(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行に配列された複数本の帯状導体の一側の面が第１の絶縁フィルムで被覆されていると共に、前記複数本の帯状導体の他側の面が第２の絶縁フィルムで被覆されている平型ケーブルに対して、前記複数本の帯状導体を所望領域で露出させるために、レーザ光を照射することによって前記第１および第２の絶縁フィルムを除去する平型ケーブルの被覆材除去方法であって、
まず、平型ケーブルの他側の面で前記所望領域内の前記第２の絶縁フィルムに冷却媒体を直接吹き付けて当該第２の絶縁フィルムを冷却しながら、平型ケーブルの一側の面で前記所望領域内の前記第１の絶縁フィルムにレーザ光を照射し、しかる後、前記平型ケーブルの他側の面で前記所望領域内の前記第２の絶縁フィルムにレーザ光を照射するようにしたことを特徴とする平型ケーブルの被覆材除去方法。
【請求項２】
請求項１の記載において、前記第１の絶縁フィルムおよび第２の絶縁フィルムと前記複数本の帯状導体との間に接着層が介設されていることを特徴とする平型ケーブルの被覆材除去方法。
【請求項３】
請求項１または２の記載において、前記冷却媒体が気体であることを特徴とする平型ケーブルの被覆材除去方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項の記載において、前記平型ケーブルの互いに離隔した複数箇所にレーザ光を照射して、前記複数本の帯状導体を個別に露出させることを特徴とする平型ケーブルの被覆材除去方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項の記載において、前記平型ケーブルを、前記帯状導体が延びる方向に対して交差する方向にレーザ光を照射して、前記複数本の帯状導体を一括して露出させることを特徴とする平型ケーブルの被覆材除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットケーブルと称される平型ケーブルの被覆材除去方法に係り、より詳しくは、平型ケーブルの被覆材を除去して帯状導体を露出させるための加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
平型ケーブル（フラットケーブル）は、平行に配列された複数本の帯状導体を、接着層を介して一対の絶縁フィルム（被覆材）で挟んで積層し一体化してなる帯状体である。平型ケーブルを電気回路と接続する際には、その電気回路と導通される接続用導体に平型ケーブルの帯状導体を重ね合わせて、溶接（スポット溶接等）にて両導体を電気的かつ機械的に接続させることが一般的である。
【０００３】
例えば、自動車のステアリング装置に組み込まれてエアーバッグシステム等の電気的接続手段として使用される回転コネクタには、可動側ハウジングと固定側ハウジング間に画成される環状空間内に平型ケーブルが巻回状態で収納されており、この平型ケーブルの両端部の帯状導体が各ハウジングに保持されたリードブロック（コネクタ部材）のピン端子（接続用導体）に溶接接合されている。すなわち、回転コネクタにおいては、前記環状空間内に収納された平型ケーブルの内端部がハンドル（ステアリングホイール）と一体的に回転する可動側ハウジングに保持されたリードブロックと接続されていると共に、この平型ケーブルの外端部がステアリングコラム等に設置された固定側ハウジングに保持された別のリードブロックと接続されている。
【０００４】
ところで、絶縁フィルムで被覆されている平型ケーブルの帯状導体をピン端子等の接続用導体と溶接接合するためには、予め帯状導体の一部を露出させておかねばならない。そこで、帯状導体を露出させていない状態の平型ケーブル、つまり開口部の存しない一対の絶縁フィルムで帯状導体を被覆してなる平型ケーブルに対して、レーザ光を照射して絶縁フィルムを局所的に除去することにより、帯状導体の一部を所望位置に露出させるという被覆材除去方法が知られている。このようにレーザ光の熱で平型ケーブルの絶縁フィルムを局所的に蒸発させて帯状導体を露出させるという手法を採用すると、接続用導体の数やピッチに応じて帯状導体の露出位置を容易に変更できるため、平型ケーブルのコストダウンが図れる。また、かかる被覆材除去方法は、レーザ光の照射によって絶縁フィルムを局所的に除去するので、平型ケーブルの所望位置に帯状導体を高精度に露出させることが容易となる。
【０００５】
レーザ光の照射によって絶縁フィルムを除去する従来技術としては、平型ケーブルの片面側から帯状導体の所望位置にレーザ光を照射して、この一側の面の絶縁フィルムに穿孔を形成した後、該穿孔内の帯状導体にレーザ光を照射し続けて加熱することにより、その熱で他面側の絶縁フィルムを局所的にめくれ上がらせ、当該部分を切断して除去するという加工方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この手法によれば、平型ケーブルの一側の面にレーザ光を照射するだけで、帯状導体の表裏両面を被覆している絶縁フィルムに開口部（めくれ上がった部分）を形成することができるため、平型ケーブルの他側の面にレーザ光を照射する必要がなくなる。
【０００６】
その他の従来技術として、まず平型ケーブルの一側の面にレーザ光を照射して、この一面側の絶縁フィルムを局所的に除去した後、平型ケーブルの他側の面の対応する領域にレーザ光を照射して、この他側の面の絶縁フィルム等を局所的に除去する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平８−４７１３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載されている従来の被覆材除去方法は、平型ケーブルの一側の面にレーザ光を照射するだけで良いため、レーザ光の照射時間を短縮することはできるものの、レーザ光を照射してめくれ上がった絶縁フィルムの両面側の部分をそれぞれ切断しなければならない。そのため、この切断作業が煩雑であり、被覆材除去に要する加工時間を短縮することは困難である。
【０００９】
一方、平型ケーブルの一側の面と他側の面にレーザ光を順次照射して絶縁フィルムを除去するという後者の被覆材除去方法の場合は、一側の面にレーザ光を照射しているときに、その熱で帯状導体に積層された他側の面の絶縁フィルムが軟化して皺状に変形しやすく、皺状になった他側の面の絶縁フィルムは、表面の皺状の凹凸にレーザ光の焦点を合わせにくくなり、きれいに絶縁フィルムを除去するのが困難になるという問題があった。なお、一側の面に照射するレーザ光のパワーを下げれば他側の面の絶縁フィルムは皺状になりにくいが、こうすると、レーザ光の照射時間が長くなって加工効率が悪化し、また、帯状導体上に接着層の炭化物等からなる残渣が多量に付着するため、他の導体と接続すると、それらの残渣の影響で電気的接続性が悪化して信頼性が低下するので好ましくない。
【００１０】
本発明は、このような従来技術の実情に鑑みてなされたもので、その目的は、帯状導体を被覆する絶縁フィルムの所望領域を効率良く除去でき、かつ、他の導体との電気的接続性を良好にすることができる平型ケーブルの被覆材除去方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明は、平行に配列された複数本の帯状導体の一側の面が第１の絶縁フィルムで被覆されていると共に、前記複数本の帯状導体の他側の面が第２の絶縁フィルムで被覆されている平型ケーブルに対して、前記複数本の帯状導体を所望領域で露出させるために、レーザ光を照射することによって前記第１および第２の絶縁フィルムを除去する平型ケーブルの被覆材除去方法において、まず、平型ケーブルの他側の面で前記所望領域内の前記第２の絶縁フィルムに冷却媒体を直接吹き付けて当該第２の絶縁フィルムを冷却しながら、平型ケーブルの一側の面で前記所望領域内の前記第１の絶縁フィルムにレーザ光を照射し、しかる後、前記平型ケーブルの他側の面で前記所望領域内の前記第２の絶縁フィルムにレーザ光を照射するようにした。
【００１２】
かかる構成によれば、一側の面において帯状導体を覆う部分の第１の絶縁フィルムと、帯状導体を介さずに積層された第１および第２の絶縁フィルムとが、レーザ光の照射によって加熱されて除去され、他側の面において帯状導体を覆う部分の第２の絶縁フィルムは、冷却媒体の吹き付けによる直接的な冷却効果と帯状導体を介して熱が伝導して拡散する放熱効果とによって過度に加熱されず、めくれや皺状の変形がなくレーザ照射前の状態がそのまま維持されるため、しかる後に、第２の絶縁フィルムにレーザ光の焦点を容易に集中させることができる。したがって、帯状導体を被覆する絶縁フィルムの所望領域を効率良く除去することができ、他の導体との電気的接続性を良好にすることができる。また、レーザ光のパワーを高く設定できるため、レーザ光の照射時間を更に短縮できて製造コストを大幅に削減できる。なお、平型ケーブルの第１および第２の絶縁フィルムと帯状導体との間に第１および第２の接着層が介在する構成についても上述の効果が得られる。すなわち、平型ケーブルの一側の面の所望領域内でレーザ光を照射しているときに、他側の面の第２の絶縁フィルムを前記所望領域と対応する領域で冷却しておけば、帯状導体を覆う部分の第１の絶縁フィルムおよび第１の接着層と、帯状導体を介さずに積層された第１の絶縁フィルム、第１の接着層、第２の絶縁フィルムおよび第２の接着層とが、レーザ光の照射で加熱されて除去される。一方、他側の面において帯状導体を覆う部分の第２の絶縁フィルムおよび第２の接着層は、レーザ光の照射による加熱が抑制されてレーザ照射前の状態をそのまま維持するので、上述と同様の効果が得られる。
【００１３】
上記の被覆材除去方法において、冷却媒体が気体（例えば空気）であると、冷却手段を安価に構成できる。また、レーザ光の照射条件や平型ケーブルの構成などに応じて、単位時間あたりの気体の吹付け量や速度などを容易に選択して適切に冷却できる。
【００１４】
また、上記の被覆材除去方法において、平型ケーブルの互いに離隔した複数箇所にレーザ光を照射して、複数本の帯状導体を個別に露出させることが好ましい。かかる構成によれば、各穿孔部に露出する帯状導体にそれぞれ接続用導体を接続させたときに帯状導体どうしの短絡を防止できる。
【００１５】
また、上記の被覆材除去方法において、平型ケーブルを、前記帯状導体が延びる方向に対して交差する方向にレーザ光を照射して、複数本の帯状導体を一括して露出させるようにすると、作業工程数を削減でき、製造時間をさらに短縮できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の被覆材除去方法によれば、平型ケーブルの一側の面において所望領域内でレーザ光を照射するときに、他側の面の第２の絶縁フィルムに冷却媒体を直接吹き付けて該第２の絶縁フィルムを前記所望領域と対応する領域で冷却しておくので、他側の面における帯状導体を覆う部分の第２の絶縁フィルムが過度に加熱されるのを抑制できる。そのため、一側の面において帯状導体を覆う部分の第１の絶縁フィルムと、帯状導体を介さずに積層された第１および第２の絶縁フィルムとが、レーザ光の照射によって加熱されて除去され、他側の面において帯状導体を覆う部分の第２の絶縁フィルムは、除去されないで残留するのは勿論のこと、めくれが生じたり皺状に変形したりすることもなく、レーザ照射前の状態が維持されて厚みが均一に維持される。したがって、しかる後に、除去されずに残留する他側の面の第２の絶縁フィルムをレーザ光の照射によってきれいに除去することができるため、帯状導体を被覆する絶縁フィルムの所望領域内の絶縁フィルムを効率良く除去でき、他の導体との電気的接続性を良好にすることができる。また、照射するレーザ光のパワーを高く設定できるため、レーザ光の照射時間を更に短縮できて製造コストを大幅に削減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態例に係る平型ケーブルの断面図である。
【図２】該平型ケーブルの被覆材除去方法の具体例を示す説明図である。
【図３】図２に示す被覆材除去方法によって帯状導体を露出させた平型ケーブルの接続端部を示す斜視図である。
【図４】図３に示す平型ケーブルの接続端部と接続されるコネクタ部材を示す斜視図である。
【図５】図２に示す被覆材除去方法と同様の手法で帯状導体を露出させた平型ケーブルの接続端部を示す平面図である。
【図６】図３に示す穿孔部の模式的な拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態例を図面を参照しながら説明する。本実施形態例に係る平型ケーブル（フラットケーブル）１は、図１（ａ）に示すように、各帯状導体２の一側の面は第１の接着層５を介して第１の絶縁フィルム３に被覆されており、各帯状導体２の他側の面は第２の接着層６を介して第２の絶縁フィルム４に被覆されている。また、平型ケーブル１において各帯状導体２のない部分は、図１（ｂ）に示すように、帯状導体２を介さずに第１の絶縁フィルム３、第１の接着層５、第２の接着層６および第２の絶縁フィルム４が直接積層されている。各帯状導体２は厚みが約３０μｍの銅箔からなり、第１および第２の絶縁フィルム３，４はいずれも、厚みが約５０μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）からなる。また、第１および第２の接着層５，６はいずれも、厚みが約３０μｍの熱可塑性ポリエステルからなる。ただし、帯状導体２や第１および第２の絶縁フィルム３，４や第１および第２の接着層５，６を本実施形態例とは異なる材料で形成しても良く、それぞれの厚みも適宜選択可能である。
【００１９】
この平型ケーブル１は、長手方向の両端部に露出せしめた帯状導体２を、コネクタ部材１０の接続用導体であるピン端子１２に溶接接合して使用されるというものである（図４参照）。すなわち、図３に示すように、平型ケーブル１の端部には、各帯状導体２を個別に露出させる複数の穿孔部７が設けられている。後述するように、これらの穿孔部７は、平型ケーブル１の端部の一側および他側の面にレーザ光Ｌを順次照射して、被覆材である第１および第２の絶縁フィルム３，４と、第１および第２の接着層５，６とを除去することによって形成されたものである。また、平型ケーブル１の端部には、帯状導体２と重なり合わない複数箇所に位置決め孔８が設けられている。
【００２０】
次に、平型ケーブル１に穿孔部７を形成する際の加工手順について説明する。まず、図２に示すように、平型ケーブル１の端部の一側の面で、所望領域としての穿孔部７に対応する複数箇所（互いに離隔している複数の小領域２１）にレーザ発生器２２のレーザ光Ｌを照射するとき、端部の他側の面では、小領域２１に対応する領域内の第２の絶縁フィルム４に対して空気Ａを吹き付けて冷却する状態にする。こうすることによって、レーザ光Ｌが照射された小領域２１では、図１（ａ）に示す一側の面において帯状導体２の上面を覆う部分の第１の絶縁フィルム３および第１の接着層５と、図１（ｂ）に示す帯状導体２を介さずに積層された第１の絶縁フィルム３、第１の接着層５、第２の接着層６および第２の絶縁フィルム４とが、レーザ光Ｌの照射で加熱されて除去される。その際、図１（ａ）に示す他側の面において帯状導体２の下面を覆う部分の第２の絶縁フィルム４および第２の接着層６は、平型ケーブル１の一側の面に照射されるレーザ光Ｌの熱で加熱されても除去されず、レーザ光Ｌの照射前の状態を維持する。すなわち他側の面では、上記冷却による直接的な冷却効果と、帯状導体２を介して熱が伝導して拡散される放熱効果とによって、第２の接着層６および第２の絶縁フィルム４は過度に加熱されなくなり、除去されずに残留するのは勿論、めくれが生じたり皺状に変形したりすることもなく、レーザ光Ｌの照射前の状態が維持されて厚みが均一に維持される。
【００２１】
なお、本実施形態例では、平型ケーブル１の接続端部の一側の面にレーザ光Ｌを照射する際に、小領域２１よりも狭い所定領域にレーザ光Ｌを照射しながら移動することによって、第１の絶縁フィルム３に前記位置決め孔８を開設している。また、本実施形態例では、ノズル２３から空気Ａを吐出させる冷却装置（空冷装置）を使用しているが、空気以外の気体（例えば窒素や水蒸気などを含む気体）や水などの液体などの冷却媒体を第２の絶縁フィルム４に吹き付けて冷却しても良い。
【００２２】
しかる後、平型ケーブル１の端部の他側の面で小領域２１と対応する領域にレーザ発生器２４からレーザ光Ｌを照射することによって、小領域２１内において除去されずに残留した、帯状導体２を覆う部分の第２の絶縁フィルム４および第２の接着層６を除去する。この場合、第２の絶縁フィルム４および第２の接着層６はめくれや皺状の変形がなく、第２の絶縁フィルム４にレーザ光Ｌの焦点を容易に集中させることができるので、所望領域内の第１および第２の絶縁フィルムを効率良く除去でき、かつ、他の導体との電気的接続性を良好にすることができる。また、レーザ光のパワーを高く設定できるため、レーザ光の照射時間を更に短縮できて製造コストを大幅に削減できる。このような方法によって形成された穿孔部７は、図６に示すように、穿孔部７の内壁７ａが穿孔部７の底（帯状導体２）から外方に向けて次第に拡開するように傾斜面をなし、この傾斜面と各絶縁フィルム３，４の表面との境界部が外方に向けて隆起する隆起部７ｂをなす。ここで、傾斜面７ａは断面形状がやや曲線状をなしている。図６において、第１および第２の絶縁フィルム３，４と第１および第２の接着層５，６とを区別せず、帯状導体３の一側（図中上側）の絶縁層に符号３を付し、他側（図中下側）には符号４を付して簡略化して示す。なお、後述するヒートシール法で製造された平型ケーブルに形成された穿孔部ついても、図６のような形態をなす。
【００２３】
なお、レーザ光Ｌの種類やパワーや照射回数等の加工条件は適宜選択することができるが、本実施形態例では、例えば、波長が９．３μｍのＣＯ２レーザ（出力２０Ｗ）を移動スピード３５０〜２０００（ｍｍ／秒）で複数回照射することにより、穿孔部７を形成している。また、平型ケーブル１の一側および他側の面に対するレーザ加工を別々のレーザ発生器を用いて行うことも可能である。
【００２４】
このようにして穿孔部７を形成した平型ケーブル１の端部は、図４に示すコネクタ部材１０の支持部材１１の凹所１１ａ内に配置されて、穿孔部７内に露出する帯状導体２（露出部２ａ）をピン端子１２と溶接接合することによって、このコネクタ部材１０と電気的かつ機械的に接続されるようになっている。
【００２５】
図４に示すように、コネクタ部材１０は、絶縁性の支持部材１１に複数本のピン端子１２を圧入して固着させたものである。ただし、コネクタ部材１０が、インサート成形等によって各ピン端子１２を支持部材１１に一体化させた構造のものであっても良い。支持部材１１の底板部には、複数箇所に位置決め突起１３が突設されていると共に、平型ケーブル１の穿孔部７と対応する箇所にそれぞれ露出孔部１４が開設されている。各位置決め突起１３を平型ケーブル１の対応する位置決め孔８に挿入してかしめることにより、平型ケーブル１の端部が支持部材１１の凹所１１ａ内で位置決めされ固定されて、各穿孔部７が対応する露出孔部１４の真上に配置されるようになっている。ピン端子１２は露出孔部１４の真上を横切って延在しており、穿孔部７内の帯状導体２（露出部２ａ）とピン端子１２とをスポット溶接する際に図示せぬ電極が露出孔部１４内に配置される。なお、平型ケーブル１の位置決め孔８に挿入される支持部材１１の位置決め突起１３は、溶接箇所に外力が直接作用しないようにして、他の導体との電気的接続性を安定にして信頼性を高めるという機能も果たす。
【００２６】
また、本実施形態例において、平型ケーブル１は図示せぬ回転コネクタの可動側ハウジングと固定側ハウジング間に画成される環状空間内に巻回状態で収納されるものであり、コネクタ部材１０は可動側ハウジングや固定側ハウジングに取着されるリードブロックである。この回転コネクタは、自動車のステアリング装置に組み込まれてエアーバッグシステム等の電気的接続手段として使用されるものであり、平型ケーブル１の一方の端部（内端部）がハンドル（ステアリングホイール）と一体的に回転する可動側ハウジングに保持されたリードブロックに接続され、平型ケーブル１の他方の端部（外端部）がステアリングコラム等に設置された固定側ハウジングに保持された別のリードブロックに接続される。
【００２７】
以上説明したように、本実施形態例においては、平型ケーブル１の一側の面にレーザ光を照射して第１の絶縁フィルム３を除去するときに、他側の面の第２の絶縁フィルム４を照射領域と対応する領域で冷却しておくので、一側の面において帯状導体２を覆う部分の第１の絶縁フィルム３と、帯状導体２を介さずに積層された第１および第２の絶縁フィルム３，４とが、レーザ光Ｌの照射によって加熱されて除去され、他側の面において帯状導体２を覆う部分の第２の絶縁フィルム４は、直接的な冷却効果と帯状導体２を介して熱が伝導して拡散する放熱効果とによって過度に加熱されず、めくれや皺状の変形がなくレーザ照射前の状態をそのまま維持することになる。したがって、しかる後に、第２の絶縁フィルム４にレーザ光Ｌの焦点を容易に集中させることができるので、平型ケーブル１の他側の面にレーザ光を照射することによって、除去されずに残留する第２の絶縁フィルム４を除去することができる。このように、本実施形態例による平型ケーブル１の被覆材除去方法によれば、図６に示すような断面形状を有する穿孔部７を形成できると共に、帯状導体２を被覆する絶縁フィルムを効率良く除去でき、かつ、他の導体との電気的接続性を良好にすることができる。また、レーザ光のパワーを高く設定できるため、レーザ光の照射時間を更に短縮できて製造コストを大幅に削減できる。
【００２８】
なお、平型ケーブル１として、ヒートシール法で製造された平型ケーブルを適用すると、レーザ光Ｌのパワーや照射回数を低減化でき、さらに短時間で穿孔部７を形成できるので望ましい。例えば、各帯状導体２を厚みが約３５μｍの銅箔とし、第１および第２の絶縁フィルム３，４を厚みが５０μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）とし、第１および第２の接着層５，６を厚みが約３０μｍの非晶質のＰＥＴとする構成は、非晶質のＰＥＴ層の溶融温度が熱可塑性ポリエステルからなる接着層の溶融温度よりも低いので、さらに短時間で穿孔部７を形成できる。また、本実施形態例による平型ケーブル１は、帯状導体２の両側に接着層５，６を介して絶縁フィルム３，４で覆う構成について説明したが、接着層５，６を介さずに絶縁フィルム３，４で帯状導体２を覆う構成であっても良い。
【００２９】
また、本実施形態例においては、空気等の気体を吹き付けて第２の絶縁フィルム４を冷却するため、安価な冷却手段によって第２の絶縁フィルム４の所望箇所を効率良く冷却することができる。
【００３０】
また、本実施形態例においては、平型ケーブル１の互いに離隔した複数箇所にレーザ光を照射して、これら複数箇所に存する第１および第２の絶縁フィルム３，４と第１および第２の接着層５，６とを除去することにより、各帯状導体２を個別に露出させる複数の穿孔部７を形成しているので、各穿孔部７に露出する帯状導体２にそれぞれピン端子（接続用導体）１２を接続させたときに帯状導体２どうしの短絡が防止しやすくなっている。
【００３１】
ただし、図５のように、帯状導体２の延びる方向に直交する方向にレーザ光Ｌを連続的に照射することによって、帯状導体２群を一括して露出させる横断露出部９を形成しても良い。図５に示す横断露出部９を形成する際の加工手順は、平型ケーブル１に穿孔部７を形成する際の加工手順と基本的に同じである。なお、この横断露出部９では、平型ケーブル１の長手方向に沿って被覆材としての第１および第２の絶縁フィルム３，４と第１および第２の接着層５，６とが分離されて帯状導体２群がむき出しになっているため、横断露出部９内において帯状導体２の任意箇所に、コネクタ部材１０の支持部材１１に設けた複数本のピン端子１２等の接続用導体を接続させることが可能である。なお、横断露出部９は、図５のように帯状導体２の延びる方向に直交して形成しても良いが、帯状導体２の延びる方向に対して傾斜するように形成されたものであっても良い。
【符号の説明】
【００３２】
１  平型ケーブル（フラットケーブル）
２  帯状導体
３  第１の絶縁フィルム（被覆材）
４  第２の絶縁フィルム（被覆材）
５  第１の接着層
６  第２の接着層
７  穿孔部
８  位置決め孔
９  横断露出部
１０  コネクタ部材
１２  ピン端子（接続用導体）
２２，２４  レーザ発生器
２３  ノズル
Ａ  空気
Ｌ  レーザ光
【図１】
0005859880.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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