(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記工程（ａ）〜（ｄ）を含む、
第１電極層スタックおよび第２電極層スタック間に形成された、互いに非混和性の極性液体および無極性液体を含む収容空間、を区画する
隔壁の製造方法。
（ａ） 感光性組成物を用いて膜を形成する工程
（ｂ） 前記膜を露光する工程
（ｃ） 前記露光された膜を、アルカリ水溶液を用いて現像する工程
（ｄ） 前記現像された膜に風を当てる工程
【請求項２】
前記工程（ｄ）が風を吹き付ける工程である、請求項１に記載の隔壁の製造方法。
【請求項３】
さらに、（ｅ）前記工程（ｄ）後の膜を加熱する工程を含む、請求項１または２に記載の隔壁の製造方法。
【請求項４】
前記工程（ｄ）における風を吹き付ける際の風速が１〜２００ｍ／秒である、請求項２または３に記載の隔壁の製造方法。
【請求項５】
前記工程（ｄ）における風を吹き付ける際の風速が１〜１００ｍ／秒である、請求項２〜４のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項６】
前記アルカリ水溶液が、塩基性化合物を含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項７】
前記アルカリ水溶液が、窒素原子を有する化合物、ナトリウム原子を有する化合物およびカリウム原子を有する化合物からなる群より選ばれる少なくとも１つの化合物を含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項８】
前記アルカリ水溶液が、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化テトラプロピルアンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウム、水酸化テトラへキシルアンモニウム、水酸化トリメチル（２−ヒドロキシエチル）アンモニウム、トリメチルモノエタノールアンモニウムハイドロオキサイド、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウムおよび炭酸水素カリウムからなる群より選ばれる少なくとも１つの化合物を含む、請求項１〜７のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項９】
前記アルカリ水溶液中の塩基性化合物の濃度が、０．０１〜１０質量％である、請求項６〜８のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項１０】
前記アルカリ水溶液中の塩基性化合物の濃度が、０．０１〜５質量％である、請求項６〜９のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項１１】
前記アルカリ水溶液が界面活性剤を含む、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項１２】
前記アルカリ水溶液が有機溶剤を含む、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項１３】
前記感光性組成物がアルカリ可溶性重合体および光開始剤を含む、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項１４】
前記感光性組成物が架橋剤を含む、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項１５】
前記アルカリ可溶性重合体の含有量が、前記感光性組成物中の全固形分に対し、２０〜８０質量％である、請求項１３または１４に記載の隔壁の製造方法。
【請求項１６】
前記アルカリ可溶性重合体は、カルボキシル基、フェノール性水酸基およびシラノール基からなる群より選ばれる少なくとも１つの官能基を有する化合物である、請求項１３〜１５のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項１７】
前記アルカリ可溶性重合体が、アクリル樹脂、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシロキサン、ポリオレフィン、カルド骨格を有する樹脂およびノボラック樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１つの重合体である、請求項１３〜１６のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項１８】
前記架橋剤の含有量が、前記感光性組成物中の全固形分に対し、１０〜７０質量％である、請求項１４〜１７のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項１９】
前記光開始剤の含有量が、前記感光性組成物中の全固形分に対し、０．１〜２０質量％である、請求項１３〜１８のいずれか１項に記載の隔壁の製造方法。
【請求項２０】
請求項１〜１９のいずれか１項に記載の製造方法で得られた隔壁を用いて表示素子を製造する、表示素子の製造方法。
【請求項２１】
請求項２０に記載の製造方法で得られた表示素子を用いてエレクトロウェッティングディスプレイを製造する、エレクトロウェッティングディスプレイの製造方法。
【請求項２２】
前記エレクトロウェッティングディスプレイがカラーフィルタ層を含む、請求項２１に記載のエレクトロウェッティングディスプレイの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、隔壁の製造方法、表示素子およびエレクトロウェッティングディスプレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、第１電極層スタックと、第２電極層スタックと、前記第１電極層スタックおよび前記第２電極層スタック間に形成された、互いに非混和性の極性液体および無極性液体を含む収容空間を区画する隔壁とを備える表示素子、具体的には、エレクトロウェッティング表示素子が知られている。
このエレクトロウェッティング表示素子では、例えば、疎水性表面を有する電極上の非混和性の極性液体および無極性液体（通常着色されている）に電圧を印加することで、前記疎水性表面の極性液体（無極性液体）に対する接触角が変化することを利用した現象により、表示の切り替えを行う。
【０００３】
エレクトロウェッティング表示素子は、高い輝度およびコントラスト比、大きい視野角ならびに速いスイッチ速度等を示し、また、フロントまたはバックライトを必要としないため、消費電力が比較的低い。このため、該素子は、様々な光応用分野、例えば、光ファイバー用光スイッチ、カメラまたは誘導装置用光シャッターもしくはフィルター、光ピックアップ素子、光導波路材料およびビデオディスプレイピクセルに利用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１〜２には、このような現象を利用した表示素子が開示されている。また、特許文献３には、エレクトロウェッティング層に関し、該層を区画するスペーサーの製造方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−５４２４６５号公報
【特許文献２】特開２０１３−９２７０１号公報
【特許文献３】特開２０１２−３７８８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記エレクトロウェッティング表示素子は、印加される電圧の有無により、無極性液体の存在状態が変化することで、文字や図形等を表示するため、印加される電圧の有無による該液体の存在状態の変化がスムーズに行われることが望まれる。
また、表示素子の長寿命化の要求に伴い、この液体の存在状態の変化が長期間安定して行われることも求められている。
【０００７】
しかしながら、従来の表示素子には、これらの要求を満足するためにさらなる改良の余地があった。特に、特許文献３に記載されているような従来の方法では、所望形状の隔壁を形成することは容易ではなかった。
【０００８】
本発明は、前記要求に鑑みてなされたものであり、所望形状の隔壁を容易に形成することができ、表示性に優れる表示素子を得ることができる隔壁の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような状況のもと、本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、特定の方法で隔壁を製造することで、前記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
本発明の構成例は以下の通りである。
【００１０】
［１］  下記工程（ａ）〜（ｄ）を含む、
第１電極層スタックおよび第２電極層スタック間に形成された、互いに非混和性の極性液体および無極性液体を含む収容空間、を区画する
隔壁の製造方法。
（ａ） 感光性組成物を用いて膜を形成する工程
（ｂ） 前記膜を露光する工程
（ｃ） 前記露光された膜を、アルカリ水溶液を用いて現像する工程
（ｄ） 前記現像された膜に風を当てる工程
【００１１】
［２］  前記工程（ｄ）が風を吹き付ける工程である、［１］に記載の隔壁の製造方法。
【００１２】
［３］  さらに、（ｅ）前記工程（ｄ）後の膜を加熱する工程を含む、［１］または［２］に記載の隔壁の製造方法。
【００１３】
［４］  前記工程（ｄ）における風を吹き付ける際の風速が１〜２００ｍ／秒である、［２］または［３］に記載の隔壁の製造方法。
［５］  前記工程（ｄ）における風を吹き付ける際の風速が１〜１００ｍ／秒である、［２］〜［４］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
【００１４】
［６］  前記アルカリ水溶液が、塩基性化合物を含む、［１］〜［５］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
［７］  前記アルカリ水溶液が、窒素原子を有する化合物、ナトリウム原子を有する化合物およびカリウム原子を有する化合物からなる群より選ばれる少なくとも１つの化合物を含む、［１］〜［６］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
［８］  前記アルカリ水溶液が、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化テトラプロピルアンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウム、水酸化テトラへキシルアンモニウム、水酸化トリメチル（２−ヒドロキシエチル）アンモニウム、トリメチルモノエタノールアンモニウムハイドロオキサイド、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウムおよび炭酸水素カリウムからなる群より選ばれる少なくとも１つの化合物を含む、［１］〜［７］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
【００１５】
［９］  前記アルカリ水溶液中の塩基性化合物の濃度が、０．０１〜１０質量％である、［６］〜［８］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
［１０］  前記アルカリ水溶液中の塩基性化合物の濃度が、０．０１〜５質量％である、［６］〜［９］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
【００１６】
［１１］  前記アルカリ水溶液が界面活性剤を含む、［１］〜［１０］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
［１２］  前記アルカリ水溶液が有機溶剤を含む、［１］〜［１１］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
【００１７】
［１３］  前記感光性組成物がアルカリ可溶性重合体および光開始剤を含む、［１］〜［１２］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
［１４］  前記感光性組成物が架橋剤を含む、［１］〜［１３］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
【００１８】
［１５］  前記アルカリ可溶性重合体の含有量が、前記感光性組成物中の全固形分に対し、２０〜８０質量％である、［１３］または［１４］に記載の隔壁の製造方法。
【００１９】
［１６］  前記アルカリ可溶性重合体は、カルボキシル基、フェノール性水酸基およびシラノール基からなる群より選ばれる少なくとも１つの官能基を有する化合物である、［１３］〜［１５］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
［１７］  前記アルカリ可溶性重合体が、アクリル樹脂、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシロキサン、ポリオレフィン、カルド骨格を有する樹脂およびノボラック樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１つの重合体である、［１３］〜［１６］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
【００２０】
［１８］  前記架橋剤の含有量が、前記感光性組成物中の全固形分に対し、１０〜７０質量％である、［１４］〜［１７］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
［１９］  前記光開始剤の含有量が、前記感光性組成物中の全固形分に対し、０．１〜２０質量％である、［１３］〜［１８］のいずれかに記載の隔壁の製造方法。
【００２１】
［２０］  ［１］〜［１９］のいずれかに記載の製造方法で得られた隔壁を含む、表示素子。
【００２２】
［２１］  ［２０］に記載の表示素子を含む、エレクトロウェッティングディスプレイ。
［２２］  カラーフィルタ層を含む、［２１］に記載のエレクトロウェッティングディスプレイ。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、現像残渣や水ムラが低減された、所望形状の隔壁を容易に形成することができ、印加される電圧の有無により、無極性液体の存在状態をスムーズにかつ長期間安定して変化させることが可能な表示素子を得ることができる。特に、表示性および信頼性に優れる表示素子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、表示素子の一例を示す断面概略図である。
【図２】図２は、実施例で得られた隔壁（格子状パターン化塗膜）の概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
≪隔壁の製造方法≫
本発明に係る隔壁の製造方法は、下記工程（ａ）〜（ｄ）を含む。ここで、該隔壁は、第１電極層スタックおよび第２電極層スタック間に形成された、互いに非混和性の極性液体および無極性液体を含む収容空間を区画する壁である。
（ａ） 感光性組成物を用いて膜を形成する工程
（ｂ） 前記膜を露光する工程
（ｃ） 前記露光された膜を、アルカリ水溶液を用いて現像する工程
（ｄ） 前記現像された膜に風を当てる工程
【００２６】
このような製造方法で隔壁を形成することで、現像残渣や水ムラが低減され、解像性に優れ、面内バラツキが少ないなどのパターニング特性に優れる、所望形状の隔壁を容易に形成することができ、このような隔壁を有する表示素子は、印加される電圧の有無により、無極性液体の存在状態をスムーズにかつ長期間安定して変化させることが可能であり、特に、表示性および信頼性に優れる。
【００２７】
特に、第１電極層スタックおよび第２電極層スタック間に形成された、互いに非混和性の極性液体および無極性液体を含む収容空間を区画する壁には、通常、ある程度の高さ（図１の上下方向に相当する方向の長さ）が必要となる。通常のディスプレイなどに用いられる膜の高さ（膜厚）は２〜３μｍであるため、このような膜と比べると、前記隔壁には、それなりの厚み（厚膜）が求められる。本発明者が、従来の方法で厚膜を形成し、表示素子を作成した場合、所望する表示や表示の信頼性が低下することが分かった。この問題に対し鋭意検討したところ、現像残渣などを含む水滴により、表示素子の表示部分に現像残渣が付着することや水ムラが生じることで、所望する表示ができず、表示の信頼性が低下することが分かり、前記工程（ａ）〜（ｄ）を含む隔壁の製造方法によれば、これらの問題を解決でき、前記効果を奏することが分かった。
【００２８】
なお、本発明における「水ムラ」とは、水垢などの、水が存在していた箇所に残る水跡のことをいう。
【００２９】
＜工程（ａ）＞
前記工程（ａ）は、感光性組成物を用いて膜を形成する工程である。この工程（ａ）で形成される膜が、続く工程（ｂ）〜（ｄ）などを経て、隔壁となる。
前記工程（ａ）としては特に制限されないが、例えば、第１電極層スタックや第２電極層スタック上またはこれら以外の支持体（以下単に「他の支持体」ともいう。）上に、感光性組成物を塗布などし、必要によりプレベークすることで膜を形成する工程が挙げられる。
【００３０】
感光性組成物を塗布などする方法としては特に制限されず、従来公知の方法を用いることができるが、例えば、ディッピング法、スプレー法、バーコート法、ロールコート法、スピンコート法、カーテンコート法、グラビア印刷法、シルクスクリーン法、インクジェット法が挙げられる。
【００３１】
また、感光性組成物を塗布などする際には、最終的に得られる隔壁の膜厚（図１の上下方向に相当する方向の長さ）が、好ましくは５〜４０μｍとなるように塗布することが望ましい。
【００３２】
前記他の支持体としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート製などの樹脂製基板、ガラス製基板、石英製基板、セラミックス製基板、アルミやＳＵＳ製などの金属製基板、ウエハが挙げられる。
前記他の支持体を用いる場合には、工程（ａ）、工程（ｃ）または工程（ｄ）等の後に、該他の支持体から膜を剥離して、第１電極層スタックまたは第２電極層スタック上に剥離した膜を、従来公知の接着剤などを用いて設ければよい。
このように、前記他の支持体を用いる場合には、該支持体から膜を剥離して、第１電極層スタックまたは第２電極層スタック上に該膜を設けるという工程が必要になることなどから、工程（ａ）では、感光性組成物を第１電極層スタックまたは第２電極層スタックに塗布などすることが好ましい。
【００３３】
前記プレベークの条件としては、特に制限されないが、塗布された感光性組成物から、溶媒などを除去できる条件が好ましい。
具体的には、オーブンやホットプレートを用いて、例えば、加熱温度は、好ましくは８０〜１５０℃、より好ましくは９０〜１４０℃、加熱時間は、好ましくは６０〜６００秒、より好ましくは１００〜４２０秒でプレベークする条件が挙げられる。
前記条件でプレベークすることで、解像性に優れ、面内バラツキが少ないなどのパターニング特性に優れる、所望形状の隔壁を容易に形成することができる。
【００３４】
また、前記プレベークは、必要に応じて、窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気下、または減圧下にて行ってもよい。
【００３５】
〔感光性組成物〕
前記隔壁は、感光性組成物を用いて形成される。このような感光性組成物を用いることで、収容空間を複数の隔壁で区画した複数の画素領域を有する表示素子を容易に作成することができる。
前記感光性組成物としては、ポジ型感光性組成物であってもよく、ネガ型感光性組成物であってもよいが、収容空間を複数の隔壁で区画した複数の画素領域を有する表示素子を容易に作成することができ、長期にわたり表示性の低下が起こりにくい表示素子が得られる等の点から、ネガ型感光性組成物であることが好ましい。
【００３６】
前記感光性組成物としては、特に制限されないが、長期にわたり性質の変化が小さい隔壁が得られる等の点から、アルカリ可溶性重合体および光開始剤を含む組成物が好ましく、該組成物には、さらに架橋剤が含まれていることが好ましい。このような組成物としては、例えば、特開２００６−１５４４３４号公報や特開２００７−２９３３０６号公報に記載の組成物が挙げられる。
【００３７】
〈アルカリ可溶性重合体〉
前記アルカリ可溶性重合体としては、特に制限されない。本発明においてアルカリ可溶性とは、アルカリ水溶液、例えば、２．３８質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液に溶解または膨潤可能であることを意味する。
前記アルカリ可溶性重合体は、１種単独で用いても、２種以上、例えば、アルカリ可溶性重合体および非アルカリ可溶性重合体、２種以上アルカリ可溶性重合体等の重合体のブレンド物を用いてもよい。
【００３８】
前記アルカリ可溶性重合体としては、アルカリ水溶液、特に、２．３８質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液への溶解性等の点から、カルボキシル基、フェノール性水酸基およびシラノール基からなる群より選ばれる少なくとも１つの官能基（以下「可溶性基」ともいう。）を有する化合物であることが好ましい。
このようなアルカリ可溶性重合体としては、アクリル樹脂、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシロキサン、ポリオレフィン、カルド骨格を有する樹脂、およびノボラック樹脂が好ましく、アルカリ可溶性の観点から、前記可溶性基を有するアクリル樹脂、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシロキサン、ポリオレフィン、カルド骨格を有する樹脂、およびノボラック樹脂が好ましい。
【００３９】
前記アルカリ可溶性重合体の、ゲルパーミエーションカラムクロマトグラフィーで測定した、具体的には、下記実施例に記載の方法で測定した重量平均分子量は、得られる感光性組成物の現像性等の点から、好ましくは１０００〜１０００００であり、より好ましくは１５００〜５００００である。
【００４０】
得られる感光性組成物の現像性等の点から、アルカリ可溶性重合体の含有量は、前記感光性組成物中の全固形分１００質量％に対し、好ましくは２０〜８０質量％であり、より好ましくは３０〜７５質量％であり、さらに好ましくは３５〜６５質量％である。
【００４１】
・アクリル樹脂
アクリル樹脂としては、特に制限されないが、モノマーとして、下記化合物（ａ）と下記化合物（ｂ）とを用いて得られる共重合体（但し、該モノマーにはアクリル化合物が含まれる）であることが、得られる感光性組成物の現像性等の点から好ましい。
化合物（ａ）：カルボキシル基、フェノール性水酸基およびシラノール基からなる群より選ばれる少なくとも１つの官能基を有する化合物
化合物（ｂ）：化合物（ａ）以外の化合物
【００４２】
前記化合物（ａ）におけるカルボキシル基を有する化合物としては、特に制限されないが、例えば、アクリル酸、メタクリル酸などのモノカルボン酸；マレイン酸、フマル酸およびエステル結合を有するメタクリル酸誘導体が挙げられ、アクリル酸、メタクリル酸が好ましい。
【００４３】
前記化合物（ａ）におけるフェノール性水酸基を有する化合物としては、特に制限されないが、例えば、３−ヒドロキシスチレン、４−ヒドロキシスチレン、３−イソプロペニルフェノール、４−イソプロペニルフェノール等のフェノール性水酸基を有するビニル系モノマーが挙げられ、４−イソプロペニルフェノールが好ましい。
【００４４】
前記化合物（ａ）におけるシラノール基を有する化合物としては、特に制限されないが、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジエトキシシラン等のアルコキシシリル基含有ビニル系モノマーの加水分解物が挙げられる。
【００４５】
前記化合物（ａ）は、１種単独で用いても、２種以上を用いてもよい。
【００４６】
前記化合物（ｂ）としては、例えば、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレートなどの（メタ）アクリル酸アルキルエステル；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートなどの水酸基含有（メタ）アクリル酸エステル；２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレートなどのハロゲン原子含有（メタ）アクリル酸エステル；フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレートなどの（メタ）アクリル酸アリールエステル；グリシジル（メタ）アクリレートなどのヘテロ環基含有（メタ）アクリル酸エステル；マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチルなどのジカルボン酸ジエステル；スチレン、α−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｐ−メトキシスチレンなどのビニル基含有芳香族化合物類；アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのニトリル基含有重合性化合物；塩化ビニル、塩化ビニリデンなどの塩素含有重合性化合物；アクリルアミド、メタクリルアミドなどのアミド結合含有重合性化合物；Ｎ−フェニルマレイミドなどのイミド基含有重合性化合物；酢酸ビニルなどの脂肪酸ビニル類；および下記式（６）〜（８）で表される化合物が挙げられる。
【００４７】
【化１】
0005839138.tif 000002
［式（６）〜（８）中、ｎは独立に１以上６以下の自然数を表す。］
【００４８】
これらの中では、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、ベンジルメタクリレートなどの（メタ）アクリル酸エステル、スチレン、Ｎ−フェニルマレイミド、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレート、前記式（６）、（７）および（８）で表される化合物が好ましい。
【００４９】
前記化合物（ｂ）は、１種単独で用いても、２種以上を用いてもよい。
【００５０】
前記化合物（ｂ）の使用量は、前記化合物（ａ）および化合物（ｂ）の合計量１００質量％に対し、好ましくは５〜９５質量％、より好ましくは１０〜９０質量％である。
【００５１】
・ポリイミド
ポリイミドとしては、特に制限されないが、アルカリ可溶性の観点から、前記可溶性基を有し、下記式（Ａ１）で表される構造単位を有する重合体であることが好ましい。
【００５２】
【化２】
0005839138.tif 000003
【００５３】
式（Ａ１）中、Ｒ1は水酸基を有する２価の基であり、Ｘは４価の有機基である。Ｒ1としては、例えば、下記式（ａ１）で表される２価の基が挙げられる。
【００５４】
【化３】
0005839138.tif 000004
【００５５】
式（ａ１）中、Ｒ2は、単結合、酸素原子、硫黄原子、スルホニル基、カルボニル基、メチレン基、ジメチルメチレン基またはビス（トリフルオロメチル）メチレン基であり；Ｒ3は独立に、水素原子、ホルミル基、アシル基またはアルキル基である。ただし、Ｒ3の少なくとも１つは水素原子である。ｎ１およびｎ２は、それぞれ独立に０〜２の整数である。ただし、ｎ１およびｎ２の少なくとも一方は１または２である。ｎ１とｎ２との合計が２以上の場合、複数のＲ3は同一でも異なっていてもよい。
【００５６】
Ｘで表される４価の有機基としては、例えば、４価の脂肪族炭化水素基、４価の芳香族炭化水素基、下記式（１）で表される基が挙げられる。Ｘは、テトラカルボン酸二無水物に由来する４価の有機基であることが好ましく、下記式（１）で表される基がより好ましい。
【００５７】
【化４】
0005839138.tif 000005
【００５８】
式（１）中、Ａｒは独立に３価の芳香族炭化水素基であり、Ａは直接結合または２価の基である。前記２価の基としては、例えば、酸素原子、硫黄原子、スルホニル基、カルボニル基、メチレン基、ジメチルメチレン基、ビス（トリフルオロメチル）メチレン基が挙げられる。
【００５９】
・ポリベンゾオキサゾール
ポリベンゾオキサゾールとしては、特に制限されないが、アルカリ可溶性の観点から、前記可溶性基を有し、下記式（ａ５−１）で表される構造単位を有する重合体であることが好ましい。
【００６０】
【化５】
0005839138.tif 000006
【００６１】
式（ａ５−１）中、Ｘ1は芳香環を有する４価の有機基であり、Ｙ1は２価の有機基である。
式（ａ５−１）中、Ｘ1における芳香環は、置換または無置換のいずれの環であってもよい。置換基としては、例えば、−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、アルキル基、アルコキシ基、脂環式炭化水素基が挙げられる。Ｘ1に結合するＮとＯは、例えば、Ｘ1中の芳香環上の隣り合った炭素原子に結合し、ベンゾオキサゾール環を形成している。Ｘ1に芳香環が２つ以上含まれる場合、複数の芳香環は、連結多環系および縮合多環系のいずれの構造を形成していてもよい。
Ｘ1の総炭素数は、６〜２４であることが好ましく、６〜２０であることがより好ましく、６〜１８であることがさらに好ましい。
【００６２】
式（ａ５−１）中、Ｙ1は、好ましくは脂環および芳香環から選ばれる環を少なくとも１つ含む２価の基であり、１〜４つの芳香環を有している基がより好ましく、２つの芳香環を有している基が特に好ましい。
なお、Ｙ1に含まれる脂環式環および芳香環は、置換または無置換のいずれの環であってもよい。置換基としては、例えば、−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、脂環式炭化水素基が挙げられる。Ｙ1に前記環が２つ以上含まれる場合、複数の前記環は、連結多環系および縮合多環系のいずれの構造を形成していてもよい。
Ｙ1の総炭素数は、４〜２４であることが好ましく、４〜１５であることがより好ましく、６〜１２であることがさらに好ましい。
【００６３】
・ポリシロキサン
ポリシロキサンとしては、特に制限されないが、アルカリ可溶性の観点から、前記可溶性基を有し、下記式（ａ４）で表されるオルガノシランを、加水分解および部分縮合させて得られるポリシロキサンが好ましい。
【００６４】
【化６】
0005839138.tif 000007
【００６５】
式（ａ４）中、Ｒ1は水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数２〜１０のアルケニル基、炭素数６〜１５のアリール基含有基、炭素数２〜１５のエポキシ環含有基、または前記アルキル基に含まれる１または２以上の水素原子を置換基に置き換えてなる基（置換体）であり、Ｒ1が複数ある場合はそれぞれ同一でも異なっていてもよく；Ｒ2は水素原子、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアシル基または炭素数６〜１５のアリール基であり、Ｒ2が複数ある場合はそれぞれ同一でも異なっていてもよく；ｎは０〜３の整数である。
【００６６】
前記置換基としては、例えば、ハロゲン原子、アミノ基、水酸基、メルカプト基、イソシアネート基、（メタ）アクリロイルオキシ基から選ばれる少なくとも１種が挙げられる。
【００６７】
隔壁の耐クラック性と硬度を両立させる点から、ポリシロキサン中に含まれるフェニル基の含有量は、Ｓｉ原子１００モルに対して、好ましくは２０〜７０モルであり、さらに好ましくは３０〜５５モルである。該フェニル基の含有量は、具体的には、下記実施例に記載の方法で測定することができる。
【００６８】
・ポリオレフィン
ポリオレフィンとしては、特に制限されないが、アルカリ可溶性の観点から、プロトン性極性基を有する環状オレフィン重合体が好ましい。プロトン性極性基とは、周期律表第１５族または第１６族に属する原子に水素原子が直接結合している原子団をいう。周期律表第１５族または第１６族に属する原子としては、好ましくは酸素原子、窒素原子または硫黄原子であり、特に好ましくは酸素原子である。
【００６９】
環状オレフィン重合体とは、脂環、芳香環等の環状構造と炭素−炭素二重結合とを有する環状オレフィンの、単独重合体または共重合体である。環状オレフィン重合体は、環状オレフィン以外の単量体から誘導される構造単位を有していてもよい。
【００７０】
プロトン性極性基を有する環状オレフィン重合体としては、アルカリ可溶性の観点から、前記可溶性基を有し、例えば、下記式（Ａ６−１）で表される構造単位を有する重合体、特に、式（Ａ６−１）で表される構造単位と式（Ａ６−２）で表される構造単位とを有する重合体が好ましい。
【００７１】
【化７】
0005839138.tif 000008
【００７２】
式（Ａ６−１）中、Ｒa1〜Ｒa4は、それぞれ独立に水素原子または−Ｘn−Ｒa5（Ｘは２価の有機基であり、ｎは０または１であり、Ｒa5は、アルキル基、芳香族基または前記プロトン性極性基であり、アルキル基および芳香族基は、それぞれ置換基を有してもよい。）である。Ｒa1〜Ｒa4のうち少なくとも１つは、Ｒa5がプロトン性極性基である−Ｘn−Ｒa5基である。ｍは０〜２の整数であり、好ましくは０または１である。
【００７３】
Ｘにおける２価の有機基としては、例えば、メチレン基、エチレン基等の炭素数１〜１８のアルキレン基、フェニレン基等の炭素数６〜２４のアリーレン基が挙げられる。
【００７４】
Ｒa5における、アルキル基としては、例えば、直鎖状または分岐状の炭素数１〜１８のアルキル基が挙げられ、芳香族基としては、例えば、炭素数６〜２４の芳香族基が挙げられる。
【００７５】
式（Ａ６−２）中、Ｒb1は、プロトン性極性基以外の極性基であり、好ましくはアセトキシ基等の炭素数２〜１２のアシルオキシ基、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ−プロポキシカルボニル基、イソプロポキシカルボニル基、ｎ−ブトキシカルボニル基、２，２，２−トリフルオロエトキシカルボニル基等の炭素数２〜１２の（ハロゲン化）アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基等の炭素数７〜２４のアリーロキシカルボニル基、シアノ基、または塩素原子等のハロゲン原子である。
【００７６】
Ｒb2は、水素原子、メチル基等の炭素数１〜１８のアルキル基である。
Ｒb3およびＲb4は、水素原子である。
なお、Ｒb1〜Ｒb4は、任意の組み合わせで、それらが結合している２つの炭素原子と共に、環構成原子として酸素原子または窒素原子を含む、３〜５員の複素環構造を形成してもよい。
ｍは０〜２の整数であり、好ましくは０または１である。
【００７７】
前記ポリオレフィンは、従来公知の方法、例えば、前記式（Ａ６−１）で表される構造単位を誘導するモノマーを重合させることにより得ることができる。さらに、重合により得られた重合体を水素化してもよい。
【００７８】
・カルド骨格を有する樹脂
カルド骨格を有する樹脂としては特に制限されない。カルド骨格とは、環状構造を構成している環炭素原子に２つの環状構造が結合した骨格構造をいい、例えば、フルオレン環の９位の炭素原子に２つの芳香環（例：ベンゼン環）が結合した構造が挙げられる。
【００７９】
カルド骨格を有する樹脂としては、アルカリ可溶性の観点から、前記可溶性基を有する樹脂を用いることが好ましい。
【００８０】
環状構造を構成している環炭素原子に２つの環状構造が結合した骨格構造の具体例としては、９，９−ビス（フェニル）フルオレン骨格、９，９−ビス（ヒドロキシフェニル）フルオレン骨格、９，９−ビス（シアノフェニルまたはアミノアルキルフェニル）フルオレン骨格、エポキシ基を有する９，９−ビス（フェニル）フルオレン骨格、（メタ）アクリル基を有する９，９−ビス（フェニル）フルオレン骨格が挙げられる。
【００８１】
・ノボラック樹脂
ノボラック樹脂としては特に制限されない。ノボラック樹脂としては、フェノール化合物とアルデヒド化合物とを反応させて得られる、例えば、フェノールノボラック構造や、レゾールノボラック構造を有する樹脂が挙げられる。
【００８２】
ノボラック樹脂としては、２．３８質量％の水酸化テトラメチルアンモニウムに可溶する樹脂が好ましい。
【００８３】
ノボラック樹脂としては、例えば、下記式（Ｃ１）で表される構造単位を有するノボラック樹脂が挙げられる。
【００８４】
【化８】
0005839138.tif 000009
【００８５】
式（Ｃ１）中、Ａはフェノール性水酸基を有する２価の芳香族基であり、Ｒ1は、メチレン基、炭素数２〜３０のアルキレン基、炭素数４〜３０の２価の脂環式炭化水素基、炭素数７〜３０のアラルキレン基または−Ｒ2−Ａｒ−Ｒ2−で表される基（Ａｒは２価の芳香族基であり、Ｒ2はそれぞれ独立にメチレン基または炭素数２〜２０のアルキレン基である）である。また、前記メチレン基が有する１つの水素原子は、シクロペンタジエニル基、芳香環、芳香環を含む基、または窒素原子、硫黄原子、酸素原子等を有するヘテロ環で置換されていてもよい。
【００８６】
Ｒ1において、−Ｒ2−Ａｒ−Ｒ2−で表される基としては、例えば、−ＣＨ2−Ｐｈ−ＣＨ2−で表される基（Ｐｈはフェニレン基である）が挙げられる。
【００８７】
Ａにおいてフェノール性水酸基を有する２価の芳香族基としては、例えば、フェノール性水酸基を有するベンゼン環、フェノール性水酸基を有する縮合多環式芳香族基が挙げられる。
【００８８】
〈光開始剤〉
前記光開始剤は、放射線等の光を照射することにより、重合を開始できる化合物であれば特に制限されず、従来公知の化合物を用いることができる。
このような化合物としては、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，５，４’，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，５，４’，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルフェニル）メチル］−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］−１−ブタノン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モンフォリノプロパノン−１、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（０−アセチルオキシム）、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(２，４，６−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイドなどが挙げられる。
【００８９】
前記光開始剤は、１種単独で、または２種以上を使用することができる。
【００９０】
感光性に優れる組成物が得られる等の点から、光開始剤の含有量は、前記感光性組成物中の全固形分１００質量％に対し、好ましくは０．１〜２０質量％であり、より好ましくは０．５〜１０質量％である。光開始剤の含有量を前記範囲とすることで、感度を損なうことなく、感光性組成物から形成される隔壁の現像性を向上できる傾向にある。
【００９１】
〈架橋剤〉
前記架橋剤としては、架橋性官能基を有するものであれば、特に制限されない。
前記架橋性官能基としては、例えば、オキセタニル基；グリシジルエーテル基、グリシジルエステル基、グリシジルアミノ基等のエポキシ基を有する基；メトキシメチル基、エトキシメチル基等のアルコキシアルキル基；ベンジルオキシメチル基；アセトキシメチル基；ベンゾイロキシメチル基；ホルミル基；アセチル基；ジメチルアミノメチル基；ジエチルアミノメチル基；ジメチロールアミノメチル基；ジエチロールアミノメチル基；モルホリノメチル基；ビニル基、ビニリデン基、（メタ）アクリロイル基等のエチレン性不飽和基が挙げられる。これらの中でも、表面硬度に優れ、長期にわたり性質の変化が小さい隔壁が得られる等の点から、エチレン性不飽和基、エポキシ基、オキセタニル基またはアルコキシアルキル基が好ましい。
【００９２】
前記エチレン性不飽和基含有化合物としては、分子中にエチレン性不飽和基を少なくとも２個有する化合物が挙げられ、好ましくは（メタ）アクリロイル基を２個以上有する化合物が挙げられる。
具体的には、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン付加ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン付加ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００９３】
エポキシ基またはオキセタニル基含有化合物としては、分子内にエポキシ基またはオキセタニル基が含有されていればよく、特に限定されない。
【００９４】
エポキシ基またはオキセタニル基を２つ有する化合物としては、例えば、エポライト４０Ｅ、エポライト１００Ｅ、エポライト２００Ｅ、エポライト４００Ｅ、エポライト７０Ｐ、エポライト２００Ｐ、エポライト４００Ｐ、エポライト１５００ＮＰ、エポライト８０ＭＦ、エポライト４０００、エポライト３００２（いずれも共栄社化学（株）製）、ＮＣ６０００（日本化薬（株）製）、デナコールＥＸ−２１２Ｌ、デナコールＥＸ−２１４Ｌ、デナコールＥＸ−２１６Ｌ、デナコールＥＸ−８５０Ｌ（いずれもナガセケムテックス（株）製）、セロキサイド２０２１Ｐ（ダイセル化学工業（株）製）、ＧＡＮ、ＧＯＴ（いずれも日本化薬（株）製）、ｊＥＲ８２８、ｊＥＲ１００２、ｊＥＲ１７５０、ｊＥＲ１００７、ＹＸ８１００−ＢＨ３０、Ｅ１２５６、Ｅ４２５０、Ｅ４２７５（いずれも三菱化学（株）製）、ＢＰＦＧ、ＢＰＥＦＧ、オグソールＰＧ１００（いずれも大阪ガスケミカル（株）製）、エピクロンＥＸＡ−９５８３、ＨＰ４０３２（いずれもＤＩＣ（株）製）、ＥＰ−４０８８Ｓ、ＥＰ−４０８５Ｓ、ＥＰ−４０８０Ｓ（いずれも（株）アデカ）が挙げられる。
【００９５】
エポキシ基またはオキセタニル基を３つ有する化合物としては、例えば、ＶＧ３１０１（三井化学（株）製）、テピックＳ、テピックＧ、テピックＰ（日産化学工業（株）製）、デナコールＥＸ−３２１Ｌ（ナガセケムテックス（株）製）が挙げられる。
【００９６】
エポキシ基またはオキセタニル基を４つ以上有する化合物としては、例えば、エポトートＹＨ−４３４Ｌ（東都化成（株）製）、ＥＰＰＮ５０２Ｈ、ＮＣ３０００、ＮＣ６０００（いずれも日本化薬（株）製）又はエピクロンＮ６９５、ＨＰ７２００（いずれもＤＩＣ（株）製）が挙げられる。
【００９７】
アルコキシアルキル基含有化合物としては、分子内にアルコキシアルキル基が含有されていればよく、特に限定されないが、例えば、アルコキシアルキル基含有メラミン化合物、アルコキシアルキル基含有ベンゾグアナミン化合物、アルコキシアルキル基含有尿素化合物、アルコキシアルキル基含有フェノール化合物が挙げられる。
【００９８】
前記架橋剤は、１種単独で用いても、２種以上を用いてもよい。
【００９９】
感光性に優れる組成物が得られ、また、長期にわたり性質の変化が小さい隔壁が得られる等の点から、架橋剤の含有量は、前記感光性組成物中の全固形分１００質量％に対し、好ましくは１０〜７５質量％であり、より好ましくは２０〜６５質量％であり、さらに好ましくは２５〜５５質量％である。
【０１００】
〈その他の成分〉
前記感光性組成物には、さらに、有機溶剤、酸化防止剤、熱重合禁止剤、界面活性剤、密着助剤、溶解性調整剤、粘度調整剤、無機フィラー等の充填材、着色剤等のその他の添加剤などのその他の成分を本発明の効果を損なわない範囲で配合することができる。
【０１０１】
前記有機溶剤としては、特開２００６−２０１６７０号公報、特開２０１２−２５６０２３号公報および特開２０１４−０１３４１３号公報などに記載の有機溶剤が挙げられ、
前記酸化防止剤としては、特開２０１０−１１７６１４号公報、特開２０１０−１８４９６１号公報および特開２０１３−２４１５５４号公報などに記載の酸化防止剤が挙げられ、
前記界面活性剤としては、特開２０１０−２５０１０９号公報、特開２０１４−０８９９７０号公報および特開２０１４−０４８４２８号公報などに記載の界面活性剤が挙げられ、
前記密着助剤としては、特開２０１２−２５６０２３号公報、特開２０１３−２４２５１１号公報および特開２０１４−０８０５７８号公報などに記載の密着助剤が挙げられ、
前記無機フィラーとしては、特開２００７−３３２２５５号公報、特開２００８−２４２０７６号公報、特開２０１２−１９８５２７号公報、特開２０１３−２１６７３７号公報および特開２０１４−０６２１９５号公報などに記載の無機フィラーが挙げられ、
前記その他の添加剤としては、特開２００６−１５４４３４号公報や特開２００７−２９３３０６号公報などに記載の化合物が挙げられる。
【０１０２】
〈感光性組成物の調製方法〉
前記感光性組成物は、例えば、アルカリ可溶性重合体、架橋剤および光開始剤と、必要により前記その他の成分とを混合することによって調製することができる。また、ゴミを取り除くために、各成分を均一に混合した後、得られた混合物をフィルター等で濾過してもよい。
【０１０３】
＜工程（ｂ）＞
前記工程（ｂ）は、前記工程（ａ）で形成した膜を露光する工程である。
前記工程（ｂ）としては特に制限されないが、具体的には、前記工程（ａ）で形成した膜に光を照射（露光）する際に、所定パターンのマスクを用いて光を照射することで、所望の形状、例えば、格子状の隔壁を得ることができ、収容空間を複数の隔壁で区画した複数の画素領域を有する表示素子を容易に作成することができる。
【０１０４】
前記露光の際には、例えば、コンタクトアライナー、ステッパーまたはスキャナーなどを用いることができる。露光光としては、紫外線、可視光線などが挙げられ、通常、波長２００〜５００ｎｍの光（例：ｉ線（３６５ｎｍ））が用いられる。
【０１０５】
前記工程（ｂ）における露光の際の露光量は、感光性組成物中の各成分の種類、配合割合、塗膜の厚みなどによって異なるが、露光光にｉ線を使用する場合、露光量は、好ましくは３０〜１２００ｍＪ／ｃｍ2であり、さらに好ましくは５０〜７５０ｍＪ／ｃｍ2である。
前記露光量で工程（ａ）で形成した膜を露光することで、解像性に優れ、面内バラツキが少ないなどのパターニング特性に優れる、所望形状の隔壁を容易に形成することができる。
【０１０６】
また、本発明の効果を損なわない範囲で、工程（ｂ）の後、下記工程（ｃ）の前に加熱処理を行ってもよい。
【０１０７】
＜工程（ｃ）＞
前記工程（ｃ）は、露光後の膜を、アルカリ水溶液を用いて現像する工程である。前記工程（ｃ）は、具体的には、アルカリ水溶液により前記工程（ｂ）で得られた膜を現像して、露光部（ポジ型の場合）または非露光部（ネガ型の場合）を溶解、除去することにより、所望のパターンを形成する。
【０１０８】
現像方法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、浸漬現像法、パドル現像法、ブラシ現像法、超音波現像法等が挙げられる。
現像条件として、温度は、好ましくは２０〜３０℃、より好ましくは２２〜２５℃、前記工程（ｂ）で得られた膜とアルカリ水溶液との接触時間は、好ましくは３０〜３６０秒、より好ましくは３０〜２４０秒が挙げられる。
前記条件で現像することで、解像性に優れ、面内バラツキが少ないなどのパターニング特性に優れる、所望形状の隔壁を容易に形成することができる。
【０１０９】
前記アルカリ水溶液は、塩基性化合物を含むことが好ましい。なお、本発明において、塩基性化合物とは、水溶液中でアルカリ性を示す化合物である。
前記塩基性化合物としては、現像性などの点から、窒素原子を有する化合物、ナトリウム原子を有する化合物およびカリウム原子を有する化合物からなる群より選ばれる少なくとも１つの化合物を含むことが好ましい。
【０１１０】
前記塩基性化合物としては、さらに、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化テトラプロピルアンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウム、水酸化テトラへキシルアンモニウム、水酸化トリメチル（２−ヒドロキシエチル）アンモニウム、トリメチルモノエタノールアンモニウムハイドロオキサイド、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウムおよび炭酸水素カリウムからなる群より選ばれる少なくとも１つの化合物を含むことが好ましい。
【０１１１】
前記塩基性化合物としては、さらに、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、水酸化テトラプロピルアンモニウム、水酸化テトラブチルアンモニウム、水酸化テトラへキシルアンモニウム、水酸化トリメチル（２−ヒドロキシエチル）アンモニウム、トリメチルモノエタノールアンモニウムハイドロオキサイドからなる群より選ばれる少なくとも１つの化合物を含むことがより好ましい。
【０１１２】
塩基性化合物として、前記化合物を用いることで、解像性に優れ、面内バラツキが少ないなどのパターニング特性に優れる、所望形状の隔壁を容易に形成することができる。
【０１１３】
前記アルカリ水溶液中の塩基性化合物の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％であり、より好ましくは０．０１〜５質量％であり、さらに好ましくは０．０１〜４質量％である。
アルカリ水溶液中の塩基性化合物の濃度が前記範囲にあると、第１電極層スタックや第２電極層スタックにダメージを与えることなく、現像性、解像性に優れ、面内バラツキが少ないなどのパターニング特性に優れる、所望形状の隔壁を容易に形成することができる。
【０１１４】
前記アルカリ水溶液には、塩基性化合物の他に、本発明の効果を損なわない範囲で、界面活性剤や有機溶剤を配合してもよい。また、前記アルカリ水溶液には、クエン酸などのｐＨ調整剤、マグネシウムやカルシウムなどの２価金属に対するキレート剤、消泡剤などを配合してもよい。
【０１１５】
前記有機溶剤としては、例えば、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコール、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、フェニルセロソルブ、プロピレングリコール、ジアセトンアルコールなどが挙げられる。また、国際公開第２０１４／００２８３５号に記載の有機溶剤等も使用することができる。
有機溶剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を用いてもよい。
【０１１６】
界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン性界面活性剤；アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキルスルホン酸塩類、スルホコハク酸エステル塩類などのアニオン性界面活性剤；アルキルベタイン類、アミノ酸類などの両性界面活性剤：が挙げられる。また、国際公開第２０１４／００２８３５号に記載の界面活性剤等も使用することができる。
界面活性剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を用いてもよい。
【０１１７】
なお、前記工程（ｃ）の後に、アルカリ水溶液に含まれる塩基性化合物などを除去することを目的として、現像後の膜を水などで洗浄することが好ましい。
【０１１８】
＜工程（ｄ）＞
前記工程（ｄ）は、現像後の膜に風を当てる工程である。
従来、現像後の膜に風を当てる工程を経ずに加熱することは行われていた。この加熱によれば、現像後の膜に存在する水分などを除去できるため、わざわざ風を当てる工程などを設けることは行われてこなかった。しかしながら、本発明者が、解像性に優れ、面内バラツキが少ないなどのパターニング特性に優れる、所望形状の隔壁を形成でき、表示性に優れる表示素子を得ることなどを目的として鋭意検討したところ、現像後の膜に風を当てることで、該目的を達成できることを見出した。この結果、さらに、表示性および信頼性に優れる表示素子を得ることができることも見出した。単に、現像後の膜に風を当てることでこのような表示素子が得られるということは、当業者が予想もできない顕著な効果である。
【０１１９】
前記工程（ｄ）としては、前記現像後の膜から、水分や現像残渣、つまり、アルカリ水溶液に含まれる成分の残渣、例えば、塩基性化合物残渣を除去できる工程であることが好ましい。従って、現像残渣や水ムラが低減した隔壁を得ることができることから、前記工程（ｄ）は風を吹き付ける工程であることが好ましい。
【０１２０】
前記現像後の膜に風を当てる方法としては、具体的には、エアブロー、エアナイフ、超音波エアなどの風を吹き付ける方法が挙げられ、また、現像後の膜を回転させることなどで、風を起こし、該風を現像後の膜に当てるスピン方法も挙げられる。さらに、これらの風を吹き付ける方法とスピン方法とを同時に行ってもよい。
例えば、エアブローを行う送風手段としては、圧縮空気をノズルより噴出させる方法や、プロペラ状のファンにより送風する方法など、現像後の膜の表面に風を与えられる方法であればいずれも使用することができる。
【０１２１】
なお、前記膜に当てられる「風」とは、通常空気が挙げられるが、得られる隔壁の用途によっては、窒素等の気体であってもよい。つまり、前記「エア」も、空気であってもよく、窒素等の気体であってもよい。
【０１２２】
前記工程（ｄ）は、現像後の膜のみに対して行ってもよいが、第１電極層スタックまたは第２電極層スタックに直接隔壁を形成する場合には、該電極層スタックと現像後の膜とを含む積層体に対し、風を当てる工程であることが好ましい。特に、現像後の膜および表示素子の表示部分となる前記電極層スタックから現像残渣や水分を除去する工程であることが好ましい。前記工程（ｄ）がこのような工程であることで、より所望する表示が可能で表示の信頼性に優れる表示素子を得ることができる。
【０１２３】
現像残渣や水ムラ等の除去能を考えると、風を吹き付ける際の風速は速いことが好ましいが、風を吹き付ける際の風速が速すぎると膜にダメージを与えることがあるため、適度な条件を設定することが好ましい。
このような風を吹き付ける際の風速（吹き出し風の風速）としては、好ましくは１〜２００ｍ／秒であり、より好ましくは１〜１００ｍ／秒であり、さらに好ましくは５〜１００ｍ／秒である。
【０１２４】
また、風を当てる時間としては、前記風を吹き付ける際の風速などにもよるが、好ましくは３〜１８０秒、より好ましくは５〜１２０秒が挙げられる。
【０１２５】
なお、風を当てる際には、通常は室温の風を当てるが、必要により２２〜４５℃程度の熱風を当ててもよい。
【０１２６】
＜工程（ｅ）＞
本発明に係る隔壁の製造方法では、前記工程（ｄ）の後、隔壁としての特性を充分に発現させることを目的として、前記工程（ｄ）後の膜を充分に硬化させるために、必要に応じて、前記工程（ｄ）後の膜を加熱（乾燥）する工程（ｅ）を行ってもよい。
【０１２７】
加熱条件は特に限定されないが、加熱温度は、好ましくは１５０〜３００℃、より好ましくは１８０〜２５０℃、さらに好ましくは２００〜２５０℃、加熱時間は、好ましくは２０〜１８０分、より好ましくは３０〜１２０分が挙げられる。
前記条件で加熱することで、解像性に優れ、面内バラツキが少ないなどのパターニング特性に優れる、所望形状の隔壁を容易に形成することができる。
【０１２８】
なお、前記加熱は、工程（ｄ）後の膜の硬化を充分に進行させたり、パターン形状の変形を防止したりするため、二段階以上で加熱することもでき、例えば、第一段階では、６０〜１５０℃の温度で５〜６０分程度加熱し、第二段階では、更に２００℃超２５０℃以下の温度で５〜６０分程度加熱することが挙げられる。
【０１２９】
前記工程（ｅ）は、例えば、加熱設備として一般的なオーブンなどを用いて行うことができる。
また、前記工程（ｅ）は、必要に応じて、窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気下、または減圧下にて行ってもよい。
【０１３０】
＜工程（ｆ）＞
本発明に係る隔壁の製造方法では、前記工程（ｄ）の後や前記工程（ｅ）の後に、隔壁に所望の特性を付与することなどを目的として、工程（ｄ）や工程（ｅ）後の膜の表面を処理する工程（ｆ）を行ってもよい。
このような工程（ｆ）としては特に制限されず、例えば、前記工程（ｄ）や工程（ｅ）で得られた膜の表面、好ましくは両面を、従来公知の親水化処理方法で親水化させる工程または疎水化処理方法で疎水化させる工程が挙げられる。
【０１３１】
親水化処理方法としては、例えば、膜の表面を、コロナ放電処理、プラズマ処理またはＵＶオゾン処理で表面改質する方法や、膜の表面に、アクリル系樹脂またはスルホン酸塩基含有樹脂等からなる膜をコーティングまたはラミネートにより積層する方法が挙げられる。
【０１３２】
疎水化処理方法としては、例えば、膜の表面を、長鎖アルキル基含有カップリング剤、フッ素含有カップリング剤または珪素含有カップリング剤により表面処理することで表面改質する方法や、膜の表面に、長鎖アルキル基含有樹脂、フッ素含有樹脂または珪素含有樹脂等からなる膜をコーティングまたはラミネートにより積層する方法が挙げられる。
【０１３３】
例えば、前記感光性組成物から膜を形成し、該膜表面をＵＶオゾン処理する場合には、該処理時の露光量は、隔壁に所望の特性を付与することができる、例えば、下記マルテンス硬さを有する隔壁を容易に得ることができる等の点から、好ましくは０．１〜８Ｊ／ｃｍ2＠２５４ｎｍであり、より好ましくは０．５〜５Ｊ／ｃｍ2＠２５４ｎｍである。
【０１３４】
≪隔壁≫
本発明に係る隔壁の製造方法で得られる隔壁は、第１電極層スタックおよび第２電極層スタック間に形成された収容空間を区画する。前記隔壁は、通常、連続して存在する画素領域（セル）において、隣接する画素領域間で、無極性液体の行き来を妨げる役割を果たす壁であれば特に制限されない。
【０１３５】
従って、前記隔壁は、図１に示すように、第１電極層スタック１１および第２電極層スタック１２の両方に接していてもよいが、図１に示すように、無極性液体１４が収容空間１６の第１電極層スタック１１側に存在する場合には、第１スタック１１側のみに存在し、第２電極層スタック１２に接していなくてもよい。後者の場合には、前記隔壁は、第１電極層スタック１１と接していてもよく、第１電極層スタック１１との間にわずかの隙間を開けて存在していてもよい。
【０１３６】
なお、前記隔壁が、第１電極層スタックや第２電極層スタックと接する場合、第１電極層スタックや第２電極層スタックと一体化していてもよく、第１電極層スタックや第２電極層スタックに接着していてもよい。
【０１３７】
前記隔壁は、微小硬度計を用いて測定したマルテンス硬さが、好ましくは１１０Ｎ／ｍｍ2以上であり、より好ましくは１３０Ｎ／ｍｍ2以上であり、特に好ましくは１４０〜３００Ｎ／ｍｍ2である。
該マルテンス硬さは、具体的には、微小硬度計（ＦＩＳＨＥＲＳＣＯＰＥ  ＨＭ２０００、フィッシャーインストルメンツ製）を用いて測定することができる。
隔壁のマルテンス硬さが前記範囲にあると、無極性液体の画素領域間での行き来を十分に防ぐことができ、また、耐久性に優れる表示素子を得ることができる。
このようなマルテンス硬さを有する隔壁は、前記架橋剤の種類や量を適宜調整したり、前記表面処理工程で膜の表面を被覆する膜の硬度を調整することで得ることができる。
【０１３８】
前記隔壁の高さ（第１電極層スタックと第２電極層スタックの間隔方向の長さ、図１の上下方向の長さ）は、各画素領域間における無極性液体の行き来を妨げる役割を果たすことのできる長さであれば特に制限されないが、好ましくは５〜４０μｍであり、より好ましくは１０〜３０μｍである。
また、前記隔壁の厚み（第１電極層スタックと第２電極層スタックの間隔方向と略垂直方向の長さ、図１の左右方向の長さ）も、各画素領域間における無極性液体の行き来を妨げる役割を果たすことのできる長さであれば特に制限されないが、隔壁の強度等の点から、１〜５０μｍであり、好ましくは５〜４０μｍである。
【０１３９】
前記隔壁は、一層の膜であってもよく、ＢＭ（ブラックマトリクス）層、補強層または表面被覆層等を有する積層体であってもよい。また、前記隔壁は、穴の開いていない膜でもよく、格子状やスリット状に穴の開いた膜であってもよい。
【０１４０】
≪表示素子≫
本発明によれば、例えば、図１で表され、第１電極層スタック１１と、第２電極層スタック１２と、前記第１電極層スタック１１および前記第２電極層スタック１２間に形成された収容空間１６と、前記収容空間１６を区画する隔壁１３とを備える表示素子を、特に、表示性および信頼性に優れる表示素子を容易に製造することができる。
なお、前記収容空間１６には、通常、少なくとも、互いに非混和性の極性液体１５と無極性液体１４とが含まれる。
【０１４１】
図１では、第１電極層スタック１１の前記収容空間１６に接する面は疎水性である。このため、表示素子１０において、電圧を印加しない場合（図１の「turn off」）には、無極性液体（着色液体）１４は、第１電極層スタック１１表面を覆うように平らに存在する。一方、この表示素子１０に、電圧を印加した場合（図１の「turn on」）、無極性液体１４は、隔壁１３付近に略半球状となって存在する。
このように、前記表示素子は、印加される電圧の有無により、無極性液体の存在状態が変化し、着色した無極性液体を用いることで、例えば、着色状態と透明状態とを表示することができる。
なお、該印加される電圧は、無極性液体の存在状態を変化させることができる程度の電圧であれば特に制限されない。
【０１４２】
前記表示素子は、前記収容空間を４つの隔壁等で区画した１つの画素領域（セル）を有する素子であってもよいが、通常は、前記収容空間を複数の隔壁で区画した複数の画素領域を有する素子であり、各画素領域は、表示素子の表示面側でフルカラー表示が可能になるようにそれぞれ形成されている。そして、画素領域ごとに、エレクトロウェッティング現象にて無極性液体の存在状態を変化させることで、表示面側での表示色を変更することができる。
【０１４３】
＜第１電極層スタック、第２電極層スタック＞
第１および第２電極層スタックとしては特に制限されないが、透明材料からなるスタック（積層体）が好ましい。
第１および第２電極層スタックは、通常、ガラスや樹脂製の透明基板と酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）などの透明導電性材料からなる透明導電層とを含む。
このような電極層スタックを用いる場合、その透明導電層側が対向するように各電極層スタックは配置される。
第１および第２電極層スタックは、さらに、他の層、例えば、平坦化膜、パッシベーション膜、反射膜、絶縁膜、疎水性膜などの従来公知の層を、前記透明基板や透明導電層の上またはこれらの層間に有していてもよい。
【０１４４】
第１および第２電極層スタックの少なくとも一方の、前記収容空間に接する面は、疎水性である。第１および第２電極層スタックの、前記収容空間に接する２つの面は、それぞれ疎水性であってもよいが、この場合、各面の疎水性の程度は異なり、一方の面の疎水性が他方の面の疎水性より高ければよい。
つまり、前記表示素子は、第１および第２電極層スタック間に電圧を印加しない場合に、第１または第２電極層スタックの少なくとも一方の、前記収容空間に接する面上に前記無極性液体が存在するような疎水性表面を第１および第２電極層スタックが有すればよい。
【０１４５】
疎水性表面を有する電極層スタックは、例えば、前記透明基板と透明導電層とを含む積層体の表面に、疎水性材料を含む組成物を塗布して塗膜を形成したり、疎水性材料からなるフィルムを積層したりすることで得ることができる。
【０１４６】
このような疎水性材料としては、含フッ素材料、含珪素材料が挙げられ、具体的には、特開平０４−２９０７４６号公報、特開２０１０−０５４７８５号公報、特開平０９−２０８２６５号公報や特開２０１２−１８１５１３号公報に記載の材料等が挙げられ、好ましくは特開２０１０−０５４７８５号公報、特開平０９−２０８２６５号公報に記載の材料等が挙げられる。
【０１４７】
＜収容空間＞
前記収容空間としては、極性液体と無極性液体とを含むことができ、印加される電圧の有無による無極性液体の存在状態の変化を妨げることがないような大きさの空間であればよく、所望の用途、表示したい画素領域の大きさ等に応じて適宜選択すればよい。
【０１４８】
＜極性液体＞
前記極性液体は、前記収容空間に収容される。極性液体としては、用いられる無極性液体と非混和性であれば特に制限されないが、無色透明、かつ、導電性の液体であることが好ましく、具体的には、水のほか、塩化リチウムや塩化カリウム、塩化ナトリウム等の電解質を溶解させた水溶液等を用いることができる。
前記極性液体としては、２種類以上の液体を用いてもよいが、通常は、１種類の液体を用いる。
【０１４９】
＜無極性液体＞
前記無極性液体も、前記収容空間に収容される。無極性液体としては、特に制限されないが、ほとんど極性を有さず、かつ、電気絶縁性を示す液体であることが好ましい。
【０１５０】
無極性液体としては、例えば、側鎖高級アルコール、側鎖高級脂肪酸、オクタンやデカン等のアルカン炭化水素、シリコーンオイルなどの疎水性液体が挙げられる。
前記無極性液体としては、２種類以上の液体を用いてもよいが、通常は、１種類の液体を用いる。
【０１５１】
１つの画素領域（セル）に収容される無極性液体の使用量は、所望の用途に応じて適宜調整すればよいが、例えば、表示素子の表示面側の電極層スタック面全面を覆うことができる量であることが好ましい。
【０１５２】
前記無極性液体は、着色した液体（着色液体）であることが好ましく、前記疎水性液体に、該液体に溶解または均一分散可能な、染料や顔料等の色材を配合した液体が好ましい。着色液体は、透明であってもよく、不透明であってもよい。
【０１５３】
前記染料としては、特開２０１４−０１０２４９号公報や特開２０１３−２２８６８３号公報に記載の色素等が挙げられ、顔料としては、カーボンブラックや特開２０１２−１８１５１３号公報に記載の顔料等が挙げられる。
【０１５４】
前記色材は、所望の用途に応じ、無極性液体が所定の波長の光を吸収するように、適宜選択して用いればよく、１種単独で用いてもよいし２種以上を用いてもよい。
【０１５５】
無極性液体が色材を含有する場合、色材の含有量は特に制限されず、所望の用途に応じ適宜調整すればよいが、前記疎水性液体に溶解または均一分散可能な量であることが好ましく、無極性液体１００質量％に対し、例えば０．０１〜３０質量％の量で配合することが好ましい。
無極性液体に、色材がこのような量で含まれていても、色材の有無により、隔壁表面における前記無極性液体の静的接触角は変化しない。
【０１５６】
さらに、前記無極性液体は、必要に応じ、本発明の効果を損なわない範囲で、紫外線吸収剤、酸化防止剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。
【０１５７】
≪エレクトロウェッティングディスプレイ≫
また、本発明によれば、前記表示素子を含むエレクトロウェッティングディスプレイ、特に、長寿命で表示性に優れるエレクトロウェッティングディスプレイを容易に製造することができる。
【０１５８】
前記エレクトロウェッティングディスプレイは、従来のエレクトロウェッティングディスプレイに用いられてきた、絶縁膜、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、カラーフィルタ層、ブラックマトリクスなどの、従来公知の層を所望の用途に応じて所望の場所に所望の順番で積層することで形成することができる。このようなエレクトロウェッティングディスプレイの構成としては、例えば、前記表示素子を用いる以外は、特開２０１３−１４２７５３号公報や特開２０１２−６３７６７号公報に記載されている構成と同様の構成であってもよい。
特に、前記エレクトロウェッティングディスプレイは、表示面側でフルカラー表示が可能となるディスプレイを低コストで製造できる等の点から、カラーフィルタ層を含むことが好ましい。
【０１５９】
カラーフィルタ層としては特に制限されず、赤、青、緑に限らず、シアン、マゼンタ、黄色などの層を所望の用途に応じ適宜選択して用いればよい。
また、カラーフィルタ層は、所望の用途に応じ、所望の位置に設ければよく、例えば、前記エレクトロウェッティングディスプレイが、カラーフィルタ層とＴＦＴとを有する場合、前記表示素子のＴＦＴが積層される側に設けてもよく、ＴＦＴが積層される側とは反対側に設けてもよい。
【実施例】
【０１６０】
以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態を更に具体的に説明する。但し、本発明は、これらの実施例に何ら制約されない。なお、「部」および「％」は、特記しない限り質量基準である。
【０１６１】
下記合成例で得られた重合体のゲルパーミエーションカラムクロマトグラフィーによる重量平均分子量（Ｍｗ）を以下条件に基づいて測定した。
・測定方法：ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法
・標準物質：ポリスチレン
・装置    ：東ソー（株）製、商品名：ＨＬＣ−８０２０
・カラム  ：東ソー（株）製ガードカラムＨXL−Ｈ、ＴＳＫ ｇｅｌ Ｇ７０００ＨXL、ＴＳＫ ｇｅｌ ＧＭＨXL ２本、ＴＳＫ ｇｅｌ Ｇ２０００ＨXLを順次連結したもの
・溶媒    ：テトラヒドロフラン
・サンプル濃度：０．７質量％
・注入量  ：７０μＬ
・流速    ：１ｍＬ／ｍｉｎ
【０１６２】
１．重合体の合成
［合成例１］  重合体（Ａ１）の合成
反応容器に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を１６０部仕込み、８０℃まで昇温した。得られた容器に、単量体としてメタクリル酸を１３部、ベンジルメタクリレートを４６部、スチレンを１３部、Ｎ−フェニルマレイミドを１６部、ｎ−ブチルメタクリレートを２部、および２−ヒドロキシエチルメタクリレートを１０部と、重合触媒としてアゾビス−２，４−ジメチルバレロニトリルを５部および溶剤としてＰＧＭＥＡを２５部混合した溶液とを各々２時間かけて反応容器に滴下した。滴下後８０℃で２時間加熱し、１００℃で１時間加熱した。加熱後の混合溶液を２３℃に冷却して、重合体（Ａ１）を含む固形分濃度が３５質量％のＰＧＭＥＡ溶液を得た。得られた重合体（Ａ１）のＭｗは１２０００であった。
【０１６３】
［合成例２］  重合体（Ａ２）の合成（ポリイミド）
３つ口フラスコに重合溶剤としてγ−ブチロラクトン（γ−ＢＬ）３９０ｇを加えた後、ジアミン化合物として２，２'−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン１２０ｇを重合溶剤中に加えた。ジアミン化合物を重合溶剤に溶解させた後、酸二無水物として４，４'−オキシジフタル酸二無水物７１ｇを加えた。その後、６０℃で１時間反応させた後、末端封止剤としての無水マレイン酸１９ｇを加えた。６０℃で更に１時間反応させた後、昇温して１８０℃で４時間反応させることで、重合体（Ａ２）を含む固形分濃度が３５質量％のγ−ＢＬ溶液を約６００ｇ得た。得られた重合体（Ａ２）のＭｗは８０００であった。
【０１６４】
［合成例３］  重合体（Ａ３）の合成（ポリベンゾオキサゾール前駆体）
ジフェニルエーテル−４，４'−ジカルボン酸１モルと１−ヒドロキシベンゾトリアゾール２モルとを反応させて得られたジカルボン酸誘導体４４３．２ｇ（０．９０モル）と、ヘキサフルオロ−２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン３６６．３部（１．００モル）とを、温度計、攪拌機、原料投入口および乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに入れ、そこにＮ−メチル−２−ピロリドン３０００部を加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて７５℃にて１６時間反応させた。１６時間反応後、Ｎ−メチル−２−ピロリドン１００部に溶解させた５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物３２．８部（０．２０モル）を加え、更に３時間攪拌し反応を終了した。反応混合物をろ過した後、ろ物を水／イソプロパノール＝３／１（質量比）の溶液に投入することで生じた沈殿物を濾集し、水で充分洗浄した後、真空下で乾燥することで、ポリベンゾオキサゾール前駆体（重合体（Ａ３））を得た。重合体（Ａ３）濃度が３５質量％となるようにγ−ＢＬを加えて、重合体（Ａ３）のγ−ＢＬ溶液を得た。得られた重合体（Ａ３）のＭｗは１５０００であった。
【０１６５】
［合成例４］  重合体（Ａ４）の合成（ポリシロキサン）
５００ｍＬの三つ口フラスコに、メチルトリメトキシシランを６３．３９部（０．５５ｍｏｌ）、フェニルトリメトキシシランを６９．４１部（０．３５ｍｏｌ）、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシランを２４．６４部（０．１ｍｏｌ）およびプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）を１５０．３６部仕込み、室温で攪拌しながら、水５５．８部にリン酸０．３３８部（仕込みモノマーに対して０．２質量％）を溶かしたリン酸水溶液を１０分かけて添加した。その後、フラスコを７０℃のオイルバスに浸けて１時間攪拌した後、オイルバスを３０分かけて１１５℃まで昇温した。昇温開始１時間後にフラスコの内温が１００℃に到達し、そこから２時間加熱攪拌した（フラスコの内温は１００〜１１０℃）。反応中に副生成物であるメタノールおよび水が合計１１５部留出した。得られた重合体（Ａ４）のＰＧＭＥ溶液に、重合体（Ａ４）濃度が３５質量％となるようにＰＧＭＥを加えて、重合体（Ａ４）のＰＧＭＥ溶液を得た。得られた重合体（Ａ４）のＭｗは５０００であり、Ｓｉ原子１００モルに対するフェニル基含有量は３５モルであった。
【０１６６】
なお、重合体（Ａ４）中のフェニル基の含有量は、「ＪＮＭ−ＥＣＳ４００」（日本電子（株）製）を用いて29Ｓｉ−核磁気共鳴スペクトルを測定し、そのフェニル基が結合したＳｉのピーク面積とフェニル基が結合していないＳｉのピーク面積との比から求めた。
【０１６７】
２．隔壁形成用感光性組成物の調製
前記合成例１で得られた重合体（Ａ１）の溶液を重合体（Ａ１）換算で１００部、架橋剤（Ｂ）７０部、光開始剤（Ｃ）５部、密着助剤（Ｅ）５部および界面活性剤（Ｆ）１部を混合することで、溶液である組成物１を得た。
同様に下記表１に示す組成で、各成分を混合することにより、組成物２〜７を得た。組成物２〜７でも、該組成物中の重合体の量が下記表１の量となるように前記で得られた重合体溶液を用いた。なお、表１中の各成分の詳細は下記表２のとおりである。
【０１６８】
【表１】
0005839138.tif 000010
【０１６９】
【表２】
0005839138.tif 000011
【０１７０】
［実施例１］
３．隔壁の作製
片面に１００ｎｍ厚のＩＴＯ層を備えたガラスウエハのＩＴＯ層上に、表１に示す組成物１を塗布し、ホットプレートにて１００℃で３００秒間加熱処理（プレベーク）し、高さ（図１の上下方向に相当する方向の長さ）３０μｍの塗膜を形成した。形成した塗膜に、パターン化マスクを介して、ステッパー（（株）ニコン製、型式「ＮＳＲ−２００５ｉ１０Ｄ」）を用い、露光量３００ｍＪ／ｃｍ2＠３６５ｎｍを露光（露光１）させた。露光後の塗膜を、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）を０．３質量％含有する水溶液に８０秒間浸漬し（現像処理）、次いで、水洗処理を行った。その後、風速１０ｍ／秒で２０秒間のエアブローで水分およびＴＭＡＨなどの現像残渣を除去した。その後、オーブンにて２２０℃で６０分間加熱（乾燥）処理し、その表面を卓上型光表面処理装置（製品名ＰＬ１６−１１０、セン特殊光源（株）製）を用いて低圧水銀灯によるＵＶオゾン処理（露光量：３Ｊ／ｃｍ2＠２５４ｎｍ）することで、線幅（図１の左右方向に相当する方向の長さ）１０μｍ、格子間隔５０μｍ、高さ（図１の上下方向に相当する方向の長さ）２０μｍの隔壁（格子状パターン化塗膜）を作成した。得られた隔壁（格子状パターン化塗膜）の平面図を図２に示す。
【０１７１】
なお、本発明における露光量の値（Ｊ／ｃｍ2＠２５４ｎｍ）は、照射する紫外線を２５４ｎｍ換算した時の光線量であり、露光量の値（ｍＪ／ｃｍ2＠３６５ｎｍ）は、照射する紫外線を３６５ｎｍ換算した時の光線量である。
【０１７２】
４．表示素子の作製
基板として片面に１００ｎｍ厚のＩＴＯ層およびその上に１μｍ厚の疎水性膜(アモルファスフッ素ポリマー「ＡＦ１６００」、ＤｕＰｏｎｔ社製)を備える厚さ０．７ｍｍ厚のガラス板を用い、該基板の疎水性膜上に表１に示す組成物１を塗布した以外は、前記「３．隔壁の作製」と同様にして、高さ（図１の上下方向に相当する方向の長さ）２０μｍ、線幅１０μｍ、格子間隔５０μｍの隔壁を作製した。形成した隔壁によって囲まれた区画（セル）それぞれに、着色オイル（オクタン中にズダンブラックＢ（和光純薬工業（株）製）を０．１ｗｔ％溶解させた液体）を注入し、得られた隔壁付基板を水中に入れた。その後、片面に１００ｎｍ厚のＩＴＯ層を備えたガラス板２を用い、該ガラス板２のＩＴＯ層が隔壁付基板側となり、かつ、隔壁に接するように配置した。その後、隔壁とガラス板２のＩＴＯ層との接触部を光硬化性エポキシ接着剤で封止することで、基板中央部に１００個以上のセルを有する表示素子を作成した。
【０１７３】
［実施例２〜３２および比較例１］
隔壁形成用感光性組成物の種類、プレベーク時間、プレベーク温度、露光１の際の露光量、現像液の種類、現像処理の時間、エアブローの際の風速、乾燥処理時の温度および時間を表３または４に示すように変更した以外は、実施例１と同様にして、それぞれ、隔壁および表示素子を作製した。
なお、実施例８では、現像液として、０．２５％Ｎａ2ＣＯ3および０．２５％ＮａＨＣＯ3を含む水溶液を用い、実施例３１では、３％ＴＭＡＨおよび０．１％エマルゲンＡ−６０（界面活性剤、花王（株）製、以下「Ａ−６０」ともいう。）を含む水溶液を用い、実施例３２では、３％ＴＭＡＨ、０．１％Ａ−６０および１％ジアセトンアルコール（以下「ＤＡＡ」ともいう。）を含む水溶液を用いた。
【０１７４】
５．評価
実施例および比較例で得られた隔壁および表示素子を、以下の方法で評価した。結果を表３または４に示す。
【０１７５】
［解像性］
得られた隔壁の断面形状を電子顕微鏡（（株）日立ハイテクノロジーズ製、形式「Ｓ−４２００」）にて観察し、ＩＴＯ層に接する隔壁幅（底幅）、隔壁のＩＴＯ層に接する側とは反対側における隔壁幅（頂上幅）をＳＥＭ（（株）日立ハイテクノロジーズ製、形式「Ｓ−４２００」）で測定した。底幅と頂上幅との差の値が±１μｍの場合を優良、±２μｍの場合を良好、±３μｍの場合をやや良好、±３μｍを超える場合を不良とした。
【０１７６】
［面内バラツキ］
得られた隔壁の表面を電子顕微鏡（（株）日立ハイテクノロジーズ製、形式「Ｓ−４２００」）にて観察し、任意の１０点の隔壁幅を測定した。測定した１０点の隔壁幅のうち、最大の値と最小の値との差が±０．５μｍの場合を優良、±１μｍの場合を良好、±２μｍの場合をやや良好、±２μｍを超える場合を不良とした。
【０１７７】
［水ムラ等］
得られた隔壁の表面を走査型電子顕微鏡（(株)日立ハイテクノロジー：ＳＵ３５００）を用いて、任意の１０点を目視で確認した。
現像残渣または水ムラ（以下「水ムラ等」ともいう。）がなかった場合に無とし、水ムラ等が１〜３個（１〜３箇所）あった場合にやや有り、水ムラ等が３個（３箇所）を超えた場合に有りとした。
【０１７８】
［表示素子の作動状態の評価］
実施例および比較例で得られた表示素子の、隔壁、着色オイルおよび水を挟む一対のＩＴＯ層間に１０Ｖ／１０μｍ間隔の直流電圧を印加した。実施例で得られた表示素子は、基板中央部の１００個のセルについて、電圧の印加により、着色オイルが収縮し（半球状へ変化し）背面が透過し、電圧印加を停止した場合、すべてのセルにおいて着色表示に戻った。
【０１７９】
前記直流電圧の印加と印加の停止を１サイクルとして、該サイクルを１００回繰り返した。該サイクルを１００回繰り返した後の電圧印加を停止した時を０秒とし、電圧印加を停止した時から着色表示になるまでの時間（シャッタースピード、応答速度）に基づいて、表示素子の作動状態を評価した。具体的には、着色表示になるまでの時間が、２０ミリ秒未満の場合を「優良」と判断し、２０ミリ秒以上５０ミリ秒未満の場合を「良好」と判断し、５０ミリ秒以上１００ミリ秒未満の場合を「やや良好」と判断し、１００ミリ秒以上の場合を「不良」と判断した。
【０１８０】
【表３】
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【０１８１】
【表４】
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【０１８２】
６．評価結果
実施例１〜３２で得られた隔壁は、パターニング特性に優れると考えられる。さらに、実施例１〜３２で得られた表示素子は、前記サイクルを１００回繰り返した後もシャッタースピードが十分に速いことを確認した。特に実施例１〜４、１１〜１４および２８〜３２で得られた表示素子は、前記サイクルを１００回繰り返した後も２０ミリ秒未満というかなりの短時間で表示状態が変化した。つまり、実施例で得られた表示素子は、着色オイル（無極性液体）の存在状態をスムーズにかつ長期間安定して変化させることが可能であることが分かった。
【０１８３】
一方、比較例１で得られた表示素子は、表示素子の作動状態の評価において、電圧印加を停止した時の着色オイルの略半球状への変化（収縮挙動）に異常が見られ、表示状態が変化するのに１００ミリ秒以上の時間を要した。
【符号の説明】
【０１８４】
１０：表示素子
１１：第１電極層スタック
１２：第２電極層スタック
１３：隔壁
１４：無極性液体
１５：極性液体
１６：収容空間（画素領域（セル））
２０：ＩＴＯ層上に形成された隔壁
２１：隔壁
２２：ＩＴＯ層
２３：セル
【要約】
【課題】所望形状の隔壁を容易に形成することができ、表示性に優れる表示素子を得ることができる隔壁の製造方法を提供すること。
【解決手段】第１電極層スタックと、第２電極層スタックと、前記第１電極層スタックおよび前記第２電極層スタック間に形成された、互いに非混和性の極性液体および無極性液体を含む収容空間、を区画する隔壁の製造方法であって、該製造方法は、下記工程（ａ）〜（ｄ）を含む。
（ａ） 感光性組成物を用いて膜を形成する工程
（ｂ） 前記膜を露光する工程
（ｃ） 前記露光された膜を、アルカリ水溶液を用いて現像する工程
（ｄ） 前記現像された膜に風を当てる工程
【選択図】なし【図１】
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【図２】
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