(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、長尺の薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シートの製造方法において、
前記基材は、搬送方向に連通するとともに、表裏面に連通する孔が形成された繊維基材であり、
減圧手段により減圧された減圧室内に、前記シートと前記基材と搬送し、減圧状態で、前記シートの樹脂層と前記基材とを当接させて、積層体を構成する工程と、
前記減圧室から前記積層体を送り出す工程と、
前記積層体を一対のシート材により挟む工程と、
前記減圧室外部に位置し、前記積層体を挟んだ前記一対のシート材の内側の空間が、前記減圧室に連通しており、前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する工程とを含み、
前記減圧室には、前記基材が連続的に供給されるとともに、前記減圧室から前記基材が連続的に送出され、
前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記減圧室内に位置する前記基材内部の気体を前記減圧手段で吸引することで、前記一対のシート材の内側の前記基材内部の空間の気体が吸引され、
前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記減圧室外部において、前記樹脂層を前記基材内部に含浸させる積層シートの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、前記積層体を加熱する積層シートの製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の積層シートの製造方法において、
積層体を構成する前記工程では、前記基材と前記シートとを圧着し、前記シートの前記樹脂層を前記基材に含浸させる積層シートの製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
積層体を構成する前記工程では、
前記基材の表裏面に前記シートの前記樹脂層を重ね合わせるとともに、前記各樹脂層の搬送方向に沿った端部同士を圧着して、前記樹脂層間に前記基材を内包させる積層シートの製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の積層シートの製造方法において、
前記シート材は、前記シートの樹脂層の前記基材に当接する面と反対側の面に設けられ、前記樹脂層を支持する支持体であり、
前記シート材付きの前記シートを前記減圧室に供給し、前記シート材付きの前記シートの前記樹脂層を前記基材に当接させることで、積層体を構成する前記工程と、前記一対のシート材により前記積層体を挟む前記工程とを実施する積層シートの製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至３のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記一対のシート材の対向する内面間に空隙が形成され、前記空隙内を減圧することで、前記一対のシート材により前記シートと前記基材とを圧着する積層シートの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程後、前記一対のシート材は、前記積層体から剥離される積層シートの製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記積層体を挟んだ前記一対のシート材が大気圧以上の雰囲気下に位置する状態で、前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する積層シートの製造方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記積層体を搬送しながら、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する積層シートの製造方法。
【請求項１０】
樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、
前記シートと前記基材とが供給され、減圧手段により減圧される減圧室と、
前記減圧室内の前記シートと前記基材とを圧着して積層体を構成する圧着手段と、
前記減圧室から送出された積層体を、挟む２枚のシート材とを備え、
前記減圧室外部で前記積層体を前記２枚のシート材間に挟んだ状態において、該シート材間の空間が、前記減圧室に連通し、
前記減圧手段の作動により、前記減圧室を介して前記空間が減圧され、前記空間が減圧されることにより、前記減圧室外部で前記積層体を前記２枚のシート材により、押し潰して、前記シートと前記基材とを圧着し、前記積層シートを得るよう構成されていることを特徴とする積層シート製造装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の積層シート製造装置において、
前記各シート材は、一対のローラ間に無端状態で架け回されている積層シート製造装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の積層シート製造装置において、
前記一対のローラ間に配置され、前記シート材を搬送しつつ、該２枚のシート材の搬送方向と平行な縁部同士を密着させる複数の補助ローラを備える積層シート製造装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の積層シート製造装置において、
前記２枚のシート材の前記縁部同士を密着させる際に該縁部を加熱して軟化させる加熱手段を備える積層シート製造装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の積層シート製造装置において、
前記縁部同士の密着後、前記軟化した縁部を冷却する冷却手段を備える積層シート製造装置。
【請求項１５】
請求項１０乃至１４のいずれかに記載の積層シートの製造装置において、
前記基材を送出する一対の第１のローラと、
前記第１のローラから送出された前記基材が供給される一対の第２のローラと、
前記第１のローラの基材搬送方向下流側に配置されるとともに、前記第２のローラの基材搬送方向上流側に配置され、前記一対の第１のローラから送出された前記基材の表面側および裏面側にそれぞれ配置された第３のローラとを備え、
前記一対の第２のローラのうち一方は、前記シート材が無端状態で架け渡された前記一対のローラのうちの一方のローラであり、
前記一対の第２のローラのうち他方は、前記シート材が無端状態で架け渡された他の前記一対のローラのうちの一方のローラであり、
前記減圧手段は、
前記一対の第１のローラ、前記一対の第２のローラ、前記第３のローラとで囲まれた第二の空間内を減圧するものであり、
前記一対の第１のローラは、前記第二の空間内に前記基材を送出するローラであり、
前記基材の表面側または裏面側において、一方の前記第３のローラと一方の前記第２のローラとの間から、前記第二の空間内にむけて前記シートが送出され、
前記第２のローラは、前記基材と前記シートの前記樹脂層とを圧着するとともに、前記基材および前記シートを含む積層体を前記２枚のシート材間へ送り出すローラであり、
前記シート材間の前記空間は、前記第二の空間と連通している積層シートの製造装置。
【請求項１６】
請求項１０乃至１５のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
前記２枚のシート材は、それぞれ、高分子フィルムで構成されている積層シート製造装置。
【請求項１７】
搬送方向に連通するとともに表裏面に連通する孔が形成された多孔質基材と、樹脂層とが連続的に供給される減圧室と、
前記減圧室内を減圧する減圧手段と、
前記減圧室内に供給された前記多孔質基材と前記樹脂層とを圧着して、積層体を構成する圧着手段と、
前記減圧室外部に位置し、前記減圧室から連続的に送り出される前記積層体を加熱し、前記樹脂層を前記多孔質基材に含浸させる含浸手段とを備え、
前記圧着手段は、前記樹脂層を圧着した後の前記多孔質基材内部の孔が、前記減圧室内に位置し前記樹脂層が圧着される前の前記多孔質基材の孔に連通する程度に前記樹脂層と前記多孔質基材とを圧着するように構成されており、
当該製造装置は、前記減圧室内を前記減圧手段により減圧状態としながら、前記圧着手段によって得られた前記積層体を、前記含浸手段にて加熱するように構成された積層シートの製造装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の積層シートの製造装置において、
前記減圧室内には、前記多孔質基材と一対の樹脂層とが供給され、
前記圧着手段は、前記多孔質基材と、この多孔質基材を挟んで配置された前記一対の樹脂層とを圧着し、
前記多孔質基材の搬送方向と直交する方向の幅寸法は、前記各樹脂層の搬送方向と直交する方向の幅寸法よりも小さく、
前記圧着手段は、前記一対の前記樹脂層の幅方向の端部同士を圧着して、前記樹脂層間に前記基材を内包させる手段である積層シートの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層シートの製造方法および積層シート製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品・電子機器等を小型化・薄膜化すべく、これに用いられる回路基板等を
小型化・薄膜化することが要求されている。この要求に答えるために、多層構造の回路基
板を用い、その各層を薄くすることが行なわれている。
【０００３】
多層構造の回路基板には、例えば、繊維基材の両面に、樹脂組成物シート（樹脂層）を配置してラミネート接着させたシートが使用されている（たとえば特許文献１参照）。
このシートは、繊維基材の両面に、Ｂステージの樹脂組成物シートを重ね合わせ、この積層体を加圧することで、製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３４０９５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような製造方法では、樹脂層の繊維基材に対する圧着が不十分となる可能性があり、その結果、繊維基材から樹脂層が剥離するおそれがあった。
なお、このような課題は、繊維基材と樹脂層とを積層する場合のみならず、樹脂層同士を積層する場合、繊維基材を含むプリプレグ同士を積層する場合においても、生じている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、長尺の薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シートの製造方法において、前記基材は、搬送方向に連通するとともに、表裏面に連通する孔が形成された繊維基材であり、減圧手段により減圧された減圧室内に、前記シートと前記基材と搬送し、減圧状態で、前記シートの樹脂層と基材とを当接させて、積層体を構成する工程と、前記減圧室から前記積層体を送り出す工程と、前記積層体を一対のシート材により挟む工程と、前記減圧室外部に位置し、前記積層体を挟んだ前記一対のシート材の内側の空間が、前記減圧室に連通しており、前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する工程とを含み、前記減圧室には、前記基材が連続的に供給されるとともに、前記減圧室から前記基材が連続的に送出され、前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、前記減圧室内に位置する前記基材内部の気体を前記減圧手段で吸引することで、前記一対のシート材の内側の前記基材内部の空間の気体が吸引され、前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、前記減圧室外部において、前記樹脂層を前記基材内部に含浸させる積層シートの製造方法が提供される。
【０００７】
ここで、積層体を、減圧室から送り出した後、一対のシート材により、挟んでもよく、また、あらかじめシートにシート材を設けておき、シート材付きのシートを、減圧室に供給し、減圧室から、一対のシート材により挟まれた積層体を送出してもよい。
また、一対のシート材の内側の空間とは、一対のシート材で積層体を挟んだ際に、積層体とシート材との間や、対向するシート材内面間に隙間がある場合には、この隙間であってもよい。また、一対のシート材が積層体に密着しており、積層体とシート材との間や、対向するシート材内面間に隙間がない場合には、積層体内部の空間、たとえば、基材に形成された孔内の空間であってもよい。基材は、搬送方向に連通するとともに、表裏面に連通する孔が形成されているため、減圧室外に位置する積層体の基材内部の空間が、減圧室内の基材内部の空間を介して、減圧室と連通することとなる。
【０００８】
一対のシート材で積層体を挟んだ際の積層体とシート材との間や、対向するシート材内面間の隙間、一対のシート材が積層体に密着している場合における基材内部の孔内といった空隙のうち、いずれかの空隙内が前記減圧手段により減圧される。これにより、前記空隙内と一対のシート材の外部との差圧分で積層体を押圧することとなる。そのため、積層体において、樹脂層と基材とが強固に固定されることとなる。
さらに、本発明においては、減圧状態で基材とシートとを積層しているため、基材とシートとの間に空気が残存してしまうことも防止でき、樹脂層と基材との密着性を高め、これらを強固に固定することができる。
【０００９】
さらに、本発明によれば、上述した積層シートの製造方法に使用される製造装置も提供できる。
すなわち、本発明によれば、樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、前記シートと前記基材とが供給され、減圧手段により減圧される減圧室と、前記減圧室内の前記シートと前記基材とを圧着して積層体を構成する圧着手段と、前記減圧室から送出された積層体を、挟む２枚のシート材とを備え、前記減圧室外部で前記積層体を前記２枚のシート材間に挟んだ状態において、該シート材間の空間が、前記減圧室に連通し、前記減圧手段の作動により、前記減圧室を介して前記空間が減圧され、前記空間が減圧されることにより、前記減圧室外部で前記積層体を前記２枚のシート材により、押し潰して、前記シートと前記基材とを圧着し、前記積層シートを得るよう構成されていることを特徴とする積層シート製造装置も提供できる。
【００１０】
このような製造装置によれば、積層シートを製造する際に減圧手段を作動させることにより２枚のシート材間の空間を減圧し、この空間内にある積層体を２枚のシート材ごと押し潰すことができる。これにより、積層体は、その全面（全体）にわたって各シート材により均一に加圧され、樹脂層と基材とが確実に圧着、接合され、積層シートとなる。これにより、例えば樹脂層の厚さや組成によらず、当該樹脂層が基材に確実かつ強固に接合された積層シートを製造することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、樹脂層と基材とが強固に固定された積層シートの製造方法および積層シート製造装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の積層シート製造装置の実施形態を示す概略断面側面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ｃ］の拡大図である。
【図５】図１中のＤ−Ｄ線断面図である。
【図６】図１中のＤ−Ｄ線断面図である。
【図７】本発明の積層シートを示す断面図である。
【図８】図７に示す積層シートを用いて製造された基板を示す断面図である。
【図９】図８に示す基板を用いて製造された半導体装置を示す断面図である。
【図１０】本発明の第二実施形態にかかる製造装置を示す断面図である。
【図１１】樹脂層と繊維基材との積層体の長手方向と直交する方向の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同一符号を付し、その詳細な説明は重複しないように適宜省略される。
図１は、本発明の積層シート製造装置の実施形態を示す概略断面側面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１中のＢ−Ｂ線断面図、図４は、図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ｃ］の拡大図、図５および図６は、それぞれ、図１中のＤ−Ｄ線断面図、図７は、本発明の積層シートを示す断面図、図８は、図７に示す積層シートを用いて製造された基板を示す断面図、図９は、図８に示す基板を用いて製造された半導体装置を示す断面図である。なお、以下の説明では、図１〜図９中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」として説明する。また、図７〜図９は、厚さ方向（図中の上下方向）に大きく誇張して示してある。
【００１４】
図１に示す積層シート製造装置３０は、図７に示す構成の積層シート４０を製造する装置である。
【００１５】
<積層シート>
まず、積層シート４０について、図７を参照しつつ説明する。なお、積層シート４０をその長手方向の途中で所定の寸法に切断すると、プリプレグ１が得られる。
【００１６】
図７に示す積層シート４０は、その全体形状が帯状（長尺）をなし、薄板状（平板状）の繊維基材（基材）２と、繊維基材２の一方の面（上面）側に位置し、固形または半固形の第１の樹脂組成物で構成される第１の樹脂層（樹脂層）３と、繊維基材２の他方の面（下面）側に位置し、固形または半固形の第２の樹脂組成物で構成される第２の樹脂層（樹脂層）４とを有する。この積層シート４０は、所定の寸法に切断されて使用される。
なお、各樹脂層３，４はＢステージ状態である。
【００１７】
繊維基材２は、積層シート４０の機械的強度を向上する機能を有する。
この繊維基材２としては、例えば、ガラス織布、ガラス不織布等のガラス繊維基材、ポリアミド樹脂繊維、芳香族ポリアミド樹脂繊維や全芳香族ポリアミド樹脂繊維等を含むアラミド繊維等のポリアミド系樹脂繊維、ポリエステル樹脂繊維、芳香族ポリエステル樹脂繊維、全芳香族ポリエステル樹脂繊維等のポリエステル系樹脂繊維、ポリイミド樹脂繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール、フッ素樹脂繊維等を主成分とする織布または不織布で構成される合成繊維基材、クラフト紙、コットンリンター紙、リンターとクラフトパルプの混抄紙等を主成分とする紙繊維基材等の有機繊維基材等の繊維基材等が挙げられる。
なお、繊維基材は、上述した繊維のいずれか１種を使用してもよいし、２種以上を使用したものであってもよい。
【００１８】
これらの中でも、繊維基材２は、ガラス繊維基材であるのが好ましい。かかるガラス繊維基材を用いることにより、積層シート４０を切断して得られたプリプレグ１の機械的強度をより向上することができる。また、プリプレグ１の熱膨張係数を小さくすることもできるという効果もある。
【００１９】
このようなガラス繊維基材を構成するガラスとしては、例えば、Ｅガラス、Ｃガラス、Ａガラス、Ｓガラス、Ｄガラス、ＮＥガラス、Ｔガラス、Ｈガラス、石英ガラス等が挙げられる。これらの中でも、ガラスは、Ｓガラス、、石英ガラスまたは、Ｔガラスであるのが好ましい。これにより、ガラス繊維基材の熱膨張係数を比較的小さくすることができ、このため、積層シート４０をその熱膨張係数ができる限り小さいものとすることができる。
【００２０】
繊維基材２の平均厚さＴは、特に限定されないが、１５０μｍ以下であるのが好ましく、１００μｍ以下であるのがより好ましく、１０〜２５μｍ程度であるのがさらに好ましい。かかる厚さの繊維基材２を用いることにより、プリプレグ１（積層シート４０）の機械的強度を確保しつつ、その薄型化を図ることができる。さらには、プリプレグ１の加工性を向上することもできる。
【００２１】
この繊維基材２の一方の面側には、第１の樹脂層３が設けられ、また、他方の面側には、第２の樹脂層４が設けられている。また、第１の樹脂層３は、第１の樹脂組成物で構成され、一方、第２の樹脂層４は、第２の樹脂組成物で構成されている。第１の樹脂組成物と第２樹脂組成物とは同じ組成物であってもよく、異なるものであってもよい。本実施形態では同じ組成物とする。
【００２２】
図７に示すように、本実施形態では、繊維基材２の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物（第１の樹脂層３）が含浸され（以下この部分を「第１の含浸部３１」と言う）、繊維基材２の第１の樹脂組成物が含浸されていない残り部分に、第２の樹脂組成物（第２の樹脂層４）が含浸されている（以下この部分を「第２の含浸部４１」と言う）。これにより、第１の樹脂層３の一部である第１の含浸部３１と第２の樹脂層４の一部である第２の含浸部４１とが繊維基材２内に位置する。そして、繊維基材２内において、第１の含浸部３１（第１の樹脂層３の下面）と第２の含浸部４１（第２の樹脂層４の上面）とが接触している。換言すれば、第１の樹脂組成物が、繊維基材２の上面側から、繊維基材２に含浸され、第２の樹脂組成物が、繊維基材２の下面側から、繊維基材２に含浸され、これらの樹脂組成物で繊維基材２内の空隙が充填されている。
本実施形態では、第１の含浸部３１の厚みと、第２の含浸部４１の厚みは等しい。
【００２３】
さらに、第１の樹脂層３の第１の含浸部３１を除く部分（第１の非含浸部３２）の厚みと、第２の樹脂層４の第２の含浸部４１を除く部分（第２の非含浸部４２）の厚みとは等しい。第１の非含浸部３２の厚み、第２の非含浸部４２の厚みは、たとえば、２〜２０μｍである。なお、第１の含浸部３１の厚みと、第２の含浸部４１の厚みは異なっていてもよく、また、第１の非含浸部３２の厚みと、第２の非含浸部４２の厚みとが異なっていてもよい。なお、符号２０は、含浸部３１、３２間の境界を模式的に示すものである。
【００２４】
図１に示すように、第１の樹脂層３は、薄板状の第１の支持体（シート）５ａとして、積層シート製造装置３０に供給される。このシート５ａは、第１の樹脂層３と、この樹脂層３を支持する図示しない支持基材と、第１の樹脂層３を保護する保護シート５１とを備える。支持基材は、第１の樹脂層３を挟んで保護シート５１とは反対側に設けられている。したがって、図１では、図示しないが第二のローラ７２ａには、支持基材を介して第１の樹脂層３が接触している。
同様に、第２の樹脂層４は、薄板状の第２の支持体（シート）５ｂとして、積層シート製造装置３０に供給される。このシート５ｂは、第２の樹脂層４と、この樹脂層４を支持する図示しない支持基材と、第２の樹脂層４を保護する保護シート５１とを備える。支持基材は、第２の樹脂層４を挟んで保護シート５１とは反対側に設けられている。したがって、図１では、図示しないが第二のローラ７２ｂには、支持基材を介して第２の樹脂層４が接触している。
【００２５】
保護シート５１としては、例えば、樹脂フィルムが好ましい。樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、例えば、フッ素系樹脂、ポリイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエチレン等が挙げられる。そして、樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、これらの中でも、耐熱性に優れ、安価であることから、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンが好ましい。また、樹脂フィルムは、その樹脂フィルムの樹脂層側の面に剥離可能な処理が施されたものであることが好ましい。これにより、後述するように保護シート５１と樹脂層とを容易に分離することができる。
支持基材としては、保護シート５１と同様のものを使用することができる。
【００２６】
保護シート５１や支持基材の平均厚さは、特に限定されないが、８〜７０μｍ程度であるのが好ましく、１２〜４０μｍ程度であるのがより好ましい。
【００２７】
第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物は、次のような組成とするのが好ましい。
【００２８】
各樹脂組成物は、例えば、硬化性樹脂を含み、必要に応じて、硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）および無機充填材のうちの少なくとも１種を含んで構成される。
【００２９】
硬化性樹脂には、例えば、ユリア（尿素）樹脂、メラミン樹脂、マレイミド化合物、ポリウレタン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、ビスアリルナジイミド化合物、ビニルベンジル樹脂、ビニルベンジルエーテル樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、シアネート樹脂、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、嫌気硬化性樹脂などが挙げられる。これらの中でも、硬化性樹脂は、ガラス転移温度が２００℃以上になる組合せが好ましい。例えば、スピロ環含有、複素環式、トリメチロール型、ビフェニル型、ナフタレン型、アントラセン型、ノボラック型の２または３官能以上のエポキシ樹脂、シアネート樹脂（シアネート樹脂のプレポリマーを含む）、マレイミド化合物、ベンゾシクロブテン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂を用いるのが好ましい。
【００３０】
前記硬化性樹脂の中でも、熱硬化性樹脂を用いることにより、さらに、後述する基板１０（図８参照）を作製した後において、硬化後の樹脂層３、４中において架橋密度が増加するので、硬化後の樹脂層３、４（得られる基板）の耐熱性の向上を図ることができる。
【００３１】
特に、前記熱硬化性樹脂と充填材を併用することにより、プリプレグ１の熱膨張係数を小さくすること（以下、「低熱膨張化」と言うこともある）ができる。さらに、プリプレグ１の電気特性（低誘電率、低誘電正接）等の向上を図ることもできる。
【００３２】
前記エポキシ樹脂としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アリールアルキレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。
【００３３】
これらの中でも、エポキシ樹脂は、ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂であるのが好ましい。ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂を用いることにより、硬化後の樹脂層３、４（得られる基板）において、吸湿半田耐熱性（吸湿後の半田耐熱性）および難燃性を向上させることができる。ナフタレン型エポキシとしては、ＤＩＣ（株）製のＨＰ−４７００、ＨＰ−４７７０、ＨＰ−４０３２Ｄ、ＨＰ−５０００、ＨＰ-６０００、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられ、アリールアルキレン型エポキシ樹脂としては、日本化薬（株）製のＮＣ−３０００、ＮＣ−３０００Ｌ、ＮＣ−３０００−ＦＨ、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられる。アリールアルキレン型エポキシ樹脂とは、繰り返し単位中に芳香族基とメチレン等のアルキレン基の組合せが一つ以上含むエポキシ樹脂のことをいい、耐熱性、難燃性、および機械的強度が優れる。また、ハロゲンフリーの配線板に対応する上では、実質的にハロゲンを含まないエポキシ樹脂を用いることが好ましい。
【００３４】
前記シアネート樹脂は、例えば、ハロゲン化シアン化合物とフェノール類やナフトール類とを反応させ、必要に応じて加熱等の方法でプレポリマー化することにより得ることができる。また、このようにして調製された市販品を用いることもできる。
【００３５】
前記シアネート樹脂は、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂、及びナフトールアラルキル型シアネート樹脂等を挙げることができる。
【００３６】
また、前記シアネート樹脂は、分子内に２個以上のシアネート基（−Ｏ−ＣＮ）を有することが好ましい。例えば、２，２'−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、１，１'−ビス（４−シアナトフェニル）エタン、ビス（４−シアナト−３，５−ジメチルフェニル）メタン、１，３−ビス（４−シアナトフェニル−１−（１−メチルエチリデン））ベンゼン、ビス（４−シアナトフェニル）チオエーテル、ビス（４−シアナトフェニル）エーテル、１，１，１−トリス（４−シアナトフェニル）エタン、トリス（４−シアナトフェニル）ホスファイト、ビス（４−シアナトフェニル）スルホン、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）プロパン、１，３−、１，４−、１，６−、１，８−、２，６−又は２，７−ジシアナトナフタレン、１，３，６−トリシアナトナフタレン、４，４−ジシアナトビフェニル、及びフェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、ジシクロペンタジエン型等の多価フェノール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂、ナフトールアラルキル型の多価ナフトール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂等が挙げられる。これらの中で、フェノールノボラック型シアネート樹脂が難燃性、及び低熱膨張性に優れ、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、及びジシクロペンタジエン型シアネート樹脂が架橋密度の制御、及び耐湿信頼性に優れている。特に、フェノールノボラック型シアネート樹脂が低熱膨張性の点から好ましい。また、更に他のシアネート樹脂を１種類あるいは２種類以上併用したりすることもでき、特に限定されない。
【００３７】
前記シアネート樹脂は、単独で用いてもよいし、重量平均分子量の異なるシアネート樹脂を併用したり、前記シアネート樹脂とそのプレポリマーとを併用したりすることもできる。
【００３８】
これらシアネート樹脂を用いることにより、効果的に耐熱性、及び難燃性を発現させることができる。
【００３９】
また、前記硬化性樹脂は、２種以上を併用して用いることもできる。例えば、硬化性樹脂として前記エポキシ樹脂を用いる場合、より難燃性を向上させる上で、前記シアネート樹脂を併用することができ、また、より耐熱性を向上させる上で、前記マレイミド化合物を併用することができる。さらに、硬化性樹脂として、前記シアネート樹脂を用いる場合は、より耐熱性や難燃性などを向上させる上で、前記エポキシ樹脂を併用することができる。
【００４０】
硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物全体の５〜７０質量％であるのが好ましく、１０〜５０質量％であるのがより好ましい。硬化性樹脂の含有量が前記下限値未満であると、硬化性樹脂の種類等によっては、樹脂組成物のワニスの粘度が低くなりすぎ、プリプレグ１を形成するのが困難となる場合がある。一方、硬化性樹脂の含有量が前記上限値を超えると、他の成分の量が少なくなり過ぎるため、硬化性樹脂の種類等によっては、プリプレグ１の機械的強度が低下する場合がある。
【００４１】
また、樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。これにより、プリプレグ１を薄型化（例えば、厚さ３５μｍ以下）にしても、機械的強度に優れる基板１０を得ることができる。さらに、基板１０の低熱膨張化を向上することもできる。
【００４２】
無機充填材としては、例えば、タルク、アルミナ、ガラス、溶融シリカのようなシリカ、マイカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等を挙げることができる。また、無機充填材の使用目的に応じて、破砕状、球状のものが適宜選択される。これらの中でも、低熱膨張性に優れる観点からは、無機充填材は、シリカであるのが好ましく、溶融シリカ（特に球状溶融シリカ）であるのがより好ましい。
【００４３】
また、樹脂組成物は、以上に説明した成分のほか、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて他の成分を配合することができる。他の成分としては、例えば、オルベン、ベントン等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤又はレベリング剤、カップリング剤等の密着性付与剤、難燃剤、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック、アントラキノン類等の着色剤等を挙げることができる。
【００４４】
<第一実施形態>
<積層シート製造装置（積層シートの製造方法）>
次に、積層シート４０の製造に用いる積層シート製造装置３０について、図１〜図６を参照しつつ説明する。
【００４５】
はじめに、本実施形態の積層シート製造装置３０の概要について説明する。
積層シート製造装置３０は、
シートである支持体５ａ，５ｂと繊維基材２とが供給され、減圧手段８により減圧される減圧室（空間）７０と、減圧室７０内の支持体５ａ，５ｂと繊維基材２とを圧着して積層体４０'を構成する圧着手段（ローラ７２ａ，７２ｂ）と、減圧室７０から送出された積層体４０'を、挟む２枚のシート材９１ａ、９１ｂとを備える。
２枚のシート材９１ａ、９１ｂ間に積層体４０'を挟んだ状態において、該シート材９１ａ、９１ｂ間の空間９１３（図５参照）が、前記減圧室７０に連通している。前記減圧手段８の作動により、減圧室７０を介して前記空間９１３が減圧され、前記空間９１３が減圧されることにより、前記積層体４０'を前記２枚のシート材９１ａ、９１ｂにより、押し潰して、支持体５ａ，５ｂと繊維基材２とを圧着し、積層シート４０を得る。
ここで、繊維基材２、支持体５ａ，５ｂは長尺状であり、その長手方向に沿って連続的に搬送される。
【００４６】
次に、積層シート製造装置３０について詳細に説明する。
図１に示すように、積層シート製造装置３０は、ハウジング６と、ハウジング６内に収納された第１のローラ（送り出しローラ）７１ａ、７１ｂ、第２のローラ７２ａ、７２ｂおよび第３のローラ７３ａ、７３ｂと、第２のローラ７２ａ、７２ｂに従動する従動ローラ７７ａ、７７ｂと、第２のローラ７２ａと従動ローラ７７ａとに架け回されたシート材９１ａと、第２のローラ７２ｂと従動ローラ７７ｂとに架け回されたシート材９１ｂと、多数組の補助ローラ７８ａ、７８ｂと、シート材９１ａ、９１ｂを加熱する加熱手段９２と、シート材９１ａ、９１ｂを冷却する冷却手段９３と、ハウジング６内を減圧する減圧手段８とを備えている。以下、各部の構成について説明する。
【００４７】
図２に示すように、ハウジング６は、間隔をおいて互いに対向配置された一対の壁部６１を有する、例えば箱状をなすものである。壁部６１の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、鉄、ステンレス鋼、アルミニウム等の各種金属、またはこれらを含む合金が挙げられる。また、このような金属材料の他に、例えば、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン等のような樹脂材料も壁部６１の構成材料として用いることができる。
ここで、壁部６１は、平板状のものであることが好ましいが、これに限られるものではない。第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとで、シート搬送方向に沿った両端面が開口した筒状体が構成される。壁部６１は、この筒状体の前記開口を閉鎖するものであればよい。なお、一対の壁部６１は、各ローラ７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７２ｂ、７３ａ、７３ｂが架け渡されるものであることが特に好ましい。
【００４８】
ハウジング６の２つの壁部６１間には、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂと、従動ローラ７７ａ、７７ｂとがそれぞれ架設されている。これらのローラは、回転軸が互いに平行となっている。そして、これらのローラは、例えば、多数の歯車が配置された歯車機構（図示せず）を介してモータ（図示せず）と連結されている。そして、このモータが作動すると、その動力が歯車機構を介して伝達され、各ローラがそれぞれ回転することとなる。なお、これらのローラは、太さが異なること以外は同一の構成である。以下、第１のローラ７１ａの構成について代表的に説明するが、他のローラも同様の構造である。
【００４９】
図２に示すように、第１のローラ７１ａは、外形形状が円柱状をなし、その長手方向の
中間部に位置する本体部７４と、本体部７４の両端側にそれぞれ位置する軸７５とで構成
されている。各軸７５は、それぞれ、その外径が本体部７４の外径よりも縮径している。
【００５０】
この第１のローラ７１ａは、各軸７５がそれぞれ壁部６１に設置された軸受け（ベアリ
ング）７６に挿入されており、当該軸受け７６により回転可能に壁部６１に支持されている。
【００５１】
なお、第１のローラ７１ａは、図１、図２に示す構成では中実体のものであるが、これ
に限定されず、例えば、中空体のものであってもよい。
【００５２】
また、第１のローラ７１ａの構成材料としては、特に限定されず、例えば、壁部６１の
構成材料で挙げたような材料を用いることができる。この場合、第１のローラ７１ａの本
体部７４の外周面７４１には、外周面７４１が摩耗するのを防止する処理が施されていて
もよい。この処理としては、例えば、外周面７４１にＤＬＣ（Diamond Like Carbon）の
被膜を形成する方法が挙げられる。また、第１のローラ７１ａの構成材料としては、壁部
６１の構成材料で挙げたような材料の他に、例えば、ニトリルゴム、ブチルゴム、ウレタ
ンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料も用いることができる。
【００５３】
第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとは、水平方向に互いに平行に配置され、本
体部７４の外周面７４１同士が繊維基材２を介して、互いに当接し（圧接し）合っている（図２参照）。そして、第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとが回転すると、これらの間で繊維基材２を図１中の左側から右側へ搬送する、すなわち、シート材９１ａ、９１ｂ間に向かって送り出すことができる。これにより、シート状の繊維基材２が後述する空間７０内部に搬送されることとなる。
【００５４】
第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとは、第１のローラ７１ａ、７１ｂと異なる
位置、すなわち、第１のローラ７１ａ、７１ｂに対し繊維基材２の搬送方向前方（下流側）に配置されている。また、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとは、水平方向に互いに平行に配置され、本体部７４の外周面７４１同士が繊維基材２、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４を介して、互いに当接し（圧接し）合っている。そして、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとが回転すると、これらの間で繊維基材２に第１の樹脂層３と第２の樹脂層４とが重ね合わせられる。第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとで、繊維基材２、樹脂層３、４の積層体が厚さ方向に加圧されることとなるが、このとき、樹脂層３,４は、繊維基材２に含浸することが好ましい。ただし、繊維基材２内部が完全に樹脂層３,４で埋まってしまうことはない。第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂからは、繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の積層体（未接合体）４０'が送出される。
また、第２のローラ７２ａ、７２ｂを加熱ローラとすることで、繊維基材２に対して第１の樹脂層３と第２の樹脂層４とを含浸させやすくすることができる。
第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、積層体４０'は後述する空間７０外部に送り出される。
【００５５】
第３のローラ７３ａ、７３ｂは、繊維基材２を挟んで離間配置されている。第３のローラ７３ａは、繊維基材２の一方の面側（表面側）に配置された第１のローラ７１ａの繊維基材２の搬送方向下流側であり、繊維基材２の一方の面側（表面側）に配置された第２のローラ７２ａの積層体４０'の搬送方向上流側に配置されている。
第３のローラ７３ｂは、繊維基材２の他方の面側（裏面側）に配置された第１のローラ７１ｂの繊維基材２の搬送方向下流側であり、繊維基材２の他方の面側（裏面側）に配置された第２のローラ７２ｂの積層体４０'の搬送方向上流側に配置されている。
第３のローラ７３ａと第３のローラ７３ｂとは、互いに上下方向（鉛直方向）に離間し、水平方向には平行に対向配置されている。そして、第３のローラ７３ａが回転すると、第１の支持体５ａの第１の樹脂層３から保護シート５１を剥離する（巻き取る）ことができる（図１参照）。これと同様に、第３のローラ７３ｂが回転すると、第２の支持体５ｂの第２の樹脂層４から保護シート５１を剥離することができる（図１参照）。
【００５６】
さらに、第３のローラ７３ａは、その本体部７４の外周面７４１が、第１のローラ７１ａの本体部７４の外周面７４１と、第２のローラ７２ａの本体部７４の外周面７４１とにそれぞれ当接している。一方、第３のローラ７３ｂは、その本体部７４の外周面７４１が、第１のローラ７１ｂの本体部７４の外周面７４１と、第２のローラ７２ｂの本体部７４の外周面７４１とにそれぞれ当接している。このような配置により、積層シート製造装置３０では、ハウジング６の各壁部６１と、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとで囲まれた空間（小空間、減圧室）７０が形成される。空間７０は、減圧手段８の作動により減圧される（図３参照）。
【００５７】
図２に示すように、第１のローラ７１ａおよび７１ｂ（第２のローラ７２ａおよび７２ｂ、第３のローラ７３ａおよび７３ｂについても同様）のそれぞれの本体部７４の両端と、各壁部６１との間には、シール材６２が介在している。各シール材６２は、それぞれ、リング状の弾性体で構成され、壁部６１に形成されたリング状の凹部６１２に圧縮状態で挿入されている。これにより、空間７０の気密性が確実に維持され、よって、減圧手段８で空間７０を減圧した際、その減圧が迅速かつ確実に行なわれる。
【００５８】
シール材６２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、アクリルゴム、エチレン−プロピレンゴム、ヒドリンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料（特に加硫処理したもの）や、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。
【００５９】
図１に示すように、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとは、互いに本体部７４の外径（大きさ）が異なっている。本実施形態では、その大小関係は、（第３のローラ）<（第１のローラ）<（第２のローラ）となっている。また、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとの各ローラの大きさは任意であるが、例えばローラに可撓性を有するシート材を沿わせたときに当該シート材に皺が生じない程度に、できる限り小さいのが好ましい。具体的には、直径が７５〜３００ｍｍであるのが好ましく、１００〜２００ｍｍであるのがより好ましい。
【００６０】
また、第１のローラ７１ａと第２のローラ７２ａと第３のローラ７３ａとの中心同士を結んで形成された三角形を想定したとき、当該三角形の第３のローラ７３ａの中心を頂点とする角度は、６０°を超え、１８０°未満であるのが好ましい。これについては、第１のローラ７１ｂと第２のローラ７２ｂと第３のローラ７３ｂとの中心同士を結んで形成された三角形についても同様である。
【００６１】
図１に示すように、第２のローラ７２ａの図中の右側（積層体４０'の搬送方向下流側）には、従動ローラ７７ａが第２のローラ７２ａに対して離間して配置されている。また、第２のローラ７２ｂの図中の右側（積層体４０'の搬送方向下流側）には、従動ローラ７７ｂが第２のローラ７２ｂに対して離間して配置されている。従動ローラ７７ａ、７７ｂも、ハウジング６の２つの壁部６１間に架け渡されている。そして、これらの従動ローラ７７ａ、７７ｂは、回転軸が第２のローラ７２ａ、７２ｂの回転軸に対して、平行となるように、配置されている。従動ローラ７７ａ、７７ｂは、それぞれ、その本体部７４の外径が第２のローラ７２ａ、７２ｂと同じものである。
【００６２】
そして、第２のローラ７２ａと従動ローラ７７ａとには、可撓性を有するシート材９１ａが無端状態で、すなわち、ループ状に架け回されている。これにより、第２のローラ７２ａが回転すると、その回転力がシート材９１ａを介して従動ローラ７７ａに伝達され、当該従動ローラ７７ａも回転することとなる。また、その際、シート材９１ａがローラ回転方向に沿って、すなわち、図１中の反時計回りに搬送される。
【００６３】
これと同様に、第２のローラ７２ｂと従動ローラ７７ｂとには、可撓性を有するシート材９１ｂが無端状態で架け回されている。これにより、第２のローラ７２ｂが回転すると、その回転力がシート材９１ｂを介して従動ローラ７７ｂに伝達され、当該従動ローラ７７ｂも回転することとなる。また、その際、シート材９１ｂがローラ回転方向に沿って、すなわち、図１中の時計回りに搬送される。
シート材９１ａとシート材９１ｂとは、大気圧以上の雰囲気下（本実施形態では大気圧下）に配置されている。
【００６４】
図１、図５、図６に示すように、シート材９１ａとシート材９１ｂとは、同方向に搬送され、その際に互いに重なり合う重なり部９１１を有し、当該重なり部９１１で積層体４０'を挟むことができる。すなわち、第２のローラ７２ａ、７２ｂ間から送出された積層体４０'は、シート材９１ａとシート材９１ｂ間に挿入されることとなる。
【００６５】
シート材９１ａ、９１ｂの構成材料としては、特に限定されず、例えば、金属箔、高分子フィルム、弾性体等が挙げられる。金属箔としては、例えば、銅、銅系合金、アルミ、アルミ系合金、銀、銀系合金、金、金系合金、亜鉛、亜鉛系合金、ニッケル、ニッケル系合金、錫、錫系合金、鉄、鉄系合金等の金属箔が挙げられる。高分子フィルム、弾性体としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリアミド（例：ナイロン６、ナイロン４６、ナイロン６６、ナイロン６１０、ナイロン６１２、ナイロン１１、ナイロン１２、ナイロン６−１２、ナイロン６−６６）、熱可塑性ポリイミド、芳香族ポリエステル等の液晶ポリマー、ポリフェニレンオキシド、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテル、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアセタール、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、シリコーンゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマー等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。これらの中でも特に、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、熱可塑性ポリイミド、芳香族ポリエステル、ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンサルファイド等の高分子フィルムをシート材に用いることにより、ラミネート性、平坦性、および剥離性、およびシート材同士の接着性に優れると言う利点がある。
【００６６】
さらに、図１に示すように、ハウジング６の２つの壁部６１間には、複数組の補助ローラ７８ａ、７８ｂが架設されている。補助ローラ７８ａ、７８ｂは、それぞれ、壁部６１に軸受け（図示せず）を介して回転可能に支持されている。補助ローラ７８ａ、７８ｂは、シート材９１ａ、９１ｂが、第２のローラ７２ａ、７２ｂと従動ローラ７７ａ、７７ｂとの回転により搬送される際に、その搬送を補助する機能を有するものである。
【００６７】
複数の補助ローラ７８ａは、それぞれ、第２のローラ７２ａと従動ローラ７７ａとの間に積層体４０'の搬送方向に沿って一列に配置されている。複数の補助ローラ７８ｂも、それぞれ、第２のローラ７２ｂと従動ローラ７７ｂとの間に積層体４０'の搬送方向に沿って一列に配置されている。
【００６８】
補助ローラ７８ａ、７８ｂは、それぞれ、外形形状が円柱状をなし、その長手方向の両端部にそれぞれ外径が拡径した拡径部７８１を有している。各補助ローラ７８ａの拡径部７８１は、それぞれ、シート材９１ａの内側からその重なり部９１１の搬送方向と平行な縁部９１２に当接している。各補助ローラ７８ｂの拡径部７８１は、それぞれ、シート材９１ｂの内側からその重なり部９１１の搬送方向と平行な縁部９１２に当接している。このような拡径部７８１により、シート材９１ａ、９１ｂの縁部９１２同士が気密的に密着する（図５、図６参照）。より詳細に説明すると、シート材９１ａの一方の縁部９１２と、シート材９１ｂの一方の縁部９１２とを挟んで、補助ローラ７８ａの拡径部７８１と、補助ローラ７８ｂの拡径部７８１とが対向し、縁部９１２同士を密着させる。また、シート材９１ａの一方の縁部９１２と、シート材９１ｂの一方の縁部９１２とを挟んで、補助ローラ７８ａの拡径部７８１と、補助ローラ７８ｂの拡径部７８１とが対向し、縁部９１２同士を密着させる。これにより、シート材９１ａとシート材９１ｂとで袋状体が構成されることとなり、その内部に、すなわち、シート材９１ａとシート材９１ｂとの間に空間９１３が形成される（図５参照）。この空間９１３内に積層体４０'が一時的に（一旦）収納される。なお、空間９１３は、空間７０と連通している。
【００６９】
なお、補助ローラ７８ａ、７８ｂは、図１、図５、図６に示す構成では中実体のものであるが、これに限定されず、例えば、中空体のものであってもよい。
【００７０】
また、補助ローラ７８ａ、７８ｂの構成材料としては、特に限定されず、例えば、第１のローラ７１ａの構成材料で挙げたような材料を用いることができる。
【００７１】
図３に示すように、減圧手段８は、ポンプ８１と、ポンプ８１と各壁部６１にそれぞれ形成された開口部６１１とを接続する接続管８２とを有している。
ポンプ８１は、ハウジング６の外側に設置され、例えば真空ポンプが適用される。
ローラ７１ａ、７１ｂ、ローラ７２ａ、７２ｂ、ローラ７３ａ、７３ｂで囲まれた空間７０内部を、減圧する減圧手段８を駆動することで、第１のローラ７１ａ、７１ｂの繊維基材２搬送方向上流側の領域よりも、空間７０内の気圧が低くなり、負圧となる。さらに、第２のローラ７２ａ、７２ｂよりも積層体４０´搬送方向下流側の領域であって、シート材９１ａ，９１ｂではさまれた空間の外側の領域よりも、空間７０の気圧は低くなる。
【００７２】
各接続管８２は、それぞれ、例えばステンレス鋼等のような金属材料で構成された硬質
管である。
【００７３】
各開口部６１１は、それぞれ、空間７０に向かって開口し、空間７０に連通している。なお、図３に示す構成では双方の壁部６１にそれぞれ開口部６１１が形成されているが、これに限定されず、例えば、一方の壁部６１にのみ開口部６１１が形成されていてもよい。
【００７４】
そして、ポンプ８１を作動させることにより、各開口部６１１から空間７０内の気体（空気Ｇ）を吸引することができ、よって、空間７０を減圧することができる。また、これにより、隣接するローラ同士が互いに近づこうとする力が生じてさらに圧接し合い、よって、空間７０の気密性がより確実に維持される。
【００７５】
さらに、減圧手段８の作動により空間７０が減圧されると、当該空間７０と連通する空間９１３もその内部の気体（空気）が吸引されて減圧される。このとき、積層体４０'が空間９１３内に収納されている、すなわち、積層体４０'がシート材９１ａ、９１ｂ間に挟まれた状態であるならば、このシート材９１ａ、９１ｂごと積層体４０'を押し潰すことができる（図６参照）。これにより、積層体４０'は、その全面（全体）にわたってシート材９１ａ、９１ｂによる均一な力Ｆ３で加圧されて、繊維基材２に第１の樹脂層３と第２の樹脂層４とが確実に圧着、接合される（図５、図６参照）。これにより、繊維基材２内部に、第１の樹脂層３と第２の樹脂層４とがさらに含浸することとなる。そして、積層体４０'が積層シート４０となる。
【００７６】
図１に示すように、加熱手段９２は、例えばニクロム線等の電熱線で構成され、補助ローラ７８ａ、７８ｂの直近に設置されている。加熱手段９２により、その熱は、各補助ローラ７８ａを伝わってシート材９１ａの縁部９１２を加熱し、各補助ローラ７８ｂを伝わってシート材９１ｂの縁部９１２を加熱する。これにより、シート材９１ａの縁部９１２とシート材９１ｂの縁部９１２とがそれぞれ軟化することとなり、両者の縁部９１２同士の密着が確実に行なわれる。このように縁部９１２同士が確実に密着したシート材９１ａ、９１ｂは、不本意な箇所、すなわち、縁部９１２からの空気の漏れが防止され、よって、減圧手段８の作動により確実に減圧される。
さらに、加熱手段９２は、補助ローラ７８ａ、７８ｂを介して、積層体４０'を、その幅方向に沿って加熱することができる。積層体４０'が加熱されることで、繊維基材２に第１の樹脂層３と第２の樹脂層４とがさらに含浸しやすくなる。すなわち、加熱手段９２と、補助ローラ７８ａ、７８ｂとで含浸手段が構成されることとなる。
【００７７】
また、冷却手段９３は、例えばペルチェ素子で構成され、シート材９１ａの重なり部９１１と反対側の部分近傍と、シート材９１ｂの重なり部９１１と反対側の部分近傍とに設置されている。加熱手段９２により軟化した縁部９１２は、搬送されて冷却手段９３に臨みつつ冷却手段９３を通過する。これにより、密着後の前記軟化した縁部９１２を一旦冷却することができ、よって、当該縁部９１２が加熱手段９２で過剰に加熱されてしまうのを確実に防止することができる。
【００７８】
次に、積層シート製造装置３０により積層シート４０が製造される状態（過程）について、図１、図４、図５を参照しつつ説明する。
【００７９】
積層シート製造装置３０では、第１のローラ７１ａ、７１ｂと、第２のローラ７２ａ、７２ｂと、第３のローラ７３ａ、７３ｂとが回転するのに先立ち、減圧手段８を作動させ、空間７０内の気体を吸引して、空間７０内を減圧しておく。
空間７０内の気圧は、負圧となり、たとえば、８００Ｐａ以下、１００Ｐａ以上である。
【００８０】
図１に示すように、第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとが回転すると、これらのローラ間から繊維基材２が空間７０内に送り出される（連続的に供給される）。
繊維基材２はたとえば、図示しない供給ローラに巻回されており、供給ローラから、第１のローラ７１ａおよび第１のローラ７１ｂを介して、空間Ｓ内に供給される。
【００８１】
また、第２のローラ７２ａと第３のローラ７３ａとが回転すると、これらのローラ間から第１の支持体５ａが空間７０内に送り出される（連続的に供給される）。この第１の支持体５ａの保護シート５１が第３のローラ７３ａの外周面に沿って巻き取られ（引っ張られ）、これにより、支持基材付きの第１の樹脂層３から保護シート５１が剥離される。保護シート５１が剥離した支持基材付きの第１の樹脂層３は、第２のローラ７２ａに沿って徐々に繊維基材２に接近していく。また、剥離された保護シート５１は、第１のローラ７１ａと第３のローラ７３ａとにより、第２のローラ７２ａ、７２ｂとは異なる方向に送出される。具体的には、第１のローラ７１ａと第３のローラ７３ａとの間から外側（空間７０外）に向かって送り出される。また、第１の樹脂層３は、Ｂステージの状態であり、固形、半固形、あるいは液体の状態である。
【００８２】
また、第２のローラ７２ｂと第３のローラ７３ｂとが回転すると、これらのローラ間から第２の支持体５ｂが空間７０内に送り出される（連続的に供給される）。この第２の支持体５ｂの保護シート５１が第３のローラ７３ｂに巻き取られ、これにより、支持基材付きの第２の樹脂層４から保護シート５１が剥離される。保護シート５１が剥離した支持基材付きの第２の樹脂層４は、第２のローラ７２ｂに沿って徐々に繊維基材２に接近していく。また、剥離された保護シート５１は、第１のローラ７１ｂと第３のローラ７３ｂとにより、第２のローラ７２ａ、７２ｂとは異なる方向に送出される。具体的には、第１のローラ７１ｂと第３のローラ７３ｂとの間から外側に向かって送り出される。
また、第２の樹脂層４は、Ｂステージの状態であり、固形、半固形、あるいは液体の状態である。
【００８３】
このように第１の樹脂層３および第２の樹脂層４がそれぞれ繊維基材２と圧着される直
前（以前）に空間７０内で保護シート５１が剥離することができることにより、当該保護シート５１が各樹脂層の圧着の邪魔になるのを防止することができるとともに、圧着直前まで保護シート５１で各樹脂層を保護することができる。
【００８４】
そして、繊維基材２と支持基材付きの第１の樹脂層３と支持基材付きの第２の樹脂層４とは、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間を一括して通過することとなる。
このとき、第１の樹脂層３に設けられた支持基材が、第２のローラ７２ａに接触し、第１の樹脂層３に設けられた支持基材が、第２のローラ７２ｂに接触する。第１の樹脂層３および第２の樹脂層４は繊維基材２に直接接触する。図４に示すように、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間の圧接力（当接力）Ｆ１により、第１の樹脂層３が上側から繊維基材２に押圧される（押し付けられる）とともに、第２の樹脂層４が下側から繊維基材２に押圧される。これにより、積層体４０'が得られる。積層体４０'は、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間から連続的に排出されて、一対のシート材９１ａ、９１ｂ間に供給されることとなる。
なお、ここで、繊維基材２等が連続的に供給される、あるいは排出されるとは、枚葉式のように、繊維基材等が間欠的に供給、あるいは排出されるものを除く趣旨である。たとえば、空間７０内に繊維基材２等が存在する状態と、存在しない状態とが短期間で交互にいれかわるものを除く趣旨である。ただし、必要に応じて、繊維基材２等の搬送を停止してもよい。
【００８５】
また、前述したように、空間７０は、減圧手段８の作動により減圧されている。これにより、図４に示すように、空間７０内に生じた減圧力Ｆ２が、第１の樹脂層３の繊維基材２への押圧と、第２の樹脂層４の繊維基材２への押圧とを補助することができる。
【００８６】
このような圧接力Ｆ１による押圧と減圧力Ｆ２による押圧とが相まって、樹脂層３,４を繊維基材２に強く圧着することができる。これにより、繊維基材２内部に樹脂層３,４を含浸させることができる。これに加え、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂを加熱ローラとすることで、樹脂層３，４を繊維基材２内部に含浸させやすくすることができる。
さらに、空間７０内を減圧することで、繊維基材２内部の気体が吸引されることとなり、繊維基材２内部に含浸した樹脂層中にボイドが発生しにくくなる。
なお、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂにより、樹脂層３，４の一部が繊維基材２内部に含浸するものの、完全に含浸することはない。この工程において、樹脂層３，４は、繊維基材２に含浸するものの、第２のローラ７２ａ、７２ｂから送り出された積層体４０'の繊維基材２内部は、空間７０内に位置する繊維基材２内部と連通している。
【００８７】
そして、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間を通過する際に、積層体４０'は、一対のシート材９１ａ、９１ｂで挟まれることとなる。その後、積層体４０'は、一対のシート材９１ａ、９１ｂで挟まれた状態で、一定区間搬送されることとなる。
ここで、一対のシート材９１ａ、９１ｂ間の空間９１３は、空間７０に連通していることから、空間７０内部が減圧手段８により減圧されると、空間７０を介して空間９１３内部の気体が減圧手段８に吸引されて空間９１３内も減圧されることとなる。これにより、負圧が発生し、シート材９１ａ、９１ｂを互いに近づけようとする力が発生して、一対のシート材９１ａ、９１ｂにより、積層体４０'がその厚み方向から押圧されることとなる。これにより、樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸がさらに進行することとなり、樹脂層３,４と繊維基材２とが強固に固定されることとなる。
【００８８】
また、繊維基材２は、搬送方向に連通するとともに、表裏面側に連通する孔が形成された、多孔質材である。一対のシート材９１ａ、９１ｂ間に位置する繊維基材２の内部の孔は、他の孔を介して空間７０内に位置する繊維基材２の内部の孔に連通している。そのため、空間７０内を減圧することで、空間７０内に位置する繊維基材２を介して、一対のシート材９１ａ、９１ｂ間に位置する繊維基材２内部が減圧されることとなる。これにより、一対のシート材９１ａ、９１ｂで挟まれた積層体４０'において、樹脂層３，４が繊維基材２内部へ含浸する際に、繊維基材２内部に気体が残存してしまうことを抑制できて、繊維基材２内でボイドが発生することを抑制できる。
これに加え、繊維基材２の搬送方向側の端面は、樹脂層３，４に被覆されておらず、露出している。繊維基材２内の孔は、搬送方向側の端面にも連通していることから、搬送方向側の端面から、空間９１３、さらには、空間７０を介して、気体が吸引されて、繊維基材２内部も減圧されることとなる。これによっても、一対のシート材９１ａ、９１ｂ間で樹脂層３，４が繊維基材２内部へ含浸する際に、繊維基材２内部に気体が残存してしまうことを抑制できる。
【００８９】
さらには、一対のシート材９１ａ、９１ｂ間の積層体４０'は、補助ローラ７８ａ、７８ｂを介して、加熱されるため、樹脂層３，４が繊維基材２内部へ含浸しやすくなる。
さらには、一対のシート材９１ａ、９１ｂ間に位置する繊維基材２内部が減圧されるので、これにより、樹脂層３,４が繊維基材２内部側に引っ張られて、樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸がさらに進行することとなる。
一対のシート材９１ａ、９１ｂ間に位置する繊維基材２内部が減圧される状態は樹脂層３,４が繊維基材２内部にほぼ完全に含浸するまで続くこととなる。したがって、積層体４０'が搬送されている状態で、樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸が進行する。積層体４０'が一対のシート材９１ａ、９１ｂにより、搬送されている間中、樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸が進行してもよく、また、搬送途中で、樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸が終了してもよい。
【００９０】
積層体４０'を挟んだ一対のシート材９１ａ、９１ｂの端部は、補助ローラ７８ａ、７８ｂにより、加熱および加圧されて、密着する。
また、対向するシート材９１ａ、９１ｂの内側領域は、減圧されるものの、一対のシート材９１ａ、９１ｂの外側の領域は、大気圧以上（本実施形態では、大気圧下）の雰囲気である。これにより、一対のシート材９１ａ、９１ｂおよび、一対のシート材９１ａ、９１ｂ内部の積層体４０'には、外部から大気圧以上の力がかかる。これによっても、樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸を促進させることができる。
【００９１】
以上により、例えば第１の樹脂層３や第２の樹脂層４の厚さや組成によらず、当該各樹脂層が繊維基材２に確実かつ強固に接合された積層シート４０を製造することができる。
【００９２】
以上のようにして、得られた積層シート４０は、図１中の左側に押し出される。その際に、シート材９１ａが従動ローラ７７ａに巻き取られて積層シート４０から剥離し、シート材９１ｂが従動ローラ７７ｂに巻き取られて積層シート４０から剥離する。
【００９３】
また、積層シート製造装置３０では、積層体４０'をシート材９１ａ、９１ｂ間で押し潰す時間が、例えば単に一対のローラ間で押し潰す時間よりも長く確保することができる。これにより、第１の樹脂層３や第２の樹脂層４を繊維基材２により確実かつ強固に接合する、すなわち、含浸させることができる。
【００９４】
また、積層シート製造装置３０では、減圧すべき空間を、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとで囲まれた空間７０として、できる限り小さくすることができる。これにより、積層シート製造装置３０が小型のものとなる。また、減圧手段８を作動させた際、その減圧を迅速に行なうことができる。また、高真空化も可能である。
【００９５】
また、繊維基材２と第１の樹脂層３とが接合する際、これらの間に空気が溜まっていたとしても圧接力Ｆ１によりその空気を押し出すことができ、よって、空気が溜まったまま接合がなされてしまうのを確実に防止することができる（繊維基材２と第２の樹脂層４との接合時についても同様）。
【００９６】
<基板>
次に、プリプレグ１を用いた基板１０について、図８を参照しつつ説明する。この図８に示す基板１０は、積層体１１と、この積層体１１の両面に設けられた金属層１２とを有している。
【００９７】
積層体１１は、第２の樹脂層４同士を内側にして配置された２つのプリプレグ１と、第２の樹脂層４同士間で挟持された繊維基材１３とを備える。
【００９８】
繊維基材１３には、前述した繊維基材２と同様のものを用いることができる。また、本実施形態では、第２の樹脂層４は、前述したような特性（可撓性）を有するため、繊維基材１３の少なくとも一部は、第２の樹脂層４に確実に埋め込まれる（埋設される）。
【００９９】
金属層１２は、配線部に加工される部分であり、例えば、銅箔、アルミ箔等の金属箔を積層体１１に接合すること、銅、アルミニウムを積層体１１の表面にメッキすること等により形成される。また、本実施形態では、第１の樹脂層３は、前述したような特性を有するため、高い密着性で金属層１２を保持することができるとともに、高い加工精度で金属層１２を配線部に形成することができるようになっている。
【０１００】
金属層１２と第１の樹脂層３とのピール強度は、０．５ｋＮ／ｍ以上であるのが好ましく、０．６ｋＮ／ｍ以上であるのがより好ましい。これにより、金属層１２を配線部に加工し、得られる半導体装置１００（図９参照）における接続信頼性をより向上させることができる。
【０１０１】
このような基板１０は、第１の樹脂層３上に金属層１２を形成したプリプレグ１を２つ用意し、これらのプリプレグ１で繊維基材１３を挟持した状態で、例えば、真空ラミネート法等を用いて製造することができる。
【０１０２】
なお、基板１０は、繊維基材１３が省略され、２つのプリプレグ１が第２の樹脂層４同士を直接接合してなる積層体を含むものであってもよく、金属層１２が省略されたものであってもよい。
【０１０３】
<半導体装置>
次に、基板１０を用いた半導体装置１００について、図９を参照しつつ説明する。なお、図９中では、繊維基材２、１３を省略して示し、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４を一体として示してある。
【０１０４】
図９に示す半導体装置１００は、多層基板（多層プリント配線板（回路基板））２００と、多層基板２００の上面に設けられたパッド部３００と、多層基板２００の下面に設けられた配線部４００と、パッド部３００にバンプ５０１を接続することにより、多層基板２００上に搭載された半導体素子５００とを有している。
【０１０５】
多層基板２００は、コア基板として設けられた基板１０と、この基板１０の上側に設けられた３つのプリプレグ１ａ、１ｂ、１ｃと、基板１０の下側に設けられた３つのプリプレグ１ｄ、１ｅ、１ｆとを備えている。プリプレグ１ａ〜１ｃをそれぞれ構成する繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の基板１０からの配置順番と、プリプレグ１ｄ〜１ｆをそれぞれ構成する繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の基板１０からの配置順番とは、同じとなっている。すなわち、プリプレグ１ａ〜１ｃとプリプレグ１ｄ〜１ｆとは、互いに上下反転したもの同士となっている。
【０１０６】
また、多層基板２００は、プリプレグ１ａとプリプレグ１ｂとの間に設けられた回路部２０１ａと、プリプレグ１ｂとプリプレグ１ｃとの間に設けられた回路部２０１ｂと、プリプレグ１ｄとプリプレグ１ｅとの間に設けられた回路部２０１ｄと、プリプレグ１ｅとプリプレグ１ｆとの間に設けられた回路部２０１ｅとを有している。
【０１０７】
さらに、多層基板２００は、各プリプレグ１ａ〜１ｆをそれぞれ貫通して設けられ、隣接する回路部同士や、回路部とパッド部とを電気的に接続する導体部２０２とを備えている。
【０１０８】
基板１０の各金属層１２は、それぞれ、所定のパターンに加工され、当該加工された金属層１２同士は、基板１０を貫通して設けられた導体部２０３により電気的に接続されている。
【０１０９】
なお、半導体装置１００（多層基板２００）は、基板１０の片面側に、４つ以上のプリプレグ１を設けるようにしてもよい。さらに、半導体装置１００は、プリプレグ１以外のプリプレグを含んでいてもよい。
【０１１０】
<第二実施形態>
次に、図１０〜図１１を参照して、本発明の第二実施形態について説明する。
本実施形態の製造装置３０Ａについて詳細に説明する。
製造装置３０Ａは、製造装置３０から、一対のシート材９１ａ、９１ｂを削除するとともに、製造装置３０の補助ローラ７８ａ、７８ｂを、補助ローラ７８ｃ、７８ｄに置換したものである。また、製造装置３０の従動ローラ７７ａ、７７ｂを、ローラ７７ｃ、７７ｄに置換したものである。さらに、製造装置３０Ａは、冷却手段９３を有しない。他の点は、製造装置３０と同様である。
補助ローラ７８ｃ、７８ｄは、円柱形状のローラであり、前記実施形態の補助ローラ７８ａ、７８ｂとは異なり、拡径部７８１を有していない。図１１にも示すように、補助ローラ７８ｃ、７８ｄの外周面が積層体４０Ａ'の搬送方向と直交する幅方向全体にわたって当接する。
この補助ローラ７８ｃ、７８ｄは加熱ローラであり、加熱手段９２によって加熱されている。すなわち、加熱手段９２と、補助ローラ７８ｃ、７８ｄとで含浸手段が構成されることとなる。
ローラ７７ｃ、７７ｄは、積層シート４０Ａを搬送する搬送ローラであり、一対の壁部６１間に架け渡されている。ローラ７７ｃ、７７ｄの回転軸は、ローラ７２ａ、７２ｂと平行である。
ローラ７７ｃ、７７ｄは回転軸がモータに接続されており、モータが作動すると、その動力が歯車機構を介して伝達され、回転することとなる。
【０１１１】
このような製造装置３０Ａを使用した積層シート４０Ａの製造方法について説明する。
はじめに、前記実施形態と同様、空間７０内部をあらかじめ減圧しておく。
次に、前記実施形態と同様、空間７０内に繊維基材２を連続的に供給する。
さらに、第２のローラ７２ａと第３のローラ７３ａとが回転すると、これらのローラ間からシート５ｃが空間７０内に送り出される（連続的に供給される）。
ここで、シート５ｃについて説明する。このシート５ｃは、保護シート５１と、樹脂層３と、シート材５２とを備える。保護シート５１とシート材５２とは、樹脂層３を挟んで対向配置される。
シート材５２としては、特に限定されないが、高分子フィルムがあげられ、ＰＥＴ等があげられる。
シート５ｃは、前記実施形態と同様、保護シート５１が第３のローラ７３ａの外周面に沿って巻き取られ（引張られ）、これにより、第１の樹脂層３から保護シート５１が剥離される。
【０１１２】
一方で、第２のローラ７２ｂと第３のローラ７３ｂとが回転すると、これらのローラ間からシート５ｄが空間７０内に送り出される（連続的に供給される）。
ここで、シート５ｄについて説明する。このシート５ｄは、保護シート５１と、樹脂層４と、シート材５２とを備える。保護シート５１とシート材５２とは、樹脂層４を挟んで対向配置される。
このシート５ｄは、保護シート５１が第３のローラ７３ｂに巻き取られ、これにより、第２の樹脂層４から保護シート５１が剥離される。
繊維基材２とシート材５２付き第１の樹脂層３とシート材５２付き第２の樹脂層４とは、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間を一括して通過することとなる。
このとき、前記実施形態と同様に、繊維基材２内部に樹脂層３,４が含浸し、積層体４０Ａ'が得られる。そして、前記実施形態と同様、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂにより、樹脂層３，４の一部が繊維基材２内部に含浸するものの、完全に含浸することはない。この工程において、樹脂層３，４は、繊維基材２に含浸するものの、第２のローラ７２ａ、７２ｂから送り出された積層体４０Ａ'の繊維基材２内部は、空間７０内に位置する繊維基材２内部と連通している。
【０１１３】
ここで、図１１に図１０のＥ-Ｅ方向の繊維基材２、樹脂層３，４の断面図を示す。繊維基材２の搬送方向と直交する方向の幅寸法は、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４の搬送方向と直交する方向の幅寸法よりも小さい。
一対の第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、繊維基材２、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４が圧着される。このとき、第１の樹脂層３の幅方向の一方の端部（搬送方向に沿った一方の端部）と、第２の樹脂層４の幅方向の一方の端部（搬送方向に沿った一方の端部）とが圧着（熱圧着）されるとともに、第１の樹脂層３の幅方向の他方の端部と、第２の樹脂層４の幅方向の他方の端部とが圧着（熱圧着）される。樹脂層３,４の幅方向の端部同士が溶融接合されて、接合部を形成し、繊維基材２が第１の樹脂層３および第２の樹脂層４内に内包される形となる。すなわち、積層体４０Ａ'の幅方向の両端部は密閉された状態となる。なお、シート材５２の幅方向の寸法は、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４と等しくてもよく、また、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４の幅寸法よりも長くてもよい。
【０１１４】
積層体４０Ａ'は、第２のローラ７２ａ、７２ｂにより空間７０から連続的に送出されて、補助ローラ７８ｃ、７８ｄ、およびローラ７７ｃ、７７ｄにより、搬送される。
ここで、繊維基材２は、複数の孔が形成された多孔質材である。繊維基材２に形成された孔は、他の孔を介して、積層体搬送方向に連通し、さらに、繊維基材２表裏面に連通する。そのため、空間７０外部に位置する繊維基材２であっても、その内部は、空間７０に連通することとなる。換言すると、一対のシート材５２の内部の空間が、空間７０に連通しているといえる。
【０１１５】
空間７０外部に位置する繊維基材２内部の気体は、繊維基材２内部の孔および空間７０を介して、減圧手段８により吸引され、繊維基材２内部は負圧となる。特に、積層体４０Ａ'の幅方向の両端部は密閉された状態であるため、繊維基材２内部の気体を確実に吸引することができる。繊維基材２内部が減圧されることで、樹脂層３，４が繊維基材２に強固に密着する。
補助ローラ７８ｃ、７８ｄにより、積層体４０Ａ'は搬送されるとともに、加熱されるため、空間７０から送り出された積層体４０Ａ'においても、樹脂層３，４の繊維基材２への含浸は進行する。樹脂層３，４の繊維基材２への含浸は、積層体４０Ａ'が搬送されながら、進行することとなる。
【０１１６】
空間７０外部に位置する繊維基材２内部の気体は、繊維基材２内部の孔および空間７０を介して、減圧手段８により吸引されることとなるが、この吸引は、樹脂層３，４が繊維基材２内部に一定程度、含浸するまで続くこととなる。すなわち、繊維基材２内部の気体が減圧手段８に吸引されている間に、樹脂層３,４の繊維基材２への含浸が進行することとなる。これにより、樹脂層３，４が繊維基材２により含浸しやすくなるとともに、繊維基材２内部にボイドが発生してしまうことが防止される。
また、積層体４０Ａ'の幅方向の両端部には、樹脂層３,４の端部同士が溶融接合した接合部が形成されているため、補助ローラ７８ｃ、７８ｄで搬送されている間に、繊維基材２の端面側から気体が繊維基材２内部に流入してしまうことを防止できる。したがって、空間７０外部に位置する積層シート４０の繊維基材２内部の気体を確実に吸引することができる。
なお、製造装置３０Ａにおいて、空間７０から送出された積層体４０Ａ'が搬送されている状態で、樹脂層３，４の繊維基材２への含浸が進行していくが、積層体４０Ａ'が搬送されている途中で、樹脂層３，４の繊維基材２への含浸が終了してもよく、積層体４０Ａ'が搬送されている間中、樹脂層３，４の繊維基材２への含浸が進行していてもよい。
【０１１７】
本実施形態では、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂよりも積層体４０Ａ'の搬送方向下流側は、大気圧以上の雰囲気（本実施形態では大気圧）である。第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂにより、積層体４０Ａ'は、大気圧以上の雰囲気下に送出されることとなる。これにより、積層体４０Ａ'は、大気圧以上の力で外側から加圧されることとなり、樹脂層３，４の繊維基材２内部への含浸を促進させることができる。
【０１１８】
以上のようにして、得られた積層シート４０Ａは、ローラ７７ｃ、７７ｄにより、図１０中の左側に押し出される。
このような本実施形態によれば、前述した効果に加えて、第一実施形態と同様の効果を奏することができる。
【０１１９】
以上、本発明の積層シート製造装置および積層シートを図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、積層シート製造装置および積層シートを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１２０】
また、積層シート製造装置は、図１に示す構成では一対の第３のローラが１組設置されているが、これに限定されず、例えば、３組以上の奇数組設置されていてもよい。
【０１２１】
また、各第１のローラと各第２のローラと各第３のローラとは、図１に示す構成では互いに本体部の外径が異なっているが、これに限定されず、例えば、互いに本体部の外径が
同一であってもよい。
【０１２２】
また、積層シート製造装置は、２枚のシート材間から送り出された積層シートを乾燥するよう構成されていてもよい。
【０１２３】
また、積層シートは、図７に示す構成では繊維基材の両面にそれぞれ樹脂層が接合されたものであるが、これに限定されず、繊維基材の片面にのみ樹脂層が接合されたものであってもよい。このような構成の積層シートも積層シート製造装置で製造することができる。
【０１２４】
また、積層シートは、図７に示す構成では繊維基材に第１の樹脂組成物および第２の樹
脂組成物がそれぞれ含浸したものであるが、これに限定されず、例えば次のようなもので
あってもよい。１つ目の例は、繊維基材の厚さ方向全体にわたって第１の樹脂組成物が含浸し、第２の樹脂組成物は含浸していない積層シート。２つ目の例は、繊維基材の厚さ方向全体にわたって第２の樹脂組成物が含浸し、第１の樹脂組成物は含浸していない積層シート。３つ目の例は、繊維基材の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物が含浸し、第２の樹脂組成物は含浸していない積層シート。４つ目の例は、繊維基材の厚さ方向の一部に第２の樹脂組成物が含浸し、第１の樹脂組成物は含浸していない積層シート。以上４つの例の積層シートでも、第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とは、互いに組成が異なるものでもよく、また、互いに組成が同一のものでもよい。そして、このような構成の積層シートも積層シート製造装置で製造することができる。
【０１２５】
また、積層シートは、図７に示す構成では含浸部３１，４１の厚みが等しく、また、非含浸部３２，４２の厚みも等しかったが、含浸部３１，４１の厚みが異なっていてもよく、非含浸部３２，４２の厚みが異なっていても良い。このような構成の積層シートも積層シート製造装
置で製造することができる。
【０１２６】
また、積層シートは、図７に示す構成では繊維基材を有するものであるが、これに限定されず、例えば、繊維基材に代えて、プリント配線板等の基材を有するものであってもよい。
【０１２７】
また、第一実施形態では、繊維基材２の表裏面に樹脂層を配置したが、繊維基材２の一方の面にのみ樹脂層を設けてもよい。
さらに、前記各実施形態では、ローラ７２ａ，７２ｂにより、樹脂層３，４を繊維基材２内部に含浸させるとしたが、これに限らず、ローラ７２ａ、７２ｂにより、樹脂層３，４を繊維基材２内部に含浸させなくてもよい。このような場合において、たとえば、第一実施形態において、一対のシート材９１ａ，９１ｂの長手方向の距離が非常に長くすることで、一対のシート材９１ａ，９１ｂにより積層体４０'を搬送しながら、樹脂層３，４を繊維基材２内部に完全含浸させることができる。
【０１２８】
以上のような発明は、以下のような構成に基づくものである。
（１）固形または半固形の樹脂組成物で構成された樹脂層を有する支持体の前記樹脂層を、薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、前記樹脂層と前記基材とを重ね合わせ、未だ接合されていない状態の未接合体を挟む２枚のシート材と、前記未接合体が前記２枚のシート材間に挟まれた状態で該シート材間の空間を減圧する減圧手段とを備え、前記減圧手段の作動により前記空間が減圧された際、前記未接合体を前記シート材ごと押し潰して、前記樹脂層と前記基材とを圧着し、前記積層シートを得るよう構成されていることを特徴とする積層シート製造装置。
（２）前記樹脂層と前記基材との圧着後、前記積層シートからは、前記２枚のシート材がそれぞれ剥離される上記（１）に記載の積層シート製造装置。
（３）前記２枚のシート材がそれぞれ無端状態で架け回され、該シート材を搬送する一対のローラを備える上記（１）または（２）に記載の積層シート製造装置。
（４）前記２枚のシート材を同方向に搬送しつつ、前記空間を減圧する上記（１）な
いし（３）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（５）前記一対のローラ間には、前記２枚のシート材を搬送しつつ、該２枚のシート材の搬送方向と平行な縁部同士を気密的に密着させる複数の補助ローラを備える上記（３）または（４）に記載の積層シート製造装置。
（６） 前記２枚のシート材の前記縁部同士を密着させる際に該縁部を加熱して軟化させる加熱手段を備える上記（５）に記載の積層シート製造装置。
（７）前記縁部同士の密着後、前記軟化した縁部を冷却する冷却手段を備える上記（６）に記載の積層シート製造装置。
（８）互いに対向配置された一対の壁部を有し、該一対の壁部のうちの少なくとも一方に開口部が形成されたハウジングと、前記一対のローラのうちの一方のローラ側で前記一対の壁部間に架設され、前記２枚のシート材の間に向かって前記基材を送り出す一対の送り出しローラを備え、前記空間は、前記各一方のローラと前記一対の壁部と前記一対の送り出しローラとで囲まれ、前記開口部が開口する小空間と連通し、前記減圧手段の作動により、前記開口部から前記小空間を介して前記空間内の空気を吸引して該空間が減圧される上記（３）ないし（７）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（９）前記減圧手段は、ポンプと、該ポンプと前記開口部と接続する接続管とを有する上記（８）に記載の積層シート製造装置。
（１０）前記２枚のシート材は、それぞれ、高分子フィルムで構成されている上記（１）ないし（９）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
この出願は、２０１１年３月３０日に出願された日本特許出願２０１１−０７６６６４を基礎とする優先権を主張し、その開示をすべてここに取り込む。
以下、参考形態の例を付記する。
＜付記＞
（付記１）
樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、長尺の薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シートの製造方法において、
前記基材は、搬送方向に連通するとともに、表裏面に連通する孔が形成された繊維基材であり、
減圧手段により減圧された減圧室内に、前記シートと前記基材と搬送し、減圧状態で、前記シートの樹脂層と前記基材とを当接させて、積層体を構成する工程と、
前記減圧室から前記積層体を送り出す工程と、
前記積層体を一対のシート材により挟む工程と、
前記減圧室外部に位置し、前記積層体を挟んだ前記一対のシート材の内側の空間が、前記減圧室に連通しており、前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する工程とを含む積層シートの製造方法。
（付記２）
付記１に記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、前記積層体を加熱する積層シートの製造方法。
（付記３）
付記１または２に記載の積層シートの製造方法において、
前記減圧室には、前記基材が連続的に供給されるとともに、前記減圧室から前記基材が連続的に送出され、
前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記減圧室内に位置する前記基材内部の気体を前記減圧手段で吸引することで、前記一対のシート材の内側の前記基材内部の空間の気体が吸引される積層シートの製造方法。
（付記４）
付記３に記載の積層シートの製造方法において、
前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記樹脂層を前記基材内部に含浸させる積層シートの製造方法。
（付記５）
付記４に記載の積層シートの製造方法において、
積層体を構成する前記工程では、前記基材と前記シートとを圧着し、前記シートの前記樹脂層を前記基材に含浸させる積層シートの製造方法。
（付記６）
付記３乃至５のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
積層体を構成する前記工程では、
前記基材の表裏面に前記シートの前記樹脂層を重ね合わせるとともに、前記各樹脂層の搬送方向に沿った端部同士を圧着して、前記樹脂層間に前記基材を内包させる積層シートの製造方法。
（付記７）
付記６に記載の積層シートの製造方法において、
前記シート材は、前記シートの樹脂層の前記基材に当接する面と反対側の面に設けられ、前記樹脂層を支持する支持体であり、
前記シート材付きの前記シートを前記減圧室に供給し、前記シート材付きの前記シートの前記樹脂層を前記基材に当接させることで、積層体を構成する前記工程と、前記一対のシート材により前記積層体を挟む前記工程とを実施する積層シートの製造方法。
（付記８）
付記１乃至５のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記一対のシート材の対向する内面間に空隙が形成され、前記空隙内を減圧することで、前記一対のシート材により前記シートと前記基材とを圧着する積層シートの製造方法。
（付記９）
付記８に記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程後、前記一対のシート材は、前記積層体から剥離される積層シートの製造方法。
（付記１０）
付記１乃至９のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記積層体を挟んだ前記一対のシート材が大気圧以上の雰囲気下に位置する状態で、前記減圧手段により、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する積層シートの製造方法。
（付記１１）
付記１乃至１０のいずれかに記載の積層シートの製造方法において、
前記一対のシート材の内側の空間を減圧する前記工程では、
前記積層体を搬送しながら、前記一対のシート材の内側の空間を減圧する積層シートの製造方法。
（付記１２）
樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、
前記シートと前記基材とが供給され、減圧手段により減圧される減圧室と、
前記減圧室内の前記シートと前記基材とを圧着して積層体を構成する圧着手段と、
前記減圧室から送出された積層体を、挟む２枚のシート材とを備え、
前記積層体を前記２枚のシート材間に挟んだ状態において、該シート材間の空間が、前記減圧室に連通し、
前記減圧手段の作動により、前記減圧室を介して前記空間が減圧され、前記空間が減圧されることにより、前記積層体を前記２枚のシート材により、押し潰して、前記シートと前記基材とを圧着し、前記積層シートを得るよう構成されていることを特徴とする積層シート製造装置。
（付記１３）
付記１２に記載の積層シート製造装置において、
前記各シート材は、一対のローラ間に無端状態で架け回されている積層シート製造装置。
（付記１４）
付記１３に記載の積層シート製造装置において、
前記一対のローラ間に配置され、前記シート材を搬送しつつ、該２枚のシート材の搬送方向と平行な縁部同士を密着させる複数の補助ローラを備える積層シート製造装置。
（付記１５）
付記１４に記載の積層シート製造装置において、
前記２枚のシート材の前記縁部同士を密着させる際に該縁部を加熱して軟化させる加熱手段を備える積層シート製造装置。
（付記１６）
付記１５に記載の積層シート製造装置において、
前記縁部同士の密着後、前記軟化した縁部を冷却する冷却手段を備える積層シート製造装置。
（付記１７）
付記１２乃至１６のいずれかに記載の積層シートの製造装置において、
前記基材を送出する一対の第１のローラと、
前記第１のローラから送出された前記基材が供給される一対の第２のローラと、
前記第１のローラの基材搬送方向下流側に配置されるとともに、前記第２のローラの基材搬送方向上流側に配置され、前記一対の第１のローラから送出された前記基材の表面側および裏面側にそれぞれ配置された第３のローラとを備え、
前記一対の第２のローラのうち一方は、前記シート材が無端状態で架け渡された前記一対のローラのうちの一方のローラであり、
前記一対の第２のローラのうち他方は、前記シート材が無端状態で架け渡された他の前記一対のローラのうちの一方のローラであり、
前記減圧手段は、
前記一対の第１のローラ、前記一対の第２のローラ、前記第３のローラとで囲まれた第二の空間内を減圧するものであり、
前記一対の第１のローラは、前記第二の空間内に前記基材を送出するローラであり、
前記基材の表面側または裏面側において、一方の前記第３のローラと一方の前記第２のローラとの間から、前記第二の空間内にむけて前記シートが送出され、
前記第２のローラは、前記基材と前記シートの前記樹脂層とを圧着するとともに、前記基材および前記シートを含む積層体を前記２枚のシート材間へ送り出すローラであり、
前記シート材間の前記空間は、前記第二の空間と連通している積層シートの製造装置。
（付記１８）
付記１２乃至１７のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
前記２枚のシート材は、それぞれ、高分子フィルムで構成されている積層シート製造装置。
（付記１９）
搬送方向に連通するとともに表裏面に連通する孔が形成された多孔質基材と、樹脂層とが連続的に供給される減圧室と、
前記減圧室内を減圧する減圧手段と、
前記減圧室内に供給された前記多孔質基材と前記樹脂層とを圧着して、積層体を構成する圧着手段と、
前記減圧室から連続的に送り出される前記積層体を加熱し、前記樹脂層を前記多孔質基材に含浸させる含浸手段とを備える積層シートの製造装置。
（付記２０）
付記１９に記載の積層シートの製造装置において、
前記圧着手段は、前記樹脂層を圧着した後の前記多孔質基材内部の孔が、前記減圧室内に位置し前記樹脂層が圧着される前の前記多孔質基材の孔に連通する程度に前記樹脂層と前記多孔質基材とを圧着するように構成されており、
当該製造装置は、前記減圧室内を前記減圧手段により減圧状態としながら、前記圧着手段によって得られた前記積層体を、前記含浸手段にて加熱するように構成された積層シートの製造装置。
（付記２１）
付記２０に記載の積層シートの製造装置において、
前記減圧室内には、前記多孔質基材と一対の樹脂層とが供給され、
前記圧着手段は、前記多孔質基材と、この多孔質基材を挟んで配置された前記一対の樹脂層とを圧着し、
前記多孔質基材の搬送方向と直交する方向の幅寸法は、前記各樹脂層の搬送方向と直交する方向の幅寸法よりも小さく、
前記圧着手段は、前記一対の前記樹脂層の幅方向の端部同士を圧着して、前記樹脂層間に前記基材を内包させる手段である積層シートの製造装置。
【符号の説明】
【０１２９】
１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ プリプレグ
２ 繊維基材（基材）
３ 第１の樹脂層（樹脂層）
３１ 第１の含浸部
３２ 第１の非含浸部
４ 第２の樹脂層（樹脂層）
４１ 第２の含浸部
４２ 第２の非含浸部
５ａ 第１の支持体（シート）
５ｂ 第２の支持体（シート）
５１ 保護シート
５２    シート材
５ｃ    シート
５ｄ    シート
６ ハウジング
６１ 壁部
６１１ 開口部
６１２ 凹部
６２ シール材
７１ａ、７１ｂ 第１のローラ（送り出しローラ）
７２ａ、７２ｂ 第２のローラ
７３ａ、７３ｂ 第３のローラ
７４ 本体部
７４１ 外周面
７５ 軸
７６ 軸受け（ベアリング）
７７ａ、７７ｂ 従動ローラ
７７ｃ、７７ｄ    ローラ
７８ａ、７８ｂ 補助ローラ
７８１ 拡径部
７８ｃ、７８ｄ    補助ローラ
８ 減圧手段
８１ ポンプ
８２ 接続管
９１ａ、９１ｂ シート材
９１１ 重なり部
９１２ 縁部
９１３ 空間
９２ 加熱手段
９３ 冷却手段
１０ 基板
１１ 積層体
１２ 金属層
１３ 繊維基材
２０ 界面
３０ 積層シート製造装置
３０Ａ    積層シート製造装置
４０ 積層シート
４０Ａ    積層シート
４０' 積層体
４０Ａ'    積層体
７０ 空間（小空間、減圧室）
１００ 半導体装置
２００ 多層基板
２０１ａ、２０１ｂ、２０１ｄ、２０１ｅ 回路部
２０２、２０３ 導体部
３００ パッド部
４００ 配線部
５００ 半導体素子
５０１ バンプ
Ｆ１ 圧接力（当接力）
Ｆ２ 減圧力
Ｆ３ 力
Ｇ 空気
Ｔ 平均厚さ
【図１】
0005915301.tif 000002
【図２】
0005915301.tif 000003
【図３】
0005915301.tif 000004
【図４】
0005915301.tif 000005
【図５】
0005915301.tif 000006
【図６】
0005915301.tif 000007
【図７】
0005915301.tif 000008
【図８】
0005915301.tif 000009
【図９】
0005915301.tif 000010
【図１０】
0005915301.tif 000011
【図１１】
0005915301.tif 000012