(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、フレームを収納するフレームマガジンをＺ方向にエレベータ駆動するエレ
ベータ駆動手段を有するローダリフタ部と、前記フレームマガジンからフレームを取り出
すローダフィーダ部と、前記ローダフィーダ部が取り出したフレームを作業エリアに搬入
するメインフィーダ部と、前記ローダリフタ部、前記ローダフィーダ部、および前記メイ
ンフィーダ部を制御する制御部とを備えたフレーム供給装置において、
前記ローダリフタ部は、さらに、前記フレームマガジンをフレームを取り出す方向と垂
直で水平な方向に前記フレームマガジンの中央部から突出部までの距離より短い所定の第１の距離移動する第１の移動手段を有し、
前記制御部は、前記ローダリフタ部の前記第１の移動手段を制御して、前記フレームマ
ガジンをフレームを取り出す方向と垂直で水平な方向に前記第１の距離移動した後、前記ローダフィーダ部を制御して前記ローダフィーダ部の爪で挟み込む動作を行って前記フレームを作業エリアに搬入することを特徴とするフレーム供給装置。
【請求項２】
請求項１記載のフレーム供給装置において、
前記ローダリフタ部は、さらに、前記フレームマガジンを前記Ｚ方向に所定の第２の距離上下動する第２の移動手段を有し、
前記制御部は、フレームの有無を検出するフレーム検出手段を有し、前記ローダフィーダ部を制御して前記ローダフィーダ部の爪で挟み込む動作を行った後、前記フレーム検出手段がフレームの有無を検出し、フレームが検出されなかった場合には、前記ローダリフタ部の前記第２の移動手段を制御して前記フレームマガジンを前記Ｚ方向に前記第２の距離上下動してから、前記ローダフィーダ部を制御して前記ローダフィーダ部の爪で挟み込む動作を行って前記フレームを取り出すことを特徴とするフレーム供給装置。
【請求項３】
少なくとも、フレームを収納するフレームマガジンをＺ方向にエレベータ駆動するエレ
ベータ駆動手段を有するローダリフタ部と、前記フレームマガジンからフレームを取り出
すローダフィーダ部と、前記ローダフィーダ部が取り出したフレームを作業エリアに搬入
するメインフィーダ部と、前記ローダリフタ部、前記ローダフィーダ部、および前記メイ
ンフィーダ部を制御する制御部とを備えたフレーム供給装置において、
前記ローダリフタ部は、さらに、前記フレームマガジンをフレームを取り出す方向と垂直で水平な方向に前記フレームマガジンの中央部から突出部までの距離より短い所定の第１の距離移動する第１の移動手段と前記フレームマガジンを前記Ｚ方向に所定の第２の距離上下動する第２の移動手段を有し、
前記制御部は、前記ローダリフタ部の前記第１の移動手段を制御して、前記フレームマガジンをフレームを取り出す方向と垂直で水平な方向に前記第１の距離移動し、前記ローダリフタ部の前記第２の移動手段を制御して前記フレームマガジンを前記Ｚ方向に前記第２の距離上下動してから、前記ローダフィーダ部を制御して前記ローダフィーダ部の爪で挟み込む動作を行って前記フレームを取り出すことを特徴とするフレーム供給装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３のいずれかのフレーム供給装置において、前記第２の移動手段
は、前記第２の距離の上下動を複数回繰り返すことを特徴とするフレーム供給装置。
【請求項５】
少なくとも、フレームを収納するフレームマガジンをＺ方向にエレベータ駆動するエレ
ベータ駆動手段を有するローダリフタ部と、前記フレームマガジンからフレームを取り出
すローダフィーダ部と、前記ローダフィーダ部が取り出したフレームを作業エリアに搬入
するメインフィーダ部と、前記ローダリフタ部、前記ローダフィーダ部、および前記メイ
ンフィーダ部を制御する制御部とを備えたフレーム供給装置のフレーム供給方法において、
前記フレームマガジンをフレームを取り出す方向と垂直で水平な方向に前記フレームマガジンの中央部から突出部までの距離より短い所定の第１の距離移動する第１の移動ステップ、
前記ローダフィーダ部の爪で挟み込むステップ、
前記フレームを取り出すステップ、および、
作業エリアに搬入するステップを備えたことを特徴とするフレーム供給方法。
【請求項６】
請求項５記載のフレーム供給方法において、さらに、
前記第１の移動ステップ後にフレームの有無を検出するフレーム検出ステップを備え、
前記フレーム検出ステップでフレームが検出されなかった場合に、前記フレームマガジ
ンを前記Ｚ方向に所定の第２の距離上下動する第２の移動ステップを備えたことを特徴とするフレーム供給方法。
【請求項７】
少なくとも、フレームを収納するフレームマガジンをＺ方向にエレベータ駆動するエレ
ベータ駆動手段を有するローダリフタ部と、前記フレームマガジンからフレームを取り出
すローダフィーダ部と、前記ローダフィーダ部が取り出したフレームを作業エリアに搬入
するメインフィーダ部と、前記ローダリフタ部、前記ローダフィーダ部、および前記メイ
ンフィーダ部を制御する制御部とを備えたフレーム供給装置のフレーム供給方法において、
前記フレームマガジンをフレームを取り出す方向と垂直で水平な方向に前記フレームマガジンの中央部から突出部までの距離より短い所定の第１の距離移動する第１の移動ステップ、
手段と前記フレームマガジンを前記Ｚ方向に所定の第２の距離上下動する第２の移動ステップ、
前記ローダフィーダ部の爪で挟み込むステップ、
前記フレームを取り出すステップ、および、
作業エリアに搬入するステップを備えたことを特徴とするフレーム供給方法。
【請求項８】
請求項６または請求項７のいずれかのフレーム供給方法において、前記第２の移動ステ
ップは、前記上下動を複数回繰り返すことを特徴とするフレーム供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイボンダ等の部品実装装置に関わり、特にフレームをフレームカセットから取り出すフレーム供給技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイボンディング装置（ダイボンダ）等の部品実装装置においては、フレーム供給装置は、フレームマガジンから１若しくは複数の被実装エリアが形成されたフレームを１枚ずつ取り出し、作業エリアに搬入する。部品実装装置は、作業エリアに搬入されたフレーム上の被実装エリアに対して、ダイボンディング、ワイヤボンディング、バンプボンディング等の部品搭載作業を行う。
上述のように、部品実装装置においては、フレームマガジンからフレームを取り出すフレーム供給装置が必要である。
【０００３】
図８は、フレームマガジン内に収納されたフレームを取り出す従来のフレーム供給装置の一例を示す図である。８０１はフレームマガジン、８０２はフレームマガジン８０１をエレベータ駆動する（所定の間隔で上下（Ｚ軸方向）に移動する）ためのマガジンリフタ部、８０３〜８０７はフレーム収納室、８０８はローダフィーダ部の上部、８１２は上部８０８および下部８０９の爪、８０９はローダフィーダ部の下部、８１０はフレームマガジン８０１の収納室全体、８３１〜８３３はフレーム上に形成された被実装エリア、８１３はフレーム収納室８０３に収納された被実装エリア８３１〜８３３を有するフレーム、８１４はフレーム収納室８０４に収納された被実装エリアを有するフレーム、８１５はフレーム収納室８０５に収納された被実装エリアを有するフレーム、８１６はフレーム収納室８０６に収納された被実装エリアを有するフレーム、８１７はフレーム収納室８０７に収納された被実装エリアを有するフレーム、８１１は爪８１２がフレーム８１３を取り出すためにフレームマガジン８０１のフレーム収納室８０３に進入しフレーム８１３を挟み込む部分を示す円、８４３と８５３はフレーム８１３を支持する突出部、８４４と８５４はフレーム８１４を支持する突出部、８４５と８５５はフレーム８１５を支持する突出部、８４６と８５６はフレーム８１６を支持する突出部、８４７と８５７はフレーム８１７を支持する突出部である。フレーム８１３〜８１７は、フレーム収納室の高さ（Ｚ）方向の間隔である積載ピッチＰで、等間隔に収納される。
図８（ａ）は、フレームマガジン８０１をＹ方向から見た断面図であり、図８（ｂ）は、フレームマガジン８０１をＸ方向の下流側から見た図である。
【０００４】
フレームマガジン８０１に収納されたフレーム８１３をフレーム供給装置が供給する従来の態様を、図８（ａ）および図８（ｂ）を使って説明する。
図８において、フレームマガジン８０１のフレーム収納室８０３〜８０７に被実装エリアを形成したフレームがそれぞれ１枚ずつ収納されている。収納室全体８１０は、図８（ｂ）に示すように、突出部８４３〜８４７および８５３〜８５７が左右（Ｙ方向）両側の仕切りとして、フレーム収納室８０３〜８０７の中央部が空間的に結合している。従って、フレーム８１３〜８１７の左右両端の突出部８４３〜８４７および８５３〜８５７によって、各フレーム８１３〜８１７が支持され、等間隔で収納されている。なお、ローダフィーダ部は、説明の都合上、フレームマガジン８０１からフレーム８１３を挟み込んで取り出す部分（上部８０８および下部８０９並びに爪８１２）を図示し、その後、メインフィーダ部が作業エリアに取り出したフレームを搬入する部分を図示していない。
以下、マガジンリフタ部８０２は、下方（Ｚ軸方向の下方）に下がり、フレームマガジン８０１に収納された、最上段のフレーム８１３を取り出す高さにフレーム供給装置が位置する場合について説明する。
【０００５】
ローダフィーダ部の上部８０８および下部８０９は、矢印（１）の方向（Ｘ軸方向の上流方向）に、それぞれの爪８１２がフレーム収納室８０３の入口部分に進入するように移動する。次に、フレーム８１３を挟み込むように、矢印（２）の方向（Ｚ軸方向）に、上下の爪８１２は閉じフレーム８１３を挟み込む。上部８０８および下部８０９並びに爪８１２を含むローダフィーダ部は、フレーム８１３を挟み込んだ爪８１２を閉じたまま、矢印（３）の方向（Ｘ軸方向の下流方向）に移動し、フレーム８１３をフレームマガジン８０１から取り出し、図示しないガイドレールに搬送する。
この時、図８（ｂ）に示すように、フレームマガジン８０１の両側には突出部８４３および８５３があるため、爪８１２は、フレーム８１３の左右には進入できない。また、フレーム８１３を挟んで取り出せない。このため、爪８１２は、フレーム８１３の中央部（例えば、円８１１の部分）に進入してフレーム８１３を挟んで取り出すようにしなければならない。
【０００６】
ところが、フレーム８１３の中央部には、被実装エリア８３１〜８３３が形成されている。このため、爪８１２は、フレーム収納室８０３に進入すると、被実装エリア８３１、８３２、若しくは８３３に接触し、接触した被実装エリアが損傷する恐れがある。
従って少なくとも、上部８０８の爪８１２のＹ軸方向の横幅を極めて狭くする必要がある。しかし、爪８１２の該横幅を狭くすると、フレーム取り出しの失敗や取り出し後のフレーム８１３の位置ずれが多くなる。
【０００７】
なお、図９によって、従来のフレーム供給方法について説明する。図９は、ダイボンダの制御部における従来のフレーム供給方法の動作手順の一例を説明するためのフローチャートである。
ステップＳ９０１では、ローダマガジンＺ軸モータ（図示しない）を制御して、フレームマガジン８０１を指定段数（例えば、図８の最上段のフレーム収容室８０３）に移動して停止する。
ステップＳ９０２では、ローダフィーダモータ（図示しない）を制御して、ローダフィーダ部の爪８１２をフレームマガジン８０１のフレーム収納室８０３内に移動する。
ステップＳ９０３では、ローダフィーダ開閉電磁弁（図示しない）を制御して、ローダフィーダ部の爪８１２を閉じ、フレーム８１３を挟み込む動作を行う。
ステップＳ９０４では、ローダフィーダモータ（図示しない）を制御して、ローダフィーダ部の爪８１２でフレーム８１３を取り出す動作を行う。
ステップＳ９０５では、フレーム検出センサ（図示しない）によって、フレーム８１３の有無を検出する。
ステップＳ９０６では、フレーム検出センサの検出結果に基づいて、フレーム８１３が無い（Ｙｅｓ）と判定した場合にはステップＳ９０８に進み、フレーム８１３が有（Ｎｏ）と判定した場合にはステップＳ９０７に進む。
ステップＳ９０７では、フレーム８１３をプリフォームステージまで移動する。
ステップＳ９０８では、ブザーおよびパトライト（登録商標）等の回転表示部を制御して、フレーム取り出しを失敗してエラーが発生したことを知らせる情報を出力する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平５−６７６７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述のように、従来のフレーム供給装置では、被実装エリアを破損させる恐れがある。また、その問題を解決しようとすると、フレーム取り出しの失敗や取り出し後のフレームの位置ずれが多くなる。しかも、近年、フレームの厚さが薄くなってきているため、フレームマガジンからフレームを取り出すことができない事態が多く発生し、部品実装装置のスループットが長くなる問題があった。
特許文献１には、ウェハカセットに収納されたウェハリングをダイボンディング装置に供給する場合の移動制御技術が開示されている。しかし、ウェハカセットをフレームカセットに置き換えたとしても、上記フレーム供給装置についての問題点を解決するものではない。
本発明の目的は、上記のような問題に鑑み、フレーム取り出しの失敗や取り出し後のフレームの位置ずれのない、およびスループットの短いフレーム供給装置およびフレーム供給方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明のフレーム供給装置は、少なくとも、フレームを収納するフレームマガジンをＺ方向にエレベータ駆動するエレベータ駆動手段を有するローダリフタ部と、前記フレームマガジンからフレームを取り出すローダフィーダ部と、前記ローダフィーダ部が取り出したフレームを作業エリアに搬入するメインフィーダ部と、前記ローダリフタ部、前記ローダフィーダ部、および前記メインフィーダ部を制御する制御部とを備えたフレーム供給装置において、前記ローダリフタ部は、さらに、前記フレームマガジンをＹ方向に所定の第１の距離移動する第１の移動手段を有し、前記制御部は、前記ローダリフタ部の前記第１の移動手段を制御して、前記フレームマガジンを前記Ｙ方向に前記第１の距離移動した後、前記ローダフィーダ部を制御して前記ローダフィーダ部の爪で挟み込む動作を行って前記フレームを取り出してから、作業エリアに搬入することを第１の特徴とする。
【００１１】
上記本発明の第１の特徴のフレーム供給装置において、前記ローダリフタ部は、さらに、前記フレームマガジンを前記Ｚ方向に所定の第２の距離上下動する第２の移動手段を有し、前記制御部は、フレームの有無を検出するフレーム検出手段を有し、前記ローダフィーダ部を制御して前記ローダフィーダ部の爪で挟み込む動作を行った後、前記フレーム検出手段がフレームの有無を検出し、フレームが検出されなかった場合には、前記ローダリフタ部の前記第２の移動手段を制御して前記フレームマガジンを前記Ｚ方向に前記第２の距離上下動してから、前記ローダフィーダ部を制御して前記ローダフィーダ部の爪で挟み込む動作を行って前記フレームを取り出すことを第２の特徴とする。
【００１２】
また、上記の課題を解決するため、本発明のフレーム供給装置は、少なくとも、フレームを収納するフレームマガジンをＺ方向にエレベータ駆動するエレベータ駆動手段を有するローダリフタ部と、前記フレームマガジンからフレームを取り出すローダフィーダ部と、前記ローダフィーダ部が取り出したフレームを作業エリアに搬入するメインフィーダ部と、前記ローダリフタ部、前記ローダフィーダ部、および前記メインフィーダ部を制御する制御部とを備えたフレーム供給装置において、前記ローダリフタ部は、さらに、前記フレームマガジンをＹ方向に所定の第１の距離移動する第１の移動手段と前記フレームマガジンを前記Ｚ方向に所定の第２の距離上下動する第２の移動手段を有し、前記制御部は、前記ローダリフタ部の前記第１の移動手段を制御して、前記フレームマガジンを前記Ｙ方向に前記第１の距離移動し、前記ローダリフタ部の前記第２の移動手段を制御して前記フレームマガジンを前記Ｚ方向に前記第２の距離上下動してから、前記ローダフィーダ部を制御して前記ローダフィーダ部の爪で挟み込む動作を行って前記フレームを取り出すことを第３の特徴とする。
【００１３】
上記本発明の第２のまたは第３の特徴のいずれかのフレーム供給装置において、前記第２の移動手段は、前記第２の距離の上下動を複数回繰り返すことを第４の特徴とする。
【００１４】
また、上記の課題を解決するため、本発明のフレーム供給方法は、少なくとも、フレームを収納するフレームマガジンをＺ方向にエレベータ駆動するエレベータ駆動手段を有するローダリフタ部と、前記フレームマガジンからフレームを取り出すローダフィーダ部と、前記ローダフィーダ部が取り出したフレームを作業エリアに搬入するメインフィーダ部と、前記ローダリフタ部、前記ローダフィーダ部、および前記メインフィーダ部を制御する制御部とを備えたフレーム供給装置のフレーム供給方法において、前記フレームマガジンをＹ方向に所定の第１の距離移動する第１の移動ステップ、前記ローダフィーダ部の爪で挟み込むステップ、前記フレームを取り出すステップ、および、作業エリアに搬入するステップを備えたことを第５の特徴とする。
【００１５】
上記本発明の第５の特徴のフレーム供給方法において、さらに、前記第１の移動ステップ後にフレームの有無を検出するフレーム検出ステップを備え、前記フレーム検出ステップでフレームが検出されなかった場合に、前記フレームマガジンを前記Ｚ方向に所定の第２の距離上下動する第２の移動ステップを備えたことを第６の特徴とする。
【００１６】
また、上記の課題を解決するため、本発明のフレーム供給方法は、少なくとも、フレームを収納するフレームマガジンをＺ方向にエレベータ駆動するエレベータ駆動手段を有するローダリフタ部と、前記フレームマガジンからフレームを取り出すローダフィーダ部と、前記ローダフィーダ部が取り出したフレームを作業エリアに搬入するメインフィーダ部と、前記ローダリフタ部、前記ローダフィーダ部、および前記メインフィーダ部を制御する制御部とを備えたフレーム供給装置のフレーム供給方法において、前記フレームマガジンをＹ方向に所定の第１の距離移動する第１の移動ステップ、手段と前記フレームマガジンを前記Ｚ方向に所定の第２の距離上下動する第２の移動ステップ、前記ローダフィーダ部の爪で挟み込むステップ、前記フレームを取り出すステップ、および、作業エリアに搬入するステップを備えたことを第７の特徴とする。
【００１７】
上記本発明の第６のまたは第７の特徴のいずれかのフレーム供給方法において、前記第２の移動ステップは、前記上下動を複数回繰り返すことを第８の特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、上記のような問題に鑑み、フレーム取り出しの失敗や取り出し後のフレームの位置ずれがない。さらに、スループットが短いフレーム供給装置およびフレーム供給方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明のフレーム供給装置を備えたダイボンダの一実施例の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明のフレーム供給装置の制御部２００の構成の一実施例を説明するためのブロック図である。
【図３】ダイボンダの制御部における本発明のフレーム供給方法の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
【図４】図３において実行するサブシーケンス処理動作（ステップＳ３０３）について説明するためのフローチャートである。
【図５】ダイボンダの制御部における本発明のフレーム供給方法の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
【図６】従来のフレーム供給装置の動作の一例を説明するための図である。
【図７】本発明のフレーム供給装置の一実施例の動作を説明するための図である。
【図８】フレームマガジン内に収納されたフレームを取り出す従来のフレーム供給装置の一例を示す図である。
【図９】ダイボンダの制御部における従来のフレーム供給方法の動作手順の一例を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に本発明の一実施形態について、図面等を用いて説明する。
なお、以下の説明は、本発明の一実施形態を説明するためのものであり、本願発明の範囲を制限するものではない。従って、当業者であればこれらの各要素若しくは全要素をこれと均等なものに置換した実施形態を採用することが可能であり、これらの実施形態も本願発明の範囲に含まれる。
また、各図の説明において、共通な機能を有する構成要素には同一の参照番号を付し、できるだけ説明の重複を避ける。
【００２１】
以下、添付図面を参照して、本発明のフレーム供給装置およびフレーム供給方法を用いる部品実装装置の一実施例の構成を説明する。図１は、本発明のフレーム供給装置を備えたダイボンダの一実施例の構成を示すブロック図である。１００はダイボンダ、１０１はダイボンダ１００のステージ、１０２はフレームを収納したフレームマガジン（図示しない）を搬入するマガジンローダ部、１０４はステージ１０１上でフレームを下流方向に取り出すローダフィーダ部、１０５はフレームを収納したフレームマガジンを上下方向に駆動するローダリフタ部、１０６はフレームから剥離された層間紙を排出する層間紙排出ボックス、１０７はローダフィーダ部１０４が取り出したフレームをダイボンディング作業エリアのプリフォームステージに押し出すメインフィーダ部、１０８はメインフィーダ部１０７の直線方向に導くためのガイドレール、１０９はフレームを加熱するためのステージヒータ、１１０はダイペレットが実装されたフレームをステージ１０１から下流方向に搬出するためのアンローダフィーダ部、１１１はダイボンディング作業時にフレームを固定するためのフレーム押さえ部、１１２はフレームをフレームマガジンに搬出するマガジンアンローダ部、１１３は静電気を除去するための負イオンをウェハに吹きつけるイオンブロー部、１１４はウェハリングに付けられたバーコードを読み取るバーコードリーダ部、１１５はウェハリングのウェハ（図示しない）からダイペレットを突き上げるためのダイ突き上げユニット、１１６はウェハリングを保持するウェハリングホルダ部、１１７はウェハエキストラクタ、１１８はウェハ修正シュート部、１１９はウェハカセット部、２００は制御部である。
なお、図１のダイボンダ１００は、制御部２００が制御して動作する。また、フレーム供給装置は、少なくとも、ローダフィーダ部１０４、ローダリフタ部１０５、メインフィーダ部１０７、および制御部２００で構成され、ダイボンダ１００と同様に、制御部２００が制御する（制御部２００の詳細は、後述の図２に示す）。
【００２２】
また、マガジンローダ部１０２にセットされたフレームマガジンには、被実装部材であるフレームが収容されている。同様に、マガジンアンローダ部１１２にセットされたフレームマガジンには、本ダイボンダによってダイペレットを実装したフレームが収容される。また、ウェハエキストラクタ１１７は、ウェハカセット部１１９にセットされたウェハカセットからウェハリングを取り出しウェハリングホルダ部１１６に搬送する。ウェハカセット部１１９は、ウェハリングを複数段出し入れ可能に収容したウェハカセットがセットされている。
なお、図１は、ダイボンダ１００を上方から見た平面図であり、Ｘ方向は上流（紙面左）、下流方向（紙面右）である。被実装部材であるフレームは、Ｘ方向に沿って上流から下流に搬送されながら、ダイボンディングが行われる。
【００２３】
図１のダイボンダにおいて、マガジンローダ部１０２にセットされたフレームマガジンに収納されたフレームは、フレーム供給装置によってフレームマガジンから取り出される。フレーム供給装置は、取り出したフレームを作業エリアのプリフォームステージに搬入する。搬入されたフレーム上に形成された被実装エリアは、層間紙を剥離され、接着剤が塗布され、作業エリアのダイアタッチステージに搬送される。
ダイアタッチステージでは、ボンディングヘッドは、ダイ突き上げユニット１１５と連動して、ウェハリングホルダ部１１６からペレットを吸着し、フレーム上の所定の位置にダイボンディングを行う。
【００２４】
図２は、本発明のフレーム供給装置の制御部２００の構成の一実施例を説明するためのブロック図である。２００は制御部、２０１はＣＰＵ（Central Processing Unit）基板、２１０はモータコントロール基板、２２０はＩ／Ｏ（Input/Output）基板、２３０は操作パネル、２４０はハードディスクである。ＣＰＵ基板２０１は、モータコントロール基板２１０、Ｉ／Ｏ基板２２０、操作パネル２３０、およびハードディスク２４０を制御する。
また、モータコントロール基板２１０は、ローダマガジンＹ軸モータ２１１を制御する。また、モータコントロール基板２１０は、ローダマガジンＺ軸モータ２１２を制御する。またモータコントロール基板２１０は、ローダフィーダモータ２１３を制御する。
さらに、Ｉ／Ｏ基板２２０は、ローダフィーダ部１０４の爪８０８−１および８０９−１を開閉電磁弁２２１で制御し、ローダフィーダ部１０４の爪８０８−１および８０９−１による開閉を制御する。また、Ｉ／Ｏ基板２２０は、フレームの有無を検出するフレーム検出センサ２２２、ブザー鳴動部２２３、回転表示部２２４を制御する。即ち、Ｉ／Ｏ基板２２０は、フレーム検出センサ２２２がフレームの有無の検出情報を適宜取得し、所定の供給タイミング動作時にフレームが無いと判定した時にはブザー鳴動部２２３、および回転表示部２２４を制御して、ブザー鳴動およびパトライト表示動作を起動させる。
またさらに、操作パネル２３０は、ダイボンダ１００の図示しない表示部２３１を制御し、表示部２３１にデータ入力画面やエラー表示を行うデータ入力画面、およびエラーを表示させる。
さらにまた、ハードディスク４４０は、ダイボンダ１００およびウェハ供給装置２００の制御プログラムを保存する制御プログラム部４４１と、データの保存および読み出しを行うためにデータの保存・読み出し部４４２とを制御する。
【００２５】
次に、図３および図４によって、本発明のフレーム供給方法の一実施例を説明する。図３は、ダイボンダの制御部における本発明のフレーム供給方法の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。図３のフローチャートにおいて、図９のフローチャートと同一の動作を行うステップには、同一の番号を付している。また、図４は、図３において実行するサブシーケンス処理動作（ステップＳ３０３）について説明するためのフローチャートである。
【００２６】
ステップＳ９０１では、ローダマガジンＺ軸モータを制御して、フレームマガジン８０１を指定段（例えば、図８の最上段のフレーム収容室８０３）に移動する。
ステップＳ３０１では、ローダマガジンＹ軸モータを制御して、フレームマガジン８０１をＹ方向に（例えば、奥へ２〜３ｍｍ）移動する。
以下、ステップＳ９０２〜ステップ９０５までは、図９と同様の動作をするので、説明を省略する。
ステップＳ９０６では、フレーム検出センサの検出結果に基づいて、フレーム８１３が無いと判定した（Ｙｅｓ）場合にはステップＳ３０３に進み、フレーム８１３が有（Ｎｏ）と判定した場合にはステップＳ３０２に進む。
ステップＳ３０３では、ローダマガジン部８０２をＹ方向に移動し、ステップＳ３０１の処理前の元の位置に戻す。
ステップＳ９０７では、フレーム８１３をプリフォームステージまで移動する。
ステップＳ３０３では、サブシーケンス処理を実行する（後述する図４参照。）。
ステップＳ３０４では、フレーム検出センサの検出結果に基づいて、フレーム８１３が無い（Ｙｅｓ）と判定した場合にはステップＳ９０８に進み、フレーム８１３が有（Ｎｏ）と判定した場合にはステップＳ３０２に進む。
ステップＳ９０８では、ブザーおよびパトライト（商標）を制御して、フレーム取り出しを失敗してエラーが発生したことを知らせる情報を出力する。
【００２７】
図４のフローチャートのサブシーケンス３０３において、まず、ステップＳ４０１では、パラメータｎとパラメータｍをそれぞれイニシャライズ（設定）する（ｎ＝１、およびｍ＝０）。
ステップＳ４０２では、パラメータｍが０であるか否かを判定する。パラメータｍが０（ｍ＝０）であればステップＳ４０４に進み、パラメータｍが０以外（ｍ≠０）であればステップＳ４０３に進む。
ステップＳ４０３では、ローダマガジンＺ軸モータを制御して、フレームマガジン８０１をＺ方向下に所定の距離のｎ倍（例えば、下方向に（０．１×ｎ）ｍｍ）移動する。
ステップＳ４０４では、ローダマガジンＺ軸モータを制御して、フレームマガジン８０１をＺ方向に所定の距離（例えば、上方向に０．１ｍｍ）移動する。
ステップＳ９０２〜Ｓ９０５までは、図９および図３と同様の動作をするので、説明を省略する。
ステップＳ９０６では、フレーム検出センサの検出結果に基づいて、フレーム８１３が無い（Ｙｅｓ）と判定した場合にはステップＳ４０５に進み、フレーム８１３が有（Ｎｏ）と判定した場合には図４の処理を終了し、図３のステップ。Ｓ３０４に進む。
【００２８】
ステップＳ４０５では、パラメータｍに１を加える（ｍ＝ｍ＋１）。
ステップＳ４０６では、パラメータｍが１であるか否かを判定する。パラメータｍが１（ｍ＝１）であればステップＳ４０２に進み、パラメータｍが１以外（ｍ≠１）であればステップＳ４０７に進む。
ステップＳ４０７では、パラメータｍをゼロに設定し、パラメータｎに１を加える（ｍ＝０およびｎ＝ｎ＋１）。
ステップＳ４０８では、パラメータｎが５未満か５以上かを判定する。パラメータｎが５未満（ｎ＜５）であればステップＳ４０２に進み、パラメータｎが５以上（ｎ≧５）であれば図４の処理を終了し、図３のステップ。Ｓ３０４に進む。
【００２９】
図５と図４によって、本発明のフレーム供給方法の他の実施例を説明する。図５は、ダイボンダの制御部における本発明のフレーム供給方法の動作手順の一実施例を説明するためのフローチャートである。
図３および図４の実施例は、フレームマガジン８０１をＹ方向に一度移動して振動を与えてからフレームを爪８１２で取り出し、フレーム検出センサによってフレームの有無を検出し、フレームが無いと判定された場合には、Ｚ方向に所定の距離のｎ倍移動させることを所定回数実行して振動を与えてからフレームを取り出すようにしたものである。
これに対して、図５および図４の実施例は、Ｙ方向の移動とＺ方向の移動を所定回数繰り返してから、フレームを爪８１２で取り出し、その後フレーム検出センサによってフレーム８１３の有無を検出し、フレームが無いと判定された場合には、再度Ｙ方向とＺ方向に移動して振動を与えてからフレームの取り出しを行うものである。
以下、図５および図４によって説明する。
【００３０】
図５において、ステップＳ９０１では、ローダマガジンＺ軸モータを制御して、フレームマガジン８０１を指定段（例えば、図８の最上段のフレーム収容室８０３）に移動する。
ステップＳ５０１では、パラメータｋとｊをゼロにイニシャライズ（設定）する（ｋ＝０、およびｊ＝０）。
ステップＳ３０１では、図３と同様に処理を実行し、ステップＳ３０３では、図４と同様に処理を実行する。
次にステップＳ５０２では、パラメータｋに１を加える（ｋ＝ｋ＋１）。
ステップＳ５０３では、パラメータｋが３であるか否かを判定する。パラメータｋが３（ｋ＝３）であればステップＳ９０２に進み、パラメータｋが３以外（ｋ≠３）であればステップＳ３０３に戻る。
ステップＳ９０２〜Ｓ９０５までは、図９および図３と同様の動作をするので、説明を省略する。
【００３１】
ステップＳ５０４では、パラメータｊに１を加える（ｊ＝ｊ＋１）。
ステップＳ５０５では、パラメータｊが５であるか否かを判定する。パラメータｊが５（ｊ＝５）であればステップＳ３０４に進み、パラメータｊが３以外（ｊ≠５）であればステップＳ３０３に戻る。
ステップＳ３０４では、図３と同様に、フレーム検出センサの検出結果に基づいて、フレーム８１３が無いと判定した（Ｙｅｓ）場合にはステップＳ９０８に進み、フレーム８１３が有（Ｎｏ）と判定した場合にはステップＳ３０２に進む。
ステップＳ３０２、Ｓ９０７およびＳ９０８は、図３と同様の動作をするので、説明を省略する。
【００３２】
図６と図７によって、本発明のフレーム供給装置の一実施例について説明する。図６は、従来のフレーム供給装置の動作の一例を説明するための図である。また図７は、本発明のフレーム供給装置の一実施例の動作を説明するための図である。
図６の従来のフレーム供給装置において、上段は、フレームマガジン８０１と、フレーム供給装置のローダフィーダ部の上部８０８および爪８１２とを上方から見た図であり、下段は、フレームマガジン８０１と、フレーム供給装置のローダフィーダ部の上部８０８および爪８１２とを横から見た図である。
【００３３】
図６によって、従来のフレーム供給装置がフレームマガジン８０１からフレーム８１３を取り出す動作について説明する。
ローダリフタ部８０２は、フレームマガジン８０１からフレーム８１３〜８１７を取り出すために、ローダマガジンＺ軸モータ２１２によって、ローダフィーダ部の爪８１２が挟み込みできる高さ（指定段）に移動するために昇降する機能を有する。
まず、ローダリフタ部８０２は、フレームマガジン８０１を指定段（図６では、最上段のフレーム収容室８０３）に移動する。
次に、ローダフィーダ部の上部８０８および下部８０９並びに爪８１２は、矢印（１）の方向（Ｙ方向の上流）に移動する。
移動後、爪８１２は矢印（２）の方向に閉じ、フレームマガジン８０１のフレーム収納室８０３に収納されたフレーム８１３を挟み込む。
その後、ローダフィーダ部の上部８０８および下部８０９並びに爪８１２は、矢印（３）の方向（Ｙ方向の下流）に移動する。
次に、フレーム検出センサ２２２によって、フレームの有無が検出される。
【００３４】
続いて、図７によって、本発明のフレーム供給装置がフレームマガジン８０１からフレーム８１３を取り出す動作の一実施例について、図３および図４のフローチャートを参照しながら説明する。
ローダリフタ部８０２’は、フレームマガジン８０１からフレーム８１３〜８１７を取り出すために、ローダマガジンＺ軸モータ２１２によって、ローダフィーダ部の爪８１２が挟み込みできる高さ（指定段）に移動するためにエレベータ駆動する機能、および、指定段において、所定の距離ｔを昇降する機能を有する。所定の距離ｔは、例えば、フレーム収納室の積載ピッチＰの１０分の１程度であり、例えば、０．１ｍｍの倍数である。また、ローダリフタ部８０２’は、指定段において、ローダマガジンＹ軸モータ２１１によって、所定の距離ｙに平行に移動する機能を有する。
まず、ローダリフタ部８０２’は、フレームマガジン８０１を指定段（図７では、最上段のフレーム収容室８０３）に移動する（図７の破線）。《ステップＳ９０１》
次に、フレームマガジン８０１は、矢印（０）の方向に所定の距離ｙ移動する。好ましくは、距離ｙは、フレームマガジンの中央部から突出部までの距離より短い。《ステップＳ３０１》
ローダフィーダ部の上部８０８および下部８０９並びに爪８１２は、矢印（１）の方向（Ｙ方向の上流）に移動する。《ステップＳ９０２》
移動後、爪８１２は矢印（２）の方向に閉じ、フレームマガジン８０１のフレーム収納室８０３に収納されたフレーム８１３を挟み込む動作を行う。《ステップＳ９０３》
その後、ローダフィーダ部の上部８０８および下部８０９並びに爪８１２は、矢印（３）の方向（Ｙ方向の下流）に移動する。《ステップＳ９０４》
次に、フレーム検出センサ２２２によって、フレームの有無が検出される。
フレーム検出センサ２２２がフレームを検出した場合には、メインフィーダ部によって作業エリアにフレーム８１３を搬入し、フレームマガジン８０１を矢印（５）の方向に所定の距離ｙ移動する。《ステップＳ９０５》《ステップＳ９０６》《ステップＳ３０２》《ステップＳ９０７》
フレームが検出されなかった場合には、指定段において、所定の距離ｔを昇降し（矢印（４））、フレームに振動を与える。《ステップＳ３０３》
その後、ローダフィーダ部の上部８０８および下部８０９並びに爪８１２は、矢印（１）の方向（Ｙ方向の上流）に移動する。《ステップＳ９０２》
移動後、爪８１２は矢印（２）の方向に閉じ、フレームマガジン８０１のフレーム収納室８０３に収納されたフレーム８１３を挟み込む動作を行う。《ステップＳ９０３》
その後、ローダフィーダ部の上部８０８および下部８０９並びに爪８１２は、矢印（３）の方向（Ｙ方向の下流）に移動する。《ステップＳ９０４》
次に、フレーム検出センサ２２２によって、フレームの有無が検出される。《ステップＳ９０５》
フレーム検出センサ２２２がフレームを検出した場合には、メインフィーダ部によって作業エリアにフレーム８１３を搬入すると共に、フレームマガジン８０１を矢印（５）の方向に所定の距離ｙ移動する。《ステップＳ９０７》《ステップＳ３０２》
【００３５】
一般的に、フレームを収納するフレームマガジンは、収納するフレームの寸法誤差を考慮して、収納室の横幅（Ｙ方向の幅）は、フレームの許容最大幅より多くする。そして、フレームを支持する突出部に接触することも考慮して、フレームに形成される被実装エリアをＹ方向の端部に配置しないように設計する。
従って、フレームのＹ方向の中央部に比べ、端部は、爪をフレーム収納室内に移動して挟み込んでも、被実装エリアに接触する恐れが少ない。このため、上記実施例のように、爪をフレーム収納室内に移動する前に、フレームマガジンをＹ方向に移動し、爪が挿入される位置をフレームのＹ方向の端部に移動する。この結果、ダイボンディング等の実装装置における製造歩留まりの向上や品質向上が可能となる。また、取り出しエラーが少なくなるため、スループットも向上する。
さらに、Ｙ方向にフレームマガジンを移動することにより、横方向に振動が加えられるため、フレームマガジンからフレームが離れやすくなる。従って、さらにまた、取り出しエラーが少なくなるため、スループットも向上する。
またさらに、爪がフレームを挟み込んで取り出す途中で、フレーム検出センサがフレームの有無を検出し、検出されなかった場合には、Ｚ軸方向に１回若しくは数回微小振動を加えてから、再度フレームを取り出すようにすることによって、フレームを確実に取り出すようにしたため、さら取り出しエラーが少なくなり、スループットも向上する。
【００３６】
上述の実施例によれば、フレーム取り出しの失敗や取り出し後のフレームの位置ずれのない、およびスループットの短いフレーム供給装置およびフレーム供給方法を実現することができる。
なお、上記実施例において、さらに、フレームプッシャを設け、フレームマガジンからフレームを押し出す機構を設けても良い。
また、上記実施例では、フレームマガジンに収納するフレームは５枚であったが、収納するフレームの数は、任意の枚数で良いことは自明である。さらに、フレーム上に形成される被実装エリアの数も任意で良いことは勿論である。
またさらに、上記実施例では、ダイボンダ等の部品実装装置の制御部が、フレーム供給装置の制御を兼ねているが、拡張性、メンテナンス性、高速可動性等のために、部品実装装置とフレーム供給装置とで、別々の制御部を備えても良いことは自明である。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、ダイボンダの他、ワイヤボンダ、フリップチップボンダ等、フレームを収納するフレームマガジンからフレームを取り出す工程を有する半導体製造分野で利用される。
【符号の説明】
【００３８】
１００：ダイボンダ、  １０１：ステージ、  １０２：マガジンローダ部、  １０４：ローダフィーダ部、  １０５：ローダリフタ部、  １０６：層間紙排出ボックス、  １０７：メインフィーダ部、  １０８：ガイドレール、  １０９：ステージヒータ、  １１０：アンローダフィーダ部、  １１１：フレーム押さえ部、  １１２：マガジンアンローダ部、  １１３：イオンブロー部、  １１４：バーコードリーダ部、  １１５：ダイ突き上げユニット、  １１６：ウェハリングホルダ部、  １１７：ウェハエキストラクタ部、  １１８：ウェハ修正シュート部、  １１９：ウェハカセット部、  ２００：制御部、  ２０１：ＣＰＵ基板、  ２１１：ローダマガジンＹ軸モータ、  ２１２：ローダマガジンＺ軸モータ、  ２１３：ローダフィーダモータ、  ２１０：モータコントロール基板、  ２２０：Ｉ／Ｏ基板、  ２２１：ローダフィーダ爪開閉電磁弁、  ２２２：フレーム検出センサ、  ２２３：ブザー、  ２２４：パトライト、  ２３０：操作パネル、  ２３１：表示部、  ２４０：ハードディスク、  ２４１：制御プログラム部、  ２４２：保存・読み出し部、  ８０１：フレームマガジン、  ８０２、８０２’：マガジンリフタ部、  ８０３〜８０７：フレーム収納室、  ８０８：ローダフィーダ部の上部、  ８０９：ローダフィーダ部の下部、  ８１０：収納室全体、  ８１１：爪８１２がフレーム８１３を取り出すために進入し挟み込む部分を示す円、  ８１２：爪、  ８１３〜８１７：フレーム、  ８３１〜８３３：被実装エリア、  ８４３〜８４７、８５３〜８５７：突出部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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