(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
位相変調子の位相変調角周波数で検出光量信号を同期検波する同期検波回路と、前記同期検波回路で同期検波された信号を用いて被測定電流の大きさを演算して出力する演算回路と、前記位相変調子の駆動を制御する位相変調子駆動回路と、光源からの光を直線偏光に変換し、前記位相変調子と光学的に接続される光学フィルタと、を有するサニャック干渉型光電流センサであって、
前記位相変調子駆動回路は、
前記検出光量信号を位相変調角周波数で同期検波した際の、当該信号の２次高調波の振幅と４次高調波の振幅が同じになるよう前記位相変調子の位相変調深度を制御し、
前記光学フィルタは、
偏波面保持ファイバからなる第１のリオ型デポラライザと、
前記位相変調子側に繋がる偏波面保持ファイバを用いて構成された偏光子と、を有し、
前記位相変調子は、位相変調子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバを有し、
この位相変調子と偏光子間を繋ぐ両者の前記偏波面保持ファイバにより第２のリオ型デポラライザが構成され、
前記第１のリオ型デポラライザと前記第２のリオ型デポラライザの全長比は、正の整数ｎを用いて１：２ｎ又は２ｎ：１であることを特徴とするサニャック干渉型光電流センサ。
【請求項２】
前記演算回路は、
前記位相変調子駆動回路により、前記２次及び４次高調波の振幅の絶対値が同じになるよう制御された信号の３次高調波の振幅を、２、４、６次の偶数次高調波の振幅のいずれか、又は２次と４次高調波の振幅の和で除算することで基準値を算出する規格化手段を有し、
前記規格化された前記基準値を被測定電流の大きさに比例した値として出力することを特徴とする請求項１に記載のサニャック干渉型光電流センサ。
【請求項３】
位相変調子の位相変調角周波数で検出光量信号を同期検波する同期検波回路と、前記同期検波回路で同期検波された信号を用いて被測定電流の大きさを演算して出力する演算回路と、前記位相変調子の駆動を制御する位相変調子駆動回路と、光源からの光を直線偏光に変換し、前記位相変調子と光学的に接続される光学フィルタと、を備えるサニャック干渉型光電流センサであって、
前記位相変調子駆動回路は、
前記検出光量信号を位相変調角周波数で同期検波した際の、当該信号の１次高調波の振幅を０とするよう前記位相変調子の位相変調深度を制御し、
前記演算回路は、
前記位相変調子駆動回路により、前記１次高調波の振幅を０とするよう制御された信号の３次高調波の振幅を、２、４、６次の偶数次高調波の振幅のいずれかで除算することで基準値を算出する規格化手段を有し、
前記規格化された前記基準値を被測定電流の大きさに比例した値として出力し、
前記光学フィルタは、
偏波面保持ファイバからなる第１のリオ型デポラライザと、
前記位相変調子側に繋がる偏波面保持ファイバを用いて構成された偏光子と、を有し、
前記位相変調子は、位相変調子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバを有し、
この位相変調子と偏光子間を繋ぐ両者の前記偏波面保持ファイバにより第２のリオ型デポラライザが構成され、
前記第１のリオ型デポラライザと前記第２のリオ型デポラライザの全長比は、正の整数ｎを用いて１：２ｎ又は２ｎ：１であることを特徴とするサニャック干渉型光電流センサ。
【請求項４】
前記位相変調子駆動回路は、［数１］により算出される値を、０より大きく、かつ、７より小さくなるように前記位相変調深度を制御することを特徴とする請求項３に記載のサニャック干渉型光電流センサ。
［数１］
0005904694.tif 000073
Ｌopt：前記位相変調子で位相変調を受ける時間差で規定される光学光路長
δ：位相変調深度
ωm：前記位相変調子の位相変調角周波数
ｃ：光速
【請求項５】
前記演算回路は、
前記基準値に対して、２〜６次までの偶数次高調波の振幅のいずれか２つの比を用いることで補正を施す補正手段を有し、
前記補正手段により補正された補正値を被測定電流の大きさに比例した値として出力することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のサニャック干渉型光電流センサ。
【請求項６】
位相変調子の位相変調角周波数で検出光量信号を同期検波する同期検波回路と、前記同期検波回路で同期検波された信号を用いて被測定電流の大きさを演算して出力する演算回路と、前記位相変調子の駆動を制御する位相変調子駆動回路と、光源からの光を直線偏光に変換し、前記位相変調子と光学的に接続される光学フィルタと、を備えるサニャック干渉型光電流センサであって、
前記演算回路は、
前記検出光量信号を位相変調角周波数で同期検波した際の奇数次高調波の振幅のいずれかを、偶数次高調波の振幅のいずれかで除算することで基準値を算出する規格化手段と、
前記基準値に対して、２〜６次の偶数次高調波の振幅の何れか２つの比を用いることで補正を施す補正手段と、を有し、
前記補正手段により補正された補正値を被測定電流の大きさに比例した値として出力し、
前記光学フィルタは、
偏波面保持ファイバからなる第１のリオ型デポラライザと、
前記位相変調子側に繋がる偏波面保持ファイバを用いて構成された偏光子と、を有し、
前記位相変調子は、位相変調子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバを有し、
この位相変調子と偏光子間を繋ぐ両者の前記偏波面保持ファイバにより第２のリオ型デポラライザが構成され、
前記第１のリオ型デポラライザと前記第２のリオ型デポラライザの全長比は、正の整数ｎを用いて１：２ｎ又は２ｎ：１であることを特徴とするサニャック干渉型光電流センサ。
【請求項７】
前記演算回路は、
前記基準値に対して、逆正接の補正を実施する逆正接補正手段を有し、
前記逆正接補正手段により補正された値を被測定電流の大きさに比例した値として出力することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のサニャック干渉型光電流センサ。
【請求項８】
前記演算回路は、
前記補正値に対して、逆正接の補正を実施する逆正接補正手段を有し、
前記逆正接補正手段により補正された値を被測定電流の大きさに比例した値として出力することを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のサニャック干渉型光電流センサ。
【請求項９】
前記光学フィルタは、
偏光子と、
前記偏光子の光源側に、当該偏光子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバである第１のリオ型デポラライザと、
前記偏光子の位相変調子側に、当該偏光子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバと、を有し、
前記位相変調子は、当該位相変調子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバを有し、
前記位相変調子と前記偏光子間で、当該位相変調子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバと、前記偏光子の位相変調子側に当該偏光子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた前記偏波面保持ファイバと、により第２のリオ型デポラライザが形成され、
前記第１のリオ型デポラライザと前記第２のリオ型デポラライザの全長比は、正の整数ｎを用いて１：２ｎ又は２ｎ：１であることを特徴とする請求項１又は２に記載のサニャック干渉型光電流センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位相変調法を光検波手段として用いたサニャック干渉型光電流センサに係り、温度変化、振動・音響や機械的応力などの外部環境変化に対して出力が安定し、かつ、高精度な測定を実現する光電流センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
位相変調法を光検波手段として用いたサニャック干渉型光電流センサついて、様々なタイプが提案されている。例えば、従来では、図１９に示される「全ファイバ型サニャック干渉型光電流センサ」（非特許文献１参照。）や、図２０に示される「ファイバ型ファラデー電流センサ」（非特許文献２参照。）や、図２１に示される「光電式電流センサーのセンサーヘッドの製造方法」（特許文献１参照。）や、図２２に示される「光ファイバ電流センサ」（特許文献２参照。）などが提案されている。
【０００３】
また、検出器で検出された検出光量信号から電流換算出力を算出する方法として、上記で説明した従来例の他に、図２３に示される「光ファイバ電流センサ及びその校正装置」（特許文献３参照。）や、「精密電流検知のための光ファイバ装置及び方法」（特許文献４参照。）などが提案されている。
【０００４】
このような図１９〜２３及び特許文献４に示されるサニャック干渉型光電流センサでは、位相変調子において、光に一定の角周波数で一定の振幅の位相変調を与えることを前提とし、この位相変調子には、ポッケルス素子型位相変調子や円筒型圧電素子に光ファイバを巻いて構成される圧電素子型位相変調子等が使用される。なお、前記角周波数を位相変調角周波数、前記振幅を位相変調深度という。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表２００５−５１７９６１号公報
【特許文献２】特表２００２−５２９７０９号公報
【特許文献３】特開２００５−３４５３５０号公報
【特許文献４】特表２０００−５１５９７９号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】G. Frosio, H. Hug, R. Dandliker, "All-fiber Sagnac current sensor", in Opto 92 (ESI Publications, Paris), p560-564 (Apr 1992)
【非特許文献２】G. Frosio and R. Dandliker, "Reciprocal reflection interferometer for a fiber-optic Faraday current sensor", Appl. Opt. 33, p6111-6122 (Sep 1994)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記のような図１９〜２３及び特許文献４で示したサニャック干渉型光電流センサでは、位相変調子として、上述した通り、ポッケルス素子型位相変調子や円筒型圧電素子に光ファイバを巻いて構成される圧電素子型位相変調子等が使用され、何れの位相変調子も位相変調角周波数の電圧信号をポッケルス素子や円筒圧電素子に加えることで、光に位相変調を印加している。この時の位相変調深度は印加する前記電圧信号の振幅の大きさで調整しているため、実際に光に印加される位相変調深度と位相変調子に印加する電圧信号の振幅は等価として取り扱われる。
【０００８】
しかしながら、位相変調子は温度特性を有し、位相変調子の周りの環境温度に応じて位相変調効率も変化するため、位相変調子に印加する電圧信号の振幅を一定に制御した場合であっても、実際に光に印加される位相変調の位相変調深度は変化してしまう。また、このような位相変調子の位相変調効率の変化は、温度変化の他に、位相変調子自体の劣化によっても生じる。
【０００９】
その結果、位相変調子を一定の位相変調深度で駆動しているつもりでも、実際に印加される位相変調が変化するため、サニャック干渉型光電流センサの出力が変動するといった課題が生じる。位相変調子には、ポッケルス素子や、円筒型圧電素子に光ファイバを巻き付けて構成されたものがあるが、いずれもポッケルス素子や円筒型圧電素子に電圧を印加することで位相変調を発生させているので、位相変調子に印加する印加電圧にノイズが重畳している場合も、同様に、サニャック干渉型光電流センサの出力が変動する。
【００１０】
なお、このような従来例では、実際に印加されている位相変調の大きさが変化しても、その大きさを検出しフィードバック制御を駆ける仕組みをそもそも備えていなかった。
【００１１】
さらに、光の伝播経路、特に位相変調子と１／４波長板の間の消光比が変化してしまうと、サニャック干渉型光電流センサの出力が変動し、測定精度が低減するといった課題も生じる。例えば、図１９〜２３及び特許文献４で示されるサニャック干渉型光電流センサでは、位相変調子と１／４波長板の間の消光比が悪化すると、サニャック干渉型光電流センサの出力が変動するため、測定精度が低下してしまう。
【００１２】
また、図１９、図２０で提案されているサニャック干渉型光電流センサでは、位相変調子と１／４波長板の間を偏波面保持ファイバで接続することを想定している。偏波面保持ファイバに機械的な応力（振動や音響や温度変化にともなう応力も含む）が加わった場合には、偏波面保持ファイバの２つの光学軸を伝播する光の間でクロストークが発生し消光比が変化するため、サニャック干渉型光電流センサの出力が変動してしまう。
【００１３】
この機械的応力が上記の偏波面保持ファイバに印加される要因は様々あり、例えば、人が偏波面保持ファイバを踏みつけて応力が印加されてしまったり、また、１／４波長板とセンサファイバを収納するケースから偏波面保持ファイバを引き出す際、収納ケースの密閉性を高めるために当該ケースの偏波面保持ファイバの引き出し部分が蝋材や接着剤などで封じ切られ、その部分に温度変化が生じると材料の熱膨張の違いにより偏波面保持ファイバに応力が印加されてしまう。
【００１４】
さらに、位相変調子と１／４波長板の間をつなぐ偏波面保持ファイバをコイル状に巻き付けて収納する場合や、偏波面保持ファイバを保護管に収納する場合は、振動や音響の共振によって、偏波面保持ファイバに応力が印加されるので、消光比が変化しサニャック干渉型光電流センサの出力が変動し得る。
【００１５】
また、位相変調子と１／４波長板の間を偏波面保持ファイバで接続する際、光コネクタによる接続を行った場合には、光コネクタが機械的接続となるため、接続される偏波面保持ファイバ間で光学軸のズレが生じ、その結果、クロストークが発生し消光比が悪化する。仮に、光コネクタで偏波面保持ファイバ同士を理想的に接続できたとしても、上述の通り、光コネクタは機械的接続となるため、光コネクタに振動や温度変化が印加されると、偏波面保持ファイバ同士で光学軸のズレが生じる可能性があり、位相変調子と１／４波長板の間の消光比を安定的に保つことが難しい。
【００１６】
また、位相変調子と１／４波長板間の偏波面保持ファイバを放電により融着接続する場合であっても、偏波面保持ファイバ同士で有限な光学軸のズレが生じ得る。そのため、サニャック干渉型光電流センサの１／４波長板を含んだセンサヘッド部分と位相変調子を含んだ信号処理ユニット分とを繋ぐ偏波面保持ファイバ（送光ファイバ）を途中で切り離し、再度接続した際には消光比が変化する可能性がある。これにより、上記の偏波面保持ファイバの切り離し前後で、光電流センサの出力が変化（感度が変化）することもあり得る。
【００１７】
このように、消光比の悪化は、偏光子や位相変調子、それらの光学部品を光学的に接続する偏波面保持ファイバのあらゆる部分で起こる可能性があり、光電流センサの出力にも変動が生じる。
【００１８】
さらに、図１９、図２１、図２３及び特許文献４で提案されている信号処理方法を用いる場合も、位相変調子と１／４波長板の間の消光比が変化した際には、サニャック干渉型光電流センサの出力が変動するため、サニャック干渉型光電流センサの入出力特性の直線性が悪化し測定精度が低下する。
【００１９】
また、特許文献４に示されている信号処理方法では、２つの位相変調子のうち一方の光学的位相差を他方の位相変調子で相殺し、相殺位相量（具体的には位相変調子に与える電圧信号の大きさ）から電流値を求める方式を採用しているが（一般にセロダイン検波方式と呼ばれる検出方式）、この場合、位相変調子は２以上必要であり、かつ、２つの位相変調子の間の位相変調効率が同じでなければ、位相変調子に与えている電圧から正確に相殺位相量を測定できない。そのため、測定精度が低下し、また、２個以上の位相変調子を使用することが不経済であり、部品点数増加による信頼性の低下といった課題が生じる。
【００２０】
本発明は、上記のような課題を解決するために提案されたものであって、その目的は、位相変調子の変調効率が変化した場合であっても、また、光伝播経路、特に位相変調子と１／４波長板との消光比が悪化した場合であっても、安定かつ高精度な測定を実現するサニャック干渉型光電流センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上述した目的を達成するために、本発明は、位相変調子の位相変調角周波数で検出光量信号を同期検波する同期検波回路と、前記同期検波回路で同期検波された信号を用いて被測定電流の大きさを演算して出力する演算回路と、前記位相変調子の駆動を制御する位相変調子駆動回路と、光源からの光を直線偏光に変換し、前記位相変調子と光学的に接続される光学フィルタと、を有するサニャック干渉型光電流センサであって、前記位相変調子駆動回路は、前記検出光量信号を位相変調角周波数で同期検波した際の、当該信号の２次高調波の振幅と４次高調波の振幅が同じになるよう前記位相変調子の位相変調深度を制御し、前記光学フィルタは、偏波面保持ファイバからなる第１のリオ型デポラライザと、前記位相変調子側に繋がる偏波面保持ファイバを用いて構成された偏光子と、を有し、前記位相変調子は、位相変調子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバを有し、この位相変調子と偏光子間を繋ぐ両者の前記偏波面保持ファイバにより第２のリオ型デポラライザが構成され、前記第１のリオ型デポラライザと前記第２のリオ型デポラライザの全長比は、正の整数ｎを用いて１：２ｎ又は２ｎ：１であることを特徴とする。
【００２２】
また、この演算回路は、前記位相変調子駆動回路により、前記２次及び４次高調波の振幅の絶対値が同じになるよう制御された信号の３次高調波の振幅を、２、４、６次の偶数次高調波の振幅のいずれか、又は２次と４次高調波の振幅の和で除算することで基準値を算出する規格化手段を有し、前記規格化された前記基準値を被測定電流の大きさに比例した値として出力することを特徴とする。
【００２３】
このような態様によれば、２次高調波と４次高調波の振幅を同じ大きさになるよう制御するので、３次高調波は安定的に極大とすることができ、ノイズの影響を受け難くすることが可能となる。また、位相変調子の変調効率が変化しても２次高調波と４次高調波の振幅を同じ大きさになるように位相変調深度を制御することで、実際に光に印加される位相変調を一定にすることができる。
【００２４】
さらに、３数次高調波を偶数次高調波で規格化することにより、光源の発光光量変化や光伝播経路の光伝送損失変化などによって検出光量が変化しても、安定な被測定電流に比例した出力を得ることができる。特に、２次高調波、４次高調波、６次高調波は、他の高次の偶数次高調波の振幅と比較して、その値が大きいためノイズの影響を受けにくい。加えて、３次高調波の振幅に対して、２次高調波の振幅、４次高調波の振幅、２次高調波の振幅と４次高調波の振幅の和、又は６次高調波の振幅のいずれかを用いて規格化した規格化出力は、位相変調子と１／４波長板の間の消光比が変化しても、消光比の値が小さい又は一定であれば、被測定電流の大きさとの間で良い直線性を得ることができる。
【００２５】
また、２次高調波と４次高調波を同じ値に制御する過程では、２次高調波と４次高調波の変化方向が逆であるため、２次高調波の振幅と４次高調波の振幅の和で３次高調波を規格化することは、単に２次高調波や４次高調波で３次高調波を規格化するよりも安定した規格化を行うことができる。
【００２６】
また、本発明は、前記位相変調子駆動回路が、前記検出光量信号を位相変調角周波数で同期検波した際の、当該信号の１次高調波の振幅を０とするよう前記位相変調子を制御する態様も包含する。
【００２７】
このような態様によれば、１次高調波の振幅を０とするよう位相変調子の位相変調深度を制御するので、実際に光に印加される位相変調を一定にすることが可能となり、位相変調子の温度変化や経年変化等により位相変調効率が変化した場合であっても、サニャック干渉型光電流センサの出力変動を抑制することができる。
【００２８】
さらに、本発明は、前記演算回路が、前記位相変調子駆動回路により、前記１次高調波の振幅を０とするよう制御された信号の３次高調波の振幅を、２、４、６次の偶数次高調波の振幅のいずれかで除算することで基準値を算出する規格化手段を有し、前記規格化された前記基準値を被測定電流の大きさに比例した値として出力する態様も包含する。
【００２９】
このような態様によれば、奇数次高調波は被測定電流にほぼ比例した値であり、奇数次高調波及び偶数次高調波は検出器での検出光量にほぼ比例した値であるため、この奇数次高調波を偶数次高調波で規格化することにより、光源の発光光量変化や光伝播経路の光伝送損失変化等で検出光量が変化する場合であっても、安定な被測定電流に比例した出力を得ることができる。特に、１次高調波の振幅は０になるように制御されているため、被測定電流に比例した出力を得るには、３次以上の奇数次高調波が有効である。
【００３０】
また、３次高調波の振幅は、他の高次の奇数次高調波の振幅と比較して、その値が大きいためノイズの影響を受け難く、同様に、２次高調波、４次高調波、６次高調波も他の高次の偶数次高調波の振幅と比較して、その値が大きいためノイズの影響を受け難い。そのため、３次高調波の振幅に対して、２次高調波の振幅、４次高調波の振幅、又は６次高調波の振幅のいずれかを用いて規格化した規格化出力は、位相変調子と１／４波長板の間の消光比が変化しても、消光比の値が小さい又は一定であれば、被測定電流の大きさとの間で良い直線性を得ることができる。
【００３１】
また、本発明では、前記位相変調子駆動回路において、ファラデー素子を伝播する２つの円偏光が位相変調子により位相変調を受ける時間差で規定される光学光路長と当該位相変調子の位相変調角周波数との積を２倍の光速で割った値の正弦に対し、位相変調子の位相変調深度δを掛けた値が、０より大きく、かつ、７より小さくなるように前記位相変調深度を制御することも特徴とする。
【００３２】
このような態様によれば、ファラデー素子を伝播する２つの円偏光が位相変調子で位相変調を受ける時間差で規定される光学光路長と位相変調子の位相変調角周波数との積を２倍の光速で割った値の正弦に、前記位相変調子の位相変調深度の２倍を掛けた値が、０より大きく、かつ７より小さくなるよう制御しているので、３次高調波の振幅が大きく、かつ、１次高調波が０となる条件が一意に決まり、１次高調波を０とする制御を安定化することができる。
【００３３】
また、上記以外の１次高調波が０となる条件では、３次高調波の振幅がより小さくなるので、この条件が３次高調波の振幅が最も大きくなる条件であり、ノイズの影響も受け難い。なお、被測定電流が０の場合には１次高調波は０となるため、位相変調子の位相変調深度はいかなる値もとることができることになり、１次高調波を０とする制御が暴走したり、位相変調深度が極めて大きい場合には位相変調子を破損する可能性があるが、本発明により位相変調深度には制限がかかるため、位相変調子の破損を抑制することも可能となる。
【００３４】
また、本発明は、前記演算回路が、前記基準値に対して、２〜６次までの偶数次高調波の振幅のいずれか２つの比を用いることで補正を施す補正手段を有し、前記補正手段により補正された補正値を被測定電流の大きさに比例した値として出力する態様も包含する。
【００３５】
このような態様によれば、２次から６次までの偶数次高調波のいずれか２つ以上の振幅を用いて、規格化出力を補正することで、位相変調子と１／４波長板の消光比が変化しても、感度の変化が小さな補正規格化出力を得ることができ、その結果、サニャック干渉型光電流センサの入出力特性の直線性を得ることができるだけでなく、感度変化も抑制することが可能となり、高精度なサニャック干渉型光電流センサを実現することができる。
【００３６】
また、本発明は、前記演算回路が、前記検出光量信号を位相変調角周波数で同期検波した際の奇数次高調波の振幅のいずれかを、偶数次高調波の振幅のいずれかで除算することで基準値を算出する規格化手段と、前記基準値に対して、２〜６次の偶数次高調波の振幅の何れか２つの比を用いることで補正を施す補正手段と、を有し、前記補正手段により補正された補正値を被測定電流の大きさに比例した値として出力する態様も包含する。
【００３７】
このような態様によれば、上記と同様に、２次から６次までの偶数次高調波のいずれか２つ以上の振幅を用いて、規格化出力を補正することで、位相変調子と１／４波長板の消光比が変化しても、感度の変化が小さな補正規格化出力を得ることができ、その結果、サニャック干渉型光電流センサの入出力特性の直線性を得ることができるだけでなく、感度変化も抑制することができ、高精度なサニャック干渉型光電流センサを実現できる。
【００３８】
また、本発明は、前記演算回路が、前記基準値又は補正値に対して、逆正接の補正を実施する逆正接補正手段を有し、前記逆正接補正手段により補正された値を被測定電流の大きさに比例した値として出力する点も特徴とする。
【００３９】
このような態様によれば、被測定電流が小さな領域では、規格化出力又は補正規格化出力がほぼ被測定電流に比例すると共に、被測定電流が大きな領域では、規格化出力又は補正規格化出力の逆正接が、被測定電流の大きさにほぼ比例する。そのため、規格化出力、又は補正規格化出力に逆正接の補正を施すことにより、被測定電流が大きな領域でも、サニャック干渉型光電流センサの入出力特性の直線性を向上することが可能となり、その結果、測定精度を高めることができる。
【００４０】
また、本発明は、光源からの光を直線偏光に変換し、前記位相変調子と光学的に接続される光学フィルタを備え、この光学フィルタが、偏波面保持ファイバからなる第１のリオ型デポラライザと、前記位相変調子側に繋がる偏波面保持ファイバを用いて構成された偏光子と、を有し、前記位相変調子は、位相変調子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバを有し、加えて、この位相変調子と偏光子間を繋ぐ両者の前記偏波面保持ファイバにより第２のリオ型デポラライザが構成され、前記第１のリオ型デポラライザと前記第２のリオ型デポラライザの全長比は、正の整数ｎを用いて１：２ｎ又は２ｎ：１である態様も包含する。
【００４１】
以上のような態様によれば、まず、第１のリオ型デポラライザにより、偏光子からの出力光量を安定化することが可能となる。また、第１のリオ型デポラライザの全長と第２のリオ型デポラライザの全長の比が正の整数ｎを用いて１：２ｎ又は２ｎ：１の関係としているため、各デポラライザの群遅延時間差を可干渉時間以上にすることができ、各デポラライザで残存した偏光成分の干渉も抑制され、結果として光学的な位相ドリフトを抑制することが可能となり、サニャック干渉型光電流センサとしての零点ドリフトを抑制することができる。
【００４２】
また、本発明は、この前記光学フィルタが、偏光子と、前記偏光子の光源側に、当該偏光子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバである第１のリオ型デポラライザと、前記偏光子の位相変調子側に、当該偏光子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバと、を有し、また、前記位相変調子は、当該位相変調子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバを有し、加えて、前記位相変調子と前記偏光子間で、当該位相変調子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏波面保持ファイバと、前記偏光子の位相変調子側に当該偏光子の光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた前記偏波面保持ファイバと、により第２のリオ型デポラライザが形成され、前記第１のリオ型デポラライザと前記第２のリオ型デポラライザの全長比は、正の整数ｎを用いて１：２ｎ又は２ｎ：１である態様も包含する。
【００４３】
以上のような態様によれば、偏光子の機能とは関係なく光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた当該偏光子の偏波面保持ファイバを利用して第１のリオ型デポラライザを構成することで、別途デポラライザ素子を挿入する必要がなくなるため、ファイバ同士の光接続点も少なくなり、光接続損失、光伝送損失、光の伝播偏光特性もより安定化を図ることができ、さらには経済的でもある。
【発明の効果】
【００４４】
以上のような本発明によれば、検出器で検出される検出光量を位相変調子の変調角周波数で同期検波した際の１次高調波の振幅が０になるように制御、又は２次高調波の振幅の絶対値と４次高調波の振幅が同じ大きさになるように制御することで、位相変調子の位相変調効率が温度変化や経年変化などで変化する場合でも、位相変調子で印加される位相変調の大きさを一定に保つことができ、さらに、２次から６次の偶数次高調波を用いて補正した３次高調波の振幅を光電流センサの出力として用いることで、光の伝播経路、特に位相変調子と１／４波長板の間の消光比が変化した場合でも、サニャック干渉型光電流センサの出力変動を抑制でき、高精度な測定が可能なサニャック干渉型光電流センサを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるサニャック干渉型光電流センサの全体構成を示す図。
【図２】本発明の第１の実施形態におけるリオ型デポラライザの構成を示す図。
【図３】本発明の第１の実施形態におけるベッセル関数とＲ＝2δｓｉｎωmαの関係を示す図。
【図４】本発明の第１の実施形態における検出器で検出される光量Ｐoutの波形と波高値の関係を示す図。
【図５】本発明の第１の実施形態におけるθcの大きさに応じた検出器で検出される光量Ｐoutの波形と波高値の関係を示す図。
【図６】本発明の第１の実施形態における電流対応出力Ｐkとｔａｎ4θfの関係を示す図（｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の場合）。
【図７】本発明の第１の実施形態におけるθcとη（θc）の関係を示す図（θf＝０°、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の場合）。
【図８】本発明の第１の実施形態におけるηとｋ´の関係を示す図（｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の場合）。
【図９】本発明の第１の実施形態における測定電流Ｉによって生じるθfと比誤差の関係を示す図（θc＝０°、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の場合）。
【図１０】本発明の第１の実施形態における測定電流Ｉによって生じるθfと比誤差の関係を示す図（θc＝３°、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の場合）。
【図１１】本発明の第１の実施形態における測定電流Ｉによって生じるθfと比誤差の関係を示す図（θc＝６°、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の場合）。
【図１２】本発明の第１の実施形態における測定電流Ｉによって生じるθfと比誤差の関係を示す図（θc＝１０°、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の場合）。
【図１３】本発明の第２の実施形態における電流対応出力Ｐkとｔａｎ4θfの関係を示す図（｜Ｐ1ω｜＝０の場合）。
【図１４】本発明の第２の実施形態におけるθcとη（θc）の関係を示す図（θf＝０°、Ｐ1ω＝０の場合）。
【図１５】本発明の第２の実施形態におけるηとｋ´の関係を示す図（Ｐ2ω＝０の場合）。
【図１６】本発明の第２の実施形態における測定電流Ｉによって生じるθfと比誤差の関係を示す図（θc＝０°、Ｐ1ω＝Ｐ4ωの場合）。
【図１７】本発明の第２の実施形態における測定電流Ｉによって生じるθfと比誤差の関係を示す図（θc＝１０°、Ｐ1ω＝Ｐ4ωの場合）。
【図１８】本発明の第２の実施形態におけるサニャック干渉型光電流センサの全体構成を示す図。
【図１９】本発明の従来技術に係る電流センサの構成を示す図（１）
【図２０】本発明の従来技術に係る電流センサの構成を示す図（２）
【図２１】本発明の従来技術に係る電流センサの構成を示す図（３）
【図２２】本発明の従来技術に係る電流センサの構成を示す図（４）
【図２３】本発明の従来技術に係る電流センサの構成を示す図（５）
【発明を実施するための形態】
【００４６】
［１．第１の実施形態］
次に、本発明の第１の実施形態に係るサニャック干渉型光電流センサについて、図１〜１２を参照して以下に説明する。以下では、第１の実施形態に係る光電流センサの基本構成、及び基本的な動作を説明し、光の挙動の説明に関しては、ジョーンズ行列を利用するものとする。
【００４７】
［１．１．構成］
まず、第１の実施形態に係るサニャック干渉型光ＣＴの基本構成について、図１を参照して説明する。なお、図１は、第１の実施形態に係るサニャック干渉型光電流センサ（サニャック干渉型ＣＴ）の基本構成を示す図である。
【００４８】
図１に示す通り、サニャック干渉型光電流センサは、後述する、光源駆動回路１０１と、光源１０２と、ファイバカプラ１０３と、光学フィルタ１０４と、位相変調子１０５と、余長コイルと、検出器１０６と、同期検波回路１０７と、位相変調子駆動回路１０８と、演算回路１０９と、が設けられた信号処理ユニット１００を備えている。
【００４９】
また、送光ファイバ２００を介して、この信号処理ユニット１００と繋がれる、１／４波長板３０１と、センサファイバ３０２と、鏡３０３と、を有するセンサヘッド部３００を備えている。
【００５０】
信号処理ユニット１００において、光源駆動回路１０１は、光源１０２の駆動を制御する回路であり、その光源１０２には、干渉性の小さなＬＥＤ（発光ダイオード）やＳＬＤ（スーパールミネッセントダイオード）等が使用され、光源出力が光ファイバに結合されているものが用いられる。この場合の光ファイバとしては、シングルモードファイバや偏波面保持ファイバを使用することが可能であり、特に、偏波保持特性を良好に保ちたい場合には偏波面保持ファイバを使用する。
【００５１】
なお、光源１０２から出た光は一般にランダム光であると考えることができるため、その電界成分を下記［数１］とする。
【００５２】
［数１］
0005904694.tif 000002
【００５３】
ここで、係数１／√２は、Ｅinの絶対値｜Ｅin｜ が「１」となるように規格化するために設けた係数であり、位相φr（ｔ）は、Ｅinのｘ成分には無関係に変化する位相差で、この位相φr（ｔ）をもって、ランダム光を表現している。
【００５４】
ファイバカプラ１０３は、光源１０２から出た光を分岐する光分岐手段であり、その一方が偏光子である光学フィルタ１０４に繋がれる。このファイバカプラ１０３はシングルモードファイバカプラでも偏波面保持ファイバカプラでも良く、偏波保持特性を良好に保ちたい場合には偏波面保持ファイバカプラを使用する。
【００５５】
光学フィルタ１０４は、偏光子であるが、実際の光源１０２では、ランダム光とはいえ光の偏光状態が偏っている場合も想定される。そのため、ファイバカプラ１０３と偏光子１０４ａの間にデポラライザ１０４ｂを挿入し、このデポラライザ１０４ｂと偏光子１０４ａで当該光学フィルタ１０４を構成している。このような構成を有することにより偏光子１０４ａからの出力は安定化する。
【００５６】
より詳細には、この偏光子１０４ａに、偏波面保持ファイバで構成されたものを用いることを想定し、また、デポラライザ１０４ｂとしては、図２に示す通り、偏波面保持ファイバ同士の光学軸を４５°回転させて接続したリオ型デポラライザを用いている。ここで、リオ型デポラライザに関して、接続する偏波面保持ファイバ同士の長さは１：２、又は２：１として接続することでデポラライザ１０４ｂの特性は安定する（ＪＯＵＲＮＡＬ  Ｏｆ  Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｖｏｌ．ＬＴ１ Ｎｏ．１ Ｍａｒ １９８３ Ｐ７１-７４参照。）。
【００５７】
また、光分岐手段であるファイバカプラ１０３として、偏波面保持ファイバカプラを使用する場合には、この偏波面保持ファイバカプラのリード部分（偏波面保持ファイバ）と、偏光子１０４ａの実体的な機能とは関係なく、当該偏光子１０４ａに光学軸を規定して光を伝播することを目的に設けられた偏波面保持ファイバ（以下、偏光子のリード部分と表記する。）と、の光学軸を４５°回転させて接続することによりデポラライザ１０４ｂを構成する。これによれば、別途デポラライザ素子を挿入する必要がないため、ファイバ同士の光接続点も少なくなり、光接続損失、光伝送損失及び光の伝播偏光特性もより安定し、経済的となる。
【００５８】
なお、このようなデポラライザ１０４ｂを用いる場合も、該当する偏波面保持ファイバカプラ１０３のリード部分（偏波面保持ファイバ）の長さと偏光子１０４ａのリード部分（偏波面保持ファイバ）の長さの比を１：２又は２：１とする。これにより、デポラライザ１０４ｂとしての安定性が向上する。
【００５９】
一方、偏光子１０４ａに偏波面保持ファイバを使用している状況下において、ファイバカプラ１０３として、シングルモードファイバカプラを使用する場合には、当該シングルモードファイバカプラのリード部分（シングルモードファイバ）と偏光子１０４ａの間に偏波面保持ファイバを挿入し、この偏波面保持ファイバの光学軸と偏光子１０４ａのリード部分（偏波面保持ファイバ）の光学軸を４５°回転させて接続することでリオ型のデポラライザを構成する。これによれば、別途デポラライザ素子を挿入する必要がないため、ファイバ同士の光接続点も少なくなり、光接続損失、光伝送損失及び光の伝播偏光特性も安定し、経済的でもある。
【００６０】
なお、この場合においても、該当するシングルモードファイバカプラに接続された偏波面保持ファイバの長さと偏光子１０４ａのリード部分（偏波面保持ファイバ）の長さの比を１：２又は２：１とすることでデポラライザ１０４ｂとしての安定性を向上させる。
【００６１】
また、偏光子１０４ａは、入射光のｘ、ｙ成分の一方を通過させる素子と考えることができるが、説明に当たっては入射光のｘ成分のみ通過させるとし、偏光子のジョーンズ行列Ｌpを次式のように置く。
【００６２】
［数２］
0005904694.tif 000003
【００６３】
この偏光子１０４ａには、偏波面保持ファイバを利用したファイバ形偏光子や、結晶素子と偏波面保持ファイバを組み合わせて構成されたバルク素子形ファイバ偏光子などが使用され、偏光子１０４ａの光学軸は偏光子１０４ａを構成する偏波面保持ファイバの光学軸で規定されているものを利用する。すなわち、偏光子１０４ａは、当該偏光子１０４ａを構成する偏波面保持ファイバの２つの光学軸の一方のみの光を伝播させる素子ということになり、特に、偏光子１０４ａはｘ成分のみ通過させるものとする。
【００６４】
位相変調子１０５は、ピエゾ管（ＰＺＴ）に偏波面保持ファイバを巻き付けて構成されるＰＺＴ形位相変調子やポッケルス素子を利用したポッケルス素子形位相変調子等が使用される。
【００６５】
位相変調子１０５にポッケルス素子形位相変調子を使用する場合、このポッケルス素子への光の導入・導出には上述した偏波面保持ファイバが使用され、当該位相変調子１０５内において、偏波面保持ファイバの２つの光学軸のどちらか一方を伝播する光に、相対的な位相変調を印加する構成を有している。すなわち、位相変調子１０５を構成する偏波面保持ファイバの光学軸によって、位相変調の方向が規定されている。
【００６６】
また、偏波面保持ファイバの２つの光学軸の各々を伝播する光は、位相変調に関係なく位相変調子１０５内を伝播するものを使用する。なお、説明上、位相変調子１０５はｘ成分のみ相対的位相変調を印加するものとする。
【００６７】
また、この位相変調子１０５を構成する偏波面保持ファイバの光学軸は、上述した偏光子１０４ａを構成する偏波面保持ファイバと４５°回転させた状態で接続される。偏波面保持ファイバを４５°回転させた状態とすることで、位相変調子１０５を構成する偏波面保持ファイバの２つの光学軸にそれぞれ独立な直線偏光を伝播させていることと等価になり、偏光子１０４ａのリード部分（偏波面保持ファイバ）と位相変調子１０５のリード部分（偏波面保持ファイバ）でリオ型のデポラライザを構成していることになる。
【００６８】
ここで、位相変調子１０５の機能とは関係なく、当該位相変調子１０５に光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた偏光子１０４ａ（光学フィルタ１０４）側へ接続される偏波面保持ファイバ（位相変調子のリード部分）と、偏光子１０４ａの機能とは関係なく、当該偏光子１０４ａに光学軸を規定して光を伝播させることを目的に設けられた位相変調子１０５側へ接続される偏波面保持ファイバ（偏光子のリード部分）と、を４５°回転させて接続するときには、各々の偏波面保持ファイバの長さの比を１：２又は２：１としてデポラライザを構成する。これにより、位相変調子１０５内を伝播するｘ、ｙ成分間の群遅延時間差を可干渉時間（コヒーレント時間）以上にすることができ、位相変調子１０５内を伝播するｘ、ｙ成分の独立性がより高くなるので光学特性が安定する。
【００６９】
なお、光学フィルタ１０４にリオ型のデポラライザを用いる場合、当該光学フィルタ１０４に用いたリオ型デポラライザの全長と偏光子１０４ａ−位相変調子１０５間で構成されるデポラライザの全長の比を１：２ｎ又は２ｎ：１（ここで、ｎは１以上の整数）とする。これにより、各デポラライザで残存した偏光成分の干渉も抑制され、結果として光学的な位相ドリフトを抑制することができ、光電流センサとしての零点ドリフトを抑制することが可能となる。
【００７０】
また、上記の通り、偏光子１０４ａを通過した光（直線偏光）は、偏光子１０４ａの光学軸と位相変調子１０５の光学軸を４５°ずらした状態で位相変調子１０５へ挿入することは説明したが、このように、光学軸を４５°ずらして（回転させて）位相変調子１０５へ挿入することをジョーンズ行列で表記すると（入射方位角で−４５°回転させることに相当）、下記［数３］に示す通りである。
【００７１】
［数３］
0005904694.tif 000004
【００７２】
なお、位相変調子１０５では、位相変調子１０５内を伝播する光のｘ成分に対して、相対的に位相差φだけ位相変調を与えることとする。ここで時刻ｔ＝τ1に位相変調を受けるとすると、位相差φは、［数４］で表される。
【００７３】
［数４］
0005904694.tif 000005
ここでδは、位相変調深度であり、ωmは、位相変調角周波数である。
【００７４】
従って、位相変調子１０５内の挙動をジョーンズ行列で表記すると、［数５］の通りである。
【００７５】
［数５］
0005904694.tif 000006
【００７６】
また、検出器１０６は、後述するセンサヘッド部３００により反射し、位相変調子１０５、光学フィルタ１０４を通過し、ファイバカプラ１０３により分岐された一方の光量を検出する。この検出器１０６には、フォトダイオードや光電子増倍管などのような光／電気交換素子（Ｏ／Ｅ変換素子）を用いている。
【００７７】
同期検波回路１０７は、検出器１０６により検出された光量を、位相変調角周波数で同期検波する。なお、光量の同期検波については［１．２．作用］の項目において詳述する。
【００７８】
位相変調子駆動回路１０８は、位相変調子１０５に対して、同期検波された信号の２次高調波の振幅と４次高調波の振幅の絶対値が同じ大きさになるようにフィードバック制御する。なお、具体的な機能については、［１．２．作用］の項目にて詳述する。
【００７９】
演算回路１０９は、位相変調子駆動回路１０８により位相変調された３次高調波の振幅を測定電流に対応した出力として用いる。また、具体的な機能は後述するが、出力対象となる３次高調波に対して規格化を施す規格化手段１０９ａと、規格化後の出力に対して補正を実施する補正手段１０９ｂと、を備えている。
【００８０】
なお、この演算回路１０９の具体的な回路構成としては、デジタル処理が一般的だが、規格化の場合は、アナログ除算器を用いることで、アナログ的に実現でき、補正の場合は、アナログ乗算器とアナログ加算器を用いることで実現できる。また、アークタンジェントの補正の場合も、アナログ乗算器とアナログ加算器を用いることで実現が可能である。
【００８１】
送光ファイバ２００は、後述するセンサヘッド部３００の１／４波長板３０１と、各々光学軸が４５°回転して接続される（入射方位角で−４５°回転させることに相当する）。そのため、この関係をジョーンズ行列で表すと上記［数３］と同様となる。
【００８２】
センサヘッド部３００は、入射する光に対して、１／４波長分の位相差を生じさせる１／４波長板３０１と、ファラデー位相差を生じさせるセンサファイバ３０２と、センサファイバ３０２からの光を反射する鏡３０３と、から構成されている。
【００８３】
このセンサヘッド部３００の１／４波長板３０１では、通過する光のｘ成分に対して１／４波長分の位相差（３６０°／４＝９０°）を生じさせ、当該１／４波長板３０１での光の挙動は、ジョーンズ行列で表記すると［数６］の通りとなる。
【００８４】
［数６］
0005904694.tif 000007
【００８５】
センサファイバ３０２は、図１に示す通り、一般に測定する電流を取り囲むように周回配置され、ファラデー効果によって回転に相当する位相差（ファラデー位相差）を生じさせる。なお、センサファイバ３０２におけるファラデー効果によって生じるファラデー位相差θrは、下記［数７］で表される。
【００８６】
［数７］
0005904694.tif 000008
ここで、ｎは被測定電流を取り囲むファイバの巻数、Ｖはセンサファイバのベルデ定数、Ｉは被測定電流の大きさである。
【００８７】
なお、センサファイバ３０２が電流を取り囲むように周回配置した場合について説明したが、逆に、センサファイバ３０２を電流が取り囲むように電線が周回配置される場合には、ｎがセンサファイバ３０２を取り囲む電流を通電する電線の巻数となる。この場合におけるセンサファイバ３０２で生じるファラデー位相差を、ジョーンズ行列で表記すると下記［数８］の通りである。
【００８８】
［数８］
0005904694.tif 000009
【００８９】
鏡３０３は、図１に示す通り、センサファイバ３０２の端部に設けられ、センサファイバ３０２を通過した２つの円偏光を反射することで、光のｙ成分を反転させる。このような鏡３０３の効果をジョーンズ行列で表記すると［数９］のようになる。
【００９０】
［数９］
0005904694.tif 000010
【００９１】
［１．２．作用］
［１．２．１．位相変調制御］
次に、上記のような構成を有する第１の実施形態に係るサニャック干渉型電流センサにおける出力手順を、図２〜４を参照して以下に説明する。
【００９２】
まず、光源駆動回路１０１において、光源１０２の駆動を制御し、光源１０２から出た光Ｅinは、その後、光分岐手段であるファイバカプラ１０３で分岐され、その一方が、光学フィルタ１０４である偏光子へと導入される。光学フィルタ１０４では、偏光子１０４ａを構成する偏波面保持ファイバの２つの光学軸の一方のみの光を伝播させる。特に、第１の実施形態では、偏光子はｘ成分のみ通過させるものとする。
【００９３】
そして、光学フィルタ１０４を出た光（直線偏光）は、位相変調子１０５に導入され、位相変調子１０５内では、偏波面保持ファイバの２つの光学軸のどちらか一方を伝播する光に、相対的な位相変調を印加する。なお、説明上、位相変調子１０５はｘ成分のみ相対的位相変調を印加させるものとする。
【００９４】
位相変調子１０５では、位相変調子１０５内を伝播する光のｘ成分に対して、相対的に位相差φだけ位相変調を与えることとし、ここで時刻ｔ＝τ1に位相変調を受けるとする場合は、位相差φは上記［数４］の通りであり、位相変調子１０５内の挙動はジョーンズ行列で表記すると上記［数５］の通りである。
【００９５】
位相変調子１０５を通過し、位相変調子１０５のリード部分の偏波面保持ファイバの２つの光学軸それぞれに拘束され伝播する２つの直線偏光は、偏波面保持ファイバで構成された送光ファイバ２００へ導かれる。そして、送光ファイバ２００を通過した２つの直線偏光は、センサヘッド部３００の１／４波長板３０１に導入される。
【００９６】
この１／４波長板３０１では、通過する光のｘ成分に対して１／４波長分の位相差（３６０°／４＝９０°）を生じさせる。これにより、送光ファイバ２００を伝播した２軸の直線偏光は、１／４波長板３０１を通じて２つの逆回りの円偏光となる。そして、この円偏光がファラデー素子であるセンサファイバ３０２へ導入される。
【００９７】
センサファイバ３０２では、ファラデー効果によって回転に相当する位相差（ファラデー位相差）を生じさせる。ここで、センサファイバ３０２におけるファラデー効果によって生じるファラデー位相差θrは上述した［数７］の通りである。そして、図１に示す通り、センサファイバ３０２を通過した２つの円偏光は、センサファイバ３０２の端部に設けられた鏡３０３により反射されることで、光のｙ成分を反転させる。このような鏡３０３の効果をジョーンズ行列で表記すると、上記［数９］の通りである。
【００９８】
鏡３０３で折り返された２つの円偏光は再び、センサファイバ３０２でファラデー効果を受けるが、鏡３０３に入射する方向に進む光と反射した方向に進む光とでは感じる磁界の向きが反対となるため、センサファイバ３０２内を伝播する光の挙動はジョーンズ行列により下記［数１０］の通りとなる。
【００９９】
［数１０］
0005904694.tif 000011
【０１００】
センサファイバ３０２を通過した２つの円偏光は１／４波長板３０１に導入され、再び、光のｘ成分のみ１／４波長分の位相差（３６０°／４＝９０°）を生じさせる。そのため、１／４波長板での光の挙動は、ジョーンズ行列で表記すると上記［数６］の通りである。
【０１０１】
そして、センサファイバ３０２を伝播した２つの逆回りの円偏光は１／４波長板３０１を通過した後、送光ファイバ２００（偏波面保持ファイバ）に２つの直線偏光として入射する。なお、１／４波長板３０１と送光ファイバ２００は光学軸を４５°だけ回転させて接続されているため（入射方位角で−４５°回転させることに相当）、この効果をジョーンズ行列で表記すると、上記［数３］の通りである。
【０１０２】
ここで、送光ファイバ２００の２つの光学軸のうちｘ軸で伝播して１／４波長板３０１に入射した直線偏光が、センサファイバ３０２を経由して１／４波長板３０１から送光ファイバ２００へ再入射する際には、送光ファイバ２００の２つの光学軸のうちｙ軸で伝搬する。同様に、送光ファイバ２００の２つの光学軸のうちｙ軸で伝播して１／４波長板３０１に入射した直線偏光が、センサファイバを経由して１／４波長板から送光ファイバへ再入射する際には、送光ファイバ２００の２つの光学軸のうちｘ軸で伝搬する。
【０１０３】
その後、光は、再び送光ファイバ２００を伝播して位相変調子１０５に挿入するが、位相変調子１０５では、位相変調子１０５内を伝播する光のｘ成分に相対的に位相差φ´だけ位相変調を与える。ここで時刻ｔ＝τ2に位相変調を受けるとすると、位相差φ´は、下記［数１１］で表される。
【０１０４】
［数１１］
0005904694.tif 000012
【０１０５】
この場合の位相変調子１０５内の挙動をジョーンズ行列で表記すると、［数１２］の通りとなる。
【０１０６】
［数１２］
0005904694.tif 000013
【０１０７】
そして、位相変調子１０５を通過した光は、光学フィルタ１０４へ入射される。また、位相変調子１０５と偏光子の光学軸は４５°回転させて接続しているので（入射方位角で−４５°回転させることに相当）、この効果をジョーンズ行列で表記すると上記［数３］となる。
【０１０８】
そのため、位相変調子１０５と偏光子の光学軸が４５°回転させて接続された点を通過した後、位相変調子１０５内を伝播していた２つの直線偏光が合波されて干渉する。なお、偏光子では、入射光のｘ成分のみ通過させるので、当該偏光子のジョーンズ行列Ｌpは上記［数２］と同様である。
【０１０９】
そして、光学フィルタ１０４を通過した光は、再度、ファイバカプラ１０３を通過して２つの光に分岐され、その一方が検出器１０６で検出される。すなわち、検出器１０６では、ファイバカプラ１０３により分岐された２つの光のうちの一方を検出する。ここで、検出器１０６に入射する光の電界成分をＥoutとすると、ＥinとＥoutの関係は下記［数１３］の通りである。
【０１１０】
［数１３］
0005904694.tif 000014
【０１１１】
なお、検出器１０６では、検出された光の光量が測定されるため、検出光量をＰoutとすると、光量は電界の２乗に比例するため、［数１４］のように定義することができる。
【０１１２】
［数１４］
0005904694.tif 000015
【０１１３】
そして、検出器１０６により検出された光量Ｐoutを、同期検波回路１０７において、位相変調角周波数ωmで同期検波する。ここで、位相変調角周波数ωmの高調波で、検出された光量Ｐoutを展開すると、［数１５］の通りとなる。
【０１１４】
［数１５]
0005904694.tif 000016
【０１１５】
Ｐ0ω、Ｐ1ω、Ｐ2ω、Ｐ3ω、Ｐ4ω、Ｐ5ω、Ｐ6ωは、Ｐoutを変調角周波数ωmで同期検波した際の０次、１次、２次、３次、４次、５次、６次の高調波の振幅を示し、それぞれ下記［数１６］〜［数２２］の通りとなる。
【０１１６】
［数１６]
0005904694.tif 000017
［数１７］
0005904694.tif 000018
［数１８］
0005904694.tif 000019
［数１９］
0005904694.tif 000020
［数２０］
0005904694.tif 000021
［数２１］
0005904694.tif 000022
［数２２］
0005904694.tif 000023
なお、Ｊnはｎ次のベッセル関数であり、Ｒ＝2δsinωmαと置く。
【０１１７】
ここで、計算に当たっては、ｔ0＝ｔ−（τ2＋τ1）／２、α＝（τ2−τ1）／２と置き、以下の関係式である［数２３］及び［数２４］を利用する。
【０１１８】
［数２３］
0005904694.tif 000024
［数２４］
0005904694.tif 000025
【０１１９】
αはファラデー素子であるファイバを伝播する２つの円偏光が位相変調子で位相変調を受ける時間の時間差で規定される光学光路長Ｌoptを用いて、下記［数２５」で表すことができる。
【０１２０】
［数２５]
0005904694.tif 000026
【０１２１】
なお、図１のサニャック干渉型光電流センサの場合、位相変調子１０５の印加点から鏡までの光伝播長さをＬ、ファイバの屈折率をｎsとするとＬopt＝２・ｎs・Ｌとなる。ここで、ｃは光速である。よって、αは光学光路長を決定すると一義的に決まるシステムパラメータである。
【０１２２】
次に、このように同期検波回路１０７により位相変調角周波数ωmで同期検波された２次高調波の振幅と４次高調波の振幅の絶対値を、位相変調子駆動回路１０８が、両振幅を同じ大きさになるように、すなわち、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜となるようにフィードバック制御する。なお、フィードバック制御は、位相変調深度δを調整して、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜となるようにする。そして、演算回路１０９は、３次高調波の振幅Ｐ3ωを測定電流に対応した出力として用いる。
【０１２３】
ここで、位相変調子駆動回路１０８において、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜となるようにフィードバック制御するのは、図３のように、２次、３次、４次のベッセル関数において２次と４次のベッセル関数の値が同じ時、３次が極大となるためである。すなわち、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の時、｜Ｐ3ω｜が極大となり、ノイズの影響を受けにくい安定した出力を得ることができるからである。
【０１２４】
また、位相変調子の変調効率が変化しても２次高調波Ｐ2ωと４次高調波Ｐ4ωの振幅を同じ大きさになるように位相変調深度を制御することで、実際に印加される位相変調を一定にすることができる。
【０１２５】
ここで、光源発光光量や光学回路系の光伝送損失が変化した場合、検出器１０６で検出される光量は通常変化する。そのため、検出光量に依存しない出力とすべく、演算回路１０９の規格化手段１０９ａは、図４で示されるように検出器１０６で検出される光量Ｐoutの波高値でＰ3ωを規格化する。
【０１２６】
規格化手段１０９ａによるＰ3ωの規格化の方法については、他に、検出器１０６で検出される光量Ｐoutの電気信号に適当な時定数の低域通過フィルタを施すことで、Ｐoutを平均化してＰ3ωを規格化する方法もあるが、この場合、光学系のビジビリティが悪く、光学素子からの戻り光が多いような場合、検出される光量にＤＣ的なノイズ光が重畳しているため、規格化する際の誤差となってしまい適切ではない。また、別の方法として、検出された光量Ｐoutの電気信号に適当な時定数のＤＣカットフィルタ（高域通過フィルタ）を施すことで、検出された光量ＰoutのＤＣ成分を取り除き、半波整流したものを平均化した値でＰ3ωを規格化することも可能である。
【０１２７】
そして、このように検出された検出光量Ｐoutの信号で規格化されたＰ3ωの大きさは、上記［数１９］のように、sin4θfに比例した出力となり、演算回路１０９では、この規格されたＰ3ωに対してアークサイン補正を実施した後、電流対応出力として出力する。
【０１２８】
［１．２．２．３次高調波に対する規格化］
ここで、演算回路１０９の規格化手段１０９ａによる３次元高調波であるＰ3ωに対する規格化について、図５を参照して具体的に説明する。なお、以下では、実用上の課題を含め、当該課題を解決すべき演算回路１０９の規格化手段１０９ａによる規格化態様を詳述する。
【０１２９】
まず、実用上、センサヘッド部３００と信号処理ユニット１００は、図１中の送光ファイバ２００のＡ点部分で分離し、後にＡ点部分を基準に接続してる。というのも、一般的に、センサヘッド部３００と信号処理ユニット１００はそれぞれ設置される場所が離れており、当該センサヘッド部３００と信号処理ユニット１００が送光ファイバ２００で繋がった状態では施工性が悪いからである。
【０１３０】
そのため、センサヘッド部３００と信号処理ユニット１００を図１のＡ点で分離し、それぞれの施工が終了した時点でＡ点の送光ファイバ２００（偏波面保持ファイバ）同士を融着接続したり、光コネクタ接続したりすることで利便性を確保する。
【０１３１】
しかしながら、上記のような接続の場合、接続時の送光ファイバ２００（偏波面保持ファイバ）同士の光学軸の軸ズレが問題となる。融着接続の場合、送光ファイバ２００（偏波面保持ファイバ）同士の光学軸の軸ズレは、比較的小さな軸ズレでコントロールできるようになってきているが、融着接続には専用の融着接続機が必要であり、実際には有限な光学軸の軸ズレが残存する。
【０１３２】
以上のことから、偏波面保持ファイバ同士の接続において、光学軸の軸ズレが生じても光電流センサの出力が安定で、かつ、偏波面保持ファイバの接続が比較的容易である光コネクタを利用しても、高精度の電流測定が実現できるサニャック干渉型光電流センサが望まれる。
【０１３３】
ここで、一般的な偏波面保持ファイバ用の光コネクタは、機械的接続のため、その光学軸の軸ズレの値は、良品でも±１°程度発生する。この光学軸の軸ズレは、光コネクタ接続時に生じるが、温度変化や振動などが光コネクタに加わった場合にも、機械的な接続のため、光学軸の軸ズレが生じ得る。
【０１３４】
ここで、送光ファイバ２００（偏波面保持ファイバ）同士の光学軸の軸ズレが生じた場合、偏波面保持ファイバの２つの光学軸を伝播する光の間にクロストークが発生して、消光比が悪化し、結果として光電流センサとしての感度に変化が生じることは明らかであるが、高精度な光電流センサを構成するにあたり、送光ファイバ２００（偏波面保持ファイバ）部分の光コネクタ化にはこれまで困難を要していた。
【０１３５】
なお、図１のＡ点で偏波面保持ファイバ間に光学軸の軸ズレが起こったと仮定し、その場合の光の挙動を解析した結果を以下に説明する。
【０１３６】
特に、図１のＡ点で光コネクタ化することを想定し、光コネクタで接続した場合には、角度θcだけ、接続点で偏波面保持ファイバ同士の光学軸の軸ズレが生じるとする（Ａ点で角度θcだけ光学軸が回転して偏波面保持ファイバ同士が接続されており、入射方位角で−θc回転させることに相当）。この場合、Ａ点での光の挙動を表すジョーンズ行列は、下記［数２６］で表される。
【０１３７】
［数２６］
0005904694.tif 000027
【０１３８】
ここで、θcの変化は、偏波面保持ファイバ同士間（位相変調子と１／４波長板の間）の消光比γの変化と等価であり、γ＝tan2θc（｜θc｜≦４５°）の関係がある。よって、θcが増加すれば、消光比γが増加（悪化）することになる。
【０１３９】
すなわち、光源から出射した光の電界成分を上記［数１］と置くと、検出器１０６に到達する光の電界成分Ｅoutは、下記［数２７］で表される。
【０１４０】
［数２７］
0005904694.tif 000028
【０１４１】
よって、検出器１０６で検出される光の検出光量Ｐoutは、下記［数２８］となる。
【０１４２】
［数２８］
0005904694.tif 000029
【０１４３】
そして、検出器１０６により検出された光量Ｐoutは、上述した通り、同期検波回路１０７にて位相変調角周波数ωmで同期検波されるので、位相変調角周波数ωmの高調波で検出された光量Ｐoutを展開すると下記［数２９］の通りとなる。
【０１４４】
［数２９］
0005904694.tif 000030
【０１４５】
ここで、Ｐ0ω、Ｐ1ω、Ｐ2ω、Ｐ3ω、Ｐ4ω、Ｐ5ω、Ｐ6ωは、Ｐoutを変調角周波数ωmで同期検波した際の０次、１次、２次、３次、４次、５次、６次の高調波の振幅を表し、それぞれ、下記［数３０］〜［３６］の通りである。
【０１４６】
［数３０］
0005904694.tif 000031
［数３１］
0005904694.tif 000032
［数３２］
0005904694.tif 000033
［数３３］
0005904694.tif 000034
［数３４］
0005904694.tif 000035
［数３５］
0005904694.tif 000036
［数３６］
0005904694.tif 000037
ここで、Ｊnはｎ次のベッセル関数であり、Ｒ＝2δsinωmα、Ｒ´＝2δcosωmαと置く。
【０１４７】
なお、このような計算に当たっては、ｔ0＝ｔ−（τ2＋τ1）／２、α＝（τ2−τ1）／２と置き、上記［数２３］及び［数２４］に加え、下記［数３７］の関係を利用した。
【０１４８】
［数３７］
0005904694.tif 000038
【０１４９】
θc＝０の理想的な場合（偏波面保持ファイバ同士の光学軸の軸ズレが無い場合）には、［数２８］式から［数３６］式の[  ]の部分が除かれた式となり、［数１４］式から［数２２］式と同じになる。
【０１５０】
ここで、本実施形態に係るサニャック干渉型光電流センサでは、上述した通り、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜となるようにフィードバック制御し、３次高調波の振幅Ｐ3ωを測定電流に対応した出力として用いている。
【０１５１】
しかしながら、以上のような分析結果を考慮すれば、θc＝１０°と大きな値の場合、［数２９］式から計算されるＰoutは図５に示すように波形が歪になり、検出光量Ｐoutの波高値を利用してＰ3ωを規格化する場合や、検出された光量ＰoutのＤＣ成分を取り除いて半波整流したものの値でＰ3ωを規格化する場合の規格化の誤差は大きくなってしまう。その結果、規格化されたＰ3ωにアークサインの補正を施してもθf、すなわち測定電流Ｉとの直線性が悪くなってしまうといった問題が生じる。
【０１５２】
さらに、［数３３］式から分かるように３次高調波の振幅Ｐ3ωは、偏波面保持ファイバ同士の光学軸の軸ズレ角度θcに依存した出力となっているため、θcによって光電流センサの出力が変化してしまう。すなわち、上記をまとめると、以下の２つの点が問題として挙がる。
【０１５３】
（１）Ｐoutの波形が歪になり、Ｐoutを利用したＰ3ωの規格化ではθfとの直線性が悪くなる。
（２）θcの大きさにより光電流センサの出力が変化してしまう。
【０１５４】
そこで、本作用では、このような問題を解決するために、演算回路１０９の規格化手段１０９ａにおいて、Ｐ3ωを、｜Ｐ2ω｜、｜Ｐ4ω｜、｜Ｐ2ω｜と｜Ｐ4ω｜の和、又は｜Ｐ6ω｜で除算することにより規格化する。なお、第１の実施形態に係るサニャック干渉型光電流センサでは、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜となるように、フィードバック制御しているため、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜で規格化することと、Ｐ3ωを｜Ｐ4ω｜で規格化することとは等価である。
【０１５５】
また、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜と｜Ｐ4ω｜の和で規格化することも、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜又は｜Ｐ4ω｜で規格化することと実質的に等価であり、特に、フィードバック調整時の｜Ｐ2ω｜と｜Ｐ4ω｜の僅かな値のズレを平均化する意味においてはより適切な規格化方法である。なお、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜と｜Ｐ4ω｜の和での規格化することは、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜又は｜Ｐ4ω｜で規格化することと等価であるとして説明は割愛する。
【０１５６】
ここで、以下において、演算回路１０９の規格化手段１０９ａが、Ｐ3ωを、｜Ｐ2ω｜、｜Ｐ4ω｜、｜Ｐ2ω｜と｜Ｐ4ω｜の和、又は｜Ｐ6ω｜により規格化する理由を説明する。
【０１５７】
まず、上記［数２９］〜［数３６］から明らかなように、電流が流れていない、すなわちθf＝０の場合、検出器１０６で検出された光を同期検波回路１０７により変調角周波数で同期検波した際の奇数次高調波は、値が「０」となり、偶数次高調波のみが検出される。そのため、偶数次高調波は検出光量の大きさを反映した信号であると言え、また、偶数次の高調波の中では、０次を除いて、Ｐ2ωとＰ4ωが最も振幅の絶対値が大きい高調波となるので、より高次の偶数次高調波と比較し、Ｐ3ωの規格化に有効な信号であると言える。
【０１５８】
加えて、Ｐ2ωとＰ4ωのθcの影響度合い（変化割合）は、Ｐ3ωのθcの影響度合い（変化割合）とほぼ同等レベルであるため、Ｐ3ωを、｜Ｐ2ω｜又は｜Ｐ4ω｜で規格化することはθcの変化に対してより安定的な規格化であると言える。なお、光学系の光伝送損失の変化や光源発光光量の変化に伴う検出光量の変化は、変調角周波数で同期検波した高調波信号の全ての成分に対して同じ割合で作用するため、上記の規格化方法で得られた規格化値は、検出光量変動の影響を受けない値となる。
【０１５９】
一方で、０次成分も検出光量を反映した値であるが、ＤＣ的な成分となり光学系のビジビリティが悪く、光学素子からの戻り光が多いような場合には、検出される光量にＤＣ的なノイズ光が重畳するため、規格化する際の誤差となり適切でない。
【０１６０】
また、６次高調波Ｐ6ωは、Ｐ3ωの規格化に有効な信号であり利用可能であるが、８次以上の偶数次高調波は、２次、４次、６次の偶数次高調波と比較して振幅が小さく、ノイズの影響をより受けやすい。加えて、８次以上の偶数次高調波は、消光比変化が大きく、被測定電流の値が大きい場合、極性が反転することがあるため適切ではない。なお、６次高調波Ｐ6ωについてもＰ3ωの規格化に有効な信号ではあるが、２次高調波Ｐ2ω、４次高調波Ｐ4ωと同じように考えることとし、説明は割愛する。
【０１６１】
［１．２．３．アークタンジェント補正］
次に、上記のように規格された高調波の出力に対して、演算回路１０９の補正手段１０９ｂがアークタンジェントの補正を実施する態様について、図６〜８を参照して以下に説明する。
【０１６２】
まず、θc＝０の理想的な場合には、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜又は｜Ｐ4ω｜で規格化した出力はtan4θfに比例した出力となる。そのため、演算回路１０９の補正手段１０９ｂは、このtan4θfに比例した出力に対してアークタンジェントの補正を実施する。これにより、θfが大きい条件である大電流測定の場合においても高精度な出力を得ることが可能となる。
【０１６３】
具体的には、まず、θc＝０の場合、検出器１０６で検出された光は上記［数１５］式から［数２２］式に従うため、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の条件の下、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜又は｜Ｐ4ω｜で規格化した電流対応出力Ｐ3ω´は、下記［数３８］及び［数３９］で表される。
【０１６４】
［数３８］
0005904694.tif 000039
［数３９］
0005904694.tif 000040
【０１６５】
ここで、ｋは次の［数４０］で表される。
【０１６６】
［数４０］
0005904694.tif 000041
【０１６７】
この［数４０］より、ｋは、θfによらず、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の条件の下で、一意に決まる定数であり、ｋ≒１．４である（図３を参照）。そのため、下記［数４１］及び［数４２］のように置くと、下記［数４３］及び［数４４］が成立する。
【０１６８】
［数４１］
0005904694.tif 000042
［数４２］
0005904694.tif 000043
【０１６９】
［数４３］
0005904694.tif 000044
［数４４］
0005904694.tif 000045
【０１７０】
このことから、演算回路１０９の補正手段１０９ｂは、Ｐ3ω´を定数ｋで割り付けた電流対応出力Ｐkにアークタンジェント（逆正接）の補正を施すことでθf、すなわち電流Ｉに比例した出力を得ることができる（上記［数７］を参照）。また、被測定電流Ｉが小さな領域（θf≪１）では、θf≒Ｐk／４ の近似が成り立つので、アークタンジェントの補正は、被測定電流Ｉが大きな領域でのサニャック干渉型光電流センサの測定精度を改善することができる。
【０１７１】
一方、θc≠０の場合には、検出器１０６で検出された光が上記［数２９］から［数３６］に従うため、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の条件でθc＝０の時と同様に、Ｐ3ω´を定数ｋ≒１．４で割り付けた電流対応出力Ｐkは、上記［数３８］及び［数４１］より、下記［数４５］及び［数４６］の通りとなる。
【０１７２】
［数４５］
0005904694.tif 000046
［数４６］
0005904694.tif 000047
【０１７３】
ここで、θcに対するＰ2ωとＰ4ω及びＰ3ωの変化の割合は、ほぼ同じであるため、図６に示す通り、Ｐkとtan4θfとの関係は良い直線性を示している。そのため、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜又は｜Ｐ4ω｜で規格化した値を電流対応出力として用いることは、θf、すなわち、測定電流との直線性の悪化を抑制する上で有効である。
【０１７４】
しかしながら、図６に示されるようにθc≠０の場合、θcの大きさにより、Ｐkの変動が生じることが分かるため（tan4θfに対するＰkの比例係数変化に相当）、［数４５］又は［数４６］で得られたＰkに対して、演算回路１０９の補正手段１０９ｂによりアークタンジェントの補正を行っても、少なからず誤差が発生する。なお、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜又は｜Ｐ4ω｜で規格化した値であるＰkは、tan4θfと良い直線性を示すことから、θ≠０の場合でも、θcが小さい値又は一定であれば、図１のＡ点を接続した後の光電流センサ毎に4θf≪１を満足する電流で較正することにより高精度な測定を実現できるが、そのような較正は実用的ではない。
【０１７５】
ここで、図６に示すとおり、θcの大きさにより、ｔａｎ4θfに対するＰkの比例係数変化ｋ´が僅かに変化しているので（θc＝０の理想的な場合、ｋ´＝１）、ｔａｎ4θf、Ｐk、ｋ´は、下記［数４７］のように関連付けられる。
【０１７６】
［数４７］
0005904694.tif 000048
【０１７７】
従って、θcの大きさが分かり、θcによるｋ´の変化が分かれば、［数４７］を補正することができる。そのため、上記［数３２］及び［数３４］と［数３６］を比較すると、θcに対する変化の割合がベッセル関数の値分、異なっていることが分かり、演算回路１０９の補正手段１０９ｂを通じて、｜Ｐ2ω｜又は｜Ｐ4ω｜を｜Ｐ6ω｜で割り付けた値を用いれば、θcの大きさが推定可能である。ここで、偶数次高調波についてのみ着目しているのは、偶数次高調波はθf＝０の場合でも出力が「０」とならないからである。
【０１７８】
なお、上記では、θcの大きさを知る手がかりとして｜Ｐ2ω｜又は｜Ｐ4ω｜を｜Ｐ6ω｜で割り付けた値を用いているが、他のより高次の偶数次高調波同士もベッセル関数分、θcに対する変化の割合が異なるため、同様に利用することができる。但し、８次以上の偶数次高調波は、２次、４次、６次の偶数次高調波と比較して振幅が小さく、ノイズの影響をより受け易く、また、消光比変化が大きく、被測定電流の値が大きい場合には極性が反転することがあるので適用しない。
【０１７９】
従って、｜Ｐ2ω｜、｜Ｐ4ω｜、｜Ｐ6ω｜を用いてθcの大きさを推定する方がより精度が向上するため、｜Ｐ2ω｜又は｜Ｐ4ω｜を｜Ｐ6ω｜で割り付けた値をηとすると、当該ηは、下記［数４８］の通り表すことができる。
【０１８０】
［数４８］
0005904694.tif 000049
【０１８１】
ここで、ηは、上記［数３２］、［数３４］、［数３６］から明らかなように｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜ の条件下においてθcとθfの関数となる。しかしながら、θcが小さい値又は一定であれば、4θf≪１なるθfに対して、［数４８］で定義されるηはほとんど変化しないので、近似的にηは、θcの関数であると把握される。
【０１８２】
すなわち、θf＝０の場合、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の条件の下、上記［数３２］、［数３４］、［数３６］及び［数４８］から、ηは次式のように表される。
【０１８３】
［数４９］
0005904694.tif 000050
［数５０］
0005904694.tif 000051
【０１８４】
このように、［数４９］及び［数５０］により計算されたθcとηの関係は、図７に示す通りである。図７によれば、θcによって一意にηが定まり、当該ηを測定することで近似的にθcの大きさを知ることが可能となる。このように、ηから近似的にθcを知ることができるので、次に、θcと相関のあるｋ´についてηとの関係を評価する。まず、ｋ´は、上記［数４７］式より下記のように定義することができる。
【０１８５】
［数５１］
0005904694.tif 000052
【０１８６】
そして、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の条件の下、4θf≪１を満足する「０」ではない一定値のθfについて、この［数５１］を用いてｋ´を求め、また、［数４８］を用いてηを求めることで、互いの関係を評価した結果が図８である。なお、この評価に当たっては４θf＝１．０４０５Ｅ−０５（ｒａｄ）と置いている。
【０１８７】
図８に示す通り、［数４８］で定義されるηを用いると、ｋ´を近似的に一意に決めることができ、補正はηに関して３次の補正で十分であることが分かる。なお、評価されたｋ´は、ηを用いて下記［数５２］のように表される。
【０１８８】
［数５２］
0005904694.tif 000053
【０１８９】
以上の通り、｜Ｐ2ω｜＝｜Ｐ4ω｜の条件の下、［数４７］及び［数５２］からθfを近似すると下記［数５３］のようになる。
【０１９０】
［数５３］
0005904694.tif 000054
【０１９１】
ここで、ａnは定数であり、ａ0＝５．３５４×１０-1、ａ1＝２．３５２×１０-1、ａ2＝−４．１３７×１０-2、ａ3＝２．５７８×１０-3 となる。
【０１９２】
また、Ｐkは、下記［数５４］で表され、ηは、上記［数４８］で表される。
【０１９３】
［数５４］
0005904694.tif 000055
【０１９４】
従って、Ｐ2ω、Ｐ3ω、Ｐ4ω、Ｐ5ωの４つの高調波を利用することで、［数５３］に基づき、最終的に出力したい測定電流値Ｉに比例したθfを得ることができる。これにより、［数５３］で、偏波面保持ファイバ同士の光学軸の軸ズレ角度が小さい場合又は一定の場合（消光比の値が小さい場合、又は一定の場合）において、被測定電流Ｉが小さな領域（θf≪１）では、θf≒Ｐk／４の近似が成り立ち、被測定電流Ｉが大きな領域ではアークタンジェントの補正を施すことでサニャック干渉型光電流センサの測定精度を改善することができる。
【０１９５】
［１．２．４．θcに対するθf比誤差の関係］
次に、上記［数５３］による近似がどの程度高精度に行われているかを示すために、比誤差を下記［数５５］のように置くことにより、図１のＡ点における偏波面保持ファイバ同士の角度ズレθcに対するθfと比誤差の関係を図９から図１２に示す。
【０１９６】
［数５５］
0005904694.tif 000056
【０１９７】
図９から図１２に示す通り、上記［数５３］で示した近似式は、高精度な近似を実現でき、θc＝０°〜１０°の範囲で、θf＜０．０６（ｒａｄ）の電流を精度０．１％以内で近似することが可能となる。すなわち、当該［数５３］に従って、補正手段１０９ｂにより光電流センサの出力を補正することで、高精度な電流測定を実現することができる。
【０１９８】
ちなみに、図１の光源に波長８３０ｎｍのＳＬＤを用い、センサファイバに石英ファイバを用いた場合、石英のベルデ定数Ｖは、Ｖ＝２．６×１０-6（ｒａｄ/Ａ）であるため、センサファイバの巻数ｎを１巻とすると、θf＜０．０６（ｒａｄ）なる大きさは、電流値で２３ｋＡ以下に相当する。
【０１９９】
［１．３．効果］
以上のような第１の実施形態によれば、検出器１０６で検出される光量を変調角周波数で同期検波した際の２次高調波、４次高調波の振幅が同じになるように位相変調深度を制御し、３次高調波の振幅を２次高調波又は４次高調波又は２次高調波と４次高調波の和で規格化したものに対して、２次高調波の振幅又は４次高調波の振幅を６次高調波の振幅で割り付けた値で補正を加え、さらに、アークタンジェント補正を加えた出力をサニャック干渉型光電流センサの出力として用いることができるので、センサヘッド部３００と信号処理ユニット１００をつなぐ送光ファイバ２００の消光比が悪化する場合であっても、高精度な電流測定が可能な光電流センサを提供することが可能となる。
【０２００】
［１．４．他の態様］
なお、第１の実施形態では、使用される光分岐手段であるファイバカプラ１０３やデポラライザ１０４ｂ、偏光子１０４ａ、１／４波長板３０１といった光学素子には光学結晶素子を使用し、導波路（光伝播路）としては、ファイバを用いずに、空間を伝播させても構わない。例えば、光分岐手段にはビームスプリッター、偏光子１０４ａには、グランドトムソンプリズムなどを利用することが可能である。
【０２０１】
加えて、センサファイバ３０２の代わりにファラデー素子である鉛ガラスの結晶やファイバ、石英結晶を用いることもできる。
【０２０２】
また、上記において、電流対応出力として奇数次高調波は３次高調波を考えたが、他の奇数次高調波を用いても同様な考え方で規格化が可能である。また、電流対応出力として考えた３次高調波の規格化には、偶数次高調波として、２次、４次の高調波、規格化出力の補正には、２次、４次、６次の高調波を考えたが、より高次の偶数次高調波を用いても同様な考え方で補正が可能である。
【０２０３】
なお、図８では、｜θc｜＝≦１０°の範囲で、ηとｋ´の関係を求めたが、想定されるθcの変化が小さな場合には、その範囲で、ηとｋ´の関係を求めれば、よりηによるｋ´の近似の精度が向上する。また、近似の次数も３次である必要はなく、より高次の次数の方が近似の精度は向上する。
【０２０４】
［２．第２の実施形態］
［２．１．構成］
次に、本発明の第２の実施形態に係るサニャック干渉型光電流センサの構成について、図１３〜１８を参照して以下に説明する。ここで、第２の実施形態では、位相変調子駆動回路１０８以外の構成は、第１の実施形態と同様であるため、省略し同じ符号を付すものとする。
【０２０５】
また、第２の実施形態では、図１８に示す通り、位相変調子駆動回路１０８において、位相変調深度δを制御することにより、常にＰ1ωを「０」とする点に特徴を有し、具体的な制御態様については［２．２．作用］の項目にて詳述する。
【０２０６】
［２．２．作用］
［２．２．１．位相変調制御］
次に、位相変調子駆動回路１０８におけるＰ1ωを「０」にするための、位相変調深度δの制御態様について以下に説明する。なお、第１の実施形態と同様に、光の挙動の説明に関してはジョーンズ行列を利用するものとする。
【０２０７】
まず、１次高調波を表す上記［数３１］において、常にＰ1ωを「０」とするためには、図１のＡ点の偏波面保持ファイバ同士の光学軸の軸ズレ角度θcに関係なく、Ｊ1（Ｒ）を「０」とする必要がある。ここで、Ｊ1（Ｒ）は、Ｒ＝2δsinωαによって決まっており、ωαは、［数２５］より、ファラデー素子を伝播する２つの円偏光が位相変調子で位相変調を受ける時間の時間差で規定される光学光路長（Ｌopt）と位相変調角周波数（ωm）との積を２倍の光速（２ｃ）で割った値となる（ωmα＝ωmＬopt／２ｃ）。よって、位相変調角周波数ωmを決めると、ωmαは一意に決まる固定値（一定値）となる。
【０２０８】
以上から、常にＰ1ωを「０」とするためには、位相変調子駆動回路１０８において、位相変調深度δを制御して、常にＪ1（Ｒ）で制御する必要がある。言い換えると、常にＰ1ωを「０」で制御することで、一定の位相変調深度δを位相変調子に与えるように制御することになる。
【０２０９】
そのため、Ｐ1ωを「０」に制御することで、位相変調子１０５の位相変調効率が、温度変化や経年劣化によって変化しても、実際に印加される光の位相変調を一定にすることができる。従って、［数２８］から［数３６］のように実際に光に印加される位相変調深度δが変化するとサニャック干渉型光電流センサの出力が変動するが、Ｐ1ωを「０」に制御することで、位相変調効率が変化しても、サニャック干渉型光電流センサの出力変動は抑制される。
【０２１０】
ちなみに、Ｐ1ωを「０」に制御するには、Ｒ＝2δsinωmα≒３．８３となるように、位相変調深度δを制御することで実現できる。
【０２１１】
さらに、上記の通り、位相変調子駆動回路１０８では、Ｐ1ωを「０」となるように制御しているため、電流対応出力として利用できる奇数次高調波は３次以上となり、特に、３次高調波Ｐ3ωの振幅が最も大きいため、このＰ3ωを電流対応出力とすることでノイズの影響を受け難くすることが可能となる。
【０２１２】
［２．２．２．規格化・補正］
次に、Ｐ1ωを「０」となるように制御した時の３次高調波Ｐ3ωに対して、第１の実施形態と同様に、演算回路１０９の規格化手段１０９ａ及び補正手段１０９ｂを介して、２次高調波、４次高調波、６次高調波の振幅で割り付ける規格化、並びに、アークタンジェントを含む補正を実施する態様を説明する。
【０２１３】
まず、Ｐ1ωを「０」となるように制御した時の３次高調波Ｐ3ωを、第１の実施形態と同様に、｜Ｐ2ω｜、｜Ｐ4ω｜、又は｜Ｐ6ω｜で規格化する。これにより、サニャック干渉型光電流センサの光学系の光伝送損失の変化や光源発光光量の変化等に伴う検出光量の変化の影響を受けないθcの変化に対しても安定した規格化値を得ることができる。
【０２１４】
具体的には、θc＝０の場合、検出器で検出された光は［数１５］から［数２２］に従う。Ｐ1ω＝０の条件で、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜で規格化した電流対応出力Ｐ3ω´は、［数３８］と同様に下記［数５６］や［数５７］により表される。
【０２１５】
なお、４次高調波、６次高調波を用いた規格化も同様な考えで行えば良いので、説明は割愛する。また、８次以上の偶数次高調波は、２次、４次、６次の偶数次高調波と比較して振幅が小さく、ノイズの影響をより受け易い。加えて、８次以上の偶数次高調波は消光比変化が大きく、被測定電流の値が大きい場合には極性が反転することがあるため、適用しない。
【０２１６】
［数５６］
0005904694.tif 000057
［数５７］
0005904694.tif 000058
【０２１７】
ここで、ｋは次式で表される。
【０２１８】
［数５８］
0005904694.tif 000059
【０２１９】
［数５８］より、ｋは、θfによらず、Ｐ1ω＝０の条件の下で一意に決まる定数であり、ｋ≒１．０４４となる（図３を参照）。
【０２２０】
よって、Ｐkを下記［数５９］及び［数６０］と置くことで、θfは下記［数６１］及び［数６２］のように表される。
【０２２１】
［数５９］
0005904694.tif 000060
［数６０］
0005904694.tif 000061
【０２２２】
［数６１］
0005904694.tif 000062
［数６２］
0005904694.tif 000063
【０２２３】
この［数６１］及び［数６２］の通り、Ｐ3ω´を定数ｋで割り付けた電流対応出力Ｐkに対して、アークタンジェント（逆正接）の補正を施すことでθf、すなわち電流Ｉに比例した出力を得ることができる（［数７］を参照）。つまり、アークタンジェントの補正は、被測定電流Ｉが大きな領域でのサニャック干渉型光電流センサの測定精度を改善する。なお、被測定電流Ｉが小さな領域（θf≪１）では、θf≒Ｐk／４ の近似が成り立つ。
【０２２４】
次に、θc≠０の場合、検出器で検出された光は、［数２９］から［数３６］に従い、Ｐ1ω＝０の条件で、θc＝０の時と同様にＰ3ω´を定数ｋ≒１．０４４で割り付けた電流対応出力Ｐkは、［数５６］及び［数５９］から、下記［数６３］の通りとなる。
【０２２５】
［数６３］
0005904694.tif 000064
【０２２６】
ここで、θcに対するＰ2ωとＰ3ωの変化の割合は同程度であるため、Ｐkとｔａｎ4θfとの間は良い直線性を示している（図１３を参照）。
【０２２７】
以上から、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜で規格化した値を電流対応出力として用いることは、θf、すなわち、測定電流との直線性の悪化を抑制する上で有効であることが分かる。
【０２２８】
しかしながら、図１３に示されるようにθc≠０の場合、θcの大きさによりＰkの変動が生じることが分かる（ｔａｎ４θfに対するＰkの比例係数変化に相当）。そのため、［数６３］で得られたＰkにアークタンジェントの補正を行っても、少なからず誤差が発生することになる。
【０２２９】
なお、Ｐ3ωを｜Ｐ2ω｜で規格化した値であるＰkは、ｔａｎ4θfと良い直線性を示すことから、θc≠０の場合でも、θcが小さい値又は一定であれば、図１のＡ点を接続した後の光電流センサ毎に4θf≪１を満足する電流で較正することにより高精度な測定を実現できるが、そのような較正は実用的ではない。
【０２３０】
ここで、図１３に示す通り、θcの大きさにより、ｔａｎ4θfに対するＰkの比例係数変化ｋ´が僅かに変化しているので（θc＝０の理想的な場合、ｋ´＝１）、ｔａｎ4θf、Ｐk、ｋ´は、下記［数６４］のように関連付けられる。
【０２３１】
［数６４］
0005904694.tif 000065
【０２３２】
従って、θcの大きさが分かり、θcによるｋ´の変化が分かれば、［数６４］を補正することが可能となる。そのため、上記［数３２］及び［数３４］と［数３６］を比較すると、θcに対する変化の割合がベッセル関数の値分、異なっていることが分かり、｜Ｐ2ω｜を｜Ｐ6ω｜で割り付けた値を用いれば、θcの大きさを推定することができる。
【０２３３】
ここで、偶数次高調波についてのみ着目しているのは、偶数次高調波はθf＝０の場合でも出力が「０」とならないからである。なお、上記では、θcの大きさを知る手がかりとして｜Ｐ2ω｜を｜Ｐ6ω｜で割り付けた値を用いているが、０次を除く他の高次の偶数次高調波同士もベッセル関数分、θcに対する変化の割合が異なるため、同様に利用することができる。
【０２３４】
但し、８次以上の偶数次高調波は、２次、４次、６次の偶数次高調波と比較して振幅が小さく、ノイズの影響をより受け易く、また、消光比変化が大きく、被測定電流の値が大きい場合には極性が反転することがあるので適用しない。
【０２３５】
従って、｜Ｐ2ω｜、｜Ｐ4ω｜、｜Ｐ6ω｜を用いてθcの大きさを推定する方がより精度が向上するため、｜Ｐ2ω｜を｜Ｐ6ω｜で割り付けた値をηとすると、当該ηは、下記［数６５］の通り表すことができる。
【０２３６】
［数６５］
0005904694.tif 000066
【０２３７】
ここで、ηは、上記［数３２］、［数３６］から明らかなようにＰ1ω＝０の条件下においてθcとθfの関数となる。しかしながら、θcが小さい値又は一定であれば、4θf≪１なるθfに対して、［数６５］式で定義されるηはほとんど変化しないので、近似的にηは、θcの関数であると把握される。
【０２３８】
よって、4θf≪１なる任意のθfに対して、ηのθcの挙動を評価し、θcによって、一意にηが定まれば、ηを測定することで近似的にθcの大きさを知ることができる。すなわち、θf＝０の場合、Ｐ1ω＝０の条件の下、上記［数３２］、［数３６］及び［数６５］から、ηは次式のように表される。
【０２３９】
［数６６］
0005904694.tif 000067
【０２４０】
このように、［数６６］から計算されたθcとηの関係は、図１４に示す通りである。図１４によれば、θcによって一意にηが定まり、当該ηを測定することで近似的にθcの大きさを知ることが可能となる。このように、ηから近似的にθcを知ることができるので、次に、θcと相関のあるｋ´についてηとの関係を評価する。まず、ｋ´は、上記［数６４］式より下記のように定義することができる。
【０２４１】
［数６７］
0005904694.tif 000068
【０２４２】
そして、Ｐ1ω＝０の条件の下、4θf≪１を満足する「０」ではない一定値のθfについて、この［数６７］を用いてｋ´を求め、また、［数６５］を用いてηを求めることで、互いの関係を評価した結果が図１５である。なお、この評価に当たっては４θf＝１．０４０５Ｅ−０５（ｒａｄ）と置いている。
【０２４３】
図１５に示す通り、［数６５］で定義されるηを用いると、ｋ´を近似的に一意に決めることができ、補正はηに関して１次の補正で十分であることが分かる。なお、評価されたｋ´は、ηを用いて下記［数６８］のように表される。
【０２４４】
［数６８］
0005904694.tif 000069
【０２４５】
以上の通り、Ｐ1ω＝０の条件の下、［数６４］及び［数６８］からθfを近似すると下記［数６９］のようになる。
【０２４６】
［数６９］
0005904694.tif 000070
【０２４７】
ここで、ａnは定数であり、ａ0＝−８．０００×１０-2、ａ1＝１．０７０×１０-1となる。
【０２４８】
また、Ｐkは、下記［数７０］で表され、ηは、上記［数６５］で表される。
【０２４９】
［数７０］
0005904694.tif 000071
【０２５０】
従って、Ｐ2ω、Ｐ3ω、Ｐ6ωの３つの高調波を利用することで、［数６９］に基づき、最終的に出力したい測定電流値Ｉに比例したθfを得ることができる。これにより、［数６９］で、偏波面保持ファイバ同士の光学軸の軸ズレ角度が小さい場合、又は一定の場合（消光比の値が小さい場合、又は一定の場合）は、被測定電流Ｉが小さな領域（θf≪１）では、θf≒Ｐk／４の近似が成り立ち、被測定電流Ｉが大きな領域では、アークタンジェントの補正を施すことでサニャック干渉型光電流センサの測定精度を改善することができる。
【０２５１】
［２．２．３．θcに対するθfと比誤差の関係］
次に、上記［数６９］による近似がどの程度高精度に近似できているかを示すために、比誤差を下記［数７１］のように置くことにより、図１のＡ点における偏波面保持ファイバ同士の角度ズレθcに対するθfと比誤差の関係を図１６及び１７に示す。
【０２５２】
［数７１］
0005904694.tif 000072
【０２５３】
図１６及び１７に示す通り、上記［数６９］で示した近似式は、高精度な近似を実現でき、θc＝０°〜１０°の範囲で、θf＜０．０６（ｒａｄ）の電流を精度０．１％以内で近似することが可能となる。すなわち、当該［数６９］に従って、補正手段１０９ｂにより光電流センサの出力を補正することで、高精度な電流測定を実現することができる。
【０２５４】
［２．３．効果］
以上のような第２の実施形態によれば、検出器１０６で検出される光量を変調角周波数で同期検波した際の１次高調波が０となるように位相変調深度を制御し、３次高調波の振幅を２次高調波又は４次高調波又は６次高調波の振幅で規格化したものに対して、２次高調波の振幅を６次高調波の振幅で割り付けた値（２次から６次次までの偶数次高調波のいずれか２つ以上の偶数次高調波を用いても同じ効果を得られる）で補正を加え、さらに、アークタンジェントの補正を加えた出力をサニャック干渉型光電流センサの出力として用いることができるので、センサヘッド部３００と信号処理ユニット１００をつなぐ送光ファイバ２００の消光比が悪化しても、高精度な電流測定が可能な光電流センサを提供することが可能となる。
【０２５５】
［２．４．他の態様］
なお、上記では、電流対応出力として奇数次高調波は３次高調波を考えたが、他の奇数次高調波を用いても上記と同様な考え方で規格化が可能である。また、電流対応出力として考えた３次高調波の規格化には、偶数次高調波として、２次、４次の高調波、規格化出力の補正には、２次、４次、６次の高調波を考えたが、より高次の偶数次高調波を用いても上記と同様な考え方で補正が可能である。
【０２５６】
［３．第３の実施形態］
［３．１．構成］
次に、本発明の第３の実施形態に係るサニャック干渉型光電流センサの構成について、以下に説明する。ここで、第３の実施形態では、位相変調子駆動回路１０８以外の構成は、第１の実施形態と同様であるため、省略し同じ符号を付すものとする。
【０２５７】
第３の実施形態では、位相変調子駆動回路１０８において、後述するが、Ｒ＝2δsinωmα≒３．８３以外でＰ1ω＝０とならないように、Ｒ＝2δsinωmαを、０よりは大きいが７より小さくするように制御する点に特徴を有し、具体的な制御態様は［３．２．作用］の項目にて説明する。
【０２５８】
［３．２．作用］
次に、第３の実施形態に係る位相変調子駆動回路１０８における位相変調子の制御態様について、従来からの課題を含め以下に説明する。
【０２５９】
第２の実施形態では、位相変調子駆動回路１０８において、Ｐ1ω＝０となるように制御したが、［数３１］から明らかなように、被測定電流Ｉが０の時、すなわちθf＝０の時、位相変調深度δの大きさに関係なくＰ1ω＝０となってしまう。そのため、位相変調深度δはどのような値をとっても良いことになり、Ｐ1ω＝０とする制御が暴走したり、加えて、位相変調深度δが極めて大きくなった場合には位相変調子１０５を破損する可能性がある。
【０２６０】
その理由は、位相変調子１０５として、ポッケルス素子や、円筒型圧電素子に光ファイバを巻き付けて構成されたものがあり、いずれもポッケルス素子や円筒型圧電素子に電圧を印加することで位相変調を発生させ、その印加電圧の大きさが位相変調深度δに比例するからである。加えて、θf≠０でもＰ1ω＝０となる条件は、Ｒ＝2δsinωmα≒３．８３以外にもある（図３を参照）。
【０２６１】
そのため、このような問題を解決するために、第３の実施形態では、位相変調子駆動回路１０８において、Ｒ＝2δsinωmα≒３．８３以外のＰ1ω＝０となる条件が成立しない範囲で、位相変調深度δを変化させる。具体的には、図３に示す通り、Ｒ＝2δsinωmα≒３．８３以外でＰ1ω＝０とならないようにするために、Ｒ＝2δsinωmαを０より大きく、７より小さくするように制御する。
【０２６２】
ここで、ωmは、上述した［数２５］より、ファラデー素子を伝播する２つの円偏光が位相変調子１０５で位相変調を受ける時間の時間差で規定される光学光路長（Ｌopt）と位相変調角周波数（ωm）との積を２倍の光速（２ｃ）で割った値となる［ωmα＝ωmＬopt／２ｃ］ 。そのため、位相変調角周波数ωmを決めると、ωmαは、一意に決まる固定値（一定値）となる。
【０２６３】
つまり、位相変調深度δのみでＲ＝2δsinωmα≒３．８３を制御することが可能であり、位相変調子駆動回路１０８において、Ｒ＝2δsinωmα、すなわち、ファラデー素子を伝播する２つの円偏光が位相変調子１０５により位相変調を受ける時間差で規定される光学光路長と当該位相変調子１０５の位相変調角周波数との積を２倍の光速で割った値の正弦に対し、位相変調子１０５の位相変調深度δを掛けた値が、０より大きく、かつ７より小さな値となるよう制御する。
【０２６４】
［３．３．効果］
以上のような第３の実施形態によれば、ファラデー素子を伝播する２つの円偏光が位相変調子１０５により位相変調を受ける時間差で規定される光学光路長と当該位相変調子１０５の位相変調角周波数との積を２倍の光速で割った値の正弦に対し、位相変調子１０５の位相変調深度δを掛けた値が、０より大きく、かつ７より小さな値とするよう制御すれば、Ｐ1ω＝０とする制御が暴走したり、位相変調深度が極めて大きくなった場合の位相変調子１０５の破損等を抑制することができる。
【符号の説明】
【０２６５】
１００…信号処理ユニット
１０１…光源駆動回路
１０２…光源
１０３…ファイバカプラ
１０４…光学フィルタ
１０４ａ…偏光子
１０４ｂ…デポラライザ
１０５…位相変調子
１０６…検出器
１０７…同期検波回路
１０８…位相変調子駆動回路
１０９…演算回路
１０９ａ…規格化手段
１０９ｂ…補正手段
２００…送光ファイバ
３００…センサヘッド部
３０１…１／４波長板
３０２…センサファイバ
３０３…鏡
【図１】
0005904694.tif 000074
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0005904694.tif 000078
【図６】
0005904694.tif 000079
【図７】
0005904694.tif 000080
【図８】
0005904694.tif 000081
【図９】
0005904694.tif 000082
【図１０】
0005904694.tif 000083
【図１１】
0005904694.tif 000084
【図１２】
0005904694.tif 000085
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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