(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｎｉ基超耐熱合金でなる鍛造素材を潤滑剤で被覆して、前記鍛造素材を熱間鍛造するＮｉ基超耐熱合金の製造方法において、
前記鍛造素材に予め膜厚０．５〜５０μｍのＣｒ酸化被膜を生成させる予備酸化工程と、
前記予備酸化工程後の前記鍛造素材に形成されたＣｒ酸化被膜上にホウケイ酸ガラスを主成分とするガラス潤滑剤で被覆する潤滑剤被覆工程と、
前記潤滑剤被覆工程後の鍛造素材を熱間鍛造する熱間鍛造工程と、
を含むことを特徴とするＮｉ基超耐熱合金の製造方法。
【請求項２】
前記熱間鍛造工程は、４００℃以上に加熱した金型を用いた型打ち鍛造であることを特徴とする請求項１に記載のＮｉ基超耐熱合金の製造方法。
【請求項３】
前記熱間鍛造工程は、前記鍛造素材を９００〜１１００℃に加熱して熱間鍛造することを特徴とする請求項１または２に記載のＮｉ基超耐熱合金の製造方法。
【請求項４】
前記潤滑剤被覆工程で被覆するガラス潤滑剤の厚さが１００〜６００μｍであることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のＮｉ基超耐熱合金の製造方法。
【請求項５】
前記予備酸化工程の加熱温度が９００℃〜熱間鍛造温度であることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のＮｉ基超耐熱合金の製造方法。
【請求項６】
前記Ｎｉ基超耐熱合金が、、質量％で、Ｃ：０．０８％以下、Ｓｉ：０．３５％以下、Ｍｎ：０．３５％以下、Ｐ：０．０１５％以下、Ｓ：０．０１５％以下、Ｎｉ：５０．０〜５５．０％、Ｃｒ：１７．０〜２１．０％、Ｍｏ：２．８〜３．３％、Ｃｏ：１．０％以下、Ｃｕ：０．３０％以下、Ａｌ：０．２０〜０．８０％、Ｔｉ：０．６５〜１．１５％、Ｎｂ＋Ｔａ：４．７５〜５．５０％、Ｂ：０．００６％以下、残部がＦｅおよび不可避的な不純物からなることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載のＮｉ基超耐熱合金の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｎｉ基超耐熱合金の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
航空機や発電用タービン部材は、耐食性や高温強度に優れた７１８合金に代表されるＮｉ基超耐熱合金が使用されている。前記の航空機や発電用タービン部材となる超耐熱合金は、熱間鍛造と熱処理によって結晶粒と析出強化相のサイズを調整し優れた高温強度を得ている。
このうち、例えば、タービンディスクは大型で且つ複雑形状の回転体である上、強度特性として特に疲労強度が重視される。そのため、熱間鍛造の工程では、ニアネットシェイプの型打ち鍛造で大型製品の形状を確保しながら、内質面では微細結晶粒とする必要がある。結晶粒の微細化は、ピンニング粒子が析出する温度域で十分に再結晶を促進させることで達成される。従って、大型回転部材の型打ち鍛造において、形状と品質の両方を両立させるためには、非常に大きな成形荷重を要するが、現実的にプレス荷重能力には限界がある。
そのため、熱間鍛造時には鍛造素材に対して潤滑剤の塗布が行われる。潤滑剤の主な効果としては、熱間鍛造時に適正な粘度を保った状態で鍛造素材に連続した潤滑被膜を形成し、鍛造素材と金型との摩擦を低減する作用がある。プレス荷重能力の範囲内で大型鍛造品を製造するためには、成形荷重の低減を担う潤滑剤の役割が重要となる。
この潤滑剤を用いた熱間での鍛造方法の発明としては、例えば、特開平６−２５４６４８号公報（特許文献１）がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２５４６４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記特許文献１に記載の発明は、１１００〜１２００℃の温度範囲、且つ低歪速度で成形する恒温鍛造において、グラファイト系の潤滑剤を使用することで金型の酸化腐食を防止している点で優れている。しかし、金型コストを抑えた通常の型打ち鍛造では成形荷重の低減効果がより大きいガラス潤滑が使用される。
ガラス潤滑剤で鍛造素材を被覆する場合、例えば、スプレー、刷毛塗り、浸漬によって均一に塗布されたガラス潤滑剤が均一な厚みを維持したまま熱間鍛造に供することが望ましいが、熱間鍛造温度に昇温した後に、被覆したガラス潤滑剤が部分的に弾かれる問題があった。
ガラス潤滑剤の厚みが不均一となると、ガラス潤滑被膜が弾かれた部分では被加工材と金型との摩擦が増加し、ひいては成形荷重の増加を招くことになる。ガラス潤滑剤は鍛造素材と金型との摩擦低減の他、保温の機能も有するため、鍛造素材に塗布したガラス潤滑剤が部分的に濡れていないことは、鍛造中において被加工材に温度むらが生じ、成形が不均一になる問題もあった。
本発明の目的は、熱間鍛造温度に加熱した後であっても、ガラス潤滑剤の被覆を均一に維持することが可能なＮｉ基超耐熱合金の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものである。
即ち本発明は、Ｎｉ基超耐熱合金でなる鍛造素材を潤滑剤で被覆して、前記鍛造素材を熱間鍛造するＮｉ基超耐熱合金の製造方法において、
前記鍛造素材に予め膜厚０．５〜５０μｍのＣｒ酸化被膜を生成させる予備酸化工程と、
前記予備酸化工程後の前記鍛造素材に形成されたＣｒ酸化被膜上にホウケイ酸ガラスを主成分とするガラス潤滑剤を被覆する潤滑剤被覆工程と、
前記潤滑剤被覆工程後の鍛造素材を熱間鍛造する熱間鍛造工程と、
を含むＮｉ基超耐熱合金の製造方法である。
また、本発明のＮｉ基超耐熱合金の製造方法は、前記熱間鍛造工程は、４００℃以上に加熱した金型を用いた型打ち鍛造である。
また、本発明のＮｉ基超耐熱合金の製造方法は、前記熱間鍛造工程は、前記鍛造素材を９００〜１１００℃に加熱して熱間鍛造することが好ましい。
また、本発明のＮｉ基超耐熱合金の製造方法は、前記潤滑剤被覆工程で被覆するガラス潤滑剤の厚さが１００〜６００μｍであることが好ましい。
また、本発明のＮｉ基超耐熱合金の製造方法は、前記予備酸化工程の加熱温度が９００℃〜熱間鍛造温度であることが好ましい。
また、本発明のＮｉ基超耐熱合金の製造方法は、前記Ｎｉ基超耐熱合金が、、質量％で、Ｃ：０．０８％以下、Ｓｉ：０．３５％以下、Ｍｎ：０．３５％以下、Ｐ：０．０１５％以下、Ｓ：０．０１５％以下、Ｎｉ：５０．０〜５５．０％、Ｃｒ：１７．０〜２１．０％、Ｍｏ：２．８〜３．３％、Ｃｏ：１．０％以下、Ｃｕ：０．３０％以下、Ａｌ：０．２０〜０．８０％、Ｔｉ：０．６５〜１．１５％、Ｎｂ＋Ｔａ：４．７５〜５．５０％、Ｂ：０．００６％以下、残部がＦｅおよび不可避的な不純物からなることが好ましい。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、熱間鍛造温度に加熱した後であっても、ガラス潤滑剤の被覆を均一に維持することが可能である。そのため、例えば、大型且つ複雑な製品であっても、ニアネットシェイプの鍛造品を低荷重で熱間鍛造を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】ガラス潤滑剤の濡れ性の違いを示した外観写真
【図２】基板とガラス潤滑剤の界面組織（反射電子像と元素マップ画像）
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に本発明を詳しく説明する。
先ず、本発明でいう「Ｎｉ基超耐熱合金」とは、質量％で５０％以上のＮｉ及び１０％以上のＣｒを必須で含有し、更に、例えばＣｏ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗ等の強化元素を含有するオーステナイト系の耐熱合金を言う。Ｎｉ基超耐熱合金は、高温環境下での使用に耐えるため、高い耐酸化性の他、母相の固溶強化とガンマプライムやガンマダブルプライム等の析出強化によって高い高温強度を示すことが特徴である。
また、用いる鍛造素材としては、例えば、円柱状ビレットやリング形状を有する中間素材、熱間鍛造に供された熱間鍛造品等があり、特に制限はない。また、用いる鍛造素材は、表面に残留する油や異物を除去する目的で表面研削、ショットブラストやサンドブラスト等のブラスト処理等の表面研磨により、表面を清浄化することが好ましい。
なお、本発明で言う、「熱間鍛造」には、恒温鍛造、ホットダイ鍛造も含むものとする。
【０００９】
＜予備酸化工程＞
本発明では、上述した鍛造素材に予備酸化を行う。予備酸化でＣｒ酸化被膜を生成する目的は、後述するホウケイ酸ガラスを主成分とするガラス潤滑剤との濡れ性を向上させるためである。つまり、鍛造素材にガラス潤滑剤との濡れ性の良い酸化被膜を生成させておくことで、後に行う熱間鍛造温度への昇温時に鍛造素材に均一なガラス潤滑剤の被覆が行えるようにするものである。
また、生成させるＣｒ酸化被膜の厚みは、０．５〜５０μｍであることが必要である。Ｃｒ酸化被膜の厚みが０．５μｍ未満では、Ｃｒ酸化被膜からガラス潤滑剤への酸素の供給が不足し濡れ性が低下する。一方、Ｃｒ酸化被膜が５０μｍを超えて厚く生成させても、ガラス潤滑剤との濡れ性の一層の向上は望めないだけでなく、予備酸化被膜形成時の加熱保持を不必要に長くするため経済的ではない。
この予備酸化工程はＣｒ酸化被膜が鍛造素材表層に連続して全面に形成されるように９００℃〜熱間鍛造温度の温度範囲で行うと良い。９００℃未満では、鍛造素材表面に均一なＣｒ酸化被膜の生成が困難な場合が有る。一方で、予備酸化工程の上限温度は熱間鍛造温度である。熱間鍛造温度は、鍛造素材の種類や狙いとする結晶粒サイズによって異なるが、例えば７１８合金の場合、９５０〜１０５０℃である。予備酸化工程の温度が熱間鍛造温度を超えると予備酸化処理において鍛造素材の結晶粒が粗大化する恐れがあるため好ましくない。また、処理時間は１〜１０時間であれば十分である。
【００１０】
この予備酸化は、ガラス潤滑剤を被覆した鍛造素材の鍛造前加熱において、昇温過程で生じるガラス潤滑剤の濡れ不良に対しても抑制効果がある。その理由を以下に説明する。
鍛造前加熱の昇温で鍛造素材内外の温度むらを極力低減することはミクロ組織の均一性、ひいては機械的性質の信頼性確保にとって極めて重要である。そのため、鍛造直前の鍛造素材内外のミクロ組織の均一性を担保するために、鍛造温度より低温で保持しながら段階的に昇温する方法を採る。段階的な昇温でＣｒ酸化物が徐々に形成されるものの、一方で、鍛造素材とガラス潤滑剤とのボンディングも始まるため、Ｃｒ酸化物の形成の進行が不十分であればガラスの濡れ不良を起こす。一旦、濡れ不良を起こした部分はガラスが弾かれているため、ガラスが濡れ広がらない。したがって、鍛造前の加熱工程において鍛造素材内外の温度むら低減と良好なガラスの濡れ性を両立させるためにも、予めCr酸化物を形成しておく予備酸化は有効な手段である。
その他の効果として、ボンディングはＣｒ、ホウケイ酸ガラス、酸素の反応であるため、酸素濃度が高い大気雰囲気での加熱ではガラスは鍛造素材に濡れやすい。しかしながら、一般的に用いられる加熱炉の雰囲気は例えば天然ガスや重油を燃料とする、酸素濃度が低い雰囲気となる。その場合、炉内からの酸素の供給が少ないため、Ｃｒとガラスのボンディングが不十分となる。即ち、ガラスが部分的に濡れなくなる。そのため、炉内からガラスに侵入する酸素の供給不足を補う目的として、ガラスを鍛造素材に被覆する前に、鍛造素材に予め予備酸化を施し、鍛造素材の表層にＣｒ酸化物を形成させておく方法が有効である。
【００１１】
＜ガラス潤滑剤＞
ガラス潤滑剤は、例えば、型打ち鍛造で結晶粒微細化を達成するためには、必然的に高い成形荷重を要する。そのため、プレス荷重能力の範囲内で鍛造するためには、潤滑剤によって鍛造素材と金型との摩擦力を低減させることが重要となる。中でも、熱間鍛造に使用される金型が５００℃を超える温度でも十分な潤滑効果が得られるガラス潤滑が有効であり、特に、耐熱性に優れるホウケイ酸を主成分とするガラス潤滑剤が好適である。
本発明において、「ホウケイ酸ガラスを主成分とするガラス潤滑剤」とは、質量％でＳｉＯ２を７０％以上、Ｂ２Ｏ３を１０％以上含有するガラス潤滑剤のことである。なお、ガラス形成酸化物中の酸素は架橋酸素として構成されている故に、結合エネルギーが高く高温でも安定で粘度が高いため、ガラス形成酸化物だけでは潤滑剤として機能しない。そのため、中間酸化物や網目修飾酸化物であるＡｌ２Ｏ３、Ｎａ２Ｏ、ＣａＯ、Ｋ２Ｏ等を添加して非架橋酸素を構成させることで、熱間鍛造を行うような高温域でガラスの粘度を下げることができる。
【００１２】
前述したガラス潤滑剤を鍛造素材に被覆させる方法としては、ガラス潤滑剤の粉末を溶媒とともにスプレー、刷毛塗り、浸漬等で鍛造素材全面に塗布し、これを乾燥させて溶媒を除去する方法が適用できる。このうち、被覆厚さを制御しやすいスプレー塗布が好ましく、更にはロボットによる自動スプレー塗布が最も塗布方法として適している。
また、塗布によるガラス潤滑剤の厚さは、熱間鍛造中においてガラスが連続的なフィルム性を確保するために１００μｍ以上が好ましい。１００μｍ未満では部分的な潤滑切れを起こし、摩擦低減効果が損なわれる場合がある。好ましい塗布の厚さは２００μｍ以上である。一方、ガラスの被覆は厚い分には問題は生じないが、過度な厚塗りは現実的な工程とは言えない。ガラスの被覆厚さは６００μｍを上限とすれば、いかなる型打ち鍛造工程においても許容できる。好ましいガラスの被覆厚さは５００μｍ以下である。
【００１３】
＜熱間鍛造工程＞
上述したホウケイ酸ガラスを主成分とするガラス潤滑剤で被覆した鍛造素材を用いて、熱間鍛造を行う。
本発明の場合、熱間鍛造温度は９００〜１１００℃とすることがよい。なお、熱間鍛造の中でも、本発明の製造方法に好適なのは、上型と下型による押圧により、所望の形状とする、所謂「型打ち鍛造」である。なお、型打ち鍛造を行う場合は、金型温度を４００℃以上に加熱して使用するのが望ましい。これは、鍛造中に金型に接触するガラスの温度低下に伴い、ガラスの粘度が増加することを防ぐためである。金型温度は、好ましくは５００℃以上である。金型加熱の温度が高いほど成形荷重を低く抑えられる点や、ガラスの粘度をより低く保つことができる点で有利である。ただし、例えば、用いる金型の材質がＪＩＳで規定される熱間金型用鋼である場合は、焼き戻し温度を上限とすればよく、例えば、Ｎｉ基超耐熱合金製の金型であれば、鍛造温度を上限とするとよい。
【００１４】
なお、本発明のＮｉ基超耐熱合金の製造方法に最適な合金は７１８合金である。７１８合金のＣｒ量、その他の酸化被膜生成元素のバランスが本発明の予備酸化工程に最適である。７１８合金の組成は、公知であり、質量％で、Ｃ：０．０８％以下、Ｓｉ：０．３５％以下、Ｍｎ：０．３５％以下、Ｐ：０．０１５％以下、Ｓ：０．０１５％以下、Ｎｉ：５０．０〜５８．０％、Ｃｒ：１７．０〜２１．０％、Ｍｏ：２．８〜３．３％、Ｃｏ：１．０％以下、Ｃｕ：０．３０％以下、Ａｌ：０．２０〜０．８０％、Ｔｉ：０．６５〜１．１５％、Ｎｂ＋Ｔａ：４．７５〜５．５０％、Ｂ：０．００６％以下、残部がＦｅおよび不可避的な不純物からなるものである。
【実施例】
【００１５】
先ず、予備テストとして、Ｎｉ基超耐熱合金の７１８合金（質量％で、５５％Ｎｉ−１８％Ｃｒ−０．５％Ａｌ−１％Ｔｉ−３％Ｍｏ−５％（Ｎｂ＋Ｔａ）−残部Ｆｅ））において、ガラス潤滑剤の濡れ性に及ぼす鍛造素材の表面状態の影響について調査した。
鍛造素材には直径７５ｍｍ、厚さ１５ｍｍの７１８合金を準備した。直径７５ｍｍの片面を＃３２０で研磨し、ショットブラストを行った後、６００、８００、９００、１０００℃で１時間の予備酸化を実施した。
予備酸化により形成された酸化物の構成について、ＦＥ−ＥＰＭＡを用いて断面観察した。また、予備酸化した鍛造素材表面を脱脂した後、質量％でＢ２Ｏ３１１％、Ａｌ２Ｏ３６．５％、Ｎａ２Ｏ６％、ＣａＯ０．５％、Ｋ２Ｏ０．０５％、残部がＳｉＯ２のガラス潤滑剤をスプレー塗布した後、十分に乾燥させて溶媒を除去した。塗布したガラス潤滑剤の厚さはいずれも２５０〜３５０μｍであった。ガラス潤滑剤を塗布した鍛造素材を１０００℃で１時間加熱し（素材／ガラス加熱と称す）、鍛造素材に対するガラス潤滑剤の被覆率とガラスが部分的に弾かれる濡れ不良の有無を濡れ性の指標として評価した。
表１に予備酸化によるＣｒ酸化物の有無、素材／ガラス加熱によるガラスの被覆率を示す。なお、生成した酸化被膜がＣｒ酸化膜であることはエックス線分析装置により確認した。素材表面のＦＥ−ＥＰＭＡの断面観察で得られたＣｒ元素マップ画像から、Ｃｒ酸化被膜の面積を観察視野の幅で割ることでＣｒ酸化被膜の平均厚さを算出した。なお、酸化被膜の厚さの測定は、ランダムに１０視野観察したものである。【００１６】
【表１】
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【００１７】
前記の予備酸化で、Ｃｒ酸化被膜が基板表面全面に厚く形成されるほど、素材／ガラス加熱処理でガラスの鍛造素材への被覆率が増加することがわかる。これは、Ｃｒ酸化被膜とガラスが反応層を形成することでガラスが基板表面に濡れ広がっていることに起因する。図１（ａ）、（ｂ）はそれぞれ６００、１０００℃で予備酸化した後、基板表面にガラスを塗布した状態で１０００℃の素材／ガラス加熱処理を施した一例の外観写真である。
６００℃で予備酸化した図１（ａ）では部分的にガラスが弾かれて濡れ不良を起こしているのに対し、１０００℃で予備酸化処理した図１（ｂ）ではガラスが良好に濡れ広がっていることがわかる。なお、本発明において、ガラス被覆率は９５％程度であるが、これは鍛造素材のエッジの影響である。本発明のガラス被覆率は、実際の熱間鍛造でガラス潤滑剤がほぼ完全に濡れ広がるものと判断した。
図１（ｂ）の断面方向から観察したＦＥ−ＥＰＭＡ反射電子像とＣｒ、Ｓｉ、Ａｌの元素マップをそれぞれ図２（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示す。元素マップ画像で白くみえる部分は元素が濃化していることを示している。Ｃｒが濃化している領域の一部でガラス成分のＳｉ、Ａｌが濃化し、Ｃｒ酸化被膜がガラスと界面で反応層を形成して密着性を高めていることが分かる。なお、素材／ガラス加熱でガラスが部分的に弾かれる濡れ不良が確認されたのは、予備酸化を６００、８００℃で行ったものであった。【００１８】
上記の予備テストの結果を受けて、実際に数万トン規模の大型熱間鍛造装置を用いて熱間鍛造を行った。熱間鍛造は上型と下型を用いた押圧によるもので、タービンディスク部材を製造した。用いたＮｉ基超耐熱合金は予備テスト同様、７１８合金を用いた。鍛造素材は直径３００ｍｍ、高さ１０００ｍｍのビレットを使用した。鍛造素材に対して、９５０〜１０００℃で４時間の予備酸化を行い、鍛造素材表面にＣｒ酸化被膜を５μｍ生成させたものと、Ｃｒ酸化被膜が０．５μｍ未満のほとんど生成しない６００〜７００℃で４時間の予備酸化したものを準備した。その後、Ｂ２Ｏ３１１％、Ａｌ２Ｏ３６．５％、Ｎａ２Ｏ６％、ＣａＯ０．５％、Ｋ２Ｏ０．０５％、残部がＳｉＯ２のホウケイ酸ガラス潤滑剤をスプレー塗布した後、十分に乾燥させて溶媒を除去した。塗布したガラス潤滑剤の厚さは約３００μｍであった。【００１９】
このホウケイ酸ガラスを主成分とするガラス潤滑剤で被覆した鍛造素材を用いて、再加熱を繰り返しながら段階的に型打ち鍛造を行い荒地を作製した後、直径１ｍ以上のニアネットシェイプの最終型打ち鍛造を実施した。
その際、ＪＩＳ−ＳＫＤ６１製の金型温度を５００℃に加熱した。ホウケイ酸ガラスを主成分とするガラス潤滑剤で被覆した鍛造素材を鍛造温度の９５０〜１０００℃に昇温した。鍛造温度まで加熱した鍛造素材を下型上に載置して、上型を降下させて上型と下型とで押圧する熱間鍛造（熱間プレス）を行った。なお、９５０〜１０００℃で予備酸化を行った鍛造素材は、下型に載置したときの鍛造素材のガラス潤滑剤は均一に被覆されたままであった。
熱間鍛造中は、過度にプレス荷重が高まることなく熱間鍛造が行えた。熱間鍛造後の鍛造素材は特に欠陥は見られず、良好な形状であった。ミクロ組織は、ＡＳＴＭ結晶粒度番号でＮｏ．８以上の微細再結晶組織が得られた。一方、６００〜７００℃で予備酸化を行った鍛造素材は、全面にガラス潤滑剤の濡れ不良を起こしていた。熱間鍛造中では、６００〜７００℃の予備酸化材は、９５０〜１０００℃の予備酸化材と比較して、鍛造荷重は高く、形状は偏心が発生するなど良好な鍛造材が得られなかった。９５０〜１０００℃の予備酸化材は、６００〜７００℃の予備酸化材と比較して、鍛造荷重は５％ほど低減し、真円度は２７％向上することができた。本発明の製造方法を適用したものは、ほぼ真円の形状が得られた。【００２０】
以上の結果から、本発明によれば、熱間鍛造温度に加熱した後であっても、ガラス潤滑剤の被覆を均一に維持することが可能であることが分かった。そのため、例えば、大型且つ複雑な製品であっても、ニアネットシェイプの鍛造品を低荷重で熱間鍛造を行うことができる。
【要約】
熱間鍛造温度に加熱した後であっても、ガラス潤滑剤の被覆を均一に維持することが可能なＮｉ基超耐熱合金の製造方法を提供する。
Ｎｉ基超耐熱合金でなる鍛造素材を潤滑剤で被覆して、前記鍛造素材を熱間鍛造を行うＮｉ基超耐熱合金の製造方法において、
前記鍛造素材に予め膜厚０．５〜５０μｍのＣｒ酸化被膜を生成させて予備酸化材とする予備酸化工程と、
前記予備酸化材にホウケイ酸ガラスを主成分とするガラス潤滑剤で被覆して被鍛造材とする潤滑剤被覆工程と、
前記被鍛造材を熱間鍛造して熱間鍛造材とする熱間鍛造工程、
を含むことを特徴とするＮｉ基超耐熱合金の製造方法。【図１】
0005904431.tif 000003
【図２】
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