(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非接触搬送レールと、該非接触搬送レールと被搬送物の搬送方向に相隣り合って配列された非接触搬送レールと、これら非接触搬送レールの継ぎ目の上方に、該継ぎ目の空間部分を挟んで相対向して配置され、前記被搬送物を吸引する非接触吸引装置とからなり、
該非接触吸引装置は吸引保持体を有し、
該吸引保持体は、平面視方形状の基体と、該基体に装着された旋回流形成体とからなり、
前記基体は、上面に開口する平面視円形の開口部を有すると共に底面部を備えた円筒収容凹部と、該円筒収容凹部の円筒内壁面部に該円筒内壁面部と環状肩部を介して拡径する帯状円筒壁面部と、該基体の長手方向に沿って形成され、一部が該円筒収容凹部の底面部に開口する空気通路と、一方の端部が該基体の裏面に開口し、他方の端部が該空気通路に開口する空気供給口とを備え、
前記旋回流形成体は、一方の端部に平面視略円形の開口部を有し、他方の端部に底面部を有する円筒状凹部を備えた円筒状本体と、該円筒状本体の円筒状凹部の開口部の外周縁に形成された環状鍔部と、該環状鍔部の外周面から下方に垂下し、先端に係止突起を有して該外周面の径方向に相対向して形成された複数個の係合垂下部と、前記円筒状凹部の円筒内壁面に該円筒内壁面の接線方向であって該円筒状凹部の中心を挟んで対角線上の相対向する位置に該円筒内壁面から径方向外方に凹んだ平面視三角形状の凹部と、該各々の凹部の内側壁面部に形成され、円筒状凹部の円筒内壁面側に向かって各々反対方向に開口する空気噴出口と、該空気噴出口に連通し、円筒状本体の外周面から突出した凹部の外側壁面部に開口する空気取入口を備え、該旋回流形成体は、前記円筒状本体の環状鍔部の外周面を、前記基体の前記円筒収容凹部の円筒内壁面部に圧入嵌合し、前記係合垂下部の係止突起を、各々該基体の前記円筒内壁面部の環状肩部に係合させて該基体の円筒収容凹部に装着されることを特徴とする非接触搬送装置。
【請求項２】
前記非接触吸引装置は、前記非接触搬送レールの継ぎ目の空間部分を挟んで相対向すると共に、非接触搬送レールの幅方向に相対向して立設された一対の支柱と、該支柱間を跨って掛け渡された天井板とを有し、該天井板の下面に前記吸引保持体が固着されたことを特徴とする請求項１に記載の非接触搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）や太陽電池パネル（ソーラーパネル）等の生産に用いられる非接触搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＦＰＤやソーラーパネル等の生産に際し、１枚のパネルを大型化することで生産効率を上げる方法が採用されている。例えば、ＬＣＤの場合には、第１０代世代で２８５０×３０５０×０．７ｍｍの大きさとなる。そのため、従来のように、複数個並べられたローラの上に液晶ガラスを載せて転がり搬送すると、ローラを支持するシャフトの撓みやローラ高さの寸法のばらつきにより、液晶ガラスに局部的に強い力が働き、当該液晶ガラスに斑痕、擦傷等の損傷を与える虞がある。【０００３】
このようなＦＰＤやソーラーパネル等の被搬送物の損傷を避けることができる空気による浮上搬送の技術分野においては、特許文献１、特許文献２及び特許文献３に記載された空気浮上の搬送装置をはじめ、各種非接触搬送装置が種々提案され、本出願人も旋回流によって被搬送物を浮上、搬送させる非接触搬送装置を提案した（特許文献４）。【０００４】
この特許文献４に記載された非接触搬送装置によれば、旋回流形成体の表面側に上方へ向かう上昇旋回流を発生させることで被搬送物を浮上させ、それによって、従来の１／２程度の空気流量で搬送を可能とするという利点を有する。【０００５】
ところで、上記非接触搬送装置にあっては、被搬送物の搬送距離を延ばす場合には、搬送レールを被搬送物の搬送方向に沿って継ぎ足して距離を延ばすことになるが、その際、搬送レールとこの搬送レールと相隣合う搬送レールとの継ぎ目の空間部分が大きくなると、図１６に示すように、この継ぎ目の空間部分Ｓでは被搬送物（例えば、ガラス）Ｇに空気膜圧が作用しないため、被搬送物Ｇの自重により搬送レール２、３からオーバーハングした部位に撓みを生じ、被搬送物Ｇの端部が搬送レール２、３の端部に衝突して破損する虞がある。この撓みを回避するために浮上量を大きくしても、被搬送物Ｇの端部の撓みも比例して大きくなるため、被搬送物Ｇの搬送レール２、３への衝突を回避することはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】日本特開平６−１２７７３８号公報
【特許文献２】日本特開２００３−６３６４３号公報
【特許文献３】日本特開２００６−２６４８０４号公報
【特許文献４】国際公開第２００９／１１９３７７号パンフレット
【特許文献５】国際公開第２０１０／０５８６８９号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記した搬送レール間の継ぎ目の空間部分における被搬送物のオーバーハング部位の搬送レールへの衝突を回避する技術として、前記特許文献２は、搬送面における搬送方向と直交する幅方向中央部位置に配置された搬送方向に長い箱状体の浮上チャンバと、搬送面における幅方向両端位置で、搬送方向に配置された幅方向一対の搬送ローラ列とから構成され、浮上チャンバは、搬送面と平行であって箱状体の蓋に相当する上面板を有し、この上面板には、多数の気体噴出小孔が形成され、箱状体の浮上チャンバにおける搬送方向後側の端面板の上端縁と上面板の搬送方向後端縁との間には隙間が形成され、該隙間から動圧気体を流出することにより動圧浮上手段を構成する搬送装置を開示している。【０００８】
前記特許文献３は、搬送する大型ガラス基板に対応させたベース体と、このベース体の底面に設けられた給気部と、ベース体の上面に設けられた多孔部と、給気部からベース体内に流入し、多孔部から流出して基板を浮上させる空気を、ベース体の上面から底面に流出させ、かつ、ベース体外に排気させる排気部と、この排気部に設けられた流量調整器と、ベース体の上面のエッジ部に形成され、かつ、基板を動圧空気により浮上させるエッジ孔部を備えた浮上ユニットを用いた非接触搬送装置を開示している。【０００９】
特許文献５は、複数の搬送レールを被搬送物の搬送方向に沿って配置し、該複数の搬送レール上で該被搬送物を浮上させながら搬送する非接触搬送装置であって、搬送レールの端部以外の搬送面に設けられ、上昇旋回流を生じさせて被搬送物を浮上させる第１の流体噴出手段と、搬送レールの端部の搬送面に設けられ、該搬送レール上を搬送される被搬送物の端部が、隣り合う搬送レール間の継ぎ目又はその近傍に達したときに、被搬送物の端部に流体を吹き付け、該被搬送物の端部を浮上させる第２の流体噴出手段を備えた非接触搬送装置を開示している。【００１０】
上記特許文献２、特許文献３及び特許文献５に記載された搬送レール間の継ぎ目の空間部分における被搬送物の該搬送レールからオーバーハングした部位の搬送レールへの衝突を回避する技術は、被搬送物が搬送レールの搬送方向の先端部側に搬送されたときに、被搬送物の先端部に下方から空気を噴射し、当該被搬送物の端部を浮上させるものである。【００１１】
特許文献３に記載された装置においては、浮上ユニット毎に流量調整機を設ける必要があり、また特許文献５に記載された装置においては、搬送レール毎に第２の噴出手段である噴出スロットを設ける必要があり、装置自体のコスト増を招来し、また取付作業を煩雑化させるなどの問題がある。【００１２】
本発明は、上記諸点に鑑みてなされたものであり、装置コストを低く抑え、取付作業も容易で、被搬送物の先端部分が相隣り合う搬送レールに衝突することなく相隣り合う搬送レールへ乗り移ることができる非接触搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明は、非接触搬送装置であって、非接触搬送レールと、該非接触搬送レールと被搬送物の搬送方向に相隣り合って配列された非接触搬送レールと、これら非接触搬送レールの継ぎ目の上方に、該継ぎ目の空間部分を挟んで相対向して配置され、前記被搬送物を吸引する非接触吸引装置とからなり、該非接触吸引装置は吸引保持体を有し、該吸引保持体は、平面視方形状の基体と、該基体に装着された旋回流形成体とからなり、前記基体は、上面に開口する平面視円形の開口部を有すると共に底面部を備えた円筒収容凹部と、該円筒収容凹部の円筒内壁面部に該円筒内壁面部と環状肩部を介して拡径する帯状円筒壁面部と、該基体の長手方向に沿って形成され、一部が該円筒収容凹部の底面部に開口する空気通路と、一方の端部が該基体の裏面に開口し、他方の端部が該空気通路に開口する空気供給口とを備え、前記旋回流形成体は、一方の端部に平面視略円形の開口部を有し、他方の端部に底面部を有する円筒状凹部を備えた円筒状本体と、該円筒状本体の円筒状凹部の開口部の外周縁に形成された環状鍔部と、該環状鍔部の外周面から下方に垂下し、先端に係止突起を有して該外周面の径方向に相対向して形成された複数個の係合垂下部と、前記円筒状凹部の円筒内壁面に該円筒内壁面の接線方向であって該円筒状凹部の中心を挟んで対角線上の相対向する位置に該円筒内壁面から径方向外方に凹んだ平面視三角形状の凹部と、該各々の凹部の内側壁面部に形成され、円筒状凹部の円筒内壁面側に向かって各々反対方向に開口する空気噴出口と、該空気噴出口に連通し、円筒状本体の外周面から突出した凹部の外側壁面部に開口する空気取入口を備え、該旋回流形成体は、前記円筒状本体の環状鍔部の外周面を、前記基体の前記円筒収容凹部の円筒内壁面部に圧入嵌合し、前記係合垂下部の係止突起を、各々該基体の前記円筒内壁面部の環状肩部に係合させて該基体の円筒収容凹部に装着されることを特徴とする。
【００１４】
本発明にかかる非接触搬送装置によれば、非接触搬送レールの継ぎ目の上方に、該継ぎ目の空間部分を挟んで相対向して配置された非接触吸引装置によって該吸引装置とは非接触状態で該吸引装置側に吸引保持されると共に、被搬送物は、当該吸引保持された状態を保って該つなぎ目の空間部分を通過して搬送されるので、被搬送物の搬送方向の先端部が搬送方向に相隣り合う非接触搬送レールに衝突することはなく、被搬送物を損傷させることもない。【００１８】
上記基体と該基体に装着された旋回流形成体とからなる吸引保持体を備えた吸引浮上装置において、基体の空気通路から該基体の円筒収容凹部を介して該円筒収容凹部に装着された旋回流形成体に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は該旋回流形成体の流体供給口を介して流体噴出孔から円筒状凹部内に噴出され、円筒状凹部の内部空間で旋回流となって該円筒状凹部の開口部から流出する。その流出時に、旋回流形成体の環状鍔部の端面に相対向する位置に被搬送物が配されていると、空気は環状鍔部の端面に沿って高速流となって流出するので、環状鍔部の端面と被搬送物との間は負圧となる。この負圧により被搬送物は環状鍔部の端面側に吸引される一方、円筒状凹部の開口部から流出して環状鍔部の端面と被搬送物との間に旋回流として介在する空気により反発力を受け、そのバランスにより、被搬送物は環状鍔部の端面に相対向した状態で、非接触で保持される。【００１９】
このように、被搬送物は、搬送レール間のつなぎ目の空間部分を挟んで搬送方向に相対向して設けられた非接触吸引装置によって、該吸引装置とは非接触状態で該吸引装置側に吸引保持されるので、被搬送物の搬送方向の先端部が搬送方向に相隣り合う非接触搬送レールに衝突することはなく、被搬送物を損傷させることもない。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように、本発明によれば、装置コストを低く抑え、取付作業も容易で、被搬送物の先端部分が相隣り合う搬送レールに衝突することなく相隣り合う搬送レールへ乗り移ることができる非接触搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の非接触搬送装置の全体を示す平面図である。
【図２】図１の断面正面図である。
【図３】図１のＩ−Ｉ線断面図である。
【図４】基体の平面図である。
【図５】図４のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図６】図５の一部拡大断面図である。
【図７】図４のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図８】基体の背面図である。
【図９】平面視右回り方向（時計回り方向）の旋回流を発生させる旋回流形成体を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は底面図、（ｄ）は（ｂ）のＩＶ−ＩＶ線断面図、（ｅ）は（ｃ）のＡ部の拡大断面図、（ｆ）は（ｄ）のＢ部の拡大断面図である。
【図１０】平面視左回り方向（反時計回り方向）の旋回流を発生させる旋回流形成体を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は底面図、（ｄ）は（ｃ）のＶ−Ｖ線断面図、（ｅ）は（ｃ）のＤ部の拡大断面図、（ｆ）は（ｄ）のＥ部の拡大断面図である。
【図１１】基体に旋回流形成体を装着した吸引保持体を示す平面図である。
【図１２】図１１のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図１３】図１２の一部拡大断面図である。
【図１４】図１１の右側面図である。
【図１５】吸引保持体の他の形態を示す平面図である。
【図１６】搬送レール間の継ぎ目の空間部分と被搬送物との関係を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
次に本発明の実施の形態を、図に示す好ましい例に基づいてさらに詳細に説明する。なお、以下の説明においては、被搬送物として液晶ガラス（以下「ガラス」という。）を搬送する場合を例にとって説明する。
【００２３】
図１から図３において、非接触搬送装置１は、本例では、幅方向に３列にわたって所定の間隔をもって配置された非接触搬送レール２と、該非接触搬送レール２と搬送方向Ｘに相隣り合って配置された３列の非接触搬送レール３と、該非接触搬送レール２及び３の搬送方向Ｘの継ぎ目４の空間部分Ｓの上方に、該継ぎ目４の空間部分Ｓを挟んで搬送方向Ｘに相対向して配置された非接触吸引装置５及び５と、非接触搬送レール２及び３を幅方向に挟んで搬送方向Ｘに沿って配された壁部６及び６に回転自在に支承された複数個の駆動装置としての駆動ローラ７とから構成され、ガラスＧは駆動ローラ７によって搬送方向Ｘに沿って搬送される。
【００２４】
非接触吸引装置５は、非接触搬送レール２及び３の搬送方向Ｘの継ぎ目４の空間部Ｓを挟んで相対向し、かつ駆動ローラ７を挟んで各々相対向して立設された一対の支柱８及び８と、該支柱８間に跨って掛け渡された天井板９及び９と、該天井板９及び９の下面に固着された吸引保持体１０及び１０とから構成されている。
【００２５】
吸引保持体１０は、平面視方形状の基体１１と該基体１１に装着された旋回流形成体１２又は１３とから形成されている。
【００２６】
基体１１は、図４から図８に示すように、該基体１１の長手方向Ｙに沿うと共に該基体１１の幅方向に２列にわたって形成され、該基体１１の上面１４に開口する平面視円形の開口部１５を有すると共に底面部１６を備えた円筒収容凹部１７と、該円筒収容凹部１７の円筒内壁面部１８に該円筒内壁面部１８と環状肩部１９を介して拡径する帯状円筒壁面部２０と、該基体１１の長手方向Ｙに沿って形成され、一部が該円筒収容凹部１７の底面部１６に開口する空気通路２１とを備え、該空気通路２１の一方の端部は行き止まりとなっており、他方の端部は各々該空気通路２１の端部に形成された雌ねじ部２２に螺合固定された閉塞栓２３（図１４参照）によって閉塞されている。
【００２７】
該基体１１の裏面２４には、一方の端部が該裏面２４に開口し、他方の端部が該空気通路２１に各々開口する空気供給口２５が形成され、該空気供給口２５には供給ポンプ（図示せず）が連結される。
【００２８】
該基体１１は、該基体１１に設けられた複数個のねじ孔２６に螺合したねじ（図示せず）によって、天井板９の下面に固着されている。
【００２９】
基体１１の円筒収容凹部１７に配される旋回流形成体は、図９（ａ）から（ｆ）に示す右回り方向（時計回り方向）の旋回流を発生させる旋回流形成体１２と、図１０（ａ）から（ｆ）に示す左回り方向（反時計回り方向）の旋回流を発生させる旋回流形成体１３が、各々単独で、あるいは両者を組み合わせて使用される。
【００３０】
図９（ａ）から（ｆ）に示す右回り方向（時計回り方向）の旋回流を発生させる旋回流形成体１２は、一方の端部に平面視略円形の開口部１２ａを有し、他方の端部に底面部１２ｂを有する円筒状凹部１２ｃを備えた円筒状本体１２ｄと、該円筒状本体１２ｄの円筒状凹部１２ｃの開口部１２ａの外周縁に形成された環状鍔部１２ｅと、該環状鍔部１２ｅの外周面１２ｆから下方に垂下し、先端に係止突起１２ｇを有して該外周面１２ｆの径方向に相対向して形成された複数本、本例では４本の係合垂下部１２ｈと、円筒状凹部１２ｃの円筒内壁面１２ｉに該円筒内壁面１２ｉの接線方向であって該円筒状凹部１２ｃの中心Ｏを挟んで対角線上の相対向する位置に該円筒内壁面１２ｉから径方向外方に凹んだ平面視三角形状の凹部１２ｊ及び１２ｊと、各々の凹部１２ｊ及び１２ｊの内側壁面部１２ｋ及び１２ｋに形成され、円筒状凹部１２ｃの円筒内壁面１２ｉ側に向かって各々反対方向に開口する空気噴出口１２ｌ及び１２ｌと、該空気噴出口１２ｌ及び１２ｌに連通し、円筒状本体１２ｄの外周面１２ｍから突出した凹部１２ｊ及び１２ｊの外側壁面部１２ｎ及び１２ｎに開口する空気取入口１２ｏ及び１２ｏを備えている。
【００３１】
上記旋回流形成体１２の空気取入口１２ｏ及び１２ｏから供給された空気は、各々空気噴出口１２ｌ及び１２ｌを介して円筒状本体１２ｄの円筒状凹部１２ｃに噴出し、該円筒状凹部１２ｃの内部空間で平面視右回り方向の旋回流（図９（ｂ）中の矢印Ｃ方向）となって該円筒状凹部１１ｄの開口部１１ａから流出する。
【００３２】
図１０（ａ）から（ｆ）に示す左回り方向の上昇旋回流を発生させる旋回流形成体１３は、前記旋回流形成体１２と同様、一方の端部に平面視略円形の開口部１３ａを有し、他方の端部位に底面部１３ｂを有する円筒状凹部１３ｃを備えた円筒状本体１３ｄと、該円筒状本体１３ｄの円筒状凹部１３ｃの開口部１３ａの外周縁に形成された環状鍔部１３ｅと、該環状鍔部１３ｅの外周面１３ｆから下方に垂下し、先端に係止突起１３ｇを有して該外周面１３ｆの径方向に相対向して形成された複数本、本例では４本の係合垂下部１３ｈと、円筒状凹部１３ｃの円筒内壁面１３ｉに該円筒内壁面１３ｉの接線方向であって該円筒凹部１３ｃの中心Ｏを挟んで対角線上の相対向する位置に該円筒内壁面１３ｉから径方向外方に凹んだ平面視三角形状の凹部１３ｊ及び１３ｊと、各々の凹部１３ｊ及び１３ｊの内側内壁面１３ｋ及び１３ｋに形成され、円筒凹部１３ｃの円筒内壁面１３ｉ側に向かって各々反対方向に開口する空気噴出口１３ｌ及び１３ｌと、該空気噴出口１３ｌ及び１３ｌに連通し、円筒状本体１３ｄの外周面１３ｍから突出した凹部１３ｊ及び１３ｊの外側壁面部１３ｎ及び１３ｎに開口する空気取入口１３ｏ及び１３ｏを備えている。
【００３３】
上記旋回流形成体１３の空気取入口１３ｏ及び１３ｏから供給された空気は、各々空気噴出口１３ｌ及び１３ｌを介して円筒状本体１３ｄの円筒状凹部１３ｃに噴出し、該円筒状凹部１３ｃの内部空間で平面視左回りの旋回流（図１０（ｂ）中の矢印Ｆ方向）となって該円筒状凹部１３ｄの開口部１３ａから流出する。
【００３４】
これら旋回流形成体１２及び１３は、例えばポリアセタール樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）などの熱可塑性合成樹脂から形成されている。
【００３５】
上記旋回流形成体１２は、円筒状本体１２ｄの環状鍔部１２ｅの外周面１２ｆを、前記基体１１の円筒収容凹部１７の円筒内壁面部１８に圧入嵌合し、係合垂下部１２ｈの係止突起１２ｇを、各々該基体１１の円筒内壁面部１８の環状肩部１９に係合させることにより、該基体１１の円筒収容凹部１７に装着される。
【００３６】
旋回流形成体１３も上記旋回流形成体１２と同様の方法で、基体１１の円筒収容凹部１７に装着される。
【００３７】
基体１１の円筒収容凹部１７に旋回流形成体１２を装着して形成された吸引保持体１０は、該旋回流形成体１２が装着された側の面、換言すれば基体１１の上面１４を下向きにして天井板９（図１乃至図３参照）の下面に固着される。
【００３８】
次に、上記構成からなる非接触搬送装置１の動作について、図１及び図２を中心に参照しながら説明する。
【００３９】
非接触搬送レール２上に配置されたガラスＧは、該搬送レール２上を浮上しながら駆動ローラ７によって搬送方向Ｘに搬送される。ガラスＧが該搬送レール２と該搬送レール２と搬送方向Ｘに相隣り合う搬送レール３との間の継ぎ目４の空間部分Ｓに差し掛かる手前で、非接触吸引装置５及び５における吸引保持体１０の空気供給口２５に圧縮空気が供給され、圧縮空気は空気通路２１から該空気通路２１に連通する円筒収容凹部１７の底面部１６に流動する。円筒収容凹部１７に流動した圧縮空気は、該円筒収容凹部１７に装着された旋回流形成体１２の空気取入口１２ｏ及び１２ｏから空気噴出口１２ｌ及び１２ｌを介して円筒状本体１２ｄの円筒状凹部１２ｃに噴出する。該円筒状凹部１２ｃに噴出した圧縮空気は、円筒状凹部１２ｃの内部空間で平面視右回り方向の旋回流となって該円筒状凹部１２ｃの開口部１２ａから流出する。
【００４０】
このとき、旋回流形成体１２の環状鍔部１２ｅの端面と相対向する位置にガラスＧが搬送されているので、円筒状凹部１２ｃの開口部１２ａから流出した空気は、環状鍔部１２ｅの端面に沿って高速流となって流出するので、該環状鍔部１２ｅの端面とガラスＧとの間は負圧となる。この負圧によりガラスＧは、環状鍔部１２ｅ側に吸引されるが、円筒状凹部１２ｃの開口部１２ａから流出して環状鍔部１２ｅの端面とガラスＧとの間に旋回流として介在する空気により反発力を受け、この反発力と負圧とのバランスにより、ガラスＧは環状鍔部１２ｅの端面に相対向した状態で、非接触で保持される。
【００４１】
このように、ガラスＧは非接触状態を保ちながら該吸引保持体１０側に吸引保持されるので、搬送レール２及び３間の継ぎ目４の空間部分ＳにガラスＧがオーバーハングすることはなく、搬送レール３に衝突することなく相隣り合う搬送レール３に乗り移ることができる。
【００４２】
なお、以上の説明においては、基体１１の円筒収容凹部１７に旋回流形成体１２を装着して形成した吸引保持体１０を使用した態様を説明したが、基体１１の円筒収容凹部１７に旋回流形成体１３を装着して形成した吸引保持体１０を使用してもよく、また旋回流形成体１２及び１３を搬送方向Ｘに交互に装着して形成した吸引保持体１０を使用してもよい。また、吸引保持体１０として図１５に示すように、基体１１に旋回流形成体１２又は１３を長手方向に千鳥状に装着した吸引保持体１０を使用してもよい。
【００４３】
以上のように、非接触搬送レール２に沿って浮上搬送されたガラスＧの搬送方向の先端部は、該非接触搬送レール２と搬送方向に相隣り合う非接触搬送レール３との継ぎ目４の空間部分Ｓに搬送される手前において、該継ぎ目４の空間部分Ｓを挟んで搬送方向に相対向して設けられた非接触吸引装置５及び５において、該吸引装置５を形成する吸引保持体１０によって、該吸引保持体１０とは非接触状態で吸引保持されると共に、当該吸引保持された状態を保って該継ぎ目４の空間部分Ｓを通過して搬送されるので、ガラスＧの搬送方向の先端部が搬送方向に相隣り合う非接触搬送レール３に衝突することがなく、ガラスＧを損傷させることのない非接触搬送装置を提供することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１  非接触搬送装置
２、３  非接触搬送レール
４  継ぎ目
５  非接触吸引装置
６  壁部
７  駆動ローラ
８  支柱
９  天井板
１０  吸引保持体
１１  基体
１２、１３  旋回流形成体
１４  上面
１５  開口部
１６  底面部
１７  円筒収容凹部
１８  円筒内壁面部
１９  環状肩部
２０  帯状円筒壁面部
２１  空気通路
２２  雌ねじ部
２３  閉塞栓
２４  裏面
２５  空気供給口
２６  ねじ孔
【図１】
0005931873.tif 000002
【図２】
0005931873.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005931873.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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