(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被接合部材が配置されるアンビルと、
前記アンビルの振動を非接触で検出する変位センサーと、
前記変位センサーが取り付けられる一端と、前記一端の逆側に位置する他端と、前記一端と前記他端とを連結するアーム部と、を有する支持ブラケットと、
前記他端が取り付けられ、前記支持ブラケットを水平方向に旋回可能に支持する支持ベースと、を有し、
前記支持ブラケットの前記一端、前記アーム部および前記他端は、一体化されており、
前記支持ブラケットが水平方向に旋回することにより、前記変位センサーは、前記アンビルの振動を検出するための初期位置と、前記アンビルの交換の際に前記アンビルと干渉しない退避位置と、の間を移動可能であり、
前記支持ベースは、装置本体に旋回自在に固定されて前記支持ブラケットの旋回中心となる基部と、前記装置本体に固定自在である先端部と、前記基部と前記先端部とを連結している中間部を有し、
前記中間部は、前記支持ブラケットの前記他端が取り付けられており、
前記支持ブラケットの前記アーム部は、前記中間部と略直交する方向に延長しており、
前記先端部は、前記初期位置において前記装置本体に固定されており、前記基部を旋回中心とする前記初期位置から前記退避位置への移動の際に前記固定が解消される、超音波接合装置。
【請求項２】
前記アンビルは、略角柱状であり、前記被接合部材が載置される端面を有し、
前記変位センサーは、前記初期位置において、前記アンビルの前記端面を取り囲んでいる側面に対向している請求項１に記載の超音波接合装置。
【請求項３】
前記一端は、前記アンビルの前記側面に相対するように、前記アーム部から屈曲して立ち上がっている請求項２に記載の超音波接合装置。
【請求項４】
前記他端は、前記アーム部から下方に屈曲して延長しており、前記支持ベースの前記中間部に対して突き当たるようにして、取り付けられている請求項１〜３のいずれか１項に記載の超音波接合装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の超音波接合装置において、前記装置本体に対する前記支持ベースの前記先端部の固定を解消し、前記支持ブラケットの前記基部を旋回中心として、前記支持ブラケットを前記初期位置から前記退避位置まで水平方向に旋回させてから、前記アンビルの交換を行う超音波接合装置のアンビル交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波接合装置および超音波接合装置のアンビル交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波接合装置においては、重ね合わされた金属板を、アンビルの端面上に載置し、振動するホーンを押付けることによって、接合（固相接合）しており、接合の良否は、アンビルの振動を検出することに基づいて判定している（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１１５９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、アンビルの振動を非接触で検出する変位センサーをアンビルの近傍に配置し、検出精度を向上させる場合、使用によって摩耗したアンビルを交換する際に、アンビルと変位センサーとが干渉して、交換作業が困難となる問題を有する。一方、変位センサーを取り外した後でアンビルを交換する場合、変位センサーとアンビルとの干渉は、防止されるが、アンビルの交換完了後、変位センサーを再び取り付ける際、変位センサーとアンビルとの間の距離を一定に保つように設置することは困難であり、手間のかかる作業となっている。【０００５】
本発明は、上記従来技術に伴う課題を解決するためになされたものであり、アンビルの近傍に配置される変位センサーを有していても、アンビルの交換作業が容易である超音波接合装置および超音波接合装置のアンビル交換方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本発明の一様相は、被接合部材が配置されるアンビルと、前記アンビルの振動を非接触で検出する変位センサーと、前記変位センサーが取り付けられる一端と、前記一端の逆側に位置する他端と、前記一端と前記他端とを連結するアーム部と、を有する支持ブラケットと、前記他端が取り付けられ、前記支持ブラケットを水平方向に旋回可能に支持する支持ベースと、を有する超音波接合装置である。また、前記支持ブラケットの前記一端、前記アーム部および前記他端は、一体化されている。そして、前記支持ブラケットが水平方向に旋回することにより、前記変位センサーは、前記アンビルの振動を検出するための初期位置と、前記アンビルの交換の際に前記アンビルと干渉しない退避位置と、の間を移動可能である。さらに、前記支持ベースは、装置本体に旋回自在に固定されて前記支持ブラケットの旋回中心となる基部と、前記装置本体に固定自在である先端部と、前記基部と前記先端部とを連結している中間部を有する。前記中間部は、前記支持ブラケットの前記他端が取り付けられている。前記支持ブラケットの前記アーム部は、前記中間部と略直交する方向に延長している。前記先端部は、前記初期位置において前記装置本体に固定されており、前記基部を旋回中心とする前記初期位置から前記退避位置への移動の際に前記固定が解消される。
【０００７】
上記目的を達成するための本発明の別の様相は、前記超音波接合装置において、前記装置本体に対する前記支持ベースの前記先端部の固定を解消し、前記支持ブラケットの前記基部を旋回中心として、前記支持ブラケットを前記初期位置から前記退避位置まで水平方向に旋回させてから、前記アンビルの交換を行う超音波接合装置のアンビル交換方法である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る超音波接合装置および超音波接合装置のアンビル交換方法によれば、支持ブラケットは、一端、アーム部および他端が一体化されているため、軽量化および寸法精度の確保が容易である。また、アンビルを交換する直前、装置本体に対する支持ベースの先端部の固定を解消し、支持ブラケットの基部を旋回中心として、支持ブラケットを初期位置から水平方向に旋回させることで、変位センサーは、アンビルの交換の際にアンビルと干渉しない退避位置に移動するため、アンビルを交換中における変位センサーとアンビルとの干渉が、簡単に防止される。さらに、アンビルの交換完了後、支持ブラケットを逆向きに水平方向に旋回（復動）させることにより、変位センサーは、初期位置に復帰するため、変位センサーとアンビルとの間の距離を一定に保つことが容易である。したがって、アンビルの交換作業が容易となる。つまり、アンビルの近傍に配置される変位センサーを有していても、アンビルの交換作業が容易である超音波接合装置および超音波接合装置のアンビル交換方法を提供することが可能である。
【０００９】
本発明のさらに他の目的、特徴および特質は、以後の説明および添付図面に例示される好ましい実施の形態を参照することによって、明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態に係る超音波接合装置を説明するための概略図である。
【図２】図１に示されるアンビルの側面図である。
【図３】図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩに関する断面図である。
【図４】超音波接合時における挙動を説明するための概念図である。
【図５】アンビルの摩耗を説明するための断面図である。
【図６】図１に示されるマウント部を説明するための斜視図である。
【図７】図１に示されるマウント部を説明するための平面図である。
【図８】図６および図７に示される支持ブラケットを説明するための平面図である。
【図９】図６および図７に示される支持ブラケットを説明するための側面図である。
【図１０】図６および図７に示される上部プレートを説明するための平面図である。
【図１１】支持ブラケットの旋回を説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。
【００１２】
図１は、本発明の実施の形態に係る超音波接合装置を説明するための概略図、図２は、図１に示されるアンビルの側面図、図３は、図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩに関する断面図、図４は、超音波接合時における挙動を説明するための概念図、図５は、アンビルの摩耗を説明するための断面図である。
【００１３】
本実施の形態に係る超音波接合装置１０は、図１に示されるように、超音波接合部２０および接合良否判定部５０を有する。超音波接合部２０は、台座部であるベースプレート１５に配置された装置本体であり、被接合部材である板材Ｗ１、Ｗ２を超音波接合するために使用され、アンビル３０およびホーン４０を有する。
【００１４】
アンビル３０は、図２および図３に示されるように、略角柱状であり、板材Ｗ１、Ｗ２が載置される端面３３と端面３３を取り囲んでいる側面３１とを有し、また、先端部３２、移行部３４および基端部３６から構成される。端面３３は、先端部３２に配置され、角錐形状を有する複数の突起が碁盤目状に形成されている。基端部３６は、先端部３２の断面形状より大きな断面形状を有する拡径部である。移行部３４は、先端部３２と基端部３６とを連結している。
【００１５】
先端部３２の断面形状を小さくしたのは、先端部３２の剛性（強度）を低下させ、アンビル３０が振動する際の先端部３２の振幅を大きくすることで、アンビルの振動の検出を容易とするためである。基端部３６の断面形状を、先端部３２の断面形状より大きくしたのは、検出感度に対する基端部３６の振幅（振動）の影響が小さいため、アンビル３０全体としての剛性および耐久性を確保するためである。
【００１６】
ホーン４０は、アンビル３０に載置される板材Ｗ１、Ｗ２を加圧しかつ振動を付与する端面４３を有し、振幅および加圧力が一定に維持されように、制御される。端面４３は、角錐形状を有する複数の突起が碁盤目状に形成されている。
【００１７】
ホーン４０（端面４３）の振動は、図４に示されるように、超音波接合の開始直後において、上方の板材Ｗ１にのみ伝達されるため、ホーン４０と板材Ｗ１との摺動による摩擦熱、および、板材Ｗ１と板材Ｗ２との摺動による摩擦熱が発生する。そして、摩擦熱により、板材Ｗ１と板材Ｗ２とが接合し始めると、ホーン４０の振動がアンビル３０に伝達されることになり、アンビル３０も振動することとなる。その後、板材Ｗ１と板材Ｗ２との接合が完了することにより、板材Ｗ１と板材Ｗ２とは摺動しなくなる。
【００１８】
アンビル３０の端面３３は、超音波接合の繰り返しよって、図５に示されるように、摩耗し、アンビル３０の先端部３２の長さが短く（高さが低く）なってくるため、アンビル３０は、定期的に交換される。
【００１９】
接合良否判定部５０は、板材Ｗ１、Ｗ２の接合状態の良否を判定するために使用され、変位センサー５２が取り付けられたマウント部６０および解析装置５４を有する。
【００２０】
変位センサー５２は、アンビル３０の振動を非接触で検出する非接触式変位センサーからなり、アンビル３０の振動データを解析装置５４に送信する。非接触式変位センサーは、例えば、渦電流変位センサーやレーザードップラー変位計であり、接触式振動センサーと異なり、センサーの自重が振動状態に影響を与えることがないため、アンビル３０の振動を高精度で検出することが可能である。なお、渦電流変位センサーは、高分解能かつ高精度であり、応答速度が速く、また、センサヘッドが小さく、ほこり、水、油など耐環境性に優れている点で、好ましい。
【００２１】
解析装置５４は、例えば、良否判定プログラムがインストールされたコンピュータからなる。良否判定プログラムは、超音波接合の際におけるアンビル３０に伝達されるエネルギーを算出し、算出されたエネルギーが所定の値に達している場合、接合状態が良好であると判定するものである。エネルギーは、アンビル３０の振動データから生成される振動波形データを解析して算出される。良否判定プログラムは、上記形態に限定されない。
【００２２】
次に、変位センサー５２が取り付けられるマウント部６０を説明する。
【００２３】
図６および図７は、図１に示されるマウント部を説明するための斜視図および平面図、図８および図９は、図６および図７に示される支持ブラケットを説明するための平面図および側面図、図１０は、図６および図７に示される上部プレートを説明するための平面図、図１１は、支持ブラケットの旋回を説明するための平面図である。
【００２４】
マウント部６０は、図６および図７に示されるように、下部プレート６２、支持ブラケット７０および上部プレート８０を有する。
【００２５】
下部プレート６２は、ベースプレート１５に固定され、上方に突出するピン６４と、挿入孔６６（図１１参照）とを有する。下部プレート６２は、厚さが異なるものが複数用意されており、必要に応じて適宜選択されて、上方に配置される上部プレート８０の高さを調整するために使用される。
【００２６】
ピン６４は、上部プレート８０および支持ブラケット７０の旋回範囲を規制するストッパーつまり回り止めピンであり、例えば、上部プレート８０および支持ブラケット７０が回り過ぎて、近傍に配置されている装置や治具と干渉することを防ぐために設けられている。挿入孔６６は、後述されるロケートピン９５を挿入するために使用される。
【００２７】
アンビル３０は、取付ブラケット３８を介し、ベースプレート１５にボルト３９によって締結（固定）されている。一方、取付ブラケット３８は、ベースプレート１５に固定されている下部プレート６２に対して一体化されておらず、下部プレート６２から分かれており、アンビル３０の振動が、下部プレート６２を介して支持ブラケット７０に直接伝達されないように設定されている。
【００２８】
支持ブラケット７０は、図８および図９に示されるように、先端部７２、アーム部７４および基端部７６を有し、これらは、一体化されているため、支持ブラケット７０の軽量化および寸法精度の確保が容易である。
【００２９】
先端部７２は、変位センサー５２が取り付けられる一端であり、アーム部７４から屈曲して立ち上がっており（上方に延長しており）、アンビル３０の側面３１に対して平行に延長する対向面７２Ａを有する。対向面７２Ａには、変位センサー５２が配置されている。したがって、変位センサー５２を、アンビル３０の側面３１の近傍に容易かつ高精度に位置決めすることが可能である。変位センサー５２は、ナット５２Ａおよびストッパースクリュー（不図示）によって位置調整可能に構成されており、ナット５２Ａおよびストッパースクリューを緩めることで、変位センサー５２とアンビル３０の側面３１との間のクリアランスを調整することができる。
【００３０】
対向面７２Ａには、ガイドバー７３がさらに配置されている。ガイドバー７３は、変位センサー５２の近傍に位置し、対向面７２Ａからアンビル３０の側面３１に向かって突出している。ガイドバー７３の突出量は、変位センサー５２の突出量より大きく設定されている。したがって、例えば、アンビル３０の振動が予期せぬ程大きい場合であっても、ガイドバー７３の存在により、アンビル３０と変位センサー５２との接触が妨げられるため、変位センサー５２の破損が防止される。ガイドバー７３は、ナット７３Ａおよびストッパースクリュー（不図示）によって位置調整可能に構成されており、ナット７３Ａおよびストッパースクリューを緩めることで、ガイドバー７３とアンビル３０の側面３１との間のクリアランスを調整することができる。
【００３１】
アーム部７４は、Ｌ字状であり、先端部７２と基端部７６とを連結しており、上部プレート８０と略直交する方向に延長する直線部と、直線部から水平方向に略直角に屈曲している直線部と、から構成される。
【００３２】
基端部７６は、上部プレート８０に取り付けられる他端であり、アーム部７４から屈曲して降下しており（下方に延長しており）、上部プレート８０に対して突き当たる対向面７７を有する。つまり、支持ブラケット７０の基端部７６は、平面受けであり、支持ブラケット７０のガタが抑制されるため、変位センサー５２の検出精度の低下が防止される。なお、対向面７７は、上部プレート８０に締結するためのボルト孔７８Ａ，７８Ｂを有する。
【００３３】
上部プレート８０は、支持ブラケット７０を水平方向に旋回させるために使用される支持ベースである。支持ブラケット７０の旋回は、図１１に示されるように、変位センサー５２の初期位置Ｐ１から退避位置Ｐ２への移動および退避位置Ｐ２から初期位置Ｐ１への移動のために実施される。初期位置Ｐ１は、変位センサー５２がアンビル３０の振動を検出するための位置である。退避位置Ｐ２は、アンビル３０の交換の際に変位センサー５２とアンビル３０とが干渉しない位置である。
【００３４】
したがって、例えば、アンビル３０を交換する直前、支持ブラケット７０を水平方向に旋回させることで、変位センサー５２は、アンビル３０の交換の際にアンビル３０と干渉しない退避位置Ｐ２に移動するため、アンビルの交換中における変位センサー５２とアンビル３０との干渉が、簡単に防止される。さらに、アンビルの交換完了後、支持ブラケット７０を逆向きに水平方向に旋回（復動）させることにより、変位センサー５２は、初期位置Ｐ１に復帰するため、変位センサー５２とアンビル３０との間の距離を一定に保つことが容易である。したがって、アンビルの交換作業が容易となる。
【００３５】
なお、変位センサー５２を水平方向に旋回させることは、変位センサー５２の検出感度に対する影響が、垂直方向の位置ずれに比較し、水平方向の位置ずれの場合は小さい点で好ましい。
【００３６】
上部プレート８０は、ボルト８６およびボルト９３によって、下部プレート６２に固定されている。つまり、上部プレート８０は、下部プレート６２およびベースプレート１５を介して、装置本体に固定自在である。したがって、変位センサー５２によってアンビル３０の振動を検出する際、上部プレート８０を固定することにより、上部プレート８０のガタが抑制され、上部プレート８０のガタが支持ブラケット７０に伝達されないため、変位センサー５２の検出精度の低下が防止される。
【００３７】
具体的には、上部プレート８０は、基部８２、中間部８４および先端部９０を有する。基部８２は、ヒンジピン８３によって下部プレート６２に旋回自在に固定されており、ヒンジピン８３は、上部プレート８０（支持ブラケット７０）の旋回中心となる。
【００３８】
中間部８４は、基部８２と先端部９０とを連結しており、ボルト孔８５（図１０参照）と、屈曲して立ち上がっている直立部８７とを有する。ボルト孔８５は、中間部８４をボルト８６によって下部プレート６２に固定するために利用される。直立部８７は、ボルト孔８８Ａ，８８Ｂ（図８および図９参照）を有し、支持ブラケット７０の基端部７６の対向面７７が突き当てられる。ボルト孔８８Ａ，８８Ｂとボルト孔７８Ａ，７８Ｂとは位置合わせされており、ボルト８９Ａ，８９Ｂが挿通されて、上部プレート８０の中間部８４と支持ブラケット７０の基端部７６とが締結される。
【００３９】
先端部９０は、図１０に示されるように、ボルト孔９２および貫通孔９４を有する。ボルト孔９２は、ボルト９３によって先端部９０を下部プレート６２に固定するために利用される。貫通孔９４は、ロケートピン９５を挿入するために利用され、下部プレート６２の挿入孔６６（図１１参照）と位置合わせされている。したがって、ロケートピン９５は、先端部９０の貫通孔９４を通過し、下方に位置する下部プレート６２の挿入孔６６と嵌合することで、先端部９０（上部プレート８０）を下部プレート６２に対して位置決めすることが可能である。
【００４０】
次に、アンビル３０の交換手順を詳述する。
【００４１】
アンビル３０を交換する際は、まず、ボルト８６およびボルト９３が外され、上部プレート８０の中間部８４および先端部９０と、下部プレート６２との締結が解消される。そして、ロケートピン９５と下部プレート６２の挿入孔６６との嵌合が解除され、ロケートピン９５が先端部９０の貫通孔９４から取り外されることにより、上部プレート８０が旋回可能となる（図１０参照）。
【００４２】
その後、上部プレート８０の基部８２に位置するヒンジピン８３を中心として、上部プレート８０が水平方向に旋回させられる。これにより、上部プレート８０によって支持されている支持ブラケット７０は、水平方向に旋回し、アンビル３０から離間する。その結果、支持ブラケット７０の先端部７２に取り付けられている変位センサー５２は、初期位置Ｐ１から退避位置Ｐ２に移動する（図１１参照）。
【００４３】
そして、ボルト３９が外され、アンビル３０の取付ブラケット３８とベースプレート１５との締結が解消され、使用により摩耗したアンビル３０が、新品のアンビル３０と交換される。この際、変位センサー５２は、退避位置Ｐ２に移動しており、アンビル３０の近傍に存在しないため、変位センサー５２とアンビル３０との干渉が簡単に防止され、アンビル３０の交換がスムーズに実施される。
【００４４】
アンビルの交換完了後、ボルト３９が締結され、アンビル３０の取付ブラケット３８とベースプレート１５とが固定される。そして、上部プレート８０の基部８２に配置されるヒンジピン８３を中心として、上部プレート８０が水平方向かつ逆向きに旋回（復動）させられる。
【００４５】
これにより、上部プレート８０によって支持されている支持ブラケット７０は、水平方向に旋回し、アンビル３０に向かって近接する。その結果、支持ブラケット７０の先端部７２に取り付けられている変位センサー５２は、退避位置Ｐ２から初期位置Ｐ１に復帰するため（図１０参照）、変位センサー５２とアンビル３０との間の距離を一定に保つことが容易である。なお、上部プレート８０が過剰に旋回（復動）しようとする場合、下部プレート６２に配置されるピン６４に当接して制止される。そのため、アンビル３０の近傍に配置されている装置や治具との予期せぬ干渉が防止される。
【００４６】
その後、ロケートピン９５が、上部プレート８０の先端部９０の貫通孔９４に挿入され、下方に位置する下部プレート６２の挿入孔６６に嵌合することで、上部プレート８０（先端部９０）が下部プレート６２に対して位置決めされる。
【００４７】
そして、ボルト８６およびボルト９３が締結され、上部プレート８０の中間部８４および先端部９０と、下部プレート６２とが固定される（図６および図７参照）。また、変位センサー５２およびガイドバー７３と、アンビル３０との間のクリアランスが確認され、必要に応じて、ナット５２Ａ，７３Ａおよびストッパースクリューが緩められて、クリアランスが調整される。
【００４８】
以上のように、本実施の形態においては、支持ブラケットは、先端部（一端）、アーム部および基端部（他端）が一体化されているため、軽量化および寸法精度の確保が容易である。また、アンビルを交換する直前、支持ブラケットを水平方向に旋回させることで、変位センサーは、アンビルの交換の際にアンビルと干渉しない退避位置に移動するため、アンビルの交換中における変位センサーとアンビルとの干渉が、簡単に防止される。さらに、アンビルの交換完了後、支持ブラケットを逆向きに水平方向に旋回（復動）させることにより、変位センサーは、初期位置に復帰するため、変位センサーとアンビルとの間の距離を一定に保つことが容易である。したがって、アンビル交換作業が容易となる。
【００４９】
支持ブラケットの先端部（一端）は、アンビルの側面に相対するように、アーム部から屈曲して立ち上がっているため、変位センサーをアンビルの近傍に容易かつ高精度に位置決めすることが可能である。
【００５０】
支持ブラケットの基端部（他端）は、アーム部から下方に屈曲して延長し、上部プレート（支持ベース）に対して突き当たるようにして、取り付けられており、支持ブラケットのガタが抑制されるため、変位センサーの検出精度の低下が防止される。
【００５１】
上部プレート（支持ベース）は、変位センサーによってアンビルの振動を検出する際、下部プレートおよびベースプレートを介して装置本体に固定されているため、上部プレート（支持ベース）のガタが抑制され、上部プレート（支持ベース）のガタが支持ブラケットに伝達されないため、変位センサーの検出精度の低下が防止される。
【００５２】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲で種々改変することができる。例えば、上部プレート（支持ベース）の高さを調整するために使用される下部プレートは、必要に応じて省略することも可能である。
【００５３】
本出願は、２０１３年１月１５日に出願された日本特許出願番号２０１３−００４６６１号に基づいており、それらの開示内容は、参照され、全体として、組み入れられている。
【符号の説明】
【００５４】
１０  超音波接合装置、
１５  ベースプレート、
２０  超音波接合部、
３０  アンビル、
３１  側面、
３２  先端部、
３３  端面、
３４  移行部、
３６  基端部、
３８  取付ブラケット、
３９  ボルト、
４０  ホーン、
４３  端面、
５０  接合良否判定部、
５２  変位センサー、
５２Ａ  ナット、
５４  解析装置、
６０  マウント部、
６２  下部プレート、
６４  ピン、
６６  挿入孔、
７０  支持ブラケット、
７２  先端部、
７２Ａ  対向面、
７３  ガイドバー、
７３Ａ  ナット、
７４  アーム部、
７６  基端部、
７７  対向面、
７８Ａ，７８Ｂ  ボルト孔、
８０  上部プレート（支持ベース）、
８２  基部、
８３  ヒンジピン、
８４  中間部、
８５  ボルト孔、
８６  ボルト、
８７  直立部、
８８Ａ，８８Ｂ  ボルト孔、
８９Ａ，８９Ｂ  ボルト、
９０  先端部、
９２  ボルト孔、
９３  ボルト、
９４  貫通孔、
９５  ロケートピン、
Ｐ１  初期位置、
Ｐ２  退避位置、
Ｗ１，Ｗ２  板材（被接合部材）。
【図１】
0005951806.tif 000002
【図２】
0005951806.tif 000003
【図３】
0005951806.tif 000004
【図４】
0005951806.tif 000005
【図５】
0005951806.tif 000006
【図６】
0005951806.tif 000007
【図７】
0005951806.tif 000008
【図８】
0005951806.tif 000009
【図９】
0005951806.tif 000010
【図１０】
0005951806.tif 000011
【図１１】
0005951806.tif 000012