(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂層と熱伝導性粒子とを有する熱伝導性シートであって、
前記熱伝導性シートの一方面から他方面までの長さを１００％としたときに、前記熱伝導性シートの一方面から５〜８０％の範囲内に、前記熱伝導性粒子の総量の９０％以上が存在していることを特徴とする、熱伝導性シート。
【請求項２】
樹脂層を用意する工程、
前記樹脂層に吸収される前記単量体と、熱伝導性粒子とを含有する粒子含有単量体混合物層を、前記樹脂層の一方面に積層する工程、
前記単量体を前記樹脂層に吸収させることにより、前記熱伝導性粒子を一方に偏在させる工程、および、
前記単量体を反応させて硬化させる工程
を含むことを特徴とする、熱伝導性シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱伝導性シート、詳しくは、各種デバイスの放熱材料として用いられる熱伝導性シート、および、その製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハイブリッドデバイス、高輝度ＬＥＤデバイス、電磁誘導加熱デバイスなどでは、大電力を、動力、光、熱などに変換しており、デバイスの小型化に伴って、狭い領域に大電流が流れるため、単位体積当たりの発熱量が増大している。そのため、上記デバイスには、高い耐熱性、熱伝導性を有する放熱材料が要求されている。
【０００３】
上記放熱材料として、パワーエレクトロニクスに向けては、例えば、アルミナ、シリカ、窒化珪素、窒化硼素、窒化アルミニウム、金属粒子などの熱伝導性の良好なフィラーが、樹脂材料に混入される有機−無機複合材料が知られている。
【０００４】
例えば、球状アルミナ粉末と、その球状アルミナ粉末よりも微粒かつ平均球形度の大きい球状シリカ粉末とを含む無機質粉末を、エポキシ樹脂組成物に充填することにより、封止材を調製することが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
この封止材では、粒子の間に小粒子が埋められることによって充填率が向上されており、これにより、熱伝導性の向上が図られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−３０６５９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかるに、上記した特許文献１では、熱伝導性をより向上させるには、エポキシ樹脂組成物に無機質粉末をより多く充填する必要がある。
【０００８】
しかし、エポキシ樹脂組成物に多量の無機質粉末を分散させると、エポキシ樹脂組成物の機械強度などの物性を低下させる場合や、コストが増大する場合がある。
【０００９】
また、エポキシ樹脂組成物に分散可能な無機質粉末の配合割合には限界がある。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、熱伝導性粒子の使用量を増大させることなく、熱伝導性を向上させることができる熱伝導性シート、および、その製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明の熱伝導性シートは、樹脂層を用意し、前記樹脂層に吸収される単量体と、熱伝導性粒子とを含有する粒子含有単量体混合物層を、前記樹脂層の一方面に積層し、前記単量体を前記樹脂層に吸収させることにより、前記熱伝導性粒子を一方に偏在させ、その後、前記単量体を反応させて硬化させることにより得られることを特徴としている。
【００１２】
また、本発明の熱伝導性シートは、樹脂層と、前記樹脂層中に含有される熱伝導性粒子とを有する熱伝導性シートであって、前記樹脂層の一方面から他方面までの長さを１００％としたときに、前記樹脂層の一方面から５〜８０％の範囲内に、前記熱伝導性粒子の総量の９０％以上が存在していることを特徴としている。
【００１３】
また、本発明の熱伝導性シートの製造方法は、樹脂層を用意する工程、前記樹脂層に吸収される前記単量体と、熱伝導性粒子とを含有する粒子含有単量体混合物層を、前記樹脂層の一方面に積層する工程、前記単量体を前記樹脂層に吸収させることにより、前記熱伝導性粒子を一方に偏在させる工程、および、前記単量体を反応させて硬化させることにより、粒子偏在シートを作製する工程を含むことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の熱伝導性シートの製造方法によれば、樹脂層に粒子含有単量体混合物層を積層し、樹脂層に粒子含有単量体混合物層中の単量体を吸収させた後、単量体を重合させることにより、熱伝導性シートを作製している。
【００１５】
そのため、本発明の熱伝導性シートでは、熱伝導性シートの一方に熱伝導性粒子を偏在させることができ、熱伝導性シートの一方面において、放熱性を向上させることができる。
【００１６】
その結果、熱伝導性粒子の使用量を増大させることなく、熱伝導性粒子を厚み方向一方に偏在させることにより、熱伝導性シートの一方面において、熱伝導性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の熱伝導性シートの一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１に示す熱伝導性シートの製造方法を説明するための説明図であって、（ａ）は、粒子含有単量体混合物をセパレータに塗布する工程、（ｂ）は、粒子含有単量体混合物塗膜と樹脂層とを積層する工程、（ｃ）は、粒子含有単量体混合物中の熱伝導性粒子を偏在させる工程、（ｄ）は、単量体を反応させて熱伝導性シートを作製する工程を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明の熱伝導性シートの一実施形態を示す断面図である。
【００１９】
熱伝導性シート１は、図１に示すように、樹脂から形成され、所定の厚みを有し、厚み方向に直交する方向（面方向、以下同じ。）に延びるシートである。また、熱伝導性シート１中には、粒子充填層２が形成されている。
【００２０】
熱伝導性シート１を形成する樹脂としては、例えば、アクリル樹脂などが挙げられる。
【００２１】
粒子充填層２は、熱伝導性シート１の厚み方向一方において、面方向に沿って形成されている。また、粒子充填層２には、熱伝導性粒子３が充填されている。
【００２２】
熱伝導性粒子３としては、例えば、炭化物、窒化物、酸化物、金属、炭素系材料などが挙げられる。
【００２３】
炭化物としては、例えば、炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化アルミニウム、炭化チタン、炭化タングステンなどが挙げられる。
【００２４】
窒化物としては、例えば、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化クロム、窒化タングステン、窒化マグネシウム、窒化モリブデン、窒化リチウムなどが挙げられる。
【００２５】
酸化物としては、例えば、酸化ケイ素（シリカ）、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化マグネシウム（マグネシア）、酸化チタン、酸化セリウムなどが挙げられる。さらに、酸化物として、金属イオンがドーピングされている、例えば、酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズなどが挙げられる。
【００２６】
金属としては、例えば、銅、金、ニッケル、錫、鉄、または、それらの合金が挙げられる。
【００２７】
炭素系材料としては、例えば、カーボンブラック、黒鉛、ダイヤモンドなどが挙げられる。
【００２８】
熱伝導性粒子３は、単独使用または２種以上併用することができ、好ましくは、炭化物、窒化物、酸化物が挙げられる。
【００２９】
また、熱伝導性粒子３の平均粒子径は、例えば、０．１〜１００μｍ、より好ましくは、１〜１０μｍである。
【００３０】
図２は、図１に示す熱伝導性シートの製造方法を説明するための説明図であって、（ａ）は、粒子含有単量体混合物をセパレータに塗布する工程、（ｂ）は、粒子含有単量体混合物塗膜と樹脂層とを積層する工程、（ｃ）は、粒子含有単量体混合物中の熱伝導性粒子を偏在させる工程、（ｄ）は、単量体を反応させて熱伝導性シートを作製する工程を示す。
【００３１】
次いで、熱伝導性シート１の製造方法について説明する。
【００３２】
この方法では、まず、熱伝導性粒子３と単量体とを含有する粒子含有単量体混合物を調製する。
【００３３】
粒子含有単量体混合物を調製するには、まず、単量体を部分的に重合させることにより、単量体と重合物とが混在した単量体組成物（シロップ）を調製する。
【００３４】
単量体としては、重合により上記した樹脂を調製可能な単量体が挙げられ、アクリル樹脂の場合には、例えば、（メタ）アクリル酸エステル単量体、官能基含有不飽和単量体、多官能不飽和単量体などが挙げられる。
【００３５】
（メタ）アクリル酸エステル単量体としては、例えば、炭素数１〜１８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステル（メタクリル酸アルキルエステルまたはアクリル酸アルキルエステル）が挙げられ、具体的には、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓｅｃ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ネオペンチル、（メタ）アクリル酸イソアミル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸へプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルへキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸２−エチルへキサデシルなどが挙げられ、好ましくは、アクリル酸２−エチルへキシルが挙げられる。（メタ）アクリル酸エステル単量体は、単独使用または２種以上併用することができる。
【００３６】
官能基含有不飽和単量体としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、マレイン酸、クロトン酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのカルボキシル基含有単量体、例えば、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、アクリル酸２−ヒドロキシブチルなどの水酸基含有単量体、例えば、(メタ)アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル(メタ)アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル(メタ)アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、Ｎ−ブチル(メタ)アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール(メタ)アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン(メタ)アクリルアミド、Ｎ−ビニルカルボン酸アミドなどのアミド基含有単量体、例えば、（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリルｔ−ブチルアミノエチルなどのアミノ基含有単量体、例えば、(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸メチルグリシジルなどのグリシジル基含有単量体、例えば、アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノ基含有単量体、例えば、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートなどのイソシアネート基含有単量体、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−(メタ)アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、(メタ)アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホ基含有単量体、例えば、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのマレイミド単量体、例えば、Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイミド単量体、例えば、Ｎ−(メタ)アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−(メタ)アクリロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−(メタ)アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド単量体、例えば、(メタ)アクリル酸ポリエチレングリコール、(メタ)アクリル酸ポリプロピレングリコール、(メタ)アクリル酸メトキシエチレングリコール、(メタ)アクリル酸メトキシプロピレングリコール、(メタ)アクリル酸メトキシポリエチレングリコール、(メタ)アクリル酸メトキシポリプロピレングリコールなどのグリコール系アクリルエステル単量体などが挙げられる。好ましくは、カルボキシル基含有単量体が挙げられる。
【００３７】
多官能不飽和単量体としては、例えば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレートなどの(モノまたはポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレートや、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレートなどの(モノまたはポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレートなどの(モノまたはポリ)アルキレングリコールジ(メタ)アクリレートの他、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、１,６−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどの多価アルコールの（メタ）アクリル酸エステルモノマー、例えば、ジビニルベンゼンなどが挙げられる。また、多官能性不飽和単量体として、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレートなども挙げられる。
【００３８】
なお、多官能不飽和単量体は、単量体組成物を調製するときに配合せずに、単量体組成物を調製した後に、別途、単量体組成物に配合することもできる。
【００３９】
また、単量体としては、上記した単量体と共重合可能な共重合性不飽和単量体が挙げられる。
【００４０】
共重合性不飽和単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエンなどの芳香族系ビニルモノマー、例えば、シクロペンチルジ（メタ）アクリレート、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニルなどの(メタ)アクリル酸脂環式炭化水素エステル、例えば、(メタ)アクリル酸フェニルなどの(メタ)アクリル酸アリールエステル、例えば、(メタ)アクリル酸メトキシエチル、(メタ)アクリル酸エトキシエチルなどのアルコキシ基含有不飽和モノマー、例えば、エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン系モノマー、例えば、ビニルエーテルなどのビニルエーテル系モノマー、例えば、塩化ビニルなどのハロゲン原子含有不飽和モノマー、その他、例えば、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−(１−メチルビニル)ピロリドン、Ｎ−ビニルピリジン、Ｎ−ビニルピペリドン、Ｎ−ビニルピリミジン、Ｎ−ビニルピペラジン、Ｎ−ビニルピラジン、Ｎ−ビニルピロール、Ｎ−ビニルイミダゾール、Ｎ−ビニルオキサゾール、Ｎ−ビニルモルホリン、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルなどのビニル基含有複素環化合物、例えば、フッ素（メタ）アクリレートなどの、フッ素原子などのハロゲン原子を含有するアクリル酸エステル系モノマーなどが挙げられる。共重合性不飽和単量体は、単独使用または２種以上併用することができる。
【００４１】
単量体を重合させる方法としては、特に限定されず、例えば、光重合、熱重合などが挙げられ、好ましくは、重合時間を短くすることができる観点などから、光重合が挙げられる。
【００４２】
また、単量体を重合させるには、公知の重合開始剤を単量体に配合すればよく、例えば、光重合により単量体を重合させる場合には、光重合開始剤を単量体に配合する。
【００４３】
光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインエーテル系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、α−ケトール系光重合開始剤、芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤、光活性オキシム系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンジル系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤などが挙げられる。
【００４４】
具体的には、ベンゾインエーテル系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、アニソールメチルエーテルなどが挙げられる。
【００４５】
アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、４−（ｔ−ブチル）ジクロロアセトフェノンなどが挙げられる。
【００４６】
α−ケトール系光重合開始剤としては、例えば、２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノン、１−［４−（２−ヒドロキシエチル）フェニル］−２−メチルプロパン−１−オンなどが挙げられる。
【００４７】
芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤としては、例えば、２−ナフタレンスルホニルクロライドなどが挙げられる。
【００４８】
光活性オキシム系光重合開始剤としては、例えば、１−フェニル−１，１−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）−オキシムなどが挙げられる。
【００４９】
ベンゾイン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインなどが挙げられる。
【００５０】
ベンジル系光重合開始剤としては、例えば、ベンジルなどが挙げられる。
【００５１】
ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３、３′−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ポリビニルベンゾフェノン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどが挙げられる。
【００５２】
チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、ドデシルチオキサントンなどが挙げられる。
【００５３】
これら重合開始剤は、単独使用または２種以上併用することができる。
【００５４】
重合開始剤の配合割合は、単量体１００重量部に対して、例えば、０．０１〜５重量部、好ましくは、０．０５〜３重量部である。
【００５５】
そして、光重合では、照射光としては、例えば、可視光、紫外線、電子線（例えば、Ｘ線、α線、β線、γ線など）など、好ましくは、紫外線を、単量体に照射することにより、単量体を部分的に重合させることにより、シロップ状の単量体組成物を得る。
【００５６】
得られた単量体組成物の重合率は、例えば、１〜２０％、好ましくは、２〜１０％である。
【００５７】
得られた単量体組成物の粘度は、例えば、０．１〜１００Ｐａ・ｓ、好ましくは、１〜５０Ｐａ・ｓである。
【００５８】
得られた単量体組成物の重量平均分子量（Ｍｗ）は、例えば、１０００００〜１０００００００、好ましくは、５０００００〜９００００００である。
【００５９】
次いで、得られた単量体組成物１００質量部に対して、上記した熱伝導性粒子３を、例えば、３０〜４００質量部、好ましくは、５０〜３００質量部と、必要により、上記した多官能不飽和単量体を、例えば、０．０１〜２質量部、好ましくは、０．０２〜１質量部配合し、均一に混合して、粒子含有単量体混合物を調製する。
【００６０】
次いで、この方法では、別途、上記した樹脂からなる樹脂層４（図２（ｂ）参照）を作製する。
【００６１】
樹脂層４を作製するには、例えば、離型処理されたＰＥＴフィルムなどの基材５（図２（ｂ）参照）の上に、上記した単量体組成物を塗布し、紫外線などの光の照射、および／または、加熱により、単量体組成物を反応させて、樹脂層４を得る。
【００６２】
なお、樹脂層４は、上記した単量体を反応させて得られれば特に限定されないが、好ましくは、粒子含有単量体混合物の調製に配合される単量体組成物と同じ単量体組成物から得られる。このような単量体組成物から樹脂層４が作製されていれば、樹脂層４に容易に単量体を浸透させることができる。
【００６３】
樹脂層４の厚みは、例えば、５〜５０００μｍである。
【００６４】
次いで、この方法では、樹脂層４に粒子含有単量体混合物層としての粒子含有単量体混合物塗膜７を積層する。
【００６５】
粒子含有単量体混合物塗膜７を積層する方法は、特に限定されないが、例えば、まず、図２（ａ）に示すように、離型処理されたＰＥＴなどの樹脂からなるカバーフィルム６の表面に粒子含有単量体混合物を塗布して、カバーフィルム６上に粒子含有単量体混合物塗膜７を形成する。
【００６６】
次いで、図２（ｂ）に示すように、粒子含有単量体混合物塗膜７と樹脂層４とを貼り合わせることにより積層する。
【００６７】
なお、予め粒子含有単量体混合物塗膜７を作製せず、粒子含有単量体混合物を樹脂層４の表面に、例えば、ハケ塗りやスプレーなどの公知の方法により直接塗工して、粒子含有単量体混合物塗膜７と樹脂層４とを積層することもできる。
【００６８】
次いで、この方法では、図２（ｃ）に示すように、粒子含有単量体混合物中の単量体を樹脂層４に浸透させて、樹脂層４を膨潤させる。
【００６９】
粒子含有単量体混合物中の単量体を樹脂層４に浸透させるには、粒子含有単量体混合物を樹脂層４に塗工した後、例えば、２０〜２００℃、好ましくは、４０〜１００℃で、例えば、０．５〜６０分間、好ましくは、１〜３０分間放置する。
【００７０】
次いで、この方法では、図２（ｄ）に示すように、粒子含有単量体混合物中の単量体（樹脂層４に浸透した単量体、および、樹脂層４に浸透していない単量体の両方を含む）を重合させて、熱伝導性シート１を作製する。
【００７１】
粒子含有単量体混合物中の単量体を重合させる方法としては、上記したように、光重合、熱重合などの方法を用いることができる。
【００７２】
光重合の場合には、例えば、１〜３０ｍＷ／ｃｍ２、好ましくは、３〜２０ｍＷ／ｃｍ２の照度で、例えば１〜２０分間、好ましくは、２〜１０分間、紫外線を照射する。
【００７３】
得られた熱伝導性シート１の厚みは、例えば、１０〜１００００μｍである。
【００７４】
得られた熱伝導性シート１中には、熱伝導性粒子３が、例えば、５〜６０体積％、好ましくは、１０〜５０体積％含有されている。
【００７５】
また、熱伝導性シート１の一方面から他方面までの長さを１００％としたときに、熱伝導性シート１の一方面から、例えば、５〜８０％、好ましくは、上限値が７５％以下、より好ましくは、上限値が７０％以下の範囲内に、熱伝導性粒子３の総量のうち、例えば、９０質量％以上、好ましくは、９５〜１００質量％が存在している。
【００７６】
以下、このように熱伝導性粒子３が偏在する領域を粒子充填層２とする。
【００７７】
粒子充填層２の厚みは、例えば、５〜５０００μｍ、好ましくは、１０〜４０００μｍである。
【００７８】
また、熱伝導性シート１の面方向における熱伝導率は、例えば、０．５〜１００Ｗ／ｍＫ、好ましくは、１〜５０Ｗ／ｍＫである。
【００７９】
なお、熱伝導性シート１の熱伝導率は、例えば、キセノンフラッシュアナライザー（ＬＦＡ−４４７型、ＮＥＴＺＳＣＨ社製）などの測定装置により測定される。
【００８０】
この熱伝導性シート１の製造方法によれば、図２に示すように、樹脂層４に粒子含有単量体混合物塗膜７を積層し（図２（ｂ）参照）、樹脂層４に粒子含有単量体混合物中の単量体を吸収させた（図２（ｃ）参照）後、単量体を重合させる（図２（ｄ）参照）ことにより、熱伝導性シート１を作製している。
【００８１】
そのため、熱伝導性シート１の厚み方向一方に熱伝導性粒子３を偏在させることができ、熱伝導性シート１の厚み方向一方面において、放熱性を向上させることができる。
【００８２】
その結果、熱伝導性粒子３の使用量を増大させることなく、熱伝導性粒子３を厚み方向一方に偏在させることにより、熱伝導性シート１の厚み方向一方面において、熱伝導性を向上させることができる。
【００８３】
また、熱伝導性シート１において、樹脂層４に浸透した単量体、および、樹脂層４に浸透していない単量体の両方の単量体を硬化させて、粒子充填層２と樹脂層４とを連続して一体的に形成することができ、粒子充填層２と樹脂層４との接合強度を向上させることができる。
【００８４】
その結果、熱伝導性シート１の強度を向上させることができる。
【００８５】
なお、上記した実施形態では、熱伝導性シート１を形成する樹脂としてアクリル樹脂を挙げたが、例えば、エポキシ樹脂を用いることもできる。
【００８６】
樹脂としてエポキシ樹脂を用いる場合には、まず、例えば、グリシジルエーテル型エポキシド、グリシジルエステル型エポキシド、グリシジルアミン型エポキシド、脂環式エポキシドなどのエポキシ樹脂に熱伝導性粒子３と硬化剤とを配合、混合し、加熱してＢステージ樹脂としたものを、粒子含有単量体混合物塗膜７として樹脂層４に積層する。
【００８７】
その後、Ｂステージ樹脂を加熱して軟化させ、その状態で、例えば、０．５〜６０分間、好ましくは、１〜３０分間放置し、樹脂層４を膨潤させる。そして、さらに加熱してＢステージ樹脂を硬化させ、熱伝導性シート１を作製する。
【００８８】
また、上記した実施形態では、粒子含有単量体混合物を、セパレータ６に塗布して、粒子含有単量体混合物塗膜７を形成してから、その粒子含有単量体混合物塗膜７を樹脂層４に積層したが、粒子含有単量体混合物を、直接、樹脂層４に塗布して、粒子含有単量体混合物塗膜７を樹脂層４上に形成することもできる。
【００８９】
このようにして得られた熱伝導性シート１は、例えば、パワーエレクトロニクス技術に採用される熱伝導性シートとして、より詳しくは、ＬＥＤ放熱基板、電池用放熱材に適用される熱伝導性シートとして好適に用いることができる。
【実施例】
【００９０】
以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は、何ら実施例および比較例に限定されることはない。
【００９１】
実施例
１．粒子含有単量体混合物の調製
（１）単量体組成物の調製
攪拌機、温度計、窒素ガス導入管および冷却管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに、単量体として、２−エチルヘキシルアクリレート９０質量部と、アクリル酸１０質量部とを仕込み、混合した。
【００９２】
次いで、光重合開始剤（イルガキュア６５１、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、チバ・スペシャリティー・ケミカルズ製）０．１質量部を仕込み、攪拌して均一に混合した後、窒素ガスを用いて１時間、攪拌しながらバブリングし、溶存酸素を除去した。
【００９３】
その後、攪拌および窒素バブリングを継続しながら、セパラブルフラスコの外側からブラックライトランプを用いて紫外線を照射して、重合させ、重合率７％、粘度１０Ｐａ・ｓ、重量平均分子量（Ｍｗ）５００００００の単量体組成物を調製した。
（２）粒子含有単量体混合物の調製
得られた単量体組成物１００質量部に対して、窒化ホウ素粒子（平均粒子径９μｍ、ＵＨＰ−１、昭和電工製）５０質量部、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート０．１質量部を均一に混合して、粒子含有単量体混合物を調製した。
２．樹脂層の作製
単量体組成物を、厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム上に塗布し、その上から、保護フィルムを、その離型処理された面が単量体組成物に接触するように、貼り合わせた。
【００９４】
その後、ブラックライトランプを用いて、照度５ｍＷ／ｃｍ２で３分間、紫外線を照射し、単量体組成物を硬化させて、２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム上に、保護フィルムで被覆された厚さ１００μｍの樹脂層を形成した。
３．熱伝導性シートの作製
カバーフィルムの離型処理された面に粒子含有単量体混合物を塗布して、カバーフィルム上に粒子含有単量体混合物塗膜を形成した（図２（ａ）参照。）。
【００９５】
別途、樹脂層から保護フィルムを剥離して、樹脂層を露出させた。
【００９６】
そして、粒子含有単量体混合物塗膜と樹脂層とを貼り合わせることにより、樹脂層に粒子含有単量体混合物塗膜を積層した（図２（ｂ）参照。）。
【００９７】
粒子含有単量体混合物塗膜と樹脂層とを積層した後、１分間放置し、粒子含有単量体混合物中の単量体を樹脂層に浸透させて、樹脂層を膨潤させた（図２（ｃ）参照。）。
【００９８】
その後、粒子含有単量体混合物塗膜側からブラックライトランプを用いて、照度５ｍＷ／ｃｍ２で３分間、紫外線を照射し、粒子含有単量体混合物を硬化させて、厚み２５０μｍの熱伝導性シートを作製した（図２（ｄ）参照。）。
【００９９】
得られた熱伝導性シートの厚みを１００％としたときに、熱伝導性シートの厚み方向一方面から６０％の範囲（粒子充填層）内に、熱伝導性粒子の総量のうち、９５質量％が存在していた。
【０１００】
また、得られた熱伝導性シートにおいて、粒子充填層の厚みは、１５０μｍであった。
【０１０１】
比較例
１．粒子含有単量体混合物の調製
実施例１と同様の単量体組成物８７．４質量部に対して、窒化ホウ素粒子（平均粒子径９μｍ、ＵＨＰ−１、昭和電工製）１２．５質量部、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート０．１質量部を均一に混合して、粒子含有単量体混合物を調製した。
２．熱伝導シートの作製
粒子含有単量体混合物を、厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム上に塗布し、その上から、保護フィルムを、その離型処理された面が粒子含有単量体混合物に接触するように、貼り合わせた。
【０１０２】
その後、ブラックライトランプを用いて、照度５ｍＷ／ｃｍ２で３分間、紫外線を照射し、粒子含有単量体混合物を硬化させて、２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム上に、カバーフィルムで被覆された厚さ５００μｍの熱伝導性シートを形成した。
（熱伝導率の測定）
実施例および比較例の熱伝導性シートの、面方向における熱伝導率を、キセノンフラッシュアナライザー（ＬＦＡ−４４７型、ＮＥＴＺＳＣＨ社製）を用いて測定した。
【０１０３】
実施例の熱伝導性シートの熱伝導率は、２．１Ｗ／ｍＫであり、比較例の熱伝導性シートの熱伝導率は、０．４Ｗ／ｍＫであった。
【符号の説明】
【０１０４】
１      熱伝導性シート
３      熱伝導性粒子
４      樹脂層
９      粒子偏在シート積層体
【図１】
0005843533.tif 000002
【図２】
0005843533.tif 000003