(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁筒の一端が固定側フランジで封止され、他端が可動側フランジで封止されるとともに、前記固定側フランジには固定側電極棒が固着され、前記可動側フランジにはベローズを介して可動側電極棒が軸方向に変移可能に装着され、前記固定側電極棒と可動側電極棒の対向面に各々固着された電極が絶縁筒の軸心上で接離自在とした真空バルブにおいて、前記ベローズは、蛇腹状の外周側筒部と、前記可動側電極棒外周面に沿って軸方向に延在する内周側筒部と、前記外周側筒部と前記内周側筒部の前記電極側端部間を気密に塞ぐ気密閉塞部とから構成され、前記内周側筒部は前記電極側端部から前記電極と反対方向に延在するものであって、前記可動側電極棒外周面と前記ベローズの内周側筒部内面とを気密にロウ付けするロウ付け接合箇所を設けたことを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
絶縁筒の一端が固定側フランジで封止され、他端が可動側フランジで封止されるとともに、前記固定側フランジには固定側電極棒が固着され、前記可動側フランジにはベローズが固着され、このベローズがベローズカバーを介して、可動側電極棒と固着されていることにより、前記固定側電極棒と前記可動側電極棒の対向面に固着された各電極が絶縁筒の軸心上で接離自在であり、前記可動側フランジにガイドが取り付けられ軸受けとしている真空バルブにおいて、前記ベローズは、その中心部がベローズの内側へ曲面形状を成して折り曲げられ、この曲面形状部と前記ベローズカバーと前記可動側電極棒に囲まれて真空保持されたロウ溜り部が形成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項３】
前記ベローズにおいて、前記曲面形状部から前記可動側電極棒外周面に沿い前記電極と反対方向に伸長して延在する筒部を設けるとともに、当該筒部の内側を可動側電極棒の外周面とロウ付接合するロウ付接合箇所を設けたことを特徴とする請求項２記載の真空バルブ。
【請求項４】
絶縁筒の一端が固定側フランジで封止され、他端が可動側フランジで封止されるとともに、前記固定側フランジには固定側電極棒が固着され、前記可動側フランジにはベローズが固着され、このベローズがベローズカバーを介して、可動側電極棒と固着されていることにより、前記固定側電極棒と前記可動側電極棒の対向面に固着された各電極が絶縁筒の軸心上で接離自在であり、前記可動側フランジにガイドが取り付けられ軸受けとしている真空バルブにおいて、前記ベローズは、その中心部が前記ベローズの内側へテーパ部を介して折り曲げられ、このテーパ部と前記ベローズカバーと前記可動側電極棒に囲まれて真空保持されたロウ溜り部が形成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項５】
前記ベローズにおいて、前記テーパ部から前記可動側電極棒外周面に沿い前記電極と反対方向に伸長して延在する筒部を設けるとともに、当該筒部の内側を可動側電極棒の外周面とロウ付接合するロウ付接合箇所を設けたことを特徴とする請求項４記載の真空バルブ。
【請求項６】
前記真空バルブにおいて、開極時、前記ベローズカバーから前記可動側フランジまでの寸法をＬ、前記ベローズ曲面形状部又は前記テーパ部から前記筒部の長さをａ、前記可動側フランジから前記ガイドの先端までの長さをｂとした時、ａ＜Ｌ−ｂの関係が成立することを特徴とする請求項３または請求項５に記載の真空バルブ。
【請求項７】
前記ベローズが前記筒部に加え、前記可動側電極棒を囲む前記ガイドを囲繞するように大径部を設けられて電極反対方向に伸長したことを特徴とする請求項３または請求項５に記載の真空バルブ。
【請求項８】
前記真空バルブにおいて、開極時の前記ベローズカバーから前記可動側フランジまでの寸法をＬ、前記ベローズ曲面形状部から前記筒部の長さをａ、前記ベローズ大径部の長さをｃ、ベローズの厚みをｔとした時、ｃ＜Ｌ−ａ−ｔの関係が成立することを特徴とする請求項７記載の真空バルブ。
【請求項９】
前記真空バルブにおいて、前記ガイドの外径をＸ、前記ベローズの大径部を囲む蛇腹状筒部内径をＲ、前記ベローズの大径部内径をｒ、前記ベローズの板厚をｔとした時、Ｘ＜ｒ＜Ｒ−ｔの関係が成立することを特徴とする請求項７または請求項８に記載の真空バルブ。
【請求項１０】
絶縁筒の一端が固定側フランジで封止され、他端が可動側フランジで封止されるとともに、前記固定側フランジには固定側電極棒が固着され、前記可動側フランジにはベローズが固着され、このベローズがベローズカバーを介して、可動側電極棒と固着されていることにより、前記固定側電極棒と前記可動側電極棒の対向面に固着された各電極が絶縁筒の軸心上で接離自在であり、前記可動側フランジにガイドが取り付けられ軸受けとしているものであって、前記ベローズは、その中心部がベローズの内側へ曲面形状を成して折り曲げられ、この曲面形状部と前記ベローズカバーと前記可動側電極棒に囲まれて真空保持されたロウ溜り部が形成され、前記ベローズにおいて、中心部からベローズの内側へ折り曲げられ形成された曲面形状部から、さらに前記電極と反対方向に伸長して筒部を形成し、当該筒部の内側が前記可動側電極棒の側面と真空ロウ付接合されている真空バルブを製造するにあたり、前記可動側電極棒がベローズカバーを境に電極側の１次可動側電極棒と電極反対側の２次可動側電極棒に分割し組み立てられ、前記２次側可動電極棒が多角柱形状をなしている場合、前記ベローズの筒部もまた多角管形状であり、前記曲面形状部と前記ベローズカバーと前記２次可動側電極棒に囲まれて真空保持されたロウ溜り部が形成され、さらに前記ベローズ筒部の内側が前記２次可動側電極棒と真空ロウ付接合されていることを特徴とする真空バルブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は電気回路の開閉に用いられる真空バルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の真空バルブは、例えば特開平７−２４９３５３号公報（特許文献１）に示すように、アルミナセラミックス等から形成された絶縁円筒を真空容器とし、絶縁円筒の両端に生成されたメタライズ層に容器内を高真空で気密保持すべく、金属フランジが、真空ロウ付けによって固着されている。絶縁円筒両端に固着された金属フランジにはそれぞれ固定側電極棒、可動側電極棒が同軸上に対向して取り付けられており、各電極棒の対向面にはそれぞれ固定側電極と可動側電極が固着されている。
【０００３】
また、可動側電極が気密を保持しながら絶縁容器軸心上を可動できるよう可動側電極棒と金属フランジ間にベローズが設けられるが、電流遮断時に発生したアークによってベローズが汚損されることを防ぐために設けられた傘状のベローズカバーが可動側電極棒に固着されており、ベローズ自体は接点側がベローズカバーもしくはベローズカバーと可動側電極棒にロウ付接合され、接点反対側は可動側フランジに取り付けられている。さらに、絶縁容器内部にはアークシールドが対抗する電極を囲繞するように設けられており、絶縁容器の内沿面が電流遮断時に発生するアークによって汚損されることを防いでいる。可動側はその開閉の過程において軸心上で円滑に動作するために軸受け機能を有するガイドが可動側端部に取り付けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７-２４９３５３号公報（段落［０００８］、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載されている従来の真空バルブでは、上述したようにベローズはその接点側がベローズカバーもしくはベローズカバーと可動側電極棒にロウ付接合されている。可動側の真空気密箇所はベローズカバーと可動側電極棒間のロウ付接合部およびベローズカバーとベローズ間のロウ付接合部であるが、この構造では真空ロウ付けによる気密封止後、真空気密箇所が容器内に隠れてしまい、ロウ付状態を確認することができないという問題があった。
また、真空バルブの長寿命化や高速度開閉器等の真空気密箇所への負荷が大きい機種への適用を考慮した場合、より緊密に真空封止するためには従来の真空バルブでは真空気密箇所・面積の少なさが課題として存在した。
【０００６】
この発明は、部品点数を増加させることなく、真空ロウ付けによる真空気密封止後も真空気密箇所のロウ回りの確認が可能であり、かつ、真空気密箇所・面積を増加させ、真空容器の一層の緊密化を図ることで長寿命化を実現し、高速度開閉器への適用も可能な真空バルブを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係る真空バルブでは、絶縁筒の一端が固定側フランジで封止され、他端が可動側フランジで封止されるとともに、前記固定側フランジには固定側電極棒が固着され、前記可動側フランジにはベローズを介して可動側電極棒が軸方向に変移可能に装着され、前記固定側電極棒と可動側電極棒の対向面に各々固着された電極が絶縁筒の軸心上で接離自在とした真空バルブにおいて、前記ベローズは、蛇腹状の外周側筒部と、前記可動側電極棒外周面に沿って軸方向に延在する内周側筒部と、前記外周側筒部と前記内周側筒部の前記電極側端部間を気密に塞ぐ気密閉塞部とから構成され、前記内周側筒部は前記電極側端部から前記電極と反対方向に延在するものであって、前記可動側電極棒外周面と前記ベローズの内周側筒部内面とを気密にロウ付けするロウ付け接合箇所を設けたものである。
また、この発明に係る真空バルブの製造方法では、絶縁筒の一端が固定側フランジで封止され、他端が可動側フランジで封止されるとともに、前記固定側フランジには固定側電極棒が固着され、前記可動側フランジにはベローズが固着され、このベローズがベローズカバーを介して、可動側電極棒と固着されていることにより、前記固定側電極棒と前記可動側電極棒の対向面に固着された各電極が絶縁筒の軸心上で接離自在であり、前記可動側フランジにガイドが取り付けられ軸受けとしているものであって、前記ベローズは、その中心部がベローズの内側へ曲面形状を成して折り曲げられ、この曲面形状部と前記ベローズカバーと前記可動側電極棒に囲まれて真空保持されたロウ溜り部が形成され、前記ベローズにおいて、中心部からベローズの内側へ折り曲げられ形成された曲面形状部から、さらに前記電極と反対方向に伸長して筒部を形成し、当該筒部の内側が前記可動側電極棒の側面と真空ロウ付接合されている真空バルブを製造するにあたり、前記可動側電極棒がベローズカバーを境に電極側の１次可動側電極棒と電極反対側の２次可動側電極棒に分割し組み立てられ、前記２次側可動電極棒が多角柱形状をなしている場合、前記ベローズの筒部もまた多角管形状であり、前記曲面形状部と前記ベローズカバーと前記２次可動側電極棒に囲まれて真空保持されたロウ溜り部が形成され、さらに前記ベローズ筒部の内側が前記２次可動側電極棒と真空ロウ付接合されていることを特徴とするのである。
【発明の効果】
【０００８】
この発明による真空バルブによれば、ベローズの中心部をベローズ内側に向かって折り曲げて電極反対方向に伸長させたため、真空気密箇所の一つであるベローズと可動側電極棒とのロウ付部のロウ周りの確認を容易に行うことができるとともに、ベローズとベローズカバーおよびベローズと可動側電極棒のロウ付による真空気密箇所・面積が増加できるため緊密な真空封止が可能となる。
また、この発明による真空バルブの製造方法によれば、ベローズの中心部をベローズ内側に向かって折り曲げて電極反対方向に伸長させたため、真空気密箇所の一つであるベローズと可動側電極棒とのロウ付部のロウ周りの確認を容易に行うことができるとともに、ベローズとベローズカバーおよびベローズと可動側電極棒のロウ付による真空気密箇所・面積が増加できるため緊密な真空封止が可能となる真空バルブを製造するにあたり、前記可動側電極棒がベローズカバーを境に電極側の１次可動側電極棒と電極反対側の２次可動側電極棒に分割し組み立てられ、前記２次側可動電極棒が多角柱形状をなしている場合において、作業性よく緊密な真空封止を行い強度が高められる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】この発明の実施の形態１に関わる真空バルブの構成を示す概略断面図。
【図２】図１に示す真空バルブにおけるベローズの構造を示す概略断面図。
【図３】図１に示す真空バルブにおけるベローズ周辺ロウ付部を拡大して示す断面図。
【図４】この発明の実施の形態２に関わる真空バルブのベローズの構造を示す概略断面図。
【図５】この発明の実施の形態３に関わる真空バルブの構成を示す概略断面図。
【図６】図５に示す真空バルブにおけるベローズ周辺ロウ付部を拡大して示す断面図。
【図７】この発明の実施の形態４に関わる真空バルブの構成を示す概略断面図。
【図８】図７に示す真空バルブにおけるベローズの構造を示す概略断面図。
【図９】図７に示す真空バルブにおけるベローズ及びガイド周辺の構成を示す概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照としてこの発明の実施の形態につき詳細に説明する。
実施の形態１．
【００１１】
図１は、この発明の実施の形態１を示す真空バルブ概略断面図であり、真空バルブ１００は、アルミナセラミック等の絶縁物を材質とする円筒状の絶縁筒１に対し、その両端には容器を形成し、かつ内部を高真空で気密保持すべく、ステンレス鋼等の金属を材質とする固定側フランジ２と可動側フランジ３が取り付けられ、これら固定側フランジ２と可動側フランジ３は絶縁筒１の両端に形成されたメタライズ層４に真空ロウ付接合によって絶縁筒１と同軸上に固着されている。
ここで、真空ロウ付接合とは、真空炉内などの真空雰囲気中において真空環境に適したロウ材を接合部に付着し加熱溶解して固化させ、接合部を構成する母材を互いに固着するものである。このように、真空中で行うロウ付け（真空ロウ付接合）は、母材が溶融しないので再加熱が可能、フラックスを使わないので汚染がない、複雑な形状の接合や多数箇所の接合が容易、特殊な形状の接合や異種材料の接合が容易などの特長があり、広く使われている。
【００１２】
絶縁筒１の一端に固着された固定側フランジ２には固定側電極棒５が固着され、可動側フランジ３には可動側電極棒６が蛇腹状円筒部７ａを有するベローズ７を介して取り付けられている。ベローズ７の一端と可動側フランジ３は固着されており、ベローズ７の他端と可動側電極棒６は電流遮断時に発生するアークによるベローズ７の汚損防止を目的として設けたベローズカバー８を介して固着されている。
【００１３】
固定側電極棒５と可動側電極棒６の対向面には、固定側電極９および可動側電極１０がそれぞれ固着されており、可動側電極１０は固着している可動側電極棒６がベローズ７を介して可動側フランジ３に取り付けられているため、気密を保持したまま絶縁筒１の軸心上で、固定側電極９と接離自在となっている。加えて、絶縁筒１内沿面には電流遮断時に電極間で発生するアークによる絶縁円筒内沿面の汚損防止を目的としたアークシールド１１が対向配置された固定側電極９と可動側電極１０を囲繞するように設けられている。ガイド１２は、熱可塑性合成樹脂等から製作されており、真空ロウ付による真空封止後、可動側フランジ３に取り付けられている。可動側電極棒６とガイド１２が摺動部となることにより、ガイド１２に軸受け機能を持たせている。
【００１４】
前述のとおり、ベローズ７は可動側電極棒６にベローズカバー８を介して固着されている。通常、ロウ付による可動部分の真空気密箇所は、ベローズカバー８と可動側電極棒６との間Ａとベローズカバー８とベローズ７との間Ｂ、可動側フランジ３とベローズ７との間Ｃの３箇所であり、開閉動作における電極接触時の衝撃を受け易い電極側の真空気密箇所はＡ、Ｂの２箇所である。
【００１５】
図２に示すように、ベローズ７の中心部は断面円弧状のＲ部（曲面形状部）７ｂを形成してベローズ７内側に折り曲げられ、可動側電極１０と反対方向に伸長し円筒部７ｃを成している。この部分を拡大して示す図３に示すように、ベローズカバー８と可動側電極棒６、ベローズＲ部７ｂにより真空保持されたロウ溜り部１７が形成されており、ロウ溜り部１７にロウ材によるフィレットが形成されることで、より緊密に真空封止すると共に、ベローズカバー８と可動側電極棒６間の強度を高めることが可能となる。そして、ベローズ７の外周側の蛇腹状円筒部７ａと内周側円筒部７ｃとは気密閉塞部７ｄによって連接され、ベローズ７の電極側端部間を気密に塞いでいる。
【００１６】
さらに、ベローズ円筒部７ｃの内側と可動側電極棒６がロウ付され真空気密箇所Ｄを形成することにより、可動部分の電極側の真空気密箇所を２箇所から３箇所に増加させ、真空気密面積を増加させることが可能となり、更なる真空封止の緊密性が図れる。真空気密箇所Ａ、Ｂは真空ロウ付による真空封止後、そのロウ付状態を目視により確認することができない。しかし、真空気密箇所Ｄはベローズ円筒部７ｃ内面と可動側電極棒６の側面とのロウ付接合箇所であるので、真空ロウ付による真空封止後も真空容器外に露出している。ガイド１２は真空封止後に取り付けるため、ガイド１２取付前であるならば、真空気密箇所Ｄのロウ付状態の確認が可能である。
【００１７】
ここで、可動側電極棒６において、図１、図２に示すように、開極時のベローズカバー８から可動側フランジ３までの寸法をＬ、ベローズＲ部７ｂから円筒部７ｃまでの長さをａ１、可動側フランジ３からガイド１２の先端までのガイド１２の円筒部分の長さをｂとした時、ａ１＜Ｌ−ｂの関係が成立するように寸法関係を設定することで、ベローズ円筒部７ｃとガイド１２が干渉しあうことなく開閉動作が可能となる。
【００１８】
実施の形態２．
また、図４に示すように、ベローズＲ部７ｂの代わりにテーパ部７ｅを設けても構わない。この時ロウ溜り部１７はベローズカバー８と可動側電極棒６とベローズテーパ部７ｄによって形成される。図４に示したベローズを用いてもベローズカバー８と可動側電極棒６間の強度向上と真空気密面積増加、真空封止後の真空気密箇所のロウ付状態確認が可能である。
図４のような構造の場合、図１の構造と同様に、開極時のベローズカバー８から可動側フランジ３までの寸法をＬ、ベローズテーパ部７ｅから円筒部７ｃまでの長さをａ２、可動側フランジ３からガイド１２の円筒部分の長さをｂとした時、ａ２＜Ｌ−ｂの関係が成立するように寸法関係を設定することで、ベローズ円筒部７ｃとガイド１２が干渉しあうことなく開閉動作が可能となる。
【００１９】
実施の形態３．
この発明の実施の形態３における真空バルブの構造は、図５に示すように、可動側電極棒６が１次可動側電極棒１８と２次可動側電極棒１９に分割され、ベローズ円筒部７ｃの形状がその実施例において異なるのみであり、それ以外の構造は実施の形態１と同様であるので詳細な説明は省略する。
なお、図６は実施の形態３における真空バルブのベローズ７とベローズカバー８と２次可動側電極棒１９との接続部を拡大して示す図である。Ｂはベローズ７とベローズカバー８との真空機密箇所、Ｅはベローズカバー８と２次可動側電極棒１９との真空機密箇所を示している。
【００２０】
真空バルブにおいて電流通電時の電磁力や開閉動作による曲げ方向の荷重を考慮した場合、または真空バルブを真空遮断器本体に取り付ける際に取り付けの作業性やベローズのねじれ防止を考慮して可動側電極棒を円柱形状ではなく多角形状にする場合、図１に示すような可動側電極棒６を図５に示すように１次可動側電極棒１８と２次可動側電極棒１９に分割して組み立てる場合がある。
このような構造では、２次可動側電極棒１９に電流通電時の電磁力や開閉動作による曲げ方向荷重がかかった場合、実施の形態１での構造以上にベローズカバー８に応力が発生する(図６、応力発生箇所Ｆ)。高速度開閉器への適用を考慮した場合、連続開閉によりベローズカバー８に割れが生じ、真空不良が発生する懸念が考えられる。
【００２１】
本実施の形態３では、ベローズ７の構造は実施の形態１と基本的には同じであるが、ベローズのねじれ防止や遮断器本体取り付けの際の作業性を考慮し、２次可動側電極棒１９が多角柱形状である場合、ベローズ円筒部７ｃもまた多角管形状とするものである。図６に示すように、ベローズカバー８と２次可動側電極棒１９、ベローズＲ部７ｂにより真空保持されたロウ溜り部１７が形成されており、ロウ溜り部１７にロウ材によるフィレットが形成されることで、より緊密に真空封止すると共に、ベローズカバー８と２次可動側電極棒１９間の強度を高めることが可能となる。
【００２２】
また、実施の形態１と同様にベローズ円筒部７ｃの内側と２次可動側電極棒１９がロウ付され真空気密箇所Ｇを形成することにより、可動部分の電極側の真空気密面積増加が図れる。この真空気密箇所Ｇは電極とは反対方向に突出しているため、ロウ周り状態を目視により確認可能である。実施の形態３の構造においてロウ溜り部１７は必ずしもロウ材により埋っていなくても良いものとする。これはロウ溜り部１７が真空保持されており、２次可動側電極棒１９に曲げ方向荷重がかかりベローズカバー８に割れが生じても、真空気密箇所Ｇにより真空保持されるためである。
ここで、２次可動側電極棒１９において、図５に示すように、開極時のベローズカバー８から可動側フランジ３までの寸法をＬ、ベローズＲ部７ｂから円筒部７ｃまでの長さをa１、可動側フランジ３からガイド１２の円筒部の長さをｂとした時、ａ１＜Ｌ−ｂの関係が成立するように寸法関係を設定することで、ベローズ円筒部７ｃとガイド１２が干渉しあうことなく開閉動作が可能となる。また、本実施例において図２に示すようなベローズではなく、図４に示すような構造のベローズを用いても可であることは言うまでもない。
【００２３】
実施の形態４．
この発明の実施の形態４を示す図７の真空バルブ概略断面図において、図１に示す実施の形態１における真空バルブの概略断面図と比較した場合、異なる箇所はベローズ７の構造のみであるため、変更箇所以外の詳細な説明は省略する。
【００２４】
実施の形態４において、図７に示すように、ベローズ７の中心部はＲ部７ｂを成して折り曲げられ、電極１０と反対方向に伸長して円筒部７ｃを形成している。円筒部７ｃの上部部分７ｆはその内径が可動側電極棒６の外径とほぼ等しく、途中に段部７ｇを形成し、下方部分７ｈはガイド１２を囲繞するようにやや大径を成している。本実施の形態４においても真空保持されたロウ溜り部１７が形成されることにより、ロウ溜り部１７にロウ材によるフィレットが形成されることで、より緊密な真空封止が可能となると共に、ベローズカバー８と可動側電極棒６間の強度を高めることが可能となる。また、ベローズ円筒部７ｃの上部部分７ｆ内側と可動側電極棒６がロウ付され真空気密箇所Ｈを形成することにより、可動部分の電極側の真空気密面積増加が図れ、真空気密箇所Ｈが電極１０と反対方向に突出していることで、ロウ付状態を目視により確認可能となっている。
【００２５】
ベローズ７の内側は大気もしくは加圧された絶縁ガスである。一方、ベローズ７の外側は真空である。このように、ベローズ外側の圧力よりも内側の圧力が高く、ベローズ両端が拘束されているため開閉動作時にベローズが座屈変形してしまうおそれがある。
本実施の形態４では、ベローズ７の円筒部７ｃの形状が途中に段部７ｇを設け、下方部分７ｈをガイド１１２を囲繞するように大径部にしていることにより、大径部である下方部分７ｈ外面と蛇腹部７ａ内面が近接しているため、ベローズ蛇腹部７ａの内側が矯正され、座屈変形しにくい構造となっている。したがって、ベローズの長寿命化が図れ、高速度開閉器用の真空バルブに適用できる。また、座屈変形が生じにくい構造であるため、ベローズ絶縁ガス圧を上昇させることが可能となるため、高耐電圧向けの開閉器用真空バルブにも適用可能となる。
【００２６】
ここで、図７、図８に示すように開極時のベローズカバー８から可動側フランジ３までの寸法をＬ、ベローズＲ部７ｂから円筒部７ｃまでの長さをａ、ベローズ円筒部７ｃの大径部７ｈの長さをｃ、ベローズの厚みをｔとした時、ｃ＜Ｌ−ａ−ｔの関係が成立するように寸法関係を設定することで、ベローズ円筒部７ｃとガイド１２が干渉しあうことなく開閉動作が可能となる。
また、ガイド円筒部の外径をＸ、ベローズ蛇腹部７ａ内径をＲ、ベローズ円筒部７ｃの大径部７ｈの内径をｒとした時、Ｘ＜ｒ＜Ｒ−ｔの関係が成り立つように寸法関係を設定することで、効果的に座屈変形防止が図れる。
【００２７】
また、本実施の形態４においても、ベローズＲ部７ｂの代わりにベローズテーパ部７ｄを有するベローズを用いても同様の佐用効果を得ることができる。また、本実施の形態４における真空バルブの構造は、図５で示したような可動側電極棒６が１次可動側電極棒１８と２次可動側電極棒１９に分割された構造であっても適用可能であることは言うまでもない。
【００２８】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態の一部または全部を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００２９】
１  絶縁筒、２  固定側フランジ、３  可動側フランジ、４  メタライズ層、５  固定側電極棒、６  可動側電極棒、７  ベローズ、７ａ  ベローズ蛇腹状円筒部（筒部）、７ｂ  ベローズＲ部（曲面形状部）、７ｃ  ベローズ円筒部（筒部）、７ｄ  ベローズ気密閉塞部、７ｅ  ベローズテーパ部、７ｆ  ベローズ円筒部上部部分、７ｇ  ベローズ段部、７ｈ  ベローズ円筒部下方部分（大径部）、８  ベローズカバー、９  固定側電極、１０  可動側電極、１１  アークシールド、１２  ガイド、１２ａ  ガイド円筒部、１７  ロウ溜り部、１８  １次可動側電極棒、１９  ２次可動側電極棒、１００  真空バルブ、Ａ  ベローズカバー８と可動側電極棒６間の真空気密箇所、Ｂ  ベローズカバー８とベローズ７の真空気密箇所、Ｃ  可動側フランジ３とベローズ７の真空気密箇所、Ｄ  ベローズ円筒部７ｃと可動側電極棒６の真空気密箇所、Ｅ  ベローズカバー８と２次可動側電極棒１９の真空気密箇所、Ｆ  応力発生箇所、Ｇ  ベローズ円筒部７ｃと２次可動側電極棒１９の真空気密箇所、Ｈ  ベローズ円筒部上部部分７ｆと可動側電極棒６の真空気密箇所。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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