(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路のトランスファー成型パッケージの製造工程に応用されると共に、成型モールドの上モールドと下モールドとの内表面に貼り付けられるウェハパッケージに応用する離型シートであって、
厚さが１６μｍ〜１００μｍの間にある載材であって、前記載材が、ポリエチレンテレフタレート（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ，ＰＥＴ）、ポリプロピレン（Ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ，ＰＰ）、ポリカーボネート（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ，ＰＣ）、ポリエチレン  （Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ，ＰＥ）、ポリイミド（Ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ，ＰＩ）、ポリ塩化ビニル（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌ  ｃｈｌｏｒｉｄｅ，ＰＶＣ）からなる群の中から選ばれるプラスチック材料で作られる載材と、
前記載材の上に結合され、かつその厚さが３０μｍ〜６００μｍの間にある離型層であって、前記離型層の製造材料が、全体を１００重量％として、１００重量％：０重量％〜５重量％：９０重量％の重量比のシリカゲルおよびゴムと、残りの重量比を占めるプラスチック材料と、からなり、かつ、ＡＳＴＭＤ２２４０規格に準拠したショアＡ型硬度計での計測値３０〜６０に該当する硬さを有する離型層と、を備えることを特徴とする、
ウェハパッケージに応用する離型シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トランスファー成型ウェハパッケージの技術に係り、特に、トランスファー成型ウェハパッケージに応用する離型シートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在では、圧縮成型は、熱固性プラスチックの最も主要な加工方式である。しかし、熱固性プラスチックを冷却しなければ、硬化することができない。それ故に、圧縮成型時、モールドが冷却するのを待たなければ、モールドを後退させることができないので、生産効率を大幅に減少させてしまう。これに鑑みて、トランスファー成型技術が提案された。トランスファー成型に要する設備は、主にモールドと、加熱させたトランスファーチャンバーと、動力源と、を備える。
【０００３】
図１は、従来のトランスファー成型の製造工程を示すモデル図である。図１に示すように、トランスファー成型は、以下の製造工程ステップ（１）〜（８）を含む。
（１）成型可塑材１１’をトランスファーチャンバー１５’内に置く。
（２）予成型部材６０’を閉合モールド１４’  内に置き、かつ前記閉合モールド１４’は、ゲート１６’を介して前記トランスファーチャンバー１５’に接続する。
（３）前記成型可塑材１１’を前記トランスファーチャンバー１５’内に液化させるように加熱する。
（４）液化可塑材１３’を前記ゲート１６’から加熱させた閉合モールド１４’の中に注入する。
（５）前記閉合モールド１４’を冷却することにより、閉合モールド１４’の中の可塑材を硬化させる。
（６）前記閉合モールド１４’を開型すると共に、成型部材６０’とモールドとを分離する。
（７）前記成型部材６０’を取り出す。
（８）少量の硬化させたプラスチックがトランスファーチャンバー１５’とゲート１６’内に残留するため、第２回成型を開始する前に除去する必要がある。
【０００４】
通常、上記のトランスファー成型技術は、前記閉合モールドの内表面に離型シートを設置する必要がある。このため、上記ステップ（７）を実行しなければ、成型部材とモールドとを容易に分離することができない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
これに鑑みて、本願の発明者は、鋭意に研究発明した結果、遂に、本発明のウェハパッケージに応用する離型シートを研究開発して完成させた。
【０００６】
本発明は、載材と、離型層とから構成されるウェハパッケージに応用する離型シートを提供することを主要な目的とする。本発明の離型シートは、トランスファー成型の製造工程におけるモールドの上モールドと下モールドとの内表面に貼り付けられるように応用され、こうして、トランスファー成型の製造工程が完了すると共に、成型部材とモールドとを分離する場合、この離型シートは、安定した離型力を提供することにある。これにより、前記モールドから前記成型部材を容易に分離することができる。その結果、可塑材が前記モールドの上に残留してしまうのを防止することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本願の発明者は、本発明の上記目的を達成するために、ウェハパッケージに応用する離型シートを提案した。本発明は、集積回路のトランスファー成型パッケージの製造工程に応用されると共に、成型モールドの上モールドと下モールドとの内表面に貼り付けられ、それは、厚さが１６μｍ〜５００μｍの間にある載材と、前記載材の上に結合され、かつその厚さが２０μｍ〜２０００μｍの間にある離型層と、を備える。
【０００８】
上記離型シートにおいて、前記載材がプラスチック材料であり、かつ前記プラスチック材料が、ＰＥＴ、ＰＰ、ＰＣ、ＰＥ、ＰＩとＰＶＣからなる群の中から選ばれる何れか一種である。なお、前記離型層の製造材料は、純シリカゲルとシリカゲル／ゴム化合物からなる群の中から選ばれる何れか一種である。
【０００９】
また、本願の発明者は、本発明の上記目的を達成するために、さらにウェハパッケージに応用する離型シートの第２実施例を提案した。それは、離型層であると共に、前記離型層の厚さが２０μｍ〜２０００μｍの間にあり、かつその製造材料は、純シリカゲルとシリカゲル／ゴム化合物からなる群の中から選ばれる何れか一種である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】従来のトランスファー成型の製造工程を示すモデル図である。
【図２】一種のトランスファー成型の製造工程を示すモデル図である。
【図３】本発明のウェハパッケージに応用する離型シートを示す側面視断面図である。
【図４】本発明のウェハパッケージに応用する離型シートの第２実施例を示す側面視断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明が提出したウェハパッケージに応用する離型シートをより明瞭に記述するために、添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施例を以下に詳述する。
【００１２】
（第１実施例）
図２は、一種のトランスファー成型の製造工程を示すモデル図であり、図３は、本発明のウェハパッケージに応用する離型シートを示す側面視断面図である。図２を参照すると共に、図３を参照する。図示のように、本発明のウェハパッケージに応用する離型シート１は、トランスファー成型の製造工程における成型モールド１０の上モールド１０１と下モールド１０２との内表面に貼り付けられるように用いられる。前記離型シート１は、載材１１と、離型層１２とを備え、その中、前記離型層１２は、前記載材１１の上に結合される。
【００１３】
特に、載材１１は、厚さが１６μｍ〜５００μｍの間にあるプラスチック基底シートであり、かつその製造材料が、ＰＥＴ、ＰＰ、ＰＣ、ＰＥ、ＰＩまたはＰＶＣフイルムの何れかであってもよい。
前記離型層１２は、厚さが２０μｍ〜２０００μｍの間にあり、その材料が純シリカゲルである。なお、より好ましいのは、前記離型層１２の製造材料がシリコンゴム（即ち、シリカゲル／ゴム化合物）であってもよい。本発明において、前記シリコンゴムは、シリカゲルと、ゴムと、プラスチック材料とから組成され、その中、前記シリカゲルと前記ゴムの組成比が１００％：０％〜５％：９０％であり、かつ残り比を補足するように前記プラスチックを添加する。こうして、ウェハパッケージに応用する離型シート１は、特定な組成比に基づいて上記各材料から構成され、その硬さ範囲を１〜８０（ＳＨＯＲＥ  Ｔｙｐｅ  Ａ）の間にすることが好ましい（ＡＳＴＭＤ２２４０の規格に準拠する）。
【００１４】
補助説明すべきことは、本発明のウェハパッケージに応用する離型シート１をより好適な硬さに調整するためには、前記載材１１の最適な厚さが１６μｍ〜１００μｍの範囲であることが必要であると共に、前記離型層１２の最適な厚さが３０μｍ〜６００μｍの範囲であることが必要である。また、シリコンゴムから作成される離型層１２は、そのシリカゲルとゴムの組成比が８０％：１０％〜５０％：４０％であり、かつ残り比を補足するようにプラスチックを添加する。こうして、離型層１２の硬さ範囲を３０〜６０（ＳＨＯＲＥ  Ｔｙｐｅ  Ａ）の間にすることが好ましい（ＡＳＴＭＤ２２４０の規格に準拠する）。
【００１５】
（第２実施例）
以上、本発明のウェハパッケージに応用する離型シートの第１実施例を明瞭に説明した。続いて、本発明の第２実施例を続いて説明する。図４は、本発明のウェハパッケージに応用する離型シートの第２実施例を示す側面視断面図である。
図４に示すように、前記離型シート１は、単独に厚さが２０μｍ〜２０００μｍの間にある離型層１２であってもよく、その製造材料が純シリカゲルである。なお、より好ましいのは、前記離型層１２の製造材料がシリコンゴム（即ち、シリカゲル／ゴム化合物）であってもよい。本発明において、前記シリコンゴムは、シリカゲルと、ゴムと、プラスチック材料とから組成され、その中、前記シリカゲルと前記ゴムの組成比が１００％：０％〜５％：９０％であり、かつ残り比を補足するように前記プラスチックを添加する。こうして、離型層１２は、特定な組成比に基づいて上記各材料から構成され、その硬さ範囲を１〜８０（ＳＨＯＲＥ  Ｔｙｐｅ  Ａ）の間にすることが好ましい（ＡＳＴＭＤ２２４０の規格に準拠する）。
【００１６】
補助説明すべきことは、本発明のウェハパッケージに応用する離型シート１をより好適な硬さに調整するためには、前記離型層１２の最適な厚さが３０μｍ〜６００μｍの範囲であることが必要である。また、シリコンゴムから作成される離型層１２は、そのシリカゲルとゴムの組成比が８０％：１０％〜５０％：４０％であり、かつ残り比を補足するようにプラスチックを添加する。こうして、離型層１２の硬さ範囲を３０〜６０（ＳＨＯＲＥ  Ｔｙｐｅ  Ａ）の間にすることが好ましい（ＡＳＴＭＤ２２４０の規格に準拠する）。
【００１７】
以上、本発明のウェハパッケージに応用する離型シートの全ての実施例を完全かつ明瞭に説明した。なお、上記の内容から分かるように、本発明のウェハパッケージに応用する離型シートの主要な利点は、トランスファー成型の製造工程における成型部材とモールドとを分離する場合、安定した離型力を提供することにある。これにより、モールドの中から前記成型部材を容易に剥離することができる。その結果、可塑材が前記モールドの上に残留してしまうのを防止することができる。
【００１８】
強調すべき点は、上述の詳細な説明は、本発明の実施可能な実施例を具体的に説明したものであり、但し、本発明の特許範囲はこれらの実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的精神を逸脱しない限り、その等効果実施又は変更は、なお、本発明の特許請求の範囲内に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００１９】
１      離型シート
１０    モールド        
１０１  上モールド      
１０２  下モールド
１１    載材
１２    離型層
１１’  成型可塑材
１３’  液化可塑材
１４’  閉合モールド
１５’  トランスファーチャンバー
１６’  ゲート
６０’  予成型部材
【図１】
0005957497.tif 000002
【図２】
0005957497.tif 000003
【図３】
0005957497.tif 000004
【図４】
0005957497.tif 000005