(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のコイルを有する可動子と、前記コイルの内部を貫通するシャフト状の固定子とを備え、
前記可動子が、
前記コイルの外周面を覆うように配設された磁性体と、
その磁性体の外周面に沿って取り付けられる集熱部と、その集熱部から連続し、前記コイルの径方向外側に向かって延び出すことで、前記可動子のハウジングの外部に延び出す放熱部とを有する放熱部材と、
前記集熱部と前記ハウジングとの間に圧入される楔状のスペーサと
を備え、
前記楔状のスペーサが、
その楔状のスペーサの先細形状の先端に向かって延びる方向と、前記集熱部が取り付けられる前記磁性体の延びる方向とが平行とならないように、前記集熱部と前記ハウジングとの間に圧入されたリニアモータ。
【請求項２】
前記リニアモータは、
前記放熱部材に設けられ、その放熱部材に送風するファンを備えることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記リニアモータは、
前記放熱部材を複数、備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記磁性体が、電磁鋼により成形された請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記磁性体の飽和磁束密度が、１．８Ｔ以上である請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載のリニアモータ。
【請求項６】
前記磁性体の熱伝導率が、２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上である請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載のリニアモータ。
【請求項７】
前記磁性体が、
筒状とされており、軸方向に延びるように形成された切欠き部を有する請求項１ないし請求項６のいずれか１つに記載のリニアモータ。
【請求項８】
前記磁性体の径方向の厚さが、０．５ｍｍ以上である請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載のリニアモータ。
【請求項９】
前記スペーサが、
前記集熱部と前記ハウジングとの間に圧入された状態で、前記集熱部の外周面に沿って変形する請求項７または請求項８に記載のリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動部が筒状のコイルを有し、固定子がコイルの内部を貫通するリニアモータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
リニアモータには、可動部が筒状のコイルを有し、固定子がコイルの内部を貫通する構造のものがあり、シャフトモータと呼ばれている。シャフトモータ等のリニアモータにおいては、駆動時にコイルが発熱するという問題があり、コイルの放熱特性を向上させることが望まれている。また、モータとしての能力を向上させるべく、高推力化を図ることも望まれている。下記特許文献には、コイルの放熱特性の向上、高推力化を図るための技術が記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１８２４０８号公報
【特許文献２】特開２００２−２４７８３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献に記載されたリニアモータによれば、ある程度、放熱特性の向上および、高推力化を図ることは可能である。しかしながら、改良の余地は多分に残されており、更なる放熱特性の向上および、高推力化を図ることが望まれている。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、更なる放熱特性の向上および、高推力化を図ることが可能なリニアモータを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本願の請求項１に記載のリニアモータは、筒状のコイルを有する可動子と、前記コイルの内部を貫通するシャフト状の固定子とを備え、前記可動子が、前記コイルの外周面を覆うように配設された磁性体と、その磁性体の外周面に沿って取り付けられる集熱部と、その集熱部から連続し、前記コイルの径方向外側に向かって延び出すことで、前記可動子のハウジングの外部に延び出す放熱部とを有する放熱部材と、前記集熱部と前記ハウジングとの間に圧入される楔状のスペーサとを備え、前記楔状のスペーサが、その楔状のスペーサの先細形状の先端に向かって延びる方向と、前記集熱部が取り付けられる前記磁性体の延びる方向とが平行とならないように、前記集熱部と前記ハウジングとの間に圧入されるように構成される。
また、請求項２に記載のリニアモータは、請求項１に記載のリニアモータにおいて、前記放熱部材に設けられ、その放熱部材に送風するファンを備えるように構成される。
また、請求項３に記載のリニアモータは、請求項１または請求項２に記載のリニアモータにおいて、前記放熱部材を複数、備えるように構成される。
【０００６】
また、請求項４に記載のリニアモータは、請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載のリニアモータにおいて、前記磁性体が、電磁鋼により成形されるように構成される。
【０００７】
また、請求項５に記載のリニアモータは、請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載のリニアモータにおいて、前記磁性体の飽和磁束密度が、１．８Ｔ以上であるように構成される。
【０００８】
また、請求項６に記載のリニアモータは、請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載のリニアモータにおいて、前記磁性体の熱伝導率が、２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であるように構成される。
【０００９】
また、請求項７に記載のリニアモータは、請求項１ないし請求項６のいずれか１つに記載のリニアモータにおいて、前記磁性体が、筒状とされており、軸方向に延びるように形成された切欠き部を有するように構成される。
【００１０】
また、請求項８に記載のリニアモータは、請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載のリニアモータにおいて、前記磁性体の径方向の厚さが、０．５ｍｍ以上であるように構成される。
【００１１】
【００１２】
【００１３】
また、請求項９に記載のリニアモータは、請求項７または請求項８に記載のリニアモータにおいて、前記スペーサが、前記集熱部と前記ハウジングとの間に圧入された状態で、前記集熱部の外周面に沿って変形するように構成される。
【００１４】
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載のリニアモータでは、コイルの外周面を覆うように、磁性体が配設される。リニアモータでは、通常、永久磁石によって発生させられる磁束がコイル内を流れており、コイルに駆動電流が供給されることで、コイル内を流れる磁束とコイルに供給される電流との相互作用により、推力が発生させられる。このため、コイルの外周面を磁束の流れ易い磁性体によって覆うことで、永久磁石によって発生させられる磁束を、効率的にコイル内に流すことが可能となり、効率的に推力を発生させることが可能となる。つまり、磁性体がヨークとして機能し、磁性体によって、コイル内を流れる磁束が、効率よく推力に変換可能な方向に集中させられることで、高推力化を図ることが可能となる。
【００１６】
さらに、請求項１に記載のリニアモータでは、放熱部材の集熱部が、磁性体の外周面に取り付けられ、放熱部材の放熱部が、コイルの径方向外側に向かって延び出している。これにより、コイルの熱を好適にモータの外部に放出することが可能となる。詳しく言えば、コイルの熱は、コイルの外周面に設けられた磁性体に伝達される。磁性体では、一般的に、磁束が流れ易いだけでなく、熱も伝達し易いことから、効率的にコイルの熱が磁性体に伝達される。そして、磁性体に伝達された熱は、磁性体の外周面を覆う集熱部に伝達され、コイルの外部に延び出す放熱部から放出される。これにより、コイルの熱を好適にモータの外部に放出することが可能となり、放熱特性に優れたリニアモータを実現することが可能となる。
また、請求項１に記載のリニアモータでは、放熱部材の集熱部と可動子のハウジングとの間に、スペーサが圧入されており、スペーサによって、集熱部が磁性体の外周面に向かって押し付けられる。これにより、集熱部と磁性体とを確実に密着させるとともに、集熱部と磁性体との密着面積を大きくすることが可能となる。したがって、請求項１に記載のリニアモータによれば、コイル内で生じた熱が、磁性体から放熱部材の集熱部に伝達され易くなり、更なる放熱特性の向上を図ることが可能となる。
また、請求項１に記載のリニアモータでは、スペーサが楔状とされている。これにより、集熱部とハウジングとの間にスペーサを容易に圧入することが可能となり、集熱部と磁性体とを好適に密着させることが可能となる。
また、請求項２に記載のリニアモータは、放熱部材に設けられ、その放熱部材に送風するファンを備える。これにより、放熱特性が向上する。
また、請求項３に記載のリニアモータでは、放熱部材が複数、設けられている。これにより、放熱特性がさらに向上する。
【００１７】
また、請求項４に記載のリニアモータでは、磁性体が電磁鋼により成形されている。電磁鋼の磁束密度，透磁率等は高く、電磁鋼内を、磁束は流れ易い。このため、請求項２に記載のリニアモータによれば、効率的にモータの高推力化を図ることが可能となる。なお、本項に記載の「電磁鋼」は、鉄にケイ素を添加することによって製造される電磁鋼、所謂、ケイ素鋼であってもよく、ケイ素を含まない電磁鋼であってもよい。
【００１８】
また、請求項５に記載のリニアモータでは、磁性体の飽和磁束密度が、１．８Ｔ以上とされており、磁束の流れ易い磁性体によって、コイルの外周面が覆われる。これにより、高い推力を発生可能なリニアモータを実現することが可能となる。
【００１９】
また、請求項６に記載のリニアモータでは、磁性体の熱伝導率が、２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上とされており、熱が伝達され易くなっている。これにより、コイルの熱を好適に放熱部材に伝達することが可能となる。
【００２０】
また、請求項７に記載のリニアモータでは、磁性体が筒状とされており、軸方向に延びる切欠き部が形成されている。これにより、磁性体によって、コイルの外周面の略全周を覆うとともに、切欠き部を介して、コイルへの通電を行うための配線を行うことが可能となる。
【００２１】
また、請求項８に記載のリニアモータでは、磁性体の厚さが０．５ｍｍ以上とされている。磁性体の厚さが薄すぎると、磁束が飽和し易くなり、磁束が流れ難くなる。このため、請求項６に記載のリニアモータによれば、磁束の流れ易さを担保することが可能となる。
【００２２】
【００２３】
【００２４】
また、請求項９に記載のリニアモータでは、集熱部とハウジングとの間に圧入されたスペーサが、集熱部の外周面に沿って変形する。これにより、集熱部の磁性体への過剰な押し付けを抑制することが可能となり、集熱部と磁性体との間にかかる荷重の過剰な増大を抑制することが可能となる。
【００２５】
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施例であるシャフトモータを備える電子部品装着機を示す平面図である。
【図２】図１に示す電子部品装着機の備えるシャフトモータを示す断面図である。
【図３】図２に示すシャフトモータをハウジングおよび樹脂モールドを除いた状態で示す斜視図である。
【図４】変形例１のシャフトモータを示す断面図である。
【図５】変形例２のシャフトモータを示す断面図である。
【図６】変形例３のシャフトモータを示す断面図である。
【図７】変形例４のシャフトモータを樹脂モールドを除いた状態で示す斜視図である。
【図８】変形例５のシャフトモータをハウジングおよび樹脂モールドを除いた状態で示す斜視図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例および変形例を、図を参照しつつ詳しく説明する。
【００２８】
＜電子部品装着機の構成＞
図１に、電子部品装着機１０を示す。図１は、上部カバーを取り除いた状態での電子部品装着機１０を上方からの視点において示した概略平面図である。電子部品装着機１０は、回路基板１２に対して電子回路部品（以下、「電子部品」と略す）の装着作業を行うものであり、回路基板１２を搬送する搬送装置１４と、回路基板に対して電子部品を装着する作業ヘッド１６と、その作業ヘッド１６を移動させる移動装置１８と、電子部品を供給する１対の供給装置２０，２２とを備えている。
【００２９】
搬送装置１４は、ベース２８上に設けられた１対のコンベアベルト３０を有しており、それら１対のコンベアベルト３０を電磁モータ（図示省略）によって周回させることで、コンベアベルト３０に支持される回路基板１２を搬送する構造とされている。また、搬送装置１４は、基板保持装置３２を有しており、所定の位置（図での回路基板１２が図示されている位置）において回路基板１２を固定的に保持する構造とされている。なお、本実施例では、搬送装置１４による回路基板１２の搬送方向（図１における左右方向）をＸ軸方向とし、その方向に直角な方向をＹ軸方向と称し、説明を行う。
【００３０】
また、１対の供給装置２０，２２は、搬送装置１４を挟むようにして、ベース２８のＹ軸方向における両側部に配設されている。それら１対の供給装置２０，２２の各々は、フィーダ型の供給装置とされており、テーピング化された電子部品を保持して１つずつ電子部品を送り出すテープフィーダ３６を複数有している。そして、それら複数のテープフィーダ３６の各々によって、作業ヘッド１６への供給位置に電子部品を供給する構造とされている。
【００３１】
また、作業ヘッド１６は、搬送装置１４によって保持された回路基板１２に対して電子部品を装着するものであり、下面に電子部品を吸着する吸着ノズル３８を有する装着ヘッドである。吸着ノズル３８は、正負圧供給装置（図示省略）を介して負圧エア，正圧エア通路に通じており、負圧にて電子部品を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持した電子部品を離脱する構造とされている。さらに、作業ヘッド１６は、吸着ノズル３８を昇降させるノズル昇降装置（図示省略）を有しており、保持する電子部品の上下方向の位置を変更することが可能とされている。
【００３２】
その作業ヘッド１６は、移動装置１８によって、ベース２８上の任意の位置に移動可能とされている。詳しく言えば、移動装置１８は、作業ヘッド１６をＸ軸方向に移動させるためのＸ軸方向スライド機構５０と、作業ヘッド１６をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸方向スライド機構５２とを備えている。Ｘ軸方向スライド機構５０は、Ｘ軸方向に移動可能にベース２８上に設けられたＸ軸スライダ５４と、駆動源としての１対のシャフトモータ５６とを有しており、１対のシャフトモータ５６によって、Ｘ軸スライダ５４がＸ軸方向の任意の位置に移動可能とされている。また、Ｙ軸方向スライド機構５２は、Ｙ軸方向に移動可能にＸ軸スライダ５４の側面に設けられたＹ軸スライダ５８と、駆動源としてのリニアモータ６０とを有しており、リニアモータ６０によって、Ｙ軸スライダ５８がＹ軸方向の任意の位置に移動可能とされている。そのＹ軸スライダ５８に作業ヘッド１６が取り付けられることで、作業ヘッド１６は、移動装置１８によって、ベース２８上の任意の位置に移動可能とされている。なお、作業ヘッド１６は、Ｙ軸スライダ５８にワンタッチで着脱可能とされており、種類の異なる作業ヘッド、例えば、ディスペンサヘッド等に変更することが可能とされている。
【００３３】
＜シャフトモータの構成＞
作業ヘッド１６をＸ軸方向に移動させるためのＸ軸方向スライド機構５０の駆動源である１対のシャフトモータ５６の各々は、円筒状のリニアモータであり、図１および図２に示すように、円筒状の複数のコイル（図２には１つのみ示されている）７０を有する可動子７２と、コイル７０の内部を貫通するシャフト状の固定子７４とを備えている。各シャフトモータ５６の固定子７４は、Ｘ軸方向に延びるように、搬送装置１４と供給装置２０，２２との間に配設されており、両端部において１対の支持部材７６によって支持され、ベース２８上に架け渡されている。
【００３４】
固定子７４は、円筒状のパイプ７８と、そのパイプ７８内に配設された複数の永久磁石（図２には１つのみ示されている）８０とによって構成されている。複数の永久磁石８０の各々は、概して円柱状とされており、一端部側がＮ極とされ、他端部側がＳ極とされている。それら複数の永久磁石８０は、１軸線上に延びるように配設されており、隣り合う２つの永久磁石８０の向かい合う端部は、互いに同じ磁極とされている。そして、隣り合う２つの永久磁石８０の間には、非磁性材製のスペーサ（図示省略）が設けられている。一方、パイプ７８は、１軸線上に延びるように配設された複数の永久磁石８０を覆うように設けられており、非磁性材料によって形成されている。
【００３５】
可動子７２の複数のコイル７０の各々は、線材が巻回されて円筒状とされるとともに、線材同士の隙間に樹脂が充填されている。複数のコイル７０は、同心状に等間隔で設けられており、隣り合う２つのコイル７０の間には、非磁性材製の円環状のスペーサ（図示省略）が設けられている。それら複数のコイル７０およびスペーサの外周面は、磁性材製の被覆部材８２によって覆われている。被覆部材８２は、電磁鋼、具体的には、飽和磁束密度が１．８Ｔ以上であり、熱伝導率が２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であるケイ素鋼によって円筒状に成形されており、径方向の厚さが０．５ｍｍとされている。なお、被覆部材８２には、軸方向に延びる切欠き部８３が形成されており、その切欠き部８３を介して、コイル７０に通電用の配線（図示省略）が接続されている。
【００３６】
被覆部材８２に覆われた複数のコイル７０およびスペーサは、固定子７４の外周面にクリアランスのある状態で嵌合されており、固定子７４の軸方向、つまり、Ｘ軸方向に移動可能とされている。これにより、可動子７２は、ベース２８上をＸ軸方向に移動可能とされている。
【００３７】
また、被覆部材８２の外周面には、放熱部材８４が設けられている。放熱部材８４は、熱伝導率が高く、単位質量当たりの放熱特性（放熱量／質量）の優れた金属材料、具体的には、銅製の部材が屈曲されることで成形されている。詳しく言えば、放熱部材８４は、図３に示すように、複数の銅管８５によって構成されている。銅管８５は、内部に空間がある状態で径方向に圧縮されており、その内部の空間には、水が充填されている。つまり、放熱部材８４として、ヒートパイプが採用されている。これにより、放熱部材８４の放熱特性が、さらに向上している。ちなみに、図３には、後に説明するハウジングおよび樹脂モールドが取り除かれた状態のシャフトモータ５６が示されている。
【００３８】
銅管８５は、被覆部材８２の外周面に沿って配設される円弧部８６と、円弧部８６から連続し、被覆部材８２の径方向外側に延び出す延出部８８とに区分けされる。円弧部８６は、被覆部材８２の外周面をそれの周方向において１／３程度覆っており、円弧部８６の内側の面の曲率と、被覆部材８２の外周面の曲率とは、略同じとされている。
【００３９】
銅管８５の延出部８８は、可動子７２のハウジング９０の外部にまで延び出しており、その延び出した部分には、フィン９２が設けられている。フィン９２は、熱伝導率が高く、単位質量当たりの放熱特性（放熱量／質量）の優れた金属材料、具体的には、アルミニウム合金製の薄い板材が凹凸状に屈曲されることで成形されている。フィン９２は、可動子７２の軸方向の長さと同程度の長さとされており、フィン９２の両端部には、１対のファン９４が設けられている。１対のファン９４の一方は、フィン９２の内部に向かって送風し、他方は、外部に向かって送風する構造とされている。これにより、フィン９２の内部を風が通り抜けることで、放熱特性が向上する。
【００４０】
また、可動子７２のハウジング９０は、図２に示すように、溝形状とされており、外周面に放熱部材８４が取り付けられた被覆部材８２が、銅管８５の延出部８８をハウジング９０の外部に延び出させた状態で、ハウジング９０内に収容されている。ハウジング９０の１対の側壁９６のうちの延出部８８が延び出す側の側壁９６ａは、被覆部材８２の外周面と向かい合っており、その外周面と接触している。もう一方の側壁９６ｂは、被覆部材８２の外周面を覆う銅管８５の円弧部８６と向かい合っており、側壁９６ｂと円弧部８６との間には、隙間がある。その隙間には、楔状のスペーサ９８が圧入されており、スペーサ９８の後端部、つまり、肉厚側の端部の厚さは、円弧部８６と側壁９６ｂとの隙間より厚くされている。これにより、銅管８５の円弧部８６を被覆部材８２に向かって押しつけることが可能となり、円弧部８６の内側の面と被覆部材８２の外周面とが密着される。
【００４１】
銅管８５が取り付けられた被覆部材８２および、その被覆部材８２と円弧部８６とを密着させるスペーサ９８は、樹脂モールド１００によって、ハウジング９０内に封止されている。なお、樹脂モールド１００の樹脂は、コイル７０の線材の隙間に充填される樹脂と同じものである。
【００４２】
また、可動子７２の上部、詳しくは、樹脂モールド１００の上面および銅管８５の延出部８８の上面には、テーブル１０２が固定されており、そのテーブル１０２の上面にＸ軸スライダ５４（図２では省略されている）が固定的に配設されている。テーブル１０２は、スライド機構１０４によって、固定子７４の軸方向、つまり、Ｘ軸方向にスライド可能とされている。詳しくは、スライド機構１０４は、ベース２８上に配設された１対のスライドレール１０６と、それら１対のスライドレール１０６に相対動可能に嵌合される１対のスライダ１０８と、スライドレール１０６とスライダ１０８との間に配設されるリニアベアリング１１０とを有している。１対のスライドレール１０６は、固定子７４を挟むようにして、Ｘ軸方向に延びるように配設されており、それら１対のスライドレール１０６に、リニアベアリング１１０を介して、嵌合される１対のスライダ１０８が、テーブル１０２の下面に固定されている。これにより、テーブル１０２、つまり、Ｘ軸スライダ５４は、Ｘ軸方向にスライド可能とされている。
【００４３】
上述した構成によって、シャフトモータ５６では、永久磁石８０によって発生させられる磁束がコイル内を流れる。そのコイル７０に駆動電流が供給されることで、コイル７０内を流れる磁束とコイル７０に供給される電流との相互作用により、軸方向の移動推力が発生させられる。そして、この推力によって、可動子７２が固定子７４の軸線に平行な方向に移動させられ、テーブル１０２、つまり、Ｘ軸スライダ５４がＸ軸方向に移動させられる。
【００４４】
本実施例のシャフトモータ５６では、コイル７０の外周面が、飽和磁束密度の高い磁性材製の被覆部材８２によって覆われており、永久磁石８０によって発生させられる磁束が、被覆部材８２によって、効率的にコイル７０内を流れる。つまり、被覆部材８２がヨークとして機能し、被覆部材８２によって、コイル７０内を流れる磁束が、効率よく上記推力に変換可能な方向に集中させられる。これにより、コイル内を流れる磁束を、上記推力に効率的に変換することが可能となり、シャフトモータ５６の高推力化を図ることが可能となる。
【００４５】
また、コイル７０への駆動電流の供給により、コイル７０が発熱するが、その熱は、コイル７０の外周面に設けられた熱伝導率の高い被覆部材８２に伝達される。そして、その熱は、被覆部材８２の外周面を覆う熱伝導率の高い放熱部材８４の円弧部８６に伝達され、放熱部材８４の延出部８８およびフィン９２から、可動子７２の外部に放出される。これにより、放熱特性に優れたシャフトモータを実現することが可能となる。さらに、放熱特性の向上により、高い推力を発生させることが可能である。このため、本実施例のシャフトモータ５６では、更なる高推力化を図ることが可能となる。
【００４６】
また、本実施例のシャフトモータ５６では、放熱部材８４の円弧部８６の内側の面と被覆部材８２の外周面とが、スペーサ９８によって、密着されており、円弧部８６と被覆部材８２との密着面積が比較的大きくされている。これにより、コイル７０内で生じた熱が、被覆部材８２から円弧部８６に伝達され易くなり、更なる放熱特性の向上を図ることが可能となっている。
【００４７】
＜変形例＞
上記実施例のシャフトモータ５６では、ハウジング９０の側壁９６ｂと放熱部材８４の円弧部８６との間に圧入されるスペーサ９８は、楔状とされており、比較的剛性の高いものが採用されている。しかし、側壁９６ｂと円弧部８６との間に圧入されるスペーサの形状は、楔状に限定されるものでなく、種々の形状のスペーサを採用することが可能である。また、スペーサの素材は、剛性の低いものであってもよく、種々の素材により成形されたものを採用することが可能である。
【００４８】
上記実施例のスペーサ９８とは異なる素材により成形されたスペーサを備えるシャフトモータを、変形例１のシャフトモータ１２０として図３に示し、上記実施例のスペーサ９８とは異なる形状のスペーサを備えるシャフトモータを、変形例２のシャフトモータ１２２として図４に示す。なお、各変形例のシャフトモータ１２０，１２２は、スペーサを除き、上記実施例のシャフトモータ５６と同様の構成であるため、上記シャフトモータ５６と同様の構成要素については、同じ符号を用いて説明を省略あるいは簡略に行うものとする。
【００４９】
変形例１のシャフトモータ１２０は、図４に示すように、楔状のスペーサ１２４を有しており、そのスペーサ１２４が、ハウジング９０の側壁９６ｂと銅管８５の円弧部８６との間に圧入されている。スペーサ１２４は、銅管８５の剛性より低い剛性の素材により成形されており、スペーサ１２４は、側壁９６ｂと円弧部８６との間に圧入されることで、円弧部８６の外周面に沿って変形している。これにより、銅管８５の円弧部８６の被覆部材８２への過剰な押し付けを抑制することが可能となり、円弧部８６の内側の面と被覆部材８２の外周面との間にかかる荷重の過剰な増大を抑制することが可能となる。
【００５０】
なお、変形例１のスペーサ１２４の素材としては、側壁９６ｂと円弧部８６との間への圧入時に、スペーサ１２４が円弧部８６の外周面に沿って変形するものであればよく、銅管８５の剛性より低い剛性の金属製の素材，柔軟性を有する弾性体等、種々のものを採用することが可能である。また、スペーサ１２４は、塑性変形，弾性変形等、種々の形態で変形可能である。
【００５１】
また、変形例２のシャフトモータ１２２は、図５に示すように、平板状のスペーサ１２６を有している。スペーサ１２６は、ハウジング９０の側壁９６ｂと銅管８５の円弧部８６との間に圧入されており、銅管８５の円弧部８６の内側の面と被覆部材８２の外周面とを好適に密着させている。このように、側壁９６ｂと円弧部８６との間に圧入されるスペーサは、どのような形状のものであっても、銅管８５の円弧部８６の内側の面と被覆部材８２の外周面とを好適に密着させることが可能である。なお、平板状のスペーサ１２６は、剛性の高い素材により成形されているが、変形例１のスペーサ１２４と同様に、剛性の低い素材により成形されてもよい。
【００５２】
上記実施例および変形例１，２のシャフトモータ５６，１２０，１２２では、スペーサ９８，１２４，１２６によって、銅管８５の円弧部８６の内側の面と被覆部材８２の外周面とが密着されているが、スペーサとは異なるものによって、円弧部８６の内側の面と被覆部材８２の外周面とが密着されてもよい。スペーサとは異なるものによって円弧部８６の内側の面と被覆部材８２の外周面とが密着されるシャフトモータを、変形例３のシャフトモータ１３０として図６に示す。なお、変形例３のシャフトモータ１３０は、円弧部８６の内側の面と被覆部材８２の外周面とを密着させるものを除き、上記実施例のシャフトモータ５６と略同様の構成であるため、上記シャフトモータ５６と同様の構成要素については、同じ符号を用いて説明を省略あるいは簡略に行うものとする。
【００５３】
変形例３のシャフトモータ１３０では、図６に示すように、ハウジング９０の側壁９６ｂと銅管８５の円弧部８６との間にスペーサは、圧入されておらず、銅管８５の円弧部８６の内側の面と被覆部材８２の外周面とは、半田１３２により接合されている。つまり、円弧部８６の内側の面と被覆部材８２の外周面とは、半田１３２を介して、密着されている。これにより、熱伝導率の高い半田１３２を介して、コイル７０に生じた熱が、被覆部材８２から円弧部８６に伝達され、高い放熱特性を担保することが可能となる。なお、被覆部材８２の外周面には、ニッケルメッキ処理が施されている。
【００５４】
ちなみに、上記実施例および変形例において、シャフトモータ５６，１２０，１２２，１３０は、リニアモータの一例であり、シャフトモータ５６，１２０，１２２，１３０を構成する可動子７２，固定子７４は、可動子，固定子の一例である。また、コイル７０，被覆部材８２，ハウジング９０は、コイル，磁性体，ハウジングの一例であり、被覆部材８２の切欠き部８３は、切欠き部の一例である。スペーサ９８，１２４，１２６は、スペーサの一例であり、放熱部材８４とフィン９２とによって構成されるものは、放熱部材の一例である。放熱部材８４の円弧部８６は、集熱部の一例であり、放熱部材８４の延出部８８とフィン９２とによって構成されるものは、放熱部の一例である。
【００５５】
なお、本発明は、上記実施例および変形例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例および変形例では、本発明のシャフトモータが、作業ヘッド１６をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向スライド機構５０の駆動源として採用されているが、Ｙ軸方向スライド機構５２の駆動源として、本発明のシャフトモータを採用することが可能である。また、電子部品装着機１０を構成する装置，機構等以外の装置，機構等の駆動源として、本発明のシャフトモータを採用することも可能である。
【００５６】
また、上記実施例および変形例では、磁性体としての被覆部材８２の径方向の厚さは、０．５ｍｍとされていたが、その値に限定されるものではなく、０．５ｍｍ以上であればよい。ただし、被覆部材８２の厚さが厚いほど、被覆部材８２、つまり、可動子７２の重量が重くなることから、被覆部材８２の厚さは、０．５〜３ｍｍ程度が好ましい。
【００５７】
また、シャフトモータの放熱特性を、さらに向上させるべく、フィン９２を可動子７２の径方向における両側部に設けてもよい。具体的には、図７に示すように、被覆部材８２の外周面に取り付けられる複数の銅管８５のうち半分のものの延出部８８が、ハウジング９０の外部の一方の方向に延び出し、複数の銅管８５のうち残りの半分のものの延出部８８が、上記一方の方向とは反対の方向に延び出している。上記一方の方向に延び出す延出部８８を備える銅管８５ａと、上記一方の方向と反対の方向に延び出す延出部８８を備える銅管８５ｂとが、交互に被覆部材８２の外周面に取り付けられている。そして、銅管８５ａの延出部８８ａには、フィン９２ａが設けられるとともに、銅管８５ｂの延出部８８ｂには、フィン９２ｂが設けられている。このような構造により、フィン９２ａ，９２ｂが可動子７２の径方向における両側部に設けられている。
【００５８】
また、シャフトモータの放熱特性を向上させるべく、フィン９２に取り付けられるファン９４の数を増やしてもよい。具体的には、図８に示すように、複数のファン９４、（図では、６個のファン９４）を、可動子７２の軸方向に並べて配設し、フィン９２の長手方向の側面に取り付けてもよい。これにより、フィン９２に取り付けられるファン９４の数を増やすことが可能となり、放熱特性の向上を図ることが可能となる。
【符号の説明】
【００５９】
５６：シャフトモータ    ７０：コイル    ７２：可動子    ７４：固定子    ８２：被覆部材（磁性体）    ８３：切欠き部    ８４：放熱部材    ８６：円弧部（集熱部）    ８８：円弧部（放熱部）    ９０：ハウジング    ９２：フィン（放熱部材）（放熱部）    ９８：スペーサ    １２０；シャフトモータ    １２２：シャフトモータ    １２４：スペーサ    １２６：スペーサ    １３０：シャフトモータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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