(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周部に複数の位置決めピンが配置され、金属部材に設けられた複数のガイド孔が前記位置決めピンに係合して前記外周部に沿って搬送されるドラム治具と、
該ドラム治具を回転可能に支持する回転軸と、
めっき液を前記金属部材に供給する噴流部と、
前記回転軸に装着され、前記ドラム治具の周速度を減速させるブレーキユニットと、
を備え、
前記ドラム治具は前記金属部材の移動に伴い回転し、
前記ブレーキユニットは、前記周速度が前記金属部材の移動速度より減速するように前記回転軸に負荷を与えることを特徴とする部分めっき装置。
【請求項２】
前記負荷は、当接する前記金属部材と前記ドラム治具が逆方向に移動する力より大きく、前記金属部材に変形が生じる力以下の荷重であることを特徴とする請求項１に記載の部分めっき装置。
【請求項３】
前記ブレーキユニットは、空圧により前記回転軸に前記負荷を与えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の部分めっき装置。
【請求項４】
前記位置決めピンのピッチは、該位置決めピンが係合し前記ガイド孔のピッチより小さいことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の部分めっき装置。
【請求項５】
前記ドラム治具の前記外周部の一部は前記金属部材と接する接触領域であり、該接触領域の前記金属部材の進入側端部から所定距離までの第１の領域の間では前記金属部材にめっきが施されず、該第１の領域の端部から前記接触領域の前記金属部材の排出側の端部までの第２の領域の間で前記金属部材にめっきが施されることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の部分めっき装置。
【請求項６】
前記第１の領域および前記第２の領域はそれぞれ前記ドラム治具の外周に沿って第１の円弧と第２の円弧を形成する領域であり、前記第１の円弧の長さは前記第２の円弧の長さより小さいことを特徴とする請求項５に記載の部分めっき装置。
【請求項７】
前記第１の領域は、前記金属部材の前記ドラム治具方向へ向かう力が前記位置決めピンと前記ガイド孔との摩擦力以下となる領域であることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の部分めっき装置。
【請求項８】
前記第１の領域は、前記接触領域全体の４分の１から３分の１の領域であることを特徴とする請求項５から請求項７のいずれかに記載の部分めっき装置。
【請求項９】
前記第２の領域のみに対極を設けることを特徴とする請求項５から請求項８のいずれかに記載の部分めっき装置。
【請求項１０】
前記噴流部は、前記第２の領域のみに前記めっき液を噴出させることを特徴とする請求項５から請求項９のいずれかに記載の部分めっき装置。
【請求項１１】
部分めっき装置のドラム治具の外周部に沿って搬送される金属部材に部分めっきを施す部分めっき方法において、
前記ドラム治具に設けられた位置決めピンが前記金属部材に設けられたガイド孔と係合し、前記ドラム治具を前記金属部材の移動に伴い回転させ、
前記外周部の一部は前記金属部材と接する接触領域であり、該接触領域の前記金属部材の進入側端部から所定距離までの第１の領域の間では前記金属部材にめっきが施されず、該第１の領域の端部から前記接触領域の前記金属部材の排出側の端部までの第２の領域の間で前記金属部材にめっきが施され、
前記第１の領域は、前記接触領域全体の４分の１から３分の１の領域であることを特徴とする部分めっき方法。
【請求項１２】
前記第１の領域および前記第２の領域はそれぞれ前記ドラム治具の外周に沿って第１の円弧と第２の円弧を形成する領域であり、前記第１の円弧の長さは前記第２の円弧の長さより小さいことを特徴とする請求項１１に記載の部分めっき方法。
【請求項１３】
前記第１の領域は、前記金属部材の前記ドラム治具方向へ向かう力が前記位置決めピンと前記ガイド孔との摩擦力以下となる領域であることを特徴とする請求項１１または請求項１２に記載の部分めっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、銅（Ｃｕ）またはＣｕ合金、鉄（Ｆｅ）またはＦｅ合金などの金属部材にめっきを部分的に施すための部分めっき装置に係り、めっき膜厚のばらつきを低減できる部分めっき装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
長尺の金属部材に部分めっきを施す部分めっき装置として、円筒状の治具（ドラム治具）を用いた部分めっき装置が知られている
図１０は、従来の部分めっき装置２００のドラム治具２０１部分の概略を示す上面図である。
【０００３】
ドラム治具を用いためっき装置２００とは、ドラム治具２０１の外周面に被めっき物である長尺の金属部材２０２を巻き付け、金属部材２０２を移動させながらドラム治具２０１の中心付近からドラム治具の外周面に設けた開口部（不図示）を介して破線矢印のごとくめっき液を金属部材２０２表面に供給し、連続送り方式でめっきを施す装置である。開口部以外の部分はドラム治具によりマスキングされるため、めっきが析出せず、これにより金属部材に部分的にめっきを施すことができる。このようなめっき方法が、スポットめっきと呼ばれる。
【０００４】
このような部分めっき装置では、ドラム治具２０１の外周面に複数の位置決めピン２０３が設けられており、この位置決めピン２０３を金属部材２０２に設けられたガイド孔（不図示）に係合させ、金属部材２０２を所定の速度で移動させることでドラム治具２０１が回転する。位置決めピン２０３はここでは概要として７個を示しているが、実際には例えば８個以上設けられている（以下同様）。
【０００５】
ドラム治具２０１は回転軸２０４を中心として回動可能に回転軸２０４に支持され、ドラム治具２０１を駆動させるための外力が加わらない場合は、金属部材２０２の移動速度と同等の周速度で細矢印のごとく回転する。
【０００６】
一方、金属部材の移動とともに回転するドラム治具に対して、ドラム治具の内周面を押圧し、その押し付け力を調整してドラム治具の周速度を変化させる部分めっき装置も知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−２４２８５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図１０に示す従来の部分めっき装置を用いてめっき処理を行った場合、めっき品のめっき膜厚分布のばらつきが顕著になる問題が生じた。
【０００９】
図１１は、図１０の部分めっき装置２００のドラム治具２０１と金属部材２０２の関係を説明する図であり、図１１（Ａ）（Ｂ）が上面図、図１１（Ｃ）が図１１（Ｂ）の展開上面図、図１１（Ｄ）が図１１（Ｃ）の破線丸印部分の拡大図である。
【００１０】
まず図１１（Ａ）（Ｂ）では、ドラム治具２０１の位置決めピン２０３とこれに係合する金属部材２０２のガイド孔の位置関係を説明する図である。金属部材２０２は、幅に対して長さが例えば１０倍以上の長尺の部材であり、図の奥行方向が幅、図の左右方向が長さとして示されているが、ここではガイド孔ｈ１〜ｈ１０をその形状が認識できる平面視（金属部材２０２の主面で視認される状態）で示し、そのガイド孔ｈ１〜ｈ１０のそれぞれに対して位置決めピンがどの位置に係合しているかを示している。尚以下の説明において、個々のガイド孔を区別する必要がない場合は、これらをガイド孔ｈと総称する。
【００１１】
金属部材２０２は上記の如く長尺で厚みが例えば０．８ｍｍ以下程度と薄い平板状である。ドラム治具２０１の位置決めピン２０３同士の離間距離（ピッチ）ｐ１’と金属部材２０２のガイド孔ｈ同士の離間距離（ピッチ）ｐ２’とは、これらが一致するように設計される。しかし、ガイド孔ｈと位置決めピン２０３には所定のクリアランスが必要であり、ドラム治具２０１が円筒状であることもあって、加工精度の面から位置決めピン２０３とガイド孔ｈを完全に一致させることは事実上不可能である。
【００１２】
つまり、両者を完全に一致させる場合に許容される位置決めピン２０３同士のピッチｐ１’とガイド孔ｈ同士のピッチｐ２’との１ピッチあたりの差分（以下ガイド孔と位置決めピンのピッチ差と称する）が、ドラム治具２０１の加工精度の限界以下であるため、このピッチ差内で治具を製作することができない。加えて、ドラム治具１はめっき加工中はめっき液の温度により膨張するため、設計段階でこれを勘案しておく必要があり、なおさらピッチ差を許容範囲内に収めることは不可能である。
【００１３】
例えば、ドラム治具２０１は設計上、ピッチｐ１’＝ピッチｐ２’を狙って±公差で製作するため、結果としてピッチｐ１’＜ピッチｐ２’となる場合やピッチｐ１’＞ピッチｐ２となる場合がある。
【００１４】
これらのことから、ドラム治具ガイド孔と位置決めピンにはピッチ差が生じており、このピッチ差が製造工程中において累積と解消を繰り返すことで、めっき膜厚分布がばらつく問題があった。
【００１５】
図１１（Ａ）を参照して、金属部材２０２は矢印の如く進入点Ｉ側から排出点Ｏ側に向かって進行している。ここでめっき処理される金属部材２０２の先頭から排出点Ｏまでの距離がＬ１である状態において、金属部材２０２のガイド孔ｈのピッチｐ２’よりもドラム治具２０１の位置決めピン２０３のピッチｐ１’がわずかに小さい場合（結果としてｐ１’＜ｐ２’であった場合）には、金属部材２０２のガイド孔ｈ１からｈ７にそれぞれ図示の如く位置決めピン２０３が係合する。
【００１６】
ドラム治具２０１の排出点Ｏ側からドラム治具の進入点Ｉ側へ行くにつれて、位置決めピン２０３は金属部材２０２のガイド孔ｈ１の進行方向の前方側（金属部材２０２の排出点Ｏ側）にピッチ差の分だけ寄りつつ係合している。一方、金属部材２０２が進入点Ｉ側から排出点Ｏ側に矢印の如く移動すると、金属部材２０２との摩擦力により、ドラム治具２０１が回転軸２０４を中心に回転する。つまり、この場合ドラム治具２０１は金属部材２０２の移動方向に沿って、金属部材２０２の移動速度ｖ２’と同等の周速度ｖ１’で回転している。
【００１７】
図１１（Ｂ）を参照して、さらに金属部材２０２が進行し、金属部材１１の先頭から排出点Ｏまでの距離がＬ２（Ｌ１＜Ｌ２）の場合には、例えば排出点Ｏ側の端部の位置決めピン２０３に金属部材２０２のガイド孔ｈ４が係合し、新たにガイド孔ｈ８からｈ１０が位置決めピン２０３と係合する。
【００１８】
しかし図１１（Ｂ）の如く、ガイド孔ｈ１からｈ３がドラム治具２０１から離脱しても、ドラム治具２０１は金属部材２０２との摩擦力により回転するため、金属部材２０２の移動速度ｖ２’と同等の周速度ｖ１’で回転しており、図１１（Ａ）に示した各位置決めピンとガイド孔の位置関係は維持されている。そして、ガイド孔ｈ８においては、ガイド孔ｈ４からガイド孔ｈ８までのそれぞれのピッチ差が累積する（以下これを累積ピッチ差と称する）。
【００１９】
このため、図１１（Ｃ）（Ｄ）の如く例えばガイド孔ｈ８では、ガイド孔ｈ８と位置決めピン２０３のクリアランスを超えてガイド孔ｈ８の端部に位置決めピン２０３が接触することとなり、金属部材２０２がドラム治具２０１からわずかに離間する（図１１（Ｄ）参照）。
【００２０】
つまり、ガイド孔ｈと位置決めピン２０３の累積ピッチ差によって両者が接触し、金属部材２０２がドラム治具２０１から離間すると、めっき膜厚分布の局所的な低下が生じる。そしてピッチ差の累積と解消が繰り返されることで１つの金属部材においてめっき膜厚のばらつきが大きくなる問題がある。
【００２１】
この点についてはめっき部（スポット）の面積も影響している。つまり、図１０に示す部分めっき装置を用いて、つまり連続送り方式の部分めっき装置を用いためっき処理であっても、めっき部の面積がある程度確保できる場合にはめっき膜厚のばらつきは問題とならなかった。
【００２２】
しかし近年では、各種電子機器やそれらの部品の小型化に伴い、めっき加工品のめっき部（スポット）の面積の狭小化（例えば５ｍｍ×５ｍｍ以下）が進んでおり、これに伴い、めっき膜厚のばらつきの問題が顕著に現れることとなった。
【００２３】
この問題を解決するためには、金属部材２０２のガイド孔ｈとドラム治具２０１の位置決めピン２０３とのピッチ差を解消することが考えられる。
【００２４】
例えば、特許文献１では、ドラム治具（円筒状ドラム）に対してゴムローラを押し付け、この押し付け力を調整してドラム治具の周速度を調整する技術が開示されている。
【００２５】
しかし、金属部材の移動速度と、ドラム治具の周速度を独立に制御することは非常に困難である。
【００２６】
具体的には、特許文献１に記載の技術では、モーターによって一定速度で回転するドラム治具に対して、ゴムローラを押し付け、その力の強弱を制御してドラム周速を制御している。
【００２７】
例えば一般的な数値として、金属部材２０２の長さが２０００ｍでガイド孔ｈと位置決めピン２０３のクリアランスが０．５ｍｍ、金属部材の移動速度が２ｍ／ｍｉｎであると仮定すると、ドラム治具２０１の周速度に許容される誤差は０．５μｍ／ｍｉｎである。
【００２８】
従って、この範囲に納まるようにモーターで回転するドラム治具の周速度を独立して制御する必要があり、このため例えばクリアランスを監視し、フィードバックする手段等が必要となる。具体的には特許文献１では、レーザーや画像処理などで、クリアランスの許容範囲に収まるよう監視し、この結果をフィードバックして周速度を制御している。
【００２９】
しかしこのようなフィードバック手段が必要な構造の場合、制御が複雑になる上、設備コストが増加するなどの問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
本発明はかかる課題に鑑みてなされ、第１に、外周部に複数の位置決めピンが配置され、金属部材に設けられた複数のガイド孔が前記位置決めピンに係合して前記外周部に沿って搬送されるドラム治具と、該ドラム治具を回転可能に支持する回転軸と、めっき液を前記金属部材に供給する噴流部と、前記回転軸に装着され、前記ドラム治具の周速度を減速させるブレーキユニットと、を備え、前記ドラム治具は前記金属部材の移動に伴い回転し、前記ブレーキユニットは、前記周速度が前記金属部材の移動速度より減速するように前記回転軸に負荷を与えることを特徴とする部分めっき装置を提供することにより解決するものである。
【００３１】
このように、本発明は、位置決めピンのピッチが金属部材のガイド孔のピッチよりもわずかに小さくなるようにドラム治具を製作し、そのドラム治具を支持する回転軸にドラム治具を減速させるブレーキユニットを設け、金属部材のガイド孔とドラム治具の位置決めピンの間の累積ピッチ差を解消するものである。ブレーキユニットは金属部材に対してドラム治具をガイド孔と位置決めピンのクリアランス内で相対的に逆の方向に移動させ（滑らせ）、これにより累積ピッチ差を解消するものである。
【００３２】
第２に、部分めっき装置のドラム治具の外周部に沿って搬送される金属部材に部分めっきを施す部分めっき方法において、前記ドラム治具に設けられた位置決めピンが前記金属部材に設けられたガイド孔と係合し、前記ドラム治具を前記金属部材の移動に伴い回転させ、前記外周部の一部は前記金属部材と接する接触領域であり、該接触領域の前記金属部材の進入側端部から所定距離までの第１の領域の間では前記金属部材にめっきが施されず、該第１の領域の端部から前記接触領域の前記金属部材の排出側の端部までの第２の領域の間で前記金属部材にめっきが施され、前記第１の領域は、前記接触領域全体の４分の１から３分の１の領域であることを特徴とすることにより解決するものである。
【００３３】
このように本発明は、接触領域の後半部分でのみめっきを施すことによりめっき膜厚のばらつきを低減するものである。
【発明の効果】
【００３４】
本発明の部分めっき装置によれば、第１に、めっき品の膜厚分布ばらつきを低減するドラム治具を用いた連続送り方式の部分めっき装置を提供できる。
【００３５】
部分めっき装置は、ドラム治具を回転可能に支持する回転軸にブレーキユニットが設けられ、回転軸に負荷を与えることでドラム治具の周速度を金属部材の移動速度より低減させる。これにより、めっき処理中に生じる金属部材のガイド孔とドラム治具の位置決めピンの累積ピッチ差を随時解消し、めっき膜厚のばらつきを低減できる。
【００３６】
ブレーキユニットが回転軸に与える負荷は、ドラム治具が当接する金属部材の進行方向に対して、相対的に逆方向に移動する（滑る）力より大きく、で金属部材に変形が生じる力以下に維持する。
【００３７】
これにより１つの長尺の金属部材を処理する際に生じるガイド孔と位置決めピンの累積ピッチ差を随時解消し（累積させず）、すべてのガイド孔に対して、対応する位置決めピンをそのクリアランス内に収めることができる。
【００３８】
本実施形態のドラム治具はそれ自体で回転制御がなされるものではなく、金属部材の移動に伴って回転し、ブレーキユニットによってその速度が減速される。つまり、ブレーキユニットが回転軸に与える負荷を所定の範囲に維持するのみで、別途フィードバック手段や、クリアランスの監視手段を設けることなく、金属部材の全体においてガイド孔と位置決めピンを確実に係合させることができるので、ドラム治具の周速度の制御が不要で、設備も簡便かつ低コストで実現できる。
【００３９】
更に、ドラム治具の位置決めピンのピッチを金属部材のガイド孔のピッチより小さく設計し、めっき処理時にブレーキユニットによってドラム治具の周速度を金属部材の移動速度より減速させることにより、金属部材のドラム治具への進入時には位置決めピンがガイド孔の中央から進行方向前方（排出側）に位置し、ドラム治具からの排出時には位置決めピンがガイド孔の中央から進行方向後方（進入側）となるため、進入時および排出時のかじりを低減できる。
【００４０】
第２に、ドラム治具と金属部材とが接する接触領域において、金属部材の進入側の第１の領域の間では金属部材にめっきが施されず、金属部材の排出側の第２の領域の間で金属部材にめっきを施す構造にすることにより、膜厚分布の更なる均一化を図ることができる。
【００４１】
膜厚の低下は、両者が接触する接触領域の前半部分（第１の領域）で顕著に起こることから、この前半部分でのめっき処理を防止し、中盤から後半部分（第２の領域）のみでめっき処理を行う。すなわち第２の領域のみに対極（アノード）を設ける、あるいは、第２の領域のみにめっき液が噴出するような噴流部を採用することにより、膜厚分布をより均一化させることができる。
【００４２】
第３に、本発明の部分めっき方法によれば、ドラム治具の前半部分（第１の領域）で金属部材にめっきを施さず、第２の部分のみでめっきを施すので、接触領域の全体でめっきを施すめっき方法と比較してめっき膜厚分布のばらつきを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１の実施形態の部分めっき装置を説明する（Ａ）上面図、（Ｂ）断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の部分めっき装置を説明する（Ａ）上面図、（Ｂ）側面図、（Ｃ）断面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の部分めっき装置を説明する（Ａ）上面図、（Ｂ）展開上面図、（Ｃ）拡大上面図、（Ｄ）拡大上面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態の部分めっき装置によるめっき膜厚ばらつきと従来構造の場合を比較した（Ａ）特性図、（Ｂ）比較表である。
【図５】本発明の第２の実施形態の部分めっき装置を説明する（Ａ）上面図、（Ｂ）ドラム治具による金属部材の搬送の状態を示す上面概略図である。
【図６】本発明の第２の実施形態の部分めっき装置を説明する斜視図である。
【図７】本発明の第１の実施形態の部分めっき装置を説明する（Ａ）上面図、（Ｂ）展開上面図、および本発明の第２の実施形態の部分めっき装置を説明する（Ｃ）上面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態の部分めっき装置によるめっき膜厚ばらつきと第１の実施形態の部分めっき装置によるめっき膜厚ばらつきを比較した（Ａ）特性図、（Ｂ）比較表である。
【図９】本発明の第３の実施形態の部分めっき装置を説明する上面図である。
【図１０】従来構造を説明する上面図である。
【図１１】従来構造を説明する（Ａ）上面図、（Ｂ）上面図、（Ｃ）展開上面図、（Ｃ）拡大上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
本発明の実施の形態について、図１から図９を参照して説明する。まず図１から図４を参照して本発明の第１の実施形態について説明する。
【００４５】
図１は、第１の実施形態の部分めっき装置１０の構造を説明するための概要図であり、図１（Ａ）が上面図であり、下層（内部）の構成も透視している。図１（Ｂ）は図１（Ａ）のａ−ａ線断面図である。
【００４６】
図１を参照して、部分めっき装置１０は、ドラム治具１と、回転軸２と、噴流部８と、ブレーキユニット１５とを有する。
【００４７】
ドラム治具１は、その外周部に被めっき材となる金属部材（ここでは不図示）を密着させ、外周部に沿って搬送する治具である。ドラム治具１は回転軸２を中心に回転可能であるが、ドラム治具１自体を回転する駆動手段は存在しない。つまり金属部材を所定速度で移動させることによって、金属部材の進行方向に沿って、例えば図１（Ａ）の矢印方向に所定の周速度ｖ１で回転する。ドラム治具１のドラム径（直径）φは例えば、２００ｍｍ〜５００ｍｍが好ましい。ドラム径φが２００ｍｍ未満の場合、金属部材の厚みにもよるが、これを巻きつけることが困難となったり、めっき時間が短くなり、いわゆるラインスピードが低下することから生産性が悪化するなどのおそれがある。また、ドラム径φが５００ｍｍより大きいと、部分めっき装置の製造（加工）が困難、ドラム治具１の偏芯の影響が大きくなる、イニシャルコストが増加する、などの問題が生じるおそれがある。ドラム治具１の外周部には互いに均等な距離（ピッチ）で離間された位置決めピン（ここでは不図示）が複数配置される。
【００４８】
回転軸２は、支柱７で支持されベース板２１に固定される。回転軸２の一端（図１（Ｂ）では上端）がドラム治具１に固定され、ドラム治具１を回転可能に支持する。また他端（図１（Ｂ）では下端）にはブレーキユニット１５が装着される。
【００４９】
ブレーキユニット１５は、ベース板２１下方の、回転軸２の下端部に装着され、ドラム治具１に所定の負荷を与える。これによりめっき処理中のドラム治具１の周速度ｖ１は、金属部材の移動速度より減速される。
【００５０】
ブレーキユニット１５は、回転軸２を外側（外周）から押圧して負荷を与えるものであり、低負荷領域で押圧力のパラメータに対して線形制御が可能なブレーキ方式が採用される。押圧力のパラメータとは例えば空気圧である。
【００５１】
ブレーキユニット１５は、より具体的には、空気圧を利用して制動するディスクブレーキ方式が採用される。そして例えばコンプレッサーとレギュレーターで空気圧を一定にして負荷が制御され、１つの金属部材のめっき処理中はほぼ一定の負荷が維持される。
【００５２】
負荷は、金属部材の材質、板厚、幅、金属部材の張力（金属部材がめっき処理ライン内で引張られる力）、ドラム治具１のドラム径φおよび重さ、金属部材のドラム治具１への巻き付き角度などに応じてブレーキユニット１５に送り込む空気圧を変化させて適切な値が選択される。
【００５３】
例えば、金属部材の板厚が薄い、あるいは材質的にガイド孔ｈが変形しやすい場合には負荷を小さくする。また材質的にドラム治具１との摩擦力が大きい（滑りにくい）金属部材の場合や、金属部材の張力が大きくドラム治具１との摩擦力が大きくなる場合などには負荷を大きくする。
【００５４】
尚、ブレーキユニット１５は、低負荷領域で押圧力のパラメータに対して線形制御が可能な方式であればこの例に限らない。
【００５５】
噴流部８は、めっき液（ハッチングで示す）をドラム治具１を介して金属部材に供給する。めっき液は処理槽２３外の供給タンク（不図示）に貯留されここからポンプ等（いずれも不図示）によって配管２５を介して上矢印の如く噴流部８に組み上げられる。めっき液供給タンクにはヒーター、温度センサーおよび調節器などが備え付けられ、めっき液の温度を一定に保つ。また、ポンプには流量を制御するためのインバータが備えてあり、流量を制御する。また噴流部８は金属部材に噴出されためっき液を下矢印の如く配管２５を介して供給タンクに回収する。
【００５６】
噴流部８の外周には、防液堤２４が設けられ、ドラム治具１は、防液堤２４の内周部の上に噴流部８を覆って配置される。支持ローラー４は、ドラム治具１に巻回する金属部材の移動を支持する。
【００５７】
噴流部８のめっき液の噴出口には対極（アノード）９が設けられる。噴流部８は図１（Ａ）の平面視において例えば略半円形状に設けられ、アノード９も噴流部８の形状に沿って略半円形状に設けられる。
【００５８】
図２を参照して、ドラム治具１についてさらに説明する。図２（Ａ）は図１（Ａ）に示すドラム治具１に金属部材１１を巻回した状態を示す上面概略図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＳ方向の視点からの側面図であり、図２（Ｃ）が図２（Ａ）のｂ−ｂ線断面の一部を示す図である。
【００５９】
ドラム治具１は、その外周部に複数の位置決めピン６が均等な離間距離（ピッチｐ１）で配置される。ここでは概要を示し、位置決めピン６は７個配置されているが、実際にはドラム治具１の外周部に例えば８個以上配置される。
【００６０】
金属部材１１は位置決めピン６に係合してドラム治具１の外周部に沿って進入点Ｉから排出点Ｏに向かって矢印の如く搬送される。本実施形態のドラム治具１は金属部材１１の移動に伴い回転する。
【００６１】
ドラム治具１の内側に設けられた噴流部８からは破線矢印の如く、金属部材１１にめっき液が供給される。
【００６２】
図２（Ｂ）を参照して、ドラム治具１の外周面に位置決めピン６が設けられる。位置決めピン６は円周方向に複数個並ぶ。また金属部材１１にも位置決めピン６に対応して複数のガイド孔ｈが設けられる。ガイド孔ｈは均等な離間距離（ピッチｐ２）で離間される。
【００６３】
金属部材１１のガイド孔ｈを位置決めピン６に係合させ、金属部材１１を矢印の方向に引っ張ることによって、ドラム治具１の外周部の一部に金属部材１１が密着して、その摩擦力によりドラム治具１は回転する。
【００６４】
本実施形態では、金属部材１１を、幅Ｗ方向（図２（Ｂ）Ｙ方向）が垂直（天地）となる状態でドラム治具１の外周部に沿って搬送する。幅Ｗ方向とは、長尺の金属部材１１の長手方向（Ｘ方向）に直交する方向である。
【００６５】
ドラム治具１は、それ自体の回転がモーターなどの駆動手段によって制御されるものではなく、金属部材１１が移動することによって金属部材１１の進行方向に沿って（金属部材１１と当接している面においては同一方向に）回転するが、ブレーキユニット１５によりその平均の周速度ｖ１は、金属部材の移動速度ｖ２より減速される（図１（Ａ）参照）。詳細にはブレーキユニット１５は、当接する金属部材１１とドラム治具１が逆方向に移動する（滑る）力より大きく、金属部材１１に変形が生じる力以下の負荷を回転軸２に与える。
【００６６】
これにより、負荷を与えない状態において金属部材１１の移動速度と同等の周速度で回転するドラム治具１を減速できる。ブレーキユニット１５の負荷の下限を上記の範囲にすることで、金属部材１１とドラム治具１は滑りながら、ドラム治具１は金属部材１１より若干遅く回転し、金属部材１１とドラム治具１の進行方向が相対的に逆向きに移動する（滑る）。
【００６７】
一例として、板厚が０．２ｍｍで、幅が３０ｍｍのＣｕ（銅）合金材の金属部材１１を４ｋｇｆの張力で移動させる場合、ブレーキユニット１５の負荷を４ｋｇｆ程度とする。このとき、ガイド孔ｈのピッチｐ２が１０ｍｍ／ピッチで１ピッチ当たりのガイド孔ｈと位置決めピン６のピッチ差が例えば０．００３ｍｍであると仮定すると、ドラム治具１の平均速度ｖ１は金属部材ｖ２の移動速度に対して０．０３％の減速となる。
【００６８】
ドラム治具１の外周部には、円筒の円周方向に沿って並ぶ複数の開口部３が設けられる。ドラム治具１の材質は、熱膨張の少ない樹脂であり、例えば、耐熱性塩化ビニル樹脂、ポリフェニレンサルファイド（polyphenylene  sulfide；ＰＰＳ）樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（polyetheretherketone；ＰＥＥＫ）樹脂などである。
【００６９】
図２（Ｃ）を参照して、金属部材１１には、ドラム治具１に設けられた開口部３を介して破線矢印のごとく噴流部８の噴出口（スリット部８Ｓ）からめっき液が供給される。ドラム治具１の内部には金属部材１１と対向するように対極（アノード）９が設けられている。対極９は例えばスリット部８Ｓの上下に板状に設けられる。この対極９と金属部材１１の間に電圧を印加し、めっき液を介して電流を生じさせる。
【００７０】
めっき液に通電することで、金属部材１１上にめっき膜１２が生成される。すなわち、金属部材１１には、開口部３の形状で、長手方向に例えば一列に並ぶ、スポットめっきによるめっき膜１２が形成される。めっき膜１２は例えば５ｍｍ以下四方の面積の例えば金（Ａｕ）めっきであり、金属部材１１には、Ａｕのスポットめっきに先立ち、ニッケル（Ｎｉ）またはＮｉ合金、ＣｕまたはＣｕ合金などの下地めっきが施されていてもよい（図２（Ｂ）参照）。
【００７１】
本実施形態では、ドラム治具１とめっき膜形成のマスクが一体となっている。つまり、噴流部８から開口部３を介して金属部材１１にめっき液が矢印の如く噴出される際、開口部３以外の領域は、ドラム治具１によって覆われ、開口部３周囲のドラム治具１の一部が、めっき膜形成のマスクとなるものである。
【００７２】
尚、これに限らず、開口部３を有する樹脂性のマスク材を、ドラム治具１の外周部に巻きつけるものであってもよい。その場合のドラム治具１は、噴流部８からめっき液の供給を可能とするため、例えば外周部に円周に沿ってスリットが設けられるものであり、スリットと開口部が一致するように、外周部にマスク材を設けるなどした構成である。
【００７３】
この構造に対し、本実施形態の如くドラム治具１をマスクに兼用することにより、マスクの合わせずれを防止することができる。
【００７４】
次に、図３を参照して、部分めっき装置１０のめっき処理時の金属部材１１とドラム治具１の関係について説明する。
【００７５】
まず図３（Ａ）（Ｂ）は、ドラム治具１の位置決めピン６とこれに係合する金属部材１１のガイド孔ｈの位置関係を説明する図である。図３（Ａ）におけるガイド孔ｈの表記方法は、上述した通りである。すなわち、ガイド孔ｈ（ここではｈ４〜ｈ１０）は実際には金属部材１１の幅Ｗ方向の辺と長さＬ方向の辺からなる２つの主面（表裏面）を貫通して設けられるものであるが、ここではガイド孔ｈ４〜ｈ１０をその形状が認識できる平面視（図３（Ｂ）の状態）で示し、そのガイド孔ｈ４〜ｈ１０のそれぞれに対して位置決めピンがどの位置に係合しているかを示している。また図３（Ａ）のガイド孔ｈ４とガイド孔ｈ１０については、それぞれの位置決めピン６とのクリアランスを示す平面図（金属部材１１の主面から見た平面図）も併記している。
【００７６】
図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のドラム治具１と金属部材１１を直線状に展開した上面図である。また図３（Ｃ）（Ｄ）はそれぞれ図３（Ｂ）の破線で示したガイド孔ｈ１０、ｈ４の拡大上面図である。
【００７７】
図３（Ａ）（Ｂ）を参照して、金属部材１１のガイド孔ｈとドラム治具１の位置決めピン６が係合し、金属部材１１の搬送に伴いドラム治具１が回転する。位置決めピン６はドラム治具１の円周に沿って、金属部材１１の板厚分突き出しており、位置決めピン６の直径（例えば、１．０ｍｍ）は、ガイド孔ｈの直径（例えば１．５ｍｍ）に対して一定のクリアランスを有している。そして、本実施形態では、設計上、位置決めピンのピッチｐ１がガイド孔ｈのピッチｐ２よりも小さくなるように、ドラム治具１をマイナス公差で製作している。
【００７８】
ここでは、めっき処理される金属部材１１の先頭から排出点Ｏまでの距離がＬ２の状態（すなわち図１１（Ｂ）の状態に相当）のドラム治具１と金属部材１１の関係を示している。
【００７９】
本実施形態においても、図示のようにそれぞれのガイド孔ｈに対する位置決めピン６の位置は異なる状態で係合する。
【００８０】
例えば、図示の状態ではドラム治具１の排出点Ｏ側の端部では、位置決めピン６はガイド孔ｈ４の後方Ｂ側（進入点Ｉ側）の端部と当接するように係合している。既述の如く位置決めピン６のピッチｐ１はガイド孔ｈのピッチｐ２よりも数μｍ小さく設計されている。これは進入点Ｉ側の端部で確実に係合する値である。このため、進入点Ｉ側へ近づくほど前方Ｆ側で係合し、進入点Ｉ側でも確実に係合する。つまり、このとき、ガイド孔ｈ５ではその端部が位置決めピン６と当接していない。
【００８１】
本実施形態では、金属部材１１が移動し、ガイド孔ｈ４が排出されると同時に、ブレーキユニット１５によってドラム治具１にかけられたブレーキにより、ガイド孔ｈ５の端部に位置決めピン６が当接するまでドラム治具１と金属部材１１の間で１ピッチのピッチ差分だけ（数μｍ）滑る。つまり、金属部材１１が移動しても、ドラム治具１の排出点Ｏ側の端部では、常に位置決めピン６がガイド孔ｈの後方Ｂ側の端部と当接する状態を維持している。
【００８２】
従来構造の図１１（Ｂ）を参照して、ドラム治具２０１にブレーキがかかっていない場合には、金属部材２０２の移動速度と同等の周速度で回転する。この場合、金属部材２０２の移動により、ガイド孔ｈ４が排出されても、ドラム治具２０１と金属部材２０２の間で滑ることがないため、ガイド孔ｈ５と位置決めピン２０３は接触しない。つまり、金属部材２０２の移動にともない、位置決めピン２０３は徐々にガイド孔ｈの前方Ｆ側（排出点Ｏ側）で係合するようになる。さらに、金属部材２０２が移動することで、ピッチ差が累積し、進入点Ｉ側で位置決めピン２０３がガイド孔ｈの前方Ｆ側に接触し金属部材２０２がドラム治具２０１から離間してしまう（図１１（Ｄ））。
【００８３】
本実施形態では、ブレーキユニット（ここでは不図示）が回転軸２に負荷を与えておりこれによりドラム治具１の平均の周速度ｖ１は、金属部材１１の移動速度ｖ２より低速となる。また、ブレーキユニットが回転軸２に与える負荷は、当接する金属部材１１とドラム治具１が逆方向（破線矢印方向）に移動する（滑る）力より大きく、金属部材１１に変形が生じる力以下の荷重である。
【００８４】
これにより、位置決めピン６とガイド孔ｈのクリアランス（例えば０．５ｍｍ程度）内を限度として金属部材１１とドラム治具１を相対的に逆の方向（破線矢印の方向）に滑らせることができ、両者の累積ピッチ差をキャンセルできる。
【００８５】
具体的には、従来離脱していたガイド孔ｈ８およびガイド孔ｈ１０においても、位置決めピン６と確実に係合させることができる。
【００８６】
このように、長尺の金属部材１１のめっき処理中においてガイド孔ｈと位置決めピン６の累積ピッチ差が随時解消され、両者のクリアランスを超えることはなくなる。従って、スポットめっきのめっき膜厚ばらつきを低減できる。
【００８７】
また本実施形態では、位置決めピン６のピッチｐ１をガイド孔ｈのピッチｐ２より小さくすることで、ドラム治具１の進入点Ｉに直近のガイド孔ｈと、排出点Ｏに直近のガイド孔ｈにおいて、かじり（変形）を防止できる。
【００８８】
図３（Ａ）（Ｃ）（Ｄ）を参照して、ドラム治具１にブレーキユニットから負荷がかけられていると、進入点Ｉ直近のガイド孔ｈ１０では、位置決めピン６がガイド孔ｈ１０の中央から進行方向前方Ｆに位置し、後方Ｂ側のクリアランスが大きくなる（図３（Ｃ））。
【００８９】
同様に、排出点Ｏ直近のガイド孔ｈ４では位置決めピン６がガイド孔ｈ４の進行方向後方Ｂに位置し、前方Ａ側のクリアランスが大きくなる（図３（Ｄ））。
【００９０】
そして本実施形態ではこの状態が金属部材１１の先頭から後方にいたるまで維持される。これにより、進入点Ｉおよび排出点Ｏにおけるガイド孔ｈのかじりを防止できる。
【００９１】
尚、ブレーキユニット１５は常時ドラム治具１に一定の負荷を与えているが、ドラム治具１と金属部材１１は常に滑っているとは限らない。
【００９２】
例えば、図３（Ａ）を参照して、最も排出点Ｏに近いガイド孔ｈ４はその後方で位置決めピンと接触しており、この場合は、
（ドラム治具１と金属部材１１の静止摩擦力）＋（最も排出点Ｏに近いガイド孔ｈが位置決めピン６を押す力）＞（ブレーキユニット１５の負荷）
となり、ドラム治具１と金属部材１１は同じ速度で移動し、これらは滑らない。
【００９３】
これに対し、金属部材１１が移動して、最も排出点Ｏに近いガイド孔ｈ４から位置決めピン６が排出され、次のガイド孔ｈ５が最も排出点Ｏに近いガイド孔になった瞬間に（その時点ではｈ５と位置決めピンは接触していないため）、
（ドラム治具１と金属部材１１の静止摩擦力）＜（ブレーキユニット１５の負荷）
となり、ドラム治具１と金属部材１１が滑り、ドラム治具１が減速する。
【００９４】
そしてガイド孔ｈ５の後方に位置決めピン６が接触した瞬間に再び
（ドラム治具１と金属部材１１の静止摩擦力）＋（最も排出点Ｏに近いガイド孔ｈが位置決めピン６を押す力）＞（ブレーキユニット１５の負荷）
の関係となり、ドラム治具１と金属部材１１は同じ速度で移動する。
【００９５】
つまり、ドラム治具１と金属部材１１は同じ速度で移動していて、ガイド孔ｈから位置決めピン６が排出されるごとに、瞬間的にドラム治具１が減速するような状態となっており、このとき一回に滑る距離は１ピッチ当たりのピッチ差分である。
【００９６】
図４は、本実施形態の部分めっき装置１０を用いてめっき処理を施した結果を、図５に示す従来構造の部分めっき装置２００でめっき処理した結果と比較して示す。
【００９７】
図４（Ａ）は、縦軸がめっき（Ａｕ）膜厚［μｍ］であり、横軸がスポットめっき（１５０個分）の通し番号である。実線が、本実施形態の部分めっき装置１０によるスポットめっきの場合であり、破線が従来構造（図１０）の部分めっき装置２００によるスポットめっきの場合であって、いずれも同じ電流密度でめっき処理し、スポットめっきの中心部のめっき膜厚を測定した結果である。
【００９８】
このグラフからも明らかなとおり、本実施形態の部分めっき装置１０では従来と比較して明らかにめっき膜厚のばらつきを低減できた。
【００９９】
具体的には図４（Ｂ）の比較表を参照して、めっき膜厚の最大値と最小値の幅（Ｒａｎｇｅ）では、従来の０．２１μｍから０．１４μｍに低減できている。また標準偏差（σ）では従来の０．０４９と比較して本実施形態では０．０２２になっており、膜厚ばらつきの大幅な低減が可能となることがわかった。
【０１００】
次に、図５から図８を参照して本発明の第２の実施形態について説明する。第２の実施形態は、金属部材１１にめっき処理を行う領域を第１の実施形態の場合より制限するものである。尚、第１の実施形態と同一構成要素は同一符号で示し、その説明を省略する。
【０１０１】
図５は、部分めっき装置２０の概要図であり、図５（Ａ）が図１（Ａ）に相当する上面図であり、図５（Ｂ）がドラム治具１による金属部材１１の搬送の状態を示す上面の概略図（図２（Ａ）に相当）である。
【０１０２】
図５（Ａ）（Ｂ）を参照して、既述の如く、金属部材１１はドラム治具１の外周部に沿って搬送される。以下、金属部材１１と接するドラム治具１の外周の一部を接触領域ＲＣと称して説明する。
【０１０３】
本実施形態の接触領域ＲＣは、ドラム治具１の上面図（ドラム治具１の直径が平面視でき、ドラム治具１の形状が略円形に視認できる状態）において、ドラム治具１の略半円周にわたって金属部材１１と接触する領域であり、金属部材１１の進入側Ｉにおける両者の最初の接触点（進入側端部）ＩＰから排出側Ｏで両者が非接触となるまで（排出側端部ＯＰまで）の領域である。ここでは略半円周にわたる接触領域ＲＣを例に説明するが、これよりも大きい（半円周を超える）領域であってもよい。またドラム治具１および金属部材１１は時間経過とともに移動するものであるので、接触領域ＲＣはドラム治具１および金属部材１１の特定の（固定された）領域ではなく、互いに移動（回転）しているドラム治具１の外周のいずれか一部と金属部材１１のいずれか一部とが接触する状態になる領域をいう。
【０１０４】
本実施形態では説明の便宜上、接触領域ＲＣを第１の領域Ｒ１と第２の領域Ｒ２に区画する。第１の領域Ｒ１とは、接触領域ＲＣの金属部材１１の進入側端部ＩＰ（接触領域ＲＣの開始点）から金属部材１１の進行方向に所定距離（第１の円弧ｒ１）進んだ位置までの領域であり、第２の領域Ｒ２は第１の領域Ｒ１の端部から金属部材１１の排出側端部ＯＰ（接触領域ＲＣの終了点）までの領域である。そして、部分めっき装置２０は、第１の領域Ｒ１では金属部材１１にめっきが施されず、第２の領域Ｒ２で金属部材１１にめっきが施される構造とする。
【０１０５】
具体的には図５の上面図（平面視）において、噴流部８２の形状を、その円弧がドラム治具１（接触領域ＲＣ）の半円形の円弧ｒより小さい扇形状とし、対極９２の形状も同様の扇形状として、両者の円弧が第２の領域Ｒ２の円弧（第２の円弧ｒ２）に沿うように配置する。
【０１０６】
図６は、図５（Ａ）のＳＳ方向の視点からの斜視図である。
【０１０７】
噴流部８２は図６の如く噴出口（スリット部８Ｓ）からめっき液が噴出される。本実施形態では対極９２を扇形状とし、例えば板状の対極９２をスリット部８Ｓの上下に配置する。これにより、第１の領域Ｒ１では金属部材１１にめっきが施されること無く、第２の領域Ｒ２の間で金属部材１１にめっきを施すことができる（図５（Ｂ）参照）。
【０１０８】
図７を参照して、金属部材１１に対するめっき処理の領域を制限する理由について説明する。図７（Ａ）は第１の実施形態の部分めっき装置１０の概要を説明するための、図２（Ａ）に相当する上面図である。図７（Ｂ）は図７（Ａ）の破線丸印部分の拡大図であり、図７（Ｃ）は第２の実施形態の部分めっき装置２０の概要を説明する上面図である。
【０１０９】
図７（Ａ）を参照して、既述の如く金属部材１１は、ガイド孔がドラム治具１の位置決めピン６に係合しながら移動する。接触領域ＲＣの進入側端部ＩＰは、金属部材１１が最初にドラム治具１に接触する部分であり、この位置では金属部材１１からドラム治具１に向かう力は０（ゼロ）である。
【０１１０】
このとき進入側端部ＩＰで、位置決めピン６がガイド孔の側壁（内壁）に接触する場合があると、その摩擦力で金属部材１１がドラム治具１の外周面から僅かに浮いた状態（位置決めピン６とガイド孔が接触して位置決めピン６がガイド孔の奥まで入りきらない状態）となる場合がある（図７（Ａ）破線丸印、図７（Ｂ）参照）。
【０１１１】
また、進入側端部ＩＰの極近傍で、位置決めピン６がガイド孔の側壁（内壁）に接触する場合も、両者の摩擦力に対して金属部材１１からドラム治具１に向かう力が無視できるほど小さい場合は、同様に金属部材１１がドラム治具１の外周面から浮いた状態となる場合がある。
【０１１２】
接触領域ＲＣの進入側端部ＩＰと排出側端部ＯＰの中間点ＣＰ（図７（Ａ）では最頂部）では、金属部材１１からドラム治具１に向かう力が最大となる。つまり、金属部材１１からドラム治具１に向かう力は、進入側端部ＩＰでは最小（０：ゼロ）であり、中間点ＣＰに向かうにつれて大きくなる。
【０１１３】
従って、上記の如く進入側端部ＩＰ以降の第１の領域Ｒ１では、金属部材１１からドラム治具１に向かう力が、位置決めピン６とガイド孔との摩擦力以下であり、金属部材１１がドラム治具１から浮いた状態となった場合には、その浮いた状態が継続する場合がある。一方、ドラム治具１が回転し、中間点ＣＰに到達するまでの間に金属部材１１からドラム治具１に向かう力が徐々に増加してガイド孔と位置決めピン６の摩擦力を超えた場合には、ガイド孔と位置決めピン６が係合し、金属部材１１がドラム治具１から浮いた状態が解消される。
【０１１４】
つまり、接触領域ＲＣ全体でみると、図７（Ａ）の破線丸印の如く、進入側端部ＩＰ以降の前半部分（第１の領域Ｒ１）では、部分的に金属部材１１がドラム治具１から浮いた状態でドラム治具１が回転する場合がある。その状態にて、噴流部８からめっき液の供給を受けてめっきが施されると、めっき膜厚のばらつきが生じ、金属部材１１全体としてめっき膜厚分布が不均一になる問題がある。
【０１１５】
そこで、図７（Ｃ）の如く、第２の実施形態の部分めっき装置２０では、金属部材１１からドラム治具１に向かう力が、位置決めピン６がガイド孔との摩擦力を超え、金属部材１１がドラム治具１から浮かない状態となる第２の領域Ｒ２により、めっき処理を行うことで、めっき膜厚分布の均一化が図れる。
【０１１６】
ここで、第１の領域Ｒ１および第２の領域Ｒ２について更に説明する。
【０１１７】
視覚的な定義としては、第１の領域Ｒ１はドラム治具１の外周に沿って第１の円弧ｒ１（太破線）を形成する領域であり、第２の領域Ｒ２はドラム治具１の外周に沿って第２の円弧ｒ２（太実線）を形成する領域である。そして、第１の円弧ｒ１の長さは第２の円弧ｒ２の長さより小さい。
【０１１８】
一例を挙げてより具体的に説明すると、第１の円弧ｒ１の長さは、接触領域ＲＣ全体の円弧ｒの４分の１（ｒ１＝ｒ／４）から３分の１（ｒ１＝ｒ／３）とする。第１の領域Ｒ１は、進入側端部ＩＰから金属部材１１の進行方向に向かって第１の円弧ｒ１を形成する領域である。
【０１１９】
そして、噴流部８および対極（アノード）９を第２の領域Ｒ２のみに設ける。つまり、それぞれ第２の領域Ｒ２の第２の円弧ｒ２に沿って円弧が形成されるように、上面図（平面視）において扇形状に形成する。これにより、金属部材１１は接触領域ＲＣのうち第２の領域Ｒ２のみでめっき処理が施され、めっき膜厚の均一化が図れる。
【０１２０】
図８は、図６に示す第２の実施形態の部分めっき装置２０用いてめっき処理を施した結果を、図１に示す第１の実施形態の部分めっき装置１０を用いてめっき処理した結果と比較して示す。第１の実施形態の部分めっき装置１０の結果は、図４に示すものと同様である。尚、第２の実施形態の部分めっき装置２０は、第１の円弧ｒ１の長さが、接触領域ＲＣ全体の円弧ｒの３分の１となるように第１の領域Ｒ１を形成し、第２の領域Ｒ２に扇形状の噴流部８２と対極９２を設けたものである。
【０１２１】
図８（Ａ）は、縦軸がめっき（Ａｕ）膜厚［μｍ］であり、横軸がスポットめっき（１５０個分）の通し番号である。△印のマーカーが第２の本実施形態の部分めっき装置２０によるスポットめっきの場合であり、○印のマーカーが第１の実施形態の部分めっき装置１０（図１）によるスポットめっきの場合であって、スポットめっきの中心部のめっき膜厚を測定した結果である。
【０１２２】
このグラフからも明らかなとおり、第２の実施形態の部分めっき装置２０では、第１の実施形態の部分めっき装置１０と比較して明らかにめっき膜厚のばらつきを低減できた。
【０１２３】
具体的には図８（Ｂ）の比較表を参照して、めっき膜厚の最大値と最小値の幅（Ｒａｎｇｅ）では、第１の実施形態の０．１４μｍから０．０３μｍに低減できている。また標準偏差（σ）では第１の実施形態の０．０２２と比較して第２の実施形態では０．００６になっており、膜厚ばらつきの大幅な低減が可能となることがわかった。
【０１２４】
尚、平均膜厚（Ａｖｅ）の狙い値は、第１の実施形態の部分めっき装置１０では０．５μｍであるのに対し、第２の実施形態の部分めっき装置２０では０．４５μｍとした。
【０１２５】
図９は本発明の第３の実施形態の部分めっき装置３０を示す図であり、図１（Ａ）に相当する上面図である。第１、第２の実施形態と同一構成要素は同一符号で示し、説明を省略する。
【０１２６】
金属部材１１は、第２の領域Ｒでめっき処理が施されれば良い。すなわち、噴流部８は第１の実施形態と同様に平面視において略半円形状に設け、対極９２のみを扇形状としてもよい。この場合、第１の領域Ｒ１で噴流部８からめっき液が供給されても、対極９２が配置されないのでめっきは施されず（破線矢印）、第２の領域Ｒ２のみでめっきが施される（実線矢印）ので第２の実施形態と同様の効果が得られる。これ以外の構成は、第２の実施形態と同様である。
【０１２７】
尚、第１の領域Ｒ１の第１の円弧ｒ１の長さは、上述の例より更に短くても（例えばｒ１＝ｒ／５であっても）、めっき膜厚分布の均一化が図れる場合がある。
【０１２８】
本実施形態の部分めっき装置２０では、第１の円弧ｒ１の長さが、接触領域ＲＣ全体の円弧ｒの３分の１となる領域を第１の領域Ｒ１とすることで、膜厚分布の均一なめっきを施すことができた（図７参照）。
【０１２９】
一方で、第１の円弧ｒ１の長さが接触領域ＲＣの中間点ＣＰを超える長さであっても、第２の領域Ｒ２はめっき膜厚分布は均一になる。しかし、第１の円弧ｒ１が長すぎると、（第２の領域Ｒ２が小さいと）めっき処理ができる範囲が小さくなるので、生産性は低下する。このため、第１の領域Ｒ１は可能な限り小さいほうが好ましく、本実施形態では、第１の円弧ｒ１の長さが、接触領域ＲＣ全体の円弧ｒの３分の１となる領域を第１の領域Ｒ１とした。
【０１３０】
このように、本実施形態の部分めっき方法は、部分めっき装置のドラム治具１の外周部に沿って搬送される金属部材１１に部分めっきを施すものであり、ドラム治具１の外周部の一部を金属部材１１との接触領域ＲＣとした場合に、接触領域ＲＣの金属部材１１の進入側端部ＩＰから所定距離の第１の領域Ｒ１の間では金属部材１１にめっきが施されず、第１の領域Ｒ１の端部から金属部材１１の排出側端部ＯＰまでの第２の領域Ｒ２の間で金属部材１１にめっきが施されるものである。
【０１３１】
上述の通り、膜厚分布ばらつきは、特に接触領域ＲＣの進入側端部ＩＰ以降の前半部分（第１の領域Ｒ１）で発生し易く、このことは従来構造においても同様である。つまり例えば、上記の実施形態の部分めっき装置１０〜３０の如くブレーキユニット１５を備えていない部分めっき装置であっても、接触領域ＲＣの前半部分で膜厚分布が悪化する傾向がある。
【０１３２】
しかし、本実施形態の部分めっき方法によれば、膜厚分布が悪化するドラム治具１の前半部分（第１の領域Ｒ１）で金属部材１１にめっきを施さず、第２の部分Ｒ２のみでめっきを施すので、接触領域ＲＣの全体でめっきを施すめっき方法と比較してめっき膜厚分布のばらつきを低減できる。
【符号の説明】
【０１３３】
１    ドラム治具
２    回転軸
３    開口部
４    支持ロール
５    ベルト
６    位置決めピン
８、８２    噴流部
９、９２    対極（アノード）
１０、２０、３０、４０、５０  部分めっき装置
１１  金属部材（被めっき材）
１５  ブレーキユニット
ｈ、ｈ１〜ｈ１０    ガイド孔
ＲＣ  接触領域
Ｒ１  第１の領域
Ｒ２  第２の領域
ｒ１  第１の円弧
ｒ２  第２の円弧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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