(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に液体を貯留した液体貯留部材と、
該液体貯留部材からの液体を導入する液体導入ユニットと、
該液体導入ユニットからの液体を、液体流路を通じて圧力室に導入し、圧力発生手段の作動によって圧力室内の液体をノズルから液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドと、を備え、
前記液体導入ユニットは、液体貯留部材からの液体を導入する液体導入流路と、
該液体導入流路の下流側に位置し、液体に混入した気泡を収容する気泡室と、
該気泡室の下流側に位置し、前記液体を濾過するフィルターと、を有し、
前記気泡室と前記液体導入流路とは、前記液体導入流路と面一な部分を有する仕切部材によって仕切られ、
該仕切部材の外縁に臨ませて、前記液体導入流路側から前記気泡室側に液体が流入可能な流入口が開設されたことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記気泡室の内壁面には、当該気泡室の縦方向に延在する溝部が形成され、
該溝部の上端部が、前記仕切部材の外縁に前記流入口として開口されたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記液体貯留部材の内部と接続され、液体を導入する液体導入孔が開設された導入針部を有し、
該導入針部の内側において、前記液体導入孔と前記液体導入流路とが連通されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記仕切部材が仕切板により構成され、
前記液体導入流路は、前記仕切板の面方向に沿って液体を導入する通路を有することを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録装置などの液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
この種の液体噴射装置としては、流通に乗せ易く取り扱いが容易なカートリッジタイプの液体貯留部材を用いるものが開発されている。例えば、インクジェット式プリンター（以下、単にプリンターという）では、液体状のインクを封入したインクカートリッジに、液体導入針の一種であるインク導入針を挿入する。これにより、インク導入針の先端側に開設された導入孔を通じて、インクカートリッジ内のインクを液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド内のインク流路に導入している。そして、プリンターは、インク流路を介して圧力室内に導入したインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用してノズルからインク滴として吐出（噴射）する。
【０００４】
ところで、上記構成のプリンターでは、インクカートリッジをインク導入針に接続する際に、インク導入針内に気泡が入りこむ虞があった。この気泡は、時間の経過と共に成長して大きくなっていき、過度に成長した気泡がインクの流れによってインク流路内に混入する虞がある。気泡がインク流路内に混入すると、記録動作（インク滴の吐出動作）時に生じる圧力変動を気泡が吸収することによる圧力損失や、気泡が流路を塞ぐことによるインクの供給不足等の不具合を招く虞がある。
【０００５】
このような気泡による不具合を防止するための方法として、記録動作時よりインク流路内のインクの流量を多くしてノズルから大量のインクを排出することで、強制的に気泡を排出するクリーニング動作が行われている。このとき、成長した気泡を効率よく排出できるように、図５（ａ）に示すように、導入針部７０の内部において、導入孔７１に連通する導入針流路７２と、該導入針流路７２の下流側に形成され、導入針流路７２の内径よりも拡径した円筒状の気泡室７３と、該気泡室７３の内周面に形成され、上流側から下流側に向けて延在する溝部７４と、を備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。このように構成すれば、気泡Ｂが気泡室７３の内径に亘る大きさに成長した場合、インクが気泡Ｂを避けて溝部７４を流下する。ここで、流路を流れる液体には、上流側と下流側との間に、その部分の流路抵抗とインクの流量に比例した圧力差が生じることが知られている。このため、記録動作に比べてインクの流量が多いクリーニング動作において、流路抵抗の高い溝部７４をインクが流下すると、上流側（気泡室７３内の上方）と下流側（気泡室７３内の下方）との間に比較的大きな圧力差が生じる。この圧力差を利用することで、気泡Ｂを下流側（記録ヘッド側）に送り、ノズルから排出している。
【０００６】
ところで、プリンターの中には、図６（ａ）に示すように、導入針部８０の内部の導入針流路８２と円筒状の気泡室８３とを水平方向にずらして配置し、これらを水平方向に延在した水平流路８１を介して連通させたものがある（例えば、特許文献２参照）。この場合も、気泡室８３の内周面に上流側から下流側に向けて延在する溝部８４を形成することで、上記した先行技術と同様に、気泡室８３の内径に亘る大きさに成長した気泡Ｂをクリーニング動作によってノズルから排出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−００６７３０号公報
【特許文献２】特開２００２−１７８５４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記のようなプリンターでは、インクの流量等のばらつきによって、クリーニング動作時に気泡が排出されない不具合があった。例えば、クリーニング動作時において、インクの粘度の変化やクリーニング動作のばらつきによりインクの流量が多すぎた場合、図５（ｂ）に示すように、インクが気泡Ｂの中央を貫通して流れてしまい、インクの流れる部分の流路抵抗が低くなっていた。このため、上流側（気泡室７３内の上方）と下流側（気泡室７３内の下方）との間の圧力差が小さくなり、気泡Ｂを下流側に排出できない不具合が生じていた。また、記録動作時において、気泡Ｂが記録ヘッド内に混入する不具合があった。すなわち、記録動作時において、一部の気泡Ｂが導入針流路７２から流れてきたインクに押し流されて、記録ヘッド側に流出する虞があった。
【０００９】
また、図６（ｂ）に示すように、気泡室８３の上方に水平流路８１が連通したプリンターでは、クリーニング動作時において、水平流路８１から気泡室８３に流入したインクが、慣性により流れの方向に偏って気泡室８３内を流れてしまい、インクの流れる部分の流路抵抗が低くなっていた。このため、上流側（気泡室８３内の上方）と下流側（気泡室８３内の下方）との間の圧力差が小さくり、気泡Ｂを下流側に排出できない不具合が生じていた。また、記録動作時において、一部の気泡Ｂが水平流路８１から流れてきたインクに押し流されて、記録ヘッド側に流出する虞があった。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、クリーニング動作による気泡の排出を安定して行うことができる液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液体噴射装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、内部に液体を貯留した液体貯留部材と、
該液体貯留部材からの液体を導入する液体導入ユニットと、
該液体導入ユニットからの液体を、液体流路を通じて圧力室に導入し、圧力発生手段の作動によって圧力室内の液体をノズルから液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドと、を備え、
前記液体導入ユニットは、液体貯留部材からの液体を導入する液体導入流路と、
該液体導入流路の下流側に位置し、液体に混入した気泡を収容する気泡室と、
該気泡室の下流側に位置し、前記液体を濾過するフィルターと、を有し、
前記気泡室と前記液体導入流路とは、前記液体導入流路と面一な部分を有する仕切部材によって仕切られ、
該仕切部材の外縁に臨ませて、前記液体導入流路側から前記気泡室側に液体が流入可能
な流入口が開設されたことを特徴とする。
【００１２】
本発明の液体噴射装置によれば、液体導入流路を流れる液体は流入口のみから気泡室内に流入するため、気泡室内において液体が流下する部分の流路抵抗のばらつきを抑えることができる。これにより、クリーニング動作時において、安定して気泡を排出することができる。
【００１３】
上記構成において、前記気泡室の内壁面には、当該気泡室の縦方向に延在する溝部が形成され、
該溝部の上端部が、前記仕切部材の外縁に前記流入口として開口された構成を採用することが望ましい。
【００１４】
この構成によれば、流入口から流入した液体が溝部を流下するため、液体が流下する部分の流路抵抗のばらつきを一層抑えることができる。これにより、クリーニング動作時において、より安定して気泡を排出することができる。また、液体の流下する溝部に気泡が入り込むことを抑制でき、記録動作時において気泡が記録ヘッド側へ流入することを抑制できる。
【００１５】
上記各構成において、前記液体貯留部材の内部と接続され、液体を導入する液体導入孔が開設された導入針部を有し、
該導入針部の内側において、前記液体導入孔と前記液体導入流路とが連通された構成を採用することが望ましい。
【００１６】
また、前記仕切部材が仕切板により構成され、
前記液体導入流路は、前記仕切板の面方向に沿って液体を導入する通路を有することが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、仕切板の面方向に沿って流れてきた液体が気泡室に流入する場合であっても、気泡室内における流れの偏りを抑制でき、液体が流下する部分の流路抵抗のばらつきを抑えることができる。これにより、クリーニング動作時において、安定して気泡を排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】プリンターの斜視図である。
【図２】液体導入ユニットの要部を表す模式図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
【図３】記録ヘッドの要部断面図である。
【図４】液体導入ユニットの液体の流れを説明する模式図である。
【図５】従来のプリンターの要部を拡大した断面図であり、（ａ）は非動作時、（ｂ）はクリーニング動作時を説明する図である。
【図６】従来の水平流路を備えたプリンターの要部を拡大した断面図であり、（ａ）は非動作時、（ｂ）はクリーニング動作時を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録装置１（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。
【００２０】
図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド２が取り付けられると共に、液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４を備えている。このキャリッジ４の後部には、キャリッジ４を記録紙５（記録媒体および着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構６を備えている。また、記録動作時における記録ヘッド２の下方には、間隔を空けてプラテン７を備えている。そして、このプラテン７上には、プリンター１の後方に備えた搬送機構８によって、記録紙５が主走査方向に直交する副走査方向に搬送される。
【００２１】
キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構６の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー１０によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信する。キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ４の走査の基点となるホームポジションが設定されている。プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙５上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録を行う。
【００２２】
また、ホームポジションには、記録ヘッド２のノズル形成面（ノズルプレート３６：図３参照）を封止するキャッピング部材１１と、ノズル形成面を払拭するためのワイパー部材１２とが配置されている。キャッピング部材１１は、長方形状の底部とこの底部の周縁から起立する側壁部とを有する上面が開放したトレイ状の部材であり、ゴム等の弾性部材により形成される。また、キャッピング部材１１には、その内側を減圧するポンプ（図示せず）が接続されている。これにより、ノズル形成面をキャッピング部材１１により封止した後でポンプを動作させることで、記録ヘッド２内の気泡や増粘したインクを吸引することができる（クリーニング動作）。なお、クリーニング動作では、記録動作によりノズル４０から吐出されるインクよりも多くのインクが吸引される。
【００２３】
そして、記録ヘッド２の上方であって、キャリッジ４の底部には、上面がインクカートリッジ３の装着部分の底面を構成する液体導入ユニット１４が備えられている。この液体導入ユニット１４は、図２に示すように、インクカートリッジ３からのインクを導入する液体導入流路１５と、該液体導入流路１５の下流側に位置し、液体に混入した気泡を収容する気泡室１７と、該気泡室１７の下端部に連通し、記録ヘッド２側に送る液体を濾過するフィルター１８を備えたフィルター室１９と、を有している。また、本実施形態の液体導入ユニット１４の上面には、インクカートリッジ３に接続される導入針部２０が設けられている。
【００２４】
詳しく説明すると、導入針部２０は液体導入ユニット１４の上面に対して垂直方向に向けて突設され、その尖端部にインクカートリッジ３からの液体を導入する液体導入孔２１が開設されている。また、導入針部２０の内側には、液体導入ユニット１４の上面に対して垂直方向に延在する導入針流路１５ａが形成されている。この導入針流路１５ａは、上端部が液体導入孔２１と連通すると共に、下端部が水平流路１５ｂの上流端部と連通している。
【００２５】
水平流路１５ｂは、液体導入ユニット１４の上面（あるいは、後述する仕切板２３）の面方向に沿って、気泡室１７側に向けて延びた流路である。この水平流路１５ｂの下流側は、図２（ｂ）に示すように、気泡室１７に対応して平面視において円形に形成された円形流路１５ｃと連通している。そして、この円形流路１５ｃの外周縁には、流入口２２が位相を９０度変えて４箇所開口している。
【００２６】
流入口２２は、円形流路１５ｃ（液体導入流路１５）と気泡室１７とを繋ぐ開口であり、後述する仕切板２３の外縁に臨ませて、開設されている。本実施形態では、一の流入口２２（図２（ｂ）における右側の流入口２２）を、円形流路１５ｃの縁であって、円形流路１５ｃと水平流路１５ｂが連通する部分の水平流路１５ｂの底部に開設している。残り三つの流入口２２は、円形流路１５ｃの外周縁の底部に開設している。具体的には、円形流路１５ｃの外周縁は三つの流入口２２に対応して９０度位相を変えた三方に広げられており、この広げられた部分の底部に流入口２２を開設している。これにより、液体導入孔２１から導入されたインクを、導入針流路１５ａ、水平流路１５ｂ、および円形流路１５ｃからなる一連の液体導入流路１５を介して流入口２２に流入させることができる。
【００２７】
そして、円形流路１５ｃの流入口２２以外の底部は、円形の平板状に形成された仕切板２３で構成されている。この仕切板２３は、円形流路１５ｃ（液体導入流路１５）と気泡室１７とを仕切る仕切部材の一種であり、流入口２２以外から気泡室１７内へインクが流入することを防いでいる。また、本実施形態の気泡室１７は、円筒形状に形成され、その内壁面に気泡室１７の縦方向に延在する溝部２４が、流入口２２に対応して四方に形成されている。この溝部２４の上端部は、仕切板２３の外縁に臨ませた位置に延在され、円形流路１５ｃと連通している。すなわち、溝部２４の上端部は、仕切板２３の外縁に流入口２２として開口している。そして、液体導入流路１５側から流入口２２を介して気泡室１７側に流入したインクは、主として溝部２４内を流下する。なお、インクの流下については、後述する。
【００２８】
気泡室１７の下端部には、気泡やゴミ等を濾過するフィルター１８を備えたフィルター室１９が連通している。フィルター室１９のうちフィルター１８を挟んだ上流側は、気泡室１７側からフィルター１８側に向けて内径が次第に大きくなる拡径状に形成されている。これにより、フィルター１８により捕らえられた気泡は、このフィルター室１９の上流側を浮上し、気泡室１７内に収容される。また、フィルター室１９のうちフィルター１８を挟んだ下流側は、フィルター１８側から記録ヘッド２側に向けて内径が次第に小さくなる漏斗状に形成されている。そして、このフィルター室１９（フィルター１８を挟んだ下流側）の下側は、後述するケース流路３０と連通している。
【００２９】
記録ヘッド２は、図３に示すように、ヘッドケース２６、振動子ユニット２７、及び流路ユニット２８から構成されている。ヘッドケース２６は、例えば、エポキシ系樹脂により作製された中空箱体状部材であり、その先端面（下面）には流路ユニット２８を固定し、ケース内部に形成された収容空部２９内には振動子ユニット２７を収容している。また、ヘッドケース２６の内部には、その高さ方向を貫通してケース流路３０が形成されている。このケース流路３０は、液体導入ユニット１４側からのインクを後述するリザーバー３１に供給するための流路である。
【００３０】
振動子ユニット２７は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子３２と、この圧電振動子３２に駆動基板からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル３３（配線部材）と、圧電振動子３２の一側端部を固定する固定板３４と、から構成される。圧電振動子３２の固定板３４に固定されない自由端部の先端面は、後述する島部４６（振動板３７）に接合されている。そして、この圧電振動子３２は、駆動信号の印加により伸縮して圧力室３９の容積を膨張又は収縮することで、圧力室３９内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動の制御によりノズル４０からインクを噴射させることができる。
【００３１】
流路ユニット２８は、流路形成基板３５の一方の面にノズルプレート３６を、流路形成基板３５の他方の面に振動板３７をそれぞれ接合して構成されている。この流路ユニット２８には、リザーバー３１（共通液室）、インク供給口３８、および圧力室３９からなる一連の流路が設けられている。リザーバー３１は、ノズル列方向に沿って長尺な空部であり、その上部にケース流路３０が連通している。インク供給口３８は、各圧力室３９とリザーバー３１を連通させる流路幅の狭い狭窄部である。圧力室３９は、ノズル列に直交する方向に沿って長尺な空部であり、ノズル４０が連通（開口）している。
【００３２】
上記ノズルプレート３６は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル４０が列状に穿設されたステンレスやシリコン結晶等の薄いプレートである。本実施形態のノズル列は、例えば１８０個のノズル４０によって構成されている。
【００３３】
上記振動板３７は、支持板４２の表面に弾性体膜４３を積層した二重構造である。本実施形態では、金属板の一種であるステンレス板を支持板４２とし、この支持板４２の表面に樹脂フィルムを弾性体膜４３としてラミネートした複合板材を用いて振動板３７を作製している。この振動板３７には、圧力室３９の容積を変化させるダイヤフラム部４４が設けられている。また、この振動板３７には、リザーバー３１の一部を封止するコンプライアンス部４５が設けられている。
【００３４】
上記のダイヤフラム部４４は、エッチング加工等によって圧力室３９に対向する領域の支持板４２を部分的に除去することで作製される。即ち、このダイヤフラム部４４は、圧電振動子３２の自由端部（固定板３４に固定される側とは反対側の端部）の先端面が接合される島部４６と、この島部４６を囲む薄肉弾性部とからなる。上記のコンプライアンス部４５は、リザーバー３１の開口面に対向する領域の支持板４２を、ダイヤフラム部４４と同様にエッチング加工等によって除去することにより作製され、リザーバー３１に貯留されたインクの圧力変動を吸収するダンパーとして機能する。
【００３５】
そして、上記の島部４６には圧電振動子３２の先端面が接合されているので、この圧電振動子３２の自由端部を伸縮させることで圧力室３９の容積を変動させることができる。この容積変動に伴って圧力室３９内のインクに圧力変動が生じる。そして、記録ヘッド２は、この圧力変動を利用してノズル４０からインク滴を吐出する。
【００３６】
次に、液体導入ユニット１４内のインクの流れおよび気泡の排出について、図４を用いて説明する。例えば、クリーニング動作により、記録ヘッド２（リザーバー３１）内の圧力が低下すると、インクカートリッジ３から導入針部２０の液体導入孔２１を介して導入針流路１５ａ内にインクが導入される。導入針流路１５ａに導入されたインクは、水平流路１５ｂおよび円形流路１５ｃを流れ、仕切板２３の上面に当たって分散された状態で各流入口２２に流入する。すなわち、特定の流入口２２に集中することを防止できる。そして、流入口２２に流入したインクは、溝部２４を流下し、フィルター室１９を介して記録ヘッド２側に送られる（図４の黒矢印参照）。
【００３７】
ここで、流路を流れる液体には、上流側と下流側との間に、その部分の流路抵抗と液体の流量に比例した圧力差が生じることが知られている。このため、流路の径が比較的小さく、流路抵抗が大きい溝部２４には、インクの流れによって上流側と下流側との間に圧力差が生じる。すなわち、気泡室１７内の下方が上方に比べて低圧になる。これにより、気泡室１７内の気泡Ｂはフィルター室１９側に移動し（図４の白矢印参照）、インクの流れに乗ってノズル４０から排出される。なお、記録動作時は、クリーニング動作時に比べてノズル４０から排出するインクの量が少なく、溝部２４を流れるインクの量も少ないため、クリーニング動作時に比べて生じる圧力差は小さい。これにより、記録動作時においては、気泡の記録ヘッド２側への排出が抑制される。
【００３８】
そして、上記構成によれば、液体導入流路１５を流れるインクは、分散された状態で流入口２２のみから気泡室１７内に流入するため、気泡室１７内においてインクが流下する部分の流路抵抗のばらつきを抑えることができる。これにより、クリーニング動作時において、安定して気泡を排出することができる。特に本実施形態では、気泡室１７に溝部２４を設け、その上端部を流入口２２としたので、流入口２２から流入したインクを溝部２４内で流下させることができる。これにより、インクが流下する部分の流路抵抗のばらつきを一層抑えることができる。その結果、クリーニング動作時において、より安定して気泡を排出することができる。また、インクの流下する溝部２４に気泡が入り込むことを抑制でき、記録動作時において気泡が記録ヘッド２側へ流入することを抑制できる。さらに本実施形態では、仕切板２３の面方向に沿った水平流路１５ｂを備えているが、この水平流路１５ｂに沿って流れてきたインクが気泡室１７に流入する場合であっても、仕切板２３による分散機能とその外縁に臨ませて開設された流入口２２のは位置により、気泡室１７内における流れの偏りを抑制でき、インクが流下する部分の流路抵抗のばらつきを抑えることができる。
【００３９】
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、気泡室に溝部を設け、その上端部を流入口としたが、これには限らず、溝部を設けずに流入口を設ける構成でも良い。溝部を設けない場合は、例えば、仕切板の外縁部の一部を内側に切り欠いて流入口を設けることができる。これにより、気泡室内へのインクの流入が流入口からの流入に限られ、インクが流下する領域を安定させることができ、インクが流下する部分の流路抵抗のばらつきを抑えることができる。また、上記実施形態では、気泡室と導入針流路の間に仕切板の面方向に沿った水平流路を設けてインクの流れの方向をほぼ直角に屈曲させたが、これには限らず、水平流路を設けずに気泡室の上方に導入針流路を設けて直線状にインクを流下させても良い。
【００４０】
そして、本発明は、圧力発生手段を用いて液体の噴射制御が可能な液体噴射装置であれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。そして、ディスプレイ製造装置では、色材噴射ヘッドからＲ（Ｒｅｄ）・Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）・Ｂ（Ｂｌｕｅ）の各色材の溶液を噴射する。また、電極製造装置では、電極材噴射ヘッドから液状の電極材料を噴射する。チップ製造装置では、生体有機物噴射ヘッドから生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００４１】
１…プリンター，２…記録ヘッド，３…インクカートリッジ，４…キャリッジ，５…記録紙，６…キャリッジ移動機構，７…プラテン，８…搬送機構，９…ガイドロッド，１０…リニアエンコーダー，１１…キャッピング部材，１２…ワイパー部材，１４…液体導入ユニット，１５…液体導入流路，１５ａ…導入針流路，１５ｂ…水平流路，１５ｃ…円形流路，１７…気泡室，１８…フィルター，１９…フィルター室，２０…導入針部，２１…液体導入孔，２２…流入口，２３…仕切板，２４…溝部，２６…ヘッドケース，２７…振動子ユニット，２８…流路ユニット，２９…収容空部，３０…ケース流路，３１…リザーバー，３２…圧電振動子，３３…フレキシブルケーブル，３４…固定板，３５…流路形成基板，３６…ノズルプレート，３７…振動板，３８…インク供給口，３９…圧力室，４０…ノズル，４２…支持板，４３…弾性体膜，４４…ダイヤフラム部，４５…コンプライアンス部，４６…島部
【図１】
0005994234.tif 000002
【図２】
0005994234.tif 000003
【図３】
0005994234.tif 000004
【図４】
0005994234.tif 000005
【図５】
0005994234.tif 000006
【図６】
0005994234.tif 000007