(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被印刷物を固定できる複数の陰刻部、および、前記複数の陰刻部の各々の下部に備えられた少なくとも１つの真空孔または真空通路を含む被印刷物固定具と、
前記被印刷物固定具が取り付けられる被印刷物ステージと、
前記被印刷物固定具上に固定される被印刷物のパターン位置に対応するパターン部を含む版と、
版ステージと
を備え、
前記複数の陰刻部の深さ偏差は、１００マイクロメートル以下であることを特徴とするリバースオフセット印刷装置。
【請求項２】
前記複数の陰刻部は、４個以上であることを特徴とする、請求項１に記載のリバースオフセット印刷装置。
【請求項３】
前記複数の陰刻部は、前記被印刷物固定具の上部に位置し、被印刷物が配列されて載置できるように形成されることを特徴とする、請求項１または２に記載のリバースオフセット印刷装置。
【請求項４】
前記複数の陰刻部は、内側面に被印刷物の固定のための突起または溝を含むことを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載のリバースオフセット印刷装置。
【請求項５】
前記複数の陰刻部の深さは、被印刷物の厚さより小さいか同じであることを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載のリバースオフセット印刷装置。
【請求項６】
前記被印刷物は、基板であることを特徴とする、請求項１から５のいずれか１項に記載のリバースオフセット印刷装置。
【請求項７】
前記基板は、ガラスまたはプラスチックであることを特徴とする、請求項６に記載のリバースオフセット印刷装置。
【請求項８】
前記被印刷物ステージは、被印刷物固定具に備えられた真空孔または真空通路に対応する真空吸入部を含むことを特徴とする、請求項１に記載のリバースオフセット印刷装置。
【請求項９】
前記被印刷物ステージの前記真空吸入部は、孔構造または通路構造を含むことを特徴とする、請求項８に記載のリバースオフセット印刷装置。
【請求項１０】
前記被印刷物ステージは、前記真空吸入部上に多孔性プレートまたは多孔性フィルムが備えられることを特徴とする、請求項８または９に記載のリバースオフセット印刷装置。
【請求項１１】
前記被印刷物ステージは、被印刷物のアライン（ａｌｉｇｎ）のための位置制御部をさらに含むことを特徴とする、請求項８から１０のいずれか１項に記載のリバースオフセット印刷装置。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか１項に記載のリバースオフセット印刷装置を用いた印刷方法。
【請求項１３】
前記印刷方法は、
前記被印刷物固定具の陰刻部に被印刷物を固定するステップ、
前記被印刷物固定具を被印刷物ステージ上に取り付けるステップ、
前記被印刷物固定具と前記被印刷物ステージを真空吸着するステップ、および
被印刷物にパターンを印刷するステップを含むことを特徴とする、請求項１２に記載の印刷方法。
【請求項１４】
前記印刷方法は、リバースオフセット印刷方法であることを特徴とする、請求項１３に記載の印刷方法。
【請求項１５】
前記印刷方法は、
前記被印刷物固定具を被印刷物ステージ上に取り付けるステップ後に、
前記被印刷物固定具と前記被印刷物ステージをアライン（ａｌｉｇｎ）するステップをさらに含むことを特徴とする、請求項１３または１４に記載の印刷方法。
【請求項１６】
前記アラインするステップは、
前記被印刷物ステージ上に備えられた位置制御部を用いて被印刷物の印刷対象領域をアラインすることを特徴とする、請求項１５に記載の印刷方法。
【請求項１７】
前記印刷方法で印刷されたパターンの精密度は、アラインの精密度と対応することを特徴とする、請求項１５または１６に記載の印刷方法。
【請求項１８】
前記印刷するステップは、
印刷ロール上に印刷物をコーティングするステップ、
前記印刷物がコーティングされた印刷ロールを版に接触させて印刷ロール上に印刷物パターンを形成するステップ、および
前記印刷ロール上にコーティングされた印刷物パターンを被印刷物上に転写するステップを含むことを特徴とする、請求項１３から１７のいずれか１項に記載の印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、被印刷物固定具、それを含む印刷装置およびそれを用いた印刷方法に関する。本出願は２０１２年７月１０日に韓国特許庁に提出された韓国特許出願第１０−２０１２−００７４９９３号の出願日の利益を主張し、その内容の全ては本明細書に含まれる。
【背景技術】
【０００２】
最近、電子素子に各種の機能性材料のパターンが要求されている。例えば、電極用の導電性パターン、カラーフィルター用のブラックマトリクスパターンおよびカラーパターン、薄膜トランジスタ（ｔｈｉｎ  ｆｉｌｍ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ、ＴＦＴ）用の絶縁パターンおよびレジストパターンなどが要求されている。
【０００３】
前記パターンはフォトリソグラフィー法などで形成されることもできるが、工程費用や効率を考慮して印刷方法を用いたパターンの形成方法が試みられている。
【０００４】
印刷方法においては、被印刷物の正確な位置に精密なパターンを形成するためのアライン問題、工程効率の上昇に対する要求、および費用節減に対する要求などの先行しなければならない色々な課題が存在していた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本出願が解決しようとする課題は、電子材料パターンを精密に形成するか、１回の印刷で複数の被印刷物にパターンを形成して工程効率を改善することができる印刷方法および印刷装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本出願の一実現例は、複数の被印刷物を固定できる複数の陰刻部を含み、前記陰刻部の下部に備えられた少なくとも１つの真空孔または真空通路を含む被印刷物固定具を提供する。
【０００７】
本出願の一実現例は前記被印刷物固定具を含む印刷装置を提供する。
【０００８】
本出願の一実現例は前記被印刷物固定具を用いた印刷方法を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本出願の一実現例による被印刷物固定具は、被印刷物を被印刷物ステージ上に取り付ける時に効率的に固定し、アラインできるようにし、１つの被印刷物固定具に１つ以上の被印刷物を固定することができるため、１回の印刷で複数の被印刷物にパターンを形成できるという長所がある。したがって、印刷パターンの精密度の向上、工程効率の改善および工程費用の節減などの長所がある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】リバースオフセット印刷工程を例示したものである。
【図２】本出願の一実現例による被印刷物固定具の側面図を例示したものである。
【図３】本出願の一実現例による被印刷物固定具の上方から見た平面図を例示したものである。
【図４】本出願の一実現例による被印刷物固定具が被印刷物ステージに取り付けられたことを上方から見た平面図で例示したものである。
【図５】本出願の一実現例による被印刷物固定具に被印刷物が固定されて被印刷物ステージに取り付けられたことを上方から見た平面図で例示したものである。
【図６】本出願の一実現例による印刷装置の被印刷物ステージの側面図を例示したものである。
【図７】本出願の一実現例による印刷装置の被印刷物ステージの側面図を例示したものである。
【図８】本出願の一実現例による印刷装置の被印刷物ステージの真空吸入部の側面図を例示したものである。
【図９】本出願の一実現例による印刷装置の被印刷物ステージの真空吸入部の側面図を例示したものである。
【図１０】本出願の一実現例による印刷装置の被印刷物ステージの平面図を例示したものである。
【図１１】本出願の一実現例による印刷装置の被印刷物ステージの平面図を例示したものである。
【図１２】本出願の印刷装置の一実現例によるクリシェ装着用ステージの位置制御部の作動例を図示したものである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本出願の利点および特徴、そしてそれらを達成する方法は、添付図面と共に詳細に後述している実現例を参照すれば明らかになるであろう。しかし、本出願は、以下にて開示する実現例に限定されず、互いに異なる様々な形態で実現され、本実現例は、単に本出願の開示が完全になるようにし、本出願が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであって、本出願は、請求項の範囲によって定義されるのみである。図面に示された構成要素の大きさおよび相対的な大きさは説明の明瞭性のために誇張されることがある。以下で図面を参照して行われる説明は本出願を例示するためのものであって、これによって本出願の範囲が限定されるものではない。
【００１２】
他の定義がなければ、本明細書に用いられる記述および科学的な用語を含む全ての用語は、本出願が属する技術分野で通常の知識を有する者にとって共通に理解できる意味として用いられる。また、一般的に用いられる辞書に定義されている用語は、明らかに特に定義されていない限り、理想的にまたは過度に解釈されないものである。
【００１３】
以下、本出願を詳細に説明する。
【００１４】
本出願の一実現例は、印刷装置に用いられる被印刷物固定具１００を提供する。前記被印刷物固定具１００は、複数の被印刷物を固定できる複数の陰刻部１１０、および前記陰刻部１１０の下部に備えられた少なくとも１つの真空孔１２２および／または少なくとも１つの真空通路１２４を含むことができる。前記被印刷物固定具１００は各々の陰刻部１１０ごとに被印刷物４０を固定することができる。
【００１５】
具体的には、前記被印刷物固定具１００は、２個以上の被印刷物を固定できる２個以上の陰刻部１１０、および前記陰刻部１１０の下部に備えられた少なくとも１つの真空孔１２２および／または少なくとも１つの真空通路１２４を含むことができる。このため、１つの被印刷物固定具が同時に２個以上の被印刷物を固定することができるため、１回の印刷で２個以上の被印刷物に印刷パターンを形成できるという長所がある。
【００１６】
または、前記被印刷物固定具１００は、４個以上の被印刷物を固定できる４個以上の陰刻部１１０、および前記陰刻部１１０の下部に備えられた少なくとも１つの真空孔１２２および／または少なくとも１つの真空通路１２４を含むことができる。このため、１つの被印刷物固定具が同時に４個以上の被印刷物を固定することができるため、１回の印刷で４個以上の被印刷物に印刷パターンを形成できるという長所がある。
【００１７】
または、前記被印刷物固定具１００は、６個以上の被印刷物を固定できる６個以上の陰刻部１１０、および前記陰刻部１１０の下部に備えられた少なくとも１つの真空孔１２２および／または少なくとも１つの真空通路１２４を含むことができる。このため、１つの被印刷物固定具が同時に６個以上の被印刷物を固定することができるため、１回の印刷で６個以上の被印刷物に印刷パターンを形成できるという長所がある。
【００１８】
または、前記被印刷物固定具１００は、８個以上の被印刷物を固定できる８個以上の陰刻部１１０、および前記陰刻部１１０の下部に備えられた少なくとも１つの真空孔１２２および／または少なくとも１つの真空通路１２４を含むことができる。このため、１つの被印刷物固定具が同時に８個以上の被印刷物を固定することができるため、１回の印刷で８個以上の被印刷物に印刷パターンを形成できるという長所がある。
【００１９】
または、前記被印刷物固定具１００は、９個以上の被印刷物を固定できる９個以上の陰刻部１１０、および前記陰刻部１１０の下部に備えられた少なくとも１つの真空孔１２２および／または少なくとも１つの真空通路１２４を含むことができる。このため、１つの被印刷物固定具が同時に９個以上の被印刷物を固定することができるため、１回の印刷で９個以上の被印刷物に印刷パターンを形成できるという長所がある。
【００２０】
各々の陰刻部１１０の下部には、１つまたは２つ以上の真空孔１２２および／または１つまたは２つ以上の真空通路１２４が備えられることができる。
【００２１】
図２は本出願の一実現例による被印刷物固定具の側面図を例示したものであり、図３は上方から見た平面図を例示したものである。
【００２２】
本明細書において、前記被印刷物４０は印刷パターンが転写される印刷対象物または被印刷体を意味し、例えば、基板であっても良い。また、前記基板はガラスまたはプラスチックであっても良い。
【００２３】
本出願の一実現例による前記被印刷物固定具が用いられる印刷工程はリバースオフセット印刷工程であっても良い。図１は、リバースオフセット印刷工程の一実現例を示すものである。図１によれば、印刷ロールは、印刷ロールステージ２０と前記印刷ロールステージの表面を囲むように備えられたブランケット２１とを含む。前記印刷ロールのブランケット２１上にコーティング部１０を用いて印刷物２２をコーティングする。次に、クリシェステージ３０上に備えられたクリシェ３１に前記印刷ロールのブランケット２１を接触させ、前記印刷ロールのブランケット２１から一部の印刷物パターン３２を除去することにより、前記ブランケット２１上に印刷物パターン４１を形成する。次に、前記印刷ロールのブランケット２１を被印刷物４０に接触することによって印刷物パターン４１を被印刷物４０に転写する。
【００２４】
本出願の一実現例において、前記被印刷物固定具１００は被印刷物ステージ４２に取り付けられることができる。本明細書において、被印刷物ステージ４２は被印刷物が置かれる被印刷物の支持部を意味する。
【００２５】
本出願の一実現例による被印刷物固定具は、被印刷物ステージに装着および脱着が可能であるため、複数の被印刷物を固定して１回の印刷で複数の印刷パターンを同時に形成するのに容易な長所がある。
【００２６】
本出願の一実現例において、前記被印刷物固定具１００の上部に被印刷物４０が固定されることができ、被印刷物固定具の下部に被印刷物ステージ４２が備えられることができる。
【００２７】
本出願の一実現例において、前記真空孔１２２および／または真空通路１２４は陰刻部１１０の下部に位置することができ、１つの陰刻部１１０の下部に１つまたは２つ以上の真空孔１２２および／または真空通路１２４が備えられることができる。または、前記真空孔１２２および／または真空通路１２４は被印刷物固定具１００において陰刻部１１０が存在しない部分に位置することもできる。
【００２８】
図２および図３においては、陰刻部１１０の下部に位置する真空孔１２２と真空通路１２４の側面構造と上方から見た平面図を例示した。前記真空孔１２２構造による真空吸着の効率を高めるために表面に溝からなる真空通路１２４構造を含むことができる。溝からなる真空通路１２４構造の格子形態の交差点に孔１２２構造を有することができる。前記孔の模様、直径または通路構造の溝の模様、幅、深さは、前記被印刷物４０が真空孔１２２および真空通路１２４によって変形されず、被印刷物固定具１００に固定できるものであれば、特に限定されない。
【００２９】
例えば、前記真空孔１２２の直径は被印刷物の厚さの１倍〜１５倍であっても良いが、これに限定されない。
【００３０】
例えば、前記真空通路１２４の幅は被印刷物の厚さの１倍〜１０倍であっても良いが、これに限定されない。
【００３１】
前記吸着力を向上させるために前記真空吸着の真空度は常圧に比べて小さいほど良い。この時、真空は圧力が常圧（７６０ｍｍＨｇ）より低い状態を真空といい、前記真空度は常圧に対する真空の状態を比較して、真空にした容器内に残っている気体の圧力を意味する。
【００３２】
前記真空吸着の真空度は、前記被印刷物が真空孔１２２および真空通路１２４によって変形されず、被印刷物固定具に固定できるものであれば、特に限定されない。
【００３３】
例えば、前記真空吸着の真空度は常圧の５％以下であっても良い。前記真空孔１２２および真空通路１２４の真空度は５０ｍｍＨｇ以下であっても良い。
【００３４】
前記真空孔１２２および真空通路１２４の真空度の下限値は、用いられる被印刷物の種類および厚さに応じて前記被印刷物が真空孔１２２および真空通路１２４によって変形されものであれば、特に限定されない。
【００３５】
図４は本出願の一実現例による被印刷物固定具１００が被印刷物ステージ４２に取り付けられたことを上方から見た平面図で例示したものであり、図５は本出願の一実現例による被印刷物固定具１００に被印刷物４０が固定されて被印刷物ステージ４２に取り付けられたことを上方から見た平面図で例示したものである。
【００３６】
本出願の一実現例において、前記陰刻部１１０は被印刷物固定具１００の上部に位置し、被印刷物４０が配列されて載置できるように形成されることができる。前記陰刻部１１０は内側面に被印刷物の固定のための突起または溝を含むことができる。前記突起または溝の形状は、被印刷物４０の固定を容易にすることができる構造であれば、特に限定されない。例えば、前記突起または溝の断面の形状が円形、三角形、四角形または台形であっても良い。
【００３７】
本出願の一実現例において、前記陰刻部１１０の深さは、被印刷物４０の厚さより小さいか同じであっても良い。被印刷物４０の厚さより陰刻部１１０の深さが大きければ、真空孔１２２および真空通路１２４が形成される空間がなくなって被印刷物固定具１００を被印刷物ステージ４２に真空吸着させることが難しい。
【００３８】
本出願の一実現例において、前記陰刻部１１０の深さ偏差は１００マイクロメートル以下であっても良い。具体的には、複数の陰刻部１１０の各々の深さ間の偏差が１００マイクロメートル以下であっても良い。陰刻部１１０の深さ偏差が１００マイクロメートル以下であれば、被印刷物４０が固定された時に被印刷物間の段差精密度が良くなり、被印刷物４０に印刷された印刷パターン４１の精密度も良い。
【００３９】
本出願の一実現例において、前記被印刷物ステージ４２は被印刷物のアライン（ａｌｉｇｎ）のための位置制御部５０をさらに含むことができる。
【００４０】
本出願の一実現例において、前記被印刷物ステージの位置制御部は平面上での位置を制御することができる。例えば、前記被印刷物ステージの位置制御部は、前記被印刷物ステージの微細位置を３つ、すなわち、ｘ方向の位置、ｙ方向の位置およびシータ（θ）方向の位置に制御する構成を有することができる。ここで、ｘ方向を前記被印刷物ステージの板面上の任意の一方向、例えば、前記被印刷物ステージの横方向とすれば、ｙは前記被印刷物ステージの板面上でｘ方向に垂直な方向、例えば、前記被印刷物ステージの縦方向を意味し、シータ（θ）方向は前記被印刷物ステージの板面上での角度を意味する。上記のように、被印刷物ステージの平面上での位置を制御できるものであれば、その構成は特に限定されない。
【００４１】
本出願の一実現例において、前記被印刷物ステージ４２は、前記陰刻部１１０の真空孔１２２および真空通路１２４と対応する真空吸入部７０を含むことができる。前記被印刷物固定具１００の真空通路１２４構造と前記被印刷物ステージ４２の真空通路７４構造が互いに対応する。また、前記被印刷物固定具１００の真空孔１２２構造と被印刷物ステージ４２の真空孔７２構造が互いに対応して真空に連結されて固定されることができる。
【００４２】
本出願の一実現例において、前記被印刷物ステージ４２は、多孔性プレート６２または多孔性フィルム６４が備えられたものであっても良い。前記多孔性プレートおよび多孔性フィルムは、前記真空吸入部による真空吸入ができるように多孔性構造を有し、被印刷物の損傷を防止できるものであれば、その構造や形態、材質などは特に制限されない。
【００４３】
前記多孔性プレート６２および前記多孔性フィルム６４は、被印刷物の種類などを考慮して当業者が選択することができる。例えば、前記多孔性プレート６２または前記多孔性フィルム６４は平均気孔大きさが１００マイクロメートル以下、具体的には３０マイクロメートル以下であっても良い。前記多孔性プレート６２または前記多孔性フィルム６４は、平均気孔大きさの下限値は空気が通過できるものであれば特に制限されず、例えば１０ナノメートル以上であっても良い。
【００４４】
前記多孔性プレート６２または前記多孔性フィルム６４は気孔率（ｐｏｒｏｓｉｔｙ）が大きいほど良く、具体的には１０％以上であっても良い。
【００４５】
本出願の一実現例において、前記多孔性プレート６２または多孔性フィルム６４は真空吸入部７０の上部に備えられることができる。図６および図７は、本出願の一実現例による印刷装置において被印刷物ステージ４２の側面図を例示したものである。
【００４６】
本出願の一実現例において、前記真空吸入部７０は、精密なパターンの位置制御および重ね印刷に必要なアラインのために必要である。前記真空吸入部７０は、真空吸入が可能な真空孔７２構造または真空通路７４構造を含むことができる。図８および図９は、本出願の一実現例による印刷装置の被印刷物ステージ４２の真空吸入部７０の側面図を例示したものである。図１０および図１１は、本出願の一実現例による印刷装置の被印刷物ステージの上方から見た平面図を例示したものである。
【００４７】
前記真空吸入部７０の真空孔７２または真空通路７４の構造に関する説明は真空吸着部で説明したものと同様である。
【００４８】
本出願の一実現例による前記被印刷物固定具１００を印刷工程で用いれば、被印刷物と被印刷物ステージ４２のアラインの面で長所がある。被印刷物が被印刷物固定具１００に固定されるため、被印刷物ステージ４２に取り付けることがより容易であり、アラインが容易である。また、アラインが容易であるため、微細で精密な印刷パターンを形成するのにより効率的である。
【００４９】
また、１つの被印刷物固定具１００に複数の被印刷物４０を固定させることができるため、１回の印刷で複数の被印刷物４０に印刷パターンを形成することができる。したがって、工程効率面に優れ、工程費用が節減されるという効果がある。
【００５０】
本出願の一実現例は前記被印刷物固定具１００を含む印刷装置を提供する。
【００５１】
前記印刷装置はリバースオフセット印刷装置であっても良い。
【００５２】
本出願の一実現例において、前記印刷装置は、前記被印刷物固定具１００上に固定される被印刷物４０のパターン位置に対応するパターン部を含むクリシェ３１、およびクリシェステージ３０をさらに含むことができる。本明細書において、クリシェステージはクリシェ３１が取り付けられるクリシェ支持部を意味する。
【００５３】
本出願の一実現例において、前記クリシェ３１は２点以上のアラインマークを含むことができる。このアラインマークはその形態が印刷組成物によって被印刷物に転写される。前記アラインマークは、アライン程度に応じてクリシェ３１の位置を制御できるようにクリシェ３１の位置を検知できるものであれば、その大きさや形態は特に限定されない。前記クリシェ３１上に形成されたアラインマークは、被印刷物４０に転写される形態を基準に陰刻に形成されていても良く、陽刻に形成されていても良い。
【００５４】
前記アラインマークが２個以上である場合にクリシェ３１の配置された位置を正確に把握することができ、必要に応じて３点以上または４点以上のアラインマークが含まれることもできる。アラインマークは、位置を表示するためのものであるため、アラインマークを検知するための手段、例えば、カメラによって検知できるものであれば、その大きさや形態は特に限定されない。上記のようにクリシェ基板にアラインマークを形成することにより、被印刷物として不透明な材料を用いる場合にも、正確度の高いアラインを実現することができる。
【００５５】
この場合、前記クリシェステージ３０は、前記クリシェ３１上のアラインマークを認識するためのアラインカメラおよびクリシェステージ３０の位置制御部をさらに含むことができる。前記クリシェステージ３０の位置制御部は平面上での位置を制御することができる。例えば、前記クリシェステージ３０の位置制御部は、前記クリシェステージ３０の微細位置を３つ、すなわち、ｘ方向の位置、ｙ方向の位置およびシータ（θ）方向の位置に制御する構成を有することができる。ここで、ｘ方向を前記クリシェステージ３０の板面上の任意の一方向、例えば、前記クリシェステージ３０の横方向とすれば、ｙは前記クリシェステージ３０の板面上でｘ方向に垂直な方向、例えば、前記クリシェステージ３０の縦方向を意味し、シータ（θ）方向は前記クリシェステージ３０の板面上での角度を意味する。上記のように、クリシェステージ３０の平面上での位置を制御できるものであれば、その構成は特に限定されない。
【００５６】
図１２に前記クリシェステージ３０の位置制御方式の一例を示す。前記クリシェステージ３０の位置制御部はＡ、Ｂ、ＣおよびＤを含む。Ａ、Ｂ、ＣおよびＤは、各々クリシェステージ３０の各頂点付近に備えられ、赤色で表示された矢印方向に動くことによってクリシェステージ３０の位置を制御する。
【００５７】
本出願の一実現例において、前記印刷装置は、前記被印刷物固定具１００が取り付けられる被印刷物ステージ４２をさらに含むことができる。被印刷物ステージ４２に関する説明は上述した通りである。
【００５８】
本出願の一実現例による印刷装置は、各種の電子素子に必要な様々なパターンを被印刷物に印刷するのに用いられることができる。前記被印刷物は電子素子、例えば、タッチパネル、各種のディスプレイなどにおいてフレキシブル基板として用いられることもでき、その他にフィルム部材として用いられることができる。例えば、導電性パターン、絶縁パターン、レジストパターン、カラーパターン、ブラックマトリクスパターンなどを印刷するのに用いられることができる。
【００５９】
本出願の一実現例による被印刷物は、その用途に応じて必要な線幅とピッチを有する印刷パターンを有することができる。例えば、線幅１２０マイクロメートル以下、具体的には１〜１２０マイクロメートルの印刷パターンを有することができる。一例として、前記印刷フィルムは、線幅１〜５マイクロメートルまたは線幅１５〜１００マイクロメートルの印刷パターンを含むことができる。
【００６０】
本出願の一実現例は前記被印刷物固定具を用いた印刷方法を提供する。
【００６１】
本出願の一実現例において、前記印刷方法は、前記被印刷物固定具の陰刻部に被印刷物を固定するステップ、前記被印刷物固定具を被印刷物ステージ上に取り付けるステップ、前記被印刷物固定具と被印刷物ステージを真空吸着するステップ、および被印刷物にパターンを印刷するステップを含むことができる。
【００６２】
本出願の一実現例による印刷方法において、被印刷物固定具の陰刻部に被印刷物を固定するステップと被印刷物固定具を被印刷物ステージ上に取り付けるステップはその順序が特に制限されない。
【００６３】
本出願の一実現例による印刷方法は、被印刷物固定具の陰刻部に被印刷物を固定してから被印刷物固定具を被印刷物ステージ上に取り付けても良く、被印刷物固定具を被印刷物ステージ上に取り付けてから被印刷物固定具の陰刻部に被印刷物を固定しても良い。
【００６４】
本出願の一実現例において、前記印刷方法はリバースオフセット印刷方法であっても良い。
【００６５】
本出願の一実現例による印刷方法は、前記被印刷物固定具を被印刷物ステージ上に取り付けるステップ後に、被印刷物固定具と被印刷物ステージをアライン（ａｌｉｇｎ）するステップをさらに含むことができる。
【００６６】
本出願の一実現例による印刷方法において、被印刷物固定具と被印刷物ステージをアライン（ａｌｉｇｎ）するステップと被印刷物固定具と被印刷物ステージを真空吸着するステップを全て行う場合、その順序は特に制限されない。
【００６７】
本出願の一実現例において、被印刷物固定具と被印刷物ステージをアライン（ａｌｉｇｎ）してから被印刷物固定具と被印刷物ステージを真空吸着しても良く、被印刷物固定具と被印刷物ステージを真空吸着してから被印刷物固定具と被印刷物ステージをアライン（ａｌｉｇｎ）しても良い。
【００６８】
本出願の一実現例において、前記アラインするステップは、被印刷物ステージ上に備えられた位置制御部を用いて被印刷物の印刷対象領域をアラインすることができる。
【００６９】
本出願の一実現例による印刷方法で印刷されたパターンの精密度はアラインの精密度と対応する。本出願の一実現例による印刷方法で印刷されたパターンは、誤差範囲１ｍｍ以下、具体的には０．５ｍｍ以下の精密度を有することができる。
【００７０】
本出願の一実現例において、前記印刷するステップは、印刷ロール上に印刷物をコーティングするステップ、前記印刷物がコーティングされた印刷ロールをクリシェに接触させて印刷ロール上に印刷物パターンを形成するステップ、および前記印刷ロール上にコーティングされた印刷物パターンを被印刷物上に転写するステップを含むことができる。
【００７１】
本出願が属した分野で通常の知識を有した者であれば、上記内容に基づいて本出願の範疇内で様々な応用および変形を行うことができるであろう。
【００７２】
以上で本出願の特定の部分を詳細に記述したが、当業界の通常の知識を有する者にとってこのような具体的な記述は単に好ましい実現例に過ぎず、これに本出願の範囲が制限されるものではないことは明らかである。したがって、本出願の実質的な範囲は添付した請求項とその等価物によって定義されると言える。
【符号の説明】
【００７３】
１０  ・・・コーティング部
２０  ・・・印刷ロールステージ
２１  ・・・ブランケット
２２  ・・・印刷物
３０  ・・・クリシェステージ
３１  ・・・クリシェ
３２  ・・・印刷物パターン
４０  ・・・被印刷物
４１  ・・・印刷物パターン
４２  ・・・被印刷物ステージ
５０  ・・・位置制御部
６２  ・・・多孔性プレート
６４  ・・・多孔性フィルム
７０  ・・・真空吸入部
７２  ・・・真空孔
７４  ・・・真空通路
１００  ・・・被印刷物固定具
１１０  ・・・陰刻部
１２２  ・・・真空孔
１２４  ・・・真空通路
【図１】
0005843246.tif 000002
【図２】
0005843246.tif 000003
【図３】
0005843246.tif 000004
【図４】
0005843246.tif 000005
【図５】
0005843246.tif 000006
【図６】
0005843246.tif 000007
【図７】
0005843246.tif 000008
【図８】
0005843246.tif 000009
【図９】
0005843246.tif 000010
【図１０】
0005843246.tif 000011
【図１１】
0005843246.tif 000012
【図１２】
0005843246.tif 000013