(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアモータの駆動部を構成するコイルを冷却するためのリニアモータ冷却構造であって、
冷却水が流入する流入部と、
冷却水が流出する流出部と、
前記流入部からの冷却水を流入するための流入口及び前記流出部に冷却水を流出するための流出口を有し、前記流入口から流入された冷却水を内部で流通させて前記流出口から流出する流路を備えた平板状の平板冷却部と、を備え、
前記平板冷却部は、２以上の平板部材を積層した構造からなっており、前記平板冷却部の流路は、前記積層された平板部材間の空間に形成され、
前記平板部材間の空間は、第１の平板部材の凹部を有する側の面に第２の平板部材の平板面を接合させて前記凹部が覆われることによって、形成され、
前記平板冷却部の前記流路は複数形成され、これらの流路は、隣接する流路に対して仕切部を介して隔離されており、
前記平板冷却部は、前記流路のそれぞれに対して、複数の前記流入口及び複数の前記流出口を有しており、
前記流入部と前記平板冷却部と前記流出部とが連結されて、前記流入部及び前記平板冷却部の前記流入口と、前記平板冷却部の前記流出口及び前記流出部とが連通して冷却水の流路を構成し、
前記平板冷却部が前記コイルに密着して前記コイルを保持することを特徴とするリニアモータ冷却構造。
【請求項２】
前記平板冷却部の平板面の一方側と前記流入部とが厚さ方向に重なり合うことによって前記平板冷却部の前記流入口と前記流入部とが連通し、前記平板冷却部の平板面の他方側と前記流出部とが厚さ方向に重なり合うことによって前記平板冷却部の前記流出口と前記流出部とが連通することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ冷却構造。
【請求項３】
前記平板冷却部は２枚設けられ、２枚の前記平板冷却部が前記コイルを挟んで前記コイルを保持することを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアモータ冷却構造。
【請求項４】
前記平板冷却部は、対向して配置された前記コイルの間に介在して両側の前記コイルを保持することを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアモータ冷却構造。
【請求項５】
前記平板冷却部は、その平板面の片面に前記コイルを密着させて前記コイルを保持することを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアモータ冷却構造。
【請求項６】
前記平板冷却部を複数備え、これらの前記平板冷却部は互いに連結可能となっており、
前記複数の前記平板冷却部を連結したとき、一方の前記平板冷却部の前記流出口と他方の前記平板冷却部の前記流入口とが連通することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のリニアモータ冷却構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータの駆動部を構成するコイルを冷却するためのリニアモータ冷却構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、リニアモータ冷却構造として、コイルをコイルモールドで被覆し、更にコイルモールドを内壁で覆う構成とされた横断面略Ｉ字状のコイルユニットと、コイルユニットの外側を包囲する外壁とを備え、コイルユニットの内壁と外壁との間に冷却媒体を流して、発熱するコイルを冷却するリニアモータ冷却構造が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２８３７４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記のようなリニアモータ冷却構造は、コイルを効率よく冷却できるものの、コイルユニット及び外壁等の構造が複雑であるという問題がある。このため、冷却構造の製造にコストがかかるという問題もある。よって、このようなリニアモータ冷却構造では、構成を簡易化することが望まれている。
【０００５】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、コイルを効率よく冷却するとともに構成を簡易としたリニアモータ冷却構造を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明に係るリニアモータ冷却構造は、リニアモータの駆動部を構成するコイルを冷却するためのリニアモータ冷却構造であって、冷却水が流入する流入部と、冷却水が流出する流出部と、流入部からの冷却水を流入するための流入口及び流出部に冷却水を流出するための流出口を有し、流入口から流入された冷却水を内部で流通させて流出口から流出する流路を備えた平板状の平板冷却部と、を備え、平板冷却部は、２以上の平板部材を積層した構造からなっており、平板冷却部の流路は、積層された平板部材間の空間に形成され、平板部材間の空間は、第１の平板部材の凹部を有する側の面に第２の平板部材の平板面を接合させて凹部が覆われることによって、形成され、平板冷却部の流路は複数形成され、これらの流路は、隣接する流路に対して仕切部を介して隔離されており、平板冷却部は、流路のそれぞれに対して、複数の流入口及び複数の流出口を有しており、流入部と平板冷却部と流出部とが連結されて、流入部及び平板冷却部の流入口と、平板冷却部の流出口及び流出部とが連通して冷却水の流路を構成し、平板冷却部がコイルに密着してコイルを保持する。
【０００７】
本発明に係るリニアモータ冷却構造にあっては、平板状に構成され、内部に冷却水が流通する流路を備えた平板冷却部がコイルを保持するため、コイルを冷却させる機能とコイルを保持する機能とを兼ね備える。このため、コイルを保持するためのホルダ等が不要となり、冷却構造の構成を簡易にすることができる。そして、このような平板冷却部が直接コイルに密着してコイルを保持するため、コイルを効率よく冷却することができる。
【０００８】
ここで、平板冷却部の平板面の一方側と流入部とが厚さ方向に重なり合うことによって平板冷却部の流入口と流入部とが連通し、平板冷却部の平板面の他方側と流出部とが厚さ方向に重なり合うことによって平板冷却部の流出口と流出部とが連通することが好ましい。この場合、平板冷却部と流入部、及び平板冷却部と流出部を重ね合わせるだけで冷却構造が完成するため、冷却構造の構成をより簡易にすることができる。
【０００９】
また、平板冷却部は２枚設けられ、２枚の平板冷却部がコイルを挟んでコイルを保持すると、冷却構造の構成を更に簡易にすることができる。
【００１０】
また、平板冷却部は、対向して配置されたコイルの間に介在して両側のコイルを保持する構成としても、冷却構造の構成を更に簡易にすることができる。
【００１１】
また、平板冷却部は、その平板面の片面にコイルを密着させてコイルを保持する構成としても、冷却構造の構成を更に簡易にすることができる。
【００１２】
また、平板冷却部を複数備え、これらの平板冷却部は互いに連結可能となっており、複数の平板冷却部を連結したとき、一方の平板冷却部の流出口と他方の平板冷却部の流入口とが連通することが好ましい。この場合、複数の平板冷却部を連結させるとともに、一方端の平板冷却部に流入部を連結させて他方端の平板冷却部に流出部を連結させることにより、例えば複数のコイルが並ぶ方向に延びる冷却構造を容易に構成することができる。従って、コイルに合わせて簡易に冷却構造を構成することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、コイルを効率よく冷却するとともに構成を簡易とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るリニアモータ冷却構造を示す斜視図である。
【図２】図１中の平板冷却部及び流入部の流路を説明するための平面図である。
【図３】図１中の手前側の平板冷却部を示す斜視図である。
【図４】図３の平板冷却部を示す横断面図である。
【図５】図３中の第１の平板部材を背面側から見た斜視図である。
【図６】図３中の第１の平板部材を正面側から見た斜視図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係るリニアモータ冷却構造を示す斜視図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係るリニアモータ冷却構造を示す斜視図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係るリニアモータ冷却構造を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第５実施形態に係るリニアモータ冷却構造の平板冷却部を示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明によるリニアモータ冷却構造の好適な実施形態について図１〜図１０を参照しながら説明する。なお、各図において、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１６】
図１は、本発明の第１実施形態に係るリニアモータ冷却構造を示す斜視図、図２は、図１中の平板冷却部及び流入部の流路を説明するための平面図、図３は、図１中の手前側の平板冷却部を示す斜視図、図４は、図３の平板冷却部を示す横断面図、図５は、図３中の第１の平板部材を背面側から見た斜視図、図６は、図３中の第１の平板部材を正面側から見た斜視図である。
【００１７】
本実施形態に係るリニアモータ冷却構造を適用したリニアモータは、矩形板状を成すように巻回され所定の方向に並設されるコイル５（図１参照）と、コイル５に対向して交互に連続して並設されるＮ極の磁石（不図示）及びＳ極の磁石（不図示）とを備え、コイル５が通電されることによってＮ極の磁石とＳ極の磁石との間で電磁力が発生し、この電磁力によりコイル５が、当該コイル５を冷却するためのリニアモータ冷却構造１００を伴って移動するようになっている。なお、コイル５は、３枚でＵＶＷの３相を形成する。リニアモータ冷却構造１００は、上記のようにリニアモータの駆動部を構成するコイル５の温度上昇を抑制するコイル５の冷却構造である。
【００１８】
図１及び図２に示すように、リニアモータ冷却構造１００では、コイル５を両側から挟む２枚の平板冷却部２が設けられる。また、このリニアモータ冷却構造１００は、上記の平板冷却部２及びコイル５のほか、コイル５の並設方向の一方端側に、冷却水が流入する流入部３と、他方端側に、冷却水を流出する流出部４とを備えている。
【００１９】
平板冷却部２は、図３及び図４に示すように、長方形状の第１の平板部材２ａと第２の平板部材２ｂとを積層した構造となっている。これらの第１の平板部材２ａ及び第２の平板部材２ｂの材料は、例えば金属、セラミクスあるいは樹脂である。
【００２０】
第１の平板部材２ａは、図５及び図６に示すように、その長手方向一端側に平板面を貫通した円形状に形成される４個の流入口２ｃと、その長手方向他端側に平板面を貫通した円形状に形成される４個の流出口２ｄとを有する。換言すれば、流入口２ｃ及び流出口２ｄは、第１の平板部材２ａの面に垂直な方向に貫通した貫通穴として形成される。流入口２ｃと流出口２ｄは上下に並設されている。
【００２１】
また、第１の平板部材２ａは、その平板面に対して凹んで形成され上下一対に設けられた２個の凹部（流路）２ｆと、これらの正面側（図６の手前側）の上下に並ぶ凹部２ｆを仕切る仕切部となるリブ部２ｅとを有する。凹部２ｆは、流入口２ｃから流出口２ｄに延びると共に上下方向の幅が広くなるように形成され、その一端側が上下に並ぶ上側又は下側の２個の流入口２ｃ，２ｃに連通し、これに対応しその他端側が上下に並ぶ上側又は下側の２個の流出口２ｄ，２ｄに連通している。凹部２ｆの一端側の各流入口２ｃ，２ｃは、上下方向の幅が凹部２ｆの上下方向の幅よりも小さくなっており、凹部２ｆの他端側の各流出口２ｄ，２ｄも、上下方向の幅が凹部２ｆの上下方向の幅よりも小さくなっている。上下の凹部２ｆ，２ｆの間のリブ部２ｅは、流入口２ｃから流出口２ｄに向かう方向に延びて形成されており、凹部２ｆが設けられていない平板面と同一面（同一高さ面）とされ、凹部２ｆに対して高くされている。
【００２２】
第２の平板部材２ｂは、図３及び図４に示すように、第１の平板部材２ａと同一の大きさの平板である。この第２の平板部材２ｂの平板面と、第１の平板部材２ａの凹部２ｆを有する側の面とを重ね合わせて接合させることにより、凹部２ｆが蓋されるようにして平板冷却部２の内部空間となり、この内部空間が平板部材２ａ，２ｂの長手方向に延びる冷却水の流路となる。換言すれば、平板冷却部２の流路は、第１の平板部材２ａ自身を非平板形状とする（凹部２ｆを有する形状とする）ことにより形成されている。このような第１の平板部材２ａと第２の平板部材２ｂとの接合は、例えば拡散接合や熱接合とされ、平板冷却部２は２層の積層構造とされている。
【００２３】
流入部３は、図１及び図２に示すように、その上部３ｂが直方体状に形成され、当該上部３ｂの下面から下方に延びるように、上部３ｂを厚み方向（図２の左右方向）両側から絞るように小さくした直方体状の下部３ｃが形成されている。流入部３の上部３ｂには上面に開口して下方に延びる冷却水を流入するための流入口３ａが設けられる。また、流入部３の下部３ｃは、その厚みがコイル５の厚みと同一とされており、２枚の平板冷却部２で挟まれるようになっている。そして、この流入部３の下部３ｃが２枚の平板冷却部２で挟まれ流入部３の上部３ｂの下面が平板冷却部２の上面に接した状態で、流入部３は平板冷却部２に例えば平板冷却部２と流入部３との間にＯリングを挟んでボルト締結により連結されて設置される。また、流入部３の下部３ｃの側面には、各流入口２ｃと連通するための貫通孔が複数形成されており、流入部３が平板冷却部２に設置されたとき、上記貫通孔は、図２に示すように、平板冷却部２の流入口２ｃと連通するようになっている。
【００２４】
換言すれば、流入部３は、複数の流入口２ｃに連通する複数の貫通孔を備える。また、流入部３は、自身に冷却水を導入するための流入口３ａを備え、内部に流入した冷却水を上記複数の貫通孔に導入させるための分岐構造を備える。
【００２５】
流出部４は、流入部３と同様、図１に示すように、その上部４ｂが直方体状に形成され、当該上部４ｂの下面から下方に延びるように、上部４ｂを厚み方向両側から絞るように小さくした直方体状の下部４ｃが形成されている。流出部４の上部４ｂには上面に開口して下方に延びる冷却水を流出するための流出口４ａが設けられる。また、流出部４は、流入部３と同様に、その下部４ｃが２枚の平板冷却部２で挟まれることで平板冷却部２に設置されるようになっている。また、流出部４の下部４ｃの側面には、流出口２ｄと連通するための貫通孔が複数形成されており、流出部４が平板冷却部２に設置されたとき、上記貫通孔は、平板冷却部２の流出口２ｄと連通するようになっている。
【００２６】
換言すれば、流出部４は、複数の流出口２ｄに連通する複数の貫通孔を備える。また、流出部４は、自身から冷却水を導出するための流出口４ａを備え、上記複数の貫通孔に流入する冷却水を合流して流出口４ａに導く合流構造を備える。
【００２７】
従って、流出部４及び流入部３を平板冷却部２に対して設置した状態で流入口３ａから冷却水を流入させると、冷却水は、平板冷却部２の流入口２ｃ，２ｃを通り、内部空間である凹部２ｆ，２ｆを流通して流出口２ｄ，２ｄを通った後、流出部４の流出口４ａから外部に流出する。
【００２８】
そして、このようなリニアモータ冷却構造１００を構成する平板冷却部２により挟まれるコイル５は、ここでは、接着により、あるいは摩擦力や接合により平板冷却部２に密着して保持されている。
【００２９】
以上、第１実施形態のリニアモータ冷却構造１００によれば、平板状に構成され、内部に冷却水が流通する流路２ｆを備えた平板冷却部２がコイル５を保持するため、コイル５を冷却させる機能とコイル５を保持する機能とを兼ね備えることになり、コイルを保持するためのホルダ等が不要となる。従って、冷却構造の構成を簡易にすることができる。そして、このような平板冷却部２が直接コイル５に密着してコイル５を保持するため、コイル５を効率よく冷却することができる。
【００３０】
また、第１実施形態のリニアモータ冷却構造１００によれば、平板冷却部２の平板面と流入部３とが厚さ方向に重なり合う（流入部３の下部３ｃが厚さ方向に２枚の平板冷却部２で挟まれる）ことによって流入口２ｃと流入部３とが連通し、平板冷却部２の平板面と流出部４とが厚さ方向に重なり合う（流出部４の下部４ｃが厚さ方向に２枚の平板冷却部２で挟まれる）ことによって流出口２ｄと流出部４とが連通するため、平板冷却部２の平板面に流入部３及び流出部４を重ね合わせるだけで冷却構造が完成することになり、冷却構造の構成をより簡易にすることができる。
【００３１】
また、第１実施形態のリニアモータ冷却構造１００によれば、平板冷却部２は２枚設けられ、２枚の平板冷却部２がコイル５を挟んでコイル５を保持しているため、冷却構造の構成を更に簡易にすることができる。
【００３２】
また、第１実施形態のリニアモータ冷却構造１００によれば、第１及び第２の平板部材２ａ，２ｂとを重ね合わせるだけで、内部に冷却水が流通する流路を備えた平板冷却部２が構成されるため、冷却構造の構成を更に簡易にすることができる。そして、このような平板冷却部が直接コイルに密着して冷却を行うため、コイルを効率よく冷却することができる。
【００３３】
また、第１実施形態のリニアモータ冷却構造１００によれば、第１の平板部材２ａが、流入口２ｃ及び流出口２ｄを１つの流路２ｆに対してそれぞれ２つ以上（ここでは２つ）有しているため、流入口及び流出口がそれぞれ１つの場合に比して冷却水がより満遍なく平板冷却部２内（凹部２ｆ）を流通することになり、コイル５をより効率よく冷却することができる。具体的には、流入口２ｃ及び流出口２ｄを１つの流路２ｆに対して１つ有している場合は、冷却水は、流入口２ｃから流路２ｆの長手方向中央部分に広がるように拡散し、流出口２ｄに向かって収束するように流れていくが、流入口２ｃ及び流出口２ｄ付近（平板冷却部２の端の辺り）では、満遍なく冷却水が流通せず、その結果偏った温度分布となる。これに対して、第１実施形態の構成では、流入口２ｃ及び流出口２ｄ付近においてもほぼ満遍なく冷却水が流通し、均一な温度分布になることがシミュレーションで確認されている。
【００３４】
また、第１実施形態のリニアモータ冷却構造１００によれば、流路２ｆは、複数（ここでは２つ）形成され、これらの流路２ｆは、隣接する流路に対してリブ部２ｅを介して離隔されているため、リブ部２ｅがない１つの流路の場合に比してリブ部２ｅにより冷却水の流路の上下方向の幅を狭くした状態で、冷却水が各流路内で流入口２ｃから流出口２ｄに延びる方向に効率的に流通し、コイル５をより一層効率よく冷却することができる。また、流入口２ｃ及び流出口２ｄが複数設けられ且つリブ部２ｅがない場合には、冷却水の流通が互いに干渉し乱流が発生することが確認されている。これに対して、第１実施形態の構成では、リブ部２ｅを備えることによって冷却水の干渉を抑制することができ、乱流の発生が抑制されることがシミュレーションで確認されている。
【００３５】
また、第１の平板部材２ａは凹部２ｆ間にリブ部２ｅを備えるため、平板冷却部２は高い耐圧力を有し、内部圧力の上昇に伴う変形を抑制することができる。
【００３６】
また、流入部３は、その下部３ｃに平板冷却部２の各流入口２ｃと連通する貫通孔を複数備え、流入口３ａから流入した冷却水が分岐して各流入口２ｃに流入する。このように、流入部３は、いわゆるマニホールドのような分岐構造を備えているため、冷却水を各流入口２ｃに均等に流入させることができ、複数の流入口２ｃを備える場合に適した構成とされている。
【００３７】
次に、第２実施形態のリニアモータ冷却構造２００について、図７を参照しながら説明する。この第２実施形態のリニアモータ冷却構造２００が第１実施形態のリニアモータ冷却構造１００と異なる点は、コイル５がさらに対面して１組設けられ、平板冷却部２は、対面するコイル５の間に介在して両側のコイル５を保持するようにした点である。
【００３８】
第２実施形態のリニアモータ冷却構造２００は、上記の点以外は、第１実施形態と同様であり、コイル５を冷却するための冷却水は、流入部３の流入口３ａから流入し、平板冷却部２の流入口２ｃを介して内部空間である凹部２ｆを流通し流出口２ｄを通った後、流出部４の流出口４ａから外部に流出する。
【００３９】
このような第２実施形態にあっては、第１実施形態と同様な効果に加えて、平板冷却部２は、対向するコイル５の間に介在して当該対向するコイル５を保持する構成としているため、冷却構造の構成を簡易にすることができる。
【００４０】
次に、第３実施形態のリニアモータ冷却構造３００について、図８を参照しながら説明する。この第３実施形態のリニアモータ冷却構造３００が第１，第２実施形態のリニアモータ冷却構造１００，２００と異なる点は、平板冷却部２が、その平板面の片面にコイル５を密着させてコイル５を保持するようにした点である。
【００４１】
第３実施形態のリニアモータ冷却構造３００は、上記の点以外は、第１，第２実施形態と同様であり、その冷却水の流れは第２実施形態と同様である。
【００４２】
このような第３実施形態にあっては、第１，第２実施形態と同様な効果に加えて、平板冷却部２は、その平板面の片面にコイル５を密着させてコイル５を保持する構成としているため、第１，第２実施形態同様、冷却構造の構成を簡易にすることができる。
【００４３】
次に、第４実施形態のリニアモータ冷却構造４００について、図９を参照しながら説明する。この第４実施形態のリニアモータ冷却構造４００が第１実施形態のリニアモータ冷却構造１００と異なる点は、平板冷却部２を長手方向に複数備え、これらの平板冷却部２が互いに連結可能となっている点である。
【００４４】
具体的には、平板冷却部２は、コイル５が並ぶ方向に互いに連結可能となっており、例えば、流入部３を有する上流側（左側）の平板冷却部２の下流端（右端）と、流出部４を有する下流側（右側）の平板冷却部２の上流端（左端）とを突き合わせて連結することで、上流側の平板冷却部２の流出口２ｄと下流側の平板冷却部２の流入口２ｃとが連通するようになっている。従って、流入部３の流入口３ａから流入した冷却水は、上流側の平板冷却部２の流入口２ｃを介して凹部２ｆ及び流出口２ｄを流通し、下流側の平板冷却部２の流入口２ｃを介して凹部２ｆ及び流出口２ｄを流通した後、流出部４の流出口４ａから流出する。
【００４５】
このような第４実施形態にあっては、第１実施形態と同様な効果に加えて、複数の平板冷却部２を連結させるとともに、一方端の平板冷却部２に流入部３を連結させて他方端の平板冷却部２に流出部４を連結させることにより、複数のコイル５が並ぶ方向に延びる冷却構造を容易に構成することができる。従って、コイルに合わせて簡易に冷却構造を構成することができる。なお、このような連結構成は、第２，第３実施形態にも適用できる。
【００４６】
次に、第５実施形態のリニアモータ冷却構造について、図１０を参照しながら説明する。この第５実施形態のリニアモータ冷却構造が第１実施形態のリニアモータ冷却構造１００と異なる点は、第１の平板部材２ａ及び第２の平板部材２ｂを備える平板冷却部２の代わりに、３枚の長方形状の第１の平板部材１２ａ、第２の平板部材１２ｂ、第３の平板部材１２ｃを有する平板冷却部１２を用いた点である。これらの第１、第２、第３の平板部材１２ａ，１２ｂ，１２ｃは同じ大きさとされている。
【００４７】
第１の平板部材１２ａは、その長手方向の一端側に平板面を貫通して形成される流入口１２ｄと、その長手方向の他端側に平板面を貫通して形成される流出口１２ｇとを有する。
【００４８】
第２の平板部材１２ｂは、その平板面を長方形状に貫通して形成される開口１２ｆと、開口１２ｆの左右両端部から互いに左右両端側にさらに凹むようにして形成される凹部１２ｅ，１２ｅとをそれぞれ備えている。これらの凹部１２ｅ，１２ｅは、流入口１２ｄ、流出口１２ｇに対応する位置に設けられている。第１の平板部材１２ａの平板面と第２の平板部材１２ｂの平板面とを重ね合わせると、流入口１２ｄ及び左側の凹部１２ｅと、流出口１２ｇ及び右側の凹部１２ｅとが連通するようになっている。
【００４９】
そして、３枚の平板部材１２ａ，１２ｂ，１２ｃを重ね合わせると、開口１２ｆが第１の平板部材１２ａと第３の平板部材１２ｃとの間に挟まれて両側が塞がれて平板冷却部１２の内部空間となり、この内部空間が冷却水の流路となる。換言すれば、平板冷却部１２の流路は、第１及び第３の平板部材１２ａ，１２ｃの間に非平板形状の（開口１２ｆを有する）第２の平板部材１２ｂが挟み込まれて重ね合わせる部材の一部を形成することにより形成されている。このように、平板冷却部１２は、３層の積層構造とされている。
【００５０】
このような平板冷却部１２は、第１〜第４実施形態の平板冷却部２と同様、流入部３及び流出部４を設置可能となっており、流入部３を設置したときには流入口３ａと流入口１２ｄとが連通し、流出部４を設置したときには流出口４ａと流出口１２ｇとが連通するようになっている。よって、流入部３の流入口３ａから冷却水を流入すると、この冷却水は流入口１２ｄから開口１２ｆ内を流通し、流出口１２ｇを介して流出部４へ流出した後、外部に流出する。
【００５１】
従って、このような構成を有する第５実施形態のリニアモータ冷却構造でも、第１〜第４実施形態と同様な効果を得ることができる。なお、第５実施形態のリニアモータ冷却構造を構成する平板冷却部１２は、第１〜第４実施形態において平板冷却部２の代わりに用いることもできる。
【００５２】
また、第５実施形態では、平板冷却部１２が、開口１２ｆの左右両端部から互いにさらに左右両端側に凹むようにして形成される凹部１２ｅ，１２ｅを備え、流入口１２ｄ及び左側（一端）の（流入側）凹部１２ｅと、流出口１２ｇ及び右側（他端）の（流出側）凹部１２ｅとが連通するようにしたため、流入口１２ｄから左側の（流入側）凹部１２ｅに流入した冷却水は、凹部１２ｅの上下且つ左側に存在する第２の平板部材１２ｂの壁部に遮られることとなり、より好適に流出口１２ｇの方向に流通する。そして、右側の（流出側）凹部１２ｅに流入した冷却水は、凹部１２ｅの上下且つ右側に存在する第２の平板部材１２ｂの壁部に遮られることとなり、より好適に流出口１２ｇに進入する。
【００５３】
このように、第５実施形態にあっては、平板冷却部１２は、流入口１２ｄ及び流出口１２ｇの周囲の部分であって、流路につながる部分以外の部分に壁部を有しているため、冷却水が流入口１２ｄから流出口１２ｇに延びる方向に効率的に流通し、コイル５を効率よく冷却することができる。因みに、この壁部による作用・効果は、第１〜第４実施形態の平板冷却部２に対しても同様に生じる。なお、これらの凹部１２ｅ，１２ｅはなくてもよく、例えば開口１２ｆの長手方向の長さを長くして（凹部１２ｅ，１２ｅの端縁まで延びるように長くして）、流入口１２ｄ及び開口１２ｆと、流出口１２ｇ及び開口１２ｆとを連通するようにしてもよいが、上記の効果が得られる点と剛性を高められる点で凹部１２ｅを設けた場合の方が有利である。
【００５４】
ここでは、第５実施形態で説明したが、図６に示すように第１実施形態のリニアモータ冷却構造でも同様の構造であってもよく、その他実施形態でも同様の構造を備えていてもよい。
【００５５】
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、特に好ましいとして、平板冷却部２の平板面と流入部３とが厚さ方向に重なり合うことによって平板冷却部２の流入口２ｃと流入部３とが連通するようにしたが、これに限らず、例えば平板冷却部２の側端面と流入部３とを重ね合わせることによって平板冷却部２の側端面と流入部３とを連通させるようにしてもよい。平板冷却部２と流出部４との関係についても同様である。
【００５６】
また、上記実施形態では、特に好ましいとして、流入口２ｃ及び流出口２ｄが上下に並んでそれぞれ４個ずつ設けられ、凹部２ｆが上下一対に２つ設けられ、凹部２ｆの一端側が２個の流入口２ｃに連通し、凹部２ｆの他端側が２個の流出口２ｄに連通する例について説明したが、流入口２ｃ、流出口２ｄ及び凹部２ｆの個数や冷却水の流路の態様は上記に限定されない。また、凹部２ｆを仕切るリブ部２ｅについても数や形状等を変更することが可能である。
【００５７】
また、流入部３及び流出部４の機能としては、平板冷却部２への冷却水の導入・導出の機能を備えているが、ここでムービングコイル（磁石とコイルとでコイルが動く形態のリニアモータ）の場合、いわゆるヨーク（磁石と磁性体の組み合わせ）が閉じた形状になっていることがある。この場合コイルはその閉じた形状の中に配置されることがあり、その場合コイルを冷却するための冷却水の導入は上方から行うことが望ましいことがある。その場合に、流入部及び流出部の上面側に設けた流入・流出箇所から冷却水の導入・導出を行うことが出来る。そして、平板冷却部の機能を維持するための形態として水平方向から冷却水を導入したい場合は、流入部及び流出部が冷却水の流入方向を変化させるような流路形状をしていることにより、それを達成できる。本発明においては特に図２及び図６に示すような実施形態によりそれを行っていてもよい。
【００５８】
なお、上記実施形態では、コイル側が移動するリニアモータを例として説明したが、磁石側が移動するリニアモータに適用してもよい。
【符号の説明】
【００５９】
２…平板冷却部、２ａ，１２ａ…第１の平板部材、２ｂ，１２ｂ…第２の平板部材、１２ｃ…第３の平板部材、２ｃ…流入口、２ｄ…流出口、２ｅ…リブ部（仕切部）、２ｆ…凹部、３…流入部、４…流出部、５…コイル、１２ｆ…開口、１００，２００，３００，４００…リニアモータ冷却構造。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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