(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイシングフレームに張られたダイシングシート上に貼着され且つダイシングされたウエハをマガジンラック内の複数段のスロットに収容し、生産プログラムに従って指定された識別情報のウエハをいずれかのスロットから引き出して該ウエハからダイを部品実装機に供給するダイ供給装置のウエハ管理システムにおいて、
前記ダイシングフレームに設けられ、前記ウエハの識別情報（以下「ウエハＩＤ」という）が記憶又は記載されたウエハＩＤ記録部と、
前記ダイシングフレームに取り付けられたアタッチメントと、
前記アタッチメントに設けられ、該アタッチメントの識別情報（以下「アタッチメントＩＤ」という）が記憶又は記載されたアタッチメントＩＤ記録部と、
前記ウエハＩＤ記録部から前記ウエハＩＤを読み取ると共に前記アタッチメントＩＤ記録部から前記アタッチメントＩＤを読み取る機外ＩＤ読取り手段と、
前記マガジンラックの各スロットにそれぞれ設けられ、各スロットに収容された前記ウエハの前記アタッチメントの前記アタッチメントＩＤ記録部から前記アタッチメントＩＤを読み取るスロット毎ＩＤ読取り手段と、
前記機外ＩＤ読取り手段で読み取った前記ウエハＩＤと前記アタッチメントＩＤとを関連付けて登録するＩＤ登録手段と、
前記スロット毎ＩＤ読取り手段で読み取ったスロット毎の前記アタッチメントＩＤと、前記ＩＤ登録手段に登録された前記ウエハＩＤ及び前記アタッチメントＩＤとに基づいて、前記マガジンラックの各スロットに生産プログラムで指定されたウエハＩＤのウエハが収容されているか否かを判定するデバイス照合を行う照合手段とを備え、
前記照合手段は、機外に設けられ、前記マガジンラックを前記ダイ供給装置にセットする前に機外で前記デバイス照合を行うことを特徴とするダイ供給装置のウエハ管理システム。
【請求項２】
前記マガジンラックに設けられ、該マガジンラックの識別情報（以下「マガジンラックＩＤ」という）が記憶又は記載されたマガジンラックＩＤ記録部と、
前記マガジンラックＩＤ記録部から前記マガジンラックＩＤを読み取るマガジンラックＩＤ読取り手段とを備え、
前記照合手段は、前記デバイス照合が完了したときにそのデバイス照合情報を前記マガジンラックＩＤ読取り手段で読み取った前記マガジンラックＩＤと関連付けて前記ＩＤ登録手段に登録することを特徴とする請求項１に記載のダイ供給装置のウエハ管理システム。
【請求項３】
機外で前記デバイス照合を行うときに前記マガジンラックをセットする照合ステーションを備え、
前記照合ステーションには、前記マガジンラックＩＤ読取り手段が設けられていると共に、該照合ステーションにセットした前記マガジンラックの前記スロット毎ＩＤ読取り手段に電源を供給する電源供給手段が設けられ、
前記照合ステーションと前記照合手段との間は、前記マガジンラックＩＤ読取り手段及び前記スロット毎ＩＤ読取り手段で読み取った各ＩＤのデータを通信する通信線で接続されていることを特徴とする請求項２に記載のダイ供給装置のウエハ管理システム。
【請求項４】
前記ダイ供給装置には、該ダイ供給装置にセットした前記マガジンラックの前記マガジンラックＩＤ記録部から前記マガジンラックＩＤを読み取る機内マガジンラックＩＤ読取り手段が設けられ、
前記部品実装機の制御装置は、前記ダイ供給装置を該部品実装機にセットしたときに前記機内マガジンラックＩＤ読取り手段で読み取った前記マガジンラックＩＤのデバイス照合の完了／未完了を前記ＩＤ登録手段に問い合わせ、当該マガジンラックＩＤのデバイス照合が完了していれば、そのまま生産を開始することを特徴とする請求項２又は３に記載のダイ供給装置のウエハ管理システム。
【請求項５】
前記アタッチメントは、前記ダイシングフレームに係合手段により着脱可能に係合保持されることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載のダイ供給装置のウエハ管理システム。
【請求項６】
前記アタッチメントＩＤ記録部は、前記アタッチメントＩＤのコードを記載したコード表示部と、これと同じコードを記憶した電子タグとから構成され、
前記ウエハＩＤ記録部は、前記ウエハＩＤのコードを記載したコード表示部により構成され、
前記マガジンラックＩＤ記録部は、前記マガジンラックＩＤのコードを記憶した電子タグにより構成され、
前記機外ＩＤ読取り手段は、コード表示部のコードを読み取るコードリーダにより構成され、
前記スロット毎ＩＤ読取り手段及び前記マガジンラックＩＤ読取り手段は、それぞれ電子タグに記憶されたコードを無線通信で読み取るリーダにより構成されていることを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載のダイ供給装置のウエハ管理システム。
【請求項７】
ダイシングフレームに張られたダイシングシート上に貼着され且つダイシングされたウエハの前記ダイシングフレームに着脱可能に取り付けられるアタッチメントであって、
該アタッチメントの識別情報（以下「アタッチメントＩＤ」という）が記憶又は記載されたアタッチメントＩＤ記録部が設けられていることを特徴とするアタッチメント。
【請求項８】
請求項７に記載のアタッチメントが取り付けられたウエハを複数段のスロットに収容するマガジンラックであって、
該マガジンラックの識別情報が記憶又は記載されたマガジンラックＩＤ記録部と、
前記各スロットに収容された前記ウエハの前記アタッチメントの前記アタッチメントＩＤ記録部から前記アタッチメントＩＤを読み取るスロット毎ＩＤ読取り手段と
を備えていることを特徴とするマガジンラック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングされたウエハをマガジンラック内の複数段のスロットに収容し、生産プログラム（生産ジョブ）に従って指定された識別情報のウエハをいずれかのスロットから引き出して該ウエハからダイを部品実装機に供給するダイ供給装置のウエハ管理システム及びアタッチメント並びにマガジンラックに関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
近年、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、ダイを供給するダイ供給装置を部品実装機にセットして、ダイシングされたウエハからダイをピックアップして回路基板に実装するようにしたものがある。この場合、ウエハは、ダイシングフレームに張られたダイシングシート上に貼着されており、上記特許文献１に記載されたダイ供給装置では、ウエハのダイシングフレームをパレット上にねじにより取り付けて、このウエハのパレットをダイ供給装置のマガジン内の複数段のスロットに収容し、生産プログラムに従って指定されたＩＤ（識別情報）のウエハのパレットをスロットから引き出して該ウエハからダイを部品実装機に供給するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１２９９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、生産開始前に、マガジンの各スロットに収容したウエハのパレットが生産プログラムで指定されたＩＤのウエハのパレットであるか否かを確認する“デバイス照合”を行う必要がある。このデバイス照合の結果、マガジンの各スロットにウエハのパレットを収容するセットアップ作業のミスが判明すると、ウエハのパレットを入れ替える必要があり、その結果、段取替え作業時間が延びて生産能率が低下してしまうという問題があった。しかも、ウエハのダイシングフレームを搭載するパレットは、金属板で形成され、重量が重いため、段取替え作業が重労働になるという問題もあった。
【０００５】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、セットアップ作業のミスによる段取替え作業時間の延びを未然に防止できると共に、マガジンラックを交換する作業者の労力を軽減できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、ダイシングフレームに張られたダイシングシート上に貼着され且つダイシングされたウエハをマガジンラック内の複数段のスロットに収容し、生産プログラムに従って指定された識別情報のウエハをいずれかのスロットから引き出して該ウエハからダイを部品実装機に供給するダイ供給装置のウエハ管理システムにおいて、前記ダイシングフレームに設けられ、前記ウエハの識別情報（以下「ウエハＩＤ」という）が記憶又は記載されたウエハＩＤ記録部と、前記ダイシングフレームに取り付けられたアタッチメントと、前記アタッチメントに設けられ、該アタッチメントの識別情報（以下「アタッチメントＩＤ」という）が記憶又は記載されたアタッチメントＩＤ記録部と、前記ウエハＩＤ記録部から前記ウエハＩＤを読み取ると共に前記アタッチメントＩＤ記録部から前記アタッチメントＩＤを読み取る機外ＩＤ読取り手段と、前記マガジンラックの各スロットにそれぞれ設けられ、各スロットに収容された前記ウエハの前記アタッチメントの前記アタッチメントＩＤ記録部から前記アタッチメントＩＤを読み取るスロット毎ＩＤ読取り手段と、前記機外ＩＤ読取り手段で読み取った前記ウエハＩＤと前記アタッチメントＩＤとを関連付けて登録するＩＤ登録手段と、前記スロット毎ＩＤ読取り手段で読み取ったスロット毎の前記アタッチメントＩＤと、前記ＩＤ登録手段に登録された前記ウエハＩＤ及び前記アタッチメントＩＤとに基づいて、前記マガジンラックの各スロットに生産プログラムで指定されたウエハＩＤのウエハが収容されているか否かを判定するデバイス照合を行う照合手段とを備え、前記照合手段は、機外に設けられ、前記マガジンラックを前記ダイ供給装置にセットする前に機外（オフライン）で前記デバイス照合を行うことを特徴とするものである。
【０００７】
この構成では、マガジンラックをダイ供給装置にセットする前に機外でデバイス照合を行うことができるため、マガジンラックの各スロットにウエハを収容するセットアップ作業のミスが発生しても、段取替え作業の前にセットアップ作業をやり直すことができて、セットアップ作業のミスによる段取替え作業時間の延びを未然に防止できる。しかも、アタッチメントＩＤ記録部を設けたアタッチメントをダイシングフレームに取り付けるだけで、金属製のパレットを省略した構成であるため、重量を軽量化できて、マガジンラックを交換する段取替え作業時の作業者の労力を軽減できる。
【０００８】
この場合、マガジンラックの識別情報（以下「マガジンラックＩＤ」という）が記憶又は記載されたマガジンラックＩＤ記録部を該マガジンラックに設けると共に、前記マガジンラックＩＤ記録部から前記マガジンラックＩＤを読み取るマガジンラックＩＤ読取り手段を備え、照合手段は、デバイス照合が完了したときにそのデバイス照合情報を前記マガジンラックＩＤ読取り手段で読み取った前記マガジンラックＩＤと関連付けて前記ＩＤ登録手段に登録するようにすれば良い。これにより、デバイス照合の完了／未完了をマガジンラックＩＤによって管理することができる。
【０００９】
本発明は、機外でデバイス照合を行うときにマガジンラックをセットする照合ステーションを備え、該照合ステーションには、マガジンラックＩＤ読取り手段を設けると共に、該照合ステーションにセットしたマガジンラックのスロット毎ＩＤ読取り手段に電源を供給する電源供給手段を設け、前記照合ステーションと前記照合手段との間を、前記マガジンラックＩＤ読取り手段及び前記スロット毎ＩＤ読取り手段で読み取った各ＩＤのデータを通信する通信線で接続するようにすると良い。これにより、機外でのデバイス照合を簡単に行うことができる。
【００１０】
更に、ダイ供給装置に、該ダイ供給装置にセットしたマガジンラックのマガジンラックＩＤ記録部からマガジンラックＩＤを読み取る機内マガジンラックＩＤ読取り手段を設け、部品実装機の制御装置は、前記ダイ供給装置を該部品実装機にセットしたときに前記機内マガジンラックＩＤ読取り手段で読み取ったマガジンラックＩＤのデバイス照合の完了／未完了を前記ＩＤ登録手段に問い合わせ、当該マガジンラックＩＤのデバイス照合が完了していれば、そのまま生産を開始するようにすると良い。これにより、段取替え作業を大幅に簡単化できる。
【００１１】
また、アタッチメントをダイシングフレームに係合手段により着脱可能に係合保持させるようにすると良い。これにより、ダイシングフレームへのアタッチメントの着脱作業を簡単に行うことができる。
【００１２】
また、アタッチメントＩＤ記録部は、アタッチメントＩＤのコードを記載したコード表示部と、これと同じコードを記憶した電子タグ（ＲＦタグ、無線タグ、ＩＣタグ、電波タグ等とも呼ばれる）とから構成し、ウエハＩＤ記録部は、ウエハＩＤのコードを記載したコード表示部により構成し、マガジンラックＩＤ記録部は、マガジンラックＩＤのコードを記憶した電子タグにより構成し、機外ＩＤ読取り手段は、コード表示部のコードを読み取るコードリーダにより構成し、スロット毎ＩＤ読取り手段及びマガジンラックＩＤ読取り手段は、それぞれ電子タグに記憶されたコードを無線通信で読み取るリーダにより構成すると良い。アタッチメントＩＤ記録部として、コード表示部と電子タグの両方を設ければ、コード表示部と電子タグのどちらの方式のリーダを用いても、アタッチメントＩＤの読み取りが可能となり、便利である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は本発明の一実施例のウエハ管理システムの構成を示す図である。
【図２】図２（ａ）はアタッチメントの平面図、同図（ｂ）はダイシングフレームに支持されたウエハの平面図である。
【図３】図３はアタッチメントＩＤ入力用パソコンに接続されたコードリーダでウエハＩＤとアタッチメントＩＤを読み込む方法を説明する図である。
【図４】図４は機外でマガジンラックを照合ステーションにセットしてデバイス照合を行う作業を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を説明する。
まず、図１を用いてウエハ管理システム全体の構成を概略的に説明する。
デバイス管理サーバ１１（ＩＤ登録手段）と、アタッチメントＩＤ入力用パソコン１２と、デバイス照合用パソコン１３（照合手段）と、部品実装機１４とがネットワークで接続されている。
【００１５】
デバイス管理サーバ１１には、部品実装機１４で使用するウエハ１７の部品種（ダイの製品データ）がウエハ１７の識別情報（以下「ウエハＩＤ」という）と関連付けて登録されている。
【００１６】
図２（ｂ）に示すように、ウエハ１７は、ダイシングフレーム１８に張られたダイシングシート１９上に貼着され、且つ多数のダイに分割するように格子状にダイシングされている。ダイシングフレーム１８の上面には、該ダイシングフレーム１８に支持されたウエハ１７のＩＤが記載されたバーコード、二次元コード等のコード表示部２０（ウエハＩＤ記録部）が設けられている。
【００１７】
また、ダイシングフレーム１８には、図２（ａ）に示すアタッチメント２１が係合手段（図示せず）により着脱可能に取り付けられる。アタッチメント２１の上面には、該アタッチメント２１の識別情報（以下「アタッチメントＩＤ」という）が記録されたアタッチメントＩＤ記録部として、アタッチメントＩＤが記載されたバーコード、二次元コード等のコード表示部２２と、これと同じコードを記憶した電子タグ２３とが設けられている。電子タグ２３は、ＲＦタグ、無線タグ、ＩＣタグ、電波タグ等とも呼ばれる。
【００１８】
図３に示すように、アタッチメントＩＤ入力用パソコン１２には、ダイシングフレーム１８のコード表示部２０（ウエハＩＤ）とアタッチメント２１のコード表示部２２（アタッチメントＩＤ）のコード情報をそれぞれ光学的に走査して読み込むバーコードリーダ等のリーダ２５（機外ＩＤ読取り手段）が接続されている。
【００１９】
図４に示すように、デバイス照合用パソコン１３には、マガジンラック２７をセットする照合ステーション２８が接続されている。マガジンラック２７には、複数のウエハ１７を収容するための複数段のスロットが設けられていると共に、各スロットに収容されたウエハ１７のアタッチメント２１の電子タグ２３からアタッチメントＩＤを無線通信で読み取るリーダ２９（スロット毎ＩＤ読取り手段）がスロット毎に設けられている。
【００２０】
マガジンラック２７には、該マガジンラック２７の識別情報（以下「マガジンラックＩＤ」という）が記録されたマガジンラックＩＤ記録部として、マガジンラックアＩＤが記載されたバーコード、二次元コード等のコード表示部３１と、これと同じコードを記憶した電子タグ３２とが設けられている。尚、コード表示部３１は省略しても良い。
【００２１】
これに対し、マガジンラック２７をセットする照合ステーション２８には、該マガジンラック２７の電子タグ３２からマガジンラックＩＤを無線通信で読み取るリーダ３３（マガジンラックＩＤ読取り手段）が設けられている。更に、照合ステーション２８には、マガジンラック２７の各スロットのリーダ２９に電源を供給する電源供給手段（図示せず）と、各リーダ２９の信号線と接続する通信コネクタ（図示せず）が設けられている。マガジンラック２７の各スロットのリーダ２９で読み取ったスロット毎のアタッチメントＩＤと、照合ステーション２８のリーダ３３で読み取ったマガジンラックＩＤのデータは、通信線を介してデバイス照合用パソコン１３に転送される。
【００２２】
デバイス照合用パソコン１３は、マガジンラック２７の各スロットのリーダ２９で読み取ったスロット毎のアタッチメントＩＤと、デバイス管理サーバ１１に登録されたウエハＩＤ及びアタッチメントＩＤとに基づいて、マガジンラック２７の各スロットに生産プログラム（生産ジョブ）で指定されたウエハＩＤのウエハ１７が収容されているか否かを判定するデバイス照合を行う。更に、デバイス照合が完了したときに、マガジンラック２７の各スロットに収容したウエハ１７の情報（アタッチメントＩＤ）と照合ステーション２８のリーダ３３で読み取ったマガジンラックＩＤとを関連付けてデバイス照合完了情報としてデバイス管理サーバ１１に登録する。
【００２３】
一方、図１に示すように、ダイ供給装置３５には、該ダイ供給装置３５にセットしたマガジンラック２７の電子タグ３２からマガジンラックＩＤを無線通信で読み取るリーダ３６（機内マガジンラックＩＤ読取り手段）が設けられている。ダイ供給装置３５を部品実装機１４にセットしたときに、該部品実装機１４の制御装置（図示せず）は、ダイ供給装置３５のリーダ３６で読み取ったマガジンラックＩＤのデバイス照合の完了／未完了をデバイス管理サーバ１１に問い合わせ、当該マガジンラックＩＤのデバイス照合が完了していれば、そのまま生産を開始する。
【００２４】
次に、セットアップと段取替えの作業手順を説明する。
まず、デバイス管理サーバ１１に、部品実装機１４の生産に必要なウエハ１７の部品種（デバイス種）をウエハＩＤと関連付けて登録する。つまり、ウエハＩＤによってウエハ１７の部品種（デバイス種）を特定できるように登録する。
また、ウエハ１７のダイシングフレーム１８に、アタッチメント２１を係合手段（図示せず）により着脱可能に取り付ける。
【００２５】
この後、アタッチメントＩＤ入力用パソコン１２に接続されたリーダ２５によってダイシングフレーム１８のコード表示部２０とアタッチメント２１のコード表示部２２をそれぞれ走査してウエハＩＤとアタッチメントＩＤを読み込み、デバイス管理サーバ１１に、アタッチメントＩＤとウエハＩＤとを関連付けて登録する。これにより、アタッチメントＩＤが分かれば、ウエハＩＤとウエハ１７の部品種（デバイス種）を特定できるようになる。
【００２６】
その後、マガジンラック２７の各スロットに、生産で使用するアタッチメント２１付きのウエハ１７を収容した後、該マガジンラック２７を照合ステーション２８にセットする。これにより、照合ステーション２８の電源供給手段からマガジンラック２７の各スロットのリーダ２９に電源が供給され、マガジンラック２７の各スロットのリーダ２９により、各スロットに収容されたウエハ１７のアタッチメント２１の電子タグ２３からアタッチメントＩＤが読み取られると共に、照合ステーション２８のリーダ３３により、マガジンラック２７の電子タグ３２からマガジンラックＩＤが読み取られる。
【００２７】
各スロットのリーダ２９で読み取ったアタッチメントＩＤと、照合ステーション２８のリーダ３３で読み取ったマガジンラックＩＤのデータは、通信線を介してデバイス照合用パソコン１３に転送される。このデバイス照合用パソコン１３は、デバイス管理サーバ１１の登録情報を参照して、マガジンラック２７の各スロットのウエハ１７のアタッチメントＩＤに基づいて各スロットのウエハＩＤとウエハ１７の部品種（デバイス種）を特定して、生産プログラムで指定されたウエハＩＤのウエハ１７がマガジンラック２７の各スロットに収容されているか否かを判定するデバイス照合を行う。
【００２８】
その結果、マガジンラック２７のいずれかのスロットに、間違ったウエハ１７が収容されていることが判明した場合は、デバイス照合用パソコン１３の表示モニタ４０等の表示装置に、間違ったウエハ１７が入れられたスロット番号を表示して、当該スロット番号のウエハ１７を入れ替えるように作業者に促す。この際、音声によって、間違ったスロット番号のウエハ１７を入れ替えるように作業者に促すようにしても良い。
【００２９】
デバイス照合の結果、マガジンラック２７の各スロットに、全て正しいウエハ１７が収容されていることが確認されれば、デバイス照合用パソコン１３の表示モニタ４０等の表示装置に、デバイス照合完了を表示すると共に、照合ステーション２８のリーダ３３によりマガジンラック２７の電子タグ３２から読み取ったマガジンラックＩＤと、当該マガジンラック２７の各スロットに収容したウエハ１７の情報（アタッチメントＩＤ）とをデバイス照合用パソコン１３からデバイス管理サーバ１１に転送して、該デバイス管理サーバ１１にマガジンラックＩＤとマガジンラック２７の各スロットのウエハ１７の情報（アタッチメントＩＤ）とを関連付けてデバイス照合完了情報として登録する。この際、デバイス管理サーバ１１に登録されているアタッチメントＩＤとウエハＩＤとの対応関係を参照して、マガジンラック２７の各スロットのウエハ１７の情報をアタッチメントＩＤからウエハＩＤに置き換えて登録するようにすれば良い。
【００３０】
その後、作業者は、デバイス照合が完了したマガジンラック２７の上面の把手４２を握ってダイ供給装置３５まで持っていき、該マガジンラック２７をダイ供給装置３５にセットする。この際、部品実装機１４にダイ供給装置３５をセットしてから該ダイ供給装置３５にマガジンラック２７をセットしても良いし、或は、ダイ供給装置３５にマガジンラック２７をセットしてから該ダイ供給装置３５を部品実装機１４にセットしても良い。
【００３１】
この後、ダイ供給装置３５のリーダ３６によりマガジンラック２７の電子タグ３２からマガジンラックＩＤを読み取り、これを部品実装機１４の制御装置に転送する。部品実装機１４の制御装置は、デバイス管理サーバ１１に当該マガジンラックＩＤのデバイス照合の完了／未完了を問い合わせ、当該マガジンラックＩＤのデバイス照合が完了していれば、そのまま生産を開始する。
【００３２】
もし、デバイス照合が完了していなければ、部品実装機１４の制御装置の表示モニタ等にデバイス照合の未完了を表示したり、音声によって作業者に知らせて、ダイ供給装置３５にセットしたマガジンラック２７をデバイス照合済みのマガジンラック２７と交換するように作業者に促したり、或は、ダイ供給装置３５からマガジンラック２７を取り出して照合ステーション２８にセットしてデバイス照合を行うように作業者に促すようにすれば良い。
【００３３】
以上説明した本実施例によれば、マガジンラック２７をダイ供給装置３５にセットする前に機外でデバイス照合を行うことができるため、マガジンラック２７の各スロットにウエハ１７を収容するセットアップ作業のミスが発生しても、段取替え作業の前にセットアップ作業をやり直すことができて、セットアップ作業のミスによる段取替え作業時間の延びを未然に防止でき、生産能率を向上できる。しかも、アタッチメントＩＤ記録部（コード表示部２２と電子タグ２３）を設けたアタッチメント２１をダイシングフレーム１８に取り付けるだけで、金属製のパレットを省略した構成であるため、重量を軽量化できて、マガジンラック２７を交換する作業者の労力を軽減できる。
【００３４】
しかも、本実施例では、アタッチメント２１をダイシングフレーム１８に係合手段により着脱可能に係合保持させるようにしたので、ダイシングフレーム１８へのアタッチメント２１の着脱作業を簡単に行うことができる利点がある。但し、本発明は、アタッチメント２１をダイシングフレーム１８にねじ等により取り付けるようにしても良い。
【００３５】
また、本実施例では、アタッチメントＩＤ記録部としてコード表示部２２と電子タグ２３の両方を設けたので、コード表示部２２と電子タグ２３のどちらの方式のリーダを用いても、アタッチメントＩＤの読み取りが可能となり、便利であるという利点もある。
【００３６】
但し、本発明は、アタッチメントＩＤ記録部としてコード表示部２２と電子タグ２３のいずれか一方のみを設けた構成としても良く、アタッチメントＩＤ記録部としてコード表示部２２のみを設ける場合は、マガジンラック２７の各スロットにそれぞれ設けるスロット毎ＩＤ読取り手段として、コード表示部２２からアタッチメントＩＤを光学的に読み取るリーダを用いれば良い。
【００３７】
また、ダイシングフレーム１８に設けるウエハＩＤ記録部についても、コード表示部２０に代えて電子タグを設けても良いし、コード表示部２０と電子タグの両方を設けても良い。
【００３８】
また、本実施例では、アタッチメントＩＤ入力用パソコン１２とデバイス照合用パソコン１３とを別々に設置したが、これら２台のパソコン１２，１３の機能を１台のパソコンで実現するようにしても良く、更には、当該１台のパソコンにデバイス管理サーバとしての機能も持たせるようにしても良い。
【００３９】
その他、本発明は、アタッチメント２１の形状や取付方法を変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４０】
１１…デバイス管理サーバ（ＩＤ登録手段）、１２…アタッチメントＩＤ入力用パソコン、１３…デバイス照合用パソコン（照合手段）、１４…部品実装機、１７…ウエハ、１８…ダイシングフレーム、１９…ダイシングシート、２０…コード表示部（ウエハＩＤ記録部）、２１…アタッチメント、２２…コード表示部（アタッチメントＩＤ記録部）、２３…電子タグ（アタッチメントＩＤ記録部）、２５…リーダ（機外ＩＤ読取り手段）、２７…マガジンラック、２８…照合ステーション、２９…リーダ（スロット毎ＩＤ読取り手段）、３１…コード表示部（マガジンラックＩＤ記録部）、３２…電子タグ（マガジンラックＩＤ記録部）、３３…リーダ（マガジンラックＩＤ読取り手段）、３５…ダイ供給装置、３６…リーダ（機内マガジンラックＩＤ読取り手段）、４０…表示モニタ（表示装置）、４２…把手
【図１】
0005914136.tif 000002
【図２】
0005914136.tif 000003
【図３】
0005914136.tif 000004
【図４】
0005914136.tif 000005