して前記金属層に到達するとき、前記第１および第２の電極間には、チャタリングが発生し、
前記検査システムは、
前記積層フィルムの表面に前記液体の供給を開始してから前記チャタリングが発生するまでの時間を検出する検出部と、
欠陥の深さと検出時間との関係を示す関係テーブルを参照して、前記検出された時間から、前記絶縁層に存在する当該絶縁層を未貫通の欠陥の深さを算出する算出部と、をさらに有することを特徴とする検査システム。
【請求項７】
前記検知部により前記第１および第２の電極間の通電状態が検知される場合、前記絶縁層を貫通して前記金属層に達している欠陥が前記積層フィルムに存在すると判断する演算装置をさらに有することを特徴とする請求項６に記載の検査システム。
【請求項８】
金属層の両面に絶縁層が積層された積層フィルムの欠陥を検査する検査システムであって、
前記絶縁層に浸透する導電性の液体を前記積層フィルムの表面に供給する液体供給部と、
前記液体が供給される前記積層フィルムの表面に接触する第１の電極と、
前記積層フィルムの端部から露出する前記金属層の端部に接触する第２の電極と、
前記第１および第２の電極間に電圧を印加する電圧印加部と、
前記電圧が印加される第１および第２の電極間の通電状態を検知する検知部と、を有し、
前記第１および第２の電極間には、チャタリングの発生を防止するように前記電圧が印加され、
前記検査システムは、
前記検知部により、前記積層フィルムへの前記液体の供給開始直後に前記第１および第２の電極間の通電状態が検知される場合、前記絶縁層を貫通して前記金属層に達している欠陥が前記絶縁層に存在すると判断する一方で、前記積層フィルムへの前記液体の供給開始直後に前記第１および第２の電極間の通電状態が検知されない場合、前記絶縁層を未貫通の欠陥が前記絶縁層に存在すると判断する演算装置をさらに有することを特徴とする検査システム。
【請求項９】
前記第１の電極は、前記液体を保持する多孔質部材を含むことを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載の検査システム。
【請求項１０】
前記第２の電極は、前記積層フィルムの端部を挟持するＶ字状の溝部を有する導電性の弾性部材であることを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載の検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属層の両面に絶縁層が積層されてなる積層フィルムの欠陥を検査する検査方法および検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、環境保護運動の高まりを背景として、電気自動車（ＥＶ）およびハイブリッド電気自動車（ＨＥＶ）の開発が進められている。これらのモータ駆動用電源として、繰り返し充放電可能なリチウムイオン二次電池が注目されている。リチウムイオン二次電池は、シート状の正極と負極とがセパレータを介して複数積層されてなる発電要素が、絶縁性の外装部材に収容されて形成される。絶縁性の外装部材は、金属層の両面に絶縁層が積層されてなる絶縁性の積層フィルムが貼り合わされて形成される。
【０００３】
これに関連する技術として、フィルム状の絶縁性部材の信頼性を向上させる見地から、下記の特許文献１に示すような検査装置が提案されている。特許文献１に開示されている検査装置は、検査対象である絶縁性部材を載置する第１電極と、絶縁性部材の上部に電解液を供給する電解液供給部と、絶縁性部材の表面に接触する第２電極とを有する。このような構成によれば、絶縁性部材に貫通孔が形成されている場合、第１電極と第２電極との間に電圧を印加すれば、電解液により第１電極と第２電極とが通電するため、絶縁性部材を貫通するピンホールや傷等の欠陥を検知することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２７５８１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の検査装置では、絶縁性部材の表面側および裏面側に第１および第２電極がそれぞれ配置される。このため、上記の検査装置では、金属層の両面に絶縁層が積層されてなる絶縁性の積層フィルムについて、積層フィルムを貫通していないピンホールや傷等の欠陥を検知することができないという問題がある。
【０００６】
本発明は、上述した問題を解決するためになされたものである。したがって、本発明の目的は、金属層の両面に絶縁層が積層されてなる積層フィルムについて、積層フィルムを貫通していない欠陥を検査することができる検査方法および検査システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の上記目的は、下記の手段によって達成される。
【０００８】
本発明の検査方法は、金属層の両面に絶縁層が積層された積層フィルムの欠陥を検査する検査方法であって、電圧印加工程および検知工程を有する。前記電圧印加工程は、前記絶縁層に浸透する導電性の液体を前記積層フィルムの表面に供給しつつ、当該液体が供給される前記積層フィルムの表面に接触する第１の電極と前記積層フィルムの端部から露出する前記金属層の端部に接触する第２の電極との間に電圧を印加する。前記検知工程は、前記電圧が印加される第１および第２の電極間の通電状態を検知する。ここで、前記液体が前記絶縁層に浸透して前記金属層に到達するとき、前記第１および第２の電極間には、チャタリングが発生し、前記検査方法は、前記積層フィルムの表面に前記液体の供給を開始してから前記チャタリングが発生するまでの時間を検出する検出工程と、欠陥の深さと検出時間との関係を示す関係テーブルを参照して、前記検出された時間から、前記絶縁層に存在する当該絶縁層を未貫通の欠陥の深さを算出する算出工程と、をさらに有する。
また、本発明の検査方法は、金属層の両面に絶縁層が積層された積層フィルムの欠陥を検査する検査方法であって、電圧印加工程および検知工程を有する。前記電圧印加工程は、前記絶縁層に浸透する導電性の液体を前記積層フィルムの表面に供給しつつ、当該液体が供給される前記積層フィルムの表面に接触する第１の電極と前記積層フィルムの端部から露出する前記金属層の端部に接触する第２の電極との間に電圧を印加する。前記検知工程は、前記電圧が印加される第１および第２の電極間の通電状態を検知する。ここで、前記第１および第２の電極間には、チャタリングの発生を防止するように前記電圧が印加され、前記検知工程において、前記積層フィルムへの前記液体の供給開始直後に前記第１および第２の電極間の通電状態が検知される場合、前記絶縁層を貫通して前記金属層に達している欠陥が前記絶縁層に存在すると判断される一方で、前記積層フィルムへの前記液体の供給開始直後に前記第１および第２の電極間の通電状態が検知されない場合、前記絶縁層を未貫通の欠陥が前記絶縁層に存在すると判断される。
【０００９】
本発明の検査システムは、金属層の両面に絶縁層が積層された積層フィルムの欠陥を検査する検査システムであって、液体供給部、第１の電極、第２の電極、電圧印加部、および検知部を有する。前記液体供給部は、前記絶縁層に浸透する導電性の液体を前記積層フィルムの表面に供給する。前記第１の電極は、前記液体が供給される前記積層フィルムの表面に接触する。前記第２の電極は、前記積層フィルムの端部から露出する前記金属層の端部に接触する。前記電圧印加部は、前記第１および第２の電極間に電圧を印加する。前記検知部は、前記電圧が印加される第１および第２の電極間の通電状態を検知する。ここで、前記液体が前記絶縁層に浸透して前記金属層に到達するとき、前記第１および第２の電極間には、チャタリングが発生し、前記検査システムは、前記積層フィルムの表面に前記液体の供給を開始してから前記チャタリングが発生するまでの時間を検出する検出部と、欠陥の深さと検出時間との関係を示す関係テーブルを参照して、前記検出された時間から、前記絶縁層に存在する当該絶縁層を未貫通の欠陥の深さを算出する算出部と、をさらに有する。
また、本発明の検査システムは、金属層の両面に絶縁層が積層された積層フィルムの欠陥を検査する検査システムであって、液体供給部、第１の電極、第２の電極、電圧印加部、および検知部を有する。前記液体供給部は、前記絶縁層に浸透する導電性の液体を前記積層フィルムの表面に供給する。前記第１の電極は、前記液体が供給される前記積層フィルムの表面に接触する。前記第２の電極は、前記積層フィルムの端部から露出する前記金属層の端部に接触する。前記電圧印加部は、前記第１および第２の電極間に電圧を印加する。前記検知部は、前記電圧が印加される第１および第２の電極間の通電状態を検知する。ここで、前記第１および第２の電極間には、チャタリングの発生を防止するように前記電圧が印加され、前記検査システムは、前記検知部により、前記積層フィルムへの前記液体の供給開始直後に前記第１および第２の電極間の通電状態が検知される場合、前記絶縁層を貫通して前記金属層に達している欠陥が前記絶縁層に存在すると判断する一方で、前記積層フィルムへの前記液体の供給開始直後に前記第１および第２の電極間の通電状態が検知されない場合、前記絶縁層を未貫通の欠陥が前記絶縁層に存在すると判断する演算装置をさらに有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、積層フィルムの表面と積層フィルムの端部から露出する金属層の端部との間の通電状態が検知されるため、積層フィルムを貫通していない欠陥を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態にかかる検査システムにより検査される積層フィルムおよび積層フィルムの欠陥を説明するための図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかる検査システムの概略構成を示す図である。
【図３】図２の部分拡大図である。
【図４】図２に示す検査システムにより実行される検査処理の手順を示すフローチャートである。
【図５】第１および第２プローブ間のチャタリングを説明するための図である。
【図６】電極液の浸透時間と欠陥の深さとの関係を示す図である。
【図７】変形例にかかる検査処理の手順を示すフローチャートである。
【図８】低い電圧が印加された場合の第１および第２プローブ間のインピーダンス波形を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。本実施形態では、本発明の検査システムおよび検査方法を用いて、リチウムイオン二次電池の積層フィルムに存在する欠陥の種類および深さを検査する場合を例にとって説明する。なお、図中、同様の部材には同一の符号を用いた。
【００１３】
図１は、本発明の一実施形態にかかる検査システムにより検査される積層フィルムおよび積層フィルムの欠陥を説明するための図である。図１に示すとおり、本実施形態の積層フィルム１０は、金属層２０と、金属層２０の一方の面に形成されるシール層３０と、金属層２０の他方の面に形成される保護層４０とを有する。
【００１４】
金属層２０は、電解液やガスを遮断するものであり、アルミニウムにより形成される。シール層３０は、２枚の積層フィルム１０を相互に溶着するためのものであり、ポリプロピレン（ＰＰ）により形成される。
【００１５】
保護層４０は、金属層２０を保護する第１絶縁層４１と、第１絶縁層４１と金属層２０との間に形成される第２絶縁層４２とを有する。第１絶縁層４１は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）により形成される。第２絶縁層４２は、第１絶縁層４１と金属層２０との接合性を向上させるためのものであり、ナイロンにより形成される。なお、金属層２０、シール層３０、第１絶縁層４１、および第２絶縁層４２を構成する材料は、上記の材料に限定されるものではない。
【００１６】
このように構成される積層フィルム１０には、ピンホールや傷等の欠陥５０ａ，５０ｂ，５０ｃが形成され得る。これらの欠陥５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、その深さに応じて、３種類に分類される。
【００１７】
ここで、第１の欠陥は、第１絶縁層４１を貫通していない欠陥５０ａであり（図１（Ａ）参照）、第２の欠陥は、第１絶縁層４１を貫通して第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂである（図１（Ｂ）参照）。第３の欠陥は、第１および第２絶縁層４１，４２を貫通して金属層２０に達している欠陥５０ｃである（図１（Ｃ）参照）。
【００１８】
積層フィルム１０が貼り合わされて形成される外装部材に、シート状の正極と負極とがセパレータを介して複数積層されてなる発電要素を収容することにより、リチウムイオン二次電池２００（図２参照）が形成される。本実施形態では、リチウムイオン二次電池２００表面の積層フィルム１０の欠陥が検査される。以下、上記の積層フィルム１０の欠陥を検査する検査システムについて説明する。
【００１９】
図２は、本発明の一実施形態にかかる検査システムの概略構成を示す図であり、図３は、図２の部分拡大図である。図２および図３に示すとおり、本実施形態の検査システム１００は、第１および第２プローブ１１０，１２０、電圧印加装置１３０、および演算装置１４０を備える。
【００２０】
第１プローブ１１０は、導電性の液体を供給しつつ、積層フィルム１０の表面に接触するものである。第１プローブ１１０は、タンク部１１１、電極固定部１１２、および多孔質ゴム部１１３を有する。タンク部１１１は、エタノールを主成分とする導電性の液体（以下、電極液と称する）を収容する。電極固定部１１２は、フェライトにより形成され、内部に銅線（不図示）を保持している。また、電極固定部１１２は、タンク部１１１からの電極液の揮発や垂れ流しを防止する。多孔質ゴム部１１３は、多孔質のゴム材により形成され、電極液を保持する。多孔質ゴム部１１３は、積層フィルム１０の表面に押し当てられ（図３（Ａ）参照）、積層フィルム１０の表面に電極液を供給する。
【００２１】
第２プローブ１２０は、積層フィルム１０の端面１０ｅから露出する金属層２０の端面２０ｅ（図３（Ｂ）参照）に接触するものである。第２プローブ１２０は、Ｖ字状の溝部を有する導電性ゴム材により形成され、リチウムイオン二次電池２００の端部を挟持して、積層フィルム１０の端面１０ｅから露出する金属層２０の端面２０ｅに接触する。
【００２２】
電圧印加装置１３０は、第１プローブ１１０と第２プローブ１２０との間に一定の電圧を印加する。電圧印加装置１３０のプラス側には第１プローブ１１０が接続されており、電圧印加装置１３０のマイナス側には第２プローブ１２０が接続されている。また、電圧印加装置１３０は、インピーダンス測定機としての機能を有し、第１および第２プローブ１１０，１２０間のインピーダンス値を測定することができる。
【００２３】
演算装置１４０は、積層フィルム１０に存在する欠陥を検知する。演算装置１４０は、第１および第２プローブ１１０，１２０間のインピーダンス値から、積層フィルム１０に存在する欠陥の種類を特定する。また、演算装置１４０は、リチウムイオン二次電池２００の表面に第１プローブ１１０が接触してから、第１および第２プローブ１１０，１２０間のインピーダンス値にチャタリングが発生するまでの時間（以下、チャタリング開始時間と称する）を検出する。演算装置１４０には、欠陥の深さとチャタリング開始時間との関係を示す欠陥深さ−チャタリング開始時間変換テーブルが格納されており、チャタリング開始時間から欠陥の深さを算出することができる。
【００２４】
以上のとおり構成される検査システム１００では、第１および第２プローブ１１０，１２０間の通電状態を検知することにより、積層フィルム１０の欠陥の種類および深さが検査される。以下、図４〜図６を参照しつつ、本実施形態における検査システム１００において、リチウムイオン二次電池２００表面の欠陥を検査する方法について説明する。
【００２５】
図４は、検査システムにより実行される検査処理の手順を示すフローチャートである。図４に示す検査処理に先立って、リチウムイオン二次電池の外観検査がカメラを用いて行われ、欠陥が観察されるリチウムイオン二次電池と欠陥が観察されないリチウムイオン二次電池とが仕分けされる。本実施形態の検査処理では、欠陥が観察されたリチウムイオン二次電池について、当該欠陥の種類および深さが検査される。
【００２６】
まず、第２プローブ１２０がリチウムイオン二次電池２００の端部に接触される（ステップＳ１０１）。本実施形態では、Ｖ字状の溝部を有する導電性ゴム材よりなる第２プローブ１２０が、リチウムイオン二次電池２００の端部を挟持する。第２プローブ１２０がリチウムイオン二次電池２００の端部を挟持することにより、積層フィルム１０の端面１０ｅから露出する金属層２０の端面２０ｅと第２プローブ１２０とが接触する。
【００２７】
続いて、第１プローブ１１０がリチウムイオン二次電池２００の表面に接触される（ステップＳ１０２）。本実施形態では、第１プローブ１１０の多孔質ゴム部１１３が、積層フィルム１０の欠陥を含む領域に押し当てられる。多孔質ゴム部１１３は、電極液を保持しているため、多孔質ゴム部１１３が積層フィルム１０に押し当てられることにより、多孔質ゴム部１１３から電極液が染み出して積層フィルム１０の表面に供給される。第１プローブ１１０がリチウムイオン二次電池２００の表面に接触されるとともに、電圧印加装置１３０により第１および第２のプローブ１１０，１２０間に一定の電圧が印加される。
【００２８】
続いて、第１および第２プローブ１１０，１２０間のインピーダンス値が所定値以下であるか否かが判断される（ステップＳ１０３）。本実施形態では、一定の電圧が印加されている第１および第２プローブ１１０，１２０間のインピーダンス値が測定され、インピーダンス値が所定値（判定レベル）以下であるか否かが判断される。ここで、所定値は、第１および第２プローブ１１０，１２０間の通電状態／絶縁状態を判定するための値であり、たとえば、５０Ωである。
【００２９】
第１および第２プローブ１１０，１２０間のインピーダンス値が所定値以下でないと判断される場合（ステップＳ１０３：ＮＯ）、第１および第２プローブ１１０，１２０間が絶縁状態にあるとして、ステップＳ１０５の処理に移行する。
【００３０】
一方、第１および第２プローブ１１０，１２０間のインピーダンス値が所定値以下であると判断される場合（ステップＳ１０３：ＹＥＳ）、不良品の判断がなされ（ステップＳ１０４）、処理が終了される。本実施形態では、第１および第２プローブ１１０，１２０間が通電状態にあり、第１および第２絶縁層４１，４２を貫通して金属層２０に達している欠陥５０ｃ（図１（Ｃ）参照）が積層フィルム１０に存在すると判断される。金属層２０まで達している欠陥５０ｃが存在するリチウムイオン二次電池２００は、不良品と判断される。
【００３１】
以上のとおり、図４のステップＳ１０１〜Ｓ１０４に示す処理によれば、第１および第２プローブ１１０，１２０間の通電状態が検知される。第１および第２プローブ１１０，１２０間の通電状態が検知されることにより、第１および第２絶縁層４１，４２を貫通して金属層２０に達している欠陥５０ｃが積層フィルム１０に存在することが検知される。
【００３２】
一方、ステップＳ１０３に示す処理において、第１および第２プローブ１１０，１２０間のインピーダンス値が所定値以下でないと判断される場合（ステップＳ１０３：ＮＯ）、チャタリングが発生したか否かが判断される（ステップＳ１０５）。本実施形態では、第１および第２プローブ１１０，１２０間のインピーダンス値が大きく変動するチャタリングが発生したか否かが判断される。
【００３３】
図５は、第１および第２プローブ間のチャタリングを説明するための図である。図５（Ａ）は、チャタリングが発生していないインピーダンス波形を示す図であり、図５（Ｂ）は、チャタリングが発生しているインピーダンス波形を示す図である。図５（Ａ）および図５（Ｂ）の縦軸はインピーダンス値であり、横軸は時間である。チャタリングは、第１絶縁層４１を貫通して第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂ（図１（Ｂ）参照）が積層フィルム１０に存在する場合に発生する。エタノールを主成分とする電極液は、ナイロンよりなる第２絶縁層４２に浸透するため、電極液が第２絶縁層４２に浸透して金属層２０に到達すれば、第１および第２プローブ１１０，１２０間が絶縁状態から通電状態に変化する。第１および第２プローブ１１０，１２０間が絶縁状態から通電状態に変化するとき、チャタリングが発生する。電極液は時間をかけて第２絶縁層４２に浸透し、一定時間（たとえば、数分）経過すれば、第１および第２プローブ１１０，１２０間のインピーダンス値はほぼゼロとなる。チャタリングは、金属層２０と第２絶縁層４２との間の剥離状態に起因している。
【００３４】
ステップＳ１０５に示す処理において、チャタリングが発生していないと判断される場合（ステップＳ１０５：ＮＯ）、ステップＳ１０９の処理に移行する。
【００３５】
一方、チャタリングが発生したと判断される場合（ステップＳ１０５：ＹＥＳ）、チャタリング発生時間が検出される（ステップＳ１０６）。本実施形態では、第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂの深さを算出するために、リチウムイオン二次電池２００の表面に第１プローブ１１０が接触してからチャタリングが発生するまでの時間（チャタリング開始時間）が検出される。
【００３６】
続いて、欠陥５０ｂの深さが算出される（ステップＳ１０７）。本実施形態では、ステップＳ１０６に示す処理で検出されたチャタリング開始時間から、第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂの深さが算出される。
【００３７】
図６は、電極液の浸透時間と欠陥の深さとの関係を示す図である。図６の縦軸は欠陥の深さであり、横軸は電極液の浸透時間である。図６に示すとおり、第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂの深さと、電極液の第２絶縁層４２への浸透時間とは、欠陥５０ｂの深さが深いほど浸透時間が短くなる関係を有する。したがって、欠陥の深さとチャタリング開始時間との関係を示す欠陥深さ−チャタリング開始時間変換テーブルを予め作成しておくことにより、ステップＳ１０６に示す処理で検出されたチャタリング開始時間から、欠陥５０ｂの深さを算出することができる。
【００３８】
続いて、リペアが指示され（ステップＳ１０８）、処理が終了される。本実施形態では、第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂが積層フィルム１０に存在するとして、リペアが指示される。なお、第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂが積層フィルム１０に存在する場合、十分な水分遮断特性が得られない。
【００３９】
以上のとおり、図４のステップＳ１０５〜ステップＳ１０８に示す処理によれば、電極液が第２絶縁層４２を透過して金属層２０に到達することにより、第１および第２プローブ１１０，１２０間が絶縁状態から通電状態に変化することが検知される。第１および第２プローブ１１０，１２０間が絶縁状態から通電状態に変化することが検知されることにより、第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂが積層フィルム１０に存在することが検知される。加えて、チャタリング開始時間が検出されることにより、欠陥５０ｂの深さが算出される。
【００４０】
一方、ステップＳ１０５に示す処理において、チャタリングが発生していないと判断される場合（ステップＳ１０５：ＮＯ）、所定時間経過したか否かが判断される（ステップＳ１０９）。ここで、所定時間は、第１および第２プローブ１１０，１２０間にチャタリングが発生しないことを確認するのに十分な時間であり、たとえば、５分である。
【００４１】
所定時間経過していないと判断される場合（ステップＳ１０９：ＮＯ）、ステップＳ１０５の処理に戻る。
【００４２】
一方、所定時間経過したと判断される場合（ステップＳ１０９：ＹＥＳ）、リペアが指示され（ステップＳ１１０）、処理が終了される。本実施形態では、第１および第２プローブ１１０，１２０間が絶縁状態に維持されており（図５（Ａ）参照）、第１絶縁層４１を貫通していない欠陥５０ａ（図１（Ａ）参照）が積層フィルム１０に存在するとして、リペアが指示される。
【００４３】
以上のとおり、図４のステップＳ１０９およびＳ１１０に示す処理によれば、第１および第２プローブ１１０，１２０間の通電状態が検知されないことにより、第１絶縁層４１を貫通していない欠陥５０ａが積層フィルム１０に存在することが検知される。
【００４４】
そして、本実施形態の検査システムおよび検査方法によれば、積層フィルム１０の表面と積層フィルム１０の端面１０ｅから露出する金属層２０の端面２０ｅとの間の通電状態を検知することにより、積層フィルム１０を貫通していない欠陥が検査される。具体的には、第１および第２絶縁層４１，４２を貫通して金属層２０に達している欠陥５０ｃ、第１絶縁層４１を貫通して第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂ、ならびに第１絶縁層４１を貫通していない欠陥５０ａが検査される。
【００４５】
（変形例）
上述した実施形態では、第１および第２プローブ１１０，１２０間のチャタチングを利用することにより、第１絶縁層４１を貫通して第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂの深さが算出された。しかしながら、欠陥５０ｂの深さを算出する処理は省略されてもよい。
【００４６】
図７は、変形例にかかる検査処理の手順を示すフローチャートである。変形例にかかる検査処理では、上述した実施形態における印加電圧（たとえば、５０Ｖ）よりも低い印加電圧（たとえば、２５Ｖ）が第１および第２プローブ１１０，１２０間に印加される。低い電圧が印加されることにより、突入電流が小さくなり、第１および第２プローブ１１０，１２０間にチャタリングが発生しなくなる。
【００４７】
ステップＳ２０１〜Ｓ２０４に示す処理は、図４のステップＳ１０１〜Ｓ１０４に示す処理と同様であるため、説明は省略する。図７のステップＳ２０１〜Ｓ２０４に示す処理によれば、第１および第２絶縁層４１，４２を貫通して金属層２０に達している欠陥５０ｃ（図１（Ｃ）参照）が積層フィルム１０に存在することが検知される。
【００４８】
一方、ステップＳ２０３に示す処理において、インピーダンス値が所定値以下でないと判断される場合（ステップＳ２０３：ＮＯ）、リペアが指示され（ステップＳ２０５）、処理が終了される。本変形例では、第１絶縁層４１を貫通して第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂ（図１（Ｂ）参照）、または、第１絶縁層４１を貫通していない欠陥５０ａ（図１（Ａ）参照）が積層フィルム１０に存在するとして、リペアが指示される。
【００４９】
図８は、低い電圧が印加された場合の第１および第２プローブ間のインピーダンス波形を示す図である。第２絶縁層４２の一部にまで達している欠陥５０ｂが積層フィルム１０に存在する場合、第１および第２プローブ１１０，１２０間に電圧が印加されれば、第１および第２プローブ１１０，１２０間が絶縁状態から通電状態に変化する（図８（Ｂ）参照）。本変形例では、第１および第２プローブ１１０，１２０間に低い電圧を印加することにより、第１および第２プローブ１１０，１２０間が絶縁状態から通電状態に変化するとき、チャタリングの発生が防止される。なお、第１絶縁層４１を貫通していない欠陥５０ａが積層フィルム１０に存在する場合には、第１および第２プローブ１１０，１２０間は、絶縁状態に維持される（図８（Ａ）参照）。
【００５０】
このような構成によれば、チャタリングが発生せず、安定したインピーダンス波形が得られるため、不良品またはリペアの判断を短時間（たとえば、１秒以内）で精度よく行うことができる。
【００５１】
以上のとおり、説明した本実施形態は、以下の効果を奏する。
【００５２】
（ａ）本実施形態の検査システムおよび検査方法では、積層フィルムの表面と積層フィルムの端面から露出する金属層の端面との間の通電状態が検知されるため、積層フィルムを貫通していない欠陥を検査することができる。
【００５３】
（ｂ）第１および第２プローブ間の通電状態が検知される場合、第１および第２絶縁層を貫通して金属層に達している欠陥が存在すると判断される。したがって、積層フィルムを貫通することなく金属層に達している欠陥を検査することができる。
【００５４】
（ｃ）電極液が第２絶縁層に浸透して金属層に到達することにより、第１および第２プローブ間が絶縁状態から通電状態に変化することが検知される場合、第１絶縁層を貫通して第２絶縁層の一部にまで達している欠陥が存在すると判断される。したがって、金属層に達していない欠陥を検査することができる。
【００５５】
（ｄ）積層フィルムの表面に電極液の供給を開始してからチャタリングが発生するまでの時間を検出することにより、欠陥の深さが算出される。したがって、積層フィルムを破壊することなく、第１絶縁層を貫通して第２絶縁層の一部にまで達している欠陥の深さを算出することができる。
【００５６】
（ｅ）第１および第２プローブ間にチャタリングの発生を防止するように電圧が印加される。したがって、第１および第２絶縁層を貫通して金属層に達している欠陥と、金属層に達していない欠陥とを短時間で精度よく検査することができる。その結果、リチウムイオン二次電池の組み立て工程におけるインライン検査に適用することが可能になる。
【００５７】
（ｆ）第１プローブは、電極液を保持する多孔質ゴム部を含むため、第１プローブの多孔質ゴム部を積層フィルムの表面に押し当てることにより、積層フィルムに電極液を供給することができる。
【００５８】
（ｇ）第２プローブは、積層フィルムの端部を挟持するＶ字状の溝部を有する導電性の弾性部材であるため、積層フィルムの端部を傷つけることなく、積層フィルムの端面から露出する金属層の端面に接触することができる。
【００５９】
以上のとおり、説明した一実施形態において、本発明の検査システムおよび検査方法を説明した。しかしながら、本発明は、その技術思想の範囲内において当業者が適宜に追加、変形、および省略することができることはいうまでもない。
【００６０】
たとえば、上述した実施形態では、カメラを用いた外観検査により欠陥が予め確認された積層フィルムに対して、本発明の検査システムにより欠陥の種類および深さの検査が行われた。しかしながら、カメラによる外観検査を行うことなく、本発明の検査システムにより、欠陥の有無を直接検査してもよい。
【００６１】
また、上述した実施形態では、第１および第２プローブ間のインピーダンス値が測定されることにより、第１および第２プローブ間の通電状態が検知された。しかしながら、第１および第２プローブ間の電流値が測定されることにより、第１および第２プローブ間の通電状態が検知されてもよい。
【００６２】
また、上述した実施形態では、積層フィルムの端部の端面から露出する金属層の端部の端面に第２プローブが接触された。しかしながら、積層フィルムの端部の第１および第２絶縁層を除去して積層フィルムの端部から金属層の端部を露出させ、金属層の端部に第２プローブが接触されてもよい。
【００６３】
また、上述した実施形態では、第１プローブは、タンク部および多孔質ゴム部を有し、積層フィルムの表面に電極液を供給した。しかしながら、第１プローブとは別に液体供給装置を設け、液体供給装置から積層フィルムの表面に電極液を供給してもよい。
【００６４】
また、上述した実施形態では、第２プローブは、Ｖ字状の溝部を有する導電性ゴム材により形成された。しかしながら、第２プローブは、金属製プローブであってもよい。
【００６５】
また、上述した実施形態では、導電性の液体として、エタノールが利用された。しかしながら、導電性の液体はエタノールに限定されるものではなく、導電性を有する種々の液体が利用され得る。
【符号の説明】
【００６６】
１０  積層フィルム、
２０  金属層、
３０  シール層（絶縁層）、
４０  保護層（絶縁層）、
４１  第１絶縁層（第１の絶縁層）、
４２  第２絶縁層（第２の絶縁層）、
５０ａ，５０ｂ，５０ｃ  欠陥、
１００  検査システム、
１１０  第１プローブ（第１の電極、液体供給部）、
１１１  タンク部、
１１２  電極固定部、
１１３  多孔質ゴム部（多孔質部材）、
１２０  第２プローブ（第２の電極）、
１３０  電圧印加装置（電圧印加部、検知部）、
１４０  演算装置（検出部、算出部）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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