(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）検査対象物の内部を封止するステップと、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得るステップと、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断するステップと、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得るステップと、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するステップと、を有し、
前記要補正条件は、前記圧力測定値Ｐｍが、
Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、または、
Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、
を満足する漏洩検査方法。
ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅である。
【請求項２】
（ｆ）前記（ｃ）ステップにおいて前記圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行するステップと、
（ｇ）前記（ｂ）ステップ、前記（ｃ）ステップおよび前記（ｆ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップと、
をさらに有する請求項１に記載の漏洩検査方法。
【請求項３】
（ａ）検査対象物の内部を封止するステップと、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得るステップと、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断するステップと、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得るステップと、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するステップと、
（ｆ）前記（ｃ）ステップにおいて前記圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行するステップと、
（ｇ）前記（ｂ）ステップ、前記（ｃ）ステップおよび前記（ｆ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップと、
（ｈ１）前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップと、を有し、
前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
漏洩検査方法。
【請求項４】
前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値のうち何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項３に記載の漏洩検査方法。
【請求項５】
（ａ）検査対象物の内部を封止するステップと、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得るステップと、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断するステップと、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得るステップと、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するステップと、
（ｆ）前記（ｃ）ステップにおいて前記圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行するステップと、
（ｇ）前記（ｂ）ステップ、前記（ｃ）ステップおよび前記（ｆ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップと、
（ｈ１）前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップと、
（ｈ２）前記（ｂ）ステップの前記測定を前記（ｇ）ステップにおいて繰り返す間に、温度変化が有ったか無かったかを判断するステップと、を有し、
前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｈ２）ステップにおいて前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
漏洩検査方法。
【請求項６】
前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値のうち何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、または、前記（ｈ２）ステップにおいて前記温度変化が有ったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項５に記載の漏洩検査方法。
【請求項７】
前記（ｆ）ステップの補正準備処理が、
（ｆ１）前記圧力測定値が前記要補正条件に合致したことを報知するステップ、
を有する請求項１から請求項６の何れか一項に記載の漏洩検査方法。
【請求項８】
前記（ｆ）ステップの補正準備処理が、
（ｆ２）漏洩検査を継続または中止する旨の入力を要求するステップと、
（ｆ３）前記（ｆ２）ステップの要求に応じた入力が、継続する旨の入力である場合には処理を継続し、中止する旨の入力である場合には処理を中止するステップと、
をさらに有する請求項７に記載の漏洩検査方法。
【請求項９】
前記（ｆ３）ステップにおいて処理を継続した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項８に記載の漏洩検査方法。
【請求項１０】
前記（ｆ２）ステップにおける前記要求とともに、前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値を表示する
請求項８または請求項９に記載の漏洩検査方法。
【請求項１１】
前記（ｆ１）ステップの実行後、処理を継続し、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項７に記載の漏洩検査方法。
【請求項１２】
（ａ）検査対象物の内部を封止するステップと、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得るステップと、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断するステップと、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得るステップと、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するステップと、
（ｉ）前記（ｂ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップと、
を有し、
前記（ｃ）ステップにおいて、前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値のそれぞれについて、前記要補正条件に合致するかを判断し、何れか一つの圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
漏洩検査方法。
【請求項１３】
（ｊ１）前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップ、をさらに有し、
前記（ｃ）ステップにおいて、前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断され、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて全ての圧力測定値が前記補正不要条件に合致すると判断された場合には、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項１２に記載の漏洩検査方法。
【請求項１４】
前記（ｃ）ステップにおいて、前記複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断され、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断された場合には、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項１３に記載の漏洩検査方法。
【請求項１５】
（ｊ１）前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップと、
（ｊ２）前記（ｂ）ステップの前記測定を前記（ｉ）ステップにおいて繰り返す間に、温度変化が有ったか無かったかを判断するステップと、をさらに有し、
前記（ｃ）ステップにおいて前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断し、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて全ての圧力測定値が前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｊ２）ステップにおいて前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項１２に記載の漏洩検査方法。
【請求項１６】
前記（ｃ）ステップにおいて、前記複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断し、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、または、前記（ｊ２）ステップにおいて前記温度変化が有ったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項１５に記載の漏洩検査方法。
【請求項１７】
前記補正不要条件は、前記圧力測定値Ｐｍが、
｜Ｐｍ−Ｐｉ｜≦ΔＰ、を満足する
請求項３から請求項１１、請求項１３から請求項１６の何れか一項に記載の漏洩検査方法。
ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰは許容変動幅である。
【請求項１８】
前記要補正条件は、前記圧力測定値Ｐｍが、
Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、または、
Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、
を満足する請求項３から請求項１７に記載の漏洩検査方法。
ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅である。
【請求項１９】
（ｋ）前記（ｂ）ステップで得た圧力測定値ごとに、前記圧力測定値が補正不可条件に合致するかを判断するステップと、
（ｌ）前記（ｋ）において前記圧力測定値が前記補正不可条件に合致すると判断した場合、補正不可処理を実行するステップと、をさらに有する
請求項１から請求項１８の何れか一項に記載の漏洩検査方法。
【請求項２０】
前記（ｌ）ステップの補正不可処理が、
（ｌ１）前記圧力測定値が前記補正不可条件に合致した旨の報知、または、再測定を促す旨の報知を含む報知ステップと、
（ｌ２）測定を中止するステップと、
を有する請求項１９に記載の漏洩検査方法。
【請求項２１】
前記補正不可条件が、
Ｐｍ＞Ｐｍｉｎ＋ΔＰｕｐ、または、
Ｐｍ＜Ｐｍａｘ−ΔＰｄｎ、
を満足する請求項１９または請求項２０に記載の漏洩検査方法。
ただし、Ｐｉは開始圧力、Ｐｍｉｎは最小圧力、ΔＰｕｐは許容上昇幅、Ｐｍａｘは最大圧力、ΔＰｄｎは許容下降幅である。
【請求項２２】
検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、コントローラと、を有し、
前記コントローラが、
（ａ）前記検査対象物の内部を封止し、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する、
ように、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信し、
前記要補正条件は、前記圧力測定値Ｐｍが、
Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、または、
Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、
を満足する漏洩検査装置。
ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅である。
【請求項２３】
検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、コントローラと、を有し、
前記コントローラが、
（ａ）前記検査対象物の内部を封止し、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定し、
（ｆ）前記（ｃ）の判断において合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行し、
（ｇ）前記（ｂ）、前記（ｃ）および前記（ｆ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返し、
（ｈ１）前記（ｇ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断し、
前記（ｈ１）の判断において前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）の判定において前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する、
ように、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信する漏洩検査装置。
【請求項２４】
検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、コントローラと、を有し、
前記コントローラが、
（ａ）前記検査対象物の内部を封止し、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定し、
（ｆ）前記（ｃ）の判断において合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行し、
（ｇ）前記（ｂ）、前記（ｃ）および前記（ｆ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返し、
（ｈ１）前記（ｇ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断し、
（ｈ２）前記（ｂ）の前記測定が前記（ｇ）で繰り返される間、温度変化が有ったか無かったかを判断し、
前記（ｈ１）の判断において前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｈ２）の判断において前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）の判定において前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する、
ように、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信する漏洩検査装置。
【請求項２５】
検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、コントローラと、を有し、
前記コントローラが、
（ａ）前記検査対象物の内部を封止し、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定し、
（ｉ）前記（ｂ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返し、
前記（ｃ）の判断において、前記（ｉ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値のそれぞれについて前記要補正条件に合致するかを判断し、何れか一つの圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）の判定において前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する、
ように、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信する漏洩検査装置。
【請求項２６】
検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信するコントローラと、を有する漏洩検査装置を制御するためのプログラムであって、
前記コントローラに含まれるコンピュータに、
（ａ）前記検査対象物の内部を封止する機能と、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る機能と、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断する機能と、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得る機能と、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する機能と、を実現させ、
前記要補正条件は、前記圧力測定値Ｐｍが、
Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、または、
Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、
を満足するプログラム。
ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅である。
【請求項２７】
検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信するコントローラと、を有する漏洩検査装置を制御するためのプログラムであって、
前記コントローラに含まれるコンピュータに、
（ａ）前記検査対象物の内部を封止する機能と、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る機能と、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断する機能と、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得る機能と、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する機能と、
（ｆ）前記（ｃ）の判断において合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行する機能と、
（ｇ）前記（ｂ）、前記（ｃ）および前記（ｆ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返す機能と、
（ｈ１）前記（ｇ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断する機能と、を実現させ、
前記（ｈ１）の判断において前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）の判定において前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
プログラム。
【請求項２８】
検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信するコントローラと、を有する漏洩検査装置を制御するためのプログラムであって、
前記コントローラに含まれるコンピュータに、
（ａ）前記検査対象物の内部を封止する機能と、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る機能と、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断する機能と、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得る機能と、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する機能と、
（ｆ）前記（ｃ）の判断において合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行する機能と、
（ｇ）前記（ｂ）、前記（ｃ）および前記（ｆ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返す機能と、
（ｈ１）前記（ｇ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断する機能と、
（ｈ２）前記（ｂ）の前記測定が前記（ｇ）で繰り返される間、温度変化が有ったか無かったかを判断する機能と、を実現させ、
前記（ｈ１）の判断において前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｈ２）の判断において前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）の判定において前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する、
プログラム。
【請求項２９】
検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信するコントローラと、を有する漏洩検査装置を制御するためのプログラムであって、
前記コントローラに含まれるコンピュータに、
（ａ）前記検査対象物の内部を封止する機能と、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る機能と、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断する機能と、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得る機能と、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する機能と、
（ｉ）前記（ｂ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返す機能と、を実現させ、
前記（ｃ）の判断において、前記（ｉ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値のそれぞれについて前記要補正条件に合致するかを判断し、何れか一つの圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）の判定において前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する、
プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、漏洩検査方法、漏洩検査装置およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、特許文献１には、「検査対象である配管の容量を容易に計測でき、しかも、配管内の温度変化の影響を除去すること」を目的に、「圧力計測方法及び装置」の発明が開示されている。当該発明は、「気体を供給する配管に接続部１を介して接続され、該配管の内部圧力を圧力センサ４により計測する圧力計測方法において、該配管を閉塞状態に保持し、該配管内部をポンプ５により加圧する加圧工程と、該加圧工程終了後、該配管内の放置状態の圧力変化量を計測する工程とを有し、該加圧工程による配管内部圧力の加圧変化量と、加圧する際に該配管内部に供給した気体の流量を計測し、該加圧変化量と該気体の流量とに基づき、閉塞状態の配管容量を算出し、該配管容量と該放置状態の圧力変化量とに基づき、配管からの気体の漏洩量を算出することを特徴とする」ものとされている。
【０００３】
特許文献２には、「配管などの容器の漏洩検査を効率良く行うと共に、容器内の温度変化の影響を効果的に除去すること」を目的に、「漏洩検査方法及び装置」の発明が開示されている。当該発明は、「漏洩を検査すべき容器を加圧又は減圧する手段１５と、該容器内の圧力変化を計測する手段１４と、該容器の加減圧を所定の時間系列に従って実施する手段と、該圧力計測手段により得られた信号と、該時間系列に対応した参照信号との相関を算出する演算手段とを有し、該演算手段によって算出された相関に基いて、該容器の漏洩を検出することを特徴とする」ものとされている。
【０００４】
特許文献３には、「気流ライニング工法などによるパイプライン補修後のように、容器内の温度が指数関数的に低下しつつある期間にも実施可能」とし、「補修作業並びに補修後の検査作業の効率を向上」することを目的とした「容器検査方法及び装置」の発明が開示されている。当該発明は、「検査容器を容器外の圧力より高い圧力にて加圧又は減圧し、少なくとも３つの異なる時刻ｔｉ（ｉは、１，２，３とする）における容器外に対する該容器内の圧力の差Ｘｉ及び該容器内の圧力の時間変化率Ｙｉを計測し、該圧力状態計測工程で計測された該圧力差Ｘｉと該圧力時間変化率Ｙｉとを、Ｙ１＋ａＹ２＋ｂＹ３＝−Ｌ（Ｘ１＋ａＸ２＋ｂＸ３）（ただし、ａ＝γ／（１−γ），ｂ＝１／（γ−１）、ｔ３−ｔ１＝γ（ｔ２−ｔ１））に代入し、漏れに係る漏れ定数Ｌを計算し、該漏れ定数Ｌに基いて、該検査容器の漏れを検出する」ものとされている。
【０００５】
特許文献４には、「漏洩検査の作業効率を高め、漏洩検査の精度を向上させ」ることを目的とした「差圧計測方法及び装置」の発明が開示されている。当該発明は、「マスター容器とワーク容器との間の差圧を測定する差圧センサと、マスター容器とワーク容器とを大気圧の気体で封止する大気圧調整手段と、テスト圧力を付与するテスト圧力付与手段と、差圧センサの測定値を温度補償値で補正し、その結果に基づき、ワーク容器の漏洩を判断する制御手段とを有する差圧計測装置において、ワーク容器内圧力測定手段（ＷＰ）を有し、ワーク容器内圧力測定手段の測定値に基づき、温度補償値を測定する際の差圧センサによる測定タイミングを決定すると共に、大気圧に係る差圧値とテスト圧力に係る差圧値とに基づき、気体の密度変化を求め、温度補償値又はテスト圧力付与手段を動作し測定した差圧値のいずれか一方を密度変化により補正する」ものとされている。
【０００６】
特許文献５には、「リーク試験時間を短縮」することを目的に、「リーク試験方法」の発明が開示されている。当該発明は、「マスタ容器とワーク容器とを大気圧で閉塞した状態でマスタ容器とワーク容器の内部圧力の差圧の変化を温度補正値として計測する温度補正値計測工程と，マスタ容器とワーク容器とを大気圧以外の試験圧力で閉塞した状態で前記差圧の変化を試験差圧値として計測する試験差圧変化計測工程とを行い，試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正し，補正された試験差圧値に基づいてワーク容器のリークの有無を判断する温度補正計測モード工程を行う。さらに，温度補正計測モード工程での温度補正値計測工程で計測した差圧の変化が第１の基準値を超えない場合に，試験差圧変化計測工程を行い当該試験差圧変化計測工程で計測した試験差圧値に基づいてワーク容器のリークの有無を判断する圧力計測モード工程に移行する。そして，圧力計測モード工程でリーク有りと判断された場合に，温度補正計測モード工程に戻る」ものとされている。
【０００７】
特許文献６には、「リーク試験時間を短縮」することを目的に、「リーク試験方法」の発明が開示されている。当該発明は、「マスタ容器とワーク容器とを大気圧で閉塞した状態でマスタ容器とワーク容器の内部圧力の差圧の変化を温度補正値として計測する。次にマスタ容器とワーク容器とを試験圧力で閉塞した状態で前記差圧の変化を試験差圧値として計測し，試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正し，ワーク容器のリークの有無を判断する。その後のワーク容器それぞれに対して，試験差圧変化計測し、試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正し，補正された試験差圧値に基づいてワーク容器のリークの有無を判断する工程を繰り返す。ワーク容器がリーク有りと判断された場合に，同じワーク容器に対して，再度試験差圧値を計測し、この試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正してワーク容器のリークの有無を判断するリトライ工程を行う。ここでリーク有りと判断された場合には，最初の温度補正値の計測に戻る」ものとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−２２７７７３号公報
【特許文献２】再表ＷＯ２００５／０８０９３５号公報
【特許文献３】特開２００６−３２２８６７号公報
【特許文献４】特開２０１２−１２７７１０号公報
【特許文献５】特開２０１３−０２４６３４号公報
【特許文献６】特開２０１３−０２４６３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記した従来技術により、配管等検査対象物の漏洩の有無を検査する方法あるいは装置において、検査中に検査対象物が外気温等の影響を受けて内部圧力に変動を生じるような場合であっても、当該変動分として大気圧状態での内部圧力を別途測定し、加圧状態での圧力測定値を補正して、外気温等の影響が排除された漏洩検査を実施できる。
【００１０】
しかし、従来技術においては、外気温等に変動がない場合であっても、補正のための大気圧における圧力測定が一律に実施され、結果的に補正のための圧力測定で得られたデータが不要になる場合がある。このような場合、本来不要な検査（測定）に時間が費やされることとなり、検査の効率を悪くする状況が生じていた。
【００１１】
本発明の目的は、漏洩検査のための圧力測定値の取得中または取得完了後に、補正処理の要不要を判断し、補正処理が必要な場合には補正処理を実施し、補正処理が不要な場合は補正処理をすることなく漏洩を判定することとし、不要な補正処理を排除して、検査の効率を高めようとすることにある。また、本発明の目的は、補正処理が可であるか不可であるかを判断し、補正処理が不可である場合には補正処理を行わず、補正処理が可である場合にだけ補正処理を行うことで、計測精度を向上しようとすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、（ａ）検査対象物の内部を封止するステップと、（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得るステップと、（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断するステップと、（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得るステップと、（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するステップと、を有する漏洩検査方法を提供する。
【００１３】
前記した漏洩検査方法において、（ｆ）前記（ｃ）ステップにおいて前記圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行するステップと、（ｇ）前記（ｂ）ステップ、前記（ｃ）ステップおよび前記（ｆ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップと、をさらに有することができる。前記（ｆ）ステップの補正準備処理が、（ｆ１）前記圧力測定値が前記要補正条件に合致したことを報知するステップ、を有することができる。
【００１４】
前記（ｆ）ステップの補正準備処理が、（ｆ２）漏洩検査を継続または中止する旨の入力を要求するステップと、（ｆ３）前記（ｆ２）ステップの要求に応じた入力が、継続する旨の入力である場合には処理を継続し、中止する旨の入力である場合には処理を中止するステップと、をさらに有することができる。ここで、前記（ｆ３）ステップにおいて処理を継続した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。前記（ｆ２）ステップにおける前記要求とともに、前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値を表示することができる。
【００１５】
前記（ｆ１）ステップの実行後、処理を継続し、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。
【００１６】
（ｈ１）前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップ、をさらに有することができ、この場合、前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値のうち何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。
【００１７】
（ｈ１）前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップと、（ｈ２）前記（ｂ）ステップの前記測定を前記（ｇ）ステップにおいて繰り返す間に、温度変化が有ったか無かったかを判断するステップと、をさらに有することができ、この場合、前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｈ２）ステップにおいて前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値のうち何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、または、前記（ｈ２）ステップにおいて前記温度変化が有ったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。
【００１８】
（ｉ）前記（ｂ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップ、をさらに有することができ、この場合、前記（ｃ）ステップにおいて、前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値のそれぞれについて、前記要補正条件に合致するかを判断し、何れか一つの圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。
【００１９】
（ｊ１）前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップ、をさらに有してもよく、この場合、前記（ｃ）ステップにおいて、前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断され、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて全ての圧力測定値が前記補正不要条件に合致すると判断された場合には、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。前記（ｃ）ステップにおいて、前記複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断され、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断された場合には、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。
【００２０】
（ｊ１）前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップと、（ｊ２）前記（ｂ）ステップの前記測定を前記（ｉ）ステップにおいて繰り返す間に、温度変化が有ったか無かったかを判断するステップと、をさらに有することができ、この場合、前記（ｃ）ステップにおいて前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断し、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて全ての圧力測定値が前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｊ２）ステップにおいて前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。前記（ｃ）ステップにおいて、前記複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断し、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、または、前記（ｊ２）ステップにおいて前記温度変化が有ったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。
【００２１】
前記要補正条件として、前記圧力測定値Ｐｍが、Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、または、Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、を満足することが挙げられる。ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅である。
【００２２】
前記補正不要条件として、前記圧力測定値Ｐｍが、｜Ｐｍ−Ｐｉ｜≦ΔＰ、を満足することが挙げられる。ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰは許容変動幅である。
【００２３】
（ｋ）前記（ｂ）ステップで得た圧力測定値ごとに、前記圧力測定値が補正不可条件に合致するかを判断するステップと、（ｌ）前記（ｋ）において前記圧力測定値が前記補正不可条件に合致すると判断した場合、補正不可処理を実行するステップと、をさらに有することができる。前記（ｌ）ステップの補正不可処理が、（ｌ１）前記圧力測定値が前記補正不可条件に合致した旨の報知、または、再測定を促す旨の報知を含む報知ステップと、（ｌ２）測定を中止するステップと、を有してもよい。
【００２４】
前記補正不可条件として、Ｐｍ＞Ｐｍｉｎ＋ΔＰｕｐ、または、Ｐｍ＜Ｐｍａｘ−ΔＰｄｎ、を満足することが挙げられる。ただし、Ｐｉは開始圧力、Ｐｍｉｎは最小圧力、ΔＰｕｐは許容上昇幅、Ｐｍａｘは最大圧力、ΔＰｄｎは許容下降幅である。
【００２５】
本発明の第２の態様においては、検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、コントローラと、を有し、前記コントローラが、前記検査対象物の内部を封止し、前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得、前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するように、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信する漏洩検査装置を提供する。
【００２６】
本発明の第３の態様においては、検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信するコントローラと、を有する漏洩検査装置を制御するためのプログラムであって、前記コントローラに含まれるコンピュータに、前記検査対象物の内部を封止する機能と、前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る機能と、前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断する機能と、前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得る機能と、前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する機能と、を実現させるためのプログラムを提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】漏洩検査装置１００の概要を示すブロック図である。
【図２】漏洩検査方法２００を示すフローチャートである。
【図３】漏洩検査方法２００における要補正の判断の一例を示すフローチャートである。
【図４】要補正と判断される場合の具体例を示すグラフである。
【図５】要補正と判断される場合の具体例を示すグラフである。
【図６】漏洩検査方法２００における補正準備処理の一例を示すフローチャートである。
【図７】漏洩検査方法２００における補正処理の一例を示すフローチャートである。
【図８】漏洩検査方法３００を示すフローチャートである。
【図９】漏洩検査方法３００における補正不要の判断の一例を示すフローチャートである。
【図１０】補正不要と判断される場合の具体例を示すグラフである。
【図１１】漏洩検査方法３００における補正不要の判断の他の例を示すフローチャートである。
【図１２】漏洩検査方法４００を示すフローチャートである。
【図１３】漏洩検査方法４００における補正不可の判断の一例を示すフローチャートである。
【図１４】補正不可と判断される場合の具体例を示すグラフである。
【図１５】漏洩検査方法４００における補正不可処理の一例を示すフローチャートである。
【図１６】漏洩検査方法５００を示すフローチャートである。
【図１７】漏洩検査方法５００における補正処理の判断の一例を示すフローチャートである。
【図１８】漏洩検査方法５００における補正処理の判断の他の例を示すフローチャートである。
【図１９】漏洩検査方法６００を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２９】
（実施形態１）
図１は、漏洩検査装置１００の概要を示すブロック図である。漏洩検査装置１００は、は、検査対象物１２０における漏洩の有無を検査する。漏洩検査装置１００は、接続体１０２と、接続フランジ１０４と、圧力センサ１０６と、加圧ポンプ１０８と、コントローラ１１０と、表示部１１２と、第１バルブ１１４と、第２バルブ１１６とを有する。検査対象物１２０として、ガス配管、水道管等の配管を例示することができる。
【００３０】
接続体１０２は、接続フランジ１０４を介して検査対象物１２０に接続され、接続体１０２の内部は検査対象物１２０の内部と同じ圧力に維持される。接続体１０２には、圧力センサ１０６が接続され、第１バルブ１１４を介して加圧ポンプ１０８が接続される。接続体１０２は、内部の圧力が大気圧より高い加圧状態あるいは大気圧より低い減圧状態に維持できる限り、材質に限定はない。ステンレススチール等の金属、ポリカーボネート等のプラスチックを例示することができる。
【００３１】
接続フランジ１０４は、接続体１０２と検査対象物１２０とを気密に接続する気密部材である。接続フランジ１０４によって接続体１０２と検査対象物１２０とが気密に接続され、検査対象物１２０の内部と接続体１０２の内部が同じ圧力に維持される。
【００３２】
圧力センサ１０６は、接続体１０２の内部圧力を測定する。圧力センサ１０６の種類は限定されないが、測定した圧力値を容易に取り扱う観点から、出力が電気信号等で得られる形態の圧力センサが好ましい。
【００３３】
加圧ポンプ１０８は、接続体１０２の内部を加圧することで検査対象物１２０の内部を昇圧する。加圧ポンプ１０８の種類に限定なない。加圧ポンプ１０８と接続体１０２との間には第１バルブ１１４が配置され、接続体１０２には第２バルブ１１６が接続されている。第２バルブ１１６を開くことで、接続体１０２の内部を大気開放することができる。第１バルブ１１４と第２バルブ１１６を閉じることで、接続体１０２の内部および検査対象物１２０の内部を封止することができる。
【００３４】
コントローラ１１０は、加圧ポンプ１０８、第１バルブ１１４および第２バルブ１１６を制御し、圧力センサ１０６からの信号を受信する。コントローラ１１０は、加圧ポンプ１０８、第１バルブ１１４および第２バルブ１１６を制御することで、検査対象物１２０の内部を昇圧し封止し、検査対象物１２０の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に圧力測定値を補正して圧力補正値を得、圧力測定値または圧力補正値に基づき、検査対象物１２０の漏洩を判定する。なお、検査対象物１２０が加圧された状態にあり、加圧状態の検査対象物１２０に、接続体１０２を接続することが可能な場合には、加圧ポンプ１０８により昇圧しなくても、接続体１０２および検査対象物１２０の内部圧力を所定の加圧状態にすることができる場合がある。このような場合、封止前の昇圧は必ずしも必要ではない。
【００３５】
表示部１１２は、コントローラ１１０によって制御され、コントローラ１１０が判定した検査対象物１２０の漏洩についての判定結果を表示する。表示部１１２として液晶表示装置が例示できるが、プリンタ等の印刷手段であってもよい。また、表示部１１２は、警告音等を発する音響出力装置を備えてもよい。
【００３６】
図２は、本実施形態の漏洩検査方法２００を示すフローチャートである。漏洩検査方法２００は、上記した漏洩検査装置１００を用いて漏洩検査を実施することができる。
【００３７】
漏洩検査装置１００を検査対象物１２０に接続し（ステップ２０２）、加圧ポンプ１０８により検査対象物１２０の内部を大気圧より高い圧力に昇圧し、第１バルブ１１４を閉じて検査対象物１２０を封止する（ステップ２０４）。検査対象物１２０の内部を昇圧し封止した状態で、検査対象物１２０の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る（ステップ２０６）。なお、検査対象物１２０の内部が大気圧より高い加圧状態にある場合、前記したとおり、加圧ポンプ１０８による昇圧は必ずしも必要ではない。
【００３８】
得られた圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し（ステップ２０８）、圧力測定値が要補正条件に合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行し（ステップ２１０）、次のステップ２１２に進む。ステップ２０８で圧力測定値が要補正条件に合致しないと判断した場合には、補正準備処理を実行することなく、次のステップ２１２に進む。なお、ステップ２１０の補正準備処理では、後に説明するステップ２１４（圧力測定値を補正するかの判断）における判断基準の具体例として補正フラグが例示でき、当該補正フラグをＯＮにして、要補正条件に合致したことを記録することができる。
【００３９】
ステップ２１２では、内部圧力の測定が、所定時間または所定回数繰り返されたかを判断し（ステップ２１２）、所定時間または所定回数繰り返されていなければステップ２０６に戻ってステップ２０６〜２１２を繰り返す。ステップ２１２で内部圧力の測定が所定時間または所定回数繰り返されたと判断した場合には、測定を終了し、次のステップ２１４に進む。
【００４０】
ステップ２１４では、圧力測定値を補正するかの判断、具体的には補正フラグがＯＮであるかを判断し（ステップ２１４）、補正すると判断しなかった場合、具体的には補正フラグがＯＦＦであった場合には、圧力測定値に基づき検査対象物１２０の漏洩を判定する（ステップ２１６）。ステップ２１４の判断が、補正するとの判断であった場合、具体的には補正フラグがＯＮの場合、補正処理の実行すなわち圧力測定値を補正して圧力補正値を得（ステップ２１８）、補正処理で得られた圧力補正値に基づき検査対象物１２０の漏洩を判定する（ステップ２２０）。
【００４１】
ステップ２１６またはステップ２２０で行った漏洩判定の結果を、表示部１１２に表示し（ステップ２２２）、漏洩検査方法２００の処理を終了する（ステップ２２４）。
【００４２】
図３は、漏洩検査方法２００における要補正の判断（ステップ２０８）の一例を示すフローチャートである。要補正の判断は、取得された圧力測定値が、要補正条件に合致するか否かで判断する。要補正条件に合致する場合、補正準備処理（ステップ２１０）を実行する。以下、漏洩検査方法２００を説明する。なお、以下の説明において、Ｐｍは圧力測定値、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅を表す。
【００４３】
まず、得られた圧力測定値Ｐｍが最初の測定によるものかを判断し（ステップ２２６）、最初の測定である場合には、開始圧力Ｐｉに圧力測定値Ｐｍを代入する（ステップ２２８）。そうでない場合には次のステップに進む。
【００４４】
次ステップでは、Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、すなわち圧力測定値Ｐｍが開始圧力Ｐｉから許容減少幅ΔＰｄｅｃを超えて低下したかを判断し（ステップ２３０）、真である場合には補正準備処理を実行する（ステップ２３２）。そうでない場合は次のステップに進む。
【００４５】
次のステップでは、Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、すなわち圧力測定値Ｐｍが開始圧力Ｐｉから許容増加幅ΔＰｉｎｃを超えて増加したかを判断し（ステップ２３４）、真である場合には補正準備処理を実行する（ステップ２３６）。そうでない場合は次のステップに進む。そうでない場合は、図２の処理に戻る（ステップ２４６）。
【００４６】
図４および図５は、要補正と判断される場合の具体例を示すグラフである。図４および図５において、横軸は測定開始からの経過時間を示し、縦軸は測定圧力値を示す。
【００４７】
図４に示すように、測定の開始時にＰｉであった圧力が、ｔ１の時点で許容減少幅ΔＰｄｅｃを超えて低下している。このような場合、測定圧力値の低下は、漏洩によるものか温度変化によるものか判然としない。このため、補正処理を行って温度変化に起因する圧力変動分を補正し、漏洩の有無を判断する必要がある。よって、ステップ２３０の判断のように、圧力測定値Ｐｍが開始圧力Ｐｉから許容減少幅ΔＰｄｅｃを超えて低下した場合には、要補正と判断することとした。
【００４８】
図５に示すように、測定の開始時にＰｉであった圧力が、ｔ２の時点で許容増加幅ΔＰｉｎｃを超えて上昇している。測定中、検査対象物１２０の内部を加圧することはないので、このような測定圧力値の上昇は温度変化の影響を受けていると推察できるが、漏洩が存在するか否かは判然としない。このため、温度変化による圧力変動分を補正により差し引き、漏洩の有無を判断する必要がある。よって、ステップ２３４の判断のように、圧力測定値Ｐｍが開始圧力Ｐｉから許容増加幅ΔＰｉｎｃを超えて増加した場合には、要補正と判断することとした。
【００４９】
図４および図５で説明した、要補正と判断する場合の具体例は、あくまでも例示であって、これに限られるものではない。
【００５０】
図６は、補正準備処理２１０の一例を示すフローチャートである。補正準備処理２１０を開始すると、まず、圧力測定値が要補正条件に合致したことの報知、たとえば警告音を発する（ステップ２４８）。報知は、警告音に限らず、たとえばＬＥＤ等光源の点滅や、装置の振動であってもよい。
【００５１】
次に、ステップ２０６の繰り返しで得られた複数の圧力測定値を表示部１１２に表示し（ステップ２５０）、漏洩検査を継続するか中止するかの入力を要求する。当該要求に応じた入力が継続の旨か中止の旨かを判断し（ステップ２５２）、中止する旨の入力である場合には処理を中止する（ステップ２５４）。
【００５２】
ステップ２５２の判断が継続する旨の入力である場合には、処理を継続し、ステップ２５６に進む。ステップ２５６では、補正フラグをＯＮにし（ステップ２５６）、図２の処理に戻る（ステップ２５８）。
【００５３】
図７は、補正処理２１８の一例を示すフローチャートである。補正処理２１８を開始すると、まず、第２バルブ１１６を開いて、検査対象物１２０の内部を大気圧に減圧する（ステップ２６０）。次に、第２バルブ１１６を閉じ、検査対象物１２０の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る（ステップ２６２）。仮に検査対象物１２０に漏洩箇所があったとしても、大気圧状態では当該漏洩箇所からの漏洩は殆ど発生しないので、内部圧力の変動があると、温度変化に起因する圧力変動とみなすことができる。
【００５４】
内部圧力の測定が、所定時間または所定回数繰り返されたかを判断し（ステップ２６４）、所定時間または所定回数繰り返されていなければステップ２６２に戻って内部圧力の測定を繰り返す。ステップ２６４で内部圧力の測定が所定時間または所定回数繰り返されたと判断した場合には、測定を終了し、次のステップ２６６に進む。
【００５５】
ステップ２６６では、大気圧における圧力測定値から温度変化による圧力変動値を算出する（ステップ２６６）。ステップ２６６で算出された圧力変動値を、昇圧時の圧力測定値から差し引き、圧力補正値を得る（ステップ２６８）。その後、図２の処理に戻る（ステップ２７０）。
【００５６】
ステップ２６６で算出された圧力変動値は、温度変化による圧力変動とみなせるので、ステップ２６８で得られた圧力補正値は、温度変化による圧力変動の影響が取り除かれた値とみなすことができる。
【００５７】
上記した漏洩検査装置１００および漏洩検査方法２００によれば、補正処理が必要な場合を要補正の判断ステップによって判断し、必要と判断した場合には確実に補正処理を施し、補正処理によって得た圧力補正値により漏洩有無の判定を行う。他方、補正処理が必要と判断されない場合は補正処理が必要でないと推定し、このような場合には補正処理を省略して検査時間の短縮を図ることができる。その結果、不要な補正処理を排除して、検査の効率を高めることが可能になる。
【００５８】
なお、上記ステップ２３０からステップ２３４の判断順序は例示であり、その順序を適宜入れ替えてもよい。
【００５９】
（実施形態２）
図８は、本発明の他の実施形態である漏洩検査方法３００を示すフローチャートである。漏洩検査方法３００は、補正不要の判断（ステップ３０２）を有する以外は漏洩検査方法２００と同じである。漏洩検査方法２００と共通するステップについては説明を省略する。
【００６０】
図８のステップ２１４の判断で補正フラグがＯＦＦであった場合（補正フラグがＯＮであるかの判断においてＮｏであった場合）、ステップ３０２に進み、ステップ３０２では補正不要の条件に合致するかを判断する（ステップ３０２）。ステップ３０２で補正不要と判断された場合、ステップ２１６に進んで圧力測定値に基づき漏洩判定を行い（ステップ２１６）、補正不要と判断されなかった場合、ステップ２１８に進んで補正処理を行い（ステップ２１８）、補正処理で得た圧力補正値に基づき漏洩判定を行う（ステップ２２０）。
【００６１】
すなわち、ステップ２０８で要補正と判断されず、ステップ３０２で補正不要とも判断されない場合、補正処理を行って漏洩判定する手順と補正処理を行わず漏洩判定する手順のどちらもとり得るが、検査の信頼性を高める観点からは、確実に補正が不要な場合のみ補正処理を省略し、何れとも判断できない場合は念のため補正処理を行うことが好ましいと考えられる。よって、本実施形態の漏洩検査方法３００では、補正が不要とも必要とも判断されない場合は、補正処理を行うこととしたものである。
【００６２】
図９は、補正不要の判断３０２の一例を示すフローチャートである。補正不要の判断３０２を開始すると、ステップ２０６の繰り返し測定で得られた複数の圧力測定値について、最初のデータであるかを判断し（ステップ３０４）、最初のデータである場合、開始圧力Ｐｉに最初の圧力測定値Ｐｍを代入する（ステップ３０６）。そうでない場合は次のステップに進む。
【００６３】
次のステップ３０８では、圧力測定値Ｐｍが、｜Ｐｍ−Ｐｉ｜≦ΔＰの条件を満足するかを判断する（ステップ３０８）。ここでΔＰは許容変動幅である。ステップ３０８で条件を満足すると判断した場合は、次のステップ３１２に進み、満足しないと判断した場合は、直ちに補正不要ではないと判断する（ステップ３１０）。
【００６４】
全データ（全ての圧力測定値）について判断したかを判断し（ステップ３１２）、全データの判断が未了である場合はステップ３０８からの処理を繰り返し、全データの判断を終了した場合には、補正不要と判断する（ステップ３１４）。
【００６５】
図１０は、補正不要と判断される場合の具体例を示すグラフである。所定の経過時間の間、開始圧力Ｐｉからの圧力測定値の変動は許容変動幅ΔＰの範囲内に納まっている。このような状況は、何の圧力変動も生じていない状況であり、漏洩による圧力低下と温度変化による圧力上昇がバランスしている可能性を排除することはできないが、そのような可能性は低いことから、漏洩による圧力低下も温度変化による圧力変動も発生していない状況であると推定し、補正不要と判断することにしたものである。
【００６６】
なお、漏洩による圧力低下と温度変化による圧力上昇が丁度バランスすることによる圧力無変動の可能性を解除する観点から、図１１に示すように、ステップ３１２のあとに、内部圧力測定中に温度変化が有ったか無かったかを判断するステップ（ステップ３２０）をさらに有することができる。温度変化が有ったか無かったかの判断は、たとえば、漏洩検査装置１００の部材や外気温の測定データ、検査対象物１２０の温度測定データ、気象庁等から提供される気温データ等により、あるいは、これらデータを総合的に勘案することにより、判断することが可能である。ステップ３２０において、内部圧力測定中に温度変化が無かったと判断された場合には補正不要と判断し（ステップ３１４）、温度変化が有った場合には補正不要ではないと判断する（ステップ３１０）。
【００６７】
漏洩検査方法３００によれば、補正が不要な場合を明確にし、このような場合には補正処理を省略することで、漏洩検査の効率を高めることができる。同時に、補正が必要であると判断されず、かつ補正が不要であるとも判断されないような、補正の要否が曖昧な場合、念のため補正処理を行うことで、漏洩検査の信頼性を高めることができる。よって、漏洩検査の信頼性を高めつつ、検査の効率を高めることができる。また、内部圧力測定中の温度変化の有無を判断することにより、さらに正確な漏洩検査を実施することができる。
【００６８】
（実施形態３）
図１２は、本発明の他の実施形態である漏洩検査方法４００を示すフローチャートである。漏洩検査方法４００は、補正不可の判断（ステップ４０２）を有する以外は漏洩検査方法２００と同じである。漏洩検査方法２００と共通するステップについては説明を省略する。
【００６９】
ステップ２０６で測定した内部圧力が、補正不可条件を満足するかを判断し（ステップ４０２）、補正不可条件に合致する場合には補正不可処理を実施し（ステップ４０４）、合致しない場合にはステップ２１２に進んで処理を継続する。
【００７０】
図１３は、漏洩検査方法４００における補正不可の判断（ステップ４０２）の一例を示すフローチャートである。補正不可の判断は、取得された圧力測定値が、補正不可条件に合致するか否かで判断する。補正不可条件に合致する場合、補正不可処理（ステップ４０４）を実行する。なお、以下の説明において、Ｐｍは圧力測定値、Ｐｉは開始圧力、Ｐｍｉｎは最小圧力、ΔＰｕｐは許容上昇幅、Ｐｍａｘは最大圧力、ΔＰｄｎは許容下降幅を表す。
【００７１】
まず、得られた圧力測定値Ｐｍが最初の測定によるものかを判断し（ステップ４０６）、最初の測定である場合には、最小圧力Ｐｍｉｎおよび最大圧力Ｐｍａｘに圧力測定値Ｐｍを代入する（ステップ４０８）。そうでない場合には次のステップに進む。
【００７２】
次に、Ｐｍ＜Ｐｍｉｎであるかを判断し（ステップ４１０）、真である場合には最小圧力ＰｍｉｎにＰｍを代入する（ステップ４１２）。そうでない場合は次のステップに進む。次ステップでは、Ｐｍ＞Ｐｍｉｎ＋ΔＰｕｐ、すなわち圧力測定値Ｐｍが最小圧力Ｐｍｉｎから許容上昇幅ΔＰｕｐを超えて上昇したかを判断し（ステップ４１４）、真である場合には補正不可処理を実行する（ステップ４１６）。
【００７３】
次に、Ｐｍ＞Ｐｍａｘであるかを判断し（ステップ４１８）、真である場合には最大圧力ＰｍａｘにＰｍを代入する（ステップ４２０）。そうでない場合は次のステップに進む。次ステップでは、Ｐｍ＜Ｐｍａｘ−ΔＰｄｎ、すなわち圧力測定値Ｐｍが最大圧力Ｐｍａｘから許容下降幅ΔＰｄｎを超えて下降したかを判断し（ステップ４２２）、真である場合には補正不可処理を実行する（ステップ４２４）。そうでない場合は、図１２の処理に戻る（ステップ２４６）。
【００７４】
図１４は、補正不可と判断される場合の具体例を示すグラフである。図１４において、横軸は測定開始からの経過時間を示し、縦軸は測定圧力値を示す。図１４に示すように、測定の開始時にＰｉであった圧力が、ｔ３の時点で許容減少幅ΔＰｄｅｃを超えて低下し、さらにｔ４の時点で最小圧力Ｐｍｉｎまで低下した圧力が、一転上昇に転じ、ｔ５の時点で許容上昇幅ΔＰｕｐを超えて上昇している。当該挙動は明らかに異常な挙動であることから、再測定することが妥当である。このため、最小圧力Ｐｍｉｎまで低下した圧力が、許容上昇幅ΔＰｕｐを超えて上昇した場合、再測定のための補正不可処理（ステップ４０４）を実行することとした。なお、最大圧力Ｐｍａｘまで上昇した圧力が許容下降幅ΔＰｄｎを超えて下降した場合も同様である。図１４で説明した、補正不可と判断する場合の具体例は、あくまでも例示であって、これに限られるものではない。
【００７５】
図１５は、補正不可処理（ステップ４０４）の一例を示したフローチャートである。補正不可処理４０４を開始すると、圧力測定値が補正不可条件に合致したことの報知として、警告音を発し（ステップ４２８）、続けて再測定を促す旨のメッセージを表示部１１２に表示する（ステップ４３０）。その後、測定を中止し（ステップ４３２）、処理を終了する（ステップ４３４）。なお、報知は警告音に限らず、たとえばＬＥＤ等光源の点滅や、装置の振動であってもよい。
【００７６】
漏洩検査方法４００によれば、補正不可条件によって、明らかに測定が異常な場合を検出し、その後の測定を中止することによって、無駄な測定の継続を避けることができる。これにより、漏洩検査の効率を高めることができる。
【００７７】
（実施形態４）
図１６は、本発明のさらに他の実施形態である漏洩検査方法５００を示すフローチャートである。漏洩検査方法５００は、漏洩検査方法２００におけるステップ２０８およびステップ２１０を有さず、ステップ２０６の繰り返し測定で取得した全ての圧力測定値について補正処理の必要性を判断するステップ５０２を有する点で、漏洩検査方法２００と相違する。漏洩検査方法２００と共通するステップについては説明を省略する。
【００７８】
図１６のステップ２１２の判断で、測定が終了したと判断された場合、ステップ５０２に進み、補正処理の要否を判断する（ステップ５０２）。補正処理しないと判断された場合、ステップ２１６に進んで圧力測定値に基づき漏洩判定を行い（ステップ２１６）、補正処理すると判断された場合、ステップ２１８に進んで補正処理を行い（ステップ２１８）、補正処理で得た圧力補正値に基づき漏洩判定を行う（ステップ２２０）。
【００７９】
図１７は、漏洩検査方法５００における補正処理の判断５０２の一例を示すフローチャートである。ステップ５０２において要補正および補正不要の条件に合致するかを判断し、当該判断に基づき総合的に補正処理するまたは補正処理しないを判断する。
【００８０】
補正処理の判断５０２を開始すると、ステップ２０６の繰り返し測定で得られた複数の圧力測定値について、最初のデータであるかを判断し（ステップ５０４）、最初のデータである場合、開始圧力Ｐｉに最初の圧力測定値Ｐｍを代入し、補正不要フラグをＯＮにする（ステップ５０６）。そうでない場合は次のステップに進む。
【００８１】
ステップ５０８では、｜Ｐｍ−Ｐｉ｜＞ΔＰであるかを判断し（ステップ５０８）、真である場合は補正不要フラグをＯＦＦにする（ステップ５１０）。そうでない場合は次のステップに進む。
【００８２】
ステップ５１２では、Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃであるかを判断し（ステップ５１２）、真である場合には直ちに補正処理すると判断する（ステップ５１４）。そうでない場合は次のステップに進む。
【００８３】
ステップ５１６では、Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃであるかを判断し（ステップ５１６）、真である場合には直ちに補正処理すると判断する（ステップ５１４）。そうでない場合は次のステップに進む。
【００８４】
ステップ５１８では全データについて判断したかを判断し（ステップ５１８）、判断が未了のデータがある場合にはステップ５０８に戻って以降の処理を繰り返し、全データについて判断が終了した場合には、補正不要フラグがＯＮかＯＦＦかを判断し（ステップ５２０）、補正不要フラグがＯＦＦの場合、補正処理すると判断し（ステップ１５４）、補正不要フラグがＯＮの場合、補正処理しないと判断する（ステップ５２２）。
【００８５】
漏洩検査方法５００では、上記したように、要補正条件に合致せず、かつ、補正不要条件にも合致しない曖昧な場合は、補正処理するとして判断の基準を明確にした。漏洩検査方法５００によれば、補正処理の判断５０２により、補正処理するまたはしないの判断を、要補正条件および補正不要条件を総合的に勘案して明確に判断でき、漏洩検査の信頼性を高めるとともに漏洩検査の効率を高めることができる。
【００８６】
なお、上記ステップ５０８からステップ５１６の判断順序は例示であり、その順序を適宜入れ替えてもよい。
【００８７】
図１８に示すように、ステップ５２０で補正不要フラグがＯＮであると判断された場合に、さらに、内部圧力の測定中に温度変化が有ったか無かったかを判断するステップ（ステップ５３０）を有してもよい。ステップ５３０で温度変化が無かったと判断した場合、補正処理しないと判断し（ステップ５２２）、温度変化があった場合は補正処理すると判断する（ステップ５１４）。ステップ５３０で温度変化の有無を判断し、これを補正処理する、しないの判断に生かすことで、誤りのない漏洩検査を実施することができる。
【００８８】
以上、実施形態１〜４とその変更例では、本願発明を漏洩検査装置または漏洩検査方法として説明したが、本発明の漏洩検査方法は、そのような方法または機能を実現するプログラムとして把握することも可能である。
【００８９】
また、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００９０】
たとえば、図１９に示すように、漏洩検査方法６００では、実施形態４で説明した漏洩検査方法５００の内部圧力の測定ステップ（ステップ２０６）の後に、実施形態３で説明した補正不可の判断ステップ（ステップ４０２）を有する。このように、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態１〜４とその変更例は、任意に組み合わせることが可能である。
【００９１】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラムおよび方法における動作、手順、ステップおよび段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書および図面中の動作フローに関して便宜上「まず」、「次に」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００９２】
１００…漏洩検査装置、１０２…接続体、１０４…接続フランジ、１０６…圧力センサ、１０８…加圧ポンプ、１１０…コントローラ、１１２…表示部、１１４…第１バルブ、１１６…第２バルブ、１２０…検査対象物、Ｐｉ…開始圧力、Ｐｍ…圧力測定値、Ｐｍａｘ…最大圧力、Ｐｍｉｎ…最小圧力、ΔＰ…許容変動幅、ΔＰｄｅｃ…許容減少幅、ΔＰｉｎｃ…許容増加幅、ΔＰｕｐ…許容上昇幅、ΔＰｄｎ…許容下降幅。
【図１】
0005964933.tif 000002
【図２】
0005964933.tif 000003
【図３】
0005964933.tif 000004
【図４】
0005964933.tif 000005
【図５】
0005964933.tif 000006
【図６】
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【図７】
0005964933.tif 000008
【図８】
0005964933.tif 000009
【図９】
0005964933.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
0005964933.tif 000012
【図１２】
0005964933.tif 000013
【図１３】
0005964933.tif 000014
【図１４】
0005964933.tif 000015
【図１５】
0005964933.tif 000016
【図１６】
0005964933.tif 000017
【図１７】
0005964933.tif 000018
【図１８】
0005964933.tif 000019
【図１９】
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