(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板部材と、前記円板部材の外周面に外嵌された環状の砥石部材と、を備えた研削砥石であって、
前記円板部材には、前記円板部材の側面の外周縁部に開口した吐出口と、前記吐出口に対して前記円板部材の側面の前記外周縁部より径方向の内側に開口した流入口とを備えた第一給液孔および第二給液孔が形成されており、
前記第一給液孔の前記流入口は前記円板部材の一方の側面に配置され、前記第一給液孔の前記吐出口は前記円板部材の他方の側面に配置され、
前記第二給液孔の前記流入口は前記円板部材の一方の側面に配置され、前記第二給液孔の前記吐出口は前記円板部材の一方の側面に配置されており、
前記円板部材の前記一方の側面には、円環状の研削液供給用溝が同心状で内周側と外周側の二重でそれぞれ別個に形成されており、
一方の前記研削液供給用溝の底面に前記第一給液孔の前記流入口が形成され、他方の前記研削液供給用溝の底面に前記第二給液孔の前記流入口が形成されている
ことを特徴とする研削砥石。
【請求項２】
前記第一給液孔は、前記一方の研削液供給用溝の底面から前記他方の側面の外周縁部に延在する直線状の貫通孔にて構成され、
前記第二給液孔は、前記一方の外周縁部から前記円板部材の中心側に傾斜して延在する直線状の第一の穴と、前記他方の研削液供給用溝の底面から前記円板部材の外周側に傾斜して延在する直線状の第二の穴とが連通してなる屈曲貫通孔にて構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の研削砥石。
【請求項３】
円板部材と、前記円板部材の外周面に外嵌された環状の砥石部材と、を備えた研削砥石と、前記研削砥石に研削液を供給する供給装置とを有する研削装置であって、
前記円板部材には、前記円板部材の側面の外周縁部に開口した吐出口と、前記吐出口に対して前記円板部材の側面の前記外周縁部より径方向の内側に開口した流入口とを備えた第一給液孔および第二給液孔が形成されており、
前記第一給液孔の前記流入口は前記円板部材の一方の側面に配置され、前記第一給液孔の前記吐出口は前記円板部材の他方の側面に配置され、
前記第二給液孔の前記流入口は前記円板部材の一方の側面に配置され、前記第二給液孔の前記吐出口は前記円板部材の一方の側面に配置され、
前記円板部材の前記一方の側面には、円環状の研削液供給用溝が形成されて、
前記第一給液孔の前記流入口および前記第二給液孔の前記流入口は、前記研削液供給用溝内に開口しており、
前記供給装置は、前記研削液供給用溝に対向する噴出口を備えた給液流路と、前記噴出口の周囲に設けられ前記研削液供給用溝の溝開口部の幅方向全体に対向する壁部とを備えている
ことを特徴とする研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円板部材に環状の砥石部材が外嵌された研削砥石および研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
加工面を研削するための研削砥石としては、円板部材の外周面に環状の砥石部材を外嵌させたものがある（例えば、特許文献１参照）。
このような研削砥石では、円板部材の円中心を回転中心として回転させ、砥石部材の外周面を加工面に接触させることで、加工面を研削することができる。また、加工面が凹形状である場合には、砥石部材の側面によって加工面を研削することもできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−３１６７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記した従来の研削砥石では、砥石部材の側面と加工面との間に研削液が浸入し難いため、加工面の温度が過度に上昇し易くなっている。そこで、高圧かつ大量の研削液を砥石部材の側面と加工面との間に吹き付けることで、砥石部材の側面と加工面との間に研削液を浸入させているが、研削液の供給量を多く必要とするとともに、ミストの発生が多くなるという問題がある。
【０００５】
本発明は、前記した課題を解決し、研削液の供給量およびミストの発生を低減することができる研削砥石および研削装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明は、円板部材と、前記円板部材の外周面に外嵌された環状の砥石部材と、を備えた研削砥石であって、前記円板部材には、前記円板部材の側面の外周縁部に開口した吐出口と、前記吐出口に対して前記円板部材の側面の前記外周縁部より径方向の内側に開口した流入口とを備えた第一給液孔および第二給液孔が形成されており、前記第一給液孔の前記流入口は前記円板部材の一方の側面に配置され、前記第一給液孔の前記吐出口は前記円板部材の他方の側面に配置され、前記第二給液孔の前記流入口は前記円板部材の一方の側面に配置され、前記第二給液孔の前記吐出口は前記円板部材の一方の側面に配置されており、前記円板部材の前記一方の側面には、円環状の研削液供給用溝が同心状で内周側と外周側の二重でそれぞれ別個に形成されており、一方の前記研削液供給用溝の底面に前記第一給液孔の前記流入口が形成され、他方の前記研削液供給用溝の底面に前記第二給液孔の前記流入口が形成されていることを特徴とする研削砥石である。
【０００７】
なお、一方の側面とは、側面に形成される溝の表面も含む。このような構成によれば、研削砥石に研削液を供給する供給装置は円板部材の一方の側面側に設ければ済むので、研削液の飛散量を低減でき、研削液の供給量およびミストの発生を低減することができる。さらに、供給装置の設置スペースを低減できるので、研削装置全体の小型化を図ることができる。また、研削液に遠心力や重力が作用しても研削液供給用溝の周壁で堰き止めることができるので、研削液を流入口に効率的に誘導することができる。さらに、一方の研削液供給用溝の底面に第一給液孔の流入口が形成され、他方の研削液供給用溝の底面に第二給液孔の流入口が形成されているので、研削液の供給を行う研削液供給用溝を適宜選択すれば、円板部材の両面への研削液供給と、片面への研削液供給とを選択することができる。
【０００８】
請求項２に係る発明は、前記第一給液孔は、前記一方の研削液供給用溝の底面から前記他方の側面の外周縁部に延在する直線状の貫通孔にて構成され、前記第二給液孔は、前記一方の外周縁部から前記円板部材の中心側に傾斜して延在する直線状の第一の穴と、前記他方の研削液供給用溝の底面から前記円板部材の外周側に傾斜して延在する直線状の第二の穴とが連通してなる屈曲貫通孔にて構成されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係る発明は、円板部材と、前記円板部材の外周面に外嵌された環状の砥石部材と、を備えた研削砥石と、前記研削砥石に研削液を供給する供給装置とを有する研削装置であって、前記円板部材には、前記円板部材の側面の外周縁部に開口した吐出口と、前記吐出口に対して前記円板部材の側面の前記外周縁部より径方向の内側に開口した流入口とを備えた第一給液孔および第二給液孔が形成されており、前記第一給液孔の前記流入口は前記円板部材の一方の側面に配置され、前記第一給液孔の前記吐出口は前記円板部材の他方の側面に配置され、前記第二給液孔の前記流入口は前記円板部材の一方の側面に配置され、前記第二給液孔の前記吐出口は前記円板部材の一方の側面に配置され、前記円板部材の前記一方の側面には、円環状の研削液供給用溝が形成されて、前記第一給液孔の前記流入口および前記第二給液孔の前記流入口は、前記研削液供給用溝内に開口しており、前記供給装置は、前記研削液供給用溝に対向する噴出口を備えた給液流路と、前記噴出口の周囲に設けられ前記研削液供給用溝の溝開口部の幅方向全体に対向する壁部とを備えていることを特徴とする研削装置である。
【００１１】
このような構成によれば、供給装置は円板部材の一方の側面側のみに設けられているので、研削液の飛散量を低減でき、研削液の供給量およびミストの発生を低減することができる。さらに、供給装置の設置スペースを低減でき、研削装置全体の小型化を図ることができる。また、供給装置は、研削液供給用溝の開口端の幅方向全体に対向する壁部を備えているので、研削液供給用溝内で反射した研削液が飛散するのを抑制でき、研削液をより一層効率的に流入口へ誘導できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の研削砥石によれば、研削液の供給量およびミストの発生を低減することができるとともに、研削装置全体の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第一実施形態に係る研削装置を示した側面図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る研削装置を示した図で、図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る供給装置の変形例を示した断面図である。
【図４】本発明の第二実施形態に係る研削装置を示した側面図である。
【図５】本発明の第二実施形態に係る研削装置を示した図で、図４のＢ−Ｂ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
なお、各実施形態の説明において、同一の構成要素に関しては同一の符号を付し、重複した説明は省略するものとする。
【００１５】
（第一実施形態）
図１に示すように、第一実施形態に係る研削装置１は、研削砥石２と供給装置３とを有してなる。供給装置３は、研削砥石２に研削液を供給する装置である。研削砥石２は、円板部材１０と、円板部材１０の外周面１０Ｃに外嵌された環状の砥石部材２０と、を備えている。
【００１６】
円板部材１０は、図示しない回転軸が中心部に連結されることで、円中心を回転中心として回転する部材である。この円板部材１０は、鋼材などを用いた金属部品であり、十分な剛性を有している。
【００１７】
図１および図２に示すように、円板部材１０の一方の側面１０Ａには、回転軸を中心とした円環状の研削液供給用溝１５，１５が二重に形成されている。研削液供給用溝１５，１５は、外側と内側に同心状で配置されている。以下、外側と内側の研削液供給用溝１５，１５を区別する場合は、「外側研削液供給用溝１５ａ」、「内側研削液供給用溝１５ｂ」と称する。
【００１８】
図２に示すように、研削液供給用溝１５は、側面１０Ａの法線方向（円板部材１０の厚さ方向）を深さ方向として形成されている。研削液供給用溝１５は、外周壁面１６ａと内周壁面１６ｂと底面１７とで三方を囲まれており、側面１０Ａの表面部に溝開口部１８が形成されている。底面１７は、側面１０Ａの表面と平行になっている。外周壁面１６ａは、底面１７側から溝開口部１８側に向かうに従って縮径された逆テーパ状の傾斜面にて形成されている。内周壁面１６ｂは、底面１７に対して直交している。つまり、研削液供給用溝１５は、底面１７側に向かうに連れて溝の幅が広がっている。
【００１９】
円板部材１０には、研削液をワーク加工位置Ｐ（図１参照）に供給するための第一給液孔１２ａおよび第二給液孔１２ｂが形成されている。
【００２０】
第一給液孔１２ａは、円板部材１０の側面の外周縁部に開口した吐出口１３ａと、円板部材１０の側面の外周縁部より径方向の内側に開口した流入口１４ａとを備えている。第一給液孔１２ａは、一方の側面１０Ａから他方の側面１０Ｂに直線状に貫通した円形断面の貫通孔にて構成されている。第一給液孔１２ａは、一方の側面１０Ａ側から他方の側面１０Ｂに向かうに従って円板部材１０の径方向外側になるように、円板部材１０の幅方向（図２の左右方向）に対して傾斜している。つまり、第一給液孔１２ａの流入口１４ａが一方の側面１０Ａ（研削液供給用溝１５の表面を含む）に配置され、吐出口１３ａが他方の側面１０Ｂに配置されている。
【００２１】
流入口１４ａは、内側研削液供給用溝１５ｂの底面１７に開口している。流入口１４ａは、内側研削液供給用溝１５ｂの外周壁面１６ａに円板部材１０の中心側から接する位置に配置されている。第一給液孔１２ａの傾斜角度は、内側研削液供給用溝１５ｂの外周壁面１６ａの傾斜角度と一致している。吐出口１３ａは、他方の側面１０Ｂの外周縁部に開口している。
【００２２】
第二給液孔１２ｂは、円板部材１０の側面の外周縁部に開口した吐出口１３ｂと、円板部材１０の側面の外周縁部より径方向の内側に開口した流入口１４ｂとを備えている。第二給液孔１２ｂは、一方の側面１０Ａの外周縁部から円板部材１０の中心側に傾斜して直線状に穿設された第一の穴１２ｂａと、一方の側面１０Ａの径方向内側から外周側に傾斜して直線状に穿設された第二の穴１２ｂｂとを、円板部材１０の内部で連通させた円形断面の屈曲貫通孔にて構成されている。つまり、第二給液孔１２ｂの流入口１４ｂが一方の側面１０Ａ（研削液供給用溝１５の表面を含む）に配置され、吐出口１３ｂが一方の側面１０Ａに配置されており、流入口１４ｂと吐出口１３ｂが同じ側面１０Ａに配置されている。
【００２３】
流入口１４ｂは、外側研削液供給用溝１５ａの底面１７に開口している。流入口１４ｂは、外側研削液供給用溝１５ａの外周壁面１６ａに円板部材１０の中心側から接する位置に配置されている。第二給液孔１２ｂの第二の穴１２ｂｂの傾斜角度は、外側研削液供給用溝１５ａの外周壁面１６ａの傾斜角度と一致している。吐出口１３ａは、一方の側面１０Ａの外周縁部に開口している。
【００２４】
第一給液孔１２ａと第二給液孔１２ｂは、同じ位相（角度位置）で、一対ずつセットで配置されており、複数対が周方向に所定角度ピッチで形成されている（図１参照）。第一給液孔１２ａと第二給液孔１２ｂとは、互いに干渉しないように断面位置が決定されている（図２参照）。
【００２５】
砥石部材２０は、図１に示すように、環状の砥石である。本実施形態では、ＣＢＮ（立方晶窒化ホウ素）砥石を用いているが、その素材は限定されるものではなく、各種公知の砥石を用いることができる。
砥石部材２０の内周面２０Ｃは、円板部材１０の外周面１０Ｃに固着されている。また、図２に示すように、砥石部材２０の幅は、円板部材１０の外周面１０Ｃの幅よりも大きく形成されている。砥石部材２０の両側面２０Ａ，２０Ｂは、円板部材１０の両側面１０Ａ，１０Ｂよりも、両側面１０Ａ，１０Ｂの法線方向（図２の左右方向）にそれぞれ突出している。
【００２６】
図１に示すように、砥石部材２０の両側面２０Ａ，２０Ｂ（図２参照）において、吐出口１３に対応する位置（吐出口１３の径方向外側位置）には、内周面２０Ｃから外周面２０Ｄに亘って矩形断面の凹溝２１が形成されている。
【００２７】
供給装置３は、研削砥石２とワークとの接触位置（ワーク加工位置Ｐ）よりも回転方向の上流側で研削液を一方の側面１０Ａに噴き付けるように構成されている。図２に示すように、供給装置３は、研削液供給用溝１５に対向する噴出口３１を備えた給液流路３０と、噴出口３１の周囲に設けられ研削液供給用溝１５の溝開口部１８の幅方向全体に対向する壁部３２とを備えている。供給装置３は、ブロック状に形成されており、その内部に給液流路３０が貫通して形成されている。供給装置３は、回転軸などを支持するケーシング４から円板部材１０の径方向に延在しており、外側研削液供給用溝１５ａと内側研削液供給用溝１５ｂに交差して、外側研削液供給用溝１５ａの溝開口部１８と内側研削液供給用溝１５ｂの溝開口部１８とを覆っている。なお、供給装置３は、回転軸を支持するベアリングを押えるベアリング押さえ（図示せず）に固定してもよい。
【００２８】
給液流路３０は円形断面に形成されている、給液流路３０の一端は、噴出口３１を構成し、給液流路３０の他端は、研削液の供給源（図示せず）に接続されている。給液流路３０は、研削液を外側研削液供給用溝１５ａに供給するものと、内側研削液供給用溝１５ｂに供給するものの二系統形成されており、これらを区別する場合は、「外側給液流路３０ａ」、「内側給液流路３０ｂ」と称する。
【００２９】
外側給液流路３０ａの噴出口３１は、外側研削液供給用溝１５ａの溝開口部１８の近傍に位置し、側面１０Ａに対向する供給装置３の側面３Ａに開口している。噴出口３１の直径寸法は、溝開口部１８の幅寸法より小さくなっている。噴出口３１の軸中心は、外側研削液供給用溝１５ａの溝開口部１８の幅方向中間部に位置している。噴出口３１は、外側研削液供給用溝１５ａの底面１７に対向している。
【００３０】
内側給液流路３０ｂの噴出口３１は、外側給液流路３０ａの噴出口３１よりも円板部材１０の径方向内側で、内側研削液供給用溝１５ｂの溝開口部１８の近傍に位置している。噴出口３１は、側面１０Ａに対向する供給装置３の側面３Ａに開口している。噴出口３１の直径寸法は、溝開口部１８の幅寸法より小さくなっている。噴出口３１の軸中心は、内側研削液供給用溝１５ｂの溝開口部１８の幅方向中間部に位置している。噴出口３１は、内側研削液供給用溝１５ｂの底面１７に対向している。
【００３１】
壁部３２は、供給装置３の側面３Ａのうち、噴出口３１の周囲に位置し、溝開口部１８に対向する部分にて構成されている。壁部３２は、円板部材１０の側面１０Ａに対して接触しない範囲で接近しており、噴出口３１から噴き出されて底面１７で反射した研削液が飛散するのを防止する役目を果たす。
【００３２】
以上のように構成された研削装置１および研削砥石２では、図１に示すように、円板部材１０の円中心を回転中心として回転させながら、側面１０Ａに対して、供給装置３から垂直に研削液を噴き付けると、研削液は研削液供給用溝１５，１５内で円板部材１０の周方向に広がりながら、遠心力によって流入口１４へ向かって流れる。
【００３３】
外側給液流路３０ａから外側研削液供給用溝１５ａに供給された研削液は、第二給液孔１２ｂを通過して、一方の側面１０Ａの外周縁部に供給される。なお、第二給液孔１２ｂは途中で屈曲しているが、第一給液孔１２ａよりも外周側に位置しているため、大きい遠心力が作用する。したがって、研削液は、第二給液孔１２ｂ内を円滑に流れる
【００３４】
内側給液流路３０ｂから内側研削液供給用溝１５ｂに供給された研削液は、第一給液孔１２ａを通過して、他方の側面１０Ｂの外周縁部に供給される。なお、第一給液孔１２ａは直線状に形成されているので、研削液は、第一給液孔１２ａの内部を円滑に流れる。
【００３５】
以下に、研削液供給用溝１５内での研削液の流れを説明する。
研削液供給用溝１５内に噴き付けられた研削液は、底面１７で反射してその一部が溝開口部１８から外部に飛散しようとするが、溝開口部１８に対向する供給装置３の壁部３２によってカバーしているので、飛散を抑制することができる。これによって、研削液を研削液供給用溝１５内に留めることができるとともにミストの発生を抑制できる。
【００３６】
研削液供給用溝１５内においては、底面１７噴き付けられた研削液の一部（内周部寄りに吹き付けられた研削液）は、重力によって円板部材１０の中心側に流れようとするが、内周壁面１６ｂによって堰き止められて、研削液供給用溝１５内に溜められる。これによって、研削液が、円板部材１０の中心側に流出してしまうのを防止できる。なお、外周部寄りに噴き付けられた研削液の一部は、円板部材１０の遠心力によって直接外周壁面１６ａ側に流れる。
【００３７】
内周壁部１６に一旦堰き止められた研削液と、外周部寄りに噴き付けられた研削液は、回転する円板部材１０の遠心力によって径方向外方に流れようとする。ワーク加工位置の近傍では、遠心力が作用した研削液は、外周壁面１６ａによって堰き止められて、流入口１４ａ（１４ｂ）に導かれ、第一給液孔１２ａ（第二給液孔１２ｂ）内に流入する。このとき、外周壁面１６ａの傾斜角度と、第一給液孔１２ａ（第二給液孔１２ｂ）の傾斜角度は同じであるので、研削液は、第一給液孔１２ａ（第二給液孔１２ｂ）内に円滑に流入する。
【００３８】
そして、研削液は、第一給液孔１２ａおよび第二給液孔１２ｂ内を通過して、吐出口１３ａ，１３ｂから円板部材１０の両側面１０Ａ，１０Ｂに吐出され、砥石部材２０の側面２０Ａ，２０Ｂに供給される。吐出口１３から吐出された研削液の一部は、砥石部材２０の側面２０Ａ（２０Ｂ）に形成された凹溝２１内に流入し、凹溝２１を通過して砥石部材２０の外周面２０Ｄにも供給される。
【００３９】
以上のような研削砥石２によれば、円板部材の一方の側面１０Ａ側に設けた供給装置３によって、両側面１０Ａ，１０Ｂに研削液を供給することができるので、供給装置３の設置スペースを低減でき、研削装置１全体の小型化を図ることができる。さらに、供給装置３は、従来の供給ノズルと比較して小型であり、取り回しのスペースも小さくて済むので、研削装置１全体のより一層の小型化が達成できる。
【００４０】
また、円板部材１０には、研削液供給用溝１５が形成されているので、遠心力が作用した研削液は外周壁面１６ａで堰き止めることができ、重力が作用した研削液は内周壁面１６ｂで堰き止めることができるので、研削液が流出されるのを抑制でき、流入口１４ａ，１４ｂに効率的に誘導することができる。
【００４１】
さらに、研削液供給用溝１５，１５は、同一の側面１０Ａに形成されているので、円板部材１０の肉厚の減少を最小限に抑制できるので、円板部材１０の強度低下を抑えることができる。したがって、研削幅が小さいワークの加工にも対応することが可能である。
【００４２】
また、研削液供給用溝１５，１５を二重に形成して、それぞれに研削液を供給する給液流路３０，３０を別系統で設けたことによって、研削液の供給をオンオフすることで、円板部材１０の両側面１０Ａ，１０Ｂへの研削液両面供給と、側面１０Ａまたは１０Ｂへの研削液片面供給とを選択することができる。
【００４３】
さらに、前記構成の供給装置３によれば、研削液供給用溝１５内で反射した研削液を壁部３２で押えて、飛散するのを抑制できる。したがって、研削液をより一層効率的に流入口へ誘導できる。
【００４４】
なお、前記実施形態では、供給装置３の噴出口３１は、側面３Ａに面一で開口しているがこれに限定されるものではない。図３に示すように、供給装置３の側面３Ａに、研削液供給用溝１５内に突出する突出部３５を形成し、その先端に噴出口３１ａを設けるようにしてもよい。この場合、突出部３５の基端部の周囲の側面３Ａが壁部３２を構成する。このような構成の供給装置１０３によれば、底面１７で反射した研削液は、突出部３５の先端面で押さえられて、溝開口部１８へ飛散する研削液を大幅に削減できる。一部の研削液が、突出部３５の周囲の溝開口部１８から研削液供給用溝１５の外部に飛び出しても、壁部３２によって押えられ、外部への飛散を防止できる。したがって、より多くの研削液を研削液供給用溝１５内に溜めることができ、研削液の供給効率を高めることができる。
【００４５】
（第二実施形態）
図４に示すように、第二実施形態に係る研削装置２０１は、研削砥石２０２の構成が第一実施形態と異なる。図５にも示すように、かかる研削砥石２０２は、一方の側面１０Ａの内側から他方の側面１０Ｂの外周縁部に連通する第一給液孔２１２ａが外側研削液供給用溝１５ａに開口し、一方の側面１０Ａの内側から外周縁部に連通する第二給液孔２１２ｂが内側研削液供給用溝１５ｂに開口している。
【００４６】
第一給液孔２１２ａは、円板部材２１０の側面の外周縁部に開口した吐出口１３ａと、円板部材２１０の径方向の内側に開口した流入口１４ａとを備えている。第一給液孔２１２ａは、一方の側面１０Ａから他方の側面１０Ｂに直線状に貫通した円形断面の貫通孔にて構成されている。第一給液孔２１２ａは、一方の側面１０Ａ側から他方の側面１０Ｂに向かうに従って円板部材２１０の径方向外側になるように、円板部材２１０の幅方向（図２の左右方向）に対して傾斜している。つまり、第一給液孔２１２ａの流入口１４ａが一方の側面１０Ａ（研削液供給用溝１５の表面を含む）に配置され、吐出口１３ａが他方の側面１０Ｂに配置されている。
【００４７】
流入口１４ａは、外側研削液供給用溝１５ａの底面１７に開口している。流入口１４ａは、外側研削液供給用溝１５ａの外周壁面１６ａに円板部材２１０の中心側から接する位置に配置されている。第一給液孔２１２ａの傾斜角度は、外側研削液供給用溝１５ａの外周壁面１６ａの傾斜角度と一致している。吐出口１３ａは、他方の側面１０Ｂの外周縁部に開口している。第二実施形態の第一給液孔２１２ａは、第一実施形態の第一給液孔１２ａ（図２参照）と比較して、円板部材２１０の幅方向に対する傾斜角度が小さくなっているが、第二実施形態の第一給液孔２１２ａは第一実施形態の第一給液孔１２ａよりも外周側に形成されているので、大きい遠心力が作用することとなり、第二実施形態の第一給液孔２１２ａであってもその内部を研削液が円滑に流れる。
【００４８】
第二給液孔２１２ｂは、円板部材２１０の側面の外周縁部に開口した吐出口１３ｂと、円板部材２１０の径方向の内側に開口した流入口１４ｂとを備えている。第二給液孔２１２ｂは、一方の側面１０Ａの外周縁部から円板部材２１０の中心側に傾斜して直線状に穿設された第一の穴１２ｂａと、一方の側面１０Ａの径方向内側から外周側に傾斜して直線状に穿設された第二の穴１２ｂｂとを、円板部材２１０の内部で連通させた円形断面の屈曲貫通孔にて構成されている。つまり、第二給液孔２１２ｂの流入口１４ｂが一方の側面１０Ａ（研削液供給用溝１５の表面を含む）に配置され、吐出口１３ｂが一方の側面１０Ａに配置されており、流入口１４ｂと吐出口１３ｂが同じ側面１０Ａに配置されている。
【００４９】
流入口１４ｂは、内側研削液供給用溝１５ｂの底面１７に開口している。流入口１４ｂは、内側研削液供給用溝１５ｂの外周壁面１６ａに円板部材２１０の中心側から接する位置に配置されている。第二給液孔２１２ｂの第二の穴１２ｂｂの傾斜角度は、内側研削液供給用溝１５ｂの外周壁面１６ａの傾斜角度と一致している。吐出口１３ａは、一方の側面１０Ａの外周縁部に開口している。第二実施形態の第二給液孔２１２ｂは、第一実施形態の第二給液孔１２ｂ（図２参照）と比較して、作用する遠心力は小さくなるものの、第二実施形態の第二給液孔２１２ｂは第一実施形態の第二給液孔１２ｂと比較して、第一の穴１２ｂａと第二の穴１２ｂｂとの屈曲角度が小さくなるので、第二実施形態の第二給液孔２１２ｂであってもその内部を研削液が円滑に流れる。
【００５０】
第一給液孔２１２ａと第二給液孔２１２ｂは、異なる位相（角度位置）で配置されており、周方向に所定角度ピッチで交互に複数形成されている（図４参照）。
【００５１】
なお、その他の構成については、第一実施形態と同様であるので同じ符号を付して説明を省略する。第二実施形態においても、第一実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００５２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜に変更が可能である。例えば、図１および図４に示す第一給液孔１２ａ，２１２ａおよび第二給液孔１２ｂ，２１２ｂの個数や孔径は限定されるものではない。
【００５３】
また、前記実施形態では、研削液供給用溝１５の内周壁面１６ｂは底面１７に対して直交しているがこれに限定されるものではない。内周壁面１６ｂは、底面１７側から溝開口部１８側に向かうに従って拡径されたテーパー状の傾斜面にて形成してもよい。このようにすれば、内周壁面１６ｂと底面１７との間に研削液の貯溜スペースが確保される。さらに、前記実施形態では、研削液供給用溝１５の外周壁面１６ａは、逆テーパ状の傾斜面にて形成されているが、外周壁面１６ａは、底面１７に対して直交して形成されていてもよく、その傾斜角度は限定されるものではない。
【００５４】
また、前記実施形態では、流入口１４ａ，１４ｂは、研削液供給用溝１５の底面１７に開口しているが、これに限定されるものではない。流入口１４ａ，１４ｂは、研削液供給用溝１５内の外周側に開口していればよく、外周壁面１６ａに開口してもよいし、底面１７と外周壁面１６ａとの境界部分を跨ぐように開口してもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１      研削装置
２      研削砥石
３      供給装置
１０    円板部材
１０Ａ  （一方の）側面
１０Ｂ  （他方の）側面
１２ａ  第一給液孔
１２ｂ  第二給液孔
１３ａ  吐出口
１３ｂ  吐出口
１４ａ  流入口
１４ｂ  流入口
１５    研削液供給用溝
１５ａ  外側研削液供給用溝
１５ｂ  内側研削液供給用溝
１６ａ  外周壁面
１６ｂ  内周壁面
１７    底面
１８    溝開口部
２０    砥石部材
３０    給液流路
３０ａ  外側給液流路
３０ｂ  内側給液流路
３１    噴出口
３２    壁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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