(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に電圧を印加することにより、前記試料に含まれる粒子の測定を行うことが可能な粒子測定装置であって、
前記試料に電圧を印加するための少なくとも２つの電極と、
前記試料に電圧が印加されたときの電気抵抗またはインピーダンスが検出されることにより、前記試料に含まれる粒子の測定が行われる測定部と、
前記試料を自装置内に導入するための試料導入部と、
前記測定部と前記試料導入部とに接続された、前記試料が流れる少なくとも１つの流路と、を備え、
前記試料導入部は、前記電極のうち何れか１つの電極を含み、
前記試料導入部に含まれる電極を特定電極としたとき、
前記試料導入部は、前記試料を前記試料導入部の内部に導入することが可能な試料導入口を備え、
前記試料導入口は、前記特定電極と、前記試料導入部と前記流路とが接続された接続領域と、の間に設けられており、
前記流路の底部を基準とした、前記底部に対向する前記流路の上部へ向かう垂直方向の距離を、前記試料導入部および前記流路の深さとしたとき、
前記試料導入部の深さが前記流路の深さよりも長く、
前記特定電極は、前記試料導入部の底面に配置され、前記接続領域は、前記試料導入部の下部に設けられ、
前記試料導入部の上面には、前記特定電極から発生した気泡を大気中に開放する開口部が備えられていることを特徴とする粒子測定装置。
【請求項２】
前記試料導入部の容積に対する、前記試料導入部に前記試料が導入されているときの前記試料導入部内の試料量の割合が、１／５００００以上０．９以下であることを特徴とする請求項１に記載の粒子測定装置。
【請求項３】
前記開口部は、前記特定電極の鉛直線上に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の粒子測定装置。
【請求項４】
前記電極に接続された電圧印加手段を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の粒子測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば試料としての血液中の血球を測定する血球測定装置などの、試料中に存在する粒子に対する測定を行うことが可能な粒子測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、試料中に存在する粒子を測定することは、エレクトロニクス、メカトロニクス等の分野における製造プロセスの精度管理（例えば、異物混入の検査など）において重要である。また、バイオテクノロジーの分野では、医薬品製造等において古くから試料（サンプル）中の粒子の測定が行われてきた。
【０００３】
今日、医療の分野においては、試料（血液）中の赤血球、白血球、血小板（ここではこれらを血球と称する）の個数を測定し、計数することは、被験者の健康状態を知る上で重要な検査項目である。血液中の血球を測定する方法として、光散乱法および電気抵抗法が挙げられるが、装置構成がシンプルなことから電気抵抗法を用いた血球計数装置が開発されている（例えば特許文献１）。
【０００４】
また、近年、測定に必要な血液量が微量で良い等の利点から、電気抵抗法を用いた血球計数装置のマイクロ化（測定に用いる流路の幅および深さ（高さ）がμｍ〜ｍｍオーダー）が進められている。
【０００５】
例えば特許文献２では、試料である血液を流すためのマイクロ化された流路（マイクロ流路）の途中にアパチャー（狭隘部）を形成し、血球がアパチャーを通過するときのインピーダンス変化をアパチャー両側のマイクロ流路に設けた２つの電極により検出する構成が開示されている。また、特許文献３では、電圧印加時の電気分解に伴う気泡の影響（気泡がアパチャーを通過することにより電気抵抗が変化するため、測定のノイズ（誤カウント）となる）を除去する目的で、測定用の２つの電極をアパチャーより下流側の流路に配置する構成が開示されている。
【０００６】
なお、上記の電気抵抗法は、血球を含む血液がアパチャーを通過するときに電気抵抗（もしくはインピーダンス）変化が生じることを利用し、血液中の血球を測定する技術である。具体的には、血球が占める容積に比例した電気抵抗（インピーダンス）変化に応じたパルス（信号）強度の検出により血球の種類（赤血球、白血球、血小板）が測定可能であり、当該変化に応じたパルス数の検出により血球数が測定可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平４−３０３２８５号公報（１９９２年１０月２７日公開）
【特許文献２】特開２００２−２７７３８０号公報（２００２年９月２５日公開）
【特許文献３】特開２００５−６２１３７号公報（２００５年３月１０日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献２および３の技術では、試料への電圧印加に伴い、電極では、試料に対する電気分解による気泡が発生するが、その気泡の影響に起因して測定精度が低下するという問題が生じていた。
【０００９】
本発明は、前記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、電気抵抗法を用いた試料中の粒子測定において、試料量の増加を招くことなく、高い測定精度を実現可能なマイクロ化された粒子測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る粒子測定装置は、上記の課題を解決するために、試料に電圧を印加することにより、前記試料に含まれる粒子の測定を行うことが可能な粒子測定装置であって、前記試料に電圧を印加するための少なくとも２つの電極と、前記試料に電圧が印加されたときの電気抵抗またはインピーダンスが検出されることにより、前記試料に含まれる粒子の測定が行われる測定部と、前記試料を自装置内に導入するための試料導入部と、前記測定部と前記試料導入部とに接続された、前記試料が流れる少なくとも１つの流路と、を備え、前記試料導入部は、前記電極のうち何れか１つの電極である特定電極を含むことを特徴としている。
【００１１】
前記構成によれば、粒子測定装置では、測定部において、少なくとも２つの電極により試料に電圧が印加されたときの電気抵抗またはインピーダンスが検出されることにより、試料に含まれる粒子の測定が行われる。
【００１２】
ここで、例えば特許文献２および３の技術では、電極が流路に備えられているため、流路を流れる試料とともに、電極に電圧が印加されたときに発生する気泡が測定部に流入してしまう。特に、流路がマイクロ化されている場合には、流路の内部で発生した気泡が、試料が形成する流れから逃れにくいので、その流入が顕著となる。一方、本発明では、流路（例えばマイクロ化された流路）とは異なる試料導入部が備えられ、当該試料導入部に特定電極が備えられている。このため、試料導入部の内部で気泡が発生することになり、少なくとも気泡の一部をその試料導入部の内部に留めることが可能となる。すなわち、気泡が上記の流れの中に入り込みにくくし、測定部への流入を抑制できる。
【００１３】
したがって、従来のように流路に電極を配置する場合に比べ、電極にて発生した気泡の測定部への流入を抑制できる。また、少なくとも流路への気泡の被覆を抑制できる。それゆえ、本発明の粒子測定装置は、高精度な粒子の測定を行うことができる。
【００１４】
本発明に係る粒子測定装置では、前記試料導入部は、前記試料を前記試料導入部の内部に導入することが可能な試料導入口を備え、前記試料導入口は、前記特定電極と、前記試料導入部と前記流路とが接続された接続領域と、の間に設けられていることが好ましい。
【００１５】
前記構成によれば、試料は、試料導入口から導入され、上記の接続領域から測定部へと導出される。また、その試料導入口は、特定電極と接続領域との間に備えられている。すなわち、特定電極は、試料導入口から接続領域への試料の流れとは異なる箇所に備えられている。このため、特定電極で発生した気泡が試料とともに測定部へ流入してしまうことを防ぐことができる。
【００１６】
本発明に係る粒子測定装置は、前記流路の底部を基準とした、前記底部に対向する前記流路の上部へ向かう垂直方向の距離を、前記試料導入部および前記流路の深さとしたとき、前記試料導入部の深さが、前記流路の深さよりも長いことが好ましい。
【００１７】
前記構成によれば、上記垂直方向における試料導入部の断面積が流路の断面積よりも大きいため、特定電極で発生した気泡を、試料導入部の内部により確実に留めておくことができる。すなわち、上記の流れへの気泡の入り込みをより確実に抑制できる。
【００１８】
本発明に係る粒子測定装置では、前記試料導入部の容積に対する、前記試料導入部に前記試料が導入されているときの前記試料導入部内の試料量の割合が、１／５００００以上０．９以下であることが好ましい。
【００１９】
前記構成によれば、試料導入後に試料導入部の内部（上部）に気体層を形成できるので、電極で発生した気泡が、浮力により上記気体層へ到達し消泡される。このため、特定電極で発生した気泡が試料とともに測定部へ流入してしまうことを防ぐことができる。
【００２０】
本発明に係る粒子測定装置では、前記試料導入部の上面には、前記特定電極から発生した気泡を大気中に開放する開口部が備えられていることが好ましい。
【００２１】
前記構成によれば、特定電極から発生した気泡が開口部を介して大気中に開放されるので、当該気泡が試料とともに測定部へ流入してしまうことを防ぐことができる。
【００２２】
本発明に係る粒子測定装置では、前記開口部は、前記特定電極の鉛直線上に配置されていることが好ましい。
【００２３】
開口部が特定電極の鉛直線上に配置されているので、浮力により特定電極から試料導入部の上部に移動してきた気泡を、粒子測定装置の外部に確実に逃がすことができる。
【００２４】
本発明に係る粒子測定装置では、前記電極に接続された電圧印加手段を備えることが好ましい。
【００２５】
電圧印加手段が電極を介して試料（あるいはその中に含まれる粒子）に電圧を印加することができるので、粒子の測定を、電気抵抗もしくはインピーダンスの検出により実現できる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明に係る粒子測定装置は、試料に電圧を印加することにより、前記試料に含まれる粒子の測定を行うことが可能な粒子測定装置であって、前記試料に電圧を印加するための少なくとも２つの電極と、前記試料に電圧が印加されたときの電気抵抗またはインピーダンスが検出されることにより、前記試料に含まれる粒子の測定が行われる測定部と、前記試料を自装置内に導入するための試料導入部と、前記測定部と前記試料導入部とに接続された、前記試料が流れる少なくとも１つの流路と、を備え、前記試料導入部は、前記電極のうち何れか１つの電極である特定電極を含む構成である。
【００２７】
それゆえ、本発明の粒子測定装置は、高精度な粒子の測定を行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、（ｂ）は、その断面図である。
【図２】上記粒子測定装置の全体的な概略構成の一例を示す斜視図である。
【図３】（ａ）〜（ｇ）は、上記粒子測定装置が備える導体の配置例を示す上面図である。
【図４】（ａ）〜（ｆ）は、上記粒子測定装置が備える流路の種々の形状を示す上面図である。
【図５】上記粒子測定装置が備える流路の更なる変形例を示す上面図である。
【図６】上記粒子測定装置が備える流路の更なる変形例を示す上面図である。
【図７】上記粒子測定装置が備える試料導入部および試料導出部の形状の一例を示す上面図である。
【図８】上記粒子測定装置の変形例を示す図であり、上記流路を１つのみ備える場合の当該粒子測定装置の上面図である。
【図９】（ａ）は、上記粒子測定装置の概略構成の更なる別例を示す上面図であり、（ｂ）は、その断面図である。
【図１０】（ａ）は、粒子の測定が行われるときに用いられる本発明の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成を示す上面図であり、（ｂ）は、粒子の測定が行われたときに得られる測定結果を示すグラフである。
【図１１】上記粒子測定装置において大きな抵抗変化率が得られることを説明するための図である。
【図１２】（ａ）は、本発明の別の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、（ｂ）は、その断面図である。
【図１３】上記粒子測定装置が備える試料導入部の概略構成を示す斜視図である。
【図１４】（ａ）は、上記粒子測定装置の概略構成の別例を示す上面図であり、（ｂ）は、その断面図である。
【図１５】上記粒子測定装置が備える試料導入部の概略構成を示す斜視図である。
【図１６】（ａ）は、上記粒子測定装置の概略構成の変形例を示す上面図であり、（ｂ）は、その断面図である。
【図１７】（ａ）は、上記粒子測定装置の概略構成の更なる変形例を示す上面図であり、（ｂ）は、その断面図である。
【図１８】（ａ）は、本発明の更なる別の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、（ｂ）および（ｃ）は、その断面図である。
【図１９】（ａ）〜（ｃ）は、上記粒子測定装置の概略構成の別例を示す上面図である。
【図２０】（ａ）〜（ｄ）は、上記粒子測定装置の変形例を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明の各実施の形態について、図１〜図２０に基づいて説明する。
【００３０】
各実施の形態では、粒子とは、球形のビーズや血球に限定されず、球形以外の、例えば、塵、埃、細胞や、タンパク質や核酸などの試料中にコロイドとして分散するものも含まれる。
【００３１】
また、各実施の形態では、粒子の測定とは、電気抵抗またはインピーダンスを検出することにより粒子の測定が行われればよく、試料における粒子の有無、試料に含まれる粒子数の計数、試料の質量（あるいは体積）に対する粒子の濃度、試料に含まれる粒子のサイズなど、が含まれる。
【００３２】
また、各実施の形態において使用される試料には、電気抵抗またはインピーダンスで測定可能なものが全て含まれ、例えば、空気、ガスなどの気体試料、水溶液、血液などの液体試料、ゲルなどの高分子溶液試料が挙げられる。
【００３３】
また、各部の「深さ」は、流路の底部（底面）を基準とした、底部に対向する流路の上部（上面）へ向かう垂直方向の距離であり、各部の「長さ」は、流路を試料が流れると仮定した場合のその流れる主方向（流れ方向）の距離であり、各部の「幅」は、各部の「深さ」および「長さ」とそれぞれ垂直な方向の距離である。なお、各部の「深さ」について、流路の底部とそれ以外の部材の底部とが同一平面上にない場合には、当該部材の底部が流路の底部と同一平面上に形成されたと仮定したときの上記距離を「深さ」と定義するものとする。
【００３４】
なお、以下の説明では、粒子測定装置１５、１５ａおよび１５ｂは、粒子を含む試料に対する電気抵抗あるいはインピーダンス検出（抵抗測定）を行うことを前提として説明するが、これに限らず、粒子を含まない試料（例えば標準試料）の抵抗測定を行うことも可能である。粒子を含まない試料の抵抗測定を行う場合には、例えば、測定された電気抵抗値の差分をとることにより試料中の粒子の有無を確認することとなる。
【００３５】
〔実施の形態１〕
本発明の実施の一形態について図１〜図１１に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、本発明は、以下の記載に限定されるものではない。
【００３６】
＜本実施の形態の概要＞
一般に、バルク測定では、バルク（広い空間）に配置された電極間の電気抵抗に対してアパチャーの電気抵抗が支配的であるため、血球がアパチャーを通過した時に大きな抵抗変化率が得られる。しかし、アパチャーに接続された流路がマイクロ化された従来の粒子測定装置（例えば血球計数装置）では、電極間のアパチャー以外の部分（例えば流路）での電気抵抗が無視できないほど大きくなる。これにより、粒子がアパチャーを通過しても、当該部分を含む全体の電気抵抗に対する当該アパチャーでの抵抗変化率が小さくなってしまう。
【００３７】
また、この抵抗変化率が小さくなってしまうことを防ぐ目的で、アパチャー以外を広く深く形成することが考えられるが、これはファブリケーション上困難である上に、必要な試料量の増加を招くこととなってしまう。
【００３８】
このように、試料の微量化を目的として粒子測定装置をマイクロ化した場合には、得られる測定信号の強度が弱められるという問題があった。
【００３９】
本実施の形態に係る粒子測定装置は、上記の問題を解決するために、複数の電極のうち何れか１つの電極と測定部との間に生じる電気抵抗またはインピーダンスを抑制する少なくとも１つの導体を備える構成である。これにより、粒子測定装置は、測定信号（シグナル）の強度が弱められることを防ぐことができる、すなわち強度の強い測定信号を得ることができるので、高精度な粒子の測定を行うことができる。
【００４０】
＜粒子測定装置１５の全体構造＞
まず、図２に基づいて、本実施の形態に係る粒子測定装置１５の概略構成について説明する。図２は、粒子測定装置１５の全体的な概略構成の一例を示す斜視図である。
【００４１】
図２に示すように、粒子測定装置１５は、主に、電極１ａ、１ｂと、測定部２と、上流流路４ａと、下流流路４ｂと、導線５と、試料導入部６ａと、試料導出部６ｂと、コネクタ７とを備えている。
【００４２】
電極１ａおよび１ｂはそれぞれ、導線５を介して、コネクタ７に接続（連結）されている。コネクタ７は電圧印加装置（電圧印加手段）（不図示）に接続されるように構成されている。
【００４３】
粒子測定装置１５が電圧印加装置に接続された場合、電圧印加装置が電極１ａ、１ｂに所定の電圧を印加することにより、電極１ａおよび１ｂを介して、粒子測定装置１５の内部に導入された試料に電圧を印加することができる。すなわち、粒子測定装置１５は、電気抵抗法により、試料に含まれる粒子の測定を行うことが可能となる。
【００４４】
なお、図２では、コネクタ７を備え、粒子測定装置１５と接続可能な構成となっているが、これに限らず、粒子測定装置１５が電圧印加装置を備える構成であってもよい。
【００４５】
また、粒子測定装置１５では、測定部２を試料が通過する、あるいは測定部２に試料が載置されることにより、試料に電圧が印加されたときの電気抵抗またはインピーダンス（以降では、主に電気抵抗の場合を例に挙げて説明する）が検出される。すなわち、粒子測定装置１５は、試料が流れた状態でも静止状態でも、測定部２において粒子の測定を行うことが可能である。
【００４６】
例えば、粒子測定装置１５では、試料導入部６ａから導入された試料は、上流流路４ａを介して測定部２に運ばれた後、下流流路４ｂを介して試料導出部６ｂから粒子測定装置１５の外部へと導出される。なお、電極１ａ、１ｂと、測定部２と、上流流路４ａと、下流流路４ｂと、試料導入部６ａと、試料導出部６ｂとについては以下に詳しく述べる。
【００４７】
また、本実施の形態に係る粒子測定装置１５は、電極１ａおよび１ｂの何れか一方の電極と測定部２との間に生じる電気抵抗（その絶対値）を抑制する導体３ａおよび３ｂを備えていることにより、上述したように高精度な粒子の測定を可能としている。なお、粒子測定装置１５が導体３ａあるいは３ｂを備えた場合に高精度な粒子の測定が可能となる理由については以下に詳しく述べる。
【００４８】
＜粒子測定装置１５の製造方法＞
ここで、図２に基づいて、粒子測定装置１５の製造方法の一例について説明する。
【００４９】
また、粒子測定装置１５の上記構成は、例えば、ガラスや樹脂などからなる基板８ａ、８ｂを加工した後に貼りあわせることにより作製される。すなわち、基板８ｂは、基板８ａの蓋として機能する。
【００５０】
この場合、測定部２、上流流路４ａおよび下流流路４ｂは、ウエットエッチング／ドライエッチングや機械加工等により、基板８ａを削るようにして形成される。導体３ａ、３ｂが金属の場合、電極１ａ、１ｂおよび導体３ａ、３ｂは、基板８ａに対して例えばスパッタ、リフトオフを用いて形成される。導体３ａ、３ｂがカーボンの場合には、導体３ａ、３ｂは、基板８ａに対して例えばスクリーン印刷を用いて形成される。また、導体３ａ、３ｂが非流動性電界質の場合には、導体３ａ、３ｂを形成する位置に非流動性電解質を充填、もしくは流動性電解質として充填後少なくともその一部を硬化（例えば熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂を用いる）することにより形成される。また、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂは、例えば基板８ａおよび８ｂに対する機械加工により形成される。このとき、基板８ｂの上面（基板８ａと対向する面と反対側の面）に、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの位置と対応する箇所に貫通孔（図１２に示す試料導入口９ａおよび試料導出口９ｂ）を形成してもよい。
【００５１】
なお、上記では、基板８ａおよび８ｂを貼りあわせて粒子測定装置１５を形成する方法について説明したが、これに限らず、基板８ａにのみ上記の形成方法が適用されることにより粒子測定装置１５を形成することも可能である。また、電極１ａ、１ｂおよび導体３ａ、３ｂを形成した電極基板と、測定部２、上流流路４ａ、下流流路４ｂ、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂを形成した流路基板とを接着することにより、粒子測定装置１５が形成されてもよい。
【００５２】
＜粒子測定装置１５の具体的構成＞
次に、図１に基づいて、粒子測定装置１５の概略構成をより詳しく説明する。図１は、（ａ）は、本発明の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、（ｂ）は、その断面図である。
【００５３】
粒子測定装置１５は、上述したように、電極１ａ、１ｂと、測定部２と、上流流路４ａと、下流流路４ｂと、試料導入部６ａと、試料導出部６ｂとを備えている。図１（ａ）および（ｂ）に示すように、電極１ａおよび１ｂの間に、上流流路４ａおよび下流流路４ｂを介して測定部２が備えられている。すなわち、上流流路４ａおよび下流流路４ｂのそれぞれの一端と測定部２とが接続されている。
【００５４】
また、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの下面（底面）のほぼ全面にはそれぞれ、導体３ａおよび３ｂが備えられている。なお、例えば図３（ｃ）などに示すように、導体３ａおよび３ｂはそれぞれ上流流路４ａおよび下流流路４ｂの少なくとも一部に備えられていてもよい。本発明において、測定信号の強度は、測定部２の構造のみではなく、測定部２の構造と導体３ａおよび３ｂの配置との関係によって規定される。そのため、上記のように導体３ａおよび３ｂが備えられていることにより、粒子測定装置１５を形成する基板８ａおよび８ｂの材料や加工精度などの影響を受けて、測定信号の強度が弱まってしまうことを防ぐことができる。
【００５５】
ただし、上流流路４ａおよび下流流路４ｂは、必ずしも試料を測定部２に流すために使用される必要はなく、試料を測定部２に載置するために使用されてもよい。すなわち、上流流路４ａおよび下流流路４ｂは、試料を測定部２に導入（載置）可能な構成であれば、必ずしも流路としての機能を有している必要はない。また、上流流路４ａおよび下流流路４ｂは、必ずしも直線形状である必要はなく、後述の図４（ａ）に示すように、例えばＳ字形状などの湾曲形状を有していてもよい。また、粒子測定装置１５が上流流路４ａおよび下流流路４ｂのように２つの流路を備えている場合には、後述の図４（ｂ）のようなＶ字形状、図４（ｃ）のような階段形状、図４（ｄ）のようなコの字型形状を有していてもよい。
【００５６】
なお、上流流路４ａおよび下流流路４ｂにおける試料の流れ方向に垂直な平面（断面）形状は、矩形でなくてもよく、円形、楕円形、三角形など、試料が流れることが可能な形状（あるいは測定部２に載置可能な形状）であればよい。なお、矩形の場合、試料が流れる側の表面（図１（ｂ）で導体３ａおよび３ｂが配置されている表面）が底面、当該底面に対向する表面が上面としている。一方、矩形でない場合、上記底面および上面に対応する上流流路４ａおよび下流流路４ｂの領域はそれぞれ、底部および上部となる。
【００５７】
また、図１では、粒子測定装置１５が上流流路４ａおよび下流流路４ｂを備える構成を図示しているが、これに限らず、例えば後述の図８に示すように、上流流路４ａ（導体３ａ）のみを備える構成であってもよい。すなわち、粒子測定装置１５は、２つの電極１ａおよび１ｂの何れか一方の電極と測定部２との間に生じる電気抵抗を抑制する少なくとも１つの導体を備えていればよい。また、粒子測定装置１５は、測定部２と、２つの電極１ａおよび１ｂの何れか一方の電極とに（電気的に）接続された、試料が流れる少なくとも１つの流路を備えていればよい。
【００５８】
また、図１（ａ）および（ｂ）では、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂが備えられている。試料導入部６ａは、上流流路４ａの他端に接続されており、その内部の一部には電極１ａが配置されている。試料導出部６ｂは、下流流路４ｂの他端に接続されており、その内部の一部には電極１ｂが配置されている。なお、試料を測定部２に導入（載置）可能な構成であれば、必ずしも図１に示すような試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂを備えている必要はない。また、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの両方を備えている必要はなく、例えば１回の粒子の測定を行うことを目的とした粒子測定装置１５であれば試料導入部６ａのみを備えていればよい。また、例えば試料を測定部２に載置して粒子の測定が行われる場合には、１つの導入／導出部を備えていればよい。
【００５９】
以下、図１（ａ）および（ｂ）の構成に基づいて、各部の構成をより具体的に説明する。
【００６０】
電極１ａおよび１ｂはそれぞれ、試料中の粒子の測定を電気抵抗（あるいは電気抵抗の変化）として検出するために試料に電圧を印加するためのものである。すなわち、電極１ａおよび１ｂは、測定部２に導入される試料に電圧を印加するためのものである。
【００６１】
上述のように、電極１ａおよび１ｂは、例えば試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの一部（例えば下面など）に設けられ、外部の電圧印加装置（不図示）に接続されている。電極１ａおよび１ｂは、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂに配置されている形状に限らず、例えば図２に示すように、液体として導入された試料中に差し込む構成であってもよい。
【００６２】
また、電極１ａおよび１ｂの材料としては、例えば金、白金、銅、アルミなどの金属、カーボン、導電性高分子などが挙げられ、試料による腐食が少ないことから、特に金、白金が好ましい。
【００６３】
なお、本実施の形態では、粒子測定装置１５が電極１ａおよび１ｂを備えている構成について説明しているが、これに限らず、例えば試料導入部６ａに電極１ａとして機能する電極群を、試料導出部６ｂに電極１ｂとして機能する電極群をそれぞれ備えていてもよい。換言すれば、粒子測定装置１５は少なくとも２つの電極を備えている。
【００６４】
測定部２は、試料に電圧が印加されたときの電気抵抗が検出されることにより、試料に含まれる粒子の測定が行われる領域であり、アパチャーを形成している。測定部２の幅（図１（ａ）における紙面の上下方向）は１〜１０００μｍ、好ましくは１〜１００μｍであり、その深さ（図１（ａ）における紙面と直交する方向）は１〜１０００μｍ、好ましくは１〜１００μｍ、その長さ（図１（ａ）における紙面の左右方向、Ａ−Ａ’線と平行方向）は、０．１〜５０００μｍである。
【００６５】
上流流路４ａおよび下流流路４ｂは、試料が流れる流路の一部を形成するものであり、これらの幅は１〜５０００μｍ、好ましくは１〜１０００μｍであり、その深さは１〜１０００μｍ、好ましくは１〜１００μｍである。また、上流流路４ａおよび下流流路４ｂは、例えば図４（ｅ）および（ｆ）に示すように、分岐構造を有していてもよい。
【００６６】
また、測定部２、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの断面形状は、図１（ａ）では矩形状となっているが、これに限らず、その他円形状、楕円形状などであってもよい。
【００６７】
ここで、測定部２、上流流路４ａおよび下流流路４ｂにおいて粒子が詰まることを防ぐために、上述した測定部２、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの幅および深さは、それぞれ粒子の最大直径よりも大きいことが好ましい。さらに、粒子通過時の抵抗変化率を大きくするために、測定部２の断面積（例えば矩形形状の場合、幅×深さ）は、測定対象の粒子の最大断面積（例えば球形状の場合、円周率×粒子の半径×粒子の半径）よりも少し大きい（粒子の断面積に対する測定部２の断面積比が１以上１５以下、好ましくは１０以下）ことが好ましい。
【００６８】
試料導入部６ａは、試料を自装置内に導入、具体的には試料を上流流路４ａを介して測定部２へ導入するためのものであり、上流流路４ａと、測定部２とが接続された領域とは異なる接続領域で接続されている。また、試料導出部６ｂは、試料を下流流路４ｂから粒子測定装置１５の外部へ導出するためのものであり、下流流路４ｂと、測定部２とが接続された領域とは異なる接続領域で接続されている。これにより、粒子測定装置１５に対する試料の導入／導出を効率よく行うことができる。また、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂのそれぞれの幅は１〜５００００μｍ、深さは１〜５００００μｍ、長さは１〜５００００μｍである。
【００６９】
例えば、図１（ａ）では、Ａ−Ａ’線と平行方向において、上流流路４ａの一端が測定部２に接続され、他端が試料導入部６ａに接続されている。同様に、下流流路４ｂの一端が測定部２に接続され、他端が試料導出部６ｂに接続されている。換言すれば、上流流路４ａは、測定部２の上流側、すなわち試料が測定部２に導入される側の試料導入部６ａに接続されるように配置されており、下流流路４ｂは、測定部２の下流側、すなわち試料が測定部２から導出される側の試料導出部６ｂに接続されるように配置されている。これにより、測定部２に対する試料の導入／導出を効率よく行うことができる。
【００７０】
また、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂにチューブを差込み、粒子測定装置１５の外部から試料（液体）を導入、または外部へ当該試料を導出する構成であってもよい。
【００７１】
導体３ａおよび３ｂは、測定部２以外の部分（本実施形態では上流流路４ａおよび下流流路４ｂ）の電気抵抗を低減し、測定信号（粒子の測定部２の通過に伴う抵抗変化率）を大きくする目的で、電極１ａ、１ｂと測定部２との間に形成されている（本実施形態では上流流路４ａおよび下流流路４ｂに形成）。これにより、電極１ａ、１ｂと測定部２との間の電気抵抗の影響を極力排除することができる。
【００７２】
導体３ａおよび３ｂの材料としては、試料より高い導電性を有する物質が好ましく、例えば金属、カーボン、導電性高分子、非流動性電解質などが挙げられる。金属としては、例えば、アルミニウム、亜鉛、クロム、鉄、ニッケル、スズ、銅、銀、白金、金、パラジウム、ロジウム、イリジウム、タングステンなどが挙げられる。カーボンとしては、例えば、グラッシーカーボン、パイロリティックグラファイト、カーボンペースト、炭素繊維などが挙げられる。導電性高分子としては、例えば、ポリアセチレン、ポリパラフェニレン、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリパラフェニレンビニレンなどが挙げられる。非流動性電解質としては、例えば塩化物イオン伝導性固体電解質、βアルミナ、安定化ジルコニアなどの固体電解質、および、例えば塩橋（塩化カリウム、硝酸アンモニウムまたは酢酸リチウムを含むアガロース）、塩化カリウムなどの液体電解質を含むポリ塩化ビニル、またはポリアクリルアミドなど、液体電解質を含むゲル状物質が挙げられる。また、図４（ｅ）および（ｆ）で説明するように、導体３ａおよび３ｂとして非流動性電解質が用いられる場合、液体電解質を分岐路２４ａおよび２４ｂ内に充填しゲル状物質でその分岐路２４ａおよび２４ｂのそれぞれの両端（第１分岐点２４１および第２分岐点２４２）を封止することも可能である。
【００７３】
また、導体３ａおよび３ｂは、電極１ａおよび１ｂと測定部２とを結ぶ方向の長さが１ｍｍ以上１０ｃｍ以下である。この場合、製造工程を考慮して導体３ａおよび３ｂを粒子測定装置１５に備えることができる。すなわち、導体３ａおよび３ｂが金属およびカーボンの場合、その長さを１ｍｍ以上とすることで、粒子測定装置１５をスパッタやリフトオフ、スクリーン印刷等により容易に作製することができる。また、導体３ａおよび３ｂを配置することにより粒子測定の信号強度を効果的に高めることができる（後述）。また、導体３ａおよび３ｂを１０ｃｍ以下とすることで、粒子測定装置１５の小型化（チップ化）を図ることができる。
【００７４】
また、導体３ａおよび３ｂは、電極１ａ、１ｂおよび電圧印加装置には直接接続されていない（試料を通して導通する）構成である。すなわち、導体３ａおよび３ｂは、電極１ａ、１ｂと離間して備えられている。これにより、導体３ａおよび３ｂが、測定部２での粒子の測定に与える、電極１ａ、１ｂと測定部２との間での電気抵抗の影響を抑制することができる。
【００７５】
また、図１（ｂ）のように、導体３ａおよび３ｂが、必ずしも上流流路４ａおよび下流流路４ｂの下面にそれぞれ形成される必要はない。２つの導体３ａおよび３ｂをそれぞれ、例えば上流流路４ａおよび下流流路４ｂの下面（２つの導体を対応する同じ表面）に配置した場合には、それぞれに生じる電気力線が略半円状になる。主として測定部２の深さ方向に電気力線の粗密が生じるため、２つの導体３ａおよび３ｂ間の距離が近い場合、測定部２において深さ方向に電場の強弱が生じる可能性がある。このとき、粒子が測定部２の上方を流れた場合、その上方部分が弱電場のため、測定部２の下方を流れるとき（強電場）と比べ信号強度が低くなる可能性がある。
【００７６】
この信号強度の低下を防止するために、例えば、上流流路４ａの下面に導体３ａを配置した場合、下流流路４ｂの上面に導体３ｂを配置することが好ましく、また、その上面および下面の両方に配置してもよい。一方、その配置関係が上流流路４ａと下流流路４ｂとで逆の構成であってもよい。さらに、導体３ａが上流流路４ａの上面および下面の両方に、導体３ｂが下流流路４ｂの上面および下面の両方にそれぞれ備えられていてもよい。また、導体３ａおよび３ｂがそれぞれ上流流路４ａおよび下流流路４ｂの側面に備えられていてもよい。
【００７７】
換言すれば、上流流路４ａおよび下流流路４ｂのうちの一方の流路を形成する一表面に備えられた導体３ａまたは３ｂは、その一表面に対応する、他方の流路を形成する一表面の対向面に少なくとも備えられている。このように、少なくとも一方の導体を対向面に配置することで、上記電気力線が測定部２においてより均一にすることができ、導体３ａおよび３ｂ間の距離が近い場合においても、測定部２における粒子通過に伴う信号強度を高く維持することが可能となる。すなわち、この導体配置により、上流流路４ａおよび下流流路４ｂを流れる試料中の粒子に効果的に電場がかかるので、強度の強い測定信号を得ることができ、上記の信号強度の低下を防止できる。
【００７８】
それゆえ、本実施の形態の粒子測定装置１５を用いることにより、電気抵抗法を用いた試料中の粒子の測定において、試料量の増加を招くことなく、高い測定信号の強度（Ｓ／Ｎ比）および高い測定精度での粒子の測定が可能となる。このため、粒子測定装置１５を、例えば、極微量血液を試料として用い、かつ流路がマイクロ化された血球測定装置として提供することが可能となる。
【００７９】
次に、図３〜図８に基づいて、導体３ａおよび３ｂ、上流流路４ａ、下流流路４ｂ、試料導入部６ａ、試料導出部６ｂの形状の変形例について説明する。
【００８０】
（導体の形状）
まず、導体３ａおよび３ｂの形状の変形例について、図３（ａ）〜（ｇ）に基づいて説明する。
【００８１】
図３（ａ）に示すように、導体３ａ、３ｂは、上流流路４ａおよび下流流路４ｂだけでなく、測定部２の一部にも形成されていてもよいし、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの一部にも形成されていてもよい。この構成の場合、粒子が測定部２を通過するときに測定される抵抗変化率をより大きくすることができる。
【００８２】
また、図３（ｂ）に示すように、導体３ａおよび３ｂの幅は、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの幅よりも大きくてもよい。この構成の場合、上述した電極基板と流路基板との貼り合わせにおける位置合わせが容易となる。
【００８３】
また、図３（ｃ）に示すように、導体３ａおよび３ｂの幅は、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの幅より小さくてもよい。この構成の場合、上述した電極基板と流路基板との貼り合わせにおいて、流路基板における接着面と電極基板との間に導体３ａおよび３ｂが存在しないため、これらの基板の接着が容易となる。
【００８４】
なお、図３（ｄ）に示すように、導体３ａおよび３ｂの幅は一様である必要はなく、例えば、試料導入部６ａ、試料導出部６ｂおよび測定部２に近接する側でその幅が大きく、他の領域でその幅が小さい構成としてもよい。
【００８５】
また、図３（ｅ）に示すように、導体３ａおよび３ｂが上流流路４ａおよび下流流路４ｂの内部に全て形成される必要はない。すなわち、試料導入部６ａ、試料導出部６ｂおよび測定部２に近接する側においては、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの内部にそれぞれ導体３ａおよび３ｂが形成され、その他の領域では上流流路４ａおよび下流流路４ｂの外部において接続されている構成でもあってもよい。換言すれば、導体３ａおよび３ｂは、上流流路４ａおよび下流流路４ｂそれぞれの内部において離間して備えられ、上流流路４ａおよび下流流路４ｂそれぞれの外部において接続されている。
【００８６】
この構成の場合、上流流路４ａおよび下流流路４ｂを試料が流れることによる、上流流路４ａおよび下流流路４ｂに備えられた導体３ａおよび３ｂの劣化を防ぐことができる。これにより、長寿命の粒子測定装置１５を実現でき、粒子測定装置１５を連続的にあるいは繰り返して使用することができる。例えば、導体３ａおよび３ｂの劣化現象としては、試料との接触による導体の酸化や、試料が血液の場合には、当該血液に含まれるタンパク質の導体への吸着などが挙げられる。
【００８７】
また、例えば上流流路４ａでは、その内部において離間して（図３（ｅ）では２箇所）備えられた導体３ａが、上流流路４ａの外部において接続されている。このため、導体３ａを上流流路４ａの下面の全面に備えた場合と同等に、粒子の測定に対する上流流路４ａでの電気抵抗の影響を抑制することができる。
【００８８】
さらに、例えば上流流路４ａでは、上流流路４ａの内部において離間して備えられた２つの導体３ａ間のスペース（導体が存在しない上流流路４ａ内の領域）に、電気的なセンサを配置することができる。この場合、これらのセンサからの検知結果を受けることにより、導体３ａのみを備えた場合よりも高精度な粒子の測定、もしくは１回の粒子の測定で複数項目の測定を行うことが可能となる。なお、上記の電気的なセンサとしては、例えば、流量センサや流体検知センサ、アナライト（イオンやタンパク質など）を分析するための電気化学検出センサなどが挙げられる。
【００８９】
なお、上記では、上流流路４ａを例として説明したが、下流流路４ｂの場合についても同様のことがいえる。
【００９０】
また、図３（ｆ）および（ｇ）に示すように、導体３ａおよび３ｂは、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの長さ方向、または上流流路４ａおよび下流流路４ｂの幅方向にストライプ状に形成されてもよい。
【００９１】
図３（ａ）〜（ｇ）では、図１（ａ）と同様、導体３ａおよび３ｂが離間して設けられている（互いに接続されておらず、試料を通して導通する）。この場合、導体３ａおよび３ｂ間の直線最短距離は、０．１〜１０００μｍ、好ましくは０．１〜１００μｍである。換言すれば、上流流路４ａに備えられた導体３ａと、下流流路４ｂに備えられた導体３ｂとは、少なくとも０．１μｍ以上１０００μｍ以下だけ離間して備えられている。このように離間して備えることにより、簡単な製造方法で、強度の強い測定信号（測定部において大きな抵抗変化率）を得ることができる。
【００９２】
なお、導体３ａおよび３ｂの長さは、当該導体作製上の精度から０．１μｍ以上であることが好ましい。また、一般に、導体３ａおよび３ｂのそれぞれに生じる電気力線の粗密が均等化されると仮定した場合、基本的には導体３ａおよび３ｂ間の距離が近い程、測定部２における粒子通過に伴う信号強度（測定部２における抵抗変化率）が強くなる（系全体の抵抗が下がるため）。このため、導体３ａおよび３ｂを離間しすぎると信号強度が低下する可能性がある。この点を考慮すればその距離が１０００μｍ以下であることが好ましい。
【００９３】
また、例えば、導体３ａまたは３ｂをそれぞれ、上流流路４ａまたは下流流路４ｂの上面および下面の両方に設ける場合、その上面の導体と下面の導体とが接続されていない方向は、各流路の深さ方向となる。このとき、測定部２まで導体３ａおよび３ｂが形成される場合、測定部２の一部で、かつ測定部２の上面および下面の両方に、導体３ａおよび３ｂが配置される。
【００９４】
なお、上記の他、導体３ａおよび３ｂは、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの外部（例えば試料導入部６ａ、試料導出部６ｂなど）からそれぞれ、その内部へ差し込む構成としてもよい。また、導体３ａおよび３ｂは、直線形状である必要はなく、例えば図４（ａ）〜（ｆ）に示す上流流路４ａおよび下流流路４ｂの形状にあわせて、例えばＳ字形状、コの字型形状などの湾曲形状を有していてもよい。
【００９５】
（上流流路４ａおよび下流流路４ｂの形状）
次に、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの形状の変形例について、図４（ａ）〜（ｆ）に基づいて説明する。
【００９６】
図４（ａ）〜（ｄ）に示すように、測定部２と上流流路４ａおよび下流流路４ｂとは、直線状に接続されている必要はなく、例えば、図４（ａ）に示されるように、上流流路４ａおよび下流流路４ｂがＳ字形状に湾曲していてもよい。また、図４（ｂ）のＶ字型形状、図４（ｃ）に示す階段形状、図４（ｄ）に示すコの字型形状であってもよい。
【００９７】
また、図４（ｅ）および（ｆ）に示すように、上流流路４ａおよび下流流路４ｂは分岐構造を有していてもよい。この場合、分岐路２４ａは、上流流路４ａ内の電極１ａ側の第１分岐点２４１と、上流流路４ａ内の測定部２側の第２分岐点２４２とにおいて、上流流路４ａから分岐した構造であり、この分岐路２４ａ内に導体３ａを配置することが好ましい。
【００９８】
また、上流流路４ａを流れる試料は分岐路２４ａ内に導入されないことが好ましい。分岐路２４ａ内の電気抵抗（絶対値）が、上流流路４ａ（図４（ｅ）および（ｆ）では直線流路）の電気抵抗よりも低くなるよう、分岐路２４ａの構造の設計および導体３ａの配置を行うことで、粒子の測定に対する上流流路４ａでの電気抵抗の影響を抑制することが可能である（後述）。
【００９９】
分岐路２４ａの構造として、分岐路２４ａの幅および／または深さを上流流路４ａの幅または／および深さより大きくすることが挙げられる。ただし、導体３ａの導電率が試料の導電率よりも高い場合は、分岐路２４ａの幅および／または深さは上流流路４ａの幅および／または深さと同等かそれ以下でもよい。
【０１００】
また、分岐路２４ａへの試料の導入を防ぐために、導体３ａは、上述の非流動性電解質であることが好ましい。または、分岐路２４ａ内に、上述の金属、カーボン、導電性高分子を導体３ａとして、例えば食塩水などの流動性電解質と共に配置し、分岐路２４ａの第１分岐点２４１および第２分岐点２４２をゲルなどの非流動性物質で封止する構成としてもよい。試料の分岐路２４ａへの導入を防ぐことで、測定に使用する試料の体積は、分岐路２４ａ分の体積増加に影響されないため、微量試料での測定が可能となる。
【０１０１】
また、分岐路２４ａへの試料の導入を防ぐ場合であっても、分岐路２４ａの第１分岐点２４１および第２分岐点２４２において、上流流路４ａ（測定部２）と試料を介して電気的に導通されている。
【０１０２】
このように、上流流路４ａに分岐路２４ａを接続し、分岐路２４ａ内に導体３ａを配置することで、試料が流れる上流流路４ａに影響を与えることなく、強度の強い測定信号（測定部２において大きな抵抗変化率）を得ることができる。また、導体３ａの種類の選択の幅を広げることも可能となる。なお、上記では、上流流路４ａを例として説明したが、下流流路４ｂの場合についても同様のことがいえる。
【０１０３】
なお、図４（ａ）〜（ｃ）では、導体３ａおよび３ｂはそれぞれ、上流流路４ａおよび下流流路４ｂを全て含むように形成されているが、これに限らず、上述したように、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの形状に沿ってその内部に備えられる構成であってもよい。また、図４（ａ）〜（ｆ）では、導体３ａおよび３ｂはそれぞれ、上流流路４ａおよび下流流路４ｂ（図４（ｅ）および（ｆ）では分岐路２４ａおよび２４ｂ）の全領域に形成されているが、上述したように、その一部に備えられる構成であってもよい。また、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの形状がそれぞれ異なっていてもよい。例えば、上流流路４ａの形状が図４（ａ）に示すＳ字形状、下流流路４ｂの形状が図４（ｂ）に示すＶ字形状の片側であってもよい。
【０１０４】
また、図４（ｅ）および（ｆ）において、分岐路２４ａおよび分岐路２４ｂのみに導体３ａおよび３ｂが備えることにより、強度の強い測定信号を得て、導体３ａおよび３ｂの種類の選択の幅を広げている。しかし、この点を考慮しなければ、分岐路２４ａおよび分岐路２４ｂだけでなく、上流流路４ａおよび下流流路４ｂのそれぞれにも導体３ａおよび３ｂが備えられてもよい。
【０１０５】
（その他の形状）
また、図５〜図８に示すような、導体３ａ、３ｂ、上流流路４ａおよび下流流路４ｂ、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの形状であってもよい。
【０１０６】
例えば、図５に示すように、上流流路４ａおよび下流流路４ｂは、測定部２側において切り欠き形状（上流流路４ａおよび下流流路４ｂが円錐状の場合テーパ構造となる）を有しており、各流路の内表面（試料と接する側の表面）が徐々に測定部２の断面の大きさへと減少していてもよい。この場合、粒子が（流れの淀みに伴い）測定部２の前後（上流流路４ａおよび下流流路４ｂと接続された領域）において詰まることがないので、精度の高い粒子の測定が可能となる。また、このとき、導体３ａおよび３ｂも、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの形状に沿うように上記の切り欠き形状を有してもよい。
【０１０７】
また、図６に示すように、測定部２の断面積が、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの断面積と略同一（例えば、断面積が等しい、あるいは、測定部２に対する上流流路４ａおよび下流流路４ｂの断面積比が０．５以上２以下など）を有する構造としてもよい。本実施の形態において、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの断面積を測定部２の断面積と略同一としても、測定信号（抵抗変化率）は、測定部２以外の領域における電気抵抗の影響を受けない（後述）。このため、上記の断面積を略同一とすることにより、粒子の測定に必要な試料量をさらに低減できる。
【０１０８】
例えば、図７に示すように、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂはそれぞれ、上流流路４ａおよび下流流路４ｂ側において切り欠き形状（テーパ構造）を有しており、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの内表面が徐々に各流路の断面の大きさへと減少していてもよい。この場合、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂでの流れの淀みに伴う粒子の詰まりがないので、精度の高い粒子の測定が可能となる。
【０１０９】
また、図８に示すように、導体および流路は必ずしも２つある必要はなく、例えば上流流路４ａに導体３ａを配置し、上流流路４ａと試料導出部６ｂの間に測定部２を形成する構成としてもよい。また、その逆の構成、すなわち下流流路４ｂに導体３ｂを配置し、下流流路４ｂと試料導入部６ａとの間に測定部２を形成してもよい。
【０１１０】
＜粒子測定装置１５の更なる別例（その１）＞
次に、図９に基づいて、粒子測定装置１５の更なる別例について説明する。図９は、粒子測定装置１５の概略構成の更なる別例を示す上面図および断面図である。
【０１１１】
図９（ａ）に示すように、粒子測定装置１５を上面からみたときの形状は、例えば図１（ａ）と同様の構成であるが、図９（ｂ）に示すように、この粒子測定装置１５の測定部２の深さが、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの深さよりも浅くなっている。例えばその深さは、１〜５００μｍ、好ましくは１〜１００μｍである。
【０１１２】
上流流路４ａおよび下流流路４ｂと、測定部２との深さが等しく、２つの導体３ａおよび３ｂを上流流路４ａおよび下流流路４ｂの下面にそれぞれ配置した場合、電気力線が略半円状になる。この場合、上述したように、測定部２において深さ方向に電場の強弱が生じ、測定部２の上方を流れる粒子が、その下方を流れる粒子に比べ信号強度が低くなる可能性がある。測定部２の深さを上流流路４ａおよび下流流路４ｂの深さより浅くすることで、電気力線が測定部２においてより均一にすることができ、導体３ａおよび３ｂ間の距離が近い場合においても、測定部２における粒子通過に伴う信号強度を高く維持することが可能となる。すなわち、この深さ設定により、上記の信号強度の低下を防止できる。
【０１１３】
＜試料測定方法＞
以下に、本実施の形態に係る粒子測定装置１５を用いた試料中の粒子測定方法について図１０および図１１を参照して述べる。なお、図１０は、粒子の測定が行われるときに用いられる粒子測定装置１５の概略構成を示す上面図と、そのときに得られる測定結果を示すグラフである。また、図１１は、粒子測定装置１５において大きな抵抗変化率が得られることを説明するための図である。なお、図１０（ａ）に示す粒子測定装置１５は、図１に示す粒子測定装置１５に対応するものである。また、以下の説明において、従来の粒子測定装置（導体３ａ（３ｂ）を備えない構成）についても、便宜上、図１０に示す粒子測定装置１５の部材番号を用いる場合がある。
【０１１４】
本実施の形態に係る粒子測定方法は、試料に電圧を印加することにより、試料に含まれる粒子の測定を行うことが可能なものである。この粒子測定方法は、試料に含まれる粒子の測定が行われる測定部２に試料を配置する配置工程と、少なくとも２つの電極１ａおよび１ｂを介して、試料に電圧を印加する電圧印加工程と、測定部２において、電気抵抗またはインピーダンスを検出する検出工程と、を含む。そして、電圧印加工程における電圧の印加は、２つの電極１ａおよび１ｂの何れか一方の電極と測定部２との間に生じる電気抵抗またはインピーダンスを抑制する少なくとも１つの導体３ａ（３ｂ）が配置されて行われる。
【０１１５】
この方法により、上述したように、測定部２における電気抵抗（その変化）を示す測定信号の強度が弱められることを防ぐ（測定信号の強度を強める）ことができるので、高精度な粒子の測定を行うことができる。
【０１１６】
また、上記配置工程が、試料を上流流路４ａおよび下流流路４ｂを介して測定部２に流すことより行われてもよい。この場合、連続的に試料中の粒子の測定を行うことができる。また、上記粒子測定方法は、試料を上流流路４ａに接続された試料導入部６ａから導入する導入工程と、下流流路４ｂに接続された試料導出部６ｂから導出する工程をさらに含んでもよい。
【０１１７】
本実施の形態で用いられる電気抵抗法もしくはインピーダンス法による試料中の粒子の測定は、少なくとも２つ以上の電極を用いて試料に電圧を印加した場合に、試料中に粒子（略絶縁体）が存在することによる電極間の抵抗（もしくはインピーダンス）が、粒子が存在しない場合に対して変化する（大きくなる）ことを利用して行われる。また、上記試料が血液で、粒子が血球の場合、血球が占める容積に比例した電気抵抗（インピーダンス）変化に応じたパルス（信号）強度の検出により血球の種類（赤血球、白血球、血小板）が測定可能であり、当該変化に応じたパルス数の検出により血球数が測定可能である。
【０１１８】
電気抵抗もしくはインピーダンス（変化）の測定に際し、測定用の電極間に定電流を印加した場合の、電極間の抵抗変化を、次式（１）、すなわち、
ΔＶ  ＝  Ｉ・ΔＲ    …（１）
により、電圧変化として測定することが一般的である。ここで、ΔＶは粒子の有無による電圧変化、Ｉは定電流値、ΔＲは粒子の有無による抵抗変化である。実際の測定では、印加電圧の大きさに比例するノイズ（測定電圧値の揺らぎ）が発生するため、電圧変化を測定可能な信号（測定信号）としてとらえるためには、Ｓ／Ｎ比が重要となり、初期電圧Ｖと電圧変化量との比であるΔＶ／Ｖ（＝ΔＲ／Ｒ、抵抗変化率）が測定信号の検出指標として重要となる。
【０１１９】
また、一般に、電気抵抗Ｒは、
Ｒ  ＝  ρ・Ｌ／Ｓ    …（２）
で表される。ここで、ρは試料の電気抵抗率（導電率の逆数）、Ｌは抵抗の長さ、Ｓは抵抗の断面積である。
【０１２０】
図１０において導体３ａおよび３ｂが無い（従来のマイクロ化された粒子測定装置に相当する）場合において、粒子が無い場合の電極１ａおよび１ｂ間の電気抵抗Ｒ１は、次式（３）に示すように、
Ｒ１  ＝  Ｒ１６ａ＋Ｒ１４ａ＋Ｒ１２＋Ｒ１４ｂ＋Ｒ１６ｂ    …（３）
となる。ここで、Ｒ１６ａは試料導入部６ａの電気抵抗、Ｒ１４ａは上流流路４ａの電気抵抗、Ｒ１２は測定部２の電気抵抗、Ｒ１４ｂは下流流路４ｂの電気抵抗、Ｒ１６ｂは試料導出部６ｂの電気抵抗である。
【０１２１】
試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂはそれぞれ、上流流路４ａおよび下流流路４ｂに比して断面積が大きいため、電気抵抗Ｒ１６ａおよびＲ１６ｂは、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの電気抵抗Ｒ１４ａ、Ｒ１４ｂおよび測定部２の電気抵抗Ｒ１２に比べて無視できるほど小さい値となる（実質、Ｒ１≒Ｒ１４ａ＋Ｒ１２＋Ｒ１４ｂとなる）。測定部２を粒子が通過するとき、測定部２に導入された導電体である試料の一部が、略絶縁体である粒子によって遮蔽されるため、測定部２における電気抵抗が増加する。このときの、電極１ａおよび１ｂ間の電気抵抗Ｒ１’は、次式（４）に示すように、
Ｒ１’  ＝  Ｒ１６ａ＋Ｒ１４ａ＋Ｒ１２’＋Ｒ１４ｂ＋Ｒ１６ｂ    …（４）
となる。ここで、Ｒ１２’は試料中に粒子が存在する場合の測定部２の電気抵抗である。
【０１２２】
よって、粒子の存在を測定信号として検出するには、抵抗変化率を示す次式（５）、すなわち、
ΔＲ１／Ｒ１  ＝  （Ｒ１’−Ｒ１）／Ｒ１＝（Ｒ１２’−Ｒ１２）／Ｒ１    
…（５）
が検出指標となる。
【０１２３】
ここで、マイクロ化された従来の粒子測定装置では、（５）式の分母Ｒ１に含まれるＲ１４ａ（上流流路４ａの電気抵抗）およびＲ１４ｂ（下流流路４ｂの電気抵抗）が非常に大きい（マイクロ化された各流路の断面積が非常に小さい）ため、抵抗変化率が小さく測定信号が得られにくい（ノイズに埋もれる）という問題が生じていた。これは特に、例えば、血液中の血小板（２μｍ相当）などの小さな粒子を赤血球（８μｍ相当）と同時に検出する場合に大きな問題となる。なお、測定部は赤血球サイズより小さくできない（小さくすると赤血球が詰まってしまう）ので、測定部のサイズを小さくし、測定部での抵抗変化率を上げることによる対策を採用することは困難である。また、これを防ぐ目的で、測定部以外の各流路を広く深く形成することが考えられるが、これはファブリケーション上困難である上に、必要な試料量の増加を招く結果となる。
【０１２４】
図１０（ｂ）に、従来の粒子測定装置において、当該粒子測定装置における位置（紙面の左右方向）と電圧値（抵抗値に比例）との関係を、点線にて示す。従来の粒子測定装置の全体（系全体）の印加電圧をＶＩＮとすると、上流流路４ａおよび下流流路４ｂでの電圧降下が生じるため、粒子の測定に関与する電圧（測定部での電位差Ｖ１２）が小さくなる。よって、粒子の有無による測定部での電圧変化は測定部での電位差内の値となるため、測定信号の検出指標であるΔＶ／Ｖは、Ｖ１２／ＶＩＮよりも小さな値となる。
【０１２５】
これに対し、本実施の形態に係る粒子測定装置１５（粒子測定方法）では、上流流路４ａおよび下流流路４ｂに、試料より高い導電性（低い電気抵抗）を有する導体３ａおよび３ｂを配置している。本実施の形態に係る粒子測定装置１５において、粒子が無い場合の電極１ａおよび１ｂ間の電気抵抗Ｒ２は、次式（６）に示すように、
Ｒ２  ＝  Ｒ２６ａ＋Ｒ２４ａ＋Ｒ２２＋Ｒ２４ｂ＋Ｒ２６ｂ    …（６）
となる。ここで、Ｒ２６ａは試料導入部６ａの電気抵抗、Ｒ２４ａは上流流路４ａの電気抵抗、Ｒ２２は測定部２の電気抵抗、Ｒ２４ｂは下流流路４ｂの電気抵抗、Ｒ２６ｂは試料導出部６ｂの電気抵抗である。
【０１２６】
本実施の形態では、上流流路４ａおよび下流流路４ｂ中に導体３ａおよび３ｂが存在するので、Ｒ２４ａおよびＲ２４ｂは導体３ａおよび３ｂが無い場合に比べ小さな値となる。特に導体３ａおよび３ｂとして金属を用いた場合には、Ｒ２４ａおよびＲ２４ｂの値は、実質０となる。よって、（６）式は次式（７）、すなわち、
Ｒ２  ＝  Ｒ２６ａ＋Ｒ２２＋Ｒ２６ｂ    …（７）
に書き換えられる。ここで、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂは測定部２に比して断面積が大きいため、電気抵抗Ｒ２６ａおよびＲ２６ｂは測定部２の電気抵抗Ｒ２２に比べて無視できるほど小さい値となる（実質、Ｒ２≒Ｒ２２となる）。
【０１２７】
測定部２を粒子が通過するとき、測定部２に導入された導電体である試料の一部が、略絶縁体である粒子によって遮蔽されるため、測定部２の電気抵抗が増加する。このときの、電極１ａおよび１ｂ間の電気抵抗Ｒ２’は、
Ｒ２’  ＝  Ｒ２６ａ＋Ｒ２２’＋Ｒ２６ｂ    …（８）
となる。ここで、Ｒ２２’は粒子が存在する場合の測定部２の電気抵抗である。
【０１２８】
よって、粒子の存在を測定信号として検出するには、抵抗変化率である次式（９）、すなわち、
ΔＲ２／Ｒ２＝（Ｒ２’−Ｒ２）／Ｒ２＝（Ｒ２２’−Ｒ２２）／Ｒ２    …（９）
が検出指標となる。
【０１２９】
ここで、（９）式の分母Ｒ２が、導体３ａおよび３ｂが無い場合の分母Ｒ１（（５）式参照）より、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの抵抗分だけ小さいため、抵抗変化率は大きな値となる。
【０１３０】
図１０（ｂ）に、本実施の形態に係る粒子測定装置１５において、粒子測定装置１５における位置と電圧値との関係を実線にて示す。
粒子測定装置１５の全体（系全体）の印加電圧をＶＩＮとすると、上流流路４ａおよび下流流路４ｂでの電圧降下が実質無いため、粒子の測定に関与する電圧（測定部２での電位差Ｖ２２）が大きくなる（Ｖ２２＞Ｖ１２）。よって、粒子の有無による測定部２での電圧変化は測定部２での電位差内の値となるため、測定信号の検出指標であるΔＶ／Ｖ（≦Ｖ２２／ＶＩＮ）は、上流流路４ａおよび下流流路４ｂのそれぞれに導体３ａおよび３ｂが無い場合と比べ大きくなる。よって、本実施の形態に係る粒子測定装置１５（当該装置を用いた粒子測定方法）では、必要試料量の増加を招くことなく、極微量の試料で電気抵抗法による粒子の測定を高い信号強度（Ｓ／Ｎ比）で得ることが可能となる。
【０１３１】
次に、図４（ｅ）および（ｆ）に示す粒子測定装置１５を用いた試料中の粒子測定方法においても、高い信号強度が得られることを説明する。
【０１３２】
図４（ｅ）および（ｆ）に示す分岐路２４ａ、２４ｂおよび導体３ａ、３ｂを有する構成において、粒子が無い場合の電極１ａおよび１ｂ間の電気抵抗Ｒ３は、次式（１０）に示すように、
Ｒ３  ＝  Ｒ３６ａ＋Ｒ３ａ＋Ｒ３２＋Ｒ３ｂ＋Ｒ３６ｂ    …（１０）
となる。ここで、Ｒ３６ａは試料導入部６ａの電気抵抗、Ｒ３ａは上流流路４ａおよび分岐路２４ａからなる電気抵抗（合成抵抗）、Ｒ３２は測定部２の電気抵抗、Ｒ３ｂは下流流路４ｂおよび分岐路２４ｂからなる電気抵抗（合成抵抗）、Ｒ３６ｂは試料導出部６ｂの電気抵抗である。
【０１３３】
Ｒ３ａの合成抵抗は、上流流路４ａおよび分岐路２４ａが並列に接続されているため、次式（１１）に示すように、
１／Ｒ３ａ  ＝  １／Ｒ３４ａ＋１／Ｒ３２４ａ    …（１１）
となる。ここで、Ｒ３４ａは上流流路４ａの電気抵抗、Ｒ３２４ａは分岐路２４ａの電気抵抗である。（１１）式を変形することで、合成抵抗Ｒ３ａは、次式（１２）に示すように、
Ｒ３ａ  ＝  （Ｒ３４ａ・Ｒ３２４ａ）／（Ｒ３４ａ＋Ｒ３２４ａ）    …（１２）
となる。分岐路２４ａに導電性の高い（電気抵抗の低い）導体３ａを配置することで、Ｒ３４ａ≫Ｒ３２４ａとなり、Ｒ３ａは、実質、
Ｒ３ａ  ＝  （Ｒ３４ａ・Ｒ３２４ａ）／（Ｒ３４ａ）  ＝  Ｒ３２４ａ    …（１３）
となる。
【０１３４】
よって、マイクロ化された従来の粒子測定装置（分岐路および導体が無い場合）における上流流路４ａの高い抵抗は、本実施の形態の分岐路２４ａおよび導体３ａの配置により、低い抵抗（導体３ａとして金属を用いる場合、実質０）に置換される。これは、下流流路４ｂにおいても同様である。そして、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの断面積が、上流流路４ａ、下流流路４ｂおよび測定部２の断面積より大きいため、実質、Ｒ３≒Ｒ３２となる。
【０１３５】
よって、粒子の存在を測定信号として検出するには、（９）式と同様に、抵抗変化率であるΔＲ３／Ｒ３が検出指標となり、上述した（３）〜（９）式での説明と同様に、分母Ｒ３が、分岐路２４ａ、２４ｂおよび導体３ａ、３ｂが無い場合の分母Ｒ１（（５）式参照）より、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの抵抗分だけ小さいため、抵抗変化率は大きな値となる。
【０１３６】
また、上述の図１０（ｂ）を用いた説明と同様に、上流流路４ａおよび下流流路４ｂでの電圧降下が実質無いため、粒子の測定に関与する電圧（測定部２での電位差Ｖ３２（図１０（ｂ）ではＶ２２）が大きくなる（Ｖ３２＞Ｖ１２）。このため、粒子の有無による測定部２での電圧変化は測定部２での電位差内の値となるため、測定信号の検出指標であるΔＶ／Ｖ（≦Ｖ３２／ＶＩＮ）は、上流流路４ａおよび下流流路４ｂのそれぞれに分岐路２４ａ、２４ｂおよび導体３ａ、３ｂが無い場合と比べ大きくなる。
【０１３７】
よって、図４（ｅ）および（ｆ）に示す粒子測定装置１５（当該装置を用いた粒子測定方法）では、必要試料量の増加を招くことなく、極微量の試料で電気抵抗法による粒子の測定を高い信号強度（Ｓ／Ｎ比）で得ることが可能となる。
【０１３８】
（大きな抵抗変化率が得られる理由について）
また、本実施の形態では、基板８ａまたは８ｂの加工精度や材料などを問わず、大きな抵抗変化率を得ることが可能である。その理由について、図１１に基づいて説明する。なお、説明を簡略化するために、図１１に示すように、測定部２の断面は矩形であり、測定部２を通過する粒子は一辺ａの立方体であるとする。また、図１０と同様、図１１に示す粒子測定装置１５は図１に示す粒子測定装置１５に対応するものである。
【０１３９】
図１１に示すように、測定部２は幅Ｗ、深さＨ、長さＤを有するものとする。粒子が存在しないときの測定部２（アパチャー）の電気抵抗Ｒは、（２）式より、
Ｒ  ＝  ρ・Ｄ／（Ｈ・Ｗ）    …（１４）
と表される。ここで、ρは試料の電気抵抗率である。
【０１４０】
一辺ａの粒子が測定部２内に存在するときの電気抵抗Ｒ’は、簡略化のため、粒子存在領域のみが遮蔽されるとすると、
Ｒ’  ＝  ρ・ａ／（Ｈ・Ｗ−ａ２）＋ρ・（Ｄ−ａ）／（Ｈ・Ｗ）    …（１５）
と表される。よって、抵抗変化ΔＲは、
ΔＲ  ＝  Ｒ’−Ｒ  ＝  ρ・ａ／（Ｈ・Ｗ−ａ２）−ρ・ａ／（Ｈ・Ｗ）
…（１６）
と表される。
【０１４１】
また、測定信号の検出指標となる抵抗変化率ΔＲ／Ｒは、
ΔＲ／Ｒ  ＝  （１／Ｄ）・｛（１／（Ｈ・Ｗ−ａ２））−１／（Ｈ・Ｗ）｝・ａ・Ｈ・Ｗ    …（１７）
と表される。
【０１４２】
抵抗変化率を上げるためには、上述したように、測定部２の断面積と粒子の断面積との関係はもちろん重要となるが、（１７）式より、測定部の長さＤをできるだけ小さく形成することが重要である。しかし、実際の加工では、測定部２の長さを小さくすると、測定部２の壁が薄くなり崩れるため、現実的には測定部２の長さには制限が生じるという問題がある。特に、基板材料として樹脂、例えばＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）を用いたときは機械強度が低いため、上記問題が顕著となる。
【０１４３】
本実施の形態に係る粒子測定装置１５では、測定部２の一部にも導体３ａおよび３ｂを形成してもよく（図３（ａ）参照）、この場合、測定部２の長さではなく、導体３ａおよび３ｂ間の距離が（１７）式の長さＤに相当することとなる。実際の加工において、スパッタやリフトオフを用いての導体３ａおよび３ｂの形成など、導体３ａおよび３ｂ間の距離を短く形成することは容易である。よって、本実施の形態に係る粒子測定装置１５では、基板８ａおよび８ｂの加工精度や材料などを問わず、大きな抵抗変化率（測定信号）が得られる。
【０１４４】
＜実施例＞
次に、上述した粒子測定装置１５の具体的な実施例について、例えば図１を用いて説明する。なお、以下に示す実施例はあくまで一例である。
【０１４５】
当該実施例では、まず、ガラス基板上に、リフトオフによって、電極１ａ、電極１ｂ、導体３ａおよび導体３ｂを形成することにより、電極基板を作製した。電極１ａ、１ｂの材料としては金、導体３ａ、３ｂの材料としてはアルミを用いた。電極１ａおよび１ｂは、幅（図１（ａ）の紙面の上下方向）１ｍｍ、長さ（図１（ａ）の紙面の左右方向）１ｍｍであり、導体３ａおよび３ｂと距離を隔てて形成した。また、導体３ａおよび３ｂは、幅１００μｍ、長さ５ｍｍであり、導体３ａおよび３ｂ間の距離（図１（ａ）の紙面の左右方向）を１００μｍとした。
【０１４６】
一方で、凸型の金型にモールディングする形で、ＰＤＭＳ樹脂を用いて流路基板を作製した。上流流路４ａおよび下流流路４ｂは、幅６００μｍ、長さは５ｍｍ、深さ（図１（ｂ）の紙面の垂直方向）２０μｍとした。また、測定部２は、幅２０μｍ、長さ１００μｍ、深さ２０μｍとした。また、ドリルを用いて、幅５ｍｍ、長さ５ｍｍ、深さ５ｍｍの貫通孔（試料導入口９ａおよび試料導出口９ｂ（図１２参照））を試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂに相当する位置に設けた。
【０１４７】
そして、流路基板および電極基板を、上流流路４ａ、下流流路４ｂと、導体３ａ、３ｂとの位置がそれぞれ合うように貼り合わせることにより、粒子測定装置１５を作製した。
【０１４８】
試料としての電解液に分散させた直径１０μｍのポリスチレンビーズ（測定対象の粒子）を、粒子測定装置１５の外部からチューブを用いて試料導入部６ａに導入し、上流流路４ａ、測定部２、下流流路４ｂおよび試料導出部６ｂの順に送液した。また、試料導出部６ｂにはチューブを差込み、試料を粒子測定装置１５から外部へ排出する構成とし、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの一部が、粒子測定装置１５への試料の導入後も大気開放されている構成（例えば開口部１０ａおよび１０ｂを備えた構成（図１４参照））とした。
【０１４９】
粒子測定装置１５を顕微鏡下で観察しながら、電極１ａおよび１ｂ間に定電流を印加し、電極１ａおよび１ｂ間の電圧値をモニターした。この実施例における測定条件は、以下のとおりである。
・定電流３０μＡ（このとき電圧は約５Ｖ）
・測定温度２０℃
・ポンプ流量１ｕＬ／ｍｉｎ（このとき粒子速度（測定部２の通過時）は４０ｍｍ／ｓ）。
【０１５０】
なお、上記の測定条件は一例であり、測定条件（範囲）は、例えば以下のとおりに設定できる。
・印加電圧：試料が液体の場合、１〜１００Ｖ（交流のときは±５０Ｖ）、好ましくは１〜１０Ｖ（交流のときは±５Ｖ）。試料が気体の場合、０．１ｋ〜１００ｋＶ、好ましくは１ｋ〜１０ｋＶ。定電流の場合、０．１μＡ〜１０ｍＡ、好ましくは１μＡ〜１ｍＡ。（なお、電圧−電流の関係は、粒子測定装置１５の寸法と試料の導電率とで決まる。）
・電圧周波数：０．１Ｈｚ〜１００ＭＨｚ、好ましくは１Ｈｚ〜１０ＭＨｚ。
・測定温度：５〜９０℃、好ましくは１０〜３０℃。
・ポンプ流量：１ｎＬ／ｍｉｎ〜１ｍＬ／ｍｉｎ、好ましくは１ｎＬ／ｍｉｎ〜１０ｕＬ／ｍｉｎ。
・印加圧力（ゲージ圧）：１ｋ〜１ＭＰａ、好ましくは１ｋ〜１００ｋＰａ。（なお、実際の実験では、主としてシリンジポンプによる流量制御で行う。この場合、圧力設定は行われない。）
・粒子の速度：１μｍ／ｓ〜１０ｍ／ｓ、好ましくは１０μｍ／ｓ〜１ｍ／ｓ。（なお、粒子が試料の流れと同速度で動くと仮定した場合、粒子の速度は、設定流量もしくは印加圧力と粒子測定装置１５の寸法とで決まる。）
上記測定条件による測定の結果、粒子が測定部２を通過するのと同期する形で、高いＳ／Ｎ比をもって、粒子による抵抗変化に起因する電圧信号（測定信号）を確認した。また、電極１ａおよび１ｂにおいて電気分解によって発生した気泡は、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの上方に排出され、気泡が上流流路４ａ、下流流路４ｂおよび電極１ａ、１ｂの表面を塞ぐこと、および気泡が測定部２を通過することなく、精度の高い粒子の測定が確認された。気泡が及ぼす粒子測定への影響については、実施の形態２で説明する。
【０１５１】
具体的には、上記の測定条件における測定結果は、以下のとおりである。
・粒子による電圧変化１００ｍＶ。
・ノイズレベル１ｍＶ（なお、シールド等により改善される余地がある）。
・Ｓ／Ｎ比は１００。
【０１５２】
よって、本実施の形態に係る粒子測定装置１５は、電気抵抗法を用いたサンプル中の粒子測定において、サンプル量の増加を招くことなく、高い測定信号の強度（Ｓ／Ｎ比）および高い測定精度での測定に大きな効果を奏することが示された。
【０１５３】
〔実施の形態２〕
本発明の実施の一形態について図１２〜図１７に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、実施の形態１と同様の部材に関しては、同じ符号を付し、その説明を省略する。
【０１５４】
＜本実施の形態の概要＞
一般に、試料が液体である場合、試料への電圧印加に伴い、電極では、試料に対する電気分解による気泡が発生する。従来では、マイクロ化された流路を用いる系において、血球のアパチャー通過に伴う抵抗変化率を大きくするためには、測定用の電極をアパチャー近傍（即ち、アパチャー両端の当該流路内）に形成する必要があった。しかし、この場合、電圧印加に伴う電気分解による気泡の影響（発生した気泡が流路を塞ぐ、測定に関わる電極の表面を覆う、気泡がアパチャーを通過し抵抗変化を起こすことによる誤カウントが生じる、など）に起因して測定精度が低下するという問題が生じていた。
【０１５５】
なお、気泡の影響を下げるために印加電圧を下げることが考えられるが、これは測定信号の強度の低下を招くこととなる。また、特許文献３に記載されるように、測定用の電極をアパチャーより下流に配置する構成とすることで、電気分解により発生した気泡のアパチャーへの通過を防ぐことができるが、この場合、発生した気泡が流路および／または測定用の電極の表面を覆うといった問題が生じていた。ここで、試料を高速で流すことにより発生した気泡の影響を下げることも可能であるが、送液に高機能なポンプが必要、粒子の測定に高いサンプリングレート（粒子のアパチャー通過時間が短いため）が必要となるなど、複雑で高価な粒子測定装置が必要となるという問題が生じてしまう。また、高速で流す必要があるため、試料は低い粘性のものに限定されるという問題が生じてしまう。
【０１５６】
以上のように、従来では、試料の微量化を目的として粒子測定装置（当該装置が備える流路）をマイクロ化すると、測定精度が低下するという問題が生じていた。
【０１５７】
本実施の形態に係る粒子測定装置は、上記問題を解決するために、上述した少なくとも２つの電極、測定部と、測定部に接続された、試料が流れる少なくとも１つの流路と、を備えている。そして、電極のうち少なくとも何れか１つの電極が、測定部および流路とは異なる領域で、かつ試料が測定部および流路を流れたときに形成する当該試料の流れの主線となる流線（図１２（ｂ）参照）とは異なる領域である特定領域の一部に配置されている。
【０１５８】
これにより、電極が特定領域の一部に配置されているため、電極にて発生した気泡が流路および測定部において試料が形成する流線上への流入を抑制できる。すなわち、当該気泡が試料とともに測定部に流入することを抑制できる。また、少なくとも流路への気泡の被覆を抑制できる。それゆえ、高精度な粒子の測定を行うことができる。
【０１５９】
また、本実施の形態に係る粒子測定装置は、上記特定領域の一部には、電極のうち何れか１つの電極である特定電極を含む試料導入部を備えている。これにより、従来のように流路に電極を配置する場合に比べ、電極にて発生した気泡の測定部への流入を抑制できる。
【０１６０】
＜粒子測定装置１５ａの具体的構成＞
まず、図１２に基づいて、本実施の形態に係る粒子測定装置１５ａの概略構成と、当該構成がもたらす、気泡が及ぼす粒子測定への影響抑制とについて説明する。図１２（ａ）は、本発明の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、（ｂ）は、その断面図である。
【０１６１】
粒子測定装置１５ａは、実施の形態１と同様、電極１ａ、１ｂと、測定部２と、上流流路４ａと、下流流路４ｂと、試料導入部６ａと、試料導出部６ｂとを備えており、これらの材質、形状、大きさ、接続関係などは、実施の形態１で説明したとおりである。但し、粒子測定装置１５ａは、導体３ａおよび３ｂを備えていない点で、粒子測定装置１５とは異なる。なお、粒子測定装置１５ａの全体構造およびその製造方法は、導体３ａおよび３ｂが含まれる点を除き、実施の形態１と同様である。
【０１６２】
本実施の形態では、試料への電圧印加用の電極１ａおよび１ｂのそれぞれを、上流流路４ａおよび下流流路４ｂよりも断面積の大きい試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂに配置している。換言すれば、試料導入部６ａの深さが、上流流路４ａの深さよりも長い構成となっている。このため、電極１ａで発生した気泡１１を、試料導入部６ａの内部に留めておくことができるので、その気泡１１の測定部２への流入、並びに、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの表面と、電極１ａ、１ｂの表面とへの気泡１１の被覆を確実に防ぐことが可能となる。また、試料導出部６ｂの深さが、下流流路４ｂの深さよりも長い構成となっているので、上記と同様、電極１ｂで発生した気泡１１の測定部２への流入、並びに、少なくとも下流流路４ｂの表面と、電極１ｂの表面とへの気泡１１の被覆を確実に防ぐことが可能となる。
【０１６３】
以下、図１２（ｂ）に基づいて、この現象についてさらに説明する。図１２（ｂ）は、図１２（ａ）に示すＡ−Ａ’線に沿った粒子測定装置１５ａの概略断面図である。
【０１６４】
従来、試料として液体もしくは高分子溶液を用いた場合には、抵抗変化の検出において必要となる電圧印加により、電極から電気分解に伴う気泡が発生し、測定精度が低下するという問題があった。
【０１６５】
具体的には、従来の粒子の測定においては、アパチャー（粒子測定装置１５の測定部２に相当）内の粒子の有無を電気抵抗の変化としてとらえる場合、アパチャーを挟む形で２つの電極を配置し、これらの電極に電圧（もしくは電流）を印加する。この電圧（電流）印加に伴い、試料中の主に水成分が電気分解を起こし、これらの電極において気泡（水の場合、水素および酸素）が発生する。発生した気泡（絶縁体）がアパチャーを通過するとアパチャーの電気抵抗が変化するため、測定信号の検出における誤カウントの原因となり、測定精度が低下するという問題を生じていた。また、これらの電極をマイクロ流路内に形成すると、電圧印加に伴う電気分解による気泡の影響（発生した気泡が流路を塞いでしまう、測定に関わる電極の表面を覆うなど）により、測定精度が著しく低下するという問題が生じていた。
【０１６６】
一方、図１２（ｂ）に示すように、粒子の測定時には、例えば、粒子を含む試料が試料導入部６ａから導入され、試料導入部６ａ、上流流路４ａ、測定部２、下流流路４ｂおよび試料導出部６ｂの順に送液される。
【０１６７】
電気抵抗の検出のために、電極１ａ、１ｂ間に電圧（電流）が印加されると、電気分解に伴う気泡１１が電極１ａおよび１ｂの表面から発生する。
【０１６８】
電極１ａおよび１ｂは、上流流路４ａおよび下流流路４ｂといった狭い空間ではなく、試料導入部６ａ、試料導出部６ｂの広い空間に配置されているため、発生した気泡１１が上流流路４ａおよび下流流路４ｂを塞いでしまう事態を防ぐことができる。また、発生した気泡１１には浮力が働くため、当該気泡１１は試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの上方（深さ方向）へ移動する。このため、電極１ａおよび１ｂの表面と上流流路４ａおよび下流流路４ｂとを覆ってしまうことにより粒子の測定精度を低下させることはない。
【０１６９】
したがって、本実施の形態では、上記の電気分解に伴う気泡１１の影響を排除できるため、試料として、気体、液体、高分子溶液などを用いた場合であっても、精度の高い粒子の測定を行うことができる。
【０１７０】
また、図１２（ｂ）に示すように、試料導出部６ｂの上方に移動した気泡１１を粒子測定装置１５ａの外部へ逃すために、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂのそれぞれの上方には、粒子の測定に伴う粒子測定装置１５ａへの試料充填または試料の流れによる導入後に、気体（例えば空気）層１２が形成されることが好ましい。あるいは、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂのそれぞれの少なくとも一部に開口部１０ａおよび１０ｂ（例えば図１４）を備え、開口部１０ａおよび１０ｂが直接または間接的に大気開放されていることが好ましい。なお、これらの構成については後述する。
【０１７１】
このように、試料が液体である場合、本実施の形態においては、従来の粒子測定装置のように、発生した気泡の影響を抑制するために、試料を高速で流す必要がない。このため、高機能なポンプや粒子の測定における高いサンプリングレートを必要としないので、粒子測定装置１５ａを単純な構成とすることができ、低コストで製造することができる。また、本実施の形態では、試料を高速で流す必要がないため、試料として、例えばゲルなどの高分子溶液などの粘性を有するものを使用することができる。
【０１７２】
なお、試料が気体の場合、電気分解による気泡は発生しないが、気体中の粒子による抵抗変化を測定するために高電圧を印加する必要がある。この場合、測定用の電極１ａおよび１ｂ間の距離が短いと、高電圧に起因した測定部２以外へのリークや電圧の不安定化などが起こり、粒子の測定精度が低下してしまう可能性がある。本実施の形態では、電極１ａおよび１ｂが、それぞれ試料導入部６ａ、試料導出部６ｂに配置され、上流流路４ａおよび下流流路４ｂを介して離間するように備えられているので、電極１ａおよび１ｂ間の距離を長くすることができる。このため、粒子測定装置１５ａの装置構成の自由度が上がり、高電圧リークなどのない、測定精度の高い粒子の測定を行うことが可能となる。
【０１７３】
このように、流路がマイクロ化されている場合には、流路の内部で発生した気泡が、試料が形成する流れから逃れにくいので、測定部への流入が顕著となる。本実施の形態の粒子測定装置１５ａでは、少なくとも電極１ａ（特定電極）が、試料導入部６ａの一部に配置されている。すなわち、上流流路４ａおよび下流流路４ｂ（例えばマイクロ化された流路）とは異なる試料導入部６ａが備えられ、当該試料導入部６ａに電極１ａが備えられている。粒子測定装置１５ａは、測定部２、上流流路４ａおよび下流流路４ｂとは異なり、試料が形成する流線とは異なる領域である特定領域の一部に、少なくとも電極１ａを備えているともいえる。
【０１７４】
このため、試料導入部６ａの内部で気泡が発生することになり、少なくとも気泡の一部をその試料導入部６ａの内部に留めることが可能となる。すなわち、気泡が上記の流れの中に入り込みにくくし、従来生じていた測定部２への流入を抑制でき、上流流路４ａおよび下流流路４ｂへの気泡の被覆を抑制できる。
【０１７５】
また、図１２に示すように、試料導入部６ａは、試料を試料導入部６ａの内部に導入することが可能な試料導入口９ａを備え、試料導出部６ｂは、試料導出部６ｂの外部に試料を導出することが可能な試料導出口９ｂを備えている。これにより、試料が液体または気体である場合には、試料導入口９ａから導入された試料が、試料導入部６ａおよび上流流路４ａを介して測定部２に流れ、その後、下流流路４ｂおよび試料導出部６ｂを介して試料導出口９ｂから導出される。図１２では、試料の主流の一例を流線として図示している。
【０１７６】
また、図１２に示す粒子測定装置１５ａは、試料導入口９ａおよび試料導出口９ｂを備えている。試料導入口９ａおよび試料導出口９ｂを備えている様子の一例を図１３に示す。図１３では、試料導入口９ａおよび試料導出口９ｂの形状が円形である場合を示しているが、これに限らず、楕円状、矩形状など、試料の導入／導出を行うことが可能なように試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの例えば上面を貫通していればよい。
【０１７７】
また、例えば、ポンプを使って試料を導入する場合は、試料導入口９ａは、送液のためのチューブを取り付けることができる形状であることが好ましい。このように、その導入／導出の態様によって、試料導入口９ａおよび試料導出口９ｂの形状を変形することが好ましい。
【０１７８】
また、ポンプを使って試料導入口９ａに送液するために試料導入口９ａにチューブ等をつなぐ場合、あるいは毛細管力で試料を導入する場合には、試料導入口９ａの一部は後述の開口部１０ａとして機能することも可能である。
【０１７９】
さらに、図１２に示すように、試料導入口９ａは、電極１ａと、試料導入部６ａと上流流路４ａとが接続された接続領域と、の間に設けられている。すなわち、電極１ａは、試料導入口９ａに対してその接続領域の反対側（上流流路４ａにおける流線の方向を内側としたときの流線の外側）に設けられ、電極１ａの鉛直線と交差する試料導入部６ａの上面領域以外の領域に設けられている。
【０１８０】
この場合、電極１ａから発生した気泡１１は、試料導入部６ａにて対流している試料（液体）中を浮力によって鉛直方向に上昇する。したがって、流線の外側に電極１ａが配置されていることにより、電極１ａで発生した気泡１１が流線に沿って測定部２に流れ込むことを防ぐことができるので、測定部２での気泡１１への電圧印加による誤カウントを防ぐことができ、精度の高い粒子の測定が可能となる。
【０１８１】
また、試料導入部６ａの容積に対する、試料導入部６ａに試料が導入されているときの試料導入部６ａ内の試料量の割合が、１／５００００以上０．９以下であることが好ましい。
【０１８２】
この場合、少なくとも試料導入部６ａの下面（図９において電極１ａが設けられている底面）付近には試料が満たされている状態となるので、試料に対して電圧を印加することができる。一方で、上記の割合が１でない（すなわち試料導入部６ａの内部全てに試料が充填されている状態ではない）ので、試料導入部６ａには気体層１２が形成されることになる。このため、電極１ａから試料導入部６ａの内部を上昇してきた気泡１１を気体層１２で吸収することができるので、気泡１１が測定部２に流れ込むことを確実に防ぐことができる。
【０１８３】
なお、電圧を印加するためには、試料導入部６ａの内部には、少なくとも電極１ａ上から上流流路４ａとの接続領域（上流流路４ａの入口領域）にかけて試料が導入されている必要がある。すなわち、試料導入部６ａの底面が最低限、試料で満たされている必要がある。上記のように、上流流路４ａの深さ（最小１μｍ）および試料導入部６ａの深さ（最大５００００μｍ）比から算出した場合、上記の割合が１／５００００以上であることが好ましい。
【０１８４】
なお、試料導出部６ｂおよび試料導出口９ｂについても試料導入部６ａおよび試料導入口９ａと同様の構成であってもよいが、試料液が試料導入部６ａから測定部２を介して試料導出部６ｂに流れるため、試料導出部６ｂ内の電極１ｂで発生した気泡は、測定部２を通過することがないことを考慮すれば、試料導出口９ｂは必ずしも必要な構成ではない。
【０１８５】
＜粒子測定装置１５ａの別例（その１）＞
次に、図１４および図１５に基づいて、粒子測定装置１５ａの更なる別例について説明する。図１４は、粒子測定装置１５ａの概略構成の更なる別例を示す上面図および断面図である。図１４に示す粒子測定装置１５ａは、試料導入口９ａおよび試料導出口９ｂに加え、開口部１０ａおよび１０ｂを備えている。
【０１８６】
図１４に示すように、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂはそれぞれ、電極１ａおよび１ｂから発生した気泡１１を大気中に開放する開口部１０ａおよび１０ｂを備えている。これにより、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの上方に移動した気泡１１が対流（ジュール熱や試料の流れなどに起因）により流線上に移動して測定部２に流入する可能性を確実に排除することができる。なお、試料液が試料導入部６ａから測定部２を介して試料導出部６ｂに流れるため、試料導出部６ｂ内の電極１ｂで発生した気泡１１は、測定部２を通過することがないことを考慮すれば、開口部１０ｂは必ずしも必要な構成ではない。
【０１８７】
また、上述のように、電極１ａおよび１ｂで発生した気泡１１はそれぞれ、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの上方へと移動する。このため、開口部１０ａおよび１０ｂはそれぞれ、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂのそれぞれにおいて、電極１ａおよび１ｂの鉛直線上（電極１ａおよび１ｂの鉛直線と交差する試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂそれぞれの上面領域）に配置されていることが好ましい。この場合、電極１ａおよび１ｂのそれぞれで発生した気泡１１を、粒子測定装置１５ａの外部に確実に逃がすことができる。
【０１８８】
また、電極１ａは、試料導入口９ａに対して、試料導入部６ａと上流流路４ａとの接続領域の反対側（上流流路４ａにおける流線の方向を内側としたときの流線の外側）に設けられている。また、電極１ｂは、試料導出口９ｂに対して、試料導出部６ｂと下流流路４ｂとの接続領域の反対側（下流流路４ｂにおける流線の方向と反対方向を内側としたときの流線の外側）に設けられている。このため、電極１ａおよび１ｂで発生した気泡１１が流線に沿って測定部２に流れ込むことを防ぐことができ、より効果的に試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂから気泡１１を排除することができる。
【０１８９】
また、図１５では、試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂがそれぞれ、開口部１０ａおよび１０ｂを備えている様子の一例を示している。図１５では、開口部１０ａおよび１０ｂの形状が円形である場合を示しているが、これに限らず、楕円状、矩形状など、大気中に気泡を逃がすことが可能なように試料導入部６ａおよび試料導出部６ｂの上面を貫通していればよい。
【０１９０】
なお、実施の形態２においても、上流流路４ａおよび下流流路４ｂの形状は、図１２および図１４に示す形状に限らず、例えば図４〜図８に示すような形状であってもよい。
【０１９１】
＜変形例＞
次に、図１６および図１７に基づいて、粒子測定装置１５ａの変形例について説明する。図１６は、図１２に示す粒子測定装置１５ａが導体３ａおよび３ｂを備えた構成の一例を示し、図１７は、図１４に示す粒子測定装置１５ａが導体３ａおよび３ｂを備えた構成の一例を示す。いずれの場合も、上述のように粒子測定における気泡の影響を抑制するとともに、実施の形態１で述べたように、導体３ａおよび３ｂにより、強度の強い測定信号を得ることができるので、高精度な粒子の測定を行うことができる。
【０１９２】
また、試料が気体の場合には、上述のように粒子の測定精度が低下してしまう可能性がある。本変形例では、導体３ａおよび３ｂが電極１ａ、１ｂと測定部２とを離間するように備えられているので、電極１ａおよび１ｂ間の距離を長くすることができる。このため、粒子測定装置１５ａの装置構成の自由度が上がり、高電圧リークなどのない、測定精度の高い粒子の測定を行うことが可能となる。なお、実施の形態１および３についても同様のことが言える。
【０１９３】
〔実施の形態３〕
本発明の実施の一形態について図１８〜図２０に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、実施の形態１または２と同様の部材に関しては、同じ符号を付し、その説明を省略する。
【０１９４】
＜本実施の形態の概要＞
実施の形態２で述べたように、従来では、電極にて発生する気泡の影響により測定精度が低下するという問題が生じていた。
【０１９５】
本実施の形態に係る粒子測定装置は、実施の形態２でも述べたように、上記の問題を解決するために、電極のうち少なくとも何れか１つの電極が、測定部および流路とは異なる領域で、かつ試料が測定部および流路を流れたときに形成する当該試料の流れの主線となる流線とは異なる領域である特定領域の一部に配置されている。
【０１９６】
これにより、電極が特定領域の一部に配置されているため、電極にて発生した気泡が流路および測定部において試料が形成する流線上への流入を抑制できる。すなわち、従来のように流路に電極を配置する場合に比べ、当該気泡が試料とともに測定部に流入することを抑制できる。また、少なくとも流路への気泡の被覆を抑制できる。それゆえ、高精度な粒子の測定を行うことができる。
【０１９７】
＜粒子測定装置１５ｂの具体的構成＞
次に、図１８に基づいて、本実施の形態に係る粒子測定装置１５ｂの概略構成と、当該構成がもたらす、気泡が及ぼす粒子測定への影響抑制とについて説明する。図１８（ａ）は本発明の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線に沿った概略断面図、（ｃ）はＢ−Ｂ’線に沿った概略断面図である。
【０１９８】
粒子測定装置１５ｂは、実施の形態１および２と同様、電極１ａ、１ｂと、測定部２と、試料導入部６ａと、試料導出部６ｂとを備えており、これらの材質、形状、大きさなどは、実施の形態１で説明したとおりである。粒子測定装置１５ｂは、さらに、上流流路２１ａと、下流流路２１ｂと、導通路２２ａ、２２ｂと、リザーバ２３ａ、２３ｂとを備えている。なお、上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂは、実施の形態１で説明した機能と同様である。
【０１９９】
図１８（ａ）に示すように、上流流路２１ａの一端は測定部２に接続され、その他端は試料導入部６ａに接続されている。また、下流流路２１ｂの一端は測定部２に接続され、他端は試料導出部６ｂに接続されている。
【０２００】
また、導通路２２ａおよび２２ｂは、上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂと電気的に接続された（これらの流路から分岐した）電極１ａおよび１ｂのそれぞれと、試料とを電気的に導通するためのものである。すなわち、導通路２２ａおよび２２ｂは、上述した特定領域に備えられている。
【０２０１】
また、導通路２２ａの一端は、上流流路２１ａの端部（測定部２および試料導入部６ａに接続された端部）以外の接続領域２５１に接続されている。同様に、導通路２２ｂの一端は、下流流路２１ｂの端部（測定部２および試料導出部６ｂに接続された端部）以外の接続領域２５２に接続されている。
【０２０２】
導通路２２ａおよび２２ｂには、試料と電極１ａ、１ｂとを電気的に導通させるための電解質が充填されている。これにより、導通路２２ａおよび２２ｂを介しての試料への電圧印加を確実に行うことができる。電解質としては、例えば液体の電解質（すなわち、電解液）、および非流動性電解質が挙げられる。電解液としては、例えば塩化ナトリウム溶液、塩化カリウム溶液などが挙げられる。
【０２０３】
また、非流動性電解質としては、固体電解質と、液体電界物質を含むゲル状物質との二つの性質の物質が挙げられる。固体電界質としては、例えば塩化物イオン伝導性固体電解質、βアルミナ、安定化ジルコニアなどが挙げられる。液体電解質を含むゲル状物質としては、例えば塩橋（塩化カリウム、硝酸アンモニウムまたは酢酸リチウムを含むアガロース）、塩化カリウムなどの液体電解質を含むポリ塩化ビニル、またはポリアクリルアミドなどが挙げられる。
【０２０４】
導通路２２ａおよび２２ｂの電解質として非流動性電解質を用いる場合（導通路２２ａおよび２２ｂの内容物の流動性が低い場合）、試料を流しながら測定を行う場合であっても、試料は、導通路２２ａおよび２２ｂに流れ込むことなく、上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂを流れる（例えば図１８（ｂ）および（ｃ）参照）。逆に言えば、リザーバ２３ａおよび２３ｂのそれぞれに備えた電極１ａおよび１ｂにおいて電気分解に伴う気泡１１が発生しても、気泡１１が上流流路２１ａ、下流流路２１ｂおよび測定部２に流れ込むことがない。そのため、測定部２に気泡１１が流れ、測定部２での気泡１１への電圧印加による誤カウントを防ぐことができ、精度の高い粒子の測定が可能となる。また、試料が導通路２２ａおよび２２ｂへ流入することが無いため、試料量の増加を招くことなく粒子の測定が可能である。なお、非流動性電解質は導通路２２ａおよび２２ｂの必ずしも全領域に形成される必要はなく、少なくとも一部形成されればよい。この場合、導通路の非流動性電解質が形成された以外の領域は、例えば液体の電解質（後述）を形成すればよい。
【０２０５】
一方、導通路２２ａおよび２２ｂの電解質として液体の電解質を用いる場合（導通路２２ａおよび２２ｂの内容物の流動性が高い場合）には、導通路２２ａ、２２ｂとリザーバ２３ａ、２３ｂとの接続領域に、例えば蓋またはシール材を設けてもよい。この場合、リザーバ２３ａおよび２３ｂを密閉して物理的に封止できるので、リザーバ２３ａおよび２３ｂの内部で発生した気泡１１が導通路２２ａおよび２２ｂへ流入することを防ぐことができる。
【０２０６】
なお、導通路２２ａ、２２ｂとリザーバ２３ａ、２３ｂとは電気的に接続されている必要があるため、上記蓋およびシール材は、電気伝導性を有する材料からなることが好ましい。また、上記蓋およびシール材は、上記の接続領域ではなく、導通路２２ａおよび２２ｂの少なくとも一部に備えられてもよい。また、液体の電解質を導通路２２ａおよび２２ｂ内に充填しゲル状物質で例えば上記の接続領域を封止することも可能である。
【０２０７】
また、液体の電解質を充填後、リザーバ２３ａおよび２３ｂの上面を蓋およびシール材で物理的に封止する構成としてもよい。この場合、リザーバ２３ａおよび２３ｂは、試料が流れる上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂに対して、試料が導通路２２ａおよび２２ｂへと流れることを防止する堰き止め構造となっている。
【０２０８】
例えばリザーバ２３ａおよび２３ｂに開口部が存在する場合には、開口部が大気開放されているため、導通路２２ａ、２２ｂおよびリザーバ２３ａ、２３ｂに導入された電解質が、試料の流れ（試料を流すための印加圧力）の影響をうけて、開口部に移動する可能性がある。それにより、リザーバ２３ａおよび２３ｂの内部に試料が流入してしまう可能性がある。
【０２０９】
上記の堰き止め構造の場合、試料は、リザーバ２３ａに接続された導通路２２ａおよびリザーバ２３ｂに接続された導通路２２ｂに流入することなく、上流流路２１ａ、測定部２、下流流路２１ｂの順に流れる。すなわち、導通路２２ａ、２２ｂおよびリザーバ２３ａ、２３ｂに導入された電解質は略静止している。
【０２１０】
よって、リザーバ２３ａおよび２３ｂの内部で発生した気泡１１が導通路２２ａおよび２２ｂへ流入することを防ぐことができる。上記蓋およびシール材は、リザーバ２３ａおよび２３ｂを形成した基板に対して密閉性を有していればよく、幅広い材料の選択が可能である。
【０２１１】
また、導通路２２ａおよび２２ｂの電解質として非流動性電解質を用いた場合には、上述のように、導通路２２ａおよび２２ｂへの試料の流入（または気泡１１の流入）を防ぐことができるが、この場合であっても、より確実にこれらの流入を防ぐために上述のような物理的な封止を行ってもよい。
【０２１２】
以上のように、導通路２２ａおよび２２ｂの少なくとも一部、または導通路２２ａおよび２２ｂの他端（リザーバ２３ａおよび２３ｂとの接続領域）には、リザーバ２３ａおよび２３ｂへの試料の流入を抑制する非流動性電解質、蓋、シール材などの流入抑制部材が備えられている。または、リザーバ２３ａおよび２３ｂの上面には、リザーバ２３ａおよび２３ｂへの試料の流入を抑制する蓋、シール材などの流入抑制部材が備えられている。これにより、リザーバ２３ａおよび２３ｂの内部に試料が流入することを抑制できるので、リザーバ２３ａおよび２３ｂの内部で発生した気泡１１が試料とともに上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂに流れ込むことを防ぐことができる。
【０２１３】
リザーバ２３ａおよび２３ｂは、上述した特定領域に備えられ、電極１ａ、１ｂと試料とを電気的に導通する電解質を保持するものであり、導通路２２ａおよび２２ｂの他端にそれぞれ接続されている。また、リザーバ２３ａおよび２３ｂの少なくとも一部にはそれぞれ電極１ａおよび１ｂが配置されている。この配置により、電極１ａおよび１ｂのそれぞれが、導通路２２ａおよび２２ｂと接続されている。
【０２１４】
この構成によれば、リザーバ２３ａおよび２３ｂにそれぞれ電極１ａおよび１ｂが配置された構成であっても、導通路２２ａおよび２２ｂを介して、測定部２に存在する試料に電圧を印加できる。また、リザーバ２３ａおよび２３ｂに電極１ａおよび１ｂを配置しているので、電極１ａおよび１ｂで発生した気泡１１の少なくとも一部をリザーバ２３ａおよび２３ｂの内部に留めることができ、導通路２２ａおよび２２ｂへの気泡１１の流入を抑制できる。
【０２１５】
リザーバ２３ａおよび２３ｂには、電極１ａおよび１ｂから発生した気泡１１をその上方に逃す目的で、上述した液体の電解質を充填することが好ましい。何れの電解質を用いる場合も、電極１ａおよび電極１ｂに印加された電圧が、リザーバ２３ａおよび２３ｂ中の電解質または電解液を介して、上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂ中の試料に印加されることにより、測定部２において粒子通過に伴う抵抗測定を行うことを可能とする。
【０２１６】
また、導通路２２ａおよび２２ｂの幅は１〜５０００μｍであり、好ましくは１〜１０００μｍであり、その深さは１〜１０００μｍ、好ましくは１〜１００μｍである。また、リザーバ２３ａおよび２３ｂの幅は１〜５００００μｍ、深さは１〜５００００μｍ、その長さは１〜５００００μｍである。
【０２１７】
粒子測定装置１５ｂでは、試料は、試料導入部６ａから導入され、上流流路２１ａ、測定部２および下流流路２１ｂをこの順で通過し、試料導出部６ｂから外部に排出される。すなわち、粒子測定装置１５ｂでは、試料の導入が上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂに対して行われ、上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂに接続された導通路２２ａおよび２２ｂに対しては行われないため、上流流路２１ａ、測定部２および下流流路２１ｂが試料の主流路である。
【０２１８】
＜電極１ａおよび１ｂの配置の別例＞
上記では、上述した特定領域の一部にリザーバ２３ａおよび２３ｂが備えられ、リザーバ２３ａおよび２３ｂに電極１ａおよび１ｂがそれぞれ備えられている構成について説明したが、これに限られない。例えば、電極１ａおよび１ｂが、上記特定領域の一部に備えられた導通路２２ａおよび２２ｂにそれぞれ備えられていてもよい。すなわち、導通路２２ａおよび２２ｂの少なくとも一部に電極１ａおよび１ｂがそれぞれ配置されていてもよい。この場合、リザーバ２３ａおよび２３ｂは必ずしも必要ではない。
【０２１９】
この構成の場合でも、測定部２に存在する試料に電圧を印加でき、また、電極１ａおよび１ｂで発生した気泡１１の少なくとも一部を導通路２２ａおよび２２ｂの内部に留めることが可能となる。このため、上流流路４ａまたは下流流路４ｂへの気泡１１の流入を抑制できる。
【０２２０】
＜リザーバ２３ａおよび２３ｂ内の加圧について＞
また、粒子測定装置１５ｂでは、リザーバ２３ａおよび２３ｂに充填した電解液（電解質）は、導通路２２ａおよび２２ｂと接続された方向に加圧される構成となっている。
【０２２１】
上記加圧の大きさは、少なくともリザーバ２３ａおよび２３ｂの内部への試料の流入を防ぐ大きさであることが好ましい。これは、リザーバ２３ａと導通路２２ａとの接続領域、またはリザーバ２３ｂと導通路２２ｂとの接続領域において、試料の流れによる圧力よりも、上記加圧による圧力を大きく設定することにより達成される。なお、試料の流れによる圧力は、試料を流すための印加圧力と、試料の流れに伴う圧力損失（装置構造に依存）とにより決まるものである。
【０２２２】
ここで、上記圧力損失ΔＰは、試料の流れが層流の場合（例えば、マイクロ流路での流れの場合）、次式（１８）（ハーゲン−ポアズイユの式）、すなわち、
ΔＰ  ＝  ３２・μ・Ｌ・ｖ／Ｄ２    …（１８）
により見積もることが可能である。ここで、μは試料の粘度、Ｌは流路長さ、ｖは試料流れの速度、Ｄは流路の直径（幅および／または深さ）である。上記加圧の大きさは、試料の流れによる圧力より大きくなるよう、粒子測定装置の構造、印加圧力、および測定に用いる試料の性質に応じて適宜設定される。
【０２２３】
さらに、上記加圧の大きさは、導通路２２ａまたは導通路２２ｂの内部への試料の流入を防ぐ大きさであることが好ましい。これは、導通路２２ａと上流流路２１ａとの接続領域２５１、または導通路２２ｂと下流流路２１ｂとの接続領域２５２において、試料の流れによる圧力よりも、上記加圧による圧力を大きく設定することにより達成される。
【０２２４】
これらの加圧の大きさの設定により、リザーバ２３ａおよび２３ｂの内部、または導通路２２ａまたは導通路２２ｂの内部への試料の流入を防ぐことが可能であり、試料量の増加を招くことなく粒子の測定を行うことが可能となる。また、電極１ａおよび１ｂから発生した気泡１１は、浮力によりリザーバ２３ａおよび２３ｂの上方に逃すことが可能なため、リザーバ２３ａおよび２３ｂの内部で発生した気泡１１が試料とともに上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂに流れ込むことを防ぐことができる。
【０２２５】
さらには、上記加圧による圧力と試料の流れによる圧力とが、（１）リザーバ２３ａと導通路２２ａとの接続領域、あるいはリザーバ２３ｂと導通路２２ｂとの接続領域、または、（２）導通路２２ａと上流流路２１ａとの接続領域２５１、あるいは導通路２２ｂと下流流路２１ｂとの接続領域２５２において、略等しくなるよう設定されることが好ましい。上記加圧による圧力と試料の流れによる圧力とが略等しい場合、導通路２２ａ、２２ｂおよびリザーバ２３ａ、２３ｂに導入された電解質は略静止している。よって、リザーバ２３ａおよび２３ｂの内部で発生した気泡１１が導通路２２ａおよび２２ｂへ流入することを確実に防ぐことができる。
【０２２６】
上記加圧の手段としては、例えば、リザーバ２３ａおよび２３ｂ、もしくは、導通路２２ａおよび２２ｂに保持された電解液に作用する重力（水頭圧）あるいは毛細管力、またはポンプ（加圧装置）などが挙げられる。
【０２２７】
その加圧の手段として重力を用いる場合、重力による圧力（水頭圧）ΔＰＨＤは、次式（１９）、すなわち、
ΔＰＨＤ  ＝  ρ・ｇ・ｈ    …（１９）
により見積もることが可能である。ここで、ρは電解液の密度、ｇは重力加速度、ｈはリザーバ２３ａおよび２３ｂの深さである。粒子測定装置１５ｂにおいて、リザーバ２３ａおよび２３ｂの深さが、導通路２２ａおよび２２ｂの深さよりも長いことが好ましい。この構成において、リザーバ２３ａおよび２３ｂに保持されている電解液の深さ（液面の高さ）が導通路２２ａおよび２２ｂの深さより長い場合、電解液に対して重力（水頭圧）を効果的に作用させることができ、当該重力の作用により当該電解液を導通路２２ａおよび２２ｂ側に確実に加圧できる。
【０２２８】
なお、本実施の形態では、導通路２２ａとリザーバ２３ａとの接続領域、および、導通路２２ｂとリザーバ２３ｂとの接続領域はこれらの部材の底面に接している。しかし、これに限らず、上記重力の作用により加圧可能なように、導通路２２ａとリザーバ２３ａとが接続され、導通路２２ｂとリザーバ２３ｂとが接続されていればよい。すなわち、導通路２２ａおよび２２ｂはそれぞれ、リザーバ２３ａおよび２３ｂの側面と接続され、その側面において、リザーバ２３ａおよび２３ｂの上面に非接触な位置に少なくとも接続されていればよい。
【０２２９】
また、上記加圧の手段として毛細管力を用いる場合、毛細管力による圧力（ラプラス圧）ΔＰＬＰは、次式（２０）（ヤング−ラプラスの式）、すなわち、
ΔＰＬＰ  ＝  −２・γ・ｃｏｓθ／Ｒ    …（２０）
により見積もることが可能である。ここで、γは電解液の表面張力、θは電解液の接触角、Ｒはリザーバ２３ａおよび２３ｂの半径（深さ方向と垂直な面の半径）（導通路２２ａおよび２２ｂにおいてはリザーバ２３ａおよび２３ｂとの接続領域断面の半径）である。粒子測定装置１５ｂにおいて、リザーバ２３ａおよび２３ｂの材質が疎水性を有することが好ましい。特に、リザーバ２３ａおよび２３ｂに充填された電解液に対して疎水性が高い（電解液の接触角が９０度以上）ことが好ましい。この場合、電解液に対して毛細管力を効果的に作用させることができ、当該毛細管力の作用により当該電解液を導通路２２ａおよび２２ｂ側に確実に加圧できる。
【０２３０】
また、上記加圧の手段としてポンプを用いる場合、リザーバ２３ａおよび２３ｂの形状、その材質が疎水性であるか否かを考慮することなく、当該電解液を導通路２２ａおよび２２ｂ側に確実に加圧できる。ポンプとしては、例えばシリンジポンプ、ペリスタポンプ、空気圧を用いた圧力コントローラなどが好適に利用される。
【０２３１】
上記何れの加圧の手段を用いた場合も、上述した加圧の大きさとなるよう適宜設定することで、リザーバ２３ａおよび２３ｂの内部で発生した気泡１１が試料とともに上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂに流れ込むことを防ぐことができる。
【０２３２】
以上の構成により、電極１ａと上流流路２１ａとが導通路２２ａを介して、電極１ｂと下流流路２１ｂとが導通路２２ｂを介してそれぞれ配置されているので、電極１ａおよび１ｂにて発生した気泡１１が各流路を流れる試料とともに測定部２へ流入することを抑制できる。また、上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂの表面と、電極１ａ、１ｂの表面とへの気泡１１の被覆も抑制できる。
【０２３３】
＜粒子測定装置１５ｂの種々の構成＞
次に、図１９に基づいて、粒子測定装置１５ｂの種々の構成について説明する。図１９（ａ）〜（ｃ）は、粒子測定装置１５ｂの概略構成の別例を示す上面図である。
【０２３４】
図１９（ａ）では、上流流路２１ａに接続領域２５１を介して導通路２２ａが接続され、当該導通路２２ａと接続されたリザーバ２３ａに電極１ａが配置されている一方、下流流路４ｂには導通路２２ｂが接続されていない。この場合、電極１ｂは、試料導出部６ｂの内部に配置されている。すなわち、粒子測定装置１５ｂは、少なくとも１つの導通路を備えていればよい。この構成であっても、リザーバ２３ａへの試料の流入、および電極１ａにて発生した気泡１１の上流流路２１ａへの流入を防ぐことができる。試料は上流流路２１ａから下流流路２１ｂへと流れるため、試料導入部６ａ側のリザーバ２３ａに電極１ａを配置した構成でも、測定部２への気泡の流入を十分に防ぐことができる。
【０２３５】
また、導通路２２ａ、２２ｂ、およびリザーバ２３ａ、２３ｂは、図１８に示すように、上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂに対して必ずしも片側に配置される必要はなく、例えば図１９（ｂ）に示すように、上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂの長さ方向を軸として反対側に配置されてもよい。また、上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂが直線形状でなくてもよく、図１９（ｃ）では下流流路２１ｂの一部が略直角に折れ曲がったコの字形状となっている（図４（ｄ）参照）。このような構成であっても、図１８の構成と同様の効果を得ることができる。
【０２３６】
なお、実施の形態３においても、上流流路２１ａおよび下流流路２１ｂの形状は、図１８および図１９に示す形状に限らず、例えば図４〜図８に示すような形状であってもよい。
【０２３７】
＜変形例＞
次に、図２０に基づいて、粒子測定装置１５ｂの変形例について説明する。図２０（ａ）は、図１８に示す粒子測定装置１５ｂが導体３ａおよび３ｂを備えた構成の一例を示し、図２０（ｂ）〜（ｄ）は、図１９に示す粒子測定装置１５ｂが導体３ａおよび３ｂを備えた構成の一例を示す。図２０では、電極１ａおよび１ｂ間に備えられた上流流路２１ａ、下流流路２１ｂ、導通路２２ａ、および／または導通路２２ｂに配置されている。
【０２３８】
いずれの場合も、上述のように粒子測定における気泡の影響を抑制するとともに、実施の形態１で述べたように、導体３ａおよび３ｂにより、強度の強い測定信号を得ることができるので、高精度な粒子の測定を行うことができる。
【０２３９】
また、図２０（ａ）〜（ｄ）では、導体３ａおよび３ｂはそれぞれ、導通路２２ａおよび２２ｂの全領域に形成されているが、その一部に備えられる構成であってもよく、またリザーバ２３ａおよび２３ｂの一部にも電極１ａ、１ｂと離間する形で備えられる構成でもよい。
【０２４０】
〔本発明の別の表現〕
本発明は、以下のようにも表現できる。
【０２４１】
本発明の粒子測定装置は、サンプル中の粒子の測定をインピーダンスまたは電気抵抗で測定する粒子測定装置であって、前記粒子測定装置が、サンプルに電圧を印加するための少なくとも２つの電極と、前記少なくとも２つの電極の間に位置する測定部と、前記少なくとも一方の電極と前記測定部の間に位置する少なくとも１つの導体からなり、前記２つの電極と前記導体が連結されていない構成である。
【０２４２】
また、前記粒子測定装置が、サンプルを流して測定するための少なくとも１つの流路をさらに備え、前記流路と前記測定部が連結されており、前記導体が前記流路の少なくとも一部に備えられていることが好ましい。
【０２４３】
また、前記導体が前記流路の少なくとも２箇所に備えられ、前記２箇所の導体が前記流路内では連結されておらず、前記流路外の領域で連結されていることが好ましい。
【０２４４】
また、前記流路が少なくとも２つあり、前記少なくとも２つの流路が、前記測定部の上流側に位置する上流流路と、前記測定部の下流側に位置する下流流路であり、前記導体が前記上流流路の少なくとも一部ないし／あるいは前記導体が前記下流流路の少なくとも一部に備えられていることが好ましい。
【０２４５】
また、前記導体が少なくとも２つあり、前記上流流路の少なくとも一部かつ前記下流流路の少なくとも一部に備えられ、前記少なくとも２つの導体が互いに連結されていないことが好ましい。
【０２４６】
また、前記少なくとも２つの導体の何れか一方が前記上流流路の上面ないし／あるいは下面に備えられ、前記少なくとも２つの導体の他方が前記下流流路の上面ないし／あるいは下面に備えられていることが好ましい。
【０２４７】
また、前記上流流路の少なくとも一部に備えられた導体と、前記下流流路の少なくとも一部に備えられた導体の、導体間の直線最短距離が０．１〜１０００μｍであることが好ましい。
【０２４８】
また、前記導体が、金属、カーボン、導電性高分子、非流動性電解質からなる群より選択されることが好ましい。
【０２４９】
また、前記粒子測定装置が、サンプルを導入するためのサンプル導入部ないし／またはサンプルを導出するためのサンプル導出部をさらに備え、前記サンプル導入部ないし／または前記サンプル導出部が前記流路と、前記流路の前記測定部との連結領域とは異なる領域で連結されていることが好ましい。
【０２５０】
また、前記サンプルに電圧を印加するための少なくとも２つの電極の何れか一方が、前記サンプル導入部の少なくとも一部に配置され、ないし／または、前記電極の他方が、前記サンプル導出部の少なくとも一部に配置されることが好ましい。
【０２５１】
また、前記サンプル導入部ないし／または前記サンプル導出部が、前記流路との連結領域とは異なる領域に開口部を備え、前記開口部が直接または間接的に大気開放されていることが好ましい。
【０２５２】
また、前記粒子測定装置が、さらに電圧印加手段を備え、前記電圧印加手段が前記サンプルに電圧を印加するための少なくとも２つの電極に接続されていることが好ましい。
【０２５３】
また、本発明の粒子測定方法は、サンプルを測定部に配置する工程と、前記サンプルに少なくとも２つ以上の電極から電圧を印加する工程と、前記測定部におけるサンプルのインピーダンスまたは電気抵抗を検出する工程を含み、前記電圧印加が、前記少なくとも１つの電極と前記測定部の間に導体を配置して行う方法である。
【０２５４】
また、前記サンプルを測定部に配置する工程が、サンプルを測定部に対して流す工程によって行われることが好ましい。
【０２５５】
また、前記粒子測定方法が、前記サンプルをサンプル導入部より導入する工程と、サンプル導出部より導出する工程をさらに含むことが好ましい。
【０２５６】
また、前記サンプルが液体サンプルであることが好ましい。
【０２５７】
また、前記液体サンプルを前記サンプル導入部に導入、あるいは／ないし、前記サンプル導出部より導出する工程において、前記サンプル導入部あるいは／ないし前記サンプル導出部に気体層が存在する、あるいは／ないし、少なくとも一部直接もしくは間接的に大気開放されていることが好ましい。
【０２５８】
また、前記導体が、金属、カーボン、導電性高分子、非流動性電解質からなる群より選択されることが好ましい。
【０２５９】
また、前記流路は、前記２つの電極の何れか一方の電極側で分岐し、前記測定部側で前記流路に再合流する分岐流路構造を有していることが好ましい。
【０２６０】
さらに、本発明の粒子測定装置は、少なくとも２つの電極と、測定部と、少なくとも１つの流路と、試料導入部を備え、前記２つの電極の何れか一方の電極が、前記試料導入部の少なくとも一部に第１電極として配置されている。
【０２６１】
また、前記試料導入部の深さが、前記流路の深さよりも深いことが好ましい。
【０２６２】
また、記試料導入部は、前記第１電極から発生した気泡を大気中に開放する開口部を備えていることが好ましい。
【０２６３】
また、前記２つの電極に接続された電圧印加手段を備えることが好ましい。
【０２６４】
さらに、本発明の粒子測定装置は、少なくとも２つの電極と、測定部と、前記測定部に接続され、前記試料が流れる少なくとも１つの試料用流路を備え、前記試料用流路が、前記試料用流路から分岐し、前記２つの電極の何れか一方の電極と接続された、前記試料と電気的に導通するための少なくとも１つの導通用流路を備えている。
【０２６５】
また、前記導通用流路の少なくとも一部に、前記試料と電気的に導通するための非流動性電界質が充填されていることが好ましい。
【０２６６】
また、前記粒子測定装置が、前記試料に電圧を印加するための電解質を保持するための少なくとも１つのリザーバを備え、前記導通用流路が、前記試料用流路との接続領域とは異なる領域で、前記リザーバに接続され、前記２つの電極の何れか一方の電極が、前記リザーバの少なくとも一部に第１電極として配置されていることが好ましい。
【０２６７】
また、前記リザーバが、前記導通用流路との接続領域以外の領域において封止されていることが好ましい。
【０２６８】
また、前記粒子測定装置が、前記リザーバに保持された電解質を、前記リザーバと前記導通用流路との接続領域の方向に加圧するための加圧手段を備えていることが好ましい。
【０２６９】
また、前記加圧手段は、重力、毛管力、ポンプからなる群より選択されることが好ましい。
【０２７０】
また、前記リザーバの深さが、前記導通用流路の深さよりも深いことが好ましい。
【０２７１】
また、前記リザーバが、前記リザーバに導入された電界質に対して疎水性を有することが好ましい。
【０２７２】
また、前記粒子測定装置が、前記試料を自装置内に導入するための試料導入部をさらに備え、前記試料導入部と前記試料用流路が接続されていることが好ましい。
【０２７３】
また、前記２つの電極に接続された電圧印加手段を備えることが好ましい。
【０２７４】
さらに、本発明の粒子測定装置は、少なくとも２つの電極と、測定部と、少なくとも１つの流路と、試料導入部を備え、前記２つの電極の何れか一方の電極が、前記電極のうち何れか１つの電極が、前記試料が前記流路を流れることにより形成される流線上とは異なる領域に備えられる。
【０２７５】
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０２７６】
本発明に係る粒子測定装置は、エレクトロニクス、メカトロニクス等の分野における製造プロセスの精度管理（例えば、異物混入の検査など）、また、バイオテクノロジーの分野における、医薬品製造等の試料中の粒子管理、および医療分野における血液中の血球測定などに、好適に利用することが出来る。
【符号の説明】
【０２７７】
１ａ    電極（特定電極）
１ｂ    電極
２      測定部
３ａ、３ｂ    導体
４ａ、２１ａ  上流流路（流路）
４ｂ、２１ｂ  下流流路（流路）
５      導線
６ａ    試料導入部（特定領域）
６ｂ    試料導出部（特定領域）
７      コネクタ
８ａ、８ｂ  基板
９ａ    試料導入口
９ｂ    試料導出口
１０ａ  開口部
１０ｂ  開口部
１１    気泡
１２    気体層
１５、１５ａ、１５ｂ  粒子測定装置
２２ａ、２２ｂ  導通路（特定領域）
２３ａ、２３ｂ  リザーバ（特定領域）
２４ａ、２４ｂ  分岐路
２４１  第１分岐点
２４２  第２分岐点
２５１、２５２  接続領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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