(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の自動搬送車両に各々装着されるマスタ装置と、固有のＩＤを有する複数の製造ステーションユニットに各々装着されるスレーブ装置と、前記マスタ装置及びスレーブ装置のうちの少なくとも一つと連動され駆動されるメインコントローラを含む自動搬送システム用のデータ伝送システムであって、
前記マスタ装置は、マスタ側データ伝送ユニット及びマスタ側ローカルコントローラを含み、
前記スレーブ装置は、スレーブ側データ伝送ユニット及びスレーブ側ローカルコントローラを含み、
前記マスタ側データ伝送ユニットは、ＩＲ送受信回路とＲＦ送受信回路とマスタ側のプロセッサを含み、該ＩＲ送受信回路と該ＲＦ送受信回路は各々、前記マスタ装置と前記スレーブ装置の間におけるデータの送受信を可能にするマスタ側の送受信回路部を備え、
前記スレーブ側データ伝送ユニットは、ＩＲ送受信回路とＲＦ送受信回路とスレーブ側のプロセッサを含み、該ＩＲ送受信回路と該ＲＦ送受信回路は各々、前記マスタ側と前記スレーブ側の間におけるデータの送受信を可能にするスレーブ側の送受信回路部を備え、
前記マスタ側データ伝送ユニット及び前記スレーブ側データ伝送ユニットは、前記マスタ装置内のログデータとスレーブ装置内のＩＤ及びログデータを含む状態データを前記マスタ装置と前記スレーブ装置の間で相互送受信する機能を行い、
前記マスタ側のプロセッサ及び前記スレーブ側のプロセッサのうちの少なくとも一つは、前記製造ステーションユニットごとに前記ＩＲ送受信回路と前記ＲＦ送受信回路のうちの一つを基本送受信回路として予め設定してマスタ装置とスレーブ装置の間で相互送受信を行うようにし、前記設定された何れか一つの送受信回路間に送受信が行われないと、他の一つの送受信回路が作動するようにスイッチングさせることにより、物品の搬入／搬出を遂行するように制御することを特徴とする自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【請求項２】
前記マスタ側又はスレーブ側のプロセッサは、タイマ機能及び時計機能を含むことを特徴とする請求項１に記載の自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【請求項３】
前記マスタとスレーブ側のプロセッサは、相互間の通信による入出力データと、データの入出力時のタイミング、時間、ノイズレベル、受信感度、マスタとスレーブのうちの何れか一つである送受信主体、通信成功回数、一連の作業過程から受信された光信号タイミング情報、相手側のデータ伝送ユニットから受信された相手側のデータ伝送ユニットの格納ログ情報を含む状態データを記録することを特徴する請求項２に記載の自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【請求項４】
前記データ伝送ユニットは、前記プロセッサに連結され、相互間の通信による入出力データと、データの入出力時のタイミング、時間、ノイズレベル、受信感度、マスタとスレーブのうちの何れか一つである送受信主体、通信成功回数、一連のＩ作業過程において受信された光信号タイミング情報、相手側のデータ伝送ユニットから受信された相手側のデータ伝送ユニットの格納ログ情報を含む状態データを記録する揮発性メモリをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【請求項５】
前記マスタ側データ伝送ユニットと前記スレーブ側データ伝送ユニットは、相互間の動作シークェンスによって相手側に対して相手側装置の状態データ送信を要請して各々の送受信回路部を介して各々の状態データをＩＲ又はＲＦ通信によって相互送受信し、前記マスタ側データ伝送ユニットは、前記マスタ装置自身の状態データと前記スレーブ側データ伝送ユニットから受信したスレーブ装置の状態データを前記マスタ側ローカルコントローラに記録し、前記メインコントローラからの要請を受信すると、前記マスタ側ローカルコントローラは、自身に記録された前記マスタ装置及びスレーブ装置の状態データを前記メインコントローラへ送信することを特徴とする請求項１に記載の自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【請求項６】
前記マスタ側データ伝送ユニットと前記マスタ側ローカルコントローラは、シリアル連結され、前記マスタ側ローカルコントローラと前記メインコントローラは、無線連結されたことを特徴とする請求項５に記載の自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【請求項７】
前記メインコントローラは、マスタ装置の上位制御システムであることを特徴とする請求項５に記載の自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【請求項８】
前記マスタ側データ伝送ユニットとスレーブ側データ伝送ユニットは、相互間の動作シークェンスによって相手側に対して相手側装置の状態データ送信を要請して各々の送受信回路部を介して各々の状態データをＩＲ又はＲＦ通信で相互送受信し、前記メインコントローラからの要請を受信すると、前記スレーブ側データ伝送ユニットは、前記スレーブ装置自身の状態データと前記マスタ側データ伝送ユニットから受信した前記マスタ装置の状態データを前記メインコントローラへ送信することを特徴とする請求項１に記載の自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【請求項９】
前記スレーブ側データ伝送ユニットは、シリアルポートと無線ポートを含み、前記マスタ側データ伝送ユニットと前記スレーブ側データ伝送ユニットは、前記メインコントローラからの要請を受信すると、各々が属する前記装置自身の状態データと相手側から受信された相手側装置の状態データを前記メインコントローラへ前記通信ポートを介してシリアル通信又は無線通信によってリアルタイムで送信することを特徴とする請求項８に記載の自動搬送システム用伝送システム。
【請求項１０】
前記メインコントローラは、ノートパソコンを含む管理用コンピュータであり、前記管理用コンピュータは、前記スレーブ側データ伝送ユニットとシリアル通信によって連結されたことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【請求項１１】
前記メインコントローラは、無線データ送受信機を有する無線データ送受信ターミナルであり、前記無線データ送受信ターミナルは、前記スレーブ側データ伝送ユニットと無線通信によって連結されたことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【請求項１２】
前記マスタ側データ伝送ユニットと前記スレーブ側データ伝送ユニットは、各々が属する前記装置自身の状態データと相手側から受信された相手側装置の状態データを自身のプロセッサの内部メモリに格納することを特徴とする請求項３に記載の自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【請求項１３】
前記マスタ側のデータ伝送ユニットと前記スレーブ側のデータ伝送ユニットは、各々が属する前記装置自身の状態データと相手側から受信された相手側装置の状態データを自身の非揮発性メモリに格納することを特徴とする請求項４に記載の自動搬送システム用のデータ伝送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動搬送システム用のデータ伝送システムに係り、より詳しくは、半導体の製造工程又は液晶表示装置の製造工程等で製造中の半製品を各製造工程用の製造ステーションユニットへ搬送する自動搬送システムにおいて、マスタ側の無人搬送車両とスレーブ側の製造ステーションユニット間の通信異常に備えて、無人搬送車両と製造ステーションユニット間の通信が光通信及び無線ＲＦ通信の間でスイッチング可能であり、通信異常がある場合、又は搬送エラーによる装置の作動中止時、又はこれに備えて、通信ログデータを含む各種入出力状態データを、選択的にマスタ及び／又はスレーブ側から有線・無線送受信によって、別途の通信ターミナル又はメインコントローラへ送信し、これによりデータ分析によって作動エラー状況に速やかに対処できる自動搬送システム用のデータ伝送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子又は液晶表示装置の製造工程においては、自動搬送システム（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｍｅｔｅｒｉａｌ  Ｈａｎｄｌｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ、以下、ＡＭＨＳと略す。）を使用して製造中の半製品を各製造工程用の製造ステーションへ搬送して該半製品が各製造ステーションにおいて工程処理がなされるようにしている。
【０００３】
通常、このような自動搬送システムは半製品である半導体基板又は液晶基板を収納しているキャリアを製造工程ライン上の製造ステーションへと搬送し、該製造ステーションで工程を完了した物品を再び収納し、次の工程のステーションへと搬送するために無人搬送車両を含む。
【０００４】
公知のように、無人搬送車両は、移動方式に従い、車輪によって自己走行する自動ガイド搬送車両（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ、以下、ＡＧＶと略す。）と、床のガイドレールに沿って走行するレールガイド搬送車両（Ｒａｉｌ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ、以下、ＲＧＶと略す。）と、天井に設置されたガイドレールに沿って走行するオーバヘッドホイスト搬送車両（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ、以下、ＯＨＴと略す。）を含み、これら搬送車両は、各々各々そのもの車輪を使用するか、底レール又はオーバヘッドレールに沿って該製造ステーションへと移動の後、作動アーム又はホイスト、そしてハンドを用いて該製造ステーションに対するキャリア（物品を積載した）の搬送／搬入を行っている。
【０００５】
このような物品積載キャリアの搬送／搬入は、製造ライン全体を制御するメインコントローラの制御下で無人搬送車両と各製造工程の内の製造ステーションの各々に搭載されたホストコンピュータによって実施される。
【０００６】
この時、無人搬送車両と製造ステーション間の物品搬入／搬出のためには、両者間の位置が搬送／搬入に適切に整列の状態で連動動作が行うべきであるため、無人搬送車両と製造ステーションの各々に光通信又は無線ＲＦ通信装置を備え、必要なデータの送受信を行っている。
【０００７】
平成１１年、国際標準として認められたＳＥＭＩ８４−０２００Ａに開示されたように、このような光通信装置を用いた自動搬送システムのインタフェース構成は、無人搬送車両が製造ステーションに整列された位置に到着した時に実施される。この通信内容は、無人搬送車両から製造ステーションにキャリアを搬送する場合には、無人搬送車両から製造ステーション側へと搬送ポート（Ｐｏｒｔ）の指定信号（ＣＳ＿Ｏ、ＣＳ＿１）、ポート使用信号（ＶＡＬＩＤ）、搬送要求信号（ＴＲ＿ＲＥＱ）、作業中信号（ＢＵＳＹ）、及び完了信号（ＣＯＭＰＴ）を送信し、製造ステーションから無人搬送車両側に搬送要求信号（Ｌ＿ＲＥＱ）と搬送許容信号（ＲＥＡＤＹ）を送信することであり、これらの信号は、搬送搬入を行っている期間中に送受信され続ける。
【０００８】
しかし、無人搬送車両と製造ステーション間の物品搬送／搬入時、１）周辺ノイズによる通信撹乱と、２）マスタとしての無人搬送車両とスレーブとしての製造ステーション間のタイミングエラーと、３）隣接するマスタ／スレーブの通信データの受信等を含む要因による動作シークェンスエラーが生じる。
【０００９】
このような動作シークェンスエラー発生時には、作動エラーの原因を迅速に把握してエラーに対応し、作動を再開する必要があり、通信撹乱の場合には、これを他の通信媒体にスイッチングして通信を復旧することによって作業の連続性を維持する必要がある。
【００１０】
しかし、前述の従来技術において、ＩＲ（赤外線）を用いた光通信方式のみを用いている場合、通信距離が短く、また単方向通信の場合、通信エラーの際、該エラーを解決できるまで製造ラインそのものが途切れる短所がある。
【００１１】
また、入出力信号をＥＥＰＲＯＭのような非揮発性メモリに格納しているので、１サイクルの動作シークェンス完了の後には新しいサイクルのデータの格納のために先に格納されていたデータを削除しなければならない問題がある。また、入出力信号ログを前記ＥＥＰＲＯＭのような非揮発性メモリに格納しているので、新しいサイクルのデータを格納するために先に格納されていたデータの削除に要する時間の問題によって応答速度の高速化具現に問題があり、多くのログを格納する際において不適合である。即ち、常時電源が供給される状況であれば大容量ログを格納するために非揮発性メモリを使用する必要はない。
【００１２】
また、エラー状況を把握するためのログデータの場合、マスタ又はスレーブにあるＣＰＵ自身のタイマ値、即ち、信号間の相対時間の情報のみを格納するので、多量のログデータを格納する場合、実際の装置で管理する時間情報と格納される時間情報が互いに異なり、エラーを分析する際に、該当するログを見つけ出すことが容易ではない問題がある。
また、無人搬送車両のマスタ又は製造ステーションのスレーブから直接予め格納されたデータを別途に制御ターミナル又はメインコントローラ側へ送信できる通信手段を有していないので、動作シークェンスの異常が発生した場合、マスタ又はスレーブに別途のデータ記録手段を連結してデータを引き出さなければならない、等の様々な短所がある。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【００１３】
【非特許文献１】国際標準ＳＥＭＩ８４−０２００Ａ
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
前述の従来技術の問題を解消するために案出された本発明は、半導体の製造工程又は液晶表示装置の製造工程等で製造中の半製品を各製造工程用の製造ステーションユニットへ搬送する自動搬送システムにおいて、マスタ側の無人搬送車両とスレーブ側の製造ステーションユニット間の通信異常に備えて無人搬送車両と製造ステーションユニット間の通信が光通信及び無線ＲＦ通信の間でスイッチング可能であり、通信異常時、又は搬送エラーによる装置の作動中止時、又はこれに備えて通信ログデータを含んだ各種入出力状態データを選択的にマスタ及び／又はスレーブ側から有線無線送受信によって別途の通信ターミナル又はメインコントローラへ送信し、これによりデータ分析によって作動エラー状況に迅速に対処できる自動搬送システム用のデータ伝送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前述の目的を達成するためになされた本発明の一態様による自動搬送システム用のデータ伝送送信システムは、複数の自動搬送車両に各々装着されるマスタ装置と、固有のＩＤを有す複数の製造ステーションユニットに各々装着されるスレーブ装置と、前記マスタ装置及びスレーブ装置の内の少なくとも一つと連動し駆動されるメインコントローラを含み、
前記マスタ装置は、マスタ側データ伝送ユニット及びマスタ側ローカルコントローラを含み、前記スレーブ装置は、スレーブ側データ伝送ユニット及びスレーブ側ローカルコントローラを含み、前記マスタ側データ伝送ユニットは、ＩＲ送受信回路とＲＦ送受信回路とマスタ側のプロセッサを含み、該ＩＲ送受信回路と該ＲＦ送受信回路は各々、前記マスタ装置と前記スレーブ装置の間におけるデータの送受信を可能にするマスタ側の送受信回路部を備え、前記スレーブ側データ伝送ユニットは、ＩＲ送受信回路とＲＦ送受信回路とスレーブ側のプロセッサを含み、該ＩＲ送受信回路と該ＲＦ送受信回路は各々、前記マスタ側と前記スレーブ側の間におけるデータの送受信を可能にするスレーブ側の送受信回路部を備え、
前記マスタ側データ伝送ユニット及び前記スレーブ側データ伝送ユニットは、前記マスタ装置内のログデータとスレーブ装置内のＩＤ及びログデータを含む状態データを前記マスタ装置と前記スレーブ装置の間で相互送受信する機能を行い、前記マスタ側のプロセッサ及び前記スレーブ側のプロセッサの内の少なくとも一つは、前記製造ステーションユニットごとに前記ＩＲ送受信回路と前記ＲＦ送受信回路の内の一つを基本送受信回路として予め設定してマスタ装置とスレーブ装置の間で相互送受信を行うようにし、前記設定された何れか１つの送受信回路間に送受信が行われないと、他の一つの送受信回路が作動するようにスイッチングさせることにより、物品の搬入／搬出を遂行するように制御することを特徴とする。
【００１６】
前記マスタ側又はスレーブ側のプロセッサは、タイマ機能及び時計機能を含むことができる。
【００１７】
前記マスタとスレーブ側のプロセッサは、相互間の通信による前記入出力データと、データの入出力時のタイミング、時間、ノイズレベル、受信感度、マスタとスレーブの内の何れか一つである送受信主体、通信成功回数、一連の作業過程において受信された光信号タイミング情報、相手側のデータ伝送ユニットから受信された相手側のデータ伝送ユニットの格納ログ情報を含む状態データを記録することができる。
【００１８】
前記データ伝送ユニットは、前記プロセッサに連結し、相互間の通信による前記入出力データと、データの入出力時のタイミング、時間、ノイズレベル、受信感度、マスタとスレーブの内の何れか一つである送受信主体、通信成功回数、一連の作業過程において受信された光信号タイミング情報、相手側のデータ伝送ユニットから受信された相手側のデータ伝送ユニットの格納ログ情報を含む状態データを記録する揮発性メモリをさらに含むことができる。
【００１９】
前記マスタ側データ伝送ユニットと前記スレーブ側データ伝送ユニットは、相互間の動作シークェンスによって相手側に対して相手側装置の状態データ送信を要請して各々の送受信回路部を介して各々の状態データをＩＲ又はＲＦ通信によって相互送受信し、前記マスタ側データ伝送ユニットは、前記マスタ装置自身の状態データと前記スレーブ側データ伝送ユニットから受信したスレーブ装置の状態データを前記マスタ側ローカルコントローラに記録し、前記メインコントローラからの要請を受信すると、前記マスタ側ローカルコントローラは、自身に記録された前記マスタ装置及びスレーブ装置の状態データを前記メインコントローラへ送信することができる。
【００２０】
前記マスタ側データ伝送ユニットと前記マスタ側ローカルコントローラは、シリアル連結され、前記マスタ側ローカルコントローラと前記メインコントローラは、無線連結されることができる。
【００２１】
前記メインコントローラは、マスタ装置の上位制御システムであることができる。
【００２２】
前記マスタ側データ伝送ユニットと前記スレーブ側データ伝送ユニットは、相互間の動作シークェンスによって相手側に対して相手側装置の状態データの送信を要請して各々の送受信回路部を介して各々の状態データをＩＲ又はＲＦ通信によって相互送受信し、前記メインコントローラからの要請を受信すると、前記スレーブ側データ伝送ユニットは、前記スレーブ装置自身の状態データと前記マスタ側データ伝送ユニットから受信した前記マスタ装置の状態データを前記メインコントローラへ送信することができる。
【００２３】
前記スレーブ側データ伝送ユニットは、シリアルポートと無線ポートを含み、前記マスタ側データ伝送ユニットと前記スレーブ側データ伝送ユニットは、前記メインコントローラからの要請を受信すると、各々が属する前記装置自身の状態データと相手側から受信した相手側装置の状態データを前記メインコントローラへ前記通信ポートを介してリアルタイムシリアル通信又は無線通信によって送信することができる。
【００２４】
前記メインコントローラは、ノートパソコンを含む管理用コンピュータであり、前記管理用コンピュータは、前記スレーブ側データ伝送ユニットとシリアル通信によって連結されることができる。
【００２５】
前記メインコントローラは、無線データ送受信機を含む無線データ送受信ターミナルであり、前記無線データ送受信ターミナルは、前記スレーブ側データ伝送ユニットと無線通信によって連結することができる。
【００２６】
前記マスタ側のデータ伝送ユニットと前記スレーブ側のデータ伝送ユニットは、各々が属する前記装置自身の状態データと相手側から受信された相手側装置の状態データを自身の揮発性メモリ又は自身のプロセッサの内部メモリに格納することができる。
前記マスタ側のデータ伝送ユニットと前記スレーブ側のデータ伝送ユニットは、各々が属する前記装置自身の状態データと相手側から受信された相手側装置の状態データを自身の非揮発性メモリに格納することができる。
【発明の効果】
【００２７】
前述した構成によると、本発明の自動搬送システム用のデータ伝送システムは、半導体の製造工程又は液晶表示装置の製造工程等で製造中の半製品を各製造工程用の製造ステーションユニットへ搬送する自動搬送システムにおいて、マスタ側の無人搬送車両とスレーブ側の製造ステーション間の通信異常に備えて無人搬送車両と製造ステーション間の通信が光通信及び無線ＲＦ通信の間でスイッチング可能である。従って、通信の異常がある時、又は搬送エラーによる装置の作動中止に備えて通信ログデータを有した各種入出力状態データをマスタ及び／又はスレーブ側から有無線送受信によって別途の通信ターミナル又はメインコントローラで送信し、これによりデータ分析を通じて作動エラー状況に迅速に対処できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】自動搬送システム用のデータ伝送システムのデータ伝送ユニットの例示的な構成図である。
【図２】図１のデータ伝送ユニットを用いた光通信方式のシステム構成図である。
【図３】図１のデータ伝送ユニットを用いた無線ＲＦ通信方式のシステム構成図である。
【図４】自動搬送システム内における、マスタ側の自動搬送車両とスレーブ側の製造ステーションユニット間の通信撹乱状況の例示図である。
【図５】本発明のマスタ側の自動搬送車両を介したデータ送受信を示す一実施例による自動搬送システム用のデータ伝送システムの例示図である。
【図６】本発明のスレーブ側の製造ステーションユニットを介したデータ送受信を示す他の実施例による自動搬送システム用のデータ伝送システムの例示図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下に、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
【００３０】
図１は、自動搬送システム用のデータ伝送システムのデータ伝送ユニット１０の例示的な構成図であり、図２は、図１のデータ伝送ユニットを用いた光通信方式のシステム構成図であり、図３は、図１のデータ伝送ユニットを用いた無線ＲＦ通信方式のシステム構成図であり、図４は、自動搬送システム内における、マスタ装置としての自動搬送車両（以下、「マスタ（側）」ともいう）とスレーブ装置としての製造ステーションユニット（以下、「スレーブ（側）」ともいう）間の通信撹乱の状況の例示図であり、図５は、本発明のマスタ側の自動搬送車両を介したデータ送受信を示す一実施例による自動搬送システム用のデータ伝送システムの例示図であり、図６は、本発明のスレーブ側の製造ステーションユニットを介したデータ送受信を示す他の実施例による自動搬送システム用のデータ伝送システムの例示図である。
【００３１】
図４に示すように、自動搬送システムの自動搬送車両“Ｖ”は、半導体又は液晶表示装置等の製造工程ライン“Ｌ”に配置された製造ステーションユニット（Ｓｔ）＜ａ１＞〜＜ａ６＞、＜ｂ１＞〜＜ｂ６＞、＜ｃ１＞〜＜ｃ６＞、＜ｄ１＞〜＜ｄ６＞に対して物品を搬入／搬出するための車両であって、図５、図６においては、天井に設置されたガイドレールに沿って走行するオーバヘッドホイスト搬送車両（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ、以下、ＯＨＴと略す。）の場合を例示しているが、他の種類の車両も適用可能であることは言うまでもない。
【００３２】
図２〜図６を参照すると、本発明による自動搬送システム用のデータ伝送システムは、自動搬送車両“Ｖ”に設置されるマスタ側のデータ伝送ユニット１０ｍ及びローカルコントローラＣｍと、製造ステーションユニットＳｔに設置されるスレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓ及びローカルコントローラＣｓと、自動搬送車両及び製造ステーションユニットの外部でこれらを制御するメインコントローラＣＭと、を含む。
【００３３】
この際、前記マスタ側の自動搬送車両“Ｖ”とスレーブ側の製造ステーションユニットＳｔは、各々複数個からなって製造工程ライン上に配置され、前記製造ステーションユニットＳｔには各々固有のＩＤが設定されており（例えば、固有ＩＤ「ａ１」を有する製造ステーションユニット（Ｓｔ）を＜ａ１＞で示す）、マスタ側の自動搬送車両“Ｖ”は、作業するべき製造ステーションユニットＳｔの固有ＩＤを設定した後、通信を開始する。スレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓは、自分の固有ＩＤと一致する製造ステーションユニットＳｔの固有ＩＤが設定されているマスタ側のデータ伝送ユニット１０ｍデータのみに応答することによって通信がなされる。マスタ側及びスレーブ側間で送受信される入出力データは、マスタ側及びスレーブ側を通じてメインコントローラＣＭにログされ、メインコントローラＣＭはログされたデータを介して各ユニットの作動状況を把握できる。
【００３４】
前記ＩＤの設定は、マスタとスレーブ間の通信が行われる時、隣接のマスタやスレーブからデータを受けてシークェンスの異常が発生する場合を防止するために、マスタとスレーブ間の一対一の通信を具現するためである。ＩＲ方式の通信においては、固有ＩＤを使用する方法と使用しない方式の何れも使用できる。ＩＤ設定及び入出力データの他にデータを伝送する装置がマスタであるか、スレーブであるかを区分するコードを付加データに追加することによって、スレーブ通信モジュールがスレーブデータを受ける場合、他の隣接通信モジュールとの干渉が発生しているか否かを分析できる。マスタがメインコントローラＣＭからマスタデータを受信する場合にも、各マスタに設定されている固有ＩＤを利用すると、マスタが２つ以上存在する場合の隣接機器との干渉を回避できる。
【００３５】
図１を参照すると、データ伝送ユニット１０の例示的な構成図であって、前記マスタ側のデータ伝送ユニット１０ｍと前記スレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓはデータ伝送ユニット１０で表される同一の構成を有する。データ伝送ユニット１０は、ＩＲ送受信回路１１とＲＦ送受信回路１２とプロセッサ１３を含み、その内、ＩＲ送受信回路１１とＲＦ送受信回路１２は各々、前記マスタとスレーブの入出力データを前記マスタ側と前記スレーブ側の間で送受信可能にする送受信回路部を備える。
【００３６】
前記ＩＲ送受信回路１１は、受光部１１ａと発光部１１ｂを備えて、マスタ側とスレーブ側の間で前記受光部１１ａ及び発光部１１ｂを介して光信号が送受信される。
【００３７】
また、前記プロセッサ１３は、前記マスタ側の自動搬送車両“Ｖ”が、前記スレーブ側の製造ステーションユニットＳｔごとに、前記データ伝送ユニット１０の前記ＩＲ送受信回路１１と前記ＲＦ送受信回路１２の内の何れか一つを基本送受信回路として予め設定してマスタ側とスレーブ側の間の送受信を行うようにし、前記設定された何れか一つの送受信回路間に送受信が行われないと、他の一つの送受信回路が作動するようにスイッチングさせることにより、物品の搬入／搬出を遂行するように制御する。
【００３８】
また、前記データ伝送ユニット１０は、自動搬送車両“Ｖ”乃至製造ステーションユニットＳｔ各々の装置内部データの、入力、出力、及びレベル変換を通じた入出力データの送受信を担当する出力回路部１４ａ、入力回路部１４ｂ、及びデータレベル変換部１４ｃを有する装置内部データ入出力部１４を含む。
【００３９】
前記通信エラーは、通常の産業現場で光センサ、蛍光灯、リモコン、ＩｒＤＡ、電磁波ノイズ等光通信方式の送受信回路に影響を及ぼすノイズにより通信撹乱が生じ、無線ＲＦ通信方式の場合にも無線ＬＡＮ、ジグビー（ＺｉｇＢｅｅ）、ブルートゥース（登録商標）等の電波によりＲＦ又は光通信の通信撹乱が生じる可能性がある。
【００４０】
このような通信撹乱の発生の際、前記プロセッサ１３が通信方式を光通信と無線ＲＦ通信の間でスイッチングすることによって、通信撹乱によるシステムの作動停止を防止できる。
【００４１】
このような通信撹乱の状況を図４に例示する。図４によると、製造工程ライン“Ｌ”において、搬送車両“Ｖ”は上位システム（メインコントローラ、ＣＭ）から製造ステーションユニットＳｔ、＜ａ１＞〜＜ｄ６＞の固有ＩＤ、ａ１〜ｄ６と物品の搬出／搬入種類等の命令を受けて移動し、搬送車両“Ｖ”の内部マップ情報には各製造ステーションユニットＳｔで標準使用する通信媒体（光通信、又はＲＦ通信）が設定されている。
【００４２】
電磁波の障害がある区域Ａの場合、例えば図示したように、製造ステーションユニット＜ａ３＞において標準使用する通信媒体がＲＦ電波に設定された状態でマスタとスレーブ間の通信障害が発生する場合、メインコントローラＣＭ又は搬送車両“Ｖ”のローカルコントローラＣｍからマスタ側のデータ伝送ユニットに対して適用媒体を光方式に変更する媒体変更命令を送信して適用媒体を変更して通信を再開させる。このようなＲＦ通信エラーが発生し続ける場合、搬送車両“Ｖ”のマップ情報における通信方式をＲＦ電波から光に設定変更できる。
【００４３】
また、光通信障害がある区域Ｂの場合、例えば図示したように、製造ステーションユニット＜ｄ６＞において標準使用する通信媒体が光に設定された状態でマスタとスレーブ間の通信障害が発生する場合、メインコントローラＣＭ又は搬送車両“Ｖ”のローカルコントローラＣｍからマスタ側のデータ伝送ユニットに対して適用媒体をＲＦ電波方式に変更する媒体変更命令を送信して適用媒体を変更して通信を再開させる。このような光通信エラーが発生し続ける場合、搬送車両“Ｖ”のマップ情報における通信方式を光からＲＦ電波に設定変更できる。
【００４４】
また、通信障害がある区域Ｃの場合、ある通信媒体で通信している途中に突然、エラーが発生する場合は、他の通信媒体に変更して物品の搬入／搬出の作業を続行できる。
【００４５】
上記の場合は、搬送車両が主体となって通信媒体を変更しているが、データ伝送ユニット自身が主体となって解決することもできる。例えば、データ伝送ユニットに対する通信媒体の優先順位がユーザーにより指定され、それによって指定された通信媒体を使用してマスタとスレーブ間の通信が行われる。該通信媒体を用いた通信中にスレーブ側から応答が切れると、通信干渉を受ける状況であると判断し、マスタ側のデータ伝送ユニットは、他の通信媒体に通信手段を変更してデータを送信する。この場合、スレーブは通常、全ての通信媒体に対して受信可能な状態となっており、データが受信された通信媒体を用いて応答する。
【００４６】
前記プロセッサは、タイマ機能以外にも時計の機能を含み、したがって前記マスタとスレーブ側のプロセッサは、前記入出力データと、データの入出力時のタイミングを含む入出力時間を記録可能であり、この他にもノイズレベル、受信感度、マスタとスレーブの内の何れか一つである送受信主体、通信成功回数、一連の作業過程から受信された光信号タイミング情報、相手側のデータ伝送ユニットから受信された相手側のデータ伝送ユニットの格納ログ情報を、光又はＲＦ通信により受信された情報を含む状態データとして記録できる。
【００４７】
前記記録データにおいて、データ入出力時のタイミングと入出力時間情報は、データ入出力時の相対的なタイミングと絶対時刻を同時に比較できるので、シークェンスエラーの分析に有利であり、受信感度情報は、データ送信の前に受信回路に受信される信号強度の情報を共に格納してシークェンスエラーの発生時、周辺ノイズの状況の確認に利用でき、より正確な原因分析が可能にあり、またシークェンス変化の時点からの毎秒当たり取り交わした通信回数情報は、各シークェンス状態における通信ラインの安定性の確認に利用でき、この値が小さな場合、周辺ノイズにより通信が途絶えることが分かる。一連の作業を行いつつ、受信された光信号の波形自体を記録しておくと、作業途中にエラーが発生した場合、このデータを確認すれば外部から如何なる光ノイズが流入したかを容易に把握できるので、対策の樹立が容易になる。
【００４８】
前記データ伝送ユニット（１０ｍ、１０ｓ）は、前記プロセッサ１３内部のメモリを使用するか、又は、特に多量の作業情報を記録する必要がある場合、大容量ＳＲＡＭのような揮発性メモリ１３ａをさらに含むことができるが、該メモリは、前記プロセッサ１３に代わりに、前記入出力データと、データの入出力時のタイミング、時間、ノイズレベル、受信感度、マスタとスレーブの内の何れか一つである送受信主体、通信成功の回数、一連の作業過程において受信された光信号タイミングの情報、相手側のデータ伝送ユニットから受信された相手側のデータ伝送ユニットの格納ログ情報を、光又はＲＦ通信により受信された情報を含む状態データとして記録できる。
【００４９】
このような大容量の揮発性メモリを採用することによって、１回データではない多くのログ情報を格納でき、このように大容量のログを格納する場合、エラー発生の際、エラー解除の後に直ちにラインを稼動させ、ラインが稼働している状態でエラー分析を併行できる長所がある。
【００５０】
また図３を参照すると、本発明に係るデータ伝送システムは、前記マスタ側及びスレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｍ、１０ｓと、無線ＲＦ方式を介して、又はシリアルポート（ＲＳ−２３２、ＲＳ４２２、ＲＳ−４８５、ＵＳＢ、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）等）を介して連結され、該データ伝送ユニットからデータを無線送信できる無線データ送受信機である無線データ送受信ターミナルＴｒ、及び／又はメインコントローラＣＭ（管理用コンピュータ）をさらに含むことができる。
【００５１】
マスタとスレーブ間に送受信される前記状態データと関連して、データ伝送システムにおいては動作シークェンスの異常が生じた場合、若しくは、シークェンス異常を予防するために、マスタ側とスレーブ側は、相互間の動作シークェンスによって相手側に対する各自の状態データの送信要請をして各自の送受信回路部を介して各自の状態データを相手側に対して送受信して格納し、相互に格納された状態データをメインコントローラＣＭ又は送受信ターミナルＴｒに対して、ＲＦ通信又はシリアル通信によって送信できる。
【００５２】
図５を参照すると、マスタ側の自動搬送車両“Ｖ”を介したデータ送受信を示す一実施例による自動搬送システム用のデータ伝送システムの例示図である。前記マスタ側のデータ伝送ユニット１０ｍとスレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓは、相互間の動作シークェンスによって相手側に対して状態データ送信を要請して各々の送受信回路部を介して各々の状態データをＩＲ又はＲＦ通信で相互送受信して自身の状態データと共に各々のプロセッサの内部のＲＡＭ等に格納し、前記マスタ側のデータ伝送ユニット１０ｍは、前記格納されたマスタ側の状態データと前記スレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓから受信したスレーブ側の状態データを前記マスタ側のローカルコントローラＣｍに記録し、前記メインコントローラＣＭからの要請を受けて、前記マスタ側のローカルコントローラＣｍは自身に記録された前記マスタ側及びスレーブ側の状態データを前記メインコントローラＣＭ又は送受信ターミナルＴｒへ送信する。
【００５３】
この時、前記マスタ側のデータ伝送ユニット１０ｍと前記マスタ側のローカルコントローラＣｍは、例えばシリアル連結され、そして前記マスタ側のローカルコントローラＣｍと前記メインコントローラＣＭは、例えば無線連結される。ここで、前記メインコントローラＣＭは、全体の作業を制御するマスタ側の上位制御システムである。
【００５４】
また、図６を参照すると、スレーブ側の製造ステーションユニットＳｔを介したデータ送受信を示す他の実施例による自動搬送システム用のデータ伝送システムの例示図である。前記マスタ側のデータ伝送ユニット１０ｍとスレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓは、相互間の動作シークェンスによって相手側に対して状態データの送信を要請し、各々の送受信回路部を介して各々の状態データをＩＲ又はＲＦ通信で相互送受信して自身の状態データと共に各々のプロセッサの内部のＲＡＭ等に格納し、前記メインコントローラＣＭからの要請を受けて、前記スレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓは、自身に格納された前記スレーブ側及びマスタ側の状態データを前記メインコントローラＣＭ又は無線データ送受信ターミナルＴｒへ送信する。
【００５５】
前記スレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓは、シリアルポートと無線ポートを含み、メインコントローラＣＭからの要請の際、自身の状態データと前記マスタ側のデータ伝送ユニット１０ｍから受信したマスタ側の状態データを、上記のようにデータ伝送ユニット１０ｓのプロセッサ１３の内部メモリ乃至揮発性メモリ１３ａに格納することなく、前記シリアルポート又は無線ポートを介してリアルタイムでメインコントローラＣＭでシリアル通信又は無線通信により送信できる。
【００５６】
このような場合、この機能を使用すると、プロセッサ１３の内部メモリ乃至揮発性メモリ１３ａにログを格納する必要がなく、分析用コンピュータ（メインコントローラＭＣ）に直接格納できるので、容量が限られることなく大量のログを収集できる長所がある。
【００５７】
以上のスレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓを介したデータの獲得方式において、前記メインコントローラＣＭは、ノートパソコンを含む管理用コンピュータであり得、前記管理用コンピュータは、前記スレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓとシリアル通信によって連結される。
【００５８】
また、前記メインコントローラＣＭは、無線データ送受信機を含む無線データ送受信ターミナルであり得、前記無線データ送受信ターミナルは、前記スレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓと無線通信によって連結される。
【００５９】
このような構成によって、データ伝送ユニットはプロセッサ１３の内部メモリ乃至揮発性メモリ１３ａをログ格納メモリとして使用する必要はなく、且つ、動作シークェンスのエラー発生時に現場に直接に行く必要もなく、連結されたメインコントローラＭＣ（管理用コンピュータ）に格納されたログデータを分析できる。従って、エラー発生の時、直ちにエラーを措置した後にラインの稼動が可能であり、ライン稼動率が向上し、マスタ／スレーブ側のデータ伝送ユニットから送受信された全てのデータが存在するのでエラーの正確な原因分析が可能である。
【００６０】
一方、上記のようにマスタ側及びスレーブ側のデータ伝送ユニット間の相互通信により各々に格納される両側（マスタ側及びスレーブ側）のデータ伝送ユニットが有する状態データは、各々のデータ伝送ユニットのプロセッサの内部のメモリではなく、別途に具備された揮発性メモリに格納される。
【００６１】
この場合、前記マスタ側のデータ伝送ユニット１０ｍとスレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓは、相互間の動作シークェンスによって相手側に対してデータ送信を要請して各々の送受信回路部を介して各々の状態データをＩＲ又はＲＦ通信で相互送受信して自身の状態データと共に前記揮発性メモリに格納し、マスタ側の上位制御システム、若しくはスレーブ側の管理用コンピュータシステム又は無線データ送受信機からの要請の際、前記マスタ側のローカルコントローラＣｍ又はスレーブ側のデータ伝送ユニット１０ｓは、前記揮発性メモリに格納された前記スレーブ側及びマスタ側の状態データをマスタ側の上位制御システム、若しくはスレーブ側の管理用コンピュータシステム又は無線データ送受信機へ、シリアル通信又は無線通信により送信する。
【００６２】
上記のようなデータ伝送方式は、全てのラインを稼動させた状態で作業することができるので、従来の構成とは異なる構成であり、マスタ側のデータ伝送ユニットとスレーブ側のデータ伝送ユニットのログデータの全てが提供されるので、シークェンスエラーの発生の時、何れの部分において問題が生じたかの原因の把握が容易であり、正確な原因分析に有利である。
【００６３】
前述の構成によると、本発明の自動搬送システム用のデータ伝送システムは、半導体の製造工程又は液晶表示装置の製造工程等において製造中の半製品を各製造工程用の製造ステーションユニットへと搬送する自動搬送システムにおいて、マスタ側の無人搬送車両とスレーブ側の製造ステーションユニット間の通信異常に備えて、無人搬送車両と製造ステーションユニット間の通信が光通信及び無線ＲＦ通信間でスイッチング可能であり、通信異常時又は搬送エラーによる装置の作動中止に備えて、通信ログデータを有した各種入出力状態データを、選択的にマスタ及び／又はスレーブ側から有線・無線送受信によって、マスタ側の上位制御システム若しくはスレーブ側の管理用コンピュータシステム又は無線データ送受信機へ送信し、これによりデータ分析によって作動エラー状況に迅速に対して対処することができる。
【符号の説明】
【００６４】
１０      データ伝送ユニット
１０ｍ    マスタ側データ伝送ユニット
１０ｓ    スレーブ側データ伝送ユニット
１１      ＩＲ送受信回路
１１ａ    受光部
１１ｂ    発光部
１２      ＲＦ送受信回路
１３      プロセッサ
１３ａ    ＳＲＡＭ
１４      装置内部データ入出力部
１４ａ    出力回路部
１４ｂ    入力回路部
１４ｃ    レベル変換部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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