(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源、電極および積層体を有するアクチュエーターであって、
（ｉ）積層体は、導電層および配向した樹脂層を含み、
（ｉｉ）導電層および樹脂層は交互に積層され、導電層は、樹脂層の間で積層体の長さ方向に連続して繋がっており、
（ｉｉｉ）各導電層は、各導電層を介して隣り合う樹脂層に逆方向の電界がかかるように電極により短絡し、
（ｉｖ）圧電歪による樹脂層の面内変位により、接触した物体を移動させ、
（ｖ）積層体の長さ方向に平行な端面を移動させる物体と接触させる面とする、
ことを特徴とするアクチュエーター。
【請求項２】
樹脂層の主配向方向が、樹脂層の長さ方向と平行もしくは直交する方向である請求項１記載のアクチュエーター。
【請求項３】
樹脂層は、圧電歪による面内変位が最も大きい方向が、樹脂層の主配向方向とそれに直交する方向の中間方向に位置する請求項１記載のアクチュエーター。
【請求項４】
積層体は、テープ状である請求項１記載のアクチュエーター。
【請求項５】
３以上の樹脂層が導電層を介して交互に積層された請求項１に記載のアクチュエーター。
【請求項６】
樹脂層を構成する樹脂は、ヘリカルキラリティーな高分子である請求項１に記載のアクチュエーター。
【請求項７】
樹脂層が、ポリＬ−乳酸を主たる成分とする樹脂Ｌからなる配向フィルム層ＬおよびポリＤ−乳酸を主たる成分とする樹脂Ｄからなる配向フィルム層Ｄからなり、層Ｌと層Ｄとは、導電層Ｍを介して交互に積層されたものである請求項１に記載のアクチュエーター。
【請求項８】
層Ｌと層Ｄとの合計層数は３以上である請求項７に記載のアクチュエーター。
【請求項９】
層Ｌの主配向方向と層Ｄの主配向方向とのなす角が１０度以下である請求項７に記載のアクチュエーター。
【請求項１０】
層Ｌおよび層Ｄの主配向方向の屈折率がそれぞれ独立に、１．４５以上である請求項７に記載のアクチュエーター。
【請求項１１】
層Ｌおよび層Ｄの密度がそれぞれ独立に、１．２４〜１．２７ｇ／ｃｍ３である請求項７に記載のアクチュエーター。
【請求項１２】
各層の厚みが１〜５０μｍである請求項７に記載のアクチュエーター。
【請求項１３】
層Ｌおよび層Ｄの厚みがそれぞれ独立に、１０μｍ以下である請求項７に記載のアクチュエーター。
【請求項１４】
請求項１に記載のアクチュエーターに物体を接触させ、樹脂層に電圧を加えて物体を移動させる方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電圧を印加することにより共振特性を示すアクチュエーターおよびそれを用いた物体を移動させる方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高分子圧電材料としては、ポリγ−ベンジルＬグルタメート等のポリペプチド型のもの、ポリ塩化ビニル等のエレクトレット型のもの、ポリ弗化ビニリデン、弗化ビニリデン三弗化エチレン共重合体、ビニリデンシアナイド酢酸ビニル共重合体等の強誘電体型のものなど種々ある。最も代表的なものは強誘電体型のポリ弗化ビニリデンのフィルムであり、既に超音波探触子などに使用されている。また、ポリ乳酸の延伸物も、高分子圧電材料として知られている（特許文献１、２）。
このような高分子圧電材料を用いてバイモルフ構造またはマルチモルフ構造を形成し、マイクロホン、ピックアップ、ブザー、スピーカー、光スイッチ、ファン等の振動体や、圧電体アクチュエーターとして用いられることが知られている（特許文献３〜５）。これらの文献に記載のアクチュエーターは、シート状の場合、その厚み方向の上面を物体と接触させる面としている。
しかしながら、これら特許文献に記載のアクチュエーターの物体の移動能力にはさらなる改良の余地がある。また、ポリ乳酸などの延伸フィルムは、圧電特性の最も大きい方向が延伸した主配向方向に対して４５°傾く。そのため、フィルムの製膜方向もしくは幅方向に延伸し、もっとも圧電特性の大きな方向を積層体の長手方向にしたアクチュエーターを作成するには、いちいちシート状にカットして積層しなくてはならず、ロールｔｏロールや共押出しで積層するのは不可能であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１５２６３８号公報
【特許文献２】特開２００５−２１３３７６号公報
【特許文献３】特開昭５９−１１５５８０号公報
【特許文献４】特開昭５９−２２２９７７号公報
【特許文献５】実開昭５８−７８６７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで本発明の目的は、電圧印加時に優れた共振特性を最大限に活用できるアクチュエーターを提供することにある。さらに、本発明の他の目的は、フィルムの製膜方向もしくは幅方向に延伸したフィルムを、いちいちシート状にカットして積層しなくても、ロールｔｏロールや共押出などで、簡便に用いることができるアクチュエーターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、電源、電極および積層体を有するアクチュエーターであって、
（ｉ）積層体は、導電層および配向した樹脂層を含み、
（ｉｉ）導電層および樹脂層は交互に積層され、導電層は、樹脂層の間で積層体の長さ方向に連続して繋がっており、
（ｉｉｉ）各導電層は、各導電層を介して隣り合う樹脂層に逆方向の電界がかかるように電極により短絡し、
（ｉｖ）圧電歪による樹脂層の面内変位により、接触した物体を移動させ、
（ｖ）積層体の長さ方向に平行な端面を移動させる物体と接触させる面とする、
ことを特徴とするアクチュエーターである。
【０００６】
また本発明は、前記アクチュエーターに物体を接触させ、樹脂層に電圧を加えて物体を移動させる方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のアクチュエーターは、電圧印加時に優れた共振特性を示す。本発明のアクチュエーターによれば、接触した物体を高速で移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】積層体の断面図である。
【図２】配向フィルムの切り出し方向を示す図である。
【図３】マージンの位置を示す図である。
【図４】電極（９）の位置を示す図である。
【図５】アクチュエーターによる物体の移動方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
〔アクチュエーター〕
本発明のアクチュエーターは、電源、電極および積層体を有し、以下の特徴を有する。
（ｉ）積層体は、導電層および配向した樹脂層を含み、
（ｉｉ）導電層および樹脂層は交互に積層され、導電層は、樹脂層の間で積層体の長さ方向に連続して繋がっており、
（ｉｉｉ）各導電層は、各導電層を介して隣り合う樹脂層に逆方向の電界がかかるように電極により短絡し、
（ｉｖ）圧電歪による樹脂層の面内変位により、接触した物体を移動させ、
（ｖ）積層体の長さ方向に平行な端面を移動させる物体と接触させる面とする、
＜積層体＞
本発明における積層体は、導電層と配向した樹脂層を含む。導電層および配向した樹脂層は交互に積層される。
積層体は、テープ状の導電層とテープ状の配向した樹脂層が積層されたテープ状であることが好ましい。積層体は、３以上の樹脂層が導電層を介して交互に積層されていることが好ましい。
【００１０】
（樹脂層）
樹脂層を構成する樹脂は、ヘリカルキラリティーな高分子であることが好ましい。ヘリカルキラリティーな高分子としてポリフッ化ビニリデンやポリ乳酸が挙げられる。これらの中でも、ポリ乳酸が好ましい。ポリ乳酸としては、ポリＬ−乳酸、ポリＤ−乳酸が好ましく挙げられる。
樹脂層の主配向方向が、樹脂層の長さ方向と平行もしくは直交する方向であることがより効率的に物体を移動できることから好ましい。樹脂層は、圧電歪による面内変位が最も大きい方向が、樹脂層の主配向方向とそれに直交する方向の中間方向に位置することがより効率的に物体を移動できることから好ましい。導電層を介して互いにエナンチオマーな高分子からなる樹脂層が積層されていることが好ましい。特に異なるエナンチオマーな高分子からなる樹脂層が交互に積層されると、主配向軸を同一方向に揃えた状態で、圧電特性を効率よく発現でき、ロールｔｏロールや共押出しといった製造方法を採用できることから好ましい。
【００１１】
（配向フィルム層Ｌと配向フィルム層Ｄとの交互積層体）
積層体は、樹脂層が、ポリＬ−乳酸を主たる成分とする樹脂Ｌからなる配向フィルム層ＬおよびポリＤ−乳酸を主たる成分とする樹脂Ｄからなる配向フィルム層Ｄからなり、層Ｌと層Ｄとは、導電層Ｍを介して交互に積層されたものであることが好ましい。
隣り合う層Ｌと層Ｄの間、および得られる積層体の少なくとも一方の表面に導電層を有することが好ましい。
本発明の積層体の積層構成について、図１を用いて説明する。図１は、本発明の積層体の積層構成の一例を示す模式図である。図１において、符号１はポリＬ−乳酸を主たる成分とする樹脂からなる配向フィルム層Ｌを、符号２はポリＤ−乳酸を主たる成分とする樹脂からなる配向フィルム層Ｄをそれぞれ示す。本発明の積層体は、このように、層Ｌと層Ｄとが合計で３層以上交互に積層していることが好ましい。なお、図１は、層Ｌと層Ｄの合計層数が７の場合である。また、図１（ｂ）のごとく、層Ｌと層Ｄは、図１（ａ）と反対であってもよい。
符号３は、導電層Ｍを示す。本発明においては、層Ｌと層Ｄの間に導電層Ｍ（符号３０２〜３０７）を有する。また、積層体の少なくとも一方の表面に導電層Ｍ（符号３０１）を有する。さらに、図１（ｃ）のごとく、さらにもう一方の表面に導電層Ｍ（符号３０８）を有していてもよい。
層Ｌと層Ｍ、および層Ｄと層Ｍは、厚み１０００ｎｍを超える接着剤層を介さずに固着していることが好ましい。本発明においては、このような態様とすることにより、優れた共振特性を奏することができる。かかる観点から、本発明においては、層Ｌと層Ｍ、および層Ｄと層Ｍは、厚み５００ｎｍを超える接着剤層を介さずに固着している態様が好ましく、厚み２００ｎｍを超える接着剤層を介さずに固着している態様がさらに好ましい。共振特性の観点から、最も好ましくは、接着剤層を介さずに固着している態様である。
本発明においては、上記のような積層構成を有していれば、本発明の目的を阻害しない範囲において、さらにその他の層を有していても良い。例えば、積層体の表面に、積層体の剛性を高めるための、例えばポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレートのような芳香族ポリエステル層を有することができる。一方、共振特性の観点からは、このような層は、その厚みが薄いことが好ましく、有しないことが特に好ましい。
【００１２】
（積層数）
本発明における積層体は、層Ｌと層Ｄの合計層数が３以上であることが好ましい。このような態様とすることで優れた共振特性が得られる。共振特性の観点からは、合計層数は多い程好ましく、好ましくは１０以上、さらに好ましくは２０以上である。
このように、積層の合計層数を多くすることにより、圧電特性により得られる運動量が大きくなる傾向にあるが、合計総数が多くなると、積層体が剛直となる傾向にあるため、ある点から共振特性の向上効果が低くなる場合がある。このような観点から、実質的な合計総数の上限は１０万程度である。（共振特性）
本発明のアクチュエーターは、圧電特性を有し、ある周波数の電圧を印加することにより振動するものであるが、とりわけ圧電特性に優れ、さらに移動させる物体との接触面を特定の方向にしているため、同時に大きな運動量（力）を発生させることができ、例えば、大きな運動量（力）を発生させることができる。  本発明においては、発生させることができる運動量（力）が大きく、上記構造物の移動量が大きいことを、共振特性に優れるという。
【００１３】
（主配向方向）
本発明において積層体は、樹脂層が、ポリＬ−乳酸を主たる成分とする樹脂Ｌからなる配向フィルム層ＬおよびポリＤ−乳酸を主たる成分とする樹脂Ｄからなる配向フィルム層Ｄからなり、層Ｌと層Ｄとは、導電層Ｍを介して交互に積層されたものである場合、層Ｌの主配向方向と層Ｄの主配向方向との成す角が１０度以下であることが好ましい。このような態様とすることによって、共振特性の向上効果を高くすることができる。このような観点から、上記成す角は、より好ましくは５度以下、さらに好ましくは３度以下、特に好ましくは１度以下であり、理想的には０度である。上記のような主配向方向の態様とするには、サンプリング時に同方向でサンプリングしたり、積層時に同方向となるように積層したりすればよい。
一方、本発明において積層体は、樹脂層が、ポリＬ−乳酸を主たる成分とする樹脂Ｌからなる配向フィルム層Ｌのみからなるか、ポリＤ−乳酸を主たる成分とする樹脂Ｄからなる配向フィルム層Ｄのみからなり、導電層Ｍを介して積層されたものである場合、隣り合う樹脂層の主配向方向の成す角は８０〜９０度であることが好ましい。このような態様とすることによって、共振特性の向上効果を高くすることができる。このような観点から、上記成す角は、より好ましくは８５〜９０度、さらに好ましくは８７〜９０度、特に好ましくは８９〜９０度であり、理想的には９０度である。上記のような主配向方向の態様とするには、サンプリング時に主配向軸に対して例えば一方は０度でサンプリングし、他方は９０度でサンプリングし、それらを積層時になす角が９０度となるように積層すればよい。ただ、このような方法を採用するので、ロールｔｏロールや共押出では作成するのが難しい。
（屈折率）
積層体は、樹脂層がポリ乳酸からなる場合、その樹脂層の主配向方向の屈折率がそれぞれ独立に、いずれも１．４５以上であることが好ましい。屈折率が上記数値範囲にあると、共振特性の向上効果を高くすることができる。屈折率が低い場合は、共振特性の向上効果が低くなる傾向にあり、他方、屈折率が高い場合は共振特性の向上効果は高くなる傾向にあるが、高すぎるとフィルムの機械特性に劣る傾向にある。このような観点から、主配向方向の屈折率は、より好ましくは１．４５〜１．４８、さらに好ましくは１．４５〜１．４７である。
（密度）
積層体は、樹脂層がポリ乳酸からなる場合、その樹脂層の密度がそれぞれ独立に、いずれも１．２４〜１．２７ｇ／ｃｍ３であることが好ましい。密度が上記数値範囲にあると、共振特性の向上効果を高くすることができる。密度が低い場合は、共振特性の向上効果が低くなる傾向にあり、他方、密度が高い場合は、共振特性の向上効果は高いもののフィルムの機械特性に劣る傾向にある。このような観点から、密度は、より好ましくは１．２４〜１．２６ｇ／ｃｍ３、さらに好ましくは１．２４５〜１．２５５ｇ／ｃｍ３である。
【００１４】
以下、本発明の積層体を構成する各成分について説明する。
（ポリ乳酸）
本発明における配向フィルム層Ｌを構成する樹脂において主たる成分であるポリＬ−乳酸は、実質的にＬ−乳酸単位のみから構成されるポリＬ−乳酸（以下、ＰＬＬＡと省略する場合がある。）や、Ｌ−乳酸とその他のモノマーとの共重合体等であるが、特に、実質的にＬ−乳酸単位だけで構成されるポリＬ−乳酸であることが好ましい。
また、本発明における配向フィルム層Ｄを構成する樹脂において主たる成分であるポリＤ−乳酸は、実質的にＤ−乳酸単位のみから構成されるポリＤ−乳酸（以下、ＰＤＬＡと省略する場合がある。）や、Ｄ−乳酸とその他のモノマーとの共重合体等であるが、特に、実質的にＤ−乳酸単位だけで構成されるポリＤ−乳酸であることが好ましい。
なお、ここで「主たる」とは、各層を構成する樹脂の質量に対して、ポリ乳酸（層ＬにおいてはポリＬ−乳酸、層ＤにおいてポリＤ−乳酸）が６０質量％以上、好ましくは７５質量％以上、さらに好ましくは９０質量％以上、特に好ましくは９５質量％以上であることを示す。また、「実質的に」とは、ポリＬ−（Ｄ―）乳酸におけるＬ−（Ｄ−）乳酸単位の量が９０モル％以上であることを示す。
【００１５】
ポリＬ−（Ｄ−）乳酸におけるＬ−（Ｄ−）乳酸単位の量は、結晶性の観点、また変位量の向上効果を高くするという観点、およびフィルム耐熱性などの観点より、好ましくは９０〜１００モル％、より好ましくは９５〜１００モル％、さらに好ましくは９８〜１００モル％である。すなわち、Ｌ−（Ｄ−）乳酸単位以外の単位の含有量は、好ましくは０〜１０モル％、より好ましくは０〜５モル％、さらに好ましくは０〜２モル％である。
かかるポリ乳酸は、結晶性を有していることが好ましく、前述のような配向・結晶の態様とすることが容易となり、変位量の向上効果を高くすることができる。またその融点は１５０℃以上１９０℃以下であることが好ましく、１６０℃以上１９０℃以下であることがさらに好ましい。このような態様であるとフィルムの耐熱性に優れる。
本発明におけるポリ乳酸は、その重量平均分子量（Ｍｗ）が８万から２５万の範囲であることが好ましく、１０万から２５万以下であることがより好ましい。とりわけ好ましくは１２万から２０万の範囲である。重量平均分子量Ｍｗが上記数値範囲にあると、フィルムの剛性に優れ、またフィルムの厚み斑が良好になる。
【００１６】
（共重合成分）
本発明で用いられるポリＬ−乳酸、ポリＤ−乳酸には、本発明の目的を損なわない範囲で所望により、Ｌ−乳酸、Ｄ−乳酸以外の共重合成分を含有させることができる。このとき、ポリ乳酸の結晶性を大きく損なわない範囲で含有させることが好ましい。かかる共重合成分は、特に限定されるものではないが、例えば、グリコール酸、カプロラクトン、ブチロラクトン、プロピオラクトンなどのヒドロキシカルボン酸類、エチレングリコール、１，３−プロパンジオール、１，２−プロパンジオール、１，４−プロパンジオール、１，５−プロパンジオール、ヘキサンジオール、オクタンジオール、デカンジオール、ドデカンジオール、炭素数が２から３０の脂肪族ジオール類、コハク酸、マレイン酸、アジピン酸、炭素数２から３０の脂肪族ジカルボン酸、テレフタル酸、イソフタル酸、ヒドロキシ安息香酸、ヒドロキノンなど芳香族ジオール、芳香族ジカルボン酸などから選ばれる１種以上のモノマーを選ぶことが出来る。
【００１７】
（ポリ乳酸の製造方法）
ポリＬ−乳酸およびポリＤ−乳酸を製造する方法は特別に限定されるものではなく、従来公知の方法が好適に使用できる。例えば、Ｌ−乳酸またはＤ−乳酸を直接脱水縮合する方法、Ｌ−またはＤ−乳酸オリゴマーを固相重合する方法、Ｌ−またはＤ−乳酸を一度脱水環化してラクチドとした後、溶融開環重合する方法等が例示される。
なかでも、直接脱水縮合方法、あるいはラクチド類の溶融開環重合法により得られるポリ乳酸が、品質、生産効率の観点から好ましく、中でもラクチド類の溶融開環重合法が特に好ましく選択される。
これらの製造法において使用する触媒は、ポリ乳酸が前述した所定の特性を有するように重合させることができるものであれば特に限定されない。例えば、ラクチドの溶融開環重合触媒として、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類、遷移金属類、アルミニウム、ゲルマニウム、スズ、アンチモンなどの脂肪酸塩、炭酸塩、硫酸塩、リン酸塩、酸化物、水酸化物、ハロゲン化物、アルコラート等が挙げられる。これらのうち、スズ、アルミニウム、亜鉛、カルシウム、チタン、ゲルマニウム、マンガン、マグネシウムおよび稀土類元素よりなる群から選ばれる少なくとも一種を含有する触媒が好ましい（以下、かかる触媒を特定金属含有触媒と呼称する場合がある。）。
【００１８】
かかる特定金属含有触媒としては、従来公知であり以下の化合物が例示される。すなわち、塩化第一スズ、臭化第一スズ、ヨウ化第一スズ、硫酸第一スズ、酸化第二スズ、ミリスチン酸スズ、オクチル酸スズ、ステアリン酸スズ、テトラフェニルスズ、スズメトキシド、スズエトキシド、スズブトキシド、酸化アルミニウム、アルミニウムアセチルアセトネート、アルミニウムイソプロポキシド、アルミニウム−イミン錯体四塩化チタン、チタン酸エチル、チタン酸ブチル、チタン酸グリコール、チタンテトラブトキシド、塩化亜鉛、酸化亜鉛、ジエチル亜鉛、三酸化アンチモン、三臭化アンチモン、酢酸アンチモン、酸化カルシウム、酸化ゲルマニウム、酸化マンガン、炭酸マンガン、酢酸マンガン、酸化マグネシウム、イットリウムアルコキシドなどが例示される。
これらのうち、触媒活性が良好であり、また副反応が少ないという観点から、塩化第一スズ、臭化第一スズ、ヨウ化第一スズ、硫酸第一スズ、酸化第二スズ、ミリスチン酸スズ、オクチル酸スズ、ステアリン酸スズ、テトラフェニルスズ等のスズ含有化合物、アルミニウムアセチルアセトネート、アルミニウムブトシキド、アルミニウム−イミン錯体等のアルミニウム含有化合物が好ましい。さらに好ましくは、ジエトキシスズ、ジノニルオキシスズ、ミリスチン酸スズ、オクチル酸スズ、ステアリン酸スズ、塩化スズ、アルミニウムアセチルアセトナート、アルミニウムイソプロポキシドなどである。
触媒の使用量は、ラクチド類１ｋｇあたり０．４２×１０−４から１００×１０−４モルであり、さらに反応性、得られるポリラクチド類の色調、安定性の観点から、好ましくは１．６８×１０−４から４２．１×１０−４モル、特に好ましくは２．５３×１０−４から１６．８×１０−４モルである。
【００１９】
得られたポリＬ−乳酸およびポリＤ−乳酸は、従来公知の方法により、重合触媒を除去したり、失活剤を用いて重合触媒の触媒活性を失活、不活性化したりするのが、フィルムの溶融安定性、湿熱安定性のために好ましい。
失活剤を用いる場合、その使用量は、特定金属含有触媒の金属元素１当量あたり０．３から２０当量、より好ましくは０．５から１５当量、さらに好ましくは０．５から１０等量、特に好ましくは０．６から７当量とすればよい。失活剤の使用量が少なすぎると、触媒金属の活性を十分に低下させることができないし、また過剰に使用すると、失活剤が樹脂の分解を引き起こす可能性があり好ましくない。
【００２０】
（樹脂層の厚み）
積層体における樹脂層の厚み、例えば層Ｌおよび層Ｄの厚みは、厚すぎるために剛性が高くなりすぎて共振特性を奏さなくなってしまう傾向を考慮して、共振特性を奏する程度の厚さであれば特に限定されない。各層の厚みが１〜５０μｍであることが好ましい。共振特性の観点からは薄い方が好ましい。特に、積層数を増加させる際には、各層の厚さを薄くして、積層体全体としての厚さが厚くなりすぎないようにすることが好ましい。このような観点から、層Ｌおよび層Ｄの１層の厚みはそれぞれ独立に、好ましくは１０μｍ以下、さらに好ましくは８μｍ以下、特に好ましくは７以下μｍである。厚みが上記数値範囲にあると、共振特性の向上効果を高くすることができる。他方、取り扱い性や剛性の観点からは厚い方が好ましく、例えば２μｍ以上が好ましく、さらに好ましくは３μｍ以上である。
【００２１】
（積層体の製造方法）
本発明の積層体は、前述の層Ｌと層Ｄとが、導電層Ｍを介して交互に積層されたものである場合、層Ｌを形成するための樹脂（以下、樹脂Ｌという場合がある。）から層Ｌを、層Ｄを形成するための樹脂（以下、樹脂Ｄと言う場合がある。）から層Ｄを、それぞれ別々に形成し、得られた各層の表面に導電層Ｍを設けて、層Ｌと層Ｄとが交互に、かつ層Ｌと層Ｄの間、および得られる積層体の少なくとも一方の表面に導電層Ｍを有する構成となるように積層して固着することにより得ることができる。
また、本発明の積層体は、前述の層Ｌ（もしくは層Ｄ）が導電層Ｍを介して隣り合う樹脂層の主配向軸のなす角が９０度になるように積層されたものである場合、層Ｌもしくは層Ｄを形成し、得られた各層を主配向軸が９０度ことなるようにそれぞれカットし、その表面に導電層Ｍを設けて、樹脂層の間、および得られる積層体の少なくとも一方の表面に導電層Ｍを有する構成となるように積層して固着することにより得ることができる。
【００２２】
以下、本発明の積層体を製造する好ましい方法の一例について説明する。また、配向フィルム層の製造については、配向フィルム層Ｌを製造する方法について説明するが、配向フィルム層Ｄについても、用いる原料をポリＤ−乳酸を主たる成分とする樹脂Ｄとして、同様に製造することができる。
（押出工程）
まず、所望により後述するカルボキシル基封止剤、滑剤、その他の添加剤等を含有する、ポリＬ−乳酸（層Ｌの場合。層Ｄの場合はポリＤ−乳酸とする。以下同様。）を主たる成分とする樹脂Ｌ（ポリＬ−乳酸を用いた場合。ポリＤ−乳酸を用いた場合は樹脂Ｄとする。以下同様。）を、押出機において溶融し、ダイから冷却ドラム上に押し出す。尚、押出機に供給する樹脂は、溶融時の分解を抑制するため、押出機供給前に乾燥処理を行い、水分含有量を１００ｐｐｍ以下程度にすることが好ましい。
押出機における樹脂温度は、樹脂が十分に流動性を有する温度、すなわち、樹脂Ｌの融点をＴｍとすると、（Ｔｍ＋２０）から（Ｔｍ＋５０）（℃）の範囲で実施されるが、樹脂が分解しない温度で溶融押し出しするのが好ましく、かかる温度としては、好ましくは２４０〜３００℃、さらに好ましくは２４５〜２８０℃、特に好ましくは２５０〜２７５℃である。上記温度範囲であると流動斑が発生しにくい。
（キャスティング工程）
ダイから押し出した後、フィルムを冷却ドラムにキャスティングして未延伸フィルムを得る。その際、静電密着法により電極より静電荷を印加させることによって冷却ドラムに十分に密着させて冷却固化するのが好ましい。この時、静電荷を印加する電極はワイヤー状或いはナイフ状の形状のものが好適に使用される。該電極の表面物質は白金であることが好ましく、フィルムより昇華する不純物が電極表面に付着するのを抑制することができる。また、高温空気流を電極或いはその近傍に噴きつけ電極の温度を１７０〜３５０℃に保ち、電極上部に排気ノズルを設置することにより不純物の付着を防ぐこともできる。
【００２３】
（延伸工程）
前記で得られた未延伸フィルムは、一軸方向あるいは二軸方向に延伸して一軸延伸フィルムあるいは二軸延伸フィルムとする。かかる一軸延伸フィルムあるいは二軸延伸フィルムを得るには、未延伸フィルムを延伸可能な温度、例えば樹脂Ｌのガラス転移点温度（Ｔｇ）以上（Ｔｇ＋８０）℃以下の温度に加熱して延伸する。
一軸延伸フィルムの場合は、機械軸方向（以下、縦方向または長手方向またはＭＤと呼称する場合がある。）に一軸延伸してもよいし、機械軸方向と垂直な方向（以下、横方向または幅方向またはＴＤと呼称する場合がある。）に一軸延伸してもよい。延伸倍率は、好ましくは１．１〜１０倍、より好ましくは１．１〜７倍である。延伸倍率を上記数値範囲とすることによって変位量の向上効果を高くすることができる。延伸倍率が高い場合は、フィルムの機械特性が劣る傾向にあり、他方低い場合は、変位量の向上効果が低くなる傾向にある。このような観点から、延伸倍率は、さらに好ましくは１．２〜６、特に好ましくは２〜５である。
また、二軸延伸フィルムの場合は、縦方向の延伸倍率（以下、縦延伸倍率と呼称する場合がある。）は、好ましくは１．１〜１０倍、より好ましくは１．１〜７倍である。また、横方向の延伸倍率（以下、横延伸倍率と呼称する場合がある。）は１．１〜１０倍、好ましくは１．１〜７倍である。延伸倍率を上記数値範囲とすることによって、本発明における好ましい配向の態様とすることができ、変位量の向上効果を高くすることができる。縦および／または横方向の延伸倍率が高い場合は、フィルムが破断しやすくなる傾向にあり、生産性に劣る場合があり、他方、低い場合は、好ましい配向の態様とすることが困難となる傾向にあり、変位量の向上効果が低くなる傾向にある。このような観点から、縦延伸倍率は、さらに好ましくは１．１〜６倍、特に好ましくは１．１〜４．５倍である。また、横延伸倍率は、さらに好ましくは１．１〜５．５倍、特に好ましくは１．１〜４．５倍である。さらに、縦延伸倍率と横延伸倍率の差が、好ましくは１倍以上、さらに好ましくは２倍以上、特に好ましくは２．５倍以上であると、本発明における好ましい配向の態様とすることが容易となり、変位量の向上効果を高くすることができる。
なお、二軸延伸は、逐次二軸延伸であってもよいし、同時二軸延伸であってもよい。また、二軸延伸後に、さらに縦方向あるいは横方向の一軸方向に、あるいは縦方向および横方向の二軸方向に再延伸することもできる。
【００２４】
（熱処理工程）
上記で得られた未延伸フィルム、一軸延伸フィルム、二軸延伸フィルムは、熱処理することが好ましい。熱処理温度は、樹脂Ｌの融点未満の温度であり、好ましくは５０〜１６０℃であり、変位量の向上効果を高くすることができる。熱処理温度が低い場合は、変位量の向上効果が低くなる傾向にあり、他方、高い場合は、フィルムの平面性や機械特性に劣る傾向にあり、また変位量の向上効果が低くなる傾向にある。このような観点から、熱処理温度は、さらに好ましくは６０〜１５０℃、特に好ましくは８０〜１３０℃である。また、熱処理時間は、好ましくは１〜１２０秒、さらに好ましくは２〜６０秒であり、変位量の向上効果を高くすることができる。
さらに本発明においては、熱処理工程において弛緩処理して、熱寸法安定性を調整することも可能である。
以上の製膜条件については、積層体を構成する層Ｌおよび層Ｄともに、できるだけ近い物性となるような製膜条件を採用することが、共振特性の観点から好ましい。
【００２５】
（コロナ処理、プライマー処理）
かくして得られた配向フィルムは、所望により従来公知の方法で、例えば表面活性化処理、例えばプラズマ処理、アミン処理、コロナ処理を施すことも可能である。
なかでも、導電層Ｍとの密着性を向上し、積層体の耐久性を高めるという観点から、配向フィルムの少なくとも片面、好ましくは両面に、コロナ処理を施すことが好ましい。かかるコロナ処理の条件としては、例えば電極距離を５ｍｍとした際に、好ましくは１〜２０ｋＶ、さらに好ましくは５〜１５ｋＶの電圧で、好ましくは１〜６０秒、さらに好ましくは５〜３０秒、特に好ましくは１０〜２５秒行うとよい。また、かかる処理は大気中で行うことができる。
また、同様に導電層Ｍとの密着性を向上するという観点から、配向フィルムの少なくとも片面、好ましくは両面に、プライマー処理を施し、接着剤層を形成することができる。この際は、かかる接着剤層の厚みは１０００ｎｍ以下とすることが好ましい。接着剤層の厚みが厚すぎる場合は、共振特性に劣るものとなる。このように、密着性の観点からは、接着剤層の厚みは、適度な密着性を付与することができるように適宜選択すればよいが、共振特性の観点からは、薄い方が好ましく、好ましくは５００ｎｍ以下、さらに好ましくは２００ｎｍ以下である。本発明において、共振特性の観点からは、特に好ましい態様は接着剤層を有しない態様である。
かかるプライマー処理は、フィルムを製造する工程において所謂インラインコーティング法により、あるいはフィルムを製造した後に所謂オフラインコーティング法により行うことができる。
【００２６】
（蒸着工程、スパッタリング工程）
上記により得られた配向フィルムＬおよび配向フィルムＤの表面に、導電層Ｍを形成する。かかる導電層Ｍの形成は、従来公知の導電層の形成方法であれば特に限定されないが、優れた導電性を有する導電層を均一に、容易に得ることができるという観点から、蒸着法またはスパッタリング法を採用することが好ましい。
また、導電層Ｍは、配向フィルムの両面に形成してもよいが、密着性の観点からは、片面のみに導電層Ｍを形成することが好ましい。
（熱ラミネート工程）
上記により得られた導電層Ｍを有する配向フィルムを、本発明が規定する積層構成となるように積層して積層体を作成し、熱ラミネートにより固着する。ここで熱ラミネートは、接着剤層を用いずに行う。
かかる熱ラミネートにおける温度条件は、（Ｔｇ−５）〜（Ｔｓｍ＋２０）℃とすることが好ましい。ここでＴｇは、積層体の形成に用いる配向フィルム層Ｌを構成する樹脂Ｌのガラス転移温度および配向フィルムＤを構成する樹脂Ｄのガラス転移温度のうち、最も高いガラス転移温度を示す。また、Ｔｓｍは、積層体の形成に用いる配向フィルムＬのサブピーク温度および配向フィルムＤのサブピーク温度のうち、最も低いサブピーク温度を示す。なお、サブピーク温度とは、フィルム製造プロセスにおける熱固定温度に起因する温度であるである。上記温度条件を採用することにより、優れた共振特性を奏する積層体を得ることができる。また、同時に、積層体の各層の密着性に優れる。温度が低すぎると密着性に劣る傾向にあり、他方高すぎると配向が崩れてしまい共振特性に劣る傾向にある。このような観点より、さらに好ましい温度条件はＴｇからＴｓｍ＋１５であり、特に好ましくはＴｇ＋１０〜Ｔｓｍ＋１０である。
また、圧力条件は、１〜１００ＭＰａとすることが好ましい。これにより優れた共振特性を有しながら、密着性に優れた積層体を得ることができる。圧力が低すぎると密着性に劣る傾向にあり、他方高すぎると共振特性に劣る傾向にある。このような観点より、さらに好ましい圧力条件は２〜８０ＭＰａであり、特に好ましくは２〜５０ＭＰａである。
以上のような温度条件および圧力条件において、１０〜６００秒の熱ラミネートを行うことが好ましい。これにより優れた共振特性を有しながら、密着性に優れた積層体を得ることができる。時間が短すぎると密着性に劣る傾向にあり、他方長すぎると共振特性に劣る傾向にある。このような観点より、さらに好ましい時間条件は３０〜３００秒であり、特に好ましくは６０〜１８０秒である。
【００２７】
［樹脂層に添加しても良い成分］
（カルボキシル基封止剤）
本発明の積層体を構成する樹脂層がポリ乳酸からなる場合、ポリ乳酸のカルボキシル基量は１０当量／１０６ｇ以下であることが、フィルムキャスティング時の安定性、加水分解抑制、重量平均分子量低下抑制の観点から好ましく、このような観点から、カルボキシル基量は５当量／１０６ｇ以下であることがさらに好ましく、２当量／１０６ｇ以下であることが特に好ましい。このような態様とするために、本発明においては、ポリ乳酸にカルボキシル基封止剤を配合することが好ましい。カルボキシル基封止剤は、ポリ乳酸等のポリエステルの末端カルボキシル基の封止に加え、ポリエステルや各種添加剤の分解反応で生成するカルボキシル基、乳酸、ギ酸などの低分子化合物のカルボキシル基を封止し樹脂を安定化することができ、フィルム化時の樹脂温度を、流動斑を抑えるに足る温度まで昇温できる利点ももたらす。
かかるカルボキシル基封止剤としては、カルボジイミド化合物、エポキシ化合物、オキサゾリン化合物、オキサジン化合物、イソシアネート化合物から選択される少なくとも１種の化合物を使用することが好ましく、なかでもカルボジイミド化合物が好ましい。
カルボキシル基封止剤の使用量は、層Ｌまたは層Ｄの各層を構成する樹脂において、ポリ乳酸１００質量部あたり、０．０１〜１０質量部が好ましく、０．０３〜５質量部がさらに好ましい。本発明においては、さらに封止反応触媒を使用してもよい。
【００２８】
（滑剤）
本発明においては、各配向フィルムおよび積層体の巻き取りや走行性を改良する目的で、これらフィルム中に滑剤を含有することができる。
かかる滑剤としては、例えば乾式法で製造されたシリカ、湿式法で製造されたシリカ、ゼオライト、炭酸カルシウム、燐酸カルシウム、カオリン、カオリナイト、クレイ、タルク、酸化チタン、アルミナ、ジルコニア、水酸化アルミニウム、酸化カルシウム、グラファイト、カーボンブラック、酸化亜鉛、炭化珪素、酸化スズ等の無機粒子や、架橋アクリル樹脂粒子、架橋ポリスチレン樹脂粒子、メラミン樹脂粒子、架橋シリコーン樹脂粒子等の有機微粒子を好ましく挙げることができる。
滑剤としては、平均粒径が０．００１〜５．０μｍの微粒子が好ましく、１種類で使用することもできるし２種類以上併用することも可能である。また滑剤は、樹脂層の各層の質量に対して、０．０１〜０．５質量％の範囲で配合することができる。
（樹脂成分）
本発明における樹脂層には、それぞれ独立して、耐熱性を付与する目的において、樹脂層を構成するマトリックス樹脂よりも高融点の樹脂成分を含有することができる。
かかる樹脂成分は、マトリックス樹脂がポリ乳酸の場合、ポリ乳酸よりも、融点が３℃同等以上高いことが好ましく、耐熱性の向上効果を高くすることができる。このような観点から、樹脂成分の融点は、ポリ乳酸よりも５℃以上高いことがさらに好ましく、１０℃以上高いことが特に好ましい。
かかる樹脂成分としては、例えば、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ステレオコンプレックス相ポリ乳酸、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリ（メタ）アクリルアミド、ポリスチレン等を好ましく挙げることができる。
樹脂成分の含有量は、各層の質量を基準として、１０〜５０質量％であることが好ましい。含有量が上記数値範囲にあると、優れた共振特性を保持したまま、優れた耐熱性を付与することができる。含有量が少なすぎる場合は、耐熱性の向上効果が低くなる傾向にある。このような観点から、樹脂成分の含有量は、さらに好ましくは２０質量％以上、特に好ましくは３０質量％以上である。他方、含有量が多すぎる場合は、各層の圧電性が低くなる傾向にあり、共振特性の向上効果が低くなる傾向にある。このような観点から、樹脂成分の含有量は、さらに好ましくは４５質量％以下、特に好ましくは４０質量％以下である。
樹脂成分を含有させる方法は特に限定されず、例えば配向フィルム層を構成するポリ乳酸のペレットと、樹脂成分のペレットとをあらかじめ混合したペレットの混合体を得て、かかる混合体を押出機に投入して、押出機内でポリ乳酸と樹脂成分とを溶融混練することができる。
【００２９】
（その他の添加剤）
また、樹脂層には、本発明の趣旨に反しない範囲において、酸化防止剤、帯電防止剤、着色剤、顔料、蛍光蒼白剤、可塑剤、架橋剤、紫外線吸収剤、衝撃吸収剤、その他の樹脂等を必要に応じて添加することができる。
【００３０】
（導電層）
本発明における導電層は、積層体が、電圧印加した際に圧電特性を示すことができる程度の導電性を有していれば、その種類は特に限定されないが、より好適に圧電特性および共振特性を示すことができるという観点から、金属または金属酸化物からなる層であることが好ましい。
かかる金属または金属酸化物としては、インジウム、スズ、亜鉛、ガリウム、アンチモン、チタン、珪素、ジルコニウム、マグネシウム、アルミニウム、金、銀、銅、パラジウム、タングステンからなる群より選らばれる少なくとも１種の金属またはその酸化物が好ましい。また、金属酸化物には、さらに上記群に示された金属、または上記群に示された他の金属の酸化物を含んでいてもよい。例えば、酸化スズを含有する酸化インジウム、アンチモンを含有する酸化スズ等が好ましく用いられる。
導電層の厚さは特に制限されないが、その表面抵抗値が１×１０４Ω／□以下、好ましくは５×１０３Ω／□以下、さらに好ましくは１×１０３Ω／□以下となるような厚みを選択すればよい。例えば、厚さ１０ｎｍ以上とするのが好ましい。さらに、導電性と、層形成のし易さの観点から、１５〜３５ｎｍであることが好ましく、より好ましくは２０〜３０ｎｍである。厚さが薄すぎると、表面抵抗値が高くなる傾向にあり、かつ連続被膜になり難くなる。他方、厚すぎると、品質過剰であり、また積層体の形成が困難となったり、積層体の層間の強度が弱くなったりする傾向にある。
導電層の形成方法としては特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。具体的には、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法を例示できる。また、必要とする膜厚に応じて適宜の方法を採用することもできる。なお、金属層を形成した後、必要に応じて、１００〜１５０℃の範囲内でアニール処理を施して結晶化することができる。このため、層Ｌおよび層Ｄは、１００℃以上、更には１１０℃以上の耐熱性を有することが好ましい。
各導電層は、図３に示すように、樹脂層の全面に形成するのではなく、幅方向の端面に近い部位に導電層を形成しないマージンを設けることが好ましい。マージンを有する側においては電極がと導電層とが短絡せず、マージンを有しない側においては電極と導電層とが短絡した構成となることが好ましい。このような構成とすることにより、樹脂層を挟んだ各導電層は、正負が互いに異なるようにすることができる。
【００３１】
＜電極＞
積層体の各導電層は、各導電層を介して隣り合う樹脂層に逆方向の電界がかかるように電極により短絡されている。
例えば、以下の構成を有する積層体であれば、Ｍ２およびＭ４が正極、Ｍ１およびＭ３が負極の場合、電界の向きはＭ２からＤ２、Ｍ２からＬ３、Ｍ４からＬ４となる。
Ｌ１／Ｍ１／Ｄ２／Ｍ２／Ｌ３／Ｍ３／Ｌ４／Ｍ４
樹脂層を挟んだ各導電層は、正負が互いに異なるように配置されていることが好ましい。
積層体の長さ方向に平行な端面は物体を接触させるので、電極は積層体の幅方向に平行な端面に形成することが好ましい。電極（９）は、図４に示すごとく、導電性接着剤等を塗布して形成することが好ましい。これにより、各導電層において、マージンを有する側においては導電性接着剤と導電層とが短絡せず、マージンを有しない側においては導電性接着剤と導電層とが短絡した構成となる。
【００３２】
＜電源＞
電源は、交流電源であれば特に制限されず、電圧、電流、周波数などを適宜調整できることが好ましい。
電圧は、好ましくは０〜３００Ｖ，さらに好ましくは０〜２００Ｖである。電流は、好ましくは０〜５００ｍＡ、さらに好ましくは０〜３００ｍＡである。
周波数は、好ましくは０〜１００ｋＨｚ、さらに好ましくは０〜５０ｋＨｚである。
〔物体を移動させる方法〕
本発明は、前記アクチュエーターに物体を接触させ、樹脂層に電圧を加えて物体を移動させる方法を包含する。物体（１２）は、図５に示すように積層体の長さ方向に平行な端面に接触させる。
【実施例】
【００３３】
以下、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明はこれにより何ら限定を受けるものではない。各層の物性、アクチュエーターの評価は以下の方法で行った。
【００３４】
（１）各層の物性
積層体の端部をしごく等して切欠をつくり、各層を剥離し各層の物性を評価した。
（１−１）屈折率
積層フィルムから剥離したフィルムサンプルについて、Ｍｅｔｒｉｃｏｎ社製のレーザー屈折率測定装置を用い、プリズムカプラ（６３３ｎｍ）波長で測定した。プリズムに密着させたサンプルに、プリズムを通じてレーザー光を入射し、プリズムを回転させてサンプルへの入射角を変える。サンプル表面で反射した光を測定し、光量の入射角依存をモニターし臨界角に相当する屈折率を求めた。
（１−２）主配向方向
積層体から剥離したフィルムサンプルについて、フィルムの面内において、０°（ＴＤ）〜９０°（ＭＤ）〜１８０°として、５°ピッチで、上記（１−１）で記載の方法で面内の屈折率を測定し、最も屈折率の高い方向を主配向方向とした。これを全ての配向フィルム層について測定し、主配向方向の最大角度と最小角度との差を「なす角度」とした。
（１−３）表面抵抗率
三菱化学社製、商品名：Ｌｏｒｅｓｔｅｒ  ＭＣＰ−Ｔ６００を用いて、ＪＩＳ  Ｋ７１９４に準拠して測定した。測定は、１つのフィルムから３つの測定用サンプル片を採取し、それぞれ任意の５箇所について実施し、それらの平均値を表面抵抗率（単位：Ω／□）とした。
【００３５】
（２）アクチュエーターの評価
図５に示すように積層体の端面に、重さ２００ｍｇ、長さ２０ｍｍ、幅１０ｍｍのＰＥＴシートを、その長さ方向に沿って幅方向の中央部で折り曲げた移動確認用サンプル（１２）を乗せ、電源として、ＴＲＥＫ  Ｉｎｃ．製  高圧電源（Ｍｏｄｅｌ  ：  ２１００−ＨＦｓ）を用いて、１５０Ｖの電圧をかけ、周波数を変えて、移動確認用サンプルを端から端まで５回移動させ、その結果から平均移動速度を算出した。そして、表１に、平均移動速度が最も速いときの周波数と、そのときの平均移動速度を記載した。移動速度の速いものほど、優れる。
【００３６】
［参考例１］ポリＬ−乳酸（ＰＬＬＡ）の合成
真空配管、窒素ガス配管、触媒添加配管、Ｌ−ラクチド溶液添加配管、アルコール開始剤添加配管を具備したフルゾーン翼具備縦型攪拌槽（４０Ｌ）を窒素置換した。その後、Ｌ−ラクチド３０Ｋｇ、ステアリルアルコール０．９０ｋｇ（０．０３０モル／ｋｇ）、オクチル酸スズ６．１４ｇ（５．０５×１０−４モル／１ｋｇ）を仕込み、窒素圧１０６．４ｋＰａの雰囲気下、１５０℃に昇温した。内容物が溶解した時点で、攪拌を開始、内温をさらに１９０℃に昇温した。内温が１８０℃を超えると反応が始まるため、冷却しながら内温を１８５℃から１９０℃に保持し１時間反応を継続した。さらに攪拌しつつ、窒素圧１０６．４ｋＰａ、内温２００℃から２１０℃で１時間反応を行なった後、攪拌を停止しリン系の触媒失活剤を添加した。
さらに２０分間静置して気泡除去をおこなった後、内圧を窒素圧で２から３気圧に昇圧し、プレポリマーをチップカッターに押し出し、重量平均分子量１３万、分子量分散１．８のプレポリマーをペレット化した。
さらに、ペレットを押出機で溶解させ、無軸籠型反応装置に１５ｋｇ／ｈｒで投入し、１０．１３ｋＰａに減圧して残留するラクチドを低減処理し、それを再度チップ化した。得られたポリＬ−乳酸（ＰＬＬＡ）は、ガラス転移点温度（Ｔｇ）５５℃、融点（Ｔｍ）１７５℃、重量平均分子量１２万、分子量分散１．８、ラクチド含有量０．００５質量％であった。
【００３７】
［参考例２］ポリＤ−乳酸（ＰＤＬＡ）の合成
また、Ｌ−ラクチドの代わりにＤ−ラクチドを使用する以外は参考例１と同様にして、ガラス転移点温度（Ｔｇ）５５℃、融点（Ｔｍ）１７５℃、重量平均分子量１２万、分子量分散１．８、ラクチド含有量０．００５質量％のポリＤ−乳酸（ＰＤＬＡ）を得た。
【００３８】
［参考例３］（配向フィルムＬ１の製造）
参考例１で得られたＰＬＬＡを、乾燥機を用いて十分に乾燥させた後、押出機に投入し、２１０℃で溶融し、溶融樹脂をダイより押し出して単層のシート状に成形し、かかるシートを表面温度２０℃の冷却ドラムで冷却固化して未延伸フィルムを得た。得られた未延伸フィルムを、７５℃に加熱したロール群に導き、縦方向に１．１倍に延伸し、２５℃のロール群で冷却した。続いて、縦延伸したフィルムの両端をクリップで保持しながらテンターに導き、８０℃に加熱された雰囲気中で横方向に４．０倍に延伸した。その後テンター内で１１０℃の温度条件で３０秒間の熱処理を行い、次いで１００℃で１％幅方向に熱弛緩した後、均一に徐冷して室温まで冷やして５μｍ厚みの二軸配向ポリＬ−乳酸単層フィルム（配向フィルムＬ１）を得た。なお、後述の導電層Ｍを形成する側の表面（製膜時の冷却ドラムと接していない側の表面）に、カスガ製、高周波電源ＣＧ−１０２型を用いて、電圧１０ｋＶ、処理時間２０秒の条件でコロナ処理を施した。
【００３９】
［参考例４］（配向フィルムＬ２の製造）
参考例１で得られたＰＬＬＡを、乾燥機を用いて十分に乾燥させた後、押出機に投入し、２１０℃で溶融し、溶融樹脂をダイより押し出して単層のシート状に成形し、かかるシートを表面温度２０℃の冷却ドラムで冷却固化して未延伸フィルムを得た。得られた未延伸フィルムを、７５℃に加熱したロール群に導き、縦方向に４．０倍に延伸し、２５℃のロール群で冷却した。続いて、縦延伸したフィルムの両端をクリップで保持しながらテンターに導き、８０℃に加熱された雰囲気中で横方向に１．１倍に延伸した。その後テンター内で１１０℃の温度条件で３０秒間の熱処理を行い、次いで１００℃で１％幅方向に熱弛緩した後、均一に徐冷して室温まで冷やして５μｍ厚みの二軸配向ポリＬ−乳酸単層フィルム（配向フィルムＬ２）を得た。なお、後述の導電層Ｍを形成する側の表面（製膜時の冷却ドラムと接していない側の表面）に、カスガ製、高周波電源ＣＧ−１０２型を用いて、電圧１０ｋＶ、処理時間２０秒の条件でコロナ処理を施した。
【００４０】
［参考例５］（配向フィルムＤ１の製造）
参考例２で得られたＰＤＬＡを用いて、参考例３と同様にして、５μｍ厚みの二軸配向ポリＤ−乳酸単層フィルム（配向フィルムＤ１）を得た。なお、後述の導電層Ｍを形成する側の表面（製膜時の冷却ドラムと接していない側の表面）に、カスガ製、高周波電源ＣＧ−１０２型を用いて、電圧１０ｋＶ、処理時間２０秒の条件でコロナ処理を施した。
【００４１】
［参考例６］（配向フィルムＤ２の製造）
参考例２で得られたＰＤＬＡを用いて、参考例４と同様にして、５μｍ厚みの二軸配向ポリＤ−乳酸単層フィルム（配向フィルムＤ２）を得た。なお、後述の導電層Ｍを形成する側の表面（製膜時の冷却ドラムと接していない側の表面）に、カスガ製、高周波電源ＣＧ−１０２型を用いて、電圧１０ｋＶ、処理時間２０秒の条件でコロナ処理を施した。
【００４２】
［実施例１］
（切り出し）
参考例３で得られた配向フィルムＬ１および参考例５で得られた配向フィルムＤ１、それぞれ延伸の横方向に対して０°（図２）となるように３ｃｍ×７ｃｍで切り出した。
（蒸着）
次いで、図３に示すように片方の短辺から１ｃｍの領域（３ｃｍ×１ｃｍの領域）をマージンとしてマスキングし、蒸着しない箇所を残した上で、残りの領域（３ｃｍ×６ｃｍの領域）に表面抵抗値が１０Ω／□となるような厚みでアルミ蒸着を施した。なお、導電層の厚みは５０ｎｍであった。また、マージンの位置は配向フィルムＬ１と配向フィルムＤ１とで、それぞれ反対側の短辺においてマージンを作成した。
（積層）
得られた蒸着した配向フィルムＬ１と配向フィルムＤ１とを交互に各１０枚、合計２０枚を積層した。積層体は、１１０℃で４０ＭＰａの圧力を３分間かけて、熱ラミネートにより貼りあわせた。
（電極）
得られた積層体の両方の短辺に、図４に示すごとく、導電性接着剤（藤倉化成製、ドータイトＤ５５０）を塗布して電極（９）を形成し、圧電性構造体を作成した。これにより、各アルミ蒸着層において、マージンを有する側においてはかかる導電性接着剤とアルミ蒸着層とが短絡せず、マージンを有しない側においてはかかる導電性接着剤とアルミ蒸着層とが短絡した構成となる。
（組立）
電極を形成した積層体を図５に示すように電源（１１）と接続してアクチュエーターを組立てた。
（評価）
各層の物性、アクチュエーターの圧電率、移動速度を前述の評価方法に従って評価した。結果を表１に示す。
【００４３】
[実施例２]
配向フィルムＬ１および配向フィルムＤ１を、それぞれ延伸の横方向に対して０°（図２）となるように３ｃｍ×１４ｃｍで切り出した。次いで、図３に示すように片方の短辺から１ｃｍの領域（３ｃｍ×１ｃｍの領域）をマージンとしてマスキングして、蒸着しない箇所を残した上で、残りの領域（３ｃｍ×１３ｃｍの領域）に表面抵抗値が１０Ω／□となるような厚みでアルミ蒸着を施し、実施例１と同様に積層体を作製した。
【００４４】
[実施例３]
参考例１で得られたポリＬ−乳酸（ＰＬＬＡ）および参考例２で得られたポリＤ−乳酸（ＰＤＬＡ）に各々フィラーとして、積水樹脂株式会社製、平均粒径２．５μｍの真球状の架橋アクリル樹脂（ＭＢＸ−２Ｈ）を０．５重量％添加した以外は、参考例３および参考例５と同様にして配向フィルムを製造し、実施例１と同様にして積層体を作製した。動作の確認も実施例１と同様に行った。
【００４５】
[実施例４]
参考例１で得られたポリＬ−乳酸（ＰＬＬＡ）および参考例２で得られたポリＤ−乳酸（ＰＤＬＡ）に各々フィラーとして、積水樹脂株式会社製、平均粒径２．５μｍの真球状の架橋アクリル樹脂（ＭＢＸ−２Ｈ）を層Ｌおよび層Ｄにそれぞれ０．５重量％添加した以外は、参考例３および参考例５と同様にして配向フィルムを製造し、実施例１と同様にして積層体を作製した。動作の確認も実施例２と同様に行った。結果を表１に示す。
【００４６】
［実施例５］
参考例１で得られたポリＬ−乳酸（ＰＬＬＡ）および参考例２で得られたポリＤ−乳酸（ＰＤＬＡ）に各々衝撃吸収剤として、ローム・アンド・ハース・ジャパン株式会社社製、コアシェル構造体（パラロイドＴＭＢＰＭ−５００）を５重量％添加した以外は、参考例３および参考例５と同様にして配向フィルムを製造し、実施例１と同様に積層体を作製した。動作の確認も実施例１と同様に行った。結果を表１に示す。
【００４７】
[実施例６]
参考例３で得られた配向フィルムＬ１および参考例５で得られた配向フィルムＤ１を用い、それぞれ延伸の横方向に対して４５°となるように切り出した以外は、実施例１と同様に積層体を作製した。動作の確認も実施例１と同様に行った。結果を表１に示す。
【００４８】
[実施例７]
配向フィルムＬ１および配向フィルムＤ１が交互となるように合計８０枚を積層した以外は、実施例１と同様に積層体を作製した。動作の確認は、移動物品の重さを表１に示すように変更したほかは、実施例１と同様に行った。結果を表１に示す。
【００４９】
[実施例８]
配向フィルムＬ１および配向フィルムＤ１が交互となるように合計１６０枚を積層した以外は、実施例１と同様に積層体を作製した。動作の確認は、移動物品の重さを表１に示すように変更したほかは、実施例１と同様に行った結果を表１に示す。
【００５０】
[実施例９]
参考例３で得られた配向フィルムＬ１を、延伸の横方向に対して０°（図２）になるように３ｃｍ×７ｃｍで切り出し配向フィルムＬ１−０°とした。また参考例３で得られた配向フィルムＬ１を、延伸の横方向に対して９０°（図２）になるように３ｃｍ×７ｃｍで切り出し配向フィルムＬ１−９０°としたた。
次いで、実施例１と同様にアルミ蒸着を施した。なおマージンの位置は配向フィルムＬ１−０°と配向フィルムＬ１−９０°とで、それぞれ反対側の短辺においてマージンを作成した。得られた蒸着フィルムについて、実施例１と同様に各１０枚、合計２０枚を積層した。動作確認も実施例１と同様に行った。結果を表１に示す。
【００５１】
［実施例１０］
参考例４で得られた配向フィルムＬ２および参考例６で得られた配向フィルムＤ２を、それぞれ延伸の縦方向に対して０°（図２）となるように切り出した以外は、実施例１と同様に積層体を作成した。動作の確認も実施例１と同様に行った。
【００５２】
［実施例１１］
参考例３で得られた配向フィルムＬ１および参考例５で得られた配向フィルムＤ１を、それぞれ延伸の横方向に対して９０°となるように切り出した以外は、実施例１と同様に積層体を作成した。動作の確認も実施例１と同様に行った。結果を表１に示す。
【００５３】
[実施例１２]
参考例３で配向フィルムの厚みを２μｍとし、参考例５で配向フィルムの厚みを２μｍとし、これらの例で得られた配向フィルムを用いる以外は、実施例１と同様に積層体を作製した。動作の確認も実施例１と同様に行った。結果を表１に示す。
【００５４】
[実施例１３]
参考例３で配向フィルムの厚みを２０μｍとし、参考例５で配向フィルムの厚みを２０μｍとし、これらの例で得られた配向フィルムを用いる以外は、実施例１と同様に積層体を作製した。動作の確認も実施例１と同様に行った。結果を表１に示す。
【００５５】
【表１】
0006050030.tif 000002
【００５６】
【表２】
0006050030.tif 000003
【００５７】
【表３】
0006050030.tif 000004
【００５８】
【表４】
0006050030.tif 000005
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明によれば、本発明のアクチュエーターをレール状に配置し、その上に物品を載せたとき、その物品を速やかに移動させることができる。
【符号の説明】
【００６０】
１  配向フィルム層Ｌ
２  配向フィルム層Ｄ
３  導電層Ｍ（３０１〜３０８）
４  右マージン用樹脂層
５  左マージン用樹脂層
６  導電層
７  積層体
８  積層体
９  電極
１０  導線
１１  電源
１２  移動確認用サンプル
ａ  主配向方向
ｂ  圧電歪による面内変位が最も大きい方向
【図２】
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【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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