(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤層の一方の面に透明又は半透明な基材シートが設けられた接着シートであって、
前記接着剤層には、所定の処理が施された処理部が設けられ、
前記接着剤層と前記基材シートとの間、かつ、前記処理部の外側であって、前記処理部の所定の位置を基準にして所定の方向、かつ、所定の距離隔てた位置に前記処理部の位置を特定させる特定部が設けられ、
前記特定部の前記基材シート側の面に前記特定部を識別するための識別処理が施されていることを特徴とする接着シート。
【請求項２】
所定の処理が施された処理部の位置を特定させる特定部が設けられた接着シートを形成可能な接着シートの製造方法であって、
帯状の剥離シートが帯状の接着剤層の一方の面に仮着された原反を用意する工程と、
前記剥離シート側から接着剤層に達する第１切込を形成し、当該第１切込で囲まれた領域の内側に前記特定部を形成する工程と、
前記特定部以外の前記剥離シートを前記接着剤層から剥離する工程と、
前記特定部の所定の位置を基準にして所定の方向、かつ、所定の距離隔てた位置の接着剤層に処理部を形成する工程と、
前記剥離シートを剥離して表出した前記接着剤層の前記一方の面に透明又は半透明な基材シートを貼付する工程とを有することを特徴とする接着シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着シートおよび接着シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばバンプが形成された半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す場合がある）に
貼付する保護部材（接着シート）が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１の保護部材は、バンプが形成されていないウェハの外周領域に貼着する外周貼着部と、外周貼着部に囲繞されバンプを支持し保護するバンプ保護部と、外周貼着部とバンプ保護部とで形成された凹部とを備え、バンプに粘着剤の一部が残存しないように凹部内に全てのバンプが収容されるよう構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１０９４３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１のような保護部材を例えばバンプや回路などのパターンが形成されたウェハに貼着する場合、パターンが形成された領域と凹部とを位置合わせする必要があるが、外周貼着部とバンプ保護部とが透明な場合には、外周貼着部とバンプ保護部とが識別しにくく、凹部を特定するために、外周貼着部とバンプ保護部との境界を特定するセンサの閾値や画像処理の精度を上げる必要があった。しかしながら、閾値や精度の調整には限界があり、閾値や精度を上げすぎるとノイズが特定されやすくなり、凹部の正確な位置特定が難しいという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、被着体に対する接着シートの正確な位置特定が可能な接着シートおよび接着シートの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の接着シートは、接着剤層の一方の面に透明又は半透明な基材シートが設けられた接着シートであって、前記接着剤層には、所定の処理が施された処理部が設けられ、前記接着剤層と前記基材シートとの間、かつ、前記処理部の外側であって、前記処理部の所定の位置を基準にして所定の方向、かつ、所定の距離隔てた位置に前記処理部の位置を特定させる特定部が設けられ、前記特定部の前記基材シート側の面に前記特定部を識別するための識別処理が施されている、という構成を採用している。
【０００８】
一方、本発明の接着シートの製造方法は、所定の処理が施された処理部の位置を特定させる特定部が設けられた接着シートを形成可能な接着シートの製造方法であって、帯状の剥離シートが帯状の接着剤層の一方の面に仮着された原反を用意する工程と、前記剥離シート側から接着剤層に達する第１切込を形成し、当該第１切込で囲まれた領域の内側に前記特定部を形成する工程と、前記特定部以外の前記剥離シートを前記接着剤層から剥離する工程と、前記特定部の所定の位置を基準にして所定の方向、かつ、所定の距離隔てた位置の接着剤層に処理部を形成する工程と、前記剥離シートを剥離して表出した前記接着剤層の前記一方の面に透明又は半透明な基材シートを貼付する工程とを有する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、接着剤層と透明又は半透明な基材シートとの間かつ処理部の外側に特定部を設けたので、センサの閾値や画像処理の精度を上げることなく特定部を容易に検出することができ、接着シートを被着体に貼付するときに処理部の位置を正確に特定できる。また、接着シートの表面又は裏面にラベルの貼付又はマーキングの印刷による特定部を設けた場合に比べ、接着シートの繰り出し動作時にラベルがずれたり、印刷が擦れて薄くなったりすることなく接着シートを被着体に貼付するときの処理部の位置を正確に特定できる。
【００１０】
この際、特定部の基材シートと対向する面に識別処理を施せば、識別処理の有無によって特定部をより容易に検出することができる。
【００１１】
さらに、本発明の接着シートの製造方法によれば、処理部と特定部との間隔を一定に保ちつつ接着剤層と透明又は半透明な基材シートとの間かつ処理部の外側に特定部を確実に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（Ａ）は本発明の一実施形態に係る原反の平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＸ矢視断面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｅ）は原反の製造方法の説明図。
【図３】（Ａ）（Ｂ）は接着シートの位置検出手順を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
まず、接着シートとしての原反ＲＳについて説明する。図１において、原反ＲＳは、接着剤層ＡＤの一方の面ＡＤ１に透明又は半透明な基材シートＢＳが設けられた接着シートＡＳと、接着剤層ＡＤの他方の面ＡＤ２に仮着された第２剥離シートＲＬ２とを備えている。接着シートＡＳの接着剤層ＡＤには、所定の処理としての接着剤層ＡＤが除去された処理部としての開口部ＡＳ１が設けられ、接着剤層ＡＤと基材シートＢＳとの間、かつ、開口部ＡＳ１の外側であって、開口部ＡＳ１の所定の位置を基準にして所定の方向、かつ、所定の距離隔てた位置に開口部ＡＳ１の位置を特定させる特定部ＡＳ２が設けられている。
【００１４】
また、特定部ＡＳ２の基材シートＢＳ側の面には、可視光を散乱させる凹凸を形成することで面を粗くし、特定部ＡＳ２と接着剤層ＡＤとを識別するための識別処理としてのマット処理が施されている。
マット処理方法としては、例えば、サンドマット処理、マットコート処理又は練り込みマット処理が挙げられる。マット処理の表面粗さは、特に限定されることはなく、既存の光学センサやＣＣＤカメラなどの検出手段が容易にマット処理面と基材シートＢＳとを識別できる範囲のものであればよく、使用する検出手段の検出能力によって適宜変更が可能である。
【００１５】
次に、原反ＲＳの製造方法について説明する。
原反ＲＳの製造にあたっては、図２（Ａ）に示すように、表面にマット処理が施された帯状の剥離シートとしての第１剥離シートＲＬ１の裏面が帯状の接着剤層ＡＤの一方の面ＡＤ１に仮着され、他方の面ＡＤ２に第２剥離シートＲＬ２が仮着された原反ＲＳ０を用意する。そして、図２（Ａ）に実線で示すように、第１切込形成手段１１が第１剥離シートＲＬ１の表面側から接着剤層ＡＤに達する第１切込ＣＵ１を形成し、当該第１切込ＣＵ１の内側に特定部ＡＳ２を形成する。
【００１６】
次に、図２（Ｂ）に示すように、第１剥離手段としてのローラ１３で特定部ＡＳ２以外の第１剥離シートＲＬ１を接着剤層ＡＤの一方の面ＡＤ１から剥離することで、所定間隔ごとに特定部ＡＳ２が設けられた接着剤層ＡＤの一方の面ＡＤ１が表出する。
次いで、図２（Ｃ）に示すように、隣接する特定部ＡＳ２の間において、前記特定部ＡＳ２の中心を基準にして帯状の接着剤層ＡＤの長手方向、かつ、所定の距離隔てた位置に第２切込形成手段１２が接着剤層ＡＤの一方の面ＡＤ１側から第２剥離シートＲＬ２に達する第２切込ＣＵ２を形成し、当該第２切込ＣＵ２の内側かつ特定部ＡＳ２の外側に開口部ＡＳ１に対応する円形状の不要接着剤層ＡＤ０を形成する。
そして、図２（Ｄ）に示すように、第２剥離手段１４が不要接着剤層ＡＤ０を吸引して第２剥離シートＲＬ２から剥離することで開口部ＡＳ１を形成する。
以降上述同様の動作を繰り返すことで、所定間隔ごとに特定部ＡＳ２および開口部ＡＳ１を形成する。
次に、図２（Ｅ）に示すように、第１剥離シートＲＬ１を剥離して表出した接着剤層ＡＤの一方の面ＡＤ１に貼付手段としてのローラ１５が基材シートＢＳを貼付することで、原反ＲＳを形成することができる。
【００１７】
次に、接着シートＡＳの繰出位置算出方法について、図３を参照して説明する。
なお、繰出位置算出方法は、本出願人によって出願された特願２０１１−０７１６９３号に開示されたものと実質的に同一である。従って、以下においては、概略的に説明するものとし、詳細な説明を省略する。
【００１８】
まず、接着シートＡＳの繰り出しが完了する前の時点で、制御手段が剥離板４１に設けられた第１，第２基準標識ＳＰ１，ＳＰ２を識別し、これらを結んだ中間点を仮想基準標識ＳＰ０として記憶する。また、予め制御手段に記憶させた第１，第２基準標識ＳＰ１，ＳＰ２間の距離を数値化し、ずれ量を数値で出力するための基準を算出する。次に、図３（Ａ）に示すように、接着シートＡＳが繰り出された時点で、制御手段が図示しない撮像装置を駆動して接着シートＡＳを基材シート側から撮像する。そして、繰出方向Ａに隣り合う開口部ＡＳ１間かつ繰出方向Ａに直交する直交方向Ｂに沿って互いに離隔して設けられた第１，第２特定部ＡＳ２１，ＡＳ２２を識別し、これらを結んだ中間点を仮想特定部ＡＳ２０として記憶する。ここで、第１，第２特定部ＡＳ２１，ＡＳ２２の基材シートＢＳと対向する面にマット処理が施されているため、第１，第２特定部ＡＳ２１，ＡＳ２２を容易に検出することができる。
そして、算出した仮想基準標識ＳＰ０と仮想特定部ＡＳ２０との繰出方向Ａおよび直交方向Ｂに沿ったずれ量に基づき、制御手段は、剥離手段と接着シートＡＳとの相対位置を検出する。この際、図３（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳが繰出方向Ａに傾斜して繰り出された場合には、第１，第２特定部ＡＳ２１，ＡＳ２２を結んだ直線と第１，第２基準標識ＳＰ１，ＳＰ２を結んだ直線との傾きθを算出し、この傾きθに基づき、制御手段は、剥離手段と接着シートＡＳとの相対回転角を検出する。そして、検出した剥離手段と接着シートＡＳとの相対位置および相対回転角と、仮想特定部ＡＳ２０から開口部ＡＳ１の中心である仮想中心点ＤＣまでの既知の距離とに基づき、制御手段が仮想基準標識ＳＰ０に対する仮想中心点ＤＣの位置すなわち接着シートＡＳの繰出位置を算出する。
【００１９】
以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳに開口部ＡＳ１の位置を特定させる特定部ＡＳ２を設けたので、接着シートＡＳをウェハに貼付するときに開口部ＡＳ１の位置を正確に特定できる。
【００２０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２１】
例えば、特定部ＡＳ２を識別するための識別処理としては、マット処理に限らず、光の乱反射が生じる処理であるコロナ処理であってもよい。また、印刷などによる着色処理であってもよく、予め着色された第１剥離シートを利用してもよい。さらに、識別処理は、特定部ＡＳ２の両面に施されていてもよく、予め両面に識別処理が施された第１剥離シートを利用してもよい。
また、接着剤層ＡＤは、透明であってもよいし半透明でもよい。
さらに、処理部である開口部ＡＳ１の形状としては、円形、楕円形や、三角形、四角形等の多角形、幾何学的な模様の形状であってもよい。
また、処理部としては、開口部ＡＳ１に限らず、例えば、紫外線を照射することにより接着剤が硬化する接着剤層ＡＤを用いて、紫外線を照射して接着剤層ＡＤの一部の接着力を弱める又はなくす処理であってもよい。
さらに、第２剥離シートＲＬ２が設けられていない場合、他方の面ＡＤ２側から第２切込ＣＵ２を形成し、第２切込ＣＵ２の内側に開口部ＡＳ１を形成してもよい。
【００２２】
また、開口部ＡＳ１を囲む４個の特定部ＡＳ２を設け、対角線に位置する特定部ＡＳ２同士をＸ字状に結んだ交点を開口部ＡＳ１の中心としてもよい。
さらに、特定部ＡＳ２の利用方法として、開口部ＡＳ１の検出を必要とするあらゆる方法に適用することができ、例えば、特定部ＡＳ２の検出結果に基づき開口部ＡＳ１間で原反ＲＳを切断し、枚葉状の接着シートＡＳを製造する方法に適用してもよい。また、枚葉状の接着シートＡＳは、特定部ＡＳ２を含んでいてもよいし含んでいなくてもよいが、特定部ＡＳ２を含む場合、上記実施形態と同様の位置検出方法を用いることで、当該枚葉状の接着シートＡＳをウェハに対して位置ずれすることなく貼付することができる。
【００２３】
また、本発明における接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に設けられる透明又は半透明な中間層を有するものや、他の透明又は半透明な層を有する等３層以上のものでもよい。また、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。また、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。さらに、ウェハの表面にパターン回路が形成されたものも対象とすることができる。
【符号の説明】
【００２４】
ＡＤ…接着剤層
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…開口部（処理部）
ＡＳ２…特定部
ＢＳ…基材シート
ＣＵ１，ＣＵ２…第１，第２切込
ＲＬ１…第１剥離シート
ＲＳ０…原反（接着シート）
【図１】
0006050959.tif 000002
【図２】
0006050959.tif 000003
【図３】
0006050959.tif 000004