(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査デバイスの端子と、検査装置のパッドとを互いに電気的に接続させるために、前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、円形の貫通孔が形成されるハウジングの前記貫通孔内に挿入される検査用接触装置において、
下端部に探針が形成されている第１探針部と、前記第１探針部から上方に延長する第１接触部と、を含む第１板部材と、
前記第１板部材を挟んで１対が互いに離隔されて配置されている第２板部材であり、それぞれの第２板部材は、上端部に探針が形成されて所定幅を有しながら下側に延長する第２探針部と、前記第２探針部から下側に延長し、前記第１接触部と面接触する第２接触部と、を含む第２板部材と、
前記第１接触部と前記第２接触部とが互いに重なる部分に、前記第１接触部及び第２接触部を取り囲むように配置されており、第１板部材及び第２板部材を相対的にスライド可能に支持するスプリング部材と、を含み、
前記貫通孔の内壁と対向する第２探針部の一面には、前記貫通孔の内壁と、前記第２探針部の一面との間の空間を少なくとも一部分充填するように第２突出部が設けられ、
前記第２突出部の水平方向に切り取ったときの断面が、長方形において両側エッジをラウンド処理したドーム形状を有し、前記ラウンド処理された両側エッジは、前記貫通孔の内壁に接触し、前記第２突出部は、少なくとも２以上の地点で、前記貫通孔の内壁に接触することを特徴とする検査用接触装置。
【請求項２】
前記第２突出部の幅は、前記第２探針部の幅より狭いことを特徴とする請求項１に記載の検査用接触装置。
【請求項３】
前記第２探針部のエッジは、ラウンド処理されていることを特徴とする請求項１に記載の検査用接触装置。
【請求項４】
前記第２探針部は、前記被検査デバイスの端子と接触することを特徴とする請求項１に記載の検査用接触装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のうちいずれか１項に記載の検査用接触装置と、
前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに貫通孔が形成されるハウジングと、を含み、
前記貫通孔は、円形断面を有することを特徴とする電気的検査ソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査用接触装置及び電気的検査ソケットに係り、さらに詳細には、ハウジング内に設置するとき、内壁と接触して摩耗されることを最小化し、全体的な寿命が向上する検査用接触装置及び電気的検査ソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、被検査デバイスの電気的特性検査のためには、被検査デバイスと検査装置との電気的連結が安定して行われなければならない。一般的に、被検査デバイスと検査装置との連結のための装置として、電気的検査ソケットが使用される。
【０００３】
かような電気的検査ソケットの役割は、被検査デバイスの端子と、検査装置のパッドとを互いに連結させ、電気的な信号が両方向に交換可能にするのである。そのために、電気的検査ソケットの内部に使用される接触手段として、導電性ゴムを利用するソケット、または金属ピン及びスプリングを利用したソケットが使用される。かような導電性ゴムを利用したソケットの場合、弾性を有する導電部を、被検査デバイスの端子と接続させ、ポゴピンを利用したソケットは、金属ピンが端子と接触し、被検査デバイスとの連結時に発生しうる機械的な衝撃を、スプリングが緩衝することができるように構成される。
【０００４】
かような従来技術による電気的検査ソケット内でポゴピンを利用したソケットは、円形筒内部に、金属ピン及びスプリングが含まれてなるが、かようなポゴピンタイプのソケットは、比較的高価であるために、図１ないし図５に開示されているように、低価型の板材型金属ピンを利用したソケットが開発されている実情である。
【０００５】
かような従来技術による低価型板材型金属ピンを利用した電気的検査ソケットの一例は、図１及び図２に示されているように、同じ形状の２個の接触ピン２と、コイルスプリング３とから構成されている。接触ピン２は、主に、係止突起４、係止孔５、フランジ部６、ピン先端部２Ａによって構成されている。係止突起４は、対面して２個設けられ、可撓性がある支持棒部４Ａで支持されている。それにより、２個の係止突起４は、互いに近接離間するようになっている。係止孔５は、係止突起４が結合する孔であり、係止突起４の幅に合わせて長方形に形成されている。それにより、２個の接触ピン２が９０°ずれて互いに対面して結合することにより、係止孔５の開口（開口）に、２個の係止突起４がそれぞれかかって互いに外れないようになっている。フランジ部６は、コイルスプリング３が接触される部分である。２個の接触ピン２がそれぞれコイルスプリング３に挿入された状態で、９０°ずれて互いに結合することにより、コイルスプリング３の両端が各フランジ部６に接触し、接触子１が固定される。２個の接触ピン２が互いに結合した状態で固定された接触子１の両端部は、電極などに接触して電気的に接続されるピン先端部２Ａになる。
【０００６】
また、他の従来技術としての、電気的検査ソケットは、特許文献１に開示されており、図３ないし図５で示される。具体的には、電気的検査ソケットは、主に、配線基板１５、下側ハウジング１６、上側ハウジング１７、フレーム１８、ガイド板１９、接触子２０を備えて構成されている。
【０００７】
このとき、接触子２０は、一方の部材に接触する板状の第１プランジャ６２；板状の第２プランジャ６３であり、前記第１プランジャ６２と板同士互いに重なった状態で、広い面積で他方の部材に接触し、前記第１プランジャ６２と協動し、前記一方の部材と他方の部材との間を電気的に導通させる第２プランジャ６３；及び第１プランジャ６２と第２プランジャ６３とを互いにその接触片を反対方向にした状態で結合する部材であり、前記第１プランジャ６２及び第２プランジャ６３の結合部の外周を覆い、各プランジャのスプリング受け部にそれぞれ接触し、各プランジャを相対的にスライド可能に支持する圧縮コイルスプリング６４；を備えて構成される。
【０００８】
このとき、前記第１プランジャ６２及び第２プランジャ６３のうち、いずれか一方を１個、他方を２個備え、一方の１個のプランジャの板状の結合部を、他方の２個のプランジャの板状の結合部に挟んで構成され、一方の１個のプランジャの結合部の幅寸法は、他方２個のプランジャの結合部の幅寸法より大きく構成され、前記圧縮コイルスプリング６４の両端部の内径が、前記第１プランジャ６２及び第２プランジャ６３の各結合部を互いに重なった状態の断面形状に外接する外接円の直径と同じであるか、あるいはそれより小さく設定されたことを特徴とする。
【０００９】
かような図１ないし図５に開示された電気的検査ソケットは、板材形態によってなるプランジャとハウジングとの貫通孔内壁が互いに摩擦接触することにより、ハウジングの摩耗を誘発するという問題点がある。すなわち、プランジャは、四角断面を有する板材形態によってなるが、そのように、四角断面を有する板材型プランジャは、円形の貫通孔を有するハウジング内に挿入され、上下スライド移動する過程において、角ばったエッジ部分が円形の貫通孔と接触しながら、貫通孔の内壁を損傷させるという問題点がある。
【００１０】
かような問題点を解決するためにハウジングに四角断面を有する貫通孔を形成することも可能であるが、四角断面の孔をハウジングに形成するコストが、円形断面の孔をハウジングに形成するコストに比べて高いために、製造コスト面で不利であるという短所がある。
【００１１】
また、低価型板材型プランジャのために、ハウジングの孔を四角形に製作する場合には、かようなハウジングは、既存のポゴピンとは互換されないという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】韓国登録特許第１０−１３１０６７２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、前述の問題点を解決するために創出されたものであり、ハウジングの貫通孔内で、上下スライド移動する過程において、ハウジングに過度な摩耗や損傷を発生させない検査用接触装置及び電気的検査ソケットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前述の目的を達成するための本発明による検査用接触装置は、被検査デバイスの端子と、検査装置のパッドとを互いに電気的に接続させるために、前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、円形の貫通孔が形成されるハウジングの前記貫通孔内に挿入される検査用接触装置において、下端部に探針が形成されている第１探針部と、前記第１探針部から上方に延長する第１接触部と、を含む第１板部材；前記第１板部材を挟んで１対が互いに離隔されて配置されている第２板部材であり、それぞれの第２板部材は、上端部に探針が形成されて所定の幅を有しながら下側に延長する第２探針部と、前記第２探針部から下側に延長し、前記第１接触部と面接触する第２接触部と、を含む第２板部材；及び前記第１接触部と前記第２接触部とが互いに重なる部分に、前記第１接触部及び第２接触部を取り囲むように配置されており、第１板部材及び第２板部材を相対的にスライド可能に支持するスプリング部材；を含むが、前記貫通孔の内壁と対向する第２探針部の一面には、前記貫通孔の内壁と、前記第２探針部の一面との間の空間を少なくとも一部分充填するように第２突出部が設けられ、前記第２突出部は、水平方向で切り取ったときの断面が、長方形において、両側エッジをラウンド処理したドーム形状を有し、前記ラウンド処理された両側エッジは、前記貫通孔の内壁に接触するが、前記第２突出部は、少なくとも２以上の地点で、前記貫通孔の内壁に接触する検査用接触装置に係わるものである。
【００１５】
前記検査用接触装置において、前記第２突出部の幅は、前記第２探針部の幅より狭くてもよい。
【００１６】
前記検査用接触装置において、前記第２探針部の角はラウンド処理されてもよい。
前記検査用接触装置において、前記第２探針部は、前記被検査デバイスの端子と接触する。
【００１７】
前述の目的を達成するための電気的検査ソケットであって、前述の検査用接触装置と、前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、貫通孔が形成されるハウジングとを含むが、前記貫通孔は、円形断面を有することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明による検査用接触装置は、円形の貫通孔内に挿入される板材型ポゴピンが、貫通孔と対応する形状を有しているために、上下移動過程でハウジングの摩耗を最小化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】従来技術による板材型検査装置の一例を示す図面である。
【図２】従来技術による板材型検査装置の一例を示す図面である。
【図３】従来技術による板材型検査装置の他の例を示す図面である。
【図４】従来技術による板材型検査装置の他の例を示す図面である。
【図５】従来技術による板材型検査装置の他の例を示す図面である。
【図６】本発明の一実施形態による板材型検査装置の斜視図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。
【図８】本発明の他の実施形態による板材型検査装置の一部拡大図である。
【図９】本発明のさらに他の実施形態による板材型検査装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施形態による検査用接触装置について、添付された図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２１】
本発明による検査用接触装置１１０は、被検査デバイスの端子（図示せず）と、検査装置のパッド（図示せず）とを互いに電気的に接続させるために、前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、貫通孔（図示せず）が形成されるハウジング（図示せず）の前記貫通孔（図示せず）内に挿入されるものである。このとき、前記被検査デバイスは、集積回路などの半導体デバイスを意味し、例えば、本形態の端子が、下面上に複数個羅列された半導体デバイスでもある。ただし、それに限定されるものではなく、多様な半導体デバイスないし半導体素子が使用されるということは言うまでもない。
【００２２】
かような検査用接触装置１１０は、第１板部材１２０、第２板部材１３０及びスプリング部材１４０を含んで構成される。
【００２３】
前記第１板部材１２０は、下端部に探針が形成されている第１探針部１２１と、前記第１探針部１２１から上方に延長する第１接触部１２２と、を含むものである。かような第１板部材１２０は、端部が検査装置のパッド側に接触するものを例示しているが、それにに限定されるものではなく、第１板部材１２０が被検査デバイスの端子と接触することも可能である。かような第１板部材１２０は、１対の第２板部材１３０の間に配置されている。
【００２４】
前記第１板部材１２０は、導電性材料の切削、あるいはプレス加工、またはフォトリソグラフィ技術を利用したＭＥＭＳ（micro electro mechanical systems）加工によって形成され、かような第１板部材１２０の素材として、ニッケル合金、あるいはその他導電性にすぐれる多様なものを使用することができる。
【００２５】
前記第１探針部１２１は、端部が尖った単一の山が形成されており、そこから上側に一定幅（スプリング部材１４０の内径より大幅）を有しながら延長している形状を有しており、前記第１探針部１２１の上端には、スプリング部材１４０を収容するための段差爪が設けられている。
【００２６】
前記第１接触部１２２は、前記第１探針部１２１から上側に延長し、前記第２板部材１３０の間で、前記第２板部材１３０と接触する部分である。すなわち、第１接触部１２２の両面は、第２板部材１３０の一面とそれぞれ接触されており、第１接触部１２２を介して、第２板部材１３０と電気的疎通がなされるように構成されている。かような第１接触部１２２には、スプリング部材１４０が嵌め込まれるが、そのために、前記第１接触部１２２の幅は、スプリング部材１４０の内径より小さいことが好ましい。
【００２７】
前記第２板部材１３０は、前記第１板部材１２０を挟んで、１対が互いに離隔されて配置されている第２板部材１３０であり、それぞれの第２板部材１３０は、上端部に探針が形成され、所定幅を有しながら下側に延長する第２探針部１３１と、前記第２探針部１３１から下側に延長し、前記第１接触部１２２と面接触する第２接触部１３３と、を含む。
【００２８】
かような第２板部材１３０は、第１板部材１２０のように、導電性材料の切削、あるいはプレス加工またはフォトリソグラフィ技術を利用したＭＥＭＳ加工によって形成され、かような第２板部材１３０の素材として、ニッケル合金、あるいはその他導電性にすぐれる多様なことを使用することができる。
【００２９】
かような第２板部材１３０において、第２探針部１３１の上端には、端が尖った凹凸が複数形成されており、そこから一定幅（スプリング部材１４０の内径より大幅）を有しながら下方向に延長して形成される。
【００３０】
前記第２探針部１３１において、前記貫通孔（図示せず）の内壁と対向する第２探針部１３１の一面には、前記貫通孔（図示せず）内壁と、前記第２探針部１３１の一面との間の空間を少なくとも一部分充填するように、第２突出部１３２が設けられる。かような第２突出部１３２の幅は、前記第２探針部１３１の幅より狭いが、この第２突出部１３２を水平方向に切り取ったとき、断面が、長方形において、両側エッジをラウンド処理した形状であるドーム形状を有し、半円形状を有することができる。このとき、第２突出部１３２の上端は、単一の山が上側に延長し、被検査デバイスの端子と接触可能に構成されてもよい。
【００３１】
また、前記第２突出部１３２と、前記第２探針部１３１は、仮想円の内部に配置され、前記仮想円に、少なくとも一部が内接することにより、ハウジング（図示せず）内において、できる限り多くの部分がハウジング１５０の内壁と接触可能とする。具体的には、前記ラウンド処理された両側エッジは、前記貫通孔１５１の内壁に接触するが、前記第２突出部１３２は、少なくとも２以上の地点（両側エッジ部分）で、前記貫通孔１５１の内壁に接触し、第２探針部１３１の両側端も、前記貫通孔１５１に内壁に接触する。このように、第２突出部１３２と第２探針部１３１とが、ハウジング１５０の内壁で可能な限り面接触したり、あるいは少なくとも多くの部分で接触が行われたりすることにより、ハウジング（図示せず）の内壁に加えられる力を最大限分散させ、局所的な力が内壁に加えられるようにすることが望ましい。一方、第２探針部１３１のエッジも、第２突出部１３２のようにラウンド処理されてもよい。
【００３２】
前記第２接触部１３３は、第２探針部１３１から下側に延長する部分であり、前記第１接触部１２２の一面と接触しながら、前記第１接触部１２２と電気的導通される部分である。かような第２接触部１３３にはス、プリング部材１４０が嵌め込まれるが、そのために、前記第２接触部１３３の幅は、スプリング部材１４０の内径より小さいことが好ましい。
【００３３】
前記スプリング部材１４０は、前記第１接触部１２２と前記第２接触部１３３とが互いに重なる部分に、前記第１接触部１２２と第２接触部１３３とを取り囲むように配置されており、第１板部材１２０及び第２板部材１３０を相対的にスライド可能に支持するものである。かようなスプリング部材１４０は、第１探針部１２１と第２探針部１３１とによって、上端及び下端がそれぞれ支持されながら、前記第１接触部１２２及び第２接触部１３３を取り囲んでおり、前記第１探針部１２１と第２探針部１３１とを互いに遠くなる方向に弾性バイアスさせるように構成される。
【００３４】
かような本発明の一実施形態による検査用接触装置１１０は、次のような作用効果を有する。
【００３５】
まず、検査装置上に、検査用接触装置１１０を設けた後、被検査デバイスを検査用接触装置１１０側に移動させ、前記被検査デバイスの端子を検査用接触装置１１０と接触させる。
【００３６】
具体的には、被検査デバイスの端子が、１対の第２板部材１３０に接触するように、被検査デバイスを移動させる。このように、被検査デバイスの移動により、前記第２板部材１３０が前記被検査デバイスの端子と接触すれば、前記第２板部材１３０は、下側にスライド移動し、スプリング部材１４０は、前記第２板部材１３０を弾性支持する。このように、第２板部材１３０がスライド移動するとき、前記第２板部材１３０は、ハウジング１５０の貫通孔１５１の内壁と、最大限多くの部分で接触しながらスライド移動するために、ハウジング１５０の貫通孔１５１内壁を引っ掻いたり傷つけたりしなくなる。
【００３７】
具体的には、ハウジングの貫通孔が円形によってなる場合にも、第２板部材は、貫通孔の内壁面と接触する部分が円形によってなるように構成されているために、ハウジングの損傷を最小化することができる。
【００３８】
このように、本発明は、ハウジングの貫通孔の形状を円形にする場合にも、第１板部材１２０及び第２板部材１３０が、ハウジングの貫通孔内壁に対する摩耗を最小化することができる。
【００３９】
かような本発明の一実施形態による検査用接触装置には、前記被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに、貫通孔が形成されたハウジングが具備され、全体的に電気的検査ソケット（図示せず）を形成することができる。
【００４０】
本発明では、検査用接触装置について一例を説明したが、それに限定されるものではなく、図８または図９に図示されているように変形されることも可能である。
【００４１】
例えば、前述の実施形態では、第２突出部の上端が単一の山を有するように形成されているが、それに限定されるものではなく、図８に図示されているように、第２突出部２３２の上端に複数の山が形成され、該第２突出部２３２が、第２探針部２３１の一面上に置かれるように配置されることが可能である。
【００４２】
また、図９に図示されているように第２探針部３３１の両側端から突出される楕円形態の第２突出部３３２が、第２探針部３３１の一面に設けられることも可能である。
【００４３】
一方、前述の実施形態では、第２探針部にドーム状の第２突出部が形成されるものを例示したが、それに限定されるものではなく、第１探針部に第１突出部が形成されることも考慮することができるということは言うまでもない。
【００４４】
以上、多様な実施形態を挙げて本発明について説明したが、それらに限定されるものではなく、本発明の権利範囲から合理的に解釈されることができるものであるならば、いなかるものでも本発明の権利範囲に属するということは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明の検査用接触装置及び電気的検査ソケットは、例えば、デバイス検査関連の技術分野に効果的に適用可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１，２０    接触子
２    接触ピン
２Ａ    ピン先端部
３，６４    コイルスプリング
４    係止突起
４Ａ    支持棒部
５    係止孔
６    フランジ部
１５    配線基板
１６    下側ハウジング
１７    上側ハウジング
１８    フレーム
１９    ガイドピン
６２    第１プランジャ
６３    第２プランジャ
１００    電気的検査装置
１１０    検査用接触装置
１２０    第１板部材
１２１    第１探針部
１２２    第１接触部
１３０    第２板部材
１３１，２３１，３３１    第２探針部
１３２，２３２，３３２    第２突出部
１３３    第２接触部
１４０    スプリング部材
【図１】
0005986664.tif 000002
【図２】
0005986664.tif 000003
【図３】
0005986664.tif 000004
【図４】
0005986664.tif 000005
【図５】
0005986664.tif 000006
【図６】
0005986664.tif 000007
【図７】
0005986664.tif 000008
【図８】
0005986664.tif 000009
【図９】
0005986664.tif 000010