(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボールねじ軸及びボールねじナットを備えたボールねじと、前記ボールねじ軸を回転自在に支持する支持軸受とを備えたボールねじ装置の異常検出装置において、前記ボールねじナットに取付けられ振動を検出する振動センサと、前記振動センサで検出された振動データからボールねじ異常検出周波数帯及び支持軸受異常検出周波数帯の夫々の振動データを濾波する濾波部と、前記濾波部で濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データに基づいてボールねじの異常を検出すると共に支持軸受異常検出周波数帯の振動データに基づいて支持軸受の異常を検出する異常検出部とを備え、前記濾波部は、前記ボールねじ軸の一次縦固有振動数以下の周波数帯を支持軸受の異常検出周波数帯として濾波する支持軸受異常検出周波数帯濾波部と、前記ボールねじナットの固有振動数以下の周波数帯をボールねじの異常検出周波数帯として濾波するボールねじ異常検出周波数帯濾波部とを備えたことを特徴とするボールねじ装置の異常検出装置。
【請求項２】
前記異常検出部は、正常時の前記ボールねじ異常検出周波数帯の振動データ及び正常時の前記支持軸受異常検出周波数帯の振動データを記憶する記憶部と、前記記憶部に記憶されている前記正常時のボールねじ異常検出周波数帯の振動データを前記濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データと比較すると共に記憶されている前記正常時の支持軸受異常検出周波数帯の振動データを前記濾波された支持軸受異常検出周波数帯の振動データと比較する比較部と、前記比較部で比較された振動データの比較データに基づいて前記ボールねじの異常及び前記支持軸受の異常を判定する異常判定部とを備えたことを特徴とする請求項１に記載のボールねじ装置の異常検出装置。
【請求項３】
ボールねじ軸及びボールねじナットを備えたボールねじと、前記ボールねじ軸を回転自在に支持する支持軸受とを備えたボールねじ装置の異常検出方法において、前記ボールねじナットに取付けられた振動センサで振動を検出し、前記振動センサで検出された振動データからボールねじ異常検出周波数帯及び支持軸受異常検出周波数帯の夫々の振動データを濾波し、前記濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データに基づいてボールねじの異常を検出すると共に支持軸受異常検出周波数帯の振動データに基づいて支持軸受の異常を検出し、前記ボールねじ軸の一次縦固有振動数以下の周波数帯を支持軸受の異常検出周波数帯として濾波すると共に前記ボールねじナットの固有振動数以下の周波数帯をボールねじの異常検出周波数帯として濾波することを特徴とするボールねじ装置の異常検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボールねじ軸とボールねじナットとの間のボール転動路で多数のボールを転動させてボールねじ軸又はボールねじナットを回転移動するボールねじ装置の異常検出装置及び異常検出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ボールねじは、外周面に螺旋状のボール転動溝が形成されたボールねじ軸と、前記ボールねじ軸のボール転動溝と対向する螺旋状のボール転動溝を有するボールねじナットと、前記ボールねじ軸及びボールねじナットのボール転動溝間のボール転動路を当該ボールねじ軸又はボールねじナットの回転運動に伴って転動する多数のボールと、前記ボールの転がり方向を変更してボール戻し路に送給し且つボール戻し路からボールをボール転動路に戻すボール循環路とを備えて構成される。
【０００３】
転がり軸受などの異常を検出する方法としては、例えば下記特許文献１に記載されるように、振動センサによって軸受の振動を検出し、その検出信号に基づいて異常を判定する方法が提案されている。検出した振動信号を用いて異常を判定する方法としては、振動強度解析により異常を判定する方法や、振動周波数解析により異常を判定する方法がある。振動強度解析により異常を判定する際には、一般的に知られた方法として、例えば下記特許文献２に記載されるように、振動値の大きさの変化を追跡することによって異常を判定する方法がある。また、振動周波数解析により異常を判定する際には、例えば下記特許文献３に記載されるように、判定対象を駆動することにより発生する振動周波数のうち、幾何学的に計算される周波数（例えば転動体通過振動周波数や転動体自転周波数）などに着目し、その増減に基づいて異常を判定する方法がある。また、下記特許文献４に記載されるように、判定対象に異常が発生した場合には、計算周波数を基本周波数として、その自然数倍の高調波成分にも変化が表れるので、その高長波成分の変化を用いて異常の判定を行う方法もある。また、下記特許文献５では、ボールねじの異常を検出する場合、前述の高長波成分の変化が明確に表れる周波数範囲に制限のあることを明らかにしており、その周波数範囲を使用したボールねじの異常検出方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９２８２８号公報
【特許文献２】特開２００６−１３３１６２号公報
【特許文献３】特開２００５−１７１２８号公報
【特許文献４】特開２００４−２１２２２５号公報
【特許文献５】特開２０１０−３８５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、工作機械などではボールねじ軸を支持軸受で支持して使用することが多く、その場合、支持軸受とボールねじの双方に異常検出装置を備える必要がある。また、実質的に、支持軸受又はボールねじの何れか一方にのみ異常が生じた場合であっても、その双方を機械装置から取り外す必要がある。
本発明は、上記のような問題点に着目してなされたものであり、ボールねじ軸を支持軸受で支持して使用する場合であっても、１つの装置又は方法でボールねじ及び支持軸受の双方の異常を検出することが可能なボールねじ装置の異常検出装置及び異常検出方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明のボールねじの異常検出装置は、ボールねじ軸及びボールねじナットを備えたボールねじと、前記ボールねじ軸を回転自在に支持する支持軸受とを備えたボールねじ装置の異常検出装置において、前記ボールねじナットに取付けられ振動を検出する振動センサと、前記振動センサで検出された振動データからボールねじ異常検出周波数帯及び支持軸受異常検出周波数帯の夫々の振動データを濾波する濾波部と、前記濾波部で濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データに基づいてボールねじの異常を検出すると共に支持軸受異常検出周波数帯の振動データに基づいて支持軸受の異常を検出する異常検出部とを備え、前記濾波部は、前記ボールねじ軸の一次縦固有振動数以下の周波数帯を支持軸受の異常検出周波数帯として濾波する支持軸受異常検出周波数帯濾波部を備えたことを特徴とするものである。
【０００７】
なお、ボールねじナットにテーブルが堅固に取付けられている場合には、テーブルに振動センサを取付けてもよい。
また、前記濾波部は、前記ボールねじナットの固有振動数以下の周波数帯をボールねじの異常検出周波数帯として濾波するボールねじ異常検出周波数帯濾波部を備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
また、前記異常検出部は、正常時の前記ボールねじ異常検出周波数帯の振動データ及び正常時の前記支持軸受異常検出周波数帯の振動データを記憶する記憶部と、前記記憶部に記憶されている前記正常時のボールねじ異常検出周波数帯の振動データを前記濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データと比較すると共に記憶されている前記正常時の支持軸受異常検出周波数帯の振動データを前記濾波された支持軸受異常検出周波数帯の振動データと比較する比較部と、前記比較部で比較された振動データの比較データに基づいて前記ボールねじの異常及び前記支持軸受の異常を判定する異常判定部とを備えたことを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明のボールねじ装置の異常検出方法は、ボールねじ軸及びボールねじナットを備えたボールねじと、前記ボールねじ軸を回転自在に支持する支持軸受とを備えたボールねじ装置の異常検出方法において、前記ボールねじナットに取付けられた振動センサで振動を検出し、前記振動センサで検出された振動データからボールねじ異常検出周波数帯及び支持軸受異常検出周波数帯の夫々の振動データを濾波し、前記濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データに基づいてボールねじの異常を検出すると共に支持軸受異常検出周波数帯の振動データに基づいて支持軸受の異常を検出し、前記ボールねじ軸の一次縦固有振動数以下の周波数帯を支持軸受の異常検出周波数帯として濾波することを特徴とするものである。
ここでも、ボールねじナットにテーブルが堅固に取付けられている場合には、テーブルに振動センサを取付けてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
而して、本発明のボールねじ装置の異常検出装置及び異常検出方法によれば、ボールねじのボールねじ軸を支持軸受で回転自在に支持する場合に、ボールねじナットに取付けられた振動センサで振動を検出し、検出された振動データからボールねじ異常検出周波数帯及び支持軸受異常検出周波数帯の夫々の振動データを濾波し、濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データに基づいてボールねじの異常を検出すると共に支持軸受異常検出周波数帯の振動データに基づいて支持軸受の異常を検出し、その場合に、ボールねじ軸の一次縦固有振動数以下の周波数帯を支持軸受の異常検出周波数帯として濾波する。従って、１つの装置又は方法でボールねじ及び支持軸受の双方の異常を検出することができると共に、支持軸受の異常を正確に検出することができる。
【００１１】
また、ボールねじナットの固有振動数以下の周波数帯をボールねじの異常検出周波数帯として濾波することにより、ボールねじの異常を正確に検出することができる。
また、正常時のボールねじ異常検出周波数帯の振動データ及び正常時の支持軸受異常検出周波数帯の振動データを記憶し、記憶されている正常時のボールねじ異常検出周波数帯の振動データを濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データと比較すると共に記憶されている正常時の支持軸受異常検出周波数帯の振動データを濾波された支持軸受異常検出周波数帯の振動データと比較し、比較された振動データの比較データに基づいてボールねじの異常及び支持軸受の異常を判定する。そのため、ボールねじ及び支持軸受の異常を正確に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明のボールねじ装置の異常検出装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【図２】図１の異常検出装置のブロック図である。
【図３】支持軸受異常検出周波数帯の振動データの説明図である。
【図４】ボールねじ異常検出周波数帯の振動データの説明図である。
【図５】濾波された振動データのサンプリングの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、本発明のボールねじ装置の異常検出装置及び異常検出方法の一実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態の異常検出装置が適用されたボールねじ装置の概略構成図であり、例えば工作機械などに適用されたものである。このボールねじ装置は、直動テーブル１を図１の左右方向に往復移動させるものであり、軸線を図の左右方向に向けてボールねじ軸２が配置されている。ボールねじ軸２の軸方向両端部は支持軸受３によって回転自在に支持されており、支持軸受３のボールねじ軸２との接触部位には図示しない転がり軸受などの軸受部材が内装されている。また、ボールねじ軸２の軸方向両端部のうち、図示右端部は継手４を介して電動モータ５に接続されている。
【００１４】
ボールねじ軸２にはボールねじナット６が被嵌されている。ボールねじ軸２の外周面には、断面がほぼ半円形のボール転動溝７が螺旋状に形成されており、これに対向するボールねじナット６の内周面にも、断面がほぼ半円形のボール転動溝が螺旋状に形成されている。このボールねじ軸２のボール転動溝７とボールねじナット６のボール転動溝との間にボール転動路が形成される。そして、このボール転動路には、ボールねじ軸２又はボールねじナット６の回転運動に伴って転動するボールが多数配設されている。また、ボールねじナット６の内部には、ボール転動路のボールを掬い上げて再びボール転動路に戻すためのボール戻し路も形成されている。
【００１５】
ボールねじナット６の軸方向一方の端部にはフランジ８が設けられ、このフランジ８が直動テーブル１に固定されている。直動テーブル１及びボールねじナット６のボールねじ軸２軸周りの回転が規制されている状態で、電動モータ５を回転するとボールねじ軸２が回転し、ボール転動路内のボールの転動に伴ってボールねじナット６及び直動テーブル１が図１の左右方向に直線移動する。ボールねじ軸２やボールねじナット６、ボールなどを備えて構成されるボールねじ９では、このボールの転動に伴って振動が生じる。本実施形態では、ボールねじナット６のフランジ８に振動センサ（振動加速度センサ）１０を取付け、振動センサ１０で検出される振動データからボールねじ装置の異常を検出する。なお、振動センサ１０の取付箇所はボールねじナット６のフランジ８に限定されるものではなく、直動テーブル１の移動方向、つまりボールねじナット６の進行方向の振動加速度を検出することが可能な部位であればどこに取付けてもよい。但し、振動センサ１０の取付可能部位は、ナット６又は直動テーブル１の何れかに限定する。
【００１６】
振動センサ１０は異常検出装置１１に接続されている。この異常検出装置１１は、振動センサ１０の振動データを読込んで所定の演算処理を行う演算処理部１２、種々のプログラムやデータ、演算結果などを記憶する記憶部１３、演算処理部１２の演算処理結果や指示内容を表示する表示部１４を備えて構成される。図２には、異常検出装置１１の構成をブロック図で示す。振動センサ１０で検出される振動データは波形データである。この異常検出装置１１は、振動センサ１０からの振動データからボールねじ異常検出周波数帯の振動データと支持軸受異常検出周波数帯の振動データを濾波する濾波部１５と、濾波部１５で濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データに基づいてボールねじ９の異常を検出すると共に支持軸受異常検出周波数帯の振動データに基づいて支持軸受３の異常を検出し、場合によっては、その異常検出結果を表示部１４に表示指示する異常検出部１６とを備えて構成される。
【００１７】
濾波部１５は、図２ｂに示すように、後述するボールねじナット６の固有振動数以下の周波数帯の振動データを振動センサ１０からの振動データからボールねじ異常検出周波数帯の振動データとして濾波するボールねじ異常検出周波数帯濾波部１７と、後述するボールねじ軸２の一次縦固有周波数以下の周波数帯の振動データを振動センサ１０からの振動データから支持軸受異常検出周波数帯の振動データとして濾波する支持軸受異常検出周波数帯濾波部１８を備えて構成される。また、記憶部１３には、正常時のボールねじ異常検出周波数帯の振動データ及び正常時の支持軸受異常検出周波数帯の振動データが記憶されている。
【００１８】
そこで、本実施形態の異常検出部１６は、記憶部１３に記憶されている正常時のボールねじ異常検出周波数帯の振動データをボールねじ異常検出周波数帯濾波部１７で濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データと比較すると共に記憶されている正常時の支持軸受異常検出周波数帯の振動データを支持軸受異常検出周波数帯濾波部１８で濾波された支持軸受異常検出周波数帯の振動データと比較する比較部１９と、比較部１９で比較された振動データの比較データに基づいてボールねじ９の異常及び支持軸受３の異常を判定する異常判定部２０を備えて構成される。なお、比較部１９では、例えば正常時のボールねじ異常検出周波数帯の振動データから閾値を設定し、その閾値と濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データを比較すると共に、正常時の支持軸受異常検出周波数帯の振動データから閾値を設定し、その閾値と濾波された支持軸受異常検出周波数帯の振動データを比較する。
【００１９】
ボールねじ軸２などの棒材の縦固有振動数は下記１式で求められる。式中のｌは軸方向の長さ、Ｅは縦弾性係数、ρは密度である。また、式中のλnは、境界条件と振動モードによって決まる無次元の定数である。ボールねじナット６の固有振動数も同式で得られる。支持軸受３に異常が発生したときの支持軸受３起因の振動成分は、異常が発生した支持軸受３からボールねじ軸２を介しボールねじナット６へと伝播する。工作機械などで用いられるボールねじ装置の支持軸受３とボールねじナット６間の長さは７００〜１２００ｍｍ程度であるから、その長さ範囲のボールねじ軸２の縦固有振動数は約２ｋＨｚ〜３．６ｋＨｚ程度となる。一方、ボールねじナット６の長さは１５０〜２００ｍｍ程度であるから、その長さ範囲のボールねじナット６の固有振動数は６．５ｋＨｚ程度以上となる。
【００２０】
【数１】
0005904025.tif 000002
【００２１】
前述したように、支持軸受３に異常が発生したときの支持軸受３起因の振動成分は、異常が発生した支持軸受３からボールねじ軸２を介しボールねじナット６へと伝播する。その際、ボールねじナット６のバネ効果によりボールねじナット６の固有振動数以上の振動周波数成分が伝播しないのは当然として、ボールねじ軸２の縦固有振動数以上の振動周波数成分も伝播しない。このことから、支持軸受３に異常が発生した際の振動成分は、ボールねじ軸２の縦固有振動数以下の振動成分となり、その成分を監視することによって支持軸受３に発生する異常を検出することが可能となる。図３には、支持軸受３が正常なときのボールねじナット６の振動データと支持軸受３が損傷したときのボールねじナット６の振動データを示す。図中の楕円で囲んだ範囲（約３ｋＨｚ以下の周波数帯）で、支持軸受損傷有無の差異が顕著に確認でき、表れた周波数ピークは計算結果に一致している。
【００２２】
一方、ボールねじにおいては、循環するボールが非負荷圏から負荷圏に進入する際に軌道面と衝突し、その衝突による軌道面側部材の自由振動が励起されて部材の固有振動周波数を周波数とする振動が発生する。このボールねじの異常を、ボールねじナット６の振動データから検出しようとする際、ボールねじナット６の固有振動数以上の周波数成分では、高長波成分が隠れてしまい、一般的な転がり軸受などと同じように部材の固有振動成分を含む振動データでは、正常時と異常時の変化割合が小さくなってしまい、異常を判定しにくくしてしまう。これに対し、図４に示すように、ボールねじナット６の固有振動数以下の周波数帯域では、図に楕円で囲んだ範囲（約６ｋＨｚ以下の周波数帯）で、ボールねじ損傷有無の差異が顕著に確認できる。
【００２３】
このことから、本実施形態では、約６ｋＨｚ以下の周波数帯をボールねじ異常検出周波数帯とし、約３ｋＨｚ以下の周波数帯を支持軸受異常検出周波数帯とし、ボールねじ９の正常時のボールねじ異常検出周波数帯の振動データ及び支持軸受３の正常時の支持軸受異常検出体の振動データを記憶部１３に記憶する。濾波部１５では、ボールねじ異常検出周波数帯濾波部１７によって振動センサ１０の振動データからボールねじ異常検出周波数帯の振動データを濾波し、支持軸受異常検出周波数帯濾波部１８によって振動センサ１０の振動データから支持軸受異常検出周波数帯の振動データを濾波する。そして、比較部１９では、正常時のボールねじ異常検出周波数帯の振動データを濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データと比較すると共に正常時の支持軸受異常検出周波数帯の振動データを濾波された支持軸受異常検出周波数帯の振動データと比較し、異常判定部２０では、比較された振動データの比較データに基づいてボールねじ９の異常及び支持軸受３の異常を判定する。異常判定方法としては、例えば図５に示すように、濾波された夫々の異常検出周波数帯の振動データと正常時の夫々の検出周波数帯の振動データから得られた閾値とを比較し、その結果、濾波された異常検出周波数帯の振動データが閾値以上である場合に、異常であると判定する方法などがある。この例では、濾波された夫々の異常検出周波数帯の振動データを時系列的にサンプリングし、各サンプリング時刻の振動データを夫々の異常検出周波数帯の閾値と比較するようにしている。
【００２４】
このように本実施形態のボールねじ装置の異常検出装置及び異常検出方法では、ボールねじ９のボールねじ軸２を支持軸受３で回転自在に支持する場合に、ボールねじナット６に取付けられた振動センサ１０で振動を検出し、検出された振動データからボールねじ異常検出周波数帯及び支持軸受異常検出周波数帯の夫々の振動データを濾波し、濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データに基づいてボールねじの異常を検出すると共に支持軸受異常検出周波数帯の振動データに基づいて支持軸受の異常を検出し、その場合に、ボールねじ軸２の一次縦固有振動数以下の周波数帯を支持軸受３の異常検出周波数帯として濾波する。従って、１つの装置又は方法でボールねじ９及び支持軸受３の双方の異常を検出することができると共に、支持軸受３の異常を正確に検出することができる。
【００２５】
また、ボールねじナット６の固有振動数以下の周波数帯をボールねじ９の異常検出周波数帯として濾波することにより、ボールねじ９の異常を正確に検出することができる。
また、正常時のボールねじ異常検出周波数帯の振動データ及び正常時の支持軸受異常検出周波数帯の振動データを記憶し、記憶されている正常時のボールねじ異常検出周波数帯の振動データを濾波されたボールねじ異常検出周波数帯の振動データと比較すると共に記憶されている正常時の支持軸受異常検出周波数帯の振動データを濾波された支持軸受異常検出周波数帯の振動データと比較し、比較された振動データの比較データに基づいてボールねじ９の異常及び支持軸受３の異常を判定する。そのため、ボールねじ９及び支持軸受３の異常を正確に検出することができる。
【符号の説明】
【００２６】
１は直動テーブル
２はボールねじ軸
３は支持軸受
４は継手
５は電動モータ
６はボールねじナット
７はボール転動溝
８はフランジ
９はボールねじ
１０は振動センサ
１１は異常検出装置
１２は演算処理部
１３は記憶部
１４は表示部
１５は濾波部
１６は異常検出部
１７はボールねじ異常検出周波数帯濾波部
１８は支持軸受異常検出周波数帯濾波部
１９は比較部
２０は異常判定部
【図１】
0005904025.tif 000003
【図２】
0005904025.tif 000004
【図３】
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【図４】
0005904025.tif 000006
【図５】
0005904025.tif 000007