(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空誘導溶製急速凝固室と、材料収受保温処理室と、冷却室と、室間隔離バルブとを含み、該材料収受保温処理室と冷却室との間には該室間隔離バルブが設けられ、真空誘導溶製急速凝固室は材料収受保温処理室の上方に設けられ、真空誘導溶製急速凝固室の材料案内筒部の出口は材料収受保温処理室に向かい、真空誘導溶製急速凝固室上には水冷電極と、真空装置と、不活性気体導入パイプと、測温装置と、圧力計と、真空計と、安全バルブとが更に設けられており、
前記材料収受保温処理室内には材料収受ボックスと、保温室と、摩擦ローラー伝動構造とが設けられ、保温室の内壁には遮熱板が設けられ、遮熱板内には加熱器が設けられ、摩擦ローラー伝動構造はモーター減速機と、複数個のチェーンホイール及びチェーンと、配列されている複数個の摩擦ローラー及びその摩擦ローラー軸とを含み、該摩擦ローラー軸は材料収受保温処理室内に位置し、その両端は遮熱板を通過した後チェーンホイールに連結され、隣接する２つの摩擦ローラー軸のチェーンホイールはそれぞれチェーンにより連結され、端部のチェーンホイールは回転密閉式チェーンホイール軸により材料収受保温処理室外でモーター減速機に連結され、
前記材料収受ボックスは密閉式ボックスであり、その側面には材料収受ボックスを貫通する開口異形パイプが溶接され、異形パイプには材料収受ボックスの内部と連通する孔が形成され、材料収受時、材料収受ボックスは材料収受保温処理室の底部で移動する摩擦ローラーに沿って往復する
ことを特徴とする希土類永久磁石合金の真空誘導溶製急速凝固設備。
【請求項２】
前記真空誘導溶製急速凝固室は水冷中間層を有する真空室内に炉本体が設けられたものであり、該炉本体はクルーシブルと、鋼製フレームと、耐火レンガと、銅製誘導コイルとを含み、該クルーシブルの外周には耐火レンガ、銅製誘導コイル及び鋼製フレームが順に設けられ、クルーシブルは鋼製フレームにより炉本体の底部に設けられ、クルーシブルの出口はガイド部になり、炉本体は支持フレームにより急速凝固室内に固定され、鋼製フレームには傾斜駆動手段が連結され、傾斜駆動手段の他端は炉本体の内壁に固定され、真空室の上部には炉蓋は設けられ、該真空室の一端には炉ドアが設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の希土類永久磁石合金の真空誘導溶製急速凝固設備。
【請求項３】
前記急速凝固室内には中間容器と、急冷銅製ローラーと、材料案内筒部とが更に設けられ、中間容器はクルーシブルのガイド部と急冷銅製ローラーとの間に位置し、中間容器には中間容器のノズルと急冷銅製ローラーとの間の間隔を調節する３Ｄ調節構造が設けられ、急冷銅製ローラーは急速凝固室内の中間容器の下側に位置し、材料案内筒部は急冷銅製ローラーの下側に位置し、材料案内筒部の下部は材料収受ボックスに当接される、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の希土類永久磁石合金の真空誘導溶製急速凝固設備。
【請求項４】
前記材料案内筒部の外壁には冷却水パイプが設けられ、材料案内筒部内には粉砕ローラーが設けられている、ことを特徴とする請求項３に記載の希土類永久磁石合金の真空誘導溶製急速凝固設備。
【請求項５】
前記炉蓋は電動移動装置により前記真空室上に連結され、炉蓋にはレールが設けられ、レールの一端は回転軸により地面に連結され、他端は液体シリンダーにより急速凝固室上に連結され、炉蓋にはレールに沿って転動可能な主動ローラーと受動ローラーとが設けられ、主動ローラー軸はチェーンホイールとチェーンとにより第一モーターの減速装置の回転軸に連結される、ことを特徴とする請求項２に記載の希土類永久磁石合金の真空誘導溶製急速凝固設備。
【請求項６】
前記炉蓋上には観察窓が設けられている、ことを特徴とする請求項２又は５に記載の希土類永久磁石合金の真空誘導溶製急速凝固設備。
【請求項７】
前記炉ドア上にはカメラ付き観察窓が設けられている、ことを特徴とする請求項２に記載の希土類永久磁石合金の真空誘導溶製急速凝固設備。
【請求項８】
前記冷却室の側壁には第二モーターが設けられ、その内部にはエアボックスが設けられ、エアボックスの側壁にはガイドパイプが設けられ、対向する側壁には熱交換器が設けられ、熱交換器の風出口は送風器に向き、送風器は第二モーターの回転軸に連結され、冷却室の周辺側壁には円弧形導流板が設けられ、外部には真空パイプ、不活性気体導入パイプと、安全バルブとが連結され、真空パイプは真空装置に連結される、ことを特徴とする請求項１に記載の希土類永久磁石合金の真空誘導溶製急速凝固設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空誘導溶製急速凝固設備に関し、特にネオジム鉄ホウ素希土類永久磁石合金と希土水素吸蔵合金の溶製に使われる真空誘導溶製急速凝固設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ネオジム鉄ホウ素希土類永久磁石体は、電子、電器、モーターなどに幅広く応用され、未来はより広いところに応用されそうである。希土水素吸蔵合金は、ニッケル水素電池の負極の材料として使われている。かつ電動装置、ハイブリッド動力型車などにも幅広く応用され、未来はより広いところに応用されそうである。
【０００３】
現在のネオジム鉄ホウ素希土類永久磁石の製造方法と真空溶製急速凝固設備において、希土類永久磁石合金の原料と希土水素吸蔵合金の原料を真空溶製急速凝固設備の溶製クルーシブル内に入れ、真空または保護気体中で原料を加熱することによって溶製して合金にする。つぎは制御可能な速度において、中間容器で溶製合金を水冷式銅製ローラーの外表面に噴射して合金薄片を形成する。冷却された合金薄片は再び水平回転をする水冷式回転円盤に落として二回目の冷却を行う。合金薄片が冷却されると、真空溶製急速凝固設備の炉ドアを開けて、合金薄片を取り出す。つぎは該合金薄片を真空熱処理炉の材料ボックス内に入れた後、それを真空熱処理炉に送入して真空熱処理を行う。
【０００４】
現在使っている真空溶製急速凝固方法及びその設備は従来の鋳造方法及びその設備より、製品の品質を大幅に向上させることができるが、この製品には依然として様々な問題がある。希土類永久磁石合金薄片を生産するとき、二回の冷却が不均一であることにより、製品の金属組織中の結晶粒子分布が不均一になるか或いは細すぎる小結晶が形成される問題が発生し、かつ常にα-鉄が析出される。希土水素吸蔵合金を生産するとき、マンガンが析出される問題も発生する。このような問題が製品の性能に悪い影響を与えるので、この合金薄片を真空熱処理炉で真空熱処理することにより、マンガンが析出される問題と結晶粒子分布が不均一になる問題とを解決しなければならない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した技術問題を解決するため、本発明は、希土類合金真空急速凝固方法による薄片製造と、熱処理と、冷却とを一個の設備の保護気体内で行うことにより、生産効率と、製品性能と、一致性とを向上させることができる、希土類永久磁石合金の真空誘導溶製急速凝固設備を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の希土類永久磁石合金の真空誘導溶製急速凝固設備は、真空誘導溶製急速凝固室と、材料収受保温処理室と、冷却室と、室間隔離バルブとを含む。該材料収受保温処理室と冷却室との間には該室間隔離バルブが設けられている。真空誘導溶製急速凝固室は材料収受保温処理室上に設けられ、真空誘導溶製急速凝固室の材料案内筒部の出口は材料収受保温処理室に向かう。真空誘導溶製急速凝固室上には水冷電極と、真空装置と、不活性気体導入パイプと、測温装置と、圧力計と、真空計と、安全バルブとが更に設けられている。
【０００７】
さらに、前記真空誘導溶製急速凝固室において、水冷中間層を有する真空室内には炉本体が設けられている。該炉本体はクルーシブルと、鋼製フレームと、耐火レンガと、銅製誘導コイルとを含み、該クルーシブルの外周には耐火レンガ、銅製誘導コイル及び鋼製フレームが順に設けられている。クルーシブルは鋼製フレームにより炉本体の底部に設けられ、クルーシブルの出口はガイド部になる。炉本体は支持フレームにより急速凝固室内に固定される。鋼製フレームには傾斜駆動手段が連結され、傾斜駆動手段の他端は炉本体の内壁に固定される。真空室の上部には炉蓋は設けられ、該真空室の一端には炉ドアが設けられている。
【０００８】
さらに、前記急速凝固室内には中間容器と、急冷銅製ローラーと、材料案内筒部とが更に設けられている。中間容器はクルーシブルのガイド部と急冷銅製ローラーとの間に位置し、中間容器には中間容器のノズルと急冷銅製ローラーとの間の間隔を調節する３Ｄ調節構造が設けられている。急冷銅製ローラーは急速凝固室内の中間容器の下側に位置し、材料案内筒部は急冷銅製ローラーの下側に位置し、材料案内筒部の下部は材料収受ボックスに当接される。前記材料案内筒部の外壁には冷却水パイプが設けられ、材料案内筒部内には粉砕ローラーが設けられている。
【０００９】
さらに、前記炉蓋は電動移動装置により前記真空室上に連結される。炉蓋にはレールが設けられ、レールの一端は回転軸により急速凝固室上に連結され、他端は液体シリンダーに連結される。炉蓋にはレールに沿って転動可能な主動ローラーと受動ローラーとが設けられ、主動ローラー軸はチェーンホイールとチェーンとによりモーターの減速装置の回転軸に連結される。前記炉蓋上には観察窓が設けられ、前記炉ドア上にはカメラ付き観察窓が設けられている。
【００１０】
さらに、前記材料収受保温処理室内には材料収受ボックスと、保温室と、摩擦ローラー伝動構造とが設けられ、保温室の内壁には遮熱板が設けられ、遮熱板内には加熱器が設けられている。摩擦ローラー伝動構造はモーター減速機と、複数個のチェーンホイール及びチェーンと、配列されている複数個の摩擦ローラー及びその摩擦ローラー軸とを含む。該摩擦ローラー軸は材料収受保温処理室内に位置し、その両端は遮熱板を通過した後チェーンホイールに連結される。隣接する２つの摩擦ローラー軸のチェーンホイールはそれぞれチェーンにより連結され、端部のチェーンホイールは回転密閉式チェーンホイール軸により材料収受保温処理室外にモーター減速機に連結される。
【００１１】
さらに、前記材料収受ボックスは密閉式ボックスであり、その側面には材料収受ボックスを貫通する開口異形パイプが溶接されている。異形パイプには材料収受ボックスの内部と連通する孔が形成されている。材料を収受するとき、材料収受ボックスは材料収受保温処理室の底部で移動する摩擦ローラーに沿って往復する。
【００１２】
さらに、前記冷却室の側壁にはモーターが設けられ、その内部にはエアボックスが設けられ、エアボックスの側壁にはガイドパイプが設けられ、対向する側壁には熱交換器が設けられている。熱交換器の風出口は送風器に向き、送風器はモーターの回転軸に連結され、冷却室の周辺側壁には円弧形導流板が設けられている。外部には真空パイプ、不活性気体導入パイプと、安全バルブとが連結されている。真空パイプは真空装置に連結される。
【発明の効果】
【００１３】
従来の真空誘導加熱急速凝固炉と比較してみると、本発明は希土類合金真空急速凝固方法による薄片製造と、熱処理と、冷却とを一設備の保護気体内で行うので、生産効率と、製品性能と、一致性とを向上させることができる。従来の単室真空誘導加熱急速凝固炉において、薄片の撹拌が不均一であり、冷却が遅く、効率が低く、エネルギー消耗が大きい問題を避け、かつ薄片が粘着され、物流の過程で薄片が酸化される問題を避けることができる。したがって、エネルギー消耗を低減するとともに、生産効率と製品の一致性を大幅に向上させ、かつ設備の使用寿命を延長させ、設備の補修管理の時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の構造を示す図である。
【図２】図１の冷却装置の構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下図面と実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。
【００１６】
実施例１：図１に示すとおり、本発明は真空誘導溶製急速凝固室１と、材料収受保温処理室２と、冷却室３と、室間隔離バルブ４とを含む。該材料収受保温処理室２と冷却室３との間には室間隔離バルブ４が設けられ、真空誘導溶製急速凝固室１は材料収受保温処理室２上に設けられ、真空誘導溶製急速凝固室の材料案内筒部１１の出口は材料収受保温処理室２に向かう。真空誘導溶製急速凝固室１上には水冷電極と、真空装置１８と、不活性気体導入パイプと、測温装置と、圧力計と、真空計と、安全バルブとが更に設けられている。該測温装置はシース熱電対（sheathed  thermocouple）である。
【００１７】
前記真空誘導溶製急速凝固室１において、水冷中間層１１７を有する真空室内には炉本体１１８が設けられている。該炉本体１１８はクルーシブル（Crucible）１５と、鋼製フレーム１２３と、耐火レンガと、銅製誘導コイル１１６とを含む。クルーシブル１５は鋼製フレーム１２３により炉本体１１８の底部に設けられ、クルーシブル１５の出口はガイド部になり、鋼製フレーム１２３と支持フレーム１１９とは第一回転軸１２４により連結される。鋼製フレーム１２３には傾斜駆動手段１６が連結され、傾斜駆動手段１６の他端は炉本体の内壁に固定される。前記真空室の一端には手動で回転開閉可能な炉ドア１１０が取り付けられ、炉ドア１１０上にはカメラ１２０付き観察窓が設けられている。該真空室の上部には炉蓋１１３は設けられ、炉蓋１１３上には観察窓１７が設けられている。
【００１８】
前記傾斜駆動手段１６は従来の構造を有し、該傾斜駆動手段の液体シリンダーと鋼製フレーム１２３とは第二回転軸１２５により連結される。液体シリンダーの駆動により、鋼製フレーム１２３は第一、第二回転軸１２４、１２５を回転軸として回転し、かつその中の材料を中間容器１４に入れることができる。
【００１９】
前記炉蓋１１３は液圧電動移動装置により前記真空室上に連結され、炉蓋１１３にはレール１１４が設けられている。レール１１４の一端は回転軸１１５により地面に連結され、他端は液体シリンダー１１１に連結される。液体シリンダー１１１は急速凝固室１上に連結される。炉蓋１１３にはレール１１４に沿って転動できる主動ローラーと受動ローラーとが設けられ、主動ローラー軸はチェーンホイールとチェーンとにより第一モーター１１２の減速装置の回転軸に連結される。
【００２０】
前記材料収受保温処理室２の上方に位置する急速凝固室１内には、中間容器１４と、急冷銅製ローラー１３と、材料案内筒部１１とが更に設けられている。中間容器１４はクルーシブル１５のガイド部と急冷銅製ローラー１３との間に位置し、中間容器１４には、中間容器１４のノズルと急冷銅製ローラー１３との間の間隔を調節する３Ｄ調節構造が設けられている。該３Ｄ調節構造は従来の構造を有し、三軸方向に互いに協力する複数の直線レールをそれぞれ設けて得たモジュールである。中間容器１４は三軸のうち一軸の載置台上に固定され、該載置台はＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の方向に移動するすることができる。急冷銅製ローラー１３は急速凝固室１内の中間容器１４の下側に位置し、材料案内筒部１１は急冷銅製ローラー１３の下側に位置し、材料案内筒部１１の下部は材料収受ボックス２１に当接される。材料案内筒部１１の外壁には冷却水パイプ１２１が設けられ、材料案内筒部１１内には粉砕ローラー１２が設けられ、急速凝固薄片は粉砕ローラー１２により一層小さい薄片になるとともに材料収受ボックス２１に入る。
【００２１】
材料収受ボックス２１は鋼製方形ボックスであり、底面には密閉板が溶接され、上部は開口し、側面には材料収受ボックス２１を貫通する開口異形パイプ２２が溶接されている。異形パイプ２２には材料収受ボックス２１の内部と連通する孔が形成されている。材料収受時、材料収受ボックス２１は、材料収受保温処理室２の底部で移動する摩擦ローラー２３に沿って往復する。
【００２２】
前記材料収受保温処理室２内には材料収受ボックス２１と、保温室２５と、摩擦ローラー伝動構造とが設けられ、保温室２５の内壁には遮熱板が設けられ、遮熱板内には加熱器が設けられている。摩擦ローラー伝動構造は、モーター減速機と、複数個のチェーンホイール及びチェーンと、配列されている複数個の摩擦ローラー及びその摩擦ローラー軸とを含む。該摩擦ローラー軸は材料収受保温処理室２内に位置し、その両端は遮熱板を通過した後チェーンホイールに連結される。隣接する２つの摩擦ローラー軸のチェーンホイールはそれぞれチェーンにより連結され、端部のチェーンホイールは回転密閉式チェーンホイール軸により材料収受保温処理室２外にモーター減速機に連結される。
【００２３】
図２に示すとおり、前記冷却室３の側壁には第二モーター３１が設けられ、その内部にはエアボックスが設けられている。エアボックスの側壁にはガイドパイプ３５が設けられ、対向する側壁には熱交換器３３が設けられている。熱交換器３３の風出口は送風器３２に向き、送風器３２は第二モーター３１の回転軸に連結されている。冷却室３の周辺側壁には導流板３６が設けられている。外部には真空パイプ、不活性気体導入パイプと、安全バルブとが連結されている。真空パイプは真空装置に連結される。
【００２４】
本発明の設備が作動するとき、真空及び／又は保護気体において、真空炉外に設けられる中周波誘導電源１９で誘導コイル１１６に給電し、クルーシブル１５内の材料を加熱し始める。炉内の材料が溶製されるとともに充分に合金化されると、傾斜駆動手段１６で炉本体を傾斜させることにより、溶製された合金をクルーシブル１５のガイド部から流出させて、下側の中間容器１４内に注入する。急冷銅製ローラー１３と接触する中間容器１４の箇所にはノズル１２２が設けられ、中間容器１４内の溶製合金はノズル１２２により回転する急冷銅製ローラー１３の外表面に噴射され、この溶製合金が急冷銅製ローラー１３の外表面で冷却されると、合金薄片になる。薄片は急冷銅製ローラー１３の回転により下側の材料案内筒部１１内に落ちる。材料案内筒部１１内には粉砕ローラー１２が設けられ、合金薄片は粉砕ローラー１２によって小さい薄片に粉砕されると、材料案内筒部１１の下側で往復する材料収受ボックス２１内に注入される。注入が済むと、薄片が入っている材料収受ボックス２１を一側の保温室２５内に移動させて保温処理を行う。保温処理が済むと、隔離バルブ４を開けて、材料収受ボックス２１を冷却室３に移動させる。つぎは隔離バルブ４を閉めて（このとき、第二炉の溶製を始めることができる）、冷却用第二モーター３１を起動して、材料収受ボックス２１及びその内部の薄片を冷却し始める。送風器３２と材料収受ボックス２１との間には熱交換器３３が設けられ、材料収受ボックス２１上には異形パイプ２２が設けられ、異形パイプ２２を通過する冷却気体は薄片の熱を放熱させる。加熱された気体は送風器３２の駆動により熱交換器３３に搬送されるとともに冷却され、冷却されたこの気体は送風器３２と、導流板３６と、エアボックスのガイドパイプ３５とにより再び材料収受ボックス２１に搬送される。材料収受ボックス２１と炉の温度が同様になると、第二モーター３１を止め、気体バルブを開ける。冷却室の圧力と大気の圧力が同様になると、２＃室ドア３７を開け、材料収受ボックスを冷却室から移出する。これにより、一炉での製品生産が済む。
【００２５】
本発明を使用する過程はつぎのとおりである。
【００２６】
大気圧力において、手動で炉ドア１１０を開け、電動で炉蓋１１３を開ける。所定の材料成分と重量パーセントによって配合したＲ−Ｆｅ−Ｂ−Ｍ原料（ＲはＮｄ、Ｐｒ、Ｄｙ、Ｔｂ希土類元素のうちの一種又は二種以上であり、ＭはＣｏ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｚｒ、Ｇａのうちの一種又は二種以上である）を真空誘導溶製急速凝固設備のクルーシブル１５内に入れる。炉ドア１１０と炉蓋１１３を閉めた後、直列に連結された２つのルーツポンプと並列に連結された２つのプランジャポンプとで構成した真空装置１８により、所定の圧力（例えば５０Ｐａ以下）まで減圧し、かつ不活性気体導入パイプを開けて不活性気体を炉内に入れる。真空と保護気体において、中周波誘導電源１９を起動し、誘導加熱により原料を溶製合金に溶製する。
【００２７】
充分に合金化される（例えば３０分間精錬）と、所定の温度（例えば１４６０℃）において、傾斜駆動手段１６でクルーシブルを傾斜させることにより、溶製された合金をクルーシブルのガイド部から流出させて、下側の中間容器１４内に注入する。中間容器１４のノズル１２２により合金液体を回転する急冷銅製ローラー１３の外表面に噴射して冷却させる。急冷銅製ローラー１３の回転速度は処理状況により設定することができる。
【００２８】
回転する急冷銅製ローラー１３により冷却された合金薄片は、材料案内筒部１１を通過して下側に位置する材料収受ボックス２１内に入る。材料案内筒部１１内には粉砕ローラー１２が設けられ、材料案内筒部の筒壁には冷却水パイプ１２１が設けられている。
【００２９】
材料収受保温処理室２内には摩擦ローラー２３が設けられている。材料を収受するとき、合金薄片が集積して接着されることを防止するため、材料収受ボックス２１は材料を収受するときに往復運動をする。材料収受ボックス２１が材料を収受すると、すぐ保温室２５に送入して保温する。保温温度は処理状況により設定（例えば５００℃〜９００℃）し、かつ所定の時間（例えば３０分以上）保温する。
【００３０】
合金薄片は保温処理をした後冷却室３に送入する。冷却室３の側壁には第二モーター３１が設けられ、その内部にはエアボックス３４が設けられている。エアボックス３４の側壁にはガイドパイプ３５が設けられ、対向する側壁には熱交換器３３が設けられている。熱交換器３３の風出口は送風器３２に向き、送風器３２は第二モーター３１の回転軸に連結される。冷却室の壁には円弧形の導流板３６が設けられている。合金薄片の温度が所定の出炉温度（例えば８０℃）になると冷却室から取り出す。
【００３１】
効率を向上させるため、保温室２５と冷却室３との間に真空隔離バルブ４を設け、保温処理が済んで材料収受ボックス２１を冷却室３に送入して冷却させるとき、第二炉の溶製を始めることができる。真空隔離バルブ４は板状バルブであり、シリンダーで四節リンクを駆動して板状バルブのゴムリングを圧縮することにより密閉を実現する。材料収受保温処理室２と冷却室３とには大気と連通させるための室ドア、すなわち１＃室ドア２４と２＃室ドア３７がそれぞれ設けられている。これにより材料を取り出すか或いは設備の補修管理を行うことができる。
【００３２】
この技術分野の一般技術者は本発明の技術的事項を理解することができ、かつ特許請求の範囲の要旨を逸脱しない範囲内において具体的な実施例を変更することができる。
【符号の説明】
【００３３】
１  真空誘導溶製急速凝固室
１１  材料案内筒部
１２  粉砕ローラー
１３  急冷銅製ローラー
１４  中間容器
１５  クルーシブル
１６  傾斜駆動手段
１７  観察窓
１８  真空装置
１９  中周波誘導電源
１１０  炉ドア
１１１  液体シリンダー
１１２  第一モーター
１１３  炉蓋
１１４  レール
１１５  回転軸
１１６  銅製誘導コイル
１１７  水冷中間層
１１８  炉本体
１１９  支持フレーム
１２０  カメラ
１２１  冷却水パイプ
１２２  ノズル
１２３  鋼製フレーム
１２４  第一回転軸
１２５  第二回転軸
２  材料収受保温処理室
２１  材料収受ボックス
２２  異形パイプ
２３  摩擦ローラー
２４  １＃室ドア
２５  保温室
３  冷却室
３１  第二モーター
３２  送風器
３３  熱交換器
３４  エアボックス
３５  ガイドパイプ
３６  導流板
３７  ２＃室ドア
４  室間隔離バルブ
【図１】
0005859684.tif 000002
【図２】
0005859684.tif 000003