(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレーム上に移動可能に装着され、その上表面上に一端部への向きに対して角度を付けて配置される第１及び第２レールを有する基盤部材と、
底面及び上表面を夫々有し、上記底面の夫々には一方の端部への向きに対して角度を付けたスロットが形成された第１及び第２中間運搬部とを具え、
上記第１及び第２中間運搬部夫々の上記スロットは、上記基盤部材の角度付き上記第１及び第２レールの一方と係合し、移動可能な上記基盤部材の一方向への動きによって、上記第１及び第２中間運搬部間の距離が近くなり、他方向への動きによって、上記第１及び第２中間運搬部間の距離が広くなることを特徴とするデュアル・プロービング・チップ・システム。
【請求項２】
上記第１及び第２中間運搬部が、その上表面に上記第１及び第２中間運搬部の長手軸と平行に形成されたレールと、第１及び第２サポート部材とを有し、該第１及び第２サポート部材の夫々は、底面及び上表面を有し、上記第１及び第２サポート部材の夫々の底面に形成された上記第１及び第２サポート部材の長手軸と平行なスロットが、上記第１及び第２中間運搬部の一方の上記上表面の上記レールと係合することを特徴とする請求項１記載のデュアル・プロービング・チップ・システム。
【請求項３】
上記第１及び第２中間運搬部が、その後端部に間隔を開けて配置された複数の隙間付き支柱を更に有し、一方の上記隙間付き支柱が上記中間運搬部の一方の側面から伸び、他方の上記隙間付き支柱が上記中間運搬部の他方の側面から伸び、横断壁が前端部方向を向いて配置されると共に複数の上記隙間付き支柱が接続されることを特徴とする請求項２記載のデュアル・プロービング・チップ・システム。
【請求項４】
外周に軸上に配置されたピニオン・ギアを形成する複数の歯を有するサム・ホイールを更に具え、
上記軸が上記第１及び第２中間運搬部の上記隙間付き支柱に配置され、上記ピニオン・ギアが、上記基盤部材の長手軸に平行な上記基盤部材の上記上表面上に配置された線形な歯の領域と係合することを特徴とする請求項３記載のデュアル・プロービング・チップ・システム。
【請求項５】
上記第１及び第２サポート部材の夫々は、その後端部と上記第１及び第２中間運搬部の一方の上記横断壁の間に配置される関連する圧縮ばねを有し、装着部材が上記横断壁の開口と上記圧縮ばねを通過して、上記サポート部材に固定されることを特徴とする請求項３記載のデュアル・プロービング・チップ・システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定デバイスの電気信号を調べるためのプローブにおいて、２つのプロービング・チップの間隔を調整でき、横方向及び同軸方向の追従性を提供できるプロービング・チップを装着するためのシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
本願は、２０１１年６月１０に出願された米国仮特許出願番号第６１／４９５,６４７号に基づく優先権を主張するものである。
【０００３】
差動プローブや、接地コンタクトのあるシングルエンド・プローブのようなデュアル・プローブ・チップ信号取込みプローブは、被測定デバイスの電気信号を測定するために使用される。その２つのプロービング・チップは、異なるピッチの間隔を有するプロービング・コンタクトと接続するために、間隔を調整できることが一般に必要である。初期の可変ピッチ・プローブでは、プロービング・チップ軸の周りでプロービング・チップを回して２つのプロービング・チップ間の間隔を調整することで、プロービング・チップ軸からのプロービング・チップの距離を調整できるものあった。このタイプのプロービング・チップは、米国特許第６,４００,１６７号、同第６,４０４,２１５号、同第６,６０３,２９７号及び同第６,８２８,７６８号に記載されている。一般に、こうしたタイプのプロービング・チップの場合、ユーザが各プロービング・チップを個別に手動で調整する必要がある。
【０００４】
改善されたデュアル・プローブ・チップ信号取込みプローブ・システムでは、デュアル・プロービング・アームに取り付けられたサム・ホイール（thumb wheel：指動輪）を用いている。２つのプロービング・アーム夫々の一端部に１つのプロービング・チップが取り付けられ、２つのプロービング・アームの他端部は回転軸（pivot point）に固定されている。サム・ホイールは、一般に、回転軸と２つのプロービング・チップの間の中間位置に配置される。サム・ホイールは、反時計回り又は時計回り方向のサム・ホイールの回転運動によって、プロービング・アームが回転軸の周りで回転（旋回）し、２つのプロービング・チップの間の間隔が変化するように、プロービング・アームに取り付けられる。こうしたプロービング・チップ・システムの例は、例えば、米国特許第６,２７６,９５６号、同第６,９６７,４７３号、同第７,２１２,０１８号及び同第７,５９２,８２２号に記載されている。
【０００５】
上述のデュアル・プローブ・チップ信号取込みプローブでは、各プロービング・チップは、回転軸の周りで回転したときに、円弧を描く。他のデュアル・プローブ・チップ信号取込みプローブ・システムでは、２つのプロービング・チップの間隔を増減させるために、一方又は両方のプロービング・チップを横方向に動かす。米国特許第７,１６７,０１１号は、一方又は両方のプロービング・チップに隣接して配置された１つ以上のプロービング・チップ移動機構を有する間隔可変プロービング・システムを記載している。２つのプロービング・チップが２つの半剛性同軸ケーブル夫々の一端部に形成され、各半剛性同軸ケーブルは保持ブロック中に固定される。一方又は両方の保持ブロックは、保持ブロックを受ける運搬部（キャリア）を有する調整機構に連結される。半剛性同軸ケーブルが装着されるプローブ本体には、プローブ本体側から伸びるねじ山を切った少なくとも１つの開口があり、ここにねじ山を切ったキャップねじを固定する。ユーザは、六角棒スパナ（hex-key wrench）、スクリュー・ドライバなどを使って、キャップねじを時計回り又は半時計回りに回すことで、２つのプロービング・チップ間の間隔を増減させる。
【０００６】
デュアル・プローブ・チップ信号取込みプローブに必要な他の要件は、プロービング・チップの追従性である。被測定回路上のプロービング点は、同じ高さとは限らない。プロービング・チップは、こうした違いをプロービング・チップの同軸方向の動きで相殺できなければならない。圧縮ばね、非圧縮のエラストマなどが、プロービング・チップの同軸方向の動きを与えるために使われてきた。米国特許第６,８２８,７６８号、同第７,１０２,３７０号、同第７,１６７,０１１号及び同第７,５９２,８２２号は、追従性のあるプロービング・チップを有する種々のデュアル・プロービング・チップ・システムを記載している。
【０００７】
また、デュアル・プロービング・チップ信号取込みプローブは、同軸方向の追従性に加えて、横方向の追従性も有する必要がある。被測定デバイス上のプロービング・コンタクトへの接続の信頼性が最も高くなるのは、プローブがプロービング・コンタクトに対して正常に配置されたときである。しかし、いつもそうできるとは限らない。プロービング・チップは、信号取込みプローブが垂直以外の方向に関してずれて位置決めされても、それを相殺できるように、横方向への追従性がある程度必要である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許６４００１６７号明細書
【特許文献２】米国特許６４０４２１５号明細書
【特許文献３】米国特許６６０３２９７号明細書
【特許文献４】米国特許６８２８７６８号明細書
【特許文献５】米国特許６２７６９５６号明細書
【特許文献６】米国特許６９６７４７３号明細書
【特許文献７】米国特許７２１２０１８号明細書
【特許文献８】米国特許７５９２８２２号明細書
【特許文献９】米国特許７１６７０１１号明細書
【特許文献１０】米国特許７１０２３７０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述のように、２つのプロービング・チップを装着するためのシステムでは、２つのプロービング・チップ間の間隔を調整できると共に、同軸方向及び横方向への柔軟な追従性が必要である。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によるデュアル・プロービング・チップ・システムは、フレーム、基盤部材、第１及び第２中間運搬部、第１及び第２サポート部材を有し、これらは協同して、サポート部材上に装着された２つのプロービング・チップについて、間隔を調整可能とすると共に、軸方向の追従性を与える。基盤部材は、フレーム上に移動可能に装着される。基盤部材の上表面には、先端部方向について長手軸に対して角度を付けた第１及び第２レールが形成される。第１及び第２中間運搬部には夫々底面と上表面があり、底面には先端部方向について長手軸に対して角度を付けたスロットがある。第１及び第２中間運搬部夫々のスロットは、基盤部材の角度を付けて配置されたレールとかみ合っているので、第１及び第２中間運搬部が第１方向に動くと第１及び第２中間運搬部間の距離が狭まり、第１及び第２中間運搬部が第２方向に動くと第１及び第２中間運搬部間の距離が広がる。第１及び第２中間運搬部の夫々には、その上表面上に長手軸と平行なレールがある。第１及び第２サポート部材は、軸が長手であり、底面及び上表面があって、底面には長手軸と平行なスロットが形成され、第１及び第２中間運搬部夫々の上表面の対応するレールとかみ合うようになっている。
【００１１】
第１及び第２中間運搬部の夫々には、その後端部に、隙間（スロット）の空いた２つの支柱がある。一方の隙間付き支柱は、中間運搬部の一方の側面から伸びており、他方の隙間付き支柱は、中間運搬部の反対側の側面から伸びている。横断壁が前端部を向いて配置されると共に、複数の隙間付き支柱に接続される。外周にピニオン・ギアを形成する複数の歯があるサム・ホイールが回転軸上に配置され、回転軸は第１及び第２中間運搬部の隙間付き支柱のスロット内に置かれる。ピニオン・ギアの歯は、基盤部材の長手軸と平行に基盤部材上に配置されるラック（）の線形な歯と係合する。
【００１２】
フレームには、前フレームから伸びる複数の横フレームがあり、横フレームはその端部が開いた状態（オープン端部）で終わる。横フレームの夫々には、オープン端部から伸びる直立壁があり、直立壁の穴を通して装着部材を受ける。ねじ、プレス取り付けピンなどのような装着部材は、デュアル・プロービング・チップ・システムを覆うカバーを固定する。フレームの直立壁中に上端部から下方向に伸びて形成されるスロットは、第１及び第２中間運搬部の隙間付き支柱のスロットと一致する位置に形成される。基盤部材留め部材が、この留め部材と基盤部材間にフレームを捕捉するように基盤部材に取り付けられる。
【００１３】
第１及び第２サポート部材の夫々には、対応する圧縮ばねがあり、サポート部材の後端部と対応する第１及び第２中間運搬部の横断壁の間に配置される。ねじ、プレス取り付けピンなどのような装着部材は、横断壁の開口と圧縮ばねを通り、サポート部材に固定される。第１及び第２サポート部材の夫々には、その長手軸と平行な長手側面があり、そこに第１及び第２サポート部材の連動追従機構がある。連動追従機構には、第１及び第２サポート部材の一方の長手側面から外側に伸びるタブと、第１及び第２サポート部材の他方の長手側面から内側に広がる対応する凹部とがある。タブと凹部の形状は台形であり第１及び第２サポート部材の距離が減少すると、互いに係合する。
【００１４】
本発明の概念１は、デュアル・プロービング・チップ・システムであって、
フレーム上に移動可能に装着され、その上表面上に一端部への向きに対して角度を付けて配置される第１及び第２レールを有する基盤部材と、
底面及び上表面を夫々有し、上記底面の夫々には一方の端部への向きに対して角度を付けたスロットが形成された第１及び第２中間運搬部とを具え、
上記第１及び第２中間運搬部夫々の上記スロットは、上記基盤部材の角度付き上記第１及び第２レールの一方と係合し、移動可能な上記基盤部材の一方向への動きによって、上記第１及び第２中間運搬部間の距離が近くなり、他方向への動きによって、上記第１及び第２中間運搬部間の距離が広くなることを特徴としている。
【００１５】
本発明の概念２は、概念１記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記基盤部材及び上記第１及び第２中間運搬部は、長手軸、前端部及び後端部を有し、上記基盤部材の上記レールは、前端部への向きについて長手軸に角度が付けられ、上記第１及び第２中間運搬部材の上記スロットは、前端部への向きについて長手軸に角度が付けられていることを特徴としている。
【００１６】
本発明の概念３は、概念２記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記第１及び第２中間運搬部が、その上表面に上記長手軸と平行に形成されたレールと、第１及び第２サポート部材とを有し、該第１及び第２サポート部材の夫々は、長手軸、底面及び上表面を有し、上記第１及び第２サポート部材の夫々の底面に形成された上記長手軸と平行なスロットが、上記第１及び第２中間運搬部の一方の上記上表面の上記レールと係合することを特徴としている。
【００１７】
本発明の概念４は、概念３のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記第１及び第２サポート部材の夫々に先端部及び後端部があり、プロービング・チップが上記先端部に装着されることを特徴としている。
【００１８】
本発明の概念５は、概念４記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記第１及び第２中間運搬部が、その後端部に間隔を開けて配置された複数の隙間付き支柱を更に有し、一方の上記隙間付き支柱が上記中間運搬部の一方の側面から伸び、他方の上記隙間付き支柱が上記中間運搬部の他方の側面から伸び、横断壁が前端部方向を向いて配置されると共に複数の上記隙間付き支柱が接続されることを特徴としている。
【００１９】
本発明の概念６は、概念５記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、外周に軸上に配置されたピニオン・ギアを形成する複数の歯を有するサム・ホイールを更に具え、上記軸が上記第１及び第２中間運搬部の上記隙間付き支柱に配置され、上記ピニオン・ギアが、上記基盤部材の上記長手軸に平行な上記基盤部材の上記上表面上に配置された線形な歯の領域と係合することを特徴としている。
【００２０】
本発明の概念７は、概念６記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記フレームが前フレームから伸びる複数の横フレームを更に有し、該横フレームはオープン端部を形成し、上記横フレームの夫々には上記オープン端部から伸びる直立壁と、該直立壁の開口があり、上記デュアル・プロービング・チップ・システムを覆うように配置されるカバーを固定する装着部材を上記開口を通して受けることを特徴としている。
【００２１】
本発明の概念８は、概念７記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記フレームの上記直立壁の夫々に上端部から下向きに形成されるスロットを更に有し、該スロットは上記第１及び第２中間運搬部の上記隙間付き支柱のスロットと一致する位置に配置され、上記ピニオン・ギアの上記軸を受けることを特徴としている。
【００２２】
本発明の概念９は、概念７記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記装着部材がねじであり、上記カバーのねじ山を切った開口と係合することを特徴としている。
【００２３】
本発明の概念１０は、概念１記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記基盤部材に取り付けられる留め部材を更に具え、上記フレームを上記基盤部材及び上記留め部材の間に捕捉することを特徴としている。
【００２４】
本発明の概念１１は、概念５記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記第１及び第２サポート部材の夫々は、その後端部と上記第１及び第２中間運搬部の一方の上記横断壁の間に配置される関連する圧縮ばねを有し、装着部材が上記横断壁の開口と上記圧縮ばねを通過して、上記サポート部材に固定されることを特徴としている。
【００２５】
本発明の概念１２は、概念１１記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記装着部材は、上記サポート部材のねじ山を切った開口と係合するねじであることを特徴としている。
【００２６】
本発明の概念１３は、概念１１記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記第１及び第２サポート部材は、その長手軸と平行な長手側面を有し、上記第１及び第２サポート部材は、更に、上記第１及び第２サポート部材の一方の上記長手側面から外側に伸びるタブと、上記第１及び第２サポート部材の他方の上記長手側面から内側に広がる対応する凹部とを有する連動追従機構２０を有し、上記第１及び第２サポート部材の距離が減少すると、上記タブと上記凹部は互いに係合することを特徴としている。
【００２７】
本発明の概念１４は、概念１３記載のデュアル・プロービング・チップ・システムであって、上記タブと上記凹部の形状が台形であることを特徴としている。
【００２８】
本発明の目的、効果及び他の新規な点は、以下の詳細な説明を添付の特許請求の範囲及び図面とともに読むことによって明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、本発明によるデュアル・プロービング・チップ・システムの斜視図である。
【図２Ａ】図２Ａは、本発明によるデュアル・プロービング・チップ・システムの分解斜視図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、本発明によるデュアル・プロービング・チップ・システムの分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
図１は、信号取込みプローブを有する本発明によるデュアル・プロービング・チップ・システム１０の斜視図である。デュアル・プロービング・チップ・システム１０は、２つのプロービング・チップを装着するためのシステムであって、略三角形の第１及び第２サポート部材１４を有し、１５に示す軸方向の方が長くなっている。サポート部材１４には上面１７及び下面１９があり、上面１７の先端部２１には面から立ち上がった台座部１６があり、また、隣接して凹部領域１８がある。サポート部材１４は、液晶ポリマーなどのような低誘電性の高強度非導電性材料から構成され、例えば、射出成形処理を用いて形成される。プロービング・チップ（図示せず）は、石英ガラス（fused quartz、fused silica）、セラミック材料などのような剛性の非導電性材料から構成され、台座部１６に装着される。プロービング・チップには、成形（contoured：湾曲した）コンタクトがあり、この上に金などの導電性材料が被覆される。成形コンタクトは、表面がアーチ形状となっており、丸みを帯びたコンタクトを形成する。プロービング・チップの成形コンタクトは、台座部１６の表面を超え、プロービング・チップの成形コンタクトが被測定デバイス上の試験ポイントと係合できるように突出して伸びている。ＦＲ−４回路基板材料、セラミック材料などのような非導電性材料から形成される回路基板（図示せず）は、周囲の形状が凹部領域１８と類似しており、この領域上に保持される。プロービング・チップは、対応する米国特許出願番号第１３／１４９,３３２号「信号取込みプローブ用プロービング・チップ」に記載されている。
【００３１】
サポート部材１４には、連動追従機構２０があり、サポート部材１４の一方には、凹部領域１８の長手軸１５と平行な長手側面から外側へ伸びる台形タブ２２がある。サポート部材１４の他方には、凹部領域１８の長手軸１５と平行な長手側面２３に隣接して相補的な（コンプリメンタリな）台形凹部２４が形成され、これが台形タブ２２を受ける。サポート部材１４の夫々は、中間運搬部（キャリア）２６の対の一方に装着される。サポート部材１４の夫々の後端部２５には、ねじ山を切った開口があり、ここに圧縮ばね２８が配置される。圧縮ばね２８は、中間運搬部２６上に形成される横断壁３０とサポート部材１４との間に捕捉される。中間運搬部２６は、可動基盤部材３２に装着される。サポート部材１４、中間運搬部２６、基盤部材３２は、フレーム３４上に装着される。デュアル・プロービング・チップ・システム１０を覆うようにカバー３６が配置される。カバー３６にはスロット３８があり、ここで２つのプロービング・チップの間隔を調整するピニオン（小歯車）サム・ホイール（後述）を受けるようになっている。２つの半円形ポケット４０がカバー３６に形成され、これらで、夫々対応するサポート部材１４上に装着される回路基板夫々に結合される同軸ケーブルを受ける。
【００３２】
デュアル・プロービング・チップ・システム１０は、サポート部材１４夫々に対して、同軸方向（長手軸１５と同じ方向）及び横方向（長手軸１５と垂直で、上表面１７と平行な方向）への追従性を与える。各サポート部材１４は、０.０１０インチ（約０．０２５ｃｍ）までの横方向の追従性と、０.０５０インチ（約０．１２７ｃｍ）までの同軸方向の追従性を夫々持っている。サポート部材１４は、０.０５０インチ（約０．１２７ｃｍ）まで、横方向にプロービング・チップの間隔を調整できる。プロービング・チップは、サポート部材１４の長手軸１５に垂直な軸に沿って、横方向に一緒に離れる方向に動く。この点は、従来のプロービング・システムにおける間隔を調整可能な可動デュアル・プロービング・チップと対照的である。即ち、従来のプロービング・システムでは、２つのプロービング・チップが一緒に動いて離れるときに、円弧を描いている。
【００３３】
図２Ａ及び２Ｂは、デュアル・プロービング・チップ・システム１０の分解斜視図である。各サポート部材１４は、長手軸２７、底面２９及び上表面３１を有する対応する中間運搬部２６上に配置される。デュアル・プロービング・チップ・システム１０は、スロット及びレール・システムを用いて、サポート部材１４上のプロービング・チップに可変間隔機能と、横方向及び同軸方向の追従性を与える。各サポート部材１４には、その底面１９中に長手軸１５と平行なスロット３３が形成される。軸方向と揃っているスロット３３は、夫々の中間運搬部２６の上表面３１上に形成される長手軸２７と平行なレール５０を受ける。スロット３３及びレール５０は、互いに連動するように形が形成される。スロット３３及びレール５０は、蟻継ぎ（dovetail）形状、Ｔスロット形状など、互いにかみ合うような形状としても良い。サポート部材１４の後端部５２は、対応する圧縮ばね２８の一端部に接して配置される。圧縮ばね２８の他端部は、各中間運搬部２６の上に形成される横断壁３０に接して配置される。ねじ、プレス取り付けピンなどの装着部品５４を、各中間運搬部２６の横断壁３０に形成した開口５６と、圧縮ばね２８とを通して、サポート部材１４の穴に入れ、これによって、サポート部材１４を中間運搬部２６に保持する。好ましい実施形態では、装着部品５４は、ねじ山を切ったねじであり、サポート部材１４の穴は、ねじ山を切った穴である。サポート部材１４は、サポート部材１４及び中間運搬部２６のスロット３３及びレール５０を互いにかみ合わせることによって、その方向が軸方向に揃う。サポート部材１４の軸方向の動きは、サポート部材１４のスロット３３が、中間運搬部２６のレール５０に対して相対的に動くことによって実現される。サポート部材１４に軸方向の圧力がかかると、圧縮ばね２８が圧縮されると共に、サポート部材１４が中間運搬部２６の横断壁３０の方向へ動くことになる。サポート部材１４への軸方向の圧力がなくなると、圧縮ばね２８への圧力がなくなると共に、サポート部材１４が中間運搬部２６の横断壁３０から離れる方向に動く。
【００３４】
連動追従機構２０によって、各サポート部材１４に可変同軸方向及び横方向追従機能が個別に与えられる。第１及び第２サポート部材１４が最も離れ、その結果としてプロービング・チップが最も離れた状態では、連動追従機構２０によって、横方向に０.０１０インチ（約０.０２５ｃｍ）の動きが与えられ、同軸方向に０.０５０インチ（約０.１２７ｃｍ）の動きが与えられる。２つのサポート部材１４間の間隔が減少する結果として、プロービング・チップ間の間隔が減少すると、サポート部材１４上の台形タブ２２は、サポート部材１４の台形凹部２４の中へと横方向に動く。２つの台形部材２２及び２４の間隔が狭まると、サポート部材１４の軸方向の個々の追従性は減少する一方、プロービング・チップ・システムの全体としての軸方向の追従性は、０.０５０インチ（約０.１２７ｃｍ）に維持される。
【００３５】
複数の隙間付き直立支柱５８が、中間運搬部２６の後端部５９に配置される。好ましくは、１つの支柱は、中間運搬部２６の一方の側面６１から伸び、他方の支柱は、中間運搬部２６の他方の側面６３から伸びて、複数の支柱５８が接続されている横断壁３０は前端部６５を向いて配置される。ピニオン・サム・ホイール６４のある回転軸６２は、支柱５８中のスロット６０の中に置かれる。ピニオン・サム・ホイール６４の歯は、可動基盤部材３２の上表面６８上で後端部６７から伸びて同軸方向に配置されるラック（rack：歯板）の線形の歯６６と係合する。また、可動基盤部材３２の上表面６８上には、基盤部材３２の前端部７１までカバーするように、長手軸６９に対して斜めの角度を持って配置される１対のレール７０が配置される。中間運搬部２６の夫々には、長手軸２７に対して斜めの角度を持つスロット７３がその底面に形成され、これが一方の可動基盤部材３２のレール７０とかみ合うようになっている。サポート部材１４及び中間運搬部２６のスロット３３及びレール５０のように、中間運搬部２６及び可動基盤部材３２のスロット７３及びレール７０は、蟻継ぎ（dovetail）形状やＴスロット形状などとなっている。可動基盤部材３２は、前フレーム７４から伸びる横フレーム７２を有するフレーム３４の上に配置される。フレーム３４のオープン（開放）後端部７６の横レール７２の外側には、直立壁７８が配置され、これには上端部から下に伸びるスロット８０がある。フレーム３４の下には、留め部材（keeper）８２が置かれ、可動基盤部材３２にねじなどで保持され、可動基盤部材３２と留め部材８２の間にフレーム３４が補足されるようになっている。
【００３６】
サポート部材１４は、夫々対応する中間運搬部２６に保持される。サポート部材１４及び対応する中間運搬部２６は、中間運搬部２６夫々のスロット７３と係合する基盤部材３２の角度付きレール７０を利用して可動基盤部材３２に保持される。可動基盤部材３２、よって、中間運搬部２６及びサポート部材１４は、可動基盤部材の留め部材８２によって、フレーム３４に保持される。中間運搬部２６の直立支柱５８のスロット６０は、フレーム３４の直立壁７８に形成されるスロット８０と位置が揃っている。ピニオン・サム・ホイール６４の回転軸６２は、中間運搬部２６の直立支柱５８のスロット６０とフレーム３４の直立壁７８のスロット８０の中に置かれ、このとき、ピニオン・サム・ホイール６４の歯は、可動基盤部材３２の上表面６８上に軸方向に配置されたラックの線形な歯６６と係合する。カバー３６は、組み立て終わった構体を覆うように置かれ、このとき、カバー３６に形成されるねじ山を切った開口８４が、直立壁７８に形成された穴８６と位置があうようになっている。ねじ８８のような装着部材を穴８６に通し、カバー３６をフレーム３４に固定する。
【００３７】
中間運搬部２６に対する基盤部材３２の動きによって、サポート部材１４のプロービング・チップの横方向の動きが生じる。ピニオン・サム・ホイール６４を図２Ａで見て時計回りに回すと、プロービング・チップの横方向の間隔が減少する。このとき、ピニオン・サム・ホイール６４の歯が可動基盤部材３２のラックの線形な歯６６と係合していることにより、可動基盤部材３２がデュアル・プロービング・チップ・システム１０の後ろ方向に動く。可動基盤部材３２が後ろに動くので、基盤部材３２の角度付きレール７０は、中間運搬部２６の対応するスロット７３に対して外向きに動き、このため、２つの中間運搬部２６の間隔が狭くなって、プロービング・チップ間の距離も狭くなる。ピニオン・サム・ホイール６４を図２Ａで見て反時計回りに回すと、プロービング・チップの横方向の間隔が増加する。このとき、ピニオン・サム・ホイール６４の歯が可動基盤部材３２のラックの線形な歯６６と係合していることにより、可動基盤部材３２がデュアル・プロービング・チップ・システム１０の前方向に動く。可動基盤部材３２が前に動くので、基盤部材３２の角度付きレール７０は、中間運搬部２６の対応するスロット７３に対して内向きに動き、このため、２つの中間運搬部２６の間隔が広くなって、プロービング・チップ間の距離も広くなる。中間運搬部２６の支柱５８及びフレーム３４の直立壁７８夫々のスロット６０及び８０に係合するピニオン・サム・ホイール６４の回転軸６２によって、中間運搬部２６及びサポート部材１４は、フレーム３４に対して固定されているので、サポート部材１４のプロービング・チップは、横方向にのみ動く。このように、本発明では、プロービング・チップ間の間隔を増減させるのに、プロービング・チップのアーチ（円弧）状の動きがない。
【００３８】
以上、本発明の具体的な実施形態を実例で説明し、実例を説明する目的で記述してきたが、本発明の精神と範囲から逸脱することなく、多様な変形が可能なことは明らかであろう。
【符号の説明】
【００３９】
１０  デュアル・プロービング・チップ・システム
１４  第１及び第２サポート部材
１５  第１及び第２サポート部材の長手軸
１６  台座部
１７  第１及び第２サポート部材の上面
１８  凹部領域
１９  第１及び第２サポート部材の下面
２０  連動追従機構
２１  第１及び第２サポート部材の上面の先端部
２２  台形タブ
２３  長手側面
２４  台形凹部
２５  第１及び第２サポート部材の後端部
２６  中間運搬部
２７  中間運搬部の長手軸
２８  圧縮ばね
２９  中間運搬部の底面
３０  横断壁
３１  中間運搬部の上表面
３２  可動基盤部材
３３  第１及び第２サポート部材のスロット
３４  フレーム
３６  カバー
３８  カバーのスロット
４０  カバーの半円形ポケット
５０  中間運搬部のレール
５４  装着部品
５６  横断壁の開口
５８  直立支柱
５９  中間運搬部の後端部
６０  直立支柱のスロット
６１  中間運搬部の第１側面
６２  ピニオン・サム・ホイールの回転軸
６３  中間運搬部の第２側面
６４  ピニオン・サム・ホイール
６５  中間運搬部の先端部
６６  ラックの線形な歯
６７  基盤部材の後端部
６８  基盤部材の上表面
６９  基盤部材の長手軸
７０  基盤部材の角度付きレール
７６  フレームのオープン後端部
７２  フレームの横レール
７３  可動基盤部材のスロット
７４  フレームの前レール
７８  フレームの直立壁
８０  スロット
８２  留め部材
８６  直立壁の穴
８８  装着部材（ねじ）
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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