(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＣＡＭシステムからＣＡＭ画像データを受信し、配線基板のアライメントターゲットの位置を測定することで配線基板の伸縮量を計算し、前記伸縮量を補正した描画制御画像データを作成して描画するレーザダイレクト露光システムであって、前記ＣＡＭ画像データにおけるアライメントターゲットの設計位置を中心とする、伸縮補正せずに描画可能な配線基板の伸縮量の限界値を半径とする円形の領域である第１の伸縮限界円を設定し、該第１の伸縮限界円の周囲を覆う、前記限界値を半径とする円形の領域である複数の他の伸縮限界円を配置し、測定結果のアラインメントターゲットの位置座標が前記第１の伸縮限界円に含まれる場合には、前記ＣＡＭ画像データの伸縮補正を行わず、前記位置座標が前記第１の伸縮限界円に含まれず且つ前記他の伸縮限界円のいずれかに含まれる場合には、該他の伸縮限界円の中心位置に、アラインメントターゲットの設計位置を合わせるように前記ＣＡＭ画像データを伸縮補正した描画制御画像データを作成して描画することを特徴とするレーザダイレクト露光システム。
【請求項２】
請求項１記載のレーザダイレクト露光システムであって、前記測定結果のアラインメントターゲットの位置座標を含む、前記第１の伸縮限界円又は前記他の伸縮限界円を区分領域として前記ＣＡＭシステムに通知することで、前記ＣＡＭシステムに配線基板を製造するＣＡＭデータを区分管理させることを特徴とするレーザダイレクト露光システム。
【請求項３】
レーザダイレクト露光システムが配線基板のアライメントターゲットの位置を測定し、ＣＡＭ画像データにおけるアライメントターゲットの設計位置を中心とする、伸縮補正せずに描画可能な配線基板の伸縮量の限界値を半径とする円形の領域である第１の伸縮限界円を設定し、該第１の伸縮限界円の周囲に、該第１の伸縮限界円の周囲を覆う、前記限界値を半径とする円形の領域である複数の他の伸縮限界円を配置し、測定結果のアラインメントターゲットの位置座標が前記第１の伸縮限界円に含まれる場合には、該第１の伸縮限界円を区分領域管理の単位にして、前記位置座標が前記第１の伸縮限界円に含まれず且つ前記他の伸縮限界円のいずれかに含まれる場合は、該他の伸縮限界円を区分領管理の単位にして、ＣＡＭシステムが、配線基板を製造するＣＡＭデータを区分管理することを特徴とするＣＡＭデータの区分管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、描画のターゲットパターンを検出することで基板の伸縮量を測定し、その基板の伸縮量に合わせて描画パターンを伸縮補正して基板上に配線パターンのイメージを描画するレーザダイレクト露光システム及びＣＡＭデータの区分管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
配線基板に形成される配線パターンを微細化するために、コア基板にガラスクロスを入れた硬い層を作り、その上に薄い絶縁層を積み重ね、さらにその上に微細配線を形成するビルドアップ層を形成するビルドアップ多層配線板が製造されている。
【０００３】
このビルドアップ多層配線板を製造する際に加えられる熱や圧力によるストレスおよび化学的ストレスが加えられることで、配線基板２０に歪みや伸縮などが発生する。
【０００４】
そのように配線基板２０が変形するので、配線基板２０の面上の既存の配線パターンとその上に重ねる配線パターンを描画する描画設計データとにどれくらいズレが生じているかを測定し、そのズレを軽減するために描画設計データを補正するためのスケーリング補正値を計算する。そして、このスケーリング補正値により補正した描画設計データを用いて配線基板２０に配線パターンを描画する。
【０００５】
従来の、特許文献１のレーザダイレクト露光システムの技術では、この補正処理を、基板のアライメントターゲットを撮像して、そのアライメントターゲットの位置が描画設計データからどれだけずれているかを算出し、基板の伸縮や歪みを計算し、それにより、描画設計データを補正するためにスケーリング補正値を計算する。そして、このスケーリング補正値により補正した描画設計データを用いて配線基板２０の表面の銅箔上の感光性レジストに配線パターンのイメージを描画する。
【０００６】
そして、その配線基板２０の感光性レジストを現像しエッチングレジストパターンを形成する。そのエッチングレジストパターンで保護された配線基板２０の銅箔をエッチングして配線パターンを形成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−０５６０６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ここで、配線パターンの形成プロセスにおいて、配線基板２０に生じる伸縮に応じて、以下のように、ＣＡＭシステム４０が、配線基板２０を製造するために必要なＣＡＭデータＤ４３を伸縮補正して作成し、そのＣＡＭデータＤ４３を区分管理して複数保管し、適切に伸縮補正したＣＡＭデータＤ４３を配線基板２０の製造工程の製造装置５０に供給する。そのように区分管理する必要があるＣＡＭデータＤ４３等には、レーザダイレクト露光システム１０に供給するＣＡＭ画像データや、配線基板２０の穴あけ位置データや、ソルダーレジスト印刷パターンのＣＡＭ画像データや、配線基板２０の外形加工用のデータがあり、その他、配線基板の伸縮によるデータの値に寸法補正を行う必要がある加工用のＣＡＭデータがある。また、印刷パターン用のフィルム等、製造に用いる製造補助具等、区分管理の分類に応じて複数の製造用備品を準備して配線基板２０の製造に供しなければならない。
【０００９】
区分管理は、詳しくは、ＣＡＭシステム４０が、配線基板２０の伸縮量をＸ方向への伸縮量及びＹ方向への伸縮量に応じて、伸縮量を区分管理してスケーリング補正したＣＡＭデータＤ４３を用意する。従来の区分管理は、配線基板２０のＸ方向の伸縮量の大きさを区分管理するとともに、Ｙ方向の伸縮量を区分管理し、図１３のように、配線基板２０のＸ方向の伸縮量の座標とＹ方向の伸縮量の座標をＸＹの２次元座標平面を格子状に分割した区分領域Ａ４０に分類していた。
【００１０】
そして、配線基板２０の伸縮量の範囲に対応する各区分領域Ａ４０毎に、伸縮を補正したＣＡＭデータＤ４３を用意し、そのデータを、その伸縮量の範囲の配線基板２０に共通に用いる。こうして、１つの区分領域Ａ４０毎にＣＡＭデータＤ４３を用意して、ＣＡＭシステム４０の記憶手段４１に記憶し、製造装置５０に供給する区分管理を行っている。
【００１１】
例えば、レーザダイレクト露光システム１０において描画をする際に、描画対象の配線基板２０の伸縮量をアライメントターゲット２３の位置を測定することで把握し、その結果に基づき、レーザダイレクト露光システム１０が、ＣＡＭシステムに対して、該当する区分領域Ａ４０に分類されるＣＡＭ画像データを要求する。そして、レーザダイレクト露光システム１０が、そのＣＡＭシステム４０から適切に送られたＣＡＭ画像データを用いて配線基板２０上に配線パターンを描画する。
【００１２】
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０上に配線パターンを描画する際に、配線基板２０の伸縮量を測定して、配線基板２０への描画位置がＣＡＭ画像データの指示する位置から大きくずれる場合には、その描画の限界ずれ量を判定して描画の可否を判定する。
【００１３】
その描画の可否の判定は、測定したアライメントターゲット２３の位置がＣＡＭシステム４０から受信したＣＡＭ画像データの指示する位置からのずれ量の限界の判定を、２軸方向へのすれ量にかかわる最小二乗法を用いて判定している。すなわち、描画面のＸ方向へのずれ量の二乗とＹ方向へのずれ量の二乗を足し合わせて、その合計値が所定の限界値以下である場合に、レーザダイレクト露光システム１０は、ＣＡＭ画像データに基づいて配線基板２０上に配線パターンを描画している。ずれ量の二乗の和が所定の限界値を超えた場合は、レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の歪みがＣＡＭ画像データからずれる限界を超えたものとして、描画をしない判定を行う。
【００１４】
この限界の範囲は、ＣＡＭ画像データの指示する位置を中心とする、描画可能な配線基板２０の伸縮量の限界値を半径とする、ＸＹ座標系で円形の領域であり、この領域を伸縮限界円と名付ける。このようにレーザダイレクト露光システム１０がＣＡＭ画像データにより描画可能な配線基板２０のＸ方向への伸縮量とＹ方向の伸縮量とを、ＸＹ座標系での円形の領域である伸縮限界円を用いて管理する。
【００１５】
この、レーザダイレクト露光システム１０による描画位置の設計位置からのずれ量の限界を判定する伸縮限界円と、ＣＡＭシステムが配線基板２０の伸縮量を区分管理してＣＡＭ画像データを用意する区分管理範囲を定める区分領域Ａ４０との間の関係を定める以下の２つの管理方法には、それぞれ以下の問題がある。
【００１６】
（１）ＣＡＭシステム４０が区分管理するＣＡＭ画像データの区分領域Ａ４０の範囲内に、レーザダイレクト露光システムが判定する伸縮限界円を包含して管理する区分管理体系が考えられる。
【００１７】
しかし、この区分管理体系の場合は、矩形の区分領域Ａ４０内に、描画可能な伸縮量を
定める伸縮限界円の外にはみ出す配線基板２０の伸縮量も含まれてしまう。そのように伸縮量が伸縮限界円の外にはみ出す配線基板２０の場合は、レーザダイレクト露光システム１０がレーザダイレクト露光を不可能と判定してしまう問題がある。
【００１８】
（２）レーザダイレクト露光システム１０が、ＣＡＭ画像データにより描画可能として作画できるＸ方向への伸縮量とＹ方向の伸縮量の範囲を定める伸縮限界円の範囲内に１つの区分領域Ａ４０を包含させて管理する区分管理体系が考えられる。
【００１９】
この場合は、伸縮限界円内に矩形の区分領域Ａ４０が包含されるので、配線基板２０の伸縮量に応じて区分管理されて用意されたＣＡＭ画像データでレーザダイレクト露光システム１０が描画可能である。
【００２０】
しかし、この場合は、矩形の区分領域Ａ４０の大きさを伸縮限界円の領域に包含されるように小さくするので、配線基板２０の伸縮量を区分管理すべき区分領域Ａ４０の数が増えてしまう。すなわち、各製造工程の製造装置５０に供給するために伸縮補正して用意するＣＡＭデータＤ４３の数が増してしまい、それらのＣＡＭデータＤ４３を管理する管理工数が増して、配線基板２０の各工程での製造コストを増大させる問題がある。
【００２１】
本発明の課題は、上記の問題を解決して、ＣＡＭシステム４０が区分管理する区分領域を適正化し、かつ、配線基板２０に伸縮限界円の範囲外の伸縮がある場合でも用意されたＣＡＭ画像データでレーザダイレクト露光システム１０が描画可能にするレーザダイレクト露光システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記の課題を解決するために、本発明は、ＣＡＭシステムからＣＡＭ画像データを受信し、配線基板のアライメントターゲットの位置を測定することで配線基板の伸縮量を計算し、前記伸縮量を補正した描画制御画像データを作成して描画するレーザダイレクト露光システムであって、前記ＣＡＭ画像データにおけるアライメントターゲットの設計位置を中心とする、伸縮補正せずに描画可能な配線基板の伸縮量の限界値を半径とする円形の領域である第１の伸縮限界円を設定し、該第１の伸縮限界円の周囲を覆う、前記限界値を半径とする円形の領域である複数の他の伸縮限界円を配置し、測定結果のアラインメントターゲットの位置座標が前記第１の伸縮限界円に含まれる場合には、前記ＣＡＭ画像データの伸縮補正を行わず、前記位置座標が前記第１の伸縮限界円に含まれず且つ前記他の伸縮限界円のいずれかに含まれる場合には、該他の伸縮限界円の中心位置に、アラインメントターゲットの設計位置を合わせるように前記ＣＡＭ画像データを伸縮補正した描画制御画像データを作成して描画することを特徴とするレーザダイレクト露光システムである。
【００２３】
また、本発明は、上記のレーザダイレクト露光システムであって、前記測定結果のアラインメントターゲットの位置座標を含む、前記第１の伸縮限界円又は前記他の伸縮限界円を区分領域として前記ＣＡＭシステムに通知することで、前記ＣＡＭシステムに配線基板を製造するＣＡＭデータを区分管理させることを特徴とするレーザダイレクト露光システムである。
【００２４】
また、本発明は、レーザダイレクト露光システムが配線基板のアライメントターゲットの位置を測定し、ＣＡＭ画像データにおけるアライメントターゲットの設計位置を中心とする、伸縮補正せずに描画可能な配線基板の伸縮量の限界値を半径とする円形の領域である第１の伸縮限界円を設定し、該第１の伸縮限界円の周囲に、該第１の伸縮限界円の周囲を覆う、前記限界値を半径とする円形の領域である複数の他の伸縮限界円を配置し、測定結果のアラインメントターゲットの位置座標が前記第１の伸縮限界円に含まれる場合には、該第１の伸縮限界円を区分領域管理の単位にして、前記位置座標が前記第１の伸縮限界円に含まれず且つ前記他の伸縮限界円のいずれかに含まれる場合は、該他の伸縮限界円を区分領管理の単位にして、ＣＡＭシステムが、配線基板を製造するＣＡＭデータを区分管理することを特徴とするＣＡＭデータの区分管理方法である。
【発明の効果】
【００２５】
本発明は、ＣＡＭ画像データにおけるアライメントターゲットの設計位置を中心とする、伸縮補正せずに描画可能な配線基板の伸縮量の限界値を半径とする円形の領域である第１の伸縮限界円を設定し、その第１の伸縮限界円の周囲を覆う、前記限界値を半径とする円形の領域である複数の他の伸縮限界円を配置する。また、レーザダイレクト露光システムがアラインメントターゲットの位置座標を測定する。その測定位置を含む、第１の伸縮限界円又は他の伸縮限界円を区分領域として抽出する。それにより、ＣＡＭシステムが、配線基板２０の伸縮を、伸縮限界円を区分領域として区分管理する。
【００２６】
これにより、本発明によれば、配線基板２０の伸縮に応じて区分管理して作成するＣＡＭデータの数が適度な数に抑えられ、区分管理する区分領域が適正化される効果があり、配線基板の製造に要するコストを増大させ無い効果がある。
【００２７】
また、配線基板２０のＸＹ方向の伸縮量が大きく、アラインメントターゲット２３の位置の測定結果が描画可能な限界を規定する第１の伸縮限界円Ａ２１の範囲を越えてしまった場合でも、その他の伸縮限界円の中心位置を基準位置として、描画する配線パターン２２のイメージのアラインメントターゲット２３の位置をその基準位置に合わせて描画するので、レーザダイレクト露光システムによる描画が不可能になる不具合を無くすことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態の、配線基板の感光性レジストに配線パターンを露光するレーザダイレクト露光システムの構成を示すブロック図である。
【図２】（ａ）本発明の実施形態で作成する配線基板の断面図である。（ｂ）本発明の実施形態で配線パターンを描画する配線基板のアライメントターゲットの例の平面図である。（ｃ）本発明の実施形態で配線パターンを描画する配線基板の他のアライメントターゲットの例の平面図である。
【図３】本発明の実施形態の第１から第７の伸縮限界円をあらわす図である。
【図４】（ａ）本発明の実施形態の第１の伸縮限界円Ａ２１を表す図である。（ｂ）本発明の実施形態の第２の伸縮限界円Ａ２２を表す図である。（ｃ）本発明の実施形態の第３の伸縮限界円Ａ２３を表す図である。（ｄ）本発明の実施形態の第４の伸縮限界円Ａ２４を表す図である。（ｅ）本発明の実施形態の第５の伸縮限界円Ａ２５を表す図である。（ｆ）本発明の実施形態の第６の伸縮限界円Ａ２６を表す図である。（ｇ）本発明の実施形態の第７の伸縮限界円Ａ２７を表す図である。
【図５】本発明の実施形態のレーザダイレクト露光システムの動作を表すフローチャートである（その１）。
【図６】本発明の実施形態のレーザダイレクト露光システムの動作を表すフローチャートである（その２）。
【図７】本発明の実施形態のレーザダイレクト露光システムの動作を表すフローチャートである（その３）。
【図８】本発明の実施形態のレーザダイレクト露光システムの動作を表すフローチャートである（その４）。
【図９】本発明の実施形態のレーザダイレクト露光システムの動作を表すフローチャートである（その５）。
【図１０】本発明の実施形態のレーザダイレクト露光システムの動作を表すフローチャートである（その６）。
【図１１】本発明の実施形態のレーザダイレクト露光システムの動作を表すフローチャートである（その７）。
【図１２】本発明の実施形態の、配線基板の伸縮を区分管理する伸縮限界円の位置を示す図である。
【図１３】従来の区分領域をあらわす図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
＜第１の実施形態＞
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００３０】
図１に、本発明の第１の実施形態によるレーザダイレクト露光システム（ＬＤＩシステム）１０の構成のブロック図を示す。レーザダイレクト露光システム１０は、ＣＡＭシステム４０から受信したＣＡＭ画像データＤ４１に基づいて、描画制御画像データＤ４２を作成し、そのデータに基づいてレーザー光線Ｌを配線基板２０上に走査して、配線基板２０上の感光性レジストに配線パターンのイメージを描画する。
【００３１】
図２（ａ）に、配線基板２０の断面図を示す。図２（ａ）に示されるように、配線基板２０は、ガラスエポキシ基板やポリイミド基板などの有機樹脂の絶縁性基板２１上に、多層の銅配線などの導電性金属の配線パターン２２を有する。
【００３２】
（レーザダイレクト露光システムによるアライメントターゲットの位置の測定）
レーザダイレクト露光システム１０は、その配線パターンのイメージの描画に際して、図１のように、撮像手段などで構成する位置測定手段１１を用いて、配線基板２０に形成されたアラインメントターゲット２３の位置を測定する。配線基板２０のアラインメントターゲット２３は、図２（ａ）の断面図や図２（ｂ）、図２（ｃ）の平面図に示すように、配線基板２０の表面内に、配線パターン２２と一緒に形成された１つのバイアホールや、あるいは、アレイ状に形成された複数のマイクロバイア２４などで構成する。
【００３３】
レーザダイレクト露光システム１０は、そうして測定した４箇所のアライメントターゲット２３の配置位置について、その配置の平行移動と回転効果を除去する位置補正を行い、その位置補正後の４箇所のアライメントターゲット２３の位置を、図３（ａ）のようにＸＹ平面に配置する。
【００３４】
（ＣＡＭシステムによる、基板の伸縮を補正したＣＡＭデータの区分管理）
ＣＡＭシステム４０は、配線基板２０に生じる伸縮に応じて、伸縮補正したＣＡＭ画像データＤ４１及び配線基板２０の各製造工程の製造装置５０が必要とするＣＡＭデータＤ４３の伸縮補正を区分管理する。それら、区分管理するＣＡＭデータＤ４３は、例えば、配線基板２０の穴あけ位置データや、ソルダーレジスト印刷パターンのＣＡＭ画像データや、配線基板２０の外形加工用のデータがあり、その他、配線基板の伸縮によるデータの値に寸法補正を行う必要がある加工用のＣＡＭデータＤ４３がある。また、印刷パターン用のフィルム等、製造に用いる製造補助具等も、この伸縮伸縮限界円で分類して区分管理して複数の製造用備品を準備して配線基板２０の製造に供する。
【００３５】
本実施形態による伸縮補正の区分管理は、ＣＡＭシステム４０が、配線基板２０の伸縮量を以下で説明する複数の伸縮限界円の何れかに対応するかを分類し、その伸縮限界円を単位にして、配線基板２０の伸縮量を区分管理する。
【００３６】
その区分管理のために、レーザダイレクト露光システム１０が、位置測定手段１１を用いて、配線基板２０の４箇所のアライメントターゲット２３の配置位置を測定し、その配置の平行移動と回転効果を除去する位置補正を行い、その補正後の４箇所のアライメントターゲット２３の位置を、図３（ａ）のようにＸＹ平面に配置する。
【００３７】
その測定した４箇所のアライメントターゲット２３の位置補正は以下の様に行う。測定した４箇所のアライメントターゲット２３のＸＹ座標を（Ｘ１，Ｙ１）（Ｘ２，Ｙ２）（Ｘ３，Ｙ３）（Ｘ４，Ｙ４）とする。測定したアライメントターゲット２３の重心位置は、Ｘ方向へ以下の式１で平行移動し、Ｙ方向に式２で平行移動しているので、その量を補正する。
（式１）  （Ｘ１＋Ｘ２＋Ｘ３＋Ｘ４）／４−（設計上の重心のＸ座標）
（式２）  （Ｙ１＋Ｙ２＋Ｙ３＋Ｙ４）／４−（設計上の重心のＹ座標）
【００３８】
測定したアライメントターゲット２３の配置は、近似的に、反時計回りに以下の式３の角度αラジアン回転している。
（式３）  α＝（（Ｙ４−Ｙ１）／（Ｘ４−Ｘ１）＋（Ｙ３−Ｙ２）／（Ｘ３−Ｘ２）
＋（Ｘ３−Ｘ４）／（Ｙ４−Ｙ３）＋（Ｘ２−Ｘ１）／（Ｙ１−Ｙ２））／４
配線基板２０の配置の回転量が少ない場合は、配線基板の重心位置の移動のみで測定位置が補正され、配線基板の重心を原点にした位置座標が、測定位置を補正した各アライメントターゲット２３の位置座標になる。
【００３９】
測定したアライメントターゲット２３の位置に対して、この平行移動と回転の補正を行った位置座標を求める。そのように位置を補正したアライメントターゲット２３の位置座標を、ＸＹ平面であらわす。各アライメントターゲット２３のＸ方向及びＹ方向への位置ずれは、４箇所のアライメントターゲット２３の重心から放射状に位置がずれている。そして、そのアライメントターゲット２３の位置ずれ量が配線基板２０のＸ方向の伸縮量とＹ方向の伸縮量をあらわす。
【００４０】
図３（ｂ）のように、配線基板２０の伸縮量を、概ね、１箇所のアライメントターゲット２３の、測定結果を位置補正したＸＹ平面上の位置の、基準位置からのずれ量で代表してあらわすことができる。そして、図３（ｂ）のように、そのＸＹ平面上の座標の領域を円状の領域の伸縮限界円に対応させて伸縮量を区分管理する。
【００４１】
すなわち、レーザダイレクト露光システム１０は、ＣＡＭシステム４０から受信したＣＡＭ画像データＤ４１からアライメントターゲット２３の設計位置を演算し、その位置を第１の標準位置とし、その第１の標準位置を基準位置とする。次に、レーザダイレクト露光システム１０が、その基準位置を中心とする第１の伸縮限界円Ａ２１を計算する。
【００４２】
第１の伸縮限界円Ａ２１は、基準位置を中心とする円形の領域であって、レーザダイレクト露光システム１０がＣＡＭ画像データＤ４１に対して伸縮補正せず描画制御画像データＤ４２を作成して配線パターン２２のイメージを配線基板２０上に描画することを許す、アライメントターゲット２３の中心位置のＸ方向へのずれ量とＹ方向のずれ量の限界の範囲をＸＹ座標系で規定する円形の領域である。この第１の伸縮限界円Ａ２１は、配線基板２０の伸縮量を区分管理する区分領域の１つとする。
【００４３】
図３（ｂ）の場合は、第１の伸縮限界円Ａ２１内にアライメントターゲット２３の測定位置が入る場合であり、この場合は、第１の伸縮限界円Ａ２１に対応させて配線基板２０の伸縮量を区分管理する。
【００４４】
レーザダイレクト露光システム１０は、測定結果を位置補正したアラインメントターゲット２３の位置座標が第１の伸縮限界円Ａ２１の範囲内に含まれるか否かを判定する。測定結果を位置補正したアライメントターゲット２３の位置座標が第１の伸縮限界円Ａ２１の範囲内に無い場合は、図３（ｂ）に円形の破線で示す第２の伸縮限界円Ａ２２を計算する。そして、測定結果を位置補正したアラインメントターゲット２３の位置が、その第２の伸縮限界円Ａ２２の範囲内に含まれるか否かを判定する。なお、第２の伸縮限界円Ａ２２の中心を第２の標準位置とし、その第２の標準位置を基準位置とする。
【００４５】
同様にして、図３（ｂ）に円形の破線で示す第３の伸縮限界円Ａ２３を計算し、その第
３の伸縮限界円Ａ２３の範囲内に測定結果を位置補正したアラインメントターゲット２３の位置が含まれるかを判定する。順次、第４の伸縮限界円Ａ２４による判定、第５の伸縮限界円Ａ２５による判定、第６の伸縮限界円Ａ２６による判定、第７の伸縮限界円Ａ２７による判定を行う。
【００４６】
ここで、第２の伸縮限界円Ａ２２から第７の伸縮限界円Ａ２７は、第１の伸縮限界円Ａ２１と同じ大きさに設定する。
【００４７】
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、その判定結果に応じて、第１の標準位置から、アラインメントターゲット２３の位置が含まれると判定された伸縮限界円（第１の伸縮限界円Ａ２１から第７の伸縮限界円Ａ２７の何れか）の中心位置（第１の標準位置から第７の標準位置の何れか）を基準位置とする。そして、アラインメントターゲット２３の設計位置をその基準位置に合わせるように配線パターン２２の配置位置を伸縮させた描画制御画像データＤ４２を作成する。
【００４８】
そして、アラインメントターゲット２３の位置が含まれると判定された伸縮限界円（第１の伸縮限界円Ａ２１から第７の伸縮限界円Ａ２７の何れか）を、基板の伸縮量を区分管理する区分領域として、ＣＡＭシステム４０に通知する。そして、ＣＡＭシステム４０が、配線基板２０が属する伸縮量の範囲を与える伸縮限界円を配線基板２０毎に対応付けて記録したデータを記憶手段４１で記憶し、その配線基板２０の製造に用いるＣＡＭデータＤ４３をその伸縮限界円で区分管理して記憶手段４１で記憶する。
【００４９】
レーザダイレクト露光システム１０は、そうして作成した描画制御画像データＤ４２に基づいて、レーザー光線Ｌを配線基板２０上に走査しつつ、レーザー光源１３から出射するレーザー光線Ｌをスイッチング制御することで、配線基板２０のレジストに配線パターン２２のイメージを描画する。
【００５０】
これにより、レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の既に形成されている配線パターン２２上に重ねる新しい配線パターンのイメージを配線基板２０上のレジストに描画する。
【００５１】
（アラインメントターゲットの位置判定手順）
以下で、図４の区分管理の伸縮量の範囲を定める伸縮限界円の概念図と、図５から図１１のフローチャートを参照して、レーザダイレクト露光システム１０が、測定結果を位置補正したアラインメントターゲット２３の位置に基づき、ＣＡＭ画像データＤ４１から伸縮補正した描画制御画像データＤ４２を作成して、配線基板２０上に配線パターン２２を描画する手順を説明する。
【００５２】
（ステップＳ１）
先ず、レーザダイレクト露光システム１０は、図１のＣＡＭシステムからＣＡＭ画像データＤ４１を受信し、そのデータからアライメントターゲット２３の第１の標準位置を算出する。そして、その第１の標準位置を基準位置とする。ここで、第１の標準位置を中心とする、レーザダイレクト露光システム１０が伸縮補正せず配線パターン２２のイメージを配線基板２０上に描画することを許す伸縮量を半径とする第１の伸縮限界円Ａ２１を、図３及び図４（ａ）の円形の網点マークで示す。
【００５３】
（ステップＳ２）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、図１の位置測定手段１１により、配線基板２０の四隅に形成されたアライメントターゲット２３の位置を測定する。
【００５４】
（ステップＳ３）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、測定した４箇所のアライメントターゲット２３の位置の重心を計算し、その重心の回りのアライメントターゲット２３の配置の基準位置からの回転角度を計算する。それにより、測定した４箇所のアライメントターゲット２３の位置の重心位置と配置位置の回転角度を補正した位置座標を計算し、その位置座標を、ＣＡＭ画像データＤ４１内のアライメントターゲット２３の第１の標準位置と比較する。
【００５５】
（ステップＳ４）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、そのように補正したアライメントターゲット２３の位置座標の、ＣＡＭ画像データＤ４１内のアライメントターゲット２３の第１の標準位置からのずれ量が所定量（例えば６５μｍ）以下であるか否かを判定する。そのずれ量が所定量以下の場合はステップＳ５に進み、ずれ量が所定量を超える場合は、ステップＳ１２に進む。
【００５６】
（ステップＳ５）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１から作画パターンを伸縮させない標準の描画制御画像データＤ４２を作成し、その描画制御画像データＤ４２を用いて、その描画位置をアライメントターゲット２３の測定位置の重心の平行移動量と配置の回転量に合わせて補正して、配線基板２０の表面の銅箔上の感光性レジストに配線パターン２２のイメージを描画する。そして、第１の伸縮限界円Ａ２１を基板の伸縮量を管理する区分領域として、ＣＡＭシステム４０に通知する。
【００５７】
（ステップＳ６）
次に、配線基板２０を裏返してレーザダイレクト露光システム１０に設置する。そして、レーザダイレクト露光システム１０は、その配線基板３０の裏面に対して、図１の位置測定手段１１により、配線基板２０の裏面の四隅に形成されたアライメントターゲット２３の位置を測定する。
【００５８】
（ステップＳ７）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、測定した４箇所のアライメントターゲット２３の位置の重心を計算し、その重心の回りのアライメントターゲット２３の配置の基準位置からの回転角度を計算する。
【００５９】
（ステップＳ８）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、測定した４箇所のアライメントターゲット２３の位置の重心位置と配置位置の回転角度を補正した位置座標を計算し、その位置座標を、配線基板２０の裏面のＣＡＭ画像データＤ４１内のアライメントターゲット２３の第１の標準位置と比較する。
【００６０】
（ステップＳ９）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、そのように補正したアライメントターゲット２３の位置座標の、配線基板２０の裏面のＣＡＭ画像データＤ４１内のアライメントターゲット２３の第１の標準位置からのずれ量が所定量（例えば６５μｍ）以下であるか否かを判定する。そのずれ量が所定量以下の場合はステップＳ１１に進み、ずれ量が所定量を超える場合は、ステップＳ１０に進む。
【００６１】
（ステップＳ１０）
ずれ量が所定量を超えた場合は、レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の裏面のずれが所定量を超える不良となった旨の生産履歴をＣＡＭシステムに通知して記
録する。そして、次のステップＳ１１に進む。
【００６２】
（ステップＳ１１）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の裏面のＣＡＭ画像データＤ４１から作画パターンを伸縮させない標準の描画制御画像データＤ４２を作成し、その描画制御画像データＤ４２を用いて、その描画位置をアライメントターゲット２３の測定位置の重心の平行移動量と配置の回転量に合わせて補正して、配線基板２０の裏面の銅箔上の感光性レジストに配線パターン２２のイメージを描画する。
【００６３】
（ステップＳ１２）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１から伸縮を補正した第２の描画制御画像データＤ４２を作成する。ここで、図３及び図４（ａ）で網点マークで示した円形の第１の伸縮限界円Ａ２１の中心位置をアライメントターゲット２３の第１の標準位置とする。そして、図３（ｂ）で円形の破線で示し、図４（ｂ）の網点マークで示した円形の第２の伸縮限界円Ａ２２と、その中心位置（第２の標準位置）を計算し、その第２の標準位置を基準位置にする。レーザダイレクト露光システム１０は、４箇所のアライメントターゲット２３の第１の標準位置を、４箇所のアライメントターゲット２３の第２の標準位置（基準位置）に合わせるように配線パターン２２を伸縮させて第２の描画制御画像データＤ４２を作成するための補正値のデータを作成する。
【００６４】
（ステップＳ１３）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、測定した４箇所のアライメントターゲット２３の位置の重心位置と配置位置の回転角度を補正した位置座標を、アライメントターゲット２３の第２の標準位置と比較する。
【００６５】
（ステップＳ１４）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、そのように補正したアライメントターゲット２３の位置座標の、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１内のアライメントターゲット２３の第２の標準位置からのずれ量が所定量（例えば６５μｍ）以下であるか否かを判定する。そのずれ量が所定量以下の場合はステップＳ１５に進み、ずれ量が所定量を超える場合は、ステップＳ２２に進む。
【００６６】
（ステップＳ１５）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１から作画パターンを伸縮させてアライメントターゲット２３の位置を第２の標準位置に補正した第２の描画制御画像データＤ４２を作成する。そして、その第２の描画制御画像データＤ４２を用いて、その描画位置をアライメントターゲット２３の測定位置の重心の平行移動量と配置の回転量に合わせて補正して、配線基板２０の表面の銅箔上の感光性レジストに配線パターン２２のイメージを描画する。そして、第２の伸縮限界円Ａ２２を基板の伸縮量を管理する区分領域として、ＣＡＭシステム４０に通知する。
【００６７】
（ステップＳ１６）
次に、配線基板２０を裏返してレーザダイレクト露光システム１０に設置する。そして、レーザダイレクト露光システム１０は、その配線基板３０の裏面に対して、図１の位置測定手段１１により、配線基板２０の裏面の四隅に形成されたアライメントターゲット２３の位置を測定する。
【００６８】
（ステップＳ１７）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、測定した４箇所のアライメントターゲット２３の位置の重心を計算し、その重心の回りのアライメントターゲット２３の配置の基
準位置（第２の標準位置）からの回転角度を計算する。
【００６９】
（ステップＳ１８）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、測定した４箇所のアライメントターゲット２３の位置の重心位置と配置位置の回転角度を補正した位置座標を計算し、その位置座標を、配線基板２０の裏面のＣＡＭ画像データＤ４１内のアライメントターゲット２３の第２の標準位置と比較する。
【００７０】
（ステップＳ１９）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、そのように補正したアライメントターゲット２３の位置座標の、配線基板２０の裏面のＣＡＭ画像データＤ４１内のアライメントターゲット２３の第２の標準位置からのずれ量が所定量（例えば６５μｍ）以下であるか否かを判定する。そのずれ量が所定量以下の場合はステップＳ２１に進み、ずれ量が所定量を超える場合は、ステップＳ２０に進む。
【００７１】
（ステップＳ２０）
ずれ量が所定量を超えた場合は、レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の裏面のずれが所定量を超える不良となった旨の生産履歴をＣＡＭシステムに通知して記録する。そして、次のステップＳ２１に進む。
【００７２】
（ステップＳ２１）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の裏面のＣＡＭ画像データＤ４１から作画パターンを伸縮させてアライメントターゲット２３の位置を第２の標準位置に補正した第２の描画制御画像データＤ４２を作成する。そして、その第２の描画制御画像データＤ４２を用いて、その描画位置をアライメントターゲット２３の測定位置の重心の平行移動量と配置の回転量に合わせて補正して、配線基板２０の裏面の銅箔上の感光性レジストに配線パターン２２のイメージを描画する。
【００７３】
（ステップＳ２２）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１から伸縮を補正した第３の描画制御画像データＤ４２を作成する。ここで、図３及び図４（ａ）で網点マークで示した円形の第１の伸縮限界円Ａ２１の中心位置をアライメントターゲット２３の第１の標準位置とする。そして、図３（ｂ）で円形の破線で示し、図４（ｃ）の網点マークで示した円形の第３の伸縮限界円Ａ２３と、その中心位置（第３の標準位置）を計算し、その第３の標準位置を基準位置にする。レーザダイレクト露光システム１０は、４箇所のアライメントターゲット２３の第１の標準位置を、４箇所のアライメントターゲット２３の第３の標準位置（基準位置）に合わせるように配線パターン２２を伸縮させて第３の描画制御画像データＤ４２を作成するための補正値のデータを作成する。
【００７４】
（ステップＳ２３）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、測定した４箇所のアライメントターゲット２３の位置の重心位置と配置位置の回転角度を補正した位置座標を、アライメントターゲット２３の第３の標準位置と比較する。
【００７５】
（ステップＳ２４）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、そのように補正したアライメントターゲット２３の位置座標の、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１内のアライメントターゲット２３の第３の標準位置からのずれ量が所定量（例えば６５μｍ）以下であるか否かを判定する。そのずれ量が所定量以下の場合はステップＳ２５に進み、ずれ量が所定量を超える場合は、ステップＳ３２に進む。
【００７６】
（ステップＳ２５）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１から作画パターンを伸縮させてアライメントターゲット２３の位置を第３の標準位置に補正した第３の描画制御画像データＤ４２を作成する。そして、その第３の描画制御画像データＤ４２を用いて、その描画位置をアライメントターゲット２３の測定位置の重心の平行移動量と配置の回転量に合わせて補正して、配線基板２０の表面の銅箔上の感光性レジストに配線パターン２２のイメージを描画する。そして、第３の伸縮限界円Ａ２３を基板の伸縮量を管理する区分領域として、ＣＡＭシステム４０に通知する。
【００７７】
（ステップＳ２６）
次に、配線基板２０を裏返してレーザダイレクト露光システム１０に設置する。そして、レーザダイレクト露光システム１０は、その配線基板３０の裏面に対して、図１の位置測定手段１１により、配線基板２０の裏面の四隅に形成されたアライメントターゲット２３の位置を測定する。
【００７８】
（ステップＳ２７）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、測定した４箇所のアライメントターゲット２３の位置の重心を計算し、その重心の回りのアライメントターゲット２３の配置の基準位置（第３の標準位置）からの回転角度を計算する。
【００７９】
（ステップＳ２８）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、測定した４箇所のアライメントターゲット２３の位置の重心位置と配置位置の回転角度を補正した位置座標を計算し、その位置座標を、配線基板２０の裏面のＣＡＭ画像データＤ４１内のアライメントターゲット２３の第３の標準位置と比較する。
【００８０】
（ステップＳ２９）
次に、レーザダイレクト露光システム１０は、そのように補正したアライメントターゲット２３の位置座標の、ＣＡＭ画像データＤ４１内のアライメントターゲット２３の第３の標準位置からのずれ量が所定量（例えば６５μｍ）以下であるか否かを判定する。そのずれ量が所定量以下の場合はステップＳ３１に進み、ずれ量が所定量を超える場合は、ステップＳ３０に進む。
【００８１】
（ステップＳ３０）
ずれ量が所定量を超えた場合は、レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の裏面のずれが所定量を超える不良となった旨の生産履歴をＣＡＭシステムに通知して記録する。そして、次のステップＳ３１に進む。
【００８２】
（ステップＳ３１）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の裏面のＣＡＭ画像データＤ４１から作画パターンを伸縮させてアライメントターゲット２３の位置を第３の標準位置に補正した第３の描画制御画像データＤ４２を作成する。そして、その第３の描画制御画像データＤ４２を用いて、その描画位置をアライメントターゲット２３の測定位置の重心の平行移動量と配置の回転量に合わせて補正して、配線基板２０の裏面の銅箔上の感光性レジストに配線パターン２２のイメージを描画する。
【００８３】
（ステップＳ３２）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１から伸縮を補正した第４の描画制御画像データＤ４２を作成する。ここで、図３及び図４
（ａ）で網点マークで示した円形の第１の伸縮限界円Ａ２１の中心位置をアライメントターゲット２３の第１の標準位置とする。そして、図３（ｂ）で円形の破線で示し、図４（ｄ）の網点マークで示した円形の第４の伸縮限界円Ａ２４と、その中心位置（第４の標準位置）を計算し、その第４の標準位置を基準位置にする。レーザダイレクト露光システム１０は、４箇所のアライメントターゲット２３の第１の標準位置を、４箇所のアライメントターゲット２３の第４の標準位置（基準位置）に合わせるように配線パターン２２を伸縮させて第４の描画制御画像データＤ４２を作成するための補正値のデータを作成する。
【００８４】
（ステップＳ３３〜ステップＳ４１）
第４の標準位置と第４の描画制御画像データＤ４２に対して、ステップＳ３３〜ステップＳ４１において、ステップＳ２３〜ステップＳ３１と同様な処理を行って、配線基板２０の表裏面の銅箔上の感光性レジストに配線パターン２２のイメージを描画する。
【００８５】
（ステップＳ４２）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１から伸縮を補正した第５の描画制御画像データＤ４２を作成する。ここで、図３及び図４（ａ）で網点マークで示した円形の第１の伸縮限界円Ａ２１の中心位置をアライメントターゲット２３の第１の標準位置とする。そして、図３（ｂ）で円形の破線で示し、図４（ｅ）の網点マークで示した円形の第５の伸縮限界円Ａ２５と、その中心位置（第５の標準位置）を計算し、その第５の標準位置を基準位置にする。レーザダイレクト露光システム１０は、４箇所のアライメントターゲット２３の第１の標準位置を、４箇所のアライメントターゲット２３の第５の標準位置（基準位置）に合わせるように配線パターン２２を伸縮させて第５の描画制御画像データＤ４２を作成するための補正値のデータを作成する。
【００８６】
（ステップＳ４３〜ステップＳ５１）
第５の標準位置と第５の描画制御画像データＤ４２に対して、ステップＳ４３〜ステップＳ５１において、ステップＳ２３〜ステップＳ３１と同様な処理を行って、配線基板２０の表裏面の銅箔上の感光性レジストに配線パターン２２のイメージを描画する。
【００８７】
（ステップＳ５２）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１から伸縮を補正した第６の描画制御画像データＤ４２を作成する。ここで、図３及び図４（ａ）で網点マークで示した円形の第１の伸縮限界円Ａ２１の中心位置をアライメントターゲット２３の第１の標準位置とする。そして、図３（ｂ）で円形の破線で示し、図４（ｆ）の網点マークで示した円形の第６の伸縮限界円Ａ２６と、その中心位置（第６の標準位置）を計算し、その第６の標準位置を基準位置にする。レーザダイレクト露光システム１０は、４箇所のアライメントターゲット２３の第１の標準位置を、４箇所のアライメントターゲット２３の第６の標準位置（基準位置）に合わせるように配線パターン２２を伸縮させて第６の描画制御画像データＤ４２を作成するための補正値のデータを作成する。
【００８８】
（ステップＳ５３〜ステップＳ６１）
第６の標準位置と第６の描画制御画像データＤ４２に対して、ステップＳ５３〜ステップＳ６１において、ステップＳ２３〜ステップＳ３１と同様な処理を行って、配線基板２０の表裏面の銅箔上の感光性レジストに配線パターン２２のイメージを描画する。
【００８９】
（ステップＳ６２）
レーザダイレクト露光システム１０は、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１から伸縮を補正した第６の描画制御画像データＤ４２を作成する。ここで、図３及び図４（ａ）で網点マークで示した円形の第１の伸縮限界円Ａ２１の中心位置をアライメントターゲット２３の第１の標準位置とする。そして、図３（ｂ）で円形の破線で示し、図４（ｇ）の網点マークで示した円形の第７の伸縮限界円Ａ２７と、その中心位置（第７の標準位置）を計算し、その第７の標準位置を基準位置にする。レーザダイレクト露光システム１０は、４箇所のアライメントターゲット２３の第１の標準位置を、４箇所のアライメントターゲット２３の第７の標準位置（基準位置）に合わせるように配線パターン２２を伸縮させて第７の描画制御画像データＤ４２を作成するための補正値のデータを作成する。
【００９０】
（ステップＳ６３〜ステップＳ７１）
第７の標準位置と第７の描画制御画像データＤ４２に対して、ステップＳ６３〜ステップＳ７１において、ステップＳ２３〜ステップＳ３１と同様な処理を行って、配線基板２０の表裏面の銅箔上の感光性レジストに配線パターン２２のイメージを描画する。
【００９１】
そのうち、ステップＳ６４においては特に、アライメントターゲット２３の位置座標の、配線基板２０の表面のＣＡＭ画像データＤ４１内のアライメントターゲット２３の第７の標準位置からのずれ量が所定量を超える場合は、アラームと判定する。アラームの場合は、配線基板２０を寸法異常と判定して、その配線基板２０への描画を停止して配線基板２０を装置の外に吐き出す。
【００９２】
本実施形態により、レーザダイレクト露光システム１０が、配線基板２０の伸縮量を測定し、その伸縮量が複数の伸縮限界円の何れかに対応するかを計算して、その結果をＣＡＭシステム４０に通知する。それにより、ＣＡＭシステム４０が、配線基板２０の伸縮量の範囲を、伸縮限界円を単位にして、伸縮量がどの伸縮伸縮限界円の範囲内にあるかで、その伸縮限界円を区分領域として分類することで、配線基板２０の伸縮量を区分管理する。
【００９３】
そして、レーザダイレクト露光システム１０が、第１の伸縮限界円Ａ２１の範囲内にアラインメントターゲット２３の位置が含まれる場合は、伸縮を補正しない第１の描画制御画像データＤ４２を作成する。また、それ以外の場合で、第２の伸縮限界円Ａ２２から第７の伸縮限界円Ａ２７の範囲内にアラインメントターゲット２３の位置が含まれる場合は、その伸縮限界円の中心位置を基準位置として、描画する配線パターン２２のイメージのアラインメントターゲット２３の位置をその基準位置に合わせるように伸縮を補正した描画制御画像データＤ４２を作成する。
【００９４】
このようにして、レーザダイレクト露光システム１０は、ＣＡＭシステム４０が、伸縮限界円で区分管理して、配線基板２０の伸縮量に合わせて作成したＣＡＭ画像データＤ４１をＣＡＭシステム４０から受信する。そして、レーザダイレクト露光システム１０が、位置測定手段１１を用いて配線基板２０のアライメントターゲット２３の位置を測定し、その測定データを演算することで配線基板２０の伸縮量を計算する。次に、その計算結果に基づいてＣＡＭ画像データＤ４１の伸縮を補正して描画制御画像データＤ４２に変換する。そして、その描画制御画像データＤ４２によって配線基板２０上の感光性レジストに配線パターン２２のイメージを描画する。また、レーザダイレクト露光システム１０は、計算して得た配線基板２０の伸縮量が複数の伸縮限界円のうち何れの伸縮限界円の範囲内にあるかを計算して、その結果をＣＡＭシステム４０に通知する。ＣＡＭシステム４０は、配線基板２０毎の伸縮量を、その伸縮量を範囲内に含む伸縮伸縮限界円を区分領域として区分管理する。
【００９５】
そして、ＣＡＭシステム４０が、その配線基板２０を以降の製造工程で製造装置５０が加工する際に、その製造装置５０が必要とするＣＡＭデータＤ４３を、区分管理により分類した伸縮伸縮限界円に合わせて伸縮補正して作成し、そうして適切に伸縮補正したＣＡＭデータＤ４３を配線基板２０の製造装置５０に供給する。
【００９６】
そのように区分管理するＣＡＭデータＤ４３は、例えば、後工程でレーザダイレクト露光システム１０に供給するＣＡＭ画像データや、配線基板２０の穴あけ位置データや、ソルダーレジスト印刷パターンのＣＡＭ画像データや、配線基板２０の外形加工用のデータがあり、その他、配線基板の伸縮によるデータの値に寸法補正を行う必要がある加工用のＣＡＭデータがある。また、印刷パターン用のフィルム等、製造に用いる製造補助具等も、この伸縮伸縮限界円で分類して区分管理して複数の製造用備品を準備して配線基板２０の製造に供する。
【００９７】
配線基板２０の伸縮量を区分管理する単位である伸縮限界円は、第１の伸縮限界円Ａ２１に対して相対的に第２の伸縮限界円Ａ２２から第７の伸縮限界円Ａ２７が定義されるように、第２から第７の伸縮限界円それぞれに対しても、その伸縮限界円に対する第２から第７の伸縮限界円が定義される。図１２に、配線基板２０の伸縮を区分管理する伸縮限界円の第１から第７の伸縮限界円以外の伸縮限界円の例を示す。例えば、第２の伸縮限界円Ａ２２に対して、第１に対する第２から第７の伸縮限界円と同様な相対関係にある伸縮限界円は、伸縮限界円Ａ２８、Ａ２１、Ａ２９、Ａ３０、Ａ２４、Ａ２５である。
【００９８】
このように伸縮限界円によって配線基板２０の伸縮の補正の単位を区分管理することで、配線基板２０のＸＹ方向の伸縮に応じて区分管理して作成するＣＡＭ画像データの数が適正な数に抑えられる。それにより、それらのＣＡＭデータＤ４３を管理する管理工数が適正化でき、配線基板２０の各工程での製造コストを増大させずに適正に区分管理が行える効果がある。
【００９９】
また、配線基板２０のＸＹ方向の伸縮量が大きく、アラインメントターゲット２３の位置の測定結果が描画可能な限界を規定する第１の伸縮限界円Ａ２１の範囲を越えてしまった場合でも、レーザダイレクト露光システム１０が、アラインメントターゲット２３の位置の測定結果が第２から第７の伸縮限界円の範囲内にあることを判定し、その伸縮限界円の位置に合わせて伸縮を補正した描画制御画像データＤ４２を作成して描画することができる。これにより、レーザダイレクト露光システム１０が、ＣＡＭシステム４０から送信されたＣＡＭ画像データＤ４１から伸縮補正した描画制御画像データＤ４２を作成して描画することができ、従来の問題点の、ＣＡＭシステム４０から送信されたＣＡＭ画像データＤ４１との不整合故にレーザダイレクト露光システム１０による描画が不可能になる不具合を無くすことができる効果がある。
【０１００】
なお、第１の伸縮限界円Ａ２１の周囲に配置する伸縮限界円の数は第２の伸縮限界円Ａ２２から第７の伸縮限界円Ａ２７までの６個に限定されない。すなわち、第１の伸縮限界円Ａ２１の周囲に配置する伸縮限界円が、第１の伸縮限界円Ａ２１の外側の領域を隙間無く覆って伸縮限界円が覆う範囲を拡大するならば、第１の伸縮限界円Ａ２１の周囲に配置する伸縮限界円の数は６個よりも少なくても良い。
【符号の説明】
【０１０１】
１０・・・レーザダイレクト露光システム
１１・・・位置測定手段
１２・・・制御部
１３・・・レーザー光源
２０・・・配線基板
２１・・・絶縁性基板
２２・・・配線パターン
２３・・・アライメントターゲット
２４・・・マイクロバイア
４０・・・ＣＡＭシステム
４１・・・記憶手段
５０・・・製造装置
Ａ２１・・・第１の伸縮限界円
Ａ２２・・・第２の伸縮限界円
Ａ２３・・・第３の伸縮限界円
Ａ２４・・・第４の伸縮限界円
Ａ２５・・・第５の伸縮限界円
Ａ２６・・・第６の伸縮限界円
Ａ２７・・・第７の伸縮限界円
Ａ４０・・・区分領域
Ｄ２３・・・位置データ
Ｄ４１・・・ＣＡＭ画像データ
Ｄ４２・・・描画制御画像データ
Ｄ４３・・・ＣＡＭデータ
Ｌ・・・レーザー光線
【図１】
0005974216.tif 000002
【図２】
0005974216.tif 000003
【図３】
0005974216.tif 000004
【図４】
0005974216.tif 000005
【図５】
0005974216.tif 000006
【図６】
0005974216.tif 000007
【図７】
0005974216.tif 000008
【図８】
0005974216.tif 000009
【図９】
0005974216.tif 000010
【図１０】
0005974216.tif 000011
【図１１】
0005974216.tif 000012
【図１２】
0005974216.tif 000013
【図１３】
0005974216.tif 000014