(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
穿孔機と、
容量プローブと、
前記穿孔機に取り付けられ、前記穿孔機によって穿孔された穴を種々の深さにおいて測定すべく、前記穿孔された穴の内側において前記容量プローブを移動させるプローブ配置システムと、
を備え、
前記穿孔機が、ドリルの通路を有する圧力フットを備えており、前記プローブ配置システムが、前記プローブを前記圧力フットの外側のホーム位置から前記圧力フットの内側の配置位置へと旋回させるためのアームを備え、前記プローブが、可撓なマウントによって前記アームへと取り付けられている、
システム。
【請求項２】
穿孔機と、
容量プローブと、
前記穿孔機に取り付けられ、前記穿孔機によって穿孔された穴を種々の深さにおいて測定すべく、前記穿孔された穴の内側において前記容量プローブを移動させるプローブ配置システムと、
を備え、
前記穿孔機が、穿孔用エンドエフェクタを備えており、
当該システムが、
前記エンドエフェクタを移動させるためのロボットまたはガントリと、
前記穿孔用エンドエフェクタに取り付けられ、前記プローブ配置システムを制御し、プローブデータを処理し、処理後のデータを前記ロボットまたはガントリへと通信する制御箱と、
をさらに備えている、
システム。
【請求項３】
前記プローブ配置システムが、前記プローブを穿孔された穴において徐々に移動させるための圧電モータを備えている請求項１または２に記載のシステム。
【請求項４】
前記プローブ配置システムが、前記プローブをホーム位置から前記穿孔された穴の上方の配置位置へと移動させるためのアクチュエータをさらに備えている請求項１または２に記載のシステム。
【請求項５】
前記プローブ配置システムが、ショックアブソーバおよびリミットスイッチをさらに備えており、前記ショックアブソーバが、前記アームの停止の急な衝撃を軽減し、前記ショックアブソーバおよび前記リミットスイッチが、前記プローブを正確に位置決めする請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記穿孔機に取り付けられたリングゲージをさらに備えており、前記リングゲージが、前記プローブの較正のための較正穴を有している請求項１から５のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載のシステムを使用し、被加工物に穴を穿孔し、穿孔した穴を穿孔の直後に測定するステップを含む方法。
【請求項８】
穴測定データを事後処理のために報告することをさらに含んでおり、前記事後処理が、ドリルの寿命の推定を実行することを含んでいる請求項７に記載の方法。
【請求項９】
穿孔した穴を測定するステップが、穿孔した穴とのプローブの同心度を調節するために、プローブと穿孔した穴の壁との間のすき間の距離を使用することを含んでいる請求項７または８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
民間の航空機の製造時に、数十万もの正確な配置の真っ直ぐな穴が、穿孔される可能性がある。これらの穴は、穿孔用のエンドエフェクタを備えるロボットシステムによって穿孔される。
【背景技術】
【０００２】
一群の穴の穿孔後に、穿孔された穴は、公差の範囲内にあることを保証するために検査される。検査は、単にそれぞれの穴の直径を確認するだけではない。むしろ、検査は、各々の穴が真っ直ぐである（したがって、円すい形または砂時計形でない）ことを保証するために、各々の穴の直径および真円度を、さまざまな深さにおいて確認することを必要とする。典型的には、検査は、穴の大群を一度に検査する品質保証（ＱＡ）インスペクタによって実行される。
【０００３】
ドリル用ビットが穴の穿孔時に欠けた状況を考える。欠けたビットゆえに、穿孔による穴が公差から外れる。欠けたビットによって穿孔される後続の穴も、やはり公差から外れる。残念ながら、これらの後続の公差外の穴は、ＱＡ検査まで発見されない。
【０００４】
傷んだビットによって穿孔される穴の数を最小限にすることが、望ましいと考えられる。より一般的には、公差外の穴の数を最小限にすることが、望ましいと考えられる。
【発明の概要】
【０００５】
上記に鑑み、一態様によれば、システムが、穿孔機と、容量プローブと、前記穿孔機に取り付けられ、前記穿孔機によって穿孔された穴を種々の深さにおいて測定すべく、前記穿孔された穴の内側において前記容量プローブを移動させるプローブ配置システムとを備える。
【０００６】
上記に鑑み、別の態様によれば、システムが、穿孔用エンドエフェクタと、ロッドと該ロッドの周囲の複数の容量センサとを備える容量プローブと、前記エンドエフェクタに取り付けられ、前記エンドエフェクタによって穿孔された穴を種々の深さにおいて測定すべく前記容量プローブを前記穿孔された穴の内側で移動させるプローブ配置システムとを備える。プローブ配置システムは、前記プローブを前記穿孔された穴の上方で移動させるためのアクチュエータと、前記プローブを前記穿孔された穴の種々の深さへと徐々に移動させるための圧電モータとを備える。さらにシステムは、前記穿孔用エンドエフェクタに取り付けられ、前記アクチュエータおよび前記モータを制御するとともに、プローブデータを処理して前記穿孔された穴が公差の範囲内にあるか否かを判断する制御箱を備える。
【０００７】
上記に鑑み、別の態様によれば、穴測定装置が、ロッドと該ロッドの周囲の複数の容量センサとを備える容量プローブと、穴のプロフィルを測定するために穴の内側で前記センサを移動させるための圧電モータとを備える。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】穿孔機と穴測定装置とを備えるシステムの図である。
【図２】容量プローブの図である。
【図３Ａ】穿孔用エンドエフェクタおよび穴測定装置の図である。
【図３Ｂ】穿孔用エンドエフェクタおよび穴測定装置の図である。
【図４Ａ】プローブ配置システムの実施の形態の図である。
【図４Ｂ】プローブ配置システムの実施の形態の図である。
【図５】制御箱の実施の形態の図である。
【図６Ａ】穿孔用エンドエフェクタおよび穴測定装置の使用方法の図である。
【図６Ｂ】穿孔用エンドエフェクタおよび穴測定装置の使用方法の図である。
【図６Ｃ】穿孔用エンドエフェクタおよび穴測定装置の使用方法の図である。
【図６Ｄ】穿孔用エンドエフェクタおよび穴測定装置の使用方法の図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１を参照すると、被加工物に精密な穴を形成するための穿孔機１２０を備えるシステム１１０が示されている。システム１１０は、穿孔機１２０を移動させるためのロボットまたはガントリ１３０をさらに備えている。
【００１０】
さらにシステム１１０は、プローブ１５０と、プローブ配置システム１６０と、コントローラ１７０とを備える穴測定装置１４０を備えている。コントローラ１７０の制御のもとで、プローブ配置システム１６０が、穿孔された穴の上方で穴プローブ１５０を移動させ、次いで穿孔された穴へと移動させる。ひとたびプローブ１５０が穿孔された穴の内側に位置すると、配置システム１６０が、プローブ１５０を穿孔された穴の種々の深さへと移動させることができる。各々の深さにおいて、プローブ１５０が、穿孔された穴の直径および真円度を測定することができる。穿孔された穴の種々の深さにおいてこれらの測定を行なうことによって、穿孔された穴のプロフィルが得られる。
【００１１】
配置システム１６０の制御に加えて、コントローラ１７０は、プローブ１５０からのデータも処理する。処理は、プローブのデータを意味のある寸法データに変換することを含む。さらに処理は、穿孔された穴が公差の範囲内であるか否かを判断することを含むことができる。いくつかの実施の形態においては、コントローラ１７０が、穿孔された穴が公差の範囲内であるか否かを知らせるレポートを、ロボットまたはガントリ１３０へと送信することができる。他の実施の形態においては、コントローラ１７０が、穴の測定値（例えば、各々の深さにおける直径および真円度）をロボットまたはガントリ１３０へと報告することができる。穴の測定値を報告することで、図５に関して後述されるいくつかの利益がもたらされる。
【００１２】
さらに図２を参照すると、穴プローブ１５０の実施の形態が示されている。図２の実施の形態は、容量センサ２２０を非導電性の円筒２３０に放射状に取り付けて有する容量プローブ２１０である。４つの容量センサ２２０が示されているが、使用される容量センサ２２０の数が、他の数であってもよい。
【００１３】
いくつかの実施の形態においては、プローブ配置システム１６０が、プローブ２１０を穿孔された穴の内部の種々の深さへと徐々に移動させるための圧電モータ（図示されていない）を備えることができる。圧電モータは、０．１ミクロンの範囲内まで正確であることができる。プローブ配置システム１６０は、穿孔された穴の上方でプローブ２１０を移動させるための小型アクチュエータ（例えば、空気シリンダ、リニアモータ、油圧シリンダ）をさらに備えることができる。
【００１４】
容量プローブ２１０と圧電モータとの組み合わせは、きわめて小さなサイズの穴測定装置１４０をもたらす。いくつかの実施の形態においては、容量プローブ２１０が、約１インチの高さおよび約１インチの直径を有する。圧電モータは、２インチ未満の高さを有することができる。
【００１５】
小さなサイズは、穴測定装置１４０を、穿孔機１２０へと、各々の穴を穿孔の直後に測定することができる位置に取り付けることを可能にする。
【００１６】
各々の穴を穿孔後に検査することは、きわめて好都合である。ドリル用ビットの摩耗および欠けなどの問題を、速やかに確認することが可能になり、そのようなドリル用ビットで後続の穴が穿孔されることが防止される。
【００１７】
図３Ａおよび３Ｂを参照すると、１つの種類の穿孔機、すなわち穿孔用エンドエフェクタ３１０が示されている。穿孔用エンドエフェクタ３１０は、被加工物を保持し、あるいは２つ以上の被加工物を一体に締め付ける圧力フット３１２を備えている。穿孔用エンドエフェクタ３１０は、被加工物に穴を穿孔するためのドリル用ビット３１４をさらに備えている。穿孔の際に、ドリル用ビット３１４が、圧力フット３１２の通路を通って移動し、被加工物に押し付けられる。
【００１８】
図３Ａおよび図３Ｂは、容量プローブ３２０とプローブ配置システム３３０とを備える穴測定装置をさらに示している。或る特定の実施の形態においては、ドリル用ビット３１４が、０．１９０〜０．１９２インチの間の穴を穿孔する。プローブ３２０が、０．１７５インチの直径を有する。プローブ３２０が穴の内側に触れる場合、少なくとも約０．０１５インチのすき間が存在すると考えられる。
【００１９】
図４Ａおよび図４Ｂが、プローブ配置システム３３０の拡大図を示している。特に、図４Ａおよび図４Ｂは、どのようにしてプローブ３２０が圧力フット３１２の外側のホーム位置から、圧力フット３１２の内側かつ穿孔された穴の上方の配置位置へと動かされるのかを示している。
【００２０】
図４Ａが、ホーム位置にあるプローブを示している。プローブ３２０が、可撓なマウント４１０によってプローブアーム４１２へと取り付けられている。較正リングマウント４１４が、較正済みのリングゲージ４１６を保持している。較正リングゲージ４１６は、プローブ３２０を較正するために用いられる正確な直径の開口を有している。第１のリミットスイッチ４１８が、プローブ３２０が圧力フット３１２から完全に外れて較正リングゲージ４１６の下方に位置するようにアーム４１２が位置したときに、それを知らせる。
【００２１】
プローブ３２０が、ソレノイドバルブ（図示されていない）をオンにして空気シリンダ４２０を動作させることによってプローブアーム４１２を旋回させ、プローブ３２０をアクセスドア４２２を通って圧力フット３１２へと移動させることによって使用の位置に配置される。ショックアブソーバ４２４が、短い距離でのプローブアーム４１２の停止の急な衝撃を軽減する。ショックアブソーバ４２４は、プローブ３２０の正確な位置決めのためのストッパとしても機能する。第２のリミットスイッチ４２６が、プローブ３２０が圧力フット３１２の内側にあるときのアーム位置を知らせる。
【００２２】
さらに図４Ａは、プローブ３２０を穿孔された穴の種々の深さへと移動させる圧電リニアモータ４２８を示している。圧電リニアモータ４２８を、高周波パルスを使用して動作させることができる。これらの高周波パルスは、最大の直線変位をもたらすよう、圧電性結晶の周波数に合わせられる。
【００２３】
図４Ｂが、配置位置にあるプローブ３２０を示している。ひとたび配置位置に位置すると、コントローラ１７０が、プローブ３２０を穿孔された穴に位置させるべく圧電リニアモータ４２８およびその土台４５０を制御する。プローブストッパカラー４５２を、プローブ３２０の穿孔された穴への進入の深さを調節するために使用することができる。
【００２４】
マウント４１２の可撓性が、プローブ３２０が穴の内壁に接触する状況において有益である。接触が生じた場合、プローブ３２０は、穴の中心に向かって移動するが、依然として穴の壁に接触したままである。この状況において、正確な穴の直径の情報を、依然として得ることができる。
【００２５】
再び図３Ａを参照する。穴測定装置が、制御箱３４０をさらに備えている。制御箱３４０は、コントローラ１７０を含んでいる。
【００２６】
さらに図５を参照すると、制御箱３４０の実施の形態が示されている。制御箱３４０が、容量プローブを調整し、容量センサ２２０によって得られる容量信号を電圧信号（電圧が、穴プローブの半径と穴の半径との間の距離に比例する）へと変換することができる第１の回路基板５１０を備えている。さらに、第１の回路基板５１０は、種々の深さにおける穴の直径および真円度を計算し、穴が公差の範囲内であるか否かを判断する。
【００２７】
第１の回路基板５１０は、プローブ３２０が既知の位置にあることを保証するために、すべてのリミットスイッチ４１８および４２６を監視する。さらに、第１の回路基板５１０は、空気シリンダソレノイドを動作させる信号を生成し、さらには第２の回路基板５２０に位置する圧電モータ駆動部（図示されていない）へと信号を供給することによって、プローブ配置システムを制御する。圧電モータ駆動部が、圧電リニアモータ４２８を駆動する高周波パルスを生成する。
【００２８】
さらに制御箱３４０は、穿孔された穴およびリングゲージ穴に対するプローブの同心度を調節する目的のために、すき間の寸法を継続的に監視する。
【００２９】
制御箱３４０は、ロボットまたはガントリ１３０との通信のための入力および出力ポートを有している。制御箱３４０は、ユーザの入力の受け付け、さらには診断および他の情報を出力するデータポート（例えば、シリアルポート）を有することができる。例えば、制御箱３４０は、事後処理のために穴測定データを出力することができる。
【００３０】
事後処理を、ドリルの寿命の推定を実行するために使用することができる。典型的には、ドリルは、固定されたスケジュールに従って（例えば、所定数の穴を穿孔した後で）自動的に交換される。穴の直径を監視し、代わりに、ドリルを寿命の終わりにおいて（例えば、摩耗または損傷が明らかであるときに）交換することで、ドリルの交換が少なくなる。結果として、時間および費用が節約される。
【００３１】
図３Ａに示されるとおり、制御箱３４０および他の穴測定装置は、穿孔用エンドエフェクタ３１０に取り付けられる。これは、スタンドアロンのユニットを生み出す。すべての機能が、ユニットに含まれ、ユニット内で制御される。他に必要なものは、動力およびドリル穴の測定を実行するための信号だけである。ロボットの技術者が、ユニットがどのように動作するのかを知る必要がない。ユニットが、ほぼ「ブラックボックス」である。
【００３２】
さらに、ユニットが或るロボットから別のロボットへと移される場合、すべての機能もユニットと一緒に移動する。配置の制御およびプローブの信号処理を、ユニットの移動のたびに変更する必要がない。
【００３３】
図６Ａ〜図６Ｄが、穿孔用エンドエフェクタ３１０および穴測定装置の動作を示している。最初に図６Ａを参照すると、穿孔用エンドエフェクタ３１０に対して、被加工物に穴を穿孔するようにとの指令が行なわれる（ブロック６１０）。穴が穿孔され、ドリル用ビット３１４が穴および圧力フットの両方から引き出された後で、穴測定装置に対して、穿孔された穴が公差の範囲内にあるか否かを判断するようにとの指令が行なわれる（ブロック６１２）。
【００３４】
図６Ｂを参照すると、制御箱３４０が、空気シリンダに対して、プローブ３２０を穿孔された穴の上方へと移動させるように指令し（ブロック６２０）、次いで圧電モータ４２８に対して、プローブ３２０を穿孔された穴へと配置するように指令する（ブロック６２２）。プローブ３２０が、プローブストッパ４５２が被加工物の上面に接触するまでプローブ３２０を押すことによって、穴の底に配置される。ここで、第１の直径の測定が行なわれる。プローブ３２０と穿孔された穴の壁との間のすき間が、各々の容量センサ２２０によって測定される（ブロック６２４）。次いで、制御箱３４０が、圧電モータに対してプローブ３２０を穴から引き出すように指令する（ブロック６２６）。
【００３５】
すべてのすき間を等しくするように調節が行なわれる（ブロック６２８）。プローブ３２０が穴と同心になり、かつ穴と一直線になるように、２つの同心の調節および２つの角度の調節を、プローブ３２０に対して行なうことができる。
【００３６】
次に図６Ｃを参照すると、プローブ３２０が穴を測定する。圧電モータ４２８に対し、プローブ３２０を穿孔された穴の底へと移動させるように指令が行なわれる（ブロック６３０）。制御箱３４０が、穴プローブデータを使用し、その高さにおける穴の直径および真円度を計算する（ブロック６３２）。例えば、制御箱３４０は、電圧をすき間の距離に関連付ける較正係数の表を保存している。すき間電圧が測定されたとき、測定された電圧を囲む２つの電圧を突き止めるべく、較正表が検索される。該当のすき間の距離が、２つの電圧の間の補間によって割り出される。４つのすき間のすべてが、このやり方で計算される。次いで、各々のセンサ（弧の長さおよび幅）ならびに挿入されたプローブおよび穴の内壁の偏心度を考慮に入れて、直径が計算される。
【００３７】
プローブが他の深さへと徐々に動かされ、そこで直径および真円度が再び計算される（ブロック６３２）。プローブが最後の深さまで動かされ、その最後の深さにおいて穴の直径および真円度が計算された後で、穴の測定を繰り返してもよい（ブロック６３４）。すべての測定が行なわれた後で、制御箱３４０が、穿孔された穴が仕様の範囲内であるか否かを判断する（ブロック６３６）。報告をロボットへと送信することができる（ブロック６３８）。
【００３８】
さまざまな時点において、プローブ３２０を較正することができる。プローブ３２０を、穿孔された穴を測定する前に較正することができ、穴の測定の最中に較正することもできる。例えば、３組の測定を行なうたびごとに、プローブ３２０を較正することができる。
【００３９】
図６Ｄを参照すると、プローブ３２０を較正するための方法が示されている。
【００４０】
プローブ配置機構に対して、プローブ３２０をホーム位置へと移動させ、プローブをリングゲージ４１６の中へと配置するように指令が行なわれる（ブロック６４０）。リングゲージ４１６の直径および真円度が測定される（ブロック６４２）。測定された直径が公差の範囲内にない場合、較正係数が増やされ、あるいは減らされる（ブロック６４４）。ブロック６４２および６４４における機能が、較正ゲージについて測定される直径が公差の範囲内に入るまで繰り返される。
【００４１】
いくつかの実施の形態においては、皿穴のただ１つの深さにおける測定を実行することができる。例えば、プローブを、円すい形の底部を有するように設計することができる。円すい形の底部が皿穴へと挿入されるときに、皿の直径が測定される。
また、本願は以下に記載する態様を含む。
（態様１）
穿孔機と、
容量プローブと、
前記穿孔機に取り付けられ、前記穿孔機によって穿孔された穴を種々の深さにおいて測定すべく、前記穿孔された穴の内側において前記容量プローブを移動させるプローブ配置システムと
を備えるシステム。
（態様２）
前記プローブ配置システムが、前記プローブを穿孔された穴において徐々に移動させるための圧電モータを備えている態様１に記載のシステム。
（態様３）
前記プローブ配置システムが、前記プローブをホーム位置から前記穿孔された穴の上方の配置位置へと移動させるためのアクチュエータをさらに備えている態様１または２に記載のシステム。
（態様４）
前記穿孔機が、ドリルの通路を有する圧力フットを備えており、前記プローブ配置システムが、前記プローブを前記圧力フットの外側のホーム位置から前記圧力フットの内側の配置位置へと旋回させるためのアームを備えている態様１ないし３のいずれか一項に記載のシステム。
（態様５）
前記プローブが、可撓なマウントによって前記アームへと取り付けられている態様４に記載のシステム。
（態様６）
前記プローブ配置システムが、ショックアブソーバおよびリミットスイッチをさらに備えており、前記ショックアブソーバが、前記アームの停止の急な衝撃を軽減し、前記ショックアブソーバおよび前記リミットスイッチが、前記プローブを正確に位置決めする態様１ないし５のいずれか一項に記載のシステム。
（態様７）
前記穿孔機が、穿孔用エンドエフェクタを備えており、
当該システムが、
前記エンドエフェクタを移動させるためのロボットまたはガントリと、
前記穿孔用エンドエフェクタに取り付けられ、前記プローブ配置システムを制御し、プローブデータを処理し、処理後のデータを前記ロボットまたはガントリへと通信する制御箱と
をさらに備えている態様１ないし６のいずれか一項に記載のシステム。
（態様８）
前記穿孔機に取り付けられたリングゲージをさらに備えており、前記リングゲージが、前記プローブの較正のための較正穴を有している態様１ないし７のいずれか一項に記載のシステム。
（態様９）
態様１〜８のいずれか一項に記載のシステムを使用し、被加工物に穴を穿孔し、穿孔した穴を穿孔の直後に測定するステップを含む方法。
（態様１０）
穴測定データを事後処理のために報告することをさらに含んでおり、前記事後処理が、ドリルの寿命の推定を実行することを含んでいる態様９に記載の方法。
（態様１１）
穿孔した穴を測定するステップが、穿孔した穴とのプローブの同心度を調節するために、プローブと穿孔した穴の壁との間のすき間の距離を使用することを含んでいる態様９または１０に記載の方法。
（態様１２）
穿孔用エンドエフェクタと、
ロッドと該ロッドの周囲の複数の容量センサとを備えている容量プローブと、
前記エンドエフェクタに取り付けられ、前記容量プローブを前記エンドエフェクタによって穿孔された穴の上方で移動させるためのアクチュエータと、前記プローブを前記穿孔された穴の種々の深さへと徐々に移動させるための圧電モータとを備えており、前記穿孔された穴を種々の深さにおいて測定すべく前記容量プローブを前記穿孔された穴の内側で移動させるプローブ配置システムと、
前記穿孔用エンドエフェクタに取り付けられ、前記アクチュエータおよび前記モータを制御するとともに、プローブの出力を処理して前記穿孔された穴が公差の範囲内であるか否かを判断する制御箱と
を備える装置。
（態様１３）
前記穿孔用エンドエフェクタへと取り付けられた較正リングゲージをさらに備えており、前記リングゲージが、前記プローブを較正するための較正穴を有している態様１２に記載の装置。
（態様１４）
前記穿孔用エンドエフェクタが、ドリルの通路を有する圧力フットを備えており、前記プローブ配置システムが、前記プローブを前記圧力フットの外側のホーム位置から前記ドリルの通路の内側の配置位置へと旋回させるためのアームを備えており、前記アームが前記アクチュエータによって動かされる態様１２または１３に記載の装置。
（態様１５）
前記プローブが、可撓なマウントによって前記アームへと取り付けられている態様１４に記載の装置。
（態様１６）
前記プローブ配置システムが、前記アームの停止の急な衝撃の軽減および前記プローブの正確な位置決めのためのショックアブソーバをさらに備えている態様１２ないし１５のいずれか一項に記載の装置。
（態様１７）
ロッドと該ロッドの周囲の複数の容量センサとを備える容量プローブと、
穴のプロフィルを測定するために穴の内側で前記センサを移動させるための圧電モータと
を備える穴測定装置。
（態様１８）
前記プローブを較正するための較正穴を有しているリングゲージをさらに備える態様１７に記載の装置。
（態様１９）
圧力フットを有するエンドエフェクタに取り付けられ、前記プローブを前記圧力フットの外側のホーム位置から前記圧力フットの内側の配置位置へと旋回させるアーム
をさらに備える態様１７または１８に記載の装置。
（態様２０）
前記プローブが、可撓なマウントによって前記アームへと取り付けられている態様１９に記載の装置。
【図１】
0005992033.tif 000002
【図２】
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【図３Ａ】
0005992033.tif 000004
【図３Ｂ】
0005992033.tif 000005
【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
0005992033.tif 000007
【図５】
0005992033.tif 000008
【図６Ａ】
0005992033.tif 000009
【図６Ｂ】
0005992033.tif 000010
【図６Ｃ】
0005992033.tif 000011
【図６Ｄ】
0005992033.tif 000012