(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して所定の処理を行う基板処理ユニットと、基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備え、前記基板処理ユニットとの間で収納器を受け渡すロードポートと、前記基板処理ユニットと前記ロードポートとの間に介在し、前記基板処理ユニットとの間で基板を受け渡し、前記ロードポートとの間で収納器を受け渡すとともに、受け渡しの際に一時的に収納器を収容する内部バッファとを備えた基板処理装置と、
収納器を前記ロードポートとの間で受け渡すキャリア搬送システムと、
前記基板処理装置及び前記キャリア搬送システムとの間で通信を行い、前記基板処理装置の状況に応じて前記キャリア搬送システムによる収納器の搬送を指示するホストコンピュータとを備えた基板処理システムにおいて、
前記基板処理装置は、前記物理ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てることにより前記ホストコンピュータに対して実在する物理ロードポートよりも多くの物理ロードポートが存在するように扱わせ、前記仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想的なロードポートに対して前記キャリア搬送システムに搬送動作を指示させる仮想ロードポート制御装置と、
前記仮想的なロードポートが割り当てられた物理ロードポートが一の収納器により使用中である場合に、当該物理ロードポートに割り当てられたロードポートとの間で他の収納器を授受すべくキャリア搬送システムの移動機が到来したとき、拝受不可であることを前記一の収納器の使用が終了するまで通知しないで当該移動機をその位置で待機させ、前記一の収納器の使用が完了して拝受可能になると前記キャリア搬送システムに対して当該仮想的なロードポートに搬入要求を行う対キャリア搬送システム制御部とを備えていることを特徴とする基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ用基板、プラズマディスプレイ用基板、有機ＥＬ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスプレイ用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、太陽電池用基板（以下、単に基板と称する）を収納した収納器を基板処理装置との間で搬送する基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の基板処理システムとして、基板処理ユニットと、収納器収容・搬送ユニットと、ロードポートとを備えた基板処理装置と、ホストコンピュータの指示により収納器を搬送するキャリア搬送システムと、全体の制御を行うホストコンピュータとを備えたものが挙げられる。
【０００３】
基板処理ユニットは、基板に対して各種処理を行う。収納器収容・搬送ユニットは、基板処理ユニットに並設され、基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を収容したり、搬送したりする。ロードポートは、収納器収容・搬送ユニットに並設され、ＦＯＵＰを載置する。キャリア搬送システム（Automated Material Handling System）は、無人搬送車（AGV: Automatic Guided Vehicles）や、天井走行式無人搬送車ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）などの移動機を備えており、ロードポートとの間でＦＯＵＰの受け渡しを行う。ホストコンピュータは、基板処理装置やキャリア搬送システムとの間で通信を行い、ＦＯＵＰの搬送に係る制御を行う。
【０００４】
キャリア搬送システムがＦＯＵＰを基板処理装置に対して搬送するには、時間を要する。したがって、基板処理装置が収納器収容・搬送ユニットを備えている場合には、ロードポートにＦＯＵＰが搬入された後、ロードポートから収納器収容・搬送ユニットに対してＦＯＵＰをできるだけ早く取り込むようにして、次の搬送のためにロードポートを開けるようにすることが求められる。このような要望を満たすために、ロードポート付近における収納器の一時的な待避場所として、可動バッファを設けているものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
この装置は、ロードポートにＦＯＵＰが載置されると、可動バッファによりロードポートから横方向にＦＯＵＰを一時的にスライド移動させて待避させ、ロードポートを次の搬送に利用することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２００８−５０８７３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、ＦＯＵＰをロードポートから一時的に待避させる機構を備えているが、例えば、キャリア搬送システムの二台のＯＨＴが連続して同じロードポートにＦＯＵＰを搬入するような場合には、搬入間隔が短いので、一方のＯＨＴが搬入したＦＯＵＰがロードポートから待避するよりも早く、他方のＯＨＴがＦＯＵＰを搬入しようとした場合には、ロードポートにＦＯＵＰを搬入することができず、ＯＨＴによるＦＯＵＰの搬入に失敗することがあるという問題がある。このような搬入の失敗が生じると、ロードポートはキャリア搬送システムに対して直ちにそのＯＨＴが「搬入不可」であると通知する。すると、ＯＨＴは、そのロードポートを通過してキャリア搬送システムの周回軌道を回った後、再び搬入を試みることになる。また、搬出についても、同様の問題が生じることがある。したがって、ＯＨＴが再び周回軌道を回るには、時間を要することになるので、キャリア搬送システムの資源が有効に利用できないことがあるという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、キャリア搬送システムを有効に利用することができる基板処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に対して所定の処理を行う基板処理ユニットと、基板を収納するための収納器が載置される物理ロードポートを備え、前記基板処理ユニットとの間で収納器を受け渡すロードポートと、前記基板処理ユニットと前記ロードポートとの間に介在し、前記基板処理ユニットとの間で基板を受け渡し、前記ロードポートとの間で収納器を受け渡すとともに、受け渡しの際に一時的に収納器を収容する内部バッファとを備えた基板処理装置と、収納器を前記ロードポートとの間で受け渡すキャリア搬送システムと、前記基板処理装置及び前記キャリア搬送システムとの間で通信を行い、前記基板処理装置の状況に応じて前記キャリア搬送システムによる収納器の搬送を指示するホストコンピュータとを備えた基板処理システムにおいて、前記基板処理装置は、前記物理ロードポートに対して仮想的なロードポートを割り当てることにより前記ホストコンピュータに対して実在する物理ロードポートよりも多くの物理ロードポートが存在するように扱わせ、前記仮想的なロードポートが実在するものとして当該仮想的なロードポートに対して前記キャリア搬送システムに搬送動作を指示させる仮想ロードポート制御装置と、前記仮想的なロードポートが割り当てられた物理ロードポートが一の収納器により使用中である場合に、当該物理ロードポートに割り当てられたロードポートとの間で他の収納器を授受すべくキャリア搬送システムの移動機が到来したとき、拝受不可であることを前記一の収納器の使用が終了するまで通知しないで当該移動機をその位置で待機させ、前記一の収納器の使用が完了して拝受可能になると前記キャリア搬送システムに対して当該仮想的なロードポートに搬入要求を行う対キャリア搬送システム制御部とを備えていることを特徴とするものである。
【００１０】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、基板処理装置は、収納器を仮想的なロードポートに搬入するためにキャリア搬送システムの移動機が移動してきた際に、仮想的なロードポートが割り当てられた物理ロードポートに別の収納器が載置されて内部バッファへの受け渡し中であるなどの状態である場合には、キャリア搬送システムが搬送開始を通知しても、収納器を内部バッファへ搬送し終えるまでキャリア搬送システムに対して搬入可否の通知を保留する対キャリア搬送システム制御部を備えている。したがって、キャリア搬送システムの移動機をその位置で待機させるので、前の移動機に続いて次の移動機が収納器を搬送する場合であっても、後の移動機が無用に周回軌道を回ることがない。その結果、収納器の搬入に関してキャリア搬送システムを有効利用することができる。また、物理ロードポートよりも多くの仮想ロードポートを割り当てることにより、１つの物理ロードポートに対して同時に複数の移動機によって複数の収納器を同時に搬送することができ、多数の収納器を効率よく搬送できる。
【００１１】
（削除）
【００１２】
（削除）
【００１３】
（削除）
【００１４】
（削除）
【００１５】
（削除）
【００１６】
（削除）
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る基板処理システムによれば、基板処理装置は、収納器を仮想的なロードポートに搬入するためにキャリア搬送システムの移動機が移動してきた際に、仮想的なロードポートが割り当てられた物理ロードポートに別の収納器が載置されて内部バッファへの受け渡し中であるなどの状態である場合には、キャリア搬送システムが搬送開始を通知しても、収納器を内部バッファへ搬送し終えるまでキャリア搬送システムに対して搬入可否の通知を保留する対キャリア搬送システム制御部を備えている。したがって、キャリア搬送システムの移動機をその位置で待機させるので、前の移動機に続いて次の移動機が収納器を搬送する場合であっても、後の移動機が無用に周回軌道を回ることがない。その結果、収納器の搬入に関してキャリア搬送システムを有効利用することができる。また、物理ロードポートよりも多くの仮想ロードポートを割り当てることにより、１つの物理ロードポートに対して同時に複数の移動機によって複数の収納器を同時に搬送することができ、多数の収納器を効率よく搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施例に係る基板処理システムの概要を示す平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。
【図３】搬入処理時におけるシーケンスを示したタイムチャート及びフローチャートである。
【図４】搬入処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムの状態を示す。
【図５】搬入処理時の過程を示す模式図であり、基板処理装置への搬送開始の通知を示す。
【図６】搬入処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムへの通知を示す。
【図７】搬入処理時の過程を示す模式図であり、ロードポートへの搬入を示す。
【図８】搬入処理時の過程を示す模式図であり、次のキャリア搬送システムによる搬送開始の通知を示す。
【図９】搬入処理時の過程を示す模式図であり、搬入要求の保留を示す。
【図１０】搬入処理時の過程を示す模式図であり、搬入要求の通知を示す。
【図１１】搬入処理時の過程を示す模式図であり、ロードポートへの搬入を示す。
【図１２】搬出処理時におけるシーケンスを示したタイムチャート及びフローチャートである。
【図１３】搬出処理時の過程を示す模式図であり、基板処理装置への払い出し指示を示す。
【図１４】搬出処理時の過程を示す模式図であり、払い出しの開始を示す。
【図１５】搬出処理時の過程を示す模式図であり、ホストコンピュータへの搬出可能の通知を示す。
【図１６】搬出処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムに対する搬出の指示を示す。
【図１７】搬出処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムの移動を示す。
【図１８】搬出処理時の過程を示す模式図であり、搬送開始の通知を示す。
【図１９】搬出処理時の過程を示す模式図であり、搬出要求の通知を示す。
【図２０】搬出処理時の過程を示す模式図であり、ロードポートからの搬出を示す。
【図２１】実施例に係る基板処理システムの概要を示す平面図である。
【図２２】実施例に係る基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。
【図２３】搬入処理時におけるシーケンスを示したタイムチャートである。
【図２４】搬入処理時の過程を示す模式図であり、ホストコンピュータへの通知を示す。
【図２５】搬入処理時の過程を示す模式図であり、ホストコンピュータの搬送指示を示す。
【図２６】搬入処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムの移動を示す。
【図２７】搬入処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムによる搬入開始を示す。
【図２８】搬入処理時の過程を示す模式図であり、ロードポートの対応付けを示す。
【図２９】搬入処理時の過程を示す模式図であり、仮想ロードポートの状態変化の報告を示す。
【図３０】搬入処理時の過程を示す模式図であり、搬入受付を示す。
【図３１】搬入処理時の過程を示す模式図であり、キャリア搬送システムの移動を示す。
【図３２】搬入処理時の過程を示す模式図であり、ＦＯＵＰの内部バッファへの移動を示す。
【図３３】搬入処理時の過程を示す模式図であり、搬入状況の報告を示す。
【図３４】搬入処理時における各部間の信号等のやりとりを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図１は、実施例に係る基板処理システムの概要を示す平面図であり、図２は、実施例に係る基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。
【００２０】
この基板処理システム１は、基板ＷをＦＯＵＰ３ごと搬入して基板Ｗに対して処理を行い、処理を終えた基板ＷをＦＯＵＰ３ごと搬出する機能を備えている。ＦＯＵＰ３は、Front Opening Unified Podの略称であり、清浄な環境に密閉した状態で基板Ｗを収納するものである。
【００２１】
基板処理システム１は、例えば、基板処理装置５と、キャリア搬送システム７と、ホストコンピュータ９とを備えている。基板処理装置５は、複数台であるのが一般的であり、図１では、一例として二台の基板処理装置５を示している。
【００２２】
基板処理装置５は、基板処理ユニット１１と、ロードポート１３と、内部バッファ１５とを備えている。基板処理ユニット１１は、ＦＯＵＰ３から取り出された基板Ｗに対して所定の処理を行う。所定の処理としては、例えば、洗浄処理、エッチング処理、フォトレジスト除去処理などがある。ロードポート１３は、基板処理装置５とキャリア搬送システム７との間でＦＯＵＰ３を受け渡すものである。この例では、ロードポート１３が二台の物理ロードポートＬＰ１，ＬＰ２を備えている。内部バッファ１５は、基板処理ユニット１１とロードポート１３との間に配置され、ロードポート１３との間でＦＯＵＰ３を受け渡すとともに、基板処理ユニット１１との間でＦＯＵＰ３から取り出された基板Ｗの受渡を行う。また、内部バッファ１５は、ロードポート１３からＦＯＵＰ３を搬入され、基板処理ユニット１１が基板Ｗを受け入れられない状態の場合には、一時的にＦＯＵＰ３を収容したり、ロードポート１３がＦＯＵＰ３を搬出できない状態の場合には、一時的にＦＯＵＰ３を収容したりする、バッファリングの機能を備えている。
【００２３】
なお、上記のＦＯＵＰ３が本発明における「収納器」に相当する。
【００２４】
キャリア搬送システム７は、基板処理装置５との間でＦＯＵＰ３を搬送したり、図示しないＦＯＵＰ３の保管庫と基板処理装置５との間でＦＯＵＰ３を搬送したりするものである。キャリア搬送システム７としては、例えば、ＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）などの移動機を備えるＡＭＨＳ（Automated Material Handling Systems）が挙げられる。この実施例では、一例として、二台の基板処理装置５の周辺において、移動機としてのＯＨＴ１７が周回移動する構成を採っている。ここでは、一例として、ＯＨＴ１７が二台あり、それぞれＯＨＴ１７Ａ、１７Ｂとする。
【００２５】
ホストコンピュータ９は、上述した基板処理装置５とキャリア搬送システム７との間で通信を行う。ホストコンピュータ９は、基板処理装置５の状況に応じてキャリア搬送システム７によるＦＯＵＰ３の搬送を指示する。ここでいう「搬送」とは、基板処理装置５へのＦＯＵＰ３を運び入れるための搬送である「搬入」と、基板処理装置５からＦＯＵＰ３を運び出すための搬送である「搬出」とを表している。
【００２６】
図２に示すように、上述した基板処理装置５は、ロードポート管理部１９を備えている。ロードポート管理部１９は、二つの物理ロードポートＬＰ１，ＬＰ２の状態を判断して、キャリア搬送システム７及びホストコンピュータ９との間で通信を行う。また、物理ロードポートＬＰ１を搬入に割り当て、物理ロードポートＬＰ２を搬出に割り当てる等の処理も行う。
【００２７】
基板処理装置５は、対ホストコンピュータ制御部２１と、内部バッファ管理部２３と、対キャリア搬送システム制御部２５とを備えている。対ホストコンピュータ制御部２１は、主としてホストコンピュータ９との間における通信を行う。内部バッファ管理部２３は、内部バッファ１５における使用状況等を判断して、どの棚にＦＯＵＰ３を収納すればよいかや、どの棚のＦＯＵＰ３を搬出すればよいか等を判断する。対キャリア搬送システム制御部２５は、キャリア搬送システム７との間で通信を行う。
【００２８】
詳細は後述するが、対キャリア搬送システム制御部２５は、各種の条件に応じて搬入の制御を行う。例えば、ＦＯＵＰ３を搬入する場合に、ＦＯＵＰ３をロードポート１３に搬入するためにキャリア搬送システム７が移動してきた際に、ロードポート管理部１９におけるロードポート１３の管理状況に基づいて、ロードポート１３に別のＦＯＵＰ３が載置された状態、すなわちロードポート１３から内部バッファ１５への受け渡しが完了していない状態であると判断した場合であっても、当該別のＦＯＵＰ３を内部バッファ１５へ搬送し終えるまでは、キャリア搬送システム７に対して搬入不可を通知しないように保留する。なお、このとき、例えば、キャリア搬送システム７のＯＨＴ１７Ａに続いてＯＨＴ１７Ｂが搬入のために移動してきた場合には、後のＯＨＴ１７Ｂは、特定の条件を満たさない限り、対キャリア搬送システム制御部２５から搬入の許可を得るまで、その位置で待機する。
【００２９】
また、詳細は後述するが、対ホストコンピュータ制御部２１は、各種の条件に応じて搬出に係る制御を行う。例えば、ホストコンピュータ９から内部バッファ１５のＦＯＵＰ３の搬出を指示された際に、ロードポート管理部１９の管理状況に基づいて、そのＦＯＵＰ３を内部バッファ１５からロードポート１３のうちのいずれかの物理ロードポートＬＰ１，ＬＰ２へ搬送する。その搬送を開始した後、そのＦＯＵＰ３が物理ロードポートＬＰ１，ＬＰ２のいずれかへ載置されるまでの間、すなわち、ロードポート１３がＦＯＵＰ３によって使用中に、ホストコンピュータ９に対してＦＯＵＰ３が搬出可能であることを報告する。
【００３０】
なお、このとき、キャリア搬送システム７は、ＦＯＵＰ３を搬出するために移動してきた際に、ロードポート１３の物理ロードポートＬＰ１，ＬＰ２のいずれにもＦＯＵＰ３が載置されていない場合、すなわち、収納バッファ１５からロードポート１３への受け渡しが完了していない状態のときには、キャリア搬送システム７との授受可否の通知が保留されるので、その位置で待機する。
【００３１】
＜搬入処理＞
【００３２】
次に、図３〜図１１を参照して、上述した基板処理システム１によるＦＯＵＰ３の「搬入」の流れについて説明する。
【００３３】
なお、図３は、搬入処理時におけるシーケンスを示したタイムチャート及びフローチャートである。また、図４〜図１１は、搬入処理時の過程を示す模式図であり、図４は、キャリア搬送システムの状態を示し、図５は、基板処理装置への搬送開始の通知を示し、図６は、キャリア搬送システムへの通知を示し、図７は、ロードポートへの搬入を示し、図８は、次のキャリア搬送システムによる搬送開始の通知を示し、図９は、搬入要求の保留を示し、図１０は、搬入要求の通知を示し、図１１は、ロードポートへの搬入を示す。
【００３４】
以下の説明においては、図４に示すように、キャリア搬送システム７のＯＨＴ１７ＡがＦＯＵＰ３ａを保持し、ＯＨＴ１７ＢがＦＯＵＰ３ｂを保持し、その順番で基板処理装置５に移動してきて、搬入処理を待っている状態であるものとする。
【００３５】
キャリア搬送システム７は、基板処理装置５の対キャリア搬送システム制御部２５に対して、ＶＡＬＤ信号をＯＮする（図５）。このＶＡＬＤ信号は、搬送開始を示す信号である。基板処理装置５の対キャリア搬送システム制御部２５は、ＶＡＬＤ信号がＯＮであることを検出する（ステップＳ１）。この例では、二台のＯＨＴ１７Ａ、１７Ｂのうち、先行するＯＨＴ１７ＡがＶＡＬＤ信号をＯＮにしているものとする。
【００３６】
対キャリア搬送システム制御部２５は、ロードポート管理部１９による状況を考慮して、条件に応じて処理を分岐する（ステップＳ２）。「条件１」は、搬入が可能である場合である。搬入が可能であれば、Ｌ＿ＲＥＱ信号をОＮにする。このＬ＿ＲＥＱ信号は、搬入を許可することを意味する。一方、「条件２」は、ロードポート１３が使用中であったり、そのＦＯＵＰ３が内部バッファ１５へ搬送中であったりする場合である。つまり、厳密には、ロードポート１３が使用可能ではない状態である。「条件３」は、条件１，２以外の状況である。例えば、ロードポート１３に故障が生じて、使用不可能な状態であるなどの場合である。
【００３７】
ここでは、最初のＯＨＴ１７Ａについては、ロードポート１３が空であるので、条件１を満たす。したがって、図６に示すように、対キャリア搬送システム制御部２５は、キャリア搬送システム７に対してＯＨＴ１７ＡのＬ＿ＲＥＱ信号をＯＮする（ステップＳ３）。このＬ＿ＲＥＱ信号は、Load REQuestを表し、搬入要求のことである。搬入要求を受けたキャリア搬送システム７のＯＨＴ１７Ａは、ＦＯＵＰ３ａを物理ロードポートＬＰ１に載置する移載を実行する（図７）。そして、ＯＨＴ１７Ａは、その場所を離れて、キャリア搬送システム７の周回軌道に戻る。
【００３８】
次に、ＯＨＴ１７Ｂは、基板処理装置５の前に移動し、対キャリア搬送システム制御部２５に対して、搬送開始を示すＶＡＬＤ信号をＯＮにする（図８）。このとき、物理ロードポートＬＰ１には、先のＦＯＵＰ３ａが載置された状態である。
【００３９】
内部バッファ管理部２３は、内部バッファ１５の使用状況を考慮して、内部バッファ１５の適宜の棚にＦＯＵＰ３ａを移動し始める（図９）。このとき、対キャリア搬送システム制御部２５は、ＶＡＬＤ信号を受けて、一般的には搬入要求をするところであるが、本発明はキャリア搬送システム７に対する搬入要求を保留しておき、かつ、搬入不可の通知も直ちには行わない。これは、先のＦＯＵＰ３ａの移動が開始されたばかりで、ロードポート１３が使用できないからである。具体的には、図３におけるステップＳ２における条件２を満たすので、ステップＳ２からステップＳ４に移行して、時間調整を図る。詳細には、対キャリア搬送システム制御部２５は、内部バッファ管理部２３からの移動完了通知を待って、搬入要求をキャリア搬送システム７に対して行う（図１０）。搬入要求を受けたキャリア搬送システム７は、ＯＨＴ１７ＢからＦＯＵＰ３ｂを物理ロードポートＬＰ１へ移載させる（図１０）。移載を終えたＯＨＴ１７Ｂは、周回軌道へ戻る。
【００４０】
なお、上述した条件３を満たした場合には、ＨＯ＿ＡＶＢＬＥ信号をＯＦＦにし（ステップＳ５）、搬入処理を中止する。これにより、搬入が中止されるので、キャリア搬送システム７は、基板処理装置５の前に移動して待機しているＯＨＴ１７を周回軌道に戻す。これにより、ＯＨＴ１７が基板処理装置５の前で待機し続ける不具合を回避できる。
【００４１】
このように、基板処理装置５は、ＦＯＵＰ３をロードポート１３に搬入するためにキャリア搬送システム７が移動してきた際に、ロードポート１３に別のＦＯＵＰ３ａが載置された状態である場合には、キャリア搬送システム７が搬送開始を通知しても、ＦＯＵＰ３ａを内部バッファ１５へ搬送し終えるまでキャリア搬送システム７に対して搬入可否を通知せず、待機させる対キャリア搬送システム制御部２５を備えている。したがって、前のＯＨＴ１７Ａに続いてＯＨＴ１７ＢがＦＯＵＰ３ｂを搬送する場合であっても、後のＯＨＴ１７Ｂが無用に周回軌道を回ることがない。その結果、ＦＯＵＰ３の搬入に関してキャリア搬送システム７を有効利用することができる。
【００４２】
また、キャリア搬送システム７は、搬入の際に、ロードポート１３に別のＦＯＵＰ３が載置されている場合には、対キャリア搬送システム制御部２５から搬入の許可を得るまで、その位置で待機するので、無駄に周回軌道を回ることがない。このためには、キャリア搬送システム７が備えるタイマの値を変えることが好ましい。具体的には、搬入開始（ＶＡＬＤ信号がＯＮ）を要求してから、搬入要求（Ｌ＿ＲＥＱ信号がＯＮ）になるまでの待ち時間を計時するタイマの値を、例えば、標準的な２秒程度から１０秒程度に変えればよい。これは、ロードポート１３から内部バッファ１５へＦＯＵＰ３の搬送に要する時間である。なお、安全のためマージンを考慮して若干長めに決定しても、実質的に搬送に要する時間であればよい。
【００４３】
＜搬出処理＞
【００４４】
次に、図１２〜図２０を参照して、上述した基板処理システム１によるＦＯＵＰ３の「搬出」の流れについて説明する。
【００４５】
なお、図１２は、搬出処理時におけるシーケンスを示したタイムチャート及びフローチャートである。また、図１３〜図２０は、搬出処理時の過程を示す模式図であり、図１３は、基板処理装置への払い出し指示を示し、図１４は、払い出しの開始を示し、図１５は、ホストコンピュータへの搬出可能の通知を示し、図１６は、キャリア搬送システムに対する搬出の指示を示し、図１７は、キャリア搬送システムの移動を示し、図１８は、搬送開始の通知を示し、図１９は、搬出要求の通知を示し、図２０は、ロードポートからの搬出を示す。
【００４６】
以下の説明では、キャリア搬送システム７のＯＨＴ１７Ａが基板処理装置５のＦＯＵＰ３を搬出する処理について説明する。なお、ＯＨＴ１７Ａは、周回軌道を回っているものとする。
【００４７】
ホストコンピュータ９は、基板処理装置５に対してＦＯＵＰ３の搬出を指示する（図１３）。これを受けた基板処理装置５は、内部バッファ管理部２３の状況を考慮して、内部バッファ１５の棚から、指定されたＦＯＵＰ３を搬出する処理を開始する（図１４、ステップＳ１１）。
【００４８】
基板処理装置５は、ロードポート１３へのＦＯＵＰ３の移動を始めたばかりであり、ロードポート１３への移動を完了していないが、搬出許可（ＲＴＵ（Ready To Unload）信号をＯＮ）をホストコンピュータ９に通知する（図１５、ステップＳ１２）。ホストコンピュータ９は、これを受けて、キャリア搬送システム７のＯＨＴ１７Ａに対して、搬出を指示する（図１６）。ＯＨＴ１７Ａは、基板処理装置５へ移動し（図１７）、移動を完了した時点で搬入開始（ＶＡＬＤ信号）をＯＮにする（図１８、ステップＳ１３）。
【００４９】
対ホストコンピュータ制御部２１は、ロードポート管理部１９の状況を考慮して、条件に応じて処理を分岐する。「条件１」は、ロードポート１３にＦＯＵＰ３が載置されており、ＦＯＵＰ３の搬出が可能である場合である。「条件２」は、内部バッファ１５からＦＯＵＰ３が搬送中であって、ロードポート１３への払い出し搬出が完了していない場合である。「条件３」は、条件１，２以外の場合である。例えば、内部バッファ１５やロードポート１３に障害が生じて、使用不可能となった場合などである。
【００５０】
ここで、条件１であった場合には、搬入開始を受けて、キャリア搬送システム７に対して搬送要求（Ｕ＿ＲＥＱ（Unload REQuest）信号をＯＮ）を行う（図１９、ステップＳ１５）。キャリア搬送システム７は、ＯＨＴ１７Ａに対して、ロードポート１３からＦＯＵＰ３を搬出するよう指示する。ＯＨＴ１７Ａは、ロードポート１３からＦＯＵＰ３を受け取って搬送を開始する（図２０）。
【００５１】
また、条件２であった場合には、時間調整を行い（ステップＳ１６）、その間、搬送要求を保留する。その後に、搬送要求を行う（ステップＳ１５）。条件３であった場合には、ＨＯ＿ＡＶＢＡＬ信号をＯＦＦにし（ステップＳ１６）、搬出処理を中止する。
【００５２】
このように、基板処理装置５がＦＯＵＰ３を内部バッファ１５からロードポート１３への搬出を開始した時点で、対ホストコンピュータ制御部２１がホストコンピュータ９へＦＯＵＰ３が搬出可能であることを報告する。したがって、実際にＦＯＵＰ３がロードポート１３に載置されてから搬出可能であることを報告する場合に比較して、ホストコンピュータ９からキャリア搬送システム７が移動を開始するまでの時間を早めることができる。その結果、ＦＯＵＰ３の搬出に関して、キャリア搬送システム７を有効利用することができる。
【００５３】
なお、一般的には、キャリア搬送システム７がＦＯＵＰ３を搬出しにきた際に、ロードポート１３に収納器が載置されていない場合には、キャリア搬送システム７はＯＨＴ１７を周回軌道に戻す。しかし、本実施形態では、搬送要求、搬送不可等の授受可否の通知を、ロードポート１３と内部バッファ１５との受け渡し完了まで保留し、ＦＯＵＰ３がロードポート１３に載置されるまで待機するので、周回の無駄をなくすことができる。
【００５４】
なお、本発明は、基板処理装置５へのＦＯＵＰ３の搬入においては、複数の移動機すなわちＯＨＴ１７が時間をあまりあけずに連続して基板処理装置５へＦＯＵＰ３を搬送してくる場合に有効である。ところで、この種の基板処理装置とキャリア搬送システムの制御においては、搬入に用いるロードポート１台に対しては１台のＯＨＴが搬入作業を行うように制御するのが一般的であるので、そのような制御では、上記のように複数のＯＨＴ１７が時間をあまりあけずに連続して基板処理装置５へＦＯＵＰ３を搬送してくる場合は稀である。したがって、本発明は、搬入に用いるロードポート１台に対して複数台のＯＨＴが同時に搬入を行うように制御する場合に、より効果を発揮する。以下に、そのような制御の実施例について説明する。ここでは、上述した実施例と同一もしくは対応する部分には同一符号を付す。
【００５５】
図２１は、実施例に係る基板処理システムの概要を示す平面図であり、図２２は、実施例に係る基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。
【００５６】
実施例に係る基板処理システム１は、基板ＷをＦＯＵＰ３ごと搬入して基板Ｗに対して処理を行い、処理を終えた基板ＷをＦＯＵＰ３ごと搬出する機能を備えている。ＦＯＵＰ３は、Front Opening Unified Podの略称であり、清浄な環境に密閉した状態で基板Ｗを収納するものである。
【００５７】
この基板処理システム１は、基板処理装置５と、キャリア搬送システム７と、ホストコンピュータ９とを備えている。基板処理装置５は、複数台であるのが一般的であり、図２１では、一例として二台の基板処理装置５を示している。
【００５８】
基板処理装置５は、基板処理ユニット１１と、ロードポート１３と、内部バッファ１５とを備えている。この基板処理ユニット１１は、ＦＯＵＰ３から取り出された基板Ｗに対して所定の処理を行う。所定の処理としては、例えば、洗浄処理、エッチング処理、フォトレジスト除去処理などがある。ロードポート１３は、基板処理装置５とキャリア搬送システム７との間でＦＯＵＰ３を受け渡すためのものである。この例では、ロードポート１３が二台の物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２を備えている。内部バッファ１５は、基板処理ユニット１１とロードポート１３との間に配置され、ロードポート１３との間でＦＯＵＰ３を受け渡すとともに、基板処理ユニット１１との間でＦＯＵＰ３から取り出された基板Ｗの受け渡しを行う。また、内部バッファ１５は、ロードポート１３からＦＯＵＰ３を搬入され、基板処理ユニット１１が基板Ｗを受け入れられない状態の場合には、一時的にＦＯＵＰ３を収容したり、ロードポート１３がＦＯＵＰ３を搬出できない状態状態の場合には、一時的にＦＯＵＰ３を収容したりする、バッファリングとしての機能を備えている。
【００５９】
なお、上記のＦＯＵＰ３が本発明における「収納器」に相当する。
【００６０】
キャリア搬送システム７は、基板処理装置５と、ＦＯＵＰ３を複数収納して保管する保管庫（図示せず）との間、あるいは他の基板処理装置との間でＦＯＵＰ３を搬送したりするものである。キャリア搬送システム７としては、例えば、ＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）などのＡＭＨＳ（Automated Material Handling Systems）が挙げられる。この実施例では、一例として、二台の基板処理装置５の周辺において、複数台のＯＨＴ１７が周回移動する構成を採っている。
【００６１】
ホストコンピュータ９は、上述した基板処理装置５とキャリア搬送システム７との間で通信を行う。ホストコンピュータ９は、基板処理装置５の状況に応じてキャリア搬送システム７によるＦＯＵＰ３の搬送を指示する。ここでいう「搬送」とは、基板処理装置５へのＦＯＵＰ３を運び入れるための搬送である「搬入」と、基板処理装置５からＦＯＵＰ３を運び出すための搬送である「搬出」とを表している。
【００６２】
図２２に示すように、基板処理装置５は、ロードポート制御装置２０を構成する対ホスト制御部２１とロードポート管理部１９と、内部バッファ管理部２３と対キャリア搬送システム制御部２５とを備えている。このロードポート制御装置２０を構成するこれら対ホスト制御部２１、ロードポート管理部１９と、内部バッファ管理部２３、対キャリア搬送システム２５は、一般的な基板処理装置に含まれるものと同じ機能を有する。すなわち、一般的な基板処理システムにおいては、ロードポート管理部１９は、基板処理装置５に設けられるロードポート１３の物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２および内部バッファ１５と接続され、それらと通信してそれらの状態を認識し、その動作を制御するなどの管理を行う。また、一般的な基板処理システムにおいては、対ホスト制御部２１は、ホストコンピュータ９と接続され、ロードポート管理部１９が認識する物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２の状態を参照して、ホストコンピュータ９に対してＦＯＵＰ３の搬入要求などの通信を行う。また、一般的な基板処理システムにおいては、対キャリア搬送システム制御部２５は、キャリア搬送システム７と接続され、ロードポート管理部１９が認識する物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２の状態等を参照して、キャリア搬送システム７との間のＦＯＵＰ３の搬入動作制御にかかわる通信（後述するＣＳ信号など）を行う。内部バッファ管理部２３は、内部バッファ１５における使用状況等を考慮して、どの棚にＦＯＵＰ３を収納すればよいか、どの棚のＦＯＵＰ３を搬出すればよいか等を判断する。
【００６３】
そして、本実施形態においては、前述の一般的な基板処理システムとは異なり、これら対ホスト制御部２１とホストコンピュータ９の間、および対キャリア搬送システム制御部２５とキャリア搬送システム７との間に、仮想ロードポート制御部１９ａが介挿接続される。すなわち、本実施形態の基板処理システム１は、一般的な基板処理装置とホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７の間に、仮想ロードポート制御装置１９ａを後付けで介挿させて構成したものである。ここでは後付けで接続した仮想ロードポート制御装置１９も基板処理装置５に含まれるものとする。
【００６４】
仮想ロードポート制御装置１９ａは、二つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２のそれぞれに対して、複数個の仮想ロードポートを割り当てる。そして、キャリア搬送システム７と、ホストコンピュータ９とに対して複数個の仮想ロードポートを複数個の物理ロードポートとして扱わせる。換言すると、仮想ロードポート制御装置１９ａは、キャリア搬送システム７と、ホストコンピュータ９とに対して、実在する二つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２より多くの物理ロードポートが存在するかのようにみせるように信号処および通信を行う。
【００６５】
また、基板処理装置５の対ホスト制御部２１と、対キャリア搬送システム制御部２５とに対しては、実在するよりも多くの物理ロードポートがあるかのようにふるまうホストコンピュータ５およびキャリア搬送システム７の動作に対して、その対応を、実在する二つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２に割り当てる。具体的には、仮想ロードポート制御装置１９ａは、対ホスト制御部２７と、仮想ロードポート管理部２９と、対キャリア搬送システム制御部３１とを備えている。仮想ロードポート管理部２９は、変換テーブル記憶部３３を備えている。変換テーブル記憶部３３は、物理ロードポートと仮想ロードポートとの対応関係を規定した「変換テーブル」を予め記憶する。この変換テーブルは、設定部３５によってオペレータによって適宜に設定される。
【００６６】
対ホスト制御部２７は、ロードポート管理部１９からの物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２に関する通知を受けて、仮想ロードポート管理部２９の情報を参照してかかる物理ロードポートに割り当てられている仮想ロードポートに関する通知に変換し、ホストコンピュータ９に送信する。
【００６７】
対キャリア搬送システム制御部３１は、キャリア搬送システム７からの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１〜Ｖ−ＬＰ４に関する通知を受けて、仮想ロードポート管理部２９の情報を参照してかかる仮想ロードポートが割り当てられている物理ロードポートに関する通知に変換し、対キャリア搬送システム２５に送信し、あるいは逆に対キャリア搬送システム２５からの物理ロードポートＲ−ＬＰ１，Ｒ−ＬＰ２に関する通知を受けて、仮想ロードポート管理部２９の情報を参照してかかる物理ロードポートに割り当てられている仮想ロードポートに関する通知に変換し、キャリア搬送システム７に送信する。
【００６８】
次に、図２３〜図３４を参照して、上述した基板処理システム１によるＦＯＵＰ３の「搬入」の流れについて説明する。
【００６９】
なお、図２３は、搬入処理時におけるシーケンスを示したタイムチャートである。また、図２４〜図３３は、搬入処理時の過程を示す模式図であり、図２４は、ホストコンピュータへの通知を示すものであり、図２５は、ホストコンピュータの搬送指示を示すものであり、図２６は、キャリア搬送システムの移動を示すものであり、図２７は、キャリア搬送システムによる搬入開始を示すものであり、図２８は、ロードポートの対応付けを示すものであり、図２９は、仮想ロードポートの状態変化の報告を示すものであり、図３０は、搬入受付を示すものであり、図３１は、キャリア搬送システムの移動を示すものであり、図３２は、ＦＯＵＰの内部バッファへの移動を示すものであり、図３３は、搬入状況の報告を示すものであり、図３４は、搬入処理時における各部間の信号等のやりとりを示す模式図である。
【００７０】
以下の説明においては、図２４に示すように、物理ロードポートＲ−ＬＰ１が二つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２に対応付けられ、物理ロードポートＲ−ＬＰ２が二つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ３，４に対応付けられているものとする。この対応関係は、上述した変換テーブル記憶部３３の変換テーブルに規定されている。また、ここでは、二つの仮想ロートポートＶ−ＬＰ１，２が搬入用に設定されているものとし、以下の説明においては、理解を容易にするために仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２についてのみ説明する。
【００７１】
１．基板処理装置５は、ホストコンピュータ９に対して、二つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２の搬入可能であるか否かについて通知する（図２４）。具体的には、仮想ロードポート制御装置１９ａの対ホスト制御部２７が仮想ロードポート管理部２９を参照して、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２というロードポートが搬入可能であることをホストコンピュータ９に通知する。
【００７２】
さらに詳細に説明すると、まず、物理ロードポートＲ−ＬＰ１を管理するロードポート管理部２３が、物理ロードポートＲ−ＬＰ１の状態を「搬入可能」と認識する。これに応じて対ホスト制御部２１がロードポート管理部１９の認識を参照して、「搬入可能」の通知を出力する。この出力は、従来の一般的な構成であれば、ホストコンピュータ９に直接送信されていたものである。しかし、本発明においては、対ホスト制御部２１が出力した「搬入可能」の通知は、仮想ロードポート制御部１９ａの対ホスト制御部２７に送信される。対ホスト制御部２９は、この通知を受けて、内部の変換テーブル記憶部３３が記憶している変換テーブルを参照し、「搬入可能」と通知された物理ロードポートＲ−ＬＰ１が仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２と対応付けられていることを認識する。そして、仮想ロードポート管理部２９は、「搬入可能」と通知された物理ロードポートＲ−ＬＰ１に代えて、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２の両方が「搬入可能」であると扱うように、対ホスト制御部２７に通知する。対ホスト制御部２７は、かかる通知に基づき、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２の両方が「搬入可能」であると、ホストコンピュータ９に通知する。
【００７３】
２．上記の通知を受けたホストコンピュータ９は、キャリア搬送システム７に対して、基板処理装置５で処理すべき２個のＦＯＵＰ３について、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，２の両方にそれぞれ搬入の指示を行う（図２５）。
【００７４】
３．キャリア搬送システム７は、前工程の基板処理装置あるいは保管庫から第１、第２のＦＯＵＰ３を取り出し、第１のＦＯＵＰ３を第１のＯＨＴ１７が保持し、さらに第２のＦＯＵＰ３を第２のＯＨＴ１７が保持し、それぞれ搬入指示を行った基板処理装置５に向かって移動を開始する。ここでは、第１のＯＨＴ１７、第２のＯＨＴ１７ともに同じ基板処理装置５に搬入するものとし、第１のＯＨＴ１７が基板処理装置５に対して最も早く到達する位置にあり、第２のＯＨＴ１７がそれよりも遅れて基板処理装置５に到着する位置にあるものとする。
【００７５】
４．第１のＯＨＴ１７が移動して基板処理装置５に到達すると、キャリア搬送システム７は、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１へ第１のＦＯＵＰ３を搬入することを基板処理装置５に対して通知する（図２７）。具体的には、キャリア搬送システム７は、ＣＳ＿０信号をＯＮにし、さらに搬送開始を示すＶＡＬＩＤ信号をＯＮにして、対キャリア搬送システム制御部３１に送信する。なお、ＣＳ信号は、ロードポートの指定のために利用されるキャリア・ステージ信号であり、ＳＥＭＩ規格Ｅ８４で規定されている。
【００７６】
５．基板処理装置５は、キャリア搬送システム７から受けたＣＳ＿０信号（仮想ロードポートＶ−ＬＰ１を表す）と変換テーブルとを参照して、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１を対応する一つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１に対応付ける（図２８）。具体的には、対キャリア搬送システム３１が受けた信号に基づき仮想ロードポート管理部２９が対応付けを行う。
【００７７】
６−１．基板処理装置５は、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への搬入が開始されたことを、ホストコンピュータ９へ状態変化があったとして報告する（図２９）。具体的には、仮想ロードポート管理部２９が対ホスト制御部２７を介して、ホストコンピュータ９へ報告を行う。
【００７８】
６−２．報告を受けたホストコンピュータ９は、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１において搬入が開始されたことを認識する（図２９）。
【００７９】
７．基板処理装置５は、キャリア搬送システム７が仮想ロードポートＶ−ＬＰ１に向けて搬送してきた第１のＦＯＵＰ３を物理ロードポートＲ−ＬＰ１に受け入れるために、物理ロードポートＲ−ＬＰ１に対して受け入れを指示するとともに、キャリア搬送システム７に対して搬入要求を行う（図３０）。具体的には、仮想ロードポート管理部２９が対キャリア搬送システム制御部３１を介し、対キャリア搬送システム制御部２５に対して物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬入を通信指示する。対キャリア搬送システム制御部２５は、かかる通信を受けてロードポート管理部１９に対して物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬入動作を指示するとともに、対キャリア搬送システム制御部３１に対して物理ロードポートＲ−ＬＰ１への「搬入開始」を要求する。なお、かかる要求信号は、従来の基板処理システムであれば、キャリア搬送システム７へ送信されたものであるが、本発明では、仮想ロードポート制御部１９の対キャリア搬送システム制御部３１に送信される。
【００８０】
対キャリア搬送システム制御部３１は、対キャリア搬送システム制御部２５からのかかる「搬入開始」の要求信号が、上記４でキャリア搬送システム７から受けた、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への第１のＦＯＵＰ３の搬入通知に応じたものであることを認識できる。そして、かかる認識に基づき、対キャリア搬送システム制御部３１は、かかる「搬入開始」の要求信号を、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への「搬入開始」要求であるとして、キャリア搬送システム７に送信する。かかる要求信号として、対キャリア搬送システム制御部３１は、キャリア搬送システム７に対してＬ＿ＲＥＱ信号をＯＮする。なお、Ｌ＿ＲＥＱは、ロード・リクエストであり、搬入の要求を表している。
【００８１】
８．キャリア搬送システム７は、第１のＯＨＴ１７が保持している第１のＦＯＵＰ３を、対キャリア搬送システム制御部３１からの「搬入開始」要求に応じて仮想ロードポートＶ−ＬＰ１に向けて搬送する動作を行う。ここで、キャリア搬送システム７には、このときの搬送先である仮想ロードポートＶ−ＬＰ１の位置情報として、物理ロードポートＲ−ＬＰ１の現実の位置が設定されており、キャリア搬送システム７による仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への搬送は、実際には、物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬送として実行されることになる（図３１）。
【００８２】
９．基板処理装置５は、物理ロードポートＲ−ＬＰ１に搬入された第１のＦＯＵＰ３を内部バッファ１５の適宜の位置に搬送する（図３２）。
【００８３】
１０．基板処理装置５は、上述した搬入過程において、物理ロードポートＲ−ＬＰ１への第１のＦＯＵＰ３の搬入完了を、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１の搬入完了としてホストコンピュータ９に対して報告する（図３３）。具体的には、ロードポート管理部１９が物理ロードポートＲ−ＬＰ１の状況を認識し、対ホスト制御部２１、対ホスト制御部２７を介して、ホストコンピュータ９へ報告する。
【００８４】
このとき、対ホスト制御部２１は、ロードポート管理部１９からの物理ロードポートＲ−ＬＰ１への「搬入完了」報告を対ホスト制御部２７に報告する。対ホスト制御部２７は、対ホスト制御部２１からのかかる「搬入完了」報告が、上記６で仮想ロードポート管理部２９から受けた、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への第１のＦＯＵＰ３の搬入開始通知に応じたものであることを認識できる。そして、かかる認識に基づき、対ホスト制御部２７は、かかる「搬入完了」の報告を、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への「搬入完了」報告であるとして、ホストコンピュータ９に送信する。
【００８５】
また、上記９による物理ロードポートＲ−ＬＰ１に搬入された第１のＦＯＵＰ３が内部バッファ１５に搬送されると、物理ロードポートＲ−ＬＰ１が再びＦＯＵＰ３を受け入れ可能な状態になるので、上記１と同様に、ロードポート管理部１９が、物理ロードポートＲ−ＬＰ１の状態を「搬入可能」と認識する。これに応じて対ホスト制御部２１がロードポート管理部１９の認識を参照して、「搬入可能」の通知を仮想ロードポート制御部１９ａの対ホスト制御部２７に送信する。対ホスト制御部２７はこれを受けて、上記「搬入完了」報告と同様に、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１が「搬入可能」になったと認識し、これをホストコンピュータ９に通知する。かかる「搬入可能」通知は、内部バッファ１５へのＦＯＵＰ３の搬送のタイミングによっては、上記の「搬入完了」報告の直後であるかまたは若干遅れてなされることになる。なお、仮想ロードポートＶ−ＬＰ２が「搬入可能」であることは既に上記１で通知され、それに対応する第２のＯＨＴ１７が既に第２のＦＯＵＰ３の搬送を開始しているので、ここでは仮想ロードポートＶ−ＬＰ２に関する新たな通知は行われない。
【００８６】
１１．第１のＯＨＴ１７より少し遅れて第２のＯＨＴ１７が基板処置装置５に到着すると、上記４と同様に、キャリア搬送システム７は仮想ロードポートＶ−ＬＰ２へ第２のＦＯＵＰ３を搬入することを基板処理装置５に対して通知する。具体的には、キャリア搬送システム７は、ＣＳ＿１（仮想ロードポートＶ−ＬＰ２を表す）をＯＮにし、さらに搬送開始を示すＶＡＬＩＤ信号をＯＮにして、対キャリア搬送システム制御部３１に送信する。以下、上記と同様に、仮想ロードポートＶ−ＬＰ２への搬入として、物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬入が行われる。
【００８７】
なお、もし上記２の時点において、基板処理装置５で処理すべきＦＯＵＰ３が第１のＦＯＵＰ３の一つしかない場合には、ホストコンピュータ９は仮想ロードポートＶ−ＬＰ１への搬送指示は行うが、仮想ロードポートＶ−ＬＰ２への搬送の指示は直ちには行わず、処理すべき第２のＦＯＵＰ３の準備ができるのを待つことになる。
【００８８】
このような実施形態によれば、１つの物理ロードポートＶ−ＬＰ１に対して２つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２を割り当てて、その２つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２の両方が「搬入可能」であるとして、それぞれに対して同時に２台のＯＨＴ１７を動かして搬送動作を行うことができ、１つの物理ロードポートＲ−ＬＰ１に対して１台のＯＨＴ１７だけで搬送動作をしていた場合に比べて単位時間あたりに搬送可能なＦＯＵＰ３の個数を増大させることができ、換言すると、１つのＦＯＵＰ３あたりの搬送に要する時間を短縮できる。
【００８９】
また、図３４からも明らかなように、仮想ロードポート制御装置１９ａは、基板処理装置５がもともと備えている対ホスト制御部２１及び対キャリア搬送システム制御部２５に対しては物理ロードポートＲ−ＬＰ１に関する信号だけを扱い、ホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７に対しては仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２に関する信号だけを扱う。すなわち、仮想ロードポート制御装置１９ａは、基板処理装置５とホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７との間にあって、物理ロードポートＲ−ＬＰ１と仮想ロードポートＶ−ＬＰ１，Ｖ−ＬＰ２との対応付けと信号の変換を行っている。したがって、従来の基板処理装置５とホストコンピュータ９およびキャリア搬送システム７のハードウエア、ソフトウエアの構成は何ら変更することなく、それらの間に仮想ロードポート制御装置１９ａを介挿するだけで、本発明による制御を容易に実施することができ、また仮想ロードポート制御装置１９ａを取り外すだけで、容易に従来の基板処理システムの構成に戻すこともできる。
【００９０】
なお、仮想ロードポートＶ−ＬＰ２は、同じ物理ロードポートＲ−ＬＰ１に対応付けられた他の仮想ロードポートである。上述した搬入過程において、キャリア搬送システム７のＯＨＴ１７が一つのＦＯＵＰ３を搬送するために、基板処理装置５へ移動を開始した時点から、そのＦＯＵＰ３が一つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１に対応する物理ロードポートＲ−ＬＰ１に実際に載置されるまでは、もう一つの仮想ロードポートである仮想ロードポートＶ−ＬＰ２への搬入が可能であると、仮想ロードポート制御装置１９ａは、ホストコンピュータ９へ報告する。また、一つの仮想ロードポートＶ−ＬＰ１に対応する物理ロードポートＲ−ＬＰ１から内部バッファ１５へＦＯＵＰ３が搬送され始めた時点で、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１に対応する物理ロードポートＲ−ＬＰ１に対応付けられている、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１とは異なる他の仮想ロードポートＶ−ＬＰ２への搬入が可能であるとホストコンピュータ９へ報告する。
【００９１】
したがって、ホストコンピュータ９は、上記の期間において、キャリア搬送システム７に対して、仮想ロードポートＶ−ＬＰ２を表すＣＳ＿１信号をＯＮにして、同じ物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬入指示を行うことができる。したがって、搬入時に従来は占有されていた期間においても、ホストコンピュータ９が搬入の指示を行うことができる。したがって、効率的な搬入処理を行うことができる。
【００９２】
なお、上記の説明では、仮想ロードポートＶ−ＬＰ１へ搬送された先の（第１の）ＦＯＵＰ３の搬送が完了して、内部バッファ１５へ取り込まれ、その後、同一の物理ロードポートＲ−ＬＰ１へ割り当てられた仮想ロードポートＶ−ＬＰ２へ次の（第２の）ＦＯＵＰ３が搬入される。したがって、同一の物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬入で問題が生じることはない。しかし、仮に先の（第１の）ＦＯＵＰ３の内部バッファ１５への取り込みが完了するよりも早いタイミングで、次の（第２の）ＦＯＵＰ３が同一の物理ロードポートＲ−ＬＰ１に到着した場合には、上述した実施形態における図３のステップＳ１における条件２を満たすことになる。このとき、対キャリア搬送システム制御部２５は、上述した実施形態と同様に、キャリア搬送システム７に対して搬入不可を通知しないで保留しておく。この保留状態は、先の（第１の）ＦＯＵＰ３の内部バッファ１５への取り込みが完了するまで継続する。そして、先の（第１の）ＦＯＵＰ３の内部バッファ１５への取り込みが完了し、内部バッファ管理部２３がＦＯＵＰ３の移動完了通知を発信すると、対キャリア搬送システム制御部２５は、対キャリア搬送システム制御部３１を介してキャリア搬送システム７に対して次の（第２の）ＦＯＵＰ３の搬入要求を行う。このようにして第１のＦＯＵＰ３に続いて第２のＦＯＵＰ３の物理ロードポートＲ−ＬＰ１への搬送が短時間で速やかに実行される。
【００９３】
そして、このように次なる（第２の）ＦＯＵＰ３の搬入開始を保留したとしても、従来の基板処理システムのように内部バッファ１５へＦＯＵＰ３が取り込まれて物理ロードポートＲ−ＬＰ１が次の搬入を受けられるようになってから次の（第２の）ＦＯＵＰ３の搬送指示を行うものと比べると、本発明では早くから次なる（第２の）ＦＯＵＰ３の搬送を開始しているので、このような待機が生じても従来よりも効率的な搬送を行うことができる。
【００９４】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００９５】
（１）上述した実施例では、搬出処理において、基板処理装置５がＦＯＵＰ３を内部バッファ１５からロードポート１３への搬出を開始した時点で、搬出可能であることを報告した。しかしながら、基板処理装置５がＦＯＵＰ３を内部バッファ１５からロードポート１３への搬出を開始してから、ＦＯＵＰ３が実際にロードポート１３に載置されるまでの間に、搬出可能であることを報告するようにしてもよい。この間の時点のどのタイミングであっても、従来技術よりキャリア搬送システムが移動を開始するまでの時間を早めることができる。
【００９６】
（２）上述した実施例では、上述した実施例では、キャリア搬送システム７がＯＨＴ１７を備える場合を例示したが、これに代えてＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）を採用してもよい。
【符号の説明】
【００９７】
Ｗ  …  基板
１  …  基板処理システム
３  …  ＦＯＵＰ
５  …  基板処理装置
７  …  キャリア搬送システム
９  …  ホストコンピュータ
１１  …  基板処理ユニット
１３  …  ロードポート
１５  …  内部バッファ
１７  …  ＯＨＴ
１９  …  ロードポート管理部
２１  …  対ホストコンピュータ制御部
２３  …  内部バッファ管理部
２５  …  対キャリア搬送システム制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
0005946617.tif 000021
【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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