(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性ペーストを充填するための凹部を表面に有する円筒状の版胴と、
前記版胴表面に対してセラミックグリーンシートを接触させるための円筒状の圧胴と、
を備え、
前記版胴と前記圧胴との間に前記セラミックグリーンシートを通過させることにより、前記版胴の前記凹部に充填された導電性ペーストが前記セラミックグリーンシート上に転写されるように動作する印刷装置であって、
前記版胴内に固定される第１の磁石と、
前記圧胴内に固定される第２の磁石と、
をさらに備え、
前記第１の磁石および前記第２の磁石の少なくとも一方により発生する磁力線が、前記セラミックグリーンシート上に前記導電性ペーストが転写される転写部位に及ぶようにして、前記第１の磁石および前記第２の磁石が配置されていることを特徴とする、印刷装置。
【請求項２】
向かい合う前記第１の磁石と前記第２の磁石の極性が異なることを特徴とする、請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
導電性ペーストを充填するための凹部を表面に有する版胴と、
前記版胴表面に対してセラミックグリーンシートを接触させるための圧胴と、
を備え、
前記版胴と前記圧胴との間に前記セラミックグリーンシートを通過させることにより、前記版胴の前記凹部に充填された導電性ペーストが前記セラミックグリーンシート上に転写されるように動作する印刷装置であって、
前記版胴内に配置される第１の磁石と、
前記圧胴内に配置される第２の磁石と、
をさらに備え、
向かい合う前記第１の磁石と前記第２の磁石の極性が同じであることを特徴とする、印刷装置。
【請求項４】
前記磁石は、電磁石であることを特徴とする、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の印刷装置。
【請求項５】
請求項１または請求項３に記載の印刷装置を用いた印刷方法であって、
前記版胴の前記凹部内部に磁性体粉末を含有する導電性ペーストを充填し、
前記第１および第２の磁石の少なくとも一方により磁力線を発生させた状態で、前記版胴と前記圧胴との間にセラミックグリーンシートを通過させて、前記セラミックグリーンシート上に前記導電性ペーストを転写することを特徴とする、印刷方法。
【請求項６】
前記セラミックグリーンシート上に印刷された前記導電性ペーストの膜厚を測定し、
予め定められた基準膜厚と実測膜厚とを比較し、
前記基準膜厚と前記実測膜厚とが一致しない場合に、新たに印刷される前記導電性ペーストの膜厚が前記基準膜厚に近づくように前記第１の磁石および前記第２の磁石の少なくとも一方の磁力を調整して、前記セラミックグリーンシート上に転写される導電性ペーストの量を調整することを特徴とする、請求項５に記載の印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、印刷装置およびそれを用いた印刷方法に関し、特にたとえば、積層型電子部品に用いられるセラミックグリーンシート上に導電性ペーストを印刷するための印刷装置およびそれを用いた印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサなどの積層型電子部品を得るために、導電性ペーストなどで電極パターンを形成したセラミックグリーンシートが積層され、得られた積層体を焼成することにより内部電極を有する基体が形成される。この基体の端部に、内部電極に接続される外部電極を形成することにより、積層型電子部品が形成される。図７は、セラミックグリーンシート上に導電性ペーストを印刷するためのグラビア印刷装置の一例を示す図解図である。グラビア印刷装置１は、円筒状のグラビアロール２を含む。グラビアロール２の表面には、セラミックグリーンシート上に形成される電極パターンの形状の凹み３が形成される。グラビアロール２の下側部分は、インキパンに入れられた導電性塗料４に浸漬され、グラビアロール２を回転させることにより、凹み３に導電性塗料４が導入される。グラビアロール２の表面には、ドクターブレード５が圧接され、このドクターブレード５によって回転するグラビアロール２の表面に付着した導電性塗料が掻き落とされる。
【０００３】
グラビアロール２に対向して、円筒状の圧胴６が配置される。圧胴６の内部には、磁石７が配置され、グラビアロール２と圧胴６との対向部分において、グラビアロール２の表面に対して直交する磁力線からなる磁界が印加される。そして、回転するグラビアロール２と圧胴６の間にセラミックグリーンシート８を通すことにより、グラビアロール２の凹み３に導入された導電性塗料４がセラミックグリーンシート８上に転写される。ここで、導電性塗料４に磁性体粉末を含有させておくことにより、グラビアロール２と圧胴６との対向部において、磁石７によって発生する磁力線によって、導電性塗料４がセラミックグリーンシート８側に引き付けられる。そのため、グラビアロール２からセラミックグリーンシート８への導電性塗料４の転写率を高めることができ、転写された導電性塗料４の印刷厚みの安定性を確保することができる（特許文献１参照）。
【０００４】
なお、図８に示すように、圧胴６の円周方向にＮ極とＳ極とが隣接して配置されるように形成されてもよい。この場合、圧胴６の表面に対して若干傾斜した向きに磁力線が発生するが、上述のような効果を得ることができる（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−３１６０９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
積層型電子部品に用いられるセラミックグリーンシートにおいては、導電材料が印刷されて形成された電極パターンの塗膜厚みが、予め定められた厚みの許容範囲内に入るように制御する必要がある。セラミックグリーンシート上に転写された導電性塗料の厚みは、グラビアロールの凹みへの導電性塗料の充填量とセラミックグリーンシートへの転写量によって決定される。導電性塗料の転写量は、導電性塗料の粘度やレオロジー特性などのばらつきによって変動し、セラミックグリーンシート上に印刷された導電性塗料の膜厚は変動する。また、圧胴に磁石を組み込んでも、グラビアロールの凹みに充填された導電性塗料の全てを転写できるわけではないため、導電性塗料の物性の変動による塗膜厚みの制御は困難であり、安定した厚みを得ることは難しい。
【０００７】
また、グラビアロールの凹みは、用いられた製版機による加工ばらつきをもっており、例えばグラビアロールの幅方向の両端側において、深さの差が３μｍ程度ある場合がある。このように、グラビアロールの幅方向において凹みの深さに差があると、セラミックグリーンシートの幅方向において塗膜厚みの差が生じることとなる。圧胴内に磁石を配置した場合においても、このようなセラミックグリーンシートの幅方向における塗膜厚みの差を解消することはできない。
【０００８】
それゆえに、この発明の主たる目的は、導電性塗料の物性の変動によるセラミックグリーンシート上の塗膜厚みのばらつきや、導電性ペーストを保持する凹部の深さの差によるセラミックグリーンシート上の塗膜厚みのばらつきを低減することができる印刷装置と、それを用いた印刷方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、導電性ペーストを充填するための凹部を表面に有する円筒状の版胴と、版胴表面に対してセラミックグリーンシートを接触させるための円筒状の圧胴とを備え、版胴と圧胴との間にセラミックグリーンシートを通過させることにより、版胴の凹部に充填された導電性ペーストがセラミックグリーンシート上に転写されるように動作する印刷装置であって、版胴内に固定される第１の磁石と、圧胴内に固定される第２の磁石とをさらに備え、第１の磁石および第２の磁石の少なくとも一方により発生する磁力線が、セラミックグリーンシート上に導電性ペーストが転写される転写部位に及ぶようにして、第１の磁石および第２の磁石が配置されていることを特徴とする、印刷装置である。
このような印刷装置において、向かい合う第１の磁石と第２の磁石の極性が異なっていてもよい。
また、この発明は、導電性ペーストを充填するための凹部を表面に有する版胴と、版胴表面に対してセラミックグリーンシートを接触させるための圧胴とを備え、版胴と圧胴との間にセラミックグリーンシートを通過させることにより、版胴の凹部に充填された導電性ペーストがセラミックグリーンシート上に転写されるように動作する印刷装置であって、版胴内に配置される第１の磁石と、圧胴内に配置される第２の磁石とをさらに備え、向かい合う第１の磁石と第２の磁石の極性が同じであることを特徴とする、印刷装置である。
さらに、磁石は、電磁石であることが好ましい。
版胴内に配置された第１の磁石や圧胴内に配置された第２の磁石で発生する磁力線が、セラミックグリーンシート上に導電性ペーストが転写される転写部位に及ぶことにより、転写部位において、版胴の凹部に保持された導電性ペーストに磁力線が作用する。ここで、導電性ペーストに磁性体粉末を含ませておき、第１の磁石および第２の磁石の少なくとも一方で発生する磁力線の密度を調整することにより、版胴の凹部からセラミックグリーンシート上に引き付けられる導電性ペーストの量を調整することができる。
また、向かい合う第１の磁石と第２の磁石の極性が同じであることにより、版胴と圧胴との対向部分におけるセラミックグリーンシート面上に磁力線の向きを沿わせることができる。このような磁力線に沿って導電性ペーストに含まれる磁性体粉末はセラミックグリーンシート上の面内で流動し、均一な導電パターンを形成することができる。
【００１０】
また、この発明は、上述の印刷装置を用いた印刷方法であって、版胴の凹部内部に磁性体粉末を含有する導電性ペーストを充填し、第１の磁石および第２の磁石の少なくとも一方により磁力線を発生させた状態で、版胴と圧胴との間にセラミックグリーンシートを通過させて、セラミックグリーンシート上に導電性ペーストを転写することを特徴とする、印刷方法である。
上述のような印刷装置を用いて、第１の磁石および第２の磁石の少なくとも一方により磁力線を発生させた状態で、版胴と圧胴との間にセラミックグリーンシートを通過させることにより、版胴の凹部に導入された磁性体粉末を含有する導電性ペーストに磁力線が作用する。ここで、第１の電磁石や第２の電磁石による磁力線の密度を調整することにより、セラミックグリーンシート上に導電性ペーストが転写される転写部位における磁力線の影響を調整することができる。それにより、セラミックグリーンシート上への導電性ペーストの転写量を調整することができる。
【００１１】
このような印刷方法において、セラミックグリーンシート上に印刷された導電性ペーストの膜厚を測定し、予め定められた基準膜厚と実測膜厚とを比較し、基準膜厚と実測膜厚とが一致しない場合に、新たに印刷される導電性ペーストの膜厚が基準膜厚に近づくように第１の磁石および第２の磁石の少なくとも一方の磁力を調整して、セラミックグリーンシート上に転写される導電性ペーストの量を調整することが好ましい。
セラミックグリーンシート上に転写された導電性ペーストの膜厚を実測し、予め定められた基準膜厚と比較して、第１の磁石および第２の磁石の少なくとも一方の磁力を調整することにより、セラミックグリーンシート上に転写される導電性ペーストの膜厚を基準膜厚に近付けることができる。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、第１の磁石や第２の磁石の磁力を調整することにより、セラミックグリーンシート上への導電性ペーストの転写量を調整することができるため、セラミックグリーンシート上における導電性ペーストの膜厚を予め定められた基準膜厚に近付けることができる。特に、セラミックグリーンシート上に転写された導電性ペーストの膜厚を実測し、基準膜厚と比較して磁石の磁力を調整することにより、より正確な膜厚調整を行なうことができる。
【００１３】
この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】積層型電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサを示す図解図である。
【図２】この発明の印刷装置の一例を示す図解図である。
【図３】図２に示す印刷装置の使用方法の一例を示す図解図である。
【図４】図２に示す印刷装置の使用方法の他の例を示す図解図である。
【図５】図２に示す印刷装置の使用方法の別の例を示す図解図である。
【図６】図２に示す印刷装置を用いてセラミックグリーンシートに導電性ペーストを印刷する工程を示すブロック図である。
【図７】従来の印刷装置の一例を示す図解図である。
【図８】従来の印刷装置の他の例を示す図解図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は、積層型電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサを示す図解図である。積層セラミックコンデンサ１０は、基体１２を含む。基体１２は、複数の誘電体セラミック層１４を含み、隣接する誘電体セラミック層１４間に内部電極１６ａ，１６ｂが形成される。一方の内部電極１６ａの一端側は、基体１２の対向する端部の一方側に引き出され、内部電極１６ａの他端側は、基体１２の対向する端部の他方側近傍まで延びるように形成される。また、他方の内部電極１６ｂの一端側は、基体１２の対向する端部の他方側に引き出され、内部電極１６ｂの他端側は、基体１２の対向する端部の一方側近傍まで延びるように形成される。これらの内部電極１６ａ，１６ｂは、基体１２の厚み方向において、交互に配置される。したがって、基体１２の内部において、内部電極１６ａ，１６ｂが重なり合い、隣接する内部電極１６ａ，１６ｂが、基体１２の反対側の端部に引き出される。基体１２の両端部には外部電極１８ａ，１８ｂが形成され、外部電極１８ａ，１８ｂには、それぞれ内部電極１６ａ，１６ｂが接続される。したがって、外部電極１８ａ，１８ｂ間に静電容量が形成される。
【００１６】
このような積層セラミックコンデンサ１０を作製する場合、誘電体セラミック材料を用いて、ＰＥＴフィルムなどのキャリアフィルム上にセラミックグリーンシートが形成される。セラミックグリーンシート上には、導電性ペーストを印刷することにより、内部電極１６ａ，１６ｂの形状の電極パターンが形成される。内部電極１６ａ，１６ｂの形状の電極パターンを有するセラミックグリーンシートを積層し、その両側に電極パターンのないセラミックグリーンシートを積層して圧着することにより、積層体が形成される。得られた積層体を切断することにより、内部電極１６ａ，１６ｂの形状の電極パターンが交互に積層されたチップが形成される。このチップを焼成することにより、誘電体セラミック層１４を挟んで内部電極１６ａ，１６ｂが対向する基体１２が形成される。得られたチップを例えばバレル研磨し、内部電極１６ａ，１６ｂの引出し部を露出させるとともに、必要に応じて基体１２の角部に丸みが形成される。そして、内部電極１６ａ，１６ｂが露出した基体１２の端部に導電性ペーストを塗布し、焼結することによって、外部電極１８ａ，１８ｂが形成される。
【００１７】
ここで、セラミックグリーンシート上に電極パターンを形成するために、印刷装置が用いられる。図２は、この発明の印刷装置の一例を示す図解図である。印刷装置２０は、円筒状の版胴２２を含む。版胴２２の表面には、積層セラミックコンデンサ１０の内部電極１６ａ，１６ｂの形になるように、複数の凹部２４が形成される。凹部２４は、例えば、１辺が３０〜３００μｍで深さが１〜５０μｍとなるようにして、版胴２２の円周方向および幅方向に間隔を隔てて形成される。凹部は、例えば、フォトマスク原版を用いたエッチングや彫刻などによって形成される。
【００１８】
版胴２２の下方には、貯留槽２６が配置され、貯留槽２６には、導電性ペースト２８が蓄えられる。導電性ペースト２８は、例えば、導体材料として、０．０３〜２．００μｍの粒子径を有するＮｉ粉末などが用いられる。Ｎｉ粉末は、導体材料として用いられるだけでなく、磁性体材料としても用いられる。導体材料としてＮｉ以外の非磁性体が用いられる場合、例えば磁性樹脂などの磁性体粉末が添加される。また、バインダとして、エチルセルロースやアクリルなどが使用される。さらに、焼結時の収縮を制御するためのセラミック材料、分散剤などが添加されている。この導電性ペースト２８が貯留槽２６に蓄えられ、版胴２２の下方部分が導電性ペースト２８に浸漬される。それにより、版胴２２の表面の凹部２４に導電性ペースト２８が導入される。
【００１９】
さらに、版胴２２の上方において、版胴２２と対向するようにして、円筒状の圧胴３０が配置される。版胴２２と圧胴３０とは平行に配置され、版胴２２と圧胴３０との間にセラミックグリーンシート３２が通される。
【００２０】
版胴２２内には、第１の磁石３４が配置される。第１の磁石３４は、例えば、圧胴３０側に向かって伸びる磁力線が形成されるように配置される。また、圧胴３０内には、第２の磁石３６が配置される。第２の磁石３６は、例えば、版胴２２側に向かって伸びる磁力線が形成されるように配置される。つまり、第１の磁石３４および第２の磁石３６は、互いに対向して配置される筒状の版胴２２内および筒状の圧胴３０内において、対向する版胴２２および圧胴３０に向かって磁力線が形成されるように固定される。第１の磁石３４および第２の磁石３６は、電磁石を用いるのが好ましい。電磁石を用いることにより、励磁電流を調整し、発生する磁力を容易に調整することができる。
【００２１】
この印刷装置２０では、貯留槽２６に蓄えられた導電性ペースト２８が版胴２２の凹部２４に導入され、セラミックグリーンシート３２との接触部分まで導電性ペースト２８が運ばれるが、その途中において、ブレード３８が版胴２２の表面に押し当てられる。このブレード３８によって、凹部２４外の版胴２２表面に付着した導電性ペースト２８が掻き落とされる。
【００２２】
この印刷装置２０を用いて、セラミックグリーンシート３２に導電性ペースト２８を転写して電極パターンを形成するには、版胴２２および圧胴３０を回転させた状態で、版胴２２と圧胴３０の間にセラミックグリーンシート３２が通される。それにより、セラミックグリーンシート３２は、圧胴３０によって搬送されるとともに、版胴２２の表面に押し当てられる。
【００２３】
版胴２２の表面には、貯留槽２６において導電性ペースト２８が付与されるが、版胴２２の回転方向に配置されたブレード３８によって余分な導電性ペースト２８は掻き落とされる。それにより、版胴２２の凹部２４にのみ導電性ペースト２８が導入された状態で、セラミックグリーンシート３２が版胴２２に押し当てられる。そして、圧胴３０によってセラミックグリーンシート３２が版胴２２に押し当てられることにより、凹部２４に充填された導電性ペースト２８がセラミックグリーンシート３２上に転写される。
【００２４】
ここで、版胴２２の製造工程の加工ばらつきにより、複数の凹部２４の間で開口率にばらつきが生じた場合、印刷時において、セラミックグリーンシート３２上に転写された導電性ペースト２８の膜厚にばらつきが生じる。また、版胴２２の凹部２４に充填された導電性ペースト２８の全てがセラミックグリーンシート３２上に転写されるわけではなく、その転写率は５０％程度である。印刷を続けることにより、凹部２４に残った導電性ペースト２８の粘度が高くなり、セラミックグリーンシート３２上への導電性ペースト２８の転写量が時間とともに少なくなってくる。そのため、セラミックグリーンシート３２上に転写された導電性ペースト２８の膜厚が、時間とともに薄くなってくる。
【００２５】
この印刷装置２０では、第１の電磁石３４や第２の電磁石３６の励磁電流を調整することにより、セラミックグリーンシート３２上の導電性ペースト２８の膜厚を調整することができる。導電性ペースト２８には磁性体粉末が含まれているため、第１の電磁石３４や第２の電磁石３６で磁力を発生させることにより、導電性ペースト２８を版胴２２側や圧胴２８側に引き付けることができる。たとえば、図３に示すように、第２の電磁石３６のみをＯＮにして励磁電流を増加させることにより、導電性ペースト２８を圧胴３０側に引き付けることができ、セラミックグリーンシート３２上に転写される導電性ペースト２８の量を多くすることができる。反対に、第１の電磁石３４のみをＯＮにして励磁電流を増加させることにより、導電性ペースト２８を版胴２２側に引き付けることができ、セラミックグリーンシート３２上に転写される導電性ペースト２８の量を少なくすることができる。
【００２６】
また、図４に示すように、第２の電磁石３６をＯＮにしてセラミックグリーンシート３２の圧胴３０側にＮ極を形成し、第１の電磁石３４をＯＮにしてセラミックグリーンシート３０の版胴２２側にＳ極を形成することができる。この場合、図４に示すように、版胴２２と圧胴３０とが対向する部分において、セラミックグリーンシート３２の両側にＮ極とＳ極とが対向して配置される。この状態では、導電性ペースト２８は、版胴２２側および圧胴３０側の両方に引き付けられている。したがって、第２の電磁石３６の励磁電流を増加させることにより、第２の電磁石３６に発生する磁力が大きくなり、導電性ペースト２８は圧胴３０側により強く引き付けられ、セラミックグリーンシート３２上に転写される導電性ペースト２８の量を多くすることができる。また、第１の電磁石３４の励磁電流を増加させることにより、第１の電磁石３４に発生する磁力が大きくなり、導電性ペースト２８は版胴２２側により強く引き付けられ、セラミックグリーンシート３２上に転写される導電性ペースト２８の量を少なくすることができる。
【００２７】
第１の電磁石３４および第２の電磁石３６をＯＮにしてセラミックグリーンシート３２の両側にＮ極およびＳ極を形成し、それぞれの励磁電流を一致させることにより、図４に示すように、版胴２２と圧胴３０との対向部近傍において、磁力線の向きを圧胴３０の表面に対してほぼ直交する向きにすることができる。したがって、版胴２２と圧胴３０との対向部近傍において、磁力線の向きは、圧胴３０の表面に沿って配置されるセラミックグリーンシート３２の面に対してほぼ直交する向きに一致する。それぞれの電磁石の励磁電流を平衡状態から増減させることにより、リニアリティの高い制御を行うことができる。
【００２８】
また、図５に示すように、版胴２２と圧胴３０との対向部分において、Ｎ極どうしが対向するように、第１の電磁石３４および第２の電磁石３６を制御してもよい。この場合、版胴２２と圧胴３０との対向部分において、第１の電磁石３４および第２の電磁石３６による磁力線の向きが、セラミックグリーンシート３２の面にほぼ直交した向きとなり、第１の電磁石３４と第２の電磁石３６から発生する磁力線は、第１の電磁石３４と第２の電磁石３６とを結ぶ線上において、セラミックグリーンシート３２の面にほぼ並行する向きに変化する。例えば、第２の電磁石３６の励磁電流が第１の電磁石３４の励磁電流より大きい場合、図５に示すように、セラミックグリーンシート３２より版胴２２側において磁力線の向きが変化する。反対に、第１の電磁石３４の励磁電流が第２の電磁石３６の励磁電流より大きい場合、セラミックグリーンシート３２より圧胴３０側において磁界の向きが変化する。
【００２９】
このような磁力線を発生させる場合、第１の磁石３４と第２の磁石３６の磁力を一致させることにより、版胴２２と圧胴３０との対向部分におけるセラミックグリーンシート３２面上に磁力線の向きを沿わすことができる。このような磁力線に沿って、Ｎｉ粉末は、セラミックグリーンシート上の面内で流動し、均一な導電パターンを形成することができる。
【００３０】
これらの調整方法は、第１の電磁石３４および第２の電磁石３６の励磁電流の向きおよび大きさを調整することによって制御することができるため、目的とする制御範囲および精度に合わせて、適宜切り換えることができる。
【００３１】
この印刷装置２０を用いてセラミックグリーンシート３２に電極パターンを形成するために、図６に示すように、巻回されたセラミックグリーンシート３２が巻き出される。巻き出されたセラミックグリーンシート３２は印刷装置２０に搬送され、上述のようにして導電性ペースト２８がセラミックグリーンシート３２上に転写される。セラミックグリーンシート３２に転写された導電性ペースト２８は乾燥させられ、セラミックシート３２は巻き取られる。
【００３２】
ここで、転写された導電性ペースト２８の膜厚を測定し、その実測値に対応して、印刷装置２０で転写される導電性ペースト２８の膜厚を調整することができる。例えば、第１の電磁石３４および第２の電磁石３６に励磁電流を流さず、磁界が発生していない状態でセラミックグリーンシート３２上に導電性ペースト２８を転写し、その膜厚を測定することにより、その面内の膜厚傾向が把握される。この膜厚傾向を緩和してセラミックグリーンシート３２の全面において均一な膜厚となるように、第１の電磁石３４および第２の電磁石３６の励磁電流が調整される。
【００３３】
なお、この場合、例えば、版胴２２および圧胴３０の幅方向に複数の電磁石が配置され、版胴２２の周期に合わせて、各磁石の磁力線の密度を制御することにより、セラミックグリーンシート３２の面内の膜厚ばらつきを低減することができる。
【００３４】
また、図６に示すように、セラミックグリーンシート３２へ導電性ペースト２８を転写した後、乾燥前あるいは乾燥後に膜厚の測定を行ってもよい。この場合、予め定められた膜厚と実測した膜厚とが比較され、これらの膜厚の差が小さくなるように、第１の電磁石３４の励磁電流および第２の電磁石３６の励磁電流が調整される。それにより、測定した膜厚をフィードバックして、リアルタイムで導電性ペースト２８の膜厚調整を行なうことができる。
【００３５】
このように、第１の電磁石３４および第２の電磁石３６に励磁電流を流さずに導電性ペースト２８の転写を行い、その膜厚傾向を把握することにより、版胴２２のばらつきによる膜厚ばらつきを低減することができる。また、導電性ペースト２８の転写後の膜厚の実測値をフィードバックすることにより、導電性ペースト２８の粘度の変化などによる経時的な膜厚ばらつきを低減することができる。したがって、これらの方法を併用することにより、セラミックグリーンシート３２の全面において、均一な膜厚で電極パターンを印刷することができる。
【００３６】
したがって、このようにして電極パターンを印刷したセラミックグリーンシート３２を用いて積層セラミックコンデンサを作製することにより、内部電極の厚みのばらつきを小さくすることができ、容量ばらつきの少ない積層セラミックコンデンサを得ることができる。また、内部電極の厚みばらつきを低減することにより、内部電極の厚みの平均値を小さくすることができ、電極材料の使用効率を高くすることができる。
【００３７】
なお、このようにして得られたセラミックグリーンシート３２は、積層セラミックコンデンサだけでなく、内部電極を有する他の積層型電子部品にも使用可能なことは言うまでもない。
【符号の説明】
【００３８】
２０  印刷装置
２２  版胴
２４  凹部
２６  貯留槽
２８  導電性ペースト
３０  圧胴
３２  セラミックグリーンシート
３４  第１の電磁石
３６  第２の電磁石
３８  ブレード
【図１】
0005915066.tif 000002
【図２】
0005915066.tif 000003
【図３】
0005915066.tif 000004
【図４】
0005915066.tif 000005
【図５】
0005915066.tif 000006
【図６】
0005915066.tif 000007
【図７】
0005915066.tif 000008
【図８】
0005915066.tif 000009