(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、前記Ｎｉを３８〜４８質量％、前記Ｃｏを１．０〜１５質量％、前記Ｓｉを１．２〜１０質量％含み、残部が前記ＦｅであるＦｅ−Ｎｉ系粒子を有し、前記Ｆｅ−Ｎｉ系粒子の平均粒子径が１μｍ超１０μｍ未満である、Ｆｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末。
【請求項２】
表面の一部または全部を絶縁材で被覆された前記Ｆｅ−Ｎｉ系粒子であって、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、前記Ｎｉを３８〜４８質量％、前記Ｃｏを１．０〜１５質量％、前記Ｓｉを１．２〜１０質量％含み、残部が前記ＦｅであるＦｅ−Ｎｉ系粒子を有し、平均粒子径が１μｍ超１０μｍ未満である前記Ｆｅ−Ｎｉ系粒子を含有する、圧粉体。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のＦｅ−Ｎｉ系粒子に、樹脂及び潤滑剤を混合し、加圧成形して得られる圧粉体を備える、圧粉磁心。
【請求項４】
請求項３に記載の圧粉磁心を含む磁性素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軟磁性合金粉末、圧粉体、チョークコイルや、インダクタ等に用いられる高性能な圧粉磁芯およびそれを用いた磁性素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インダクタンス素子等に備えられる磁芯の一種として、圧粉磁芯が一般に用いられている。この圧粉磁芯の材料としては、軟磁性材料であるＦｅ系軟磁性金属粉が多く用いられている。Ｆｅ系軟磁性金属粉は材料自体の電気抵抗が低いため、粒体間の絶縁性を高めても、磁芯損失（コアロス）が比較的高くなる。近年、インダクタンス素子等の小型化の要求に伴い、圧粉磁芯には電気抵抗を高くして、磁芯損失を小さくすることが望まれている。そのため、上述のような従来の軟磁性材料は更なる改良が求められている。そこで、Ｆｅ系軟磁性金属粉の電気抵抗を高くするために、Ｓｉを金属粉に添加する手法が提案されている。ところが、Ｓｉの添加によりＦｅ系軟磁性金属粉は硬度が高くなるため、圧粉磁芯としての成形性が不十分となり、実用に沿わない。
【０００３】
Ｆｅ系軟磁性金属粉以外の圧粉磁芯の材料として、Ｆｅ−Ｎｉ系軟磁性合金（いわゆるパーマロイ合金）粉も多く採用されている。ところが、Ｆｅ−Ｎｉ系軟磁性合金粉は、高周波における磁芯損失の抑制が不十分である。そこで、Ｆｅ−Ｎｉ系軟磁性合金粉の磁芯損失の低減を意図して、１４族元素であるＳｉ、ＧｅあるいはＳｎを添加する手段が提案されている（特許文献１参照）。特許文献１によると、Ｆｅ−Ｎｉ系軟磁性合金粉にＳｉ等の１４族元素を所定量添加することにより、材料自体の電気抵抗が増大する。
【０００４】
また、同じくパーマロイ合金にＳｉを添加したものとして、特許文献２に開示されたものが挙げられる。特許文献２によると、脱酸成分としてＳｉを添加することで、酸素による磁気特性への影響を低減できる。ところが、特許文献２には、Ｓｉの過剰添加は軟磁気特性に対して有害であるため、Ｓｉは１ｗｔ％以下に限定すると述べられている。また、この特許文献２には、磁束密度等を向上させるためにＣｏをパーマロイ合金に添加してもよい旨が記載されている。
【０００５】
なお、特許文献３にはＰＣパーマロイ合金に添加元素としてＣｒ、Ｓｉ、Ｃｕ、Ｃｏを用いる旨が開示されているものの、その添加量について一切記載されていない。
【０００６】
特許文献４には特許文献１、２に記載のＦｅ−Ｎｉ系軟磁性合金粉についての問題を改善した、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、Ｃｏを１〜６質量％、かつＳｉを１．２〜４．５質量％含んだＦｅ−Ｎｉ系合金粉末が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−２３８１１号公報
【特許文献２】特開２００２−１７３７４５号公報
【特許文献３】特開昭６３−１１４１０８号公報
【特許文献４】特開２００８−１３５６７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１で提案されているように、Ｆｅ−Ｎｉ系軟磁性合金粉にＳｉのみを所定量添加すると、キュリー温度（Ｔｃ）及び飽和磁束密度（Ｂｓ）が著しく低下し、そのような軟磁性材料は、圧粉磁芯としてインダクタンス素子等に用いても、素子の実効的な動作温度での磁気特性が低下するため、実用にはまだ不十分である。特許文献２に開示されたパーマロイ合金は、磁芯損失の抑制が不十分であるため、更なる改善の余地がある。特許文献４には、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、Ｃｏを１〜１２質量％、かつＳｉを１．２〜６．５質量％含んだＦｅ−Ｎｉ系合金粉末により特許文献１、２に記載のＦｅ−Ｎｉ系軟磁性合金についての問題点を改善できる旨が記載されている。しかしながら、近年、電子機器の小型化、電源の高周波化が進展し、これにともない、数ＭＨｚ程度の高周波域で優れたインダクタ素子が要求されている。本発明者らが、上記特許文献に記載の従来のＦｅ−Ｎｉ系軟磁性合金粉について詳細に検討を行った結果、数ＭＨｚ程度の高周波域において使用される用途においては、十分な特性が得られないことがわかった。また、圧粉磁心は腐食により磁気特性の低下を招くため、高い耐食性が必要とされる。
【０００９】
そこで、本発明はかかる実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、数ＭＨｚ程度の高周波域においても低損失、高透磁率であり、かつ耐食性が高く、生産性及び経済性に優れる圧粉磁心の作製に適したＦｅ−Ｎｉ合金粉末及びそれを用いた圧粉磁芯を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、前記Ｎｉを３８〜４８質量％、前記Ｃｏを１．０〜１５質量％、前記Ｓｉを１．２〜１０質量％含み、残部が前記ＦｅであるＦｅ−Ｎｉ系粒子を有し、前記Ｆｅ−Ｎｉ系粒子の平均粒子径が１μｍ超１０μｍ未満である、Ｆｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末を用いた場合に、前記軟磁性合金粉末から成る圧粉体の数ＭＨｚ域の高周波特性が、特に優れ、高い耐食性が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１１】
本発明によると、合金組成および平均粒子径が上記のように制御されたＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末を用いることにより、数ＭＨｚ程度の高周波域においてヒステリシス損失及び渦電流損失が低く、透磁率が高い圧粉体を備える、圧粉磁心が得られる。
【００１２】
本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子含有する軟磁性合金粉末におけるＳｉの組成比は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、１．２〜１０質量％である。Ｓｉの組成比が上記範囲より小さいと、圧粉磁心の損失が大きくなり、耐食性が低くなる。Ｓｉの組成比が上記範囲より大きいと、圧粉磁心の透磁率が低くなる。
本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系合金粉末におけるＣｏの組成比は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、１．０〜１５質量％である。Ｃｏの組成比が上記範囲より小さいと、圧粉磁心の透磁率が低くなり、Ｃｏの組成比が上記範囲より大きいと、圧粉磁心の損失が大きくなる。
【００１３】
本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子におけるＮｉの組成比は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、前記Ｎｉが３８〜４８質量％である。Ｎｉの組成比が上記範囲より小さいと、圧粉磁心の損失が大きくなり、Ｎｉの組成比が上記範囲より大きいと、圧粉磁心の透磁率が低くなる。
【００１４】
本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子は、平均粒子径が１μｍ超１０μｍ未満である。平均粒子径が上記範囲より小さいと、圧粉磁心の損失が大きくなり、透磁率が低くなり、耐食性が悪化する。平均粒子径が上記範囲より大きいと、圧粉磁心の損失が大きくなる。
【００１５】
本発明は、表面の一部または全部を絶縁材で被覆された前記Ｆｅ−Ｎｉ系粒子であって、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、前記Ｎｉを３８〜４８質量％、前記Ｃｏを１．０〜１５質量％、前記Ｓｉを１．２〜１０質量％含み、残部が前記ＦｅであるＦｅ−Ｎｉ系粒子を有し、平均粒子径が１μｍ超１０μｍ未満である前記Ｆｅ−Ｎｉ系粒子を含有する、圧粉体を提供する。この圧粉体は、上述の本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有するため、数ＭＨｚ程度の高周波動作においても磁芯損失が十分に低減され、しかも、十分な透磁率を示し、高い耐食性が得られる。
【００１６】
本発明は、前記Ｆｅ−Ｎｉ系粒子に、樹脂及び潤滑剤を混合し、加圧成形して得られる圧粉体を備える、圧粉磁心を提供する。さらに圧粉磁心を含む磁性素子を提供する。本発明の圧粉磁心および磁性素子は、上述の本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有するため、数ＭＨｚ程度の高周波動作においても磁芯損失が十分に低減される。また、素子内のスペースを極力小さくすることができるため、更なる小型化の要求に応えることが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明により、数ＭＨｚ程度の高周波域においても低損失かつ高透磁率であり、しかも、耐食性や生産性及び経済性等にも優れる、Ｆｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末、並びにその粉末を含有する圧粉体、さらにはその圧粉体を用いた磁性素子を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係るインダクタンス素子を示す模式斜視図である。
【図２】本発明に係る実施例１、および比較例８の圧粉磁心におけるコアロスの周波数依存性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一要素には同一符号を付すこととし、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。更に、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。
【００２０】
図１は、本発明の好適な実施形態に係るインダクタンス素子を示す模式斜視図である。
インダクタンス素子１００は、図１に示すように各面が互いに直角に連続する六面体状をなして一体成形されたコア１１０と、このコア１１０に埋設され、両端部のみが露出されているコイル１２０とを備えている。
【００２１】
コイル１２０は断面が長方形の扁平状の平角金属線を、その長方形の一短辺が中心側を向くように螺旋状に巻回されてなる。コイル１２０の両端部は巻回された部分から引き出されている。また、コイル１２０は、その外周を絶縁層で被覆されている。コイル１２０の両端部はコア１１０の互いに平行な２つの側面の高さ方向中間部から外に突出している。これらの両端部は、巻回された部分から、まずコア１１０の上記側面に沿うように折り曲げられ、更に先端の部分でコア１１０の裏面に沿うように折り曲げられている。コイル１２０の両端部は端子として機能するため、上記絶縁層で被覆されていない。
【００２２】
コイル１２０及びそれを被覆する絶縁層の材料は、従来のインダクタンス素子の対応するコイル及び絶縁層の材料として用いられているものであれば、特に限定されない。
【００２３】
このインダクタンス素子１００のコア１１０は、本発明に係る圧粉体からなるものである。コア１１０は、図示しない加圧成形装置であるプレス機械の金型（成形型）を用いて加圧成形された圧粉体（加圧成形体）である。コイル１２０は、コア１１０の成形前に金型内に位置決めして配置され、コア１１０の加圧成形に伴って一体にコア１１０内に埋設されたものである。
【００２４】
コア１１０は、本発明のＦｅ−Ｎｉ系粒子に絶縁材を添加、混合し、しかる後、所定の条件で加圧することにより作製される。そのために、コア１１０において、Ｆｅ−Ｎｉ系粒子は絶縁材で被覆されてなる。また、絶縁材を添加したＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末を乾燥した後、さらに乾燥後のＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性粉末に潤滑剤を添加し混合することが好ましい。
【００２５】
本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末におけるＮｉの組成比は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、前記Ｎｉが３８〜４８質量％である。Ｎｉの含有量が３８質量％を下回ると、３８〜４８質量％の範囲内にある場合と比較して、軟磁性合金粉末の電気抵抗率の減少や保磁力の増加により、圧粉磁心のコアロスが大きくなる。また、Ｎｉの含有量が４８質量％を超えると、３８〜４８質量％の範囲内にある場合と比較して、合金粉末の飽和磁化が低下し、圧粉磁心の透磁率が小さくなる。Ｎｉの含有量はＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計物質量に対して、４０〜４６質量％であると好ましく、４２〜４４質量％であるとより好ましい。これにより、高周波における圧粉磁心の損失および透磁率を一層向上させることが可能となる。
【００２６】
Ｃｏの含有量は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して１．０〜１５質量％、である。Ｃｏの含有量が１．０質量％未満であると、１．０〜１５質量％の範囲内にある場合と比較して、圧粉磁心の透磁率が小さくなる。一方、Ｃｏの含有量が１５質量％を上回ると、軟磁性合金粉末の保磁力が増加し、圧粉磁心のヒステリシス損失が大きくなる。また、コストが増加し、実用的な圧粉磁芯として適さなくなる。同様の観点から、Ｃｏの含有量は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計物質量に対して６．０〜１０質量％であると好ましい。
【００２７】
Ｓｉの含有量は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して１．２〜１０質量％である。Ｓｉの含有量が１．２質量％を下回ると、１．２〜１０質量％の範囲内にある場合と比較して、磁心損失が大きくなり、耐食性が低くなる。一方、Ｓｉの含有量が１０質量％を超えると、１．２〜１０質量％の範囲内にある場合と比較して、圧粉磁心を高密度化しにくくなり、透磁率が低下してしまう。同様の観点から、Ｓｉの含有量は、１．２〜９．６質量％であると好ましい。
【００２８】
本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子は不可避的不純物が含まれていてもよい。
【００２９】
本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子の粒子形状に特に制限はないが、高磁界域まで透磁率を維持する観点から、球状又は楕円体状とすることが好ましい。これらの中では、圧粉磁芯の強度をより大きくする観点から、楕円体状が望ましい。
【００３０】
本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末は、単一の粒子からなるもの、或いは、複数の粒子が凝集或いは結合したもの、又は、これらの混合物のいずれであっても構わない。
【００３１】
本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子は、公知の軟磁性合金粉末の製造方法と同様の方法により得ることができる。この際、ガスアトマイズ法、水アトマイズ法、回転ディスク法等を用いて調製することができる。これらの中で所望の磁気特性および粉体特性を有する軟磁性合金粉末を作製しやすくするため、水アトマイズ法が好ましい。
【００３２】
本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子は、絶縁材によってその表面の一部又は全部がコーティングされる。絶縁材としては、例えば各種有機高分子樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂及び水ガラス等が挙げられる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いられる。また、これらの材料を成形助剤などの無機材料と組み合わせて使用してもよい。前記絶縁材は、エポキシ樹脂またはフェノール樹脂のいずれか一種を含有する樹脂であることが好ましい。それらの絶縁材を用いることにより一層低損失かつ高透磁率な圧粉磁心を得ることができる。
【００３３】
本発明に係るＦｅ−Ｎｉ系粒子は、１μｍ超１０μｍ未満である。平均粒子径が１μｍ以下である場合、バインダー樹脂を各粒子表面に均一に分散させることが困難となり、渦電流損失が増加する傾向にある。同時に、圧粉磁心の成形体密度が低くなり、高透磁率な圧粉磁心が得にくくなる。平均粒径が１０μｍ以上の場合、圧粉磁心の渦電流損失が大きくなる。合金粉末の平均粒子径は、好ましくは２μｍ超８μｍ未満であり、より好ましくは３μｍ超６μｍ未満μｍである。なお、ここでいう平均粒子径とは、特に断りがない限り、レーザー回折式粒度分布計により得られる値である。
【００３４】
本発明の磁性素子は、本発明の圧粉磁心を用いる他は、従来公知の製造方法によって製造することができる。
【００３５】
コア１１０を構成するＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末は、絶縁材によってその表面の一部又は全部がコーティングされる。絶縁材は、必要とされる磁芯の特性に応じて適宜選択される。絶縁材としては、例えば各種有機高分子樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂及び水ガラス等が挙げられる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いられる。また、これらの材料を成形助剤などの無機材料と組み合わせて使用してもよい。必要とされる圧粉磁芯の特性に応じて絶縁材の添加量は異なるが、例えば、コア１１０の質量に対して１〜１０質量％程度添加することができる。絶縁材の添加量が１０質量％を超えると透磁率が低下し、損失が大きくなる傾向にある。一方、絶縁材の添加量が１質量％未満の場合には、絶縁を確保し難くなる傾向にある。絶縁材のより好ましい添加量は、コア１１０の質量に対して２．５〜５質量％である。
【００３６】
潤滑剤は、その添加量をコア１１０の質量に対して０．１〜１質量％程度とすることができ、望ましい潤滑剤の添加量はコア１１０の質量に対して０．２〜０．８質量％、さらに望ましい潤滑剤の添加量は０．３〜０．８質量％である。潤滑剤の添加量が０．１質量％未満の場合には、成形後の脱型が困難となり、成形クラックが生じやすい傾向にある。一方、潤滑剤の添加量が１質量％を超えると、成形密度の低下を招き、透磁率が減少してしまう。潤滑剤としては、例えば、ステアリン酸アルミニウム、ステアリン酸バリウム、ステアリン酸マグネシウム、ステアリン酸カルシウム、ステアリン酸亜鉛及びステアリン酸ストロンチウム等が挙げられる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いられる。これらの中では、いわゆるスプリングバックが小さいという観点から、潤滑剤としてステアリン酸アルミニウムを用いることが好ましい。
【００３７】
また、Ｆｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末には更に架橋剤を添加してもよい。架橋剤を添加することにより、コア１１０の磁気特性を劣化させることなく、機械的強度を増大させることができる。架橋剤の好ましい添加量は、絶縁材１００質量部に対して１０〜４０質量部である。架橋剤としては、有機チタン系のものを用いることができる。
【００３８】
インダクタンス素子１００は、コア１１０の材料として本発明のＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末を用いる他は、従来公知の製造方法によって製造することができる。例えば、インダクタンス素子１００は、軟磁性合金粉末準備工程と、絶縁材被覆工程と、成形工程と、熱処理工程とを経て製造されてもよい。まず、軟磁性合金粉末準備工程では、上述のＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末を準備する。
【００３９】
次に、絶縁材被覆工程において、まず所定量の軟磁性合金粉末と絶縁材を混合する。架橋剤を添加する場合には、軟磁性合金粉末と絶縁材と架橋剤を混合する。混合は加圧ニーダ等を用い、好ましくは室温で２０〜６０分間混合する。得られた混合物を、好ましくは１００〜３００℃程度で２０〜６０分間乾燥する。次いで、乾燥した混合物を解砕し、絶縁材で被覆した軟磁性合金粉末を得る。続いてその軟磁性合金粉末に、必要に応じて潤滑剤を添加する。潤滑剤を添加した後、１０〜４０分間混合することが望ましい。
【００４０】
次に、成形工程において、プレス機械の金型内の所定位置にコイル１２０を配置すると共に、このコイル１２０が埋まるように、絶縁材で被覆した軟磁性合金粉末からなる磁性粉末を金型内に充填する。次いで、磁性粉末を加圧して圧縮成形を施すことにより成形体を得る。圧縮成形における成形条件は特に限定されず、軟磁性合金粉末の形状及び寸法や、圧粉磁芯の形状、寸法及び密度などに応じて適宜決定すればよい。例えば、通常、最大圧力は１００〜１０００ＭＰａ程度、好ましくは１００〜６００ＭＰａ程度とし、最大圧力に保持する時間は０．１秒間〜１分間程度とする。成形圧力が低すぎると、十分な特性及び機械的強度が得られにくい。一方、成形圧力が高すぎると、コイル１２０がショートしやすくなる。
【００４１】
次いで、熱処理工程において、上述のようにして得られた成形体を、例えば１５０〜３００℃の下で１５〜４５分間保持する。これにより、成形体中に含まれる絶縁体としての樹脂が硬化し、圧粉磁芯（圧粉体）であるコア１１０及びコイル１２０からなるインダクタンス素子１００が得られる。
【００４２】
なお、必要に応じて、熱処理工程の後に、インダクタンス素子１００に防錆処理を施す防錆処理工程を経てもよい。防錆処理は、例えばエポキシ樹脂等を、上述のようにして得られたインダクタンス素子１００にスプレーコートすることによって行う。スプレーコートによる膜厚は、１５μｍ程度である。防錆処理を施した後、１２０〜２００℃で１５〜４５分間熱処理を行うことが望ましい。
【００４３】
以上説明した本実施形態によると、コア１１０は上記所定量のＳｉおよびＣｏを含有するＦｅ−Ｎｉ系粒子を主成分としている。このため、特に数ＭＨｚ程度の高周波領域におけるコア１１０の磁芯損失を十分に低減することができる。また、Ｆｅ−Ｎｉ系粒子がＳｉを所定量含有することは、コア１１０の軟磁気特性の促進及び維持、耐食性の向上にも有効である。更に、コア１１０は、Ｆｅ−Ｎｉ系粒子にＳｉを含めているにも関わらず、その硬度が低く維持されており、これを主因としてコアとしての成形性を良好なものとしている。
【００４４】
また、コア１１０は、Ｆｅ−Ｎｉ系粒子がＳｉおよびＣｏを所定量含有することを主因として透磁率を高めることができる。したがって、コア１１０は優れた軟磁気特性を備えている。
【００４５】
そして、上述の特性を有したコア１１０を備えるインダクタンス素子１００は、数ＭＨｚ程度の高周波動作において十分な低損失及び高インダクタンス密度を有することができる。このようなインダクタンス素子１００は、従来よりも更なる小型化を実現でき、例えば携帯電話等の数ＭＨｚ程度の高周波で動作する電子機器や電源部、電子回路、基板、チップセットなど各種部材に実装すると、その利点を有効に発揮することができる。
【００４６】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。例えば、本発明の別の実施形態において、本発明に係る圧粉磁芯を備えた素子はインダクタンス素子に限定されず、各種トランス、磁気シールド材であってもよい。これらの素子の場合、圧粉磁芯における磁性材料として、本発明の軟磁性合金粉末を用いる他は、公知の態様であればよい。
【００４７】
また、本発明のインダクタンス素子において、コイルが圧粉磁芯に埋設されていなくてもよい。そのようなインダクタンス素子は、例えば、圧粉磁芯が、例えば円柱状のコア部（中脚）と、そのコア部の外周側に空間を隔てて設けられたポット部（外脚）と、コア部とポット部とを連接した連接部とを有しており、コイルがコア部の外周に巻回されてなるものであってもよい。
【００４８】
さらには、本発明のインダクタンス素子は、本発明の圧粉磁芯を用いたものであれば、上述のようなコイルが巻回されてなる、いわゆる巻き線型のものに限定されない。例えば、本発明のインダクタンス素子は、巻き線型のコイルに代えて、印刷された導体パターンをビアで接続した、いわゆる積層型のインダクタンス素子であってもよい。あるいは、本発明のインダクタンス素子は、巻き線型のコイルに代えて、平面渦巻き状の導体を備えてなる、いわゆる薄膜型のインダクタンス素子であってもよい。
【実施例】
【００４９】
以下、実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の実施例において、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの含有量はＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量を基準とする。
【００５０】
［軟磁性合金粉末の調製］
まず、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ単体、Ｎｉ単体、Ｃｏ単体及びＳｉ単体のインゴット、チャンク（塊）、又はショット（粒子）を準備した。次にそれらを、表１、に示す組成となるよう混合して、水アトマイズ装置内に配置されたルツボに収容した。次いで、不活性雰囲気中、ルツボ外部に設けたワークコイルを用いて、ルツボを高周波誘導により１５００℃以上まで加熱し、ルツボ中のインゴット、チャンク又はショットを溶融、混合して融液を得た。
【００５１】
次いで、ルツボに設けられたノズルから、ルツボ内の融液を噴出すると同時に、噴出した融液に高圧（５０ＭＰａ）水流を衝突させて急冷することにより、Ｆｅ−Ｎｉ系粒子からなる軟磁性合金粉末を作製した。また、平均粒径はレーザー回折式粒度測定装置・ＨＥＬＯＳシステム（ＪＥＯＬ社製）により測定した数値である。
【００５２】
［圧粉磁芯の作製］
軟磁性合金粉末に対し、絶縁材としてエポキシ樹脂（Ｎ−６９５、大日本インキ社製）と硬化剤を合金粉末質量に対して３．０質量％添加し、加圧ニーダにより室温で３０分間混練した。次いで、混練物を大気中において自然乾燥させ、潤滑剤としてステアリン酸亜鉛をそれらの全体量に対して０．１質量％添加し、Ｖミキサーにより１０分間混合した。続いて、得られた混合物の成形を行い、外径：１１ｍｍ、内径：６．５ｍｍ、厚さ：２．５ｍｍの圧粉磁芯を作製した。なお、成形圧は６００ＭＰａとした。加圧後の成形体を１８０℃で６０分間熱処理することにより、バインダー樹脂を硬化させて、圧粉磁心を得た。
【００５３】
［評価方法］
（１）合金粉末中のＦｅ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｃｏ量の測定
ＸＲＦ（ＲＩＧＡＫＵ社製、装置名「ＺＸＳ−１００Ｅ」により測定した。結果を表１に示す。
（２）合金粉末の平均粒子径
平均粒子径はレーザー回折式粒度測定装置・ＨＥＬＯＳシステム（ＪＥＯＬ社製）により測定した。結果を表１に示す。
（３）磁心損失測定
得られた圧粉磁芯について、ＢＨアナライザ（ＳＹ−８２１８、岩通製）を用いて、最大磁束密度Ｂｍ  ＝１０ｍＴの条件で、磁芯損失（Ｐｃｖ）を測定した。１０ＭＨｚにおける磁心損失を表１に示す。
（４）磁心透磁率測定
得られた圧粉磁芯について、ＬＣＲメーター（４２８５Ａ、ＨＥＷＬＥＴＴ  ＰＡＣＫＡＲＤ製）を用いて、初透磁率（μ）を測定した。８ｋＡ／ｍの直流磁場下、１０ＭＨｚでの結果を表１に示す。
（５）耐食性試験
得られた圧粉磁芯について、常温常圧下で塩化ナトリウム５質量％水溶液中に浸し、錆の発生時間を評価した。実施例と比較例の耐食性試験結果を表２に示す。
【００５４】
各実施例及び各比較例の結果を表１、表２に示す。
【表１】
0005974803.tif 000002
【表２】
0005974803.tif 000003
【００５５】
表１から明らかなように、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、前記Ｎｉを３８〜４８質量％、前記Ｃｏを１．０〜１５質量％、前記Ｓｉを１．２〜１０質量％含み、残部が前記Ｆｅで、平均粒子径が１μｍ超１０μｍ未満であるＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末から成る圧粉磁心において、低損失、高透磁率な圧粉磁心が得られる。
表２はＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、前記Ｎｉ、前記Ｃｏの含有量が同程度で、前記Ｓｉの含有量が異なる場合の、磁気特性および耐食性を示すものである。これらの結果から明らかなように、前記Ｓｉの含有量が１．２質量％以上の場合に高い耐食性が得られる。
従って、表１および表２から明らかなように、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、前記Ｎｉを３８〜４８質量％、前記Ｃｏを１．０〜１５質量％、前記Ｓｉを１．２〜１０質量％含み、残部が前記Ｆｅで、平均粒子径が１μｍ超１０μｍ未満あるＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末から成る圧粉磁心において低損失、高透磁率、かつ耐食性に優れる圧粉磁心が得られる。
【００５６】
比較例１〜１３から明らかなように、本発明に係る合金粉末の組成が、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＳｉの合計質量に対して、前記Ｎｉを３８〜４８質量％、前記Ｃｏを１．０〜１５質量％、前記Ｓｉを１．２〜１０質量％含み、残部が前記Ｆｅで、平均粒子径が１μｍ超１０μｍ未満以外のＦｅ−Ｎｉ系粒子では低損失かつ高透磁率な圧粉磁心が得られない。
【００５７】
実施例１および比較例８の圧粉磁心におけるコアロスの周波数依存性を図２に示す。実施例１の平均粒子径が１μｍ以上１０μｍ未満であるＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末を用いた圧粉磁心はコアロスの周波数依存性が小さく、周波数が高いほど比較例８のように、平均粒子径が１０μｍ以上のＦｅ−Ｎｉ系粒子を含有する軟磁性合金粉末を用いた圧粉磁心に対するコアロス比が小さくなることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明の圧粉磁心は、チョークコイル、インダクタ、各種トランス等の電磁気デバイスに用いられる磁心として幅広く且つ有効に利用可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１００    インダクタンス素子
１１０    コア
１２０    コイル
【図１】
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【図２】
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