(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体吸着材を、気体難透過性を有する第１の包材により減圧密封した気体吸着デバイスと、
前記気体吸着デバイスを密封する、少なくとも一部に可撓性を有すると共に、気体難透過性を有する第２の包材とを備え、
前記気体吸着デバイスと、前記第２の包材との間に、前記気体吸着材が吸着可能な気体を封入した気体吸着デバイス構造体。
【請求項２】
前記第１の包材の破損により、前記第１の包材の内側と外側とが連通した場合に、前記気体吸着材が、前記気体を吸着することにより、前記気体の圧力が低下し、前記第２の包材の形状および寸法の少なくとも１つが変化する請求項１に記載の気体吸着デバイス構造体。
【請求項３】
前記第２の包材は、少なくとも前記気体吸着デバイスが視認できる位置に透明部を有する請求項１に記載の気体吸着デバイス構造体。
【請求項４】
前記気体が、前記第２の包材の外部からの衝撃を吸収する請求項１に記載の気体吸着デバイス構造体。
【請求項５】
前記第２の包材は、少なくとも一部に、切り欠きを有する請求項１に記載の気体吸着デバイス構造体。
【請求項６】
前記第２の包材は、開閉機構を有する請求項１に記載の気体吸着デバイス構造体。
【請求項７】
前記気体吸着材は、ＣｕＺＳＭ−５である請求項１に記載の気体吸着デバイス構造体。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の気体吸着デバイス構造体について、前記第２の包材の形状が所定の形状を有する前記気体吸着デバイス構造体を選別する、選別ステップと、
前記選別ステップによって選別した前記気体吸着デバイス構造体の前記第２の包材を開封する、開封ステップと、
前記開封ステップによって開封した前記気体吸着デバイス構造体から前記気体吸着デバイスを取り出す、取り出しステップをと有し、
前記取り出しステップによって取り出した前記気体吸着デバイスを使用する、気体吸着デバイス構造体の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体吸着材を内包する気体吸着デバイス構造体と、その使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空断熱材や真空断熱容器、プラズマディスプレイパネルなどは、内部が高度な真空状態であることによって、性能が発揮される。この様な機器を、真空機器と呼ぶ。真空機器の内部に気体が存在した場合、真空機器の内部の圧力が上昇し、真空機器の性能が劣化する。真空機器の内部に気体が存在する原因としては、製造時に、気体が、真空機器の内部に残留する場合や、経時的に、外部から気体が、真空機器の内部に侵入する場合などがある。真空機器の内部の気体を低減するために、気体吸着材が用いられる。気体吸着材によって、真空機器の内部の気体が、吸着され低減される。一例としては、真空断熱材の内部に気体吸着材を配設することによって、長期間、高度な真空状態が維持される。【０００３】
気体吸着材が吸着できる気体（すなわち、吸着対象）は、気体吸着材の材料に応じて異なる。また、気体吸着材が吸着できる気体の量（すなわち、吸着可能量）には限りがある。真空断熱材に用いられる気体吸着材の吸着対象は、空気（すなわち、窒素および酸素）である。当然のことながら、この気体吸着材を空気中に放置した場合、空気を吸着する。すなわち、この気体吸着材を空気中に放置した場合は、吸着できる空気の量は減少する。これは、気体吸着材の吸着能力の低下となる。【０００４】
気体吸着材が空気中に放置された場合であっても、空気を吸着しない構成が、特許文献１に開示されている。特許文献１において、気体吸着材（ゲッター）は、２枚のシートの間に密封される。２枚のシートによって気体吸着材の容器が構成される。この構成により、気体吸着材は、空気中に放置された場合であっても、空気を吸着しない。また、気体吸着材は、この容器ごと、真空機器に配設される。【０００５】
上記の気体吸着材は、容器の内部に保存される。従って、容器の内部は、真空状態あるいは、この気体吸着材が吸着し得ない気体で充填された状態にする必要がある。【０００６】
容器の内部が真空状態の場合、容器には、大気圧と真空との圧力差が加わる。このため、容器に孔がある場合、容器の内部に空気が侵入する。この気体吸着材が、真空断熱材に用いられる気体吸着材である場合、吸着対象は、空気である。この場合、気体吸着材は、容器の孔から侵入した空気を吸着する。【０００７】
容器の内部に侵入した空気が、気体吸着材の吸着可能量以下である場合、気体吸着材は、侵入した空気を全て吸着する。このため、容器の内部の真空状態は維持される。この場合、容器の内部の状態は、孔の有無に関わらず変化しない。すなわち、気体吸着材が空気を吸着し、吸着可能量が減少しても、この状態を判断することはできない。【０００８】
一方、容器の内部が、この気体吸着材が吸着し得ない気体で充填され、かつ、容器に孔がある場合、真空断熱材の内部に、この気体が侵入する。従って、真空断熱材の内部を、高度な真空状態に保つことができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平５−２５４５８８号公報
【発明の概要】
【００１０】
本発明は、気体吸着デバイスの吸着能力の低下の有無を判断することができる気体吸着デバイス構造体を提供する。本発明に係る気体吸着デバイス構造体は、気体吸着材を、気体難透過性を有する第１の包材により減圧密封した気体吸着デバイスと、気体吸着デバイスを密封する、少なくとも一部に可撓性を有すると共に、気体難透過性を有する第２の包材とを備える。さらに、本発明に係る気体吸着デバイス構造体は、気体吸着デバイスと、第２の包材との間に、気体吸着材が吸着可能な気体が封入される。
【００１１】
この構成により、第１の包材が破損した場合、気体吸着材が気体を吸着し、第２の包材の内部の圧力が低下する。圧力の低下により、第２の包材の形状または寸法が変化する。この変化の有無を確認することにより、第１の包材の破損の有無、すなわち、気体吸着デバイスの吸着能力の低下の有無を判断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１Ａ】図１Ａは、本発明の実施の形態１における気体吸着デバイス構造体の平面図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、図１Ａの１Ｂ−１Ｂ線における断面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、本実施の形態の気体吸着デバイスの第１の包材が破損した場合の平面図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、図２Ａの２Ｂ−２Ｂ線における断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態２における気体吸着デバイス構造体の平面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、図３の４−４線における断面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、図３の４−４線における別な状態を示す断面図である。
【図５Ａ】図５Ａは、本発明の実施の形態３における気体吸着デバイス構造体の平面図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、図５Ａの５Ｂ−５Ｂ線における断面図である。
【図６Ａ】図６Ａは、本発明の実施の形態３における気体吸着デバイス構造体の別な状態を示す平面図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、図６Ａの６Ｂ−６Ｂ線における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（実施の形態１）
図１Ａは、本発明の実施の形態１における気体吸着デバイス構造体の平面図である。図１Ｂは、図１Ａの１Ｂ−１Ｂ線における断面図である。
【００１４】
気体吸着材３は、気体難透過性を有する第１の包材である容器４によって、真空密封される。気体吸着材３としては、例えばＣｕＺＳＭ−５が用いられる。容器４としては、例えばアルミニウム製の容器が用いられる。このようにして、気体吸着デバイス１が構成される。なお、ここで言う真空とは、実質的な真空状態である、例えば１０Ｐａ程度の減圧状態を言う。また、本実施の形態においては、気体吸着デバイス１は、真空断熱材に用いられることを想定する。すなわち、気体吸着材３の吸着対象は、空気である。
【００１５】
気体吸着デバイス１は、第２の包材である外包材２によって、気体吸着材３が吸着可能な気体である空気と共に封入される。外包材２は、可撓性および気体難透過性を有する。外包材２は、例えば、低密度ポリエチレンと２軸延伸ナイロンフィルムとをラミネートして形成されたシートを２枚重ね、外周部を溶着等によりシールして、袋状に構成される。このようにして、気体吸着デバイス構造体１０が構成される。
【００１６】
外包材２は、切り欠きであるノッチ５を有する。ノッチ５は、外包材２を構成する２枚のシートの溶着部の一部に形成される。気体吸着デバイス１は、気体吸着デバイス構造体１０から取り出されて使用される。気体吸着デバイス１が取り出されるとき、外包材２は開封のために破られる。ノッチ５を用いることにより、外包材２を破ることが容易となる。もし、外包材２がノッチ５を有しない場合は、外包材２を破るために、大きな力が必要となる。大きな力により、外包材２を破ろうとすると、勢い余って、不用意な事態が発生する可能性がある。この事態を避けるためには、ハサミ等の工具が必要となる。従って、外包材２がノッチ５を有することにより、気体吸着デバイス構造体１０を、安全でかつ簡便に扱うことが可能となる。
【００１７】
気体吸着デバイス１と外包材２との間は空気が存在するため、気体吸着デバイス１と外包材２とが接触しない部分が存在する。さらに、この空気が緩衝材として働き、外包材２の外部からの衝撃が吸収される。すなわち、気体吸着デバイス１の破損が抑制される。この空気は、外包材２の外部からの衝撃による、気体吸着デバイス１の破損が抑制される程度の量が封入される。
【００１８】
次に、気体吸着デバイス１の第１の包材である容器４が破損した場合について説明する。気体吸着材３は、容器４に真空密封されるため、通常は、空気と接触しない。しかしながら、気体吸着デバイス１は工業製品であるため、非常に稀ではあるが、製造当初から容器４に孔が存在する場合がある。また、事後的に容器４に孔が開く、あるいは、事後的に容器４が破断することがある。このように、容器４が破損した状態で、気体吸着デバイス１を空気中に放置すると、気体吸着材３が空気を吸着する。この状態をリークと言う。リークが発生した場合、気体吸着材３の吸着可能量は低下し、気体吸着デバイス１の性能は劣化する。容器４の孔等が目視で確認できない場合は、気体吸着デバイス１の性能が劣化しているかどうか判断できない。
【００１９】
図２Ａは、本実施の形態の気体吸着デバイスの第１の包材が破損した場合、すなわちリークが発生した場合の平面図である。図２Ｂは、図２Ａの２Ｂ−２Ｂ線における断面図である。
【００２０】
リークが発生すると、気体吸着デバイス１と外包材２との間の空間と、気体吸着材３とが連通する。気体吸着材３は、気体吸着デバイス１と外包材２との間の空間に存在する空気を吸着する。これにより、気体吸着デバイス１と外包材２との間の空間の圧力が低下する。外包材２は、可撓性を有するため、圧力の低下によって、形状および寸法の少なくとも１つが変化する。図２Ｂは、圧力の低下によって、外包材２の袋形状の厚みが減少した状態を示す。図１Ｂに示す、容器４に破損が無い状態と比較して、図２Ｂに示す、容器４が破損した場合は、気体吸着デバイス１と外包材２とが密着する面積が大きい。なお、気体吸着デバイス１と外包材２との間の空間の空気が少ないほど、この密着度合いは大きい。すなわち、密着度合いが大きいほど、気体吸着デバイス１の性能劣化が大きい。
【００２１】
本実施の形態においては、外包材２は、可撓性を有するシートで構成されるため、外包材２の袋形状全体が変形する。一方、外包材２の一部が可撓性を有する場合は、その部分の変形状況を確認することにより、リークの発生の有無を確認することができる。
【００２２】
なお、外包材２の、少なくとも気体吸着デバイス１が視認できる位置が透明部を有する場合、気体吸着デバイス１の状態や種類等を確認することができる。なお、図１Ａおよび図２Ａにおいては、外包材２は、全体が透明な場合を示す。気体吸着デバイス１の容器４に、気体吸着材３の種類や用途、仕様、有効期限等が表記されておれば、外包材２は共通のものを使用することができる。これにより、製造コストが低減される。
【００２３】
気体吸着材３について、詳細に説明する。気体吸着材３は、非凝縮性の気体を吸着するものである。吸着のメカニズムは、物理吸着、あるいは化学吸着、いずれであっても利用可能である。例えば、アルカリ金属の酸化物、アルカリ土類金属の酸化物、アルカリ金属の水酸化物、アルカリ土類金属の水酸化物等が用いられる。具体的には、酸化リチウム、水酸化リチウム、酸化バリウム、水酸化バリウム等が用いられる。特に、ＣｕＺＳＭ−５は、空気を吸着する能力が非常に優れるため、空気を吸着対象とする場合は、好適である。
【００２４】
第１の包材である容器４について、詳細に説明する。容器４は、気体吸着材３を真空密封し、空気との接触を防止する。このため、容器４は、気体が透過し難い材料によって構成される。容器４の材料は、１０４［ｃｍ３／ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ］以下の気体透過度を有する。より望ましくは、容器４の材料は、１０３［ｃｍ３／ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ］以下の気体透過度を有する。容器４の材料としては、例えば、ガラス、金属、金属箔をラミネートしたラミネートフィルム等が用いられる。
【００２５】
第２の包材である外包材２について、詳細に説明する。外包材２は、気体吸着デバイス１と、気体吸着材３が吸着可能な気体とを封入する。また、外包材２は、内部の圧力変化に応じて、形状および寸法の少なくとも１つが変化する。このため、外包材２は、少なくとも一部が可撓性を有すると共に、気体が透過し難い材料によって構成される。
【００２６】
可撓性の面では、外包材２としては、気体吸着デバイス１と密着した場合に、気体吸着デバイス１の形状を反映できる程度に薄い材料が用いられる。また、外包材２としては、外包材２の外部から力が加わったときに、不可逆的な破損、すなわち裂けたり割れたりしない機械的特性を有する材料が用いられる。なお、外包材２の一部が可撓性を有する場合は、圧力低下による応力が、可撓性を有する部分に集中する。従って、外包材２は、内部の圧力低下に対して、形状および寸法の少なくとも１つの変化が敏感になる。すなわち、微小なリークを判断することが可能となる。
【００２７】
気体透過度の面では、外包材２の材料は、１０4［ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍ］以下の気体透過度を有する。より望ましくは、外包材２の材料は、１０3［ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ・ａｔｍ］以下の気体透過度を有する。
【００２８】
これらの条件を満たすために、外包材２は、例えば、高分子物質を薄く加工したものであるプラスチックフィルムによって構成される。プラスチックフィルムは、熱や圧力などによる可塑性を有するため、任意の形状に加工や成型できる。具体的には、ポリエチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ナイロンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリスチレンフィルム、エチレン−ビニルアルコール共重合体フィルム、ポリビニルアルコールフィルム等が用いられる。
【００２９】
気体吸着デバイス１と外包材２との密着度合いについて、詳細に説明する。気体吸着デバイス１と外包材２の密着度合いとは、気体吸着デバイス１の表面積に対する、外包材２が接触している部分の面積の割合である。密着度合いは、例えば、以下のようにして測定することができる。
【００３０】
まず、気体吸着デバイス１の表面を平面に投影し、投影した領域を１ｍｍ刻みで分割する。例えば、気体吸着デバイス１が１５ｍｍ×８０ｍｍ×３ｍｍの直方体である場合、投影した領域は、１５ｍｍ×８０ｍｍの長方形である。従って、投影した領域は、１５に８０を乗じた１２００個に分割される。次に、外包材２の表面を１ｍｍ×１ｍｍの正方形の領域に分割する。外包材２が気体吸着デバイス１の表面の形状を反映した領域、すなわち、外包材２と気体吸着デバイス１とが密着した領域に含まれる、上記正方形の領域の数を計測する。なお、この計測に際して、上記正方形の領域に、密着している領域が僅かでも含まれる場合は、数に含める。計測の結果、数が例えば６００個であれば、６００を１２００で除した結果の、５０％が密着度合いである。
【００３１】
以上のとおり、外包材２の変形、あるいは密着度合いを調べることにより、リークの有無を判断することができる。リークの無い気体吸着デバイス１は、初期の性能（すなわち、初期の吸着可能量）を維持している。また、外包材２の変形、あるいは密着度合いを調べることにより、リークが発生した場合の、気体吸着デバイス１の性能劣化の度合いを判断することができる。
【００３２】
通常は、気体吸着デバイス１を使用する際には、リークが無いものを選別して使用する。具体的には、外包材２の形状および寸法の少なくとも１つの変化が無いもの、すなわち、外包材２が所定の形状を有するものを選別する。選別した気体吸着デバイス構造体１０を開封し、気体吸着デバイス１を取り出して使用する。これにより、不良品の気体吸着デバイス１を真空機器等に使用することが防止される。
【００３３】
（実施の形態２）
図３は、本発明の実施の形態２における気体吸着デバイス構造体の平面図である。図４Ａは、図３の４−４線における断面図である。図４Ｂは、図３の４−４線における別な状態を示す断面図である。なお、実施の形態１と同じ構成については、同じ符号を付して説明する。
【００３４】
本実施の形態における気体吸着デバイス構造体１０は、開閉機構６を有する。具体的には、外包材２は低密度ポリエチレンフィルム製であり、矩形周囲の３辺が溶着される。残る１辺に開閉機構６が形成される。開閉機構６は、図４Ａに示すように、一方の外包材２の端部に形成された凹部６１と、他方の外包材２の端部に形成された凸部６２とから構成される。凹部６１と凸部６２とは、平面図では線状に形成される。また、凹部６１と凸部６２とは、互いに対向する位置に形成される。
【００３５】
図４Ｂに示すように、凹部６１と凸部６２とは、矢印の方向から押されることにより、気密的に嵌合する。これにより、外包材２の内部に空気が密封される。開閉機構６は、このように機械的な構造を有するため、図４Ｂの矢印と逆方向の力を加えることにより、嵌合を解くことができる。これにより、気体吸着デバイス構造体１０を開封し、気体吸着デバイス１を取り出すことが容易となる。さらに、開閉機構６は、開閉を繰り返すことが可能である。これにより、外包材２を再利用することが可能である。
【００３６】
（実施の形態３）
図５Ａは、本発明の実施の形態３における気体吸着デバイス構造体の平面図である。図５Ｂは、図５Ａの５Ｂ−５Ｂ線における断面図である。図６Ａは、本発明の実施の形態３における気体吸着デバイス構造体の別な状態を示す平面図である。図６Ｂは、図６Ａの６Ｂ−６Ｂ線における断面図である。なお、実施の形態１と同じ構成については、同じ符号を付して説明する。
【００３７】
本実施の形態において、実施の形態２と異なる点は、機械的な開閉機構として、ネジを用いた開閉機構７を備える点である。図５Ａおよび図５Ｂに示すように、気体吸着デバイス構造体１０は、端部にネジを用いた開閉機構７を有する。外包材２は、実施の形態２と同様に、低密度ポリエチレンフィルム製であり、矩形周囲の３辺が溶着される。残る１辺に形成された雄ネジ７１に、図６Ａおよび図６Ｂに示すように、キャップ７２が螺合される。キャップ７２の内部には、雄ネジ７１に対応する雌ネジ（図示せず）が形成される。雄ネジ７１とキャップ７２の雌ネジとの螺合においては、気密性を保つ必要がある。このため、開閉機構７のネジには、シール等が施される。
【００３８】
開閉機構７としてネジを用いるため、気体吸着デバイス構造体１０を開封し、気体吸着デバイス１を取り出すことが容易となる。なお、気体吸着デバイス１の大きさは、雄ネジ７１の内径より小さい。さらに、開閉機構７は、開閉を繰り返すことが可能である。これにより、外包材２を再利用することが可能である。
【００３９】
以上のように、開閉機構６あるいは開閉機構７における機械的な構造とは、原子レベルでの接合のような、不可逆的な固定構造ではなく、外部からの応力によって複数の部材が固定される構造である。機械的な開閉機構６あるいは開閉機構７としては、他にも、くさび、ヒンジ、輪ゴム、ばね等が利用可能である。
【００４０】
以下、本発明の、気体吸着デバイス１の保存およびリーク（すなわち容器４の孔）、外包材２の材質、気体吸着デバイス１の真空断熱材への適用について、実施例１から６において説明する。
【００４１】
（実施例１）
実施例１においては、実施の形態１の気体吸着デバイス構造体１０を用いた。気体吸着デバイス１は、ＣｕＺＳＭ−５からなる気体吸着材３（２ｇ）を、厚さ０．２ｍｍのアルミニウムで構成された容器４に密封して作製した。外包材２は、厚さ５０μｍの低密度ポリエチレンと、厚さ２５μｍの２軸延伸ナイロンフィルムとをラミネートしたものである。外包材２は、低密度ポリエチレンを熱溶着層として袋状に作製した。気体吸着デバイス１を外包材２に入れた後に、熱溶着によって外包材２を密封し、気体吸着デバイス構造体１０を作製した。
【００４２】
気体吸着デバイス１を密封した直後の外包材２の体積は５．５ｃｃであった。この時点での、気体吸着デバイス１と外包材２との密着度合いは８０％であった。
【００４３】
上記の気体吸着デバイス構造体１０を、試料として１０００個作製した。これらの試料を、１ｍの高さからコンクリート製の床に１０回落下させた。その後、これらの試料を、１ヶ月間保存した。
【００４４】
この結果、９８５個の試料は、密着度合い８０％を維持した。一方、残りの１５個の試料は、密着度合いが１００％であった。
【００４５】
以上の結果より、９８５個の試料は、気体吸着デバイス１のリークが無かった。すなわち、破損による容器４の孔の発生は無かった。これにより、気体吸着デバイス１の性能である吸着能力が維持されていることが判った。一方、１５個の試料は、密着度合いが１００％であったため、外包材２の内部の空気が吸着されたことが判った。すなわち、破損によって容器４に孔が発生し、リークが有ることが判った。
【００４６】
次に、同様の方法で作製し、落下させない試料と、落下させてから１ヶ月間保存した後に、リークの無かった試料と、落下させてから１ヶ月間保存した後に、リークの有った試料との空気の吸着量を測定した。具体的には、Ｑｕａｎｔａｃｈｒｏｍｅ製のＡＵＴＯＳＯＲＢ−１−ｃを用いて、２５℃での吸着等温線から１０Ｐａでの空気吸着量を測定した。
【００４７】
この結果、落下させない試料の空気吸着量は１０ｃｃであった。落下させてから１ヶ月間保存した後にリークの無かった試料の空気吸着量は１０ｃｃであった。落下させてから１ヶ月間保存した後にリークの有った試料の空気吸着量は４．５ｃｃであった。
【００４８】
以上の結果より、リークの無かった試料は、初期の空気吸着量が維持されたことが判った。すなわち、気体吸着デバイス構造体１０として、性能を維持することができた。一方、リークの有った試料は、外包材２の内部の空気を吸着したため、空気の吸着可能量が減少したことが判った。
【００４９】
（実施例２）
実施例２においては、実施例１と同様の気体吸着デバイス構造体１０を作製したが、気体吸着デバイス１を密封した直後の外包材２の体積は８．５ｃｃであった。この時点での、気体吸着デバイス１と外包材２との密着度合いは５０％であった。
【００５０】
上記の気体吸着デバイス構造体１０を、試料として１０００個作製し、これらを、実施例１と同じ条件で、落下および保存した。この結果、９９５個の試料は、密着度合い５０％を維持した。一方、残りの５個の試料は、密着度合いが１００％であった。
【００５１】
以上の結果より、９９５個の試料は、気体吸着デバイス１のリークが無かった。すなわち、気体吸着デバイス１の吸着能力が維持されていることが判った。一方、５個の試料は、リークがあることが判った。
【００５２】
次に、実施例１と同様に、落下させない試料と、落下させてから１ヶ月間保存した後に、リークの無かった試料と、落下させてから１ヶ月間保存した後に、リークの有った試料との空気の吸着量を測定した。測定方法および測定条件は、実施例１と同様である。
【００５３】
この結果、落下させない試料の空気吸着量は１０ｃｃであった。落下させてから１ヶ月間保存した後にリークの無かった試料の空気吸着量は１０ｃｃであった。落下させてから１ヶ月間保存した後にリークの有った試料の空気吸着量は１．５ｃｃであった。
【００５４】
以上の結果より、リークの無かった試料は、初期の空気吸着量が維持されたことが判った。すなわち、気体吸着デバイス構造体１０として、性能を維持することができた。一方、リークの有った試料は、外包材２の内部の空気を吸着したため、空気の吸着可能量が減少したことが判った。
【００５５】
（実施例３）
実施例３においては、実施例１と同様の気体吸着デバイス構造体１０を作製したが、気体吸着デバイス１を密封した直後の外包材２の体積は１５．５ｃｃであった。この時点での、気体吸着デバイス１と外包材２との密着度合いは１０％であった。
【００５６】
上記の気体吸着デバイス構造体１０を、試料として１０００個作製し、これらを、実施例１と同じ条件で、落下および保存した。この結果、１０００個全ての試料が、密着度合い１０％を維持した。また、これらの試料と、実施例１と同様に、落下させない試料との空気の吸着量を測定した。測定方法および測定条件は、実施例１と同様である。
【００５７】
以上の結果より、いずれの試料も、空気吸着量は１０ｃｃであった。すなわち、リークが無く、気体吸着デバイス構造体１０としての性能が維持された。従って、気体吸着デバイス１と外包材２との密着度合いが１０％の場合、耐緩衝性が優れていることが判った。
【００５８】
（実施例４）
実施例４においては、実施例１と同様の気体吸着デバイス構造体１０について、外包材２に、ノッチ５を形成しないものと、ノッチ５を形成したものとを作製した。気体吸着デバイス１を取り出すために、外包材２に引っ張り応力を加えて、外包材２を開封した。
【００５９】
ノッチ５を形成しないものについては、外包材２のシール部に引っ張り応力を加えた。この結果、外包材２を開封するために、１２０ニュートンの引っ張り応力が必要であった。一方、ノッチ５を形成したものについては、ノッチ５を挟んで、互い違いに引っ張り応力を加えた。この結果、１０ニュートンの引っ張り応力が必要であった。以上の結果より、ノッチ５を用いることにより、外包材２を容易に開封することができた。これにより、気体吸着デバイス１を真空機器に配設する際に、工数を低減することが可能である。
【００６０】
（実施例５）
実施例５においては、実施の形態２の気体吸着デバイス構造体１０を用いた。気体吸着デバイス１は、ＣｕＺＳＭ−５からなる気体吸着材３（２ｇ）を、厚さ０．２ｍｍのアルミニウムで構成された容器４に密封して作製した。外包材２は、厚さ２００μｍの低密度ポリエチレンからなる。外包材２は、機械的な開閉機構６を有する。
【００６１】
気体吸着デバイス１を密封した直後の外包材２の体積は７．５ｃｃであった。この時点での、気体吸着デバイス１と外包材２との密着度合いは７０％であった。
【００６２】
上記の気体吸着デバイス構造体１０を、試料として１０００個作製し、これらを、実施例１と同じ条件で、落下および保存した。この結果、９８５個の試料は、密着度合い７０％を維持した。一方、残りの１５個の試料は、密着度合いが８５％であった。また、この１５個の試料は、外包材２の体積が３ｃｃとなった。
【００６３】
以上の結果より、９８５個の試料は、気体吸着デバイス１のリークが無かった。すなわち、気体吸着デバイス１の吸着能力が維持されていることが判った。一方、１５個の試料は、リークがあることが判った。
【００６４】
次に、実施例１と同様に、落下させない試料と、落下させてから１ヶ月間保存した後に、リークの無かった試料と、落下させてから１ヶ月間保存した後に、リークの有った試料との空気の吸着量を測定した。測定方法および測定条件は、実施例１と同様である。なお、気体吸着デバイス１は、開閉機構６の嵌合を外すことによって、取り出すことができた。
【００６５】
この結果、落下させない試料の空気吸着量は１０ｃｃであった。落下させてから１ヶ月間保存した後にリークの無かった試料の空気吸着量は１０ｃｃであった。落下させてから１ヶ月間保存した後にリークの有った試料の空気吸着量は０ｃｃであった。
【００６６】
ここで、リークの有った試料の外包材２の体積は、７．５ｃｃから３ｃｃとなった。すなわち、４．５ｃｃの空気が減少した。一方、空気吸着量は、リークが無い場合は１０ｃｃで、リークが有った場合は０ｃｃであった。すなわち、空気吸着量は１０ｃｃである。減少した空気の量４．５ｃｃと、吸着した空気の量１０ｃｃとは一致しなかった。これは、外包材２の開閉機構６を通して、外部の空気が侵入したからである。
【００６７】
以上の結果より、気体吸着デバイス１の空気吸着量の減少量を、外包材２の体積の減少量に基づいて判断することはできなかった。しかしながら、リークの有無を判断することは可能であることが判った。また、外包材２を再利用することができるため、気体吸着デバイス構造体１０のコストを削減することが可能である。なお、開閉機構６の開閉を１００回行ったところ、リークの有無の判断は、正しく行うことができた。
【００６８】
（実施例６）
実施例６においては、実施の形態３の気体吸着デバイス構造体１０を用いた。気体吸着デバイス１は、ＣｕＺＳＭ−５からなる気体吸着材３（２ｇ）を、厚さ０．２ｍｍのアルミニウムで構成された容器４に密封して作製した。外包材２は、厚さ５０μｍの低密度ポリエチレンと、厚さ２５μｍのナイロンフィルムとをラミネートしたものである。外包材２は、低密度ポリエチレンを熱溶着層として４方がシールされ、機械的な開閉機構７を有する。開閉機構７は、雄ネジ７１と、雌ネジを有するキャップ７２とから構成される。雄ネジ７１の内部は、気体吸着デバイス１が出し入れできるように、空洞である。
【００６９】
気体吸着デバイス１を密封した直後の外包材２の体積は５．５ｃｃであった。この時点での、気体吸着デバイス１と外包材２との密着度合いは８０％であった。
【００７０】
上記の気体吸着デバイス構造体１０を、試料として１０００個作製し、これらを、実施例１と同じ条件で、落下および保存した。この結果、９８５個の試料は、密着度合い８０％を維持した。一方、残りの１５個の試料は、密着度合いが８５％であった。また、この１５個の試料は、外包材２の体積が３ｃｃとなった。
【００７１】
以上の結果より、９８５個の試料は、気体吸着デバイス１のリークが無かった。すなわち、気体吸着デバイス１の吸着能力が維持されていることが判った。一方、１５個の試料は、リークがあることが判った。
【００７２】
次に、実施例１と同様に、落下させない試料と、落下させてから１ヶ月間保存した後に、リークの無かった試料と、落下させてから１ヶ月間保存した後に、リークの有った試料との空気の吸着量を測定した。測定方法および測定条件は、実施例１と同様である。なお、気体吸着デバイス１は、開閉機構７のキャップ７２を外すことによって、取り出すことができた。
【００７３】
この結果、落下させない試料の空気吸着量は１０ｃｃであった。落下させてから１ヶ月間保存した後にリークの無かった試料の空気吸着量は１０ｃｃであった。落下させてから１ヶ月間保存した後にリークの有った試料の空気吸着量は０ｃｃであった。
【００７４】
ここで、リークの有った試料の外包材２の体積は、５．５ｃｃから３ｃｃとなった。すなわち、２．５ｃｃの空気が減少した。一方、空気吸着量は、リークが無い場合は１０ｃｃで、リークが有った場合は０ｃｃであった。すなわち、空気吸着量は１０ｃｃである。減少した空気の量２．５ｃｃと、吸着した空気の量１０ｃｃとは一致しなかった。これは、外包材２の開閉機構７を通して、外部の空気が侵入したからである。
【００７５】
以上の結果より、気体吸着デバイス１の空気吸着量の減少量を、外包材２の体積の減少量に基づいて判断することはできない。しかしながら、リークの有無を判断することは可能であることが判った。また、外包材２を再利用することができるため、気体吸着デバイス構造体１０のコストを削減することが可能である。なお、開閉機構７の開閉を１００回行ったところ、リークの有無の判断は、正しく行うことができた。
【００７６】
以下、比較例１および２を用いて、外包材２を有しない場合、および、外包材２と気体吸着デバイス１との密着度合いが、外包材２の内部の空気の量によって変化しない場合について説明する。
【００７７】
（比較例１）
比較例１においては、従来の保存方法として、実施例１の気体吸着デバイス１を、外包材２に入れずに、１ヶ月間保存した。保存前後の気体吸着デバイス１の空気吸着量を測定した。測定方法および測定条件は、実施例１と同様である。
【００７８】
この結果、保存前の空気吸着量は１０ｃｃであった。一方、保存後の空気吸着量は９．７ｃｃであった。従って、０．３ｃｃ分のリークが発生した。しかしながら、このリークを判断することはできなかった。
【００７９】
（比較例２）
比較例２においては、実施例１の気体吸着デバイス１を、外包材２には入れずに、厚さ０．５ｍｍの鉄製の容器に入れて、１ヶ月間保存した。保存後に、鉄製の容器を開封し、その１０分後に、気体吸着デバイス１を真空断熱材に配設した。なお、鉄製の容器の体積は、保存の前後共に２５ｃｃであった。また、リファレンスとして、作製直後の気体吸着デバイス１を、真空断熱材に配設した。
【００８０】
これらの空気吸着量を、実施例１と同様の測定方法および測定条件によって、測定した。この結果、作製直後の気体吸着デバイス１の空気吸着量は５ｃｃであった。一方、鉄製の容器に１ヶ月間保存した気体吸着デバイス１の吸着量は３．５ｃｃであった。
【００８１】
以上の結果より、気体吸着デバイス１の吸着量が１．５ｃｃ減少しているにも関わらず、鉄製の容器の体積は変化しなかった。厚さ０．５ｍｍの鉄製容器を用いて、気体吸着デバイス１を保存した場合、気体吸着デバイス１の空気吸着量の減少は判断できないことが判った。これは、厚さ０．５ｍｍの鉄製の容器は、大気圧では容易に変形しないためである。従って、外包材２は、柔軟な材料でなければならないことが判った。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
以上のように、本発明は、外包材の形状変化によって、気体吸着デバイスの性能劣化の有無を判断することができる。従って、気体吸着デバイスの品質検査および保存に適する。
【符号の説明】
【００８３】
１    気体吸着デバイス
２    外包材（第２の包材）
３    気体吸着材
４    容器（第１の包材）
５    ノッチ（切り欠き）
６，７    開閉機構
１０    気体吸着デバイス構造体
【図１Ａ】
0005845422.tif 000002
【図１Ｂ】
0005845422.tif 000003
【図２Ａ】
0005845422.tif 000004
【図２Ｂ】
0005845422.tif 000005
【図３】
0005845422.tif 000006
【図４Ａ】
0005845422.tif 000007
【図４Ｂ】
0005845422.tif 000008
【図５Ａ】
0005845422.tif 000009
【図５Ｂ】
0005845422.tif 000010
【図６Ａ】
0005845422.tif 000011
【図６Ｂ】
0005845422.tif 000012