(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の貫通穴を形成したマスクを水平に保持するマスク保持装置と、
スキージを保持し、そのスキージを前記マスク保持装置に保持されたマスクの上面に沿って移動させるスキージ移動装置と、
回路基板の下面を支持する基板支持装置と、
上面と下面との距離が既知であり、支持台に支持されて、前記マスクの、回路基板の両側端部から外れた２部分をそれら２部分の下面において支持する一対のマスク支持部材と、
それら一対のマスク支持部材の前記マスク保持装置に保持されたマスクに平行な方向の間隔を変更するマスク支持部材間隔変更装置と、
前記一対のマスク支持部材と前記基板支持装置との一方を昇降させる第１昇降装置と、
その第１昇降装置により昇降させられる前記一方の高さ位置を検出する高さ検出装置と、
前記一対のマスク支持部材および基板支持装置と、前記マスク保持装置との一方を昇降させる第２昇降装置と、
前記マスク支持部材間隔変更装置，前記第１昇降装置，前記高さ検出装置および前記第２昇降装置を制御し、前記一対のマスク支持部材を、前記基板支持装置に支持させた回路基板の両側端部の上方に位置させた状態で、その回路基板の両側端部の上面を前記一対のマスク支持部材の下面に当接させ、その当接時における前記一対のマスク支持部材と前記基板支持装置との前記一方の高さ位置を前記高さ検出装置に検出させた後、前記一対のマスク支持部材を前記回路基板の両側端部から側方へ外れた位置へ退避させるとともに、前記第１昇降装置を作動させ、前記高さ検出装置の検出高さが前記当接時の高さと前記一対のマスク支持部材の前記上面と前記下面との前記既知の距離だけ異なる高さとなった状態で前記第１昇降装置の作動を停止させることにより、前記一対のマスク支持部材の上面と回路基板の上面とのレベルを一致させ、前記一対のマスク支持部材を前記マスクの前記回路基板の前記両側端部から側方へ外れた２部分の下面を支持可能な状態とするマスク支持制御部を備えた制御装置と、
前記一対のマスク支持部材の少なくとも一方を、その少なくとも一方の前記回路基板の側端部の上面と当接する部分の、前記支持台に対する上下方向の相対移動を許容する状態で前記支持台に支持させるとともに、その少なくとも一方の、回路基板の側端部の上面と当接する前記部分の前記支持台に対する相対的な下降限度を規定する相対移動許容機構と、
前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の前記回路基板の側端部の上面と当接する部分が前記支持台に対して前記下降限度から上昇を開始した時点における前記高さ検出装置の検出値を記憶する高さ位置記憶部と
を含み、
前記マスク支持制御部が、前記高さ位置記憶部に記憶された高さ位置と、前記マスク支持部材の上面と下面との前記既知の距離と、前記第１昇降装置の作動に伴って変化する前記高さ検出装置の検出値とに基づいて、前記第１昇降装置の作動を停止させるように構成されたマスク印刷装置。
【請求項２】
さらに、前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の回路基板の側端部の上面と当接する部分が前記支持台に対して前記下降限度から上昇を開始したことを検出する上昇開始検出装置を含む請求項１に記載のマスク印刷装置。
【請求項３】
前記相対移動許容機構が、前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の、前記回路基板の側端部の上面と当接する部分から水平方向の成分を含む方向に隔たった部分を、水平な回動軸線のまわりに回動可能に、前記支持台に保持させる機構を含む請求項１または２に記載のマスク印刷装置。
【請求項４】
前記相対移動許容機構が、前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の、前記回路基板の側端部の上面と当接する部分から水平方向の成分を含む方向に隔たった部分を、水平な回動軸線のまわりに回動可能に、前記支持台に保持させる機構を含み、かつ、前記上昇開始検出装置が、
前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方に固定して設けられ、前記水平な回動軸線から離れる方向に延び出たドッグと、
そのドッグを検出可能な位置に設けられ、前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の、前記回路基板の側端部の上面と当接する部分が前記下降限度にある状態とその下降限度から上昇した状態とで異なる状態の信号を発するセンサと
を含む請求項２に記載のマスク印刷装置。
【請求項５】
前記マスク支持部材の回路基板の側端部の上面と当接する部分の前記下降限度からの上昇量が設定量に達した時点で前記センサの前記信号の状態が変化するようにセンサが設定されており、前記高さ位置記憶部が、前記センサの信号の状態が変化した時点における高さ検出装置の高さ検出値から前記設定量を差し引いた高さ位置を上昇開始位置として記憶する請求項４に記載のマスク印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク印刷装置に関するものであり、特に、マスクを一対のマスク支持部材によって下方から支持した状態で印刷剤の印刷を行い、あるいは印刷後にマスクを一対のマスク支持部材によって下方から支持した状態でマスクと回路基板との離間を行う装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１および２には、回路基板とマスクとの間に所定の大きさの隙間が設けられた状態で、マスクの貫通穴を通して印刷剤を回路基板に印刷するマスク印刷装置が記載されている。これらマスク印刷装置のうち、特許文献１に記載のマスク印刷装置はマスク支持部材を備え、その上面であるマスク支持面により、印刷時にマスクを下方から支持するようにされている。そのため、マスク支持部材と基板支持装置とが別々の駆動装置により昇降させられ、測定装置により測定された回路基板の厚さに基づいて各駆動装置が駆動され、マスク支持面と回路基板の上面とが同一平面内に位置するようにされている。厚さ測定装置はマスク印刷装置とは別に設けられ、回路基板は厚さ測定後、マスク印刷装置に搬入されて基板支持装置により支持され、基板支持装置の上昇により、マスクに対して所望の隙間が得られる位置に位置決めされる。その状態でマスク支持部材が駆動装置により上昇させられ、マスク受け面が回路基板の上面と実質上、同一面内に位置させられる。それにより、回路基板の厚さにばらつきがあっても、回路基板の上面およびマスク受け面が同一平面内に位置させられるとともに、マスクとの間に所望の大きさの隙間が得られ、一定の圧力で印刷が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平６−７９５３５号公報
【特許文献２】特開平９−７６４５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、マスク支持部材によりマスクを支持する従来のマスク印刷装置には、未だ改善の余地がある。例えば、厚さ測定装置がマスク印刷装置とは別に設けられているため、装置の設置に広いスペースを必要とするというように不具合があるのである。
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、印刷時と、マスクと回路基板との離間時との少なくとも一方において、マスク支持部材にマスクを支持させるマスク印刷装置の改善を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題は、(I)複数の貫通穴を形成したマスクを水平に保持するマスク保持装置と、(II)スキージを保持し、そのスキージを前記マスク保持装置に保持されたマスクの上面に沿って移動させるスキージ移動装置と、(III)回路基板の下面を支持する基板支持装置と、(IV)上面と下面との距離が既知であり、支持台に支持されて、前記マスクの、回路基板の両側端部から外れた２部分をそれら２部分の下面において支持する一対のマスク支持部材と、(V)それら一対のマスク支持部材の前記マスク保持装置に保持されたマスクに平行な方向の間隔を変更するマスク支持部材間隔変更装置と、(VI)前記一対のマスク支持部材と前記基板支持装置との一方を昇降させる第１昇降装置と、(VII)その第１昇降装置により昇降させられる前記一方の高さ位置を検出する高さ検出装置と、(VIII)前記一対のマスク支持部材および基板支持装置と、前記マスク保持装置との一方を昇降させる第２昇降装置と、(IX)前記マスク支持部材間隔変更装置，前記第１昇降装置，前記高さ検出装置および前記第２昇降装置を制御し、前記一対のマスク支持部材を、前記基板支持装置に支持させた回路基板の両側端部の上方に位置させた状態で、その回路基板の両側端部の上面を前記一対のマスク支持部材の下面に当接させ、その当接時における前記一対のマスク支持部材と前記基板支持装置との前記一方の高さ位置を前記高さ検出装置に検出させた後、前記一対のマスク支持部材を前記回路基板の両側端部から側方へ外れた位置へ退避させるとともに、前記第１昇降装置を作動させ、前記高さ検出装置の検出高さが前記当接時の高さと前記一対のマスク支持部材の前記上面と前記下面との前記既知の距離だけ異なる高さとなった状態で前記第１昇降装置の作動を停止させることにより、前記一対のマスク支持部材の上面と回路基板の上面とのレベルを一致させ、前記一対のマスク支持部材を前記マスクの前記回路基板の前記両側端部から側方へ外れた２部分の下面を支持可能な状態とするマスク支持制御部を備えた制御装置と、(X)前記一対のマスク支持部材の少なくとも一方を、その少なくとも一方の前記回路基板の側端部の上面と当接する部分の、前記支持台に対する上下方向の相対移動を許容する状態で前記支持台に支持させるとともに、その少なくとも一方の、回路基板の側端部の上面と当接する前記部分の前記支持台に対する相対的な下降限度を規定する相対移動許容機構と、(XI)前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の前記回路基板の側端部の上面と当接する部分が前記支持台に対して前記下降限度から上昇を開始した時点における前記高さ検出装置の検出値を記憶する高さ位置記憶部とを含み、前記マスク支持制御部が、前記高さ位置記憶部に記憶された高さ位置と、前記マスク支持部材の上面と下面との前記既知の距離と、前記第１昇降装置の作動に伴って変化する前記高さ検出装置の検出値とに基づいて、前記第１昇降装置の作動を停止させるように構成されたマスク印刷装置により解決される。
【発明の効果】
【０００８】
「回路基板の上面と一対のマスク支持部材の上面とのレベルを一致させる」とは、回路基板の上面と一対のマスク支持部材の上面とを同一平面内に位置させる場合のみならず、回路基板の上面を一対のマスク支持部材の上面より許容誤差の範囲で上側に位置させる場合を含む。
回路基板の厚さが種類や製造誤差によって異なることがあっても、マスク支持部材は印刷剤が印刷される全部の回路基板について共通であり、回路基板の両側端部の上面がマスク支持部材の下面に当接した状態における回路基板の上面の位置は一定である。したがって、マスク支持部材と基板支持装置との一方を、回路基板の上面がマスク支持部材の下面に当接した状態における高さ位置に対して、マスク支持部材の上面と下面との距離に等しい距離だけ上下方向に隔たった高さ位置へ移動させることにより、回路基板の厚さによらず、その上面とマスク支持部材の上面とのレベルを一致させることができる。それにより、回路基板の厚さによって、その上面がマスク支持部材の上面より下に位置したり、許容誤差の範囲を超えて上に位置したりすることがなく、いずれの回路基板についても同様に印刷剤を印刷し、印刷品質を均一に保つことができる。
このように回路基板の両側端部の上面をマスク支持部材の下面と当接させ、その当接時におけるマスク支持部材と基板支持装置との一方の高さ位置を検出することは、回路基板の厚さを検出することに等しく、本発明に係るマスク印刷装置によれば、マスク支持部材の利用により、マスク印刷装置の外に回路基板の厚さを測定する装置を設けることなく、装置設置スペースの増大を回避しつつ、回路基板の上面とマスク支持部材の上面とのレベルを一致させることができる。
また、印刷剤が印刷される回路基板の種類が変わり、その厚さが変わるとき、作業者が入力装置を使用して厚さを入力し、それに基づいて一対のマスク支持部材と基板支持装置との一方を上下方向に移動させて、それらの上面のレベルを一致させるようにすることも可能であるが、面倒であるのに対し、予め厚さの入力を行うことなく、回路基板の上面とマスク支持部材の上面とのレベルを一致させることができる。
さらに、本発明に係るマスク印刷装置によれば、回路基板の上面とマスク支持部材の上面とのレベルを一致させることができるマスク印刷装置をコンパクトに構成することができる。
【発明の態様】
【０００９】
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、特許請求の範囲に記載された発明である本願発明の下位概念発明や、本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むことがある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載，従来技術，技術常識等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
【００１０】
なお、以下の各項において、（１０）項と（１２）項とを合わせたものが請求項１に、（１３）項が請求項２に、（１５）項が請求項３に、（１６）項が請求項４に、（１８）項が請求項５に、それぞれ相当する。
【００１１】
（１）複数の貫通穴を形成したマスクの上面に印刷剤を載置し、そのマスクの上面に沿ってスキージを移動させることにより、前記印刷剤を前記貫通穴を通して前記マスクの下に配置した回路基板に印刷する回路基板のマスク印刷方法であって、
上面と下面との距離が既知である一対のマスク支持部材を、前記回路基板の両側端部の各々の上方に位置させるとともに、前記回路基板の下面を基板支持装置により支持し、それらマスク支持部材と基板支持装置との一方を上下方向に移動させることによって、前記回路基板の両側端部の上面と前記２つのマスク支持部材の下面とを当接させ、その当接時における前記マスク支持部材と前記基板支持装置との前記一方の高さ位置を検出する当接時高さ位置検出工程と、
前記一対のマスク支持部材を、前記回路基板の前記両側端部から側方へ外れる位置まで退避させるマスク支持部材退避工程と、
前記マスク支持部材と前記基板支持装置との前記一方を、前記当接時における高さ位置に対して、前記一対のマスク支持部材の前記上面と前記下面との距離に等しい距離だけ上下方向に隔たった高さ位置へ移動させて、前記基板支持装置に支持された前記回路基板の上面と前記一対のマスク支持部材の上面とのレベルを一致させるとともに、前記一対のマスク支持部材を前記マスクの前記回路基板の前記両側端部から側方へ外れた２部分の下面を支持可能な状態とするマスク支持工程と、
その状態で前記スキージを前記マスクの上面に沿って移動させて前記印刷剤の印刷を行う印刷工程と
を含むことを特徴とする回路基板のマスク印刷方法。
マスク支持部材を上下方向に移動させる場合には、当接時における高さ位置に対して、マスク支持部材の上面と下面との距離に等しい距離だけ下方に隔たった高さ位置に移動させ、基板支持装置を上下方向に移動させる場合には、上方に隔たった高さ位置に移動させて、回路基板の上面と一対のマスク支持部材の上面とのレベルを一致させる。
一対のマスク支持部材にマスクを、印刷時に支持させてもよく、マスクと回路基板との離間時に支持させてもよく、両方において支持させてもよい。
印刷剤には、例えば、クリーム状はんだ，導電性ペースト，絶縁体ペーストがある。
（２）前記当接時高さ位置検出工程が、前記基板支持装置を上昇させることによって、前記回路基板の上面を前記一対のマスク支持部材の下面に当接させ、その当接時における前記基板支持装置の高さ位置を検出する工程を含み、前記マスク支持工程が、前記基板支持装置を上昇させて前記回路基板の上面と前記一対のマスク支持部材の上面とのレベルを一致させるとともに、前記基板支持装置および前記一対のマスク支持部材と、前記マスクとを互いに接近させて前記マスクの前記回路基板の前記両側端部から外れた２部分を前記一対のマスク支持部材が支持可能な状態とする工程を含む(1)項に記載のマスク印刷方法。
上記「基板支持装置および一対のマスク支持部材と、マスクとの接近」は、基板支持装置および一対のマスク支持部材と、マスクとのいずれを移動させて行ってもよいが、前者を移動させる方が、後者を移動させるより容易である場合が多い。
（３）前記マスク支持部材退避工程と前記マスク支持工程との間に、前記回路基板の前記両側端部の側面に当接する一対のクランプ部材に、回路基板をその回路基板の上面に平行な方向において挟ませて固定するサイドクランプ工程を含む(1)項または(2)項に記載のマスク印刷方法。
上記クランプ部材としては、一対のマスク支持部材自体を利用することも可能であるが、例えば、回路基板搬送装置の回路基板の両側面を案内する一対の基板ガイド部材等、マスク支持部材以外の部材を利用することが望ましい場合が多い。
印刷終了後、回路基板をマスクから離間させる版離れの際に、マスク支持部材をマスクを支持させた状態に保ち、クランプ部材に回路基板をクランプさせた状態で回路基板をマスクから離間させることができ、マスクの回路基板に対する貼付きやマスクの撓みの発生を回避しつつ、離間させることが可能であるからである。
回路基板がクランプ部材によってクランプされることにより、回路基板のマスクに対する位置ずれの発生が防止され、印刷精度が向上する。
（４）前記当接時高さ位置検出工程において、前記回路基板の下面を前記基板支持装置により支持させる際、回路基板に上に凸に反った上反りと下に凸に反った下反りとの少なくとも一方がある場合に、その少なくとも一方を矯正して真っ直ぐな状態にして支持させる反り除去工程を含み、その反りを除去した矯正状態で前記回路基板の両側端部の上面と前記２つのマスク支持部材の下面とを当接させる(1)項ないし(3)項のいずれかに記載のマスク印刷方法。
回路基板の反りが除去されない場合には、その両側端部の上面と２つのマスク支持部材の下面との当接時における、マスク支持部材と基板支持装置との一方の高さ位置が検出される際の、その一方の高さ位置が、反りがない場合における位置より高く、あるいは低くなる恐れがある。それに対し、反りが除去されれば、当接時高さ位置検出時における高さ位置にずれが生じることが回避され、回路基板の上面とマスク支持部材の上面とのレベルを精度良く一致させることができる。
（５）前記一対のマスク支持部材として、各上面に開口した吸引口を有するとともに吸引装置に接続された一対のマスク吸着支持部材を使用し、前記マスク支持工程において、それら一対のマスク吸着支持部材を前記マスクの前記回路基板の前記両側端部から外れた前記２部分を支持可能とするとともに前記吸引装置に前記吸引口から空気を吸引させて、一対のマスク吸着支持部材に前記マスクを吸着支持させ、その吸着支持状態で前記印刷工程を実施する(1)項ないし(4)項のいずれかに記載のマスク印刷方法。
マスクがマスク支持部材により確実に保持されて、マスクのマスク支持部材に対するずれが防止され、印刷が精度良く行われる。
（１０）複数の貫通穴を形成したマスクを水平に保持するマスク保持装置と、
スキージを保持し、そのスキージを前記マスク保持装置に保持されたマスクの上面に沿って移動させるスキージ移動装置と、
回路基板の下面を支持する基板支持装置と、
上面と下面との距離が既知であり、支持台に支持されて、前記マスクの、回路基板の両側端部から外れた２部分をそれら２部分の下面において支持する一対のマスク支持部材と、
それら一対のマスク支持部材の前記マスク保持装置に保持されたマスクに平行な方向の間隔を変更するマスク支持部材間隔変更装置と、
前記一対のマスク支持部材と前記基板支持装置との一方を昇降させる第１昇降装置と、
その第１昇降装置により昇降させられる前記一方の高さ位置を検出する高さ検出装置と、
前記一対のマスク支持部材および基板支持装置と、前記マスク保持装置との一方を昇降させる第２昇降装置と、
前記マスク支持部材間隔変更装置，前記第１昇降装置，前記高さ検出装置および前記第２昇降装置を制御し、前記一対のマスク支持部材を、前記基板支持装置に支持させた回路基板の両側端部の上方に位置させた状態で、その回路基板の両側端部の上面を前記一対のマスク支持部材の下面に当接させ、その当接時における前記一対のマスク支持部材と前記基板支持装置との前記一方の高さ位置を前記高さ検出装置に検出させた後、前記一対のマスク支持部材を前記回路基板の両側端部から側方へ外れた位置へ退避させるとともに、前記第１昇降装置を作動させ、前記高さ検出装置の検出高さが前記当接時の高さと前記一対のマスク支持部材の前記上面と前記下面との前記既知の距離だけ異なる高さとなった状態で前記第１昇降装置の作動を停止させることにより、前記一対のマスク支持部材の上面と回路基板の上面とのレベルを一致させ、前記一対のマスク支持部材を前記マスクの前記回路基板の前記両側端部から側方へ外れた２部分の下面を支持可能な状態とするマスク支持制御部を備えた制御装置と
を含むことを特徴とするマスク印刷装置。
第１昇降装置がマスク支持部材を昇降させる場合、高さ検出装置の検出高さが当接時の高さから既知の距離だけ下の高さとなった状態で作動を停止させ、第１昇降装置が基板支持装置を昇降させる場合、高さ検出装置の検出高さが当接時の高さから既知の距離だけ上の高さとなった状態で作動を停止させ、一対のマスク支持部材の上面と回路基板の上面とのレベルを一致させる。
なお、上記「前記一対のマスク支持部材を前記マスクの前記回路基板の前記両側端部から側方へ外れた２部分の下面を支持可能な状態とする」とは、実際に下面を支持する状態としてもよく、マスクの下面に近接し、マスクが僅かに下降させられれば下面を支持する状態としてもよいことを意味する。
また、回路基板は、マスクの下面に接触させてもよく、近接させてもよい。近接とは、常にはマスクとの間に隙間があるが、貫通穴を通して回路基板に印刷剤が印刷される際にマスクが回路基板に接触する状態となる位置である。回路基板がマスクの下面に接触させられる場合でも、近接させられる場合でも、回路基板の厚さによらず、回路基板の上面とマスク支持部材の上面とのレベルが一致させられるため、均一な印刷品質が得られる。また、回路基板のマスクに対する高さ方向の位置を正確に制御することが可能であり、回路基板がマスクに接触する位置を制御し、あるいは回路基板とマスクとの間の隙間を制御することにより、より高い印刷品質を得ることが可能である。
（１１）前記第２昇降装置が、前記支持台を昇降させて、回路基板の上面と前記一対のマスク支持部材の上面とを前記マスクの下面に接近させるものである(10)項に記載のマスク印刷装置。
（１２）さらに、前記一対のマスク支持部材の少なくとも一方を、その少なくとも一方の前記回路基板の側端部の上面と当接する部分の、前記支持台に対する上下方向の相対移動を許容する状態で前記支持台に支持させるとともに、その少なくとも一方の、回路基板の側端部の上面と当接する前記部分の前記支持台に対する相対的な下降限度を規定する相対移動許容機構と、
前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の前記回路基板の側端部の上面と当接する部分が前記支持台に対して前記下降限度から上昇を開始した時点における前記高さ検出装置の検出値を記憶する高さ位置記憶部と
を含み、前記マスク支持制御部が、前記高さ位置記憶部に記憶された高さ位置と、前記マスク支持部材の上面と下面との前記既知の距離と、前記第１昇降装置の作動に伴って変化する前記高さ検出装置の検出値とに基づいて、前記第１昇降装置の作動を停止させる(10)項または(11)項に記載のマスク印刷装置。
一対のマスク支持部材の少なくとも一方の回路基板の側端部の上面と当接する部分が支持台に対して下降限度から上昇を開始した時点は、回路基板の側端部の上面がマスク支持部材の下面と当接した時点であり、高さ検出装置の検出値の記憶により、当接時におけるマスク支持部材と基板支持装置との一方の高さ位置が記憶され、第１昇降装置の作動を一対のマスク支持部材の上面と回路基板の上面とのレベルが一致する状態で停止させることができる。
（１３）さらに、前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の回路基板の側端部の上面と当接する部分が前記支持台に対して前記下降限度から上昇を開始したことを検出する上昇開始検出装置を含む(12)項に記載のマスク印刷装置。
一対のマスク支持部材の両方の、回路基板の両側端部の上面と当接する部分が下降限度から上昇可能とされ、その少なくとも一方に上昇開始検出装置が設けられることが望ましいが、不可欠ではない。一対のマスク支持部材の一方のみの、回路基板の側端部の上面と当接する部分が下降限度から上昇可能とされ、その一方の上昇開始が上昇開始検出装置により検出されるようにしてもよいのである。可動ではない方のマスク支持部材に回路基板が当接してもその当接は検出できないことになるが、そのマスク支持部材と基板支持装置との僅かな相対的昇降が回路基板の弾性変形等に基づいて許容されればよいのである。
上昇開始検出装置の検出に基づいて、マスク支持部材の回路基板の側端部の上面と当接する部分が下降限度から上昇を開始した時点における高さ検出装置の検出値を記憶することができる。
なお、一対のマスク支持部材の両方の回路基板の側端部の上面と当接する部分を可動にし、かつ、上昇開始を検出する場合は、少なくとも一方が上昇開始すれば「当接」が検出されるようにしても、両方が上昇開始してはじめて「当接」が検出されるようにしてもよい。後者の場合は、高さ検出装置の検出値が複数得られるが、高さ位置記憶部には、予め設定された規則に従って得られる値、例えば、複数の検出値の平均値，中間値あるいは大きい方の値が記憶されるようにすることができる。
（１４）前記上昇開始検出装置が、前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の、回路基板の側端部の上面と当接する部分の、前記支持台に対する上下方向の相対移動を増幅する相対移動増幅機構と、その相対移動増幅機構により増幅される部分を検出し、前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方が前記下降限度にある状態とその下降限度から上昇した状態とで異なる状態の信号を発するセンサとを含む(13)項に記載のマスク印刷装置。
例えば、一対のマスク支持部材の少なくとも一方が下降限度にある状態では互いに接触しており、下降限度から上昇を開始した瞬間に互いに離間する一対の電気節点を含む検出装置を使用してもマスク支持部材の下降限度からの上昇開始を検出することができるが、本項の構成を採用すれば検出が容易になる場合が多い。
（１５）前記相対移動許容機構が、前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の、前記回路基板の側端部の上面と当接する部分から水平方向の成分を含む方向に隔たった部分を、水平な回動軸線のまわりに回動可能に、前記支持台に保持させる機構を含む(12)項ないし(14)項のいずれかに記載のマスク印刷装置。
マスク支持部材の回路基板の側端部の上面と当接する部分が、マスク支持部材と基板支持装置との接近により回動させられ、それにより、マスク支持部材の回路基板の側端部の上面に当接する部分の下降限度からの上昇開始を検出することができる。
相対移動許容機構を、マスク支持部材の平行移動により基板支持装置に対して相対移動を許容する機構とすることも可能であるが、回動運動により許容するものとする方が安価に目的を達成することができる。
（１６）前記相対移動許容機構が、前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の、前記回路基板の側端部の上面と当接する部分から水平方向の成分を含む方向に隔たった部分を、水平な回動軸線のまわりに回動可能に、前記支持台に保持させる機構を含み、かつ、前記上昇開始検出装置が、
前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方に固定して設けられ、前記水平な回動軸線から離れる方向に延び出たドッグと、
そのドッグを検出可能な位置に設けられ、前記一対のマスク支持部材の前記少なくとも一方の、前記回路基板の側端部の上面と当接する部分が前記下降限度にある状態とその下降限度から上昇した状態とで異なる状態の信号を発するセンサと
を含む(13)項に記載のマスク印刷装置。
センサは、ドッグの回動に伴う水平方向の移動を検出するものとされてもよく、上下方向の移動を検出するものとされてもよい。
（１７）前記ドッグの前記センサにより検出される部分の前記回動軸線からの距離が、前記マスク支持部材の回路基板の側端部の上面と当接する部分の前記回動軸線からの距離より大きい(16)項に記載のマスク印刷装置。
(14)項に記載の相対移動増幅機構としては、一般的な種々の増幅機構を採用可能であり、例えば、相対移動許容機構が、マスク支持部材の平行運動により基板支持装置に対して相対移動を許容する機構である場合にその平行運動を増幅する機構の採用も可能であるが、本項に記載の構成によれば(14)項に記載の相対移動増幅機構の構成を単純化することができる。
（１８）前記マスク支持部材の回路基板の側端部の上面と当接する部分の前記下降限度からの上昇量が設定量に達した時点で前記センサの前記信号の状態が変化するようにセンサが設定されており、前記高さ位置記憶部が、前記センサの信号の状態が変化した時点における高さ検出装置の高さ検出値から前記設定量を差し引いた高さ位置を上昇開始位置として記憶する(14)項，(16)項または(17)項に記載のマスク印刷装置。
マスク支持部材の回路基板の側端部の上面と当接する部分が下降限度から上昇を開始した時点でセンサの信号の状態が変化するようにすることも可能である。しかし、上昇開始時点よりも、上昇量が設定量に達した時点の方が正確に検出することができ、ひいては上昇開始位置も正確に検出することができる。
（１９）前記一対のマスク支持部材が、各上面に開口した吸引口を有するとともに吸引装置に接続されており、マスクの回路基板の両側端部から側方へ外れた２部分の下面を支持するとともに吸着する一対のマスク吸着支持部材である(10)項ないし(18)項のいずれかに記載のマスク印刷装置。
本項に記載のマスク印刷装置によれば、(5)項に記載の方法を好適に実施し得る。
（２０）さらに
前記基板支持装置により下面を支持された回路基板の、前記両側端部の側面に当接する一対のクランプ部材と、
それら一対のクランプ部材の少なくとも一方を、前記基板支持装置により支持された回路基板の上面に平行な方向に移動させ、前記一対のクランプ部材が回路基板を両側から挟む作用位置と、挟まない解放位置とに移動させるクランプ・解放装置と
を含む(10)項ないし(19)項のいずれかに記載のマスク印刷装置。
マスク印刷装置が、マスク支持部材とは別にクランプ部材を含む場合には、マスク支持部材の上面のみならず、クランプ部材の上面も回路基板の上面とレベルを一致させることが望ましい。
ただし、マスク支持部材にクランプ部材を兼ねさせることも可能であり、その場合には、マスク支持部材の上面と回路基板の上面とのレベルを一致させればよいことになる。
本項に記載のマスク印刷装置によれば、(3)項に記載の方法を好適に実施し得る。
（２１）さらに、
前記基板支持装置により下面を支持された回路基板の上面に当接する矯正部材と、
その矯正部材と前記基板支持装置とを相対移動させて、基板支持装置に支持された回路基板に上に凸に反った上反りと下に凸に反った下反りとの少なくとも一方がある場合に、その少なくとも一方を矯正して真っ直ぐな状態にする反り矯正駆動装置と
を含む(10)項ないし(20)項のいずれかに記載のマスク印刷装置。
回路基板の下反りは、例えば、基板支持装置により下面を支持された回路基板の上面を一対のマスク支持部材の下面に当接させることにより矯正することができる。その場合には、一対のマスク支持部材が矯正部材を兼ねることとなり、第１昇降装置に反り矯正駆動装置を兼ねさせることも可能となる。
また、回路基板の上反りは、例えば、基板支持装置により下面を支持された回路基板の上面の中央部に矯正部材を接触させることにより、矯正することができる。この場合は、例えば、矯正部材を昇降させるエアシリンダと第１昇降装置とを反り矯正駆動装置として機能させることができる。エアシリンダの矯正部材を下降させる側のエア室に、回路基板の上反りを矯正するには十分である一方、回路基板を無用に湾曲させ、あるいは損傷することがない大きさのエア圧を供給すれば、回路基板を矯正した状態で基板支持装置を第１昇降装置に上昇させ、その回路基板の両側部の上面をマスク支持部材の下面に当接させることができる。
矯正部材および反り矯正駆動装置は基板反り矯正装置を構成し、本項に記載のマスク印刷装置によれば、(4)項に記載の方法を好適に実施し得る。
（２２）複数の貫通穴を形成したマスクを水平に保持するマスク保持装置と、
スキージを保持し、そのスキージを前記マスク保持装置に保持されたマスクの上面に沿って移動させるスキージ移動装置と、
回路基板の下面を支持する基板支持装置と、
上面と下面との距離が既知であり、支持台に支持されて、前記マスクの、回路基板の両側端部から外れた２部分をそれら２部分の下面において支持する一対のマスク支持部材と、
それら一対のマスク支持部材の前記マスク保持装置に保持されたマスクに平行な方向の間隔を変更するマスク支持部材間隔変更装置と、
回路基板の前記両側端部の側面に当接する一対のクランプ部材と、
それら一対のクランプ部材の、前記マスク保持装置に保持されたマスクに平行な方向の間隔を変更することにより、それら一対のクランプ部材に回路基板をクランプ，解放させるクランプ・解放装置と、
少なくとも前記基板支持装置と前記一対のマスク支持部材とを相対的に昇降させる第３昇降装置と、
少なくとも前記一対のクランプ部材と前記一対のマスク支持部材とを相対的に昇降させる第４昇降装置と、
少なくとも前記マスク保持装置と前記一対のマスク支持部材とを相対的に昇降させる第５昇降装置と、
それら第３昇降装置，第４昇降装置および第５昇降装置と、前記マスク支持部材間隔変更装置，前記クランプ・解放装置および前記スキージ移動装置とを制御する制御装置と
を含み、その制御装置が、
(a)前記一対のマスク支持部材が前記基板支持装置に支持された回路基板の両側端部から側方へ外れた位置にある状態で、前記一対のクランプ部材と前記一対のマスク支持部材と回路基板との上面のレベルを一致させるとともに、それらの上面を前記マスク保持装置に保持されたマスクの下面に接触または近接させ、かつ、前記一対のクランプ部材に前記基板支持装置に支持にされた回路基板をクランプさせるマスク支持制御部と、
(b)そのマスク支持制御部による制御の後に、前記スキージ移動装置を作動させて回路基板に印刷剤を印刷させる印刷制御部と、
(c)その印刷制御部の制御による印刷の終了後に、前記一対のマスク支持部材および前記マスク保持装置と、前記一対のクランプ部材および前記基板支持装置とを相対的に離間させ、下面が基板支持装置に支持されるとともに一対のクランプ部材にクランプされた回路基板を、前記マスク保持装置に保持されるとともに下面が一対のマスク支持部材により支持されたマスクから離間させる離間制御部と
を含むことを特徴とするマスク印刷装置。
「マスクの下面に接触または近接」の近接とは、マスクが僅かに下降させられれば、マスクの下面に接触する状態となることである。
(11)項ないし(19)項および(21)項に記載の各特徴は、本項に記載の特徴と組み合わせて採用可能である。
（２３）当該マスク印刷装置が、前記第３昇降装置により相対的に昇降させられる前記基板支持装置と前記一対のマスク支持部材との相対高さを検出する高さ検出装置を含み、かつ、前記マスク支持制御部が、さらに、前記一対のマスク支持部材を、前記基板支持装置に支持された回路基板の両側端部の上方に位置させた状態で、前記第３昇降装置を作動させて回路基板の両側端部の上面を前記一対のマスク支持部材の下面に当接させ、その当接時における前記一対のマスク支持部材と前記基板支持装置との相対高さを前記高さ検出装置に検出させた後、前記一対のマスク支持部材を前記回路基板の両側端部から側方へ外れた位置へ退避させる部分を含む(22)項に記載のマスク印刷装置。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】一実施形態であるマスク印刷装置を概略的に示す背面図である。
【図２】上記マスク印刷装置において使用されるマスクを示す平面図である。
【図３】上記マスク印刷装置のマスク支持装置および基板保持装置を示す側面図である。
【図４】上記マスク支持装置および基板保持装置を示す斜視図である。
【図５】上記マスク支持装置のマスク吸着支持部材をクランプ部材と共に示す平面図である。
【図６】上記基板保持装置のサイドクランプ装置のクランプ・解放装置を示す平面図である。
【図７】上記クランプ・解放装置を示す背面図である。
【図８】上記クランプ・解放装置の一部を拡大して示す背面図である。
【図９】上記マスク印刷装置のマスク吸着支持部材固定装置を示す斜視図である。
【図１０】上記基板保持装置の基板支持装置の一部を示す正面断面図である。
【図１１】上記マスク支持装置および基板保持装置を示す側面断面図である。
【図１２】上記マスク印刷装置の撮像装置，基板押さえおよび移動装置を示す平面図である。
【図１３】上記基板押さえを示す側面図である。
【図１４】上記基板押さえを示す平面図である。
【図１５】上記マスク印刷装置を制御する制御装置を示すブロック図である。
【図１６】回路基板の反りの矯正等を説明する図である。
【図１７】回路基板の両側端部がマスク吸着支持部材の基板受け面に当接した際の基板支持装置の高さ位置の検出等を説明する図である。
【図１８】別の実施形態であるマスク印刷装置のマスク吸着支持部材を上昇開始検出装置と共に示す側面図である。
【図１９】図１８に示すマスク吸着支持部材を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、請求可能発明のいくつかの実施形態を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施形態の他、上記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。
【００１４】
図１に、請求可能発明の一実施形態であるマスク印刷装置であって、請求可能発明の一実施形態であるマスク印刷方法が実施されるマスク印刷装置が図示されている。本マスク印刷装置は、印刷装置本体１０，基板搬送装置１２，基板保持装置１４，マスク支持装置１６（図３参照），マスク保持装置１８，スキージ装置２０，撮像装置２２および制御装置２４（図１５参照）を備えている。マスク保持装置１８は印刷装置本体１０の上部に設けられ、マスク３０を水平な姿勢で保持する。マスク３０には、図２に示すように、回路基板３２（以後、基板３２と略称する）の印刷剤たるクリーム状はんだ（以後、はんだと略称する）の複数の印刷箇所の各々に対応する部分に貫通穴３４が形成されており、マスク枠３６（図１参照）に張られている。
【００１５】
スキージ装置２０は、図１に示すように、それぞれスキージ３８を保持する一対のスキージヘッド４０（図１には１つのみ図示されている），一対のスキージ３８をそれぞれ昇降させる一対のスキージ昇降装置４２および一対のスキージ３８を水平方向に移動させるスキージ移動装置４４を含む。スキージ移動装置４４は、可動部材４５と、電動モータ４６と、送りねじおよびナットを含む送りねじ機構４８（図１５参照）とを含み、可動部材４５の移動により、スキージ昇降装置４２と共に可動部材４５に搭載された一対のスキージ３８がマスク保持装置１８に保持されたマスク３０の上面に沿って移動させられる。本実施形態においては、スキージ装置２０は、スキージ３８の長手方向が基板搬送装置１２による基板３２の搬送方向に平行となるように設けられ、スキージ３８の移動方向である印刷方向と搬送方向とは互いに直交する。本実施形態においては、搬送方向を左右方向、印刷方向を前後方向とする。左右方向および前後方向はいずれも水平である。
【００１６】
マスク保持装置１８の下方に基板保持装置１４およびマスク支持装置１６が設けられている。マスク支持装置１６の本体を構成する支持台６０は、図４に示すように平面形状が矩形を成し、水平に配設され、その上面上にマスク支持部材たる一対のマスク吸着支持部材６２，６４がマスク３０に平行な方向であって前後方向に移動可能に設けられている。
【００１７】
マスク吸着支持部材６２，６４はそれぞれ、図４に示すように門形の脚体６６と板状の支持体６８とを備えている。マスク吸着支持部材６２，６４はそれぞれ、図３に示すように、脚体６６の一対の脚部７０の各係合ブロック７２が、支持台６０に前後方向に平行に設けられたガイド７４に移動可能に嵌合され、マスク吸着支持部材進退装置７６，７８により移動させられる。マスク吸着支持部材進退装置７６は支持台６０に設けられた２つのエアシリンダ８０を備え、ピストンロッドの伸縮によりマスク吸着支持部材６２を移動させ、マスク吸着支持部材６４に接近，離間させる。エアシリンダは流体圧アクチュエータたる流体圧シリンダの一種である。マスク吸着支持部材進退装置７８については後述する。
【００１８】
マスク吸着支持部材６２，６４の各支持体６８は長手形状の板状を成し、長手方向が搬送方向と平行となる姿勢で脚体６６の水平な梁部８４上に配設され、図３に示すように、その他方のマスク吸着支持部材側とは反対側の側端部において軸８２により梁部８４に、搬送方向に平行で水平な回動軸線まわりに回動可能に取り付けられている。支持体６８は、脚体６６を介して支持台６０により回動可能に保持されているのである。マスク吸着支持部材６２，６４の各支持体６８はそれぞれ、一対の脚部７０の各々との間に張り渡された付勢手段の一種である弾性部材としての引張コイルスプリング８６により、梁部８４に接近する向きに付勢されている。スプリング８６の付勢による支持体６８の回動限度は、支持体６８が梁部８４に当接することにより規定され、水平な姿勢で支持される。
【００１９】
マスク吸着支持部材６２，６４の各支持体６８はそれぞれ、図３に示すように、梁部８４から他方のマスク吸着支持部材側へ突出させられた突出部８８を備え、支持体６８の上面全体がマスク支持面９０を構成し、突出部８８の下面が基板受け面９２を構成している。マスク支持面９０と基板受け面９２との距離は、設計上、既知である。支持体６８の軸８２により梁部８４に回動可能に支持された部分は、突出部８８から水平方向に隔たり、支持体６８の回動により突出部８８が、梁部８４、ひいてはマスク支持装置１６を支持する支持台６０に対して上下方向に移動させられる。突出部８８の支持台６０に対する下降限度は、支持体６８が梁部８４に当接することにより規定される。梁部８４が突出部８８の支持台６０に対する相対的な下降限度を規定する下降限度規定部を構成し、軸８２と共に相対移動許容機構を構成している。突出部８８が下降限度を規定された状態では、マスク支持面９０および基板受け面９２は、マスク保持装置１８に保持されたマスク３０および後述する基板支持装置により支持された基板３２と平行であって、水平となる。
【００２０】
マスク吸着支持部材６２には、図３に示すように、上昇開始検出装置５０が設けられている。上昇開始検出装置５０は、本実施形態においては、ドッグ５２およびセンサ５４を含み、マスク吸着支持部材６２の、支持体６８の回動軸線に平行な方向に隔たった両端部のうちの一方に設けられている。ドッグ５２は長手形状の板状を成し、その長手方向の一端部において、支持体６８の、その回動軸線に平行な方向に隔たった両端面の一方に固定され、他端部は支持体６８から、基板受け面９２に対して直角に下方へ延び出させられ、支持体６８の回動軸線から離れる方向に延び出させられている。
【００２１】
センサ５４は、本実施形態においては、非接触型センサの一種である光電センサたる透過型の光電センサにより構成され、発光部および受光部を備え、脚部７０の外面のドッグ５２を検出可能な位置に固定して設けられている。ドッグ５２は支持体６８と共に回動させられ、そのセンサ５４により検出される先端部ないし下端部は上下方向および水平方向に移動させられるが、センサ５４は、本実施形態においては、ドッグ５２の水平方向の移動を検出するものとされている。センサ５４は、支持体６８の突出部８８が下降限度に位置する状態では、ドッグ５２により受光部の受光が妨げられ、受光量がしきい値より小さく、ＯＦＦ信号を出力し、支持体６８が突出部８８が下降限度から上昇する方向に回動させられるとき、ドッグ５２の先端部の水平方向への移動による受光部の受光量の増大によって受光量がしきい値より大きくなればＯＮ信号を出力するように構成されているのである。
【００２２】
このしきい値は、突出部８８の下降限度からの上昇量が設定量に達した時点でセンサ５４の信号がＯＦＦからＯＮに変化する大きさに設定されている。支持体６８は、後述するように、基板支持装置により支持された基板３２の側端部の上面が基板受け面９２に当接した状態から上昇させられることにより回動させられ、その上昇量は回動軸線からの距離によって異なるが、基板受け面９２の基板３２の側端部の上面が当接する部分の上昇量は基板３２と同じであり、この部分について突出部８８の上昇量の設定量が設定されている。ここでは設定量は０．１ｍｍに設定され、基板３２が、下降限度に位置する突出部８８の基板受け面９２に当接した状態から０．１ｍｍ上昇した時点でセンサ５４の信号がＯＦＦからＯＮに変わるようにセンサ５４が設定されている。
【００２３】
センサ５４の設定は、例えば、ドッグ５２の支持体６８に対する取付位置とセンサ５４の脚部７０に対する取付位置との少なくとも一方を調節可能とし、取付位置を調節することにより、受光部の受光量が比較されるしきい値が所定の値に設定されるように行われてもよく、しきい値そのものを調節することにより行われてもよい。しきい値の調節は、例えば、センサ５４を、しきい値の調節が可能な構成のものとすることにより行われてもよく、受光量を表すアナログ信号をコンピュータに入力させ、デジタル信号に変換された受光量をしきい値と比較させるようにし、そのしきい値を作業者が入力装置によって適宜の値に設定することにより行われてもよい。
【００２４】
光電センサに代えて、光学式リニアエンコーダがセンサとして使用されてもよい。光学式リニアエンコーダは、一定周期を持った格子状のスリットを２枚向かい合わせて置き、その一方に光源および光源からの光を平行光にするレンズ、他方に受光素子を配置し、２枚のスリットを挟み込む構造を有する。２枚のスリットの一方を固定、他方をドッグと１対１に対応して移動可能とし、受光素子の受光量の周期的な変化による出力の周期数を測定することにより、マスク支持部材の回路基板の側端部の上面と当接する部分の下降限度からの上昇量を検出する。スリットの間隔を小さくすることにより検出精度を向上させることができる。
【００２５】
マスク吸着支持部材６４の支持体６８の突出部８８には、図３に示すように、基板受け面９２に開口し、支持体６８の長手方向に延び、貫通する凹部９３が形成され、逃がし部が設けられている。凹部９３については、後に更に説明する。
【００２６】
マスク吸着支持部材６２，６４の各支持体６８の後述するクランプ部材と対向する側面の上部は、図５にマスク吸着支持部材６２を示すように、支持体６８の長手方向全体に渡って多次関数、あるいは三角関数曲線から成る凸状に緩やかに湾曲させられ、スキージ３８の長手方向に対して傾斜させられた傾斜側面９４とされている。支持体６８の側面の下部は、傾斜側面９４の両端より、クランプ部材とは反対側へ引っ込まされるとともに、スキージ３８の長手方向に平行な一平面状の平行側面９６とされている。基板受け面９２の縁は平行側面９６によって画定され、基板３２の側縁と平行に延びる。支持体６８には、そのマスク支持面９０に開口させられた複数の吸引口９８が形成されている。吸引口９８は支持体６８を厚さ方向に貫通して形成され、図３に示すように、梁部８４に、その上面に開口して形成された通路９９を経て吸引装置たるバキューム装置１００に接続され、空気が吸引される。
【００２７】
マスク支持装置１６は、マスク支持装置昇降装置１２０により昇降させられる。マスク支持装置昇降装置１２０は、案内装置１２２および昇降駆動装置１２４を含む。案内装置１２２は、図４に示すように、支持台６０の中央部から下方へ延び出させられた中空のガイドロッド１２６と、印刷装置本体１０のベッド１２８に設けられ、ガイドロッド１２６と摺動可能に嵌合されたガイドスリーブ１３０とを含む。ガイドロッド１２６およびガイドスリーブ１３０は、本実施形態においては、横断面形状が円形を成す。
【００２８】
本昇降駆動装置１２４は、図４に示すように４本の送りねじ１３６，４つのナット１３８および相対回転装置１４０を含む。４本の送りねじ１３６は、支持台６０の四隅であって、ガイドロッド１２６から水平方向に等距離離れた４つの位置の各々にガイドロッド１２６に平行に下方へ延び出す状態で固定され、軸方向に相対移動不能かつ相対回転不能である。４つのナット１３８は、ベッド１２８の４本の送りねじ１３６に対応する４ヶ所にそれぞれ軸方向に相対移動不能かつ相対回転可能に設けられ、４本の送りねじ１３６の各々と螺合されている。相対回転装置１４０は電動モータ１４２，４つのナット１３８の各々と一体的に設けられた４つのプーリ１４４を含む複数のプーリ１４４，プーリ１４４に巻き掛けられたベルト１４６（図１１参照）を含み、４つのナット１３８が一斉に回転させられ、４本の送りねじ１３６が一斉に軸方向に移動させられる。それにより支持台６０が昇降させられ、マスク支持装置１６が案内装置１２２により案内されつつ印刷装置本体１０に対して昇降させられ、マスク保持装置１８に対して昇降させられる。
【００２９】
前記基板保持装置１４は、図４に示すように、基板支持装置１５０およびサイドクランプ装置１５２を含む。サイドクランプ装置１５２は、クランプ装置本体１５４，一対のクランプ部材１５６，１５８およびクランプ・解放装置１６０（図６参照）を含む。クランプ部材１５６，１５８はそれぞれ長手形状を成し、サイドフレーム１６２，１６４に取り付けられている。クランプ装置本体１５４は平面形状が矩形を成し、サイドフレーム１６２はクランプ装置本体１５４上に搬送方向に平行に固定され、その上端部にクランプ部材１５６が長手方向が搬送方向に平行な姿勢で固定されている。以後、クランプ部材１５６を固定クランプ部材と称する場合がある。固定クランプ部材１５６は、図５に示すように、そのクランプ部材１５８と対向する側面は搬送方向に平行な平面状のクランプ面１６６とされ、背面の上部は前記傾斜側面９４に対応する湾曲を有し、傾斜側面９４と平行な傾斜側面１６８とされている。
【００３０】
サイドフレーム１６４は、図４に示すように門形を成し、一対の脚部１７６の各係合ブロック１７８がそれぞれ、図３に示すように、クランプ装置本体１５４に前後方向に平行に設けられたガイド１８０に移動可能に嵌合されている。サイドフレーム１６４は、搬送幅変更装置１８４により移動させられ、サイドフレーム１６２との間隔が変更され、基板搬送幅が変更される。本搬送幅変更装置１８４は、駆動源たる電動モータ１８２と、それぞれ複数のプーリ１８６およびベルト１８８を含み、電動モータ１８２の回転を直線運動に変換してサイドフレーム１６４の一対の脚部１７６にそれぞれ伝達する一対の運動伝達機構１９０とを含む。
【００３１】
クランプ部材１５８は、サイドフレーム１６４上に、長手方向が搬送方向に平行となる姿勢で、基板３２の両側端部の一方の側面に接近離間可能であって、前後方向に移動可能に保持され、クランプ・解放装置１６０により移動させられる。以後、クランプ部材１５８を可動クランプ部材１５８と称する場合がある。可動クランプ部材１５８は、固定クランプ部材１５６と同様に、基板３２と対向する側面がクランプ面２１２とされ、背面の上部が傾斜側面２１４とされている。
【００３２】
クランプ・解放装置１６０は、図６および図７に示すように、一対の駆動ユニット２１６を含む。これら駆動ユニット２１６は同様に構成され、前後方向に平行で鉛直な平面に対して対称に設けられており、一方を説明する。
【００３３】
駆動ユニット２１６の駆動源たるエアシリンダ２２０は、サイドフレーム１６４の水平な梁部２２２の長手方向の中央部近傍に、シリンダハウジング２２３が搬送方向に平行な姿勢で固定されるとともに、梁部２２２の長手方向の一端部側へ延び出させられたピストンロッド２２４の先端部に、ジョイント２２６を介して連結リンク２２８の一端部が鉛直軸線まわりに回動可能に取り付けられている。連結リンク２２８の他端部には、支持軸２３０が立設されるとともに、回転案内部材たるローラ２３２が軸受を介して鉛直軸線まわりに回転可能に取り付けられている。
【００３４】
可動クランプ部材１５８の背面の下部には、図７に示すように、一対の駆動ユニット２１６のそれぞれに対応して２つずつの係合ブロック２４０，２４２が対称に設けられている。係合ブロック２４０，２４２はＬ字形を成し、係合ブロック２４０は、一方のアーム部２４４において可動クランプ部材１５８の一端部に固定されるとともに、図８に示すように、支持軸２３０に鉛直軸線まわりに相対回動可能に嵌合されている。
【００３５】
また、他方のアーム部２４６は、図８に示すように、サイドフレーム１６４に固定のガイドブロック２４７に前後方向に貫通して形成されたガイド溝２４８に嵌合されている。ガイド溝２４８の一対の溝側面にはそれぞれ、複数個ずつ、本実施形態においては２個ずつのボール２５２が前後方向に距離を隔てて回転可能に保持され、アーム部２４６はガイド溝２４８にボール２５２を介して、係合ブロック２４０の回動軸線と直角な平面である水平面内において移動可能に嵌合されている。また、ガイドブロック２４７のローラ２３２と対向し、前後方向に平行で鉛直な端面が案内面２５８を構成する。さらに、本実施形態においては、図６に示すように、可動クランプ部材１５８が基板３２を開放した状態において、連結リンク２２８の出力部材たるピストンロッド２２４との連結部と、係合ブロック２４０への連結部との２つの相対回動軸線を結ぶ直線と可動クランプ部材１５８の長手方向との成す角度αが５度とされている。
【００３６】
係合ブロック２４２は、図７に示すように、アーム部２６０において可動クランプ部材１５８に固定され、アーム部２６２は、係合ブロック２４０のアーム部２４６と同様に、サイドフレーム１６４に固定の別のガイドブロック２６４のガイド溝２６６にボール（図示省略）を介して水平面内において移動可能に嵌合されている。
【００３７】
可動クランプ部材１５８に固定の２つの係合ブロック２４０の各アーム部２４６がガイドブロック２４７のガイド溝２４８に嵌合されることにより、可動クランプ部材１５８は、その長手方向の両端部において上下方向の動きが規制され、そのクランプ面２１２に直角な軸線まわりに回ることが防止される。また、アーム部２４６がガイド溝２４８に上下それぞれ２個ずつのボール２５２を介して嵌合されることにより、可動クランプ部材１５８が、その長手方向に平行な軸線まわりに回ることが防止される。さらに、一対の駆動ユニット２１６は対称に設けられ、各ガイドブロック２４７の案内面２５８は互いに対向しており、可動クランプ部材１５８と共に移動する２つのローラ２３２はそれぞれ案内面２５８に接触させられ、その移動方向が前後方向、すなわち基板３２の側端面に直角な方向に規制される。そのため、ピストンロッド２２４の伸縮によりローラ２３２が前進，後退させられるにつれて、可動クランプ部材１５８が水平方向に、基板支持装置１５０により支持された基板３２の下面に平行な方向に移動させられる。それにより、一対のクランプ部材１５６，１５８のマスク３０に平行な方向の間隔が変更され、クランプ部材１５８が基板３２に接近離間させられて基板３２をクランプ，解放する。可動クランプ部材１５８の離間側のストロークエンドは、ピストンのストロークエンドにより決められる。
【００３８】
前記基板搬送装置１２は、本実施形態においては基板コンベヤにより構成され、図３に示すように、サイドフレーム１６２，１６４にそれぞれ周回可能に取り付けられたベルト２７０と、それぞれ電動モータ２７２を駆動源とし、一対のベルト２７０をそれぞれ周回させる２つのベルト周回装置２７４とを含む。基板３２は、その両側端部がベルト２７０上に載せられて下方から支持され、ベルト２７０の周回により水平な姿勢で移動させられる。この際、クランプ部材１５６，１５８は基板３２をクランプせず、その移動を許容するとともに、基板３２の両側においてその移動を案内し、基板ガイド部材としても機能する。
【００３９】
前記マスク吸着支持部材進退装置７８は２つのエアシリンダ２８０を備え、各エアシリンダ２８０は、図３に示すように、マスク吸着支持部材６４の一対の脚部７０の各々とサイドフレーム１６４の一対の脚部１７６の各々との間に設けられている（図３には一方のエアシリンダ２８０が図示されている）。エアシリンダ２８０のシリンダハウジング２８２はマスク吸着支持部材６４の脚部７０に固定され、ピストンロッド２８４の先端部には、サイドフレーム１６４の脚部１７６が、その係合部２８６において、上下方向に相対移動可能かつ前後方向に相対移動不能に係合させられている。そのため、マスク吸着支持部材６４は、前記搬送幅変更装置１８４の駆動によりサイドフレーム１６４と共に前後方向に移動させられ、基板搬送幅の変更のためにマスク吸着支持部材６２との間の間隔が変更される。そして、マスク吸着支持部材６４は、ピストンロッド２８４の伸縮によりサイドフレーム１６４、ひいては可動クランプ部材１５８に対して前後方向に移動させられ、マスク吸着支持部材６２に接近，離間させられる。マスク吸着支持部材６２，６４がそれぞれ、マスク吸着支持部材進退装置７６，７８によって移動させられることにより、それらのマスク保持装置１８に保持されたマスク３０に平行な方向の間隔が変更される。
【００４０】
マスク吸着支持部材６４の突出部８８に形成された前記凹部９３は、可動クランプ部材１５８の幅（前後方向に平行な方向の寸法）に、可動クランプ部材１５８に予定された移動距離の最大値を加えた距離より、やや大きい寸法の幅を有する。後述するように、マスク吸着支持部材６４がマスク吸着支持部材進退装置７８により前進させられて前方位置に位置する状態では、突出部８８が可動クランプ部材１５８の上方に位置させられ、その状態において可動クランプ部材１５８が基板３２に接近させられてクランプするが、凹部９３は前後方向において突出部８８に、平面視において可動クランプ部材１５８が凹部９３内において移動し、基板３２をクランプする位置に設けられている。
【００４１】
マスク吸着支持部材６４は、図９に示すように、マスク支持部材固定装置１０２により支持台６０に固定される。本マスク支持部材固定装置１０２はパッド１０４およびパッド移動装置１０６を含む。パッド移動装置１０６は、マスク吸着支持部材６４の脚部７０に鉛直に下向きに取り付けられたエアシリンダ１０８を含む。ピストンロッド１１０は、シリンダハウジング１１２から下方へ延び出させられ、延出端部にパッド１０４が取り付けられている。
【００４２】
パッド１０４は、本実施形態においては硬質のゴムにより形成され、その水平な下端面が接触面１１４を構成し、接触面１１４に開口する吸引口１１６を備えている。本実施形態においては、マスク支持部材固定装置１０２はマスク吸着支持部材６４の一対の脚部７０の各々に設けられている。ピストンロッド１１０の伸縮によりパッド１０４が昇降させられ、接触面１１４が支持台６０の水平な上面１１８に接触離間させられる。接触状態では、パッド１０４は、エアシリンダ１０８により上面１１８に押し付けられるとともに、バキューム装置１００から吸引口１１６に負圧が供給され、支持台６０を吸引する。これら押付けと吸引とによって接触面１１４と上面１１８との間に得られる摩擦力により、マスク吸着支持部材６４が支持台６０に強固に固定される。
【００４３】
それにより、搬送幅変更装置１８４のベルト１８８のたるみ等によってマスク吸着支持部材６４の位置がずれることが防止される。上記係合部２８６とピストンロッド２８４との前後方向における係合は精度良く行われ、サイドフレーム１６４のマスク吸着支持部材６４に対する昇降は許容されるが、前後方向においてはサイドフレーム１６４とマスク吸着支持部材６４とが固定されたに等しい状態が得られ、マスク吸着支持部材６４の固定によりサイドフレーム１６４の位置ずれも防止される。
【００４４】
前記基板支持装置１５０は、装置本体３００（図４参照），ピン支持台３０２および基板支持部材の一種である基板吸着支持部材たる複数の支持ピン３０４（図１０参照）を含む。本基板支持装置１５０は、回路基板を支持ピン３０４によって下方から支持するとともに吸着して保持するものとされ、特開２００２−１１８３９９号公報に記載の基板支持装置と同様に構成されており、簡単に説明する。
【００４５】
ピン支持台３０２は磁性材料製のピン支持面３１０を備え、平面形状が矩形状を成す装置本体３００上に固定されている。ピン支持台３０２内にはピン支持面３１０に開口する複数の負圧供給穴３１２が形成されるとともに、それぞれ開閉弁３１４が設けられている。支持ピン３０４の取付座部３２０は、平面視の形状が長方形状を成し、負圧供給穴３１２の開口より大きくされ、永久磁石３２２が設けられており、基板３２の被支持箇所に対応する負圧供給穴３１２を塞ぐ状態でピン支持台３０２に載置され、ピン支持台３０２に磁力によって固定される。載置に伴って開閉弁３１４が開かれ、支持ピン３０４内の通路３２４を経て、ピン部３２６の先端面である水平な支持面３２８に開口させられた吸引口３３０に負圧が供給される。ピン部３２６の先端部にはゴム製のカップ３３２が取り付けられ、負圧の漏れが防止される。
【００４６】
基板保持装置１４は、基板保持装置昇降装置３４０により昇降させられる。基板保持装置昇降装置３４０は、図４に示すように昇降駆動装置３４２を含む。本昇降駆動装置３４２は、支持台６０に回転可能かつ軸方向に移動不能に設けられた４つのナット３４４および相対回転装置３４６を含む。相対回転装置３４６は、電動モータ３５０（図１１参照），４つのナット３４４と一体的に設けられたプーリ３５２を含む複数のプーリ３５２およびそれらプーリ３５２に巻き掛けられたベルト３５４を含み、ベルト３５４の移動により４つのナット３４４が一斉に回転させられる。
【００４７】
基板支持装置１５０は、案内装置３６０により案内されつつ、昇降駆動装置３６２によりサイドクランプ装置１５２に対して昇降させられる。案内装置３６０および昇降駆動装置３６２が基板支持装置昇降装置３６４を構成している。本案内装置３６０は、図３に示すように、基板支持装置本体３００の中央部から下方へ延び出させられたガイドロッド３６６と、クランプ装置本体１５４の中央部に設けられ、ガイドロッド３６６が摺動可能に嵌合されたガイドスリーブ３６８とを含む。ガイドロッド３６６はガイドスリーブ３６８から下方へ突出させられ、前記ガイドロッド１２６内に摺動可能に嵌合されている。ガイドロッド３６６およびガイドスリーブ３６８は、本実施形態においては、横断面形状が円形を成す。
【００４８】
昇降駆動装置３６２は、図４に示すように、４本の送りねじ３７６，４つのナット３７８および相対回転装置３８０を含む。送りねじ３７６は、基板支持装置本体３００のガイドロッド３６６から水平方向に等距離隔たった四隅にそれぞれ設けられ、ガイドロッド３６６に平行に下方へ相対回転可能かつ軸方向に相対移動不能に延び出させられている。ナット３７８はクランプ装置本体１５４の四隅にそれぞれ固定され、回転不能かつ軸方向に移動不能である。４本の送りねじ３７６はそれぞれナット３７８に螺合されるとともに、前記昇降駆動装置３４２の４つのナット３４４にも螺合されている。相対回転装置３８０は、図１１に示すように、基板支持装置本体３００に設けられた電動モータ３８２，４本の送りねじ３７６にそれぞれ設けられたプーリ３８４を含む複数のプーリ３８４およびそれらプーリ３８４に巻き掛けられたベルト３８６を含み、ベルト３８６の移動により４本の送りねじ３７６が４つのナット３４４に対して一斉に回転させられる。
【００４９】
４本の送りねじ３７６の回転停止状態において相対回転装置３４６によってナット３４４が回転させられることにより、送りねじ３７６が昇降させられ、基板保持装置１４がマスク支持装置１６に対して昇降させられる。この昇降はガイドロッド３６６，１２６により案内される。４本の送りねじ３７６の回転停止状態は、電動モータ３８２に保持トルクを作用させて回転停止状態に保つことにより得られる。また、４本の送りねじ３７６が回転させられることにより、基板支持装置１５０がサイドクランプ装置１５２に対して昇降させられ、マスク吸着支持部材６２，６４に対して昇降させられる。この際、電動モータ３５０に保持トルクが作用させられ、４つのナット３４４が回転停止状態に保たれる。マスク支持装置１６の昇降時には、基板保持装置１４がマスク支持装置１６と共に昇降させられる。本実施形態においてはガイドロッド３６６とガイドロッド１２６とがそれぞれ、マスク支持装置１６に対する基板保持装置１４の昇降を案内する案内装置のガイドロッドとガイドスリーブとを兼ね、基板保持装置昇降装置３４０の案内装置を構成している。また、ナット３４４および相対回転装置３４６が送りねじ３７６と共同して、昇降駆動装置３４２を構成している。
【００５０】
ガイドロッド３６６内には、図１１に示すように長手方向に貫通する貫通穴３９０が形成され、その貫通穴３９０と、中空のガイドロッド１２６の内部空間３９２とが空気吸引通路３９４を構成している。空気吸引通路３９４は、基板支持装置本体３００に形成された接続口，ピン支持台３０２内に形成された通路３９６（図１０参照），負圧供給穴３１２，前記通路３２４を経て吸引口３３０に連通させられ、バキューム装置１００から負圧を供給させる。ガイドロッド３６６の下端部にはリング状の保持部材３９８が取り付けられ、その内周面と外周面とにそれぞれ、シール部材の一種であるＯリング４００，４０２が保持されており、空気吸引通路３９４からの負圧の漏れが防止されるとともに、ガイドロッド１２６，３６６の芯ずれが吸収される。
【００５１】
前記撮像装置２２は、図１に示すように印刷装置本体１０のマスク保持装置１８と基板保持装置１４との間の部分に設けられている。撮像装置２２は移動装置４１０により水平面内の任意の位置へ移動させられ、マスク３０の下面に設けられた基準マークと、基板３２の上面に設けられた基準マークとを撮像する。
【００５２】
移動装置４１０は、図１２に示すように、搬送方向移動装置４１２および前後方向移動装置４１４を含む。搬送方向移動装置４１２は、可動部材４１６および可動部材駆動装置４１８を含む。可動部材駆動装置４１８は、電動モータ４２０と、ナット４２２および送りねじ４２４を含む送りねじ機構４２６とを備え、可動部材４１６を案内装置４２８に案内させつつ、搬送方向に平行な方向の任意の位置へ移動させる。前後方向移動装置４１４は可動部材４１６上に設けられ、可動部材４３４および可動部材駆動装置４３６を含む。可動部材駆動装置４３６は、可動部材駆動装置４１８と同様に構成され、撮像装置２２が搭載された可動部材４３４を案内装置４３８に案内させつつ前後方向の任意の位置へ移動させる。
【００５３】
可動部材４３４上にはまた、図１３に示すように、矯正部材たる基板押さえ４５２が保持部材４５４により保持されて搭載され、移動装置４１０により、基板保持装置１４に保持された基板３２の上面に平行な移動平面である水平面内の任意の位置へ移動させられる。保持部材４５４は、可動部材４３４に設けられた矯正部材昇降装置たる基板押さえ昇降装置４６０により昇降させられ、基板押さえ昇降装置４６０と共に移動装置４１０により移動させられる。本実施形態においては、移動装置４１０が撮像装置移動装置と矯正部材移動装置とを兼ねている。本基板押さえ昇降装置４６０は鉛直に設けられたエアシリンダにより構成され、そのシリンダハウジング４６２から下方へ延び出させられたピストンロッド４６４の下端部に板状の保持部材４５４が水平に取り付けられている。
【００５４】
本実施形態においては基板押さえ４５２は円柱状を成し、少なくとも１つ、本実施形態においては複数、例えば、４つ、板状の取付部材４６６に保持されて保持部材４５４に取り付けられている（図１４参照）。これら基板押さえ４５２の各下面は、基板押さえ４５２の軸線に直角で水平な押さえ面４６７を構成し、同一水平面内に位置させられている。ピストンロッド４６４の伸縮により、保持部材４５４が、ピストンのストロークエンドにより決まる上昇端位置と下降端位置とに昇降させられ、基板押さえ４５２が退避位置と作用位置とに昇降させられる。エアシリンダのピストンのストロークエンドを規定する部分がストッパを構成し、ストロークエンドは上下いずれについても調節可能である。
【００５５】
本実施形態の基板押さえ昇降装置４６０を構成するエアシリンダは複動式とされている。エアシリンダの上下２つのエア室はそれぞれ、電磁制御弁たる電磁方向切換弁４６８（図１３参照）の切換えにより、コンプレッサ等の正圧源４６９に連通する状態と、大気に解放される状態と、いずれにも連通させられない状態とに選択的に制御され、保持部材４５４が昇降させられる。エアシリンダは付勢手段の一種である弾性部材として機能し、上側のエア室が正圧源４６９に連通させられる状態では、基板押さえ４５２を下向きに付勢する。この付勢力の大きさは、エア圧の制御により適切な大きさに調節することができ、例えば、正圧源４６９に設けられた圧力制御装置（図示省略）によりエア圧が制御される。
【００５６】
前記制御装置２４は、図１５に示すようにコンピュータ４７０を主体として構成され、画像処理コンピュータ４７２等が接続され、駆動回路４７４を介して電動モータ４６等、各種駆動源を制御する。本マスク印刷装置を構成する種々の装置の駆動源を構成する電動モータの多くは、回転角度の正確な制御が可能な電動回転モータであるサーボモータにより構成され、そのエンコーダの信号がコンピュータ４７０に入力される。電動モータ１４２，３５０，３８２を例に取って示すように、それぞれに設けられたエンコーダ４７６，４７８，４８０の検出信号がコンピュータ４７０に入力され、それに基づいてマスク支持装置１６，基板保持装置１４，基板支持装置１５０の各高さ位置を検出することができる。コンピュータ４７０にはまた、センサ５４の信号が入力される。また、本実施形態においては、送りねじ１３６およびナット１３８を始めとして、各種送りねじおよびナットは複数のボールを介して螺合されてボールねじ機構を構成し、プーリ１４４およびベルト１４６を始めとして、各種プーリおよびベルトはタイミングプーリおよびタイミングベルトとされている。
【００５７】
次に作動を説明する。本マスク印刷装置への基板３２の搬入時には、図１６(a)に示すように、マスク支持装置１６は下降端位置に位置し、基板保持装置１４，基板支持装置１５０はそれぞれ、マスク支持装置１６，サイドクランプ装置１５２に対して下降端位置に位置する。また、マスク吸着支持部材６２，６４は後方位置に位置し、マスク吸着支持部材６４は支持台６０に固定されていない。後方位置は、マスク吸着支持部材６２，６４が水平方向においてクランプ部材１５６，１５８に隣接し、基板３２の搬送方向に平行な両側端部から側方へ外れた位置である。また、支持体６８の突出部８８は下降限度に位置する。可動クランプ部材１５８は、基板３２から離間し、クランプしない非クランプ位置である離間位置ないし解放位置に位置する。
【００５８】
さらに、基板押さえ４５２は、その１つを代表的に示すように、基板３２の印刷面である上面に平行な方向において基板３２の中央部の上方の位置に位置させられるとともに、下降端位置へ下降させられている。下降端位置は、押さえ面４６７が、マスク吸着支持部材６２，６４の基板受け面９２より下方であって、クランプ部材１５６，１５８が、それらの上面が基板受け面９２を含む水平な一平面内に位置させられた状態においてベルト２７０により支持された基板３２の上面より上方に位置する位置とされている。下降端位置は、基板３２の上反りを矯正する作用位置であり、下降端位置は、基板３２の厚さを問わず、ベルト２７０に支持された反りのない基板３２に基板押さえ４５２が当たらない位置とされている。
【００５９】
そして、基板搬送装置１２が作動させられて基板３２が搬入され、予め設定された停止位置であって、マスク３０に対応する停止位置に停止させられる。停止後、図１６(b)に示すようにマスク吸着支持部材６２，６４がマスク吸着支持部材進退装置７６，７８により前方位置へ移動させられる。前方位置は、突出部８８がクランプ部材１５６，１５８およびベルト２７０の上方に位置し、クランプ部材１５６，１５８の基板ガイド面でもあるクランプ面１６６，２１２より突出し、ベルト２７０により支持された基板３２の側端部の上方に位置する位置である。それにより、マスク吸着支持部材６２については、その基板受け面９２が固定クランプ部材１５６およびベルト２７０により支持された基板３２の側端部の上方に位置し、マスク吸着支持部材６４については、その基板受け面９２がベルト２７０により支持された基板３２の側端部の上方に位置し、凹部９３が可動クランプ部材１５８の上方に位置するとともに、前後方向において可動クランプ部材１５８が凹部９３の後側の部分に対応する位置に位置する状態となる。
【００６０】
そして、基板保持装置１４がマスク支持装置１６に対して上昇させられ、クランプ部材１５６，１５８および基板支持装置１５０がマスク吸着支持部材６２，６４に対して上昇させられる。基板保持装置１４の上昇量は、図１６(c)に示すように、固定クランプ部材１５６がちょうど基板受け面９２に当接し、クランプ部材１５６，１５８の上面と、下降限度に位置する突出部８８の基板受け面９２とが水平な同一平面内に位置させられた状態において基板保持装置１４が停止させられる量に設定され、基板保持装置１４は、基板保持装置昇降装置３４０の電動モータ３５０のエンコーダ４７８が設定値となる高さ位置へ上昇させられる。それにより、固定クランプ部材１５６は、マスク吸着支持部材６２の基板受け面９２のうち、突出部８８の、その回動軸線側の部分に当接させられる。マスク吸着支持部材６４の突出部８８には凹部９３が設けられているため、可動クランプ部材１５８は突出部８８に当接せず、凹部９３に臨む状態となる。
【００６１】
次いで、基板支持装置１５０がサイドクランプ装置１５２に対して上昇させられる。それにより、支持ピン３０４のカップ３３２が基板３２の下面に接触し、ベルト２７０から持ち上げる。支持ピン３０４は、基板３２の基板押さえ４５２により押される中央部と、中央部に対して基板搬送方向と直交する方向における両側との３箇所を含む複数箇所を支持するようにピン支持台３０２上に載置されており、基板３２に反りがなければ、全部の支持ピン３０４のカップ３３２が基板３２に接触し、基板支持装置１５０の上昇に伴って基板３２の上面が基板押さえ４５２に当接させられる。基板押さえ昇降装置４６０を構成するエアシリンダの基板押さえ４５２を下降させる側のエア室のエア圧は、基板３２の弾性力に抗して上反りを矯正するには十分であるが、基板３２を無用に湾曲させ、あるいは損傷することがない大きさに制御される。そのため、基板３２の基板押さえ４５２への当接後、基板支持装置１５０が上昇させられるとき、基板押さえ４５２は基板３２を押さえ、カップ３３２を弾性変形させる。それにより、支持ピン３０４の支持面３２８が基板３２の下面に当接して支持し、図１６(d)に示すように、基板押さえ４５２と共に基板３２を上下から挟む状態となる。その状態からさらに基板支持装置１５０が上昇させられ、基板３２が上昇させられる。この際には、基板押さえ４５２は基板３２に接触した状態を保って上昇し、基板３２および基板支持装置１５０の上昇を許容し、図１６(e)に示すように、基板３２の両側端部の上面が基板受け面９２のうち、突出部８８の突出端側の部分に当接させられる。
【００６２】
図１６(f)に示すように基板３２に上反りがあれば、図１６(       g)に示すように、基板３２の中央部の両側の部分を支持するように配置された２本の支持ピン３０４を始めとし、基板３２の両側端部近傍部を支持するように配置された複数の支持ピン３０４が基板３２に接触して基板３２をベルト２７０から持ち上げ、基板３２の中央部の上面が基板押さえ４５２に当接させられる。その状態からさらに基板支持装置１５０が上昇させられるのに伴って、基板３２の両側端部近傍部分を支持する支持ピン３０４がカップ３３２の弾性変形により支持面３２８において基板３２に当接し、支持する状態となり、基板３２の基板押さえ４５２により押さえられた中央部を支点として、基板３２の両側部を上方へ押し上げ、基板３２の上反りを矯正し、水平な姿勢とする。この状態では、基板３２の中央部を支持する支持ピン３０４も支持面３２８において基板３２を支持する状態となり、基板３２は基板押さえ４５２と支持ピン３０４とに挟まれ、水平な姿勢で上昇させられて、図１６(e)に示すように、基板３２の両側端部の上面が基板受け面９２に当接させられる。
【００６３】
図１６(h)に示すように基板３２に下反りがあれば、まず、基板３２の中央部を支持する支持ピン３０４を始めとし、左右方向において基板３２の中央部近傍部分を支持するように配置された複数の支持ピン３０４のカップ３３２が基板３２の下面に当接し、図１６(i)に示すように、基板３２をベルト２７０から持ち上げる。基板３２は、その中央部が基板押さえ４５２に当接するのに先立って、あるいは当接後に、搬送方向に平行な両側端部がマスク吸着支持部材６２，６４の基板受け面９２に当接させられる。その状態から更に基板支持装置１５０が上昇させられるとき、基板３２は両側端部が基板受け面９２により押さえられ、中央部が両側端部に対して上方へ移動させられて反りが除去され、図１６(e)に示すように、水平な姿勢でマスク吸着支持部材６２，６４により受けられる。支持体６８はスプリング８６の付勢により、突出部８８が下降限度に位置する状態に保たれ、基板３２の反りの除去を許容する。
【００６４】
基板支持装置１５０は、基板３２が水平な姿勢で支持ピン３０４によって支持されるとともに、両側端部がマスク吸着支持部材６２，６４の基板受け面９２に当接させられた状態から更に上昇させられる。それにより、図１７(a)に誇張して示すように、基板３２が支持体６８をスプリング８６の付勢力に抗して回動させ、突出部８８を下降限度から上昇させる。突出部８８が設定量、ここでは０．１ｍｍ上昇させられた時点でセンサ５４の検出信号がＯＦＦ信号からＯＮ信号に変わり、それに応じて基板支持装置１５０の上昇が止められる。この位置は、基板３２の上面がクランプ部材１５６，１５８の上面より０．１ｍｍ上方へ突出した位置でもある。そして、センサ５４の信号が変化した時点における電動モータ３８２のエンコーダ４８０の検出値から設定量である０．１ｍｍに相当する値を差し引いた値が、突出部８８の下降限度からの上昇を開始した高さ位置である上昇開始位置として、コンピュータ４７０のＲＡＭに設けられて記憶手段を構成する高さ位置記憶部に記憶させられる。上昇開始位置は、基板３２の両側端部の上面がマスク吸着支持部材６２，６４の各基板受け面９２に当接した際の基板支持装置１５０の高さ位置である当接時位置でもある。
【００６５】
次いで、図１７(b)に示すように、基板支持装置１５０がサイドクランプ装置１５２に対して、電動モータ３８２のエンコーダ４８０の検出値が、高さ位置記憶部に記憶させられた値となる位置であって、当接時位置へ下降させられる。この際、基板押さえ４５２はまだ基板３２を押さえる状態とされており、基板３２に追従して下降させられ、基板３２は反りを除去された状態を保って下降させられる。また、支持体６８がスプリング８６の付勢により回動させられ、突出部８８が下降限度に位置する状態となる。クランプ部材１５６，１５８は、先に、それらの上面が、突出部８８が下降限度に位置する状態での基板受け面９２と同一平面内に位置する位置へ上昇させられているため、基板支持装置１５０が当接時位置へ下降させられた状態では、基板３２の上面がクランプ部材１５６，１５８の上面と同一平面内に位置するとともに、基板受け面９２と同一平面内に位置する状態となる。
【００６６】
次いで、一対の駆動ユニット２１６が作動させられ、可動クランプ部材１５８が基板３２に接近させられ、やがてクランプ位置である作用位置に至り、図１７(c)に示すように、固定クランプ部材１５６との間に基板３２を挟み、クランプ部材１５６，１５８が基板３２の両側端部の側面に当接し、固定する。マスク吸着支持部材６４の突出部８８には凹部９３が設けられているため、可動クランプ部材１５８が移動させられる際、突出部８８と接触することなく、軽快に移動させられる。また、基板３２の側端面に傾きがあれば、一対の駆動ユニット２１６の駆動による可動クランプ部材１５８の移動量が異なり、可動クランプ部材１５８は、係合ブロック２４０の支持軸２３０まわりの回動により、鉛直軸線まわりに回動させられて基板３２の側端面に沿って押し付けられる。また、エアシリンダ２２０が連結リンク２２８を押す力が減力され、可動クランプ部材１５８が損傷の恐れなく、基板３２をクランプする。クランプ後、支持ピン３０４に負圧が供給され、基板３２を吸着し、支持面３２８により水平な姿勢で支持する。支持ピン３０４は保持ピンでもある。
【００６７】
吸着後、図１７(d)に示すように基板保持装置１４がマスク支持装置１６に対して設定距離下降させられ、固定クランプ部材１５６および基板３２が基板受け面９２から離間させられ、可動クランプ部材１５８が突出部８８から離間させられる。また、基板押さえ４５２が退避位置へ上昇させられて基板３２から離間させられる。そして、図１７(e)に示すように、マスク吸着支持部材６２，６４が後方位置へ退避させられ、マスク吸着支持部材６４が支持台６０に固定される。
【００６８】
次いで、図１７(f)に示すように、基板保持装置１４が基板保持装置昇降装置３４０により、マスク支持装置１６に対して上昇させられる。基板保持装置昇降装置３４０の電動モータ３５０は、そのエンコーダ４７８の検出値が、固定クランプ部材１５６がマスク吸着支持部材６２の基板受け面９２に当接し、クランプ部材１５６，１５８の上面が基板受け面９２と同一の水平面内に位置することとなった状態での高さより、マスク支持面９０と基板受け面９２との既知の距離、高い位置を検出する値となった状態で停止させられる。それにより、基板支持装置１５０は、クランプ部材１５６，１５８と共にマスク吸着支持部材６２，６４に対して上昇させられ、基板３２の両側端部の上面が基板受け面９２に当接した時における高さ位置から、上記既知の距離だけ上方へ隔たった高さ位置へ移動させられ、クランプ部材１５６，１５８および基板３２がマスク吸着支持部材６２，６４の間に位置させられるとともに、それらの上面がマスク支持面９０と同一平面内に位置させられる。エンコーダ４７８の検出値は、基板保持装置１４の上昇の許容誤差が、基板３２の上面がマスク支持面９０と水平な同一平面内に位置する位置より上側に生じるように設定され、クランプ部材１５６，１５８の上面および基板３２の上面は、マスク支持面９０と同一平面内に位置するか、あるいはそれより僅かに上に位置させられる。この状態では、傾斜側面９４と傾斜側面１６８，２１４とが互いに近接して対向するが、図５に示すように、それらの間の隙間が平面視においてスキージ３８の長手方向に対して傾斜する。そのため、はんだの印刷時にスキージ３８がマスク吸着支持部材６２，６４とクランプ部材１５６，１５８との間の隙間に落ち込むことがない。
【００６９】
基板３２の側端面に傾きがあれば、可動クランプ部材１５８が回動させられるが、その回動による可動クランプ部材１５８の水平面内における傾きは、後方位置に位置するマスク吸着支持部材６４と可動クランプ部材１５８との各傾斜側面９４，２１４間の隙間により許容され、クランプ部材１５６，１５８および基板３２は、後方位置に位置するマスク吸着支持部材６２，６４の間へ進入することができる。なお、図１７においては、理解を容易にするために基板３２とクランプ部材１５６，１５８との間の隙間を誇張して図示したため、図１７(f)〜図１７(h)において傾斜側面９４，２１４間の隙間が大きく図示されているが、実際にはそれより小さく僅かである。
【００７０】
クランプ部材１５６，１５８および基板３２がマスク吸着支持部材６２，６４の間に位置させられた後、撮像装置２２が移動させられ、マスク３０，基板３２にそれぞれ形成されたマークの撮像，両者の位置ずれの取得，修正等が行われる。これら撮像等はよく知られており、説明を省略する。撮像後、撮像装置２２は基板押さえ４５２と共に、搬送方向においてマスク３０と基板３２との間の空間から離脱し、退避した退避位置へ移動させられる。
【００７１】
そして、マスク支持装置１６が上昇させられる。基板保持装置１４はマスク支持装置１６に対して停止させられており、マスク支持装置１６と共に上昇させられ、図１７(g)に示すようにマスク支持面９０とクランプ部材１５６，１５８および基板３２の各上面とがマスク３０の下面に接触させられる。この際のマスク吸着支持部材６２，６４の位置が支持位置である。マスク支持面９０は、マスク３０の下面の、クランプ部材１５６，１５８，基板３２が接触離間させられる部分より外側の部分であって、マスク３０の基板３２の搬送方向に平行な両側端部から側方へ外れた２部分に接触し、吸引口９８に負圧が供給され、マスク３０を下方から吸着して支持する。そして、一対のスキージ３８のうちの一方が下降させられてマスク３０の上面に接触させられ、その上面に沿って移動させられる。それにより、マスク３０の上面に載置されたはんだが移動させられて貫通穴３４に充填され、貫通穴３４を通して基板３２に印刷される。
【００７２】
印刷後、基板３２がマスク３０から離間させられる。本実施形態においては、マスク吸着支持部材６２，６４がマスク３０を吸着したままの状態でマスク支持装置１６が下降させられる。基板保持装置１４はマスク支持装置１６に対して上昇したままとされ、マスク支持装置１６と一体的に下降させられる。そのため、図１７(h)に示すように、マスク３０がマスク吸着支持部材６２，６４により引っ張られて下方へ撓まされ、基板３２はマスク３０が接触したままの状態で下降させられる。
【００７３】
マスク吸着支持部材６２，６４および基板３２は、マスク３０の弾性変形により許容される距離、一体的に下降させられた状態で急激に停止させられる。それにより、貫通穴３４内に充填され、基板３２に付着させられたはんだに基板３２に向かう向きの慣性力が発生させられ、付着力が増す。停止後、マスク吸着支持部材６２，６４がマスク３０を吸着したままの状態で、マスク支持装置１６が基板保持装置１４と一体的に、図１７(g)に示す印刷時の位置へ上昇させられる。上昇後、マスク吸着支持部材６２，６４によるマスク３０の吸着が解除される。そして、基板保持装置１４がマスク支持装置１６に対して下降させられ、マスク吸着支持部材６２，６４がマスク３０を支持した状態で基板３２がマスク３０から低速で離間させられ、基板３２への付着力が増したはんだが貫通穴３４から確実に抜け出させられる。
【００７４】
離間後、マスク支持装置１６が、基板３２のマスク３０からの離間速度より高速で下降させられ、それと一体的に基板保持装置１４も下降させられる。この下降の間に、サイドクランプ装置１５２による基板３２のクランプが解除されるとともに、基板支持装置１５０がサイドクランプ装置１５２に対して下降させられ、基板３２がベルト２７０上に載置される。
【００７５】
本実施形態においては、それぞれエアシリンダ８０を駆動源とするマスク吸着支持部材進退装置７６，７８がマスク支持部材間隔変更装置を構成している。また、基板保持装置昇降装置３４０と基板支持装置昇降装置３６４とが共同で第１昇降装置を構成し、基板保持装置昇降装置３４０の電動モータ３５０のエンコーダ４７８と基板支持装置昇降装置３６４の電動モータ３８２のエンコーダ４８０とが共同で高さ検出装置を構成し、マスク支持装置昇降装置１２０が第２昇降装置を構成している。そして、制御装置２４の、高さ検出装置を構成するエンコーダ４７８，４８０の検出結果に基づいてマスク吸着支持部材進退装置７６，７８，昇降装置１２０，３４０，３６４等を制御し、図１６(b)〜(i)および図１７(a)〜(g)に示す動作を行わせ、高さ位置記憶部に記憶された上昇開始位置と、マスク吸着支持部材６２，６４の突出部８８の上面と下面との既知の距離と、高さ検出装置を構成するエンコーダ４７８，４８０の検出値とに基づいて電動モータ３５０，３８２の作動を停止させ、マスク支持面９０と基板３２の上面とのレベルを一致させ、マスク吸着支持部材６２，６４にマスク３０の下面を支持させる部分がマスク支持制御部を構成している。
【００７６】
基板保持装置昇降装置３４０と基板支持装置昇降装置３６４とが共同で第１昇降装置を構成していることは、基板支持装置１５０が基板支持装置昇降装置３６４によってサイドクランプ装置１５２に対して昇降させられることにより、支持体６８の上昇開始位置が検出されるとともに、基板３２の上面がクランプ部材１５６，１５８の上面と同一平面であって、基板受け面９２内に位置させられた状態で、基板保持装置昇降装置３４０によって基板保持装置１４が上昇させられることにより、クランプ装置本体１５４に昇降可能に設けられた基板支持装置１５０がサイドクランプ装置１５２と共に上昇させられ、基板３２の上面とマスク支持面９０とのレベルが一致させられることから明らかである。そして、昇降装置３４０，３６４の制御は、各電動モータ３５０，３８２のエンコーダ４７８，４８０の検出信号に基づいて行われることから、エンコーダ４７８，４８０が共同で高さ検出装置を構成していることとなる。
上昇開始位置の検出後、基板支持装置１５０が高さ位置記憶部に記憶させられた高さ位置へ下降させられた状態では、基板保持装置昇降装置３４０の電動モータ３５０のエンコーダ４７８と、基板支持装置昇降装置３６４の電動モータ３８２のエンコーダ４８０とはいずれも、基板３２の上面とクランプ部材１５６，１５８の上面とが同一平面内に位置する状態を検出することとなる。したがって、エンコーダ４７８の検出値が、固定クランプ部材１５６が基板受け面９２に当接し、クランプ部材１５６，１５８の上面が基板受け面９２と同一平面内に位置する状態での高さより、マスク支持面９０と基板受け面９２との既知の距離、高い位置を検出する値となった状態で電動モータ３５０を停止させ、基板保持装置昇降装置３４０の作動を停止させる制御は、高さ位置記憶部に記憶された高さ位置に基づいて基板保持装置昇降装置３４０を作動させる制御であることとなる。基板支持装置１５０が高さ位置記憶部に記憶させられた高さ位置へ下降させられた状態において、その高さ位置が、固定クランプ部材１５６が基板受け面９２に当接させられ、クランプ部材１５６，１５８の上面が基板受け面９２と同一平面内に位置させられた状態においてエンコーダ４７８により検出される基板保持装置１４の高さ位置に置き換えられて使用されると考えることもできる。
【００７７】
また、見方を変えれば、基板支持装置昇降装置３６４が第３昇降装置を構成し、基板保持装置昇降装置３４０が第４昇降装置を構成し、マスク支持部材昇降装置１２０が第５昇降装置を構成していると考えることもできる。
その場合には、制御装置２４の、上昇開始検出装置５０の検出結果に基づいて昇降装置３６４，３４０，１２０を制御して、一対のクランプ部材１５６，１５８と一対のマスク吸着支持部材６２，６４と回路基板３２との上面のレベルを一致させるとともに、マスク吸着支持部材６２，６４にマスク３０を支持させ、かつ、クランプ・解放装置１６０を制御して一対のクランプ部材１５６，１５８に回路基板３２をクランプさせる部分がマスク支持制御部を構成し、スキージ装置２０を制御して基板３２にはんだを印刷させる部分が印刷制御部を構成し、昇降装置３６４，３４０，１２０を制御して基板３２をマスク３０から離間させる部分が離間制御部を構成していることとなる。
【００７８】
ただし、これに限定されるものではなく、第３ないし第５昇降装置を種々の態様のものとすることが可能である。例えば、基板支持装置１５０を直接昇降させることにより、その基板支持装置１５０に支持された回路基板３２の上面を、マスク保持装置１８に保持されたマスク３０の下面に接触または近接する位置と、その位置から下降した退避位置とに昇降させる昇降装置を第３昇降装置とし、一対のクランプ部材１５６，１５８を直接昇降させることにより、それら一対のクランプ部材１５６，１５８をマスク保持装置１８に保持されたマスク３０の下面に接触または近接する位置と、その位置から下降した退避位置とに昇降させる昇降装置を第４昇降装置とし、一対のマスク吸着支持部材６２，６４を直接昇降させることにより、それら一対のマスク吸着支持部材６２，６４をマスク保持装置１８に保持されたマスク３０の下面に接触または近接する位置と、その位置から下降した退避位置とに昇降させる昇降装置を第５昇降装置とすることも可能である。
【００７９】
あるいは、３つの昇降装置の１つを、マスク保持装置１８を昇降させることにより、そのマスク保持装置１８に保持されたマスク３０の下面を、前記一対のマスク吸着支持部材６２，６４の上面に接触または近接する位置と、その位置から上昇した退避位置とに昇降させるマスク保持装置昇降装置とし、他の２つの昇降装置を、基板支持装置１５０と一対のクランプ部材１５６，１５８とをそれぞれ一対のマスク吸着支持部材６２，６４に対して相対的に昇降させるものとすることも可能である。この場合には、マスク保持装置昇降装置が第５昇降装置を構成し、一対のクランプ部材１５６，１５８を昇降させる昇降装置が第４昇降装置を構成し、基板支持装置１５０を昇降させる昇降装置が第３昇降装置を構成することとなる。
【００８０】
上昇開始検出装置は、相対移動増幅機構を含む装置としてもよい。その一実施形態を図１８および図１９に基づいて説明する。
本実施形態のマスク吸着支持部材５００は、前記マスク吸着支持部材６２，６４と同様に、門型の脚体５０２および板状の支持体５０４を備え、支持体５０４は、脚体５０２の一対の脚部５０６により、搬送方向に平行で水平な回動軸線まわりに回動可能に支持されている。支持体５０４の回動軸線に平行な方向に隔たった両端面にはそれぞれ、支持体５０４の突出部５１２の下面である基板受け面５１４に平行な一平面内において回動軸線と直交する方向の中間部の近傍に、内周面が円錐状を成す凹部５１６，５１８が形成され、一対の脚部５０６に設けられて軸を構成するピン５２０，５２２が嵌入させられている。
【００８１】
これらピン５２０，５２２はそれぞれ、その先端部が円錐状を成し、その頂角は、凹部５１６，５１８の内周面の頂角より小さくされている。一方のピン５２０は、一方の脚部５０６の外側（他方の脚部５０６と対向する側とは反対側）に固定のブラケット５２４の上端部に、支持体５０４側に突出する向きに固定して設けられている。他方のピン５２２は、他方の脚部５０６の外側に固定の弾性部材たる板ばね５２６に固定して設けられている。板ばね５２６は、その下端部において脚部５０６に、僅かに弾性変形して、その上端部に支持体５０４に向かう向きの弾性力が生じる状態で固定されている。ピン５２２は板ばね５２６の上端部に支持体５０４側に突出する向きに設けられ、板ばね５２６により押されて凹部５１８の底に当接させられるとともに、支持体５０４をピン５２０側に押し、ピン５２０が凹部５１６の底に当接した状態に保たれる。ピン５２０，５２２の頂角は、凹部５１６，５１８の内周面の頂角より小さくされているため、ピン５２０，５２２の先端が、凹部５１６，５１８の底に点で当接し、支持体５０４が予め設定された２点においてピン５２０，５２２により、がたつきなく、ピン５２０，５２２の軸線まわりに回動可能に支持される。
【００８２】
また、支持体５０４は、その回動軸線に対して突出部５１２とは反対側の部分と、脚体５０２の梁部５３０との間に配設された付勢手段の一種である弾性部材としての一対の圧縮コイルスプリング５３２により、突出部５１２が梁部５３０に接近する向きに付勢されている。このスプリング５３２の付勢による突出部５１２の回動限度は、支持体５０４が梁部５３０に当接することにより規定される。なお、梁部５３０のスプリング５３２が配設された部分は、支持体５０４の回動を許容するように切り欠かれ、切欠５３４が設けられている。
【００８３】
さらに、一対のマスク吸着支持部材５００の一方には、その支持体５０４の回動軸線に平行な方向の一方の端部側に、上昇開始検出装置５４０のドッグ５４２が固定して設けられている。ドッグ５４２は板状を成し、支持体５０４の、基板受け面５１４と平行な平面内において支持体５０４の回動軸線と直交する方向においては、回動軸線と同じ部分から基板受け面５１４と直角に下方へ突出させられている。ドッグ５４２は、梁部５３０に設けられた貫通穴５４４を通って下方へ突出させられ、その突出端部が、脚部５０６の内側面に設けられたセンサ５４６により検出される。ドッグ５４２の突出端部の支持体５０４の回動軸線からの距離は、突出部５１２の基板の側端部の上面と当接する部分の回動軸線からの距離より大きく、複数倍、本実施形態においては３倍とされている。センサ５４６は前記センサ５４と同様に構成されており、説明を省略する。貫通穴５４４は、支持体５０４の回動に伴うドッグ５４２の回動を許容する大きさを有する。なお、図１８において符号５４８はマスク支持面であり、符号５５０は負圧が供給される通路である。
【００８４】
固定クランプ部材が基板受け面５１４に当接させられ、一対のクランプ部材の上面が基板受け面５１４を含む水平な一平面内に位置させられた後、基板支持装置により支持された基板が上昇させられ、その両側端部の上面が基板受け面５１４に当接した状態からさらに上昇させられるのに伴って支持体５０４を回動させる。支持体５０４と共にドッグ５４２が一体的に回動させられるが、突出部５１２の上昇量に対するドッグ５４２の突出端部の水平方向の移動量は、ドッグ５４２の突出端部の支持体５０４の回動軸線からの距離が、突出部５１２の基板の側端部の上面と当接する部分の回動軸線からの距離と等しくされている場合の約３倍となり、突出部５１２の上昇量が増幅されて検出されることとなる。支持体５０４はピン５２０，５２２によって点支持されており、回動時に支持体５０４がピン５２０，５２２に対してずれることがなく、上昇量が正確に増幅される。増幅により、ドッグ５４２の突出端部の移動量に対するセンサ５４６の受光部の受光量の増大勾配が緩やかになり、受光量がしきい値を超える時点の検出が容易となる。
【００８５】
なお、回路基板が極く薄く、サイドクランプすることができない場合には、図１７(c)に示す工程において、回路基板は支持ピンにより吸着されるが、クランプ部材によるクランプは省略される。
【００８６】
また、基板の種類によっては、支持ピンによる吸着が不要であり、その場合には、支持ピンが基板吸着機能を備えず、カップを有さないものとされる。
【符号の説明】
【００８７】
１８：マスク保持装置    ２０：スキージ装置    ３０：マスク    ３２：回路基板    ５０：上昇開始検出装置    ６０：支持台    ６２，６４：マスク吸着支持部材    ７６，７８：マスク吸着支持部材進退装置    １２０：マスク支持部材昇降装置    １２４：昇降駆動装置    １５０：基板支持装置    ３４０：基板保持装置昇降装置    ３６４：基板支持装置昇降装置    ５００：マスク吸着支持部材    ５４０：上昇開始検出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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