(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータ素子を有するディスク装置用サスペンションであって、
前記アクチュエータ素子を収容する開口を有しかつ前記アクチュエータ素子の一端が固定される固定部分と前記アクチュエータ素子の他端が固定される可動部分とを有しかつ前記固定部分と前記可動部分とをつなぐブリッジ部を有した第１プレートと、
前記第１プレートに対し厚さ方向に重なる本体部と、前記アクチュエータ素子の前記一端および前記他端を支持する支持部と、前記ブリッジ部と重なるブリッジ部分と、該ブリッジ部分の一端と他端にそれぞれ形成され前記ブリッジ部よりも幅が狭い幅狭部とを有した第２プレートと、
前記幅狭部において前記第１プレートと第２プレートとを互いに溶着してなる溶着封止部と、
前記アクチュエータ素子の前記一端および前記他端と前記開口の内面との間に設けられた接着剤と、
を具備したことを特徴とするディスク装置用サスペンション。
【請求項２】
前記第１プレートと第２プレートとを互いに固定する固定部をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のディスク装置用サスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばＰＺＴ等からなるアクチュエータ素子を備えたディスク装置用サスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータ等の情報処理装置に、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジはアクチュエータアームを有し、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータによって、ピボット軸を中心にディスクのトラック幅方向に旋回する。
【０００３】
前記アクチュエータアームにサスペンションが取付けられている。サスペンションは、ロードビーム(load beam)と、ロードビームに重ねて配置されるフレキシャ(flexure)などを含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部に、磁気ヘッドを構成するスライダが取付けられている。スライダには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子（トランスジューサ）が設けられている。
【０００４】
ディスクの高記録密度化に対応するためには、ディスクの記録面に対して磁気ヘッドをさらに高精度に位置決めできるようにすることが必要である。そのために、例えば特開２００１−３０７４４２号公報（特許文献１）や特開２００２−５０１４０号公報（特許文献２）に開示されているように、ポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）とＰＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）等の圧電体からなるアクチュエータ素子とを併用するＤＳＡサスペンションが開発されている。ＤＳＡはデュアルステージアクチュエータ（Dual Stage Actuator）の略である。
【０００５】
前記アクチュエータ素子に電圧を印加し、アクチュエータ素子を変形させることによって、サスペンションの先端側をスウェイ方向（トラック幅方向）に高速で微小量移動させることができる。このアクチュエータ素子は、サスペンションの一部に設けられたアクチュエータ搭載部に配置されている。
【０００６】
アクチュエータ搭載部の一部をなすプレート部材に開口が形成され、この開口に前記アクチュエータ素子が収容されている。例えば特開２００２−１８４１４０号公報（特許文献３）に開示されているように、開口を有するプレート部材は固定部分と可動部分とを有している。そしてアクチュエータ素子の一端がプレート部材の前記固定部分に接着剤によって固定されている。アクチュエータ素子の他端は、前記プレート部材の前記可動部分に接着剤によって固定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−３０７４４２号公報
【特許文献２】特開２００２−５０１４０号公報
【特許文献３】特開２００２−１８４１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記プレート部材の一例は、第１プレートと第２プレートとからなる。これら第１プレートと第２プレートとは、互いに厚さ方向に重ねた状態でレーザ溶接によって固定されている。前記接着剤は、未硬化の状態で前記プレート部材の開口の内面に供給される。そして前記開口にアクチュエータ素子が配置されたのち、前記接着剤が硬化する。しかし第１プレートと第２プレートとからなる前記プレート部材の場合、第１プレートと第２プレートとの合わせ面に接着材が毛細管現象によって入り込むことがある。第１プレートと第２プレートとの間に入り込んだ接着剤は、アクチュエータ搭載部の剛性に影響を与える可能性があり、ひいてはアクチュエータ搭載部の特性に悪影響が生じるおそれがある。
【０００９】
従ってこの発明の目的は、ＰＺＴ等のアクチュエータ素子を備えたサスペンションにおいて、アクチュエータ素子を固定する接着剤がアクチュエータ搭載部の剛性に影響を与えることを抑制できるディスク装置用サスペンションを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のディスク装置用サスペンションは、第１プレートと第２プレートとからなるプレート部材を備えている。前記第１プレートはアクチュエータ素子を収容する開口を有し、かつ、前記アクチュエータ素子の一端が固定される固定部分と、前記アクチュエータ素子の他端が固定される可動部分と、前記固定部分と前記可動部分とをつなぐブリッジ部を有している。前記第２プレートは、前記第１プレートに対し厚さ方向に重なる本体部と、前記アクチュエータ素子の前記一端および前記他端を支持する支持部と、前記ブリッジ部と重なるブリッジ部分と、該ブリッジ部分の一端と他端にそれぞれ形成され前記ブリッジ部よりも幅が狭い幅狭部とを有している。この幅狭部には、前記第１プレートと第２プレートとを互いに溶着してなる溶着封止部が設けられている。前記アクチュエータ素子の前記一端および前記他端と前記開口の内面との間に、接着剤が設けられている。
【００１１】
本発明の１つの実施形態では、前記幅狭部が前記支持部の近傍で該支持部の幅よりも狭い領域に形成されている。この実施形態において、前記幅狭部が前記支持部の幅方向に間隔を存して複数形成され、これら幅狭部のそれぞれに前記溶着封止部が設けられていてもよい。
【００１２】
他の実施形態では、前記第１プレートが前記固定部分と前記可動部分とをつなぐブリッジ部を有し、前記幅狭部が前記第２プレートの前記本体部のうち前記ブリッジ部と重なるブリッジ部分に形成されている。また、前記第１プレートと第２プレートとを互いに結合するための溶接部をさらに備えていてもよい。この実施形態において、前記溶接部と前記溶着封止部とがいずれもレーザスポット溶接部であってもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、アクチュエータ素子を固定する接着剤が第１プレートと第２プレートとの間に入り込むことを抑制できることにより、アクチュエータ搭載部の剛性が接着剤によって影響を受けることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ディスク装置の一例を示す斜視図。
【図２】図１に示されたディスク装置の一部の断面図。
【図３】第１の実施形態に係るサスペンションの斜視図。
【図４】図３に示されたサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。
【図５】図４中のＦ５−Ｆ５線に沿うアクチュエータ搭載部の断面図。
【図６】図４に示されたアクチュエータ搭載部の第１プレートの一部の平面図。
【図７】図４に示されたアクチュエータ搭載部の第２プレートの一部の平面図。
【図８】第２の実施形態に係るサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。
【図９】図８に示されたアクチュエータ搭載部の第２プレートの一部の平面図。
【図１０】第３の実施形態に係るサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。
【図１１】図１０に示されたアクチュエータ搭載部の第２プレートの一部の平面図。
【図１２】第４の実施形態に係るサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。
【図１３】第５の実施形態に係るサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。
【図１４】第６の実施形態に係るサスペンションの斜視図。
【図１５】図１４に示されたサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に本発明の第１の実施形態に係るディスク装置用サスペンションについて、図１から図７を参照して説明する。  
図１に示すディスク装置（ＨＤＤ）１は、ケース２と、スピンドル３を中心に回転するディスク４と、ピボット軸５を中心に旋回可能なキャリッジ６と、キャリッジ６を駆動するためのポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）７などを有している。ケース２は、図示しない蓋によって密閉される。
【００１６】
図２はディスク装置１の一部を模式的に示す断面図である。図１と図２に示されるように、キャリッジ６にアーム（キャリッジアーム）８が設けられている。アーム８の先端部にサスペンション１０が取付けられている。サスペンション１０の先端部に、磁気ヘッドを構成するスライダ１１が設けられている。ディスク４が高速で回転すると、ディスク４とスライダ１１との間にエアベアリングが形成される。
【００１７】
ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、スライダ１１がディスク４の所望トラックまで移動する。スライダ１１の端部には、例えばＭＲ素子のように磁気信号と電気信号とを変換可能な素子が設けられている。この素子によって、ディスク４に対するデータの書込みあるいは読取り等のアクセスが行なわれる。
【００１８】
図３は、ＤＳＡタイプのサスペンション１０を示している。ＤＳＡはデュアルステージアクチュエータ（Dual Stage Actuator）の略である。サスペンション１０は、キャリッジ６のアーム８（図１と図２に示す）に固定されるベース部２０と、アクチュエータ搭載部２１と、ロードビーム２２と、配線付きフレキシャ(flexure with conductors)２３などを備えている。ベース部２０には、前記アーム８に形成された孔８ａ（図２に示す）に挿入されるボス部２０ａが形成されている。
【００１９】
図３に矢印Ｘで示す方向がロードビーム２２の長手方向すなわちサスペンション１０の長手方向（前後方向）である。矢印Ｓがスウェイ方向である。ロードビーム２２の基部（後端部）には、厚さ方向に弾性的に撓むことができるヒンジ部２５が形成されている。アクチュエータ搭載部２１は、ベース部２０とロードビーム２２との間に設けられ、ロードビーム２２を前記スウェイ方向（矢印Ｓで示す方向）に動かす機能を有している。
【００２０】
フレキシャ２３はロードビーム２２に沿って配置され、レーザスポット溶接等の固定手段によってロードビーム２２に固定されている。ロードビーム２２の先端部付近すなわちフレキシャ２３の先端部付近に、ジンバル部として機能するタング２３ａ（図３に示す）が形成されている。タング２３ａには、磁気ヘッドをなすスライダ１１が取付けられている。これらロードビーム２２と、フレキシャ２３と、スライダ１１等は、ヘッドジンバルアセンブリ（head gimbals assembly）を構成している。フレキシャ２３の後部２３ｂはベース部２０の後方に延びている。
【００２１】
図４にアクチュエータ搭載部２１が示されている。図５は、図４中のＦ５−Ｆ５線に沿うアクチュエータ搭載部２１の断面図である。アクチュエータ搭載部２１は、第１プレート３１と第２プレート３２とからなるプレート部材３０と、ＰＺＴ等の板状の圧電体からなる一対のアクチュエータ素子４１，４２とを含んでいる。
【００２２】
図５に示されるようにプレート部材３０は、第１プレート３１と第２プレート３２とを厚さ方向に重ねることによって構成されている。第１プレート３１の厚さは第２プレート３２の厚さよりも大きい。第１プレート３１と第２プレート３２は、それぞれ、例えばＳＵＳ３０４等のオーステナイト系ステンレス鋼からなる。ＳＵＳ３０４の化学成分は、Ｃ：０．０８以下、Ｓｉ：１．００以下、Ｍｎ：２．００以下、Ｎｉ：８．００〜１０．５０、Ｃｒ：１８．００〜２０．００、残部がＦｅである。
【００２３】
第１プレート３１と第２プレート３２とは、レーザ溶接部Ｗ１（図３と図４に一部を示す）によって互いに固定されている。この溶接部Ｗ１は、図示しないレーザ溶接装置によってレーザ光を集光させることにより形成される。これら２枚のプレート３１，３２によって構成されたプレート部材３０の一部（前側部分）はアクチュエータ搭載部２１を構成している。プレート部材３０の残りの部分（後側部分）はベース部２０を構成している。
【００２４】
図６は、第１プレート３１の一部を示している。第１プレート３１には、前記アクチュエータ素子４１，４２を収納可能な開口５１，５２が形成されている。これら開口５１，５２にアクチュエータ素子４１，４２が収容される。この第１プレート３１は、ベース部２０に連なる固定部分３１ａと、ロードビーム２２のヒンジ部２５に固定される可動部分３１ｂと、これら固定部分３１ａと可動部分３１ｂとをつなぐブリッジ部３１ｃとを有している。固定部分３１ａはベース部２０に対して実質的に動かない部分である。可動部分３１ｂは、アクチュエータ素子４１，４２によって前記スウェイ方向に動かされる部分である。固定部分３１ａと可動部分３１ｂとをつなぐブリッジ部３１ｃは、サスペンション１０の長手方向に延びている。
【００２５】
図７は第２プレート３２の一部を示している。第２プレート３２は、第１プレート３１と重なる本体部６０と、一方のアクチュエータ素子４１の両端４１ａ，４１ｂを支持する一対の支持部６１，６２と、他方のアクチュエータ素子４２の両端４２ａ，４２ｂを支持する一対の支持部６３，６４と、ブリッジ部分６５とを有している。このブリッジ部分６５は、第１プレート３１のブリッジ部３１ｃと対応する位置に形成されている。
【００２６】
図４と図７に示すように、第２プレート３２の本体部６０には、第１プレート３１よりも幅を狭めてなる幅狭部７１，７２，７３，７４が形成されている。すなわち、一方のアクチュエータ素子４１を支持する支持部６１，６２の近傍に、それぞれ幅狭部７１，７２が形成されている。また他方のアクチュエータ素子４２を支持する支持部６３，６４の近傍にも、それぞれ幅狭部７３，７４が形成されている。幅狭部７１，７２，７３，７４のそれぞれの幅Ｌ１（図７に示す）は、支持部６１，６２，６３，６４の幅Ｌ２よりも小さい。これら幅狭部７１，７２，７３，７４は、図７に示すように、支持部６１，６２，６３，６４の近傍で、支持部６１，６２，６３，６４の幅Ｌ２よりも狭い領域に形成されている。
【００２７】
図４に示すように、幅狭部７１，７２，７３，７４の全てに溶着封止部８０が形成されている。なお図４では、説明の都合上、溶着封止部８０がハッチングで示されている。溶着封止部８０は、レーザ溶接の一例であるレーザスポット溶接によって第１プレート３１と第２プレート３２を溶融させることにより、第１プレート３１と第２プレート３２の双方にわたって形成されている。これら溶着封止部８０により、幅狭部７１，７２，７３，７４における第１プレート３１と第２プレート３２との間の合わせ面Ｇ（図５に模式的に示す）が封止されている。
【００２８】
図４に示すようにアクチュエータ素子４１，４２は平面視において矩形をなしている。一方のアクチュエータ素子４１の一端４１ａと開口５１の内面５１ａとの間に接着剤８５が設けられている。このアクチュエータ素子４１の他端４１ｂと開口５１の内面５１ｂとの間にも接着剤８５が設けられている。他方のアクチュエータ素子４２の一端４２ａと開口５２の内面５２ａとの間に接着剤８５が設けられている。このアクチュエータ素子４２の他端４２ｂと開口５２の内面５２ｂとの間にも接着剤８５が設けられている。接着剤８５は、例えば電気絶縁性を有する熱硬化性の高分子材料からなり、液状の状態で開口５１，５２の内面５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂと支持部６１，６２，６３，６４に供給される。そののちアクチュエータ素子４１，４２が開口５１，５２に配置される。そして加熱することによって、接着剤８５が硬化する。なお接着剤８５は光硬化形の接着剤であってもよい。光硬化形の接着剤は、例えば紫外線を照射することによって硬化させることができる。
【００２９】
図５に一方のアクチュエータ素子４１を代表して示すように、アクチュエータ素子４１の厚さ方向の一方の面に、第１の電極９０が設けられている。第１の電極９０は、例えば銀ペースト等の第１の導電部材９１を介して、第１プレート３１に電気的に接続されている。アクチュエータ素子４１の他方の面に第２の電極９２が設けられている。第２の電極９２は、ボンディングワイヤ等の第２の導電部材９３を介して、フレキシャ２３の配線部（図示せず）に接続されている。なお、他方のアクチュエータ素子４２も前記アクチュエータ素子４１と同様に構成されている。
【００３０】
前記サスペンション１０の製造方法は、下記の工程を含んでいる。  
（１）ステンレス鋼などからなる金属板をプレス加工あるいはエッチング処理することにより、アクチュエータ素子４１，４２を収容可能な開口５１，５２を有する第１プレート３１を形成する。  
（２）ステンレス鋼などからなる金属板をプレス加工あるいはエッチング処理することにより、本体部６０と支持部６１，６２，６３，６４と幅狭部７１，７２，７３，７４を有する第２プレート３２を形成する。  
（３）第１プレート３１と第２プレート３２とを重ね合わせる。  
（４）幅狭部７１，７２，７３，７４において第１プレート３１と第２プレート３２とをレーザ溶接によって互いに溶着させることにより、幅狭部７１，７２，７３，７４に溶着封止部８０を形成する。  
（５）開口５１，５２の内面５１ａ，５２ａと支持部６１，６２，６３，６４に未硬化の接着剤８５を供給する。  
（６）開口５１，５２に、それぞれアクチュエータ素子４１，４２を配置する。  
（７）未硬化の接着剤８５が第１プレート３１と第２プレート３２との合わせ面の奥の方に向かって移動することを幅狭部７１，７２，７３，７４の溶着封止部８０によって阻止する。  
（８）接着剤８５を硬化させる。
【００３１】
以下に前記サスペンション１０の動作について説明する。  
ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６（図１と図２に示す）が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、磁気ヘッドのスライダ１１がディスク４の記録面の所望トラックまで移動する。アクチュエータ素子４１，４２に電圧が印加されると、電圧に応じてアクチュエータ素子４１，４２が互いに反対方向に歪むことにより、ロードビーム２２をスウェイ方向（図３に矢印Ｓで示す方向）に微小量移動させることができる。例えば一方のアクチュエータ素子４１が伸び、他方のアクチュエータ素子４２が縮むことにより、ロードビーム２２がスウェイ方向に移動する。このためスライダ１１をスウェイ方向に高速かつ高精度に位置決めすることができる。
【００３２】
前記したように本実施形態では、幅狭部７１，７２，７３，７４において、第１プレート３１と第２プレート３２との間の合わせ面Ｇ（図４に示す）が溶着封止部８０によって封止されている。このため液状の状態で支持部６１，６２，６３，６４に供給された未硬化の接着剤８５が幅狭部７１，７２，７３，７４を経て第１プレート３１と第２プレート３２との間の合わせ面Ｇの奥の方に毛細管現象によって浸入することを溶着封止部８０によって阻止することができる。このため接着剤８５が第１プレート３１と第２プレート３２との間に入り込んで硬化することを抑制することができ、アクチュエータ搭載部２１の剛性が接着剤８５によって影響を受けることを抑制できるものである。
【００３３】
また、溶着封止部８０は、第１プレート３１と第２プレート３２とを固定するためのレーザスポット溶接部Ｗ１に使用するレーザ溶接機によって形成することができる。このため溶着封止部８０を溶融させるための特別な設備を追加せずとも、レーザスポット溶接部Ｗ１のためのレーザ溶接機をそのまま溶着封止部８０に利用することができる。溶着封止部８０は、第１プレート３１と第２プレート３２とを互いに固定する機能を兼ねることもできる。
【００３４】
図８と図９は第２の実施形態を示している。この実施形態のアクチュエータ搭載部２１Ａの幅狭部７１，７２，７３，７４の幅Ｌ３（図９に示す）は、第１の実施形態の幅狭部７１，７２，７３，７４の幅Ｌ１（図７に示す）よりも大きい。図８に示すように、幅狭部７１，７２，７３，７４には、それぞれ、複数のレーザスポット溶接による溶着封止部８０が設けられている。それ以外の構成と効果は第１の実施形態のアクチュエータ搭載部２１と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。
【００３５】
図１０と図１１は第３の実施形態を示している。この実施形態のアクチュエータ搭載部２１Ｂの第２プレート３２は、支持部６１，６２，６３，６４ごとに、それぞれ複数の幅狭部７１，７２，７３，７４が支持部６１，６２，６３，６４の幅方向に間隔を存して形成されている。図１１に示すように、それぞれの幅狭部７１，７２，７３，７４は、支持部６１，６２，６３，６４の幅Ｌ２よりも狭い領域に形成されている。幅狭部７１，７２，７３，７４の全てに溶着封止部８０が設けられている。それ以外の構成と効果は第１の実施形態のアクチュエータ搭載部２１と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。
【００３６】
図１２は、第４の実施形態に係るアクチュエータ搭載部２１Ｃを示している。この実施形態では、第２プレート３２のブリッジ部分６５の両端に幅狭部７１，７２が設けられている。これら幅狭部７１，７２に溶着封止部８０が形成されている。この溶着封止部８０は、支持部６１，６２，６３，６４に供給された未硬化の接着剤８５が、第１プレート３１のブリッジ部３１ｃと第２プレート３２のブリッジ部分６５との間の合わせ面に浸入して固化することを抑制する。それ以外の構成と効果は第１の実施形態のアクチュエータ搭載部２１と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。
【００３７】
図１３は、第５の実施形態に係るアクチュエータ搭載部２１Ｄを示している。この実施形態では、ブリッジ部分６５の両端に、第４の実施形態（図１２）の幅狭部７１，７２よりも幅が大きい幅狭部７１，７２が形成されている。そして各々の幅狭部７１，７２に複数のレーザスポット溶接による溶着封止部８０が設けられている。それ以外の構成と効果は第４の実施形態のアクチュエータ搭載部２１Ｃと共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。
【００３８】
図１４と図１５は、第６の実施形態を示している。この実施形態のアクチュエータ搭載部２１Ｅは、１つのアクチュエータ素子４１を備えている。また、プレート部材３０の両側部にＵ形に湾曲した腕部１００が形成されている。腕部１００の内側にはスリット１０１が形成されている。プレート部材３０は第１の実施形態のアクチュエータ搭載部２１（図４に示す）と同様に、第１プレート３１と第２プレート３２とからなる。第２プレート３２は、第１プレート３１に重なる本体部６０と、アクチュエータ素子４１の両端４１ａ，４１ｂを支持する支持部６１，６２を有している。本体部６０には、支持部６１，６２の近傍で支持部６１，６２の幅Ｌ２よりも狭い領域に、複数の幅狭部７１，７２と溶着封止部８０とが、支持部６１，６２の幅方向に沿って、支持部６１，６２の幅方向に間隔をあけて形成されている。
【００３９】
この実施形態のアクチュエータ搭載部２１Ｅでは、アクチュエータ素子４１に電圧が印加されて変形すると、一対の腕部１００のうちの一方が縮み、他方が伸びることにより、ロードビーム２２をスウェイ方向（図１４に矢印Ｓで示す）に移動させることができる。それ以外の構成と効果は第１の実施形態のアクチュエータ搭載部２１を備えたサスペンション１０と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。
【００４０】
なお本発明を実施するに当たって、マクロアクチュエータ搭載部の具体的な態様をはじめとして、プレート部材を構成する第１プレートおよび第２プレートや幅狭部、溶着封止部、接着剤、アクチュエータ素子などのサスペンションの構成要素の具体的な態様を種々に変更して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４１】
１…ディスク装置、１０…サスペンション、２２…ロードビーム、２１，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ，２１Ｅ…アクチュエータ搭載部、３１…第１プレート、３１ａ…固定部分、３１ｂ…可動部分、３１ｃ…ブリッジ部、３２…第２プレート、４１，４２…アクチュエータ素子、５１，５２…開口、６０…本体部、６１，６２，６３，６４…支持部、６５…ブリッジ部分、７１，７２，７３，７４…幅狭部、８０…溶着封止部、８５…接着剤。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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