(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を上下方向に間隔をあけて収納するための収納ケースと、
前記収納ケースを昇降させて前記収納ケース内の前記基板を順に受取位置に位置させる昇降装置と、
前記受取位置の前記基板を受取り、受渡位置にて前記基板を渡す受渡装置と、
前記受渡位置にて前記基板を受取って搬送する搬送装置とを備え、
前記搬送装置は、搬送方向に夫々延在し且つ所定方向に互いに間隔を有して並ぶように設けられている複数の搬送ベルトと、互いに対応付けられて前記複数の搬送ベルトに夫々設けられている複数の支持部材と、前記対応付けられている複数の支持部材が前記搬送方向に一緒に移動するように前記複数の搬送ベルトを駆動する搬送ユニットとを有し、
前記複数の搬送ベルトに対応付けられて設けられている前記支持部材は、前記受渡位置にて渡された前記基板の四隅を支持し且つ前記四隅を所定方向及び搬送方向に関して位置決めすることによって当該支持した基板を規定位置へと位置決めするよう構成されている、搬送システム。
【請求項２】
複数の基板を上下方向に間隔をあけて収納するための収納ケースと、
前記収納ケースを昇降させて前記収納ケース内の前記基板を順に受取位置に位置させる昇降装置と、
前記受取位置の前記基板を受取り、受渡位置にて前記基板を渡す受渡装置と、
前記受渡位置にて前記基板を受取って搬送する搬送装置と、
前記複数の搬送ベルトのうちの一対の搬送ベルトの前記所定方向の間隔を規制する間隔規制機構とを備え、
前記搬送装置は、搬送方向に夫々延在し且つ所定方向に互いに間隔を有して並ぶように設けられている複数の搬送ベルトと、互いに対応付けられて前記複数の搬送ベルトに夫々設けられている複数の支持部材と、前記対応付けられている複数の支持部材が前記搬送方向に一緒に移動するように前記複数の搬送ベルトを駆動する搬送ユニットとを有し、
前記複数の搬送ベルトに対応付けられて設けられている前記支持部材は、前記受渡位置にて渡された前記基板の外縁部を支持し且つ当該支持した基板を規定位置へと位置決めするよう構成され、
前記一対の搬送ベルトに互いに対応付けられて夫々設けられている前記支持部材は、前記基板の前記所定方向両側の外縁部を夫々支持する支持部と前記基板の所定方向の側面を位置決めするための前記所定方向に対向する位置決め部とを夫々有し、
前記間隔規制機構により前記一対の搬送ベルトの前記所定方向の間隔を狭められていない状態で、前記一対の搬送部材の互いに対応付けられた前記支持部材が前記受渡位置にて渡された前記基板の外縁部を支持し、前記間隔規制機構により前記一対の搬送ベルトの前記所定方向の間隔を狭めることで、当該支持した基板を前記規定位置へと位置決めするよう構成されている、搬送システム。
【請求項３】
前記支持部材は、前記基板を載置すると前記規定位置に案内するよう前記基板を支持する部分がテーパ状に形成されている、請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記受渡装置は、前記基板を載せる載置台と、前記載置台を受取位置と受渡位置との間で移動させる移動ユニットと、前記載置台の移動に連動して前記載置台を昇降させる昇降用カム機構とを有し、
前記昇降用カム機構は、前記載置台を前記受取位置に移動させると前記載置台を持ち上げて前記載置台上に前記基板を受け取り、前記載置台を前記受渡位置に移動させると前記載置台を下降させて前記基板を前記複数の支持部材に渡すよう構成されている、請求項２又は３に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記受取位置と前記受渡位置との間の中間位置に設けられ、前記中間位置にある前記基板をその状態に応じて搬送方向と異なる方向に移送する移送装置と、
前記搬送ユニット及び前記移送装置の動きを制御する制御装置とを備え、
前記載置台は、前記基板を載置するための第１及び第２領域を有し、
前記第１領域は、前記載置台を前記受取位置へと移動させると前記受取位置で渡される前記基板を受取り、前記載置台を前記受渡位置へと移動させると前記載置されている前記基板を前記中間位置に置くよう構成され、
前記第２領域は、前記載置台を前記受取位置へと移動させると前記中間位置にある前記基板を受取り、前記載置台を前記受渡位置へと移動させると前記載置されている前記基板を前記対応付けられている複数の支持部材に渡すよう構成され、
前記対応付けられている複数の支持部材は、前記搬送ベルトに前記搬送方向に並べて複数組み設けられており、
前記制御装置は、前記受渡装置が前記受渡位置に位置した後に前記基板の前記搬送方向の長さだけ前記搬送ユニットにより前記搬送ベルトを送り、前記移送装置により前記基板が移送されると前記受渡装置が前記受渡位置に位置した後でも前記搬送ユニットにより前記搬送ベルトを送らないようになっている、請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
受取った基板を前記受取位置に搬送する搬送装置と、
前記受取位置にて前記搬送装置から前記基板を受取り、受渡位置にて前記基板を渡す受渡装置と、
前記受渡装置により渡される前記基板を収納するための収納スペースが上下方向に間隔をあけて位置している収納ケースと、
前記収納ケースを昇降させて前記収納ケースの前記収納スペースを順に受取位置に位置させる昇降装置とを備え、
前記搬送装置は、搬送方向に夫々延在し且つ所定方向に互いに間隔を有して並ぶように設けられている複数の搬送ベルトと、互いに対応付けられて前記複数の搬送ベルトに夫々設けられている複数の支持部材と、前記対応付けられている複数の支持部材が前記搬送方向に一緒に移動するように前記複数の搬送ベルトを駆動する搬送ユニットとを有し、
前記複数の搬送ベルトに対応付けて設けられている前記支持部材は、受取った前記基板の四隅を支持し且つ前記四隅を所定方向及び搬送方向に関して位置決めすることによって当該支持した前記基板を規定位置へと位置決めするよう構成されている、搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を搬送する搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を搬送する装置として、例えばコンベアが知られている。コンベアとしては、例えば特許文献１のようなものがある。特許文献１に記載のコンベアは、複数のレールを所定の間隔で配置して構成されている搬路を有している。搬路の両サイドには、モータによって走行するチェーンが設けられている。また、一対のチェーンに架け渡すように移動体が設けられている。この移動体には、複数のスクレーパが設けられており、各スクレーパは、レールの隙間から上方に突き出るように配置されている。
【０００３】
このように構成されているコンベアでは、モータによってチェーンを走行させると、チェーンと共に移動体が移動する。これにより、移動体に設けられたスクレーパが移動し、スクレーパによって搬路上の搬送対象が押されて搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−２６５０２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、基板は収納ケースに収納されており、基板を搬送する場合、この収納ケースから基板を出して受取ってから搬送する。しかし、特許文献１に記載のコンベアは、収納ケースから基板を受取る構成を有していない。また、搬路上に搬送対象物を落として載せるようになっているため基板が損傷することがある。更に、基板を収納ケースに収納することもできない。それ故、特許文献１に記載のコンベアを基板の搬送システムとして採用することができない。
【０００６】
また、基板は、搬送後に様々な処理が行われるようになっており、その処理では、基板の位置精度が要求される。特許文献１に記載のコンベアは、搬路上の基板をスクレーパによって押して搬送する構造であるため、基板の位置決めをすることができない。そのため、位置決め装置を別途設けなければならず、システムが大型化してしまう。
【０００７】
そこで本発明は、収納ケースから基板を受取って搬送し、且つ位置決めすることができる搬送システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の搬送システムは、複数の基板を上下方向に間隔をあけて収納するための収納ケースと、前記収納ケースを昇降させて前記収納ケース内の前記基板を順に受取位置に位置させる昇降装置と、前記受取位置の前記基板を受取り、受渡位置にて前記基板を渡す受渡装置と、前記受渡位置にて前記基板を受取って搬送する搬送装置とを備え、前記搬送装置は、搬送方向に夫々延在し且つ所定方向に互いに間隔を有して並ぶように設けられている複数の搬送ベルトと、互いに対応付けられて前記複数の搬送ベルトに夫々設けられている複数の支持部材と、前記対応付けられている複数の支持部材が前記搬送方向に一緒に移動するように前記複数の搬送ベルトを駆動する搬送ユニットとを有し、前記複数の搬送ベルトに対応付けられて設けられている前記支持部材は、前記受渡位置にて渡された前記基板の外縁部を支持し且つ当該支持した基板を規定位置へと位置決めするよう構成されているものである。
【０００９】
本発明に従えば、昇降装置により収納ケースを上昇又は下降させて受渡装置を動かすことで、基板を順に収納ケースから搬送装置に渡すことができる。また、受渡装置から搬送装置の支持部材に基板を渡すだけで基板を支持部材上の規定位置に位置決めすることができ、搬送ユニットにより搬送ベルトを動かすことで基板を位置決めすることができる。従って、収納ケースから基板を受取って搬送し、且つ搬送しながら位置決めすることができる。
【００１０】
上記発明において、前記複数の搬送ベルトのうちの一対の搬送ベルトの前記所定方向の間隔を規制する間隔規制機構を備え、前記一対の搬送ベルトに互いに対応付けられて夫々設けられている前記支持部材は、前記基板の前記所定方向両側の外縁部を夫々支持する支持部と前記基板の所定方向の側面を位置決めするための前記所定方向に対向する位置決め部とを夫々有し、前記間隔規制機構により前記一対の搬送ベルトの前記所定方向の間隔を狭められていない状態で、前記一対の搬送部材の互いに対応付けられた前記支持部材が前記受渡位置にて渡された前記基板の外縁部を支持し、前記間隔規制機構により前記一対の搬送ベルトの前記所定方向の間隔を狭めることで、当該支持した基板を前記規定位置へと位置決めするよう構成されていることが好ましい。
【００１１】
上記構成に従えば、受渡位置において、一対の搬送ベルトの前記所定方向の間隔が広げられた状態にあり、一対の支持部材が所定方向に離れている。これにより、位置決め部の間が広くなり、受渡位置にて基板を渡す際の位置ズレの許容範囲を大きくすることができる。それ故、基板を支持部材の上に載せやすくすることができる。
【００１２】
他方、受渡位置以外では、間隔規制機構により一対の搬送ベルトの前記所定方向の間隔が狭められ、一対の支持部材が所定方向に近づく。これにより、位置決め部の間が狭まり、搬送しながら基板の位置決めを更に精度よく行うことができる。それ故、位置決め精度を向上するために別の装置により位置決め動作を行わなくてもよくなり、搬送停止時間をなくすことができる。
【００１３】
上記発明において、前記支持部材は、前記基板を載置すると前記規定位置に案内するよう前記基板を支持する部分がテーパ状に形成されていることが好ましい。
【００１４】
上記構成に従えば、基板を支持部材に載置するだけで基板を位置決めすることができる。
【００１５】
上記発明において、前記受渡装置は、前記基板を載せる載置台と、前記載置台を受取位置と受渡位置との間で移動させる移動ユニットと、前記載置台の移動に連動して前記載置台を昇降させる昇降用カム機構とを有し、前記昇降用カム機構は、前記載置台を前記受取位置に移動させると前記載置台を持ち上げて前記載置台上に前記基板を受け取り、前記載置台を前記受渡位置に移動させると前記載置台を下降させて前記基板を前記複数の支持部材に渡すよう構成されていることが好ましい。
【００１６】
上記構成に従えば、移動ユニットにより載置台を搬送方向に移動させることで昇降用カム機構により載置台を昇降させることができ、受取位置にて載置台に基板を載せ、また受渡位置にて載置台の基板を搬送装置に渡すことができる。これにより、移動用及び昇降用の駆動装置を兼用することができ、部品点数を低減することができる。
【００１７】
上記発明において、前記受取位置と前記受渡位置との間の中間位置に設けられ、前記中間位置にある前記基板をその状態に応じて搬送方向と異なる方向に移送する移送装置と、前記搬送ユニット及び前記移送装置の動きを制御する制御装置とを備え、前記載置台は、前記基板を載置するための第１及び第２領域を有し、前記第１領域は、前記載置台を前記受取位置へと移動させると前記受取位置で渡される前記基板を受取り、前記載置台を前記受渡位置へと移動させると前記載置されている前記基板を前記中間位置に置くよう構成され、前記第２領域は、前記載置台を前記受取位置へと移動させると前記中間位置にある前記基板を受取り、前記載置台を前記受渡位置へと移動させると前記載置されている前記基板を前記対応付けられている複数の支持部材に渡すよう構成され、前記対応付けられている複数の支持部材は、前記搬送ベルトに前記搬送方向に並べて複数組み設けられており、前記制御装置は、前記受渡装置が前記受渡位置に位置した後に前記基板の前記搬送方向の長さだけ前記搬送ユニットにより前記搬送ベルトを送り、前記移送装置により前記基板が移送されると前記受渡装置が前記受渡位置に位置した後でも前記搬送ユニットにより前記搬送ベルトを送らないようになっていることが好ましい。
【００１８】
上記構成に従えば、搬送装置では、複数枚の基板を同時に搬送することができる。また、移送装置によって基板が移送された場合に搬送ベルトを送らないようになっているので、搬送装置において複数の基板が詰められた状態で搬送方向に並べられることができる。つまり、間の基板が抜けて歯抜けのような状態になることを防ぐことができる。
【００１９】
本発明の搬送システムは、受取った基板を前記受取位置に搬送する搬送装置と、前記受取位置にて前記搬送装置から前記基板を受取り、受渡位置にて前記基板を渡す受渡装置と、前記受渡装置により渡される前記基板を収納するための収納スペースが上下方向に間隔をあけて位置している収納ケースと、前記収納ケースを昇降させて前記収納ケースの前記収納スペースを順に受取位置に位置させる昇降装置とを備え、前記搬送装置は、搬送方向に夫々延在し且つ所定方向に互いに間隔を有して並ぶように設けられている複数の搬送ベルトと、互いに対応付けられて前記複数の搬送ベルトに夫々設けられている複数の支持部材と、前記対応付けられている複数の支持部材が前記搬送方向に一緒に移動するように前記複数の搬送ベルトを駆動する搬送ユニットとを有し、前記複数の搬送ベルトに対応付けて設けられている前記支持部材は、受取った前記基板の外縁部を支持し且つ当該支持した前記基板を規定位置へと位置決めするよう構成されているものである。
【００２０】
上記構成に従えば、搬送装置の支持部材に基板を渡すだけで基板を支持部材上の規定位置に位置決めされ、搬送ユニットにより搬送ベルトを動かすことで基板を位置決めされた状態で搬送することができる。そして、受渡装置を動かして収納ケースを上昇又は下降させることで基板を順に収納ケース内に収納することができる。これにより、収納ケースに正確且つ容易に基板を収納することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、収納ケースから基板を受取って搬送し、且つ位置決めすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】搬出用の搬送システムの構成を示す平面図である。
【図２】図１の搬送システムを図１の矢視Ａから見た側面図である。
【図３】図１の搬送システムに備わる昇降装置を矢視Ｂから見た正面図である。
【図４】図１の搬送システムに備わる受渡装置の構成を拡大して示す拡大側面図である。
【図５】図１の搬送システムにおいて受渡装置の周辺を拡大して示す拡大平面図である。
【図６】図１の搬送システムに備わる搬送装置を図１の切断線Ｃ−Ｃで切断して見た拡大断面図である。
【図７】図６のプロファイルを図６の矢視Ｄから見た側面図である。
【図８】図６のプロファイルを上方から見た拡大平面である。
【図９】図１の搬送システムに備わる間隔規制機構を拡大して示す拡大平面図である。
【図１０】収納用の搬送システムの構成を示す平面図である。
【図１１】図１０の搬送システムに備わる受渡装置の構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下では、前述する図面を参照しながら、本件発明の実施形態の搬送システム１について説明する。なお、全ての図を通じて同一又は相当する要素には同じ参照符号を付してその重複する説明を省略する。また、以下の説明において使用する方向の概念は、説明の便宜上で使用するものであって、必ずしもその方向に限定されるものではない。更に、以下に説明する搬送システム１，１Ａは、本発明の一つの実施形態に過ぎない。従って、本発明は、実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、又は変更が可能である。
【００２４】
［搬出用の搬送システム］
搬送システム１は、複数の基板１１を収納ケース１２から一枚一枚取り出して所定位置まで搬送するための搬出用の搬送システムである。搬送システム1は、図１及び２に示すように収納ケース１２と、昇降装置１３と、受渡装置１４と、搬送装置１５と、移送装置１６と、間隔規制機構１７を備えている。
【００２５】
＜収納ケース＞
収納ケース１２は、図３に示すように、一対の側壁２２，２２を有している。一対の側壁２２，２２は、その内面が対向するように左右両側に位置している。各側壁２２の内面には、複数の支持板２３が各々対応付けて設けられている。支持板２３は、上下方向に等間隔をあけて配置されており、側壁２２の内面から他方の側壁２２に向かって突出するように延在している。各支持板２３の上面は、他方の側壁２２の対応している支持板２３の上面と略面一となっており、対応付けられている２つの支持板２３、つまり一対の支持板２３，２３によって基板１１の両側縁部を支持するようになっている。この一対の側壁２２,２２の間に基板１１を挿入して基板１１を一対の支持板２３，２３に支持させることで、基板１１が収納ケース１２に収納される。このように基板１１が収納されている収納ケース１２は、昇降装置１３に載置されている。
【００２６】
＜昇降装置＞
昇降装置１３は、基台３１と、ボールねじ機構３２と、駆動モータ３３と、昇降台３４とを有している。基台３１は、大略箱状に形成されており、そこには、上下方向に延在するボールねじ機構３２が設けられている。また、基台３１内には、駆動モータ３３が設けられている。駆動モータ３３は、サーボモータであり、ボールねじ機構３２のボールねじ（図示せず）を回転駆動してボールねじに設けられたスライダ（図示せず）を昇降するようになっている。このスライダには、昇降台３４が設けられている。昇降台３４は、水平方向に延在しており、その上に収納ケース１２が載置されている。このように構成されている昇降装置１３は、駆動モータ３３によってボールねじ機構３２を駆動して昇降台３４に載置されている収納ケース１２を昇降するようになっており、下降させることで各基板１１を所定の高さにある受取位置まで降ろすように構成されている。このように構成されている昇降装置１３の前側には、受渡装置１４が配置されている。
【００２７】
＜受渡装置＞
受渡装置１４は、昇降装置１３によって受取位置まで降ろされた基板１１を受取って後述する受渡位置まで移送するように構成されている（図２の実線及び２点鎖線参照）。受渡装置１４は、図４に示すように、スライダ機構４１と、駆動機構４２と、カム機構４３と、載置台４４とを有している。スライダ機構４１は、ガイド部材４１ａと、スライド部材４１ｂとを有している。ガイド部材４１ａは、前後方向に延在する部材であり、このガイド部材４１ａには、スライド部材４１ｂが前後方向に摺動可能に設けられている。このように構成されるスライダ機構４１には、駆動機構４２が設けられている。
【００２８】
移動ユニットである駆動機構４２は、例えば電動モータとベルトとを有しており、電動モータによりベルトを動かすことでスライド部材４１ｂを前後方向に移動可能に構成されている。なお、駆動機構４２は、エアの給排気によってシリンダーを伸縮させてスライド部材４１ｂを移動させるような構成であってもよい。スライド部材４１ｂの上面は、平坦になっており、その上面には、カム機構４３が設けられている。
【００２９】
カム機構４３は、カム４３ａと、一対のストッパ部材４３ｂ，４３ｃと、カムフォロア４３ｄとを有している。カム４３ａは、スライド部材４１ｂの上面に設けられている。スライド部材４１ｂの上面には、ガイド（図示せず）が設けられており、カム４３ａは、このガイドによって前後方向に摺動移動可能に構成されている。このように構成されているカム４３ａは、基本的にスライド部材４１ｂに対して前後方向に相対移動しないようになっている。また、カム４３ａの前方及び後方には、ストッパ部材４３ｂ，４３ｃが設けられている。
【００３０】
ストッパ部材４３ｂ，４３ｃは、カム４３ａに当たってカム４３ａの動きを止め、予め定められた位置より前方又は後方にカム４３ａが進まないように配置されている。従って、スライド部材４１ｂが前方又は後方に移動している際にカム４３ａがストッパ部材４３ｂ，４３ｃに当たると、カム４３ａだけがその場に残り、カム４３ａがスライド部材４１ｂに対してその移動方向と反対方向に相対移動するようになっている。このように動くカム４３ａは、その上面にカム面４３ｅを有しており、そのカム面４３ｅには、カムフォロア４３ｄが載せられている。
【００３１】
カムフォロア４３ｄは、回転しながら前記カム面４３ｅ上を前後方向に移動するようになっている。また、カム機構４３は、上下方向に延在するアーム４５を有しており、カムフォロア４３ｄは、このアーム４５の下端部に回転可能に設けられている。アーム４５は、スライド部材４１ｂに固定されている支持部４６に対して上下方向に移動可能に支持されている。これにより、アーム４５は、スライド部材４１ｂに対して前後方向に相対移動不能であって、上下方向に相対移動可能に構成されている。つまり、カムフォロア４３ｄは、スライド部材４１ｂに対して前後方向に相対移動不能になっている。カムフォロア４３ｄは、カム４３ａに対して前後方向に相対移動可能になっており、相対移動することでカム面４３ｅ上を移動してカム面４３ｅの形状に合わせて上下動するようになっている。
【００３２】
ここでカム面４３ｅの形状について説明すると、カム面４３ｅは、平坦部４３ｆ，４３ｇと、それらより低い凹所４３ｈとを有している。凹所４３ｈは、カム面４３ｅの前後方向中間部分に位置しており、カム４３ａが前側のストッパ部材４３ｂに当たりスライド部材４１ｂが最も前側の位置まで移動した際にカムフォロア４３ｄが凹所４３ｈに入るようになっている。また、平坦部４３ｆ，４３ｇは、カム面４３ｅの凹所４３ｈより前後両側に位置しており、カム４３ａが後側のストッパ部材４３ｃに当たりスライダ部材４３ｂが最も後側の位置まで移動した際にカムフォロア４３ｄが後側の平坦部４３ｆに乗り上がるようになっている。それ故、スライド部材４１ｂが前後方向に移動してカムフォロア４３ｄがカム面４３ｅ上を移動することによって、アーム４５が上下動する。アーム４５の上端部には、載置台４４が設けられている。
【００３３】
載置台４４は、基部４４ａと、一対の板状部材４４ｂ，４４ｃとを有している（図５も参照）。基部４４ａは、大略直方体状に形成されており、アーム４５の上端部に設けられている。この基部４４ａの上面には、一対の板状部材４４ｂ，４４ｃが設けられている。一対の板状部材４４ｂ，４４ｃは、前後方向に延在する短冊状の板部材である。一対の板状部材４４ｂ，４４ｃは、左右に間隔をあけて平行に並べられており、その上に基板１１を載せることができるように構成されている。
【００３４】
また、各板状部材４４ｂ，４４ｃの前後両端部及び中央部分には、突起部材４４ｄ，４４ｅ，４４ｆが形成されている。突起部材４４ｄ，４４ｅ，４４ｆは、板状部材４４ｂ，４４ｃの上面から上方に突起している。隣接する突起部材４４ｄ，４４ｅ，４４ｆの間隔が基板１１の前後方向の長さより若干長めになっており、板状部材４４ｂ，４４ｃの上面において、後側と中央の突起部材４４ｄ，４４ｆとの間に後側載置領域４７ａが形成され、前側と中央の突起部材４４ｅ，４４ｆとの間に前側載置領域４７ｂが形成されている。そして、突起部材４４ｄ，４４ｅ，４４ｆは、後側載置領域４７ａ及び前側載置領域４７ｂに夫々載せられた基板１１の前後方向の動きを規制するようになっている。また、後側載置領域４７ａ及び前側載置領域４７ｂには、吸着機構（図示せず）が設けられており、吸着機構は、移動中に後側載置領域４７ａ及び前側載置領域４７ｂから基板１１が落ちないように基板１１を吸着するようになっている。
【００３５】
第１領域である後側載置領域４７ａは、前述する受取位置にて基板１１を受取ることができるようになっている。この受取位置の前方には、検査位置及び受渡位置とが並んでおり、中間位置である検査位置には、一対の支持台４８，４８が設けられている。一対の支持台４８，４８は、一対の板状部材４４ｂ，４４ｃより左右方向の外側に位置しており、その上面で基板１１を支持するようになっている。後側載置領域４７ａは、スライド部材４１ｂが前後方向に移動することで受取位置と検査位置との間を移動するようになっている。また、第２領域である前側載置領域４７ｂは、後側載置領域４７ａが受取位置に位置する際に検査位置に位置し、後側載置領域４７ａが検査位置に位置する際に受取位置に位置するようになっている。つまり、前側載置領域４７ｂは、スライド部材４１ｂが前後方向に移動することで検査位置と受渡位置との間を移動するようになっている。
【００３６】
このように構成されている受渡装置１４では、スライド部材４１ｂが後方に移動すると載置台４４が受取位置に向かって後方に移動する。後側載置領域４７ａが受取位置に近づくと、カム４３ａが後側のストッパ部材４３ｃに当たり、カム４３ａの動きが止まる。この状態からスライド部材４１ｂが更に後方に移動すると、カムフォロア４３ｄがカム面４３ｅ上を後方に移動し凹所４３ｈから平坦部４３ｆに上り、載置台４４が上昇する。後側載置領域４７ａ及び前側載置領域４７ｂは、カムフォロア４３ｄが凹所に位置する際に受取位置及び検査位置より低い位置にある。そのため、載置台４４が上昇することで、後側載置領域４７ａは、その低い位置から受取位置に向かって上昇し、前側載置領域４７ｂは、その低い位置から検査位置に向かって上昇する（図４の矢符Ｅ参照）。そして、後側載置領域４７ａが受取位置に到達し、略同時に前側載置領域４７ｂが検査位置に到達する（図４及び図５の２点鎖線参照）。
【００３７】
受取位置に到達した後側載置領域４７ａは、その上に受取位置に位置している基板１１を載せる。また、検査位置に到達した前側載置領域４７ｂは、その上に一対の支持台４８，４８にて待機する基板１１を載せる。基板１１を載せた状態で、スライド部材４１ｂを更に後方に移動させると、後側載置領域４７ａ及び前側載置領域４７ｂが更に上昇し、各々の上に載せた基板１１を一対の支持板２３，２３及び一対の支持台４８，４８から持ち上げる。このようにして受渡装置１４は、受取位置及び検査位置に位置する基板１１を受取る。
【００３８】
基板１１を受取った後、スライド部材４１ｂを前方に移動させると載置台４４が前方に移動する。この際、カムフォロア４３ｄが平坦部４３ｆ上に位置したまま載置台４４が移動し、載置台４４は、受取位置及び検査位置より高い位置で水平移動するようになっている。そして、後側載置領域４７ａが検査位置に近づくと、カム４３ａが前側のストッパ部材４３ｂに当たり、カム４３ａの動きが止まる。この状態のままスライド部材４１ｂが更に前方に移動すると、カムフォロア４３ｄが平坦部４３ｆから凹所４３ｈへと下り、載置台４４が下降する。これにより、後側載置領域４７ａが検査位置に向かって下降し、前側載置領域４７ｂが受渡位置に向かって下降する（図４の矢符Ｆ参照）。そして、後側載置領域４７ａが検査位置に到達し、略同時に前側載置領域４７ｂが受渡位置に到達する（図４及び図５の実線参照）。
【００３９】
後側載置領域４７ａが検査位置に到達すると、後側載置領域４７ａの上に載せている基板１１は、一対の支持台４８，４８に載せられる。また、受渡位置に到達すると、前側載置領域４７ｂ上に載せている基板１１は、後述する搬送装置１５に載せられる。そのまま、スライド部材４１ｂを更に前方に移動させると、後側載置領域４７ａ及び前側載置領域４７ｂが更に下降して基板１１から夫々離れる。これにより、基板１１が一対の支持台４８，４８及び搬送装置１５に受け渡される。
【００４０】
このように、駆動機構４２により載置台４４を前後方向に移動させることでカム機構４３により載置台４４を昇降させることができ、受取位置にて載置台４４に基板１１を載せ、また受渡位置にて載置台４４の基板１１を搬送装置１５に渡すことができる。これにより、移動用及び昇降用の駆動機構を兼用することができ、部品点数を低減することができる。
【００４１】
＜搬送装置＞
搬送装置１５は、載置領域４７ｂの上に載せられた基板１１を受渡位置にて受取り、その後、基板１１を所定位置まで搬送するように構成されている。搬送装置１５は、図１及び図２に示すように、基本的に一対のベルト５１，５１と、複数のプーリー５２と、駆動モータ５３と、複数のプロファイル５４とを有している。搬送ベルトである一対のベルト５１，５１は、無端環状の歯付きベルトであり、互いに左右方向に間隔をあけて前後方向に延在している。各ベルト５１の前後部分には、プーリー５２が夫々配置されており、ベルト５１は、これら前後２つのプーリー５２に張架されている。また、前側に配置されている２つのプーリー５２は、搬送ユニットである駆動モータ５３の出力軸に夫々連結されている。この駆動モータ５３を駆動することによってプーリー５２が回転し、一対のベルト５１，５１が同期して動くようになっている。このように同期して動く一対のベルト５１，５１の各々には、複数のプロファイル５４が設けられている。
【００４２】
支持部材であるプロファイル５４は、基板１１の角部分を支持可能に構成されており、図１に示すようにそれらの中心間距離が所定ピッチＬになるように前後方向に等間隔に配置されている。ここで、所定ピッチＬは、基板１１の前後方向の長さと略一致しており、より詳細には基板１１の前後方向の長さより若干長く設定されている。また、各プロファイル５４は、他方のベルト５１に配置された何れかのプロファイル５４に対応付けて配置されており、これら一対のプロファイル５４，５４同士が互いに対向するように位置している。また、一対のプロファイル５４，５４は、それらに隣接する前側及び後側に一対のプロファイル５４，５４と夫々対応付けられている。対応付けられた４つのプロファイル（以下、単に「４つのプロファイル」ともいう）５４は、その内側に基板１１と略同形状の載置領域を形成し、この載置領域に配置された基板１１の四隅を夫々載せて支持するようになっている。一対のベルト５１，５１には、このような４つのプロファイル５４が前後方向に等間隔で複数組み設けられて並んでいる。それ故、この載置領域が一対のベルト５１，５１の間に等間隔で形成され、上側に位置する全ての載置領域に基板１１を載せると、図１に示すように基板１１が前後方向に等間隔で並ぶようになっている。
【００４３】
このような機能を有するプロファイル５４は、平面視で大略Ｔ字状に形成されており、図６乃至８に示すように基部５４ａと、一対の係止部５４ｂ，５４ｃと、支持部５４ｄとを有している。基部５４ａは、前後方向に延在する大略矩形状に形成されており、ベルト５１に沿ってその上に配置されている。この基部５４ａの下端面には、一対の係止部５４ｂ，５４ｃが設けられている。一対の係止部５４ｂ，５４ｃは、ベルト５１の左右方向両側に夫々位置しており、ベルト５１の左右両側面部に当接している。また、一対の係止部５４ｂ，５４ｃは、他方の係止部５４ｂ，５４ｃに向かって突出する突起片５４ｅを有しており、各突起片５４ｅがベルト５１の下面に当接している。これにより、ベルト５１が基部５４ａ及び一対の係止部５４ｂ，５４ｃによって囲まれ、プロファイル５４がベルト５１から外れないようになっている。また、突起片５４ｅは、ベルト５１の下面に形成されている歯部（図示せず）に噛合しており、一対の係止部５４ｂ、５４ｃがベルト５１に対して前後方向に固定されている。なお、この突起片５４ｅは、その先端部が互いに左右に離れており、その間にプーリー５２が入れるようになっている。このようにベルト５１に固定されている基部５４ａには、支持部５４ｄが一体的に形成されている。
【００４４】
支持部５４ｄは、基部５４ａの一側部に一体的に設けられた板状の部材である。支持部５４ｄの前後方向の中間部分は、対応付けられているプロファイル５４の基部５４ａに向かって突出している。つまり、支持部５４ｄは、平面視で大略Ｔ字状に形成されている。支持部５４ｄは、前後方向中央部分に隆起部分５４ｆを有している。この隆起部分５４ｆは、残余の部分より高く隆起しており、その上面が基部５４ａの上面と面一状になっている。そして、隆起部分５４ｆの前後両側には、平面視で大略Ｌ字状の支持領域５５，５６が夫々形成されている。支持領域５５，５６は、その上面で別々の基板１１の角部分を夫々支持することができ、対応付けられている他の３つのプロファイル５４の支持領域５５，５６と共に載置領域を形成し、基板１１の四隅を夫々支持するようになっている。
【００４５】
また、隆起部分５４ｆの前後両側面は、下方に進むに連れて支持領域５５，５６の方へと拡がるようにテーパ状に形成され、基部５４ａの一側面もまた下方に進むに連れて支持領域５５，５６に拡がるようにテーパ状に形成されている。これにより、隆起部分５４ｆの前後両側面及び基部５４ａの一側面に当たった基板１１の角部分は、それらのテーパ面によって支持領域５５，５６の規定位置に案内される。従って、対応付けられているプロファイル５４に載せるだけで、基板１１の四隅が位置決めされ、４つのプロファイル５４の内側の規定位置に基板１１体が位置決めされるようになっている。
【００４６】
このように構成される搬送装置１５は、駆動モータ５３によって一対のベルト５１，５１を同期して駆動し、４つのプロファイル５４を受渡位置に位置させることができるようになっている。受渡位置に位置する４つのプロファイル５４は、受渡装置１４によって受渡位置に搬送された基板１１の四隅と平面視で夫々重なるように位置しており、その四隅を夫々支持するようになっている。つまり、搬送装置１５は、受渡装置１４によって受渡位置まで搬送された基板１１を４つのプロファイル５４によって受取ることができるようになっている。また、搬送装置１５は、受取った基板１１を４つのプロファイル５４によって規定位置に案内して位置決めし、受取った基板１１を搬送方向である前方に搬送するようになっている。
【００４７】
＜移送装置＞
また、検査位置の上方には、図示しない検査装置が設けられている。検査装置は、基板１１の状態、具体的には損傷や欠損等した不良品を検出するようになっている。そして、検査装置の検出結果に基づいて不良品を受取位置から検査位置及び受渡位置を介して搬送装置１５の前側にある搬送先まで続く搬送路から取り除くべく移送装置１６が設けられている。
【００４８】
移送装置１６は、図１に示すように吸着ハンド６１（図１の２点鎖線参照）と、シリンダ機構６２（図１の２点鎖線参照）と、コンベア６３とを有している。吸着ハンド６１は、検査位置にある基板１１の上方の吸着位置に位置し、その基板１１の上面を吸着可能に構成されている。吸着ハンド６１には、シリンダ機構６２が設けられている。シリンダ機構６２は、左右方向に伸縮可能であって、伸縮することで吸着ハンド６１を吸着位置と解除位置との間で移動させるように構成されている。吸着ハンド６１は、解除位置にて基板１１の吸着を解除して基板１１をその下に落とすようになっている。解除位置の下方には、コンベア６３が設けられており、落とされた基板１１は、コンベア６３によって図示しないシュータに移送される。
【００４９】
このように構成される移送装置１６は、まず検査位置にある基板１１を吸着ハンド６１によって吸着して持ち上げる。そして、シリンダ機構６２を動かして吸着ハンドを吸着位置から解除位置へと移動させる。そして、吸着ハンド６１の吸着を解除して基板１１を外し、コンベア６３上に落とす。その後、コンベア６３によって基板１１をシュータに移送する。これにより、移送装置１６は、検査位置にある不良品の基板１１を搬送方向と異なる方向に移送することができ、不良品の基板１１を搬送路から取り除くことができる。
【００５０】
＜間隔規制機構＞
また、搬送装置１５の後方の左右両側には、受渡位置より前方に間隔規制機構１７が夫々設けられている。間隔規制機構１７は、一対のベルト５１，５１の左右方向の間隔を規制して狭める機構であり、図１に示すように一対のベルト５１，５１の外側に夫々１つずつ設けられている。間隔規制機構１７は、図９に示すように、基体７１と、規制部７２とを有している。基体７１は、前後方向に延在する部材であり、ベルト５１の左右方向の外側に位置している。基体７１のベルト５１側の側面は、プロファイル５４の外側の係止部５４ｂと対向しており、そこには、規制部７２が設けられている。
【００５１】
規制部７２は、平面視で大略台形状に形成されており、受取位置側の先端部分が前方に進むに従ってベルト５１側に近づくように傾斜している。そして、規制部７２の中間部分は、ベルト５１と平行に延在している。このように形成されている規制部７２は、その前を通過するプロファイル５４の外側の係止部５４ｂに当接するように配置されており、当接することでプロファイル５４を他方のベルト５１側へと押すようになっている（図６も参照）。これにより、一対のベルト５１，５１の間隔が狭まり、また一対のプロファイル５４，５４の間隔が狭まる。
【００５２】
このように一対のプロファイル５４，５４の間隔を狭められることで基部５４ａの一側面同士の間隔が基板１１の幅と略同じになるように構成されている。これにより、基板１１の側面が位置決め部である左右両側にある基部５４ａによって挟持されて、左右方向において基板１１が位置決めされる。このように規制部７２を設けることで、プロファイル５４を動かして基板１１を搬送しながら基板１１の左右方向の位置決めを精度よく行うことができる。それ故、基板１１の位置決めをするための停止時間をなくすことができ、搬送及び位置決めに要する時間を短縮することができる。他方、規制部７２は、受渡位置まで延在していない。それ故、受渡位置では一対のプロファイル５４，５４の間隔は広いままであり、基部５４ａの一側面同士の間隔が基板１１の幅よりも若干大きくなっている。これにより、受渡位置にて受渡装置１４から搬送装置１５に基板１１の受渡す際の位置ズレの許容範囲を大きく、基板１１を４つのプロファイル５４に載せやすくなっている。
【００５３】
＜制御装置＞
このような構成を有する搬送システム１は、図１に示すように更に制御装置１８を有しており、この制御装置１８によって昇降装置１３、受渡装置１４、及び搬送装置１５の動作が制御されている。以下では、この制御装置１８によって実行される搬送作業について詳述する。
【００５４】
＜搬送システムの動作＞
制御装置１８は、昇降装置１３の駆動モータ３３を駆動して昇降台３４を下げ、収納ケース１２において最も下に位置する基板１１を受取位置まで降ろす。受取位置に達したところで、制御装置１８は、駆動モータ３３の駆動を停止する。制御装置１８は、次に駆動機構４２によりスライド部材４１ｂを後方に移動させる。後方に移動させることで、載置台４４の後側載置領域４７ａが受取位置に移動し、受取位置にある基板１１を後側載置領域４７ａの上に載せる。それと同時に、前側載置領域４７ｂもまた検査位置に移動し、一対の支持台４８，４８に支持されている基板１１を前側載置領域４７ｂの上に載せる。載せた後も、制御装置１８は、スライド部材４１ｂを更に後方に移動させる。これにより、後側載置領域４７ａ及び前側載置領域４７ｂは、２枚の基板１１を支持板２３及び支持台４７から夫々持ち上げて受取る。
【００５５】
持ち上げた後、制御装置１８は、駆動機構４２によってスライド部材４１ｂを前方に移動させる。これにより、２枚の基板１１を載せた載置台４４が受取位置及び検査位置より高いところを通って前方に移動する。やがて、後側載置領域４７ａが検査位置に近づき、また前側載置領域４７ｂが受渡位置に近づくと載置台４４が下降し始める。そのまま前方へ移動させ続けると、後側載置領域４７ａが検査位置に達し、その上に載せられていた基板１１を一対の支持台４８，４８の上に置く。それと同時に前側載置領域４７ｂが受渡位置に達する。
【００５６】
搬送装置１５では、４つのプロファイル５４が受渡位置の四隅に夫々配置されており、前側載置領域４７ｂが受渡位置に達すると前側載置領域４７ｂ上の基板１１の四隅が４つのプロファイル５４の上に夫々載る。載せた後もスライド部材４１ｂを前方に更に移動させることで前側載置領域４７ｂが基板１１から離れ、４つのプロファイル５４に基板１１に受け渡される。同様に、後側載置領域４７ａの基板１１は、一対の支持台４８，４８に受け渡されて検査位置に置かれる。
【００５７】
このようにして検査位置に置かれた基板１１は、図示しない検査装置によってその状態が検査され、その検査結果が制御装置１８に送信される。制御装置１８は、基板１１が不良品であると判定すると、不良品である基板１１を吸着ハンド１１によって吸着させてコンベア６３上に移し、コンベア６３によってその基板１１をシュータに移動させる。不良でないと判定した場合、制御装置１８は、移送機構１６を駆動させずに検査位置にて基板１１を待機させる。
【００５８】
また、受渡位置にて搬送装置１５に基板１１を受け渡した後、制御装置１８は、駆動モータ５３によって一対のベルト５１，５１を同期して回転させる。これにより、４つのプロファイル５４が前方に移動して基板１１が前方に送られる。前方に送られるプロファイル５４は、やがてプロファイル５４が規制部７２に当り、対向する一対のプロファイル５４，５４の間隔が狭められる。これにより、４つのプロファイル５４上に載せられた基板１１の左右方向の位置決めが行なわれる。つまり、搬送システム１は、基板１１を位置決しながら前方にある所定位置へと搬送することができる。
【００５９】
このように各装置１３，１４，１５，１６の動きを制御する制御装置１８は、昇降装置１３及び受渡装置１４の動作を前述するように制御し、収納ケース１２に収納されている基板１１を一枚ずつ受取位置及び検査位置を通過させて受渡位置に移送するようになっている。他方、搬送装置１５では、制御装置１８が駆動モータ５３の動きを制御し、移送されてくる基板１１を一枚ずつ４つのプロファイル５４に載置させるようになっている。
【００６０】
即ち、制御装置１８は、４つのプロファイル５４に基板１１が載置されると、駆動モータ５３によって一対のベルト５１，５１を前方に所定ピッチＬだけ移動させる。そうすると、４つのプロファイル５４が所定ピッチＬだけ前方に進んで基板１１が前方に搬送され、次の４つのプロファイル５４が受渡位置の四隅に夫々配置される。この次の４つのプロファイル５４には、受渡装置１４によって移送されてくる次の基板１１を受渡され、その載置領域に載置される。そして、制御装置１８が、再度駆動モータ５３によって一対のベルト５１，５１を前方に所定ピッチＬだけ移動させる。これを繰り返すことで、隣接する載置領域に基板１１を連続的に受け渡すことができ、図１に示すように上側に位置する全ての載置領域に対して抜けをなく基板１１を配置することができる。
【００６１】
他方、上述するように検査位置にて基板１１が不良品であると判定された場合、検査位置にて不良品の基板１１がシュータに移送されるので、前述のように基板１１を搬送装置１５に連続的に受け渡すことができない。この場合、制御装置１８は、次に検査位置にて不良品でないと判定されて基板１１が受渡位置に移送されてくるまで、一対のベルト５１，５１に回すことなく４つのプロファイル５４を受渡位置に留めておくようになっている。これにより、不良品の基板１１が移送装置１６によって取り除かれても、前後方向に並んでいる全ての載置領域に一枚ずつ基板１１を配置することができ、何れかの載置領域に基板１１が載置されずに一対のベルト５１，５１の間で歯抜けのような状態で複数の基板１１が並ぶようなことを防ぐことができる。
【００６２】
［収納用の搬送システム］
このように構成される搬送システム１は、半導体処理済の基板１１Ａを収納ケース１２に収納する場合にも使用することができる。以下では、収納用の搬送システム１Ａについて説明する。搬送システム１Ａは、上述する搬送システム１と構成が基本的に類似しているが、図１０に示すように特に搬送方向と、間隔規制機構１７Ａの配置位置と、受渡装置１４Ａの構造が異なる。なお、図１０では、制御装置１８の図示を省略している。搬送システム１Ａでは、前側に位置する４つのプロファイル５４上に基板１１Ａが載せられ、搬送装置１５によって基板１１Ａが後方（即ち、受渡装置１４の方）に搬送されるようになっている。これにより、基板１１Ａが一枚ずつ受渡位置まで搬送される。
【００６３】
また、搬送システム１Ａでは、間隔規制機構１７Ａが受渡装置１４Ａ側に位置しており、受渡装置１４Ａ側において一対のベルト５１，５１の間隔を狭めて一対のプロファイル５４，５４の間隔を狭めるようになっている。これにより、受渡位置に搬送しながら左右方向の位置決めをすることができる。
【００６４】
また、受渡装置１４Ａは、受渡位置にて基板１１Ａを受取り、受取位置にて基板１１Ａを収納ケース１２に収納できるようになっている。具体的に説明すると、受渡装置１４Ａは、図１１に示すようにカム４３ａが前側のストッパ部材に当たった後もスライド部材４１ｂが前方に移動すると、カムフォロア４３ｄがカム４３ａの凹所４３ｈから前側の平坦部４３ｇに乗り上げるようになっている。これにより、スライド部材４１ｂが前方に移動すると、受渡位置近傍で前側載置領域４７ｂが上昇して受取位置に位置するようになっている（図１１の矢符Ｇ参照）。また、この状態でスライド部材４１ｂを後方に移動させると、載置台４４が受渡位置、検査位置及び受取位置より高いところで水平移動し、やがてカム４３ａが後側ストッパ部材に当たる。カム４３ａが後側ストッパ部材に当たった後もスライド部材４１ｂが後方に移動させると、前側の平坦部４３ｇから凹所４３ｈへと下るようになっている。これにより、スライド部材４１ｂが後方に移動すると、検査位置近傍で前側載置領域４７ｂが下降して検査位置に位置するようになっている（図１１の矢符Ｈ参照）。
【００６５】
＜収納動作＞
次に、搬送システム１Ａにおいて、基板１１Ａを収納ケース１２に収納する動作について説明する。図示しないロボット等により基板１１Ａが前側に位置する４つのプロファイル５４上に載せられると、制御装置１８は、駆動モータ５３によって一対のベルト５１，５１を回転させる。これにより、一対のプロファイル５４，５４の間隔が狭められながら受渡位置の方へと移動し、基板１１Ａが受渡位置の方へと搬送されながら左右方向の位置が決めされる。制御装置１８は、搬出時と同様に、プロファイル５４を所定ピッチＬ移動する度に一旦停止するようになっている。即ち、制御装置１８は、各基板１１Ａが受渡位置に位置する度に駆動モータ５３の駆動を停止する。停止した後、制御装置１８は、受渡装置１４Ａのスライド部材４１ｂを前方に移動させて載置台４４の前側載置領域４７ｂを受渡位置に移動させる。これにより、受渡位置にある基板１１Ａが前側載置領域４７ｂ上に載り、受渡装置１４が搬送装置１５から基板１１Ａを受取る。この際、検査位置に基板１１Ａがある場合、その基板１１Ａは後側載置領域４７ａ上に載置される。
【００６６】
受渡位置の基板１１Ａを載置すると、制御装置１８は、スライド部材４１ｂを後方に動かし、前側載置領域４７ｂを検査位置まで移動させる。検査位置近傍では、前側載置流域４７ｂが下降しながら検査位置に向かって移動するため、前側載置領域４７ｂが検査位置することで一対の支持台４８，４８の上に前側載置領域４７ｂの基板１１Ａが載せられて受け渡される。
【００６７】
また、前側載置領域４７ｂが検査位置まで移動する際、後側載置領域４７ａは、受取位置へと移動している。受取位置周辺では、前側載置領域４７ｂと同様に、後側載置領域４７ａが下降しながら受取位置に向かって移動するため、受取位置に達すると、その左右両側に配置された一対の支持板２３，２３上に基板１１の左右両端部が載せられる。載せた後も後側載置領域４７ａは更に下降し、一対の支持板２３，２３が基板１１Ａを受取る。受取った後、制御装置１８は、昇降装置１３により収納ケース１２を上昇させ、基板１１Ａを受取った一対の支持板２３，２３の下に位置する次の一対の支持板２３，２３を受取位置に移動させる。これらの動作を繰り返すことで、搬送装置１５に載せられた基板１１を次々と正確且つ容易に収納ケース１２に収納することができる。
【００６８】
なお、検査位置では、図示しない検査装置によって基板１１Ａ上の処理に欠陥がないか否かが検査されており、欠陥がある場合、制御装置１８が移送装置１６を駆動して欠陥のある基板１１Ａを搬送路から取り除くようになっている。そして、基板１１Ａが取り除かれた場合、検査位置から受取位置に移動させる基板１１Ａがないため、制御装置１８は、検査後に後側載置領域４７ａが受取位置に達しても昇降装置１３を駆動させずに収納ケース１２を待機させるようになっている。これにより、上下方向に並ぶ全ての一対の支持板２３，２３に対して基板１１を支持させて収納することができる。
【００６９】
＜その他の実施形態＞
本実施形態の搬送システム１では、カム機構４３により載置台４４の上下方向の動きを実現しているが、駆動機構４２とは異なる別の駆動機構を設けて上下方向の動きを実現してもよい。また、間隔規制機構１７は、一対のベルト５１，５１の両側に配置されているが、何れか一方のベルト５１の外側だけに設けられていてもよい。また、間隔規制機構１７は、プロファイル５４を介して間接的に一対のベルト５１，５１の間隔を規制するようになっているが、ベルト５１を直接押して一対のベルト５１，５１の間隔を規制するような構成であってもよい。また、間隔規制機構１７は、一対のベルト５１，５１の間隔を狭めて規制するような構成であるが、受渡位置にて一対のベルト５１，５１の間隔を広げるような構成であってもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１，１Ａ  搬送システム
１１，１１Ａ  基板
１２  収納ケース
１３  昇降装置
１４，１４Ａ  受渡装置
１５  搬送装置
１６  移送装置
１７，１７Ａ  間隔規制機構
１８  制御装置
４２  駆動機構
４３  カム機構
４４  載置台
４７ａ  後側載置領域
４７ｂ  前側載置領域
５１  ベルト
５３  駆動モータ
５４  プロファイル
５４ａ  基部
【図１】
0005931389.tif 000002
【図２】
0005931389.tif 000003
【図３】
0005931389.tif 000004
【図４】
0005931389.tif 000005
【図５】
0005931389.tif 000006
【図６】
0005931389.tif 000007
【図７】
0005931389.tif 000008
【図８】
0005931389.tif 000009
【図９】
0005931389.tif 000010
【図１０】
0005931389.tif 000011
【図１１】
0005931389.tif 000012