(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体（１１）、本体（１１）の両側面に形成された側面ベース（１２ａ、１２ｂ）、流入コネクタ（１３ａ、１３ｂ）及び入口（１２１）からなるサブブロック（１０）を、流入コネクタ（１３ａ、１３ｂ）を有する面で互いに２つ連結して形成される、本体の内部にプラズマ発生装置を備えるためのプラズマブロックにおいて、
前記入口（１２１）から前記本体（１１）の内部に向けて形成される外部連結通路（１４）と、本体の内部から前記流入コネクタ（１３ａ、１３ｂ）に向けて形成される２つの内部連結通路（１３１ａ、１３１ｂ）とを備え、
前記内部連結通路（１３１ａ、１３１ｂ）は、通路の長手方向に沿って直線状に延びる直線延長部分と、前記外部連結通路と合う位置を基準に曲面を形成する曲線で延びる曲線延長部分とを有し、
前記曲線延長部分は、球面表面または複合球面表面を形成され、
前記外部連結通路（１４）の端部と前記内部連結通路（１３１ａ）により形成される前記曲線延長部分の曲線の長さは、前記２つのサブブロックを連結する面に近い方に位置する曲線の長さ（Ｒ２）が、遠い方に位置する曲線の長さ（Ｒ１）よりも長く形成される
ことを特徴とするプラズマブロック。
【請求項２】
前記外部連結通路（１４）と他の内部連結通路（１３１ｂ）により形成された曲線延長部分の曲線の長さ（Ｒ３、Ｒ４）は前記遠くに位置する曲線延長部分の曲線の長さ（Ｒ１）に比べて大きいことを特徴とする請求項１に記載のプラズマブロック。
【請求項３】
前記球面表面または複合球面表面は、レンズ球面状に形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマブロック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、遠隔プラズマソースのためのプラズマブロックに係り、具体的に、遠隔プラズマソースによる真空チャンバのクリーニング工程でプラズマソースと真空チャンバとの間のプラズマの発生及び流れを誘導するプラズマブロックに関する。
【背景技術】
【０００２】
遠隔プラズマとは、真空チャンバまたは工程チャンバから分離された位置に設けられたプラズマ発生装置によって生成されたプラズマまたは離隔された空間から発生して拡散されるプラズマを言う。このように発生したプラズマは、適切な誘導経路を通じて洗浄のために、真空チャンバの内部に誘導されうる。遠隔プラズマ洗浄システムまたはプラズマブロックで洗浄ガスまたは発生したプラズマのような流体が効率的に流動しうる流動構造が要求される。特別に、流体の流れを効果的に誘導することができる内部流動経路を有した遠隔プラズマソースのためのプラズマブロックが要求される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、遠隔プラズマソースのためのプラズマブロックを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の適切な実施形態によれば、互いに連結される２つのサブブロックが結合されて形成された外部連結通路と内部連結通路とを含むプラズマブロックが提供され、前記内部連結通路は、通路の長手方向に沿って直線状に延びる直線延長部分と、前記外部連結通路と合う位置を基準に曲面を形成する曲線で延びる曲線延長部分と、からなり、前記曲線延長部分は、球面表面または複合球面表面を形成する。
【０００５】
本発明の他の適切な実施形態によれば、前記内部連結通路の球面表面または複合球面表面は、前記外部連結通路の外部表面の折り曲げられた地点で形成される表面に比べて、曲線で延びる長さが同一か、または長い。
本発明のさらに他の適切な実施形態によれば、前記球面表面または複合球面表面は、５軸加工される。
【０００６】
本発明のさらに他の特徴によれば、前記５軸加工のための加工ツールは、加工部位に至る経路を通じて挿入可能な直径を有しながら延びる挿入部材及び挿入部材の端部に形成され、第１方向に延びる第１カッター及び第２方向に延びる第２カッターを含む。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１Ａ】本発明によるプラズマブロックを形成するサブブロックの実施形態及び比較例を示した図面である。
【図１Ｂ】本発明によるプラズマブロックを形成するサブブロックの実施形態及び比較例を示した図面である。
【図２】本発明によるプラズマブロックを形成するサブブロックに適用可能な連結構造の実施形態を示した図面である。
【図３Ａ】本発明によるプラズマブロックを形成するサブブロックの経路を加工するための加工ツールの実施形態を示した図面である。
【図３Ｂ】本発明によるプラズマブロックを形成するサブブロックの経路を加工するための加工ツールの実施形態を示した図面である。
【図４】本発明による遠隔プラズマソースブロックの実施形態を示した図面である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明は、添付した図面に提示された実施形態を参照して詳細に説明されるが、実施形態は、本発明の明確な理解のためのものであって、本発明は、これに制限されるものではない。下記の説明で、互いに異なる図面で同じ図面符号を有する構成要素は、類似した機能を有するので、反復説明はせず、公知の構成要素は、簡略に説明されるか、省略されるが、本発明の実施形態から除外されるものと理解されてはならない。
図１Ａ及び図１Ｂは、本発明によるプラズマブロックを形成するサブブロック１０の実施形態及び比較例を図示したものである。
【０００９】
図１Ａ及び図１Ｂを参照すれば、本発明によるプラズマブロックは、互いに連結される２つのサブブロック１０が結合されて形成された外部連結通路１４と内部連結通路１３１ａ、１３１ｂとを含み、前記内部連結通路１３１ａ、１３１ｂは、通路の長手方向に沿って直線状に延びる直線延長部分と、前記外部連結通路１４と合う位置を基準に曲面を形成する曲線で延びる曲線延長部分と、からなり、前記曲線延長部分は、球面表面または複合球面表面を形成し、そして、前記内部連結通路１３１ａ、１３１ｂの球面表面または複合球面表面は、前記外部連結通路１４の外部表面１４１の折り曲げられた地点で形成される表面に比べて、曲線で延びる長さが同一か、または長い。
【００１０】
本発明によるプラズマブロックは、遠隔プラズマソース（ｒｅｍｏｔｅ  ｐｌａｓｍａｓｏｕｒｃｅ）に適用可能である。プラズマブロックにプラズマの発生のための、例えば、鉄心コア、トランスフォーマーまたは電極のようなものが配置される。プラズマブロックの一側に洗浄のためのフッ化窒素（ＮＦ３）またはアルゴンのような不活性ガスからなる洗浄ガスが投入され、そして、他側にプラズマ状態のＦ、Ｆ２、Ｎ、Ｎ２またはＡｒのようなプラズマが排出されうる。工程は、例えば、化学気相蒸着のような蒸着工程になりうるが、これに制限されず、多様な半導体工程の洗浄工程を含みうる。洗浄ガスの種類またはプラズマ発生構造は、洗浄工程によって適切に決定され、本発明は、提示された実施形態に制限されるものではない。
図１Ａの（ａ）及び（ｂ）は、プラズマブロックを形成する１つのサブブロック１０の実施形態についての斜視図及び正面図をそれぞれ図示したものである。
【００１１】
サブブロック１０は、例えば、アルミニウムまたはアルミニウム合金のような金属素材からなり、洗浄ガスが注入されるか、またはプラズマが排出される外部連結通路１４及び互いに異なるサブブロック１０の間の流体移動のための内部連結通路１３１ａ、１３１ｂを有する。一対のサブブロック１０が互いに結合されてプラズマブロックを形成し、サブブロック１０の結合によって、外部連結通路１４及び内部連結通路１３１ａ、１３１ｂは、互いに連結された流体移送経路を形成する。
【００１２】
サブブロック１０は、外部連結通路１４が延びる本体１１、本体１１の両側面に形成された側面ベース１２ａ、１２ｂ、及びそれぞれの内部連結通路１３１ａ、１３１ｂの入口になる流入コネクタ１３ａ、１３ｂを有しうる。そして、必要に応じて、１つの流入コネクタ１３ｂに挿入ガイド１３２が形成されうるが、必ずしも要求されるものではない。
サブブロック１０にプラズマの発生ユニットの固定のための多様な構造が形成され、本発明は、このような構造によって制限されるものではない。
【００１３】
図１Ａの（ｂ）に図示されたように、外部連結通路１４は、１つの側面ベース１２ａに形成された入口１２１から本体１１の内部に沿って円形の断面を有するように延びられ、例えば、流入コネクタ１３ａの下側まで延びられる。内部連結通路１３１ａ、１３１ｂは、それぞれの流入コネクタ１３ａ、１３ｂから本体１１の内部に円形の断面を有するシリンダー状に延びられる。そして、１つの内部連結通路１３１ａは、外部連結通路１４の端部と合い、そして、他の１つの内部連結通路１３１ｂは、外部連結通路１４の中間部分と合う。外部連結通路１４は、本体１１の外側に形成される第１表面１４１と内部連結通路１３１ａ、１３１ｂと合う第２表面１４２とからなり、そして、第１表面１４１と第２表面１４２は、互いに連結されてシリンダー状の通路を形成しうる。本明細書で、第１表面１４１は、外部表面、そして、第２表面１４２は、内部表面であると名付けられる。
【００１４】
円筒まわり面を形成する第２表面１４２は、端部及び中間部分でそれぞれ円筒状の内部連結通路１３１ａ、１３１ｂの端部と合う。そして、１つの内部連結通路１３１ａと連結されて１つの通路を形成し、そして、他の１つの内部連結通路１３１ｂと合って、３つの分枝通路またはＴ型通路を形成する。そして、外部連結通路１４と内部連結通路１３１ａ、１３１ｂとが合う位置に境界面が形成されうる。
【００１５】
本発明によれば、境界面は、立体角（ｓｏｌｉｄ  ａｎｇｌｅ）で表示される球面表面または複合球面表面Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４を形成しうる。例えば、境界面は、多数個の互いに異なる曲率半径を有する曲面が互いに結合されて形成される球面表面または複合球面表面を形成しうる。例えば、境界面は、外部連結通路１４の内側に突設されたブロックレンズ球面と類似した形状を有しうる。代案として、境界面は、流体の流れを誘導するための有線形状を有しうる。有線形状は、渦流の発生が防止されるように流れ方向に垂直になる方向に曲面状になることを意味する。一方、外部連結通路１４の第１表面１４１の端部も、境界面と同一か、または類似した幾何学的構造を有しうる。また、第１表面１４１の端部も、実質的に内部連結通路１３１ａと合う境界面に該当し、そして、球面表面または複合球面表面Ｒ１に形成されうる。但し、このように、１つの通路の折り曲げられた地点で形成される球面表面または複合球面表面Ｒ１は、互いに異なる２つのシリンダー状を連結するための曲面状になりうる。球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の曲率半径は、境界面に沿って互いに異なり、曲率半径または立体角は、例えば、外部連結通路１４で曲線で延びる部分と内部連結通路１３１ａ、１３１ｂで曲線で延びる部分とによって決定されうる。
【００１６】
曲率半径または立体角の中心（実際に、球面表面または複合球面表面の中心は、外部連結通路または内部連結通路の外部に位置する。説明の便宜上、外部に位置する中心と対称になる外部連結通路または内部連結通路の位置を中心と仮定する）は、例えば、外部連結通路１４の長手方向の中心線と内部連結通路１３１ａ、１３１ｂの延長方向の中心線とによって決定されうる。そして、境界面Ｒ１、Ｒ２で１つの通路が形成される場合、球面表面または複合球面表面の立体角は、外部球面表面の複合球面表面の立体角と同一か、または大きいが、外部連結通路１４と内部連結通路１３１ａ、１３１ｂとの構造によって多様に形成されうる。望ましくは、第２表面１４２によって形成される球面表面または複合球面表面Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の球面を形成する曲線延長長さは、外部表面１４１によって形成される球面表面または複合球面表面Ｒ１の球面を形成する曲線延長長さに比べて、同一か、または大きい。球面を形成する曲線延長長さは、内部連結通路１３１ａ、１３１ｂと外部連結通路１４との曲面が始まるそれぞれの位置を連結する曲面を形成する曲線の延長長さを意味し、具体的に、互いに異なる位置を連結する曲面を形成する最大曲線形状の延長長さ、最小曲線形状の延長長さまたは曲線形状の平均延長長さを意味する。
【００１７】
球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の形成は、通路全体にわたって流体の滞留空間が形成されないようにする。プラズマまたは洗浄ガスの流れ過程でエッジ面にエッチングが発生しないようにする。そして、外部連結通路１４または内部連結通路１３１ａ、１３１ｂの表面コーティング過程で均一なコーティングがなされるようにする。また、経路の断面積に沿って均一な流動圧力を形成させる。さらに、内部で渦流の発生を防止させる。このような多様な目的または利点が発生するように、球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の曲率半径または立体角が決定されうる。
【００１８】
本発明によれば、球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、互いに異なるシリンダーチューブが合って形成される面ではない既定の曲率半径または立体角を有するように境界面を形成することを意味する。球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の立体角は、曲線形態の延長長さが長くなるほど大きくなる。球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、あらゆる境界面で形成されなければならないものではない。例えば、外部表面の球面表面または複合球面表面Ｒ１は、１つの方向に曲率半径を有する反った曲面（Ｃｕｒｖｅｄ  Ｓｕｒｆａｃｅ）になりうる。言い換えれば、互いに異なる方向に延びる２つのシリンダー状が合いながら形成される滑らかな曲面になりうる。
【００１９】
図１Ｂの（ｂ）は、球面表面または複合球面表面が形成されていない接合面Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４が形成されたサブブロックの実施形態を図示したものである。
【００２０】
図１Ｂの実施形態で、それぞれの接合面Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４は、１つの方向に曲率半径が形成されるか、または２つのシリンダー状またはチューブ状が合う交差部分を柔らかに連結するための曲面になりうる。このような場合、接合面Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４は、立体角を形成しないか、球面を形成しないか、凸レンズまたは凹レンズのようなレンズ球面を形成しない。
【００２１】
球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、例えば、５軸マシンによって加工され、球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の形成のための固有な構造を有したミーリングまたは切削工具によって形成されうる。例えば、球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、ＸＹＺ軸及び２つの回転軸ＣＡからなるマシニングセンターで加工されうる。
以下、本発明による球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４が形成される過程について説明される。
図２は、本発明によるプラズマブロックを形成するサブブロックに適用可能な連結構造の実施形態を図示したものである。
【００２２】
図２を参照すれば、外部連結通路１４は、第１表面１４１と第２表面１４２とを有し、そして、内部連結通路１３１ａ、１３１ｂは、第１表面２３１と第２表面２３２とを有するか、または第２表面２３２のみを有しうる。
【００２３】
球面中心Ｃは、外部連結通路１４と内部連結通路１３１ａ、１３１ｂとの中心線の交点によって決定されうる。境界面で球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４が形成されなければならない基準位置Ｂ１、Ｂ２が決定されうる。基準位置Ｂ１の１つは、内部連結通路１３１ａ、１３１ｂの第２表面２３２に、そして、基準位置Ｂ２の他の１つは、外部連結通路１４の第２表面１４２に設定しうる。基準位置Ｂ１、Ｂ２は、例えば、外部連結通路１４の第１表面１４１と内部連結通路１３１ａの第１表面２３１とが合う面を基準に決定されうる。具体的に、球面中心Ｃから２つの第１表面１４１、２３１が合う中心に至る基準直線ＢＬ０が決定されうる。そして、２つの第１表面１４１、２３１が合う部分を柔らかに連結する最小曲線で連結する場合、内部連結通路１３１ａ及び外部連結通路１４の直線延長面と合う位置が決定されうる。そして、それぞれの位置で基準直線ＢＬ０に平行な２つの設定直線ＢＬ１、ＢＬ２が決定されうる。そして、基準位置Ｂ１、Ｂ２は、内部連結通路１３１ａ及び外部連結通路１４の第２表面２３２、１４２に２つの設定直線ＢＬ１、ＢＬ２に基づいて決定される。望ましくは、基準位置Ｂ１、Ｂ２は、設定直線ＢＬ１、ＢＬ２の外側に位置されうる。このような方法で、球面表面または複合球面表面Ｒ２が決定されうる。言い換えれば、球面表面または複合球面表面のうち、内部連結通路１３１ａ、１３１ｂの内部表面１４２によって形成される曲面に該当する曲線延長長さＬ２、Ｌ３、Ｌ４は、外部表面１４１によって形成される曲面に該当する曲線延長長さＬ１に比べて、同一か、または大きくなる。そして、曲面に該当する曲線延長長さＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４は、前述したように、内部連結通路１３１ａ、１３１ｂと外部連結通路１４との曲面が始まるそれぞれの位置を連結した曲面に沿った曲線形態の延長長さを意味し、具体的に、互いに異なる位置を連結する曲面を形成する曲線の最大延長長さ、曲線の最小延長長さまたは曲線の平均延長長さを意味する。一方、前記のような方法で、立体角ＳＡが決定されうる。他の球面表面または複合球面表面Ｒ３、Ｒ４は、決定された球面表面または複合球面表面Ｒ２に準じて設定しうる。
【００２４】
基準位置Ｂ１、Ｂ２は、第２表面１４２、２３２の延長方向及びまわり面に沿って決定されうる。これにより、延長方向または長さ方向に該当する立体角ＳＡの大きさとまわり面に該当する立体角の大きさは、互いに異なりうる。これにより、図２の（ｃ）に図示されたように、まわり面の少なくとも１つが互いに異なる形状を有する球面表面または複合球面表面Ｒ２に形成されうる。また、球面表面または複合球面表面Ｒ２の内部の互いに異なる内部表面Ｐ１、Ｐ２は、互いに異なる曲率半径を有しうる。
【００２５】
基準位置Ｂ１、Ｂ２の決定及び内部表面Ｐ１、Ｐ２のそれぞれの位置で曲率半径が決定されるか、または互いに異なる内部表面部分の曲率半径または立体角が決定されれば、５軸マシニングセンターでミーリングまたは切削工具によって、球面表面または複合球面表面が加工されうる。
球面表面または複合球面表面Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、多様な方法で形成され、本発明は、提示された実施形態に制限されるものではない。
以下、このような球面構造または複合球面構造の加工のための加工ツールの実施形態について説明される。
図３Ａ及び図３Ｂは、本発明によるプラズマブロックを形成するサブブロックの経路を加工するための加工ツール３０の実施形態を図示したものである。
【００２６】
図３Ａ及び図３Ｂを参照すれば、加工ツール３０は、加工部位に至る経路を通じて挿入可能な直径を有しながら延びる挿入部材３２１、及び挿入部材３２１の端部に形成され、第１方向に延びる第１カッター３１２ａ及び第２方向に延びる第２カッター３１３ａを含み、第１カッター３１２ａまたは第２カッター３１３ａは、加工部位を加工する切断刃３１２ｂ、３１３ｂ及び切断刃３１２ｂ、３１３ｂの背面を形成しながら曲面を中心方向に延びる背面本体３１２ｃ、３１３ｃからなりうる。
【００２７】
加工ツール３０は、前述した境界部位の加工に適用可能であるが、望ましくは、内部境界部位の加工に適用可能である。加工ツール３０によって、５軸加工方式によって内部境界部位が加工され、内部境界部位の曲面構造は、あらかじめ決定されうる。
【００２８】
結合ユニット３２は、ミーリングマシンまたは加工装置に固定される固定部材３２３及び経路の内部にカッターユニット３１を挿入させる挿入部材３２１からなり、固定部材３２３と挿入部材３２１は、連結部位３２２によって連結されうる。固定部材３２３は、ミーリングマシンまたは挿入部材３２１に固定される任意の形状を有し、そして、挿入部材３２１は、経路の直径及び加工されなければならない部位に至る距離に基づいて直径及び長さが決定されうる。例えば、挿入部材３２１は、カッターユニット３１の全体直径及び固定部材３２３に比べて小さな直径を有し、長さ方向に一定の直径を有しながら延びる構造を有しうる。固定部材３２３、連結部品３２２、及び挿入部材３２１は、一体に形成されるか、または分離可能な構造を有しうる。
【００２９】
カッターユニット３１は、挿入部材３２１の端部に形成されたカッターコア３１１、カッターコア３１１から第１方向に延びる第１カッター３１２及びカッターコア３１１から第２方向に延びる第２カッター３１３からなりうる。第１カッター３１２及び第２カッター３１３は、互いに異なる方向または対向する方向に延びられ、対称構造からなりうる。図３Ｂを参照すれば、カッターコア３１１は、第１コア３１１ａ及び第１コア３１１ａと対向するように形成される第２コア３１１ｂからなり、そして、第１コア３１１ａと第２コア３１１ｂは、中心境界線３１１ｃで一部が合う。中心境界線３１１ｃは、第１コア３１１ａ及び第２コア３１１ｂに比べて、上側に突出した形状を有し、これにより、中心境界線３１１ｃは、床を形成する。これにより、第１コア３１１ａと第２コア３１１ｂは、中心境界線３１１ｃで一部が互いに合う傾斜面を形成する。このようなカッターコア３１１の構造は、経路の内部で第１カッター３１２及び第２カッター３１３が多様な角度で回転するようにする。
【００３０】
第１カッター３１２及び第２カッター３１３は、カッターコア３１１から水平方向に延びる切断刃３１２ｂ、３１３ｂ及び切断刃３１２ｂ、３１３ｂを支持する形状を有しながら、切断刃３１２ｂ、３１３ｂの端部から漸次的に半球型に形成される背面本体３１２ｃ、３１３ｃからなりうる。切断刃３１２ｂ、３１３ｂは、全体的に加工刃で形成されるか、端部が加工刃で形成され、そして、切断刃３１２ｂ、３１３ｂは、半円状になりうる。このように、第１カッター３１２及び第２カッター３１３は、互いに逆方向に延びる羽根の構造を有しうる。
【００３１】
第１カッター３１２及び第２カッター３１３は、以下で説明される曲面加工のための多様な形状を有し、本発明は、提示された実施形態に制限されるものではない。
加工ツール３０によって内部境界部位が加工され、それにより、内部経路及び外部経路の加工が完了すれば、表面処理工程が進行しうる。
内部経路及び外部経路の加工が完了した２つのサブブロックが結合されてプラズマブロックを形成しうる。
図4は、本発明による遠隔プラズマソースブロック4０の実施形態を図示したものである。
【００３２】
図4を参照すれば、本体4１に外部連結通路4２が形成され、外部形成通路4２は、互いに異なる曲線形態の延長長さを有しながら類似した断面直径を有する内部連結通路4３ａ、4３ｂと端部及び中間部分で合って、球面表面または複合球面表面を形成する。同一か、または類似した構造を有する２つのサブブロック4０ａ、4０ｂに形成された互いに異なる内部連結通路4３ａ、4３ｂを互いに連結させることによって、プラズマブロック4０が形成されうる。洗浄ガスは、入口4２を通じて流入され、プラズマ発生ユニット（図示せず）によってプラズマ状態になりうる。入口4２は、本体4１の内部に形成された外部連結通路4４と連結され、発生したプラズマは、内部連結通路4３ａ、4３ｂを通じて流れて、本体4１の他方に形成された出口に排出されて真空チャンバに誘導されうる。
サブブロック4０ａ、4０ｂは、多様な構造で形成され、本発明は、提示された実施形態に制限されるものではない。
【００３３】
本発明によるプラズマブロックは、発生したプラズマまたは注入ガスが特定空間に滞留されることを防止することによって、プラズマの特性を向上させるという利点を有する。また、本発明によるプラズマブロックは、流体の流れの向上によってプラズマ発生効率を向上させながら、プラズマブロックの耐久性を向上させるという長所を有する。さらに、本発明によるプラズマブロックは、内部エッチのエッチングを防止させながら、それと同時に、プラズマによる損傷を防止するためのコーティング面を均一にするという利点を有する。
【００３４】
以上、本発明は、提示された実施形態を参照して詳細に説明されたが、当業者は、提示された実施形態を参照して、本発明の技術的思想を外れない範囲で多様な変形及び修正発明を作ることができる。本発明は、このような変形及び修正発明によって制限されず、但し、下記に添付した特許請求の範囲によって制限される。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、遠隔プラズマソースのためのプラズマブロック関連の技術分野に適用可能である。
【図１Ａ】
0006034341.tif 000002
【図１Ｂ】
0006034341.tif 000003
【図２】
0006034341.tif 000004
【図３Ａ】
0006034341.tif 000005
【図３Ｂ】
0006034341.tif 000006
【図４】
0006034341.tif 000007