(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を所定の搬送方向に搬送する搬送部と、
前記所定の搬送方向に沿って配置され、搬送される前記板状部材の１辺と当接する頂点をそれぞれ有する複数の位置決め部材と、
前記複数の位置決め部材が配置された位置と対向する位置で、前記複数の位置決め部材との間に搬送される前記板状部材が配置される位置に設けられた押圧部材であって、前記板状部材を、一対の位置決め部材が配置された方向に押圧する押圧部材と、を備える板状部材搬送装置であって、
前記押圧部材は、前記一対の位置決め部材のそれぞれの頂点を、前記板状部材が搬送される方向と垂直で、前記押圧部材が設けられた側に延長した延長線上の間に配置され、
前記押圧部材は、搬送される前記板状部材の１辺と当接する接点を有し、当該接点により前記板状部材を押圧する第１のローラと、当該第１のローラを前記一対の位置決め部材が配置された方向に付勢する付勢部材と、前記所定の搬送方向に沿って、かつ搬送される前記板状部材の板面に対して垂直に配置された回転軸と、一端部に前記第１のローラが取付けられ他端部が前記回転軸に固定されて前記回転軸を中心に揺動し、前記第１のローラを、搬送される前記板状部材に当接する方向と当該板状部材から離間する方向とに移動させる揺動部材と、を備えた、板状部材搬送装置と、
前記板状部材搬送装置で搬送される前記板状部材に載置された水晶振動子の発振周波数を測定する周波数測定部と、
測定された発振周波数が、所望の発振周波数から外れた前記水晶振動子にイオンビームを照射するイオンガンと、
を備える周波数調整装置であって、
前記板状部材に載置された水晶振動子は、前記搬送方向と垂直に並べられた一列の水晶振動子を前記搬送方向に沿って複数列並べることでマトリクス状に構成され、
前記周波数測定部は、前記複数列の水晶振動子の何れか一列の水晶振動子と対向するように配置され、
前記一対の位置決め部材と、前記第１のローラとは、前記第１のローラを頂点とする二等辺三角形を形成する位置に配置され、
前記周波数測定部と、前記何れか一列の水晶振動子とは、前記一対の位置決め部材のそれぞれの頂点を結んだ線の中心点と、前記第１のローラの接点と、を結んだ線上に配置される、
ことを特徴とする周波数調整装置。
【請求項２】
前記搬送部は、前記搬送方向に沿って延在するボールねじと、前記ボールねじと螺合する螺合部と、前記螺合部から前記搬送方向と垂直に延在し前記板状部材を保持するアーム部と、を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の周波数調整装置。
【請求項３】
前記複数の位置決め部材は、一対の第２のローラを備え、前記板状部材は、当該第１のローラと当該一対の第２のローラとの間において、挟持されて搬送される、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の周波数調整装置。
【請求項４】
前記板状部材を前記複数の位置決め部材に向けて案内する案内部が設けられた、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の周波数調整装置。
【請求項５】
前記搬送部が、所定距離の移動と停止とを繰り返すピッチ送り搬送を行い、停止の間に前記イオンビームを照射して、マトリクス配列した水晶振動子を列単位で周波数調整する、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の周波数調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状部材搬送装置を備えた周波数調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状部材を搬送する装置において、特に半導体基板等の電子部品や水晶振動子等を搭載した板状部材を搬送する装置においては、搬送される板状部材の位置決めが重要となる。例えば、特許文献１には、水晶振動子等の圧電振動デバイスを扱う周波数調整装置において、キャリアに搭載された複数の基板をガイドレール上で搬送しながら、当該複数の基板にイオンビームを照射することが開示されている。当該キャリアは、キャリアの搬送方向の一端部をチャック機構で保持され、キャリアの搬送方向と平行な一対の辺を、対応する一対のガイドレールで支持されて搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２０８８３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のキャリアは、搬送方向に垂直な辺をチャック機構で位置決めし、搬送方向と平行な一対の辺を、一対のガイドレールの一方に設けたベアリングで位置決めしている。当該ベアリングは、キャリアを他方のガイドレールに押し付け、キャリアをガイドレールと平行になるよう位置決めする。
しかし、他方のガイドレールには、ベアリングに相当するものは設けられておらず、キャリアと他方のガイドレールは、線接触あるいは面接触する。このような搬送方法を使用すると、他方のガイドレール側へのベアリングから受ける押圧力に不均衡が生じ、キャリアとガイドレールとの接触が平行を保てない状態が発生する。そして、この状態は、キャリアが、ガイドレールに対して傾いて搬送される原因となる。キャリアが傾いた状態で搬送されると、イオンビームの照射位置と、イオンビームの照射を受ける基板の位置がずれて正確な処理ができないという問題があった。
【０００５】
本発明は、以上のような課題を解決するためのものであり、板状部材を適切に位置決めしながら搬送できる板状部材搬送装置を備えた周波数調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係る周波数調整装置は、
板状部材を所定の搬送方向に搬送する搬送部と、
前記所定の搬送方向に沿って配置され、搬送される前記板状部材の１辺と当接する頂点をそれぞれ有する複数の位置決め部材と、
前記複数の位置決め部材が配置された位置と対向する位置で、前記複数の位置決め部材との間に搬送される前記板状部材が配置される位置に設けられた押圧部材であって、前記板状部材を、一対の位置決め部材が配置された方向に押圧する押圧部材と、を備える板状部材搬送装置であって、
前記押圧部材は、前記一対の位置決め部材のそれぞれの頂点を、前記板状部材が搬送される方向と垂直で、前記押圧部材が設けられた側に延長した延長線上の間に配置され、
前記押圧部材は、搬送される前記板状部材の１辺と当接する接点を有し、当該接点により前記板状部材を押圧する第１のローラと、当該第１のローラを前記一対の位置決め部材が配置された方向に付勢する付勢部材と、前記所定の搬送方向に沿って、かつ搬送される前記板状部材の板面に対して垂直に配置された回転軸と、一端部に前記第１のローラが取付けられ他端部が前記回転軸に固定されて前記回転軸を中心に揺動し、前記第１のローラを、搬送される前記板状部材に当接する方向と当該板状部材から離間する方向とに移動させる揺動部材と、を備えた、板状部材搬送装置と、
前記板状部材搬送装置で搬送される前記板状部材に載置された水晶振動子の発振周波数を測定する周波数測定部と、
測定された発振周波数が、所望の発振周波数から外れた前記水晶振動子にイオンビームを照射するイオンガンと、
を備える周波数調整装置であって、
前記板状部材に載置された水晶振動子は、前記搬送方向と垂直に並べられた一列の水晶振動子を前記搬送方向に沿って複数列並べることでマトリクス状に構成され、
前記周波数測定部は、前記複数列の水晶振動子の何れか一列の水晶振動子と対向するように配置され、
前記一対の位置決め部材と、前記第１のローラとは、前記第１のローラを頂点とする二等辺三角形を形成する位置に配置され、
前記周波数測定部と、前記何れか一列の水晶振動子とは、前記一対の位置決め部材のそれぞれの頂点を結んだ線の中心点と、前記第１のローラの接点と、を結んだ線上に配置される、ことを特徴とする。
前記搬送部は、前記搬送方向に沿って延在するボールねじと、前記ボールねじと螺合する螺合部と、前記螺合部から前記搬送方向と垂直に延在し前記板状部材を保持するアーム部と、を備えてもよい。
【０００９】
前記複数の位置決め部材は、一対の第２のローラを備え、前記板状部材は、当該第１のローラと当該一対の第２のローラとの間において、挟持されて搬送されてもよい。
【００１０】
前記板状部材を前記複数の位置決め部材に向けて案内する案内部が設けられてもよい。
【００１１】
前記搬送部が、所定距離の移動と停止とを繰り返すピッチ送り搬送を行い、停止の間に前記イオンビームを照射して、マトリクス配列した水晶振動子を列単位で周波数調整してもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、板状部材を適切に位置決めしながら搬送できる板状部材搬送装置を備えた周波数調整装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態に係る板状部材搬送装置を備えた周波数調整装置を模式的に示す図である。
【図２】本実施の形態に係る板状部材搬送装置の斜視図である。
【図３】本実施の形態に係る板状部材搬送装置の上面図である。
【図４】本実施の形態に係る板状部材搬送装置の要部を示す斜視図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は本実施の形態に係る板状部材搬送装置の搬送方法を時系列的に示す斜視図である。
【図６】本実施の形態に係る板状部材搬送装置の原理を示す図である。
【図７】本実施の形態の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態に係る板状部材搬送装置、及び板状部材搬送装置を備えた周波数調整装置について、図面を参照して説明する。
以下では、理解を容易にするため、板状部材搬送装置を利用して本発明が実現される実施の形態を説明するが、以下に説明する実施の形態は説明のためのものであり、本願発明の範囲を制限するものではない。したがって、当業者であればこれらの各要素もしくは全要素をこれと均等なものに置換した実施の形態を採用することが可能であるが、これらの実施の形態も本発明の範囲に含まれる。
【００１６】
図１は、本発明の板状部材搬送装置を備えた周波数調整装置を概念的に示す図である。理解を容易にするために、搬送されるキャリアの搬送方向をＸ軸、キャリアの面に垂直な方向をＹ軸、キャリアの奥行き方向をＺ軸とする。また、本実施の形態では、板状部材として、水晶振動子を上面に載置したキャリアを例にして説明する。
【００１７】
周波数調整装置１は、エッチング室３内に配置され、エッチング室３は、ゲートバルブ５aを介して仕込み室２と接続され、ゲートバルブ５ｂを介して、取出室４と接続されている。
周波数調整装置１は、コンタクト１０、イオンガン１１、シャッタ１２、制御部１３、板状部材搬送装置１４から構成される。板状部材搬送装置１４の構成についての詳細は、後述する。
【００１８】
コンタクト１０は、水晶振動子７の発振周波数を測定するものである。発振周波数を測定される水晶振動子７は、トレイ６の収容部９に収容され、さらにトレイ６は、キャリア８に搭載されてエッチング室３に搬入される。キャリア８には位置決めピン８ａが形成され、トレイ６に形成された位置決め穴６ａ及び６ｂに位置決めピン８ａが嵌合することでトレイ６の位置決めがされる。位置決め穴６ａ又は６ｂの一方は位置決めピン８ａの形状に略一致し、他方は位置決めピン８ａの形状よりも大きい長穴に形成される。キャリア８とトレイ６の位置決め手段はこれに限られない。図１では、理解を容易にするために、キャリア８の図示を省略する。図２、及び図４乃至図７では位置決めピン及び位置決め穴の図示を省略する。
【００１９】
図３または４に示すように、キャリア８は、好ましくは、矩形形状であり、金属材やプラスチック等からなる。キャリア８には、複数の水晶振動子７が搭載されたトレイ６を収納するための凹部４１が設けられている。本実施の形態ではキャリア８にトレイ６が搭載される構成であるが、トレイを省略しキャリアに直接水晶振動子７を搭載してもよい。
【００２０】
トレイ６には、複数の水晶振動子７を収容するための複数の収容部９が、マトリクス状に形成されている。本実施の形態では、トレイ６には、搬送方向と垂直なＺ軸方向に７列、搬送方向と平行するＸ軸方向に６行の個々の収容部９が、形成されている。すなわち、トレイ６上には、一列に６個の収容部９が形成され、このような列が７つあるので、全部で４２個の収容部９が形成されている。各収容部９は、図１に示すように貫通孔として形成され、上部は、水晶振動子７を受け入れるために大きく開口され、下部は、イオンガン１１から照射されるイオンビームを通過させるために小さく開口されている。
【００２１】
コンタクト１０は、トレイ６の上方に、収容部９の搬送方向の列と平行に配置される。図１乃至４に示すように、コンタクト１０は、トレイ６上に形成された収容部９の一列より長い長さを有し、トレイ６に向かって、プローブピン本体１５が突出している。プローブピン本体１５は、一対のプローブピン１５a、１５bとからなる。プローブピン本体１５の数は、トレイ６の一列に設けられた収容部の数と同一、すなわち、本実施の形態では、６個である。
【００２２】
プローブピン本体１５を有するコンタクト１０は、駆動装置（図示せず）により、Ｙ軸方向に上下移動し、発振周波数測定対象の水晶振動子７に接触して、発振周波数の測定を行う。またコンタクト１０は、図２に示すＸ−Ｙステージ１０ａによりＸ軸方向及びＹ軸方向に駆動し、水晶振動子７に形成された電極に対して正確にプローブピンが接触されるように位置合わせされる。
【００２３】
制御部１３は、コンタクト１０の上下移動の制御、イオンガンの照射の有無及び量を制御するものである。制御部１３は、コンタクト１０により測定された水晶振動子７の発振周波数が、所望の発振周波数か否かを判断する。そして、所望の発振周波数でないときには、水晶振動子７にイオンガン１１からイオンビームを照射して、所望の発振周波数になるまで水晶振動子７をエッチングするように指示する。
【００２４】
イオンガン１１は、トレイ６の下方に配置され、イオンビームを水晶振動子７に照射し、目的とする発振周波数に一致するまで照射するように制御部１３により制御される。
【００２５】
シャッタ１２は、トレイ６のイオンビームが照射される側に配置され、シャッタ１２の開閉によりイオンビームの水晶振動子７への照射量を制御する。本実施の形態では、シャッタ１２はキャリア８に搭載された水晶振動子７と１対１対応で１列分、すなわち６個配置される。シャッタ１２は夫々独立の図示しない駆動源に接続され、個別の水晶振動子７に対応して開閉する。
【００２６】
次に、図２、３及び４を参照して、本実施の形態に係る板状部材搬送装置を説明する。
図２は、本実施の形態に係る板状部材搬送装置の斜視図であり、図３は、同じく板状部材搬送装置の上面図であり、図４は、同じく板状部材搬送装置の要部を示す斜視図である。
本実施の形態に係る板状部材搬送装置は、ガイドレール２１と、押圧部２２と、位置決め部材２３と、搬送部２４とを備える。
【００２７】
ガイドレール２１は、一対のレール２１a、２１bから構成される。当該一対のレール２１a、２１b間に、キャリア８が配置されて搬送される。
【００２８】
押圧部２２は、ガイドレール２１の一方のレール２１ａ上に設けられ、搬送されるキャリア８の１つの辺に対して、押圧力を加える。押圧部２２は、たとえば、ローラ２５と、保持部２６と、弾性部材２７とからなる。ローラ２５は、たとえば、ベアリング等の円柱状部材からなり、円柱の外周面において、キャリア８の一側面と線接触する。ローラ２５は、搬送されるキャリア８に押圧力を加えながら、回転軸を中心に回転する。
【００２９】
保持部２６は、板状部材からなり、一端部に突起部２６aが形成され、他端部は、レール２１a上に回動自在に固定される。突起部２６aには、ローラ２５が回動自在に保持される。保持部２６の、ローラ２５が保持された側と対向する側には、弾性部材２７の一端部が接続されている。弾性部材２７の他端部は、壁面等（図示せず）に接続される。弾性部材２７は、例えばスプリングバネ等で形成される。弾性部材２７は、ローラ２５をキャリア８方向に押圧する力を発生させる。
【００３０】
このような構成を有する押圧部２２において、突起部２６aに保持されたローラ２５は、保持部２６のレール２１aに固定された部分を中心に揺動運動が可能である。本実施の形態では、回転軸２６ｂを支点に図示しない駆動源により回転自在な構成となっている。キャリア８が一対のガイドレール２１間を搬送される際には、弾性部材２７がローラ２５を介してキャリア８に対して押圧力を発生させる。
【００３１】
位置決め部材２３は、押圧部２２が設けられたレール２１aと対向するレール２１ｂ上に設けられる。位置決め部材２３は、ローラ等の回転する部材からなり、搬送されるキャリア８の一辺に接触する。位置決め部材２３は、好ましくは、第１の位置決め部材２３aと第２の位置決め部材２３ｂとからなる。
【００３２】
第１の位置決め部材２３a及び第２の位置決め部材２３ｂと、押圧部２２との位置関係は、図６に示すような位置関係を有することが好ましい。図６は、第１の位置決め部材２３a及び第２の位置決め部材２３ｂと、押圧部２２との位置関係を模式的に示す上面図である。
【００３３】
押圧部２２のローラ２５は、第１の位置決め部材２３aのキャリア８との接触点ｘを、搬送方向Ａと垂直であるＺ軸方向で、押圧部２２側に延長した延長線Ｂと、第２の位置決め部材２３ｂのキャリア８との接触点ｙを、搬送方向Ａと垂直であるＺ軸方向で、押圧部２２側に延長した延長線Ｃとの間に、配置される。
【００３４】
第１の位置決め部材２３aのキャリア８との接触点ｘ、第２の位置決め部材２３bのキャリア８との接触点ｙ、及びローラ２５とキャリア８との接触点ｚを結んだ線が、接触点ｚを頂点とする二等辺三角形となる位置に配置する。
また、ローラ２５は、ローラ２５の直径と接触点ｚを通る中心線６１が、接触点ｘと接触点ｙとを結んだ線分Ｃの中間点ｗを通るように、配置される。
【００３５】
このような配置により、ローラ２５に弾性部材２７による押圧力が付与されると、ローラ２５からキャリア８に加えられた押圧力は、他方のレール２１ｂに設けられた第１の位置決め部材２３a、第２の位置決め部材２３bで均等に支持される。
そして、キャリア８のレール２１ｂに対向する面は、第１の位置決め部材２３aの接触点ｘと第２の位置決め部材２３ｂの接触点ｙとを結んだ線分Ｃと平行に位置決めされる。
【００３６】
また、ガイドレール２１には、トレイ６を載置したキャリア８を、第１の位置決め部材２３a、第２の位置決め部材２３bに案内する案内部３３が設けられている。案内部３３は、ガイドレール２１のキャリア８を搬入する側に設けられ、好ましくは、レール２１a、２１bのそれぞれに２つづつ設けられる。
【００３７】
搬送部２４は、キャリア８を搬送方向であるＸ軸方向に搬送する。搬送部２４は、図２、３に示すように、ガイドレール２１と平行に配置されたボールネジ軸２８、ボールねじナット２９、チャック機構３０とからなる。
【００３８】
ボールねじ軸２８は、円柱軸の表面にネジ溝が形成され、ボールねじナット２９の内面に形成されたネジ溝と螺合する。そして、ボールねじ軸２８が回転されると、螺合されたボールねじナット２９が、Ｘ軸方向に並進される。ボールねじ軸２８はガイドレール２１ｂに取り付け固定される。ボールねじ軸２８、第１の位置決め手段２３ａ、及び第２の位置決め手段２３ｂがガイドレール２１ａを基準として一体に取り付け固定されているため、キャリアの搬送方向とガイド及び位置決め機構との平行が保たれる。
ボールねじナット２９には、搬送方向（Ｘ軸Ａ方向）と垂直に配置されるチャック機構３０が固定されている。
【００３９】
チャック機構３０は、アームベース３１とマグネット部３２とからなる。アームベース３１は、キャリア８の搬送方向（Ｘ軸のＡ方向）に垂直に配置され、キャリア８側にマグネット部３２を有する。チャック機構３０に対向するキャリア８の端部には、磁性体（図示せず）が形成され、チャック機構３０側のマグネット部３２とキャリア８側の磁性体が磁力により結合する。キャリア８は、チャック機構３０との結合により、Ｚ軸方向の位置決めがなされる。
【００４０】
このような構成を有する板状部材搬送装置を用いた周波数調整装置での処理の方法について、図１〜５を用いて説明する。
【００４１】
まず、図１に示すように、水晶振動子７が収容部９に収納されたトレイ６をキャリア８上に載置して、仕込室２に搬入する。仕込室２が所定の真空状態になるように真空引きされ、所定の真空状態になると、ゲートバルブ５aが解放され、キャリア８は、所定の真空状態になっているエッチング室３に搬入される。このときコンタクト１０は、予めＸ−Ｙステージ１０ａが調整されており、搬送装置に対するプローブピンの位置決めは実施済みである。
【００４２】
キャリア８は、搬入の際には、ガイドレール２１の板状部材搬入側に設けられた案内部３３により、案内されて、ガイドレール２１内に配置される。案内部３３は、キャリア８を、ガイドレール２１の第１の位置決め部材２３a、第２の位置決め部材２３ｂの位置までスムーズに搬入する補助的な役割を有する。
【００４３】
そして、ガイドレール２１内に搬入されたキャリア８の一端部に設けられた磁性体が、チャック機構３０のマグネット部３２に結合される。図３に示すように、ボールねじ軸２８が駆動部により回転駆動され、ボールねじ軸２８に螺合するボールねじナット２９がＸ軸方向に並進する。ボールねじナット２９に固定されたチャック機構３０及びチャック機構に結合されたキャリア８は、ボールねじナット２９の並進方向と同一方向に搬送される。
【００４４】
ボールねじ軸２８は、ガイドレール２１と平行に配置され、ガイドレール２１に垂直に配置されたキャリア８が、ボールねじナット２９とともに並進するので、キャリア８は、ガイドレール２１を基準として、Ｚ軸方向の位置決めがされる。
【００４５】
案内部３３により案内され、チャック機構３０に結合されたキャリア８は、ボールねじ軸２８が所定量回転することより、所定の距離をＸ軸方向に移動される。キャリア８の先端が位置決め部材２３の位置に進入するまでは、保持部２６は図示しない駆動源により位置決め部材２３と押圧部２２との距離を広げる方向に回転軸２６ｂを支点に回転した状態となっている（図５（ａ)参照）。
キャリア８の先端が位置決め部材２３の位置に進入して更にＸ軸方向に移動した後、位置決め部材２３と押圧部２２との距離を狭める方向に保持部２６が回転駆動し、弾性部材２７がローラ２５をｚ軸方向に付勢して、位置決め部材２３とローラ２５によりキャリア８のｚ軸方向の位置が位置決めされる。そして、キャリア８は、トレイ６に収容された水晶振動子７の搬送方向（Ｘ軸のＡ方向）の第一番目の列がイオンガン１１及びコンタクト１０に対面する位置まで移動され、停止される（図５(ｂ)参照）。キャリア８の移動及び停止の間、弾性部材２７は継続してローラ２５を位置決め部材２３の方向（ｚ軸方向）に付勢する。
【００４６】
図１に示すように、キャリア８の移動が停止されると、トレイ６に収容された水晶振動子７の発振周波数が測定される。発振周波数はイオンガン１１からのイオンビームの照射と同時に測定され、所望の発振周波数となった時点でシャッタ１２を閉じ、周波数調整を終了させる。発振周波数は、コンタクト１０に設けられた一対のプローブピン１５a、１５ｂにより測定される。測定された発振周波数のデータは、制御部１３に送信される。制御部１３において、発振周波数の調整が必要であると判断されると、所定の時間シャッタ１２を開き、イオンガン１１からイオンビームを水晶振動子７に照射してもよい。
【００４７】
イオンビームは列単位でまとめて照射され、各行に設けたシャッタ１２の独立開閉制御により、1列全ての水晶振動子７を同時かつ個別に周波数調整する。イオンビームは、トレイ６の収容部９に収納された水晶振動子７に対して、１列目１行目から最後の６行目まで順次照射してもよい。この場合イオンビームの照射は、発振周波数の調整が不要である水晶振動子７には行う必要がないので、イオンガン１１は、イオンビームの照射が必要な水晶振動子７に対してのみ、Ｚ軸上を間欠的に移動する。本実施の形態では、発振周波数の調整が不要である水晶振動子７は対応するシャッタ１２を閉じたままにすればよい。シャッタ１２は水晶振動子７と１対１対応でなくてもよく、開閉制御も自由に設定すればよい。
【００４８】
トレイ６上の水晶振動子７の最初の１列目の発振周波数の測定及び調整が終了すると、トレイ６を載置したキャリア８は、予め設定された移動距離、すなわち、２列目の水晶振動子７上にコンタクト１０がくるように、搬送部１４により搬送される。搬送部１４は、前記マトリクスの列間隔の整数倍をピッチ間隔（予め設定された移動距離）とするピッチ送り搬送を行う。本実施の形態では列間隔とピッチ間隔が一致しているが、例えば２列同時に周波数調整する場合は列間隔の２倍の距離をピッチ間隔としてピッチ送り搬送すればよい。そして、１列目の水晶振動子７上にコンタクト１０が配置されたときと同様に、２列目の水晶振動子７について発振周波数を測定し、イオンビームが照射される。図５（ｃ）は、７列から構成される収容部９のうち、真ん中の４列目の収容部９の位置の上部にコンタクト１０が位置するまで、キャリア８が移動された状態を示す図である。
【００４９】
最終的に、７列目の収容部９の上部に、コンタクト１０が位置するまで、キャリア８が移動され（図５（ｄ)）、発振周波数の測定及び調整が行われる。エッチング室３内での全ての処理が終了すると、押圧部２２の付勢が解除され、ゲートバルブ５ｂが開き、キャリア８（トレイ６）はエッチング室３から取出室４に、取り出される。
【００５０】
次に、本実施の形態に係る板状部材搬送装置を用いて、板状部材を搬送したときの押圧部２２と位置決め部材２３の動作を、図３、４、及び６用いて詳述する。
【００５１】
キャリア８は、ガイドレール２１上で、トレイ６上の水晶振動子７の１列分づつ搬送方向（Ｘ軸Ａ方向）に間欠的に移動される。キャリア８が水晶振動子７の１列分動くときは、キャリア８の一方の側面が押圧部２２のローラ２５により、位置決め部材２３側に押されながら動く。その際、保持部２６の他端部がレール２１aに固定されているので、保持部２６は、他端部の固定された箇所を中心に、揺動運動をするように構成されている。したがって、保持部２６の突起部２６aに保持されたローラ２５は、搬送方向Ａに間欠移動されるキャリア８の動きにスムーズに追従しながら、キャリア８に押圧力をかけることができる。
【００５２】
さらに、第１の位置決め部材２３aと第２の位置決め部材２３ｂであるローラを、レール２１ｂ上に設けている。したがって、キャリア８が搬送方向に向けて間欠移動される際には、当該ローラは、押圧部２２からの押圧力を受け止め、押圧部２２との間でキャリア８を挟持することができる。
【００５３】
また、押圧部２２と位置決め部材２３a、位置決め部材２３ｂとは、好ましくは、キャリア８との接触点ｘ、ｙ、ｚを結んだ線が二等辺三角形を形成するように配置される。具体的には、押圧部２２のローラ２５とキャリア８との接触点ｚを頂点とし、第１の位置決め部材２３aとキャリア８との接触点ｘ、第２の位置決め部材２３ｂとキャリア８との接触点ｙとで、二等辺三角形が形成される。したがって、押圧部２２からキャリア８を介して第１の位置決め部材２３a及び第２の位置決め部材２３bとにそれぞれに加わる力は、均等となって伝わる。このような位置関係を有することで、キャリア８の位置決め部材と接触する面は、接触点ｘと接触点ｙとを結ぶ線分Ｃに対して平行となるよう位置決めをされながら搬送される。
【００５４】
また、水晶振動子７の発振周波数を測定する時に、水晶振動子７の列と、発振周波数を測定するコンタクト１０のプローブが並ぶ線が、ローラ２５とキャリア８の接触点ｚと、第１の位置決め部材２３aのキャリア８との接触点ｘと第２の位置決め部材２３ｂのキャリア８との接触点ｙとを結んだ線の中心点とを結んだ中心線６１と重なるように、押圧部２２と位置決め部材２３は配置される。したがって、発振周波数測定時に、コンタクト１０と水晶振動子７とのＺ軸方向の位置決めがなされる。コンタクト１０に設けられたプローブピン本体１５は水晶振動子７に形成された電極面に正確に接触しなければ周波数を測定することができない。近年水晶振動子は小型化の一途をたどっており、電極面積は極小であるため、水晶振動子７とコンタクト１０のわずかな位置ずれが測定不良を発生させてしまう。押圧部２２と位置決め部材２３により形成される二等辺三角形の中心線６１上にプローブピン本体１５を配置し、プローブピン本体１５の直下でキャリア８の位置出しを行うことにより、水晶振動子７に形成された電極とプローブピン本体１５との位置出しを高精度に行うことができるため、コンタクトずれによる測定不良を低減させることが可能となる。
【００５５】
また、搬送部は、ガイドレール２１と平行に配置されたボールねじ機構により構成されているので、キャリア８は、搬送方向Ｘ軸に対して、位置決めをされて搬送することができる。
【００５６】
このように、本実施の形態によれば、押圧部２２を、第１の位置決め部材２３aとキャリア８との接触点の押圧部２２側への延長線と、第２の位置決め部材２３ｂのキャリアとの接触点の押圧部２２側への延長線との間に配置したことにより、キャリアを搬送方向に対して適切に位置決めすることができる。
【００５７】
また、押圧部２２と、第１の位置決め部材２３aと、第２の位置決め部材２３ｂとをの位置関係を好ましくは二等辺三角形として位置付けことにより、位置決め部材にかかる力を均等にすることができる。さらに、ボールねじ軸とガイドレールを平行に配置したので、コンタクト１０とキャリア８上の水晶振動子の列との位置決めを正確に行うことができる。
【００５８】
なお、本実施の形態は、位置決め部材は、第１の位置決め部材と第２の位置決め部材からなる説明をしたが、本実施の形態は、これに限定されない。たとえば、位置決め部材が３つであってもよい。図６の第１の位置決め部材と第２の位置決め部材の中間地点に更に、もうひとつの位置決め部材を設けてもよい。
【００５９】
また、本実施の形態では、押圧部２２と、第１の位置決め部材２３aと、第２の位置決め部材２３ｂとの位置関係を好ましくは二等辺三角形として位置付ける構成としたが、本実施の形態は、これに限定されない。第１の位置決め部材２３aとキャリアの接触点の延長線と第２の位置決め部材２３ｂとキャリアの接触点の延長線上の間であれば、いずれの位置に配置してもよい。
【００６０】
また、押圧部２２と、第１の位置決め部材２３aと、第２の位置決め部材２３ｂとは、ローラである例を用いて説明したが、本実施の形態は、これに限定されない。たとえば、ゴムなどの弾性部材を用いることにより、キャリア８と、 押圧部２２、第１の位置決め部材２３a、第２の位置決め部材２３ｂとの間で、キャリア８を摺動させて搬送させてもよい。但し、ゴムなどの弾性部材を用いる場合、押圧を解除してからキャリア８を移動し、キャリア８が停止してから再度押圧して位置決めする手順となるため、列単位の周波数調整が完了する都度、次列の準備のために解除と押圧の動作を繰り返し、押圧部２２の動作時間がタクトタイムに影響を及ぼすという問題がある。これに対し、ローラによる押圧の場合、キャリア８の移動の間押圧を解除することが不要であるため、処理時間の短縮に貢献する。列単位の周波数調整のような、停止と搬送を順次繰り返すピッチ送りの製造工程において、位置決め部材にローラを用いることが特に有利である。更に、ローラを用いることで、キャリア８を押圧しながら搬送することができるため、ピッチ送り搬送でなく連続搬送（停止せず搬送）することも可能である。
【００６１】
また、本実施の形態では、処理される対象として、水晶振動子を例として説明したが、本実施の形態は、これに限定されない。電子回路を搭載した回路基板なども対象となる。
【００６２】
また、本実施の形態では、トレイ６上には、７列６行のマトリクス状の収容部９が形成されることを例に説明したが、本実施の形態は、これに限定されない。収容部９の数は、半導体等の製造工程の段階、規模によりことなり、トレイ上にどのような容量の収容部９を設けるかは、適宜選択される。また、トレイのサイズ、形状も同様に、任意に選択することが可能である。
【００６３】
（変形例）
本実施の形態では、位置決め部材をレール上に設ける例を説明したが、本実施の形態はこれに限定されない。図７は、変形例を示す上面図である。
【００６４】
本変形例における板状部材搬送装置は、第１の位置決め部材７１a、第２の位置決め部材７１bと、レール７３aと、レール７３ｂと、押圧部７２とを含む。一方のレール７３aには、切り欠部７４が形成され、第１の位置決め部材７１aと、第２の位置決め部材７１bとは、当該切り欠部７４内に設けられる。キャリア８と第１の位置決め部材７１aの接触点ｘと、キャリア８と第２の位置決め部材７１ｂの接触点ｙとは、レール７３aの壁面と同一面上に位置するように配置される。
【００６５】
このような構成を取ることにより、キャリア８は、レール７３aとレール７３ｂとの間で、それぞれの壁面に接触されて保持されるようになる。したがって、キャリア８は、搬送方向Ａに対して、より確実に位置決めをされる。
【００６６】
また、押圧部７２は、複数のラック状の溝部７２ａを有する部材で形成され、キャリア８とは、キャリア８のレール７３ｂと接する側に設けられた係合部（図示せず）と係合して、キャリア８を第１の位置決め部材７１a、第２の位置決め部材７１ｂ側へ押圧する。係合部として、ラック状の溝７２ｂと咬み合うラック状の複数の溝部を形成することができる。
【００６７】
このような構成とすることにより、押圧部７２からの押圧力をキャリア８に確実に加えることができる。
【００６８】
本変形例では、押圧部７２をラック状の複数の溝で形成する例を説明したが、キャリア８側にのみラック状の複数の溝部を形成して、押圧部７２は、ローラとしてもよい。このような構成を採用することで、溝部との摩擦力を軽減することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
以上説明したように、本発明は、板状部材を適切に位置決めしながら搬送できる板状部材搬送装置を備えた周波数調整装置を提供することができる。
【符号の説明】
【００７０】
１  周波数調整装置
２  仕込室
３  エッチング室
４  取出室
５a  ゲートバルブ
５ｂ  ゲートバルブ
６  トレイ
６ａ  位置決め用穴
７  水晶振動子
８  キャリア
８ａ  位置決め用ピン
９  収容部
１０  コンタクト
１０ａ  Ｘ−Ｙステージ
１１  イオンガン
１２  シャッタ
１３   制御部   
１４  板状部材搬送装置
１５  プローブピン本体
１５a プローブピン
１５ｂプローブピン
２１  ガイドレール
２１aレール
２１ｂレール
２２  押圧部
２３  位置決め部材
２３a第１の位置決め部材
２３ｂ第２の位置決め部材
２４  搬送部
２５  ローラ
２６  保持部
２６a 突起部
２７  弾性部材
２８  ボールねじ軸
２９  ボールねじナット
３０  チャック機構
３１  アームベース    
３２  マグネット部
３３  案内部
４１  凹部
６１  中心線
７１a 第１の位置決め部材
７１ｂ第２に位置決め部材
７３aレール
７３ｂレール
７２  押圧部
７２a溝部
７４  切り欠部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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