(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スプリングプローブおよびプローブホルダーを備え、
前記スプリングプローブは、ピンおよび前記ピンの外側に被さるスプリングスリーブを有し、前記スプリングスリーブは少なくとも一つの弾性部位および少なくとも一つの非弾性部位を有し、
前記プローブホルダーは、複数の重なったガイドプレートおよび少なくとも一つのガイド孔を有し、
前記スプリングプローブは、少なくとも一つの前記ガイド孔に差し込まれ、
前記プローブホルダーの前記ガイド孔は、上方辺縁部および下方辺縁部の位置が前記スプリングスリーブの前記非弾性部位に対応し、
互いに接続される各二つの前記ガイドプレートの接続箇所の位置は、前記スプリングスリーブの前記非弾性部位に対応し、
前記スプリングスリーブの前記少なくとも一つの弾性部位は、完全に前記プローブホルダーの前記少なくとも一つのガイド孔内に位置することを特徴とする、
スプリングプローブモジュール。
【請求項２】
前記プローブホルダーの前記ガイドプレートは、上ガイドプレートと、下ガイドプレートと、前記上ガイドプレートと前記下ガイドプレートの間に配置された中ガイドプレートとを含み、前記上ガイドプレートと前記中ガイドプレートの接続箇所の位置は前記非弾性部位に対応し、前記中ガイドプレートと前記下ガイドプレートの接続箇所の位置は別の一つの前記非弾性部位に対応し、前記プローブホルダーの前記ガイド孔は前記上ガイドプレートに形成された上方ガイド孔と、前記中ガイドプレートに形成された中間ガイド孔とを含み、前記スプリングスリーブの前記弾性部位は位置が前記上方ガイド孔に完全に対応する上方弾性部位と、位置が前記中間ガイド孔に完全に対応する中間弾性部位とを含むことを特徴とする請求項１に記載のスプリングプローブモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブモジュール、特にスプリングプローブモジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップテストを行う際、テスターはプローブカードを測定対象に電気的に接触させ、信号伝送および信号の解析を進めることによって測定結果を求める。
従来のプローブカードは回路基板およびプローブモジュールから構成されるか、それらおよびスペーストランスフォーマから構成される。スペーストランスフォーマは回路基板とプローブモジュールとの間に配置される。プローブモジュールは測定対象の電気接点に対応するように配列された複数のプローブを有し、プローブによって測定対象の電気接点にプロービングを行う。
【０００３】
図１は従来のスプリングプローブ１１を示す平面分解図である。スプリングプローブ１１はピン１２およびピン１２に被さるスプリングスリーブ１３を有する。図２はスプリングプローブ１１を用いるプローブカード１４を示す断面図である。説明の便をはかるために、図２の比率と図１の比率とは一致しない。
プローブカード１４は回路基板１５およびプローブモジュール１６を有する。プローブモジュール１６はプローブホルダー１７および複数のスプリングプローブ１１を有する。説明の便をはかるために、図２は一部分の回路基板１５およびプローブホルダー１７と一つのスプリングプローブ１１のみを示す。
【０００４】
スプリングプローブ１１のピン１２とスプリングスリーブ１３とを結合させる際、プレス加工によってスプリングスリーブ１３の下端部に近い嵌合部位１３２と、ピン１２とを結合させ、そののち溶接によって固定する。嵌合部位１３２はプレス工程によって変形し、二つの突出部位１３４を形成する。突出部位１３４はスプリングスリーブ１３上のプレス加工された部位以外の外側面１３６に突出する。
【０００５】
プローブホルダー１７は上ガイドプレート１７１、中ガイドプレート１７２および下ガイドプレート１７３（または上ガイドプレート１７１および下ガイドプレート１７３のみ）から構成される。上ガイドプレート１７１、中ガイドプレート１７２および下ガイドプレート１７３は複数の図２に示した格納孔１７４を形成する。格納孔１７４はスプリングプローブ１１の格納に用いられる。
一方、組み立てが完了したプローブホルダー１７の先端面１７５からスプリングプローブ１１を格納孔１７４に格納し、測定対象にプロービングを行う際、格納孔１７４内のスプリングプローブ１１を自由回転させるため、格納孔１７４は突出部位１３４とスプリングプローブ１１の中心との間の最大距離より半径が大きい円孔に設計される。
【０００６】
プローブモジュール１６の組み立てが完成した後、回路基板１５はプローブモジュール１６のプローブホルダー１７の先端面１７５に固定される。スプリングスリーブ１３は先端が回路基板１５の電気接点に電気的に接続される。スプリングプローブ１１はピン１２の末端によって測定対象の電気接点にプロービングを行う。
一方、回路基板１５に当接するスプリングスリーブ１３は二つの弾性的に圧縮できる弾性部位１３８を有する。スプリングプローブ１１のピン１２は下方部位がスプリングスリーブ１３の下端部の嵌合部位１３２に固定され、かつ先端と回路基板１５（スプリングスリーブ１３の先端）との間に隙間１８があるため、ピン１２の末端が測定対象の電気接点に当接すると、ピン１２は後退し、スプリングスリーブ１３を圧縮する。このときスプリングプローブ１１は測定対象の電気接点に確実に接触し、電気的導通を進めることができるだけでなく、スプリングスリーブ１３によって緩衝機能を果たし、接触力が大き過ぎることが原因で測定対象物の電気接点またはピンを損壊させたり過度に摩損させたりすることを抑制することができる。
【０００７】
しかしながら、上述したスプリングプローブ１１は、直径（通常数十μｍから百μｍあまり）が非常に小さく、幅と高さの比（通常１０：１から１００：１の間）が非常に大きい。スプリングスリーブ１３は突出部位１３４が格納孔１７４の内壁面に近く、突出部位１３４以外の部位が格納孔１７４の内壁面に相当な距離を置く。
図３に示すように、スプリングプローブ１１のピン１２の底端が外力を受ける際、ピン本体は歪んでしまうことがよくある。従って、位置合わせを正確に行うことができず、ピンの受けた圧力が均等ではないという問題のほかに、スプリングプローブが断裂しやすく、スプリングプローブのメンテナンスおよび取り替えが簡単ではないという問題がある。
【０００８】
一方、上ガイドプレート１７１と中ガイドプレート１７２との接続部位１７６はスプリングスリーブ１３の弾性部位１３８に対応し、中ガイドプレート１７２と下ガイドプレート１７３との接続部位１７７はスプリングスリーブ１３の別の一つの弾性部位１３８に対応する。
上ガイドプレート１７１、中ガイドプレート１７２および下ガイドプレート１７３を組み立てる際、誤差が生じ、接続部位１７６および接続部位１７７の位置ずれが発生すれば、格納孔１７４の内壁面に凹凸ができるだけでなく、凹凸のある接触部位１７６、１７７に弾性部位１３８が接触し、引っ掛かることが起こりやすいため、スプリングプローブ１１をメンテナンスする必要があるが、メンテナンスは非常に手間がかかる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上述した欠点に鑑み、スプリングプローブが過度に横振れするか歪んでしまうという事態を抑制することができるスプリングプローブモジュールを提供することを主な目的とする。
【００１０】
本発明は、スプリングプローブのスプリングスリーブが引っ掛かることを抑制できるスプリングプローブモジュールを提供することをもう一つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述の目的を達成するために、本発明によるスプリングプローブモジュールは、スプリングプローブおよびプローブホルダーを備える。スプリングプローブはピンおよびピンの外側に被さるスプリングスリーブを有する。スプリングスリーブは少なくとも一つの弾性部位および嵌合部位を有する。嵌合部位はピンに固定され、かつ少なくとも一つの弾性部位の外側面に突出した突出部位を有する。プローブホルダーは複数の重なるガイドプレートおよび少なくとも一つのガイド孔を有する。スプリングプローブは少なくとも一つのガイド孔に差し込まれる。プローブホルダーのガイドプレートは下ガイドプレートおよび下ガイドプレートを含む。プローブホルダーのガイド孔は上ガイドプレートに形成された上方ガイド孔を含む。上方ガイド孔は非円形を呈し、かつ中心、ガイド面および支持面を定義できる。支持面から中心までの距離はスプリングスリーブの弾性部位の外側面の半径より大きい。ガイド面から中心までの距離は支持面から中心までの距離および突出部位からピンの中心までの最大距離より大きい。
【００１２】
スプリングスリーブの嵌合部位はガイド面に向かって上方ガイド孔を貫通し、支持面はスプリングスリーブの外側面に非常に近く、スプリングスリーブの位置を限定するため、スプリングプローブが過度に横振れするか歪んでしまうという事態を抑制することができる。
【００１３】
上述の目的を達成するために、本発明によるスプリングプローブモジュールは、スプリングプローブおよびプローブホルダーを備える。スプリングプローブはピンおよびピンの外側に被さるスプリングスリーブを有する。スプリングスリーブは少なくとも一つの弾性部位および少なくとも一つの非弾性部位を有する。プローブホルダーは複数の重なるガイドプレートおよび少なくとも一つのガイド孔を有する。スプリングプローブは少なくとも一つのガイド孔に差し込まれる。プローブホルダーのガイド孔は上方辺縁部および下方辺縁部の位置がスプリングスリーブの非弾性部位に対応する。上述した構造により、スプリングプローブのスプリングスリーブの弾性部位がガイド孔の上下の辺縁部に接触し、引っ掛かることを抑制することができる。
【００１４】
比較的好ましい場合、ガイドプレートの接続箇所の位置はスプリングスリーブの非弾性部位に対応するため、ガイドプレートを組み立てる際に生じた誤差が原因で接続箇所に凹凸があっても、スプリングプローブの弾性部位が凹凸のある接続箇所に接触し、引っ掛かるということは起こりにくい。
【００１５】
比較的好ましい場合、プローブホルダーはガイド孔の位置がスプリングスリーブの非弾性部位に完全に対応するため、ガイド孔の上下の辺縁部に弾性部位が接触し、引っ掛かることを抑制することができる。
【００１６】
比較的好ましい場合、スプリングスリーブは弾性部位の位置がプローブホルダーのガイド孔に対応するため、凹凸のあるガイドプレートの接続箇所またはガイド孔の上下の辺縁部に弾性部位が接触し、引っ掛かることを抑制することができる。
【００１７】
比較的好ましい場合、スプリングスリーブは複数の弾性部位を有し、そのうちの少なくとも一つの弾性部位の位置がプローブホルダーのガイド孔に対応する。または、プローブホルダーは複数のガイド孔を有し、そのうちの少なくとも一つのガイド孔の位置がスプリングスリーブの非弾性部位に対応する。つまり、スプリングスリーブおよびプローブホルダーは一部分が前述した二つの技術特徴のうちの前者を満たし、それ以外の部分が二つの技術特徴のうちの後者を満たすため、スプリングスリーブが凹凸のある部位に引っ掛かることは起こりにくい。
【００１８】
比較的好ましい場合、プローブホルダーは少なくとも一つの空間を有する。空間はガイド孔に繋がり、かつ位置がスプリングスリーブの弾性部位または非弾性部位に対応するため、プローブホルダーのガイドプレートの製作が簡単である。
【００１９】
一つの実施形態において、プローブホルダーのガイドプレートは下ガイドプレートと上ガイドプレートを含む。下ガイドプレートと上ガイドプレートの接続箇所は位置が非弾性部位に対応する。プローブホルダーのガイド孔は上ガイドプレートに形成された上方ガイド孔を含む。スプリングスリーブの弾性部位は、位置が上方ガイド孔に完全に対応する上方弾性部位を含む。
【００２０】
一方、プローブホルダーのガイドプレートは上ガイドプレートと、下ガイドプレートと、上ガイドプレートと下ガイドプレートの間に配置された中ガイドプレートとを含む。上ガイドプレートと中ガイドプレートの接続箇所は位置が非弾性部位に対応する。中ガイドプレート下ガイドプレートの接続箇所は位置が別の一つの非弾性部位に対応する。プローブホルダーのガイド孔は上ガイドプレートに形成された上方ガイド孔と、中ガイドプレートに形成された中間ガイド孔とを含む。スプリングスリーブの弾性部位は位置が上方ガイド孔に完全に対応する上方弾性部位と、位置が中間ガイド孔に完全に対応する中間弾性部位とを含む。比較的好ましい場合、
プローブホルダーは上方ガイド孔と中間ガイド孔の間に空間を有し、空間の位置が非弾性部位に対応するため、プローブホルダーのガイドプレートの製作が簡単である。
【００２１】
プローブホルダーのガイド孔は、さらに下ガイドプレートに形成された下方ガイド孔を含む。スプリングスリーブの弾性部位はさらに位置が下方ガイド孔に完全に対応する下方弾性部位を含むため、スプリングスリーブは弾性を良好に維持できるだけでなく、ガイド孔内に位置する弾性部位がガイドプレートの接続箇所またはガイド孔の上下の辺縁部に接触し、引っ掛かることを抑制することができる。比較的好ましい場合、プローブホルダーは中間ガイド孔と下方ガイド孔の間に空間を有し、空間の位置が非弾性部位に対応するため、プローブホルダーのガイドプレートの製作が簡単である。
【００２２】
比較的好ましい場合、スプリングスリーブは嵌合部位を有する。嵌合部位はピンに固定され、かつ少なくとも一つの弾性部位の外側面に突出した突出部位を有する。下ガイドプレートは嵌合部位を格納する空間を有する。嵌合部位は下方ガイド孔内に位置付けられてもよい。上述した構造により、スプリングプローブが外力によって回転しても、スプリングスリーブの突出部位が下ガイドプレートに引っ掛かるということは起こりにくい。
【００２３】
別の一実施形態において、プローブホルダーのガイドプレートは下ガイドプレートと上ガイドプレートを含む。プローブホルダーのガイド孔は上ガイドプレートに形成された上方ガイド孔を含む。スプリングスリーブの非弾性部位は上方非弾性部位および下方非弾性部位を含む。下方非弾性部位はピンに固定される。少なくとも一つの弾性部位は上方非弾性部位と下方非弾性部位との間に位置する。上方ガイド孔は位置が上方非弾性部位に完全に対応する。比較的好ましい場合、下ガイドプレートは下方非弾性部位を格納する空間を有する。
【００２４】
プローブホルダーのガイドプレートは、さらに下ガイドプレートと上ガイドプレートとの間に配置された中ガイドプレートを含む。スプリングスリーブの非弾性部位はさらに上方非弾性部位と下方非弾性部位との間に位置する中間非弾性部位を含む。プローブホルダーのガイド孔はさらに中間非弾性部位に形成された中間ガイド孔を含む。中間ガイド孔は位置が中間非弾性部位に完全に対応する。プローブホルダーは上方ガイド孔と中間ガイド孔の間に空間を有し、空間の位置が弾性部位に対応する。比較的好ましい場合、下ガイドプレートは下方非弾性部位を格納する空間を有する。中ガイドプレートは下ガイドプレートの空間に繋がる空間を有し、空間の位置が別の一つの弾性部位の空間に対応する。
【００２５】
別の一実施形態において、ガイドプレートの接続箇所は位置がスプリングスリーブの弾性部位に対応する。プローブホルダーのガイド孔は位置がスプリングスリーブの非弾性部位に完全に対応するため、スプリングスリーブの弾性部位がプローブホルダーのガイド孔の上下の辺縁部に接触し、引っ掛かることを抑制することができる。
【００２６】
本発明によるスプリングプローブモジュールの詳細な構造、特徴、組み立てまたは使用方法は、以下の実施形態の詳細な説明を通して明確にする。また、以下の詳細な説明および本発明により提示された実施形態は本発明を説明するための一例に過ぎず、本発明の請求範囲を限定できないことは、本発明にかかる領域において常識がある人ならば理解できるはずである。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】従来のスプリングプローブを示す平面分解図である。
【図２】従来のスプリングプローブを採用したプローブカードを示す断面図である。
【図３】図２に示す従来のスプリングプローブが外力によって横振れし、歪んでしまう状態を示す断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるスプリングプローブモジュールを示す断面図である。
【図５】図４中の５−５線に沿った断面図である。
【図６】図４中の６−６線に沿った断面図である。
【図７】図４中の７−７線に沿った断面図である。
【図８】図７に示す本発明の第２実施形態によるスプリングプローブモジュールを示す断面図である。
【図９】本発明の第３実施形態によるスプリングプローブモジュールを示す断面図である。
【図１０】図５に示す本発明の第４実施形態によるスプリングプローブモジュールを示す断面図である。
【図１１】図５に示す本発明の第５実施形態によるスプリングプローブモジュールを示す断面図である。
【図１２】図５に示す本発明の第６実施形態によるスプリングプローブモジュールを示す断面図である。
【図１３】本発明の第７実施形態によるスプリングプローブモジュールを示す断面図である。
【図１４】本発明の第８実施形態によるスプリングプローブモジュールを示す断面図である。
【図１５】本発明の第９実施形態によるスプリングプローブモジュール中の一つの辺縁部のあたりを示す断面図である。
【図１６】本発明の第９実施形態によるスプリングプローブモジュール中の辺縁部から離れる部位を示す断面図である。
【図１７】本発明の第１０実施形態によるスプリングプローブモジュール中の一つの辺縁部のあたりを示す断面図である。
【図１８】本発明の第１０実施形態によるスプリングプローブモジュール中の辺縁部から離れる部位を示す断面図である。
【図１９】本発明の第１１実施形態によるスプリングプローブモジュールを示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明によるスプリングプローブモジュールを図面に基づいて説明する。なお、図中の同じ符号は同じ部品または類似した部品のまたはその構造特徴を示す。下記の記載において、一つの部品を別の一つの部品に配置することは前記部品を直接別の一つの部品に配置する、または前記部品を別の一つの部品に間接に配置する、即ち二つの部品の間に一つまたは複数の部品を配置することを表示する。一方、本発明の技術特徴を明確にするために、実施形態により提示された図面の比率と実物の比率とは一致しない。
【００２９】
（第１実施形態）
図４から図７に示すように、本発明の第１実施形態によるスプリングプローブモジュール２０は、スプリングプローブ３０およびプローブホルダー４０を備える。スプリングプローブモジュール２０はスプリングプローブ３０の数が特に限定されない。説明の便をはかるために、一部分のプローブホルダー４０および一つのスプリングプローブ３０を挙げて説明を進める。
【００３０】
スプリングプローブ３０は、棒状を呈する導電性のあるピン３２と、ピン３２の外側に被さる導電性のあるスプリングスリーブ３４とを有する。スプリングスリーブ３４はフォトリソグラフィ（Ｐｈｏｔｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）技術に基づいて直径が一致する金属円管を加工することによって成型される。スプリングスリーブ３４とピン３２とを結合させて固定する前に、全体構造は直径が一致する円管状を呈し、かつ外側面３４１に中空のらせん状を呈する二つの弾性部位３４２と、非中空を呈する三つの非弾性部位３４４とを有する。
弾性部位３４２は二つの非弾性部位３４４の間に位置する。スプリングスリーブ３４の下端に近い非弾性部位３４４は嵌合部位３４６を有する。スプリングスリーブ３４がピン３２に被さる際、嵌合部位３４６はプレスおよび溶接加工によってピン３２の下端部に固定される。
【００３１】
上述したプレス加工作業において、本来の断面が正円形のリング状を呈する嵌合部位３４６は変形し、図７に示すように楕円形のリング状となり、詳しく言えば、二つの相互に対応して弾性部位３４２の外側面３４１（またはプレス加工された部位以外の外側面）に突出した突出部位３４８と、二つの相互に対応してピン３２の外周面に密着する固定部３４９とを有する。ピン３２はスプリングスリーブ３４に突出したプロービング部位３２２を有する。プロービング部位３２２は測定対象にプロービングを行う先端３２４を有する。本実施形態において、先端３２４は平面状を呈するが、これに限らず、図２に示すとおり、細く鋭い錐状になってもよい。
【００３２】
本発明によるスプリングプローブモジュールにおいて、スプリングプローブ３０の先端３２４は測定対象にプロービングを行うことができるだけでなく、回路基板およびスペーストランスフォーマなどの二つの部品を接続し、二つの部品の電気接点を相互に導通させるインタポーザ（ｉｎｔｅｒｐｏｓｅｒ）となってもよい。
【００３３】
プローブホルダー４０は、上ガイドプレート４１と、下ガイドプレート４２と、上ガイドプレート４１および下ガイドプレート４２の間に位置する中ガイドプレート４３とを有する。
上ガイドプレート４１は非円形の上方ガイド孔４１２を有する。中ガイドプレート４３は非円形の中間ガイド孔４３２を有する。下ガイドプレート４２は円形の下方ガイド孔４２２および貫通孔４２３を有する。貫通孔４２３は下方ガイド孔４２２に繋がり、直径が比較的小さい。上方ガイド孔４１２は上ガイドプレート４１を貫通し、中間ガイド孔４３２は中ガイドプレート４３を貫通する。上方ガイド孔４１２、中間ガイド孔４３２、下方ガイド孔４２２および貫通孔４２３は相互に繋がる。
【００３４】
上方ガイド孔４１２および中間ガイド孔４３２はスプリングスリーブ３４の嵌合部位３４６の形に対応し、詳しく言えば、嵌合部位３４６と相互に形を補い合い、形が嵌合部位３４６よりやや大きい。上方ガイド孔４１２は中心Ｃ１（即ちピン３２の中心）と、嵌合部位３４６の突出部位３４８の形に対応する二つのガイド面４１４と、嵌合部位３４６の固定部３４９の形に対応する二つの支持面４１６とを有する。
支持面４１６から中心Ｃ１までの距離はスプリングスリーブ３４の外側面３４１の半径Ｒより大きい。ガイド面４１４から中心Ｃ１までの距離は支持面４１６から中心Ｃ１までの距離および突出部位３４８からピン３２の中心までの最大距離より大きい。中間ガイド孔４３２は上方ガイド孔４１２の形と同じであり、中心Ｃ２、二つのガイド面４３４および二つの支持面４３６とを有する。支持面４３６から中心Ｃ２までの距離はスプリングスリーブ３４の外側面３４１の半径Ｒより大きい。ガイド面４３４から中心Ｃ２までの距離は支持面４３６から中心Ｃ２までの距離および突出部位３４８からピン３２の中心までの最大距離より大きい。
図７に示すように、下方ガイド孔４２２は中心Ｃ３を有する円形孔であり、円形孔の半径は突出部位３４８からピン３２の中心（即ち円形孔の中心Ｃ３）までの最大距離より大きい。上方ガイド孔４１２の中心Ｃ１、中間ガイド孔４３２の中心Ｃ２および下方ガイド孔４２２の中心Ｃ３は同じ仮想軸線Ｌ（即ちピン３２の中心軸線）に位置付けられるが、上ガイドプレート４１、下ガイドプレート４２および中ガイドプレート４３を組み立てる際、誤差が生じれば、上方ガイド孔４１２の中心Ｃ１、中間ガイド孔４３２の中心Ｃ２および下方ガイド孔４２２の中心Ｃ３は仮想軸線Ｌ１からずれることが発生する。
【００３５】
上述した上方ガイド孔４１２、下方ガイド孔４２２および中間ガイド孔４３２の設計により、スプリングスリーブ３４の嵌合部位３４６は二つの突出部位３４８が二つのガイド面４１４に向かって上方ガイド孔４１２を貫通し、続いて二つのガイド面４３４に向かって中間ガイド孔４３２を貫通し、続いて下ガイドプレート４２の下方ガイド孔４２２に入り込むことによってピン３２の下端部を貫通孔４２３に露出させ、ピン３２のプロービング部位３２２を下ガイドプレート４２に突出させる。このときスプリングスリーブ３４の嵌合部位３４６の底面は下方ガイド孔４２２の底面に当接するため、スプリングプローブ３０は上ガイドプレート４１、中ガイドプレート４３および下ガイドプレート４２から落下することなく、安定する。
一方、スプリングスリーブ３４は上方ガイド孔４１２、中間ガイド孔４３２および下方ガイド孔４２２を貫通する。上方ガイド孔４１２の支持面４１６および中間ガイド孔４３２の支持面４３６はスプリングスリーブ３４の外側面３４１に非常に近く、スプリングスリーブ３４の位置を限定するため、スプリングプローブ３０が外力によって過度に横振れするか歪んでしまうという事態を抑制することができる。
【００３６】
プローブホルダー４０において、上ガイドプレート４１と中ガイドプレート４３の接続箇所の位置が非弾性部位３４４に対応し、中ガイドプレート４３と下ガイドプレート４２の接続箇所の位置が別の一つの非弾性部位３４４に対応すれば（図１３に示した接続箇所５０参照）、スプリングプローブ３０によってプロービングを行う際、非弾性部位３４４は少し動いても接続箇所から離れることがない、即ち接触箇所の位置は依然として非弾性部位３４４に対応するため、弾性部位３４２が伸縮する際、弾性部位３４２と接続箇所とが相互に干渉することを抑制することができる。詳しい部分は第７実施形態によって明確にされる。
【００３７】
スプリングスリーブ３４は弾性部位３４２の数が特に限定されず、一つの弾性部位３４２のみ、または二つ以上の弾性部位３４２があってもよい。一つの弾性部３４２のみがある場合、プローブホルダー４０は上ガイドプレート４１および下ガイドプレート４２のみを有することが一般的である。
本実施形態において、スプリングスリーブ３４の弾性部位３４２のらせん方向が同じである場合、またはスプリングスリーブ３４が一つの弾性部位３４２のみを有する場合、ピン３２の先端３２４が外力によって弾性部位３４２を弾性的に伸縮させれば、弾性部位３４２は同じ回転方向に沿ってトルクを生じさせ、全体のスプリングプローブ３０を回転させる。このとき下方ガイド孔４２２は円形を呈するため、スプリングプローブ３０が回転してもスプリングスリーブ３４の突出部位３４８が下方ガイド孔４２２の内壁面に引っ掛かるということはない。
【００３８】
（第２実施形態）
位置限定の効果を高めるために、下方ガイド孔４２２は本発明の第２実施形態により非円形に設計されてもよい。
図８に示すように、本発明の第２実施形態によるスプリングプローブモジュール２１において、下方ガイド孔４２２は形が第１実施形態により提示された上方ガイド孔４１２および中間ガイド孔４３２の形と同じであり、かつ中心Ｃ３と、嵌合部位３４６の突出部位３４８に対応する二つの第一支持面４２４と、嵌合部位３４６の固定部３４９に対応する二つの支持面４２６とを有する。
第二支持面４２６から中心Ｃ３までの距離はスプリングスリーブ３４の外側面３４１の半径Ｒより大きい。第一支持面４２４から中心Ｃ３までの距離は第二支持面４２６から中心Ｃ３までの距離および突出部位３４８からピン３２の中心（即ち中心Ｃ３）までの最大距離より大きい。上述した構造により、下方ガイド孔４２２は第一支持面４２４および第二支持面４２６によってスプリングスリーブ３４の位置を限定できるため、スプリングプローブ３０が横振れするか歪んでしまうことが起こりにくい。
【００３９】
（第３実施形態）
第２実施形態において、下方ガイド孔４２２は非円形を呈するため、外力を受けても回転しないスプリングプローブに適用でき、かつスプリングスリーブ３４の突出部位３４８が下方ガイド孔４２２の内壁面に引っ掛かり、スプリングプローブ３０の弾性を失効させることを抑制することができる。
一方、図９に示すように、本発明の第３実施形態によるスプリングプローブモジュール２２において、スプリングプローブ３０のスプリングスリーブ３４は二つのらせん方向が逆な弾性部位３４２を有する。二つの弾性部位３４２の弾性的な変形に伴って生じたトルクは逆な回転方向へ進行し、相殺するため、スプリングプローブ３０は外力を受けても回転しにくい。
第１実施形態により提示したとおり、本実施形態において、プローブホルダー４０は上ガイドプレート４１および中ガイドプレート４３の接続箇所の位置が非弾性部位３４４に対応し、中ガイドプレート４３および下ガイドプレート４２の接続箇所の位置が別の一つの非弾性部位３４４に対応するように設計されてもよいため、弾性部位３４２が伸縮する際、弾性部位３４２と接続箇所とが相互に干渉することを抑制することができる。
【００４０】
（第４実施形態）
上述した実施形態において、非円形を呈する上方ガイド孔４１２、中間ガイド孔４３２および下方ガイド孔４２２は楕円形または嵌合部位３４６に対応する形に限らない。上述によって定義されたガイド面および支持面さえあればよい。
図１０に示すように、本発明の第４実施形態によるスプリングプローブモジュール２３において、上方ガイド孔４１２（または中間ガイド孔４３２または下方ガイド孔４２２）は楕円形を呈し、内壁面の曲率半径が比較的小さい部位がガイド面４１４となり、曲率半径が比較的大きい部位が支持面４１６となる。上述した構造により、楕円形の上方ガイド孔４１２（または中間ガイド孔４３２または下方ガイド孔４２２）はスプリングスリーブ３４の位置を限定し、スプリングプローブ３０が過度に横振れするか歪んでしまうという事態を抑制することができる。上ガイドプレート４１（または中ガイドプレート４３または下ガイドプレート４２）の製作およびスプリングプローブ３０の装着がより簡単になる。
【００４１】
（第５実施形態および第６実施形態）
スプリングスリーブ３４の嵌合部位３４６とピン３２とをプレス加工して結合させる方式が異なれば、結合した後の嵌合部位３４６の形が異なるため、突出部位３４８は数が二つであるとは限らない。
図１１に示すように、本発明の第５実施形態によるスプリングプローブモジュール２４において、スプリングスリーブ３４は一つの突出部位３４８のみを有する。或いは嵌合部位３４６の突出部位３４８は数が二つ以上、かつ偶数または奇数であってもよい。
図１２に示すように、本発明の第６実施形態によるスプリングプローブモジュール２５において、スプリングスリーブ３４は四つの突出部位３４８を有する。図１１および図１２に示すように、嵌合部位３４６の突出部位３４８の数に対応するガイド面４１４および支持面４１６を、上方ガイド孔４１２（または中間ガイド孔４３２または下方ガイド孔４２２）に配置すれば、嵌合部位３４６は貫通し、スプリングプローブ３０の位置を限定することができる。
【００４２】
移動に伴って弾性的に変形するスプリングスリーブ３４の弾性部位３４２がガイド孔内の凹凸のある内壁面に接触して引っ掛かることを抑制するために、本発明はプローブホルダー４０上のガイド孔の上方辺縁部および下方辺縁部の位置をスプリングスリーブ３４の非弾性部位３４４に対応させることが特徴である。詳しい特徴は下記の多様な実施形態によって明確にされる。
【００４３】
（第７実施形態）
図１３に示すように、本発明の第７実施形態によるスプリングプローブモジュール２６において、プローブホルダー４０は上ガイドプレート４１および下ガイドプレート４２のみを有し、上ガイドプレート４１と下ガイドプレート４２の接続箇所５０の位置がスプリングスリーブ３４の一つの非弾性部位３４４に対応するため、上方ガイド孔４１２の下方辺縁部４１２ａと下方ガイド孔４２２の上方辺縁部４２２ａとが接続され、それぞれの位置が同じ非弾性部位３４４に対応する。
上方ガイド孔４１２の上方辺縁部４１２ｂおよび下方ガイド孔４２２の下方辺縁部４２２ｂはそれぞれの位置が別の二つの非弾性部位３４４に対応する。上述した特徴により、上ガイドプレート４２と下ガイドプレート４２を組み立てる際に生じた誤差が原因で上方ガイド孔４１２および下方ガイド孔４２２の内壁面に凹凸があっても、弾性部位３４２が凹凸のある接続箇所５０に接触し、引っ掛かることが起こりにくい。
【００４４】
それに対し、下記の第８実施形態、第９実施形態および第１０実施形態において、プローブホルダー４０は上ガイドプレート４１、中ガイドプレート４３および下ガイドプレート４２を有し、上ガイドプレート４１と中ガイドプレート４３の接続箇所５１の位置および中ガイドプレート４３と下ガイドプレート４２の接続箇所５２の位置がそれぞれ別の一つの非弾性部位３４４に対応するため、同様に上述した機能を果たすことができる。
本発明において、プローブホルダー４０は二つのガイドプレートまたは三つのガイドプレートから構成されるとは限らず、それより多いガイドプレートから構成されてもよい。スプリングスリーブ３４の非弾性部位３４４は数が三つ以上であってもよい。ガイドプレートの接続箇所の位置をスプリングスリーブ３４の非弾性部位３４４に対応させておけば、弾性部位３４２が伸縮する際、弾性部位３４２と接続箇所とが相互に干渉することを抑制することができる。
【００４５】
（第８実施形態および第９実施形態）
本発明の第８実施形態によるスプリングプローブモジュール２７（図１４参照）および本発明の第９実施形態によるスプリングプローブモジュール２８（図１５および図１６参照）において、プローブホルダー４０の下ガイドプレート４２は、ガイド孔の代わりになる半開放状の空間４２８を有する。スプリングプローブ３０の嵌合部位３４６は空間４２８に格納される。
図１４に示すように、スプリングプローブモジュール２７は一つの辺縁部位に一番近いスプリングプローブ３０を有する。スプリングプローブ３０の嵌合部位３４６と、スプリングプローブモジュール２７のほかの図中に表示されてないスプリングプローブ３０の嵌合部位３４６とは同じ空間４２８に位置付けられ、別々に下方ガイド孔４２２内に配置される。
図１５に示すように、スプリングプローブモジュール２８は一つの辺縁部位に一番近いスプリングプローブ３０を有する。
図１６に示すように、スプリングプローブモジュール２８は辺縁部位から離れる部位にスプリングプローブ３０を有する。
図１５および図１６に示すように、スプリングプローブ３０の嵌合部位３４６と、スプリングプローブモジュール２８のほかの図中に表示されてないスプリングプローブ３０の嵌合部位３４６とは同じ空間４２８に位置付けられ、別々に下方ガイド孔４２２内に配置される。
【００４６】
（第１０実施形態）
上方ガイド孔４１２と中間ガイド孔４３２は相互に繋がらなくてもよい。
図１４に示すように、上ガイドプレート４１は上方ガイド孔４１２と中間ガイド孔４３２の間に位置する空間４１８を有する。中ガイドプレート４３は空間４３８を有する。空間４３８は下ガイドプレート４２の空間４２８に繋がる。空間４１８および空間４３８は位置が二つの弾性部位３４２に別々に対応する。
図１５および図１６に示すように、中ガイドプレート４３は上方ガイド孔４１２と中間ガイド孔４３２の間に位置する空間４３８を有する。空間４３８は位置が一つの非弾性部位３４４に対応する。中間ガイド孔４３２は中ガイドプレート４３の空間４３８と下ガイドプレート４２の空間４２８との間に位置する。
図１７および図１８に示したのは本発明の第１０実施形態によるスプリングプローブモジュール２９である。図１７に示すように、スプリングプローブモジュール２９は一つの辺縁部位に一番近いスプリングプローブ３０を有する。図１８に示すように、スプリングプローブモジュール２９は辺縁部位から離れる部位にスプリングプローブ３０を有する。
一方、図１７および図１８に示すように、中間ガイド孔４３２と下方ガイド孔４２２は相互に繋がらなくてもよい。スプリングプローブ３０の嵌合部位３４６は下方ガイド孔４２２内に配置される。
【００４７】
図１４に示すように、スプリングプローブモジュール２７において、プローブホルダー４０の上方ガイド孔４１２および中間ガイド孔４３２はそれぞれの位置がスプリングスリーブ３４の一つの非弾性部位３４４に完全に対応する。つまり、同じガイド孔は上下の辺縁部が同じ非弾性部位に対応する。上述した特徴により、弾性部位３４２が上方ガイド孔４１２および中間ガイド孔４３２の上下の辺縁部に接触し、引っ掛かることを抑制することができる。
図１３、図１５から図１８に示すように、スプリングプローブモジュール２６、スプリングプローブモジュール２８およびスプリングプローブモジュール２９において、スプリングスリーブ３４の弾性部位３４２の位置はプローブホルダー４０のガイド孔に完全に対応する。つまり、弾性部位３４２上のいずれの部位も空間４２８および空間４３８に対応しない。詳しく言えば、図１３に示すように、スプリングスリーブ３４の弾性部位３４２は上方ガイド孔４１２に完全に対応する上方弾性部位３４２Ａと、下方ガイド孔４２２に完全に対応する上方弾性部位３４２Ｂとを含む。
図１５および図１６に示すように、スプリングスリーブ３４の弾性部位３４２は上方ガイド孔４１２に完全に対応する上方弾性部位３４２Ａと、中間ガイド孔４３２に完全に対応する中間弾性部位３４２Ｃとを含む。
図１７および図１８に示すように、スプリングスリーブ３４は上方ガイド孔４１２に完全に対応する上方弾性部位３４２Ａと、中間ガイド孔４３２に完全に対応する中間弾性部位３４２Ｃと、下方ガイド孔４２２に完全に対応する上方弾性部位３４２Ｂとを有する。上述した特徴により、上方弾性部位３４２Ａは上方ガイド孔４１２の上下の辺縁部、中間弾性部位３４２Ｃは中間ガイド孔４３２の上下の辺縁部、下方弾性部位３４２Ｂは下方ガイド孔４２２の上下の辺縁部に接触して引っ掛かることを抑制することができる。言い換えれば、図１７および図１８に示すように、スプリングプローブモジュール２９において、スプリングスリーブ３４は上方弾性部位３４２Ａ、中間弾性部位３４２Ｃおよび下方弾性部位３４２Ｂを有する。上方弾性部位３４２Ａは上方ガイド孔４１２内に配置される。中間弾性部位３４２Ｃは中間ガイド孔４３２内に配置される。下方弾性部位３４２Ｂは下方ガイド孔４２２内に配置される。上述した設計により、弾性部位３４２が上方ガイド孔４１２、中間ガイド孔４３２および下方ガイド孔４２２の上下の辺縁部に接触し、引っ掛かることを抑制し、かつスプリングスリーブ３４の弾性を良好に維持することができる。
【００４８】
図１４および図１５に示した下ガイドプレート４２は形が類似した。図１４および図１５に示した上ガイドプレート４１は形が異なるが、入れ替わって使用することができる。図１４および図１５に示した中ガイドプレート４３は形が異なるが、入れ替わって使用することができる。つまり、図１４に示した上ガイドプレート４１、図１５に示した中ガイドプレート４３および図１４または図１５に示した下ガイドプレート４２を組み合わせてプローブホルダー４０を構成することができる。
または、図１５に示した上ガイドプレート４１、図１４に示した中ガイドプレート４３および図１４または図１５に示した下ガイドプレート４２を組み合わせてプローブホルダー４０を構成すれば、同様に上述した機能を果たすことができる。言い換えれば、スプリングスリーブ３４の弾性部位３４２の位置はプローブホルダー４０のガイド孔に完全に対応する。プローブホルダー４０のガイド孔の位置はスプリングスリーブ３４の非弾性部位３４４に完全に対応する。
この二つの技術特徴は本発明に応用されることができる。つまり、スプリングスリーブ３４およびプローブホルダー４０は一部分が二つの技術特徴のうちの前者を満たし、それ以外の部分が二つの技術特徴のうちの後者を満たすため、スプリングスリーブ３４がガイド孔の上下の辺縁部に引っ掛かることが起こりにくい。したがってプローブホルダー４０の製作方式はガイドプレートのガイド孔の形に影響を与えることがない。
【００４９】
（第１１実施形態）
図１９に示すように、本発明の第１１実施形態によるスプリングプローブモジュール２７’は第８実施形態によるスプリングプローブモジュール２７（図１４参照）に類似する。本実施形態において、上ガイドプレート４１と中ガイドプレート４３の接続箇所５１の位置は弾性部位３４２に対応する。中ガイドプレート４３と下ガイドプレート４２の接続箇所５２の位置は別の弾性部位３４２に対応する。つまり、第８実施形態に対し、本実施形態はプローブホルダー４０のガイド孔の位置をスプリングスリーブ３４の非弾性部位３４４を完全に対応させる。詳しく言えば、スプリングスリーブ３４の非弾性部位は上方非弾性部位３４４Ａと、ピン３２に固定された中間非弾性部位３４４Ｂと、中間非弾性部位３４４Ｃとを含む。弾性部位３４２および中間非弾性部位３４４Ｃは上方非弾性部位３４４Ａと下方非弾性部位３４４Ｂとの間に位置する。上方ガイド孔４１２の位置は上方非弾性部位３４４Ａに完全に対応する。中間ガイド孔４３２の位置は中間非弾性部位３４４Ｃに完全に対応する。上述した構造により、ガイドプレートの接続箇所５１、５２の位置はスプリングスリーブ３４の弾性部位３４２に完全に対応し、弾性部位３４２のいずれの部位も上ガイドプレート４１、中ガイドプレート４３および下ガイドプレート４２のいずれの半開放状の空間４１８、４３８、４２８内に位置しても、スプリングスリーブ３４の弾性部位３４２がプローブホルダー４０の上方ガイド孔４１２および中間ガイド孔４３２の上下の辺縁部に接触し、引っ掛かることを抑制することができる。
一方、図１４および図１９に示すように、本発明は上述した実施形態により掲示された構造のほかにガイドプレートの接続箇所５１、５２を情況に応じて調整できる。例えば、接続箇所５１を弾性部位３４２、接続箇所５２を非弾性部位３４４（下方非弾性部位３４４Ｂ）に対応させるか、接続箇所５２を中間非弾性部位３４４Ｃに対応させることができる。
【００５０】
図１５から図１８に示すように、第９実施形態および第１０実施形態において、
上方ガイド孔４１２の下方辺縁部４１２ａと中間ガイド孔４３２の上方辺縁部４３２ａの位置は同じ非弾性部位３４４に対応する。上方ガイド孔４１２の上方辺縁部４１２ｂおよび中間ガイド孔４３２の下方辺縁部４３２ｂの位置は別の二つの非弾性部位３４４に対応する。
図１７および図１８に示すように、下方ガイド孔４２２の上方辺縁部４２２ａと中間ガイド孔４３２の下方辺縁部４３２ｂの位置は同じ非弾性部位３４４に対応する。下方ガイド孔４２２の下方辺縁部４２２ｂは別の一つの非弾性部位３４４に対応する。
図１４および図１９に示すように、第８実施形態および第１１実施形態において、上方ガイド孔４１２の上方辺縁部４１２ｂおよび下方辺縁部４１２ｂの位置は同じ非弾性部位３４４（即ち上方非弾性部位３４４Ａ）に対応する。中間ガイド孔４３２の上方辺縁部４３２ａおよび下方辺縁部４３２ｂの位置は同じ非弾性部位３４４（即ち中間非弾性部位３４４Ｃ）に対応する。
【００５１】
上述したとおり、本発明において、プローブホルダーはスプリングプローブを差し込むための通路が複数のガイド孔から構成されるか、或いは少なくとも一つのガイド孔および少なくとも一つの空間から構成される。ガイド孔はスプリングプローブの貫通する通路の中の比較的狭い部位であるため、一つのスプリングプローブしか差し込めない。一方、ガイド孔の内壁面はガイド孔を貫通したスプリングプローブに近く、スプリングスリーブに接触することができるため、スプリングプローブに位置制限および支持機能を果たすことができる。一方、空間はスプリングプローブの貫通する通路の中の比較的広い部位であるため、同じ空間に複数のプローブを差し込むことができる。空間の内壁面はプローブからかなり離れるため、プローブに接触することがない。
【００５２】
図面に示すように、本発明はプロービング前の状態でガイドプレートの接続箇所、ガイド孔およびスプリングスリーブの弾性部位および非弾性部位の相対的関係を満たす。スプリングプローブはプロービング開始前の状態をプロービング開始状態に切り替える際に移動する行程が非常に短いため、本発明はプロービング開始状態下で上述した相対的関係を満たすこともできる。
図１４に示すように、スプリングプローブモジュール２７において、プロービングを開始する前に、プローブホルダー４０の上方ガイド孔４１２および中間ガイド孔４３２の位置はスプリングスリーブ３４の一つの非弾性部位３４４に完全に対応する。プロービングが進行する際、最も上の非弾性部位３４４は動かず、そのほかの非弾性部位３４４は小幅に上昇しても、上方ガイド孔４１２および中間ガイド孔４３２の位置は依然として非弾性部位３４４に完全に対応する。つまり、非弾性部位３４４の上下の辺縁部はガイド孔の中まで移動することがない。
図１５および図１６に示すように、スプリングプローブモジュール２８において、プロービングを開始する前に、スプリングスリーブ３４の上方弾性部位３４２Ａおよび中間弾性部位３４２Ｃの位置はプローブホルダー４０の上方ガイド孔４１２および中間ガイド孔４３２に完全に対応する。プロービングが進行する際、上方弾性部位３４２Ａおよび中間弾性部位３４２Ｃは圧縮され、小幅に上昇しても、位置が依然として上方ガイド孔４１２および中間ガイド孔４３２に完全に対応する。一方、上ガイドプレート４１、下ガイドプレート４２および中ガイドプレート４３は一体成型されるか、または二つ以上に分割された板状パーツを組み合わせることによって構成されるが、これに限らない。上ガイドプレート４１は二つの板状パーツを組み合わせることによって構成されてもよい。二つの板状パーツは加工されて上ガイドプレート４１の一部分となり、そののち、合わさることによって上ガイドプレート４１を構成する。
【００５３】
以上、本発明は、上記実施形態になんら限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１１  スプリングプローブ    
１２  ピン    
１３  スプリングスリーブ    
１３２  嵌合部位
１３４  突出部位
１３６  外側面  
１３８  弾性部位    
１４  プローブカード    
１５  回路基板    
１６  プローブモジュール    
１７  プローブホルダー    
１７１  上ガイドプレート      
１７２  中ガイドプレート      
１７３  下ガイドプレート    
１７４  格納孔    
１７５  先端面    
１７６、１７７  接続箇所  
１８  隙間
２０〜２９、２７’  スプリングプローブモジュール    
３０  スプリングプローブ  
３２  ピン
３２２  プロービング部位
３２４  先端
３４  スプリングスリーブ  
３４１  外側面  
３４２  弾性部位  
３４２Ａ  上方弾性部位  
３４２Ｂ  下方弾性部位  
３４２Ｃ  中間弾性部位  
３４４  非弾性部位  
３４４Ａ  上方非弾性部位  
３４４Ｂ  下方非弾性部位  
３４４Ｃ  中間非弾性部位  
３４６  嵌合部位  
３４７  環状部  
３４８  突出部位  
３４９  固定部  
４０  プローブホルダー  
４１  上ガイドプレート（板状サポーター）  
４１２  上方ガイド孔    
４１２ａ  下方辺縁部
４１２ｂ  上方辺縁部  
４１４  ガイド面  
４１６  支持面  
４１８  空間
４２  下ガイドプレート    
４２２  下方ガイド孔    
４２２ａ  上方辺縁部  
４２２ｂ  下方辺縁部  
４２３  貫通孔  
４２４  第一支持面  
４２６  第二支持面  
４２８  空間  
４３  中ガイドプレート    
４３２  中間ガイド孔    
４３２ａ  上方辺縁部  
４３２ｂ  下方辺縁部  
４３４  ガイド面  
４３６  支持面  
４３８  空間
５０、５１、５２  接続箇所  
Ｃ１〜Ｃ３  中心  
Ｌ  仮想軸線  
Ｒ  半径
【図１】
0005957108.tif 000002
【図２】
0005957108.tif 000003
【図３】
0005957108.tif 000004
【図４】
0005957108.tif 000005
【図５】
0005957108.tif 000006
【図６】
0005957108.tif 000007
【図７】
0005957108.tif 000008
【図８】
0005957108.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
0005957108.tif 000013
【図１３】
0005957108.tif 000014
【図１４】
0005957108.tif 000015
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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