(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有するワークを搬送する搬送部を含む搬送ユニットが、該ワークの搬送方向に離間して複数連設され、
前記複数の搬送ユニットの連設部分には、搬送時の前記ワークの高さより上方に、搬送方向の位置を異にして複数、該ワークを吸引する吸引部が配され、
複数の前記吸引部における前記ワークに対する吸引力が生じる吸引面は、搬送方向の下流側に配された吸引部の方が、搬送方向の上流側に配された吸引部よりも鉛直方向に高いことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
可撓性を有するワークを搬送する搬送部を含む搬送ユニットが、該ワークの搬送方向に離間して複数連設され、
前記複数の搬送ユニットの連設部分には、搬送時の前記ワークの高さより上方に、前記搬送部の対向方向の位置を異にして複数、該ワークを吸引する吸引部が配され、
前記吸引部における前記ワークに対する吸引力が生じる吸引面は、水平かつ搬送方向に垂直な方向において、中央側の高さが低く、外側の高さが高いことを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
可撓性を有するワークを搬送する搬送部を含む搬送ユニットが、該ワークの搬送方向に離間して複数連設され、
前記複数の搬送ユニットの連設部分には、搬送時の前記ワークの高さより上方に、該ワークを吸引する吸引部と、
前記吸引部近傍に配され、搬送時の前記ワークの少なくとも搬送方向の下流側の端部について、鉛直方向の高さを検出する位置検出部と、
前記位置検出部が検出した鉛直方向の高さに応じ、該鉛直方向の高さが低いほど、前記ワークに対する吸引力を強くするよう前記吸引部を制御する吸引制御部と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
可撓性を有するワークを搬送する搬送部と、
前記複数の搬送部の搬送方向の前方または後方の少なくとも一方において、搬送時の前記ワークの高さより上方に、搬送方向の位置を異にして複数配置され、前記ワークを吸引する吸引部と、
を備え、
複数の前記吸引部における前記ワークに対する吸引力が生じる吸引面は、搬送方向の下流側に配された吸引部の方が、搬送方向の上流側に配された吸引部よりも鉛直方向に高いことを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
可撓性を有するワークを搬送する搬送部と、
前記複数の搬送部の搬送方向の前方または後方の少なくとも一方において、搬送時の前記ワークの高さより上方に、前記搬送部の対向方向の位置を異にして複数配置され、前記ワークを吸引する吸引部と、
を備え、
前記吸引部における前記ワークに対する吸引力が生じる吸引面は、水平かつ搬送方向に垂直な方向において、中央側の高さが低く、外側の高さが高いことを特徴とする搬送装置。
【請求項６】
可撓性を有するワークを搬送する搬送部と、
前記複数の搬送部の搬送方向の前方または後方の少なくとも一方において、搬送時の前記ワークの高さより上方に配置され、前記ワークを吸引する吸引部と、
前記吸引部近傍に配され、搬送時の前記ワークの少なくとも搬送方向の下流側の端部について、鉛直方向の高さを検出する位置検出部と、
前記位置検出部が検出した鉛直方向の高さに応じ、該鉛直方向の高さが低いほど、前記ワークに対する吸引力を強くするよう前記吸引部を制御する吸引制御部と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。
【請求項７】
前記吸引部は、前記ワーク表面に気体を噴き付けて当該ワーク表面に負圧を生じさせるベルヌーイチャック機構で構成されることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記吸引部における前記ワークに対する吸引力が生じる吸引面は、搬送方向の下流側の方が上流側よりも鉛直方向に高くなるように傾斜していることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記ワークの通過を検出する通過検出部と、
前記通過検出部が検出した前記ワークの通過タイミングに応じ、前記ワークが前記吸引部近傍を通過する間、前記吸引部を稼動させ、前記ワークが前記吸引部近傍を通過していない間、該吸引部を休止させるよう、該吸引部を制御する吸引制御部と、
を備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、板ガラス等の薄板状のワークの搬送には、例えば、コンベアが用いられている。コンベアは、長距離搬送や、搬送距離の変更に対応するため、搬送方向に複数連設して配されることがある。この場合、コンベアの端部には、回転体（プーリ）が位置するので、コンベアの搬送面を維持することができず、連設部分においてワークとコンベアの接触が途切れる部分が生じる。搬送中のワークが、この途切れた部分を乗り越えてコンベア間を乗り継ぐとき、ワークの搬送方向の下流側の端部（先端部分）が鉛直下方に湾曲し、垂下してしまう。
【０００３】
このようなワークの先端部分の垂下を抑制するため、連設部分において噴出部が気体を噴出してワークを浮上させる搬送装置が提案されている（例えば、特許文献１）。また、乗り継ぎにおいて垂下したワークの先端部分が下流側の搬送装置に到達したときの高さ位置に、ワークを鉛直下方から支持するローラを配した搬送装置も提案されている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４５０１７１３号
【特許文献２】特開２００９−２９２６４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
装置間の乗り継ぎにおいて、上記のようにワークの先端部分の垂下が生じると、ワークの先端部分が、搬送方向の下流側の搬送装置に衝突してしまい、ワークに傷を与えてしまうおそれがある。また、ワークの先端部分に限らず、ワークの搬送方向の上流側の端部も同様に、垂下によって衝突する可能性を否定できない。
【０００６】
特許文献１、２に記載の搬送装置のように、上記の連設部分において、鉛直下方からワークの端部を支える機構を設ける場合、垂下の仕方によっては、この機構自体が、ワークの端部が衝突する障害物となりかねない。
【０００７】
本発明の目的は、装置間の乗り継ぎにおけるワークとの衝突を回避し、安定した搬送が可能な搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の搬送装置は、可撓性を有するワークを搬送する搬送部を含む搬送ユニットが、ワークの搬送方向に離間して複数連設され、複数の搬送ユニットの連設部分には、搬送時のワークの高さより上方に、搬送方向の位置を異にして複数、ワークを吸引する吸引部が配され、複数の吸引部におけるワークに対する吸引力が生じる吸引面は、搬送方向の下流側に配された吸引部の方が、搬送方向の上流側に配された吸引部よりも鉛直方向に高いことを特徴とする。
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の他の搬送装置は、可撓性を有するワークを搬送する搬送部を含む搬送ユニットが、ワークの搬送方向に離間して複数連設され、複数の搬送ユニットの連設部分には、搬送時のワークの高さより上方に、搬送部の対向方向の位置を異にして複数、ワークを吸引する吸引部が配され、吸引部におけるワークに対する吸引力が生じる吸引面は、水平かつ搬送方向に垂直な方向において、中央側の高さが低く、外側の高さが高いことを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明の他の搬送装置は、可撓性を有するワークを搬送する搬送部を含む搬送ユニットが、ワークの搬送方向に離間して複数連設され、複数の搬送ユニットの連設部分には、搬送時のワークの高さより上方に、ワークを吸引する吸引部と、吸引部近傍に配され、搬送時のワークの少なくとも搬送方向の下流側の端部について、鉛直方向の高さを検出する位置検出部と、位置検出部が検出した鉛直方向の高さに応じ、鉛直方向の高さが低いほど、ワークに対する吸引力を強くするよう吸引部を制御する吸引制御部と、を備えることを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明の他の搬送装置は、可撓性を有するワークを搬送する搬送部と、複数の搬送部の搬送方向の前方または後方の少なくとも一方において、搬送時のワークの高さより上方に、搬送方向の位置を異にして複数配置され、ワークを吸引する吸引部と、を備え、複数の吸引部におけるワークに対する吸引力が生じる吸引面は、搬送方向の下流側に配された吸引部の方が、搬送方向の上流側に配された吸引部よりも鉛直方向に高いことを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明の他の搬送装置は、可撓性を有するワークを搬送する搬送部と、複数の搬送部の搬送方向の前方または後方の少なくとも一方において、搬送時のワークの高さより上方に、搬送部の対向方向の位置を異にして複数配置され、ワークを吸引する吸引部と、を備え、吸引部におけるワークに対する吸引力が生じる吸引面は、水平かつ搬送方向に垂直な方向において、中央側の高さが低く、外側の高さが高いことを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明の他の搬送装置は、可撓性を有するワークを搬送する搬送部と、複数の搬送部の搬送方向の前方または後方の少なくとも一方において、搬送時のワークの高さより上方に配置され、ワークを吸引する吸引部と、吸引部近傍に配され、搬送時のワークの少なくとも搬送方向の下流側の端部について、鉛直方向の高さを検出する位置検出部と、位置検出部が検出した鉛直方向の高さに応じ、鉛直方向の高さが低いほど、ワークに対する吸引力を強くするよう吸引部を制御する吸引制御部と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
吸引部は、ワーク表面に気体を噴き付けて当該ワーク表面に負圧を生じさせるベルヌーイチャック機構で構成されてもよい。
【００１１】
吸引部におけるワークに対する吸引力が生じる吸引面は、搬送方向の下流側の方が上流側よりも鉛直方向に高くなるように傾斜していてもよい。
【００１５】
ワークの通過を検出する通過検出部と、通過検出部が検出したワークの通過タイミングに応じ、ワークが吸引部近傍を通過する間、吸引部を稼動させ、ワークが吸引部近傍を通過していない間、吸引部を休止させるよう、吸引部を制御する吸引制御部と、を備えてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、装置間の乗り継ぎにおけるワークとの衝突を回避し、安定した搬送が遂行できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１の実施形態における搬送装置の構造を説明するための説明図である。
【図２】従来のワークの乗り継ぎを説明するための説明図である。
【図３】第１の実施形態の搬送装置におけるワークの乗り継ぎを説明するための説明図である。
【図４】位置検出部および通過検出部の制御を説明するためのブロック図である。
【図５】第１変形例および第２変形例を説明するための説明図である。
【図６】第３変形例を説明するための説明図である。
【図７】第２の実施形態における搬送装置の構造を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。
【００１９】
本実施形態の搬送装置は、薄板状のワークを搬送するものであり、ここでは、板厚０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ程度の可撓性を有するガラス板をワークとして搬送する搬送装置について説明する。
【００２０】
図１は、第１の実施形態における搬送装置の構造を説明するための説明図である。特に、図１（ａ）は、搬送装置１００の上面図を示し、図１（ｂ）は、搬送装置１００の正面図を示し、図１（ｃ）は、搬送装置１００の側面図を示す。
【００２１】
図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、搬送装置１００は、複数（本実施形態では２つ）の搬送ユニット１００ａが、ワークの搬送方向（矢印Ｘで示す）に離間して複数連設して構成される。ここでは、まず、搬送ユニット１００ａについて詳述する。
【００２２】
搬送ユニット１００ａは、回転体１１０と、搬送部１１２と、突起部１１４と、浮上部１１６とを含んで構成される。
【００２３】
回転体１１０は、中央に貫通孔を有する環状部材であって、搬送方向に複数（本実施形態では２つ）配置される。また、回転体１１０は、水平かつ搬送方向に垂直な方向に対向して複数（本実施形態では２つ）配置され、それぞれシャフト１１０ａと一体となって回転する。したがって、回転体１１０の回転軸は、水平かつ搬送方向に垂直となる。
【００２４】
ベース１０２は、搬送ユニット１００ａの土台である。支持脚１０４は、このベース１０２に直立して固定されている。そして、支持脚１０４の上部には貫通孔１０４ａが設けられている。シャフト１１０ａは、この貫通孔１０４ａの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。
【００２５】
搬送方向の上流側に配された２本のシャフト１１０ａの他端には、プーリ１１０ｂが取り付けられている。プーリ１１０ｂは、シャフト１１０ａと一体となって回転する。支持脚１０４の下部にも貫通孔１０４ｂが設けられており、シャフト１１０ｃは、対向する貫通孔１０４ｂの両方に挿通され、貫通孔１０４ｂの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。
【００２６】
シャフト１１０ｃにも、プーリ１１０ｄが取り付けられており、プーリ１１０ｄは、シャフト１１０ｃと一体となって回転する。ベルト１１０ｅは、鉛直上方に位置するプーリ１１０ｂと鉛直下方に位置するプーリ１１０ｄによって無端状に張架され、プーリ１１０ｄの回転力をプーリ１１０ｂに伝達する。
【００２７】
シャフト１１０ｃの一端には、軸継手１１０ｆが設けられる。軸継手１１０ｆのうち、シャフト１１０ｃの逆側には、モータ等の駆動装置１１０ｇのシャフトの一端が嵌入される。シャフト１１０ｃには、軸継手１１０ｆによって駆動装置１１０ｇの回転力が伝達される。
【００２８】
回転体１１０は、このような機構によって駆動装置１１０ｇの回転力が伝達されて回転する。ここでは、１つの駆動装置１１０ｇが回転体１１０を回転させる構成を例に挙げたが、例えば、複数の駆動装置１１０ｇが同期して回転体１１０を回転させるとしてもよい。また、ここでは、プーリ１１０ｂ、１１０ｄが、回転体１１０の対向方向の内側に配される構成を例に挙げたが、回転体１１０の対向方向の外側に配されてもよい。
【００２９】
搬送部１１２は、例えばベルトで構成され、複数の回転体１１０によって無端状に張架されて、回転体１１０の回転に伴って、図１（ｃ）に示す矢印Ｙの方向に移動する。図１（ａ）に示すように、搬送部１１２は、搬送方向に平行に複数（本実施形態では２つ）、対向配置される。
【００３０】
突起部１１４は、例えば樹脂等で構成され、搬送部１１２の表面に複数配されてワークを接触支持する。搬送部１１２は、矢印Ｙの方向に移動することで、突起部１１４に接触支持されたワークを矢印Ｘの方向に搬送する。
【００３１】
浮上部１１６は、例えば、圧縮空気を噴出する噴出装置等で構成され、搬送方向に平行に配置された複数の搬送部１１２間のベース１０２上に載置されている。浮上部１１６は、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークの一部を浮上させる。
【００３２】
具体的には、ワークを突起部１１４で接触支持した状態で、浮上部１１６が気体（圧縮空気）を噴出して鉛直上方への気体の流れを生じさせると、浮上部１１６とワークの間の空気の圧力が高まる。ワークは、搬送中、この空気の圧力による鉛直上方への力と、ワークの自重に対する突起部１１４からの反力で支持されることとなる。
【００３３】
このとき、浮上部１１６は、ワークを支持する空気の圧力として、圧縮空気の噴出方向の動圧ではなく、ワークの下方の空間が狭く四方に分散しようとする空気の動きが抑制された結果生じる静圧を利用するため、少ない動力でワークを支持可能となる。
【００３４】
図２は、従来のワークＷの乗り継ぎを説明するための説明図である。特に、図２（ａ）は、従来の搬送装置１の上面図を示し、図２（ｂ）は、搬送装置１の側面図を示し、図２（ｃ）は、従来の他の搬送装置４の側面図を示す。
【００３５】
図２（ｂ）に示すように、搬送装置１を構成する搬送ユニット１ａ間は、搬送部２の突起部３が干渉しないように離間している。つまり、搬送ユニット１ａの連設部分において、突起部３とワークＷの接触が途切れる部分が生じることとなる。この搬送ユニット１ａ間をワークＷが乗り継ぐ際、ワークＷの板厚が薄いと、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、ワークＷの端部Ｗａが鉛直下方に垂下してしまう。
【００３６】
図２（ｃ）に示す他の搬送装置４では、搬送部５に突起部が設置されていないため、搬送部５は、ワークＷに接触しながらワークを搬送する。このような構成の搬送装置４であっても、搬送装置４を構成する２つの搬送ユニット４ａの連設部分に回転体６が配される構造上、搬送部５は回転体６の外形に沿って鉛直方向の高さが低くなる。そのため、搬送装置１と同様、この搬送ユニット４ａ間をワークＷが乗り継ぐ際、ワークＷの端部Ｗａが鉛直下方に垂下してしまう。
【００３７】
そこで、本実施形態の搬送装置１００は、搬送ユニット１００ａの他に、図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、吸引部１２０と、位置検出部１２２と、通過検出部１２４とを備える。
【００３８】
吸引部１２０は、例えば、ワーク表面に気体を噴き付けて当該ワーク表面に負圧を生じさせるベルヌーイチャック機構で構成され、複数の搬送ユニット１００ａの連設部分であって、搬送時のワークＷの高さより上方に配されて、ワークＷを吸引する。
【００３９】
搬送ユニット１００ａの連設部分には、例えば、搬送方向に垂直に対向して２つの支持脚１２０ａが設けられている。支持脚１２０ａの上部には、支持脚１２０ａの対向方向に渡された橋部材１２０ｂが固定されている。吸引部１２０には、この橋部材１２０ｂに、搬送部１１２の対向方向の位置を異にして複数、本実施形態においては３つ、吸引部１２０におけるワークＷに対する吸引力が生じる吸引面が鉛直下方に向けて固定されている。
【００４０】
図３は、第１の実施形態の搬送装置１００におけるワークＷの乗り継ぎを説明するための説明図である。特に、図３（ａ）は、搬送装置１００の上面図を示し、図３（ｂ）は、搬送装置１００の側面図を示し、図３（ｃ）は、搬送装置１００の正面図を示す。ただし、理解を容易とするため、図３（ｂ）では、支持脚１２０ａの図示を省略する。
【００４１】
ワークＷの搬送ユニット１００ａ間の乗り継ぎにおいて、それぞれの搬送ユニット１００ａの搬送部１１２の間では、図３（ｂ）に示すように、吸引部１２０がワークＷの端部Ｗａを非接触なままに、鉛直上方に吸引している。
【００４２】
このように、本実施形態の搬送装置１００は、搬送ユニット１００ａの連設部分において、吸引部１２０がワークＷの端部Ｗａを吸引するため、ワークＷの端部Ｗａが鉛直下方に垂下し難い。また、万が一、ワークＷの端部Ｗａが鉛直下方に垂下してしまったとしても、吸引部１２０は、ワークＷに対して、鉛直下方ではなく鉛直上方に位置することから、ワークＷに衝突しない。そのため、搬送装置１００は、装置間の乗り継ぎにおいて、ワークＷの端部Ｗａの衝突を回避可能となる。
【００４３】
特にベルヌーイチャック機構は、強力な吸引力によってワークＷを吸引面に垂直な方向の位置を維持できるものの、吸引面に水平な方向には維持力を有さない。ワークＷを所定の位置でチャックする場合、後者の特性は不利に働く場合があるが、本実施形態では、かかる特性をむしろ積極的に利用する。すなわち、吸引部１２０によって吸引されたワークＷは、吸引面におおよそ垂直な鉛直方向の位置が維持されつつ、おおよそ水平な搬送方向には自由に移動可能な状態となる。そのため、搬送装置１００は、ワークＷの端部Ｗａを、鉛直方向に高い位置に安定的に維持しつつ、水平方向に搬送することが可能となる。
【００４４】
位置検出部１２２は、例えば、赤外線センサ等で構成され、本実施形態においては橋部材１２０ｂに配されて、搬送時のワークＷの少なくとも搬送方向の下流側の端部Ｗａについて、鉛直方向の高さを検出する。位置検出部１２２は１つであってもよいが、本実施形態の搬送装置１００は、位置検出部１２２を２つ備えるため、その平均値を用いることで測定誤差を抑制できる。
【００４５】
通過検出部１２４は、例えば、赤外線センサ等で構成される。通過検出部１２４は、一端が橋部材１２０ｂに固定された支持棒１２４ａの他端に固定され、吸引部１２０より上流側の位置におけるワークＷの通過を検出する。
【００４６】
図４は、位置検出部１２２および通過検出部１２４の制御を説明するためのブロック図である。図４に示すように、位置検出部１２２および通過検出部１２４による検出結果は、吸引制御部１２６に出力される。
【００４７】
吸引制御部１２６は、位置検出部１２２が検出した鉛直方向の高さに応じ、鉛直方向の高さが低いほど、ワークＷに対する吸引力を強くするよう吸引部１２０を制御する。
【００４８】
このように、吸引制御部１２６が吸引部１２０の吸引力を制御することで、端部Ｗａが鉛直下方に垂下しやすいワークＷについては吸引力を強く、垂下しにくいワークＷについては吸引力を弱くすることで、吸引部１２０はワークＷの端部Ｗａの鉛直方向の位置を安定的に高く維持できる。このような位置検出部１２２および吸引制御部１２６による吸引力制御処理は、ワークＷ搬送中、随時遂行されてもよいし、例えばワークＷの種類が変更したときなどに、ユーザの操作入力に応じて行われてもよい。
【００４９】
また、吸引制御部１２６は、通過検出部１２４が検出したワークＷの通過タイミングに応じ、ワークＷが吸引部１２０近傍を通過する間、吸引部１２０を稼動させ、ワークＷが吸引部１２０近傍を通過していない間、吸引部１２０を休止させるよう、吸引部１２０を制御する。
【００５０】
吸引制御部１２６によって吸引部１２０を休止させる構成により、搬送装置１００は、吸引部１２０による無駄なエネルギー消費を抑制し、運用コストを低減できる。
【００５１】
（第１変形例）
図５は、第１変形例および第２変形例を説明するための説明図であって、図３（ｂ）に対応する側面図である。特に、図５（ａ）は、第１変形例を示し、図５（ｂ）は、第２変形例を示す。
【００５２】
図５（ａ）に示すように、第１変形例における吸引部１２０の吸引面は、搬送方向の下流側の方が上流側よりも鉛直方向に高くなるように傾斜している。
【００５３】
このように吸引面を傾斜させる構成により、搬送装置１００は、ワークＷの端部Ｗａを鉛直方向により高く引き上げることができる。また、端部Ｗａの鉛直下面が、傾斜しつつも搬送方向の下流側に面するように起き上がるため、ワークＷは、鉛直下面側から下流側の搬送装置１００の突起部１１４に滑らかに乗り継ぐことが可能となる。
【００５４】
（第２変形例）
図５（ｂ）に示すように、第２変形例における吸引部１２０は、搬送方向の位置を異にして複数配され、複数の吸引部１２０における吸引面は、搬送方向の下流側に配された吸引部１２０の方が、搬送方向の上流側に配された吸引部１２０よりも鉛直方向に高い。
【００５５】
かかる構成により、搬送装置１００は、１つの吸引部１２０を配するよりも高い位置までワークＷの端部Ｗａを鉛直上方向に引き上げることができ、搬送ユニット１００ａの間の距離が離れていても、ワークＷの端部Ｗａを、下流側の搬送ユニット１００ａに衝突しないように、十分な高さまで持ち上げることが可能となる。
【００５６】
（第３変形例）
図６は、第３変形例を説明するための説明図であって、図３（ｃ）に対応する正面図である。第３変形例の橋部材１２０ｂは、支持脚１２０ａの対向方向の中央側において鉛直方向の高さが低くなっている。そして、支持脚１２０ａには、３つの吸引部１２０が配され、その吸引面が、水平かつ搬送方向に垂直な方向において、中央側の高さが低く、外側の高さが高い。すなわち、それぞれ、搬送時のワークＷの鉛直下方へ凹む撓み形状に沿うように、吸引部１２０の姿勢が維持されている。
【００５７】
かかる構成により、搬送装置１００は、例えば、浮上部１１６による浮上力を意図的に弱めワークＷの中央部分を積極的に鉛直下方に凹ませて、ワークＷの剛性を高めた状態でワークＷを搬送しつつ、装置間の乗り継ぎにおけるワークＷの端部Ｗａの垂下も抑制可能となる。
【００５８】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態の搬送装置２００における、吸引部２２０、支持脚２２０ａ、および橋部材２２０ｂについて説明する。第２の実施形態では、上記第１の実施形態と、吸引部２２０、支持脚２２０ａ、および橋部材２２０ｂのみが異なる。したがって、ここでは上記第１の実施形態と同じ構成については説明を省略し、構成が異なる吸引部２２０、支持脚２２０ａ、および橋部材２２０ｂについてのみ説明する。
【００５９】
図７は、第２の実施形態における搬送装置２００の構造を説明するための説明図である。特に、図７（ａ）は、搬送装置２００の上面図を示し、図７（ｂ）は、搬送装置２００の正面図を示し、図７（ｃ）は、搬送装置２００の側面図を示す。
【００６０】
第１の実施形態では、複数の搬送ユニット１００ａの間に吸引部１２０を配した。本実施形態では、搬送装置２００は、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、１の搬送ユニット２００ａのみで構成され、吸引部２２０、支持脚２２０ａ、および橋部材２２０ｂは、搬送部１１２の搬送方向の前方または後方の少なくとも一方に配される。吸引部２２０は、搬送時のワークの高さより上方に位置する。吸引部２２０、支持脚２２０ａ、および橋部材２２０ｂは、その配置以外は、吸引部１２０、支持脚１２０ａ、および橋部材１２０ｂと同様の構成である。そして、吸引部２２０、支持脚２２０ａ、および橋部材２２０ｂに対して、搬送ユニット２００ａと逆側に他の装置が配置される。
【００６１】
搬送装置２００は、他の装置から搬送装置２００への乗り継ぎ、または搬送装置２００から他の装置への乗り継ぎにおいて、吸引部２２０がワークＷの端部Ｗａを吸引するため、鉛直下方に垂下し難い。また、万が一、ワークＷの端部Ｗａが鉛直下方に垂下してしまったとしても、吸引部２２０は、ワークＷに対して、鉛直下方ではなく鉛直上方に位置することから、ワークＷに衝突することはない。そのため、搬送装置２００は、装置間の乗り継ぎにおいて、ワークＷの端部Ｗａの衝突を回避可能となる。
【００６２】
上述した実施形態では、搬送装置１００、２００は、ワークＷを浮上させて搬送する構成を例に挙げたが、例えば、ワークＷを搬送方向に複数配されたローラに載置して搬送する構成であってもよい。
【００６３】
また、上述した実施形態では、吸引部１２０、２２０をベルヌーイチャック機構としたが、例えば、真空ポンプ、エゼクタ、ブロア等であってもよい。
【００６４】
また、上述した実施形態では、位置検出部１２２および通過検出部１２４の両方を備える構成を例に挙げたが、いずれか一方ののみを備える構成であってもよい。
【００６５】
また、第２変形例のように、吸引部１２０が搬送方向の位置を異にして複数配され、複数の吸引部１２０における吸引面は、搬送方向の下流側に配された吸引部１２０の方が、搬送方向の上流側に配された吸引部１２０よりも鉛直方向に高い構成であって、かつ、それぞれの吸引部１２０に関し、第１変形例のように、吸引部１２０の吸引面に関し、搬送方向の下流側の方が上流側よりも鉛直方向に高くなるように傾斜する構成であってもよい。
【００６６】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００６８】
１００  …搬送装置
１００ａ  …搬送ユニット
１１２  …搬送部
１２０  …吸引部
１２２  …位置検出部
１２４  …通過検出部
１２６  …吸引制御部
Ｗ     …ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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