(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納用の容器が載置される載置台と、
当該載置台を、当該載置台に前記容器が載置される容器搬入出位置と、当該載置台上の前記容器と基板を搬入出する装置との間で基板搬入出を行う基板搬入出位置とに進退移動可能に支持するスライダを備えたスライド機構と、
前記容器搬入出位置と前記基板搬入出位置との間の回転位置にて、当該スライド機構を回転可能に支持する回転体を備えた回転機構と、
前記載置台の、前記容器搬入出位置と前記回転位置との間及び前記回転位置と前記基板搬入出位置との間における進退移動をガイドする直動ガイド部と、
前記載置台の前記回転位置における回転をガイドする回転ガイド部と、
を備えており、
前記載置台は更に被ガイド部を備え、
前記載置台は、前記被ガイド部が前記直動ガイド部にガイドされることで進退移動され、前記被ガイド部が前記回転ガイド部にガイドされることで回転される、
ことを特徴とする基板収納用の容器の搬入出装置。
【請求項２】
前記回転機構は、装置基礎部に固定された回転基部と、当該回転基部に回転可能に支持された前記回転体とを備えており、
前記回転基部が固定されている前記装置基礎部に、前記載置台が前記回転位置で回転可能となるようにガイドする前記回転ガイド部が設けられる、
請求項１に記載の基板収納用の容器の搬入出装置。
【請求項３】
前記載置台は、当該載置台の上面から上方に突出していると共に載置された容器を位置決め状態で支持する位置決めピンを備え、
当該位置決めピンは、当該位置決めピン上に載置された前記容器を、基板搬入出時の容器の高さ位置と同じ高さ位置に支持するものであり、
前記位置決めピンの前記載置台上面からの長さは、当該位置決めピン上に載置された前記容器の底面と前記載置台の上面との間に、作業空間が形成される長さであり、
当該作業空間は、移載対象の容器が載置されるフォーク部を備えた移載機器の当該フォーク部を挿入可能な空間であり、
前記スライド機構は、前記載置台の前記位置決めピン上に載置された前記容器を水平移動させるものである、請求項１又は２に記載の基板収納用の容器の搬入出装置。
【請求項４】
前記載置台に載置された容器内に対してパージ用気体で置換するため給排気ノズルを備えたノズルユニットを、さらに備えており、
当該ノズルユニットは、前記基板搬入出位置の載置台に載置された前記容器の底面に形成されたノズルポートに前記給排気ノズルが繋がる通気位置と、当該給排気ノズルが前記ノズルポートから離れた下降位置とに昇降可能な昇降機構を備え、前記装置基礎部に設置されたものである、請求項１又は２に記載の基板収納用の容器の搬入出装置。
【請求項５】
前記ノズルユニットは、
前記パージ用気体を充填する給気ノズルと、
前記容器内のガスを排出する排気ノズルと、
前記給気ノズル及び前記排気ノズルを支持するノズル支持体と、
を備え、
前記ノズル支持体は、前記給気ノズル及び前記排気ノズルの組を二組備え、
一方の組の給気ノズル及び排気ノズルと、別の組の排気ノズルとが、容器の前記基板搬入出位置側に設けられ、別の組の給気ノズルが容器の前記容器搬入出位置側に設けられる、
請求項４に記載の基板収納用の容器の搬入出装置。
【請求項６】
載置台に対して基板収納用の容器が搬入出され、搬入された前記容器内の基板を搬入出する搬入出装置における前記容器の搬入出方法であって、
前記容器が搬入された前記載置台を、容器搬入出の位置から基板を搬入出する位置へ向けて移動させると共に、前記容器搬入出の位置と前記基板を搬入出する位置との間の回転位置で停止させる第１移動工程と、
前記載置台を前記回転位置で回転させて、載置された前記容器の基板搬入出部を基板が搬入出される方向に向ける回転工程と、
前記容器の向きを維持したまま、前記載置台を前記回転位置から前記基板を搬入出する位置へ向けてさらに移動させる第２移動工程と、
を備え、
前記第１移動工程及び前記第２移動工程における移動は、前記載置台に設けた被ガイド部を、前記搬入出装置の基礎部に設けた直動ガイド部にガイドさせつつ行われ、
前記回転工程における回転は、前記被ガイド部を、前記基礎部に設けた回転ガイド部にガイドさせつつ行われる、
ことを特徴とする基板収納用の容器の搬入出方法。
【請求項７】
前記容器に対してパージ用気体を充填すると共に容器内のガスを排出するパージ工程を更に備え、
前記第２移動工程により前記基板を搬入出する位置へ移動された前記容器に対して、前記パージ工程を行う、
請求項６に記載の基板収納用の容器の搬入出方法。
【請求項８】
前記容器の底面に接続可能なノズルユニットを昇降させる昇降工程と、
前記容器に接続された前記ノズルユニットにより、前記容器にパージ用気体を充填すると共に容器内のガスを排出し、パージを行うパージ工程と、
を更に備え、
前記第２移動工程により前記基板を搬入出する位置へ移動された前記容器に対して、前記昇降工程により前記ノズルユニットを上昇させると共に容器の底面にノズルユニットが接続された後、前記パージ工程によりパージが行われる、
請求項６に記載の基板収納用の容器の搬入出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロードポートなどで用いられる基板収納用の容器の搬入出装置及び容器の搬入出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ロードポートには、ロードポートに搬入された基板収納用の容器（以下、FOUP（フープ）と称する）を回転させる回転・昇降手段20と、当該回転・昇降手段20によって回転された容器30を受取って進退移動させる移動手段38とを備えているものがある（特許文献１の図１、図２参照）。
また、別のロードポートとして、FOUPが載置されるステージ12と、ステージを回転させる回転機構31〜35と、ステージを昇降させる昇降機構39とを備え、これらの部材12，31〜35,39を進退移動させる移動機構を備えているものがある。（特許文献２の図１、図３参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４１６８７２４号公報
【特許文献２】特許第４８１６６３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１のロードポートでは、FOUPを進退移動させる移動手段38とは別の構造物として、FOUPを回転させる回転・昇降手段20が設置されている。そして、このロードポートは、搬入されたFOUPを保持するクランプを備えていない。FOUPを上下動、回転させる動作をクランプせずに行うと、上下動時や回転時のFOUPの保持状態が不安定になるという問題がある。また、移動手段38と回転・昇降手段20との間でFOUPの受渡しを行う必要があり、この動作の際も、FOUPの保持状態が不安定になる。
また、特許文献２のロードポートは、FOUPのステージ12、ステージの回転機構31〜35およびステージの昇降機構39という多くの構造物を進退移動させる構造であるので、ロードポートが大型化し易い。また、回転時はステージ12の中心からオフセットして偏心回転を行うため、実際のところ、回転動作に必要なスペースは最少とは言い難い。また、特許文献１のロードポートと同様、クランプ機構はドックステージ38に設けてあるため、FOUPが下降する間はクランプ無しであり、FOUPは不安定な状態で下降動作される。
【０００５】
本願発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、搬入されたFOUPを安定した状態で確実に保持でき、しかもより小型化が図られたロードポート等の基板収納用の容器の搬入出装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願に係る発明は、基板収納用の容器が載置される載置台を備えていると共に、当該載置台を、載置台に容器が載置される容器搬入出位置と、載置台上の容器と基板を搬入出する装置との間で基板搬入出を行う基板搬入出位置とに進退移動可能に支持するスライダを備えたスライド機構と、当該スライド機構を回転可能に支持する回転体を備えた回転機構と、を備えており、載置台は、容器搬入出位置と基板搬入出位置との間の回転位置にて回転可能であることを特徴とする基板収納用の容器の搬入出装置とするものである。
本願に係る別の発明は、載置台に搬入された基板収納用の容器を載置台に固定するクランプ工程と、当該クランプ工程でのクランプを維持した状態で、容器搬入出の位置から載置台を移動させ、回転位置で停止させる第１移動工程と、クランプ工程でのクランプを維持した状態で、載置台を前記回転位置で回転させて、載置された容器の基板搬入出部が基板搬入出時の向きに向く状態になる基板搬入出時方向に載置台を向ける回転工程と、クランプ工程でのクランプを維持し且つ載置台を基板搬入出時方向に向けた状態で、当該載置台を回転位置から基板を搬入出する位置にさらに移動させる第２移動工程と、を有することを特徴とする基板収納用の容器の基板搬入出方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本願に係る発明である基板収納用の容器の搬入出装置によれば、回転機構が装置本体に固定されており、回転機構の中心と載置台の中心を合わせた回転位置で回転しているので、回転動作に必要なスペースが最小となる。また、固定された回転機構が載置台を保持し、進退移動する部分が載置台だけであるので、回転機構を付加したにも拘わらず、装置全体がコンパクトで、安定した動作を実現できている。
また、前記回転機構は、前記回転位置における回転によって、スライド機構の進退移動の向きを反転させるものであるため、前記スライド機構を一定方向に進退させるだけで載置台を他の移載機から受け取る容器搬入時位置と容器を回転させる回転位置、さらに容器内の基板を出し入れする基板搬入出位置と多点停止することを可能にしている。安価な２点停止シリンダ等を利用して載置台の進退移動範囲を広げることができ、移載機側からのアクセスも容易になる。
また、前記回転基部が固定されている前記装置基礎部には、前記載置台が前記回転位置で回転可能となるようにガイドするガイド部が、さらに設置されている。これにより、容器が回転する位置は前記回転基部の中心と載置台の中心を合わせた位置のみで回転することになり回転動作に必要なスペースが最小となる。
さらに前記ガイド部によってガイドされる被ガイド部は、前記載置台に設置されたガイドピンであるため、回転位置以外での回転動作規制が容易となる。
また、前記載置台に設置された位置決めピンの載置台上面からの長さは、当該位置決めピン上に載置された前記容器の底面と前記載置台の上面との間に、作業空間が形成される長さであり、当該作業空間は、移載対象の容器が載置されるフォーク部を備えた移載機の当該フォーク部を挿入可能な空間としている。つまり、フォークは前記位置決めピン上に容器を載せた後、容器から離れる位置まで下降し、後退することで載置台への受け渡しが実現する。そのため、載置台の昇降機構が不要であり、装置をコンパクトにできる。
また、前記載置台に載置された容器内に対してパージ用気体を充填するための給排気ノズルを備えたノズルユニットを、さらに備えており、当該ノズルユニットは、前記基板搬入出位置の載置台に載置された前記容器の底面に形成されたノズルポートに前記給気ノズルが繋がる通気位置と、当該給気ノズルが前記ノズルポートから離れた下降位置とに昇降可能な昇降機構を備えている。そのため、本発明のように前記ノズルポートと載置台に距離がある場合でも給排気ノズルが昇降するので載置台上でパージが可能となる。
本願に係る別の発明である基板収納用の容器の搬入出方法によれば、載置台に搬入された基板収納用の容器を前記載置台に固定するクランプ工程と、当該クランプ工程でのクランプを維持した状態で、容器搬入出の位置から前記載置台を移動させ、回転位置で停止させる第１移動工程と、前記クランプ工程でのクランプを維持した状態で、前記載置台を前記回転位置で回転させて、載置された前記容器の基板搬入出部が基板搬入出時の向きに向く状態になる基板搬入出時方向に前記載置台を向ける回転工程と、前記クランプ工程でのクランプを維持し且つ前記載置台を前記基板搬入出時方向に向けた状態で、当該載置台を回転位置から基板を搬入出する位置にさらに移動させる第２移動工程とから行われる。そのため、容器が載置台へ受け渡された直後からクランプされるため、回転動作および載置台の進退移動時に不安定にならず、これらの動作を迅速に行うことができる。
さらに前記クランプ工程は、前記載置台の高さ位置および当該載置台に載置された前記容器の高さ位置が一定の状態で行われ、前記第１移動工程は、前記載置台を前記搬入出の位置から前記回転位置に水平移動させ、前記第２移動工程は、前記載置台を前記回転位置から前記搬入出する位置に水平移動させる工程である。容器が載置台にクランプされた後は上下動作なく、同じ高さを維持したままであるためクランプ状態が堅固に維持されスライド・回転動作を迅速に行うことができる。
また、前記基板収納用容器の搬入出方法には移載対象の容器が載置されるフォーク部を備えた搬送機器を用いて、前記載置台に上方に向けて突出する状態で設置された位置決めピンの上に前記容器を移載する搬入工程をさらに備えており、前記搬入工程は、前記フォーク部を移動させて移載対象の前記容器を前記位置決めピン上に移載する移載動作と、当該移載動作後のフォーク部を、前記位置決めピン上に移載された容器の底面と前記載置台の上面との間に形成された作業空間に下降させるフォーク部下降動作と、前記フォーク部を前記作業空間から抜き取る退避動作とを含んでいる。そのため、前記載置台を上下動させる必要がなく、フォーク部が容器を位置決めピンに受け渡し、該作業空間に下降し退避動作の直後に載置台側のクランプ動作が開始できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係る基板収納用の容器の搬入出装置を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ―Ａ面における断面を示す断面図である。
【図３】図１の搬入出装置を示す分解斜視図である。
【図４】図１の搬入出装置の装置本体を示す平面図である。
【図５】図５（Ａ）〜（Ｅ）は、図１に示す搬入出装置の動作を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【０００９】
１…FOUP（容器）の搬入出装置、1a…搬入出装置本体（装置基礎部）、
５…FOUP（フープ、容器）、
10…載置台、10a…載置台の前端、11,11a,11b…位置決めピン、11g…前側ゲート部、
12…クランプ部材、12a…爪部、13…検知ピン、20…スライド機構、
21…スライド機構本体、21a…ガイドレール、22…スライダ、23…アクチュエータ、
23a…エアシリンダ、23b…ロッド、23c…コイルバネ、23d…連結部材、
30…回転機構、31…回転基部、32…回転体、
40…ガイド機構、41…第１直動ガイド部、42…回転ガイド部、
43…第２直動ガイド部、44…ガイドピン（フォロア）、
50…ノズルユニット、51…給気ノズル（給排気ノズルの一つ）、51a…ノズルポート、
52…排気ノズル（給排気ノズルの一つ）、52a…ノズルポート、53…ノズル支持体、
54…昇降機構、55…ノズル支持体
D1…FOUP搬入出の向き（フープ搬入出の向き）、
D2…ロードポートドアの向き、D3…進退移動方向、
DB…後退移動、P1〜P4、P9…ガイドピンの位置、S1…作業空間、Ｔ…フォーク部。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明に係る基板収納用のFOUP（容器）の搬入出装置について、図面を参照しつつ説明する。
図１に示すように、搬入出装置１は、FOUP５（図２参照）が載置される載置台10と、載置台10を進退移動可能に支持するスライド機構20と、スライド機構20を回転可能に支持する回転機構30（図２）と、載置台10の動きをガイドするガイド機構41〜43（図４参照）と、載置台10上に載置されたFOUP５内のパージを行うためのノズルユニット50と、を備えている。
【００１１】
載置台10は、載置台10の上面から上方に突出する状態で設置された位置決めピン11(11a,11b)と、FOUP５をクランプするためのクランプ部材12とを備えている。
【００１２】
本実施形態で用いられている載置台10は、３本の位置決めピン11を備えている。載置台10に移載されたFOUP５は、３本の位置決めピン11の上に載置された状態で支持される。FOUP５は、その底面に、位置決めピンの先端が差し込まれるＶ溝（不図示）を備えている。従って、FOUP５は、３本の位置決めピン11によって載置台10上の所定のFOUP載置位置（図２のフープＦの位置参照）に確実に位置決めされる。３本の位置決めピン11の先端位置は同一高さであり、FOUP５は載置台10上の所定のFOUP載置位置に水平状態で支持される。なお、FOUP載置位置の高さは、基板搬入出位置の載置台10に載置されたFOUP５の高さ位置と同じである。
３本の位置決めピン11の配置は、載置台10の前側（基板の搬入出側）に２本、後側（FOUPの搬入出側）に１本である。前側に配置された２本の前側位置決めピン11a,11aは、載置台10の前部の左右両側に離間して配置されており、両位置決めピン11a,11aの間には、幅広のゲート幅の前側ゲート部11gが形成されている。
また、載置台10の上面から３本の位置決めピン11の先端までの長さ（高さ）は、位置決めピン上に載置されたFOUP５の底面と載置台10の上面との間に作業空間S1（図２）が形成される長さである。そして、作業空間S1の載置台10の前方側には、前述した前側ゲート部11gが位置している。
作業空間S1は、例えば、後述するように、フォーク部Ｔ（図５（Ａ）参照）を備えた移載機（移載機、不図示）を用いて位置決めピン11上にFOUP５を移載する際に利用される空間である。この作業空間S1があると、所定のフープ載置位置に対してFOUP５を、フォーク部Ｔを用いて容易に搬入出することができると共に、FOUP５の移載後に、FOUP５を昇降させなくて済む。
【００１３】
クランプ部材12は、載置されたFOUP５を載置台10に対して固定するためのものであり、FOUP５を載置台10にクランプするロック位置（図３の二点鎖線の位置参照）と、クランプが解除されるアンロック位置（図３の位置参照）とに回動可能になっている。そして、クランプ部材12は、その先端にクランプ用の爪部12aを備えている。従って、クランプ部材12をロック位置に回動させるとFOUP５が載置台10に固定され、アンロック位置に回動させるとFOUP５が載置台10から搬出可能な状態になる。
なお、符号「13」で示されているものは、載置台10へのFOUP５の搬入を検知する手段である検知ピンである。
【００１４】
図３に示すように、スライド機構20は、回転機構30に回転可能に設置されたスライド機構本体21と、スライド機構本体21に対してスライド可能に設置されたスライダ22と、スライド機構本体21に設置されたアクチュエータ23とを備えている。
【００１５】
スライド機構本体21は、直線状に延在するガイドレール21aを備えており、ガイドレール21a上にスライダ22がスライド可能に設置されている。スライド機構本体21は、ガイドレール21aが水平になるように設置されている。従って、スライダ22と、スライダ22上に固定された載置台10は、いずれも、水平方向に移動する。つまり、スライド機構20は、載置台10に載置されたFOUP５を水平移動させるものである。
【００１６】
アクチュエータ23はエアシリンダ23aを備えている。このエアシリンダ23aは、スライダ22をスライドさせるための駆動源であり、エアシリンダ本体に対して出没するロッド23bと、ロッド23bに外挿されたコイルバネ23cと、ロッド23bの先端に設置された連結部材23dとを備えている。この連結部材23dは、載置台10の底面に固定されている。また、ロッド23bの延在方向（出没方向）は、ガイドレール21aの延在方向と一致している。
従って、エアシリンダ23aのロッド23bを出没させると、この動作に連動して、スライダ22及び載置台10がガイドレール21aの延在方向に移動する。
より具体的には、載置台10は、ロッド23bが最も縮んだとき（没したとき、図３参照）、回転位置に位置する（図５（Ｂ）及び（Ｃ）参照）。このとき、スライダ22は回転時位置である。
そして、ロッド23bがFOUP搬入出の向きD1に向いた状態（図５（Ａ），（Ｂ）参照）で伸びると（突出すると）、載置台10が所定のフープ搬入出位置に位置する（図５（Ａ）参照）。また、ロッド23bがロードポートドアの向きD2に向いた状態（図５（Ｄ）参照）で伸びると、載置台10が所定の基板搬入出位置（図５（Ｄ）参照）に位置する。
コイルバネ23cは、載置台10をロッド23bの突出方向に付勢することによってロッド側の部材に押し当てて位置決めしているものである。従って、ロッド23bの先端部がD2方向へ突出する際、載置台前端10bとノズルユニット50の間に異物が挟まったときはコイルバネ23cの弾発力（付勢力）によって、過度な押圧が避けられるようになっている。また、スライド機構20を回転させて用いるので、載置台10をFOUP搬入出位置に移動させる動作と、基板搬入出位置に移動させる動作は、いずれも、ロッド23bを突出させることにより行われる。このように、ロッド23bの一方向の動きで、二つの動作を実行できるようになっており、安価な機器で長い範囲で多点停止を実現できる。
なお、載置台10がFOUP搬入出位置のとき、スライダ22はFOUP搬入出時位置であり、載置台10が基板搬入出位置のとき、スライダ22は基板搬入出時位置である。
【００１７】
回転機構30は、搬入出装置本体1a（以下、装置本体と称する）に設置された回転基部31と、回転基部31に対して回転可能に支持された回転体32と、回転体32を回転させる駆動源（不図示）とを備えている。つまり、回転基部31は、装置本体1aに固定されている。別言すれば、回転基部31は、載置台10のFOUP搬入出位置や基板搬入出位置に対する相対位置が一定である。このように、回転基部31を装置本体1aに固定すると、回転機構30の回転体32の回転動作が安定する。また、回転機構30が固定されており、スライド移動する部分が載置台10だけであるので、回転機構30を付加したにも拘わらず、装置全体がコンパクトである。
そして、回転体32はスライド機構20を支持している。従って、回転体32が回転すると、スライド機構20及びスライド機構20に設置された載置台10が回転する。
より具体的に説明すると、スライド機構20及び載置台10は、回転機構30によって、載置台10の前端10a（図１参照）がFOUP搬入出の向きD1に向いた状態（図５（Ａ）及び（Ｂ）参照、FOUP搬入出時の向き）になる第１回転方向（FOUP搬入出側対面状態）と、載置台10の前端10aがポートドアの向きD2に向いた状態（図１参照、基板搬入出時の向き）になる第２回転方向（FOUPドア対面状態）とに回転可能である。
また、回転体32は、ガイドレール21aが水平になるようにスライド機構20を支持している。従って、スライダ22と、スライダ22上に設置された載置台10は、いずれも、水平方向に進退移動する。つまり、スライド機構20は、載置台10を水平移動させるものである。
【００１８】
図４に示すように、ガイド機構40は、装置本体1aに設置されたガイド部41,42,43と、載置台10に設置されたフォロア（被ガイド部）44とを備えている。
フォロア44は、載置台の下面から下方に延びる状態に設置されたガイドピンであり、載置台10と一体的にスライドすると共に回転する。
そして、ガイド部41〜43は、ガイドピン44の動きをガイドすることによって載置台10の動きをガイドするものであり、第１直動ガイド部41と、回転ガイド部42と、第２直動ガイド部43と、を備えている。
第１直動ガイド部41は、載置台10の進退移動方向D3（図４）に延在する第１ガイド段差部で構成されている。この第１直動ガイド部41は、FOUP搬入出位置（図５（Ａ）参照）と回転位置（図５（Ｂ）参照）との間に位置する載置台10が進退移動方向D3にのみ移動し且つ回転しないように、ガイドピン44をガイドする。
回転ガイド部42は、円弧形状の円弧ガイド段差部で構成されている。この回転ガイド部42は、回転位置に位置する載置台10の前端10aがポートドアの向きD2に向く状態（図１、図５（Ｃ）参照）になる基板搬入出時回転位置と、載置台10の前端10aがFOUP搬入出の向きD1に向く状態（図５（Ａ）及び（Ｂ）参照）になるようにFOUP搬入出時回転位置との間で回転し、且つ進退移動方向D3には移動しないように、ガイドピン44をガイドする。つまり、回転ガイド部42は、１８０°反転する載置台10の回転動作をガイドするものである。また、載置台10が回転位置に位置するとき、載置台10の中心と回転機構30の回転体32の中心とが合うようになっているので、載置台10の回転動作に必要なスペースが最小となる。
第２直動ガイド部43は、載置台10の進退移動方向D3に延在する第２ガイド段差部で構成されている。この第２直動ガイド部43は、回転位置と基板搬入出位置（図５（Ｄ）参照）との間に位置する載置台10が進退移動方向D3にのみ移動し且つ回転しないように、ガイドピン44をガイドする。
このようなガイド部41〜43によってガイドされるガイドピン44は次のような位置に位置する。つまり、載置台10がFOUP搬入出位置（図５（Ａ）参照）のとき、ガイドピン44はFOUP搬入出時位置P1（図４参照）である。そして、載置台10が回転位置のとき、ガイドピン44は載置台10の回転状態に連動して、一方の回転終端位置（FOUP搬入出側回転終端位置）P2と他方の回転終端位置（基板搬入出側回転終端位置）P3との間の回動位置（例えば位置P9）である。また、載置台10が基板搬入出位置（図５（Ｄ）及び（Ｅ）参照）のとき、ガイドピン44は基板搬入出時位置P4である。
なお、各ガイド部41〜43は、本実施の形態では段差部であるが、これに限られるものではない。例えば、ガイドピンを案内する溝構造であってもよい。
【００１９】
ノズルユニット50は、載置台10に載置されたFOUP５内に不活性ガス（パージ用気体）を充填するため給気ノズル51と、FOUP５内のガスを排出するための排気ノズル52と、これらのノズル51,52を支持するノズル支持体53と、ノズル支持体53を昇降させる昇降機構54とを備えている。なお、ノズルユニット50は、例えば、FOUP５内に対して、窒素ガスやアルゴンガスをはじめとする不活性ガスなどのパージ用の気体を給排気する際に用いられる。また、各ノズル51,52は、周知の構造であるので、ここではその詳細な説明を省略する。
ノズル支持体53は、載置台10よりも高い位置まで上昇可能とされている。より具体的には、ノズル支持体53は、載置台10と載置台10に載置されたFOUP５の底面との間で昇降可能とされている。このような配置であるので、載置台10をノズル支持体53の下側まで後退移動させることができる（図５（Ｄ）の状態）。また、載置台10の基板搬入出位置への移動が完了した状態で、ノズル支持体53を上昇させて（図５（Ｅ）の状態）、パージ動作を行うことができる。
昇降機構54は、装置本体1aに設置されており、ノズル支持体53を通気位置（図５（Ｅ）参照）と下降位置（図５（Ｄ）参照）とに昇降させるものである。ノズル支持体53は、例えば、FOUP５が載置された載置台10が基板搬入出位置（図５（Ｄ）参照）に位置するとき、通気位置に上昇される。ノズル支持体53が通気位置に上昇されると、給気ノズル51及び排気ノズル52が、載置台10のFOUP５の底面に形成された対応するノズルポート（不図示）に接続される。そして、ノズル支持体53が下降位置に下降されると、接続が解除され、給気ノズル51及び排気ノズル52がノズルポートから離れる。
尚、容器メーカーによっては、給気用のノズルポートがFOUPの後方側の底面（FOUPドアと反対側の底面）に、排気用のノズルポートがFOUPの前方側の中央寄りの底面（FOUPドア側の底面）に設けられる場合がある。本実施の形態に係る搬入出装置１は、図３に示すように、載置台10における位置決めピン11bの両側にノズル支持体55,55を設けており、そのノズル支持体55,55に給気用ノズル51a,51aを、また、ノズル支持体53のノズル51,52よりも内側の位置に、別のノズル52a,52aを設けている。
これにより、本実施の形態に係る搬入出装置１における昇降機構54内の給気配管は、各容器のノズルポートの位置に合わせ、給排気口を変更できるように切り替え可能となっており、且つ、給気・排気の経路も接続により容易に変更可能としている。また、ノズル支持体55は載置台10のスライド、回転動作時に他方のノズル支持体53と干渉しないようにＬ字型フレームで形成しているが、これに限らず、前記昇降機構54と同じように上下動させる構造としてもよい。
【００２０】
このような搬入出装置の動作を図５を参照しつつ説明する。
ここでは、搬入工程を起点として動作説明を行う。搬入工程は、搬入出装置１の載置台10の位置決めピン11上にFOUP５を移載する工程である。そして、ここでは、FOUP５を移載する手段として、移載対象のFOUP５を載置台10まで搬送して移載するフォーク部Ｔを備えた移載機（不図示）を用いている。
なお、搬入工程の実行開始時、移載対象のFOUP５は、移載機のフォーク部Ｔの上に載置されており、搬入出装置１の載置台10は、フープ搬入出位置（図５（Ａ）参照）に位置している。従って、スライド機構20のエアシリンダ23aのロッド23bは、載置台10がフープ搬入出位置に位置する状態になるまで突出した状態である。このとき、スライダ22は、FOUP搬入出時位置であり、ガイドピン44は、フープ搬入出時位置P1（図４参照）である。
【００２１】
搬入工程では、まず、移載機のフォーク部Ｔを動作させて、フォーク部Ｔ上のFOUP５を載置台10上に位置させ、その後、フォーク部Ｔを下降させて、FOUP５を位置決めピン11上に載置する（移載動作、図５（Ａ）参照）。すると、検知ピン13がFOUP５が載置されたことを検知する。そして、これにより、FOUP５が位置決めピン11によって所定のFOUP載置位置に位置決めされた状態で支持される。
なお、搬入工程では、載置台10は、その前端10a（図１参照）がFOUP搬入出の向きD1に向いた状態（図５（Ａ）参照）になっており、幅広のゲート幅の前側ゲート部11gがFOUP搬入出の向きD1に向けられている。従って、フォーク部Ｔを前側ゲート部11gから移載したFOUP５の底面と載置台10の上面との間に形成された作業空間S1内に挿入することができる。また、FOUP５は、蓋体で閉じられた開口が載置台10の前端10a側に向けられた状態で、載置台10上に移載される。
その後、フォーク部Ｔをさらに下降させて、移載したFOUP５の底面からフォーク部Ｔを離間させた後（フォーク部下降動作）、フォーク部Ｔを作業空間S1から抜き取るように移動させる（退避動作）。これにより、搬入工程が完了する。ここで、作業空間S1は、前述した移載動作、フォーク部下降動作、および退避動作を行うことが可能な空間である。位置決めピン11の高さは、これら３つの動作を十分に行うことができるように設定される。
【００２２】
次に、クランプ工程を実行する。クランプ工程は、載置台10に移載されたFOUP５を載置台10に対して固定する工程である。
クランプ工程では、アンロック位置に位置するクランプ部材12をロック位置に向けて立ち上がるように回動させる。すると、クランプ部材20の先端の爪部がFOUP５の底面の係合部に係合し、FOUP５が載置台10に固定される。FOUP５を載置台10に固定すると、載置台10をロードポートドア側に向けて移動させる際、FOUP５の脱落等が確実に防止される。本クランプ工程は、クランプ部材12の動作だけであり、載置台10を昇降させるような動作は不要である。従って、搬入工程が完了すると、迅速にクランプ工程を実行してクランプ状態にすることができる。
【００２３】
次に、第１移動工程を実行する。第１移動工程は、クランプ工程でのクランプを維持した状態で、FOUP５が載置された載置台10をFOUP搬入出位置（図５（Ａ）参照）から回転位置（図５（Ｂ）参照）に移動させ、停止させる工程である。
第1移動工程開始時、スライド機構20のエアシリンダ23aのロッド23bは、フープ搬入出の向きD1に向けて進出した状態であり、スライダ22も進出した状態である（図５（Ａ）参照）。第１移動工程では、この状態のロッド23bを縮むように没動させる。これにより、載置台10がフープドア側に水平方向に後退移動DBし、回転位置に位置する状態になる（図５（Ｂ）参照）。
このとき、載置台10のガイドピン44は、第１直動ガイド部41に沿って移動する。第１直動ガイド部41があるので、載置台10は、回転が防止された状態で後退移動DBする。
【００２４】
次に、回転工程を実行する。回転工程は、クランプ工程でのクランプを維持した状態で、回転位置の載置台10を回転させる工程である。
回転工程開始前の載置台10は、その前端10aがフープ搬入出の向きD1に向く状態であり、ガイドピン44がポジションP2（図１参照）に位置する状態である。
この状態で、回転機構を作動させて、載置台10の前端10aがロードポートドアの向き（基板搬入出時の向き）D2に向く状態（図５（Ｃ）参照）になるまで載置台10を回転させる。これにより、エアシリンダ23aのロッド23bの向きが逆になり、ロードポートドア側に向いた状態になる。つまり、回転工程によって、載置台10の向きが１８０°反転する。
このとき、ガイドピン44は、回転ガイド部42に沿って移動して、ポジションP3（図１参照）の位置に達する。回転ガイド部42があるので、載置台10を、進退移動を防止しつつ安定した状態で回転させることができる。
回転位置以外の位置で回転すると、載置台10や載置台上のFOUP５が周辺の部材に衝突するなどの不具合が発生するおそれがあるが、本実施形態の装置は、上述したガイド部41〜43を設けることで、このような不具合を確実に防止している。
【００２５】
次に、第２移動工程を実行する。第２移動工程は、クランプ工程でのクランプを維持し且つ載置台10の前端10aをロードポートドアの向きD2に向けた状態を維持した状態で、FOUP５が載置された載置台10を回転位置から基板搬入出位置（図５（Ｄ）参照）に移動させる工程である。
第２移動工程では、スライド機構20のエアシリンダ23aを作動させて、ロッド23bを突出移動させる。これにより、載置台10が水平方向に後退移動DB（ロードポートドア側に移動）して、基板搬入出位置に位置する状態になる（図５（Ｂ）参照）。
このとき、載置台10のガイドピン44は、第２直動ガイド部43に沿って移動する。この第２直動ガイド部43があるので、載置台10を、回転を防止しつつ後退移動DBさせることができる。
【００２６】
このようにして、FOUP５を基板搬入出位置に移動させると、基板搬入出工程を実行することができる状態になる。なお、基板搬入出工程は、周知の動作であるので、ここではその詳細な説明を省略する。
第２移動工程終了後、必要に応じて、吸排気工程を実行してもよい。吸排気工程は、FOUP５内にパージ用気体を充填したり、FOUP５内の気体を排気したりする工程である。
吸排気工程では、まず、ノズルユニットの昇降機構を作動させて、ノズル支持体を給気位置に上昇させる。これにより、吸気ノズル及び排気ノズルがFOUP５の底部の対応するポート（不図示）に接続される。その後、吸気ノズルを介してFOUP５内にパージ用気体を充填すると共にFOUP５内の気体を排気ノズルを介して排気する。
【００２７】
そして、基板搬入出工程が完了すると、基板搬入出位置のFOUP５をFOUP搬入出位置に移動させて、搬入出装置１から搬出する。ただし、基板搬入出工程が完了したFOUP５を搬入出装置１から搬出するまでの動作は、上述した工程を逆の順番で行う動作であるので、ここでは、その詳細な説明を書略する。
【００２８】
上述したように、本実施形態の搬入出装置１では、載置台10に移載されたFOUP５は、基板搬入出位置に移動され、載置台10から搬出するまで、常に載置台10にクランプされた状態であるので、FOUP５を安定した状態で移動させることができる。
また、載置台10は、進退移動時、上下動させることはないので、載置台10に載置されたFOUP５を安定した状態で迅速に搬送することができる。
【００２９】
なお、本発明に係る基板収納用の容器の搬入出装置及び基板収納用の容器の搬入出方法は、上記実施形態に限られるものではなく、本発明には、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で改変された種々の態様の装置及び方法が含まれる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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