(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極と被加工物との間である極間に与える電圧を出力する電源と、
前記電源が前記極間へ与える電圧をオン又はオフするスイッチと、
前記極間の放電状態を検出して検出結果を出力する検出装置と、
前記検出装置の検出結果を用いて前記スイッチを制御して前記極間に与える電圧を制御し、かつ前記極間に第１の放電を発生させたときの前記第１の放電中における放電状態の変化に基づいて、前記極間に第２の放電を発生させる条件を決定する制御装置と、
を含み、
前記制御装置は、
前記第１の放電での放電状態が変化する速度が遅くなるにしたがって、前記第２の放電の時間を長くする又は前記第２の放電において前記極間に与えられる電圧を大きくすることを特徴とする、放電加工装置。
【請求項２】
電極と被加工物との間である極間に与える電圧を出力する電源と、
前記電源が前記極間へ与える電圧をオン又はオフするスイッチと、
前記極間の放電状態を検出して検出結果を出力する検出装置と、
前記検出装置の検出結果を用いて前記スイッチを制御して前記極間に与える電圧を制御し、かつ前記極間に第１の放電を発生させたときの前記第１の放電中における放電状態の変化に基づいて、前記極間に第２の放電を発生させる条件を決定する制御装置と、
を含み、
前記制御装置は、
前記第１の放電での前記極間における電圧が変化する時間に基づいて、前記第２の放電で前記極間に与えられる電圧を決定することと、
前記第１の放電での前記極間における電流が変化する時間に基づいて、前記第２の放電で前記極間に与えられる電圧を決定することと、
を切り替えることを特徴とする、放電加工装置。
【請求項３】
電極と被加工物との間である極間に与える電圧を出力する電源と、
前記電源が前記極間へ与える電圧をオン又はオフするスイッチと、
前記極間の放電状態を検出して検出結果を出力する検出装置と、
前記検出装置の検出結果を用いて前記スイッチを制御して前記極間に与える電圧を制御し、かつ前記極間に第１の放電を発生させたときの前記第１の放電中における放電状態の変化に基づいて、前記極間に第２の放電を発生させる条件を決定する制御装置と、
を含み、
前記検出装置は、
前記第１の放電での前記極間における電圧の絶対値が第１の閾値の絶対値を下回ったことを検出する第１の検出装置と、
前記第１の放電での前記極間における電圧の絶対値が、前記第１の閾値の絶対値よりも絶対値が小さい第２の閾値の絶対値を下回ったことを検出する第２の検出装置と、を含み、
前記制御装置は、
前記第１の閾値の絶対値を下回ったタイミングから前記第２の閾値の絶対値を下回ったタイミングまでの時間に基づいて、前記第２の放電で前記極間に与えられる電圧を決定することを特徴とする、放電加工装置。
【請求項４】
電極と被加工物との間である極間に与える電圧を出力する電源と、
前記電源が前記極間へ与える電圧をオン又はオフするスイッチと、
前記極間の放電状態を検出して検出結果を出力する検出装置と、
前記検出装置の検出結果を用いて前記スイッチを制御して前記極間に与える電圧を制御し、かつ前記極間に第１の放電を発生させたときの前記第１の放電中における放電状態の変化に基づいて、前記極間に第２の放電を発生させる条件を決定する制御装置と、
を含み、
前記検出装置は、
前記第１の放電での前記極間における電流の絶対値が第１の閾値の絶対値を上回ったことを検出する第１の検出装置と、
前記第１の放電での前記極間における電流の絶対値が、前記第１の閾値の絶対値よりも絶対値が大きい第２の閾値の絶対値を上回ったことを検出する第２の検出装置と、を含み、
前記制御装置は、
前記第１の閾値の絶対値を上回ったタイミングから前記第２の閾値の絶対値を上回ったタイミングまでの時間に基づいて、前記第２の放電で前記極間に与えられる電圧を決定することを特徴とする、放電加工装置。
【請求項５】
前記スイッチは、ブリッジ回路を備え、前記第１の放電を発生させるときに前記極間へ正負の電圧を与えることを特徴とする、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、予備放電と主放電とを繰り返す放電加工により被加工物を加工する放電加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  放電加工装置は、水中に対向配置した電極と被加工物との電極間にパルス状放電を発生させ、その熱エネルギーを利用して被加工物を加工する装置である。特許文献１には、ワイヤカット放電加工電源に関し、高圧主電源、低圧主電源、副電源、ギャップの電圧を検出する電圧検出回路と、３電源の夫々の印加タイミングを制御する電源制御回路とを備え、副電源による電圧印加により放電を開始させ、放電が開始した後のギャップ電圧に関する情報により、高圧主電源又は低圧主電源によって、それぞれ異なるパルス幅の電圧を印加することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平３−９２２２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  放電加工装置は、予備放電及び予備放電の後に実行される主放電とを繰り返して放電加工を行う。被加工物が難加工材とされる多元素結合材料である場合、抵抗値が異なる高抵抗元素と低抵抗元素とが混合されるために、予備放電の状態が一様ではない。加工効率を向上するためには予備放電を発生させた被加工物内の元素の抵抗値に応じた主放電の放電パルスの強さを設定することが必要である。【０００５】  本発明は、予備放電と主放電とを繰り返す放電加工において、多元素結合材料の加工面の品質を向上できる放電加工装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明に係る放電加工装置は、電極と被加工物との間である極間に与える電圧を出力する電源と、前記電源が前記極間へ与える電圧をオン又はオフするスイッチと、前記極間の放電状態を検出して検出結果を出力する検出装置と、前記検出装置の検出結果を用いて前記スイッチを制御して前記極間に与える電圧を制御し、かつ前記極間に第１の放電を発生させたときの放電状態の変化に基づいて、前記極間に第２の放電を発生させる条件を決定する制御装置と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】  本発明によれば、予備放電と主放電とを繰り返す放電加工において、多元素結合材料の加工面の品質を向上できる放電加工装置を得ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１に係る放電加工装置を示す図
【図２】実施の形態１に係る放電加工装置が備える制御装置を示す図
【図３】多元素結合体の拡大図
【図４】多元素結合体の拡大図
【図５】実施の形態１に係る放電加工装置が実行する放電加工のタイミングチャート
【図６】電極と被加工物との間における極間電圧又は極間電流の時間による変化の一例を示す図
【図７】変化時間を用いて主放電時間を決定する例を示す図
【図８】被加工物の材料と、第１閾値、第２閾値、変化時間閾値及び主放電時間との関係を記述したテーブルの一例を示す図
【図９】実施の形態１に係る放電加工装置が放電加工を実行する際の処理の一例を示すフローチャート
【図１０】実施の形態１の変形例１に係る第２スイッチを示す図
【図１１】実施の形態２に係る放電加工装置を示す図
【図１２】実施の形態２に係る放電加工装置が実行する放電加工のタイミングチャート
【発明を実施するための形態】
【０００９】  以下に、本発明の実施の形態に係る放電加工装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。以下において、抵抗というときには、電気抵抗をいうものとする。
【００１０】実施の形態１．  図１は、実施の形態１に係る放電加工装置を示す図である。図２は、実施の形態１に係る放電加工装置が備える制御装置を示す図である。放電加工装置１００は、電極３と被加工物４との間に形成される隙間である極間５に与える電圧を出力する電源１，２と、電源１，２が極間５へ与える電圧をオン又はオフするスイッチ９，１０と、極間５の放電状態を検出して検出結果を出力する検出装置６と、検出装置６の検出結果を用いてスイッチ９，１０を操作して極間５に与える電圧を制御し、かつ極間５に第１の放電である予備放電を発生させたときの放電状態の変化に基づいて、極間５に第２の放電である主放電を発生させる条件を決定する制御装置８と、を含む。実施の形態１において、放電加工装置１００は、さらに、電極３を移動させる移動装置１５と、制御装置８に制御のための情報を入力する入力装置８Ｉとを有する。
【００１１】  放電加工装置１００は、電極３と被加工物４との間に電圧を与えて、極間５で放電を発生させることにより、被加工物４を加工する。被加工物４の加工は、溶融切断又は形彫り加工が例示される。電極３は、導体である。放電加工装置１００が被加工物４を溶融切断する場合、電極３にはワイヤが用いられる。放電加工装置１００が被加工物４を形彫り加工する場合、電極３には形彫り用の型が用いられる。放電加工は、電極３と被加工物４との間に放電を発生させるため、被加工物４は導体である。
【００１２】  電源１，２は、直流電源である。以下において、電源１を、適宜第１電源１と称し、電源２を、適宜第２電源２と称する。第１電源１の電圧は、第２電源２の電圧よりも高い。実施の形態１において、放電加工装置１００は、第１電源１及び第２電源２を備えるが、電源を１つとして、ＤＣ（Direct  Current）／ＤＣコンバータで昇圧又は降圧させて、第１電源１及び第２電源２の代わりとしてもよい。
【００１３】  スイッチ９は、第２電源２と、電極３及び被加工物４との間に設けられる。スイッチ１０は、第１電源１と電極３及び被加工物４との間に設けられる。以下において、スイッチ１０を、適宜第１スイッチ１０と称し、スイッチ９を、適宜第２スイッチ９と称する。第１スイッチ１０は、スイッチング素子１０Ａ，１０Ｂを有する。スイッチング素子１０Ａ，１０Ｂは、バイポーラトランジスター又はＦＥＴ（Field  Effect  Transistor）といった半導体素子が用いられるが、これらに限定されるものではない。スイッチング素子１０Ａは、第１電源１の正極と電極３との間に設けられる。スイッチング素子１０Ｂは、被加工物４と第１電源１の負極との間に設けられる。
【００１４】  第２スイッチ９は、スイッチング素子９Ａ，９Ｂを有する。スイッチング素子９Ａ，９Ｂは、第１スイッチ１０のスイッチング素子１０Ａ，１０Ｂと同様である。スイッチング素子９Ａは、第２電源２の正極と電極３との間に設けられる。スイッチング素子９Ｂは、被加工物４と第２電源２の負極との間に設けられる。
【００１５】  検出装置６は、第１検出装置６Ａと、第２検出装置６Ｂとを含む。第１検出装置６Ａは、第１の放電である予備放電での極間５における電圧の絶対値が第１の閾値の絶対値を下回ったことを検出し、検出結果を出力する。第２検出装置６Ｂは、予備放電での極間５における電圧の絶対値が第２の閾値の絶対値を下回ったことを検出し、検出結果を出力する。実施の形態１において、第１検出装置６Ａ及び第２検出装置６Ｂは、いずれも比較器が用いられる。
【００１６】  第１検出装置６Ａ及び第２検出装置６Ｂは、いずれも極間５の電圧を検出する。以下において、極間５の電圧を適宜、極間電圧と称し、極間５を流れる電流を適宜、極間電流と称する。第１検出装置６Ａは、検出した極間電圧を第１の閾値の絶対値と比較し、極間電圧が第１の閾値の絶対値の絶対値を下回った場合には、信号を出力する。この信号は、極間電圧が第１の閾値の絶対値を下回ったことを示す信号であり、以下においては適宜第１信号と称する。第１信号は制御装置８に入力される。第２検出装置６Ｂは、検出した極間電圧を第２の閾値の絶対値と比較する。第２の閾値の絶対値は、第１の閾値の絶対値よりも小さい。第２検出装置６Ｂは、極間電圧が第２の閾値の絶対値を下回った場合には、信号を出力する。この信号は、極間電圧が第２の閾値の絶対値を下回ったことを示す信号であり、以下においては適宜第２信号と称する。第２信号は制御装置８に入力される。
【００１７】  実施の形態１において、検出装置６は、閾値が異なる２台の比較器、すなわち第１検出装置６Ａ及び第２検出装置６Ｂを含むが、検出装置６はこのようなものに限定されない。検出装置６は、１台の比較器の閾値を切り替えるものであってもよい。
【００１８】  制御装置８は、検出装置６の検出結果を取得し、取得した検出結果を用いて、スイッチ９，１０を制御する。制御装置８は、スイッチ９，１０を制御することによって極間５に電圧を与える。このように、制御装置８は、検出装置６の検出結果を用いてスイッチ９，１０を制御して極間電圧を制御する。具体的には、制御装置８は、第２スイッチ９をオンさせる時間を変更することにより、主放電における極間電流のピーク値の大きさが、複数の主放電の間で一定になるようにする。
【００１９】  また、制御装置８は、移動装置１５を制御して電極３を移動させることにより、電極３と被加工物４との距離を変更する。制御装置８は、入力装置８Ｉからスイッチ９，１０及び移動装置１５を制御するために必要な情報が入力される。
【００２０】  入力装置８Ｉは、タッチパネル、キーボート、マウス、トラックボール又はこれらの組合せが例示される。移動装置１５は、リニアモータとリニアモータによって移動するテーブルとを備えた装置又はボールねじとこれを回転させる電動機とボールねじによって移動するテーブルとを備えた装置が例示される。
【００２１】  制御装置８は、図２に示されるように、処理部８Ｐと、記憶部８Ｍと、入出力部８ＩＯとを含む。処理部８Ｐは、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）のようなプロセッサである。記憶部８Ｍは、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、ハードディスクドライブ、ストレージデバイス又はこれらを組み合わせた記憶装置である。入出力部８ＩＯは、制御装置８と制御装置８に接続される外部機器とのインターフェースの役割を果たすインターフェース回路である。図１に示される検出装置６、スイッチ９，１０及び移動装置１５は、入出力部８ＩＯに接続される。
【００２２】  記憶部８Ｍは、実施の形態１に係る放電加工装置１００を制御するための処理を制御装置８が実行するためのコンピュータプログラムを記憶している。処理部８Ｐは、前述したコンピュータプログラムを記憶部８Ｍから読み出して、放電加工装置１００を制御する。
【００２３】  図３及び図４は、多元素結合体の拡大図である。図３及び図４に示される多元素結合体５０は、元素５１及び元素５２を含む。多元素結合体５０は、元素５１，５２の抵抗値及び元素５１，５２の粒径が異なることが多い。この例では、元素５２の粒径の方が元素５１よりも大きい。このような多元素結合体５０を放電加工すると、元素５１，５２の抵抗値が異なることにより元素５１，５２の溶融量が異なる結果、元素５１，５２のいずれかが先に溶融し、粒径の大きい元素５２が抜け落ち空孔となることがある。その結果、多元素結合体５０を放電加工すると、表面にクレーターが形成されて加工面が粗くなる可能性がある。
【００２４】  放電加工装置１００は、予備放電により高抵抗元素と低抵抗元素とを判別することにより、双方の元素がバランスよく溶融できるような主放電のエネルギーを決定して、多元素結合材料を安定して加工するとともに、加工面の品質を向上させる。次に、実施の形態１に係る放電加工装置１００が放電加工を実行する際の処理を説明する。
【００２５】  図５は、実施の形態１に係る放電加工装置が実行する放電加工のタイミングチャートである。放電加工装置１００が被加工物４に放電加工を実行する場合、予備放電と、主放電とを実行する。予備放電は、放電によって被加工物４が加工される前に、電極３と被加工物４との間の絶縁を破壊するための放電である。主放電は、予備放電により電極３と被加工物４との間に絶縁破壊が発生した後の放電であり、被加工物４を溶融させるための放電である。放電加工装置１００は、予備放電及び主放電を時間の経過とともに繰り返すことにより、被加工物４の表面の一部を除去して被加工物４を加工する。
【００２６】  図５のＰＤは予備放電において、第１スイッチ１０をオン（ＯＮ）又はオフ（ＯＦＦ）させる第１制御信号１３のタイミングを示す。図５のＭＤは、主放電において第２スイッチ９をオン（ＯＮ）又はオフ（ＯＦＦ）させる第２制御信号１４のタイミングを示す。図５のＶは極間電圧を示し、Ｉは極間電流を示す。極間電圧Ｖの変化は実線１７で示されており、極間電流Ｉの変化は実線１８で示される。図５のＶｃ１は極間電圧Ｖの第１の閾値Ｖｃ２は極間電圧Ｖの第２の閾値、Ｉｃ１は極間電流Ｉの第１の閾値、Ｉｃ２は極間電流Ｉの第２の閾値である。第１の閾値Ｖｃ１の絶対値は、第２の閾値Ｖｃ２の絶対値よりも小さい。図５の横軸は時間ｔである。
【００２７】  放電加工装置１００が予備放電を開始する場合、制御装置８は、時間ｔ＝ｔ１のタイミングで第１制御信号１３をオンとすることにより、第１スイッチ１０のスイッチング素子１０Ａ，１０Ｂをオンさせる。すると、第１スイッチ１０を介して、第１電源１から電極３と被加工物４とに電圧が与えられる。この状態で、制御装置８は、移動装置１５を制御して電極３と被加工物４との距離を小さくしていく。すると、電極３と被加工物４との間に絶縁破壊が発生し、極間５に放電が発生する。この放電が予備放電である。図５に示される例では、時間ｔ＝ｔ２のタイミングで絶縁破壊が発生している。絶縁破壊が発生すると、極間電圧Ｖが低下する。
【００２８】  極間５に予備放電が発生すると、極間５にはアーク電流、すなわち極間電流Ｉが流れ、極間電圧Ｖは降下する。実施の形態１において、放電加工装置１００は、時間ｔ＝ｔ４のタイミングで予備放電を終了させると同時に主放電を開始する。時間ｔ＝ｔ４のタイミングで、制御装置８は、第１制御信号１３をオフとすることにより、第１スイッチ１０のスイッチング素子１０Ａ，１０Ｂをオフさせる。同時に、制御装置８は、第２制御信号１４をオンとすることにより、第２スイッチ９のスイッチング素子９Ａ，９Ｂをオンさせる。すると、第２スイッチ９を介して、第２電源２から電極３と被加工物４との間に電圧が与えられる。予備放電の後の放電が主放電である。
【００２９】  時間ｔ＝ｔ４以降は、電極３と被加工物４との間に与えられる第２電源２の電圧により、極間５には主放電が発生する。図５に示されるように、主放電の極間電流Ｉは、予備放電の極間電流よりも大きい。主放電により、被加工物４が溶融し、表面から一部が除去されて加工が進行する。時間ｔ＝ｔ５のタイミングで、制御装置８は、第２スイッチ９のスイッチング素子９Ａ，９Ｂをオフさせて、主放電を終了させる。主放電が終了した後、制御装置８は、時間ｔ＝ｔ６のタイミングで再び第１スイッチ１０のスイッチング素子１０Ａ，１０Ｂをオンさせて、予備放電及び主放電を繰り返す。
【００３０】  実施の形態１において、制御装置８は、前記極間に第１の放電を発生させたときの放電状態の変化に基づいて、前記極間に第２の放電を発生させるエネルギーを決定する。具体的には、制御装置８は、予備放電中における極間電圧Ｖが第１の閾値Ｖｃ１から第２の閾値Ｖｃ２に変化するまでの時間Δｔｃの大きさに基づき、主放電において極間５に電圧を与える時間Δｔｐを決定する。以下において、時間Δｔｃを適宜、変化時間Δｔｃと称し、時間Δｔｐを適宜、主放電時間Δｔｐと称する。主放電において、極間電圧Ｖは第２電源２の電圧であり、一定なので、制御装置８は、主放電時間Δｔｐを変更することにより、主放電時間Δｔｐを変更する。
【００３１】  変化時間Δｔｃが相対的に短い場合、被加工物４の抵抗は相対的に低く、変化時間Δｔｃが相対的に長い場合、被加工物４の抵抗は相対的に高い。すなわち、変化時間Δｔｃは、被加工物４の抵抗に対応するので、制御装置８は、変化時間Δｔｃを用いて被加工物４の抵抗の大小を判定することができる。被加工物４が低抵抗元素と高抵抗元素とを含む多元素結合材料である場合、変化時間Δｔｃが相対的に短い、すなわち抵抗が相対的に低い場合は低抵抗元素の割合が多く、変化時間Δｔｃが相対的に長い、すなわち抵抗が相対的に高い場合は高抵抗元素の割合が多い。制御装置８は、予備放電における変化時間Δｔｃにより、被加工物４における低抵抗元素割合と高抵抗元素との割合を判別できるため、双方の元素がバランスよく溶融できるような主放電の条件、すなわち主放電時間Δｔｐを決定することができる。
【００３２】  被加工物４の材料としてＷＣ−Ｃｏの焼結合金である超硬合金を例にすると、ＷＣの抵抗率が１９．２×１０−８Ω・ｍ、Ｃｏの抵抗率が５．８１×１０−８Ω・ｍであるため、ＷＣが高抵抗元素、Ｃｏが低抵抗元素になる。
【００３３】  実施の形態１において、制御装置８は、変化時間Δｔｃが相対的に短い場合は主放電時間Δｔｐを相対的に短くし、変化時間Δｔｃが相対的に長い場合は、主放電時間Δｔｐを相対的に長くする。このような処理により、制御装置８は、被加工物４の抵抗が相対的に高い場合と相対的に低い場合とで、極間電流ＩのピークＩｐを一定にすることができるので、被加工物４の空孔の発生及び加工面の品質低下を抑制することができる。
【００３４】  図５に示される例において、時間ｔ＝ｔ７から始まる予備放電での時間ｔ＝ｔ８からｔ９までの変化時間Δｔｃ２は、時間ｔ＝ｔ２から始まる予備放電での変化時間Δｔｃ１よりも長い。このため、時間ｔ＝ｔ７から始まる予備放電での被加工物４の状態は、時間ｔ＝ｔ２から始まる予備放電での状態よりも高抵抗である。制御装置８は、時間ｔ＝ｔ７から始まる予備放電の後の主放電での主放電時間Δｔｐ２を、制御装置８は、時間ｔ＝ｔ２から始まる予備放電の後の主放電での主放電時間Δｔｐ１よりも長くする。時間ｔ＝ｔ７以降において極間電流Ｉが上昇する速度は、時間ｔ＝ｔ２以降よりも遅いが、主放電時間Δｔｐ２は主放電時間Δｔｐ１よりも長い。このため、時間ｔ＝ｔ９からｔ１０までの主放電における極間電流ＩのピークＩｐは、時間ｔ＝ｔ４からｔ５までの主放電における値と同等になる。その結果、放電加工装置１００は、被加工物４の空孔の発生及び加工面の品質低下を抑制することができる。
【００３５】  制御装置８は、第１検出装置６Ａから第１信号を取得した時間、図５に示される例では時間ｔ＝ｔ２から時間の計数を開始する。次に、制御装置８は、第２検出装置６Ｂから第２信号を取得した時間、図５に示される例では時間ｔ＝３のタイミングで、時間の計数を終了する。制御装置８は、第１信号を取得してから第２信号を取得するまでに計数した時間を、変化時間Δｔｃとする。変化時間Δｔｃは、ｔ３−ｔ２となる。
【００３６】  図６は、電極と被加工物との間における極間電圧又は極間電流の時間による変化の一例を示す図である。電極３と被加工物４との間に電圧が印加されて放電が発生する場合、極間電圧Ｖｉｄで極間５の絶縁破壊が発生する。そのときの極間電流はＩｉｄである。極間５の絶縁破壊が発生すると、極間電圧Ｖは時間ｔの経過とともに低下し、極間電圧Ｖａｃで一定となる。そのときの極間電流はＩａｃである。極間電圧Ｖａｃとなると、極間５には安定してアーク放電が発生している状態となる。
【００３７】  電圧の第１の閾値Ｖｃ１は、極間５の絶縁破壊が発生したときの極間電圧Ｖｉｄよりも低い値である。実施の形態１において、電圧の第１の閾値Ｖｃ１は、極間電圧Ｖｉｄの８０％から９０％の範囲で定められるが、この範囲に限定されない。電圧の第２の閾値Ｖｃ２は、極間５に安定してアーク放電が発生しているときの極間電圧Ｖａｃよりも高い値である。実施の形態１において、電圧の第２の閾値Ｖｃ２は、極間電圧Ｖａｃの１１０％から１２０％の範囲で定められるが、この範囲に限定されない。電流の第１の閾値Ｖｃ１及び第２の閾値Ｖｃ２については後述する。
【００３８】  図７は、変化時間を用いて主放電時間を決定する例を示す図である。実施の形態１において、主放電時間Δｔｐは、変化時間Δｔｃが長くなるにしたがって長くなり、変化時間Δｔｃが短くなるにしたがって短くなる。変化時間Δｔｃは、予備放電における極間５での放電状態、実施の形態１では極間電圧Ｖ及び極間電流Ｉの状態が変化する時間である。より具体的には、変化時間Δｔｃは、予備放電における極間電圧Ｖが低下し、極間電流Ｉが増加する時間である。したがって、変化時間Δｔｃが短くなるということは、極間５における放電状態の変化する速度、より具体的には極間電圧Ｖが低下し極間電流Ｉが増加する速度が遅くなることを意味する。また、変化時間Δｔｃが長くなるということは、極間５における放電状態の変化する速度、より具体的には極間電圧Ｖが低下し極間電流Ｉが増加する速度が速くなることを意味する。
【００３９】  実施の形態１において、主放電時間Δｔｐは、図７の実線Ａで示されるように、変化時間Δｔｃが変化時間閾値Δｔｃｃよりも長い場合はΔｔｐｈとなり、変化時間Δｔｃが変化時間閾値Δｔｃｃ以下である場合はΔｔｐｌとなる。主放電時間Δｔｐｈは、主放電時間Δｔｐｌよりも長い。変化時間閾値Δｔｃｃは、被加工物４の材料の種類に応じて、実験又はコンピュータを用いたシミュレーションによって決定される。実施の形態１において、変化時間閾値Δｔｃｃは、加工条件列の中で１００ｎｓｅｃ．以上２μｓｅｃ．までの間で設定される。
【００４０】  変化時間Δｔｃが変化時間閾値Δｔｃｃよりも長い場合、被加工物４は高抵抗元素の割合が高く、変化時間Δｔｃが変化時間閾値Δｔｃｃ以下である場合、被加工物４は低抵抗元素の割合が高いと判断できる。このように、変化時間閾値Δｔｃｃを基準として主放電時間Δｔｐを２段階で変化させることにより、制御装置８による主放電時間Δｔｐを決定する処理が比較的簡単になる。
【００４１】  主放電時間Δｔｐは、前述したように２段階で変化するものに限定されず、図７の一点鎖線Ｂで示されるように３段階以上で変化してもよい。また、主放電時間Δｔｐは、変化時間Δｔｃが増加するにしたがって主放電時間Δｔｐが増加する、変化時間Δｔｃの関数にしたがってもよい。この場合の関数は、図７の破線Ｃで示されるような、変化時間Δｔの一次関数であってもよいし、変化時間Δｔｃの二次関数、三次関数又は指数関数であってもよい。このようにすることで、放電加工装置１００は、被加工物４の抵抗の状態に対応して、主放電時間Δｔｐをより細かく設定できるので、被加工物４の空孔の発生及び加工面の品質低下をさらに抑制することができる。
【００４２】  主放電時間Δｔｐｌ，Δｔｐｈ、一点鎖線Ｂで示される主放電時間Δｔｐの変化又は前述した変化時間Δｔｃの関数は、被加工物４の材料毎に、実験又はコンピュータを用いたシミュレーションによって求めることができる。
【００４３】  図８は、被加工物の材料と、第１閾値、第２閾値、変化時間閾値及び主放電時間との関係を記述したテーブルの一例を示す図である。被加工物４の材料の種類によって、第１の閾値Ｖｃ１、第２の閾値Ｖｃ２、変化時間閾値Δｔｃｃ及び主放電時間Δｔｐｌ，Δｔｐｈは変化する。実施の形態１においては、被加工物４の材料の種類に応じて、第１の閾値Ｖｃ１、第２の閾値Ｖｃ２、変化時間閾値Δｔｃｃ及び主放電時間Δｔｐｌ，Δｔｐｈを求めて、テーブルＴＢに記述する。テーブルＴＢは、図１に示される制御装置８の記憶部８Ｍに記憶されている。
【００４４】  放電加工装置１００が被加工物４を放電加工する場合、放電加工装置１００のオペレータは、図１に示される入力装置８Ｉから制御装置８に被加工物４の材料の種類を入力する。入力された材料の種類を取得した処理部８Ｐは、記憶部８ＭからテーブルＴＢを読み出す。そして、処理部８Ｐは、材料の種類を検索キーとして、読み出したテーブルＴＢを参照して入力された材料の種類に対応する第１の閾値Ｖｃ１、第２の閾値Ｖｃ２、変化時間閾値Δｔｃｃ及び主放電時間Δｔｐｌ，Δｔｐｈを検索し、テーブルＴＢから取得する。制御装置８は、取得した第１の閾値Ｖｃ１、第２の閾値Ｖｃ２、変化時間閾値Δｔｃｃ及び主放電時間Δｔｐｌ，Δｔｐｈを用いて、第１スイッチ１０及び第２スイッチ９を制御して、被加工物４を放電加工する。このようにすることで、放電加工装置１００は、複数の異なる種類の材料の被加工物４を放電加工する際に、適切な条件で被加工物４を放電加工できるので、空孔の発生及び加工面の品質低下を抑制することができる。また、オペレータは、被加工物４の種類を入力するのみで放電加工の条件が設定されるので、操作が容易になるという利点もある。
【００４５】  図９は、実施の形態１に係る放電加工装置が放電加工を実行する際の処理の一例を示すフローチャートである。ステップＳ１０１において、図１に示される制御装置８は、第１スイッチ１０をオンすることにより、第１電源１の電圧である第１の電圧を電極３と被加工物４との間に与える。次に、ステップＳ１０２において、処理部８Ｐは、極間電圧Ｖを第１の閾値Ｖｃ１と比較する。
【００４６】  極間電圧Ｖが第１の閾値Ｖｃ１以上である場合（ステップＳ１０２、Ｎｏ）、制御装置８は、極間電圧Ｖが第１の閾値Ｖｃ１の絶対値を下回るまで待機する。極間電圧Ｖが第１の閾値Ｖｃ１の絶対値を下回った場合、すなわち極間電圧Ｖが第１の閾値Ｖｃ１未満になった場合（ステップＳ１０２、Ｙｅｓ）、制御装置８は、処理をステップＳ１０３に進める。ステップＳ１０３において、制御装置８は、極間電圧Ｖが第１の閾値Ｖｃ１の絶対値を下回ったタイミングから時間の計数を開始する。
【００４７】  次に、ステップＳ１０４において、処理部８Ｐは、極間電圧Ｖを第２の閾値Ｖｃ２と比較する。極間電圧Ｖが第２の閾値Ｖｃ２以上である場合（ステップＳ１０４、Ｎｏ）、制御装置８は、極間電圧Ｖが第２の閾値Ｖｃ２の絶対値を下回るまで待機する。極間電圧Ｖが第２の閾値Ｖｃ２の絶対値を下回った場合、すなわち極間電圧Ｖが第２の閾値Ｖｃ２未満になった場合（ステップＳ１０４、Ｙｅｓ）、制御装置８は、処理をステップＳ１０５に進める。
【００４８】  ステップＳ１０５において、制御装置８は、時間の計数を終了し、計数した時間を用いて変化時間Δｔｃを求める。さらに、制御装置８は、第２スイッチ９をオンすることにより、第２電源２の電圧である第２の電圧を電極３と被加工物４との間に与える。この操作により、電極３と被加工物４との間には主放電が発生する。制御装置８は、第２スイッチ９をオンしたタイミング、すなわち主放電が開始したタイミングから時間の計数を開始する。次に、ステップＳ１０６に進み、制御装置８は、変化時間Δｔｃから主放電時間Δｔｐを求める。
【００４９】  ステップＳ１０７に進み、制御装置８は、主放電を開始したタイミングからの経過時間ｔｓと主放電時間Δｔｐとを比較する。経過時間ｔｓが主放電時間Δｔｐに達していない場合（ステップＳ１０７、Ｎｏ）、制御装置８は、経過時間ｔｓが主放電時間Δｔｐに達するまで待機する。経過時間ｔｓが主放電時間Δｔｐに達した場合（ステップＳ１０７、Ｙｅｓ）、ステップＳ１０８において、制御装置８は、第２スイッチ９をオフすることにより主放電を終了させる。ステップＳ１０１からステップＳ１０８が終了したら、制御装置８はステップＳ１０１に戻り、被加工物４の放電加工が終了するまで、ステップＳ１０１からステップＳ１０８を繰り返す。
【００５０】変形例１．  図１０は、実施の形態１の変形例１に係る第２スイッチを示す図である。前述した実施の形態において、主放電時間Δｔｐを変更することによって、異なる主放電間において極間電流ＩのピークＩｐを一定とした。変形例１では、極間電圧Ｖを変更することにより、異なる主放電間において極間電流ＩのピークＩｐを一定する。
【００５１】  第２スイッチ９ａは、第２電源２の正極と電極３との間に設けられる電圧調整装置９Ａａと、第２電源２の負極と被加工物４との間に設けられるスイッチング素子９Ｂとを含む。電圧調整装置９Ａａは、直列接続された複数のスイッチング素子１６ＴＡ，１６ＴＢ，１６ＴＣ，１６ＴＤと、直列接続された複数の抵抗１６ＲＡ，１６ＲＢ，１６ＲＣ，１６ＲＤと、を並列接続してある。複数のスイッチング素子１６ＴＡ，１６ＴＢ，１６ＴＣ，１６ＴＤは、制御装置８がそれぞれオンとオフとを制御する。スイッチング素子１６ＴＡ，１６ＴＢ，１６ＴＣ，１６ＴＤは、バイポーラトランジスター又はＦＥＴ（Field  Effect  Transistor）といった半導体素子が用いられるが、これらに限定されるものではない。
【００５２】  電圧調整装置９Ａａは、複数のスイッチング素子１６ＴＡ，１６ＴＢ，１６ＴＣ，１６ＴＤをすべてオフしたときの抵抗が最も高くなり、スイッチング素子１６ＴＡ，１６ＴＢ，１６ＴＣ，１６ＴＤの順にオンしていくと抵抗が段階的に低くなる。そして、電圧調整装置９Ａａは、複数のスイッチング素子１６ＴＡ，１６ＴＢ，１６ＴＣ，１６ＴＤをすべてオンしたときの抵抗が最も低くなる。電圧調整装置９Ａａは、複数のスイッチング素子１６ＴＡ，１６ＴＢ，１６ＴＣ，１６ＴＤのオンとオフとを切り替えることにより、第２電源２と電極３との間の電圧降下を変更することができる。このため、電圧調整装置９Ａａを備える第２スイッチ９ａは、極間電圧Ｖを変更することができる。
【００５３】  第２スイッチ９ａによって電極３と被加工物４との間に極間電圧Ｖを与える場合、制御装置８は、少なくともスイッチング素子９Ｂをオンする。スイッチング素子９ＢのみがＯＮされた場合、第２電源２と電極３との間には、電圧調整装置９Ａａのすべての抵抗１６ＲＡ，１６ＲＢ，１６ＲＣ，１６ＲＤが介在するので、極間電圧Ｖは最も小さくなる。スイッチング素子９Ｂと、複数のスイッチング素子１６ＴＡ，１６ＴＢ，１６ＴＣ，１６ＴＤのうち少なくとも１つとをＯＮにすると、スイッチング素子９ＢのみがＯＮされた場合よりも極間電圧Ｖは大きくなる。
【００５４】  変形例１において、変化時間Δｔｃが相対的に長い場合、高抵抗元素との放電であるため、制御装置８は第２スイッチの電圧調整装置９Ａａを制御して、極間電圧Ｖを上昇させる。変化時間Δｔｃが相対的に短い場合、低抵抗元素との放電であるため、制御装置８は第２スイッチの電圧調整装置９Ａａを制御して、極間電圧Ｖを低下させる。このようにすることで、制御装置８は、主放電時間Δｔｐが同一であっても、極間電流Ｉが上昇する変化率を変更できるので、高抵抗元素と低抵抗元素との間で、極間電流ＩのピークＩｐを同一にすることができる。その結果、放電加工装置１００は、被加工物４の空孔の発生及び加工面の品質低下を抑制することができる。
【００５５】  変形例１において、電圧調整装置９Ａａは、複数のスイッチング素子１６ＴＡ，１６ＴＢ，１６ＴＣ，１６ＴＤ及び複数の抵抗１６ＲＡ，１６ＲＢ，１６ＲＣ，１６ＲＤを有するが、このようなものに限定されない。電圧調整装置９Ａａは、ＤＣ／ＤＣコンバータであってもよいし、電圧の異なる複数の直流電源と、極間５へ電圧を与える電源を複数の直流電源の中から選択するスイッチとを有する装置であってもよい。
【００５６】変形例２．  前述した実施の形態１において、図１に示される検出装置６は、極間電圧Ｖを検出するが、極間電流Ｉを検出してもよい。この場合、第１検出装置６Ａは、検出した極間電流Ｉを、図５に示される電流の第１の閾値Ｉｃ１と比較し、極間電流Ｉが第１の閾値Ｉｃ１の絶対値を上回った場合には、第１信号を出力する。第２検出装置６Ｂは、検出した極間電流Ｉを、電流の第２の閾値Ｉｃ２と比較する。第２の閾値Ｉｃ２の絶対値は、第１の閾値Ｉｃ１の絶対値よりも大きい。第２検出装置６Ｂは、極間電流Ｉが第２の閾値Ｉｃ２の絶対値を上回った場合には、第２信号を出力する。電流の第１の閾値Ｉｃ１及び第２の閾値Ｉｃ２は、極間電圧Ｖが電圧の第１の閾値Ｖｃ１及び第２の閾値Ｖｃ２であるときの極間電流Ｉとすることができる。
【００５７】  実施の形態１において、制御装置８は、図５に示されるように、絶縁破壊が発生するまで第１スイッチ１０をオンし続けるが、加工条件によっては、絶縁破壊が発生するまで第１スイッチ１０のオンとオフとを繰り返して電圧を極間５に与えることがある。後者を用いた場合、検出装置６は、極間電圧Ｖの絶対値が電圧の第１の閾値Ｖｃ１の絶対値及び第２の閾値Ｖｃ２の絶対値を下回ったことを検出することが困難である。このため、絶縁破壊が発生するまで第１スイッチ１０のオンとオフとを繰り返す場合、検出装置６は、極間電流Ｉの絶対値と、電流の第１の閾値Ｉｃ１の絶対値及び第２の閾値Ｉｃ２の絶対値とを用いて変化時間Δｔｃを求める。このようにすれば、検出装置６は、加工条件によらず変化時間Δｔｃを求めることができる。
【００５８】  変形例２において、制御装置８は、絶縁破壊が発生するまで第１スイッチ１０をオンし続ける場合は、極間電圧Ｖと第１の閾値Ｖｃ１及び第２の閾値Ｖｃ２とを用いて変化時間Δｔｃ求め、絶縁破壊が発生するまで第１スイッチ１０のオンとオフとを繰り返す場合は、極間電流Ｉと第１の閾値Ｉｃ１及び第２の閾値Ｉｃ２とを用いて変化時間Δｔｃを求めてもよい。そして、制御装置８は、求めた変化時間Δｔｃを用いて主放電で極間５に与えられる電圧、より具体的には電圧を与える時間又は電圧の大きさを決定してもよい。極間電流Ｉが用いられる場合、変化時間Δｔｃは、極間電流Ｉが第１の閾値Ｉｃ１の絶対値を上回ったタイミングから第２の閾値Ｉｃ２の絶対値を上回ったタイミングまでの時間である。
【００５９】  前述したように、制御装置８は、予備放電での極間電圧Ｖが変化する変化時間Δｔｃに基づいて、主放電で極間５に与えられる電圧を決定することと、予備放電での極間電流Ｉが変化する変化時間Δｔｃに基づいて、主放電で極間５に与えられる電圧を決定することとを、予備放電の形態によって切り替えてもよい。このようにすることで、放電加工装置１００は、様々な加工条件であっても変化時間Δｔｃを求めることができるので、被加工物４に適切な主放電時間Δｔｐを設定できる。その結果、放電加工装置１００は、様々な加工条件において、被加工物４の空孔の発生及び加工面の品質低下を抑制することができる。
【００６０】実施の形態２．  図１１は、実施の形態２に係る放電加工装置を示す図である。実施の形態２において、放電加工装置１００ｂは、スイッチ、より具体的には第１スイッチ１０ｂがブリッジ回路及び検出装置６ｂを備え、第１電源１から極間５へ正負の電圧を与える。実施の形態２に係る放電加工装置１００ｂの他の構造は、実施の形態１に係る放電加工装置１００と同様である。
【００６１】  第１スイッチ１０ｂは、第１電源１と電極３及び被加工物４との間に設けられる。第１スイッチ１０ｂは、複数のスイッチング素子１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄによってブリッジ回路を形成している。スイッチング素子１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄは、バイポーラトランジスター又はＦＥＴ（Field  Effect  Transistor）といった半導体素子が用いられるが、これらに限定されるものではない。スイッチング素子１０Ａ，１０Ｃがブリッジ回路の上アームを形成し、スイッチング素子１０Ｂ，１０Ｄがブリッジ回路の下アームを形成する。スイッチング素子１０Ａとスイッチング素子１０Ｄとの接続部が電極３に接続され、スイッチング素子１０Ｃとスイッチング素子１０Ｂとの接続部が被加工物４に接続される。複数のスイッチング素子１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄは、制御装置８が制御する。
【００６２】  スイッチング素子１０Ａ及びスイッチング素子１０Ｂがオンになると、第１電源１の正極と電極３とが接続され、第１電源１の負極と被加工物４とが接続される。このため、極間電流Ｉは電極３から被加工物４に向かって流れる。スイッチング素子１０Ｃ及びスイッチング素子１０Ｄがオンになると、第１電源１の正極と被加工物４とが接続され、第１電源１の負極と電極３とが接続される。このため、極間電流Ｉは被加工物４から電極３に向かって流れる。このように、スイッチング素子１０Ａ及びスイッチング素子１０Ｂと、スイッチング素子１０Ｃ及びスイッチング素子１０Ｄとを交互にオン、オフすると、電極３と被加工物４との極性を反転させて極間電圧Ｖを与えることができる。
【００６３】  検出装置６ｂは、第１検出装置６Ａ、第２検出装置６Ｂ、第３検出装置６Ｃ及び第４検出装置６Ｄを含む。第１検出装置６Ａ及び第２検出装置６Ｂは、実施の形態１で説明したものと同様である。第３検出装置６Ｃ及び第４検出装置６Ｄは、いずれも極間電圧を検出する。第３検出装置６Ｃは、検出した極間電圧を第３の閾値の絶対値と比較し、極間電圧が第１の閾値の絶対値の絶対値を下回った場合には、信号を出力する。この信号は、極間電圧が第３の閾値の絶対値を下回ったことを示す信号であり、以下においては適宜第３信号と称する。第３信号は制御装置８に入力される。第４検出装置６Ｄは、検出した極間電圧を第４の閾値と比較する。第４の閾値の絶対値は、第３の閾値の絶対値よりも小さい。第４検出装置６Ｄは、極間電圧が第４の閾値の絶対値を下回った場合には、信号を出力する。この信号は、極間電圧が第４の閾値の絶対値を下回ったことを示す信号であり、以下においては適宜第４信号と称する。第４信号は制御装置８に入力される。
【００６４】  実施の形態２において、検出装置６ｂは、閾値が異なる４台の比較器、すなわち第１検出装置６Ａ、第２検出装置６Ｂ、第３検出装置６Ｃ及び第４検出装置６Ｄを含むが、検出装置６ｂはこのようなものに限定されない。検出装置６ｂは、１台の比較器の閾値を切り替えるものであってもよい。
【００６５】  図１２は、実施の形態２に係る放電加工装置が実行する放電加工のタイミングチャートである。図１２のＰＤ１は予備放電において、第１スイッチ１０ｂのスイッチング素子１０Ａ及びスイッチング素子１０Ｂをオン又はオフさせる第１制御信号２７のタイミングを示す。図１２のＰＤ２は予備放電において、第１スイッチ１０ｂのスイッチング素子１０Ｃ及びスイッチング素子１０Ｄをオン又はオフさせる第１制御信号２８のタイミングを示す。図１２のＭＤは、主放電において第２スイッチ９をオン又はオフさせる第２制御信号２９のタイミングを示す。図１２のＶは極間電圧を示し、Ｉは極間電流を示す。極間電圧Ｖの変化は実線３６で示されており、極間電流Ｉの変化は実線３９で示される。図１２のＶｃ１は極間電圧Ｖの第１の閾値、Ｖｃ２は極間電圧Ｖの第２の閾値、Ｖｃ３は極間電圧Ｖの第３の閾値、Ｖｃ４は極間電圧Ｖの第４の閾値である。第３の閾値Ｖｃ３は、第１閾値Ｖｃ１と絶対値が等しく、負の電圧である。第４の閾値Ｖｃ４は、第２の閾値Ｖｃ２と絶対値が等しく、負の電圧である。図１２のＩｃ１は極間電流Ｉの第１の閾値、Ｉｃ２は極間電流Ｉの第２の閾値、Ｉｃ３は極間電流Ｉの第３の閾値、Ｉｃ４は極間電流Ｉの第４の閾値である。第１の閾値Ｉｃ１の絶対値は第２の閾値Ｉｃ２の絶対値よりも小さい。第１の閾値Ｉｃ１の絶対値と第３の閾値Ｉｃ３の絶対値とは等しく、第２の閾値Ｉｃ２の絶対値と第４の閾値Ｉｃ４の絶対値とは等しい。図１２の横軸は時間ｔである。
【００６６】  制御装置８は、制御信号２７によりスイッチング素子１０Ａ及びスイッチング素子１０Ｂをオンにして、電極３を正として極間電圧Ｖを電極３と被加工物４とに与え、極間５に予備放電を発生させる。制御装置８は、この予備放電により得られた変化時間Δｔｃ１を用いて主放電時間Δｔｐ１を決定し、第２スイッチ９をオンすることにより、極間５に主放電を発生させる。
【００６７】  電極３を正とした予備放電に基づく主放電が終了したら、制御装置８は、制御信号２８によりスイッチング素子１０Ｃ及びスイッチング素子１０Ｄをオンにして、被加工物４を正として極間電圧Ｖを被加工物４と電極３とに与え、極間５に予備放電を発生させる。制御装置８は、この予備放電により得られた変化時間Δｔｃ２を用いて主放電時間Δｔｐ２を決定し、第２スイッチ９をオンすることにより、極間５に主放電を発生させる。変化時間Δｔｃ２は、極間電圧Ｖの絶対値が極間電圧Ｖの第３の閾値Ｖｃ３の絶対値を下回ったタイミングから、極間電圧Ｖの絶対値が極間電圧Ｖの第４の閾値Ｖｃ４の絶対値を下回ったタイミングまでの時間である。
【００６８】  被加工物４を正とした予備放電に基づく主放電が終了したら、制御装置８は、制御信号２７によりスイッチング素子１０Ａ及びスイッチング素子１０Ｂをオンにして、電極３を正として極間電圧Ｖを電極３と被加工物４とに与え、極間５に予備放電を発生させる。制御装置８は、この予備放電により得られた変化時間Δｔｃ３を用いて主放電時間Δｔｐ３を決定し、第２スイッチ９をオンすることにより、極間５に主放電を発生させる。
【００６９】  放電加工装置１００ｂが被加工物４を放電加工する場合、制御装置８は、電極３を正とした予備放電及びこの予備放電に基づく主放電と、被加工物４を正とした予備放電及びこの予備放電に基づく主放電とを、時間ｔの経過とともに交互に実行する。放電加工装置１００ｂは、電極３に正の電圧と負の電圧とを交互に与えるので、極間５の平均電圧を０ボルトにすることができる。その結果、放電加工装置１００ｂは、実施の形態１に係る放電加工装置１００の奏する作用及び効果に加え、加工液が水の場合でも被加工物４の電蝕を抑制して加工面の品質低下を抑制できるという作用及び効果を奏する。
【００７０】変形例．  前述した実施の形態２において、図１１に示される検出装置６ｂは、極間電圧Ｖを検出するが、極間電流Ｉを検出してもよい。この場合、第３検出装置６Ｃは、検出した極間電流Ｉを図１２に示される第３の閾値Ｉｃ３と比較し、極間電流Ｉの絶対値が第３の閾値Ｉｃ３の絶対値を上回った場合には、第３信号を出力する。第４検出装置６Ｄは、検出した極間電流Ｉを、第４の閾値Ｉｃ４と比較する。第４の閾値Ｉｃ４の絶対値は、第３の閾値Ｉｃ３の絶対値よりも大きい。第４検出装置６Ｄは、極間電流Ｉの絶対値が第４の閾値Ｉｃ４の絶対値を上回った場合には、第４信号を出力する。第１検出装置６Ａ及び第２検出装置６Ｂは、実施の形態１と同様なので説明を省略する。
【００７１】  実施の形態２において、制御装置８は、図１２に示されるように、絶縁破壊が発生するまで第１スイッチ１０ｂをオンにし続けるが、加工条件によっては、絶縁破壊が発生するまで第１スイッチ１０ｂのオンとオフとを繰り返して、電圧を極間５に与えることがある。後者を用いた場合、検出装置６ｂは、極間電圧Ｖの絶対値が電圧の第１の閾値Ｖｃ１の絶対値、第２の閾値Ｖｃ２の絶対値、第３の閾値Ｖｃ３の絶対値及び第４の閾値Ｖｃ４の絶対値を下回ったことを検出することが困難である。このため、絶縁破壊が発生するまで第１スイッチ１０ｂのオンとオフとを繰り返す場合、検出装置６ｂは、極間電流Ｉの絶対値と、電流の第１の閾値Ｉｃ１の絶対値、第２の閾値Ｉｃ２の絶対値、第３の閾値Ｉｃ３の絶対値及び第４の閾値Ｉｃ４の絶対値とを用いて変化時間Δｔｃを求める。このようにすれば、検出装置６ｂは、加工条件によらず変化時間Δｔｃを求めることができる。極間電流Ｉが負の値をとる場合、変化時間Δｔｃは、極間電流Ｉが第３の閾値Ｉｃ３の絶対値を上回ったタイミングから第４の閾値Ｉｃ４の絶対値を上回ったタイミングまでの時間である。
【００７２】  変形例において、制御装置８は、絶縁破壊が発生するまで第１スイッチ１０をオンし続ける場合は、極間電圧Ｖと第１の閾値Ｖｃ１、第２の閾値Ｖｃ２、第３の閾値Ｖｃ３及び第４の閾値Ｖｃ４とを用いて変化時間Δｔｃ求め、絶縁破壊が発生するまで第１スイッチ１０のオンとオフとを繰り返す場合は、極間電流Ｉと第１の閾値Ｉｃ１、第２の閾値Ｉｃ２、第３の閾値Ｉｃ３及び第４の閾値Ｉｃ４とを用いて変化時間Δｔｃ求めてもよい。このようにすることで、放電加工装置１００ｂは、様々な加工条件であっても変化時間Δｔｃを求めることができるので、被加工物４に適切な主放電時間Δｔｐを設定できる。その結果、放電加工装置１００ｂは、様々な加工条件において、被加工物４の空孔の発生及び加工面の品質低下を抑制することができる。
【００７３】  以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
【符号の説明】
【００７４】  １  電源（第１電源）、２  電源（第２電源）、３  電極、４  被加工物、５  極間、６，６ｂ  検出装置、６Ａ  第１検出装置、６Ｂ  第２検出装置、６Ｃ  第３検出装置、６Ｄ  第４検出装置、８  制御装置、８ＩＯ  入出力部、８Ｍ  記憶部、８Ｐ  処理部、８Ｉ  入力装置、９，９ａ  スイッチ（第２スイッチ）、９Ａ，９Ｂ，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１６ＴＡ，１６ＴＢ，１６ＴＣ，１６ＴＤ  スイッチング素子、９Ａａ  電圧調整装置、１０，１０ｂ  スイッチ（第１スイッチ）、１６ＲＡ，１６ＲＢ，１６ＲＣ，１６ＲＤ  抵抗、１００，１００ｂ  放電加工装置、Ｉ  極間電流、Ｉｃ１，Ｖｃ１  第１の閾値、Ｉｃ２，Ｖｃ２  第２の閾値、Ｉｃ３，Ｖｃ３  第３の閾値、Ｉｃ４，Ｖｃ４  第４の閾値、ＴＢ  テーブル、Ｖ，Ｖａｃ，Ｖｉｃ  極間電圧、Δｔｃ  変化時間、Δｔｃｃ  変化時間閾値、Δｔｐ  主放電時間。
【要約】  放電加工装置（１００）は、電極（３）と被加工物（４）との間である極間（５）に与える電圧を出力する電源（１，２）と、前記電源（１，２）が前記極間へ与える電圧をオン又はオフするスイッチ（９，１０）と、前記極間（５）の放電状態を検出して検出結果を出力する検出装置（６）と、前記検出装置（６）の検出結果を用いて前記スイッチ（９，１０）を制御して前記極間（５）に与える電圧を制御し、かつ前記極間（５）に第１の放電を発生させたときの放電状態の変化に基づいて、前記極間（５）に第２の放電を発生させる条件を決定する制御装置（８）と、を有することにより、予備放電と主放電とを繰り返す放電加工（１００）において、多元素結合材料の加工面の品質を向上できる放電加工装置を得る。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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