(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
音が入射する通気性を有する第一パネルと、前記第一パネルに対向する第二パネルとの間に、前記第一パネルに接するハニカム構造体と、前記ハニカム構造体に接する少なくとも一枚の第一の多孔質コルゲートシートと、前記第二パネルに接する電磁波吸収フィルムと、前記第一の多孔質コルゲートシートと前記電磁波吸収フィルムとの間の空間が設けられた電磁波吸収吸音パネルであって、
前記ハニカム構造体の貫通孔は前記第一パネルの貫通孔と連通しており、
前記第一の多孔質コルゲートシートは10〜1000μmの平均径を有する微細貫通孔を有し、
前記電磁波吸収フィルムはプラスチックフィルムの一方の面に金属薄膜を形成してなり、かつ前記金属薄膜に不規則な幅及び間隔で実質的に平行な多数の断続的な線状痕が複数方向に形成されていることを特徴とする電磁波吸収吸音パネル。
【請求項２】
請求項1に記載の電磁波吸収吸音パネルにおいて、前記第一の多孔質コルゲートシートにおける微細貫通孔の分布密度が20〜2500個／cm2であることを特徴とする電磁波吸収吸音パネル。
【請求項３】
請求項1又は2に記載の電磁波吸収吸音パネルにおいて、前記第一の多孔質コルゲートシートが金属又はプラスチックからなることを特徴とする電磁波吸収吸音パネル。
【請求項４】
請求項1〜3のいずれかに記載の電磁波吸収吸音パネルにおいて、前記電磁波吸収フィルムの表面に少なくとも一枚の第二の多孔質コルゲートシートが設けられており、前記第二の多孔質コルゲートシートは10〜1000μmの平均径を有する微細貫通孔を有することを特徴とする電磁波吸収吸音パネル。
【請求項５】
請求項4に記載の電磁波吸収吸音パネルにおいて、前記第二の多孔質コルゲートシートにおける微細貫通孔の分布密度が20〜2500個／cm2であることを特徴とする電磁波吸収吸音パネル。
【請求項６】
請求項5のいずれかに記載の電磁波吸収吸音パネルにおいて、前記第二の多孔質コルゲートシートが金属又はプラスチックからなることを特徴とする電磁波吸収吸音パネル。
【請求項７】
請求項1〜6のいずれかに記載の電磁波吸収吸音パネルにおいて、前記空間の幅が1〜5 cmであることを特徴とする電磁波吸収吸音パネル。
【請求項８】
請求項1〜7のいずれかに記載の電磁波吸収吸音パネルにおいて、前記線状痕は二方向に配向しており、その交差角が30〜90°であることを特徴とする電磁波吸収吸音パネル。
【請求項９】
請求項1〜8のいずれかに記載の電磁波吸収吸音パネルにおいて、前記線状痕の幅は90％以上が0.1〜100μmの範囲内にあって、平均1〜50μmであり、前記線状痕の間隔は0.1〜200μmの範囲内にあって、平均1〜100μmであることを特徴とする電磁波吸収吸音パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は広い周波数帯にわたって効率よく音を吸収できるとともに、数百MHz乃至数GHzの電磁波ノイズに対して高い吸収能を有する電磁波吸収吸音パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
家庭やオフィス等では雑音とともに電磁波ノイズの問題があり、これらを低減することが望まれている。このような状況で、特開平9-156010号（特許文献1）は、ハニカムコアと、複数の穴を備えた多孔板と網状板との一体的な積層体とを複数層積層させてなる吸音パネルを開示している。また、特許第3806744号（特許文献2）は、通気性を有する表面材の一面にハニカム材を接着し、フェノールフォーム材をセル空間に充填してなる通気性サンドイッチパネルを開示している。しかし、特許文献1及び2のパネルは広い周波数帯にわたる雑音に対して十分な吸音効果を発揮しないだけでなく、数百MHz乃至数GHzの電磁波ノイズに対して何ら対策していない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平9-156010号公報
【特許文献２】特許第3806744号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従って本発明の目的は、広い周波数帯にわたって効率よく音を吸収できるとともに、数百MHz乃至数GHzの電磁波ノイズに対して高い吸収能を有する電磁波吸収吸音パネルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的に鑑み鋭意研究の結果、本発明者は、通気性を有する第一パネルに微細貫通孔を有する多孔質コルゲートシートを接着し、かつ第二パネルに電磁波吸収フィルムを接着するとともに、多孔質コルゲートシートと電磁波吸収フィルムとの間に空間を設けることにより、広い周波数帯にわたって効率よく音を吸収できるとともに、数百MHz乃至数GHzの電磁波ノイズに対しても高い吸収能を発揮できることを発見し、本発明に想到した。
【０００６】
すなわち、本発明の電磁波吸収吸音パネルは、音が入射する通気性を有する第一パネルと、前記第一パネルに対向する第二パネルとの間に、前記第一パネルに接するハニカム構造体と、前記ハニカム構造体に接する少なくとも一枚の第一の多孔質コルゲートシートと、前記第二パネルに接する電磁波吸収フィルムと、前記第一の多孔質コルゲートシートと前記電磁波吸収フィルムとの間の空間が設けられており、
前記ハニカム構造体の貫通孔は前記第一パネルの貫通孔と連通しており、
前記第一の多孔質コルゲートシートは10〜1000μmの平均径を有する微細貫通孔を有し、
前記電磁波吸収フィルムはプラスチックフィルムの一方の面に金属薄膜を形成してなり、かつ前記金属薄膜に不規則な幅及び間隔で実質的に平行な多数の断続的な線状痕が複数方向に形成されていることを特徴とする。
【０００７】
前記電磁波吸収フィルムの表面に少なくとも一枚の第二の多孔質コルゲートシートが設けられており、前記第二の多孔質コルゲートシートは10〜1000μmの平均径を有する微細貫通孔を有するのが好ましい。
【０００８】
前記第一及び第二の多孔質コルゲートシートにおける微細貫通孔の分布密度は20〜2500個／cm2であるのが好ましい。
【０００９】
前記第一及び第二の多孔質コルゲートシートは金属又はプラスチックからなるのが好ましい。
【００１０】
前記空間の幅は1〜5 cmであるのが好ましい。
【００１１】
前記線状痕は二方向に配向しており、その交差角は30〜90°であるのが好ましい。前記線状痕の幅は90％以上が0.1〜100μmの範囲内にあって、平均1〜50μmであり、前記線状痕の間隔は0.1〜200μmの範囲内にあって、平均1〜100μmであるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
上記構成を有する本発明の電磁波吸収吸音パネルは、広い周波数帯にわたって効率よく音を吸収できるとともに、数百MHz乃至数GHzの電磁波ノイズに対して高い吸収能を有する。その上、構造が簡単であるので、低コストで製造することができる。このような特徴を有する本発明の電磁波吸収吸音パネルは、家庭、オフィス等に限らず、雑音及び電磁波ノイズが発生するあらゆる所に使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の電磁波吸収吸音パネルの第一の例を示す部分断面図である。
【図２】本発明の電磁波吸収吸音パネルの第二の例を示す部分断面図である。
【図３】本発明の電磁波吸収吸音パネルの第三の例を示す部分断面図である。
【図４】本発明の電磁波吸収吸音パネルの第四の例を示す部分断面図である。
【図５】本発明の電磁波吸収吸音パネルの第五の例を示す部分断面図である。
【図６（ａ）】本発明の電磁波吸収吸音パネルを構成するハニカム構造体の一例を示す部分斜視図である。
【図６（ｂ）】本発明の電磁波吸収吸音パネルを構成するハニカム構造体の他の例を示す部分斜視図である。
【図７】本発明の電磁波吸収吸音パネルを構成する多孔質コルゲートシートを示す部分斜視図である。
【図８】多孔質コルゲートシートによる音波減衰の原理を示す概略図である。
【図９】本発明の電磁波吸収吸音パネルを構成する電磁波吸収フィルムを示す断面図である。
【図１０】線状痕の一例を示す部分平面図である。
【図１１（ａ）】線状痕の他の例を示す部分平面図である。
【図１１（ｂ）】線状痕のさらに他の例を示す部分平面図である。
【図１１（ｃ）】線状痕のさらに他の例を示す部分平面図である。
【図１２】本発明の電磁波吸収吸音パネルを製造する第一の方法を実施するための装置を示す概略図である。
【図１３】図12の装置における穿孔装置を示す正面図である。
【図１４】パターンロールと硬質金属ロールとの間で、金属シートを貫通した高硬度微粒子により金属シートのバリが軟質プラスチック層に進入する様子を詳細に示す部分拡大断面図である。
【図１５】本発明の電磁波吸収吸音パネルを製造する第二の方法を実施するための装置を示す概略図である。
【図１６】パターンロールと硬質金属ロールとの間で、積層プラスチックシートに重ねた金属シートにパターンロールの高硬度微粒子が貫通孔を形成する様子を示す部分拡大断面図である。
【図１７】パターンロールと硬質金属ロールとの間で、金属シートを貫通した高硬度微粒子により金属シートのバリが軟質プラスチック層に進入する様子を詳細に示す部分拡大断面図である。
【図１８】電磁波吸収吸音パネルの吸音量測定装置を示す概略図である。
【図１９】実施例1の各電磁波吸収吸音パネルの吸音量の測定結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施形態を添付図面を参照して詳細に説明するが、特に断りがなければ一つの実施形態に関する説明は他の実施形態にも適用される。また下記説明は限定的ではなく、本発明の技術的思想の範囲内で種々の変更をしても良い。
【００１５】
[1] 電磁波吸収吸音パネルの全体構成
本発明の電磁波吸収吸音パネルは、音が入射する通気性を有する第一パネルと、第一パネルに対向する第二パネルとの間に、第一パネルに接するハニカム構造体と、ハニカム構造体に接する少なくとも一枚の第一の多孔質コルゲートシートと、第二パネルに接する電磁波吸収フィルムと、第一の多孔質コルゲートシートと電磁波吸収フィルムとの間の空間が設けられている限り、図1〜図4に示すように種々の構成を有することができる。
【００１６】
(A) 第一の構成
図1に示す第一の電磁波吸収吸音パネルは、音が入射する通気性を有する第一パネル1と、第一パネル1に対向する第二パネル2との間に、第一パネル1に接するハニカム構造体3と、ハニカム構造体3に接する一枚の第一の多孔質コルゲートシート4と、第二パネル2に接する電磁波吸収フィルム5と、電磁波吸収フィルム5に接する一枚の第二の多孔質コルゲートシート6とを有し、第一の多孔質コルゲートシート4と第二の多孔質コルゲートシート6との間に空間7が設けられている。ハニカム構造体3の貫通孔3aは第一パネル1の貫通孔1aと連通している。第一パネル1の貫通孔1aは、第一パネル1の強度を保持したままそれに十分な通気性を付与する限り、いかなる断面形状のものでも良い。第一及び第二のパネル1，2は電磁波吸収吸音パネルを支えるフレームとして機能し、ハニカム構造体3及び第一及び第二の多孔質コルゲートシート4，6は吸音体として機能し、電磁波吸収フィルム5は電磁波吸収体として機能する。なお、第一及び第二のパネル1，2の間隔を一定に保持するために、所定の間隔でスペーサ（図示せず）を設けても良い。
【００１７】
(B) 第二の構成
図2に示す第二の電磁波吸収吸音パネルは、第二の多孔質コルゲートシート6が省略されている以外、第一の電磁波吸収吸音パネルと同じである。
【００１８】
(C) 第三の構成
図3に示す第三の電磁波吸収吸音パネルは、第一の多孔質コルゲートシート4が複数枚（図示の例では2枚）になっている以外、第一の電磁波吸収吸音パネルと同じである。
【００１９】
(D) 第四の構成
図4に示す第四の電磁波吸収吸音パネルは、第一の多孔質コルゲートシート4が複数枚（図示の例では2枚）になっている以外、第二の構成の電磁波吸収吸音パネルと同じである。
【００２０】
(E) 第五の構成
図5に示す第五の構成の電磁波吸収吸音パネルは、第二パネル2を中心として両側に通気性を有する一対の第一パネル1，1を有し、各第一パネル1にハニカム構造体3及び第一の多孔質コルゲートシート4が順次接しており、また第二パネル2の各面に電磁波吸収フィルム5が接着されている。各第一の多孔質コルゲートシート4と各電磁波吸収フィルム5との間に空間7が設けられている。従って、第五の電磁波吸収吸音パネルは一対の第二の電磁波吸収吸音パネルからなると言える。勿論、第五の電磁波吸収吸音パネルを一対の第一、第三又は第四の電磁波吸収吸音パネルからなる構造としても良い。
【００２１】
[2] 電磁波吸収吸音パネルの構成要素
(A) 第一及び第二のパネル
第一及び第二のパネル1，2は電磁波吸収吸音パネルに十分な強度を付与できる限り、材質は限定されないが、軽量化のためにプラスチックが好ましい。第一パネル1の貫通孔1aは、音波が十分にハニカム構造体3に進入できるとともに、第一パネル1の強度が低くなりすぎない大きさ及び数であれば良い。
【００２２】
(B) ハニカム構造体
ハニカム構造体3は、第一パネル1の貫通孔1aに連通する貫通孔3aを有し、各貫通孔3aは空気の貯留部として機能する。ハニカム構造体3の貫通孔3aは図6(a) に示すように六角形で良いが、図6(b) に示すように四角形でも良い。ハニカム構造体3の材質は金属でもプラスチックでも良いが、金属製であると電磁波遮蔽体としても機能する。第一パネル1の貫通孔1aを通った音波により各貫通孔3a内の空気は振動し、その振動は第一の多孔質コルゲートシート3の空間4aに伝搬される。貫通孔3aの長さは0.5〜3 cmで良い。貫通孔3aの径（円相当径）は限定的でなく、例えば0.5〜3 cmであれば良い。ハニカム構造体3と第一パネル1との接合は接着剤により行うのが好ましい。
【００２３】
(C) 多孔質コルゲートシート
第一及び第二の多孔質コルゲートシート4，6は、図7に示すように微細貫通孔14を全面に均一に有する。微細貫通孔の平均径は10〜1000μmである。微細貫通孔の平均径が10μm未満では、微細貫通孔を通過する音波が少なすぎ、吸音効果が不十分である。また、微細貫通孔の平均径が1000μmを超えると、微細貫通孔を通過した音波同士の干渉が不十分になり、やはり吸音効果が不十分になる。微細貫通孔の平均径は好ましくは20〜200μmであり、より好ましくは30〜100μmである。
【００２４】
第一及び第二の多孔質コルゲートシート4，6における微細貫通孔の分布密度は20〜2500個／cm2であるのが好ましい。微細貫通孔の分布密度が20個／cm2未満であると、通過した音波の干渉による減衰が不十分である。また、微細貫通孔の分布密度が2500個／cm2超であると、微細貫通孔が小さすぎ、音波の通過量が不十分である。微細貫通孔の分布密度が50〜2000個／cm2がより好ましく、100〜1000個／cm2が最も好ましい。また、第一及び第二の多孔質コルゲートシート4，6の気孔率（微細貫通孔の合計断面積／多孔質コルゲートシート4，6の全面積）は10〜40％であるのが好ましく、15〜30％であるのがより好ましい。
【００２５】
微細貫通孔を有する限り、第一及び第二の多孔質コルゲートシート4，6は同じでも異なっていても良い。ただし、電磁波吸収フィルム5に接する第二の多孔質コルゲートシート6はプラスチック製であるのが好ましい。従って、(a) 第一及び第二の多孔質コルゲートシート4，6がともにプラスチック製の場合、及び(b) 第一の多孔質コルゲートシート4が金属製で、第二の多孔質コルゲートシート6がプラスチック製の場合が好ましい。また、第一及び第二の多孔質コルゲートシート4，6の大きさも同じでも異なっていても良い。第一及び第二の多孔質コルゲートシート4，6はハニカム構造体3及び第二パネル2に接着剤により固定するのが好ましい。
【００２６】
図8は多孔質コルゲートシート4，6による音波減衰の原理を示す。多孔質コルゲートシート4，6は不揃いな大きさの微細貫通孔を任意の配置で有するので、それらを通過した音波は共振することなく干渉し合う。その結果、微細貫通孔を通過した音波は減衰する。また、空間7の壁面に反射した音波は多孔質コルゲートシート4，6により種々の方向に反射され、干渉を起こして減衰する。このように、微細貫通孔を有する多孔質コルゲートシート4，6は大きな吸音効果を有する。
【００２７】
多孔質コルゲートシート4，6の一周期の長さLaは0.5〜2 cmが好ましく、0.7〜1.5 cmがより好ましい。また多孔質コルゲートシート4，6の高さHは0.3〜1.8 cmが好ましく、0.5〜1.5 cmがより好ましい。
【００２８】
電磁波吸収能を考慮に入れると、空間7の厚さは1〜5 cm程度が好ましく、2〜3 cmがより好ましい。
【００２９】
(D) 電磁波吸収フィルム
電磁波吸収フィルム5は、図9に示すように、プラスチックフィルム50の少なくとも一面に単層又は多層の金属薄膜51を有し、金属薄膜51に不規則な幅及び間隔で実質的に平行な多数の断続的な線状痕52が複数方向に形成されている。
【００３０】
(1) プラスチックフィルム
プラスチックフィルム50を形成する樹脂は、絶縁性とともに十分な強度、耐熱性、可撓性及び加工性を有する限り特に制限されず、例えばポリエステル（ポリエチレンテレフタレート等）、ポリアリーレンサルファイド（ポリフェニレンサルファイド等）、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、アクリル樹脂、ポリスチレン、ポリオレフィン（ポリプロピレン等）等が挙げられる。プラスチックフィルム50の厚さは10〜100μm程度で良い。
【００３１】
(2) 金属薄膜
金属薄膜51は導電性金属又は磁性金属からなるが、少なくとも一枚の電磁波吸収フィルムの金属薄膜は磁性金属薄膜層を有していなければならない。導電性金属として、銅、アルミニウム、銀等が挙げられる。磁性金属として、ニッケル、クロム等が挙げられる。これらの金属は勿論単体に限らず、合金でも良い。金属薄膜51はスパッタリング法、真空蒸着法等の公知の方法により形成することができる。金属薄膜51の厚さは約0.01〜1μmで良い。金属薄膜51は導電性金属及び磁性金属の積層体でも良い。導電性金属及び磁性金属の好ましい組合せは銅とニッケルである。導電性金属薄膜の厚さは0.01〜1μmが好ましく、磁性金属薄膜の厚さは5〜200μmが好ましい。
【００３２】
(3) 線状痕
優れた電磁波吸収能を発揮するとともに電磁波吸収能の異方性を抑制するために、金属薄膜51に実質的に平行で断続的な線状痕52を複数方向に不規則な幅及び間隔で形成する必要がある。図10は複数の線状痕52の一例を示す。多数の実質的に平行で断続的な線状痕52a，52bは複数方向（図示の例では二方向）に不規則な幅及び間隔で配向している。なお、説明のために図9では線状痕52の深さを誇張している。二方向に配向した線状痕52は種々の幅W及び間隔Iを有する。なお間隔Iは、線状痕52の配向方向（長手方向）及びそれに直交する方向（横手方向）の両方における間隔を意味する。線状痕52の幅W及び間隔Iはいずれも線状痕形成前の金属薄膜51の表面Sの高さ（元の高さ）で求める。線状痕52が種々の幅W及び間隔Iを有するので、電磁波吸収フィルム1は広範囲にわたる周波数の電磁波を効率良く吸収することができる。
【００３３】
線状痕52の幅Wの90％以上は0.1〜100μmの範囲内にあるのが好ましく、0.1〜50μmの範囲内にあるのがより好ましく、0.1〜20μmの範囲内にあるのが最も好ましい。線状痕52の平均幅Wavは1〜50μmであるのが好ましく、1〜20μmがより好ましく、1〜10μmが最も好ましい。
【００３４】
線状痕52の間隔Iは0.1〜200μmの範囲内にあるのが好ましく、0.1〜100μmの範囲内にあるのがより好ましく、0.1〜50μmの範囲内にあるのが最も好ましく、0.1〜20μmの範囲内にあるのが特に好ましい。また線状痕52の平均間隔Iavは1〜100μmが好ましく、1〜50μmがより好ましく、1〜20μmが最も好ましい。
【００３５】
線状痕52の長さLは、摺接条件（主としてロールとフィルムとの相対速度、及びフィルムのロールへの巻回角度）により決まるので、摺接条件を変えない限り大部分がほぼ同じである（ほぼ平均長さに等しい）。線状痕52の長さは特に限定的でなく、実用的には1〜100 mm程度で良い。
【００３６】
二方向の線状痕52a，52bの鋭角側の交差角（以下特に断りがなければ単に「交差角」と言う）θsは30〜90°が好ましく、45〜90°がより好ましく、60〜90°が最も好ましい。プラスチックフィルム50とパターンロールとの摺接条件（摺接方向、周速比等）を調整することにより、図11(a)〜図11(c) に示すように種々の交差角θsの線状痕52が得られる。線状痕の配向は二方向に限定されず、三方向以上でも良い。図11(a) の線状痕52は直交する線状痕52a，52bからなり、図11(b) の線状痕52は60°で交差する線状痕52a，52bからなり、図11(c) の線状痕52は三方向の線状痕52a，52b，12cからなる。比較的厚く形成した金属薄膜51でも、線状痕の形成により表面抵抗を50〜1500Ω／□に調整するのが好ましく、100〜1000Ω／□がより好ましく、200〜1000Ω／□が最も好ましい。
【００３７】
線状痕52は特許4685977号に記載の装置により形成することができる。
【００３８】
(E) 外装材
第一パネル1は多数の貫通孔1aを有するので、化粧目的の多孔質外装材8aを設けるのが好ましい。多孔質外装材8aによりハニカム構造体3への音波の進入が妨げられてはならない。また、第二パネル2にも必要に応じて化粧用外装材8bを設けても良い。外装材8bは多孔質である必要はない。
【００３９】
[3] 多孔質コルゲートシートの製造方法
第一及び第二の多孔質コルゲートシート4，6は、金属又はプラスチックからなるシートに微細貫通孔を形成した後、コルゲート加工を施すことにより形成することができる。第一及び第二の多孔質コルゲートシート4，6の製造方法に実質的な差がなく、またプラスチックシートの場合と金属シートの場合でも製造方法に実質的な差がないので、以下金属製多孔質コルゲートシート4について製造方法を説明する。金属製多孔質コルゲートシート4の微細貫通孔は下記の方法により形成することができる。
【００４０】
(A) 第一の方法
第一の方法では、表面に多数の高硬度微粒子を有するパターンロールと硬質ロールとの間に金属シートを押圧しながら通すことにより金属シートに多数の微細貫通孔を形成する際に、金属シートとパターンロールとの間に比較的薄い硬質プラスチックフィルムを介在させるとともに、金属シートと硬質ロールとの間に比較的厚い軟質プラスチックフィルムを介在させ、金属シート、硬質プラスチックフィルム及び軟質プラスチックフィルムにかかる張力を、穿孔時に金属シートが破断しない程度に同じに設定する。
【００４１】
(1) 製造装置
図12及び図13に示す装置を用いて、微多孔金属シートを製造する方法の一例を説明する。この装置は、穿孔装置を構成するパターンロール101及び硬質ロール102と、第一〜第六のリール103〜108と、パターンロール101及び硬質ロール102のバックアップロール111，112と、第一〜第三のガイドロール113，114，115と、第二のガイドロール114に対向するバフロール116と、平坦な表面を有する一対のプレスロール117，118とを具備する。金属シート131用の第一のリール103、硬質プラスチックフィルム132用の第二のリール104、及び軟質プラスチックフィルム133用の第三のリール105には、金属シート131、硬質プラスチックフィルム132及び軟質プラスチックフィルム133の張力を実質的に同じに設定するために、位置調節手段（図示せず）が設けられている。必要に応じて、金属シート131、硬質プラスチックフィルム132及び軟質プラスチックフィルム133の各々に接する1つ又は複数の張力微調整用ロール231，232，233を設けても良い。
【００４２】
(a) 穿孔装置
図13に示す穿孔装置では、上から順にバックアップロール111、パターンロール101、硬質ロール102及びバックアップロール112がそれぞれ軸受け127，121，122，128を介して一対のフレーム130，130に回転自在に支持されている。バックアップロール111，112は金属ロールが好ましい。図示の例では、パターンロール101及び硬質ロール102の両方とも駆動ロールであり、また硬質ロール102の両軸受け122，122に振動モータ142，142が取り付けられている。パターンロール101の軸受け121，121はフレーム130，130に固定されており、上下のバックアップロール1111，112及び硬質ロール102の軸受け127，127，128，128，122，122は一対のフレーム130，130に沿って上下動自在である。上方のバックアップロール111の両軸受け127，127に駆動手段144，144が取り付けられており、下方のバックアップロール112の両軸受け128，128に駆動手段146，146が取り付けられている。上方のバックアップロール111はパターンロール101を下方に押圧し、下方のバックアップロール112は硬質ロール102を上方に押圧する。バックアップロール112の押圧により硬質ロール102は軟質プラスチックフィルム133／金属シート131／硬質プラスチックフィルム132を介してパターンロール101に押圧される。パターンロール101及び硬質ロール102はそれぞれバックアップロール111，112に押圧されるので、穿孔中の弾性変形が防止される。
【００４３】
(b) パターンロール
パターンロール101は、図14に詳細に示すように、ロール本体101aの表面に鋭い角部を有するモース硬度5以上の多数の高硬度微粒子110をランダムに有するロールが好ましく、例えば特開平5-131557号、特開平9-57860号及び特開2002-59487号に記載されているロールが好ましい。
【００４４】
鋭い角部を有する高硬度微粒子110はダイヤモンド微粒子であるのが好ましく、特にダイヤモンドの粉砕微粒子が好ましい。高硬度微粒子110の粒径は100〜600μmが好ましく、200〜500μmがより好ましく、250〜400μmが最も好ましい。金属シート131に微細な貫通孔を多数形成するには、高硬度微粒子110の粒径はできるだけ均一であるのが好ましい。そのため、分級処理により粒径範囲を狭くした高硬度微粒子110を用いるのが好ましい。パターンロール101における高硬度微粒子110の面積率（高硬度微粒子110がロール表面を占める割合）は20〜80％が好ましく、30〜70％がより好ましい。高硬度微粒子110はニッケルめっき層101b等によりロール本体101aに固着されている。
【００４５】
金属シート131の穿孔中にパターンロール101が撓むのを防止するために、パターンロール101のロール本体101aは硬質金属により形成するのが好ましい。硬質金属としては、SKD11のようなダイス鋼が挙げられる。
【００４６】
(c) 硬質ロール
パターンロール101と対向して配置される硬質ロール102は平坦なロール面を有する。硬質ロール102も、穿孔中の撓みを防止するために、ダイス鋼のような硬質金属により形成するのが好ましい。硬質ゴムロールの場合、ショアA硬度は80〜95であるのが好ましい。
【００４７】
(d) バフロール
穿孔したままの微多孔金属シート131aには、破片（バリ）の付着がない縁部を有する完全な貫通孔だけでなく、縁部に金属シートの破片が付着した（バリが残った）貫通孔もある。縁部に破片が付着していると、音波の進入が不十分になるおそれがある。このような問題を回避するために、微多孔金属シート131aの破片を除去するのが好ましい。これには、図12に示すようにガイドロール114と、それに対向するバフロール116との間に穿孔したままの微多孔金属シート131aを通し、バフロール116の回転速度を微多孔金属シート131aの周速より早くして、脱落しやすい金属シートの破片を除去するバフィングを行うのが好ましい。金属シート破片の除去工程で微多孔金属シート131aが破断しないように、バフロール116の材質及び回転速度を調整しなければならない。そのためには、例えば、微多孔金属シート131aが破断しない程度に柔軟なファイバーを有するバフロール116を、多孔金属シート131aが破断しない程度の速度で回転させるのが好ましい。
【００４８】
(e) プレスロール
バフィングした微多孔金属シート131bでも、貫通孔の縁部にめくれがあったり、一部の貫通孔の縁部に金属シートの破片がしっかり付着したままであったりするので、元の金属シート131より見掛け上厚い。薄い微多孔金属シートを所望する場合には、プレス加工により微多孔金属シート131bの貫通孔のバリを平坦化する。微多孔金属シート131bのプレス加工には、平坦な表面を有する一対のプレスロール117，118を用いるのが好ましい。各プレスロール117，118は硬質金属からなるのが好ましい。プレス加工により貫通孔の縁部に付着したままの金属シートの破片は平坦化され、微多孔金属シート131bより薄い（金属シート131とほぼ同じ厚さの）微多孔金属シート131cが得られる。プレスした微多孔金属シート131cでは、平坦化された金属シートの破片が貫通孔を部分的に覆うので、開口率は若干低下する。
【００４９】
(2) 製造方法
(a) 金属シート
穿孔すべき金属シート131としては、アルミニウムシート、銅シート又はステンレススチールシートが好ましい。本発明の方法は20〜50μm程度の厚さの金属シート131の穿孔に好適である。
【００５０】
(b) 硬質プラスチックフィルム
パターンロール101と金属シート131との間に介在する硬質プラスチックフィルム132は、(a) 穿孔すべき金属シート131にかける張力でも延びないだけでなく、(b) 高硬度微粒子110が貫通してもフィルム本体がほとんど変形しない程度に高い引張強度及び硬度、並びに適度な厚さを有し、かつ(c) 押圧された高硬度微粒子110が容易に貫通できる程度の柔軟性及び厚さを有する必要がある。そのため、硬質プラスチックフィルム132は、ポリエチレンテレフタレート（PET）等のポリエステル類、ナイロン（Ny）等のポリアミド類、延伸ポリプロピレン（OPP）等の熱可塑性可撓性ポリマーにより形成するのが好ましい。
【００５１】
硬質プラスチックフィルム132の厚さは、上記条件(a)〜(c) を満たすように、硬質プラスチックの種類に応じて適宜決めれば良い。例えば硬質プラスチックフィルム132がPETからなる場合、その厚さは6〜20μmが好ましい。その他の硬質プラスチックを用いる場合も考慮して、硬質プラスチックフィルム132の厚さは一般的に5〜30μm程度で良い。硬質プラスチックフィルム132が5μmより薄いと、十分な引張強度を有さないので、穿孔すべき金属シート131にかける張力や穿孔にかかる応力により変形し、もって金属シート131の破断の原因となるおそれがある。一方、硬質プラスチックフィルム132が30μmより厚いと、高硬度微粒子110の貫通が困難であり、金属シート131に貫通孔を高密度に形成することができない。硬質プラスチックフィルム132の好ましい厚さは8〜15μmである。
【００５２】
穿孔したままの微多孔金属シート131aからの剥離性を向上するために、硬質プラスチックフィルム132の金属シート側の表面に、金属薄膜を形成するのが好ましい。金属薄膜としては、アルミニウム、ニッケル、チタン、カーボン等の薄膜が好ましく、低コストの観点からアルミニウム薄膜がより好ましい。微多孔金属シート131aの剥離性を確保できる限り、金属薄膜の厚さは限定的でない。金属薄膜は、物理蒸着法、スパッタリング法、化学蒸着法等により形成することができる。
【００５３】
(c) 軟質プラスチックフィルム
金属シート131の外側（硬質プラスチックフィルム132と反対側）に位置して、パターンロール101と硬質ロール102の間を通過するときに金属シート131と硬質ロール102との間に介在する軟質プラスチックフィルム133は、(a) 硬質プラスチックフィルム132及び金属シート131を貫通した高硬度微粒子110が食い込むことができる程度の柔軟性及び厚さを有するとともに、(b) 高硬度微粒子110が金属シート131を貫通するのに必要な押圧力を硬質ロール102から伝達できる程度の強度及び硬度を有する必要がある。そのため、軟質プラスチックフィルム133は、ポリオレフィン類、軟質ポリ塩化ビニル等の柔軟な熱可塑性ポリマーにより形成するのが好ましい。ポリオレフィン類としては、低密度ポリエチレン（LDPE）、線状低密度ポリエチレン（LLDPE）、高密度ポリエチレン（HDPE）、無延伸ポリプロピレン（CPP）、エチレン-酢酸ビニル共重合体（EVAc）等が挙げられる。
【００５４】
軟質プラスチックフィルム133の厚さは30〜300μmであるのが好ましい。軟質プラスチックフィルム133の厚さが30μm未満であると、硬質プラスチックフィルム132及び金属シート131を貫通した高硬度微粒子110が軟質プラスチックフィルム133も貫通して、硬質ゴムロール2に当たるおそれがある。一方、軟質プラスチックフィルム133の厚さが300μm超であると、金属シート131の穿孔時に軟質プラスチックフィルム133の変形量が大きすぎ、金属シート131が破断するおそれがある。軟質プラスチックフィルム133の厚さはより好ましくは40〜250μmであり、最も好ましくは50〜200μmである。
【００５５】
軟質プラスチックフィルム133は、PETやOPPのような高い引張強度及び硬度を有するベースフィルムに、LLDPEやEVAcのような柔軟な樹脂からなる層（シーラント層）を設けた複合フィルムとするのが好ましい。ベースフィルムの材質は硬質プラスチックフィルム132の材質と同じで良い。また、シーラント層の材質は軟質プラスチックフィルム133の材質と同じで良い。シーラント層の厚さは一般に20〜200μmであるのが好ましい。硬質ロール102が金属ロールである場合、シーラント層の厚さは100〜200μmが好ましい。また、硬質ロール102が硬質ゴムロールである場合、シーラント層の厚さは20〜100μmが好ましい。軟質プラスチックフィルム133が複合フィルムの場合、シーラント層は金属シート131の側に位置する。
【００５６】
(d) 張力
パターンロール101と硬質ロール102で金属シート131に貫通孔を形成するときに、金属シート131にかかる張力が硬質プラスチックフィルム132及び軟質プラスチックフィルム133にかかる張力より大きいと、金属シート131に過重な応力がかかって金属シート131が破断する。一方、金属シート131にかかる張力が硬質プラスチックフィルム132及び軟質プラスチックフィルム133にかかる張力より小さいと、金属シート131にしわが生じる。ここで、「張力が実質的に同じ」とは、金属シート131、硬質プラスチックフィルム132及び軟質プラスチックフィルム133にかかる張力が完全に同じ場合に限らず、金属シート131の穿孔の全工程（金属シート131がパターンロール101に接触してから、硬質プラスチックフィルム132及び軟質プラスチックフィルム133を剥離するまで）において、金属シート131の破断やしわを十分に防止できる程度に、金属シート131、硬質プラスチックフィルム132及び軟質プラスチックフィルム133にかかる張力が近いことを意味する。
【００５７】
金属シート131、硬質プラスチックフィルム132及び軟質プラスチックフィルム133にかかる張力を実質的に同じに設定するためには、第一〜第三のリール103〜105の軸に位置調節手段（図示せず）が設け、それぞれの張力を感知し、それらの張力が同じになるように第一〜第三のリール103〜105の位置を調節するのが好ましい。張力は各リール103〜105に設けた位置調節手段で感知しても良いし、途中に設けたガイドロール231，232，233で感知しても良い。ガイドロール231，232，233を可動にすることにより、張力微調整用ロールとして機能させることもできる。
【００５８】
(e) 穿孔方法
図12に示すように、パターンロール101側から順に硬質プラスチックフィルム132、金属シート131及び軟質プラスチックフィルム133が位置するように、これらをパターンロール101に接触させる。硬質プラスチックフィルム132、金属シート131及び軟質プラスチックフィルム133がパターンロール101に接触する位置はいずれもパターンロール101と硬質ゴムロールの間隙（金属シート131の押圧位置）より上流側であるのが好ましい。勿論、別のロール（図示せず）により硬質プラスチックフィルム132、金属シート131及び軟質プラスチックフィルム133を実質的に同じ張力で重ねた後、パターンロール101と硬質ゴムロールの間隙に進入させても良い。
【００５９】
硬質プラスチックフィルム132、金属シート131及び軟質プラスチックフィルム133が重ねられた状態でパターンロール101と硬質ロール102との隙間を押圧されながら通過すると、図14に示すように、パターンロール101の高硬度微粒子110は硬質プラスチックフィルム132を貫通した後、金属シート131も貫通し、さらに軟質プラスチックフィルム133に食い込む。図14に示すように、パターンロール101に任意の配置で固着された種々の大きさの高硬度微粒子110により、金属シート131に種々の大きさの貫通孔が任意の配置で形成される。貫通孔の形成により生じた金属シート131の破片135は、(1) 貫通孔の縁部から離脱して、軟質プラスチックフィルム133に埋設されるか、(2) 貫通孔の縁部に部分的に付着しているかのいずれかである。高硬度微粒子110には粒径分布があるが、軟質プラスチックフィルム133は十分に厚いので、軟質プラスチックフィルム133に食い込んだ高硬度微粒子110が硬質ロール102に達することはない。
【００６０】
金属シート131に多数の貫通孔を形成するために、パターンロール101の押圧力は線圧で50〜600 kgf/cmであるのが好ましい。ここで、押圧力は、パターンロール101の両軸にかける負荷を金属シート131の幅で割った値で、例えばパターンロール101の両軸に3トン＋3トンの負荷を掛けて、幅30 cmの金属シート131を穿孔したときの押圧力は（3000＋3000）÷30＝200 kgf/cmである。パターンロール101の押圧力が50 kgf/cm未満であると、十分な数の貫通孔が形成されない。一方、パターンロール101の押圧力が600 kgf/cm超であると、金属シート131が破断するおそれがある。より好ましい押圧力は100〜400 kgf/cmである。
【００６１】
硬質プラスチックフィルム132の軟質プラスチックフィルム133は十分に大きな耐圧縮性を有するので、上記押圧力で金属シート131を貫通した高硬度微粒子110が進入する際に、圧縮変形することはない。そのため、高硬度微粒子110は金属シート131にきれいな貫通孔を形成し、その際金属シート131に皺を形成したり、破断したりすることはない。
【００６２】
(f) 振動
パターンロール101の高硬度微粒子110により金属シート131に貫通孔を形成する際に、パターンロール101及び硬質ロール102を機械的に振動させると、(a) 高硬度微粒子110が金属シート131に深く進入して貫通孔の数が多くなるだけでなく、貫通孔の平均孔径も大きくなり、かつ(b) 貫通孔の形成により生じた破片（バリ）35が軟質プラスチックフィルム133の方に付着し、金属シート131から軟質プラスチックフィルム133を剥離するときにバリが金属シート131から脱離する傾向があり、その結果、貫通孔の縁部にバリが少ない微多孔金属シート131aが得られることが分った。前記機械的振動は、少なくとも金属シート131に垂直な成分（パターンロール101の高硬度微粒子110が金属シート131を貫通する方向の成分）を有する必要がある。
【００６３】
パターンロール101及び硬質ロール102に付与する振動は、パターンロール101の両軸受け又は硬質ロール102の両軸受けに取り付けた振動モータから得ることができる。図13に示す例では、振動モータ142，142は硬質ロール102の両軸受け122，122に取り付けられている。いずれにしても、パターンロール101及び硬質ロール102の両方とも激しく振動する程度の大きさの機械的振動を付与するのが好ましい。
【００６４】
図13に示す例では、振動モータ42は、モータの回転軸に取り付けたアンバランスウエイトの回転により振動を発生させる構造を有する。そのため、振動モータ42の回転軸が硬質ロール102の回転軸と平行になるように振動モータ142，142を硬質ロール102の両軸受け122，122に取り付けると、発生する振動はパターンロール101と硬質ロール102との間隙に垂直な方向（パターンロール101の高硬度微粒子110を金属シート131に垂直に押圧する方向）の成分を有する。このような振動モータ42として、例えばユーラステクノ株式会社のユーラスバイブレータを使用することができる。振動の周波数は30〜1000 Hzの範囲内で適宜設定すれば良い。
【００６５】
振動により上記効果(a) 及び(b) が得られる理由は、金属シート131を押圧するパターンロール101の高硬度微粒子110に機械的振動が付与されると、高硬度微粒子110がよりシャープな角部（エッジ）を有するように機能し、高硬度微粒子110による金属シート131の開口、及び貫通孔形成により生じたバリ135の金属シート131からの脱離が容易になるためであると考えられる。このような機能を発揮させるため、パターンロール101及び硬質ロール102全体が振動するのが好ましい。パターンロール101及び硬質ロール102に付与する高パワーの振動は、例えば超音波振動ではエネルギー不足のために得られない。
【００６６】
(g) 微多孔金属シートの剥離
パターンロール101と硬質ロール102の間を押圧されながら通過した金属シート131は穿孔され、微多孔金属シート131aとなる。微多孔金属シート131aがパターンロール101及び硬質ロール102から離脱する際、使用済みの硬質プラスチックフィルム132’及び軟質プラスチックフィルム133’を穿孔されたままの微多孔金属シート131aから剥離する。使用済みの硬質プラスチックフィルム132’は第一のガイドロール13を経て第五のリール107に巻き取られ、使用済みの軟質プラスチックフィルム133’は硬質ロール102を経て第六のリール108に巻き取られる。
【００６７】
使用済みの硬質プラスチックフィルム132’は、実質的に延伸等の変形がないので、穿孔されたままの微多孔金属シート131aから容易に剥離される。また、使用済みの軟質プラスチックフィルム133’には貫通孔の形成により生じた金属シート131の破片（バリ）135がしっかり付着しているので、穿孔されたままの微多孔金属シート131aを剥離すると、破片135が縁部から離脱した貫通孔が得られる。勿論、貫通孔の縁部に比較的強固に付着している破片135は、使用済みの軟質プラスチックフィルム133’の剥離後でも、穿孔されたままの微多孔金属シート131aに付着したままである。その結果、破片135が離脱した縁部を有する貫通孔と、破片135が部分的に縁部に付着した貫通孔とを有するために、元の金属シート131より見掛け上僅かに厚くなった、穿孔されたままの微多孔金属シート131aが得られる。
【００６８】
(h) バフィング
パターンロール101及び硬質ロール102の下流の第二のガイドロール114に対向させてバフロール116を設けるとともに、バフロール116を微多孔金属シート131aの周速より高い回転速度で回転させながら、バフロール116と第二のガイドロール114との隙間に穿孔されたままの微多孔金属シート131aを通過させることにより、穿孔されたままの微多孔金属シート131aにバフィング処理を行い、破片135を貫通孔の縁部から取り除くのが好ましい。勿論、バフィング処理は場合によっては省略しても良い。
【００６９】
バフロール116は、プラスチックファイバー、天然繊維等からなるブラシを有するロールが好ましく、ブラシは、貫通孔の縁部から金属シート131の破片135を取り除く過程で、穿孔されたままの微多孔金属シート131aを破断させない程度の柔軟性を有していなければならない。バフィングした微多孔金属シート131bから、後工程で金属シート131の破片135が脱落することがないので、リチウムイオン電池やリチウムイオンキャパシタ等に使用したときに品質が安定する。
【００７０】
(i) プレス
微多孔金属シート131bには貫通孔の縁部に僅かなめくれがあったり、縁部に部分的に金属シート131の破片135が付着したりしているので、元の金属シート131より見掛け上厚くなっている。そのため、必要に応じて、微多孔金属シート131bをプレスすることにより、元の厚さの微多孔金属シート131cにしても良い。
【００７１】
(B) 第二の方法
第二の方法では、表面に高硬度微粒子を有するパターンロールと硬質金属ロールとの間に金属シートを通すことにより金属シートに微細孔を形成する際に、金属シートと硬質金属ロールとの間に、軟質プラスチック層及び高引張強度を有する硬質プラスチック層からなる積層プラスチックシートを、軟質プラスチック層が金属シートの側に来るように介在させるとともに、パターンロール及び硬質金属ロールの少なくとも一方に機械的振動を与える。
【００７２】
(1) 製造装置
第二の方法は、硬質プラスチックフィルム及び軟質プラスチックフィルムを用いる代わりに、軟質プラスチック層及び硬質プラスチック層からなる積層プラスチックシートを用いる点で第一の方法と異なる。従って、図15に示す第二の方法に用いる装置のうち、第一の方法に用いる手段と同じものには図12と同じ百台の参照番号を付与し、説明を省略する。
【００７３】
図15に示す製造装置は、パターンロール101及び硬質金属ロール102と、第一〜第四のリール203〜206と、パターンロール101及び硬質金属ロール102のバックアップロール107，108と、ガイドロール209a，209b，210a，210bとを具備する。第一のリール203から巻き戻す帯状の金属シート211と第二のリール204から巻き戻す帯状の積層プラスチックシート212とを、パターンロール101の上流側に設けられた一対のガイドロール209a，209bにより重ねて、パターンロール101及び硬質金属ロール102の間に通し、微多孔化した金属シート211’を第三のリール205に巻取り、使用済みの積層プラスチックシート212’を第四のリール206に巻取る。金属シート211はパターンロール101の側に位置し、積層プラスチックシート212は硬質金属ロール102の側に位置する。バックアップロール107，108により、パターンロール101は金属シート211に十分な押圧力を均一に及ぼす。パターンロール101の下流側のガイドロール210aにより、微多孔化した金属シート211’は使用済みの積層プラスチックシート212’から剥離され、またガイドロール210bにより、使用済みの積層プラスチックシート212’に第四のリール206に巻取るための張力が与えられる。パターンロール101は金属シート211及び積層プラスチックシート212を介して硬質金属ロール102に押圧される。
【００７４】
(2) 製造方法
積層プラスチックシート212は、金属シート211を貫通した高硬度微粒子110が容易に進入できる程度に柔軟性を有する軟質プラスチック層212aと、高い引張強度を有する硬質プラスチック層212bとからなる。金属シート211と積層プラスチックシート212とを、軟質プラスチック層212aを金属シート211の側にしてパターンロール101と硬質金属ロール102との間に通すと、金属シート211を貫通した高硬度微粒子110が軟質プラスチック層212aに十分に進入できるとともに、金属シート211の穿孔時にかかる大きな張力でも硬質プラスチック層212bのために、積層プラスチックシート212が伸びることがない。
【００７５】
軟質プラスチックとして、ポリオレフィン類、軟質ポリ塩化ビニル等の熱可塑性可撓性ポリマーが挙げられる。ポリオレフィン類としては、低密度ポリエチレン（LDPE）、線状低密度ポリエチレン（LLDPE）、無延伸ポリプロピレン（CPP）、エチレン-酢酸ビニル共重合体（EVAc）等が挙げられる。高い引張強度を有する硬質プラスチックとしては、ポリエチレンテレフタレート（PET）等のポリエステル類、ナイロン（Ny）等のポリアミド類、延伸ポリプロピレン（OPP）等の熱可塑性可撓性ポリマーが挙げられる。
【００７６】
軟質プラスチック層212aの厚さは20〜300μmであるのが好ましい。軟質プラスチック層212aの厚さが20μm未満であると、パターンロール101の高硬度微粒子110のうち大きなものが軟質プラスチック層212aを貫通して硬質プラスチック層212bに到達するので、金属シート211の穿孔率が低下する。一方、軟質プラスチック層212aの厚さが300μm超であっても、高硬度微粒子110の進入深さを超えているので意味がない。軟質プラスチック層212aの厚さはより好ましくは30〜150μmであり、最も好ましくは30〜100μmである。
【００７７】
硬質プラスチック層212bの厚さは、硬質プラスチックの種類にもよるが、積層プラスチックシート212に十分な引張強度を付与するものであれば良い。具体的には、硬質プラスチック層212bの厚さは10〜30μm程度であれば良い。軟質プラスチック層212aと硬質プラスチック層212bとは厚さ5〜30μm程度の接着剤により接着しても良く、またヒートシールしても良い。
【００７８】
(3) 穿孔方法
図15に示すように、金属シート211と積層プラスチックシート212と重ね、積層プラスチックシート212を硬質金属ロール102の側にしてパターンロール101と硬質金属ロール102との隙間に通すと、パターンロール101は金属シート211を押圧し、パターンロール101の高硬度微粒子110が金属シート211を貫通して積層プラスチックシート212の軟質プラスチック層212aに食い込む。図16及び図17に示すように、パターンロール101に任意の配置で固着された種々の大きさの高硬度微粒子110により、金属シート211に種々の大きさの貫通孔が任意の配置で形成される。高硬度微粒子110がパターンロール101のニッケルめっき層14から突出する高さが異なっていても、軟質プラスチック層212aは高硬度微粒子110が十分に進入できる厚さであるので、金属シート211を貫通した高硬度微粒子110は十分に軟質プラスチック層212aに食い込む。高硬度微粒子110が金属シート211を貫通すると、金属シート211は高硬度微粒子110に沿って複雑に切断されてめくれ、高硬度微粒子110とともに軟質プラスチック層212aに進入する。軟質プラスチック層212aは十分に柔軟であるので、貫通孔の部分だけ金属シート211がめくれて軟質プラスチック層212aに進入する。
【００７９】
金属シート211に多数の貫通孔を形成するために、パターンロール101の押圧力は第一の方法と同じで良い。積層プラスチックシート212の軟質プラスチック層212aは十分に大きな耐圧縮性を有するので、上記押圧力で金属シート211を貫通した高硬度微粒子110が進入する際に、圧縮変形することはない。そのため、高硬度微粒子110は金属シート211にきれいな貫通孔を形成し、その際金属シート211に皺を形成したり、破断したりすることはない。
【００８０】
パターンロール101の高硬度微粒子110により金属シート211に貫通孔を形成する際に、パターンロール101及び／又は硬質金属ロール102を機械的に振動させると、(a) 高硬度微粒子110が金属シート211に深く進入して貫通孔の数が多くなるだけでなく、貫通孔の平均孔径も大きくなり、かつ(b) 貫通孔の形成により生じた破片（バリ）235が積層プラスチックシート212の方に付着し、金属シート211を積層プラスチックシート212から剥離するときにバリが金属シート211から脱離する傾向があり、その結果貫通孔の周囲にバリ235が少ない微多孔金属シートが得られることが分った。前記機械的振動は、少なくとも金属シート211に垂直な成分（パターンロール101の高硬度微粒子110が金属シート211を貫通する方向の成分）を有する必要がある。パターンロール101及び／又は硬質金属ロール102の機械的振動は、第一の方法と同様に振動モータ42により付与することができる。
【００８１】
パターンロール101と硬質金属ロール102の間を通過した金属シート211及び積層プラスチックシート212は、下流のガイドロール210aにより剥離する。振動下でシャープな貫通孔を形成したときに発生した金属シート211のバリは積層プラスチックシート212に深く埋入しているので、得られた微多孔金属シート211’を積層プラスチックシート212から剥離するとき、バリ235の多くは積層プラスチックシート212に残り、また残余のバリ235の多くは剥離の際に微多孔金属シート211’から脱離する。その結果、多数の貫通孔を有するとともにバリ235がほとんど残っていない微多孔金属シート211’が得られる。
【００８２】
本発明を以下の実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はそれらに限定されるものではない。
【００８３】
実施例1
図13に示す装置に、外径200 mmのSKD11製ロールにニッケルめっきにより粒径分布が100〜400μmのダイヤモンド微粒子110を付着させたパターンロール101、及び外径200 mmのSKD11製硬質ロール102を取り付け、硬質ロール102の両軸受け122，122に振動モータ（ユーラステクノ株式会社の「ユーラスバイブレータ」型式：KEE-6-2B）142，142を取り付けた。各振動モータ142の回転軸は硬質ロール102の回転軸と平行であった。この振動モータ142は偏心ウエイトの回転により振動を発生する構造であり、回転する硬質ロール102に付与した振動（両ロール101，102の間隙に垂直な方向の振動）は1200 Hzの周波数を有していた。
【００８４】
回転する両ロール101，102の間に、厚さ25μmのアルミニウムシート211と、厚さ100μmのポリエチレン層212aと厚さ12μmのポリエチレンテレフタレート層212bとからなる積層プラスチックシート212とを、積層プラスチックシート212を硬質ロール102の側にして通過させた。このとき、ポリエチレン層212aをアルミニウムシート211の側にした。この条件で、10 m／分の速度でアルミニウムシート211に貫通孔を形成した。積層プラスチックシート212から剥離することにより得られた微多孔アルミニウムシート211’には破断や皺等の欠陥は認められなかった。この微多孔アルミニウムシート211’をコルゲート加工し、周期Laが1 cmで、高さHが0.8 cmの多孔質コルゲートシート4，6を得た。
【００８５】
厚さ16μmのPETフィルム50に厚さ0.7μmのCu薄膜層及び厚さ50 nmのNi薄膜層を順に形成し、金属薄膜51を形成した。次いで、粒径分布が50〜80μmのダイヤモンド微粒子を電着したパターンロールを有する特許4685977号に記載の装置を用い、金属薄膜51に交差角が90°の二方向の線状痕を形成し、電磁波吸収フィルム5を得た。電磁波吸収フィルム5における線状痕の特性は下記の通りであった。
幅Wの範囲：0.5〜5μm
平均幅Wav：2μm
横手方向間隔Iの範囲：2〜30μm
平均横手方向間隔Iav：10μm
平均長さLav：5 mm
交差角θs：90°
【００８６】
上記アルミニウム製多孔質コルゲートシート4，6及び電磁波吸収フィルム5を用いて、図1及び図4に示す構造の電磁波吸収吸音パネルのサンプルを作製した。図6(a) に示す構造を有するハニカム構造体3は2 cmの厚さを有し、一辺6 mmの六角形断面の貫通孔を有していた。各サンプルの構成を表1に示す。
【００８７】
【表１】
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注：(1) 厚さ50μmの二軸延伸ポリプロピレン製。
【００８８】
図18に示すように、開口部301以外密閉状態のチャンバ300にスピーカ302を載置し、開口部301を上記電磁波吸収吸音パネルのサンプル303で覆った。スピーカ302から80 cm離隔した位置に騒音計304を置き、スピーカ302から出てサンプル303を通過した音を計測し、パソコン305により吸音量を算出した。開口部301にサンプル303を設置しない場合を基準値として、図1及び図4の電磁波吸収吸音パネルの吸音量を図19に示す。図19から、本発明の電磁波吸収吸音パネルは優れた遮音性能を有することが分かる。
【００８９】
また、電磁波吸収吸音パネルは、TE波（入射面に対して電界成分が垂直な電磁波）及びTM波（入射面に対して磁界成分が垂直な電磁波）の両方に対して良好な電磁波吸収能（TE波に対しては約10〜20 dB、及びTM波に対しては約10〜45 dB）を示した。
【要約】
【課題】  広い周波数帯にわたって効率よく音を吸収できるとともに、数百MHz乃至数GHzの電磁波ノイズに対して高い吸収能を有する電磁波吸収吸音パネルを提供する。
【解決手段】  音が入射する通気性を有する第一パネルと、第一パネルに対向する第二パネルとの間に、第一パネルに接するハニカム構造体と、ハニカム構造体に接する少なくとも一枚の多孔質コルゲートシートと、第二パネルに接する電磁波吸収フィルムと、多孔質コルゲートシートと電磁波吸収フィルムとの間の空間が設けられており、多孔質コルゲートシートは10〜1000μmの平均径を有する20〜2500個／cm2の微細貫通孔を有し、電磁波吸収フィルムは不規則な幅及び間隔で実質的に平行な多数の断続的な線状痕が複数方向に形成された金属薄膜を有する電磁波吸収吸音パネル。
【選択図】  図1【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６（ａ）】
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【図６（ｂ）】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１（ａ）】
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【図１１（ｂ）】
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【図１１（ｃ）】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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