(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機膜材料を収容する真空チャンバーと、
真空ポンプと、
前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを結ぶ排気管と、を備え、
前記排気管の内部に、前記有機膜材料と同一の材料を含むゲッター材が配設されている、
真空装置。
【請求項２】
前記有機膜材料は、前記真空ポンプから飛散する不純物を吸着し、当該吸着により特性が劣化する材料を含み、
前記ゲッター材は前記不純物を吸着する、
請求項１に記載の真空装置。
【請求項３】
前記排気管は、
前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを連通させる開放状態と、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを連通させない閉鎖状態とを切替可能であり、かつ、内部に前記ゲッター材が配設されない第１配管と、
前記開放状態と前記閉鎖状態とを切替可能であり、かつ、内部に前記ゲッター材が配設される第２配管と、を含む、
請求項２に記載の真空装置。
【請求項４】
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管が開放状態であるとともに前記第２配管が閉鎖状態であり、
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にある間は、前記第１配管が閉鎖状態であるとともに前記第２配管が開放状態である、
請求項３に記載の真空装置。
【請求項５】
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管が開放状態であるとともに前記第２配管が閉鎖状態であり、
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあり、かつ、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあるときの当該真空ポンプの内部圧力に対し、前記不純物の蒸気圧の方が低い場合には、前記第１配管が閉鎖状態であるとともに前記第２配管が開放状態である、
請求項３に記載の真空装置。
【請求項６】
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管が開放状態であるとともに前記第２配管が閉鎖状態であり、
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあるときの当該真空ポンプの内部圧力に対し、前記不純物の蒸気圧の方が低い場合には、前記第１配管が閉鎖状態であるとともに前記第２配管が開放状態である、
請求項３に記載の真空装置。
【請求項７】
前記ゲッター材は、前記排気管の内面に、前記有機膜材料と同一の材料を含むインクが塗布されてなる、
請求項１に記載の真空装置。
【請求項８】
前記排気管の内壁に凹凸加工が施されているとともに、当該凹凸に沿うように前記ゲッター材が配設されている、
請求項１に記載の真空装置。
【請求項９】
前記排気管は、内面に前記ゲッター材が配設された細管が複数本束ねられてなる、
請求項１に記載の真空装置。
【請求項１０】
前記排気管は、内面に前記ゲッター材が配設された配管が螺旋状に巻回されてなる、
請求項１に記載の真空装置。
【請求項１１】
さらに、前記不純物を吸着させた前記ゲッター材から当該不純物を除去する不純物除去手段を備える、
請求項２に記載の真空装置。
【請求項１２】
前記不純物除去手段は、前記排気管を加温することにより前記ゲッター材から前記不純物を昇華除去する
請求項１１に記載の真空装置。
【請求項１３】
真空チャンバーと、真空ポンプと、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを結ぶ排気管と、前記排気管の内部に配設されたゲッター材を備える真空装置を準備する真空装置準備工程と、
有機膜材料を前記真空チャンバーに収容し、前記真空チャンバーの内部圧力を前記真空ポンプにより減圧する減圧工程と、を含み、
前記ゲッター材は、前記有機膜材料と同一の材料を含む、
有機膜の形成方法。
【請求項１４】
前記有機膜材料は、前記真空ポンプから飛散する不純物を吸着し、当該吸着により特性が劣化する材料を含み、
前記減圧工程において、前記不純物を前記ゲッター材に吸着させる、
請求項１３に記載の有機膜の形成方法。
【請求項１５】
前記排気管は、
前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを連通させる開放状態と、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを連通させない閉鎖状態とを切替可能であり、かつ、内部に前記ゲッター材が配設されない第１配管と、
前記開放状態と前記閉鎖状態とを切替可能であり、かつ、内部に前記ゲッター材が配設される第２配管と、を含む、
請求項１４に記載の有機膜の形成方法。
【請求項１６】
前記減圧工程において、
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管を開放状態とするとともに前記第２配管を閉鎖状態とし、
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にある間は、前記第１配管を閉鎖状態とするとともに前記第２配管を開放状態とする、
請求項１５に記載の有機膜の形成方法。
【請求項１７】
前記減圧工程において、
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管を開放状態とするとともに前記第２配管を閉鎖状態とし、
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあり、かつ、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあるときの当該真空ポンプの内部圧力に対し、前記不純物の蒸気圧の方が低い場合には、前記第１配管を閉鎖状態とするとともに前記第２配管を開放状態とする、
請求項１５に記載の有機膜の形成方法。
【請求項１８】
前記減圧工程において、
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管を開放状態とするとともに前記第２配管を閉鎖状態とし、
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあるときの当該真空ポンプの内部圧力に対し、前記不純物の蒸気圧の方が低い場合には、前記第１配管を閉鎖状態とするとともに前記第２配管を開放状態とする、
請求項１５に記載の有機膜の形成方法。
【請求項１９】
真空チャンバーと、真空ポンプと、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを結ぶ排気管と、前記排気管の内部に配設されたゲッター材を備える真空装置を準備する真空装置準備工程と、
上面に第１電極および有機発光層材料がこの順に形成された基板を前記真空チャンバーに収容し、前記真空チャンバーの内部圧力を前記真空ポンプにより減圧する減圧工程と、
前記減圧工程を経た有機発光層材料の上方に第２電極を形成する第２電極形成工程と、を含み、
前記ゲッター材は、前記有機発光層材料と同一の材料を含む、
有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項２０】
有機膜材料を収容する真空チャンバーと、真空ポンプと、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを結ぶ排気管とを備える真空装置において、前記排気管の内部に配設するゲッター材を構成する材料の選択方法であって、
前記有機膜材料と同一の材料からなる試料用有機膜材料を前記真空チャンバーに収容し、前記真空チャンバーの内部圧力を前記真空ポンプにより減圧する減圧工程と、
前記減圧工程を経た試料用有機膜材料の表面近傍に不純物が付着しているか否かを判定し、不純物が付着していると判定した場合に、前記有機膜材料と同一の材料を、前記ゲッター材を構成する材料として選択する選択工程と、を含む、
ゲッター材を構成する材料の選択方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空装置等に関し、特に、不純物を吸着するゲッター材を備える真空装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、固体蛍光性物質の電界発光現象を利用した発光素子である有機ＥＬ素子の研究・開発が進んでいる。有機ＥＬ素子は自発光デバイスであるため、応答速度が速い、視野角が広い、コントラストが高い等の特徴を有する。有機ＥＬ素子は陽極および陰極の電極対の間に、キャリア（正孔と電子）の再結合による電界発光現象を行う有機発光層を積層して構成される。
【０００３】
上記有機発光層の成膜方法として塗布成膜法（例えば、特許文献１）が存在し、量産化の点で好ましいとされている。塗布成膜法では、有機発光層を構成する材料と溶媒とを含む有機発光層材料をインクジェット法（液滴吐出法）等で基板に塗布し、有機発光層材料を、真空装置（例えば、特許文献２）を用いて乾燥させることにより有機発光層を形成する。真空装置は、主に真空チャンバー、真空ポンプ、真空チャンバーと真空ポンプとを結ぶ排気管を備えるものである。有機発光層材料の乾燥は、真空ポンプにより真空状態に維持された真空チャンバー内に、有機発光層材料塗布後の基板を収容することで行われる。このような真空装置は、有機発光層材料の乾燥のほか、有機発光層形成後から次工程を行うまでの保管等の際にも使用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２６７２９９号公報
【特許文献２】特開平１−２１９３６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
乾燥工程や保管工程等においては、有機発光層材料等の有機膜材料の表面に可能な限り不純物が付着しないようにすることが望ましい。
本発明は、有機膜材料の表面における不純物汚染を可能な限りなくすことができる真空装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様である真空装置は、有機膜材料を収容する真空チャンバーと、真空ポンプと、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを結ぶ排気管と、を備え、前記排気管の内部に、前記有機膜材料と同一の材料を含むゲッター材が配設されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一態様である真空装置によれば、有機膜材料の表面における不純物汚染を可能な限りなくすことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の態様１に係る真空装置の構成を示す図である。
【図２】実験用の有機ＥＬ素子の構造を示す模式断面図である。
【図３】実験用の有機ＥＬ素子の形成手順を説明するための模式断面図である。
【図４】実験に用いたメカニカルブースターポンプによる排気時間と真空チャンバー内の圧力との関係を示すグラフである。
【図５】減圧工程を経ない有機ＥＬ素子の発光特性と、減圧工程を経た有機ＥＬ素子の発光特性を示す図である。
【図６】酸化防止剤として用いられるジフェニルアミン系化合物の一例を示す図である。
【図７】ジフェニルアミン系化合物を原因とする、有機ＥＬ素子における発光強度半減寿命低下のメカニズムの一例を説明するための図である。
【図８】減圧工程を経た有機発光層表面の付着物の分析結果を示す図である。
【図９】真空ポンプによる排気時間と真空チャンバー内の圧力との関係を示すグラフである。
【図１０】図９に示すグラフにおける時刻Ａ、時刻Ｂ、時刻Ｃにおける真空チャンバーと真空ポンプ内の様子を模式的に示す図である。
【図１１】排気管およびゲッター材の構成に係る変形例を説明するための図である。
【図１２】実施の態様２に係る真空装置の構成を示す図である。
【図１３】実施の態様２に係る真空装置の制御部９における動作を説明するためのフローチャートである。
【図１４】実施の態様２に係る真空装置の制御部９における動作の変形例１を説明するためのフローチャートである。
【図１５】実施の態様２に係る真空装置の制御部９における動作の変形例２を説明するためのフローチャートである。
【図１６】実施の態様３に係る有機ＥＬ表示パネル１０の構成を示す部分断面図である。
【図１７】実施の態様３に係る有機ＥＬ表示パネル１０におけるバンク１５の形状を示す模式平面図である。
【図１８】実施の態様３に係る有機ＥＬ表示パネル１０の製造工程例を示す図である。
【図１９】実施の態様３に係る有機ＥＬ表示パネル１０の製造工程例を示す図である。
【図２０】実施の態様３に係る有機ＥＬ表示パネル１０の製造工程例を示す図である。
【図２１】本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示装置等を示す斜視図である。
【図２２】本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示装置１０００の全体構成を示す図である。
【図２３】本発明の一態様に係る有機ＥＬ発光装置２００を示す図である。
【図２４】フェノール系化合物を原因とする、有機ＥＬ素子における発光強度半減寿命低下のメカニズムの一例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
≪本発明の一態様の概要≫
本発明の一態様に係る真空装置は、有機膜材料を収容する真空チャンバーと、真空ポンプと、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを結ぶ排気管と、を備え、前記排気管の内部に、前記有機膜材料と同一の材料を含むゲッター材が配設されている。
また、本発明の一態様に係る真空装置の特定の局面では、前記有機膜材料は、前記真空ポンプから飛散する不純物を吸着し、当該吸着により特性が劣化する材料を含み、前記ゲッター材は前記不純物を吸着する。
【００１０】
また、本発明の一態様に係る真空装置の特定の局面では、前記排気管は、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを連通させる開放状態と、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを連通させない閉鎖状態とを切替可能であり、かつ、内部に前記ゲッター材が配設されない第１配管と、前記開放状態と前記閉鎖状態とを切替可能であり、かつ、内部に前記ゲッター材が配設される第２配管と、を含む。
【００１１】
また、本発明の一態様に係る真空装置の特定の局面では、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管が開放状態であるとともに前記第２配管が閉鎖状態であり、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にある間は、前記第１配管が閉鎖状態であるとともに前記第２配管が開放状態である。
【００１２】
また、本発明の一態様に係る真空装置の特定の局面では、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管が開放状態であるとともに前記第２配管が閉鎖状態であり、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあり、かつ、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあるときの当該真空ポンプの内部圧力に対し、前記不純物の蒸気圧の方が低い場合には、前記第１配管が閉鎖状態であるとともに前記第２配管が開放状態である。
【００１３】
また、本発明の一態様に係る真空装置の特定の局面では、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管が開放状態であるとともに前記第２配管が閉鎖状態であり、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあるときの当該真空ポンプの内部圧力に対し、前記不純物の蒸気圧の方が低い場合には、前記第１配管が閉鎖状態であるとともに前記第２配管が開放状態である。
【００１４】
また、本発明の一態様に係る真空装置の特定の局面では、前記ゲッター材は、前記排気管の内面に、前記有機膜材料と同一の材料を含むインクが塗布されてなる。
また、本発明の一態様に係る真空装置の特定の局面では、前記排気管の内壁に凹凸加工が施されているとともに、当該凹凸に沿うように前記ゲッター材が配設されている。
また、本発明の一態様に係る真空装置の特定の局面では、前記排気管は、内面に前記ゲッター材が配設された細管が複数本束ねられてなる。
【００１５】
また、本発明の一態様に係る真空装置の特定の局面では、前記排気管は、内面に前記ゲッター材が配設された配管が螺旋状に巻回されてなる。
また、本発明の一態様に係る真空装置の特定の局面では、さらに、前記不純物を吸着させた前記ゲッター材から当該不純物を除去する不純物除去手段を備える。
また、本発明の一態様に係る真空装置の特定の局面では、前記不純物除去手段は、前記排気管を加温することにより前記ゲッター材から前記不純物を昇華除去する。
【００１６】
本発明の一態様に係る有機膜の形成方法は、真空チャンバーと、真空ポンプと、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを結ぶ排気管と、前記排気管の内部に配設されたゲッター材を備える真空装置を準備する真空装置準備工程と、有機膜材料を前記真空チャンバーに収容し、前記真空チャンバーの内部圧力を前記真空ポンプにより減圧する減圧工程と、を含み、前記ゲッター材は、前記有機膜材料と同一の材料を含む。
【００１７】
また、本発明の一態様に係る有機膜の形成方法の特定の局面では、前記有機膜材料は、前記真空ポンプから飛散する不純物を吸着し、当該吸着により特性が劣化する材料を含み、前記減圧工程において、前記不純物を前記ゲッター材に吸着させる。
また、本発明の一態様に係る有機膜の形成方法の特定の局面では、前記排気管は、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを連通させる開放状態と、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを連通させない閉鎖状態とを切替可能であり、かつ、内部に前記ゲッター材が配設されない第１配管と、前記開放状態と前記閉鎖状態とを切替可能であり、かつ、内部に前記ゲッター材が配設される第２配管と、を含む。
【００１８】
また、本発明の一態様に係る有機膜の形成方法の特定の局面では、前記減圧工程において、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管を開放状態とするとともに前記第２配管を閉鎖状態とし、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にある間は、前記第１配管を閉鎖状態とするとともに前記第２配管を開放状態とする。
【００１９】
また、本発明の一態様に係る有機膜の形成方法の特定の局面では、前記減圧工程において、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管を開放状態とするとともに前記第２配管を閉鎖状態とし、
前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあり、かつ、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあるときの当該真空ポンプの内部圧力に対し、前記不純物の蒸気圧の方が低い場合には、前記第１配管を閉鎖状態とするとともに前記第２配管を開放状態とする。
【００２０】
また、本発明の一態様に係る有機膜の形成方法の特定の局面では、前記減圧工程において、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態になるまでの間は、前記第１配管を開放状態とするとともに前記第２配管を閉鎖状態とし、前記真空チャンバーの内部圧力が前記真空ポンプの内部圧力と平衡状態にあるときの当該真空ポンプの内部圧力に対し、前記不純物の蒸気圧の方が低い場合には、前記第１配管を閉鎖状態とするとともに前記第２配管を開放状態とする。
【００２１】
本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法は、真空チャンバーと、真空ポンプと、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを結ぶ排気管と、前記排気管の内部に配設されたゲッター材を備える真空装置を準備する真空装置準備工程と、上面に第１電極および有機発光層材料がこの順に形成された基板を前記真空チャンバーに収容し、前記真空チャンバーの内部圧力を前記真空ポンプにより減圧する減圧工程と、前記減圧工程を経た有機発光層材料の上方に第２電極を形成する第２電極形成工程と、を含み、前記ゲッター材は、前記有機発光層材料と同一の材料を含む。
【００２２】
本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルは、本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法により製造された有機ＥＬ素子を用いる。
本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示装置は、本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法により製造された有機ＥＬ素子を用いる。
本発明の一態様に係る有機ＥＬ発光装置は、本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法により製造された有機ＥＬ素子を用いる。
【００２３】
本発明の一態様に係るゲッター材を構成する材料の選択方法は、有機膜材料を収容する真空チャンバーと、真空ポンプと、前記真空チャンバーと前記真空ポンプとを結ぶ排気管とを備える真空装置において、前記排気管の内部に配設するゲッター材を構成する材料の選択方法であって、前記有機膜材料と同一の材料からなる試料用有機膜材料を前記真空チャンバーに収容し、前記真空チャンバーの内部圧力を前記真空ポンプにより減圧する減圧工程と、前記減圧工程を経た試料用有機膜材料の表面近傍に不純物が付着しているか否かを判定し、不純物が付着していると判定した場合に、前記有機膜材料と同一の材料を、前記ゲッター材を構成する材料として選択する選択工程と、を含む。
【００２４】
≪実施の態様１≫
［真空装置の構成］
本実施形態では、塗布成膜法により有機発光層の成膜する場合において、有機発光層材料を乾燥させる際に用いられる真空装置を例に挙げて説明する。
図１（ａ）は、実施の態様１に係る真空装置の構成を示す図である。本実施の態様に係る真空装置は、真空チャンバー１、真空ポンプ２、排気管３、ゲッター材４を備える。
【００２５】
＜真空チャンバー＞
真空チャンバー１は被乾燥物５を収容するものであり、本実施形態における被乾燥物５は有機ＥＬ素子半製品である。真空チャンバー１は、その内部の大きさが例えば、５００［ｍｍ］×５００［ｍｍ］×１５０［ｍｍ］程度である。また、真空チャンバー１は真空ポンプ２による減圧に耐え得るような頑丈な材料で構成されており、このような材料としては、例えば、ステンレス等が挙げられる。
【００２６】
図１（ｂ）は被乾燥物５の模式的な部分拡大図であり、図１（ａ）において破線で示す部分の拡大図となっている。
被乾燥物５は、基板上に有機膜材料としての有機発光層材料が塗布されてなる。すなわち、真空チャンバー１には有機膜材料としての有機発光層材料が収容されることになる。本実施形態における有機発光層材料は、有機発光層を構成する材料と溶媒とを含むインクである。バンクは、有機発光層の形成領域となる開口部を区画するためのものである。真空装置により有機発光層材料が乾燥されることで、有機発光層が形成される。なお、有機ＥＬ素子の詳細な構造および製造方法については、ここでの説明を省略し、実施の態様３で述べることとする。
【００２７】
＜真空ポンプ＞
真空ポンプ２は、真空チャンバー１内を真空状態に維持するために用いられるものである。真空ポンプ２としては、例えば、メカニカルブースターポンプ、ロータリーポンプ、ダイアフラムポンプ等の機械式の真空ポンプを用いることができる。これらの中でも、特に、いわゆるポンプ油を使用しないドライポンプを用いることがより望ましい。ドライポンプは、例えば、有機ＥＬ素子や半導体薄膜製造等のように、真空チャンバー内をクリーンに保つ必要がある場合に使用される。なお、これら真空ポンプには、通常、潤滑剤や真空シール材が用いられている。
【００２８】
ここで、「真空チャンバー内を真空状態に維持する」とは、真空チャンバー内が完全に真空となるように維持する場合だけでなく、真空チャンバー内が真空と見なせる状態に維持する場合も含まれる。「真空チャンバー内が真空と見なせる状態」とは、真空チャンバーの内部圧力が、例えば約１［Ｐａ］以下である状態をいう。
また、上記の真空ポンプを使用し、真空チャンバー１内を大気圧から減圧した場合、５［ｍｉｎ］程度で真空チャンバー１の内部圧力を１［Ｐａ］以下まで排気することが可能である。なお、この排気速度は、排気管３の長さ（真空チャンバー１から真空ポンプ２までの距離）や排気管３の屈曲具合によって変化し得る。
【００２９】
真空ポンプ２は、単一の真空ポンプで構成されていることとしてもよいし、直列接続または並列接続された複数の真空ポンプで構成されることとしてもよい。複数の真空ポンプを用いる場合とは、例えば、大気圧から中真空までの減圧（粗引き）をドライポンプで行い、中真空から高真空、または超高真空までの減圧（主排気）を、メカニカルブースターポンプを用いて行うような場合である。具体的には、まずドライポンプにより大気圧から１０００［Ｐａ］程度まで減圧し、その後、メカニカルブースターポンプにより約１［Ｐａ］以下まで減圧する。
【００３０】
真空ポンプ２は真空チャンバー１内の減圧を行うときにのみ動作させても良いが、真空ポンプ２の動作および停止を頻繁に行うと、真空ポンプ２に負担がかかるおそれがある。真空ポンプ２に負担がかかる場合は、真空チャンバー１と真空ポンプ２とを連通させる開放状態と、真空チャンバー１と真空ポンプ２とを連通させない閉鎖状態とを切替可能にするバルブ（電磁弁）を排気管３に設けることとしてもよい。
【００３１】
バルブを開状態とすることで排気管３が開放状態となり、真空チャンバー１内の減圧が開始される。また、バルブを閉状態とすることで排気管３が閉鎖状態となり、真空チャンバー１内の減圧は停止される。なお、バルブは通常、スロー排気用バルブとラフ排気用バルブからなる。真空チャンバー１の内部圧力が高い間はスロー排気用バルブを開状態、スロー排気用バルブ閉状態とする。真空チャンバー１の内部圧力が所定圧力以下になった場合には、スロー排気用バルブを閉状態、ラフ排気用バルブを開状態とする。このように、排気管３にバルブを設けることで真空ポンプ２を動作状態のままとすることができるので、動作および停止を頻繁に行うことによる負荷が低減される。
【００３２】
＜排気管、ゲッター材＞
排気管３は、真空チャンバー１と真空ポンプ２とを結ぶものであり、この排気管３により、真空チャンバー１の内部と真空ポンプ２とが連通される。排気管３の内径は、例えば、１００［ｍｍ］程度である。
ゲッター材４は、真空ポンプ２から飛散する種々の物質のうち、有機発光層材料に吸着されることで有機発光層の特性を劣化させる物質である不純物６を吸着するものであり、排気管３の内部に配設されている。本実施形態においては、ゲッター材４を構成する材料として、有機膜材料である有機発光層材料と同一の材料を含んでいる。
【００３３】
このゲッター材４を構成する材料の選択は、本発明者が鋭意検討の結果得た知見に基づき行われたものである。すなわち、有機発光層材料は真空ポンプ２から飛散する不純物６を吸着し、当該吸着により特性が劣化することが判明した。この知見より、有機発光層材料と同一の材料をゲッター材４の材料として用いることで、真空ポンプ２から飛散する種々の不純物のうち、少なくとも有機発光層の特性を劣化させる不純物６を吸着することができるという考えに至った。真空ポンプ２から飛散する種々の不純物全てを取り除くことができないにしても、少なくとも有機発光層の特性を劣化させる不純物６を吸着することができれば、有機発光層材料または有機発光層への悪影響は大幅に低減することが可能となる。なお、得た知見ならびにゲッター材を構成する材料の選択方法の詳細については、後の［各種実験と考察］で述べる。
【００３４】
このように、排気管３内に有機発光層材料と同一の材料を含むゲッター材４が配設されていることにより、真空ポンプ２から不純物６が飛散したとしても、不純物６は排気管３内を移動している間にゲッター材４に捕捉されることになる。すなわち、有機発光層材料が不純物６を吸着するよりも前に、排気管３内のゲッター材４が不純物６を吸着する。したがって、不純物６が真空チャンバー１の内部へ侵入することがない。
【００３５】
以上説明したように、本実施の態様に係る真空装置によれば、少なくとも真空ポンプ２から飛散した不純物６による、有機発光層材料の表面の汚染を防止することができる。よって、有機発光層材料の表面における不純物汚染を可能な限りなくすことが可能である。有機発光層材料への不純物６の吸着を防止できることで、結果として、有機発光層の特性劣化を防止することができる。
【００３６】
本実施形態においては、排気管３内壁の略全面に亘ってゲッター材４が配設されている。このようにすることで、不純物６を効率良く吸着することができる。ゲッター材４を排気管３の略全面に亘って形成する方法としては、例えば、排気管３の内面に有機発光層材料と同一の材料を含むインクを塗布する方法がある。つまり、有機発光層材料をバンクにより区画された開口部だけでなく、排気管３の内壁にも塗布する。このような方法によれば、ゲッター材４を容易に排気管３内壁の略全面に形成することができる。ゲッター材４の形成は塗布方法に限られず、スプレーコート等や蒸着法等の公知の成膜方法によって形成することとしてもよい。
【００３７】
また、排気管３におけるゲッター材４を配設する区間は、不純物６の種類によって調整することが望ましい。これを実現する方法としては、例えば、排気管３をいくつかの配管に分割し、各配管をクランプで接続するような構成としておき、必要に応じてゲッター材４が配設されている配管とゲッター材４が配設されていない配管とを交換するようにする等の方法がある。
【００３８】
［各種実験と考察］
＜真空装置を用いた乾燥工程の有無による発光特性の違い＞
本発明者は、真空装置を用いた乾燥工程を行うか否かで、有機ＥＬ素子の発光特性に違いが現れるかを検証した。ここで、「真空装置を用いた乾燥工程」は、有機発光層材料を真空チャンバーに収容し、真空チャンバーの内部圧力を真空ポンプにより減圧する減圧工程の１種である。以下、「真空装置を用いた乾燥工程」を単に「減圧工程」と記載する。実験用の有機ＥＬ素子として、減圧工程を経ない有機ＥＬ素子と、減圧工程を経る有機ＥＬ素子の２種を準備した。
【００３９】
図２は、実験用の有機ＥＬ素子の構造を示す模式断面図である。実験用の有機ＥＬ素子は、図２に示すように、基板１０１上に第１電極としての陽極１０２、正孔注入層１０３、正孔輸送層１０４、有機発光層１０５、電子輸送層１０６、第２電極としての陰極１０７および封止層１０８を順に積層されてなる。減圧工程を経ない有機ＥＬ素子および減圧工程を経る有機ＥＬ素子に構造的な差異はない。
【００４０】
図３は、実験用の有機ＥＬ素子の形成手順を説明するための模式断面図である。
減圧工程を経る有機ＥＬ素子について説明する。まず、図３（ａ）に示すように、基板１０１上に陽極１０２、正孔注入層１０３、正孔輸送層１０４を順に積層するとともに、正孔輸送層１０４の上面に有機発光層材料１０５ａを塗布する。次に、加熱を行って有機発光層材料１０５ａを乾燥させて有機発光層１０５を成膜することで、有機発光層１０５形成後の有機ＥＬ素子半製品を準備する（図３（ｂ））。
【００４１】
続いて、図３（ｃ）に示すように、有機発光層１０５形成後の有機ＥＬ素子半製品を、真空ポンプに接続された真空チャンバー内に載置した。そして、真空ポンプを起動させて真空チャンバー内を真空状態にし、２０［ｍｉｎ］放置した。真空ポンプとしては、メカニカルブースターポンプを用いた。また、実験に用いた真空チャンバーと真空ポンプとを結ぶ排気管には、ゲッター材は設けられていない。
【００４２】
図４は、実験に用いたメカニカルブースターポンプによる排気時間と真空チャンバー内の圧力との関係を示すグラフである。本実験においては、図４に示すような排気プロファイルを有するポンプを用いて実験を行った。横軸が真空ポンプによる排気時間を、縦軸が真空チャンバー内の圧力をそれぞれ示している。図４に示すように、メカニカルブースターポンプに接続された真空チャンバー内は約１０［Ｐａ］まで減圧した。
【００４３】
そして、真空チャンバーから有機ＥＬ素子半製品を取り出し、図３（ｄ）に示すように、有機発光層１０５の上に電子輸送層１０６、陰極１０７、封止層１０８を順に積層することにより、減圧工程を経る有機ＥＬ素子が完成する。
減圧工程を経ない有機ＥＬ素子について説明する。まず、図３（ａ），（ｂ）に示すように、減圧工程を経る有機ＥＬ素子と同様に、基板１０１上に陽極１０２、正孔注入層１０３、正孔輸送層１０４および有機発光層１０５を順に積層し、有機発光層１０５形成後の有機ＥＬ素子半製品を準備した。続いて、図３（ｃ）に示す減圧工程を行わずに、有機発光層１０５形成後の有機ＥＬ素子半製品を、グローブボックスに２０［ｍｉｎ］載置した。そして、図３（ｄ）に示すように、有機発光層１０５の上に電子輸送層１０６、陰極１０７、封止層１０８を順に積層することにより、減圧工程を経ない有機ＥＬ素子が完成する。
【００４４】
減圧工程を経ない有機ＥＬ素子、減圧工程を経る有機ＥＬ素子ともに、陽極１０２、正孔注入層１０３、正孔輸送層１０４、電子輸送層１０６、陰極１０７および封止層１０８には、公知の材料を用いた。有機発光層１０５としてはＦ８−Ｆ６を用いた。なお、各層の具体的な形成方法は本実験の本質ではないためここでの説明は省略し、実施の態様３で述べることとする。
【００４５】
なお、減圧工程を経ない有機ＥＬ素子の製造においては、当然のことながら、有機発光層材料を乾燥させるための減圧工程を行うことができない。そこで、有機発光層を構成する材料を溶解させるための溶媒として、減圧工程による乾燥が不要な低沸点溶媒であるキシレンを用いた。ただし、キシレンを溶媒として用いた場合、インクジェット法による塗布を行うことができない。つまり、キシレンはあくまで実験用に用いたに過ぎないものである。そのため、実験用有機ＥＬ素子の製造においては、有機発光層材料の乾燥は加熱により行った。また、実験用有機ＥＬ素子との比較が行えるよう、減圧工程を経る有機ＥＬ素子についても同様とした。
【００４６】
図５は、減圧工程を経ない有機ＥＬ素子の発光特性と、減圧工程を経た有機ＥＬ素子の発光特性を示す図である。図５は、実験用の有機ＥＬ素子を発光させた場合の、発光時間と発光強度の関係を示すグラフであり、横軸は発光時間［ｈｒ］を、縦軸は発光強度をそれぞれ示している。発光強度は、発光開始直後を１としたときの相対値で示している。また、減圧工程を経ない有機ＥＬ素子の発光特性（図５において「減圧工程無」）を実線で、減圧工程を経る有機ＥＬ素子の発光特性（図５において「減圧工程有」）を二点鎖線でそれぞれ示している。
【００４７】
減圧工程を経ない有機ＥＬ素子と比較して、減圧工程を経る有機ＥＬ素子は、時間経過に伴う発光強度低下量が大きいことが見てとれる。換言すると、有機発光層材料塗布後に減圧工程を経ない有機ＥＬ素子よりも、減圧工程を経る有機ＥＬ素子の方が発光強度半減寿命（発光強度が半減するまでに要する時間）が短いことがわかる。
両実験用有機ＥＬ素子の違いは、有機発光層成膜後の基板が置かれる環境のみである。つまり、グローブボックス内に保管するか、真空ポンプに接続された真空チャンバー内に保管するかの違いにより、発光強度半減寿命に大きな差が生じたことになる。以上のことより、本発明者は、機械式の真空ポンプに用いられている潤滑剤の含有成分、もしくは、真空シール材等の含有成分が不純物として、真空ポンプから真空チャンバーへ飛散するのではないかと考えた。そして、当該不純物が有機発光層の表面近傍に吸着することで、有機発光層に何らかの悪影響を与え、この結果、有機発光層の特性が劣化するのではないかと考えた。以下、「機械式の真空ポンプに用いられている潤滑剤の含有成分、もしくは、真空シール材等の含有成分」を、単に「潤滑剤等の含有成分」と記載する。
【００４８】
減圧工程を経る実験用の有機ＥＬ素子における電子輸送層は、真空成膜法に基づき形成されている。この真空成膜工程を経てもなお発光特性に悪影響が生じていることからすると、不純物は真空成膜時の高真空下でも揮発しないような、比較的沸点の高いものであると推定された。このことと、不純物が機械式の真空ポンプに用いられている潤滑剤の含有成分、もしくは、真空シール材等の含有成分であることとは矛盾するものではない。
【００４９】
以上のことより、有機発光層材料は不純物を吸着し易いものであるとともに、当該吸着により特性が劣化する材料を含んでいると考えられる。そこで、本発明者は、有機発光層材料と同一の材料を含むゲッター材を排気管の内部に配設することで、真空ポンプから飛散する不純物を吸着させるという発明を着想するに至った。
潤滑剤は、通常、潤滑成分（例えば、潤滑油である。）と、潤滑成分の酸化を防止するための酸化防止剤を含んでいる。また、真空シール材にも、当該真空シール材を構成する樹脂材料の酸化を防止する目的で酸化防止剤が含まれている。酸化防止剤は、潤滑成分の酸化または樹脂材料の酸化が原因の所謂スラッジやワニスの発生を抑制するものであり、例えば、連鎖停止剤、過酸化物分解剤、金属不活性化剤等の種類が知られている。
【００５０】
この中でも、本発明者は、ジフェニルアミン系化合物やフェノール系化合物等で構成され、潤滑成分の酸化の進行を停止させる連鎖停止剤に注目した。一般にラジカルは不安定である。しかしながら、ジフェニルアミン系化合物やフェノール系化合物が水素ラジカルを失って形成されるラジカル状態は、そのラジカル部分に隣接する芳香環による共鳴安定化が起こるため、比較的安定であると考えられる。そのため、酸化により生じる反応性の高い過酸化物や、ラジカル種へ水素ラジカルを供与して、自身がラジカル状態になるといった反応が進行する。ジフェニルアミン系化合物やフェノール系化合物のラジカル状態は比較的安定であるものの、酸化により生じる過酸化物と反応する程度の反応性は有する。ラジカル状態のジフェニルアミン系化合物やフェノール系化合物は、上記の過酸化物と反応することでラジカル反応を停止させる性質を有するため、この性質が利用され、酸化の進行を停止させる連鎖停止剤として用いられている。
【００５１】
＜発光強度半減寿命低下のメカニズム＞
以下、ジフェニルアミン系化合物を主に取り上げて説明する。
図６は、酸化防止剤として用いられるジフェニルアミン系化合物の一例を示す図である。図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に、ジフェニルアミン系化合物の一例である化合物Ａ、化合物Ｂ、化合物Ｃの化学式をそれぞれ示している。以降の図において、化合物Ａ、化合物Ｂ、化合物Ｃに代表されるジフェニルアミン系化合物を、総じて図６（ｄ）で示す化学式で表すこととする。また、ジフェニルアミン系化合物を単に「ＤＰＡ」と記載する。
【００５２】
図７は、ジフェニルアミン系化合物を原因とする、有機ＥＬ素子における発光強度半減寿命低下のメカニズムの一例を説明するための図である。説明の都合上、有機発光層１０５と電子輸送層１０６との界面領域１０９を誇張して示している。
まず、式（１）に示すように、有機ＥＬ素子駆動中においては、電子輸送層１０６を構成する電子輸送性材料Ｘは、ラジカルアニオン（ポーラロン）状態となることで電子の輸送を行う（図７における「ラジカルアニオン状態の電子輸送性材料Ｘ」）。そのため、このラジカルアニオン状態の電子輸送性材料Ｘをキャリアと考えることができる。そして、界面領域１０９において、ＤＰＡはラジカルアニオン状態の電子輸送性材料Ｘに水素ラジカルを供与することで、自身がラジカルアニオン状態となる（図７における「ラジカルアニオン状態のＤＰＡ」）。このような反応が進行する理由として、ラジカルアニオン状態のＤＰＡは、負電荷が２つのベンゼン環において非局在化するため安定に存在し得るからであると考えた。つまり、ラジカルアニオン状態の電子輸送性材料Ｘよりも、ラジカルアニオン状態のＤＰＡの方がさらに安定な化学種となり得るからであると考えた。その場合、ラジカルアニオン状態の電子輸送性材料Ｘは、ＤＰＡから放出された水素ラジカルと結合するといった反応も進行し得る（図７における「ＸＨ」）。
【００５３】
式（１）に基づいて説明したように、減圧工程を経ることで発光輝度の低下が大きくなる要因の１つとして、キャリアであるラジカルアニオン状態の電子輸送性材料ＸがＤＰＡにより消失することにより、有機発光層１０５に注入される電子が減少することが考えられる。
次に、式（２）に示すように、界面領域１０９において、ラジカルアニオン状態のＤＰＡは、有機発光層１０５を構成する材料Ｙと反応することも想定される。この反応により、有機発光層１０５を構成する材料Ｙとは異なる生成物Ｚを与える。これは、有機発光層１０５が劣化することに相当する。このように、ＤＰＡと有機発光層１０５を構成する材料Ｙが反応してしまうことも、発光輝度の低下の一因であると考えられる。
【００５４】
以上説明したようなメカニズムが想定されることからも、潤滑剤等に含まれる酸化防止剤、特に連鎖停止剤が発光強度半減寿命低下に大きく影響していると考えた。
＜減圧工程を経た有機発光層表面の付着物の分析＞
次に、ガスクロマトグラフ質量分析計（ＧＣ−ＭＳ）を用い、減圧工程を経た有機発光層の表面に付着している物質を分析した。減圧工程を経た有機発光層をヘリウム雰囲気下で昇温加熱し、加熱された有機発光層から放出されるガス（アウトガス）を液体窒素で捕集し、ＧＣ−ＭＳで分析した。ＧＣ−ＭＳ分析は、アジレント・テクノロジー社製の６８９０ＧＣを用い、イオン化はＥＩ法（電子イオン化法）により行った。カラムはアジレント・テクノロジー社製のＤＢ５ｍｓを使用し、４０度から３００度まで昇温した。
【００５５】
図８は、減圧工程を経た有機発光層表面の付着物の分析結果を示す図である。縦軸は検出強度（トータルイオンカレントであり、検出された分子数に相当する。）、横軸は保持時間［ｍｉｎ］をそれぞれ示しており、図８では、保持時間１５〜２０［ｍｉｎ］におけるガスクロマトグラフを示している。保持時間１６〜１９［ｍｉｎ］付近に、化合物Ａ、化合物Ｂ、化合物Ｃのピークが検出された。純粋な化合物Ａ、化合物Ｂ、化合物ＣについてもＧＣ−ＭＳ分析を行い、保持時間およびマススペクトルが図８に示す結果と一致していることを確認した。
【００５６】
ＧＣ−ＭＳ分析の結果より、本発明者は、真空ポンプに用いられている潤滑剤等に酸化防止剤として含まれているジフェニルアミン系化合物が、発光強度半減寿命低下の原因であることを突き止めた。そして、ジフェニルアミン系化合物が次項で説明するメカニズムにより、真空ポンプから真空チャンバーへ飛散するのではないかと考えた。
＜真空ポンプから真空チャンバーへの不純物飛散のメカニズム＞
図９は、真空ポンプによる排気時間と真空チャンバー内の圧力との関係を示すグラフである。横軸が排気時間であり、縦軸が真空チャンバー内の圧力である。また、縦軸において、下方にいくほど真空度が高いことを示している。
【００５７】
時刻Ａは、真空ポンプの起動時点に相当する。また、時刻Ｂは、真空チャンバー内の減圧が進行している最中である。時刻Ｃにおいては、真空ポンプの性能限界まで真空チャンバー内が減圧されており、真空チャンバーの内部圧力が真空ポンプの内部圧力と平衡状態になっている。時刻Ａ、時刻Ｂ、時刻Ｃの各々における真空チャンバーと真空ポンプ内の様子を、図１０を用いて説明する。
【００５８】
図１０は、図９に示すグラフにおける時刻Ａ、時刻Ｂ、時刻Ｃにおける真空チャンバーと真空ポンプ内の様子を模式的に示す図である。
図１０に示すように、真空チャンバー２６は、排気管２８を介して真空ポンプ２７に接続されている。真空チャンバー２６内の気体は、真空ポンプ２７により、排気管２８、２９を通って外部へ排出される。また、各図において、真空ポンプ２７に用いられている潤滑剤の含有成分等を、不純物６で示している。
【００５９】
図１０（ａ）は真空ポンプ２７の起動時点である。減圧を開始すると、図１０（ｂ）において破線の矢印で示すように、真空チャンバー２６内の気体は、排気管２８から真空ポンプ２７および配管２９を介して外部へ排出される。このように、真空チャンバー２６から排気管２８、真空ポンプ２７および配管２９へと向かう気流が発生する。このため、減圧期間（時刻Ｂ）においては、不純物６が真空チャンバー２６へ飛散することはないと考えられる。
【００６０】
しかしながら、時刻Ｃにおいては、真空ポンプ２７の性能限界まで真空チャンバー２６内が減圧され、真空チャンバー２６の内部圧力が真空ポンプ２７の内部圧力と平衡状態になっている。そのため、真空チャンバー２６と真空ポンプ２７との間の気流も平衡状態にある。平衡状態にあることに加え、平衡状態にあるときの真空ポンプ２７の内部圧力に対し不純物６の蒸気圧の方が低い場合には、図１０（ｃ）に示すように、真空ポンプ２７から真空チャンバー２６への不純物６の飛散が起こると考えられる。そして、真空チャンバー２６および真空ポンプ２７における真空度が高くなることで、不純物６の平均自由行程が長くなり、不純物６の有機発光層材料への付着が起こると考えられる。また、不純物６の平均自由行程が長くなると、有機発光層と不純物６との衝突確率もより高くなると考えられる。さらに、真空チャンバー２６および真空ポンプ２７における真空度の上昇により、真空チャンバー２６および真空ポンプ２７内の圧力に占める不純物６の蒸気圧の割合が上昇するが、このことによっても不純物６の飛散が促進される。
【００６１】
［ゲッター材を構成する材料の選択方法］
上述したように、本発明者は、真空チャンバー内に実際に有機発光層材料を収容して減圧工程を行い、その結果作成された有機発光層と、減圧工程を経ずに作成された有機発光層との特性を比較した。この比較結果より、減圧工程を経た有機発光層材料は、真空ポンプから飛散する不純物を吸着する性質を有していることを見出した。
【００６２】
この一連の作業を基に、本発明者は、有機膜材料としての有機発光層材料を収容する真空チャンバーと、真空ポンプと、真空チャンバーと真空ポンプとを結ぶ排気管とを備える真空装置において、排気管の内部に配設するゲッター材を構成する材料の選択方法を考案した。以下、本選択方法の手順について説明する。
まず、有機膜材料としての有機発光層材料と同一の材料からなる、試料用有機膜材料としての試料用有機発光層材料を真空チャンバーに収容する。ここで、試料用有機発光層材料は、例えば、実験用有機ＥＬ素子を作成する際に用いた有機発光層材料に相当する。次に、真空チャンバーの内部圧力を真空ポンプにより減圧する減圧工程を行う。これにより、真空装置において、真空ポンプから真空チャンバーへ不純物が飛散する環境が形成される。
【００６３】
そして、減圧工程を経た試料用有機発光層材料の表面近傍に不純物が付着しているか否かを判定する。ここで、「試料用有機発光層材料の表面近傍に不純物が付着しているか否かを判定する」には、直接的に試料用有機発光層材料の表面近傍に不純物が付着しているか否かを判定する場合と、間接的に判定する場合とが含まれる。直接的に判定する場合とは、例えば、試料用有機発光層材料の表面近傍の付着物を分析する場合等がある。また、間接的に判定する場合とは、例えば、上述した本発明者による検証のように、例えば、試料用有機発光層の特性を調べる実験を行うことにより、不純物付着の有無を判定する場合等がある。
【００６４】
最後に、試料用有機発光層材料の表面近傍に不純物が付着していると判定した場合には、有機発光層材料と同一の材料を、ゲッター材を構成する材料として選択する選択工程を行う。
ここでは、有機発光層材料を例に挙げて説明したが、このゲッター材を構成する材料の選択方法は有機発光層材料のみに適用できるものではない。有機発光層以外の有機膜材料でも同様に、この選択方法を適用することが可能である。
【００６５】
［その他］
＜排気管およびゲッター材の変形例＞
図１１は、排気管およびゲッター材の構成に係る変形例を説明するための図である。
図１１（ａ）は、変形例に係る排気管３Ａにおける、ゲッター材が配設されている部分の断面図である。本変形例では、排気管３Ａの内壁に凹凸加工が施されているとともに、当該凹凸に沿うようにゲッター材４Ａが配設されている。このようにすることで、排気管内におけるゲッター材の表面積を広げることができるため、より効率的に不純物６を吸着することが可能となる。
【００６６】
図１１（ｂ）は、変形例に係る排気管３Ｂにおける、ゲッター材が配設されている部分の断面図である。排気管３Ｂは、内面にゲッター材４Ｂ1，４Ｂ2，４Ｂ3，４Ｂ4，４Ｂ5，４Ｂ6，４Ｂ7がそれぞれ配設された細管３1，３2，３3，３4，３5，３6，３7が、複数本束ねられてなる。このような構成によっても、排気管内におけるゲッター材の表面積を広げることが可能である。
【００６７】
図１１（ｃ）は、変形例に係る排気管３Ｃの外観形状を示す模式図である。排気管３Ｃは、内面に不図示のゲッター材が配設された配管３ｃが螺旋状に巻回されてなる。このようにすることで、真空ポンプ２から真空チャンバー１を結ぶ排気管の距離を延伸させることができる。その結果、真空ポンプ２から飛散した不純物６を、より確実に排気管内部のゲッター材で吸着させることが可能である。
【００６８】
さらに、図１１（ａ），（ｂ）に示した変形例を、図１１（ｃ）に示す変形例に適用することも可能である。つまり、内壁に凹凸加工が施されているとともに、当該凹凸に沿うようにゲッター材が配設されている排気管を、螺旋状に巻回することとしてもよい。また、内面にゲッター材が配設された細管が複数本束ねられてなる排気管を、螺旋状に巻回することとしてもよい。これらの構成により、ゲッター材による不純物の吸着をさらに効率的に行うことができる。
【００６９】
＜不純物除去手段＞
図１に示す真空装置は、さらに、不純物６を吸着させたゲッター材４から当該不純物６を除去する不純物除去手段を備えることとしてもよい。不純物除去手段としては、例えば、ゲッター材４を構成する材料（有機発光層材料）に耐熱性がある場合には、不純物除去手段は、排気管３を加温することによりゲッター材４から不純物６を昇華除去するもの等がある。
【００７０】
不純物除去手段を備えることにより、不純物６に対する吸着性が低下した場合であっても、ゲッター材４を廃棄することなく再利用することが可能である。不純物除去手段は、所定回数の減圧工程を終える毎に使用することとしてもよいし、１回の減圧工程毎に使用することとしてもよい。
所定回数の減圧工程を終える毎に不純物除去を行う場合は、例えば、以下のような手順で行うことができる。まず、あらかじめ有機発光層の特性劣化がどの程度の基準まで許容されるかを決定しておく。次に、真空チャンバーに有機発光層材料を収容して減圧工程を行うことで、ゲッター材が減圧工程を経た回数（ゲッター材使用回数）と、各回数における有機発光層の特性との関係を調べる。そして、あらかじめ決定しておいた基準に到達したときのゲッター材使用回数、または到達する直前のゲッター材使用回数を把握する。以降は、この把握したゲッター材使用回数分の減圧工程を終える毎に、不純物除去手段による不純物の除去を行う。なお、到達したときのゲッター材使用回数または到達する直前のゲッター材使用回数を一度把握すれば、以後、ゲッター材使用回数と有機発光層の特性との関係を調べる必要はなくなる。
【００７１】
≪実施の態様２≫
実施の態様１においては、真空チャンバーと真空ポンプを結ぶ排気管が単一の配管で構成されていることとした。本実施の態様においては、排気管が２本の配管を含む真空装置について説明する。
［真空装置の構成］
図１２は、実施の態様２に係る真空装置の構成を示す図である。本実施の態様に係る真空装置は、真空チャンバー１、真空ポンプ２、第１配管３０ａおよび第２配管３０ｂを含む排気管３０、ゲッター材４、圧力計７、第１バルブ８ａ、第２バルブ８ｂ、制御部９を備える。以下、実施の態様１との相違点を中心に説明する。
【００７２】
真空チャンバー１、真空ポンプ２およびゲッター材４は実施の態様１におけるものと同様である。
排気管３０は、第１配管３０ａ、第２配管３０ｂを含む。第１配管３０ａおよび第２配管３０ｂはともに、真空チャンバー１と真空ポンプ２を結んでおり、真空チャンバー１と真空ポンプ２とを連通させる開放状態と、真空チャンバー１と真空ポンプ２とを連通させない閉鎖状態とを切替可能なものである。ただし、第１配管３０ａにはその内部にゲッター材が配設されていないが、第２配管３０ｂにはその内部にゲッター材が配設されている。なお、実施の形態１で説明した排気管の変形例（図１１）を、第２配管３０ｂにも適用することができる。
【００７３】
第１配管３０ａは、真空チャンバー１内が大気圧である時から、真空チャンバー１の内部圧力が真空ポンプ２の内部圧力と平衡状態になるまで間に開放状態とされるものである。第２配管３０ｂは、真空チャンバー１の内部圧力が真空ポンプ２の内部圧力と平衡状態にある間に開放状態とされるものである。
圧力計７は、真空チャンバー１の内部圧力、すなわち真空チャンバー１内の真空度を測定するものである。圧力計７としては、例えば、ピラニ真空計、ダイヤフラム真空計、スピニングロータ真空計等を用いることができる。
【００７４】
第１バルブ８ａは、第１配管３０ａの開放状態および閉鎖状態を切り替えるものである。第２バルブ８ｂも同様に、第２配管３０ａの開放状態および閉鎖状態を切り替えるものである。第１バルブ８ａが開状態となることで第１配管３０ａは開放状態となり、第１バルブ８ａが閉状態となることで第１配管３０ａは閉鎖状態となる。同様に、第２バルブ８ｂが開状態となることで第２配管３０ｂは開放状態となり、第２バルブ８ｂが閉状態となることで第２配管３０ｂは閉鎖状態となる。
【００７５】
制御部９は、圧力計７による測定結果を基に、真空ポンプ２、第１バルブ８ａおよび第２バルブ８ｂの動作を制御する。具体的には、制御部９は圧力計７による測定結果から真空チャンバー１の内部圧力が真空ポンプ２の内部圧力と平衡状態になっているかを判断するとともに、この判断結果に応じて真空ポンプ２、第１バルブ８ａおよび第２バルブ８ｂの動作を制御する。制御部９は真空ポンプ２、第１バルブ８ａおよび第２バルブ８ｂに対する制御信号を出力し、この制御信号を受けた各構成は制御信号に応じた動作を行う。
【００７６】
［制御部における動作］
図１３は、実施の態様２に係る真空装置の制御部９における動作を説明するためのフローチャートである。
まず、制御部９が第１バルブ８ａに対し開状態とする制御信号を出力することにより、第１配管３０ａを開放状態とするとともに（ステップＳ１０１）、真空ポンプ２を動作状態とする（ステップＳ１０２）。このとき、第２配管３０ｂは閉鎖状態である。これにより、真空チャンバー１内に含まれる気体の排気が開始される。
【００７７】
そして、制御部９は、圧力計７による測定結果を基に、真空チャンバー１の内部圧力が真空ポンプ２の内部圧力と平衡状態になっているかを判断する（ステップＳ１０３）。図９に示したように、真空チャンバー１内の減圧処理が進むに従って、真空チャンバー１の内部圧力の変化量は小さくなっていく。制御部９は、圧力計７の測定結果の変化量が所定の数値以下になると、真空チャンバー１の内部圧力が真空ポンプ２の内部圧力と平衡状態になったと判断する。平衡状態に達したと判断すると（ステップＳ１０３においてＹＥＳ）、ステップＳ１０４へ移行する。平衡状態に達していない判断すると（ステップＳ１０３においてＮＯ）、平衡状態に達するまで真空チャンバー１の減圧処理を継続する。
【００７８】
次に、制御部９は、平衡状態時における真空ポンプ２の内部圧力に対し、不純物６の蒸気圧の方が低いか否かを判断する（ステップＳ１０４）。ここで、制御部９には、稼働時の真空ポンプ２内部の温度に対応する不純物６の蒸気圧に関する情報があらかじめ記憶されている。この情報を基に、制御部９は平衡状態時の内部圧力と不純物の蒸気圧との大小関係を判定する。平衡状態時における真空ポンプ２の内部圧力に対し、不純物６の蒸気圧の方が高いと判断した場合は（ステップＳ１０４においてＮＯ）、第１配管３０ａを開放状態、第２配管３０ｂを閉鎖状態のままに維持し、真空チャンバー１内の減圧処理を継続する。有機発光層材料の乾燥等が完了すると、真空ポンプ２を停止させ、減圧工程を終了する。平衡状態時における真空ポンプ２の内部圧力に対し、不純物６の蒸気圧の方が低いと判断した場合は（ステップＳ１０４においてＹＥＳ）、ステップＳ１０５へ移行する。
【００７９】
上述したように、（１）真空チャンバー１の内部圧力が真空ポンプ２の内部圧力と平衡状態になることで、真空チャンバー１と真空ポンプ２との間の気流が平衡状態にあり、かつ、（２）平衡状態にあるときの真空ポンプ２の内部圧力に対し不純物６の蒸気圧の方が低い場合には、真空ポンプ２から真空チャンバー１への不純物６の飛散が起こると考えられる。すなわち、（１）の条件および（２）の条件を満たすことで、真空ポンプ２から不純物６が飛散すると考えられる。ステップＳ１０３では（１）の条件を判断し、ステップＳ１０４では（２）の条件を判断していることになる。そして、ステップＳ１０５へ移行した場合は、（１）の条件および（２）の条件の双方を満たしており、不純物６が飛散し得る状況にあることになる。そこで、ステップＳ１０５に移行した場合、制御部９は不純物６の飛散に備える動作を行う。
【００８０】
まず、制御部９が第１バルブ８ａに対し閉状態とする制御信号を出力することにより、第１配管３０ａを閉鎖状態とする（ステップＳ１０５）。続いて、制御部９が第２バルブ８ｂに対し開状態とする制御信号を出力することにより、第２配管３０ｂを開放状態とする（ステップＳ１０６）。これにより、真空チャンバー１と真空ポンプ２は、ゲッター材４が配設されている第２配管３０ｂにより結ばれることになる。したがって、不純物６が真空チャンバー１側へ飛散した場合であっても、実施の態様１で説明したものと同様の効果を得ることができる。
【００８１】
さらに、排気管３０を第１配管３０ａおよび第２配管３０ｂの２本で構成することにより、例えば、図１２に示すように、ゲッター材４が配設されていない第１配管３０ａを太くし、ゲッター材４が配設されている第２配管３０ｂを細くするといったことが可能になる。第１配管３０ａを太くすることで真空チャンバー１内の気体を効率的に排気しつつ、第２配管３０ｂを細くすることで真空ポンプ２から飛散する不純物６を効率良く吸着することができる。このように、排気管３０を２本の配管で構成することにより、各配管をそれぞれの用途に応じた形状とすることができる。
【００８２】
［制御部における動作の変形例１］
図１４は、実施の態様２に係る真空装置の制御部９における動作の変形例１を説明するためのフローチャートである。
図１３に示すフローチャートとの違いは、ステップＳ１０４が無い点である。図１３に示すフローチャートにおいては、上述した（１）の条件および（２）の条件の両方を満たした場合に初めて第２配管３０ｂを開放状態にすることとした。一方、図１４に示す変形例１では、（１）の条件を満たした時点（ステップＳ１０３においてＹＥＳ）で第２配管３０ｂを開放状態にするようにしている。すなわち、真空チャンバー１の内部圧力が真空ポンプ２の内部圧力と平衡状態になるまでの間は、第１配管３０ａが開放状態であるとともに第２配管３０ｂが閉鎖状態であり、真空チャンバー１の内部圧力が真空ポンプ２の内部圧力と平衡状態にある間は、第１配管３０ａが閉鎖状態であるとともに第２配管３０ｂが開放状態である。
【００８３】
このようにすることで、図１３に示す場合よりも時間的に早めに、不純物６の飛散に備えることができる。その結果、より確実に不純物６が真空チャンバー１内に侵入することを防止することができる。
［制御部における動作の変形例２］
図１５は、実施の態様２に係る真空装置の制御部９における動作の変形例２を説明するためのフローチャートである。
【００８４】
図１３に示すフローチャートとの違いは、ステップＳ１０３が無い点である。図１５に示す変形例１では、（２）の条件を満たした時点（ステップＳ１０４においてＹＥＳ）で第２配管３０ｂを開放状態にするようにしている。すなわち、真空チャンバー１の内部圧力が真空ポンプ２の内部圧力と平衡状態になるまでの間は、第１配管３０ａが開放状態であるとともに第２配管３０ｂが閉鎖状態であり、真空チャンバー１の内部圧力が真空ポンプ２の内部圧力と平衡状態にあるときの当該真空ポンプ２の内部圧力に対し、不純物６の蒸気圧の方が低い場合には、第１配管３０ａが閉鎖状態であるとともに第２配管３０ｂが開放状態である。
【００８５】
このような構成によっても、早めに不純物６の飛散に備えることができるので、より確実に不純物６が真空チャンバー１内に侵入することを防止することができる。また、本変形例は、真空チャンバー１の内部圧力が真空ポンプ２の内部圧力と平衡状態に至っているときの、当該真空チャンバー１の内部圧力が予め分かっている場合等に有効な例である。
［実施の態様３］
本実施の態様においては、実施の態様１または２に係る真空装置を用いて製造された有機ＥＬ素子を備える有機ＥＬ表示パネル、有機ＥＬ素子の製造方法、有機ＥＬ表示装置および有機ＥＬ発光装置について説明する。
【００８６】
［有機ＥＬ表示パネルの構成］
図１６は、有機ＥＬ表示パネル１０の構成を示す部分断面図である。有機ＥＬ表示パネル１０は、同図上側を表示面とする、いわゆるトップエミッション型の有機ＥＬ表示パネルであり、その主な構成として、陽極１２、有機発光層１６、電子輸送層１７、陰極１８を備える。有機ＥＬ表示パネル１０は、赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の何れかの発光色に対応する有機発光層１６を有する有機ＥＬ素子を１つのサブピクセル１００とし、サブピクセル１００がマトリクス状に配設されている。
【００８７】
＜基板１１、陽極１２、ＩＴＯ層１３＞
基板１１は有機ＥＬ表示パネル１０の基材となる部分であり、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、またはアルミナ等の絶縁性材料で形成することができる。
【００８８】
図示していないが、基板１１の表面には有機ＥＬ素子を駆動するためのＴＦＴ（薄膜トランジスタ）が形成されており、その上方に陽極１２が形成されている。陽極１２は、例えば、ＡＣＬ（アルミニウム、コバルト、ランタンの合金）、ＡＰＣ（銀、パラジウム、銅の合金）、ＡＲＡ（銀、ルビジウム、金の合金）、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）等で形成することができる。
【００８９】
ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）層１３は、陽極１２と正孔注入層１４の間に介在し、各層間の接合性を良好にする機能を有する。
＜正孔注入層１４＞
正孔注入層１４は、例えば、銀（Ａｇ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、イリジウム（Ｉｒ）等の酸化物、あるいは、ＰＥＤＯＴ（ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物）等の導電性ポリマー材料からなる層である。上記のうち、酸化金属からなる正孔注入層１４は、正孔を安定的に、または正孔の生成を補助して、有機発光層１６に対し正孔を注入する機能を有する。
【００９０】
＜バンク１５＞
正孔注入層１４の表面には、有機発光層１６の形成領域となる開口部１５ａを区画するためのバンク１５が設けられている。バンク１５は一定の台形断面を持つように形成されており、絶縁性の有機材料（例えばアクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂等）からなる。
【００９１】
図１７は、有機ＥＬ表示パネル１０におけるバンク１５を示す模式平面図である。本実施の態様に係る有機ＥＬ表示パネル１０では、一例としてラインバンク（ライン状のバンク）１５を採用している。具体的には、バンク１５は、各々がＹ軸方向に延伸形成され、Ｘ軸方向において隣接する各サブピクセル１００間を区画している。そして、サブピクセル１００は、バンク１５により区画された領域ごとに、発光色が異なるように形成されており、例えば、Ｒのサブピクセル１００（Ｒ），Ｇのサブピクセル１００（Ｇ），Ｂのサブピクセル１００（Ｂ）の３つのサブピクセルの組み合わせで１画素（１ピクセル）を構成する。
【００９２】
なお、図１６に示す部分断面図は、図１７におけるＡ−Ａ’断面図に相当する。
＜有機発光層１６＞
図１６に戻り、バンク１５の開口部１５ａにより区画された正孔注入層１４の表面には、Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれかの発光色に対応する、有機膜としての有機発光層１６が形成されている。有機発光層１６は、キャリアの再結合による発光を行う部位であり、Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれかの色に対応する有機材料を含むように構成されている。
【００９３】
有機発光層１６として用いることが可能な材料としては、例えば、実施の態様１における実験で用いたＦ８−Ｆ６のほか、ポリパラフェニレンビニレン（ＰＰＶ）、ポリフルオレン、特許公開公報（特開平５−１６３４８８号公報）に記載のオキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質等が挙げられる。
【００９４】
本実施の態様に係る有機発光層１６は、後述するように実施の態様１または２に係る真空装置を用いて形成されている。そのため、有機発光層１６とその上に形成されている電子輸送層１７との間には、少なくとも真空ポンプから飛散する不純物は存在しないため、製造工程において混入する不純物が少ない。したがって、後述する製造方法を経ない場合と比較して、不純物を原因とする有機発光層１６の劣化が少なく、設定値に近いより特性が得られるようになっている。これとともに、不純物による、有機発光層１６の上に形成されている電子輸送層１７へ与える影響も低減することができる。その結果、本実施の態様に係る有機発光層１６は発光特性が良好である。
【００９５】
＜電子輸送層１７＞
電子輸送層１７は、陰極１８から注入された電子を有機発光層１６へ輸送する機能を有する。電子輸送層１７は電子輸送性を有する材料（電子輸送性材料）で構成されており、このような材料としては、例えば、ニトロ置換フルオレノン誘導体、チオピランジオキサイド誘導体、ジフェキノン誘導体、ペリレンテトラカルボキシル誘導体、アントラキノジメタン誘導体、フレオレニリデンメタン誘導体、アントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリノン誘導体、キノリン錯体誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）等が挙げられる。
【００９６】
＜陰極１８＞
トップエミッション型有機ＥＬ表示パネルを実現するため、本実施の態様において電子輸送層１７の上に形成された陰極１８は、例えば、ＩＴＯ、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）等の光透過性を有する導電性酸化物材料で形成されている。
＜封止層１９＞
陰極１８の上に形成された封止層１９は、有機ＥＬ表示パネル１０内に浸入した水分又は酸素から有機発光層１６および陰極１８を保護するために設けられている。有機ＥＬ表示パネル１０はトップエミッション型であるため、封止層１９には、例えば、ＳｉＮ（窒化シリコン）、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）等の光透過性材料が採用されている。
【００９７】
＜その他＞
特に図示していないが、封止層１９の上方には、基板１１と対向する封止基板が設けられる。さらに、封止層１９と封止基板とでできる空間に、絶縁性材料を充填することとしてもよい。このようにすることで、有機ＥＬ表示パネル１０内に水分又は酸素が浸入するのを防ぐことができる。有機ＥＬ表示パネル１０はトップエミッション型であるため、絶縁性材料としては、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ等の光透過性材料を選択する必要がある。
【００９８】
また、正孔注入層１４と有機発光層１６との間に、正孔注入層１４から有機発光層１６への正孔の輸送を促進させる機能を有する正孔輸送層を、さらに形成することとしてもよい。正孔輸送層として用いることが可能な材料としては、例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体が挙げられる（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）。
【００９９】
さらに、電子輸送層１７と陰極１８の間に、陰極１８から電子輸送層１７への電子注入を促進させる機能を有する電子注入層を形成することとしてもよい。電子注入層として用いることが可能な材料としては、例えば、バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム等が挙げられる。
［有機ＥＬ表示パネルの製造方法］
図１８〜図２０は、実施の態様３に係る有機ＥＬ表示パネル１０の製造工程例を示す図である。これらの図を参照しながら、有機ＥＬ表示パネル１０の製造方法について説明する。
【０１００】
＜基板準備工程、真空装置準備工程＞
はじめに、上面に陽極および有機発光層材料がこの順に形成された基板を準備する基板準備工程を行う。図１８（ａ）〜図１９（ａ）は基板準備工程に相当する。
まず、図１８（ａ）に示すように、基板１１をスパッタ成膜装置の成膜容器内に載置する。そして成膜容器内に所定のスパッタガスを導入し、反応性スパッタ法、真空蒸着法等に基づき陽極１２を成膜する。
【０１０１】
引き続き上記の成膜容器内で、図１８（ｂ）に示すようにスパッタ法に基づき陽極１２上にＩＴＯ層１３を形成する。次に、ＩＴＯ層１３の各表面を含む基板１１の表面に対し、スパッタリング法等を用い金属膜を製膜する。その後、形成された金属膜を酸化することにより、正孔注入層１４が形成される。
次に、図１８（ｃ）に示すようにバンク１５を形成する。バンク材料として、例えば感光性のレジスト材料、好ましくはフッ素系材料を含有するフォトレジスト材料を用意する。このバンク材料を正孔注入層１４上に一様に塗布し、プリベークした後、開口部１５ａを形成できるようなパターンを有するマスクを重ねる。そして、マスクの上から感光させた後、未硬化の余分なバンク材料を現像液で洗い出す。最後に純水で洗浄することでバンク１５が完成する。
【０１０２】
なお、バンク１５を形成する工程の後であって有機発光層１６を形成する工程の前に、必要に応じて正孔輸送層を形成する。正孔輸送層は、例えば、この後に述べる有機発光層１６と同様に、塗布成膜法により形成することができる。
そして、図１９（ａ）に示すように、バンク１５の開口部１５ａ（図１８（ｃ））に対し、インクジェット法に基づき有機発光層材料１６ａを滴下する。以上で、上面に陽極１２および有機発光層材料１６ａがこの順に形成された基板１１を準備できた。なお、有機発光層材料１６ａの滴下方法はインクジェット法に限定されず、例えば、グラビア印刷法、ディスペンサー法、ノズルコート法、凹版印刷、凸版印刷等であってもよい。
【０１０３】
ここで、「陽極および有機発光層材料がこの順に形成された基板」には、陽極の上に直接的に有機発光層材料が塗布されている基板だけでなく、陽極の上に間接的に有機発光層材料が塗布されている基板も含むこととする。すなわち、陽極と塗布された有機発光層材料の間に他の層を含んでいることとしてもよい。本実施の態様の基板準備工程において準備した基板は、陽極１２と有機発光層材料１６ａと間に、ＩＴＯ層１３および正孔注入層１４を含んでいる。
【０１０４】
次に、真空チャンバーと、真空ポンプと、真空チャンバーと真空ポンプとを結ぶ排気管と、排気管の内部に配設されたゲッター材を備える真空装置を準備する真空装置準備工程を行う。具体的には、実施の態様１または２に係る真空装置（図１，図１２）を準備する。なお、ここでは基板準備工程を行った後に真空装置準備工程を行うこととしたが、先に真空装置準備工程を行い、この後に基板準備工程を行うこととしてもよいし、並行してこれらの工程を行うこととしてもよい。
【０１０５】
＜乾燥工程＞
減圧工程としての乾燥工程（図１９（ｂ））では、実施の態様１または２に係る真空装置を用いて、有機発光層材料１６ａを乾燥させる。具体的には、上面に陽極１２および有機発光層材料１６ａがこの順に形成された基板１１を真空装置における真空チャンバーに収容し、真空チャンバーの内部圧力が真空ポンプの内部圧力を減圧する。
【０１０６】
この乾燥工程により、基板１１上方に形成されている有機発光層材料１６ａを乾燥させると、有機発光層１６が形成される（図１９（ｂ））。このとき、本実施の態様においては実施の態様１または２に係る真空装置を用いているため、有機発光層１６の表面には少なくとも真空ポンプ２から飛散した不純物は付着していない状態となる。したがって、少なくとも、真空ポンプ２から飛散した不純物が有機発光層１６に付着したままで放置されたり、不純物が付着した有機発光層１６の上面に他の層（本実施に態様においては電子輸送層である。）が積層されることはない。
【０１０７】
なお、有機発光層１６については、その表面に不純物が付着したままで放置されたとしても、通電が行われない限りは有機発光層１６に悪影響は非常に小さいと考えられる。この理由として、有機発光層１６の表面近傍では、単に不純物が物理的に吸着しているだけで、有機発光層１６を構成する材料と不純物との反応は起こっていないと考えられること等が挙げられる。
【０１０８】
＜電子輸送層形成工程、陰極形成工程、その他＞
乾燥工程後、図１９（ｃ）に示すように、有機発光層１６の上に真空成膜法に基づき電子輸送層１７を形成する。具体的には、例えば真空蒸着法やスパッタ法等の真空成膜法に基づき、有機発光層１６の上面に電子輸送層１７を構成する材料を成膜することにより、電子輸送層１７を形成する。
【０１０９】
なお、電子輸送層形成工程においては、成膜容器内の圧力に占める電子輸送性材料の蒸気圧の割合はかなり高く、不純物の蒸気圧の割合は略０［％］である。したがって、真空ポンプ２から飛散した不純物が有機発光層１６の表面に付着するおそれはない。なお、電子輸送層形成工程での減圧処理においても、実施の態様１または２に係る真空装置を用いることしてもよい。
【０１１０】
また、電子輸送層１７を形成する工程の後であって陰極１８を形成する工程の前に、必要に応じて電子注入層を形成する。電子注入層は、例えば、真空蒸着法やスパッタ法等の真空成膜法に基づき、電子注入性を有する材料を成膜することにより形成可能である。
次に、陰極形成工程を行う（図２０（ａ））。当該工程では、減圧工程を経た有機発光層材料１６ａである有機発光層１６の上方に、真空蒸着法、スパッタ法等の真空成膜法基づき、ＩＴＯ、ＩＺＯ等を成膜することにより陰極１８を形成する。
【０１１１】
ここで、「減圧工程を経た有機発光層材料の上方に陰極を形成する」には、減圧工程を経た有機発光層材料である有機発光層の上に直接的に陰極を形成する場合だけでなく、有機発光層の上に間接的に陰極を形成する場合も含むこととする。すなわち、減圧工程後から陰極形成工程の間に別の層を形成する工程を含んでいてもよい。減圧工程後から陰極形成工程の間に別の層を形成する工程を含む場合には、陰極形成後の有機ＥＬ素子半製品において、有機発光層（減圧工程を経た有機発光層材料）と陰極との間に他の層を含むことになる。本実施の態様における有機ＥＬ素子半製品においては、有機発光層１６と陰極１８との間に電子輸送層１７を含んでいる。そのため、電子輸送層１７の上面に陰極１８を形成することとしている。
【０１１２】
陰極形成工程を終えたら、図２０（ｂ）に示すように、蒸着法、スパッタ法等に基づき、陰極１８の上に封止層１９を形成する。そして、封止層１９の上方に封止基板を対向配置させ、必要に応じて封止層１９と封止基板とで形成される空間に絶縁性材料を充填する。
以上の工程を経ることで、有機ＥＬ表示パネル１０が完成する。
【０１１３】
［有機ＥＬ表示装置］
図２１は、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示装置等を示す斜視図である。図２１に示すように、有機ＥＬ表示装置１０００は有機ＥＬディスプレイであり、上述した有機ＥＬ表示パネル１０を備える。
図２２は、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示装置１０００の全体構成を示す図である。図２２に示すように、有機ＥＬ表示装置１０００は、有機ＥＬ表示パネル１０と、これに接続された駆動制御部２０とを備える。駆動制御部２０は、４つの駆動回路２１〜２４と制御回路２５とから構成されている。なお、実際の有機ＥＬ表示装置１０００では、有機ＥＬ表示パネル１０に対する駆動制御部２０の配置や接続関係については、これに限られない。
【０１１４】
有機ＥＬ表示装置１０００が備える有機ＥＬ表示パネル１０を構成する有機ＥＬ素子においては、上述した減圧工程を経て形成された有機発光層を備えている。したがって、有機発光層の発光特性が良好であるため、有機ＥＬ表示装置１０００は画質に優れる。
［有機ＥＬ発光装置］
図２３は、本発明の一態様に係る有機ＥＬ発光装置２００を示す図であって、図２３（ａ）は縦断面図、図２３（ｂ）は横断面図である。図２３に示すように、有機ＥＬ発光装置２００は、本発明の一態様に係る製造方法により形成された複数の有機ＥＬ素子２１０と、有機ＥＬ素子２１０が上面に実装されたベース２２０と、ベース２２０にそれら有機ＥＬ素子２１０を挟むようにして取り付けられた一対の反射部材２３０と、から構成されている。各有機ＥＬ素子２１０は、ベース２２０上に形成された導電パターン（不図示）に電気的に接続されており、前記導電パターンにより供給された駆動電力によって発光する。各有機ＥＬ素子２１０から出射された光の一部は、反射部材２３０によって配光が制御される。
【０１１５】
有機ＥＬ発光装置２００が備える有機ＥＬ素子２１０においては、上述した減圧工程を経て形成された有機発光層を備えている。したがって、有機ＥＬ発光装置２００は発光特性が良好である。
［変形例・その他］
以上、実施の態様１〜３について説明したが、本発明は上記の実施の態様に限られない。例えば、以下のような変形例等が考えられる。
【０１１６】
（１）図１および図１２に示す真空装置は単なる一例であり、本発明の真空装置はこの例に限定されるものではない。例えば、図１および図１２に示した構成以外の構成を含むこととしてもよい。
（２）上記の実施の態様においては、排気管の内壁に直接的にゲッター材を配設することとしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、収容する有機発光層材料と同一の材料を吸着させた多孔質物質を、排気管の内部に充填することにより、ゲッター材を配設することとしてもよい。
【０１１７】
（３）上記の実施の態様において、有機発光層については、その表面に不純物が付着したままで放置されたとしても、通電が行われない限りは有機発光層に悪影響は小さいと考えられると述べた。しかしながら、このことはあくまで有機発光層に関してのことである。有機発光層以外の他の有機膜においては、通電が行われなくても、不純物が付着しただけで有機膜が劣化するということはあり得る。このような有機膜の場合、有機膜と不純物とが反応する前に不純物の除去を行うことは困難である。しかしながら、本発明を適用した場合には、不純物が有機膜に付着することを未然に防止することができ、非常に有用である。さらに、本発明は、真空チャンバー収容物が不純物を吸着し易いものであるほど、ゲッター材にける吸着性能も向上するため、より効果を発揮するものであると言える。
【０１１８】
（４）実施の態様３において説明した有機ＥＬ表示パネルの製造方法は、単なる一例である。例えば、真空成膜法を用いて成膜すると説明した層を、塗布成膜法によって形成することとしてもよいし、逆に、塗布成膜法を用いて成膜すると説明した層を、真空成膜法によって形成することとしてもよい。
（５）実施の態様３において、ＩＴＯ層、正孔注入層、正孔輸送層、バンクおよび封止層は必須の構成要件ではない。これらの構成を有しない有機ＥＬ素子に対しても、本発明を適用することが可能である。逆に、他の構成要素、例えば、正孔阻止層等をさらに含むこととしてもよい。これに対応して、準備工程で準備する基板においても、必ずしもＩＴＯ層、正孔注入層、正孔輸送層、バンクが形成されている必要はない。さらに、封止層を有しない有機ＥＬ素子を形成する場合には勿論、封止層を形成する工程を省略できる。
【０１１９】
（６）実施の態様３においては、有機膜が有機発光層であるとして説明したが、本発明はこれに限定されない。有機ＥＬ素子を構成する各層のうち、塗布成膜法により形成される層は全て本発明における有機膜に相当する。塗布成膜法により形成される各層について上記の減圧工程を行うことで、有機ＥＬ素子の半減期寿命を長くし、発光特性を向上させることが可能である。
【０１２０】
（７）上記の実施の態様においては、有機ＥＬ素子における有機発光層を主に取り上げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、有機ＴＦＴや太陽電池等、塗布成膜法により成膜される有機膜にも適用することも可能である。すなわち、本発明は、有機材料を含んでなる有機膜を形成する場合に広く適用することが可能である。以下、有機材料を含んでなる有機膜を形成する場合について、簡単に説明する。
【０１２１】
まず、真空チャンバーと、真空ポンプと、真空チャンバーと真空ポンプとを結ぶ排気管と、排気管の内部に配設されたゲッター材を備える真空装置を準備する真空装置準備工程を行う。ここで、排気管の内部に配設されたゲッター材は、形成する有機膜材料と同一の材料を含んでいる。次に、有機膜材料を乾燥させるために、有機膜材料を真空チャンバーに収容し、真空チャンバーの内部圧力を真空ポンプにより減圧する減圧工程を行う。
【０１２２】
このようにすることで実施の態様１および２で説明したものと同様の効果を、有機膜全般においても得ることができる。
（８）実施の態様３においては、有機発光層材料を乾燥させるための乾燥工程が減圧工程であるとして説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、有機発光層完成後から次の工程を行うまでの間、有機ＥＬ素子半製品を真空状態で保管する場合には、この保管工程も減圧工程に相当し、不純物汚染が起こり得る。すなわち、「有機発光層材料」には、有機発光層材料が完全に乾燥するまでの状態のものほか、乾燥が終了し有機発光層が完成した状態のものも含まれる。有機膜材料についても同様である。つまり、保管工程における減圧工程においても、本明細書に開示される真空装置を用いることが可能である。
【０１２３】
なお、乾燥工程における真空チャンバー内には、「有機発光層材料が完全に乾燥するまでの状態のもの」が収容される。一方、保管工程における真空チャンバー内には、「乾燥が終了し有機発光層が完成した状態のもの」が収容される。
さらに、乾燥工程および保管工程に限られず、有機発光層材料形成後から有機発光層の上面に位置する層を形成する工程の前に行われる工程であって、有機発光層材料が真空状態に置かれる工程が減圧工程となる。
【０１２４】
（９）有機発光層材料の乾燥は、減圧工程のみで完了させることとよいし、焼成のみで完了させることとしてもよいし、減圧工程に加えて焼成を行うことで完了させることとしてもよい。焼成のみで完了させる場合は、有機発光層形成後から次工程を行うまでの保管工程が減圧工程に相当する。
（１０）実施の態様においては、ジフェニルアミン系化合物を主に取り上げて説明したが、フェノール系化合物でも図７と同様の説明が可能である。フェノールを例に挙げ、図２４を用いて簡単に説明する。
【０１２５】
図２４は、フェノール系化合物を原因とする、有機ＥＬ素子における発光強度半減寿命低下のメカニズムの一例を説明するための図である。式（３）に示すように、界面領域１０９において、フェノールはラジカルアニオン状態の電子輸送性材料Ｘに水素ラジカルを供与することで、自身がラジカルアニオン状態となる。ラジカルアニオン状態のフェノールは、ＤＰＡと同様に、負電荷がベンゼン環において非局在化し、安定に存在し得るため、本反応が進行すると考えられる。また、式（４）に示すように、界面領域１０９において、ラジカルアニオン状態のフェノールは、有機発光層を構成する材料Ｙと反応することで生成物Ｚを与える。このように、キャリアであるラジカルアニオン状態の電子輸送性材料Ｘの消失、および有機発光層の劣化が進行する。
【０１２６】
（１１）図７および図２４に示した発光強度半減寿命低下のメカニズムは、電子輸送層と陰極の間に、電子注入層が介挿されていない場合に想定されるメカニズムである。ここでは、電子注入層が介挿されている場合のメカニズムについて簡単に述べる。
電子注入層が存在しない場合には、ラジカルアニオン状態の電子輸送性材料Ｘに水素ラジカルを供与するのは、ジフェニルアミン系化合物またはフェノール系化合物であった。一方、電子注入層が存在しない場合に、ラジカルアニオン状態の電子輸送性材料Ｘに水素ラジカルを供与するのは、電子注入層から電子を供与された有機発光層を構成する材料Ｙ、もしくは、製造工程中において有機ＥＬ素子に混入した微量の水分や残留溶媒等であると考えられる。水素ラジカルの供与の結果、電子注入層から電子を供与された有機発光層を構成する材料Ｙ、水分および残留溶媒等がラジカルアニオン状態になると考えられる。
【０１２７】
（１２）図７および図２４に示した発光強度半減寿命低下のメカニズムは単なる一例である。これらの図に示したものとは異なるメカニズムで発光強度半減寿命低下が起こっている可能性もある。
（１３）「ジフェニルアミン系化合物」とは、ジフェニルアミン骨格を有する化合物を指す。ジフェニルアミン骨格を有する化合物には、ジフェニルアミンやこの誘導体等が含まれる。また、図６（ｄ）においては、置換基が１つであるジフェニルアミン系化合物を図示しているが、本発明においては置換基の個数は特に限定されない。また、置換基の位置も図６（ｄ）に示したものに限定されない。
【０１２８】
同様に、「フェノール系化合物」とは、フェノール骨格を有する化合物を指し、図２４に示したものに限定されない。フェノール骨格を有する化合物には、フェノールやこの誘導体等が含まれる。
（１４）上記の実施の態様においては、減圧工程を経たことが原因で付着した不純物として、真空ポンプ由来の不純物を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。また、真空ポンプ由来の不純物として潤滑剤または真空シール材を取り上げて説明した。しかしながら、本発明は潤滑剤または真空シール材由来の不純物に限定されるものではない。潤滑剤および真空シール材以外で真空ポンプに使用等されているものでも逆拡散は起こり得る。すなわち、本発明は、減圧工程を経ることにより有機膜材料に付着し得る不純物に広く適用できるものである。
【０１２９】
（１５）本発明における「上面に第１電極および有機発光層材料がこの順に形成された基板を準備する」には、減圧工程を行う事業者自身が、基板の上面に第１電極および有機発光層材料をこの順に形成するような場合のほか、例えば、減圧工程を行う事業者が、基板の上面に第１電極および有機発光層材料をこの順に形成された基板を他の事業者から購入するような場合も含まれる。
【０１３０】
（１６）実施の態様３においては、正孔注入層が基板の上方を覆うように全面に形成されている例を示したが、本発明はこれに限定されない。正孔注入層がＩＴＯ層上のみに形成されていることとしてもよい。また、ＩＴＯ層の側面および上面のみを覆うように形成されていることとしてもよい。
（１７）陽極を銀（Ａｇ）系材料で形成する場合には、上記の実施の態様のようにＩＴＯ層をその上に形成することが望ましい。陽極をアルミニウム系材料で形成する場合には、ＩＴＯ層を無くして陽極を単層構造にすることも可能である。
【０１３１】
（１８）上記の実施の態様においては、複数の有機ＥＬ素子をサブピクセルとして基板上に集積する構成の有機ＥＬ表示パネルについて説明したが、この例に限定されず、有機ＥＬ素子を単一で用いることも可能である。有機ＥＬ素子を単一で用いるものとしては、例えば、照明装置等が挙げられる。
（１９）上記の実施の態様においては、有機ＥＬ表示パネルをＲ，Ｇ，Ｂを発光色とするフルカラー表示のパネルであるとしたが、本発明はこれに限定されない。有機ＥＬ表示パネルを、Ｒ、Ｇ、Ｂ、白色およびその他単色の有機ＥＬ素子が複数配列されてなる表示パネルとしてもよい。さらに、いずれか１色のみの有機ＥＬ素子を有する単色表示の有機ＥＬ表示パネルとしてもよい。
【０１３２】
（２０）上記の実施の態様では、バンク材料として、有機材料が用いられていたが、無機材料も用いることができる。この場合、バンク材料層の形成は、有機材料を用いる場合と同様、例えば塗布成膜法等により行うことができる。さらに、上記の有機ＥＬ表示パネルでは、複数のライン状のバンクを並設し、有機発光層をストライプ状に区画するラインバンク方式を採用しているが、本発明はこれに限られない。例えば、バンクを井桁状（格子状）に形成し、バンクによって各サブピクセルの周囲を囲繞する、いわゆるピクセルバンク方式であってもよい。
【０１３３】
（２１）上記の実施の態様においては、トップエミッション型有機ＥＬ表示パネルの製造方法を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。基板１１（図１６）側を表示面とするいわゆるボトムエミッション型有機ＥＬ表示パネルの製造方法においても、本発明を適用することが可能である。さらに、陽極の材料を陰極と同じく透明導電性材料とすることで、陽極側および陰極側の両方から光を取り出す両面発光方式の有機ＥＬ表示パネルの製造方法にも適用することが可能である。
【０１３４】
（２２）上記の実施の態様においては、第１電極が陽極、第２電極が陰極である有機ＥＬ素子について説明したが、本発明はこれに限定されない。第１電極が陰極、第２電極が陽極である有機ＥＬ素子であってもよい。
（２３）上記の実施の態様で使用している、材料、数値等は好ましい例を例示しているだけであり、この態様に限定されることはない。また、本発明の技術的思想の範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。さらに、各図面における部材の縮尺は実際のものとは異なる。なお、数値範囲を示す際に用いる符号「〜」は、その両端の数値を含む。
【産業上の利用可能性】
【０１３５】
本発明は、例えば、家庭用もしくは公共施設、あるいは業務用の各種ディスプレイ、テレビジョン装置、携帯型電子機器用ディスプレイ等に用いられる有機ＥＬ素子の製造方法等に好適に利用可能である。
【符号の説明】
【０１３６】
１  真空チャンバー
２  真空ポンプ
３、３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３０  排気管
３1〜３7  細管
３０ａ  第１配管
３０ｂ  第２配管
４、４Ａ、４Ｂ1〜４Ｂ7  ゲッター材
５  被乾燥物
６  不純物
７  圧力計
８ａ  第１バルブ
８ｂ  第２バルブ
９  制御部
１０  有機ＥＬ表示パネル
１１  基板
１２  陽極
１３  ＩＴＯ層
１４  正孔注入層
１５  バンク
１５ａ  開口部
１６  有機発光層
１６ａ  有機発光層材料
１７  電子輸送層
１８  陰極
１９  封止層
２０  駆動制御部
２１〜２４  駆動回路
２５  制御回路
２６  真空チャンバー
２７  真空ポンプ
２８  排気管
２９  排管
１００  サブピクセル
１０１  基板
１０２  陽極
１０３  正孔注入層
１０４  正孔輸送層
１０５  有機発光層
１０５ａ  有機発光層材料
１０６  電子輸送層
１０７  陰極
１０８  封止層
１０９  界面領域
２００  有機ＥＬ発光装置
２１０  有機ＥＬ素子
２２０  ベース
２３０  反射部材
１０００  有機ＥＬ表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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