(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
順次搬送される金属ストリップの表面に対して電子ビームを前記金属ストリップの材幅方向に連続的に照射する電子ビーム走査を行う電子ビーム照射装置において、
前記金属ストリップの表面に照射する電子ビームの走査可能幅の１／２以下となる間隔をもって各々隣り合い、且つ前記材幅方向に等間隔に配置される複数の電子銃と、
前記金属ストリップの表面に対する前記電子ビーム走査を前記材幅方向に分担して行うように前記複数の電子銃を制御し、前記複数の電子銃の中に電子ビームを照射不能な電子銃がある場合、前記複数の電子銃のうち、前記照射不能な電子銃と隣り合う正常な電子銃の電子ビームの走査幅を、前記正常な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を含むと同時に前記照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を補うように拡大し、前記照射不能な電子銃を除く残りの電子銃に、前記金属ストリップの表面に対する前記電子ビーム走査を前記材幅方向に分担して行わせる制御部と、
を備えたことを特徴とする電子ビーム照射装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記照射不能な電子銃と前記材幅方向の両側に隣り合う双方の正常な電子銃の各電子ビームの走査幅を、前記照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を協同して補うように拡大することを特徴とする請求項１に記載の電子ビーム照射装置。
【請求項３】
前記照射不能な電子銃が発生した旨を報知する報知部をさらに備え、
前記制御部は、前記複数の電子銃の中から前記照射不能な電子銃を特定可能な特定情報を報知するように前記報知部を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の電子ビーム照射装置。
【請求項４】
順次搬送される金属ストリップの表面に照射する電子ビームの走査可能幅の１／２以下となる間隔をもって各々隣り合い且つ前記金属ストリップの材幅方向に等間隔に配置した複数の電子銃により、前記金属ストリップの表面に対して電子ビームを前記材幅方向に連続的に照射する電子ビーム走査を、前記材幅方向に分担して行う電子ビーム照射ステップと、
前記複数の電子銃の中に電子ビームを照射不能な電子銃がある場合、前記複数の電子銃のうち、前記照射不能な電子銃と隣り合う正常な電子銃の電子ビームの走査幅を、前記正常な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を含むと同時に前記照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を補うように拡大する走査幅拡大ステップと、
を含み、
前記電子ビーム照射ステップは、前記照射不能な電子銃がある場合、前記複数の電子銃のうちの前記照射不能な電子銃を除く残りの電子銃により、前記金属ストリップの表面に対する前記電子ビーム走査を前記材幅方向に分担して行うことを特徴とする電子ビーム照射方法。
【請求項５】
前記走査幅拡大ステップは、前記照射不能な電子銃と前記材幅方向の両側に隣り合う双方の正常な電子銃の各電子ビームの走査幅を、前記照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を協同して補うように拡大することを特徴とする請求項４に記載の電子ビーム照射方法。
【請求項６】
前記複数の電子銃の中から前記照射不能な電子銃を特定可能な特定情報を報知して、前記照射不能な電子銃が発生した旨を報知する報知ステップをさらに含むことを特徴とする請求項４または５に記載の電子ビーム照射方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属ストリップに電子ビームを照射する電子ビーム照射装置および電子ビーム照射方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、金属ストリップに電子ビームを連続的に照射して金属ストリップの特性を改善する技術が知られている。例えば、特許文献１または特許文献２に開示された従来技術では、所定の表面処理が行われた金属ストリップの表面に対して、その圧延方向を横切る向きに電子ビームを照射し、これにより、この金属ストリップの鉄損を低減している。以下、金属ストリップの表面に電子ビームを連続的に照射することを「電子ビーム走査」と適宜いう。すなわち、金属ストリップの表面に対して所定方向に連続的に電子ビームを照射することは、金属ストリップの表面に対して所定方向に電子ビームを走査することを意味する。
【０００３】
一般に、電子ビームは、フィラメント、集束コイル、および偏向コイル等を備えた電子銃によって出力される。電子銃は、フィラメントから電子ビームを放出し、放出した電子ビームの径を集束コイルによって絞り、この集束後の電子ビームの進行方向を偏向コイルによって変える。電子銃は、金属ストリップに対して電子ビームを偏向しつつ照射し、これにより、金属ストリップの表面に電子ビームを走査する。なお、このような電子銃には、例えば、タングステン製のリボン状フィラメントを備えたものがある（特許文献３参照）。また、金属ストリップの幅を等分する走査幅に設定された複数の電子銃をこの金属ストリップの長手方向を斜めに横切る斜線上に配設し、これら複数の電子銃により、走行する金属ストリップの幅方向に連続して電子ビームの走査を行う電子ビーム照射装置がある（特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６３−９６２１８号公報
【特許文献２】特開昭６３−１８６８２６号公報
【特許文献３】特開平６−２０４２号公報
【特許文献４】特開平５−２０９２１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、上述したような電子銃には電子ビームを照射可能な寿命があり、この電子銃の動作寿命は、フィラメント等の部品の寿命に応じて決まる。すなわち、順次搬送される金属ストリップの表面に電子銃によって電子ビームを順次照射（走査）する操業期間中に、フィラメント切れ等の部品の故障に起因して、予期せず電子銃が電子ビームを照射不能になる可能性がある。この場合、上述した従来技術では、たとえ特許文献４に記載のように複数の電子銃を用いても、切れたフィラメント等の故障部品を交換して照射不能な電子銃を補修しなければ、金属ストリップの特性改善に好適な電子ビームの照射処理を継続することはできない。さらには、照射不能な電子銃を補修するために、電子ビームの照射処理の操業を急遽停止せざるを得ない。この結果、電子ビームの照射処理を行う操業ラインを、定期修理、点検等の予定されたメンテナンス期間を除く予定外の期間に停止する事態が起こり、これに起因して、金属ストリップ製品の生産効率の低下を招来するという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、金属ストリップ製品の生産効率を損なうことなく、金属ストリップの特性改善に好適な電子ビームの照射処理の操業を安定して行うことが可能な電子ビーム照射装置および電子ビーム照射方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる電子ビーム照射装置は、順次搬送される金属ストリップの表面に対して電子ビームを前記金属ストリップの材幅方向に連続的に照射する電子ビーム走査を行う電子ビーム照射装置において、前記金属ストリップの表面に照射する電子ビームの走査可能幅の１／２以下となる間隔をもって各々隣り合い、且つ前記材幅方向に等間隔に配置される複数の電子銃と、前記金属ストリップの表面に対する前記電子ビーム走査を前記材幅方向に分担して行うように前記複数の電子銃を制御し、前記複数の電子銃の中に電子ビームを照射不能な電子銃がある場合、前記複数の電子銃のうち、前記照射不能な電子銃と隣り合う正常な電子銃の電子ビームの走査幅を、前記照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域に拡大し、前記照射不能な電子銃を除く残りの電子銃に、前記金属ストリップの表面に対する前記電子ビーム走査を前記材幅方向に分担して行わせる制御部と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明にかかる電子ビーム照射装置は、上記の発明において、前記制御部は、前記照射不能な電子銃と前記材幅方向の両側に隣り合う双方の正常な電子銃の各電子ビームの走査幅を、前記照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を協同して補うように拡大することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明にかかる電子ビーム照射装置は、上記の発明において、前記照射不能な電子銃が発生した旨を報知する報知部をさらに備え、前記制御部は、前記複数の電子銃の中から前記照射不能な電子銃を特定可能な特定情報を報知するように前記報知部を制御することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明にかかる電子ビーム照射方法は、順次搬送される金属ストリップの表面に照射する電子ビームの走査可能幅の１／２以下となる間隔をもって各々隣り合い且つ前記金属ストリップの材幅方向に等間隔に配置した複数の電子銃により、前記金属ストリップの表面に対して電子ビームを前記材幅方向に連続的に照射する電子ビーム走査を、前記材幅方向に分担して行う電子ビーム照射ステップと、前記複数の電子銃の中に電子ビームを照射不能な電子銃がある場合、前記複数の電子銃のうち、前記照射不能な電子銃と隣り合う正常な電子銃の電子ビームの走査幅を、前記照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域に拡大する走査幅拡大ステップと、を含み、前記電子ビーム照射ステップは、前記照射不能な電子銃がある場合、前記複数の電子銃のうちの前記照射不能な電子銃を除く残りの電子銃により、前記金属ストリップの表面に対する前記電子ビーム走査を前記材幅方向に分担して行うことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明にかかる電子ビーム照射方法は、上記の発明において、前記走査幅拡大ステップは、前記照射不能な電子銃と前記材幅方向の両側に隣り合う双方の正常な電子銃の各電子ビームの走査幅を、前記照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を協同して補うように拡大することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明にかかる電子ビーム照射方法は、上記の発明において、前記複数の電子銃の中から前記照射不能な電子銃を特定可能な特定情報を報知して、前記照射不能な電子銃が発生した旨を報知する報知ステップをさらに含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、金属ストリップ製品の生産効率を損なうことなく、金属ストリップの特性改善に好適な電子ビームの照射処理の操業を安定して行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の実施の形態にかかる電子ビーム照射装置の一構成例を示す図である。
【図２】図２は、本実施の形態における複数の電子銃の配置構成例を示す図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態にかかる電子ビーム照射方法の一例を示すフローチャートである。
【図４】図４は、本発明による電子ビームの照射処理の一具体例を説明するための図である。
【図５】図５は、本発明による電子ビームの照射処理の別の具体例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、添付図面を参照して、本発明にかかる電子ビーム照射装置および電子ビーム照射方法の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、以下では、処理対象の金属ストリップの一例として鋼帯を示し、８つの電子銃を備えた電子ビーム照射装置を例示して本発明を説明するが、本実施の形態により、本発明が限定されるものではない。また、各図面において、同一構成部分には同一符号を付している。
【００１６】
（電子ビーム照射装置）
まず、本発明の実施の形態にかかる電子ビーム照射装置の構成について説明する。図１は、本発明の実施の形態にかかる電子ビーム照射装置の一構成例を示す図である。図１には、上方（処理対象の鋼帯の厚さ方向）から見た電子ビーム照射装置の要部が模式的に図示されている。
【００１７】
図１に示すように、本実施の形態にかかる電子ビーム照射装置１は、電子ビームの照射に好適な真空環境を整える真空槽２と、処理対象の鋼帯８に対する電子ビーム走査を行う複数（本実施の形態においては８つ）の電子銃３ａ〜３ｈと、電子ビームの照射処理の操業に有用な情報を報知する報知部５と、電子銃３ａ〜３ｈおよび報知部５を各々制御する制御部６とを備える。
【００１８】
真空槽２は、排気口等の真空排気系（図示せず）を有し、鋼帯８に対する電子ビームの照射に好適な真空室を形成する。また、真空槽２は、入側開口部および出側開口部（双方とも図示せず）を有する。真空槽２は、図１に示す搬送方向に向かって順次搬送される鋼帯８を入側開口部から受け入れる。電子銃３ａ〜３ｈによる電子ビームの照射処理が鋼帯８の表面に施された後、真空槽２は、この鋼帯８を、上記搬送方向に向かって出側開口部から順次送出する。この鋼帯８に対する電子ビームの照射処理の実行期間、真空槽２は、その槽内部を高真空状態に維持する。なお、上記搬送方向は鋼帯８の長手方向と同じ方向である。この搬送方向への鋼帯８の搬送は、搬送ロール等の搬送装置（図示せず）によって行われる。真空槽２の出側開口部から送出された鋼帯８は、この搬送装置によって電子ビーム照射装置１の下流側へ順次搬送される。
【００１９】
電子銃３ａ〜３ｈは、順次搬送される鋼帯８の表面に対して電子ビームを鋼帯８の幅方向（以下、材幅方向と適宜いう）に連続的に照射する電子ビーム走査を行うための装置である。具体的には、電子銃３ａ〜３ｈの各々は、電源、フィラメント、集束コイル、および偏向コイル等を用いて実現され、所定の規則に沿って真空槽２の上部に配置される。なお、電子銃３ａ〜３ｈの配置構成については、後述する。真空槽２の上部に配置された電子銃３ａ〜３ｈの各々において、フィラメントは、電源から電流を供給されることによって放出する。集束コイルは、フィラメントから放出された電子ビームの径を絞る。偏向コイルは、集束コイルによって集束された電子ビームの進行方向を材幅方向に変化させる。これら電子銃３ａ〜３ｈの各々は、このように電子ビームを材幅方向に偏向しつつ、真空槽２の内部において鋼帯８の表面に電子ビームを照射し、これにより、この鋼帯８の表面に対する材幅方向の電子ビーム走査を材幅方向に分担して行う。詳細には、電子銃３ａ〜３ｈは、鋼板８の分割帯８ａ〜８ｈの各表面に対して、各々、電子ビームを材幅方向に連続的に照射する。この場合、電子銃３ａ〜３ｈの各電子ビームの走査幅Ｗ１〜Ｗ８は、図１に示すように、これら分割帯８ａ〜８ｈの各幅と各々同程度である。例えば、本実施の形態において、走査幅Ｗ１〜Ｗ８は、鋼帯８の材幅Ｗｔの１／８倍に等しい。なお、分割帯８ａ〜８ｈは、８つの電子銃３ａ〜３ｈに対応して鋼板８を材幅方向に等分割（本実施の形態においては８等分）した帯状領域である。
【００２０】
また、電子銃３ａ〜３ｈは、鋼帯８の材幅方向に隣り合う電子銃同士において、鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査の不足を補う。すなわち、電子銃３ａ〜３ｈの中から電子ビームを照射不能な電子銃が発生した場合、電子銃３ａ〜３ｈは、照射不能な電子銃を除く残りの正常な電子銃によって、上述した鋼帯８に対する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行う。この場合、電子銃３ａ〜３ｈのうちの照射不能な電子銃と材幅方向に隣り合う全ての正常な電子銃は、この照射不能な電子銃が本来担う鋼帯８の表面における電子ビームの走査範囲全域を単独または協同して補うように、自身の電子ビームの走査幅を拡大する。
【００２１】
報知部５は、電子銃３ａ〜３ｈの中に電子ビームを照射不能な電子銃が存在する場合、照射不能な電子銃が発生した旨を報知するものである。具体的には、報知部５は、液晶ディスプレイ等の表示装置を用いて実現される。報知部５は、複数の電子銃３ａ〜３ｈの中から照射不能な電子銃を特定可能な特定情報を表示し、これにより、照射不能な電子銃が発生した旨を報知する。なお、上述した照射不能な電子銃の特定情報として、例えば、照射不能な電子銃の位置を示す情報、電子銃３ａ〜３ｈの各々に固有のシリアル番号またはマークを示す情報等が挙げられる。
【００２２】
制御部６は、上述した電子銃３ａ〜３ｈおよび報知部５の各動作を制御する。具体的には、制御部６は、真空槽２の内部に位置する鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行うように電子銃３ａ〜３ｈを制御する。特に、電子銃３ａ〜３ｈの中に電子ビームを照射不能な電子銃が存在しない場合、制御部６は、鋼帯８の分割帯８ａ〜８ｈの各幅と各々同程度に設定した走査幅Ｗ１〜Ｗ８の各電子ビーム走査を分割帯８ａ〜８ｈの各表面に対して各々行うように電子銃３ａ〜３ｈを制御する。
【００２３】
また、制御部６は、電子銃３ａ〜３ｈについて電子ビームを照射不能な電子銃の有無を判断する。電子銃３ａ〜３ｈの中に電子ビームを照射不能な電子銃がある場合、制御部６は、これらの電子銃３ａ〜３ｈのうち、照射不能な電子銃と材幅方向に隣り合う正常な電子銃に対して走査幅の拡大指令信号を送信する。これにより、制御部６は、上記正常な電子銃の電子ビームの走査幅を、この照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域に拡大する。詳細には、制御部６は、電子銃３ａ〜３ｈのうち、照射不能な電子銃と材幅方向の両側に隣り合う双方の正常な電子銃に対して走査幅の拡大指令信号を各々送信する。これにより、制御部６は、これら双方の正常な電子銃の各電子ビームの走査幅を、この照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を協同して補うように拡大する。また、制御部６は、電子銃３ａ〜３ｈのうち、照射不能な電子銃と材幅方向の片側に隣り合う単一の正常な電子銃に対して走査幅の拡大指令信号を送信する。これにより、制御部６は、この単一の正常な電子銃の電子ビームの走査幅を、この照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を補うように拡大する。制御部６は、上述したように電子銃３ａ〜３ｈの各走査幅Ｗ１〜Ｗ８を適宜拡大させた後、これら電子銃３ａ〜３ｈのうちの照射不能な電子銃を除く残りの電子銃に、鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行わせる。
【００２４】
さらに、制御部６は、上述した判断処理の結果、電子銃３ａ〜３ｈの中に照射不能な電子銃がある場合、これら電子銃３ａ〜３ｈの中から照射不能な電子銃を特定可能な特定情報を報知（例えば表示）するように報知部５を制御する。これにより、制御部６は、照射不能な電子銃が発生した旨を報知部５に報知させる。
【００２５】
（複数の電子銃の配置構成）
つぎに、本実施の形態にかかる電子ビーム照射装置１が備える複数の電子銃３ａ〜３ｈの配置構成について説明する。図２は、本実施の形態における複数の電子銃の配置構成例を示す図である。図２には、図１に示した電子ビーム照射装置１の真空槽２および電子銃３ａ〜３ｈを鋼帯８の搬送方向から見たものが模式的に図示されている。本実施の形態における電子銃３ａ〜３ｈは、鋼帯８の表面に照射する電子ビームの走査可能幅の１／２以下となる間隔をもって各々隣り合い、且つ、鋼帯８の材幅方向に等間隔となるように真空槽２の上部に配置される。
【００２６】
具体的には、図２に示すように、電子銃３ａ〜３ｈは、電子ビーム射出口を真空槽２の内部に向けた状態にして、鋼帯８の材幅方向に隣り合う各電子銃同士の間隔ｄ１〜ｄ７をなして真空槽２の上部に等間隔に配置される。すなわち、間隔ｄ１〜ｄ７は、互いに同じ値である。また、材幅方向の一端部側の電子銃３ａは、材幅方向の片側に間隔ｄ１をもって電子銃３ｂと隣り合い、材幅方向の他端部側の電子銃３ｈは、材幅方向の片側に間隔ｄ７をもって電子銃３ｇと隣り合う。これらの電子銃３ａ，３ｈの間において、電子銃３ｂは、材幅方向の両側に間隔ｄ１，ｄ２をもって電子銃３ａ，３ｃと各々隣り合い、電子銃３ｃは、材幅方向の両側に間隔ｄ２，ｄ３をもって電子銃３ｂ，３ｄと各々隣り合う。電子銃３ｄは、材幅方向の両側に間隔ｄ３，ｄ４をもって電子銃３ｃ，３ｅと各々隣り合い、電子銃３ｅは、材幅方向の両側に間隔ｄ４，ｄ５をもって電子銃３ｄ，３ｆと各々隣り合う。電子銃３ｆは、材幅方向の両側に間隔ｄ５，ｄ６をもって電子銃３ｅ，３ｇと各々隣り合い、電子銃３ｇは、材幅方向の両側に間隔ｄ６，ｄ７をもって電子銃３ｆ，３ｈと各々隣り合う。これらの電子銃３ａ〜３ｈの各々において、電子ビーム射出口の中心を電子銃の中心位置とし、材幅方向に隣り合う電子銃同士の各中心位置間の距離を電子銃３ａ〜３ｈの各間隔ｄ１〜ｄ７とする。
【００２７】
ここで、電子銃３ａには、鋼帯８の表面に照射する電子ビーム４ａの通常の走査幅Ｗ１が設定される。また、電子銃３ａには、照射する電子ビーム４ａの偏向可能な最大の走査幅として、この走査幅Ｗ１の２倍以上となる走査可能幅Ｗ１１が設定される。これと同様に、電子銃３ｂには、照射する電子ビーム４ｂの通常の走査幅Ｗ２と、この走査幅Ｗ２の２倍以上となる走査可能幅Ｗ１２とが設定され、電子銃３ｃには、照射する電子ビーム４ｃの通常の走査幅Ｗ３と、この走査幅Ｗ３の２倍以上となる走査可能幅Ｗ１３とが設定される。電子銃３ｄには、照射する電子ビーム４ｄの通常の走査幅Ｗ４と、この走査幅Ｗ４の２倍以上となる走査可能幅Ｗ１４とが設定され、電子銃３ｅには、照射する電子ビーム４ｅの通常の走査幅Ｗ５と、この走査幅Ｗ５の２倍以上となる走査可能幅Ｗ１５とが設定される。電子銃３ｆには、照射する電子ビーム４ｆの通常の走査幅Ｗ６と、この走査幅Ｗ６の２倍以上となる走査可能幅Ｗ１６が設定され、電子銃３ｇには、照射する電子ビーム４ｇの通常の走査幅Ｗ７と、この走査幅Ｗ７の２倍以上となる走査可能幅Ｗ１７とが設定される。電子銃３ｈには、照射する電子ビーム４ｈの通常の走査幅Ｗ８と、この走査幅Ｗ８の２倍以上となる走査可能幅Ｗ１８とが設定される。
【００２８】
なお、これら電子銃３ａ〜３ｈの走査幅Ｗ１〜Ｗ８の各中心位置は、上述した走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８の各中心位置と各々一致する。また、電子銃３ａ〜３ｈの各中心位置は、これら走査幅Ｗ１〜Ｗ８および走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８の各中心位置と各々同一直線上にある。例えば、走査幅Ｗ１の中心位置と走査可能幅Ｗ１１の中心位置とは一致し、且つ、電子銃３ａの中心位置は、走査幅Ｗ１および走査可能幅Ｗ１１の各中心位置と同一直線上にある。
【００２９】
電子銃３ａ〜３ｈは、上述した間隔ｄ１〜ｄ７が電子銃３ａ〜３ｈの各電子ビーム４ａ〜４ｈの走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８の１／２倍以下となるように、等間隔に配置される。具体的には、電子銃３ａと電子銃３ｂとの間隔ｄ１は、電子銃３ａ，３ｂの各走査可能幅Ｗ１１，Ｗ１２の１／２倍以下である。このことは、電子銃３ｂ〜３ｈの各間隔ｄ２〜ｄ７についても同様である。このように配置された電子銃３ａ〜３ｈは、鋼帯８の材幅方向に隣り合う電子銃の走査幅の各中心位置（以下、走査幅中心と適宜いう）を走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８の各範囲内に各々含める。すなわち、電子銃３ａは、隣り合う電子銃３ｂの走査幅中心を走査可能幅Ｗ１１の範囲内に含める。これと同様に、電子銃３ｂは、隣り合う電子銃３ａ，３ｃの各走査幅中心を走査可能幅Ｗ１２の範囲内に含め、電子銃３ｃは、隣り合う電子銃３ｂ，３ｄの各走査幅中心を走査可能幅Ｗ１３の範囲内に含める。電子銃３ｄは、隣り合う電子銃３ｃ，３ｅの各走査幅中心を走査可能幅Ｗ１４の範囲内に含め、電子銃３ｅは、隣り合う電子銃３ｄ，３ｆの各走査幅中心を走査可能幅Ｗ１５の範囲内に含める。電子銃３ｆは、隣り合う電子銃３ｅ，３ｇの各走査幅中心を走査可能幅Ｗ１６の範囲内に含め、電子銃３ｇは、隣り合う電子銃３ｆ，３ｈの各走査幅中心を走査可能幅Ｗ１７の範囲内に含める。電子銃３ｈは、隣り合う電子銃３ｇの走査幅中心を走査可能幅Ｗ１８の範囲内に含める。
【００３０】
図２においては、一例として、電子銃３ａ〜３ｈの間隔ｄ１〜ｄ７の各々が各走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８の１／２倍となるように、電子銃３ａ〜３ｈが等間隔に配置されている。これにより、例えば電子銃３ａと電子銃３ｂとの間隔ｄ１は、電子銃３ａ，３ｂの各走査可能幅Ｗ１１，Ｗ１２の１／２倍となる。すなわち、電子銃３ａ〜３ｈの走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８の各端部は、図２に示すように、隣り合う電子銃同士の走査幅中心上に位置する。例えば、電子銃３ａの走査可能幅Ｗ１１の端部は、隣り合う電子銃３ｂの走査幅中心上に位置し、電子銃３ｂの走査可能幅Ｗ１２の両端部は、隣り合う電子銃３ａ，３ｃの各走査幅中心上に各々位置する。
【００３１】
（電子ビーム照射方法）
つぎに、本発明の実施の形態にかかる電子ビーム照射方法について説明する。図３は、本発明の実施の形態にかかる電子ビーム照射方法の一例を示すフローチャートである。図１に示した電子ビーム照射装置１は、図３に示すステップＳ１０１〜Ｓ１０４の各処理ステップを行うことにより、処理対象の鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査を実行する。以下、図１〜３を適宜参照して、本実施の形態にかかる電子ビームの照射方法を詳細に説明する。
【００３２】
本実施の形態にかかる電子ビームの照射方法において、電子ビーム照射装置１は、図３に示すように、まず、順次搬送される鋼帯８の表面に対して電子ビームを鋼帯８の材幅方向に連続的に照射する（ステップＳ１０１）。電子ビーム照射装置１が備える電子銃３ａ〜３ｈは、上述したように、順次搬送される鋼帯８の表面に照射する電子ビーム４ａ〜４ｈの走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８の１／２以下となる間隔ｄ１〜ｄ７をもって各々隣り合い、且つ、この鋼帯８の材幅方向に等間隔に配置されている（図２参照）。電子ビーム照射装置１は、このように配置した電子銃３ａ〜３ｈにより、鋼帯８の表面に対して電子ビーム４ａ〜４ｈを材幅方向に連続的に照射する電子ビーム走査を、鋼帯８の材幅方向に分担して行う。
【００３３】
具体的には、ステップＳ１０１において、制御部６は、真空槽２の内部に順次搬送される鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行うように、電子銃３ａ〜３ｈを制御する。例えば、電子銃３ａ〜３ｈの中に電子ビームを照射不能な電子銃が存在しない場合、制御部６は、電子ビームの通常の走査範囲を設定する指令信号を電子銃３ａ〜３ｈに各々送信し、これにより、電子銃３ａ〜３ｈに対して電子ビーム４ａ〜４ｈの通常の走査幅Ｗ１〜Ｗ８を各々設定する。ついで、制御部６は、鋼帯８の表面に対して通常の走査幅Ｗ１〜Ｗ８の電子ビーム走査を行うように電子銃３ａ〜３ｈを制御する。電子銃３ａ〜３ｈは、制御部６の制御に基づいて、鋼帯８の分割帯８ａ〜８ｈの各表面に対し、各々、走査幅Ｗ１〜Ｗ８の電子ビーム４ａ〜４ｈを材幅方向に連続的に照射する。
【００３４】
ステップＳ１０１を実行後、電子ビーム照射装置１は、電子ビームを照射不能な電子銃の有無を判断する（ステップＳ１０２）。このステップＳ１０２において、制御部６は、電子銃３ａ〜３ｈの各電流値等の駆動情報を電子銃３ａ〜３ｈの各々から取得する。ついで、制御部６は、取得した電子銃３ａ〜３ｈの各駆動情報をもとに、電子銃３ａ〜３ｈの各電子ビーム照射状況を検知する。例えば、制御部６は、電子銃３ａ〜３ｈのうち、フィラメント切れ等の部品故障に起因して電子ビームを照射不能となった電子銃の電子ビーム照射状況を「照射不能」として検知する。制御部６は、電子銃３ａ〜３ｈの中から電子ビームの照射状況が照射不能となった電子銃を検知しなかった場合、電子銃３ａ〜３ｈの中に電子ビームを照射不能な電子銃がないと判断する。一方、制御部６は、電子銃３ａ〜３ｈの中から電子ビームの照射状況が照射不能となった電子銃を検知した場合、電子銃３ａ〜３ｈの中に電子ビームを照射不能な電子銃があると判断する。
【００３５】
ステップＳ１０２において、電子銃３ａ〜３ｈの中に電子ビームを照射不能な電子銃がない場合（ステップＳ１０２，Ｎｏ）、電子ビーム照射装置１は、上述したステップＳ１０１に戻り、このステップＳ１０１以降の処理ステップを繰り返す。
【００３６】
一方、ステップＳ１０２において、電子銃３ａ〜３ｈの中に電子ビームを照射不能な電子銃がある場合（ステップＳ１０２，Ｙｅｓ）、電子ビーム照射装置１は、電子銃３ａ〜３ｈのうち、検知した照射不能な電子銃と隣り合う正常な電子銃の電子ビームの走査幅を、この照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲の全域に拡大する（ステップＳ１０３）。このステップＳ１０３において、制御部６は、予め設定された電子銃３ａ〜３ｈの特定情報を参照し、上述したステップＳ１０２の判断処理（例えば電子銃３ａ〜３ｈの各駆動情報）に基づき、電子銃３ａ〜３ｈの中から照射不能な電子銃の特定情報を確認する。例えば、制御部６は、照射不能な電子銃３の特定情報として、電子銃３ａ〜３ｈの配置構成における照射不能な電子銃の位置情報、照射不能な電子銃に予め付されたシリアル番号またはマーク等の固有情報を確認する。これにより、制御部６は、電子銃３ａ〜３ｈのうちの何れの電子銃が照射不能であるかを把握する。制御部６は、電子銃３ａ〜３ｈのうち、上述したように所在を把握した照射不能な電子銃と材幅方向に隣り合う全ての正常な電子銃に対し、この照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲を補うように走査幅を拡大する指令を与える。
【００３７】
具体的には、制御部６は、電子銃３ａ〜３ｈのうち、所在を把握した照射不能な電子銃と材幅方向の両側に隣り合う双方の正常な電子銃に対して走査幅の拡大指令信号を各々送信する。これにより、制御部６は、これら双方の正常な電子銃に対し、この照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域に亘り走査幅を協同して拡大する指令を各々与える。これら双方の正常な電子銃、すなわち、電子銃３ａ〜３ｈのうちの照射不能な電子銃を材幅方向に挟む２つの電子銃は、上記制御部６の制御に基づき、この照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を協同して補うように、自身の走査幅を各々拡大する。一方、制御部６は、電子銃３ａ〜３ｈのうち、所在を把握した照射不能な電子銃と材幅方向の片側に隣り合う単一の正常な電子銃に対して走査幅の拡大指令信号を送信する。これにより、制御部６は、この単一の正常な電子銃に対し、この照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域に亘り走査幅を拡大する指令を与える。この単一の正常な電子銃は、上記制御部６の制御に基づき、この照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を補うように、自身の走査幅を拡大する。
【００３８】
ステップＳ１０３を実行後、電子ビーム照射装置１は、電子銃３ａ〜３ｈの中から照射不能な電子銃を特定可能な特定情報を報知して、照射不能な電子銃が発生した旨を報知する（ステップＳ１０４）。このステップＳ１０４において、制御部６は、上述したステップＳ１０３に基づき把握した照射不能な電子銃の特定情報を表示するように報知部５を制御する。報知部５は、制御部６の制御に基づいて、この照射不能な電子銃の特定情報を表示し、これにより、電子銃３ａ〜３ｈの中に照射不能な電子銃が発生した旨を外部（作業者等）に報知する。
【００３９】
ステップＳ１０４を実行後、電子ビーム照射装置１は、上述したステップＳ１０１に戻り、このステップＳ１０１移行の処理ステップを適宜繰り返し行う。このステップＳ１０４を実行後のステップＳ１０１において、電子ビーム照射装置１は、電子銃３ａ〜３ｈの中に照射不能な電子銃がある場合、これら電子銃３ａ〜３ｈのうちの照射不能な電子銃を除く残りの正常な電子銃により、鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行う。この場合、制御部６は、上述したステップＳ１０３によって照射不能な電子銃と隣り合う正常な電子銃の走査幅を拡大させた状態を維持しつつ、電子銃３ａ〜３ｈのうちの照射不能な電子銃を除く残りの電子銃に、鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行わせる。なお、上記残りの電子銃には、電子銃３ａ〜３ｈのうちの走査幅を拡大していない電子銃（照射不能な電子銃と隣り合っていない正常な電子銃）が含まれることは勿論、ステップＳ１０３において走査幅を拡大した電子銃（照射不能な電子銃と隣り合う正常な電子銃）が含まれる。
【００４０】
（電子ビームの照射処理の具体例）
つぎに、本実施の形態にかかる電子ビーム照射装置１の電子銃３ａ〜３ｈの各間隔ｄ１〜ｄ７（図２参照）を各々走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８の１／２倍とした場合を例示して、上述したステップＳ１０１〜Ｓ１０４による電子ビームの照射処理を具体的に説明する。図４は、本発明による電子ビームの照射処理の一具体例を説明するための図である。図４に示すように、電子銃３ａ〜３ｈの中に照射不能な電子銃が存在しない場合、電子銃３ａ〜３ｈは、鋼帯８の表面に対し、通常の走査幅Ｗ１〜Ｗ８に応じた各走査範囲内に電子ビーム４ａ〜４ｈを各々走査する。これにより、電子銃３ａ〜３ｈは、この鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査を分割帯８ａ〜８ｈに各々分けて行う（状態Ａ１）。
【００４１】
上述した状態Ａ１の後、これら電子銃３ａ〜３ｈのうち、電子銃３ｂにフィラメント切れ等の部品故障が予期せず発生した場合、図４に示すように、電子銃３ｂは、電子ビーム４ｂを照射不能な状態となって、鋼帯８の分割帯８ｂに対する電子ビーム４ｂの照射を停止する（状態Ａ２）。この状態Ａ２において、照射不能な電子銃３ｂと材幅方向の両側に隣り合う２つの正常な電子銃３ａ，３ｃは、この照射不能な電子銃３ｂの電子ビームの走査範囲内に向けて自身の走査幅Ｗ１，Ｗ３を各々拡大する。詳細には、これら両隣の電子銃３ａ，３ｃは、この照射不能な電子銃３ｂの走査幅中心まで自身の走査幅Ｗ１，Ｗ３を各々拡大する。これにより、これら両隣の電子銃３ａ，３ｃは、この照射不能な電子銃３ｂが本来担うべき分割帯８ｂに対する電子ビームの走査範囲の全域を協同して補う。
【００４２】
このような状態Ａ２においては、電子銃３ａ〜３ｈのうちの照射不能な電子銃３ｂを除く残りの正常な電子銃３ａ，３ｃ〜３ｈにより、鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行う。すなわち、図４に示すように、電子銃３ａは、拡大後の走査幅Ｗ２１に応じた走査範囲内に電子ビーム４ａを走査する。これにより、電子銃３ａは、本来担う分割帯８ａの表面と、照射不能な電子銃３ｂの代わりに担う分割帯８ｂの一部分（具体的には半分）の表面とに対して材幅方向に連続的に電子ビーム４ａを照射する。また、電子銃３ｃは、拡大後の走査幅Ｗ２２に応じた走査範囲内に電子ビーム４ｃを走査する。これにより、電子銃３ｃは、本来担う分割帯８ｃの表面と、照射不能な電子銃３ｂの代わりに担う分割帯８ｂの残部分（具体的には半分）の表面とに対して材幅方向に連続的に電子ビーム４ｃを照射する。一方、電子銃３ｄ〜３ｈは、上述した状態Ａ１の場合と同様に、分割帯８ｄ〜８ｈの各表面に対して各々電子ビーム４ｄ〜４ｈを材幅方向に連続的に照射する。
【００４３】
さらに、上述した状態Ａ２の後、照射不能な電子銃３ｂを除く残りの電子銃３ａ，３ｃ〜３ｈのうち、電子銃３ｆに部品故障が予期せず発生した場合、図４に示すように、電子銃３ｆは、電子ビーム４ｆを照射不能な状態となって、鋼帯８の分割帯８ｆに対する電子ビーム４ｆの照射を停止する（状態Ａ３）。この状態Ａ３において、新たに照射不能な電子銃３ｆと材幅方向の両側に隣り合う２つの正常な電子銃３ｅ，３ｇは、この照射不能な電子銃３ｆの電子ビームの走査範囲内に向けて自身の走査幅Ｗ５，Ｗ７を各々拡大する。詳細には、これら両隣の電子銃３ｅ，３ｇは、この照射不能な電子銃３ｆの走査幅中心まで自身の走査幅Ｗ５，Ｗ７を各々拡大する。これにより、これら両隣の電子銃３ｅ，３ｇは、この照射不能な電子銃３ｆが本来担うべき分割帯８ｆに対する電子ビームの走査範囲の全域を協同して補う。
【００４４】
このような状態Ａ３では、電子銃３ａ〜３ｈのうちの照射不能な電子銃３ｂ，３ｆを除く残りの正常な電子銃３ａ，３ｃ〜３ｅ，３ｇ，３ｈにより、鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行う。すなわち、図４に示すように、電子銃３ｅは、拡大後の走査幅Ｗ２３に応じた走査範囲内に電子ビーム４ｅを走査する。これにより、電子銃３ｅは、本来担う分割帯８ｅの表面と、照射不能な電子銃３ｆの代わりに担う分割帯８ｆの一部分（具体的には半分）の表面とに対して材幅方向に連続的に電子ビーム４ｅを照射する。また、電子銃３ｇは、拡大後の走査幅Ｗ２４に応じた走査範囲内に電子ビーム４ｇを走査する。これにより、電子銃３ｇは、本来担う分割帯８ｇの表面と、照射不能な電子銃３ｆの代わりに担う分割帯８ｆの残部分（具体的には半分）の表面とに対して材幅方向に連続的に電子ビーム４ｇを照射する。一方、電子銃３ａ，３ｃは、上述した状態Ａ２の場合と同様に、分割帯８ｂに対する電子ビーム走査の不足を協同して補うように電子ビーム４ａ，４ｃを分割帯８ｂの表面に走査しつつ、分割帯８ａ，８ｃの各表面に対して各々電子ビーム４ａ，４ｃを材幅方向に連続的に照射する。他方、電子銃３ｄ，３ｈは、上述した状態Ａ１の場合と同様に、分割帯８ｄ，８ｈの各表面に対して各々電子ビーム４ｄ，４ｈを材幅方向に連続的に照射する。
【００４５】
一方、上述した実施の形態では、電子銃３ａ〜３ｈの各間隔ｄ１〜ｄ７を各々走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８の１／２倍とした場合を本発明の具体例として示したが、本発明において、電子銃３ａ〜３ｈの各間隔ｄ１〜ｄ７は、各々、各走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８の１／２倍以下に設定される。図５は、本発明による電子ビームの照射処理の別の具体例を説明するための図である。図５に示すように、電子銃３ａ〜３ｈの中に照射不能な電子銃が存在しない状態Ａ１において、電子銃３ａ〜３ｈは、図４に示した状態Ａ１の場合と同様に、鋼帯８の分割帯８ａ〜８ｈの各表面に対し、通常の走査幅Ｗ１〜Ｗ８に応じた各走査範囲内に電子ビーム４ａ〜４ｈを各々走査する。
【００４６】
上述した状態Ａ１の後、これら電子銃３ａ〜３ｈのうち、電子銃３ａにフィラメント切れ等の部品故障が予期せず発生した場合、図５に示すように、電子銃３ａは、電子ビーム４ａを照射不能な状態となって、鋼帯８の分割帯８ａに対する電子ビーム４ａの照射を停止する（状態Ａ４）。この状態Ａ４において、照射不能な電子銃３ａと材幅方向の片側に隣り合う単一の正常な電子銃３ｂは、この照射不能な電子銃３ａの電子ビームの走査範囲内に向けて自身の走査幅Ｗ２を拡大する。詳細には、この片側隣の電子銃３ｂは、この照射不能な電子銃３ａの走査範囲全域に自身の走査幅Ｗ２を拡大する。これにより、この片側隣の電子銃３ｂは、この照射不能な電子銃３ａが本来担うべき分割帯８ａに対する電子ビームの走査範囲の全域を補う。
【００４７】
このような状態Ａ４においては、電子銃３ａ〜３ｈのうちの照射不能な電子銃３ａを除く残りの正常な電子銃３ｂ〜３ｈにより、鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行う。すなわち、図５に示すように、電子銃３ｂは、拡大後の走査幅Ｗ２５に応じた走査範囲内に電子ビーム４ｂを走査する。これにより、電子銃３ｂは、本来担う分割帯８ｂの表面と、照射不能な電子銃３ａの代わりに担う分割帯８ａの表面とに対して材幅方向に連続的に電子ビーム４ｂを照射する。一方、電子銃３ｃ〜３ｈは、上述した状態Ａ１の場合と同様に、分割帯８ｃ〜８ｈの各表面に対して各々電子ビーム４ｃ〜４ｈを材幅方向に連続的に照射する。
【００４８】
一方、上述した状態Ａ１の後、電子銃３ａ〜３ｈのうち、互いに隣り合う電子銃３ｂ，３ｃに予期せぬ部品故障が連続的または時間をあけて断続的に発生した場合、図５に示すように、電子銃３ｂ，３ｃは、電子ビームを照射不能な状態となって、鋼帯８の分割帯８ｂ，８ｃに対する電子ビーム４ｂ，４ｃの照射を各々停止する（状態Ａ５）。この状態Ａ５において、照射不能な電子銃３ａと材幅方向の片側に隣り合う単一の正常な電子銃３ａは、この照射不能な電子銃３ｂの電子ビームの走査範囲内に向けて自身の走査幅Ｗ２を拡大する。詳細には、この片側隣の電子銃３ａは、この照射不能な電子銃３ｂの走査範囲全域に自身の走査幅Ｗ１を拡大する。これにより、この片側隣の電子銃３ａは、この照射不能な電子銃３ｂが本来担うべき分割帯８ｂに対する電子ビームの走査範囲の全域を補う。一方、照射不能な電子銃３ｃと材幅方向の片側に隣り合う単一の正常な電子銃３ｄは、この照射不能な電子銃３ｃの電子ビームの走査範囲内に向けて自身の走査幅Ｗ４を拡大する。詳細には、この片側隣の電子銃３ｄは、この照射不能な電子銃３ｃの走査範囲全域に自身の走査幅Ｗ４を拡大する。これにより、この片側隣の電子銃３ｄは、この照射不能な電子銃３ｃが本来担うべき分割帯８ｃに対する電子ビームの走査範囲の全域を補う。
【００４９】
このような状態Ａ５においては、電子銃３ａ〜３ｈのうちの照射不能な電子銃３ｂ，３ｃを除く残りの正常な電子銃３ａ，３ｄ〜３ｈにより、鋼帯８の表面に対する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行う。ここで、電子銃３ａ，３ｄは、図５に示す状態Ａ５において、照射不能な隣り合う電子銃３ｂ，３ｃに対し材幅方向の両側に隣り合う正常な電子銃である。これら両隣の電子銃３ａ，３ｄは、図５に示すように、照射不能な電子銃３ｂ，３ｃ双方の電子ビームの走査範囲全域を協同して補うように走査幅Ｗ１，Ｗ４を各々拡大し、この走査範囲全域の電子ビーム走査の不足を協同して補う。すなわち、図５に示すように、電子銃３ａは、拡大後の走査幅Ｗ２６に応じた走査範囲内に電子ビーム４ａを走査する。これにより、電子銃３ａは、本来担う分割帯８ａの表面と、照射不能な電子銃３ｂの代わりに担う分割帯８ｂの表面とに対して材幅方向に連続的に電子ビーム４ａを照射する。電子銃３ｄは、拡大後の走査幅Ｗ２７に応じた走査範囲内に電子ビーム４ｄを走査する。これにより、電子銃３ｄは、本来担う分割帯８ｄの表面と、照射不能な電子銃３ｃの代わりに担う分割帯８ｃの表面とに対して材幅方向に連続的に電子ビーム４ｄを照射する。一方、電子銃３ｅ〜３ｈは、上述した状態Ａ１の場合と同様に、分割帯８ｅ〜８ｈの各表面に対して各々電子ビーム４ｃ〜４ｈを材幅方向に連続的に照射する。
【００５０】
上述した状態Ａ４，Ａ５における電子ビームの照射処理を電子ビーム照射装置１が実行可能となるためには、この電子ビーム照射装置１に設けられる電子銃３ａ〜３ｈの各走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８を、電子銃３ａ〜３ｈの各間隔ｄ１〜ｄ７（図２参照）の３倍以上の走査幅に設定すればよい。すなわち、これら電子銃３ａ〜３ｈの各間隔ｄ１〜ｄ７は、各々、各走査可能幅Ｗ１１〜Ｗ１８の１／３倍以下に設定すればよい。
【００５１】
以上、説明したように、本発明の実施の形態では、順次搬送される鋼帯の表面に電子ビームを照射する複数の電子銃を、電子ビームの走査可能幅の１／２以下となる間隔をもって各々隣り合い且つ鋼帯の材幅方向に等間隔に配置し、これら複数の電子銃により、鋼帯表面に対して電子ビームを材幅方向に連続的に照射する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行い、これら複数の電子銃の中に電子ビームを照射不能な電子銃がある場合、これら複数の電子銃のうち、照射不能な電子銃と隣り合う正常な電子銃の電子ビームの走査幅を照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域に拡大し、走査幅拡大後の電子銃を含み且つ照射不能な電子銃を除く残りの電子銃により、鋼帯表面に対する電子ビーム走査を材幅方向に分担して行っている。
【００５２】
このため、搬送方向に走行する鋼帯の表面に対して電子ビームの照射処理（電子ビーム走査）を順次行う操業期間中、フィラメント切れ等の部品故障に例示される突発的な不具合に起因して、複数の電子銃のうちの何れの電子銃が予期せず電子ビームを照射不能になった場合であっても、この電子ビーム走査の操業を停止することなく、照射不能な電子銃が本来担うべき鋼帯表面の電子ビーム走査範囲の不足を、この照射不能な電子銃と隣り合う正常な電子銃の電子ビーム走査によって補うことができる。これにより、照射不能な電子銃の補修等に起因して電子ビーム走査の操業ラインを予定外の期間に急遽停止する事態を回避できるとともに、複数の電子銃同士が電子ビームの照射に影響を与え合う（例えば電子ビームの走査範囲を重ね合う）ことなく、処理対象の鋼帯表面の全材幅に亘って電子ビームの照射処理を安定して継続することができる。この結果、鋼帯製品の生産効率を損なうことなく、鉄損の低減化等の鋼帯の特性改善に好適な電子ビームの照射処理の操業を安定して行うことができる。
【００５３】
また、本発明の実施の形態では、照射不能な電子銃と材幅方向の両側に隣り合う双方の正常な電子銃の各電子ビームの走査幅を、照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を協同して補うように拡大している。このため、これら両隣の正常な電子銃同士が電子ビームの走査範囲を不用意に重ね合うことなく、照射不能な電子銃に起因する電子ビーム走査範囲の不足を確実に補うことができる。この結果、処理対象の鋼帯表面の全材幅に亘って電子ビームの照射処理を過不足なく安定して継続することができる。
【００５４】
さらに、本発明の実施の形態では、複数の電子銃の中に照射不能な電子銃が発生した場合、これら複数の電子銃の中から照射不能な電子銃を特定可能な特定情報を報知することにより、照射不能な電子銃が発生した旨を報知している。このため、これら複数の電子銃による電子ビームの照射状況を常時確認できるとともに、報知された特定情報をもとに照射不能な電子銃を容易に特定する（見分ける）ことができる。これにより、照射不能な電子銃が過度に多発する以前の適切なタイミングに、照射不能な電子銃の補修を行うことができる。この結果、電子ビーム走査の操業ラインの予定外な停止を一層確実に回避できるとともに、処理対象の鋼帯表面の全材幅に亘る電子ビームの照射処理の安定操業を促進することができる。
【００５５】
なお、上述した実施の形態では、８つの電子銃３ａ〜３ｈを備えた電子ビーム照射装置１を例示していたが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明において、電子ビーム照射装置１に設ける電子銃の配置数は、特に８つに限定されず、複数（２つ以上）であればよい。これに対応して、鋼帯８を材幅方向に等分割する分割帯の数は、特に８つ（８等分）に限定されず、電子ビーム照射装置１に設ける電子銃の配置数と同数であればよい。
【００５６】
また、上述した実施の形態では、図１等に例示されるように、鋼帯８の搬送方向に対して垂直な材幅方向に等間隔に複数の電子銃を配置していたが、本発明は、これに限定されるものではない。本発明において、鋼帯８に例示される金属ストリップの材幅方向は、金属ストリップの両側の側端部の一端から他端に向かう方向である。この材幅方向には、金属ストリップの搬送方向に対して垂直な方向は勿論、この搬送方向に対し傾斜して金属ストリップの両側の側端部の一端から他端に向かう方向が含まれる。すなわち、本発明にかかる電子ビーム照射装置に設けられる複数の電子銃は、金属ストリップの搬送方向に対して傾斜する材幅方向に等間隔に配置されてもよい。
【００５７】
さらに、上述した実施の形態では、照射不能な電子銃と材幅方向の両側に隣り合う双方の正常な電子銃の各走査幅を、照射不能な電子銃の電子ビームの走査幅中心まで拡大する等によって、互いに同じ幅分、拡大していたが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明において、これら両隣の正常な電子銃の各走査幅は、照射不能な電子銃の走査範囲に向けて互いに同じ幅分、拡大してもよいし、互いに異なる幅分、拡大してもよい。何れの場合であっても、照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を協同して補うように、これら両隣の正常な電子銃の各走査幅を拡大すればよい。
【００５８】
また、上述した実施の形態では、照射不能な電子銃の特定情報を画面表示することにより、複数の電子銃の中に照射不能な電子銃が発生した旨を報知する報知部５を例示したが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、報知部５は、光源またはスピーカ等を用いて実現され、照射不能な電子銃が発生した旨を報知する際、光の点灯位置、点灯色、点灯方式（例えば点滅等）等の光出力状態によって上記特定情報を報知してもよいし、音声またはブザー音等の音情報の出力によって上記特定情報を報知してもよい。あるいは、報知部５は、画面表示、光出力、および音情報の出力を適宜組み合わせて上記特定情報を報知し、これにより、照射不能な電子銃が発生した旨を報知してもよい。
【００５９】
さらに、上述した実施の形態では、処理対象の金属ストリップとして鋼帯を例示したが、これに限らず、本発明にかかる電子ビーム照射装置および電子ビーム照射方法によって電子ビームの照射処理が行われる金属ストリップは、鋼以外の鉄合金の帯体であってもよいし、銅またはアルミニウム等の鉄合金以外の帯体であってもよい。すなわち、本発明において、処理対象の金属ストリップは、鋼帯、鋼帯以外の鉄合金帯、鉄合金帯以外の金属帯のいずれであってもよく、また、鋼種等の金属帯の種類（例えば強度や組成等）も特に問われない。
【００６０】
また、上述した実施の形態により本発明が限定されるものではなく、上述した各構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本発明に含まれる。その他、上述した実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例および運用技術等は全て本発明に含まれる。
【符号の説明】
【００６１】
１  電子ビーム照射装置
２  真空槽
３ａ〜３ｈ  電子銃
４ａ〜４ｈ  電子ビーム
５  報知部
６  制御部
８  鋼帯
８ａ〜８ｈ  分割帯
【図１】
0006040920.tif 000002
【図２】
0006040920.tif 000003
【図３】
0006040920.tif 000004
【図４】
0006040920.tif 000005
【図５】
0006040920.tif 000006