(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体に液体の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドが複数配列されたヘッドユニットを有する液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドの各々は、異なる前記液体を前記媒体に吐出し、
前記ヘッドユニットにおいては、所定の温度変動に対する粘度変化が小さい種類の前記液体を吐出する前記液滴吐出ヘッドが該ヘッドユニットの内側に配置され、前記所定の温度変動に対する粘度変化が大きい種類の前記液体を吐出する前記液滴吐出ヘッドが前記ヘッドユニットの外側に配置されることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
媒体に液体の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドは、複数のノズル列が形成されたノズル形成面を有し、
前記複数のノズル列は、所定の温度変化に対する粘度変化が小さい種類の前記液体を吐出するノズル列が前記ノズル形成面の内側に配置され、前記所定の温度変化に対する粘度変化が大きい種類の前記液体を吐出するノズル列が前記ノズル形成面の外側に配置されることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
前記液滴吐出ヘッドを複数有するヘッドユニットを備えることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液体を吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を用いて、機能膜の材料を含む液滴（液体）を基板上の任意の位置に着弾させることで配置し、該液体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。
【０００３】
ところで、上記技術において、液滴吐出ヘッドを多数設ける、或いは液滴吐出ヘッドのノズル列を増やすことによって液体を吐出するノズルの総数を増加させて基板へ液滴の描画速度を向上させる技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。上述のように多ノズル列、多ヘッド化した場合、ノズル列中央付近或いはヘッド列の中央付近が高温状態となり、液体の粘度が低下することで液滴が大きくなってしまい、印刷品質が低下するおそれがある。そこで、上記従来技術においては、温度上昇に伴い印刷品質の低下を防止すべく、温度センサーと温調機器を設けてヘッド及びその周辺部の温度調整を行うことで印刷品質の低下を防止するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２８８２７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来技術では描画速度向上のためにノズル列間隔及びヘッド間隔が狭く込み合っているため、ヘッド間の中央部やノズル列の中央部付近に温度センサーや温調機器を追加して配置するためのスペースを確保することは難しかった。そのため、ヘッド全体において温度を均一化することができず、良好な印刷品質を得られないといった問題があった。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ヘッド全体における温度のばらつきによる印刷品質の低下を抑えることが可能な液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、第１態様に係る液滴吐出装置は、媒体に液体の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドが複数配列されたヘッドユニットを有する液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドの各々は、異なる前記液体を前記媒体に吐出し、前記ヘッドユニットにおいては、所定の温度変動に対する粘度変化が小さい種類の前記液体を吐出する前記液滴吐出ヘッドが該ヘッドユニットの内側に配置され、前記所定の温度変動に対する粘度変化が大きい種類の前記液体を吐出する前記液滴吐出ヘッドが前記ヘッドユニットの外側に配置されることを特徴とする。
【０００８】
ヘッドユニットにおける内側、すなわちヘッドユニットの内側は外側に比べて温度が高くなり、ヘッド間で温度バラつきが生じる結果、液体の吐出精度が低下するおそれがある。
そこで本発明の液滴吐出ヘッドによれば、粘度変化が小さい液体を吐出する液滴吐出ヘッド、すなわち温度変動に対して影響が小さい液体を吐出するヘッドがヘッドユニットの内側に配置されるので、温度変動の影響を少なくすることができる。また、粘度変化が大きい液体を吐出する液滴吐出ヘッド、すなわち温度変動の影響を大きく受ける液体を吐出するヘッドは、外気に触れることで冷却されて内側に比べて温度上昇がし辛いヘッドユニットの外側に配置されるので、温度変動の影響が少なくなる。
従って、ヘッドユニットの内側及び外側における液滴吐出ヘッドの温度変動の影響を抑えることで、ヘッドユニット全体の吐出精度を均一にすることができる。
【０００９】
第２態様に係る液滴吐出装置は、
媒体に液体の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは、複数のノズル列が形成されたノズル形成面を有し、前記複数のノズル列は、所定の温度変化に対する粘度変化が小さい種類の前記液体を吐出するノズル列が前記ノズル形成面の内側に配置され、前記所定の温度変化に対する粘度変化が大きい種類の前記液体を吐出するノズル列が前記ノズル形成面の外側に配置されることを特徴とする。
【００１０】
本発明の液滴吐出ヘッドによれば、粘度変化が小さい液体を吐出するノズル列、すなわち温度変動に対して影響が小さい液体を吐出するノズル列がノズル形成面の内側に配置されるので、温度変動の影響を少なくすることができる。また、粘度変化が大きい液体を吐出するノズル列、すなわち温度変動の影響を大きく受ける液体を吐出するノズル列は外気に触れることで内側に比べて温度上昇がし辛いノズル形成面の外側に配置されるので、温度変動の影響が少なくなる。
従って、ノズル形成面の内側及び外側における温度変動の影響を抑えることで液滴吐出ヘッド全体の吐出精度を均一にすることができる。
【００１１】
第２態様においては、前記液滴吐出ヘッドを複数有するヘッドユニットを備える構成としてもよい。
この構成によれば、全体の温度が均一化された液滴吐出ヘッドを複数備えるので、ヘッドユニット全体の吐出精度を均一にすることができる。
【００１２】
第３態様に係る液滴吐出装置は、媒体に液体の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドが複数配列されたヘッドユニットを有する液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドの各々は、異なる前記液体を前記媒体に吐出し、前記ヘッドユニットにおいては、所定の基準よりも吐出量が少ない種類の前記液体を吐出する前記液滴吐出ヘッドが該ヘッドユニットの内側に配置され、前記所定の基準よりも吐出量が多い種類の前記液体を吐出する前記液滴吐出ヘッドが前記ヘッドユニットの外側に配置されることを特徴とする。
【００１３】
本発明の液滴吐出ヘッドによれば、液体の吐出量が少ないことで駆動に伴う発熱量が少ないヘッドがヘッドユニットの内側に配置されるので、温度変動の影響を少なくすることができる。また、液体の吐出量が多く駆動に伴う発熱量が多いヘッドは外気に触れることで冷却されて内側に比べて温度上昇がし辛いヘッドユニットの外側に配置されるので、温度変動の影響が少なくなる。
従って、ヘッドユニットの内側及び外側における液滴吐出ヘッドの温度変動の影響を抑えることでヘッドユニット全体の温度を均一にすることができる。
【００１４】
第４態様に係る液滴吐出装置は、媒体に液体の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは、複数のノズル列が形成されたノズル形成面を有し、前記複数のノズル列は、所定の基準よりも吐出量が少ない種類の前記液体を吐出するノズル列が前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面の内側に配置され、前記所定の基準よりも吐出量が多い種類の前記液体を吐出するノズル列が前記ノズル形成面の外側に配置されることを特徴とする。
【００１５】
本発明の液滴吐出ヘッドによれば、液体の吐出量が少ないことで駆動に伴う発熱量が少ないノズル列がノズル形成面の内側に配置されるので、温度変動の影響を少なくすることができる。また、液体の吐出量が多く発熱量が多いノズル列は外気によって冷却されることで内側に比べて温度上昇がし辛いノズル形成面の外側に配置されるので、温度変動の影響が少なくなる。
従って、ノズル形成面の内側及び外側における温度変動の影響を抑えることで液滴吐出ヘッド全体の温度を均一にすることができる。
【００１６】
第４態様においては前記液滴吐出ヘッドを複数備える構成としてもよい。
この構成によれば、全体の温度が均一化された液滴吐出ヘッドを複数備えるので、ヘッドユニット全体の温度を均一にすることができる。
【００１７】
第５態様に係る液滴吐出装置は、媒体に液体の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドが複数配列されたヘッドユニットを有する液滴吐出装置において、前記ヘッドユニットにおいては、該ヘッドユニットの外側に対して内側の方が前記液滴吐出ヘッドの数が多くなるように配置されることを特徴とする。
【００１８】
本発明の液滴吐出ヘッドによれば、ヘッドユニットの内側に相対的に多くの液滴吐出ヘッドが配置されるので、各液滴吐出ヘッドの稼働率を抑えることができ、結果的にヘッドユニットの内側における発熱量が少なくなって温度変動の発生を抑えることができる。
また、ヘッドユニットの外側に配置される液滴吐出ヘッドの数が相対的に少なくなることで各液滴吐出ヘッドの稼働率が上昇して発熱量が増加するものの、ヘッドユニットの外側は外気に触れることで冷却されて内側に比べて温度上昇がし辛くなっているので、温度変動の発生を抑えることができる。
従って、ヘッドユニットの内側及び外側における液滴吐出ヘッドの温度変動の影響を抑えることでヘッドユニット全体の温度を均一にすることができる。
【００１９】
第６態様に係る液滴吐出装置は、複数のノズル列の各ノズルから媒体に液体の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドにおいては、前記ノズルが形成されるノズル形成面の外側に対して内側の方が前記ノズル列の数が多く配置されることを特徴とする。
【００２０】
本発明の液滴吐出ヘッドによれば、ノズル形成面の内側に相対的に多くのノズル列が配置されるので、各ノズルの稼働率を抑えることができ、結果的にノズル形成面の内側における発熱量が少なくなって温度変動の発生を抑えることができる。
また、ノズル形成面の外側に配置されるノズル列の数が相対的に少なくなることで各ノズルの稼働率が上昇して発熱量は増加するものの、ノズル形成面の外側は外気に触れることで冷却されて中央部に比べて温度上昇がし辛くなっているので、温度変動の発生を抑えることができる。
従って、ノズル形成面の内側及び外側における温度変動の影響を抑えることで液滴吐出ヘッド全体の温度を均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図２】液滴吐出装置の概略構成を示す側面図。
【図３】（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。
【図４】液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た図である。
【図５】第２実施形態に係る液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た図である。
【図６】第５実施形態に係る液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た図である。
【図７】第６実施形態に係る液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の液滴吐出装置に係る実施形態について説明する。なお、本実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
以下、本発明の液滴吐出装置に係る一実施形態として、色要素膜を構成する材料などを含む機能液（液体）を吐出可能なインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを用い、描画対象物（媒体）として基板などの上に当該機能液を配置することで所望の描画膜を形成するものである。
【００２３】
（第１実施形態）
図１は第１実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。まず、図２は液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。以下の説明においては、ＸＹＺ座標系を用いて説明し、Ｙ方向は液滴吐出ヘッドの移動方向であり、Ｘ方向はワークが搬送される搬送面内においてＹ方向に直交する方向であり、Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向のいずれにも直交する鉛直方向に対応するものである。
【００２４】
図１、２に示されるように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７（図３参照）を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、と、検査ユニット４と、メンテナンスユニット５とを備えている。
【００２５】
吐出ユニット２は、液状体に相当する機能液（液体）を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を複数備えており、当該液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に移動させると共に移動した位置に保持するためのＹ軸テーブル１２を備えている。ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台２１を有している。検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット１９を有しており、重量測定ユニット１９にはフラッシングユニット１４が併設されている。メンテナンスユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行う吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６を有している。
【００２６】
液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１Ａを備え、各ユニットなどが、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されている。Ｘ軸テーブル１１は、主走査方向としてのＸ軸方向に延在して、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されており、ワーク載置台２１をＸ軸方向（主走査方向）に移動させる。
【００２７】
吐出ユニット２のＹ軸テーブル１２は、複数本の支柱７Ａを介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース７，７の上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在している。吐出ユニット２は、６個の液滴吐出ヘッド１７を有するキャリッジユニット５１を備えている。キャリッジユニット５１は、ブリッジプレート５２に吊設されている。ブリッジプレート５２は、Ｙ軸スライダ（図示省略）を介して、Ｙ軸テーブル１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸テーブル１２は、ブリッジプレート５２（キャリッジユニット５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。
【００２８】
Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることによって機能液の液滴を吐出させることで、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の描画パターンを、機能液によって描画する。
【００２９】
吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２とを有している。検査描画ユニット１６１は、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、同じくＸ軸第２スライダ２３に固定された重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、を有している。
【００３０】
メンテナンスユニット５が備える吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台８の上に配設されている。
【００３１】
吸引ユニット１５は、キャップユニット１５ａを備え、液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図３参照）を封止して吐出ノズル７８（図３参照）を吸引することによって、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８から機能液を強制的に排出させる。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１６ａを有し、吸引後の液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａを拭き取る（ワイピングを行う）ものである。このようにして、吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７の機能維持又は機能回復を図るための保守作業を実施する。
【００３２】
Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモーター２６，２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４，２４と、を備えている。
【００３３】
Ｘ軸第１スライダ２２には、ワーク載置台２１が取り付けられている。Ｘ軸第１スライダ２２は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸第２スライダ２３には、検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが取り付けられている。Ｘ軸第２スライダ２３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸リニアモーター２６は、Ｘ軸共通支持ベース２４に並設されており、Ｘ軸第１スライダ２２又はＸ軸第２スライダ２３をＸ軸共通支持ベース２４に沿って移動させることによって、ワーク載置台２１（ワーク載置台２１に載置されたワークＷ）又は重量測定ユニット１９などをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸第２スライダ２３とは、Ｘ軸リニアモーター２６により個別に駆動可能である。Ｘ軸方向が主走査方向に相当し、Ｙ軸方向が副走査方向に相当する。
【００３４】
ワーク載置台２１は、吸着テーブル３１と、θテーブル３２などを有している。吸着テーブル３１は、載置されたワークＷを吸着固定して保持する。θテーブル３２は、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をＸ軸方向及びＹ軸方向に直角なＺ軸回りのθ方向にθ補正すると共に、θ補正が完了した方向を維持して保持する。θテーブル３２は、θ駆動モーター５３２を有し、当該θ駆動モーター５３２によって駆動される。
【００３５】
図１及び図２におけるワーク載置台２１の位置が、ワークＷの給除材を行うための給除材位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させる。当該給除材位置において、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。吸着テーブル３１に給材された未処理のワークＷのアライメントは、θテーブル３２及び画像認識ユニット８０を用いて、給除材位置において実施される。
【００３６】
画像認識ユニット８０は、２台のアライメントカメラ８１と、カメラ移動機構８２と、を有している。カメラ移動機構８２は、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に、Ｙ軸方向に延在して、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように配設されている。アライメントカメラ８１は、カメラホルダ（図示省略）を介して、カメラ移動機構８２に、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されている。カメラ移動機構８２に支持されたアライメントカメラ８１は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、Ｘ軸テーブル１１の上のワーク載置台２１に載置されたワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）を画像認識することができる。２台のアライメントカメラ８１は、カメラ移動モーター（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。
【００３７】
各アライメントカメラ８１は、ワーク載置台２１のＸ軸方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２によりＹ軸方向に移動しながら、上記したロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を実施する。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正（アライメント）が実施される。
【００３８】
Ｙ軸テーブル１２は、一対のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモーターは、上記した一対のＹ軸支持ベース７，７の上にそれぞれ設置されて、Ｙ軸方向に延在している。一対のＹ軸スライダは、一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに各１個ずつ摺動自在に支持されている。一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに支持された各１個のＹ軸スライダからなる一対のＹ軸スライダは、吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１が固定されたブリッジプレート５２を両持ちで支持している。吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１を固定したブリッジプレート５２は、ブリッジプレート５２を両持ちで支持するＹ軸スライダを介して、一対のＹ軸支持ベース７，７の上に設置されている。
【００３９】
一対のＹ軸リニアモーターを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース７，７を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設されたキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。
【００４０】
キャリッジユニット５１は、複数の液滴吐出ヘッド１７と、複数の液滴吐出ヘッド１７を支持するキャリッジプレート５３（図４参照）と、を有するヘッドユニット５４（図４参照）を備えている。ヘッドユニット５４は、ヘッド昇降機構（図示省略）を介して、Ｚ軸方向に昇降自在に支持されている。
【００４１】
（液滴吐出ヘッド）
次に、図３を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図３（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。液滴吐出ヘッド１７が、吐出手段に相当する。
【００４２】
図３（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレート７６と、を備えている。液体導入部７１のそれぞれの接続針７２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された給液ユニット（不図示）から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対のヘッドコネクター（不図示）が実装されており、当該ヘッドコネクターを介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部（不図示）と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、方形のヘッド本体７４が構成されている。
【００４３】
ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフランジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対形成されている。ヘッド保持用の部材を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじにより、液滴吐出ヘッド１７がヘッド保持用の部材に固定される。
【００４４】
ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８ａが、８本形成されている。８本のノズル列７８ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。このようにヘッド本体７４のノズル形成面７６ａには８本のノズル列７８ａが配設されている。
【００４５】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ａはＹ軸方向に延在し、１ノズルピッチは例えば１４０μｍとなっている。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。ノズル列７８ａにおける吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。
【００４６】
図３（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポンプ部７５を構成する圧力室プレート１５１が積層されており、圧力室プレート１５１に振動板１５２が積層されている。
圧力室プレート１５１には、液体導入部７１から振動板１５２の液供給孔１５３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり１５５が形成されている。液たまり１５５は、振動板１５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート１５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート１５１には、複数のヘッド隔壁１５７によって区切られた圧力室１５８が形成されている。振動板１５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁１５７とによって囲まれた空間が圧力室１５８である。
【００４７】
圧力室１５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室１５８の数と吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室１５８には、２個のヘッド隔壁１５７の間に位置する供給口１５６を介して、液たまり１５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁１５７と圧力室１５８と吐出ノズル７８と供給口１５６との組は、液たまり１５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８ａを形成している。図３（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８ａに対して液たまり１５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８ａを形成しており、対応するヘッド隔壁１５７と圧力室１５８と供給口１５６との組が、１列に並んでいる。
【００４８】
振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子１５９の一端が固定されている。圧電素子１５９の他端は液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子１５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図３（ｂ）又は（ｃ）における振動板１５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子１５９の一端が固定された振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られることで、振動板１５２が圧力室１５８の反対側に撓む。これにより、圧力室１５８の容積が増加することから、機能液が液たまり１５５から供給口１５６を経て圧力室１５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子１５９が振動板１５２を押圧する。振動板１５２が押圧されることで、圧力室１５８側に戻る。これにより、圧力室１５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室１５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室１５８に連通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。機能液が流動する、液たまり１５５、供給口１５６、及び圧力室１５８などが、機能液の流路に相当する。
【００４９】
吐出装置制御部（不図示）は、圧電素子１５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列７８ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を選択的に使用することにより、ノズル列７８ａの延在方向では、ノズル列７８ａの長さの範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列７８ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。なお、吐出ノズル７８のそれぞれから吐出される液滴の体積は、例えば１ｐｌ〜３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。
【００５０】
（ヘッドユニット）
次に、吐出ユニット２が備えるヘッドユニット５４の概略構成について、図４を参照して説明する。図４は、ノズルプレート７６（ノズル形成面７６ａ）側から見た図である。図４に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット５４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００５１】
図４に示したように、ヘッドユニット５４は、キャリッジプレート５３と、キャリッジプレート５３に搭載された１６個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、ヘッド保持部材５９を介してキャリッジプレート５３に固定されており、ヘッド本体７４がキャリッジプレート５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド本体７４）が、キャリッジプレート５３の面より突出している。
【００５２】
各ヘッド保持部材５９には液滴吐出ヘッド１７が４個ずつ取り付けられている。これにより、ヘッドユニット５４は、４個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有する第１乃至第４ヘッド組５５，５６，５７，５８を備えた構成を採用している。各ヘッド組５５乃至５８における各液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ａはＹ軸方向に延在している。
【００５３】
第１乃至第４ヘッド組５５，５６，５７，５８の液滴吐出ヘッド１７はそれぞれ異なる色の機能液（インク）を吐出するようになっている。具体的に第１ヘッド組５５の液滴吐出ヘッド１７は、シアン色の機能液をワークＷに対して吐出する。また、第２ヘッド組５６の液滴吐出ヘッド１７は、イエロー色の機能液をワークＷに対して吐出する。また、第３ヘッド組５７の液滴吐出ヘッド１７は、ブラック色の機能液をワークＷに対して吐出する。また、第４ヘッド組５８の液滴吐出ヘッド１７は、マゼンダ色の機能液をワークＷに対して吐出する。
【００５４】
上記構成に基づき、キャリッジプレート５３には、複数の液滴吐出ヘッド１７がＹ方向に沿って配列された２列のヘッド列１７ａ、１７ｂが設けられている。同一のヘッド組において隣り合うヘッド列１７ａ，１７ｂの各液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ方向においてヘッドの配列ピッチの半分だけ、ずれた状態に位置決めされている。
【００５５】
これによれば、同一のヘッド組の液滴吐出ヘッド１７の各吐出ノズル７８から吐出された液滴はＸ軸方向の同じ位置において、設計上、Ｙ軸方向に隙間なく等間隔に並んで一直線上に着弾することとなる。すなわち、同色の機能液の液滴をワークＷ上に微細なピッチで着弾させることができ、ワークＷに対して微細な描画パターンを形成することができる。
【００５６】
ところで、本実施形態に係るヘッドユニット５４は、複数の液滴吐出ヘッド１７が近接して配置されているため、内側において熱が籠ることで外周部に比べて温度が高くなる。すると、液滴吐出ヘッド１７から吐出される機能液の粘度が変化してしまい、吐出ノズル７８から機能液を安定して吐出することができなくなるおそれがある。
【００５７】
これに対し、本実施形態においては、所定の温度変動に対する粘度変化が小さい種類の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１７がヘッドユニット５４（キャリッジプレート５３）の内側に配置され、粘度変化が大きい機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１７がヘッドユニット５４の外側に配置されるようにしている。
【００５８】
ここで、所定の温度変動とはヘッドユニット５４からワークＷに対して機能液を吐出する通常動作を行った際にキャリッジプレート５３の内側と外側との間に生じる温度差（温度変動）を意味する。温度変動に対する粘度変化が小さい種類の機能液とは、温度変動に起因する吐出量の変化が少ない種類の機能液を意味する。
【００５９】
具体的にヘッドユニット５４の内側に配置される第２ヘッド組５６及び第３ヘッド組５７の各液滴吐出ヘッド１７から吐出される機能液（イエロー色及びブラック色）は温度変動の影響が少なくなっているため、ワークＷに対して高品質な描画を行うことができるようになっている。
【００６０】
一方、ヘッドユニット５４の外側に配置される第１ヘッド組５５及び第４ヘッド組５８の各液滴吐出ヘッド１７から吐出される機能液（シアン色及びマゼンダ色）は内側に配置される液滴吐出ヘッド１７から吐出される機能液に比べると温度変動の影響が大きくなっている。
【００６１】
ここで、ヘッドユニット５４の外周側に配置された第１ヘッド組５５及び第４ヘッド組５８は、ヘッドユニット５４の移動時に外気に触れることで冷却され易いため、内側に比べて液滴吐出ヘッド１７の温度上昇がし辛くなっている。よって、温度変動の影響を受けやすい機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１７自体の冷却効率を高めることで結果的にヘッドユニット５４の内側と外側とで液滴吐出ヘッド１７の熱変動のバランスを取ることができ、ヘッドユニット５４全体の温度を均一にすることができる。
【００６２】
以上述べたように、本実施形態に係る液滴吐出装置１によれば、温度変動に対する影響の小さい液滴吐出ヘッド１７を内側に配置するとともに温度変動の影響が大きい液滴吐出ヘッド１７を外気に触れることで冷却される外側に配置したヘッドユニット５４を備えるので、ヘッドユニット５４全体の温度が均一化され、ワークＷに対して高品質な描画を行うことができる。
【００６３】
（第２実施形態）
続いて、第２実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。なお、本実施形態と上記第１実施形態との違いはヘッドユニット１５４における液滴吐出ヘッド１１７の構成であり、それ以外の構成は共通である。そこで、以下の説明では第１実施形態と同一の部材及び構成については同じ符号を付し、その詳細な説明については省略若しくは簡略化するものとする。
【００６４】
本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１１７は、第１実施形態と異なり、各々が４色（シアン色、イエロー色、ブラック色、マゼンダ色）の機能液を吐出する構成となっている。すなわち、第１乃至第４ヘッド組５５，５６，５７，５８の各液滴吐出ヘッド１１７の各々が上述のように４色の機能液を吐出する構成となっている。
【００６５】
図５は本実施形態に係るヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１１７をノズルプレート１７６（ノズル形成面１７６ａ）側から見た要部拡大図である。なお、図５においては、第１ヘッド組５５の構成を例に挙げて拡大図示する。
【００６６】
図５に示すように各液滴吐出ヘッド１１７のノズル形成面１７６ａには８本のノズル列１７８ａ，１７８ｂ，１７８ｃ，１７８ｄ，１７８ｅ，１７８ｆ，１７８ｇ，１７８ｈが形成されている。ノズル列１７８ａ，１７８ｂの吐出ノズル１７８からはシアン色の機能液がワークＷに対して吐出される。また、ノズル列１７８ｃ，１７８ｄの吐出ノズル１７８からはイエロー色の機能液がワークＷに対して吐出される。また、ノズル列１７８ｅ，１７８ｆの吐出ノズル１７８からはブラック色の機能液がワークＷに対して吐出される。また、ノズル列１７８ｇ，１７８ｈの吐出ノズル１７８からはマゼンダ色の機能液がワークＷに対して吐出される。
【００６７】
ところで、本実施形態に係るヘッドユニット１５４においても、複数の液滴吐出ヘッド１１７が近接して配置されているため、中央部（内側）において熱が籠ることで外周部に比べて温度が高くなることが考えられる。
【００６８】
これに対し、本実施形態においては、所定の温度変動に対する粘度変化が小さい種類の機能液を吐出するノズル列１７８ｃ，１７８ｄ，１７８ｅ，１７８ｆが液滴吐出ヘッド１１７におけるノズル形成面１７６ａの内側に配置され、粘度変化が大きい機能液を吐出するノズル列１７８ａ，１７８ｂ，１７８ｇ，１７８ｈが液滴吐出ヘッド１１７におけるノズル形成面１７６ａの外側に配置されるようにしている。
【００６９】
これによれば、温度変動に対して影響が小さい機能液を吐出するノズル列１７８ｃ，１７８ｄ，１７８ｅ，１７８ｆが熱の籠りやすいノズル形成面１７６ａの内側に配置されるので、温度変動の影響を少なくすることができる。また、温度変動の影響を大きく受ける機能液を吐出するノズル列１７８ａ，１７８ｂ，１７８ｇ，１７８ｈはノズル形成面１７６ａの外側に配置される。そのため、これらノズル列１７８ａ，１７８ｂ，１７８ｇ，１７８ｈは外気に触れることでノズル形成面１７６ａの内側に比べて温度上昇がし辛くなって温度変動の影響を抑えることができる。
従って、本実施形態においても、ノズル形成面１７６ａの内側及び外側における温度変動の影響を抑えることで液滴吐出ヘッド１１７全体の温度を均一にすることができる。これにより、複数の液滴吐出ヘッド１１７を備えたヘッドユニット１５４自体の温度が均一化されることでワークＷに対して高品質な描画を行うことができる。
【００７０】
（第３実施形態）
続いて、第３実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。なお、本実施形態と上記第１実施形態との違いはヘッドユニット５４における液滴吐出ヘッド１７の配置を決定する基準であり、それ以外の構成は共通である。よって、本実施形態では図を省略し、第１実施形態で説明した図４を参照しつつ説明する。
【００７１】
第１実施形態では、液滴吐出ヘッド１７から吐出する機能液の温度変動に対する粘度変化に基づき、粘度変化が大きい機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１７をヘッドユニット５４の外側に配置し、粘度変化が小さい機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１７をヘッドユニット５４の内側に配置した。
これに対し、本実施形態に係るヘッドユニット５４は第１実施形態と異なり、所定の基準よりも吐出量が少ない種類の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１７が該ヘッドユニット５４の内側に配置され、吐出量が多い種類の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１７がヘッドユニット５４の外側に配置されるようにした。
【００７２】
ここで、所定の基準よりも吐出量が少ない機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１７とは、ワークＷに対して描画を行う際に圧電素子１５９の振動が少なく、液滴吐出ヘッド１７自体の発熱量が少なくヘッドユニット５４の中央部（内側）に密集して配置された場合でも熱が籠る等といった不具合の発生が防止される液滴吐出ヘッド１７を意味する。
【００７３】
本実施形態では、ワークＷに対する描画を行うに際、シアン色及びマゼンダ色の機能液を相対的に多く吐出し、イエロー色及びブラック色の機能液を相対的に少なく吐出する構成とした。
この場合、ヘッドユニット５４は、イエロー色の機能液を吐出する第２ヘッド組５６及びブラック色の機能液を吐出する第３ヘッド組５７を該ヘッドユニット５４の内側に配置する。また、ヘッドユニット５４は、シアン色の機能液を吐出する第１ヘッド組５５及びマゼンダ色の機能液を吐出する第４ヘッド組５８を該ヘッドユニット５４の内側に配置する。
【００７４】
以上述べたように本実施形態によれば、相対的に機能液の吐出量が少ないことで駆動に伴う圧電素子１５９の発熱が少ない第２ヘッド組５６及び第３ヘッド組５７の各液滴吐出ヘッド１７がヘッドユニット５４の内側に配置されるので、温度変動の影響を少なくすることができる。
また、機能液の吐出量が多く駆動に伴う発熱が多い第１ヘッド組５５及び第４ヘッド組５８の各液滴吐出ヘッド１７は外気に触れることで冷却されて内側に比べて温度上昇がし辛いヘッドユニット５４の外側に配置されるので、温度変動の影響が少なくなる。
従って、ヘッドユニット５４の内側及び外側における液滴吐出ヘッド１７の温度変動の影響を抑えることでヘッドユニット５４全体の温度を均一にすることができる。
【００７５】
（第４実施形態）
続いて、第４実施液体に係る液滴吐出装置について説明する。なお、本実施形態と上記第２実施形態との違いはヘッドユニット５４における液滴吐出ヘッド１７のノズル列の配置を決定する基準であり、それ以外の構成は共通である。よって、本実施形態では図を省略し、第２実施形態で説明した図３を参照しつつ説明する。
【００７６】
第２実施形態では、所定の温度変動に対する粘度変化が小さい種類の機能液を吐出するノズル列１７８ｃ，１７８ｄ，１７８ｅ，１７８ｆが液滴吐出ヘッド１７におけるノズル形成面１７６ａの内側に配置され、粘度変化が大きい機能液を吐出するノズル列１７８ａ，１７８ｂ，１７８ｇ，１７８ｈが液滴吐出ヘッド１７におけるノズル形成面１７６ａの外側に配置した。
これに対し、本実施形態に係るヘッドユニット５４は第２実施形態と異なり、所定の基準よりも吐出量が少ない種類の機能液を吐出するノズル列を該ノズル形成面１７６ａの内側に配置し、吐出量が多い種類の機能液を吐出するノズル列をノズル形成面１７６ａの外側に配置した。
【００７７】
本実施形態では、ワークＷに対する描画を行うに際、シアン色及びマゼンダ色の機能液を相対的に多く吐出し、イエロー色及びブラック色の機能液を相対的に少なく吐出する構成とした。
この場合、ヘッドユニット５４は、イエロー色の機能液を吐出する吐出ノズル７８を有するノズル列１７８ｃ，１７８ｄ及びブラック色の機能液を吐出する吐出ノズル７８を有するノズル列１７８ｅ，１７８ｆをノズル形成面１７６ａの内側に配置する。また、ヘッドユニット５４は、シアン色の機能液を吐出する吐出ノズル７８を有するノズル列１７８ａ，１７８ｂ及びマゼンダ色の機能液を吐出する吐出ノズル７８を有するノズル列１７８ｇ，１７８ｈをノズル形成面１７６ａの内側に配置する。
【００７８】
以上述べたように本実施形態によれば、機能液の吐出量が少ないことで圧電素子１５９の駆動に伴う発熱量が少ないノズル列１７８ｃ，１７８ｄ，１７８ｅ，１７８ｆがノズル形成面１７６ａの内側に配置されるので、温度変動の影響を少なくすることができる。
また、機能液の吐出量が多く発熱量が多いノズル列１７８ａ，１７８ｂ，１７８ｇ，１７８ｈは外気によって冷却されることで内側に比べて温度上昇がし辛いノズル形成面１７６ａの外側に配置されるので、温度変動の影響が少なくなる。
従って、ノズル形成面１７６ａの内側及び外側における温度変動の影響を抑えることで液滴吐出ヘッド１７全体の温度を均一にすることができる。これにより、複数の液滴吐出ヘッド１７を備えたヘッドユニット５４自体の温度が均一化されることでワークＷに対して高品質な描画を行うことができる。
【００７９】
（第５実施形態）
続いて、第５実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。なお、本実施形態と上記実施形態との違いはヘッドユニット２５４における液滴吐出ヘッド１７の配置であり、それ以外の構成は共通である。そこで、以下の説明では上記実施形態と同一の部材及び構成については同じ符号を付し、その詳細な説明については省略若しくは簡略化するものとする。
【００８０】
図６は本実施形態に係るヘッドユニット２５４をノズルプレート２７６（ノズル形成面２７６ａ）側から見た要部拡大図である。図６に示すように、本実施形態に係るヘッドユニット２５４は、該ヘッドユニット２５４の外側に対して内側の方が液滴吐出ヘッド２１７の数が多くなるように配置される構成とした。本実施形態においては、第２実施形態と同様、各液滴吐出ヘッド２１７が８列のノズル列１７８ａ乃至１７８ｈを有し、各ノズル列１７８ａ乃至１７８ｈの吐出ノズル７８から異なる色（シアン色、マゼンダ色、イエロー色、ブラック色）の機能液を吐出する構成となっている。
【００８１】
この構成によれば、ヘッドユニット２５４の内側に相対的に多くの液滴吐出ヘッド２１７が配置されるので、ワークＷへの描画処理時に内側の各液滴吐出ヘッド１７の稼働率を抑えることができ、結果的にヘッドユニット２５４の内側における発熱量が少なくなって温度変動の発生を抑えることができる。
【００８２】
また、ヘッドユニット２５４の外側では、配置される液滴吐出ヘッド２１７の数が相対的に少なくなるために各液滴吐出ヘッド２１７の稼働率が上昇して発熱量が増加する。これに対し、ヘッドユニット２５４の外側は外気に触れることで冷却されて該ヘッドユニット２５４の内側に比べて温度上昇がし辛くなるので、温度変動の発生が抑制される。
従って、ヘッドユニット２５４の内側及び外側における液滴吐出ヘッド２１７の影響を抑えることでヘッドユニット２５４全体の温度を均一にすることができる。
【００８３】
（第６実施形態）
続いて、第６実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。なお、本実施形態と上記実施形態との違いは液滴吐出ヘッドにおけるノズル列の構成であり、それ以外の構成は共通である。そこで、以下の説明では上記実施形態と同一の部材及び構成については同じ符号を付し、その詳細な説明については省略若しくは簡略化するものとする。
【００８４】
図７は本実施形態に係るヘッドユニット３５４をノズルプレート３７６（ノズル形成面３７６ａ）側から見た要部拡大図である。図７に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド３１７は、ノズル形成面３７６ａの外側に配置されるものよりも内側に配置されるものの方が多数のノズル列を有したものとなっている。具体的にはノズル形成面３７６ａの最も外側に配置された液滴吐出ヘッド３１７は２つのノズル列３７８ａ，３７８ｂを有し、これに隣り合うノズル形成面３７６ａの１つ内側に配置された液滴吐出ヘッド３１７は４つのノズル列３７８ａ，３７８ｂ，３７８ｃ，３７８ｄを有し、ノズル形成面３７６ａの中央に配置された液滴吐出ヘッド３１７は８列のノズル列３７８ａ，３７８ｂ，３７８ｃ，３７８ｄ，３７８ｅ，３７８ｆ，３７８ｇ，３７８ｈを有している。
【００８５】
この構成によれば、各液滴吐出ヘッド３１７では、ノズル形成面３７６ａの内側に相対的に多くのノズル列が配置されるので、各吐出ノズル３７８の稼働率を抑えることができ、結果的にノズル形成面３７６ａの内側における発熱量が少なくなって温度変動の発生を抑えることができる。
【００８６】
また、ノズル形成面３７６ａの外側では、配置されるノズル列の数が相対的に少なくなるために各吐出ノズル３７８の稼働率が上昇して発熱量が増加する。これに対し、ノズル形成面３７６ａの外側は外気に触れることで冷却されて該ノズル形成面３７６ａの内側に比べて温度上昇がし辛くなるので、温度変動の発生が抑制される。従って、各液滴吐出ヘッド３１７においてノズル形成面３７６ａの内側及び外側における温度変動を抑えることで液滴吐出ヘッド３１７全体の温度を均一にすることで複数の液滴吐出ヘッド３１７を備えたヘッドユニット３５４全体の温度を均一化することでワークＷに対して良好な描画処理を行うことができる。
【符号の説明】
【００８７】
１…液滴吐出装置、１７，１１７，２１７，３１７…液滴吐出ヘッド、５４，１５４，２５４，３５４…ヘッドユニット、７６ａ，１７６ａ，２７６ａ，３７６ａ…ノズル形成面、７８ａ，１７８ａ〜１７８ｈ，３７８ａ〜３７８ｈ…ノズル列
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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