(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバー本体上に着脱可能に設けられた平面視矩形状の蓋体の開閉装置であって、  前記チャンバー本体上の前記蓋体の両側部であって、平面視した前記蓋体の対角位置に第１支持部と第２支持部が形成され、
前記チャンバー本体の設置位置の両側に、互いに平行な直線状の第１ガイド部材と第２ガイド部材が設けられ、前記第１ガイド部材が前記第１支持部の近傍位置下方を基点として前記チャンバー本体の側部に沿って前記チャンバー本体の横に延在するように、前記第２ガイド部材が前記第２支持部の近傍位置下方を基点として前記チャンバー本体から離れる方向に延在するように、かつ、前記第１支持部と前記第２支持部を結ぶ仮想線が前記第１ガイド部材及び前記第２ガイド部材の延在方向と傾斜するように配置され、
前記第１ガイド部材に沿って移動自在に第１横行機が、前記第２ガイド部材に沿って移動自在に第２横行機がそれぞれ設けられ、前記第１横行機に立設された第１昇降機によって前記第１支持部が支持され、前記第２横行機に立設された第２昇降機によって前記第２支持部が支持され、前記第１横行機と前記第２横行機により前記蓋体が前記第１ガイド部材と第２ガイド部材の延在方向に移動自在に支持され、前記第１昇降機と前記第２昇降機により前記蓋体が上下に移動自在に支持され、前記第１昇降機と第２昇降機に前記仮想線を回転中心軸として前記蓋体を回転させる回転機構が設けられたことを特徴とする蓋体開閉装置。
【請求項２】
前記第１ガイド部材が前記チャンバー本体の一方の側面近傍に設置され、前記第２ガイド部材が前記チャンバー本体の他方の側面の延長面近傍に設置されたことを特徴とする請求項１に記載の蓋体開閉装置。
【請求項３】
前記第１横行機に該第１横行機を走行させるモーター装置が設けられ、前記第１横行機に前記モーター装置からの回転動力を伝達して前記回転機構を前記第１横行機の移動と連動させて動作させ、前記蓋体を前記第１横行機の移動中に回転させる動力伝達機構が設けられたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の蓋体開閉装置。
【請求項４】
被処理物を搬送可能な機能を備えた中空構造の搬送室に対し、該搬送室の周囲を囲むように複数のチャンバー本体が前記搬送室の側部に形成されたゲートバルブを介し接続され、前記チャンバー本体にそれぞれ蓋体が設けられたマルチチャンバー処理システムであって、
前記複数のチャンバー本体の少なくとも１つに請求項１〜３のいずれか一項に記載の蓋体開閉装置が適用されたことを特徴とするマルチチャンバー処理システム。
【請求項５】
前記チャンバー本体の前記ゲートバルブ設置側と反対側に前記第１ガイド部材が設けられ、前記チャンバー本体において前記ゲートバルブ設置部の側方に前記第２ガイド部材が設けられたことを特徴とする請求項４に記載のマルチチャンバー処理システム。
【請求項６】
前記搬送室の周囲において隣接するチャンバー本体の内の一方に形成された前記第２ガイド部材の先端部が隣接する前記他方のチャンバー本体の第１ガイド部材の基端側に配置され、前記第１横行機と第２横行機により前記１つのチャンバー本体から前記蓋体を離脱させる位置が隣接する他のチャンバー本体の側方位置であることを特徴とする請求項５に記載のマルチチャンバー処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板のような被処理体に所定の処理を施す処理装置に適用される蓋体開閉装置およびそれを備えたマルチチャンバー処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば、ＬＣＤ（液晶表示装置）基板の製造工程において、減圧雰囲気において基板にエッチング処理、成膜処理等の所定の処理を施す真空処理装置を複数備えた、マルチチャンバータイプの真空処理システムが使用されている。
この真空処理システムは、基板を搬送するロボットアームを有する基板搬送機構を設けた搬送室と、その周囲にゲートバルブを介し接続された複数の真空処理装置及びロードロックチャンバーとから構成されている。
搬送室に設けられているロボットアームによって基板を各真空処理装置にゲートバルブを介し搬入するとともに、各真空処理装置において処理した基板をゲートバルブを介し搬送室に戻し、この基板を再度別の真空処理装置に搬送して基板表面に対し必要な種々の処理を行うことができる。
【０００３】
この種の真空処理システムにおいて、真空処理装置のチャンバーは、内部のメンテナンスを可能とする開閉自在な蓋体を有している。この蓋体の開閉機構として従来から、図６に示すように、箱型のチャンバー本体１０１の上部にヒンジ１０３を介し上下に回動自在に蓋体１０２を設けた構造が知られている。この蓋体１０２はチャンバー本体１０１の側部に設けた油圧シリンダー等のシリンダー装置１０４によりヒンジ１０３を支点として回動自在に設けられている。即ち、シリンダー装置１０４のピストンロッド１０５を伸張させることで蓋体１０２を上方に押し上げ、チャンバー本体１０１の開口部を開放することができる。
【０００４】
図６に示す開閉機構では、チャンバー本体１０１のサイズが基板サイズの拡大に比例して大型化すると、蓋体１０２も大型化するので、蓋体１０２を開放した場合に大きな蓋体１０２が工場の天井等に干渉するおそれが出ている。例えばＬＣＤ用の基板サイズがＧ８〜Ｇ１０などのように基板幅２〜３ｍものサイズになると、チャンバー本体１０１の上方に３ｍを超える空間を確保しなくてはならず、通常の工場に設置可能な限界を超えるおそれが生じている。
【０００５】
チャンバー本体１０１に設けられる蓋体１０２には、エッチング等のガスを用いる処理を行う場合のために蓋体１０２の内側にガスを吐出するためのシャワーヘッドや各種配管等の付属重量物が収容されるため、総重量も装置の規模によって１〜１０ｔ程度に大きくなる傾向がある。このため、蓋体１０２を開放する場合、ヒンジ１０３の回動角度、解放後の蓋体１０２の安定性等も考慮し、蓋体１０２の開放角度を９０゜よりも２０〜３０゜程度低い開放角度とする設計がなされている。ところが、このため、蓋体１０２の開放角度が小さくなるので、チャンバー本体１０１の内部メンテナンス、内部機器の取り外しや交換、蓋体１０２の裏面側のメンテナンス、蓋体１０２の内部に取り付けた機器のメンテナンスや交換のために、十分なスペースや空間を確保できない問題が生じていた。
また、Ｇ５世代以降と称される大型の真空処理装置のチャンバーでは、図７に例示するようにチャンバー本体１０６の側部に大型のヒンジ１０７を介し蓋体１０８を回動自在に接続し、ヒンジ１０７の支持軸１０９を大型のモーター装置１１０を用いて回動する構成が採用されている。この構成によれば、蓋体１０８を１８０゜開いてメンテナンスできる利点があり、メンテナンススペース的には問題がない特徴を有する。
ところが、図７に示す構成では大型のモーター装置１１０に加えて減速機が必要になり、装置全体の重量が大きくなる問題があり、支持軸１０９の駆動部付近に偏荷重が発生する。このため、工場の床の強度を高めることが必要となり、装置自身の構造フレームにも高い強度が要求される。これらのことから、図７に示す装置は製造コスト、設備コストが高くなる問題を有していた。
【０００６】
このため、これらの問題を解決するための構造が以下の特許文献１に提案されている。特許文献１に記載された構造は、処理チャンバーの蓋体の着脱機構として蓋体を水平方向にスライドさせるスライド機構と蓋体を回転させる回転機構を有し、スライド機構により蓋体をチャンバー本体の側方に重ならなくなる位置までスライドさせた後、蓋体を回転できるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−１８５５３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載されている構造は、箱型のチャンバー本体の両側面にレール状の水平のリニアガイドを設け、このリニアガイドに沿ってスライド移動部を移動自在に設け、このスライド移動部を蓋体側面に取り付けてなる。また、スライド移動部は蓋体側面に対し回動自在に取り付けられていて、蓋体をチャンバー本体の側方に移動させた後、蓋体を回転させて裏返しできるように構成されている。
【０００９】
特許文献１に記載されている構造によれば、蓋体をチャンバー本体の側方に移動させて蓋体とチャンバー本体を相互に干渉しない位置に移動させた後、蓋体を裏返しすることにより、蓋体の内側の隅々までメンテナンスすることができる。また、スライド移動部の取り付け位置を蓋体側面の幅方向中央側にしておくならば、蓋体を回転させる際、上方に必要な空間高さは、蓋体の一辺の長さの１／２程度でよいので、蓋体のサイズが２〜３ｍもの大きさとなっている場合、工場の天井部側への干渉も少なくできる利点がある。
【００１０】
ところが、上述の構造では、スライド移動部やリニアガイドをチャンバー本体側面と蓋体側面に設けているため、チャンバー本体側面と蓋体側面に１〜１０ｔにもなる重量物の蓋体を支持回転できる強度と大きさのスライド移動部やリニアガイドを設ける必要がある。即ち、チャンバー本体側面側と蓋体側面側にこれらスライド移動部やリニアガイドなどの重量物が取り付けられるので、真空装置に重量物を支持するための機構を別途設けることとなり、エッチングや成膜処理などのために必要な真空装置としての強度以上に堅牢な構造とする必要があった。
【００１１】
また、マルチチャンバータイプの真空処理システムとして考慮した場合、前記スライド移動部やリニアガイドが、搬送室と真空処理装置の境界に設けられるゲートバルブと干渉する可能性があり、適用できない問題があった。なお、スライド移動部やリニアガイドとゲートバルブが直接干渉しなくとも、ゲートバルブの周囲に必要なメンテナンス領域とこれらの重量物の取り付け領域が干渉するおそれがあった。
【００１２】
本発明は前記事情に鑑みなされたものであり、チャンバー本体の横方向に蓋体をスライド移動できるとともに蓋体を回転させて裏返すことができ、蓋体のメンテナンスが可能であるとともに、チャンバー本体側面と蓋体側面に直に特別な部材を取り付けることなくスライド移動と回転が可能であり、マルチチャンバー処理システム用としても適用可能な蓋体開閉装置、およびその開閉装置を備えたマルチチャンバー処理システムの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の蓋体開閉装置は、チャンバー本体上に着脱可能に設けられた平面視矩形状の蓋体の開閉装置であって、前記チャンバー本体の上に設置された前記蓋体の両側部に、平面視した前記蓋体の対角位置に第１支持部と第２支持部が形成され、前記チャンバー本体の設置位置の両側に、互いに平行な直線状の第１ガイド部材と第２ガイド部材が設けられ、前記第１ガイド部材が前記第１支持部の近傍位置下方を基点として前記チャンバー本体の側部に沿って前記チャンバー本体の横に延在するように、前記第２ガイド部材が前記第２支持部の近傍位置下方を基点として前記チャンバー本体から離れる方向に延在するように、かつ、前記第１支持部と前記第２支持部を結ぶ仮想線が前記第１ガイド部材及び前記第２ガイド部材の延在方向と傾斜するように配置され、前記第１ガイド部材に沿って移動自在に第１横行機が、前記第２ガイド部材に沿って移動自在に第２横行機がそれぞれ設けられ、前記第１横行機に立設された第１昇降機によって前記第１支持部が支持され、前記第２横行機に立設された第２昇降機によって前記第２支持部が支持され、前記第１横行機と前記第２横行機により前記蓋体が前記第１ガイド部材と第２ガイド部材の延在方向に移動自在に支持され、前記第１昇降機と前記第２昇降機により前記蓋体が上下に移動自在に支持され、前記第１昇降機と第２昇降機に前記仮想線を回転中心軸として前記蓋体を回転させる回転機構が設けられたことを特徴とする。
【００１４】
本発明の蓋体開閉装置において、前記第１ガイド部材が前記チャンバー本体の一方の側面近傍に設置され、前記第２ガイド部材が前記チャンバー本体の他方の側面の延長面近傍に設置されたことが好ましい。
本発明の蓋体開閉装置において、前記第１ガイド部材と前記第２ガイド部材がこれらの延在方向に沿う前記チャンバー本体の長さよりも長く形成され、前記第１横行機と前記第２横行機の移動により前記蓋体が前記チャンバー本体の側方側に前記チャンバー本体上方から離脱する位置まで移動自在とされたことが好ましい。
【００１５】
本発明のマルチチャンバー処理システムは、被処理物を搬送可能な機能を備えた中空構造の搬送室に対し、該搬送室の周囲を囲むように複数のチャンバー本体が前記搬送室の側部に形成されたゲートバルブを介し接続され、前記チャンバー本体にそれぞれ蓋体が設けられたマルチチャンバー型の処理システムであって、前記複数のチャンバー本体に先のいずれかに記載の蓋体開閉装置が適用されたことを特徴とする。
本発明のマルチチャンバー処理システムにおいて、前記搬送室の周囲において隣接するチャンバー本体の内の一方に形成された前記第２ガイド部材の先端部が隣接する前記他方のチャンバー本体の第１ガイド部材の基端側に配置され、前記第１横行機と第２横行機により前記１つのチャンバー本体から前記蓋体を離脱させる位置が隣接する他のチャンバー本体の側方位置であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の蓋体開閉装置によれば、第１横行機と第２横行機によりチャンバー本体の蓋体をチャンバー本体の横方向に移動させ、チャンバー本体の側方に蓋体を離脱させることでチャンバー本体に影響されずに蓋体のメンテナンスができる。このため、蓋体に各種機器が設置されている構成であっても支障なく蓋体のメンテナンスができる。
チャンバー本体の側方に蓋体を移動させた後、第１昇降機と第２昇降機により蓋体を下降できるので、蓋体のメンテナンスを行う場合、作業員にとって好適な高さに蓋体を移動させてメンテナンス作業できるので、メンテナンスの作業性向上に寄与する。
【００１７】
蓋体の対角位置に第１支持部と第２支持部を設けたので、第１支持部と第２支持部を結ぶ対角線を回転中心軸として蓋体を回転することができ、ヒンジを介して蓋体を上下に回動自在としていた従来装置よりも蓋体の回転時に蓋体の上方空間に干渉エリアを広くとる必要がない。このため、従来装置を設置する場合よりも低い天井高さの建屋に適用可能となり、チャンバー本体周囲に種々の機器が設置されている設置環境であっても適用可能となる。
【００１８】
本発明のマルチチャンバー処理システムによれば、複数のチャンバー本体から個々に蓋体を移動させて回転させ、複数のチャンバー本体の蓋体のメンテナンス作業を行うことができる。
また、チャンバー本体のゲートバルブ設置側と反対側に第１ガイド部材を設け、ゲートバルブ設置部の側方に第２ガイド部材を設ける構成とするならば、蓋体をチャンバー本体およびゲートバルブの側方側に移動させて回転させメンテナンスができる。このため、チャンバー本体のゲートバルブ設置側と反対側であって、処理システムの外側に蓋体を移動させる構造と対比し、蓋体を移動させるスペースを外側に拡げなくとも、チャンバー本体の横の空きスペースを有効利用できるので、マルチチャンバー処理システムとしての占有面積を外側に拡げなくても蓋体開閉装置の設置が可能となる。
【００１９】
更に、マルチチャンバー処理システムとして、複数のチャンバー本体に蓋体の開閉装置を設ける場合、１つのチャンバー本体から蓋体を離脱させる位置を隣接する他のチャンバーの側方位置となるようにするならば、隣接するチャンバー本体間の空いたスペースを有効に利用して蓋体の移動と回転ができる。このため、省スペース構成の蓋体開閉装置を備えたマルチチャンバー処理システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係る蓋体の開閉装置を備えたマルチチャンバー型処理システムの第一実施形態を示す平面図。
【図２】同処理システムに設けられたチャンバー本体に対し蓋体を上昇させた状態を示す側面図。
【図３】同処理システムに設けられたチャンバー本体に対し蓋体を水平移動させた状態を示す側面図。
【図４】同処理システムに設けられたチャンバー本体に対し蓋体を回転させた状態を示す側面図。
【図５】同処理システムに設けられたチャンバー本体に対し蓋体を回転後下降させる状態を示す側面図。
【図６】従来の処理装置に設けられている蓋体開閉機構の一例を示す斜視図。
【図７】従来のＧ５世代以降の処理装置に設けられている蓋体開閉機構の一例を示す斜視図。
【図８】本発明に係る蓋体の開閉装置を備えたマルチチャンバー型処理システムの第二実施形態を示す構成図。
【図９】同第二実施形態の側面図。
【図１０】同第二実施形態の部分構成の拡大図であり、図１０（Ａ）は反転機構の平面図、図１０（Ｂ）は昇降機構の側面図、図１０（Ｃ）は反転機構の側面図。
【図１１】同第二実施形態においてチャンバー本体から蓋体を上昇させて移動させている途中の状態を示す側面図。
【図１２】同第二実施形態においてチャンバー本体から外した蓋体を回転させている途中の状態を示す側面図。
【図１３】同第二実施形態においてチャンバー本体から外した蓋体を回転させて裏返した状態を示す側面図。
【図１４】同第二実施形態においてチャンバー本体から蓋体を外す状態を段階的に示す図であり、図１４（Ａ）はチャンバー本体から蓋体を上昇させた状態を示す斜視図、図１４（Ｂ）はチャンバー本体から蓋体を上昇させた状態を示す斜視図、図１４（Ｃ）は蓋体を途中まで移動させた状態を示す斜視図、図１４（Ｄ）は図１４（Ａ）に示す状態の側面図、図１４（Ｅ）は図１４（Ｂ）に示す状態の側面図、図１４（Ｆ）は図１４（Ｃ）に示す状態の側面図。
【図１５】同第二実施形態においてチャンバー本体から蓋体を外す状態を段階的に示す図であり、図１５（Ａ）はチャンバー本体から外れる位置まで蓋体を移動させた状態を示す斜視図、図１５（Ｂ）は蓋体を裏返す途中の状態を示す斜視図、図１５（Ｃ）は蓋体を裏返した状態を示す斜視図、図１５（Ｄ）は図１５（Ａ）に示す状態の側面図、図１５（Ｅ）は図１５（Ｂ）に示す状態の側面図、図１５（Ｆ）は図１５（Ｃ）に示す状態の側面図。
【図１６】本発明に係る蓋体の開閉装置を備えたマルチチャンバー型処理システムの第三実施形態を示す構成図。
【図１７】同第三実施形態において蓋体の開閉機構の要部を示すもので、図１７（Ａ）は台車の移動機構と蓋体の回転機構の要部を示す平面略図、図１７（Ｂ）は同要部の側面図。
【図１８】同第三実施形態においてチャンバー本体から蓋体を外す状態を段階的に示す図であり、図１８（Ａ）はチャンバー本体上に蓋体が載置されている状態を示す正面図、図１８（Ｂ）はチャンバー本体の上方に蓋体を移動させた状態を示す正面図、図１８（Ｃ）は蓋体をチャンバー本体の側方に移動させながら回転した状態を示す正面図、図１８（Ｄ）はチャンバー本体の側方に移動させた蓋体を下降させた状態を示す正面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
「第一実施形態」
以下に、本発明の第一実施形態に係る蓋体の開閉装置について、図面を適宜参照しながら説明する。
図１は、本発明に係る蓋体の開閉装置を備えたチャンバー装置を搬送室の周囲に３基備えたクラスター型のマルチチャンバー処理システムの一例を示す平面図である。
この処理システムＡは、中央部に設置された平面視略８角形状の搬送室１を有し、この搬送室１の側面のうち、３つの側面にゲートバルブ２を介し平面視矩形状のチャンバー本体３、４、５が平面視９０゜間隔で接続されている。また、チャンバー本体３、４、５が接続されていない面の１つにゲートバルブ２を介しロードロックチャンバー６が接続されている。搬送室１に対しチャンバー本体３、４、５とロードロックチャンバー６は平面視搬送室１の周囲を囲むように９０゜間隔で配置され、全体が建屋のクリーンルームなどに設置されている。
【００２２】
各チャンバー本体３、４、５の上にはそれぞれ開閉可能に設置された蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａが設けられ、それぞれチャンバー装置が構成され、各チャンバー装置において以下に説明する開閉装置により蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａが開閉される。なお、各チャンバー本体３、４、５に設けた開閉装置は同等構造であるので、以下、１つのチャンバー本体３を例として開閉機構について説明する。なお、蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａは箱型のチャンバー本体３、４、５の上に着脱自在に設置され、後述する搬送機構によりチャンバー本体３、４、５の開口面から持ち上げることで蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａをチャンバー本体３、４、５から取り外すことができるように構成されている。
【００２３】
チャンバー本体３は、図１の平面図では搬送室１の一方に描かれている平面視矩形状のチャンバー本体であり、チャンバー本体３の１つの側面がゲートバルブ２を介し搬送室１に接続されている。搬送室１は、内部にロボットアーム等の図示略の搬送機が備えられ、ロードロックチャンバー６とゲートバルブ２を介し搬送室の内部に搬送されたＬＣＤ用などの矩形状の基板等の被処理物を必要に応じゲートバルブ２を介しチャンバー本体３、４、５の何れかに搬送できる構成とされている。また、各チャンバー本体３、４、５のいずれかにおいて処理した被処理物を搬送室１に戻し、必要に応じて他のチャンバー本体３、４、５のいずれかに搬送することで、被処理物に対し複数の成膜やエッチング等の複数の処理ができる構成とされている。各チャンバー本体３、４、５は真空ポンプ等の図示略の排気装置に接続され、内部を減圧してエッチングや各種成膜等の目的に使用するための成膜室を構成する。マルチチャンバー型処理システムＡにおいて、各チャンバー本体３、４、５のいずれかを利用して被処理物に成膜やエッチングなどの各種の処理を施した後、ロードロックチャンバー６に被処理物を搬送後、被処理物を外部に搬出できるように構成されている。
【００２４】
チャンバー本体３において、ゲートバルブ２を介し搬送室１に接続された側の側面を第１側面３ａ、反対側の側面を第２側面３ｂと規定し、残り２つの側面のうち、ロードロックロックチャンバー６に近い側の側面を第３側面３ｃ、残りの側面を第４側面３ｄと規定して以下に説明する。
チャンバー本体３において第２側面３ｂに隣接する床面上にチャンバー本体３の第２側面３ｂの横幅よりも若干長いレール状の第１ガイド部材１０が設置されている。この第１ガイド部材１０は、チャンバー本体３においてゲートバルブ２の接続側と反対側の側面である第２側面３ｂに隣接する位置に第２側面３ｂと平行に設けられている。また、チャンバー本体３において、第１側面３ａの延長面位置近傍、即ち、ゲートバルブ２を設置した位置の側方側の床面上に第１ガイド部材１０より若干長いレール状の第２ガイド部材１１が設置されている。この第２ガイド部材１１は第１ガイド部材１０と平行に、かつ、ロードロックチャンバー６の第１側面３ａと平行に設置されている。
【００２５】
第１ガイド部材１０の上には、図２〜図５に示すように車輪１２、１２を台車１３の下に備えた第１横行機１５が第１ガイド部材１０に沿って移動自在に設けられている。第１横行機１５において台車１３の下部側には、車輪１２を回転駆動して第１ガイド部材１０に沿って台車１３を移動させる走行用のモーター装置１４が設けられている。
第１横行機１５において、台車１３の上にはジャッキ型の第１昇降機１６が立設され、この第１昇降機１６の上端部にブロック状の第１支持部１７が取り付けられ、この第１支持部１７が蓋体３Ａの一方の角部に水平に延出形成された支持ロッド１８を支持している。第１昇降機１６はジャッキ機構あるいは油圧シリンダー機構などからなる上下に伸縮自在の構造とされ、第１昇降機１６のシリンダー部材１６Ａに対し昇降ロッド１６Ｂが上下移動することで第１支持部１７を所定距離、上下昇降移動させることができる。また、第１昇降機１６の上端部に取り付けられた架台１９の側部に前記第１支持部１７に接続されて前記支持ロッド１８をその軸周りに回転させる反転機（回転機構）２０が設置されている。
【００２６】
第２ガイド部材１１の上には、車輪２２、２２を台車２３の下に備えた第２横行機２５が第２ガイド部材１１に沿って移動自在に設けられている。
第２横行機２５において、台車２３の上には柱状の第２昇降機２６が立設され、この第２昇降機２６の上端部にブロック状の第２支持部２７取り付けられ、この第２支持部２７が蓋体３Ａの他方の角部に水平に延出形成された支持ロッド２８を支持している。
本実施形態の蓋体３Ａは平面視正方形に近い長方形状とされ、その対角位置に支持ロッド１８と支持ロッド２８が形成されているので、第１支持部１７と第２支持部２７は、平面視矩形状の蓋体３Ａの略対角位置に配置されている。また、蓋体３Ａの対角線Ｌにほぼ沿うように支持ロッド１８、２８が蓋体３Ａに取り付けられているので、第１支持部１７と第２支持部２７を結ぶ仮想線は蓋体３Ａの対角線Ｌとほぼ共通にされている。
【００２７】
第２昇降機２６は第１昇降機１６と同等のジャッキ構造とされており、第２昇降機２６のシリンダー部材２６Ａに対し昇降ロッド２６Ｂが上下移動することで第２支持部２７を所定距離、上下昇降移動できる。
第１横行機１５の台車１３と第２横行機２５の台車２３は平面視Ｌ字型のフレーム部材３０により接続されていて、第１ガイド部材１０に沿って第１横行機１５が移動すると、第２ガイド部材１１に沿って第２横行機２５が追従して同期移動できる。
【００２８】
図１に示す処理システムにおいて、チャンバー本体４、５に対しチャンバー本体３と同様に第１ガイド部材１０と第２ガイド部材１１が設置されている。
チャンバー本体４の側面４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄのうち、ゲートバルブ２が設けられた側の側面４ａに対し反対側の側面４ｂに沿って床面上に第１ガイド部材１０が設けられ、ゲートバルブ２が設けられた側の側面４ａの延長面に沿って床面上に第２ガイド部材１１が設置されている。チャンバー本体４に対し設けられている第２ガイド部材１１は、先のチャンバー本体３の側面３ｄに隣接配置され、第２ガイド部材１１の先端部はチャンバー本体３に対し設けられている第１のガイド部材１０の端部近傍に配置されている。
チャンバー本体４に対し設けられた第１ガイド部材１０と第２ガイド部材１１の上にも先に説明したチャンバー本体３用に設けられた開閉機構と同等の構造が適用されている。
即ち、第１ガイド部材１０の上に車輪１２と台車１３を備えた第１横行機１５と第１昇降機１６と第１支持部１７と架台１９と反転機２０が設けられている。第２ガイド部材１１の上に車輪２２と台車２３を備えた第２横行機２５と第１昇降機２６と第２支持部２７と架台２９が設けられている。
【００２９】
チャンバー本体５の側面５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄのうち、ゲートバルブ２が設けられた側の側面５ａに対し反対側の側面５ｂに沿って床面上に第１ガイド部材１０が設けられ、ゲートバルブ２が設けられた側の側面５ａの延長面に沿って床面上に第２ガイド部材１１が設置されている。チャンバー本体５に対し設けられる第２ガイド部材１１は、先のチャンバー本体４の側面４ｄに隣接配置され、第２ガイド部材１１の先端部はチャンバー本体４に対し設けられている第１のガイド部材１０の端部近傍に配置されている。
【００３０】
チャンバー本体５に対し設けられた第１ガイド部材１０と第２ガイド部材１１の上にも先に説明したチャンバー本体３用に設けられた開閉機構と同等の構造が適用されている。
即ち、第１ガイド部材１０の上に車輪１２と台車１３を備えた第１横行機１５と第１昇降機１６と第１支持部１７と架台１９と反転機２０が設けられている。第２ガイド部材１１の上に車輪２２と台車２３を備えた第１横行機２５と第１昇降機２６と第１支持部２７と架台２９が設けられている。
これらチャンバー本体４、５に設けられている開閉機構はチャンバー本体３に設けられている開閉機構と同等であるので、以下、蓋体の開閉動作について、チャンバー本体３の蓋体３Ａの開閉動作の場合を代表例として以下に説明する。
【００３１】
以上のように構成された開閉装置を用いてチャンバー本体３の蓋体３Ａをメンテナンスなどのために開放するには、エッチングや成膜のために使用していたチャンバー本体３の減圧を解除して大気圧に戻し、内部に配管等を介し処理ガス等を供給している場合はガス供給を停止し、蓋体３Ａを取り外し可能な状態としておく。
蓋体３Ａの開放を開始する初期状態において蓋体３Ａはチャンバー本体３の上面開口部を閉じるようにチャンバー本体３の開口部に載置されている。図１に示すように第１横行機１５は第１ガイド部材１０の始端部（図１の左端部）に位置し、第２横行機２５は第２ガイド部材１１の始端部（図１の左端部）に位置している。
図１に実線で示す第１横行機１５と第２横行機２５の位置で第１昇降機１６と第２昇降機２６ジャッキ機構を伸張し、蓋体３Ａを図２の矢印で示すように上昇させ、チャンバー本体３の開口部から蓋体３Ａを分離する。
【００３２】
蓋体３Ａを十分な高さに上昇させたならば、図３に示すように第１ガイド部材１０と第２ガイド部材１１に沿ってそれらの終端側まで第１横行機１５と第２横行機２５を走行させ、蓋体３Ａをチャンバー本体３の側方に移動させる。
第１ガイド部材１０と第２ガイド部材１１の終端側まで第１横行機１５と第２横行機２５を移動させることで、蓋体３Ａは図１の２点鎖線に示すようにチャンバー本体３の側方側であって、ロードロックチャンバー６の側方側の空きスペースまで移動する。
【００３３】
図１の２点鎖線あるいは図３に示す位置まで蓋体３Ａを移動したならば、図４に示すように反転機２０を作動させて支持ロッド１８、２８を回転中心軸として蓋体３Ａを回転させ、図５に示すように裏返す。この際、蓋体３Ａは支持ロッド１８、２８に沿う蓋体３Ａの対角線を回転中心軸として回転される。ここで、蓋体３Ａが回転するために要する空間の幅と高さは図６に示す従来構造のように蓋体１０２がヒンジ１０３を回転中心としてそのまま上方に移動するために必要な空間の幅と高さより狭くなる。このため、一辺２〜３ｍなどのように大型の蓋体３Ａを回転させて裏返す場合であっても、従来構造よりも狭い空間で蓋体３Ａの回転ができるので、天井が低いクリーンルーム、あるいは、チャンバー本体３Ａの周囲に種々の配管や設備などが配置されるクリーンルームであっても支障なく適用が可能となる。
【００３４】
蓋体３Ａを裏返したならば、第１昇降機１６と第２昇降機２６を用いて蓋体３Ａを必要な高さまで下降させることで、メンテナンス作業のし易い高さに位置調節ができる。
蓋体３Ａの内面側には、チャンバー本体３の内部空間にガスを供給するための配管やシャワーヘッド等の各種機器が装着されている場合があるので、これらの機器を含めた蓋体３Ａのメンテナンス作業を行うことができる。
メンテナンス作業が終了したならば、図５に示す状態のように蓋体３Ａを上昇させ、引き続き図４に示すように蓋体３Ａを反転させ、図３に示す状態から第１横行機１５と第２横行機２５を図２に示す状態に走行させ、チャンバー本体３の直上に蓋体３Ａを戻し、この状態から蓋体３Ａを下降させることでチャンバー本体３の開口部を蓋体３Ａで閉じることができる。以上の操作により蓋体３Ａの開閉動作とメンテナンス作業を終了できる。
【００３５】
なお、ここまでの説明において蓋体３Ａを裏返すタイミングは図４に示すように蓋体３Ａをチャンバー本体３の側方に完全に移動させてから行うように説明した。しかし、蓋体３Ａを側方に移動させながら、移動途中に蓋体３Ａを徐々に回転させて裏返すように操作しても良い。蓋体３Ａをチャンバー本体３の側方に蓋体３Ａの横幅の数分の一程度移動させると蓋体３Ａを回転させてもチャンバー本体３と蓋体３Ａが干渉しなくなるので、蓋体３Ａを移動させている最中に反転機２０を用いて蓋体３Ａを徐々に回転させることで蓋体３Ａを裏返ししても良い。このような回転動作を行った方が蓋体３Ａの移動と回転を同時に行えるので、重量物である蓋体３Ａを無理なく円滑に裏返すことができる。
【００３６】
チャンバー本体３の蓋体３Ａに対し行った開閉動作とメンテナンス作業は、チャンバー本体４の蓋体４Ａに対しても同様に実施できる。また、チャンバー本体３の蓋体３Ａに対し行った開閉動作とメンテナンス作業は、チャンバー本体５の蓋体５Ａに対しても同様に実施できる。
以上説明のように本実施形態の処理システムＡにおいて、複数のチャンバー本体３、４、５を設けた場合、いずれのチャンバー本体３、４、５の蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａに対しても開閉動作とメンテナンス作業が円滑にできる。
【００３７】
蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａのいずれについてもチャンバー本体３、４、５の側方の空きスペースに蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａを移動させ、それらの空きスペースを利用して開閉動作とメンテナンス作業ができるので、処理システムＡの周囲の空間を有効利用できる。
また、処理システムＡを平面視した場合、各チャンバー本体３、４、５の外側ではなく各チャンバー本体３、４、５の横側に蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａを移動させる構成であるので、各チャンバー３、４、５の外側に蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａを移動させる構成と対比し、小さい面積に処理システムＡを設置可能となり、設置スペースを有効利用できる特徴を有する。
【００３８】
「第二実施形態」
図８〜図１３は本発明の第二実施形態に係る蓋体の開閉装置を備えたクラスター型のマルチチャンバー処理システムＢを示すもので、この形態の処理システムＢにおいて、搬送室１の周囲にチャンバー本体３、４、５とロードロックチャンバー６が設けられ、チャンバー本体３、４、５の上にそれぞれ蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａが設けられている点は第一実施形態の構造と同等である。
また、図８に示すように搬送室１に対しチャンバー本体４とロードロックチャンバー６を接続した位置が図１に示す処理システムＡの位置と左右逆にされている点を除くと、第一実施形態の処理システムＡと第二実施形態の処理システムＢは基板等の被処理物をエッチングするか成膜するという処理システムとして同等構造である。
【００３９】
第二実施形態の構造において第一実施形態の構造と異なっているのは、蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａを上下に昇降させる機構とガイド部材１０、１１に沿って移動させる機構である。
その他の構造は位置関係が異なるのみで第１実施形態の構造と第二実施形態の構造は同等であるので、同一符号を付して共通部分の説明は省略する。また、第二実施形態において蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａを開閉するためのそれぞれの開閉装置はいずれも同等構造であるので、以下チャンバー本体３の蓋体３Ａを開閉する装置を代表として以下に説明する。
チャンバー本体３の蓋体３Ａを開閉するために設けられているガイド部材１０、１１について第一実施形態の構造と第二実施形態の構造は同等である。
【００４０】
第二実施形態の構造において、図８に示すように台車４３が第一実施形態の台車１３より長く、ガイド部材１０の全長より若干短い長さに、かつ、横断面コ字型に形成されてガイド部材１０の上に被さるようにガイド部材１０上に設置されている。台車４３には、前後に複数の車輪４２が設けられていて、台車４３はガイド部材１０に沿って移動自在に設けられている。台車４３の上には横行用のモーター装置４４が設けられ、このモーター装置４４の回転軸に取り付けられているスプロケットホイール４４Ａ、４４Ａに２つのチェーン部材４４Ｂが掛け渡されている。各チェーン部材４４Ｂは台車４３の前部側と後部側に設けられている複数の車輪付ホイール部材４２Ａに掛け渡され、モーター装置４４の駆動により各車輪を回転させることでガイド部材１０に沿って台車４３が移動自在に構成されている。
【００４１】
台車４３の先端側には昇降用のモーター装置５０が設けられ、このモーター装置５０の出力軸が接続シャフト５１を介し台車４３の後端部に設けられたボックス型のギア機構５２に接続されている。ギア機構５２は台車４３の後端側に立設された支柱型の第１昇降機４６の根本部分に収容され、ギア機構５２の上部に接続された軸部材５２Ａが第１昇降機４６の内部に沿って上方に延出されている。ギア機構５２は水平に接続されている接続シャフト５１の回転力を受け、この回転力をギア機構５２に上に接続されている軸部材５２Ａに伝達してこの軸部材５２Ａを軸周りに回転する機能を有する。ギア機構５２の内部には複数のギアが組み込まれていて、水平に配置されている接続シャフト５１の軸周りの回転力を垂直に配置されている軸部材５２Ａの軸周りの回転に変換するギア装置である。
【００４２】
第１昇降機４６は中空のシリンダー部材４６Ａに対し上下に摺動自在に収容された中空の昇降ロッド４６Ｂを備え、昇降ロッド４６Ｂの内底部側には軸部材５２Ａの回転力を昇降ロッド４６Ｂの上下昇降動作に変換するための送りネジ機構が内蔵されている。
第１昇降機４６の昇降ロッド４６Ｂはモーター装置５０の回転力により上下に昇降し、架台１９とその上の第１支持部１７および第１支持部１７が支持している支持ロッド１８を上下に昇降させる。
【００４３】
ガイド部材１１側に設けられている第２横行機５５の台車５３は台車４３と同様に複数の車輪を有し、ガイド部材１１に沿って移動自在に設けられている。また、台車４３と台車５３はＩ型のフレーム部材５７により一体接続され、台車４３がガイド部材１０に沿って移動することで台車５３もガイド部材１１に沿って同期移動する。
また、台車４３に設けられているモーター装置５０には２本目の接続シャフト５８がフレーム部材５７に沿って台車５３側に延在されている。台車５３の先端側には、第２昇降機６６が設けられ、この第２昇降機６６の底部側に設けられているボックス型のギア機構６２に第２の接続シャフト５８が接続されている。第２昇降機６６も先の第１昇降機４６と同様に中空のシリンダー部材６６Ａと中空の昇降ロッド６６Ｂとギア機構５２を備え、モーター装置５０の駆動力に従い昇降ロッド６６Ｂが上下に昇降される。
以上の構成により、モーター装置５０の駆動力を受けて回転する接続シャフト５１と接続シャフト５８が同期回転されるので、第１昇降機４６の昇降ロッド４６Ｂと第２昇降機６６の昇降ロッド６６Ｂは同期して上下移動する。
【００４４】
第二実施形態の昇降装置Ｂは、モーター装置５０による第１昇降機４６と第２昇降機６６の昇降動作により先の第一実施形態の装置と同様にチャンバー本体３の蓋体３Ａを上下に昇降できる構成とされている。また、以下に説明する構造により蓋体３Ａを第１実施形態の装置と同様、回転させて反転できる。
【００４５】
第二実施形態の処理システムＢにおいて特徴的な構造は、台車４３と台車５３がガイド部材１０、１１に沿って移動するのと同期するように蓋体３Ａを回転できる点にある。
モーター装置４４の出力軸に第３のスプロケットホイールが設けられ、この第３のスプロケットホイールに第３のチェーン部材５９の一端側が巻き掛けられ、このチェーン部材５９の他端側が第１昇降機４６に隣接されているギア機構６０のクラッチ装置６１に接続されている。ギア機構６０はマイタギアを内蔵した構成であり、その上には反転駆動シャフト６３が立設され、この反転駆動シャフト６３は架台１９の上に設けられているギア機構６５に接続され、ギア機構６５の出力軸は反転機２０に接続されていて、反転機２０が操作する支持ロッド１８の回転角度を調節できるように構成されている。
すなわち、モーター装置４４の回転駆動力をクラッチ装置６１を介し反転機２０に伝達することで台車４３と台車５３がガイド部材１０、１１に沿って移動する動作と同期させて反転機２０を動作させ、支持している蓋体３Ａの回転角度を調整することができる。
例えば、台車４３、５５を移動させて蓋体３Ａをチャンバー本体３の上方から若干移動させると同期させて蓋体３Ａの回転を開始させ、蓋体３Ａがチャンバー本体３の上方位置から外れる際には蓋体３Ａの回転をほぼ完了するように作動させることができる。
【００４６】
図１１に蓋体３Ａをチャンバー本体３の上方に移動後、チャンバー本体３の側方に蓋体３Ａの幅の数分の一程度移動させた状態を示し、図１２に蓋体３Ａを移動させながら回転している状態を示し、図１３に回転させた蓋体３Ａを裏返した状態を示す。
一例として、図１４（Ａ）、（Ｄ）に示すように蓋体３Ａをチャンバー本体３の上方に上昇させた状態から、図１４（Ｂ）、（Ｅ）に示すように蓋体３Ａの幅の１／４程度（数分の一程度）蓋体３Ａを水平方向に移動させた後、蓋体３Ａの回転を開始する。
次いで、図１５（Ａ）、（Ｄ）〜図１５（Ｂ）、（Ｅ）に示すように蓋体３Ａの水平移動とともに蓋体３Ａの回転を進行させ、図１５（Ｃ）、（Ｆ）に示すように蓋体３Ａをチャンバー本体３の側方にチャンバー本体３の上方から外れる位置まで移動させた場合に蓋体３Ａの回転も終了させるように動作させることができる。
【００４７】
図１４〜図１５に示すように蓋体３Ａの移動と回転を同期させて同時に行うならば、蓋体３Ａの移動を終了させたと同時に蓋体３Ａの裏返しも完了できる。このため、蓋体３Ａの移動を完了させた後、直ちにメンテナンス作業に取りかかることができる。
その他、第二実施形態の処理システムＢにおいても第一実施形態の処理システムＡと同様の作用効果を得ることができる。例えば、ゲートバルブ２のメンテナンスエリアと干渉することなく開閉機構を設置できる利点を有する。また、蓋体３Ａの対角位置を支持することと、横行機４５、５５の移動により蓋体３Ａを移動できるので、蓋体３を回転させる際の高さ制限を少なくでき、メンテナンス作業時に蓋体３Ａを好適な高さに調節できる。
更に、クラスター型のマルチチャンバー処理システムＢであっても、装置の外側ではなく横側に蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａを移動させてメンテナンス作業ができるので、設置エリアを拡げることなく適用できる利点を有する。
【００４８】
第二実施形態の処理システムＢにおいては、横行機４５、５５を移動させるモーター装置４４の動力を利用し、モーター装置４４の駆動力をギア機構６０、６５により反転機２０に伝達して蓋体３Ａを回転できるので横行機４５、５５の移動とともに円滑に蓋体３Ａを回転できる。
また、処理システムＢが大型化した場合であっても、第１ガイド部材１０と第２ガイド部材１１をゲートバルブ２のメンテナンスエリアと干渉することのない床上に設置できるのでガイド部材１０、１１の大型化を支障なく実現できる。
【００４９】
第二実施形態の処理システムＢにおいて、昇降機４６、６６により蓋体３Ａを上昇させた後、横行機４５、５５により横向きに移動しながら蓋体３Ａの横移動中に蓋体３Ａを回転開始しても良いし、蓋体３Ａの横移動を終了した後に蓋体３Ａを反転させても良い。また、蓋体３Ａを反転させる必要がない場合は、蓋体３Ａの横移動を行い、横移動完了状態でメンテナンス作業を行っても良い。
勿論、蓋体３Ａのメンテナンス作業の必要性が無く、蓋体３Ａを開ける動作のみを行っても良いのは勿論である。
【００５０】
「第三実施形態」
図１６〜図１８は本発明の第三実施形態に係る蓋体の開閉装置を備えたクラスター型のマルチチャンバー処理システムＣを示すもので、この形態の処理システムＣにおいて、搬送室１の周囲にチャンバー本体３、４、５とロードロックチャンバー６が設けられ、チャンバー本体３、４、５の上にそれぞれ蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａが設けられている点は第二実施形態の構造と同等である。なお、図１６ではチャンバー本体４、５と蓋体４Ａ、５Ａは記載を略し、チャンバー本体３と蓋体３Ａとロードロックチャンバー６のみを記載している。
第三実施形態の処理システムＣと第二実施形態の処理システムＢは基板等の被処理物をエッチングするか成膜するという処理システムとして同等構造である。
【００５１】
第三実施形態の構造において蓋体３Ａを上下に昇降させる機構とガイド部材１０、１１に沿って移動させる機構は類似構造であるが、機構の一部が異なっている。
第三実施形態の構造において第二実施形態の構造と同等部分の構造は、同一符号を付してそれら同等部分の構造説明は省略する。また、第三実施形態において蓋体３Ａ、４Ａ、５Ａを開閉するためのそれぞれの開閉装置はいずれも同等構造であるので、以下チャンバー本体３の蓋体３Ａを開閉する装置を代表として以下に説明する。
チャンバー本体３の蓋体３Ａを開閉するために設けられているガイド部材１０、１１について第三実施形態の構造と第二実施形態の構造は同等である。
【００５２】
第三実施形態の構造において、図１６、図１７に示すように台車７３Ａと台車７３Ｂをフレーム部材７３Ｃで平面視コ字型に連結し、台車７３Ａ、７３Ｂでガイド部材１０、１１の上に被さるようにガイド部材１０、１１上に台車７３Ａ、７３Ｂが設置されている。台車７３Ａ、７３Ｂには、ガイド部材１０、１１に沿う位置に図１８に示すように複数の車輪７２が設けられていて、台車７３Ａ、７３Ｂはガイド部材１０、１１に沿って移動自在に設けられている。フレーム部材７３Ｃの上部であってガイド部材１０に近い位置には横行用のモーター装置７４が設けられている。
このモーター装置７４の一方の出力軸７４ａが一対のかさば歯車を組み合わせたマイタギア７５と接続シャフト７６を介し台車７３Ｂの後端部に設けられたギア機構７７に接続されている。このギア機構７７の上部には垂直に配置されたギア軸７８が立設され、このギア軸７８が第１支持部１７に接続された反転機（回転機構）２０に接続され、接続シャフト７６の回転を受けて反転機２０を駆動して支持ロッド１８を介し蓋体３Ａを第二実施形態の構造と同様に回転できるように構成されている。
【００５３】
前記ギア機構７７の内部にはマイタギアが組み込まれ、接続シャフト７６の軸周りの回転をギア軸７８の軸周りの回転に変換することができる。ギア軸７８はスクリュー軸型に構成され、ギア軸７８の上部側には内周面にスクリュー溝を形成したシリンダー軸７９が嵌合されている。シリンダー軸７９はギア軸７８の回転に伴い、ギア軸７８に沿って上昇するか下降することができる。
【００５４】
前記モーター装置７４の他方の出力軸７４ｂは、台車７３の中央部側に延出されてその先端部にスクリューギア８０が取り付けられている。このスクリューギア８０の下方の床上にはガイド部材１０、１１と平行かつ水平にラック８１が敷設されている。スクリューギア８０の近傍に図１７（Ｂ）に示すように鉛直方向に伝達軸８２が設置され、この伝達軸８２の下端部に前記ラック８１の歯に噛み合うピニオン８３が取り付けられ、伝達軸８２の上端部に前記スクリューギア８０に噛み合う歯車８５が取り付けられている。
【００５５】
以上の機構により、モーター装置７４の出力軸７４ｂの回転により伝達軸８２を介しピニオン８３を回転させることができ、これにより台車７３Ａ、７３Ｂを走行させることができる。また、モーター装置７４の出力軸７３ａの回転力をマイタギア７５を介し接続シャフト７６に伝達し、接続シャフト７６を回転させることができる。この接続シャフト７６の回転力をギア軸７８とシリンダー軸７９を介し反転機２０に伝達することで支持ロッド１８を介し蓋体３Ａを回転させることができる。
このため、第三実施形態の構造では、モーター装置７４の駆動力を利用し、出力軸７４ｂの回転力をスクリューギア８０、歯車８５、伝達軸８２を介しピニオン８３に回転力として伝達し、ピニオン８３とラック８１の噛み合いを利用して台車７３Ａ、７３Ｂの推進力とすることができる。この実施形態では、モーター装置７４、出力軸７４ｂ、スクリューギア８０、歯車８５、伝達軸８２、ピニオン８３、ラック８１が台車７３Ａ、７３Ｂの移動推進機構を構成する。
【００５６】
第三実施形態において蓋体３Ａを昇降させる機構は先の第二実施形態の構造と同等である。第１昇降機４６と第２昇降機６６が設けられ、第１昇降機４６により第１支持部１７と支持軸１８を昇降自在であり、第２昇降機６６により第２支持部２７と第２支持軸２８を昇降自在である点は第二実施形態の構造と同等である。台車７３上に設置されているモーター装置５０により接続シャフト５１、５８を回転させることで第１昇降機４６と第２昇降機６６を作動させて蓋体３Ａを昇降できる点は第二実施形態の構造と同様である。
【００５７】
図１６に符号９０で示すものはロードロックチャンバー６の側部側に設けられた作業台であり、符号９１で示すものは、チャンバー本体３の第４の側面３ｄに沿って設けられた作業台であり、符号９２で示すものはガイド部材１１に沿ってその側方に設けられた作業台である。
【００５８】
以上構成の第三実施形態によれば、モーター装置７４の出力軸７４ｂを回転させることでピニオン８３がラック８１に沿って回転するので、台車７３Ａ、７３Ｂを移動することができる。それぞれの作業台には必要に応じて階段が取り付けられ、メンテナンスのための作業員が移動できるようになっている。
第三実施形態の構造では、台車７３がガイド部１０、１１に沿って移動すると同時にモーター装置７４の出力軸７４ａの回転がマイタギア７５を介し接続シャフト７６に伝達され、この回転力を反転機２０に伝達できるので、蓋体３Ａを回転駆動できる。
図１８（Ａ）は、蓋体３Ａをチャンバー本体３の上に設置した初期状態を示すが、この初期状態から第１昇降機４６と第２昇降機６６を伸張させて蓋体３Ａをチャンバー本体３の上方に図１８（Ｂ）に示すように持ち上げる。
この状態から台車７３をガイド部材１０、１１に沿って図１８（Ｃ）に示すように徐々に移動させると蓋体３Ａの移動距離に応じた回転角で蓋体３Ａを徐々に回転させることができる。
図１８（Ｃ）に示すように蓋体３Ａの位置がチャンバー本体３の側方に移動した場合、蓋体３Ａを１８０゜回転させて蓋体３Ａを上下逆にすることができる。この状態から図１８（Ｄ）に示すように必要な高さ位置に移動させることで、蓋体３Ａのメンテナンスができる。メンテナンス作業は作業台９２を利用して適宜行うことができる。また、チャンバー本体３のメンテナンス作業を作業台９１を利用して行うことができる。
【００５９】
第三実施形態の構造によれば、先の第二実施形態の構造と同等の作用効果を得ることができる。
なお、第三実施形態の構造では蓋体３Ａをチャンバー本体３の側方に移動させた状態で蓋体３Ａの回転による裏返しを完了できる。即ち、蓋体３Ａの移動と回転を同時に少しずつなし得るので、蓋体３Ａの移動と回転を個別に行うよりも短時間で回転と裏返しができる。特に、第５世代以降の装置のチャンバー本体は大型化されているので、蓋体３Ａも例えば数ｔ〜１０ｔもの大重量物となっている。このため、蓋体３Ａの回転速度はある程度以上速くできない。このため、蓋体３Ａの移動後に回転動作を行うよりも、移動と同時に徐々に回転動作を行う方が、蓋体３Ａを効率良く回転できる。即ち、蓋体３Ａの移動とともに蓋体３Ａを回転できるので、同時動作による蓋体３Ａの回転時間短縮ができる。
第三実施形態の構造では、駆動源をできるだけ少なくして制御系の誤動作を削減し、蓋体３Ａの移動並びに回転動作を円滑かつ安全に実施できる。特に、制御系部品を削減することで誤動作を無くすることができ、誤動作による蓋体３Ａとチャンバー本体３の接触事故を防止できる。また、制御系部品と駆動源の数を削減することで装置コストの削減に寄与する。
【符号の説明】
【００６０】
Ａ…処理システム、１…搬送室、２…ゲートバルブ、３、４、５…チャンバー本体、６…ロードロックチャンバー、１０…第１ガイド部材、１１…第２ガイド部材、１２、２２…車輪、１３、２３…台車、１４…モーター装置、１５…第１横行機、１６…第１昇降機、１６Ａ…シリンダー部材、１６Ｂ…昇降ロッド、１７…第１支持部、１８、２８…支持ロッド、２０…反転機（回転機構）、２５…第２横行機、２６…第２昇降機、２６Ａ…シリンダー部材、２６Ｂ…昇降ロッド、２７…第２支持部、３０…フレーム部材、
Ｂ…処理システム、４２…車輪、４３、５３…台車、４４…モーター装置、４５…第１横行機、４６…第１昇降機、４６Ａ…シリンダー部材、４６Ｂ…昇降ロッド、５０…モーター装置、５１…接続シャフト、５２…ギアボックス、５５…第２横行機、５７…フレーム部材、５９…チェーン装置、６１…クラッチ装置、６６…第２昇降機、６６Ａ…シリンダー部材、６６Ｂ…昇降ロッド、７３Ａ、７３Ｂ…台車、７４…モーター装置、８０…スクリューギア、８１…ラック、８２…伝達軸、８３…ピニオン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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