(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１光学素子と、
圧電素子と、
前記第１光学素子と対向する第２光学素子と、
前記第１光学素子と前記圧電素子との間に介在してこれらを接合しているとともに前記第１光学素子と前記第２光学素子との間にも介在してこれらを接合している金属膜と、
を有し、
前記金属膜は、前記第１光学素子と前記圧電素子との間に介在する部分と、前記第１光学素子と前記第２光学素子との間に介在する部分とが繋がっている
光学部品。
【請求項２】
前記金属膜は、前記第１光学素子及び前記第２光学素子の対向領域の一部においてこれらの間に介在し、
前記第１光学素子及び前記第２光学素子は、前記金属膜の非配置領域においてギャップを介して対向している
請求項１に記載の光学部品。
【請求項３】
前記金属膜のうち前記第１光学素子と前記第２光学素子との間に介在する部分は、前記対向領域の外周に沿って環状に形成されている
請求項２に記載の光学部品。
【請求項４】
前記第１光学素子及び前記第２光学素子の一方は、複屈折板を含み、
前記第１光学素子及び前記第２光学素子の他方は、赤外線カットフィルタを含む
請求項１〜３のいずれか１項に記載の光学部品。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の光学部品と、
前記金属膜を介して前記圧電素子に交流電圧を印加可能な電源装置と、
を有する光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学ローパスフィルタ等の光学部品及び当該光学部品を含む光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子が接合された光学素子を有する光学部品が知られている（特許文献１）。このような光学部品においては、圧電素子に交流電圧を印加して圧電素子を振動させ、ひいては、光学素子を振動させることにより、光学素子への塵等の付着を抑制したり、光学素子に付着した塵等を除去したりすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１５８５１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の技術では、光学素子を好適に振動させることができないおそれがある。例えば、圧電素子を接着剤により光学素子に接合していることから、圧電素子の振動が接着剤に吸収されてしまい、圧電素子の振動が光学素子に十分に伝達されないおそれがある。
【０００５】
本発明の目的は、光学素子を好適に振動させることができる光学部品及び光学装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る光学部品は、第１光学素子と、圧電素子と、前記第１光学素子と前記圧電素子との間に介在してこれらを接合する金属膜と、を有する。
【０００７】
好適には、前記光学部品は、前記第１光学素子と対向する第２光学素子を更に有し、前記金属膜は、前記第１光学素子と前記第２光学素子との間にも介在してこれらを接合している。
【０００８】
好適には、前記金属膜は、前記第１光学素子及び前記第２光学素子の対向領域の一部においてこれらの間に介在し、前記第１光学素子及び前記第２光学素子は、前記金属膜の非配置領域においてギャップを介して対向している。
【０００９】
好適には、前記金属膜のうち前記第１光学素子と前記第２光学素子との間に介在する部分は、前記対向領域の外周に沿って環状に形成されている。
【００１０】
好適には、前記金属膜は、前記第１光学素子と前記圧電素子との間に介在する部分と、前記第１光学素子と前記第２光学素子との間に介在する部分とが繋がっている。
【００１１】
好適には、前記第１光学素子及び前記第２光学素子の一方は、複屈折板を含み、前記第１光学素子及び前記第２光学素子の他方は、赤外線カットフィルタを含む。
【００１２】
本発明の一態様に係る光学部品は、複屈折板を含む第１光学素子と、赤外線カットフィルタを含み、前記第１光学素子と対向する第２光学素子と、前記第１光学素子及び前記第２光学素子の間に介在してこれらを接合する金属膜と、を有し、前記金属膜は、前記第１光学素子及び前記第２光学素子の対向領域の一部においてこれらの間に介在し、前記第１光学素子及び前記第２光学素子は、前記金属膜の非配置領域においてギャップを介して対向している。
【００１３】
本発明の一態様に係る光学装置は、上記の光学部品と、前記金属膜を介して前記圧電素子に交流電圧を印加可能な電源装置と、を有する。
【発明の効果】
【００１４】
上記の構成によれば、光学素子を好適に振動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１（ａ）及び図１（ｂ）は本発明の第１の実施形態に係る光学部品の平面図及び断面図。
【図２】図２（ａ）及び図２（ｂ）は本発明の第２の実施形態に係る光学部品の平面図及び断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
＜第１の実施形態＞
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る光学部品１の平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＩｂ−Ｉｂ線における断面図である。
【００１７】
光学部品１は、例えば、図１（ｂ）の紙面上下方向において光を透過させ、その際、色補間処理を行うことでモアレ(偽色)の発生を抑える光学ローパスフィルターとして構成されている。光学部品１は、例えば、全体として概ね薄型直方体状に構成されている。その外形寸法は、用途に応じて適宜に設定されてよいが、例えば、１辺が数ｍｍ〜数十ｍｍである。
【００１８】
光学部品１は、例えば、複屈折板３（図１（ｂ））と、当該複屈折板３と対向する赤外線（ＩＲ）カットフィルタ５と、これらを接合する金属膜７とを有している。複屈折板３とＩＲカットフィルタ５とは、金属膜７がスペーサとして機能することによりギャップ９を介して対向している。さらに、光学部品１は、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５を振動させるための圧電素子１１を有している。なお、金属膜７は、圧電素子１１の複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５の一方（本実施形態では複屈折板３）に対する接合にも寄与している。
【００１９】
各部材等の詳細は以下のとおりである。
【００２０】
複屈折板３は、結晶等の異方性媒質により構成されており、例えば、水晶により構成されている。複屈折板３に入射した光は、２つの屈折光となって出射される。これにより、複屈折板３を透過した光により結像される像は２重になる。このことによりモアレの発生を抑えることができる。
【００２１】
また、複屈折板３は、例えば、平面視において矩形の平板状に形成されており、互いに平行な第１主面３ａ及び第２主面３ｂを有している。第１主面３ａ及び第２主面３ｂの面粗さ及び平行度は、所望の光学特性に応じて適宜に設定されてよい。例えば、面粗さは算術平均粗さで１ｎｍ未満であり、平行度は１分未満である。より高精度に加工するのであれば、例えば、面粗さは、算術平均粗さ（Ｒａ）で０．４ｎｍ程度であり、平行度は１０秒〜３０秒である。このような微小な面粗さや高精度な平行度は、例えば、各面の光学研磨により得られる。
【００２２】
複屈折板３の第２主面３ｂは、光学部品１の入射面若しくは出射面を構成している。なお、第２主面３ｂには、反射防止膜乃至は赤外線を反射する膜等の薄膜が設けられていてもよい。
【００２３】
ＩＲカットフィルタ５は、例えば、赤外線吸収ガラス等の赤外線を吸収する媒質により構成されている。なお、ＩＲカットフィルタは、赤外線を反射するものであってもよい。ＩＲカットフィルタ５は、例えば、平面視において矩形の平板状に形成されており、互いに平行な第３主面５ａ及び第４主面５ｂを有している。これらの面粗さ及び平行度については、複屈折板３と同様である。
【００２４】
ＩＲカットフィルタ５の第３主面５ａは、光学部品１の入射面若しくは出射面を構成している。なお、第３主面５ａには、反射防止膜乃至は赤外線を反射する膜等の薄膜が設けられていてもよい。
【００２５】
ＩＲカットフィルタ５は、平面視において、複屈折板３よりも小さく形成されている。換言すれば、複屈折板３は、ＩＲカットフィルタ５の外縁よりも外側に延び出る延出部３ｃを有している。具体的には、例えば、複屈折板３は、矩形の辺に平行な２方向のうち、一の方向（図１（ａ）の紙面上下方向）においてはＩＲカットフィルタ５と同等の大きさに形成されており、他の方向においてはＩＲカットフィルタ５よりも大きく形成されており、当該他の方向の両側に延出部３ｃを有している。
【００２６】
金属膜７は、複屈折板３とＩＲカットフィルタ５との間に介在してこれらの接合に寄与する第１接合部７ａと、当該第１接合部７ａの外側に位置し、圧電素子１１の複屈折板３に対する接合に寄与する第２接合部７ｂとを有している。
【００２７】
第１接合部７ａは、例えば、平面視において、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５の対向領域の外周に沿って環状（枠状）に形成されている。なお、本願において、「環状」は、内部に空所が構成される形状を指すものとし、円形状に限定されず、矩形状や三角形状等でもよいものとする。より具体的には、第１接合部７ａは、例えば、概ね一定の幅でＩＲカットフィルタ５の外周に沿って形成されており、本実施形態では矩形の環状である。また、第１接合部７ａは、その全体に亘って一定の厚みで形成されている。
【００２８】
また、第１接合部７ａは、特に図示しないが、例えば、複屈折板３に形成された金属層と、ＩＲカットフィルタ５に形成された金属層とが接合されることにより構成されている。すなわち、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５は、それぞれに形成された金属層同士が金属拡散によって接合されることにより互いに接合されている。
【００２９】
各金属層の材料は、例えば、Ａｕ、Ｐｔ及びこれらを含む合金からなる。その厚みは、接合の安定性の観点から、各金属層が形成される面（第１主面３ａ又は第４主面５ｂ）の表面粗さ（Ｒａ）よりも大きいことが好ましく、例えば、１ｎｍ〜１０００ｎｍである。各金属層とその金属層が形成される面との間には、当該面との密着性を向上させるための下地層（金属膜７の一部と捉えられてもよい。）が設けられていてもよい。下地層は、例えば、Ｔａ、Ｃｒ、Ｔｉ若しくはＮｉからなり、その厚みは、０．２ｎｍ以上である。
【００３０】
第２接合部７ｂは、例えば、平面視において、延出部３ｃの全面に亘って形成されており、本実施形態では矩形である。上述した、第１接合部７ａのうち、複屈折板３に形成された金属層は、延出部３ｃまで広がって、第２接合部７ｂを構成している。また、圧電素子１１の複屈折板３側の面には、第１接合部７ａにおいてＩＲカットフィルタ５に形成されたのと同様に、金属層が形成されており、当該金属層は、複屈折板３に形成された金属層と接合されている。そして、圧電素子１１に形成された金属層は、複屈折板３に形成された金属層とともに、第２接合部７ｂのうちの複屈折板３と圧電素子１１との間に介在する部分（金属膜７の一部）を構成している。
【００３１】
このように、第１接合部７ａ及び第２接合部７ｂは、少なくとも一部の層を共有しており、互いに連続している（繋がっている。）。なお、上記においては、接合に寄与する部分と接合に寄与しない部分とで厚み等が異なる場合を説明したが、金属膜７は、その全体に亘って同一材料及び同一厚みで形成されて、複屈折板３とＩＲカットフィルタ５との接合、及び、複屈折板３と圧電素子１１との接合に寄与していてもよい。
【００３２】
金属膜７は、透光性を有していない。しかし、第１接合部７ａが環状に形成されることによりその内側に透光領域１ａが構成されている。換言すれば、金属膜７は、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５の対向領域のうち一部にのみ設けられることにより、対向領域の他の部分を透光領域１ａとしている。透光領域１ａを通過する光は、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５に加え、ギャップ９を通過する。
【００３３】
ギャップ９は、金属膜７の非配置位置において、複屈折板３とＩＲカットフィルタ５との間に形成されている。本実施形態においては、第１接合部７ａが矩形の環状に形成されていることから、ギャップ９の形状は、薄型直方体状である。ギャップ９の高さ（厚み）は、金属膜７の厚みによって規定されている。
【００３４】
ギャップ９は、密閉されていてもよいし、金属層の一部にスリットが形成されることなどによって外部と連通されていてもよい。密閉されている場合において、ギャップ９の内部は、空気等のガスが封入されていてもよいし、真空とされていてもよい。ガスが封入されている場合において、その圧力は、大気圧と同等であってもよいし、低くてもよいし、高くてもよい。
【００３５】
ギャップ９の厚みは、比較的小さく設定されている。これにより、第１主面３ａ及び第４主面５ｂにおける反射を低減して、反射防止膜を不要とすることができる。ただし、第１主面３ａ及び第４主面５ｂは、反射防止膜が設けられてもよいし、また、ギャップ９の厚みは、反射防止膜が設けられることが好ましい若しくは反射防止膜が必要な厚みとされてもよい。
【００３６】
圧電素子１１は、圧電材料により構成されている。圧電材料は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ、Ｐｂ（ＺｒｘＴｉ１−ｘ）Ｏ３）である。従って、圧電素子１１は、交流電圧が付与されることによって変形及び復元を繰り返し、金属膜７（第２接合部７ｂ）を介して複屈折板３に振動を付与する。複屈折板３に付与された振動は、金属膜７（第１接合部７ａ）を介してＩＲカットフィルタ５にも伝達される。
【００３７】
圧電素子１１は、例えば、２つの延出部３ｃそれぞれに設けられている。各圧電素子１１は、例えば、平面視において延出部３ｃよりも若干小さい長尺の直方体状に形成されている。換言すれば、各圧電素子１１は、矩形状の透光領域１ａの１辺に沿って当該１辺に亘る大きさで形成されている。
【００３８】
光学部品１を含む光学装置１０１は、例えば、光学部品１に加えて、圧電素子１１に交流電圧を印加可能な電源装置１０３を有している。
【００３９】
電源装置１０３は、例えば、金属膜７と、金属膜７とは反対側にある圧電素子１１の面に形成された不図示の電極との間に電圧を印加する。すなわち、金属膜７は、圧電素子１１に電圧を印加するための電極としても機能する。なお、金属膜７と圧電素子１１を介して対向する不図示の電極は、例えば、金属膜７とは反対側にある圧電素子１１の面の全面に形成されている。
【００４０】
なお、圧電素子１１は、これらの電極の対向方向において分極されていることにより当該対向方向において膨張乃至は収縮する変形を生じてもよいし、電極の対向方向に直交する方向において分極されていることによりシア変形を生じてもよい。
【００４１】
電源装置が印加する交流電圧は、正弦波等により表わされる、電位が連続的に変化するものであってもよいし、パルス状の、電位の変化が不連続なものであってもよい。また、交流電圧は、１対の電極の双方において基準電位に対して電位が変動するものであってもよいし、１対の電極の一方が基準電位に接続され、他方においてのみ電位が基準電位に対して変動するものであってもよい。電位の変動は、基準電位に対して正及び負の双方に変動するものであってもよいし、基準電位に対して正及び負の一方のみに変動するものであってもよい。なお、好適には、金属膜７は基準電位とされ、金属膜７と対向する電極のみにおいて電位が変動される。この場合、静電気によって塵等が複屈折板３等に付着することが抑制される。
【００４２】
以上に説明した光学部品１は、公知の製造技術を適宜に組み合わせて作製されてよい。
【００４３】
例えば、まず、複屈折板３が多数個取りされる母基板に対して、スパッタリングやめっき法等の適宜な薄膜形成法により、金属膜７を構成する下地層や金属層を形成する。透光領域１ａを形成するためのパターニングは、予めマスク（メタルマスク若しくはフォトレジスト等）を母基板に被せてから金属層等を形成することによりなされてもよいし、金属層等をマスクを介してエッチングすることによりなされてもよい。
【００４４】
ＩＲカットフィルタ５や圧電素子１１についても同様に、これらが多数個取りされる母基板に対して金属膜７となる下地層や金属層を形成する。そして、ダイサー等を用いて母基板を分割することによりＩＲカットフィルタ５及び圧電素子１１を形成する。
【００４５】
次に、ＩＲカットフィルタ５を複屈折板３の母基板に載置して加圧し、金属膜７（第１接合部７ａ）となる金属層における金属拡散によりこれらを接合する。なお、載置前においては、プラズマ洗浄等により有機層等のコンタミネーションを除去してもよい。当該洗浄は、特に、フォトレジストでマスクを形成した場合に、残存レジストの除去に有効である。また、酸化被膜を除去する処理を行ってもよい。接合は、大気雰囲気下、真空雰囲気下及び不活性ガス等の適宜なガス雰囲気下のいずれにおいて行われてもよい。また、金属拡散を促進するように加熱が行われてもよい。接合時の温度は、例えば、室温〜５００°Ｃである。
【００４６】
同様に、ＩＲカットフィルタ５の接合の前若しくは後、又は、ＩＲカットフィルタ５の接合と同時に、金属膜７（第２接合部７ｂ）となる金属層同士の金属拡散により、圧電素子１１を複屈折板３の母基板に接合する。
【００４７】
そして、ダイサー等により複屈折板３の母基板を分割することにより、複数の光学部品１が作製される。
【００４８】
以上のとおり、本実施形態では、光学部品１は、複屈折板３と、圧電素子１１と、複屈折板３と圧電素子１１との間に介在してこれらを接合する金属膜７とを有している。
【００４９】
従って、圧電素子１１の振動は、剛性が高い金属膜７により、効率的に複屈折板３に伝達される。これにより、複屈折板３を好適に振動させることができ、ひいては、防塵が好適になされる。さらに、金属膜７を電極として利用することが可能となり、光学部品１及びその製造方法の簡素化も期待される。
【００５０】
また、本実施形態では、光学部品１は、複屈折板３と対向するＩＲカットフィルタ５を更に有し、金属膜７は、複屈折板３とＩＲカットフィルタ５との間にも介在してこれらを接合している。
【００５１】
従って、圧電素子１１から複屈折板３に伝達された振動は、剛性が高い金属膜７により、効率的にＩＲカットフィルタ５に伝達される。これにより、複屈折板３だけでなく、ＩＲカットフィルタ５の防塵も好適になされる。
【００５２】
さらに、一般的な光学ローパスフィルタに比較して透過波面収差の縮小等が図られる。例えば、一般に、光学ローパスフィルタにおいては、複屈折板（水晶）と赤外線カットフィルタ（赤外線吸収ガラス）との接合は、紫外線硬化型接着剤（ＵＶ接着剤）により行われており、単板（複屈折板若しくは赤外線カットフィルタ）の透過波面収差が０．５λＰＶ程度であるのに対して、貼り合わせ後の透過波面収差は５．０λＰＶ程度となり、約１０倍悪化する。これに対して、金属膜７による接合では、透過波面収差は、例えば、１．０λＰＶ以下に抑えられる。また、貼り合わせ後の洗浄において、溶け出したＵＶ接着剤が主面に付着して汚れになるおそれもない。
【００５３】
また、本実施形態では、金属膜７は、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５の対向領域の一部においてこれらの間に介在し、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５は、金属膜７の非配置領域においてギャップ９を介して対向している。
【００５４】
従って、複屈折板３とＩＲカットフィルタ５とがその対向領域の全面に亘って接合されている場合に比較して、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５それぞれの光学素子は、その振動（変形）が他方の光学素子によって抑制されず、好適に振動することが期待される。なお、光学部品１全体を曲げようとするモーメントに対する剛性は、複屈折板３とＩＲカットフィルタ５とが金属膜７によって接合されていることにより向上する。
【００５５】
さらに、金属膜７の非配置領域が透光領域１ａを構成することから、金属膜７は、透光性を有するように薄く形成される必要はなく、要求される接合強度等に応じて適宜な厚みとされることができる。例えば、特許文献１では、２つの光学素子は、その対向領域の全面に介在するＴｉからなる接着層により接合されており、このＴｉ層は、透光性を有するように１ｎｍとされている。しかし、本実施形態においては、金属膜７は、１ｎｍを超える厚みとされてよい。
【００５６】
また、本実施形態では、金属膜７のうち複屈折板３とＩＲカットフィルタ５との間に介在する部分（第１接合部７ａ）は、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５の対向領域の外周に沿って環状に形成されている。
【００５７】
従って、複屈折板３の振動は、その全周に亘ってＩＲカットフィルタ５に伝達されることになり、好適にＩＲカットフィルタ５を振動させることができる。さらに、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５の接合を全方向に亘って均等に行い、複屈折板３とＩＲカットフィルタ５との平行度を保つことができるから、透過波面収差を抑制する効果も向上する。
【００５８】
また、本実施形態では、金属膜７は、複屈折板３とＩＲカットフィルタ５との間に介在する第１接合部７ａと、複屈折板３と圧電素子１１との間に介在する部分（第２接合部７ｂのうち圧電素子１１と重なる部分）とが繋がっている。
【００５９】
従って、圧電素子１１から金属膜７に伝達された振動を、複屈折板３を介さずに、直接にＩＲカットフィルタ５に伝達することも可能である。また、第２接合部７ｂに基準電位が付与される場合に、ＩＲカットフィルタ５にも基準電位を付与し、静電気によりＩＲカットフィルタ５に塵等が付着することを抑制できる。
【００６０】
別の観点では、本実施形態では、光学部品１は、複屈折板３と、複屈折板３と対向するＩＲカットフィルタ５と、これらの間に介在してこれらを接合する金属膜７と、を有する。金属膜７は、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５の対向領域の一部においてこれらの間に介在し、複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５は、金属膜７の非配置領域においてギャップ９を介して対向している。
【００６１】
従って、光学部品１は、光学素子（複屈折板３及びＩＲカットフィルタ５）を好適に振動させることができる。すなわち、既に述べたように、ギャップ９が介在していることから、光学素子の一方の振動は光学素子の他方により抑制されない。また、光学素子の一方に振動を付与すれば、剛性の高い金属膜７により効率的に光学素子の他方へ振動が伝達される。
【００６２】
＜第２の実施形態＞
図２（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る光学部品２０１の平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）のIIｂ−IIｂ線における断面図である。
【００６３】
光学部品２０１は、第１の実施形態の光学部品１から、複屈折板３の延出部３ｃ、金属膜７の第２接合部７ｂ及び圧電素子１１を省略した構成となっている。すなわち、光学部品２０１は、複屈折板２０３と、複屈折板２０３と対向するＩＲカットフィルタ５と、これらの間に介在してこれらを接合する金属膜２０７とを有し、金属膜２０７は、複屈折板２０３及びＩＲカットフィルタ５の対向領域の一部においてこれらの間に介在し、複屈折板２０３及びＩＲカットフィルタ５は、金属膜２０７の非配置領域においてギャップ９を介して対向している。複屈折板２０３及びＩＲカットフィルタ５の平面視における形状は、例えば、同一である。
【００６４】
光学部品２０１も、光学部品１と同様の作製方法により作製されてよい。なお、光学部品２０１においては、複屈折板２０３の母基板と、ＩＲカットフィルタ５の母基板とを貼り合せ、その後、ダイサー等により２枚の母基板を共に分割してもよい。
【００６５】
光学部品２０１は、光学部品２０１を振動させるための圧電素子が後付けとされているが、圧電素子が設けられた場合においては、第１の実施形態と同様に、光学素子（複屈折板２０３又はＩＲカットフィルタ５）を好適に振動させることができる。すなわち、ギャップ９が介在していることから、光学素子の一方の振動は光学素子の他方により抑制されない。また、光学素子の一方に振動を付与すれば、剛性の高い金属膜７により効率的に光学素子の他方へ振動が伝達される。
【００６６】
本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【００６７】
本発明の第１の観点の光学部品（圧電素子を金属膜により第１光学素子に接合する光学部品）においては、第２光学素子は必須の要件ではない。また、第２光学素子が設けられる場合において、第２光学素子は、金属膜以外の方法により第２光学素子と接合されていてもよい。
【００６８】
また、本発明の第２の観点の光学部品（複屈折板とＩＲカットフィルタとをギャップを介して対向させる光学部品）においては、圧電素子は必須の要件ではない。また、圧電素子が設けられる場合において、圧電素子は、金属膜以外の方法により複屈折板又はＩＲカットフィルタに接合されていてもよい。
【００６９】
金属膜のうち圧電素子と第１光学素子との間に介在する部分（第２接合部の一部）は、圧電素子に電圧を印加する電極を兼ねていなくてもよい。例えば、金属膜とは別に１対の電極が圧電素子に形成される一方で、金属膜は電圧が印加されない若しくは基準電位が付与される状態とされてよい。また、金属膜が電極に利用される場合において、金属膜は、圧電素子の全面に亘って形成されるのではなく、適宜なパターンとされてよい。圧電素子に対する電圧印加方向は、接合方向ではなく、接合方向に直交する方向であってもよい。
【００７０】
また、金属膜のうち第１光学素子と第２光学素子との間に介在する部分（第１接合部）は、透光性を有するよう薄く形成され、第１光学素子及び第２光学素子の対向領域の全面に形成されてもよい。また、第１接合部は、対向領域の一部に設けられる場合において、矩形の対向領域の２辺にのみ設けられるなど、環状以外の形状に形成されてもよい。
【００７１】
また、金属膜において、第１光学素子と第２光学素子との間に介在する部分（第１接合部）と、圧電素子と第１光学素子との間に介在する部分（第２接合部の一部）とは、分離されていてもよい。ただし、これらは、少なくとも第１光学素子側の部分が、同一の薄膜形成工程及びパターニング工程により形成され、ひいては、互いに同一の材料により構成されていることが好ましい。
【００７２】
光学部品は、３重以上に光学素子が積層されるものであってもよい。また、この場合において、全ての光学素子がギャップを介して積層されていなくてもよい。光学素子の平面形状は矩形に限定されず、円形等の適宜な形状とされてよい。
【符号の説明】
【００７３】
１…光学部品、３…複屈折板（第１光学素子）、５…ＩＲカットフィルタ（第２光学素子）、７…金属膜、９…ギャップ、１１…圧電素子。
【図１】
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【図２】
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