(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬送するためのワーク搬送装置であって、
前記ワークを把持および解放するように動作するように構成されるワーク把持機構と、
前記ワーク把持機構を駆動するために、前記ワーク把持機構に直接的または間接的に連結される可動部材を備えるアクチュエータと、
オス部材およびメス部材を有する停止装置とを有し、
前記オス部材および前記メス部材のうちの一方は、第１平面、および前記第１平面とは異なる平面に位置する第２平面を有し、
前記オス部材および前記メス部材の他方は、前記第１平面および前記第２平面に選択的に接触する接触面を有し、
前記オス部材および前記メス部材は、互いに異なる第１配置および第２配置で係合可能であり、
前記第１配置は、前記第１平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第２配置は、前記第２平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第１配置および前記第２配置は、前記可動部材に連結される前記ワーク把持機構のための、少なくとも２つの予め画定された不連続な把持位置を画定する、ワーク搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、前記オス部材または前記メス部材のいずれか一方は停止表面を画定し、前記ワーク把持機構または前記ワーク把持機構に連結される連結部材が前記停止表面に接触することで前記ワーク把持機構の駆動が停止されて、前記ワーク把持機構の把持位置が画定される、ワーク搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の装置であって、前記オス部材および前記メス部材のいずれか一方はネジ付きボルトを有し、前記オス部材および前記メス部材は、前記ネジ付きボルトに係合するナットにより、前記第１配置および前記第２配置を含む互いに少なくとも２つの異なる配置で固定されるように構成される、ワーク搬送装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の装置であって、前記オス部材は突出部を有し、前記メス部材は前記オス部材の前記突出部を受け入れるように形成される凹部を有し、前記オス部材および前記メス部材は、前記オス部材の前記突出部が前記メス部材の前記凹部に受け入れられる配置、および前記オス部材の前記突出部が前記メス部材の前記凹部に受け入れられない配置において係合することができ、それにより前記アクチュエータの前記可動部材に連結された前記ワーク把持機構のための少なくとも２つの予め画定された不連続な把持位置を画定するように構成される、ワーク搬送装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の装置であって、前記アクチュエータは、流体シリンダおよびシャフトを有し、前記シャフトの一端は前記シリンダに連結され、前記シャフトの他端は前記ワーク把持機構に直接的または間接的に連結され、前記シャフトは前記シリンダ内の流体の圧力により駆動される、ワーク搬送装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の装置であって、前記ワークは半導体ウェハである、ワーク搬送装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の装置であって、前記ワーク把持機構は、ワークを把持するように開閉可能に構成される少なくとも一対のアームを有する、ワーク搬送装置。
【請求項８】
請求項７に記載の装置であって、前記アームは少なくとも１つのワークを把持するように構成されるコマを有する、ワーク搬送装置
【請求項９】
ワーク把持機構のための、少なくとも２つの予め画定された不連続な把持位置を画定する停止装置であって、
前記停止装置は、オス部材とメス部材とを有し、
前記オス部材および前記メス部材のうちの一方は、第１平面および前記第１平面とは異なる平面に位置する第２平面を有し、
前記オス部材および前記メス部材の他方は、前記第１平面および前記第２平面に選択的に接触する接触面を有し、
前記オス部材および前記メス部材は、互いに異なる第１配置および第２配置で係合可能であり、
前記第１配置は、前記第１平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第２配置は、前記第２平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第１配置および前記第２配置は、前記ワーク把持機構のための、少なくとも２つの予め画定された不連続な把持位置を画定する、停止装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の停止装置であって、前記オス部材または前記メス部材のいずれか一方は停止表面を画定し、前記ワーク把持機構または前記ワーク把持機構に連結される連結部材が前記停止表面に接触することで前記ワーク把持機構の駆動が停止されて、前記ワーク把持機構の把持位置が画定される、停止装置。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載の停止装置であって、前記オス部材および前記メス部材のいずれか一方はネジ付きボルトを有し、前記オス部材および前記メス部材は、前記ネジ付きボルトに係合するナットにより、前記第１配置および前記第２配置を含む互いに少なくとも２つの異なる配置で固定されるように構成される、停止装置。
【請求項１２】
請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の停止装置であって、前記オス部材は突出部を有し、前記メス部材は前記オス部材の前記突出部を受け入れるように形成される凹部を有し、前記オス部材および前記メス部材は、前記オス部材の前記突出部が前記メス部材の前記凹部に受け入れられる配置、および前記オス部材の前記突出部が前記メス部材の前記凹部に受け入れられない配置において係合することができ、それにより前記ワーク把持機構のための少なくとも２つの予め画定された不連続な把持位置を画定するように構成される、停止装置。
【請求項１３】
停止装置を用いて、ワーク把持機構の把持位置を調整する方法であって、
前記停止装置は、オス部材とメス部材とを有し、
前記オス部材および前記メス部材のうちの一方は、第１平面、および前記第１平面とは異なる平面に位置する第２平面を有し、
前記オス部材および前記メス部材の他方は、前記第１平面および前記第２平面に選択的に接触する接触面を有し、
前記オス部材および前記メス部材は、互いに異なる第１配置および第２配置で係合可能であり、
前記第１配置は、前記第１平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第２配置は、前記第２平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第１配置および前記第２配置は、前記ワーク把持機構のための、少なくとも２つの予め画定された不連続な把持位置を画定し、
前記方法は、前記オス部材と前記メス部材との相対的な係合位置を変更するステップ、を有する、方法。
【請求項１４】
停止装置を用いて、ワーク把持機構の把持位置を調整する方法であって、
前記停止装置は、オス部材とメス部材とを有し、
前記オス部材および前記メス部材のうちの一方は、第１平面、および前記第１平面とは異なる平面に位置する第２平面を有し、
前記オス部材および前記メス部材の他方は、前記第１平面および前記第２平面に選択的に接触する接触面を有し、
前記オス部材および前記メス部材は、互いに異なる第１配置および第２配置で係合可能であり、
前記第１配置は、前記第１平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第２配置は、前記第２平面と前記接触面とが接触する配置であり、
前記第１配置および前記第２配置は、前記ワーク把持機構のための、少なくとも２つの予め画定された不連続な把持位置を画定し、
前記オス部材および前記メス部材のいずれか一方はネジ付きボルトを有し、前記オス部材および前記メス部材は、前記ネジ付きボルトに係合するナットにより、選択的に前記第１配置および前記第２配置で固定されるように構成され、
前記方法は、
前記ナットを緩めるステップと、
前記オス部材と前記メス部材との相対的な係合位置を変更するステップと、
前記ナットを締めて、変更された係合位置で前記オス部材と前記メス部材とを固定するステップと、を有する、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを搬送する装置のための可動範囲調整機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程において、一般に、半導体ウェハなどのワークを搬送する装置が使用される（たとえば、特許文献１、２）。たとえば、シリンダを備えるアクチュエータにより開閉駆動される１対のアームにより半導体ウェハを把持して、半導体ウェハを所望の位置へ移動させるワークの搬送装置がある（たとえば特許文献３）。半導体装置の製造においては、サイズの異なる半導体ウェハを搬送することが必要とされることがある。
【０００３】
半導体ウェハの搬送機構は、処理するウェハの大きさに合わせて設計および調整がされるため、ウェハのサイズが異なると、適切に搬送できないことがある。たとえば、搬送機構が調整されているサイズよりも半導体ウェハサイズが小さい場合、把持力が弱くなり、また、ウェハを把持する箇所での隙間が過大になり、ウェハの位置決め精度が悪くなることがある。また、搬送機構が調整されているサイズよりも半導体ウェハサイズが大きい場合、把持力が過大になり、ウェハに過度なストレスを与えることがあり、また、ウェハを適切に把持できないことがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２７２５２６号公報
【特許文献２】特開２００１−３００８７９号公報
【特許文献３】特開２００３−３０９０８９号公報
【特許文献４】国際公開第２００７／０９９９７６号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
搬送する半導体ウェハなどのワークのサイズに応じて、搬送機構のアームなどの把持機構の動作範囲を変更することが行われることがある。搬送機構の把持機構の動作範囲をモーターを使用するアクチュエータにより制御する場合、モーターの動作パラメータ（たとえば、パルスモーターの場合のパルス数など）を変更することで動作範囲を変更することができる。しかし、モーターを用いたアクチュエータはコストが高くなる傾向にある。シリンダ機構のような空圧式または液圧式のアクチュエータを用いた動作機構は、一般に、モーターを用いるアクチュエータよりもコストが低くなる。シリンダを用いたアクチュエータの動作範囲を変更する場合、動作範囲を画定するストッパの位置を調整することにより行われる。たとえば、ネジによりストッパの位置を調整することができる。しかし、ネジによりストッパの位置を調整する場合、調整する度にストッパの位置がわずかに異なることがあり、位置調整の再現性、正確性が十分ではないことがある。また、ネジによりストッパ位置を調整する場合、ストッパ位置の調整に時間がかかる傾向がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態によれば、異なるサイズのワークを搬送するための、簡易な動作範囲調整機構を備えるワークの搬送装置が提供される。本発明の一実施形態によれば、ワークを搬送するためのワーク搬送装置は、ワークを把持および解放するように動作するように構成されるワーク把持機構を有する。また、このワーク搬送装置は、ワーク把持機構を駆動するために、ワーク把持機構に直接的または間接的に連結される可動部材を備えるアクチュエータを備える。また、ワーク搬送装置は、オス部材およびメス部材とを有する停止装置を有し、このオス部材およびメス部材は、互いに少なくとも２つの異なる配置で係合して、可動部材に連結されるワーク把持機構のための、少なくとも２つの予め画定され
た不連続な把持位置を画定するように構成される。
【０００７】
本発明の一実施形態によれば、ワーク把持機構のための、少なくとも２つの予め画定された不連続な把持位置を画定する停止装置が提供される。この停止装置は、オス部材とメス部材とを有し、オス部材およびメス部材は、互いに少なくとも２つの異なる配置で係合して、ワーク把持機構のための、少なくとも２つの予め画定された不連続な把持位置を画定するように構成される。
【０００８】
本発明の一実施形態によれば、本発明の停止装置を用いて、ワーク把持機構の把持位置を調整する方法が提供される。この方法は、ナットを緩めるステップと、オス部材とメス部材との相対的な係合位置を変更するステップと、ナットを締めて、変更された係合位置でオス部材とメス部材とを固定するステップと、を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】（ａ）本発明の一実施形態によるワークの搬送装置の搬送機構の一部を示す斜視図である。（ｂ）搬送機構の一対のアームを示す斜視図である。
【図２】図１に示される搬送機構のワーク把持機構である駆動アームの動作を説明する模式図である。
【図３】本発明の一実施形態によるワーク把持機構を駆動するアクチュエータおよび停止装置を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態による停止装置をオス部材およびメス部材が分離した状態で示す斜視図である。
【図５】本発明の一実施形態による停止装置のオス部材の側面図である。
【図６】本発明の一実施形態による停止装置のオス部材およびメス部材の第１の配置による係合を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態による停止装置のオス部材およびメス部材の第２の配置による係合を示す図である。
【図８】本発明の一実施形態による停止装置のオス部材およびメス部材の配置によるアクチュエータの停止位置の変化を示す図である。
【図９】異なるサイズの半導体ウェハを把持するための実施例を示す図である。
【図１０】本発明による一実施形態によるオス部材およびメス部材を示す図である。
【図１１】本発明による一実施形態によるオス部材およびメス部材を示す図である。
【図１２】半導体の研磨装置の一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施形態を添付図面とともに説明する。
図１（ａ）は、本発明の一実施形態によるワークの搬送装置の搬送機構１０を示す斜視図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）の搬送機構１０の一対のアームを拡大して示す斜視図である。搬送機構１０は、ワークとして半導体ウェハ１２を搬送する装置として図示されている。また、図１の搬送機構１０は、たとえば、図１２に示される半導体ウェハの研磨装置１０００における洗浄機１００４で用いられるものとすることができる。かかる半導体ウェハの研磨装置１０００は、半導体ウェハが格納されたフロントロード部１０２０から、ロボット１０２２により半導体ウェハを研磨部１００３に搬送し、研磨部１００３で半導体ウェハを研磨し、各種の半導体ウェハ搬送機構により、半導体ウェハを洗浄機１００４に移動させる。半導体ウェハの研磨装置１０００の全体については、たとえば、国際公開第２００７／０９９９７６号パンフレット（特許文献４）に開示のものを利用することができる。
【００１１】
図１に示される本発明の一実施形態による搬送機構１０は、一例として、半導体ウェハの洗浄機内で用いられる搬送機構である。かかる搬送機構１０は、ウェハ１２を着脱自在
に把持する把持機構としての４つのチャッキングユニット１４、１６、１８、２０を備えている。これらのチャッキングユニット１４、１６、１８、２０は、それぞれ１対のアーム１４ａ、１４ｂ；１６ａ、１６ｂ；１８ａ、１８ｂ；２０ａ、２０ｂを備える。図示の実施形態において、アームには、それぞれ２つのチャックコマ１４ｃ、１６ｃ、１８ｃ、２０ｃが設けられている。それゆえ、１つのチャッキングユニットには、それぞれ４つのチャックコマが設けられていることになる。図示の実施形態において、１対のアームは、以下でより詳細に説明されるように、エアシリンダ２２、２４により開閉されて、アームに設けられた４つのチャッキングコマによりウェハ１２を把持および解放することができる。エアシリンダ２２、２４は、メインフレーム２５に固定されている。
【００１２】
図２は、アーム１４ａ、１６ａ、１８ａ、２０ａの駆動機構を説明する模式図である。図示および説明の明瞭化のために、アーム１４ｂ、１６ｂ、１８ｂ、２０ｂは省略して図示されている。また、図２は、図１に示される駆動機構をより簡略化して示している。図２に示されるように、アーム１４ａ−２０ａは連結部材１４ｄ−２０ｄに連結される。図示のように、連結部材１４ｄ、１６ｄは剛体ロッド２６に連結され、連結部材１６ｄ、１８ｄは剛体ロッド２８に連結され、連結部材１８ｄ、２０ｄは剛体ロッド３０に連結される。各連結部材１４ｄ、１６ｄ、１８ｄ、２０ｄは、それぞれ単一の部材からなる構造物とすることができ、または、複数の部材を連結させてそれぞれの連結部材１４ｄ、１６ｄ、１８ｄ、２０ｄを構成するようにしてもよい。図２の実施形態において、連結部材１４ｄ、２０ｄは、他の連結部材よりも短く、連結部材１６ｄは前２つの連結部材１４ｄ、２０ｄよりも長く、連結部材１８ｄは最も長い。アーム１８ａの連結部１８ｄは、エアシリンダ２２により駆動される。エアシリンダ２２には可動部材を構成するシャフト２２ａの一端が連結されている。シャフト２２ａの他端は、アーム１８ａの連結部材１８ｄに連結される。シャフト２２ａは、エアシリンダ２２内の空気圧により駆動される。エアシリンダ２２によりシャフト２２ａが駆動されることにより、連結部材１８ｄとともにアーム１８ａが駆動される。また、剛体ロッド２６、２８、３０により、連結部材１８ｄが駆動されると、他の連結部材１４ｄ、１６ｄ、２０ｄも連動して駆動される。つまり、４つのアーム１４ａ−２０ａは１つのアクチュエータ２２、２２ａにより同時に駆動される。なお、他の実施形態として、各アームに１つのエアシリンダ等のアクチュエータをそれぞれ設けて、別々に駆動できるようにしてもよい。また、図示の実施形態のような連結部材１４ｄ、１６ｄ、１８ｄ、２０ｄを介さずに、アーム１４ｂ、１６ｂ、１８ｂ、２０ｂを直接的にアクチュエータ２２に接続するように構成してもよい。
【００１３】
アーム１８ａの少なくとも一方の可動範囲は、停止装置５０により画定される。図２に示されるように、連結部材１８ｄが停止装置５０に接触することで、連結部材１８ｄ、すなわちアーム１８ａの可動範囲が限界付けられる。
【００１４】
図３−８は、停止装置５０の詳細な構造を説明するための図である。図３は、シリンダ２２、シャフト２２ａ、連結部材１８ｄ、停止装置５０の配置を簡略的に示している。停止装置５０はメインフレーム２５（図３には図示されていない）に固定される。エアシリンダ２２内の空気圧により、シャフト２２ａが駆動されて、連結部材１８ｄおよび連結部材１８ｄに連結されるアーム１８ａが駆動される。なお、図３においては、簡略化のために連結部材１８ｄの一部のみを示している。
【００１５】
停止装置５０は、オス部材１００およびメス部材２００を含む。オス部材１００およびメス部材２００は、以下により詳細に説明するように、互いに２つの異なる配置で係合することができ、連結部材１８ｄおよびアーム１８ａのための予め画定された不連続な２つの停止位置を画定する。
【００１６】
図４は、オス部材１００およびメス部材２００の分離した状態を斜視図で示している。
図４に示されるように、オス部材１００は、ネジ部１０２を備え、ネジ部はオス部材１００の頭部１０４から延びる。
【００１７】
図５は、オス部材の側面図である。図５に示されるように、オス部材１００の頭部１０４は停止表面１０６を備える。停止表面１０６は、アーム１８ａの連結部材１８ｄと接触し、アーム１８ａの可動範囲を制限する。オス部材１００の頭部１０４は、停止表面１０６の反対側に第１の面１０８を備える。オス部材１００の頭部１０４は、第１の面１０８から突出する突出部１１０を備える。突出部１１０は、第１の面１０８とは停止表面１０６からの高さの異なる第２の面１１２を画定する。
【００１８】
メス部材２００は、オス部材１００のネジ部１０２が通る孔２０２を備える。メス部材２００は、オス部材１００に向かう側に第１の面２０４を備える。また、メス部材２００は、第１の面２０４から凹んだ凹部２０６を備える。凹部２０６は、底面に第２の面２０８を画定する。孔２０２は、第２の面２０８から延びる。
【００１９】
図示のオス部材１００およびメス部材２００は、２つの異なる配置で係合することができる。第１の配置として、図６に示されるように、オス部材１００は、オス部材１００の突起部１１０がメス部材２００の凹部２０６に挿入された状態で、すなわち、オス部材１００の第１の面１０８がメス部材２００の第１の面２０４に接するように係合することができる。図６（ａ）は、オス部材１００とメス部材２００とが分離された状態を示す断面図であり、図６（ｂ）は、オス部材１００とメス部材２００とが第１の配置で係合した状態を示す断面図であり、図６（ｃ）は、オス部材１００とメス部材２００とが第１の配置で係合した状態を、図６（ｂ）の矢印で示す方向から見た平面図である。図６（ｂ）に示されるように、ナット３００をオス部材１００のネジ部１０２に係合させることでオス部材１００とメス部材２００を第１の配置に固定することができる。なお、第１の配置において、オス部材１００の第２の面１１２と、メス部材２００の第２の面２０８との間には間隙が形成されるようにすることが好ましい。つまり、メス部材２００の凹部２０６の深さよりもオス部材１００の突出部１１０の高さが低くなるように形成することが好ましい。これは、第１の配置において、オス部材１００の第２の面１１２とメス部材２００の第２の面２０８との接触に妨害されずに、オス部材の１００の第１の面１０８をメス部材２００の第１の面２０４に確実に接触させるためである。
【００２０】
第２の配置として、図７に示されるように、オス部材１００は、オス部材１００の突出部１１０がメス部材２００に挿入されない状態、すなわち、オス部材１００の第２の面１１２がメス部材２００の第１の面２０４に接するように係合することができる。より具体的には、図示の実施形態においては、オス部材１００を図６に示す状態からねじ部１０２を中心に９０°回転させてメス部材２００に係合させる。図７（ａ）は、オス部材１００とメス部材２００とが分離された状態を示す断面図であり、図７（ｂ）は、オス部材１００とメス部材２００とが第２の配置で係合した状態を示す断面図であり、図７（ｃ）は、オス部材１００とメス部材２００とが第２の配置で係合した状態を、図７（ｂ）の矢印で示す方向から見た平面図である。図７（ｂ）に示されるように、ナット３００をオス部材１００のネジ部１０２に係合させることでオス部材１００とメス部材２００を第２の配置に固定することができる。
【００２１】
図８は、オス部材１００とメス部材とがそれぞれ第１の配置（ａ）および第２の配置（ｂ）で係合した状態を側面図で示す。図８に示されるように、オス部材１００とメス部材との配置を変更することで、オス部材１００の突出部１１０の高さの分だけアーム１８ａの可動範囲を変更することができる。そのため、オス部材１００突出部１１０の高さをアームの調整したい可動範囲に対応させることで、同一のアームで異なるウェハ１２のサイズを把持できるようにすることができる。具体的なアームの可動範囲の変更方法は、図示
の実施形態の場合、ナット３００を緩めてオス部材１００を約９０°回転させ、再度ナット３００でオス部材１００をメス部材２００に固定するだけであり、極めて容易にアームの可動範囲を変更できる。たとえば、ネジの挿入位置により、アームの可動範囲を連続的に変更できるような機構は、可動範囲を調整するたびに誤差が発生し得る。しかし、本実施形態においては、アームの可動範囲の調整精度は、オス部材１００およびメス部材２００の機械加工精度によるので、アームの可動範囲を調整する段階で誤差が発生することはない。
【００２２】
上述の実施形態では、アーム１４ａ−２０ａの駆動範囲を調整する構成を説明したが、アーム１４ｂ−２０ｂに関しても同様の構成により駆動範囲を調整することができる。
以下に、一例として、直径３００ｍｍの半導体ウェハと直径３０１ｍｍの半導体ウェハのための実施例について説明する。図９に示すように、寸法の異なるウェハをアームにより適切に把持するためには、アームの停止位置をそれぞれのウェハの寸法に適合する位置に調整する必要がある。アームの停止位置が適切に調節されなければ、上述したような問題が生じ得る。図９（ａ）は、３０１ｍｍの直径のウェハ１２を実線で示し、参考として３００ｍｍの直径のウェハを破線で示している。図９（ａ）において、直径３０１ｍｍのウェハ１２は、アーム１８ａの４つのチャックコマ１８ｃにより把持されている。図９（ｂ）は、３００ｍｍの直径のウェハを実線で示し、参考として３０１ｍｍの直径のウェハを破線で示している。図９（ｂ）において、直径３００ｍｍのウェハ１２は、アーム１８ａの４つのチャックコマ１８ｃにより把持されている。図示のように、アームおよびチャックコマが配置される場合、直径３００ｍｍのウェハと直径３０１ｍｍのウェハでは、アームの停止位置は約０．５６ｍｍ変更する必要がある。もちろん、この変更範囲は、アームのチャックコマの取付位置により変わる。この場合、オス部材１００の突出部１１０の高さを０．５６ｍｍとすることで、アームの停止位置を調節できるようになる。突出部１１０の高さの加工精度、すなわちアームの停止位置の調整制度は、０．０１ｍｍ程度とすることが好ましい。
【００２３】
また、本発明は上述の実施形態以外にも様々な形態で実現することができる。
上述の実施形態においては、アーム１８ａの連結部材１８ｄに接する側をオス部材としたが、他の実施形態として、図示のオス部材とメス部材の位置を反対にして、連結部材に接する側を、ネジ部を備えるメス部材として、オス部材をメインフレームに固定するように構成することもできる。
【００２４】
さらに、他の実施形態として、オス部材およびメス部材からなる停止装置を、アームの連結部材に取り付け、連結部材とともに駆動される停止装置の停止表面がメインフレームに固定された他の部材に接触することでアームの可動範囲を調整するように構成してもよい。この場合も、図２−８とともに説明した実施形態と同様に、アームの可動範囲を調整することができる。
【００２５】
また、図２−８の実施形態においては、オス部材１００の突出部１１０の高さにより、アームの可動範囲を調整しているが、他の実施形態として、メス部材の凹部の深さにより、アームの可動範囲を調整するように構成することもできる。たとえば、図１０に示すように、オス部材１００の突出部１１０の高さが、メス部材２００の凹部２０６の深さよりも大きくなるように構成することができる。この場合、図１０に示す第１の配置において、オス部材１００の第２の面１１２がメス部材２００の第２の面２０８に接触する。第２の配置は、図７に示すものと同様である。したがって、メス部材２００の凹部２０６の深さにより、連結部材の停止位置、すなわちアームの可動範囲を調整することができる。
【００２６】
また、上述の実施形態においては、アームの駆動機構を、エアシリンダおよびシャフトからなるアクチュエータとして説明したが、他の流体を用いるシリンダ機構または、他の
種類のアクチュエータを使用してもよい。たとえば、液圧アクチュエータ、ロータリーアクチュエータなどを用いることができる。
【００２７】
さらに、図２−１０の実施形態では、オス部材１００およびメス部材２００は、２つの配置により、オス部材１００のメス部材２００に対する高さを変更できる構成であるが、２つの配置だけでなく、より多くの配置により、オス部材をメス部材に対してそれぞれ異なる高さに固定できるようにすることもできる。たとえば、図１１は、複数の配置でオス部材およびメス部材を係合させて、オス部材をメス部材に対してそれぞれ異なる高さに固定できるいくつかの構造を示している。図１１（ａ）は、メス部材２００の凹部２０６に深さの異なる階段状の段部を設けて、オス部材１００のメス部材２００に対する取り付け角度により、オス部材１００の突出部１１０がメス部材２００の異なる高さの段に係合できる構造を示している。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）と同様に、オス部材１００の突出部１１０がメス部材２００の凹部２０６の深さの異なる段部に係合することができる構造を示している。図１１（ｃ）は、オス部材１００の突出部１１０が高さの異なる複数の段部を備え、オス部材１００のメス部材２００に対する取り付け角度により係合位置を変化させて、オス部材１００の突出部１１０の異なる段部がメス部材２００の第１の面２０４に接触する構造を示している。
【符号の説明】
【００２８】
１０    搬送機構
１２    ウェハ
１４、１６、１８、２０    チャッキングユニット
１４ａ、１６ａ，１８ａ，２０ａ    アーム
１４ｂ，１６ｂ，１８ｂ，２０ｂ    アーム
１４ｃ，１６ｃ，１８ｃ，２０ｃ    チャックコマ
１４ｄ，１６ｄ，１８ｄ，２０ｄ    連結部材
２２    エアシリンダ
２４    エアシリンダ
２５    メインフレーム
２６、２８、３０    剛体ロッド
５０    停止装置
１００    オス部材
２００    メス部材
１０２    ネジ部
１０４    頭部
１０６    停止表面
１０８    第１の面
１１０    突出部
１１２    第２の面
２０２    孔
２０４    第１の面
２０６    凹部
２０８    第２の面
３００    ナット
【図１】
0005904875.tif 000002
【図２】
0005904875.tif 000003
【図３】
0005904875.tif 000004
【図４】
0005904875.tif 000005
【図５】
0005904875.tif 000006
【図６】
0005904875.tif 000007
【図７】
0005904875.tif 000008
【図８】
0005904875.tif 000009
【図９】
0005904875.tif 000010
【図１０】
0005904875.tif 000011
【図１１】
0005904875.tif 000012
【図１２】
0005904875.tif 000013