(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
不活性ガスの供給対象を、内部空間を有し該内部空間が軸線方向一端側において開口されているポペットバルブ中間体とし、該ポペットバルブ中間体を、その軸線方向一端側開口が上方を向くように配置し、該ポペットバルブ中間体の内部空間内に、冷却媒体用金属を供給するに先立ち、該ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口から不活性ガスを供給するポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法において、
前記ポペットバルブ中間体の内部空間を、吸引によって該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも負圧にした上で、該内部空間に前記不活性ガスを、該内部空間の圧力が該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧になるまで供給する、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法。
【請求項２】
請求項１において、
負圧吸引と不活性ガスの供給とを切換調整可能な給排調整具を用意し、
先ず、前記ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口周縁部に対して前記給排調整具を当接して、該ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口を閉塞し、
次に、前記給排調整具の調整により負圧吸引を行って、前記ポペットバルブ中間体の内部空間内の圧力を該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも低い圧力とし、
次に、前記給排調整具の切換調整により、前記ポペットバルブ中間体の内部空間内に対して前記不活性ガスを、該内部空間内が該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧になるまで供給する、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法。
【請求項３】
請求項２において、
前記ポペットバルブ中間体の内部空間内に対する前記負圧吸引と前記不活性ガスの供給の両作業を、同一作業位置において行い、
上記両作業の終了後、前記ポペットバルブ中間体を、次工程を構成する前記冷却媒体用金属の供給ステーションに搬送する、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法。
【請求項４】
請求項２において、
前記給排調整具を搬送具としても兼用し、該給排調整具に前記負圧吸引に基づき前記ポペットバルブ中間体を吸着させながら、該給排調整具を、次工程を構成する前記冷却媒体用金属の供給ステーションに搬送し、
前記冷却媒体用金属供給ステーションに前記給排調整具を搬送した後、前記給排調整具を切換調整して、前記ポペットバルブ中間体における内部空間内に不活性ガスを供給する、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法。
【請求項５】
請求項４において、
前記ポペットバルブ中間体として、その軸線方向一端側開口が、該ポペットバルブ中間体における拡径部の先端面に開口されたものを用意し、
前記給排調整具に前記負圧吸引に基づき前記ポペットバルブ中間体を吸着させるに際して、該給排調整具に該ポペットバルブ中間体における拡径部の先端面を吸着させる、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法。
【請求項６】
請求項２において、
前記給排調整具として、前記負圧吸引と前記不活性ガスの供給とを選択的に行う給排通路を備えて、該給排通路の開口が外部に開口されたものを用い、
前記給排通路の開口を、前記前記給排調整具が前記ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口周縁部に当接するときに、該ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口に臨むようにする、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法。
【請求項７】
請求項２において、
前記負圧吸引と前記不活性ガスの供給とを複数回に亘って繰り返す、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法。
【請求項８】
請求項１において、
前記不活性ガスとして、窒素又はアルゴンを用いる、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法。
【請求項９】
請求項８において、
少なくとも、前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気を不活性ガス雰囲気とする、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法。
【請求項１０】
請求項１において、
前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧が大気圧と同一圧力である、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法。
【請求項１１】
不活性ガスの供給対象が、内部空間を有し該内部空間が軸線方向一端側において開口されているポペットバルブ中間体とされ、該ポペットバルブ中間体を、その軸線方向一端側開口が上方を向くように支持する支持具が備えられ、該支持具に前記ポペットバルブ中間体が支持された状態の下で、該ポペットバルブ中間体の内部空間内に、該ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口から不活性ガスが供給されるポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置において、
前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部に対して当接、離間可能に配置されて、該ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部に当接したときには、該軸線方向一端側開口を閉塞する給排調整具が備えられ、
前記給排調整具が、切換態様として、前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に配置されたときに、該ポペットバルブ中間体における内部空間内を、該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも低い設定圧に至るまで負圧吸引する負圧吸引態様と、該負圧吸引態様により該ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力が設定圧になったとき、該ポペットバルブ中間体における内部空間内に不活性ガスを、該内部空間内の圧力がポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧になるまで供給する不活性ガス供給態様と、を取り得るように設定されている、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記給排調整具に、負圧吸引及び不活性ガスの供給を選択的に行う給排通路が備えられ、
前記給排通路は、前記給排調整具が前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部に当接したとき、該軸線方向一端側開口に臨むように開口されている、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置。
【請求項１３】
請求項１２において、
前記給排調整具を、前記支持具に支持された前記ポペットバルブ中間体の上方領域において、上下方向に昇降動させる昇降機構が備えられ、
前記昇降機構が、前記負圧吸引態様を実行するときには、前記給排調整具を前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に下降させ、該負圧吸引態様の実行後であって該ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力が該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧に至ったときには、上昇するように設定されている、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置。
【請求項１４】
請求項１２において、
前記給排調整具を搬送具として搬送する搬送機構が備えられ、
前記搬送機構が、前記給排調整具を、前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上における第１作業位置と、次工程における第２作業位置との間を往復動させるように設定され、
前記給排調整具は、前記第１作業位置から前記第２作業位置に移動するときには前記負圧吸引態様を実行し、該第２作業位置に至ったときには、該負圧吸引態様に代えて前記不活性ガス供給態様を実行するように設定されている、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置。
【請求項１５】
請求項１４において、
前記ポペットバルブ中間体として、その軸線方向一端側開口が、該ポペットバルブ中間体における軸部の先端面に開口されているものが用いられ、
前記給排調整具に、前記給排通路の開口の周囲において、筒状のガイド部材が下方に伸びるようにして備えられ、
前記ガイド部材の内径が、前記ポペットバルブ中間体における軸部を挿通するように設定されている、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置。
【請求項１６】
請求項１２において、
前記支持具に支持された前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に前記給排調整具が配置されたことを検出する配置状態検出具と、前記給排調整具を制御する制御ユニットと、が備えられ、
前記給排調整具には、前記ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力を検出する圧力検出部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する負圧吸引を調整する負圧吸引調整部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する不活性ガスの供給を調整する不活性ガス供給調整部とが備えられ、
前記制御ユニットは、前記配置状態検出具からの情報に基づき前記給排調整具が前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に配置されたと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して該ポペットバルブ中間体における内部空間の負圧吸引を開始させ、前記圧力検出部からの情報に基づき該内部空間内の圧力が前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも低い設定圧に至ったと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して前記負圧吸引を停止させると共に前記不活性ガス供給調整部を制御して該内部空間に不活性ガスを供給させ、さらには、前記圧力検出部からの情報に基づき該内部空間内の圧力が前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧に至ったと判断したときには、前記不活性ガス供給調整部を制御して不活性ガスの供給を停止させるように設定されている、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置。
【請求項１７】
請求項１３において、
前記ポペットバルブ中間体が前記支持具に支持されたことを検出するセット状態検出具と、前記支持具に支持された前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に前記給排調整具が配置されたことを検出する配置状態検出具と、前記昇降機構及び前記給排調整具を制御する制御ユニットと、が備えられ、
前記給排調整具には、前記ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力を検出する圧力検出部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する負圧吸引を調整する負圧吸引調整部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する不活性ガスの供給を調整する不活性ガス供給調整部とが備えられ、
前記制御ユニットは、前記セット状態検出具からの情報に基づき前記ポペットバルブ中間体が前記支持具に支持されたと判断したときには、前記昇降機構を制御して前記給排調整具を前記ポペットバルブ中間体に向けて下降させ、前記配置状態検出具からの情報に基づき前記給排調整具が前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に配置されたと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して該ポペットバルブ中間体における内部空間の負圧吸引を開始させ、前記圧力検出部からの情報に基づき該内部空間内の圧力が前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも低い設定圧に至ったと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して前記負圧吸引を停止させると共に前記不活性ガス供給調整部を制御して該内部空間に不活性ガスを供給させ、さらには、前記圧力検出部からの情報に基づき、該内部空間内の圧力が前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧に至ったと判断したときには、前記不活性ガス供給調整部を制御して不活性ガスの供給を停止させると共に前記昇降機構を制御して前記給排調整具を上昇させるように設定されている、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置。
【請求項１８】
請求項１４において、
前記ポペットバルブ中間体が前記支持具に支持されたことを検出するセット状態検出具と、前記第１作業位置に前記給排調整具が配置されたことを検出する第１配置状態検出具と、前記第２作業位置に前記給排調整具が配置されたことを検出する第２配置状態検出具と、前記搬送機構及び前記給排調整具を制御する制御ユニットと、が備えられ、
前記給排調整具には、前記ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力を検出する圧力検出部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する負圧吸引を調整する負圧吸引調整部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する不活性ガスの供給を調整する不活性ガス供給調整部とが備えられ、
前記制御ユニットは、前記セット状態検出具からの情報に基づき前記ポペットバルブ中間体が前記支持具に支持されたと判断したときには、前記搬送機構を制御して前記給排調整具を前記第１作業位置に向けて搬送させ、前記第１配置状態検出具からの情報に基づき前記給排調整具が前記第１作業位置に配置されたと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して該ポペットバルブ中間体における内部空間の負圧吸引を行うと共に前記搬送機構を制御して前記給排調整具を前記第２作業位置に搬送し、前記第２配置状態検出具からの情報に基づき前記給排調整具が前記第２作業位置に配置されたと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して前記負圧吸引を停止させると共に前記不活性ガス供給調整部を制御して該内部空間に不活性ガスを供給させ、さらには、前記圧力検出部からの情報に基づき該内部空間内の圧力が前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧に至ったと判断したときには、前記不活性ガス供給調整部を制御して不活性ガスの供給を停止させると共に前記搬送機構を制御して前記給排調整具を前記第２作業位置から離間させるように設定されている、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置。
【請求項１９】
請求項１１において、
前記不活性ガスとして、窒素又はアルゴンが用いられている、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置。
【請求項２０】
請求項１９において、
少なくとも、前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気が不活性ガス雰囲気とされている、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置。
【請求項２１】
請求項１１において、
前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧が大気圧と同一圧力である、
ことを特徴とするポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法及びポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
内燃機関においては、熱負荷を軽減するべく、内部に冷却媒体用金属を収納したポペットバルブが用いられる傾向にある。このポペットバルブの内部に冷却媒体用金属を収納するに当たっては、内部空間を有し該内部空間が軸線方向一端側において開口されているポペットバルブ中間体を用意し、該ポペットバルブ中間体を、その軸線方向一端側開口が上方を向くように配置し、該ポペットバルブ中間体の内部空間内に、不活性ガスを充填した上で、該ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口から冷却媒体用金属を供給し、その後、ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口を閉塞することが行われる。これにより、ポペットバルブの内部（内部空間）に冷却媒体用金属を収納できるだけでなく、その冷却媒体用金属を、ポペットバルブ中間体の内部空間に当初存在する空気により酸化されないものにでき、その冷却媒体用金属に、その本来の熱伝達性能を発揮させることができる。【０００３】
ところで、上記ポペットバルブ中間体の内部空間に不活性ガスを充填する方法として、特許文献１に示すように、ポペットバルブ中間体を、その軸線方向一端側開口が上方を向くように配置し、そのポペットバルブ中間体の内部空間にノズルを、その内部空間の底部近くまで挿入し、そのノズルから不活性ガスを噴出させながらそのノズルを上昇させるものが提案されている。このものによれば、ノズルの上昇に伴い、ポペットバルブ中間体の内部空間内に、その下側から順次、不活性ガスが供給されていくことになり、ノズルがポペットバルブ中間体の内部空間外に移動されたときには、ポペットバルブ中間体の内部空間全体には、当初の空気に置き換わって不活性ガスが充填されることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許５７３５７２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記のような不活性ガス供給方法を用いた場合には、ポペットバルブ中間体としては、その一端側開口から内部空間内にノズルが挿入できる大きさのものに限られることになる。
また、大気に開口したポペットバルブ中間体内（内部空間）へ不活性ガスをノズルにより噴出する構成であることから、基本的に、ポペットバルブ中間体の一端側開口から外部に漏れ出易い傾向にあるばかりか、ノズルからの不活性ガスの噴出速度が遅いと、ノズルの上昇に基づく内部空間内でのノズルの占有体積の変化に伴い、外部から内部空間に空気が引き込まれてしまうことから、その空気の引き込みを確実に防止するべく、ノズルからの不活性ガスの噴出速度を高めて噴出量を多くしなければならず、これに伴い、ポペットバルブ中間体の一端側開口から無駄に外部に漏れ出る不活性ガスの量は多くならざるを得ない。【０００６】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたもので、その第１の目的は、どのような大きさのポペットバルブ中間体であっても、不活性ガスを無駄にすることなく的確に充填できるポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法を提供することにある。
第２の目的は、どのような大きさのポペットバルブ中間体であっても、不活性ガスを無駄にすることなく的確に充填できるポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記第１の目的を達成するために本発明にあっては、（１）〜（１０）の構成とされている。すなわち、
（１）不活性ガスの供給対象を、内部空間を有し該内部空間が軸線方向一端側において開口されているポペットバルブ中間体とし、該ポペットバルブ中間体を、その軸線方向一端側開口が上方を向くように配置し、該ポペットバルブ中間体の内部空間内に、冷却媒体用金属を供給するに先立ち、該ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口から不活性ガスを供給するポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法において、
前記ポペットバルブ中間体の内部空間を、吸引によって該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも負圧にした上で、該内部空間に前記不活性ガスを、該内部空間の圧力が該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧になるまで供給する構成とされている。
この構成によれば、不活性ガスを噴出するノズルをポペットバルブ中間体の内部空間内に挿入しなくても、ポペットバルブ中間体の内部空間内が該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも負圧下にあることを利用して、該ポペットバルブ中間体の内部空間内に不活性ガスを積極的に導くことができる。その一方で、その不活性ガスの供給態様を、ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力が該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧になるまでの間、その内部空間内が負圧下にあることに基づき、ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口から不活性ガスが漏れ出ない態様とすることができる。【０００８】
（２）前記（１）の構成の下で、
負圧吸引と不活性ガスの供給とを切換調整可能な給排調整具を用意し、
先ず、前記ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口周縁部に対して前記給排調整具を当接して、該ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口を閉塞し、
次に、前記給排調整具の調整により負圧吸引を行って、前記ポペットバルブ中間体の内部空間内の圧力を該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも低い圧力とし、
次に、前記給排調整具の切換調整により、前記ポペットバルブ中間体の内部空間内に対して前記不活性ガスを、該内部空間内が該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧になるまで供給する構成とされている。
この構成によれば、給排調整具をポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口周縁部に当接してその軸線方向一端側開口を閉塞した上で、その給排調整具の調整（負圧吸引、不活性ガスの供給）を行うだけで、ポペットバルブ中間体の内部空間内に不活性ガスを充填することができ、不活性ガスを噴出するノズルをポペットバルブ中間体の内部空間内に挿入する必要がなくなる。このため、ポペットバルブ中間体がノズルの制限を受けることがなくなり、どのような大きさのポペットバルブ中間体に対しても、不活性ガスを充填することができる。
他方、ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも低い圧力の下で、その圧力がポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧になるまで、ポペットバルブ中間体における内部空間内に不活性ガスが供給されることになり、その不活性ガスの供給態様を、ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口から不活性ガスが漏れ出ない態様とすることができる。しかもこの後、冷却媒体用金属を供給すべく、給排調整具をポペットバルブ中間体から取外すとしても、ポペットバルブ中間体内における内部空間内の圧力がポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧であることあることから、ポペットバルブ中間体内に充填された不活性ガスが、そのポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口から漏れ出ることを防止できる。このため、不活性ガスを、無駄にすることなく的確にポペットバルブ中間体内に充填できる。【０００９】
（３）前記（２）の構成の下で、
前記ポペットバルブ中間体の内部空間内に対する前記負圧吸引と前記不活性ガスの供給の両作業を、同一作業位置において行い、
上記両作業の終了後、前記ポペットバルブ中間体を、次工程を構成する前記冷却媒体用金属の供給ステーションに搬送する構成とされている。
この構成によれば、不活性ガスを、無駄にすることなく的確にポペットバルブ中間体内に充填できるだけでなく、その不活性ガスを充填し終えたポペットバルブ中間体を、順次、次工程に送り出すことができる一方、それに伴い、新たなポペットバルブ中間体を受け入れて、その新たなポペットバルブ中間体に対して不活性ガスを充填できる。このため、ポペットバルブ中間体に対する不活性ガスの充填工程がサイクルタイム（１個のポペットバルブが製造されるまでの時間）の増大に影響を及ぼすことを防止できる。【００１０】
（４）前記（２）の構成の下で、
前記給排調整具を搬送具としても兼用し、該給排調整具に前記負圧吸引に基づき前記ポペットバルブ中間体を吸着させながら、該給排調整具を、次工程を構成する前記冷却媒体用金属の供給ステーションに搬送し、
前記冷却媒体用金属供給ステーションに前記給排調整具を搬送した後、前記給排調整具を切換調整して、前記ポペットバルブ中間体における内部空間内に不活性ガスを供給する構成とされている。
この構成によれば、負圧吸引に基づきポペットバルブ中間体が給排調整具に吸着されることを利用し、直ちに、その給排調整具を搬送具として、ポペットバルブ中間体を冷却媒体用金属の供給ステーションに搬送することができる。そして、その冷却媒体用金属の供給ステーションへの搬送後においては、ポペットバルブ中間体内に不活性ガスを供給することにより、ポペットバルブ中間体と給排調整具とを引き離すことができると共に、ポペットバルブ中間体内に不活性ガスを充填することができる。このため、給排調整具による負圧吸引と不活性ガスの供給とを、ポペットバルブ中間体内への不活性ガスの充填に利用できるだけでなく、ポペットバルブ中間体の搬送にも有効に利用できる。【００１１】
（５）前記（４）の構成の下で、
前記ポペットバルブ中間体として、その軸線方向一端側開口が、該ポペットバルブ中間体における拡径部の先端面に開口されたものを用意し、
前記給排調整具に前記負圧吸引に基づき前記ポペットバルブ中間体を吸着させるに際して、該給排調整具に該ポペットバルブ中間体における拡径部の先端面を吸着させる構成とされている。
この構成によれば、給排調整具に対するペットバルブ中間体の吸着強さを高めることができ、給排調整具が搬送具としてポペットバルブ中間体を搬送する際、そのポペットバルブ中間体が振られるとしても、給排調整具とポペットバルブ中間体との吸着関係を強固に維持できる。このため、給排調整具が搬送具としてポペットバルブ中間体を搬送するとしても、ポペットバルブ中間体を冷却媒体用金属の供給ステーションに的確に搬送できる。【００１２】
（６）前記（２）の構成の下で、
前記給排調整具として、前記負圧吸引と前記不活性ガスの供給とを選択的に行う給排通路を備えて、該給排通路の開口が外部に開口されたものを用い、
前記給排通路の開口を、前記前記給排調整具が前記ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口周縁部に当接するときに、該ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口に臨むようにする構成とされている。
この構成によれば、ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口周縁部に給排調整具を当接して、ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口を閉塞さえすれば、給排通路を利用することにより負圧吸引と不活性ガスの供給とを選択的に行うことができ、前述の請求項２の作用効果を具体的に実現できる。【００１３】
（７）前記（２）の構成の下で、
前記負圧吸引と前記不活性ガスの供給とを複数回に亘って繰り返す構成とされている。
この構成によれば、仮に、負圧吸引を行う設備の能力が低くても、全体に対する不活性ガスの割合を高めることができる。【００１４】
（８）前記（１）の構成の下で、
前記不活性ガスとして、窒素又はアルゴンを用いる構成とされている。
この構成によれば、窒素については、空気と同じ程度の重さを有することを利用でき、アルゴンについては、空気よりも十分に重い性質を有することを利用できることになり、不活性ガスをポペットバルブ中間体内に具体的且つ的確に充填することができる。【００１５】
（９）前記（８）の構成の下で、
少なくとも、前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気を不活性ガス雰囲気とする構成とされている。
この構成によれば、仮に、ポペットバルブ中間体における内部空間内から不活性ガスが漏れ出たとしても、ポペットバルブ中間体周囲の不活性ガスが、そのポペットバルブ中間体の内部空間内に入り込み、その内部空間内における不活性ガス充填量の変動を抑制することができる。【００１６】
（１０）前記（１）の構成の下で、
前記（１）の構成の下で、
前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧が大気圧と同一圧力であることから、特別な圧力下にある場合とは異なり、ポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給を容易に行うことができる。【００１７】
前記第２の目的を達成するために本発明にあっては、（１１）〜（１７）の構成とされている。すなわち、
（１１）不活性ガスの供給対象が、内部空間を有し該内部空間が軸線方向一端側において開口されているポペットバルブ中間体とされ、該ポペットバルブ中間体を、その軸線方向一端側開口が上方を向くように支持する支持具が備えられ、該支持具に前記ポペットバルブ中間体が支持された状態の下で、該ポペットバルブ中間体の内部空間内に、該ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口から不活性ガスが供給されるポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置において、
前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部に対して当接、離間可能に配置されて、該ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部に当接したときには、該軸線方向一端側開口を閉塞する給排調整具が備えられ、
前記給排調整具が、切換態様として、前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に配置されたときに、該ポペットバルブ中間体における内部空間内を、該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも低い設定圧に至るまで負圧吸引する負圧吸引態様と、該負圧吸引態様により該ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力が設定圧になったとき、該ポペットバルブ中間体における内部空間内に不活性ガスを、該内部空間内の圧力がポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧になるまで供給する不活性ガス供給態様と、を取り得るように設定されている構成とされている。
この構成によれば、不活性ガスを噴出するノズルをポペットバルブ中間体の内部空間内に挿入しなくても、ポペットバルブ中間体に不活性ガスを充填することができ、その不活性ガスをポペットバルブ中間体内に供給するに際しては、ポペットバルブ中間体における軸線方向一端側開口から不活性ガスが漏れ出ないようにすることができる。このため、前記（２）に係る方法を使用するポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置を提供できる。【００１８】
（１２）前記（１１）の構成の下で、
前記給排調整具に、負圧吸引及び不活性ガスの供給を選択的に行う給排通路が備えられ、
前記給排通路は、前記給排調整具が前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部に当接したとき、該軸線方向一端側開口に臨むように開口されている構成とされている。
この構成によれば、前記（６）に係る方法を使用するポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置を提供できる。【００１９】
（１３）前記（１２）の構成の下で、
前記給排調整具を、前記支持具に支持された前記ポペットバルブ中間体の上方領域において、上下方向に昇降動させる昇降機構が備えられ、
前記昇降機構が、前記負圧吸引態様を実行するときには、前記給排調整具を前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に下降させ、該負圧吸引態様の実行後であって該ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力が該ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧に至ったときには、上昇するように設定されている構成とされている。
この構成によれば、前記（３）に係る方法を使用するポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置を提供できる。【００２０】
（１４）前記（１２）の構成の下で、
前記給排調整具を搬送具として搬送する搬送機構が備えられ、
前記搬送機構が、前記給排調整具を、前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上における第１作業位置と、次工程における第２作業位置との間を往復動させるように設定され、
前記給排調整具は、前記第１作業位置から前記第２作業位置に移動するときには前記負圧吸引態様を実行し、該第２作業位置に至ったときには、該負圧吸引態様に代えて前記不活性ガス供給態様を実行するように設定されている構成とされている。
この構成によれば、前記（４）に係る方法を使用するポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置を提供できる。【００２１】
（１５）前記（１４）の構成の下で、
前記ポペットバルブ中間体として、その軸線方向一端側開口が、該ポペットバルブ中間体における軸部の先端面に開口されているものが用いられ、
前記給排調整具に、前記給排通路の開口の周囲において、筒状のガイド部材が下方に伸びるようにして備えられ、
前記ガイド部材の内径が、前記ポペットバルブ中間体における軸部を挿通するように設定されている構成とされている。
この構成によれば、ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口が、該ポペットバルブ中間体における軸部の先端面に開口され、その軸部先端面が給排調整具に吸着されるとしても、その給排調整具が搬送具としてポペットバルブ中間体を搬送する際、ポペットバルブ中間体が振られることをガイド部材が規制する。このため、給排調整具がポペットバルブ中間体をその軸部先端面を吸着しつつ搬送するとしても、ポペットバルブ中間体を次工程（冷却媒体用金属の供給ステーション）に的確に搬送できる。【００２２】
（１６）前記（１２）の構成の下で、
前記支持具に支持された前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に前記給排調整具が配置されたことを検出する配置状態検出具と、前記給排調整具を制御する制御ユニットと、が備えられ、
前記給排調整具には、前記ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力を検出する圧力検出部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する負圧吸引を調整する負圧吸引調整部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する不活性ガスの供給を調整する不活性ガス供給調整部とが備えられ、
前記制御ユニットは、前記配置状態検出具からの情報に基づき前記給排調整具が前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に配置されたと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して該ポペットバルブ中間体における内部空間の負圧吸引を開始させ、前記圧力検出部からの情報に基づき該内部空間内の圧力が前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも低い設定圧に至ったと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して前記負圧吸引を停止させると共に前記不活性ガス供給調整部を制御して該内部空間に不活性ガスを供給させ、さらには、前記圧力検出部からの情報に基づき、該内部空間内の圧力が前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧に至ったと判断したときには、前記不活性ガス供給調整部を制御して不活性ガスの供給を停止させるように設定されている構成とされている。
この構成によれば、前記（１２）に係る装置を具体的に制御するようにしたものを提供できる。【００２３】
（１７）前記（１３）の構成の下で、
前記ポペットバルブ中間体が前記支持具に支持されたことを検出するセット状態検出具と、前記支持具に支持された前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に前記給排調整具が配置されたことを検出する配置状態検出具と、前記昇降機構及び前記給排調整具を制御する制御ユニットと、が備えられ、
前記給排調整具には、前記ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力を検出する圧力検出部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する負圧吸引を調整する負圧吸引調整部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する不活性ガスの供給を調整する不活性ガス供給調整部とが備えられ、
前記制御ユニットは、前記セット状態検出具からの情報に基づき前記ポペットバルブ中間体が前記支持具に支持されたと判断したときには、前記昇降機構を制御して前記給排調整具を前記ポペットバルブ中間体に向けて下降させ、前記配置状態検出具からの情報に基づき前記給排調整具が前記ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部上に配置されたと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して該ポペットバルブ中間体における内部空間の負圧吸引を開始させ、前記圧力検出部からの情報に基づき該内部空間内の圧力が前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧よりも低い設定圧に至ったと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して前記負圧吸引を停止させると共に前記不活性ガス供給調整部を制御して該内部空間に不活性ガスを供給させ、さらには、前記圧力検出部からの情報に基づき、該内部空間内の圧力が前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧に至ったと判断したときには、前記不活性ガス供給調整部を制御して不活性ガスの供給を停止させると共に前記昇降機構を制御して前記給排調整具を上昇させるように設定されている構成とされている。
この構成によれば、前記（１３）に係る装置を具体的に制御するようにしたものを提供できる。【００２４】
（１８）前記（１４）の構成の下で、
前記ポペットバルブ中間体が前記支持具に支持されたことを検出するセット状態検出具と、前記第１作業位置に前記給排調整具が配置されたことを検出する第１配置状態検出具と、前記第２作業位置に前記給排調整具が配置されたことを検出する第２配置状態検出具と、前記搬送機構及び前記給排調整具を制御する制御ユニットと、が備えられ、
前記給排調整具には、前記ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力を検出する圧力検出部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する負圧吸引を調整する負圧吸引調整部と、該ポペットバルブ中間体の内部空間に対する不活性ガスの供給を調整する不活性ガス供給調整部とが備えられ、
前記制御ユニットは、前記セット状態検出具からの情報に基づき前記ポペットバルブ中間体が前記支持具に支持されたと判断したときには、前記搬送機構を制御して前記給排調整具を前記第１作業位置に向けて搬送させ、前記第１配置状態検出具からの情報に基づき前記給排調整具が前記第１作業位置に配置されたと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して該ポペットバルブ中間体における内部空間の負圧吸引を行うと共に前記搬送機構を制御して前記給排調整具を前記第２作業位置に搬送し、前記第２配置状態検出具からの情報に基づき前記給排調整具が前記第２作業位置に配置されたと判断したときには、前記負圧吸引調整部を制御して前記負圧吸引を停止させると共に前記不活性ガス供給調整部を制御して該内部空間に不活性ガスを供給させ、さらには、前記圧力検出部からの情報に基づき該内部空間内の圧力が前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧に至ったと判断したときには、前記不活性ガス供給調整部を制御して不活性ガスの供給を停止させると共に前記搬送機構を制御して前記給排調整具を前記第２作業位置から離間させるように設定されている構成とされている。
この構成によれば、前記（１４）に係る装置を具体的に制御するようにしたものを提供できる。【００２５】
（１９）前記（１１）の構成の下で、
前記不活性ガスとして、窒素又はアルゴンが用いられている構成とされている。
この構成によれば、前記（８）に係る方法を使用するポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置を提供できる。【００２６】
（２０）前記（１９）の構成の下で、
少なくとも、前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気が不活性ガス雰囲気とされている構成とされている。
この構成によれば、前記（９）に係る方法を使用するポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置を提供できる。【００２７】
（２１）前記（１１）の構成の下で、
前記ポペットバルブ中間体の周囲雰囲気圧が大気圧と同一圧力である構成とされている。
この構成によれば、前記（１０）に係る方法を使用するポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給装置を提供できる。
【発明の効果】
【００２８】
以上の内容から、本発明によれば、どのような大きさのポペットバルブ中間体であっても、不活性ガスを無駄にすることなく的確に充填できるポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法及びポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１実施形態に係るポペットバルブの製造工程を示す工程図。
【図２】第１実施形態における不活性ガス充填ステーションと金属ナトリウム供給ステーションとの配置関係、給排調整具及びポペットバルブ中間体の移動経路を説明する説明図。
【図３】第１実施形態における不活性ガス充填ステーションと金属ナトリウム供給ステーションとの配置関係を簡略的に示す平面図。
【図４】第１実施形態に係る不活性ガス供給装置を説明する一部破断側面図。
【図５】第１実施形態に係る給排調整具（当接ユニット）が、一対のガイドレールにおける搬送方向終端部に支持されるポペットバルブ中間体に当接した状態を示す説明図。
【図６】第１実施形態に係る制御ユニットにおける入出力関係を説明する説明図。
【図７】第１実施形態に係る制御ユニットの制御内容の概要を示す説明図。
【図８】第１実施形態に係る制御ユニットの制御例を示すフローチャート。
【図９】第１実施形態に係る金属ナトリウム供給ステーションを説明する説明図。
【図１０】第２実施形態に係るポペットバルブの製造工程を示す工程図。
【図１１】第２実施形態における真空引きステーションと金属ナトリウム充填ステーションとの配置関係を簡略的に示す平面図。
【図１２】第２実施形態に係る不活性ガス供給装置を説明する一部破断側面図。
【図１３】第２実施形態に係る制御ユニットにおける入出力関係を説明する説明図。
【図１４】第２実施形態に係る制御ユニットの制御例を示すフローチャート。
【図１５】給排調整具に吸着されたポペットバルブ中間体が、給排調整具の上昇に伴い上昇された状態を示す図。
【図１６】給排調整具に吸着されたポペットバルブ中間体が、サーボモータの駆動により金属ナトリウム充填ステーションにおけるセット台の上方に位置された状態を示す図。
【図１７】給排調整具に吸着されたポペットバルブ中間体が、給排調整具の下降によりセット台のセット孔にセットされると共に、そのセット台上において、不活性ガスがポペットバルブ中間体内に供給される状態を示す図。
【図１８】ポペットバルブ中間体内への不活性ガスの供給を終えた後、そのポペットバルブ中間体から給排調整具が離脱する状態を説明する説明図。
【図１９】第３実施形態に係る給排調整具（当接ユニット）を説明する縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態について、図面に基づいて説明する。
１．図１は、ポペットバルブ（吸・排気バルブ）を製造するための製造ラインの工程図を示している。このポペットバルブの製造ラインにおいては、ポペットバルブの内部に冷却媒体用金属としての金属ナトリウムを収納させる必要があることから、工程として、不活性ガスを充填する不活性ガス充填工程、該不活性ガス充填工程に続く冷却媒体用金属としての金属ナトリウムの供給工程等の工程が含まれている。本実施形態においては、この製造ラインは、少なくとも、不活性ガス充填工程以降の各工程をなす各ステーションが、大気圧と同一圧力の下、不活性ガス雰囲気（例えば窒素雰囲気）中にある。
【００３１】
２．前記製造ラインにおいては、図２〜図４に示すように、前記不活性ガス充填工程をなす不活性ガス充填ステーションＳｇと、その前工程をなすステーション（図示略）との間には、ポペットバルブの製造途中の段階にあるポペットバルブ中間体（以下、バルブ中間体という）Ｗを搬送すべく、一対のガイドレール１（通称「シュート」）が搬送手段として配置されている。
【００３２】
（１）前記バルブ中間体Ｗは、図２、図４に示すように、不活性ガス充填ステーションＳｇに搬入されるときまでに、既に基本的なバルブ形状に加工されており、そのバルブ中間体Ｗには、軸部Ｗ１と、その軸部Ｗ１の軸線方向一端側（以下、一端側という）にその軸部Ｗ１よりも拡径された状態で一体化された傘部Ｗ２（拡径部）と、が備えられている。このバルブ中間体Ｗ内部には、内部空間Ｗｉｎが傘部Ｗ２から軸部Ｗ１にかけて形成され、その内部空間Ｗｉｎは、傘部Ｗ２においては、外部に開口する凹所Ｗ２ｉｎとして形成され、軸部Ｗ１においては、その凹所Ｗ２ｉｎから連なって伸びる軸状空間Ｗ１ｉｎが形成されている。このようなバルブ中間体Ｗの傘部Ｗ２の開口Ｗ２ｏがバルブ中間体Ｗの軸線方向一端側開口を構成し、その傘部開口Ｗ２ｏを区画する傘部Ｗ２の開口周縁部Ｗ２ｆがバルブ中間体Ｗの軸線方向一端側開口周縁部を構成することになる。
【００３３】
（２）前記一対のガイドレール１は、一定間隔をあけつつ，バルブ中間体Ｗの搬出側（不活性ガス充填ステーションＳｇ側）に向かうに従って高さ位置が低くなるように伸びている（傾斜されている）。この一対のガイドレール１を用いてバルブ中間体Ｗを搬送するに際しては、その一対のガイドレール１にバルブ中間体Ｗの傘部Ｗ２を跨らせると共に、バルブ中間体Ｗの軸部Ｗ１を該一対のガイドレール１間から下方に垂下させることとされており、これにより、バルブ中間体Ｗは、一対のガイドレール１の傾斜の下、そのバルブ中間体Ｗの自重に基づき一対のガイドレール１上をスライドし、不活性ガス充填ステーションＳｇに搬送される。
【００３４】
３．前記不活性ガス充填ステーションＳｇには、図２〜図４に示すように、不活性ガス供給装置１００が備えられている。不活性ガス供給装置１００は、不活性ガス充填ステーションＳｇに入り込んでバルブ中間体Ｗの支持具を構成する前記一対のガイドレール１の搬送方向終端部１ｅ（図２中、左端部）と、その一対のガイドレール１における搬送方向終端部１ｅの所定位置Ｐ１上方に配置されて、バルブ中間体Ｗに対して負圧吸引としての真空引きと不活性ガスの供給とを行う給排調整具２と、を有している。
【００３５】
（１）前記一対のガイドレール１の搬送方向終端部１ｅは、その一対のガイドレール１の他の部分に対して折曲されることにより、製造ラインが続く方向（図２、図３中、左方向）に向けて水平に伸ばされている。このため、バルブ中間体Ｗが一対のガイドレール１の搬送方向始端部から搬送方向終端部１ｅに搬送されると、そのバルブ中間体Ｗにおける傘部開口Ｗ２ｏは、バルブ中間体Ｗと一対のガイドレール１との前述の支持関係に基づき、上方を向くことになる。
この場合、一対のガイドレール１により搬送されてくる（スライドしてくる）バルブ中間体Ｗは、図示を略すストッパに当接して、一対のガイドレール１の搬送方向終端部１ｅ上の所定位置Ｐ１に停止されることになる。
【００３６】
（２）前記給排調整具２は、図２〜図４に示すように、調整ユニット３と、該調整ユニット３の下方側に配置される当接ユニット４とを備えている。
【００３７】
（２−１）前記調整ユニット３は、収納ケース５と、第１配管６と、第２配管７と、負圧吸引調整部としての電磁弁８と、不活性ガス供給調整部としての電磁弁９と、圧力検出部としての圧力計１０と、を備えている。
(i)収納ケース５は、一定幅を維持しつつ偏平状態をもって伸びる形状とされている。この収納ケース５の伸び方向一端側部分（図３中、下端側部分、図４中、左端側部分）は、前記一対のガイドレール１の搬送方向終端部１ｅの上方において、その一対のガイドレール１を横切るように配置され、その伸び方向他端側部分（図３中、上端側部分、図４中、右端側部分）は、一対のガイドレール１の並設方向(図３中、上下方向、図４中、左右方向)一方側（図３中、上側、図４中、右側）に位置されている。
この収納ケース５の伸び方向一端側部分には接続筒１１が接続されている。この接続筒１１は、上下方向に伸びるように配置されており、その接続筒１１の上端部は、収納ケース５内に下側から進入した状態で該収納ケース５に取付けられ、その接続筒１１の下端部は、収納ケース５から下方に伸びている。この場合、接続筒１１の上端開口は、収納ケース５の上壁部５ａを利用して閉塞され、接続筒１１の下端開口のみが外部に開口されることになっている。
この収納ケース５の伸び方向他端側部分は、昇降機構を構成する伸縮シリンダ装置１２を介して基盤１３上に支持されている。伸縮シリンダ装置１２は、シリンダ１４と、そのシリンダ１４内を上下二室Ｒ１，Ｒ２に区画するピストン１５と、そのピストン１５に一端部が連結され他端部がシリンダ１４から上方に伸びて収納ケース５に連結される伸縮ロッド１６と、を備え、そのシリンダ１４内の二室Ｒ１，Ｒ２には、空気圧縮機３０、調圧装置３１、調整弁（電磁弁）１７を介して圧縮空気が給排（供給、排出）されることになっている。このシリンダ１４内の二室Ｒ１，Ｒ２に対する圧縮空気の給排により、伸縮ロッド１６が伸縮動することになり、その伸縮ロッド１６の伸縮動に伴い、収納ケース５は上下方向に昇降動することになる。
【００３８】
(ii)第１配管６は、収納ケース５内に配置されて、収納ケース５の伸び方向に伸びている。この第１配管６の一端部は、前記接続筒１１に接続され、その他端は、収納ケース５の伸び方向他端側から外部に開口されている。この第１配管６の他端開口には第１ホース１８が、その一端をもって接続され、その他端は、基盤１３上の真空ポンプ１９に接続されている。この真空ポンプ１９は、製造ラインが稼働中であるときには、作動状態にあり、負圧吸引としての真空引きが行われている。
【００３９】
(iii)第２配管７も、収納ケース５内に配置されて、収納ケース５の伸び方向に伸びている。この第２配管７の一端部は、前記接続筒１１に接続され、その他端は、収納ケース５の伸び方向他端側から外部に開口されている。この第２配管７の他端開口には第２ホース２０が、その一端をもって接続され、その他端は、レギュレータ（圧力調整具）２１を介して不活性ガス供給源（例えば不活性ガス充填ボンベ）２２に接続されている。この不活性ガス供給源２２は、製造ラインの稼働中は、不活性ガスを供給する状態にあり、その不活性ガスとしては、アルゴン又は窒素が用いられる。バルブ中間体Ｗ内への不活性ガスの充填に当たり、不活性である他に、アルゴンについては、空気よりも十分に重い性質を利用することができ、窒素については、空気と同じ程度の重さである性質を利用できるからである。本実施形態においては、空気よりも十分に重い性質を重視し、不活性ガスとしてアルゴンが用いられている。
【００４０】
(iV)電磁弁８は、第１配管６に介装されている。これにより、電磁弁８が開とされたときには、真空引きの状態を前記接続筒１１の貫通孔１１ａ内に及ぼすことができ、電磁弁８が閉とされたときには、接続筒１１の貫通孔１１ａ内に真空引きの状態を及ぼさないようにすることができる。
【００４１】
(v)電磁弁９は、第２配管７に介装されている。これにより、電磁弁７が開とされたときには、不活性ガス（アルゴン）を接続筒１１の貫通孔１１ａ内に供給することができ、電磁弁９が閉とされたときには、接続筒１１の貫通孔１１ａ内への不活性ガスの供給を停止できることになる。
【００４２】
(vi)圧力計１０は、接続筒１１に接続されている。この圧力計１０は、接続筒１１の貫通孔１１ａ内の圧力を常に検出しており、その圧力検出信号は圧力計１０から出力されることになっている。
【００４３】
（２−２）当接ユニット４は、パッド保持具２４とキャップ２５とパッド２６とを備えている。
(i)パッド保持具２４は、厚肉の円板形状に形成されている。このパッド保持具２４には、その径方向中央部において前記接続筒１１の下端部が螺合されており、パッド保持具２４は、その板面が上下方向を向くようにしつつ、前記収納ケース５（調整ユニット３）にその下側において取付けられている。
(ii)キャップ２５は、円筒状に形成されている。このキャップ２５の一端部開口内周縁部には、径方向内方に突出する係止部２５ａが一体的に設けられており、その一端側開口の径は、他端側開口の径よりも縮径されている。このキャップ２５は、その内周面がパッド保持具２４の外周面に螺合されており、係止部２５ａは、パッド保持具２４における下面周縁部に臨むことになっている。
【００４４】
(iii)パッド２６は、ゴム板等の緩衝材を用いて、パッド保持具２４の下面を覆うように配置されている。このパッド２６の周縁部は、パッド保持具２４の下面とキャップ２５の係止部２５ａとにより挟持されており、その周縁部以外の部分は、キャップ２５の一端側開口から外方に臨んでいる。このパッド２６の下面には、キャップ２５の一端側開口内において円筒状の突部２７（ゴム等で一体成形）が一体的に設けられている。この突部２７は、パッド保持具２４の軸線に対して同心状に配置されており、その突部２７は、キャップ２５の一端側開口よりも下方に突出されている。この突部２７は、前述の伸縮シリンダ装置１２における伸縮ロッド１６の短縮動に基づき、収納ケース５の下降に伴い下降することになっており、この突部２７の先端面は、図５に示すように、前述の所定位置Ｐ１（一対のガイドレール１における搬送方向終端部１ｅ上の所定位置）に配置されるバルブ中間体Ｗの傘部周縁部Ｗ２ｆの先端面に当接（着座）され、これに伴い、バルブ中間体Ｗの内部空間Ｗｉｎは閉塞されることになっている。このため、突部２７は、その内径がバルブ中間体Ｗにおける傘部開口Ｗ２ｏの径よりも大きくされ、その突部２７の外径はバルブ中間体Ｗにおける傘部Ｗ２外径よりも小さくされている。本実施形態においては、突部２７先端面が傘部周縁部Ｗ２ｆの先端面に着座（当接）したとき、突部２７の内面が傘部開口Ｗ２ｏから径方向外方に幾分離れた状態とするべく、突部２７の内径はバルブ中間体Ｗにおける傘部開口Ｗ２ｏ径よりも幾分大きくされている。バルブ中間体Ｗにおける傘部開口内周縁部に突部２７の材質（例えばゴム）が付着することを防止し、傘部開口内周縁部に対する蓋体の溶接（傘部開口Ｗ２ｏの閉塞）を的確に行うためである。
【００４５】
(iv)この当接ユニット４には、図２、図４、図５に示すように、給排通路２８が形成されている。給排通路２８は、前記接続筒１１の貫通孔１１ａを利用すると共に、パッド保持具２４及びパッド２６に、貫通孔１１ａに連なる連通孔２４ａ，２６ａを形成することにより構成されており、この給排通路２８は、パッド２６の径方向中央部外面から外部に開口されている。
【００４６】
４．前記不活性ガス供給装置１００（不活性ガス充填ステーションＳｇ）は、図６に示すように、前述の電磁弁（負圧調整部）８、電磁弁（不活性ガス供給調整部）９、調整弁１７を制御すべく、制御ユニット（制御手段、制御装置）Ｕを備えている。
（１）このため、制御ユニットＵには、センサ（セット状態検出具）３５、センサ（配置状態検出具）３６、センサ３７、圧力計１０（圧力検出部）からの各情報が入力され、その制御ユニットＵからは、電磁弁８、電磁弁９、調整弁１７に対して制御信号が出力されることになる。
この場合、センサ３５は、一対のガイドレール１における搬送方向終端部１ｅの所定位置Ｐ１にバルブ中間体Ｗが搬送されているか否かを検出するものである。センサ３６は、当接ユニット４（給排調整具２）が上記所定位置Ｐ１上のバルブ中間体Ｗの傘部開口周縁部Ｗ２ｆ上に配置されたか否かを検出するものであり、本実施形態においては、伸縮シリンダ装置１２におけるピストン１５に取付けられた磁石３８をセンサ３６が検出できたか否かにより検出するものとなっている。センサ３７は、当接ユニット４（給排調整具２）が原位置（上記所定位置Ｐ１上方の待避位置）に位置するか否かを検出するものであり、本実施形態においては、上記ピストン１５に取付けられた磁石３８をセンサ３７が検出できたか否かにより（伸縮シリンダ装置１２における伸縮ロッド１６が最大伸長したか否かにより）検出するものとなっている。圧力計１０は、前述の通り、接続筒１１における貫通孔１１ａ内の圧力を検出するものであり、この圧力検出をもって、所定位置Ｐ１におけるバルブ中間体Ｗと当接ユニット４との当接時に、そのバルブ中間体Ｗにおける内部空間Ｗｉｎの圧力を検出するものである（図５参照）。
【００４７】
（２）前記制御ユニットＵには、図６に示すように、コンピュータとしての機能を確保すべく、記憶部４０と、制御部４１とが備えられている。
記憶部４０は、ＲＯＭ(Read Only Memory)やＲＡＭ(Random Access Memory)等の記憶素子をもって構成されており、その記憶部４０には、バルブ中間体Ｗの内部空間Ｗｉｎへの不活性ガス充填に必要な各種プログラム、設定情報等が格納されている。これら各種プログラム等は、必要に応じて、制御部４１により読み出され、また、必要な情報が記憶部４０に適宜、記憶される。
【００４８】
制御部４１は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)をもって構成されており、その制御部４１は、記憶部４０から読み出されたプログラムの展開に伴い、設定部４２と、演算制御部４３として機能する。
設定部４２は、バルブ中間体Ｗの内部空間Ｗｉｎを真空にするに当たって、真空引きを終了する設定圧Ｐｓ、バルブ中間体Ｗの内部空間Ｗｉｎに不活性ガスを供給するに当たり、その不活性ガスの供給を停止する設定圧Ｐａ等を設定することになり、演算制御部４３は、各種プログラムの下で、設定部４２における設定情報、各センサ等３５〜３７，１０からの入力情報に基づき、演算処理して、各種制御信号を電磁弁８、電磁弁９、調整弁１７に出力することになる。
【００４９】
（３）前記制御ユニットＵは、図７に示すように、次のような制御内容の概要を示す。
所定位置Ｐ１にバルブ中間体Ｗが存在することが検出されると、給排調整具２は原位置から下降する。そして、給排調整具２が所定位置Ｐ１におけるバルブ中間体Ｗにおける傘部開口周縁部Ｗ２ｆに着座したことがセンサ３６により検出されると、電磁弁８が開弁（ＯＮ）されて、真空引きが開始される。これにより、バルブ中間体Ｗ内の圧力Ｐが低下していくことになる。
バルブ中間体Ｗ内の圧力Ｐが設定圧Ｐｓ（例えば１６０ｍｍＨｇ(abs)）にまで低下したことが圧力計１０により検出されると、電磁弁８が閉弁（ＯＦＦ）されると共に、電磁弁９が開弁（ＯＮ）される。これにより、真空引きに代えて不活性ガスが供給されることになり、この不活性ガスの供給によりバルブ中間体Ｗ内の圧力Ｐは高まっていくことになる。
バルブ中間体Ｗ内の圧力Ｐが周囲雰囲気圧（本実施形態では大気圧）にまで上昇したことを圧力計１０が検出すると、電磁弁９が閉弁（ＯＦＦ）される。これにより、バルブ中間体Ｗ内に不活性ガスが充填されたことになり、給排調整具２が、バルブ中間体Ｗから離間すべく上昇される。
【００５０】
したがって、不活性ガスを噴出するノズルをポペットバルブ中間体Ｗの内部空間Ｗｉｎ内に挿入しなくても、ポペットバルブ中間体Ｗの内部空間Ｗｉｎ内がそのポペットバルブ中間体Ｗの周囲雰囲気圧よりも負圧下にあることを利用して、そのポペットバルブ中間体Ｗの内部空間Ｗｉｎ内に不活性ガスを積極的に導くことができる。しかも、不活性ガスの供給態様を、ポペットバルブ中間体Ｗにおける内部空間Ｗｉｎ内の圧力がそのポペットバルブ中間体Ｗの周囲雰囲気圧になるまでの間、その内部空間Ｗｉｎ内が負圧下にあることに基づき、ポペットバルブ中間体Ｗにおける傘部開口Ｗ２ｏから不活性ガスが漏れ出ない態様とすることができる。
また、一般的な大きさのバルブ中間体Ｗであれば、内部空間Ｗｉｎの容積もさほど大きくもないことから（例えば０．３５ｃｍ３〜１ｃｍ３の範囲）、真空引き及び不活性ガスの供給を、ほぼ瞬間的にそれぞれ行うことができることになり、バルブ製造のサイクルタイムを、不活性ガスを噴出するノズルをバルブ中間体Ｗの内部空間Ｗｉｎに出し入れする場合に比べて格段に短縮することができる。
【００５１】
（４）前記制御ユニットＵの制御例を、バルブ中間体Ｗ内に対する不活性ガスの供給方法と共に、図８に示すフローチャートに基づき具体的に説明する。尚、Ｓはステップを示す。
制御が開始されると、先ず、Ｓ１において、センサ３５からの情報に基づき、バルブ中間体Ｗが、一対のガイドレール１における搬送方向終端部１ｅの所定位置Ｐ１に存在するか否かが判別される。不活性ガス供給工程の開始の可否を判断するべく、バルブ中間体Ｗが所定位置Ｐ１に搬送されているか否かを判断するためである。このため、Ｓ１がＮＯのときには、Ｓ１に戻されて、搬送されてくるバルブ中間体Ｗを検出し続ける一方、Ｓ１がＹＥＳのときには、Ｓ２において、伸縮シリンダ装置１２により給排調整具２が下降される。
【００５２】
Ｓ２において、給排調整具２が下降されると、Ｓ３において、センサ３６からの情報に基づき、当接ユニット４（パッド２６の突部２７）がバルブ中間体Ｗにおける傘部開口周縁部Ｗ２ｆの先端面に当接したか否かが判別される。バルブ中間体Ｗにおける内部空間Ｗｉｎが密閉状態となり、その内部空間Ｗｉｎに対して真空引きが可能になったか否かを判断するためである。このため、このＳ３がＮＯのときには、前記Ｓ２に戻される一方、Ｓ３がＹＥＳのときには、Ｓ４において、給排調整具２の下降動が停止されると共に、Ｓ５において、電磁弁８が開弁される。これにより、バルブ中間体Ｗにおける内部空間Ｗｉｎが真空引きされることになり、その内部空間Ｗｉｎ内に当初、存在していた空気が排出される。
【００５３】
Ｓ５において、真空引きが開始されると、Ｓ６において、圧力計１０からの情報に基づき、バルブ中間体Ｗにおける内部空間Ｗｉｎの圧力Ｐが、バルブ中間体Ｗの周囲雰囲気圧（本実施形態では大気圧と同一圧力）よりも低い設定圧Ｐｓ以下に至ったか否かが判別される。次に行われる不活性ガスの供給を円滑に行うと共に、その供給の際に、バルブ中間体Ｗ内の負圧に基づき、不活性ガスがバルブ中間体Ｗの傘部開口Ｗ２ｏから漏れ出ない状態にするためである。このため、Ｓ６がＮＯのときには、Ｓ５に戻されて真空引きが続行される一方、Ｓ６がＹＥＳのときには、Ｓ７において電磁弁８が閉弁されると共に、次のＳ８において、電磁弁９が開弁される。これにより、前述のように、バルブ中間体Ｗ内に、負圧の下で、不活性ガスが供給される。
【００５４】
Ｓ８において、バルブ中間体Ｗ内への不活性ガスの供給が開始されると、Ｓ９において、バルブ中間体Ｗにおける内部空間Ｗｉｎの圧力Ｐが、不活性ガス充填ステーションＳｇにおける周囲雰囲気圧（本実施形態では大気圧と同一圧力）Ｐａ以上に上昇したか否かが判別される。不活性ガスの供給の停止タイミングを判断するためである。このため、Ｓ９がＮＯのときには、Ｓ７に戻されて不活性ガスの供給が続行される一方、このＳ９がＹＥＳのときには、Ｓ１０において、電磁弁９が閉弁されて、不活性ガスの供給が停止される。これに伴い、次のＳ１０において、給排調整具２は、伸縮シリンダ装置１２の駆動に基づき原位置に復帰（上昇）され、所定位置Ｐ１におけるバルブ中間体Ｗから離間される。
勿論このとき、バルブ中間体Ｗにおける内部空間Ｗｉｎの圧力Ｐと周囲雰囲気圧とが同じになることから、給排調整具２はバルブ中間体Ｗから容易に離間され、また、バルブ中間体Ｗの傘部開口Ｗ２ｏが開口されている状態でも、バルブ中間体Ｗ内に不活性ガスが充填されている状態が維持される。
【００５５】
５．不活性ガス充填ステーションＳｇには、一対のガイドレール１の並設方向他方側（図３中、下側、図４中、左側）において、図２、図３に示すように、所定位置Ｐ１に位置するバルブ中間体Ｗを搬出するための搬出装置４５が設けられている。搬出装置４５は、一対のガイドレール１を基準として上下に、第１、第２の搬出装置４５Ａ，４５Ｂを備えており、第１の搬出装置４５Ａは、一対のガイドレール１を基準としてその下側に配置され（図２参照）、第２の搬出装置４５Ｂは、一対のガイドレール１を基準としてその上側に配置されている（図３参照）。
尚、図２においては、第１の搬出装置４５Ａのみが簡略的に図示され、図３においては、第２の搬出装置４５Ｂのみが簡略的に図示されている。
【００５６】
（１）第１の搬出装置４５Ａは、開閉する一対のアーム４６Ａ（図２おいて簡略的に図示）を備え、その一対のアーム４６Ａが上下方向に昇降動できることになっている。これにより、第１の搬出装置４５Ａは、所定位置Ｐ１に位置するバルブ中間体Ｗを搬出するに際しては、一対のアーム４６Ａの先端部が、所定位置Ｐ１に位置するバルブ中間体Ｗの軸部Ｗ１を挟持し、その一対のアーム４６Ａが、その挟持状態を維持しつつ一定長さだけ上昇され、バルブ中間体Ｗの傘部Ｗ２は、一対のガイドレール１の上方に離間した状態で位置される。
【００５７】
（２）第２の搬出装置４５Ｂは、図３に示すように、開閉する一対のアーム４６Ｂを備え、その一対のアーム４６Ｂが上下方向に昇降動すると共に、第２の搬出装置４５Ｂ自体が、金属ナトリウム供給工程をなす金属ナトリウム供給ステーションＳｍと不活性ガス供給工程ステーションＳｇとの間を移動できることになっている（図３参照）。これにより、所定位置Ｐ１に位置するバルブ中間体Ｗを搬出するに際し、第１の搬出装置４５Ａ（一対のアーム４６Ａ）がバルブ中間体Ｗを上昇させたときには、第２の搬出装置４５Ｂは、一対のガイドレール１から上昇されたバルブ中間体Ｗの軸部Ｗ１を一対のアーム４６Ｂが挟持し、その一対のアーム４６Ｂは、その挟持に伴って動作する第１の搬送装置（一対のアーム）による挟持解除動を待って上昇する。そして、第２の搬出装置４５Ｂは、金属ナトリウム供給ステーションＳｍにおけるセット４７台上に移動し、そこに到ると、一対のアーム４６Ｂを、所定の下降位置にまで下降させた後、開き、バルブ中間体Ｗを金属ナトリウム供給ステーションＳｍに受け渡す(図２、図３参照)。この一連の動作を終えると、第１、第２搬出装置４５Ａ，４５Ｂは、原位置、原状態に復帰する。
【００５８】
６．金属ナトリウム供給ステーションＳｍにおいては、図２、図３、図９に示すように、バルブ中間体Ｗを受け入れる前記セット台４７と、金属ナトリウムを下方に押し出す押出し機４９と、該押出し機４９から押し出された金属ナトリウムをセット台４７の上方に搬送する小分け用ホルダ装置５０と、小分け用ホルダ装置５０を、押出し機４９とセット台４７との間において移動させるホルダ移動装置５１と、小分け用ホルダ装置５０により搬送された金属ナトリウムを該小分け用ホルダ装置５０から押し出す不活性ガス噴出装置６０とが備えられている。
【００５９】
（１）セット台４７は、図３に示すように、前記一対のガイドレール１における搬送方向終端部１ｅの延長領域に配置されている。このセット台４７には、図２、図９に示すように、バルブ中間体Ｗを受け入れるセット孔４８が形成されている。このセット孔４８は、上方に向けて開口されており、その開口径、開口形状は、バルブ中間体Ｗの軸部Ｗ１を挿通させつつ傘部Ｗ２を支持できるものとなっている。このため、セット孔４８が第２搬出装置４５Ｂからバルブ中間体Ｗを受け入れたときには、不活性ガス充填ステーションＳｇの場合同様、バルブ中間体Ｗは、その傘部開口Ｗ２ｏを上方に向けた状態でセットされることになる。
【００６０】
（２）押出し機４９は、図３、図９に示すように、一対のガイドレール１の並設方向一方側（図３中、上側）に配置されて、前記セット台４７に対して一対のガイドレール１の並設方向にオフセットされた配置関係となっている。この押出し機４９は、金属ナトリウムを棒状に押し出す押出し機本体５２と、その押出し機本体５２から下方に押し出される棒状の金属ナトリウムを一定長さで切断する切断装置５３と、を備えており、これらは、セット台４７に対してオフセットした状態の下で、該セット台４７の上面よりも一定距離だけ上方に位置されている（図９参照）。
【００６１】
（３）小分け用ホルダ装置５０は、図９に示すように、一定量の金属ナトリウムを収納できる筒状のホルダ５４と、そのホルダ５４内における金属ナトリウムの保持、排出を調整するシャッタ弁５５と、を備えている。ホルダ５４は、その軸線を上下方向に向けた状態で基板５６に取付けられ、シャッタ弁５５は、ホルダ５４の下端側に配置されて、基板５６に取付けられるアクチュエータ５７の駆動によりホルダ５４の下端開口を開閉することになっている。
【００６２】
（４）ホルダ移動装置５１は、図９に示すように、伸縮ロッド５８ａを備える伸縮シリンダ装置５８を備え、その伸縮ロッド５８ａの先端部は前記基板５６に連結されている。この伸縮シリンダ装置５８は、伸縮ロッド５８ａの伸縮動により、基板５６に取付けられたホルダ５４を、その上端面が押出し機４９の下方側における金属ナトリウム受け取り位置（図９中、実線状態）と、その下端面がセット台４７のセット孔４８に臨む金属ナトリウム排出位置（図９中、仮想線状態）とに移動させることになる。
尚、符号５９は、伸縮シリンダ装置５８を支持する固定ベースを示す。
【００６３】
（５）不活性ガス噴出装置６０は、図９に示すように、セット台４７の上方に配置されている。この不活性ガス噴出装置６０は、図示を略す昇降装置により、上下方向に昇降動可能となっており、その不活性ガス噴出装置６０には、ノズル６１と、そのノズル６１に連なる不活性ガス供給源（図示略：本実施形態ではアルゴン供給源）と、そのノズル６１と不活性ガス供給源との間に介装される電磁弁６２とが備えられている。
ノズル６１は、不活性ガス噴出装置６０の昇降動に基づき、セット台４７の上面から上方にバルブ中間体Ｗの軸線方向長さ以上の距離をもって離間する待避位置と、セット台４７の上面から上方にホルダ５４の軸線方向長さよりも多少、長い距離をもって離間する作動位置と、をとり得るように設定されていて、ホルダ５４がセット台４７上方の金属ナトリウム排出位置に移動されたときには、ノズル６１は、作動位置に位置することによりホルダ５４の上端面に近接して臨み、それ以外のときには、ノズル６１は待避位置に位置されることになっている。
不活性ガス供給源は、不活性ガスを供給する状態にあり、ノズル６１への不活性ガスの供給は、電磁弁６２により調整される。
電磁弁６２は、ノズル６１が作動位置に位置されたときには、電磁弁６２が開弁されて、不活性ガスがノズル６１から噴出されることになっている。これにより、その不活性ガスは、ホルダ５４の上端開口からその内部に入り込むことになり、ホルダ５４内の金属ナトリウムは下方に押し出されることになる。
【００６４】
（６）このような金属ナトリウム供給ステーションＳｍにおいては、前記第２搬出装置４５Ｂによりバルブ中間体Ｗを受け取るに当たり、ノズル６１は待避位置にあり、そのような状態の下で、バルブ中間体Ｗが第２搬出装置４５Ｂによりセット台４７に搬送され、そのセット台４７のセット孔４８にバルブ中間体Ｗがセットされる。
バルブ中間体Ｗがセット台４７のセット孔４８にセットされたことが確認されると、ホルダ移動装置５１が駆動されて、ホルダ５４が金属ナトリウム排出位置に移動される（図９における仮想線参照）。この場合、このホルダ移動装置５１が駆動されるに先立ち、ホルダ５４内には、押出し機４９から押し出された棒状の一定量の金属ナトリウムが取り込まれ、シャッタ弁５５は、その金属ナトリウムをホルダ５４内に保持すべく、閉弁状態となっている。
【００６５】
ホルダ５４が金属ナトリウム排出位置に移動されたことが確認されると、ノズル６１が作動位置に下降し、その後、シャッタ弁５５が開弁されると共に電磁弁６２が開弁される。これにより、ノズル６１から不活性ガスが噴出されることになり、ホルダ５４内の金属ナトリウムは、そのホルダ５４の下端開口からバルブ中間体Ｗ内に押し込まれる。
【００６６】
ホルダ５４内の金属ナトリウムが押し出されて、該ホルダ５４内が空であることが確認されると、ノズル６１が待避位置に復帰すると共に、シャッタ弁５５が閉じられて、ホルダ移動装置５１の駆動によりホルダ５４は原位置に復帰される。この原位置に復帰したホルダ５４内には、押出し機４９から新たな金属ナトリウムが供給される。
【００６７】
一方、ノズル６１が待避位置へ移動すると共にホルダ５４が原位置に復帰したことが確認されると、金属ナトリウムが収容されたバルブ中間体Ｗは、バルブ中間体Ｗ内における金属ナトリウムに対する押し込み工程、バルブ中間体Ｗにおける傘部開口Ｗ２ｏの閉塞工程（蓋体の溶接処理）をなす各ステーションに搬送され、その各ステーションを経ることにより、バルブＷが完成することになる。
尚、図２、図９中、符号６３は、金属ナトリウムが収容されたバルブ中間体Ｗをセット台４７から搬出するに際して用いられる押出しピンである。
【００６８】
７．図１０〜図１８は第２実施形態、図１９は第３実施形態を示す。この各実施形態において、前記第１実施形態と同一構成要素については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００６９】
８．図１０〜図１８に示す第２実施形態は、第１実施形態の変形例として、給排調整具２が真空引き態様にあるときに、その給排調整具２とバルブ中間体Ｗとが一体化することに着目し、給排調整具２を搬送具としても利用したものを示している。
【００７０】
（１）この第２実施形態においても、バルブ中間体Ｗ内に対する不活性ガスの充填のために、真空引き工程と不活性ガス供給工程とが実行されるが、この第２実施形態においては、図１０に示すように、不活性ガス充填ステーションＳｇ、金属ナトリウム供給ステーションＳｍに代えて、真空引き工程だけを行う真空引きステーションＳｖ、不活性ガス供給工程と金属ナトリウム供給工程とを行う金属ナトリウム充填ステーションＳｆが設けられることになる。第２実施形態に係る不活性ガス供給装置１００は、真空引きステーションＳｖ及び金属ナトリウム充填ステーションＳｆの両方において機能する。
【００７１】
（２）第２実施形態に係る不活性ガス供給装置１００は、基本的に、前記第１実施形態の構成が利用されているものの、一部構成が異なっている。
【００７２】
（３）第２実施形態に係る不活性ガス供給装置１００においても、基盤１３が備えられているが、その基盤１３は、一対のガイドレール１の並設方向他方側（図１１中下方側）に配置され、その基盤１３は、固定基盤１３Ａと、その固定基盤１３Ａ上を製造ラインが続く方向（図１１中、左右方向）にスライドするスライド基盤１３Ｂと、により構成されている。このスライド基盤１３Ｂには、動力伝達機構７１を介して駆動源としてのサーボモータ７２が連係されており、スライド基盤１３Ｂに組み込まれたボールねじ構造７３、そのボールねじ構造（軸部）７３とサーボモータ７２との間に介在されるプーリ７４、ベルト７５、プーリ７６は、その動力伝達機構７１として、サーボモータ７２の駆動力をスライド基盤１３Ｂに往復動力として伝達することになる。これにより、スライド基盤１３Ｂは、真空引きステーションＳｖと金属ナトリウム充填ステーションＳｆとの間を移動する。
【００７３】
（４）第２実施形態に係る制御ユニットＵには、図１３に示すように、センサ（セット状態検出具）３５、センサ（配置状態検出具）３６、センサ３７、圧力計１０（圧力検出部）からの各情報の他に、サーボモータ７２におけるエンコーダ７７からの情報が入力され、その制御ユニットＵからは、電磁弁８、電磁弁９、調整弁１７の他に、サーボモータ７２に対して制御信号が出力されることになる。
また、制御ユニットＵの設定部４２には、前記第１実施形態の設定内容に加えて、真空引きステーションＳｖと金属充填ステーションＳｆとの間をスライダ基盤１３Ｂが移動する距離が設定される。
【００７４】
（５）上記制御ユニットＵの制御例を、一連の作用と共に、図１４に示すフローチャート等に基づき具体的に説明する。尚、Ｑはステップを示す。
【００７５】
(i)制御が開始されると、先ず、バルブ中間体Ｗが、一対のガイドレール１における搬送方向終端部１ｅの所定位置Ｐ１に存在することが確認され（Ｑ１）、そのバルブ中間体Ｗの存在確認がなされると、伸縮シリンダ装置１２により給排調整具２が下降される（Ｑ２）。そして、この下降により、当接ユニット４（パッド２６の突部２７）がバルブ中間体Ｗにおける傘部開口周縁部Ｗ２ｆの先端面に当接（図１２中、当接ユニット４の仮想線参照）したこと（第１作業位置に位置）が確認されると（Ｑ３）、給排調整具２の下降動が停止されると共に電磁弁８が開かれて、バルブ中間体Ｗにおける密閉状態の内部空間Ｗｉｎに対して真空引きが行われる（Ｑ４、Ｑ５）。これにより、前記第１実施形態同様、バルブ中間体Ｗにおける内部空間Ｗｉｎ内に当初、存在していた空気は排出される。
【００７６】
(ii)Ｑ５において、真空引きが開始されると、Ｑ６において、バルブ中間体Ｗにおける内部空間Ｗｉｎの圧力Ｐが、バルブ中間体Ｗの周囲雰囲気圧（本実施形態では大気圧と同一圧力）よりも低い設定圧Ｐｓ以下に至ったか否かが判別され、それが確認されると、伸縮シリンダ装置１２における伸縮ロッド１６の伸長により、給排調整具２が、図１５に示すように上昇される（Ｑ７）。この給排調整具２の上昇により、給排調整具２が原位置に到達したか否かがセンサ３７により検出され、そのセンサ３７の検出により給排調整具２が原位置に到ったことが確認されると（Ｑ８）、サーボモータ７２が駆動され、そのサーボモータ７２の駆動力は、プーリ７６、ベルト７５、プーリ７４、ボールねじ機構７３を介してスライド基盤１３Ｂに伝達される。これにより、スライド基盤１３Ｂは、金属充填ステーションＳｆに移動され、これに伴い、給排調整具２に吸着されているバルブ中間体Ｗも、吊り下げられた状態で金属充填ステーションＳｆに搬送されることになる（Ｑ９）。
このとき、不活性ガス噴出装置６０のノズル６１は、待避位置にあり、その待避位置は、本実施形態においては、バルブ中間体Ｗだけでなく給排調整具２をも考慮し、それらバルブ中間体Ｗ及び給排調整具２が、その搬送時にノズル６１又はセット台４７に干渉しない位置となっている。
また、このバルブ中間体Ｗの搬送に際しては、給排調整具２が、広い面積を有する傘部Ｗ２先端面を吸着し、両者２、Ｗ２の吸着関係が強固であることから、仮に搬送の際にバルブ中間体Ｗが振られたとしても、給排調整具２からバルブ中間体Ｗが外れて落下することはない。
【００７７】
(iii)このスライド基盤１３Ｂの移動により、図１６に示すように、給排調整具２に吸着されているバルブ中間体Ｗが、セット台４７（セット孔）の上方に到り、そのことをエンコーダ７７からの情報に基づき制御ユニットＵが判断すると（Ｑ１０）、サーボモータ７２が停止されてスライド基盤１３Ｂが停止されると共に、伸縮シリンダ装置１２における伸縮ロッド１６が短縮動されて給排調整具２が下降される（Ｑ１２）。この下降により、給排調整具２に吸着されているバルブ中間体Ｗが、図１７に示すように、その軸部Ｗ１からセット孔４８に挿通され、給排調整具２が所定下降位置（第２作業位置）に到達したこと（バルブ中間体Ｗがセット台４７にセット状態）がセンサ３６により確認されると（Ｑ１３）、伸縮ロッド１６の短縮動が停止されて給排調整具２の下降動が停止される（Ｑ１４）。
【００７８】
(iv)給排調整具２の下降動が停止されると、給排調整具２がバルブ中間体Ｗを吸着した状態(図１７の状態)の下で、そのバルブ中間体Ｗ内の圧力Ｐが圧力計１０により再読み込みされる。そして、その検出圧力Ｐが設定圧Ｐｓ以下でないときには、位置ずれ等により吸着に不具合が生じているとして、作動が停止される一方、検出圧力Ｐが設定圧Ｐｓ以下に維持されていると認められるときには、電磁弁８が閉じられると共に電磁弁９が開かれ、真空引きに代えて不活性ガスが供給される（Ｑ１８，Ｑ１９）。
【００７９】
(v)バルブ中間体Ｗ内に不活性ガスが供給されて、バルブ中間体Ｗ内が周囲雰囲気圧Ｐａ以上になったことが確認されると、電磁弁９が閉じられて不活性ガスの供給が停止され（Ｑ２１）、給排調整具２は、図１８に示すように、原位置に復帰される（Ｑ２２）。
この後、金属ナトリウム充填ステーションでは、前記第１実施形態と同様の方法により、バルブ中間体Ｗ内に金属ナトリウムの供給が行われ、それを終了すると、その金属ナトリウムを収納するバルブ中間体Ｗは、次のステーションに搬送される。
【００８０】
（６）したがって、この第２実施形態においても、不活性ガスを無駄にすることなくバルブ中間体Ｗ内に不活性ガスを供給できるだけでなく、給排調整具２がバルブ中間体Ｗを真空引きする態様を利用して、給排調整具２を、バルブ中間体Ｗを搬送する搬送具として利用できる。
【００８１】
９．図１９に示す第３実施形態は、前記第２実施形態の変形例を示す。
この第３実施形態においては、バルブ中間体Ｗとして、その傘部Ｗ２先端面が閉塞されている一方、その軸部Ｗ１先端面に開口Ｗ１ｏが形成され、その開口Ｗ１ｏを介して内部空間Ｗｉｎが外部に連通しているものを、不活性ガスの供給対象としている。このため、軸部Ｗ１の先端面開口Ｗ１ｏを通じて、真空引きと不活性ガスの供給とを行う必要から、給排調整具２の当接ユニット４は、第２実施形態に係るものに比べて全体的に縮径され、パッド２６の突部２７先端面は、軸部Ｗ２の先端面に当接できるものとなっている。
しかも、当接ユニット４のキャップ２５には、その係止部２５ａの先端周縁部において筒状のガイド部２５ｂ（ガイド部材）が一体的に形成されている。このガイド部２５ｂは、係止部２５ａの先端周縁部から下方に伸びており、その内径は、バルブ中間体Ｗにおける軸部Ｗ１を挿通できるものとなっている。
【００８２】
このため、真空引き工程において、当接ユニット４（給排調整具２）がバルブ中間体Ｗにおける軸部Ｗ１先端面を吸着するときには、図１９に示すように、その軸部Ｗ１がガイド部２５ｂ内に挿通されることになり、当接ユニット４が、バルブ中間体Ｗにおける軸部Ｗ１先端面を吸着しつつ金属ナトリウム充填ステーションＳｆに搬送される際には、バルブ中間体Ｗを振らせようとする力が働いても、その振れをガイド部２５ｂが規制することになる。これにより、当接ユニット４（給排調整具２）がバルブ中間体Ｗを搬送する際、当接ユニット４（給排調整具２）からバルブ中間体Ｗが外れることを防止できる。
【００８３】
１０．以上実施形態について説明したが、本発明にあっては次の態様を包含する。
（１）製造ラインにおける不活性ガス雰囲気を大気圧よりも高くすること。
（２）製造ラインを、大気雰囲気（大気圧）の下に稼働すること。この場合には、バルブ中間体Ｗ内に充填する不活性ガスとしては、アルゴンが好ましい。
（３）不活性ガスとして窒素を用いる場合には、製造ラインを不活性ガス雰囲気にすることが好ましいこと。より好ましくは、さらに、その雰囲気圧力を大気圧以上にすること。
（４）冷却媒体用金属として、Ｎａ−Ｋ合金を用いること。
（５）真空ポンプ１９の能力が低いときには、真空引き及び不活性ガスの供給を数回、繰り返し、最終的に、バルブ中間体Ｗ内の不活性ガスの割合を所望のものにまで高めること。
（６）昇降機構として、種々のものを用いることができること。
（７）伸縮シリンダ装置１２として、エアシリンダに限らず、油圧シリンダを用いること。
【符号の説明】
【００８４】
１ｅ  一対のガイドレールの搬送方向終端部（支持具）
２  給排調整具
４  当接ユニット（給排調整具）
８  電磁弁（負圧吸引調整部）
９  電磁弁（不活性ガス供給調整部）
１０  圧力計（圧力検出部）
１２  伸縮シリンダ装置（昇降機構、搬送機構）
１３Ｂ  スライド基盤（搬送機構）
２５  キャップ
２５ｂ  ガイド部（ガイド部材）
２８  給排通路
３５  センサ（セット状態検出具）
３６  センサ（配置状態検出具、第１配置状態検出具、第２配置状態検出具）
３７  センサ
７１  動力伝達機構（搬送機構）
７２  サーボモータ（搬送機構）
７７  エンコーダ（第２配置状態検出具）
１００  不活性ガス供給装置
Ｓｇ  不活性ガス充填ステーション
Ｓｆ  金属ナトリウム充填ステーション（金属ナトリウムの供給ステーション）
Ｗ  ポペットバルブ中間体
Ｗ２  ポペットバルブ中間体の傘部（拡径部）
Ｗ２ｏ  傘部開口（ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口）
Ｗ２ｆ  傘部開口周縁部（ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部）
Ｗｉｎ  ポペットバルブ中間体の内部空間
Ｗ１  ポペットバルブ中間体の軸部
Ｗ１ｏ  軸部開口（ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口）
Ｗ１ｆ  軸部開口周縁部（ポペットバルブ中間体の軸線方向一端側開口周縁部）
Ｐ  ポペットバルブ中間体における内部空間内の圧力
Ｐｓ  設定圧
Ｐａ  周囲雰囲気圧
Ｐ１  一対のガイドレールにおける搬送方向終端部上の所定位置
Ｕ  制御ユニット
【要約】
どのような大きさのポペットバルブ中間体であっても、不活性ガスを無駄にすることなく的確に充填できるポペットバルブ中間体内への不活性ガス供給方法及び不活性ガス供給装置を提供する。ポペットバルブ中間体(W)の内部空間(Win)を、吸引によってポペットバルブ中間体(W)の周囲雰囲気圧(Pa)よりも負圧にした上で、内部空間(Win)に不活性ガスを、内部空間(Win)の圧力(P)がポペットバルブ中間体(W)の周囲雰囲気圧(Ps)になるまで供給する。【図１】
0005957163.tif 000002
【図２】
0005957163.tif 000003
【図３】
0005957163.tif 000004
【図４】
0005957163.tif 000005
【図５】
0005957163.tif 000006
【図６】
0005957163.tif 000007
【図７】
0005957163.tif 000008
【図８】
0005957163.tif 000009
【図９】
0005957163.tif 000010
【図１０】
0005957163.tif 000011
【図１１】
0005957163.tif 000012
【図１２】
0005957163.tif 000013
【図１３】
0005957163.tif 000014
【図１４】
0005957163.tif 000015
【図１５】
0005957163.tif 000016
【図１６】
0005957163.tif 000017
【図１７】
0005957163.tif 000018
【図１８】
0005957163.tif 000019
【図１９】
0005957163.tif 000020