(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にフィルムを吸着する第一、第二の吸着板と、
前記第一、第二の吸着板に固定され、前記第一、第二の吸着板を支持する第一、第二の支柱と、
前記第一、第二の支柱を、前記第一、第二の吸着板の表面に対して直角な昇降方向に沿って往復移動させる昇降装置と、
前記第一、第二の支柱を、前記第一、第二の吸着板の表面と平行な搬送方向に沿って往復移動させる主移動装置と、
を有し、
前記第一の支柱と前記第二の支柱とは、前記第一、第二の吸着板の表面と平行な方向に離間して配置され、
受け渡し場所と、処理場所とが設けられ、
前記昇降装置と前記主移動装置とを動作させ、前記第一の吸着板と前記第二の吸着板の高さを異ならせて、前記第一、第二の吸着板を衝突しない高さで前記搬送方向に沿って逆方向に移動させ、前記第一の吸着板が前記受け渡し場所に位置し、前記第二の吸着板が前記処理場所に位置する第一の状態と、前記第二の吸着板が前記受け渡し場所に位置し、前記第一の吸着板が前記処理場所に位置する第二の状態との間を、交互に繰り返し変更させる制御装置が設けられ、
前記主移動装置は、前記搬送方向と平行に向けられた第一、第二のレールと、前記第一、第二のレール上に配置され、前記第一、第二のレールに沿って移動する第一、第二の移動部材とを有し、
前記第一の移動部材と前記第一のレールとの間の前記昇降方向の中心間距離は一定であり、前記第二の移動部材と前記第二のレールとの間の前記昇降方向の中心間距離は一定であるフィルム搬送処理装置。
【請求項２】
前記搬送方向に離間して配置され、帯状の前記フィルムが掛け渡される第一、第二のローラを有し、
前記受け渡し場所と前記処理場所とは、前記第一のローラと前記第二のローラとの間に、前記搬送方向に沿って並んで配置された請求項１記載のフィルム搬送処理装置。
【請求項３】
前記処理場所と離間して対面する位置には、前記フィルムの表面を処理する処理装置が配置された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載のフィルム搬送処理装置。
【請求項４】
前記第一、第二の吸着板を、前記第一、第二の吸着板の表面と平行で、前記搬送方向に対して直角な幅方向に往復移動させる補助移動装置を有する請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のフィルム搬送処理装置。
【請求項５】
前記受け渡し場所と離間して対面する位置には、前記フィルムの皺を取る皺取り装置が配置された請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載のフィルム搬送処理装置。
【請求項６】
前記第一、第二の吸着板の表面には複数の吸着孔が設けられ、
前記第一、第二の吸着板には、前記吸着孔から前記第一、第二の吸着板の表面と前記フィルムとの間のガスを排気する排気手段が接続された請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載のフィルム搬送処理装置。
【請求項７】
前記第一、第二の支柱は、前記第一、第二の吸着板に固定された第一、第二の固定部と、前記第一、第二の固定部と対向された第一、第二の支持部と、前記第一、第二の支持部と前記第一、第二の固定部とを連結する第一、第二の連結部とを有する断面「コ」字状に形成され、
前記第一の支持部と前記第一の固定部との間の間隔は、前記第二の吸着板と前記第二の固定部とを合わせた厚みより広く、前記第二の支持部と前記第二の固定部との間の間隔は、前記第一の吸着板と前記第一の固定部とを合わせた厚みより広くされ、
前記第一の連結部と前記第二の固定部とは前記幅方向に離間して配置され、前記第二の連結部と前記第一の固定部とは前記幅方向に離間して配置された請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載のフィルム搬送処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム搬送処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、フィルム基板は、軽く、柔軟性があるという利点から、タッチパネルや薄膜太陽電池等の様々な用途に用いられている。
フィルムを処理場所に搬送して処理するフィルム搬送処理に関しては、下記特許文献１では、グリップフィード方式の装置が開示されている。
【０００３】
しかし、この装置ではフィルムを挟み込んで把持するため、把持手段を当然処理面に接触させる必要がある。接触部分は接触時に損傷している可能性があるため、接触部分を処理未使用部分として最終的には切断する必要があり、フィルムに無駄な領域が生まれるという不都合があった。
また、上記装置はフィルムの川幅方向の端部の一部のみを把持する構成であり、搬送中にフィルムがたわむことにより、皺が発生することが懸念された。
【０００４】
下記特許文献２では、フィルムに面状にエアを吹き付けて皺を伸ばす方法が開示され、また凹溝によりフィルムの川幅方向にエアの方向性を持たせることが記載されているが（下記特許文献２の段落００３８参照）、実際には、エア導入口からの吹き出しが壁面の凹溝に倣うように吹き出していないため、エアの流れは凹溝の外周部では外周方向に流れるが、外周部より内側の中央部では乱流が発生し、中央部の皺を完全には取り除くことができないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３３５４４３号公報
【特許文献２】特開２０１１−６６０９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、フィルムの処理面に接触することなく、かつ処理面に皺を発生させずにフィルムを処理場所に搬送できるフィルム搬送処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明は、表面にフィルムを吸着する第一、第二の吸着板と、前記第一、第二の吸着板に固定され、前記第一、第二の吸着板を支持する第一、第二の支柱と、前記第一、第二の支柱を、前記第一、第二の吸着板の表面に対して直角な昇降方向に沿って往復移動させる昇降装置と、前記第一、第二の支柱を、前記第一、第二の吸着板の表面と平行な搬送方向に沿って往復移動させる主移動装置と、を有し、前記第一の支柱と前記第二の支柱とは、前記第一、第二の吸着板の表面と平行な方向に離間して配置され、受け渡し場所と、処理場所とが設けられ、前記昇降装置と前記主移動装置とを動作させ、前記第一の吸着板と前記第二の吸着板の高さを異ならせて、前記第一、第二の吸着板を衝突しない高さで前記搬送方向に沿って逆方向に移動させ、前記第一の吸着板が前記受け渡し場所に位置し、前記第二の吸着板が前記処理場所に位置する第一の状態と、前記第二の吸着板が前記受け渡し場所に位置し、前記第一の吸着板が前記処理場所に位置する第二の状態との間を、交互に繰り返し変更させる制御装置が設けられ、前記主移動装置は、前記搬送方向と平行に向けられた第一、第二のレールと、前記第一、第二のレール上に配置され、前記第一、第二のレールに沿って移動する第一、第二の移動部材とを有し、前記第一の移動部材と前記第一のレールとの間の前記昇降方向の中心間距離は一定であり、前記第二の移動部材と前記第二のレールとの間の前記昇降方向の中心間距離は一定であるフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、前記搬送方向に離間して配置され、帯状の前記フィルムが掛け渡される第一、第二のローラを有し、前記受け渡し場所と前記処理場所とは、前記第一のローラと前記第二のローラとの間に、前記搬送方向に沿って並んで配置されたフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、前記処理場所と離間して対面する位置には、前記フィルムの表面を処理する処理装置が配置されたフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、前記第一、第二の吸着板を、前記第一、第二の吸着板の表面と平行で、前記搬送方向に対して直角な幅方向に往復移動させる補助移動装置を有するフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、前記受け渡し場所と離間して対面する位置には、前記フィルムの皺を取る皺取り装置が配置されたフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、前記第一、第二の吸着板の表面には複数の吸着孔が設けられ、前記第一、第二の吸着板には、前記吸着孔から前記第一、第二の吸着板の表面と前記フィルムとの間のガスを排気する排気手段が接続されたフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、前記第一、第二の支柱は、前記第一、第二の吸着板に固定された第一、第二の固定部と、前記第一、第二の固定部と対向された第一、第二の支持部と、前記第一、第二の支持部と前記第一、第二の固定部とを連結する第一、第二の連結部とを有する断面「コ」字状に形成され、前記第一の支持部と前記第一の固定部との間の間隔は、前記第二の吸着板と前記第二の固定部とを合わせた厚みより広く、前記第二の支持部と前記第二の固定部との間の間隔は、前記第一の吸着板と前記第一の固定部とを合わせた厚みより広くされ、前記第一の連結部と前記第二の固定部とは前記幅方向に離間して配置され、前記第二の連結部と前記第一の固定部とは前記幅方向に離間して配置されたフィルム搬送処理装置である。
【発明の効果】
【０００８】
フィルムを吸着板に吸着しながら搬送できるので、吸着板上のフィルムには搬送による皺の発生を防止でき、処理場所での表面処理の精度を向上できる。
フィルムの表面に接触せずにフィルムを搬送できるので、搬送によりフィルムの表面が損傷することを防止でき、フィルムの無駄な部分を低減できる。
第一、第二の吸着板を交互に処理場所に搬送できるので、装置全体のタクトタイムを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明のフィルム搬送処理装置の概略側面図
【図２】本発明のフィルム搬送処理装置の概略正面図
【図３】吸着板の内部構成図
【図４】吸着板の別例の内部構成図
【図５】皺取り装置の概略平面図
【図６】皺取り装置の概略正面図
【図７】吹出管移動装置の別例を説明するための図（その１）
【図８】吹出管移動装置の別例を説明するための図（その２）
【図９】（ａ）〜（ｅ）：皺取り装置の動作方法を説明するための図
【図１０】本発明のフィルム搬送処理装置の使用方法を説明するための図（その１）
【図１１】本発明のフィルム搬送処理装置の使用方法を説明するための図（その２）
【図１２】本発明のフィルム搬送処理装置の使用方法を説明するための図（その３）
【図１３】皺取り装置の別例の概略平面図
【図１４】皺取り装置の別例の概略正面図
【図１５】吹出孔の法線が傾けられた構成を説明するための図
【図１６】（ａ）〜（ｅ）：皺取り装置の別例の動作方法を説明するための図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明のフィルム搬送処理装置の構造を説明する。
図１は、フィルム搬送処理装置１０の概略側面図である。
【００１１】
フィルム搬送処理装置１０は、表面にフィルム５０を吸着する第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂと、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂに固定され、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂを支持する第一、第二の支柱２２ａ、２２ｂと、第一、第二の支柱２２ａ、２２ｂを、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂの表面に対して直角な昇降方向１８に沿って往復移動させる第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂと、第一、第二の支柱２２ａ、２２ｂを、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂの表面と平行な搬送方向１７に沿って往復移動させる第一、第二の主移動装置２４ａ、２４ｂとを有している。
【００１２】
本実施形態では、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂの下方には台座２６が配置され、第一、第二の主移動装置２４ａ、２４ｂは台座２６上にそれぞれ配置され、第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂは第一、第二の主移動装置２４ａ、２４ｂ上にそれぞれ配置され、第一、第二の支柱２２ａ、２２ｂは第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂ上にそれぞれ配置されている。
【００１３】
図２はフィルム搬送処理装置１０の概略正面図である。
第一、第二の主移動装置２４ａ、２４ｂは、搬送方向１７と平行に向けられた直線状の第一、第二のレール４５ａ、４５ｂと、第一、第二のレール４５ａ、４５ｂ上に配置され、第一、第二のレール４５ａ、４５ｂに沿って移動する第一、第二の移動部材４６ａ、４６ｂとを有している。
【００１４】
本実施形態では、第一、第二の主移動装置２４ａ、２４ｂはリニアモータであり、第一、第二のレール４５ａ、４５ｂには複数の固定電磁石（不図示）が長手方向に沿って並んで設けられ、第一、第二の移動部材４６ａ、４６ｂには可動磁石（不図示）が設けられている。
【００１５】
第一、第二のレール４５ａ、４５ｂに設けられた固定電磁石の磁極が長手方向に沿って交互に変化すると、固定電磁石と可動磁石との間に発生する磁力により、第一、第二の移動部材４６ａ、４６ｂは第一、第二のレール４５ａ、４５ｂ上を長手方向に沿って移動される。
【００１６】
第一の移動部材４６ａと第一のレール４５ａとの間の昇降方向１８の中心間距離は一定であり、第二の移動部材４６ｂと第二のレール４５ｂとの間の昇降方向１８の中心間距離は一定である。すなわち、第一、第二の移動部材４６ａ、４６ｂは第一、第二のレール４５ａ、４５ｂから分離されず、第一、第二の主移動装置２４ａ、２４ｂのアライメント精度が維持される。
【００１７】
なお、第一、第二の主移動装置２４ａ、２４ｂは、第一、第二のレール４５ａ、４５ｂと第一、第二の移動部材４６ａ、４６ｂとの間の昇降方向１８の中心間距離を一定に維持しながら搬送方向１７の動力を発生できるならば、上述のリニアモータに限定されず、例えばラック・アンド・ピニオン又はボールネジであってもよい。
【００１８】
本実施形態では、第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂは筒状のエアシリンダであり、中心軸線を昇降方向１８と平行な向きに向けられて第一、第二の移動部材４６ａ、４６ｂ上に配置されている。第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂの一端は第一、第二の移動部材４６ａ、４６ｂに固定され、他端は第一、第二の支柱２２ａ、２２ｂに固定されている。
【００１９】
第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂの筒の内部に圧縮空気を出し入れすると、一端と他端との間の距離が伸び縮みして、第一、第二の支柱２２ａ、２２ｂは昇降方向１８に往復移動する。
【００２０】
なお、第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂは昇降方向１８の動力を発生できるならば、上述のエアシリンダに限定されず、例えばラック・アンド・ピニオン、ボールネジ、又はリニアモータであってもよい。
第一の支柱２２ａと第二の支柱２２ｂとは、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂの表面と平行な方向に離間して配置されている。
【００２１】
第一、第二の支柱２２ａ、２２ｂは、好ましくは、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂに固定された第一、第二の固定部４１ａ、４１ｂと、第一、第二の固定部４１ａ、４１ｂと対向された第一、第二の支持部４３ａ、４３ｂと、第一、第二の支持部４３ａ、４３ｂと第一、第二の固定部４１ａ、４１ｂとを連結する第一、第二の連結部４２ａ、４２ｂとを有する断面「コ」字状に形成されている。
【００２２】
第一、第二の支持部４３ａ、４３ｂは第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂにそれぞれ固定されている。
第一の固定部４１ａと第一の支持部４３ａとの間の間隔は、第二の吸着板２１ｂと第二の固定部４１ｂとを合わせた厚みより広く、第二の固定部４１ｂと第二の支持部４３ｂとの間の間隔は、第一の吸着板２１ａと第一の固定部４１ａとを合わせた厚みより広くされている。
【００２３】
また、第一の連結部４２ａと第二の固定部４１ｂとは幅方向１９に離間して配置され、第二の連結部４２ｂと第一の固定部４１ａとは幅方向１９に離間して配置されている。
そのため、第一の吸着板２１ａと第一の固定部４１ａとが、第二の支持部４３ｂより高くかつ第二の固定部４１ｂより低い位置に配置された状態、又は第二の吸着板２１ｂと第二の固定部４１ｂとが、第一の支持部４３ａより高くかつ第一の固定部４１ａより低い位置に配置された状態では、第一、第二の主移動装置２４ａ、２４ｂを動作させ、第一、第二の支柱２２ａ、２２ｂを搬送方向１７に沿って互いに近づく向きに移動させても、第一の吸着板２１ａが固定された第一の支柱２２ａと、第二の吸着板２１ｂが固定された第二の支柱２２ｂとは互いに衝突せずにすれ違う。
【００２４】
第一、第二の支柱２２ａ、２２ｂが断面「コ」字状に形成されたことにより、第一、第二の支柱２２ａ、２２ｂに固定された第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂは互いに近接して配置され、フィルム搬送処理装置１０全体の容積がコンパクトになっている。
【００２５】
また、第一、第二の支柱２２ａ、２２ｂが断面「コ」字状に形成されたことにより、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂの重心を通る鉛直線は、第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂに近接され、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂの重みから第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂに加わる力のモーメントが低減されている。
【００２６】
第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂの構造は同一であり、第一の吸着板２１ａで代表して説明する。
図３は第一の吸着板２１ａの内部構成図である。
【００２７】
第一の吸着板２１ａの表面には複数の吸着孔５１が設けられ、第一の吸着板２１ａには、吸着孔５１から第一の吸着板２１ａの表面とフィルム５０の裏面との間のガスを排気する排気手段５２が接続されている。
【００２８】
本実施形態では、第一の吸着板２１ａの本体５４には凹部５３が設けられ、凹部５３の開口はスポンジ状の多孔質部材５５で蓋されている。凹部５３の壁面には排気口５６が設けられ、排気手段５２は排気口５６に接続されている。
【００２９】
排気手段５２を動作させると、凹部５３と多孔質部材５５とで囲まれた内部空間のガスは排気口５６から排出され、内部空間は減圧され、第一の吸着板２１ａの表面とフィルム５０の裏面との間のガスは、多孔質部材５５の孔から、第一の吸着板２１ａの表面内で均等な流量で、内部空間に吸い込まれる。すなわち、本実施形態では、多孔質部材５５の孔が吸着孔５１である。
【００３０】
なお、多孔質部材５５の代わりに、図４を参照し、厚み方向に貫通する細孔からなる吸着孔５１が表面に均等に設けられた板部材５７が用いられてもよい。
【００３１】
吸着孔５１から第一の吸着板２１ａの表面とフィルム５０の裏面との間のガスを排気すると、第一の吸着板２１ａの表面に接触するフィルム５０は、第一の吸着板２１ａの表面に真空吸着される。
【００３２】
第一の吸着板２１ａの表面にフィルム５０を真空吸着させながら、第一の吸着板２１ａを移動させると、第一の吸着板２１ａ上のフィルム５０は第一の吸着板２１ａと一緒に移動する。
【００３３】
図１を参照し、フィルム搬送処理装置１０には、受け渡し場所３１と処理場所３２とが、搬送方向１７に沿って並んで設けられており、第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂと第一、第二の主移動装置２４ａ、２４ｂとを動作させ、第一の吸着板２１ａと第二の吸着板２１ｂの高さを異ならせて、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂを衝突しない高さで搬送方向１７に沿って逆方向に移動させ、第一の吸着板２１ａが受け渡し場所３１に位置し、第二の吸着板２１ｂが処理場所３２に位置する第一の状態と、第二の吸着板２１ｂが受け渡し場所３１に位置し、第一の吸着板２１ａが処理場所３２に位置する第二の状態との間を、交互に繰り返し変更させる制御装置２７が設けられている。
【００３４】
受け渡し場所３１と離間して対面する位置には、フィルム５０の表面に押圧ガスを吹き付けて、フィルム５０を押圧してフィルム５０の皺を取る皺取り装置３３が配置されている。
【００３５】
なお、受け渡し場所３１は平面状であり、ここでは、フィルム５０は水平にされているから、受け渡し場所３１も水平に配置されており、その結果、皺取り装置３３は処理場所３２の上方に配置されている。フィルム５０が鉛直に配置されている場合は、受け渡し場所３１も鉛直に配置され、その結果、皺取り装置３３は受け渡し場所３１の側方に配置される。
【００３６】
図５は皺取り装置３３の概略平面図、図６は同概略正面図である。
皺取り装置３３は、受け渡し場所３１と離間して対面する位置に配置された第一の吹出管６１1と、第一の吹出管６１1に近接して配置された第二の吹出管６１2と、第一、第二の吹出管６１1、６１2の受け渡し場所３１に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた第一、第二の吹出孔６２1、６２2と、第一、第二の吹出管６１1、６１2に押圧ガスを供給するガス供給部６４と、第一の吹出管６１1と第二の吹出管６１2との間が次第に離間するように、第一、第二の吹出管６１1、６１2を移動させる吹出管移動装置６３1、６３2とを有している。
【００３７】
第一、第二の吹出管６１1、６１2は直線状の筒であり、受け渡し場所３１に対面する位置に、互いに隣接して配置され、それぞれの長手方向は搬送方向１７と平行な向きに向けられている。
【００３８】
ガス供給部６４は第一、第二の吹出管６１1、６１2に接続されており、ガス供給部６４から第一、第二の吹出管６１1、６１2の内側に押圧ガスが供給されると、供給された押圧ガスは各第一、第二の吹出孔６２1、６２2から第一、第二の吹出管６１1、６１2の長手方向にわたって均等な流量で放出される。
【００３９】
なお、第一、第二の吹出孔６２1、６２2から第一、第二の吹出管６１1、６１2の長手方向にわたって均等な流量で押圧ガスを吹き出すことができるならば、第一、第二の吹出管６１1、６１2の側面はスポンジ状の多孔質部材から成り、第一、第二の吹出孔６２1、６２2はその多孔質部材の孔であってもよい。
【００４０】
吹出管移動装置６３1、６３2はここではモーターを備えており、第一、第二の吹出管６１1、６１2にそれぞれ接続され、第一、第二の吹出管６１1、６１2に、幅方向１９と平行な、互いに逆向きの動力を伝達するように構成されている。
【００４１】
吹出管移動装置６３1、６３2から第一、第二の吹出管６１1、６１2に動力が伝達されると、第一、第二の吹出管６１1、６１2は、幅方向１９と平行な、互いに逆向きの方向に移動され、第一の吹出管６１1と第二の吹出管６１2との間は次第に離間する。
【００４２】
なお、吹出管移動装置６３1、６３2は第一の吹出管６１1と第二の吹出管６１2との間が次第に離間するように、第一、第二の吹出管６１1、６１2を移動できるならば上記構成に限定されない。
【００４３】
図７の符号６５1、６５2は吹出管移動装置の別例を示している。
この吹出管移動装置６５1、６５2はモーターを備えており、第一、第二の吹出管６１1、６１2の長手方向の端部にそれぞれ配置され、第一、第二の吹出管６１1、６１2に、昇降方向１８と平行な回転軸線６６1、６６2を中心とする、互いに逆向きの回転動力を伝達するように構成されている。
【００４４】
吹出管移動装置６５1、６５2から第一、第二の吹出管６１1、６１2に回転動力が伝達されると、図８を参照し、第一、第二の吹出管６１1、６１2は、昇降方向１８と平行な回転軸線６６1、６６2を中心として、互いに逆方向に回転され、第一の吹出管６１1と第二の吹出管６１2との間は次第に離間する。図８の符号６７1、６７2は第一、第二の吹出管６１1、６１2の回転方向を示している。
【００４５】
図９（ａ）〜（ｅ）を参照し、皺取り装置３３の動作方法を説明する。ここでは受け渡し場所３１に第一の吸着板２１ａを配置した場合を説明するが、第一の吸着板２１ａの代わりに第二の吸着板２１ｂを配置した場合も皺取り装置３３の動作方法は同じである。
【００４６】
図９（ａ）を参照し、排気手段５２の動作を停止しておき、受け渡し場所３１に第一の吸着板２１ａを配置する。符号７２1、７２2はフィルム５０の皺を示している。
第一、第二の吹出管６１1、６１2を互いに近接させておく。
【００４７】
図９（ｂ）を参照し、第一、第二の吹出孔６２1、６２2からの押圧ガスの吹き出しを開始する。
第一、第二の吹出孔６２1、６２2から吹き出された押圧ガスは、フィルム５０上の第一、第二の吹出孔６２1、６２2に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2にそれぞれ吹き付けられ、押圧ガスにより第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2は第一の吸着板２１ａに向かって押圧され、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の部分は第一の吸着板２１ａの表面に接触する。
【００４８】
第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2に吹き付けられた押圧ガスは、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺７２1、７２2を外側に向かって押しやり、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置より外側に移動させる。
【００４９】
図９（ｃ）〜（ｅ）を参照し、第一、第二の吹出孔６２1、６２2からの押圧ガスの吹き出しを継続しながら、第一、第二の吹出管６１1、６１2を、幅方向１９に平行な、互いに逆向きの方向に移動させ、第一の吹出管６１1と第二の吹出管６１2との間を次第に離間させる。
【００５０】
第一の吹出管６１1と第二の吹出管６１2との間が次第に離間するに従って、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間が次第に離間し、皺７２1、７２2は第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置より外側に位置する状態を維持しながら、第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2の進行方向に向かって押しやられ、移動する。そのため、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置は皺７２1、７２2が取り除かれた状態で第一の吸着板２１ａの表面に接触する。
【００５１】
本実施形態では、第一、第二の吹出管６１1、６１2の長手方向は搬送方向１７と平行に向けられ、吹出管移動装置６３1、６３2は第一、第二の吹出管６１1、６１2を幅方向１９と平行な方向に移動させるように構成されており、第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2に吹き付けられた押圧ガスは、フィルム５０の幅方向１９の端部に向かって流れやすく、搬送方向１７に向かって流れることは抑制され、フィルム５０が押圧ガスに押されて搬送方向１７に位置ズレすることが防止される。
【００５２】
第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2を次第に離間させた後、排気手段５２を動作させ、第一の吸着板２１ａの表面とフィルム５０の裏面との間の排気を開始する。フィルム５０のうち第一の吸着板２１ａの表面に接触する部分は、第一の吸着板２１ａの表面に真空吸着される。
【００５３】
上述の説明では、第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2を次第に離間させた後、第一の吸着板２１ａとフィルム５０との間の排気を開始したが、第一、第二の吹出孔６２1、６２2からの押圧ガスの吹き出しを開始する前に、第一の吸着板２１ａの表面とフィルム５０の裏面との間の排気を開始し、以後排気を継続してもよい。
【００５４】
第一の吸着板２１ａの表面とフィルム５０の裏面との間を排気しながら、第一、第二の吹出孔６２1、６２2から第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2に押圧ガスを吹き付けて押圧すると、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の部分は第一の吸着板２１ａの表面に接触し、接触直後に真空吸着される。
【００５５】
第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間を次第に離間させると、皺７２1、７２2は第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置より外側に位置しながら、第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2の進行方向に向かって押しやられ、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置は皺７２1、７２2が取り除かれた状態で第一の吸着板２１ａの表面に接触し、接触直後に真空吸着される。
【００５６】
図１を参照し、処理場所３２と離間して対面する位置には、フィルム５０の表面を処理する処理装置３４が配置されている。
処理場所３２は平面状であり、上述したように、フィルム５０は水平であるから、処理場所３２も、受け渡し場所３１と同様に、水平に配置されており、その結果、処理装置３４も処理場所３２の上方に配置されていることになる。
【００５７】
処理場所３２についても、フィルム５０が鉛直に配置されている場合は鉛直に配置され、その結果、処理装置３４は処理場所３２の側方に配置される。
処理装置３４は、ここではフィルム５０の表面に紫外線を照射する露光装置であるが、フィルム５０の表面を処理できるならば露光装置に限定されず、例えばフィルム５０の表面に吐出液を塗布するインクジェット装置であってもよい。
【００５８】
処理装置３４の近傍には撮像装置３５が配置されている。撮像装置３５はここではＣＣＤカメラであり、フィルム５０の表面に設けられた位置合わせマークを撮像できるようになっている。
【００５９】
本実施形態では、フィルム搬送処理装置１０は、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂを、第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂの表面と平行で、搬送方向１７に対して直角な幅方向１９に往復移動させる第一、第二の補助移動装置２５ａ、２５ｂを有している。
【００６０】
第一、第二の補助移動装置２５ａ、２５ｂはここではリニアモータであり、幅方向１９と平行に向けられた直線状の第一、第二の補助レール４７ａ、４７ｂと、第一、第二の補助レール４７ａ、４７ｂに沿って移動する第一、第二の補助移動部材４８ａ、４８ｂとを有している。
【００６１】
第一、第二の補助レール４７ａ、４７ｂと第一、第二の補助移動部材４８ａ、４８ｂの構造は、主移動装置２４ａ、２４ｂの第一、第二のレール４５ａ、４５ｂと第一、第二の移動部材４６ａ、４６ｂの構造と同じであり、説明を省略する。
【００６２】
第一、第二の補助レール４７ａ、４７ｂは台座２６上にそれぞれ固定され、第一、第二の補助移動部材４８ａ、４８ｂは第一、第二の補助レール４７ａ、４７ｂ上にそれぞれ配置されている。そして、第一、第二の主移動装置２４ａ、２４ｂの第一、第二のレール４５ａ、４５ｂは第一、第二の補助移動部材４８ａ、４８ｂにそれぞれ固定されている。
【００６３】
第一、第二の補助移動装置２５ａ、２５ｂを動作させると、第一、第二のレール４５ａ、４５ｂは幅方向１９に沿って往復移動する。
なお、第一、第二の補助移動装置２５ａ、２５ｂは、幅方向１９の動力を発生できるならばリニアモータに限定されず、例えばラック・アンド・ピニオン、又はボールネジであってもよい。
【００６４】
本実施形態では、フィルム搬送処理装置１０は、搬送方向１７に離間して配置され、帯状のフィルム５０が掛け渡される第一、第二のローラ１４ａ、１４ｂを有している。
第一のローラ１４ａの近傍には第一の補助ローラ１２ａと第一のダンサー機構１３ａと第一のボビン１１ａとが配置され、第二のローラ１４ｂの近傍には第二の補助ローラ１２ｂと第二のダンサー機構１３ｂと第二のボビン１１ｂとが配置されている。
【００６５】
第一、第二のローラ１４ａ、１４ｂと第一、第二の補助ローラ１２ａ、１２ｂと第一、第二のボビン１１ａ、１１ｂとはそれぞれ筒形状であり、それぞれの中心軸線は幅方向１９と平行な向きに向けられている。
【００６６】
第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂは、好ましくはエアーダンサーであり、不図示の排気ポンプが接続されている。排気ポンプを動作させると、第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂ内は減圧され、第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂ内のフィルム５０には、大気圧との差圧による引っ張り力がそれぞれ発生する。
【００６７】
上述のフィルム搬送処理装置１０を用いたフィルム搬送処理方法を説明する。
（準備工程）
図１０を参照し、長手方向の一端を中心にロール状に巻かれた帯状のフィルム５０のロールの中心に第一のボビン１１ａを挿入する。そしてロールの外周からフィルム５０の端部を引き出し、第一の補助ローラ１２ａに掛け渡した後、第一のダンサー機構１３ａ内を通して、第一のローラ１４ａから第二のローラ１４ｂに掛け渡した後、第二のダンサー機構１３ｂを通して、第二の補助ローラ１２ｂに掛け渡し、第二のボビン１１ｂに巻き付ける。
【００６８】
第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂの動作を開始する。第一のダンサー機構１３ａ内のフィルム５０と、第二のダンサー機構１３ｂ内のフィルム５０には引っ張り力がそれぞれ発生し、その二力によって、第一のローラ１４ａと第二のローラ１４ｂとの間のフィルム５０は搬送方向１７に沿って直線状に張られる。
【００６９】
このとき、第一のローラ１４ａと第二のローラ１４ｂとの間のフィルム５０には幅方向１９の力が発生しておらず、長手方向に沿った皺が発生するおそれがある。
ここでは第一の吸着板２１ａを処理場所３２に配置し、第二の吸着板２１ｂを受け渡し場所３１の下方に配置しておく。
【００７０】
（第一のステップ）
図１１を参照し、第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂを動作させ、第一の吸着板２１ａを降下させる一方で、第二の吸着板２１ｂを上昇させて受け渡し場所３１に配置する。
皺取り装置３３と排気手段５２とを動作させ、第二の吸着板２１ｂ上のフィルム５０から皺を取り除き、皺が取り除かれたフィルム５０を第二の吸着板２１ｂに真空吸着させる。
【００７１】
（第二のステップ）
図１２を参照し、第二の吸着板２１ｂの真空吸着を維持しながら、第二の吸着板２１ｂを搬送方向１７に移動させて処理場所３２に配置する一方で、第一の吸着板２１ａを搬送方向１７とは逆向きに移動させて受け渡し場所３１の下方に配置する。
【００７２】
第一のローラ１４ａと第二のローラ１４ｂとの間に掛け渡されたフィルム５０は第二の吸着板２１ｂと一緒に搬送方向１７に搬送され、第二の吸着板２１ｂ上のフィルム５０は処理装置３４と対向する。
【００７３】
第二の吸着板２１ｂと第一、第二のボビン１１ａ、１１ｂとの間のフィルム５０はダンサー機構１３ａ、１３ｂ内で弛み量を調整されており、第二の吸着板２１ｂの移動に応じて第一のボビン１１ａからはフィルム５０が繰り出され、第二のボビン１１ｂではフィルム５０が巻き取られる。ダンサー機構１３ａ、１３ｂがフィルム５０を引っ張る力は第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂの吸着力より弱く、搬送中に第二の吸着板２１ｂ上のフィルム５０がダンサー機構１３ａ、１３ｂから引っ張られて搬送方向１７に位置ズレすることはない。
【００７４】
撮像装置３５によりフィルム５０の表面の位置合わせマークを撮像しながら、第二の主移動装置２４ｂと第二の補助移動装置２５ｂとを動作させて、第二の吸着板２１ｂ上のフィルムを処理装置３４に対して位置合わせする。
【００７５】
第二の吸着板２１ｂ上のフィルム５０は、第二の吸着板２１ｂに真空吸着されており、第二の吸着板２１ｂの移動中に第二の吸着板２１ｂ上のフィルム５０には皺が発生しない。
【００７６】
第二の吸着板２１ｂの真空吸着を維持しながら、処理装置３４を動作させて、第二の吸着板２１ｂ上のフィルム５０の表面を処理する。第二の吸着板２１ｂ上のフィルム５０は皺が取り除かれた状態で真空吸着されており、フィルム５０の表面を精度よく処理することができる。
【００７７】
第二の吸着板２１ｂ上のフィルム５０を表面処理したのち、第二の吸着板２１ｂの真空吸着を解消する。
【００７８】
（第三のステップ）
図１を参照し、第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂを動作させ、第二の吸着板２１ｂを降下させる一方で、第一の吸着板２１ａを上昇させて受け渡し場所３１に配置する。
皺取り装置３３と排気手段５２とを動作させ、第一の吸着板２１ａ上のフィルム５０から皺を取り除き、皺が取り除かれたフィルム５０を第一の吸着板２１ａに真空吸着させる。
【００７９】
（第四のステップ）
図１０を参照し、第一の吸着板２１ａの真空吸着を維持しながら、第一の吸着板２１ａを搬送方向１７に移動させて処理場所３２に配置する一方で、第二の吸着板２１ｂを搬送方向１７とは逆向きに移動させて受け渡し場所３１の下方に配置する。
【００８０】
第一のローラ１４ａと第二のローラ１４ｂとの間に掛け渡されたフィルム５０は第一の吸着板２１ａと一緒に搬送方向１７に搬送され、第一の吸着板２１ａ上のフィルム５０は処理装置３４と対向する。
【００８１】
第一の吸着板２１ａと第一、第二のボビン１１ａ、１１ｂとの間のフィルム５０はダンサー機構１３ａ、１３ｂ内で弛み量を調整されており、第一の吸着板２１ａの移動に応じて第一のボビン１１ａからはフィルム５０が繰り出され、第二のボビン１１ｂではフィルム５０が巻き取られる。ダンサー機構１３ａ、１３ｂがフィルム５０を引っ張る力は第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂの吸着力より弱く、搬送中に第一の吸着板２１ａ上のフィルム５０がダンサー機構１３ａ、１３ｂから引っ張られて搬送方向１７に位置ズレすることはない。
【００８２】
撮像装置３５によりフィルム５０の表面の位置合わせマークを撮像しながら、第一の主移動装置２４ａと第一の補助移動装置２５ａとを動作させて、第一の吸着板２１ａ上のフィルムを処理装置３４に対して位置合わせする。
【００８３】
第一の吸着板２１ａ上のフィルム５０は、第一の吸着板２１ａに真空吸着されており、第一の吸着板２１ａの移動中に第一の吸着板２１ａ上のフィルム５０には皺が発生しない。
【００８４】
第一の吸着板２１ａの真空吸着を維持しながら、処理装置３４を動作させて、第一の吸着板２１ａ上のフィルム５０の表面を処理する。第一の吸着板２１ａ上のフィルム５０は皺が取り除かれた状態で真空吸着されており、フィルム５０の表面を精度よく処理することができる。
【００８５】
第一の吸着板２１ａ上のフィルム５０を表面処理したのち、第一の吸着板２１ａの真空吸着を解消する。
【００８６】
上述の第一〜第四のステップを順に繰り返す。フィルム５０は搬送方向１７に搬送されながら、長手方向に沿って順に表面処理され、第二のボビン１１ｂに巻き取られる。
【００８７】
第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂはフィルム５０の裏面に接触し、フィルム５０の表面には接触しないから、搬送によりフィルム５０の表面が損傷することが防止され、フィルム５０の無駄な部分が低減する。
【００８８】
二枚の吸着板２１ａ、２１ｂを交互に処理場所３２に搬送する構成により、一枚の吸着板だけを搬送する構成に比べて、装置全体のタクトタイムが低減する。
【００８９】
上述の説明では第一のステップから動作を開始したが、第二、第三又は第四のステップから動作を開始してもよい。
なお、皺取り装置３３は上述の構成に限定されない。皺取り装置３３の構造の別例を説明する。
図１３はこの皺取り装置３３’の概略平面図、図１４は同概略正面図である。
【００９０】
この皺取り装置３３’は、受け渡し場所３１と離間して対面する位置に一列に並んで配置された複数の吹出管８１1〜８１8と、各吹出管８１1〜８１8の受け渡し場所３１に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた吹出孔８２と、各吹出管８１1〜８１8に押圧ガスを供給するガス供給部８４と、各吹出管８１1〜８１8とガス供給部８４との間の接続を切り替える切替部８３と、切替部８３に制御信号を送信して、符号８１1〜８１8の吹出管から選択された第一の吹出管と、第一の吹出管に近接した第二の吹出管とをガス供給部８４に接続し、第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各吹出管８１1〜８１8をガス供給部８４に順次接続する吹出制御装置８５とを有している。
【００９１】
本実施形態では、各吹出管８１1〜８１8は直線状の筒であり、受け渡し場所３１と離間して対面する位置に互いに隣接して一列に並んで配置され、それぞれの長手方向は搬送方向１７と平行な向きに向けられている。
【００９２】
切替部８３は、開閉可能な複数のバルブ８６を有しており、各吹出管８１1〜８１8はそれぞれ異なるバルブ８６を介してガス供給部８４に接続されている。
バルブ８６にはここでは電磁バルブが用いられているが、シーケンスバルブ又はチェック弁等が用いられてもよい。
【００９３】
各吹出管８１1〜８１8は、それぞれバルブ８６が開状態にされるとガス供給部８４に接続され、バルブ８６が閉状態にされるとガス供給部８４から切断される。
【００９４】
各吹出管８１1〜８１8がガス供給部８４に接続されると、ガス供給部８４から各吹出管８１1〜８１8の内側に押圧ガスが供給され、供給された押圧ガスは吹出孔８２から各吹出管８１1〜８１8の長手方向にわたって均等な流量で放出される。
【００９５】
なお、吹出孔８２から各吹出管８１1〜８１8の長手方向にわたって均等な流量で押圧ガスを吹き出すことができるならば、各吹出管８１1〜８１8の側面はスポンジ状の多孔質部材から成り、吹出孔８２はその多孔質部材の孔であってもよい。
【００９６】
吹出制御装置８５は切替部８３に接続され、切替部８３に制御信号を送信して、符号８１1〜８１8の吹出管から選択された第一の吹出管と、第一の吹出管に近接した第二の吹出管とをガス供給部８４に接続し、第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各吹出管８１1〜８１8をガス供給部８４に順次接続するように構成されている。
【００９７】
図１６（ａ）〜（ｅ）を参照し、この皺取り装置３３’の動作方法を説明する。ここでは受け渡し場所３１に第一の吸着板２１ａを配置した場合を説明するが、第一の吸着板２１ａの代わりに第二の吸着板２１ｂを配置した場合も皺取り装置３３’の動作方法は同じである。
【００９８】
図１６（ａ）を参照し、ここでは排気手段５２の動作を停止しておき、受け渡し場所３１に第一の吸着板２１ａを配置する。符号７２1、７２2はフィルム５０の皺を示している。
【００９９】
図１６（ｂ）を参照し、符号８１1〜８１8の吹出管から第一、第二の吹出管を選択する。第一、第二の吹出管は、吹出管８１1〜８１8の列の中央に近いものの方が、接続の切替回数を少なくできるため好ましく、ここでは符号８１4、８１5の吹出管を第一、第二の吹出管に選択する。
【０１００】
符号８１1〜８１8の吹出管から選択された第一の吹出管８１4と、第一の吹出管８１4に近接した第二の吹出管８１5とをガス供給部８４に接続し、それぞれの吹出孔８２から押圧ガスを吹き出させる。
【０１０１】
第一、第二の吹出管８１4、８１5の吹出孔８２から吹き出された押圧ガスは、フィルム５０上の第一、第二の吹出管８１4、８１5に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2にそれぞれ吹き付けられ、押圧ガスにより第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2は第一の吸着板２１ａに向かって押圧され、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の部分は第一の吸着板２１ａの表面に接触する。
【０１０２】
第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2に吹き付けられた押圧ガスは、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺７２1、７２2を外側に向かって押しやり、次に接続される符号８１3の吹出管と符号８１6の吹出管との間の位置より外側に移動させる。
【０１０３】
図１６（ｃ）を参照し、既にガス供給部８４に接続された吹出管８１4、８１5の接続を維持しながら、符号８１3、８１6の吹出管をガス供給部８４に接続し、それぞれの吹出孔８２から押圧ガスを吹き出させる。
【０１０４】
符号８１3、８１6の吹出管の吹出孔８２から吹き出された押圧ガスは、フィルム５０上の符号８１3、８１6の吹出管に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2にそれぞれ吹き付けられ、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺７２1、７２2を外側に向かって押しやり、次に接続される符号８１2の吹出管と符号８１7の吹出管との間の位置より外側に移動させる。第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置は皺７２1、７２2が取り除かれた状態で第一の吸着板２１ａの表面に接触する。
【０１０５】
図１６（ｄ）を参照し、既にガス供給部８４に接続された各吹出管８１3〜８１6の接続を維持しながら、符号８１2、８１7の吹出管をガス供給部８４に接続し、それぞれの吹出孔８２から押圧ガスを吹き出させる。
【０１０６】
符号８１2、８１7の吹出管の吹出孔８２から吹き出された押圧ガスは、フィルム５０上の符号８１2、８１7の吹出管に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2にそれぞれ吹き付けられ、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺７２1、７２2を外側に向かって押しやり、次に接続される符号８１1の吹出管と符号８１8の吹出管との間の位置より外側に移動させる。第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置は皺７２1、７２2が取り除かれた状態で第一の吸着板２１ａの表面に接触する。
【０１０７】
図１６（ｅ）を参照し、既にガス供給部８４に接続された吹出管８１2〜８１7の接続を維持しながら、符号８１1、８１8の吹出管をガス供給部８４に接続し、それぞれの吹出孔８２から押圧ガスを吹き出させる。
【０１０８】
符号８１1、８１8の吹出管の吹出孔８２から吹き出された押圧ガスは、フィルム５０上の符号８１1、８１8の吹出管に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2にそれぞれ吹き付けられ、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺７２1、７２2を外側に向かって押しやり、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置は皺７２1、７２2が取り除かれた状態で第一の吸着板２１ａの表面に接触する。
【０１０９】
すなわち、図１６（ｂ）〜（ｅ）を参照し、第一、第二の吹出管８１4、８１5から次第に離間する順序で、各吹出管８１1〜８１8をガス供給部８４に順次接続するに従って、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間が次第に離間し、皺７２1、７２2は第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置より外側に位置する状態を維持しながら、第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2の進行方向に向かって押しやられ、移動する。そのため、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置は皺７２1、７２2が取り除かれた状態で第一の吸着板２１ａの表面に接触する。
【０１１０】
本実施形態では、各吹出管８１1〜８１8の長手方向は搬送方向１７と平行に向けられており、第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2に吹き付けられた押圧ガスは、フィルム５０の幅方向１９の端部に向かって流れやすく、搬送方向１７に向かって流れることは抑制され、フィルム５０が押圧ガスに押されて搬送方向１７に位置ズレすることが防止される。
【０１１１】
なお、図１４の図面上では、各吹出管８１1〜８１8の吹出孔８２の法線は第一の吸着板２１ａの表面に対して直角に向けられていたが、図１５を参照し、第一、第二の吹出管８１4、８１5から離間する向きに傾けられていてもよい。この構成では、各吹出管８１1〜８１8の吹出孔８２から吹き出された押圧ガスには、第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2の進行方向と同じ向きの運動量が付与され、皺７２1、７２2を第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2の進行方向に向かって押しやる力が増加する。そのため、各吹出管８１1〜８１8をガス供給部８４に順次接続する際に、皺７２1、７２2を次に接続される二本の吹出管の間の位置より外側に移動させるまでの時間が短縮され、接続の切替速度を上げることができる。
【０１１２】
ここでは各吹出管８１1〜８１8をガス供給部８４に順次接続する際には、既にガス供給部に接続された吹出管の接続を維持しており、すなわち第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2を次第に離間させる際には、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置には、押圧ガスを吹き付けている。そのため、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の部分と、第一の吸着板２１ａの表面との接触状態は確実に維持され、第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2が通過した部分に新たに皺が発生することが防止される。
【０１１３】
排気手段５２を動作させ、第一の吸着板２１ａの表面とフィルム５０の裏面との間を排気する。フィルム５０のうち第一の吸着板２１ａの表面に接触する部分は、第一の吸着板２１ａの表面に真空吸着される。
【０１１４】
上述の説明では、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間を次第に離間させた後、第一の吸着板２１ａの表面とフィルム５０の裏面との間を排気したが、第一、第二の吹出管８１4、８１5からの押圧ガスの吹き出しを開始する前に、第一の吸着板２１ａの表面とフィルム５０の裏面との間の排気を開始し、以後排気を継続してもよい。
【０１１５】
第一の吸着板２１ａの表面とフィルム５０の裏面との間を排気しながら、第一、第二の吹出管８１4、８１5から第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2に押圧ガスを吹き付けて押圧すると、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の部分は第一の吸着板２１ａの表面に接触し、接触直後に真空吸着される。
【０１１６】
第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間を次第に離間させると、皺７２1、７２2は第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置より外側に位置しながら、第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2の進行方向に向かって押しやられ、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置は皺７２1、７２2が取り除かれた状態で第一の吸着板２１ａの表面に接触し、接触直後に真空吸着される。
【０１１７】
なお、各吹出管８１1〜８１8をガス供給部８４に順次接続する際には、既にガス供給部８４に接続された吹出管の接続を切断し、すなわち第一、第二の吹き付け位置７１1、７１2を次第に離間させる際には、第一の吹き付け位置７１1と第二の吹き付け位置７１2との間の位置には、押圧ガスの吹き付けを停止してもよい。この方法は、上述したように第一、第二の吹出管８１4、８１5からの押圧ガスの吹き出しを開始する前に第一の吸着板２１ａの表面とフィルム５０の裏面との間の排気を開始して、フィルム５０を第一の吸着板２１ａに接触させた直後に真空吸着したり、又はフィルム５０の形状復元力が弱くて一度接触させた部分が第一の吸着板２１ａから離間するおそれがない場合に特に有効であり、押圧ガスの消費量を低減できるという利点がある。
【０１１８】
なお、フィルム５０の厚みが厚くて皺が生じにくい場合には、フィルム搬送処理装置１０から皺取り装置３３又は３３’を省略してもよい。
また、フィルム５０を処理装置３４に対して位置あわせする必要がなければ、フィルム搬送処理装置１０から第一、第二の補助移動装置２５ａ、２５ｂと撮像装置３５とを省略してもよい。
【０１１９】
第一、第二の補助移動装置２５ａ、２５ｂと第一、第二の主移動装置２４ａ、２４ｂと第一、第二の昇降装置２３ａ、２３ｂは、台座２６上に順に積み上げて配置されているならば、積み上げの順序は上述の順序に限定されない。重い装置ほど下方に配置された構成の方が、重心が安定するため好ましい。
【０１２０】
フィルム搬送処理装置１０から第一、第二のローラ１４ａ、１４ｂを省略し、第一、第三のステップでは受け渡し場所３１に配置された第一、第二の吸着板２１ａ、２１ｂにシート状のフィルム５０を一枚ずつ載せて処理を行ってもよい。
【符号の説明】
【０１２１】
１０……フィルム搬送処理装置
１４ａ、１４ｂ……第一、第二のローラ
１７……搬送方向
１８……昇降方向
２１ａ、２１ｂ……第一、第二の吸着板
２２ａ、２２ｂ……第一、第二の支柱
２３ａ、２３ｂ……第一、第二の昇降装置
２４ａ、２４ｂ……第一、第二の主移動装置
２５ａ、２５ｂ……第一、第二の補助移動装置
３１……受け渡し場所
３２……処理場所
３３、３３’……皺取り装置
３４……処理装置
４１ａ、４１ｂ……第一、第二の固定部
４２ａ、４２ｂ……第一、第二の連結部
４３ａ、４３ｂ……第一、第二の支持部
４５ａ、４５ｂ……第一、第二のレール
４６ａ、４６ｂ……第一、第二の移動部材
５０……フィルム
５１……吸着孔
５２……排気手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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