(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
微細構造Lを有するスタンパLが保持された成形型Lが、加熱及び冷却手段Lを備えるとともに断熱部材Lとこれに接する一定温度に制御された母型Lとを介して取付板Lに取り付けられてなる下金型と、
微細構造Uを有するスタンパUが保持された成形型Uが、加熱及び冷却手段Uを備えるとともに断熱部材Uとこれに接する一定温度に制御された母型Uとを介して取付板Uに取り付けられてなる上金型とを有し、
前記下金型と上金型とにより、前記スタンパLに塗布された樹脂の表面に微細構造L、裏面に微細構造Uが転写成形された微細構造体を製造する微細構造体成形金型であって、
前記下金型において、前記成形型Lはこれに剛結され法線方向に延在し、前記断熱部材L及び母型Lの内部に設けられた空間内を貫通する連結棒Lを有するとともに、前記母型Lはその連結棒Lを介して前記成形型Lの原点位置を調整し、その調整された原点位置に前記成形型Lを拘束することができるXY方向調整手段Lを有し、
前記上金型において、前記成形型Uはこれに剛結され法線方向に延在し、前記断熱部材U及び母型Uの内部に設けられた空間内を貫通する連結棒Uを有するとともに、前記母型Uはその連結棒Lを介して前記成形型Lの原点位置を調整し、その調整された原点位置に前記成形型Uを拘束することができるXY方向調整手段Uを有し、
前記連結棒Lは取付板Lに、前記連結棒Uは取付板Uに、曲げ力が発生しない状態で取り付けられてなる微細構造体成形金型。
【請求項２】
XY方向調整手段Lは、母型Lに螺合して連結棒Lに当接する押しボルトと、その押しボルトを母型Lに固定するロックナットとを有し、
XY方向調整手段Uは、母型Uに螺合して連結棒Uに当接する押しボルトと、その押しボルトを母型Uに固定するロックナットとを有するものであることを特徴とする請求項１に記載の微細構造体成形金型。
【請求項３】
連結棒L、連結棒Uは、その軸回りの回転角度L、Uを調整することができるとともに、調整された回転角度を固定することができる連結棒回転角調整手段L、Uを有することを特徴とする請求項１又は２に記載の微細構造体成形金型。
【請求項４】
連結棒Lは取付板Lに、連結棒Uは取付板Uに、引張力が作用する状態で取り付けられてなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の微細構造体成形金型。
【請求項５】
引張力は、500〜1500Nであることを特徴とする請求項４に記載の微細構造体成形金型。
【請求項６】
加熱及び冷却手段Lは、スタンパLの取付面と平行な面内に巡らせた冷却路を有するとともに、その冷却路を挟むように発熱体が列状に配設され、
加熱及び冷却手段Uは、スタンパUの取付面と平行な面内に巡らせた冷却路を有するとともに、その冷却路を挟むように発熱体が列状に配設されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の微細構造体成形金型。
【請求項７】
一定温度に制御された下金型基部が、断熱材を介して下スタンパが保持された下成形型を保持してなる下金型と、
一定温度に制御された上金型基部が、断熱材を介して上スタンパが保持された上成形型を保持してなる上金型とにより、微細構造を転写成形する微細構造体成形方法であって、
前記下成形型の底面中心部を下原点部、前記上成形型の底面中心部を上原点部と定め、
先ず、前記下原点部と前記上原点部との位置合わせを行った後に、前記下原点部を前記下金型基部に固定される他は機械的な拘束が無い状態で当該下金型基部に固定するとともに、前記上原点部を前記上金型基部に固定される他は機械的な拘束が無い状態で当該上金型基部に固定し、
次に、前記下スタンパに溶融樹脂を塗布した後に前記下金型と前記上金型を閉じ、前記下スタンパ及び前記上スタンパが有する微細構造を当該塗布された樹脂の表裏面に転写成形する微細構造体成形方法。
【請求項８】
上原点部と下原点部との位置合わせは、下原点部をその下原点部を含む面内において平行移動させることにより又は上原点部をその上原点部を含む面内において平行移動させることにより行うことを特徴とする請求項７に記載の微細構造体成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細構造を有するスタンパに溶融樹脂を塗布し、該樹脂を下金型と上金型により押圧し、表裏面の微細構造の位置ずれや変形歪みが少なく高精度に転写成形された微細構造体を製造する微細構造体成形金型及び微細構造体成形方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細構造は、マイクロレンズアレイや導光板などに使用され、ますます微細化が進むとともに、薄い板状体の表裏面に微細構造を有するものが求められている。このような、表裏面に微細構造を有する微細構造体は、転写成形時に表裏面の微細構造の位置ずれや変形歪みを生じやすく、高精度の転写成形は容易ではない。高精度の転写成形を行うためには、均一な温度分布を有する金型を使用することが重要であるとされ、温度分布を均一にするための金型が種々提案されている。
【０００３】
しかしながら、転写成形時の微細構造の位置ずれや変形歪みは、不均一な温度分布の他に射出成形や型締めによって生ずる金型の変形が起因していることに着目し、特許文献１に、樹脂を成形するための成形面を有するキャビティ部と、前記キャビティ部の温度を調整する温調部と、前記キャビティ部と前記温調部との間に介在して配置され、前記キャビティ部及び前記温調部の双方の基材よりも熱伝導率及び剛性が高い材料を基材とする型板と、を備える樹脂成形金型が提案されている。
【０００４】
また、特許文献２に、キャビティ型の不均一な温度分布の他に、キャビティ型が断熱板にボルト固定されているためにキャビティ型の加熱、冷却に伴う膨張、収縮が拘束されてキャビティ型が変形することに着目した金型装置が提案されている。すなわち、成形体を得るための対象表面を有する一対の金型において、少なくとも一方の金型は、前記対象表面側から、前記対象表面を形成する対象表面構成部材と、前記対象表面構成部材を保持すると共に加熱手段と冷却手段の双方を具備するキャビティ型と、前記キャビティ型を保持する主型とを備えた金型装置において、前記加熱手段及び前記冷却手段がそれぞれ前記キャビティ型に対して前記対象表面と平行な面内方向にも前記対象表面と垂直な方向にも対称に配置され、前記キャビティ型を前記対象表面と平行な面内のほぼ中央部の１箇所で前記主型に締結保持する支持棒と、前記キャビティ型の周縁部を前記主型に対して押さえつける押さえ治具とを備えた金型装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2010-82995号公報
【特許文献２】特開2010-89327号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載する樹脂成形金型は、熱伝導率及び剛性が高い材料からなる金型を使用することにより、射出成形や型締めによって生ずる金型の変形量を小さくすることを意図している。特許文献２に記載する金型装置は、キャビティ型をその底面中央部にネジ結合された一本の支持棒のみで主型に締結保持することにより、キャビティ型の熱変形を拘束しないようにすることを意図している。キャビティ型の温度分布のばらつきにより生ずる歪みは、キャビティ型の熱変形が拘束されることにより倍加されるので、より高精度の転写成形を行うには特許文献２に記載の金型装置が好ましい。
【０００７】
しかしながら、金型の微細構造部分の温度分布のばらつき量を抑えるには一定の限度があり、また、種々の形態の微細構造があることを考慮すると、さらに高精度の転写成形を行うには、特許文献２に記載された金型装置では不十分である。転写成形作業中の微細構造部分の変形又は歪み量をさらに小さくすることができ、かつ、微細構造部分の位置を微細に調整することができる金型が求められる。
【０００８】
本発明は、このような従来の問題点及び要請に鑑み、表裏面の微細構造の位置ずれや変形歪みが少なく高精度に転写成形された微細構造体を製造することができる微細構造体成形金型及び微細構造体成形方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る微細構造体成形金型は、微細構造Lを有するスタンパLが保持された成形型Lが、加熱及び冷却手段Lを備えるとともに断熱部材Lとこれに接する一定温度に制御された母型Lとを介して取付板Lに取り付けられてなる下金型と、微細構造Uを有するスタンパUが保持された成形型Uが、加熱及び冷却手段Uを備えるとともに断熱部材Uとこれに接する一定温度に制御された母型Uとを介して取付板Uに取り付けられてなる上金型とを有し、前記下金型と上金型とにより、前記スタンパLに塗布された樹脂の表面に微細構造L、裏面に微細構造Uが転写成形された微細構造体を製造する微細構造体成形金型であって、前記下金型において、前記成形型Lはこれに剛結され法線方向に延在し、前記断熱部材L及び母型Lの内部を貫通する連結棒Lを有するとともに、前記母型Lはその連結棒Lを介して前記成形型Lの原点位置を調整し、その調整された原点位置に前記成形型Lを拘束することができるXY方向調整手段Lを有し、前記上金型において、前記成形型Uはこれに剛結され法線方向に延在し、前記断熱部材U及び母型Uの内部を貫通する連結棒Uを有するとともに、前記母型Uはその連結棒Lを介して前記成形型Lの原点位置を調整し、その調整された原点位置に前記成形型Uを拘束することができるXY方向調整手段Uを有する。
【００１０】
上記発明において、XY方向調整手段Lは、母型Lに螺合して連結棒Lに当接する押しボルトと、その押しボルトを母型Lに固定するロックナットとを有し、XY方向調整手段Uは、母型Uに螺合して連結棒Uに当接する押しボルトと、その押しボルトを母型Uに固定するロックナットとを有するものとすることができる。
【００１１】
また、連結棒L、Uは、その軸回りの回転角度L、Uを調整することができるとともに、調整された回転角度を固定することができる連結棒回転角調整手段L、Uを有するものとすることができる。
【００１２】
連結棒L、Uは、これらに曲げ力が発生せず引張力が作用する状態で取付板L又はUに固定されるようになっているのがよい。この場合に、引張力は、500〜1500Nであるのがよい。
【００１３】
加熱及び冷却手段Lは、スタンパLの取付面と平行な面内に巡らせた冷却路を有するとともに、その冷却路を挟むように発熱体が列状に配設され、加熱及び冷却手段Uは、スタンパUの取付面と平行な面内に巡らせた冷却路を有するとともに、その冷却路を挟むように発熱体が列状に配設されているものとすることができる。
【００１４】
本発明に係る微細構造体成形方法は、一定温度に保持された下金型基部が、断熱材を介して下スタンパが保持された下成形型を保持してなる下金型と、一定温度に保持された上金型基部が、断熱材を介して上スタンパが保持された上成形型を保持してなる上金型とにより、微細構造を転写成形する微細構造体成形方法であって、前記下成形型の底面中心部を下原点部、前記上成形型の底面中心部を上原点部と定め、先ず、前記下原点部と前記上原点部との位置合わせを行った後に、前記下原点部を前記下金型基部に固定される他は機械的な拘束が無い状態で当該下金型基部に固定するとともに、前記上原点部を前記上金型基部に固定される他は機械的な拘束が無い状態で当該上金型基部に固定し、次に、前記下スタンパに溶融樹脂を塗布した後に前記下金型と前記上金型を閉じ、前記下スタンパ及び前記上スタンパが有する微細構造を当該塗布された樹脂の表裏面に転写成形することにより実施される。
【００１５】
上記微細構造体成形方法において、上原点部と下原点部との位置合わせは、下原点部をその下原点部を含む面内において平衡移動させることにより又は上原点部をその上原点部を含む面内において平衡移動させることにより行うことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、表裏面の微細構造の位置ずれや変形歪みが少なく高精度に転写成形された微細構造体を製造することができることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る微細構造体成形方法を説明する模式図である。
【図２】本発明に係る微細構造体成形金型の一部断面を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。先ず、本発明に係る微細構造体成形方法について説明する。本微細構造体成形方法は、下スタンパが保持された下金型と上スタンパが保持された上金型とにより、下及び上スタンパが有する微細構造を下スタンパ上に塗布された溶融樹脂に転写成形して上下面（表裏面）に当該微細構造を有する微細構造体を成形する微細構造体成形方法である。特に、下及び上スタンパを保持しその加熱又は冷却に係る下成形型及び上成形型について、その原点部はそれぞれ不動状態に固定するが、他の部分は自由な熱変形を許容し、下スタンパ、上スタンパ及び転写成形された微細構造体の熱変形歪みの発生を阻止して高精度の微細構造体を成形することを特徴とする微細構造体成形方法である。
【００１９】
すなわち、本微細構造体成形方法は、一定温度に制御された下金型基部が、断熱材を介して下スタンパが保持された下成形型を保持してなる下金型と、一定温度に制御された上金型基部が、断熱材を介して上スタンパが保持された上成形型を保持してなる上金型とを使用する。そして、この下成形型及び上成形型においてそれぞれその原点部を定める。原点部は、成形型の設計上最も熱変形が小さく、変形及び変位の小さい部分が選ばれるが、一般的には、成形型の底面中心部を原点部と定める。すなわち、一般的には、下成形型の底面中心部を下原点部、上成形型の底面中心部を上原点部と定める。
【００２０】
そして、本微細構造体成形方法は、先ず、下原点部と上原点部との位置合わせを行った後に、下原点部を下金型基部に固定される他は機械的な拘束が無い状態で当該下金型基部に固定する。また、上原点部を上金型基部に固定される他は機械的な拘束が無い状態で当該上金型基部に固定する。このような成形型の原点部を金型基部に固定するとは、例えば、図１に示すように状態に成形型を金型基部に固定することをいう。図１において、成形型12は断熱部材14の上に載置され、連結棒19が成形型12の底面中心部にネジ結合されて成形型12と一体になり、連結棒19は断熱部材14及金型基部17の内部に設けられた空間内を貫通している。連結棒19と断熱部材14及び連結棒19と金型基部17との間の隙間は適宜に定められる。
【００２１】
連結棒19は、その一端が金型基部17に固定される。金型基部17は、母型や取付板等を含む金型の基台部分を形成するものであり、一定温度に制御されている。すなわち、連結棒19を介して成形型12を一定温度に制御された金型基部17に固定し、成形型12の原点部が移動しないように拘束する。連結棒19は、成形型12の原点部に変位、変形を与えないものでなければならないから、強度があり熱伝導率が低く、熱膨張率が低いものがよい。例えば、ステンレス材などがよい。連結棒19の成形型12との接合部分に断熱性のワッシャを介在させることができる。また、連結棒19は、その長さを要しないので、成形型12の一部から形成されるようなものであってもよい。
【００２２】
金型基部17は、図1（ｂ）に示すように、押しボルト33（33A〜33D）がその四方（XY方向）からネジ込まれている。この押しボルト33を進退（前後進）させることにより、押しボルト33を連結棒19に押し当てることができる。すなわち、金型基部17の四方から押しボルト33を連結棒19に押し当てることにより、成形型12の原点部を移動させることができ、また、成形型12の原点部を金型基部17に固定することができる。なお、原点部を金型基部17により強固に固定するために、押しボルト33にロックナット34をかますのがよい。押しボルト33の押圧力は適度に調整することができる。
【００２３】
金型基部17は、温度制御手段175を有しており、25℃〜50℃の一定温度に保持される。以上より、図１（ａ）に示すように、成形型12は、その原点部が一定温度に保持された金型基部17に固定されるとともに、その原点部の固定以外に他に機械的な拘束が無い状態で断熱部材14の上に載置される。
【００２４】
本微細構造体成形方法は、このような構成からなる下成形型及び上成形型を使用し、下成形型の原点部と上成形型の原点部の位置合わせを行った後に、それぞれの原点部の位置が変位しないように固定する。すなわち、具体的には、上述の押しボルト33（33A〜33D）を調整することにより、連結棒19を介して下成形型の原点部と上成形型の原点部の位置合わせを行う。そして、押しボルト33A〜33Dにより所定の押圧力で連結棒19を押圧し、原点部の位置が変位しないように固定する。必要であるならばロックナット34により固定する。この原点部の位置合わせにより、下成形型の原点部と上成形型の原点部の位置は、高さ位置は異なっても水平位置が一致する状態となる。すなわち、原点部の位置合わせは、下原点部をその下原点部を含む面内において平衡移動させ、また、上原点部をその上原点部を含む面内において平衡移動させることにより行われる。
【００２５】
なお、この原点部の位置合わせは、いずれの原点部をも調整する場合があり、何れかの原点部は固定し、他方の原点部のみを調整する場合がある。また、原点部の位置合わせは、金型のセット時に一度行えば、例えば、上成形型の原点部の位置は固定したままで、下成形型の原点部の位置調整のみを行う方法でもよい。この場合は、上金型基部には押しボルト33のようなものでなく、連結棒19を単に押圧することができるものを設けることができる。また、成形型の原点部の位置合わせは、金型セット時、微細構造体製造の定常作業前、あるいは定常作業途中に必要に応じて行うことができる。
【００２６】
原点部の位置合わせが行われた後に、下スタンパに溶融樹脂を塗布する。そして、上金型と下金型を閉じて転写成形を行う。すなわち、上金型と下金型を閉じ、図１（ａ）に示すように微細構造を有するスタンパ11に塗布された樹脂43を押圧することにより、樹脂43の表裏面に下スタンパと上スタンパが有する微細構造をそれぞれ転写成形する。
【００２７】
以上、本微細構造体成形方法においては、先ず、スタンパを保持する成形型の原点部の位置合わせを行い、また、必要に応じて成形型の原点部位置の再調整をおこなって転写成形を行う。そして、成形型の熱変形を拘束するものがない状態で転写成形を行う。このため、転写成形された微細構造体の位置ずれ、変形又は歪みを小さくすることができる。すなわち、本微細構造体成形方法は、樹脂の表裏面に微細構造を有する微細構造体の高精度の転写成形を好適に行うことができる。なお、表裏面の微細構造の位置ずれや変形歪みは、上下成形型又は上下スタンパの回転的な変位又は位置ずれに基づく場合がある。このような場合は、原点部すなわち成形型を回転することができ、その回転角度を調整することができる回転角調整手段を設け、原点部を含む面の法線周りの回転を加えて原点部の位置合わせを行うのがよい。
【００２８】
上述のように、本微細構造体成形方法は、成形型の原点部の位置合わせを行うこと、成形型を均熱状態にすることと、転写成形時に成形型の熱膨張・収縮を拘束することなく成形型の原点部を不動状態に固定して転写成形を行うことを特徴とする。本微細構造体成形方法は、かかる特徴が満たされる方法であればよい。例えば、成形型の原点部の位置合わせは、図１に示した形態の連結棒19を介して行うものではなく、外部から成形型の位置調整を行うものであってもよい。また、原点部が一定温度に保持された金型基部に固定される他は機械的な拘束が無い状態で成形型を固定する方法は、図１に示す連結棒19のように常に成形型に一体に設けられたものでなくてもよい。転写成形時に連結棒19のように作用する他のものを設けた成形型であってもよい。
【００２９】
本微細構造体成形方法は、以下に説明する簡単な構造の微細構造体成形金型により好適に実施することができる。図２に、本微細構造体成形金型を示す。本微細構造体成形金型は、微細構造Lを有するスタンパL11が保持された成形型L12が、加熱及び冷却手段L123、125を備えるとともに断熱部材L14とこれに接する一定温度に制御された母型L16とを介して取付板L18に取り付けられてなる下金型10と、微細構造Uを有するスタンパU21が保持された成形型U22が、加熱及び冷却手段U223、225を備えるとともに断熱部材U24とこれに接する一定温度に制御された母型U26とを介して取付板U28に取り付けられてなる上金型20とを有している。この、下金型10と上金型20とにより、スタンパL11に塗布された樹脂43の表面に微細構造L、裏面に微細構造Uが転写成形された微細構造体を製造することができる。
【００３０】
そして、本微細構造体成形金型においては、下金型10について、成形型L12は、これに剛結され成形型（成形型設置平面PL）の法線方向に延在し、断熱部材L14及び母型L16の内部空間を貫通する連結棒L19を有している。そして、母型L16は、その連結棒L19を介して成形型L12の原点位置を調整し、その原点位置に拘束するXY方向調整手段L30（30A）を有している。また、上金型20について、成形型U22は、これに剛結され成形型（成形型設置平面PU）の法線方向に延在し、断熱部材U24及び母型U26の内部空間を貫通する連結棒U29を有している。そして、母型U26は、その連結棒U29を介して成形型U22の原点位置を調整し、その原点位置に拘束するXY方向調整手段U30Bを有している。なお、成形型の原点位置とは、本微細構造体成形方法において上述した成形型の原点部の位置に相当する。
【００３１】
成形型の原点位置は、成形型設置平面に所要のXY座標を定め、連結棒の軸線がこのXY座標に交わる座標点を成形型の原点位置と定めることができる。なお、XY座標は、下成形型と上成形型にそれぞれ設定することができ、また、共通の絶対的なXY座標を定めることができる。
【００３２】
本例の場合は、成形型の原点位置を以下のように定める。先ず、成形型設置平面PLにXY座標Lを設け、連結棒Lの軸線が成形型設置平面PLに交わる交点Lを成形型Lの位置とする。また、成形型設置平面PUにXY座標Uを設け、連結棒Uの軸線が成形型設置平面PUに交わる交点Uを成形型Uの位置とする。このXY座標L、XY座標UのX方向及びY方向は、例えば、図１（ｂ）に示す金型基部17（本例の場合は母型）の押しボルト33の方向にすることができる。
【００３３】
本例の金型は、図２に示すように、下金型10について、母型L16の四方から挿入された押しボルト33とロックナット34を有するXY方向調整手段L30Aが設けられている。上金型20についても同様に、母型L26の四方から挿入された押しボルト33とロックナット34を有するXY方向調整手段U30Bが設けられている。それぞれXY座標L、UのX方向、Y方向は、押しボルト33の方向に設けられている。XY方向調整手段L30Aは、押しボルト33により連結棒L19を押圧し、これを進退させて成形型L12の位置を所定の位置に調整することができるようになっている。そこで、所定の位置を成形型L12の原点位置L0と定め、上記連結棒Lの軸線が成形型設置平面PLに交わるXY座標Lの交点Lが当該原点位置L0に一致するように押しボルト33を調整する。なお、通常は、交点Lが原点位置L0になるようにXY座標Lを定める。
【００３４】
同様に、XY座標Lの原点位置L0を通る法線がXY座標Uの座標面に交わる点を原点位置U0とし、上記連結棒Uの軸線が成形型設置平面PUに交わるXY座標Uの交点Uが原点位置U0に一致するように押しボルト33を調整する。これらにより、成形型L12の原点位置L0と成形型U22の原点位置U0との位置合わせができたことになる。なお、XY方向調整手段L30AとXY方向調整手段U30Bは、同一の構成からなるもの（XY方向調整手段30）とすることができる。押しボルト33は、これに限定されず、進退可能で連結棒を押圧し、連結棒を固定することができるものであればよい。
【００３５】
上記原点位置調整後は、押しボルトを押圧したままにすることができるが、ロックナットをかませて連結棒を母型に固定するのがよい。すなわち、ロックナット35をかませて連結棒L19の移動を拘束し、連結棒L19を介して成形型L12を母型L16に固定（接合）するのがよい。上金型20についても同様に、連結棒U29を介して成形型U22を母型U26に固定するのがよい。
【００３６】
成形型L12は、加熱及び冷却手段123、125（加熱手段123、冷却手段125）を有しており、スタンパL11の加熱及び冷却を行うことができる。加熱及び冷却手段は、スタンパL11の取付面と平行な面内に巡らせた冷却路を有するとともに、その冷却路を挟むように発熱体が列状に配設されたものであるのがよい。これにより、成形型L12のスタンパL11取付部分の温度を5℃程度のばらつき範囲に制御することができるようになる。成形型U22についても同様である。
【００３７】
母型L16は、冷却手段165を有しており、25〜50℃の一定温度に保持されている。同様に、母型U26も25〜50℃の一定温度に保持されている。従って、転写作業中において母型L16の熱膨張・収縮はなく、連結棒L19を介して成形型L12を原点位置L0に固定することができる。同様に、連結棒U29を介して成形型U22を原点位置U0に固定することができる。
【００３８】
連結棒L19は、成形型L12の底面中央部にネジ結合されている。そして、連結棒L19の他端は、ヘッド部19aに当接するスライダー195が取付板18の四方から挿入されたキー197に支持された構造になっている。このキー197を進退させることにより、その進退に応じてスライダー195が進退し、連結棒L19には引張力は作用するけれども曲げ力が作用しない状態で、連結棒L19を取付板18に固定することができる。すなわち、ほとんど曲げ力が発生せず引張力のみが作用する状態にすることができる。連結棒U29についても同様である。なお、本例の場合は、スライダー195とキー197との当接面は直線状であるが、曲面状にすることができる。スライダー195とキー197との当接面が曲面状である場合は、スライダー195を球帯状の環体にすることができ、キー197の調整が容易になる。
【００３９】
連結棒L19に作用させる引張力は、500〜1500Nであるのがよい。連結棒L19にこの程度の引張力を作用させると、転写成形作業中においても成形型12を原点位置L0に固定することができ、また、転写成形作業後に微細構造体を金型から剥離する場合においても成形型12を原点位置L0に固定することができる。この連結棒L19の固定方法によれば、上述のように、連結棒L19を押しボルト33で押圧することによって成形型L12を固定するようにしなくてもよくなり、連結棒を固定するための調整作業が容易になる。なお、上金型20の連結棒U29についても上記連結棒L19と同様である。
【００４０】
連結棒には、さらに、これを回転し、成形型の回転角を調整することができる連結棒回転角度調整手段を設けることができる。例えば、図２に示すように、連接棒L19に接合されるレバー36と、レバー36を母型16又は取付板18に固定するロック37を有する連結棒回転角度調整手段L35Aを設けることができる。上金型20の連結棒U29についても同様に連結棒回転角度調整手段U35Bを設けることができる。連結棒回転角度調整手段L35A、連結棒回転角度調整手段U35Bは、同一の構成からなるもの（連結棒回転角度調整手段35）とすることができる。
【００４１】
以上、本微細構造体成形金型は、容易に、成形型原点位置の位置合わせを行うことができるとともに、成形型を均熱状態にし、転写成形時に成形型の熱膨張・収縮を拘束することなく成形型原点位置を不動状態に固定して転写成形を行うことができる。これにより、表裏面の微細構造の位置ずれや変形歪みが少なく高精度に転写成形された微細構造体を製造することができることができる。
【符号の説明】
【００４２】
10    下金型、
11    スタンパ、スタンパL
12    成形型、成形型L
123、125    加熱及び冷却手段
14    断熱部材、断熱部材L
16    母型L
165    冷却手段
17    金型基部
175    温度制御手段
18    取付板L
19    連結棒、連結棒L
195    スライダー
197    キー
20    上金型
21    スタンパU
22    成形型U
223、225    加熱及び冷却手段
24    断熱部材U
26    母型U
28    取付板U
29    連結棒U
30、30A、30B    XY方向調整手段、XY方向調整手段L、XY方向調整手段U
33、33A、33B、33C、33D    押しボルト
34    ロックナット
35、35A、35B    連結棒回転角度調整手段、連結棒回転角度調整手段L、連結棒回転角度調整手段U
36    レバー
37    ロック
43    樹脂
【図１】
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【図２】
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