(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内燃機関の排出ガスを浄化するためのフィルタとして用いられ、中心軸に沿って延在する柱状のハニカム構造体であって、
前記中心軸の延在方向で互いに対向する第１の端面及び第２の端面と、
前記中心軸に沿って延在する複数の第１流路及び複数の第２流路を形成する隔壁と、を有し、
前記第１流路は、前記第１の端面側が開口され、前記第２の端面側が封口されており、
前記第２流路は、前記第１の端面側が封口され、前記第２の端面側が開口されており、
前記第１の端面の全体面積に対する全ての前記第１流路の開口面積を合せた面積の割合は、前記第２の端面の全体面積に対する全ての前記第２流路の開口面積を合せた面積の割合より大きく、
前記中心軸の延在方向から見て、前記第２の端面側に、
前記隔壁を隔てて隣り合う前記第２流路を環状に並べて形成された環状列と、
前記隔壁を隔てて隣り合う前記第１流路と前記第２流路とを並べて形成された前記環状列以外の領域と、を有し、
前記環状列は、前記第２流路を一列に環状に並べて形成された複数の列同士が、前記第１流路を介することなく、前記隔壁を隔てて隣り合って並列することにより形成されている、ハニカム構造体。
【請求項２】
前記環状列は、前記中心軸を囲むように形成されている請求項１に記載のハニカム構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスを浄化するフィルタとして用いられるハニカム構造体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディーゼル粒子フィルタ（ＤＰＦ）等、内燃機関の排出ガスを浄化するフィルタとしてハニカム構造体が広く用いられている（例えば特許文献１を参照）。ハニカム構造体には、排出ガスから取り除かれた煤が堆積するため、一定期間ごとに煤を燃焼してフィルタ再生(regeneration)を行う必要がある。煤を燃焼させるには、高温かつ大量の燃焼排ガスを供給して煤に着火し、煤を燃え尽きさせればよい。
【０００３】
フィルタ再生時には煤の燃焼熱によりハニカム構造体が破損する場合があることから、ハニカム構造体は高い耐熱衝撃性が求められている。特許文献１には、複数のセグメント部を連結部で結合した構造を持つハニカム構造体において、連結部の強度を調整することで耐熱衝撃性を高めたものが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２０２１４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、本発明者らがハニカム構造体について実験を重ねたところ、耐熱衝撃性テストにおいてハニカム構造体のガス下流側端面に放射状クラックが複数発生し、さらに過酷な条件において、これらのクラックが拡大して互いに繋がり最終的に環状のクラックを形成する状況が見出された。このため、放射状クラックの発生によるフィルタ性能の低下を避けるための対策を行う必要がある。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、環状クラックの発生によるフィルタ性能の低下を抑制することができると共に、環状クラックの拡大を抑制するができるハニカム構造体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明は、中心軸に沿って延在する柱状のハニカム構造体であって、中心軸に沿って延在する柱状のハニカム構造体であって、中心軸の延在方向で互いに対向する第１の端面及び第２の端面と、中心軸に沿って延在する複数の第１流路及び複数の第２流路を形成する隔壁と、を有し、第１流路は、第１の端面側が開口され、第２の端面側が封口されており、第２流路は、第１の端面側が封口され、第２の端面側が開口されており、第１の端面の開口割合は、第２の端面の開口割合より大きく、中心軸の延在方向から見て、隔壁を隔てて隣り合う第２流路を環状に並べて形成された環状列を有する。
【０００８】
上記ハニカム構造体によれば、ガス下流側となる第２の端面側が開口された第２流路により環状列が形成されているので、フィルタ再生時にハニカム構造体の許容量を超える熱衝撃が加わったとしても、第２の端面側において、環状列以外の箇所の封口や隔壁ではなく環状列の第２流路間の隔壁が破壊されて環状クラックが発生するように誘導することができる。そして、上記ハニカム構造体では、環状列の第１の端面側は全て封口されているので、環状列の第２の端面側に環状クラックが生じて第２流路同士が連通しても煤漏れが発生することはない。従って、上記ハニカム構造体によれば、環状クラックの発生によるフィルタ性能の低下を抑制することができる。また、環状列における環状クラックの発生を許容することにより、その後の熱衝撃により加わる応力が分散されるので、環状クラックの拡大を抑制することができる。更に、このハニカム構造体によれば、従来のハニカム構造体のように低強度部材を別に設けることなく、流路の封口パターンの工夫により環状クラックの発生を誘導することができるので、ハニカム構造体の構成の簡素化及び低コスト化を図ることができる。
【０００９】
上記環状列は、柱状のハニカム構造体の中心軸を囲むように形成されていても良い。
この構成によれば、熱衝撃により生じる環状クラックを発生させようとする応力を環状列の第２の端面側で効果的に受けることができるので、より確実に環状クラックの発生を誘導することができる。
【００１０】
上記ハニカム構造体は、隔壁を隔てて隣り合って並列する複数の環状列を有していても良い。
この構成によれば、複数の環状列が互いに並列することで、環状列の第２の端面側の強度を他の箇所より更に低くすることができ、より確実に環状クラックの発生を誘導することができる。
【００１１】
上記環状列を形成する第２流路の中心軸に垂直な断面面積の平均は、環状列を形成しない第２流路の中心軸に垂直な断面面積の平均より大きくても良い。
この構成によれば、環状列を形成する第２流路の断面面積の平均が環状列を形成しない第２流路の断面面積の平均より大きいので、流路列の第２の端面側の強度を他の箇所より一層低くすることができ、より確実に環状クラックの発生を誘導することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、環状クラックの発生によるフィルタ性能の低下を抑制することができると共に、環状クラックの拡大を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態に係るハニカム構造体を示す斜視図である。
【図２】ハニカム構造体の中心軸に垂直な断面の一部を示す拡大図である。
【図３】（ａ）は、ハニカム構造体の第１の端面の一部を示す拡大図である。（ｂ）は、ハニカム構造体の第２の端面の一部を示す拡大図である。
【図４】ハニカム構造体の中心軸に沿った断面の一部を示す拡大図である。
【図５】ハニカム構造体の第２の端面を示す全体図である。
【図６】図５の部分拡大図である。
【図７】第２の実施形態に係るハニカム構造体の第２の端面を示す全体図である。
【図８】図７の部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
［第１の実施形態］
図１に示されるように、第１の実施形態に係るハニカム構造体１０は、ＤＰＦ［Diesel Particulate Filter］等に取り付けられ、内燃機関の排出ガスを浄化するためのフィルタとして用いられる円柱状の構造体である。円柱状のハニカム構造体１０は、中心軸ＣＬに沿って延在している。以後、中心軸ＣＬの延在方向を中心軸方向と称する。
【００１６】
ハニカム構造体１０は、中心軸方向で互いに対向する第１の端面１０ａ及び第２の端面１０ｂと、中心軸ＣＬに沿って延在する複数の第１流路Ｒａ及び複数の第２流路Ｒｂを形成する隔壁１０ｃと、を有している。
【００１７】
ハニカム構造体１０は、多孔質（例えば、平均細孔直径２０μｍ以下）のセラミクス材料等から構成されている。ハニカム構造体１０に用いられるセラミクス材料としては、例えば、アルミナ、シリカ、ムライト、コーディエライト、ガラス、チタン酸アルミニウム等の酸化物、シリコンカーバイド、窒化珪素、金属等が挙げられる。チタン酸アルミニウムは、更に、マグネシウム及び／又はケイ素を含むことができる。
【００１８】
このようなハニカム構造体１０は、上述したセラミクス材料となるグリーン成形体（未焼成成形体）を焼成し、各流路Ｒａ,Ｒｂに対して所定の封口処理を行うことにより得ることができる。グリーン成形体は、セラミクス原料である無機化合物源粉末、メチルセルロース等の有機バインダ、及び必要に応じて添加される添加剤を含む。
【００１９】
例えば、チタン酸アルミニウムのグリーン成形体の場合、無機化合物源粉末は、αアルミナ粉等のアルミニウム源粉末、及びアナターゼ型やルチル型のチタニア粉末等のチタニウム源粉末を含み、必要に応じて、更に、マグネシア粉末やマグネシアスピネル粉末等のマグネシウム源粉末、及び／又は、酸化ケイ素粉末やガラスフリット等のケイ素源粉末を含むことができる。
【００２０】
有機バインダとしては、メチルセルロース、カルボキシルメチルセルロース、ヒドロキシアルキルメチルセルロース、ナトリウムカルボキシルメチルセルロース等のセルロース類；ポリビニルアルコール等のアルコール類；リグニンスルホン酸塩が挙げられる。
【００２１】
添加物としては、例えば、造孔剤、潤滑剤、可塑剤、分散剤及び溶媒が挙げられる。
【００２２】
造孔剤としては、グラファイト等の炭素材；ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメタクリル酸メチル等の樹脂類；でんぷん、ナッツ殻、クルミ殻、コーン等の植物材料；氷；及びドライアイス等が挙げられる。
【００２３】
潤滑剤及び可塑剤としては、グリセリン等のアルコール類；カプリル酸、ラウリン酸、パルミチン酸、アラキジン酸、オレイン酸、ステアリン酸等の高級脂肪酸；ステアリン酸Ａｌ等のステアリン酸金属塩、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル（ＰＯＡＡＥ）等が挙げられる。
【００２４】
分散剤としては、例えば、硝酸、塩酸、硫酸等の無機酸；シュウ酸、クエン酸、酢酸、リンゴ酸、乳酸等の有機酸；メタノール、エタノール、プロパノール等のアルコール類；ポリカルボン酸アンモニウム等の界面活性剤等が挙げられる。
【００２５】
溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、ブタノール、プロパノール等のアルコール類；プロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、エチレングリコール等のグリコール類；及び水等を用いることができる。
【００２６】
図２は、図１の中心軸ＣＬに沿った断面の一部を示す拡大図である。図２に示されるように、ハニカム構造体１０の流路Ｒａ,Ｒｂは、第１の端面１０ａ側及び第２の端面１０ｂ側の何れか一方が封口されている。具体的には、第１流路Ｒａは、第１の端面１０ａ側が開口され、第２の端面１０ｂ側が封口材１１によって封口されている。また、第２流路Ｒｂは、第２の端面１０ｂ側が開口され、第１の端面１０ａ側が封口材１２によって封口されている。
【００２７】
封口材１１,１２の材料は、上述したグリーン成形体と同じ材料を用いても良く、異なる材料を用いても良い。また、封口材１１,１２の材料には、内燃機関の排出ガスを通過させないものを用いても良い。
【００２８】
ハニカム構造体１０は、複数の第１流路Ｒａ及び複数の第２流路Ｒｂを形成する隔壁１０ｃを有している。換言すると、隔壁１０ｃによって個々の流路Ｒａ,Ｒｂは隔てられている。隔壁１０ｃは、第１の端面１０ａから第２の端面１０ｂまで中心軸ＣＬに沿って延在している。
【００２９】
図２に示すハニカム構造体１０は、第１の端面１０ａをガス上流側（内燃機関側）、第２の端面１０ｂをガス下流側として、内燃機関の排出ガス流路上に配置される。ハニカム構造体１０を通過する排出ガスの主な流れを矢印Ｇとして示す。
【００３０】
矢印Ｇに示されるように、内燃機関の排出ガスは、まず第１の端面１０ａ側の開口から流路Ｒａに流入する。流路Ｒａに流入したガスは、流路Ｒａの第２の端面１０ｂ側が封口されているため、隔壁１０ｃを通過して流路Ｒｂ内に流入する。ガスが隔壁１０ｃを通過する際にガス中の煤等が捕捉される。流路Ｒｂ内に流入したガスは、第２の端面１０ｂ側の開口を介してハニカム構造体１０の外へ流れ出る。これにより、浄化されたガスがハニカム構造体１０の第２の端面１０ｂ側から排出されることになる。
【００３１】
次に、第１流路Ｒａ及び第２流路Ｒｂの断面形状について説明する。図３は、ハニカム構造体１０の中心軸ＣＬに垂直な断面の一部を示す拡大図である。図４（ａ）はハニカム構造体１０の第１の端面１０ａの一部を示す拡大図であり、図４（ｂ）は第２の端面１０ｂの一部を示す拡大図である。
【００３２】
図３及び図４に示されるように、ハニカム構造体１０の中心軸ＣＬに垂直な断面は、隔壁１０ｃにより六角形状に流路Ｒａ,Ｒｂを形成する格子構造を有している。このようなハニカム構造体１０の形状は、封口材１１,１２を除いて押出一体成形により作られており、流路Ｒａ,Ｒｂは途中で変形することなく、一定の断面形状のまま中心軸方向に延在する。
【００３３】
第１流路Ｒａ及び第２流路Ｒｂの断面形状としては、正六角形状のものと規則的六角形状（例えば、隣接する正六角形状の流路断面の一辺と長さが同じ長辺、及び当該長辺より長さが短い短辺からなる六角形状）のものがある。すなわち、ハニカム構造体１０は、異なる断面形状の流路を有する非対称セル構造（非対称格子構造）を備えている。
【００３４】
具体的には、第１流路Ｒａは、規則的六角形状の断面形状を有している。一方、第２流路Ｒｂは、断面形状により二つの流路Ｒｂ１,Ｒｂ２に分けられる。第２流路Ｒｂ１は正六角形状の断面形状を有しており、第２流路Ｒｂ２は第１流路Ｒａと同じ規則的六角形状の断面形状を有している。なお、第２流路Ｒｂ２については、図３及び図４に図示していない。
【００３５】
ハニカム構造体１０の中心軸ＣＬに垂直な断面では、断面形状が正六角形状の流路Ｒｂ２を囲むように断面形状が規則的六角形状の流路Ｒａ（及び流路Ｒｂ１）が配置されている。このような配置により、ハニカム構造体１０では、第１流路Ｒａの方が第２流路Ｒｂより数が多く形成されている。このため、第１の端面１０ａにおける開口割合（第１の端面１０ａの全体面積における第１流路Ｒａの開口面積の割合）は、第２の端面１０ｂにおける開口割合（第２の端面１０ｂの全体面積における第２流路Ｒｂの開口面積の割合）よりも大きくされている。このように、ガス上流側の第１の端面１０ａにおける開口割合を大きくすることで、ハニカム構造体１０における排気ガスの圧力損失の発生を抑制することができる。
【００３６】
次に、ハニカム構造体１０が有する環状列Ｗについて説明する。図５は、第２の端面１０ｂを示す全体図であり、図６は、図５の部分拡大図である。図５及び図６に示されるように、ハニカム構造体１０は、中心軸方向から見て環状（正六角形状）を成す環状列Ｗを有している。環状列Ｗは、中心軸ＣＬを中心として囲むように形成されている。なお、環状列Ｗの形状は、必ずしも正六角形である必要はない。例えば、円形や四角形その他の多角形等であっても良く、直線や曲線が組み合わされて形成される閉じた環形状であれば良い。
【００３７】
環状列Ｗは、断面形状が正六角形状の第２流路Ｒｂ１と断面形状が規則的六角形状の第２流路Ｒｂ２とから構成されている。環状列Ｗは、隔壁１０ｃを隔てて隣り合う第２流路Ｒｂ１,Ｒｂ２を環状（正六角形状）に並べて形成されている。このような構成により、環状列Ｗでは、第２の端面１０ｂのうち環状列Ｗ以外の箇所（図４（ｂ）で示されるような箇所）と比べて開口割合が高く、強度の低い部分を意図的に設けることができる。
【００３８】
図６に示されるように、第１の実施形態に係るハニカム構造体１０の環状列Ｗは、一列（幅が流路一つ分の列）の環状列Ｗａ、Ｗｂ、Ｗｃに分けることができる。換言すれば、環状列Ｗは、並列する環状列Ｗａ、Ｗｂ、Ｗｃから構成されている。このように、環状列Ｗａ、Ｗｂ、Ｗｃを複数集めて構成することで、更なる強度の低下が図られる。
【００３９】
以上説明した第１の実施形態に係るハニカム構造体１０によれば、ガス下流側となる第２の端面１０ｂ側が開口された第２流路Ｒｂにより環状列Ｗが形成されているので、フィルタ再生時にハニカム構造体１０の許容量を超える熱衝撃が加わったとしても、第２の端面１０ｂ側において、環状列Ｗ以外の箇所の封口や隔壁ではなく環状列Ｗの第２流路Ｒｂ間の隔壁が最初に破壊されて環状クラックが発生するように誘導することができる。そして、ハニカム構造体１０では、環状列Ｗの第１の端面１０ａ側は全て封口されているので、環状列Ｗの第２の端面１０ｂ側に環状クラックが生じて第２流路Ｒｂ１,Ｒｂ２間が連通しても煤漏れが発生することはない。従って、ハニカム構造体１０によれば、環状クラックの発生によるフィルタ性能の低下を抑制することができる。
【００４０】
また、ハニカム構造体１０では、環状列Ｗにおける環状クラックの発生を許容することにより、その後の熱衝撃により加わる応力の分散を図ることができるので、環状クラックの拡大を抑制することができる。更に、ハニカム構造体１０によれば、従来のハニカム構造体のように低強度部材を別に設けることなく、流路の封口パターンの工夫により環状クラックの発生を誘導することができるので、ハニカム構造体の構成の簡素化及び低コスト化を図ることができる。
【００４１】
また、ハニカム構造体１０は、隔壁１０ｃを隔てて隣り合って並列する複数の環状列Ｗａ、Ｗｂ、Ｗｃを有することで、第２の端面１０ｂ側に強度の低い環状の領域を意図的に作成することができ、より確実に環状クラックの発生を誘導することができる。
【００４２】
更に、ハニカム構造体１０では、中心軸ＣＬを囲むように環状列Ｗが形成されているので、熱衝撃により生じる環状クラックを発生させようとする応力を環状列Ｗの第２の端面１０ｂ側で効果的に受けることができ、より確実に環状クラックの発生を誘導することができる。
【００４３】
また、ハニカム構造体１０では、図３に示す非対称セル構造を採用することで、対称セル構造に比べて、フィルタ単位体積当たりのフィルタ面積を大きくとることができるため、フィルタに起因する圧力損失の低減を図ることができ、ハニカム構造体１０が適用される内燃機関の燃費の向上を図ることができる。
【００４４】
［第２の実施形態］
第２の実施形態に係るハニカム構造体２０は、第１の環状列Ｗ１、第２の環状列Ｗ２、及び放射状の流路列Ｗ３が形成されている点と、第２流路Ｒｂ３を有している点と、が第１の実施形態に係るハニカム構造体１０と比べて異なる。なお、第１の実施形態と対応する部分には対応する符号を付し、重複する説明を省略する。
【００４５】
図７は、第２の実施形態に係るハニカム構造体２０の第２の端面２０ｂを示す全体図である。図７に示されるように、第２の実施形態に係るハニカム構造体２０は、二つの環状列Ｗ１,Ｗ２を有している。環状列Ｗ１,Ｗ２は、中心軸ＣＬを中心として正六角形状に囲むように形成されている。第１の環状列Ｗ１は、第２の環状列Ｗ２よりも内側に形成されている。
【００４６】
図８は、図７の部分拡大図である。図８に示されるように、第１の環状列Ｗ１及び第２の環状列Ｗ２は、隔壁２０ｃを隔てて隣り合う第２流路Ｒｂ３を環状（正六角形状）に並べて形成されている。第１の環状列Ｗ１及び第２の環状列Ｗ２は、第２の端面２０ｂが開口された第２流路Ｒｂのうちの第２流路Ｒｂ３から構成されている。
【００４７】
第２流路Ｒｂ３の断面形状は、例えば第１の実施形態で述べた規則的六角形状の４つとそれらの中心の正六角形状との間の隔壁を除くことで形成される形状を成している。この第２流路Ｒｂ３の断面面積（中心軸ＣＬに垂直な断面の面積）は、第２流路Ｒｂ１の断面面積（中心軸ＣＬに垂直な断面の面積）と比べて大きい。
【００４８】
以上説明した第２の実施形態に係るハニカム構造体２０によれば、第１の実施形態に係るハニカム構造体１０と同様に、環状クラックの発生を第１の環状列Ｗ１及び第２の環状列Ｗ２に誘導することができるので、環状クラックの発生によるフィルタ性能の低下を抑制することができる。また、環状列Ｗ１,Ｗ２における環状クラックの発生を許容することにより、その後の熱衝撃により加わる応力の分散を図ることができるので、環状クラックの拡大を抑制することができる。
【００４９】
しかも、環状列Ｗ１,Ｗ２が、断面面積の大きい第２流路Ｒｂ３から構成されているので、環状列Ｗ１,Ｗ２を形成する第２流路Ｒｂの断面面積の平均が環状列Ｗ１,Ｗ２を形成しない第２流路Ｒｂの断面面積の平均より大きくなる。その結果、環状列Ｗ１,Ｗ２の開口割合が大きくなり強度を一層低くすることができるので、より確実に環状クラックの発生を誘導することができる。
【００５０】
更に、第２の実施形態に係るハニカム構造体２０は、中心軸ＣＬに垂直を中心として放射状に位置する複数の流路列Ｗ３を有している。流路列Ｗ３は、第２の環状列Ｗ２が描く正六角形状の各頂点からハニカム構造体２０の外周に向かって延在するように形成されている。これらの流路列Ｗ３も第１の環状列Ｗ１及び第２の環状列Ｗ２と同様に、断面面積の大きい第２流路Ｒｂ３から構成されている。
【００５１】
このような構成のハニカム構造体２０によれば、フィルタ再生時にハニカム構造体２０の許容量を超える熱衝撃が加わり放射状のクラックを発生させる応力が加わったとしても、流路列Ｗ３の第２の端面２０ｂ側に放射状のクラックが発生するように誘導することができる。そして、ハニカム構造体２０では、流路列Ｗ３の第１の端面２０ａ側は全て封口されているので、流路列Ｗ３の第２の端面２０ｂ側に放射状クラックが生じても煤漏れが発生せず、放射状クラックの発生によるフィルタ性能の低下を抑制することができる。また、流路列Ｗ３における放射状クラックの発生を許容することにより、その後の熱衝撃により加わる応力の分散を図ることができるので、放射状クラックの拡大を抑制することができる。
【００５２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記各実施形態に限定されるものではない。例えば、環状列Ｗ,Ｗ１,Ｗ２や流路列Ｗ３の位置や大きさ、形状等は、上述したものに限られない。必ずしも環状列Ｗ,Ｗ１,Ｗ２は、ハニカム構造体１０の中心軸ＣＬを中心として形成する必要はなく、環状列Ｗ,Ｗ１,Ｗ２の中心から中心軸ＣＬが外れていても良く、中心軸ＣＬを囲まないように環状列Ｗ,Ｗ１,Ｗ２を形成しても良い。環状列Ｗ,Ｗ１,Ｗ２や流路列Ｗ３の位置や大きさ、形状等は、例えば各種のハニカム構造体においてクラックが発生しやすい領域に合わせて設定することができる。
【００５３】
また、第１流路Ｒａ及び第２流路Ｒｂの断面形状は、上述したものに限られない。また、ハニカム構造体１０,２０の断面構造は、非対称セル構造に限定されず、同一断面形状の流路からなる対称セル構造であっても良い。また、ハニカム構造体１０,２０は、必ずしも押出一体成形で作られる必要はなく、セグメント構造で作られても良い。
【符号の説明】
【００５４】
１０、２０…ハニカム構造体  １０ａ、２０ａ…第１の端面  １０ｂ、２０ｂ…第２の端面  １０ｃ、２０ｃ…隔壁  １１…封口材  １２…封口材  ＣＬ…中心軸  Ｒａ…第１流路  Ｒｂ…第２流路  Ｒｂ１…第２流路（正六角形状）  Ｒｂ２…第２流路（規則的六角形状）  Ｒｂ３…第２流路（断面拡大）  Ｗ,Ｗａ〜Ｗｃ…環状列  Ｗ１…第１の環状列  Ｗ２…第２の環状列  Ｗ３…流路列
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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